【手続補正書】
【提出日】令和2年1月29日(2020.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学走査顕微鏡（１，２，３）であって、
前記光学走査顕微鏡（１，２，３）は、光源（１００）から出発する光源区間（１００〜１０３）、偏光依存性の第１のビームスプリッタ（１０５ａ）および偏光依存性の第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）、ならびに、前記偏光依存性の第１のビームスプリッタ（１０５ａ）と前記偏光依存性の第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）との間の第１の光学チャネル（２１）および第２の光学チャネル（２２）を有する照明装置（２０）を備え、
・前記光源区間（１００〜１０３）は、第１の時間範囲では主としてもしくは専ら第１の主偏光方向の光を含み、第２の時間範囲では主としてもしくは専ら第２の主偏光方向の光を含む第１の照明光ビーム（２０３）を放射するように構成されており、
・前記第１のビームスプリッタ（１０５ａ）は、前記第１の主偏光方向の光の少なくとも大部分を前記第１の光学チャネル（２１）へガイドし、前記第２の主偏光方向の光の少なくとも大部分を前記第２の光学チャネル（２２）へガイドするように構成されており、
・前記第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）は、前記第１の光学チャネル（２１）からの前記第１の主偏光方向の光と、前記第２の光学チャネル（２２）からの前記第２の主偏光方向の光と、から第２の照明光ビーム（２０４）を形成するように構成されており、
・各前記光学チャネル（２１，２２）は、前記第１の光学チャネル（２１）からの前記第１の主偏光方向の光と、前記第２の光学チャネル（２２）からの前記第２の主偏光方向の光と、をそれぞれ異なる集束角度で放射するように構成されている、
光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項２】
前記光源区間（１００〜１０３）は、前記第１の照明光ビーム（２０３）をコリメートして放射するように構成されている、
請求項１記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項３】
前記第１のビームスプリッタ（１０５ａ）の上流に第１の光学素子（１０４）が配置されており、前記第１の光学素子（１０４）は、前記第１の照明光ビーム（２０３）をフォーカシングしかつ集束させて前記第１のビームスプリッタ（１０５ａ）へ入射させるように構成されている、
請求項２記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項４】
前記第１の光学チャネル（２１）は、光の少なくとも大部分を発散させて前記第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）へ入射させるように構成されており、
前記第２の光学チャネル（２２）は、光の少なくとも大部分をコリメートして前記第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）へ入射させるように構成されている、
請求項３記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項５】
前記第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）の下流に第２の光学素子（１０８）が配置されており、前記第２の光学素子（１０８）は、前記第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）によって発散して放射される光をコリメートしかつ前記第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）によってコリメートされて放射される光をフォーカシングするように構成されている、
請求項４記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項６】
対物レンズ収容部（１１）内に取り付け可能でありかつ対物レンズ位置（１０）において位置決め可能であって、後側対物瞳（１０９）を含む対物レンズ（１２）が設けられており、
前記第２の光学素子（１０８）は、前記第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）からコリメートされて出射される光を前記後側対物瞳（１０９）の平面へフォーカシングするように構成されている、
請求項５記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項７】
前記第２の光学チャネル（２２）内にベルトランレンズ装置（１０６ａ，１０６ｂ）の少なくとも一部が用意されている、
請求項１から６までのいずれか１項記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項８】
前記照明装置（２０）内に前記第１の主偏光方向の光によりオルソスコピックビーム路（２００）が形成され、前記第２の主偏光方向の光によりコノスコピックビーム路（２０１）が形成される、
請求項１から７までのいずれか１項記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項９】
前記第１の時間範囲の前記第１の主偏光方向の光と、前記第２の時間範囲の前記第２の主偏光方向の光と、を含む前記第１の照明光ビーム（２０３）を放射するために、切り替え可能な遅延素子（１０２）が用意されている、
請求項１記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項１０】
前記照明装置（２０）は、走査ユニット（１０３）を含む、
請求項１から９までのいずれか１項記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項１１】
前記第１の光学チャネル（２１）に沿って複数の光学素子（１０４，１０８）が用意されており、前記複数の光学素子（１０４，１０８）は、走査装置（１０３）の１つもしくは複数の実偏向点または虚偏向点を対物瞳（１０９）内またはその近傍へ結像するガリレオ望遠鏡を形成するように構成および配置されている、
請求項１から１０までのいずれか１項記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項１２】
前記第１の光学チャネル（２１）内かつ／または前記第２の光学チャネル（２２）内に光学シャッタが配置されている、
請求項１から１１までのいずれか１項記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項１３】
前記第１のビームスプリッタおよび前記第２のビームスプリッタ（１０５ａ，１０５ｂ）ならびに前記第１の光学チャネル（２１）および前記第２の光学チャネル（２２）は、前記光学走査顕微鏡（１，２，３）から取り出し可能な挿入部材に配置されている、
請求項１から１２までのいずれか１項記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項１４】
広視野顕微鏡に部分モジュールとして適合させるための手段を含む、
請求項１から１３までのいずれか１項記載の光学走査顕微鏡（１，２，３）。
【請求項１５】
光学走査顕微鏡（１，２，３）を用いて試料を検査する方法であって、
前記光学走査顕微鏡（１，２，３）は、光源区間（１００〜１０３）、偏光依存性の第１のビームスプリッタ（１０５ａ）および偏光依存性の第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）、ならびに、前記第１のビームスプリッタ（１０５ａ）と前記第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）との間の第１の光学チャネル（２１）および第２の光学チャネル（２２）を有する照明装置（２０）を備え、
・前記光源区間（１００〜１０３）を用いて、第１の時間範囲では主としてもしくは専ら第１の主偏光方向の光を含み、第２の時間範囲では主としてもしくは専ら第２の主偏光方向の光を含む第１の照明光ビーム（２０３）を放射し、
・前記第１のビームスプリッタ（１０５ａ）を用いて、前記第１の主偏光方向の光の少なくとも大部分を前記第１の光学チャネル（２１）へガイドし、前記第２の主偏光方向の光の少なくとも大部分を前記第２の光学チャネル（２２）へガイドし、
・前記第２のビームスプリッタ（１０５ｂ）を用いて、前記第１の光学チャネル（２１）からの前記第１の主偏光方向の光と、前記第２の光学チャネル（２２）からの前記第２の主偏光方向の光と、から第２の照明光ビーム（２０４）を形成し、
・前記第１の光学チャネル（２１）を用いた第１の偏光状態の光と、前記第２の光学チャネル（２２）を用いた第２の偏光状態の光と、をそれぞれ異なる集束角度で放射する、
方法。
【請求項１６】
請求項１から１４までのいずれか１項記載の走査顕微鏡（１，２，３）を使用する、
請求項１５記載の方法。