(57)【要約】  簡易な設備で振動を低減できると共に電気的なノイズを絶縁可能であり、かつ取付け姿勢に自由度を有する端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システムを提供する。  フランジ凸部（２０２）には断面が矩形状で上方に向けて開口された凹部（２０６）が吸気口（１０１）回りに環状に刻設されている。凹部（２０６）の内部にはＯリング（２０７）が配設されている。Ｏリング（２０７）は凹部（２０６）より上方にはみ出したようになっている。ポンプフランジ（２０１）の周囲にはボルト（２０５）が貫通されるための貫通穴（２０９）が周状に複数箇所に形成されている。この貫通穴（２０９）には円筒状のゴム製の円筒弾性部材（２１１）が配設されている。そして、更にこの円筒弾性部材（２１１）の内側には胴部分（２１３ａ）が円筒状で円盤状の鍔部（２１３ｂ）を有するスペーサカラー（２１３）が挿入されている。【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の端部（２０３）と、
該第１の端部（２０３）に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部（２０１、２４１、３０１）と、
該第２の端部（２０１、２４１、３０１）と前記第１の端部（２０３）間に配設された弾性を有するシール部材（２０７）とを備え、
前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第１の端部（２０３）と前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）間が接近され前記シール部材（２０７）が弾性変形される一方で、前記第１の端部（２０３）と前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）間には前記シール部材（２０７）を介して所定の隙間（２１５）が形成されたことを特徴とする端部間の接続構造。
【請求項２】
第１の端部（２０３）と、
該第１の端部（２０３）に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部（２０１、２４１、３０１）と、
該第２の端部（２０１、２４１、３０１）に配設された少なくとも一つの貫通穴（２０９、２３９、２５９）と、
該貫通穴（２０９、２３９、２５９）に貫通され前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）の脱落を防ぎつつ前記第１の端部（２０３）に固定される固定手段（２０５）と、
該固定手段（２０５）と前記貫通穴（２０９、２３９、２５９）の間に配設された第１の弾性部材（２１１、２３１）と、
前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）が前記第１の端部（２０３）に接近することで前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）は固体同士の接触から解放されることを特徴とする端部間の接続構造。
【請求項３】
第１の端部（２０３）と、
該第１の端部（２０３）に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部（２０１、２４１、３０１）と、
該第２の端部（２０１、２４１、３０１）と前記第１の端部（２０３）間に配設された弾性を有するシール部材（２０７）と、
前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）に配設された少なくとも一つの貫通穴（２０９、２３９、２５９）と、
該貫通穴（２０９、２３９、２５９）に貫通され前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）の脱落を防ぎつつ前記第１の端部（２０３）に固定される固定手段（２０５）と、
該固定手段（２０５）と前記貫通穴（２０９、２３９、２５９）の間に配設された第１の弾性部材（２１１、２３１）とを備え、
前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第１の端部（２０３）と前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）間が接近され前記シール部材（２０７）が弾性変形される一方で、前記第１の端部（２０３）と前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）間には前記シール部材（２０７）を介して所定の隙間（２１５）が形成され、
かつ前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）は固体同士の接触から解放されることを特徴とする端部間の接続構造。
【請求項４】
前記固定手段（２０５）と前記第１の弾性部材（２１１、２３１）の間にはスペーサカラー（２１３、２５３）が配設され、前記固体同士の接触は、該スペーサカラー（２１３、２５３）又は前記固定手段（２０５）と前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）間の接触であることを特徴とする請求項２又は請求項３記載の端部間の接続構造。
【請求項５】
前記シール部材（２０７）は、前記第１の端部（２０３）及び／又は前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）に形成された凹部（２０６、３０５）、あるいはセンタリング（２４３）に保持されたことを特徴とする請求項１、３又は４記載の端部間の接続構造。
【請求項６】
第１の端部（２０３）と、
該第１の端部（２０３）に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部（２０１、２４１、３０１）と、
該第２の端部（２０１、２４１、３０１）に配設された弾性を有するシール部材（２０７）と、
該シール部材（２０７）を収納する凹部（２０６）と、
前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）に配設された少なくとも一つの貫通穴（２０９、２３９、２５９）と、
該貫通穴（２０９、２３９、２５９）に貫通され前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）の脱落を防ぎつつ前記第１の端部（２０３）に固定される固定手段（２０５）とを備えた端部間の接続構造であって、
該固定手段（２０５）を前記第１の端部（２０３）に固定したときの前記シール部材（２０７）の高さの公差範囲が、該固定前の状態における前記シール部材（２０７）の高さの最低許容寸法と真空引きした状態のときの前記シール部材（２０７）の高さの最大許容寸法との差の範囲内に納まることを特徴とする端部間の接続構造。
【請求項７】
第１の端部（２０３）と、
該第１の端部（２０３）に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部（２０１、２４１、３０１）と、
該第２の端部（２０１、２４１、３０１）に配設された弾性を有するシール部材（２０７）と、
該シール部材（２０７）を収納する凹部（２０６）と、
前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）に配設された少なくとも一つの貫通穴（２０９、２３９、２５９）と、
該貫通穴（２０９、２３９、２５９）に貫通され前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）の脱落を防ぎつつ前記第１の端部（２０３）に固定される固定手段（２０５）と、
該固定手段（２０５）と前記貫通穴（２０９、２３９、２５９）の間に配設されたスペーサカラー（２１３、２５３）とを備えた端部間の接続構造であって、
前記固定手段（２０５）を前記第１の端部（２０３）に固定する前の状態において、前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）の底面より前記凹部（２０６）の底面までの高さと前記シール部材（２０７）の高さとを加えた寸法が前記スペーサカラー（２１３、２５３）の胴部分の高さより大きく、
かつ、真空引きされたときの前記シール部材（２０７）の高さと前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）の底面より前記凹部（２０６）の底面までの高さとを加えた寸法が前記スペーサカラー（２１３、２５３）の胴部分の高さより小さいことを特徴とする端部間の接続構造。
【請求項８】
前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）には第２の弾性部材（２３３）が配設され、該第２の弾性部材（２３３）は、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）が前記第１の端部（２０３）に接近することで前記第１の端部（２０３）に向けて押し付けられることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の端部間の接続構造。
【請求項９】
前記第２の弾性部材（２３３）は前記第１の弾性部材（２１１、２３１）と一体形成されたことを特徴とする請求項８記載の端部間の接続構造。
【請求項１０】
前記固定手段（２０５）にはボルト（２０５）を備えたことを特徴とする請求項２、３、４、６又は７記載の端部間の接続構造。
【請求項１１】
前記スペーサカラー（２１３、２５３）には前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）の脱落を防ぐための鍔部（２１３ｂ）を備えたことを特徴とする請求項４又は請求項７記載の端部間の接続構造。
【請求項１２】
前記スペーサカラー（２１３、２５３）の外周面及び／又は前記貫通穴（２０９、２３９、２５９）の内周面がテーパ状に形成されたことを特徴とする請求項４、７又は１１記載の端部間の接続構造。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の端部間の接続構造を適用した真空システムであって、
前記第１の端部（２０３）又は前記第２の端部（２０１、２４１、３０１）が、真空引きされる対象である所定の装置と該装置内部を真空引きする真空ポンプ（１００）との間のいずれかの部位のフランジ（２０１、２４１、３０１、２０３）であることを特徴とする真空システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システムに係わり、特に簡易な設備で振動を低減できると共に電気的なノイズを絶縁可能であり、かつ取付け姿勢に自由度を有する端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。
これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。【０００３】
そして、これらの作業は空気中の塵等による影響を避けるため高真空状態のチャンバ内で行われる必要がある。このチャンバの排気には、一般に真空ポンプが用いられているが、特に残留ガスが少なく、保守が容易等の点から真空ポンプの中の一つであるターボ分子ポンプが多用されている。【０００４】
また、半導体の製造工程では、さまざまなプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。このターボ分子ポンプの縦断面図を図１８に示す。【０００５】
図１８において、ターボ分子ポンプ１００は、円筒状の外筒１２７の上端にポンプフランジ２０１が形成されている。そして、このポンプフランジ２０１の内側には吸気口１０１が形成されている。外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３を備える。【０００６】
この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取付けられており、このロータ軸１１３は、例えば、いわゆる５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石がＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４に近接かつ対応されて４個の電磁石からなる上側径方向センサ１０７が備えられている。この上側径方向センサ１０７は回転体１０３の径方向変位を検出し、図示せぬ制御装置に送るように構成されている。【０００７】
制御装置においては、上側径方向センサ１０７が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して上側径方向電磁石１０４の励磁を制御し、ロータ軸１１３の上側の径方向位置を調整する。
ロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄など）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。【０００８】
また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３の下側の径方向位置を上側の径方向位置と同様に調整している。
更に、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ１０９が備えられ、その軸方向変位信号が制御装置に送られるように構成されている。【０００９】
そして、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂは、この軸方向変位信号に基づき制御装置のＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して励磁制御されるようになっている。軸方向電磁石１０６Ａは、磁力により金属ディスク１１１を上方に吸引し、軸方向電磁石１０６Ｂは、金属ディスク１１１を下方に吸引する。
このように、制御装置は、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。【００１０】
モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。各磁極は、ロータ軸１１３との間に作用する電磁力を介してロータ軸１１３を回転駆動するように、制御装置によって制御されている。
また、モータ１２１には図示しない回転数センサが組み込まれており、この回転数センサの検出信号によりロータ軸１１３の回転数が検出されるようになっている。【００１１】
更に、例えば下側径方向センサ１０８近傍に、図示しない位相センサが取付けてあり、ロータ軸１１３の回転の位相を検出するようになっている。制御装置では、この位相センサと回転数センサの検出信号を共に用いて磁極の位置を検出するようになっている。【００１２】
回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・が配設されている。回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。
また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。【００１３】
そして、固定翼１２３の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。【００１４】
固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設され、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間にはネジ付きスペーサ１３１が配設されている。そして、ベース部１２９中のネジ付きスペーサ１３１の下部には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。【００１５】
ネジ付きスペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝１３１ａが複数条刻設されている。
ネジ溝１３１ａの螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。【００１６】
回転体１０３の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・に続く最下部には回転翼１０２ｄが垂下されている。この回転翼１０２ｄの外周面は、円筒状で、かつネジ付きスペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付きスペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。【００１７】
ベース部１２９は、ターボ分子ポンプ１００の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。
ベース部１２９はターボ分子ポンプ１００を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。【００１８】
かかる構成において、回転翼１０２がモータ１２１により駆動されてロータ軸１１３と共に回転すると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。
吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。【００１９】
この回転翼１０２の回転に伴い、機械的な微小振動や電気的なノイズが生ずるが、これらがチャンバ側に伝達されるのを防止するため、従来は、チャンバとターボ分子ポンプ１００間に外付けダンパが配設されていた。【００２０】
しかしながら、この外付けダンパを使うと、設置スペースが必要になってしまったり、配管抵抗によって実効排気速度が低下してしまったりする。また、省スペースであって、かつ実効排気速度も低下させないようにダンパを内蔵したターボ分子ポンプもあるが、外付けダンパや内蔵ダンパほどの振動低減が必要無い場合には、もっと簡単かつ低価格な構成で振動低減されることが望ましい。【００２１】
更に、ターボ分子ポンプのケーシングとフランジを別体として構成し、この間に弾性部材と真空シールを設けることで振動を低減した例が公開されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】実開昭６０−２８２９８号公報公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
ところで、特許文献１では、ケーシングとフランジを別体として構成しているため、ターボ分子ポンプを不必要に大型化してしまう。また、弾性部材としてゴムの両端にネジを設けたものを使用しているが、ゴムは伸び方向には圧縮方向と比較して弱く、大型のポンプを支持するには難がある。【００２３】
更に、ターボ分子ポンプに異常が発生した場合のトルクがゴムにかかってしまうため耐えられず、ターボ分子ポンプ単体では安全性を確保できない。いずれも、最悪の場合にはフランジだけ残して、ポンプが脱落してしまうおそれがあった。【００２４】
本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、簡易な設備で振動を低減できると共に電気的なノイズを絶縁可能であり、かつ取付け姿勢に自由度を有する端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
このため本発明（請求項１）は、第１の端部と、該第１の端部に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部と、該第２の端部と前記第１の端部間に配設された弾性を有するシール部材とを備え、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第１の端部と前記第２の端部間が接近され前記シール部材が弾性変形される一方で、前記第１の端部と前記第２の端部間には前記シール部材を介して所定の隙間が形成されたことを特徴とする。【００２６】
シール部材は、内外間の気密性を保持しつつ弾性を有する。そして、第２の端部側で真空引きされると、シール部材による気密性が確保されているため内外の気圧差が生ずる。この気圧差により第１の端部と第２の端部間が接近する。このとき、シール部材が弾性変形される一方で、第１の端部と第２の端部間にはシール部材を介して所定の隙間が形成される。【００２７】
このように、第１の端部と第２の端部間の隙間にシール部材を介在したことで、シール部材により機密性が維持されつつ、一方の端部側で生じた振動は吸収され、他方の端部に伝達される振動は低減する。電気的にも絶縁される。構造的に簡素なので低価格、かつ省スペースである。真空引きされたときの実効排気速度の低下を抑えることができる。ポンプのケーシングと一体に形成すれば、実効排気速度を低下させないこともできる。【００２８】
また、本発明（請求項２）は、第１の端部と、該第１の端部に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部と、該第２の端部に配設された少なくとも一つの貫通穴と、該貫通穴に貫通され前記第２の端部の脱落を防ぎつつ前記第１の端部に固定される固定手段と、該固定手段と前記貫通穴の間に配設された第１の弾性部材と、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第２の端部が前記第１の端部に接近することで前記第２の端部は固体同士の接触から解放されることを特徴とする。【００２９】
第２の端部には貫通穴が配設される。固定手段は、この貫通穴に貫通され、第２の端部の脱落を防ぎつつ第１の端部に固定される。第１の弾性部材は、固定手段と貫通穴の間に配設される。そして、真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき、第２の端部が第１の端部に接近する。このことにより、第２の端部は固体同士の接触から解放され第１の弾性部材を介して接触されるようになる。【００３０】
以上により、一方の端部側で生じた振動は吸収され、他方の端部に伝達される振動は低減する。電気的にも絶縁される。第１の端部及び第２の端部の取付け姿勢にも自由度を持たせることができる。構造的に簡素なので低価格、かつ省スペースである。真空引きされたときの実効排気速度の低下を抑えることができる。ポンプのケーシングと一体に形成すれば、実効排気速度を低下させないこともできる。万一、第２の端部側のいずれかの部材が破壊等した場合でも固定手段で第２の端部の脱落を防止できるので安全である。【００３１】
更に、本発明（請求項３）は、第１の端部と、該第１の端部に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部と、該第２の端部と前記第１の端部間に配設された弾性を有するシール部材と、前記第２の端部に配設された少なくとも一つの貫通穴と、該貫通穴に貫通され前記第２の端部の脱落を防ぎつつ前記第１の端部に固定される固定手段と、該固定手段と前記貫通穴の間に配設された第１の弾性部材とを備え、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第１の端部と前記第２の端部間が接近され前記シール部材が弾性変形される一方で、前記第１の端部と前記第２の端部間には前記シール部材を介して所定の隙間が形成され、かつ前記第２の端部は固体同士の接触から解放され前記第１の弾性部材と接触されることを特徴とする。【００３２】
第１の端部と第２の端部間は、シール部材で弾力的に連接され、一方、第２の端部と固定手段間は少なくとも一つの第１の弾性部材で弾力的に連接されている。
真空引きされたとき、シール部材により、第１の方向の振動が吸収される一方で、少なくとも一つの第１の弾性部材により、第２の方向の振動が吸収される。このことにより、全方向的な振動が効率よく吸収される。電気的にも絶縁される。【００３３】
更に、本発明（請求項４）は、前記固定手段と前記第１の弾性部材の間にはスペーサカラーが配設され、前記固体同士の接触は、該スペーサカラー又は前記固定手段と前記第２の端部間の接触であることを特徴とする。【００３４】
スペーサカラーによって、固定手段による固定の規制を行うことができる。このため、第１の弾性部材やシール部材の適度な弾力性を確保できる。【００３５】
更に、本発明（請求項５）は、前記シール部材は、前記第１の端部及び／又は前記第２の端部に形成された凹部、あるいはセンタリングに保持されたことを特徴とする。【００３６】
このことにより、シール部材の位置を保持できる。【００３７】
更に、本発明（請求項６）は、第１の端部と、該第１の端部に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部と、該第２の端部に配設された弾性を有するシール部材と、該シール部材を収納する凹部と、前記第２の端部に配設された少なくとも一つの貫通穴と、該貫通穴に貫通され前記第２の端部の脱落を防ぎつつ前記第１の端部に固定される固定手段とを備えた端部間の接続構造であって、該固定手段を前記第１の端部に固定したときの前記シール部材の高さの公差範囲が、該固定前の状態における前記シール部材の高さの最低許容寸法と真空引きした状態のときの前記シール部材の高さの最大許容寸法との差の範囲内に納まることを特徴とする。【００３８】
この状態が確保されれば、組み立て後における真空シールが確実に機能し、かつ真空引きした状態においては、第２の端部を固定手段やスペーサカラーの金属部分より確実に離れさせることができる。【００３９】
更に、本発明（請求項７）は、第１の端部と、該第１の端部に対峙され、真空引きされる側である中空の第２の端部と、該第２の端部に配設された弾性を有するシール部材と、該シール部材を収納する凹部と、前記第２の端部に配設された少なくとも一つの貫通穴と、該貫通穴に貫通され前記第２の端部の脱落を防ぎつつ前記第１の端部に固定される固定手段と、該固定手段と前記貫通穴の間に配設されたスペーサカラーとを備えた端部間の接続構造であって、前記固定手段を前記第１の端部に固定する前の状態において、前記第２の端部の底面より前記凹部の底面までの高さと前記シール部材の高さとを加えた寸法が前記スペーサカラーの胴部分の高さより大きく、かつ、真空引きされたときの前記シール部材の高さと前記第２の端部の底面より前記凹部の底面までの高さとを加えた寸法が前記スペーサカラーの胴部分の高さより小さいことを特徴とする。【００４０】
このことにより、固定手段を第１の端部に固定し組み立てた状態のときには、シール部材がつぶされ真空シールする。一方、真空引きした状態のときには、シール部材が更につぶされ、第２の端部が固定手段やスペーサカラーの金属部分より確実に離れることになる。【００４１】
更に、本発明（請求項８）は、前記第２の端部には第２の弾性部材が配設され、該第２の弾性部材は、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第２の端部が前記第１の端部に接近することで前記第１の端部に向けて押し付けられることを特徴とする。【００４２】
第２の弾性部材は、真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき第２の端部が第１の端部に接近することで、第１の端部に向けて押し付けられる。このことにより、内外の気圧差に基づく一部若しくは全荷重を支えることができ、例えばシール部材と共に用いられた場合にはシール部材にかかる荷重を減らすことができる。第２の弾性部材は、例えば環状に連続して配設されてもよいし、部分的に少なくとも１か所に配設されてもよい。【００４３】
更に、本発明（請求項９）は、前記第２の弾性部材は前記第１の弾性部材と一体形成されたことを特徴とする。【００４４】
第１の弾性部材の機能を第２の弾性部材に持たせ、第１の弾性部材を省略することもできる。
このことにより、部品の点数を減らすことができる。【００４５】
更に、本発明（請求項１０）は、前記固定手段にはボルトを備えたことを特徴とする。【００４６】
このことにより、構造を簡素にできる。【００４７】
更に、本発明（請求項１１）は、前記スペーサカラーには前記第２の端部の脱落を防ぐための鍔部を備えたことを特徴とする。【００４８】
このことにより、構造を簡素にできる上に、第２の端部の脱落を効率よく防止することができる。【００４９】
更に、本発明（請求項１２）は、前記スペーサカラーの外周面及び／又は前記貫通穴の内周面がテーパ状に形成されたことを特徴とする。【００５０】
このようにテーパ状に形成された場合には、第１の弾性部材は省略されてもよい。
以上により、取付け時の位置決めを容易にできる上に、第１の弾性部材を省略した場合であっても、真空引きされたときに貫通穴とスペーサカラーの固体同士の接触を回避することができ、また、第２端部の脱落を効率よく防止することができる。【００５１】
更に、本発明（請求項１３）は、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の端部間の接続構造を適用した真空システムであって、前記第１の端部又は前記第２の端部が、真空引きされる対象である所定の装置と該装置内部を真空引きする真空ポンプとの間のいずれかの部位のフランジであることを特徴とする。【００５２】
このことにより、真空ポンプの取付け姿勢を自由に設定できる。構造的に簡素なので低価格、かつ省スペースである。真空引きされたときの実効排気速度の低下を抑えることができる。ポンプのケーシングと一体に形成すれば、実効排気速度を低下させないこともできる。万一、真空ポンプが破壊等した場合でも固定手段で第２の端部の脱落を防止できるので安全である。シール部材、第１の弾性部材、第２の弾性部材により衝撃吸収効果も期待できる。
【発明の効果】
【００５３】
以上説明したように本発明によれば、第１の端部と第２の端部間の隙間にシール部材を介設したことで、真空引きされたとき、シール部材により機密性が維持されつつ、一方の端部側で生じた振動は吸収され、他方の端部に伝達される振動は低減する。電気的にも絶縁される。構造的に簡素なので低価格、かつ省スペースである。真空引きされたときの実効排気速度の低下を抑えることができる。ポンプのケーシングと一体に形成すれば、実効排気速度を低下させないこともできる。【００５４】
また、第１の弾性部材を固定手段と貫通穴の間に配設したので、真空引きされたとき、第２の端部は固体同士の接触から解放され第１の弾性部材と接触されるようになる。従って、万一、第２の端部側のいずれかの部材が破壊等した場合でも固定手段で第２の端部の脱落を防止でき安全である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態の概略構成図である。
【図２】図２は、図１中に点線で示した領域Ａ部を拡大した縦断面図である。
【図３】図３は、ポンプフランジ回りの斜視構成図（組み立て図）である。
【図４】図４は、スペーサカラー内にボルトが通され、装置側フランジを螺着した様子を示した図である。
【図５】図５は、Ｏリングと装置側フランジ間に隙間ができてしまった例を示した図である。
【図６】図６は、  ターボ分子ポンプの内部が真空状態になったときの様子を示した図である。
【図７】図７は、ターボ分子ポンプの径方向の振動低減効果を示したグラフである。
【図８】図８は、ターボ分子ポンプのアキシャル方向の振動低減効果を示したグラフである。
【図９】図９は、本発明の接続構造の適用例を示した図である。
【図１０】図１０は、本発明の第２実施形態の部分縦断面図である。
【図１１】図１１は、同ポンプフランジ回りの斜視構成図（組み立て図）である。
【図１２】図１２は、環状弾性部材と円筒弾性部材とを一体化した例を示した図である。
【図１３】図１３は、本発明の第３実施形態の部分縦断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の第４実施形態の部分縦断面図である。
【図１５】図１５は、ターボ分子ポンプの内部が真空状態になったときの様子を示した図である。
【図１６】図１６は、本発明の第５実施形態の部分縦断面図である。
【図１７】図１７は、Ｏリングの高さ寸法の遷移図
【図１８】図１８は、ターボ分子ポンプの縦断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１００    ターボ分子ポンプ
１０１    吸気口
１２７    外筒
２０１、２４１、３０１    ポンプフランジ
２０２    フランジ凸部
２０３    装置側フランジ
２０５、３３５    ボルト
２０６、３０５    凹部
２０７    Ｏリング
２０９、２３９、２５９、３２９    貫通穴
２１１、２３１    円筒弾性部材
２１３、２５３、３３３    スペーサカラー
２１３ｂ、３３３ｂ    鍔部
２１５    隙間
２３３    環状弾性部材
２４３    センタリング
３２１    吸気口筒
３０３    外筒分離部材
３２３    ベローズ
【発明を実施するための最良の形態】
【００５７】
以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の第１実施形態の概略構成図を図１に示す。図１において、ターボ分子ポンプ１００の頭部に形成されたポンプフランジ２０１には真空チャンバ等の装置側フランジ２０３が複数本のボルト２０５により接続固定されている。図２は、図１中に点線で示した領域Ａ部を拡大した部分縦断面図である。また、図３には本フランジとポンプを別に構成した場合のポンプフランジ回りの斜視構成図（組み立て図）を示す。図では見えないが、ポンプフランジ２０１の下面には雌ネジが刻設されており、ターボ分子ポンプ１００をクランパやボルトで取付けられるようになっている。【００５８】
ポンプフランジ２０１の上端面にはフランジ凸部２０２が上方に向けて突設され、ポンプフランジ２０１の上端面との間に段差を有している。そして、このフランジ凸部２０２には断面が矩形状で上方に向けて開口された凹部２０６が吸気口１０１回りに環状に刻設されている。凹部２０６の内側にはＯリング２０７が配設されている。このＯリング２０７と凹部２０６の関係は、従来は、ポンプフランジ２０１と装置側フランジ２０３がボルト２０５により接続固定された際に、Ｏリング２０７が丁度凹部２０６内に隙間なく充填されるように溝の深さはＯリング太さにもよるが、１〜１．５ｍｍ程度Ｏリング太さよりも浅く設定されていた（ＪＩＳ規格等）。【００５９】
しかしながら、本願では、同じＯリング２０７に対し、ＪＩＳ規格等で定められた大きさの凹部２０６の高さより高さにおいて所定長分低く形成され、Ｏリング２０７が凹部２０６より高さ方向にはみ出るようになっている。【００６０】
ポンプフランジ２０１の周囲にはボルト２０５が貫通されるための貫通穴２０９が周状に複数箇所に形成されている。この貫通穴２０９には円筒状のゴム製の円筒弾性部材２１１が配設されている。そして、更にこの円筒弾性部材２１１の内側には胴部分２１３ａが円筒状で、下端に円盤状の鍔部２１３ｂを有するスペーサカラー２１３が挿入されている。鍔部２１３ｂの直径は、貫通穴２０９の直径より大きく形成されており、鍔部２１３ｂにてポンプフランジ２０１を保持可能なようになっている。【００６１】
図２に示すように、ボルト２０５による締結のされていない状態においては、スペーサカラー２１３と円筒弾性部材２１１の高さは、揃えられており、一方ポンプフランジ２０１の高さより高く、かつこのポンプフランジ２０１の凹部２０６よりはみ出したＯリング２０７の高さよりは低く形成されている。【００６２】
また、図４には、スペーサカラー２１３内にワッシャ２１４を介してボルト２０５が通され、装置側フランジ２０３側に形成された図示しない雌ネジに対しボルト２０５が螺着された状態を示す。このとき、ボルト２０５の螺着は、スペーサカラー２１３の高さにより規制されており、ボルト２０５が装置側フランジ２０３に締結された状態では、Ｏリング２０７（例えば直径６ｍｍ）は圧縮によりある程度、高さ方向に変形されたようになっている。このとき、装置側フランジ２０３の下端面とポンプフランジ２０１の上端面との間には、０．５ｍｍ程度の隙間２１５が形成されるようになっている。そして、このＯリング２０７の弾性力により、図中Ｂ符号で示した箇所は、ポンプフランジ２０１とスペーサカラー２１３の鍔部２１３ｂとが接触した状態になっている。【００６３】
なお、図５にはＯリング２０７と装置側フランジ２０３間に隙間ができてしまった好ましくない例を示す。Ｏリング２０７は圧縮により弾力性を有しつつも、ある程度、高さ方向に変形された状態に維持されることが望ましい。【００６４】
次に、本発明の第１実施形態の作用を説明する。
図４において、ターボ分子ポンプ１００が起動される前には、Ｏリング２０７は圧縮によりある程度、高さ方向に変形され、かつポンプフランジ２０１とスペーサカラー２１３の鍔部２１３ｂとが接触した状態にある。次に、ターボ分子ポンプ１００が起動されると、ターボ分子ポンプ１００の内部では真空状態になる。一方、ターボ分子ポンプ１００には上方に向けて大気圧力が働いている。このため、図６に示すように、スペーサカラー２１３は固体なので高さ方向に変位はしない一方で、ターボ分子ポンプ１００は内外気圧差に従いＯリング２０７の弾性力に抗して次第に上方に移動する。このとき、図中Ｂ符号で示した箇所のポンプフランジ２０１とスペーサカラー２１３の鍔部２１３ｂ間の接触は開放され、ポンプフランジ２０１は、円筒弾性部材２１１にのみ接触するようになる。【００６５】
即ち、ポンプフランジ２０１の上端面と装置側フランジ２０３の下端面間は、Ｏリング２０７で弾力的に連接され、一方、ポンプフランジ２０１とスペーサカラー２１３及びボルト２０５間は円筒弾性部材２１１で弾力的に連接されている。【００６６】
このことにより、Ｏリング２０７により気密性を確保できるのはもとより、このＯリング２０７と円筒弾性部材２１１により、ターボ分子ポンプ１００の運転中に生じた振動は、固体の部材間同士の接触により伝達されるということはなくなる。円筒弾性部材２１１は、ポンプフランジ２０１の周囲複数カ所に均等に配設されているので、Ｏリング２０７と円筒弾性部材２１１の弾性作用により垂直及び水平方向を含む全方向的に振動が吸収される。【００６７】
この振動低減の効果を実験で算出したのが図７及び図８である。図７は、ターボ分子ポンプ１００の径方向の振動低減効果を示したグラフである。横軸には運転の周波数を、縦軸には振動の加速度を示している。使用したターボ分子ポンプ１００は、１３００Ｌ（リッター）／ｓクラスであり、真空度は、１×１０−６Ｐａ（パスカル）程度である。【００６８】
図中、点線で示したグラフが本発明の適用されていない、従来のポンプフランジと装置側フランジとが直接ボルトにより接続された接続構造のものであり、一方、実線で示したグラフが本発明を適用したポンプフランジ２０１と装置側フランジ２０３の接続構造のものである。両者を比較すると、最大２０デシベル以上振動の低減したことが分かる。図８は、図７と同様にターボ分子ポンプ１００のアキシャル方向の振動低減効果を示したグラフである。両者を比較すると、最大３０デシベル程度振動の低減したことが分かる。【００６９】
また、ターボ分子ポンプ１００の運転中に生じた電気的ノイズは、Ｏリング２０７と円筒弾性部材２１１の絶縁作用によりターボ分子ポンプ１００側から装置側に伝達することはなくなる。このように、簡易な設備で振動低減と共に電気絶縁も実現できる。設置スペースもＯリング２０７と円筒弾性部材２１１を配設するだけなので極めて小さくてすむ。また、ターボ分子ポンプ１００の外筒１２７やフランジ２０１と一体に構成することもでき、この場合、設置スペースの増加や実効排気速度の低下を招くことなく実装することもできる。【００７０】
更に、本発明は、Ｏリング２０７と円筒弾性部材２１１という弾性変形の大きさが小さい部材を用いており、ダンパのように拡縮された際に変形の度合いの大きい部材を用いていないので、例えばターボ分子ポンプ１００を横方向にたわむことなく設置する等も可能である。【００７１】
なお、本実施形態では、ターボ分子ポンプ１００を例にポンプフランジ２０１と装置側フランジ２０３の接続構造という観点から説明したが、フランジの一方側と他方側とに圧力差が想定される環境であれば本実施形態は実現可能であり、配管の途中のフランジ同士の接続構造等にも適用可能である。また、本発明はフランジに限定するものでもなく、部材同士を接続するあらゆる接続構造に対し適用可能である。【００７２】
また、本実施形態では、凹部２０６をポンプフランジ２０１側にのみ形成したが、この凹部２０６と対峙する装置側フランジ２０３にも凹部を形成し、両凹部間にＯリング２０７を配設するようにしてもよい。凹部２０６をポンプフランジ２０１側に代えて、装置側フランジ２０３のみに配設するようにしてもよい。
貫通穴等の設置も、ポンプフランジ２０１側と装置側フランジ２０３側を逆にすることもできる。【００７３】
更に、本実施形態では、ターボ分子ポンプを装置に対し直接接続する例を示したが、図９に示すようにターボ分子ポンプ１００の上部に真空バルブ２４０を接続し、この真空バルブ２４０と装置間のフランジ接続に対し本発明の接続構造を適用するようにしてもよい。【００７４】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
本発明の第２実施形態の部分縦断面図を図１０に、また、図１１にはポンプフランジ回りの斜視構成図（組み立て図）を示す。
なお、図２、図３と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。【００７５】
本発明の第１実施形態では円筒弾性部材２１１がポンプフランジ２０１の貫通穴２０９の高さより長く形成され、この貫通穴２０９より突設していたが、本発明の第２実施形態では、円筒弾性部材２１１に代えて円筒弾性部材２３１が貫通穴２０９の高さと同じに設定されている。そして、このポンプフランジ２０１の上端面には、フランジ凸部２０２の周囲を覆うように、ゴム製の環状弾性部材２３３が配設されている。この環状弾性部材２３３には、ポンプフランジ２０１の貫通穴２０９に対峙する箇所に貫通穴２３９が設けられている。【００７６】
次に、本発明の第２実施形態の作用を説明する。
環状弾性部材２３３を配設したことにより、ターボ分子ポンプ１００の運転により真空引き状態とされた際に、ポンプフランジ２０１が上方に移動されるが、この際にはＯリング２０７に荷重がかかるだけではなく、環状弾性部材２３３にも荷重の一部がかかる。従って、Ｏリング２０７にのみ過度の荷重がかかるのを防ぐことができ、Ｏリング２０７の寿命を長くすることができる。【００７７】
なお、環状弾性部材２３３と円筒弾性部材２１１とを別に配設するのではなく、図１２に断面図を示すように、環状弾性部材２３３と円筒弾性部材２１１とを一体化して構成するようにしてもよい。環状弾性部材２３３に円筒弾性部材２１１の機能を持たせ、円筒弾性部材２１１を省略してもよい。【００７８】
また、環状弾性部材２３３は、必ずしも全周に渡って一部材で配設される必要はなく、円筒弾性部材２１１の存在する周囲にのみ限定して複数個に分割するように配設されてもよい。【００７９】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
本発明の第３実施形態の部分縦断面図を図１３に示す。
なお、図２、図３と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。【００８０】
外筒１２７の上部にはポンプフランジ２４１が配設されている。このポンプフランジ２４１と装置側フランジ２０３の間には、吸気口１０１回りに環状にＯリング２０７が設けられている。このＯリング２０７の内側には、断面Ｌ字状のセンタリング２４３が固定されている。そして、図１３においては、Ｏリング２０７の右端はセンタリング２４３の左端面に当接されている。その他の構成は、本発明の第１実施形態又は第２実施形態と同様に構成されている。【００８１】
かかる構成において、ターボ分子ポンプ１００の運転により真空引き状態とされた際に、センタリング２４３と装置側フランジ２０３の間にはＯリング２０７を介して隙間２１５が存在するので、ポンプフランジ２４１が上方に移動可能である。このとき、ポンプフランジ２４１とスペーサカラー２１３の鍔部２１３ｂ間の接触は開放され、ポンプフランジ２４１は、円筒弾性部材２１１にのみ接触するようになる。従って、本発明の第１実施形態又は第２実施形態と同様の効果を得ることができる。【００８２】
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図１４に本発明の第４実施形態の部分縦断面図を示す。なお、図２、図３と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
ポンプフランジ２０１に配設された貫通穴２５９の内周面は、テーパ状に下方に向けて内径が次第に拡開されている。そして、この貫通穴２５９の内周面に対し形状が合うようにスペーサカラー２５３の外周面がテーパ状に形成されている。即ち、このスペーサカラー２５３の肉厚は、下方に向けて次第に厚くなっている。図１４は、ボルト２０５により装置側フランジ２０３に対しスペーサカラー２５３が締結された状態を示している。【００８３】
かかる構成において、スペーサカラー２５３の外周面と貫通穴２５９の内周面の双方がテーパ状なので、ポンプフランジ２０１は落下せずにスペーサカラー２５３及びボルト２０５により保持される。【００８４】
一方、ターボ分子ポンプ１００の運転により真空引き状態とされた際には、図１５に示すようにポンプフランジ２０１は上昇し、ポンプフランジ２０１とスペーサカラー２５３との間には隙間が形成される。このことにより、振動低減と共に電気絶縁を実現できる。また、ボルト２０５締結の際の位置決めを容易に実現できる。円筒弾性部材２１１を省略した場合であってもポンプフランジ２０１とスペーサカラー２５３との間の固体接触を回避できる。ターボ分子ポンプ１００に異常が発生した場合であっても、スペーサカラー２５３のテーパ面でポンプフランジ２０１を受けることが可能なので、ポンプが脱落することはなくなる。【００８５】
なお、必ずしもスペーサカラー２５３の外周面と貫通穴２５９の内周面の双方をテーパ面にする必要はなく、いずれか一方だけにテーパ面を形成するようにしてもよい。【００８６】
次に、本発明の第５実施形態について説明する。
図１６に本発明の第５実施形態の部分縦断面図を示す。なお、図４と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。本発明の第５実施形態は、ダンパを内蔵したターボ分子ポンプに対し本発明を適用した例である。【００８７】
図１６において、ポンプフランジ３０１には環状に形成された外筒分離部材３０３が対向されている。このポンプフランジ３０１側には図４とは異なり凹部は形成されておらず、外筒分離部材３０３側のポンプフランジ３０１と対向する面に凹部３０５が形成されている。そして、その凹部３０５内部にＯリング２０７が配設されている。また、図４とは異なり貫通穴２０９の内側には円筒弾性部材が省略され、スペーサカラー２１３のみが挿入されている。【００８８】
外筒分離部材３０３の上側には吸気口筒３２１がベローズ３２３を介して揺動自在に連設されている。この吸気口筒３２１は吸気空間を囲むように配置されている。ベローズ３２３の下端は外筒分離部材３０３に固定され、一方、ベローズ３２３の上端は吸気口筒３２１に固定されている。吸気口筒３２１の底部３２１ａは、環状に突設されており、この底部３２１ａには貫通穴３２９が設けられている。貫通穴３２９には胴部分３３３ａが円筒状で、上端に円盤状の鍔部３３３ｂを有するスペーサカラー３３３が挿入されている。このスペーサカラー３３３の下端は外筒分離部材３０３に当接されている。【００８９】
貫通穴３２９にはボルト３３５が通され、外筒分離部材３０３に対し締結されている。吸気口筒３２１の底部３２１ａと外筒分離部材３０３の間には材質がゴムからなる弾性部材３３７が挟装されている。【００９０】
かかる構成において、ボルト３３５及びスペーサカラー３３３により、回転体１０３が回転中に破壊する等によって大きな荷重が作用しても、吸気口筒３２１が外筒分離部材３０３からはずれ難く、安全性を確保できる。また、弾性部材３３７とベローズ３２３により、吸気口筒３２１の底部３２１ａはスペーサカラー３３３の高さ範囲内に移動が規制されている。このため、弾性部材３３７とベローズ３２３の変形が良好な振動低減性を示す弾性変形範囲内に収められ、優れた振動低減性を常に発揮することができる。【００９１】
そして、回転翼１０２の回転に伴い生ずる機械的な微小振動が、外筒分離部材３０３に伝達されると、弾性部材３３７とベローズ３２３の弾性変形によって振動が大幅に減衰された後、吸気口筒３２１に伝達される。一方、Ｏリング２０７の作用は、本発明の第１実施形態で説明した通りであり、Ｏリング２０７により気密性を確保できるのはもとより、このＯリング２０７により、ターボ分子ポンプ１００の運転中に生じた振動は、固体の部材間同士の接触により伝達されるということはなくなる。【００９２】
また、ターボ分子ポンプ１００の運転中に生じた電気的ノイズは、Ｏリング２０７の絶縁作用によりターボ分子ポンプ１００側から装置側に伝達することはなくなる。このように、簡易な設備で振動低減と共に電気絶縁も実現できる。設置スペースもダンパをターボ分子ポンプ１００に内蔵した上に、Ｏリング２０７を配設するだけなので極めて小さくてすむ。このため、実効排気速度も低下しない。【００９３】
なお、本実施形態は、本発明の第２実施形態と同様にゴム製の環状弾性部材２３３を配設するようにしてもよい。このことにより、ターボ分子ポンプ１００の運転により真空引き状態とされた際に、ポンプフランジ２０１が上方に移動されるが、この際にはＯリング２０７に荷重がかかるだけではなく、環状弾性部材２３３にも荷重の一部がかかる。従って、Ｏリング２０７にのみ過度の荷重がかかるのを防ぐことができ、Ｏリング２０７の寿命を長くすることができる。
【実施例】
【００９４】
次に、本発明の実施例を第１実施形態を基に具体的に説明する。但し、本実施例は、他の実施形態についても同様に適用可能である。
第１実施形態の図２は、ボルト２０５による締結のされていない状態であり、Ｏリング２０７の高さｌ１は例えば６ｍｍに公差（−０．１〜＋０．１）を加えた寸法である。このときの公差はＯリング２０７がつぶされていない状態のものである。【００９５】
また、スペーサカラー２１３の胴部分２１３ａの鍔部２１３ｂからの高さｈは、１８ｍｍに公差（−０．１〜＋０．１）を加えた寸法であり、一方、この鍔部２１３ｂからフランジ凸部２０２の上端面までの高さｉは、１６．５ｍｍに公差（−０．１〜＋０．１）を加えた寸法である。更に、凹部２０６の深さｊは３．８ｍｍに公差（−０．０５〜＋０．０５）を加えた寸法である。【００９６】
一方、図４の状態は、ボルト２０５による締結のされた状態である。このとき、Ｏリング２０７の高さｌ２は５．３ｍｍに公差（−０．２５〜＋０．２５）を加えた寸法となっており、真空シールの必要からＯリング２０７はつぶされた状態に維持する必要がある。【００９７】
更に、図６の状態は、ターボ分子ポンプ１００が真空引きしている状態である。このとき、Ｏリング２０７の高さｌ３は図４の状態から更につぶされ、実験データによれば、４．４ｍｍに公差（−０．３〜＋０．３）を加えた寸法となっている。この際には、フランジ凸部２０２の下端面がスペーサカラー２１３の鍔部２１３ｂより離れ、隙間の形成される必要がある。【００９８】
図２の状態、図４の状態及び図６の状態のそれぞれを上記設計値並びに公差とすることで、図２においては、鍔部２１３ｂから凹部２０６の底面までの高さにＯリング２０７がつぶされていない状態の寸法ｌ１を加えた高さが、スペーサカラー２１３の胴部分２１３ａの鍔部２１３ｂからの高さｈより高く設定されることになる。このため、図４に示す組み立てた状態のときには、Ｏリング２０７がつぶされ真空シールする。【００９９】
一方、図６においては、真空引きの作用により更につぶされたＯリング２０７の高さに鍔部２１３ｂから凹部２０６の底面までの高さを加えた高さが、スペーサカラー２１３の胴部分２１３ａの鍔部２１３ｂからの高さｈより低く設定されることになる。このため、図６に示す真空引きした状態のときには、フランジ凸部２０２の下端面がスペーサカラー２１３の鍔部２１３ｂより離れることになる。【０１００】
図１７には、Ｏリング２０７の高さ寸法に関し、図２に示す組み立て前の状態におけるＯリング２０７の高さｌ１、図４に示す組み立てた状態のときのＯリング２０７の高さｌ２、図６に示す真空引きした状態のときのＯリング２０７の高さｌ３のそれぞれの寸法関係を示す。【０１０１】
図中「Ｉ」の字にて示す公差範囲の上端と下端とが、それぞれ各状態におけるＯリング２０７の最大許容寸法と最小許容寸法である。組み立て前の状態から組み立てた状態への移行に際して真空シールを確実に機能させ、更に、真空引きした状態において、フランジ凸部２０２の下端面をスペーサカラー２１３の鍔部２１３ｂより確実に離れさせるためには、それぞれの状態における公差範囲が重ならないようにする必要がある。【０１０２】
即ち、図１７の場合において、例えば、組み立て前の状態におけるＯリング２０７の高さｌ１の最低許容寸法と組み立てた状態におけるＯリング２０７の高さｌ２の最大許容寸法とを比較すると、高さｌ２の最大許容寸法の方が高さｌ１の最低許容寸法より低く形成されており、重なってはいない。【０１０３】
同様に、Ｏリング２０７の高さｌ２の最低許容寸法と真空引きした状態のときのＯリング２０７の高さｌ３の最大許容寸法とを比較すると、高さｌ３の最大許容寸法の方が高さｌ２の最低許容寸法より低く形成されており、重なってはいない。
このように、各状態において要求されるそれぞれの機能を確実に実現し、維持するためには、図１７において、公差範囲の上端と下端とが、それぞれ重ならないことが必要になる。【０１０４】
ここに、組み立て前の状態におけるＯリング２０７の高さｌ１の寸法と真空引きした状態のときのＯリング２０７の高さｌ３の寸法とが決められたとき、組み立てた状態のときのＯリング２０７の高さｌ２の公差範囲は、組み立て前の状態におけるＯリング２０７の高さｌ１の最低許容寸法と真空引きした状態のときのＯリング２０７の高さｌ３の最大許容寸法との差の範囲内に納まるように設計されればよい。即ち、組み立てた状態におけるＯリング２０７の高さｌ２は、この差の半分より小さい公差とすればよい。この状態が確保されれば、組み立て後における真空シールが確実に機能し、かつ真空引きした状態においては、フランジ凸部２０２の下端面をスペーサカラー２１３の鍔部２１３ｂより確実に離れさせることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０５】
本発明の活用例として、例えばターボ分子ポンプの他、半導体検査装置、半導体のパターン製作のための電子ビームやレーザを利用した描画装置、電子顕微鏡装置等がある。これらの装置の一部若しくは部材の一部に本発明を適用可能である。
【図１】
2006068014.tif 000002
【図２】
2006068014.tif 000003
【図３】
2006068014.tif 000004
【図４】
2006068014.tif 000005
【図５】
2006068014.tif 000006
【図６】
2006068014.tif 000007
【図７】
2006068014.tif 000008
【図８】
2006068014.tif 000009
【図９】
2006068014.tif 000010
【図１０】
2006068014.tif 000011
【図１１】
2006068014.tif 000012
【図１２】
2006068014.tif 000013
【図１３】
2006068014.tif 000014
【図１４】
2006068014.tif 000015
【図１５】
2006068014.tif 000016
【図１６】
2006068014.tif 000017
【図１７】
2006068014.tif 000018
【図１８】
2006068014.tif 000019
【国際調査報告】
2006068014.tif 000020
2006068014.tif 000021
2006068014.tif 000022
2006068014.tif 000023