【事件の表示】
　特願２０１２−　６１９５６「小型カタジオプトリック型対物系を用いた検査システム」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　７月　５日出願公開、特開２０１２−１２８４５３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２００４年７月６日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００３年７月７日、米国）を国際出願日とする特願２００６−５１８８５９号の一部を平成２４年３月１９日に新たな特許出願としたものであって、平成２６年１月６日に手続補正がなされ、同年１月３０日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年６月４日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に手続補正がなされたものである。
　
第２　平成２６年６月４日になされた手続補正についての補正却下の決定
〔補正却下の決定の結論〕
　平成２６年６月４日になされた手続補正を却下する。
　
〔理由〕
１　本件補正の内容
（１）平成２６年６月４日になされた手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲についてするものであって、本件補正前の特許請求の範囲に、
「　【請求項１】
　２８５ｎｍ
から
ｍの
　前記照明サブシステムからの照明光エネルギを受け取り標本に向かわせるよう構成及び方向設定された結像サブシステムと、
　を備え
、
　
結
　結像サブシステムが、照明システムから受け取る光エネルギに対して、ＮＡ値が０．９０において０．４ｍｍの視野サイズを提供するように構成された、標本検査システム。
　　【請求項２】
　上記複数個の素子が配列マンジャンミラーを含み、前記配列マンジャンミラーは少なくとも一つの反射コーティングされた表面を有するマンジャンミラーを備える請求項１記載のシステム。
　　【請求項３】
　上記複数個の素子が標本からの反射光エネルギを集めるカタジオプトリック型集光器を含む請求項１記載のシステム。
　　【請求項４】
　結像サブシステム及び照明サブシステムが、明視野、環状暗視野、方向性暗視野、全天、空中結像、共焦点及び蛍光の各検査モードのうち少なくとも１個により前記標本の検査をサポートする請求項１記載のシステム。
　　【請求項５】
　結像サブシステムが可変焦点系を使用する請求項１記載のシステム。
　　【請求項６】
　前記結像サブシステムは結像レンズを用いて倍率を上げる請求項１記載のシステム。
　　【請求項７】
　標本からの反射光エネルギを表すデータを分析し標本上の各欠陥位置を随時記録するデータ分析サブシステムを備える請求項１記載のシステム。」とあったものを、
　
「　【請求項１】
　２８５ｎｍ
以上
以下
　前記照明サブシステムからの照明光エネルギを受け取り標本に向かわせるよう構成及び方向設定された結像サブシステムと、
　を備え、
　
前記結像サブシステムは、さらに、
　
前記アークランプからの光を受けて、集光された光線を生じさせる少なくとも１つの集光レンズを含む集光レンズ群と、
　
前記集光レンズ群から前記集光された光線を受けて中間の光線を生じさせる視野レンズと、
　
前記視野レンズから前記中間の光線を受けて前記標本に光線を方向付ける配列マンジャンミラーと、を備え、
　
前記配列マンジャンミラーは、曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた凹球面反射レンズ／ミラー素子と、前記凹球面反射レンズ／ミラー素子と比較して曲率が小さい曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた平面レンズ／ミラー素子と、を備え、
　結像サブシステム
は、単一の軸に沿って配置され、
　結像サブシステムが、照明システムから受け取る光エネルギに対して、ＮＡ値が０．９０において０．４ｍｍの視野サイズを提供するように構成された、標本検査システム。」とする補正を含むものである（下線は審決で付した。以下同じ。）。
　
（２）本件補正後の特許請求の範囲に係る上記（１）の補正は、以下アないしエのとおりの補正である。
　ア　本件補正前の請求項２ないし７を削除する補正。
　イ　本件補正前の請求項１の「２８５ｎｍから３２０ｎｍの波長域」を「２８５ｎｍ以上３２０ｎｍ以下の波長域」と明確にする補正。
　ウ　本件補正前の請求項１に係る発明を特定するために必要な事項である「結像サブシステム」について「前記アークランプからの光を受けて、集光された光線を生じさせる少なくとも１つの集光レンズを含む集光レンズ群と、前記集光レンズ群から前記集光された光線を受けて中間の光線を生じさせる視野レンズと、前記視野レンズから前記中間の光線を受けて前記標本に光線を方向付ける配列マンジャンミラーと、を備え、前記配列マンジャンミラーは、曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた凹球面反射レンズ／ミラー素子と、前記凹球面反射レンズ／ミラー素子と比較して曲率が小さい曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた平面レンズ／ミラー素子と、を備え」と限定する補正。
　エ　本件補正前の請求項１の「結像サブシステム」が、「１００ｍｍ未満の直径を有し、すべてが単一の軸に沿って配置された複数個の素子を有し」ているものから、「単一の軸に沿って配置され、１００ｍｍ未満の直径を有し」ているものに明確にする補正。
　
２　本件補正の目的
　本件補正後の請求項１に係る上記１（２）の補正は、上記１（２）アで述べたように、本件補正前の請求項２ないし７を削除し、上記１（２）イで述べたように、本件補正前の請求項１において記載されていた「２８５ｎｍから３２０ｎｍの波長域」を出願当初明細書【００３７】、【００６８】及び【００７７】の記載に基づいて「２８５ｎｍ以上３２０ｎｍ以下の波長域」と明確にし、上記１（２）ウで述べたように、本件補正前の請求項１において記載されていた「結像サブシステム」について、出願当初明細書【００４４】、【００７０】ないし【００７２】、図１６の記載に基づいて「前記アークランプからの光を受けて、集光された光線を生じさせる少なくとも１つの集光レンズを含む集光レンズ群と、前記集光レンズ群から前記集光された光線を受けて中間の光線を生じさせる視野レンズと、前記視野レンズから前記中間の光線を受けて前記標本に光線を方向付ける配列マンジャンミラーと、を備え、前記配列マンジャンミラーは、曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた凹球面反射レンズ／ミラー素子と、前記凹球面反射レンズ／ミラー素子と比較して曲率が小さい曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた平面レンズ／ミラー素子と、を備え」と限定し、上記１（２）エで述べたように、本件補正前の請求項１の「結像サブシステム」が、「１００ｍｍ未満の直径を有し、すべてが単一の軸に沿って配置された複数個の素子を有し」ているものから、出願当初の【請求項１】の記載に基づいて、「単一の軸に沿って配置され、１００ｍｍ未満の直径を有し」ているものとして明確にするものであるから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たし、また、本件補正前の請求項１に係る発明を特定するために必要な事項を限定するものであるから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下検討する。
　
３　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された「本願の優先権主張日前に頒布された刊行物である特開平１０−１７７１３９号公報（以下「引用例」という。）」には、次の事項が図とともに記載されている。
　
（１）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、広帯域スペクトルの紫外線(UV)画像を処理する光学システムに関わる。特に、広帯域スペクトルの紫外線画像を処理することを可能にする反射及び屈折の両特性を備えた光学レンズを用いた新しい画像光学システムに関わる。即ち、１つ或いは２つの要素レンズを組み合わせ、更に１つ或いは２つの要素反射面（鏡面）を加えて組み合わせ、新しい画像光学システムを構成している。本発明は、画像のゆがみ、ひずみ並びにそれ等と関連する色収差の矯正に関る諸問題について光学システムの設計的観点から解決を図ることを目的とする。」
　
（２）「【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明によれば、色収差の補正に加えて、優れた紫外線画像を観察する顕微鏡用の対物レンズ、或いはリソグラフを実現する為の、即ち超ＬＳＩ向けの画像投影装置の為の光学系を提供することが可能になる。最終画像の質を上げる為に開口数を大きくとり、一画面の視野を観察試料上で少なくとも一辺０．５mm程度を可能にしている。 この光学系は、好ましいことにテレセントリック（平行光線機能を持つ）である。
【０００８】色収差補正がされるフィールドレンズを複合レンズで構成して成る反射及び屈折の両特性を具備する画像システムを構築することに依って、本発明の目的は達せられる。ここで言及した複合レンズは、２種或いはそれ以上の異なった屈折特性を持つ要素素材を組合わせる。一例として、熔融石英と弗化ガラスを組み合わせる。このフィールドレンズは、複合レンズ故ダブレット（２つで一組み）や、出来ればトリプレット（３つで一組み）が考えられる。これら各レンズ単体どうしを互いにセメンとで接着して一体にして複合化することが出来る。場合に依ってはお互いに少々の間隔を空ける方が良い場合もある。熔融石英と弗化ガラスは、その遠紫外での分散特性が互いに大きく異なるものでは無く従って各々のレンズ単体の倍率を大きく採ることが可能である。上記の如き収差補正がされているダブレット或いは、トリプレットのフィールドレンズは、長軸方向のみならず、横軸方向についてもその色収差の完全補正が広帯域にわたって可能である。繰返すが、収差補正の為のフィールドレンズはダブレット或いは、トリプレット構成の複合レンズであって単体のレンズであってはならない。
【０００９】本発明による光学系は、少なくとも紫外線帯域０．２０から０．２９ミクロンの波長域で動作し、出来るなら、０．２０から０．４０ミクロンを越える範囲で動作するのが望ましいと言う観点に基づく。その構成は、焦点形成の為のレンズがあって、これは上と同じく単数でなく複数で構成する複合レンズであるが、但し全てなるべく同一素材である様に配備する。そしてこの表面は曲面加工を施して固有の屈折特性をもたせ、その設置位置を調整して、中間像を形成するように選定する。当然、中間像は高次の補正が施される結果を生ずる。従って、このシステムは、０．１９３ミクロンの波長帯域に於て機能することが可能である。更に本システムは、上述のフィールドレンズ群を保有する。このフィールドレンズ群は中間像の近傍に設置して、全ての色収差、長軸に関る高次補正と横軸の色収差の補正を実行する。中間像が形成される平面の位置は、フィールドレンズ群の内部、或いは外部でも構わなく、要は最適化を図ることが重要である。反射と屈折の両特性を持つカタディオプトリックレンズ群は、球面凹型反射体を保有する。これは鏡を用いても良いがレンズに反射膜を被覆しても良い。他に平坦或いはそれにに近い「ほぼ平坦形状の反射体」を、レンズに反射膜を被覆して形成し、最終画像面の近傍に設置する。上で述べた２つの反射体は、共に開口部（反射体等の障害物は無く光が透過する）をその中心に形成して、光線が中間像と凹面反射体を結んで通過し、平坦（「ほぼ平坦」）反射体で反射し、凹面反射体に入射して反射し、次は途中の補助レンズを通って平坦反射体を通過する。
【００１０】このシステムでは、その開口数が少なくとも０．７となり、更なる特長は大きな視野画面、試料上で一辺０．５mmが得られることである。且つ広帯域に及ぶ好ましいスペクトル特性を実現し、近紫外から遠紫外線迄、広く平坦な特性を保持する。このシステムは、複数の光学系の組合わせで有効に動作する。例を挙げれば、明視野照明光学系、指向性並びに非指向性暗視野光学系、蛍光画像の処理装置、ドーム状散乱光処理系及びコンフォーカルと称する焦点共有型の顕微鏡等々である。これ等の紫外光画像系は、良好な分解能を提供するのみならず、物質の定性分析、即ち物質の同定に有効である。その理由は、紫外での反射率や吸収、散乱特性（波長のマイナス４乗に比例する）、屈折高調波、更に蛍光発光特性が物質の特性に依る変動等々、物質依存性が強いからに他ならない。広帯域紫外光画像系は、光源に紫外線ランプを導入して構成する。当然、この紫外線光源は非可干渉光を提供するので、通常の非干渉画像処理を実施することが出来る。一方、勿論であるが他の特殊技術に応用することも可能である。例えば、ニッポーディスクをこの紫外線スペクトルと組合わせて、コンフォーカル、即ち焦点共有型の顕微鏡等々を構築することが出来る。紫外並びに遠紫外広帯域レンズの応用範囲は広く存在する。一例はパターンが転写されてなるウェーハ並びにマスク、レチクルを外観検査観察する応用、物資を一部被覆しその上で切断する応用、集積回路のリソグラフに使用する応用、生物学的顕微鏡に使う応用、金属工学顕微鏡への応用、スペクトル分析への応用等々である。」
　
（３）「【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施形態を示しており、
カタディオプトリック（反射と屈折の両特性を有する）を
具備して成る画像システムであって、
フォーカス
レンズ群１１にて構成され、中間像１３を形成する
フィールドレンズ群１５を中間像１３の近くに設置して
中間像１３からの光線を通過せしめ最終画像１９が形成される様にする
この系が機能するスペクトル範囲は、
０．２０ミクロンから０．４０ミクロンを包含する
上記何れの場合でも、KrF エキシマレーザー光線０．２４８ミクロンと０．２５４ミクロンの水銀アーク放電管の光をその範囲内に含んでいる。上記の広いスペクトル帯域は、０．３６５ミクロンの水銀アーク放電管からの光線（ｉ線と呼ばれる）を含んでおり、０．３５１ミクロンのXeF エキシマレーザー光線、並びに０．３２５ミクロンのHe-Cd レーザー光をも包含している。上記の他に広範囲のレーザー光源やアーク放電光源が、この範囲に存在して実用化されている
画像システムは
応用可能である
紫外線顕微鏡用対物レンズ、ウェーハ外観検査装置に於ける表面散乱光に対する其の集光器、或いは集積回路製造に使う紫外線フォトリソグラフ工程に於ける紫外線マスクパターン投影の為の光学系
【００１２】図１中の焦点設定レンズ群１１は、各２１から２７迄の７つのレンズ単体が構成する。その内２１と２２の２つのレンズは、他の２３から２７迄の５つのレンズとは、相当の距離を置いて設置する。この焦点レンズ群でレンズ２１と２２の対を、わざわざ残りの５つのレンズ群２３から２７迄（これ等５つが、主になって焦点設定サブグループを構成している）と離間して設置する状況をここに特記する。その離間距離は、２３から２７迄の５つの全レンズの厚さ総計の半分程度に設定する。例えば、要素レンズ群２３から２７は、空間距離６０mmに分布して設置させる。そして、要素レンズ２２は、要素レンズ２３からの距離３０乃至６０mmの点に設置する。上記レンズの実際の設定位置は、全体的要素を勘案した設計値でもって決定する。さて、レンズ２１と２２は、対でもって第零次の色収差補正と単色光的な画像歪の補正に有効である。これでもって、コマ収差と非点収差が原因で発生する色収差が補正出来る。迎角(field angle) に依ってもたらされる、この対になった２つのレンズ上の光軸のズレは、これ等レンズを相対的に遠くに設置する時に最大値になる。ズレは最大になるが、それでもって、非点収差に依る色収差の補正を実行する上で最大の効果が出る。図１に於て、次にこの焦点レンズ群の内の５つのレンズ２３から２７迄は、焦点形成の為の主たる（サブグループ）レンズ群を構成し、其の内訳は、１つの厚い凹凸両面を持った皿状の（全体として負、即ち凹レンズとして機能する）レンズ２３と、それに対向して強い曲率で凹凸両面を有する皿状の（全体として負、即ち凹レンズ機能の）レンズ２４、強い曲率の両面が凸状のレンズ２５、強い曲率で凹凸両面を有する皿状の（全体として正、即ち凸レンズ機能の）レンズ２６、それに対して逆を向き、強い曲率で凹凸両面を有する皿状の（全体として弱い正、或いは弱い負、即ち弱い凸、或いは弱い凹レンズ機能の）レンズ２７でもって構成する。勿論、上記レンズ２３から２７の細かな内訳の内容を変えても良い。フォーカス（サブグループレンズ）群は中間像を結像する。当然であるが、レンズ面の曲率を選択して、単色光に於ける歪を最小にするのが良い。更に、対になっている２１と２２の選定に於て、歪が光源の色、即ち波長依存性が最小に成るように設計するのが良い。
【００１３】フィールドレンズ群１５は、図２に示した。これは通常、色収差を補正したトリプレット（三つ組み）でもって構築する。勿論、２つで構成するダブレット（対）であっても良い。素材は、熔融石英及びCaF2ガラスを使う。他に遠紫外で透明な屈折体は、MgF2、SrF2、LaF3それからLiF を成分とするガラス或いは、これ等 の混合物が使用出来よう。しかし、注意すべきは、これ等の一部の素材は完全に非晶体でないと複屈折性を有することである。完全に非晶体でないということは、ミクロに見て結晶性を有することを意味する。遠紫外を透過する２つ材料である熔融石英とCaF2ガラスに於て、光分散に着目すると、遠紫外域で両者の分散特性はそれ程変わらないことが解る。一方、フィールドレンズ群１５の各要素はそれぞれ大きな硬度を有する。三つ組みレンズ群１５の内容は、例えば皿状の石英凹（負）レンズ３１、両凸面（正）CaF2レンズ３３、及び熔融石英製で両凹面（負）レンズ３５で構成し、全てをセメントで接着する。この組合わせでの最適設計を実施すると、中間像１３を三つ組みレンズ群１５の内部に結像することが出来る。一方に於て、図３で見られる様に、色収差を補正するフィールドレンズ群の構成を次の様にすることが出来る。その組合わせは、２つの熔融石英に依る皿状凹レンズ５１と５３を少々（約１mm程）の距離を置いて対面させて設置し、続けて両凸面（正）CaF2レンズ５５を、２番目の両凸面（正）CaF2レンズ５３の近傍に隣接して置く。上記の第２の組合わせでの最適設計を実施すると、中間像１３を三つ組みレンズ群１５の外部であって、CaF2レンズを越えて、その向う側に結像させることが出来る。これ等の実施形態に於てどちらの場合も、フィールドレンズ群１５の設計に関して、各レンズの表面曲率と設置位置を調整して残っている高次（第２、第３次）の長軸並びに横軸方向の色収差を補正することが可能である。第１次色収差の補正は主としてレンズ自体で実行することが出来て、実際に上の例では、反射と屈折の両特性を共に具備して成るレンズグループ１７と、フォーカスレンズ群１１が、その作用を有する。さて、フィールドレンズ群１５に於て２つ或いはそれ以上の屈折特性を有する素材を使うことを考えよう。その実例は、熔融石英と弗化カルシューム（CaF2）ガラスがあるが、単一素材を用いたフィールドレンズ群が長軸方向の色収差を補正する事実は、公知例で知られているが、本発明の場合は、更に加えて横軸方向の高次色収差をも完全に補正することを得る。
【００１４】図２、図３に見る様に、中間像、即ち中間焦点はフィールドレンズ群１５の内側にも外側にも設定することが可能である。但し、もし中間像がフィールドレンズ群１５の内側に設定されれば、収差及び画像の歪みはもっとも効果的に修正されることを見出した。一方に於ては、中間像１３はフィールドレンズ群１５の外側に設定した方が好ましい場合がある。それは光出力が極度に大きい場合であって、その時の危険は、強い熱が発生してフィールドレンズ群の１つの或いは複数のレンズのガラス材を傷めてしまうことがあり得る。更に、レンズのガラス材の不均一性に由来して画像の微小な擾乱が発生することは、屡々見られる。しかし、フィールドレンズ群１５と中間像１３を空間的に離せば、この問題はより少なくなる。
【００１５】図１の反射と屈折の両特性を共に具備して成る画像システムに於て、その
反射屈折両性レンズ群１７を構成するのは、第１の光学要素と第２の光学要素である。第１の光学要素は、熔融石英製皿状レンズ３９にて構築し、この裏側の凹面は反射特性を持たせる目的で塗布物質４１を塗る。次に、第２の光学要素は、第１の石英製レンズ４３にて構築し、この裏側の凹面は反射特性を持たせる目的で塗布物質４５を塗る
反射屈折両性レンズ群１７の２つのレンズ３９と４３は、その前面が互いに向き合う様にセットする
【００１６】
第１の光学要素である皿状レンズ３９は、その中央に小孔３７を形成しそこを光軸が通過する様にする
第２レンズ４３
表面反射膜４５には開口部、即ち窓の部分４７を設けて、その部分は反射膜を塗布しない、
この部分が、窓４７の中心に形成されて、別の光学的開口部となる
【００１７】
塗布膜を有する鏡４５は、平坦か或いは、緩やかなカーブ面が好ましい
【００１８】
中間像からの光線は、第１レンズ３９中の光学的開口３７を経由し、更に第２レンズ４３本体を通過するが、此処で平坦な或いは平坦に近いレンズ４３の後部に設ける反射膜４５が形成する鏡の効果で反射が起きるように設定する。次に光線は、再び第１レンズ３９を通って後、鏡面４１にて反射して逆進し、第１レンズ３９本体を通過する。最後に、光線は強い集光性を帯び、第２レンズ４３本体内を３度目の通過をする
　
（４）「【００２０】広帯域の紫外線光学系に於ける最適設計の２例を次頁と次々頁に示した。その１つは図２のフィールドレンズ群であり、他の例は、図３のフィールドレンズ群である。これ等について、次に述べる。以下のレンズ表面に関る設計データは、０．２００、０．２２０、０．２４５、０．２９０及び０．４００ミクロンの波長の屈折率の値（空気に対する相対値）に基づいている。結果として得た
設計例
開口数０．９、視野画面の対角線長を０．５mmとし
設計値を変動させて種々の設計的研究を実施した
開口数をやや小さめに、例えば０．７にすることも出来、この時は系の長さ、特に対物レンズと観察試料間の距離が大きくなり、この条件下でレンズ表面の曲率を最適化することが出来る
このような設計例は、レチクル検査に適している
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】図１の画像処理システムを発展させて、顕微鏡の対物レンズ系に筒型形状を使う設計の例を図４に示した。
紫外線光源６１からの光は
対物レンズを通して、観察試料表面を照射する
紫外線光源６１には、水銀蒸気ランプかエキシマレーザーを用いる
伝統的な照明光学系のレンズとスリット等
をも同時に具備し、その上更に対物レンズ系に於ける光線の経路にはビーム分割器６９を配備する
反射屈折両特性レンズ群を具備することも出来
　
（５）「【図１】　
」
　
（６）図１（上記（５））は、反射と屈折の両特性を共に具備して成る画像システムの側面を示す原理図であって、
反射屈折両性レンズ群１７とフォーカスレンズ群とが光軸に沿って直線状に配置され
第２の光学要素
第１の光学要素
と比較して曲率が小さい曲面を有している
最大径を有する
曲率半径は６４．２９０ｍｍ
　
（７）上記（１）ないし（６）から、引用例には次の発明が記載されているものと認められる。
「紫外線顕微鏡用対物レンズ、ウェーハ外観検査装置に於ける表面散乱光に対する其の集光器、或いは集積回路製造に使う紫外線フォトリソグラフ工程に於ける紫外線マスクパターン投影の為の光学系に応用可能である、カタディオプトリック（反射と屈折の両特性を有する）を具備して成る画像システムであって、
　フォーカスレンズ群１１にて中間像１３を形成し、フィールドレンズ群１５を中間像１３の近くに設置し、
　この系が機能するスペクトル範囲は、０．２０ミクロンから０．４０ミクロンを包含し、上記何れの場合でも、KrF エキシマレーザー光線０．２４８ミクロンと０．２５４ミクロンの水銀アーク放電管の光をその範囲内に含み、上記の広いスペクトル帯域は、０．３６５ミクロンの水銀アーク放電管からの光線（ｉ線と呼ばれる）を含んでおり、０．３５１ミクロンのXeF エキシマレーザー光線、並びに０．３２５ミクロンのHe-Cd レーザー光をも包含し、上記の他に広範囲のレーザー光源やアーク放電光源が、この範囲に存在して実用化されており、
　反射屈折両性レンズ群１７を構成するのは、第１の光学要素と第２の光学要素であり、第１の光学要素は、熔融石英製皿状レンズ３９にて構築し、この裏側の凹面は反射特性を持たせる目的で塗布物質４１を塗り、次に、第２の光学要素は、第１の石英製レンズ４３にて構築し、この裏側の凹面は反射特性を持たせる目的で塗布物質４５を塗り、前記第１の光学要素と比較して曲率が小さい曲面を有し、反射屈折両性レンズ群１７の２つのレンズ３９と４３は、その前面が互いに向き合う様にセットされるものであり、前記塗布物質４１は曲率半径が６４．２９０ｍｍで光学素子のうち最大の直径を有する光学素子であり、
　第１の光学要素である皿状レンズ３９は、その中央に小孔３７を形成しそこを光軸が通過する様にし、第２レンズ４３の表面反射膜４５には開口部、即ち窓の部分４７を設けて、その部分は反射膜を塗布せず、この部分が、窓４７の中心に形成されて別の光学的開口部となり、塗布膜を有する鏡４５は、平坦か或いは緩やかなカーブ面が好ましく、
　中間像からの光線は、第１レンズ３９中の光学的開口３７を経由し、更に第２レンズ４３本体を通過するが、此処で平坦な或いは平坦に近いレンズ４３の後部に設ける反射膜４５が形成する鏡の効果で反射が起きるように設定し、次に光線は、再び第１レンズ３９を通った後、鏡面４１にて反射して逆進し、第１レンズ３９本体を通過し、最後に、光線は強い集光性を帯び、第２レンズ４３本体内を３度目の通過をするものであり、
　具体的な設計例として、反射屈折両性レンズ群１７とフォーカスレンズ群１１とが光軸に沿って直線状に配置され、開口数０．９、視野画面の対角線長を０．５mmとしたが、設計値を変動させて種々の設計的研究を実施した結果、開口数をやや小さめに、例えば０．７にすることも出来、この時は系の長さ、特に対物レンズと観察試料間の距離が大きくなり、この条件下でレンズ表面の曲率を最適化することが出来る、
　画像システム。」（以下「引用発明」という。）
　
４　対比
　本願補正発明と引用発明とを対比する。
（１）引用発明の「アーク放電光源」、「フォーカスレンズ群１１」、「中間像１３」、「フィールドレンズ群１５」、「『カタディオプトリック』又は『反射屈折両性レンズ群１７』」、「『第１の光学要素』である『皿状レンズ３９』又は『第１レンズ３９』」及び「『第２の光学要素』又は『第２レンズ４３』」は、それぞれ本願補正発明の「アークランプ」、「集光レンズ群」、「中間の光線」、「視野レンズ」、「配列マンジャンミラー」、「凹球面反射レンズ／ミラー素子」及び「平面レンズ／ミラー素子」に相当する。
　
（２）引用発明の「画像システム」は、紫外線顕微鏡用対物レンズ、ウェーハ外観検査装置に於ける表面散乱光に対する其の集光器に応用可能であるから、本願補正発明の「標本検査システム」に相当する。
　
（３）引用発明の「標本検査システム（画像システム）」は、「アークランプ（アーク放電光源）」を光源として有し、該「アークランプ」は、照明光を発する照明システムを構成するといえるから、本願補正発明の「標本検査システム」とは、「照明光エネルギを発するアークランプを有する照明サブシステム」を備える点で一致する。
　
（４）ア　引用発明において、「標本検査システム（画像システム）」は、「アークランプ（アーク放電光源）」を光源として有しているとすれば、【００２３】（上記３（４））のように、該「アークランプ」からの光が「集光レンズ群（フォーカスレンズ群１１）」、「中間の光線（中間像１３）」を形成する「視野レンズ（フィールドレンズ群１５）」及び「配列マンジャンミラー（反射屈折両性レンズ群１７）」の各レンズ群を通過して観察試料表面を照射することは明らかであるから、引用発明の「標本検査システム」は、本願補正発明の「標本検査システム」における、「前記照明サブシステムからの照明光エネルギを受け取り標本に向かわせるよう構成及び方向設定された結像サブシステム」を備えている。
　イ　上記アからみて、引用発明の「結像サブシステム」は、さらに、本願補正発明の「結像サブシステム」における、「前記アークランプからの光を受けて、集光された光線を生じさせる少なくとも１つの集光レンズを含む集光レンズ群と、前記集光レンズ群から前記集光された光線を受けて中間の光線を生じさせる視野レンズと、前記視野レンズから前記中間の光線を受けて前記標本に光線を方向付ける配列マンジャンミラーと」の構成を備えている。
　
（５）ア　引用発明において、「配列マンジャンミラー（反射屈折両性レンズ群１７）」を構成するのは、「凹球面反射レンズ／ミラー素子（第１の光学要素）」と「平面レンズ／ミラー素子（第２の光学要素）」であり、「凹球面反射レンズ／ミラー素子（第１の光学要素）」は、熔融石英製皿状レンズ３９にて構築し、この裏側の凹面は反射特性を持たせる目的で塗布物質４１を塗り、次に、「平面レンズ／ミラー素子（第２の光学要素）」は、第１の石英製レンズ４３にて構築し、この裏側の凹面は反射特性を持たせる目的で塗布物質４５を塗り、「凹球面反射レンズ／ミラー素子及び平面レンズ／ミラー素子（２つのレンズ３９と４３）」は、その前面が互いに向き合う様にセットされるものであり、「凹球面反射レンズ／ミラー素子（第１の光学要素である皿状レンズ３９）」は、その中央に小孔３７を形成しそこを光軸が通過する様にし、平坦な或いは平坦に近い「第２レンズ４３」の表面反射膜４５には開口部、即ち窓の部分４７を設けて、その部分は反射膜を塗布せず、この部分が、窓４７の中心に形成されて別の光学的開口部となり、塗布膜を有する鏡４５は、平坦か或いは緩やかなカーブ面が好ましいものとなっている。
　イ　してみると、引用発明の「配列マンジャンミラー」は、本願補正発明の「配列マンジャンミラー」における、「曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた凹球面反射レンズ／ミラー素子と、前記凹球面反射レンズ／ミラー素子と比較して曲率が小さい曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた平面レンズ／ミラー素子と」の構成を備えている。
　
（６）引用発明は、具体的な設計例として、反射屈折両性レンズ群１７とフォーカスレンズ群１１とが光軸に沿って直線状に配置され、開口数０．９、視野画面の対角線長を０．５mmとしているから、引用発明の「結像サブシステム」と、本願補正発明の「単一の軸に沿って配置され、１００ｍｍ未満の直径を有し、結像サブシステムが、照明システムから受け取る光エネルギに対して、ＮＡ値が０．９０において０．４ｍｍの視野サイズを提供する」「結像サブシステム」とは、「単一の軸に沿って配置され」「照明システムから受け取る光エネルギに対して、ＮＡ値が０．９０を提供するように構成された」点で一致する。
　
（７）上記（１）ないし（６）からみて、本願補正発明と引用発明とは、
「照明光エネルギを発するアークランプを有する照明サブシステムと、
　前記照明サブシステムからの照明光エネルギを受け取り標本に向かわせるよう構成及び方向設定された結像サブシステムと、
　を備え、
　前記結像サブシステムは、さらに、　
　前記アークランプからの光を受けて、集光された光線を生じさせる少なくとも１つの集光レンズを含む集光レンズ群と、　
　前記集光レンズ群から前記集光された光線を受けて中間の光線を生じさせる視野レンズと、　
　前記視野レンズから前記中間の光線を受けて前記標本に光線を方向付ける配列マンジャンミラーと、を備え、　
　前記配列マンジャンミラーは、曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた凹球面反射レンズ／ミラー素子と、前記凹球面反射レンズ／ミラー素子と比較して曲率が小さい曲面を有し、前レンズ面と中央部を除いて反射被覆で覆われた後反射面とを組み合わせた平面レンズ／ミラー素子と、を備え、　
　結像サブシステムが、単一の軸に沿って配置され、照明システムから受け取る光エネルギに対して、ＮＡ値が０．９０を提供するように構成された、標本検査システム。」である点（以下、「一致点」という。）で一致し、次の点で相違する。
　
・相違点１：
　前記「アークランプ」が、
　本願補正発明では、「２８５ｎｍ以上３２０ｎｍ以下の波長域にて照明光エネルギを発する」のに対し、
　引用発明では、具体的に如何なる波長域にて照明光エネルギを発するのかが不明である点。
　
・相違点２：
　前記「結像サブシステム」は、
　本願補正発明では、「１００ｍｍ未満の直径を有し」、「照明システムから受け取る光エネルギに対して、ＮＡ値が０．９０において０．４ｍｍの視野サイズを提供するように構成される」のに対し、
　引用発明では、直径が１００ｍｍ未満であるかどうかは不明であり、一例としてＮＡ値が０．９０において視野画面の対角線長を０．５ｍｍとしている点。
　
５　判断
（１）上記相違点１について検討する。
　ア　本願明細書には、その【００３７】に、「なお、特定スペクトル領域を増強したいならドーパント素材を添加した混合ガスを用いるとよい。そのようにすれば、例えば様々な種類のアークランプから、より広い波長域に亘る光を得ることができる。次の表は、一般に入手及び利用可能な種々の光源についてその光源に典型的な波長域を示した表である。
　　【表１】　
」と記載され、
　また、【００７６】に、「図１６及び表７に示した実施形態は一種類のガラス素材たる熔融シリカを用いて構成されているが、他種素材も使用可能である。熔融シリカを使用するにせよ他種素材を使用するにせよ、本実施形態にて使用する素材に対しては１９０ｎｍから赤外域までの広い波長域に亘り吸収率が低いことが要求されることに、注意すべきである。熔融シリカを用いた場合、この波長域内であればどのような中心波長に対しても、本実施形態を調整して最適化し直すことができる。例えば、１９３、１９８．５、２１３、２４４、２４８、２５７、２６６、３０８、３２５、３５１、３５５又は３６４ｎｍのレーザ波長で使用できるよう本実施形態を最適化することや、１９２〜１９４、２１０〜２１６、２３０〜２５４、
２８５〜３２０
　イ　本願明細書の記載全体、特に上記アの摘記事項からみて、「２８５ｎｍ以上３２０ｎｍ以下の波長域」の全領域の照明光エネルギを発する具体的な「アークランプ」の存在について記載も示唆もないから、本願補正発明において、「アークランプ」が「２８５ｎｍ以上３２０ｎｍ以下の波長域にて照明光エネルギを発する」が意味することは、アークランプが２８５ｎｍ以上３２０ｎｍ以下の波長域のうち、いずれかの部分領域において照明光エネルギを発することであると解される。
　ウ　してみると、上記ア及びイからみて、引用発明において、光源の波長域が２００ないし４００ｎｍ（０．２０ミクロンから０．４０ミクロン）を包含し、上記何れの場合でも、KrF エキシマレーザー光線０．２４８ミクロンと０．２５４ミクロンの水銀アーク放電管の光をその範囲内に含み、上記の広いスペクトル帯域は、０．３６５ミクロンの水銀アーク放電管からの光線（ｉ線と呼ばれる）を含んでおり、０．３５１ミクロンのXeF エキシマレーザー光線、並びに０．３２５ミクロンのHe-Cd レーザー光をも包含し、上記の他に広範囲のレーザー光源やアーク放電光源が、この範囲に存在して実用化されているのであるから、「アークランプ」が「２８５ｎｍ以上３２０ｎｍ以下の波長域にて照明光エネルギを発する」ことは引用発明に記載されている事項であるといえ、上記相違点１は実質的な相違点ではない。
　
（２）上記相違点２について検討する。
　ア　球面光学素子の直径は、その曲率半径の２倍を超えないから、引用発明の直径が最大の光学素子である反射膜４１の直径は、６４．２９０×２＝１２８．５８ｍｍを超えることはない。 
　イ　引用発明の「視野画面の対角線長」は視野サイズであることは当業者に自明であり、本願明細書の【０１１０】にも記載されているように、視野画面の対角線長（視野サイズ）がレンズ直径に依存することが技術常識である。
　ウ　システムを小型化するという課題は本願明細書にも記載されているとおり周知の課題であるから、引用発明の最大の光学素子の直径及び視野サイズをどの程度にするかは、光学系のＮＡ値とともに、上記ウの技術常識やその他の課題を比較衡量して、当業者が適宜なし得る設計的事項である。
　そして、引用発明において、ＮＡ値を維持しつつ、直径が最大の光学素子である反射膜の直径を約１００ｍｍ未満とし、視野サイズを４．０ｍｍに設計することも当業者にとって格別困難なことではない。 
　エ　してみると、上記アないしウからみて、引用発明において、上記相違点２に係る本願補正発明の構成となすことは、当業者が容易になし得たことである。 
　
（３）本願補正発明の奏する効果は、引用発明の奏する効果から予測することができた程度のものである。
　
（４）したがって、本願補正発明は、当業者が引用例に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものである。
　本願補正発明は、当業者が引用例に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
６　小括
　以上のとおり、本願補正発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものである。
　したがって、本件補正は、同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について
１　本願発明
　本件補正は上記第２のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし７に係る発明は、平成２６年１月６日に補正された特許請求の範囲の請求項１ないし７に記載された事項によって特定されるものであるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２６年１月６日に補正された特許請求の範囲の記載からみて、上記「第２〔理由〕１（１）」に本件補正前の請求項１として記載したとおりのものである。
　
２　引用例
　引用例及びその記載事項は、上記「第２〔理由〕３」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断
　本願補正発明は、上記「第２〔理由〕１（２）」のとおり、本願発明を特定するために必要な事項を限定したものである。
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに限定を付加したものに相当する本願補正発明が、上記「第２〔理由〕５」に記載したとおり、当業者が引用例に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、当業者が引用例に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　本願発明は、以上のとおり、当業者が引用例に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。