【誤訳訂正書】
【提出日】令和2年9月18日(2020.9.18)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００８】
本発明に内在する概念は、導電性及び／又は分極性粒子を検出する、特に、煤粒子を検出するセンサであって、基板を備えるセンサにおいて、少なくとも一つの構造化された電極層及び／又は一つの構造化された絶縁体に、検出される粒子が到達できる少なくとも一つの開口が形成されるように、第１のレベルの第１の構造化された絶縁体、第２のレベルの第１の構造化された電極層、第３のレベルの第２の構造化された絶縁体及び第４のレベルの第２の構造化された電極層が基板の少なくとも一方の側に直接的又は間接的に配置され、電極層がそれぞれ、少なくとも二つの電極、少なくとも二つの配線又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せを有することを特徴とするセンサを特定することである。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
金属又は半導体を基板として用いる場合、一つの電極層を省略することができ、センサの全体の厚さを低減することができる。これは、追加の層を基板の両側に設けるときに特に有利である。金属基板を配線として実現することができるとともに金属基板を加熱導体又は温度センサとして用いることができる。このために、好適には絶縁層の製造中に配線の間のスペースに絶縁層を充填するとともに配線部を互いに絶縁する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１７】
構造化された電極層を、少なくとも二つの電極、少なくとも二つの配線又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線との組合せによって構成することができる。したがって、電極層は、三つの電極層、三つの配線又は二つの電極と一つの配線の組合せを有することもできる。さらに、種々の電極層を異なるようにそれぞれ構成することができる。換言すれば、少なくとも二つの電極層を、異なる数の電極及び／又は配線から形成することができる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
少なくとも一つの電極層は、好適には、少なくとも二つの交互に配置された電極、少なくとも一部の領域において交互に配置された若しくは互いに平行に延在する少なくとも二つの配線又は交互に配置された若しくは織り交ぜられた少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せを有する。したがって、「交互に配置された」は、「互いに織り交ぜられた」、「互いに入れ子にされた」、「互いにつながりを持たせた」又は「互いに組み合わされた」と言うこともできる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２２】
さらに、検出される粒子が到達できる少なくとも二つのレベルの重複する開口を、電極及び／又は配線の間に形成することができる。換言すれば、基板の複数の層、特に、複数の構造化された電極層及び／又は複数の構造化された絶縁体は、互いに重なり合って配置された開口を有し、粒子は、更に下に配置された構造化された電極層の開口を通過することができる。開口は、基板も貫通するとともに他の側の他の電極及び絶縁層（レベル）の開口に併合することができる。開口は、一般的には、複数のレベルに亘って延在する通路が製造されるように互いに重なり合って配置される。しかしながら、開口を、部分的に重なり合うように又は全く重なり合わないようにセンサの少なくとも一部に配置することもできる。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２６】
さらに、第３の構造化された絶縁体を第５のレベルで形成するとともに少なくとも二つの電極、少なくとも二つの配線又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せを有する第３の構造化された電極層を第６のレベルで形成することができる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
第５のレベル及び／又は第６のレベルの構造に加えて、他の構造化された絶縁体及び他の構造化された電極層を他のレベルで形成することができ、電極層はそれぞれ、少なくとも二つの電極、少なくとも二つの配線又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せを有することができる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
構造化された絶縁体は、少なくとも一部の区域の上に配置される構造化された電極層、特に、少なくとも一部の区域の上に配置される電極及び／又は配線の構造を有することができる。さらに、構造化された絶縁体は、少なくとも一部の区域の下に配置される構造化された電極層、特に、少なくとも一部の区域の下に配置される電極及び／又は配線の構造を有することができる。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
少なくとも一つの配線を、加熱導体として基板と第１の構造化された絶縁体の間に及び／又は基板の他の側に及び／又は偶数番号のレベルで形成することができる。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３６】
少なくとも一つの電極及び／又は少なくとも一つの配線を、導電材料、特に、金属又は合金、特に、高温耐熱金属又は高温耐熱合金、特に好適には、白金族元素の群からなる金属又は白金族元素の群からなる金属の合金から構成することができる。白金族元素は、パラジウム（Ｐｄ）、プラチナ（Ｐｔ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）及びイリジウム（Ｉｒ）である。ニッケル（Ｎｉ）のような卑金属又はニッケル／クロム又はニッケル／鉄のような卑金属合金を用いることもできる。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３７】
さらに、少なくとも一つの電極及び／又は少なくとも一つの配線を、導電性セラミック又は金属とセラミックの混合物によって形成することができる。例えば、少なくとも一つの電極層をプラチナ（Ｐｔ）粒子と酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）本体の混合物から形成することができる。少なくとも一つの実際の電極及び／又は少なくとも一つの配線は炭化ケイ素（ＳｉＣ）を含んでもよい又は炭化ケイ素（ＳｉＣ）から構成されてもよい。上述した材料及び金属又はこれらの金属の合金は、特に高い耐熱性を有し、したがって、内燃機関の排気ガス流の煤粒子の検出に用いることができるセンサ素子を構成するのに適している。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３８】
電極又は配線の厚さを広範囲に亘って変えることができ、１０ｎｍから１０００μｍまでの範囲の厚さを用いることができる。好適には、１００ｎｍから１００μｍまでの範囲の厚さ、特に好適には、０．６μｍから１．２μｍまでの範囲の厚さ、一層好適には、０．８μｍから０．９μｍまでの範囲の厚さを用いる。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３９】
電極又は配線の幅を広範囲に亘って変えることができ、１０μｍから１０ｍｍまでの範囲の幅を用いることができる。好適には、３０μｍから３００μｍまでの範囲の幅、特に好適には、３０μｍから１００μｍまでの範囲の幅、一層好適には、３０μｍから４０μｍまでの範囲の幅を用いる。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６０】
本発明の一実施の形態において、絶縁体の少なくとも一つの開口はアンダーカット又は凹部を形成することができる。換言すれば、絶縁体を、絶縁体の上に配置される電極層及び絶縁体の下に配置される電極層に対して後方にオフセットする又はへこませることができる。絶縁体の開口の外側凹部を、円形及び／又はＶ形状に設計することもできる。アンダーカット又は凹部がある絶縁体を経路に形成することによって、丸い粒子の測定を向上させる。本発明のそのような実施の形態において、粒子、特に、丸い粒子は、良好な電気的な接触を行うことができるように電極層、特に、電極及び／又は配線に供給される。換言すれば、少なくとも一つの絶縁体の開口を、絶縁体の上に配置される電極層及び絶縁体の下に配置される電極層の開口より大きくすることができる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６１】
少なくとも一つの構造化された電極層は、構造化された電極層の上に配置されるセンサ層のない電気接触表面を有することができ、電子接触表面は、端子パッドである又は端子パッドに接続させることができる。電極層を、電極層を互いに絶縁させるように端子パッドとする又は端子パッドに接続することができる。好適には、各電極層又は電極層の各電極及び／又は各配線に対して、電気接触を行うことができるようにするために端子パッドのエリアに露出した少なくとも一つの電気接触表面を形成する。最下位の電極層、すなわち、最下位の電極及び／又は最下位の配線の電気接触表面は、被覆層がなく、絶縁体がなく、他の電極層がなく、適切な場合には、多孔質フィルタ層がない。換言すれば、絶縁体の区域及び電極層の区域は、最下位の電極層すなわち最下位の電極及び／又は最下位の配線の電気接触表面の上に配置されない。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６３】
本発明の他の実施の形態において、少なくとも第１の構造化された電極層及び／又は第２の構造化された電極層は、少なくとも第１の構造化された電極層及び／又は第２の構造化された電極層が加熱コイル及び／又は温度検知層及び／又はスクリーン電極として設計されるような配線ループを有する。一つの電極層、特に、電極層の電極及び／又は配線は、二つの電気接触表面を有することができる。これらのタイプの電極層を、加熱コイル、温度検知層及びスクリーン電極として用いることができる。電気接触表面の適切な電気接触によって、関連の電極層を、加熱のために又は温度検知層若しくはスクリーン電極として用いることができる。一つ以上の電極層のそのような設計によりコンパクトなセンサを提供することができる。その理由は、電極層、少なくとも二つの電極、少なくとも二つの配線又は関連の電極層の少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せが複数の機能を実行することができるからである。したがって、別個の加熱コイル層及び／又は温度検知層及び／又はスクリーニング電極層は必要でない。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７２】
回路、特に、制御回路は、好適には、構造化された電極層及び／又は対応する電極及び／又は配線が相互接続されるように設計される。センサを測定モード及び／又はクリーニングモード及び／又は監視モードで動作させることができるように種々の電圧を電極層及び／又は個別の電極層に印加することができる。
【誤訳訂正１８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７５】
測定モードにおいて、電極層の間及び／又はセンサの電極層の電極及び／又は配線の間の電気抵抗の変化及び／又は電極層の容量の変化を測定することができる。
【誤訳訂正１９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７６】
換言すれば、測定モードにおいて、センサの一つのレベルの電極及び／又は配線の間の電気抵抗の変化及び／又はセンサの一つのレベルの電極及び／又は配線の容量の変化を測定する。
【誤訳訂正２０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７７】
測定モードにおいて、センサの少なくとも二つのレベルの電極又は配線の間の電気抵抗の変化及び／又はセンサの少なくとも二つのレベルの電極又は配線の容量の変化を測定することができる。
【誤訳訂正２１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７８】
本発明による方法によって、粒子を、電極層の間及び／又は一つの電極層及び複数の電極層の電極及び／又は配線の間の測定された抵抗の変化に基づいて検出及び測定することができる。代替的に又は追加的に、粒子を、測定されたインピーダンスの変化に基づいて、及び／又は、電極層及び／又は一つ以上の電極層の一つ以上の電極及び／又は一つ以上の配線の容量を測定することによって、検出又は測定することができる。好適には、電極層の間の抵抗の変化を測定する。
【誤訳訂正２２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７９】
測定モードにおいて、電気抵抗測定すなわち抵抗原理による測定を行うことができる。この方法において、二つの電極層の間の電気抵抗が測定され、電気抵抗は、導体として機能する粒子、特に、煤粒子が少なくとも二つの電極層及び／又は少なくとも二つの電極及び／又は少なくとも二つの配線の間を橋絡するときに減少する。
【誤訳訂正２３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８０】
測定モードにおいて適用される基本原理は、種々の電圧を電極層及び／又は電極及び／又は配線に印加することによって測定される粒子、特に、煤粒子の種々の特性を検出できることである。例えば、粒子の粒径及び／又は粒子径及び／又は電荷及び／又は分極率を決定することができる。
【誤訳訂正２４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８１】
少なくとも一つの電極層、少なくとも一つの電極又は少なくとも一つの配線を加熱コイル若しくは加熱層として用いる又は加熱コイル若しくは加熱層に接続できる場合、加熱コイル又は加熱層のアクティブ化時間を決定するために電気抵抗測定を追加的に用いることができる。加熱コイル又は加熱層のアクティブ化は、実行されるクリーニングモードに対応する。
【誤訳訂正２５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８２】
好適には、少なくとも二つの電極層の間及び／又は少なくとも二つの電極の間及び／又は少なくとも二つの配線の間及び／又は電極と配線の組合せの間の電気抵抗の減少は、粒子、特に、煤粒子が電極層及び／又は電極及び／又は配線の上又は間に堆積したことを表す。電気抵抗が下限しきい値に到達すると、加熱コイル又は加熱層がアクティブ化される。換言すれば、粒子を焼き尽くす。電気抵抗は、焼き尽くされる粒子の数又は焼き尽くされる粒子の量が増大するに従って増大する。焼き尽くしを、好適には、上限抵抗値が測定されるのに十分長い時間行う。上限抵抗値に到達すると、これは、再生された又はクリーニングされたセンサを表す。その後、新たな測定サイクルが開始される又は実行される。
【誤訳訂正２６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８３】
代替的に又は付加的に、電極層及び／又は電極及び／又は配線及び／又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せの容量の変化を測定することができる。粒子、特に、煤粒子による負荷の増大によって、電極層及び／又は電極及び／又は配線の容量が増大する。粒子がセンサを占拠することによって、電荷の移動又は誘電率（ε）の変化が生じ、これによって、容量（Ｃ）が増大する。基本的関係は、Ｃ＝（ε×Ａ）／ｄとなり、この場合、Ａは、電極層及び／又は電極及び／又は配線の電極有効面積を表し、ｄは、二つの電極層及び／又は電極及び／又は配線の間の距離を表す。
【誤訳訂正２７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８７】
例えば、電極有効表面積Ａの減少に関連する少なくとも一つの電極層の損傷が生じることがある。電極有効表面積Ａが容量Ｃに正比例するので、損傷した電極層、損傷した電極又は損傷した配線の測定される容量Ｃは減少する。
【誤訳訂正２８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８８】
監視モードにおいて、代替的又は付加的に、電極層及び／又は電極及び／又は配線を導体回路として設計することができる。導体回路を、例えば、必要な場合にスイッチによって閉じることができる開閉導体回路として設計することができる。
【誤訳訂正２９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８９】
さらに、少なくとも一つの導体回路を形成するために電極層又は電極及び／又は配線を少なくとも一つのスイッチを用いて閉じることができ、監視モードにおいて、試験電流が少なくとも一つの導体回路を流れるか否かを決定するための点検を行う。電極層、特に、電極又は配線がクラックを有する、損傷を被っている又は破壊されている場合、試験電流が流れない又は非常に小さい試験電流しか流れない。
【誤訳訂正３０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９３】
本発明の他の態様は、導電性及び／又は分極性粒子を検出する、特に、煤粒子を検出する本発明によるセンサの使用であって、粒子の流れ方向と電極又は配線の選択方向の間の角度は、２０°と３０°の間である本発明によるセンサの使用に関する。電極及び／又は配線及び／又はループの選択方向は、電極及び／又は配線及び／又はループが主として延在する軸を意味するものと理解されたい。したがって、配線ループ及び／又は電極は、主要な選択方向を有する。以下、本発明を、例示的な実施の形態に基づく詳細において添付図面を参照しながら説明する。
【誤訳訂正３１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０９】
個別の層及び絶縁体の材料選択に基づく図示したセンサ１０は、例えば、８６０℃までの高温用途に適する。したがって、センサ１０を、内燃機関の排気ガス流の煤粒子センサとして用いることができる。本発明の代替的な実施の形態において、電極層３１，３２及び３３のそれぞれを少なくとも二つの電極及び少なくとも一つの配線の組合せから形成することが考えられる。
【誤訳訂正３２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１１】
図２ｂは、電極層３１，３２及び３３の構造に関する別の実施の形態を示す。これらの電極層は、少なくとも二つの配線、すなわち、第１の配線３８と、第２の配線３９と、を有する。配線３８及び３９は、配線ループを形成する。配線ループも互いに重なり合わされ、広い範囲で互いに平行に延在する。細長い開口と称することもできる別の開口を、配線３８及び３９の間に形成する。これとの関連において、配線ループの選択軸ｘが形成される。
【誤訳訂正３３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１２０】
図７ｂにおいて、粒子の流れ方向ａと電極及び／又は配線の選択軸ｘ（図２ａ及び図２ｂの選択軸を参照。）の間の角度βが２０°と９０°の間になるようにセンサ１０に流量が導入される。
【誤訳訂正３４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１２２】
１０    センサ
１１    基板
１２    基板の第１の側
１３    導電層
１４    導電層の第１の側
１５    通路
２０    第１の絶縁体
２１    第２の絶縁体
２２    第３の絶縁体
２３    第４の絶縁体
２５    第１の絶縁体の開口
２６    第２の絶縁体の開口
２７    第３の絶縁体の開口
２８    第４の絶縁体の開口
３０，３０’    煤粒子
３１    第１の電極層
３２    第２の電極層
３３    第３の電極層
３５    第１の電極層の開口
３６    第２の電極層の開口
３７    第３の電極層の開口
３８    第１の配線
３９    第２の配線
４０，４０’    第２のレベルの第１の電極／第２の電極
４１，４１’    第４のレベルの第１の電極／第２の電極
４２，４２’    第６のレベルの第１の電極／第２の電極
９０    アンダーカット
ａ    流れの向き
Ｂ１    通路の幅
Ｂ２    通路の幅
ｄ    絶縁層の厚さ
ｘ    電極の選択軸
α    電極面の法線と流れの向きとの間の角度
β    選択軸と流れの向きとの間の角度
Ｅ１    第１のレベル
Ｅ２    第２のレベル
Ｅ３    第３のレベル
Ｅ４    第４のレベル
Ｅ５    第５のレベル
Ｅ６    第６のレベル
Ｅ７    第７のレベル
【誤訳訂正３５】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
煤粒子を検出するセンサ（１０）であって、基板（１１）を備えるセンサ（１０）において、
少なくとも一つの電極層（３１，３２）及び／又は少なくとも一つの絶縁体（２０，２１）に、検出される粒子（３０，３０’）が到達できる少なくとも一つの開口（２５，２６，３５，３６）が形成されるように、第１のレベル（Ｅ１）の第１の絶縁体（２０）と、第２のレベル（Ｅ２）の第１の電極層（３１）であって、前記第１の電極層（３１）が、少なくとも二つの電極（４０，４０’，４１，４１’）、少なくとも二つの配線（３８，３９）又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せから構成された、第１の電極層（３１）と、第３のレベル（Ｅ３）の第２の絶縁体（２１）と、第４のレベル（Ｅ４）の第２の電極層（３２）であって、前記第１の電極層（３１）が、少なくとも二つの電極（４０，４０’，４１，４１’）、少なくとも二つの配線（３８，３９）又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せから構成された、第２の電極層（３２）と、が前記基板（１１）の少なくとも一方の側に直接的又は間接的に配置され、
少なくとも一つの電極層（３１，３２，３３）は、少なくとも二つの交互に配置された温度検知層若しくはスクリーン電極として用いられる電極（４０，４０’，４１，４１’，４２，４２’）、少なくとも一部の領域において交互に配置された若しくは互いに平行に延在する加熱のために用いられる少なくとも二つの配線（３８，３９）又は交互に配置された若しくは織り交ぜられた温度検知層若しくはスクリーン電極として用いられる少なくとも一つの電極と加熱のために用いられる少なくとも一つの配線の組合せを有することを特徴とするセンサ（１０）。
【請求項２】
検出される粒子（３０，３０’）が到達できる少なくとも二つのレベル（Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）の重複する開口（２５，２６，２７，２８，３６，３６，３７）を、電極（４０，４０’，４１，４１’，４２，４２’）及び／又は配線（３８，３９）の間に形成したことを特徴とする請求項１に記載のセンサ（１０）。
【請求項３】
絶縁体（２０，２１，２２，２３）は、前記絶縁体（２０，２１，２２，２３）の上に配置される、少なくとも二つの電極（４０，４０’，４１，４１’）、少なくとも二つの配線（３８，３９）又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せから構成された電極層（３１，３２，３３）の構造を有することを特徴とする請求項１又は２のいずれか一項に記載のセンサ（１０）。
【請求項４】
開口（２５，２６，２７，２８，３５，３６，３７）の領域の前記基板（１１）を被覆する導電層（１３）を、前記基板（１１）と第１の絶縁体（２０）の間に形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のセンサ（１０）。
【請求項５】
少なくとも一つの配線を、前記基板（１１）と第１の絶縁体（２０）の間に及び／又は前記基板（１１）の他の側に及び／又は偶数番号のレベル（Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６）で形成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のセンサ（１０）。
【請求項６】
少なくとも一つの電極（４０，４０’，４１，４１’，４２，４２’）及び／又は少なくとも一つの配線（３８，３９）を、導電材料から形成したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のセンサ（１０）。
【請求項７】
セラミック及び／又はガラス及び／又は金属酸化物又はその組合せから形成されている少なくとも一つの被覆層を、第１の絶縁体（２０）から見て外方に向く、少なくとも二つの電極（４０，４０’，４１，４１’）、少なくとも二つの配線（３８，３９）又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せから構成された最上部の電極層（３３）の側に形成したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のセンサ（１０）。
【請求項８】
少なくとも一つの開口（１５，１５’）を止まり穴として形成したことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のセンサ（１０）。
【請求項９】
少なくとも一つの開口（１５，１５’）を長手方向の窪みとして形成したことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載のセンサ（１０）。
【請求項１０】
少なくとも一つの請求項１〜９のいずれか一項に記載のセンサ（１０）と、前記センサ（１０）を測定モード及び／又はクリーニングモード及び／又は監視モードで動作できるように設計された少なくとも一つの回路と、を備えるセンサシステム。
【請求項１１】
請求項１〜９のいずれか一項に記載のセンサ（１０）を制御する方法において、前記センサ（１０）を測定モード及び／又はクリーニングモード及び／又は監視モードで動作させることを特徴とする方法。
【請求項１２】
前記測定モードにおいて、前記センサのレベルの電極及び／又は配線の間の電気抵抗の変化及び／又は前記センサのレベルの電極及び／又は配線の容量の変化を測定することを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
導電性及び／又は分極性粒子を検出する請求項１〜９のいずれか一項に記載のセンサ（１０）の使用。
【請求項１４】
粒子（３０，３０’）の流れ方向（ａ）は、少なくとも二つの電極（４０，４０’，４１，４１’）、少なくとも二つの配線（３８，３９）又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せから構成された電極層（３１，３２，３３）の面（ｘ，ｙ）に直角とならないことを特徴とする請求項１３に記載の使用。
【請求項１５】
少なくとも二つの電極（４０，４０’，４１，４１’）、少なくとも二つの配線（３８，３９）又は少なくとも一つの電極と少なくとも一つの配線の組合せから構成された最上部の電極層（３３）の面（ｘ，ｙ）の法線（ｚ）と粒子（３０，３０’）の流れ方向（ａ）の間の角度（α）は、少なくとも１°であることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の使用。
【請求項１６】
粒子（３０，３０’）の流れ方向（ａ）と電極（４０，４０’，４１，４１’，４２，４２’）又は配線（３８，３９）の長手方向に平行な軸（ｘ）の間の角度（β）は、２０°と９０°の間であることを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の使用。