Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】令和1年11月22日(2019.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オーディオ入力システムと、１つ以上のプロセッサと、前記１つ以上のプロセッサによって実行される１つ以上のプログラムを格納したメモリとを備える電子デバイスにおいて、
前記電子デバイスにおいて口頭入力を受信するステップと、
前記口頭入力を処理するステップと、
前記口頭入力に基づいて決定された情報を含む要求を遠隔システムに送信するステップと、
前記口頭入力に基づいた情報に応じて前記遠隔システムが生成した、前記要求に対する応答を受信するステップと、
前記応答に応じた動作を実行するステップとを含み、
前記電子デバイスにおいて口頭入力を受信するステップ、前記処理するステップ、前記送信するステップ、前記要求に対する応答を受信するステップ、および前記実行するステップのうちの１つ以上は、前記電子デバイス上で実行中の音声アシスタントライブラリの１つ以上の音声処理モジュールによって実行され、前記音声処理モジュールは、前記電子デバイス上で実行中または実行可能な１つ以上のアプリケーションプログラムおよび／またはオペレーティングソフトウェアにアクセス可能な複数の音声処理動作を提供する、方法。
【請求項２】
前記音声処理モジュールに関連付けられた少なくともいくつかの音声処理動作は、ワイドエリアネットワークを介して前記電子デバイスと互いに接続される前記遠隔システム上で実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記音声アシスタントライブラリは、複数の異なるデバイスタイプ上で動作可能な共通のオペレーティングシステム上で実行可能であり、それによって、前記音声処理動作のうちの１つ以上と対話するように構成された音声対応アプリケーションのポータビリティを可能にする、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
オーディオ入力システムを備える電子デバイス用の、デバイスを問わない音声アシスタントライブラリであって、
複数の異なる電子デバイスタイプ上に実装される共通のオペレーションシステム上で動作するように構成された１つ以上の音声処理モジュールを含み、前記音声処理モジュールは、前記電子デバイス上で実行中のアプリケーションプログラムおよびオペレーティングソフトウェアにアクセス可能な複数の音声処理動作を提供し、それによって、前記音声処理動作のうちの１つ以上と対話するように構成された音声対応アプリケーションのポータビリティが可能になる、音声アシスタントライブラリ。
【請求項５】
前記音声処理モジュールに関連付けられた少なくともいくつかの音声処理動作は、ワイドエリアネットワークを介して前記電子デバイスと互いに接続されるバックエンドサーバ上で実行される、請求項４に記載の音声アシスタントライブラリ。
【請求項６】
前記音声処理動作は、前記電子デバイスに接続されたデバイスを制御するように構成されたデバイス固有の動作を含む、請求項４または５に記載の音声アシスタントライブラリ。
【請求項７】
前記音声処理動作は、要求された情報および／またはメディアコンテンツを前記電子デバイスのユーザに提供するまたは前記電子デバイスに接続されたデバイス上で提供するように構成された情報／メディア要求動作を含む、請求項４〜６のいずれか１項に記載の音声アシスタントライブラリ。
【請求項８】
電子デバイスであって、
オーディオ入力システムと、
１つ以上のプロセッサと、
前記１つ以上のプロセッサによって実行される１つ以上のプログラムを格納したメモリとを備え、前記１つ以上のプログラムは、
前記電子デバイスにおいて口頭入力を受信するための命令と、
前記口頭入力を処理するための命令と、
前記口頭入力に基づいて決定された情報を含む要求を遠隔システムに送信するための命令と、
前記口頭入力に基づいた情報に応じて前記遠隔システムが生成した、前記要求に対する応答を受信するための命令と、
前記応答に応じた動作を実行するための命令を含み、
前記電子デバイスにおいて口頭入力を受信すること、前記処理すること、前記送信すること、前記要求に対する応答を受信すること、および前記実行することのうちの１つ以上は、前記電子デバイス上で実行中の音声アシスタントライブラリの１つ以上の音声処理モジュールによって実行され、前記音声処理モジュールは、前記電子デバイス上で実行中または実行可能な１つ以上のアプリケーションプログラムおよび／またはオペレーティングソフトウェアにアクセス可能な複数の音声処理動作を提供する、電子デバイス。
【請求項９】
前記音声処理モジュールに関連付けられた少なくともいくつかの音声処理動作は、ワイドエリアネットワークを介して前記電子デバイスと互いに接続される前記遠隔システム上で実行される、請求項８に記載の電子デバイス。
【請求項１０】
前記音声アシスタントライブラリは、複数の異なるデバイスタイプ上で動作可能な共通のオペレーティングシステム上で実行可能であり、それによって、前記音声処理動作のうちの１つ以上と対話するように構成された音声対応アプリケーションのポータビリティを可能にする、請求項８または９に記載の電子デバイス。
【請求項１１】
オーディオ入力システムと、
１つ以上のプロセッサと、
前記１つ以上のプロセッサによって実行される１つ以上のプログラムを格納したメモリ
とを備え、前記１つ以上のプログラムは、請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法を実
行するための命令を含む、電子デバイス。
【請求項１２】
請求項１〜３のいずれかに記載の方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年4月6日(2020.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
360度ビデオデータを処理する方法であって、
全方向性カメラによってキャプチャされた2次元ビデオデータを取得するステップであって、前記2次元ビデオデータがシーンの画像を含み、前記画像の中で、前記シーンが前記画像の円形領域の中へワープされる、ステップと、
前記画像を3次元半球状表現にマッピングするステップであって、前記画像をマッピングするステップが、前記画像の前記円形領域の中のピクセルを前記3次元半球状表現上の対応するロケーションにマッピングするステップを含み、前記画像をマッピングするステップが、調整された半径方向値を使用して前記2次元画像の中のピクセルに対する座標を決定することによって、前記シーンの前記ワープを修正し、前記調整された半径方向値が前記ワープの非直線性に対応し、前記決定された座標を前記マッピングにおいて使用する、ステップと
を備え、
前記ビデオデータが符号化ビットストリームから取得され、前記符号化ビットストリームが前記ワープを記述する1つまたは複数のパラメータを含み、前記画像をマッピングするステップが前記1つまたは複数のパラメータを使用することを含み、前記方法が、
360度ビデオプレゼンテーションにおいて前記3次元半球状表現を使用するステップ
を備える、方法。
【請求項２】
前記画像をマッピングするステップが、前記画像の中の点を前記3次元半球状表現上の対応する点に投影するための多項式を使用するステップを含み、前記画像の中の前記点が、前記3次元半球状表現上の前記点にマッピングすべきピクセルを提供する、請求項1に記載の方法。
【請求項３】
前記画像が180度よりも大きい視野を含み、前記方法が、
前記視野に従ってスケーリングされている半径方向値を使用して前記2次元画像の中のピクセルに対する座標を調整するステップと、
前記調整された座標を前記マッピングにおいて使用するステップと
をさらに備える、
請求項1に記載の方法。
【請求項４】
前記画像が少なくとも180度の視野を含む、請求項1に記載の方法。
【請求項５】
前記全方向性カメラが魚眼レンズを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項６】
前記1つまたは複数のパラメータが前記符号化ビットストリームの中の補足エンハンスメント情報(SEI)メッセージの中で符号化される、請求項1に記載の方法。
【請求項７】
前記符号化ビットストリームがISOベースメディアファイルフォーマットに従ってフォーマットされたファイルの中に含まれ、前記1つまたは複数のパラメータが前記ファイルの中の構造の中で符号化される、請求項1に記載の方法。
【請求項８】
前記1つまたは複数のパラメータが、多項式次数、多項式係数、多項式スケーリングパラメータ、またはマッピングスケーリングパラメータのうちの少なくとも1つまたは複数を含む、請求項1に記載の方法。
【請求項９】
符号化ビデオを処理するための装置であって、
全方向性カメラによってキャプチャされた2次元ビデオデータを記憶するように構成されるメモリと、
プロセッサであって、
前記2次元ビデオデータを取得することであって、前記2次元ビデオデータがシーンの画像を含み、前記画像の中で、前記シーンが前記画像の円形領域の中へワープされる、取得することと、
前記画像を3次元半球状表現にマッピングすることであって、前記画像をマッピングすることが、前記画像の前記円形領域の中のピクセルを前記3次元半球状表現上の対応するロケーションにマッピングすることを含み、前記画像をマッピングすることが、調整された半径方向値を使用して前記2次元画像の中のピクセルに対する座標を決定することによって、前記シーンの前記ワープを修正し、前記調整された半径方向値が前記ワープの非直線性に対応し、前記決定された座標を前記マッピングにおいて使用する、マッピングすることと
を行うように構成され、
前記ビデオデータが符号化ビットストリームから取得され、前記符号化ビットストリームが前記ワープを記述する1つまたは複数のパラメータを含み、前記画像をマッピングすることが前記1つまたは複数のパラメータを使用することを含み、
360度ビデオプレゼンテーションにおいて前記3次元半球状表現を使用すること
を行うように構成される、プロセッサと
を備える、装置。
【請求項１０】
前記画像をマッピングすることが、前記画像の中の点を前記3次元半球状表現上の対応する点に投影するための多項式を使用することを含み、前記画像の中の前記点が、前記3次元半球状表現上の前記点にマッピングすべきピクセルを提供する、請求項9に記載の装置。
【請求項１１】
前記画像が180度よりも大きい視野を含み、前記プロセッサが、
前記視野に従ってスケーリングされている半径方向値を使用して前記2次元画像の中のピクセルに対する座標を調整することと、
前記調整された座標を前記マッピングにおいて使用することと
を行うようにさらに構成される、
請求項9に記載の装置。
【請求項１２】
前記1つまたは複数のパラメータが前記符号化ビットストリームの中の補足エンハンスメント情報(SEI)メッセージの中で符号化される、請求項9に記載の装置。
【請求項１３】
前記符号化ビットストリームがISOベースメディアファイルフォーマットに従ってフォーマットされたファイルの中に含まれ、前記1つまたは複数のパラメータが前記ファイルの中の構造の中で符号化される、請求項9に記載の装置。
【請求項１４】
モバイルデバイスをさらに備え、前記モバイルデバイスが前記全方向性カメラを含む、請求項9に記載の装置。
【請求項１５】
命令を記憶した非一時的コンピュータ可読記録媒体であって、前記命令が、1つまたは複数のプロセッサによって実行されたとき、前記1つまたは複数のプロセッサに、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法を行わせる、非一時的コンピュータ可読記録媒体。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月20日(2020.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
患者のための１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案を提供する患者モニタリングシステムであって、前記患者モニタリングシステムは、
患者からセンサデータを取得する患者センサと、
１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案をユーザに表示するディスプレイと、
ユーザから入力を受信するユーザインターフェースと、
前記患者センサから前記センサデータを受信するプロセッサであって、更に、（ｉ）患者についての情報を受信し、（ｉｉ）アラーム設定推奨案分類子を使用して、受信された情報を分析し、（ｉｉｉ）前記分析に基づいて、１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案を生成し、生成された１つ又は複数の前記アラーム設定推奨案は当該患者用にカスタマイズされており、（ｉｖ）ユーザへの前記１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案を前記ディスプレイに提供し、（ｖ）前記１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案に関して、前記ユーザインターフェースから入力を受信する前記プロセッサとを含む、患者モニタリングシステム。
【請求項２】
前記１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案は、取得されるセンサデータの上限値、又は取得されるセンサデータの下限値を含む、請求項１に記載の患者モニタリングシステム。
【請求項３】
前記アラーム設定推奨案分類子は、１組の推奨案ルールを含む、請求項１に記載の患者モニタリングシステム。
【請求項４】
前記患者についての情報は、患者についての人口統計学的情報、患者の診断結果、患者のバイタルサイン、及び患者の以前の治療処置のうちの１つ又は複数を含む、請求項１に記載の患者モニタリングシステム。
【請求項５】
前記アラーム設定推奨案分類子を記憶するデータベースを更に含む、請求項１に記載の患者モニタリングシステム。
【請求項６】
アラーム設定推奨案分類子を生成するための方法であって、前記方法は、
複数の患者についての情報を収集するステップと、
複数の患者に関連付けられた、各々が患者センサから収集されたセンサデータをモニタリングする複数の患者モニタのための１つ又は複数のアラーム設定を収集するステップと、
前記患者モニタからセンサデータを収集するステップと、
収集された前記患者についての情報及び収集された前記１つ又は複数のアラーム設定を含むデータベースを作成するステップと、
前記アラーム設定推奨案分類子を作成するために前記データベースを分析するステップとを有する、方法。
【請求項７】
前記アラーム設定推奨案分類子は、ランダムフォレスト分類子である、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記患者についての情報は、患者についての人口統計学的情報、患者の診断結果、患者のバイタルサイン、及び患者の以前の治療処置のうちの１つ又は複数を含む、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
前記アラーム設定推奨案分類子及び患者についての情報を使用して、患者のための１つ又は複数のアラーム設定推奨案を生成するステップであって、生成される前記１つ又は複数のアラーム設定推奨案は当該患者用にカスタマイズされている、ステップを更に有する、請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
患者のための前記１つ又は複数のアラーム設定推奨案をユーザに通信するステップを更に有する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
患者のための１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案を提供するための方法であって、前記方法は、
患者をモニタリングする患者モニタを提供するステップであって、前記患者モニタは、患者からセンサデータを取得する患者センサと、１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案をユーザに表示するディスプレイと、ユーザから入力を受信するユーザインターフェースと、前記患者センサから前記センサデータを受信するプロセッサとを備える、ステップと、
前記患者モニタによって、患者についての情報を受信するステップと、
前記プロセッサによって、アラーム設定推奨案分類子を使用して、前記患者モニタのための１つ又は複数の前記アラーム設定推奨案を生成するために、受信された患者についての情報を分析するステップであって、生成される前記１つ又は複数のアラーム設定推奨案は当該患者用にカスタマイズされている、ステップと、
ユーザへの前記１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案を前記ディスプレイに提供するステップと、
前記１つ又は複数のカスタマイズされたアラーム設定推奨案に関して、前記ユーザインターフェースから入力を受信するステップとを有する、方法。
【請求項１２】
前記入力は、前記１つ又は複数のアラーム設定推奨案の受諾、前記１つ又は複数のアラーム設定推奨案の却下、又は前記１つ又は複数のアラーム設定推奨案の修正を含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記患者モニタによって、前記患者モニタのための前記１つ又は複数のアラーム設定推奨案を自動的に定めるステップを更に有する、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
患者についての情報は、患者についての人口統計学的情報、患者の診断結果、患者のバイタルサイン、患者の病歴、検査又は検査結果及び患者の以前の治療処置のうちの１つ又は複数を含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記１つ又は複数のアラーム設定推奨案に関する前記ユーザからの入力を使用して、前記アラーム設定推奨案分類子を更新するステップを更に有する、請求項１２に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月12日(2020.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
上記に詳細に説明された実施態様に加えて、当業者であれば、本明細書に記載の様々な特徴を修正し、様々な実施態様のさらなる特徴と組み合わせることができ、得られるさらなる実施態様も本発明の範囲内であることを理解されよう。
本件出願は、以下の態様の発明を提供する。
（態様１）
危険検知器を試験するための試験刺激を発生させるための装置であって：気化のために多孔質材料の表面に輸送されるべき気化性試験媒体を受け取るための多孔質材料；及び危険検知器を試験するための試験刺激を発生させるために該多孔質材料の表面上の該試験媒体を加熱するための電気加熱装置を備え、該試験媒体を保持する管をさらに備え、該多孔質材料が該管の少なくとも一部を形成する、前記装置。
（態様２）
気化性試験媒体の供給源を受容するための手段；及び該試験媒体を前記多孔質材料に送達するための手段をさらに備える、態様1記載の装置。
（態様３）
前記気化性試験媒体の供給源が容器内に設けられている、態様2記載の装置。
（態様４）
前記送達手段の一端が、前記気化性試験媒体の供給源に接触し、他端が、前記試験媒体の供給源からの試験媒体が前記多孔質材料に送達されるように該多孔質材料に取り付けられている、態様2又は3記載の装置。
（態様５）
前記電気加熱装置が、前記多孔質材料によって受け取られ、該加熱装置の作動時に該多孔質材料の表面に輸送される前記試験媒体を加熱するために該多孔質材料に結合されている、態様1、2、3、又は4記載の装置。
（態様６）
前記多孔質材料が非導電性である、態様1〜5のいずれか一項記載の装置。
（態様７）
前記多孔質材料が熱伝導性である、態様1〜6のいずれか一項記載の装置。
（態様８）
使用の際に、前記多孔質材料に試験媒体を含浸させる、態様1〜7のいずれか一項記載の装置。
（態様９）
前記多孔質材料が、ガラス繊維又はセラミックである、態様1〜8のいずれか一項記載の装置。
（態様１０）
前記多孔質材料が、その表面に1つ以上の孔を有する、態様1〜9のいずれか一項記載の装置。
（態様１１）
前記電気装置が、前記多孔質材料の外面の周りに巻かれた導電性ワイヤを備える、態様1〜10のいずれか一項記載の装置。
（態様１２）
前記ワイヤが、制御回路に電気的に結合されている、態様1〜11のいずれか一項記載の装置。
（態様１３）
前記回路がプリント回路基板上にある、態様12記載の装置。
（態様１４）
前記気化性試験媒体の供給源を受け取るための手段が、試験媒体容器に接続される貫通管を備える、態様2記載の装置。
（態様１５）
危険検知器を試験するための試験装置であって、ポールを有するディスペンサを備え、該ディスペンサが、態様1〜14のいずれか一項記載の発生装置を受容するための区画をさらに備え、該発生装置が、該区画に受容されるモジュールの形態である、前記試験装置。
（態様１６）
前記試験刺激の流れに影響を及ぼす空気流路を提供するように適合された送風機をさらに備える、態様15記載の試験装置。
（態様１７）
前記発生装置が、前記送風機からの前記空気流路に流体接触している蓄積領域を備える、態様16記載の試験装置。
（態様１８）
バッテリを受容するためのバッテリ区画をさらに備える、態様15、16、又は17記載の試験装置。
（態様１９）
前記ディスペンサが、検知器を受容するための空洞部を形成する底部及び側壁を有する上部開放ハウジングを備える、態様15〜18のいずれか一項記載の試験装置。
（態様２０）
出口が前記空洞部に配置され、排気ポートが、発生された全ての過剰な刺激を前記ディスペンサの空洞部から排気できるように該ディスペンサの空洞部に配置されている、態様19記載の試験装置。
（態様２１）
空洞部を、代替空洞部から刺激を排気するための代替手段を提供するために該代替空洞部と交換できるように、該空洞部が取り外し可能かつ交換可能である、態様20記載の試験装置。
（態様２２）
前記代替空洞部が、前記危険検知器のジオメトリ、技術、及びサイズの要件に従って成形される、態様19記載の試験装置。
（態様２３）
出口が前記空洞部に配置され、該空洞部の側壁が切り欠き部を備え、該出口が該切り欠き部内で回転可能である、態様19記載の試験装置。
（態様２４）
添付の図面を参照して実質的に上記に説明された試験刺激発生装置及び/又は試験装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月1日(2020.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エネルギ的に励起されると光を放出するように構成されたフォトニック粒子であって、
１つ又は複数の無機材料を含む利得媒質と、
前記利得媒質の周りに配置され、２より大きい屈折率を有する光学キャビティと、
前記光学キャビティの少なくとも一部を覆う１つ又は複数の有機材料を含む被覆と、を備える
フォトニック粒子。
【請求項２】
前記粒子がその最長軸に沿って３マイクロメートル以下の三次元形状とされる、請求項１に記載の粒子。
【請求項３】
前記光学キャビティが少なくとも３.５の屈折率を有する、請求項１に記載の粒子。
【請求項４】
前記光学キャビティのキャビティモードによって定義される１つ又は複数の狭帯域ピークを有するスペクトルを含む光を放出するように構成された、請求項１に記載の粒子。
【請求項５】
各ピークのスペクトル幅が１ｎｍよりも大きくない、請求項４に記載の粒子。
【請求項６】
前記粒子が量子井戸マイクロディスクレーザである、請求項１に記載の粒子。
【請求項７】
前記粒子が半導体球である、請求項１に記載の粒子。
【請求項８】
前記利得媒質が複数の蛍光色素粒子を含む、請求項１に記載の粒子。
【請求項９】
前記光学キャビティが１つ又は複数の誘電体材料を含む、請求項１に記載の粒子。
【請求項１０】
前記光学キャビティが１つ又は複数の金属を含む、請求項１に記載の粒子。
【請求項１１】
前記被覆が生物学的に不活性で、その結果、前記粒子が生体適合性のある、請求項１に記載の粒子。
【請求項１２】
前記被覆が生体サンプル内で化学的に結合するように構成される、請求項１に記載の粒子。
【請求項１３】
前記被覆が誘電性シェルである、請求項１に記載の粒子。
【請求項１４】
前記被覆が１種以上のポリマを含む、請求項１に記載の粒子。
【請求項１５】
前記被覆が１つ又は複数のペプチドを含む、請求項１に記載の粒子。
【請求項１６】
前記被覆が１種以上のタンパク質を含む、請求項１に記載の粒子。
【請求項１７】
前記被覆が１つ又は複数の抗体を含む、請求項１に記載の粒子。
【請求項１８】
前記被覆が１つ又は複数の核酸を含む、請求項１に記載の粒子。
【請求項１９】
前記被覆が１種以上の薬学的に活性な薬剤を含む、請求項１に記載の粒子。
【請求項２０】
前記被覆が前記光学キャビティの実質的に全てを覆う、請求項１に記載の粒子。
【請求項２１】
前記光学キャビティの往復長さが前記利得媒質内の十分に多数の能動利得素子を支え、前記光学キャビティの光損失が十分に低く、その結果、前記フォトニック粒子がレーザ発振を維持する、請求項１に記載の粒子。
【請求項２２】
光学的に刺激されたときにレーザ光を生成するように構成された、請求項１に記載の粒子。
【請求項２３】
請求項１に記載の粒子の２つ以上の粒子のセットであって、各粒子は、前記光学キャビティのキャビティモードによって規定される１つ又は複数の狭帯域ピーク、を有するスペクトルを含む光を放出するように構成され、前記粒子のレージング波長が互いに異なっている、２つ以上の粒子のセット。
【請求項２４】
レージング波長の差が前記レージングピークのスペクトル幅に実質的に等しいか又はそれより大きい、請求項２３に記載の２つ以上の粒子のセット。
【請求項２５】
請求項１に記載の粒子の２つ以上の粒子のセットであって、各粒子は、前記光学キャビティのキャビティモードによって画定された１つの狭帯域ピーク、を有するスペクトルを含む光を放出するように構成され、前記粒子のレージング波長は、前記レージングピークの前記スペクトル幅内で実質的に同一である、２つ以上の粒子のセット。
【請求項２６】
請求項１に記載の粒子の２つ以上の粒子のセットであって、各粒子は、前記光学キャビティのキャビティモードによって規定される１つ又は複数の狭帯域ピーク、を有するスペクトルを含む光を放出するように構成され、前記粒子のレージング波長は実質的に同一である、２つ以上の粒子のセット。
【請求項２７】
請求項１に記載の粒子の２つ以上の粒子のセットであって、互いに付着している少なくとも２つの粒子を含む、２つ以上の粒子のセット。
【請求項２８】
各粒子は、前記光学キャビティのキャビティモードによって画定される１つの狭帯域ピーク、を有するスペクトルを含む光を放出するように構成され、前記粒子のレージング波長は互いに実質的に異なる、請求項２７に記載の２つ以上の粒子のセット。
【請求項２９】
生体サンプル内でレーザ光を放出する方法であって、
エネルギが励起又は刺激されたときにレーザ光を放出するように構成された１つ又は複数のフォトニック粒子を前記生体サンプルに配置するステップ、を含み、
前記１つ又は複数のフォトニック粒子が、
１つ又は複数の無機材料を含む利得媒質と、
前記利得媒質の周りに配置され２より大きい屈折率を有する光学キャビティと、
光学キャビティの少なくとも一部を覆う１つ又は複数の有機材料を含む被覆と、を含んでいる、
レーザ光を放出する方法。
【請求項３０】
光源を使用して前記フォトニック粒子を光学的に励起又は刺激するステップをさらに含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
ポンプ光源を使用して前記生体サンプルの外側から前記フォトニック粒子に励起光を放出して、前記フォトニック粒子を励起し前記レーザ光を放出させるステップをさらに含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３２】
前記生体サンプルが生物である、請求項２９に記載の方法。
【請求項３３】
エネルギ的に励起されると光を放出するように構成されたフォトニック粒子であって、
１つ又は複数の無機材料を含む利得媒質と、
前記利得媒質の周りに配置され、２より大きい屈折率を有する光学キャビティと、
前記光学キャビティの少なくとも一部を覆う１つ又は複数の無機材料を含む被覆と、を備える
フォトニック粒子。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月22日(2020.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
増強されたポリヌクレオチド合成を提供するための方法であって：前記方法は
ａ）１つ以上の設計命令を受信する工程であって、ここで、設計命令は複数の生物学的配列を含み、生物学的配列の各々はせいぜい５００の塩基の長さであり、および複数の生物学的配列は核酸またはアミノ酸配列を含む、工程；
ｂ）複数の生物学的配列の少なくとも２つの生物学的配列がまとめて、データベースにおける有害な生物学的配列の少なくとも２０％に相当するか否かを自動的に決定する工程；および、
ｃ）有害な生物学的配列の少なくとも２０％が検出された場合に、自動的に警報を発生させる工程、を含む、方法。
【請求項２】
警報が発生されない場合、複数の配列が合成されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
有害な生物学的配列を取り除くために、有害な生物学的配列の少なくとも２０％に相当する複数の生物学的配列の少なくとも２つの生物学的配列を変更するための命令を受信する工程をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
増強されたポリヌクレオチド合成を提供するための方法であって：前記方法は
ａ）１つ以上の設計命令を受信する工程であって、ここで、設計命令は複数の生物学的配列を含み、複数の生物学的配列は、ベクター配列、および複数の追加の挿入配列を含む、工程；
ｂ）ベクター、および複数の挿入配列の少なくとも１つがまとめて、データベースにおける有害な生物学的配列の少なくとも２０％に相当するか否かを自動的に決定する工程；および、
ｃ）有害な生物学的配列の少なくとも２０％が検出された場合に、自動的に警報を発生させる工程、を含む、方法。
【請求項５】
生物学的配列は、物理的な核酸またはタンパク質サンプルの配列決定から得られることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
有害な生物学的配列を取り除くために、有害な生物学的配列の少なくとも２０％に相当するベクターおよび複数の挿入配列の少なくとも１つを変更するための命令を受信することを特徴とする、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
警報が発生されない場合、１つ以上の生物学的配列が合成されることを特徴とする、請求項４〜６のいずれか１つに記載の方法。
【請求項８】
有害な生物学的配列は、翻訳または転写されると病原生物をもたらす、遺伝子または遺伝子断片をコードすることを特徴とする、請求項１または４に記載の方法。
【請求項９】
遺伝子は、細菌またはウイルスのゲノムに由来することを特徴とする、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
１つ以上の設計命令は、１つ以上の時点において受信されることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１１】
１つ以上の設計命令は、様々なソースからのものであることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１２】
１つ以上の設計命令は、３つ以上の様々なソースからのものであることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
１つ以上の受信された設計命令は、５つ以上の様々なソースからのものであることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
１つ以上の受信された設計命令は、１０以上の様々なソースからのものであることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
複数の生物学的配列は、せいぜい２００の塩基の長さであることを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１６】
複数の生物学的配列は、各々せいぜい１００の塩基の長さであることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
複数の生物学的配列は、各々せいぜい５０の塩基の長さであることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
複数の生物学的配列は、各々せいぜい２０の塩基の長さであることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月19日(2020.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のキャビティを有する基板と、
前記基板のキャビティに相互離隔して配置された複数の発光チップと、
所定の貫通ホールを有するガイド部と、支持部を含み、前記基板の上に配置されるフレームと、
前記ガイド部の前記貫通ホール内に配置されるレンズ部と、
を含み、
前記レンズ部の底面に複数の光拡散パターンを含み、
前記レンズ部の上面は、前記フレームのガイド部と同一または低い位置に配置され、
前記レンズ部は、所定の水平高さを基準に下側に第１距離で突出した第１突出パターンと、前記第１距離より短い第２距離で突出した第２突出パターンとを含む、フラッシュモジュール。
【請求項２】
前記レンズ部の高さは、前記フレームのガイド部より低い、請求項１に記載のフラッシュモジュール。
【請求項３】
前記複数の光拡散パターンの各中心は、前記複数の発光チップのそれぞれの中心と上下に重なる、請求項１から２のいずれかに記載のフラッシュモジュール。
【請求項４】
前記第１突出パターンと前記第２突出パターンが会う第１地点は、前記所定の水平高さより低く配置される、請求項１から３のいずれかに記載のフラッシュモジュール。
【請求項５】
前記レンズ部は、前記第２距離より短い第３距離で突出した第３突出パターンをさらに含む、請求項４に記載のフラッシュモジュール。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月1日(2020.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
圧力が圧力ｐ１（０．１ｍｂａｒ）未満になった場合、弁Ｖ５が閉じられた状態で、弁Ｖ１を介して感度が最も高い動作モードに切り替えられる。このとき、ブースターポンプ２４の高い吸引能力が入口２８に作用するので、信号応答時間に有益な効果が得られる。一方、ステージ２４の圧縮により、接続ライン２２においてヘリウム分圧の圧力が増大し、質量分析計１７において信号が立ち上がる。このとき、漏洩検出器の検出限界に関して重要となるのは、ステージ３２の吸引能力およびステージ３８，３０の圧縮である。
なお本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様１〕
多段式ターボ分子ポンプ（１２）と、
前記ターボ分子ポンプ（１２）の吸込側に接続された質量分析計（１７）と、
前記ターボ分子ポンプ（１２）の正圧側に接続されたバッキングポンプ（１８）と、
吸込側が、試験される被検体に対するコネクタ（２８）を有し、正圧側が、ガス導通路（２２）を介して前記ターボ分子ポンプ（１２）の正圧側と、前記バッキングポンプ（１８）の吸込側とに接続されているブースターポンプステージ（２４）と、
を備えた質量分析式漏洩検出器において、
前記ターボ分子ポンプ（１２）のステージ（３０，３２）および前記ブースターポンプは、共通のシャフト上に配置され、共通の駆動部（３４）を有し、
前記被検体に接続されるよう構成された前記ブースターポンプステージの前記正圧側と、前記質量分析計（１７）に接続された前記ターボ分子ポンプステージ（１２）の前記ポンプステージの前記吸込側との間において、分離部（３６）が前記ガス導通路を遮断することを特徴とする質量分析式漏洩検出器。
〔態様２〕
態様１に記載の漏洩検出器において、前記ターボ分子ポンプ（１２）が、２ステージ式の設計であることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様３〕
態様１または２に記載の漏洩検出器において、前記ターボ分子ポンプ（１２）の前記ポンプステージおよび前記ブースターポンプステージ（２４）が、共通の真空ポンプを構成していることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様４〕
態様１から３のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記駆動部（３４）は、前記ポンプステージと前記バッキングポンプ（１８）との間に位置する前記ターボ分子ポンプ（１２）の端部に設けられていることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様５〕
態様１から４のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記ターボ分子ポンプ（１２）の前記ポンプステージのうちの１つが分子ポンプステージ（３２）であり、前記ターボ分子ポンプ（１２）は、少なくとも１つのターボ分子ポンプステージ（３０）を備えることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様６〕
態様１から５のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記ブースターポンプステージ（２４）は、ターボ分子ポンプステージであることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様７〕
態様１から６のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記分離部（３６）は、前記シャフトに沿って前記ガス導通路（２２）を封止するシールであり、前記シャフトのトルクは、前記シールを通って伝達可能であることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様８〕
態様７に記載の漏洩検出器において、前記シールは磁性流体シールによって形成されていることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様９〕
態様１から６のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記分離部（３６）は分離ポンプステージ（３８）によって形成されており、この分離ポンプステージ（３８）の吸込側は前記質量分析計（１７）に接続され、正圧側は前記ブースターポンプステージ（２４）の前記正圧側と、前記質量分析計（１７）に接続された前記ターボ分子ポンプ（１２）の前記ポンプステージの正圧側とに接続されていることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様１０〕
態様９に記載の漏洩検出器において、前記分離ポンプステージ（３８）は、分子ポンプステージまたはターボ分子ポンプステージであることを特徴とする漏洩検出器。
【手続補正書】
【提出日】令和2年3月4日(2020.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の相互接続されたチェーン−リンクを含むチェーンにおいて、少なくとも１つのチェーン−リンクは、第１の一次ストランドを含む編んだコアを含み、前記第１の一次ストランドは、ポリマーの細長いエレメントを含み、前記ポリマーの細長いエレメントは、少なくとも１．０Ｎ／ｔｅｘのテナシティを有し、前記編んだコアは、前記第１の一次ストランドの少なくとも２つの連続したターンを含むことを特徴とする、チェーン。
【請求項２】
各リンク内のターンは、編んだ性質を有する、請求項１に記載のチェーン。
【請求項３】
前記第１の一次ストランドは、編んだまたはねじったロープであるか、前記第１の一次ストランドは、撚ったロープである、請求項１又は２に記載のチェーン。
【請求項４】
前記編んだコアが、前記第１の一次ストランドの少なくとも３つの連続したターンを含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項５】
前記編んだコアが、前記第１の一次ストランドの少なくとも４つ、又は少なくとも６つの連続したターンを含む、請求項４に記載のチェーン。
【請求項６】
前記編んだコアが、１つまたは複数のさらなる一次ストランドを含み、前記編んだコアが、前記１つまたは複数のさらなる一次ストランドのそれぞれの少なくとも２つの連続したターン、又は、前記１つまたは複数のさらなる一次ストランドのそれぞれの少なくとも３つの連続したターンを含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項７】
前記編んだコアが、１つまたは複数のさらなる一次ストランドを含み、前記編んだコアが、前記１つまたは複数のさらなる一次ストランドのそれぞれの少なくとも４つ、又は少なくとも６つの連続したターンを含む、請求項６に記載のチェーン。
【請求項８】
前記第１の一次ストランドが、第１のポリマーの細長いエレメントを含み、前記１つまたは複数のさらなる一次ストランドが、１つまたは複数のさらなるポリマーの細長いエレメントを含み、前記細長いエレメントはヤーンであり、前記第１の一次ストランドおよび前記１つまたは複数のさらなる一次ストランドが、同じタイプのポリマーヤーンを含む、請求項６又は７に記載のチェーン。
【請求項９】
前記第１の一次ストランドが、第１のポリマーの細長いエレメントを含み、前記１つまたは複数のさらなる一次ストランドが、１つまたは複数のさらなる細長いエレメントを含み、前記少なくとも１つのさらなる細長いエレメントが、材料、テナシティ、ヤーンタイター、フィラメントタイターまたはクリープ速度からなるリストから選択される少なくとも１つの特性によって前記第１のポリマーの細長いエレメントとは異なる、請求項６又は７に記載のチェーン。
【請求項１０】
第１の一次ストランドの細長いエレメントのポリマー材料は、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）である、請求項１〜９のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項１１】
前記第１の一次ストランドおよび／またはさらなる一次ストランドの前記ポリマーの細長いエレメントが、少なくとも１．５Ｎ／ｔｅｘ、又は、少なくとも２．０Ｎ／ｔｅｘのテナシティを有する、請求項６〜１０のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項１２】
前記第１の一次ストランドおよび／またはさらなる一次ストランドの前記ポリマーの細長いエレメントが、少なくとも２．２Ｎ／ｔｅｘ、又は、少なくとも２．５Ｎ／ｔｅｘのテナシティを有する、請求項６〜１０のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項１３】
前記第１の一次ストランドおよび／またはさらなる一次ストランドが、ねじったまたは撚ったストランド、編んだストランド、平行ヤーンのテンドン、または織ったストランドである、請求項６〜１０のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項１４】
少なくとも１つの編んだまたは撚った一次ストランドを含み、前記少なくとも１つの編んだまたは撚った一次ストランドの少なくとも２つの終端末端が、スプライスで一緒に接続している、請求項１〜１３のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項１５】
前記ポリマーの細長いエレメントが、熱硬化性または熱可塑性ポリマーで少なくとも部分的にコーティングされている、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項１６】
前記編んだコアが、５ｍｍ２〜５ｄｍ２、又は、１０ｍｍ２〜３ｄｍ２の断面を有する、請求項１〜１５のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項１７】
前記編んだコアが、５０ｍｍ２〜１００ｃｍ２の断面を有する、請求項１〜１５のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項１８】
少なくとも０．５０Ｎ／ｔｅｘのテナシティを有し、又は、少なくとも０．５５Ｎ／ｔｅｘのテナシティを有する、請求項１〜１７のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項１９】
少なくとも０．６０Ｎ／ｔｅｘ、又は、少なくとも０．６５Ｎ／ｔｅｘ、又は、少なくとも０．７０Ｎ／ｔｅｘのテナシティを有する、請求項１〜１７のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項２０】
少なくとも３００ｋＮ、又は、少なくとも１０００ｋＮの静的強度を有する、請求項１〜１９のいずれか一項に記載のチェーン。
【請求項２１】
複数の相互接続されたチェーン−リンクを含むチェーンにおいて、少なくとも１つのチェーン−リンクが、ポリマーの細長いエレメントを含み、前記ポリマーの細長いエレメントが、少なくとも１．０Ｎ／ｔｅｘのテナシティを有し、前記チェーンが、Ｎ／Ｔｅｘでのテナシティ（Ｔｅｎ）、およびＭＴｅｘでのポリマーの細長いエレメント（Ｔ）を含む２レッグの前記チェーン−リンクのタイターの合計を有し、Ｔｅｎ≧ｆ＊Ｔ−０．０５であり、式中、ｆは、０．５０、好ましくは、０．５５、より好ましくは、０．６０であり、前記チェーンは、少なくとも１０ｍｍの同等の直径を有する高荷重負担チェーンであり、前記同等の直径は、非円形の編んだコアと、長さ当たりの質量が同じ円形コアの直径である、チェーン。
【請求項２２】
ポリマーの細長いエレメントを含む第１の一次ストランドの少なくとも２つのターンを含み、前記ポリマーの細長いエレメントが、少なくとも１．０Ｎ／ｔｅｘのテナシティを有し、前記ターンは編んだ性質を有する、請求項１〜２１のいずれか一項に記載の編んだコアに適した編んだエンドレス形状のエレメント。
【請求項２３】
前記第１の一次ストランドは、編んだまたはねじったロープであるか、前記第１の一次ストランドは、撚ったロープである、請求項２２に記載の編んだエンドレス形状のエレメント。
【請求項２４】
前記編んだコアは、前記第１の一次ストランドの少なくとも４つ、最大で１２の連続したターンを含む、請求項２２又は２３に記載の編んだエンドレス形状のエレメント。
【請求項２５】
前記第１の一次ストランドの細長いエレメントのポリマー材料は、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）である、請求項２２〜２４のいずれか一項に記載の編んだエンドレス形状のエレメント。
【請求項２６】
請求項１〜２１のいずれか一項に記載の相互接続されたチェーン−リンクを含むチェーンを製造する製造方法であって、請求項１〜２１のいずれか一項で規定されるように、現存するチェーン−リンクの開口部を通して一次ストランドのいくつかの巻き線を編むことを含む、製造方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年4月24日(2020.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素燃料トーチであって、
−  前記酸素燃料トーチが操作され得るハンドル、
−  それぞれの入口ポートと出口ポートとの間で少なくとも燃料ガスの流れおよび酸化性ガスの流れを送るために、前記ハンドルを通して配置された少なくとも２つのガス流路、および
−  各入口ポートと流体連通する入口コネクタであって、中間接続手段を介して各入口ポートを対応するガスホースに流体接続するように構成されている入口コネクタ、
を含む酸素燃料トーチにおいて、
各入口コネクタは、ネジなしコネクタであり、かつそれぞれの各入口ポートに永久的に接続される、酸素燃料トーチ。
【請求項２】
各入口コネクタは、ろう付けによって各入口ポートに接合される、請求項１に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項３】
前記中間接続手段は、迅速コネクタを含み、各入口コネクタは、雄型結合部分であって、各迅速コネクタの雌型ヘッド部分と協働して、前記入口コネクタおよび前記迅速コネクタを締結構成に保持するように構成された雄型結合部分を有する、請求項１または２に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項４】
各雄型結合部分は、少なくとも１つの浮き彫り要素であって、各迅速コネクタの前記雌型ヘッド部分の対応する浮き彫り要素と協働して、前記浮き彫り要素を嵌合構成に保持するように適応された少なくとも１つの浮き彫り要素を備える、請求項３に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項５】
各雄型結合部分は、チューブ状部材を含み、前記チューブ状部材は、少なくとも１つの円周突起であって、各迅速コネクタの前記雌型ヘッド部分の少なくとも１つの軸受を前記円周突起に係合させるために、前記チューブ状部材の自由端部から予め決められた距離に配置された少なくとも１つの円周突起を備える、請求項４に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項６】
前記ハンドルは、前記出口ポートの側に位置する前面と、前記入口ポートの側に位置する背面との間で長手方向軸に対して全体的に平行に延在し、前記ハンドルは、その背面から前記長手方向軸に対して全体的に平行に延在する周辺壁を含み、それにより、前記入口コネクタは、完全に収容される穴を画定する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項７】
前記周辺壁は、前記ハンドルと一体的に作製される、請求項６に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項８】
前記長手方向軸に対して平行に測定された前記周辺壁の長さは、５０〜３００ｍｍの間に含まれる、請求項６または７に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項９】
前記長手方向軸に対して垂直に測定された前記周辺壁の外側の幅は、３０〜７０ｍｍの間に含まれる、請求項６〜８のいずれか一項に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項１０】
前記ハンドルの前記前面に取り付けられた本体と、前記酸素燃料トーチを動作させるときに前記出口ポートによって送給される前記燃料ガスの前記流れおよび／または前記酸化性ガスの前記流れを調節するために、前記出口ポートとそれぞれ流体連通して前記本体に装着されている流れ調節手段とを含む、請求項６〜９のいずれか一項に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項１１】
切断酸化性ガスの追加的な流れを調節するために前記本体に装着された追加的な流れ調節手段を含む切断トーチである、請求項１０に記載の酸素燃料トーチ。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の酸素燃料トーチと、各入口コネクタを対応するガスホースに流体接続するように構成された中間接続手段とを含む酸素燃料アセンブリ。
【請求項１３】
前記中間接続手段は、迅速コネクタを含み、各迅速コネクタは、各入口コネクタの雄型結合部分とかみ合うように構成された雌型ヘッド部分と、ガスホースに取り付けられるホースコネクタに接続されるように構成された末端部分とを有する、請求項１２に記載の酸素燃料アセンブリ。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載の酸素燃料アセンブリを使用して、少なくとも金属工作物で切断、溶接、ろう付けまたは加熱を行うための方法であって、各入口コネクタは、中間接続手段を介して対応するガスホースに流体接続され、少なくとも酸化性ガスの流れおよび燃料ガスの流れは、前記対応するホースに分配される、方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月22日(2020.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を検査する方法であって：
前記基板を、空間位相シンギュラリティを有するレーザー・ビームで照明するステップであって、前記レーザー・ビームは、前記基板上の照明スポットと定在波のブライト・フリンジとを形成し、前記定在波は前記基板の表面において少なくともブライト・フリンジとダーク・フリンジとを有し、前記ブライト・フリンジは前記照明スポットの少なくとも一部分を超えて延びる、ステップ；及び
ダーク・フィールド光学検出システムが、前記照明スポット内の前記基板に存在するナノ欠陥からの散乱光を検出するステップ；
を有する方法。
【請求項２】
前記レーザー・ビームは、位相差により区別される少なくとも２つのビーム部分を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記位相差はπラジアンである、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記レーザー・ビームの位相差は、位相マスク又は位相リターダを利用して形成される、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記レーザー・ビームは前記基板の表面においてｓ偏向を有する又は前記基板の表面においてｐ偏向を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記表面における前記レーザー・ビームの入射角は、約１°から約９０°の間にある、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記レーザー・ビームは、極紫外線（ＥＵＶ）、深紫外線（ＤＵＶ）、紫外線（ＵＶ）、光スペクトルの可視光部分、又はそれら２つ以上の組み合わせにおける光波長を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記ダーク・フィールド光学検出システムは、前記基板に実質的に垂直な方向において、前記ナノ欠陥からの散乱光を検出するように構成される、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
対物レンズ；
設定可能な撮像開口；
中継光学部；
バンドパス・フィルタ；及び
ディテクタ・アレイ；
を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記ディテクタ・アレイは、光電子倍増管（ＰＭＴ）アレイ、又は時間遅延積分電荷結合デバイス（ＴＤＩ  ＣＣＤ）アレイを有する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記対物レンズは、色収差を最小化するように最適化される、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
前記基板におけるナノ欠陥からの散乱光の検出中にフォーカスを維持するオートフォーカス・システム；
を更に有する請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
照明されたナノ欠陥からの散乱光から取得される光学信号を信号処理し、前記ダーク・フィールド光学検出システムの視野の中でナノ欠陥が生じているか否かを判断する撮像コンピュータ；
を更に有する請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記ナノ欠陥は、前記基板の上及び前記基板上に形成される層全体の上に位置する欠陥を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
基板を検査するシステムであって：
前記基板を受ける基板ステージ；
レーザー光源；
前記レーザー光源から前記基板の表面へ光を方向付ける照明光学部であって、前記照明光学部は前記基板を照明するために空間位相シンギュラリティを有するレーザー・ビームを形成するように構成され、前記基板の表面において少なくともブライト・フリンジとダーク・フリンジとを有する定在波を形成する照明光学部；及び
前記基板における照明されたナノ欠陥からの散乱光を検出することにより、照明された前記ナノ欠陥を検出するダーク・フィールド光学検出システム；
を有するシステム。
【請求項１６】
パージ・チャンバーを更に有し、前記基板ステージは前記パージ・チャンバー内に配置される、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
対物レンズ；
設定可能な撮像開口；
中継光学部；
バンドパス・フィルタ；及び
ディテクタ・アレイ；
を有する、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１８】
前記ディテクタ・アレイは、光電子倍増管（ＰＭＴ）アレイ、又は時間遅延積分電荷結合デバイス（ＴＤＩ  ＣＣＤ）アレイを有する、請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
前記基板におけるナノ欠陥からの散乱光の検出中にフォーカスを維持するオートフォーカス・システム；
を更に有する請求項１７に記載のシステム。
【請求項２０】
基板を検査する装置であって：
レーザー光源から空間位相シンギュラリティを有するレーザー・ビームを形成し、前記レーザー・ビームを前記基板へ方向付ける照明システムであって、前記基板の表面において少なくともブライト・フリンジとダーク・フリンジとを有する定在波を形成する照明システム；及び
前記基板において照明されたナノ欠陥からの散乱光を検出することにより、前記照明されたナノ欠陥を検出するダーク・フィールド光学検出システム；
を有する装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板検査方法、装置及びシステム