【手続補正書】
【提出日】令和2年2月19日(2020.2.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定値に自己無撞着試験を適用することによって、少なくとも１つのメトリックの測定値において互いに対応する測定設定を識別することで、設定の複数のクラスタをもたらし、
クラスタの統計的特徴に従って、最も信頼性の高いクラスタを決定し、
決定された最も信頼性の高いクラスタにおける少なくとも１つの設定から測定結果を導出する、
ことを含む方法。
【請求項２】
前記識別することは、前記測定値の空間における距離メトリックを用いて実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記統計的特徴は少なくとも各クラスタのサイズと多様性を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
さらに、識別された測定設定を、少なくとも１つの計測メトリックの、少なくとも１つのパラメータに対する少なくとも部分的に連続な依存性を含む測定ランドスケープ内の、対応する少なくとも１つの平坦領域に関連させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
コンピュータ可読プログラムを有する非一時的コンピュータ可読記憶媒体を備え、前記コンピュータ可読プログラムが、前記非一時的コンピュータ可読記憶媒体で具現化されているコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムは、請求項１に記載の方法を実行するように構成されているコンピュータプログラム製品。
【請求項６】
請求項１に記載の方法を実行するように構成された計測モジュール。
【請求項７】
対応する複数のウェハ領域に対する複数の測定設定を選択し、ウェハ領域は予め決まっているか、またはオンザフライで決められ、測定設定は少なくとも１つの精度メトリックに従って選択され、
各対応するウェハ領域に関して選択された測定設定で計測測定を実行する、
ことを含む方法。
【請求項８】
測定設定は、少なくとも１つのメトリックの測定またはシミュレーション値の、それに自己無撞着試験を適用することによるクラスタ化に従って選択されて、設定の複数のクラスをもたらし、そこから、クラスタの統計的特性に従ってウェハ領域それぞれから最も信頼度の高いクラスタが決定される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
コンピュータ可読プログラムを有する非一時的コンピュータ可読記憶媒体を備え、前記コンピュータ可読プログラムが、前記非一時的コンピュータ可読記憶媒体で具現化されているコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムは請求項７に記載の方法を実行するように構成されている、コンピュータプログラム製品。
【請求項１０】
請求項７に記載の方法を実行するように構成された計測モジュール。
【請求項１１】
近隣ピクセル値の平均に従って計測瞳像内のピクセル値を修正して瞳像内のランダム雑音を低減することを含む方法。
【請求項１２】
さらに、修正の前に瞳像内のピクセル値を対称化することを含み、対称化は測定された周期構造ターゲットの測定方向に対して垂直な方向にある、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
コンピュータ可読プログラムを有する非一時的コンピュータ可読記憶媒体を備え、前記コンピュータ可読プログラムが、前記非一時的コンピュータ可読記憶媒体で具現化されているコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムは請求項１１に記載の方法を実行するように構成されている、コンピュータプログラム製品。
【請求項１４】
請求項１１に記載の方法を実行するように構成された計測モジュール。
【請求項１５】
請求項１１の方法から導出された瞳像。
【請求項１６】
異なる測定設定および／または異なるターゲットを用いてメトリックの複数の測定から計測メトリックの値を導出し、値は、複数の測定からのピクセルの連結から導出されることを含む方法。
【請求項１７】
さらに、重み関数に従ってピクセルを重み付けし、瞳変動を最小化するために重み関数を最適化することを含む請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
さらに、測定の異なるサブセットの複数の連結からの結果を比較することによってアルゴリズムの安定性を推定することを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
コンピュータ可読プログラムを有する非一時的コンピュータ可読記憶媒体を備え、前記コンピュータ可読プログラムが、前記非一時的コンピュータ可読記憶媒体で具現化されているコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムは請求項１７または１８に記載の方法を実行するように構成されている、コンピュータプログラム製品。
【請求項２０】
請求項１７に記載の方法を実行するように構成された計測モジュール。
【請求項２１】
複数の設定の使用からの複数の計測測定に主成分分析（ＰＣＡ）を適用することによって測定設定を導出し、ＰＣＡから、大きい固定値に対する小さい固定値の最小率を示す測定設定を選択することを含む方法。
【請求項２２】
さらに、複数の計測測定からの複数のピクセルにＰＣＡを適用することを含む請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記計測測定は瞳スキャトロメトリ測定とフィールドスキャトロメトリ測定の両方を含む請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
コンピュータ可読プログラムを有する非一時的コンピュータ可読記憶媒体を備え、前記コンピュータ可読プログラムが、前記非一時的コンピュータ可読記憶媒体で具現化されているコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムは請求項２２に記載の方法を実行するように構成されている、コンピュータプログラム製品。
【請求項２５】
請求項２１に記載の方法を実行するように構成された計測モジュール。
【請求項２６】
少なくとも１つの計測メトリックの少なくとも２つの値の間の差を計算することによって計測測定の不正確さを示し、少なくとも２つの値は少なくとも２つの計測アルゴリズムから導出され、計算された差から閾値を設定することを含む方法。
【請求項２７】
さらに、測定不正確さのフラグインジケータとして、前記差を報告することを含む請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
コンピュータ可読プログラムを有する非一時的コンピュータ可読記憶媒体を備え、前記コンピュータ可読プログラムが、前記非一時的コンピュータ可読記憶媒体で具現化されているコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムは請求項２７に記載の方法を実行するように構成される、コンピュータプログラム製品。
【請求項２９】
請求項２６に記載の方法を実行するように構成された計測モジュール。
【請求項３０】
共振領域に近似したランドスケープ内の近似領域を示し、前記ランドスケープは、少なくとも１つの計測メトリックの、少なくとも１つのパラメータに対する少なくとも部分的に連続な依存性を含み、前記ランドスケープ内の共振領域は、測定場所内の光学的照明の共振に対応し、示すことは、瞳信号の変動性またはその少なくとも１つの関数を計算することによって実行され、さらに、計算された変動性を所定の閾値と比較し、所定の閾値を超えることは近似領域を示すことを含む方法。
【請求項３１】
さらに、測定不正確さのフラグインジケータとして、前記算出された変動性を報告することを含む請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
コンピュータ可読プログラムを有する非一時的コンピュータ可読記憶媒体を備え、前記コンピュータ可読プログラムが、前記非一時的コンピュータ可読記憶媒体で具現化されているコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムは請求項３０に記載の方法を実行するように構成されている、コンピュータプログラム製品。
【請求項３３】
請求項３０に記載の方法を実行するように構成された計測モジュール。
【請求項３４】
ランドスケープ内の共振領域を決定し、前記ランドスケープは、少なくとも１つの計測メトリックの、少なくとも１つのパラメータに対する少なくとも部分的に連続な依存性を含み、前記ランドスケープ内の前記共振領域は、測定場所内の光学的照明の共振に対応し、前記決定することは、少なくとも１つの計測メトリックの非解析的挙動を検出することによって実行され、解析関数を基に、瞳座標にわたり解析関数の空間を張り、計測メトリックを、解析関数の基盤に関して式で表し、式の残差を推定し、所定の閾値より大きい残差は非解析的挙動を示すことを含む方法。
【請求項３５】
さらに、共振のフラグインジケータとして、前記残差を報告することを含む請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
コンピュータ可読プログラムを有する非一時的コンピュータ可読記憶媒体を備え、前記コンピュータ可読プログラムが、前記非一時的コンピュータ可読記憶媒体で具現化されているコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムは請求項３４に記載の方法を実行するように構成されている、コンピュータプログラム製品。
【請求項３７】
請求項３４に記載の方法を実行するように構成された計測モジュール。
【請求項３８】
少なくとも２つの異なった非垂直な測定方向に沿った周期構造を有する複数のターゲットセルを備えた計測ターゲット。
【請求項３９】
前記測定方向のうち少なくとも１つはもう１つの測定方法に対して角度φにあり、前記角度φはターゲットセル非対称の効果を低減するように選択される、請求項３８に記載の計測ターゲット。
【請求項４０】
前記測定方向は、互いに対して０°から９０°の異なる角度での少なくとも３つの測定方向を含む、請求項３８に記載の計測ターゲット。
【請求項４１】
一測定方向に沿って周期的構造を有するターゲットセルに、前記測定方向に対して異なっており非垂直な方向を有する少なくとも１つの斜行ターゲットセルを追加することを含むターゲット設計方法。
【請求項４２】
さらに、前記少なくとも１つの斜行ターゲットセルを、前記測定方向に対して角度φでの方向を有するように設計し、前記角度φはターゲットセル非対称の効果を減少させるように選択される、請求項４１に記載のターゲット設計方法。
【請求項４３】
コンピュータ可読プログラムを有する非一時的コンピュータ可読記憶媒体を備え、前記コンピュータ可読プログラムが、前記非一時的コンピュータ可読記憶媒体で具現化されているコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムは請求項４１に記載の方法を実行するように構成されている、コンピュータプログラム製品。