【手続補正書】
【提出日】令和2年8月9日(2020.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスを提供する方法であって、
比較領域を画定し、ウェハに対する視覚的欠陥位置を識別する、第１のウェハ欠陥マップを受け取ることと、
前記比較領域のフォーマットを判定することであって、前記フォーマットが部分ショット対部分ショット（ｐａｒｔｉｌａ−ｓｈｏｔ−ｔｏ−ｐａｒｔｉａｌ−ｓｈｏｔ）と全ショット‐全ショット（ｆｕｌｌ−ｓｈｏｔ−ｔｏ−ｆｕｌｌ−ｓｈｏｔ）とを含むグループから選択される、前記判定することと、
前記比較領域内のダイ境界を提供するマッピング情報を受け取ることと、
前記ウェハ内のダイ境界と各ダイの中心における単一の「欠陥」標識とを識別するウェハレイアウトマップを提供することと、
を含む、方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、
前記マッピング情報が、システムデータベースから受信され、小さなダイ情報とオフセット情報との少なくとも一方を含む、方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法であって、
前記ウェハ上の欠陥ダイを識別する第１の欠陥ダイマップをつくるため、前記ウェハレイアウトマップ及び前記第１のウェハ欠陥マップを組み合わせることを更に含む、方法。
【請求項４】
請求項３の方法であって、
第１のファイルを形成するために、前記第１の欠陥ダイマップをプローブ試験システムにより使用され得るフォーマットに変換することを更に含む、方法。
【請求項５】
請求項４の方法であって、
前記第１のファイルが．前処理出力（ＰＰＯ）フォーマットを有する、方法。
【請求項６】
請求項４の方法であって、
前記第１のファイルを前記プローブ試験システムに提供することを更に含む、方法。
【請求項７】
請求項６の方法であって、
第３のファイルをつくるために、前記第１のファイルを前記プローブ試験システムによりつくられる第２のファイルと組み合わせることを更に含む、方法。
【請求項８】
請求項７の方法であって、
前記ウェハ上でダイ印付けを実施するために、前記第１のファイルと前記第３のファイルとの一方を用いることを更に含む、方法。
【請求項９】
請求項４の方法であって、
ガードバンディングに対して識別されている欠陥タイプを有する少なくとも１つの欠陥位置を含むウェハ欠陥マップと関連するウェハレイアウトマップとを受け取ることと、
ガードバンドを前記欠陥タイプに適用するためのルールを受け取ることと、
前記欠陥タイプを有する各欠陥位置に対して、ガードバンドされる欠陥ダイマップを形成するために前記ルールに基づいてスクラップされるべきである周りのダイに印付けることと、
を更に含む、方法。
【請求項１０】
請求項９の方法であって、
前記第１の欠陥ダイマップを変換する前に、前記ガードバンドされる欠陥ダイマップを前記第１の欠陥ダイマップに統合することを更に含む、方法。
【請求項１１】
請求項１に記載の方法であって、
前記第１のウェハ欠陥マップを形成するために、前記ウェハの異なる層に対してつくられる複数のウェハ欠陥マップを統合することを更に含む、方法。
【請求項１２】
プロセッサにより実行されるとき、半導体デバイスを提供する方法を実施する一連のプログラム命令を有する非一時的（ｎｏｎ−ｔｒａｎｓｉｔｏｒｙ）コンピュータ可読媒体であって、前記方法が、
比較領域を画定し、ウェハに対する視覚的欠陥位置を識別する、第１のウェハ欠陥マップを受け取ることと、
前記比較領域のフォーマットを判定することであって、前記フォーマットが部分ショット対部分ショットと全ショット対全ショットとを含むグループから選択される、前記判定することと、
前記比較領域内のダイ位置を提供するマッピング情報を受け取ることと、
前記ウェハ内のダイ境界と各ダイの中心における単一の「欠陥」標識とを識別するウェハレイアウトマップを提供することと、
を含む、非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１３】
請求項１２に記載の非一時的コンピュータ可読媒体であって、
前記方法が、前記ウェハ上の欠陥ダイを識別する第１の欠陥ダイマップをつくるために、前記ウェハレイアウトマップと前記第１のウェハ欠陥マップとを組み合わせることを更に含む、非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１４】
請求項１３に記載の非一時的コンピュータ可読媒体であって、
前記方法が、
第１のファイルを形成するために前記第１の欠陥ダイマップをプローブ試験システムにより使用され得るフォーマットに変換することと、
前記第１のファイルを前記プローブ試験システムに提供することと、
を更に含む、非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１５】
請求項１４に記載の非一時的コンピュータ可読媒体であって、
前記方法が、ガードバンディングに対して識別されている欠陥タイプを有する少なくとも１つの欠陥位置を識別する第２の欠陥ダイマップを受け取ることと、
ガードバンドを前記欠陥タイプに適用するためのルールを受け取ることと、
前記欠陥タイプを有する各欠陥位置に対して、ガードバンドされる欠陥ダイマップを形成するために前記ルールに基づいてスクラップされるべきである周りのダイに印付けることと、
前記第１の欠陥ダイマップを変換する前に、前記ガードバンドされる欠陥ダイマップを前記第１の欠陥ダイマップと統合することと、
を更に含む、非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１６】
システムであって、
プロセッサと、
メモリであって、前記プロセッサによって実行されるときに、前記システムに、
部分ショット対部分ショットと全ショット対全ショットとを含むグループから選択される、第１のウェハ欠陥マップの比較領域のフォーマットを判定し、
前記比較領域内のダイ位置を提供するマッピング情報を受信し、
前記ウェハ内のダイ境界と各ダイの中心における単一の「欠陥」標識とを識別するウェハレイアウトマップを提供し、
前記ウェハ上の欠陥ダイを識別する欠陥ダイマップを生成するために前記ウェハレイアウトマップと前記第１のウェハ欠陥マップとを組み合わせ、
前処理出力（．ＰＰＯ）フォーマットを有する第１のファイルを形成するために前記欠陥ダイマップをプローブ試験システムにより利用されるフォーマットに変換、
させる、コンピュータプログラム命令を含む、前記メモリと、
を含む、システム。
【請求項１７】
請求項１６に記載のシステムであって、
前記メモリが、前記プロセッサによって実行されるときに、前記システムに、前記第１のファイルをプローブ試験システムに提供させる、更なるコンピュータプログラム命令を更に含む、システム。
【請求項１８】
請求項１６に記載のシステムであって、
前記メモリが、前記プロセッサによって実行されるときに、前記システムに、第３のファイルを生成するために前記第１のフィアルを前記プローブ試験システムによって生成される第２のファイルに組み合わさせる、更なるコンピュータプログラム命令を更に含む、システム。
【請求項１９】
請求項１８に記載のシステムであって、
前記メモリが、前記プロセッサによって実行されるときに、前記システムに、前記第１のファイルと前記第３のファイルとの１つを用いて前記ウェハ上にダイ印付けを実行させる、更なるコンピュータプログラム命令を更に含む、システム。
【請求項２０】
請求項１６に記載のシステムであって、
前記メモリが、前記プロセッサによって実行されるときに、前記システムに、
ガードバンディングに対して識別されている欠陥タイプを有する少なくとも１つの欠陥位置を含む第２のウェハ欠陥マップと関連するウェハレイアウトマップとを受信し、
ガードバンドを前記欠陥タイプに適用するためのルールを受信し、
前記欠陥タイプを有する各欠陥位置に対して、ガードバンドされた欠陥ダイマップを形成するために前記ルールに基づいてスクラップされるべき周囲のダイに印付け、
させる、更なるコンピュータプログラム命令を更に含む、システム。