【事件の表示】
　特願２０１０−　５８３０１「光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　９月２９日出願公開、特開２０１１−１９１５５４、請求項の数（２６）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２２年３月１５日の出願であって、平成２５年３月１３日に特許請求の範囲が補正され、平成２６年３月２６日付けで拒絶理由が通知され、同年５月３０日に特許請求の範囲が補正され、同年９月１６日付けで拒絶理由が通知され、同年１１月２１日に特許請求の範囲が補正され、平成２７年１月１９日付けで拒絶査定（以下「原査定」という。）がされ、これに対し、同年５月７日に拒絶査定不服審判が請求され、その後、当審において平成２８年３月９日付けで拒絶理由（以下「当審拒絶理由」という。）が通知され、同年５月１６日に特許請求の範囲が補正されたものである。
　
第２　本願発明
　本願の請求項１〜２６に係る発明は、平成２８年５月１６日に補正された特許請求の範囲の請求項１〜２６に記載された事項により特定されるものであり、そのうちの請求項１に係る発明、請求項２６に係る発明（以下、それぞれ、「本願発明１」、「本願発明２６」という。また、本願の請求項２〜２５に係る発明を、それぞれ「本願発明２」〜「本願発明２５」という。）は、以下のとおりである。
「【請求項１】
　第１基板と、
　前記第１基板と対向する第２基板と、
　前記第１基板が前記第２基板と対向する第１対向面に設けられた第１反射膜と、
　前記第２基板が前記第１基板と対向する第２対向面に設けられ、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
　平面視で前記第１反射膜の外周よりも外側における前記第１対向面に設けられた第１電極と、
　前記第２基板の前記第２対向面に設けられ、前記第１電極と対向する第２電極と、
を含み、
　前記第１電極は、電気的に独立した少なくとも第１セグメント電極及び第２セグメント電極に分割され、
　前記第１セグメント電極は、前記第１反射膜の中心と前記第２反射膜の中心とを結ぶ中心線に対して、線対称に配置され、
　前記第２セグメント電極は、前記中心線に対して、線対称に配置され、
　前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の双方と前記第２電極との間に電位差があるときの第２ギャップとに変化させることで、フィルター特性が変更され、前記初期ギャップを前記第１電極と前記第２電極との間のギャップよりも小さくしたことを特徴とする光フィルター。」
「【請求項２６】
　第１基板と、
　前記第１基板と対向する第２基板と、
　前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
　前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
　前記第１基板に設けられ、平面視において前記第１反射膜の外周よりも外側に設けられた第１電極と、
　前記第２基板に設けられ、前記第１電極と対向する第２電極と、
を含み、
　前記第１電極は、電気的に独立した少なくとも第１セグメント電極及び第２セグメント電極に分割され、
　前記第１セグメント電極は、前記第１反射膜の中心を通る前記第１反射膜の法線に対して、線対称に配置され、
　前記第２セグメント電極は、前記法線に対して、線対称に配置され、
　前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の双方と前記第２電極との間に電位差があるときの第２ギャップとに変化させることで、フィルター特性が変更され、前記初期ギャップを前記第１電極と前記第２電極との間のギャップよりも小さくしたことを特徴とする光フィルター。」
　
第３　原査定の理由について
１　原査定の理由の概要
　本願の請求項１〜２６に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物１〜３に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　記
　刊行物１：特開２００１−２２１９１３号公報
　刊行物２：米国特許出願公開第２００７／０２４２９２０号明細書
　刊行物３：特開２００７−２１９４８３号公報
　
　「基板に段差を設けて、反射膜間の距離を変更する」ことは、刊行物２（[0041]、FIG.1等を参照。）に記載された発明から当業者にとって容易である。
　刊行物１に記載された発明は、絶縁部同士を接触させるものであって、図４（ｂ）の状態においても、ｈ４という間隔が形成されているのであるから、基板に段差を設けて反射膜間の距離を変更するという技術思想を適用するにあたっての特段の阻害要因はなく、刊行物１に記載された発明において、第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂの厚み等を適宜調整することにより、刊行物２に記載の「基板に段差を設けて、反射膜間の距離を変更する」という技術を適用して、本願発明で特定されている「前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極と前記第２電極との間のギャップよりも小さくした」という設計を得ることに格別の困難があったとはいえない。また、当該設計に限定することにより、当業者の予想を超える格別の効果を奏するものでもない。
　
２　原査定の理由についての合議体の判断
（１）刊行物の記載事項
ア　刊行物１：特開２００１−２２１９１３号公報　
　刊行物１には、図とともに次の記載がある（審決注：下線は合議体が付与した。以下、同じ。）。
「【００３３】図３は本発明の第二実施例の構成を示す断面図である。尚、以下の図面において、図１と重複する部分は同一番号を付してその説明は適宜に省略する。
【００３４】図３において、
シリコンの基板１上に第一ミラー２が形成され、第二ミラー３は、第一ミラー２上に形成されたシリコン酸化膜からなる絶縁膜４と、後述の第二電極３ａと、後述の第二絶縁部３ｂとを介して第一ミラー２に対向配置されている
【００３５】第二ミラー３の第一ミラー２と対向する面には、第二電極３ａと第二絶縁部３ｂが第二ミラー３から第一ミラー２の方向に順に形成され、この
第二絶縁部３ｂと第二電極３ａの中心部には孔５が形成され、その孔５の下方部は光学的活性領域となっている
【００３６】そして、
第一ミラー２と第二ミラー３との間には、孔５の下方にギャップｈ１が形成され、第二ミラー３は第一ミラー２の方向に変位可能となっている
【００３７】そして、
導電部２ａ
1
，２ａ
2
，２ａ
3
は、光学的活性領域の中心より外側へ順に左右対称に第一ミラー２上に設けられ、その高さは光学的活性領域の中心から順に高くなり、全体として階段状となる第一電極２ａを形成している
【００３８】また、
導電部２ａ
1
，２ａ
2
，２ａ
3
は、その周囲が絶縁層２ｂ
1
で覆われて互いに絶縁され、絶縁層２ｂ
1
の第二絶縁部３ｂと対向する面に相当する部分は、第一絶縁部２ｂとなっている
【００３９】第一ミラー２と第二ミラー３は、例えば多結晶シリコンであり、第一電極を構成する導電部２ａ1，２ａ2，２ａ3と第二電極３ａは、例えば不純物濃度の高い多結晶シリコンであり、第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂは、例えば窒化シリコンである。
【００４０】次に、動作を説明する。図４（ａ），（ｂ）は図３に示したファブリペローフィルタの動作説明図である。
【００４１】図４（ａ）において、
第一電極２ａの導電部２ａ
3
と第二電極３ａとの間に電位差を与えると、導電部２ａ
3
と第二電極３ａとの間に静電吸引力が発生し、第二ミラー３は第一ミラー２の方向に変位し、導電部２ａ
3
の直上の第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂが接触することとなり、第二ミラー３は静止する。この場合、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、初期の長さｈ１よりも短いｈ２に固定される
【００４２】また、図４（ｂ）において、
第一電極２ａの導電部２ａ
1
と第二電極３ａとの間に電位差を与えると、導電部２ａ
1
と第二電極３ａとの間に静電吸引力が発生し、第二ミラー３は第一ミラー２の方向に変位し、導電部２ａ
1
，２ａ
2
，２ａ
3
の直上の第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂが階段状に接触することとなり、第二ミラー３は静止する。この場合、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、ｈ２よりも短いｈ４に固定される
【００４３】同様に、
第一電極２ａの導電部２ａ
2
と第二電極３ａとの間に電位差を与えると、導電部と２ａ
2
第二電極３ａとの間に静電吸引力が発生し、第二ミラー３は第一ミラー２の方向に変位し（図示しない）、導電部２ａ
2
，２ａ
3
の直上の第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂが階段状に接触することにより、第二ミラー３は静止する。この場合、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、ｈ２とｈ４の中間の値ｈ３（図示しない）に固定される
【００４４】
このようにギャップの長さをｈ１からｈ４までの４種類に設定することができるので、そのギャップに応じた４種類の波長近傍の赤外線を透過させるファブリペローフィルタを実現する
【００４５】また、上記の説明においては、導電部の数が３つの場合について説明したが、導電部の数はこれに限定されるものではなく、任意の複数の導電部を形成すれば、
その数に応じた複数の波長の赤外線を透過させるファブリペローフィルタ
イ　刊行物１に記載の発明
　以上をまとめると、刊行物１には、
「シリコンの基板１上に第一ミラー２が形成され、
　第二ミラー３は、第一ミラー２上に形成されたシリコン酸化膜からなる絶縁膜４と、第二電極３ａと、第二絶縁部３ｂとを介して第一ミラー２に対向配置されており、
　第二絶縁部３ｂと第二電極３ａの中心部には孔５が形成され、その孔５の下方部は光学的活性領域となっており、
　第一ミラー２と第二ミラー３との間には、孔５の下方にギャップｈ１が形成され、第二ミラー３は第一ミラー２の方向に変位可能となっており、
　導電部２ａ1，２ａ2，２ａ3は、光学的活性領域の中心より外側へ順に左右対称に第一ミラー２上に設けられ、その高さは光学的活性領域の中心から順に高くなり、全体として階段状となる第一電極２ａを形成しており、
　導電部２ａ1，２ａ2，２ａ3は、その周囲が絶縁層２ｂ1で覆われて互いに絶縁され、絶縁層２ｂ1の第二絶縁部３ｂと対向する面に相当する部分は、第一絶縁部２ｂとなっており、
　第一電極２ａの導電部２ａ3と第二電極３ａとの間に電位差を与えると、導電部２ａ3と第二電極３ａとの間に静電吸引力が発生し、第二ミラー３は第一ミラー２の方向に変位し、導電部２ａ3の直上の第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂが接触して、第二ミラー３は静止し、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、初期の長さｈ１よりも短いｈ２に固定され、
　第一電極２ａの導電部２ａ1と第二電極３ａとの間に電位差を与えると、導電部２ａ1と第二電極３ａとの間に静電吸引力が発生し、第二ミラー３は第一ミラー２の方向に変位し、導電部２ａ1，２ａ2，２ａ3の直上の第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂが階段状に接触することとなり、第二ミラー３は静止し、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、ｈ２よりも短いｈ４に固定され、
　第一電極２ａの導電部２ａ2と第二電極３ａとの間に電位差を与えると、導電部と２ａ2第二電極３ａとの間に静電吸引力が発生し、第二ミラー３は第一ミラー２の方向に変位し、導電部２ａ2，２ａ3の直上の第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂが階段状に接触することにより、第二ミラー３は静止し、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、ｈ２とｈ４の中間の値ｈ３に固定され、
　このようにギャップの長さを複数種類に設定することができるので、そのギャップに応じた複数種類の波長近傍の赤外線を透過させるファブリペローフィルタ。」の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されている。
　
（２）本願発明２６について
ア　対比
（ア）本願発明２６と引用発明１を対比する。
ａ　引用発明１の「シリコンの基板１」、「第二絶縁部３ｂ」、「第一ミラー２」、「第二ミラー３」、「第一電極２ａ」、「第二電極３ａ」及び「ファブリペローフィルタ」は、それぞれ本願発明２６の「第１基板」、「第２基板」、「第１反射膜」、「第２反射膜」、「第１電極」、「第２電極」及び「光フィルター」に相当する。
ｂ　引用発明１は、「導電部２ａ1，２ａ2，２ａ3は、光学的活性領域の中心より外側へ順に左右対称に第一ミラー２上に設けられ、その高さは光学的活性領域の中心から順に高くなり、全体として階段状となる第一電極２ａを形成して」いるから、引用発明１の「導電部２ａ1」及び「導電部２ａ3」は、それぞれ本願発明２６の「第１セグメント電極」及び「第２セグメント電極」に相当する。
　したがって、本願発明２６と引用発明１とは、「前記第１電極は、電気的に独立した少なくとも第１セグメント電極及び第２セグメント電極に分割され、前記第１セグメント電極は、前記第１反射膜の中心を通る前記第１反射膜の法線に対して、線対称に配置され、前記第２セグメント電極は、前記法線に対して、線対称に配置され」る点で一致する。
　           
ｃ　引用発明１は、第一電極２ａの導電部２ａ3と第二電極３ａとの間に電位差を与えると、…、第二ミラー３は静止し、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、初期の長さｈ１よりも短いｈ２に固定され、第一電極２ａの導電部２ａ1と第二電極３ａとの間に電位差を与えると、…、第二ミラー３は静止し、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、ｈ２よりも短いｈ４に固定され、第一電極２ａの導電部２ａ2と第二電極３ａとの間に電位差を与えると、…、第二ミラー３は静止し、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、ｈ２とｈ４の中間の値ｈ３に固定され、このようにギャップの長さを複数種類に設定することができるので、そのギャップに応じた複数種類の波長近傍の赤外線を透過させる」ものであるから、本願発明２６と引用発明１とは、「前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップとに変化させることで、フィルター特性が変更される」点で一致する。
（イ）したがって、本願発明２６と引用発明１とは、以下の点で一致する。
＜一致点＞
「第１基板と、
　前記第１基板と対向する第２基板と、
　前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
　前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
　前記第１基板に設けられた第１電極と、
　前記第２基板に設けられ、前記第１電極と対向する第２電極と、
を含み、
　前記第１電極は、電気的に独立した少なくとも第１セグメント電極及び第２セグメント電極に分割され、
　前記第１セグメント電極は、前記第１反射膜の中心を通る前記第１反射膜の法線に対して、線対称に配置され、
　前記第２セグメント電極は、前記法線に対して、線対称に配置され、
　前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップとに変化させることで、フィルター特性が変更される光フィルター。」
（ウ）一方、本願発明２６と引用発明１とは、以下の点で相違する。
＜相違点１＞
　第１電極について、本願発明２６では、「平面視において前記第１反射膜の外周よりも外側に設けられた」ものであるのに対し、引用発明１では、第一電極２ａについてそのような特定はなされていない点。
＜相違点２＞
　第１反射膜と第２反射膜との間のギャップについて、本願発明２６では、「前記初期キャップを前記第１電極と前記第２電極との間のギャップよりも小さくした」ものであるのに対し、引用発明１では、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの初期の長さｈ１と、第一電極２ａと第二電極３ａとの間のギャップとの大小関係について特定されていない点。
＜相違点３＞
　フィルター特性について、本願発明２６では、「前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップと、
前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の双方と前記第２電極との間に
第一電極２ａの導電部２ａ
1
，２ａ
3
の双方と第二電極３ａとの間
イ　判断
（ア）先ず、上記相違点２について検討する。
ａ　引用発明１において、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの初期の長さｈ１と、第一電極２ａと第二電極３ａとの間のギャップとの大小関係について特定されていないものの、当該ギャップの初期の長さｈ１は、第一電極２ａと第二電極３ａとの間のギャップよりも、少なくとも第一電極２ａと第二電極３ａの厚みの分だけ大きくされていることは明らかである。
ｂ　そして、引用発明１は、「…に電位差を与えると、…に変位し、導電部２ａ1，２ａ2，２ａ3の直上の第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂが階段状に接触することとなり、…、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、ｈ２よりも短いｈ４に固定され、…に電位差を与えると、…に変位し、導電部２ａ2，２ａ3の直上の第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂが階段状に接触することにより、…、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さは、ｈ２とｈ４の中間の値ｈ３に固定され」るものであるから、第一絶縁部２ｂと第二絶縁部３ｂとを接触させて第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの長さを調整するという構造のものである。
　そうすると、引用発明１において、上記ギャップの初期の長さｈ１を、第一電極２ａと第二電極３ａとの間のギャップよりも小さくなるよう変更するということ、すなわち、第一電極２ａと第二電極３ａとの間のギャップを、上記ギャップの初期の長さｈ１よりも大きくなるよう変更するということは、発生させる静電吸引力を弱めることとなるから、動機づけがあるとはいえず、そのような変更が当業者にとって容易に想到し得ることであるとはいえない。
ｃ　また、第１反射膜と第２反射膜との間の初期ギャップを第１電極と第２電極との間のギャップよりも小さくしたことについて、本願明細書の【０００８】には、「本発明の一態様のように電極間ギャップＧを第１，第２反射膜間のギャップよりも広げておくと、電極間ギャップの単位変化量に対する静電引力Ｆを変化は小さくすることができる。よって静電引力Ｆの大きさを制御し易くすることができる。」と記載されているところ、このような効果について当業者が予測可能であるとする根拠もない。
ｄ　したがって、引用発明１において、相違点２に係る本願発明２６の構成を採用することが、当業者であれば容易になし得たということはできない。
ｅ　一方、刊行物２に記載された発明において、「基板10」、「基板12」、「反射面領域20」、「反射面領域22」、「電極24」、「電極26」、「光学ギャップGopt」、「電極ギャップGelec」及び「ファブリペローフィルタ」は、本願発明２６の「第１基板」、「第２基板」、「第１反射膜」、「第２反射膜」、「第１電極」、「第２電極」、「前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップ」、「前記第１電極と前記第２電極との間のギャップ」及び「光フィルター」にそれぞれ相当するといえるから、刊行物２には、相違点２に係る本願発明２６の構成が開示されている。
　しかしながら、上記ｂにおいて検討したように、引用発明１において、「第一電極２ａと第二電極３ａとの間のギャップを、上記ギャップの初期の長さｈ１よりも大きくなるよう変更するということは、発生させる静電吸引力を弱めることとなるから、動機づけがあるとはいえず、そのような変更が当業者にとって容易に想到し得ることであるとはいえない」から、引用発明１において、刊行物２に記載された発明を組み合わせることは、阻害要因があるといえる。
ｆ　また、刊行物３の段落【００３１】、【００５２】、図３等を参照すると、刊行物３には、「第１のギャップＧ１の大きさ（すなわち、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離）」（本願発明２６の「前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップ」に相当する。）は、第１のギャップＧ１を可変とするための可動部２１と第１の駆動電極３３との間に形成される第２のギャップＧ２の大きさよりも大きい旨が開示されている。すなわち、刊行物３には、相違点２に係る本願発明２６の構成は記載も示唆もされていない。
　そうすると、引用発明１において、刊行物３を参照したとしても、相違点２に係る本願発明２６の構成を採用することが、当業者であれば容易になし得たということはできない。
ｇ　したがって、引用発明１において、刊行物２、３を参照したとしても、相違点２に係る本願発明２６の構成を採用することが、当業者であれば容易になし得たということはできない。
（イ）よって、その他の相違点について検討するまでもなく、本願発明２６は、引用発明１及び刊行物２、３に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
（３）本願発明１〜２５について
ア　本願発明１について
（ア）先ず、本願発明２６は、分説して再掲すると、以下のとおりである。
「【請求項２６】
（Ａ）第１基板と、
（Ｂ）前記第１基板と対向する第２基板と、
（Ｃ）前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
（Ｄ）前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
（Ｅ）前記第１基板に設けられ、平面視において前記第１反射膜の外周よりも外側に設けられた第１電極と、
（Ｆ）前記第２基板に設けられ、前記第１電極と対向する第２電極と、
を含み、
（Ｇ）前記第１電極は、電気的に独立した少なくとも第１セグメント電極及び第２セグメント電極に分割され、
（Ｈ）前記第１セグメント電極は、前記第１反射膜の中心を通る前記第１反射膜の法線に対して、線対称に配置され、
（Ｉ）前記第２セグメント電極は、前記法線に対して、線対称に配置され、
（Ｊ）前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の双方と前記第２電極との間に電位差があるときの第２ギャップとに変化させることで、フィルター特性が変更され、前記初期ギャップを前記第１電極と前記第２電極との間のギャップよりも小さくしたことを特徴とする光フィルター。」（審決注：合議体にて分説した。以下、同じ。）
　一方、本願発明１は、分説して再掲すると、以下のとおりである。
「【請求項１】
（Ａ）第１基板と、
（Ｂ）前記第１基板と対向する第２基板と、
（Ｃ’）前記第１基板が前記第２基板と対向する第１対向面に設けられた第１反射膜と、
（Ｄ’）前記第２基板が前記第１基板と対向する第２対向面に設けられ、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
（Ｅ’）平面視で前記第１反射膜の外周よりも外側における前記第１対向面に設けられた第１電極と、
（Ｆ’）前記第２基板の前記第２対向面に設けられ、前記第１電極と対向する第２電極と、
を含み、
（Ｇ）前記第１電極は、電気的に独立した少なくとも第１セグメント電極及び第２セグメント電極に分割され、
（Ｈ’）前記第１セグメント電極は、前記第１反射膜の中心と前記第２反射膜の中心とを結ぶ中心線に対して、線対称に配置され、
（Ｉ’）前記第２セグメント電極は、前記中心線に対して、線対称に配置され、
（Ｊ）前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の双方と前記第２電極との間に電位差があるときの第２ギャップとに変化させることで、フィルター特性が変更され、前記初期ギャップを前記第１電極と前記第２電極との間のギャップよりも小さくしたことを特徴とする光フィルター。」
（イ）ａ　本願発明１と引用発明１を対比する。
　上記（２）ア（ア）ａ〜ｃにおける検討、及び本願発明１の発明特定事項（Ａ）、（Ｂ）、（Ｇ）、（Ｊ）は、それぞれ本願発明２６の発明特定事項（Ａ）、（Ｂ）、（Ｇ）、（Ｊ）と一致し、本願発明１の発明特定事項（Ｃ’）ないし（Ｆ’）は、それぞれ本願発明２６の発明特定事項（Ｃ）ないし（Ｆ）を限定したものであることは明らかであることを勘案すると、本願発明１と引用発明１とは、以下の点で一致する。
＜一致点＞
「第１基板と、
　前記第１基板と対向する第２基板と、
　前記第１基板が前記第２基板と対向する第１対向面に設けられた第１反射膜と、
　前記第２基板が前記第１基板と対向する第２対向面に設けられ、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
　前記第１対向面に設けられた第１電極と、
　前記第２基板の前記第２対向面に設けられ、前記第１電極と対向する第２電極と、
を含み、
　前記第１電極は、電気的に独立した少なくとも第１セグメント電極及び第２セグメント電極に分割され、
　前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップとに変化させることで、フィルター特性が変更される光フィルター。」
ｂ　一方、本願発明１と引用発明１とは、以下の点で相違する。
＜相違点ア＞
　第１電極について、本願発明１では、「平面視で前記第１反射膜の外周よりも外側における前記第１対向面に設けられた」ものであるのに対し、引用発明１では、第一電極２ａについてそのような特定はなされていない点。
＜相違点イ＞
　第１反射膜と第２反射膜との間のギャップについて、本願発明１では、「前記初期キャップを前記第１電極と前記第２電極との間のギャップよりも小さくした」ものであるのに対し、引用発明１では、第一ミラー２と第二ミラー３とのギャップの初期の長さｈ１と、第一電極２ａと第二電極３ａとの間のギャップとの大小関係について特定されていない点。
＜相違点ウ＞
　フィルター特性について、本願発明１では、「前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップと、
前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の双方と前記第２電極との間に
第一電極２ａの導電部２ａ
1
，２ａ
3
の双方と第二電極３ａとの間
＜相違点エ＞
　本願発明１では、「前記第１セグメント電極は、前記第１反射膜の中心と前記第２反射膜の中心とを結ぶ中心線に対して、線対称に配置され、前記第２セグメント電極は、前記中心線に対して、線対称に配置され」るのに対し、引用発明１では、第一電極２ａの導電部２ａ2と導電部２ａ3が、第一ミラー２の中心と第二ミラー３の中心とを結ぶ中心線に対して、線対称に配置されたものであるか否かは不明である点。
（ウ）ａ　先ず、上記相違点イについて検討する。
（ａ）＜相違点イ＞は、上記（２）ア（ウ）の＜相違点２＞と一致する。
　したがって、上記（２）イ（ア）において、相違点２について検討したのと同様な理由により、引用発明１において、相違点イに係る本願発明１の構成を採用することが、当業者であれば容易になし得たということはできない。
　
（ｂ）一方、刊行物２に記載された発明において、「基板10」、「基板12」、「反射面領域20」、「反射面領域22」、「電極24」、「電極26」、「光学ギャップGopt」、「電極ギャップGelec」及び「ファブリペローフィルタ」は、本願発明１の「第１基板」、「第２基板」、「第１反射膜」、「第２反射膜」、「第１電極」、「第２電極」、「前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップ」、「前記第１電極と前記第２電極との間のギャップ」及び「光フィルター」にそれぞれ相当するといえるから、刊行物２には、相違点イに係る本願発明１の構成が開示されている。
　しかしながら、上記（２）イ（ア）ｂにおいて検討したように、引用発明１において、「第一電極２ａと第二電極３ａとの間のギャップを、上記ギャップの初期の長さｈ１よりも大きくなるよう変更するということは、発生させる静電吸引力を弱めることとなるから、動機づけがあるとはいえず、そのような変更が当業者にとって容易に想到し得ることであるとはいえない」から、引用発明１において、刊行物２に記載された発明を組み合わせることは、阻害要因があるといえる。
（ｃ）また、刊行物３の段落【００３１】、【００５２】、図３等を参照すると、刊行物３には、「第１のギャップＧ１の大きさ（すなわち、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離）」（本願発明１の「前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップ」に相当する。）は、第１のギャップＧ１を可変とするための可動部２１と第１の駆動電極３３との間に形成される第２のギャップＧ２の大きさよりも大きい旨が開示されている。すなわち、刊行物３には、相違点イに係る本願発明１の構成は記載も示唆もされていない。
　そうすると、引用発明１において、刊行物３を参照したとしても、相違点イに係る本願発明１の構成を採用することが、当業者であれば容易になし得たということはできない。
（ｄ）したがって、引用発明１において、刊行物２、３を参照したとしても、相違点イに係る本願発明１の構成を採用することが、当業者であれば容易になし得たということはできない。
ｂ　よって、その他の相違点について検討するまでもなく、本願発明１は、引用発明１及び刊行物２、３に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
イ　本願発明２〜２５について
　本願発明２〜２５は、本願発明１の従属項である。
　したがって、本願発明２〜２５は、本願発明１をさらに限定したものであるので、本願発明１と同様に、引用発明１及び刊行物２、３に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
（４）小括
　したがって、本願発明１〜２６は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　よって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　
第４　当審拒絶理由について
１　当審拒絶理由の概要
　本願の請求項１〜２６に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物Ａ、Ｂに記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
　刊行物Ａ：米国特許出願公開第２００７／０２４２９２０号明細書
　刊行物Ｂ：特開平１０−７８５４８号公報
　
　マイクロ機械的構成の光変調器において、大きな薄膜変位を比較的低い電圧から発生させることが好ましいことは、本願の出願時点における技術常識であるから、刊行物Ａに記載の発明に、刊行物Ｂに記載の電極を分割するという技術を適用することは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
２　当審拒絶理由についての合議体の判断
（１）刊行物の記載事項
ア　刊行物Ａ：米国特許出願公開第２００７／０２４２９２０号明細書
　刊行物Ａには、図とともに次の記載がある（審決注：日本語訳は、合議体による。）。
　
「DETAILED DESCRIPTION 
 [0033] With reference to FIGS. 1-3, a tunable Fabry-Perot filter 8 is described. The Fabry-Perot filter 8 is a tunable optical interference filter or device. The terms Fabry-Perot filter, Fabry-Perot device, optical interference filter, and optical interference device are used interchangeably herein. The Fabry-Perot filter 8 includes a pair of substrates 10, 12 having generally planar spaced-apart facing 
principal surfaces 14, 16 that include facing reflective surface regions 20, 22 that are typically thin metallic films
 [0034] … 
 [0035] Recessed 
electrodes 24, 26 are formed in recesses 28, 30
 [0036] … 
 [0041] …In the Fabry-Perot filter 8, both electrodes 24, 26 are recessed in respective spaced-apart facing principal surfaces 14, 16; however, in other embodiments, the electrodes on only one of the two spaced-apart facing principal surfaces may be recessed, or none of the electrodes could be recessed. 」   
（日本語訳： 
 詳細な説明 
 [0033]　図１−３を参照します。同調可能なファブリペローフィルタ8について説明します。ファブリペローフィルタ8は、同調可能な光干渉フィルタまたはデバイスです。用語「ファブリペローフィルタ」、「ファブリペローデバイス」、「光干渉フィルタ」、および「光干渉デバイス」は、本明細書中で交換可能に使用されます。ファブリペローフィルタ8は、概ね平面の離れて対向する主表面14,16を有する一対の基板10,12を含み、
主表面14,16は対向する反射面領域20,22を含み
反射面領域20,22は、典型的には薄い金属膜
であって
 [0034]　… 
 [0035]　はめ込まれた
電極24,26は、
主表面14,16のリセス28,30内に形成される
 [0036]　… 
 [0041]　…ファブリペローフィルタ8では、両方の電極24,26が、それぞれ離れて対向する主表面14,16にはめ込まれています。しかしながら、他の実施形態では、２つの離れて対向する主表面の一方の電極のみが、はめ込まれてもよいし、両方の電極とも、はめ込まれていなくてもよい。） 
  
「[0043] With reference to FIG. 5, a Fabry-Perot filter 218 is a modified version of the Fabry-Perot filter 8, which is modified in that a deformable connection 250 is formed differently from the deformable connection 50. Slots 254 are not formed all the way through the substrate 10, but rather are formed only partway through to leave deformable substrate portions 252. It is also contemplated for the slots 254 to be created from the other side of the substrate 10, so that the thinned region is on the opposite side of the substrate 10 from what is shown in FIG. 5. The thinned substrate regions 252 of thinned silica or other substrate material typically bend more readily than the thicker surrounding silica or other substrate material, so that the deformable substrate portions 252 act as a spring. To create a more flexible spring, a wider hole can be created, or the remaining thickness can be reduced. The tuning mechanics are relatively sensitive to the depth of etch, that is, to the thickness of the thinned substrate portions 252, since the stiffness of the thinned portions 252 is typically proportional to the thickness cubed.」   
（日本語訳： 
[0043]　図５を参照します。ファブリペローフィルタ218は、ファブリペローフィルタ8の修正版であって、変形可能な接続部250は、変形可能な接続部50と異なって形成されます。スロット254は、基板10すべてを通して形成されるのではなく、変形可能な基板部分252を残すように途中まで形成されます。スロット254は、基板10の他方の側から形成され、薄くされた領域は、図５に示されているものとは基板10の反対側にあることも考えられる。薄くされたシリカまたは他の基板材料の薄くされた基板の領域252は、一般に、より厚い周囲のシリカまたは他の基板材料よりもより容易に曲がり、変形可能な基板部分252は、バネのように振る舞います。より柔軟なバネを形成するために、幅広の穴を形成したり、残りの厚さを低減することができます。機械的同調は、エッチングの深さ、すなわち、薄くされた基板部分252の厚さに、比較的敏感で、薄くされた基板部分252の剛性は、一般に厚さの三乗に比例します。） 
「1. A tunable Fabry-Perot filter comprising:  
a pair of substrates having parallel generally planar facing principal surfaces including spaced-apart facing reflective surface regions that are at least partially reflective at least over a selected wavelength range, the spaced-apart facing reflective surface regions defining an optical gap therebetween, at least one substrate of the pair of substrates being light-transmissive at least over the selected wavelength range to enable optical coupling with the optical gap through the at least one substrate; and 
electrodes disposed on the parallel generally planar facing principal surfaces of the substrates, the electrodes on the parallel generally planar facing principal surfaces, defining an electrode gap therebetween such that electrical biasing of the electrodes simultaneously modifies the optical and electrode gaps. 
 … 
11. The tunable Fabry-Perot filter as set forth in claim 1 , wherein the electrode gap is larger than the optical gap by an amount effective to suppress pull-in instability of the tunable Fabry-Perot filter.」（claims）   
（日本語訳： 
1.　同調可能なファブリペローフィルタであって、 
 一対の基板であって、 
 　前記一対の基板は、平行な概ね平面の対向する主表面を有し、 
 　前記主表面は、少なくとも選択された波長範囲にわたって少なくとも部分的に反射性である離間して対向する反射面領域を含み、 
 　前記離間して対向する反射面領域は、それらの間の光学ギャップを規定し、 
 　前記一対の基板の少なくとも一方の基板は、前記少なくとも選択された波長範囲にわたって光透過性であり、前記少なくとも一方の基板を介して前記光学ギャップとの光結合を可能にする、 
 一対の基板と、 
 電極であって、 
 　前記電極は、前記基板の平行な概ね平面の対向する主表面上に配置され、 
 　前記平行な概ね平面の対向する主表面上の電極は、それらの間の電極ギャップを規定し、電極の電気バイアスが前記光学ギャップと前記電極ギャップを同時に変更する、 
 電極とを、含む、 
 同調可能なファブリペローフィルタ。 
 … 
11.　請求項1に記載の同調可能なファブリ・ペローフィルタであって、 
 　前記同調可能なファブリペローフィルタのプルイン不安定性を抑制するのに有効であるように、前記電極ギャップは、前記光学ギャップよりも大きい 
 　同調可能なファブリ・ペローフィルタ。（クレーム））
 　 
　図５から、電極24は、基板10に設けられ、平面視において反射面領域20の外周よりも外側に設けられたものであることが見てとれる。
イ　刊行物Ａに記載の発明　
　以上を、特に図５を参照してまとめると、刊行物Ａには、
「同調可能なファブリペローフィルタであって、 
　一対の基板10,12であって、 
　前記一対の基板10,12は、平行な概ね平面の対向する主表面14,16を有し、 
　前記主表面14,16は、少なくとも選択された波長範囲にわたって少なくとも部分的に反射性である離間して対向する反射面領域20,22を含み、 
　前記基板10の前記主表面14は、前記反射面領域20を含み、 
　前記基板12の前記主表面16は、前記反射面領域22を含み、 
　前記反射面領域20,22は、薄い金属膜であり、 
　前記離間して対向する反射面領域20,22は、それらの間の光学ギャップGoptを規定し、
　前記一対の基板10,12の少なくとも一方の基板は、前記少なくとも選択された波長範囲にわたって光透過性であり、前記少なくとも一方の基板を介して前記光学ギャップGoptとの光結合を可能にする、 
一対の基板10,12と、 
電極24,26であって、 
　前記電極24,26は、前記基板10,12の平行な概ね平面の対向する主表面14,16上に配置され、 
　前記電極24は、前記基板10の前記主表面14のリセス28内に形成され、 
　前記電極24は、平面視において前記反射面領域20の外周よりも外側に設けられ、
　前記電極26は、前記基板12の前記主表面16のリセス30内に形成され、 
　前記平行な概ね平面の対向する主表面14,16上の電極24,26は、それらの間の電極ギャップGelecを規定し、電極24,26の電気バイアスが前記光学ギャップGoptと前記電極ギャップGelecを同時に変更する、 
電極24,26とを、含み、 
前記同調可能なファブリペローフィルタのプルイン不安定性を抑制するのに有効であるように、前記電極ギャップGelecは、前記光学ギャップGoptよりも大きい、 
同調可能なファブリペローフィルタ。」（以下「引用発明Ａ」という。）が記載されている。
　
ウ　刊行物Ｂ：特開平１０−７８５４８号公報
　刊行物Ｂには、図とともに次の記載がある。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
　本発明は、マイクロサイズの電気機械的な光変調器に関し、さらに詳細には、低駆動電圧条件の光変調器に関する。」
「【０００２】
【従来の技術、及び、発明が解決しようとする課題】
　最近、光通信システムに大きな関心が払われている。このようなシステムは、二三例を挙げると、電気通信、航空技術の分野および遠隔検出を含む多くの分野に応用される。光信号変調器は通常、このような通信システムの一部である。
【０００３】
　ほとんどの電気機械的光変調器は毎秒約１Ｍビット〜３Ｍビットの範囲にわたるデータ速度に限定される。しかし、Ｅｔｈｅｒｎｅｔと高画質のテレビジョン（ＨＤＴＶ）に適用する場合、
毎秒約１０Ｍビットまたはそれ以上の動作速度を達成することが望ましい
毎秒１０Ｍビットで動作する変調器
「【０００４】
【課題を解決するための手段】
　従来技術による通常のマイクロ機械的構成の光変調器より低い電圧で動作ができるマイクロ機械的構成の光変調器を開示する。この変調器は薄膜を基板の領域上に支持している。少なくとも二つの電極、好適にはそれ以上を薄膜上に配する。各電極はシフト・レジスタまたは他の手段を介し制御電圧源に電気的に伝達し、電極に電圧を逐次印加する。
光信号を受信する光窓
【０００５】
　動作時、
基板と各電極には電圧パルスが印加される
電圧が印加されると、静電力が発生し、薄膜を基板の方向に引き寄せる
【０００６】
　数ある機能の中で、薄膜は機械的パルスを伝播させる媒体を構成する。各電極の下部に生成される伝播パルスは互いに補強し合い、一つの電極に電圧を印加したときに達成される変位の電極数倍数と同値の変位を光窓における薄膜に発生させる。このようにして、比較的低い電圧から薄膜に大きな変位を発生させることができる。
【０００７】
　薄膜がその初期位置から変位し、基板の方向に移動すると、変調器の光学特性に変化が生じる。一実施形態では、
変調器の反射能は薄膜の位置変化に従い変化する
このような反射能の変化は変調器から反射される光信号の測定可能な特性、例えば信号の振幅に変化をもたらす。このようにして、光信号の変調が行われる
「【０００８】
【発明の実施の形態】
　本発明によるマイクロ機械的構成の低電圧変調器１ａの好適な実施形態を図１に示す。変調器１ａは１９９６年２月５日に提出された同時係属出願第０８／５９７，００３号に開示したものに類似するクランプ固定プレ−ト形伝送ラインとして形成される。この特許出願と本明細書に言及した他の総ての特許出願、特許または他の刊行物は参照によって本明細書に組み込まれている。
【０００９】
　変調器１ａには基板１０によって支持される層１５ａが含まれる。層１５ａの一部の下部にある基板１０の内部に確立された空洞部２０がある。空洞部２０の周囲２１によって層１５ａに薄膜１５が確立される。図１に示す
変調器１ａでは、相互を電気的に絶縁した四つの電極１８
1-4
は薄膜１５の上面に配される
「【００１５】
　動作時、
電極１８
1-4
のような電極と基板１０の全域に電圧が印加され（“バイアスさせた状態”）、静電力を発生する
薄膜１５が移動すると、変調器の光学特性に変化が生じる
「【００１８】
　既に説明したように、擾乱または変位は電極に電圧Ｖiを印加した結果として電極１８iの下部に位置する薄膜１５に発生する。本発明による変調器の伝送ラインの形状のために、このような擾乱は機械的パルスとして薄膜１５の内部を伝播する。
各電極１８
i
の下部に発生する伝播パルスは相互に補強し合い、一個の電極に電圧を印加することによって達成される変位の電極１８
1-n
数倍数と同値である変位を光窓１６における薄膜１５に発生させる
【００１９】
　本変調器の薄膜１５は多機能的であることは明らかな筈である。第一に、
基板１０に対する薄膜１５の位置により変調器の光特性が制御される
（２）本願発明２６について
ア　対比
（ア）本願発明２６と引用発明Ａを対比する。
　引用発明Ａの「基板10」、「基板12」、「反射面領域20」、「反射面領域22」、「電極24」、「電極26」、「光学ギャップGopt」、「電極ギャップGelec」及び「ファブリペローフィルタ」が本願発明２６の「第１基板」、「第２基板」、「第１反射膜」、「第２反射膜」、「第１電極」、「第２電極」、「前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップ」、「前記第１電極と前記第２電極との間のギャップ」及び「光フィルター」にそれぞれ相当する
（イ）したがって、本願発明２６と引用発明Ａとは、以下の点で一致する。
＜一致点＞
「第１基板と、
　前記第１基板と対向する第２基板と、
　前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
　前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
　前記第１基板に設けられ、平面視において前記第１反射膜の外周よりも外側に設けられた第１電極と、
　前記第２基板に設けられ、前記第１電極と対向する第２電極と、
を含み、
　前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１電極と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップとに変化させることで、フィルター特性が変更され、前記初期ギャップを前記第１電極と前記第２電極との間のギャップよりも小さくした光フィルター。」
（ウ）一方、本願発明２６と引用発明Ａとは、以下の点で相違する。
＜相違点Ａ＞
　第１電極について、本願発明２６では、「前記第１電極は、電気的に独立した少なくとも第１セグメント電極及び第２セグメント電極に分割され」、「前記第１セグメント電極は、前記第１反射膜の中心を通る前記第１反射膜の法線に対して、線対称に配置され、前記第２セグメント電極は、前記法線に対して、線対称に配置され」るものであるのに対し、引用発明Ａでは、電極24（第１電極）は、複数のセグメント電極に分割されたものでなく（以下「相違点Ａの１」という。）、しかも、反射面領域20（第１反射膜）の中心を通る反射面領域20の法線に対する配置も特定されていない点。
＜相違点Ｂ＞
　フィルター特性について、本願発明２６では、「前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の双方と前記第２電極との間に電位差があるときの第２ギャップとに変化させる」ことで、変更されるものであるのに対し、引用発明Ａでは、「前記平行な概ね平面の対向する主表面14,16上の電極24,26は、それらの間の電極ギャップGelecを規定し、電極24,26の電気バイアスが前記光学ギャップGoptと前記電極ギャップGelecを同時に変更する」ものの、本願発明２６の当該構成について特定されていない点。
イ　判断
（ア）先ず、上記相違点Ａについて検討する。
ａ　上記相違点Ａについて、刊行物Ａには、電極24を複数のセグメント電極で構成することの記載や示唆はなく、また、ファブリペローフィルタにおいて、その電極を複数のセグメント電極で構成することが周知であるとする証拠もない。
　したがって、引用発明Ａにおいて、電極24を少なくとも２つのセグメント電極で構成し、これらのセグメント電極を用いることにより、反射面領域20と反射面領域22のギャップを本願発明のごとく変化させてフィルター特性を変更するようにすることが、当業者であれば容易に想到し得たということはできない。
ｂ　一方、刊行物Ｂには、薄膜１５を複数の電極１８１ ないし１８４ を用いて変位させることは記載されているものの、刊行物Ｂに記載された発明は、光窓において光信号を受信し、光窓の位置変化が変調器から戻る光信号に測定可能な特性に変化を与えて、毎秒１０Ｍビットで光変調する光変調器の発明である。
　
ｃ　そうすると、刊行物Ｂに記載された発明と、ミラー間のギャップを変更することで特定波長の光を選択するものである刊行物Ａに記載のファブリペローフィルタとは技術分野が異なり、引用発明Ａに、刊行物Ｂに記載された発明を適用することには無理がある。
　したがって、引用発明Ａにおいて、刊行物Ｂを参照したとしても、相違点Ａに係る本願発明２６の構成を採用することが、当業者であれば容易になし得たということはできない。
（イ）よって、その他の相違点について検討するまでもなく、本願発明２６は、引用発明Ａ及び刊行物Ｂに記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
（３）本願発明１〜２５について
ア　本願発明１について
（ア）本願発明１は、上記２（３）ア（ア）に再掲したとおりである。
（イ）ａ　本願発明１と引用発明Ａとを対比する。
　上記（２）ア（ア）における検討、及び上記２（３）ア（イ）ａで検討したように、本願発明１の発明特定事項（Ａ）、（Ｂ）、（Ｇ）、（Ｊ）は、それぞれ本願発明２６の発明特定事項（Ａ）、（Ｂ）、（Ｇ）、（Ｊ）と一致し、本願発明１の発明特定事項（Ｃ’）ないし（Ｆ’）は、それぞれ本願発明２６の発明特定事項（Ｃ）ないし（Ｆ）を限定したものであることは明らかであることを勘案すると、本願発明１と引用発明Ａとは、以下の点で一致する。
＜一致点＞
「第１基板と、
　前記第１基板と対向する第２基板と、
　前記第１基板が前記第２基板と対向する第１対向面に設けられた第１反射膜と、
　前記第２基板が前記第１基板と対向する第２対向面に設けられ、前記第１反射膜と対向する第２反射膜と、
　平面視で前記第１反射膜の外周よりも外側における前記第１対向面に設けられた第１電極と、
　前記第２基板の前記第２対向面に設けられ、前記第１電極と対向する第２電極と、
を含み、
　前記第１反射膜と前記第２反射膜との間のギャップを、前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１電極と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップとに変化させることで、フィルター特性が変更され、前記初期ギャップを前記第１電極と前記第２電極との間のギャップよりも小さくした光フィルター。」
ｂ　一方、本願発明１と引用発明Ａとは、以下の点で相違する。
＜相違点ａ＞
　第１電極について、本願発明１では、「前記第１電極は、電気的に独立した少なくとも第１セグメント電極及び第２セグメント電極に分割され」、「前記第１セグメント電極は、前記第１反射膜の中心と前記第２反射膜の中心とを結ぶ中心線に対して、線対称に配置され、前記第２セグメント電極は、前記中心線に対して、線対称に配置され」るものであるのに対し、引用発明Ａでは、電極24（第１電極）は、複数のセグメント電極に分割されたものでなく（以下「相違点ａの１」という。）、しかも、反射面領域20（第１反射膜）の中心と反射面領域22（第２反射膜）の中心とを結ぶ中心線に対する配置も特定されていない点。
＜相違点ｂ＞
　フィルター特性について、本願発明１では、「前記第１電極及び前記第２電極との間に電位差がないときの初期ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の一方と前記第２電極との間に電位差があるときの第１ギャップと、前記第１セグメント電極及び前記第２セグメント電極の双方と前記第２電極との間に電位差があるときの第２ギャップとに変化させる」ことで、変更されるものであるのに対し、引用発明Ａでは、「前記平行な概ね平面の対向する主表面14,16上の電極24,26は、それらの間の電極ギャップGelecを規定し、電極24,26の電気バイアスが前記光学ギャップGoptと前記電極ギャップGelecを同時に変更する」ものの、本願発明１の当該構成について特定されていない点。
（ウ）ａ　先ず、上記相違点ａについて検討する。
　＜相違点ａ＞のうち、上記「相違点ａの１」は、上記（２）ア（ウ）の＜相違点Ａ＞における上記「相違点Ａの１」と一致する。
　したがって、上記（２）イ（ア）において、相違点Ａについて検討したのと同様な理由により、引用発明Ａにおいて、相違点ａに係る本願発明１の構成を採用することが、当業者であれば容易になし得たということはできない。
　そうすると、引用発明Ａにおいて、刊行物Ｂを参照したとしても、相違点ａに係る本願発明１の構成を採用することが、当業者であれば容易になし得たということはできない。
ｂ　よって、その他の相違点について検討するまでもなく、本願発明１は、引用発明Ａ及び刊行物Ｂに記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
イ　本願発明２〜２５について
　本願発明２〜２５は、本願発明１の従属項である。
　したがって、本願発明２〜２５は、本願発明１をさらに限定したものであるので、本願発明１と同様に、引用発明Ａ及び刊行物Ｂに記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　
（４）小括
　したがって、本願発明１〜２６は、刊行物Ａ、Ｂに記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえなくなった。
　そうすると、もはや、当審拒絶理由によって本願を拒絶することはできない。
　
第５　むすび
　以上のとおり、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。