【事件の表示】
　特願２０１１−１６６５６８「表面の異常および／または特徴を検出する光学システム」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　２月　２日出願公開，特開２０１２−　２１９９４〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　
　本願は，平成１６年６月２４日（パリ条約による優先権主張日：平成１５年６月２４日　米国，平成１６年６月２２日　米国）を国際出願日とする特願２００６−５１７６８１号の一部を，特許法第４４条第１項の規定により，平成２３年７月２９日に新たな特許出願として分割したものであって，平成２５年８月１６日付けで拒絶理由が通知され，平成２６年２月２０日に意見書及び手続補正書が提出され，同年７月３日付けで最後の拒絶理由が通知され，平成２７年１月８日に意見書及び手続補正書が提出されたところ，同年３月２３日付けで補正の却下の決定がなされるとともに拒絶査定がなされ，それに対して，同年７月３１日に拒絶査定不服審判の請求がなされると同時に手続補正がなされたものである。
  
　
第２　平成２７年７月３１日付けの手続補正についての補正の却下の決定  
　
１　補正の却下の決定の結論
　平成２７年７月３１日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。　  
  
２　理由
（１）　補正の内容
　本件補正は，特許請求の範囲について，平成２６年２月２０日付け手続補正書に
　
　「【請求項１】
　サンプルの異常を検出する光学装置であって、
　サンプルの表面上の照明される領域に対して、サンプル表面に対して垂直方向または略垂直方向で放射光線を焦点の合った光線へと焦点を合わせる第１の光学機器と、
　第１の検出器アレイと、
　放射光線から生じ、サンプル表面上の照明される領域から散乱される放射線を集光すると共に前記照明される領域の一部分から集光された散乱される放射線を前記第１のアレイにおける対応する検出器へと焦点を合わせる集光光学機器と、を備え、
　前記第１の光学機器が光線をサンプルの表面に反射する集光光学機器の集光開口に反射器を有し、前記反射器が集光光学機器の集光開口の妨害を低減する細長い形状を有する光学装置。
　
　　【請求項２】
　サンプルの異常を検出する光学方法であって、
　サンプルの表面上で焦点の合った第１のラインに対して斜めの第１の入射角度で放射光線を第１の焦点の合った光線へと焦点を合わせるステップであって、前記第１の焦点の合った光線と前記第１の焦点の合った光線を通ると共に前記表面に垂直な方向とが前記第１の焦点の合った光線の入射面を規定し、前記第１のラインが前記第１の焦点の合った光線の入射面に実質的に存在する、焦点を合わせるステップと、
　サンプルの表面上の照明される領域に対して垂直方向または略垂直方向の第２の入射角度で放射光線を第２の焦点の合った光線へと焦点を合わせるステップであって、前記第２の入射角度が前記第１の入射角度とは異なる、焦点を合わせるステップと、
　前記第１および／または第２の焦点の合った光線から生じ、サンプル表面上の第１のラインおよび／または照明される領域から散乱または反射される放射線を集光すると共に前記ラインおよび／または前記照明される領域の一部分から集光される放射線を複数の検出器アレイの各々における対応する検出器へと焦点を合わせるステップであって、前記複数の検出器アレイのうちの１つが前記照明される領域の垂直または略垂直角度の暗視野での作像を検出するように配置され、前記複数の検出器アレイのうちの他のものが二重暗視野検出での検出器アレイである、焦点を合わせるステップと、
　を含む光学方法。
　
　　【請求項３】
　サンプルの異常を検出する光学方法であって、
　サンプルの表面上で焦点が合った第１のラインに対して斜めの第１の入射角度で放射光線を第１の焦点の合った光線へと焦点を合わせるステップと、
　サンプルの表面上の照明される領域に対して垂直方向または略垂直方向の第２の入射角度で放射光線を第２の焦点の合った光線へと焦点を合わせるステップであって、前記第２の入射角度が前記第１の入射角度とは異なる、焦点を合わせるステップと、
　前記第１および／または第２の焦点の合った光線から生じ、サンプル表面上の第１のラインおよび／または照明される領域から散乱される放射線を集光すると共に前記ラインおよび／または前記照明される領域の一部分から集光された散乱される放射線を複数のアレイの各々における対応する検出器へと焦点を合わせるステップであって、前記焦点を合わせるステップが一つ以上の空間周波数で散乱される放射線を瀘過する空間フィルタに前記集光された放射線を通過させるようにし、前記複数のアレイのうちの１つが前記照明される領域の垂直または略垂直角度の暗視野での作像を検出するように配置され、前記複数のアレイのうちの他のものが二重暗視野検出での検出器アレイである、焦点を合わせるステップと、
　を含む光学方法。
　
　　【請求項４】
　請求項２または３記載の方法において、
　前記第１および第２の焦点の合った光線が、少なくとも一つの紫外線または深紫外線の波長を有する方法。
　　【請求項５】
　サンプルの異常を検出する光学方法であって、
　サンプルの表面上の照明される領域に対して、サンプル表面に対して垂直方向または略垂直方向で放射光線を焦点の合った光線へと焦点を合わせるステップと、
　放射光線から生じ、サンプル表面上の照明される領域から散乱される放射線を集光光学機器によって集光すると共に前記照明される領域の一部分から集光された散乱される放射線を第１の検出器アレイにおける対応する検出器へと焦点を合わせるステップと、を含み、
　前記焦点を合わせるステップが光線をサンプルの表面に反射する集光光学機器の集光開口に反射器を用い、前記反射器が前記集光光学機器の集光開口の妨害を低減する細長い形状を有する光学方法。」
　
　とあったものを、
　
　「【請求項１】
　サンプルの異常を検出する光学装置であって、
　サンプルの表面上の照明される領域に対して、
その
　第１の検出器アレイと、
　
サンプル表面上で、放射光線により
、
検出器
　前記第１の光学機器が
反射器をさらに有し、前記反射器が前記対物レンズと前記集光光学機器との間で、前記
内に対応すべく配置されると共に、光線をサンプルの表面に反射し、
の形状が前記
であり、
　
前記光学装置が、前記集光光学機器から分離されると共に、前記集光光学機器の集光開口の外側への方向に沿って、サンプル表面上で、照明される領域から散乱される放射線を集光する集光チャンネルをさらに備える
　
　　【請求項２】
　
請求項１記載の装置において、
　
前記集光チャンネルが、前記反射器が反射していない散乱される放射線を集光する装置。
　
　　【請求項３】
　
請求項１記載の装置において、
　
前記集光チャンネルが、サンプル表面に対して斜めの角度を成す軸を有する光学機器を備える装置。
　
　　【請求項４】
　サンプルの異常を検出する光学方法であって、
　サンプルの表面上で焦点の合った第１のラインに対して斜めの第１の入射角度で放射光線を第１の焦点の合った光線へと焦点を合わせるステップであって、前記第１の焦点の合った光線と前記第１の焦点の合った光線を通ると共に前記表面に垂直な方向とが前記第１の焦点の合った光線の入射面を規定し、前記第１のラインが前記第１の焦点の合った光線の入射面に実質的に存在する、焦点を合わせるステップと、
　サンプルの表面上の照明される領域に対して垂直方向または略垂直方向の第２の入射角度で放射光線を第２の焦点の合った光線へと焦点を合わせるステップであって、前記第２の入射角度が前記第１の入射角度とは異なる、焦点を合わせるステップと、
　前記第１および／または第２の焦点の合った光線から生じ、サンプル表面上の第１のラインおよび／または照明される領域から散乱または反射される放射線を集光すると共に前記ラインおよび／または前記照明される領域の一部分から集光される放射線を複数の検出器アレイの各々における対応する検出器へと焦点を合わせるステップであって、前記複数の検出器アレイのうちの１つが前記照明される領域の垂直または略垂直角度の暗視野での作像を検出するように配置され、前記複数の検出器アレイのうちの他のものが二重暗視野検出での検出器アレイである、焦点を合わせるステップと、
　を含む光学方法。
　
　　【請求項５】
　サンプルの異常を検出する光学方法であって、
　サンプルの表面上で焦点が合った第１のラインに対して斜めの第１の入射角度で放射光線を第１の焦点の合った光線へと焦点を合わせるステップと、
　サンプルの表面上の照明される領域に対して垂直方向または略垂直方向の第２の入射角度で放射光線を第２の焦点の合った光線へと焦点を合わせるステップであって、前記第２の入射角度が前記第１の入射角度とは異なる、焦点を合わせるステップと、
　前記第１および／または第２の焦点の合った光線から生じ、サンプル表面上の第１のラインおよび／または照明される領域から散乱される放射線を集光すると共に前記ラインおよび／または前記照明される領域の一部分から集光された散乱される放射線を複数のアレイの各々における対応する検出器へと焦点を合わせるステップであって、前記焦点を合わせるステップが一つ以上の空間周波数で散乱される放射線を瀘過する空間フィルタに前記集光された放射線を通過させるようにし、前記複数のアレイのうちの１つが前記照明される領域の垂直または略垂直角度の暗視野での作像を検出するように配置され、前記複数のアレイのうちの他のものが二重暗視野検出での検出器アレイである、焦点を合わせるステップと、
　を含む光学方法。
　
　　【請求項６】
　
請求項４または５
　前記第１および第２の焦点の合った光線が、少なくとも一つの紫外線または深紫外線の波長を有する方法。
　
　　【請求項７】
　サンプルの異常を検出する光学方法であって、
　
（ａ）
その
　
（ｂ）サンプル表面上で、放射光線により
、
　
反射器が前記（ａ）の焦点を合わせるステップで用いられ、前記反射器が前記対物レンズと前記集光光学機器との間で、前記集光光学機器の集光開口内に対応すべく配置されると共に、光線をサンプルの表面に反射し、
の形状
であり、
　
前記光学方法が、（ｃ）前記集光光学機器の集光開口の外側への方向に沿って、サンプル表面上で、照明される領域から散乱される放射線を集光するステップをさらに含む
　
　　【請求項８】
　
請求項７記載の方法において、
　
前記（ｃ）の集光するステップが、前記反射器が反射していない散乱される放射線を集光する方法。
　
　　【請求項９】
　
請求項７記載の方法において、
　
前記（ｃ）の集光するステップが、サンプル表面に対して斜めの角度を成す軸に沿って散乱される放射線を集光する方法。
　
　と補正するものである。（下線は，補正箇所を明示するために当審が付与。）
　
（２）　補正の目的について
　本件補正は，請求項の数を５から９に増加する増項補正であるから，少なくとも，平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前（以下、「平成１８年法改正前」という。）の特許法第１７条の２第４項第１号に掲げる「第３６条第５項に規定する請求項の削除」、同項第３号に掲げる「誤記の訂正」、同項第４号に掲げる「明りようでない記載の釈明（拒絶理由通知に係る拒絶の理由に示す事項についてするものに限る。）」には該当しない。
　
　また、同項第２号には「特許請求の範囲の減縮（第３６条第５項の規定により請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものであつて、その補正前の当該請求項に記載された発明とその補正後の当該請求項に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるものに限る。）」と規定されているところ，この「特許請求の範囲の減縮」の解釈については，「同号にいう「特許請求の範囲の減縮」とは，補正前の請求項と補正後の請求項との対応関係が明白であって，かつ，補正後の請求項が補正前の請求項を限定した関係になっていることが明確であることが要請されるものというべきであって，補正前の請求項と補正後の請求項とは，一対一又はこれに準ずるような対応関係に立つものでなければならない。そうであってみれば，増項補正，補正後の各請求項の記載により特定される各発明が，全体として，補正前の請求項の記載により特定される発明よりも限定されたものとなっているとしても，上述したような一対一又はこれに準ずるような対応関係がない限り，同号にいう「特許請求の範囲の減縮」には該当しないというべきである。」（平成１６年４月１４日に知財高裁で言渡された平成１５年行（ケ）２３０号判決参照）と判示される一方で，「同号は，かっこ書を含めてその要件を明確に規定しているのであるから，問題となる補正が同号の「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当するといえるためには，それがいわゆる増項補正であるかどうかではなく，（１）特許請求の範囲の減縮であること，（２）補正前の請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものであること，（３）補正前の当該請求項に記載された発明と補正後の当該請求項に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であること，という要件・・・を満たすことが必要であり，かつそれで十分であるというべきである。」（平成２７年２月１８日に知財高裁で言渡された平成２６年（行ケ）第１００５７号判決参照）（原文では，要件を示す（１）（２）（３）は，丸数字）と判示されている。
　
　まず，平成１５年（行ケ）２３０号判決の判示に従い，補正前の請求項と補正後の請求項とが，一対一又はこれに準ずるような対応関係に立つものであるかどうかについて検討する。本件補正後の請求項１ないし９に係る発明のうち，請求項４ないし６に係る発明は，本件補正前の請求項２ないし４に係る発明と一対一またはこれに準ずるような対応関係を有している。しかしながら，本件補正後の請求項１については，本件補正前の請求項１に少なくとも集光チャネルを付加したものであり，本件補正後の請求項２及び３については，本件補正後の請求項１を引用し，当該集光チャネルをさらに限定するものであるから，本件補正後の請求項１ないし３に係る発明は，本件補正前の請求項１に係る発明と一対一又はこれに準ずるような対応関係に立つものではない。また，本件補正後の請求項７については，本件補正前の請求項５に少なくとも（ｃ）の集光するステップを付加したものであり，本件補正後の請求項８及び９については，本件補正後の請求項７を引用し，当該（ｃ）の集光するステップをさらに限定するものであるから，本件補正後の請求項７ないし９に係る発明は，本件補正前の請求項５に係る発明と一対一又はこれに準ずるような対応関係に立つものではない。
　
　次に，平成２６年（行ケ）第１００５７号判決の判示に従い，（１）特許請求の範囲の減縮であること，（２）補正前の請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものであること，（３）補正前の当該請求項に記載された発明と補正後の当該請求項に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であることという要件を満たすものであるかどうか検討する。本件補正により請求項１〜３に付加された集光チャネルは，本件補正前の請求項１に記載した発明を特定するための事項でなかったことから，集光チャネルを付加する当該補正事項は，補正前の請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものではない。また，本件補正により請求項７〜９に付加された（ｃ）の集光するステップは，本件補正前の請求項５に記載した発明を特定するための事項でなかったことから，（ｃ）の集光するステップを付加する当該補正事項は，補正前の請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものではない。
　
　したがって，本件補正は，平成１８年法改正前の特許法第１７条の２第４項の各号に掲げるいずれの事項を目的とするものにも該当しない補正を含むことから，同法第１７条の２第４項の規定に適合していないので，同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
（３）　独立特許要件について　
　上記のとおり，本件補正は，平成１８年法改正前の特許法第１７条の２第４項の規定に適合していないが，仮に本件補正が，平成１８年法改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる事項を目的とするものであるとすれば，本件補正後の請求項に係る発明が，特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について検討する必要があるので，念のため検討する。
　
　ア　本願補正発明
　本件補正後の請求項１ないし９に係る発明は，平成２７年７月３１日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし９に記載された事項により特定されるものと認める。そのうち，請求項１に係る発明（以下，「本願補正発明」という。）は以下のとおりのものである。なお，（Ａ）〜（Ｆ）の見出し記号は，当審で付記したものである。
　「【請求項１】
（Ａ）サンプルの異常を検出する光学装置であって、
（Ｂ）サンプルの表面上の照明される領域に対して、そのサンプル表面に対して垂直方向または略垂直方向で放射光線を焦点の合った光線へと焦点を合わせる第１の光学機器と、
（Ｃ）第１の検出器アレイと、
（Ｄ）サンプル表面上で、放射光線により照明される領域から散乱される放射線を集光すると共に、前記照明される領域の一部分から集光された散乱される放射線を前記第１の検出器アレイにおける対応する検出器へと焦点を合わせる集光光学機器と、を備え、
（Ｅ）前記第１の光学機器が反射器をさらに有し、前記反射器が対物レンズと前記集光光学機器との間で、前記集光光学機器の集光開口内に対応すべく配置されると共に、光線をサンプルの表面に反射し、前記反射器の形状が前記集光光学機器の集光開口の妨害を低減する細長い形状であり、
（Ｆ）前記光学装置が、前記集光光学機器から分離されると共に、前記集光光学機器の集光開口の外側への方向に沿って、サンプル表面上で、照明される領域から散乱される放射線を集光する集光チャンネルをさらに備える光学装置。
　
　なお，平成２７年７月３１日付けの手続補正書では，請求項１の（Ｅ）の構成要件中に「前記対物レンズ」なる記載が見られるが，それ以前に「対物レンズ」という文言は見られないこと，そして対物レンズと集光光学機器の間に反射器が配置されていることは本願明細書の【００４４】，【００５０】，図１０，１１等と整合的であることから，「前記対物レンズ」は「対物レンズ」の誤記と認め，上記のように認定した。
　
　イ　刊行物１に記載された事項
　原査定の拒絶の理由に引用され，本願の優先権主張日前に頒布された特公平６−１０６５６号公報（以下，「刊行物１」という。）には，図面とともに以下の事項が記載されている。（下線は審決で付与。）
　
　（刊１−ア）「（産業上の利用分野）
　
この発明は、半導体ウエハ等の被検査体について、その表面に存在する微小な凹凸などの欠陥を光学的に検出する装置に関する
　
　（刊１−イ）「半導体ウエハや、ビデオディスク等においては、その表面に存在する凹凸や傷などの欠陥によって製品の品質が大きく左右されるため、これらの欠陥を検出することによって製品の品質管理を行なう必要がある。このような表面欠陥検出装置としては種々の装置が提案されているが、非破壊検査として代表的なものは光学方式の検出装置であり、
その従来例
を第２３図に示す
レーザビームＬが被検査体５７の表面で反射されることによって得られる反射光Ｒは
表面欠陥で散乱されてレーザビームＬの入射光路とは異なる方向へ反射される散乱光Ｒｄとを含んでいる
被検査体５７の表面に欠陥が存在すると
散乱光Ｒｄは増加する
第２の光電変換素子６３の出力は第２欠陥検出回路６５で処理して、散乱光Ｒｄの増加による欠陥検出を行なう
これらの２種類の欠陥信号はそれぞれ単独で使用されることもあり
上記装置では、表面欠陥の有無については検出することができるものの、その欠陥の種類の判別までは行うことができない
　
　（刊１−ウ）「
第１図はこの発明の一実施例である表面欠陥検査装置の概要図である
レーザビームＬは、光透過率分布フィルタ４のうち、透過率の小さい中心部分Ａ（換言すれば反射率の大きな部分）によってそのほとんどが反射され
レンズ６を介して、このレンズ６の焦点距離ｆの位置にある被検査体表面７に照射される
このレーザビームＬは被検査体表面７で反射されて反射光Ｒとなるが、この反射光Ｒは偏向性反射光Ｒｔと散乱性反射光Ｒｄとによって形成されている
光学系は、レーザビームＬを被検査体表面７へ略垂直に導くような幾何学的位置関係をもって配置されている
散乱性反射光Ｒｄは
その全部または大部分がこの光透過率分布フィルタ４を透過して光電変換手段８の受光面に入射する
　
　（刊１−エ）「Ｃ．散乱性欠陥検出系の構成と動作
　次に、第２の反射光Ｒ２に基く散乱性欠陥検出について説明する。
この散乱性欠陥検出は従来の装置を変形使用することによっても構成可能である
この実施例では、欠陥の存在のみでなく、その種類も容易に識別可能な新規な装置を利用する
第１図の光電変換手段８として、第１７図に示すように、単位光電変換素子Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，…（以下、「単位素子」と言う。）を所定の規則に従って空間的に配列した光電変換素子アレイ８０を使用
　
　（刊１−オ）「
上記実施例では透過率分布フィルタ４を光分離手段として用いたが、たとえば第２１図（ａ）に示すような小型ミラー３１
よって分離を行なうことも可能である
この場合には、第２の反射光Ｒ２は散乱性反射光Ｒｄのみを含むため、散乱性反射光検出手段としては、散乱性反射光Ｒｄのみによって欠陥検出を行なう検出系を使用する
　
　（刊１−カ） 第２１図からみて，上記（刊１−オ）で摘記した「小型ミラー３１」は，上記（刊１−ウ）で摘記した「散乱性反射光Ｒｄ」の「大部分」を透過する「光透過率分布フィルタ４」よりも，散乱性反射光を妨害しないことは明らかである。
　
　（刊１−キ） 上記（刊１−ウ）及び（刊１−オ），第１図，第２１図等からみて，「小型ミラー３１」は，「光電変換素子アレイ」と「レンズ６」の間に配置されている。
　
　ウ　刊行物１に記載された発明
　上記（刊１−カ）及び（刊１−キ）を踏まえ，上記（刊１−ア）ないし（刊１−オ）の摘記事項の下線部を整理すると，刊行物には次の発明（以下，「刊行物１発明」という。）が記載されていると認められる。
　
　なお，刊行物１発明には摘記等の根拠となった箇所を付記してある。
　
「散乱光を検出することで被検査体の欠陥の有無を検出する表面欠陥検査装置であって（刊１−ア，刊１−イ，刊１−ウ），
　レンズから焦点距離だけ離れた被検査体表面の位置に対して，その被検査体表面に対して略垂直にレーザービームをレンズの焦点距離の位置で焦点を合わせるレンズを含む光学系（刊１−ウ，刊１−オ）と，
　光電変換素子アレイ（刊１−エ）と，を備え，
　前記光学系は小型ミラーを有し，前記小型ミラーはレンズと前記光電変換素子アレイとの間に配置されるとともに，レーザービームを被検査体表面に反射し，光電変換素子アレイに入射する散乱性反射光の妨害を低減するものである（刊１−オ，刊１−カ，刊１−キ），表面欠陥検査装置。」
　
　エ　刊行物２に記載された事項
　原査定の拒絶の理由に引用され，本願の優先権主張日前に頒布された特表２００１−５１２２３７号公報（以下，「刊行物２」という。）には，図面とともに以下の事項が記載されている。（下線は審決で付与。）
　
　（刊２−ア）「【０００１】本発明は一般的に
表面検査システムに関し、さらに詳しく言えば、表面の異常
を検出するための改良形システムに関する
　
　（刊２−イ）「【００１６】記載を容易にするために、本出願では同一の要素には同一の符号を付している。図１は、本発明の好適な実施形態を説明するもので、表面の検査システムの斜視図である。
システム１０は、被検査表面１８上にある線２０の形状の領域を照明する
線の像は像映サブシステム３０により、ＣＣＤ３２の線形アレイ等の検出器のアレイに集束させる
　
　（刊２−ウ）「【００２２】上記より、システム１０は、ストーンストロム等のものよりもかなり小さいものである、有効「ピクセル」サイズが５×１０ミクロンであるため、感度が非常に高いものであることがわかる。同時に、
表面１８のピクセル線全体が
単一の照明スポットの代わりに同時に照明および検出されるため、システム１０はまた満足できる程度のスループットも有する
　
　（刊２−エ） 上記（刊２−ア）ないし（刊２−ウ）の摘記事項の下線部を整理すると，刊行物２には「表面の異常を検査する表面検査システムにおいて被検査表面を照明および検出するにあたり，単一の照明スポットに代えて線状とすることで，表面検査システムのスループットを満足できるものとすることができる。」という技術的事項が記載されていると認められる。
　
　オ　刊行物３に記載された事項
　本願の優先権主張日前に頒布された特開２０００−１６２１４１号公報（以下，「刊行物３」という。）には，図面とともに以下の事項が記載されている。（下線は審決で付与。）
　
　（刊３−ア）「【０００１】【発明の属する技術分野】
本発明は、欠陥検査技術、特に、被検査面に混在した異物とスクラッチ（擦り傷）とを弁別する技術に関し、例えば、半導体ウエハや液晶パネルの表面を検査するのに利用して有効な技術に関する
　
　（刊３−イ）「【００２０】
ステージ装置１１の中心の真上には、異物３およびスクラッチ４において乱反射した散乱光のうち高角度の散乱光（以下、高角度光という。）３１を受光するための高角度光受光装置３０が設備されている
垂直光照射装置２０の光軸上には垂直光２１を透過させる透孔を有した受光レンズ３２が配置されており、受光レンズ３２は高角度光３１を収束して散乱光検出器（以下、高角度光検出器という。）３３の受光面に結像させるようになっている
　
　（刊３−ウ）「【００２２】
ステージ装置１１の中心の斜め上方には、異物３およびスクラッチ４において乱反射した散乱光のうち中角度の散乱光（以下、中角度光という。）４１を受光するための中角度光受光装置４０が設備されている
中角度光受光装置４０は複数枚（本実施形態では四枚）の受光レンズ４２を備えており
各受光レンズ４２は中角度光４１を収束して中角度光検出器４３の受光面に結像させるようになっている
　
　（刊３−エ）「【００２５】
被検査物としてのウエハ１はステージ装置１１のテーブル１２の上に同心に載せられて固定される
固定されたウエハ１はステージ装置１１によって回転されながら半径方向に移動され、ウエハ１の被検査面２には垂直光照射装置２０により垂直光２１が照射される
垂直光２１がウエハ１の被検査面２に付着した異物３に照射すると、異物３からは高角度光３１および中角度光４１が図３（ａ）に示されているように随時に発生する。また、垂直光２１がウエハ１の被検査面２に形成されたスクラッチ４に照射すると、高角度光３１および中角度光４１が図３（ｂ）に示されているように随時に発生する
　
　（刊３−オ）「【００２６】
この走査に伴って、各異物３および各スクラッチ４において随時に発生した高角度光３１は高角度光受光装置３０の受光レンズ３２によって収束され、高角度光検出器３３の受光面に随時に結像される
異物３およびスクラッチ４において随時に発生した中角度光４１は中角度光受光装置４０の受光レンズ４２によって収束され、中角度光検出器４３の受光面に随時に結像される
垂直光２１が被検査面２に相対的に走査されて照射された時の散乱光のうち高角度の高角度光３１および中角度の中角度光４１が採取される
　
　（刊３−カ） 上記（刊３−ア）ないし（刊３−オ）の摘記事項の下線部を整理すると，刊行物３には「被検査面に対して垂直方向から照射された垂直光が被検査面の異物とスクラッチにおいて乱反射し，その後受光レンズで収束した高角度及び中角度の散乱光を検出する，被検査物が載せられているステージ装置の真上に設けられ高角度光検出器及び斜め上方に設けられた中角度光検出器を用いた欠陥検査技術」が記載されていると認められる。
　
　カ　刊行物４に記載された事項
　本願の優先権主張日前に頒布された特開昭６３−１４３８３１号公報（以下，「刊行物４」という。）には，図面とともに以下の事項が記載されている。（下線は審決で付与。）
　
　（刊４−ア）「以上により、
シリコンウェハ面板の表面に存在する各種の欠陥の散乱光の性質、特に分布特性について検討したが、上記の各種の欠陥を二つのグループに分けることができる。第１のグループとしては、微粒子欠陥、ヘイズ欠陥のごとく、比較的広範囲に散乱光が分布するものとし、第２グループとしては、ピッ欠陥など正反射光の光軸の近傍に集中するものである
　
　なお，「ピッ欠陥」は，刊行物４の第２頁左上欄第１行目の「微小な凹部（ピット）」や第３頁右上欄第１７行目の「ピット欠陥」等の記載からみて，「ピット欠陥」の誤記と認められる。
　
　（刊４−イ）「第５図は、上記の所論にもとずくこの発明の
面板欠陥検出光学装置
散乱光のうち、第１グループの欠陥に対しては、レーザスポットＳに接近して複数のオプチカルファイバ１５の受光面をスポットＳを指向するように配置し、これらを光電子増倍管１５ａに接続して第１の受光器を構成する。第２グループの欠陥に対しては、投受光レンズ１６で、正反射光の光軸３ａの近傍の散乱光を集束して、第２の受光器１８がこれを受光する
　
　（刊４−ウ） 上記（刊４−イ）における「小さい入射角θ」なる記載と第５図から，レーザービームの入射角が面板１に対して略垂直であることと認められる。
　
　（刊４−エ） 上記（刊４−ア）に記載されている散乱光と欠陥の種類との関係や上記（刊４−イ）に記載されている受光器の位置と検出対象としている欠陥の種類との関係を踏まえると，第５図から，オプチカルファイバ１５は面板から斜め方向に散乱した光を検出するものであり，第２の受光器１８は面板から略垂直方向に散乱した光を検出するものであることが見てとれる。
　
　（刊４−オ） 上記（刊４−ア）ないし（刊４−エ）を総合すると，刊行物４には「面板に対して略垂直方向から照射されたレーザービームが面板の微粒子欠陥等の第１グループの欠陥により斜め方向に散乱した光を検出するための複数オプチカルファイバと面板のピット欠陥等の第２グループの欠陥により略垂直方向に散乱した光を検出するための第２の受光器を備えた面板欠陥検出光学装置」が記載されていると認められる。
　
　キ　対比
　本願補正発明と刊行物１発明を対比する。 
　
　（ア） 刊行物１発明と本願補正発明の（Ａ）について
　刊行物１発明における「被検査体」は検査の対象であるから，本願補正発明における「サンプル」に相当する。また，刊行物１発明における「表面欠陥検査装置」は「散乱光を検出することで」「欠陥の有無」を検出するものであるから，本願補正発明における「異常を検出する光学装置」に相当する。そうすると，刊行物１発明における「散乱光を検出することで被検査体の欠陥の有無を検出する表面欠陥検査装置」は，本願補正発明における「サンプルの異常を検出する光学装置」に相当する。
　
　（イ） 刊行物１発明と本願補正発明の（Ｂ）について
　刊行物１発明における「レーザービーム」は，本願補正発明における「放射光線」に相当する。そして，刊行物１発明における「レンズを含む光学系」は，レンズを含む一まとまりの光学的な機器のことであるから，刊行物１発明における「レンズから焦点距離だけ離れた被検査体表面の位置に対して，その被検体表面に対して略垂直にレーザービームをレンズの焦点距離の位置で焦点を合わせるレンズを含む光学系」は，本願補正発明における「サンプルの表面上の照明される領域に対して、そのサンプル表面に対して垂直方向または略垂直方向で放射光線を焦点の合った光線へと焦点を合わせる第１の光学機器」に相当する。
　
　（ウ） 刊行物１発明と本願補正発明の（Ｃ）について
　刊行物１発明における「光電変換素子アレイ」は，本願補正発明における「第１の検出器アレイ」に相当する。
　
　（エ） 刊行物１発明と本願補正発明の（Ｅ）について
　刊行物１発明における「小型ミラー」及び「レーザービーム」は，それぞれ，本願補正発明における「反射器」及び「光線」に相当する。そうすると，刊行物１発明における「前記光学系は小型ミラーを有し，前記小型ミラーはレンズと前記光電変換素子アレイとの間に配置されるとともに，レーザービームを被検査体表面に反射し，光電変換素子アレイに入射する散乱性反射光の妨害を低減するものである」という点と本願補正発明における「前記第１の光学機器が反射器をさらに有し、前記反射器が対物レンズと前記集光光学機器との間で、前記集光光学機器の集光開口内に対応すべく配置されると共に、光線をサンプルの表面に反射し、前記反射器の形状が前記集光光学機器の集光開口の妨害を低減する細長い形状であ」るという点は，「前記第１の光学機器が反射器をさらに有し」，「前記反射器」が「光線をサンプルの表面に反射する」という点で共通する。
　
　（オ） 小括　
　以上のことから，両発明は，
　
（一致点）
　
（Ａ）サンプルの異常を検出する光学装置であって、
（Ｂ）サンプルの表面上の照明される領域に対して、そのサンプル表面に対して垂直方向または略垂直方向で放射光線を焦点の合った光線へと焦点を合わせる第１の光学機器と、
（Ｃ）第１の検出器アレイと、
（Ｅ）前記第１の光学機器が反射器をさらに有し，前記反射器が光線をサンプルの表面に反射する光学機器。
　
である点で一致し，次の点で相違する。
　
（相違点１）
　本願補正発明における「反射器の形状」が（Ｅ）「細長い形状」であるのに対し，刊行物１発明における反射器の形状は不明な点。
　
（相違点２）
　本願補正発明が（Ｄ）「サンプル表面上で、放射光線により照明される領域から散乱される放射線を集光すると共に、前記照明される領域の一部分から集光された散乱される放射線を前記第１の検出器アレイにおける対応する検出器へと焦点を合わせる集光光学機器」とを備え，（Ｅ）で規定されるように「反射器」が「対物レンズと前記集光光学機器との間で、前記集光光学機器の集光開口内に対応すべく配置され」ており，「反射器の形状」が「前記集光光学機器の集光開口の妨害を低減する」ものであるのに対し，刊行物１発明は，そのような集光光学機器を備えていない点。
　
（相違点３）
　本願補正発明が（Ｆ）「前記集光光学機器から分離されると共に、前記集光光学機器の集光開口の外側への方向に沿って、サンプル表面上で、照明される領域から散乱される放射線を集光する集光チャンネル」を備えているのに対し，刊行物１発明は，そのような集光チャネルを備えていない点。
　
　ク　判断　
　これらの相違点について検討する。
　
　（ア）相違点１について
　サンプルの異常の検査スループットを向上することは，当業者にとって自明の課題である。上記（刊２−エ）のとおり，刊行物２には「表面の異常を検査する表面検査システムにおいて被検査表面の照明および検出するにあたり，単一の照明スポットに代えて線状とすることで，表面検査システムのスループットを満足できるものとすることができる」という技術的事項が記載されているところ，当業者であれば，検査スループットを向上するために，サンプルの異常の検出のための照明を線状にするとともに線状の照明を実現するために小型ミラーを細長い形状とすること，すなわち，相違点１に記載の本願補正発明の特定事項のごとく構成することは，当業者が容易に想到できたものである。
　
　（イ）相違点２について
　検査精度を向上させることはサンプルの異常の検査の技術分野において自明な課題であるところ，散乱光による欠陥の有無の検査精度を向上させるために，散乱光を集光し，散乱光の光束を集中させることで検出光量を増加させることは，上記の自明な課題を解決するための慣用手段にすぎない（なお，上記（刊２−ア），（刊２−イ）には，表面検査システムにおいて検出器で検出する光を集束させることが記載されている）。そして，刊行物１発明における「レンズ」は，「レーザービームをレンズの焦点距離の位置で焦点を合わせる」機能を有するので，本願補正発明における「対物レンズ」に相当するから，散乱光を検出することで被検査体の欠陥の有無を検出する刊行物１発明において，欠陥の有無の検査精度を向上させるために，サンプル表面上で，放射光線により照明される領域から散乱される放射線を集光すると共に前記照明される領域の一部分から集光された散乱される放射線を第１の検出器アレイにおける対応する検出器へと焦点を合わせる集光光学機器を，散乱光の方向について対物レンズ及び反射器の下流であって，第１の検出器の上流に設けることに格別の技術的困難はない。また，上記相違点１に関連し，反射器が光電変換素子アレイに入射する散乱性反射光の妨害を低減しないという刊行物１発明の機能を維持するために，反射器を細長い形状とするにあたり集光光学機器の集光開口の妨害を低減するものとすることは，反射器を細長い形状としたことに付随する事項にすぎない。すなわち，刊行物１発明において，相違点２に記載の本願補正発明の特定事項のごとく構成することは，当業者が容易に想到できたものである。
　
　（ウ）相違点３について
　上記（刊３−カ）のとおり，刊行物３には「被検査面に対して垂直方向から照射された垂直光が被検査面の異物とスクラッチにおいて乱反射し，その後受光レンズで収束した高角度及び中角度の散乱光を検出する，被検査物が載せられているステージ装置の真上に設けられ高角度光検出器及び斜め上方に設けられた中角度光検出器を用いた欠陥検査技術」が記載されている。
　また，上記（刊４−オ）のとおり，刊行物４には「面板に対して略垂直方向から照射されたレーザービームが面板の微粒子欠陥等の第１グループの欠陥により斜め方向に散乱した光を検出するための複数オプチカルファイバと面板のピット欠陥等の第２グループの欠陥により略垂直方向に散乱した光を検出するための第２の受光器を備えた面板欠陥検出光学装置」が記載されている。
　刊行物４の記載事項のとおり，欠陥の種類によって欠陥に伴う散乱光の方向が異なることが本願の優先権主張日前に知られていたところ，当業者であれば，様々な種類の欠陥の検査を可能とするために，刊行物１発明に，刊行物３や刊行物４に記載されているような，斜め方向への散乱光を検出するため検出器を設けること，そして散乱光の検出にあたり，たとえば刊行物３のように，レンズを用いて散乱光を収束すること，すなわち，上記相違点３に記載の本願補正発明のごとく構成することは，当業者が容易に想到できたものである。
　（エ）効果について
　請求人は，審判請求時に外的に付加した（Ｆ）の構成について，審判請求書で「小さな粒子付着は、表面が垂直方向または水平面に直角な方向に照明される場合に、より高い仰角で優先的に光を散乱し、大きな粒子付着のものよりも略垂直な仰角からさらに離れる。よって、より小さな粒子付着を検出することを可能にするために、水平面に直角な光軸２４からさらに離れた方向に散乱される光を検出できることが重要である。・・・補正後の本願発明は・・・集光光学機器から分離され、集光光学機器の集光開口の外側の方向に沿って、サンプル表面上で、照明される領域から散乱される放射線を集光する別の集光チャンネルを有し、集光開口内で集光光学機器によって集光されるものよりもより高い仰角で、略垂直な仰角とさらに離れて散乱される光を集光することが可能である。これにより、より小さな粒子付着を検出するための装置の性能を高めることができる。」と主張している。
　しかし，小さな粒子付着を検出するために，斜め方向に散乱される光を検出することは，刊行物４に記載されていることから，請求人が主張する本願発明の効果は，当業者が刊行物１ないし４から予測し得る範囲内のものにすぎず，格別顕著なものともいえない。
　また，サンプル上に線状の照明をすることによる検査スループットの向上等の本願発明の効果についても，当業者が刊行物１ないし４から予測し得る範囲内のものにすぎず，格別顕著なものともいえない。
　
　ケ　まとめ　
　以上のように，本願補正発明は，当業者が刊行物１発明及び刊行物２ないし４に記載の事項に基づいて容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により，特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
　（４） 補正の却下の決定についてのむすび　
　したがって，仮に本件補正が，平成１８年法改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる事項を目的とするものであるとしても，本件補正後の請求項に係る発明が，特許出願の際独立して特許を受けることができるものでなく，平成１８年法改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合しないので，同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
第３　本願発明について  
　
１　本願発明  
　本件補正は上記のとおり却下されたので，本願の請求項１に係る発明（以下，「本願発明」という。）は，平成２６年２月２０日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
　
　「【請求項１】
　サンプルの異常を検出する光学装置であって、
　サンプルの表面上の照明される領域に対して、サンプル表面に対して垂直方向または略垂直方向で放射光線を焦点の合った光線へと焦点を合わせる第１の光学機器と、
　第１の検出器アレイと、
　放射光線から生じ、サンプル表面上の照明される領域から散乱される放射線を集光すると共に前記照明される領域の一部分から集光された散乱される放射線を前記第１のアレイにおける対応する検出器へと焦点を合わせる集光光学機器と、を備え、
　前記第１の光学機器が光線をサンプルの表面に反射する集光光学機器の集光開口に反射器を有し、前記反射器が集光光学機器の集光開口の妨害を低減する細長い形状を有する光学装置。」
  
２　刊行物について  
　刊行物及びそれらの記載事項並びに刊行物に記載された発明は，上記「第２　２　（３）」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断  
　本願発明は，上記「第２」で検討した本願補正発明から，反射器の相対的位置に関する限定事項（
前記反射器が前記対物レンズと前記集光光学機器との間で、前記
内に対応すべく配置されると共に
前記光学装置が、前記集光光学機器から分離されると共に、前記集光光学機器の集光開口の外側への方向に沿って、サンプル表面上で、照明される領域から散乱される放射線を集光する集光チャンネルをさらに備える
その
サンプル表面上で、放射光線により
光線をサンプルの表面に反射し
　
　そうすると，本願発明の特定事項を全て含み，他の特定事項を付加し，さらに明瞭化したものに相当する本願補正発明が，上記「第２　２」に記載したとおり，刊行物１発明及び刊行物２ないし４に記載の事項に基づいて容易に発明をすることができたものであるから，本願発明も，同様の理由により，刊行物１発明及び刊行物２ないし４に記載の事項に基づいて容易に発明をすることができたものである。
  
４　むすび  
　以上のとおりであるから，本願発明は，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから，その他の請求項について言及するまでもなく，本願は拒絶されるべきものである。  
　よって，結論のとおり審決する。