【手続補正書】
【提出日】令和2年3月19日(2020.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体（６）と、この筐体（６）と接続され、第一の開口部（１３）を介して流体（１１）と接触する第一の圧力センサー（１２）と接続可能である、流体（１１）を収容するシリンダー（１０）と、アクチュエータ（４）と、このシリンダー（１０）と協力して動作するピストン（８）とを有し、このアクチュエータ（４）が、この筐体（６）とこのピストン（８）のシリンダー（１０）に対して逆の側（１５）との間に配置されている、圧力センサーを動的に校正する装置において、
本装置が、より大きな重量物との接続部、特に、土台との接続部を持たないことによって、筐体（６）とアクチュエータ（４）の一つの接続及びアクチュエータ（４）とピストン（８）の一つの接続だけで静的に位置を決定されることと、
このアクチュエータが圧電式アクチュエータ（４）として構成されることと、
ピストン（８）が、シリンダー（１０）内でパッキン（１４）により周囲環境に対して密閉され、このパッキン（１４）内を動けるように配置されていることと、
を特徴とする装置。
【請求項２】
一次校正に用いられる場合に、筐体（６）に対して相対的なピストン（８）の動きを検出する測定系が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記の測定系が動的な動きと静的な動きの両方を検出するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記の測定系が、校正された振動センサー（１６；１７）として、或いは速度デコーダ及び行程デコーダを備えたレーザー振動計（２１，２４）として構成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の装置。
【請求項５】
前記のアクチュエータ（４）が、ビーム通過部を有する中空アクチュエータ（２３）として構成され、このビーム通過部を介して、レーザー振動計（２１）がピストンの方向に向けられていることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
二次校正に用いられる場合に、流体を収容するシリンダー（１０）が、二次校正すべき第二の圧力センサー（２０）と接続可能であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
シリンダー（１０）内に静的な予圧を生成するリニアスピンドル（１６）が配置されていることを特徴とする請求項１から４までのいずれか一つに記載の装置。
【請求項８】
第二のシリンダーが配備され、このシリンダー内には、周囲環境に対して密閉された、この第二のシリンダー内を動くことができるコントロールピストン（１９）が配置されていることを特徴とする請求項１から４までのいずれか一つに記載の装置。
【請求項９】
圧力センサー（１２）に作用する圧力を表す実際のパラメータが測定されて、それに対応する目標パラメータと比較され、この比較から、実際のパラメータに関する校正値ｃが算出され、流体（１１）で満たされていて、第一の開口部（１３）を介して前記圧力センサー（１２）と接触しているシリンダー（１０）と協力して動作するピストン（８）を用いて圧力が生成される、請求項１に記載の装置によって圧力センサーを動的に校正する方法において、
この実際値に対応する圧力変化Δｐが、流体に関する圧縮率Ｋ、有効圧力面積ＡＫ、流体（１１）を満たされたシリンダー（１０）の容積Ｖ０、並びにピストン変位ΔｘＫとシリンダー変位ΔｘＺを用いて、次の式
【数１】
2019529919.tif 000001
に基づき計算されることを特徴とする方法。
【請求項１０】
異なるピストン変位ｘＫ（１）．．．ｘＫ（ｎ）及びシリンダー変位ｘＺ（１）．．．ｘＺ（ｎ）に関して、圧力ｐｎが次の式
【数２】
2019529919.tif 000002
に基づき計算されることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記のピストン変位ｘＫ及びシリンダー変位ｘＺが動的に、即ち、次の式
【数３】
2019529919.tif 000003
に基づく時間関数として生成されて、動的な圧力関数
【数４】
2019529919.tif 000004
が、次の式
【数５】
2019529919.tif 000005
に基づき計算されることを特徴とする請求項９又は１０に記載の方法。
【請求項１２】
【数６】
2019529919.tif 000006
が周波数ｆの正弦関数として生成されることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
周波数を変化させた
【数７】
2019529919.tif 000007
、即ち、
【数８】
2019529919.tif 000008
と校正値ｃが、周波数に依存する圧力の計算
【数９】
2019529919.tif 000009
により関数ｃ（ｆ）として生成されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
アクチュエータ（４）により生成される動的な圧力がシリンダー（１０）内の圧力に重ね合わされることと、
ピストン面積Ａ、容積Ｖ０、圧縮率Ｋ、並びに時間に依存するピストン変位
【数１０】
2019529919.tif 000010
とシリンダー変位
【数１１】
2019529919.tif 000011
の量の算出が、
ピストン（８）の直径測定より、この面積Ａを計算することと、
用いる流体（１１）と文書に記録されたテーブル値に基づき圧縮率Ｋを確定することと、
時間に依存するピストン移動量
【数１２】
2019529919.tif 000012
とシリンダー移動量
【数１３】
2019529919.tif 000013
を算出することと、
必ずしも動的に校正されていない圧力センサー（１２，２０）を用いて容積Ｖ０を計算し、その際、シリンダー（１０）での動的な圧力センサー出力信号
【数１４】
2019529919.tif 000014
の二回の測定が実行されて、それらの間において初期容積が変更されるが、圧力センサー（１２；２０）における静的な出力信号Ｕにより表される静的な予圧が等しく設定され、先ずは、第一の測定が実行されて、ピストン移動量とシリンダー移動量
【数１５】
2019529919.tif 000015
が測定され、圧力センサー（１２；２０）において周波数ｆ１での動的な出力パラメータ
【数１６】
2019529919.tif 000016
が算出された後、シリンダーの容積がΔＶだけ変更され、それに続いて、同じ周波数ｆ２＝ｆ１での動的な出力パラメータ
【数１７】
2019529919.tif 000017
の第二の測定が行なわれて、圧力センサーで同じ動的な出力パラメータを得る、即ち、
【数１８】
2019529919.tif 000018
となるのに必要なピストン移動量とシリンダー移動量
【数１９】
2019529919.tif 000019
が測定され、次に、容積Ｖ０が、次の式
【数２０】
2019529919.tif 000020
に基づき計算されることと、
により行なわれることを特徴とする請求項９から１３までのいずれか一つに記載の方法。
【請求項１５】
前記のピストン面積Ａ，容積Ｖ０、圧縮率Ｋ、並びに時間に依存するピストン移動量とシリンダー移動量
【数２１】
2019529919.tif 000021
の算出が、
ピストン（８）の直径測定より、この面積Ａを計算することと、
用いる流体（１１）と文書に記録されたテーブル値に基づき圧縮率Ｋを確定することと、
時間に依存するピストン移動量
【数２２】
2019529919.tif 000022
とシリンダー変位
【数２３】
2019529919.tif 000023
を算出することと、
必ずしも動的に校正されていないが、必ず静的に校正された圧力センサー（１２；２０）を用いて容積Ｖ０を計算し、その際、
この容積Ｖ０を算出するために、液状の流体がガス状の流体に置き換えられ、
シリンダー内の静的な圧力ｐ１及びｐ２の二回の測定が実行されて、それらの間において初期容積がΔＶだけ変更され、先ずは、第一の測定が実行されて、その測定から、圧力センサー（１２；２０）における静的な出力パラメータＵ１が算出されて、シリンダーの容積がΔＶだけ変更され、静的な出力パラメータＵ２の第二の測定が実行されて、容積Ｖ０が、次の式
【数２４】
2019529919.tif 000024
に基づき計算されることと、
により行なわれることを特徴とする請求項８から１３までのいずれか一つに記載の方法。
【請求項１６】
調整行程ΔＸＶＫによる調整移動を実行する、ピストン面積ＡＶＫを有する別個のコントロールピストン（１９）を用いて、容積Ｖ０が変更されて、次の式
【数２５】
2019529919.tif 000025
に基づき計算されることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記の時間に依存するピストン移動量
【数２６】
2019529919.tif 000026
とシリンダー移動量
【数２７】
2019529919.tif 000027
が生成されて、測定系（１７，１８）を用いて検出され、動的な圧力関数
【数２８】
2019529919.tif 000028
が次の式
【数２９】
2019529919.tif 000029
に基づき計算され、ここで、Ｃ１が、ピストン変位ΔｘＫ及びシリンダー変位ΔｘＺに関する必ず静的に校正された圧力センサー（１２；２０）の二回の静的な圧力測定により算出されて、その測定から、圧力差Δｐ、ピストン変位ΔｘＫ及びシリンダー変位ΔｘＺが算出され、Ｃ１が、次の式
【数３０】
2019529919.tif 000030
に基づき計算されることを特徴とする請求項９から１３までのいずれか一つに記載の方法。
【請求項１８】
一次校正された後の今や校正値ｃが既知であるセンサー（１２）が、第二の圧力センサー（２０）を二次校正するための第一の圧力センサー（１２）として使用されることを特徴とする請求項９から１７までのいずれか一つに記載の方法。