【事件の表示】
　特願２０１３−　２８１１２「光学要素ユニット」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年　７月２５日出願公開、特開２０１３−１４５８９２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続きの経緯 
　本願は、２００６年８月３１日（パリ条約に基づく優先権主張　２００５年９月１３日　米国）を国際出願日として出願された特許２００８−５３０４６７号（以下「原出願」という。）の一部を平成２５年２月１５日に新たな特許出願としたものであって、平成２６年２月２１日付けで拒絶理由が通知され、同年８月２１日付けで意見書が提出されるとともに同日付けで手続補正がなされたが、平成２７年１月６日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年５月１２日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。 
第２　本願発明
　本願請求項１ないし２９に係る発明は、平成２６年８月２１付け手続補正により補正された明細書、特許請求の範囲及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし２９に記載された事項により特定されるものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、以下のとおりのものであると認められる。 
「支持装置と、
　光学要素と、
　光学要素ホルダーとを備えた光学要素ユニットであって、
　前記光学要素ホルダーは、前記支持装置によって、複数の第２結合要素を介して支持され、
　前記第２結合要素は、前記光学要素ホルダーと前記支持装置とを弾性結合することによって変形分離し、
　前記第２結合要素の少なくとも１つは、少なくとも３５ＧＰａ／（ｔ／ｍ−３）のヤング率対密度の比を有するセラミック材料製であり、前記光学要素ホルダー及び前記支持装置の少なくとも一方とモノリシックに形成されている光学要素ユニット。」
第３　引用文献及び引用発明
　原審の拒絶の理由に引用され、原出願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００１−３４３５７６号公報（以下「引用文献」という。）には、以下の事項が記載されている。
１　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学要素の支持構造、および該支持構造を用いて構成された露光装置等の光学装置と、該装置による半導体デバイス等の製造方法に関し、具体的には、レンズ、ミラーなどの光学要素の支持部材及び、このような支持部材による光学要素を用いた高精度な光学装置、例えば半導体集積回路等の製造に用いる露光装置に関する。」
２　「【００７２】この弾性部材の材質は、支持部材１１と同一のものが望ましいが、ステンレスなどのばね用金属部材やジルコニウムなどの非金属類など、他の材質を用いても良い。これは、支持部材１１の剛性が、弾性部材１２に十分勝る場合は、両者の熱膨張率の違いによる熱歪みが全体に与える影響が少ないからである。同様に、弾性部材２２も支持部材２１と同一のものが望ましいが、他の材質を用いても良い。」
３　「【００８５】図６は、３つの弾性部材を配置する場合について説明しているが、この数は望ましくは３つであるが、３つとは限らなく、２つ以上であれば良い。いずれにしても、支持部材５１の周囲に弾性部材５２を等間隔に配置することによって熱歪みによる支持部材５１の偏芯を起こさないようにすることができる。」
４　「【００９０】（実施例４）実施例４を図８を用いて説明する。図８は本発明の実施例４にかかる投影光学系の構成を表す概略図である。図８において、実施例３と同一の符号は同一の部材を表す。重力方向は光軸と一致し、図中の−Ｚ方向である。
【００９１】図８において、
６１はレンズ５を支持する支持部材であり、
、石英とほぼ等しい熱膨張係数を有するニッケル合金であるインバーを用いている。
【００９２】各レンズ５は支持部材５１により３点で支持されているため、重力方向に３θの自重変形が起こるが、鏡筒ユニットを光軸中心に所定の角度だけ回転させてとりつけることにより、自重変形により生じる各レンズの収差を、光学系トータルでキャンセルして、所望の光学性能に調整している。本実施例では、相対的に６０度ずらして取り付けている。
【００９３】このような構造の鏡筒において、環境温度が変化した時に、
弾性部材５２の板状のばね部分が曲げ変形を起こすことによって、支持部材６１と支持部材５３との熱膨張差を吸収し、支持部材６１がほぼ自由に単純膨張、あるいは単純収縮となる変形を起こすことができる
【００９４】本実施例においては、
石英のレンズ５
【００９５】また本実施例ではレンズ５と支持部材６１との接合には接着剤を用いたが、本構成を用いればレンズの周辺部を機械的に押圧することによっても同様の効果を得ることができる。
【００９６】このように本実施例によれば、接着剤の使用を最小限に押さえることができるため、接着剤から発生し光学性能の劣化の原因となる有害なガスを、極小に押さえることが可能で、光学システムの温度安定性のみならず、長期安定性を向上させることができる。」
５　「【０１０３】これらのレンズを支持する支持構造は図１に示す構造となっており、図１において１を石英のレンズ、２を蛍石のレンズとすると、１１はインバーなどの鉄とニッケルを主成分とする合金部材であり、２１は黄銅などの銅と亜鉛とを主成分とする合金部材とするのが適切である。両者共、レンズの熱膨張係数とほぼ同じ熱膨張係数を有する材質を用いることが望ましい。石英レンズ１を支持する支持部材１１としては、酸化マグネシウムと酸化シリコンなどからなるコージライト系のセラミックス材料、あるいはアルミナ、窒化シリコンなどのセラミックス材料、あるいは、商品名ゼロジュールと呼ばれる低熱膨張ガラスなどが適切な材料として選択できる。」
６　図６
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
７　図８
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　図８の符号１は上記４の「石英のレンズ５」であることは明らかであるから、図８より、支持部材５３と、石英のレンズ５と、支持部材６１とを備えたレンズ支持構造が看取できる。
８　上記３の記載と、図８の対称性を考慮すると、図８における弾性部材５２が３つあることは、自明のことである。
　上記１ないし８より、引用文献には、
「支持部材５３と、石英のレンズ５と、支持部材６１とを備えたレンズ支持構造であって、
　支持部材６１は、前記レンズ５を支持し、前記レンズ周辺部を重力方向に支える３個所の突起を１２０度ピッチで有しており、石英とほぼ等しい熱膨張係数を有するニッケル合金であるインバーを用いており、
　３つの弾性部材５２の板状のばね部分が曲げ変形を起こすことによって、前記支持部材６１と前記支持部材５３との熱膨張差を吸収し、前記支持部材６１がほぼ自由に単純膨張、あるいは単純収縮となる変形を起こすことができる、レンズ支持構造。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
第４　本願発明と引用発明との対比 
１　引用発明の「支持部材５３」、「石英のレンズ５」、「支持部材６１」、「レンズ支持構造」、「３つ」及び「弾性部材５２」は、本願発明の「支持装置」、「光学要素」、「光学要素ホルダー」、「光学要素ユニット」、「複数」及び「第２結合要素」に、それぞれ相当する。
２　引用発明の「支持部材６１」は、「支持部材５３」によって、「３つの弾性部材５２」を介して支持されるといえる。
　すると、引用発明の「３つの弾性部材５２の板状のばね部分が曲げ変形を起こすことによって、前記支持部材６１と前記支持部材５３との熱膨張差を吸収し、前記支持部材６１がほぼ自由に単純膨張、あるいは単純収縮となる変形を起こすことができる」ことは、本願発明の「前記光学要素ホルダーは、前記支持装置によって、複数の第２結合要素を介して支持され」ることに相当する。
３　引用発明の「３つの弾性部材５２の板状のばね部分が曲げ変形を起こすことによって、前記支持部材６１と前記支持部材５３との熱膨張差を吸収し、前記支持部材６１がほぼ自由に単純膨張、あるいは単純収縮となる変形を起こすことができる」ことは、本願発明の「前記光学要素ホルダーと前記支持装置とを弾性結合することによって変形分離」することに相当する。
　上記１ないし３より、本願発明と引用発明とは、次の一致点で一致し、相違点で相違している。
＜一致点＞
「支持装置と、
　光学要素と、
　光学要素ホルダーとを備えた光学要素ユニットであって、
　前記光学要素ホルダーは、前記支持装置によって、複数の第２結合要素を介して支持され、
　前記第２結合要素は、前記光学要素ホルダーと前記支持装置とを弾性結合することによって変形分離する光学要素ユニット。」である点。
＜相違点１＞
「前記第２結合要素の少なくとも１つ」が、本願発明では、「少なくとも３５ＧＰａ／（ｔ／ｍ−３）のヤング率対密度の比を有するセラミック材料製であ」るのに対して、引用発明の「弾性部材５２」は特定されない点。
＜相違点２＞
「前記第２結合要素の少なくとも１つ」が、本願発明では、「前記光学要素ホルダー及び前記支持装置の少なくとも一方とモノリシックに形成されている」のに対して、引用発明の「弾性部材５２」は特定されない点。
第５　当審の判断
１　相違点１についての検討
　上記「第３」「２」の「この弾性部材の材質は、支持部材１１と同一のものが望ましい」との記載事項、上記「第３」「５」の「石英レンズ１を支持する支持部材１１としては、酸化マグネシウムと酸化シリコンなどからなるコージライト系のセラミックス材料、あるいはアルミナ、窒化シリコンなどのセラミックス材料、あるいは、商品名ゼロジュールと呼ばれる低熱膨張ガラスなどが適切な材料として選択できる。」との記載事項により、引用文献には、「弾性部材５２」の材質として「支持部材６１」と同一のものであるセラミック材料を選択することが示唆されているといえる。
　そして、セラミック材料のヤング率や密度をどの程度とするかは、レンズ支持構造の質量や必要とする剛性によって当業者が当然考慮に入れるべき事項であって、当業者にとって適宜選択し得る設計事項にすぎない。
　してみると、引用発明の「弾性部材５２」を３５ＧＰａ／（ｔ／ｍ−３）のヤング率対密度の比を有するセラミック製とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。
２　相違点２についての検討
　上記１で述べたように、引用文献には、「弾性部材５２」の材質として「支持部材６１」と同一の材料を選択することが示唆されているといえる。
　そして、付属部品の材質として本体と同一の材料からなる部材を選択した場合に、それらをモノリシックに形成することは慣用手段であるから、引用発明の「弾性部材５２」と「支持部材６１」とを必要に応じてモノリシックに形成することは、当業者が容易に想到し得ることである。
３　本願発明の奏する作用・効果に関する検討 
　本願発明によってもたらされる作用・効果は、引用発明及び引用文献に記載された事項から当業者が予測し得る程度のものであって、格別なものではない。 
第６　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び引用文献に記載された事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　したがって、本願は、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく拒絶すべきものである。
　よって、上記の通り、審決する。