【誤訳訂正書】
【提出日】令和2年1月21日(2020.1.21)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＭＥＭＳジャイロスコープ用の二次ループであって、
二次質量と前記二次質量の運動を検出する複数の電極を備える二次要素と、
前記二次要素から前記二次質量の検出運動を表すアナログ検出信号を受信し、アナログ二次入力信号を提供するように構成されている二次アナログフロントエンド回路と、
前記アナログ二次入力信号を受信し、アナログ力フィードバック信号を提供するように構成されているデジタル二次ループ回路と、
前記アナログ力フィードバック信号を受信し、受信した前記アナログ力フィードバックを用いて前記二次質量の動きに対する減衰力を引き起こすように構成されているアナログバックエンド回路とを備え、
前記デジタル二次ループ回路は、
信号経路であり、機械的共振器の検出運動を表す前記アナログ二次入力信号を受け取り、前記ＭＥＭＳジャイロスコープが受ける角速度を示す出力信号を供給するように構成されている信号経路と、
前記アナログ二次入力信号を入力において受け取り、前記アナログ力フィードバック信号を出力するように構成されているデジタル力フィードバック回路とを備え、
前記デジタル力フィードバック回路は、
前記少なくとも１つの機械的共振器の共振周波数周辺の周波数において前記デジタル二次ループ回路の位相応答の微分が低減されるように、前記デジタル二次ループ回路の応答関数を調整することによって、前記二次ループの動作を安定化するように構成されており、
前記信号経路および前記デジタル力フィードバック回路は、
前記アナログ二次入力信号を入力において受け取り、前記アナログ二次入力信号をデジタル化二次信号にデジタル化するように構成されているアナログ−デジタル変換器と、
前記デジタル化二次信号を入力において受けとり、前記共振周波数において前記デジタル化二次信号に対する−９０度の位相シフトを引き起こし、出力において位相シフトデジタル化二次信号を提供するように構成されているデジタルローパス無限インパルス応答フィルタとを備え、
前記デジタル力フィードバック回路は、さらに、
前記位相シフトデジタル化二次信号を前記アナログ力フィードバック信号に変換するように構成されたデジタル−アナログ変換器を備える、
二次ループ。
【請求項２】
前記デジタル二次ループ回路は、前記ＭＥＭＳジャイロスコープの二次要素から受信した信号を増幅するように構成された前記二次アナログフロントエンド回路から前記アナログ二次入力信号を受信するように構成される、請求項１に記載の二次ループ。
【請求項３】
前記デジタル二次ループ回路は、中間アナログ増幅回路なしで前記ＭＥＭＳジャイロスコープの前記二次要素から前記アナログ二次入力信号を受信するように構成される、請求項１〜２のいずれか一項に記載の二次ループ。
【請求項４】
前記デジタルローパス無限インパルス応答フィルタのフィルタ係数は、前記デジタルローパス無限インパルス応答フィルタの公称周波数を、前記ＭＥＭＳジャイロスコープの前記機械的共振器の前記共振周波数と一致させるように調整されるように構成される、請求項１〜３のいずれか一項に記載の二次ループ。
【請求項５】
前記デジタル力フィードバック回路は、
前記位相シフトデジタル化二次信号の位相遅延をさらに調整するように構成された二次遅延補償回路と、
前記位相シフトデジタル化二次信号の振幅を制御するように構成された力フィードバック利得制御回路と
のうちの少なくとも一方をさらに備える、請求項１〜４のいずれか一項に記載の二次ループ。
【請求項６】
前記アナログ−デジタル変換器は、ノイズシェーピングオーバーサンプリングアナログ−デジタル変換器であり、
前記デジタル−アナログ変換器はノイズシェーピングオーバーサンプリングデジタル−アナログ変換器である、請求項１〜５のいずれか一項に記載の二次ループ。
【請求項７】
前記アナログ−デジタル変換器は、
離散時間シグマデルタアナログ−デジタル変換器、および
連続時間シグマデルタアナログ−デジタル変換器
のいずれか一方である、請求項６に記載の二次ループ。
【請求項８】
前記アナログ−デジタル変換器は、前記ＭＥＭＳジャイロスコープの前記機械的共振器の前記共振周波数において、前記変換器の量子化ノイズ伝達関数にノッチを有するように構成された三次アナログ−デジタル変換器である、請求項７に記載の二次ループ。
【請求項９】
前記デジタル二次ループ回路は、前記二次ループの動的応答を制御し、前記アナログバックエンド回路と前記二次アナログフロントエンド回路との間に生じる交差結合を補償するように構成された交差結合補償フィードバックループをさらに含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載の二次ループ。
【請求項１０】
前記デジタル二次ループ回路は、フィルタリングされたデジタル化一次信号から生成された少なくとも１つのデジタル復調信号を使用して、前記位相シフトデジタル化二次信号をダウンコンバートするように構成されるコヒーレント検出器回路をさらに備える、請求項１〜８のいずれか一項に記載の二次ループ。
【請求項１１】
前記デジタル二次ループ回路は、直交補償制御回路であって、前記コヒーレント検出器回路によって供給される前記二次信号の直交成分を積分し、前記直交補償制御回路の出力において、積分された直交成分信号を供給するように構成されている、直交補償制御回路と、
前記積分された直交成分信号を、前記アナログ直交補償信号を、前記二次要素に向けて
供給するためにアナログバックエンド回路に提供するのに適したアナログ直交位相補償信号に変換するように構成されている、第２のデジタル−アナログ変換器と
をさらに備える、請求項１０に記載の二次ループ。
【請求項１２】
前記デジタル二次ループ回路は、前記ＭＥＭＳジャイロスコープの駆動ＡＣ信号に対応する一次オフセット補償信号を受信するように構成されており、前記デジタル二次ループ回路は、前記デジタル化二次信号内の一次ループ誘導オフセットを相殺するように構成されたオフセット補償回路をさらに備え、前記オフセット補償回路は、
前記一次オフセット補償信号に対して調整可能な時間遅延を生じさせるように構成されるデジタル遅延回路と、
前記デジタル遅延回路によって遅延された前記一次オフセット補償信号に温度依存較正係数を適用する乗算器回路と、
前記デジタル二次ループ回路内に配置されている加算回路であって、前記加算回路は、前記デジタル化二次信号から前記一次オフセット補償信号を減算するように構成されている、加算回路と
を備える、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の二次ループ。
【請求項１３】
前記二次ループのすべてのデジタル回路は、同じサンプリングレートを使用するように構成される、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の二次ループ。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の二次ループを備える、微小電気機械ジャイロスコープ用のデジタルコントローラ。
【請求項１５】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の二次ループを備える、微小電気機械ジャイロスコープ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
第１の態様によれば、ＭＥＭＳジャイロスコープ用の二次センスループが提供される。二次センスループは、少なくとも１つの機械的共振器を備える二次要素と、アナログフロントエンド回路と、デジタル二次ループ回路と、アナログバックエンド回路と、を備える。デジタル二次ループ回路は、信号経路を備え、信号経路は、機械的共振器の検出運動を表すアナログ二次入力信号を信号経路の入力において受け取り、上記ＭＥＭＳジャイロスコープが受ける角速度を示す出力信号を信号経路の出力において供給し、上記信号経路は、アナログ二次入力信号をデジタル化二次信号にデジタル化するように構成されたアナログ−デジタル変換器を備える。デジタル二次ループ回路は、二次センスループの応答関数を調整するように構成された閉力フィードバックループの動作を制御するデジタル力フィードバック回路をさらに備え、上記デジタル力フィードバック回路は、アナログ−デジタル変換器と、デジタルローパス無限インパルス応答フィルタであって、ＭＥＭＳジャイロスコープの機械的共振器の共振周波数においてデジタル化二次信号に対する−９０度の位相シフトを引き起こし、デジタルローパス無限インパルス応答フィルタの出力において、位相シフトデジタル化二次信号を提供すように構成されている、デジタルローパス無限インパルス応答フィルタと、位相シフトデジタル化二次信号を、ＭＥＭＳジャイロスコープの二次要素に向けてフィードバックされるアナログ力フィードバック信号に変換するように構成されたデジタル−アナログ変換器とを備える。