(57)【要約】      （修正有）【課題】オキサイドの微粉の除去を効率よく行うことができる単結晶引上装置用不活性ガス回収装置の提供。【解決手段】単結晶引上装置に油圧回路式の真空ポンプと、水封タンクと、フィルターと、精製装置とを順次接続し、これらによって引上装置内に流される不活性ガスの循環系を形成してなる単結晶引上装置用不活性ガス回収装置である。フィルターとして、不織布濾材を板状となし且つ交互に反対方向に折り返して蛇腹状となしたエレメント５Ａと、筒形をなし且つ両端に流入口５ａと流出口５ｂを設けた密閉ハウジング５Ｂとからなり、密閉ハウジング５Ｂの内部に、ガスの流通方向と直交するようエレメント５Ａを固定してなるフィルター５を用いる。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
単結晶引上装置に油圧回路式の真空ポンプと、水封タンクと、フィルターと、精製装置とを順次接続し、これらによって引上装置内に流される不活性ガスの循環系を形成してなる単結晶引上装置用不活性ガス回収装置において、フィルターとして、不織布濾材を板状となし且つ交互に反対方向に折り返して蛇腹状となしたエレメントと、筒形をなし且つ両端に流入口と流出口を設けた密閉ハウジングとからなり、該密閉ハウジングの内部に、ガスの流通方向と直交するよう前記エレメントを固定してなるフィルターを用いたことを特徴とする単結晶引上装置用不活性ガス回収装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はシリコン単結晶引上装置に用いられるアルゴンガス等の不活性ガス回収装置に関し、特にオキサイド（ＳｉＯｘ）の微粉の除去を効率よく行うことができるようになした不活性ガス回収装置に係わる。
【背景技術】
【０００２】
シリコン単結晶の製造方法として、一般的にチョクラルスキー法が用いられている。斯かる方法において、チャンバー内に流されるアルゴンガスは従来そのまま廃棄されていたが、アルゴンガスは高価であるため、これを回収して循環使用する装置の出現が望まれていた。
【０００３】
しかし、このためにはシリコン単結晶を引き上げる際に、引上装置内でシリコンと石英ガラスルツボとの反応により発生するオキサイド（ＳｉＯｘ）の微粉を除去する必要がある。
【０００４】
これらのことを踏まえて、従来図４に示す如き単結晶引上装置用の不活性ガス回収装置が案出され、実用に供されている。該不活性ガス回収装置１００は、単結晶引上装置１０１に油圧回路式の真空ポンプ１０２と、水封タンク１０３と、フィルター１０４、１０５と、精製装置１０６とを順次接続し、これらによって引上装置１０１内に流される不活性ガスの循環系を形成してなるものである。尚、１０７はフィルター１０５と精製装置１０６の間に備えたブロアである。
【０００５】
而して、該不活性ガス回収装置１００において、水封タンク１０３は、真空ポンプ１０２で引上装置１０１から吸引したオキサイド（ＳｉＯｘ）の微粉を含んだアルゴンガスを、内部に封入した水に接触させて該オキサイド（ＳｉＯｘ）の微粉を除去するためのものであり、フィルター１０４は更に濾材で捕集することにより、オキサイド（ＳｉＯｘ）の微粉の除去を完全にするためのものである。
【０００６】
ところで、該不活性ガス回収装置１００で用いられているフィルター１０４は、ガス用ラインフィルターが用いられている。しかし、斯かるガス用ラインフィルターは処理流量が少なく、且つまた除塵容量も少なく、更にまた交換頻度が多いために経済的でないという問題点があった。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本考案者は、オキサイド（ＳｉＯｘ）の微粉除去用フィルターとして、斯かる従来のガス用ラインフィルターに代わる、処理流量が多く、且つまた除塵容量も多く、更にまた交換頻度が少なくて済むフィルターについて鋭意研究したところ、クリーンルーム空調用フィルターがこれらの条件を充足するものであることを見出だした。そして、該空調用フィルターにおけるエレメントを密閉ハウジング内に組み付けることによってフィルターとなせば、上記問題点を全て解決することができることを知見し、本考案の完成をみるに至ったものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
而して、本考案の要旨とするところは、単結晶引上装置に油圧回路式の真空ポンプと、水封タンクと、フィルターと、精製装置とを順次接続し、これらによって引上装置内に流される不活性ガスの循環系を形成してなる単結晶引上装置用不活性ガス回収装置において、フィルターとして、不織布濾材を板状となし且つ交互に反対方向に折り返して蛇腹状となしたエレメントと、筒形をなし且つ両端に流入口と流出口を設けた密閉ハウジングとからなり、該密閉ハウジングの内部に、ガスの流通方向と直交するよう前記エレメントを固定してなるフィルターを用いたことを特徴とする単結晶引上装置用不活性ガス回収装置にある。
【考案の効果】
【０００９】
本考案は上記の如き構成であり、オキサイド（ＳｉＯｘ）の微粉除去用フィルターとして処理流量が多く、且つまた除塵容量も多く、更にまた交換頻度が少なくて済むフィルターを用いたから、オキサイド（ＳｉＯｘ）の微粉の除去を、従来に比してはるかに効率よく行うことができると共に経済的である。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１０】
本考案を実施するための最良の形態は、単結晶引上装置に油圧回路式の真空ポンプと、水封タンクと、フィルターと、精製装置とを順次接続し、これらによって引上装置内に流される不活性ガスの循環系を形成してなる単結晶引上装置用不活性ガス回収装置において、フィルターとして、不織布濾材を板状となし且つ交互に反対方向に折り返して蛇腹状となしたエレメントと、筒形をなし且つ両端に流入口と流出口を設けた密閉ハウジングとからなり、該密閉ハウジングの内部に、ガスの流通方向と直交するよう前記エレメントを固定してなるフィルターを用いたことにある。
【実施例】
【００１１】
以下、本考案の実施例について説明する。
図１は本考案に係る単結晶引上装置用不活性ガス回収装置の概略系統図、図２は図１に示した不活性ガス回収装置に用いるフィルターの中央縦断側面図、図３は図２に示したフィルターの中央横断平面図である。
【００１２】
図中、１は不活性ガス回収装置である。また、該不活性ガス回収装置１は、単結晶引上装置２に油圧回路式の真空ポンプ３と、水封タンク４と、フィルター５、６と、精製装置７とを順次接続し、これらによって引上装置２内に流される不活性ガスの循環系を形成してなるものである。尚、８はフィルター６と精製装置７との間に備えたブロアである。
【００１３】
また、上記構成における夫々の部材の用途は、前記従来の不活性ガス回収装置と同様であるから説明は省略する。
【００１４】
而して、本考案において特徴とするところは、前記フィルター５として、図２及び図３に示す如く、不織布濾材を板状となし且つ交互に反対方向に折り返して蛇腹状となしたエレメント５Ａと、筒形をなし且つ両端に流入口５ａと流出口５ｂを設けた密閉ハウジング５Ｂとからなり、該密閉ハウジング５Ｂの内部に、ガスの流通方向と直交するよう前記エレメント５Ａを固定してなるフィルター５を用いたことにある。
【００１５】
斯かるフィルター５は、処理流量が多く、且つまた除塵容量も多く、更にまた交換頻度も少なくて済むから、オキサイド（ＳｉＯｘ）の微粉の除去を、従来に比してはるかに効率よく行うことができると共に経済的である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本考案に係る単結晶引上装置用不活性ガス回収装置の概略系統図である。
【図２】図１に示した不活性ガス回収装置に用いるフィルターの中央縦断側面図である。
【図３】図２に示したフィルターの中央横断平面図である。
【図４】従来の単結晶引上装置用不活性ガス回収装置の概略系統図である。
【符号の説明】
【００１７】
１  不活性ガス回収装置
２  単結晶引上装置
３  真空ポンプ
４  水封タンク
５、６  フィルター
７  精製装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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