【手続補正書】
【提出日】令和2年10月30日(2020.10.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＭＥＭＳデバイス（１）の可動質量体（２）のための減衰システムにして、
システムは、ＭＥＭＳデバイス（１）の質量体（２）と表面要素（３）との間の直接的な接触を防止することができ、質量体（２）は、表面要素（３）に対して第１の方向（Ｄ１）に沿って並進方向に移動可能であり、
減衰システムは、
−  質量体（２）と表面要素（３）との間に位置決めされている、弾性的な特性を有する機械的ストッパー（４）であって、ストッパー（４）は、ストッパー（４）が休止位置（ＰＢＲ）にあるときに、第２の方向に沿って配向されている、機械的ストッパー（４）と、
−  ストッパー（４）をロック／アンロックするためのシステム（５）と、
を含む、減衰システムであって、
ロッキング／アンロッキングシステム（５）が、
ストッパー（４）に向けて配向されているブランチ（５１）であって、ブロッキング端部（５３）を含む、ブランチ（５１）と、
第１の方向（Ｄ１）および第２の方向に対して実質的に垂直の回転軸（Ａ）に沿ってブランチ（５１）を枢動させることができる枢動リンク（５４）と、
を含み、
ロッキング／アンロッキングシステム（５）は、並進の第１の方向（Ｄ１）に沿って、質量体（２）の２つの以下の位置、すなわち、
−  質量体（２）の中央位置（ＰＭＣ）であって、質量体（２）は、前記中央位置（ＰＭＣ）において復帰手段（２１、２２）によって付勢されており、復帰手段（２１、２２）は、それぞれ、質量体と、表面要素（３）に対して固定されたＭＥＭＳデバイスの構造体と、に接続されている、中央位置（ＰＭＣ）と、
−  第１の端部位置（ＰＭ１）であって、第１の端部位置（ＰＭ１）では、質量体（２）が、その中央位置（ＰＭＣ）と比べて表面要素（３）に対してより近づけられており、ストッパー（４）は、ロック位置（ＰＢＶ）に沿って、表面要素（３）に向けて押されており、ブランチ（５１）は、そのブロッキング端部（５３）によって、このロック位置（ＰＢＶ）においてストッパー（４）をブロックするように構成されている、第１の端部位置（ＰＭ１）と
を画定しており、
ロッキング／アンロッキングシステムは、ストッパー（４）がロック位置（ＰＢＶ）に保持されない位置まで、枢動リンク（５４）の周りに回転可能になっていることを特徴とする、減衰システム。
【請求項２】
ロッキング／アンロッキングシステム（５）が、レバー（５２）をさらに含み、レバー（５２）が、ブランチ（５１）に固定され、枢動リンク（５４）に沿って回転可能であり、
減衰システムが、質量体（２）に固定された突出部要素（２３）をさらに含み、突出部要素（２３）が、質量体（２）からレバー（５２）に向けて突出しており、
質量体（２）が中央位置（ＰＭＣ）から第２の端部位置（ＰＭ２）へ切り換わるときに、レバー（５２）が、突出要素（２３）の並進移動によって駆動され、ストッパー（４）がロック位置（ＰＢＶ）に保持されない位置まで、枢動リンク（５４）の周りにロッキング／アンロッキングシステム（５）を回転させるように、レバー（５２）および突出要素（２３）が構成されている、請求項１に記載の減衰システム。
【請求項３】
減衰システムが、アクチュエーターをさらに含み、アクチュエーターが、ブランチ（５１）の付近に位置決めされており、能動的制御によってブランチを駆動することができ、ストッパー（４）がブランチによってロック位置（ＰＢＶ）に保持されない位置まで、ブランチを枢動リンク（５４）の周りに回転させる、請求項１または２に記載の減衰システム。
【請求項４】
ブランチの付近に位置決めされているアクチュエーターが、電子的に制御される静電アクチュエーターである、請求項３に記載の減衰システム。
【請求項５】
ストッパーが、ビーム（４）から構成されており、ビーム（４）が、表面要素（３）に固定されたＭＥＭＳデバイスの第１の表面に、ビーム端部を通して埋め込まれており、ビーム（４）は、ＭＥＭＳデバイスの第２の表面にも、第２のビーム端部を通して埋め込み可能である、請求項１から４のいずれかに記載の減衰システム。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の減衰システムを含む、アクチュエーターまたはセンサータイプの、ＭＥＭＳデバイス。
【請求項７】
ＭＥＭＳデバイスが、請求項１から５のいずれか一項に記載のいくつかの減衰システムを含むことを特徴とする、請求項６に記載のＭＥＭＳデバイス。
【請求項８】
質量体（２）と第１の表面要素（３）および第２の表面要素（３’）との間の直接的な接触を防止するために、２つの表面要素（３、３’）が、第１の方向（Ｄ１）に沿って、質量体（２）の両側に位置付けされており、２つの減衰システムのストッパー（４、４’）およびロッキング／アンロッキングシステム（５、５’）が、第１の方向（Ｄ１）に沿って質量体（２）の両側に配置されている、請求項７に記載のＭＥＭＳデバイス。
【請求項９】
質量体（２）が、第１の方向（Ｄ１）とは別個の第３の方向（Ｄ３）に沿って、第２の表面要素（３”）に対して並進方向に移動可能であり、減衰システムが、第１の方向（Ｄ１）に沿って、質量体（２）と第１の表面要素（３）との間の直接的な接触を防止するように配設されており、別の減衰システムが、第３の方向（Ｄ３）に沿って、質量体（２）と第２の表面要素（３”）との間の直接的な接触を防止するように配設されている、請求項７に記載のＭＥＭＳデバイス。
【請求項１０】
ＭＥＭＳデバイスが、２つの減衰システムのロッキング／アンロッキングシステム（５、５’）の間に連結システム（６）をさらに含み、
前記ロッキング／アンロッキングシステム（５）に関連付けられるストッパー（４）がロック位置に保持されないように、ロッキング／アンロッキングシステム（５）がその枢動部（５４）の周りに回転することが、他方のロッキング／アンロッキングシステム（５’）に関連付けられるストッパー（４’）もロック位置に保持されない位置まで、この他方のロッキング／アンロッキングシステム（５’）をその枢動部（５４’）の周りに回転駆動するように、連結システムが構成されている、請求項７から９のいずれかに記載のＭＥＭＳデバイス。
【請求項１１】
連結システム（６）が、
−  ２つの連結枢動部（６２、６２’）であって、２つの連結枢動部（６２、６２’）が、２つのロッキング／アンロッキングシステム（５、５’）にそれぞれ固定されており、第１の方向（Ｄ１）および第２の方向に対して実質的に垂直の回転軸（Ａ）に沿って、２つのロッキング／アンロッキングシステム（５、５’）をそれぞれ枢動させることができる、２つの連結枢動部（６２、６２’）と、
−  主に並進方向に移動可能な、２つの連結枢動部（６２、６３）に接続されているスライド部（６１）と
を含む、請求項１０に記載のＭＥＭＳデバイス。
【請求項１２】
レバー、および、減衰システムの質量体に固定されている要素が、質量体（２）が中央位置（ＰＭＣ）から減衰システムのうちの一方の第１の端部位置（ＰＭ１）へ切り換わるときに、他方の減衰システムのレバー（５２’）が、この他方のシステムの突出部要素（２３’）によって駆動され、対応するストッパー（４’）がロック位置（ＰＢＶ）に保持されない位置まで、この他方のシステムのロッキング／アンロッキングシステム（５’）をその枢動リンク（５４’）の周りに回転させるように構成されている、組み合わせた請求項８および１０に記載のＭＥＭＳデバイス。