【手続補正書】
【提出日】令和2年4月3日(2020.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨ステーション内での基板の表面の研磨の前又は後に基板を保持するための支持体、
検出器要素のアレイ、及び前記検出器要素のアレイの上に前記基板の視野を投影するための焦点調節光学素子を有するカラーカメラ、並びに
前記カメラから色データを受信し、前記色データから二次元色画像を生成し、前記色画像を色相・彩度・輝度色空間に変換し、前記色相・彩度・輝度色空間内の前記色画像からの色相値及び彩度値をそれぞれの色相閾値及び彩度閾値と比較して閾値処理された画像を生成する、ように構成された、コントローラを備える、計測システム。
【請求項２】
前記コントローラが、前記閾値処理された画像内の画素がオンかオフかを判定することにおいて、前記色相・彩度・輝度色空間内の前記色画像からの輝度値を閾値と比較しないように構成されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
指示命令がエンコードされた、非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記指示命令が、プロセッサに
基板の画像の色相・彩度空間内のグラフをディスプレイ上で表示させ、
クリックして前記グラフ内の第１の位置から第２の位置へドラッグすることによって前記グラフの一部分を選択するユーザ入力を受け付けさせ、並びに
前記第１の位置と前記第２の位置に基づいて、上側色相限界、下側色相限界、上側彩度限界、及び下側彩度限界を生成させる、コンピュータプログラム製品。
【請求項４】
研磨パッドを支持するためのプラテンを含む研磨ステーション、
基板を保持するための支持体、
前記研磨ステーション内の前記基板の表面を研磨する前又は研磨した後で前記基板を測定するインライン計測ステーションであって、
前記基板の走査中に前記基板の前記表面に平行な第１の軸に沿って配置され、且つカラーライン走査カメラの視野が射影歪みなく前記基板の幅に及ぶように前記基板の幅にわたる検出器要素を有するカラーライン走査カメラと、
前記第１の軸に平行な長手方向軸を有し、前記基板の走査中にゼロではない入射角において前記基板に光を向けるように且つ前記基板の幅にわたる直線的な細長い領域を照らすように構成された、細長い白色光源と、
前記光源と前記カメラを支持するフレームと、
前記光源と前記カメラに前記基板全体を走査させるために前記第１の軸とは垂直な第２の軸に沿って前記フレームと前記支持体との間の相対的な動きをもたらすモータと、を含むインライン計測ステーション、及び
前記カメラから色データを受信し、前記色データから二次元色画像を生成し、前記色画像に基づいて前記研磨ステーションにおける研磨を制御するように構成されたコントローラを備える、研磨システム。
【請求項５】
前記光源と前記基板との間の光の経路内にディフューザーを備える、請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記基板と前記カメラとの間の光経路内に円偏光子を備える、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記支持体が、前記研磨パッドに接触するように前記基板を保持するためのキャリアヘッドを備え、前記インライン計測ステーションが、前記研磨ステーションと別の１つの研磨ステーション又は移送ステーションのうちの一方との間に配置されている、請求項４に記載のシステム。
【請求項８】
前記支持体が、移送ロボットを備え、前記インライン計測ステーションが、カセットインターフェースユニット内に配置されている、請求項４に記載のシステム。
【請求項９】
指示命令がエンコードされた、非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記指示命令が、一又は複数のプロセッサに、
色空間の軸として第１の色チャネルと第２の色チャネルを含む一対の色チャネルを有する二次元色空間内のエリアの境界を示すデータを記憶させ、
基板の色データをカメラから受信させ、
前記色データから前記基板の色画像を生成させ、
前記色画像の複数のピクセルの各ピクセルについて、前記二次元色空間内の前記エリアの前記境界に対する、前記ピクセルに関する前記一対の色チャネルについての一対の色値の比較を実行させ、前記一対の色値が前記境界によって提供された閾値を満たすかどうかを決定させ、
前記複数のピクセルに関する前記比較の結果に基づき、オペレータへの信号を生成させる、非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１０】
前記指示命令が、前記閾値を満たさない前記色画像内のピクセルの数を数えて且つ前記ピクセルの数を第２の閾値と比較させることを含む、請求項９に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１１】
前記指示命令が、前記基板上の一または複数の領域を特定する画像マスクを記憶させることを含み、前記複数のピクセルが前記画像マスクによって特定される前記領域内のピクセルである、請求項１０に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１２】
前記指示命令が、前記画像マスクで特定される一または複数の領域の全てにおけるピクセルの総数を数えさせ、且つ前記総数を前記第２の閾値と比較させることを含む、請求項１１に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１３】
前記一又は複数の領域が、前記基板上の一又は複数のダイに対応する、請求項１１に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１４】
前記指示命令が、前記画像マスクで特定される前記一又は複数の領域の各領域についてピクセルの総数を数えさせ、且つ各領域の前記総数を前記第２の閾値と比較させることを含む、請求項１３に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１５】
前記指示命令が、あるダイに対応する領域についてピクセルの前記総数が前記第２の閾値を超えている場合、前記ダイが使用不可能であることを示すデータファイルを記憶させることを含む、請求項１４に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１６】
前記指示命令が、前記ピクセルの数が前記第２の閾値を超えている場合、オペレータへの警告を生成させるか、または前記基板を再作業に送らせることを含む、請求項１０に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１７】
前記一対の色チャネルが、輝度チャネルを含まない、請求項９に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１８】
指示命令がエンコードされた、非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記指示命令が、プロセッサに、
色空間の軸として第１の色チャネルと第２の色チャネルを含む一対の色チャネルを有する二次元色空間のグラフをディスプレイ上で表示させ、ここで前記グラフは前記二次元色空間に関する基板の画像のヒストグラムを提供するものであり、
前記グラフの一部を選択するユーザ入力を受け付けさせ、ここで前記ユーザ入力はクリックして前記グラフ内の第１の位置から第２の位置へドラッグすることを含み、
前記二次元色空間内のエリアの境界を示すデータを、前記ユーザ入力に基づいて生成させ、前記エリア内の一対の色値を有する前記画像のピクセルは、前記基板の対応する位置が厚さ要件を満たすことを示す、非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１９】
前記指示命令が、
第２の基板の色データをカメラから受信させ、
前記色データから前記第２の基板の色画像を生成させ、
前記色画像の複数のピクセルの各ピクセルについて、前記二次元色空間内の前記エリアの前記境界に対する、前記ピクセルに関する前記一対の色チャネルについての一対の色値の比較を実行させ、前記一対の色値が前記境界によって提供された閾値を満たすかどうかを決定させ、
前記複数のピクセルに関する前記比較の結果に基づき、オペレータへの信号を生成させることを含む、請求項１８に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項２０】
前記一対の色チャネルが、輝度チャネルを含まない、請求項１８に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。