(57)【要約】【課題】余った原料を原料ボトル内へ回収して使用することができるボトル用キャップを提供すること。【解決手段】原料ボトルの口を閉鎖するキャップ本体１１に、圧力供給源に接続可能な加圧ジョイント１１１と、原料ボトル内の原料を取り出す原料供給ジョイント１１２と、原料ボトルへ原料を回収する原料回収ジョイント１１３とを設けてある。加圧ジョイント１１１、原料供給ジョイント１１２、及び、原料回収ジョイント１１３を高圧管ジョイントとし、原料回収ジョイント１１３に、その流路を開閉する手動又は電動のバルブを設けても良い。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
原料ボトルの口を閉鎖するキャップ本体に、圧力供給源に接続可能な加圧ジョイントと、前記原料ボトル内の原料を取り出す原料供給ジョイントと、前記原料ボトルへ原料を回収する原料回収ジョイントとを設けたことを特徴とするボトル用キャップ。
【請求項２】
前記原料供給ジョイントに、前記原料ボトルの内部へ延びる吸引管を設けた請求項１に記載のボトル用キャップ。
【請求項３】
前記加圧ジョイントが高圧管ジョイントである請求項１又は２に記載のボトル用キャップ。
【請求項４】
前記原料供給ジョイントが高圧管ジョイントである請求項１〜３のいずれかに記載のボトル用キャップ。
【請求項５】
前記原料回収ジョイントが高圧管ジョイントである請求項１〜４のいずれかに記載のボトル用キャップ。
【請求項６】
前記原料回収ジョイントに、その流路を開閉するバルブを設けた請求項１〜５のいずれかに記載のボトル用キャップ。
【請求項７】
前記バルブが手動バルブである請求項６に記載のボトル用キャップ。
【請求項８】
前記バルブが電動バルブである請求項６に記載のボトル用キャップ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、化学薬品等を収納した原料ボトルの口を封止するのに好適なボトル用キャップに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路、ＴＦＴ−ＬＣＤ等の製造過程において、露光現像、エッチングを行って回路を形成する技術が知られている。
この技術を説明すると、まず、ウェハ或いはガラス基板上に設けた絶縁層又は導電層上に、ポリマー樹脂、感光化合物、溶剤を含んだフォトレジスト剤を予め定めた図案に沿って塗布する。
次いで、フォトレジスト剤を塗布したウェハ又はガラス基板を加熱ベーキングして溶剤を蒸発させた後、紫外線、電子線、Ｘ線等の光線に露出させ、露光後の基板をさらにベーキングして、ウェハ又はガラス基板上に現像された図案を形成する。
さらに、現像したウェア又はガラス基板にエッチングを施して、フォトレジスト剤が塗布されていない部分の絶縁層又は導線層を除去し、残ったフォトレジスト剤を取り除くと、ウェハ或いはガラス基板上に図案が移しこまれる。
【０００３】
このような製造工程では、ボトルに収納されたフォトレジスト剤を、供給路を通して塗布装置へ供給しなければならない。また、フォトレジスト内の気泡を除去するための薬品を、供給路を介してボトルから塗布装置へ供給することもある。
従来の原料供給路では、図１に示すように、原料ボトル１０に第１管路６１及び第２管路６２が接続されている。第１管路６１は不活性ガス（例えば窒素）供給源に連結され、第２管路６２は、原料貯蔵部２０、ポンプ３０及び生産加工装置（塗布装置）４０に順次連結されている。
【０００４】
また、図２に示すように、原料ボトル１０の口を閉鎖するキャップ本体１１には、第１管路６１を接続するための加圧ジョイント１１１と、第２管路６２を接続するための原料供給ジョイント１１２が設けられている。
原料貯蔵部２０には、第２管路６２内の空気を排出するための排気管２１が接続され、第１管路６１を通して原料ボトル１０へ不活性ガスを送り込み、原料ボトル１０内の圧力が高まると、第２管路６２内の空気が排気管２１を通して排出されて、第２管路６２は原料ボトル１０から送り出された原料（フォトレジスト剤、或いは、フォトレジスト内の気泡を除去する薬品）で充満する。
【０００５】
第２管路６２へ進入した原料は、ポンプ３０の作用により、原料が生産加工装置４０へ送られる。ポンプ３０は、加工手順、加工に要する時間等に応じて、自動的に一定量の原料を送り込むように設定されている。
しかし、従来のボトル用キャップは、原料を供給路から原料ボトル１０内へ回収するための構造を有していないので、余った原料はポンプ３０の前端の排出口を通して廃液容器５０へと排出され、廃棄物として処理される。これでは、原料が無駄になるだけでなく、廃液の処理にも費用がかかってしまう。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
本考案が解決しようとする課題は、余った原料をボトル内へ回収して使用することができるボトル用キャップを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案のボトル用キャップは、原料ボトルの口を閉鎖するキャップ本体に、圧力供給源に接続可能な加圧ジョイントと、前記原料ボトル内の原料を取り出す原料供給ジョイントと、前記原料ボトルへ原料を回収する原料回収ジョイントとを設けて成る。
前記原料供給ジョイントに、前記原料ボトルの内部へ延びる吸引管を設けると良い。
前記加圧ジョイント、原料供給ジョイント、及び、原料回収ジョイントを高圧管ジョイントとするのが望ましい。
前記原料回収ジョイントに、その流路を開閉する手動又は電動のバルブを設けても良い。
【考案の効果】
【０００８】
本考案によれば、原料ボトルから取り出されて使用されなかった原料を、原料ボトルへ戻して回収使用することができるので、原料が無駄にならず、廃棄処理に要する手間と費用を削減することが可能で、環境リスクを低減することもできる。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の説明において、従来のものと共通する部分には共通の符号を付す。
本考案のボトル用キャップは、図３に示すように、キャップ本体１１に加圧ジョイント１１１、原料供給ジョイント１１２及び原料回収ジョイント１１３を設けて成る。
図４に示すように、キャップ本体１１は化学薬品等の原料が収納された原料ボトル１０の口を閉鎖し、原料ボトル１０は収納された原料を生産加工装置４０へ供給する原料供給システムに組み込まれる。
【００１０】
原料供給システムは、従来のものと同様に、不活性ガスボンベ等の圧力供給源に接続された第１管路６１と、原料貯蔵部２０及びポンプ３０を通過して生産加工装置４０に達する第２管路６２とを備え、第１管路６１が加圧ジョイント１１１に接続され、第２管路６２が原料供給ジョイント１１２に接続されるようになっている。
加圧ジョイント１１１、原料供給ジョイント１１２及び原料回収ジョイント１１３は、原料ボトル１０が原料供給システムから受ける圧力に耐えられるように高圧管ジョイントより成る。
【００１１】
原料供給ジョイント１１２には、原料ボトル１０の内部へ延びて底部に達する吸引管が設けられる。
また、原料回収ジョイント１１３は、第３管路６３を介してポンプ３０の排出口に接続可能であり、原料貯蔵部２０には排気管２１が接続されている。
【００１２】
原料ボトル１０内に収納された原料を供給するには、第１管路６１及び加圧ジョイント１１１を介して原料ボトル１０内の圧力を高め、原料供給ジョイント１１２及び第２管路６２を通して原料を原料貯蔵部２０へ送り出し、第２管路６２内の空気を排気管２１から排出する。
第２管路６２に原料が充満すると、不活性ガスの圧力及びポンプ３０の働きによって、原料が生産加工装置４０へ送られる。
また、生産加工装置４０において使用されず余った原料は、ポンプ３０で第３管路６３及び原料回収ジョイント１１３を通り原料ボトル１０内に戻される。ポンプ３０は、設定されたタイミングに基づいて、自動的に原料の供給と回収を行うこともできる。
【００１３】
なお、図示しないが、原料回収ジョイント１１３に手動のバルブを設け、作業者がタイミングを見計らって原料を原料ボトル１０へ戻すこともできるし、電動のバルブを設けて、原料を原料ボトル１０へ回収するタイミングを制御回路により制御しても良い。
勿論、原料回収ジョイント１１３にバルブを設けず、圧力供給原からの圧力供給を停止してポンプ３０を回収方向へ駆動させることにより、原料を原料ボトル１０へ回収することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】従来の原料供給路を示す図。
【図２】従来のボトル用キャップの斜視図。
【図３】本考案の実施例を示すボトル用キャップの斜視図。
【図４】本考案の実施例に係る原料供給路を示す図。
【符号の説明】
【００１５】
１０  原料ボトル
１１  キャップ本体
１１１  加圧ジョイント
１１２  原料供給ジョイント
１１３  原料回収ジョイント
２０  原料貯蔵部
２１  排気管
３０  ポンプ
４０  生産加工装置
６１  第１管路
６２  第２管路
６３  第３管路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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