【誤訳訂正書】
【提出日】令和2年2月3日(2020.2.3)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピエゾ位置決め装置であって、
第１接続接点（４）及び第２接続接点（５）をそれぞれ有する少なくとも１つのピエゾアクチュエータ（３）と、
前記少なくとも１つのピエゾアクチュエータ(３)を制御する制御装置（６）であり、
前記第１接続接点（４）に接続され且つ第１電圧レベルΔｕ１で第１電圧範囲ΔＵ１の変換出力電圧Ｕ１を供給する第１デジタル／アナログ変換器（１２）、及び
前記第２接続接点（５）に接続され且つ第２電圧レベルΔｕ２で第２電圧範囲ΔＵ２の変換出力電圧Ｕ２を供給する第２デジタル／アナログ変換器（１６）
を有し、ΔＵ１＞ΔＵ２≧Δｕ１＞Δｕ２である制御装置（６）と
を備えたピエゾ位置決め装置。
【請求項２】
請求項１に記載の位置決め装置において、前記第１電圧レベルΔｕ１は、最大電圧誤差Δｕｄを有し、ここで、ΔＵ２≧Δｕ１＋Δｕｄ、且つ／又はΔＵ２≦６４・Δｕ１であることを特徴とする位置決め装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の位置決め装置において、第１電圧増幅器（１４）が、前記第１デジタル／アナログ変換器（１２）の下流に配置され、第２電圧増幅器（１７）が、前記第２デジタル／アナログ変換器（１６）の下流に配置されることを特徴とする位置決め装置。
【請求項４】
請求項３に記載の位置決め装置において、オーム抵抗（１０）が、前記第２デジタル／アナログ変換器（１６）と前記第２接続接点（５）との間に接続されることを特徴とする位置決め装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の位置決め装置において、低域フィルタ（１３）が、前記第１デジタル／アナログ変換器（１２）と前記第１電圧増幅器（１４）との間に接続されることを特徴とする位置決め装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の位置決め装置において、前記少なくとも１つのピエゾアクチュエータ（３）により調節される実際位置（ｘ）を測定する位置測定センサ（１９）をさらに備えることを特徴とする位置決め装置。
【請求項７】
請求項６に記載の位置決め装置において、前記制御装置（６）は、前記実際位置（ｘ）を調節する位置調節ユニット（２３）を有し、該位置調節ユニット（２３）は、目標値フィルタ（２９）を備えることを特徴とする位置決め装置。
【請求項８】
請求項７に記載の位置決め装置において、前記制御装置（６）は、前記位置調節ユニット（２３）と相互作用する位置パイロット制御ユニット（２４）を備えることを特徴とする位置決め装置。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか１項に記載の位置決め装置において、前記制御装置（６）は、位置制御誤差（ｅｘ）の絶対値が所定の制御誤差限界値に達しない場合に制御信号（Ｓ）を発生するよう設計された検出ユニット（２７）を備えることを特徴とする位置決め装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の位置決め装置において、
前記制御装置（６）は、前記第１デジタル／アナログ変換器（１２）のための第１入力値（ｄ１）及び前記第２デジタル／アナログ変換器（１６）のための第２入力値（ｄ２）を目標電圧値（ＵＳ）から計算する計算ユニット（２６）を有し、該計算ユニット（２６）は、前記目標電圧値（ＵＳ）及び前の時間ステップ（ｋ−１）の出力電圧値（ＵＡ）の差分絶対値（ΔＵ）が限界値（Ｌ）を超えた場合に、現在の時間ステップ（ｋ）で前記目標電圧値（Ｕｓ）から計算された前記第１デジタル／アナログ変換器（１２）の所要第１電圧値（Ｕ１Ｓ）が前記前の時間ステップ（ｋ−１）で計算された前記出力電圧値（ＵＡ）に置き換わるよう設計されることを特徴とする位置決め装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の位置決め装置において、
前記制御装置（６）は、前記第１デジタル／アナログ変換器（１２）のための第１入力値（ｄ１）及び前記第２デジタル／アナログ変換器（１６）のための第２入力値（ｄ２）を目標電圧値（ＵＳ）から計算する計算ユニット（２６）を有し、該計算ユニット（２６）は、前記目標電圧値（ＵＳ）及び前の時間ステップ（ｋ−１）の出力電圧値（ＵＡ）の差分絶対値（ΔＵ）が限界値（Ｌ）を超えた場合に、現在の時間ステップ（ｋ）で前記目標電圧値（Ｕｓ）から計算された前記第１デジタル／アナログ変換器（１２）の所要第１電圧値（Ｕ１Ｓ）が前記前の時間ステップ（ｋ−１）で計算された前記出力電圧値（ＵＡ）に置き換わるよう設計され、前記計算ユニット（２６）は、前記限界値（Ｌ）が前記制御信号（Ｓ）に基づいて変更されるよう設計されることを特徴とする位置決め装置。
【請求項１２】
請求項４に記載の位置決め装置において、前記オーム抵抗（１０）で降下した電圧（Ｕｍ）に対応する測定電圧（ｕｍ）を求める。
【請求項１３】
請求項４に記載の位置決め装置において、
前記少なくとも１つのピエゾアクチュエータ（３）により調節される実際位置（ｘ）を測定する位置測定センサ（１９）と、
前記オーム抵抗（１０）で降下した電圧（Ｕｍ）に対応する測定電圧（ｕｍ）を求める電圧測定センサ（２１）と
をさらに備え、
前記制御装置（６）は、前記実際位置（ｘ）を調節する位置調節ユニット（２３）を有し、該位置調節ユニット（２３）は、目標値フィルタ（２９）を備え、
前記制御装置（６）は、前記少なくとも１つのピエゾアクチュエータ（３）の実際充電状態（Ｑ）を調節する充電調節ユニット（２５）を有し、該充電調節ユニット（２５）は、前記実際充電状態（Ｑ）が前記測定電圧（ｕｍ）から求められて目標充電状態（ＱＳ）と比較されるよう設計され、前記目標充電状態（ＱＳ）は、前記位置調節ユニット（２３）により予め規定されることを特徴とする位置決め装置。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載の少なくとも１つのピエゾ位置決め装置（１）を有する投影露光装置。
【請求項１５】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載のピエゾ位置決め装置（１）を用意するステップと、
第１アナログ変換器出力電圧（Ｕ１）及び第２アナログ変換器出力電圧（Ｕ２）を少なくとも１つのピエゾアクチュエータ（３）に印加することにより、前記ピエゾ位置決め装置（１）を作動させるステップと
を含む位置決め方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
請求項８に記載の位置決め装置は、高い動的応答性と共に高い位置決め精度を確保する。位置パイロット制御ユニットが、実質的に遅延なくデジタル／アナログ変換器により各出力電圧に変換されるパイロット制御操作量を提供する。結果として、位置調節は高い動的応答性を有する。位置パイロット制御ユニットは位置調節ユニットと相互作用し、その結果として、パイロット制御操作量及び調節操作量が加算されて全操作量を形成する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
位置調節ユニット２３において、目標位置ＸＳが最初に目標値リミッタ２８に供給され、制限された目標位置ＸＳ’が目標値フィルタ２９に供給される。目標値フィルタ２９は、パス生成器の機能を有し、特にピエゾアクチュエータ３の物理的限界を考慮する。目標値フィルタ２９は、計算された第２目標位置ｘＳを出力側で提供する。第１加算器３１を用いて、測定されデジタル化された実際位置ｘｍが目標位置ｘＳから減算され、位置制御誤差ｅＸが計算される。キネマティックシステム２及び／又は位置決め装置１のむだ時間を、加算器３１の上流のむだ時間要素３０を用いて考慮することができる。位置制御誤差ｅＸは、前置フィルタ３２と下流の位置調節器３３とに供給される。位置調節器３３は、出力側で調節操作量を提供する。位置調節ユニット２３は、位置パイロット制御ユニット２４と相互作用する。この目的で、目標位置ｘＳがパイロット制御操作量として、第２加算器３４により調節操作量ｕＲに加算され、全操作量ｕＰを形成する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４８】
すでに説明したように、計算ユニット２６を用いて、目標電圧値ＵＳからデジタル／アナログ変換器１２、１６のためのデジタル入力値ｄ１及びｄ２が計算される。この場合、位置調節は最初は動的状態にあり、その結果として、検出ユニット２７が対応する制御信号Ｓを計算ユニット２６に伝送し、計算ユニット２６は比較器４８のために第１限界値ＬＵを用いる。