(57)【要約】【課題】容易に被ハンドリング体の向きを変えることができ、利便性の高いハンドリング装置を提供すること。【解決手段】一対のアームと、各アームの先端側にそれぞれ設けられた被ハンドリング体を挟持する挟持部と、挟持部間の距離が接近あるいは離間するよう一対のアームを可動操作する可動操作部と、を備えたハンドリング装置であって、各挟持部が設けられた各アームの先端側がそれぞれアーム本体側に対して屈曲可動可能なよう、各アームを形成した。【選択図】図１
0003135359.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
一対のアームと、各アームの先端側にそれぞれ設けられた被ハンドリング体を挟持する挟持部と、前記挟持部間の距離が接近あるいは離間するよう前記一対のアームを可動操作する可動操作部と、を備えたハンドリング装置であって、
前記各挟持部が設けられた前記各アームの先端側がそれぞれアーム本体側に対して屈曲可動可能なよう、前記各アームを形成した、
ことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項２】
前記各挟持部が設けられた前記各アームの先端側が、一対のアームが位置する面に対して少なくとも９０度以上屈曲可動可能なよう、前記各アームを形成した、
ことを特徴とする請求項１記載のハンドリング装置。
【請求項３】
前記各アームは、屈曲箇所にて相互に回動可能に軸支された、前記アーム本体側に位置するアーム本体部と、前記挟持部が設けられた回動部と、をそれぞれ備えると共に、
前記アーム本体部と前記回動部との相互間に引張り力を付勢する引張り力付勢部材を各アームに設けた、
ことを特徴とする請求項１又は２記載のハンドリング装置。
【請求項４】
少なくとも一方の前記アームに、当該アームを構成する前記アーム本体部に対する前記回動部の位置を固定するアーム固定手段を備えた、
ことを特徴とする請求項３記載のハンドリング装置。
【請求項５】
少なくとも一方の前記アームに、当該アームを構成する前記回動部に連結すると共に当該回動部から突出し、外部から操作することによって当該回動部に屈曲させる力を付勢することが可能な屈曲操作部を備えた、
ことを特徴とする請求項３又は４記載のハンドリング装置。
【請求項６】
前記可動操作部は、前記各アームにそれぞれ連結し一対のアームを可動する一対のレバー部と、この一対のレバー部の相互間の相対位置を固定する固定手段と、を備えた、
ことを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載のハンドリング装置。
【請求項７】
前記可動操作部は、前記各アームにそれぞれ連結し当該各アームを可動する一対のレバー部を備え、
一方のアームに連結する一方のレバー部に、前記一方のアームを固定装備可能であり他方のアームに対する距離が異なる複数の固定装着箇所を形成した、
ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記載のハンドリング装置。
【請求項８】
前記一対のアームの間に位置する前記固定装着箇所に、当該一対のアームにて挟持される前記被ハンドリング体の周囲の一部が当接する支持部材を設けた、
ことを特徴とする請求項７記載のハンドリング装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ハンドリング装置にかかり、特に、フォトマスク基板等の板状部材を教示して搬送する際に用いるハンドリング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体プロセスで使用されるフォトマスク用ガラス基板は、透明基板上に微細加工された遮光膜パターンが形成されたものが代表的である。そして、半導体プロセスにおいて、フォトマスク用ガラス基板は、遮光膜を成膜する成膜装置、遮光膜上にレジストを塗布する塗布装置、レジスト膜にパターン描画を施す描画装置、レジストを現像する現像装置、遮光膜をエッチングするエッチング装置、洗浄装置、各種検査装置など、多数の装置を経由する。このとき、各装置は、処理部へ移送するための移送手段（ローダー）を備えているのが一般的であるが、装置どうしを連結する連結移送手段を備えていない場合がある。かかる場合には、作業者が、ハンドリング治具を用いてフォトマスク用ガラス基板を保持して移動させ、各装置の移送手段に配置している。また、フォトマスク用ガラス基板がケースなどに収納されている場合には、かかるケースから取り出す際にもハンドリング治具が用いられる。
【０００３】
そして、上記フォトマスク用ガラス基板は、例えば、縦寸法×横寸法×厚さが、約１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×７ｍｍであり、重量が約３００ｇである。このフォトマスク基板を、ハンドリング治具を用いて保持し移動させる際、通常、作業者は、フォトマスク基板が保持されたハンドリング治具を片手で持つこととなる。また、保持されたフォトマスク基板を移送手段に配置する際には、フォトマスク基板を位置決めする必要があり、ハンドリング治具は、被ハンドリング体を保持した状態において、操作性に優れている必要がある。以上のことから、様々なハンドリング治具が開発されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、略正方形のフォトマスク基板の端面を、２本のアームにて幅方向に挟持するハンドリング治具が開示されている。このハンドリング治具は、各アームの先端に、アームの長手方向に対して垂直な溝を有する保持部を備えている。これにより、アームの長手方向に対して垂直に、つまり、保持部の溝に沿ってフォトマスク基板といった被ハンドリング体を保持して、搬送することができる。また、特許文献２には、アームが途中で湾曲して形成されたハンドリング治具が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１０８１５６号公報
【特許文献２】特開２０００−１７４１０７号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献に開示のハンドリング装置では、水平な平面上に載置されている状態の被ハンドリング体を保持したり、あるいは、保持している被ハンドリング体を水平な平面上に載置する場合に特に適しているものの、保持した状態から搬送する際に被ハンドリング体の向きを変える場合には、被ハンドリング体を保持した状態でハンドリング治具の向きを変えなければならない。例えば、ケースなどに収容されていて、垂直状態に位置している被ハンドリング体を取り出した後に、水平面上に載置するような場合には、作業者がハンドリング治具を把持している手をひねって治具自体の向きを変えることで被ハンドリング体の向きを変える必要がある。すると、操作に手間がかかると共に、かかる操作によって被ハンドリング体の把持状態が変化するため、被ハンドリング体の載置時の位置のずれや、治具からの脱落、といった問題が生じる。
【０００７】
このため、本考案では、容易に被ハンドリング体の向きを変えることができ、利便性の高いハンドリング装置を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで、本考案の一形態は、
一対のアームと、各アームの先端側にそれぞれ設けられた被ハンドリング体を挟持する挟持部と、挟持部間の距離が接近あるいは離間するよう一対のアームを可動操作する可動操作部と、を備えたハンドリング装置であって、各挟持部が設けられた各アームの先端側がそれぞれアーム本体側に対して屈曲可動可能なよう、各アームを形成した、という構成を採っている。そして、本考案では、特に、各挟持部が設けられた各アームの先端側が、一対のアームが位置する面に対して少なくとも９０度以上屈曲可動可能なよう、各アームを形成した、という構成を採る。
【０００９】
上記構成のハンドリング装置によると、まず、可動操作部を操作することで一対のアームを可動し、各アームの先端側に設けられた各挟持部を近接させることで、被ハンドリング体を挟持する。これにより、ハンドリング装置にて被ハンドリング体を保持して搬送することができる。そして、搬送先などにおいて各アームの先端側を屈曲可動することで、挟持部間で挟持している被ハンドリング体の向きを変えることができる。例えば、被ハンドリング体の向きを、水平状態から当該水平に対して垂直状態に、あるいは、水平に対して垂直状態から水平状態にと、容易に９０度変えることができる。従って、作業者の利便性の向上、及び、被ハンドリング体に対する作業効率の向上を図ることができる。
【００１０】
また、本考案では、上記各アームは、屈曲箇所にて相互に回動可能に軸支された、アーム本体側に位置するアーム本体部と、挟持部が設けられた回動部と、をそれぞれ備えると共に、アーム本体部と回動部との相互間に引張り力を付勢する引張り力付勢部材を各アームに設けた、という構成を採る。これにより、アームの先端側を屈曲させる際に、挟持部が設けられた回動部が引張り力付勢部材にてアーム本体側に引張られ、これにより、回動部が軸支箇所を支点に回動する。従って、アームの屈曲可動動作が円滑となる。
【００１１】
また、本考案では、少なくとも一方のアームに、当該アームを構成するアーム本体部に対する回動部の位置を固定するアーム固定手段を備えた、という構成を採る。これにより、アームを屈曲させていない状態、あるいは、屈曲させた状態で固定することができ、被ハンドリング体の挟持、搬送、開放などの操作の安定化を図ることができる。
【００１２】
また、本考案では、少なくとも一方のアームに、当該アームを構成する回動部に連結すると共に当該回動部から突出し、外部から操作することによって当該回動部に屈曲させる力を付勢することが可能な屈曲操作部を備えた、という構成を採る。これにより、アームから突出して回動部に連結している屈曲操作部を操作することで、容易にアームを屈曲させることができ、屈曲操作が容易となる。
【００１３】
また、本考案では、可動操作部は、各アームにそれぞれ連結し一対のアームを可動する一対のレバー部と、この一対のレバー部の相互間の相対位置を固定する固定手段と、を備えた、という構成を採る。これにより、固定手段にて一対のレバー部の相互間の位置を固定することで、連結している各アームの先端側、つまり、挟持部間の距離が固定される。従って、アームによる被ハンドリング体の挟持状態を安定させることができ、アームの先端側を曲折させる操作を安定かつ容易に行うことができる。
【００１４】
さらに、本考案では、可動操作部は、各アームにそれぞれ連結し当該各アームを可動する一対のレバー部を備え、一方のアームに連結する一方のレバー部に、一方のアームを固定装備可能であり他方のアームに対する距離が異なる複数の固定装着箇所を形成した、という構成を採る。このとき、一対のアームの間に位置する固定装着箇所に、当該一対のアームにて挟持される被ハンドリング体の周囲の一部が当接する支持部材を設けた、という構成を採る。これにより、複数設けられた固定装着箇所のうち１箇所に一方のアームを固定することで、一対のアーム間の基本的な距離を変化させることができ、あらゆる大きさの基板に対応することができる。また、一対のアーム間に位置する空いた固定装着箇所に、被ハンドリング体が当接する支持部材を装備することで、ハンドリング時の被ハンドリング体をアーム以外で支持することができ、挟持状態の安定化を図ることができる。
【考案の効果】
【００１５】
本考案は、以上のように構成されているため、これによると、保持している被ハンドリング体の向きを容易に変えることができ、作業者の利便性の向上、及び、被ハンドリング体に対する作業効率の向上を図ることができる、という従来にない優れた効果を有する。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１６】
本考案のハンドリング装置は、被ハンドリング体を保持するアームの先端側が屈曲可能に形成されており、これにより、被ハンドリング体の向きを変えることができる、という点に特徴を有する。以下、ハンドリング装置の具体的な構成及び動作を実施例にて説明する。なお、実施例では、被ハンドリング体の一例としてフォトマスク用ガラス基板（以下、「フォトマスク基板」と呼ぶ）を挙げて説明するが、被ハンドリング体はこれに限定されず、シリコンウエハなど他の部材であってもよい。
【実施例１】
【００１７】
本考案の第１の実施例を、図１乃至図５を参照して説明する。図１乃至２は、ハンドリング装置を示す斜視図である。図３乃至図４は、ハンドリング装置の正面図であり、図５は図４の左側面図を示す。
【００１８】
［構成］
図１、図３に示すように、本実施例におけるハンドリング装置は、棒状部材の組み合わせにて構成されている。具体的には、主に、略直線状のベース部材３と、このベース部材３の先端側に固定装着される第一のアーム１と、ベース部材３に交差して相互に軸支された第二のアーム部材２と、を備えている。以下、詳述する。
【００１９】
ベース部材３は、保持対象となるフォトマスク基板５の一辺よりも長い直線状の角棒部材にて形成されている。そして、ベース部材３の一面には、そのほぼ中央付近から一端側（図３で左端部側）にかけて、任意の間隔で複数の凹部３１（固定装着箇所）が形成されている。これら凹部３１は、角棒部材であるベース部材３の一辺（図３で下側の面）上に、長手方向に垂直な方向に沿って略コ字状の溝を彫ることで形成されている。また、これら凹部３１の底面（図３では上側の面）には、反対側に貫通するねじ穴がそれぞれ形成されている。これにより、凹部３１には、後述するように第一のアーム１を構成する第一アーム本体部１１の端部が嵌合してねじ止め可能となる。特に、ベース部材３の一端側に近い凹部３１には第一アーム本体部１１が装着され、それ以外の凹部３１、つまり、第一のアーム１と第二のアーム２との間に位置する凹部３１には、当該凹部３１から少しだけ突出する略直方体形状の突出片３２（支持部材）がねじ止めされて固定装着される。なお、この突出片３２は、後述するように、ハンドリング装置にて保持するフォトマスク基板５の周囲の一部に当接して、保持状態を安定させる機能を有する（図３参照）。
【００２０】
また、ベース部材３の中央よりも他端側（図３で右端部側）には、第二のアーム部材２がほぼ直交して軸支されている。なお、この軸支部分は、ベース部材３及び第二のアーム部材２共に、その幅（厚さ）が半分に形成されており、相互に重ね合わせて軸支されている。そして、ベース部材３の軸支部分よりも他端側（図３で右端部側）は、作業者にて把持される第一のレバー部３０（一方のレバー部）として機能する。
【００２１】
また、第一のアーム１は、ベース部材３の先端付近に形成された凹部３１にほぼ直角に一端が固定装着された第一アーム本体部１１と、このアーム本体部１１の他端に回動可能に軸支された第一回動部１２と、により構成されている。具体的には、図１及び図３に示すように、第一アーム本体部１１と第一回動部１２とは、ほぼ同じ長さの角棒部材にて形成されており、一直線状に各端部で連結されている。このとき、第一アーム本体部１１及び第一回動部１２の各端部は、その厚さが相互に半分に形成されており、この厚みが薄く形成された部分が重なり合って軸支され、連結されている。これにより、この軸支箇所によって、第一回動部１２が第一アーム本体部１１に対して屈曲可能となっている。特に、ベース部材３と第一アーム本体部１１とによって形成される平面に対して少なくとも直角となる位置まで回動するよう軸支されている。さらに、第一アーム本体部１１と第一回動部１２との外側、つまり、第二のアーム２とは反対側に位置する面には、引張りバネ１５（引張り力付勢部材）が連結されており、第一アーム本体部１１と第一回動部１２との相互間に引張り力を付勢している。
【００２２】
また、第二のアーム２は、上述したようにベース部材３とほぼ直交して軸支された角棒部材のうち軸支部分よりも一端側（図３の下方側）に形成された第二アーム本体部２１と、この第二アーム本体部２１の一端に回動可能に軸支された第二回動部２２と、により構成されている。具体的には、図１及び図３に示すように、第二アーム本体部２１と第二回動部２２とはほぼ同じ長さに形成されており、一直線状に各端部で連結されている。このとき、上述した第一のアーム１と同様に、各部材２１，２２の端部は、その厚さが相互に半分に形成されており、この厚みが薄く形成された部分が重なり合って軸支さえることで、連結されている。これにより、この軸支箇所によって、第二回動部２２が第二アーム本体部２１に対して屈曲可能となっている。特に、ベース部材３と第二アーム本体部２１とによって形成される平面、つまり、上述した第一及び第二アーム１，２とが位置する平面に対して、少なくとも直角となる位置まで回動するよう軸支されている。さらに、第二アーム本体部２１と第二回動部２２との外側に位置する面には、引張りバネ引張りバネ２５（引張り力付勢部材）が連結されており、第二アーム本体部２１と第二回動部２２との相互間に引張り力を付勢している。
【００２３】
また、第二のアーム２の屈曲部分、つまり、第二アーム本体部２１と第二回動部２２との軸支部分は、アーム固定ネジ２４（アーム固定手段）にて軸支されており、締め付け可能なよう構成されている。このとき、アーム固定ネジ２４の頭の部分、つまり、アーム２の屈曲部分から突出した部分は、径が大きく形成されていて、作業者が回して締め付ける作業が容易となるよう構成されている。さらに、第二のアーム２の第二回動部２２には、その外側つまり第一のアーム１とは反対側に突出する突出部２６（屈曲操作部）が設けられている。具体的に、突出部２６は、略長方形状の板状部材にて形成されており、その約半分が第二回動部２２の一面に当接してネジ止めされ、残りの半分が第二回動部２２から突出している。これにより、まず、第二回動部２２を回動させたい方向に作業者が突出部２６を押すなど操作することで、第二回動部２２に回転力を付勢することができ、第二アーム本体部２１に対して回動させることができる。そして、特に、上記回動操作を上記ネジ２４をある程度締め付けた状態で行うことで、回動後の第二回動部２２と第二アーム本体部２１との相対位置関係を固定することができる。
【００２４】
さらに、第二のアーム２のベース部材３との軸支箇所に対して反対側の他端側（図３の上側）は、ほぼ直角に折れ曲がっており、ベース部材３の他端側である第一のレバー部３０とほぼ平行に位置する第二のレバー部２０を形成している。そして、これら第一及び第二のレバー部３０，２０の端部付近における相互間には、圧縮ばね４０が介装されている。この圧縮ばね４０により、一対のレバー部３０，２０には常に離間しようとする力が作用している。また、一対のレバー部３０，２０の間には、一端が第一のレバー部３０に固定され、他端側が第二のレバー部２０と摺動自在に係合したガイド４（固定手段）が装備されている。このガイド４の他端側（第二のレバー部２０側）には長孔４１が形成されており、この長孔４１に第二のレバー部２０に装備されたネジ４２が挿通されている。これにより、長孔４１に沿って、第二のレバー部２０が第一のレバー部３０に対してベース部材３との軸支箇所を支点として回動する。そして、第二のレバー部２０に装備されたネジ４２を締めることで、第二のレバー部２０とガイド４とを固定することができる。これにより、第一のレバー部３０と第二のレバー部２０との相互間の相対位置を固定することができる。
【００２５】
そして、上述したように、第一のレバー部３０が形成されたベース部材３の一端側（図３の左側）に第一のアーム１が連結しており、また、第二のレバー部３０にはその一端側（図３の下側）に第二のアーム２が連結しているため、一対のレバー部３０，２０を開閉操作することで（図３の矢印Ｂ参照）、一対のアーム１，２を開閉可動させることができる（図３の矢印Ｃ参照）。具体的には、作業者が一対のレバー部３０，２０を握って相互間の距離を近づけることで、一対のアーム１，２の先端側の距離も近づく。このように、一対のレバー部３０，２０は、一対のアーム１，２の距離を接近あるいは離間させるよう可動操作する可動操作部として機能する。
【００２６】
さらに、上述したように可動する各アーム１，２の先端側の相互に対向する面には、フォトマスク基板５を挟持するために挟持部１３，２３がそれぞれ設けられている。この挟持部１３，２３は、略直方体にて形成されており、アーム１，２の先端の内側、つまり、相互に対向する位置に、各アーム１，２の回動部１２，２２にネジで固定されている。そして、各挟持部１３，２３の内側の面、つまり、対向面には、それぞれアーム１，２の長手方向に沿った凹状の溝部、具体的には略Ｖ時状の溝部が形成されており（図１及び図４参照）、後述するようにフォトマスク基板５が嵌合可能なよう構成されている。
【００２７】
［動作］
次に、上記構成のハンドリング装置の動作を説明する。まず、図３に示すように、ケース５０内に立てて収容されたフォトマスク基板５を取り出す場合を説明する。事前準備として、フォトマスク基板５の幅に対して一対のアーム１，２の距離がやや広くなるよう、第一のアーム１の位置を設定して、ベース部材３の所定の凹部３１に固定装着する。また、一対のアーム１，２の間に位置する凹部３１には突出片３２を固定装着する。
【００２８】
続いて、図１及び図３に示すように、各アーム１，２が屈曲せずにそれぞれ直線状に伸びている状態にして、第二のアーム２の屈曲部分に設けられたアーム固定ネジ２４を適度に締めておく。このとき、作業者はレバー部３０，２０を握らずに各レバー部３０，２０を離間させておくことで（図３の矢印Ｂ参照）、各アーム１，２の先端側に位置する挟持部１３，２３が開いた状態にする（図３の矢印Ｃ参照）。この状態で、ケース５０から約上半分が露出したフォトマスク基板５の両側端に沿ってそれぞれ各アーム１，２を位置させて、フォトマスク基板５の上端が突出片３２に当接するまでアーム１，２の位置を下方向に移動する。
【００２９】
その後、作業者が一対のレバー部３０，２０を握って圧縮ばね４０の反発力に抗してレバー部３０，２０間の距離を近づけることで（図３の矢印Ｂ）、これに連動して一対のアーム１，２の先端側に位置する挟持部１３，２３が相互に近づく（図３の矢印Ｃ）。すると、両挟持部１３，２３の内側に形成された溝にフォトマスク基板５の両側端が嵌合し、当該フォトマスク基板５を両側端にて挟持することができる。これにより、ハンドリング装置を持ち上げることで、挟持しているフォトマスク基板５をケース５０から取り出すことができ、所定の場所に搬送することができる。このとき、フォトマスク基板５の上端は突出片３２に当接しているため、保持状態が安定する。さらに、このとき、第二のレバー部２０に設けられたネジ４２を締めて、第二のレバー部２０とガイド４とを固定することで、一対のレバー部３０，２０間の距離が固定され、作業者が一対のレバー部３０，２０を握る力を弱めても一対のアーム１，２が開くことなく、さらに安定してフォトマスク基板５を保持することができる。
【００３０】
続いて、フォトマスク基板５を水平に載置させる場合を説明する。まず、第二のアーム２の屈曲部分に設けられたアーム固定ネジ２４がゆるい場合には、適度に締めておく。その後、作業者が、第二のアーム２の第二回動部２２から突出する突出部２６を図３の紙面手前方向に向かって移動するよう操作することで、各アーム１，２の各回動部１２，２２が紙面手前方向に向かって回動する。つまり、各アーム１，２の先端側が図１の矢印Ａに示すように、アーム本体部１１，１２に対して９０度の角度を成すまで回動する（図２参照）。なお、アーム２の回動操作を、作業者がアーム固定ネジ２４の頭を回すことで行ってもよい。このとき、回動部１２，２２はアーム本体部１１，１２に対してアーム固定ネジ２４で締められているため、回動しにくい状態であるが、回動部１２，２２は、アーム本体部１１，１２に向かって引張りバネ１５，２５にて引張られているため、多少は円滑に回動する。一方で、アーム本体部１１，１２と回動部１２，２２とはアーム固定ネジ２４にて締められているため、これらの相対角度が９０度になった後もかかる状態が固定される。必要であれば、アーム１，２を屈曲させたのちに、さらにアーム固定ネジ２４を締めてもよい。すると、図４及び図５に示すように、フォトマスク基板５を安定して水平に位置させることができる。なお、図４は、各回動部１２，２２を回転させた後のハンドリング装置を正面から見た図であり、図５は、図４の左側面図である。
【００３１】
その後、水平状態のフォトマスク基板５を所望の位置に搬送して載置し、第二のレバー部２０とガイド４とを固定するネジ４２を緩め、一対のレバー部３０，２０の距離を離間させる。すると、一対のアーム１，２の先端側も開くため、フォトマスク基板５の挟持状態を解除することができ、これにより、フォトマスク基板５の搬送が完了する。
【００３２】
以上により、本実施例におけるハンドリング装置によると、被ハンドリング体の向きを、簡易な操作で、かつ、安定した保持状態にて、水平状態から当該水平に対して垂直状態に、あるいは、水平に対して垂直状態から水平状態にと、９０度変えることができる。従って、作業者の利便性の向上、及び、被ハンドリング体に対する作業効率の向上を図ることができる。
【実施例２】
【００３３】
次に、本考案の第２の実施例を、図６を参照して説明する。図６は、実施例２におけるハンドリング装置の構成を示す斜視図である。
【００３４】
本実施例におけるハンドリング装置は、上記実施例１に開示したものとほぼ同様の構成を採っており、一対のアーム１，２を屈曲させる力を付勢するための構造が若干異なる。具体的には、図６に示すように、第二のアーム２は、第二アーム本体部２１と、当該第二アーム本体部２１の一端に回動可能に軸支された第二回動部２２と、により構成されている。そして、これらを回動可能に軸支するアーム固定ネジ２４’のアーム２から突出した部分は、棒状部材がほぼ直角に曲折してＬ字状に形成されている。なお、アーム固定ネジ２４’は、実施例１のものと同様に、第二アーム本体部２１と第二回動部２２とを締め付け可能なよう軸支しており、締め付けることで、回動後の第二回動部２２と第二アーム本体部２１との相対位置関係を固定する機能を有する（アーム固定手段）。また、アーム固定ネジ’２４’は、回動部２２に連結しており、アーム２から突出したＬ字状部分を第二回動部２２を回動させたい方向に作業者が押すなど操作することで、当該第二回動部２２に回転力を付勢することができ、第二アーム本体部２１に対して回動させる機能を有する（屈曲操作部）。つまり、作業者は、一方の手で一対のレバー部２０，３０を把持して、一対のアーム１，２間でフォトマスク基板５を挟持した状態で、他方の手でアーム固定ネジ２４’のＬ字状部分を回転操作することで、一対のアーム１，２の先端側を回動させてフォトマスク基板５の姿勢を変化させることができる。このとき、アーム固定ネジ２４’の締め付け力によって適度にアーム２の姿勢が固定されうる。
【００３５】
なお、上記実施例にて説明したハンドリング装置の構成は一例であって、本考案におけるハンドリング装置は、他の構成を採っていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本考案であるハンドリング装置は、フォトマスク基板等の各種基板を搬送する場合に利用することができ、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】実施例１におけるハンドリング装置の構成を示す斜視図である。
【図２】実施例１におけるハンドリング装置の構成を示す斜視図であり、アームの先端側を屈曲させたときの様子を示す。
【図３】実施例１におけるハンドリング装置の構成を示す正面図である。
【図４】実施例１におけるハンドリング装置の構成を示す正面図であり、アームの先端側を屈曲させたときの様子を示す。
【図５】図４の左側面図を示す。
【図６】実施例２におけるハンドリング装置の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３８】
１，２  アーム
３  ベース部材
４  ガイド
１１，２１  アーム本体部
１２，２２  回動部
１３，２３  挟持部
２４，２４’  アーム固定ネジ
２０，３０  レバー部
【図１】
0003135359.tif 000003
【図２】
0003135359.tif 000004
【図３】
0003135359.tif 000005
【図４】
0003135359.tif 000006
【図５】
0003135359.tif 000007
【図６】
0003135359.tif 000008