【手続補正書】
【提出日】令和2年11月16日(2020.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
交換可能な先端部を有するアンテナ結合高周波（ＲＦ）プローブであって、
プローブ先端部であって、シングルモードプローブ先端部又は差動モードプローブ先端部を含み、前記シングルモードプローブ先端部がグランド−シグナル（ＧＳ）又はグランド−シグナル−グランド（ＧＳＧ）プローブ先端部を含み、前記差動モードプローブ先端部がグランド−シグナル−グランド−シグナル−グランド（ＧＳＧＳＧ）プローブ先端部を含むものである、前記プローブ先端部と、
前記プローブ先端部に接続された１つ以上の伝送線と、
前記１つ以上の伝送線に接続された１つ以上のアンテナと、
プローブ本体であって、前記プローブ本体が少なくとも集束装置を備え、前記集束装置が、前記集束装置によって受信された信号を、それらが所望の位置にルーティングされるように集束させる、前記プローブ本体と、
を備える、アンテナ結合高周波（ＲＦ）プローブ。
【請求項２】
前記プローブ本体が、１つ以上のコリメート構造体を更に含み、前記１つ以上のコリメート構造体は前記信号を前記所望の位置にルーティングするために使用される１若しくはそれ以上のミラーである、請求項１に記載のＲＦプローブ。
【請求項３】
前記所望の位置が、ホーンアンテナ、指向性開口、誘電ロッド、又は進行波アンテナを含む、請求項１または２に記載のＲＦプローブ。
【請求項４】
アンテナウエハを更に備え、前記プローブ先端部、前記プローブ先端部に接続された前記１つ以上の伝送線、及び前記１つ以上の伝送線に接続された前記１つ以上のアンテナが、前記アンテナウエハ上に位置し、前記アンテナウエハが、前記プローブ先端部を交換することができるように前記プローブ本体と別個になっている、請求項１〜３のいずれか一項に記載のＲＦプローブ。
【請求項５】
前記集束装置が、超半球高抵抗率シリコンレンズ、凸レンズ、フレネルゾーンプレート又は平面レンズ、フォトニック結晶、ホーンアンテナ、及びマイクロレンズアレイのうちの１つを含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載のＲＦプローブ。
【請求項６】
前記１つ以上のアンテナがアンテナアレイ又は１つ以上のビーム補正アンテナを含むものであり、あるいは、前記１つ以上のアンテナが１つ以上の直流（ＤＣ）バイアスパッドを備え、前記１つ以上のアンテナの前記ＤＣバイアスパッドが直流注入バイアスを被試験デバイスに印加することを可能にするものであり、あるいは、前記１つ以上のアンテナが、蝶ネクタイ、自己相補型、正方形螺旋、ループ、二重スロット、螺旋、二重折り、波状、パッチ、等角螺旋、進行波、誘電体共振器、又はフォトニックバンドギャップアンテナのうちの１つ以上を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のＲＦプローブ。
【請求項７】
前記プローブ先端部に接続された前記１つ以上の伝送線が、同一平面導波管、ストリップライン、マイクロストリップ、マイクロ同軸、フォトニック結晶導波管、Ｇｏｕｂａｕ線、平面波形線、及び３次元伝送線のうちの１つ以上を含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載のＲＦプローブ。
【請求項８】
交換可能な先端部を有するアンテナ結合高周波（ＲＦ）プローブであって、
プローブ先端部であって、シングルモードプローブ先端部又は差動モードプローブ先端部を含み、前記シングルモードプローブ先端部がグランド−シグナル（ＧＳ）又はグランド−シグナル−グランド（ＧＳＧ）プローブ先端部を含み、前記差動モードプローブ先端部がグランド−シグナル−グランド−シグナル−グランド（ＧＳＧＳＧ）プローブ先端部を含むものである、前記プローブ先端部と、
前記プローブ先端部に接続された１つ以上の伝送線と、
前記１つ以上の伝送線に接続された１つ以上のアンテナと、
コリメート構造体であって、前記コリメート構造体が、前記１つ以上のアンテナからの信号を所望の位置にルーティングする、前記コリメート構造体と
を備える、アンテナ結合高周波（ＲＦ）プローブ。
【請求項９】
前記コリメート構造体が１つ以上のミラーを備え、前記１つ以上のミラーが、前記信号を前記所望の位置にルーティングするために使用される、請求項８に記載のＲＦプローブ。
【請求項１０】
前記所望の位置が、ホーンアンテナ、指向性開口、誘電ロッド、又は進行波アンテナを含む、請求項８または９に記載のＲＦプローブ。
【請求項１１】
アンテナウエハを更に備え、前記プローブ先端部、前記プローブ先端部に接続された前記１つ以上の伝送線、及び前記１つ以上の伝送線に接続された前記１つ以上のアンテナが、前記アンテナウエハ上に位置し、前記コリメート構造体がプローブ本体を含み、前記アンテナウエハが、前記プローブ本体を交換することなく前記プローブ先端部を交換することができるように前記プローブ本体と別個になっている、請求項８〜１０のいずれか一項に記載のＲＦプローブ。
【請求項１２】
前記１つ以上のアンテナが１つ以上の直流（ＤＣ）バイアスパッドを含み、前記１つ以上のアンテナの前記ＤＣバイアスパッドが直流注入バイアスを被試験デバイスに印加することを可能し、あるいは、前記１つ以上のアンテナが１つ以上の漏洩波アンテナを含み、あるいは前記１つ以上のアンテナがアンテナアレイを含む、請求項８〜１１のいずれか一項に記載のＲＦプローブ。
【請求項１３】
前記ＤＣ電流注入が、クランプ接続及び／又はピン接続を介して、前記プローブ本体から前記プローブ先端部に移送され得る、請求項１２に記載のＲＦプローブ。
【請求項１４】
前記プローブ先端部に接続された前記１つ以上の伝送線が、同一平面導波管、ストリップライン、マイクロストリップ、マイクロ同軸、フォトニック結晶導波管、Ｇｏｕｂａｕ線、平面波形線、及び３次元伝送線のうちの１つ以上を含む、請求項８〜１２のいずれか一項に記載のＲＦプローブ。
【請求項１５】
交換可能な先端部を有するアンテナ結合高周波（ＲＦ）プローブであって、
複数のプローブ先端部であって、前記複数のプローブ先端部のそれぞれがシングルモードプローブ先端部又は差動モードプローブ先端部を含み、前記シングルモードプローブ先端部がグランド−シグナル（ＧＳ）又はグランド−シグナル−グランド（ＧＳＧ）プローブ先端部を含み、前記差動モードプローブ先端部がグランド−シグナル−グランド−シグナル−グランド（ＧＳＧＳＧ）プローブ先端部を含むものである、前記複数のプローブ先端部と、
前記複数のプローブ先端部のそれぞれに接続された１つ以上の伝達線と、
前記複数のプローブ先端部のそれぞれが前記複数のアンテナのうちの少なくとも１つと関連付けられるように、前記１つ以上の伝送線に接続された複数のアンテナと、
プローブ本体であって、前記プローブ本体が少なくとも１つの集束装置を備え、前記少なくとも１つの集束装置のそれぞれが、前記少なくとも１つの集束装置によって受信された信号を、それらが前記少なくとも１つの導波管のそれぞれを通して１つ以上の所望の位置にルーティングされるように集束させる、前記プローブ本体と
を備え、
前記信号が２つ以上のホーンアンテナ、指向性開口、誘電ロッド、又は進行波アンテナにルーティングされるように、前記プローブ本体が２つ以上の導波管と２つ以上の対応するコリメート構造体とを備え、
前記２つ以上のコリメート構造体がそれぞれミラーを含む
アンテナ結合高周波（ＲＦ）プローブ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
したがって、当技術分野における課題を克服する接触プローブが所望されており、そのうちのいくつかは上記に記載されている。
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、以下のものがある（国際出願日以降国際段階で引用された文献及び他国に国内移行した際に引用された文献を含む）。
（先行技術文献）
（特許文献）
（特許文献１）  米国特許出願公開第２０１１／００３２２５３号明細書
（特許文献２）  米国特許出願公開第２０１０／０３０１２１７号明細書
（特許文献３）  米国特許第５，９６９，３４１号明細書
（特許文献４）  米国特許出願公開第２００８／０２９０８５６号明細書
（特許文献５）  米国特許出願公開第２０１３／０１０６４５６号明細書
（特許文献６）  米国特許出願公開第２０１５／０１０２２２５号明細書
（非特許文献）
（非特許文献１）  ＣＡＧＬＡＹＡＮ，Ｃ．ｅｔ  ａｌ．"Ｎｏｎ−Ｃｏｎｔａｃｔ  Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ−Ｍｏｄｅ  Ｏｎ−Ｗａｆｅｒ  Ｄｅｖｉｃｅ  Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ  ｉｎ  ｔｈｅ  ｍｍＷ  ａｎｄ  ＴＨｚ  Ｂａｎｄｓ"；  Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ  Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ，２０１６  ＩＥＥＥ  ＭＴＴ−Ｓ  ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ；  １１  Ａｕｇｕｓｔ  ２０１６  ［ｒｅｔｒｉｅｖｅｄ  ０２  Ｊａｎｕａｒｙ  ２０１８］．ＵＲＬ：  <ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｔｅｒａｐｒｏｂｅｓ．ｃｏｍ／ｗｐ／ｗｐ−ｃｏｎｔｅｎｔ／ｕｐｌｏａｄｓ／ＴＰ＿ＩＭＳ＿２０１６．ｐｄｆ>；  ｐａｇｅｓ  １−３．