(57)【要約】【課題】グレーチングボードの上を走行する搬送台車に大きな振動を伝えず、半導体ウエハ等に与える衝撃を軽減し、しかもカーボン塵や金属塵の発生をなくし、且つ導電性を向上させて静電気による損傷から半導体ウエハ等を保護できるようにした搬送用車輪を提供する。【解決手段】タイヤ受けホイール１は、その全外周部に凹溝４を凹設すると共に、当該凹溝４の開口部両端内側に互いに向き合うようにして係合突条５，５を形成する。タイヤ本体３は、好ましくは導電性可塑剤を配合したポリウレタン弾性体によって作製され、その断面形状が略Ｕ字状をなし、当該略Ｕ字状の開口部両端外側に鍔部７，７を突成する。ポリウレタン弾性体製のタイヤ本体３の鍔部７，７をタイヤ受けホイール１の凹溝内側に形成した係合突条７，７に係合させるようにして、タイヤ本体３をタイヤ受けホイール１の外周部に密嵌する。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
中心部に車軸を嵌入するための軸孔を穿設した硬質合成樹脂製のタイヤ受けホイールと、このタイヤ受けホイールの外周部に嵌着されるタイヤとからなる搬送用の車輪において、前記タイヤ受けホイールは、その全外周部に凹溝を凹設すると共に、当該凹溝の開口部両端内側に互いに向き合うようにして係合突条を形成してなり、前記タイヤは、ポリウレタン弾性体によって作製され、その断面形状が略Ｕ字状をなし、当該略Ｕ字状の開口部両端外側に鍔部を突成してなり、当該ポリウレタン弾性体製のタイヤの鍔部を前記タイヤ受けホイールの凹溝内側に形成した係合突条に係合させるようにして、タイヤをタイヤ受けホイールの外周部に密嵌したことを特徴とする搬送用車輪。
【請求項２】
断面形状が略Ｕ字状をなすポリウレタン弾性体製のタイヤの内部全周に合成樹脂発泡体を封入したことを特徴とする請求項１記載の搬送用車輪。
【請求項３】
タイヤが導電性可塑剤を配合した導電性ポリウレタン弾性体からなることを特徴とする請求項１または２記載の搬送用車輪
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は半導体ウエハを始めとした各種精密部品製造工場等で使用する搬送台車（ワゴン）等に用いて好適な搬送用車輪に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハや各種精密部品を取り扱う工場においてはクリーンルームが設備され、多数の通気用の小孔を設けたグレーチングボードないしパンチングボード等を床面に配置してクリーンエアを循環させ、半導体ウエハ等に不純物が影響するのを回避するようにしている。
【０００３】
このような多数の通気孔が設けられたグレーチングボード等の上を搬送台車が通過するときに車軸が上下動し、この振動が搬送台車に載置されている半導体ウエハ等に伝わるのを防ぐため、次に示す特許文献においては、車輪が支承される車体本体と上フレーム間に空気ばねあるいは防振ゴム等からなる防振手段を付設することが開示されている。
【特許文献１】特開平５−１７０１００公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように、搬送台車に防振手段を付設することによって、グレーチングボード等の上を移動する搬送台車の振動が、載置されている半導体ウエハ等に伝わらないようにしているが、当該グレーチングボード等の上を走行する走行車輪については特に考慮されることなく従来と同様に市販の合成ゴム製あるいは天然ゴム製のものが主に用いられていた。
【０００５】
これら従来の市販車輪においては比較的硬く、防振手段を付設した搬送台車であっても振動が伝わり、そのため半導体ウエハ等が損傷したり、パターンに傷が付いたりする事故がしばしば発生していた。
【０００６】
また、従来の車輪は走行時の磨耗によって劣化し易いと共に、タイヤの材質中にカーボンが含有されているため、グレーチングボード等との摩擦によってクリーンルーム内に微細なカーボンの塵が発生するという重大な問題点がある。
【０００７】
さらに、クリーンルーム内を走行する搬送台車には静電気の帯電防止、あるいは除去対策が不可欠であるが、従来は搬送台車にワイヤ、あるいはチェーンを取付け、移動しながら静電気をアースして除去するようにしている。そのため、クリーンルーム内に極微量ではあるが摩擦に伴う金属の磨耗塵を発生させてしまう。
【０００８】
そこで、本考案は、従来の搬送用車輪の問題点を解消し、グレーチングボード等の上を走行する搬送台車に大きな振動を伝えず、半導体ウエハ等に与えるショックを軽減し、しかもカーボン塵や金属塵の発生をなくし、且つ導電性を向上させて静電気による損傷から半導体ウエハ等を保護できるようにした搬送用車輪を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するための本考案の構成を詳述すれば、請求項１に係る考案は、中心部に車軸を嵌入するための軸孔を穿設した硬質合成樹脂製のタイヤ受けホイールと、このタイヤ受けホイールの外周部に嵌着されるタイヤとからなる搬送用の車輪において、前記タイヤ受けホイールは、その全外周部に凹溝を凹設すると共に、当該凹溝の開口部両端内側に互いに向き合うようにして係合突条を形成してなり、前記タイヤは、ポリウレタン弾性体によって作製され、その断面形状が略Ｕ字状をなし、当該略Ｕ字状の開口部両端外側に鍔部を突成してなり、当該ポリウレタン弾性体製のタイヤの鍔部を前記タイヤ受けホイールの凹溝内側に形成した係合突条に係合させるようにして、タイヤをタイヤ受けホイールの外周部に密嵌したことを特徴とする搬送用車輪である。
【００１０】
請求項２に係る考案は、断面形状が略Ｕ字状をなすポリウレタン弾性体製のタイヤの内部全周に合成樹脂発泡体を封入したことを特徴とする請求項１記載の搬送用車輪である。
【００１１】
また、請求項３に係る考案は、タイヤが導電性可塑剤を配合した導電性ポリウレタン弾性体からなることを特徴とする請求項１または２記載の搬送用車輪である。
【考案の効果】
【００１２】
本考案によれば、タイヤ本体がポリウレタン弾性体コンパウンドによって作製されていると共に、タイヤ本体に形成した鍔部を、硬質合成樹脂製のタイヤ受けホイールの凹溝内側に形成した係合突条に係合させ、ポリウレタン弾性体製のタイヤをタイヤ受けホイールの外周部に密嵌させる構造となっているためきわめて良好なクッション性が得られグレーチングボード等の上を走行するワゴンに加わる振動を有効に抑えることができる。また、タイヤ受けホイールとタイヤ本体との接合部に磨耗部分が殆どなくクリーンルーム内で用いて好適な搬送用車輪を提供することができる。
【００１３】
また、請求項２のように、断面形状が略Ｕ字状をなすポリウレタン弾性体製のタイヤ本体の内部全周にクロロプレンゴム発泡体あるいは導電性ポリウレタン発泡体のような合成樹脂発泡体を封入した場合には、さらに良好なクッション性ないし復元性が得られ半導体ウエハ等に加わる振動を一層抑えることができる。
【００１４】
さらに、請求項３のように、タイヤ本体を導電性可塑剤を配合した導電性ポリウレタン弾性体によって作成した場合には、搬送台車に帯電する静電気をスムーズにアースすることができ、静電気による影響から半導体ウエハ等を保護することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本考案に係る搬送用車輪の具体的構成を図示の実施例に基づき詳細に説明する。
【００１６】
図１は本考案搬送用車輪の一実施形態を示す正面図、図２は図１に示す搬送用車輪の半断面図、図３はタイヤ本体の正面図、図４は図３のＡ−Ａ断面図である。
【００１７】
図中１は中心部に車軸を嵌入するための軸孔２を穿設した硬質ポリプロピレンのような硬質合成樹脂によって作製されたタイヤ受けホイールである。３は当該タイヤ受けホイールの外周部に嵌着されるタイヤ本体である。
【００１８】
タイヤ受けホイール１は図２に示すように、その全外周部に凹溝４を凹設すると共に、当該凹溝４の開口部の両端内側に、互いに向き合うようにして係合突条５，５を形成してある。この係合突条５，５は後述するタイヤ本体３をタイヤ受けホイール１の凹溝４内に密嵌するときに重要な働きをなす。
【００１９】
タイヤ本体３は、天然ゴムや他の合成ゴムに較べ、機械的強度がすぐれたポリウレタン弾性体によって作製されており、通常のゴムではほとんど弾性を失ってしまうような高硬度においても充分に弾性体としての機能を保持することができる。また、ポリウレタン弾性体によって作製されたタイヤ本体３は耐老化性、耐油性、耐溶剤性にもすぐれている。
【００２０】
当該タイヤ本体３はその断面形状が略Ｕ字状をなし、当該略Ｕ字状の開口部６の両端外側には所要厚みの鍔部７，７を突成してある。なお、タイヤ本体３の底部、すなわちグレーチングボード等と接触することとなる接地部分の厚さは、ワゴンに掛かる負荷に応じて図４に示すように種々変えることができる。
【００２１】
図４（Ａ）に示すタイヤ本体３は鍔部７及び接地部を含め全体の肉厚が均等に形成されており、比較的低荷重のときに適する。図４（Ｂ）に示すタイヤ本体３は接地部の肉厚が鍔部７の肉厚の約１．５倍の厚さに形成されており、中程度の荷重のときに適する。さらに、図４（Ｃ）に示すタイヤ本体３は接地部の肉厚が鍔部７の肉厚の約２倍の厚さに形成されており、大きな負荷に対しても充分なクッション性を示現することができる。
【００２２】
タイヤ本体３をタイヤ受けホイール１の外周部に嵌着するに際しては、タイヤ受けホイール１の凹溝４の内側に互いに向き合うようにして突成した係合突条５，５に、タイヤ本体３のＵ字状開口部６の両端外側に形成してある鍔部７，７を係合させて密嵌状態を保持させる。ポリウレタン弾性体は前記したように通常のゴムではほとんどゴム弾性を失ってしまうような高硬度においても充分に弾性体としての機能を有しているので、硬質合成樹脂製の係合突条５，５に鍔部７，７が食い込んで確実に係止される。
【００２３】
タイヤ本体３のＵ字状内部は中空のままでも良好なクッション性が得られるが、場合によっては当該Ｕ字状内部全周にクロロプレンゴム発泡体あるいは導電性ポリウレタン発泡体のような合成樹脂発泡体８を封入してクッション性をさらに向上させることもできる。また、特に図示しないが合成樹脂発泡体に代えてエアチューブを封入することも充分可能である。
【００２４】
なお、通常グレードのポリウレタン弾性体の場合は、導電性が劣り静電気によって半導体ウエハ等を損傷させるおそれがあるが、本考案においては、導電性可塑剤を配合したポリウレタン弾性体コンパウンドを用いてタイヤ３を製することにより、従来のようにワゴンにワイヤ、あるいはチェーンを取付けてアースする必要がなくなり、ワゴンの走行中にタイヤ本体３を介してアースされるので、これまでのように、クリーンルーム内に摩擦に伴う金属の磨耗塵を発生させることがなくなる。
【００２５】
本考案搬送用車輪は以上のように、タイヤ本体３がポリウレタン弾性体コンパウンドによって作製されていると共に、タイヤ本体３に形成した鍔部７，７を、硬質合成樹脂製のタイヤ受けホイール１の凹溝４内側に形成した係合突条５，５に係合させ、タイヤ本体３をタイヤ受けホイール１の外周部に密に嵌合させる構造となっているためきわめて良好なクッション性が得られグレーチングボード等の上を走行するワゴンに加わる振動を有効に抑えることができる。
【００２６】
また、断面形状が略Ｕ字状をなすポリウレタン弾性体製のタイヤ本体３の内部全周にクロロプレンゴム発泡体あるいは導電性ポリウレタン発泡体のような合成樹脂発泡体８を封入した場合には、さらに良好なクッション性ないし復元性が得られ半導体ウエハ等に加わる振動を一層抑えることができるものである。
【００２７】
さらに、前記したように、タイヤ本体３を導電性可塑剤を配合した導電性ポリウレタン弾性体によって作成した場合には、搬送台車に帯電する静電気をスムーズにアースすることができ、静電気による損傷から半導体ウエハ等を保護することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本考案搬送用車輪の一実施形態を示す正面図である。
【図２】図１に示す搬送用車輪の半断面図である。
【図３】タイヤ本体の一実施形態を示す正面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１：タイヤ受けホイール
２：軸孔
３：タイヤ本体
４：凹溝
５：係合突条
６：開口部
７：鍔部
８：合成樹脂発泡体
【図１】
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【図２】
0003137213.tif 000004
【図３】
0003137213.tif 000005
【図４】
0003137213.tif 000006