(57)【要約】【課題】脆性材料等からなる薄板等の平面研磨において被研磨体の外周面に発生する疵を防止することが可能な、被研磨体保持具を提供する。【解決手段】被研磨体保持具１００は、被研磨体を内部に保持するための保持孔１１０を備える内側部１２０と、内側部１２０の外周に接合され、内側部１２０とは異なる材質の外側部１３０と、からなり、平面研磨装置のキャリアが備える収容孔内に配設される。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被研磨体を内部に保持するための保持孔を備える内側部と、
前記内側部の外周に接合され、前記内側部とは異なる材質の外側部と、からなり、
平面研磨装置のキャリアが備える収容孔内に配設されることを特徴とする、
被研磨体保持具。
【請求項２】
前記内側部における前記外側部との接合面は、前記外側部に向けて突出する凸部が周方向に連続して構成される凹凸面であることを特徴とする、
請求項１に記載の被研磨体保持具。
【請求項３】
前記内側部の外周には、第１の係合部が形成されており、
前記外側部の内周には、第２の係合部が形成されており、
前記第１の係合部と前記第２の係合部が互いに係合して前記内側部と前記外側部が接合されることを特徴とする、
請求項１または２に記載の被研磨体保持具。
【請求項４】
前記内側部の外周に、周方向の幅が先端側に向けて拡大する係合凸部を備え、
前記外側部の内周に、周方向の幅が基底側に向けて拡大する係合凹部を備え、
前記係合凸部の周方向両側面は、前記第１の係合部を構成し、
前記係合凹部の周方向両側面は、前記第２の係合部を構成し、
前記係合凹部内に前記係合凸部が嵌合して前記内側部と前記外側部が接合されることを特徴とする、
請求項３に記載の被研磨体保持具。
【請求項５】
前記内側部の外周に、先端と基端の間に中心を有する部分円弧形状の係合凸部を備え、
前記外側部の内周に、開口部と基底の間に中心を有する部分円弧形状の係合凹部を備え、
前記係合凸部の周方向両側面は、前記第１の係合部を構成し、
前記係合凹部の周方向両側面は、前記第２の係合部を構成し、
前記係合凹部内に前記係合凸部が嵌合して前記内側部と前記外側部が接合されることを特徴とする、
請求項３に記載の被研磨体保持具。
【請求項６】
前記内側部の材質は、前記外側部の材質よりも軟質であることを特徴とする、
請求項１乃至５のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項７】
前記内側部の材質は、弾性体であることを特徴とする、
請求項１乃至６のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項８】
前記内側部の材質は、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ウレタンゴム、シリコンゴム、アクリルゴム、クロルスルホン化ポリエチレンゴム、フッ素ゴムまたはエピクロルヒドリンゴムであることを特徴とする、
請求項７に記載の被研磨体保持具。
【請求項９】
前記外側部の材質は、樹脂であることを特徴とする、
請求項１乃至８のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項１０】
前記外側部の材質は、塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネイト樹脂、ポリアセタール樹脂またはポリブチレンテレフタレート樹脂であることを特徴とする、
請求項９に記載の被研磨体保持具。
【請求項１１】
前記内側部と前記外側部は、接着、溶着または融着されていることを特徴とする、
請求項１乃至１０のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項１２】
略中央に前記保持孔が形成された円盤状であることを特徴とする、
請求項１乃至１１のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項１３】
前記保持孔は、四角形であることを特徴とする、
請求項１乃至１２のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項１４】
前記外側部の外周縁は、真円形状であり、
前記キャリアの真円形状の前記収容孔内に配設されて、摺動回転可能となっていることを特徴とする、
請求項１乃至１３のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項１５】
前記保持孔は、前記被研磨体との間に所定の隙間が生じる大きさであることを特徴とする、
請求項１乃至１４のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項１６】
前記キャリアは、互いに同芯に配設される太陽歯車および内歯歯車の両方に噛合する遊星歯車を構成し、
前記平面研磨装置は、上定盤と下定盤の間に前記キャリアを配置した状態で、前記キャリアを遊星運動させ、前記内側部および外側部が前記キャリア内で前記被研磨体を保持することで、前記被研磨体を研磨することを特徴とする、
請求項１乃至１５のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項１７】
前記被研磨体は、脆性材料の薄板であることを特徴とする、
請求項１乃至１６のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【請求項１８】
前記被研磨体は、ガラスであることを特徴とする、
請求項１乃至１７のいずれかに記載の被研磨体保持具。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、研磨装置において被研磨体を保持する被研磨体保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、脆性材料からなる薄板の平面研磨は、遊星歯車機構を用いた平面研磨装置によって行っている。すなわち、互いに同芯に配設される太陽歯車および内歯歯車の両方に噛合する遊星歯車を外周に備えたキャリアに被研磨体を保持し、上下に配置した上定盤および下定盤により被研磨体を挟持した状態でキャリアを遊星運動させることで、被研磨体の表裏面を研磨している。
【０００３】
このような研磨装置では、キャリアは複数の保持孔を備えており、これらの保持孔の中に被研磨体を収容して研磨する構造となっている。従って、研磨時にこの保持孔の内周面と被研磨体の外周面が摺動して被研磨体の外周面に疵が発生する場合があり、この疵に起因した種々の問題が発生していた。例えば、半導体路集積回路の製造に用いられるフォトマスク用のガラス基板の研磨においては、ガラス基板の外周面に上記したような疵が発生すると、微細な塵等がこの疵の中に挟まれて半導体集積回路の製造ラインに侵入し、トラブルを引き起こすという問題があった。
【０００４】
このような問題に対しては、キャリアの保持孔の内周面に軟質の材料を配設して、疵の発生を防止する装置等がいくつか提案されている。（例えば、特許文献１、２または３参照）。
【特許文献１】特開平９−１５５７２９号公報
【特許文献２】特開２０００−２４９１２号公報
【特許文献３】特開２０００−２８８９２２号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の平面研磨板は、キャリアの保持孔の内部に内枠部材を配設するものであるが、研磨時に被研磨体を確実に保持するには内枠部材を相応の強度および剛性を備えた材料とする必要があるため、軟質な材料を使用することができず、疵の発生を完全には防止できないという問題があった。
【０００６】
また、上記特許文献２に記載の保持装置は、キャリアの保持孔の内周面に形成したクサビ形凹部に緩衝帯のクサビ形凸部を嵌め込んで固定するものであるため、キャリアにクサビ形凹部を形成する手間がかかる上に、緩衝帯が磨耗した場合に交換し難いという問題があった。
【０００７】
また、上記特許文献３に記載のキャリアは、軟質の中間材を間に挟んだ積層構造等であるため、キャリアの製造に手間とコストがかかる上に、中間材が磨耗した場合はキャリア全体を交換しなければならないという問題があった。
【０００８】
本考案は、斯かる実情に鑑み、脆性材料等からなる薄板等の平面研磨において被研磨体の外周面に発生する疵を防止することが可能な、被研磨体保持具を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本考案は、被研磨体を内部に保持するための保持孔を備える内側部と、前記内側部の外周に接合され、前記内側部とは異なる材質の外側部と、からなり、平面研磨装置のキャリアが備える収容孔内に配設されることを特徴とする、被研磨体保持具である。
【００１０】
（２）本考案はまた、前記内側部における前記外側部との接合面は、前記外側部に向けて突出する凸部が周方向に連続して構成される凹凸面であることを特徴とする、上記（１）に記載の被研磨体保持具である。
【００１１】
（３）本考案はまた、前記内側部の外周には、第１の係合部が形成されており、前記外側部の内周には、第２の係合部が形成されており、前記第１の係合部と前記第２の係合部が互いに係合して前記内側部と前記外側部が接合されることを特徴とする、上記（１）または（２）に記載の被研磨体保持具である。
【００１２】
（４）本考案はまた、前記内側部の外周に、周方向の幅が先端側に向けて拡大する係合凸部を備え、前記外側部の内周に、周方向の幅が基底側に向けて拡大する係合凹部を備え、前記係合凸部の周方向両側面は、前記第１の係合部を構成し、前記係合凹部の周方向両側面は、前記第２の係合部を構成し、前記係合凹部内に前記係合凸部が嵌合して前記内側部と前記外側部が接合されることを特徴とする、上記（３）に記載の被研磨体保持具である。
【００１３】
（５）本考案はまた、前記内側部の外周に、先端と基端の間に中心を有する部分円弧形状の係合凸部を備え、前記外側部の内周に、開口部と基底の間に中心を有する部分円弧形状の係合凹部を備え、前記係合凸部の周方向両側面は、前記第１の係合部を構成し、前記係合凹部の周方向両側面は、前記第２の係合部を構成し、前記係合凹部内に前記係合凸部が嵌合して前記内側部と前記外側部が接合されることを特徴とする、上記（３）に記載の被研磨体保持具である。
【００１４】
（６）本考案はまた、前記内側部の材質は、前記外側部の材質よりも軟質であることを特徴とする、上記（１）乃至（５）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００１５】
（７）本考案はまた、前記内側部の材質は、弾性体であることを特徴とする、上記（１）乃至（６）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００１６】
（８）本考案はまた、前記内側部の材質は、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ウレタンゴム、シリコンゴム、アクリルゴム、クロルスルホン化ポリエチレンゴム、フッ素ゴムまたはエピクロルヒドリンゴムであることを特徴とする、上記（７）に記載の被研磨体保持具である。
【００１７】
（９）本考案はまた、前記外側部の材質は、樹脂であることを特徴とする、上記（１）乃至（８）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００１８】
（１０）本考案はまた、前記外側部の材質は、塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネイト樹脂、ポリアセタール樹脂またはポリブチレンテレフタレート樹脂であることを特徴とする、上記（９）に記載の被研磨体保持具である。
【００１９】
（１１）本考案はまた、前記内側部と前記外側部は、接着、溶着または融着されていることを特徴とする、上記（１）乃至（１０）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００２０】
（１２）本考案はまた、略中央に前記保持孔が形成された円盤状であることを特徴とする、上記（１）乃至（１１）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００２１】
（１３）本考案はまた、前記保持孔は、四角形であることを特徴とする、
【００２２】
上記（１）乃至（１２）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００２３】
（１４）本考案はまた、前記外側部の外周縁は、真円形状であり、前記キャリアの真円形状の前記収容孔内に配設されて、摺動回転可能となっていることを特徴とする、上記（１）乃至（１３）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００２４】
（１５）本考案はまた、前記保持孔は、前記被研磨体との間に所定の隙間が生じる大きさであることを特徴とする、上記（１）乃至（１４）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００２５】
（１６）本考案はまた、前記キャリアは、互いに同芯に配設される太陽歯車および内歯歯車の両方に噛合する遊星歯車を構成し、前記平面研磨装置は、上定盤と下定盤の間に前記キャリアを配置した状態で、前記キャリアを遊星運動させ、前記内側部および外側部が前記キャリア内で前記被研磨体を保持することで、前記被研磨体を研磨することを特徴とする、上記（１）乃至（１５）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００２６】
（１７）本考案はまた、前記被研磨体は、脆性材料の薄板であることを特徴とする、上記（１）乃至（１６）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【００２７】
（１８）本考案はまた、前記被研磨体は、ガラスであることを特徴とする、上記（１）乃至（１７）のいずれかに記載の被研磨体保持具である。
【考案の効果】
【００２８】
本考案に係る被研磨体保持具によれば、脆性材料等からなる薄板等の平面研磨において被研磨体の外周面に発生する疵を防止するという優れた効果を奏し得る。
【考案を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本考案の実施の形態を、添付図面を参照して説明する。
【００３０】
まず、第１の実施形態に係る被研磨体保持具１００が使用される平面研磨装置１０について説明する。
【００３１】
図１は、平面研磨装置１０を示す概略図である。同図に示されるように、平面研磨装置１０は、昇降可能に配設された上定盤１１と、この上定盤１１に対向して下方に配設された下定盤１２を備えている。これらの上定盤１１および下定盤１２は、対向する面にそれぞれ研磨パッド１６が貼付されており、モータ等によりそれぞれ回転駆動されるようになっている。
【００３２】
また、平面研磨装置１０は、下定盤１２の上面中央に配設される太陽歯車１３と、下定盤１２の外周に配設される内歯歯車１４と、この太陽歯車１３および内歯歯車１４と噛合する遊星歯車である複数のキャリア１５と、を備えている。すなわち、キャリア１５は、太陽歯車に駆動されて自転と公転からなる遊星運動を行うように配設されている。そして、このキャリア１５には複数の収容孔１５Ａが形成されており、被研磨体２０および本考案に係る被研磨体保持具１００は、この収容孔１５Ａの内部に配設されるようになっている。なお、図１においては、太陽歯車１３、内歯歯車１４およびキャリア１５の歯車部分の図示を省略している。
【００３３】
上記構成により、平面研磨装置１０は、被研磨体２０を上定盤１１および下定盤１２の間に挟持した状態で、上定盤１１および下定盤１２を回転させると共に、被研磨体２０を保持しているキャリア１５を遊星運動させることで、被研磨体の表裏面を様々な方向から研磨することを可能としている。そして、このように様々な方向から被研磨体２０を研磨することにより、研磨後の被研磨体２０の平滑度および平坦度を向上させることを可能としている。
【００３４】
なお、本実施形態における被研磨体２０は、半導体集積回路の製造において、回路パターンを半導体ウェハの表面に転写するのに用いられるフォトマスク用サブストレートであり、略四角形状のガラスの薄板である。
【００３５】
次に、被研磨体保持具１００の構造について説明する。
【００３６】
図２は、被研磨体保持具１００を示す平面図である。同図に示されるように、被研磨体保持具１００は、中央に保持孔１１０を備える略真円形状の円盤であり、内側部１２０および外側部１３０からなる。
【００３７】
保持孔１１０は、被研磨体保持具１００の中央において略四角形状に開口した孔であり、被研磨体２０を内部に収容して保持する部分である。本実施形態では、被研磨体２０が略四角形状の薄板のガラスであるため、保持孔１１０の形状は、被研磨体２０が略嵌合する形状となっている。また、本実施形態では、保持孔１１０を被研磨体保持具１００の中央に設けることによって、研磨時に被研磨体保持具１００が局部的な力を受けることを防止し、被研磨体２０を安定して保持することを可能としている。
【００３８】
なお、保持孔１１０の形状は、略四角形状に限定されるものではなく、被研磨体２０を内部に収容可能な形状であればよい。また、被研磨体２０の形状によっては、保持孔１１０を被研磨体保持具１００の中央から外れた位置に設けるようにしてもよい。
【００３９】
内側部１２０は、保持孔１１０を備えている。また、内側部１２０の外周には、径方向外側に向けて突出する複数の係合凸部１２０Ａが周方向に連続形成されている。また、外側部１３０は、内側部１２０の外周面と接合する環状部材であり、その内周には、内側部１２０の係合凸部１２０Ａに対応する複数の係合凹部１３０Ａが形成されている。これにより、内側部１２０と外側部１３０の境界面（接合面）は、周方向に凹凸が連続する形状となっている。
【００４０】
図３は、被研磨体保持具１００の一部を拡大して示す図である。同図に示されるように、内側部１２０の係合凸部１２０Ａは、周方向の幅が先端側に向けて拡大していく形状となっており、周方向両側面が第１の係合部１２０Ｂを構成している。また、外側部１３０の係合凹部１３０Ｂは、周方向の幅が基底側に向けて拡大していく形状（係合凸部１２０Ａの相補的形状）となっており、周方向両側面が第２の係合部１３０Ｂを構成している。これにより、内側部１２０と外側部１３０は、係合凸部１２０Ａが係合凹部１３０Ａ内に嵌合し、かつ、第１の係合部１２０Ｂと第２の係合部１３０Ｂが係合した状態で接合されている。
【００４１】
内側部１２０と外側部１３０は、接合面において、接着剤により接着されている。本実施形態では、上記したように、内側部１２０と外側部１３０の接合面に係合凸部１２０Ａおよび係合凹部１３０Ａを設けることで、接着面積を広くし、内側部１２０と外側部１３０をより強固に接着することを可能としている。また、内側部１２０と外側部１３０の接合面において、さらに第１の係合部１２０Ｂおよび第２の係合部１３０Ｂを係合させることで、内側部１２０と外側部１３０が離隔するのを機械的にも防止する構造としている。
【００４２】
このように、被研磨体保持具１００は、内側部１２０と外側部１３０の２つの部材で構成されるものでありながら、研磨時に、内側部１２０と外側部１３０を引き離す方向に力が加わった場合にも、内側部１２０が容易に分離脱落することがないような構造となっている。特に、第１の係合部１２０Ｂおよび第２の係合部１３０Ｂを備えることによって、内側部１２０の材質に弾性材料や軟質な材料を採用した場合であっても、内側部１２０が容易に分離脱落することがないようになっている。
【００４３】
なお、内側部１２０と外側部１３０の接合は、少なくともどちらか一方の接合面を溶解または融解させることで両者を接合（溶着または融着）するようにしてもよい。また、係合凸部１２０Ａおよび係合凹部１３０Ａの形状は、本実施形態に示す形状に限定されるものではなく、必要とされる接合強度に応じて種々の形状を採用することができる。また、場合によっては、第１の係合部１２０Ｂおよび第２の係合部１３０Ｂを備えない形状とすることも可能であり、この場合には、内側部１２０および外側部１３０の製造コストを低減させ、両者を接合させるときの作業性を向上させることができる。
【００４４】
次に、被研磨体保持具１００の材質について説明する。
【００４５】
被研磨体保持具１００は、それぞれ材質の異なる内側部１２０および外側部１３０により構成されている。
【００４６】
まず、内側部１２０は、保持孔１１０内に収容された被研磨体２０と直に接触する部分である。このため、内側部１２０と被研磨体２０の外周面が接触または摺動しても被研磨体２０に疵が生じないように、内側部１２０の材質は、軟質なもの、可撓性のあるもの、または弾性体等であることが好ましい。また、研磨時の発熱に耐える耐熱性、および接触時の衝撃を吸収する十分な弾力性を備えるものであり、さらに、外側部１３０の材質と強固に接合可能なものであることが好ましい。
【００４７】
本実施形態では、内側部１２０の材質にフッ素ゴムを採用しているが、本考案がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。すなわち、被研磨体２０の材質、または温度もしくは速度等の研磨条件に合わせた最適な材質、例えば、天然ゴムや合成ゴム等を採用することができる。より具体的には、内側部１２０の材質として、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ウレタンゴム、シリコンゴム、アクリルゴム、クロルスルホン化ポリエチレンゴムまたはエピクロルヒドリンゴム等を採用することができる。
【００４８】
次に、外側部１３０は、被研磨体２０を安定して保持するために、研磨時に加わる外力に対して容易に変形または破壊しないことが必要である。このため、外側部１３０の材質は、適切な強度、剛性および耐磨耗性を備えるものであることが好ましい。
【００４９】
本実施形態では、外側部１３０の材質にポリカーボネイト樹脂を採用しているが、本考案はこれに限定されるものではなく、その他の樹脂、例えば、塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂またはポリブチレンテレフタレート樹脂等を採用することができる。また、被研磨体２０の材質または研磨条件等によっては、外側部１３０の材質にその他の材質、例えば、ゴム、木材、金属またはセラミックス等を採用してもよい。
【００５０】
次に、被研磨体保持具１００の使用状態について説明する。
【００５１】
図４は、被研磨体保持具１００をキャリア１５に配設した様子を示す平面図である。同図に示されるように、被研磨体保持具１００は、断面形状が略真円形状の収容孔１５Ａの内部に略嵌合するように配設される。このとき、被研磨体保持具１００の外周面と収容孔１５Ａの内周面の間に適切な隙間を設定すれば、研磨時に被研磨体保持具１００およびキャリア１５に加わる力を適当に逃がすことができるが、研磨条件等によっては、両者を密着させるようにしてもよい。
【００５２】
被研磨体２０は、保持孔１１０の内部に収容される。このとき、被研磨体２０の外周面と保持孔１１０の内周面の間に適切な隙間を設定すれば、研磨時に被研磨体２０および被研磨体保持具１００に加わる力を適当に逃がすことができるが、研磨条件等によっては、両者を密着させるようにしてもよい。
【００５３】
図５は、平面研磨装置１０の一部の側断面図である。同図に示されるように、キャリア１５は、研磨時に被研磨体と共に研磨されて損耗する量をなるべく少なくすべく、被研磨体２０の厚みよりも薄い厚みに設定されている。同様に、被研磨体保持具１００は、キャリア１５の厚みと略同一またはやや薄い厚みに設定されている。
【００５４】
研磨時には、上定盤１１および下定盤１２の回転運動とキャリア１５の遊星運動が複合されて、被研磨体２０は、様々な方向から常に変化する力を受ける。このため、被研磨体２０は、常にいずれか一部分が被研磨体保持具１００の内側部１２０に衝突し、押し付けられ、また、内側部１２０との接触部において摺動することとなるが、内側部１２０は上記したように軟質の弾性体であるフッ素ゴムからなるため、変形して衝撃力を吸収し、また、摺動しても被研磨体２０に疵を付けることはない。
【００５５】
また、内側部１２０と外側部１３０の接合面は、互いに係合して接着された係合凸部１２０Ａおよび係合凹部１３０Ａによって構成されているため、上記のようにして内側部１２０が力を受け、変形するような場合であっても、内側部１２０と外側部１３０が離隔してトラブルを引き起こすようなことはない。
【００５６】
また、被研磨体保持具１００は、収容孔１５Ａの内周面に沿って周方向に摺動し、自転することが可能である。このため、より強い力で被研磨体２０が被研磨体保持具１００に押し付けられた場合であっても、被研磨体保持具１００が自転することで力を逃がすため、被研磨体２０の外周面に疵が入るのを防ぐことができる。
【００５７】
さらに、被研磨体保持具１００が収容孔１５Ａの内部で自転可能であることから、研磨時の被研磨体２０の運動をよりランダムなものとすることができる。従って、研磨方向をよりランダムにすることが可能となり、被研磨体２０の研磨後の平滑性および平坦性をさらに向上させることができる。本実施形態では、被研磨体２０は、被研磨体保持具１００の略中央に形成された保持孔１１０内に保持されているため、被研磨体２０が力を受けた場合に、被研磨体保持具１００をスムーズに自転させることができる。
【００５８】
次に、第２の実施形態に係る被研磨体保持具２００について説明する。被研磨体保持具２００は、係合凸部２２０Ａおよび係合凹部２３０Ａの形状以外は、被研磨体保持具１００と同一であるため、以下、被研磨体保持具２００の構造についてのみ説明し、その他の説明は省略する。
【００５９】
図６は、被研磨体保持具２００を示す平面図である。同図に示されるように、被研磨体保持具２００は、中央に保持孔２１０を備える略真円形状の円盤であり、内側部２２０および外側部２３０からなる。
【００６０】
保持孔２１０は、被研磨体保持具２００の中央において略四角形状に開口した孔であり、被研磨体２０を内部に収容して保持する部分である。
【００６１】
内側部２２０は、保持孔２１０を備えている。また、内側部２２０の外周には、径方向外側に向けて突出する複数の係合凸部２２０Ａが周方向に連続形成されている。また、外側部２３０は、内側部２２０の外周面と接合する環状部材であり、その内周には、内側部２２０の係合凸部２２０Ａに対応する複数の係合凹部２３０Ａが形成されている。これにより、内側部２２０と外側部２３０の境界面（接合面）は、周方向に凹凸が連続する形状となっている。
【００６２】
図７は、被研磨体保持具２００の一部を拡大して示す図である。本実施形態では、同図に示されるように、内側部２２０の係合凸部２２０Ａは、外側部２３０に向けて突出し、平面視が先端と基端の間に中心を有する部分円弧形状となっている。従って、基端の幅が狭まっており、周方向両側面が第１の係合部２２０Ｂを構成している。また、外側部２３０の係合凹部２３０Ｂは、平面視が開口部と基底の間に中心を有する部分円弧形状（係合凸部２２０Ａの相補的形状）に窪んだ形状となっている。従って、開口部の幅が狭まっており、周方向両側面が第２の係合部２３０Ｂを構成している。これにより、内側部２２０と外側部２３０は、係合凸部２２０Ａが係合凹部２３０Ａ内に嵌合し、かつ、第１の係合部２２０Ｂと第２の係合部２３０Ｂが係合した状態で接着剤により接着されている。
【００６３】
このように、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、接着面積を広くして内側部２２０と外側部２３０をより強固に接着することを可能とすると共に、内側部２２０と外側部２３０が離隔するのを機械的にも防止する構造となっている。
【００６４】
なお、本考案に係る被研磨体保持具は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本考案の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００６５】
例えば、平面研磨装置１０は、図１に示した遊星歯車装置を利用したものに限定されるものではなく、その他の構造の研磨装置であってもよい。
【００６６】
また、被研磨体保持具１００、２００の外形は、円盤状に限定されるものではなく、被研磨体の材質および研磨条件によっては、楕円形や多角形等の板状であってもよい。
【００６７】
また、被研磨体２０は、フォトマスク用サブストレートに限定されるものではなく、半導体ウェハやレンズ等であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本考案に係る被研磨体保持具は、材料の研磨の分野において特に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】被研磨体保持具１００が使用される平面研磨装置１０を示す概略図である。
【図２】被研磨体保持具１００を示す平面図である。
【図３】被研磨体保持具１００の一部を拡大して示す図である。
【図４】被研磨体保持具１００をキャリア１５に配設した様子を示す平面図である。
【図５】平面研磨装置１０の一部の側断面図である。
【図６】被研磨体保持具２００を示す平面図である。
【図７】被研磨体保持具２００の一部を拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０・・・平面研磨装置
１１・・・上定盤
１２・・・下定盤
１３・・・太陽歯車
１４・・・内歯歯車
１５・・・キャリア
１６・・・研磨布
１５Ａ・・・収容孔
２０・・・被研磨体
１００、２００・・・被研磨体保持具
１１０、２１０・・・保持孔
１２０、２２０・・・内側部
１３０、２３０・・・外側部
１２０Ａ、２２０Ａ・・・係合凸部
１２０Ｂ、２２０Ｂ・・・第１の係合部
１３０Ａ、２３０Ａ・・・係合凹部
１３０Ｂ、２３０Ｂ・・・第２の係合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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