【手続補正書】
【提出日】令和1年12月6日(2019.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料の電子特性を特徴付けるためにホール効果電圧を測定する方法であって、前記方法は、
磁場方向に配列された既知の磁場の存在下で、励起方向に前記材料を通して励起を提供し、同時に、測定方向に前記材料にわたって誘発される電圧を測定することであって、前記励起方向、前記磁場方向、および、前記測定方向は、全て相互に異なる、ことと、
第１の周波数において、２つの方向の間で前記励起方向、前記磁場方向、および、前記測定方向のうちの少なくとも１つを切り替えることと、
第２の周波数において、２つの方向の間で前記励起方向、前記磁場方向、および、前記測定方向のうちの少なくとも１つを切り替えることであって、前記第２の周波数は、前記第１の周波数と異なる、ことと、
前記切り替えの間に、前記測定された電圧に基づいて、前記ホール効果電圧を決定することと
を含む、方法。
【請求項２】
前記電圧の測定は、前記第１の周波数におけるホール電圧トグリングを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記電圧の測定は、前記第２の周波数における誤整合電圧トグリングを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
材料の電子特性を特徴付けるためにホール効果電圧を測定する方法であって、前記方法は、
既知の磁場の存在下で、材料片の対向点の第１の対にわたって励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の第２の対にわたって第１の電圧を測定すること（状態１）と、
前記既知の磁場の存在下で、前記材料片の対向点の前記第２の対にわたって励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の前記第１の対にわたって第２の電圧を測定すること（状態２）と、
第１の期間の間、第１の周波数において状態１と状態２との間で切り替えることと、
前記既知の磁場の存在下で、前記材料片の対向点の前記第１の対にわたって、前記状態１の励起と反対方向に励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の前記第２の対にわたって第３の電圧を測定すること（状態３）と、
前記既知の磁場の存在下で、前記材料片の対向点の前記第２の対にわたって、前記状態２の励起と反対方向に励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の前記第１の対にわたって第４の電圧を測定すること（状態４）と、
第２の期間の間、第２の周波数において状態３と状態４との間で切り替えることと、
第３の期間の間、第３の周波数において前記第１の期間と前記第２の期間との間で切り替えることであって、前記第１の周波数は、前記第３の周波数と異なる、ことと、
前記第１の電圧、前記第２の電圧、前記第３の電圧、および、前記第４の電圧の測定に基づいて、前記既知の磁場の存在下で前記材料を励起することによって誘発されるホール効果電圧を決定することと
を含む、方法。
【請求項５】
前記決定されたホール効果電圧に基づいて、前記材料のホール係数を決定することをさらに含む、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記ホール効果電圧を決定することは、前記電圧の測定から熱電圧成分を除去することを含む、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記ホール効果電圧を決定することは、前記電圧の測定から誤整合電圧成分を除去することを含む、請求項４に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、同一である、請求項４に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の期間および前記第２の期間は、同一である、請求項４に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、前記第３の周波数より大きい、請求項４に記載の方法。
【請求項１１】
各励起は、電流源を使用して直接印加される電流を含む、請求項４に記載の方法。
【請求項１２】
各励起は、電圧源を使用して電圧を印加することによって生成される電流を含む、請求項４に記載の方法。
【請求項１３】
状態１〜４における前記電圧の測定から電圧測定信号を形成するステップと、
前記電圧測定信号を復調するステップと、
前記電圧測定信号を増幅するステップと
をさらに含む、請求項４に記載の方法。
【請求項１４】
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、請求項４に記載の方法。
【請求項１５】
前記材料は、１ｃｍ２／Ｖｓ未満のキャリア移動度を有する、請求項４に記載の方法。
【請求項１６】
状態間で切り替えることは、前記第１の周波数において前記ホール効果電圧をトグルし、前記第３の周波数において誤整合電圧をトグルする、請求項４に記載の方法。
【請求項１７】
前記第１の期間および前記第２の期間のうちの少なくとも１つは、５秒未満である、請求項４に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１の期間および前記第２の期間は、それぞれ、５秒未満である、請求項４に記載の方法。
【請求項１９】
前記第３の期間は、１０秒未満である、または、１０秒に等しい、請求項４に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１の期間および前記第２の期間のうちの少なくとも１つは、０．５秒未満である、請求項４に記載の方法。
【請求項２１】
前記第１の期間および前記第２の期間は、それぞれ、０．５秒未満である、請求項４に記載の方法。
【請求項２２】
前記第３の期間は、１秒未満である、または、１秒に等しい請求項４に記載の方法。
【請求項２３】
材料の電子特性を特徴付けるためにホール効果電圧を測定する方法であって、前記方法は、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することであって、前記第１の試験状態は、既知の磁場の存在下で前記材料を通して電流を誘発することによって前記材料を励起することを含む、ことと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することであって、前記第２の試験状態は、前記既知の磁場の存在下で前記材料を通して電流を誘発することによって前記材料を励起することを含み、前記第１の試験パラメータは、前記試験励起中の電流の方向、前記試験励起の場所、前記既知の磁場の方向、および、前記既知の磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起中の電流の方向、前記試験励起の場所、前記既知の磁場の方向、および、前記既知の磁場の場所のうちの異なるものである、ことと、
前記第３の周波数において、前記第１の試験状態と前記第２の試験状態との間で切り替えることであって、前記第３の周波数は、前記第１の周波数および前記第２の周波数より小さい、ことと、
前記第１の試験状態および前記第２の試験状態の間に、前記既知の磁場の存在下で前記材料を励起することによって前記材料にわたって誘発される電圧を測定することと、
前記電圧の測定に基づいて、前記ホール効果電圧を決定することと
を含む、方法。
【請求項２４】
励起電流、前記既知の磁場、および、前記測定された誘発された電圧は、全て相互に略垂直に配列される、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
材料の電子特性を特徴付けるためにホール効果電圧を測定するためのシステムであって、前記システムは、
磁石と、
試験励起機構と、
電圧測定デバイスと、
コントローラと
を備え、
前記コントローラは、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することであって、前記第１の試験状態は、前記磁石によって形成される既知の磁場の存在下で前記材料を通して電流を誘発することによって前記材料を励起する、ことと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することであって、前記第２の試験状態は、前記磁石によって形成される前記既知の磁場の存在下で前記材料を通して電流を誘発することによって前記材料を励起し、前記第１の試験パラメータは、前記試験励起中の電流の方向、前記試験励起の場所、前記既知の磁場の方向、および、前記既知の磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起中の電流の方向、前記試験励起の場所、前記既知の磁場の方向、および、前記既知の磁場の場所のうちの異なるものである、ことと、
前記第３の周波数において、前記第１の試験状態と前記第２の試験状態との間で切り替えることであって、前記第３の周波数は、前記第１の周波数および前記第２の周波数より小さい、ことと、
前記第１の試験状態および前記第２の試験状態の間に、既知の磁場の存在下で前記材料を励起することによって前記材料にわたって誘発される電圧を測定することと、
前記電圧の測定に基づいて、前記ホール効果電圧を決定することと
を行うように構成される、システム。
【請求項２６】
前記コントローラは、前記電圧の測定に基づいて、電圧測定信号を形成するようにさらに構成され、
前記システムは、
前記電圧測定信号を復調するように構成される復調器であって、前記ホール効果電圧は、前記電圧測定信号から分離される、復調器と、
前記復調された信号を増幅する増幅器と
をさらに備える、請求項２５に記載のシステム。
【請求項２７】
前記試験励起機構は、電流源を備える、請求項２５に記載のシステム。
【請求項２８】
前記試験励起機構は、電圧源と、電流測定デバイスとを備える、請求項２５に記載のシステム。
【請求項２９】
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、請求項２５に記載のシステム。
【請求項３０】
材料試験片は、略正方形形状を有する、請求項２５に記載のシステム。
【請求項３１】
前記材料の試験形状は、正方形または正十字形である、請求項２５に記載のシステム。
【請求項３２】
材料のホール効果電圧を測定する方法であって、前記方法は、
ａ）材料片の対向点の第１の対にわたって励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の第２の対にわたって結果として生じる試験電圧を測定することと、
ｂ）前記材料片の対向点の前記第２の対にわたって励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の前記第１の対にわたって結果として生じる試験電圧を測定することと、
ｃ）前記材料片の対向点の前記第１の対にわたって、ステップ（ａ）の励起と反対方向に励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の前記第２の対にわたって結果として生じる試験電圧を測定することと、
ｄ）前記材料片の対向点の前記第２の対にわたって、ステップ（ｂ）の励起と反対方向に励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の前記第１の対にわたって結果として生じる試験電圧を測定することと
を含み、
ステップ（ａ）およびステップ（ｂ）を繰り返す間の周波数は、ステップ（ｂ）およびステップ（ｃ）を繰り返す間の周波数とは異なる、方法。
【請求項３３】
各励起は、電流源を使用して直接印加される電流を含む、請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
各励起は、電圧源を使用して電圧を印加することによって生成される電流を含む、請求項３２に記載の方法。
【請求項３５】
ステップ（ａ）〜（ｄ）において測定される複数の試験電圧から信号を形成するステップと、
前記信号を復調するステップと、
前記信号を増幅するステップと
をさらに含む、請求項３２に記載の方法。
【請求項３６】
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、請求項３２に記載の方法。
【請求項３７】
材料のホール効果電圧を測定する方法であって、前記方法は、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することと、
既知の一定電流を用いて前記材料を励起することと、
信号を形成するために前記第１の試験状態および第２の試験状態の間、電圧を測定することと、
前記信号を復調することと、
前記信号を増幅することと
を含み、
前記第１の試験パラメータは、試験励起、前記試験励起の場所、磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起、前記試験励起の場所、前記磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの別のものである、方法。
【請求項３８】
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しい、請求項３７に記載の方法。
【請求項４０】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しくない、請求項３７に記載の方法。
【請求項４１】
材料のホール効果電圧を測定する方法であって、前記方法は、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することと、
既知の一定電圧を用いて前記材料を励起し、生成された電流を測定することと、
信号を形成するために前記第１の試験状態および第２の試験状態の間、電圧を測定することと、
前記信号を復調することと、
前記信号を増幅することと
を含み、
前記第１の試験パラメータは、試験励起、前記試験励起の場所、磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起、前記試験励起の場所、前記磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの別のものである、方法。
【請求項４２】
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しい、請求項４１に記載の方法。
【請求項４４】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しくない、請求項４１に記載の方法。
【請求項４５】
材料のホール効果電圧を測定する方法であって、前記方法は、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することと
を含み、
前記第１の試験パラメータは、試験励起、前記試験励起の場所、磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起、前記試験励起の場所、前記磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの別のものであり、
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、方法。
【請求項４６】
既知の一定電流を用いて前記材料を励起することと、
信号を形成するために前記第１の試験状態および第２の試験状態の間、電圧を測定することと、
前記信号を復調することと、
前記信号を増幅することと
をさらに含む、請求項４５に記載の方法。
【請求項４７】
既知の一定電圧を用いて前記材料を励起し、生成された電流を測定することと、
信号を形成するために前記第１の試験状態および第２の試験状態の間、電圧を測定することと、
前記信号を復調することと、
前記信号を増幅することと
をさらに含む、請求項４５に記載の方法。
【請求項４８】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しい、請求項４５に記載の方法。
【請求項４９】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しくない、請求項４５に記載の方法。
【請求項５０】
材料のホール効果電圧を測定する方法であって、前記方法は、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することと
を含み、
前記第１の試験パラメータは、試験励起、前記試験励起の場所、磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起、前記試験励起の場所、前記磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの別のものであり、
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しくない、方法。
【請求項５１】
既知の一定電流を用いて前記材料を励起することと、
信号を形成するために前記第１の試験状態および第２の試験状態の間、電圧を測定することと、
前記信号を復調することと、
前記信号を増幅することと
をさらに含む、請求項５０に記載の方法。
【請求項５２】
既知の一定電圧を用いて前記材料を励起し、生成された電流を測定することと、
信号を形成するために前記第１の試験状態および第２の試験状態の間、電圧を測定することと、
前記信号を復調することと、
前記信号を増幅することと
をさらに含む、請求項５０に記載の方法。
【請求項５３】
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、請求項５０に記載の方法。
【請求項５４】
材料のホール効果電圧を測定するためのシステムであって、前記システムは、
磁石と、
試験励起機構と、
電圧測定デバイスと、
復調器および増幅器と、
コントローラと
を備え、
前記コントローラは、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することと
を行うように構成され、
前記第１の試験パラメータは、試験励起、前記試験励起の場所、磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起、前記試験励起の場所、前記磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの別のものである、システム。
【請求項５５】
前記試験励起機構は、電流源を備える、請求項５４に記載のシステム。
【請求項５６】
前記試験励起機構は、電圧源と、電流測定デバイスとを備える、請求項５４に記載のシステム。
【請求項５７】
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、請求項５４に記載のシステム。
【請求項５８】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しい、請求項５４に記載のシステム。
【請求項５９】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しくない、請求項５４に記載のシステム。
【請求項６０】
材料片は、略正方形形状を有する、請求項５４に記載のシステム。
【請求項６１】
前記材料の形状は、正方形、ホールバー形状、または正十字形のうちの１つである、請求項５４に記載のシステム。
【請求項６２】
材料のホール効果電圧を測定するためのシステムであって、前記システムは、
磁石と、
試験励起機構と、
電圧測定デバイスと、
コントローラと
を備え、
前記コントローラは、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することと
を行うように構成され、
前記第１の試験パラメータは、試験励起、前記試験励起の場所、磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起、前記試験励起の場所、前記磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの別のものであり、
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、システム。
【請求項６３】
前記試験励起機構は、電流源を備える、請求項６２に記載のシステム。
【請求項６４】
前記試験励起機構は、電圧源と、電流測定デバイスとを備える、請求項６２に記載のシステム。
【請求項６５】
復調器および増幅器をさらに備える、請求項６２に記載のシステム。
【請求項６６】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しい、請求項６２に記載のシステム。
【請求項６７】
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しくない、請求項６２に記載のシステム。
【請求項６８】
材料片は、略正方形形状を有する、請求項６２に記載のシステム。
【請求項６９】
前記材料の形状は、正方形、ホールバー形状、または正十字形のうちの１つである、請求項６２に記載のシステム。
【請求項７０】
材料のホール効果電圧を測定するためのシステムであって、前記システムは、
磁石と、
試験励起機構と、
電圧測定デバイスと、
コントローラと
を備え、
前記コントローラは、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することと
を行うように構成され、
前記第１の試験パラメータは、試験励起、前記試験励起の場所、磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起、前記試験励起の場所、前記磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの別のものであり、
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しくない、システム。
【請求項７１】
前記試験励起機構は、電流源を備える、請求項７０に記載のシステム。
【請求項７２】
前記試験励起機構は、電圧源と、電流測定デバイスとを備える、請求項７０に記載のシステム。
【請求項７３】
復調器および増幅器をさらに備える、請求項７０に記載のシステム。
【請求項７４】
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、請求項７０に記載のシステム。
【請求項７５】
材料片は、略正方形形状を有する、請求項７０に記載のシステム。
【請求項７６】
前記材料の形状は、正方形、ホールバー形状、または正十字形のうちの１つである、請求項７０に記載のシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
別の実施形態によると、材料のホール効果電圧を測定するためのシステムは、磁石と、試験励起機構と、電圧測定デバイスと、第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態と、第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態とを提供するように構成される、制御装置とを備える。第１の試験パラメータは、試験励起、試験励起の場所、磁場の方向、および磁場の場所のうちの１つであって、第２の試験パラメータは、試験励起、試験励起の場所、磁場の方向、または磁場の場所のうちの別の１つである。
本発明は、例えば、以下を提供する。
（項目１）
材料のホール効果電圧を測定するための方法であって、前記方法は、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供するステップと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供するステップと
を含み、
前記第１の試験パラメータは、試験励起、試験励起の場所、磁場の方向、および磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起、前記試験励起の場所、前記磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの別のものである、方法。
（項目２）
前記材料を既知の一定電流を用いて励起するステップと、
信号を形成するために前記第１の試験状態および第２の試験状態の間、電圧を測定するステップと、
前記信号を復調するステップと、
前記信号を増幅するステップと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目３）
前記材料を既知の一定電圧を用いて励起し、生成された電流を測定するステップと、
信号を形成するために前記第１の試験状態および第２の試験状態の間、電圧を測定するステップと、
前記信号を復調するステップと、
前記信号を増幅するステップと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目４）
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、項目１に記載の方法。
（項目５）
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しい、項目１に記載の方法。
（項目６）
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しくない、項目１に記載の方法。
（項目７）
材料のホール効果電圧を測定するためのシステムであって、前記システムは、
磁石と、
試験励起機構と、
電圧測定デバイスと、
制御装置であって、前記制御装置は、
第１の周波数において第１の試験パラメータを交互させる第１の試験状態を提供することと、
第２の周波数において第２の試験パラメータを交互させる第２の試験状態を提供することと
を行うように構成される、制御装置と
を備え、
前記第１の試験パラメータは、試験励起、試験励起の場所、磁場の方向、および磁場の場所のうちの１つであり、前記第２の試験パラメータは、前記試験励起、前記試験励起の場所、前記磁場の方向、および前記磁場の場所のうちの別のものである、システム。
（項目８）
前記試験励起機構は、電流源を備える、項目７に記載のシステム。
（項目９）
前記試験励起機構は、電圧源と、電流測定デバイスとを備える、項目７に記載のシステム。
（項目１０）
復調器と、増幅器とをさらに備える、項目７に記載のシステム。
（項目１１）
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、項目７に記載のシステム。
（項目１２）
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しい、項目７に記載の方法。
（項目１３）
前記第１の周波数および前記第２の周波数は、等しくない、項目７に記載の方法。
（項目１４）
材料片は、略正方形形状を有する、項目７に記載のシステム。
（項目１５）
前記材料の形状は、正方形、ホールバー形状、または正十字形のうちの１つである、項目７に記載のシステム。
（項目１６）
材料のホール効果電圧を測定する方法であって、前記方法は、
ａ）材料片の対向点の第１の対にわたって励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の第２の対にわたって結果として生じる試験電圧を測定するステップと、
ｂ）前記材料片の対向点の第２の対にわたって励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の第１の対にわたって結果として生じる試験電圧を測定するステップと、
ｃ）前記材料片の対向点の第１の対にわたって、ステップ（ａ）の前記励起と反対方向に励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の第２の対にわたって結果として生じる試験電圧を測定するステップと、
ｄ）前記材料片の対向点の第２の対にわたって、ステップ（ｂ）の前記励起と反対方向に励起を提供し、同時に、前記材料片の対向点の第１の対にわたって結果として生じる試験電圧を測定するステップと
を含み、
ステップ（ａ）および（ｂ）を繰り返す間の周波数は、ステップ（ｃ）および（ｄ）を繰り返す間の周波数とは異なる、方法。
（項目１７）
各励起は、電流源を使用して直接印加される電流を含む、項目１６に記載の方法。
（項目１８）
各励起は、電圧源を使用して電圧を印加することにより生成される電流を含む、項目１６に記載の方法。
（項目１９）
ステップ（ａ）〜（ｄ）において測定される複数の試験電圧から信号を形成するステップと、
前記信号を復調するステップと、
前記信号を増幅するステップと
をさらに含む、項目１６に記載の方法。
（項目２０）
前記材料は、低いキャリア移動度を有する、項目１６に記載の方法