【事件の表示】
　上記当事者間の特許第５１２８８１４号発明「質量分析器およびこの質量分析器のための液体金属イオン源」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第５１２８８１４号の請求項１ないし３に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本件特許第５１２８８１４号（以下「本件特許」という。）は、平成１６年７月１日を国際出願日として国際特許出願されたものであって（優先権主張　平成１５年８月２５日）、平成２４年１１月９日にその設定登録がなされた。
　その後、平成２５年２月２２日に無効審判が請求され、同年７月１０日付けで被請求人から答弁書が提出され、同年１１月１日に口頭審理が行われた。
　また、同日付けで請求人から上申書が提出され、同年１１月１５日付けで被請求人から上申書が提出され、同年１１月２２日に請求人から再度上申書が提出された。
　当審において、同年１２月１７日付けで審決の予告がなされたのち、平成２６年３月２６日付けで被請求人から上申書が提出されるとともに、同日付けで訂正請求がなされた。
　これに対して、同年５月７日に請求人から上申書が提出された。
 　
第２．訂正の請求について 
１．訂正請求の内容 
　被請求人の平成２６年３月２６日付けの訂正請求は、本件の特許請求の範囲の請求項１を訂正請求書に添付した特許請求の範囲の請求項１のとおりに訂正すること（以下「本件訂正」という。）を求めるものであり、その内容は以下のとおりである。 
　　 
訂正事項
　特許請求の範囲の請求項１に「試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と」とあるのを、「固体試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と」に訂正する。
　請求項１を引用する請求項２及び請求項３も同様に訂正する。
　
２．訂正の適否 
（１）請求項１に係る訂正について
　訂正事項は、訂正前の請求項１に記載された発明の発明特定事項である「試料」を「固体試料」と限定するものである。
　上記訂正事項は、訂正前の請求項１に記載された試料を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そして、上記訂正事項は、本件特許の明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「本件特許明細書等」という。）に記載した事項の範囲内においてするものであって本件特許明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではない。 
　また、上記訂正事項は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　さらに、上記訂正事項に係る請求項１〜３は、請求項２及び請求項３がそれぞれ請求項１を引用しているから、一群の請求項である。
　
３．むすび 
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１３４条の２第１項ただし書き、並びに、同条第９項において準用する同法第１２６条第４項ないし第６項の規定に適合するので、結論のとおり訂正を認める。 
　
 第３　本件特許発明 
　本件訂正は、上記のとおり認められたので、本件特許の請求項１〜３に係る発明（以下それぞれ「本件発明１」〜「本件発明３」という。）は、それぞれ、訂正請求書に添付した特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
 　 
 「【請求項１】
　二次イオン及び後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器であって、固体試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と、二次粒子の質量分析のための分析ユニットとを有しており、前記イオン源は、加熱可能なイオンエミッタを有しており、該イオンエミッタの場にさらされる領域が液体金属層で被覆されており、該液体金属層は一次イオンビームとして放射されかつイオン化される金属を含有しており、該一次イオンビームは、異なるイオン化段階とクラスター状態とを有する金属イオンを含有しているものにおいて、
　前記液体金属層は純粋な金属ビスマスまたは低融点のビスマス含有合金からなり、その際電場の影響下でイオンエミッタを用いてビスマスイオン混合ビームを放射可能であり、該ビスマスイオン混合ビームから、それらの質量が単原子の１重または多重に電荷されたビスマスイオンＢｉ１Ｐ＋の複数倍となる複数のビスマスイオン種のうちの１種が、フィルタ手段により、質量の純粋なイオンビームとしてろ過可能であり、該イオンビームは１種類のＢｉｎＰ＋イオンのみから成っており、その際ｎ≧２およびｐ≧１であり、かつｎとｐはそれぞれ自然数であることを特徴とする質量分析器。
【請求項２】
　質量の純粋なイオンビームのためにろ過されるイオンは、Ｂｉ２＋、Ｂｉ３＋、Ｂｉ３２＋、Ｂｉ４＋、Ｂｉ５＋、Ｂｉ６＋、Ｂｉ５２＋またはＢｉ７２＋のうちの１種に属している請求項１記載の質量分析器。
【請求項３】
　二次イオン質量分析器は、飛行時間型二次イオン質量分析器として動作可能である請求項１または２記載の質量分析器。」
 　 
 第４　当事者の主張
 １．請求人の主張及び証拠
　請求人は、本件発明１〜３についての特許を無効とする、審判費用は、被請求人の負担とする、との審決を求め、証拠方法として甲第１〜５号証を提出し、以下のとおりの無効理由ＩＩを主張している。
　なお、無効理由Ｉは本件訂正に伴い撤回された（請求人が平成２６年５月７日に提出した上申書参照）。
（無効理由ＩＩ）
　本件発明１〜３は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明並びに周知技術に基いて、出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　
（甲第１〜５号証）
　請求人が提出した証拠方法は、次のとおりである。
（１）甲第１号証：Ｎｏｎｌｉｎｅａｒ　ｅｆｆｅｃｔｓ　ｉｎ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ　ｏｆ　ｏｒｇａｎｉｃ　ｌｉｑｕｉｄｓ　ｂｙ　ｋｅＶ　ｉｏｎｓ，Ｉｏｓｉｆ　Ｓ．Ｂｉｔｅｎｓｋｙ，Ｄｏｕｇｌａｓ　Ｆ．Ｂａｒｏｆｓｋｙ，ＰＨＹＳＩＣＡＬ　ＲＥＶＩＥＷ　Ｂ　ＶＯＬＵＭＥ５６，ＮＵＭＢＥＲ２１，ｐｐ．１３８１５−１３８２５
（２）甲第２号証：ＬＩＱＵＩＤ　ＭＥＴＡＬ　ＩＯＮ　ＳＯＵＲＣＥＳ−ＭＡＳＳ　ＳＰＥＣＴＲＯＳＣＯＰＩＣ　ＳＴＵＤＹ　ＯＦ　Ｇａ，Ｉｎ，Ｓｎ，Ａｕ，Ｐｂ，ＡＮＤ　Ｂｉ，Ｍａｓａｎｏｒｉ　Ｋｏｍｕｒｏ，Ｐｒｏｃ．Ｉｎｔ’ｌ　Ｉｏｎ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ　Ｃｏｎｇｒｅｓｓ−ＩＳＩＡＴ’８３＆ＩＰＡＴ’８３，Ｋｙｏｔｏ（１９８３），ｐｐ．３３７−３４８
（３）甲第３号証の１：ＰＲＡＣＴＩＣＡＬ　ＳＵＲＦＡＣＥ　ＡＮＡＬＹＳＩＳ　ＳＥＣＯＮＤ　ＥＤＩＴＩＯＮ　ＶＯＬＵＭＥ２−Ｉｏｎ　ａｎｄ　Ｎｅｕｔｒａｌ　Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ（Ｄ．Ｂｒｉｇｇｓ，Ｍ．Ｐ．Ｓｅａｈ編、Ｊｏｈｎ　Ｗｉｌｅｙ＆Ｓｏｎｓ　Ｌｔｄ）
（４）甲第３号証の２：表面分析、ＳＩＭＳ−二次イオン質量分析法の基礎と応用−Ｄ．ブリッグス、Ｍ．Ｐ．シーア編、志水隆一、二瓶好正　監訳、アグネ承風社）
（５）甲第４号証：Ａ　ＮＯＶＥＬ，ＰＵＬＳＥＤ，ＬＩＱＵＩＤ　ＭＥＴＡＬ　ＩＯＮ　ＴＩＭＥ−ＯＦ−ＦＬＩＧＨＴ　ＭＡＳＳ　ＳＰＥＣＴＲＯＭＥＴＥＲ，Ｄ．Ｆ．Ｂａｒｏｆｓｋｙ，Ｌ．Ｆ．Ｊｉａｎｇ，ａｎｄ　Ｔ．Ｙ．Ｙｅｎ，（「ＩＯＮ　ＦＯＲＭＡＴＩＯＮ　ｆｒｏｍ　ＯＲＧＡＮＩＣ　ＳＯＬＩＤＳ（ＩＦＯＳ　Ｖ）」（Ａ．ＨＥＤＩＮ，Ｂ．Ｕ．Ｒ．ＳＵＮＤＱＶＩＳＴ　ａｎｄ　Ａ．ＢＥＮＮＩＮＧＨＯＶＥＮ編、Ｊｏｈｎ　Ｗｉｌｅｙ＆Ｓｏｎｓ社、英国、１９９０年）８７〜９１頁
（６）甲第５号証：Ｉｍｐａｃｔ　ｏｆ　ｓｌｏｗ　ｇｏｌｄ　ｃｌｕｓｔｅｒｓ　ｏｎ　ｖａｒｉｏｕｓ　ｓｏｌｉｄｓ：ｎｏｎｌｉｎｅａｒ　ｅｆｆｅｃｔｓ　ｉｎ　ｓｅｃｏｎｄａｒｙ　ｉｏｎ　ｅｍｉｓｓｉｏｎ，Ｍ．Ｂｅｎｇｕｅｒｂａ，Ａ．Ｂｒｕｎｅｌｌｅ，Ｓ．Ｄｅｌｌａ−Ｎｅｇｒａ，Ｊ．Ｄｅｐａｕｗ，Ｈ．Ｊｏｒｅｔ，Ｙ，Ｌｅ　Ｂｅｙｅｃ，Ｍ．Ｇ．Ｂｌａｉｎ，Ｅ．Ａ．Ｓｃｈｗｅｉｋｅｒｔ，Ｇ．Ｂｅｎ　Ａｓｓａｙａｇ，ａｎｄ　Ｐ．Ｓｕｄｒａｕｄ，Ｎｕｃｌｅａｒ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ　ａｎｄ　Ｍｅｔｈｏｄｓ　ｉｎ　Ｐｈｙｓｉｃｓ　Ｒｅｓｅｒｃｈ　Ｂ６２（１９９１）８−２２
　
２．被請求人の主張
　被請求人は、本件審判請求は成り立たない、審判費用は請求人の負担とする、との審決を求め、証拠方法として乙第１及び２号証を提出している。
　
（乙第１及び２号証）
　被請求人が提出した証拠方法は、次のとおりである。
（１）乙第１号証：特願２００６−５２４２３４号の拒絶査定不服審判の審判請求書
（２）乙第２号証：Ｌｏｗ　ｅｎｅｒｇｙ　Ａｒ＋ ｉｏｎ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ　ｏｆ　ｌｉｑｕｉｄ　ａｎｄ　ｓｏｌｉｄ　ｉｎｄｉｕｍ，Ｂａｒｒｙ　Ｌ．Ｈｕｒｓｔ　ａｎｄ　Ｃ．Ｂｕｒｌｅｉｇｈ　Ｃｏｏｐｅｒ，Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ．５３（９）（１９８２）ｐｐ．６３７２−６３７５
　
３．口頭審理における両者の主張
　口頭審理において、請求人及び被請求人は、それぞれ以下のとおり主張した。
（１）請求人
（ａ）本件特許発明は、固体ターゲットを対象とするものに限定解釈されるべきではない。
　仮に、限定解釈されたとしても、無効理由２により無効とされるべきものである。
（ｂ）測定効率を高めるという本件特許発明の目的からすれば、重要なのは二次イオン生成量であって、なぜ生成効率が問題となるのかは本件特許明細書からは明らかではない。
　
（２）被請求人
（ａ）本件特許発明は、明細書の記載及び当業者の出願当時の技術常識に照らして、固体ターゲットを対象とするものに限定解釈されるべきものである。
（ｂ）本件特許発明が固体ターゲットを対象とするという前提で、ターゲットの消費を少なくするためには、二次イオン生成効率が重要となる。
　このことは、イオン源にＢｉを用いることの動機付けに関して重要である。
　
第５　当審の判断
１．本件発明１について
（１）無効理由ＩＩ
　上記のとおり（「第４　当事者の主張」の「１．請求人の主張及び証拠」参照）無効理由Ｉは撤回されたので、無効理由ＩＩについて判断する。
　
（２）甲各号証の記載
（ａ）甲第１号証の記載事項
　甲第１号証刊行物には、次の事項が記載されている。（請求人の訳文を採用し、日本語訳を記載する。）
（ａ１）訳文３頁２２行〜３６行
「最近、有機液体からスパッターの研究結果がYenとBarofskyから報告された。モノヌクレオチドの陰イオンや有機界面活性剤の陽イオンや水素化物イオンの生成量も含め、この新しいデータが、以前可能なより広範囲の一次粒子と照射エネルギーの両方に関して、スパイク確率モデルの有効性を検討する機会を提供する。一般に、液体マトリックスの表面層から放出された二次検体イオンの数は、検体の化学環境やその表面活性や衝突する一次粒子の動的性質に支配される。有機液体システムは、エネルギースパイクが生ずる可能性がほとんど無い、まさにそのスパッタリング領域に飛び込んでくる。それにもかかわらず、モノヌクレオチドと有機界面活性剤の完全なイオンの放出は、スパイクの形成によって支配される非線形スパッタリング現象を明確に反映する。水素化物イオンの放出は、対照的に、線形衝突カスケードの形成によって支配される過程を示す。従って、このデータもまた、明らかに異なるクラスの二次イオン放出に於ける、エネルギースパイクの効果に対するスパイク確率モデルをテストする機会を提供する。
　現在の論文では、スパイク確率モデルの的確な特徴が要約されており、モデルに基づく計算が、有機物液体から最近得られたkeVイオンスパッタリングデータと比較される。」
（ａ２）訳文７頁１４行〜８頁１７行
「IV．実験
この論文の実験的基礎データは、７−６６keVの範囲の運動エネルギーを持つ様々な単原子や多原子金属イオンで液状有機マトリックスを照射することにより得られた。このデータを得るために用いられた装置と手法は、詳細に別論文で述べられた。従って、実験システムの主な特徴の簡潔な説明だけ、この論文では与えられる。
　全ての測定は、特別に組み立てられた、飛行時間型（TOF）二次イオン質量分析器にて行われた。Ga、In、Sn、Au又はBiの一次イオンビームは、本装置において、ウィーンフィルターと組み合わせた液体金属イオンカラムによって生成された。液体金属イオンカラムは、研究のために選択した金属の単原子及び多原子の１価や多価のイオンビームを生成する。ウィーンフィルターは、液体金属イオンカラム中に生成された金属イオンのうち、同種のもののみ、即ち、同じ数の原子数且つ同じ荷電状態を有するものから構成される粒子のみを通すために、一次イオン源の質量分析器として設けられた。この配置により、一次イオンビームの組成、エネルギー及び運動量が、二次イオン生成量測定に対して、正確に特定されるようになった。
　スパッタリングターゲットは、ヘキサデシルピリジニウム（HDP；C２１H３８N）酢酸塩（C２H３O２）とグリセリン（C３H８O３）の溶液で溶かされたデオキシアデノシン−５’−一燐酸（dAMP；C１０H１４N５O６P）或いはデオキシグアノシン−５’−一燐酸（dGMP；C１０H１４N５O７P）のどちらかでできている。界面活性剤であるHDP酢酸塩の役割は、dAMP又はdGMPの陰イオンとのイオン対を形成し、それによってグリセリン・マトリックスの表面上に検体を局在化させることであった。ターゲット溶液は、糸上のビーズのように、細い（２５μｍ）タングステン線上の小滴（〜３nＬ）として、質量分析器のイオン源へ導入された。
　通常とは異なる方法が用いて、ターゲットに一次イオンのパルスを運んだ。一次ビームをブランキング或いはチョッピングして、小さく、時間・空間的にパンチされたイオンのパケットの代わりに、収束された一次イオンビーム（スポット直径〜１０μm）が、ターゲット小滴（直径〜１６０μm）の全幅を周期的（１．２kHz）に掃引され、ターゲットの表面から二次イオンの約６nsのバーストが周期的にスパッターされた。与えられた実験中での一次イオンのドーズ量は、ビームがターゲットを横切るのに必要な時間、掃引回数（３０００００）及び測定されたビーム電流から決められた。
　生成量の絶対値の実験的評価には、TOF分析器の透過率及び検出器の検出効率が正確に分かることが必要である。これらの２つの装置パラメーターの普遍的な値を得るのは難しいが、一連の測定の間、それらは本質的に一定に保たれる。これが、ある参照種のために集めた二次イオンの数で、各二次イオン種に対して集めたイオンの数を割ることによって、相対的に、透過率と検出効率を固定して、全データを表すことを可能にする。この研究で、参照にした測定として、与えられた種の相対的生成量が、１価の単原子の金一次イオンの比較可能なドーズ量の照射によって生成されてプロトン脱離させられたdAMPイオンの数で割られた、用いられた一次イオンの与えられたドーズ量に対するTOF分析器で検出された二次イオンの数として、決められた。」
（ａ３）訳文１０頁３行〜２５行
「B．実験との比較
グリセリンの表面領域からの二次イオン生成量の非線形性は、入射Bi原子当たりの二次分子イオン生成量が入射Bi原子当たりの運動エネルギーに対してプロットされた、図２でより明らかに見ることができる。最大の効果は、一次イオンがBi＋からBi２＋に変えられた際に起こる。Bi２＋の原子当たりの生成量が、Bi＋の原子当たりのものより約４倍大きいという事実は、スパッタリング生成量が一次イオンエネルギーと共にかなりゆっくり増加することとBi２＋一次粒子の全運動エネルギーがBi＋の一次粒子のたった２倍であるということを考慮すれば、衝撃的である。
　単原子及び多重原子のAuイオンによる衝突の下、プロトン脱離させられたdAMPの測定生成量と式（５）からつくられた理論曲線との類似した比較は、図３と４に示される。図３と４に見られる傾向は、固体有機フィルムを金原子クラスター衝突した際の、Benguerba等によって測定された、分子イオン生成量で見られるものと一致している。
　図１−４に示される曲線から、後者のものがAu＋やBi＋のような重い単原子イオンによって衝突された場合、スパイク形成確率が、凝集相の有機マトリックスの表面領域から放出される大きな非破壊分子の二次イオン生成量に影響を与えることは明らかである。keVイオンによって生成された非線形スパッタリング効果に対するエネルギースパイクの影響の更なる証拠は、軽い、単原子の一次イオンGa＋やIn＋に対する生成量データに含まれる。Ga＋、In＋及びBi＋一次イオンに対して、グリセリンの表面領域からのプロトン脱離させられたdAMP分子の二次イオン生成量が、核阻止能（Nuclear　stopping　power）と一次イオンエネルギーに対して、図５及び６それぞれに示されている。再び、式（５）の計算結果は、実験データと十分一致するが見られる。フィッティングパラメーターが２つの図中で示される理論的曲線の全てに同じ値を持つということは、これらのパラメーターがマトリックスと二次分子の特性にのみ依存するという仮定を支援する。」
（ａ４）「図２
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（ａ５）「図４
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（ａ６）「図６
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
（ｂ）甲第２号証の記載事項
　甲第２号証刊行物には、次の事項が記載されている。（請求人の訳文を採用し、日本語訳を記載する。）
（ｂ１）訳文１頁５行〜２３行
「１．はじめに
半径０．１−１０uｍの針に保持された液体金属の表面は、（テーラーコーン形成の）臨界値を超える高電界にさらされると、針頂点における液滴の形が円錐形となり、同時にイオンの放出が観測される。このような種類のイオン源は液体金属イオン源（LMIS）又は電気流体（EHD）イオン源と呼ばれ、微小な放出面積から大電流が得られガスの発生がないことから、収束イオンビームによる微細加工や分子線エピタキシーによる薄膜成長時の不純物ドーピングなどの多くの応用に向けた開発が行われてきた。
　現在、低電流時（およそ１０uA未満）では電界蒸発が主要な過程であり、電流を増すことにより気相電界電離などの表面を離れた中性粒子の電離過程の寄与が大きくなると考えられている。確かに、単原子金属イオン源の主イオン種については電界蒸発に必要な電界の大きさの計算から予想される通りであると報じられているが、クラスターイオンを含むイオン種について定量的な議論はない。
　B、SiやAsなどの高融点で高蒸気圧な元素をイオン化するために共晶合金からなるイオン源が最近作られた。その多くで純金属の蒸発電界から期待されるとおりの価数のイオンが得られている、しかしながら蒸発電界の計算に用いた昇華エネルギーなどの物理パラメーターは合金と純金属では異なっている。
　この論文では、Ga、In、Sn、Au、PbとBiの液体金属イオン源についてさまざまな条件下で測定した質量スペクトルを用いて示し、これらの結果に基づいてこれらのイオンのイオン放出機構についてより定量的な議論を行う。」
（ｂ２）訳文１頁２４行〜２頁１０行
「２．実験
放出されたイオンの運動量分布を、図１に示す径１５cｍの６０度扇形磁石を用いて測定した。イオン源は通常、電圧を２．５−３kVの一定値に保ち、引き出し電極に印加する負電圧により全イオン電流を制御した。いくつかの事例においては、イオン源の輝度を上げ、検出限界を高めるために加速電圧を最大８kVまで上げた。全イオン電流Itを正確に測定するために、２次電子反射器の電位は全電流捕集電極に対して負に保った。引き出されたイオンはエミッターからの見込み角８ｍradの磁石の入射スリットを通り、質量分解されて、ファラデーカップ前面のスリットに収斂する。最初にこのスリット幅を１ｍｍに設定し、加速電圧２kVで質量分解能１６０、エネルギー分解能１５eVの条件下でイオン電流、イオン源温度をいろいろと変えて、いくつかの放出角度における質量スペクトルを取得した。
　定量的な議論を深めるために各イオン種ごとの積分強度を算出する必要がある。この目的のために、スリットの間隔を０．２ｍｍに狭め、２．５kVにおける質量とエネルギーの分解能をそれぞれ８００と３eVに高めた。質量の掃引は目的とする質量ピークの近傍に留め、各イオン種のエネルギースペクトルを記録した。この時のエネルギースケールは加速電圧の正確な増分により校正し、各イオン種の積分強度は、電圧−周波数変換機とパルスカウンターからなる積分電流計を用いて測定した。
　イオン源のエミッターの構造は、Ga、InとSnではＷ針を取り巻きコイル状に整形されたTa線の金属溜からなる。Au、PbとBiではそれぞれW、Niとニクロムの線からなる。
　これらの元素のイオン放出機構にかかわる物理的性質は表１にまとめて示す。」
（ｂ３）訳文２頁１１行〜２７行
「３．結果
３．１放出されたイオンの組成
Ga、In、Sn、Pb、BiとAuのいくつかのイオン電流における質量スペクトルを図２−７に示す。これらのスペクトルに共通して認められる特徴は２価の原子イオンM＋＋のピークの高さがＭ＋のそれに比べてItの増加に対して急速に増加していること、Ｉｔ＜＝１uAでのクラスターイオンのピーク幅がとても狭く、M＋やM＋＋のそれと同程度であることである。明らかに見て取れるように高電流におけるAuとPbのスペクトルで、クラスターイオンは２つのピークに分裂し、そのことはこれらのイオン種においてエネルギー分配が大きく変わっていることを意味する。ピークの高さからそれぞれのイオン種の強度を正確に求められないとしても、表２に示すように、Ｍ＋、M＋＋とクラスターイオン電流の割合を示すことは実用上重要である。クラスターイオン放出が基本的に液体金属の性質に依存するのは尤もなことである。言い換えるならば、GaとIn、SnとPbのように周期律表の同じ族に属する元素では、クラスターイオン電流は同じである。このことはGaは高温において単位面積単位時間当たりに蒸発する原子数が、BiやPbの融点におけるそれに匹敵するにも関わらず、クラスターイオンの量は４０−６００℃の温度範囲においてあまり変化しないことからも示される。SnやPbのクラスターイオンの場合についてもItの増大によりＭ２＋のピーク高さが増し、M７＋＋がつねに観測されるという類似性を見出せる。」
（ｂ４）「表２
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（ｂ５）「図１６
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（ｂ６）「図１７
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
（ｃ）甲第３号証の記載事項
　甲第３号証の１及び２には、二次イオン質量分析器及びそれに用いる液状金属イオン源に関する技術が記載されている。
　
（ｄ）甲第４号証の記載事項
　甲第４号証には、飛行時間型二次イオン質量分析器に関する技術が記載されている。
　
（ｅ）甲第５号証の記載事項
　甲第５号証には、液体金属イオン源からの様々なＡｕのクラスターイオンを一次イオンとして様々なターゲットに衝突させた際に生成される二次イオンに関する飛行時間型質量分析器を用いた研究が記載されている。
　
２．甲第１号証に記載された発明
　上記記載を含む甲第１号証全体の記載及び当業者の技術常識を総合すると、甲第１号証には、以下の発明（「引用発明」という。）が記載されている。
「飛行時間型（TOF）二次イオン質量分析器にて行われる測定に用いる分析装置であって、研究のために選択した金属の単原子及び多原子の１価や多価のイオンビームを生成する液体金属イオンカラムと、液体金属イオンカラム中に生成された金属イオンのうち、同種のもののみ、即ち、同じ数の原子数且つ同じ荷電状態を有するものから構成される粒子のみを通すウィーンフィルターとを組み合わせることによって、Ga、In、Sn、Au又はBiの一次イオンビームの組成、エネルギー及び運動量が、二次イオン生成量測定に対して、正確に特定されるようになっており、
　一次イオンがBi＋からBi２＋に変えられた際に、Bi２＋一次粒子の全運動エネルギーがBi＋の一次粒子のたった２倍であるのに対してBi２＋の原子当たりの生成量が、Bi＋の原子当たりのものより約４倍大きいという事実が測定され、
　Ga＋、In＋及びBi＋一次イオンに対して、グリセリンの表面領域からのプロトン脱離させられたdAMP分子の二次イオン生成量が一次イオンエネルギーに対して測定された、
分析装置。」
　
３．検討
（１）対比
　本件発明１と引用発明とを対比する。
（ａ）引用発明の「飛行時間型（TOF）二次イオン質量分析器にて行われる測定に用いる分析装置」は本件発明１の「二次イオン及び後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器」に相当する。
　引用発明は「グリセリンの表面領域からのプロトン脱離させられたdAMP分子の二次イオン生成量を一次イオンエネルギーに対して」測定しているから、当業者の技術常識を参酌すれば、本件発明１の「試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と、二次粒子の質量分析のための分析ユニット」に相当する構成を有する。
（ｂ）引用発明の「液体金属イオンカラム」中の「選択した金属の単原子及び多原子の１価や多価のイオンビーム」は、本件発明１の「一次イオンビーム」と同様に「異なるイオン化段階とクラスター状態とを有する金属イオンを含有して」いる。
　したがって、引用発明は、本願発明１の「液体金属層は一次イオンビームとして放射されかつイオン化される金属を含有して」いる構成に相当する構成を有する。
（ｃ）また、引用発明の上記「ウィーンフィルター」と本件発明１の「フィルタ手段」は、ともに「イオン混合ビームから、それらの質量が単原子の１重または多重に電荷された特定イオンの複数倍となる複数の特定イオン種のうちの１種が質量の純粋なイオンビームとしてろ過可能であるフィルタ手段、」で共通する。
（ｄ）引用発明のイオンビームの「多原子の値」及び「多価の値」は、それぞれ本件発明１のｎ及びｐに相当し、これらの値が自然数（ｎ≧１およびｐ≧１）であることは自明である。
　
（２）一致点
　以上のことより、本件発明１と引用発明とは、
「二次イオン及び後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器であって、試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と、二次粒子の質量分析のための分析ユニットとを有しており、液体金属層は一次イオンビームとして放射されかつイオン化される金属を含有しており、該一次イオンビームは、異なるイオン化段階とクラスター状態とを有する金属イオンを含有しているものにおいて、
　イオン混合ビームから、それらの質量が単原子の１重または多重に電荷された特定イオンの複数倍となる複数の特定イオン種のうちの１種が、フィルタ手段により、質量の純粋なイオンビームとしてろ過可能であり、該イオンビームは質量が単原子のｎ倍でｐ重に電化された１種類の特定イオンのみから成っており、ｐ≧１であり、かつｎとｐはそれぞれ自然数である質量分析器。」
の発明である点で一致し、次の点で相違する。
　
（３）相違点
（ａ）相違点１
　本件発明１では、イオン源が「加熱可能なイオンエミッタを有しており、該イオンエミッタの場にさらされる領域が液体金属層で被覆されており」、「前記液体金属層は純粋な金属ビスマスまたは低融点のビスマス含有合金からなり、その際電場の影響下でイオンエミッタを用いてビスマスイオン混合ビームを放射可能であり」、用いるイオンビームが「ｎ≧２」であるのに対して、引用発明では、「一次イオンビームはGa、In、Sn、Au又はBiの液体金属イオンカラム中に生成された金属イオン」であるものの、イオン源の具体的構成が不明で、用いるイオンビームが「ｎ≧１」である点。
　
（ｂ）相違点２
　本件発明１の試料が「固体試料」であるのに対して、引用発明のそれは「グリセリン」であって、甲第１号証全体の記載を参酌すれば「液体試料」である点。
　
（４）相違点に関する判断
（ａ）相違点１
　甲第３号証の１及び２によれば、本件特許出願の優先日当時、二次イオン及び後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器において、イオン源として「加熱可能なイオンエミッタを有しており、該イオンエミッタの場にさらされる領域が液体金属層で被覆されて」いる構成のイオン源を用いることは、周知技術であった事実が認められる。
　そして、引用発明のイオン源として当該周知のものを用いることに、格別の技術的困難性も、阻害要因も認められない。
　ところで、（あ）引用発明において「一次イオンがBi＋からBi２＋に変えられた際に、Bi２＋一次粒子の全運動エネルギーがBi＋の一次粒子のたった２倍であるのに対してBi２＋の原子当たりの生成量が、Bi＋の原子当たりのものより約４倍大きいという事実が測定され」たことから、当業者は引用発明においてはＢｉの一次イオンとしては単原子イオンよりクラスターイオンの方が二次イオンの生成量が多くなるという認識を持つ。
　同様に、（い）甲第１号証の図６に接した当業者は、引用発明においてはＧａやＩｎよりはＢｉを用いた方が二次イオンの生成量が多くなるという認識を持つ。
　また、（う）甲第２号証の表２には、針に保持された液体金属の表面からイオンが放出される種類の液体金属イオン源においては、Ｂｉのクラスターイオン比率の値はＧａ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ａｕ及びＰｂに比べて高いことが開示されている。
　同様に、（え）甲第２号証の図１６及び図１７には、同様のイオン源においては、Ａｕイオンに比べてＢｉイオンの方がクラスターイオンが含まれる割合が大きいことが示されている。
　上記（あ）〜（え）の事実を考慮すれば、当業者が引用発明を実施する際に、その対象となる「液体金属イオンカラム中に生成されたGa、In、Sn、Au又はBiの金属イオン」の中から「ｎ≧２」であるＢｉクラスターイオンを選択しようとすることを妨げる積極的な理由は存在しない。
　してみると、引用発明に上記相違点１に係る構成を採用することは、当業者が容易になしうる事項である。
　
（ｂ）相違点２
　本件発明１のような、試料に一次イオンビームを照射することによって発生した二次粒子を分析する構成の質量分析器においては、試料として、従来から液体試料も固体試料もともにその対象とされていたこと（甲第４号証参照）、甲第１号証には固体試料の測定結果に関する記載が見てとれること（第１３８１９頁右欄「Ｂ．Ｃｏｍｐａｒｉｓｉｏｎ　ｗｉｔｈ　ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ」の欄の１５〜１８行参照）、引用発明を固体試料に適用することに、格別の技術的困難性も阻害要因も認められないこと、等を総合的に勘案すれば、引用発明の試料を固体試料とすることは当業者が容易になしうる事項というべきである。
　なお、この点について被請求人は、平成２６年３月２６日付けの上申書（第９頁１２〜２６行参照）において「本件特許明細書等に示す実験結果は、固体試料であればこそ可能であって、液体試料においては、試料のスパッタリングされた箇所は常に周囲の液体試料によって補充されるので、試料の量は無限になる可能性があり、二次イオン生成効率が高くなる一次イオンビームを選択する理由がない」旨主張している。
　しかしながら、本件発明１が二次イオン生成効率を高くすることによって分析時間を短縮することをも目的とするもの（本件特許明細書段落【０００７】参照）であることに照らせば、被請求人の上記主張には理由がない。
　また、被請求人の上記主張は、カラーフィルタのような「分析対象が表面にのみ存在し、しかもその量が極めて限定されたものである」固体試料を前提としているが、本件発明１は試料の表面のみならず内部もその分析対象としている（答弁書第１３頁８〜１０行参照）ものであり、しかも、液体試料と固体試料とにかかわらず、試料のスパッタリングされた箇所が破壊されることに変わりはないのであるから、被請求人の上記主張には、重ねて理由がない。
　
（５）本件発明１が奏する効果
　本件発明１によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものであるから、格別のものではない。
　
（６）小括
　以上のとおり、本件発明１は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
４．本件発明２について
（１）本件発明２と引用発明の一致点・相違点
　本件発明２と引用発明を対比すると、上記「３．（２）一致点」で述べた一致点で一致し、「３．（３）相違点」で述べた相違点１及び２に加えて次の相違点３において相違する。
　
（２）相違点３
　質量の純粋なイオンビームのためにろ過されるイオンが、本件発明２では「Ｂｉ２＋、Ｂｉ３＋、Ｂｉ３２＋、Ｂｉ４＋、Ｂｉ５＋、Ｂｉ６＋、Ｂｉ５２＋またはＢｉ７２＋のうちの１種に属している」のに対して、引用発明では具体的な特定がない点。
　
（３）判断
　相違点１及び２については、上記「３．」の「（４）相違点に関する判断」において既に検討したとおりである。
　相違点３について、引用発明にＢｉ２＋が含まれており、甲第１号証にＢｉ２＋及びＢｉ３＋に関する言及がある（図２参照）ことを考慮すれば、引用発明に上記相違点３に係る構成を採用することは、当業者が容易になしうる事項である。
　
（４）本件発明２が奏する効果
　そして、本件発明２によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものであるから、格別のものではない。
　
（５）小括
　以上のとおりであり、本件発明２は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
５．本件発明３について
（１）本件発明３と引用発明一致点・相違点
　本件発明３と引用発明を対比すると、上記「３．（２）一致点」で述べた一致点で一致する。
　また、引用発明の「飛行時間型（TOF）二次イオン質量分析器」は、本件発明３の「飛行時間型二次イオン質量分析器」に相当する。
　
（２）相違点
　そうすると、本件発明３と引用発明は、上記「３．（２）一致点」及び「３．（３）相違点」で述べた一致点を有し、相違点１及び２を有する。
　
（３）判断
　そして、相違点１及び２については、上記「３．」の「（４）相違点に関する判断」において既に検討したとおりである。
　
（４）本件発明３が奏する効果
　また、本件発明３によってもたらされる効果は、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものであるから、格別のものではない。
　
（５）小括
　以上のとおり、本件発明３は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
６．まとめ
　本件発明１〜３は、いずれも、甲第１号証に記載された発明及び周知技術及に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものである。
　
第６　結論
　以上のとおりであるから、他の証拠を検討するまでもなく、本件特許第５１２８８１４号の請求項１ないし３に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
  
　よって、結論のとおり審決する。