【手続補正書】
【提出日】令和2年9月25日(2020.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インプリントリソグラフィ基板の移動方法であって、前記方法は、
第２のトレイハンドラの反対に位置付けられた第１のトレイハンドラを含むトレイハンドラデバイスを提供することと、
第１のトレイおよび第２のトレイを提供することであって、前記第１および前記第２のトレイの各々は、開口を画定し、各々は、上面を有し、各開口は、少なくとも２つのカットアウトと、２つのタブとを画定する、ことと、
上面と、底面とを有する基板チャックを提供することと、
前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイと係合させることと、
前記トレイハンドラデバイスを第１の位置に位置付けることであって、前記第１の位置において、ｉ）前記第１のトレイの開口のカットアウトが、台座プラットフォームのそれぞれの台座と重なっており、ｉｉ）前記台座の遠位端が、前記第１のトレイの上面から離れて延びている、ことと、
前記第１のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を増加させ、第１の基板を前記台座から前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブに移しながら、同時に、前記第２のトレイハンドラを前記第２のトレイと係合させることと、
前記第２のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させ、第２の基板を前記基板チャックから前記第２のトレイによって画定される前記タブに移すことと、
前記トレイハンドラデバイスを前記第１の位置から第２の位置に回転させることであって、前記第２の位置において、ｉ）前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブは、前記基板チャックのそれぞれのチャネルと重なっており、ｉｉ）前記第２のトレイの開口のカットアウトが、それぞれの台座と重なっている、ことと、
前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブが前記基板チャックの前記それぞれのチャネル内に配置されている間に、前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を減少させ、前記第１の基板を前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブから前記基板チャックの上面に移すことと、
前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイから係合解除させながら、同時に、前記第２のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を減少させ、前記第２の基板を前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブから前記台座に移すことと
を含む、方法。
【請求項２】
前記第２の基板を、前記台座上に位置付けられた状態から除去することと、
第３の基板を前記台座上に位置付けることと、
前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイから係合解除した後、前記第１の基板が前記基板チャック上に位置付けられ、前記第１のトレイが前記基板チャックと結合されている間に、前記第１の基板上に位置付けられている材料にパターンを形成することと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１の基板上に位置付けられている前記材料に前記パターンを形成した後、前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイと係合させながら、同時に、前記第２のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を増加させ、前記第３の基板を前記台座から前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブに移すことをさらに含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイと係合させた後、前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させ、前記第１の基板を前記基板チャックから前記第１のトレイによって画定される前記タブに移すことをさらに含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させた後、前記トレイハンドラデバイスを前記第２の位置から前記第１の位置に回転させることをさらに含み、前記第１の位置において、前記第１のトレイの開口の前記カットアウトは、前記台座プラットフォームのそれぞれの台座と重なっている、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記第１のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を減少させ、前記第１の基板を前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブから前記台座に移すことをさらに含む、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブが前記基板チャックの前記それぞれのチャネル内に配置されている間に、前記第２のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を減少させ、前記第３の基板を前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブから前記基板チャックの上面に移すことをさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第２の基板は、前記第２の基板の前記基板チャックから前記第２のトレイによって画定される前記タブへの移動に先立って、その上に位置付けられたパターン形成された層を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
インプリントリソグラフィシステムであって、前記システムは、
台座プラットフォームの２つ以上の台座と、
上面と底面とを有する基板チャックであって、前記基板チャックは、チャネルを含む、基板チャックと、
第１のトレイおよび第２のトレイであって、前記第１および前記第２のトレイの各々は、開口を画定し、各々は、上面を有し、各開口は、少なくとも２つのカットアウトと、２つのタブとを画定する、第１のトレイおよび第２のトレイと、
第２のトレイハンドラの反対に位置付けられた第１のトレイハンドラを含むトレイハンドラデバイスであって、前記第１のトレイハンドラは、前記第１のトレイと係合可能であり、前記第２のトレイハンドラは、前記第２のトレイと係合可能であり、前記トレイハンドラデバイスは、第１の位置と第２の位置との間で回転可能であり、
前記第１の位置は、ｉ）前記台座プラットフォームのそれぞれの台座と重なっている前記第１のトレイの開口のカットアウトと、ｉｉ）前記第１のトレイの上面から離れて延びている前記台座の遠位端とを有し、
前記第２の位置は、ｉ）前記基板チャックのそれぞれのチャネルと重なっている前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブと、ｉｉ）それぞれの台座と重なっている前記第２のトレイの開口のカットアウトとを有する、トレイハンドラデバイスと、
アクチュエータシステムと
を備え、
前記アクチュエータシステムは、
前記トレイハンドラデバイスが前記第１の位置にあるとき、ｉ）前記第１のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を増加させ、第１の基板を前記台座から前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブに移しながら、同時に、前記第２のトレイハンドラを前記第２のトレイと係合させることと、ｉｉ）前記第２のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させ、第２の基板を前記基板チャックから前記第２のトレイによって画定される前記タブに移すこととを行い、
前記トレイハンドラが前記第２の位置にあるとき、ｉ）前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブが前記基板チャックの前記それぞれのチャネル内に配置されている間に、前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を減少させ、前記第１の基板を前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブから前記基板チャックの上面に移すことと、ｉｉ）前記第１のトレイハンドラが前記第１のトレイから係合解除されつつある間に、前記第２のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を減少させ、前記第２の基板を前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブから前記台座に移すこととを行う、
システム。
【請求項１０】
前記トレイハンドラデバイスを前記第１の位置と前記第２の位置との間で回転させるための回転システムをさらに備えている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記第１の基板が前記基板チャックの上面上に位置付けられているときに前記第１の基板にパターンを形成するためのパターン形成システムをさらに備えている、請求項９に記載のシステム。
【請求項１２】
前記アクチュエータシステムは、第１のアクチュエータモジュールを備え、前記第１のアクチュエータモジュールは、前記トレイハンドラデバイスが前記第１の位置にあるとき、前記第１のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を増加させ、第１の基板を前記台座から前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブに移しながら、同時に、前記第２のトレイハンドラを前記第２のトレイと係合させ、前記トレイハンドラデバイスが前記第２の位置にあるとき、前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブが前記基板チャックの前記それぞれのチャネル内に配置されている間に、前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を減少させ、前記第１の基板を前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブから前記基板チャックの上面に移す、請求項９に記載のシステム。
【請求項１３】
前記アクチュエータシステムは、第２のアクチュエータモジュールを備え、前記第２のアクチュエータモジュールは、前記トレイハンドラが前記第１の位置にあるとき、前記第２のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させ、第２の基板を前記基板チャックから前記第２のトレイによって画定される前記タブに移し、前記トレイハンドラが前記第２の位置にあり、かつ前記トレイハンドラデバイスが前記第２の位置にあるとき、前記第１のトレイハンドラが前記第１のトレイから係合解除されつつある間に、前記第２のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を減少させ、前記第２の基板を前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブから前記台座に移す、請求項１２に記載のシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本明細書に説明される主題の１つ以上の実施形態の詳細が、付随の図面および下記の説明に記載される。本主題の他の潜在的特徴、側面、および利点が、説明、図面、および請求項から明白となるであろう。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
（項目１）
インプリントリソグラフィ基板の移動方法であって、前記方法は、
第２のトレイハンドラの反対に位置付けられた第１のトレイハンドラを含むトレイハンドラデバイスを提供することと、
第１のトレイおよび第２のトレイを提供することであって、前記第１および前記第２のトレイの各々は、開口を画定し、各々は、上面を有し、各開口は、少なくとも２つのカットアウトと、２つのタブとを画定する、ことと、
上面と、底面とを有する基板チャックを提供することと、
前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイと係合させることと、
前記トレイハンドラデバイスを第１の位置に位置付けることであって、前記第１の位置において、ｉ）前記第１のトレイの開口のカットアウトが、台座プラットフォームのそれぞれの台座と重なっており、ｉｉ）前記台座の遠位端が、前記第１のトレイの上面から離れて延びている、ことと、
前記第１のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を増加させ、第１の基板を前記台座から前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブに移しながら、同時に、前記第２のトレイハンドラを前記第２のトレイと係合させることと、
前記第２のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させ、第２の基板を前記基板チャックから前記第２のトレイによって画定される前記タブに移すことと、
前記トレイハンドラデバイスを前記第１の位置から第２の位置に回転させることであって、前記第２の位置において、ｉ）前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブは、前記基板チャックのそれぞれのチャネルと重なっており、ｉｉ）前記第２のトレイの開口のカットアウトが、それぞれの台座と重なっている、ことと、
前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブが前記基板チャックの前記それぞれのチャネル内に配置されている間に、前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を減少させ、前記第１の基板を前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブから前記基板チャックの上面に移すことと、
前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイから係合解除させながら、同時に、前記第２のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を減少させ、前記第２の基板を前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブから前記台座に移すことと
を含む、方法。
（項目２）
前記第２の基板を、前記台座上に位置付けられた状態から除去することと、
第３の基板を前記台座上に位置付けることと、
前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイから係合解除した後、前記第１の基板が前記基板チャック上に位置付けられ、前記第１のトレイが前記基板チャックと結合されている間に、前記第１の基板上に位置付けられている材料にパターンを形成することと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目３）
前記第１の基板上に位置付けられている前記材料に前記パターンを形成した後、前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイと係合させながら、同時に、前記第２のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を増加させ、前記第３の基板を前記台座から前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブに移すことをさらに含む、項目２に記載の方法。
（項目４）
前記第１のトレイハンドラを前記第１のトレイと係合させた後、前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させ、前記第１の基板を前記基板チャックから前記第１のトレイによって画定される前記タブに移すことをさらに含む、項目３に記載の方法。
（項目５）
前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させた後、前記トレイハンドラデバイスを前記第２の位置から前記第１の位置に回転させることをさらに含み、前記第１の位置において、前記第１のトレイの開口の前記カットアウトは、前記台座プラットフォームのそれぞれの台座と重なっている、項目４に記載の方法。
（項目６）
前記第１のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を減少させ、前記第１の基板を前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブから前記台座に移すことをさらに含む、項目５に記載の方法。
（項目７）
前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブが前記基板チャックの前記それぞれのチャネル内に配置されている間に、前記第２のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を減少させ、前記第３の基板を前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブから前記基板チャックの上面に移すことをさらに含む、項目６に記載の方法。
（項目８）
前記第２の基板は、前記第２の基板の前記基板チャックから前記第２のトレイによって画定される前記タブへの移動に先立って、その上に位置付けられたパターン形成された層を含む、項目１に記載の方法。
（項目９）
インプリントリソグラフィシステムであって、前記システムは、
台座プラットフォームの２つ以上の台座と、
上面と底面とを有する基板チャックであって、前記基板チャックは、チャネルを含む、基板チャックと、
第１のトレイおよび第２のトレイであって、前記第１および前記第２のトレイの各々は、開口を画定し、各々は、上面を有し、各開口は、少なくとも２つのカットアウトと、２つのタブとを画定する、第１のトレイおよび第２のトレイと、
第２のトレイハンドラの反対に位置付けられた第１のトレイハンドラを含むトレイハンドラデバイスであって、前記第１のトレイハンドラは、前記第１のトレイと係合可能であり、前記第２のトレイハンドラは、前記第２のトレイと係合可能であり、前記トレイハンドラは、第１の位置と第２の位置との間で回転可能であり、
前記第１の位置は、ｉ）台座プラットフォームのそれぞれの台座と重なっている前記第１のトレイの開口のカットアウトと、ｉｉ）前記第１のトレイの上面から離れて延びている前記台座の遠位端とを有し、
前記第２の位置は、ｉ）前記基板チャックのそれぞれのチャネルと重なっている前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブと、ｉｉ）それぞれの台座と重なっている前記第２のトレイの開口のカットアウトとを有する、トレイハンドラデバイスと、
アクチュエータシステムと
を備え、
前記アクチュエータシステムは、
前記トレイハンドラデバイスが前記第１の位置にあるとき、ｉ）前記第１のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を増加させ、第１の基板を前記台座から前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブに移しながら、同時に、前記第２のトレイハンドラを前記第２のトレイと係合させることと、ｉｉ）前記第２のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させ、第２の基板を前記基板チャックから前記第２のトレイによって画定される前記タブに移すこととを行い、
前記トレイハンドラが前記第２の位置にあるとき、ｉ）前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブが前記基板チャックの前記それぞれのチャネル内に配置されている間に、前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を減少させ、前記第１の基板を前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブから前記基板チャックの上面に移すことと、ｉｉ）前記第１のトレイハンドラが前記第１のトレイから係合解除されつつある間に、前記第２のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を減少させ、前記第２の基板を前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブから前記台座に移すこととを行う、
システム。
（項目１０）
前記トレイハンドラデバイスを前記第１の位置と前記第２の位置との間で回転させるための回転システムをさらに備えている、項目９に記載のシステム。
（項目１１）
前記第１の基板が前記基板チャックの上面上に位置付けられているときに前記第１の基板にパターンを形成するためのパターン形成システムをさらに備えている、項目９に記載のシステム。
（項目１２）
前記アクチュエータシステムは、第１のアクチュエータモジュールを備え、前記第１のアクチュエータモジュールは、前記トレイハンドラデバイスが前記第１の位置にあるとき、前記第１のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を増加させ、第１の基板を前記台座から前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブに移しながら、同時に、前記第２のトレイハンドラを前記第２のトレイと係合させ、前記トレイハンドラデバイスが前記第２の位置にあるとき、前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブが前記基板チャックの前記それぞれのチャネル内に配置されている間に、前記第１のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を減少させ、前記第１の基板を前記第１のトレイの開口によって画定される前記タブから前記基板チャックの上面に移す、項目９に記載のシステム。
（項目１３）
前記アクチュエータシステムは、第２のアクチュエータモジュールを備え、前記第２のアクチュエータモジュールは、前記トレイハンドラが前記第１の位置にあるとき、前記第２のトレイの上面と前記基板チャックの底面との間の距離を増加させ、第２の基板を前記基板チャックから前記第２のトレイによって画定される前記タブに移し、前記トレイハンドラが前記第２の位置にあり、かつ前記トレイハンドラデバイスが前記第２の位置にあるとき、前記第１のトレイハンドラが前記第１のトレイから係合解除されつつある間に、前記第２のトレイの上面と前記台座プラットフォームの上面との間の距離を減少させ、前記第２の基板を前記第２のトレイの開口によって画定される前記タブから前記台座に移す、項目１２に記載のシステム。