【手続補正書】
【提出日】令和2年11月13日(2020.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２以上のモード同期レーザを具えるモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、当該方法が：
第１のモード同期レーザを提供するステップと、
前記第１のモード同期レーザから第１の波長λ１で繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムの第１の出力フィールドを生成するステップと、
第２のモード同期レーザを提供するステップと、
前記第２のモード同期レーザから第２の波長λ２で繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムの第２の出力フィールドを生成するステップであって、前記第２の波長λ２は前記第１の波長λ１とは異なる、ステップと、
前記第１のモード同期レーザの第１の出力フィールドの第１の部分を分離することによって、第１の同期光フィールドを形成するステップと；
前記第１の同期光フィールドの方向を変えて、前記第２のモード同期レーザ用の光フィードバック信号を形成するステップと；を具えることを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記第１の同期光フィールドが、前記第２のモード同期レーザの出力カプラまたは端部ミラーを介して、前記第２のモード同期レーザ内へと向けられることを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項１に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記第１の同期光フィールドが、前記第２のモード同期レーザのキャビティ内の要素を介して、前記第２のモード同期レーザ内へと向けられることを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか１項に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記第１および第２の出力フィールドが同じ偏光を有することを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項４に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記第１および第２の出力フィールドが、直線偏光であることを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項４または５に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記第１の同期光フィールドの偏光が、前記第１のモード同期レーザの第１の出力フィールドの偏光と同じであることを特徴とする方法。
【請求項７】
請求項６に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記第１の同期光フィールドの方向を変えるステップが、さらに、前記第１の同期光フィールドの偏光を変化させるステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項７に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記第１の同期光フィールドの偏光を変化させるステップが、前記第１の同期光フィールドの偏光を９０°回転させるステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法が、さらに、前記第１のモード同期レーザの第１の出力フィールドの１以上の追加的な部分を分離することによって、１以上の追加的な同期光フィールドを形成するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項９に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法が、さらに、前記１以上の追加的な同期光フィールドの方向を変えて、１以上の追加的なモード同期レーザ用の光フィードバック信号を形成するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記１以上の追加的な同期光フィールドが、前記１以上の追加的なモード同期レーザの出力カプラまたは端部ミラーを介して、前記１以上の追加的なモード同期レーザ内へと向けられることを特徴とする方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記１以上の追加的な同期光フィールドが、前記１以上の追加的なモード同期レーザのキャビティ内の要素を介して、前記１以上の追加的なモード同期レーザ内へと向けられることを特徴とする方法。
【請求項１３】
請求項９乃至１２のいずれか１項に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記１以上の追加的な同期光フィールドの偏光が、前記第１のモード同期レーザの第１の出力フィールドの偏光と同じであることを特徴とする方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記１以上の追加的な同期光フィールドの方向を変えるステップが、さらに、前記１以上の追加的な同期光フィールドの偏光を変化させるステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、前記１以上の追加的な同期光フィールドの偏光を変化させるステップが、前記１以上の追加的な同期光フィールドの偏光を９０°回転させるステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１６】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法が、さらに、ｎ番目のモード同期レーザの出力フィールドの第１の部分を分離することによって、ｎ番目の同期光フィールドを形成するステップを含み、ｎは１よりも大きい整数であることを特徴とする方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法が、さらに、前記ｎ番目の同期光フィールドの方向を変えて、ｎ＋１番目のモード同期レーザ用の光フィードバック信号を形成するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１８】
請求項１６または１７に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、ｎ番目の同期光フィールドの偏光が、ｎ番目のモード同期レーザの出力フィールドの偏光と同じであることを特徴とする方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、ｎ番目の同期光フィールドが、ｎ＋１番目の追加的なモード同期レーザの出力カプラまたは端部ミラーを介して、ｎ＋１番目のモード同期レーザ内へ向けられることを特徴とする方法。
【請求項２０】
請求項１８に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、ｎ番目の同期光フィールドが、１以上の追加的なモード同期レーザのキャビティ内の要素を介して、ｎ＋１番目のモード同期レーザ内へ向けられることを特徴とする方法。
【請求項２１】
請求項１８乃至２０のいずれか１項に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、ｎ番目の同期光フィールドの方向を変えるステップが、さらに、ｎ番目の同期光フィールドの偏光を変化させるステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２２】
請求項２１に記載されたモード同期レーザシステムの２以上の出力フィールドの繰り返し率を同期させる方法において、ｎ番目の同期光フィールドの偏光を変化させるステップが、ｎ番目の同期光フィールドの偏光を９０°回転させるステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２３】
繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、当該レーザシステムが：
第１の波長λ１で前記繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムの第１の出力フィールドを生成する第１のモード同期レーザと、
第２の波長λ２で前記繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムの第２の出力フィールドを生成する第２のモード同期レーザと、
ビームスプリッタであって、前記第１のモード同期レーザの第１の出力フィールドの第１の部分を分離することによって、第１の同期光フィールドを形成する手段を提供するビームスプリッタと；
１以上のビームステアリング光学素子であって、前記第１の同期光フィールドの方向を変えて、前記第２のモード同期レーザ用の光フィードバック信号を形成する手段を提供するビームステアリング光学素子と；を具えることを特徴とするレーザシステム。
【請求項２４】
請求項２３に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、前記第１の同期光フィールドが、前記第２のモード同期レーザの出力カプラまたは端部ミラーを介して、前記第２のモード同期レーザ内へ向けられることを特徴とするレーザシステム。
【請求項２５】
請求項２３に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、前記第１の同期光フィールドが、前記第２のモード同期レーザのキャビティ内の要素を介して、前記第２のモード同期レーザ内へ向けられることを特徴とするレーザシステム。
【請求項２６】
請求項２３乃至２５のいずれか１項に記載した繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、前記第１および第２の出力フィールドが、同じ偏光を有することを特徴とするレーザシステム。
【請求項２７】
請求項２６に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、前記第１および第２の出力フィールドが直線偏光であることを特徴とするレーザシステム。
【請求項２８】
請求項２６または２７に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、前記第１の同期光フィールドの偏光が、前記第１のモード同期レーザの第１の出力フィールドでの偏光と同じであることを特徴とするレーザシステム。
【請求項２９】
請求項２８に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、当該繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムが、さらに、前記第１の同期光フィールドの偏光を変化させる手段を提供する波長板を具えることを特徴とするレーザシステム。
【請求項３０】
請求項２９に記載した繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、前記波長板が半波長板を有することを特徴とするレーザシステム。
【請求項３１】
請求項２３乃至３０のいずれか１項に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、当該繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムが、さらに、１以上の追加的なビームスプリッタを具え、当該１以上の追加的なビームスプリッタが、前記第１のモード同期レーザの第１の出力フィールドの１以上の追加的な部分を分離することによって、１以上の追加的な同期光フィールドを形成する手段を提供することを特徴とするレーザシステム。
【請求項３２】
請求項３１に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、当該繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムが、さらに、１以上のビームステアリング光学素子を具え、当該１以上のビームステアリング光学素子が、１以上の追加的な同期光フィールドの方向を変えて、１以上の追加的なモード同期レーザ用の光フィードバック信号を形成する手段を提供することを特徴とするレーザシステム。
【請求項３３】
請求項３１に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、１以上の追加的な同期光フィールドが、１以上の追加的なモード同期レーザの出力カプラまたは端部ミラーを介して、１以上の追加的なモード同期レーザ内へ向けられることを特徴とするレーザシステム。
【請求項３４】
請求項３１に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、１以上の追加的な同期光フィールドが、１以上の追加的なモード同期レーザのキャビティ内の要素を介して、１以上の追加的なモード同期レーザ内へ向けられることを特徴とするレーザシステム。
【請求項３５】
請求項３１または３４に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、１以上の追加的な同期光フィールドの偏光が、前記第１のモード同期レーザの第１の出力フィールドの偏光と同じであることを特徴とするレーザシステム。
【請求項３６】
請求項３５に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、当該繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムが、さらに、１以上の追加的な波長板を具え、当該波長板が、１以上の追加的な同期光フィールドの偏光を変化させる手段を提供することを特徴とするレーザシステム。
【請求項３７】
請求項３６に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、前記１以上の追加的な波長板が半波長板を有することを特徴とするレーザシステム。
【請求項３８】
請求項２３乃至３０のいずれか１項に記載した繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、当該繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムが、さらに、１以上の追加的なビームスプリッタを具え、当該１以上の追加的なビームスプリッタが、ｎ番目のモード同期レーザの出力フィールドの第１の部分を分離することによって、ｎ番目の同期光フィールドを形成する手段を提供し、ｎは１より大きい整数であることを特徴とするレーザシステム。
【請求項３９】
請求項３８に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、当該繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムが、さらに、１以上のビームステアリング光学素子を具え、当該ビームステアリング光学素子が、ｎ番目の同期光フィールドにｎ＋１番目のモード同期レーザ用の光フィードバック信号を形成する手段を提供することを特徴とするレーザシステム。
【請求項４０】
請求項３９に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、ｎ番目の同期光フィールドが、ｎ＋１番目の追加的なモード同期レーザの出力カプラまたは端部ミラーを介して、ｎ＋１番目のモード同期レーザ内へと向けられることを特徴とするレーザシステム。
【請求項４１】
請求項３９に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、ｎ番目の同期光フィールドが、１以上の追加的なモード同期レーザのキャビティ内の要素を介して、ｎ＋１番目のモード同期レーザ内へ向けられることを特徴とするレーザシステム。
【請求項４２】
請求項３８乃至４１のいずれか１項に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、ｎ番目の同期光フィールドの偏光が、ｎ番目のモード同期レーザの出力フィールドの偏光と同じであることを特徴とするレーザシステム。
【請求項４３】
請求項４２に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、当該繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムが、さらに、ｎ番目の同期光フィールドの偏光を変化させる手段を提供する１以上の追加的な波長板を具えることを特徴とするレーザシステム。
【請求項４４】
請求項４３に記載された繰り返し率が同期したモード同期レーザシステムにおいて、前記１以上の追加的な波長板が半波長板を有することを特徴とするレーザシステム。