【手続補正書】
【提出日】令和2年3月23日(2020.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その分散が可調な第１チューナブル分散素子であり、照明ビームにスペクトル分散を導入するよう構成されている第１チューナブル分散素子と、
第１チューナブル分散素子から照明ビームを受光しその照明ビームを焦平面に合焦させるよう構成された第１光学素子であり、その焦平面における照明ビームのスペクトラムの空間分布が、第１チューナブル分散素子の分散を調整することで制御され得る第１光学素子と、
上記焦平面に所在する空間フィルタリング素子であり、その焦平面における照明ビームのスペクトラムの空間分布に基づきその照明ビームのスペクトラムをフィルタリングしてフィルタリングされたスペクトラムを有するフィルタリングされた照明ビームを形成する空間フィルタリング素子と、
上記フィルタリングされた照明ビームを空間フィルタリング素子から集光するよう構成された第２光学素子と、
第２光学素子から上記フィルタリングされた照明ビームを受光するよう構成された第２チューナブル分散素子であり、第１チューナブル分散素子の分散に対応するようその分散が設計されている第２チューナブル分散素子であり、第１チューナブル分散素子により導入されたスペクトル分散を上記フィルタリングされた照明ビームから除去するよう構成されている第２チューナブル分散素子と、
を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項２】
請求項１に記載のチューナブル分光フィルタであって、空間的にコヒーレントな照明ビームを受け入れるよう第１チューナブル分散素子が構成されているチューナブル分光フィルタ。
【請求項３】
請求項２に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記空間コヒーレント照明ビームが、
超連続体レーザ光源を以て構成されるチューナブル分光フィルタ。
【請求項４】
請求項１に記載のチューナブル分光フィルタであって、第１チューナブル分散素子及び第２チューナブル分散素子のうち少なくとも一方が、
回折格子を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項５】
請求項４に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記回折格子のピッチ及び回折効率のうち少なくとも一方が可調なチューナブル分光フィルタ。
【請求項６】
請求項４に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記回折格子が、
音響光学偏向器及び電気光学偏向器のうち少なくとも一方を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項７】
請求項１に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記空間フィルタリング素子が、自フィルタリングセグメント上における照明ビームのスペクトラムの空間分布に基づきその照明ビームのスペクトラムのうち一部分を阻止するフィルタリングセグメントを有するチューナブル分光フィルタ。
【請求項８】
請求項７に記載のチューナブル分光フィルタであって、第１チューナブル分散素子の分散を調整することで、照明ビームのスペクトラムのうち上記フィルタリングセグメントにより阻止される部分が制御され、上記フィルタリングされた照明ビームを形成するチューナブル分光フィルタ。
【請求項９】
請求項７に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記フィルタリングセグメントが、
ローパスフィルタ及びハイパスフィルタのうち少なくとも一方を構成するチューナブル分光フィルタ。
【請求項１０】
請求項１に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記フィルタリング素子が、
自アパーチャ上における照明ビームのスペクトラムの空間分布に基づきその照明ビームのスペクトラムのうち一部分を通過させ、上記フィルタリングされた照明ビームを形成するアパーチャを備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項１１】
請求項１０に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記アパーチャが、
バンドパスフィルタを構成するチューナブル分光フィルタ。
【請求項１２】
請求項１０に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記アパーチャが、自アパーチャの幅を以て隔てられた第１フィルタリングセグメント及び第２フィルタリングセグメントを有し、照明ビームのスペクトラムのうち第１部分を阻止するよう第１フィルタリングセグメントが構成されており、その照明ビームのスペクトラムのうち第２部分を阻止するよう第２フィルタリングセグメントが構成されており、その照明ビームのスペクトラムのうち第３部分が上記フィルタリングされた照明ビームとしてそのアパーチャ内を伝搬して第２光学素子により集光されるチューナブル分光フィルタ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のチューナブル分光フィルタであって、第１チューナブル分散素子の分散を調整することで、上記フィルタリングされた照明ビームの中心波長が制御されるチューナブル分光フィルタ。
【請求項１４】
請求項１０に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記アパーチャの幅が可調なチューナブル分光フィルタ。
【請求項１５】
請求項１４に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記アパーチャの幅を調整することで、上記フィルタリングされた照明ビームの帯域幅が制御されるチューナブル分光フィルタ。
【請求項１６】
請求項１に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記フィルタリング素子が、
透過性フィルタリング素子及び反射性フィルタリング素子のうち少なくとも一方を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項１７】
請求項１に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記フィルタリング素子が、
画素化フィルタリング素子を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項１８】
請求項１７に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記画素化フィルタリング素子が、
空間光変調器、マイクロミラーアレイ及び可変形鏡のうち少なくとも１個を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項１９】
請求項１に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記フィルタリング素子が、
１個又は複数個のアポダイズ素子を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項２０】
請求項１に記載のチューナブル分光フィルタであって、第１光学素子及び第２光学素子が、
アフォーカル光リレイを構成するチューナブル分光フィルタ。
【請求項２１】
その分散が可調な第１チューナブル分散素子であり、照明ビームにスペクトル分散を導入するよう構成されている第１チューナブル分散素子と、
第１チューナブル分散素子から照明ビームを受光しその照明ビームを第１焦平面に合焦させるよう構成された第１光学素子であり、その第１焦平面における照明ビームのスペクトラムの空間分布が、第１チューナブル分散素子の分散を調整することで制御されうる第１光学素子と、
第１焦平面に所在する第１フィルタリングセグメントであり、その第１焦平面における照明ビームのスペクトラムの空間分布に基づきその照明ビームのスペクトラムをフィルタリングする第１フィルタリングセグメントと、
第１フィルタリングセグメントから照明ビームを集光するよう構成された第２光学素子と、
第２光学素子から照明ビームを受光しその照明ビームの軌道を可調修正するよう構成されたビームステアリング素子と、
ビームステアリング素子から照明ビームを受光しその照明ビームを第２焦平面に合焦させるよう構成された第３光学素子であり、その第２焦平面における照明ビームのスペクトラムの空間分布が、そのビームステアリング素子を調整することで制御されうる第３光学素子と、
第１焦平面に所在する第２フィルタリングセグメントであり、第２焦平面における照明ビームのスペクトラムの空間分布に基づきその照明ビームのスペクトラムをフィルタリングする第２フィルタリングセグメントと、
第２フィルタリングセグメントから照明ビームを集光するよう構成された第４光学素子と、
第４光学素子から照明ビームを受光するよう構成された第２チューナブル分散素子であり、第１チューナブル分散素子の分散に対応するようその分散が設計されている第２チューナブル分散素子であり、第１チューナブル分散素子により導入されたスペクトル分散をその照明ビームから除去するよう構成されている第２チューナブル分散素子と、
を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項２２】
請求項２１に記載のチューナブル分光フィルタであって、ビームステアリング素子が、
回動可動アセンブリ、直線可動アセンブリ及び傾斜調整アセンブリのうち少なくとも１個にしっかり固定された鏡を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項２３】
請求項２１に記載のチューナブル分光フィルタであって、ビームステアリング素子が、
可変形鏡を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項２４】
請求項２１に記載のチューナブル分光フィルタであって、第１フィルタリングセグメント及び第２フィルタリングセグメントのうち少なくとも一方が固定位置にしっかり保持されているチューナブル分光フィルタ。
【請求項２５】
請求項２１に記載のチューナブル分光フィルタであって、第１フィルタリングセグメント及び第２フィルタリングセグメントのうち少なくとも一方が、
ローパスフィルタ及びハイパスフィルタのうち少なくとも一方を備えるチューナブル分光フィルタ。
【請求項２６】
照明ビームを生成するよう構成された照明源と、
その照明ビームを受光するよう構成されたチューナブル分光フィルタと、
を備え、そのチューナブル分光フィルタが、
その分散が可調な第１チューナブル分散素子であり、照明ビームにスペクトル分散を導入するよう構成されている第１チューナブル分散素子と、
第１チューナブル分散素子から照明ビームを受光しその照明ビームを焦平面に合焦させるよう構成された第１光学素子であり、その焦平面における照明ビームのスペクトラムの空間分布が、第１チューナブル分散素子の分散を調整することで制御されうる第１光学素子と、
上記焦平面に所在する空間フィルタリング素子であり、その焦平面における照明ビームのスペクトラムの空間分布に基づきその照明ビームのスペクトラムをフィルタリングしてフィルタリングされたスペクトラムを有するフィルタリングされた照明ビームを形成する空間フィルタリング素子と、
上記フィルタリングされた照明ビームを空間フィルタリング素子から集光するよう構成された第２光学素子と、
第２光学素子から照明ビームを受光するよう構成された第２チューナブル分散素子であり、第１チューナブル分散素子の分散に対応するようその分散が設計されている第２チューナブル分散素子であり、第１チューナブル分散素子により導入されたスペクトル分散を上記フィルタリングされた照明ビームから除去するよう構成されている第２チューナブル分散素子と、
を備えるチューナブル広帯域照明源。
【請求項２７】
請求項２６に記載のチューナブル広帯域照明源であって、空間的にコヒーレントな照明ビームを受け入れるよう第１チューナブル分散素子が構成されているチューナブル広帯域照明源。
【請求項２８】
請求項２７に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記空間コヒーレント照明ビームが、
超連続体レーザ光源を以て構成されるチューナブル広帯域照明源。
【請求項２９】
請求項２６に記載のチューナブル広帯域照明源であって、第１チューナブル分散素子及び第２チューナブル分散素子のうち少なくとも一方が、
回折格子を備えるチューナブル広帯域照明源。
【請求項３０】
請求項２９に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記回折格子のピッチ及び回折効率のうち少なくとも一方が可調なチューナブル広帯域照明源。
【請求項３１】
請求項２９に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記回折格子が、
音響光学偏向器及び電気光学偏向器のうち少なくとも一方を備えるチューナブル広帯域照明源。
【請求項３２】
請求項２６に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記空間フィルタリング素子が、自フィルタリングセグメント上における照明ビームのスペクトラムの空間分布に基づきその照明ビームのスペクトラムのうち一部分を阻止して上記フィルタリングされた照明ビームを形成するフィルタリングセグメントを有するチューナブル広帯域照明源。
【請求項３３】
請求項３２に記載のチューナブル広帯域照明源であって、第１チューナブル分散素子の分散を調整することで、照明ビームのスペクトラムのうち上記フィルタリングセグメントにより阻止される部分が制御されるチューナブル広帯域照明源。
【請求項３４】
請求項３２に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記フィルタリングセグメントが、
ローパスフィルタ及びハイパスフィルタのうち少なくとも一方を構成するチューナブル広帯域照明源。
【請求項３５】
請求項２６に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記フィルタリング素子が、
自アパーチャ上における照明ビームのスペクトラムの空間分布に基づきその照明ビームのスペクトラムのうち一部分を通過させ、上記フィルタリングされた照明ビームを形成するアパーチャを備えるチューナブル広帯域照明源。
【請求項３６】
請求項３５に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記アパーチャが、
バンドパスフィルタを構成するチューナブル広帯域照明源。
【請求項３７】
請求項３５に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記アパーチャが、自アパーチャの幅を以て隔てられた第１フィルタリングセグメント及び第２フィルタリングセグメントを有し、照明ビームのスペクトラムのうち第１部分を阻止するよう第１フィルタリングセグメントが構成されており、その照明ビームのスペクトラムのうち第２部分を阻止するよう第２フィルタリングセグメントが構成されており、その照明ビームのスペクトラムのうち第３部分が上記フィルタリングされた照明ビームとしてそのアパーチャ内を伝搬して第２光学素子により集光されるチューナブル広帯域照明源。
【請求項３８】
請求項３７に記載のチューナブル広帯域照明源であって、第１チューナブル分散素子の分散を調整することで、上記フィルタリングされた照明ビームの中心波長が制御されるチューナブル広帯域照明源。
【請求項３９】
請求項３５に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記アパーチャの幅が可調なチューナブル広帯域照明源。
【請求項４０】
請求項３９に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記アパーチャの幅を調整することで、上記フィルタリングされた照明ビームの帯域幅が制御されるチューナブル広帯域照明源。
【請求項４１】
請求項２６に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記フィルタリング素子が、
透過性フィルタリング素子及び反射性フィルタリング素子のうち少なくとも一方を備えるチューナブル広帯域照明源。
【請求項４２】
請求項２６に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記フィルタリング素子が、
画素化フィルタリング素子を備えるチューナブル広帯域照明源。
【請求項４３】
請求項４２に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記画素化フィルタリング素子が、
空間光変調器、マイクロミラーアレイ及び可変形鏡のうち少なくとも１個を備えるチューナブル広帯域照明源。
【請求項４４】
請求項２６に記載のチューナブル広帯域照明源であって、上記フィルタリング素子が、
１個又は複数個のアポダイズ素子を備えるチューナブル広帯域照明源。
【請求項４５】
その分散が可調な第１チューナブル分散素子で以て照明ビームにスペクトル分散を導入するステップと、
その照明ビームを焦平面に合焦させるステップであり、その焦平面における照明ビームのスペクトラムの分布が、第１チューナブル分散素子の分散を調整することで制御されうるステップと、
その焦平面にてその照明ビームのスペクトラムを空間フィルタリングするステップと、
第１チューナブル分散素子の分散に対応するようその分散が設計されている第２チューナブル分散素子で以てその照明ビームのスペクトル分散を除去するステップと、
を有する広帯域照明源チューニング方法。
【請求項４６】
請求項１に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記空間フィルタリング素子の少なくとも一部分が反射性であり、単一光学素子は上記第１光学素子と上記第２光学素子を含み、単一チューナブル分散素子は上記第１チューナブル分散素子と上記第２チューナブル分散素子を含み、上記空間フィルタリング素子は上記フィルタリングされた照明ビームを鏡写しの光路に沿って上記単一チューナブル分散素子と上記単一光学素子を通って反射し、上記単一光学素子は上記空間フィルタリング素子からの上記フィルタリングされた照明ビームを集光するように構成され、上記単一チューナブル分散素子は上記フィルタリングされた照明ビームからスペクトル分散を除去するように構成される、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項４７】
請求項４６に記載のチューナブル分光フィルタであって、さらに、上記鏡写しの光路に沿って上記単一チューナブル分散素子から受光した上記フィルタリングされた照明ビームから照明ビームを分離するように構成されたビームセレクタを備える、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項４８】
請求項４７に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記ビームセレクタは、上記照明ビームの光路上で上記単一チューナブル分散素子の前に配置された偏光ビームスプリッタと、上記照明ビームの光路上で上記偏光ビームスプリッタと上記単一チューナブル分散素子との間に配置された１／４波長板とを含み、上記偏光ビームスプリッタは上記鏡写しの光路に沿って上記単一チューナブル分散素子から受光した上記フィルタリングされた照明ビームから照明ビームを分離する、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項４９】
請求項４６に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記空間フィルタリング素子はマイクロ電気機械システムである、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項５０】
請求項４６に記載のチューナブル分光フィルタであって、さらに、上記単一光学素子と上記空間フィルタリング素子との間に配置され、上記単一光学素子からの照明ビームを受光するビームステアリング素子を含み、焦平面における照明ビームのスペクトルの空間分散は上記ビームステアリング素子の調整によりさらに制御可能である、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項５１】
チューナブル分光フィルタであって、
照明ビームを受光するように構成されたチューナブル分散素子であり、その分散が調整可能であり、第１の光路で照明ビームにスペクトル分散を導入するように構成されたチューナブル分散素子と、
上記チューナブル分散素子からの照明ビームを受光して焦平面に集光する光学素子であり、焦平面における照明ビームのスペクトルの空間分散は上記チューナブル分散素子の分散を調整することで制御可能である、光学素子と、
焦平面に配置された空間フィルタリング素子であり、焦平面における照明ビームのスペクトルの空間分散に基づいて照明ビームのスペクトルをフィルタリングしてフィルタリングされたスペクトルを有するフィルタリングされた照明ビームを形成する空間フィルタリング素子と、
を含み、
上記空間フィルタリング素子の少なくとも一部分が反射性であり、上記フィルタリングされた照明ビームは上記空間フィルタリング素子から鏡写しの光路に沿って上記光学素子と上記チューナブル分散素子を通って反射され、上記光学素子はさらに上記空間フィルタリング素子からのフィルタリングされた照明ビームを集光するように構成され、上記チューナブル分散素子はさらに上記光学素子からの上記フィルタリングされた照明ビームを受光してスペクトル分散を除去するように構成される、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項５２】
請求項５１に記載のチューナブル分光フィルタであって、
さらに、上記鏡写しの光路に沿って上記チューナブル分散素子から受光した上記フィルタリングされた照明ビームから照明ビームを分離するように構成されたビームセレクタを備える、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項５３】
請求項５２に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記ビームセレクタは、上記照明ビームの光路上で上記チューナブル分散素子の前に配置された偏光ビームスプリッタと、上記照明ビームの光路上で上記偏光ビームスプリッタと上記チューナブル分散素子との間に配置された１／４波長板とを含み、上記偏光ビームスプリッタは上記鏡写しの光路に沿って上記チューナブル分散素子から受光した上記フィルタリングされた照明ビームから照明ビームを分離する、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項５４】
請求項５１に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記チューナブル分散素子は音響光学偏向器または電磁光学偏向器の少なくともいずれかを含む、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項５５】
請求項５１に記載のチューナブル分光フィルタであって、上記空間フィルタリング素子はマイクロ電気機械システムである、
チューナブル分光フィルタ。
【請求項５６】
請求項５１に記載のチューナブル分光フィルタであって、さらに、上記光学素子と上記空間フィルタリング素子との間に配置され、上記光学素子からの照明ビームを受光するビームステアリング素子を含み、焦平面における照明ビームのスペクトルの空間分散は上記ビームステアリング素子の調整によりさらに制御可能である、
チューナブル分光フィルタ。