【事件の表示】
　特願２０１１−１３９５２９「低屈折率膜及びその製造方法、反射防止膜及びその製造方法、並びに低屈折率膜用コーティング液セット」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年　１月１０日出願公開、特開２０１３−　　７８３１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成２３年６月２３日を出願日とする出願であって、その手続の経緯は、概略、以下のとおりである。
　平成２７年　２月２６日付け：拒絶理由通知書（同年３月３日発送）
　平成２７年　５月　７日提出：意見書
　平成２７年　８月１８日付け：拒絶査定（同年同月２５日送達）
　平成２７年１１月２４日提出：審判請求書
第２　原査定の理由
　原査定の理由は、概略、「この出願の請求項１〜１８に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された、又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった、下記の引用文献１，２に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない」というものである。
１．国際公開第２０１０／０４４４０２号
２．特開２００６−６１７６２号公報
第３　本願発明
　本件出願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のものである。
「固体基材の表面に電解質ポリマー及び微粒子を交互に吸着させて形成した微粒子積層膜に、珪素化合物溶液を接触させ、前記固体基材と微粒子、及び微粒子同士を結合させてなる低屈折率膜であって、
  前記珪素化合物溶液が、（１）官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（Ｉ）、（２）前記アルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩ）、及び（３）前記アルコキシシラン（Ｉ）と前記加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩ）との混合物のうちのいずれかと、低表面張力成分として、ハイドロフルオロエーテル (ＨＦＥ)系、ハイドロフルオロカーボン (ＨＦＣ)系、及びパーフルオロフルオロカーボン（ＰＦＣ）系のフッ素系有機溶剤のうちのいずれかの溶剤とを含み、
　前記固体基材が微細構造を表面に有することを特徴とする低屈折率膜。」
第４　引用例及びその記載事項
　本件出願の出願前に電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった、原査定の拒絶の理由に引用文献１として引用された国際公開第２０１０／０４４４０２号（国際公開日：２０１０年４月２２日、発明の名称：「低屈折率膜及びその製造方法、反射防止膜及びその製造方法、低屈折率膜用コーティング液セット、微粒子積層薄膜付き基材及びその製造方法、並びに光学部材」）（以下、「引用例１」という。）には、図３とともに以下の事項が記載されている（下線は、当合議体が付したものである。）。
ア　「
［０００１］　本発明は、光学部材などに用いる低屈折率膜及びその製造方法、低屈折率膜用コーティング液セット、低屈折率膜を含む反射防止膜及びその製造方法、微粒子積層薄膜付き基材及びその製造方法、並びに光学部材に関する。
背景技術
［０００２］　低屈折率膜は、反射防止膜、反射膜、半透過半反射膜、可視光反射赤外線透過膜、赤外線反射可視光透過膜、青色反射膜、緑色反射又は赤色反射膜、輝線カットフィルター、色調補正膜に含まれる光学機能膜として光学部材に形成される。
［０００３］　表面形状が平坦な光学部材に限らず、液晶用バックライトの輝度向上レンズフィルムや拡散フィルム、ビデオプロジェクションテレビのスクリーンに用いられるフレネルレンズやレンチキュラーレンズ又はマイクロレンズなどの光学機能部材では、いずれも樹脂材料が微細構造体をもつことで所望の幾何光学的な性能を得ている。これらの微細構造体表面にも低屈折率膜を含む光学機能膜が必要とされている。
［０００４］　低屈折率膜は単層構造の反射防止膜として、反射防止性能をより広い波長範囲で示す。さらに、単層構造の反射防止膜は多層構造の反射防止膜よりも層数低減によりコストが低減する。単層構造の反射防止膜の屈折率としては、基材が樹脂材料などの透明材料である場合は、１．２〜１．３の範囲の低屈折率が望まれる。
［０００５］　低屈折率膜の形成方法には蒸着法、スパッタ法等の気相法や、ディッピング法、スピンコート法等の塗布法が挙げられる。
　しかし、気相法により得られる代表的な低屈折率の薄膜は、屈折率が１．３８のＭｇＦ２や１．３９のＬｉＦであり、これらの薄膜の単層反射防止膜としての性能は低い。
［０００６］　また、塗布法で得られる低屈折率膜の代表的な材料には、屈折率が１．３５〜１．４のフッ素系高分子材料や、屈折率が１．３７〜１．４６であるフッ素モノマーの重合体からなる微粒子を融着させた多孔質材料があるが（例えば、特許文献１参照）、屈折率が１．３以下のフッ素系高分子材料は得られていない。
［０００７］　一方、焼成により得られた多孔質構造膜が低屈折率膜となる例として、多孔質ＳＯＧやフッ化マグネシウムの多孔質膜が挙げられる（例えば、特許文献２、３参照）。
　しかし、多孔質ＳＯＧは屈折率を１．３以下にするために２００℃以上の焼成処理が必要であり、フッ化マグネシウムの多孔質膜は１５０℃１時間の熱処理が必要である。そのため、樹脂材料の耐熱性や微細構造体の構造維持の点から、焼成を必要とする低屈折率膜は樹脂基材用の反射防止膜には適さない。
[０００８]　固体基材がフレネルレンズ、レンチキュラーレンズ等の微細構造体を有する場合でも、単層構造の低屈折率膜はレンズ表面の反射光を抑制し、ビデオプロジェクション用スクリーンなどに投影される画像のゴーストを抑制することに有効である。またその他の光学機能部材においても、反射防止膜は透過光を増加できる。
［０００９］　気相法では微細構造体の形状に追従させて薄膜を形成することができる。しかし、気相法では真空装置が必要となるため、製造コストが高価になる。さらに、真空装置の内壁に形成された膜が剥がれ落ち、低屈折率膜上に異物として残存する。また、低屈折率膜の密着性を得るために一般的に行われる基板加熱は、熱応力により樹脂製の微細構造体にクラックを発生させる（例えば、特許文献４参照）。
［００１０］　塗布法では、真空装置は不要であり、また真空装置に由来する異物も発生しない。
　しかし、スピンコート法では、塗布材料が微細構造体の凹部分に残留することが避けられず、凹部分で低屈折率膜が厚くなる。このように微細構造体へ低屈折率膜が追従しない場合、微細構造体のもたらす拡散性や集光性等の幾何光学的な性能が損なわれる。
［００１１］　一方、ディップコート法などは、引き上げ速度により膜厚を制御できるため、塗布材料を微細構造体に追従させることも可能である。
　しかし、引き上げ速度が数十μｍ／秒まで遅くする必要があり、製造コストが著しく高くなる（例えば、特許文献５参照）。
［００１２］　ナノメータースケールの薄膜を溶液から形成する方法として、交互積層法が提案されている（例えば、非特許文献１参照）。交互積層法では、液中での静電吸着により薄膜が形成されるため、微細構造体に良好に追従した薄膜を得ることができる。また常温プロセスであるために、樹脂材料に熱的ダメージを与えない。
［００１３］　正の電荷を有する電解質ポリマーと負の電荷を有する電解質ポリマーを交互に積層した薄膜は、塩酸処理により薄膜に空隙を発生させることで屈折率が約１．２の低屈折率膜となる（例えば、特許文献６、７参照）。
［００１４］　一方、電解質ポリマー層の上に微粒子を１層静電吸着させた微粒子単層膜は、酸処理等の必要なく低屈折率膜となる（例えば、特許文献８、９参照）。微粒子単層膜が低屈折率膜となる理由は、直径が１００ｎｍ以上の微粒子による表面凹凸形状が屈折率を連続的に変化させ、微粒子間の空隙が平均屈折率を低下させるためである。
［００１５］　しかし、直径が１００ｎｍを超える微粒子を用いた微粒子単層膜は可視光を散乱・拡散させるため、透明性を必要とする光学部材には適当ではない。
　また、光学部材表面に微細構造体を有する場合、例えば微細構造体がレンズである場合、レンズ表面の低屈折率膜が光を散乱・拡散させる場合は光が焦点に集まらないなどの幾何光学的な性能低下を生じる。
［００１６］　一方、直径が１００ｎｍ以下の微粒子を用いる場合、透明な微粒子積層膜が得られやすい。
　しかし、表面凹凸形状に由来する屈折率低減効果は得られなくなる。そのため、微粒子間の空隙の密度を増加させることで、微粒子積層膜の平均屈折率を低下させることが取り組まれている（例えば、特許文献１０〜１２参照）。
［００１７］　これらの光学部材上の微粒子積層膜には基材密着性を有することが必要となる。微粒子積層膜を形成した光学部材の加工・輸送・組み立て・保管時に表面保護や汚染防止、固定のために用いられる粘着テープに対する耐久性が必要である。
［００１８］　一方、近年、携帯電話機等の撮像装置に用いるカメラモジュールの更なる小型化、生産効率の向上を目指して、電子部品を搭載した回路基板に、レンズモジュールに撮像素子等を搭載したカメラモジュールを実装した後に、リフロー炉に入れて半田溶接するという製造が行われるようになってきた。
　この製造方法では、全ての構成部品が、リフロー温度に耐熱性能を有している必要がある。
［００１９］　また、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を用いた、携帯電話等に組み込まれている撮像レンズモジュールは、忠実な被写体の再現性を備えていることが望ましい。
　最近では、撮像素子が小型化されてきており、これに伴って、これらに組み込まれる撮像レンズも必然的に小型化、コンパクト化の要求が高まってきている。
　更に、撮像素子は、メガオーダーの高画素化となってきている。これを用いた撮像レンズモジュールは、安価で軽いことが要求されている。
［００２０］　しかしながら、透明プラスチック製レンズを用いた小型撮像レンズモジュールでは、２６０℃以上に達するリフロー温度に耐えられずに変形してしまう恐れがある。
　そのため、撮像レンズモジュールの基板への実装は、コネクター等を介して、半田リフロー工程後に、別工程にて取り付けされている。
　よって、必然的にコネクターの費用、取り付け工程費用がかかり、コストダウンという観点からも、半田リフロー温度に耐えうる小型撮像レンズモジュールが要求されている。
　特にプラスチックは、熱に弱く膨張や変形を起こしやすく、この性質に起因した品質の劣化が問題になることが多い。
［００２１］　また、真空蒸着等で形成される金属酸化物薄膜や金属フッ素化合物による反射防止膜は、熱膨張率がプラスチックに比べ極めて小さいことから、基材となるプラスチックの熱による膨張変形に起因する反射防止膜のクラック（割れ）が発生し易く、日常生活において遭遇しうる温度、例えば、直射日光の当たる場所、車の中、あるいは風呂場等でクラックが発生する可能性がある。
［００２２］　これらの問題を解決するため従来開示されている技術として、特許文献１３には、有機金属化合物のプラズマ重合法による反射防止膜の製造方法が記載されている。
　また、特許文献１４には、オルガノシラン類の加水分解物を反射防止膜として利用する方法が記載されている。
先行技術文献
特許文献  
［００２３］特許文献１：特許第３７１８０３１号公報
特許文献２：特開２００３−１５８１２５号公報
特許文献３：特開２００４−３０２１１２号公報
特許文献４：特開２０００−１５６４８６号公報
特許文献５：特許第２９０５７１２号公報
特許文献６：特開２００４−１０９６２４号公報
特許文献７：特開２００５−２６６２５２号公報
特許文献８：特開２００２−００６１０８号公報
特許文献９：特開２００６−２０８７２６号公報
特許文献１０：特開２００６−２９７６８０号公報
特許文献１１：特開２００６−３０１１２４号公報
特許文献１２：特開２００６−３０１１２５号公報
特許文献１３：特開平８−６２４０１号公報
特許文献１４：特開平１１−２０２１０２号公報
非特許文献１：Ｔｈｉｎ　Ｓｏｌｉｄ　Ｆｉｌｍｓ，２１０／２１１，
ｐ８３１（１９９２） 
発明の概要
発明が解決しようとする課題
［００２５］　しかしながら、特許文献１３の方法では、プラズマ重合は装置コストを含めたランニングコストが高く、安価なレンズの製造には適合しがたい。
　更に特許文献１４の方法では、金属酸化物の多層反射防止膜と比べ、反射防止膜としての特性が不十分である等の問題点がある。また蒸着法と異なり膜の均一性、再現性を得ることが難しい。
［００２６］　使用する材料としては、例えば、低屈折率フッ化物（もしくは低屈折率酸化物）と高屈折率酸化物が挙げられ、この酸化物やフッ化物は、屈折率差を大きくとれるので、これらを積層することにより高性能な反射防止膜を作製することができる。
　しかしながら、この類の反射防止膜は、蒸着機を用いて成膜する必要があり、極めてコストのかかる手法であった。その上、蒸着機を用いると、真空槽から蒸着物が剥離することによる異物付着が避けがたく、収率低下の大きいプロセスであった。
　加えて、有機樹脂であるマイクロレンズ表面に、無機多層膜を形成することは、それぞれの熱膨張率の差や、水分含有の程度の差等から、信頼性の点で劣るものであった。
　特に、吸湿し易いカラーフィルタを含む構成の固体撮像素子や、マイクロレンズ下部と受光素子間にある樹脂の厚みが、２μｍ以上と厚い構成の固体撮像素子では、マイクロレンズ表面に放湿性の殆どない無機多層膜を積層した時に、固体撮像素子の実装の際の熱のかかる工程で、膨れやクラックを生じる重大な問題があった。
　また、これは、固体撮像素子の製造後の保管中に、その構成要素の樹脂が徐々に吸湿し、実装時の高温処理で吸湿されていた水分が、急激に体積膨張すると共に樹脂の加水分解による分解ガスの放出も併せて、放湿性の殆どない無機多層膜を押し上げて、膨れて固体撮像素子を破壊することもある。 　このように、蒸着機を用いた成膜は、半導体デバイスへ付加する機能を形成するプロセスとしては好ましいものでなく、避けたい手法といえる。
［００２７］　しかし、例えば、特開平４−２５９２５６号公報に示されている技術は、マイクロレンズ表面上に、フッ化マグネシウム膜を形成する技術であり、又、特許第２７１９２３８号公報に示されている技術は、ＬＢ法（ラングミュア・ブロジェット法）によってフッ素含有樹脂膜を形成する技術であるが、これらの反射防止膜は、フォトレジストをはじくために、反射防止膜上にフォトレジストを形成することができず、仮にフォトレジストを形成することができても、反射防止膜はアルカリ溶液で下地のマイクロレンズ表面から剥がれてしまうといった基本的な欠点があり実用化に至っていない。
［００２８］　ガラスのような無機材料を基板として蒸着法により反射防止膜を形成する場合には、膜の付着強度を上げるために、蒸着は、通常、基板を加熱しながら実施される。また、膜材料によっては相変化が生じる温度にまで基板を加熱しながら蒸着することが望ましい。例えば、ガラスレンズやガラス板の表面に、フッ化マグネシウムからなる反射防止膜を成膜する場合には、フッ化マグネシウムの相転移温度である、３５０℃以上に加熱すると膜が強固に付着する。
［００２９］　一方、マイクロレンズを基板として反射防止膜を成膜する場合には、基板の温度には注意を払う必要がある。マイクロレンズの温度が高くなり過ぎると、マイクロレンズの透過率の低下、着色等の問題が生じることがあるからである。
　しかし、２００℃程度以下の温度で蒸着すると、反射防止膜の付着強度が十分には得られない。また、膜形成後に温度変化が生じると、膜材料によっては残留応力によりクラックが生じてしまう場合もある。
　特に、固体撮像装置の場合、反射防止膜を形成する工程の後に、加熱を必須とする工程が控えている。従って、マイクロレンズ上に成膜する場合には、同じ樹脂材料であっても、例えば、プラスチックレンズ上に成膜する場合とは異なり、反射防止膜を低温で蒸着すると、その後の製造工程中で膜にクラックが発生し易くなるという特有の問題があった。
［００３０］　本発明は、より低い屈折率が得られ、常温・常圧にて形成でき、固体基材との密着性に優れ、固体基材が微細構造を有しても該微細構造に追従し、その微細構造のもたらす拡散性や集光性等の幾何光学的な性能を損なうことがない低屈折率膜及びその製造方法を提供することを目的とする。
　また、本発明は、反射光の抑制と透過光の向上に加えて、反射光と透過光を無彩色とし得る反射防止膜及びその製造方法を提供することを目的とする。
　さらに、本発明は、前記低屈折率膜を形成するための低屈折率膜用コーティング液セットを提供することを目的とする。
［００３１］　さらに、本発明は、微粒子積層薄膜と基材との付着力が大きく、熱膨張に対する耐性を有する微粒子積層薄膜付き基材及びその製造方法、並びに該微粒子積層薄膜付き基材を有する光学部材を提供することを目的とする。
課題を解決する手段
［００３２］　すなわち、前記課題を解決するための手段は以下の通りである。 （１）固体基材の表面に電解質ポリマー及び微粒子を交互に吸着させて形成した微粒子積層膜に、珪素化合物溶液を接触させ、前記固体基材と前記微粒子、及び前記微粒子同士を結合させてなる低屈折率膜であって、
　前記珪素化合物溶液が、（１）官能基が加水分解性基と非加水分解性の有機基とからなるアルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物、（２）前記アルコキシシラン（Ｉ）と官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（ＩＩ）との混合物の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物、及び（３）前記アルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物と前記アルコキシシラン（ＩＩ）との混合物のうちのいずれかを含むことを特徴とする低屈折率膜。
［００３３］（２）固体基材の表面に電解質ポリマー及び微粒子を交互に吸着させて形成した微粒子積層膜に、珪素化合物溶液を接触させ、前記固体基材と微粒子、及び微粒子同士を結合させてなる低屈折率膜であって、
　前記珪素化合物溶液が、（４）官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（ＩＩ）、（５）前記アルコキシシラン（ＩＩ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩＩ）、及び（６）前記アルコキシシラン（ＩＩ）と前記加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩＩ）との混合物のうちのいずれかを含み、
前記固体基材が微細構造を表面に有することを特徴とする低屈折率膜。
［００３４］（３）微粒子積層膜中の微粒子が、多孔質シリカ微粒子、中空シリカ微粒子、及び一次粒子がつながった形状のシリカ微粒子のうちの１種以上を含む前記（１）又は（２）に記載の低屈折率膜。
［００３５］（４）微粒子積層膜中の微粒子の平均一次粒子径が、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下である前記（１）〜（３）のいずれかに記載の低屈折率膜。
［００３６］（５）固体基材が、レンチキュラーレンズ、フレネルレンズ、プリズム、マイクロレンズアレイ、導光性微細構造、光拡散性微細構造、及びホログラムのうちのいずれかを得るための微細構造を表面に有することを特徴とする前記（１）〜（４）のいずれかに記載の低屈折率膜。」
イ　「
［００７２］　本発明によれば、より低い屈折率が得られ、常温・常圧にて形成でき、固体基材との密着性に優れ、固体基材が微細構造を有しても該微細構造に追従し、その微細構造のもたらす拡散性や集光性等の幾何光学的な性能を損なうことがない低屈折率膜を提供することができる。
［００７３］　本発明の低屈折率膜において、微粒子の材質と形状を規定することで、より確実に低い屈折率の低屈折率膜を得ることができる。
［００７４］　本発明の低屈折率膜において、微粒子の平均一次粒子径を規定することで、低屈折率膜の透明性を向上でき、固体基材が微細構造を有する場合であっても、その幾何光学的な性能を損なうことがない。
［００７５］　本発明の低屈折率膜の製造方法により、以上の本発明の低屈折率膜を製造することができる。特に、常温・常圧にて低屈折率膜を形成できるため、真空装置等を必要とせず、また樹脂性固体基材に熱応力によるクラックを生じることがない。
［００７６］　固体基材が微細構造体を有する場合、微細構造体表面に微粒子及び電解質ポリマーを交互に吸着させて微粒子積層膜を形成するため、微粒子積層膜が微細構造体へ追従し、微細構造体のもたらす拡散性や集光性等の幾何光学的な性能を損なうことがない。その後、珪素化合物により微粒子積層膜の微粒子と基材、微粒子同士を結合させるため、微細構造体に追従した低屈折率膜、すなわち微細構造体のもたらす拡散性や集光性等の幾何光学的な性能を損なうことがない低屈折率膜を得ることができる。
　本発明の低屈折率膜において、微細構造を規定することで、低屈折率膜による光学機能部材の性能をより確実に向上できる。本発明の低屈折率膜の低い屈折率により、光学機能膜として幅広い用途に用いることができる。
［００７７］　また、本発明によれば、反射光の抑制と透過光の向上に加えて、反射光と透過光を無彩色とし得る反射防止膜及びその製造方法を提供することができる。
　さらに、本発明によれば、前記低屈折率膜を形成するための低屈折率膜用コーティング液セットを提供することができる。
［００７８］　本発明によれば、微粒子積層薄膜とプラスチック基材との密着性に優れ、熱膨張に対する耐性を有する微粒子積層薄膜付き基材及びその製造方法、並びに該微粒子積層薄膜付き基材を有する光学部材を提供することができる。
図面の簡単な説明
［００７９］
［図１］数珠状に連なった微粒子の状態と、一次粒子の粒子径を示す模式図である。
・・・（中略）・・・
［図３］
実施例１１、１２の微粒子積層膜が形成したマイクロレンズをＳＥＭで観察した像の輪郭（図中破線）と微粒子積層膜を形成する前のマイクロレンズをＳＥＭ観察した像の輪郭（図中実線）を上下に０．１μｍずらして並べた図である。
・・・（中略）・・・」
ウ　「
［０１１１］（Ｄ）中間層
　固体基材に極性基を確実に導入するために、固体基材に中間層を積層して固体基材とすることができる。この場合、中間層は固体基材の表面層とされる。又は中間層材料が微細構造体を形成していてもよい。
［０１１２］　中間層は、固体基材と微粒子積層膜の間に設けられ、中間層が極性基を有することで固体基材と微粒子積層膜との密着性を向上させる。微粒子積層膜が中間層を介して固体基材と強固に接着するために、固体基材上の微粒子積層膜の表面硬度が向上すると考えられる。
［０１１３］　中間層に含まれる極性基は、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリロキシ基、アクリロキシ基、アミノ基、ウレイド基、クロロプロピル基、メルカプト基、スルフィド基、スルホン酸基、リン酸基、イソシアネート基、カルボキシル基、エステル基、カルボニル基、水酸基、シラノール基のうち一つ又は二つ以上の官能基であることが望ましい。
　中間層の材料としては、これらの基を有する樹脂、シランカップリング剤などを使用することができる。
［０１１４］　中間層の材料としての樹脂には、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルであって水酸基又はカルボキシル基を有するもの、カルボキシル基又はアミノ基を有するポリアミド、ポリビニルアルコール、アクリル酸又はメタクリル酸の重合体若しくは共重合体などがある。」
エ　「
［０１３９］
（Ｅ）微粒子積層膜の形成方法
 　
Ｌａｎｇｍｕｉｒ，Ｖｏｌ．１３，ｐｐ．６１９５−６２０３，（１９９７）に示されるように、固体基材を電解質ポリマー溶液に接触する工程と微粒子分散溶液に接触する工程とを交互に繰り返す方法（交互積層法）により、固体基材上に微粒子積層膜を形成することができる。
［０１４０］　
各工程において吸着が進行して表面電荷が反転すると、さらなる静電吸着は起こらなくなるために、電解質ポリマー溶液又は微粒子分散溶液の一回の接触により形成される膜の厚さは制御できる。また余分に物理吸着した材料は、吸着面をリンスすることで除去できる。
オ  「
［０１９９］（Ｉ）微粒子積層膜
　本発明に係る微粒子積層膜は、本発明の低屈折率膜を製造する過程で得られるものであり、当該微粒子積層膜に珪素化合物溶液を接触させることで本発明の低屈折率膜を作製することができる。
　以下に、当該微粒子積層膜について詳述する。
［０２００］　微粒子積層膜は、微粒子材料の選択によりその屈折率、ひいては本発明の低屈折率膜の屈折率を制御できる。微粒子積層膜の屈折率は、エリプソメトリーで測定した偏光特性からの解析又は分光光度計で測定した反射スペクトルや透過スペクトルからの解析により求めることができる。これらの手法の優れている点は微粒子積層膜の膜厚を同時に評価できることである。その他に微粒子積層膜の膜厚を求める方法には、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）等の膜を観察する方法もある。また水晶振動子上に膜を形成し、周波数変化量と膜材料の密度から膜厚を求めることもできる。
［０２０１］　微粒子と荷電の異なる電解質ポリマーとしてポリジアリルジメチルアンモニウムクロリド（ＰＤＤＡ）を用いる場合、前述のように、ＰＤＤＡ層は１．３ｎｍ未満という分子オーダーの薄さである。従って、ＰＤＤＡ層は固体基材や微粒子表面を、その表面形状に追従しながら覆っていると考えられる。そして、その薄さで、固体基材と微粒子、微粒子と微粒子の静電的な結合材として機能している。」
カ　「
［０２１５］（Ｊ）珪素化合物溶液 
　発明において用いる珪素化合物溶液は、第１の態様においては、（１）官能基が加水分解性基と非加水分解性の有機基とからなるアルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物、（２）前記アルコキシシラン（Ｉ）と官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（ＩＩ）との混合物の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物、及び（３）前記アルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物と前記アルコキシシラン（ＩＩ）との混合物のうちのいずれかを含む。 　一方、
第２の態様において用いる珪素化合物溶液は、
（５）アルコキシシラン（ＩＩ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩＩ）
を含む。
［０２１６］　
微粒子積層膜に前記（１）〜（６）のいずれかを含む珪素化合物溶液を接触させることで得られる低屈折率膜は、固体基材と微粒子、及び微粒子同士が珪素化合物を介して結合している。つまり、加水分解により生成した珪素化合物のシラノール基は微粒子表面の水酸基や極性基と水素結合、または脱水縮合することで共有結合し、珪素化合物と微粒子は結合する。また、加水分解により生成した珪素化合物のシラノール基や加水分解されずに残存したアルコキシ基は固体基材表面の水酸基や極性基と水素結合し、珪素化合物と基材は結合する。これらの結合により、本発明の低屈折率膜は微粒子積層膜よりも基材密着性に優れる。
　以下に、前記（１）〜（６）の珪素化合物について詳述する。
・・・（中略）・・・
［０２２０］
＜（２）の珪素化合物＞
　（２）の珪素化合物は、上記の通り、アルコキシシラン（Ｉ）と官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（ＩＩ）との混合物の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物である。
［０２２１］　
［アルコキシシラン（ＩＩ）］ 　前記アルコキシシラン（ＩＩ）は、加水分解性基のみを有し、具体的には、
テトラエトキシシラン
・・・（中略）・・・
［０２２６］＜（５）の珪素化合物＞
　
（５）の珪素化合物は、アルコキシシラン（ＩＩ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩＩ）である。
　
アルコキシシラン（ＩＩ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物は、アルコキシシラン（ＩＩ）を公知の方法で加水分解することで得られる。例えば、酸性触媒の存在下又は塩基性触媒の存在下若しくは非存在下で、かつ溶媒の存在下又は非存在下で、アルコキシシラン（ＩＩ）と水を混合することで、アルコキシシラン（ＩＩ）を加水分解することができる。
　加水分解時の温度は室温から溶媒の沸点までの間で選択でき、加水分解の時間は１時間から１０００時間の間で、加水分解・重縮合の進行に応じて任意に選択するとよい。
　また、
加水分解時は攪拌することが好ましい。アルコキシシラン（ＩＩ）の配合量は、１〜９０質量％となるように加えるのが好ましい。
　水の配合量は、アルコキシシラン（ＩＩ）に対して１〜５００質量％となるように加えるのが好ましく、５〜１００質量％がさらに好ましい。
　
溶媒は、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等の低級アルコール又は酢酸エチル、アセトン、ジメチルホルムアミド、アセトニトリル等の極性溶媒若しくは低級アルコールと極性溶媒の混合溶媒が好ましい。
［０２２７］　
酸触媒としては、無機酸も有機酸も好適に使用でき、無機酸としては、例えば塩酸、硫酸、リン酸、ほう酸などが好ましく、また有機酸としては、ギ酸、酢酸、蓚酸、およびｐ−トルエンスルホン酸などが好ましく用いられる。
［０２２８］　（５）の珪素化合物の溶液において、シラン濃度は０．１〜１０質量％とすることが好ましく、０．３〜５質量％とすることがより好ましい。シラン濃度が低すぎる場合は低屈折率膜の基材への密着性と微粒子積層膜の基材の密着性とに差異がなく、シラン濃度が高すぎる場合は微粒子積層膜の空隙への珪素化合物の充填量が増えすぎるために低屈折率膜の屈折率が低くなくなる。なお、シラン濃度は（アルコキシシラン（ＩＩ）の質量／溶液の全質量）から求められる。
・・・（中略）・・・
［０２３０］
　前記（１）〜（６）の珪素化合物のうち、（２）、（５）の珪素化合物が加水分解により生成したシラノール基が多く、低屈折率膜と基材との密着性を向上できる点で特に好ましく、最も好ましくは（５）である。」
キ　「　
［０２４５］　微細構造が高度に制御され、幾何光学的に高い性能を有する微細構造体においては、微細構造体表面の反射防止膜や低屈折率膜は、可視光を散乱・拡散させることは望ましくない。若干でも光を散乱・拡散させる反射防止膜や低屈折率膜は、光が斜めから入射する場合に光の散乱・拡散の度合いが増すためである。
［０２４６］　微細構造体表面の反射防止膜には光が法線方向から入射するだけでなく、斜入射である場合も多い。そのため、例えば、レンズ形状物の表面に光を散乱・拡散させる反射防止膜や低屈折率膜が形成された場合、光が焦点に集まらない等の幾何光学的な性能低下を生じる。すなわち、反射防止膜が微細構造体の幾何光学的な性能を損なわないためには、反射防止膜や低屈折率膜が透明であることが望ましい。本発明では、反射防止膜や低屈折率膜の濁度を測定することにより、本発明の反射防止膜や低屈折率膜が微細構造体の幾何光学的な性能を損なわないことを評価できる。
［０２４７］
　微細構造が高度に制御され、幾何光学的に高い性能を有する微細構造体においては、微細構造体表面の反射防止膜は、微細構造体の形状に追従して形成されることが望ましい。反射防止膜が微細構造体の形状に追従しない場合は、微細構造体の幾何光学的な性能が損なわれる。レンズ状微細構造を例にとれば、固体撮像素子に用いられるオンチップマイクロレンズアレイ表面の反射防止膜がマイクロレンズに追従しない場合、レンズの集光性能を損なうために、集光される光量の減少により感度が低下し、さらにフォトダイオード以外の部分に照射された光が迷光となり、フレアやコントラスト低下を引き起こす。
［０２４８］　本発明では、低屈折率膜が形成された微細構造体の断面を走査型電子顕微鏡などにより観察し、微細構造表面からの法線方向に対する低屈折率膜の厚みを測定することで、低屈折率膜の微細構造体への追従性を評価することができる。また微細構造体を斜め方向より走査型電子顕微鏡などにより観察し、投影された微細構造体の形状より低屈折率膜の微細構造体への追従性を評価することもできる。
［０２４９］　本発明では、固体基材が表面に極性基を有することにより、その上に形成された微粒子積層膜が実用的な密着性を得ることができ、さらに珪素化合物により微粒子と基材が結合することでより優れた密着性を得ることができる。固体基材上の膜の表面硬度を評価する方法としては鉛筆硬度試験が挙げられる。固体基材の硬度に依存せずに薄膜そのものの硬度を評価する装置にはナノインデンターが挙げられる。
　また、密着性を評価する方法にはテープ剥離試験が挙げられる。
［０２５０］　なお、テープ剥離試験には必ずしもＪＩＳ　Ｚ　１５２２に規定するような２．９４Ｎ／１０ｍｍ以上の粘着力を有する必要は無く、より実際の工程において用いる粘着テープを用いて試験してもよい。光電変換素子等の半導体の製造工程においては、バックグラインド工程に用いる粘着テープ等の保護テープがそれにあたる。
［０２５１］　また、液晶用バックライトの輝度向上レンズフィルム、拡散フィルム、ビデオプロジェクションテレビのスクリーンに用いられるフレネルレンズやレンチキュラーレンズなどの光学機能部材においては、加工・輸送・組立て・保管に表面保護、汚染防止や固定をするために貼る粘着テープがそれにあたる。
（Ｌ）乾燥処理
　上記のようにして固体基材表面に形成した低屈折率膜を加熱することで乾燥処理を行ってもよい。珪素化合物と微粒子や基材との脱水縮合が促進し、低屈折率膜の強度と基材密着性の向上が図られる。」
ク　「
［０２６８］　これらのシリカ化合物の内、本発明に適用されるアルコール性シリカゾルは、下記一般式（１）においてＲ１がメチル基又はエチル基である低級アルキルシリケートである。特に、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、エチルシリケート４０（コルコート株式会社製、商品名）、エチルシリケート４８（コルコート株式会社製、商品名）、メチルシリケート５１（コルコート株式会社製、商品名）及びそれらの加水分解生成物であるアルコール性シリカゾルは、膜を強固に固定でき、且つ比較的安価であることから特に好適である。アルコール性シリカゾルは、それらの混合物であってもよい。
　また、一般式（１）中、Ｒ２ は、メチル基、エチル基、及びフェニル基のうちのいずれかであることが好ましい。それらの疎水性と、プラスチック基材の疎水性相互作用により、浸透性、濡れ性が向上し、密着性が得やすいためである。
・・・（中略）・・・
［０２６９］　［化３］
」
ケ　「
［０２９４］［実施例１］
１．微粒子積層膜の形成
　ＢＥＴ法で測定した平均一次粒子径が８ｎｍの数珠状シリカ微粒子が分散したシリカ水分散液（日産化学工業株式会社製、商品名：スノーテックス（ＳＴ）ＯＵＰ、シリカゾル）をｐＨは調整せずに濃度を１質量％に調整した微粒子分散液として用い、ポリジアリルジメチルアンモニウムクロリド（ＰＤＤＡ、アルドリッチ社製）を０．１質量％、ｐＨ１０に調整した水溶液を電解質ポリマー水溶液として用いた。
［０２９５］　固体基材であるシリコンウエハ（ＳＵＭＣＯ社製、６ＰＷ−Ａ１、６インチΦ、６２５μｍ厚）、ガラス基材（松浪硝子社製、商品名：Ｓ１１１１、２５ｍｍ×７５ｍｍ×０．７ｍｍ厚、波長５５０ｎｍでの屈折率は１．５４）、及び低圧水銀ランプ（１０ｍＷ）にて紫外線を２分照射したポリスチレン板（光社製、透明、１ｍｍ厚）のそれぞれに、電解質ポリマー水溶液を滴下して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（ア）、微粒子分散液を滴下して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（イ）をこの順に施した。工程（ア）１回と工程（イ）１回を順に行うことを１サイクルとし、このサイクル数を微粒子交互積層回数とした。微粒子交互積層回数を４回行い、それぞれの固体基材表面に微粒子積層膜を形成した。
［０２９６］２．珪素化合物処理
　フェニルトリメトキシシラン（アルコキシシラン（Ｉ）、信越化学社製、ＫＢＭ１０３）５０ｇを３つ口丸底フラスコ３００ｍｌに入れ、メタノール（以下、ＭｅＯＨと表記する。）；７５ｇを加え、２５℃にて攪拌し液を均一にした後に、Ｈ ３ ＰＯ ４ ；１．３質量％水溶液を１７．７ｇ加え、２５℃にて２４時間攪拌し、シラン濃度３５％溶液（原液）を得た。この溶液に１−ブタノールを加えて、シラン濃度を１質量％に調整した珪素化合物溶液を得た。前記の微粒子積層薄膜が形成されたそれぞれの固体基板を、スピンコータにセットし、前記の珪素化合物溶液２０ｍｌを基板全体に展開した後、回転数１０００ｍｉｎ−１で展開及び乾燥した。その後、２５℃で２４時間乾燥し、低屈折率膜を作製した。
［０２９７］３．屈折率の評価
　シリコンウエハ上の低屈折率膜の屈折率と膜厚を自動エリプソメータ（ファイブラボ株式会社製、商品名：ＭＡＲＹ−１０２、レーザー波長６３２．８ｎｍ）で評価した結果、低屈折率膜の屈折率は１．３０、厚さは１１０ｎｍであった。
［０２９８］４．透明性の評価
　前記で得た低屈折率膜が形成されたガラス基板のヘイズ値を、濁度計（日本電色工業社製）でＪＩＳ　Ｋ　７３６１−１−１９９７に準拠して測定した結果、０．４％であった。ガラス基板のみのヘイズ値を同様に測定した結果、０．１％であった。低屈折率膜が形成された固体基材のヘイズ値から、固体基材のみのヘイズ値を差し引くことで低屈折率膜の濁度を求めた。その結果、低屈折率膜の濁度は０．３％であり、低屈折率膜の透明性が非常に高いことがわかった。
［０２９９］５．反射防止性能の評価
　低屈折率膜が形成されたガラス基板の透過スペクトルを可視紫外分光光度計（日本分光株式会社製、商品名：Ｖ−５７０）で測定したところ、波長４００〜８００ｎｍでの最大の透過率は９５％であった。
　また、低屈折率膜が形成されたガラス基板の反対面に黒い粘着テープ（ニチバン株式会社製、商品名：ＶＴ−１９６）を気泡が残らないように貼り付け、低屈折率膜が形成された片面の表面反射率のスペクトルを可視紫外分光光度計（日本分光株式会社製、商品名：Ｖ−５７０）で測定した。低屈折率膜が形成されたガラス基板の波長４００〜８００ｎｍでの最小の表面反射率は０．３％であった。
　ガラス基板の透過率は９１％、表面反射率は４．５％であることから、優れた特性の反射防止膜が形成され、透過率も向上させることがわかった。
［０３００］６．密着性の評価
　粘着テープとして粘着力１５００ｃＮ／２５ｍｍ（紫外線照射後は２５ｃＮ／２５ｍｍ）、幅２５ｍｍの粘着テープ（電気化学社製ＵＨＰ−１０２５Ｍ３）を使用し、ロールラミネータ（ラミーコーポレーション社製ＬＭＰ−３５０ＥＸ）を用いて、ロール荷重０．３ＭＰａ、送り速度０．３ｍ／ｍｉｎ、温度２０℃の条件で、粘着テープを低屈折率膜へ貼り付けた。テープを密着させてから１分後に、紫外線露光装置（オーク株式会社製、ＨＭＷ−６Ｎ−４）を用いて２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射し、テープの一方の端を基材面に直角に持ち上げ、瞬間的に引き剥がした。低屈折率膜を目視観察した結果、基材表面が見えず、低屈折率膜が可視光を散乱していないことから、低屈折率膜が基材に密着していることがわかった。シリコン基板上、ガラス基板上、ポリスチレン上の低屈折率膜はいずれも基材上に密着していた。」
コ　「
［０３２６］　実施例９と同様に低屈折率膜が形成したマイクロレンズと低屈折率膜が形成していないマイクロレンズの走査型電子顕微鏡観察し、観察像の輪郭の比較を行った結果、図４に示すように低屈折率膜はマイクロレンズの法線方向に対する厚みが不均一であり、マイクロレンズの谷部分に近づくほど厚くなった。これにより、低屈折率膜がマイクロレンズの形状を変化させることがわかり、集光性能を低下させることが推察される。
　以上の実施例及び比較例の結果を表１、表２に示す。
［０３２７］
［表１］
（○；シリコン基板、ガラス基板、ポリスチレンに対する低屈折率膜の密着性良好）
（×；シリコン基板、ガラス基板、ポリスチレンに対する低屈折率膜の密着性不良、
剥離 有り）
（○；マイクロレンズへの追従性良好）
（×；マイクロレンズへの追従性不良、形状変化）」
サ　「
［０３３０］　次いで、本発明の低屈折率膜の第２の態様に係る実施例（実施例１２〜１９）を示す。 
［実施例１２］
１．微粒子積層膜の形成
　
ＢＥＴ法で測定した平均一次粒子径が８ｎｍの数珠状シリカ微粒子が分散したシリカ水分散液（日産化学工業（株）製、商品名：スノーテックス（ＳＴ）ＯＵＰ、シリカゾル）をｐＨは調整せずに濃度を１質量％に調整した微粒子分散液として用い
ポリジアリルジメチルアンモニウムクロリド（ＰＤＤＡ、アルドリッチ社製）を０．１質量％、ｐＨ１０に調整した水溶液を電解質ポリマー水溶液として用い
［０３３１］　
固体基材である
微細構造体であるマイクロレンズ（光硬化性樹脂、幅９μｍ、高さ１．５μｍ）を有するマイクロレンズアレイシート
に、電解質ポリマー水溶液を滴下して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（ア）、微粒子分散液を滴下して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（イ）をこの順に施し
［０３３２］　
工程（ア）１回と工程（イ）１回を順に行うことを１サイクルとし、このサイクル数を微粒子交互積層回数とし
微粒子交互積層回数を４回行い、
固体基材表面に微粒子積層膜を形成し
［０３３３］２．珪素化合物処理
　
テトラエトキシシラン（アルコキシシラン（Ｉ）、和光純薬社製、オルトケイ酸テトラエチル）５０ｇを３つ口丸底フラスコ３００ｍｌに入れ、ＭｅＯＨ（メタノール）７５ｇを加え、２５℃で攪拌し液を均一にした後に、Ｈ
３
ＰＯ
４
１．３質量％水溶液を１７．７ｇ加え、２５℃で２４時間攪拌し、シラン濃度３５質量％溶液を得た。前記珪素化合物溶液に１−ブタノールを加えて、シラン濃度を１質量％に調整した珪素化合物の溶液を得た
前記の微粒子積層薄膜が形成された
固体基板を、スピンコータにセットし、前記の珪素化合物の溶液２０ｍｌを基板全体に展開した後、回転数１０００ｍｉｎ
−１
で展開及び乾燥した。その後、２５℃で２４時間乾燥し、低屈折率膜を作製した。
［０３３４］３．屈折率の評価
　シリコンウエハ上の低屈折率膜の屈折率と膜厚を実施例１と同様にして評価した結果、低屈折率膜の屈折率は１．２５、厚さは１１０ｎｍであった。
［０３３５］４．透明性の評価
　前記で得た低屈折率膜が形成されたガラス基板のヘイズ値を、実施例１と同様にして測定した結果、０．４％であった。ガラス基板のみのヘイズ値を同様に測定した結果、０．１％であった。低屈折率膜が形成された固体基材のヘイズ値から、固体基材のみのヘイズ値を差し引くことで低屈折率膜の濁度を求めた。その結果、低屈折率膜の濁度は０．３％であり、低屈折率膜の透明性が非常に高いことがわかった。
［０３３６］５．反射防止性能の評価
　低屈折率膜が形成されたガラス基板の透過スペクトルを実施例１と同様にして測定したところ、波長４００〜８００ｎｍでの最大の透過率は９５％であった。
［０３３７］　また、低屈折率膜が形成されたガラス基板の反対面に黒い粘着テープ（ニチバン（株）製、商品名：ＶＴ−１９６）を気泡が残らないように貼り付け、低屈折率膜が形成された片面の表面反射率のスペクトルを実施例１と同様にして測定した。低屈折率膜が形成されたガラス基板の波長４００〜８００ｎｍでの最小の表面反射率は０．１％であった。
　ガラス基板の透過率は９１％、表面反射率は４．５％であることから、優れた特性の反射防止膜が形成され、透過率も向上させることがわかった。
[０３３８]　６．密着性の評価
　粘着テープとして粘着力３２０ｃＮ／２５ｍｍ、幅２５ｍｍの粘着テープ（日立化成工業（株）製、商品名：ヒタレックスＬ−７３３０）を使用し、ロールラミネータ（ラミーコーポレーション社製、商品名：ＬＭＰ−３５０ＥＸ）を用いて、ロール荷重０．３ＭＰａ、送り速度０．３ｍ／ｍｉｎ、温度２０℃の条件で、粘着テープを低屈折率膜へ貼り付けた。
［０３３９］　テープを密着させてから１分後に、テープの一方の端を基材面に直角に持ち上げ、瞬間的に引き剥がした。低屈折率膜を目視観察した結果、基材表面が見えず、低屈折率膜が可視光を散乱していないことから、低屈折率膜が基材に密着していることがわかった。シリコン基板上、ガラス基板上、ポリスチレン上の低屈折率膜はいずれも基材上に密着していた。
［０３４０］　また、粘着テープとして粘着力３６０ｃＮ／２５ｍｍ（紫外線照射後は２５ｃＮ／２５ｍｍ）、幅２５ｍｍの粘着テープ（電気化学社製ＢＧＰ−１０１Ｂ）を使用し、ロールラミネータ（ラミーコーポレーション社製、商品名：ＬＭＰ−３５０ＥＸ）を用いて、ロール荷重０．３ＭＰａ、送り速度０．３ｍ／ｍｉｎ、温度２０℃の条件で、粘着テープを低屈折率膜へ貼り付けた。
［０３４１］　テープを密着させてから１分後に、紫外線露光装置（（株）オーク製作所製、ＨＭＷ−６Ｎ−４）を用いて２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射し、テープの一方の端を基材面に直角に持ち上げ、瞬間的に引き剥がした。シリコン基板上、ガラス基板上、ポリスチレン上、マイクロレンズアレイシート上の低屈折率膜はいずれも基材上に密着していた。
［０３４２］７．形状追従性の評価
　走査型電子顕微鏡（フィリップス社製、商品名：ＸＬ３０ＥＳＥＭ）で、微粒子積層膜が形成したマイクロレンズアレイシートを、シート面の法線方向から７５°の角度から観察し、微粒子積層膜が形成したマイクロレンズの形状を観察した。
　また、同様に微粒子積層膜が形成していない部分のマイクロレンズの形状も観察した。
微粒子積層膜が形成したマイクロレンズの観察像の輪郭を図３に破線で示す。
［０３４３］　また、微粒子積層膜が形成していないマイクロレンズの観察像の輪郭も図３に実線で示す。微粒子積層膜の厚みが０．１μｍと仮定して、微粒子積層膜が形成したマイクロレンズの輪郭を微粒子積層膜が形成していないマイクロレンズの輪郭の上に０．１μｍずらして記した。その結果、マイクロレンズ上の微粒子積層膜は、マイクロレンズの法線方向に対する厚みが均一であることが確認でき、微粒子積層膜がマイクロレンズの形状に良好に追従していることが確認できた。
・・・（中略）・・・
［０３７８］　実施例１２と同様に低屈折率膜が形成したマイクロレンズと低屈折率膜が形成していないマイクロレンズの走査型電子顕微鏡観察し、観察像の輪郭の比較を行った結果、図４に示すように低屈折率膜はマイクロレンズの法線方向に対する厚みが不均一であり、マイクロレンズの谷部分に近づくほど厚くなった。これにより、低屈折率膜がマイクロレンズの形状を変化させることがわかり、集光性能を低下させることが推察される。
　以上の実施例及び比較例の結果を表３に示す。
［０３７９］
［０３８０］　
表３に示されるように、アルコキシシラン又はアルコキシシランの加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物若しくはそれらの混合物のいずれかを微粒子積層膜と接触させることで、低屈折率膜に基材密着性を付与できることが明らかである
　また、微粒子積層膜を交互積層法により作製することで、低屈折率膜をマイクロレンズなどの微細構造に追従させることができることが明らかである。」
シ　「
請求の範囲
［請求項１］　固体基材の表面に電解質ポリマー及び微粒子を交互に吸着させて形成した微粒子積層膜に、珪素化合物溶液を接触させ、前記固体基材と前記微粒子、及び前記微粒子同士を結合させてなる低屈折率膜であって、
　前記珪素化合物溶液が、（１）官能基が加水分解性基と非加水分解性の有機基とからなるアルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物、（２）前記アルコキシシラン（Ｉ）と官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（ＩＩ）との混合物の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物、及び（３）前記アルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物およびその加水分解物の縮合反応物と前記アルコキシシラン（ＩＩ）との混合物のうちのいずれかを含むことを特徴とする低屈折率膜。
［請求項２］　固体基材の表面に電解質ポリマー及び微粒子を交互に吸着させて形成した微粒子積層膜に、珪素化合物溶液を接触させ、前記固体基材と微粒子、及び微粒子同士を結合させてなる低屈折率膜であって、
　前記珪素化合物溶液が、（４）官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（ＩＩ）、（５）前記アルコキシシラン（ＩＩ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩＩ）、及び（６）前記アルコキシシラン（ＩＩ）と前記加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩＩ）との混合物のうちのいずれかを含み、
　前記固体基材が微細構造を表面に有することを特徴とする低屈折率膜。
［請求項３］　微粒子積層膜中の微粒子が、多孔質シリカ微粒子、中空シリカ微粒子、及び一次粒子がつながった形状のシリカ微粒子のうちの１種以上を含む請求項１又は２に記載の低屈折率膜。
［請求項４］　微粒子積層膜中の微粒子の平均一次粒子径が、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載の低屈折率膜。
［請求項５］　固体基材が、レンチキュラーレンズ、フレネルレンズ、プリズム、マイクロレンズアレイ、導光性微細構造、光拡散性微細構造、及びホログラムのうちのいずれかを得るための微細構造を表面に有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の低屈折率膜。
［請求項６］　請求項１〜５のいずれか１項に記載の低屈折率膜を含むことを特徴とする反射防止膜。」
（１１０頁１行−１１１頁６行）
ス　「
」
第５　引用発明
　引用例１の請求項５には、固体基材がマイクロレンズアレイを得るための微細構造を表面に有する低屈折率膜として、請求項１の記載を引用して記載された発明と、請求項２の記載を引用して記載された発明が記載されている。ただし、請求項１に係る発明に対応する実施例１〜１１の評価結果（段落［０３２７］の［表１］）と、請求項２に係る発明に対応する実施例１２〜１９の評価結果（段落［０３７９］の［表３］）を比較すると、マイクロレンズへの追従性について評価されているのは、基材に微細構造体であるマイクロレンズ（光硬化性樹脂、幅９μｍ、高さ１．５μｍ）を有するマイクロレンズシートを用いた実施例１１と、固体基材であり、微細構造体であるマイクロレンズ（光硬化性樹脂、幅９μｍ、高さ１．５μｍ）を有するマイクロレンズアレイシートを用いた実施例１２〜１９であり、実施例１〜１０については評価結果が示されていない。また、引用例１の段落［０１１１］、［０１１２］及び［０２３０］には、それぞれ「固体基材に極性基を確実に導入するために、固体基材に中間層を積層して固体基材とすることができる。この場合、中間層は固体基材の表面層とされる。又は中間層材料が微細構造体を形成していてもよい。」、「中間層は、固体基材と微粒子積層膜の間に設けられ、中間層が極性基を有することで固体基材と微粒子積層膜との密着性を向上させる。微粒子積層膜が中間層を介して固体基材と強固に接着するために、固体基材上の微粒子積層膜の表面硬度が向上すると考えられる。」及び「前記（１）〜（６）の珪素化合物のうち、（２）、（５）の珪素化合物が加水分解により生成したシラノール基が多く、低屈折率膜と基材との密着性を向上できる点で特に好ましく、最も好ましくは（５）である。」と記載されている。ここで、（５）の珪素化合物を使用した実施例は、実施例１２〜１６である。
　以上を踏まえると、引用例１には、マイクロレンズへの追従性及びマイクロレンズアレイシートへの密着性を重視する当業者が着目する、マイクロレンズアレイシートがマイクロレンズを表面に有している低屈折率膜として、実施例１２に対応する次の発明が開示されている（以下「引用発明」という。）。
（ここで、実施例１２の段落［０３３３］の「テトラエトキシシラン（アルコキシシラン（Ｉ）、和光純薬社製、オルトケイ酸テトラエチル） 」における「アルコキシシラン（Ｉ）」との記載は、「テトラエトキシシラン」は、シランの４つの水素がエトキシ基（−ＯＣＨ２ＣＨ３）で置換されたものであり、エトキシ基が加水分解性基であることは周知であること、あるいは、引用例１の段落「０２１８」の［アルコキシシラン（Ｉ）］の具体例には、「テトラエキシシラン」は例示されておらず、段落［０２２１］の「アルコキシシラン（ＩＩ）」の具体例として「テトラエトキシシラン」が例示されていることから、「官能基が加水分解性基と非加水分解性の有機基とからなるアルコキシシラン（Ｉ）」ではなく、「官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（ＩＩ）」であることは明らかであり誤記であるから、段落［０３３３］の「アルコキシシラン（Ｉ）」は、以下においては「アルコキシシラン（ＩＩ）」としている。誤記であることは、段落［０３１６］の実施例９における「テトラエトキシシラン（アルコキシシラン（ＩＩ）和光純薬社製、オルトケイ酸テトラエチル）」という記載からも確認することできる。）
「
　ＢＥＴ法で測定した平均一次粒子径が８ｎｍの数珠状シリカ微粒子が分散したシリカ水分散液（日産化学工業（株）製、商品名：スノーテックス（ＳＴ）ＯＵＰ、シリカゾル）をｐＨは調整せずに濃度を１質量％に調整した微粒子分散液として用意し、ポリジアリルジメチルアンモニウムクロリド（ＰＤＤＡ、アルドリッチ社製）を０．１質量％、ｐＨ１０に調整した水溶液を電解質ポリマー水溶液として用意し、
　固体基材であり、微細構造体であるマイクロレンズ（光硬化性樹脂、幅９μｍ、高さ１．５μｍ）を有するマイクロレンズアレイシートに、前記電解質ポリマー水溶液を滴下して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（ア）、前記微粒子分散液を滴下して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（イ）をこの順に施し、工程（ア）１回と工程（イ）１回を順に行うことを１サイクルとし、このサイクル数を微粒子交互積層回数とし、微粒子交互積層回数を４回行い、固体基材表面に微粒子積層膜を形成し、
　テトラエトキシシラン（アルコキシシラン（ＩＩ）、和光純薬社製、オルトケイ酸テトラエチル）５０ｇを３つ口丸底フラスコ３００ｍｌに入れ、ＭｅＯＨ（メタノール）７５ｇを加え、２５℃で攪拌し液を均一にした後に、Ｈ３ＰＯ４１．３質量％水溶液を１７．７ｇ加え、２５℃で２４時間攪拌し、シラン濃度３５質量％溶液を得、前記珪素化合物溶液に１−ブタノールを加えて、シラン濃度を１質量％に調整した珪素化合物の溶液を得て、前記の微粒子積層薄膜が形成された固体基板を、スピンコータにセットし、前記の珪素化合物の溶液２０ｍｌを基板全体に展開した後、回転数１０００ｍｉｎ−１で展開及び乾燥し、その後、２５℃で２４時間乾燥して作製した、マイクロレンズアレイシートがマイクロレンズを表面に有している、低屈折率膜。」
第６　対比・判断
（１）本願発明と引用発明とを対比すると、以下のとおりとなる。
ア　引用発明の「微細構造体であるマイクロレンズ（光硬化性樹脂、幅９μｍ、高さ１．５μｍ）」は、本願発明の「微細構造」に相当する。
　引用発明の「固体基材であり、微細構造体であるマイクロレンズ（光硬化性樹脂、幅９μｍ、高さ１．５μｍ）を有するマイクロレンズアレイシート」は、「マイクロレンズを表面に有している」。したがって、引用発明の「マイクロレンズアレイシート」は、本願発明の「固体基材」に相当するとともに、「前記固体基材が微細構造を表面に有する」ものといえる。
　
イ　引用発明の「テトラエトキシシラン」は、「官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン」に該当する。
　すると、引用発明の「テトラエトキシシラン」は、本願発明の「官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン」に相当する。
ウ　引用発明の「珪素化合物の溶液」について
（ア）引用発明の「珪素化合物の溶液」は、「テトラエトキシシラン（アルコキシシラン（ＩＩ）、和光純薬社製、オルトケイ酸テトラエチル）５０ｇを３つ口丸底フラスコ３００ｍｌに入れ、ＭｅＯＨ（メタノール）７５ｇを加え、２５℃で攪拌し液を均一にした後に、Ｈ３ＰＯ４１．３質量％水溶液を１７．７ｇ加え、２５℃で２４時間攪拌し、シラン濃度３５質量％溶液を得、前記珪素化合物溶液に１−ブタノールを加えて、シラン濃度を１質量％に調整した」ものである。
　ここで、「テトラエトキシシラン」が具体例として例示される「官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン」に関し、段落［０２２６］に、「アルコキシシラン（ＩＩ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物は、アルコキシシラン（ＩＩ）を公知の方法で加水分解することで得られる」、「例えば、酸性触媒の存在下・・・で、かつ溶媒の存在下・・・で、アルコキシシラン（ＩＩ）と水を混合することで、アルコキシシラン（ＩＩ）を加水分解することができる」、「加水分解時の温度は室温から溶媒の沸点までの間で選択でき、加水分解の時間は１時間から１０００時間の間で、加水分解・重縮合の進行に応じて任意に選択するとよい」、「溶媒は、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等の低級アルコール・・・が好ましい」、段落［０２２７］に「酸触媒としては、無機酸も有機酸も好適に使用でき、無機酸としては、例えば・・・リン酸・・・などが好ましく」と記載され、また、段落［０３７９］の「表３」には、引用発明である実施例１２の「珪素化合物」が「テトラエトキシシランの加水分解・縮合物」であることが記載されている。
　すると、引用発明の「珪素化合物の溶液」においては、「官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン」である「テトラエトキシシラン」は、無機の酸触媒であるリン酸「Ｈ３ＰＯ４」、かつ溶媒である「ＭｅＯＨ（メタノール）」の存在下で、水と混合されて加水分解・重縮合が進行し、「珪素化合物の溶液」に、「テトラエトキシシランの加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物」が含まれることが把握され、前記イから、「官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシランの加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物」が含まれることが把握できる。
（イ）引用発明の「珪素化合物の溶液」は、「１−ブタノールを加えて、シラン濃度を１質量％に調整した」ものである。したがって、引用発明の「１−ブタノール」が、珪素化合物の有機溶剤であることは技術的にみて明らかである。
（ウ）上記（ア）と（イ）から、引用発明の「珪素化合物の溶液」は、「官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシランの加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物」と、有機溶剤とを含むものである。引用発明の「珪素化合物の溶液」及び「有機溶剤」は、本願発明の「珪素化合物溶液」及び「有機溶剤」に相当する。
　また、引用発明の「官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシランの加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物」は、本願発明の「（１）官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（Ｉ）、（２）前記アルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩ）、及び（３）前記アルコキシシラン（Ｉ）と前記加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩ）との混合物のうちのいずれか」のうちの「（２）前記アルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩ）」に相当する。
エ　引用発明の「微粒子積層膜」は、「固体基材であり、微細構造体であるマイクロレンズ（光硬化性樹脂、幅９μｍ、高さ１．５μｍ）を有するマイクロレンズアレイシートに、前記電解質ポリマー水溶液を滴下して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（ア）、前記微粒子分散液を滴下して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（イ）をこの順に施し、工程（ア）１回と工程（イ）１回を順に行うことを１サイクルとし、このサイクル数を微粒子交互積層回数とし、微粒子交互積層回数を４回行い、固体基材表面に」形成したものである。
　また、引用発明の「微粒子積層膜」の形成において、固体基材表面に積層される物質が「電解質ポリマー」及び「微粒子」であること、並びに、「積層」が「吸着」により行われることは、原理的にみて明らかである（なお、引用例１の段落［０１３９］及び［０１４０］には、それぞれ、「Ｌａｎｇｍｕｉｒ，Ｖｏｌ．１３，ｐｐ．６１９５−６２０３，（１９９７）に示されるように、固体基材を電解質ポリマー溶液に接触する工程と微粒子分散溶液に接触する工程とを交互に繰り返す方法（交互積層法）により、固体基材上に微粒子積層膜を形成することができる。」及び「各工程において吸着が進行して表面電荷が反転すると、さらなる静電吸着は起こらなくなるために、電解質ポリマー溶液又は微粒子分散溶液の一回の接触により形成される膜の厚さは制御できる。また余分に物理吸着した材料は、吸着面をリンスすることで除去できる。 」と記載されており、この記載からみても、明らかな事項である。）。
　そうしてみると、引用発明の「低屈折率膜」は、固体基材であり、微細構造体であるマイクロレンズ（光硬化性樹脂、幅９μｍ、高さ１．５μｍ）を有するマイクロレンズアレイシートの表面に電解質ポリマーと微粒子が交互に吸着されて、固体基材表面に微粒子積層膜を形成したものであることが把握できる。また、引用発明の「電解質ポリマー」及び「微粒子」は、それぞれ、本願発明の「電解質ポリマー」及び「微粒子」に相当する。
オ　次に、引用発明の「低屈折率膜」は、「テトラエトキシシラン（アルコキシシラン（ＩＩ）、和光純薬社製、オルトケイ酸テトラエチル）５０ｇを３つ口丸底フラスコ３００ｍｌに入れ、ＭｅＯＨ（メタノール）７５ｇを加え、２５℃で攪拌し液を均一にした後に、Ｈ３ＰＯ４１．３質量％水溶液を１７．７ｇ加え、２５℃で２４時間攪拌し、シラン濃度３５質量％溶液を得、前記珪素化合物溶液に１−ブタノールを加えて、シラン濃度を１質量％に調整した珪素化合物の溶液を得て、前記の微粒子積層薄膜が形成された固体基板を、スピンコータにセットし、前記の珪素化合物の溶液２０ｍｌを基板全体に展開した後、回転数１０００ｍｉｎ−１で展開及び乾燥し、その後、２５℃で２４時間乾燥して作製した」ものである。
　そうしてみると、引用発明の「微粒子積層膜」に「珪素化合物の溶液」を接触させることで得られる「低屈折率膜」において、「固体基材」、「電解質ポリマー」及び「微粒子」が「珪素化合物」を介して結合していることは、原理的にみて明らかである（なお、引用例１の段落［０２１６］には、「微粒子積層膜に前記（１）〜（６）のいずれかを含む珪素化合物溶液を接触させることで得られる低屈折率膜は、固体基材と微粒子、及び微粒子同士が珪素化合物を介して結合している。つまり、加水分解により生成した珪素化合物のシラノール基は微粒子表面の水酸基や極性基と水素結合、または脱水縮合することで共有結合し、珪素化合物と微粒子は結合する。また、加水分解により生成した珪素化合物のシラノール基や加水分解されずに残存したアルコキシ基は固体基材表面の水酸基や極性基と水素結合し、珪素化合物と基材は結合する。これらの結合により、本発明の低屈折率膜は微粒子積層膜よりも基材密着性に優れる。」と記載されており、この記載からみても、明らかな事項である。）。
カ　以上ア、ウ及びオを踏まえると、引用発明の「低屈折率膜」は、本願発明の「低屈折率膜」に相当するとともに、引用発明の「低屈折率膜」は、本願発明の「固体基材の表面に電解質ポリマーと微粒子が交互に吸着させて形成した微粒子積層膜に、珪素化合物を接触させ、前記固体基材と微粒子、及び微粒子同士を結合させてなる」の要件を満たす。
（２）　一致点
　本願発明と引用発明とは、以下の点で一致する。
　「固体基材の表面に電解質ポリマー及び微粒子を交互に吸着させて形成した微粒子積層膜に、珪素化合物溶液を接触させ、前記固体基材と微粒子、及び微粒子同士を結合させてなる低屈折率膜であって、
  前記珪素化合物溶液が、（１）官能基が加水分解性基のみからなるアルコキシシラン（Ｉ）、（２）前記アルコキシシラン（Ｉ）の加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩ）、及び（３）前記アルコキシシラン（Ｉ）と前記加水分解物及びその加水分解物の縮合反応物（ＩＩ）との混合物のうちのいずれかと、有機溶剤とを含み、前記固体基材が微細構造を表面に有することを特徴とする低屈折率膜。」
（３）相違点
　本願発明と引用発明とは、以下の点で相違する。
（相違点）
　本願発明においては、珪素化合物溶液が、「低表面張力成分として、ハイドロフルオロエーテル (ＨＦＥ)系、ハイドロフルオロカーボン (ＨＦＣ)系、及びパーフルオロフルオロカーボン（ＰＦＣ）系のフッ素系有機溶剤のうちのいずれかの溶剤」を含んでいるのに対して、引用発明のものは、有機溶剤を含んでいるものの、「低表面張力成分として、ハイドロフルオロエーテル (ＨＦＥ)系、ハイドロフルオロカーボン (ＨＦＣ)系、及びパーフルオロフルオロカーボン（ＰＦＣ）系のフッ素系有機溶剤のうちのいずれかの溶剤」を含んでいない点。
（３）　判断
ア　上記相違点について検討する。
　引用発明の低屈折率膜は、引用例１の記載によれば、「より低い屈折率が得られ、常温・常圧にて形成でき、固体基材との密着性に優れ、固体基材が微細構造を有しても該微細構造に追従し、その微細構造のもたらす拡散性や集光性等の幾何光学的な性能を損なうことがない低屈折率膜を提供することができる」（段落［００７２］）とされている。しかしながら、引用例１の段落［０２６８］には、「一般式（１）中、Ｒ２は、メチル基、エチル基、及びフェニル基のうちのいずれかであることが好ましい。それらの疎水性と、プラスチック基材の疎水性相互作用により、浸透性、濡れ性が向上し、密着性が得やすいためである。」と記載されており、引用発明の「テトラエトキシシラン」はＲ２を具備しない（ｎ＝４である）から、「それらの疎水性と、プラスチック基材の疎水性相互作用により、浸透性、濡れ性が向上し、密着性が得やすい」とはいえない（引用発明の「珪素化合物の溶液」は、加水分解により生成したシラノール基が多い点で、低屈折率膜と基材との接着性を向上できることが期待される一方、浸透性、濡れ性の点で、密着性が得やすいとはいえない）状況にある。
　ここで、フッ素系有機液体を含む液体は、その表面張力が低く、浸透性が高いことは、当業者の技術常識であり、例えば、原査定の拒絶の理由に引用文献２として引用された、本件出願の出願前に頒布された刊行物である特開２００６−６１６７２号公報（以下、「引用例２」という。）には、液体の浸透性を高めるために、表面張力を低い傾向として、浸透性を高める、メチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロヘキシルエーテルなどのハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）系溶媒や、１Ｈ，１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクタン、１Ｈ，１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデカンなどのハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）系溶媒や、パーフルオロデカリン、パーフルオロシクロヘキサン、パーフルオロヘキサン、パーフルオロオクタンなどのパーフルオロフルオロカーボン（ＰＦＣ）系溶媒などのフッ素系有機溶媒を液体の溶媒として用いることが記載されている（例えば、「被膜改善用液体は、溶媒を含有する溶液であると好ましい。被膜改善用液体が溶媒を含有すると、第１の触媒の被膜改善用液体中での分散性が向上するので、シリカ系被膜の内部にまで該液体と共に第１の触媒を導入することが可能となる。これは、最終的に得られるシリカ系硬化被膜の誘電率上昇の抑制及び機械強度の向上に繋がる。」（段落【０１０８】）、「
被膜改善用液体に含有される溶媒として
パーフルオロデカリン、パーフルオロシクロヘキサン、パーフルオロヘキサン、パーフルオロオクタン、１Ｈ，１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクタン、１Ｈ，１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデカンなどの含フッ素脂肪族炭化水素系溶媒
パーフルオロトリペンチルアミン、パーフルオロトリブチルアミン、パーフルオロトリプロピルアミンなどの含フッ素アルキルアミン系溶媒、パーフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）などの含フッ素環状エーテル系溶媒
メチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロヘキシルエーテルなどのハイドロフルオロエーテル系溶媒等が挙げられる
これらの中で、含フッ素脂肪族炭化水素系溶媒、含フッ素アルキルアミン系溶媒、含フッ素環状エーテル系溶媒、ハイドロフルオロエーテル系溶媒などの分子内にフッ素原子を有する溶媒が好ましい。かかる溶媒を含有する被膜改善用液体は、表面張力が低い傾向にあり、それによりシリカ系被膜への浸透性が一層高いものである。
ハイドロフルオロエーテル（３Ｍ社製、商品名：ＨＦＥ−７２００）９９０．０ｇ、及び第１の触媒として１．８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデカ−７−エン１０．０ｇを仕込み、常温で２００回転／分の速度で攪拌しながら３時間溶解させて合成例１の被膜改善用液体を得た
　してみると、引用発明において、向上した密着性を得やすくすることを目的として珪素化合物溶液の微粒子積層膜への浸透性を高くすることを考慮した当業者が、引用文献２に記載された、液体の浸透性を高めるために、表面張力を低い傾向として、浸透性を高める、ハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）系溶媒、ハイドロフルオロカーボン (ＨＦＣ)系溶媒、あるいはパーフルオロフルオロカーボン（ＰＦＣ）系溶媒を液体の溶媒として用いる技術を採用して、珪素化合物溶液が、低表面張力成分として、ハイドロフルオロエーテル (ＨＦＥ)系、ハイドロフルオロカーボン (ＨＦＣ)系、及びパーフルオロフルオロカーボン（ＰＦＣ）系のフッ素系有機溶剤のうちのいずれかの溶剤を含んだ構成とすることは、容易になし得ることである。
イ　請求人の主張について
　請求人は、審判請求書「（ｃ）本願発明と引用発明との対比」欄において、「引用文献２に記載の発明においては、シリカ系皮膜に浸透させる溶液に上記のようなフッ素系有機溶剤を用いるのは機械強度向上効果を発揮させるためです（段落［００１８］）。具体的には、シリカ系被膜の硬化を促進するための触媒を含む被膜改善用液体の溶液中に、表面張力の低いフッ素系有機溶剤を含ませるものであり、被膜中においてポリシロキサンに残留するシラノール基との接触を促進する効果を期待するものであります。つまり、本願発明とは作用機構を異にし、シリカ系被膜それ自体の内部への浸透性を高めるためにフッ素系有機溶剤を用いるのであって、シリカ系被膜と基材との密着性を向上させることは記載も示唆もされていません。」、「引用文献２には、フッ素系有機溶剤を用いることでシリカ系被膜と基材との密着性を向上させることは記載も示唆もされていません。したがって、低表面張力成分として、ハイドロフルオロエーテル （ＨＦＥ）系、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）系、及びパーフルオロフルオロカーボン（ＰＦＣ）系のフッ素系有機溶剤のうちのいずれかの溶剤を珪素化合物溶液に含ませることで、固体基材との密着性の更なる向上を図ることは、引用文献１または２のいずれにも開示も示唆もなく、本発明は、引用文献からは予期できない効果を示します。」旨主張している。
　しかしながら、上記アのとおりであるから、請求人の主張を採用することはできない。
　そして、請求人が主張する「より低い屈折率が得られ、常温・常圧にて形成でき、固体基材との密着性に優れ、固体基材が微細構造を有しても該微細構造に追従し、その微細構造のもたらす拡散性や集光性などの幾何光学的な性能を損なうことがない」という本願発明の作用・効果は、引用例１の段落［００７２］に記載された効果であり、また、仮にその効果の程度も含め検討したとしても、引用例１，２の記載に基づいて当業者にとって予測可能な効果であるから、格別のこととは認められない。
ウ　よって、本願発明は、引用発明と引用例２に記載された発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
第７　まとめ
　以上のとおり、本願発明は、引用発明や引用例２に記載された技術に基づいて、本件出願の出願前にその発明が属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。