(57)【要約】      （修正有）【課題】収納スペース内の汚染粒子のろ過及び除去能力が増加され、内部循環システムの循環を通じて空気の清浄度が向上することができる自動化清浄倉庫を提供する。【解決手段】外部給気システムがファンフィルターユニットを備えることで清浄空気が倉庫内に提供され、内部循環システムのファンにダクト及びフィルターが配設されることで、流入する倉庫内の空気中の汚染粒子がフィルターを通じて幾度もろ過及び除去される。ファンで第一、第二保管ラックの収納スペース内に流入する気流流速が増強される。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
複数個のファンフィルターユニットを備え、清浄空気を倉庫内に提供する外部給気システムと、
複数個の収納スペースを備えた第一保管ラック、
複数個の収納スペースを備えた第二保管ラック、
倉庫の周りに設置され、前記第一、第二保管ラックの複数個の収納スペースと連結する２つのダクト、
前記各収納スペースと前記ダクトとの間に設置された複数個のフィルター、及び、倉庫の下方の両側内に取り付けられ、前記ダクトと連接する２つのファンを有する内部循環ステムとを備えたことを特徴とする自動化清浄倉庫。
【請求項２】
前記外部給気システムは、清浄空気を倉庫の上方の中央から進入させることを特徴とする請求項１に記載の自動化清浄倉庫。
【請求項３】
前記第一、第二保管ラック間に設置される搬送ユニットを備えることを特徴とする請求項１に記載の自動化清浄倉庫。
【請求項４】
前記搬送ユニットは機械アームを備えることを特徴とする請求項３に記載の自動化清浄倉庫。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は一種の倉庫に関し、特に倉庫内の収納スペースの清浄度を向上させる自動化清浄倉庫に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ウエハ、製薬、ＴＦＴ、ＬＣＤ等の業界において通常使用されている倉庫には２種類がある。一種類目では、図１に示すように、無塵室の天井の外部給気システムから直接清浄空気が提供され、導管を経由して気体が倉庫の側壁まで導かれて吹き出す。このような倉庫は、両側のダクト２０４、物品を保管する第一、第二保管ラック２０１、２０２の収納スペース２０３、及び物品を搬送する１組の搬送ユニット３０を備えており、倉庫の設計及び構造が簡素である。外部給気システム１０は複数個のファンフィルターユニット１０１(ＦＦＵ)を備えている。前記複数個のファンフィルターユニット１０１が清浄空気を各収納スペース２０３へ流入させて倉庫から排出する場合、前記ファンフィルターユニット１０１の出口の抵抗が比較的大きくなることから、各収納スペース２０３内の気流の速度が遅くなってしまい、収納スペース２０３内の汚染粒子の排除能力が比較的低くなってしまう。
【０００３】
倉庫内部の汚染粒子の排除及び遮断能力を強化するため、図２に示すように、側辺ダクトにファンフィルターユニットが取り付けられて側方の水平気流が提供される設計が現れるようになった。側辺ダクト２０４に複数個のファンフィルターユニット１０１が取り付けられる設計の倉庫は、第一、第二保管ラック２０１、２０２の収納スペース２０３内の水平層流の速度を確実に向上させることができる。しかしながら、このような設計では大量の薄型ファンフィルターユニット１０１が組み合わされる必要があることから、製造コストと維持補修コストとが増大することになる。
【０００４】
上述の２種類の設計では、外部給気システムから直接給気と排気とが行われる。この設計では、任意の内部循環メカニズムが無く、且つ倉庫内の清浄度を強化するため、倉庫の両側ダクトに多数個のファンフィルターユニットが取り付けられて収納スペース内に側方の水平気流が提供される。これにより、気流の流速を増加させて汚染粒子のろ過及び除去を増強し、倉庫内の清浄度を向上させることができる。ファンフィルターユニットが増加されることで倉庫の清浄度を増強することはできるが、その製造コストと維持補修コストとが非常に高くなる。清浄度の向上及びコストの削減の両方について同時に配慮するため、更に適切な方法を見つけ出して上述の問題を克服する必要があった。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の主要な目的は、倉庫内部の循環気流を強化することができる自動化清浄倉庫を提供することである。この倉庫では、ファンがダクトとフィルターとに配設される内部循環システムが倉庫に追加され、また外部給気システムを通じて空気が直接倉庫内に提供される。そして、ファンで清浄空気が吸入されると共に各ダクトまで送られ、フィルターを経由して清浄空気の汚染粒子が更に遮断されてから第一、第二保管ラックの収納スペース内に清浄空気が進入する。最終的に収納スペース内の清浄空気が更にファン入口に還流されて内部循環が達成される。
【０００６】
この設計では、倉庫内の収納スペースの風量を増強することができると共に気流の速度を増加させて汚染粒子のろ過及び除去を加速することで、汚染粒子が収納スペースに進入することを遮断して内部の物品の収納スペース内の清浄度を向上させることができる。倉庫の製造コストと維持補修のコストとが比較的低いことから、製造コストの削減及び空気の清浄度の向上の両方について同時に配慮することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的と効果を達成するため本考案で採用される技術手段及び構造について完全に理解してもらうため、本考案の好ましい実施例を通じてその特徴と機能とを以下に説明する。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００８】
図３は、本考案に係る自動化清浄倉庫を示す図である。本考案に係る自動化清浄倉庫は、外部給気システム１０、内部循環システム２０、及び搬送ユニット３０を備えている。前記外部給気システム１０には、空気をろ過してから倉庫内に送る複数個のファンフィルターユニット１０１が取り付けられている。前記内部循環システム２０は、第一保管ラック２０１、第二保管ラック２０２、２つのダクト２０４、複数個のフィルター２０５、及び２つのファン２０６を備えている。前記第一、第二保管ラック２０１、２０２は倉庫内に設置され、物品の保管のために複数個の収納スペース２０３を備えている。
【０００９】
前記収納スペース２０３の環境スペースは、物品を保管するために高い清浄度を必要としている。前記２つのダクト２０４は、各々倉庫内壁と前記第一、第二保管ラック２０１、２０２との周囲に設置され、前記複数個の収納スペース２０３と連結している。前記各収納スペース２０３において前記ダクト２０４との連結箇所にフィルター２０５が設置されている。前記各収納スペース２０３内に流入する空気が前記フィルター２０５を経由することで、空気中の汚染粒子をろ過及び除去すると共に風速を均一に分布させる目的が達成されている。
【００１０】
前記２つのファン２０６は、前記倉庫の下方の左右両側に取り付けられることが好ましい。前記２つのファン２０６は前記ダクト２０４と連接している。すなわち前記ファン２０６の入口部において外部給気システム１０の清浄空気及び倉庫内部の空気の一部が吸い込まれ、ファン２０６の出口部は前記倉庫内の両側ダクト２０４と連接している。前記搬送ユニット３０は、倉庫内の第一、第二保管ラック２０１、２０２の間に設置されている。前記搬送ユニット３０は搬送用の機械アーム等の器具を備えており、物品の搬送或いは伝送に用いられる。
【００１１】
本考案の実施例が運用される時、前記外部給気システム１０では、空気中の汚染粒子をろ過及び除去するため、外部の空気が前記複数個のファンフィルターユニット１０１を通じて一次ろ過され、更に清浄空気の気流が集められて倉庫中央の比較的大きな入口から前記倉庫内部に進入する。前記倉庫本体の外部空気源として前記倉庫内部が正圧状態に維持され、熱量の排除と前記倉庫内部で生じた汚染粒子とを排除する用途に利用される。
【００１２】
次に、清浄空気が前記ファン２０６の入口部に進入する前、まずフィルター２０５を経由して更に一歩進んで汚染粒子がろ過及び除去されてから清浄空気が前記ファン２０６入口部に進入する。そして、清浄空気は、前記ファン２０６の運転に伴い前記倉庫両側のダクト２０４に導入される。それと同時に、前記ダクト２０４と前記複数個の収納スペース２０３との間に複数個のフィルター２０５が設置されることで、空気中の汚染粒子がさらにろ過及び除去されると共に各収納スペース２０３内に清浄空気が配分されている。また、前記複数個の収納スペース２０３内の清浄空気からすでに何度も汚染粒子がろ過及び除去されていることから、一定の清浄度が達成され、最終的に前記複数個の収納スペース２０３内の清浄空気が前記倉庫内に再度送られることで１回の内部循環プロセスが完成する。
【００１３】
好ましくは、更に有効的に倉庫内の収納スペースの空気清浄度を向上させるため、適切なファン及びモータが選択されて倉庫内に取り付けられ、モータの回転速度の変更を通じて前記ファンの運転速度と循環風量とが増加する。これにより、収納スペースに流入する気流流速が増強され、有効的に汚染粒子が収納スペース内部に進入することを遮断することができ、またフィルターが配設されることで更にスピーディーに倉庫内部の汚染粒子をろ過及び除去することができる。
【００１４】
上述をまとめると、本考案に係る自動化清浄倉庫は、収納スペース内の空気の清浄度を向上させるため、外部給気システム及び内部循環システムを通じて倉庫内に流入する空気からフィルターを通じて汚染粒子を幾度もろ過及び除去させる。そして、本考案に係る自動化清浄倉庫は、ファンを利用して収納スペース内に流入した気流の流速を増強することができる。また、フィルターが配設されることでスピーディーに倉庫内部の汚染粒子をろ過及び除去することができ、且つ汚染粒子が収納スペース内部に進入することを有効的に遮断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来に係る倉庫の第一の構造を示す図である。
【図２】従来に係る倉庫の第二の構造を示す図である。
【図３】本考案に係る自動化清浄倉庫を示す図である。
【符号の説明】
【００１６】
１０…外部給気システム、１０１…ファンフィルターユニット、２０…内部循環システム、２０１…第一保管ラック、２０２…第二保管ラック、２０３…収納スペース、２０４…ダクト、２０５…フィルター、２０６…ファン、３０…搬送ユニット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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