(57)【要約】      （修正有）【課題】効率的で大量生産に適した充填無制限の気体分圧構造を提供する。【解決手段】置鋼架は上に複数の直列の充填鋼瓶を有する。輸送管は一端と複数の充填鋼瓶が連接する。もう一端は混合処理鋼瓶と転換器が並列される。且つ、混合処理鋼瓶からもう一つの輸送管を連接し、それぞれ転換部内部に連接する。出力管は一端が転換器を連接し、もう一端は転換器が出力する気体を鋼瓶上部から出力し保存する。複数の制御出力管は第一〜第五鋼瓶に連接される。圧力箱は鋼瓶下方の制御出力管と連接され、制御出力管が出力する気体の圧縮を実行する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
充填無制限の気体分圧構造であって、少なくとも、置鋼架、輸送管、出力管、制御出力管、圧力箱、熱源転換装置からなり、置鋼架は上に複数の直列の充填鋼瓶を有し、輸送管は一端と複数の前記充填鋼瓶が連接し、もう一端は混合処理鋼瓶と転換器が並列され、且つ、前記混合処理鋼瓶からもう一つの輸送管を連接し、それぞれ前記転換部内部に連接し、出力管は一端が前記転換器を連接し、もう一端は前記転換器が出力する気体を第一鋼瓶、第二鋼瓶、第三鋼瓶、第四鋼瓶と第五鋼瓶上部から出力して気体を保存し、複数の制御出力管は前記第一、第二、第三、第四と第五鋼瓶の底部に連接され、圧力箱は前記第一、第二、第三、第四と第五鋼瓶下方の前記制御出力管と連接され、前記制御出力管が出力する気体の圧縮を実行し、熱源転換装置は一端が前記圧力箱に設置され、もう一端が前記充填鋼瓶付近に連接され、高温の圧力は鋼瓶の気体出力時に放熱して降温することを特徴とする、充填無制限の気体分圧構造。
【請求項２】
前記混合処理鋼瓶と前記充填鋼瓶の間の前記輸送管上に、更に気圧過温器を設置することを特徴とする、請求項１に記載の充填無制限の気体分圧構造。
【請求項３】
前記混合処理鋼瓶と前記輸送管連接箇所に、更に自動減圧安全装置を有することを特徴とする、請求項１に記載の充填無制限の気体分圧構造。
【請求項４】
前記混合処理鋼瓶と前記転換器の間に、更に制御スイッチを有することを特徴とする、請求項１に記載の充填無制限の気体分圧構造。
【請求項５】
前記出力管上に、更に制御スイッチを有することを特徴とする、請求項１に記載の充填無制限の気体分圧構造。
【請求項６】
前記出力管上に、更に複数の鋼瓶と前記制御出力管を余分に設置し、前記圧力箱と連接することを特徴とする、請求項１に記載の充填無制限の気体分圧構造。
【請求項７】
前記充填鋼瓶が連接する輸送管上に、更にターボ吸気装置を並列設置することを特徴とする、請求項１に記載の充填無制限の気体分圧構造。
【請求項８】
前記充填鋼瓶と前記置鋼架も直接ターボ吸気装置に置換できることを特徴とする、請求項１に記載の充填無制限の気体分圧構造。
【請求項９】
前記熱源転換装置内部は天然水を充填できることを特徴とする、請求項１に記載の充填無制限の気体分圧構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は充填式気体分圧構造に関し、特に、充填無制限の気体分圧構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
産業中の多くの製造工程は莫大な応用要求に符合するために、信頼性のある加工気体ソースを必要とする。これらの気体は通常、鋼瓶、或いは、容器内に保存し、制御条件下で鋼瓶を製造工程中に輸送する。例えば、半導体産業中、多くの気体を使用し、例えば、薄膜沈積のリン化水素、ヒ化水素、三フッ化ホウ素等である。高い毒性と自然性のため、気体は安全性と環境上の争議がある。毒性以外に、気体中に多くの圧縮、液化の高圧方式により鋼瓶中に保存される。
【０００３】
ある者は、電気化学の方式で気体を生成するが、現場で気体を合成するのは困難であり、新しい技術は低圧保存と輸送システムにより、これらの気体を固体キャリア上に吸付しているしかし、これらの保存及び輸送システムも問題が無いわけではない。システムは容量不足と輸送制限、熱伝導不良等の問題がある。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案は充填無制限の気体分圧構造を提供し、上述の問題を改善することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
ターボ吸気装置により置鋼架と充填鋼瓶を並列設置し、充填鋼瓶内部の気体の使用終了後、ターボ吸気装置により直接大自然の空気を吸い取り、転換の動作を実行し、効果的にエネルギー節約の効果を達成し大量生産に適する。
【０００６】
本考案は充填無制限の気体分圧構造を提供し、熱源転換装置により、一端の圧力箱が生成する熱量を充填鋼瓶出力時の放熱により熱平衡に達し、効果的に圧力箱の温度を低下させ降温させる。
【考案の効果】
【０００７】
充填鋼瓶内部の気体の使用終了後、ターボ吸気装置により直接大自然の空気を吸い取り、転換の動作を実行し、効果的にエネルギー節約の効果を達成し、大量生産に適する。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１で示されるように、置鋼架１０は上に複数の直列の充填鋼瓶１２を有する。輸送管１４は一端と複数の充填鋼瓶１２が連接する。もう一端は混合処理鋼瓶１６と転換器１８が並列される。且つ、混合処理鋼瓶１６からもう一つの輸送管２０を連接し、それぞれ転換部１８内部に連接し、混合処理鋼瓶１６と輸送管１４連接箇所は、更に自動減圧安全装置１６１を設置し、混合処理鋼瓶１６と充填鋼瓶１２間の輸送管上に、更に気圧過温器１２１を有する。混合処理鋼瓶１６と転換器１８の間は、更に制御スイッチ１８１を有する。出力管２２は一端が転換器１８を連接し、もう一端は転換器１８が出力する気体を第一鋼瓶２４、第二鋼瓶２６、第三鋼瓶２８、第四鋼瓶３０と第五鋼瓶３２上部から出力し、スイッチ２２１より制御され、気体を第一鋼瓶２４、第二鋼瓶２６、第三鋼瓶２８、第四鋼瓶３０と第五鋼瓶３２に保存する。複数の制御出力管３６は第一鋼瓶２４、第二鋼瓶２６、第三鋼瓶２８、第四鋼瓶３０と第五鋼瓶３２の底部に設置される。また、圧力箱３４は第一鋼瓶２４、第二鋼瓶２６、第三鋼瓶２８、第四鋼瓶３０と第五鋼瓶３２下方の制御出力管３６と連接され、制御出力管３６が出力する気体の圧縮を実行し、管路３８により出力する。熱源転換装置４０は伝送管４０１、４０２により、一端が圧力箱３４に設置され、もう一端が充填鋼瓶１２付近に連接され、圧力箱３４が作動時に生成される高温は、鋼瓶により気体出力時、放熱して降温する。熱源転換装置４０内部は、天然水を充填することができる。
【０００９】
出力管２２上に更に複数の鋼瓶２４、２６、３０、３２と制御輸送管３６を余分に設置して圧力箱３４と連接し、更に多くの鋼瓶を並列延伸することができる。
【００１０】
図２で示されるように、ターボ吸気装置４２は置鋼架１０と充填鋼瓶１２を代替することができ、これによりターボ吸気装置４２は、直接大自然の空気を吸い取ることができ、分解処理を実行する。
【００１１】
図３で示されるように、ターボ吸気装置４２は置鋼架１０と充填鋼瓶１２と並列でき、充填鋼瓶１２内の気体の終了後、ターボ吸気装置４２により直接大自然の空気を吸い取って分解処理する。
【００１２】
本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本考案明の保護範囲は、実用新案請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本考案の充填無制限の気体分圧構造の立体図
【図２】充填無制限の気体分圧構造のもう一つの実施例図
【図３】充填無制限の気体分圧構造の更にもう一つの実施例図
【符号の説明】
【００１４】
１０    置鋼架
１２    充填鋼瓶
１２１  気圧過温器
１４    輸送管
１６    混合処理鋼瓶
１６１  自動減圧安全装置
１８    転換器
１８１  制御スイッチ
２０    輸送管
２２    出力管
２２１  スイッチ
２４    鋼瓶
２６    鋼瓶
２８    鋼瓶
３０    鋼瓶
３２    鋼瓶
３４    圧力箱
３６    制御出力管
３８    管路
４０    熱源転換装置
４０１  伝送管
４０２  伝送管
４２    ターボ吸気装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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