【事件の表示】
　特願２００８−３２０９２１「プロセス制御システム用のレシピ情報を表示する方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年　７月　９日出願公開、特開２００９−１５１７８７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本件出願は、平成２０年１２月１７日（パリ条約による優先権主張　２００７年１２月２１日　アメリカ合衆国）の特許出願であって、その後の手続の経緯は以下のとおりである。
　平成２３年１２月１３日　　：手続補正書の提出
　平成２５年　１月　４日付け：拒絶理由の通知
　平成２５年　４月１０日　　：意見書、手続補正書の提出
　平成２５年　７月３０日付け：拒絶理由の通知
　平成２５年１１月　５日　　：意見書、手続補正書の提出
　平成２６年　１月３０日付け：拒絶査定
　平成２６年　６月　３日　　：審判請求書、手続補正書の提出
２　本件出願に係る発明の認定
　本件出願の特許請求の範囲の請求項１ないし４に係る発明は、平成２６年６月３日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明は、以下のとおりである（下線部は補正箇所を示す）。
「プロセス制御システム用のレシピ情報を表示する方法であって、
　複数の工程フェーズを含むレシピに関連する画面を表示し、
　前記画面を、複数の要約情報表示領域と詳細情報表示領域を含む１以上の有界表示領域に分割し、
　各々レシピの工程フェーズの少なくとも一つに対応する複数の要約カプセルを生成し、
　１以上の要約情報表示領域の各々に要約カプセルの各々を、レシピのプロセスフローを示す配置にて表示し、
　詳細情報表示領域においてレシピの工程フェーズの少なくとも一つに対応する詳細情報を表示すること、
　ユーザが前記要約情報表示領域の一つを選択したことに応答して前記詳細情報表示領域に詳細情報を表示することを更に含み、
　前記詳細情報が、前記選択された要約情報表示領域の一つに対応する工程フェーズの少なくとも一つに対応し、
　対応する
工程
工程
　前記
工程
　ことを特徴とする、方法。」（以下「本願発明」という）
　また、上記下線部で示された補正については、補正前に「行程」と記載されていたものを、明細書全体の記載を考慮し、誤記の訂正を目的として「工程」としたものである。
３　刊行物の記載事項
　本件優先日前日本国内において頒布された刊行物であって、原査定の拒絶の理由に引用された特開２００３−３７０３２号公報（以下「刊行物１」という）及び特開２００２−２３０２４５号公報（以下「刊行物２」という）には、図面とともに、以下の事項が記載されている（下線は当審で付与した）。
（１）刊行物１に記載された事項及び発明
ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の被処理体の処理装置及び処理装置の処理状況表示方法
イ　「【００１２】そして、上記加熱ヒータ６へ電力供給、上記流量制御機構１０、上記真空引き機構１６、上記ボート昇降エレベータ２４及び上記昇降エレベータ３４等は、コンピュータよりなる制御本体４０により自動的に制御されることになる。この場合、前述したように、一連の処理を行うためにレシピと称するプログラムが予め制御本体４０内に組み込まれており、必要に応じてレシピが開始できるようになっている。また、この
レシピプログラムは、当然のごとく多数のステップよりなり、レシピ実行時には１つずつこのステップを順次消化して行く
ウ　「【００１３】そして、この制御本体４０には、例えばマイクロコンピュータ等よりなる時間演算制御手段４２が接続されており、この時間演算制御手段４２には、例えば書き換え可能なメモリよりなる時間記憶手段４４及び液晶表示ディスプレイ（ＬＣＤ）等よりなる表示手段４６がそれぞれ接続されている。上記時間記憶手段４４は、少なくもレシピ基準総時間を記憶しており、このレシピ基準総時間は当該レシピを開始してから終了するまでの時間の予測時間、或いは実測時間で定義され、必要な場合には、更新されて新しい実測時間で入れ替えられる。当該レシピが一度も実行されたことがない場合には、このレシピ基準総時間として、経験則に基づいて予め設定される予測時間が記憶され、実際にレシピが実行された時には、この時の実測時間で上記経験則に基づいて設定した予測時間を更新する。
【００１４】上記時間演算制御手段４２は、少なくとも
レシピの開始からの経過時間と上記レシピ基準総時間とに基づいてこのレシピの進み具合、すなわち進捗率を求める
進捗率（％）＝［レシピ経過時間／レシピ基準総時間］×１００
また、この時間演算制御手段４２は、上記進捗率の他に、レシピの終了予定時刻、レシピが終了するまでの残り時間、現在実行中のステップの経過時間等を演算によって求める。例えばレシピの終了予定時刻は次の式で与えられる。
レシピ終了予定時刻＝レシピの開始時刻＋レシピ基準総時間
また、レシピ終了までの残り時間は次の式で与えられる。
残り時間＝レシピ基準総時間−レシピ経過時間
【００１５】上記表示手段４６は、上記各求めた時間、或いは時刻を視覚的に表示するものである。従って、ここでは図２に示すように、この
表示手段４６は、上記進捗率を表示する進捗率表示部４６Ａ、上記経過時間を表示する経過時間表示部４６Ｂ、レシピの開始時刻と終了予定時刻とを表示する時刻表示部４６Ｃ、上記残り時間を表示する残り時間表示部４６Ｄ、現在実行中のステップの経過時間を表示するステップ経過時間表示部４６Ｅ及び現在実行中のステップ名を表示するステップ表示部４６Ｆをそれぞれ有している。上記ステップ表示部は図示例では３つの表示欄があって現在実行中のステップ名が常に中央に位置するように表示され、１つのステップが終了する毎に上方へ、或いは下方へ表示が１欄ずつスクロールされる。図示例では中央のステップ名が、他よりも輝いて（明るく）表示されており、現在実行中である旨を示している。
エ　「【００１６】次に、以上のように構成された本実施例の動作について、図４に示すフローも参照して説明する。ここでは、半導体ウエハＷに対する処理として成膜を行う場合を例にとって説明する。この成膜処理を行うには、予めプログラム化されたレシピを作成し、このプログラムを実行することにより、成膜が行われる。前述したように、このレシピは、多数のステップにより構成されており、図３にレシピを構成する各ステップと、その時のウエハ温度との関係を示している。図示例では、説明の簡単化のために全部で７つのステップしか記載していないが、実際には、数１００のステップを有している。
【００１７】ステップ１は５分程度要し、室温の処理容器４の温度をウエハのロードを行う温度、例えば２００℃まで昇温する。ステップ２は１０分程要し、処理容器４内へウエハをロードする。ステップ３は８分程要し、ウエハをプロセス温度（成膜温度）例えば６００℃程度まで昇温する。ステップ４は２０分程要し、ウエハ温度をプロセス温度にて安定化させる。ステップ５は１２０分程要し、成膜ガスを流して実際に膜付け（成膜処理）を行う。ステップ６は８分程要し、ウエハ温度をアンロード可能な温度、例えば２００℃程度まで降温する。ステップ７は９分程要し、ウエハボート３０を降下させてアンロードする。以上の各ステップ１〜７を実行することにより、レシピの実行が１回終了することになる。
【００１８】まず、時間記憶手段４４には、予めレシピ基準総時間が記憶されている。ここでは、直前に行ったこのレシピの開始から終了までに要した時間を、更新して記憶しておくものとする。この時のレシピ基準総時間は、一例として図３に示されているような時間とし、１８０分間が終了に要している。また、図３には、各ステップ１〜７を実行するための時間の内訳も示している。図２の表示内部について説明すると、このレシピの開始時刻は２時１０分３０秒であり、終了予定時刻は、レシピ基準総時間（１８０分）後の５時１０分３０秒である。現在のレシピ開始後の経過時間は１時間（６０分）であり、従って、レシピ終了後までの残り時間は、２時間（１２０分＝１８０分−６０分）である。この時のレシピの進捗率は３３％（＝６０分／１８０分）である。現在実行中のステップは”ステップ５”であり、そのステップ５を開始してからの経過時間は１７分である。」
オ　「【００１９】次に、図４を用いて一連の各工程の流れについて説明する。尚、これ以降説明するフローの各ステップは、例えば制御本体４０より発せられる基準クロックに基づいて順次実行される。まず、制御本体４０の指令によりレシピが開始されたか否かが判断され（Ｓ１）、レシピが開始されるとタイマの計測が開始される（Ｓ２）。そして、このレシピの開始時刻及びレシピの進行にともなう経過時間が、時間演算制御手段４２の指示により表示手段４６の所定の表示部、すなわち、時刻表示部４６Ｃの開始時刻の欄及び経過時間表示部４６Ｂにそれぞれ表示される（Ｓ３）。次に、時間演算制御手段４２は、上記レシピの開始時間と、時間記憶手段４４に記憶されているレシピ基準総時間とに基づいてこのレシピの終了予定時刻を求め（Ｓ４）、その時刻を表示手段４６の時刻表示部４６Ｃの終了予定時刻の欄に表示する（Ｓ５）。次に、上記時間演算制御手段４２は、上記レシピ基準総時間と経過時間とに基づいてレシピが終了するまでの残り時間を求め（Ｓ６）、この求めた残り時間を表示手段４６の残り時間表示部４６Ｄに表示する（Ｓ７）。
【００２０】次に、
上記時間演算制御手段４２は、上記レシピ基準総時間と経過時間とに基づいてレシピの進捗率を求め（Ｓ８）、この求めた進捗率を表示手段４６の進捗率表示部４６Ａに表示する
現在実行中のステップ名を、表示手段４６のステップ表示部４６Ｆの中央の欄に輝度を増した状態で表示する
現在実行中のステップの開始からの経過時間を計測すると共に、その経過時間を表示手段４６のステップ経過時間の表示部４６Ｅに表示する
カ　「【００２１】これにより、
操作者はレシピの時間的な進捗率を常時確認することができる
キ　「【図面の簡単な説明】
・・・（省略）・・・
【図２】
表示手段の表示面
・・・（省略）・・・」
ク　上記摘記事項アないしキの記載を整理すると、刊行物１には以下の発明が記載されていると認められる。
「被処理体の処理装置用のレシピ情報を表示する方法であって、
　複数のステップを含むレシピに関連する表示面を表示し、
　前記表示面を、ステップ表示部４６Ｆとステップ経過時間表示部４６Ｅを含む複数の表示部とし、
　各々レシピのステップ名が表示されるステップ表示部４６Ｆの３つの表示欄を有し、
　ステップ表示部４６Ｆの３つの表示欄の各々を、現在実行中のステップ名が常に中央に位置する配置にて表示し、
　ステップ経過時間表示部４６Ｅにおいてレシピのステップの少なくとも一つに対応するステップの経過時間を表示すること、を含み、
　進捗率の百分率は、全体のレシピに対する時間又は作業の量を示し、
　前記進捗率表示部４６Ａの進捗率は、前記被処理体の処理装置の制御本体４０から受信された情報に基づいて生成されたレシピの進捗率に基づいて常時確認することができる、方法。」（以下「引用発明」という）
（２）刊行物２に記載された事項
ア　「【００３０】続いて、作業間リンク指定処理（ステップＳ３）が実行される。この処理もステップＳ１、Ｓ２と同様に、マウス等を使用して表示装置２２の画面上のポインタを移動させることによって実行される。すなわち、ガントチャートにおける作業Ａ及び作業Ｂを示す棒としての２つの進捗バーにポインタ当て、順次指定することによって、作業Ａから作業Ｂへのリンクや作業Ｂから作業Ａへのリンクというようにリンク付けされる。なお、このようなリンク付けは、キーボードを使用してデータシートへ直接入力することによって行うこともできる。また、作業Ａから作業Ｂ、Ｃへのリンクというような複数のリンク付けを行うこともできる。さらに、進捗バーのどの部分へリンクするのかを指定することもできる。この場合、ポインタを当てる進捗バーの位置によって決定される。なお、リンク禁止情報ファイル３７に格納されているリンク禁止情報を参照するので、リンク付けの禁止された部分へのリンク付けは行われることがない。
【００３１】続いて、入力情報参照処理（ステップＳ４）が実行される。この処理を実行する際には、前記詳細作業ウィンドウ表示処理部２６及びウィンドウ表示記憶部３０によって、表示装置２２の画面上に図６に示されるような詳細作業ウィンドウが表示される。例えば、作業Ｂが複数の詳細作業単位を含む場合、前記作業ＢはサマリーＢといえる。例えば、サマリーＢの中には作業Ｂ１〜Ｂ６の作業単位があるとした場合、進捗情報表示ウインドウ７１の内部に補助的なウィンドウである詳細表示ウインドウ７２を表示することができる。
【００３２】
この操作は、進捗情報表示ウインドウ７１に表示されている作業Ｂ（サマリーＢ）の進捗バー７３の部分にポインタを当ててクリックすると、作業Ｂに含まれる詳細作業単位、作業Ｂ１〜Ｂ６に対応する進捗バーを含む詳細表示ウインドウ７２が表示される。
イ　上記摘記事項アの記載を、技術常識を考慮して整理すると、刊行物２には以下の事項が記載されていると認められる。
「ユーザが、進捗情報表示ウインドウ７１に表示されている作業Ｂ（サマリーＢ）の進捗バー７３の部分にポインタを当ててクリックすると、詳細表示ウインドウ７２に、作業Ｂに含まれる詳細作業単位、作業Ｂ１〜Ｂ６に対応する進捗バーを表示すること」（以下「刊行物２事項」という）
４　対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　引用発明の「被処理体の処理装置」は、具体的には半導体ウエハの成膜処理等を行うものであるから、本願発明の「プロセス制御システム」に相当する。
　引用発明の「ステップ」は、レシピプログラムを実行する順番を示すものであるから、本願発明の「工程フェーズ」に相当する。
　引用発明の「表示面」は、本願発明の「画面」に相当する。
　本願発明の「要約情報表示領域」は、明細書の段落【００７６】を参照すると、「工程段階カプセル要約６０２ａ−ｅの各々は、その各工程段階（例えば、図２の工程フェーズ２０６ａ−ｉの１以上を含む工程段階）の進捗状況及び状態の少なくとも一方の概要総括情報を表示する。」と記載されていることからみて、各工程段階の進捗状況及び状態の少なくとも一方の概要総括情報を表示する領域である。一方、引用発明の「ステップ表示部４６Ｆ」は、上記摘記事項ウの【００１５】の記載からみて、「３つの表示欄」の中央に現在実行中のステップ名を表示するように構成され、ステップが終了する毎に上方又は下方に１欄ずつスクロールされることで、３つのステップの実行前、実行中、実行後を認識できるように表示するものであるから、ステップの進捗状況の概要総括情報を表示する要約情報表示領域に相当するものと認められる。
　また、引用発明の「３つの表示欄」は、ステップ終了毎にステップ名はスクロールされてしまうが、３つの各欄が各々レシピのステップの一つを表示するものであることには相違ない。そうすると、引用発明の「各々レシピのステップ名が表示されるステップ表示部４６Ｆの３つの表示欄を有し」という事項は、本願発明の「各々レシピの工程フェーズの少なくとも一つに対応する複数の要約カプセル」という事項とは、「各々レシピの工程フェーズの一つを表示する複数の表示欄」という点では、共通しているものである。
　さらに、引用発明の「３つの表示欄」は、ステップ毎にステップ名が上欄又は下欄にスクロールされていくから、レシピのステップ順に上下に並んで配置されているものである。そうすると、引用発明の「ステップ表示部４６Ｆの３つの表示欄の各々を、現在実行中のステップ名が常に中央に位置する配置にて表示し」という事項は、本願発明の「１以上の要約情報表示領域の各々に要約カプセルの各々を、レシピのプロセスフローを示す配置にて表示し」という事項とは、「要約情報表示領域の各々に表示欄の各々をレシピのプロセスフローを示す配置にて表示し」という点では共通しているものである。
　本願発明の「詳細情報表示領域」は、明細書の段落【００７９】を参酌すると、特定の工程段階に関する詳細情報を表示する領域のことである。一方、引用発明の「ステップ経過時間表示部４６Ｅ」は、表示された現在実行中のステップの開始からの経過時間を表示するものであり、「ステップ経過時間」とは、特定のステップに対応する詳細情報と認められるから、特定の工程段階に関する詳細情報を表示する詳細情報表示領域に相当するものと認められる。
　さらに、引用発明の「進捗率」と、本願発明の「対応する工程段階進捗表示」とは、「進捗表示」という限りにおいて共通するものである。
　また、引用発明の「被処理体の処理装置の制御本体４０から受信」されることは、制御本体４０が処理装置の一部とみなせることから、本願発明の「プロセス制御システムから受信」されることに相当する。
　引用発明の「進捗率は・・・常時確認することができる」という事項は、「常時確認することができる」ようにするために、進捗率を実質的にリアルタイムに更新していることは、当業者には自明の事項である。
　そうすると、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で一致している。
＜一致点＞
「プロセス制御システム用のレシピ情報を表示する方法であって、
　複数の工程フェーズを含むレシピに関連する画面を表示し、
　前記画面を、複数の要約情報表示領域と詳細情報表示領域を含む表示領域とし、
　各々レシピの工程フェーズの一つを表示する複数の表示欄とし、
　要約情報表示領域の各々に表示欄の各々を、レシピのプロセスフローを示す配置にて表示し、
　詳細情報表示領域においてレシピの工程フェーズの少なくとも一つに対応する詳細情報を表示すること、を含み、
　進捗表示量は、全体のレシピに対する時間又は作業の量を示し、
　前記進捗表示量は、前記プロセス制御システムから受信された情報に基づいて生成されたレシピ進捗情報に基づいて実質的にリアルタイムに更新される、方法。」
　そして、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で相違している。
＜相違点１＞
　画面の表示領域について、本願発明では「１以上の有界表示領域に分割」するものであるのに対し、引用発明では画面の分割について不明である点。
＜相違点２＞
　表示欄について、本願発明では「工程フェーズの少なくとも一つに対応する複数の要約カプセルを生成」するのに対し、引用発明では要約カプセルの生成については不明である点。
＜相違点３＞
　本願発明が、「ユーザが要約情報表示領域の一つを選択したことに応答して詳細情報表示領域に詳細情報を表示することを更に含み、前記詳細情報が、前記選択された要約情報表示領域の一つに対応する工程フェーズの少なくとも一つに対応」するものであるのに対し、引用発明ではそのような詳細情報の表示方法については不明である点。
＜相違点４＞
　進捗表示について、本願発明では、「対応する工程段階進捗表示」であって「全体のレシピに対する工程段階によって要求される時間又は作業の量を示」すものであり、「部分的な塗潰し量」で表されるものであるのに対し、引用発明では、レシピ全体の進捗率を百分率表示している点。
５　判断
　＜相違点１＞について検討する。
　プロセス制御システムにおけるグラフィックユーザーインターフェースの表示方法について、画面を分割して表示する手法は、例えば、特開２００５−２３５１３１号公報（図３、図１１を参照）や特開２００７−５６１７号公報（図５、図７、図９を参照）にも示されているように、従来周知の事項に過ぎない。そして、このような従来周知の事項を引用発明の表示面に適用することは、当業者が必要に応じて適宜成し得る設計変更に過ぎない。
　＜相違点２＞について検討する。
　表示をカプセルにより行うことは、特開２００５−２３５１３１号公報（図３、図１１を参照）や特開２００７−５６１７号公報（図５、図７、図９を参照）にも示されているように、従来周知の事項に過ぎない。そして、引用発明のステップ表示部４６Ｆの３つの表示欄の表示形態として、該従来周知の事項を適用して、カプセルを生成して表示するように構成することも、当業者であれば容易に成し得るものである。また、その際、表示可能なカプセルの個数は必要に応じて適宜設定される設計的事項に過ぎない。
　＜相違点３＞について検討する。
　「ユーザが要約情報表示領域の一つを選択したことに応答して、詳細情報表示領域に詳細情報を表示すること」は、上記刊行物２事項においても、「ユーザが進捗情報表示ウインドウ７１に表示されている作業Ｂ（サマリーＢ）の進捗バー７３の部分にポインタを当ててクリックする」ことで選択し、その選択に応答して「詳細表示ウインドウ７２に、作業Ｂに含まれる詳細作業単位、作業Ｂ１〜Ｂ６に対応する進捗バーを表示すること」として示されているように、公知の事項である。また、上記刊行物２事項の「作業Ｂ１〜Ｂ６に対応する進捗バー」が、「作業Ｂ（サマリーＢ）」の工程フェーズに対応する詳細情報であることも自明である。
　そして、引用発明のステップ表示部４６Ｆについて、上記刊行物２事項を適用し、ステップ名の表示を選択することで、当該ステップの詳細作業情報の表示を行わせるようにし、相違点３に係る本願発明の構成とすることは、当業者であれば容易に想到し得るものというべきである。
　＜相違点４＞について検討する。
　画面での進捗状況の表示について、対応する工程段階毎に、全体のレシピに対する工程段階によって要求される時間又は作業の量を、部分的な塗潰し量で表現する点は、例えば、特開２００５−２３５１３１号公報（図７の進捗状況／トレンド表示画面９０における、工程毎に進捗状況をリアルタイム更新でグラフ化して表示する方法を参照）や、特開２００７−５６１７号公報（図５ないし図９に示された進捗状況のプログレッシブバーや棒グラフによる表示方法を参照）に示されているように、従来周知の事項に過ぎない。そして、このような従来周知の事項を、引用発明の進捗率表示部４６Ａに適用し、相違点４に係る本願発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得る程度の事項である。
　そして、本願発明が奏する効果も、引用発明、刊行物２事項及び従来周知の事項から、当業者が予測可能なものであって格別なものではない。
　したがって、本願発明は、引用発明、刊行物２事項及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
６　結論
　上記のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明を検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。