(57)【要約】  キャリア上の基板をクリーニングする装置であって、キャリアは、その内部において、互いに平行に延び、開口によってキャリアの下側で外に接続する複数の縦方向の通路を有し、装置は、互いに平行に延び、パイプホルダに配置されて液体供給源に対して液体を導くように接続された複数の細長いパイプを有している。センタリングプレートが、パイプの周囲に設けられ、パイプホルダから離れたパイプの端部領域にある取付け位置と、取付け位置及びパイプホルダ間の作用位置との間でパイプの長手方向にパイプに対して移動可能である。センタリングプレートがキャリアに支持され、パイプが縦方向の通路に対して正確に配列される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリア上の基板をクリーニングする装置であって、
キャリアは、その内部において、互いに平行に延び、開口によってキャリアの下側で外に接続する複数の縦方向の通路を有し、
装置は、互いに平行に延び、パイプホルダに配置されて液体供給源に対して液体を導くように接続された複数の細長いパイプを有し、
センタリングプレートが、パイプの周囲に設けられ、パイプの長手方向にパイプに対して移動可能であり、
センタリングプレートが、パイプに対するガイドを有し、ガイドの直径がパイプの外径よりも僅かに大きく、
センタリングプレートが、パイプホルダから離れたパイプの端部領域にある取付け位置と、取付け位置及びパイプホルダ間の作用位置との間で相対的に移動可能であることを特徴とする装置。
【請求項２】
センタリングプレートが芯出し突出部を有し、該芯出し突出部は、正確な所定の関係、特に、キャリアに設けられた開口に対して所定の関係で、キャリア又はセンタリングプレートの方を指向するキャリアの端面に係合し、芯出し突部が取付け位置でパイプの端部を越えて突出することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
センタリングプレートが、パイプホルダのパイプ全てを収容し、芯出しすることを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
センタリングプレートが、弾性力又はばね力によって、パイプホルダから離れた取付け位置に押されることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の装置。
【請求項５】
センタリングプレートがパイプ上にあるか、又はパイプにガイドされることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の装置。
【請求項６】
少なくとも一つの縦方向部材がパイプホルダに設けられ、センタリングプレートが、ガイドされ、パイプホルダの縦方向部材上で縦方向に移動可能に取り付けられ、好ましくは、縦方向部材は、パイプの両側で外側にあるパイプホルダに設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の装置。
【請求項７】
センタリングプレートは、少なくとも一つのガイドロッドに接続されるか、又はガイドロッドを備え、ガイドロッドが、パイプの縦方向で移動可能にパイプホルダにガイドされることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の装置。
【請求項８】
センタリングプレートを取付け位置に移動するための弾性ばね装置が、パイプから離れて外側に位置する、パイプホルダの面に設けられ、ガイドロッドの端部及びパイプホルダ上で作用することを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
キャリア上の基板をクリーニングする装置であって、
キャリアは、その内部において、互いに平行に延び、開口によってキャリアの下側で外に接続する複数の縦方向の通路を有し、
装置は、互いに平行に延び、パイプホルダに配置されて液体供給源に対して液体を導くように接続された複数の細長いパイプを有し、
センタリングプレートが、パイプをキャリアの縦方向通路に挿入するためにパイプの周囲に設けられ、
センタリングプレートが、パイプに対するガイドを有し、ガイドの直径がパイプの外径よりも僅かに大きく、
センタリングプレートが、パイプホルダから離れたパイプの端部領域にある取付け位置と、パイプの外側で所定の距離にあるパーキング位置と、の間で相対的に移動可能であることを特徴とする装置。
【請求項１０】
センタリングプレートが、形成され、かつ、パイプから分離して取付けられることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
センタリングプレートが、取付け位置とパーキング位置との間でパイプとは独立に移動可能であることを特徴とする請求項９又は１０に記載の装置。
【請求項１２】
取付け位置とパーキング位置との間の移動は、特に、パイプの縦方向に垂直な方向で、直線移動であることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
パーキング位置はパイプ上にあることを特徴とする請求項９〜１２の何れか一項に記載の装置。
【請求項１４】
取付け位置とパーキング位置との間で動く移動装置を有するセンタリングプレートが、パイプを有するパイプホルダが配設されているキャリアフレーム上に配置されていることを特徴とする請求項９〜１３の何れか一項に記載の装置。
【請求項１５】
センタリングプレートのガイドは、パイプを取り囲むためのガイド開口として底面で開口し、
ロック手段は、ガイドの底面領域に設けられ、移動することによって、特に、取り囲んだパイプの下のガイドを少なくとも部分的に閉じることによって、ガイド内でパイプを保持するように形成されていることを特徴とする請求項９〜１４の何れか一項に記載の装置。
【請求項１６】
全てのロック手段において、ガイドは、特にアクチュエータによって、全てのロック手段を同時に移動するために、互いに連結していることを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリア上で基板をクリーニングする装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーニング用のパイプを有するクリーニング装置は、特許文献１で開示されている。複数の基板が取り付けられたキャリアの縦方向の通路に挿入される少なくとも一つの細長いパイプが設けられ、プロセス中に種々の位置でクリーニング液を導入する。このクリーニング液は、縦方向の通路の下部領域の開口の間で、基板間のスペースに排出され、プロセス中にこれらのスペースから不純物を取り除く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】独国特許出願公開第１０２００９０３５３４３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明によって解決される課題は、従来技術の問題を取り除き、特に、信頼性が高く、トラブルを生じない処理を保証する装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的は、請求項１又は９の特徴を有する装置によって解決される。本発明の効果及び好ましい構成は、他の請求項の主題にあり、以下で詳細に説明される。請求項の用語は、明示的な説明によって明細書に組み込まれている。
【０００６】
本発明の第１の基本的な構成において、装置は、互いに平行な複数の縦方向のパイプであって、パイプホルダに配設され、液体供給源に接続して液体を導く複数のパイプを有している。例えば、４本〜６本のパイプがある。本発明によると、パイプを包み込み、パイプの長手方向でパイプに対して移動可能なセンタリングプレートが設けられている。センタリングプレートは、パイプ用のガイドを有しており、これらのガイドの直径は、パイプの外形よりもやや大きく、例えば２〜１０％大きい。センタリングプレートは、取付け位置と作用位置との間で移動可能である。取付け位置において、センタリングプレートは、パイプホルダから離れたパイプの端部領域に、すなわち、正確には、パイプの端部と同じ位置、又はパイプの正面でほんの短い距離に配置されている。どんな場合でも、パイプはセンタリングプレートでガイドされるべきである。作用位置において、センタリングプレートは、パイプホルダに向かってパイプの縦方向に一致するように、取付け位置から離れる。
【０００７】
従って、これは、装置がキャリアに取り付けられたとき、キャリアがそこに配置された基板によって非常に慎重に操作されなければならず、センタリングプレートは正確な所定の関係でキャリアに取り付けられる。結果として、センタリングプレートでガイドされたパイプは、キャリア又は縦方向の通路に対して正確な所定の関係で配置される。この場合、複数のパイプをキャリアに取り付けるよりも、このようなセンタリングプレートをキャリアに、特に、縦方向の通路を有するキャリアの端面、又はその開口に対して、かなり容易に取り付けることができる。
【０００８】
本発明の更なる構成において、センタリングプレートは、突出する芯出し突出部を有している。芯出し突出部は、正確な所定の関係で、キャリア上又はセンタリングプレートの方に向かう端面上に係合するように提供されている。この目的のため、芯出し突出部に関する適切な開口はキャリアに提供される。このような芯出し突出部が、パイプの端部を越えて突出すること、すなわち、芯出し突出部、もし可能であればセンタリングプレート全体がキャリアを支えること、キャリアに対して正確な所定の係合関係にあること、が重要である。これは、センタリングプレートでガイドされるパイプがキャリア内の縦方向の通路と整列され、従って、キャリア内に挿入されるためである。
【０００９】
本発明の他の有効な構成において、一つの方向からキャリアの方に動くパイプホルダのパイプの全てが、一つのセンタリングプレートによってガイドされる。これは、パイプが縦方向の通路内へ動くと直ぐに、不正確な取り付けがもはや不可能となり、したがって、もはやガイドされる必要はない。
【００１０】
パイプがキャリアに取り付けられるとき、センタリングプレートは、パイプの前のキャリアを支え、芯出し効果及びガイド効果を生じ、キャリアを支えないときでさえ、マニュアル又は機械的方法のどちらかで取り付け位置に提供される。しかし、簡単化のため、これは自動化され、弾性力又はバネ力が、パイプホルダからその取付け位置へセンタリングプレートを動かす。これは、以下でより詳細に説明される。
【００１１】
本発明の他の有利な構成において、センタリングプレートがパイプ上に単に載置され、又はパイプ上で単にガイドされるように作ることもできる。これは、非常に単純な構成を可能にする。
【００１２】
本発明の他の構成において、少なくとも一つの縦方向の部材がパイプホルダに設けられ、センタリングプレートは縦方向の部材上でガイドされ、縦方向の部材上で縦方向に移動可能に取り付けられる。縦方向部材は２本あることが好ましい。縦方向部材は、外側に延び、パイプの横まで延び、特に、パイプと共にパイプホルダがキャリアに接近して動くとき、キャリアを越えて延びる。ここで、センタリングプレートは、パイプが縦方向の通路の中へ動くとき、二つのレールの間にあるように、二つの縦方向部材の間又は二つの縦方向部材に沿って動く。
【００１３】
本発明の他の構成において、センタリングプレートは、ガイドロッドに固定され、すなわち、移動できないようにガイドロッドに配設される。このガイドロッドは、縦方向に、正確にはパイプの縦方向で、移動可能にパイプホルダ上又はパイプホルダ内で移動可能にガイドされる。このようなガイドロッドは、キャリアの外側で横方向に設けられる必要はなく、もちろん他の方向に移動可能である。ここで、縦方向部材に関する上述した方法において、二つのガイドロッドは、センタリングプレートの取り付けを信頼性良く正確に行うために提供される。少なくとも一つのガイドロッドを有する構成において、弾性ばね装置が、パイプから離れた方を向くパイプホルダの側面に提供されるように、センタリングプレートを動かすことができる。それは、ガイドロッドの端部及びパイプホルダ上で作用する。このばね装置は、パイプホルダに出来るだけ接近するように、ガイドロッドの端部を引っ張り、引っ張りばねのように機能する。上述したばね、特に、縦方向の部材を有する構成において、通常は圧縮ばねである。圧縮ばねは、キャリアの方に向かって、又は取付け位置へパイプホルダから離れたセンタリングプレートを押す。
【００１４】
本発明の他の第２の基本的構成において、センタリングプレートが、パイプをキャリアの縦方向の通路に挿入するためにパイプを包み込むように設けられ、また、センタリングプレートはパイプのためのガイド又はガイド開口を有している。センタリングプレートは、パイプホルダから離れたパイプの端部領域にある取付け位置とパイプ外側のパーキング位置との間で相対的に、一定距離移動可能であり、パイプがキャリアの中にあるときはパイプの邪魔にならない。パーキング位置はパイプの上にあることが好ましい。
【００１５】
センタリングプレートは、パイプから分離して形成され、取り付けられることが好ましい。しかしながら、センタリングプレートは、同一のキャリアフレームになどに固定されることもできる。
【００１６】
本発明の構成において、センタリングプレートは、取付け位置とパーキング位置との間でパイプとは無関係に移動可能である。このため、センタリングプレートは、好ましくは、リニアドライブとしての置換装置などを有することができる。取付け位置とパーキング位置との間の移動は、特に、パイプの縦方向に垂直な方向又はパイプが延びる領域で直線移動であることが好ましい。
【００１７】
パーキング位置と取付け位置との間の移動のための置換装置を有するセンタリングプレートは、パイプを有するパイプホルダが配置されるキャリアフレームに配設されることが好ましい。このため、ジョイント旋回運動が容易になり、相対位置が正確になる。
【００１８】
発明の構成において、センタリングプレートのガイドは、パイプを包み込むためのガイド開口として、底面で開口する。ロック手段は、ガイドの底面領域に設けられ、ガイドの中でパイプを保持するようにデザインされている。特に、これは、包み込まれたパイプの下で、少なくとも部分的にガイドを閉じることによって行われる。このため、ロック手段は直線的に配置されることが好ましい。有利な構成において、ガイド全てのロック手段は、同時に起こる移動に関し、互いに対して接続可能である。これは、特に、アクチュエータによって制御可能である。
【００１９】
これらの特徴及び更なる特徴は、明細書、図面及び請求項から明らかである。個々の特徴はそれらに基づいて認識され、又は複数の特徴は、発明の実施形態及び他の分野における組み合わせで認識され、有効かつ独立に保護可能な実施形態を構成し、ここで保護が求められている。個々の節及び副題への本願の分割は、以下の説明の有効性を制限しない。
【００２０】
本発明の例示的な実施形態は、図面に示され、以下でより詳細に説明される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明による第１の装置を横断する横方向の断面図であり、そこで基板を有するキャリアが移動し、パイプがキャリア内の縦方向の通路に係合する。
【図２】パイプがキャリアの内側通路へ移動する前の図１の平面図である。
【図３】パイプがキャリアの縦方向通路へ短い距離移動したときの図２に類似する平面図である。
【図４】パイプホルダ及びパイプ上のセンタリングプレートを有する本発明の第２の装置の平面図である。
【図５】図４において、センタリングプレートがパイプ上に移動し、パイプのガイドが閉じた図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明による第１の実施形態の装置１１が、横向きの断面図で図１に示されている。キャリア１２は装置１１上を動き、多数の基板１４がキャリア１２の下側に設けられている。複数の縦方向の通路１６は、キャリア１２の内側で互いに平行に延びている。シリコンブロックをソーイングして基板１４にすることで、ソーイングの切れ目がキャリア１２に作られ、下面及び開口が縦方向の通路１６を基板１４間のスペースに結合する。このようなキャリアはＤＥ１０２００９０２３１２１Ａ１で開示されている。この文献は、キャリアの構成に関し、本願に対して言及している。基板１４間のスペースをクリーニングするためのクリーニング液の導入原理に関しては、特許文献１のＤＥ１０２００９０３５３４３Ａ１が言及している。
【００２３】
左側パイプ１８ａは縦方向の通路１６に動かされ、開口１９ａがパイプ１８ａの端部領域の底面に設けられている。左側パイプ１８ａがパイプホルダ２１ａに固定され、パイプホルダ２１ａはこれらのパイプ１８ａを縦方向の通路１６に正確に導入するために移動可能である。
【００２４】
図１の右側領域において、端部領域の近傍で開口１９ｂを有する右側パイプ１８ｂは、縦方向通路１６に係合する。右側パイプ１８ｂは、パイプホルダ２１ｂに固定され、加えて、液体接続する。クリーニング液は、パイプホルダ２１ａ，２１ｂを介してパイプ１８ａ，１８ｂに供給される。クリーニング液は、クリーニングのため、開口１９ａ，１９ｂから基板１４間へ下向きに出る。
【００２５】
図２及び図３から明らかになるように、装置１１のキャリア１２の移動方向Ｂの相対移動で、パイプ１８の全てが縦方向の通路１６に正確に入るようにすることが重要である。これは、実際には約４０ｃｍ〜１００ｃｍのパイプ１８の長さを考慮して、慎重に狙って、数ｍｍの小さな直径に正確に適用されるように、センタリングプレート２３ａ，２３ｂが、左側パイプ１８ａと右側パイプ１８ｂの両方に対して本発明に従って設けられる。センタリングプレート２３ａ，２３ｂは、それぞれ芯出し突部２５ａ，２５ｂを有し、図２に示すように、パイプ１８の前のキャリア１２を支持する。従って、センタリングプレート２３ａは取付け位置にあり、パイプ１８ａの前のキャリア１２と接続する。
【００２６】
パイプ１８ａ，１８ｂは、センタリングプレート２３ａ，２３ｂ内の開口２６ａ，２６ｂ内を延びる。キャリア１２に対して自己調心するように設計されている芯出し突部２５ａ，２５ｂによって、センタリングプレートが両側から正確な所定の位置でキャリア１２に接近する。開口２６によるセンタリングプレート２３内でのパイプ１８の正確な案内は、キャリア１２がパイプホルダ２１に対して相対的に動くとき、パイプが縦方向の通路１６に正確に延びることを容易にする。
【００２７】
相対移動中に、センタリングプレート２３は、キャリア１２の端面にあり、このようにするため、ばね２７が設けられている。このばねは、センタリングプレート２３ａとパイプホルダ２１ａとの間の圧縮ばねとして示されている。パイプ１８がキャリヤ１２又は縦方向の通路１６から外されるとき、ばね２７は、センタリングプレート２３がパイプの端面に、すなわち、再び取付け位置に向かって動くようにする。これは、取付け位置において、センタリングプレート２３がキャリア１２と接触し、芯出し突部２５によって整列されるようにするためである。圧縮ばね２７の代わりとして、パイプホルダ２１に対する二つのガイド２９の左側端部の間で、図２にしたがって引張ばねとすることも可能である。
【００２８】
他方、パイプ１８は、センタリングプレート２３又はその重さを支えることが可能である。パイプ１８の前述した長さを考慮すると、軽い型板２３の場合には、高負荷は不要であることを意味する。従って、パイプホルダ２１ａにガイド２９ａが延びる２本のガイドロッド２８ａを備えることには、図２及び３によれば、センタリングプレート２３ａに関して有利な効果がある。センタリングプレート２３ａは、接近するキャリア１２に対して適合し、又は正確に整列するようにするために、移動方向Ｂに垂直な平面内において可動性が必要である。これに関しては、ガイドロッド２８は、パイプホルダ２１のガイド２９内で遊びを有するべきである。センタリングプレート２３又はその開口内でのパイプ１８の遊びは、センタリングプレートはパイプ１８を縦方向の通路１６に正確に挿入させるものであるため、非常に僅かであるべきである。
【００２９】
センタリングプレート２３の変更において、芯出し突出部２５が、その外側でかつ中心でキャリア１２を横向きに包み込まず、キャリア１２内の開口などに動くことも考えられる。同様に、所定の輪郭をキャリア１２の先端に設けることも可能であり、その輪郭はセンタリングプレートを信頼性良く固定することを可能にする。
【００３０】
基板１４に対するキャリア１２は、図示されたローラコンベヤ１７上に延びている。実際に、基板１４はそこに延びていなく、むしろキャリア１２と基板１４がかご状のキャリア装置にクランプされている。しかしながら、かご状のキャリア装置は、従来から知られており、ローラコンベヤ１７上を進む。
【００３１】
本発明による装置の第２の実施形態は、図４及び５に、正確には、紙面に垂直に突出するパイプ１１８の縦方向の正面図に示す。これらのパイプ１１８は、図３と同様に、パイプホルダ１２１に固定されている。このパイプホルダ１２１は、図示されていない方法で、例えば、右に連続する旋回アーム１２２によって旋回軸の周りをパイプ１１８に平行に旋回可能である。このような旋回アームは、図１〜３の実施形態に設けることもできる。したがって、パイプホルダ１２１と共にパイプ１１８は、最初に述べたように、キャリアの移動経路の外側に移動可能であり、パイプ１１８上にキャリアを動かすため、又はキャリアにパイプを入れるために再び移動する。
【００３２】
センタリングプレート１２３は、旋回アーム１２２上に、正確には、その先端部に固定される二つのガイドロッド１２８を介して配置される。これらのガイドロッド１２８は、旋回アーム１２２上のガイド１２９内を延びる。センタリングプレート１２３は、矢印で左側に示されるように、リニアドライブ１３１、例えば油圧シリンダによって、上下方向に移動可能である。
【００３３】
センタリングプレート１２３は、その下側にガイド開口１２６を有し、このガイド開口１２６はＵ字形状であり、整列することによって正確にパイプ１１８と係合することがわかる。この場合、これらのガイド開口１２６はパイプ１１８よりも少し幅が広いが、必ずしもそうでなくてもよい。
【００３４】
更に、帯状ロックスライド１３３がセンタリングプレート１２３上に設けられている。ロックスライド１３３は、駆動源（図示しない）によって前後に、正確に言うと図４に示す位置から右側に移動可能である。図４に示す位置において、ロックスライド１３３は、ガイド開口１２６の底が開放する開口位置に配置されている。
【００３５】
図５は、センタリングプレート１２３が、パイプ１１８がガイド開口１２６に進み、又はそこに位置するように、正確には、パイプの上に位置するように、パイプ１１８上に向かって下方に移動する。さらに、ロックスライド１３３は、ロック位置のある右側に、正確には、パイプ直径の約半分の距離だけ移動する。処理において、図４でロックスライド１３３の輪郭と共に破線で示されたロック凸部１３５は、パイプ１１８の下側の右に短い距離だけ、ロック開口１３４の下部領域に動く。この場合、ロック開口１３４は、ガイド開口１２６のようなＵ字形状であるが、幅広である。この大きな幅は、下の左側においてロック凸部１３５によって制限される。従って、ロックスライド１３３が左側に移動したとき、これらのロック凸部１３５はパイプ１１８の下へ動き、図５から容易にわかるように、パイプ１１８がガイド開口から下側へ滑ること、又は望まない動きをすることを防止する。パイプ１１８は、下の左側にあるロック凸部１３５とガイド開口１２６の右側領域との間で保持される。
【００３６】
このような保持は、パイプ１１８をキャリア（不図示）に挿入するための固定クランプに関するか、又は、例えば、パイプ１１８が長手方向で着脱可能であるようにする場合に、パイプ１１８が動作に関する僅かの遊びを有しているかどうかが、自由に選択され、本発明の範囲内にある。ここで示されたロックスライド１３３の代わりの他のもの、例えば、下から旋回し、ガイド開口１２６を横切るストリップなどを容易に考えることができる。
【００３７】
図４及び５からわかるように、本発明の第２の実施形態で示されているセンタリングプレートは、パイプホルダ１２１としてのキャリアフレームに装着された枢動アーム１２２に設けられているため、垂直方向の位置を除き、パイプ１１８に対して同じ関係を有している。図１〜３とは異なり、パイプ１１８上でガイドされる図５によるセンタリングプレート１２３の場合において、センタリングプレートは、正確な配置のキャリアに対して直接的に配置されていない。しかしながら、センタリングプレートは、パイプ１１８がそうであるように、本発明による装置１１１に正確に固定されている。キャリアは、正確な所定の位置にある装置１１１内に配置されているため、したがって、正確な挿入が行われる。
【００３８】
本発明による第２の実施形態において、パイプ１１８がキャリアに挿入された後に、センタリングプレート１２３は、取り外され、又はパイプ１１８を開放し、持ち上げられる。これは、続いて行われるクリーニングプロセスを簡易にする。しかしながら、このために、アクチュエータやドライブ１３１が必要となる。
【図１】
2012533899.tif 000003
【図２】
2012533899.tif 000004
【図３】
2012533899.tif 000005
【図４】
2012533899.tif 000006
【図５】
2012533899.tif 000007
【国際調査報告】
2012533899.tif 000008
2012533899.tif 000009
2012533899.tif 000010
2012533899.tif 000011