(57)【要約】【課題】被搬送物の重量に対応した十分な防振性及び耐荷重性を発揮でき、より取扱い易く、使い勝手に優れ、構成が簡素で、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用ワゴン類の防振装置を提供する。【解決手段】ワゴン基体１に設けた緩衝体受板３と、緩衝体受板３の上方に配した被搬送物受板６と、緩衝体配置空間４に配した複数組の弾性緩衝体５とを備え、弾性緩衝体５は、一組の常接緩衝体５ａと、適数組の待機緩衝体５ｂ、５ｃとからなり、常接緩衝体５ａは、緩衝体受板３と被搬送物受板６を常時連繋し、被搬送物受板６上の被搬送物１０を防振すると共に、その重量に比例して被搬送物受板６が降下するよう弾性変形可能に形成し、待機緩衝体５ｂ、５ｃは、被搬送物受板６の降下によって緩衝体受板３と被搬送物受板６を連繋し、被搬送物１０の重量に対応して被搬送物１０を防振できるよう構成する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、クリーンルーム内で振動させることなく搬送できるように形成したクリーンルーム用ワゴン類の防振装置であって、導電性を有するキャスターを設けたワゴン基体の上部に配される緩衝体受板と、この緩衝体受板の上方に緩衝体配置空間を介して配されると共に、緩衝体受板に向って離隔接近自在となるように配される被搬送物受板と、緩衝体配置空間に配される弾性変形可能な複数組の弾性緩衝体とを備え、前記複数組の弾性緩衝体は、一組の常接緩衝体と、適数組の待機緩衝体とからなり、一組の常接緩衝体は、緩衝体受板と被搬送物受板を常時連繋し、被搬送物受板に載置された全ての被搬送物を防振すると共に、被搬送物の重量に比例して被搬送物受板が降下するよう弾性変形可能に形成され、適数組の待機緩衝体は、常接緩衝体或いは他の待機緩衝体の弾性変形による被搬送物受板の降下によって、緩衝体受板と被搬送物受板を連繋するように形成され、被搬送物受板に載置された被搬送物の重量に対応して、常接緩衝体或いは常接緩衝体及び他の待機緩衝体と共に、待機緩衝体が被搬送物を防振できるよう構成したことを特徴とするクリーンルーム用ワゴン類の防振装置。
【請求項２】
前記弾性緩衝体は、導電性を有するウレタン材やシリコーン材やゴム材等で略柱状に形成され、常接緩衝体は、緩衝体受板と被搬送物受板に接触し、第一の待機緩衝体は、常接緩衝体より低く設定し、第二の待機緩衝体は、第一の待機緩衝体より低く設定したことを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用ワゴン類の防振装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、例えば、クリーンルーム（主に、半導体クリーンルーム）内で使用されると共に、半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、検査や製造のために振動させることなく搬送できるように形成したクリーンルーム用ワゴン類の防振装置に係り、特に、重量が大きく異なるような被搬送物を搬送する場合でも、その重量に対応した十分な防振性及び耐荷重性を発揮できるように工夫したクリーンルーム用ワゴン類の防振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルーム内に於いて検査されたり、製造されたり、加工されたり、或いは組立てられたりする半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を搬送するためのワゴン類としては、例えば、特許文献１に示すような防塵ワゴンが提案されている。
これは、複数のワークが収容されたカセットを、高いクリーン度が確保された内部空間内に複数個収容して移動可能な防塵ワゴンであって、上記各カセットが内部空間内を移動可能とされているとともに、高いクリーン度が確保され上記ワークに対して所定の処理を施すための装置が収容された処理室と結合される結合部を有し、かつ、上記結合部が上記処理室と結合された状態で、選択されたカセットを上記結合部内に移動した後に、そのカセットを上記処理室側に移送できるように構成されたものである。
しかしながら、前述のワゴンにあっては、搬送時に生じるワゴンの振動で被搬送物が同じように振動する難点や、搬送時にワゴンに衝撃が加えられた場合、この衝撃が被搬送物に直接的に伝わってしまう難点があった。しかも、ワゴン自体の構成が複雑となり、製造コストの負担が大きい等の難点があった。
また、ワゴン自体に静電気等が発生したときに、この静電気が被搬送物に悪影響を与える虞がある等の難点があった。
【０００３】
そこで、本願出願人は、より取扱い易く、使い勝手に優れ、しかも、構成が簡素で、耐久性に優れ、量産に適し、低廉で、経済的となるような特許文献２に示すようなクリーンルーム用ワゴンを提供するようなった。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１６５８６２号公報
【特許文献２】実用新案登録第３１２４４２２号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、最近の半導体ウェハー等にあっては、例えば、３００ｍｍウェハー等の比較的大型の半導体ウェハーの需要が増しており、これらをある程度纏めて搬送する場合、その重量差が１００ｋｇを超えるようになってしまう難点がある。
すなわち、一台のワゴン類によって、比較的少ない量を搬送する場合（例えば、４０ｋｇ程度）と、比較的多い量を搬送する場合（例えば、１５０ｋｇ程度）とで、ワゴン類が予め備えている防振性及び耐荷重性が大きく変化してしまい、被搬送物の重量に対応した十分な防振性及び耐荷重性を発揮できない問題点が生じるようになった。
【０００６】
そこで、本考案は、前述の如き問題点を解消できるようにすると共に、より取扱い易く、使い勝手に優れ、しかも、構成が簡素で、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用ワゴン類の防振装置を提供できるようにすべく案出されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
しかして、前述の如き課題等を達成すべく、請求項１記載の防振装置にあっては、半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物１０を、クリーンルーム内で振動させることなく搬送できるように形成したクリーンルーム用ワゴン類の防振装置であって、導電性を有するキャスター２を設けたワゴン基体１の上部に配される緩衝体受板３と、この緩衝体受板３の上方に緩衝体配置空間４を介して配されると共に、緩衝体受板３に向って離隔接近自在となるように配される被搬送物受板６と、緩衝体配置空間４に配される弾性変形可能な複数組の弾性緩衝体５とを備え、前記複数組の弾性緩衝体５は、一組の常接緩衝体５ａと、適数組の待機緩衝体５ｂ、５ｃとからなり、一組の常接緩衝体５ａは、緩衝体受板３と被搬送物受板６を常時連繋し、被搬送物受板６に載置された全ての被搬送物１０を防振すると共に、被搬送物１０の重量に比例して被搬送物受板６が降下するよう弾性変形可能に形成され、適数組の待機緩衝体５ｂ、５ｃは、常接緩衝体５ａ或いは他の待機緩衝体５ｂ、５ｃの弾性変形による被搬送物受板６の降下によって、緩衝体受板３と被搬送物受板６を連繋するように形成され、被搬送物受板６に載置された被搬送物１０の重量に対応して、常接緩衝体５ａ或いは常接緩衝体５ａ及び他の待機緩衝体５ｂ、５ｃと共に、待機緩衝体５ｂ、５ｃが被搬送物１０を防振できるよう構成する手段を採用した。
【０００８】
また、請求項２記載の防振装置にあっては、前記弾性緩衝体５は、導電性を有するウレタン材やシリコーン材やゴム材等で略柱状に形成され、常接緩衝体５ａは、緩衝体受板３と被搬送物受板６に接触し、第一の待機緩衝体５ｂは、常接緩衝体５ａより低く設定し、第二の待機緩衝体５ｃは、第一の待機緩衝体５ｂより低く設定する手段を採用した。
【考案の効果】
【０００９】
従って、本考案の請求項１記載の防振装置によれば、重量が大きく異なるような被搬送物１０を一台のクリーンルーム用ワゴン類で搬送するような場合であっても、その重量に対応した十分な防振性及び耐荷重性を発揮できるようになり、被搬送物１０を振動（或いは、不意の衝撃）から確実に保護できるようになる。
しかも、防振装置自体の構成が簡素となり、取扱い易く、使い勝手に優れ、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用ワゴン類の防振装置となる。
【００１０】
更に、ワゴン基体１に導電性を有するキャスター２を設けてあるので、ワゴン基体１に静電気が発生した場合でも、この静電気は、接地されているクリーンルームの床部を介して、確実に且つスムーズに除電できるようになり、被搬送物に悪影響を与える虞のないものとなる。
【００１１】
特に、前記複数組の弾性緩衝体５は、一組の常接緩衝体５ａと、適数組の待機緩衝体５ｂ、５ｃとからなり、一組の常接緩衝体５ａは、緩衝体受板３と被搬送物受板６を常時連繋し、被搬送物受板６に載置された全ての被搬送物１０を防振すると共に、被搬送物１０の重量に比例して被搬送物受板６が降下するよう弾性変形可能に形成され、適数組の待機緩衝体５ｂ、５ｃは、常接緩衝体５ａ或いは他の待機緩衝体５ｂ、５ｃの弾性変形による被搬送物受板６の降下によって、緩衝体受板３と被搬送物受板６を連繋するように形成され、被搬送物受板６に載置された被搬送物１０の重量に対応して、常接緩衝体５ａ或いは常接緩衝体５ａ及び他の待機緩衝体５ｂ、５ｃと共に、待機緩衝体５ｂ、５ｃが被搬送物１０を防振できるよう構成したので、例えば、重量差が１００ｋｇを大きく超えるような被搬送物１０を一台のクリーンルーム用ワゴン類で搬送するような場合であっても、適数組の待機緩衝体５ｂ、５ｃが段階的にその重量に対応した十分な防振性及び耐荷重性を発揮できるようになり、種々の被搬送物１０を振動（或いは、不意の衝撃）から確実に保護できるようになる。
【００１２】
また、本考案の請求項２記載の防振装置によれば、被搬送物受板６への被搬送物１０の重量が増す毎に被搬送物受板６に接触する待機緩衝体５ｂ、５ｃが順次増すようになり、どのような重量の被搬送物１０であっても最適な防振状態及び耐荷重状態を維持できるようになる。
【００１３】
しかも、弾性緩衝体５は、導電性を有するウレタン材やシリコーン材やゴム材等で略柱状に形成したので、その構成が極めて簡素となると共に、使い勝手の優れたものとなる。更に、被搬送物受板６や緩衝体受板３に静電気が発生した場合でも、この静電気は、接地されているクリーンルームの床部を介して、ワゴン基体１から確実に且つスムーズに除電できるようになり、被搬送物に悪影響を与える虞のないものとなる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本考案を図示例に基づいて説明すると、次の通りである。
本考案は、例えば、クリーンルーム（主に、半導体クリーンルーム）内で使用されるワゴン類の防振装置であって、例えば、半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物１０を、検査や製造のために搬送できるようにしたクリーンルーム用ワゴン類に設けられるものである。
尚、本考案の防振装置を利用して搬送される被搬送物１０は、半導体に関連するものだけでなく、例えば、薬の開発に関連するものや、適宜菌の検査に関連するものや、その他の適宜分野のものであっても良い。
そして、本考案の防振装置は、導電性を有するキャスター２を設けたワゴン基体１の上部に配される緩衝体受板３と、この緩衝体受板３の上方に緩衝体配置空間４を介して配されると共に、緩衝体受板３に向って離隔接近自在となるように配される被搬送物受板６と、緩衝体配置空間４に配される弾性変形可能な複数組の弾性緩衝体５とを備えたものである。
しかも、前記複数組の弾性緩衝体５は、一組の常接緩衝体５ａと、適数組の待機緩衝体５ｂ、５ｃとからなっている。
更に、一組の常接緩衝体５ａは、緩衝体受板３と被搬送物受板６を常時連繋し、被搬送物受板６に載置された全ての被搬送物１０を防振すると共に、被搬送物１０の重量に比例して被搬送物受板６が降下するよう弾性変形可能に形成されている。
それから、適数組の待機緩衝体５ｂ、５ｃは、常接緩衝体５ａ或いは他の待機緩衝体５ｂ、５ｃの弾性変形による被搬送物受板６の降下によって、緩衝体受板３と被搬送物受板６を連繋するように形成され、被搬送物受板６に載置された被搬送物１０の重量に対応して、常接緩衝体５ａ或いは常接緩衝体５ａ及び他の待機緩衝体５ｂ、５ｃと共に、待機緩衝体５ｂ、５ｃが被搬送物１０を防振できるよう構成したものである。
【実施例】
【００１５】
前記ワゴン基体１は、例えば、導電性を有する適宜金属材によって適宜自由に構成されるものである。
【００１６】
前記キャスター２は、例えば、導電性を備えた金属製或いは樹脂製のホィールに、導電性を備えたゴム製或いはウレタン製のリングが外嵌された車輪を利用したものが採用されており、導電性のあるクリーンルームの床部と導通するように形成されている。すなわち、ワゴン基体１の静電気の除電が確実に且つスムーズに行われるように構成してある。また、キャスター２は、適宜ストッパーが付いたものを利用しても良い。更に、キャスター２のリングは、適宜弾性を備えたものを利用して、移動時の振動を抑制できるように形成されている。
【００１７】
前記緩衝体受板３は、例えば、導電性を有する適宜金属材によって略矩形板状に構成され、ワゴン基体１の上部（或いは上部以外でも良い）に水平状態に配されている。
【００１８】
前記緩衝体配置空間４は、緩衝体受板３上面と被搬送物受板６下面との間に設けられる空間で、被搬送物受板６が緩衝体受板３に対してスムーズに且つ平行に昇降できるように構成されていれば良い。
【００１９】
前記弾性緩衝体５は、例えば、導電性を有するウレタン材やシリコーン材やゴム材等で略柱状（円柱状、角柱状、その他）に形成されると共に、適宜荷重によって弾性変形するように構成されている。しかも、その寸法、形状、硬さ、弾性変形量等は、自由に設定したものを利用できるように構成されている。また、弾性緩衝体５は、その内部が中空に形成されたものであっても良いし、適宜複合材で構成したものであっても良い。
尚、弾性緩衝体５は、適宜金属ワイヤーを適宜巻回せしめて構成し、全体の弾性復元力を利用できるように構成したものであっても良い。
【００２０】
前記常接緩衝体５ａは、例えば、その上下面が緩衝体受板３上面と被搬送物受板６下面に接触して、被搬送物受板６を緩衝体受板３上方で支えるように介装されており、被搬送物受板６に載置される全ての被搬送物１０を防振するように構成されている（図１参照）。
【００２１】
前記第一の待機緩衝体５ｂは、例えば、常接緩衝体５ａより低く設定されており、その下面が緩衝体受板３に接触していて、その上面は被搬送物受板６下面に接触していない状態で緩衝体配置空間４に介装されており、被搬送物１０によって常接緩衝体５ａが弾性変形して、被搬送物受板６が所定量降下したときに第一の待機緩衝体５ｂが常接緩衝体５ａと共に被搬送物受板６に載置されている被搬送物１０を防振するように構成されている（図２参照）。
【００２２】
前記第二の待機緩衝体５ｃは、例えば、常接緩衝体５ａや第一の待機緩衝体５ｂより低く設定されており、その下面が緩衝体受板３に接触していて、その上面は被搬送物受板６下面に接触していない状態で緩衝体配置空間４に介装されており、被搬送物１０によって常接緩衝体５ａと第一の待機緩衝体５ｂが共に弾性変形して、被搬送物受板６が所定量降下したときに第二の待機緩衝体５ｃが常接緩衝体５ａや第一の待機緩衝体５ｂと共に被搬送物受板６に載置されている被搬送物１０を防振するように構成されている（図３参照）。
【００２３】
尚、待機緩衝体５ｂ、５ｃは、図示例のように、第一の待機緩衝体５ｂと第二の待機緩衝体５ｃの二段階に設定しても良いし、一段階や、三段階や、それ以上に設定しても良い。また、常接緩衝体５ａや待機緩衝体５ｂ、５ｃは、夫々の材質や、寸法や、形状や、配設位置や、数等を適宜設定、変更自由に行えるものである。
【００２４】
前記被搬送物受板６は、例えば、導電性を有する適宜金属材によって略矩形板状に構成され、緩衝体受板３の上方に水平状態に配されており、比較的重量のある被搬送物１０を安定的に載置できるように形成されている。
【００２５】
ところで、防振装置の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、ワゴン基体１の具体的構成、形状、寸法、材質、キャスター２の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、緩衝体受板３の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、緩衝体配置空間４の具体的構成、形状、寸法、弾性緩衝体５の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、常接緩衝体５ａの具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、待機緩衝体５ｂ、５ｃの具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、被搬送物受板６の具体的構成、形状、寸法、材質、配設位置、被搬送物１０の具体的構成、形状、寸法、重量等は図示例のもの等に限定されることなく適宜自由に設定、変更できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本考案の防振装置を例示する概略正面図である。
【図２】本考案の防振装置の使用例を示す概略正面図である。
【図３】本考案の防振装置の使用例を示す概略正面図である。
【図４】本考案の防振装置を例示する横断平面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１      ワゴン基体
２      キャスター
３      緩衝体受板
４      緩衝体配置空間
５      弾性緩衝体
５ａ    常接緩衝体
５ｂ    待機緩衝体
５ｃ    待機緩衝体
６      被搬送物受板
１０    被搬送物
【図１】
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【図２】
0003134726.tif 000004
【図３】
0003134726.tif 000005
【図４】
0003134726.tif 000006