【手続補正書】
【提出日】令和2年4月24日(2020.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
システムであって、
入射ビームを調整して補正されたビームを形成するように構成されたビーム操縦組立体と、
前記ビーム操縦組立体に光学的に結合されたビーム監視組立体であって、前記補正されたビームに関する監視データを生成するように構成され、前記監視データは、前記補正されたビームの１つ以上のオフセットパラメータを含む、ビーム監視組立体と、を備え、
前記ビーム監視組立体が、
前記ビーム操縦組立体からの前記補正されたビームを受け取り、
前記補正されたビームの第１の部分を反射し、
前記補正されたビームの第２の部分を送信する、
ように構成されたリーク鏡と、
前記リーク鏡から送信された前記補正されたビームの前記第２の部分を受け取り、
前記補正されたビームの第３の部分を少なくとも第１の光学要素を通して第１の撮像装置に送信し、
前記補正されたビームの第４の部分を少なくとも第２の光学要素を通して第２の撮像装置に反射する、
ように構成されたビーム分割器と、を備え、
前記補正されたビームの前記第３の部分と前記補正されたビームの前記第４の部分とが、前記補正されたビームの前記第２の部分から形成され、
前記ビーム監視組立体および前記ビーム操縦組立体に通信可能に結合された制御装置であって、メモリ内に記憶されたプログラム命令のセットを実行するように構成された１つ以上の処理装置を含み、前記プログラム命令は、前記１つ以上の処理装置に、
前記補正されたビームの１つ以上のゼロパラメータを記憶させ、
前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の少なくとも１つの差違を算出させ、
前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記少なくとも１つの差違に基づいて、前記入射ビームの１つ以上のビーム位置調整を決定させ、
１つ以上のモータ駆動装置を介して前記ビーム操縦組立体に対して指示させて１つ以上のモータを作動させて前記入射ビームを調整して前記補正されたビームを形成するように構成される、制御装置と、
を備えることを特徴とする、システム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、前記補正されたビームの前記１つ以上のオフセットパラメータが、
前記補正されたビームのオフセット位置のオフセット照準成分、前記補正されたビームの前記オフセット位置のオフセット並進成分、オフセットビームサイズ、またはオフセットビームブリージングデータの少なくとも１つを含むことを特徴とする、システム。
【請求項３】
請求項２に記載のシステムであって、前記補正されたビームの前記オフセット位置の前記オフセット照準成分、前記補正されたビームの前記オフセット位置の前記オフセット並進成分、前記オフセットビームサイズ、または前記オフセットビームブリージングデータの少なくとも１つが、ｘ方向成分またはｙ方向成分の少なくとも１つを含むことを特徴とする、システム。
【請求項４】
請求項１に記載のシステムであって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータが、
前記補正されたビームのゼロ位置のゼロ照準成分、前記補正されたビームの前記ゼロ位置のゼロ並進成分、ゼロビームサイズ、またはゼロビームブリージングデータの少なくとも１つを含むことを特徴とする、システム。
【請求項５】
請求項４に記載のシステムであって、前記補正されたビームの前記ゼロ位置の前記ゼロ照準成分、前記補正されたビームの前記ゼロ位置の前記ゼロ並進成分、前記ゼロビームサイズ、または前記ゼロビームブリージングデータの少なくとも１つが、ｘ方向成分またはｙ方向成分の少なくとも１つを含むことを特徴とする、システム。
【請求項６】
請求項１に記載のシステムであって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記差違を算出することが、前記補正されたビームのゼロ位置のゼロ照準成分と、前記補正されたビームのオフセット位置のオフセット照準成分との間の照準差違を算出することを含むことを特徴とする、システム。
【請求項７】
請求項１に記載のシステムであって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記差違を算出することが、前記補正されたビームのゼロ位置のゼロ並進成分と、前記補正されたビームのオフセット位置のオフセット並進位置との間の並進差違を算出することを含むことを特徴とする、システム。
【請求項８】
請求項１に記載のシステムであって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記差違を算出することが、ゼロビームサイズとオフセットビームサイズとの間のビームサイズ差違を算出することを含むことを特徴とする、システム。
【請求項９】
請求項１に記載のシステムであって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記差違を算出することが、ゼロビームブリージングデータとオフセットビームブリージングデータとの間のビームブリージングデータ差違を算出することを含むことを特徴とする、システム。
【請求項１０】
請求項１に記載のシステムであって、前記ビーム操縦組立体が、さらに
前記１つ以上のモータの作動に続いて前記１つ以上のモータに関するエンコーダデータを生成するように構成されることを特徴とする、システム。
【請求項１１】
請求項１０に記載のシステムであって、前記プログラム命令が、さらに
前記エンコーダデータによる前記１つ以上のビーム位置調整に応答した前記１つ以上のモータの前記作動を確認するように構成されることを特徴とする、システム。
【請求項１２】
請求項１に記載のシステムであって、前記ビーム操縦組立体が、
前記１つ以上のモータに結合された少なくとも２つのプリズムを備え、
前記１つ以上のモータを作動させて前記２つのプリズム間の距離を前記１つ以上のモータによって変更することで、前記入射ビームの位置の並進成分を調整して前記補正されたビームを形成し、
前記１つ以上のモータを作動させて前記２つのプリズムの少なくとも１つを前記１つ以上のモータによって傾斜させることで、前記入射ビームの前記位置の照準成分を調整して前記補正されたビームを形成し、
前記１つ以上のモータを作動させて同時に前記１つ以上のモータによって前記２つのプリズム間の前記距離を変更し、前記２つのプリズムの少なくとも１つを傾斜させることで、前記入射ビームのビームサイズを調整して前記補正されたビームを形成することを特徴とする、システム。
【請求項１３】
請求項１に記載のシステムであって、前記ビーム操縦組立体が、
前記１つ以上のモータに結合された反射鏡を備え、
前記反射鏡を前記１つ以上のモータによって変位させることで、前記入射ビームの位置の照準成分を調整して前記補正されたビームを形成することを特徴とする、システム。
【請求項１４】
請求項１に記載のシステムであって、前記ビーム操縦組立体が、
前記１つ以上のモータに結合された少なくとも１つのプリズムを備え、
前記プリズムを前記１つ以上のモータによって回転させることで、前記入射ビームの位置の並進成分を調整して前記補正されたビームを形成することを特徴とする、システム。
【請求項１５】
請求項１に記載のシステムであって、
前記第１の光学要素が伸縮式ビームエクスパンダであり、
前記第２の光学要素が焦点合わせレンズである、
ことを特徴とする、システム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のシステムであって、前記第１の撮像装置および前記第２の撮像装置がカメラであり、各カメラは、前記補正されたビームをｘ方向またはｙ方向の少なくとも１つにおいて測定することができることを特徴とする、システム。
【請求項１７】
請求項１６に記載のシステムであって、前記第１の撮像装置である前記カメラが、前記補正されたビームの位置の並進成分と、前記補正されたビームの前記位置の照準成分とを少なくとも測定し、前記第２の撮像装置である前記カメラが、前記補正されたビームの前記位置の前記照準成分を測定することを特徴とする、システム。
【請求項１８】
請求項１５に記載のシステムであって、前記第１の撮像装置および前記第２の撮像装置の少なくとも１つが、バイセル検出器であり、各バイセル検出器は、前記補正されたビームをｘ方向またはｙ方向において測定することができることを特徴とする、システム。
【請求項１９】
請求項１８に記載のシステムであって、前記第１の撮像装置である前記バイセル検出器が、前記補正されたビームの位置の並進成分と、前記補正されたビームの前記位置の照準成分とを少なくとも測定し、前記第２の撮像装置である前記バイセル検出器が、前記補正されたビームの前記位置の前記照準成分を測定することを特徴とする、システム。
【請求項２０】
請求項１５に記載のシステムであって、さらに
ビーム変調器であって、前記リーク鏡によって反射された前記補正されたビームの第１の部分を受信する、ビーム変調器を備えることを特徴とする、システム。
【請求項２１】
請求項１に記載のシステムであって、前記１つ以上のモータが
直接駆動モータ、ステッパモータ、ブラシレスモータ、圧電モータ、またはサーボモータの少なくとも１つを含むことを特徴とする、請求項１に記載のシステム。
【請求項２２】
請求項１に記載のシステムであって、さらに
前記入射ビームを生成するように構成された少なくとも１つの照明源を備えることを特徴とする、システム。
【請求項２３】
方法であって、
入射ビームを受信するステップと、
ビーム操縦組立体によって、前記入射ビームを調整して補正されたビームを形成するステップと、
前記ビーム操縦組立体に光学的に結合されたビーム監視組立体によって、前記補正されたビームに関する監視データを生成するステップであって、前記監視データは、前記補正されたビームの１つ以上のオフセットパラメータを含む、生成するステップと、を含み、
前記ビーム監視組立体が、
前記ビーム操縦組立体からの前記補正されたビームを受け取り、
前記補正されたビームの第１の部分を反射し、
前記補正されたビームの第２の部分を送信する、
ように構成されたリーク鏡と、
前記リーク鏡から送信された前記補正されたビームの前記第２の部分を受け取り、
前記補正されたビームの第３の部分を少なくとも第１の光学要素を通して第１の撮像装置に送信し、
前記補正されたビームの第４の部分を少なくとも第２の光学要素を通して第２の撮像装置に反射する、
ように構成されたビーム分割器と、を備え、
前記補正されたビームの前記第３の部分と前記補正されたビームの前記第４の部分とが、前記補正されたビームの前記第２の部分から形成され、
前記補正されたビームの１つ以上のゼロパラメータを記憶するステップと、
前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の少なくとも１つの差違を算出するステップと、
前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記少なくとも１つの差違に基づいて、前記入射ビームの１つ以上のビーム位置調整を決定するステップと、
前記ビーム操縦組立体に１つ以上のモータ駆動装置を介して指示して、前記１つ以上のビーム位置調整に基づいて１つ以上のモータを作動させて前記入射ビームを調整して前記補正されたビームを形成するステップと、を含むことを特徴とする、方法。
【請求項２４】
請求項２３に記載の方法であって、前記補正されたビームの前記１つ以上のオフセットパラメータが、
前記補正されたビームのオフセット位置のオフセット照準成分、前記補正されたビームの前記オフセット位置のオフセット並進成分、オフセットビームサイズ、またはオフセットビームブリージングデータの少なくとも１つを含むことを特徴とする、方法。
【請求項２５】
請求項２４に記載の方法であって、前記補正されたビームの前記オフセット位置の前記オフセット照準成分、前記補正されたビームの前記オフセット位置の前記オフセット並進成分、前記オフセットビームサイズ、または前記オフセットビームブリージングデータの少なくとも１つが、ｘ方向成分またはｙ方向成分の少なくとも１つを含むことを特徴とする、方法。
【請求項２６】
請求項２３に記載の方法であって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータが、
前記補正されたビームのゼロ位置のゼロ照準成分、前記補正されたビームの前記ゼロ位置のゼロ並進成分、ゼロビームサイズ、またはゼロビームブリージングデータの少なくとも１つを含むことを特徴とする、方法。
【請求項２７】
請求項２６に記載の方法であって、前記補正されたビームの前記ゼロ位置の前記ゼロ照準成分、前記補正されたビームの前記ゼロ位置の前記ゼロ並進成分、前記ゼロビームサイズ、または前記ゼロビームブリージングデータの少なくとも１つが、ｘ方向成分またはｙ方向成分の少なくとも１つを含むことを特徴とする、方法。
【請求項２８】
請求項２３に記載の方法であって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記差違を算出するステップが、前記補正されたビームのゼロ位置のゼロ照準成分と、前記補正されたビームのオフセット位置のオフセット照準成分との間の照準差違を算出するステップを含むことを特徴とする、方法。
【請求項２９】
請求項２３に記載の方法であって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記差違を算出するステップが、前記補正されたビームのゼロ位置のゼロ並進成分と、前記補正されたビームのオフセット位置のオフセット並進成分との間の並進差違を算出するステップを含むことを特徴とする、方法。
【請求項３０】
請求項２３に記載の方法であって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記差違を算出するステップが、ゼロビームサイズとオフセットビームサイズとの間のビームサイズ差違を算出するステップを含むことを特徴とする、方法。
【請求項３１】
請求項２３に記載の方法であって、前記補正されたビームの前記１つ以上のゼロパラメータと前記１つ以上のオフセットパラメータとの間の前記差違を算出するステップが、ゼロビームブリージングデータとオフセットビームブリージングデータとの間のビームブリージングデータ差違を算出するステップを含むことを特徴とする、請求項２３に記載の方法。
【請求項３２】
請求項２３に記載の方法であって、さらに
前記１つ以上のモータの作動に続いて前記１つ以上のモータに関するエンコーダデータを生成するステップを含むことを特徴とする、方法。
【請求項３３】
請求項３２に記載の方法であって、さらに
前記エンコーダデータに基づいて前記１つ以上のモータの前記作動を確認するステップを含むことを特徴とする、方法。
【請求項３４】
請求項２３に記載の方法であって、前記ビーム操縦組立体が
前記１つ以上のモータに結合された少なくとも２つのプリズムを備え、
前記１つ以上のモータを作動させて前記２つのプリズム間の距離を前記１つ以上のモータによって変更することで、前記入射ビームの位置の並進成分を調整して前記補正されたビームを形成し、
前記１つ以上のモータを作動させて前記２つのプリズムの少なくとも１つを前記１つ以上のモータによって傾斜させることで、前記入射ビームの前記位置の照準成分を調整して前記補正されたビームを形成し、
前記１つ以上のモータを作動させて同時に前記１つ以上のモータによって前記２つのプリズム間の前記距離を変更し、前記２つのプリズムの少なくとも１つを傾斜させることで、前記入射ビームのビームサイズを調整して前記補正されたビームを形成することを特徴とする、方法。
【請求項３５】
請求項２３に記載の方法であって、前記ビーム操縦組立体が、
前記１つ以上のモータに結合された反射鏡を備え、
前記反射鏡を前記１つ以上のモータによって変位させることで、前記入射ビームの位置の照準成分を調整して前記補正されたビームを形成することを特徴とする、方法。
【請求項３６】
請求項２３に記載の方法であって、前記ビーム操縦組立体が、
前記１つ以上のモータに結合された少なくとも１つのプリズムを備え、
前記１つ以上のモータによって前記プリズムを回転させることで、前記入射ビームの位置の並進成分を調整して前記補正されたビームを形成することを特徴とする、方法。
【請求項３７】
請求項２３に記載の方法であって、
第１の光学要素が伸縮式ビームエクスパンダであり、
前記第２の光学要素が焦点合わせレンズである、
ことを特徴とする、方法。
【請求項３８】
請求項３７に記載の方法であって、前記第１の撮像装置および前記第２の撮像装置がカメラであり、各カメラは、前記補正されたビームをｘ方向またはｙ方向の少なくとも１つにおいて測定することができることを特徴とする、方法。
【請求項３９】
請求項３８に記載の方法であって、前記第１の撮像装置である前記カメラが、前記補正されたビームの位置の並進成分と、前記補正されたビームの前記位置の照準成分とを少なくとも測定し、前記第２の撮像装置である前記カメラが、前記補正されたビームの前記位置の前記照準成分を測定することを特徴とする、方法。
【請求項４０】
請求項３７に記載の方法であって、前記第１の撮像装置および前記第２の撮像装置の少なくとも１つが、バイセル検出器であり、各バイセル検出器は、前記補正されたビームをｘ方向またはｙ方向において測定することができることを特徴とする、方法。
【請求項４１】
請求項４０に記載の方法であって、前記第１の撮像装置である前記バイセル検出器が、前記補正されたビームの位置の並進成分と、前記補正されたビームの前記位置の照準成分とを少なくとも測定し、前記第２の撮像装置である前記バイセル検出器が、前記補正されたビームの前記位置の前記照準成分を測定することを特徴とする、方法。
【請求項４２】
請求項３７に記載の方法であって、前記ビーム監視組立体が、さらに
前記リーク鏡によって反射された前記補正されたビームの前記第１の部分を受信する、ビーム変調器を備えることを特徴とする、方法。
【請求項４３】
請求項２３に記載の方法であって、前記１つ以上のモータが、
直接駆動モータ、ステッパモータ、ブラシレスモータ、圧電モータ、またはサーボモータの少なくとも１つを含むことを特徴とする、方法。
【請求項４４】
請求項２３に記載の方法であって、前記入射ビームが、前記入射ビームを生成するように構成された照明源から受信されることを特徴とする、方法。