【事件の表示】
　特願２０１５−１３４９６７「光干渉計」拒絶査定不服審判事件〔、請求項の数（５）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は、平成２７年７月６日を出願日とする出願であって、同年７月２８日付けで拒絶の理由が通知され、これに対して、同年８月２５日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同年９月８日付けで拒絶査定（以下、「原査定」という。）がなされた。
　これに対して、同年１２月１５日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、当審において平成２８年７月６日付けで拒絶の理由（以下、（当審拒絶理由」という。）が通知され、これに対して、同年８月２９日に意見書及び手続補正書が提出された。
第２　本願発明
　本願の請求項１〜５に係る発明は、平成２８年８月２９日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項により特定されるものと認められるところ、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は以下のとおりである。
「　【請求項１】
　ＦＴＩＲにおいて用いられる光干渉計であって、
　ＭＥＭＳにより構成された分岐合波部，第１光学系，第２光学系および駆動部を備え、
　前記分岐合波部は、
　　透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面，入射面，出射面および合波面を有し、
　　前記分岐面と前記合波面とが別個のものであり、
　　前記分岐面と前記入射面とが共通の第１平面上にあり、
　　前記出射面と前記合波面とが共通の第２平面上にあり、
　　前記第１平面と前記第２平面とが互いに平行であり、
　　前記分岐面において、外部から入射した入射光の一部を反射させて第１分岐光として出射させるとともに、残部を第２分岐光として内部へ透過させ、
　　前記入射面において、前記分岐面から前記第１光学系を経て入射した前記第１分岐光を内部へ透過させ、
　　前記出射面において、前記分岐面から内部を経て到達した前記第２分岐光を外部へ出射させ、
　　前記合波面において、前記入射面から内部を経て到達した前記第１分岐光を外部へ出射させるとともに、前記出射面から前記第２光学系を経て入射した前記第２分岐光を反射させて、前記第１分岐光と前記第２分岐光とを合波して合波光として外部へ出射させ、
　　前記分岐面に入射する前記入射光の入射角およびビーム径ならびに前記透明部材の厚み及び屈折率が、前記出射面で反射した前記第２分岐光が前記分岐面において前記第２分岐光と重ならないように設定され、
　前記第１光学系は、前記分岐面から出射された前記第１分岐光を１個または複数個のミラーにより反射させて前記入射面に入射させ、
　前記第２光学系は、前記出射面から出射された前記第２分岐光を１個または複数個のミラーにより反射させて前記合波面に入射させ、
　前記駆動部は、前記第１光学系または前記第２光学系の何れかのミラーを移動させて、前記分岐面から前記合波面までの前記第１分岐光および前記第２分岐光それぞれの光路長の差を調整し、
　前記第１光学系のミラーの個数と前記第２光学系のミラーの個数との和が偶数であり、
　前記入射光のビーム断面中の各位置の光線を前記分岐面において分岐した後に前記合波面において前記合波光のビーム断面中の共通位置で合波する、
　光干渉計。」
第３　原査定の理由について
１　原査定の理由の概要
　本願発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
引用文献１：特開昭６３−２４１３０６号公報
引用文献２：国際公開第２０１５／０２５６９１号
引用文献３：特表２０１３−５０４０６６号公報
　引用文献１には、分光計に用いる干渉計の発明が記載されており、平行平面板２５と、固定コーナキューブ反射鏡２３と、可動コーナキューブ反射鏡２４を有すること、入射光線は、平行平面板２５のおもて面２６上で一部が反射され、平行平面板２５の裏面２７上で一部が透過すること、平行平面板２５のおもて面２６上Ａ０で反射した光は固定コーナキューブ反射鏡２３で反射され、平行平面板２５の裏面２７のＢ０を透過した光と、平行平面板２５の裏面２７上のＤ０で一致すること（第３頁右上欄第９行−第６頁左下欄第２行、第１図−第４図、第１０図等を参照）、平行平面板をシリコン等の半導体材料で形成することが記載されており（第７頁左上欄第１３行−同頁右上欄第８行を参照）、引用文献１の「平行平面板２５」、「固定コーナキューブ反射鏡２３」、「コーナキューブ反射鏡２４」及び「可動すること」は、それぞれ、請求項１に係る発明の「分岐合波部」、「第１光学系」、「第２光学系」、「駆動部」に相当すると認められるとともに、引用文献１の「平行平面板２５のおもて面２６」は、引用文献１に係る発明の「分岐面」と「入射面」に、引用文献１の「平行平面板２５の裏面２７」は、請求項１に係る発明の「出射面」と「合波面」に、それぞれ、相当すると認められる。
　また、引用文献１の、固定コーナキューブ反射鏡２３と可動コーナキューブ反射鏡２４のミラーの個数の和は偶数であると認められる。
　引用文献１には、平行光束が入射した場合の可干渉の問題が記載されており（第５頁左下欄第１２行−第６頁左上欄第９行、図２、図３を参照）、当該可干渉性の対策に関して、引用文献１の第５頁右下欄第１５行−第６頁左上欄第９行及び図３には、「入射光がレーザ光の場合、波面Ｗ０はほとんど全面で可干渉であり、Ｗ０とＷ１が重なるところがあるとそこで干渉を起こすが、通常の光源の場合には横方向の可干渉性が小さく、研摩した凹面鏡でコリメートした場合、中赤外光に対して±５００Ｍ程度のずれで十分に干渉性を失う。可視光に対してはもつと少なくでよい。また最近はアルミ面の切削によって面粗さ３０Ｍ程度の非球面鏡を作ることができるが、この場合には±１００Ｍ程度のずれで十分干渉性がなくなる。逆に適当な面粗さのコリメート反射鏡３を使うことで、横方向の干渉性を制限することができるし、また平行平面板６の厚さを厚くすることによっても、また光線２１の入射角θを大きくすることによっても制限することができる。
　以上のことから、引用文献１には「横方向の干渉性を制限するために平行平面板６の厚さを厚くすること」が記載されていると認められる。
　そして、引用文献１の「Ｅ０Ｅ１Ｅ２を独立した光として扱うこと」の記載から、引用文献１の「横方向の干渉性を制限する」ことは、「ファブリペロ効果が現れない」ことを意味すると認められるから、引用文献１の「横方向の干渉性を制限するために平行平面板６の厚さを厚くすること」は、請求項１に係る発明の「前記出射面で反射した前記第２分岐光が前記分岐面において前記第２分岐光と重ならない厚みを有」することに相当すると認められる。
　してみれば、本願発明は、「ＭＥＭＳにより構成された分岐合波部，第１光学系，第２光学系および駆動部を備え」る点で、引用文献１に記載された発明と相違する。
　上記相違点について、干渉計を、シリコン等にＭＥＭＳ技術を用いて形成することは、例えば引用文献２及び３に開示されているように、本願出願時において当業者の周知技術であるから（引用文献２：［００４８］−［００５８］、図６−図８等を参照。引用文献３：【００２６】−【００４４】、図３Ａ−図６Ｂ等を参照）、平行平面板をシリコンで形成する引用文献１に、周知技術であるＭＥＭＳ技術を適用することは、当業者ならば適宜為し得ることと認められる。
　よって、本願発明は、引用文献１〜３に記載された発明に基づいて、当業者であれば容易になし得たものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
２　原査定の理由の判断
（１）引用文献の記載事項及び引用文献に記載された発明
ア　引用文献１の記載事項
　引用文献１には、次の事項が記載されている（下線は、参考のために当審が付与した。）。
（ア）「［産業上の利用分野］
　この発明は
ビームスプリッタによって入射光を２つに分割し、分割された２つの光の間に光路差を与えて再びビームスプリッタ上で干渉させる２光束干渉計
干渉分光計など
に使われている
　［従来技術］
　この種の干渉計を応用した装置として、２光束干渉分光計を第７図に示す。
　・・・・・・（中略）
　第７図の２光束干渉分光計では、分光領域の波長の光はすべて等しい光路差で干渉することが必要であり、補正板８が必ず挿入される。
　
推進装置１１
動かすための
光路差
　所定の光路差で干渉した光は、照射鏡１４によって試料１５に照射され、試料１５の分光特性に従って種々の波長の光が吸収され、集光鏡１６によりて集められる。さらに検出器１７によって検出器１８に集光され、電気出力としてコンピュータ１３に入力される。コンピュータ１３は前述したレーザー干渉測長器により測定された光路差の関数として検出器出力をデータとして蓄え、所定光路差分データを蓄積した後、
フーリエ変換によって分光特性を求める
（イ）「［問題点を解決するための手段］
　この発明によれば、
両面に光半透面を有する平行平面板からなるビームスブリッタと、このスプリッタの両面よりそれぞれ所定距離だけ離して配置された２個の逆反射器とから干渉計を構成
（ウ）「まず、本発明の実施例を示す前に、逆反射器の構成について述べる。
逆反射器
コーナキューブリフレフタ
互いに垂直な３つの平面鏡からできでい
（エ）「第２図に本発明の実施例による干渉計を示す。
固定コーナキューブ反射鏡
と可動コーナキューブ反射鏡
ゲルマニウム（Ｇｅ）でできた平行平面板
　すなわち反射、屈折の法則から反射光線２８、屈折光線Ａ０Ｂ０、点Ａ０を通るおもて面２６の垂線３２の３本の直線は同一平面上にあり（この面をＳ１とする）、また一方で光線３０、屈折光Ｃ０Ｄ０点Ｃ０を通るおもて面２６の垂線３３の３本の直線も同一平面上にある。」（第３頁左下欄第１６行〜第４頁左上欄第６行）
（オ）「第７図に示した２光束干渉分光計に本発明による干渉計を応用した実施例を第１図に示す。」（第６頁左下欄第３行〜第４行）
（カ）　第１図には、以下の図面が示されている。
（キ）　第２図には、以下の図面が示されている。
イ　引用文献１に記載された発明の認定
（ア）　引用文献１の記載事項を整理する。
　上記ア（ア）には、「２光束干渉計」の［従来技術］として、「第７図」に示されたものであること、「可動平面鏡９を動かすため」に「推進装置１１」を用いること、及び、当該「推進装置１１」で「光路差」を調整することが記載されており、上記ア（オ）には、「第７図に示した２光束干渉分光計に本発明による干渉計を応用した実施例を第１図に示す。」と記載されていることから、「２光束干渉計」の［実施例］として示された上記ア（カ）においても、「可動コーナキューブ反射鏡２４」に接続された「１１」で示されたものは、［従来技術］と同様に、「
可動コーナキューブ反射鏡２４を動かし、光路差を調整するための推進装置１１
　また、上記ア（ア）には、「２光束干渉計」の［従来技術］として、「フーリエ変換によって分光特性を求める」と記載されていることから、［実施例］として示された上記ア（カ）の「２光束干渉計」においても、同様に「
フーリエ変換によって分光特性を求める
　そして、上記ア（ウ）に記載された「コーナキューブリフレクタ」が、上記ア（エ）に記載された「コーナキューブ反射鏡」を説明したものであることは明らかである。
　さらに、上記（１）ア（エ）の記載及び上記（１）ア（キ）の図面より、引用発明は、「
平行平面板
の
おもて面
の
点Ａ
０
で、
入射光線
が反射した反射光と屈折した透過光に分岐され、
裏面
の
点Ｂ
０
で、
点Ａ
０
からの屈折した透過光が出射し、
おもて面
の「点Ｃ
０
で、
点Ａ
０
から
固定コーナーキューブ反射鏡
を経た反射光が入射し、その後屈折して透過し、
裏面
の
点Ｄ
０
で、
点Ｂ
０
を出射し、
可動コーナーキューブ反射鏡
を経た光が反射するとともに、
点Ｃ
０
に入射した後に屈折して透過した光が出射する
（イ）　引用文献１の上記ア（ア）〜（キ）の記載、及び、上記（ア）で整理した点を総合すると、引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　ここで、「コーナキューブリフレクタ」と「コーナキューブ反射鏡」は同じ意味であるから、「コーナキューブ反射鏡」に記載を統一した。
「干渉分光計などに使われている、ビームスプリッタによって入射光を２つに分割し、分割された２つの光の間に光路差を与えて再びビームスプリッタ上で干渉させる２光束干渉計であって、
　フーリエ変換によって分光特性を求めるものであり、
　両面に光半透面を有する平行平面板からなるビームスブリッタと、このスプリッタの両面よりそれぞれ所定距離だけ離して配置された２個の逆反射器とから干渉計を構成し、逆反射器は、互いに垂直な３つの平面鏡からできているコーナキューブ反射鏡であり、
　固定コーナキューブ反射鏡と、可動コーナキューブ反射鏡と、ゲルマニウム（Ｇｅ）でできた平行平面板と、可動コーナキューブ反射鏡を動かし、光路差を調整するための推進装置とを備え、
　平行平面板のおもて面の点Ａ０で、入射光線が反射した反射光と屈折した透過光に分岐され、裏面の点Ｂ０で、点Ａ０からの屈折した透過光が出射し、おもて面の点Ｃ０で、点Ａ０から固定コーナーキューブ反射鏡を経た反射光が入射し、その後屈折して透過し、裏面の点Ｄ０で、点Ｂ０を出射し、可動コーナーキューブ反射鏡を経た光が反射するとともに、点Ｃ０に入射した後に屈折して透過した光が出射する、
　２光束干渉計。」
ウ　引用文献２の記載事項
　引用文献２には、次の事項が記載されている。
（ア）「[0001]　本発明の一側面は、ＭＥＭＳ技術を用いた光干渉計を製造する方法に関する。」
（イ）「[0027]　以上のような光干渉計１においては、光干渉計１に入射した光Ｌ１は、偏向ミラー１６の側面１６ａによって９０°偏向されてビームスプリッタ１２の側面１２ａに入射する。側面１２ａに入射した光Ｌ１の一部の光Ｌ２は側面１２ａによって反射されて側面１５ａから固定ミラー１５に入射し、側面１５ｂによって反射される。側面１５ｂによって反射された光Ｌ３は、再びビームスプリッタ１２の側面１２ａに入射する。
[0028]　一方、側面１２ａに入射した光Ｌ１の残部の光Ｌ４は、側面１２ａを透過して側面１２ｂから出射され、可動ミラー１４の側面１４ａによって反射される。側面１４ａによって反射された光Ｌ５は、再び側面１２ｂに入射して側面１２ａに至る。側面１４ａによって反射されて側面１２ａに至る光Ｌ５は、固定ミラー１５によって反射されて側面１２ａに入射する光Ｌ３と合波され、干渉光Ｌ６として側面１２ｂから出射される。側面１２ｂから出射された干渉光Ｌ６は、偏向ミラー１７の側面１７ａによって主面１０ｓに直交する方向に９０°偏向され、光干渉計１の外部に出力される。」
（ウ）「[0048]　ここで、ＭＥＭＳ技術を用いた光干渉計等の課題に関する本発明者の知見について説明する。ＭＥＭＳ技術は、半導体フォトリソグラフィ技術を用いた高精度アライメント技術及び高精度構造形成技術に基づいており、光を波として処理するような光干渉計や回折格子等の製造技術として有用である。特に、シリコン基板を用いたＭＥＭＳ加工は、多くの利点を有している。利点の一例としては、材料自体が低コストであること、弾性に優れた材料であるため機械特性がよく、信頼性の高いセンサやアクチュエータを製造可能であること、材料の結晶異方性を利用した斜め面形成やボッシュプロセスに代用されるような高アスペクト比のトレンチを形成可能な技術が開発されていること等が挙げられる。
[0049]　このため、ＭＥＭＳ技術は、加速度センサ、圧力センサ、プロジェクタの画素ミラー（ＤＭＤ等）、及び、ＦＴＩＲ（Fourier　Transform　Infrared　Spectrometer）分光器の光干渉計等の製造に利用し得る。特に、ＭＥＭＳ技術の光干渉計への応用は幅広く、ＦＴＩＲだけでなく、ＯＣＴ（Optical　Coherent　Tomography）や、膜厚測定や、表面粗さ測定等に応用することにより、それらの測定機器の小型化及び低コスト化を実現可能であると考えられる。」
エ　引用文献３の記載事項
　引用文献３には、次の事項が記載されている。
（ア）「【０００１】
　この発明は概して分光学および干渉学に関し、特に光学的分光計（スペクトロメータ）におけるマイクロ電子機械システム（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）の使用に関する。」
（イ）「【００２６】
　図３Ａに示す例示的な実施例では、ミラーＭ１はＳＯＩ静電ＭＥＭＳアクチュエータ７０を使って可動であり、図３ＢではミラーＭ２が静電ＭＥＭＳアクチュエータ７０を使用して可動である。たとえば、一つの実施例では、静電ＭＥＭＳアクチュエータ７０は、くし形ドライブおよびばねで形成されている。キャパシタンスを有するくし形ドライブに電圧を加えることにより、アクチュエータ７０に電位差が生じて駆動力が発生するとともにばねから復元力が発生し、ビームＬ２またはＬ４を反射させる所望の位置への可動ミラーＭ１またはＭ２の変位を生じさせる。ミラーＭ１またはＭ２のどちらが可動であろうと、ミラー変位の２倍に実質的に等しいＬ３、Ｌ５間の光路長差を達成することができる。
【００２７】
　一つの実施例では、ミラーＭ１およびＭ２が金属ミラーであり、ビームスプリッタを保護するために選択的メタライゼーション（たとえば、メタライゼーションステップ中にシャドウマスクを使用する）が使われる。もう一つの実施例では、小さなフットプリント分光計を得るために非金属の垂直ブラッグ(Bragg)ミラーが使用される。ブラッグミラーは、深反応性イオンエッチング（ＤＲＩＥ）を使って連続的な垂直シリコン/空気界面を生成することにより実現することができる。さらに、ブラッグミラーは、簡単な反射器として作用するために広いスペクトル反射応答を持つように設計することができ、または応用によっては波長選択応答を持つように設計することができる。
【００２８】
　ビームスプリッタとしてシリコン/空気界面を説明したが、半波平面ビームスプリッタを提供するその他の材料を使ってこの発明を実現することができる。たとえば、他の例示的実施例では、微細加工のまたは組み立てられたガラス半平面またはパイレックス（Pyrex）のようなその他の材料をシリコンの代わりに使いより広い動作スペクトルウィンドウをつくることができる。さらに、液体または異なるガスのような他の材料を空気の代わりに使い、半平面ビーム分割界面の反射率を修正する自由度を提供することができる。
【００２９】
　使用する材料のタイプに拘わらず、２つのビームＬ２/Ｌ３およびＬ４/Ｌ５は第１の媒体４０および第２の媒体４５の両方を通るので、構造の寸法は、２つのビームＬ２/Ｌ３およびＬ４/Ｌ５が媒体（シリコン４０）中で等距離を通るよう調整することができる。これにより、干渉計の機能性において材料（すなわちＳｉ）散乱を実質的に完全に補償することができる。等しく２つの光路に位相誤差が導入されるからである。」
（２）本願発明と引用発明との対比・判断
ア　対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
（ア）　引用発明の「干渉分光計」で使われる「２光束干渉計」であって、「フーリエ変換によって分光特性を求める」ものと、本願発明の「ＦＴＩＲにおいて用いられる光干渉計」とは、「フーリエ変換分光法において用いられる光干渉計」という点で共通する。
（イ）　引用発明の「固定コーナキューブ反射鏡」、「可動コーナキューブ反射鏡」、「推進装置」は、本願発明の「第１光学系」、「第２光学系」、「駆動部」にそれぞれ相当する。
（ウ）　引用発明の「入射光を２つに分割」し、「分割された２つの光の間に光路差を与えて」「再びビームスプリッタ上で干渉させる」「ビームスプリッタ」と、本願発明の「ＭＥＭＳにより構成された分岐合波部」は、「分岐合波部」という点で共通する。
（エ）　引用発明の「ビームスプリッタ」を構成する「両面に光半透面を有する平行平面板」は、本願発明の「透明部材」に相当する。
　また、引用発明の「点Ａ０」を含む「おもて面」、「点Ｂ０」を含む「裏面」、「点Ｃ０」を含む「おもて面」、「点Ｄ０」を含む「裏面」が、本願発明の「分岐面」、「出射面」、「入射面」、「合波面」にそれぞれ相当し、引用発明の「点Ａ０」で「入射光線が反射した反射光」、「点Ａ０」で「屈折した透過光」、「点Ｄ０」で「反射」及び「出射」した「点Ｂ０」及び「点Ｃ０」からの２つの光が、本願発明の「第１分岐光」、「第２分岐光」、「合波光」にそれぞれ相当する。
　そうすると、引用発明の「平行平面板のおもて面の点Ａ０で、入射光線が反射した反射光と屈折した透過光に分岐され」ることが、本願発明の「前記分岐面において、外部から入射した入射光の一部を反射させて第１分岐光として出射させるとともに、残部を第２分岐光として内部へ透過させ」ることに相当し、引用発明の「裏面の点Ｂ０で、点Ａ０からの屈折した透過光が出射」することが、本願発明の「前記出射面において、前記分岐面から内部を経て到達した前記第２分岐光を外部へ出射させ」ることに相当し、引用発明の「おもて面の点Ｃ０で、点Ａ０から固定コーナーキューブ反射鏡を経た反射光が入射し、その後屈折して透過」することは、本願発明の「前記入射面において、前記分岐面から前記第１光学系を経て入射した前記第１分岐光を内部へ透過させ」ることに相当し、引用発明の「裏面の点Ｄ０で、点Ｂ０を出射し、可動コーナーキューブ反射鏡を経た光が反射するとともに、点Ｃ０に入射した後に屈折して透過した光が出射する」ことは、本願発明の「前記合波面において、前記入射面から内部を経て到達した前記第１分岐光を外部へ出射させるとともに、前記出射面から前記第２光学系を経て入射した前記第２分岐光を反射させて、前記第１分岐光と前記第２分岐光とを合波して合波光として外部へ出射させ」ることに相当する。
　さらに、上記（１）ア（キ）の図面より、引用発明の「点Ａ０」を含む「おもて面」と「点Ｄ０」を含む「裏面」は、互いに平行な別個の面であり、引用発明の「点Ａ０」を含む「おもて面」と「点Ｃ０」を含む「おもて面」は、共通の平面であり、また、「点Ｂ０」を含む「裏面」と「点Ｄ０」を含む「裏面」も、共通の平面であることが視認される。また、引用発明の「平行平面板」が有する「おもて面」及び「裏面」は、「平行平面板」の内部と外部との間の境界に位置するものであることが明らかである。
　以上のことから、引用発明の上記「平行平面板」からなる「ビームスプリッタ」は、本願発明の「透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面，入射面，出射面および合波面を有し、前記分岐面と前記合波面とが別個のものであり、前記分岐面と前記入射面とが共通の第１平面上にあり、前記出射面と前記合波面とが共通の第２平面上にあり、前記第１平面と前記第２平面とが互いに平行であり、前記分岐面において、外部から入射した入射光の一部を反射させて第１分岐光として出射させるとともに、残部を第２分岐光として内部へ透過させ、前記入射面において、前記分岐面から前記第１光学系を経て入射した前記第１分岐光を内部へ透過させ、前記出射面において、前記分岐面から内部を経て到達した前記第２分岐光を外部へ出射させ、前記合波面において、前記入射面から内部を経て到達した前記第１分岐光を外部へ出射させるとともに、前記出射面から前記第２光学系を経て入射した前記第２分岐光を反射させて、前記第１分岐光と前記第２分岐光とを合波して合波光として外部へ出射させ」る「分岐合波部」に相当するといえる。
（オ）　引用発明の「平行平面板」が所定の厚み及び屈折率を有すること、及び、「入射光線」が所定の入射角を有することは当然であるから、引用発明の「平行平面板」が所定の厚み及び屈折率を有し、「入射光線」が所定の入射角及びビーム径を有することと、本願発明の「前記分岐面に入射する前記入射光の入射角およびビーム径ならびに前記透明部材の厚み及び屈折率が、前記出射面で反射した前記第２分岐光が前記分岐面において前記第２分岐光と重ならないように設定され」ることとは、「前記分岐面に入射する前記入射光の入射角およびビーム径ならびに前記透明部材の厚み及び屈折率を有」する点で共通する。
（カ）　引用発明の「固定コーナキューブ反射鏡」で「点Ａ０」からの光を反射させて「点Ｃ０」に入射させることは、本願発明の「前記第１光学系は、前記分岐面から出射された前記第１分岐光を１個または複数個のミラーにより反射させて前記入射面に入射させ」ることに相当し、引用発明の「可動コーナキューブ反射鏡」で「点Ｂ０」からの光を反射させて「点Ｄ０」に入射させることは、本願発明の「前記第２光学系は、前記出射面から出射された前記第２分岐光を１個または複数個のミラーにより反射させて前記合波面に入射させ」ることに相当する。
（キ）　引用発明の「推進装置」は、「可変コーナキューブ反射鏡」を動かすことで「光路差を調整」するものであるから、本願発明の「前記第１光学系または前記第２光学系の何れかのミラーを移動させて、前記分岐面から前記合波面までの前記第１分岐光および前記第２分岐光それぞれの光路長の差を調整」する「駆動部」に相当するものといえる。
（ク）　引用発明の「固定コーナキューブ反射鏡」及び「可変コーナキューブ反射鏡」は、それぞれ「３つの平面鏡からできている」ことが明らかであって、反射鏡の合計数は６となるから、本願発明の「前記第１光学系のミラーの個数と前記第２光学系のミラーの個数との和が偶数であ」ることを満たす。
（ケ）　したがって、本願発明と引用発明とは、
（一致点）
「フーリエ変換干渉分光計において用いられる光干渉計であって、
　分岐合波部，第１光学系，第２光学系および駆動部を備え、
  前記分岐合波部は、
　　透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面，入射面，出射面および合波面を有し、
　　前記分岐面と前記合波面とが別個のものであり、
　　前記分岐面と前記入射面とが共通の第１平面上にあり、
　　前記出射面と前記合波面とが共通の第２平面上にあり、
　　前記第１平面と前記第２平面とが互いに平行であり、
　　前記分岐面において、外部から入射した入射光の一部を反射させて第１分岐光として出射させるとともに、残部を第２分岐光として内部へ透過させ、
　　前記入射面において、前記分岐面から前記第１光学系を経て入射した前記第１分岐光を内部へ透過させ、
　　前記出射面において、前記分岐面から内部を経て到達した前記第２分岐光を外部へ出射させ、
　　前記合波面において、前記入射面から内部を経て到達した前記第１分岐光を外部へ出射させるとともに、前記出射面から前記第２光学系を経て入射した前記第２分岐光を反射させて、前記第１分岐光と前記第２分岐光とを合波して合波光として外部へ出射させ、
　前記分岐面に入射する前記入射光の入射角およびビーム径ならびに前記透明部材の厚み及び屈折率を有し、
　前記第１光学系は、前記分岐面から出射された前記第１分岐光を１個または複数個のミラーにより反射させて前記入射面に入射させ、
　前記第２光学系は、前記出射面から出射された前記第２分岐光を１個または複数個のミラーにより反射させて前記合波面に入射させ、
　前記駆動部は、前記第１光学系または前記第２光学系の何れかのミラーを移動させて、前記分岐面から前記合波面までの前記第１分岐光および前記第２分岐光それぞれの光路長の差を調整し、
　前記第１光学系のミラーの個数と前記第２光学系のミラーの個数との和が偶数である、
　光干渉計。」
　の点で一致し、以下の点で相違する。
（相違点）
　「分岐合波部」について、本願発明は、「ＦＴＩＲ」において用いられるものであって、「ＭＥＭＳにより構成され」ており、「分岐面に入射する入射光の入射角およびビーム径ならびに透明部材の厚み及び屈折率」が、「出射面で反射した第２分岐光が分岐面において第２分岐光と重ならないように設定され」ており、さらに、「入射光のビーム断面中の各位置の光線を分岐面において分岐した後に合波面において合波光のビーム断面中の共通位置で合波する」ものであるのに対して、引用発明はそのような構成を有するか不明である点。
イ　判断
　上記（相違点）を検討する。
　引用文献２（上記（１）ウを参照）や引用文献３（上記（１）エを参照）には、ＦＴＩＲの分岐合波部をＭＥＭＳにより構成する周知技術は記載されているものの、「ＭＥＭＳにより構成」された「分岐合波部」を用い、「分岐面に入射する入射光の入射角およびビーム径ならびに透明部材の厚み及び屈折率」を、「出射面で反射した第２分岐光が分岐面において第２分岐光と重ならないように設定」すること、及び、「入射光のビーム断面中の各位置の光線を分岐面において分岐した後に合波面において合波光のビーム断面中の共通位置で合波する」ことは記載されていないから、引用発明において、引用文献２や３に記載の周知技術を採用しても、上記（相違点）の構成とはならない。
　また、引用発明において、上記（相違点）の構成を採用することは、単なる設計的事項ともいえない。
　したがって、上記相違点に係る本願発明の発明特定事項のように構成することは、引用発明及び引用文献２〜３に記載の周知技術より、当業者が容易に想到し得たものとはいえない。
ウ　小括
　よって、本願発明は、当業者が引用発明及び引用文献２〜３に記載の周知技術に基づいて容易に発明をすることができたとはいえない。
３　まとめ
　以上のとおりであるから、本願発明は、引用発明及び引用文献２〜３に記載の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　また、本願の請求項２〜５に係る発明は、本願発明をさらに限定したものであるから、本願発明と同様に、引用発明及び引用文献２〜３に記載の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　よって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
第４　当審拒絶理由について
１　当審拒絶理由の概要
（１）　拒絶の理由１（特許法第３６条第６項第１号違反）について 
　この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　記 
  
　発明の詳細な説明（段落【００４８】、【００８９】）には、「分岐合波部１０の主両面によるファブリペロ効果」が現れないようにするという課題を解決するための手段の前提として、「ＦＴＩＲ」であること、及び「第４の実施形態」の光学系（すなわち「分岐合波部」の「分岐面」と「入射面」とが「共通の平面上にある」こと、「出射面」と「合波面」とが「共通の平面上にある」こと、「分岐面」及び「入射面」の共通平面と「出射面」及び「合波面」の共通平面とが「互いに平行である」こと）を用いることしか記載されていないが、請求項１には、これらの技術的事項が反映されていない。 
　請求項１に従属する請求項２〜１１も同様である。 
　したがって、請求項１〜１１は、発明の課題を解決するための手段が反映されていないため、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求するものである。 
（２）　拒絶の理由２（特許法第３６条第６項第２号違反）について  
　この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。  
  
 　　　　　　　　　　　　　　　　　記 
  
ア　請求項１の「前記出射面で反射した前記第２分岐光が前記分岐面において前記第２分岐光と重ならない厚み」との記載では、分岐合波部の形状が規定されていないため、具体的な厚みが特定できない。 
　また、この「厚み」は、分岐面に入射する光の角度、ビーム径、及び、透明部材の屈折率等に依存するものと認められるが、請求項１には、「入射角」、「ビーム径」及び「屈折率」等は何ら規定されていないため、「厚み」が特定できない。 
　請求項１に従属する請求項２〜１１も同様である。 
  
イ　請求項１には「前記出射面で反射した前記第２分岐光が前記分岐面において前記第２分岐光と重ならない厚み」と記載されているが、例えば本願の図３〜７に示された合波分岐部の形状においては、請求項１の「厚み」がどこの部分の厚みを示すことになるのか不明確である。 
　請求項１に従属する請求項２〜１１も同様である。 
  
　したがって、請求項１〜１１に係る発明は明確でない。 
２　当審拒絶理由の判断
（１）　上記１（１）の拒絶理由について
　平成２８年８月２９日に提出された手続補正書によって、請求項１において、「ＦＴＩＲにおいて用いられる」光干渉計であることが特定され、「分岐合波部」として、「前記分岐面と前記入射面とが共通の第１平面上にあ」ること、「前記出射面と前記合波面とが共通の第２平面上にあ」ること、「前記第１平面と前記第２平面とが互いに平行であ」ることが特定された。
  したがって、請求項１〜５に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものとなった。
（２）　上記１（２）の拒絶理由について
　平成２８年８月２９日に提出された手続補正書によって、請求項１において、「前記出射面で反射した前記第２分岐光が前記分岐面において前記第２分岐光と重ならない厚みを有し」との記載が、「前記分岐面に入射する前記入射光の入射角およびビーム径ならびに前記透明部材の厚み及び屈折率が、前記出射面で反射した前記第２分岐光が前記分岐面において前記第２分岐光と重ならないように設定され」と補正された。
　したがって、請求項１〜５に係る発明は、明確となった。
（３）　よって、もはや、当審拒絶理由によって本願を拒絶することはできない。
第５　むすび
　以上のとおり、原査定の理由及び当審拒絶理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。