【事件の表示】
　特願２００９−２５２４５８「プラズマ表面処理装置およびその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　５月１２日出願公開、特開２０１１−　９６６１６、請求項の数（８）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２１年１１月２日の出願であって、原審において平成２５年６月６日付けで拒絶理由が通知され、同年８月１９日付けで意見書が提出されるとともに手続補正がなされ、同年１２月１７日付けで最後の拒絶理由が通知され、平成２６年２月２４日付けで意見書が提出されたが、同年７月１０日付けで拒絶査定（以下、「原査定」という）がなされ、これに対し、同年１０月２２日に拒絶査定不服の審判が請求されるとともに、同時に手続補正（以下、「審判請求時補正」という。）がなされ、平成２７年１月２２日付けで前置報告がなされ、同年１０月２３日付けで当審より拒絶理由（以下、「当審拒絶理由１」という。）が通知され、平成２８年１月８日付けで意見書が提出されるとともに手続補正（以下、「本件補正前補正」という。）がなされ、同年１月２６日付けで当審より最後の拒絶理由（以下、「当審拒絶理由２」という。）が通知され、同年２月２４日付けで意見書が提出されるとともに手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
　
第２　本件補正の適否
１　補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項８につき、本件補正前補正の請求項８の
「請求項５から７のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置において、前記接地電極を構成する金属電極の前記電極対向面が切削加工によって形成されていることを特徴とするプラズマ表面処理装置の製造方法。」
を
「請求項５から７のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置
の製造方法
を
する
に補正するものである（下線は、請求人が付したとおりのものである。）。
　
２　補正の適否
２−１　本件補正は、本件補正前補正の請求項８における、「・・・プラズマ表面処理装置において、・・・が切削加工によって形成されている」「プラズマ表面処理装置の製造方法」との記載が、何が方法の発明の構成であるのか不明確であるとの、当審拒絶理由２に対応して補正したものであって、本件補正により、「・・・プラズマ表面処理装置の製造方法において、・・・を切削加工によって形成する」「プラズマ表面処理装置の製造方法」となり、「切削加工によって形成する」ことが方法の発明の構成であることが明確となった。
　したがって、上記補正事項は、当審拒絶理由２に係る拒絶の理由に示す事項に対するものであって、特許法第１７条の２第５項第４号に掲げる明りようでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　また、本件補正は願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであって、特許法１７条の２第３項に違反するところはなく、さらに、同条第２項に違反するところもない。
　
３　本件補正についてのむすび
　以上のとおりであるから、本件補正は適法である。
　
第３　本件発明
　上記のとおり、本件補正は適法であるので、本願請求項１ないし８に係る発明（以下、請求項１ないし８に係る発明を「本件発明１」ないし「本件発明８」という。）は、次の各請求項に記載されたとおりのものと認められる。
「【請求項１】
　大気圧近傍の圧力下において、電圧印加電極と接地電極との間に処理ガスを導入しつつ高周波電界を印加することにより得られる放電プラズマを、放電空間外に配置された被処理体に導いて前記被処理体の表面処理を行うプラズマ表面処理装置であって、
　前記電圧印加電極は、筒状に一体成形された固体誘電体に金属電極を挿入してなる構造からなり、円筒状の外周面を有し、
　前記接地電極は、前記電圧印加電極の外周面に対応する形状の電極対向面を有する一対の金属電極で構成され、これら一対の金属電極の電極対向面がそれぞれ前記電圧印加電極の外周面と平行に対面するように配置され、かつ、前記接地電極の電極対向面は前記電圧印加電極の円筒状外周面の軸方向に沿って延びる断面円弧状の形態とされ、この電極対向面が前記電圧印加電極を前後から挟み込むように配置されることにより、前記電圧印加電極の頂上側に処理ガスの導入口が形成されるとともに、電圧印加電極の底部側に処理ガスの吹出口を形成し、かつ、前記電圧印加電極の外周面と前記接地電極の電極対向面との間に形成された放電空間で発生する紫外線が、前記接地電極によって前記被処理基板に直接照射されないように構成した
ことを特徴とするプラズマ表面処理装置。
【請求項２】
　前記電圧印加電極を構成する固体誘電体としてセラミックス製の円筒パイプが用いられていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表面処理装置。
【請求項３】
　前記電圧印加電極を構成する金属電極として金属製の円筒パイプが用いられていることを特徴とする請求項２に記載のプラズマ表面処理装置。
【請求項４】
　前記電圧印加電極を構成する筒状の固体誘電体と該固体誘電体内に挿入される金属電極との間には、その隙間を埋める充填材が充填されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置。
【請求項５】
　前記接地電極を構成する金属電極としてアルミニウム製の電極が用いられ、前記電極対向面は陽極酸化処理された面で構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置。
【請求項６】
　前記接地電極を構成する金属電極としてアルミニウム製の電極が用いられ、前記電極対向面にはステンレス製の部材が装着されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置。
【請求項７】
　前記接地電極を構成する金属電極としてアルミニウム製の電極が用いられ、前記電極対向面にはセラミックス製の部材が装着されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置。
【請求項８】
　請求項５から７のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置の製造方法において、前記接地電極を構成する金属電極の前記電極対向面を切削加工によって形成することを特徴とするプラズマ表面処理装置の製造方法。」
　
第４　原査定の理由について
１　原査定の理由の概要
（１）平成２５年６月６日付けで原審において通知された拒絶理由の概要は以下のとおりである。
「理由　１
　この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　理由　２
　この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　　　　　記　　　（引用文献等については引用文献等一覧参照）
　
　　　　　　　　　　　引　用　文　献　等　一　覧
１.特開２００３−１０９７９９号公報
２.特開平６−６５７３９号公報
３.特開２００７−５９３８５号公報
４.特開２００４−１０３４２３号公報
　
理由　１
請求項１について
引用文献１参照
　請求項１に係る発明は引用文献１に記載されている（全文、図１〜６及び１０参照）。
　
理由　２
請求項１について
引用文献１参照
　
請求項２について
引用文献１及び２参照
　プラズマ表面処理装置において、電極は「断面円弧状の形態」であることは周知である（引用文献２段落【０００１】、【００２５】、図３及び４参照）。
　してみると、引用文献１記載の発明に前記周知技術を適用して、本願請求２に係る発明とすることは、当業者にとってよういである。
　
請求項３〜５について
引用文献１〜３参照
　プラズマ表面処理装置において、「固体誘電体としてセラミックス製の円筒パイプ」であることは周知である（引用文献３段落【０００１】、【０００７】〜【００２０】、図２及び３参照）。
　してみると、引用文献１記載の発明に前記周知技術を適用して、本願請求３〜
５に係る発明とすることは、当業者にとってよういである。
　
請求項６〜８について
引用文献１〜４参照
　プラズマ表面処理装置において、「アルミニウム製の電極に陽極酸化処理が施されている」ことは周知である（引用文献４段落【０００１】、【００２１】〜【００２３】、図１及び２参照）。
　してみると、引用文献１記載の発明に前記周知技術を適用して、本願請求６〜８に係る発明とすることは、当業者にとってよういである。」
　
（２）平成２５年１２月１７日付けで原審において通知された最後の拒絶理由の概要は以下のとおりである。
「理　由
　
　この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　　　　　記　　　（引用文献等については引用文献等一覧参照）
　
　　　　　　　　　　　引　用　文　献　等　一　覧
１.特開２００３−１０９７９９号公報
２.特開平６−６５７３９号公報
３.特開２００７−５９３８５号公報
４.特開２００４−１０３４２３号公報
５.特表２００８−５２９２４３号公報
　
理由
請求項１〜８について
引用文献１〜５参照
　プラズマ表面処理装置において、分割された外部電極を用いることは周知である（引用文献５段落【０００１】、【００２０】〜【００２３】及び図４参照）。
　してみると、引用文献１〜５の記載に基づいて、本願請求項１〜８に係る発明とすることは当業者にとって容易である。」
　
２　原査定の理由についての当審の判断
（１）刊行物の記載及び引用発明（下線は当審が付した。以下同じ。）
ア　原査定の拒絶理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００３−１０９７９９号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の記載がある。
（ア）「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、プラズマ化されたガスを対象物に照射して洗浄処理や
表面処理をするプラズマ処理装置
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のような従来の技術には、次のような解決すべき課題があった。例えば、図１１（a）に示すような
大気圧プラズマ処理装置
　
（イ）「【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を具体例を用いて説明する。
〈具体例１〉図１は、具体例１のプラズマ処理装置の主要部縦断面図である。図より、具体例１のプラズマ処理装置は、
外部誘電体１、外部電極２、内部誘電体３、内部電極４、交流電源５とからなり、上記外部誘電体１は、プラズマ噴出口６、ガス供給口７とを備え
棒状の内部電極４のまわりに筒状の内部誘電体３が配置され
その外側に、筒状の外部誘電体１が配置され、この外部誘電体１の外側に外部電極２が配置され
内部電極４と内部誘電体３と外部誘電体１と外部電極２とは、それぞれ互いに同軸的に配置され
外部誘電体１に設けられたガス供給口７から導入されたガスは、内部誘電体３と外部誘電体１との間を流れ
ガスは、内部電極４と外部電極２との間に印加される交流電源によってプラズマ化され
プラズマ化されたガスは、外部誘電体１に設けられた多数の噴出口６から噴出されて被処理基板８に照射され、
表面処理がなされ
【００１６】外部誘電体１と内部誘電体３とは、両者の間にプラズマ化されるガスの通路を形成している。外部誘電体１と内部誘電体３とは、石英ガラス管などの絶縁体の筒から構成される。
外部電極２は、内部電極４と共に、上記外部誘電体１と内部誘電体３との間の隙間に高周波高電界を励起する電極であ
高周波高電界によって、隙間を通るガスがプラズマ化され
外部電極２は、
金属薄膜からな
【００１７】
内部誘電体３は、内部電極４の外周面にかぶせられた石英ガラス管などの絶縁体の筒からなる
【００１８】内部電極４の周りに内部誘電体３のチューブを密着させるようにかぶせてもよいし、内部誘電体３のパイプの中に適当な寸法の金属棒状の内部電極４をはめ込むようにしてもよい。また、内部誘電体３のパイプの内周面に無電界メッキ法を用いて内部電極４を形成してもよい。いずれの場合にも、内部電極４周辺や内部電極４と内部誘電体３との間に空気等が存在しないほうがよいため、内部誘電体３の両端を密封しておくことが好ましい。・・・
【００２０】プラズマ噴出口６は、外部誘電体１と内部誘電体３との間に発生したプラズマを、被処理基板８側に噴出させるために設けられたもので、外部誘電体１に多数個設けられた貫通穴である。プラズマは、ガス供給口７から供給されるガスの圧力により、プラズマ噴出口６から押し出されるように噴出する。ガス供給口７は、内部誘電体３と外部誘電体１との間の隙間にガスを導入するための吸入口である。
【００２１】図２は、図１の装置の主要部を示し、（a）は、プラズマ処理装置の主要部を拡大して分解したところを示す斜視図、（b）は、プラズマ処理装置の拡大横断面図である。図２（a）に示すように、棒状の内部電極４は、内部誘電体３の内側にほぼ密着するように挿入されている。また、内部誘電体３と外部誘電体１との間には、ガスを導入しプラズマを発生させるための一定の隙間が設けられている。外部誘電体１の外側には、外部電極２が密着するように配置されている。内部電極４と内部誘電体３と外部誘電体１とは、図示していない支持金具によって同軸的に支持されている。
【００２２】図２の（b）に示すように、外部電極２は外部誘電体１の外周のほぼ全面を覆うように配置されている。また、
外部誘電体１の下側に多数個のプラズマ噴出口６が配置され
　
（ウ）図１及び２は、次のものである。
　
（エ）引用発明
　上記（ア）ないし（ウ）によれば、引用文献１には次の発明が記載されていると認められる（以下、「引用発明」という。）。
「外部誘電体１、外部電極２、内部誘電体３、内部電極４、交流電源５とからなり、上記外部誘電体１は、プラズマ噴出口６、ガス供給口７とを備え、
　棒状の内部電極４のまわりに筒状の内部誘電体３が配置され、
　その外側に、筒状の外部誘電体１が配置され、この外部誘電体１の外側に外部電極２が配置され、
　前記外部電極２は、金属薄膜からなり、
　内部電極４と内部誘電体３と外部誘電体１と外部電極２とは、それぞれ互いに同軸的に配置され、
　外部誘電体１に設けられたガス供給口７から導入されたガスは、内部誘電体３と外部誘電体１との間を流れ、
　前記ガスは、内部電極４と外部電極２との間に印加される交流電源によってプラズマ化され、
　前記外部誘電体１の下側に多数個のプラズマ噴出口６が配置され、
　プラズマ化されたガスは、外部誘電体１に設けられた多数の噴出口６から噴出されて被処理基板８に照射され、表面処理がなされ、
　前記外部電極２は、内部電極４と共に、前記外部誘電体１と内部誘電体３との間の隙間に高周波高電界を励起する電極であって、前記高周波高電界によって、隙間を通るガスがプラズマ化される大気圧プラズマ処理装置であり、
　前記内部誘電体３は、内部電極４の外周面にかぶせられた石英ガラス管などの絶縁体の筒からなる、表面処理をするプラズマ処理装置。」
　
イ　同じく、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平６−６５７３９号公報（以下「引用文献２」という。）には、以下の記載がある。
　プラズマ表面処理装置において、電極は「断面円弧状の形態」である点（段落【０００１】、【００２５】、図３及び４）。
　
ウ　同じく、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００７−５９３８５号公報（以下「引用文献３」という。）には、以下の記載がある。
　プラズマ表面処理装置において、「固体誘電体としてセラミックス製の円筒パイプ」である点（段落【０００１】、【０００７】〜【００２０】、図２及び３）。
　
エ　同じく、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００４−１０３４２３号公報（以下「引用文献４」という。）には、以下の記載がある。
　プラズマ表面処理装置において、「アルミニウム製の電極に陽極酸化処理が施されている」点（段落【０００１】、【００２１】〜【００２３】、図１及び２）。
　
オ　同じく、本願の出願前に頒布された刊行物である特表２００８−５２９２４３号公報（以下「引用文献５」という。）には、以下の記載がある。
（ア）「【０００１】
　本発明はプラズマ浄化、表面変性及び表面被覆のために使用可能なプラズマ処理装置に関する。特に、本願は新規なプラズマジェットに関する。」
　
（イ）「【００２０】
　図４は本発明による平行プラズマジェット装置の可能な特別な形状を示す。この形状では、プラズマジェットの前記開放端に中心金属電極１５の全長に沿って丸い延長部３０がある。図４に示されるように、特別に形成された誘電材料（１８，１９）と外部金属電極（１６，１７）の両者は中心電極の外表面と電気絶縁体の内表面の間の一定（±１ｍｍ）の距離を保証するために特別な形を持つ。参照番号６０はプラズマジェットの高さ、５は均質な有効プラズマ残光の幅を示し、そして６１は平行電極間のプラズマ領域の長さを示す。丸い延長部３０のため、残光の濃度及び従って残光内のプラズマ密度は増加される。
【００２１】
　一般的に、本発明によるプラズマジェットを用いるとき次の動作特性が使用されることができる：
　−　１０ｃｍの電極高さ５０を持つ管状装置（以下、管状装置と称する）のための電力：２０−７５０ワット；
　−　１０ｃｍの電極高さ（５０，６０）と１０ｃｍの電極長さ（６１）を持つ平行装置（一つの外部電極を持つ平行装置を含む）（以下、平行装置と称する）のための電力：１００−５０００ワット。付与される電力は用途に依存する。
　−　電圧（８）：１−１００ｋＶ
　−　プラズマガス流（６）：管状装置に対しては１−４００　ｌ／分、平行装置に対しては１０−４０００　ｌ／分。
　−　予熱プラズマガスの温度：２０−４００℃（これはプラズマガスがプラズマジェット内に挿入される前に４００℃迄予熱されることができることを意味する）。
　−　プラズマガス：Ｎ２，空気，Ｈｅ，Ａｒ，ＣＯ２＋これらのガスとＨ２，Ｏ２，ＳＦ６，ＣＦ４，飽和及び不飽和炭化水素ガス、フッ素化炭化水素ガスの混合物。
　−　モノマー流：１−２０００ｇ／分（中心電極内の導管７を通して直接プラズマ残光中に）。
　−　供給ガス流：０．１−３０　ｌ／分（中心電極内の導管７を通して直接プラズマ残光中に）。
　−　内部間隙距離（４）：０．１−１０ｍｍ（プラズマガス及び用途に依存して）。
　−　均質なプラズマ領域の直径（管状装置に対して）または幅（５）（平行装置に対して）：６−８０ｍｍ。
　−　有効プラズマ残光の長さ：５−１００ｍｍ（用途に依存して）。
【００２２】
　高電圧ＡＣまたはパスルＤＣ電力が電極の一つにかけられると、誘電遮断体放電が誘電体と内部電極の間に起こる。プラズマからの活性種がプラズマガス流によりプラズマジェットから吹き出される。この残光は試料に向けられ、この方式で３−Ｄ対象物がプラズマ処理されることができる。パルスＤＣ電力が使用される場合、周波数は好ましくは１〜２００ｋＨｚから、有利には５０〜１００ｋＨｚである。
【００２３】
　本発明によるプラズマジェット装置から半径方向または外向きに延びる誘電体の利点は次の三つの概念：プラズマ源への距離、活性化の幅及びプラズマガスの消費、によりまとめられることができる。」
　
（ウ）図４は、次のものである。
　
（２）対比・判断
ア　引用発明と本件発明１との対比・判断
（ア）引用発明と本件発明１を対比する。
ａ　引用発明の「プラズマ処理装置」は、「外部誘電体１、外部電極２、内部誘電体３、内部電極４、交流電源５とからなり、上記外部誘電体１は、プラズマ噴出口６、ガス供給口７とを備え」、「前記ガスは、内部電極４と外部電極２との間に印加される交流電源によってプラズマ化され、前記外部誘電体１の下側に多数個のプラズマ噴出口６が配置され、プラズマ化されたガスは、外部誘電体１に設けられた多数の噴出口６から噴出されて被処理基板８に照射され、表面処理がなされ、前記外部電極２は、内部電極４と共に、前記外部誘電体１と内部誘電体３との間の隙間に高周波高電界を励起する電極であって、前記高周波高電界によって、隙間を通るガスがプラズマ化される大気圧プラズマ処理装置であ」るから、本件発明１の「プラズマ表面処理装置」と、「大気圧近傍の圧力下において、電圧印加電極と接地電極との間に処理ガスを導入しつつ高周波電界を印加することにより得られる放電プラズマを、放電空間外に配置された被処理体に導いて前記被処理体の表面処理を行うプラズマ表面処理装置であ」る点で一致する。
　
ｂ　引用発明の「内部電極４」は、「棒状」であって「まわりに筒状の内部誘電体３が配置され」、「内部電極４と内部誘電体３」「とは、それぞれ互いに同軸的に配置され」るものであって、かつ「前記内部誘電体３は、内部電極４の外周面にかぶせられた石英ガラス管などの絶縁体の筒からなる」ものであるから、筒状の一体成形された内部誘電体３に金属棒状の内部電極４をはめ込んでなる構造からなり、筒状の外周面を有するものであるといえる。
　したがって、引用発明の、「棒状」であって「まわりに筒状の内部誘電体３が配置され」、「内部電極４と内部誘電体３」「とは、それぞれ互いに同軸的に配置され」るものであって、かつ「前記内部誘電体３は、内部電極４の外周面にかぶせられた石英ガラス管などの絶縁体の筒からなる」「内部電極４」は、本件発明１の「筒状に一体成形された固体誘電体に金属電極を挿入してなる構造からなり、円筒状の外周面を有」する「電圧印加電極」に相当する。
　
ｃ　引用発明の「外部電極２」は、「まわりに筒状の内部誘電体３が配置され」た「棒状の内部電極４の」「外側に、筒状の外部誘電体１が配置され、この外部誘電体１の外側に外部電極２が配置され、前記外部電極２は、金属薄膜からなり、内部電極４と内部誘電体３と外部誘電体１と外部電極２とは、それぞれ互いに同軸的に配置され」るものであるから、本件発明１の「前記電圧印加電極の外周面に対応する形状の電極対向面を有する一対の金属電極で構成され、これら一対の金属電極の電極対向面がそれぞれ前記電圧印加電極の外周面と平行に対面するように配置され、かつ、前記接地電極の電極対向面は前記電圧印加電極の円筒状外周面の軸方向に沿って延びる断面円弧状の形態とされ、この電極対向面が前記電圧印加電極を前後から挟み込むように配置される」「接地電極」と、「前記電圧印加電極の外周面に対応する形状の電極対向面を有する金属電極で構成され、金属電極の電極対向面が前記電圧印加電極の外周面と平行に対面するように配置され、かつ、前記接地電極の電極対向面は前記電圧印加電極の円筒状外周面の軸方向に沿って延びる断面円弧状の形態とされ、この電極対向面が前記電圧印加電極を前後から挟み込むように配置される」「接地電極」の点で一致する。
　
ｄ　引用発明の「噴出口６」が、「外部誘電体１の下側に多数個」「配置され」、「プラズマ化されたガスは」、「噴出されて被処理基板８に照射され、表面処理がなされ」る点は、本件発明１の「電圧印加電極の底部側に処理ガスの吹出口を形成」る点に相当する。
　
ｅ　上記ａないしｄによれば、本件発明１と引用発明とは、
「大気圧近傍の圧力下において、電圧印加電極と接地電極との間に処理ガスを導入しつつ高周波電界を印加することにより得られる放電プラズマを、放電空間外に配置された被処理体に導いて前記被処理体の表面処理を行うプラズマ表面処理装置であって、
　前記電圧印加電極は、筒状に一体成形された固体誘電体に金属電極を挿入してなる構造からなり、円筒状の外周面を有し、
　前記接地電極は、前記電圧印加電極の外周面に対応する形状の電極対向面を有する金属電極で構成され、金属電極の電極対向面が前記電圧印加電極の外周面と平行に対面するように配置され、かつ、前記接地電極の電極対向面は前記電圧印加電極の円筒状外周面の軸方向に沿って延びる断面円弧状の形態とされ、この電極対向面が前記電圧印加電極を前後から挟み込むように配置され、電圧印加電極の底部側に処理ガスの吹出口を形成した、プラズマ表面処理装置。」である点で一致し、以下の点で相違する。
　
（ａ）本件発明１の「接地電極」は、「一対の」金属電極で構成され、「これら一対の」金属電極の電極対向面が「それぞれ」前記電圧印加電極の外周面と平行に対面するように配置され、かつ、前記接地電極の電極対向面は前記電圧印加電極の円筒状外周面の軸方向に沿って延びる断面円弧状の形態とされ、この電極対向面が前記電圧印加電極を前後から挟み込むように配置され「ることにより、前記電圧印加電極の頂上側に処理ガスの導入口が形成される」のに対して、引用発明の「外部電極２」及び「ガス供給口７」は、このように構成されない点（以下「相違点１」という。）
　
（ｂ）本件正発明１の「接地電極」は、「前記電圧印加電極の外周面と前記接地電極の電極対向面との間に形成された放電空間で発生する紫外線が、前記接地電極によって前記被処理基板に直接照射されないように構成した」のに対して、引用発明の「外部電極２」は、このように構成されるものと特定されない点（以下「相違点２」という。）
　
（イ）判断
ａ　上記相違点２について検討する。
　本件発明１は、「被処理体への紫外線照射の少ない電極構造を低コストで提供できるプラズマ表面処理装置を提供する」（本願明細書　段落【００１０】）という課題を解決することを目的とするものであるところ、引用文献１にはそのような課題がなく、引用発明において、上記相違点２の構成となす動機はない。
　したがって、引用発明において、上記相違点２に係る本件発明１の構成となすことは想定できない。
　また、上記（１）アないしオに係る、引用文献１ないし５に記載された事項を参酌しても、引用発明において、上記相違点２に係る本件発明１の構成となすことが当業者にとって容易であるとはいえない。
　
ｂ　上記相違点１について検討する。
　本件発明１は、「被処理体への沿面放電のおそれがなく、しかも被処理体への紫外線照射の少ない電極構造を低コストで提供できるプラズマ表面処理装置を提供する」（本願明細書　段落【００１０】）という課題を解決することを目的として、「金属電極７１，７１がこのように配置されることにより、このプラズマ表面処理装置１では、図２に示すように、コンベア２の搬送方向Ｘの前後にそれぞれ半円弧状の放電空間Ｇ，Ｇが形成されることとなり、電圧印加電極６の頂上側の処理ガス導入口７５から導入される処理ガスは、この半円弧状の放電空間Ｇ，Ｇを通って（図２の矢符参照）、電圧印加電極６の底部側に設けられた処理ガスの吹出口７６からが被処理基板ｗに向けて吹き出されることとなる。このように放電空間Ｇが半円弧状に形成されることから、プラズマ放電により放電空間Ｇで発生する紫外線は、電圧印加電極６側に張り出した電極対向面７ａによって遮られ、コンベア２上の被処理基板ｗに直接照射されることがない。そのため、放電空間Ｇで発生する紫外線の照射によって被処理基板ｗが変質する（ダメージを受ける）のが防止され」（同段落【００４３】）、また、「金属電極７１は、矩形断面を有するアルミニウム製のブロックを所定の形状に加工したものであって、具体的には、アルミニウム製のブロックに上記電極対向面７ａとなる断面円弧状の溝や上記処理ガスの導入口７５、吹出口７６などを切削加工によって形成するとともに、冷却液の流路となる冷却液流路７２を穿ったものである。このように、本実施形態では、金属電極７１（接地電極７）の形状が一般的な平板電極と比較して複雑なものになるが、金属電極７１はアルミニウム製とされているので複雑な形状であって容易かつ安価に加工することができる」（同段落【００４４】）ものであるところ、上記（ａ）で検討したとおり、引用発明は、上記課題を解決するものではないため、引用文献５に記載された構成を引用発明の「外部電極２」及び「ガス供給口７」に適用して、上記相違点１に係る本件発明１の構成となす動機はない。
　したがって、引用発明において、上記相違点１に係る本件発明１の構成となすことは想定できない。
　また、上記（１）アないしオに係る、引用文献１ないし５に記載された事項を参酌しても、引用発明において、上記相違点１に係る本件発明１の構成となすことが当業者にとって容易であるとはいえない。
　
（ウ）小括
　したがって、本件発明１は、当業者が引用発明及び引用文献１ないし５の記載に基づいて容易に発明をすることができたものということはできない。
　
イ　本件発明２ないし８と引用発明との対比・判断
　本件発明２ないし８は、本願請求項１を引用するものであって本件発明１の特定事項をすべて含むものであるから、上記アのとおり、本件発明１が、当業者が引用発明及び引用文献１ないし５の記載に基づいて容易に発明をすることができたものということはできない以上、本件発明２ないし８は、当業者が引用発明及び引用文献１ないし５の記載に基づいて容易に発明をすることができたものといえないことは明らかである。
　
（３）以上（１）及び（２）での検討によれば、本件発明１ないし８は、当業者が引用発明及び引用文献１ないし５の記載に基づいて容易に発明をすることができたものといえないことは明らかである
　
３　まとめ
　したがって、本件発明１ないし８は、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　
第５　当審拒絶理由について
１　当審拒絶理由の概要
（１）当審拒絶理由１の概要は以下のとおりである。
「理　由
　
　本件出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　
第１　請求項６（及び請求項６を引用する請求項８）について
　請求項６（及び請求項６を引用する請求項８）には、「耐プラズマ性を有する金属製の部材」と記載されているが、「耐プラズマ性」が材料のどのような性質を規定したものであるのか不明であって、結果として、「耐プラズマ製を有する金属製の部材」がどのような部材であるのか不明確である。
　
第２　請求項５（及び請求項５を引用する請求項８）及び請求項８について
　請求項５（及び請求項５を引用する請求項８）は、「プラズマ表面処理装置」という物の発明であるが、「陽極酸化処理が施されている」との記載は、製造に関して技術的な特徴や条件が付された記載がある場合に該当するため、当該請求項にはその物の製造方法が記載されているといえる。
　同様に、請求項８は、「プラズマ表面処理装置」という物の発明であるが、「切削加工によって形成されている」との記載は、製造に関して技術的な特徴や条件が付された記載がある場合に該当するため、当該請求項にはその物の製造方法が記載されているといえる。
　ここで、物の発明に係る特許請求の範囲にその物を製造方法が記載されている場合において、当該特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第２号にいう「発明が明確であること」という要件に適合するといえるのは、出願時において当該物をその構造又は特性により直接特定することが不可能であるか、又はおよそ実際的でないという事情（以下「不可能・非実際的事情」という）が存在するときに限られると解するのが相当である（最高裁第二小法廷平成２７年６月５日　平成２４年（受）第１２０４号、平成２４年（受）第２６５８号）。
　しかしながら、本願明細書等には不可能・非実際的事情について何ら記載がなく、当業者にとって不可能・非実際的事情が明らかであるとも言えない。
したがって、請求項５（及び請求項５を引用する請求項８）及び請求項８に係る発明は明確でない。」
　
（２）当審拒絶理由２の概要は以下のとおりである。
「［理由］
　本件出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
（１）本願請求項８は、「請求項５から７のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置において、前記接地電極を構成する金属電極の前記電極対向面が切削加工によって形成されている」「プラズマ表面処理装置の製造方法」であることを発明特定事項とするものである。
　しかしながら、「・・・プラズマ表面処理装置において、・・・が切削加工によって形成されている」「プラズマ表面処理装置の製造方法」との記載では、何が方法の発明の構成であるのか不明確である。
　したがって、請求項８に係る発明は明確でない。」
　
２　当審拒絶理由の判断
（１）本件補正前補正によって、本願の請求項６において、「耐プラズマ性を有する金属製」は「ステンレス製」と補正された。
　
（２）また、本件補正前補正によって、本願の請求項５において、「陽極酸化処理が施されている」は、「陽極酸化処理された面で構成されている」と補正された。
　
（３）さらに、本件補正によって、本願の請求項８において、「前記接地電極を構成する金属電極の前記電極対向面は切削加工によって形成されていることを特徴とする請求項５から７のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置」は「請求項５から７のいずれかに記載のプラズマ表面処理装置の製造方法において、前記接地電極を構成する金属電極の前記電極対向面を切削加工によって形成することを特徴とするプラズマ表面処理装置の製造方法」と補正された。
　
（４）このことにより、本願の請求項５、６、８に係る発明は明確となった。
　よって、当審拒絶理由１及び２に係る拒絶の理由は解消した。
　
（５）したがって、本願の請求項５、６、８は、当審拒絶理由１及び当審拒絶理由２に係る拒絶の理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　
３　まとめ
　したがって、本件発明１ないし８は、当審拒絶理由１及び２を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　
第６　まとめ
　したがって、本件発明１ないし８は、原査定の理由及び当審で通知した理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　
　よって、結論のとおり審決する。