(57)【要約】      （修正有）【課題】サイズの異なる種々の回路基板を１つの基板貼付用架台で安定して固定することができると共に、放射線透過型の検査においても影を生じることなく、かつステージの移動停止によって生じる振動による影響を受けることがない回路基板の放射線検査装置を提供する。【解決手段】本装置は、放射線発生器と放射線検出器との間に回路基板を配置し、放射線発生器から回路基板に放射線を照射して透過画像を撮像するものであり、粘着部５２を装備した基板貼付用架台５１上に回路基板７０を貼付け、放射線発生器と放射線検出器との間に配置しかつ基板貼付用架台を固定したステージにより基板貼付用架台を平面移動させて検査を行う。この粘着部は基板貼付用架台に対して点状等に間隔の空いた粘着材のパターンを有する。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
放射線発生器と放射線検出器との間に回路基板を配置し、前記放射線発生器から前記回路基板に放射線を照射して透過画像を撮像する放射線検査装置において、
粘着部を装備し、かつ回路基板を貼付ける基板貼付用架台と、
前記基板貼付用架台を固定して前記放射線発生器と、前記放射線検出器との間を平面移動させるステージと、から構成されることを特徴とする回路基板の放射線検査装置。
【請求項２】
前記粘着部は、前記基板貼付用架台に対して点状、面状あるいは線状に間隔の空いた粘着材のパターンを有することを特徴とする請求項１に記載の回路基板の放射線検査装置。
【請求項３】
前記基板貼付用架台は、片面に粘着面を有する基材と、該粘着面上に粘着配設されかつ前記粘着部を有するプレートと、の２層構造から成ることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の回路基板の放射線検査装置。
【請求項４】
前記基板貼付用架台は、カーボン材により形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の回路基板の放射線検査装置。
【請求項５】
前記基板貼付用架台は、架台の外周を補強支持する金属の枠体を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の回路基板の放射線検査装置。
【請求項６】
前記基板貼付用架台は、外周部分が中央部に対して嵩高な構造を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の回路基板の放射線検査装置。
【請求項７】
前記基板貼付用架台は、形状の異なる基板を貼付けるための基準となるマークを表面に印刷したことを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載の回路基板の放射線検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、回路基板の検査装置に関し、特に詳しくは、Ｘ線などの放射線を用いて多層回路基板の透過画像を撮像するような微細な検査に好適な回路基板の放射線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路基板を検査する分野においては、検査対象回路基板をステージ上に固定する技術として基板底面を吸引して固定する提案が行われている（例えば、特許文献１、２および３参照）。これらの文献においては、基板を載置する載置台やステージ上に、吸引用の穴を多数設け、穴からエアーを吸引して基板をステージに固定する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平０８−３２７６５８号公報
【特許文献２】特開２００６−１６２５２５号公報
【特許文献２】特開２００６−１９４７５４号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
回路基板の検査に用いられているエアーを吸引して基板を固定する従来技術においては、次の問題点を有していた。
（１）十分な固定力を得るために、基板のサイズに応じて吸引用の穴を配置した載置台を設けたり、真空ポンプ等の吸引源を用意する必要があり、そのため、検査装置の構造が複雑になり、高コストとなる。
（２）固定用の吸引穴を規則的に配置した汎用の検査ステージの場合、基板が載置された以外の開放となった吸引用の穴からのエアーの吸引漏れにより、Ｘ−Ｙステージ上の基板を十分に固定することができず、Ｘ−Ｙステージの移動停止により基板の位置ズレを生じ易い。
（３）ソフト（可撓性を有する）な多層回路基板の場合には吸引により基板面が波打ち、基板面の平坦度が損なわれる。
（４）Ｘ線などによる透過型の検査装置に適用する場合には、基板を吸着するケースや吸引用の穴が影となり透過画像の画質を損ねる。
（５）上記（２）（３）の原因により、Ｘ−Ｙステージが停止した後でも回路基板には振動が生じている。そのため、透過型の放射線検査装置に適用する場合には、ステージを停止した後で振動が完全に静止して透過画像を撮像するまでに時間を要し、タクトが長くなるといった問題がある。殊に、可撓性を有する多層基板の場合には、層間の振動として現れ、画像を不鮮明にするといった問題があった。
【０００４】
本考案は上述の課題を解決せんとするもので、サイズの異なる種々の回路基板を、１つの基板貼付用架台で安定して固定することができると共に、放射線透過型の検査においても影を生じることなく、かつステージの移動停止によって生じる振動による影響を受けることがない回路基板の放射線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するため、請求項１にかかる回路基板の放射線検査装置は、放射線発生器と放射線検出器との間に回路基板を配置し、前記放射線発生器から前記回路基板に放射線を照射して透過画像を撮像する放射線検査装置において、粘着部を装備した基板貼付用架台上に上記の回路基板を貼付け、前記放射線発生器と放射線検出器との間に配置したステージに対して基板貼付用架台を取付け、前記基板貼付用架台を前記ステージで平面移動させることにより回路基板の検査を行うことを特徴とする。
【０００６】
また、請求項２にかかる回路基板の放射線検査装置は、前記基板貼付用架台に装備される粘着部を基板貼付用架台の全面に設けるのではなく、点状、面状あるいは線状等の間隔の空いた粘着材のパターンを有することを特徴とする。またこれら点状、面状あるいは線状の粘着材を２つまたは３つとも組み合わせて用いてもよい。ここで、前記面状とは、矩形や他の多角形状であることができる。さらに、ソフトやハードの基板に応じた粘着部の最適な印刷パターンを選択することが可能である。例えば、ハードの多層回路基板に対しては、チェスの盤面上のようなパターンを配置すればよい。
また、請求項３にかかる回路基板の放射線検査装置は、前記基板貼付用架台が片面に粘着面を有する基材と前記粘着部を有するプレートと、の２層の構造から成ることを特徴とする。すなわち、前記基板貼付用架台は、基材と該基材表面に設けられた粘着面と、該粘着面上に粘着配設されたプレートと該プレート上に形成された粘着部と、から構成されている。
【０００７】
また、請求項４にかかる回路基板の放射線検査装置は、前記基板貼付用架台が、原子番号が小さく放射線に対する透過性が高いカーボン材等により形成されることを特徴とする。カーボン材の他にはアルミニウム材、マグネシウム材、チタン材などが挙げられる。
また、請求項５にかかる回路基板の放射線検査装置は、前記基板貼付用架台の外周を支持する金属の枠体を有することを特徴とする。この金属の枠体は、アルミニウム材、マグネシウム材、チタン材などのいわゆる軽金属を用いて構成することができる。
また、請求項６にかかる回路基板の放射線検査装置は、前記基板貼付用架台の外周部分が中央部に対して嵩高な構造を有することを特徴とする。
また、請求項７にかかる回路基板の放射線検査装置は、前記基板貼付用架台に種々の大きさ、形状の基板を貼付けるための基準となるマークを表面に印刷したことを特徴とする。
【考案の効果】
【０００８】
本考案は前記したように、請求項１の回路基板の放射線検査装置においては、高速で平面移動可能なステージに対して基板貼付用架台を固定し、固定した基板貼付用架台上の粘着部に回路基板を貼付けた構造となるため、基板貼付用架台に対して回路基板が堅固に支持され、ステージの停止時に発生する位置ズレや振動の影響を受けにくいといった効果がある。
【０００９】
また、請求項２の回路基板の放射線検査装置においては、粘着部を、間隔の空いた粘着材のパターンとしたため、回路基板に対して過剰な粘着力を生じず、特に可撓性を有するソフトな多層回路基板を基板貼付用架台から外す際に、基板を傷めないといった効果がある。また、間隔を空けて粘着材を配備しているため粘着剤の使用を抑える効果があると共に、基板底面と粘着部との間に空気層を生じて基板面の平坦性が損なわれることがないといった効果がある。
【００１０】
また、請求項３の回路基板の放射線検査装置においては、基板貼付用架台の粘着面を有する基材に対して粘着部を有するプレートを張替える構造であるため、基板貼付用架台の維持管理が容易であるといった効果がある。粘着面が汚れた場合に、例えば、数百回等に一度の割合で粘着部を有するプレートの更新を行うことができる。
【００１１】
また、請求項４の回路基板の放射線検査装置においては、基板貼付用架台が、放射線透過性が高いカーボン材により形成されるため、透過画像に基板貼付用架台の影が生じる恐れがないといった効果がある。
また、請求項５の回路基板の放射線検査装置においては、基板貼付用架台の外周を補強支持する金属の枠体を有するため、基板貼付用架台に捩れを生じることが無いと共に、枠体構造により取扱いが楽になるためステージに対する取付けが容易になるといった効果がある。
【００１２】
また、請求項６の回路基板の放射線検査装置においては、基板貼付用架台の外周部分が中央部に対して嵩高な構造を有することにより、回路基板の材質により基板貼付用架台からの取外しが困難な状況が発生した場合においても、凹形状の部分に水などを注水して粘着力を一旦低下させて外すことができるため、形状が異なるソフトからハードまでの多様な材質の回路基板に対して対応ができる効果がある。水の他に、アルコールも使用できる。
【００１３】
また、請求項７の回路基板の放射線検査装置においては、大きさ、形状の異なる種々の基板を貼付けるための基準となるマークを基板貼付用架台表面に印刷しているため、基板貼付用架台に対する回路基板の取付けが容易であると共に、マークを基準として回路基板上の位置座標を求め易いといった効果がある。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本考案の実施の形態を、次の順序に従い説明する。
（１）本考案の放射線検査装置の概要
（２）放射線検査方法の概要
（３）基板貼付用架台の構成
（４）基板貼付用架台のその他の実施形態
【００１５】
（１）本考案の放射線検査装置の概要
図1は本考案にかかる放射線検査装置１０の概略ブロック図である。同図において、この放射線検査装置１０は、放射線発生器１１とＸ−Ｙステージ１２と放射線検出器１３ａ，１３ｃとを備えており、各部をＣＰＵ２５によって制御する。すなわち、放射線検査装置１０はＣＰＵ２５を含む制御系として放射線制御機構２１とステージ制御機構２２と画像取得機構２３とＣＰＵ２５と入力部２６と出力部２７とメモリ２８とを備えている。この構成において、ＣＰＵ２５は，メモリ２８に記録された図示しないプログラムを実行し、各部を制御し、また所定の演算処理を実施することができる。なお、Ｘ−Ｙステージ１２は、放射線発生器１１を接近して配置させるための図８に示す開口部９０が設けられている。
【００１６】
メモリ２８はデータを蓄積可能な記憶媒体であり、予め検査位置データ２８ａと撮像条件データ２８ｂが記録されている。検査位置データ２８ａは、検査対象回路基板７０の検査対象部の位置を示すデータである。撮像条件データ２８ｂは、放射線発生器１１にて放射線を発生させる際の条件を示すデータであり、放射線管に対する印加電圧,撮像時間等を含む。尚、メモリ２８はデータを蓄積可能であればよく、ＲＡＭやＥＥＰＲＯＭ，ＨＤＤなど種々の記憶媒体を採用可能である。
【００１７】
放射線制御機構２１は，上記撮像条件データ２８ｂを参照し、放射線発生器１１を制御して所定の放射線を発生させることができる。放射線発生器１１は、いわゆる透過型開放管であり、放射線の出力位置である焦点Ｆからほぼ全方位、すなわち、立体角２πの範囲に放射線を出力する。また、放射線発生器１１は，放射線検査装置１０において固定的に配置されている。すなわち、放射線発生器１１の位置や角度は変更されず、装置に対して固定されたまま移動されることはない。尚、放射線発生器１１より出力される放射線としては、検査対象回路基板を透過することが出来ればよく、種々の放射線を採用可能である。例えば、Ｘ線、γ線等が採用可能である。
【００１８】
Ｘ−Ｙステージ１２は、適宜な支持手段によって基板貼付用架台５０を支持している。具体的な支持方法としては基板貼付用架台の両端をスライド式のガイドレールを移動させて挟み、ガイドレールをネジ等によってＸ−Ｙステージ１２に固定する方法などが挙げられる。
ステージ制御機構２２は、サーボモータ等の駆動源（図示せず）を備え、Ｘ−Ｙステージ１２と接続されており、上記検査位置データ２８ａに基づいて、検査対象回路基板７０の検査対象部が各放射線検出器１３ａ，１３ｃの視野中心に位置するように制御する。すなわち、放射線発生器１１の焦点Ｆと各放射線検出器１３ａ，１３ｃにおける検出面の中心とを結ぶ直線上に検査対象回路基板７０の検査対象部が配置されるように、一つの基板について複数の位置に移動させ、各位置で放射線透過画像を撮像する。
【００１９】
画像取得機構２３は放射線検出器１３ａ，１３ｃに接続されており、同放射線検出器１３ａ，１３ｃが出力する検出値によって検査対象回路基板７０の検査対象部の放射線透過画像を取得する。本実施形態における放射線検出器１３ａ，１３ｃは，２次元的に分布したセンサを備えており、検出した放射線から放射線の２次元分布を示す放射線透過画像データを生成することができる。尚、検出器としては、２次元的に配置したＣＣＤやＣＭＯＳなどによって放射線の強度を計測するセンサ等を採用可能である。
【００２０】
放射線検出器１３ａは，３次元画像を生成するための斜めの透過画像を撮像する検出器で、アームを介して回転機構１３ｂに接続されており、放射線発生器１１の焦点Ｆから鉛直上方に延ばした軸Ａを中心に半径Ｒの円周上を回転可能である。この回転機構１３ｂは，サーボモータ等の駆動源（図示せず）を備えており、画像取得機構２３のθ制御部２３ａによって制御される。具体的には、放射線検出器１３ａの回転に応じて、各４５°の放射線透過画像を８枚撮像する。
また、放射線検出器１３ｃは、検査対象回路基板７０に対して垂直方向の透過画像を撮像するための検出器で、Ｘ−Ｙステージ１２によって検査対象品を移動させる際の移動平面に対して平行、すなわち、放射線発生器１１の焦点Ｆから鉛直上方に延ばした軸Ａに対して垂直に配向された検出面を備えている。
【００２１】
出力部２７はＣＰＵ２５での上記放射線画像等を表示するディスプレイであり、入力部２６は利用者の入力を受け付ける操作入力機器である。すなわち、利用者は入力部２６を介して種々の入力を実行可能であるし，ＣＰＵ２５の処理によって得られる種々の演算結果や放射線透過画像データ、検査対象の良否判定結果等を出力部２７に表示することができる。
【００２２】
ＣＰＵ２５は，メモリ２８に蓄積された各種制御プログラムに従って所定の演算処理を実行可能であり、検査対象品の検査を行うために、図１に示す放射線制御部２５ｂとステージ制御部２５ｃと画像取得部２５ｄと良否判定部２５ｅとにおける演算を実行する。放射線制御部２５ｂは、上記撮像条件データ２８ｂを取得し、上記放射線制御機構２１を制御して所定の放射線を放射線発生器１１から出力させる。
【００２３】
ステージ制御部２５ｃは、上記検査位置データ２８ａを取得し、検査対象回路基板７０を上記複数の視野中心へ移動させるための座標値を、ステージ制御機構２２に供給する。この結果ステージ制御機構２２は、この座標値が放射線発生器１１における焦点Ｆと放射線検出器１３aまたは放射線検出器１３ｃとを結ぶ光軸の中心に移動するようにＸ−Ｙステージ１２をそれぞれ移動させる。この処理の詳細は後述する。画像取得部２５ｄは、画像取得機構２３のθ制御部２３ａに指示を行い、放射線検出器１３ａを回転させる。また、画像取得機構２３が取得する放射線透過画像データをメモリ２８に記録する。良否判定部２５ｅは、当該記録された放射線透過画像データに基づいて所定の演算処理を行い、検査対象品が良品であるか、不良品であるかを判定する。
【００２４】
（２）放射線検査方法の概要
次に、本実施形態における放射線検査方法を説明する。本実施形態においては、上述の構成において、下記のとおり、垂直方向の透過画像に基づいた検査と、斜めの透過画像から生成される３次元画像に基づいた検査を行う。
図２は、放射線検出器１３ａ，１３ｃ、放射線発生器１１、の位置関係を示す図である。図２においては、検査対象回路基板７０が貼付された基板貼付用架台５０は図示しないＸ−Ｙステージ１２上に固定され、放射線発生器１１と、放射線検出器１３ａ，１３ｃと、の間に配置されている。
【００２５】
また、Ｘ−Ｙステージ１２による移動平面をｘ−ｙ平面とし、この平面に垂直な方向をｚ方向としており、図２は、ｚ−ｘ平面を眺めた図である。
本実施形態においては、予め設定された固定座標系で座標を定義している。尚、この固定座標系は、Ｘ−Ｙステージ１２が初期位置(移動していない状態)にある場合に、軸Ａの位置が座標（０，０）となるように設定してある。
垂直方向の透過画像に基づいた検査では、まず、ステージ制御機構２２は、検査対象回路基板７０の検査対象部が軸Ａと重なるようにＸ−Ｙステージ１２を移動させる。尚、この軸Aは放射線検出器１３ｃの中央と交差するので、軸ＡとＸ−Ｙステージ１２とが交差する位置は放射線検出器１３ｃの視野中心である。
【００２６】
検査対象回路基板７０の検査対象部を放射線検出器１３ｃの視野中心に配置したら、放射線制御部２５ｂ及び画像取得部２５ｄの制御により、放射線検出器１３ｃにて放射線透過画像を撮影する。すなわち、放射線制御部２５ｂは、上記撮像条件データ２８ｂを取得し、当該撮像条件データ２８ｂに示される条件で放射線を出カするように放射線制御機構２１に対して指示を行う。この結果、放射線発生器１１が立体角２πの範囲で放射線を出力するので、画像取得部２５ｄは放射線検出器１３ｃが検出した放射線透過画像を取得する。
【００２７】
良否判定部２５ｅは、この放射線透過画像に基づいて良否判定を行う。すなわち、放射線透過画像に基づいて検査対象部の面積や体積、形状、半田付けにおけるブリッジの有無等を検査する。ここでは予め面積や形状等に基準の閾値や基準の形状等を設定しておくことによって、検査を自動で行っても良いし、上記出力部２７に放射線透過画像を表示することによって目視検査を行っても良い。
【００２８】
次に、斜めの透過画像から生成される３次元画像に基づいた検査の方法を説明する。
図２において、放射線発生器１１は撮像倍率を可変するための図示しないサーボ機構を備えており、倍率に応じて放射線発生器１１はｚ軸方向に移動する。このため、検査対象回路基板７０までの全高から放射線発生器１１の移動距離を差分することにより、検査対象部までの高さ（ＦＯＤ）が求められる。
【００２９】
続いて画像取得部２５ｄは、θ制御部２３ａに指示を行い、回転機構１３ｂを駆動して予め決められた回転位置に放射線検出器１３ａを移動させる。
図２に示すように、放射線検出器１３ａの検出面は、その中心と焦点Ｆとを結ぶ直線ｌに対して垂直になるように配向されている。すなわち、軸Ａに対して傾斜され、ｘ−ｙ平面と検出面とに対して所定の角度（傾斜角）αが与えられている。従って、検出面の視野中心は図２における直線（光軸）ｌに相当し、検査対象回路基板７０の検査対象部はこの直線ｌ上に存在することになる。本実施形態においては、傾斜角αは６０°である。
【００３０】
また、本実施形態では、放射線検出器１３ａの初期位置に対して時計回りに設定される角度をθと定義しており、この角度θはそれぞれ、０度、４５度、９０度、１３５度、１８０度、２２５度、２７０度、３１５度である。すなわち、上記放射線検出器１３ａは、本実施形態では軸Ａを中心に４５度ずつ回転した８つの回転位置にて放射線透過画像を撮影する。
また、この放射線検出器１３ａの回転動作と同時にステージ制御部２５ｃは、Ｘ−Ｙステージ１２を移動させる。すなわち、上記検査位置データ２８ａを取得し、検査対象回路基板７０の検査対象部を放射線検出器１３ａの視野中心に配設するための座標値をステージ制御機構２２に指示し、Ｘ−Ｙステージ１２を移動させる。
本実施形態においては、複数の位置における放射線画像に基づいて検査対象回路基板７０の検査対象部の３次元画像を構成し、この３次元画像に基づいて良否判定を行うようになっている。
【００３１】
ＦＯＤは、上記のように、既知である検査対象部までの全高と、放射線発生器１１の移動距離との差分により求められた高さであり、検査対象回路基板７０の検査対象部と焦点Ｆとにおけるｚ軸方向の距離である。αは上記傾斜角であり、この値に基づいてＦＯＤα及び検査対象回路基板７０と焦点Ｆにおけるｘ−ｙ平面上の距離Ｌが算出される。この結果、Ｘ−Ｙステージ１２は、検査対象回路基板７０の検査対象部を放射線検出器１３ａの視野中心へ移動させうる座標値を得る。尚、本実施形態においては、高さセンサ１５によって計測された高さを利用してＸ−Ｙステージ１２の移動を制御しているので、検査対象回路基板７０の検査対象部を正確に視野中心に配設することができる。
【００３２】
以上により、検査対象回路基板７０の検査対象部を視野中心に移動させた後には、放射線制御部２５ｂおよび画像取得部２５ｄの制御により、放射線透過画像を撮影する。すなわち、放射線制御部２５ｂは、上記撮像条件データ２８ｂを取得し、当該撮像条件データ２８ｂに示される条件で放射線を出力するように放射線制御機構２１に対して指示を行う。この結果、放射線発生器１１が立体角２πの範囲で放射線を出力するので、画像取得部２５ｄは、放射線検出器１３ａが検出した放射線透過画像を取得する。以降同様に、角度θを変更させて所定の回転位置へ放射線検出器１３ａを移動し、各位置において放射線透過画像を取得する。
【００３３】
このようにして所定数の放射線透過画像を撮像したのち、良否判定部２５ｅが良否判定を行う。本実施形態においては、軸Ａを中心として放射線検出器１３ａを４５度ずつ回転させた、８箇所の回転位置において撮像した放射線透過画像に基づいて検査対象回路基板７０の検査対象部の３次元画像を構成し、この３次元画像に基づいて良否判定を行うようになっている。
【００３４】
このために、まず、良否判定部２５ｅは、３次元画像の再構成処理を行う。すなわち、本実施形態においては、複数の放射線画像に基づいて検査対象回路基板７０の検査対象部の３次元情報を再構成する。当該再構成処理は、検査対象回路基板７０の検査対象部の再構成をすることができれば良く、種々の処理を採用可能である。例えば、フィルタ補正逆投影法を採用可能である。この処理においては、まず、ｎ枚の放射線透過画像のいずれかに対してフーリエ変換実施し、フーリエ変換で得られた結果に対して周波数空間でフィルタ補正関数を乗じる。さらに、この結果に対して逆フーリエ変換を実施することで、フィルタ補正を行った画像を取得する。尚、このフィルタ補正関数は、画像のエッジを強調するための関数等を採用可能である。
【００３５】
続いて、フィルタ補正後の画像を、それが投影された軌跡に沿って３次元空間へ逆投影する。すなわち、放射線検出器１３ａの検出面におけるある位置の像に対応する軌跡は、放射線発生器１１の焦点とこの位置との直線であるので、この直線上に上記画像を逆投影する。以上の逆投影をｎ枚の放射線透過画像の総てについて行うと、３次元空間上で検査対象回路基板７０の検査対象部が存在する部分の放射線吸収係数分布が強調され、検査対象回路基板７０の検査対象部の３次元形状が得られる。むろん、この処理は一例であり、ｎ枚の放射線透過画像から補間によって擬似的に放射線透過画像の数を増やす処理を加えるなど、種々の処理を採用可能である。
【００３６】
３次元画像の再構成処理を行った後、良否判定部２５ｅは良否判定処理を行う。すなわち、検査対象部の３次元画像が得られているので、この画像に基づいて検査対象部の断面積や体積、形状、半田付けにおけるブリッジやボイドの有無等を検査する。ここでは予め断面積や形状等に基準の閾値や基準の形状等を設定しておくことによって、検査を自動化することができる。このとき、良否判定部２５ｅは、出力部２７に良否判定の結果を出力する。むろん、３次元画像を目視することによって検査を行っても良い。
また、３次元画像を再構成することは必須ではなく、２次元画像を再構成しても良いし、再構成処理を行うことなくｎ枚の放射線透過画像に基づいて外観検査を行っても良い。
【００３７】
尚、上述の実施形態においては、検査対象部に対して各検出器の視野中心となる位置にＸ−Ｙステージ１２を移動して放射線画像を撮影し良否判定を行う方法を提案したが、上記複数の回転位置のそれぞれにおいて（角度θ毎に）放射線画像を取得しても良い。すなわち、各回転位置において、複数の検査対象部に対する放射線画像をＸ−Ｙステージ１２を微小移動させて撮影・記憶し、最後に記憶した画像から個々の検査対象部の３次元画像を構成して良否判定を行うようにしてもよい。この場合においては、Ｘ−Ｙステージ１２の移動距離を短くすることができる。
【００３８】
以上のように、本実施形態においては、放射線発生器１１を固定的に配置し、位置や角度を変更することはない。すなわち、ほぼ全方位（立体角２π）に放射線を出カする放射線発生器１１を採用し、複数の放射線検出器１３ａ，１３ｃとＸ−Ｙステージ１２とを組み合わせることによって複数の方向からの撮影した放射線画像の取得を可能にしている。
【００３９】
（３）基板貼付用架台の構成
次に、基板貼付用架台５０の構成について説明する。
図３において、基板貼付用架台５０は、炭素粉末と有機バインダーを混合して溶融・焼結・成型した架台部５１と、架台部５１上に図４、図５または図６のパターンがスクリーン印刷された、シリコン系樹脂または非シリコン系樹脂等（アクリル系樹脂、天然ゴム、スチレン−ブタジエン系ゴム、イソプレン系ゴムなど）、からなる粘着部５２と、からなる。また、粘着部５２には、上記溶剤系粘着剤に限らず、非溶剤系粘着剤を用いても良い。この粘着部５２は、所定の粘着剤を架台部５１上に所定形状になるように塗布（例えば、スクリーン印刷）され、必要に応じて乾燥等されて形成される。また、架台部５１には基準点マーク５３が印刷され、図３には可撓性を有する検査対象回路基板（多層回路基板）７０が粘着部５２上に２枚貼付けられている。
粘着部５２は、極めて薄い樹脂であるので、弾性による振動が小さく、また、検査対象の平坦性を損なうことなく基板貼付用架台５０に固定することができる。粘着部５２の具体的な厚さは、５０〜３００μｍ、好ましくは、１００〜２００μｍである。
【００４０】
なお、架台部５１は、Ｘ線の透過性を高めるため炭素粉末のみによって成型されると共に、補強のために中央に対して、枠の部分が嵩高の構造となっている。より具体的には、中央部に対して枠部が２〜３ｍｍ高くなっている。このため、検査試料が粘着材５２１に対して、過度な粘着状態となった場合においても、注水して粘着材５２１の粘着率を下げることにより、容易に外すことが可能となる。
【００４１】
また、粘着材５２１のパターンは、検査試料が可撓性を有する多層回路基板に対しては図４のような点状に密に粘着材５２１を配置したものが基板面の平坦性を維持する上で好ましい。具体的には、直径２〜２５ｍｍ、間隔４〜３０ｍｍ程度、好ましくは、直径３〜８ｍｍ、間隔４〜１０ｍｍ程度である。また、ハードな多層回路基板の場合には図５のようなピッチの荒い面状に粘着材５２１を配置したものが検査試料の取り外しを容易とすると共に、使用する粘着剤を少なくする上で好ましい。具体的には、一辺長５〜３０ｍｍ、間隔１０〜４０ｍｍ程度、好ましくは、一辺長１０〜２０ｍｍ、間隔１２〜２５ｍｍ程度である。
【００４２】
また、図６のような線状のパターンを、検査試料を外す方向を線長方向として装備した場合には、粘着材５２１の線幅と線間隔による粘着力の調整が可能なことに加えて、一様な力で検査試料を外すことができるためソフトな基板が折れるといった恐れがない。具体的には、線幅１〜１０ｍｍ、間隔２〜１２ｍｍ程度、好ましくは、線幅２〜５ｍｍ、間隔３〜７ｍｍ程度である。
上記の他にも、千鳥状など種々のパターンを採用することが可能であり、粘着部５２の全体に隙間なく粘着材５２１を配置した場合に比べて、検査試料の取り外しが容易になり、特にソフトな基板を傷めることが少なくなるといった効果を有する。
さらに、上記点状、面状及び線状パターンの密度によって粘着力の調整が可能なため、希望する粘着力の設定が可能である。なお、基板貼付用架台５０に粘着部５２を装備する方法としては、上記のように粘着剤を印刷塗布するほか、接着面と粘着剤を各面に塗布したテープを剥離紙の上からパターンにカットして貼付する方法などを採用してもよい。
【００４３】
以上のような回路基板の放射線検査装置においては、固定した基板貼付用架台上の粘着部に回路基板を貼付けた構造となるため、基板貼付用架台に対して回路基板が堅固に支持され、ステージの停止時に発生する位置ズレや振動の影響を受けにくいといった効果がある。また、粘着材どうしを、間隔を空けて配備したため、回路基板に対して過剰な粘着力を生じず、特に可撓性を有するソフトな多層回路基板を基板貼付用架台から外す際に、基板を傷めないといった効果がある。
また、間隔を空けて粘着材を配置しているため基板の粘着剤の使用を抑える効果があると共に、基板底面と粘着部との間に空気層を生じて基板面の平坦性が損なわれることがないといった効果がある。
【００４４】
（４）基板貼付用架台のその他の実施形態
上記の実施形態では、放射線の透過性を優先して、一体成型の架台部５１を利用する実施例を提案したが、図７に示すように、基板貼付用架台５０を、片面に粘着面５５を有する架台部５１と、粘着面５５上に配設されかつ粘着部５２（粘着材５２１）を装備した１ｍｍ厚のカーボンプレート５４と、からなる２層構造とし、架台部５１上に粘着力が比較的強い粘着剤を用いて粘着面５５を装備すれば、架台５１に対して粘着部５２（粘着材５２１）を装備したカーボンプレート５４を簡単に取り替えることが可能となる。この場合に、粘着力が、回路基板に対する粘着力<架台部に対する粘着力  となる粘着剤やパターンを選択することが必要である。尚、架台５１にカーボンプレート５４を固定する手段においては、架台５１にカーボンプレート５４を着脱可能であればよく、例えば、ガイドレールで挟んで固定する方法が採用可能である。
【００４５】
また、より一層透過性を優先する場合には、図８に示すように、前記カーボンプレート５４の外周を挟む溝を有するアルミ材などの枠体６０によって、図３と同じ形状の基板貼付用架台を構成することも可能である。この場合には透過の障害となるものが非常に薄いカーボン材となり、また、放射線発生器１１を検査対象へ近接させることが可能なので、検査対象の一層鮮明な画像の入手が可能となる。尚、Ｘ−Ｙステージ１２に枠体６０を固定する手段においては、Ｘ−Ｙステージ１２に枠体６０を着脱可能であればよく、例えば、図示のようにガイド８０とボルト８１とにより枠体６０を挟持する方法や、幅広の枠体６０に穴を開けＸ−Ｙステージ１２に直接ボルト締めする方法などを採用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本考案の放射線検査装置の説明図である。
【図２】放射線検査装置の構成を座標系とともに説明する説明図である。
【図３】基板貼付用架台の斜視図である。
【図４】粘着剤の印刷パターン図およびカーボンプレートの説明図である。
【図５】粘着剤の印刷パターン図およびカーボンプレートの説明図である。
【図６】粘着剤の印刷パターン図およびカーボンプレートの説明図である。
【図７】基板貼付用架台の他の実施形態を示す斜視図である。
【図８】カーボンプレートとアルミフレームの枠体の説明の断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  放射線発生器
１１  放射線発生器
１２  Ｘ−Ｙステージ
１３ａ，１３ｃ  放射線検出器
１３ｂ  回転機構
２１  放射線制御機構
２２  ステージ制御機構
２３  画像取得機構
２５  ＣＰＵ
２５ｂ  放射線制御部
２５ｃ  ステージ制御部
２５ｄ  画像取得部
２５ｅ  良否判定部
２６  入力部
２７  出力部
２８  メモリ
２８ｂ  撮像条件データ
５０  基板貼付用架台
５１  架台部
５２  粘着部
５２１  粘着材
５３  基準点マーク
５４  カーボンプレート
５５  粘着面
６０  枠体
７０  検査対象回路基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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