【手続補正書】
【提出日】令和2年4月24日(2020.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料上に設置された１つ以上の計測ターゲットに第１の量の照明光を提供するように構成される照明光源と、
前記１つ以上の計測ターゲットの照明の間、気相の第１の充填物質を含む第１の気体流を前記１つ以上の計測ターゲットに提供するように構成される蒸気注入システムであって、前記充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の計測ターゲット上に凝縮され、前記充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の計測ターゲットの１つ以上の幾何学的な構造的特徴部間の空間の少なくとも一部分を充填する、蒸気注入システムと、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の計測ターゲットから第１の量の集光された光を受け取り、前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成するように構成される検出器と、
前記測定信号の第１のセットおよび測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の計測ターゲットの気孔率を示す値を推定するように構成される計算システムと
を備えることを特徴とする測定システム。
【請求項２】
請求項１に記載の測定システムであって、前記計算システムが、
前記測定信号の第１のセットおよび前記測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の計測ターゲットの限界寸法の値を推定するようにさらに構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項３】
請求項１に記載の測定システムであって、前記照明光源が、第２の量の照明光を前記試料上に設置された前記１つ以上の計測ターゲットに提供するようにさらに構成され、前記蒸気注入システムが、前記第２の量の照明光での前記１つ以上の計測ターゲットの照明の間、第２の気体流を前記１つ以上の計測ターゲットに提供するようにさらに構成され、前記検出器が、前記第２の量の照明光に応答して前記１つ以上の計測ターゲットから第２の量の集光された光を受け取り、前記第２の量の集光された光を示す測定信号の第２のセットを生成するようにさらに構成され、前記計算システムが、
前記測定信号の第１のセットおよび第２のセット、ならびにマルチターゲット測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の計測ターゲットの前記気孔率を示す値および前記１つ以上の計測ターゲットの限界寸法の値を推定するようにさらに構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項４】
請求項３に記載の測定システムであって、前記第１の気体流が、第１の分圧で前記第１の充填物質を含み、前記第２の気体流が、第２の分圧で前記第１の充填物質を含むことを特徴とする測定システム。
【請求項５】
請求項４に記載の測定システムであって、前記第１の充填物質の前記第２の分圧がおよそゼロであることを特徴とする測定システム。
【請求項６】
請求項３に記載の測定システムであって、前記第１の気体流が、前記第１の充填物質を含み、前記第２の気体流が、第２の充填物質を含むことを特徴とする測定システム。
【請求項７】
請求項１に記載の測定システムであって、前記試料の温度が、前記第１の気体流内で蒸発される前記第１の充填物質の温度とおよそ同じ温度であることを特徴とする測定システム。
【請求項８】
請求項１に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、不飽和パージガスの第１の流れを気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの第２の流れと混合して、前記第１の気体流を提供することを特徴とする測定システム。
【請求項９】
請求項１に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、不飽和パージガスの流れと気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの流れとの比を変化させることによって、前記第１の気体流内の前記充填物質の分圧を調整することを特徴とする測定システム。
【請求項１０】
請求項１に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、
液相の前記第１の充填物質を含むバブラーであって、液体充填物質の一部分が、前記パージガスの第２の流れ内へ蒸発して、気相の前記第１の充填物質で前記パージガスの第２の流れを飽和する、バブラーを備えることを特徴とする測定システム。
【請求項１１】
請求項１に記載の測定システムであって、前記充填物質が、水、エタノール、トルエン、イソプロピルアルコール、メタノール、およびベンゼンのうちのいずれかであることを特徴とする測定システム。
【請求項１２】
請求項１に記載の測定システムであって、前記第１の充填物質が、前記第１の量の照明光に応答して蛍光を発することを特徴とする測定システム。
【請求項１３】
請求項２に記載の測定システムであって、前記気孔率および前記限界寸法の前記値の推定が、モデルベース回帰、モデルベースライブラリ検索、モデルベースライブラリ回帰、画像ベースの分析、および信号応答計測モデルのうちのいずれかを伴うことを特徴とする測定システム。
【請求項１４】
請求項１に記載の測定システムであって、前記測定システムが、分光エリプソメータ、分光反射計、角度分解反射計、暗視野検査システム、明視野検査システム、および撮像オーバーレイ測定システムのうちのいずれかとして構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項１５】
試料上に設置された１つ以上の構造要素にある量の照明光を提供するように構成される照明光源と、
蒸気注入システムであって、
パージガスの第１の流れの流量を調節する第１の質量流量制御器、
前記パージガスの第２の流れの流量を調節する第２の質量流量制御器、ならびに
液相の第１の充填物質を含むバブラーであって、前記パージガスの前記第２の流れが、前記バブラーを通過し、液体充填物質の一部分が、前記パージガスの前記第２の流れ内へ蒸発して、気相の前記第１の充填物質で前記パージガスの前記第２の流れを飽和し、前記パージガスの前記第１の流れおよび前記第１の充填物質で飽和された前記パージガスの前記第２の流れが組み合わされて、前記１つ以上の構造要素の照明の間、前記試料上に設置された前記１つ以上の構造要素に提供される気体流を形成する、バブラーを備える、蒸気注入システムと、
第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第１の量の集光された光を受け取り、前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成する検出器と、
前記測定信号の第１のセットに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の気孔率を示す値を推定するように構成される計算システムと
を備えることを特徴とする測定システム。
【請求項１６】
請求項１５に記載の測定システムであって、前記計算システムが、
前記第１の質量流量制御器に第１の命令信号を通信し、それにより前記第１の質量流量制御器に前記パージガスの前記第１の流れの流量を調整させ、
前記第２の質量流量制御器に第２の命令信号を通信し、それにより前記第２の質量流量制御器に、前記パージガスの前記第１の流れの流量と前記パージガスの前記第２の流れの流量との比が前記気体流内の前記第１の充填物質の所望の分圧を達成するように、前記パージガスの前記第２の流れの流量を調整させるようにさらに構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項１７】
請求項１５に記載の測定システムであって、前記１つ以上の構造要素が多孔性平面膜を含むことを特徴とする測定システム。
【請求項１８】
試料上に設置された１つ以上の構造要素に第１の量の照明光を提供するステップと、
前記１つ以上の構造要素の照明の間、気相の第１の充填物質を含む第１の気体流を前記１つ以上の構造要素に提供するステップであって、前記充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の構造要素上に凝縮され、前記充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の構造要素の１つ以上の幾何学的な構造的特徴部間の空間の少なくとも一部分を充填する、ステップと、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第１の量の集光された光を検出するステップと、
前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成するステップと、
前記測定信号の第１のセットおよび測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の気孔率を示す値を推定するステップと
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の方法であって、前記測定信号の第１のセットおよび前記測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の限界寸法の値を推定するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項２０】
請求項１８に記載の方法であって、
前記試料上に設置された前記１つ以上の構造要素に第２の量の照明光を提供するステップと、
前記第２の量の照明光での前記１つ以上の構造要素の照明の間、前記１つ以上の構造要素に第２の気体流を提供するステップと、
前記第２の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第２の量の集光された光を検出するステップと、
前記第２の量の集光された光を示す測定信号の第２のセットを生成するステップと、
前記測定信号の第１のセットおよび第２のセット、ならびにマルチターゲット測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の前記気孔率を示す値および前記１つ以上の構造要素の限界寸法の値を推定するステップと
をさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項２１】
請求項１８に記載の方法であって、前記第１の気体流を提供するステップが、不飽和パージガスの第１の流れを気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの第２の流れと混合するステップを伴うことを特徴とする方法。
【請求項２２】
請求項１８に記載の方法であって、前記１つ以上の構造要素が多孔性平面膜を含むことを特徴とする方法。