【事件の表示】
　特願２００９−５１４５３８「電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１２月１３日国際公開、ＷＯ２００７／１４３７３４、平成２１年１１月１９日国内公表、特表２００９−５４０５１１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　
　本願は、２００７年６月７日（優先権主張２００６年６月７日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成２５年９月１０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２６年１月１８日に審判請求がなされたものである。
　その後、当審において、平成２７年２月３日付けで拒絶理由が通知され、これに対し、平成２７年６月２１日付けで意見書が提出され、同時に手続補正がなされた。
　
　
第２　本願発明について
１．本願発明
　本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２７年６月２１日付けの手続補正により補正された、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
 
「サンプルを保持するサンプルホルダと、
　前記サンプルの第１の領域の第１の倍率の光学画像を記録する光学カメラであって、前記光学画像が記録されている間、前記サンプルが真空領域の外部の前記サンプルホルダ内に位置決めされる、光学カメラと、
　前記サンプルが前記サンプルホルダ内に位置決めされている間に、前記サンプルの第２の領域の第２の倍率で電子画像を形成する電子顕微鏡であって、前記第２の倍率が前記第１の倍率よりも大きく、前記第２の領域が前記第１の領域の一部である、電子顕微鏡と、
　ディスプレイとを備え、
　前記ディスプレイが、
　第１の画像ウィンドウ内の前記光学画像と、
　前記第１の画像ウィンドウ内の前記光学画像上に重ね合わされる第１のインジケータであって、ユーザが前記電子画像に対応する前記サンプル上の位置を判断できるように、前記光学画像内の前記第２の領域の前記電子画像の位置を示す第１のインジケータと、
　第２の画像ウィンドウ内の前記電子画像と、
　第３の画像ウィンドウ内の第３の領域の電子オーバービュー画像と、
　前記第３の画像ウィンドウ内の前記電子オーバービュー画像上に重ね合わされる第２のインジケータとを表示し、
　前記電子オーバービュー画像が前記第２の倍率未満で前記第１の倍率より大きい倍率を有し、前記第３の領域が前記第１の領域の一部であって前記第２の領域よりも大きく、前記第２のインジケータが、前記電子オーバービュー画像内の前記第３の領域上に前記第２の領域の位置を示す、電子顕微鏡システム。」
　
２．引用刊行物
（１）引用文献１
　当審で通知した拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開昭５９−３３７４４号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている。（下線は、当審が付した。） 
　
（ａ）「本発明は
走査電子顕微鏡等の試料走査像表示装置
　
（ｂ）「最近
走査電子顕微鏡の試料走査像表示装置として異った倍率の複数の走査像を単一又は複数の陰極線管画面に表示するタイプのものが使用されているが、その装置構成の概略を示したものが第１図である。第１図において、１は走査電子顕微鏡の光軸にそって試料２の表面を照射する電子線を示しており、電子線照射によって試料２から放出される２次電子等の信号を検出する検出器３の出力は増幅器４と切換回路５を経て陰極線管６又は７の輝度変調用信号として印加される。
低倍率像のための広領域Ｐの走査と高倍率像のための狭領域Ｑの走査が各水平走査毎に交互に行われる
陰極線管６には広領域Ｐの走査が行われている時間のみ検出器３の出力が入力されて、その画面には第３図に示すような低倍率像が表示され、陰極線管７には狭領域Ｑの走査が行われている時間のみ検出器３の出力が入力されて、その画面には第４図に示すような高倍率像が表示される。
陰極線管６，７に表示される低高倍率像の対応関係を明らかにするため、第３図に示す如く低倍率像の中に高倍率像に対応する領域を破線１６で示すこともしばしば行われている。
（ｃ）「第１図の装置において、低倍率像の視野を変えるには、
試料２を載置する試料移動手段１７
低倍率像中の任意の領域が高倍率像として表示されるように調整される。
　
（ｄ）「
第５図は本発明の一実施例装置を示す略図であり、第１図と同一符号を付したものは同一構成要素を表しているものとする。
　尚、本発明は第５図の実施例装置に限定されるものではなく、例えば
低倍率像と高倍率像を陰極線管６，７のように互いに異った二つの画像表示手段に表示する代わりに単一の陰極線管の画面を二つに分割し、夫々の分割画面を低高倍率像表示用の画像表示手段として用いる
　
（ｅ）「第１図
第２図
第３図
第４図
第５図
第６図
 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」 
　
（ｆ）上記記載事項（ｂ）〜（ｄ）の記載、及び、上記記載事項（ｅ）の第５図の記載から、走査電子顕微鏡は、試料２が試料移動手段１７に載置され位置決めされている状態において、低倍率像のための広領域Ｐの走査と高倍率像のための狭領域Ｑの走査が各水平走査毎に交互に行い、低高倍率で電子画像を形成するものであることは明らかである。
　
（ｇ）上記記載事項（ｄ）に記載の「単一の陰極線管の画面を二つに分割し、夫々の分割画面を低高倍率像表示用の画像表示手段として用い」た構成においては、一方の分割画面には低倍率像が表示され、他方の分割画面には高倍率像が表示されることは明らかである。
　
　すると、上記引用文献１の記載事項から、引用文献１には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
「試料２を載置する試料移動手段１７を有する走査電子顕微鏡と、
単一の陰極線管を備え、
走査電子顕微鏡は、試料２が試料移動手段１７に載置され位置決めされている状態において、低倍率像のための広領域Ｐの走査と高倍率像のための狭領域Ｑの走査が各水平走査毎に交互に行い、低高倍率で電子画像を形成するものであり、
単一の陰極線管は、画面を二つに分割し、夫々の分割画面を低高倍率像表示用の画像表示手段として用い、一方の分割画面には低倍率像が表示され、他方の分割画面には高倍率像が表示され、
低倍率像中の任意の領域が高倍率像として表示されるように調整され、
表示される低高倍率像の対応関係を明らかにするため、低倍率像の中に高倍率像に対応する領域を破線１６で示す、
試料走査像表示装置。」
　
（２）引用文献２
　当審で通知した拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開平１０−３８７５号公報（以下「引用文献２」という。）には、以下の事項が記載されている。（下線は、当審が付した。） 
　
（ａ）「【０００３】
従来、走査電子顕微鏡の視野選択を容易にする方法として、電子顕微鏡内部に低倍率の光学顕微鏡を組込み、その低倍率の光学顕微鏡で視野選択を行った後に選択された視野を電子顕微鏡で拡大する方法
　
（ｂ）「【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、
光学的撮像手段による低倍率の試料像に走査電子顕微鏡内の試料位置と倍率に応じた観察枠を重ねて表示
　
（ｃ）「【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳述する。
図１は、本発明による走査顕微鏡の一例を示す模式図である。
７は試料から発生する二次電子等の信号を検出する検出器、８ａは検出器７からの検出信号をデジタル化し画像データとして記憶するための画像メモリ、８ｂは後述する光学的撮像装置によって撮像された試料の光学像を記憶するための画像メモリである。
１１は画像メモリ８ａと８ｂからの画像信号を切替えるための切替回路、１２は画像表示装置、１３は試料の光学像を撮像するための光学顕微鏡等を備えた撮像装置を示している。
　
（ｄ）「【００１３】図２及び図３は試料室と撮像装置の位置関係を説明する図であり、
図２は試料室内に挿入された試料を走査電子顕微鏡で観察している状態を示し、図３は試料を試料室外に取り出して撮像装置によって試料の光学像を撮像している状態を示している。撮像装置１３は、低倍率で試料の光学像を撮像できるもの
【００１４】走査電子顕微鏡による試料観察時には、図２に示すように、試料室４は蓋部３２が閉じられて内部が高真空に排気される。蓋部３２に固定された試料移動ステージ６を、蓋部の反対側に取り付けられたステージ駆動モータ３１で駆動することにより、電子ビーム１に対して試料５を視野移動することができる。撮像装置１３による試料５の光学像撮像時には、図３に示すように、試料室４を開放して試料５を大気中に取り出す。試料室４には案内レール３３が固定され、蓋部３２は軸受部３４を介してこの案内レール３３に沿って移動することができる。蓋部３２を案内レール３３に沿って試料室４から離すと、試料移動ステージ６及びその上の試料５も蓋部３２とともに移動して試料室外に取り出される。そして、撮像装置１３が取り付けられたアーム３６を蓋部３２に固定された回転軸３５の回りに回転させると、撮像装置１３は試料５の真上に位置する。
【００１５】ここで、図２の状態での走査電子顕微鏡による画像取り込み位置（電子ビーム１の照射位置）と、図３の状態での撮像装置１３による画像取り込み位置（撮像装置１３の光軸位置）が正確に一致するように、アーム３６の長さ及び回転軸３５の回りの回転角は精密に設計されている。したがって、図３のように試料室外で試料５の光学像を撮像し、そのまま図２のように蓋部３２を閉め、走査電子顕微鏡の倍率を撮像装置１３と同じ倍率に設定して試料５の走査電子顕微鏡像を観察すると、撮像装置１３によって得られた光学像と同一視野の電子顕微鏡像が得られる。」
　
（ｅ）「【００１６】次に、この走査電子顕微鏡による視野選択の方法について説明する。まず、図３に示すように、試料移動ステージ６上に載置された試料５を撮像装置１３の下方に位置づけ、大気中にて撮像装置１３で撮像された画像を表示装置１２に表示する。オペレータは、表示装置１２に表示された試料の低倍の光学像を見ながら、目的とする観察視野範囲を広く選択する。この大雑把な観察視野の選択は、制御回路１０によってステージ駆動モータ３１を駆動制御することで試料移動ステージ６を位置決めして、撮像装置１３の光軸に対して試料５を移動させることで行うことができる。
【００１７】ここで図４に示すように、試料ステージ６上に設けられた試料を載置する試料台６ａの中心点に印をつけておき、この試料台６ａの中心点を表示装置１２の中心位置（表示中心）に合わせたときの試料ステージ６のＸ，Ｙ座標を原点（Ｘ０，Ｙ０）に校正する。その上で、ステージ駆動モータ３１の回転軸上のロータリエンコーダにより回転量（パルス数）を制御回路１０で計測し、そのパルス数から試料の移動量に変換した現在値座標を表示装置１２に表示する。
【００１８】次に、目的の試料５を試料ステージ６の試料台６ａの上に乗せ、
表示装置１２に試料５の光学画像を表示する。
撮像装置１３で得られる画像は、電子顕微鏡の画像に比べ倍率を低くでき、試料５の全体像が得られることや、色情報が含まれていることにより、目的視野の認識が容易である。
【００１９】次に、図２に示しように、蓋部３２を閉じて試料移動ステージ６と試料５を試料室４の内部に挿入し、試料室４を真空排気した後、目的視野を拡大するため、画像信号切替回路１１を電子顕微鏡の画像に切替え可能状態にする。この後、画像メモリ８ｂから先程記憶した光学画像を呼出して表示装置１２上に表示し、画像上の十字線４１の中心をマウス等でポイントすると、その表示中心からの横方向の画素量をＨ１、縦方向の画素量をＶ１として、（Ｘ１−Ｘ０）／Ｈ１、（Ｙ１−Ｙ０）／Ｖ１から、画素に対する移動量が求まる。光学画像と電子顕微鏡画像を全画面内で詳細に一致させるためには、十字線４１の中心座標から十字線４２の中心座標までを移動させ、同様に画素と移動量（座標値）を求めることで視野のずれを補正できる。
このように一度合わせた後は、上記の光学画像上に観察枠を重ねて表示し、その観察枠を視野領域とするために必要な試料ステージの移動量及び倍率を演算し、制御回路１０はその演算結果に基づいて偏向コイル２及びステージ駆動モータ３１を制御することで観察枠で囲まれた部分に対応する電子顕微鏡の画像に切替えることができる。
【００２０】図６の左に光学画像上に観察枠１４を表示した状態の図を示し、右にその条件で切替えた電子顕微鏡の画像を示す。観察枠１４の入力は、マウスやキーボード等の入力手段２０を用いて、表示装置１２の表示画面上に表示される枠を観察しながら枠１４の位置、大きさを指し示すことで行われる。観察枠１４に対応した倍率を合わせるためには、図６で示すように表示装置１２の表示エリア全体の横方向の長さをＡ、縦方向の長さをＢとして、観察枠の横方向長さをＡ′、縦方向長さをＢ′とすると、電子顕微鏡の設定倍率は、（Ａ／Ａ′）×５倍に設定すれば良い。ここでは撮像装置１３の倍率を５倍としたが、倍率をαとして１〜１０倍の任意値とすると、（Ａ／Ａ′）×α倍に電子顕微鏡の倍率を設定しても構わない。ここで観察枠の縦横比Ａ′／Ｂ′は、表示エリアの縦横比Ａ／Ｂになるように観察枠入力時に自動的に設定されるようにする。」
　
（ｆ）「【００２２】ここでは光学像と電子顕微鏡像は、完全に切替わる表示方法としたが、図８に示すように、
表示装置１２の表示エリアを２分割し、一方に撮像装置１３の記憶画像４５を表示し、もう一方に電子顕微鏡の画像４６を同時表示しても良い。
　
（ｇ）「【００２４】
【発明の効果】本発明によると、走査電子顕微鏡等における煩わしい操作の一つである観察視野の選択が容易となり、操作性が向上する。」
　
（ｈ）「【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図８】
 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」 
　
３．対比
（１）本願発明と引用発明との対比
（ａ）引用発明の「試料２」、「走査電子顕微鏡」、「単一の陰極線管」、「広領域Ｐ」、「狭領域Ｑ」、「一方の分割画面」、「低倍率像」、「他方の分割画面」、「高倍率像」、「破線１６」、「走査電子顕微鏡の試料走査像表示装置」は、それぞれ、本願発明の「サンプル」、「電子顕微鏡」、「ディスプレイ」、「第３の領域」、「第２の領域」、「第３の画像ウィンドウ」、「電子オーバービュー画像」、「第２の画像ウィンドウ」、「電子画像」、「第２のインジケータ」、「電子顕微鏡システム」に相当する。
　
（ｂ）引用発明の「試料２を載置する試料移動手段１７」は、試料の固定を要するため、単に試料を載置するだけでなく保持していることは明らかであるから、本願発明の「サンプルを保持するサンプルホルダ」に相当する。
　
（ｃ）引用発明の「試料２が試料移動手段１７に載置され位置決めされている状態において、」「高倍率像のための狭領域Ｑの走査」を「行い」「高倍率で電子画像を形成する」「走査電子顕微鏡」を備え、「低倍率像のための広領域Ｐの走査と高倍率像のための狭領域Ｑの走査」を行う構成と、
本願発明の「前記サンプルが前記サンプルホルダ内に位置決めされている間に、前記サンプルの第２の領域の第２の倍率で電子画像を形成する電子顕微鏡」を備え、「前記電子オーバービュー画像が前記第２の倍率未満で前記第１の倍率より大きい倍率を有し、前記第３の領域が前記第１の領域の一部であって前記第２の領域よりも大き」い構成は、
「前記サンプルが前記サンプルホルダ内に位置決めされている間に、前記サンプルの第２の領域の第２の倍率で電子画像を形成する電子顕微鏡」を備え、「前記電子オーバービュー画像が前記第２の倍率未満で」、「前記第３の領域が」「前記第２の領域よりも大き」い構成で共通する。
　
（ｄ）引用発明の「単一の陰極線管」が、「画面を二つに分割し、夫々の分割画面を低高倍率像表示用の画像表示手段として用い、一方の分割画面には低倍率像が表示され、他方の分割画面には高倍率像が表示され」ることは、本願発明の「ディスプレイ」が、「第２の画像ウィンドウ内の前記電子画像と、」「第３の画像ウィンドウ内の第３の領域の電子オーバービュー画像と、」「を表示」することに相当する。
　
（ｅ）引用発明の「表示される低高倍率像の対応関係を明らかにするため、低倍率像の中に高倍率像に対応する領域を破線１６で示す」ことは、本願発明の「前記第３の画像ウィンドウ内の前記電子オーバービュー画像上に重ね合わされる第２のインジケータとを表示し、」「前記第２のインジケータが、前記電子オーバービュー画像内の前記第３の領域上に前記第２の領域の位置を示す」ことに相当する。
　
（２）一致点
　してみると、両者は、
 「サンプルを保持するサンプルホルダと、
　前記サンプルが前記サンプルホルダ内に位置決めされている間に、前記サンプルの第２の領域の第２の倍率で電子画像を形成する電子顕微鏡と、
　ディスプレイとを備え、
　前記ディスプレイが、
　第２の画像ウィンドウ内の前記電子画像と、
　第３の画像ウィンドウ内の第３の領域の電子オーバービュー画像と、
　前記第３の画像ウィンドウ内の前記電子オーバービュー画像上に重ね合わされる第２のインジケータとを表示し、
　前記電子オーバービュー画像が前記第２の倍率未満で、前記第３の領域が前記第２の領域よりも大きく、
　前記第２のインジケータが、前記電子オーバービュー画像内の前記第３の領域上に前記第２の領域の位置を示す、
　電子顕微鏡システム。」
で一致し、次の点で相違する。 
　
（３）相違点
　本願発明では、
「サンプルの第１の領域の第１の倍率の光学画像を記録する光学カメラであって、前記光学画像が記録されている間、前記サンプルが真空領域の外部の前記サンプルホルダ内に位置決めされる、光学カメラ」を備え、
「前記第２の倍率が前記第１の倍率よりも大きく、前記第２の領域が前記第１の領域の一部であ」り、
「ディスプレイ」が、
「第１の画像ウィンドウ内の前記光学画像と、
前記第１の画像ウィンドウ内の前記光学画像上に重ね合わされる第１のインジケータであって、ユーザが前記電子画像に対応する前記サンプル上の位置を判断できるように、前記光学画像内の前記第２の領域の前記電子画像の位置を示す第１のインジケータと」
を更に表示し、
「電子オーバービュー画像が」「前記第１の倍率より大きい倍率を有し」、「第３の領域が前記第１の領域の一部であ」る
のに対し、
引用発明では、光学カメラを備えておらず、高倍率像の倍率・領域と光学画像の倍率・領域の関係が規定されておらず、陰極線管が光学画像及び光学画像上のインジケータを表示せず、低倍率像の倍率・領域と光学画像の倍率・領域の関係が規定されていない点。
　
４．判断
（１）相違点について
　引用文献２には、試料の光学像を撮像するための光学顕微鏡等を備えた撮像装置１３を有し、二次電子等の信号を検出する検出器７からの検出信号をデジタル化し画像データとして記憶するための画像メモリ８ａ、光学的撮像装置によって撮像された試料の光学像を記憶するための画像メモリ８ｂ、画像メモリ８ａと８ｂからの画像信号を切替えるための切替回路１１、画像表示装置１２、を有する走査顕微鏡が記載されており（【００１０】）、走査電子顕微鏡による試料観察時には、試料室４は蓋部３２が閉じられて内部が高真空に排気されて撮像し、撮像装置１３による試料５の光学像撮像時には、試料室４を開放して試料５を試料室外に取り出して撮像すること（【００１３】）、撮像装置１３で得られる画像は、電子顕微鏡の画像に比べ倍率を低くでき、試料５の全体像が得られること（【００１８】、光学的撮像手段による低倍率の試料像に走査電子顕微鏡内の試料位置と倍率に応じた観察枠を重ねて表示すること（【０００６】）、光学画像上の観察枠を視野領域とする倍率で電子顕微鏡の画像を得ること（【００１９】）、表示装置１２の表示エリアを２分割し、一方に撮像装置１３の記憶画像４５を表示し、もう一方に電子顕微鏡の画像４６を同時表示すること（【００２２】）が記載されている。
　引用発明及び引用文献２記載の技術事項はいずれも走査電子顕微鏡に関するものであり、引用文献２の【０００３】に従来の技術として開示されているように、走査電子顕微鏡に光学顕微鏡を組込み、低倍率の光学顕微鏡で視野選択を行うことは、走査電子顕微鏡の技術分野において一般的に行われてきたことであるから、引用発明において、上記引用文献２に記載された、走査電子顕微鏡が光学顕微鏡を備え、光学像撮像時には試料を試料室外に取り出して撮像する技術事項、電子顕微鏡の画像に比べ倍率の低い光学像を得る技術事項、光学画像上の観察枠を視野領域とする倍率で電子顕微鏡の画像を得る技術事項、表示装置が光学像を表示し、光学像に電子顕微鏡の画像に応じた観察枠を重ねて表示する技術事項、表示装置が光学像と電子顕微鏡の画像を同時表示する技術事項を適用することは、当業者が容易に想到し得るものである。
　また、引用発明の低高倍率の電子画像を同時表示する構成、引用文献２に記載された光学像と電子顕微鏡の画像を同時表示する技術事項に触れた当業者であれば、表示装置に低高倍率の電子画像と光学像とを同時表示する構成とすることは容易である。
　なお、電子顕微鏡の画像に比べ倍率の低い光学像を得る技術事項、光学画像上の観察枠を視野領域とする倍率で電子顕微鏡の画像を得る技術事項を適用することで、上記相違点に係る「前記第２の倍率が前記第１の倍率よりも大きく、前記第２の領域が前記第１の領域の一部である」構成、「電子オーバービュー画像が」「前記第１の倍率より大きい倍率を有し」、「第３の領域が前記第１の領域の一部であ」る構成が得られることは明らかである。
　
（２）効果について
　本願発明が奏し得る効果は、引用発明及び引用文献２記載の技術事項から当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものではない。
　
（３）結論
　したがって、本願発明は、引用発明及び引用文献２記載の技術事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　
第３　むすび 
　したがって、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。