【手続補正書】
【提出日】令和2年8月14日(2020.8.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
最適化マイクロ波音波（ＡＷ）構造を生成する方法であって、
コンピュータシステムによって、前記ＡＷ構造の物理的モデルおよび周波数応答要件のセットを受け取るステップと、
前記コンピュータシステムによって、前記物理的モデルを第１の複数の単位ブロックに分割するステップと、
前記コンピュータシステムによって、前記第１の複数の単位ブロック内で少なくとも１つのコア・ブロックを特定するステップと、
前記コンピュータシステムによって、前記少なくとも１つのコア・ブロックのそれぞれの特徴を計算するステップと、
前記コンピュータシステムによって、前記少なくとも１つのコア・ブロックの計算した特徴から、第２の複数の単位ブロックのそれぞれの単位ブロックの特徴を導出するステップであって、前記第２の複数の単位ブロックは、前記少なくとも１つのコア・ブロックを含まない前記第１の複数の単位ブロックの単位ブロックのサブセットを含む、ステップと、
前記コンピュータシステムによって、前記第２の複数の単位ブロックを結合して、前記第２の複数の単位ブロックのそれぞれの単位ブロックの導出した特徴から導出した計算した特徴と、前記少なくとも１つのコア・ブロックの計算した特徴と、を有する１つのブロックに、隣接単位ブロックのセットを階層的にカスケードして前記１つのブロックにすることによって、して、前記１つのブロックが前記第２の複数の単位ブロックを包含するようにするステップと、
前記コンピュータシステムによって、前記ＡＷ構造の周波数応答を、少なくとも部分的には前記１つのブロックの計算した特徴から導出するステップと、
前記コンピュータシステムによって、前記周波数応答を前記周波数応答要件のセットと比較するステップと、
前記コンピュータシステムによって、最適化設計を提供するように前記比較に基づいて前記ＡＷ構造を最適化するステップであって、前記最適化設計は、製造プロセスへの入力として機能する、ステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記コンピュータシステムによって、前記第２の複数の単位ブロックとの電気的接続を特定するステップと、
前記コンピュータシステムによって、前記第２の複数の単位ブロックのそれぞれの単位ブロックの電気的特徴を、特定した電気的接続から導出するステップと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第２の複数の単位ブロックのそれぞれの単位ブロックの計算した特徴と、前記少なくとも１つのコア・ブロックの計算した特徴と、は、音場および電場を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記単位ブロックの全てが、互いに物理的に同じである、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記単位ブロックのうちの少なくとも２つが、互いに物理的に異なり、前記少なくとも１つのコア・ブロックが、少なくとも２つのコア・ブロックを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
隣接単位ブロックのセットのうちの少なくとも１つが、１対の隣接単位ブロックである、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
隣接単位ブロックのセットを階層的にカスケードして前記１つのブロックにするステップが、
（ａ）現在の階層レベルの隣接単位ブロックのセットを結合して、次の階層レベルのカスケード単位ブロックを作成するステップと、
（ｂ）前記１つのブロックが作成されるまで、次の階層レベルの隣接単位ブロックのセットについてステップ（ａ）を繰り返すステップとを含み、前記単位ブロックのそれぞれが、オリジナル単位ブロック、または以前にカスケードされた単位ブロックである、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
現在の階層レベルで結合されていない単位ブロックのうちのいずれかが、現在の階層レベルから次の階層レベルに移行される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
第１の単位ブロックが、以前に計算した特徴を有し、前記単位ブロックのうちの少なくとも１つの他の単位ブロックが、物理的および電気的に前記第１の単位ブロックと同じであり、前記方法が、現在の階層レベルで隣接単位ブロックの前記セットを結合するときに、前記第１の単位ブロックを参照して、前記少なくとも１つの他の単位ブロックの以前に計算した特徴を仮定するステップをさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記少なくとも１つのコア・ブロックのそれぞれの特徴を計算することは、有限要素法（ＦＥＭ）を用いる、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記ＦＥＭを用いて前記少なくとも１つのコア・ブロックのそれぞれの特徴を計算するステップが、
左側境界自由度（ＤＯＦ）、右側境界ＤＯＦ、および内部ＤＯＦを有するＡマトリクスを生成するステップと、
前記Ａマトリクスから前記内部ＤＯＦを除去して、前記左側境界ＤＯＦおよび前記右側境界ＤＯＦのみを含むＢマトリクスを生成するステップと、を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記第２の複数の単位ブロックのそれぞれの特徴が、前記少なくとも１つのコア・ブロックの前記少なくとも１つのＢマトリクスから導出されるＢマトリクスによって表される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第２の複数の単位ブロックを結合するステップが、
隣接単位ブロックの第１のセットを特定するステップと、
前記第１のセットの隣接単位ブロックそれぞれのＢマトリクスを結合して、前記隣接単位ブロックのうちの左の単位ブロックの左側境界ＤＯＦに対応する左側境界ＤＯＦ、前記隣接単位ブロックのうちの右の単位ブロックに対応する右側境界ＤＯＦ、および前記隣接単位ブロックの間の少なくとも１つの共有縁部に対応する内部ＤＯＦを有する第１のＣマトリクスにし、
前記第１のＣマトリクスから前記内部ＤＯＦを除去することによって、前記第１のＣマトリクスを、左側境界ＤＯＦおよび右側境界ＤＯＦのみを含む第１のカスケード単位ブロックの第１の新たなカスケードＢマトリクスに縮約することによって、
隣接単位ブロックの前記第１のセットをカスケードして第１のカスケード単位ブロックにするステップと、を含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記第２の複数の単位ブロックを結合するステップが、
隣接単位ブロックの第２のセットを特定するステップと、
前記第２のセットの隣接単位ブロックそれぞれのＢマトリクスを結合して、前記隣接単位ブロックのうちの左の単位ブロックの左側境界ＤＯＦに対応する左側境界ＤＯＦ、前記隣接単位ブロックのうちの右の単位ブロックに対応する右側境界ＤＯＦ、および前記隣接単位ブロックの間の少なくとも１つの共有縁部に対応する内部ＤＯＦを有する第２のＣマトリクスにし、
前記第２のＣマトリクスから前記内部ＤＯＦを除去することによって、前記第２のＣマトリクスを、左側境界ＤＯＦおよび右側境界ＤＯＦのみを含む第２のカスケード単位ブロックの第２の新たなカスケードＢマトリクスに縮約することによって、
隣接単位ブロックの前記第２のセットをカスケードして第２のカスケード単位ブロックにするステップと、をさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第２の複数の単位ブロックを結合するステップが、
前記第１および第２のカスケード単位ブロックを隣接カスケード単位ブロックのセットであるものとして特定するステップと、
カスケード単位ブロックの前記セットの隣接カスケード単位ブロックそれぞれのＢマトリクスを結合して、前記隣接カスケード単位ブロックのうちの左の単位ブロックの左側境界ＤＯＦに対応する左側境界ＤＯＦ、前記隣接カスケード単位ブロックのうちの右の単位ブロックに対応する右側境界ＤＯＦ、および前記隣接カスケード単位ブロックの間の少なくとも１つの共有縁部に対応する内部ＤＯＦを有する第３のＣマトリクスにし、
前記第３のＣマトリクスから前記内部ＤＯＦを除去することによって、前記第３のＣマトリクスを、左側境界ＤＯＦおよび右側境界ＤＯＦのみを含む第３のカスケード単位ブロックの第３の新たなカスケードＢマトリクスに縮約することによって、
隣接カスケード単位ブロックの前記セットをさらにカスケードして第３のカスケード単位ブロックにするステップと、をさらに含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記ＡＷ構造の前記物理的モデルが、前記ＡＷ構造の２次元断面および開口を規定し、前記物理的モデルが、各オリジナル単位ブロックが前記ＡＷ構造の前記２次元断面の一部分と前記開口の一部分とを含むように、分割される、請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
前記ＡＷ構造の前記物理的モデルが、少なくとも１つの電極と、基板層と、真空層とを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
前記ＡＷ構造の前記物理的モデルが、前記基板層に隣接する吸収体層と、前記真空層に隣接する吸収体層と、をさらに含む、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記少なくとも１つのコア・ブロックのうちの１つが、電極を含む、請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
前記物理的モデルを、前記１つのブロックの左側および右側をそれぞれ成端する２つの吸収体ブロックにさらに分割するステップと、
前記２つの吸収体ブロックのそれぞれの応答を計算するステップと、
前記１つのブロックと前記２つの吸収体ブロックとを結合して、計算した特徴を有する包括的なブロックにするステップと、をさらに含み、
前記物理的モデルの前記少なくとも１つの電気的特徴が、少なくとも部分的には前記包括的なブロックの前記計算した特徴から導出される、請求項１に記載の方法。
【請求項２１】
前記ＡＷ構造が、音響共振器を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２２】
前記ＡＷ構造の静電容量および共振周波数のうちの少なくとも１つを、少なくとも部分的には前記１つのブロックの計算した特徴から導出するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２３】
前記最適化設計に基づいてＡＷフィルタを作製するように第２のコンピュータシステムに指示するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２４】
前記第１の複数の単位ブロックは、前記少なくとも１つのコア・ブロックと前記第２の複数の単位ブロックとは別の少なくとも１つの追加単位ブロックを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２５】
フィルタ設計システムであって、
プロセッサと、
前記プロセッサに結合されたインターフェースと、
階層的カスケード・プログラムを格納するメモリであって、前記プロセッサによって実行されるときに、
ＡＷ構造の物理的モデルおよび周波数応答要件のセットを受け取ることと、
前記物理的モデルを第１の複数の単位ブロックに分割することと、
前記第１の複数の単位ブロック内で少なくとも１つのコア・ブロックを特定することと、
前記少なくとも１つのコア・ブロックのそれぞれの特徴を計算することと、
前記少なくとも１つのコア・ブロックの計算した特徴から、第２の複数の単位ブロックのそれぞれの単位ブロックの特徴を導出することであって、前記第２の複数の単位ブロックは、前記少なくとも１つのコア・ブロックを含まない前記第１の複数の単位ブロックの単位ブロックのサブセットを含む、導出することと、
前記第２の複数の単位ブロックを結合して、前記第２の複数の単位ブロックのそれぞれの単位ブロックの導出した特徴から導出した計算した特徴と、前記少なくとも１つのコア・ブロックの計算した特徴と、を有する１つのブロックに、隣接単位ブロックのセットを階層的にカスケードして前記１つのブロックにすることによって、して、前記１つのブロックが前記第２の複数の単位ブロックを包含するようにすることと、
前記ＡＷ構造の周波数応答を、少なくとも部分的には前記１つのブロックの計算した特徴から導出することと、
前記周波数応答を前記周波数応答要件のセットと比較することと、
最適化設計を提供するように前記比較に基づいて前記ＡＷ構造を最適化することであって、前記最適化設計は、製造プロセスへの入力として機能する、最適化することと、
を含む動作を、前記フィルタ設計システムに行わせる、メモリと、
を含む、フィルタ設計システム。