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　特願２０１１−２２１２０１「低収容キャリアの使用方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年１月１９日出願公開、特開２０１２−　１５５５０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯・本願発明 
　本件出願は、２００５（平成１７）年８月１９日（パリ条約による優先権主張外国庁受理　２００４年８月１９日　米国、２００５年８月１９日　米国）を国際出願日とする出願である特願２００７−５２８０８３号の一部を平成２３年１０月５日に新たな特許出願としたものであって、平成２５年１月２１日付けで拒絶の理由が通知され、同年４月２６日に意見書の提出とともに手続補正がなされたが、同年９月９日付けで拒絶査定された。
　これに対して、平成２６年１月１７日に拒絶査定に対する審判請求と同時に手続補正がなされ、平成２７年２月２３日付けで当審から拒絶の理由が通知され、同年６月１６日に意見書の提出とともに手続補正がなされたものである。
　そして、本件出願の請求項１ないし８に係る発明は、平成２７年６月１６日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された事項により特定されるものと認められるところ、その請求項１の記載は、以下のとおりのものである。
「　【請求項１】
　工場内でワークピースを処理する方法であって、
　前記工場に、ワークピースがワークピースロットとして処理されるワークピース処理流れを画定するワークピース処理ステーションを提供するステップと、
　ワークピースを各々保持する所定のワークピース保持領域を有し、且つ１以上のワークピースを前記ワークピース処理流れ内においてワークピース処理ステーション間で搬送するキャリアを提供するステップと、
　前記ワークピースロットとは異なり、前記ワークピースロットの形成の後に形成され、かつ前記ワークピースロットのうちの少なくとも１つからのワークピースを含む仮想ロットを前記キャリアに確立するステップと、を有し、
　前記仮想ロットは、前記ワークピース処理流れにおける前記キャリアによる一方のワークピース処理ステーションから他方のワークピース処理ステーションへの搬送のために、前記キャリアのワークピース収容量と異なる選択自在な数のワークピースを含み、
　前記キャリアは、ワークピース処理ステーションでアンロードされる際に、第１のワークピースロットからのワークピースを含む第１の仮想ロットを保持し、
　前記キャリアは、ワークピース処理ステーションでロードされる際は、第１のワークピースロットとは異なる第２のワークピースロットからのワークピースを含む第２の仮想ロットを保持することを特徴とする方法。」（以下「本願発明」という）
２　当審が通知した拒絶の理由
　一方、当審が平成２７年２月２３日付けで通知した拒絶の理由の概要は、以下のとおりである。
　本件出願の請求項１ないし８に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　　記
　引用文献１：特表２００３−５００８５５号公報
３　引用文献の記載事項
（１）当審が通知した上記拒絶の理由で引用した特表２００３−５００８５５号公報（以下「引用文献」という）には、図面とともに次の事項が記載されている（下線は理解の便のため当審で付与）。
ａ　「【００２４】
　本発明により、
ウェーハは、加工ユニット、測定ユニットおよび／または搬送システムのキャパシティに適合する、変更可能（バリアブル）なロットサイズにて集結される
　　　【００２５】
　このとき、ウェーハは、搬送システムによる搬送のために搬送ロットに、そして加工ユニットまたは測定ユニットでの処理のために、加工ロットに集められる。
　　　【００２６】
　すなわち、
本発明の根本的な思想は、確定しているサイズの特定のロットによるウェーハの束縛を廃止すること
　　　【００２７】
　
搬送システムを通じてのウェーハ搬送は、変化しうる（バリアブル）ロットサイズで行われる
　　　【００２８】
　個々の加工ユニットおよび測定ユニットにおいては、搬送システムから供給されるウェーハロットは、ばらばらに解かれ、必要に応じて、そして加工ユニットまたは測定ユニットのキャパシティに応じて、新しいロットサイズに集約され、１つのロットにおいて同時に加工される。
　　　【００２９】
　ウェーハが、それぞれの加工ユニットまたは測定ユニットにおいて必要とされるロットサイズですでに搬送システムを通じて供給される場合、旧ロットの解除と新ロットの集結とを略すこともできる。
　　　【００３０】
　加工ユニットまたは測定ユニットにおけるロットの加工のあと、必要に応じてこのロットは再び解除され、そこから新しいウェーハロットが集結され、そのロットが搬送システムに導入される。そのあと、個々のロットは、全プロセスにおける加工順序に対応して、さらに別の加工ユニットまたは測定ユニットに導入される。」
ｂ　「【００３７】
　図１に、あるウェーハ加工装置の実施例を示す。この装置は、
ウェーハの加工に必要となる工程を実施するための複数の加工ユニット１を有する。この種の工程は、エッチングプロセス、ウエットケミカル処理、拡散処理ならびに洗浄処理における加工過程を含む
　　　【００３８】
　これらの工程のために、それぞれ１つまたは複数の加工ユニット１を設けることができる。
そのために、この装置は、個々の工程の結果を検査する多数の測定ユニット２を有している。
　　　【００３９】
　
加工ユニット１および測定ユニット２は、クリーンルーム３内に設けられる
　　　【００４０】
　
加工ユニット１および測定ユニット２は、搬送システムにより互いに結ばれている
　　　【００４１】
　
ウェーハは、搬送容器６に収められ、コンベアシステム４により搬送される。搬送容器６は、カセットあるいは同類の形態に形成する
ｃ　「【００５２】
　本発明により、
ウェーハは、加工ユニット１、測定ユニット２および／または搬送システムのキャパシティに適合した、変化しうるロットサイズにて集結
　　　【００５３】
　このロットサイズは、本装置の利用形態にもよるが、通常３００枚のウェーハを収めることができる。しかし、
ロットサイズを１枚だけとすることも可能であるので、１枚ずつのウェーハが１つのロットを構成することもできる
ロットサイズは、搬送ロットと加工ロットとでは異なることがある
ｄ　「【００５６】
　図１に示した
装置におけるウェーハの進行は、中央の加工制御機構により制御され
　　　【００５７】
　加工プロセスが始まると、一定数のウェーハが、保管システムの保管庫５からとりだされ、例えば、図２に示すような加工ユニット１に導入される。それに代わる形態としては、ウェーハは、クリーンルーム３の外部から直接にコンベアシステム４に導入され、コンベアシステム４が、ウェーハを加工ユニット１に運ぶ。いずれの場合でも、
加工ユニット１へのウェーハ導入は、搬送ロットによって行われる。また、搬送ロットのロットサイズは、加工ユニット１のキャパシティに応じて定められる
　　　【００５８】
　そのために、加工ユニット１から、搬送システムの適切なコンピュータユニット１３に対し、制御命令が送り出される。この制御命令により、加工ユニット１のための搬送ロットの編成が開始される。この制御命令の内容は、目的場所を形成している加工ユニット１、ならびに、形成しようとする搬送ロットのロットサイズである。この場合、まず始めに、それぞれの加工ユニット１におけるウェーハの瞬間所要量（momentane Bedarf）が加工制御機構から問い合わせられ、ロットサイズが、加工ユニット１の瞬間所要量に適合される。」
ｅ　「【００６５】
　
加工ロットが加工ユニット１において加工された後
　　　【００６６】
　加工ロットが識別されたあと、
この加工ロットは解除され、少なくとも１つの搬送ロットに移される
　　　【００６７】
　
この搬送ロットの編成は、次に設けられている加工ユニット１および測定ユニット２のキャパシティに対応して行われる
加工ロットから、１つまたは複数の搬送ロットが編成される
　　　【００６８】
　
ある加工ロットを複数の搬送ロットに移転させようとする場合は、ハンドリング機器１２によって、加工ロットのウェーハはさまざまな搬送容器６に装入される
ｆ　上記摘記事項ａないしｅを、技術常識を踏まえて整理すると、引用文献には以下の発明が記載されていると認められる。
「搬送システムにより互いに結ばれた加工ユニット１及び測定ユニット２が設けられたクリーンルーム３内でウェーハを処理する方法であって、
　前記クリーンルーム３に、ウェーハが加工ロットとして処理されるウェーハの進行を画定する加工ユニット１を提供するステップと、
　ウェーハを収めるカセットあるいは同類の形態に形成され、且つ１以上のウェーハを前記ウェーハの進行内において加工ユニット１間で搬送する搬送容器６を提供するステップと、
　前記加工ロットとは異なり、前記加工ロットの形成の後に形成される搬送ロットを前記搬送容器６に確立するステップと、を有し、
　前記搬送ロットは、前記ウェーハの進行における前記搬送容器６による一方の加工ユニット１から他方の加工ユニット１への搬送のために、変化しうる（バリアブル）ロットサイズのウェーハを含み、
　前記搬送容器６は、加工ユニット１でアンロードされる際に、加工ロットからのウェーハを含む搬送ロットを保持し、
　前記搬送容器６は、加工ユニット１でロードされる際は、次に設けられている加工ユニット１の加工ロットからのウェーハを含む搬送ロットを保持する方法。」（以下「引用発明」という）
４　対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　引用発明の「搬送システムにより互いに結ばれた加工ユニット１及び測定ユニット２が設けられたクリーンルーム３」は、加工ユニット１等でウェーハ加工を行う場所であるから、本願発明の「工場」に相当する。
　また、引用発明の「ウェーハ」が本願発明の「ワークピース」に相当し、同様に「加工ユニット１」が「ワークピース処理ステーション」に、「搬送容器６」が「キャリア」に、それぞれ相当することは、当業者には自明である。そして、引用発明の「搬送容器６」が「ウェーハを収めるカセットあるいは同類の形態に形成され」ているという事項は、カセットの形態というものがウェーハを各々保持するウェーハ保持領域を有する構造となっていることは技術常識に過ぎないから、本願発明の「キャリア」が「ワークピースを各々保持する所定のワークピース保持領域を有し」ている事項に相当するものである。
　さらに、引用発明の「加工ロット」は、加工ユニット１での処理に対応したウェーハロットのことであるから、本願発明の「ワークピースロット」に相当する。そして、この加工ロットとして処理される「ウェーハの進行」は、本願発明の「ワークピース処理流れ」に相当するものと認められる。また、引用発明の「搬送ロット」は、引用文献の上記摘記事項ｅを参照すると、加工制御機構により加工ユニットにおけるロット加工の後に加工ロットを解除して新しいウェーハロットとして編成される性質のものであるから、本願発明の「仮想ロット」に相当するものである。また、引用発明の搬送ロットにおける「変化しうる（バリアブル）ロットサイズのウェーハ」は、本願発明の仮想ロットの「選択自在な数のワークピース」に相当する。
　そして、引用発明の搬送容器６における、加工ユニット１でアンロードされる際の「加工ロット」及び「搬送ロット」と、加工ユニット１でロードされる際の「次に設けられている加工ユニット１の加工ロット」及び「搬送ロット」は、本願発明のキャリアにおける、「第１のワークピースロット」及び「第１の仮想ロット」と、「第２のワークピースロット」及び「第２の仮想ロット」と比較して、単に「第１」及び「第２」という表現上の違いがあるだけで、実質的に相当するものである。
　そうすると、引用発明は、
「工場内でワークピースを処理する方法であって、
　前記工場に、ワークピースがワークピースロットとして処理されるワークピース処理流れを画定するワークピース処理ステーションを提供するステップと、
　ワークピースを各々保持する所定のワークピース保持領域を有し、且つ１以上のワークピースを前記ワークピース処理流れ内においてワークピース処理ステーション間で搬送するキャリアを提供するステップと、
　前記ワークピースロットとは異なり、前記ワークピースロットの形成の後に形成され、かつ前記ワークピースロットのうちの少なくとも１つからのワークピースを含む仮想ロットを前記キャリアに確立するステップと、を有し、
　前記仮想ロットは、前記ワークピース処理流れにおける前記キャリアによる一方のワークピース処理ステーションから他方のワークピース処理ステーションへの搬送のために、選択自在な数のワークピースを含み、
　前記キャリアは、ワークピース処理ステーションでアンロードされる際に、第１のワークピースロットからのワークピースを含む第１の仮想ロットを保持し、
　前記キャリアは、ワークピース処理ステーションでロードされる際は、第２のワークピースロットからのワークピースを含む第２の仮想ロットを保持する方法。」
である点で本願発明と一致し、以下の点で本願発明と相違する。
＜相違点１＞
　キャリアによる一方のワークピース処理ステーションから他方のワークピース処理ステーションへの搬送時のワークピースの数について、本願発明では、「前記キャリアのワークピース収容量と異なる」ものであるのに対し、引用発明では、搬送容器６のウェーハ収容量と異なるか否か不明である点。
＜相違点２＞
　ワークピース処理ステーションでロードされる際のキャリアは、本願発明では、「第１のワークピースロットとは異なる第２のワークピースロットからのワークピースを含む第２の仮想ロットを保持する」ものであるのに対し、引用発明では、アンロードの際の加工ユニット１の加工ロットと、ロードの際の次に設けられている加工ユニット１の加工ロットとが異なるか否か不明である点。
５　当審の判断
＜相違点１＞について
　引用文献の上記摘記事項ｃからみて、引用発明では、ウェーハのロットサイズは、加工ユニット１や搬送システムのキャパシティに適合して変化するもので、搬送ロットと加工ロットで異なることもあるものである。そうすると、加工ロット及び搬送ロットのロットサイズによっては、搬送時に選択されたウェーハの数が搬送容器６の収容量と一致しない状況が生じることも、技術常識から考えて当然予測できるものである。そして、引用発明は、このような選択されたウェーハの数と搬送容器６の収容量とが一致する状況においてのみ適用可能なものではないことは明らかである。したがって、相違点１に係る本願発明の構成を引用発明が備えるようにすることは、引用発明及び技術常識から当業者であれば容易に想到し得るものというべきである。
＜相違点２＞について
　引用文献の上記摘記事項ｅからみて、引用発明では、加工ロットが加工ユニット１で加工された後に、当該加工ロットは解除され、次に設けられている加工ユニット１及び測定ユニット２のキャパシティに対応して１つ又は複数の搬送ロットが編成されるものである。また、引用文献の段落【０００９】にも「ウェーハを入れた搬送容器は、個々の加工および測定のプロセスの結果にもよるが、順次個々の加工ユニットおよび測定ユニットに導入される。そこで問題となるのは、個々の加工ユニットおよび測定ユニットが、相異なるキャパシティ（容量）を持っていることである。」と示されているように、個々の加工ユニット及び測定ユニットが相異なるキャパシティ（容量）を持っていることは技術常識に過ぎない。そうすると、引用発明において、加工ユニット１の加工ロットと次に設けられている加工ユニット１の加工ロットとの間で、ワークピースが相違する状況が生じ得ることは、当業者が想定できる事項であって格別なものではない。そして、そのようにワークピースが相違する状況が生じた場合に、搬送ロットに含まれるワークピースが、搬送ロットの編成ごとに一部異なってしまうことも当然想定されるものである。したがって、引用発明において相違点２に係る本願発明の構成を備えるようにすることは、引用発明及び技術常識から当業者であれば容易に想到し得るものというべきである。
　また、本願発明によってもたらされる効果も、引用発明及び技術常識から当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものではない。
６　むすび
　したがって、本願発明は、引用発明及び技術常識に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、拒絶をすべきものである。
　よって、本件出願のその他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。