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　特願２０１４−　２７９６５「超高繰返し数狭帯域ガス放電レーザシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年　５月２２日出願公開、特開２０１４−　９６６１０、請求項の数（２１）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、２００５年３月３日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００４年３月３１日、米国）を国際出願日とする特願２００７−５０６１８７号の一部を平成２６年２月１７日に新たな特許出願としたものであって、平成２７年２月１８日付けで拒絶理由が通知され、同年５月２５日に特許請求の範囲の補正がなされたが、同年１０月１９日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、平成２８年２月１９日に拒絶査定不服審判の請求がなされると同時に特許請求の範囲の補正がなされたものである。
２．平成２８年２月１９日になされた補正について
　平成２８年２月１９日になされた補正（以下「本件補正」という。）は、以下の事項を内容としている。
（１）補正前の請求項１、１１、１２、１３、１４、１５、２１及び２６に記載の「圧縮ヘッド」を「磁気パルス圧縮回路」に改める。
（２）補正前の請求項１１に記載の「前記少なくとも２つの圧縮ヘッドの」及び補正前の請求項１５に記載の「少なくとも２つの圧縮ヘッドの」を削除する。
（３）補正前の請求項１２に記載の「第３の電極対を含んでおり、前記少なくとも２つの圧縮ヘッドは更に第３の圧縮ヘッドを含んでおり」を「第３の電極対及び第３の磁気パルス圧縮回路を含んでおり」に改める。
（４）補正前の請求項１６ないし２０を削除し、補正前の請求項２１ないし２６の番号を繰り上げる。
　上記の事項（１）ないし（３）は、特許法第１７条の２第５項第４号に規定する明りょうでない記載の釈明を目的としていると認められ、上記の事項（４）は同項第１号に規定する請求項の削除を目的としていると認められる。
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項の規定に適合する。
　また、本件補正は、特許法第１７条の２第３項及び第４項に違反するところはない。
３．本願発明
　上記２のとおり本件補正は特許法第１７条の２第３項ないし第５項の規定に適合するから、本願の請求項１ないし２１に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明２１」という。）は、本件補正による補正後の請求項１ないし２１に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１及び請求項１６は、それぞれ以下のとおりである。なお、請求項２ないし１５は、請求項１の従属項であり、請求項１７ないし２１は、請求項１６の従属項である。
　
「【請求項１】
　超高繰返し数レーザシステムであって、
　超高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームを生成する主発振器レーザシステムと、
　前記主発振器レーザシステムからレーザ出力光パルスビームを受け取る一対の電力増幅レーザチャンバと、を含み、
　前記主発振器レーザシステムのレーザ出力光パルスビームは、前記一対の電力増幅レーザチャンバの第１のチャンバを通過し、その後前記一対の電力増幅レーザチャンバの第２のチャンバを通過してビーム反射器に到達し、前記ビーム反射器は前記出力光パルスビームを反射し、反射された出力光パルスビームは前記一対の電力増幅レーザチャンバの第２のチャンバを通過し、その後前記一対の電力増幅レーザチャンバの第１のチャンバを通過し、前記一対の電力増幅レーザチャンバの第１のチャンバは第１の磁気パルス圧縮回路を含んでおり、前記一対の電力増幅レーザチャンバの第２のチャンバは第２の磁気パルス圧縮回路を含んでおり、前記第１及び第２の磁気パルス圧縮回路は、電気的に並列に接続されている、ことを特徴とするシステム。」
　
「【請求項１６】
　ＭＯＰＡ構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステム出力を生成する方法であって、
　主発振器レーザシステムから超高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスを出力する段階と、
　少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバのそれぞれにおいて、前記主発振器レーザシステムの出力パルスビームが最初に前記少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバの第１のチャンバを通り、次に前記少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバの第２のチャンバを通ってビーム反射器へ向かうように、前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取り、前記少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバのそれぞれにおいて、前記超高パルス繰返し数を前記少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバの数で割ったものに等しいパルスの繰返しで、前記受け取ったレーザ出力光パルスの一部を交互に増幅して超高パルス繰返し数の増幅された出力レーザ光パルスを形成する段階と、ここで、前記少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバの各々は、少なくとも２つの磁気パルス圧縮回路の１つを含み、前記少なくとも２つの磁気パルス圧縮回路は並列に接続されている、
　を含むことを特徴とする方法。」
４．引用例
　これに対して、原査定の拒絶理由に引用された特開昭６３−９２０７３号公報（以下「引用例」という。）には、図とともに次の記載がある（下線は当審による）。
　
ア　「本発明はレーザビームを増幅して出力する方式のガスレーザ装置に関する。」（第１頁右下欄第３〜４行）
イ　「本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、
増幅度を高繰り返し率のもとで向上できるガスレーザ装置
ウ　「第１図は本発明の一実施例で、
パルスガスレーザ発振装置（１）とこの発振装置からのレーザビーム（２）を増幅する増幅装置（３）とを備えている
増幅装置（３）は
透過窓（１１ａ），（１１ｂ）を気密に取り付けパルスガスレーザ発振装置（１）と同等のガスレーザ媒質を封入したガス循環装置を具備した気密容器（１２）とこの気密容器（１２）内に設けられた二対の主放電電極（１３），（１４）および（１５），（１６）と、各別に設けられ上記電極の一方にそれぞれ放電電力を供給する高圧パルス電源（１７），（１８）とで構成されている
二対の放電電極間には両者の放電部（２１），（２２）を仕切るために石英等からなる透明板（２３）が設けられている
上記増幅装置（３）はパルスガスレーザ発振装置（１）に近接し透過窓（１１ａ），（１１ｂ）と全反射鏡（９）、出力鏡（１０）とが同軸となる位置に設けられている
パルスガスレーザ発振装置（１）には
検出部（２５）が設けられ、その検出信号は
増幅装置（３）側の高圧パルス電源（１７），（１８）の放電タイミングを制御する制御部（２７）に送出されるようになっている
　次に上記構成による作用について第２図に基づいて説明する。
　すなわち、パルスガスレーザ発振装置（１）において、同図（ａ）に示すタイミングでレーザビーム（２）が得られる。これらレーザビーム（２）は透過窓（１１ａ）から入射し二つの放電部（２１），（２２）を通過する。この通過において、制御部（２７）からの制御動作によって上記放電部（２１），（２２）はそれぞれ同図（ｂ）および（ｃ）に示すタイミング、すなわちレーザビーム（２）の発振タイミングに同期しかつ交互に放電（３１），（３２）を繰り返す。このような増幅装置（３）における放電にパルスレーザ（３０）は逐一同期して増幅され同図（ｄ）に示す増幅出力の（２３）（レーザビーム）となって透過窓（１１ｂ）から放出される。」（第２頁右上欄第１０行〜第３頁左上欄第７行）
　
　上記によれば、引用例には、
「パルスガスレーザ発振装置（１）とこの発振装置からのレーザビーム（２）を増幅する増幅装置（３）とを備えている、増幅度を高繰り返し率のもとで向上できるガスレーザ装置であって、
　増幅装置（３）は、透過窓（１１ａ），（１１ｂ）を気密に取り付け、ガスレーザ媒質を封入したガス循環装置を具備した気密容器（１２）とこの気密容器（１２）内に設けられた二対の主放電電極（１３），（１４）および（１５），（１６）と、各別に設けられ上記電極の一方にそれぞれ放電電力を供給する高圧パルス電源（１７），（１８）とで構成されており、二対の放電電極間には両者の放電部（２１），（２２）を仕切るために石英等からなる透明板（２３）が設けられており、
　パルスガスレーザ発振装置（１）の検出部（２５）からの検出信号は、増幅装置（３）側の高圧パルス電源（１７），（１８）の放電タイミングを制御する制御部（２７）に送出されるようになっている、ガスレーザ装置。」（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
５．本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明を対比する。
ア　引用発明の「ガスレーザ装置」は、「増幅度を高繰り返し率のもとで向上できる」ものであるから、「高繰返し数レーザシステム」といえる。
イ　引用発明の「パルスガスレーザ発振装置（１）」は、本願発明１の「高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームを生成する主発振器レーザシステム」に相当する。
ウ　本願発明１の「一対の電力増幅レーザチャンバ」は、「第１の放電部と第２の放電部を有する増幅装置」といえ、本願発明１と引用発明は、「前記主発振器レーザシステムからレーザ出力光パルスビームを受け取る一対の放電部を有する増幅装置」を含む点で一致する。
エ　本願発明１の「磁気パルス圧縮回路」は、「高圧パルス電源」といえ、本願発明１と引用発明は、「前記一対の放電部を有する増幅装置の第１の放電部は第１の高圧パルス電源を備え、前記一対の放電部を有する増幅装置の第２の放電部は第２の高圧パルス電源を備えて」いる点で一致する。
オ　以上のことから、両者は、
「高繰返し数レーザシステムであって、
　高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームを生成する主発振器レーザシステムと、
　前記主発振器レーザシステムからレーザ出力光パルスビームを受け取る一対の放電部を有する増幅装置と、を含み、
　前記主発振器レーザシステムのレーザ出力光パルスビームは、前記一対の放電部を有する増幅装置の第１の放電部を通過し、その後前記一対の放電部を有する増幅装置の第２の放電部を通過し、前記一対の放電部を有する増幅装置の第１の放電部は第１の高圧パルス電源を備え、前記一対の放電部を有する増幅装置の第２の放電部は第２の高圧パルス電源を備えているシステム。」の点で一致する。
カ　一方、両者は、次の点で相違する。
［相違点１］
　本願発明１において、「高繰返し数レーザシステム」及び「高パルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームを生成する主発振器レーザシステム」における「繰返し数」が「超高繰返し数」であるのに対し、引用発明では「高繰返し率」である点。
［相違点２］
　上記「一対の放電部を有する増幅装置」が、本願発明１では、「（第１のチャンバと第２のチャンバからなる）一対の電力増幅レーザチャンバ」であるのに対し、引用発明では、このような２つのチャンバからなるものではなく、「ガスレーザ媒質を封入したガス循環装置を具備した気密容器（１２）」内に二対の主放電電極（１３），（１４）および（１５），（１６）を設けたものである点。
［相違点３］
　上記「前記一対の放電部を有する増幅装置の第１の放電部を通過し、その後前記一対の放電部を有する増幅装置の第２の放電部を通過」した「前記主発振器レーザシステムのレーザ出力光パルスビーム」が、本願発明１では、「ビーム反射器に到達し」、「前記ビーム反射器は前記出力光パルスビームを反射し、反射された出力光パルスビームは前記一対の電力増幅レーザチャンバの第２のチャンバを通過し、その後前記一対の電力増幅レーザチャンバの第１のチャンバを通過」するのに対し、引用発明は、このような「ビーム反射器」による出力光パルスビームの反射を行うものでない点。
［相違点４］
　上記「高圧パルス電源」が、本願発明１では、「磁気パルス圧縮回路」であり、「第１の磁気パルス圧縮回路」及び「第２の磁気パルス圧縮回路」が「電気的に並列に接続されている」のに対し、引用発明の「高圧パルス電源（１７），（１８）」がこのようなものであるか不明な点。
　
（２）判断
　上記相違点について検討する。
ア　相違点１について
　本願明細書の【０００５】によれば、本願発明１における「超高繰返し数」とは、４０００Ｈｚ以上のパルス繰返し数をいうものと理解される。
　ここで、４０００〜６０００Ｈｚ程度のパルス繰返し数を有するパルスガスレーザ発振装置は、本願優先日前に周知であり（例えば、特開２００２−５７３９１号公報（【００１１】）、特開２００２−１３４８１３号公報（【００１１】））る。
　引用例には、パルスガスレーザ発振装置のパルス繰返し数について具体的な数値は記載されていないが、引用例には「増幅度を高繰り返し率のもとで向上できるガスレーザ装置を提供すること」を目的とすることが記載されているから（上記４．イ）、引用発明において、パルスガスレーザ発振装置（１）として上記周知のパルスガスレーザ発信装置を採用し、「パルスガスレーザ発振装置（１）」及び「ガスレーザ装置」のパルス繰返し数を４０００Ｈｚ以上すなわち「超高繰返し数」とすることは当業者が容易に想到し得ることである。
　したがって、相違点１に係る本願発明１の構成は、当業者が容易に想到し得ることである。
イ　相違点２について
　引用発明においては、上記のとおり、「一対の放電部を有する増幅装置」は、「ガスレーザ媒質を封入したガス循環装置を具備した気密容器（１２）」内に二対の主放電電極（１３），（１４）および（１５），（１６）を設けたもの、すなわち、１つのチャンバ内に二対の主放電電極（１３），（１４）および（１５），（１６）を設けたものであり、引用例には、本願発明１のように、２つの放電部をそれぞれ独立した２つのチャンバとすることの記載や示唆はなく、そのようにする動機があるとはいえない。
　したがって、相違点２に係る本願発明１の構成は、当業者が容易に想到し得ることとはいえない。
イ　相違点３について
　引用発明においては、引用例に記載されるように「増帳装置（３）はパルスガスレーザ発振装置（１）に近接し透過窓（１１ａ），（１１ｂ）と全反射鏡（９）、出力鏡（１０）とが同軸となる位置に設けられ」る配置構造となっており、ビーム反射器の導入が想定される配置構造ではない。
　したがって、相違点３に係る本願発明１の構成は、当業者が容易に想到し得ることとはいえない。
ウ　相違点４について
　引用例には、「高圧パルス電源」として「磁気パルス圧縮回路」を採用することの記載や示唆はなく、また、本願発明１のごとく、これらを電気的に並列に接続することの記載や示唆もない。
　したがって、相違点４に係る本願発明１の構成は、当業者が容易に想到し得ることとはいえない。
エ　以上のとおりであって、上記相違点２ないし４に係る本願発明の構成について、当業者が容易に想到し得ることができたものということはできないから、本願発明１について、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
６．本願発明１６について
　本願発明１６は、「ＭＯＰＡ構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステム出力を生成する方法」であって、前記超高繰返し数ガス放電レーザシステムについて、（１）「少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバ」を備えていること、（２）「ビーム反射器」を備えており「前記主発振器レーザシステムの出力パルスビームが最初に前記少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバの第１のチャンバを通り、次に前記少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバの第２のチャンバを通ってビーム反射器へ向かうように、前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取」ること、（３）「前記少なくとも２つの電力増幅レーザチャンバの各々は、少なくとも２つの磁気パルス圧縮回路の１つを含み、前記少なくとも２つの磁気パルス圧縮回路は並列に接続されている」ことが、実質的に特定されている。
　これら（１）ないし（３）の事項は、上記５．（１）カに記載した相違点２ないし４に係る本願発明１の構成と実質的に同じであり、これら構成は、上記５．（２）で説示したのと同様に、いずれも当業者が容易に想到し得ることとはいえない。
　したがって、本願発明１６について、引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
７．本願発明２ないし１５及び本願発明１７ないし２１について
　本願の請求項２ないし１５は請求項１の従属項であり、本願発明２ないし１５は、本願発明１をさらに限定したものである。したがって、本願発明２ないし１５は、本願発明１と同様に、当業者が引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　また、本願の請求項１７ないし２１は請求項１６の従属項であり、本願発明１７ないし２１は、本願発明１６をさらに限定したものである。したがって、本願発明１７ないし２１は、本願発明１６と同様に、当業者が引用例に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえない。
８．むすび
　以上のとおり、本願発明１ないし２１は当業者が引用例に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえないから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。