【手続補正書】
【提出日】令和2年3月17日(2020.3.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置であって、
流体の流路に沿って流体の流れを生成する手段（１、１´）と、
流体の流路の測定領域へレーザービーム（２０）を照射するために配置されたレーザー（２）と、
流体の流れに含有された流動粒子（９）により測定領域で散乱されたレーザー光（２３）を集めるためのレンズセット（３）と、
レンズセット（３）で集めたられた散乱レーザー光（２３）の検出のために配置された光検出器（４）とを備え、
レンズセット（３）は、レンズセット（３）の焦点距離（ｆ２）において列状に並んだ散乱光（２３）を焦点に集束するために構成され、前記列は、測定領域における流体の流れ方向（ｙ）に対して横方向に向けられており、
光検出器（４）は、レンズセット（３）で焦点に集束したレーザー光を取り込むための多画素検出器であって、前記多画素検出器（４）は、レンズセット（３）の焦点距離（ｆ２）から距離をおいて配置されるとともに、前記列に対し平行な縦軸の方向に向けられており、
前記測定装置は、レーザー（２）によって測定領域を超えて放射されるレーザービーム（２０）を検出するための光検出器（６）をさらに備える、
ことを特徴とする流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項２】
流体の流れを生成する手段は、ノズル越しに流路とともに層流の空気の流れを生成するためのノズルであるか、またはチューブに沿った流路とともに液体の流れを生成するための前記チューブであることを特徴とする請求項１に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項３】
レンズセット（３）は、流れ方向（ｙ）に平行な方向に散乱光を焦点に集束するとともに、散乱光線を流れ方向（ｙ）に垂直な面内で互いに平行とさせるように構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項４】
レーザーは、流れ方向（ｙ）に偏光したレーザービーム（２０）を生成するように構成されていることを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項５】
レーザー（２）と測定領域との間におけるレーザービーム（２０）の光路に配置されて、流れ方向（ｙ）に直線偏光されたレーザー光のみを測定領域に到達させるための直線偏光用の偏光子（２１）をさらに有することを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項６】
レンズセット（３）は円柱型平凸レンズ（３０）を有し、この円柱型平凸レンズは、散乱光（２３）を流れ方向（ｙ）に平行な方向において焦点に集束させるとともに、散乱光（２３）の光線のうち流れ方向（ｙ）に垂直な方向で変化のないものを取り除くために配置されていることを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項７】
レンズセット（３）は測定領域と円柱型平凸レンズとの間にさらに球面型平凸レンズ（３１）を有し、この球面型平凸レンズ（３１）の焦点が測定領域に配置されるように構成されていることを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項８】
球面型平凸レンズ（３１）で集められた散乱光からの平行成分の光のみを維持するために、球面型平凸レンズ（３１）と円柱型平凸レンズ（３０）との間に、散乱光を直線偏光させるための偏光子（３２）をさらに有することを特徴とする請求項１から７までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項９】
球面型平凸レンズおよび円柱型平凸レンズ（３１、３０）の範囲効果を回避するための、および／または円柱型平凸レンズ（３０）によって集められた寄生的な光を回避するための、球面型平凸レンズ（３１）と円柱型平凸レンズ（３０）との間に配置された第１の絞り（３３）をさらに有することを特徴とする請求項７または８に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項１０】
光検出器（４）は、測定装置で測定された最小サイズの個々の流動粒子が測定領域を横切る時間よりも、または測定領域における流体の移動時間よりも、少なくとも１／１０短いサンプリング間隔にて、レンズセット（３）で焦点に集束されたレーザー光を採取するように構成され、前記移動時間は、測定領域における流れ方向（ｙ）のレーザービーム（２０）のサイズを、測定領域における流体の流れ速度で除算したものに相当することを特徴とする請求項１から９までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項１１】
光検出器（４）は、１ＭＳＰＳ（Mega Sample Per Second）以上の、好ましくは５ＭＳＰＳ以上の、さらに好ましくは１０ＭＳＰＳ以上の、さらにもっと好ましくは２５ＭＳＰＳ以上のサンプリング率にて、レンズセット（３）で焦点に集束させられたレーザー光を採取するように構成されていることを特徴とする請求項１から１０までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項１２】
寄生的な光が光検出器（４）に取り込まれることを防止するために、レンズセット（３）と光検出器（４）との間に配置された第２の絞り（４０）をさらに有することを特徴とする請求項１から１１までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項１３】
光検出器（４）が列状の多画素検出器であることを特徴とする請求項１から１２までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定装置。
【請求項１４】
流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定方法であって、
検出すべき流動粒子（９）を潜在的に含有するところの、流体の流路に沿った流体の流れを生成し、
流体の流路の測定領域にレーザービーム（２０）を照射し、
流体の流れに含有された流動粒子（９）によって測定領域で散乱されたレーザー光（２３）を集めるとともに、前記散乱された光を、レンズセット（３）の焦点距離（ｆ２）において、前記測定領域での流体の流れの流れ方向（ｙ）に垂直な方向の列状の焦点に集束させ、
焦点距離（ｆ２）から距離をおいて配置されるとともに、その縦軸を前記列に平行な方向に向けられた列状の多画素光検出器（４）に、前記集められ、そして焦点に集束させられたレーザーの散乱光（２３）を取り込み、
個々の流動粒子（９）が測定領域を横切っている間に、前記照射することと、集めたうえで集束させることと、取り込むこととを繰り返す、
ことを特徴とする流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定方法。
【請求項１５】
流体の流れが層流の空気の流れまたは液体の流れであることを特徴とする請求項１４に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定方法。
【請求項１６】
レーザー光（２０）が流れ方向（ｙ）に偏光されていることを特徴とする請求項１４または１５に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定方法。
【請求項１７】
集められた散乱光の光線を列状の焦点に集束させるときに、前記光線を流れ方向（ｙ）に垂直な方向において互いに平行としたうえで、集められた散乱光（２３）を流れ方向（ｙ）と平行な方向で焦点に集束させることを特徴とする請求項１４から１６までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定方法。
【請求項１８】
個々の流動粒子（９）が測定領域を横切っている間に、照射することと、集めたうえで集束させることと、取り込むこととを少なくとも１０回繰り返すことを特徴とする請求項１４から１７までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定方法。
【請求項１９】
照射することと、集めたうえで集束させることと、取り込むこととを、１ＭＳＰＳ（Mega Sample Per Second）以上の、好ましくは５ＭＳＰＳ以上の、さらに好ましくは１０ＭＳＰＳ以上の、さらにもっと好ましくは２５ＭＳＰＳ以上のサンプリング率にて繰り返すことを特徴とする請求項１４から１８までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定方法。
【請求項２０】
流動粒子（９）が測定領域を横切るときに取り込まれるレーザーの散乱光（２３）を、流動粒子（９）のサイズと、測定領域を横切る流動粒子（９）の速度と、流動粒子（９）の形状と、流動粒子（９）の表面品質とのうちの少なくとも１つを決定するために使用することを特徴とする請求項１４から１９までのいずれか１項に記載の流体中の流動粒子の検出および／または解析のための測定方法。