【手続補正書】
【提出日】令和2年6月12日(2020.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
様々な実施形態について説明した。これらの及び他の実施形態は、以下の特許請求の範囲に含まれる。
なお、以上の各実施例に加えて以下の態様について付記する。
（付記１）
基材の主表面上の有機フッ素コーティングであって、前記有機フッ素コーティングは、約５ａｔ％〜１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜５０ａｔ％のフッ素の表面組成を有する、コーティング。
（付記２）
前記コーティングは、約５００ｎｍ未満の厚さを有する、付記１に記載のコーティング。
（付記３）
前記コーティングは、前記基材からの剥離引き剥がし力が約１５グラム／インチ未満である、付記１に記載のコーティング。
（付記４）
前記基材の前記主表面は、約１０構造／ｍｍ２〜約１０，０００構造／ｍｍ２の密度で凸状又は凹状構造を含み、前記コーティングは前記構造に重なり、適合している、付記１に記載のコーティング。
（付記５）
前記基材の前記主表面は、約２ｎｍ未満のＲａを有する、付記１に記載のコーティング。
（付記６）
前記基材の前記主表面は、約１ｎｍ未満のＲａを有する、付記１に記載のコーティング。
（付記７）
フルオロエーテルの形態で０．２５ａｔ％〜２．５ａｔ％の酸素を含む、有機フッ素薄膜。
（付記８）
前記薄膜は、約５００ｎｍ未満の厚さを有する、付記７に記載の薄膜。
（付記９）
主表面を有するポリマーフィルムを含む物品であって、前記ポリマーフィルムの前記主表面の少なくとも一部分は、約１０構造／ｍｍ２〜約１０，０００構造／ｍｍ２の密度で凸状又は凹状構造と、前記構造上の有機フッ素コーティング層とを含み、前記コーティング層は、フルオロエーテル種を含み、かつ約５ａｔ％〜１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０原子％のフッ素の表面組成を含む、物品。
（付記１０）
前記有機フッ素コーティング層は、約５００ｎｍ未満の厚さを有する、付記９に記載の物品。
（付記１１）
基材の主表面上のフルオロポリマーコーティングであって、前記コーティングは、式ＣｘＦｙを有するフルオロカーボン及び式ＣｘＦｙＯｚを有するオキシフルオロカーボンのうちの少なくとも１つから得られるコポリマー繰り返し単位を含み、式中、ｘ、ｙ、及びｚは、ゼロでない正の整数であり、ｘ＝１〜６、ｙ＝４〜１４、及びｚ＝１であり、ｘ、ｙ及びｚの値は、前記コーティングが約５ａｔ％〜約１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０ａｔ％のフッ素を含むように選択される、コーティング。
（付記１２）
前記フルオロカーボン及びオキシフルオロカーボンは、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ１０、及びＣ６Ｆ１４、Ｃ６Ｆ１２Ｏ、並びにこれらの組み合わせから選択される、付記１１に記載のコーティング。
（付記１３）
前記フルオロカーボンはＣ６Ｆ１４である、付記１２に記載のコーティング。
（付記１４）
基材の主表面上のフルオロポリマーコーティングであって、前記コーティングは、約５ａｔ％〜約１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０ａｔ％のフッ素を含むコポリマーを提供するのに十分な量の酸素と反応させる、式ＣｘＦｙを有するフルオロカーボン（式中、ｘ＝１〜６及びｙ＝４〜１４）から得られる、コーティング。
（付記１５）
前記フルオロカーボンは、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ１０、及びＣ６Ｆ１４、並びにこれらの組み合わせから選択される、付記１４に記載のコーティング。
（付記１６）
コーティングの製造方法であって、
反応チャンバー内に気体状フルオロカーボン反応物を導入することと、
プラズマ及び十分な酸素の存在下で前記気体状フルオロカーボン反応物を反応させて、基材の主表面上に有機フッ素コーティングを形成させることと、を含み、前記有機フッ素コーティングは約５００ｎｍ未満の厚さを有し、前記コーティングは、フルオロエーテルの形態で約０．２５ａｔ％〜約２．５ａｔ％の酸素を含む、方法。
（付記１７）
酸素含有気体状反応物を前記反応チャンバー内に導入することを更に含む、付記１７に記載の方法。
（付記１８）
前記酸素含有気体は酸素である、付記１７に記載の方法。
（付記１９）
前記酸素含有気体は、式ＣｘＨｙＯｚを有するオキシパーフルオロカーボン（式中、ｘ、ｙ、及びｚはゼロでない正の整数であり、ｘ＝１〜６、ｙ＝４〜１４、及びｚ＝１である）である、付記１７に記載の方法。
（付記２０）
前記気体状フルオロカーボン反応物はＣｘＦｙ（式中、ｘ＝１〜６及びｙ＝４〜１４である）を含む、付記１６に記載の方法。
（付記２１）
前記気体状フルオロカーボン反応物は、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ１０、及びＣ６Ｆ１４、並びにこれらの組み合わせから選択される、付記１６に記載の方法。
（付記２２）
コーティングの製造方法であって、
少なくとも１種の気体状フルオロカーボン及び酸素含有気体を、プラズマ発生装置及びターゲット基材を含む反応チャンバー内に導入することを含み、前記フルオロ化合物及び前記酸素含有気体を、プラズマの存在下で前記基材上にフルオロエーテル種を含むフルオロカーボン含有コーティングを形成するのに十分な相対量で前記反応チャンバー内に導入し、前記有機フッ素フィルムは約５００ｎｍ未満の厚さを有し、かつ約５ａｔ％〜１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０ａｔ％のフッ素を含む表面組成を有する、方法。
（付記２３）
前記気体状フルオロカーボンは、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ１０、及びＣ６Ｆ１４、並びにこれらの組み合わせから選択される、付記２２に記載の方法。
（付記２４）
前記酸素含有気体は酸素である、付記２２に記載の方法。
（付記２５）
前記フルオロカーボン化合物及び酸素を、約１０：１〜約１：１の比で前記反応チャンバー内に導入する、付記２４に記載の方法。
（付記２６）
前記フルオロカーボン及び酸素を、約４：１の比で前記反応チャンバー内に導入する、付記２４に記載の方法。
（付記２７）
前記基材はポリマーフィルムを含む、付記２２に記載の方法。
（付記２８）
ポリマーフィルム基材の主表面上の有機フッ素剥離コーティングであって、前記有機フッ素コーティングは表面組成が約５ａｔ％〜１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０ａｔ％のフッ素である、剥離コーティングと、
前記剥離コーティング上のバリア機能性コーティングであって、前記バリア機能性コーティングは、前記剥離コーティング上のポリマー層及び前記ポリマー層上の金属酸化物層を含む、機能性コーティングと、
を含む物品。
（付記２９）
前記ポリマー層はアクリレートを含み、前記金属酸化物層はＩＴＯを含む、付記２８に記載の物品。
（付記３０）
ポリマーフィルム基材と、
前記ポリマーフィルム基材上のポリマー層と、
ポリマー層の主表面上の有機フッ素剥離コーティングであって、前記有機フッ素コーティングは、表面組成が約５ａｔ％〜約１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０ａｔ％のフッ素である、剥離コーティングと、
前記剥離コーティング上の金属層と、
を含む物品。
（付記３１）
前記ポリマー層はアクリレートを含み、前記金属層はアルミニウムを含む、付記３０に記載の物品。

【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の主表面上の有機フッ素コーティングであって、前記有機フッ素コーティングは、約５ａｔ％〜１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜５０ａｔ％のフッ素の表面組成を有する、コーティング。
【請求項２】
主表面を有するポリマーフィルムを含む物品であって、前記ポリマーフィルムの前記主表面の少なくとも一部分は、約１０構造／ｍｍ２〜約１０，０００構造／ｍｍ２の密度で凸状又は凹状構造と、前記構造上の有機フッ素コーティング層とを含み、前記コーティング層は、フルオロエーテル種を含み、かつ約５ａｔ％〜１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０原子％のフッ素の表面組成を含む、物品。
【請求項３】
基材の主表面上のフルオロポリマーコーティングであって、前記コーティングは、式ＣｘＦｙを有するフルオロカーボン及び式ＣｘＦｙＯｚを有するオキシフルオロカーボンのうちの少なくとも１つから得られるコポリマー繰り返し単位を含み、式中、ｘ、ｙ、及びｚは、ゼロでない正の整数であり、ｘ＝１〜６、ｙ＝４〜１４、及びｚ＝１であり、ｘ、ｙ及びｚの値は、前記コーティングが約５ａｔ％〜約１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０ａｔ％のフッ素を含むように選択される、コーティング。
【請求項４】
基材の主表面上のフルオロポリマーコーティングであって、前記コーティングは、約５ａｔ％〜約１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０ａｔ％のフッ素を含むコポリマーを提供するのに十分な量の酸素と反応させる、式ＣｘＦｙを有するフルオロカーボン（式中、ｘ＝１〜６及びｙ＝４〜１４）から得られる、コーティング。
【請求項５】
コーティングの製造方法であって、
反応チャンバー内に気体状フルオロカーボン反応物を導入することと、
プラズマ及び十分な酸素の存在下で前記気体状フルオロカーボン反応物を反応させて、基材の主表面上に有機フッ素コーティングを形成させることと、を含み、前記有機フッ素コーティングは約５００ｎｍ未満の厚さを有し、前記コーティングは、フルオロエーテルの形態で約０．２５ａｔ％〜約２．５ａｔ％の酸素を含む、方法。
【請求項６】
コーティングの製造方法であって、
少なくとも１種の気体状フルオロカーボン及び酸素含有気体を、プラズマ発生装置及びターゲット基材を含む反応チャンバー内に導入することを含み、前記フルオロ化合物及び前記酸素含有気体を、プラズマの存在下で前記基材上にフルオロエーテル種を含むフルオロカーボン含有コーティングを形成するのに十分な相対量で前記反応チャンバー内に導入し、前記有機フッ素フィルムは約５００ｎｍ未満の厚さを有し、かつ約５ａｔ％〜１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０ａｔ％のフッ素を含む表面組成を有する、方法。
【請求項７】
ポリマーフィルム基材の主表面上の有機フッ素剥離コーティングであって、前記有機フッ素コーティングは表面組成が約５ａｔ％〜１５ａｔ％の酸素及び約３０ａｔ％〜約５０ａｔ％のフッ素である、剥離コーティングと、
前記剥離コーティング上のバリア機能性コーティングであって、前記バリア機能性コーティングは、前記剥離コーティング上のポリマー層及び前記ポリマー層上の金属酸化物層を含む、機能性コーティングと、
を含む物品。