(57)【要約】  この発明は、プリント基板等に放射線を照射することで、それの欠陥を非接触的に検査するための放射線画像撮像装置に関し、そこで使用されるＣＣＤの放射線暴露による装置自体の信頼性、保全性の劣化に対処する。被写体３を透過した放射線２より照射されたシンチレータ４からの可視光線５が光学プリズム系６ａにより、偏向されて垂直下方に向かう。シンチレータ４、光学プリズム系６ａが放射線防護壁９に囲まれて、「放射線に暴露される領域」１０が形成される。垂直下方に向かった可視光線５は、放射線防護壁９の可視光線通過開口６ｂ経由で放射線防護壁９外部に進行し、そこに着脱可能に組み付けられた鏡筒７ａ内の「放射線及び外光に暴露されない領域」１１に収納されたＣＣＤ８に到達して画像信号に変換される。ＣＣＤ８の収納された鏡筒７ａ部分は、高額部材が収納される「放射線に暴露される領域」１０から分離して保守交換できる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線源１からの放射線２によって照射される被写体３の下流側に配置され、被写体３を透過した放射線を可視光線に変換する放射線・可視光線変換手段４と；
上記変換された可視光線５を偏向する可視光線偏向手段6a、6bと；
上記放射線・可視光線変換手段4  及び上記可視光線偏向手段6a、6bを取囲んで放射線に暴露される領域１０を画成し且つ可視光線５が通過可能な可視光線通過開口9bを有する放射線防護壁９と；
上記可視光線通過開口9bに着脱可能に組み付けられ、且つ放射線及び外光に暴露されない領域１１を画成する鏡筒7aと；及び
上記鏡筒7a内の放射線及び外光に暴露されない領域１１に配置され、上記可視光線通過開口９ｂ通過の可視光線を画像信号に変換する光電変換撮像手段８とを備えたことを特徴とする 放射線画像撮像装置。
【請求項２】
上記可視光線偏向手段が光学プリズム系6aであることを特徴とする請求項１記載の放射線画像撮像装置。
【請求項３】
上記可視光線偏向手段が光学ミラー系6bであることを特徴とする請求項１記載の放射線画像撮像装置。
【請求項４】
上記光電変換撮像手段8の上流の鏡筒7a内に光学レンズ系７を配置したことを特徴とする請求項1、２又は３記載の放射線画像撮像装置。
【請求項５】
上記放射線・可視光線変換手段４と上記可視光線偏向手段6a、6bとの間に変換された可視光線の波長ごとの偏向修正を施すための修正用光学レンズ系１３を配置したことを特徴とする請求項４記載の放射線画像撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、電子部品を実装するプリント基板や半導体装置内の配線パタンなどの欠陥をＸ線などの放射線の利用により、非可視的に画像化しながら、シンチレータ、イメージングプレート、蛍光板などの放射線・可視光線変換素子により、可視的な画像に変換し、これを、例えば、電荷結合素子（Charge Coupled Device）（以下ＣＣＤと略記する）などの光電変換撮像素子利用の電子カメラないし通常的な光学カメラなどの撮像装置により撮像することで、非接触的に欠陥検査を行うようにした放射線画像撮像装置に関連し、とくに、光電変換撮像素子利用の電子カメラ部分を交換容易にすることで、この部分の信頼性の低下や信頼性上の寿命の短縮化傾向、さらには、技術的寿命の短縮化傾向に対処するための改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従前のこの種の放射線画像撮像装置にあっては、Ｘ線により、被検査体としての基板等の被写体を照射し、被写体の背後に放射線・可視光線変換素子と光電変換撮像素子としてのＣＣＤが、被写体から見て、記載の順に配設されている。これらの放射線・可視光線変換素子とＣＣＤは、一体的にＣＣＤカメラのケーシング内に収納され、ケーシング内部のＣＣＤからケーシングを貫通してケーシング外部に導出された画像信号線経由で慣用的な画像信号がコンピュータを含む画像信号処理装置１２に入力される。画像信処理装置での常法的な画像信号処理により、被写体の可視光線画像がディスプレイ上に表示されて、欠陥の目視検査等に供されると共に、被写体を表す画像信号が記憶媒体に検索読出し可能に保存される。【０００３】
こうした従前装置では、ケーシング内の光電変換撮像素子としてのＣＣＤが放射線・可視光線変換素子と一体的に近接して配置されていることから、放射線・可視光線変換素子を通過した一部のＸ線に対し、ＣＣＤが暴露される。放射線に暴露されたＣＣＤは、放射線環境係数依存の故障率（λ）の増加により、信頼性（ＭＴＢＦ）が低下し、加えて、信頼性上の寿命も短縮化することから、市場での商品的成功が望めなかった。【０００４】
とりわけ、製造ラインでの欠陥検査装置として同形の被検査体を大量に繰り返して検査する場合には、同形画像の繰り返し撮像により、Ｘ線暴露が集中化することで、ＣＣＤの焼き付き損傷を招くことが、深刻な問題であった。【０００５】
こうした放射線暴露に起因するＣＣＤなどの光電変換撮像素子の信頼性（ＭＴＢＦ）ないし信頼性上の寿命（ワイブル分布上のＩＦＲ領域の磨耗故障期間の開始点）の短縮化、さらには焼き付き損傷に対処するための改良構成として、ＣＣＤカメラのケーシング内に収納されるＣＣＤの配置箇所に関し、該ケーシング内で、放射線及び外光に暴露されない領域に選定するようにしたものが特開平１１−２３１０５６号公報に開示されている。【０００６】
かかる開示に係る構成は、図１の側面断面図に示されるように、Ｘ線源１のＸ線２照射方向の下流側には、プリント基板などの被検査体としての被写体３が配置され、該被写体３のＸ線２照射方向のさらになる下流側には、Ｘ線・可視光線（波長）変換素子のシンチレータ４が、ＣＣＤカメラのケーシング９の該被写体に対面する対被写体開口部９ａを遮るように配置されている。対被写体開口部９ａがシンチレータ４で遮られたケーシング９の内部には、該シンチレータ４の略全面に１辺が対面する姿勢で光学プリズム系６ａが配置され、該プリズム６ａの他の１辺がＣＣＤカメラのケーシング９の底面に対面している。上記他の１辺と上記底面との間には、光学レンズ系７とＣＣＤ８が、該プリズムから見て記載の順で、垂直２段に配置されている。ＣＣＤ８からは、図示省略の画像信号線がケーシング９を貫通して、該ケーシング外部の画像信号処理装置１２に延びている。【０００７】
欠陥検査のための画像撮像時には、Ｘ線源１から放射状に進行するＸ線２が被検査体の被写体３を照射し、該被写体３を透過したＸ線２により、欠陥があれば、それを含む被写体３のＸ線画像がシンチレータ４の面上に形成される。上記シンチレータ４面上のＸ線画像は、該シンチレータによる波長変換作用により、可視光線画像に変換されて、該可視光線画像からの可視光線５が対被写体開口部９ａ経由で放射線防護壁としても働くケーシング９内に進入する。このとき、変換された可視光線画像からの可視光線５ばかりではなく、シンチレータ４で可視光線に変換し切れなかった残余のＸ線２ａも一緒にケーシング９内に進入する。可視光線５の方は、光学プリズム系６ａの背面傾斜面６ａａでの反射作用により、略直角に屈折することで、上記光学プリズム系６ａの他の１辺を透過して光学レンズ系７に向かい、ここで収斂、結像作用を受けながらケーシング９の底面から該光学レンズ系に臨むＣＣＤ８に到達する。ここに到達した可視光線５により結像された可視光線画像を表す画像信号が画像信号線経由で画像信号処理装置１２に入力されて、常法的な画像信号処理に供される。一方、上記残余のＸ線２ａの方は、ケーシング９の対被写体開口部９ａからシンチレータ４を透過してＸ線２の放射状の進路の延長線沿いにケーシング９内に進入するが、可視光線５とは違い、光学プリズム系６ａによる反射作用を受けることがないので、そのまま、放射状の進路の延長線沿いの領域に進行することで、ケーシング９内部において、「放射線に暴露される領域」１０を形成する。その半面で、上記残余のＸ線２ａの放射状の進路の延長線沿いの領域から外れた領域には、ケーシング９内部において、「放射線及び外光に暴露されない領域」１１が形成されるので、ケーシング９内部のこうした領域１１に、ＣＣＤを配置することができる。これにより、ＣＣＤのＸ線暴露による既述のさまざまな弊害が解消できると主張されるものである。【０００８】
しかしながら、こうした特開平１１−２３１０５６号公開公報が発明として主張する構成において、同号公開公報の開示事項により説明（支持）されている「放射線及び外光に暴露されない領域」１１に関しては、ＣＣＤカメラの放射線防護壁としても働くケーシング９内部の空間として、ＣＣＤカメラ自体に対し、一体的に形成されているものである。【０００９】
従って、ケーシング９の外部に配置される画像信号処理装置１２は、漏洩Ｘ線の暴露から十分に保護されるものの、放射線防護壁として働くケーシング９の内部に形成される「放射線及び外光に暴露されない領域」１１に関しては、光学プリズム系６ａないしケーシング９内面からの不測の外乱的反射等による放射線暴露から、十分な暴露防護作用が確保されないので、ＣＣＤのＸ線暴露による既述のさまざまな弊害の解消が不徹底であるばかりか、ＣＣＤへの雑音原因ともなり、画像品質の劣化が当業者において知見されるところでもある。【００１０】
こうしたＣＣＤのＸ線暴露による信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化、焼き付き損傷などの弊害が残存する中では、放射線対策技術の開拓が進んできている光学プリズム系６ａとの相対関係において、ＣＣＤなど半導体製の光電変換撮像素子の信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化に対し、該光電変換素子周りでのＭＴＴＲベースの保全性（Maintainability）を織り込むことで、装置全体の稼働性（Availability）が 支配されることになるが、ケーシング９内に一体的に収納されているＣＣＤ８を部分的に修理するのは、保守作業が非効率的で、ＭＴＴＲが長大化するので、ＣＣＤカメラの装置全体の稼働性の悪化に繋がる。一方で、装置全体の保全性を維持すべく、ＣＣＤカメラの装置全体を交換するのは、ＣＣＤ８のそれに対し、相対的に高価な光学プリズム系６ａの使用可能期間を奪うことになるので、極めて不経済である。【００１１】
それに加えて、ケーシング９内に一体的に収納されている光学レンズ系７に関しては、光学カメラの用途の多様化に対処して、しばしば、設計的に変更される傾向があり、また、同じく、一体的に収納されているＣＣＤ８に関しては、半導体製造技術の日進月歩の向上からの恩恵を受けて、解像度などの撮像性能の点での改良がしばしば施される傾向にあり、両者共、総じて、技術的寿命の点でも、同様に一体的に収納されている光学プリズム系６ａのそれとの相対では、相当に短命であるので、上記したＣＣＤカメラの装置全体の交換が、光学レンズ系７ないしＣＣＤ８の相当に短命な技術的寿命により動機付けられるときは、上記の不経済は、より一層深刻なものとなる。【００１２】
要すれば、特開平１１−２３１０５６号公報開示の発明にも見られるような従前装置にあっては、放射線暴露に対する防護不徹底由来の半導体製光電変換素子の信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化、焼き付き損傷の問題ないし半導体製光電変換撮像素子等の破損時の保全性確保の観点からの不可避的なカメラ装置の全体的交換による不経済の問題、さらにはカメラ装置の設計的多様化由来や半導体製光電変換撮像素子等の性能向上由来の技術的寿命対応のためのカメラ装置の全体的交換による一層深刻な不経済の問題を抱えていた。
【特許文献１】特開平１１−２３１０５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
この発明の課題は、上記従前技術に基づく、半導体製光電変換撮像素子の信頼性の低下、信頼性上の寿命の短縮化、焼き付き損傷の問題ないし保全性確保のためのカメラ装置の全体的交換による不経済の問題、さらには技術的寿命対応のためのカメラ装置の全体的交換による不経済の問題を解決する優れた放射線画像撮像装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明は、上記従前技術による半導体製光電変換撮像素子の信頼性を巡る問題点とカメラ装置の全体的交換を巡る不経済の問題点に鑑み、放射線・可視光線変換手段４と可視光線偏向手段６ａ，６ｂが放射線防護壁９で取り囲まれるように画成された「放射線に暴露される領域」１０とは別に、放射線防護壁９の可視光線通過開口９ｂに整合する鏡筒開口７ｂを介して放射線防護壁９に対し着脱可能に組み付けられる鏡筒７ａ内に光電変換撮像手段８が取り囲まれるように画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」１１を設けることにより、上記の問題点を解決し、半導体製光電変換撮像手段８の信頼性と寿命に富み、かつ、カメラ装置の全体的交換の不経済を回避できる優れた放射線画像撮像装置を提供するものである。【００１５】
かかる発明の構成は、典型的には、図２に示されるように、被写体３が放射線源１から放射される放射線２により照射されており、放射線・可視光線変換手段４が上記被写体３の放射線２照射方向の下流側に配置されていて、該照射方向の上流側から上記被写体３を透過して入射される放射線２を波長変換し、可視光線として放射し、可視光線偏向手段６ａ，６ｂが上記放射線・可視光線変換手段４で変換されて、そこから放射された可視光線５を偏向し、放射線防護壁９が少なくても、上記放射線・可視光線変換手段４と上記可視光線偏向手段６ａ，６ｂを取り囲んで「放射線に暴露される領域」１０を画成し、その放射防護壁９には、可視光線５の通過可能な可視光通過開口９ｂが設けられており、鏡筒７ａが上記可視光線通過開口９ｂに対し着脱可能に組み付けられて、内部に「放射線及び外光に暴露されない領域」１１を画成し、その「放射線及び外光に暴露されない領域」１１に配置された光電変換撮像素子８が可視光線通過開口９ｂ通過の可視光線５を画像信号に変換するように働くものである。【００１６】
なお、上記構成における上記放射線・可視光線変換手段４に関しては、シンチレータ、イメージングプレート、蛍光板などが随意の選択により採用可能に上市されているが、これらに限られる所以はなく、放射線を波長変換して可視光線に変換できるすべての素子は、ここにいう放射線・可視光線変換手段４に含まれる。また、上記構成での可視光線偏向手段６ａ，６ｂに関しては、光学プリズム系ないし光学ミラー系が択一的選択可能に上市されているが、これらに限られる所以はなく、可視光線の進路を偏向できるすべての要素は、ここにいう可視光線偏向手段６ａ，６ｂに含まれる。近時は、宇宙航空工学の成果利用の観点から、放射性耐性を配慮した製品が開拓されつつある事情が知られている。【００１７】
さらに、上記構成での光電変換撮像手段８に関しては、ＣＣＤないしイメージセンサが随意の選択可能に上市されているが、これに限られる所以はなく、可視光線画像を画像信号に変換できるすべての素子は、ここにいう光電変換撮像手段８に含まれる。かかる素子のうち、半導体製のものは、放射線に対して、脆弱な傾向にあり、放射線耐性の改善努力の事情も知られていないので、ここでは、上記可視光線偏向手段６ａ，６ｂないし上記放射線・可視光線変換手段４のそれとの相対関係において、放射線耐性の劣る光電変換撮像素子が想定されている。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、放射線・可視光線変換手段４と可視光線偏向手段６ａ、６ｂが放射線防護壁９で取り囲まれるように画成された「放射線に暴露される領域」１０とは別に、放射線防護壁９の可視光線通過開口９ｂに対し着脱可能に組み付けられる鏡筒７ａ内に画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」１１に光電変換手段８を配置する構成としたことにより、上記可視光線偏向手段６ａ，６ｂないし上記放射線・可視光線変換手段４のそれとの相対関係において、放射線耐性の劣る光電変換撮像手段８が放射線防護壁９外部の「放射線及び外光に暴露されない領域」１１内で放射線暴露から徹底的に防護されるので、光電変換撮像手段８の信頼性ない信頼性上の寿命を格段に向上（長大化）させることができ、しかも、光電変換撮像手段８の破損時には、鏡筒７ａ部分の交換で済ませることで、カメラ装置の全体的な交換を避けることができるので、信頼性の顕著な向上と経済性の格段の改善が同時的に図れるという優れた効果が奏される。【００１９】
また、この発明によれば、内部に光電変換撮像手段８が取り囲まれるように画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」１１を有する鏡筒７ａ部分に関し、可視光線偏向手段６ａ６ｂと放射線・可視光線変換手段４が放射線防護壁９内部に取り囲まれるように画成された「放射線に暴露される領域」１０を有する装置部分から着脱可能に分離できる構成としたことにより、光電変換撮像手段８の破損時以外の経常時にも、鏡筒７ａ部分の交換が容易であるので、光電変換撮像手段８を含む鏡筒７ａ部分の技術的寿命に柔軟に対処することで、経済性の大幅向上が図れるという優れた効果も奏される。【００２０】
そのうえ、この発明によれば、放射線防護壁６で取り囲まれた「放射線に暴露される領域」１０に収納される可視光線偏向手段６ａ６ｂと放射線・可視光線変換手段４以外の結像用の光学レンズ系をも、該放射線防護壁９に対して着脱可能な鏡筒７ａ内の「放射線及び外光に暴露されない領域」１１に光電変換撮像手段８と一緒に自然に収納できるように構成したことにより、鏡筒７ａに代えて、市販のＣＣＤカメラをそのまま放射線防護壁９の可視光線通過開口９ｂに取り付けることができるので、利便性と経済性がさらに好転するという付随的効果も奏される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、従来例の放射線画像撮像装置の構成を示す断面図である。
【図２】図２は、この発明の第１の実施例の放射線画像撮像装置の構成を示す断面図である。
【図３】図３は、は、この発明の第２の実施例の放射線画像撮像装置の構成を示す断面図である。
【図４】図４は、この発明の第２の実施例の放射線画像撮像装置の構成の変形態様を示す断面図である。
【図５】図５は、この発明の第２の実施例の放射線画像撮像装置の構成の他の変形態様を示す断面図である。
【図６】図６は、この発明の第２の実施例の放射線画像撮像装置の構成の他の変形態様を示す透過斜視である。
【符号の説明】
【００２２】
１  放射線源
２  放射線
３  被写体
４  放射線・可視光線変換手段
５  可視光線
６ａ、６ｂ  可視光線偏向手段
６ａ  光学プリズム系
６ｂ  光学ミラー系
７  光学レンズ系
７ａ  鏡筒
７ｂ  鏡筒開口
８  光電変換撮像手段
９  放射線防護壁
９ａ  対被写体開口部
９ｂ  可視光線通過開口
１０  放射線に暴露される領域
１１  放射線及び外光に暴露されない領域
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
［第１の実施例］
図２の断面図を参照しながら、この発明の第１の実施例の構成と動作を以下に説明するが、図１に現れた符号と同一の符号により図２中で指し示した構成要素は、図１のものと同一である。【００２４】
図２において、Ｘ線源１からのＸ線２照射方向の下流側には、プリント基板などの被検査体としての被写体３が配置され、該被写体３のＸ線２照射方向のさらなる下流側には、放射線・可視光線（波長）変換素子のシンチレータ４が配置されている。上記シンチレータ４の放射線方向のさらなる下流には、該シンチレータ４の略全面に１辺が対面する姿勢で可視光線偏向手段の光学プリズム系６ａが配置され、該プリズム６ａの他の１辺が放射線防護壁としても働くケーシング９の底面に対面している。これらの放射線源１とシンチレータ４と光学プリズム系６ａは、装置本体の放射線防護壁のケーシング９内に一体的に収納されており、該ケーシング９は、該放射線源１と該シンチレータ４と該光学プリズム系６ａを囲い込むようにして「放射線に暴露される領域」１０を画成している。上記光学プリズム系６ａの他の１辺が対面するケーシング９の底面には、可視光線通過開口９ｂが設けられている。上記可視光線通過開口９ｂに臨んで、着脱可能に鏡筒７ａが組み付けられている。上記鏡筒７ｂの図示の上方は鏡筒開口７ｂとして開放されており、組み付け時には、該鏡筒開口７ｂが、上記可視光線通過開口９ｂに対して、着脱可能に整合する。上記鏡筒７ａの上記鏡筒開口７ｂの周縁部分は、外方に張る出たフランジ７ｃに形成されており、組み付け時には、該フランジ７ｃが、ビスなどの適宜の螺着具７ｄにより、上記可視光線通過開口９ｂ周縁部位のケーシング９に対し、位置決めされて着脱可能に螺着される。上記鏡筒７ａ内部には、光学レンズ系７と光電変換撮像手段のＣＣＤ８が、上記鏡筒開口７ｂから見て記載の順で垂直２段に配置されている。ここで、鏡筒７ａは、上記光学レンズ系７と上記ＣＣＤ８を囲い込むようにして、放射線防護壁として働くケーシング９の外部に「放射線及び外光に暴露されない領域」１１を画成している。上記ＣＣＤ８からは、図示省略の画像信号線がケーシング９を貫通して、該ケーシング外部の画像信号処理装置１２に延びている。【００２５】
欠陥検査のための画像撮像時に、上記シンチレータ４上の可視光線画像からの可視光線５が光学プリズム系６ａの４５°背面傾斜面６ａａでの反射作用により、略直角に屈折することで、上記光学プリズム系６ａの他の１辺を透過して光学レンズ系７に向かうまでの動作は、図１の構成の場合と同じである。上記光学レンズ系７に向かった可視光線５は、可視光線通過開口９ｂと鏡筒開口７ｂを通過して、さらに、鏡筒７ａ内の光学レンズ系７で収斂、結像作用を受けながら進行し、放射線防護壁として働くケーシング９外部に画成された「放射線及び外光に暴露されない領域」１１内に該鏡筒７ａの端面から該鏡筒開口７ｂに臨む姿勢で配置されているＣＣＤ８に到達する。以降の動作は、図１の構成の場合と同じである。一方、放射線源１から被写体３外に漏洩放射される余分のＸ線やシンチレータ４で可視光線に変換し切れなかった残余のＸ線２ａは、放射線防護壁として働くケーシング９内に限定的に画成された「放射線に暴露される領域」１０内に封じ込められるものである。【００２６】
［第２の実施例］
図３の断面図を参照しながら、この発明の第２の実施例の構成と動作を以下に説明するが、図２に現れた符号と同一の符号により図３中で指し示した構成要素は、図２のものと同一である。【００２７】
第２の実施例の構成にあっては、可視光線偏向手段６ａ、６ｂに関し、図２に示される第１の実施例において採用されている光学プリズム系６ａに代えて、光学ミラー系６ｂが採用されている。その他の構成は、図２に示される第１の実施例の構成と同じである。【００２８】
欠陥検査のための画像撮像時には、上記シンチレータ４上の可視光線画像からの可視光線５が光学ミラー系６ｂの４５°傾斜面６ｂｂでの反射作用により、略直角に屈折することで、鏡筒７ａ内の光学レンズ系７に向かう。その他の動作は図２に示される第１の実施例の構成の場合と同じである。【００２９】
図４は、上記第２の実施例の構成に修正用光学レンズ系１３を付加する点の変形態様の構成を示す断面図であり、ケーシング９内部の「放射線に暴露される領域」１０内に配置されているシンチレータ４と光学ミラー系６ｂとの間に、修正用光学レンズ系１３が付加的に挿入配置されている。図３に現れた符号と同一の符号により図４中で指し示した構成要素は、図３のものと同一である。【００３０】
欠陥検査のための画像撮像時に、上記シンチレータ４から上記光学ミラー系６ｂに向かう可視光線５に関し、予め、波長ごとの偏向修正を施すことで、該光学ミラー系６ｂの４５°傾斜面６ｂｂでの波長ことの反射角度のずれを修正する動作が付加される。ここで追加挿入される修正用光学レンズ系１３も、鏡筒７ａ部分との相対で、コストの嵩む傾向にあるので、該鏡筒７ａ部分の交換で済ませることの経済的実益がこの実施態様により増強される。【００３１】
その他の構成と動作は、図３の第２の実施例の構成の場合と同じでる。【００３２】
なお、例えば、図３の構成におけるケーシング９は、放射線源１や被写体３をも囲み込んで封じ込めるようなものである必要はなく、図５に示されるように、ケーシング９の被写体開口部９ａａから、被写体３を部分的に外部に露出させることで、被写体３の交換作業時における該被写体３へのアクセスの利便性を改善するのは随意である。こうした改善の実施態様にあっても、放射線防護壁として働くケーシング９の外部に装着された鏡筒７ａ内には、「放射線及び外光に暴露されない領域」１１が画成されて、その領域内でＣＣＤ８が信頼的、かつ、保全容易に稼働する。【００３３】
図６は、第３図に示された上記第２の実施例の構成の４個を一体的に連結した構成の実施態様である。図３に現れた符号と同一の符号により図６ないし図５中で指し示した構成要素は、図３のものと同一である。ケーシング９内には、１個の放射線源１に対し、Ｘ線２下流で対面する大型の被写体３とさらなる下流で該被写体３に対面する大型のシンチレータ４が配置されている。上記大型のシンチレータ４からの可視光線５下流には、４個の光学ミラー系６ｂが、上記シンチレータ４のＸ線照射面を上下、左右に２等分する４個の可視光線画像区分対応で、上下２段左右２列に配置されている。上記４個の可視光線画像区分の上段の２個には、互いに左右反対向きに傾斜する２個の４５°傾斜面６ｂｂＵＬ、６ｂｂＵＲが対面しており、下段の２個には、同じく互いに左右反対向きに傾斜する２個の４５°傾斜面６ｂｂＤＬ、６ｂｂＤＲが対面している。放射線防護壁としても働くケーシング９内には、こうした放射線源１、シンチレータ４、光学ミラー系６ｂを一体的に格納するような大型の「放射線に暴露される領域」１０が画成されている。上記光学ミラー系６ｂの４個の４５°傾斜面６ｂｂＵＬ、６ｂｂＵＲ、６ｂｂＤＬ、６ｂｂＤＲの各々に対応するケーシング９の部位には、各別に４個の可視光線通過開口９ｂが設けられており、該４個の可視光線通過開口９ｂには、各別に４個の鏡筒開口７ｂが整合するような姿勢で、鏡筒７ａが着脱可能に組み付けられている。【００３４】
欠陥検査のための画像撮像時には、シンチレータ４上の４個の可視光線画像区分からの可視光線５が図３の構成の４個分の並列的動作により、４個の鏡筒７ａ内の４個の「放射線及び外光に暴露されない領域」１１に各別に配置された４個のＣＣＤ８からの４個の画像信号が画像信号処理装置１２に入力されて、ここで、１個の画像に合成される。こうした実施態様では、ケーシング９内に収納されるシンチレータ４が大型のものとなり、４個の４５°傾斜面６ｂｂＵＬ、６ｂｂＵＲ、６ｂｂＤＬ、６ｂｂＤＲを備えた光学ミラー系６ｂも、複雑高度のものとなる。従って、両者共に、鏡筒７ａ部分との相対では、コストの非常に嵩むものになるので、該鏡筒７ａ部分の交換で済ませることの経済的実益が殊更に増強される。４個のＣＣＤ８を含めて４個の鏡筒部分７ｂ自体の大型化が回避できるので、鏡筒７ｂ部分の個別の信頼性と保全性に対し、大型化の代償しての大幅な犠牲を課すことがないという実益もある。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
この発明は、信頼性高く、保全性に優れた放射線画像撮像装置を提供するので、産業上の利用可能性は絶大である。
【図１】
2006049183.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
2006049183.tif 000008
2006049183.tif 000009