【手続補正書】
【提出日】令和2年8月3日(2020.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数層からなるサンプルスタック（７００，７０２）によって反射された光の強度（７０６）に影響を及ぼす、前記サンプルスタック（７００，７０２）のうちの１つ以上の層の厚さまたは他の特性をアセンブリで判断するための方法であって、前記アセンブリは、
複数層からなる前記サンプルスタック（７００，７０２）を照らすための光源（７１０）と、
規定された波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）において複数層からなる前記サンプルスタックによって反射された光の前記強度（７０６）を検出するための検出器（８００）を備えたカメラとを含み、前記方法はさらに、
（ａ）前記光源（７１０）からの光（７０３，７０４，５０）で複数層からなる前記サンプルスタック（７００，７０２）を照らすステップと、
（ｂ）異なる波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）において、複数層からなる前記サンプルスタック（７００，７０２）によって反射された光の前記強度（７０６）を前記検出器（８００）で検出するステップと、
（ｃ）前記検出器（８００）によって検出された前記強度から前記厚さまたは他の特性を判断するステップとを備え、
（ｄ）前記検出器（８００）は、複数の検出器素子が行および列に配置されているアレイ検出器であり、
（ｅ）複数層からなる前記サンプルスタック（７００）の画像が前記検出器（８００）上において生成され、
（ｆ）前記検出器（８００）は平行なストライプ（７６１，７６２，７６３，７６４，７６５，７６６）状の複数の区域を含み、前記ストライプは、複数層からなる前記サンプルスタック（７００）によって反射された光の前記強度（７０６）を同時に検出し、
（ｇ）選択された１つの波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）の光だけが、前記検出器（８００）のうちの前記複数の区域（７６１，７６２，７６３，７６４，７６５，７６６）の各々によって検出され、
（ｈ）前記異なる波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）の各々において複数層からなる検査された前記サンプルスタックの各々の箇所が少なくとも１回検出されるように、前記検出器（８００）上の複数層からなる前記サンプルスタック（７００）の画像の移動または前記平行なストライプ（７６１，７６２，７６３，７６４，７６５，７６６）の移動が前記平行なストライプの長手方向に対して垂直な方向にもたらされる、方法。
【請求項２】
前記検出器（８００）のうち同じ区域における前記複数の検出器素子が前記異なる波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）のうちの１つに対してのみ感度を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記光源（７１０）と前記検出器（８００）との間の光路における光は、ストライプ状の幾何学的オーダで複数の異なる帯域フィルタ（７６０）によってフィルタリングされ、各々の帯域フィルタ（７６０）は、選択された波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）のうちの１つにおいてのみ光を透過し、対象物面（７０５）、検出器面（８００）、中間画像面、または対象物に結合された他の任意の面において位置決めされている、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
一続きの画像が前記検出器（８００）で得られ、前記検出器（８００）上の複数層からなる前記サンプルスタック（７００）の画像の移動または前記平行なストライプ（７６１，７６２，７６３，７６４，７６５，７６６）の移動は前記画像の各々が得られる前に行なわれ、前記移動の長さは前記検出器（８００）上の前記複数の区域の幅に対応している、請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
異なる波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）の量は、ストライプ（７６１，７６２，７６３，７６４，７６５，７６６）の量と同じある、請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
複数層からなる前記サンプルスタックは（７００）は、波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）よりも層（２０，３０）が少なく、少なくとも１つの層（２０，３０）の前記厚さおよび／または他の特性が２以上の測定から判断される、請求項１から５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
少なくとも１つの層（２０，３０）の前記厚さおよび／または他の特性が、測定された較正曲線なしに複数の測定から判断される、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
測定された較正曲線なしで判断された前記厚さおよび／または他の特性は、前記複数層（２０，３０）の材料特性の理論値を用いて計算される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
測定された較正曲線（３６１）が、前記厚さおよび／または他の特性を判断するために、各々の検査された層（２０，３０）ごとに用いられる、請求項１から６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
複数層からなるサンプルスタック（７００）によって反射された光の強度（７０６）に影響を及ぼす、前記サンプルスタック（７００）のうちの１つ以上の層（２０，３０）の厚さまたは他の特性を判断するための検査アセンブリ（７０１）であって、
（ａ）複数層からなる前記サンプルスタック（７００）を照らすための光源（７１０）と、
（ｂ）規定された異なる波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）において、複数層からなる前記サンプルスタックによって反射された光の前記強度（７０６）を検出するための検出器（８００）を備えたカメラと、
（ｃ）前記検出器（８００）によって検出された前記強度から前記厚さまたは他の特性を判断するための演算手段とを備え、
（ｄ）前記検出器（８００）は、複数の検出器素子が行および列に配置されているアレイ検出器であり、
（ｅ）複数層からなる前記サンプルスタック（７００）の画像を前記検出器（８００）上に生成するための光学手段（７４０，７８０）が設けられており、
（ｆ）前記検出器（８００）は平行なストライプ（７６１，７６２，７６３，７６４，７６５，７６６）状の複数の区域を含み、前記ストライプは、複数層からなる前記サンプルスタック（７００）によって反射された光（７０６）を同時に検出するように適合されており、
（ｇ）前記複数の区域（７６１，７６２，７６３，７６４，７６５，７６６）の各々において、選択された１つの波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）の光だけを測定するように適合された、前記検出器（８００）のうちの前記複数の区域（７６１，７６２，７６３，７６４，７６５，７６６）または複数の検出器素子のそれぞれのうちの１つに対してのみ、選択された１つの波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）の光だけを透過させるためのフィルタ手段（７６０）が設けられており、
（ｈ）複数層からなる検査された前記サンプルスタック（７００）の各々の箇所が前記異なる波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）の各々において少なくとも１回検出可能となるように、前記平行なストライプの長手方向に対して垂直な方向に、前記検出器（８００）上の複数層からなる前記サンプルスタック（７００）の画像または前記平行なストライプを移動させるための移動手段（７０７）が設けられている、検査アセンブリ（７０１）。
【請求項１１】
前記検出器（８００）のうち同じ区域における前記複数の検出器素子が前記異なる波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）のうちの１つに対してのみ感度を有する、請求項１０に記載の検査アセンブリ（７０１）。
【請求項１２】
ストライプ状の幾何学的オーダの複数の異なる帯域フィルタが、前記光源（７１０）と前記検出器（８００）との間において、対象物面（７０５）、検出器面、中間画像面、または対象物に結合された他の任意の面において設けられており、各々の帯域フィルタ（７６０）は、選択された波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）のうちの１つにおいてのみ光を透過している、請求項１０に記載の検査アセンブリ（７０１）。
【請求項１３】
異なる波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）の量が前記ストライプ（７６１，７６２，７６３，７６４，７６５，７６６）の量と同じである、請求項１０から１２のいずれか１項に記載の検査アセンブリ（７０１）。
【請求項１４】
前記検出器（８００）は、複数の波長範囲（３４０，３５０，３６０，３７０，３８０，３９０）を有する多色ラインカメラによって形成される、請求項１０から１３のいずれか１項に記載の検査アセンブリ（７０１）。
【請求項１５】
前記ラインカメラ検出器のラインがＴＤＩ（時間遅延積分）センサブロックによって形成される、請求項１４に記載の検査アセンブリ（７０１）。