(57)【要約】高精細のＰＤＰにおいて、画素開口率を確保しながら、バス電極の線抵抗を低く抑えてバス電極延設方向の末端まで十分電力を供給することにより、高輝度でかつ低消費電力のものを実現することを目的とする。  そのため、隣接する放電セル（１０１）を仕切る隔壁（１４）が、表示電極対（４）と立体交差するように、背面板（３）に設けられているＰＤＰにおいて、バス電極（９）に対して、隔壁（１４）と立体交差する隔壁交差部分（９３）において隔壁交差部分（９３）に突形状部分（９１）を形成し、突形状部分（９１）の線幅（Ｄ１）を、放電空間に臨む放電空間部分（９２）の線幅（Ｄ２）より大きくした。そして、突形状部分（９１）の横幅（Ｗ１）を隔壁（１４）の最大幅（Ｗ２）よりも小さく設定した。【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記背面板に、隣接する放電セルを仕切る隔壁が前記表示電極対と交差するように設けられているプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、前記隔壁と重なる部分に突形状部分を有し、
当該突形状部分での線幅は、前記放電空間に臨む部分の線幅よりも大きく、
前記突形状部分の横幅は、前記隔壁の最大幅に対して同等以下である。
【請求項２】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記背面板に、隣接する放電セルを仕切る隔壁が前記表示電極対と交差するように設けられているプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、前記隔壁と重なる部分に突形状部分を有し、
当該突形状部分での線幅は、前記放電空間に臨む部分の線幅よりも大きく、
前記突形状部分は、その先端部の横幅が前記隔壁の最大幅より小さい。
【請求項３】
請求項２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記突形状部分は、その根元部分の横幅が前記隔壁の最大幅よりも大きい。
【請求項４】
請求項１または２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記突形状部分は、前記隔壁に沿って突出している。
【請求項５】
請求項１または２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記バス電極は、
表示面側が低反射材料で形成されている。
【請求項６】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記前面板には、隣接する放電セルの境界近傍領域を遮光する遮光膜が前記表示電極と交差するように設けられているプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、前記遮光膜と重なる部分に突形状部分を有し、
当該突形状部分での線幅は、前記放電空間に臨む部分の線幅よりも大きく、
前記突形状部分の横幅は、前記遮光膜の幅に対して同等以下である。
【請求項７】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記前面板には、隣接する放電セルの境界近傍領域を遮光する遮光膜が前記表示電極と交差するように設けられているプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、前記遮光膜と重なる部分に突形状部分を有し、
当該突形状部分での線幅は、前記放電空間に臨む部分の線幅よりも大きく、
前記突形状部分は、その先端部の横幅が前記遮光膜の幅より小さい。
【請求項８】
請求項７記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記突形状部分は、その根元部分の横幅が前記遮光膜の幅よりも大きい。
【請求項９】
請求項６または７記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記突形状部分は、前記遮光膜に沿って突出している。
【請求項１０】
請求項１，２，６，７のいずれか記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記バス電極は、前記突形状部分における線幅が、前記放電空間に臨む部分の線幅に対して、２倍以上２０倍以下の範囲内にある。
【請求項１１】
請求項１，２，６，７のいずれか記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記各表示電極は、
帯状の透明電極上に前記バス電極が積層されて構成され、
前記突形状部分は、前記透明電極の放電間隙側端部まで延伸されている。
【請求項１２】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置されるとともにその外周部分が封着部で封着され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記バス電極が、表示領域内から前記封着部を横切って表示領域外に引き出されて形成された電極引き出し部を有するプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、
当該電極引き出し部における前記封着部と交差する部分の線幅が、表示領域内における線幅よりも小さく形成されている。
【請求項１３】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記電極引き出し部は、少なくとも前記封着部を横切る部分が、
アルミニウム，銅，クロム，ニッケル，金およびパラジウムから選択される１種以上を含む電極材料からなる薄膜で形成されている。
【請求項１４】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記電極引き出し部は、前記封着部を横切る部分の線幅が５〜１０μｍである。
【請求項１５】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記封着部は、
有機系材料および無機材料を含む複合材料で形成されている。
【請求項１６】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記封着部は、
少なくとも前記電極引き出し部と交差し接触する封着部分が、有機系材料と無機系材料を含む複合材料で形成されている。
【請求項１７】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記封着部は、
室温以上３００℃以下の範囲内で封着形成されてなる。
【請求項１８】
請求項１，２，６，７，１２のいずれか記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記バス電極は、表示領域内部分が、
アルミニウム，銅，クロム，ニッケル，金およびパラジウムから選択される１種以上を含む電極材料からなる薄膜で形成されている。
【請求項１９】
請求項１，２，６，７，１２のいずれか記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記バス電極は、表示領域内において、
銀を含む電極材料からなる厚膜で形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、気体放電による放射を利用して表示するプラズマディスプレイパネルに関し、特に高精細のプラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】  プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと呼ぶ）は、表示電極対群を配列した前面板と、書き込み電極であるデータ電極群を配列した背面板とを、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように配し、両者の基板間に放電空間を設けると共に、表示領域内の放電空間に放電可能な放電ガスを封入することによって、放電セルをマトリックス状に配列した気体放電表示装置である。【０００３】  図６は、従来例にかかるＡＣ型ＰＤＰの表示領域内における放電セルの構成を示す概略斜視図である。図６では、並列に配置された４個の放電セルが示されていて、内部構造を示すため一部切り欠いている。
図６に示すＰＤＰは、前面板２と背面板３とが対向配置され、前面板２のガラス基板１０上には、走査（スキャン）電極５と維持（サステイン）電極６からなる表示電極対４が配設され、表示電極対４を覆って誘電体層７とＭｇＯ（酸化マグネシウム）などからなる保護膜８が形成されている。一方、背面板３の基板１１上には、表示情報を書き込むためのデータ電極１２が形成され、データ電極１２を覆って誘電体層１３が形成されている。そして、誘電体層１３上には、データ電極１２に平行に隣接放電セルとの間に位置するように隔壁１４が形成され、誘電体層１３の表面および隔壁１４の側面には、放電セル毎にＲＧＢ用の蛍光体層１５が形成されている。【０００４】  データ電極１２および隔壁１４は、表示電極対４に対して立体交差するように配されていて、データ電極１２と表示電極対４とが立体交差する領域に画素単位である放電セルが形成されている。放電空間１には放電ガスとしてＮｅ（ネオン）とＸｅ（キセノン）などの混合ガスが数十ｋＰａの圧力で充填されている。
ＰＤＰ駆動時には、データ書き込み期間後の表示期間に、放電ギャップＧを挟んで表示電極対４を構成する走査電極５と維持電極６の間にＡＣ電圧を印加して、放電セルで選択的に放電を発生させ、放電によって励起されたＸｅ原子およびＸｅ分子から放射される紫外線によって蛍光体層１５を励起し可視光を発生させるという動作で表示を行う。【０００５】  図６に示すように、走査電極５および維持電極６は、平面視したときに隔壁１４に対して直交する方向にストライプ状に延設され、各々が、透明電極５５と、電力供給用のバス電極５９とから構成されている。
透明電極５５は、光透過率が高く、基板１０の上に十分に広い幅で、放電ギャップＧを挟んで互いに平行に形成されている。この透明電極５５には、放電ギャップＧ側に突出する突形状がパターニング形成されることもある。当該透明電極５５の材料には、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）やＳｎＯ２（ＮＥＳＡ）など比較的高抵抗で可視光透過率の高い材質が用いられ、蒸着やＣＶＤなどの薄膜プロセスなどによって形成される。【０００６】  バス電極５９は、線抵抗の小さい帯状の金属電極であって、透明電極５５の上に、透明電極５５よりも細く形成される。バス電極５９には、Ａｇ（銀）やＡｌ（アルミニウム）やＣｕ（銅）あるいはＣｒ（クロム）とのＣｕの積層膜など比較的低抵抗の材質が用いられる。バス電極５９の形成方法は、多岐にわたり、例えば、有機バインダー材料が混合されたＡｇ電極ペーストなどの厚膜電極材料による印刷焼成工程を用いて厚膜電極を形成する厚膜プロセスや、ＡｌやＣｕなどを含む薄膜電極材料による薄膜成膜プロセスや、フォトリソグラフィー工程を用いてこれをパターニングすることで薄膜電極を形成する薄膜プロセスなどがある。【０００７】  このようなＰＤＰは、高精細化の傾向にあり、例えばフルハイビジョン（１９２０×１０８０）クラスが開発されている。
【特許文献１】特開２００３−１２３６５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】  低精細度ＰＤＰにおいては、表示電極対４のバス電極５９は例えば約１００μｍの幅で形成されているので、電極長さが相応に長くても、電圧降下はあまり大きくならない。従って、ＰＤＰの表示領域内において、電力供給側と末端側との輝度差もあまり生じず、パネル面内の輝度均一性を確保することができる。しかし、高精細のＰＤＰを実現しようとすると、第１の問題として、画素面積が従来より小さくなるので、従来と同じ電極幅では画素開口率が小さくなってしまう。そこで、画素開口率を確保するために、バス電極を細線化することが要求されるが、現状のバス電極材料や電極形成プロセスでバス電極の微細パターンを形成すると、長手方向の線抵抗が高くなって電極の延設方向末端まで電力を十分供給することが困難になる。【０００９】  この問題に対して、例えば、特許文献１の図４，図１２には、基板上に形成された帯状のバス電極において、給電方向の上流側（電極引き出し側）の線幅より下流側の線幅を小さくしたものが開示されている。
図７は、特許文献１にかかるＰＤＰの表示領域内外におけるバス電極の構成を説明する概略平面図であって、図６と同じ構成のものは同じ番号を付与し、簡略のために一部省略している。【００１０】  特許文献１にかかるＰＤＰでは、図７に示すように、表示領域Ａ内において、バス電極６９の線幅を、給電方向の上流側で下流側よりも大きく設定しており、これによって給電方向上流側の抵抗値を低下させて、電極における電力消費を低減できるということである。
次に、ＰＤＰの封着部分と、バス電極から引き出した電極引き出し部について説明する。【００１１】  図８は、従来のＰＤＰにおいて、バス電極からの電極引き出し部の構成を説明する概略平面図であって、図６，７と同じ構成のものは同じ番号を付与し、簡略のために一部省略している。
図８において、領域Ｂは、図６，７における表示領域Ａ側のバス電極５９あるいはバス電極６９から表示領域外へ引き出して形成される電極引き出し部７１が、ガラスフリットなどによって形成される封着部７０と交差する封着部交差部分７２付近の領域を拡大して概念的に示すものである。【００１２】  図８の領域Ｂに示すように、バス電極５９（６９）は、上述の表示領域Ａ内だけでなく表示領域外に電極引き出し部７１が延設されており、この電極引き出し部７１は、封着部７０を通ってその外側に延びている。電極引き出し部７１の線幅は、表示領域Ａ側のバス電極５９（６９）の線幅Ｄ２と同一あるいはより大きい線幅であって、基板外周に渡って設けた封着部７０と封着部交差部分７２で交差し、さらに、電力供給するために基板端部（図示省略）に設けられた外部駆動回路結合部（図示省略）の方向へ延設されている。【００１３】  上記第１の問題に対して、特許文献１に開示された技術だけで解消することは難しく、特に大画面で高精細ＰＤＰでは、バス電極の線長が相応に長くなるので、大画面高精細のＰＤＰの画質を確保することが困難である。
また、高精細のＰＤＰを実現する上で、第２の問題として、バス電極の配列ピッチが小さくなるのに伴って、隣接する電極引き出し部の間隔が狭くなり、電極引き出し部でマイグレーションが生じやすくなるという問題がある。【００１４】  例えば、フルハイビジョン対応の高精細ＰＤＰを実現するためには、配設する走査、維持電極の配列本数を、各約２０００本に増加させる必要があり、バス電極の配列ピッチＰは、従来ピッチに対して約１／３よりもさらに小さくすることが要求される。
従来の低精細では、バス電極５９の配列ピッチが例えば約２７０μｍであって、封着部交差部分７２どうしの間隔ｇ２は約１７０μｍであったのに対して、バス電極５９の配列本数が上記のように高精細で約２０００×２本になると、バス電極５９の配列ピッチＰ２は例えば約８０μｍと小さくし、電極引き出し部７１の線幅Ｄ２も例えば約７０μｍと細くすることになる。この場合、封着部交差部分７２の線幅Ｄ２１を線幅Ｄ２と同等（約７０μｍ）にすると、封着部交差部分７２どうしの間隔ｇ２は約１０μｍと極端に狭くなる。【００１５】  このように隣接電極引き出し部７１どうしの間隔が狭くなると、駆動時にはその間隙に大きな電界が発生し、隣接する封着部交差部分７２間においてエレクトロマイグレーションが惹き起こされ、封着部７０を通して電流リークが発生する。そのため、パネルの消費電力が大きくなると共に、封着部が劣化してクラックが発生することもある。封着部にクラックが発生すると、ガスリークが生じるのでパネルの信頼性が低下する。【００１６】  本発明は、このような課題に鑑みなされたもので、大画面高精細のＰＤＰにおいて、画素開口率を確保しながら、バス電極の線抵抗を低く抑えてバス電極延設方向の末端まで十分電力を供給することにより、高輝度でかつ低消費電力のものを実現すること、並びに、電極引き出し部のマイグレーションを防止することにより、ＰＤＰの信頼性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】  上記課題を解決するために、本発明では以下の手段を採用した。
（１）隣接する放電セルを仕切る隔壁が表示電極と交差するように設けられているＰＤＰにおいて、表示電極のバス電極に対して、隔壁と交差して重なる部分に突形状部分を設けて、放電空間に臨む部分よりも線幅を大きく形成し、この突形状部分の横幅を隔壁の最大幅に対して同等以下に設定した。【００１８】  ここで、「線幅」とは、バス電極が伸長する方向と垂直な方向のバス電極幅を指し、「横幅」とは、バス電極が伸長する方向の突形状部分の幅（バス電極が伸長する方向の幅）を指す。
また、「隔壁が表示電極と交差する」というのは、ＰＤＰの前面から透視したときに、隔壁と表示電極とが互いに交差すればよく、隔壁が表示電極とが互いに接触して交差している場合、互いに非接触で立体交差している場合のいずれも含む。また、バス電極において、隔壁と交差して重なる部分というのも、ＰＤＰの前面から透視したときにオーバーラップする部分である。【００１９】  （２）隣接する放電セルの境界近傍領域を遮光する遮光膜が表示電極と交差するように設けられているＰＤＰにおいて、表示電極のバス電極に対して、遮光膜と交差して重なる部分に突形状部分を設けて、放電空間に臨む部分よりも線幅を大きく形成し、この突形状部分の横幅を遮光膜の幅に対して同等以下に設定した。
ここで、「遮光膜が表示電極と交差する」というのも、ＰＤＰの前面から透視したときに、遮光膜と表示電極とが互いに交差すればよく、遮光膜と表示電極とが互いに接触して交差している場合、互いに非接触で立体交差している場合のいずれも含む。【００２０】  上記（１），（２）のＰＤＰにおいて、突形状部分の縦幅は、バス電極の放電空間部分の線幅に対して、２倍〜２０倍の範囲にあることが好ましい。
また、各表示電極は、帯状の透明電極上にバス電極が積層されて構成されている場合、突形状部分を、透明電極の放電間隙側端部まで延伸されることが好ましい。
（３）バス電極が、表示領域内から前記封着部を横切って表示領域外に引き出されて形成された電極引き出し部を有するＰＤＰにおいて、バス電極の電極引き出し部における封着部と交差する部分の線幅を、表示領域内における線幅よりも小さくした。【００２１】  （３）のＰＤＰにおいて、電極引き出し部は、少なくとも封着部を横切る部分を、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｕ（銅）、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）およびＰｄ（パラジウム）の内の少なくとも１種を含む電極材料で形成された薄膜で構成することが好ましい。
また、電極引き出し部における封着部を横切る部分の線幅は、５〜１０μｍとすることが好ましい。【００２２】  また、封着部を、有機系材料および無機材料を含む複合材料より形成することが好ましい。
また、封着部は、少なくとも電極引き出し部と交差し接触する封着部分を、有機系材料と無機系材料を含む複合材料で形成することも好ましい。
また、封着部は、室温（２５℃）から３００℃の範囲の低温プロセスで封着形成することが好ましい。【００２３】  （１）〜（３）のＰＤＰにおいて、バス電極は、表示領域内において、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｕ（銅）、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）およびＰｄ（パラジウム）の内の少なくとも１種を含む電極材料からなる薄膜で形成すること、あるいは、Ａｇ（銀）を含む電極材料からなる厚膜で形成することが好ましい。
なお、以上の各構成は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
【発明の効果】
【００２４】  （１）のＰＤＰによれば、バス電極の放電空間に臨む部分を細線とすることによって、画素開口率の低下を抑えながら、線幅の大きい突形状部分でバス電極の低抵抗化を図ることができる。また、突形状部分の幅を隔壁の最大幅に対して同等以下としているので、突形状部分によって放電セルからの光放出が遮られることはない。
従って、画素開口率を確保しながら、バス電極の線抵抗を低くしてバス電極延設方向の末端まで電力を十分に供給できる。よって、高輝度且つ高精細のＰＤＰを実現できる。【００２５】  （１）のＰＤＰにおいて、このような効果を得るには、必ずしも、突形状部分の先端部分から根元部分までの全体にわたって、その横幅を隔壁の最大幅以下とする必要はなく、局部的には横幅が隔壁の最大幅より大きくてもよい。
例えば、突形状部分の先端部分における横幅を隔壁の最大幅より小さく設定することによっても上記の効果が得られる。その場合、突形状部分の根元部分では、横幅を隔壁の最大幅より大きく設定することも好ましい。【００２６】  上記突形状部分は、隔壁に沿って突出させれば、大きく突出させても隔壁に重なるので、画素開口率を確保する上で好ましい。
バス電極の表示面側を、可視光に対して反射率が低い低反射材料で形成すれば、コントラスト向上効果が得られる。
（２）のＰＤＰによれば、バス電極の放電空間に臨む部分を細線とすることによって、画素開口率の低下を抑えながら、線幅の大きい突形状部分でバス電極の低抵抗化を図ることができる。また、突形状部分の幅を遮光膜の幅に対して同等以下としているので、突形状部分によって放電セルからの光放出が遮られることはない。従って、画素開口率を確保しながら、バス電極の線抵抗を低くしてバス電極延設方向の末端まで電力を十分に供給できる。【００２７】  （２）のＰＤＰにおいて、このような効果を得るには、必ずしも、突形状部分の先端部分から根元部分までの全体にわたって、その横幅を隔壁の最大幅以下とする必要はなく、局部的には横幅が隔壁の最大幅より大きくてもよい。例えば、突形状部分の先端部分における横幅を遮光膜の幅より小さく設定することによっても上記の効果が得られる。その場合、突形状部分の根元部分では、横幅を遮光膜の幅より大きく設定することも好ましい。【００２８】  上記突形状部分は、遮光膜に沿って突出させれば、大きく突出させても遮光膜に重なるので、画素開口率を確保する上で好ましい。
（３）のＰＤＰによれば、バス電極の電極引き出し部における封着部と交差する部分の線幅を、表示領域内における線幅よりも小さくしているので、バス電極を表示領域内で低抵抗に維持しながら、電極引き出し部の封着部交差部分どうしの間隔を確保することができる。従って、封着部交差部分におけるエレクトロマイグレーションの発生や電流リークおよびガスリークが防止される。よって、高精細のＰＤＰにおいて、消費電力を低減しながら信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施の形態１にかかるＰＤＰにおいて、表示領域内における放電セルの構成を示す概略斜視図である。
【図２】実施の形態１にかかるＰＤＰの放電セル単位の構成例を示す概略平面図である。
【図３】実施の形態２にかかるＰＤＰの放電セル単位の構成例を示す概略平面図である。
【図４】実施の形態３にかかるＰＤＰのパネル全体の構成を示す概略平面図である。
【図５】（ａ）は、実施の形態３にかかるＰＤＰの封着部分におけるバス電極からの電極引き出し部の構成を示す概略平面図、（ｂ）は、その封着部交差部分のａ−ａ線矢視断面図である。
【図６】従来例にかかるＰＤＰの表示領域内における放電セルの構成を示す概略斜視図である。
【図７】従来例にかかるＰＤＰの表示領域内外におけるバス電極の構成を説明する概略平面図である。
【図８】従来例にかかるＰＤＰにおいて、封着部分におけるバス電極から電極引き出し部の構成を示す概略平面図である。
【符号の説明】
【００３０】      １  放電空間
２  前面板
３  背面板
４  表示電極対
５  走査電極
６  維持電極
７  誘電体層
８  保護膜
９  バス電極
１０  ガラス基板
１１  ガラス基板
１２  データ電極
１３  誘電体層
１４  隔壁
１５  蛍光体層
３１  ＰＤＰ
３２  封着部
３３  電極引き出し部
３４  封着部交差部分
９１  突形状部分
９２  放電空間部分
９３  隔壁交差部分
９４  突形状部分
９５  放電空間部分
９６  遮光膜交差部分
１０１  放電セル
１０２  遮光膜
１０３  遮光膜
１４１  隔壁
２０１  放電セル
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】  以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を用いて詳細に説明する。
〔実施の形態１〕
図１は、実施の形態１にかかるＰＤＰにおいて、表示領域内における放電セルの構成を示す概略斜視図である。図１では、並列に配置された４個の放電セルが示されているが、実際は赤，緑，青の各色を発光するセルが多数配列されて構成されている。図１では、内部構造を示すため一部切り欠いている。【００３２】  図２（ａ），（ｂ）は、当該ＰＤＰについて、放電セル単位の構成例を示す概略平面図であって、放電セル１０１が１つだけ表示されており、前面板側からみて、前面板の表示電極の構成および背面板の隔壁との位置関係を示している。
図１，２において、図６，７と同じ構成のものは、同じ参照番号を付与してる。
このＰＤＰは、例えばフルハイビジョン対応の高精細度ＰＤＰであって以下のように構成されている。【００３３】  前面板２と背面板３とが、両者の間に放電空間１が形成されるように対向配置されている。
前面板２のガラス基板１０上には、走査電極５と維持電極６からなる表示電極対４が配設され、表示電極対４を覆って誘電体層７が形成され、誘電体層７上には、２次電子放出効率が高くかつ耐スパッタ性が高く透明なＭｇＯ（酸化マグネシウム）などからなる保護膜８が形成されている。【００３４】  背面板３の基板１１上にはデータ電極１２が形成され、データ電極１２を覆って誘電体層１３が形成され、誘電体層１３上には、データ電極１２に平行に隣接する放電セルとの間に位置するようにストライプ状あるいは井桁状の隔壁１４が形成されており、誘電体層１３の表面および隔壁１４の側面には、放電セル毎にＲＧＢ用の蛍光体層１５が形成されている。【００３５】  データ電極１２および隔壁１４は、走査電極５および維持電極６に対して立体交差するように配されていて、当該立体交差する各領域に、画素単位である放電セルが形成されている。放電空間１には放電ガスとしてＮｅ（ネオン）とＸｅ（キセノン）などの混合ガスが数十ｋＰａの圧力で充填されている。隣接する放電セル間が隔壁１４で仕切られているので、駆動時に誤放電や光学的クロストークの発生が防止される。【００３６】  上記ＰＤＰの製造方法を説明する。
まず次のように、透明電極５５とバス電極９を積層させて表示電極対４を形成する。ガラス基板１０内面上に、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＳｎＯ２（酸化スズ、ＮＥＳＡ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）などにより、膜厚約１０００Å（１００ｎｍ）の透明電極膜を幅広にパターニング形成することによって、透明電極５５を対で形成する。透明電極５５対は、前面板２の内面上にパネル長手方向（Ｘ方向）に延設され、放電セル内において放電ギャップＧを挟んで互いに向き合うように形成する。駆動時に低電圧で放電をさせるために、放電ギャップＧは５０〜１００μｍ幅に設定する。【００３７】  この透明電極５５対の上（放電空間側）に、電気抵抗を下げるためのバス電極９を積層形成する。そして、このバス電極９には、後で詳述するように、薄膜電表示領域Ａ内において隔壁１４と立体交差する部分に、突形状部分９１を形成する。
バス電極９における表示領域Ａ内の部分は、緻密で線抵抗が低い材料で形成する。例えば、Ａｇ材料を焼成する厚膜法で電極を形成してもよいが、希土類金属を微量に含んだＡｌ系電極材料によるＡｌ−Ｎｄ（アルミニウム−ニオジウム）やＡｌ−Ｚｒ（アルミニウム−ジルコニウム）などの金属電極薄膜で形成したり、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒなどの積層電極薄膜で形成することが、高精細化にとって望ましい。また、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｕ（銅）、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）およびＰｄ（パラジウム）から選択される１種以上を含む電極材料によって薄膜電極を形成してもよい。これらの金属薄膜電極材料を用いることにより、緻密で線抵抗が低い薄膜電極を形成することができ、かつ厚膜電極よりも微細なパターニングが可能なので、高精細度ＰＤＰに適している。【００３８】  当該薄膜形成プロセスは、真空中などで行なわれ、望ましくは膜厚０．１〜４μｍの薄膜を成膜した後、フォトリソグラフィー技術で細長にパターン化する。
図２に示すように、基板１０の面上には、Ｙ方向（パネル縦方向）に隣接する放電セルどうしの境界近傍を遮光するために、バス電極９と平行してＸ方向にブラックストライプ形状の遮光膜１０２を形成してもよい。遮光膜１０２を形成する場合は、バス電極９と、隣接する放電セル（図示省略）のバス電極との間に形成する。【００３９】  遮光膜１０２の形成有無に係わらず、上記バス電極９を形成するときに、電極の表示面側は可視光に対して反射率が低い低反射材料で形成することが好ましく、特に黒色の電極材料を用いるのが望ましい。このようにバス電極９の表示面側を低反射材料で形成することより、隔壁１４に反射率の高い材料を使った場合でも、隔壁１４に入射する外光が遮光されるので、駆動時に不要光が低減されコントラストが向上される。薄膜法用の黒色電極材料としては、ＣｒまたはＮｉが挙げられ、厚膜法用の黒色電極材料としてはＡｇに黒色の導電材料を含有させたものが挙げられる。【００４０】  そして、表示電極対４、遮光膜１０２およびガラス基板１０を覆って誘電体層７を形成し、誘電体層７上には、２次電子放出効率が高い保護膜８を積層形成する。
誘電体層７を形成するときは、低融点ガラスによって焼成する誘電体形成プロセスにより厚膜誘電体層を形成しても構わないが、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）を含む誘電体層原料などを使用すれば、室温〜３００℃の低温プロセス、例えばＣＶＤ法（化学気相成長法）で、ＳｉＯ２を含む膜厚１〜１０μｍの緻密な低誘電率の誘電体層を形成することができる。また、ＩＣＰ−ＣＶＤ法（誘導結合プラズマＣＶＤ法）を用いれば、さらに緻密で低誘電率の誘電体層を高速で成膜できる。【００４１】  保護膜８は、２次電子放出係数が高く透明で耐スパッタ性に優れた材料、例えばＭｇＯ金属酸化物を用い、数千Åの膜厚で真空蒸着法やスパッタリング法などの真空成膜技術で形成することができる。
一方、背面板３のガラス基板１１の内表面に、データ電極１２を形成する。データ電極１２の電極材料としては、Ａｇ（銀），Ｃｒ（クロム），Ｃｕ（銅），Ｎｉ（ニッケル）を用い、必要に応じてこれらを組み合わせたものも使用できる。また、上記バス電極の形成と同じように、Ａｌ系電極材料などの薄膜電極材料を用いて薄膜電極を形成してもよい。【００４２】  そして、背面板３の内面上に、データ電極１２を覆って低融点ガラスで誘電体層１３を形成する。さらに、誘電体層１３上に、低融点ガラス材料を塗布焼成するとともにサンドブラスト法やフォトリソ法などの方法を用いてリブ形状とすることによって隔壁１４を形成する。当該隔壁１４は、放電セルを仕切るように、画面縦方向（Ｙ方向）にストライプ状あるいは井桁状に形成する。【００４３】  そして、隔壁１４を形成した背面板３に対して、隔壁１４の側面および誘電体層１３の表面上に、赤、緑、青発光の各蛍光体層１５を形成する。この蛍光体層１５は、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、Ｚｎ２ＳｉＯ４：ＭｎおよびＢａＭｇ２Ａｌ１４Ｏ２４：Ｅｕなどの３色の蛍光体を使用して蛍光体色毎に印刷塗布、焼成工程を通して形成する。
そして、表示電極対４、誘電体層７、保護膜８などを備えた前面板２と、隔壁１４、蛍光体層１５などを備えた背面板３とを、放電空間１を挟んで対向配置し、基板周囲において封着材料で貼り合わせて封着して発光板容囲器を形成した後、その内部を高真空に排気し、内部に放電ガスとして、希ガスであるキセノン・ネオンを含む希混合ガスを約６０ｋＰａの圧力で封入して封止することによって、高精細度のＰＤＰを作製することができる。【００４４】  なお、上記ＰＤＰを封着する際に、上記の混合ガス中で封着及び封止を同時に行なってもよい。
また、蛍光体材料や放電ガス種、圧力は、上記のものに特定するものではなく、ＡＣ型ＰＤＰで通常使用する材料や条件が適用できる。
（バス電極９の形状と効果）
バス電極９は、微細パターン形状でパターニングし細線化されて形成されている。【００４５】  バス電極９は表示領域Ａ内で各隔壁１４と立体交差しているので、図２（ａ），（ｂ）に示されるように平面視したときに、隔壁１４と重なっていない放電空間部分９２と、隔壁１４に重なっている隔壁交差部分９３を有している。本実施形態のバス電極９は、この隔壁交差部分９３に突形状部分９１を有するようにパターニングされている。言い換えると、図２に示されるように、突形状部分９１の線幅（縦幅）Ｄ１が、放電空間部分９２の線幅Ｄ２よりも大きく形成されている。【００４６】  バス電極９がこのような特徴を備えることによって得られる効果としては、上記のようにバス電極９においては、隔壁交差部分９３では突形状部分９１が形成されることによって、その線幅Ｄ１が放電空間部分９２の線幅Ｄ２よりも大きく形成されているが、隔壁交差部分９３が隔壁と重なっているので画素開口率に影響しない。従って、画素開口率を確保しながら、バス電極９の長手方向抵抗（線抵抗）を低く抑えることができる。【００４７】  すなわち、本実施形態のバス電極９と、一律的に線幅がＤ２であるバス電極と比較すると、放電空間１の領域における線幅はどちらもＤ２で同じなので、画素開口率は同等であるが、バス電極９では隔壁交差部分９３の線幅Ｄ１が線幅Ｄ２より大きいので、隔壁交差部分９３での線抵抗が低く抑えられることになる。
特に、高精細ＰＤＰにおいては、放電空間部分９２については細線化して、その線幅Ｄ２を一定とすることが画素開口率を確保する上で好ましく、線幅Ｄ２としては５〜１０μｍが適当である。【００４８】  高精細度ＰＤＰにおいては、このようなバス電極９を用いれば、線抵抗を低くする効果が大きい。
すなわち、ＰＤＰにおいて、表示画面の大きさが同等であれば、高精細であるほど、単位画素面積が小さくなるので画素開口率を維持するためにバス電極の放電空間部分の線幅をかなり細くする必要がある。例えば、フルハイビジョン対応の高精細度ＰＤＰでは、パネル全体として、走査電極５、維持電極６の配列本数は各々約２０００本以上配設され、バス電極９も約４０００本以上配設されるので、バス電極をかなり細線化する必要がある。【００４９】  このような高精細のＰＤＰにおいて、バス電極全体を一律に線幅で形成すると、線抵抗がかなり高くなるため電極の末端まで電力を十分供給するのが困難であるが、本実施形態のバス電極９のように隔壁交差部分９３に突形状部分９１を設けることによって、隔壁交差部分９３の線幅が大きくなる分、線抵抗（Ｘ方向に対する抵抗）が低くなるので、ＰＤＰが高精細であっても、バス電極の線抵抗を低く抑えることができるので、バス電極延設方向の末端まで電力を十分に供給することができる。【００５０】  次に、突形状部分９１の好ましい形態について詳述する。
突形状部分９１の形状は、例えば図２（ａ）のように全体を矩形状に形成してもよいし、図２（ｂ）のように根元部分を先端部分よりも幅広に形成してもよい。
いずれの形状でも、突形状部分９１は、隔壁１４が伸長するＹ方向に突出させれば、大きく突出させても隔壁１４と重なるので、画素開口率を維持する上で好ましい。【００５１】  突形状部分９１の先端部分（根元付近を除いた部分）における横幅Ｗ１は、隔壁１４の最大幅Ｗ２に対して同等もしくはより小さく設定することが好ましい。これは、突形状部分９１の根元部分以外の横幅Ｗ１が隔壁１４の最大幅Ｗ２よりも大きいと、隔壁１４から突形状部分９１がはみ出し、放電セルから前面に放射される光がこの部分で遮光されることによって、放電セルからの発光量が減るが、突形状部分９１の横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２以下に設定すると、放電セルからの発光量が確保されるためである。【００５２】  ここで、隔壁１４の断面（図２（ａ）におけるＺ−Ｚ線断面）は、一般的に図１に示すように台形状であって、根元側（基板１１側）で幅が大きく、隔壁頂上（前面板２側）では幅が若干狭くなっているので、「隔壁１４の最大幅Ｗ２」は、一般的に隔壁１４の基板１１側の幅である。図２における隔壁１４の縁を表す線は最大幅Ｗ２のところを描いている。【００５３】  一方、突形状部分９１の根元部分は、放電セルの隅部分に位置しており、当該根元部分の横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２よりも大きくすると、隅部分が遮蔽されるけれども、この隅部分では放電発光ががほとんどなされないので、隅部分を遮蔽しても、放電セルから前面に放出される光量にはほとんど影響しない。従って、根元部分の横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２よりも大きくしても、実質的な画素開口率は低下しない。【００５４】  よって、図２（ｂ）に例示するように、突形状部分９１の根元付近だけは横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２より大きく設定し、根元付近以外では横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２より小さく設定すれば、実質的な画素開口率を低下させることなく、根元付近で横幅Ｗ１を拡大した分だけバス電極の線抵抗をさらに低減できる。
また、隔壁１４を井桁構造にした場合や放電ガス中のＸｅ分圧を高めた場合には、放電セルの隅部分には放電が拡がりにくいので、特に、高精細な画素で隔壁を井桁構造に形成する場合や高Ｘｅ分圧の場合には、突形状部分９１の横幅Ｗ１を先端部分では隔壁の最大幅以下に設定し、根元部分では幅広に設定することによって線抵抗を低減することが望ましい。【００５５】  突形状部分９１の線幅Ｄ１については、バス電極９の線抵抗を低く抑える上で大きく設定することが好ましいが、突形状部分９１の先端が透明電極５５上からはみ出すくらいに線幅Ｄ１を大きく設定すると、駆動時に、隔壁上において突形状部分９１の互いに向かい合う先端同士の間で放電が発生しやすくなるので、突形状部分９１の先端が透明電極５５上からはみ出ない程度に設定する。【００５６】  そのような観点から、突形状部分９１の線幅Ｄ１を、放電空間部分９２の線幅Ｄ２に対して２〜２０倍の範囲内に設定することが望ましい。
また、上記のようにバス電極９の表示面側を低反射材料で形成する場合、当該バス電極９が隔壁１４を覆う比率が大きいほど、コントラストが向上するため、突形状部分９１は、透明電極５５の放電間隙側端部まで延伸することが望ましい。特に遮光膜１０２を設けない場合は、突形状部分９１は、透明電極５５の放電間隙側端部まで延伸することが望ましい。【００５７】  以上のように、本実施形態のＰＤＰによれば、画素開口率を低下させることなくバス電極の線抵抗を低くできる。そして、低精細度のＰＤＰに対して適用してもよいが、特に、５０〜１００インチあるいはそれ以上の大画面で高精細（例えばフルハイビジョン対応）のＰＤＰに適用するときに奏する効果が大きい。
なお、上記説明では、透明電極５５とバス電極９を積層させて表示電極対４を形成したが、透明電極５５を形成することなく、バス電極９の対だけで表示電極対４を構成しても、同様に実施でき同様の効果を奏する。【００５８】  〔実施の形態２〕
図３は、実施の形態２にかかるＰＤＰの実施例の放電セル単位の構成を示す概略平面図であって、上記図２と同様の構成要素は、同じ参照番号を付与している。
実施の形態１と同様に、バス電極９における放電空間部分９５（表示領域Ａ内の放電空間１に臨む領域）は、線幅Ｄ２が５〜１０μｍで細線化され、突形状部分９４の線幅（縦幅）Ｄ３が放電空間部分９５の線幅Ｄ２よりも大きく形成されているが、本実施形態では、隔壁１４１が井桁形状に形成され、ブラックマトリックス形状の遮光膜１０３もこの隔壁１４１と同様に放電セルを囲むよう形成されている。それに伴って、バス電極９は、図３のように平面視すると、隔壁１４１及び遮光膜１０３と交差している。上記突形状部分９４はこの交差部分に形成されており、突形状部分９４の先端部分の横幅Ｗ３が、遮光膜１０３の幅Ｗ４よりも小さく形成されている。【００５９】  表示電極対４を、透明電極５５とバス電極９を積層させて形成してもよいし、透明電極５５を形成することなく、バス電極９の対だけで表示電極対４を構成してもよい。
以下、さらに詳細に説明する。
背面板３上の隔壁１４１は、図３に示されるように放電セル２０１の周囲に井桁形状に形成する。一方、前面板２上には、この井桁形状の隔壁１４１を覆うように、ブラックマトリックス形状の遮光膜１０３を形成する。すなわち、平面視したときに隔壁１４１にオーバーラップするように遮光膜１０３を形成する。当該遮光膜１０３は、隣接する放電セルどうしの間に存在して、放電セル２０１の周囲やセル境界近傍を遮光することによって、表示コントラストを向上させる。【００６０】  画素毎にＲＧＢ各カラーフィルタ（不図示）を設ける場合、遮光膜１０３は、ＲＧＢ各カラーフィルタどうしの間に設ければよい。
遮光膜１０３のＹ方向に沿って形成される部分の幅Ｗ４は、隔壁１４１のＹ方向に形成される部分の最大幅Ｗ２よりも若干幅広に形成されている。
各バス電極９は、画面横方向であるＸ方向に延設されているので、平面視したときに、表示領域Ａ内において、画面縦方向であるＹ方向に延びる隔壁１４１および遮光膜１０３と交差する。【００６１】  バス電極９における遮光膜１０３と交差して重なる遮光膜交差部分９６には、突形状部分９４が形成されることによって、当該突形状部分９４の線幅Ｄ３は放電空間部分９５の線幅Ｄ２よりも大きくなっている。
そして、突形状部分９４の先端部分の横幅Ｗ３は、遮光膜１０３の幅Ｗ４に対して同等以下に設定されている。なお、突形状部分９４の横幅Ｗ３を、隔壁１４１の最大幅Ｗ２以下に設定すれば、横幅Ｗ３は遮光膜１０３の幅Ｗ４以下に設定されることになる。【００６２】  突形状部分９４は、遮光膜１０３が伸長するＹ方向に突出させれば、大きく突出させても遮光膜１０３と重なるので、画素開口率を維持する上で好ましい。
本実施の形態のＰＤＰは、上記実施の形態１と同様の効果を奏する。
すなわち、バス電極９における放電空間部分９５は細線化され、突形状部分９４は平面視したときに遮光膜１０３と重なるので、画素開口率が維持される。また、突形状部分９４によってバス電極９の線抵抗が低くなるため、延設方向の末端まで十分電力を供給することができる。【００６３】  このような効果は、低精細度のＰＤＰに対しても有効であるが、特に、５０〜１００インチあるいはそれ以上の大画面で、高精細（例えばフルハイビジョン対応）のＰＤＰにおいては、上記効果が顕著となる。
（実施の形態２の変形）
上記図３に示す例では、突形状部分９４は矩形状であって、突形状部分９４全体の横幅Ｗ３が、遮光膜１０３の幅Ｗ４に対して同等以下に設定されているが、実施の形態１で図２（ｂ）に基づいて説明したように、突形状部分９４の根元部分を、横幅Ｗ３を遮光膜１０３の幅Ｗ４よりも大きく設定すれば、線抵抗をより低くすることができる。【００６４】  また、上記図３に示すＰＤＰでは、平面視したときに、遮光膜１０３が隔壁１４１にオーバーラップするよう形成されており、バス電極９が遮光膜１０３及び隔壁１４１の両方と交差していたが、隔壁１４１はバス電極９に交差していなくてもよく、遮光膜１０３がバス電極９と交差していれば実施可能である。
また、上記図３に示すＰＤＰでは、遮光膜１０３を井桁形状に形成したが、遮光膜１０３をＹ方向沿ってだけ形成した場合も、同様に実施でき同様の効果を奏する。
〔実施の形態３〕
図４は、実施の形態３にかかるＰＤＰのパネル全体の構成を示す概略平面図であって、図１，２と同様の構成要素には、同じ参照番号を付与している。【００６５】  図４には、ＰＤＰ３１において、前面板２の長手Ｘ方向に配設されるバス電極９や、背面板３の画面縦Ｙ−方向に配設されるデータ電極１２および基板同士を封着するために基板周囲に設けられた封着部３２の配置構成が示されている。
ＰＤＰ３１は高精細度ＰＤＰであって、表示領域Ａにおいて、実施の形態１，２で説明したような放電セルが、従来の低精細ＰＤＰよりも多数配列されている。従って、バス電極９およびデータ電極１２の配列本数は従来よりも大幅に多く配設され、バス電極９の配列ピッチは、従来の低精細ピッチの約１／３よりも小さく設定されている。また、表示領域Ａに延設形成されたバス電極９から基板端に向かって引き出される電極引き出し部３３の配列本数も多くなり、表示領域外における配列ピッチも従来よりも狭くなる。同様に背面板３のデータ電極１２も配列本数が多くなる。【００６６】  図５は、ＰＤＰ３１の封着部分において、バス電極からの電極引き出し部の構成を説明する図であって、図５（ａ）は、図４に示したＰＤＰ３１の表示領域外における封着部３２付近の領域Ｅを拡大して概念的に示す平面図である。
当図に示すように領域Ｅには、基板外周に渡って封着部３２が形成されている。この封着部３２は、封着材料（シール材料）が塗布印刷され硬化されて形成される。【００６７】  封着材料としては、使用状況に応じて、適した有機材料系，無機材料系、あるいはこれらを複合させた複合材料系の封着材料を選ぶことができ、有機樹脂材料，無機材料および金属材料の中、２種以上が混合された複合材料などを使用することができる。それによって、室温から約３００℃付近までの低温プロセスで封着することが可能となるので、パネルの品質を向上できるとともに、その製造プロセスのコストを安くすることができる。【００６８】  具体的には、高気密な複合材料としてＳｉＯ２、ガラスなど金属酸化物、金属窒化物および金属炭化物などの無機材料からなる粉体やウィスカを多く含んだアクリレート系紫外線硬化型接着剤やカチオン硬化タイプ紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤、あるいは、これら無機材料を多く含む紫外線硬化型有機接着材料や少しだけ含む紫外線硬化型有機接着材料を使用してもよいし、あるいは無機材料を含まないアクリレート系紫外線硬化型接着剤やカチオン硬化タイプ紫外線硬化型エポキシ系樹脂接着剤を使用してもよい。【００６９】  各バス電極９は、表示領域Ａ側から引き出された電極引き出し部３３を有し、この電極引き出し部３３が封着部３２を横切って表示領域外に延設されている。
バス電極９は、上記実施の形態１，２で説明したように金属電極であって、Ａｌ系電極材料による薄膜電極、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒなどの積層薄膜電極をはじめとして、Ａｌ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ａｕ，およびＰｄの中から選んだ１種以上を含む電極材料より形成された薄膜電極が望ましい。【００７０】  （電極引き出し部３３の特徴）
高精細ＰＤＰでは、バス電極９の線幅Ｄ２は例えば約２０μｍに設定され、配列ピッチＰ１は例えば約８０μｍと小さく設定される。この場合、バス電極９どうしの間隙は約６０μｍとなるが、封着部交差部分どうしの間隙が６０μｍ程度に狭くなると、その狭い間隙で電界が発生することによりエレクトロマイグレーションが惹起されやすい。そして封着部でエレクトロマイグレーションが生じると、封着部が劣化して電流リークやガスリークが発生したりする。【００７１】  これに対して本実施形態のＰＤＰにおいては、バス電極９から引き出された電極引き出し部３３における封着部交差部分３４の線幅Ｄ４は、表示領域Ａ内で延設されているバス電極９の線幅Ｄ２よりも細く、５〜１０μｍの範囲内に設定されている。
このように封着部交差部分３４の線幅Ｄ４を、表示領域での線幅Ｄ２よりも小さく設定すれば、表示領域ではバス電極の導電性を確保しながら、封着部交差部分３４の線幅を小さくした分、隣接する封着部交差部分３４どうしの間隔ｇ１が広くなって約７０〜７５μｍとなるため、隣接する電極引出し部３３どうしの間に電界があまり発生しない。【００７２】  従って、高精細のＰＤＰにおいて、消費電力を低減しながら、エレクトロマイグレーションが抑えられるので、封着部での電流リークやガスリークを抑えて信頼性を向上させるのに有効である。
また、電極引き出し部３３の封着部交差部分３４を、上記のように、Ａｌ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｎｉ，ＡｕおよびＰｄの中から選んだ電極材料で薄膜電極で形成することも、封着部交差部分でのエレクトロマイグレーションを防ぐのに有効である。【００７３】  なお、図５（ａ）に示すように、電極引き出し部３３は、封着部３２を通って外側に伸びているが、封着部３２の外側では各薄膜電極に接触させるように厚膜電極を形成してもよい。
図５（ｂ）は、図５（ａ）に示すバス電極における封着部交差部分のａ−ａ線矢視断面図である。【００７４】  封着部３２において、電極引き出し部３３と交差し接触する封着部分３２２を、有機系材料と無機系材料を含む複合材料で形成すれば、封着部分でのリークが防止されるのでパネルの信頼性を向上させる上で望ましい。
一方、電極引き出し部３３と立体交差するけれどもこれと非接触の封着部分３２１には、有機系材料および複合材料の内の少なくとも１群を含む封着材料を使用して、図５（ｂ）に示すように、封着部３２を、封着部分３２２と封着部分３２１の２層が積層された積層構造とすることもできる。【００７５】  以上、表示電極対のバス電極９について説明したが、データ電極１２から引き出された電極引き出し部についても同様に、封着交差部分の線幅を表示領域内に延設されたデータ電極１２の線幅よりも小さく設定すれば、隣接する電極引出し部間で発生する電界が低くなるので、エレクトロマイグレーションが抑制される。
（実施の形態１〜３の変形例）
上記実施の形態１〜３において、表示領域内におけるバス電極を、主にＡｌ系電極材料などで形成する薄膜電極として説明したが、Ａｇ電極ペーストなどの厚膜電極材料を印刷し焼成する厚膜プロセスによって形成する厚膜電極としても構わない。【００７６】  また、実施の形態１〜３において、保護膜がＭｇＯで形成されるものとして説明したが、他の金属酸化物、例えば、保護膜をＣａＯ，ＢａＯ，ＳｒＯ，ＭｇＮＯ，ＺｎＯなどで形成しても、同様に実施可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７７】  本発明によれば、特に高精細ＰＤＰにおいて、画素開口率の低下をまねくことなく、電極を低抵抗とすることによって、高輝度でかつ低消費電力のものを実現したり、電極引き出し部におけるエレクトロマイグレーションを防止することによって信頼性を向上できるので、小中型から大型の高精細テレビジョンあるいは高精細情報表示端末など、映像機器産業、情報機器産業やその他の産業分野に利用することができ、その産業上の利用可能性は非常に広い。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年10月4日(2007.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記背面板に、隣接する放電セルを仕切る隔壁が前記表示電極対と交差するように設けられているプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、前記隔壁と重なる部分に突形状部分を有し、
当該突形状部分での線幅は、前記放電空間に臨む部分の線幅よりも大きく、
前記突形状部分の横幅は、前記隔壁の最大幅に対して同等以下である。
【請求項２】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記背面板に、隣接する放電セルを仕切る隔壁が前記表示電極対と交差するように設けられているプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、前記隔壁と重なる部分に突形状部分を有し、
当該突形状部分での線幅は、前記放電空間に臨む部分の線幅よりも大きく、
前記突形状部分は、その先端部の横幅が前記隔壁の最大幅より小さい。
【請求項３】
請求項２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記突形状部分は、その根元部分の横幅が前記隔壁の最大幅よりも大きい。
【請求項４】
請求項１または２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記突形状部分は、前記隔壁に沿って突出している。
【請求項５】
請求項１または２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記バス電極は、
表示面側が低反射材料で形成されている。
【請求項６】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記前面板には、隣接する放電セルの境界近傍領域を遮光する遮光膜が前記表示電極と交差するように設けられているプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、前記遮光膜と重なる部分に突形状部分を有し、
当該突形状部分での線幅は、前記放電空間に臨む部分の線幅よりも大きく、
前記突形状部分の横幅は、前記遮光膜の幅に対して同等以下である。
【請求項７】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記前面板には、隣接する放電セルの境界近傍領域を遮光する遮光膜が前記表示電極と交差するように設けられているプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、前記遮光膜と重なる部分に突形状部分を有し、
当該突形状部分での線幅は、前記放電空間に臨む部分の線幅よりも大きく、
前記突形状部分は、その先端部の横幅が前記遮光膜の幅より小さい。
【請求項８】
請求項７記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記突形状部分は、その根元部分の横幅が前記遮光膜の幅よりも大きい。
【請求項９】
請求項６または７記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記突形状部分は、前記遮光膜に沿って突出している。
【請求項１０】
請求項１，２，６，７のいずれか記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記バス電極は、前記突形状部分における線幅が、前記放電空間に臨む部分の線幅に対して、２倍以上２０倍以下の範囲内にある。
【請求項１１】
請求項１，２，６，７のいずれか記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記各表示電極は、
帯状の透明電極上に前記バス電極が積層されて構成され、
前記突形状部分は、前記透明電極の放電間隙側端部まで延伸されている。
【請求項１２】
前面板と背面板とが放電空間を挟んで対向配置されるとともにその外周部分が封着部で封着され、前記前面板にはバス電極を含む表示電極が対で配設され、表示領域内において前記表示電極に沿って複数の放電セルが形成されており、前記バス電極が、表示領域内から前記封着部を横切って表示領域外に引き出されて形成された電極引き出し部を有するプラズマディスプレイパネルであって、
前記バス電極は、
当該電極引き出し部における前記封着部と交差する部分の線幅が、表示領域内における線幅よりも小さく形成されている。
【請求項１３】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記電極引き出し部は、少なくとも前記封着部を横切る部分が、
アルミニウム，銅，クロム，ニッケル，金およびパラジウムから選択される１種以上を含む電極材料からなる薄膜で形成されている。
【請求項１４】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記電極引き出し部は、前記封着部を横切る部分の線幅が５〜１０μｍである。
【請求項１５】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記封着部は、
有機系材料および無機材料を含む複合材料で形成されている。
【請求項１６】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記封着部は、
少なくとも前記電極引き出し部と交差し接触する封着部分が、有機系材料と無機系材料を含む複合材料で形成されている。
【請求項１７】
請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記封着部は、
室温以上３００℃以下の範囲内で封着形成されてなる。
【請求項１８】
請求項１，２，６，７，１２のいずれか記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記バス電極は、表示領域内部分が、
アルミニウム，銅，クロム，ニッケル，金およびパラジウムから選択される１種以上を含む電極材料からなる薄膜で形成されている。
【請求項１９】
請求項１，２，６，７，１２のいずれか記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記バス電極は、表示領域内において、
銀を含む電極材料からなる厚膜で形成されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体放電による放射を利用して表示するプラズマディスプレイパネルに関し、特に高精細のプラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと呼ぶ）は、表示電極対群を配列した前面板と、書き込み電極であるデータ電極群を配列した背面板とを、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように配し、両者の基板間に放電空間を設けると共に、表示領域内の放電空間に放電可能な放電ガスを封入することによって、放電セルをマトリックス状に配列した気体放電表示装置である。
【０００３】
図６は、従来例にかかるＡＣ型ＰＤＰの表示領域内における放電セルの構成を示す概略斜視図である。図６では、並列に配置された４個の放電セルが示されていて、内部構造を示すため一部切り欠いている。
図６に示すＰＤＰは、前面板２と背面板３とが対向配置され、前面板２のガラス基板１０上には、走査（スキャン）電極５と維持（サステイン）電極６からなる表示電極対４が配設され、表示電極対４を覆って誘電体層７とＭｇＯ（酸化マグネシウム）などからなる保護膜８が形成されている。一方、背面板３の基板１１上には、表示情報を書き込むためのデータ電極１２が形成され、データ電極１２を覆って誘電体層１３が形成されている。そして、誘電体層１３上には、データ電極１２に平行に隣接放電セルとの間に位置するように隔壁１４が形成され、誘電体層１３の表面および隔壁１４の側面には、放電セル毎にＲＧＢ用の蛍光体層１５が形成されている。
【０００４】
データ電極１２および隔壁１４は、表示電極対４に対して立体交差するように配されていて、データ電極１２と表示電極対４とが立体交差する領域に画素単位である放電セルが形成されている。放電空間１には放電ガスとしてＮｅ（ネオン）とＸｅ（キセノン）などの混合ガスが数十ｋＰａの圧力で充填されている。
ＰＤＰ駆動時には、データ書き込み期間後の表示期間に、放電ギャップＧを挟んで表示電極対４を構成する走査電極５と維持電極６の間にＡＣ電圧を印加して、放電セルで選択的に放電を発生させ、放電によって励起されたＸｅ原子およびＸｅ分子から放射される紫外線によって蛍光体層１５を励起し可視光を発生させるという動作で表示を行う。
【０００５】
図６に示すように、走査電極５および維持電極６は、平面視したときに隔壁１４に対して直交する方向にストライプ状に延設され、各々が、透明電極５５と、電力供給用のバス電極５９とから構成されている。
透明電極５５は、光透過率が高く、基板１０の上に十分に広い幅で、放電ギャップＧを挟んで互いに平行に形成されている。この透明電極５５には、放電ギャップＧ側に突出する突形状がパターニング形成されることもある。当該透明電極５５の材料には、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）やＳｎＯ2（ＮＥＳＡ）など比較的高抵抗で可視光透過率の高い材質が用いられ、蒸着やＣＶＤなどの薄膜プロセスなどによって形成される。
【０００６】
バス電極５９は、線抵抗の小さい帯状の金属電極であって、透明電極５５の上に、透明電極５５よりも細く形成される。バス電極５９には、Ａｇ（銀）やＡｌ（アルミニウム）やＣｕ（銅）あるいはＣｒ（クロム）とのＣｕの積層膜など比較的低抵抗の材質が用いられる。バス電極５９の形成方法は、多岐にわたり、例えば、有機バインダー材料が混合されたＡｇ電極ペーストなどの厚膜電極材料による印刷焼成工程を用いて厚膜電極を形成する厚膜プロセスや、ＡｌやＣｕなどを含む薄膜電極材料による薄膜成膜プロセスや、フォトリソグラフィー工程を用いてこれをパターニングすることで薄膜電極を形成する薄膜プロセスなどがある。
【０００７】
このようなＰＤＰは、高精細化の傾向にあり、例えばフルハイビジョン（１９２０×１０８０）クラスが開発されている。
【特許文献１】特開２００３−１２３６５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
低精細度ＰＤＰにおいては、表示電極対４のバス電極５９は例えば約１００μｍの幅で形成されているので、電極長さが相応に長くても、電圧降下はあまり大きくならない。従って、ＰＤＰの表示領域内において、電力供給側と末端側との輝度差もあまり生じず、パネル面内の輝度均一性を確保することができる。しかし、高精細のＰＤＰを実現しようとすると、第１の問題として、画素面積が従来より小さくなるので、従来と同じ電極幅では画素開口率が小さくなってしまう。そこで、画素開口率を確保するために、バス電極を細線化することが要求されるが、現状のバス電極材料や電極形成プロセスでバス電極の微細パターンを形成すると、長手方向の線抵抗が高くなって電極の延設方向末端まで電力を十分供給することが困難になる。
【０００９】
この問題に対して、例えば、特許文献１の図４，図１２には、基板上に形成された帯状のバス電極において、給電方向の上流側（電極引き出し側）の線幅より下流側の線幅を小さくしたものが開示されている。
図７は、特許文献１にかかるＰＤＰの表示領域内外におけるバス電極の構成を説明する概略平面図であって、図６と同じ構成のものは同じ番号を付与し、簡略のために一部省略している。
【００１０】
特許文献１にかかるＰＤＰでは、図７に示すように、表示領域Ａ内において、バス電極６９の線幅を、給電方向の上流側で下流側よりも大きく設定しており、これによって給電方向上流側の抵抗値を低下させて、電極における電力消費を低減できるということである。
次に、ＰＤＰの封着部分と、バス電極から引き出した電極引き出し部について説明する。
【００１１】
図８は、従来のＰＤＰにおいて、バス電極からの電極引き出し部の構成を説明する概略平面図であって、図６，７と同じ構成のものは同じ番号を付与し、簡略のために一部省略している。
図８において、領域Ｂは、図６，７における表示領域Ａ側のバス電極５９あるいはバス電極６９から表示領域外へ引き出して形成される電極引き出し部７１が、ガラスフリットなどによって形成される封着部７０と交差する封着部交差部分７２付近の領域を拡大して概念的に示すものである。
【００１２】
図８の領域Ｂに示すように、バス電極５９（６９）は、上述の表示領域Ａ内だけでなく表示領域外に電極引き出し部７１が延設されており、この電極引き出し部７１は、封着部７０を通ってその外側に延びている。電極引き出し部７１の線幅は、表示領域Ａ側のバス電極５９（６９）の線幅Ｄ２と同一あるいはより大きい線幅であって、基板外周に渡って設けた封着部７０と封着部交差部分７２で交差し、さらに、電力供給するために基板端部（図示省略）に設けられた外部駆動回路結合部（図示省略）の方向へ延設されている。
【００１３】
上記第１の問題に対して、特許文献１に開示された技術だけで解消することは難しく、特に大画面で高精細ＰＤＰでは、バス電極の線長が相応に長くなるので、大画面高精細のＰＤＰの画質を確保することが困難である。
また、高精細のＰＤＰを実現する上で、第２の問題として、バス電極の配列ピッチが小さくなるのに伴って、隣接する電極引き出し部の間隔が狭くなり、電極引き出し部でマイグレーションが生じやすくなるという問題がある。
【００１４】
例えば、フルハイビジョン対応の高精細ＰＤＰを実現するためには、配設する走査、維持電極の配列本数を、各約２０００本に増加させる必要があり、バス電極の配列ピッチＰは、従来ピッチに対して約１／３よりもさらに小さくすることが要求される。
従来の低精細では、バス電極５９の配列ピッチが例えば約２７０μｍであって、封着部交差部分７２どうしの間隔ｇ２は約１７０μｍであったのに対して、バス電極５９の配列本数が上記のように高精細で約２０００×２本になると、バス電極５９の配列ピッチＰ２は例えば約８０μｍと小さくし、電極引き出し部７１の線幅Ｄ２も例えば約７０μｍと細くすることになる。この場合、封着部交差部分７２の線幅Ｄ２１を線幅Ｄ２と同等（約７０μｍ）にすると、封着部交差部分７２どうしの間隔ｇ２は約１０μｍと極端に狭くなる。
【００１５】
このように隣接電極引き出し部７１どうしの間隔が狭くなると、駆動時にはその間隙に大きな電界が発生し、隣接する封着部交差部分７２間においてエレクトロマイグレーションが惹き起こされ、封着部７０を通して電流リークが発生する。そのため、パネルの消費電力が大きくなると共に、封着部が劣化してクラックが発生することもある。封着部にクラックが発生すると、ガスリークが生じるのでパネルの信頼性が低下する。
【００１６】
本発明は、このような課題に鑑みなされたもので、大画面高精細のＰＤＰにおいて、画素開口率を確保しながら、バス電極の線抵抗を低く抑えてバス電極延設方向の末端まで十分電力を供給することにより、高輝度でかつ低消費電力のものを実現すること、並びに、電極引き出し部のマイグレーションを防止することにより、ＰＤＰの信頼性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために、本発明では以下の手段を採用した。
（１）隣接する放電セルを仕切る隔壁が表示電極と交差するように設けられているＰＤＰにおいて、表示電極のバス電極に対して、隔壁と交差して重なる部分に突形状部分を設けて、放電空間に臨む部分よりも線幅を大きく形成し、この突形状部分の横幅を隔壁の最大幅に対して同等以下に設定した。
【００１８】
ここで、「線幅」とは、バス電極が伸長する方向と垂直な方向のバス電極幅を指し、「横幅」とは、バス電極が伸長する方向の突形状部分の幅（バス電極が伸長する方向の幅）を指す。
また、「隔壁が表示電極と交差する」というのは、ＰＤＰの前面から透視したときに、隔壁と表示電極とが互いに交差すればよく、隔壁が表示電極とが互いに接触して交差している場合、互いに非接触で立体交差している場合のいずれも含む。また、バス電極において、隔壁と交差して重なる部分というのも、ＰＤＰの前面から透視したときにオーバーラップする部分である。
【００１９】
（２）隣接する放電セルの境界近傍領域を遮光する遮光膜が表示電極と交差するように設けられているＰＤＰにおいて、表示電極のバス電極に対して、遮光膜と交差して重なる部分に突形状部分を設けて、放電空間に臨む部分よりも線幅を大きく形成し、この突形状部分の横幅を遮光膜の幅に対して同等以下に設定した。
ここで、「遮光膜が表示電極と交差する」というのも、ＰＤＰの前面から透視したときに、遮光膜と表示電極とが互いに交差すればよく、遮光膜と表示電極とが互いに接触して交差している場合、互いに非接触で立体交差している場合のいずれも含む。
【００２０】
上記（１），（２）のＰＤＰにおいて、突形状部分の縦幅は、バス電極の放電空間部分の線幅に対して、２倍〜２０倍の範囲にあることが好ましい。
また、各表示電極は、帯状の透明電極上にバス電極が積層されて構成されている場合、突形状部分を、透明電極の放電間隙側端部まで延伸されることが好ましい。
（３）バス電極が、表示領域内から前記封着部を横切って表示領域外に引き出されて形成された電極引き出し部を有するＰＤＰにおいて、バス電極の電極引き出し部における封着部と交差する部分の線幅を、表示領域内における線幅よりも小さくした。
【００２１】
（３）のＰＤＰにおいて、電極引き出し部は、少なくとも封着部を横切る部分を、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｕ（銅）、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）およびＰｄ（パラジウム）の内の少なくとも１種を含む電極材料で形成された薄膜で構成することが好ましい。
また、電極引き出し部における封着部を横切る部分の線幅は、５〜１０μｍとすることが好ましい。
【００２２】
また、封着部を、有機系材料および無機材料を含む複合材料より形成することが好ましい。
また、封着部は、少なくとも電極引き出し部と交差し接触する封着部分を、有機系材料と無機系材料を含む複合材料で形成することも好ましい。
また、封着部は、室温（２５℃）から３００℃の範囲の低温プロセスで封着形成することが好ましい。
【００２３】
（１）〜（３）のＰＤＰにおいて、バス電極は、表示領域内において、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｕ（銅）、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）およびＰｄ（パラジウム）の内の少なくとも１種を含む電極材料からなる薄膜で形成すること、あるいは、Ａｇ（銀）を含む電極材料からなる厚膜で形成することが好ましい。
なお、以上の各構成は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
【発明の効果】
【００２４】
（１）のＰＤＰによれば、バス電極の放電空間に臨む部分を細線とすることによって、画素開口率の低下を抑えながら、線幅の大きい突形状部分でバス電極の低抵抗化を図ることができる。また、突形状部分の幅を隔壁の最大幅に対して同等以下としているので、突形状部分によって放電セルからの光放出が遮られることはない。
従って、画素開口率を確保しながら、バス電極の線抵抗を低くしてバス電極延設方向の末端まで電力を十分に供給できる。よって、高輝度且つ高精細のＰＤＰを実現できる。
【００２５】
（１）のＰＤＰにおいて、このような効果を得るには、必ずしも、突形状部分の先端部分から根元部分までの全体にわたって、その横幅を隔壁の最大幅以下とする必要はなく、局部的には横幅が隔壁の最大幅より大きくてもよい。
例えば、突形状部分の先端部分における横幅を隔壁の最大幅より小さく設定することによっても上記の効果が得られる。その場合、突形状部分の根元部分では、横幅を隔壁の最大幅より大きく設定することも好ましい。
【００２６】
上記突形状部分は、隔壁に沿って突出させれば、大きく突出させても隔壁に重なるので、画素開口率を確保する上で好ましい。
バス電極の表示面側を、可視光に対して反射率が低い低反射材料で形成すれば、コントラスト向上効果が得られる。
（２）のＰＤＰによれば、バス電極の放電空間に臨む部分を細線とすることによって、画素開口率の低下を抑えながら、線幅の大きい突形状部分でバス電極の低抵抗化を図ることができる。また、突形状部分の幅を遮光膜の幅に対して同等以下としているので、突形状部分によって放電セルからの光放出が遮られることはない。従って、画素開口率を確保しながら、バス電極の線抵抗を低くしてバス電極延設方向の末端まで電力を十分に供給できる。
【００２７】
（２）のＰＤＰにおいて、このような効果を得るには、必ずしも、突形状部分の先端部分から根元部分までの全体にわたって、その横幅を隔壁の最大幅以下とする必要はなく、局部的には横幅が隔壁の最大幅より大きくてもよい。例えば、突形状部分の先端部分における横幅を遮光膜の幅より小さく設定することによっても上記の効果が得られる。その場合、突形状部分の根元部分では、横幅を遮光膜の幅より大きく設定することも好ましい。
【００２８】
上記突形状部分は、遮光膜に沿って突出させれば、大きく突出させても遮光膜に重なるので、画素開口率を確保する上で好ましい。
（３）のＰＤＰによれば、バス電極の電極引き出し部における封着部と交差する部分の線幅を、表示領域内における線幅よりも小さくしているので、バス電極を表示領域内で低抵抗に維持しながら、電極引き出し部の封着部交差部分どうしの間隔を確保することができる。従って、封着部交差部分におけるエレクトロマイグレーションの発生や電流リークおよびガスリークが防止される。よって、高精細のＰＤＰにおいて、消費電力を低減しながら信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を用いて詳細に説明する。
〔実施の形態１〕
図１は、実施の形態１にかかるＰＤＰにおいて、表示領域内における放電セルの構成を示す概略斜視図である。図１では、並列に配置された４個の放電セルが示されているが、実際は赤，緑，青の各色を発光するセルが多数配列されて構成されている。図１では、内部構造を示すため一部切り欠いている。
【００３０】
図２（ａ），（ｂ）は、当該ＰＤＰについて、放電セル単位の構成例を示す概略平面図であって、放電セル１０１が１つだけ表示されており、前面板側からみて、前面板の表示電極の構成および背面板の隔壁との位置関係を示している。
図１，２において、図６，７と同じ構成のものは、同じ参照番号を付与してる。
このＰＤＰは、例えばフルハイビジョン対応の高精細度ＰＤＰであって以下のように構成されている。
【００３１】
前面板２と背面板３とが、両者の間に放電空間１が形成されるように対向配置されている。
前面板２のガラス基板１０上には、走査電極５と維持電極６からなる表示電極対４が配設され、表示電極対４を覆って誘電体層７が形成され、誘電体層７上には、２次電子放出効率が高くかつ耐スパッタ性が高く透明なＭｇＯ（酸化マグネシウム）などからなる保護膜８が形成されている。
【００３２】
背面板３の基板１１上にはデータ電極１２が形成され、データ電極１２を覆って誘電体層１３が形成され、誘電体層１３上には、データ電極１２に平行に隣接する放電セルとの間に位置するようにストライプ状あるいは井桁状の隔壁１４が形成されており、誘電体層１３の表面および隔壁１４の側面には、放電セル毎にＲＧＢ用の蛍光体層１５が形成されている。
【００３３】
データ電極１２および隔壁１４は、走査電極５および維持電極６に対して立体交差するように配されていて、当該立体交差する各領域に、画素単位である放電セルが形成されている。放電空間１には放電ガスとしてＮｅ（ネオン）とＸｅ（キセノン）などの混合ガスが数十ｋＰａの圧力で充填されている。隣接する放電セル間が隔壁１４で仕切られているので、駆動時に誤放電や光学的クロストークの発生が防止される。
【００３４】
上記ＰＤＰの製造方法を説明する。
まず次のように、透明電極５５とバス電極９を積層させて表示電極対４を形成する。ガラス基板１０内面上に、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＳｎＯ2（酸化スズ、ＮＥＳＡ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）などにより、膜厚約１０００Å（１００ｎｍ）の透明電極膜を幅広にパターニング形成することによって、透明電極５５を対で形成する。透明電極５５対は、前面板２の内面上にパネル長手方向（Ｘ方向）に延設され、放電セル内において放電ギャップＧを挟んで互いに向き合うように形成する。駆動時に低電圧で放電をさせるために、放電ギャップＧは５０〜１００μｍ幅に設定する。
【００３５】
この透明電極５５対の上（放電空間側）に、電気抵抗を下げるためのバス電極９を積層形成する。そして、このバス電極９には、後で詳述するように、薄膜電表示領域Ａ内において隔壁１４と立体交差する部分に、突形状部分９１を形成する。
バス電極９における表示領域Ａ内の部分は、緻密で線抵抗が低い材料で形成する。例えば、Ａｇ材料を焼成する厚膜法で電極を形成してもよいが、希土類金属を微量に含んだＡｌ系電極材料によるＡｌ−Ｎｄ（アルミニウム−ニオジウム）やＡｌ−Ｚｒ（アルミニウム−ジルコニウム）などの金属電極薄膜で形成したり、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒなどの積層電極薄膜で形成することが、高精細化にとって望ましい。また、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｕ（銅）、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）およびＰｄ（パラジウム）から選択される１種以上を含む電極材料によって薄膜電極を形成してもよい。これらの金属薄膜電極材料を用いることにより、緻密で線抵抗が低い薄膜電極を形成することができ、かつ厚膜電極よりも微細なパターニングが可能なので、高精細度ＰＤＰに適している。
【００３６】
当該薄膜形成プロセスは、真空中などで行なわれ、望ましくは膜厚０．１〜４μｍの薄膜を成膜した後、フォトリソグラフィー技術で細長にパターン化する。
図２に示すように、基板１０の面上には、Ｙ方向（パネル縦方向）に隣接する放電セルどうしの境界近傍を遮光するために、バス電極９と平行してＸ方向にブラックストライプ形状の遮光膜１０２を形成してもよい。遮光膜１０２を形成する場合は、バス電極９と、隣接する放電セル（図示省略）のバス電極との間に形成する。
【００３７】
遮光膜１０２の形成有無に係わらず、上記バス電極９を形成するときに、電極の表示面側は可視光に対して反射率が低い低反射材料で形成することが好ましく、特に黒色の電極材料を用いるのが望ましい。このようにバス電極９の表示面側を低反射材料で形成することより、隔壁１４に反射率の高い材料を使った場合でも、隔壁１４に入射する外光が遮光されるので、駆動時に不要光が低減されコントラストが向上される。薄膜法用の黒色電極材料としては、ＣｒまたはＮｉが挙げられ、厚膜法用の黒色電極材料としてはＡｇに黒色の導電材料を含有させたものが挙げられる。
【００３８】
そして、表示電極対４、遮光膜１０２およびガラス基板１０を覆って誘電体層７を形成し、誘電体層７上には、２次電子放出効率が高い保護膜８を積層形成する。
誘電体層７を形成するときは、低融点ガラスによって焼成する誘電体形成プロセスにより厚膜誘電体層を形成しても構わないが、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）を含む誘電体層原料などを使用すれば、室温〜３００℃の低温プロセス、例えばＣＶＤ法（化学気相成長法）で、ＳｉＯ2を含む膜厚１〜１０μｍの緻密な低誘電率の誘電体層を形成することができる。また、ＩＣＰ−ＣＶＤ法（誘導結合プラズマＣＶＤ法）を用いれば、さらに緻密で低誘電率の誘電体層を高速で成膜できる。
【００３９】
保護膜８は、２次電子放出係数が高く透明で耐スパッタ性に優れた材料、例えばＭｇＯ金属酸化物を用い、数千Åの膜厚で真空蒸着法やスパッタリング法などの真空成膜技術で形成することができる。
一方、背面板３のガラス基板１１の内表面に、データ電極１２を形成する。データ電極１２の電極材料としては、Ａｇ（銀），Ｃｒ（クロム），Ｃｕ（銅），Ｎｉ（ニッケル）を用い、必要に応じてこれらを組み合わせたものも使用できる。また、上記バス電極の形成と同じように、Ａｌ系電極材料などの薄膜電極材料を用いて薄膜電極を形成してもよい。
【００４０】
そして、背面板３の内面上に、データ電極１２を覆って低融点ガラスで誘電体層１３を形成する。さらに、誘電体層１３上に、低融点ガラス材料を塗布焼成するとともにサンドブラスト法やフォトリソ法などの方法を用いてリブ形状とすることによって隔壁１４を形成する。当該隔壁１４は、放電セルを仕切るように、画面縦方向（Ｙ方向）にストライプ状あるいは井桁状に形成する。
【００４１】
そして、隔壁１４を形成した背面板３に対して、隔壁１４の側面および誘電体層１３の表面上に、赤、緑、青発光の各蛍光体層１５を形成する。この蛍光体層１５は、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ、Ｚｎ2ＳｉＯ4：ＭｎおよびＢａＭｇ2Ａｌ14Ｏ24：Ｅｕなどの３色の蛍光体を使用して蛍光体色毎に印刷塗布、焼成工程を通して形成する。
そして、表示電極対４、誘電体層７、保護膜８などを備えた前面板２と、隔壁１４、蛍光体層１５などを備えた背面板３とを、放電空間１を挟んで対向配置し、基板周囲において封着材料で貼り合わせて封着して発光板容囲器を形成した後、その内部を高真空に排気し、内部に放電ガスとして、希ガスであるキセノン・ネオンを含む希混合ガスを約６０ｋＰａの圧力で封入して封止することによって、高精細度のＰＤＰを作製することができる。
【００４２】
なお、上記ＰＤＰを封着する際に、上記の混合ガス中で封着及び封止を同時に行なってもよい。
また、蛍光体材料や放電ガス種、圧力は、上記のものに特定するものではなく、ＡＣ型ＰＤＰで通常使用する材料や条件が適用できる。
（バス電極９の形状と効果）
バス電極９は、微細パターン形状でパターニングし細線化されて形成されている。
【００４３】
バス電極９は表示領域Ａ内で各隔壁１４と立体交差しているので、図２（ａ），（ｂ）に示されるように平面視したときに、隔壁１４と重なっていない放電空間部分９２と、隔壁１４に重なっている隔壁交差部分９３を有している。本実施形態のバス電極９は、この隔壁交差部分９３に突形状部分９１を有するようにパターニングされている。言い換えると、図２に示されるように、突形状部分９１の線幅（縦幅）Ｄ１が、放電空間部分９２の線幅Ｄ２よりも大きく形成されている。
【００４４】
バス電極９がこのような特徴を備えることによって得られる効果としては、上記のようにバス電極９においては、隔壁交差部分９３では突形状部分９１が形成されることによって、その線幅Ｄ１が放電空間部分９２の線幅Ｄ２よりも大きく形成されているが、隔壁交差部分９３が隔壁と重なっているので画素開口率に影響しない。従って、画素開口率を確保しながら、バス電極９の長手方向抵抗（線抵抗）を低く抑えることができる。
【００４５】
すなわち、本実施形態のバス電極９と、一律的に線幅がＤ２であるバス電極と比較すると、放電空間１の領域における線幅はどちらもＤ２で同じなので、画素開口率は同等であるが、バス電極９では隔壁交差部分９３の線幅Ｄ１が線幅Ｄ２より大きいので、隔壁交差部分９３での線抵抗が低く抑えられることになる。
特に、高精細ＰＤＰにおいては、放電空間部分９２については細線化して、その線幅Ｄ２を一定とすることが画素開口率を確保する上で好ましく、線幅Ｄ２としては５〜１０μｍが適当である。
【００４６】
高精細度ＰＤＰにおいては、このようなバス電極９を用いれば、線抵抗を低くする効果が大きい。
すなわち、ＰＤＰにおいて、表示画面の大きさが同等であれば、高精細であるほど、単位画素面積が小さくなるので画素開口率を維持するためにバス電極の放電空間部分の線幅をかなり細くする必要がある。例えば、フルハイビジョン対応の高精細度ＰＤＰでは、パネル全体として、走査電極５、維持電極６の配列本数は各々約２０００本以上配設され、バス電極９も約４０００本以上配設されるので、バス電極をかなり細線化する必要がある。
【００４７】
このような高精細のＰＤＰにおいて、バス電極全体を一律に線幅で形成すると、線抵抗がかなり高くなるため電極の末端まで電力を十分供給するのが困難であるが、本実施形態のバス電極９のように隔壁交差部分９３に突形状部分９１を設けることによって、隔壁交差部分９３の線幅が大きくなる分、線抵抗（Ｘ方向に対する抵抗）が低くなるので、ＰＤＰが高精細であっても、バス電極の線抵抗を低く抑えることができるので、バス電極延設方向の末端まで電力を十分に供給することができる。
【００４８】
次に、突形状部分９１の好ましい形態について詳述する。
突形状部分９１の形状は、例えば図２（ａ）のように全体を矩形状に形成してもよいし、図２（ｂ）のように根元部分を先端部分よりも幅広に形成してもよい。
いずれの形状でも、突形状部分９１は、隔壁１４が伸長するＹ方向に突出させれば、大きく突出させても隔壁１４と重なるので、画素開口率を維持する上で好ましい。
【００４９】
突形状部分９１の先端部分（根元付近を除いた部分）における横幅Ｗ１は、隔壁１４の最大幅Ｗ２に対して同等もしくはより小さく設定することが好ましい。これは、突形状部分９１の根元部分以外の横幅Ｗ１が隔壁１４の最大幅Ｗ２よりも大きいと、隔壁１４から突形状部分９１がはみ出し、放電セルから前面に放射される光がこの部分で遮光されることによって、放電セルからの発光量が減るが、突形状部分９１の横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２以下に設定すると、放電セルからの発光量が確保されるためである。
【００５０】
ここで、隔壁１４の断面（図２（ａ）におけるＺ−Ｚ線断面）は、一般的に図１に示すように台形状であって、根元側（基板１１側）で幅が大きく、隔壁頂上（前面板２側）では幅が若干狭くなっているので、「隔壁１４の最大幅Ｗ２」は、一般的に隔壁１４の基板１１側の幅である。図２における隔壁１４の縁を表す線は最大幅Ｗ２のところを描いている。
【００５１】
一方、突形状部分９１の根元部分は、放電セルの隅部分に位置しており、当該根元部分の横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２よりも大きくすると、隅部分が遮蔽されるけれども、この隅部分では放電発光ががほとんどなされないので、隅部分を遮蔽しても、放電セルから前面に放出される光量にはほとんど影響しない。従って、根元部分の横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２よりも大きくしても、実質的な画素開口率は低下しない。
【００５２】
よって、図２（ｂ）に例示するように、突形状部分９１の根元付近だけは横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２より大きく設定し、根元付近以外では横幅Ｗ１を隔壁１４の最大幅Ｗ２より小さく設定すれば、実質的な画素開口率を低下させることなく、根元付近で横幅Ｗ１を拡大した分だけバス電極の線抵抗をさらに低減できる。
また、隔壁１４を井桁構造にした場合や放電ガス中のＸｅ分圧を高めた場合には、放電セルの隅部分には放電が拡がりにくいので、特に、高精細な画素で隔壁を井桁構造に形成する場合や高Ｘｅ分圧の場合には、突形状部分９１の横幅Ｗ１を先端部分では隔壁の最大幅以下に設定し、根元部分では幅広に設定することによって線抵抗を低減することが望ましい。
【００５３】
突形状部分９１の線幅Ｄ１については、バス電極９の線抵抗を低く抑える上で大きく設定することが好ましいが、突形状部分９１の先端が透明電極５５上からはみ出すくらいに線幅Ｄ１を大きく設定すると、駆動時に、隔壁上において突形状部分９１の互いに向かい合う先端同士の間で放電が発生しやすくなるので、突形状部分９１の先端が透明電極５５上からはみ出ない程度に設定する。
【００５４】
そのような観点から、突形状部分９１の線幅Ｄ１を、放電空間部分９２の線幅Ｄ２に対して２〜２０倍の範囲内に設定することが望ましい。
また、上記のようにバス電極９の表示面側を低反射材料で形成する場合、当該バス電極９が隔壁１４を覆う比率が大きいほど、コントラストが向上するため、突形状部分９１は、透明電極５５の放電間隙側端部まで延伸することが望ましい。特に遮光膜１０２を設けない場合は、突形状部分９１は、透明電極５５の放電間隙側端部まで延伸することが望ましい。
【００５５】
以上のように、本実施形態のＰＤＰによれば、画素開口率を低下させることなくバス電極の線抵抗を低くできる。そして、低精細度のＰＤＰに対して適用してもよいが、特に、５０〜１００インチあるいはそれ以上の大画面で高精細（例えばフルハイビジョン対応）のＰＤＰに適用するときに奏する効果が大きい。
なお、上記説明では、透明電極５５とバス電極９を積層させて表示電極対４を形成したが、透明電極５５を形成することなく、バス電極９の対だけで表示電極対４を構成しても、同様に実施でき同様の効果を奏する。  
【００５６】
〔実施の形態２〕
図３は、実施の形態２にかかるＰＤＰの実施例の放電セル単位の構成を示す概略平面図であって、上記図２と同様の構成要素は、同じ参照番号を付与している。
実施の形態１と同様に、バス電極９における放電空間部分９５（表示領域Ａ内の放電空間１に臨む領域）は、線幅Ｄ２が５〜１０μｍで細線化され、突形状部分９４の線幅（縦幅）Ｄ３が放電空間部分９５の線幅Ｄ２よりも大きく形成されているが、本実施形態では、隔壁１４１が井桁形状に形成され、ブラックマトリックス形状の遮光膜１０３もこの隔壁１４１と同様に放電セルを囲むよう形成されている。それに伴って、バス電極９は、図３のように平面視すると、隔壁１４１及び遮光膜１０３と交差している。上記突形状部分９４はこの交差部分に形成されており、突形状部分９４の先端部分の横幅Ｗ３が、遮光膜１０３の幅Ｗ４よりも小さく形成されている。
【００５７】
表示電極対４を、透明電極５５とバス電極９を積層させて形成してもよいし、透明電極５５を形成することなく、バス電極９の対だけで表示電極対４を構成してもよい。  
以下、さらに詳細に説明する。
背面板３上の隔壁１４１は、図３に示されるように放電セル２０１の周囲に井桁形状に形成する。一方、前面板２上には、この井桁形状の隔壁１４１を覆うように、ブラックマトリックス形状の遮光膜１０３を形成する。すなわち、平面視したときに隔壁１４１にオーバーラップするように遮光膜１０３を形成する。当該遮光膜１０３は、隣接する放電セルどうしの間に存在して、放電セル２０１の周囲やセル境界近傍を遮光することによって、表示コントラストを向上させる。
【００５８】
画素毎にＲＧＢ各カラーフィルタ（不図示）を設ける場合、遮光膜１０３は、ＲＧＢ各カラーフィルタどうしの間に設ければよい。
遮光膜１０３のＹ方向に沿って形成される部分の幅Ｗ４は、隔壁１４１のＹ方向に形成される部分の最大幅Ｗ２よりも若干幅広に形成されている。
各バス電極９は、画面横方向であるＸ方向に延設されているので、平面視したときに、表示領域Ａ内において、画面縦方向であるＹ方向に延びる隔壁１４１および遮光膜１０３と交差する。
【００５９】
バス電極９における遮光膜１０３と交差して重なる遮光膜交差部分９６には、突形状部分９４が形成されることによって、当該突形状部分９４の線幅Ｄ３は放電空間部分９５の線幅Ｄ２よりも大きくなっている。
そして、突形状部分９４の先端部分の横幅Ｗ３は、遮光膜１０３の幅Ｗ４に対して同等以下に設定されている。なお、突形状部分９４の横幅Ｗ３を、隔壁１４１の最大幅Ｗ２以下に設定すれば、横幅Ｗ３は遮光膜１０３の幅Ｗ４以下に設定されることになる。
【００６０】
突形状部分９４は、遮光膜１０３が伸長するＹ方向に突出させれば、大きく突出させても遮光膜１０３と重なるので、画素開口率を維持する上で好ましい。
本実施の形態のＰＤＰは、上記実施の形態１と同様の効果を奏する。
すなわち、バス電極９における放電空間部分９５は細線化され、突形状部分９４は平面視したときに遮光膜１０３と重なるので、画素開口率が維持される。また、突形状部分９４によってバス電極９の線抵抗が低くなるため、延設方向の末端まで十分電力を供給することができる。
【００６１】
このような効果は、低精細度のＰＤＰに対しても有効であるが、特に、５０〜１００インチあるいはそれ以上の大画面で、高精細（例えばフルハイビジョン対応）のＰＤＰにおいては、上記効果が顕著となる。
（実施の形態２の変形）
上記図３に示す例では、突形状部分９４は矩形状であって、突形状部分９４全体の横幅Ｗ３が、遮光膜１０３の幅Ｗ４に対して同等以下に設定されているが、実施の形態１で図２（ｂ）に基づいて説明したように、突形状部分９４の根元部分を、横幅Ｗ３を遮光膜１０３の幅Ｗ４よりも大きく設定すれば、線抵抗をより低くすることができる。
【００６２】
また、上記図３に示すＰＤＰでは、平面視したときに、遮光膜１０３が隔壁１４１にオーバーラップするよう形成されており、バス電極９が遮光膜１０３及び隔壁１４１の両方と交差していたが、隔壁１４１はバス電極９に交差していなくてもよく、遮光膜１０３がバス電極９と交差していれば実施可能である。
また、上記図３に示すＰＤＰでは、遮光膜１０３を井桁形状に形成したが、遮光膜１０３をＹ方向沿ってだけ形成した場合も、同様に実施でき同様の効果を奏する。
〔実施の形態３〕
図４は、実施の形態３にかかるＰＤＰのパネル全体の構成を示す概略平面図であって、図１，２と同様の構成要素には、同じ参照番号を付与している。
【００６３】
図４には、ＰＤＰ３１において、前面板２の長手Ｘ方向に配設されるバス電極９や、背面板３の画面縦Ｙ−方向に配設されるデータ電極１２および基板同士を封着するために基板周囲に設けられた封着部３２の配置構成が示されている。
ＰＤＰ３１は高精細度ＰＤＰであって、表示領域Ａにおいて、実施の形態１，２で説明したような放電セルが、従来の低精細ＰＤＰよりも多数配列されている。従って、バス電極９およびデータ電極１２の配列本数は従来よりも大幅に多く配設され、バス電極９の配列ピッチは、従来の低精細ピッチの約１／３よりも小さく設定されている。また、表示領域Ａに延設形成されたバス電極９から基板端に向かって引き出される電極引き出し部３３の配列本数も多くなり、表示領域外における配列ピッチも従来よりも狭くなる。同様に背面板３のデータ電極１２も配列本数が多くなる。
【００６４】
図５は、ＰＤＰ３１の封着部分において、バス電極からの電極引き出し部の構成を説明する図であって、図５（ａ）は、図４に示したＰＤＰ３１の表示領域外における封着部３２付近の領域Ｅを拡大して概念的に示す平面図である。
当図に示すように領域Ｅには、基板外周に渡って封着部３２が形成されている。この封着部３２は、封着材料（シール材料）が塗布印刷され硬化されて形成される。
【００６５】
封着材料としては、使用状況に応じて、適した有機材料系，無機材料系、あるいはこれらを複合させた複合材料系の封着材料を選ぶことができ、有機樹脂材料，無機材料および金属材料の中、２種以上が混合された複合材料などを使用することができる。それによって、室温から約３００℃付近までの低温プロセスで封着することが可能となるので、パネルの品質を向上できるとともに、その製造プロセスのコストを安くすることができる。
【００６６】
具体的には、高気密な複合材料としてＳｉＯ2、ガラスなど金属酸化物、金属窒化物および金属炭化物などの無機材料からなる粉体やウィスカを多く含んだアクリレート系紫外線硬化型接着剤やカチオン硬化タイプ紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤、あるいは、これら無機材料を多く含む紫外線硬化型有機接着材料や少しだけ含む紫外線硬化型有機接着材料を使用してもよいし、あるいは無機材料を含まないアクリレート系紫外線硬化型接着剤やカチオン硬化タイプ紫外線硬化型エポキシ系樹脂接着剤を使用してもよい。
【００６７】
各バス電極９は、表示領域Ａ側から引き出された電極引き出し部３３を有し、この電極引き出し部３３が封着部３２を横切って表示領域外に延設されている。
バス電極９は、上記実施の形態１，２で説明したように金属電極であって、Ａｌ系電極材料による薄膜電極、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒなどの積層薄膜電極をはじめとして、Ａｌ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ａｕ，およびＰｄの中から選んだ１種以上を含む電極材料より形成された薄膜電極が望ましい。
【００６８】
（電極引き出し部３３の特徴）
高精細ＰＤＰでは、バス電極９の線幅Ｄ２は例えば約２０μｍに設定され、配列ピッチＰ１は例えば約８０μｍと小さく設定される。この場合、バス電極９どうしの間隙は約６０μｍとなるが、封着部交差部分どうしの間隙が６０μｍ程度に狭くなると、その狭い間隙で電界が発生することによりエレクトロマイグレーションが惹起されやすい。そして封着部でエレクトロマイグレーションが生じると、封着部が劣化して電流リークやガスリークが発生したりする。
【００６９】
これに対して本実施形態のＰＤＰにおいては、バス電極９から引き出された電極引き出し部３３における封着部交差部分３４の線幅Ｄ４は、表示領域Ａ内で延設されているバス電極９の線幅Ｄ２よりも細く、５〜１０μｍの範囲内に設定されている。
このように封着部交差部分３４の線幅Ｄ４を、表示領域での線幅Ｄ２よりも小さく設定すれば、表示領域ではバス電極の導電性を確保しながら、封着部交差部分３４の線幅を小さくした分、隣接する封着部交差部分３４どうしの間隔ｇ１が広くなって約７０〜７５μｍとなるため、隣接する電極引出し部３３どうしの間に電界があまり発生しない。
【００７０】
従って、高精細のＰＤＰにおいて、消費電力を低減しながら、エレクトロマイグレーションが抑えられるので、封着部での電流リークやガスリークを抑えて信頼性を向上させるのに有効である。
また、電極引き出し部３３の封着部交差部分３４を、上記のように、Ａｌ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｎｉ，ＡｕおよびＰｄの中から選んだ電極材料で薄膜電極で形成することも、封着部交差部分でのエレクトロマイグレーションを防ぐのに有効である。
【００７１】
なお、図５（ａ）に示すように、電極引き出し部３３は、封着部３２を通って外側に伸びているが、封着部３２の外側では各薄膜電極に接触させるように厚膜電極を形成してもよい。
図５（ｂ）は、図５（ａ）に示すバス電極における封着部交差部分のａ−ａ線矢視断面図である。
【００７２】
封着部３２において、電極引き出し部３３と交差し接触する封着部分３２２を、有機系材料と無機系材料を含む複合材料で形成すれば、封着部分でのリークが防止されるのでパネルの信頼性を向上させる上で望ましい。
一方、電極引き出し部３３と立体交差するけれどもこれと非接触の封着部分３２１には、有機系材料および複合材料の内の少なくとも１群を含む封着材料を使用して、図５（ｂ）に示すように、封着部３２を、封着部分３２２と封着部分３２１の２層が積層された積層構造とすることもできる。
【００７３】
以上、表示電極対のバス電極９について説明したが、データ電極１２から引き出された電極引き出し部についても同様に、封着交差部分の線幅を表示領域内に延設されたデータ電極１２の線幅よりも小さく設定すれば、隣接する電極引出し部間で発生する電界が低くなるので、エレクトロマイグレーションが抑制される。
（実施の形態１〜３の変形例）
上記実施の形態１〜３において、表示領域内におけるバス電極を、主にＡｌ系電極材料などで形成する薄膜電極として説明したが、Ａｇ電極ペーストなどの厚膜電極材料を印刷し焼成する厚膜プロセスによって形成する厚膜電極としても構わない。
【００７４】
また、実施の形態１〜３において、保護膜がＭｇＯで形成されるものとして説明したが、他の金属酸化物、例えば、保護膜をＣａＯ，ＢａＯ，ＳｒＯ，ＭｇＮＯ，ＺｎＯなどで形成しても、同様に実施可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明によれば、特に高精細ＰＤＰにおいて、画素開口率の低下をまねくことなく、電極を低抵抗とすることによって、高輝度でかつ低消費電力のものを実現したり、電極引き出し部におけるエレクトロマイグレーションを防止することによって信頼性を向上できるので、小中型から大型の高精細テレビジョンあるいは高精細情報表示端末など、映像機器産業、情報機器産業やその他の産業分野に利用することができ、その産業上の利用可能性は非常に広い。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】実施の形態１にかかるＰＤＰにおいて、表示領域内における放電セルの構成を示す概略斜視図である。
【図２】実施の形態１にかかるＰＤＰの放電セル単位の構成例を示す概略平面図である。
【図３】実施の形態２にかかるＰＤＰの放電セル単位の構成例を示す概略平面図である。
【図４】実施の形態３にかかるＰＤＰのパネル全体の構成を示す概略平面図である。
【図５】（ａ）は、実施の形態３にかかるＰＤＰの封着部分におけるバス電極からの電極引き出し部の構成を示す概略平面図、（ｂ）は、その封着部交差部分のａ−ａ線矢視断面図である。
【図６】従来例にかかるＰＤＰの表示領域内における放電セルの構成を示す概略斜視図である。
【図７】従来例にかかるＰＤＰの表示領域内外におけるバス電極の構成を説明する概略平面図である。
【図８】従来例にかかるＰＤＰにおいて、封着部分におけるバス電極から電極引き出し部の構成を示す概略平面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１    放電空間
２    前面板
３    背面板
４    表示電極対
５    走査電極
６    維持電極
７    誘電体層
８    保護膜
９    バス電極
１０    ガラス基板
１１    ガラス基板
１２    データ電極
１３    誘電体層
１４    隔壁
１５    蛍光体層
３１    ＰＤＰ
３２    封着部
３３    電極引き出し部
３４    封着部交差部分
９１    突形状部分
９２    放電空間部分
９３    隔壁交差部分
９４    突形状部分
９５    放電空間部分
９６    遮光膜交差部分
１０１    放電セル
１０２    遮光膜
１０３    遮光膜
１４１    隔壁
２０１    放電セル
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2006112419.tif 000010
【図２】
2006112419.tif 000011
【図３】
2006112419.tif 000012
【図４】
2006112419.tif 000013
【図５】
2006112419.tif 000014
【図６】
2006112419.tif 000015
【図７】
2006112419.tif 000016
【図８】
2006112419.tif 000017
【国際調査報告】
2006112419.tif 000018
2006112419.tif 000019
2006112419.tif 000020
2006112419.tif 000021