(57)【要約】  ボード301上に１個以上の１次元アレイ形状の光電変換モジュール302が実装されている。１次元アレイ形状の光電変換モジュール302内には、１次元アレイ形状の受発光素子303が搭載されている。また１次元アレイ形状の光電変換モジュール302は、光コネクタ305を介して、機械的に柔軟なファイバシート306と光学的に接続されている。その各１次元アレイ形状の光電変換モジュール302からのパラレル伝送路306はボード301端に近づくにしたがって、互いに積層されていきボード端にて２次元アレイ形状の光コネクタ307と接続する構成となる。さらに、光コネクタには波長合分波器と接続されている。【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールと、前記複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールと光学的に接続された、複数の光伝送体と、前記複数の光伝送体と一方のコネクタ端部が光学的に接続された２次元アレイ形状の光コネクタと、を備え、
前記複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールは波長の異なる光信号に対応しており、前記２次元アレイ形状の光コネクタの他方のコネクタ端部と、波長合分波器とが光学的に接続されていることを特徴とする光通信モジュール。
【請求項２】
前記複数の光伝送体は積層構成をとることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項３】
前記複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールが同一ボード上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項４】
前記複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールが複数のボード上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール
【請求項５】
少なくとも一つの前記１次元アレイ形状の光電変換モジュールが発光素子を含むことを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項６】
少なくとも一つの前記１次元アレイ形状の光電変換モジュールが受光素子を含むことを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項７】
少なくとも一つの前記１次元アレイ形状の光電変換モジュールが発光素子と受光素子との双方を含むことを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項８】
前記１次元アレイ形状の光電変換モジュールと前記光伝送体が第２の光コネクタを介して光学的に結合されていることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項９】
前記第２の光コネクタが、光路を略直角に曲げることが可能なコネクタであることを特徴とする請求項８に記載の光通信モジュール。
【請求項１０】
前記光伝送体が、ファイバシートで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項１１】
前記光伝送体が、テープファイバで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項１２】
前記光伝送体が平面光導波路で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項１３】
前記波長合分波器が多層膜フィルタを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項１４】
前記波長合分波器がアレイ導波路グレーティングにより構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項１５】
前記１次元アレイ形状の光電変換モジュールの発光素子がVCSELアレイであることを特徴とする請求項５に記載の光通信モジュール。
【請求項１６】
前記１次元アレイ形状の光電変換モジュールは、単一波長の光信号に対応していることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項１７】
２次元アレイ形状の光コネクタの一方のコネクタ端部に光学的に接続された波長合分波器により異なる波長の光信号を分波し、前記２次元アレイ形状の光コネクタの他端からの分波された出力を、複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールに出力する光信号伝送方法。
【請求項１８】
２次元アレイ形状の光コネクタの一方の端部に複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールから異なる波長の光信号を入力し、前記２次元アレイ形状の光コネクタの他端に光学的に接続された波長合分波器により合波して出力する光信号伝送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はルータ、サーバ、ストレージ等の情報機器の装置間またはボード間またはバックプレーンの光通信モジュールおよび光信号伝送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ルータ，サーバ，ストレージ等の情報機器で扱われる情報量の飛躍的増大に伴い、これらの情報機器の装置間またはボード間またはバックプレーン等のインターコネクションにおける電気伝送の限界が顕在化し、光伝送によるインターコネクション、特に複数の光伝送路によるパラレル光インターコネクションや、複数の波長による波長多重インターコネクションへのニーズが高まっており、それらのインターコネクションのためのアレイ光インタフェースが開発されている。【０００３】
複数の波長による波長多重インターコネクションモジュールの従来例としては、非特許文献１のFigure 2の構成が知られており、そのモジュール構成を図１６に示す。モジュール下には、850nm帯、波長間隔12nm程度の異なる8chのVCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser；縦型空洞表面放出レーザ) 200（図中、点で示している。）が配置されている。モジュールは、VCSEL 200からの光が入射する光結合器201と、その上部に配置された、8枚の誘電体多層膜からなるフィルタブロック202と、フィルタブロック202からの光が入光される光コネクタ203とから構成されている。1.25Gbpsで変調された各VCSELからの光を光結合器201でコリメートし、フィルタブロック202の多層膜での反射、透過を行うことで、合分波を可能としている。【０００４】
なお、本発明に係わる関連技術としては、特許文献１にアレイ状に配列された面発光レーザ、ホトディテクタ、これらと接続される光伝送路の記載があり、特許文献２には２次元アレイ形状の光コネクタの記載がある。【０００５】
【非特許文献１】2001 Electric Component and Technology Conference  “Low Cost CWDM Optical Transceivers” Eric B. Grann
【特許文献１】特開２００１−４２１７１号公報
【特許文献２】特開平０９−１３３８４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、非特許文献１に示した波長多重インタフェースモジュールの場合、光源として同一基板上に一括成長を行う多波長モノリシック集積VCSELを使用することは、共振波長制御，利得ピーク波長，発光径制御等の技術的課題が大きく、低コスト化は困難であると考えられる。例えば、同一基板に一括成長を行う多波長モノリシック集積VCSELを使用すると、製造上の課題があり、基板にガリウム砒素基板を用いた場合、共振波長制御、利得ピーク波長制御のためには基板上にアルミニウム・ガリウム砒素膜の多層膜において各膜の膜厚と組成（例えば共振波長制御のためにアルミの組成が制御された多層膜を形成する必要がある）の制御が求められるが、この制御は容易ではない。さらに運用の面では代替性がないという問題点がある。もし、VCSEL素子の1素子が壊れた場合、基板すべてを交換しなければいけない。【０００７】
本発明の目的は上記課題を解決するとともに、光素子の配置の自由度を高め、代替性があり、光素子間の電気的クロストークの低減が可能、熱による光素子の劣化を防げる、複数の波長による波長多重インターコネクションのためのアレイ光インタフェースモジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の光通信モジュールは、複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールと、前記複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールと光学的に接続された、複数の光伝送体と、前記複数の光伝送体と一方のコネクタ端部が光学的に接続された２次元アレイ形状の光コネクタと、を備え、
前記複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールは波長の異なる光信号に対応しており、前記２次元アレイ形状の光コネクタの他方のコネクタ端部と、波長合分波器とが光学的に接続されていることを特徴とするモジュールである。【０００９】
本発明の光信号伝送方法は、２次元アレイ形状の光コネクタの一方のコネクタ端部に光学的に接続された波長合分波器により異なる波長の光信号を分波し、前記２次元アレイ形状の光コネクタの他端からの分波された出力を、複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールに出力する光信号伝送方法である。【００１０】
本発明の光信号伝送方法は、２次元アレイ形状の光コネクタの一方の端部に複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールから異なる波長の波長の光信号を入力し、前記２次元アレイ形状の光コネクタの他端に光学的に接続された波長合分波器により合波して出力する光信号伝送方法である。【００１１】
なお、ここで１次元アレイ形状の光電変換モジュールとは、光信号を電気信号に変換する受光素子、電気信号を光信号に変換する発光素子、受光素子と発光素子との混合からなる素子が１次元アレイ状に並んだ素子を含むものである。すなわち、光電変換モジュールは受光素子、発光素子、又は受光素子と発光素子との混合からなる素子だけで構成されてよいが、ＩＣドライバ等の他の素子を備えていてもよい。【００１２】
本発明は、光電変換モジュールをレイアウトの自由度が高く、代替性に優れた１次元アレイ形状とする一方、複数の光電変換モジュールから波長の異なる光信号を２次元アレイ形状の光コネクタに出力し、更に２次元アレイ形状の光コネクタに波長合分波器を光学的に接続することで合波機能を集約し、多重化された光信号を出力する、又は２次元アレイ形状の光コネクタに波長合分波器を光学的に接続することで、分波機能を集約する一方、多重化された光を波長毎に分離し、レイアウトの自由度が高く、代替性に優れた、複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールに出力するものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、光電変換モジュールの実装形態が1次元なので光電変換モジュールを基板上に自由にレイアウトでき、その上、1次元アレイ単位で代替性がある。また、個々の1次元アレイ形状の光電変換モジュールの柔軟性ある配置が可能なので、電気クロストークや放熱を考慮した自由度の高い設計が可能となる。また、光信号をパラレルで伝送することを考えた場合、実現性が難しいモノリシック集積の多波長発光素子や受光素子を用いなくても、高精度かつ低コストな発光素子や受光素子の実装が可能になる。【００１４】
さらに、波長合分波器を２次元アレイ形状のコネクタに光学的に接続することで、波長合分波機能を集約させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態となる光通信モジュールの全体の斜視図である。
【図２】１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1の斜視図である。
【図３】１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1の断面図である。
【図４】２次元アレイ形状の光コネクタ307の斜視図である。
【図５】多層膜フィルタ313を利用した波長合分波器311の斜視図である。
【図６】光コネクタ307を除いた光通信モジュール全体の構成図である。
【図７】光コネクタ307を除いた光通信モジュール全体の断面図である。
【図８】光通信モジュール全体の上面図である。
【図９】波長の異なる光信号を発生し、合波して出力する光信号伝送方法を示すフローチャートである。
【図１０】多重化された光信号を分波し、一次元アレイ形状の光電変換モジュールに出力する光信号伝送方法を示すフローチャートである。
【図１１】光電変換モジュールを各ボード上に配した場合を示す斜視図である。
【図１２】複数の光電変換モジュールをボード端に対して垂直方向に配置されている構成を示す上面図である。
【図１３】平面光導波路で光伝送体を構成した場合を示す断面図である。
【図１４】アレイ導波路グレーティング（ＡＷＧ）で波長合分波器を構成した場合を示す斜視図である。
【図１５】多層膜フィルタを用いた導波路差込型の波長合分波器を示す斜視図である。
【図１６】従来のアレイ光インタフェースモジュールを示す断面図である。
【符号の説明】
【００１６】
２０１  多波長VCSEL
２０２  波長多重フィルタ
３０１  ボード
３０４  ドライバIC
３０５  光コネクタ
３０６  ファイバシート
３０７  ２次元アレイ形状の光コネクタ
３０８−１，３０８−２，３０８−３  モジュール単位で互いに発振波長の異なる複数の光電変換モジュール
３０９−１，３０９−２，３０９−３  モジュール単位で互いに発振波長の異なる複数のVCSELアレイ
３１０  一次元パラレル光信号
３１１  波長合分波器
３１２  PMLA
３１３  多層膜フィルタ
３１４  １次元アレイ形状の光ファイバ
３１５  ミラー
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施の形態について、添付した図面を参照しながら以下に詳述する。【００１８】
図１〜図８は本発明の実施形態となる構造の概要を示した構成図である。図１は、本発明に係わる光通信モジュールの全体の斜視図を示している。ボード301上に少なくとも１個以上の１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1,308-2,308-3が実装されている。図１では３個の光電変換モジュール308-1,308-2,308-3を示しているが、１個以上であればいくつでもよい。図２に１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1の斜視図、図３に断面図を示す。【００１９】
１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1内には、単一波長の１次元VCSELアレイ309-1とVCSELアレイ309-1に電気的に接続されたICドライバ304が搭載されている。VCSELアレイ309-1はモノリシック集積アレイが、実装コストと実装精度の観点より好ましい。さらに別の光電変換モジュール308-2にはVCSELアレイ309-2（不図示）、光電変換モジュール308-3にはVCSELアレイ309-3（不図示）が搭載されており、その構成は１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1と同じである。１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1は光路を略直角（直角及び製造上のバラツキ等を考慮した直角に近い角度範囲を含む）に曲げることができる光コネクタ305を介して、機械的に柔軟性を持つファイバシート306と光学的に接続されている。なお、ここでは基板301の面に対してVCSELアレイ309-1から垂直方向に光を放出しているために略直角に曲げることができる光コネクタ305を用いているが、光を基板面に対して平行に放出する場合やファイバシート306を基板面に対して垂直方向に配置する場合には光コネクタ305を用いなくともよい。ファイバシート306は複数の光ファイバ306Aがシート間に挟まれて接着剤でシートに接着されたもので、図８に示すようにファイバシート306の一部に複数の光ファイバ306Aを有するものである。図１〜図４においてはファイバシート306の複数の光ファイバ306Aのみが示されている。【００２０】
その各１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1〜308-3からのファイバシート306はボード301の端に近づくにしたがって、互いに積層されていきボード端にて図４に示すような、２次元アレイ形状の光コネクタ307と接続する構成となる。２次元アレイ形状の光コネクタ307には、波長合分波器311が接続されている。図４では複数の光ファイバ306Aと光コネクタ307の接続を示している。波長合分波器311は図５に示すようにPMLA(Planer Micro Lens Array)312と波長数の多層膜フィルタ313とミラー315で構成される。光通信モジュール全体の構成図、断面図、上面図をそれぞれ図６、図７、図８に示す。なお、図６、図７においては、光コネクタ307は省略されており、実際はファイバシート306からの光は光コネクタ307を通って波長合分波器311に入力される。図９は波長の異なる光信号を発生し、合波して出力する光信号伝送方法を示すフローチャートである。多層膜フィルタを用いた波長合分波器については、http://www.omron.co.jp/ecb/products/opt/1/p1x4a.htmlに掲載されている。【００２１】
ドライバIC304によって形成されたパラレル電気信号はそれぞれ個々のVCSELアレイ309-1に入力し、光電変換される。光電変換モジュールごとに設けられたドライバドライバIC304はボード301上に設けられた不図示のコントローラによって制御され、ボード301上の全部又は一部の光電変換モジュールにおいて、VCSELアレイの全部又は一部のVCSEL素子を発光させる（図９のステップＳ１１）。VCSELアレイ309-1から出射したパラレルな光信号310は、コーナーミラー305で光路を直角に曲げられ、光伝送体となるファイバシート306を伝送する。各１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1〜308-3からの各ファイバシートには異なる波長の光信号が伝送する。その各ファイバシート306が互いに積層され、2次元アレイ形状の光コネクタ307の一方の端部（ここでは入力端）に接続される（図９のステップＳ１２）。光コネクタ307の他方の端部（ここでは出射端）からの光信号は波長合分波器311に入射する。波長合分波器311に入射した光信号は、PMLA312によりコリメートされ、各使用波長に対して設計された多層膜フィルタ313に入射する。多層膜フィルタ313では各波長に対してのみ透過し、その他の波長に対して反射するよう設計されている。その特性により合波され、最終的に2次元アレイ形状の出射端が１次元アレイの形状の出射端になり1次元アレイ形状の光コネクタに接続される（図９のステップＳ１３）。本構成により、アレイ光インタフェース送信モジュールとして機能する。【００２２】
この構成をとることで、光電変換モジュール308の実装形態が1次元アレイ形状なのでレイアウトの自由度が高く、その上、1次元アレイ単位で代替性がある。また、個々の1次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1〜308-3の柔軟性ある配置が可能なので、電気クロストークを考慮した配線設計や放熱設計の自由度も高い。また、この1次元アレイ形状の光電変換モジュールへのコネクタ305において、この構成をとることで、通常のMTコネクタ（Mechanically Transferable Connector）挿抜時のデットスペースをなくし、省スペースで実装することが可能である。また２次元アレイ形状のボード端の波長合分波器311では、各光電変換モジュール308-1〜308-3からのモジュール単位で互いに異なった波長が波長多重され、１次元の光ファイバ314に光コネクタを介して接続されている。【００２３】
この構成にすることで、簡易に波長多重した信号をパラレルで伝送することが可能である。複数の１次元アレイ形状の光電変換モジュールは波長の異なる光信号に対応しており、例えば、光電変換モジュール308-1からの光信号の波長がλ1，光電変換モジュール308-2からの光信号の波長がλ2，光電変換モジュール308-3からの光信号の波長がλ3とすると（波長λ1、波長λ2、波長λ3はそれぞれ異なる波長である。）、これらの波長λ1−λ3が波長多重され出力される。なお、光電変換モジュールは必ずしも単一波長としなくてもよく、必要に応じて複数波長を発信するように、例えば光電変換モジュール308-1からの光信号の波長がλ1とλ2、光電変換モジュール308-2からの光信号の波長がλ3とλ4、光電変換モジュール308-3からの光信号の波長がλ5とλ6であるように各光電変換モジュールを設計し発信するようにすることも可能である（波長λ1−λ6はそれぞれ異なる波長である。）。この場合、光電変換モジュールからの複数の波長信号に対して適宜多層膜フィルタ313が設計される。このように、光電変換モジュールから複数波長を発信するようにしても、波長の異なる光信号が複数の光電変換モジュールに分けられて発信されるので、光電変換モジュールごとの交換が可能で、従来のように同一基板に一括成長を行う多波長モノリシック集積VCSELを使用する場合に比べて、製造も容易である。【００２４】
各光電変換のジュールのVCSELアレイ309はPD(Photo Detector)アレイで置き換えられてもよい。この場合、信号の流れはVCSELアレイとは逆になり、アレイ光インタフェース受信モジュールとして機能する。図１０は多重化された光信号を分波し、一次元アレイ形状の光電変換モジュールに出力する光信号伝送方法を示すフローチャートである。すなわち、波長合分波器311で多重化された光信号が分波され（ステップＳ２１）、光コネクタ307、ファイバシート306、光コネクタ305を経てPD(Photo Detector)アレイに分波された光が入射して（ステップＳ２２）、PDアレイで光電変換された電気信号がドライバIC304に送られる（ステップＳ２３）。【００２５】
VCSELアレイ309はPDアレイと混在して光電変換モジュール308内に実装されてもよい。この場合、アレイ光送受信モジュールとして機能する。すなわち、１個の光電変換モジュール中にVCSELアレイ303とPDアレイとを実装することで、図４に示すように光電変換モジュール当たりのチャネル数を１０チャネル(ch)とし、VCSELアレイ303とPDアレイとを５チャネルづつ割り振った場合、送信（5ch）,受信(5ch)が可能となる。なお、簡易化のために、図５、図６では４チャネル、後述する図１１では７チャネルとして示されている。【００２６】
光電変換モジュール308-1〜308-3は、分けられて複数のボード上に構成されてもよい。この場合、複数のボード上の光電変換モジュール308-1〜308-3からのファイバシート306は一つの2次元アレイ形状の光コネクタ307にまとめられ、接続される。すなわち、図１に示すように１枚のボード上に光電変換モジュール302が複数実装される場合に限られず、図１１に示すように各ボード301-1〜301-3にそれぞれ実装された光電変換モジュール308-1〜308-3を、機械的に柔軟性を持つファイバシート306-1〜306-3で２次元アレイ形状の光コネクタ307と接続するようにしてもよい。図１１では簡易化の為に波長合分波器311は省略されている。【００２７】
また光電変換モジュール308の配列方法について、図１ではボード端に対して平行に配置されているが、垂直方向に配置されている構成でもよい。例えば、図１２に示すように、ボード301のボード端に垂直に光電変換モジュール308-1〜308-3を配列し、ファイバシート306-1〜306-3をボード301上に重ね合わせて２次元アレイ形状の光コネクタ307と接続するようにしてもよい。図１２では簡易化の為に波長合分波器311は省略されている。【００２８】
１次元アレイ形状の光電変換モジュール308に光変調器が内蔵されている構成でもよい。この場合、光変調器が内蔵されていない場合に比べてより高ビットレートに対応できる光電変換モジュールとして機能する。【００２９】
ファイバシート306がテープファイバで構成されていてもよい。テープファイバは複数の光ファイバが並べられて接着剤で接着されたものである。ファイバシート306が平面光導波路で構成されてもよい。図１３は平面光導波路で光伝送体を構成した場合を示す断面図である。プリント基板上に平面光導波路316を形成する。平面光導波路316の一端を４５度傾斜ミラー317として機能させ、１次元アレイ形状の光電変換モジュール308-1の発光部又は／及び受光部を基板面（図中下方向）に向け、光導波路上面を基準面として光導波路上面に当接させて実装する。１次元アレイ形状の光電変換モジュールから出射した光は平面光導波路の上面より入射し、４５度傾斜ミラー317で反射し、平面導波路316に入射し、平面導波路に接続される2次元アレイ形状の光コネクタ307に導かれる。このような平面光導波路については特開２００３−２１５３７１号公報に説明されている。【００３０】
波長合分波器311が回折格子により構成されていてもよい。 波長合分波器311がカプラもしくはWDMフィルタなどのファイバ型で構成されていてもよい。波長合分波器311がアレイ導波路グレーティングにより構成されていてもよい。【００３１】
図１４はアレイ導波路グレーティング（ＡＷＧ）で波長合分波器を構成した場合を示す斜視図である。多重化された光信号は光ファイバ321から入力され、シリコン基板320上に形成されたスラブ導波路318-1、アレイ導波路319、スラブ導波路318-2を介して波長が分波され、光コネクタ307に入射される。このようなＡＷＧについては、http://www.phlab.ecl.ntt.co.jp/theme/No_01/t_1.htmlに掲載されている。ＡＷＧを複数重ね合わせて２次元状の光コネクタ307に接続する。例えば、図１に示す、VCSELアレイを含む光電変換モジュール308-1からの光信号の波長がλ1，VCSELアレイを含む光電変換モジュール308-2からの光信号の波長がλ2，VCSELアレイを含む光電変換モジュール308-3からの光信号の波長がλ3とすると、複数重ね合わせたシリコン基板320の各スラブ導波路318-2に各光電変換モジュール308-1〜308-3からの光信号（それぞれ波長λ1，λ2，λ3）が入力され、これらの波長λ1〜λ3が波長多重され各シリコン基板320のスラブ導波路318-1を介して光ファイバ321から出力される。【００３２】
図１５は多層膜フィルタを用いた導波路差込型の波長合分波器を示す斜視図である。多層膜フィルタを用いた導波路差込型の波長合分波器は図１５に示すように、光をコリメートして空間を伝搬する代わりに導波路に光を入れる。シリコン光導波路基板やポリイミド光導波路基板からなる基板の各ポートに波長が割り当てられ、基板の導波路322（基板の溝）に波長λ1〜波長λ3の多層膜フィルタ324,325,326が差し込まれる。図１５に示すように一のポートに光ファイバ327を介して波長λ1＋λ2＋λ3の多重化された光信号が入力されたとすると、他の各ポートから分波された波長λ1，λ2，λ3が出力され、２次元状の光コネクタ307に出力され、ＰＤアレイを含む各光電変換モジュールに出力される。基板は複数重ね合わせて２次元状の光コネクタ307に接続する。すると、各基板から波長λ1，λ2，λ3がそれぞれ出力され、例えば各基板からの波長λ1の光がＰＤアレイを含む光電変換モジュール308-1、波長λ2の光がＰＤアレイを含む光電変換モジュール308-2、波長λ3の光がＰＤアレイを含む光電変換モジュール308-3に入力される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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