【事件の表示】
　特願２０１０−５２３１８６「偏光広帯域ウェーハ検査」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年　３月１２日国際公開、ＷＯ２００９／０３２８０１、平成２２年１２月　９日国内公表、特表２０１０−５３８２７６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２０年８月２９日（パリ条約による優先権主張平成１９年９月３日、米国）を国際出願日とする特願２０１０−５２３１８６号の出願であって、平成２４年９月１４日付けで拒絶理由が通知され、同年１２月１９日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで誤訳訂正がなされ、平成２５年６月２５日付けで拒絶理由（最後）が通知され、同年１０月１日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで手続補正がなされ、平成２６年３月７日付けで、平成２５年１０月１日付けの手続補正に対する補正の却下の決定がなされるともに拒絶査定がなされ、これに対して、平成２６年７月９日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正がなされた。そして、その後、当審により平成２７年７月２９日付けで拒絶理由が通知され、同年１２月４日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで手続補正がなされたものである。
第２　本願発明について
　本願の請求項１ないし１１に係る発明は、平成２７年１２月４日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１１に記載された事項により特定されるものであるところ、そのうち請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりのものと認める。
　「対象の表面上へ放射線を指向する放射線指向アセンブリと、前記対象の前記表面から反射する放射線を収集する放射線収集アセンブリと、広帯域放射ビームを発する放射線源（１０１）とを備えた表面検査システムであって、
　前記放射線指向アセンブリは、
　線形偏光子（１０５）およびアポクロマートの位相子（１０７）を含む偏光制御アセンブリ（１０３）；
　開口制御機構（１０９）；および
　ビームスプリッタ（１１３）；
　を含み、
　前記放射線収集アセンブリは、
　　線形偏光子（１１９）およびアポクロマートの位相子（１２１）を含む偏光制御アセンブリ（１１７）；
　　開口制御機構（１２３）；および
　　少なくとも１つの放射線検出装置（１２７）；
　を含み、
　前記線形偏光子（１０５、１１９）が、ワイアグリッド偏光子（１０２）をさらに含み、
　前記広帯域放射ビームは、深紫外線を含み、
　前記ワイアグリッド偏光子のピッチは、前記対象の前記表面を検査するために当該表面検査システムによって用いられる前記放射線の波長のうち最も短い波長の半分よりも短い、
　表面検査システム。」
第３　引用例の記載事項及び引用例に記載された発明
１　引用例に記載の事項
（１）当審の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００７−１４７４７５号公報（以下、「引用例１」という。）には、次の事項が記載されている。（下線は当審において付加したものである。）
ア　「【００２３】
　次に、本発明に係る
光学式欠陥検査装置
ウェハ表面の画像を検出する
【００２４】
　
明視野照明光学系は、光源２０、レンズ２２、波長選択フィルタ２５、ポラライザ（偏光子）３０、１／２波長板３５、１／４波長板４０、レンズ４５、開口絞り５０、レンズ６０、ビームスプリッタ６５及び対物レンズ７０ａ、７０ｂによって構成される。
【００２５】
　
検出光学系は、対物レンズ７０ａ、７０ｂ、ビームスプリッタ６５、アナライザ（検光子）８０、結像レンズ９５、波長分離フィルタ
９６ａ及びイメージセンサ９８ａ〜９８ｃによって構成される。
【００２６】
　合焦点検出系は、照明系に配置した縞状のストライプパターン１１０、レンズ１１２、ビームスプリッタ１１３及び焦点検出用イメージセンサ１１４ａ、１１４ｂによって構成される。
【００２７】
　
光源２０は、広帯域な波長（ＵＶ光から可視光の範囲の
約３５０ｎｍ〜約７００ｎｍ程度）を発光する光源であり
イ　「【００４６】
　［第２の実施の形態］
　本発明に係る第２の実施の形態において、第１の実施の形態と相違する点は、図２に示すように、光学系１０ｂにある。該光学系１０ｂにおいて、第１の実施の形態と相違する点は、検出光路において、回転可能な機構８１に取付けられた
アナライザ（検光子）８０とビームスプリッタ６５との間に、
１／２波長板１１７及び１／４波長板１１８を設け、結像レンズ９５と波長分離フィルタ
９６ａとの間に、コリメータレンズ１２３、１２４と対物レンズ７０ａの瞳と共役な位置に
空間フィルタ１２５とを配置し、
ランプ光源１３０１、
波長選択フィルタ１３０２、
光ファイバ１３０３、及び
放物面鏡１３０４から構成される暗視野照明光学系
を設ける
【００４７】
　このように構成することによって、明視野照明と同様に、暗視野照明（斜方照明）においても、ビームスプリッタ６５を透過した光は、特定の電場ベクトルの振動成分のみを透過するアナライザ（検光子）８０を透過し、結像レンズ９５により結像され、波長分離フィルタ（ダイクロイックミラー）９６ａによって例えば３つの波長帯域（例えば、約５００ｎｍ程度〜約６００ｎｍ程度の緑色帯域、約６００ｎｍ程度〜約７００ｎｍ程度の赤色帯域、約４００ｎｍ程度〜約５００ｎｍ程度の青色帯域）に分離され、該分離された例えば３つの波長帯域のウェハ５のパターンの像の各々をイメージセンサ（例えばＴＤＩセンサ）９８ａ〜９８ｃの各々上に形成して受光することが可能となる。同時に、１／２波長板回転機構１１９及び１／４波長板回転機構１２０を回転制御することにより、偏光方位（電場ベクトルの振動方向）を検査対象上に形成されたパターンに適合させて各イメージセンサ９８ａ〜９８ｃによって受光することが可能となる。また、波長分離フィルタ９６ａの代わりに偏光ビームスプリッタ９９に切り替えた場合も同様となる。このように、明視野照明と同様に、暗視野照明においても、偏光方位を制御することにより、パターンから得られる偏光成分を消去して検出したい検出欠陥を高コントラスト（濃淡差）で検出することが可能となる。
【００４８】
　また、検査対象上に微小な凹凸が生じているので、これに対応した位相差フィルタからなる空間フィルタ１２５を切り替えることにより干渉強度を強めたり、弱めたりすることが可能となり、検出したい検出欠陥を下地や周囲の影響を少なくして更に高コントラスト（濃淡差）で検出することが可能となる。
【００４９】
　以上説明したように、第２の実施の形態によれば、段差の低い薄膜残りや微小なショート欠陥及びパターンの形状不良などを検出しやすい第１の実施の形態の明視野照明方式に加えて、異物やスクラッチなど段差、凹凸のある欠陥の検出に有利である暗視野照明方式を選択することが可能となる。
【００５０】
　また、第２の実施の形態によれば、明視野と暗視野の複合照明が可能となり、金属配線パターン（例えば、アルミ配線）の表面に発生するグレイン部のコントラストを低滅することが可能となり、欠陥判定しきい値の低減による、検査感度の向上に有効である。」
ウ　図２
（２）当審の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００７−７１８０４号公報（以下、「引用例２」という。）には、次の事項が記載されている。（下線は当審において付加したものである。）
ア　「【００６０】
  
欠陥を高コントラストに検出する照明波長の条件としては、
（１）解像度の点では短波長照明が有利であり、
DUV(Deep Ultraviolet)領域
が望ましく
イ　「【００６７】
  可視光イメージセンサ１００ａで検出したアナログ信号はＡ／Ｄ変換器１１０ａでＡ／Ｄ変換された後、画像合成部４１０に入り、レンズ距離対応遅延メモリ４００から順次送り出されるＵＶから可視光による光学像を検出して得られたデジタル画像と合成されて、平均化した合成画像が形成される。この合成画像を用いて、画像処理部３００にて欠陥判定することにより、ＵＶ〜可視光（３６０〜６５０ｎｍ）の画像を生成することが可能となり、感度阻害要因の抑制や欠陥の高コントラスト化による高感度に欠陥判定可能な画像を作ることが可能となる。尚、合成画像は、ＵＶから可視光画像と可視光画像の平均ではなく、擬似部のコントラストや欠陥のコントラストに応じて、高感度に検出可能な重み（例えば、ＵＶ１：ＵＶ可視２）を変えて合成することも考えられる。また、この構成では、照明系に配置されたダイクロイックミラー１８０と検出系に配置されたダイクロイックミラー１８１は同じ特性であり、同じ特性のダイクロイックミラーを使うことによる部品コストの低減にも効果がある。また、本実施例では、ＵＶ〜可視光の例を取り上げたが、
波長帯域をＤＵＶ〜可視光に変更することも容易に類推でき
２　引用例１に記載された発明
　上記「１　（１）」の記載、及び図２を総合すると、引用例１には、
　「明視野照明光学系は、光源２０、レンズ２２、波長選択フィルタ２５、ポラライザ（偏光子）３０、１／２波長板３５、１／４波長板４０、レンズ４５、開口絞り５０、レンズ６０、ビームスプリッタ６５及び対物レンズ７０ａ、７０ｂによって構成され、
　検出光学系は、対物レンズ７０ａ、７０ｂ、ビームスプリッタ６５、アナライザ（検光子）８０、結像レンズ９５、波長分離フィルタ９６ａ及びイメージセンサ９８ａ〜９８ｃによって構成され、
　光源２０は、広帯域な波長（ＵＶ光から可視光の範囲の約３５０ｎｍ〜約７００ｎｍ程度）を発光する光源である、
　ウェハ表面の画像を検出する光学式欠陥検査装置において、
　アナライザ（検光子）８０とビームスプリッタ６５との間に、１／２波長板１１７及び１／４波長板１１８を設け、結像レンズ９５と波長分離フィルタ９６ａとの間に、コリメータレンズ１２３、１２４と対物レンズ７０ａの瞳と共役な位置に空間フィルタ１２５とを配置し、
　ランプ光源１３０１、波長選択フィルタ１３０２、光ファイバ１３０３、及び放物面鏡１３０４から構成される暗視野照明光学系を設ける、
　光学式欠陥検査装置。」について記載されている（以下、「引用発明」という。）。 
第４　本願発明と引用発明との対比
１　本願発明の「表面検査システム」について
（１）引用発明の「明視野照明光学系」及び「検出光学系」は、それぞれ本願発明の「放射線指向アセンブリ」及び「放射線収集アセンブリ」に相当する。
（２）引用発明の「広帯域な波長（ＵＶ光から可視光の範囲の約３５０ｎｍ〜約７００ｎｍ程度）を発光する」「光源２０」は、本願発明の「広帯域放射ビームを発する放射線源（１０１）」に対応する。
（３）引用発明の「ウェハ表面の画像を検出する光学式欠陥検査装置」は、本願発明の「表面検査システム」に相当する。
（４）よって、引用発明の「明視野照明光学系」と、「検出光学系」と、「広帯域な波長（ＵＶ光から可視光の範囲の約３５０ｎｍ〜約７００ｎｍ程度）を発光する」「光源２０」とを備えた「ウェハ表面の画像を検出する光学式欠陥検査装置」は、本願発明の「対象の表面上へ放射線を指向する放射線指向アセンブリと、前記対象の前記表面から反射する放射線を収集する放射線収集アセンブリと、広帯域放射ビームを発する放射線源（１０１）とを備えた表面検査システム」に対応する。
２　本願発明の「前記放射線指向アセンブリ」について
（１）引用発明の「ポラライザ（偏光子）３０」は、入射光からある方向に偏光面をもつ直線偏光を取り出す光学素子であるから、本願発明の「線形偏光子（１０５）」に対応する。
（２）引用発明の「１／４波長板４０」は、入射光の偏光面に１／４波長の位相差を与える光学素子であるから、引用発明の「１／４波長板４０」と本願発明の「アポクロマートの位相子（１０７）」とは、「位相子」である点で共通する。
（３）引用発明の「ポラライザ（偏光子）３０、１／２波長板３５、１／４波長板４０」が、偏光制御アセンブリであることは明らかであるから、偏光制御アセンブリは、「ポラライザ（偏光子）３０」及び「１／４波長板４０」を含むものである。
（４）よって、引用発明の「ポラライザ（偏光子）３０」及び「１／４波長板４０」と、本願発明の「線形偏光子（１０５）およびアポクロマートの位相子（１０７）を含む偏光制御アセンブリ（１０３）」とは、「線形偏光子および位相子を含む偏光制御アセンブリ」である点で共通する。
（５）引用発明の「開口絞り５０」及び「ビームスプリッタ６５」は、それぞれ本願発明の「開口制御機構（１２３）」及び「ビームスプリッタ（１１３）」に相当する。
３　本願発明の「前記放射線収集アセンブリ」について
（１）引用発明の「アナライザ（検光子）８０」は、入射光からある方向に偏光面をもつ直線偏光を取り出す光学素子であるから、本願発明の「線形偏光子（１１９）」に対応する。
（２）引用発明の「１／４波長板１１８」は、入射光の偏光面に１／４波長の位相差を与える光学素子であるから、引用発明の「１／４波長板１１８」と本願発明の「アポクロマートの位相子（１０７）」とは、「位相子」である点で共通する。
（３）引用発明の「アナライザ（検光子）８０」、「１／２波長板１１７及び１／４波長板１１８」が、偏光制御アセンブリであることは明らかであるから、偏光制御アセンブリは、「アナライザ（検光子）８０」及び「１／４波長板１１８」を含むものである。
（４）よって、引用発明の「アナライザ（検光子）８０」及び「１／４波長板１１８」と、本願発明の「線形偏光子（１１９）およびアポクロマートの位相子（１２１）を含む偏光制御アセンブリ（１１７）」とは、「線形偏光子および位相子を含む偏光制御アセンブリ」である点で共通する。
（５）引用発明の「対物レンズ７０ａの瞳と共役な位置に」「配置し」た「空間フィルタ１２５」は、光が通過する位置を制御するものであるから、本願発明の「開口制御機構（１２３）」に相当する。
（６）引用発明の「イメージセンサ９８ａ〜９８ｃ」は、本願発明の「少なくとも１つの放射線検出装置（１２７）」に相当する。
第５　本願発明と引用発明の一致点・相違点
　してみると、本願発明と引用発明は、次の点で一致する。
（一致点）
　「対象の表面上へ放射線を指向する放射線指向アセンブリと、前記対象の前記表面から反射する放射線を収集する放射線収集アセンブリと、広帯域放射ビームを発する放射線源とを備えた表面検査システムであって、
　前記放射線指向アセンブリは、
　線形偏光子および位相子を含む偏光制御アセンブリ；
　開口制御機構；および
　ビームスプリッタ；
　を含み、
　前記放射線収集アセンブリは、
　　線形偏光子および位相子を含む偏光制御アセンブリ；
　　開口制御機構；および
　　少なくとも１つの放射線検出装置；
　を含む、
　表面検査システム。」
　
　また、本願発明と引用発明は、次の点で相違する。
（相違点１）
　広帯域放射ビームが、本願発明では、「深紫外線を含」むのに対し、引用発明では、「ＵＶ光」を含むものの、「深紫外線を含」むことは特定されていない点。
（相違点２）
　放射線指向アセンブリ及び放射線収集アセンブリにおけるそれぞれの線形偏光子が、本願発明では、「ワイアグリッド偏光子（１０２）」であり、「前記ワイアグリッド偏光子のピッチは、前記対象の前記表面を検査するために当該表面検査システムによって用いられる前記放射線の波長のうち最も短い波長の半分よりも短い」のに対し、引用発明では、そのように特定されない点。
（相違点３）
　放射線指向アセンブリ及び放射線収集アセンブリにおけるそれぞれの位相子が、本願発明では、「アポクロマート」であるのに対し、引用発明では、そのように特定されていない点。
第６　当審の判断
１　相違点１について
　引用例２には、表面検査システムにおいて、欠陥を高コントラストに検出するために、広帯域放射ビームに深紫外線を含めることが示唆されている。　そして、引用例１においても、上記「第３　１（１）イ」の段落【００４７】に記載されているように、「欠陥を高コントラスト（濃淡差）で検出する」ことを課題としていることから、引用発明の広帯域放射ビームを備えた表面検査システムにおいて、引用例２の上記示唆に基づき、「深紫外線を含」む広帯域放射ビームを用いることは、当業者が容易になし得たことである。
２　相違点２について
　広帯域放射ビームを備えた表面検査システムにおいて、広帯域波長帯に対応する線形偏光子として、ワイアグリッド偏光子を用いることは、例えば、特開２００６−８４４４６号公報（特に、段落【００４５】、【００５１】などを参照。）などに記載されているように周知技術であり、広帯域波長帯に対応するワイアグリッド偏光子において、そのピッチを、入射光の波長のうち最も短い波長の半分よりも短くすることは、例えば、特開２００７−５２３１５号公報（特に、段落【００２２】、【００２８】などを参照。）などに記載されているように本願優先権主張時の技術常識にすぎない。
　よって、引用発明の広帯域放射ビームを備えた表面検査システムにおいて、上記周知技術及び上記技術常識を踏まえ、放射線指向アセンブリ及び放射線収集アセンブリにおけるそれぞれの広帯域波長帯に対応する線形偏光子として、「ワイアグリッド偏光子」を用い、「前記ワイアグリッド偏光子のピッチ」を、「前記対象の前記表面を検査するために当該表面検査システムによって用いられる前記放射線の波長のうち最も短い波長の半分よりも短」くすることは、当業者が容易になし得たことである。
３　相違点３について
　広帯域波長帯に対応する位相子として、アポクロマートを用いることは、例えば、P. Hariharan、”Broad-band apochromatic retarders: choice of materials”、Optics  Laser Technology、2002.10.発行、Vol.34, No.7、p.509-511などに記載されているように周知技術であり、引用発明の広帯域放射ビームを備えた表面検査システムにおいて、放射線指向アセンブリ及び放射線収集アセンブリにおけるそれぞれの広帯域波長帯に対応する位相子として、「アポクロマート」を用いることは、当業者が容易になし得たことである。
４　本願発明の奏する作用効果
　請求人は、平成２７年１２月４日付け意見書において、「ワイアグリッド偏光子のピッチは、対象の表面を検査するために当該表面検査システムによって用いられる放射線の波長のうち最も短い波長の半分よりも短い。」という発明特定事項によって、明細書の段落【００１４】に示された効果を奏すると主張している。
　しかしながら、上記周知技術として示した特開２００６−８４４４６号公報（段落【００５１】）には、偏光子に関して、検査システムに適用する波長帯域や外形サイズ等を適切なものを選択できることや、ワイアグリッド偏光子が高透過率であることが記載されており、また、上記技術常識として示した特開２００７−５２３１５号公報（段落【００２２】）には、Ｄｅｅｐ　ＵＶランプを用いることも可能であることが記載されていることからして、ワイアグリッド偏光子は、ＤＵＶ照射下で用いることができる程度に堅牢であることは自明であるといえるので、上記主張は、本願優先権主張時の技術常識から当業者が予測し得る程度のものであり、上記主張を採用することができない。
　この点を踏まえても、本願発明によってもたらされる作用効果は、引用例１、２に記載された事項、上記周知技術及び上記技術常識から当業者が予測し得る程度のものである。
５　まとめ
　してみると、本願発明は、引用発明、引用例２に記載された事項、上記周知技術及び上記技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
第７　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、その他の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。