【誤訳訂正書】
【提出日】令和2年10月15日(2020.10.15)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２次元に拡張された表面の各ペア及び０．０１ｍｍ≦Ｄ≦５ｍｍの厚さＤを有する二以上のワークピースのバッチに関するヒーター及び／又はクーラーチャンバであって、
−１つの単一の金属片で、又は、熱的に共通の挙動を示しこのような等しい単一のピースの金属ブロック又は塊とは無視できるほど異なるのみである、二以上の熱的に結合した金属部品で作製された、熱貯蔵ブロックと；
−前記熱貯蔵ブロックに含まれるスリットポケットであって、
各々のスリットポケットは、その中に単一の前記ワークピースを適合するように寸法付けられ、
スリットポケット平面に沿って伸び、
少なくとも１つのワークピースハンドリング開口部を有し、
前記スリットポケットと前記ワークピースとの間で非接触のやりかたで、前記ワークピースの内の一つを囲むように調整され、
前記スリットポケット平面と垂直であり、且つ前記スリットポケット平面と平行と考えられる前記スリットポケットの広がり表面積の少なくとも３０％に沿った、前記スリットポケットの各々の高さｈが、２．５ｍｍ≦ｈ≦５０ｍｍであるものであり、
二以上の平行なスリットポケットは、前記スリットポケットと垂直な方向において積み重ねられている、
スリットポケットと；
−前記スリットポケットの各々においてワークピースを支持するためのワークピース支持部と；
−前記ブロックの外側の大気に関して個別のワークピースハンドリング開口部を解放する又は覆うように制御するドア装置と；
−前記積み重ねられたスリットポケットの側壁方向に沿って伸び、且つ、前記ブロックの外表面に沿った、前記ブロックへの少なくとも１つのヒーター及び／又はクーラー接触面と、を含む、チャンバ。
【請求項２】
前記少なくとも１つのヒーター及び／又はクーラー接触面に沿って設けられるヒーター及び／又はクーラー装置を含む、請求項１に記載のチャンバ。
【請求項３】
前記スリットポケットの内の少なくともいくつかにおいて又は前記スリットポケットの内のすべてにおいて送り出すガス供給ライン装置を含む、請求項１又は２に記載のチャンバ。
【請求項４】
前記スリットポケットの内の少なくともいくつか又はすべてが、個別のワークピースハンドリング開口部が前記ドア装置によって覆われるときに実質的に気密性である、請求項１から３の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項５】
前記スリットポケットの内の少なくともいくつか又はすべてが、前記個別のワークピースハンドリング開口部が前記ドア装置によって覆われるときに実質的に気密性でない、請求項１から３の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項６】
前記スリットポケットの前記少なくとも１つのワークピースハンドリング開口部の内の少なくともいくつか又はすべてが、前記ブロックに沿った前記スリットポケット平面と垂直な前記方向において整列される、請求項１から５の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項７】
隣接するスリットポケットの内の少なくともいくつか又はすべてが、熱的に実質的に切り離される、請求項１から６の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項８】
前記スリットポケットが、前記スリットポケット平面と垂直な前記方向において整列され、隣接するスリットポケットが、前記スリットポケット平面と平行と考えられる、前記スリットポケットの広がり表面積の少なくとも３０％に沿って、且つ、０．５ｍｍ≦ｄ≦１０ｍｍの前記スリットポケット平面と垂直な方向において考えられる、厚さｄを有する前記ブロックのセクションによって、前記スリットポケット平面と垂直に分離される、請求項７に記載のチャンバ。
【請求項９】
前記スリットポケットが、ワークピース支持部の上のワークピースの下でワークピースハンドラロボットの少なくとも１つのハンドリングアームを導入し除去するための、前記少なくとも１つのハンドラ開口部を通してアクセス可能な一つ又は二以上のハンドラカットアウトを、各々その底面において、含む、請求項１から８の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項１０】
前記二以上のハンドラカットアウトがスルーカットアウトである、請求項９に記載のチャンバ。
【請求項１１】
前記スリットポケットの内の少なくともいくつか又はすべてが、一つの単一のワークピースハンドリング開口部を含む、請求項１から１０の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項１２】
前記ドア装置が、同時に前記ワークピースハンドリング開口部の内の少なくとも二以上を覆う又は解放するように制御する、請求項１から１１の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項１３】
前記ドア装置が、期間の間に同時にすべてのワークピースハンドリング開口部を覆われた状態に維持するように制御可能である、請求項１から１２の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項１４】
少なくとも１つのワークピースハンドリング開口部の内の少なくともいくつか又はすべてが一つの方向において相互に整列され、前記ドア装置が、少なくとも１つのドアワークピースハンドリング開口部を有するドアプレートを含み、前記ドアプレートが、前記方向において前記ブロックに対して相対的に且つそれに沿って制御可能にスライド可能であり、前記少なくとも１つのドアワークピースハンドリング開口部を選択的に、前記スリットポケットの前記ワークピースハンドリング開口部の内の少なくとも１つと整列させる又は整列させないようにする、請求項１から１３の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項１５】
前記ドアプレートが、前記ドアプレートと前記ブロックとの間の相対的なスライドに関するプレート駆動部に操作可能に接続される、請求項１４に記載のチャンバ。
【請求項１６】
前記ブロックが、前記ドアプレートと前記ブロックとの間の前記相対的なスライドに関するブロック駆動部に操作可能に接続される、請求項１４又は１５に記載のチャンバ。
【請求項１７】
前記ドアプレートが、前記ブロックの周りの筐体の壁である、請求項１６に記載のチャンバ。
【請求項１８】
前記ブロックが、２つの側面の表面及び前面の表面を含み、前記接触面の内の各々が、前記側面の表面の各々に沿って伸び、前記少なくとも一つのワークピースハンドリング開口部が、前記前面の表面に沿って設けられる、請求項１から１７の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項１９】
前記スリットポケットの内の少なくともいくつかにおいて又は前記スリットポケットの内のすべてにおいて送り出すガス供給ライン装置を含み、前記ガス供給ライン装置が、前記前面の表面と反対である前記ブロックの背面の表面に沿ってガスヒーター及び／又はクーラー装置に操作可能に熱的に接続される、請求項１８に記載のチャンバ。
【請求項２０】
前記スリットポケットが、前記側面に対して垂直に伸びる、請求項１８又は１９に記載のチャンバ。
【請求項２１】
前記ブロックが、熱的に絶縁する筐体内に取り付けられる、請求項１から１９の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項２２】
前記熱的に絶縁する筐体が、前記ブロックから離間している、請求項２１に記載のチャンバ。
【請求項２３】
前記ドア装置が、前記ワークピースハンドリング開口部に面する前記絶縁する筐体の壁において一つ又は二以上の制御可能なドアワークピースハンドリング開口部を含み、前記ブロックが、前記ワークピースハンドリング開口部の内の一つ又は二以上を、前記制御可能なドアワークピースハンドリング開口部の内の一つ又はそれぞれ二以上と１列に並ばせるように構成された制御可能なブロック駆動部に動作可能に接続される、請求項２１又は２２に記載のチャンバ。
【請求項２４】
前記制御可能なドアワークピースハンドリング開口部が、フラップを備える、請求項２３に記載のチャンバ。
【請求項２５】
前記ワークピースハンドリング開口部が、前記ブロックと前記絶縁する筐体との間で隙間と継続して流体連通している、請求項２３又は２４に記載のチャンバ。
【請求項２６】
前記筐体が、前記隙間において隣接するポンプポートを含む、請求項２５に記載のチャンバ。
【請求項２７】
前記スリットポケットの内の少なくともいくつかにおいて又はすべてにおいてそれぞれ送り出す、前記ブロックを横切る複数のガス供給ラインのガス供給ライン装置を含み、前記スリットポケットにおいて送り出す前記ガス供給ラインが前記少なくとも１つのワークピースハンドリング開口部の内の個別のものと反対側である、請求項１から２６の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項２８】
前記スリットポケットの内の少なくともいくつかにおいて又はすべてにおいて送り出すガス供給ライン装置、及び、前記ガス供給ライン装置におけるガスに関するガスヒーター及び／又はクーラー装置を含む、請求項１から２７の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項２９】
デガッサチャンバである請求項１から２８の何れか一項に記載のチャンバ。
【請求項３０】
請求項１から２９の何れか一項に記載のチャンバを含み、且つ、乾燥空気、Ｎ２、Ａｒ、Ｈｅの内の少なくとも１つに関する加圧ガス源装置に操作可能に接続されているガス供給ラインを前記スリットポケットの内の少なくともいくつかにおいて又はすべてにおいて送り出すガス供給ライン装置を含む装置。
【請求項３１】
ワークピース処理システムであって、
以下の限定を備える請求項１から２９の何れか一項に記載のチャンバを含み、
ａ）各スリットポケットが、単一のワークピースハンドリング開口部を有し；
ｂ）スリットポケットのワークピースハンドリング開口部が、前記ブロックに沿って前記方向において整列され；
ｃ）ドア装置が、環境雰囲気へワークピースハンドリング開口部を解放し；
さらに、真空処理装置と、マガジン装置と、ハンドリングロボットとを含み：
−前記真空処理装置は、真空処理装置における真空雰囲気と環境雰囲気との間のロードロック装置を含むワークピースに関するものであり；
−前記マガジン装置は、多数のワークピースホルダーを備え、且つ環境雰囲気における、且つ少なくとも１つのマガジンを含むものであり；
前記スリットポケット、及び、前記マガジン装置の前記ワークピースホルダーが、平行平面に沿ったそれらの拡張表面によってワークピースを保持するように調整され；
−前記ハンドリングロボットは、環境雰囲気におけるものであり；
前記ハンドリングロボットが、前記マガジン装置へ及びそこから、前記ロードロック装置へ及びそこから、前記チャンバへ及びそこからワークピースをハンドリングするように調整される、
ワークピース処理システム。
【請求項３２】
前記ロードロック装置におけるワークピースホルダーが、平行平面に沿ったそれらの拡張表面によってワークピースを保持するように調整される、請求項３１に記載のシステム。
【請求項３３】
前記ハンドリングロボットが、垂直軸の周りを駆動的に回転可能である、請求項３１又は３２に記載のシステム。
【請求項３４】
前記ハンドリングロボットが、前記マガジン装置へ及びそこから、前記ロードロック装置へ及びそこから、前記チャンバへ及びそこから一度に１つの単一のワークピースをハンドリングするように調整される、請求項３１から３３の何れか一項に記載のシステム。
【請求項３５】
前記マガジン装置が、二以上のマガジンを含む、請求項３１から３４の何れか一項に記載のシステム。
【請求項３６】
ワークピースアライナステーションをさらに含み、前記ハンドリングロボットが、前記アライナステーションへ及びそこからワークピースをハンドリングするように調整される、請求項３１から３５の何れか一項に記載のシステム。
【請求項３７】
前記チャンバがヒーターチャンバであり、前記真空処理装置が前記ワークピースに関するクーラーステーションを含む、請求項３１から３６の何れか一項に記載のシステム。
【請求項３８】
請求項１から２９の何れか一項に記載のチャンバの、又は、請求項３０に記載の装置の、又は、請求項３１から３７の何れか一項に記載のシステムの使用をする、熱処理されたワークピースを製造する方法であって：
前記ブロックの所定の温度を確立するステップ
ａ）ドア装置によって個別のスリットポケットの個別のワークピースハンドリング開口部を解放した後で、前記スリットポケットの内の少なくとも１つにおいて、且つ個別のワークピース支持部の上で、ワークピースを装填するステップと；
ｂ）ドア装置によって前記ブロックの外側の大気に関して前記ワークピースによって装填された、スリットポケットの個別のワークピースハンドリング開口部を覆うステップと；
ｃ）前記スリットポケットにおいて前記ワークピースを熱処理するステップと；
ｄ）ドア装置によってスリットポケットの前記個別のワークピースハンドリング開口部を解放するステップと；
ｅ）前記スリットポケットから前記解放されたワークピースハンドリング開口部を通して前記熱処理されたワークピースを除去するステップと、を含む、方法。
【請求項３９】
タイムスパンの間に前記ワークピースを熱処理するステップを含み、前記ステップａ）からｅ）のサイクルが、時間的に互いに直後に実行される２つのサイクル間で時間差を有して異なるスリットポケットにおいて複数回実施され、その時間差は、前記タイムスパンよりも短い、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記装填が、環境雰囲気から実施され、前記除去が、環境雰囲気内へ実施される、請求項３８又は３９の何れか一項に記載の方法。
【請求項４１】
ワークピースが、前記チャンバとマガジン装置との間で、前記チャンバと前記ワークピースに関する真空処理装置との間で、前記真空処理装置と前記マガジン装置との間で運搬される、請求項３８から４０の何れか一項に記載の方法。
【請求項４２】
前記ワークピースが、前記ワークピースに関するアライナステーションへ及びそこから運搬される、請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
単一のワークピース運搬によって前記運搬を実施するステップを含む、請求項４１又は４２に記載の方法。
【請求項４４】
前記チャンバが、ｎ個の前記スリットポケットを含み、ｎより小さいｍ個のみが用いられる、請求項３８から４３の何れか一項に記載の方法。
【請求項４５】
時間的に直後における前記スリットポケット内へのワークピースの装填が、時間差ｄＴで実施され、各ワークピースが、等しいタイムスパンΔの間前記スリットポケットにおいて置かれ、Δ／ｄＴの商が、整数（Δ／ｄＴ）Ｉへ丸められ、有効なｍ＝（Δ／ｄＴ）Ｉが存在する、請求項４４に記載の方法。
【請求項４６】
前記チャンバの非直接的に隣接するスリットポケットにおいて前記ステップａ）からｅ）を直後に実施するステップを含む、請求項３８から４５の何れか一項に記載の方法。
【請求項４７】
まずは前記チャンバに沿った前記スリットポケット平面と垂直な前記方向において一つおきのスリットポケットにおいて、前記ステップａ）を実施し、前記方向を逆にして、続いては逆の方向において各残りのスリットポケットにおいて前記ステップａ）を実施する、請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
まずは前記チャンバに沿った前記スリットポケット平面と垂直な前記方向において一つおきのスリットポケットにおいて、前記ステップｅ）を実施し、前記方向を逆にして、続いては逆の方向において各残りのスリットポケットにおいて前記ステップｅ）を実施する、請求項４６又は４７に記載の方法。
【請求項４９】
個別のスリットポケット内に及びそこから前記ワークピースを抜き取りすぐに再装填するステップを含む、請求項４７又は４８に記載の方法。
【請求項５０】
個別のスリットポケットの同じワークピースハンドリング開口部を通して前記装填及び前記除去を実施することを含む、請求項３８から４９の何れか一項に記載の方法。
【請求項５１】
前記スリットポケットへ及び／又はそこから一度に１つの単一のワークピースを装填する及び／又は除去するステップを含む、請求項３８から５０の何れか一項に記載の方法。
【請求項５２】
前記熱処理の間に少なくとも、前記ワークピースに沿った且つスリットポケットから出るガスの流れを確立するステップを含む、請求項３８から５１の何れか一項に記載の方法。
【請求項５３】
前記ワークピースに沿ってガスの前記流れを確立するためにガスを予熱する又は予冷するステップを含む、請求項５２に記載の方法。
【請求項５４】
前記チャンバがデガッサチャンバであり、ガスの前記流れがフラッシングガス流である、請求項５２又は５３に記載の方法。
【請求項５５】
熱的に絶縁する筐体内に前記ブロックを提供するステップを含む、請求項４７から５４の何れか一項に記載の方法。
【請求項５６】
熱的に絶縁する筐体内に前記ブロックを提供するステップと、前記ワークピースに沿った且つ前記絶縁筐体と前記ブロックとの間の隙間内へスリットポケットから出るガスの流れを、前記熱処理の間に少なくとも、確立するステップと、前記隙間から前記ガスを除去するステップと、を含む、請求項４７から５５の何れか一項に記載の方法。
【請求項５７】
前記筐体の壁において且つドア装置の少なくとも１つの制御可能に閉じることができ且つ開くことができるドアワークピースハンドリング開口部によって前記筐体を囲む環境雰囲気から隙間を分離するステップと、前記筐体における駆動部によって前記ブロックを制御可能に動かして、前記スリットポケットのワークピースハンドリング開口部と前記少なくとも１つのドアワークピースハンドリング開口部とを整列させるステップと、を含む、請求項５５又は５６に記載の方法。