【事件の表示】
　特願２０１１−　９２８１５「露光装置の投影光学系」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年１１月１５日出願公開、特開２０１２−２２６０７３、請求項の数（４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２３年４月１９日の出願であって、平成２６年１２月４日付けで拒絶理由が通知され、平成２７年２月４日付けで手続補正がされ、平成２７年７月３１日付けで拒絶査定がされ、これに対し、平成２７年１０月２２日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。
　
第２　本願発明
　本願の請求項１ないし４に係る発明は、平成２７年２月４日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるものと認められるところ、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は次のとおりである。
　
「　【請求項１】
　物面と像面との間に複数のレンズ群が配置され、物面側の物体を変倍して像面側に投影する投影光学系であって、
　物面側に臨むレンズ群又は像面側に臨むレンズ群が少なくとも２枚の正の屈折力を有するレンズから構成され、該２枚のレンズのうちの１枚は最も外側に配置され、残りの１枚は下記の条件式を満たしかつその最も外側に配置されたレンズの内側に隣接して配置され、最も外側のレンズを残りの１枚のレンズに対して光軸方向に離反・接近させることにより変倍を行うことを特徴とする投影光学系。
　　　　　　　　０≧ｑ＞−０．７２　…（１）
　ここで、符号ｑは、レンズの形状ファクターを規定する数値であり、残りの１枚のレンズの二つの面のうち最も外側に配置されたレンズに近い側の面の曲率半径をｒ２、残りの１枚のレンズの二つの面のうち最も外側に配置されたレンズから遠い側の面の曲率半径をｒ１としたとき、
　　　　　　　　ｑ＝（ｒ１＋ｒ２）／（ｒ２−ｒ１）…（２）
　ただし、ｒ１、ｒ２の符号は、光線の進む方向を「＋」と規定して、曲率中心の位置が『＋』側にあるか『−』側にあるかによって定義している。」
　
第３　原査定の理由の概要
（理由１）この出願の請求項１ないし４に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。
（理由２）この出願の請求項１ないし４に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
１．特開平１０−１１５７８０号公報
２．特開２０１０−２５０１２４号公報
３．特開平３−８８３１７号公報
４．特開平１１−９５１０４号公報
５．特開平１１−３２６７６３号公報
　
　引用文献１（特に、段落【０００４】、【表４】（図１３）、【表５】（図１４）、【表６】（図１５）、【表７】（図１６）参照。）には、物面と像面との間に複数のレンズ群が配置され、物面側の物体を変倍して像面側に投影する投影光学系であって、物面側に臨むレンズ群又は像面側に臨むレンズ群が少なくとも２枚の正の屈折力を有するレンズから構成され、該２枚のレンズのうちの１枚は最も外側に配置され、残りの１枚は、請求項１に記載の条件式を満たしかつその最も外側に配置されたレンズの内側に隣接して配置され、最も外側のレンズを残りの１枚のレンズに対して光軸方向に離反・接近させることにより変倍を行う投影光学系が記載されている（引用文献１の補正レンズ群２２が、本願発明の「最も外側のレンズ」に相当する。また、引用文献１の主レンズ群２１中の最も前記補正レンズ群２２側に配置されたレンズが、本願発明の「残りの１枚のレンズ」に相当する。）。
　引用文献１、２、４及び５に記載された光学系において、レンズデータに基づいてｑ値の対応値を算出してみると、算出された値は、本願請求項１に記載された「０≧ｑ＞−０．７２」の条件式の数値範囲に含まれる（当該条件式を満足する）ものであるから、本願請求項１に係る発明は、新規性又は進歩性を有さない。
　例えば、引用文献１の表４に記載の光学系において、ｒ１＝１６３．４３９、ｒ２＝−１６３．４３９（引用文献１の表４におけるｒ１０、ｒ１１が、それぞれ本願発明のｒ１、ｒ２に相当する。）であるから、ｑ＝０であり、本願請求項１に記載された「０≧ｑ＞−０．７２」の条件式を満足する。同様に、引用文献１の表５、表６、表７に記載の光学系、引用文献２の実施例２、実施例４、実施例５に記載の光学系、引用文献４の実施例５に記載の光学系、引用文献５の実施例１に記載の光学系についても、レンズデータに基づいてｑ値の対応値を算出してみると、算出された値は、本願請求項１に記載された「０≧ｑ＞−０．７２」の条件式を満足する。
　
第４　当審の判断
１　引用文献１の記載事項
（１）引用文献１には、次のアないしオの事項が記載されている（下線は審決で付した。以下同じ。）。
　ア「【０００１】
【技術分野】
本発明は、被写体情報を変倍して受光面に与える変倍光学装置に関し、特に物像間距離を変化させて変倍を行なう変倍光学装置
【０００２】
【従来技術及びその問題点】
変倍光学装置は、例えば変倍機能を持つ複写機
、イメージスキャナ、ファクシミリ、デジタル複写機等の、受光素子としてＣＣＤ等の光電変換素子を用いた装置にも用いられ
このような装置に用いられる変倍光学装置は、物像間距離を一定に保持するズームレンズ系によるものと、固定焦点の結像レンズを用い、物像間距離および結像レンズ位置を変化させて変倍を行なうものとに大別され
前者は高精度の変倍が可能でしかも物像間距離が変化しないという利点があるが、ズームレンズが大型化するため、コスト、スペースの点から、小型化、低コスト化を要求される装置への適用は難し
後者は、固定焦点レンズによるため安価であるが、一般的に固定焦点レンズは特定の倍率位置において最良の像が生じるように設計されるため、変倍を行なうために被写体面および像面に対して相対移動させると、結像性能が大きく劣化するという問題点があ
【０００３】
【発明の目的】
本発明は、物像間距離を変化させて変倍を行なう小型で安価なタイプの変倍光学装置において、全変倍範囲で結像性能の劣化の少ない装置を得ること
本発明は、結像性能を向上させるために、構造が複雑化しない変倍光学装置を得ることを目的
【０００４】
【発明の概要】本発明は、
被写体面と、受光面と、被写体面におかれた被写体の像を受光面に結像する結像レンズとを備え、変倍時には、被写体面と受光面との間の光学的距離を変化させる変倍光学装置において、結像レンズを相対移動できる主レンズ群と補正レンズ群から構成し、この主レンズ群と補正レンズ群のいずれか一方と受光面を移動ベースに固定するとともに、主レンズ群と補正レンズ群の他方を光軸方向に移動可能に支持し、さらに、この移動ベースを変倍時に光軸方向に移動させて、固定して設けた被写体面との距離を変化させる変倍手段と、この移動ベースの移動位置に応じ、移動ベース上で可動の主レンズ群または補正レンズ群を所定の位置に移動させる補正手段とを備え
　
　イ「【０００９】
【発明の実施の形態】図１は
本発明による変倍光学装置の光学的な
構成例
被写体面１１と受光面１２との間に、結像レンズ群２０が配置され
結像レンズ群２０は、ともに正のパワーを持つ主レンズ群（前群）２１と補正レンズ群（後群）２２とからなっていて、補正レンズ群２２が受光面１２に対して固定した関係にあ
補正レンズ群２２と受光面１２との距離Ｌ
B
は常に一定であ
変倍は、この結像レンズ群２０の主レンズ群２１を補正レンズ群２２に対して所定の関係で移動させるとともに、被写体面１１を受光面１２に対して所定の関係で移動させることで行な
被写体面１１から結像レンズ群２０の主レンズ群２１迄の距離Ｌ
A
は、変倍率に応じて変化
【００１０】この例では、
変倍率が
大きくなるにつれて被写体面１１と受光面１２が接近し、同時に主レンズ群２１が補正レンズ群２２から離れる方向に移動して、受光面１２上に被写体面１１に置く被写体の像が結像され
　
　ウ「【００１８】次に、
主レンズ群２１と補正レンズ群２２の好ましい焦点距離比についての構成例を、表３ないし表９、および図１２ないし図１８について説明する
これらはいずれも主レンズ群２１が移動し、補正レンズ群２２が受光面１２に対して固定されたもので、主レンズ群２１は複合レンズ、補正レンズ群２２は単レンズからなり、かつ主レンズ群２１および補正レンズ群２２はともに正の焦点距離を持つ
【００１９】なお以下の各表においては、
r
i
; 第ｉ面の曲率半径
d
i
; 第ｉ面と第ｉ＋１面の間隔
n
i
; 第ｉレンズのｅ線の屈折率
ν
i
;第ｉレンズのアッベ数
f;結像レンズ群２０全体の焦点距離（ｅ線）
Ｌ
A
;被写体面１１から主レンズ群２１迄の距離
Ｌ
B
;補正レンズ群２２から受光面１２迄の距離
である。」
　
　エ「【００２１】
【表４】（図１３（Ａ））
F=4.0
0.112x〜0.168x〜0.224x
f=45.34〜45.95〜46.57
f
A
=50.34
d
11
=1.74〜4.95〜8.16
f
B
=219.90
Ｌ
A
=427.45〜295.97〜230.22
f
B
／f
A
=4.37
Ｌ
B
=29.64（一定）
r
1
　24.789
d
1
　4.00
n
1
　1.80922
ν
1
　39.6
r
2
　57.200
d
2
  0.10
r
3
　14.193
d
3
　4.50
n
2
　1.80401
ν
2
　42.2
r
4
　29.360
d
4
　1.10
n
3
　1.81265
ν
3
　25.4
r
5
　9.367
d
5
　13.01
r
6
　-10.468
d
6
　1.70
n
4
　1.81265
ν
4
　25.4
r
7
　-15.141
d
7
　0.20
r
8
　-24.217
d
8
　2.73
n
5
　1.69979
ν
5
　55.5
r
9
　-13.382
d
9
　0.10
r
10
　163.439
d
10
　1.91
n
6
　1.69979
ν
6
　55.5
r
11
　-163.439
d
11
　変化
r
12
　-92.147
d
12
　2.50
n
7
　1.71615
ν
7
　53.8
r
13
　-58.790
d
13
　28.94
　　　　　　
d
14
　0.70
n
8
　1.51825
ν
8
　64.1
【００２２】
【表５】（図１４（Ａ））
F=4.0
0.112x〜0.168x〜0.224x
f=45.17〜45.81〜46.48
f
A
=50.33
d
11
=3.26〜6.49〜9.72
f
B
=206.07
Ｌ
A
=426.68〜295.93〜230.55
f
B
／f
A
=4.09
Ｌ
B
=28.41（一定）
r
1
　22.666
d
1
　3.50
n
1
　1.80922
ν
1
　39.6
r
2
　51.957
d
2
　0.10
r
3
　14.695
d
3
　4.00
n
2
　1.80401
ν
2
　42.2
r
4
　30.303
d
4
　1.80
n
3
　1.81265
ν
3
　25.4
r
5
　9.228
d
5
　11.87
r
6
　-9.817
d
6
　1.70
n
4
　1.81265
ν
4
　25.4
r
7
　-13.976
d
7
　0.20
r
8
　-29.496
d
8
　3.00
n
5
　1.65425
ν
5
　58.5
r
9
　-13.291
d
9
　0.10
r
10
　248.113
d
10
　2.59
n
6
　1.69979
ν
6
　55.5
r
11
　-248.113
d
11
　変化
r
12
　-109.358
d
12
　2.50
n
7
　1.71615
ν
7
　53.8
r
13
　-63.411
d
13
　27.71
　　　　　　　
d
14
　0.70
n
8
　1.51825
ν
8
　64.1
【００２３】
【表６】（図１５（Ａ））
F=4.0
0.112x〜0.168x〜0.224x
f=45.74〜46.42〜47.12
f
A
=51.06
d
10
=1.66〜4.95〜8.24
f
B
=200.34
Ｌ
A
=427.64〜295.41〜229.29
f
B
／f
A
=3.92
Ｌ
B
=28.22 （一定）
r
1
　27.612
d
1
　4.00
n
1
　1.80922
ν
1
　39.6
r
2
　71.393
d
2
　0.10
r
3
　15.384
d
3
　5.00
n
2
　1.80401
ν
2
　42.2
r
4
　37.820
d
4
　1.10
n
3
　1.81265
ν
3
　25.4
r
5
　10.489
d
5
　14.27
r
6
　-11.442
d
6
　1.70
n
4
　1.79192
ν
4
　25.7
r
7
　-20.434
d
7
　2.90
n
5
　1.79013
ν
5
　44.2
r
8
　-13.752
d
8
　0.10
r
9
　219.085
d
9
　3.00
n
6
　1.69979
ν
6
　55.5
r
10
　-52.528
d
10
　変化
r
11
　-106.412
d
11
　2.50
n
7
　1.71615
ν
7
　53.8
r
12
　-61.696
d
12
　27.52
　　　　　　　
d
13
　0.70
n
8
　1.51825
ν
8
　64.1
【００２４】
【表７】（図１６（Ａ））
F=3.5
0.112x〜0.168x〜0.224x
f=45.93〜46.70〜47.49
f
A
=51.79
d
10
=1.58〜4.96〜8.34
f
B
=181.98
Ｌ
A
=427.67〜295.33〜229.16
f
B
／f
A
=3.51
Ｌ
B
=27.39 （一定）
r
1
　28.374
d
1
　4.00
n
1
　1.80811
ν
1
　46.6
r
2
　73.811
d
2
　0.10
r
3
　14.752
d
3
　5.00
n
2
　1.80401
ν
2
　42.2
r
4
　26.370
d
4
　1.10
n
3
　1.81265
ν
3
　25.4
r
5
　10.124
d
5
　15.18
r
6
　-11.461
d
6
　1.70
n
4
　1.79192
ν
4
　25.7
r
7
　-21.598
d
7
　2.90
n
5
　1.79013
ν
5
　44.2
r
8
　-13.750
d
8
　0.10
r
9
　224.867
d
9
　3.00
n
6
　1.68082
ν
6
　55.3
r
10
　-51.182
d
10
　変化
r
11
　-131.944
d
11
 2.50
n
7
　1.69979
ν
7
　55.5
r
12
　-65.309
d
12
　26.69
　　　　　　　
d
13
　0.70
n
8
　1.51825
ν
8
　64.1
　
　オ　図１３（Ａ）、図１４（Ａ）、図１５（Ａ）及び図１６（Ａ）は、それぞれ次のとおりである。
【図１３】（Ａ）
　
【図１４】（Ａ）
　
【図１５】（Ａ）
　
【図１６】（Ａ）
　
（２）そうすると、従来、被写体情報を変倍して受光面に与える変倍光学装置のうち、特に物像間距離を変化させて変倍を行う変倍光学装置（例えば、変倍機能を持つ複写機や、イメージスキャナ、ファクシミリ、デジタル複写機等の受光素子としてＣＣＤ等の光電変換素子を用いた装置に用いられる変倍光学装置）は、物像間距離を一定に保持するズームレンズ系によるものと、固定焦点の結像レンズを用い、物像間距離および結像レンズ位置を変化させて変倍を行なうものとに大別され、前者は高精度の変倍が可能でしかも物像間距離が変化しないという利点があるが、ズームレンズが大型化するため、コスト、スペースの点から、小型化、低コスト化を要求される装置への適用は難しく、これに対し後者は、固定焦点レンズによるため安価であるが、一般的に固定焦点レンズは特定の倍率位置において最良の像が生じるように設計されるため、変倍を行うために被写体面および像面に対して相対移動させると結像性能が大きく劣化するという問題点があったところ、引用文献１には、物像間距離を変化させて変倍を行なう小型で安価なタイプの変倍光学装置において、全変倍範囲で結像性能の劣化の少ない装置を得ること、及び、結像性能を向上させるために、構造が複雑化しない変倍光学装置を得ることを目的とし、次の構成を備える発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
「被写体面と、受光面と、被写体面におかれた被写体の像を受光面に結像する結像レンズとを備え、変倍時には、被写体面と受光面との間の光学的距離を変化させる変倍光学装置であり、
　結像レンズを相対移動できる主レンズ群と補正レンズ群から構成し、前記主レンズ群と補正レンズ群のいずれか一方と受光面を移動ベースに固定するとともに、前記主レンズ群と補正レンズ群の他方を光軸方向に移動可能に支持し、
　さらに、前記移動ベースを変倍時に光軸方向に移動させて、固定して設けた被写体面との距離を変化させる変倍手段と、この移動ベースの移動位置に応じ、移動ベース上で可動の主レンズ群又は補正レンズ群を所定の位置に移動させる補正手段とを備えた変倍光学装置において、
  被写体面と受光面との間に配置された結像レンズ群が、ともに正のパワーを持つ主レンズ群（前群）２１と補正レンズ群（後群）２２とからなり、
　前記補正レンズ群２２が受光面に対して固定した関係にあり、すなわち、補正レンズ群２２と受光面との距離は常に一定であり、
　変倍は、前記結像レンズ群の主レンズ群２１を補正レンズ群２２に対して所定の関係で移動させるとともに、被写体面を受光面に対して所定の関係で移動させることで行い、被写体面から結像レンズ群の主レンズ群２１までの距離は、変倍率に応じて変化し、変倍率が大きくなるにつれて被写体面と受光面が接近し、同時に主レンズ群２１が補正レンズ群２２から離れる方向に移動して、受光面上に被写体面に置く被写体の像が結像され、
　主レンズ群２１と補正レンズ群２２の好ましい焦点距離比についての構成例が次のとおりである、変倍光学装置。
構成例：
　主レンズ群２１は複合レンズ、補正レンズ群２２は単レンズからなり、かつ主レンズ群２１及び補正レンズ群２２はともに正の焦点距離を持ち、
　第ｉ面の曲率半径ri、第ｉ面と第ｉ＋１面の間隔di、第ｉレンズのｅ線の屈折率ni、第ｉレンズのアッベ数νi、結像レンズ群全体の焦点距離（ｅ線）f、被写体面から主レンズ群２１までの距離ＬA、補正レンズ群２２から受光面までの距離ＬB は、それぞれ次表４、５、６又は７のとおり。
（表４）
F=4.0　　0.112x〜0.168x〜0.224x
f=45.34〜45.95〜46.57　　fA=50.34
d11=1.74〜4.95〜8.16　　　fB=219.90
ＬA=427.45〜295.97〜230.22　　fB／fA=4.37
ＬB=29.64（一定）
r1　24.789　　d1　4.00　　n1　1.80922　　ν1　39.6
r2　57.200　　d2  0.10
r3　14.193　　d3　4.50　　n2　1.80401　　ν2　42.2
r4　29.360　　d4　1.10　　n3　1.81265　　ν3　25.4
r5　9.367　　d5　13.01
r6　-10.468　　d6　1.70　　n4　1.81265　　ν4　25.4
r7　-15.141　　d7　0.20
r8　-24.217　　d8　2.73　　n5　1.69979　　ν5　55.5
r9　-13.382　　d9　0.10
r10　163.439　　d10　1.91　　n6　1.69979　　ν6　55.5
r11　-163.439　d11　変化
r12　-92.147　　d12　2.50　　n7　1.71615　ν7　53.8
r13　-58.790　d13　28.94
　　　　　　d14　0.70　　n8　1.51825　　ν8　64.1
　
（表５）
F=4.0　　0.112x〜0.168x〜0.224x
f=45.17〜45.81〜46.48　　fA=50.33
d11=3.26〜6.49〜9.72　　　fB=206.07
ＬA=426.68〜295.93〜230.55　　fB／fA=4.09
ＬB=28.41（一定）
r1　22.666　　d1　3.50　　n1　1.80922　　ν1　39.6
r2　51.957　　d2　0.10
r3　14.695　　d3　4.00　　n2　1.80401　　ν2　42.2
r4　30.303　　d4　1.80　　n3　1.81265　　ν3　25.4
r5　9.228　　d5　11.87
r6　-9.817　　d6　1.70　　n4　1.81265　　ν4　25.4
r7　-13.976　　d7　0.20
r8　-29.496　　d8　3.00　　n5　1.65425　ν5　58.5
r9　-13.291　　d9　0.10
r10　248.113　　d10　2.59　　n6　1.69979　ν6　55.5
r11　-248.113　　d11　変化
r12　-109.358　　d12　2.50　　n7　1.71615　ν7　53.8
r13　-63.411　　d13　27.71
　　　　　　　d14　0.70　　n8　1.51825　　ν8　64.1
　
（表６）
F=4.0　　0.112x〜0.168x〜0.224x
f=45.74〜46.42〜47.12　　fA=51.06
d10=1.66〜4.95〜8.24　　　fB=200.34
ＬA=427.64〜295.41〜229.29　　fB／fA=3.92
ＬB=28.22 （一定）
r1　27.612　　d1　4.00　　n1　1.80922　　ν1　39.6
r2　71.393　　d2　0.10
r3　15.384　　d3　5.00　　n2　1.80401　　ν2　42.2
r4　37.820　　d4　1.10　　n3　1.81265　　ν3　25.4
r5　10.489　　d5　14.27
r6　-11.442　　d6　1.70　　n4　1.79192　　ν4　25.7
r7　-20.434　　d7　2.90　　n5　1.79013　　ν5　44.2
r8　-13.752　　d8　0.10
r9　219.085　　d9　3.00　　n6　1.69979　　ν6　55.5
r10　-52.528　　d10　変化
r11　-106.412　　d11　2.50　　n7　1.71615　　ν7　53.8
r12　-61.696　　d12　27.52
　　　　　　　d13　0.70　　n8　1.51825　　ν8　64.1
　
（表７）
F=3.5　　0.112x〜0.168x〜0.224x
f=45.93〜46.70〜47.49　　fA=51.79
d10=1.58〜4.96〜8.34　　fB=181.98
ＬA=427.67〜295.33〜229.16　　fB／fA=3.51
ＬB=27.39 （一定）
r1　28.374　　d1　4.00　　n1　1.80811　　ν1　46.6
r2　73.811　　d2　0.10
r3　14.752　　d3　5.00　　n2　1.80401　　ν2　42.2
r4　26.370　　d4　1.10　　n3　1.81265　　ν3　25.4
r5　10.124　　d5　15.18
r6　-11.461　　d6　1.70　　n4　1.79192　　ν4　25.7
r7　-21.598　　d7　2.90　　n5　1.79013　　ν5　44.2
r8　-13.750　　d8　0.10
r9　224.867　　d9　3.00　　n6　1.68082　　ν6　55.3
r10　-51.182　　d10　変化
r11　-131.944　　d11 2.50　　n7　1.69979　　ν7　55.5
r12　-65.309　　d12　26.69
　　　　　　　d13　0.70　　n8　1.51825　　ν8　64.1」
　
（３）引用発明の変倍光学装置は、被写体面と受光面との間に配置された結像レンズ群が、ともに正のパワーを持つ主レンズ群（前群）２１と補正レンズ群（後群）２２とからなり、前記補正レンズ群２２が受光面に対して固定した関係にあり、すなわち、補正レンズ群２２と受光面との距離は常に一定であり、変倍は、前記結像レンズ群の主レンズ群２１を補正レンズ群２２に対して所定の関係で移動させるとともに、被写体面を受光面に対して所定の関係で移動させることで行い、被写体面から結像レンズ群の主レンズ群２１までの距離は、変倍率に応じて変化し、変倍率が大きくなるにつれて被写体面と受光面が接近し、同時に主レンズ群２１が補正レンズ群２２から離れる方向に移動して、受光面上に被写体面に置く被写体の像が結像される。また、いずれの構成例でも、主レンズ群２１は複合レンズ、補正レンズ群２２は単レンズからなるものである。したがって、変倍を行う際に、他のレンズに対して光軸方向に離反・接近する最も外側のレンズは補正レンズ群２２に属するレンズ（構成例では単レンズ）であり、当該最も外側のレンズに離反・接近される他のレンズは、主レンズ群２１に属するレンズである。
　そうすると、引用発明は、
同じレンズ群に属する２枚のレンズのうちの
当該レンズ群に属する
　
２　対比
　そこで、本願発明と引用発明とを対比すると、両者は「物面と像面との間に複数のレンズ群が配置され、物面側の物体を変倍して像面側に投影する投影光学系」の点で一致している。
　他方、本願発明と引用発明は、次の点で相違する。
相違点：
　「物面側に臨むレンズ群又は像面側に臨むレンズ群」が、
　本願発明では、「少なくとも２枚の正の屈折力を有するレンズから構成され、該２枚のレンズのうちの１枚は最も外側に配置され、残りの１枚は条件式（１）を満たしかつその最も外側に配置されたレンズの内側に隣接して配置され、最も外側のレンズを残りの１枚のレンズに対して光軸方向に離反・接近させることにより変倍を行う」のに対し、
　引用発明では、物体側に臨むレンズ群（主レンズ群２１）を像面側に臨むレンズ群（補正レンズ群２２）に対して光軸方向に離反・接近させることにより変倍を行う点。
　
３　判断
　上記相違点について検討する。
（１）一般に、レンズ系において、あるレンズ群が他のレンズ群に対して光軸方向に離反・接近することにより変倍を行っていたものを、一つのレンズ群の中のあるレンズが同じレンズ群の中の他のレンズに対して光軸方向に離反・接近することにより変倍を行うように変更することは、レンズ設計を一からやり直すことに等しいから、当業者がそのような変更をなそうとするためには、何らかの示唆を与えられることが必要である。
　しかしながら、引用文献１にも、他の引用文献にも、あるレンズ群が他のレンズ群に対して光軸方向に離反・接近することにより変倍を行っていたものを、一つのレンズ群の中のあるレンズが同じレンズ群の中の他のレンズに対して光軸方向に離反・接近することにより変倍を行うように変更することを当業者に促すような記載や示唆は存在しないから、当業者が引用発明においてそのような変更をなそうとする動機づけがない。
　
（２）また、引用発明において、変倍率が大きくなるにつれて主レンズ群２１と補正レンズ群２２の間の距離がどのように変化するかをみると、表４の構成例の場合でd11=1.74〜4.95〜8.16と変化し、表５の構成例の場合でd11=3.26〜6.49〜9.72、表６の構成例の場合でd10=1.66〜4.95〜8.24、表７の構成例の場合でd10=1.58〜4.96〜8.34と変化する。このように、引用発明では、変倍時に主レンズ群２１と補正レンズ群２２との間の距離が大きく変化するのであるから、主レンズ群２１と補正レンズ群２２を合わせたものを一つのレンズ群とみなすことも無理である。
　
（３）本願の請求項１に係る発明では、物面と像面との間に複数のレンズ群を設けて構成した投影光学系において、
物面側又は像面側に臨むレンズ群を少なくとも２枚の正の屈折力を有するレンズで構成し、
そのレンズ群において
　
（４）上記（１）ないし（３）からみて、引用発明において、相違点に係る本願発明の構成となすことは、当業者が容易に想到し得ることではない。
　したがって、本願発明は、当業者が引用発明に基いて容易に発明をすることができたとはいえない。
　
（５）本願の請求項２ないし４に係る発明は、本願発明をさらに限定したものであるので、本願発明と同様に、当業者が引用発明に基づいて容易に発明をすることができたとはいえない。
　
４　引用文献２ないし５について
　原査定の、引用文献２ないし５の記載事項についても検討しておく。
（１）引用文献３（特に、表１及び第２図参照。）、引用文献４（特に、数値実施例５及び図５参照。）及び引用文献５（特に、数値実施例１及び図１参照。）には、物体側に臨むレンズ群（引用文献３ではＧ１、引用文献４ではＬ３、引用文献５ではＬ４）と、その像面側に隣接するレンズ群（引用文献３ではＧ２、引用文献４ではＬ２２、引用文献５ではＬ３）とが光軸方向に離反・接近することにより変倍を行うものが記載されており、引用文献３ないし５にそれぞれ記載された投影光学系は、引用発明と同様に、物面側又は像面側に臨み少なくとも２枚のレンズを有するレンズ群において、最も外側のレンズを残りの１枚のレンズに対して光軸方向に離反・接近させることにより変倍を行う投影光学系ではない。
　したがって、引用発明と同様の理由により、本願発明は、当業者が引用文献３、４又は５に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたとはいえない。
　
（２）引用文献２には、１μｍ未満の線幅からなる半導体素子の回路パターンを投影するための（【０００２】）、縮小側および拡大側のいずれにおいても主光線がレンズ光軸に対して平行な両側テレセントリック光学系（【０００１】）の発明が記載されており、当該両側テレセントリック光学系は、縮小側から拡大側に向けて順に、第１群、第２群、絞り、第３群、第４群を備え、第１群は２枚以上の正レンズを有するものであり、第２群は、前記縮小側から順に配置された、絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズとからなるものであり、第３群は、縮小側から順に配置された、絞り側とは反対側に凸面を向けた１枚の正レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズとからなるものであり、第４群は、正のパワーを持つものであり、最も縮小側に配置された１枚以上の正レンズからなるレンズ部と、最も拡大側に配置された２枚以上の正レンズからなるレンズ部と、縮小側に配置された前記レンズ部と拡大側に配置された前記レンズ部との間に配置された１枚以上の負レンズとを有するものである（【０００８】）。
　そして、引用文献２の表２及び図３には、実施例２の数値データ及び断面図が、表４及び図５には実施例４の数値データ及び断面図が、表５及び図６には実施例５の数値データ及び断面図が、それぞれ記載されている。上記各実施例において、物面側に臨むレンズ群Ｇ４は、２枚の正の屈折力を有するレンズ（実施例２及び４ではＬ１２及びＬ１３、実施例５ではＬ１３及びＬ１４）から構成され、該２枚のレンズのうちの１枚（実施例２及び４ではＬ１３、実施例５ではＬ１４）は最も外側に配置され、残りの１枚（実施例２及び４ではＬ１２、実施例５ではＬ１３）は０≧ｑ＞−０．７２を満たしかつその最も外側に配置されたレンズ（実施例２及び４ではＬ１３、実施例５ではＬ１４）の内側に隣接して配置されている。
　しかしながら、引用文献２には、変倍を行う構成に関しては何ら記載されておらず、したがって、上記各実施例の両側テレセントリック光学系（以下、これを「引用文献２に記載された発明」という。）は固定焦点系であると認められる。
　そして、引用文献２の記載及び引用文献１、３ないし５の記載を参酌しても、当業者に対して引用文献２に記載された発明に変倍を行う構成を適用することを促す記載や示唆は存在しないから、当業者が引用文献２に記載された発明においてそのような適用をなそうとする動機づけがない。
　また、仮に、引用文献２に記載された発明において、引用文献１、３の構成を適用して、最も外側に配置されたレンズをその内側に配置されたレンズに対して光軸方向に離反・接近させることにより変倍を行う構成に変更することが、当業者であれば容易になし得ることであるとしても、そのような変更を行う場合には、レンズ設計を見直さなければならないことは明らかであるから、見直しを行った後の各実施例の数値データが表２、４及び５のままであるか否かは不明であり、また、最も外側に配置されたレンズの内側に配置されたレンズ（実施例２及び４ではＬ１２、実施例５ではレンズＬ１３）が、依然として０≧ｑ＞−０．７２を満たすか否かは不明であるといわざるを得ない。
　以上のことからみて、本願発明は、当業者が引用文献２に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたとはいえない。
　
第５　むすび
　以上のとおり、本願の請求項１ないし４に係る発明は、いずれも、当業者が引用発明に基づいて容易に発明をすることができたものではないから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。