【事件の表示】
　特願２０１２−５０８４３９「不利な条件下であっても均一な量の注入を実施するシステムおよび方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年１１月　４日国際公開、ＷＯ２０１０／１２６４７０、平成２４年１０月２２日国内公表、特表２０１２−５２５６７８、請求項の数（１７）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は、２００９年５月２９日（パリ条約による優先権主張外国庁受理　２００９年４月２８日　米国）を国際出願日とする出願であって、平成２５年１０月２４日付けで拒絶理由が通知され、平成２６年１月２９日付けで意見書が提出されるとともに同日付けで手続補正がなされたが、同年８月２５日付けで拒絶査定（以下「原査定」という。）がなされ、これに対し、同年１２月２６日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同時に手続補正がなされた。
　その後、当審において、平成２７年１２月１０日付けで拒絶理由（以下「当審拒絶理由１」という。）が通知され、平成２８年５月１２日付けで意見書が提出されるとともに同日付けで手続補正がなされ、同年６月６日付けで最後の拒絶理由（以下「当審拒絶理由２」という。）が通知され、同年９月１日付けで意見書が提出されるとともに同日付けで手続補正がなされたものである。
第２　本願発明
　本願の請求項１〜１７に係る発明は、平成２８年９月１日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１〜１７に記載された事項により特定されるものと認められるところ、本願の請求項１〜１７に係る発明（以下、項番に従って「本願発明１」などという。）は以下のとおりである。
「　【請求項１】
　鉛筆状ビームが走査されることによって形成されたリボン状イオンビームと、
　幅方向であってリボン状イオンビームがこの幅方向にエッジ部を有するような、第１の方向に直交する第３の方向に延びる幅を有するリボン状イオンビームを受け、このリボン状イオンビームを曲げて該第１の方向及び該第３の方向に直交する第２の方向に進めるように構成されたビーム曲げ部材と、
　該第２の方向に進む該リボン状イオンビームを受けるように構成され、また、加工対象物を、該リボン状イオンビームを注入するために固定するようにさらに構成された、該ビーム曲げ部材の下流に位置するエンドステーションと、
　該ビーム曲げ部材の出射開口部においてリボン状イオンビームのビーム電流を測定するように構成された、該ビーム曲げ部材の出射開口部に配置されたビーム電流測定システムとを備え、
　上記ビーム電流測定システムが、
　（１）ファラデーカップのペアであって、各ファラデーカップには１つ以上のスリットが入射口に設けられ、該１つ以上のスリットが、上記リボン状イオンビームのイオンの入射を、該各ファラデーカップの軸を中心とする所定の角度の範囲に制限するように動作し、上記各ファラデーカップが、上記ビーム曲げ部材の出射開口部において、リボン状イオンビームの対応するエッジ部にそれぞれ位置するような、ファラデーカップのペアと、
　（２）上記２つのファラデーカップからビーム電流の測定結果を受信して平均を求めて、上記エンドステーション上の加工対象物の、上記第１の方向における機械的な移動を制御するように構成された線量測定制御システムと、
　を有し、
　上記各ファラデーカップが、該ファラデーカップがビーム電流を記録することを選択的に防止するように構成された各電子ゲートをさらに備えた、イオン注入システム。
　　【請求項２】
　上記電子ゲートが、上記ビーム曲げ部材の上流に位置する走査装置の走査電圧の位相に応じて、上記ファラデーカップがビーム電流を記録することを選択的に防止するように構成されている、請求項１に記載のシステム。
　　【請求項３】
　上記電子ゲートが、走査イオンビームが上記ファラデーカップの入射口に設けられた１つ以上のスリットを掃引する場合には、上記ファラデーカップがビーム電流を記録できるように構成され、かつ、それ以外の場合にはファラデーカップがビーム電流を記録することを防止する、請求項１に記載のシステム。
　　【請求項４】
　上記エンドステーションが処理室内に位置し、この処理室は処理室内で減圧状態が達成できるように処理室に関連して作動可能な真空ポンプを有し、
　上記ビーム曲げ部材が磁石室内に位置し、
　上記イオン注入システムが、
　処理室と磁石室とを互いに連結するように構成され、さらに、エンドステーション上の加工対象物から磁石室へのガス抜け流を抑制するように構成された通気制限装置をさらに備えた、請求項１に記載のシステム。
　　【請求項５】
　上記磁石室に関連して作動可能で、磁石室において所望の減圧状態を維持するように構成された真空ポンプをさらに備えた、請求項４に記載のシステム。
　　【請求項６】
　上記ビーム曲げ部材が、角度エネルギーフィルタを備えた、請求項１に記載のシステム。
　　【請求項７】
　イオンビームを生成するように構成されたイオン源と、
　イオンビームを質量分析するように構成された質量分析装置と、
　質量分析されたイオンビームを走査してリボン状イオンビームを形成するように構成された走査装置と、
　上記走査装置の下流に位置し、上記リボン状イオンビームを曲げるように構成されたビーム曲げ部材と、
　加工対象物を固定し、曲げられた上記リボン状イオンビームを受けるように構成されたエンドステーションと、
　上記ビーム曲げ部材のすぐ次に位置し、上記ビーム曲げ部材のすぐ次に、曲げられた上記リボン状イオンビームに関連するイオンビーム電流を測定するように構成されたビーム電流測定システムであって、該ビーム電流測定システムは、上記ビーム曲げ部材の出射部で上記リボン状イオンビームの第１の横エッジ部に位置する第１のファラデーカップと、上記第１の横エッジ部に対向する上記リボン状イオンビームの第２の横エッジ部に位置する第２のファラデーカップとを有している、ビーム電流測定システムと、
　上記第１のファラデーカップからの第１のイオンビーム電流測定結果と上記第２のファラデーカップからの第２のイオンビーム電流測定結果とを受信して、上記第１および第２のイオンビーム電流測定結果から、平均イオンビーム電流を計算し、上記平均イオンビーム電流に応じて、上記エンドステーションにおける上記加工対象物の機械的な移動を制御するように構成された制御部と、
　を備えた、イオン注入システム。
　　【請求項８】
　上記制御部は、測定されたイオンビーム電流を受信して、それに応じて、上記エンドステーションにおける上記加工対象物の機械的な移動を制御する、請求項７に記載のイオン注入システム。
　　【請求項９】
　上記制御部は、上記ビーム電流測定システムにおけるイオンビーム電流測定を選択的に防止するように構成された電子ゲートを有する、請求項８に記載のイオン注入システム。
　　【請求項１０】
　上記制御部は、走査されるイオンビームが上記ビーム電流測定システムに存在しない期間に上記ビーム電流測定システムにおけるイオンビーム電流測定を防止するために、イオンビーム電流測定の選択的な防止を、走査装置の走査と同期させるように構成されている、請求項９に記載のイオン注入システム。
　　【請求項１１】
　上記第１のファラデーカップは、該ファラデーカップへのイオンの入射角度を制限するように構成されたスリットを有し、
　上記第１のファラデーカップの軸に関する所定の閾値より小さい入射角度を持つリボン状イオンビームのイオンのみが、イオンビーム電流測定結果に含まれる、請求項７に記載のイオン注入システム。
　　【請求項１２】
　上記所定の閾値は、
　上記所定の閾値と等しいまたはそれより大きい入射角度を持つイオンが、上記エンドステーションに固定された加工対象物に到達しないような値に設定される、請求項１１に記載のイオン注入システム。
　　【請求項１３】
　上記ビーム電流測定システムからは、上記エンドステーションまでよりも、上記ビーム曲げ部材までのほうが近い、請求項７に記載のイオン注入システム。
　　【請求項１４】
　上記ビーム電流測定システムは、上記ビーム曲げ部材の出射開口部に位置する、請求項７に記載のイオン注入システム。
　　【請求項１５】
　鉛筆状ビームを走査して、幅方向に沿って複数のエッジ部を有するリボン状イオンビームを形成し、
　ビーム曲げ部材を用いて上記リボン状イオンビームを曲げ、
　上記ビーム曲げ部材の出射開口部において、リボン状イオンビームの各エッジ部にファラデーカップを配置することによって、該ビーム曲げ部材の出射開口部においてリボン状イオンビームのビーム電流を測定し、複数のファラデーカップから得られるビーム電流の測定結果の平均を求め、
　上記リボン状イオンビームについての加工対象物の機械的な移動を、測定された平均イオンビーム電流の位相に応じて制御し、
　ファラデーカップが受けるリボン状イオンビームのイオンの入射を、該ファラデーカップの軸を中心とする所定の角度に制限し、
　電子ゲートを用いて、上記リボン状イオンビームを形成する鉛筆状イオンビームの上記走査の位相に応じて、上記ファラデーカップがビーム電流の測定結果を記録することを選択的に防止する方法。
　　【請求項１６】
　上記選択的に防止することは、
　走査イオンビームが上記ファラデーカップを掃引する場合には、上記ファラデーカップがビーム電流を記録できるように構成し、かつ、それ以外の場合には、ファラデーカップがビーム電流を記録することを防止することを含む、請求項１５に記載の方法。
　　【請求項１７】
　上記加工対象物が処理室内のエンドステーション上に位置し、
　上記ビーム曲げ部材が磁石室内に位置し、
　上記加工対象物から磁石室へのガス抜け流を抑制するように構成された通気制限装置を用いて、処理室を磁石室に連結することをさらに含む、請求項１５に記載の方法。」
第３　原査定の理由について
１　原査定の理由の概要
　本願発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
引用文献１：特表２００８−５４６１６０号公報
引用文献２：特開平８−１１５７００号公報
引用文献３：特開２０００−３０６５４０号公報
引用文献４：特開２００４−３９９３６号公報
　引用文献１には、鉛筆型のイオンビームを走査することによりリボン状としたイオンビームを用い、ＡＥＦシステムの出力付近であって過走査領域に配置されたＡＥＦ線量カップによりイオン電流を測定するイオンビーム注入システムの発明が記載されている。
　引用文献２に記載されているとおり、モニターファラデーのビーム入射口にスリット孔を設けることは、本願優先日前に当業者に周知の技術である。
　引用文献３には、イオンビームが小孔を通過してファラデーカップに照射されるときのみにビーム照射を行うことで、ファラデーカップに入る不要な２次電子や雑音成分を少なくするようにしたビーム電流測定装置の発明が記載されている。
　引用文献４には、基板が配置される位置におけるイオン電流値として、複数箇所の測定により得られた値の平均値を用いる構成のドーピング装置の発明が記載されている。
２　原査定の理由の判断
（１）本願発明１について
ア　引用文献の記載事項、引用発明
（ア）原査定の拒絶の理由に用いられた引用文献１（特表２００８−５４６１６０号公報）には、以下の事項が記載されている（下線は当審が付与した。）
ａ「【００４１】
  図６には、本発明に従う別の例示的な
イオン注入システム
【００４２】
  上述した他のシステムと同様に、システム６００は、
イオン源から走査型又はリボン型イオンビーム６０２を発生させ、このイオンビーム中のイオンは、加速管６２６によって必要に応じて加速又は減速され
次いで、イオンビーム６０２は、ビーム６０２のエネルギーをフィルタリングするように構成された角度型エネルギーフィルターシステム６０４に入る
全体として正に帯電したイオンビーム６０２は、偏向プレート６３０によって、正電圧偏向プレート６３０ａから離れ、負電圧偏向プレート６３０ｂに向かうように、一定の角度（例えば、１５°）だけ屈曲し、この角度は、最終エネルギー状態及び所望の方向に対応する。ここで、イオンビーム６０２中の所望のエネルギーを有するイオンは、所望のビーム経路に沿って偏向され、抑制電極６３２を通過して、ＡＥＦのベンド付近に配置されたＡＥＦシステム６０４のＡＥＦ線量カップ６３４に至る。
ＡＥＦ線量カップ６３４は、この中性ビームダンプの直後に配置する
【００４３】
  この結果、所望のエネルギーを有する
ビーム６０２は、
エンドステーション６１０の注入処理チャンバー６１２内のウエハ支持構造体６４４によって保持されたウエハ６４２に衝突する
【００４４】
  製造運転の間、すなわち、半導体ウエハ加工物６４２にイオンビーム６０２が衝突し、それによって、イオンが注入されている間に、イオンビーム６０２は、イオン源（図示は省略する）から排気された注入チャンバー６１２に、排気された経路を通じて輸送される。
イオンビーム６０２は、ウエハ加工物６４２が回転及び／又は平行移動
しているときに、そのウエハ加工物に衝突する。
加工物６４２によって受け取られるイオン線量は、少なくとも部分的には、支持構造体６４４の移動速度によって決定され、この移動速度は、ＡＥＦ線量カップ６３４の測定値のフィードバックに基づく制御用電子装置（図示は省略する）による閉ループ制御で制御される
ｂ　図６
　上記ａ及びｂより、引用文献１には、
「イオン源から走査型又はリボン型イオンビーム６０２を発生させ、
　このイオンビーム中のイオンは、加速管６２６によって必要に応じて加速又は減速され、
　次いで、イオンビーム６０２は、ビーム６０２のエネルギーをフィルタリングするように構成された角度型エネルギーフィルターシステム６０４に入り、全体として正に帯電したイオンビーム６０２は、偏向プレート６３０によって、正電圧偏向プレート６３０ａから離れ、負電圧偏向プレート６３０ｂに向かうように、一定の角度（例えば、１５°）だけ屈曲し、この角度は、最終エネルギー状態及び所望の方向に対応し、ここで、イオンビーム６０２中の所望のエネルギーを有するイオンは、所望のビーム経路に沿って偏向され、抑制電極６３２を通過して、ＡＥＦのベンド付近に配置されたＡＥＦシステム６０４のＡＥＦ線量カップ６３４に至り、ＡＥＦ線量カップ６３４は、この中性ビームダンプの直後に配置され、
　イオンビーム６０２は、ウエハ加工物６４２が回転及び／又は平行移動しているときに、エンドステーション６１０の注入処理チャンバー６１２内のウエハ支持構造体６４４によって保持されたウエハ６４２に衝突し、
　加工物６４２によって受け取られるイオン線量は、少なくとも部分的には、支持構造体６４４の移動速度によって決定され、この移動速度は、ＡＥＦ線量カップ６３４の測定値のフィードバックに基づく制御用電子装置による閉ループ制御で制御される、
イオン注入システム。」の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されている。
　また、上記ア及びイより、引用文献１には、
「イオン源から走査型又はリボン型イオンビーム６０２を発生させ、
　このイオンビーム中のイオンは、加速管６２６によって必要に応じて加速又は減速され、
　次いで、イオンビーム６０２は、ビーム６０２のエネルギーをフィルタリングするように構成された角度型エネルギーフィルターシステム６０４に入り、全体として正に帯電したイオンビーム６０２は、偏向プレート６３０によって、正電圧偏向プレート６３０ａから離れ、負電圧偏向プレート６３０ｂに向かうように、一定の角度（例えば、１５°）だけ屈曲し、この角度は、最終エネルギー状態及び所望の方向に対応し、ここで、イオンビーム６０２中の所望のエネルギーを有するイオンは、所望のビーム経路に沿って偏向され、抑制電極６３２を通過して、ＡＥＦのベンド付近に配置されたＡＥＦシステム６０４のＡＥＦ線量カップ６３４に至り、ＡＥＦ線量カップ６３４は、この中性ビームダンプの直後に配置され、
　イオンビーム６０２は、ウエハ加工物６４２が回転及び／又は平行移動しているときに、エンドステーション６１０の注入処理チャンバー６１２内のウエハ支持構造体６４４によって保持されたウエハ６４２に衝突し、
　加工物６４２によって受け取られるイオン線量は、少なくとも部分的には、支持構造体６４４の移動速度によって決定され、この移動速度は、ＡＥＦ線量カップ６３４の測定値のフィードバックに基づく制御用電子装置による閉ループ制御で制御される、
イオン注入方法。」の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されている。
（イ）原査定の拒絶の理由に用いられた引用文献２（特開平８−１１５７００号公報）には、以下の事項が記載されている（下線は当審が付与した。）。
ａ「【００３４】一方、マスク８には、後に詳述するが、中央部分にウェーハ５に照射するイオンビームの照射領域を所要の形状に整形（カット）して通過させるための開口部としての円孔８ａが設けられている。また、マスク８には、円孔８ａの両側に円孔８ａからほぼ等しい間隔をおいて細長い形状をなす副開口部としてのスリット孔８ｂ・８ｂが設けられている。
このスリット孔８ｂ・８ｂの近傍には、マスク８とメインファラデーケージ７との間にモニタファラデー１２・１２が設けられている。
ｂ　図１
ｃ　図２
（ウ）原査定の拒絶の理由に用いられた引用文献３（特開２０００−３０６５４０号公報）には、以下の事項が記載されている（下線は当審が付与した。）。
ａ「【００２７】
遮光板１６と光センサ１７によって検出される円盤１０の回転位置は、ファラデーカップ５０によるビーム電流測定の際のビーム検出期間を設定するために用いられ、遮光板１６と光センサ１７によって検出される円盤１０の回転位置から、円盤１０に設けられている小孔３０がファラデーカップ５０の前を横切る間だけ、ファラデーカップ５０でビーム検出を行うようにする。
【００２８】このようにファラデーカップ５０の前を小孔３０が横切る間だけビーム検出をすることで、ファラデーカップ５０に入る不要な２次電子や雑音成分を少なくすることができる。
【００２９】さらに、揺動軸１２に設けられている揺動機構（不図示）には、円盤１０の揺動位置を検出するためのセンサ（例えば揺動するどちらか一方の終端を検知するためのリミットスイッチや光センサなど（いずれも不図示））を設けて、円盤１０の揺動位置がビーム照射範囲７０内にあるときにのみファラデーカップ５０によるビーム検出を行うようにしている。これは、図４に示すように、円盤１０が振り子揺動することにより、例えば、図示、円盤１０を点線で示した状態のように、円盤１０が振り子揺動の終端ＬおよびＲに来たときには、円盤１０の外縁部に沿って載置されているウェーハがビーム照射範囲７０から外れ、この間、小孔３０の位置もビーム照射範囲から外れるため、ファラデーカップ５０にビームは入らないので、この間はビームを検出しないうようにして、不要な２次電子や雑音成分を検出しないようにし、一方、円盤１０が振り子揺動のほぼ中央部Ｃを通過するときには、円盤１０に載置されているウェーハにイオンビームが照射されるので、この間は、小孔３０を通過したインビームを検出するようにしている。」
ｂ　図１
（エ）原査定の拒絶の理由に用いられた引用文献４（特開２００４−３９９３６号公報）には、以下の事項が記載されている。
ａ「【００３３】
次に、イオン検出器１０１により、ドーピングの際に基板が配置される処理位置における測定値（イオン電流値）、およびモニター位置における測定値（イオン電流値）の測定を行う。なお、基板が配置される位置におけるイオン電流値は、複数箇所の測定により得られた値の平均値または中央値をイオン電流値として用いる。そして、これらの値（処理位置における測定値、モニター位置における測定値）から、変換値（α）が以下の式（１）により算出される。」
イ　対比
　本願発明１と引用発明１とを対比すると、本願発明と引用発明１は、
「鉛筆状ビームが走査されることによって形成されたリボン状イオンビームと、
　幅方向であってリボン状イオンビームがこの幅方向にエッジ部を有するような、第１の方向に直交する第３の方向に延びる幅を有するリボン状イオンビームを受け、このリボン状イオンビームを曲げて該第１の方向及び該第３の方向に直交する第２の方向に進めるように構成されたビーム曲げ部材と、
　該第２の方向に進む該リボン状イオンビームを受けるように構成され、また、加工対象物を、該リボン状イオンビームを注入するために固定するようにさらに構成された、該ビーム曲げ部材の下流に位置するエンドステーションと、
　該ビーム曲げ部材の出射開口部においてリボン状イオンビームのビーム電流を測定するように構成された、該ビーム曲げ部材の出射開口部に配置されたビーム電流測定システムとを備えた、イオン注入システム。」
の点で一致し、以下の各点で相違している。
＜相違点１＞
「ビーム電流測定システム」が、本願発明１では、「（１）ファラデーカップのペアであって、各ファラデーカップには１つ以上のスリットが入射口に設けられ、該１つ以上のスリットが、上記リボン状イオンビームのイオンの入射を、該各ファラデーカップの軸を中心とする所定の角度の範囲に制限するように動作し、上記各ファラデーカップが、上記ビーム曲げ部材の出射開口部において、リボン状イオンビームの対応するエッジ部にそれぞれ位置するような、ファラデーカップのペア」であるのに対して、引用発明１の「ＡＥＦ線量カップ６３４」は、そのような構成でない点。
＜相違点２＞
「線量測定制御システム」が、本願発明１では、「（２）上記２つのファラデーカップからビーム電流の測定結果を受信して平均を求めて、上記エンドステーション上の加工対象物の、上記第１の方向における機械的な移動を制御するように構成された」のに対して、引用発明１の「制御用電子装置」は、そのような構成でない点。
＜相違点３＞
「各ファラデーカップ」が、本願発明１では、「該ファラデーカップがビーム電流を記録することを選択的に防止するように構成された各電子ゲートをさらに備えた」のに対して、引用発明１の「ＡＥＦ線量カップ６３４」は、そのような構成でない点。
ウ　判断
　事案に鑑み、まず上記相違点１、２についてまとめて検討する。
　引用発明１の「ＡＥＦ線量カップ６３４」はペアをなすものとはいえず、ペアをなす「ＡＥＦ線量カップ６３４」の平均を求めるようにする動機付けはない。また、引用文献２〜４には、上記相違点１、２に係る本願発明１の構成は記載されていない。
　そして、上記相違点１、２に係る構成により、本願発明１は、本願明細書の【００６３】に記載された「２つのファラデー信号の平均を使用することによって、ウエハの中心に到達する実際の粒子の個数を代表させることができ、さらに、ウエハ領域全体の誤差を半減することができる」という顕著な作用効果を奏するものである。
　してみると、引用発明１に引用文献２〜４に記載された事項を適用して上記相違点１、２に係る構成とすることは、当業者といえども、容易に想到し得たものとすることはできない。
エ　結論
　したがって、他の相違点を検討するまでもなく、本願発明１は、当業者が引用発明１及び引用文献２〜４に記載された事項に基いて容易に発明をすることができたとはいえない。
（２）本願発明２〜６について
　本願発明２〜６は、本願発明１をさらに限定したものであるので、本願発明１と同様に、当業者が引用発明１及び引用文献２〜４に記載された事項に基いて容易に発明をすることができたとはいえない。
（３）本願発明７について
ア　対比
　本願発明７と引用発明１とを対比すると、本願発明７と引用発明１は、
「イオンビームを生成するように構成されたイオン源と、
　イオンビームを質量分析するように構成された質量分析装置と、
　質量分析されたイオンビームを走査してリボン状イオンビームを形成するように構成された走査装置と、
　上記走査装置の下流に位置し、上記リボン状イオンビームを曲げるように構成されたビーム曲げ部材と、
　加工対象物を固定し、曲げられた上記リボン状イオンビームを受けるように構成されたエンドステーションと、
　上記ビーム曲げ部材のすぐ次に位置し、上記ビーム曲げ部材のすぐ次に、曲げられた上記リボン状イオンビームに関連するイオンビーム電流を測定するように構成されたビーム電流測定システム、
　を備えた、イオン注入システム。」
の点で一致し、以下の各点で相違している。
＜相違点４＞
「ビーム電流測定システム」が、本願発明７では、「上記ビーム曲げ部材の出射部で上記リボン状イオンビームの第１の横エッジ部に位置する第１のファラデーカップと、上記第１の横エッジ部に対向する上記リボン状イオンビームの第２の横エッジ部に位置する第２のファラデーカップとを有している」のに対して、引用発明１の「ＡＥＦ線量カップ６３４」は、そのような構成でない点。
＜相違点５＞
　本願発明７が、「上記第１のファラデーカップからの第１のイオンビーム電流測定結果と上記第２のファラデーカップからの第２のイオンビーム電流測定結果とを受信して、上記第１および第２のイオンビーム電流測定結果から、平均イオンビーム電流を計算し、上記平均イオンビーム電流に応じて、上記エンドステーションにおける上記加工対象物の機械的な移動を制御するように構成された制御部」「を備えた」のに対して、引用発明１の「制御用電子装置」は、そのような構成でない点。
イ　判断
　上記相違点４、５についてまとめて検討すると、上記「（１）」「ウ」で検討したのと同様の理由により、引用発明１に引用文献２〜４に記載された事項を適用して上記相違点４、５に係る構成とすることは、当業者といえども、容易に想到し得たものとすることはできない。
ウ　結論
　したがって、本願発明７は、当業者が引用発明１及び引用文献２〜４に記載された事項に基いて容易に発明をすることができたとはいえない。
（４）本願発明８〜１４について
　本願発明８〜１４は、本願発明７をさらに限定したものであるので、本願発明７と同様に、当業者が引用発明１及び引用文献２〜４に記載された事項に基いて容易に発明をすることができたとはいえない。
（５）本願発明１５について
ア　対比
　本願発明１５と引用発明２とを対比すると、本願発明１５と引用発明２は、
「鉛筆状ビームを走査して、幅方向に沿って複数のエッジ部を有するリボン状イオンビームを形成し、
　ビーム曲げ部材を用いて上記リボン状イオンビームを曲げ、
　上記ビーム曲げ部材の出射開口部において、リボン状イオンビームの各エッジ部にファラデーカップを配置することによって、該ビーム曲げ部材の出射開口部においてリボン状イオンビームのビーム電流を測定し、
　上記リボン状イオンビームについての加工対象物の機械的な移動を、測定されたイオンビーム電流に応じて制御する方法。」
の点で一致し、以下の各点で相違している。
＜相違点６＞
「上記リボン状イオンビームについての加工対象物の機械的な移動を」、本願発明１５では、「複数のファラデーカップから得られるビーム電流の測定結果の平均を求め、測定された平均イオンビーム電流の位相に応じて制御」するのに対して、引用発明２の「ＡＥＦ線量カップ６３４」は複数でなく、引用発明２の「制御用電子装置」は、そのような構成でない点。
＜相違点７＞
　本願発明１５では、「ファラデーカップが受けるリボン状イオンビームのイオンの入射を、該ファラデーカップの軸を中心とする所定の角度に制限」するのに対して、引用発明２の「制御用電子装置」は、そのような構成でない点。
＜相違点８＞
　本願発明１５では、「電子ゲートを用いて、上記リボン状イオンビームを形成する鉛筆状イオンビームの上記走査の位相に応じて、上記ファラデーカップがビーム電流の測定結果を記録することを選択的に防止する」のに対して、引用発明２の「制御用電子装置」は、そのような構成でない点。
イ　判断
　事案に鑑み、まず上記相違点６、８についてまとめて検討すると、上記「（１）」「ウ」で検討したのと同様の理由により、引用発明２に引用文献２〜４に記載された事項を適用して上記相違点６、８に係る構成とすることは、当業者といえども、容易に想到し得たものとすることはできない。
ウ　結論
　したがって、他の相違点を検討するまでもなく、本願発明１５は、当業者が引用発明２及び引用文献２〜４に記載された事項に基いて容易に発明をすることができたとはいえない。
（６）本願発明１６〜１７について
　本願発明１６〜１７は、本願発明１５をさらに限定したものであるので、本願発明１５と同様に、当業者が引用発明２及び引用文献２〜４に記載された事項に基いて容易に発明をすることができたとはいえない。
３　小括
　以上から、原査定の拒絶理由によっては、本願を拒絶することはできない。
第４　当審拒絶理由について
１　当審拒絶理由の概要
（１）当審拒絶理由１の概要
理由１（明確性要件） 
　この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。 
　　　　　　　　　　　　　　　　記 
　請求項における「上記ファラデーカップに関連して作動可能で、該ファラデーカップがビーム電流を記録することを選択的に防止するように構成されたゲートをさらに備え、上記ゲートが、上記ファラデーカップがビーム電流を上記ビーム曲げ部材の上流に位置する走査装置の走査電圧の関数として記録することを選択的に防止するように構成された」こととの記載、及び「上記ファラデーカップがビーム電流の測定結果を、上記リボン状イオンビームを形成する鉛筆状イオンビームの上記走査の関数として記録することを、選択的に防止し、上記選択的に防止することは、走査イオンビームが上記ファラデーカップを掃引する場合には、上記ファラデーカップがビーム電流を記録できるように構成し、かつ、それ以外の場合には、ファラデーカップがビーム電流を記録することを防止すること」との記載は、「ビーム電流」が何に記録されるのか不明であり、「走査電圧の関数として記録」とは、どのような態様をいうのか不明であって、「ゲート」の作用が理解できないことから、不明確な記載となっている。 
理由２（進歩性） 
　本願発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　　　　　　　　　　　　　　　　記
引用文献１：特表２００８−５４６１６０号公報 
引用文献２：特開平８−１１５７００号公報 
引用文献３：特開２０００−３０６５４０号公報 
　引用文献２記載のコンタミビームとメインビームとを分離するコンタミ処理装置１７は、本願発明の「ゲート」に相当するといえる。 
　そして、正確なビーム電流を求めるという課題は周知のものであるから、引用文献１に記載された発明において、引用文献２に記載された事項を適用して「上記ゲートが、上記ファラデーカップがビーム電流を上記ビーム曲げ部材の上流に位置する走査装置の走査電圧の関数として記録することを選択的に防止する」構成とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。
 
　引用文献３記載のイオン注入装置のＡＮＤ回路１０６によって制御される積分回路２０４は、本願発明の「ゲート」に相当するといえる。 
　そして、雑音をカットするという課題は周知のものであるから、引用文献１に記載された発明において、引用文献３に記載された事項を適用して「上記ゲートが、上記ファラデーカップがビーム電流を上記ビーム曲げ部材の上流に位置する走査装置の走査電圧の関数として記録することを選択的に防止する」構成とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。 
（２）当審拒絶理由２の概要
理由１（サポート要件） 
　この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。 
　　　　　　　　　　　　　　　　記 
　補正前の請求項１の「加工対象物の、上記第１の方向に対して直交する方向における走査を制御するように構成された」との記載からは、請求項１の「加工対象物」の走査の方向は第１の方向（ｘ方向）に対して直交する方向、すなわち第２の方向（ｚ方向）又は第３の方向（ｙ方向）に、走査、すなわち機械的な移動が行われるものと解される。 
　これに対して、発明の詳細な説明の【００５４】には、「一実施形態では、２つのファラデーカップにおいて観察されたイオンビーム電流が足し合わされて、両電流の和が線量測定制御システム１０６に入力される。一実施形態では、制御システム１０６が複数のビーム電流読み取り値の平均を求め、この平均ビーム電流を使用して機械的な移動を制御、または、ｙ方向に延びるイオンビームの幅方向に対して直交するｘ方向の加工対象物の走査を制御する。」と記載されていて、「加工対象物」の走査の方向は、第１の方向（ｘ方向）である。また、発明の詳細な説明において、「加工対象物」の走査の方向について、第１の方向（ｘ方向）以外の方向とする具体的な記載はない。 
　よって、請求項１の「加工対象物」の走査の方向は、発明の詳細な説明に対応していない。 
　請求項１を直接、間接に引用する請求項についても同様である。 
　以上から、請求項１〜６に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでない。 
理由２（明確性要件） 
　この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。 
　　　　　　　　　　　　　　　　記 
（１）請求項１の「リボン状イオンビーム」は、「鉛筆状ビーム」が「走査される」ことが記載されていないために、「各ファラデーカップが、該ファラデーカップがビーム電流を記録することを選択的に防止する」ことの技術的意義が不明確なものとなっている。 
（２）請求項１、７、１５において、「走査」が「イオンビーム」の走査であるのか、「加工対象物」の走査であるのかが、不明確である。 
（３）請求項１、７、１５を直接、間接に引用する請求項についても同様である。 
２　当審拒絶理由の判断
（１）当審拒絶理由１について
ア　理由１（明確性要件）について
（ア）平成２８年５月１２日付け手続補正書によって、補正前の請求項１における「上記ビーム電流測定システムが、１つ以上のスリットが入射口に設けられたファラデーカップを有し、
　該１つ以上のスリットが、上記リボン状イオンビームのイオンの入射を、該ファラデーカップの軸を中心とする所定の角度の範囲に制限するように動作し、
　上記ファラデーカップに関連して作動可能で、該ファラデーカップがビーム電流を記録することを選択的に防止するように構成されたゲートをさらに備え、
　上記ゲートが、上記ファラデーカップがビーム電流を上記ビーム曲げ部材の上流に位置する走査装置の走査電圧の関数として記録することを選択的に防止するように構成された」が、
「上記ビーム電流測定システムが、
　
（１）ファラデーカップのペアであって、各ファラデーカップには
上記各ファラデーカップが、上記ビーム曲げ部材の出射開口部において、リボン状イオンビームの対応するエッジ部にそれぞれ位置するような、ファラデーカップのペアと、
　（２）上記２つのファラデーカップからビーム電流の測定結果を受信して平均を求めて、上記エンドステーション上の加工対象物の、上記第１の方向に対して直交する方向における走査を制御するように構成された線量測定制御システムと、
　を有し、
　上記各ファラデーカップが、
各電子
えた
　このことにより、請求項１の「ファラデーカップ」、「ビーム電流」についての記載が明確になった。
（イ）平成２８年５月１２日付け手続補正書によって、補正前の請求項１０の
「鉛筆状ビームを走査してリボン状イオンビームを形成し、
　ビーム曲げ部材を用いて上記リボン状イオンビームを曲げ、
　該ビーム曲げ部材の出射開口部においてリボン状イオンビームのビーム電流を測定し、
　加工対象物の走査を、上記リボン状イオンビームについて測定されたイオンビーム電流の関数として制御し、
　ファラデーカップが受けるリボン状イオンビームのイオンの入射を、該ファラデーカップの軸を中心とする所定の角度に制限し、該ファラデーカップを上記ビーム曲げ部材の出射開口部に配置し、
　上記ファラデーカップがビーム電流の測定結果を、上記リボン状イオンビームを形成する鉛筆状イオンビームの上記走査の関数として記録することを、選択的に防止し、
　上記選択的に防止することは、
　走査イオンビームが上記ファラデーカップを掃引する場合には、上記ファラデーカップがビーム電流を記録できるように構成し、かつ、それ以外の場合には、ファラデーカップがビーム電流を記録することを防止することを含む、イオン注入システムにおいて線量測定の制御を実施する方法。」が、補正後の請求項１５の
「鉛筆状ビームを走査して
、幅方向に沿って複数のエッジ部を有する
　ビーム曲げ部材を用いて上記リボン状イオンビームを曲げ、
　上
記ビーム曲げ部材の出射開口部において、リボン状イオンビームの各エッジ部にファラデーカップを配置することによって、
複数のファラデーカップから得られるビーム電流の測定結果の平均を求め、
　
上記リボン状イオンビームについての
、
平均
の位相に応じて
　ファラデーカップが受けるリボン状イオンビームのイオンの入射を、該ファラデーカップの軸を中心とする所定の角度に制限し、
　
電子ゲートを用いて、
の位相に応じて、上記ファラデーカップがビーム電流の測定結果を
を
　このことにより、請求項１５の「ファラデーカップ」、「ビーム電流」についての記載が明確になった。
（ウ）よって、当審拒絶理由１の理由１は解消した。
イ　理由２（進歩性）について
　上記「第３」と同様の理由により、本願発明１〜１４は、当業者が引用発明１及び引用文献２〜３に記載された事項に基いて容易に発明をすることできたとはいえない。また、上記「第３」と同様の理由により、本願発明１５〜１７は、当業者が引用発明２及び引用文献２〜３に記載された事項に基いて容易に発明をすることできたとはいえない。
　よって、当審拒絶理由１の理由２は解消した。
（２）当審拒絶理由２について
ア　理由１（サポート要件）について
　平成２８年９月１日付け手続補正書によって、補正前の請求項１における「リボン状イオンビーム」が「鉛筆状ビームが走査されることによって形成されたリボン状イオンビーム」に、補正前の請求項１における「第３の方向」が「第１の方向に直交する第３の方向」に、補正前の請求項１における「第２の方向」が「該第１の方向及び該第３の方向と直交する第２の方向」に、それぞれ補正された。
　このことにより、請求項１の「リボン状イオンビーム」、「第１の方向」、「第２の方向」及び「第３の方向」についての記載が明確になった。
　よって、当審拒絶理由２の理由１は解消した。
イ　理由２（明確性要件）について
　平成２８年９月１日付け手続補正書によって、補正前の請求項１における「上記第１の方向に直交する方向における走査」という記載が「上記第１の方向における機械的な移動」に、補正前の請求項７、８における「上記エンドステーションの遅い走査速度を制御する」という記載が「上記エンドステーションにおける上記加工対象物の機械的な移動を制御する」に、補正前の請求項１５における「加工対象物の走査」という記載が「加工対象物の機械的な移動」に、それぞれ補正された。
　このことにより、請求項１、７、８、１５の「加工対象物」についての記載が明確になった。
　よって、当審拒絶理由２の理由２は解消した。
（３）小括
　以上から、当審拒絶理由１及び２によっては、本願を拒絶することはできない。
第５　むすび
　以上のとおり、原査定の拒絶理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。