【手続補正書】
【提出日】令和2年7月28日(2020.7.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照射路および集光路を有し、前記集光路内の瞳面に少なくとも１個の検出器を有する光学系を含む計測システムであって、前記光学系が、前記集光路内の少なくとも１個の視野面に、１個の検出画像を少なくとも２個の瞳面像に分割すべく構成された少なくとも１個の光学素子を含み、前記照射路および前記集光路が偏光されていて、前記照射路が２個の垂直に偏光された照射光源を含み、前記集光路が２個の垂直に偏光された検出器を含み、前記検出器の各々が、対応して偏光された照射から生じた少なくとも２個の瞳面像を検出する、計測システム。
【請求項２】
前記少なくとも２個の瞳面像が、前記システムの少なくとも２個の対応する検出器により検出される、請求項１に記載の計測システム。
【請求項３】
前記少なくとも２個の瞳面像が、少なくとも４個の目標に対応し、前記システムにより同時に取得された少なくとも４個の瞳面像を含む、請求項１に記載の計測システム。
【請求項４】
前記少なくとも２個の瞳面像が、前記システムの少なくとも２個の対応する検出器により検出される、請求項１に記載の計測システム。
【請求項５】
前記２個の垂直に偏光された照射光源の各々が、前記照射路内の視野面で空間的に分離された少なくとも２個の照射光源を含む、請求項１に記載の計測システム。
【請求項６】
前記少なくとも２個の照射光源が異なる波長範囲にある、請求項５に記載の計測システム。
【請求項７】
前記照射光源のうち少なくとも１個により少なくとも１個の目標セル内を走査すべく構成された少なくとも１個のスキャナを更に含む、請求項１に記載の計測システム。
【請求項８】
前記照射路の前記瞳面にアポダイジング開口を更に含む、請求項１に記載の計測システム。
【請求項９】
前記集光路内の瞳面に少なくとも１個の０次回折次数遮断部を更に含んでいる、請求項１に記載の計測システム。
【請求項１０】
検出画像を、計測システムの光学系の集光路内の視野面で、少なくとも２個の瞳面像に分割するステップと、
前記光学系の照射路および前記集光路を、２個の垂直に偏光された照射光源を含むように前記照射路を構成し、２個の垂直に偏光された検出器を含むように前記集光路を構成し、更に、対応して偏光された照射から生じた少なくとも２個の瞳面像を検出すべく前記検出器の各々を構成することにより、偏光させるステップと、
を含む方法。
【請求項１１】
前記計測システムの少なくとも１個の検出器により前記少なくとも２個の瞳面像を同時に取得するステップを更に含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
少なくとも２個の対応する検出器により前記少なくとも２個の瞳面像を検出するステップを更に含んでいる、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記少なくとも２個の瞳面像が、少なくとも４個の目標に対応していて前記計測システムにより同時に取得された少なくとも４個の瞳面像を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
前記２個の垂直に偏光された照射光源が異なる波長範囲にある、請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
前記２個の垂直に偏光された照射光源の各々を、前記照射路内の視野面で空間的に分離された少なくとも２個の照射光源を含むように構成するステップを更に含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１６】
前記照射光源のうち少なくとも１個により少なくとも１個の目標セル内を走査するステップを更に含んでいる、請求項１０に記載の方法。
【請求項１７】
前記集光路内の瞳面で０次回折次数を遮断するステップを更に含んでいる、請求項１０に記載の方法。
【請求項１８】
照射路および集光路を有し、前記集光路内の瞳面に少なくとも１個の検出器を有する光学系を含む計測システムであって、前記光学系が、前記集光路内の少なくとも１個の視野面に、１個の検出画像を少なくとも２個の瞳面像に分割すべく構成された少なくとも１個の光学素子を含み、前記視野面が前記光学系内で、ウェーハ上の目標と光学的に共役であり、前記瞳面が、前記ウェーハ上の前記目標に関してフーリエ面に等価である、計測システム。
【請求項１９】
前記少なくとも２個の瞳面像が、前記システムの単一検出器により検出される、請求項１８に記載の計測システム。
【請求項２０】
前記少なくとも２個の瞳面像が、前記システムの少なくとも２個の対応する検出器により検出される、請求項１８に記載の計測システム。
【請求項２１】
前記少なくとも２個の瞳面像が、少なくとも４個の目標に対応し、前記システムにより同時に取得された少なくとも４個の瞳面像を含む、請求項１８に記載の計測システム。
【請求項２２】
前記照射路が２個の垂直に偏光された照射光源を含み、前記少なくとも２個の瞳面像が、前記システムの少なくとも２個の対応する検出器により検出される、請求項１８に記載の計測システム。
【請求項２３】
前記照射路および前記集光路が偏光されていて、前記照射路が２個の垂直に偏光された照射光源を含み、前記集光路が２個の垂直に偏光された検出器を含んでいて、前記検出器の各々が、対応して偏光された照射から生じた少なくとも２個の瞳面像を検出する、請求項１８に記載の計測システム。
【請求項２４】
前記２個の垂直に偏光された照射光源の各々が、前記照射路内の視野面で空間的に分離された少なくとも２個の照射光源を含む、請求項２３に記載の計測システム。
【請求項２５】
前記少なくとも２個の照射光源が異なる波長範囲にある、請求項２４に記載の計測システム。
【請求項２６】
前記照射光源のうち少なくとも１個により少なくとも１個の目標セル内を走査すべく構成された少なくとも１個のスキャナを更に含む、請求項２３に記載の計測システム。
【請求項２７】
前記照射路の前記瞳面にアポダイジング開口を更に含む、請求項２３に記載の計測システム。
【請求項２８】
前記集光路内の瞳面に少なくとも１個の０次回折次数遮断部を更に含む、請求項１８に記載の計測システム。
【請求項２９】
検出画像を計測システムの光学系の集光路内の視野面で少なくとも２個の瞳面像に分割するステップを含み、前記視野面が前記光学系内で、ウェーハ上の目標と光学的に共役である、方法。
【請求項３０】
前記計測システムの少なくとも１個の検出器により前記少なくとも２個の瞳面像を同時に取得するステップを更に含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
単一検出器により前記少なくとも２個の瞳面像を検出するステップを更に含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３２】
少なくとも２個の対応する検出器により前記少なくとも２個の瞳面像を検出するステップを更に含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３３】
前記少なくとも２個の瞳面像が、少なくとも４個の目標に対応し、前記計測システムにより同時に取得された少なくとも４個の瞳面像を含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３４】
２個の垂直に偏光された照射光源を有するように前記光学系の照射路を構成するステップを更に含み、少なくとも２個の対応する検出器により前記少なくとも２個の瞳面像を検出するステップを更に含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３５】
２個の垂直に偏光された照射光源を含むように前記照射路を構成し、２個の垂直に偏光された検出器を含むように前記集光路を構成し、更に、対応して偏光された照射から生じた少なくとも２個の瞳面像を検出すべく前記検出器の各々を構成することにより、前記光学系の前記照射路および前記集光路を偏光させるステップを含んでいる、請求項２９に記載の方法。
【請求項３６】
前記２個の垂直に偏光された照射光源が異なる波長範囲にある、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記２個の垂直に偏光された照射光の各々を、前記照射路内の視野面で空間的に分離された少なくとも２個の照射光源を含むように構成するステップを更に含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３８】
前記照射光源のうち少なくとも１個により少なくとも１個の目標セル内を走査するステップを更に含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３９】
前記集光路内の瞳面で０次回折次数を遮断するステップを更に含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項４０】
前記ウェーハ上の前記目標を、該目標の照射中に覆い過ぎないようにするステップを更に含む、請求項２９に記載の方法。