【手続補正書】
【提出日】令和2年4月1日(2020.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送装置、真空吸引装置、コロナ装置、及びコーティング装置を備える基板の表面処理装置であって、
前記搬送装置は、前記真空吸引装置の真空吸引ベルトとして形成され、前記コロナ装置の対向電極として形成されている搬送ベルトを有することを特徴とする、装置。
【請求項２】
前記搬送ベルトは、互いに離隔した２つのガイドローラー上に配設され、前記ガイドローラーの一方は、駆動ローラーとして形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記搬送ベルトは、回転ベルトとして形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記搬送ベルトは、前記コロナ装置及び／又は前記コーティング装置の領域において、支持装置上に配設され、特に、
前記支持装置は、１つの支持ローラーあるいは搬送ベルトの長さ方向に互いに隣接して配設された複数の支持ローラーを有することを特徴とする、請求項１〜３の何れかに記載の装置。
【請求項５】
前記搬送ベルトは、０．２ｍｍから１ｍｍの範囲、好ましくは０．３ｍｍから０．５ｍｍの範囲の厚さを有し、
前記搬送ベルトは、４５０  ＨＶ１０から５２０  ＨＶ１０の範囲、好ましくは４６５  ＨＶ１０から５００  ＨＶ１０の範囲の硬さを有する材料から形成されると共に、通常の運転荷重下における最大たわみが１μｍから１０μｍの範囲であるように形成及び／又は配設されていることを特徴とする、請求項１〜４の何れかに記載の装置。
【請求項６】
前記搬送ベルトは、合金鋼、特にステンレス鋼から形成されていることを特徴とする、請求項１〜５の何れかに記載の装置。
【請求項７】
前記搬送ベルトは、シームレスベルトとして形成されていることを特徴とする、請求項１〜６の何れかに記載の装置。
【請求項８】
前記搬送ベルトは、搬送方向において互いに接合して配設された複数の部分搬送ベルトを有し、特に、隣接した部分搬送ベルト間において、支持エレメントが、当該隣接した部分搬送ベルト間を隙間なく架け渡すように配設されている、及び／又は、
前記搬送ベルトは、複数のプレート型のリンクからなるリンクコンベアとして形成され、隣接したリンクは、延伸状態において、ギャップフリーの支持面を形成するように、ピボットジョイントで互いに結合され、特に、
前記搬送ベルトは、その端部において搬送凹部を有し、前記ガイドローラーは、前記搬送凹部と噛合する歯付リムを有することを特徴とする、請求項１〜７の何れかに記載の装置。
【請求項９】
前記搬送ベルトは、貫通孔を有し、
特に、前記貫通孔は、ドリル孔、及び／又は伸長した孔及び／又はスリット及び／又は菱形状の孔として形成され、
より好ましくは、前記貫通孔は、グリッド状に配置され、
特に好ましくは、当該グリッドは、規則的、不規則的、及び／又はランダムに並び、及び／又は、複数の領域において異なるように形成されていることを特徴とする、請求項１〜８の何れかに記載の装置。
【請求項１０】
前記貫通孔は、０．２ｍｍから５ｍｍの範囲の直径、好ましくは０．３ｍｍから２ｍｍの範囲の直径を有する、あるいは上記範囲の直径を有する円形孔に相当する表面積を有することを特徴とする、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記搬送ベルトの、前記基板と反対側と前記真空吸引装置の吸引ヘッドとの間に、外周シールリップを有するシールエレメントが配設されていることを特徴とする、請求項１〜１０の何れかに記載の装置。
【請求項１２】
前記真空吸引装置の真空は、０．１ｂａｒから１ｂａｒの範囲、好ましくは０．１ｂａｒから０．７５ｂａｒの範囲であることを特徴とする、請求項１〜１１の何れかに記載の装置。
【請求項１３】
前記コロナ装置は、下側が開口し、下端側に電極が配設されているハウジングを有し、特に、
前記コロナ装置の電極はカソードを形成し、対向電極としての前記搬送ベルトは前記コロナ装置のアノードを形成し、コロナギャップが、前記カソードと前記アノードとの間に形成され、特に好ましくは、
前記コロナギャップが調整可能に形成されたことを特徴とする、請求項１〜１２の何れかに記載の装置。
【請求項１４】
前記コーティング装置は印刷装置として形成されていることを特徴とする、請求項１〜１３の何れかに記載の装置。
【請求項１５】
前記コーティング装置は、転写膜のキャリア層上に配設されている転写層を、前記基板上に転写するためのスタンピング装置として形成されていることを特徴とする、請求項１〜１４の何れかに記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
【図１】本発明の装置の第１実施形態を概略的に示す図である。
【図２】本発明の装置の第２実施形態を概略的に示す図である。
【図３】本発明の装置の第３実施形態を概略的に示す図である。
【図４】図１に示す搬送ベルトの第１実施形態を概略的に示す上面図である。
【図５】図１に示す搬送ベルトの第２実施形態を概略的に示す上面図である。
【図６】図１に示す搬送ベルトの第３実施形態を概略的に示す上面図である。
【図７】図１に示す搬送ベルトの第４実施形態を概略的に示す上面図である。
【図８】図１に示す搬送ベルトの第１実施形態を示す上面図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
搬送ベルト３１は、搬送方向３１ｔにおいて回転する。基板２は、搬送ベルト３１の搬送領域において、搬送ベルト３１上に配設され、真空によって、搬送ベルト３１に固定されている。基板２は、搬送ベルト３１の搬送方向３１ｔに従い、搬送領域中を、搬送方向３１ｔに対応する搬送方向２ｔに移動する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図１に示す実施形態において、コロナ装置５の下側に配設された支持装置７は、搬送ベルト３１の長さ方向に互いに隣接して配設された４つの支持ローラー７１から形成されている。支持ローラー７１は、特に、支持された搬送ベルト３１が移動しているとき、同じ速度で回転することができ、支持ローラー７１と搬送ベルト３１との間において、可能な限り摩擦が生じないようにしている。これは、支持ローラー７１の外周が支持された搬送ベルト３１と同じ速度であることを意味している。４つの支持ローラー７１は剛性を有し、かつ回転可能に調節できるよう配設されている。例えば偏心軸受及び当該軸受の固定による調節などにより、搬送ベルト３１に対する回転軸の調整が可能となるように、支持ローラー７１の回転軸は、外部軸受において調整可能に固定することができる。支持ローラー７１の回転軸は、搬送ベルト３１の搬送方向３１ｔに垂直に配列されている。支持ローラー７１の代わりに、あるいは支持ローラー７１に加えて、プレート型の支持体を、特に固定された支持体として配設することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
貫通孔３１ｄは、特には円形のドリル孔、及び／又は特には楕円状に伸長した孔及び／又はスリット及び／又は菱形状の孔として形成することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
図６は、貫通孔３１ｄが複数の領域において外径が異なるように形成されている第３実施形態である。中央の領域は、貫通孔３１ｄが菱形に形成されており、２つの端部領域では、貫通孔３１ｄが円形断面で形成されている。グリッドは、複数の領域において異なっている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
図７は、貫通孔３１ｄがランダムに分散した第４実施形態である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
１  装置
２  基板
２ｔ  搬送方向
３  搬送装置
４  真空吸引装置
５  コロナ装置
５ｌ  エアーギャップ
６  コーティング装置
７  支持装置
３１  搬送ベルト
３１ｄ  貫通孔
３１ｅ  対向電極
３１ｔ  搬送方向
３１ｖ  真空吸引ベルト
３２  ガイドローラー
３２ａ  駆動ローラー
４１  吸引ヘッド
４２  シールエレメント
４３  真空ポンプ
５１  ハウジング
５２  電極
５３  抽気装置
５４  高周波発生器
６１  印刷装置
６２  印刷ローラー
６３  インク着け装置
６５  スタンピング装置
６６  転写膜
６７  スタンピングローラー
７１  支持ローラー
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2019517968.tif 000001
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2019517968.tif 000002
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2019517968.tif 000003
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2019517968.tif 000004
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2019517968.tif 000005