(57)【要約】  移動物体を高加速度で移動させるときのフレッチングコロージョン現象を緩和できる運動案内装置組込み機械を提供する。  運動案内装置９のレール１２又はブロック１０のいずれか一方が固定されるフレーム８に、フレーム８の自由振動を減衰させる減衰モジュール１３を取り付ける。フレッチングコロージョン現象を発生させる高周波振動は、運動案内装置９が取り付けられる機械のフレーム８の自由振動が原因であり、このフレーム８の自由振動を減衰させれば、高周波振動を減衰でき、ひいてはフレッチングコロージョン現象を緩和できる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状又は曲線状に伸び、長手方向に沿って転動体転走部が形成される軌道部材と、前記転動体転走部に対向する転動体転走部が形成されると共に、前記軌道部材に沿ってスライド可能に組み付けられる移動部材と、前記軌道部材及び前記移動部材の転動体転走部との間に転がり運動可能に介在される複数の転動体とを有する運動案内装置と、
前記運動案内装置の前記軌道部材又は前記移動部材のいずれか一方が固定されるフレームと、
前記フレームに取り付けられ、又は前記フレームの少なくとも一部をなし、前記フレームの自由振動を減衰させる減衰モジュールと、を備えることを特徴とする運動案内装置組込み機械。
【請求項２】
前記減衰モジュールは、中空部を有する金属製の構造体と、前記中空部に充填されるセラミックス材料製の振動吸収体と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の運動案内装置組込み機械。
【請求項３】
前記減衰モジュールは、金属製の軸状の構造体と、この構造体の周囲に巻かれるセラミックス材料製の振動吸収体とを備えることを特徴とする請求項１に記載の運動案内装置組込み機械。
【請求項４】
直線状又は曲線状に伸び、長手方向に沿って転動体転走部が形成される軌道部材と、前記転動体転走部に対向する転動体転走部が形成されると共に、前記軌道部材に沿ってスライド可能に組み付けられる移動部材と、前記軌道部材及び前記移動部材の転動体転走部との間に転がり運動可能に介在される複数の転動体とを有する運動案内装置と、
前記運動案内装置の前記軌道部材又は前記移動部材のいずれか一方が固定され、中空部を有するベースと、
前記ベースに対して前記軌道部材又は前記移動部材のいずれか一方を移動させる駆動源と、
前記ベースの前記中空部に充填され、前記ベースの自由振動を減衰させる振動吸収体と、を備えることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
前記ベースは金属製であり、前記振動吸収体はセラミックス材料製であることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
直線状又は曲線状に伸び、長手方向に沿って転動体転走部が形成される軌道部材と、前記転動体転走部に対向する転動体転走部が形成されると共に、前記軌道部材に沿ってスライド可能に組み付けられる移動部材と、前記軌道部材及び前記移動部材の転動体転走部との間に転がり運動可能に介在される複数の転動体とを有する運動案内装置と、前記運動案内装置の前記軌道部材又は前記移動部材のいずれか一方が固定されるフレームと、を備える運動案内装置組込み機械に取り付けられる減衰モジュールであって、
前記減衰モジュールは、前記フレームに取り付けられて、前記フレームの自由振動を減衰させることを特徴とする運動案内装置組込み機械用減衰モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件発明は、案内部分に玉やころの転動体を介し、転動体の転がり運動によって案内機能を果たさせる運動案内装置が組み込まれる運動案内装置組込み機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
直線又は曲線運動を行なう移動物体を案内する運動案内装置は、部品を運んだり、組み立てたりの作業をするロボットや、半導体・液晶製造装置、工作機械などの様々な分野で利用されている。転がり型の運動案内装置は、案内部分に玉やころの転動体を介し、転動体の転がり運動によって案内機能を果たす。【０００３】
移動物体を移動させる駆動源としては、ボールねじ機構やリニアモータが多用される。近年、リニアモータの出現とともに移動物体を高加速度で移動させることが多くなってきた。高加速度の要求は、リニアモータのみならずボールねじ機構にも及んでいる。【０００４】
移動物体を高加速度で移動させると、今まで問題にならないようなことが起こってきた。それは、フレッチングコロージョンと呼ばれる現象で、運動案内装置のレールに転動体ピッチで摩耗が発生するという問題である。【０００５】
図１（Ａ）はレールの斜視図を示し、図１（Ｂ）はフレッチングコロージョン現象が発生したレールの転動体転走部を示す。図１（Ｂ）中の色の濃い部分は摩耗が発生している領域である。図２は、図１（Ｂ）の転動体転走部の長手方向の断面をとり、転動体転走部の長手方向の位置と深さ方向の摩耗量との関係を示したグラフである。図１及び図２から、転動体転走溝に摩耗による深い凹みが発生しているのがわかる。摩耗は一定の転動体のピッチで発生する。【０００６】
従来、フレッチングコロージョンは、移動物体の微小ストロークの繰り返しにより、潤滑油が途切れて油膜切れが発生し、転動体とレールとの相対すべりによって生じた微粉が酸化し、摩耗を促進させることが原因であると考えられていた。【０００７】
しかし、移動物体を微小ストロークで往復運動させる場合のみならず、長いストロークで往復運動させる場合にも、移動物体を高加速度で移動させると、同様にフレッチングコロージョン現象が発生するのがわかってきた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
発明者は、フレッチングコロージョン現象が発生する原因を突き止めるために、図３に示される荷重耐久試験機にて、レール３を高加速度で往復運動させてみた。この試験機では、ブロック１側が固定され、テーブル２及びレール３側が報復運動される。ブロック１には、皿ばね４、ロードセル５を介して上方から荷重が加えられる。このときのレールの速度線図は図４に示される。具体的には、まずレールを略一定の加速度で加速し、速度が上がったら略一定の速度にした後、減速して止める。この速度線図でレールを往復運動させる。【０００９】
発明者は、レールを往復運動させている最中に、ブロックの振動を非接触式の変位計６で測定してみた。すると、本来ならば動かないはずのブロック１が、図４に示されるように、１０μｍ以下の振幅で且つ高周波で振動していることを発見した。つまり、レールを往復運動させると、ブロックが高周波振動することになる。レールを高加速度で移動させると振動の振幅も大きくなり、振幅の大きな高周波振動がフレッチングコロージョン現象を発生させることがわかった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものでない。【００１１】
発明者は、フレッチングコロージョン現象を発生させる高周波振動の発生原因を研究した。そして、今まで運動案内装置自体が注目されていたが、フレッチングコロージョン現象を発生させる高周波振動は、運動案内装置が取り付けられる機械のフレームの自由振動が原因であり、このフレームの自由振動を減衰させれば、高周波振動を減衰でき、ひいてはフレッチングコロージョン現象を緩和できることを知見した。【００１２】
すなわち請求項１に記載の発明は、直線状又は曲線状に伸び、長手方向に沿って転動体転走部（１２ａ）が形成される軌道部材（１２）と、前記転動体転走部（１２ａ）に対向する転動体転走部（２９）が形成されると共に、前記軌道部材（１２）に沿ってスライド可能に組み付けられる移動部材（１０）と、前記軌道部材（１２）及び前記移動部材（１０）の転動体転走部（１２ａ，２９）との間に転がり運動可能に介在される複数の転動体（２８）とを有する運動案内装置（９）と、前記運動案内装置（９）の前記軌道部材（１２）又は前記移動部材（１０）のいずれか一方が固定されるフレーム（８）と、前記フレーム（８）に取り付けられ、又は前記フレーム（８）の少なくとも一部をなし、前記フレーム（８）の自由振動を減衰させる減衰モジュール（１３，１７，２０，２４）と、を備えることを特徴とする運動案内装置組込み機械により、上述した課題を解決する。【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の運動案内装置組込み機械において、前記減衰モジュール（１３）は、中空部（１４ａ）を有する金属製の構造体（１４）と、前記中空部（１４ａ）に充填されるセラミックス材料製の振動吸収体（１５）とを備えることを特徴とする。【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の運動案内装置組込み機械において、前記減衰モジュール（１７）は、金属製の軸状の構造体（１８）と、この構造体（１８）の周囲に巻かれるセラミックス材料製の振動吸収体（１９）とを備えることを特徴とする。【００１５】
請求項４に記載の発明は、直線状又は曲線状に伸び、長手方向に沿って転動体転走部（１２ａ）が形成される軌道部材（１２）と、前記転動体転走部（１２ａ）に対向する転動体転走部（２９）が形成されると共に、前記軌道部材（１２）に沿ってスライド可能に組み付けられる移動部材（１０）と、前記軌道部材（１２）及び前記移動部材（１０）の転動体転走部（１２ａ，２９）との間に転がり運動可能に介在される複数の転動体（２８）とを有する運動案内装置（９）と、前記運動案内装置（９）の前記軌道部材（１２）又は前記移動部材（１０）のいずれか一方が固定され、中空部（３６ｃ）を有するベース（３６）と、前記ベース（３６）に対して前記軌道部材（１２）又は前記移動部材（１０）のいずれか一方を移動させる駆動源（４０）と、前記ベース（３６）の前記中空部（３６ｃ）に充填され、前記ベース（３６）の自由振動を減衰させる振動吸収体（３７）と、を備えることを特徴とするアクチュエータにより、上述した課題を解決する。【００１６】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のアクチュエータにおいて、前記ベース（３６）は金属製であり、前記振動吸収体（３７）はセラミックス材料製であることを特徴とする。【００１７】
請求項６に記載の発明は、直線状又は曲線状に伸び、長手方向に沿って転動体転走部（１２ａ）が形成される軌道部材（１２）と、前記転動体転走部（１２ａ）に対向する転動体転走部（２９）が形成されると共に、前記軌道部材（１２）に沿ってスライド可能に組み付けられる移動部材（１０）と、前記軌道部材（１２）及び前記移動部材（１０）の転動体転走部（１２ａ，２９）との間に転がり運動可能に介在される複数の転動体（２８）とを有する運動案内装置（９）と、前記運動案内装置（９）の前記軌道部材（１２）又は前記移動部材（１０）のいずれか一方が固定されるフレーム（８）と、を備える運動案内装置組込み機械に取り付けられる減衰モジュール（１３，１７，２０，２４）であって、前記減衰モジュール（１３，１７，２０，２４）は、前記フレーム（８）に取り付けられて、前記フレーム（８）の自由振動を減衰させることを特徴とする運動案内装置組込み機械用減衰モジュールにより、上述した課題を解決する。この請求項６に記載のように、減衰モジュールは単体で取引されることもある。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に記載の発明によれば、減衰モジュールでフレームの自由振動を減衰できるので、移動体を高加速度で移動させた場合に発生するフレッチングコロージョン現象を緩和することができる。【００１９】
請求項２又は３に記載の発明によれば、機械のフレームのような高周波の振動数の振動を、減衰モジュールにより効果的に減衰させることができる。【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、振動吸収体でベースの自由振動を減衰できるので、移動体を高加速度で移動させた場合に発生するフレッチングコロージョン現象を緩和することができる。【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、機械のベースのような高周波の振動数の振動を、振動吸収体により効果的に減衰させることができる。【００２２】
請求項６に記載の発明によれば、減衰モジュールでフレームの自由振動を減衰できるので、移動体を高加速度で移動させた場合に発生するフレッチングコロージョン現象を緩和することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】レールの摩耗を示す図（図１（Ａ）はレールの斜視図、図１（Ｂ）はレールの転動体転走部の写真）。
【図２】転動体転走部の長手方向の位置と深さ方向の摩耗量との関係を示したグラフ。
【図３】荷重耐久試験機を示す模式図。
【図４】レールの速度線図。
【図５】本発明の一実施形態における運動案内装置組込み機械の模式図。
【図６】減衰モジュールの斜視図。
【図７】減衰モジュールの他の例を示す斜視図。
【図８】減衰モジュールの他の例を示す斜視図。
【図９】減衰モジュールの他の例を示す斜視図。
【図１０】機械に組み込まれる運動案内装置を示す斜視図。
【図１１】運動案内装置のレールに沿った断面図。
【図１２】本発明の一実施形態におけるアクチュエータを示す斜視図。
【図１３】本発明の一実施形態におけるアクチュエータを示す断面図。
【符号の説明】
【００２４】
８…フレーム
９…運動案内装置
１０…ブロック（移動部材）
１２…レール（軌道部材）
１２ａ…転動体転走部
１３，１７，２０，２４…減衰モジュール
１４，１８，２２，２５…構造体
１４ａ，２５ａ，３６ｃ…中空部
１５，１９，２１，３７…振動吸収体
２９…転動体転走部
３６…ベース
３７…振動吸収体
４０…リニアモータ（駆動源）
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下添付図面に基づいて、本発明の一実施形態における運動案内装置組込み機械について説明する。各図において同一の機械要素には同一の符号を附す。【００２６】
図５は運動案内装置組込み機械の模式図を示す。運動案内装置組込み機械のフレーム８上に運動案内装置９が支持される。フレーム８は、例えば形鋼又はアルミ押出し材で骨組み８ａが組まれ、骨組み８ａの上面に定盤８ｂを載せた構造になっている。定盤８ｂには運動案内装置９が取り付けられる。運動案内装置９のブロック１０の上面にはテーブル１１が取り付けられ、該テーブル１１の上面には工具等の移動物体が取り付けられる。運動案内装置９は、移動物体の直線運動を案内する。移動物体は、例えばリニアモータやボールねじで駆動され、往復運動する。【００２７】
図５に示される運動案内装置組込み機械の用途としては、ワイヤボンダ、ダイサ等の半導体・液晶製造装置、工作機械、ものを運んだり、組み立てたりなどするロボット（例えばロボットの各軸、電気回路基板に部品を取り付ける部品実装機、スキー・スノーボードチューンナップマシン、ロボットを搬送するロボット）等がある。その中で、半導体・液晶製造装置は、製造される半導体・液晶製品の性能も向上しているので、工具を高精度、高速度で移動させることが要求されている。他方、半導体・液晶製造装置のフレーム８は、金属製の部材を溶接して製造されることが多く、鋳物でできている工作機械のフレームに比べて、その剛性が低い。このため、移動物体を高加速度で移動させると、移動物体の慣性によってフレームが自由振動する。【００２８】
フレーム８の自由振動は、上記のように運動案内装置９にフレッチングコロージョン現象を発生させる。すなわちフレーム８の自由振動により、レール１２がブロック１０に対して比較的大きな振幅で高周波振動し、このレール１２の高周波振動がフレッチングコロージョン現象を発生させる。【００２９】
フレーム８の自由振動を減衰させるために、フレーム８には減衰モジュール１３が取り付けられる。減衰モジュール１３は、機械に応じて発生する多種、多用の振動に対応すべく、フレーム８に筋交いや、はりや、支柱のように様々な形態で取り付けられる。また減衰モジュール１３は、支柱やはりの替わりにフレーム８の一部をなすこともある。フレッチングコロージョン現象は、レール１２がブロック１０の移動方向に振動するのが原因なので、ブロック１０の移動方向にフレーム８が自由振動するのを減衰するのが効果的である。【００３０】
フレーム８の自由振動は、高周波で且つ微小振幅である。その振動数は例えば４０〜７０Ｈｚで、振幅は例えば１０μｍ〜４０μｍである。他方、従来考えられていた、フレッチングコロージョンを発生させる微小ストロークの往復運動は、振動数が３〜５Ｈｚで、振幅が２〜３ｍｍ程度であった。本実施形態の減衰モジュール１３は、高周波で且つ微小振幅を効果的に減衰させるように工夫されている。【００３１】
図６は減衰モジュール１３の斜視図を示す。減衰モジュール１３は、中空部１４ａを有する金属製の構造体１４と、中空部１４ａに充填されるセラミックス材料製の振動吸収体１５とを備える。構造体１４と振動吸収体１５との間には隙間はなく、振動吸収体１５は構造体１４に密着している。【００３２】
図６に示される構造体１４は、鉄、アルミ等の金属製で、中空の軸状に形成される。セラミクス材料は、非金属無機材料を熱加工して得られるものであり、セメントを含む。振動吸収体１５は、円筒形状に形成されたものを構造体１４の中空部１４ａに圧入して一体化されてもよいし、粒状体又は流動体の状態で中空部１４ａ内に充填され、かかる中空部１４ａ内で中空部１４ａに合致した形状に成形されてもよい。【００３３】
本実施形態では、水硬性粉体及び非水硬性粉体を主成分とする水硬性組成物（商品名：ジーマ、住友セメント製）を構造体１４の中空部１４ａに加圧充填し、これを水熱合成することで、セラミックス材料からなる振動吸収体１５を構造体１４と一体化する。ここで、水硬性粉体とは水により硬化する粉体を意味し、例えば珪酸カルシウム化合物粉体、カルシウムアルミネート化合物粉体、カルシウムフルオロアルミネート化合物粉体、カルシウムサルファアルミネート化合物粉体、カルシウムアルミノフェライト化合物粉体、リン酸カルシウム化合物粉体、半水又は無水石膏粉体、自硬性を有する生石灰粉体、これら粉体の二種類以上の混合粉体が例示でき、この代表例として、例えばポルトランドセメントのようなセメントを挙げることができる。【００３４】
また、非水硬性粉体とは、単体では水と接触しても硬化することのない粉体を意味するが、アルカリ性もしくは酸性状態、あるいは高圧蒸気雰囲気において、その成分が溶出し、他の既溶出成分と反応して生成物を形成する粉体も含む。このような非水硬性粉体を添加することによって、成形体の成形時の充填率を高め、得られる成形体の空隙率を減少することが可能になり、成形体の寸法安定性を向上することができる。非水硬性粉体の代表的なものとしては、例えば、水酸化カルシウム粉末、二水石膏粉末、炭酸カルシウム粉末、スラグ粉末、フライアッシュ粉末、珪石粉末、粘土粉末、シリカフューム粉末等を挙げることができる。【００３５】
非水硬性粉体の配合量は、水硬性粉体と非水硬性粉体とからなる混合粉体の組成比率で１０〜５０質量％、好ましくは２５〜３５質量％である。もし、配合量が１０質量％未満の場合には充填率が低くなり、また５０質量％超の場合には強度及び充填率が低くなる。このため、充填率が低くなりすぎないように、非水硬性粉体の配合量を調節するのが望ましい。【００３６】
上記構造体１４と振動吸収体１５とを一体化する具体的な工程としては、まず、ポルトランドセメント等の水硬性粉体、シリカフューム等の非水硬性粉体及びその他の添加物からなる混合粉体に、水硬性粉体と非水硬性粉体との混合粉体の１００質量部に対して水を３０質量部以下又は理論水和量未満含有したものを混合して成形用混合物を調整する。混合には成形用混合物に強力なせん断力を加えることができる混合方法もしくは混合機械を用いることが好ましい。【００３７】
次に、このようにして得られた成形用混合物を構造体１４の中空部１４ａに加圧充填し、充填が完了したならば、硬化させるために養生する。養生は室温又は高温高圧化において行なわれ、養生時間は養生温度により変化する。以上により、構造体１４の中空部１４ａにセラミックス材料からなる振動吸収体を隙間なく充填することができる。【００３８】
中空部１４ａに充填されるセラミックス材料は、非水硬性粉体の配合量や充填時の加圧力を適宜変更することにより、空隙率や硬さを自由に調整することができるので、フレーム８の振動に応じた減衰性能を減衰モジュール１３に付与することができる。【００３９】
フレーム８が振動すると、フレーム８に取り付けられた減衰モジュール１３にフレーム８の振動が伝わる。減衰モジュール１３の構造体１４には、減衰性の高い振動吸収体１５が密着しているので、振動吸収体１５が減衰モジュール１３の振動エネルギを熱エネルギに変換して、振動減衰効果を発揮する。以上によりフレーム８の振動が減衰モジュール１３によって減衰される。【００４０】
フレーム８の自由振動は、フレーム８自体の構造、移動体の質量、加速度等によって変化する多種多様の振動になる。減衰部材をモジュール化することによって、フレーム８がある振動モードで振動しているのがわかったら、減衰に効果的と思われるところに、後から減衰モジュール１３を取り付けてみて、不十分であれば、さらなる減衰モジュール１３を取り付ける。そういった調整が可能になる。【００４１】
図７は、減衰モジュールの他の例を示す。この例の減衰モジュール１７では、軸状の構造体１８の回りに振動吸収体１９が巻かれている。振動吸収体１９は、上記減衰モジュール１３と同様に、水硬性粉体及び非水硬性粉体を主成分とする水硬性組成物（商品名：ジーマ、住友セメント製）を構造体１８の回りに巻き付け、これを水熱合成することで構造体１８と一体化される。構造体１８と振動吸収体１９とが密着していれば、この図７に示されるように、振動吸収体１９が構造体１８の回りに巻かれてもよい。【００４２】
図８は、減衰モジュールのさらに他の例を示す。この例の減衰モジュール２０は、ブロック状に形成され、フレーム８の骨組みの交差部分で数本の形鋼２３を連結している。構造体２２の内部には振動吸収体２１が充填され、この振動吸収体２１が形鋼２３に密着している。【００４３】
図９は、減衰モジュールのさらに他の例を示す。この例の減衰モジュール２４は、フレーム８の構造材としての役割も兼用している。構造体２５としてのアルミ押出し材には、中空部２５ａが設けられ、該中空部２５ａに上記の振動吸収体が充填される。【００４４】
図１０は、機械に組み込まれる運動案内装置９を示す。運動案内装置９は、直線状に延びる軌道部材としてのレール１２と、このレール１２に多数の転動体を介して移動自在に組み付けられた移動部材としてのブロック１０と、を備えている。なお、移動物体が曲線状に移動するときは、レールは曲線状に伸びる。【００４５】
レール１２の左右側面には、長手方向に沿って伸びる複数条の転動体転走部１２ａが形成される。ブロック１０は、レール１２の上面に対向する中央部１０ａと、中央部１０ａの左右両側から下方に垂れ下がってレール１２の左右側面に対向する側壁部１０ｂと、を備える。ブロック１０の中央部１０ａ及び側壁部１０ｂには、レール１２の転動体転走部１２ａに対向する複数条の転動体転走部２９（図１１参照）が形成される。また、ブロック１０には、転動体転走部２９と平行に伸びる無負荷戻し通路３０が形成される。ブロック１０はその進行方向の両端部に側蓋３１を有し、該側蓋３１に転動体転走部２９と無負荷戻し通路３０を連結するＵ字状の方向転換路３２が形成される。これら直線状の転動体転走部２９、転動体転走部２９に平行な無負荷戻し通路３０、及びＵ字状の方向転換路３２によって、サーキット状の転動体循環経路が形成される。【００４６】
転動体循環経路には複数のボール２８が配列される。ボール２８同士の接触を防止できるように、ボール間にはスペーサ３３が介在されることもある。【００４７】
図１１に示されるように、ブロック１０の転動体転走部２９の一端まで転がったボール２８は、側蓋３１に設けられたＵ字状の方向転換路３２を経由して方向転換した後、転動体転走部２９と平行に伸びる無負荷戻し通路３０に入る。無負荷戻し通路３０を通過したボール２８は、反対側の側蓋３１の方向転換路３２を経由した後、再び転動体転走部２９に入る。【００４８】
図１２及び図１３は、本発明の一実施形態におけるアクチュエータを示す。図１２はアクチュエータの斜視図を示し、図１３は断面図を示す。このアクチュエータは駆動源としてリニアモータ４０を使用し、テーブル３５を高加速度で移動させる。アクチュエータはコンパクトに案内機構と駆動機構とをまとめたもので、図５に示されるフレーム８の上部に載せられて使用されるほか、ロボットの各軸として用いられる。【００４９】
ベース３６はアルミ押出し材からなり、底部３６ａと側壁３６ｂを有して細長く伸びる。ベース３６の内部には中空部３６ｃが形成される。この中空部３６ｃに上記の振動吸収体３７が充填される。ベース３６の側壁３６ｂの上面には、運動案内装置９のレール１２が取り付けられる。レール１２上にはスライド可能にブロック１０が取り付けられる。運動案内装置９の構造は図１０に示されるものと同様なので、同一の符号を附してその説明を省略する。【００５０】
テーブル３５はリニアモータ４０で駆動される。リニアモータ４０は、固定子３８と二次導体３９とを有する。固定子３８は固定子鉄心に二相又は三相の一次巻線を装備したものであり、励磁することにより移動磁界を発生する。二次導体３９は回転形電動機の回転子に相当するもので、鋼板、銅板等のシート状導体等が利用される。【００５１】
リニアモータ４０でテーブル３５を高加速度で移動させると、移動物体の慣性によってベース３６が自由振動する。ベース３６の中空部には振動吸収体３７が充填されるので、振動吸収体３７が振動エネルギを熱エネルギに変換してベース３６の振動を減衰する。したがって、ベース３６が自由振動しても、運動案内装置９にフレッチングコロージョン現象が発生するのを防止することができる。【００５２】
なお本発明は上記実施形態に限られることなく、本発明の要旨を変更しない範囲で他の実施形態に具現化できる。例えば、運動案内装置組込み機械の用途は、半導体・液晶表示装置に限られることはない。また、運動案内装置にはボールスプライン機構を用いることもできるし、転動体にはボールの替わりにローラを使用することもできる。【００５３】
本明細書は、２００５年３月３０日出願の特願２００５−０９６６８８に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2006109403.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
2006109403.tif 000013
【図１３】
2006109403.tif 000014
【国際調査報告】
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