(57)【要約】  プレート現像部タンク（１０４）内の現像液（１０８）の液位を検出する装置であって、現像タンクの少なくとも一縁に設置された反射面（２０４）と、反射面へ光を照射する光エミッタ（２３２）と、反射面からの反射光を検出するように構成された光検出器（２３６）と、を備え、光エミッタと光検出器は、光エミッタからの照射光が現像液によって屈折して反射面に９０度で当たるように、反射面に対して配置されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
タンク内の液位を検出する装置であって、
前記タンクの少なくとも一縁に設置された反射面と、
前記反射面へ光を照射するように構成された光エミッタと、
前記反射面から反射された光を検出するように構成された光検出器と、を備え、
前記光エミッタと前記光検出器は、前記反射面が液体によって覆われているときに前記光エミッタからの照射光が前記光検出器に当たるように、前記反射面に対して配置されている、装置。
【請求項２】
前記タンク内の液体が前記反射面を覆っていないときには、光は上前記光検出器へ反射されない、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記反射光が前記光検出器によって検出されることは、前記タンク内の前記液体の液位が許容可能であることを示している、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記光検出器および前記タンクは、同一の場所に配置され、照射光は前記反射面に９０度で当たる、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
少なくともその一縁に反射面を備えたプレート現像液タンク内の液位を検出する方法であって、
前記反射面に光を照射するように構成された光エミッタと、前記反射面からの後方反射光を検出するように構成された光検出器との前記反射面に対する位置を、前記現像液によって屈折した前記光エミッタからの照射光が、前記反射面に９０度で当たるように調整するステップと、
タンクが満杯であることを示すタンク内の位置に反射面を配置するステップと、
光エミッタから前記反射面に光を照射するステップと、
前記反射面が液体に覆われているときに、前記反射面から反射された光が光検出器に到達するように前記光検出器を配置するステップと、を含む方法。
【請求項６】
タンク内の液位を検出する装置であって、
前記タンクの少なくとも一縁に設置された反射面と、
前記反射面へ光を照射するように構成された光エミッタと、
前記反射面から反射された光を検出するように構成された光検出器と、を備え、
前記光エミッタと前記光検出器は、前記反射面が液体によって覆われていないときに前記光エミッタからの照射光が前記光検出器に当たるように、前記反射面に対して配置されている、装置。
【請求項７】
前記液体は、現像液である、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記光エミッタと前記光検出器は、同一の場所に配置されている、請求項６に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プレート現像液タンク内の現像液の液位を感知する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
リソグラフデジタル印刷プレートは、特殊な光学機械式プレートセッター上に結像される。結像されたプレートは、化学現像段階を経るが、この処理は、通常、プレート現像処理装置によって行われる。現像処理では液状の化学現像剤が使用される。現像剤は、図１の従来技術に示されるように、プレート処理装置内の現像部タンク１０４に充填される。
【０００３】
リソグラフプレートは、結像された後、現像部タンク１０４の現像液の一部を消費しつつ、処理のためにプレート処理装置の中を通って搬送される。現像部タンク１０４内部の現像液１０８は、固定の液位に維持されるべきである。従来技術の装置では、現像液１０８に浮かんで現像液の液位を示すフロートセンサ１１２を使用することによって、固定の液位が維持されている。各プレート現像サイクルの後で、新しい現像液が、未使用現像剤容器１１６から現像剤補充配管系１２４を介して補充される。未使用現像剤容器１１６からの新しい現像剤は、現像液１０８の液位を維持しながら、現像部タンク１０４へ流入される。現像液１０８の液位を固定したまま維持するために、現像液の一部は、現像部タンク１０４から現像廃液溢流配管系１２８を介して現像廃液容器１２０へ流出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６２−１３８７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以下に開示する発明は、現像液１０８の液位を固定液位に維持するために、より正確な計測装置および方法を提案するものであり、これは、プレート印刷処理において、信頼可能な結果を達成するために必要なものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
簡潔に述べると、本発明の一態様によれば、プレート現像液タンク内の現像液の液位を検出する装置は、現像タンクの少なくとも一縁に設置された反射面と、反射面へ光を照射するように構成された光エミッタと、反射面から後方反射された光を検出するように構成された光検出器と、を備え、光エミッタと光検出器は、現像液によって覆われているときに、光エミッタからの照射光が、光検出器へ反射しかつ反射面に９０度で当たるように、反射面に対して配置されている。
【０００７】
これらおよびその他の本発明の目的、特徴、利点は、本発明の例示的実施形態を図示および説明する図面とともに以下の詳細な説明を読めば、当業者にとっては明らかとなるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】従来技術におけるフロートセンサを備えた現像液タンクの概略図である。
【図２Ａ】現像液で満たされたタンクの一例を検出する現像液センサであって、エミッタと検出器とが同一場所に配置されたセンサの概略図である。
【図２Ｂ】現像液で満たされたタンクの一例を検出する現像液センサであって、エミッタと検出器とが同一場所に配置されていないセンサの概略図である。
【図３Ａ】現像液タンクにおける現像液不足の一例を検出する現像液センサであって、エミッタと検出器とが同一場所に配置されたセンサの概略図である。
【図３Ｂ】現像液タンクにおける現像液不足の一例を検出する現像液センサであって、エミッタと検出器とが同一場所に配置されていないセンサの概略図である。
【図４】現像中のプレートと、タンクが現像液で満たされている場合の液位を検出するセンサとを示す、現像液タンクの概略図である。
【図５】現像中のプレートと、現像液タンク中の現像液が不足している場合の液位を検出するセンサとを示す、現像液タンクの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の少なくとも１つの実施形態を詳細に説明する前に、本発明が、以下の記載において説明される又は図面において図示される構成の詳細および構成要素の配置の用途に限定されないことを理解されたい。本発明は、他の実施形態に適用可能であるか又は種々の方法で実施又は遂行可能である。また、本明細書で使用される表現および用語は説明を目的とするものであり、限定的なものとしてみなされるべきではない。
【００１０】
図２Ａは、現像液の液位センサ２００を示している。センサ２００は、フロートセンサ１１２などの既存のセンサに替わって、現像部タンク１０４に組み込むことができる。センサ２００は、タンク１０４の現像液１０８の上方に配置されるセンサ素子２１２と、タンク１０４の少なくとも１つの壁面に設置される反射面２０４とを含む。タンクが満杯のとき、反射面２０４は現像液１０８に浸かっている。センサ素子２１２は、光ビーム２２０を反射面２０４に照射するように構成される。
【００１１】
動作中、センサ素子２１２は、光ビームを光エミッタ２３２から反射面２０４に向けて方向２２０へ照射する。方向２２０に進む光ビームは、反射面２０４に到達する前に、現像液１０８に当たる。図２Ａにはこの場合が示されており、光ビーム２２０は、現像液１０８の表面に当たり、ビームの方向が一定の反射角で屈折して、新しいビーム方向２２４に進み続ける。屈折は、スネルの法則でよく知られているように、空気媒体と液体媒体の反射率が異なることによって生じる。
【００１２】
照射光が、反射面２０４に９０度の角度で当たった場合（２２８）、反射面２０４からの反射光は、全く同一の経路（２２４、２２０）でセンサ素子２１２へ戻る。センサ素子２１２には、方向２２０に後戻りした反射光２２４を検出するように構成された光検出器２３６が備えられている。この場合、光が方向２２０に戻り、光検出器２３６（エミッタ２３２と同一の場所に配置されている）によって検出された場合には、タンク１０４に現像液１０８が十分に存在するということになる。
【００１３】
センサ素子２１２からの照射光ビームが、９０度で反射面２０４に当たるのを確実にするためには、センサ２００を調整するための以下のステップを実施すべきである。
（１）反射面２０４が、現像液１０８に完全に浸かっていることを確認する。
（２）センサ素子２１２からの光を反射面２０４に向かって照射する。
（３）光検出器が反射光を検出するまでセンサ軸２１６を調節することによってセンサ素子２１２の位置を調整する。
（４）この段階で、以降の操作のためにセンサ素子２１２の位置を固定する。
【００１４】
上記のセンサ調整処理は、新しい種類の現像液１０８が使用されるたびに繰り返されるべきである。これは、新しい種類の現像液は、異なる反射率を有する可能性があるためである。
【００１５】
図３Ａは図２Ａに類似しているが、タンク１０４に未使用現像液を補充しておく必要がある液位まで現像液１０８を消費してしまった場合を示している。光エミッタ２３２から照射された光ビームは、方向２２０にある反射面２０４に当たる。現像液１０８の液位が低いため、方向２２０に進む照射光は、現像液面１０８には当たらず、従って屈折しない。照射光は、９０度未満で反射面２０４に当たると、反射面２０４から方向３２４に反射され、光検出器２３６には到達しない。これは、タンク１０４に十分な現像液１０８がないことを示しており、未使用現像液の補充が開始される。
【００１６】
図２Ｂおよび図３Ｂは、図２Ａおよび図３Ａによって示される実施形態と同様の実施形態をそれぞれ示している。図２Ｂおよび図３Ｂは、エミッタ２３２と同一場所に配置されない光検出器２３６が、光路３２４の方向に位置することを示している。このとき、光検出器２３６が、（図３Ｂに示されるように）方向３２４に戻る光を検出すると、タンク１０４に十分な現像液１０８がないということになる。光検出器２３６が、（図２Ｂに示されるように）方向２２０に戻る光を検出しない場合、タンク１０４に十分な現像液１０８があるということになる。
【００１７】
図４および図５は、プレート現像システムに組み込まれたセンサ素子２１２および反射面２０４を示している。印刷プレートは、プレート入口４１２において、プレート現像液タンクに入る。プレートは、現像液１０８に浸かり、一連の搬送ローラ４２０によって現像液の中を通ってプレート出口４１６へとプレート路４０４に沿って搬送される。プレート現像プロセスは、現像液を消費するが、現像液は、適切かつ着実なプレート現像作業に必要な現像液１０８の適切な液位を維持するために補充されるべきである。
【００１８】
図４は、プレート現像システムに組み込まれたセンサ素子２１２の動作を図示し、光検出器２３６によって、現像液１０８の通常の液位状態が検出された例を示している。一方、図５は、プレート現像システムにおいて現像液１０８が不足している例を示している。
【符号の説明】
【００１９】
１０４  現像部タンク、１０８  現像液、１１２  フロートセンサ、１１６  未使用現像液容器、１２０  現像廃液容器、１２４  現像剤補充配管系、１２８  現像廃液溢流配管系、２００  現像液の液位センサ、２０４  反射面、２１２  センサ素子、２１６  センサ調節軸、２２０  センサから／センサへの照射光ビームの経路、２２４  液面に当たった後の光２２０の屈折経路、２２８  センサ２１２による検出対象となる光ビーム２２４／２２０の９０度の反射角度、２３２  センサ２１２の一部である光エミッタ、２３６    センサ２１２の一部である光検出器、３２４  表面２０４から反射された空気中の光路、４０４  プレート搬送路、４１２  プレート入口、４１６  プレート出口、４２０  搬送ローラ。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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