【手続補正書】
【提出日】令和2年5月8日(2020.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１レベルの倍率且つ第１照明条件下で、試料についての少なくとも１つの第１レベルの画像を収集すること；
前記第１レベルの倍率よりも大きい第２レベルの倍率且つ第２照明条件下で、対応する第１レベルの画像の領域を含む第１の第２レベルの画像を収集すること；
合成画像を生成するために、前記対応する第１レベルの画像上に前記第１の第２レベルの画像を重ね合わせること；および
前記第１レベルの倍率で前記合成画像を表示すること
を含み、
前記合成画像を表示することは、
前記対応する第１レベルの画像を前記第１照明条件下で背景として表示すること；および
前記第１の第２レベルの画像の前記領域を前記合成画像の高解像度領域として表示すること
を含み、前記領域は前記第２照明条件において表示される、画像解析の方法。
【請求項２】
前記第１の第２レベルの画像内に含まれる、前記対応する第１レベルの画像の前記領域に従って、前記第１の第２レベルの画像が位置決めされるように、前記第１の第２レベルの画像が前記対応する第１レベルの画像上に重ね合わされる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記対応する第１レベルの画像の領域を含む第２の第２レベルの画像を収集することをさらに含む、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
位置合わせされた前記第１の第２レベルの画像および前記第２の第２レベルの画像が、前記対応する第１レベルの画像の領域の連続画像を形成するように、前記第１の第２レベルの画像および前記第２の第２レベルの画像を位置合わせすることをさらに含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記位置合わせすることが、前記第１の第２レベルの画像の領域を前記第２の第２レベルの画像の領域と重ね合わせることによって少なくとも部分的に行われる、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記第１の第２レベルの画像および前記第２の第２レベルの画像を、前記対応する第１レベルの画像上に重ね合わせることをさらに含む、請求項３〜５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記第１の第２レベルの画像内および前記第２の第２レベルの画像内に含まれる、前記第１レベルの画像の前記領域に従って、前記第１の第２レベルの画像および前記第２の第２レベルの画像が互いに対して位置決めされるように、前記第１の第２レベルの画像および前記第２の第２レベルの画像が前記対応する第１レベルの画像上に重ね合わせられる、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記対応する第１レベルの画像のビューから前記第２レベルの画像をユーザが選択および表示することを可能にすることをさらに含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
（ａ）第１レベルの試料画像を第１レベルの倍率且つ第１照明条件下で収集するよう、かつ（ｂ）第２レベルの試料画像を前記第１レベルの倍率よりも大きい第２レベルの倍率且つ第２照明条件下で収集するように構成された画像化装置と；
対応する第１レベルの試料画像内に少なくとも部分的に配置された領域を含む第２レベルの試料画像と；
合成画像を生成するために、前記第１レベルの試料画像上に前記第２レベルの試料画像を重ね合わせることを行うように構成されたプロセッサと
を備え、
前記合成画像は、前記第１レベルの倍率且つ前記第１照明条件下での前記第１レベルの試料画像を背景として含むと共に、前記第１レベルの倍率に拡大縮小され且つ前記第２照明条件下で表示された前記第２レベルの試料画像の前記領域を前記合成画像の高解像度領域として含む、試料解析システム。
【請求項１０】
前記プロセッサが、少なくとも１つの収集された第２レベルの試料画像の特徴をその第２レベルの試料画像に対応する前記第１レベルの試料画像の対応する特徴と位置合わせするように構成されている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
第１の第２レベルの試料画像内に含まれる、前記第１レベルの試料画像の前記領域に従って、前記第１の第２レベルの試料画像が位置決めされるように、前記プロセッサが、前記第１の第２レベルの試料画像を前記第１レベルの試料画像上に重ね合わせるように構成されている、請求項９または１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記プロセッサが、前記対応する第１レベルの試料画像の領域を含む第２の第２レベルの試料画像を収集するように構成されている、請求項９〜１１のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１３】
位置合わせされた第１の第２レベルの試料画像および前記第２の第２レベルの試料画像が前記対応する第１レベルの試料画像の領域の連続画像を形成するように、前記プロセッサが、前記第１の第２レベルの試料画像および前記第２の第２レベルの試料画像を位置合わせするように構成されている、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
第１の第２レベルの試料画像内および前記第２の第２レベルの試料画像内に含まれる、前記第１レベルの試料画像の前記領域に従って、前記第１の第２レベルの試料画像および前記第２の第２レベルの試料画像が互いに対して位置決めされるように、前記プロセッサが、前記第１の第２レベルの試料画像および前記第２の第２レベルの試料画像を前記第１レベルの画像上に重ね合わせるように構成されている、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１５】
第１レベルの倍率且つ第１照明条件下で、複数の第１レベルの試料画像を収集すること；
前記複数の第１レベルの試料画像のうちの少なくともいくつかの試料画像のセットの中の各メンバについて、前記第１レベルの倍率よりも大きい第２レベルの倍率且つ第２照明条件下で、対応する前記第１レベルの試料画像内に少なくとも部分的に配置された領域を含む１つ以上の第２レベルの試料画像を収集すること；
前記第１レベルの試料画像のセットの中の前記メンバのうちの少なくともいくつかについて、前記１つ以上の第２レベルの試料画像各々の特徴を、対応する前記第１レベルの試料画像の対応する特徴と位置合わせすること；
合成画像を生成するために、前記１つ以上の第２レベルの試料画像を、対応する前記第１レベルの試料画像上に重ね合わせること；および
前記第１レベルの倍率で前記合成画像を表示すること
を含み、
前記合成画像を表示することは、
前記対応する第１レベルの試料画像を前記第１照明条件下で背景として表示すること；および
前記１つ以上の第２レベルの試料画像の前記特徴を前記合成画像の高解像度領域として表示すること
を含み、前記特徴は前記第２照明条件において表示される、画像解析の方法。
【請求項１６】
２つ以上の第１レベルの試料画像内からの１つ以上の第２レベルの試料画像が、それぞれの前記第１レベルの試料画像内の同一の相対位置で取得される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記複数の第１レベルの試料画像を収集すること、前記第２レベルの試料画像を収集すること、またはその両方が、自動化された様式で行われる、請求項１５または１６に記載の方法。
【請求項１８】
（ａ）少なくとも１つ以上の第１レベルの試料画像が、２つ以上の焦点面で取得された情報に基づいているか、（ｂ）少なくとも１つ以上の第２レベルの試料画像が、２つ以上の焦点面で取得された情報に基づいているか、または（ａ）および（ｂ）の両方である、請求項１５〜１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
第１レベルの試料画像を収集すること、および第２レベルの試料画像を収集することが、対物レンズを変更することによって行われる、請求項１５〜１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２０】
前記合成画像を表示することが、前記対応する第１レベルの画像の重ね合わされた領域を前記第１の第２レベルの画像の前記領域でマスクすることを更に含む、請求項１に記載の方法。