【事件の表示】
　特願２０１０−４９０７７「ガス注入装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年９月２２日出願公開、特開２０１１−１８７５３９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２２年３月５日を出願日とする出願であって、その手続の経緯は以下のとおり。
　平成２６年１月２３日付け　　　拒絶理由通知
　平成２６年３月３１日　　　　　意見書及び手続補正書提出
　平成２６年６月１９日付け　　　拒絶査定
　平成２６年９月２４日　　　　　本件審判請求と同時に手続補正書提出
　平成２７年５月１１日付け　　　審尋
　平成２７年７月１３日　　　　　回答書提出
第２　平成２６年９月２４日付け手続補正についての補正の却下の決定
　
［補正の却下の決定の結論］
　平成２６年９月２４日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
　
１．　本件補正の内容
　平成２６年９月２４日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）は、上記平成２６年３月３１日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲をさらに補正するもので、請求項１についての補正を含むところ、本件補正前後の請求項１の記載は、補正箇所に下線を付して示すと、以下のとおりである。
（１）　補正前
「【請求項１】
　底部と前記底部に設けられた位置決め溝と前記底部に設けられたガスの注入部とを有する、被収容体を収容する容器が載置される載置台と、
　前記載置台から突出するように設けられ、前記容器の前記位置決め溝に係合可能な位置決めピンと、
　前記容器の前記注入部を介して前記ガスを前記容器内に注入するためのノズルと、
　前記容器の前記位置決め溝に前記位置決めピンが係合した状態で、前記ノズルを前記容器の前記注入部に接触させるように、前記ノズルを駆動することが可能な駆動部と、
　前記容器が前記位置決めピンにより位置決めされて前記載置台に載置されているか否かを検出する着座センサとを具備し、
　前記駆動部は、前記容器が位置決めされたことが前記着座センサにより検出された場合、前記ノズルを前記注入部に接触させる
　ガス注入装置。」
　
（２）　補正後
「【請求項１】
　底部と前記底部に設けられた位置決め溝と前記底部に設けられたガスの注入部とを有する、被収容体を収容する容器が載置される載置台と、
　前記載置台から突出するように設けられ、前記容器の前記位置決め溝に係合可能な位置決めピンと、
　前記容器の前記注入部を介して前記ガスを前記容器内に注入するためのノズルと、
　前記容器の前記位置決め溝に前記位置決めピンが係合した状態で、前記ノズルを前記容器の前記注入部に接触させるように、前記ノズルを駆動することが可能な駆動部と、
　
前記位置決めピンが前記位置決め溝に適切に係合した状態であるか否かにより、
　前記駆動部は、前記容器が位置決めされたことが前記着座センサにより検出された場合、前記ノズルを前記注入部に接触させる
　ガス注入装置。」
２．　補正の適否
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１に係る上記補正は、「着座センサ」について、本件補正前の請求項１で特定された「前記容器が前記位置決めピンにより位置決めされて前記載置台に載置されているか否かを検出」との事項を、さらに「前記位置決めピンが前記位置決め溝に適切に係合した状態であるか否かにより」検出すると限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか）否かについて、以下に検討する。
　
（１）　引用文献記載の事項及び引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用された本願出願日前に頒布された刊行物である特開２００３−６０００７号公報（以下、「引用文献」という。）には、以下の「基板の移送方法及びロードポート装置並びに基板移送システム」が記載されている（下線は、理解の便のため当審で付した。）。
ア．
「【００４４】図４において、１２は、ウェーハキャリア１００の底部であるベースプレートを示し、１３は、ベースプレートに備えられたＶ溝を示す、Ｖ溝１３は、ウェーハキャリア１００の位置決めのために使用される。なお、図４（ａ）では、ベースプレート１２の部分を断面図で示している。
【００４５】また、１４は、ベースプレート１２に設けられたフィルタを示す。フィルタ１４は、従来から、ウェーハキャリア内に、異物が混入することを防止するために備えられているものであるが、ここでは、ウェーハキャリア１００内に高圧気体を導入する手段と接続する導入口としての役割をも果たす。」
イ．
「【００４９】図６は、基板処理装置に備えられたロードポート装置に、ウェーハキャリア１００が載置された状態を示す断面模式図である。図６において、３００は、基板処理装置２１に備えられたロードポート装置を示す。
【００５０】３０Ａは、ロードポート基台を示す。また、３１は、ロードポート基台３０Ａの上に備えられたキネマ面を示し、３１Ａは、キネマ面に突出するキネマティックピンを示す。このキネマティックピン３１Ａと、ウェーハキャリア１００に備えられたＶ溝１３とが嵌まりあって、ウェーハキャリア１００がロードポート装置３００に載置される際の位置を決定する。
【００５１】また、ロードポート基台３０Ａ、キネマ面３１、キネマティックピン３１Ａを含んで、ロードポート装置３００の台部３０が構成される。
【００５２】３２は、ロードポートドアを示す。このロードポートドア３２は、基板処理装置２１の壁面の一部を構成する。また、この実施の形態では、基板処理装置２１の壁面はＳＥＭＩ規格のＦＯＵＰに対応するＦＩＭＳ面の一部を構成する。」
ウ．
「【００５４】図７は、ロードポート装置３００に備えられた、ウェーハキャリア１００内部を加圧するための気体供給手段の概念を示すための図である。
【００５５】
１５は、ウェーハキャリア１００内部を加圧するためのクリーンな乾燥高圧気体の供給源に接続されたバルブ、例えば電磁弁である。このバルブ１５が開くことにより、供給源から、ウェーハキャリア１００内部に乾燥高圧気体が供給される。また、このバルブ１５に並列に、減圧弁１５Ａが備えられており、これによって気体の供給量を調節することができる。
【００５６】また、１６は、導入する気体の圧力を測定するための圧力センサを示し、１７は、気体の導入開始や、終了、あるいは、導入量を制御する信号をバルブ１５に与える制御手段を示す。この制御手段１７は、キネマ面３１にウェーハキャリア１００がドッキングしたのを感知し、また圧力センサによる測定結果を受け取って、それに応じて制御を行う。
【００５７】また、
１８は、ウェーハキャリア１００に備えられた導入口１４に接続される接続部を示す。この接続部は、ウェーハキャリア１００がキネマ面３１に載置されると、これに連動して自動的に導入口１４に接続されるようになっている。
【００５８】バルブ１５、圧力センサ１６、制御手段１７、接続部１８を含めて、気体供給手段４００が構成される。なお、この気体供給手段４００は、ロードポート装置３００に備えられているものであるが、図６においては、図示を省略してある。」
エ．
「【００６２】次いで、ウェーハキャリア１００を、ホイスト機構２２を用いて、基板処理装置２１に備えられたロードポート基台３０Ａ上のキネマ面３１上へ降ろして所定位置にセットする。ウェーハキャリア１００は、そのベースプレート面１２に設けられたＶ溝１３に、キネマ面３１の上面に設けられたキネマティックピン３１Ａが嵌まることにより、ロードポート基台３０Ａの上の適切な位置に載置される。
【００６３】キネマ面３１に、ウェーハキャリア１００が載置されると、これに連動して、図７（ｂ）に示すように、
気体供給手段４００の接続部１８が、フィルタの備えられた導入口１４に接続され
【００６４】また、ホイスト機構２２を、ウェーハキャリア１００から外し、ウェーハキャリア１００をロードポート基台３０Ａ上に残す。その後、ウェーハキャリア１００を前進させて、キャリアドア２と、ロードポートドア３２をドッキングさせる。ウェーハキャリア１００は前進し、ロードポートドア３２のＦＩＭＳシール面に押し当てられる。
【００６５】この間、ウェーハキャリア１００内部への気体の導入は、少なくとも引き抜かれるキャリアドア２の体積分を補うまでは続けられる。
【００６６】また、この気体導入の際には、圧力センサ１６によって、加圧気体の気圧が測られている。この測定結果は、制御手段１７に伝えられ、制御手段１７は、測定結果に応じて、バルブ１５及び減圧弁１５Ａを制御し、ウェーハキャリア１００の内部の圧力が、外気に対して、陽圧になるまで加圧される。また、基板処理装置２１のエンクロージャー内と外部との差圧がある場合には、ウェーハキャリア１００内も、この差圧分、外気に対して陽圧にして、エンクロージャー内と同程度あるいはそれ以上の陽圧となるようにする。この場合、差圧は１０Ｐａ以下でよい。」
オ．
「【００６８】このとき、ウェーハキャリア１００では、キャリアドアが引き抜かれるため、キャリアドア２の体積分、負圧となる。しかし、乾燥高圧気体をウェーハキャリア１００に導入することで、ウェーハキャリア１００の内部は、予め高圧にされているために、この負圧によって、外気がウェーハキャリア１００内に流入するのを防ぐことができる。このようにして、キャリアドア２の開放時に、ウェーハキャリア１００内が負圧となって、巻き込みが発生することを防止できる。
【００６９】また、外気に対して、エンクロージャー内部が陽圧である場合にも、その圧力差の分以上、ウェーハキャリア１００内も陽圧にしてあるため、外気あるいは、エンクロージャー内からの気体の流入を防止することができる。
【００７０】
以上説明したように、気体供給手段４００においては、ロードポート装置２００の台部３０に、ウェーハキャリア１００が載置されるのに連動し、接続口１８がフィルタ１４に接続される。
【００７１】このようにして、気体供給手段２００は、制御手段１７、バルブ１５及び減圧弁１５Ａなどを用いることにより、キャリアドア２の開放動作に連動させて、ウェーハキャリア１００内部を加圧する。しかし、この発明においては、加圧を、キャリアドア２の開放動作に連動できる場合に限るものではなく、キャリアドア２の解放前にウェーハキャリア１００内部を加圧できるものであればよい。
【００７２】また、ドア開放の際には、すでにウェーハキャリア１００内部は、加圧されているため、気体の供給を止めるものであってもよい。また、ドア開放中も、気体を導入し続けるものであってもよい。これによって、ウェーハキャリア１００内部への異物混入をいっそう抑えることができる。」
　
カ．
　上記摘記事項ウ．には「１８は、ウェーハキャリア１００に備えられた導入口１４に接続される接続部を示す。この接続部は、ウェーハキャリア１００がキネマ面３１に載置されると、これに連動して自動的に導入口１４に接続されるようになっている。」との記載、上記摘記事項オ．には「以上説明したように、気体供給手段４００においては、ロードポート装置２００の台部３０に、ウェーハキャリア１００が載置されるのに連動し、接続口１８がフィルタ１４に接続される。」との記載がある。ここで、「ウェーハキャリア１００がキネマ面３１に載置され」た状態とは、「Ｖ溝１３」と「キネマティックピン３１Ａ」とが適切に係合した状態であることは、技術常識である。さらに、【図７】の（ａ）及び（ｂ）における「接続口１８」の位置を対比すると、【図７】（ａ）では、「導入口１４」に対して間隔をあけた下方位置であったものが、「気体供給手段４００の接続部１８が、フィルタの備えられた導入口１４に接続され」（摘記事項エ．）た状態である【図７】（ｂ）においては、「接続口１８」が上昇し「導入口１４」と接続されていることの図示とあわせると、引用文献１に記載されたものは、「接続口１８」を上昇動作をさせるための駆動部を有することが当業者にとって自明である。
　以上をまとめると、引用文献１に記載されたものは、「Ｖ溝１３」に「キネマティックピン３１Ａ」が係合した状態で、「接続口１８」を「フィルタ１４」に接続させるように、「接続口１８」を駆動することが可能な駆動部を有するものであると認められる。
【図７】
　
キ．
　上記摘記事項ウ．には「この接続部は、ウェーハキャリア１００がキネマ面３１に載置されると、これに連動して自動的に導入口１４に接続されるようになっている」との記載がある。そうすると、そのような動作を「自動的に」行うためには、まず、「ウェーハキャリア１００がキネマ面３１に載置」されたことを検出しなければならないから、引用文献１に記載されたものは、当該検出を行う何らかのセンサ等とされる手段を具備していることは、当業者にとって自明である。
　上記摘記事項ア．ないしオ．の記載、【図７】の図示並びに認定事項カ．及びキ．を整理すると、引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 
「ベースプレート１２と前記ベースプレート１２に設けられたＶ溝１３と前記ベースプレート１２に設けられた気体の導入口であるフィルタ１４とを有する、基板を収納するウェーハキャリア１００が載置されるキネマ面３１を上面に有するロードポート基台３０Ａと、
　前記キネマ面３１から突出するように設けられ、前記ウェーハキャリア１００の前記Ｖ溝１３に係合可能なキネマティックピン３１Ａと、
　前記ウェーハキャリア１００の前記フィルタ１４を介して前記気体を前記ウェーハキャリア１００内に注入するための接続口１８と、
　前記ウェーハキャリア１００の前記Ｖ溝１３に前記キネマティックピン３１Ａが係合した状態で、前記接続口１８を前記フィルタ１４に接続させるように、前記接続口１８を駆動することが可能な駆動部と、
　前記ウェーハキャリア１００が前記キネマ面３１に載置されているか否かを感知するセンサを具備し、
　前記駆動部は、前記ウェーハキャリア１００が位置決めされたことが前記センサにより検出された場合、前記接続口１８を前記フィルタ１４に接続させる
　ロードポート装置３００の台部３０。」
（２）　対比
　引用発明の「ベースプレート１２」、「ベースプレート１２に設けられたＶ溝」及び「ベースプレート１２に設けられた気体の導入口であるフィルタ１４」は、補正発明の「底部」、「底部に設けられた位置決め溝」及び「底部に設けられたガスの注入部」にそれぞれ相当する。
　引用発明の「基板」及び「ウェーハキャリア１００」は、それぞれ補正発明の「被収容体」及び「容器」に相当する。
　引用発明の「キネマ面３１を上面に有するロードポート基台３０Ａ」、「キネマティックピン３１Ａ」及び「接続口１８」は、それぞれ補正発明の「載置台」、「位置決めピン」及び「ノズル」に相当する。
　引用発明の「ロードポート装置３００の台部３０」は、「気体」を「ウェーハキャリア１００内」に注入するものであるから、本願発明の「ガス注入装置」に相当する。
　そうすると、補正発明と引用発明は、以下の点で一致し、かつ、相違する。 
 　 
 ＜一致点＞ 
 「底部と前記底部に設けられた位置決め溝と前記底部に設けられたガスの注入部とを有する、被収容体を収容する容器が載置される載置台と、
　前記載置台から突出するように設けられ、前記容器の前記位置決め溝に係合可能な位置決めピンと、
　前記容器の前記注入部を介して前記ガスを前記容器内に注入するためのノズルと、
　前記容器の前記位置決め溝に前記位置決めピンが係合した状態で、前記ノズルを前記容器の前記注入部に接触させるように、前記ノズルを駆動することが可能な駆動部と、
　前記容器が前記載置台に載置されているか否かを検出する着座センサとを具備し、
　前記駆動部は、前記容器が位置決めされたことが前記着座センサにより検出された場合、前記ノズルを前記注入部に接触させる
　ガス注入装置。」 
 　 
＜相違点＞ 
　「容器が載置台に載置されているか否かを検出する着座センサ」について、補正発明のものは、「位置決めピンが位置決め溝に適切に係合した状態であるか否か」を検出するものであるのに対し、引用発明の「センサ」が何を検出することにより、ウェーハキャリア１００がキネマ面３１を上面に有するロードポート基台３０Ａに載置されているか否かを検出するものであるかが、明らかではない点。
（３）　検討
　上記（２）の相違点について検討する。
　「容器が載置台に載置されているか否かを検出するセンサ」として、「位置決めピンが位置決め溝に適切に係合した状態であるか否か」を検出するものは、例えば、上記当審よりの審尋にて示した特開２００３−１７４０６８号公報（特に、段落【００１０】ないし【００１４】、【図１】及び【図３】）、特開２００６−３５１６１９号公報（段落【００２７】）及び特開２００９−２６７１５３号公報（段落【００２２】ないし【００２４】）に加えて、特開２００７−９６１４５号公報（特に、段落【００３６】）、特開２００７−９６１４５号公報（特に、段落【００３８】）においても記載されており、従来周知である。
　そうすると、上記相違点に係る事項を備えたものとすることは、引用発明において容器が位置決めされたことを検知する「センサ」の検出対象として、上記従来周知のものを選択したに過ぎず、当業者にとって格別の困難性は認められない。
　また、補正発明が奏する効果についても、当業者が予測し得る範囲内のものであるにすぎず、格別なものではない。
　なお、当審は、平成２７年５月１１日付けで、以下の事項を審尋した。
「２　本件出願の出願前に頒布された刊行物である特開２００３−１７４０６８号公報には『ウエーハ搬送容器の着座確認装置』に関連して、結合ピン４が規定どおりにウエーハ搬送容器の底面に設けたＶ字溝２に収まったことを検出するセンサについて記載されているところ、このセンサと上記請求項１記載の「着座センサ」との間に違いがあるのか否かについて見解を述べられたい。
３　もし、両者の間に格別の違いがないとすると、結合ピンが規定どおりにウエーハ搬送容器の底面に設けた位置決め溝に収まったことを検出するセンサは、上記公報のほか特開２００６−３５１６１９号公報、特開２００９−２６７１５３号公報にも記載されているように従来周知であり、本件出願の請求項１に係る発明は、原査定の際に、第１引用例として挙げられた特開２００３−６０００７号公報記載の発明に上記従来周知の着座センサを適用することにより当業者が容易に発明をすることができたものであるといわざるを得ない。」
　それに対し、請求人は、平成２７年７月１３日付け回答書で、
「本願の『着座センサ』は、当該特開２００３−１７４０６８号公報のセンサの形態を採り得るだけでなく、審尋書で引用されている、特開２００６−３５１６１９号公報に記載の『加圧センサ４７』（明細書段落［００２２］）や、特開２００９−２６７１５３号公報に記載の『センサ９３とフォトセンサ９５を組み合せた着座センサ』の形態も採り得ます。」（４ページ６ないし１０行）と回答している。 
（４）　小活
　上記（３）で検討したとおり、補正発明は、引用発明及び従来周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３．　むすび
　以上のとおりであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものであるから、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり決定する。
第３　本願発明について
　
１．　本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし６に係る発明は、平成２６年３月３１日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲及び明細書並びに願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記第２の１．（１）に示したとおりのものである。
　
２．　引用文献
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された引用文献及びその記載事項並びに引用発明は、上記第２の２．（１）に示したとおりである。
　
３．　対比
　上記第２の２．（２）に示した補正発明と引用発明との対比に倣って、本願発明と、引用発明とを対比すると、両者は以下の点で一致し、かつ、相違する。
＜一致点＞
「底部と前記底部に設けられた位置決め溝と前記底部に設けられたガスの注入部とを有する、被収容体を収容する容器が載置される載置台と、
　前記載置台から突出するように設けられ、前記容器の前記位置決め溝に係合可能な位置決めピンと、
　前記容器の前記注入部を介して前記ガスを前記容器内に注入するためのノズルと、
　前記容器の前記位置決め溝に前記位置決めピンが係合した状態で、前記ノズルを前記容器の前記注入部に接触させるように、前記ノズルを駆動することが可能な駆動部と、
　前記容器が前記載置台に載置されているか否かを検出する着座センサとを具備し、
　前記駆動部は、前記容器が位置決めされたことが前記着座センサにより検出された場合、前記ノズルを前記注入部に接触させる
　ガス注入装置。」
　
＜相違点＞ 
　「容器が前記載置台に載置されているか否かを検出する着座センサ」について、本願発明のものは、「容器が位置決めピンにより位置決めされて載置台に載置されているか否か」を検出するものであるのに対し、引用発明の「センサ」が何を検出することにより、ウェーハキャリア１００がキネマ面３１を上面に有するロードポート基台３０Ａに載置されているか否かを検出するものであるかが、明らかではない点。
４．　検討
　上記３．の相違点について検討する。上記第２の２．（１）の認定事項カ．で示したように、引用文献において、「ウェーハキャリア１００がキネマ面３１に載置され」た状態とは、「Ｖ溝１３」と「キネマティックピン３１Ａ」と適切に係合した状態であることは、技術常識である。そうすると、引用発明の「前記ウェーハキャリア１００が前記キネマ面３」に載置されているか否かを感知」するための「センサ」を、「容器が載置台に載置されているか否かを検出する」ものとしたことは、当業者が容易になし得た事項である。
　また、本願発明が奏する効果も当業者が予測し得る範囲内のものにすぎず、格別なものではない。
　したがって、本願発明は引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
５．　むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。
＜平成２７年７月１３日付け回答書記載の補正案について＞
　請求人は、当審の平成２７年５月１１日付け審尋に対する平成２７年７月１３日付け回答書において、補正案を提示している。本来審尋で予定されている手続中に、補正の意志を表明することは求められないところではあるが、以下その提示された補正案について付記する。
　当該補正案の請求項１の記載を、補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである（以下、当該補正案の請求項１に係る発明を「補正案発明」という。）。
「【請求項１】 
　底部と前記底部に設けられた位置決め溝と前記底部に設けられたガスの注入部とを有する、被収容体を収容する容器が載置される載置台と、 
　前記載置台から突出するように設けられ、前記容器の前記位置決め溝に係合可能な位置決めピンと、 
　
前記ガスを供給するための配管および開閉弁を有し、
　前記容器の前記位置決め溝に前記位置決めピンが係合した状態で、前記ノズルを前記容器の前記注入部に接触させるように、前記ノズルを駆動することが可能な駆動部と、 
　前記位置決めピンが前記位置決め溝に適切に係合した状態であるか否かにより、前記容器が前記位置決めピンにより位置決めされて前記載置台に載置されているか否かを検出する着座センサとを具備し、 
　前記駆動部は、前記容器が位置決めされたことが前記着座センサにより検出された場合、前記ノズルを前記注入部に接触させ
、前記ノズルを前記注入部に接触させた後、前記開閉弁が開いて前記ガスの注入を開始する
　ガス注入装置。 」（４ページ下から６行〜５ページ１１行）
　
　そして、補正案発明について、以下のとおり主張している。
「本願発明（当審注：「補正案発明」のこと。以下同様。）では、「位置決め溝に前記位置決めピンが適切に係合」していることを「着座センサ」により検出された場合、つまり、容器が載置台に確実に位置決めされて載置され、注入部が所定のノズル接触位置にあることが検出された場合に、ノズルが注入部に接触した後、ガスが容器内に注入されます。この点、・・・接続部１８が上昇して導入口に接続されるタイミングと、バルブ１５が開いてガスが導入されるタイミングとが関連しない第１引用例とは異なります。そして、本願発明では、容器が確実に位置決めされた状態で、駆動部は「前記ノズルを前記注入部に接触させた後、前記開閉弁が開いて前記ガスの注入を開始する」ことで、上記のように多量のガスを効率良く迅速に容器内に導入することができ、これにより、ガスを容器外に漏らすことがなく、ガスの使用効率の低下もありません。以上のように、本願発明および第１引用例（当審注：「引用文献」のこと。以下同様。）において、ガスの導入のための最初の契機となる「載置」の概念は、両者の目的から根本的に異なるものであり、第１引用例には、本願発明の構成および作用効果は開示も示唆もされておりません。そして、・・・位置決めされていない状態でのノズルと容器との接触を回避して、迅速に容器内のガスの濃度を高めることを実現する、という本願発明の特有の課題は、第１引用例には記載も示唆もしておらず、本願発明によって初めて解決されます。」（８ページ２ないし１８行）
●当審の見解
　上記第２の２．（１）摘記事項ウ．の「１５は、ウェーハキャリア１００内部を加圧するためのクリーンな乾燥高圧気体の供給源に接続されたバルブ、例えば電磁弁である。このバルブ１５が開くことにより、供給源から、ウェーハキャリア１００内部に乾燥高圧気体が供給される。また、このバルブ１５に並列に、減圧弁１５Ａが備えられており、これによって気体の供給量を調節することができる。」との記載から、引用文献に記載されたものは「ウェーハキャリア１００内部」に「クリーンな乾燥高圧気体」を供給するための「バルブ１５」を備えるものである。そうすると、引用文献には、上記引用発明において更にバルブ１５を備えた発明が記載されている。ここで、引用発明の「接続口１８」を「フィルタ１４」に接触させる前に、上記「バルブ１５」を開いたならば、上記「クリーンな乾燥高圧気体」が「接続口１８」から吐出され、「ウェーハキャリア１００」の内部に供給されない状態が発生し、かつ、引用文献【図７】の（ｂ）に示すように、「接続口１８」が「フィルタ１４」に接近するに際して、「接続口１８」から吐出される「クリーンな乾燥高圧気体」は、両者の接近を妨げる力を生じせしめるといった不都合が生じるであろうことは、当業者にとって明らかである。
　そうすると、バルブ１５を備えた引用発明において、バルブ１５を開くタイミングを「接続口１８」が「フィルタ１４」に接触させた後、としたことは、上記十分に予見できる不都合への常識的な対応というべきであって、当業者が容易になし得た事項である。
　また、補正案発明の奏する効果も当業者が予測し得る範囲内のものであって、格別なものではない。
　したがって、補正案発明は、引用文献に記載された発明及び上記従来周知の技術事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないと思われ、回答書に提示された補正案の内容は、結論を左右するものではない。