【事件の表示】
　特願２０１０−２０４２９３「基板処理システム、基板処理装置、データ処理方法およびプログラム」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　３月２２日出願公開、特開２０１２−　６００５９、請求項の数（９）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２２年９月１３日の出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。
　平成２６年　５月　１日　拒絶理由通知
　平成２６年　７月　７日　意見書・手続補正書
　平成２７年　１月２６日　拒絶査定
　平成２７年　４月　９日　審判請求・手続補正書
　平成２８年　４月１８日　補正の却下の決定（当審）
　　　　　　　（平成２７年　４月　９日付けの手続補正を却下する旨の決定）
　平成２８年　４月１８日　拒絶理由通知（当審）
　平成２８年　６月１６日　意見書・手続補正書
第２　本願発明
　本願の請求項１ないし９に係る発明は、平成２８年６月１６日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし９に記載される事項により特定されるとおりであって、そのうち請求項２に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりのものと認める。
　「【請求項２】
 　基板を処理する基板処理装置であって、
 　少なくとも前記基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、
 　複数の前記モニタデータから選択された１つの前記モニタデータについて、少なくとも最大値、平均値、最小値の３つの算出データを有するパッケージデータを生成する際に、取得した前記モニタデータと直前の最大値とを比較する処理と、取得した前記モニタデータと直前の最小値とを比較する処理と、取得した前記モニタデータを直前までのモニタデータの積算値に積算する処理と、前記モニタデータを取得する所定周期が経過したかどうかを判定する処理と、前記積算値に基づいて平均値を算出する処理とを行い、前記パッケージデータを生成し、
 　前記パッケージデータを群管理装置に送信する際、前記パッケージデータが揃っているか判定する処理と、前記パッケージデータのデータ抜けを補填する処理と、前記パッケージデータの前記平均値をバックアップする処理とを行うように構成されており、前記パッケージデータに含まれる最大値、平均値、最小値のうち少なくとも一部が抜けている場合には、前記バックアップされた平均値で補填し、データ抜けの無い前記パッケージデータに更新して、前記群管理装置に送信することを特徴とする基板処理装置。」
第３　原査定の理由について
１　原査定の理由の概要
　原査定の理由の概要は、次のとおりである。
　「この出願については、平成２６年５月１日付け拒絶理由通知書に記載した理由によって、拒絶をすべきものです。
……（中略）……
　しかしながら、最大値／最小値を求める手段として直前の最大値／最小値と比較するものや、平均値を求める手段として所定期間の積算値に基づいて平均値を算出するものは、いずれも技術分野を問わず周知かつ慣用の技術であり（必要であれば、前者については下記文献５（段落［００５０］、［００５１］等）〜６（段落［００１９］等））を、後者については下記文献７（段落［００２９］等）〜８（段落［００４７］等）をそれぞれ参照。）、当該技術を先記引用文献１〜４からなる基板処理システムにおけるモニタデータの最大値、平均値、最小値を生成する手段として用いることは、当業者が適宜設計する事項にすぎないものである。
……（中略）……
　したがって、請求項１〜１１に係る発明は、依然として引用文献１〜４の記載及び周知慣用技術（引用文献５〜８の記載等）に基づき当業者が容易に想到し得たものである。
＜引用文献等一覧＞
　１．特開２００９−２９０１５８号公報
　２．特開２００８−３４７６９号公報
　３．特開２００７−３２４３１６号公報
　４．特許第４０４４４４３号公報
　５．（周知技術）特開２００９−２１６６６３号公報
　６．（周知技術）特開２００１−３３４９５号公報
　７．（周知技術）特開平７−９８５８３号公報
　８．（周知技術）特開２００９−１５６２０６号公報」
　また、平成２６年５月１日付け拒絶理由通知の概要は、次のとおりである。
　「この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　記　　　（引用文献等については引用文献等一覧参照）
１．請求項１〜３／引用文献１〜４
　基板処理装置側においてモニタデータの最大値、平均値、最小値等を生成して管理装置側に送信する構成は、引用文献３（段落【００３７】〜【００４０】、図１等）や４（段落【００２６】、【００２８】等）にも記載されているように周知技術であり、該技術を、引用文献１（段落【０００２】等）や２（段落【００４３】〜【００５８】、【０１３０】〜【０１３２】、図３等）に記載されている基板処理装置と群管理装置とを備えた基板処理システムに適用することは、当業者であれば容易に想到しうるものである。
　　　　　　　　　　　引　用　文　献　等　一　覧
　１．特開２００９−２９０１５８号公報
　２．特開２００８−３４７６９号公報
　３．特開２００７−３２４３１６号公報
　４．特許第４０４４４４３号公報」
２　原査定の理由についての当審の判断
（１）引用文献１ないし８の記載事項及び引用発明
　ア　引用文献１の記載事項及び引用発明
（ア）引用文献１の記載事項
　原査定の理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開２００９−２９０１５８号公報（以下「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。（当審注．下線は、参考のために、当審において付したものである。以下において同じ。）
　「【技術分野】
【０００１】
  本発明は、
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置とデータ交換可能なように接続される群管理装置と、を備える基板処理システム
【背景技術】
【０００２】
  
基板を処理する基板処理装置内には、温度、ガス流量、圧力その他基板処理装置の状態を示すデータの発生箇所（例えば温度センサ、ガス流量計、圧力計など、以下データ発生箇所と呼ぶ）が多数存在する。
各基板処理装置とデータ交換可能なように接続された群管理装置（上位管理装置）
群管理装置は、基板処理装置から温度、ガス流量、圧力等の各種データを受信し、受信したデータに時刻を付し（タイムスタンプを付し）、かかる時刻に基づいてグラフ等を作成して群管理装置の操作画面に表示していた。
（イ）引用発明
　上記（ア）の引用文献１の記載と当該技術分野における技術常識より、引用文献１には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　「基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置とデータ交換可能なように接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
　前記基板処理装置内には、温度、ガス流量、圧力その他基板処理装置の状態を示すデータの発生箇所である温度センサ、ガス流量計、圧力計が多数存在し、
　前記群管理装置は、前記基板処理装置から温度、ガス流量、圧力等の各種データを受信し、受信したデータに時刻を付し、かかる時刻に基づいてグラフ等を作成して群管理装置の操作画面に表示する、
　基板処理システム。」
　イ　引用文献２の記載事項
　原査定の理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開２００８−３４７６９号公報（以下「引用文献２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００４３】
  図３は、本実施の形態における
群管理システム
【００４４】
  
製造装置１１は、
測定部１１０６、元情報蓄積部１１０７、元情報送信部１１０８を具備する。
【００４５】
  
サーバ装置１２は、測定情報格納部１２０１、元情報受信部１２０２、測定情報取得部１２０３、測定情報蓄積部１２０４
を具備する。
【００４６】
  測定情報取得部１２０３は、第一測定情報取得手段１２０３１と、有効時間内測定情報取得手段１２０３２とを具備する。
【００４７】
  クライアント装置１３は、指示入力部１３０１、指示送付部１３０２、受付部１３０３、表示部１３０４を具備する。
【００４８】
  入力受付部１１０１は、製造装置１１のユーザから各種の入力を受け付ける。各種の入力とは、例えば、レシピや、レシピを識別するレシピ識別子や、ウエハに対する加工処理等の処理の実行指示などである。ユーザから各種の入力の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。入力受付部１１０１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００４９】
  レシピ格納部１１０２は、製造装置１１を制御するために使用されるレシピを格納している。レシピとは、製造装置１１が実行する所定のプロセスに関する情報であり、通常、プロセスを構成する複数の手順や、その手順におけるプロセスパラメータ等を設定する情報を含む。レシピを構成する各手順は、通常、レシピステップ、あるいはステップと呼ばれる。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名、値を含む。カテゴリー名とは、プロセスパラメータの種類を示す名称であり、例えば、「温度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピード」などである。アイテム名は、プロセスパラメータの属性を示す名称であり、例えば、「上下速度」「回転速度」などである。パラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり、例えば、「Ｃ」「Ａ」などである。値は、プロセスパラメータという変数に与える値である。通常、レシピは、レシピを識別するレシピ識別子（例えば、レシピ名）と対に格納されている。また、レシピは、当該レシピを構成するレシピステップの識別子であるレシピステップ識別子とともにレシピ格納部１１０２に格納されている。レシピステップ識別子は、例えば、レシピステップの名称や、識別番号等である。レシピ格納部１１０２は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００５０】
  製造装置識別子格納部１１０３は、製造装置１１を識別する製造装置識別子を格納している。製造装置識別子は、各製造装置１１を識別できる情報であればよく、例えば、装置名や、型番、製造番号や、各製造装置１１に設定された識別番号や名称等であってもよい。この製造装置識別子は、入力受付部１１０１が受け付けた情報でも良いし、製造装置出荷時に予め格納した情報でも良い。製造装置識別子格納部１１０３は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００５１】
  計時部１１０４は、時を計測する。計時部１１０４は、時を計測した結果得られた時刻を示す情報を、測定部１１０６に出力する。ここで述べる時刻を示す情報は、年月日等の情報を含んでいていてもよい。計時部１１０４が計時する時間は、絶対時間であっても良く、相対時間であっても良い。計時部１１０４は、例えば時計等で実現される。
【００５２】
  処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって、被処理基板に対する所定のプロセスを行う。処理部１１０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。処理部１１０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５３】
  
測定部１１０６は、製造装置１１内の温度や、ガス流量や、圧力、製造装置１１の電力などを測定し、チャート化等の対象となる測定情報の元になる情報である元情報を取得する。元情報は、測定した温度などの情報である。測定部１１０６は、例えば、定期、あるいは不定期の所定の時間間隔で測定を行う。
【００５４】
  
元情報蓄積部１１０７は、測定部１１０６が取得した元情報を、図示しない記録媒体に蓄積する。
【００５５】
  
元情報送信部１１０８は、元情報蓄積部１１０７が蓄積した元情報を、サーバ装置１２に送信する。
【００５６】
  
測定情報格納部１２０１は、複数の測定情報を格納し得る。複数の測定情報は、１以上の製造装置１１で測定された一種以上の情報（例えば、温度や圧力）についての時系列の情報であり、製造装置で所定のプロセスを実行した場合の測定値と時刻を示す時刻情報を有する情報である。
【００５７】
  
元情報受信部１２０２は、複数の測定情報の元になる情報である元情報を１以上の製造装置１１から受信する。
【００５８】
  
測定情報蓄積部１２０４は、元情報受信部１２０１が受信した複数の元情報に応じた測定情報を測定情報格納部１２０１に蓄積する。この測定情報は、元情報受信部１２０２が受信した複数の元情報に対して、測定情報取得部１２０３が所定の演算を行い、取得された情報でも良い
所定の演算とは、例えば、所定の時間間隔ごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、
する演算である。
・・・
【０１３０】
  次に、出力情報構成部１２０６は、測定情報取得部１２０３が取得した図１１の情報と、異常検知部１２１０の判断結果を用いて、出力情報であるチャートを構成する。本チャートは、横軸が時刻情報の示す時刻、縦軸が値（ガス流量の平均値）である折れ線グラフである。
【０１３１】
  次に、出力部１２０７は、出力情報構成部１２０６が構成した折れ線グラフをクライアント装置１３に送信する。
【０１３２】
  クライアント装置１３の受付部１３０３は当該折れ線グラフを受信し、表示部１３０４は、図１２に示すように折れ線グラフをディスプレイに表示する。図１２において、正常範囲は、斜線で示している。」
　ウ　引用文献３の記載事項
　原査定の理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開２００７−３２４３１６号公報（以下「引用文献３」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００３５】本発明による情報処理装置等によれば、異なる設定値で行われた処理に関してそれぞれ半導体製造装置等から取得される値を、監視しやすくすることが可能となる。
・・・
【００３７】（実施の形態１）図１は、本実施の形態における半導体製造システムの構成を示すブロック図である。
半導体製造システムは、情報処理装置１００と、半導体製造装置２００とを具備する。
半導体製造装置２００が、熱処理を含む処理を行う熱処理装置であり、処理対象物が半導体ウエハである場合を例に挙げて説明する
ここでは、情報処理装置１００と半導体製造装置２００とは、情報の入出力が可能なように、インターネットやＬＡＮ等のネットワークや、専用の信号線等により接続されている。
【００３８】
情報処理装置１００は、
状態値受付部１０２、
を具備する。
・・・
【００４０】
状態値受付部１０２は、半導体製造装置２００の、処理時の状態に関して取得した値である状態値を受け付ける。「状態値」とは、ここでは、半導体製造装置２００が設定値に応じて処理を行っている際に取得した値である。「処理時の状態に関して取得した値」とは、取得可能な値であって、半導体製造装置２００の処理時の状態を示すことが可能な値であればどのような値であっても良い。具体的には、半導体製造装置２００自身や、半導体製造装置２００の内部環境から処理時に取得される測定値や、この測定値を用いて算出した算出値や、半導体製造装置２００が、処理時に内部で制御している値等である。例えば、状態値は、処理時における半導体製造装置２００の処理容器２１１内の所望の位置の温度を、温度センサ等を利用して測定した値や、処理圧力を、圧力計等を用いて測定した値や、電力計により測定したヒータの電力値や、これらの測定値の平均値や、最大値、最小値、標準偏差等である。
状態値は、１つの値であっても良いし、複数の値、例えば、時間の経過に沿って取得した複数の値であっても良いし、半導体製造装置がバッチ処理を行うごとに取得した値であっても良い。
・・・
【００５６】
半導体製造装置２００は、
処理状態値取得部２０３と、処理出力部２０４とを具備している。
・・・
【００５９】
処理状態値取得部２０３は、半導体製造装置２００の処理時の状態に関する値である状態値を取得する。この状態値は、通常は、上述した状態値受付部１０２が受け付けた状態値と同じ値である。状態値は、例えば、各温度検出部２４１が検出した温度の値、すなわち測定値や、各ヒータ２３１の電力値である。例えば、処理状態値取得部２０３は、処理対象物に対して所定の処理を行っている時に、温度検出部が温度を検出した結果として出力する信号から、この信号に対応した温度の値である状態値を取得する。また、処理状態値取得部２０３は、制御部２０２が制御するヒータ２３１の電力値である状態値を取得したり、図示しない電力計の電力検出値からヒータ２３１の電力値である状態値を取得してもよい。
【００６０】
処理出力部２０４は、処理状態値取得部２０３が取得した状態値を出力する。ここでは、例として、処理出力部２０４は、処理状態値取得部２０３が取得した状態値を、情報処理装置１００の状態値受付部１０２に対して送信する場合について説明する。
また、処理出力部２０４が出力した状態値が、情報処理装置１００内の図示しないメモリ等の記録媒体に蓄積されるようにしても良い。
・・・
【００６３】（ステップＳ２０２）
状態値受付部１０２は、半導体製造装置２００等が出力する複数の状態値を受け付ける。受け付けた状態値を図示しないメモリ等の記憶媒体に蓄積する。
・・・
【００６９】（ステップＳ２０８）補正部１０４は、Ｋ番目の状態値を取得する。ここでは、
状態値受付部１０２が、図示しないメモリ等に蓄積した状態値のうちの、半導体製造装置２００等によって取得された時刻が早いものから数えてＫ番目の状態値を取得する。
　エ　引用文献４の記載事項
　原査定の理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特許第４０４４４４３号公報（以下「引用文献４」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００２６】
  
装置情報としては，プロセスログ
トレースログ等の各種ログ
が例としてあげられる。プロセスログはロット毎の各種パラメータ，例えば，処理ガスの圧力値やＲＦ電力値の平均値，最大値，最小値等のプロセスデータである。
トレースログは１枚のウエハについての所定時間毎，例えば１秒毎のプロセスデータである。
・・・
【００２８】
  次に，本実施の形態のシステムを用いて半導体製造装置の遠隔保守を行う方法について図８を参照しながら詳細に説明する。図８は，本実施の形態のシステムの動作を示すフローチャートである。
各工場１０に設置されたクライアント１００のデータ収集部１１０は，ＬＡＮによって接続されている半導体製造装置のステータス情報を収集する（ステップＳ１０１）。ステータス情報には前述したように
装置情報が含まれる。
　オ　引用文献５の記載事項
　原査定の理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開２００９−２１６６６３号公報（以下「引用文献５」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００５０】
  ここで、実施例２の制御回路３８が実行する流量計測制御処理２について説明する。制御回路３８は図９に示すＳ２１で、ピックアップ３６のコイル３６ｂから出力された検出信号の最小電圧値Ｖｍｉｎ１を計測する。
この最小電圧値Ｖｍｉｎ１は、直前に検出された電圧値をメモリ３９に記憶し、この電圧値と比較して今回検出された電圧値が小さい場合に最小電圧値を更新し、直前に検出された電圧値と比較して今回検出された電圧値が大きい場合に、直前に検出された電圧値を最小電圧値Ｖｍｉｎ１とする
【００５１】
  続いて、Ｓ２２に進み、ピックアップ３６のコイル３６ｂから出力された検出信号の最大電圧値Ｖｍａｘを計測し、記憶する。
この最大電圧値Ｖｍａｘは、直前に検出された電圧値をメモリ３９に記憶し、この電圧値と比較して今回検出された電圧値が大きい場合に最大電圧値を更新し、直前に検出された電圧値と比較して今回検出された電圧値が小さい場合に、直前に検出された電圧値を最大電圧値Ｖｍａｘとする
　カ　引用文献６の記載事項
　原査定の理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開２００１−３３４９５号公報（以下「引用文献６」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００１９】
最大電流検出部２では、電流検出部３より数値データ化された値の大きさを直前までの最大値と今回の値とを比較し大きい方のデータを最大値として計測する。
　キ　引用文献７の記載事項
　原査定の理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開平７−９８５８３号公報（以下「引用文献７」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【要約】
【目的】物体との距離に応じて非接触で周波数又は音量が可変される音源装置を得る。
【構成】光源１０、コリメートレンズＬ２、集光用レンズＬ１、ＰＳＤ１と差動増幅器２、ＶＣＯ３、増幅器４、スピーカ５が備えられた音源装置１５であって、物体との距離Ｌに応じた受光信号が、ＰＳＤを用いた測距と感知電流の差動増幅で得られ、さらに変換されたデジタル信号に基いて音源の周波数または音量を可変しスピーカから音を発する。」
　ク　引用文献８の記載事項
　原査定の理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開２００９−１５６２０６号公報（以下「引用文献８」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　「【００４７】
  ＥＣＵ４０は、前述したＮＯｘ量積算手段が算出したＮＯｘ量の積算値、あるいはＮＯｘ量の変化量の積算値に基づいてＮＯｘセンサ３０の異常を検出してもよい。この場合、ＥＣＵ４０は、複数回の過渡状態において算出した積算値の合計に基づいてＮＯｘセンサ３０の異常を検出してもよい。また、複数回の過渡状態において算出した
積算値の平均、あるいは所定の複数回の過渡状態において算出した積算値を１グループとして複数グループの積算値から１グループの積算値の平均を算出し、この平均値に基づいてＮＯｘセンサ３０の異常を検出してもよい。
（２）対比
　ア　本願発明と引用発明とを対比する。
（ア）引用発明の「基板処理装置」と本願発明の「基板処理装置」は、「基板を処理する」という点において共通するといえる。
（イ）引用発明では、「基板処理装置」内に「温度、ガス流量、圧力その他基板処理装置の状態を示すデータの発生箇所である温度センサ、ガス流量計、圧力計」が多数存在しており、また、「群管理装置」が「基板処理装置」から「温度、ガス流量、圧力等の各種データ」を受信しているのであるから、「基板処理装置」が「温度センサ、ガス流量計、圧力計」から「温度、ガス流量、圧力等の各種データ」を取得していることは明らかである。また、引用発明の「温度センサ、ガス流量計、圧力計」及び「温度、ガス流量、圧力等の各種データ」は、本願発明の「基板処理装置を構成する各部品」及び「モニタデータ」に相当するといえる。そうすると、引用発明の「基板処理装置」と本願発明の「基板処理装置」は、「少なくとも前記基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得」する点において共通するといえる。
（ウ）引用発明では「群管理装置」が「基板処理装置」から「温度、ガス流量、圧力等の各種データ」を受信しているのであるから、「基板処理装置」がこれらのデータを「群管理装置」に送信していることは明らかである。また、引用発明の「温度、ガス流量、圧力等の各種データ」と本願発明の「パッケージデータ」とは、後述の相違点１を除き、「モニタデータに基づくデータ」である点において共通するといえる。そうすると、引用発明の「基板処理装置」と本願発明の「基板処理装置」は、後述の相違点１を除き、「群管理装置にモニタデータに基づくデータを送信する」という点において共通するといえる。
　イ　以上から、本願発明と引用発明との一致点及び相違点は、以下のとおりであると認められる。
（ア）一致点
　「基板を処理する基板処理装置であって、
 　少なくとも前記基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、
　当該モニタデータに基づくデータを前記群管理装置に送信することを特徴とする基板処理装置。」
（イ）相違点
　・相違点１
　本願発明の「基板処理装置」は「複数の前記モニタデータから選択された１つの前記モニタデータについて、少なくとも最大値、平均値、最小値の３つの算出データを有するパッケージデータを生成する際に、取得した前記モニタデータと直前の最大値とを比較する処理と、取得した前記モニタデータと直前の最小値とを比較する処理と、取得した前記モニタデータを直前までのモニタデータの積算値に積算する処理と、前記モニタデータを取得する所定周期が経過したかどうかを判定する処理と、前記積算値に基づいて平均値を算出する処理とを行い、前記パッケージデータを生成」する構成を備え、「モニタデータに基づくデータ」として前記「パッケージデータ」を群管理装置に送信しているのに対し、引用発明の「基板処理装置」は「パッケージデータ」を生成する構成を備えておらず、「モニタデータに基づくデータ」として「温度、ガス流量、圧力等の各種データ」を群管理装置に送信している点。
　・相違点２
　本願発明の「基板処理装置」は「パッケージデータを群管理装置に送信する際、前記パッケージデータが揃っているか判定する処理と、前記パッケージデータのデータ抜けを補填する処理と、前記パッケージデータの前記平均値をバックアップする処理とを行うように構成されており、前記パッケージデータに含まれる最大値、平均値、最小値のうち少なくとも一部が抜けている場合には、前記バックアップされた平均値で補填し、データ抜けの無い前記パッケージデータに更新」する構成を備えるのに対し、引用発明の「基板処理装置」はこうした構成を備えない点。
（３）判断
　ア　本願発明の進歩性について
　上記相違点２について検討する。
　引用文献１ないし８の記載事項は上記（１）アないしクに摘記したとおりであり、上記相違点２に係る構成について記載されているとは認められず、また、当該構成を示唆する記載があるとも認められない。
　そうすると、上記相違点２に係る構成は、引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に相当し得たものであるとはいえない。
　したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本願発明は、引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　イ　本願の請求項１及び３ないし９に係る発明の進歩性について
　本願の請求項１及び７に係る発明は本願発明の「基板処理装置」を備えた「基板処理システム」に係るものであり、本願発明の発明特定事項を全て有する発明である。
　また、本願の請求項３ないし６はいずれも請求項２を引用しており、本願の請求項３ないし６に係る発明は本願発明の発明特定事項を全て有する発明である。
　また、本願の請求項８に係る発明は、本願発明を「データ処理方法」の発明として表現した発明であり、上記相違点２に対応する発明特定事項である「前記パッケージデータを送信する工程は、前記パッケージデータが揃っているか判定する処理と、前記パッケージデータのデータ抜けを補填する処理と、前記パッケージデータの前記平均値をバックアップする処理とを行うように構成されており、前記パッケージデータに含まれる最大値、平均値、最小値のうち少なくとも一部が抜けている場合には、前記バックアップされた平均値で補填し、データ抜けの無い前記パッケージデータに更新して、前記群管理装置に送信する」という構成を備えている。
　また、本願の請求項９に係る発明は、本願発明を「プログラム」の発明として表現した発明であり、上記相違点２に対応する発明特定事項である「前記パッケージデータを送信する処理は、前記パッケージデータが揃っているか判定する処理と、前記パッケージデータのデータ抜けを補填する処理と、前記パッケージデータの前記平均値をバックアップする処理とを含むように構成されており、　前記パッケージデータに含まれる最大値、平均値、最小値のうち少なくとも一部が抜けている場合には、前記バックアップされた平均値で補填し、データ抜けの無い前記パッケージデータに更新して、前記群管理装置に送信する」という構成を備えている。
　してみれば、本願発明が引用文献１ないし８に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない以上、本願の請求項１及び３ないし９に係る発明も、引用文献１ないし８に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　３　原査定の理由についてのまとめ
　以上のとおり、本願の請求項１ないし９に係る発明は、引用文献１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
第４　当審拒絶理由について
１　当審拒絶理由の概要
　平成２８年４月１８日付けで当審より通知した拒絶理由（以下「当審拒絶理由」という。）の概要は、次のとおりである。
「【理由１】
　この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
記 （引用例については引用例一覧参照）
請求項：１
引用例：１乃至３
備考：
　引用例１乃至３には、第１において引用した「補正の却下の決定」の第３の２（１）に示したとおりの発明及び技術が記載されている。
　そして、本願の請求項１に係る発明は、上記「補正の却下の決定」の第３の１に記載した本件補正発明から技術的限定を除いた発明であるから、上記「補正の却下の決定」の第３の２（３）に記載した理由と同様の理由により、引用例１乃至３に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
……（中略）……
引　用　例　一　覧
１．特開２００７−３２４３１６号公報
２．特開２００９−２９０１５８号公報
３．特開平７−２３４７４号公報
【理由２】
　平成２６年７月７日付けでした手続補正は、下記の点で願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
　　　　　　　　　　　　　　　　 記
（１）上記手続補正後の請求項８に「前記群管理装置は、前記パッケージデータの平均値をバックアップする」と記載されているが、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面には、この点について記載されていない。 
（２）上記手続補正後の請求項９に「前記群管理装置は、更に、前記パッケージデータの値を判定する判定工程を有し、判定の結果、前記パッケージデータの一部にデータ抜けがあった場合に、バックアップされた前記平均値で補填する」と記載されているが、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面には、この点について記載されていない。」
２　当審拒絶理由についての判断
（１）進歩性について
　ア　当審引用文献１ないし３の記載事項及び当審引用発明
（ア）当審引用文献１の記載事項及び当審引用発明
　ａ　当審拒絶理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開２００７−３２４３１６号公報（以下「当審引用文献１」という。）には、上記第３の２（１）ウで摘記したとおりの事項が記載されている。
　ｂ　当審引用発明
　上記第３の２（１）ウの当審引用文献１の記載と当該技術分野における技術常識より、当審引用文献１には、次の発明（以下「当審引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「半導体ウエハを熱処理する半導体製造装置と、前記半導体製造装置に接続される情報処理装置と、を備える半導体製造システムであって、 
 　前記半導体製造装置は、 
 　処理時における半導体製造装置の処理容器内の所望の位置の温度を、温度センサ等を利用して測定した値や、処理圧力を、圧力計等を用いて測定した値や、電力計により測定したヒータの電力値である測定値を、時間の経過に沿って複数取得し、 
 　これらの測定値から算出された平均値、最大値及び最小値等の状態値を前記情報処理装置に送信するように構成されており、 
 　前記情報処理装置は、 
 　前記状態値を前記半導体製造装置から受信してメモリに蓄積し、前記メモリから前記状態値を取得することを特徴とする半導体製造システム。」 
（イ）当審引用文献２の記載事項
　当審拒絶理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開２００９−２９０１５８号公報（以下「当審引用文献２」という。）には、上記第３の２（１）ア（ア）で摘記したとおりの事項が記載されている。
（ウ）当審引用文献３の記載事項
　当審拒絶理由に引用され、本願の出願の前に日本国内又は外国において頒布され又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である特開平７−２３４７４号公報 （以下「当審引用文献３」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
 「【００３７】
１３は最大値最小値検出手段であって，区間におけるサンプリングデータの最大値と最小値を判定するものである。さらに，必要に応じて区間の平均値，パワー等の副情報を算出するものである。
・・・
【００４９】図１の基本構成の動作を説明する（図２を参照する）。観測装置１から送られてくるアナログの観測データは観測データ入力手段１０に入力される。
サンプリング手段１１は観測データを定められた時間間隔でサンプリングする。
【００５０】一方，
送信側区間設定手段１２に時間軸に対して区間とする時間が設定される（図２ (a)参照）。最大値最小値検出手段１３はサンプリングデータを入力して保持し，最大値と最小値を検出して保持する（図２ (a)参照）。１区間の処理が終了し最大値，最小値が求められる（必要に応じて副情報も求める）とその最大値，最小値（必要に応じて副情報を含む）は送信データを作成するためのデータ保持領域に移され
【００５１】
出力手段１４は，リアルタイム送信の場合，１区間毎の最大値と最小値を変調し，送信信号として伝送路５に有線出力するか，あるいは無線出力する。必要に応じて副情報も送信する。
【００５２】
受信装置３において，受信手段２０は伝送路５を介して送信される送信信号もしくは送信データを受信し，受信信号として受信装置３の内部に出力する。
・・・
【００８５】Ｓ２ 
最大値最小値判定部８１はＡ／Ｄ変換器４１でＡ／Ｄ変換されるサンプリング値を最大値最小値保持部８２に保持されている値と比較し，大きいか小さいかを判定し，最大値，最小値であれば最大値最小値保持部８２に保持する。必要に応じて，それまでのサンプリング値の平均値も求め保持する。
　イ　対比
（ア）本願発明と当審引用発明とを対比する。
　ａ　当審引用発明の「半導体ウエハを熱処理する半導体製造装置」は、本願発明の「基板を処理する基板処理装置」に相当するといえる。 
　ｂ　当審引用発明の「処理時における半導体製造装置の処理容器内の所望の位置の温度を、温度センサ等を利用して測定した値や、処理圧力を、圧力計等を用いて測定した値や、電力計により測定したヒータの電力値である測定値」は、本願発明の「基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータ」に相当するといえる。そうすると、当審引用発明の「半導体製造装置」と本願発明の「基板処理装置」は、「少なくとも前記基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得」する点において共通するといえる。
　ｃ　当審引用発明において、平均値、最大値及び最小値等の状態値を測定値から算出する際には、温度、圧力、電力値等の測定値の種別ごとに算出していることは明らかである。また、当審引用発明の「状態値」と本願発明の「パッケージデータ」は、「モニタデータの最大値、平均値及び最小値の３つの算出データを有するデータ」である点において共通するといえる。そうすると、当審引用発明の「半導体製造装置」と本願発明の「基板処理装置」は、後述する相違点２を除き、「複数の前記モニタデータから選択された１つの前記モニタデータについて、少なくとも最大値、平均値及び最小値の３つの算出データを有するデータを生成」する点において共通するといえる。
　ｄ　当審引用発明の「情報処理装置」と本願発明の「群管理装置」とは、後述する相違点１を除き、「管理装置」である点において共通するといえる。そうすると、当審引用発明の「半導体製造装置」と本願発明の「基板処理装置」は、後述する相違点１及び２を除き、「少なくとも最大値、平均値及び最小値の３つの算出データを有するデータを管理装置に送信」する点において共通するといえる。
（イ）以上から、本願発明と当審引用発明との一致点及び相違点は、以下のとおりであると認められる。
　ａ　一致点
　「基板を処理する基板処理装置であって、
　少なくとも前記基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、
　複数の前記モニタデータから選択された１つの前記モニタデータについて、少なくとも最大値、平均値及び最小値の３つの算出データを有するデータを生成し、
　当該データを管理装置に送信することを特徴とする基板処理装置。」
　ｂ　相違点
　・相違点１
　本願発明の「管理装置」は「群管理装置」であるのに対し、当審引用発明の「情報処理装置」は「半導体製造装置」の「群管理装置」と言い得るか不明である点。 
　・相違点２
　「少なくとも最大値、平均値及び最小値の３つの算出データを有するデータ」の生成方法に関し、本願発明の「基板処理装置」は、「取得した前記モニタデータと直前の最大値とを比較する処理と、取得した前記モニタデータと直前の最小値とを比較する処理と、取得した前記モニタデータを直前までのモニタデータの積算値に積算する処理と、前記モニタデータを取得する所定周期が経過したかどうかを判定する処理と、前記積算値に基づいて平均値を算出する処理」を行うことによって、「少なくとも最大値、平均値及び最小値の３つの算出データを有するデータ」である「パッケージデータ」を生成しているのに対し、当審引用発明の「半導体製造装置」は、「少なくとも最大値、平均値及び最小値の３つの算出データを有するデータ」である「状態値」の生成方法について特定されていない点。
　・相違点３
　本願発明の「基板処理装置」は、「パッケージデータを群管理装置に送信する際、前記パッケージデータが揃っているか判定する処理と、前記パッケージデータのデータ抜けを補填する処理と、前記パッケージデータの前記平均値をバックアップする処理とを行うように構成されており、前記パッケージデータに含まれる最大値、平均値、最小値のうち少なくとも一部が抜けている場合には、前記バックアップされた平均値で補填し、データ抜けの無い前記パッケージデータに更新」するのに対し、当審引用発明の「半導体製造装置」はこうした処理を行わない点。
　エ　判断
（ア）本願発明の進歩性について
　上記相違点３について検討する。
　当審引用文献１ないし３の記載事項は上記（１）アないしクに摘記したとおりであり、上記相違点３に係る構成について記載されているとは認められず、また、当該構成を示唆する記載があるとも認められない。
　そうすると、上記相違点３に係る構成は、当審引用文献１ないし３に記載された発明に基づいて当業者が容易に相当し得たものであるとはいえない。
　したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本願発明は、当審引用文献１ないし３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
（イ）本願の請求項１及び３ないし９に係る発明の進歩性について
　本願の請求項１及び７に係る発明は本願発明の「基板処理装置」を備えた「基板処理システム」に係るものであり、本願発明の発明特定事項を全て有する発明である。
　また、本願の請求項３ないし６はいずれも請求項２を引用しており、本願の請求項３ないし６に係る発明は本願発明の発明特定事項を全て有する発明である。
　また、本願の請求項８に係る発明は、本願発明を「データ処理方法」の発明として表現した発明であり、上記相違点３に対応する発明特定事項である「前記パッケージデータを送信する工程は、前記パッケージデータが揃っているか判定する処理と、前記パッケージデータのデータ抜けを補填する処理と、前記パッケージデータの前記平均値をバックアップする処理とを行うように構成されており、前記パッケージデータに含まれる最大値、平均値、最小値のうち少なくとも一部が抜けている場合には、前記バックアップされた平均値で補填し、データ抜けの無い前記パッケージデータに更新して、前記群管理装置に送信する」という構成を備えている。
　また、本願の請求項９に係る発明は、本願発明を「プログラム」の発明として表現した発明であり、上記相違点３に対応する発明特定事項である「前記パッケージデータを送信する処理は、前記パッケージデータが揃っているか判定する処理と、前記パッケージデータのデータ抜けを補填する処理と、前記パッケージデータの前記平均値をバックアップする処理とを含むように構成されており、　前記パッケージデータに含まれる最大値、平均値、最小値のうち少なくとも一部が抜けている場合には、前記バックアップされた平均値で補填し、データ抜けの無い前記パッケージデータに更新して、前記群管理装置に送信する」という構成を備えている。
　してみれば、本願発明が当審引用文献１ないし３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない以上、本願の請求項１及び３ないし９に係る発明も、当審引用文献１ないし３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　オ　進歩性についてのまとめ
　以上のとおり、本願の請求項１ないし９に係る発明は、当審引用文献１ないし３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、当審拒絶理由の「理由１」に示した理由によっては、本願を拒絶することはできない。
（２）新規事項について
　平成２６年７月７日付けでした手続補正後の請求項８に「前記群管理装置は、前記パッケージデータの平均値をバックアップする」と記載されているが、当該記載は平成２８年６月１６日付けでした手続補正により削除されている。
　また、平成２６年７月７日付けでした手続補正後の請求項９に「前記群管理装置は、更に、前記パッケージデータの値を判定する判定工程を有し、判定の結果、前記パッケージデータの一部にデータ抜けがあった場合に、バックアップされた前記平均値で補填する」と記載されているが、当該記載は平成２８年６月１６日付けでした手続補正により削除されている。
　したがって、当審拒絶理由の「理由２」に示した理由によっては、本願を拒絶することはできない。
（３）当審拒絶理由についてのまとめ
　以上のとおり、当審拒絶理由の「理由１」及び「理由２」に示した理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　そうすると、もはや、当審拒絶理由によって本願を拒絶することはできない。
第５　結言
　以上のとおり、原査定の理由及び当審拒絶理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。