【手続補正書】
【提出日】令和2年4月3日(2020.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（a）液体および蒸気相を収容するように構成された装置内に、プロセス化学物質と溶媒とを含む非水性溶液を提供する工程であって、該非水性溶液が、該プロセス化学物質のある量の無水蒸気を含む蒸気相を有する、工程と、
（b）キャリアガスまたは真空を該蒸気相と接触させてガスストリームを形成する工程と、
（c）該無水蒸気を含む該ガスストリームを重要なプロセスまたは用途に送達する工程と
を含む方法であって、
該プロセス化学物質がヒドラジンまたは過酸化水素であり、該溶媒が、エチレングリコール、トリエチレングリコール、α-プロピレングリコール、β-プロピレングリコール、1,3-ジメチル-3,4,5,6-テトラヒドロ-2(1H)-ピリミジノン（DMPU）、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン（DMEU）、およびテトラメチル尿素からなる群より選択される、方法。
【請求項２】
以下のパラメータ:
（a）前記非水性溶液の温度、
（b）該非水性溶液の圧力、
（c）該非水性溶液の濃度、
（d）前記キャリアガスの温度、
（e）該キャリアガスまたは真空の圧力、および
（f）該キャリアガスの流量
のうちの少なくとも1つを変更することによって前記蒸気相の少なくとも1つの成分の濃度を変更する工程をさらに含む、請求項1記載の方法。
【請求項３】
少なくとも1つの膜が前記装置内に配設され、該膜が前記非水性溶液から前記蒸気相を少なくとも部分的に分離するように構成されている、請求項1記載の方法。
【請求項４】
前記無水蒸気が、前記非水性溶液の他の任意の成分よりも速い速度で前記膜を透過し、かつ/または前記膜がイオン交換膜である、請求項3記載の方法。
【請求項５】
前記ガスストリームから汚染物質を除去する工程をさらに含む、請求項1記載の方法。
【請求項６】
前記キャリアガスが、窒素、アルゴン、水素、清浄な乾燥空気、ヘリウム、アンモニア、ならびに室温および大気圧で安定な他のガスからなる群より選択される、請求項1記載の方法。
【請求項７】
前記非水性溶液にエネルギーを加えることによって、前記蒸気相の少なくとも1つの成分の濃度を変更する工程をさらに含む、請求項1記載の方法。
【請求項８】
前記非水性溶液が、約25重量％〜約69重量％のヒドラジンを含む非水性ヒドラジン溶液であり、任意で該非水性ヒドラジン溶液が、約65重量％〜約69重量％のヒドラジンを含む、請求項1記載の方法。
【請求項９】
前記非水性溶液が、0.1％未満、0.01％未満、または0.001％未満の水を含有する、請求項1記載の方法。
【請求項１０】
前記ガスストリーム中の送達される無水蒸気の濃度が、送達平均濃度の約5％以内または送達平均濃度の約3％以内で安定している、請求項1記載の方法。
【請求項１１】
（a）液体および蒸気相を収容するように構成された装置と、
（b）該装置中に提供される、プロセス化学物質と溶媒とを含む非水性溶液であって、該プロセス化学物質のある量の無水蒸気を含む蒸気相を有する、非水性溶液と、
（c）該蒸気相と流体接触しており、該無水蒸気を含むガスストリームを形成するように構成されたキャリアガスまたは真空と
を含む化学物質送達システムであって、
該プロセス化学物質がヒドラジンまたは過酸化水素であり、該装置が、該ガスストリームを重要なプロセスまたは用途に送達するように構成された出口を有し、該溶媒が、エチレングリコール、トリエチレングリコール、α-プロピレングリコール、β-プロピレングリコール、1,3-ジメチル-3,4,5,6-テトラヒドロ-2(1H)-ピリミジノン（DMPU）、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン（DMEU）、およびテトラメチル尿素からなる群より選択される、化学物質送達システム。
【請求項１２】
以下のパラメータ:
（a）前記非水性溶液の温度、
（b）該非水性溶液の圧力、
（c）該非水性溶液の濃度、
（d）前記キャリアガスの温度、
（e）該キャリアガスまたは真空の圧力、および
（f）該キャリアガスの流量
のうちの少なくとも1つを変更することによって前記蒸気相の少なくとも1つの成分の濃度を変更するように構成された1つまたは複数の構成要素をさらに含む、請求項11記載の化学物質送達システム。
【請求項１３】
前記装置が、前記蒸気相を前記非水性溶液から少なくとも部分的に分離するように構成された少なくとも1つの膜を含み、任意で該膜がイオン交換膜である、請求項11記載の化学物質送達システム。
【請求項１４】
前記キャリアガスが、窒素、アルゴン、水素、清浄な乾燥空気、ヘリウム、アンモニア、ならびに室温および大気圧で安定な他のガスからなる群より選択される、請求項11記載の化学物質送達システム。
【請求項１５】
前記装置が、非水性ヒドラジン溶液にエネルギーを加えるように構成された構成要素をさらに含み、かつ/または前記非水性溶液が、約25重量％〜約69重量％のヒドラジンを含む非水性ヒドラジン溶液である、請求項11記載の化学物質送達システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
[本発明1001]
（a）液体および蒸気相を収容するように構成された装置内に、プロセス化学物質と溶媒とを含む非水性溶液を提供する工程であって、該非水性溶液が、該プロセス化学物質のある量の無水蒸気を含む蒸気相を有する、工程と、
（b）キャリアガスまたは真空を該蒸気相と接触させてガスストリームを形成する工程と、
（c）該無水蒸気を含む該ガスストリームを重要なプロセスまたは用途に送達する工程と
を含む方法であって、
該プロセス化学物質がヒドラジンまたは過酸化水素であり、該溶媒が、エチレングリコール、トリエチレングリコール、α-プロピレングリコール、β-プロピレングリコール、1,3-ジメチル-3,4,5,6-テトラヒドロ-2(1H)-ピリミジノン（DMPU）、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン（DMEU）、およびテトラメチル尿素からなる群より選択される、方法。
[本発明1002]
以下のパラメータ:
（a）前記非水性溶液の温度、
（b）該非水性溶液の圧力、
（c）該非水性溶液の濃度、
（d）前記キャリアガスの温度、
（e）該キャリアガスまたは真空の圧力、および
（f）該キャリアガスの流量
のうちの少なくとも1つを変更することによって前記蒸気相の少なくとも1つの成分の濃度を変更する工程をさらに含む、本発明1001の方法。
[本発明1003]
少なくとも1つの膜が前記装置内に配設され、該膜が前記非水性溶液から前記蒸気相を少なくとも部分的に分離するように構成されている、本発明1001の方法。
[本発明1004]
前記無水蒸気が、前記非水性溶液の他の任意の成分よりも速い速度で前記膜を透過する、本発明1003の方法。
[本発明1005]
前記膜がイオン交換膜である、本発明1003の方法。
[本発明1006]
前記ガスストリームから汚染物質を除去する工程をさらに含む、本発明1001の方法。
[本発明1007]
前記キャリアガスが、窒素、アルゴン、水素、清浄な乾燥空気、ヘリウム、アンモニア、ならびに室温および大気圧で安定な他のガスからなる群より選択される、本発明1001の方法。
[本発明1008]
前記非水性溶液にエネルギーを加えることによって、前記蒸気相の少なくとも1つの成分の濃度を変更する工程をさらに含む、本発明1001の方法。
[本発明1009]
前記非水性溶液が、約25重量％〜約69重量％のヒドラジンを含む非水性ヒドラジン溶液である、本発明1001の方法。
[本発明1010]
前記非水性ヒドラジン溶液が、約65重量％〜約69重量％のヒドラジンを含む、本発明1009の方法。
[本発明1011]
前記非水性溶液が、0.1％未満、0.01％未満、または0.001％未満の水を含有する、本発明1001の方法。
[本発明1012]
前記ガスストリーム中の送達される無水蒸気の濃度が、送達平均濃度の約5％以内または送達平均濃度の約3％以内で安定している、本発明1001の方法。
[本発明1013]
（a）液体および蒸気相を収容するように構成された装置と、
（b）該装置中に提供される、プロセス化学物質と溶媒とを含む非水性溶液であって、該プロセス化学物質のある量の無水蒸気を含む蒸気相を有する、非水性溶液と、
（c）該蒸気相と流体接触しており、該無水蒸気を含むガスストリームを形成するように構成されたキャリアガスまたは真空と
を含む化学物質送達システムであって、
該プロセス化学物質がヒドラジンまたは過酸化水素であり、該装置が、該ガスストリームを重要なプロセスまたは用途に送達するように構成された出口を有し、該溶媒が、エチレングリコール、トリエチレングリコール、α-プロピレングリコール、β-プロピレングリコール、1,3-ジメチル-3,4,5,6-テトラヒドロ-2(1H)-ピリミジノン（DMPU）、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン（DMEU）、およびテトラメチル尿素からなる群より選択される、化学物質送達システム。
[本発明1014]
以下のパラメータ:
（a）前記非水性溶液の温度、
（b）該非水性溶液の圧力、
（c）該非水性溶液の濃度、
（d）前記キャリアガスの温度、
（e）該キャリアガスまたは真空の圧力、および
（f）該キャリアガスの流量
のうちの少なくとも1つを変更することによって前記蒸気相の少なくとも1つの成分の濃度を変更するように構成された1つまたは複数の構成要素をさらに含む、本発明1013の化学物質送達システム。
[本発明1015]
前記装置が、前記蒸気相を前記非水性溶液から少なくとも部分的に分離するように構成された少なくとも1つの膜を含む、本発明1013の化学物質送達システム。
[本発明1016]
前記膜がイオン交換膜である、本発明1015の化学物質送達システム。
[本発明1017]
前記キャリアガスが、窒素、アルゴン、水素、清浄な乾燥空気、ヘリウム、アンモニア、ならびに室温および大気圧で安定な他のガスからなる群より選択される、本発明1013の化学物質送達システム。
[本発明1018]
前記装置が、非水性ヒドラジン溶液にエネルギーを加えるように構成された構成要素をさらに含む、本発明1013の化学物質送達システム。
[本発明1019]
前記非水性溶液が、約25重量％〜約69重量％のヒドラジンを含む非水性ヒドラジン溶液である、本発明1013の化学物質送達システム。
前述の一般的な説明および以下の詳細な説明はいずれも、例示および説明のためのものに過ぎず、本発明を限定するものではないことが理解されるべきである。