【手続補正書】
【提出日】令和2年4月24日(2020.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の吸着状態にある、ウェハ上に設置された１つ以上の計測ターゲットの1つ以上の幾何学的形状特徴部に第１の量の照明光を提供するように構成される照明光源を備え、
前記１つ以上の幾何学的形状特徴部が、限界寸法によって特徴づけられ、半導体製作プロセスによって成形され、
前記１つ以上の計測ターゲットの照明の間、気相の充填物質を含む気体流を前記１つ以上の計測ターゲットに提供するように構成される蒸気注入システムであって、前記充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の計測ターゲット上に凝縮され、前記充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の計測ターゲットの前記１つ以上の幾何学的形状特徴部の少なくとも一部分を充填する、蒸気注入システムと、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の計測ターゲットから第１の量の集光された光を受け取り、前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成するように構成される検出器と、を備えることを特徴とする測定システム。
【請求項２】
請求項１に記載の測定システムであって、
計算システムをさらに備え、前記計算システムが、
前記測定信号の第１のセットを受信し、
前記測定信号の第１のセットおよび測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の幾何学的形状特徴部の前記限界寸法の値を推定するように構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項３】
請求項２に記載の測定システムであって、前記照明光源が、前記第１の吸着状態とは異なる第２の吸着状態にある、前記ウェハ上に設置された前記１つ以上の計測ターゲットに第２の量の照明光を提供するようにさらに構成され、前記検出器が、前記第２の量の照明光に応答して前記１つ以上の計測ターゲットから第２の量の集光された光を受け取り、前記第２の量の集光された光を示す測定信号の第２のセットを生成するようにさらに構成され、
前記計算システムが、
前記測定信号の第２のセットを受信し、
前記測定信号の第１のセットおよび第２のセット、ならびにマルチターゲット測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の幾何学的形状特徴部の前記限界寸法の値を推定するように構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項４】
請求項３に記載の測定システムであって、前記第１の量の照明光が、前記充填物質の第１の分圧で、前記１つ以上の計測ターゲットに提供され、前記第２の量の照明光が、前記充填物質の第２の分圧で前記１つ以上の計測ターゲットに提供されることを特徴とする測定システム。
【請求項５】
請求項４に記載の測定システムであって、前記充填物質の前記第２の分圧がおよそゼロであることを特徴とする測定システム。
【請求項６】
請求項３に記載の測定システムであって、前記充填物質が第１の充填物質である間に、前記第１の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに提供され、前記充填物質が第２の充填物質である間に、前記第２の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに提供される、ことを特徴とする測定システム。
【請求項７】
請求項２に記載の測定システムであって、前記限界寸法の前記値の前記推定が、モデルベース回帰、モデルベースライブラリ検索、モデルベースライブラリ回帰、画像ベースの分析、および信号応答計測モデルのうちのいずれかを伴うことを特徴とする測定システム。
【請求項８】
請求項１に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、
第１の温度にある液体充填物質を含むバブラーであって、前記液体充填物質の一部分が、前記１つ以上の計測ターゲットに提供される前記気体流内へ蒸発し、前記１つ以上の計測ターゲットが、前記第１の温度より高い第２の温度にある、バブラーを備えることを特徴とする測定システム。
【請求項９】
請求項１に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、
液体充填物質に溶解された不揮発性溶質を含むバブラーであって、前記液体充填物質の一部分が前記１つ以上の計測ターゲットに提供される前記気体流内に蒸発する、バブラーを備えることを特徴とする測定システム。
【請求項１０】
請求項１に記載の測定システムであって、前記充填物質が、水、エタノール、およびトルエンのいずれかであることを特徴とする測定システム。
【請求項１１】
請求項１に記載の測定システムであって、前記充填物質が複数の異なる物質を含むことを特徴とする測定システム。
【請求項１２】
請求項１に記載の測定システムであって、吸着プロセスが安定状態に達したときに、前記第１の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに提供されることを特徴とする測定システム。
【請求項１３】
請求項１に記載の測定システムであって、吸着プロセスが安定状態に達する前に、前記第１の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに提供されることを特徴とする測定システム。
【請求項１４】
請求項１に記載の測定システムであって、前記照明光源および前記検出器が、分光エリプソメータ、分光反射計、ビームプロファイル反射計、ビームプロファイルエリプソメータ、またはそれらの任意の組み合わせ、のいずれかであることを特徴とする測定システム。
【請求項１５】
請求項１に記載の測定システムであって、前記第１の量の照明光が、１２０ナノメートルから１９０ナノメートルの間の範囲にある波長を含むことを特徴とする測定システム。
【請求項１６】
第１の吸着状態にある、ウェハ上に設置された１つ以上の計測ターゲットの1つ以上の幾何学的形状特徴部に第１の量の照明光を提供するステップを含み、
前記１つ以上の幾何学的形状特徴部が、限界寸法によって特徴づけられ、半導体製作プロセスによって成形され、
前記１つ以上の計測ターゲットの照明の間、気相の充填物質を含む気体流を前記１つ以上の計測ターゲットに提供するステップであって、前記充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の計測ターゲット上に凝縮され、前記充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の計測ターゲットの１つ以上の幾何学的形状特徴部の少なくとも一部分を充填する、ステップと、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の計測ターゲットから第１の量の集光された光を検出するステップと、
前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを通信するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の方法であって、
前記測定信号の第１のセットを受信するステップと、
前記測定信号の第１のセットおよび測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の幾何学的形状特徴部の前記限界寸法の値を推定するステップと、
をさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項１８】
請求項１６に記載の方法であって、
前記第１の吸着状態とは異なる第２の吸着状態にある、前記ウェハ上に設置された前記１つ以上の計測ターゲットに第２の量の照明光を提供するステップと、
前記第２の量の照明光に応答して前記１つ以上の計測ターゲットから第２の量の集光された光を検出するステップと、
前記第２の量の集光された光を示す測定信号の第２のセットを生成するステップと、
前記測定信号の第１のセットおよび第２のセット、ならびにマルチターゲット測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の幾何学的形状特徴部の前記限界寸法の値を推定するステップと、
をさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の方法であって、前記第１の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに、前記充填物質の第１の分圧で提供され、前記第２の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに、前記充填物質の第２の分圧で提供されることを特徴とする方法。
【請求項２０】
請求項１８に記載の方法であって、前記充填物質が第１の充填物質である間に、前記第１の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに提供され、前記充填物質が第２の充填物質である間に、前記第２の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに提供されることを特徴とする方法。
【請求項２１】
請求項１６に記載の方法であって、前記気体流を提供するステップが、
第１の温度にある前記液体充填物質の槽を通じてパージガスを気泡化するステップであって、前記液体充填物質の前記槽の一部分が、前記１つ以上の計測ターゲットに提供される前記気体流内へ蒸発し、前記１つ以上の計測ターゲットが、前記第１の温度より高い第２の温度にある、ステップを伴うことを特徴とする方法。
【請求項２２】
請求項１６に記載の方法であって、前記気体流を提供するステップが、
前記液体充填物質に溶解された不揮発性溶質を含む槽を通じてパージガスを気泡化するステップであって、前記液体充填物質の一部分が、前記１つ以上の計測ターゲットに提供される前記気体流内に蒸発する、ステップを伴うことを特徴とする方法。
【請求項２３】
請求項１６に記載の方法であって、前記充填物質が、水、エタノール、およびトルエンのうちのいずれかであることを特徴とする方法。
【請求項２４】
請求項１６に記載の方法であって、前記充填物質が複数の異なる物質を含むことを特徴とする方法。
【請求項２５】
請求項１６に記載の方法であって、吸着プロセスが安定状態に達したときに、前記第１の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに提供されることを特徴とする方法。
【請求項２６】
請求項１８に記載の方法であって、吸着プロセスが安定状態に達する前に、前記第１の量の照明光が前記１つ以上の計測ターゲットに提供されることを特徴とする方法。
【請求項２７】
請求項１６に記載の方法であって、所望の最大特徴部サイズ未満の前記１つ以上の幾何学的形状特徴部も充填されるように、前記蒸発充填物質の飽和度を調整するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項２８】
請求項２７に記載の方法であって、前記飽和度を調整するステップが、前記１つ以上の計測ターゲットと前記充填物質の液槽との間の温度差を制御するステップを伴うことを特徴とする方法。
【請求項２９】
気相の充填物質を含む第１の気体流を光学測定システムによる測定下にある１つ以上の計測ターゲットに提供するステップであって、前記充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の計測ターゲット上に吸着され、前記充填物質の前記一部分が、第１の吸着状態にある前記１つ以上の計測ターゲットの１つ以上の幾何学的形状特徴部間の空間の少なくとも一部分を充填する、ステップと、を含み、
前記１つ以上の幾何学的形状特徴部が、限界寸法によって特徴づけられ、半導体製作プロセスによって成形され、
第２の吸着状態において、前記光学測定システムによる測定下にある前記１つ以上の計測ターゲットに第２の気体流を提供するステップと、
前記第１の吸着状態において前記光学測定システムによって前記１つ以上の計測ターゲットから検出された光学測定信号の第１のセット、前記第２の吸着状態において前記光学測定システムによって前記１つ以上の計測ターゲットから検出された光学測定信号の第２のセット、およびマルチターゲット測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の計測ターゲットの前記限界寸法値を推定するステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項３０】
請求項２９に記載の方法であって、前記第１の気体流を提供するステップが、気相の前記充填物質を第１の分圧で前記１つ以上の計測ターゲットに提供するステップを伴い、前記第２の気体流を提供するステップが、気相の前記充填物質を第２の分圧で前記１つ以上の計測ターゲットに提供するステップを伴うことを特徴とする方法。
【請求項３１】
請求項２９に記載の方法であって、前記第２の気体流を提供するステップが、気相の第２の充填物質を前記１つ以上の計測ターゲットに提供するステップを伴い、前記第２の充填物質が前記充填物質とは異なることを特徴とする方法。
【請求項３２】
試料上に設置された１つ以上の構造要素に第１の量の照明光を提供するように構成される照明光源と、
前記１つ以上の構造要素の照明の間、気相の第１の充填物質を含む第１の気体流を前記１つ以上の構造要素に提供するように構成される蒸気注入システムであって、前記第１の充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の構造要素上に凝縮され、前記第１の充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の構造要素の１つ以上の幾何特徴部間の空間の少なくとも一部分を充填する、蒸気注入システムであって、
不飽和パージガスの第１の流れを気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの第２の流れと混合して、前記第１の気体流を提供する、蒸気注入システムと、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第１の量の集光された光を受け取り、前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成するように構成される検出器と、を備えることを特徴とする測定システム。
【請求項３３】
請求項３２に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、前記１つ以上の構造要素の照明の間、気相の第２の充填物質を含む第２の気体流を前記１つ以上の構造要素に提供するようにさらに構成され、前記第２の充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の構造要素上に凝縮され、前記第２の充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の構造要素の１つ以上の幾何特徴部間の前記空間の少なくとも一部分を充填することを特徴とする測定システム。
【請求項３４】
請求項３２に記載の測定システムであって、
計算システムをさらに備え、前記計算システムが、
前記測定信号の第１のセットを受信し、
前記測定信号の第１のセットに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の目的とするパラメータの値を推定する、ように構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項３５】
請求項３４に記載の測定システムであって、前記目的とするパラメータの前記値の前記推定が、モデルベース回帰、モデルベースライブラリ検索、モデルベースライブラリ回帰、画像ベースの分析、および信号応答計測モデルのうちのいずれかを伴うことを特徴とする測定システム。
【請求項３６】
請求項３２に記載の測定システムであって、前記照明光源が、前記試料上に設置された前記１つ以上の構造要素に第２の量の照明光を提供するようにさらに構成され、前記蒸気注入システムが、前記第１の気体流とは異なる分圧で前記第１の充填物質を含む第２の気体流を提供するようにさらに構成され、前記検出器が、前記第２の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第２の量の集光された光を受け取り、前記第２の量の集光された光を示す測定信号の第２のセットを生成するようにさらに構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項３７】
請求項３６に記載の測定システムであって、
計算システムをさらに備え、前記計算システムが、
前記測定信号の第１のセットを受信し、
前記測定信号の第２のセットを受信し、
前記測定信号の第１のセットおよび第２のセット、ならびにマルチターゲット測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の目的とするパラメータの値を推定するように構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項３８】
請求項３６に記載の測定システムであって、前記第２の気体流内の前記第１の充填物質の前記分圧がおよそゼロであることを特徴とする測定システム。
【請求項３９】
請求項３２に記載の測定システムであって、前記測定システムが、分光エリプソメータ、分光反射計、角度分解反射計、暗視野検査システム、明視野検査システム、および撮像オーバーレイ測定システムのうちのいずれかとして構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項４０】
請求項３２に記載の測定システムであって、前記第１の量の照明光が、１００ナノメートルから２，５００ナノメートルの照明波長を含む広帯域光であることを特徴とする測定システム。
【請求項４１】
請求項３２に記載の測定システムであって、前記試料の温度が、前記第１の気体流内で蒸発される前記第１の充填物質の温度とおよそ同じ温度であることを特徴とする測定システム。
【請求項４２】
請求項４１に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、不飽和パージガスの流れと気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの流れとの比を変化させることによって、前記第１の気体流内の前記充填物質の分圧を調整することを特徴とする測定システム。
【請求項４３】
請求項３２に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、
液相の前記第１の充填物質を含むバブラーであって、前記液体充填物質の一部分が、前記パージガスの第２の流れ内へ蒸発して、気相の前記第１の充填物質で前記パージガスの第２の流れを飽和する、バブラーを備えることを特徴とする測定システム。
【請求項４４】
請求項３２に記載の測定システムであって、前記充填物質が、水、エタノール、トルエン、イソプロピルアルコール、メタノール、およびベンゼンのうちのいずれかであることを特徴とする測定システム。
【請求項４５】
請求項３２に記載の測定システムであって、前記第１の充填物質が、前記第１の量の照明光に応答して蛍光を発することを特徴とする測定システム。
【請求項４６】
試料上に設置された１つ以上の構造要素にある量の照明光を提供するように構成される照明光源と、
蒸気注入システムであって、
パージガスの第１の流れの流量を調節する第１の質量流量制御器、
前記パージガスの第２の流れの流量を調節する第２の質量流量制御器、ならびに
液相の第１の充填物質を含むバブラーであって、前記パージガスの前記第２の流れが、前記バブラーを通過し、前記液体充填物質の一部分が、前記パージガスの前記第２の流れ内へ蒸発して、気相の前記第１の充填物質で前記パージガスの前記第２の流れを飽和する、バブラー、を備え、
前記パージガスの前記第１の流れを気相の前記第１の充填物質で飽和された前記パージガスの前記第２の流れと混合して、気体流を提供する、蒸気注入システムと、
前記試料上の前記１つ以上の構造要素に近接して配置されたノズルであって、前記１つ以上の構造要素の照明の間、前記試料上に設置された前記１つ以上の構造要素に前記気体流を局所的に提供するノズルと、を備え、
前記第１の充填物質の一部が液相の前記１つ以上の構造要素上に凝縮され、前記第１の充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の構造要素の１つ以上の幾何特徴部間の空間の少なくとも一部分を充填し、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第１の量の集光された光を受け取り、前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成するように構成される検出器と、を備えることを特徴とする測定システム。
【請求項４７】
請求項４６に記載の測定システムであって、
計算システムをさらに備え、前記計算システムが、
前記第１の質量流量制御器に第１の命令信号を通信し、それにより前記第１の質量流量制御器に前記パージガスの前記第１の流れの流量を調整させ、
前記第２の質量流量制御器に第２の命令信号を通信し、それにより前記第２の質量流量制御器に、前記パージガスの前記第１の流れの流量と前記パージガスの前記第２の流れの流量との比が前記気体流内の前記第１の充填物質の所望の分圧を達成するように調整されるように、前記パージガスの前記第２の流れの流量を調整させるように構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項４８】
試料上に設置された１つ以上の構造要素に第１の量の照明光を提供するステップと、
前記１つ以上の構造要素の照明の間、気相の第１の充填物質を含む第１の気体流を前記１つ以上の構造要素に提供するステップであって、前記第１の充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の構造要素上に凝縮され、前記第１の充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の構造要素の１つ以上の幾何特徴部間の空間の少なくとも一部分を充填する、ステップと、を含み
前記第１の気体流を提供するステップが、不飽和パージガスの第１の流れを気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの第２の流れと混合するステップを伴い、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第１の量の集光された光を検出するステップと、
前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成するステップと
を含むことを特徴とする方法。
【請求項４９】
請求項４８に記載の方法であって、
前記１つ以上の構造要素の照明の間、気相の第２の充填物質を含む第２の気体流を前記１つ以上の構造要素に提供するステップであって、前記第２の充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の構造要素上に凝縮され、前記第２の充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の構造要素の１つ以上の幾何特徴部間の前記空間の少なくとも一部分を充填する、ステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項５０】
請求項４８に記載の方法であって、
前記試料上に設置された前記１つ以上の構造要素に第２の量の照明光を提供するステップと、
前記第１の充填物質を含む第２の気体流を前記第１の気体流とは異なる分圧で提供するステップと、
前記第２の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第２の量の集光された光を検出するステップと、
前記第２の量の集光された光を示す測定信号の第２のセットを生成するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項５１】
請求項５０に記載の方法であって、
前記測定信号の第１のセットおよび第２のセットに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の目的とするパラメータの値を推定するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項５２】
請求項５１に記載の方法であって、前記目的とするパラメータの前記値の前記推定が、モデルベース回帰、モデルベースライブラリ検索、モデルベースライブラリ回帰、画像ベースの分析、および信号応答計測モデルのうちのいずれかを伴うことを特徴とする方法。
【請求項５３】
請求項４８に記載の方法であって、前記試料の温度が、前記第１の気体流内で蒸発される前記第１の充填物質の温度とおよそ同じ温度であることを特徴とする方法。
【請求項５４】
請求項４８に記載の方法であって、
不飽和パージガスの流れと気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの流れとの比を変化させることによって、前記第１の気体流内の前記第１の充填物質の分圧を調整するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項５５】
請求項４８に記載の方法であって、前記充填物質が、水、エタノール、トルエン、イソプロピルアルコール、メタノール、およびベンゼンのうちのいずれかであることを特徴とする方法。
【請求項５６】
請求項４８に記載の方法であって、前記第１の充填物質が、前記第１の量の照明光に応答して蛍光を発することを特徴とする方法。
【請求項５７】
請求項４８に記載の方法であって、
所望の最大特徴部サイズ未満の前記１つ以上の幾何特徴部間のいかなる空間も充填されるように、前記第１の気体流内の前記第１の充填物質の飽和度を調整するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項５８】
試料上に設置された１つ以上の計測ターゲットに第１の量の照明光を提供するように構成される照明光源と、
前記１つ以上の計測ターゲットの照明の間、気相の第１の充填物質を含む第１の気体流を前記１つ以上の計測ターゲットに提供するように構成される蒸気注入システムであって、前記充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の計測ターゲット上に凝縮され、前記充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の計測ターゲットの１つ以上の幾何構造特徴部間の空間の少なくとも一部分を充填する、蒸気注入システムと、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の計測ターゲットから第１の量の集光された光を受け取り、前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成するように構成される検出器と、
前記測定信号の第１のセットと測定モデルとに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の計測ターゲットの多孔率を示す値を推定するように構成された計算システムと、
を備えることを特徴とする測定システム。
【請求項５９】
請求項５８に記載の測定システムであって、前記計算システムが、前記測定信号の第１のセットと前記測定モデルとに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の計測ターゲットの限界寸法の値を推定するように構成される、ことを特徴とする測定システム。
【請求項６０】
請求項５８に記載の測定システムであって、前記照明光源が、前記試料上に設置された前記１つ以上の計測ターゲットに第２の量の照明光を提供するようにさらに構成され、前記蒸気注入システムが、前記１つ以上の計測ターゲットを前記第２の量の照明光で照明する間、第２の気体流を前記１つ以上の計測ターゲットに提供するようにさらに構成され、前記検出器が、前記第２の量の照明光に応答して前記１つ以上の計測ターゲットから第２の量の集光された光を受け取り、前記第２の量の集光された光を示す測定信号の第２のセットを生成し、前記計算システムが、
前記測定信号の第１のセットおよび第２のセット、ならびにマルチターゲット測定モデルに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の計測ターゲットの前記多孔率を示す値と前記1つ以上の計測ターゲットの限界寸法の値を推定するように構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項６１】
請求項６０に記載の測定システムであって、前記第１の気体流が前記第１の充填物質を第１の分圧で含み、前記第２の気体流が前記第１の充填物質を第２の分圧で含む、ことを特徴とする測定システム。
【請求項６２】
請求項６１に記載の測定システムであって、前記第１の充填物質の前記第２の分圧がおよそゼロであることを特徴とする測定システム。
【請求項６３】
請求項６０に記載の測定システムであって、前記第１の気体流が前記第１の充填物質を含み、前記第２の気体流が第２の充填物質を含むことを特徴とする測定システム。
【請求項６４】
請求項５８に記載の測定システムであって、前記試料の温度が、前記第１の気体流内で蒸発される前記第１の充填物質の温度とおよそ同じ温度であることを特徴とする測定システム。
【請求項６５】
請求項５８に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、不飽和パージガスの第１の流れを気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの第２の流れと混合して、前記第１の気体流を提供することを特徴とする測定システム。
【請求項６６】
請求項５８に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、不飽和パージガスの流れと気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの流れとの比を変化させることによって、前記第１の気体流内の前記充填物質の分圧を調整することを特徴とする測定システム。
【請求項６７】
請求項５８に記載の測定システムであって、前記蒸気注入システムが、
液相の前記第１の充填物質を含むバブラーであって、前記液体充填物質の一部分が、前記パージガスの第２の流れ内へ蒸発して、気相の前記第１の充填物質で前記パージガスの第２の流れを飽和する、バブラーを備えることを特徴とする測定システム。
【請求項６８】
請求項５８に記載の測定システムであって、前記充填物質が、水、エタノール、トルエン、イソプロピルアルコール、メタノール、およびベンゼンのうちのいずれかであることを特徴とする測定システム。
【請求項６９】
請求項５８に記載の測定システムであって、前記第１の充填物質が、前記第１の量の照明光に応答して蛍光を発することを特徴とする測定システム。
【請求項７０】
請求項５９に記載の測定システムであって、前記多孔率および前記限界寸法の前記値の前記推定が、モデルベース回帰、モデルベースライブラリ検索、モデルベースライブラリ回帰、画像ベースの分析、および信号応答計測モデルのうちのいずれかを伴うことを特徴とする測定システム。
【請求項７１】
請求項５８に記載の測定システムであって、前記測定システムが、分光エリプソメータ、分光反射計、角度分解反射計、暗視野検査システム、明視野検査システム、および撮像オーバーレイ測定システムのうちのいずれかとして構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項７２】
試料上に設置された１つ以上の構造要素にある量の照明光を提供するように構成される照明光源と、
蒸気注入システムであって、
パージガスの第１の流れの流量を調節する第１の質量流量制御器、
前記パージガスの第２の流れの流量を調節する第２の質量流量制御器、ならびに
液相の第１の充填物質を含むバブラーであって、前記パージガスの前記第２の流れが、前記バブラーを通過し、前記液体充填物質の一部分が、前記パージガスの前記第２の流れ内へ蒸発して、気相の前記第１の充填物質で前記パージガスの前記第２の流れを飽和し、前記パージガスの前記第１の流れと前記第１の充填物質で飽和された前記パージガスの前記第２の流れとが組み合わされて、前記１つ以上の構造要素の照明の間、前記試料上に設置された前記１つ以上の構造要素に提供される気体流を形成する、バブラーを備える、蒸気注入システムと、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第１の量の集光された光を受け取り、前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成する検出器と、
前記測定信号の第１のセットに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の多孔率を示す値を推定するように構成された計算システムと、
を備えることを特徴とする測定システム。
【請求項７３】
請求項７２に記載の測定システムであって、
前記計算システムが、
前記第１の質量流量制御器に第１の命令信号を通信し、それにより前記第１の質量流量制御器に前記パージガスの前記第１の流れの流量を調整させ、
前記第２の質量流量制御器に第２の命令信号を通信し、それにより前記第２の質量流量制御器に、前記パージガスの前記第１の流れの流量と前記パージガスの前記第２の流れの流量との比が前記気体流内の前記第１の充填物質の所望の分圧を達成するように、前記パージガスの前記第２の流れの流量を調整させるように構成されることを特徴とする測定システム。
【請求項７４】
請求項７２に記載の測定システムであって、前記１つ以上の構造要素が、多孔性平坦フィルムを含むことを特徴とする測定システム。
【請求項７５】
試料上に設置された１つ以上の構造要素に第１の量の照明光を提供するステップと、
前記１つ以上の構造要素の照明の間、気相の第１の充填物質を含む第１の気体流を前記１つ以上の構造要素に提供するステップであって、前記充填物質の一部分が、液相の前記１つ以上の構造要素上に凝縮され、前記充填物質の前記一部分が、前記１つ以上の構造要素の１つ以上の幾何構造特徴部間の空間の少なくとも一部分を充填する、ステップと、
前記第１の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第１の量の集光された光を検出するステップと、
前記第１の量の集光された光を示す測定信号の第１のセットを生成するステップと、
前記測定信号の第１のセットと測定モデルとに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の多孔率を示す値を推定するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項７６】
請求項７５に記載の方法であって、
前記測定信号の第１のセットと前記測定モデルとに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の限界寸法の値を推定するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項７７】
請求項７５に記載の方法であって、
前記試料上に設置された前記１つ以上の構造要素に第２の量の照明光を提供するステップと、
前記１つ以上の構造要素を前記第２の量の照明光で照明する間、第２の気体流を前記１つ以上の構造要素に提供するステップと、
前記第２の量の照明光に応答して前記１つ以上の構造要素から第２の量の集光された光を検出するステップと、
前記第２の量の集光された光を示す測定信号の第２のセットを生成するステップと、
前記測定信号の第１のセットおよび第２のセットと、マルチターゲット測定モデルとに少なくとも部分的に基づいて、前記１つ以上の構造要素の前記多孔率を示す値と前記１つ以上の構造要素の限界寸法の値を推定するステップと、をさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項７８】
請求項７５に記載の方法であって、前記第１の気体流を提供するステップが、不飽和パージガスの第１の流れを気相の前記第１の充填物質で飽和されたパージガスの第２の流れと混合するステップを伴うことを特徴とする方法。
【請求項７９】
請求項７５に記載の方法であって、前記１つ以上の構造要素が多孔性平坦フィルムを含むことを特徴とする方法。