(57)【要約】      （修正有）【課題】ウェハが任意に摺動することにより、落ちて壊れてしまう問題を解消し、交換可能の固定部により、ウェハチャックの固定面積が、ウェハ面積の１５分の１以上になるウェハチャックの構造を提供する。【解決手段】主体と固定部とが備えられ、主体が少なくとも押し部と挟み持ち部と枢着部と滑り止め部とを備え、主体が、金属シートによりＶ文字状に一体成型され、また、主体の一端が挟み持ち部で、もう一端が枢着部であり、固定部の下方に凹槽があり、固定部の面積がウェハの面積の１５分の１より大きく、枢着部が該凹槽に挿入され、滑り止め部が枢着部の下方から延ばして垂直に湾曲され、固定部の下方に位置するウェハチャックの構造である。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
主体と固定部とが備えられ、該主体が少なくとも押し部と挟み持ち部と枢着部と滑り止め部とを備え、該主体が金属シートによりＶ文字状に一体成型され、また、該主体の一端が該挟み持ち部で、もう一端が該枢着部であり、該固定部の下方に凹槽があり、該固定部の面積がウェハの面積の１５分の１より大きく、該枢着部が該凹槽に挿入され、該滑り止め部が該枢着部の下方から延ばして垂直に湾曲され、該固定部の下方に位置することを特徴とするウェハチャックの構造。
【請求項２】
前記挟み持ち部が一列のウェブ状の下へ曲がる柱体であることを特徴とする請求項１に記載のウェハチャックの構造。
【請求項３】
前記挟み持ち部と該固定部とにより該ウェハを挟み持ち、また、該滑り止め部により該ウェハが任意に摺動することがないことを特徴とする請求項１に記載のウェハチャックの構造。
【請求項４】
前記固定部が該ウェハ面積の大きさに応じて、異なるサイズに交換できることを特徴とする請求項１に記載のウェハチャックの構造。
【請求項５】
主体と固定部とが備えられ、該主体が少なくとも押し部と挟み持ち部と枢着部と滑り止め部とを備え、該主体が金属シートによりＶ文字状に一体成型され、また、該主体の一端が該挟み持ち部で、もう一端が該枢着部であり、該固定部の裏面に半田区があり、該固定部の面積がウェハの面積の１５分の１より大きく、該枢着部が該半田区に半田され、該滑り止め部が該枢着部の下方から延ばして垂直に湾曲され、該固定部の下方に位置することを特徴とするウェハチャックの構造。
【請求項６】
前記挟み持ち部が一列のウェブ状の下へ曲がる柱体であることを特徴とする請求項５に記載のウェハチャックの構造。
【請求項７】
前記挟み持ち部と該固定部により該ウェハを挟み持ち、また、該滑り止め部により該ウェハが任意に摺動することがないことを特徴とする請求項５に記載のウェハチャックの構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ウェハチャックの構造に関し、特に、異なる面積のウェハを固定でき、また、該ウェハの摺動を防止できるウェハチャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
レベルが高い半導体裝置は、半導体ウェハに対して、より平滑の表面が要請される。特に、半導体ウェハがウェハチャックによって固定される時、該ウェハチャックの固定された表面が平滑ではないか、挟み持ち面積が小さすぎると、該ウェハが任意に摺動して、また、落ちて破壊される恐れがある。
【０００３】
図１０は、従来のウェハチャックの概念図である。図のように、従来のウェハチャック３は、押し部３１を御することにより、挟み持ち部３２と固定部３３とにより、ウェハを挟み持ち（図に未表示）、しかしながら、該挟み持ち部３２であっても、該固定部３３であっても、該ウェハを挟み持って固定する面積が小さ過ぎるため、該ウェハを挟み持つ時、該ウェハの表面の構造に傷付くだけでなく、該ウェハが落ちて壊れてしまう恐れがあり、また、既存のウェハのサイズは、6インチや8インチ或いは12インチ等の異なるサイズがあり、該ウェハチャック３は、異なるサイズのウェハに合わせることができない。そのため、一般の、従来のものは実用的ではない。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案の主な目的は、ウェハが任意に摺動することにより、落ちて壊れてしまう問題を解消し、交換可能の固定部により、ウェハチャックの固定面積が、ウェハ面積の１５分の１以上になるウェハチャックの構造を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の考案は、主体と固定部とが備えられ、該主体が少なくとも押し部と挟み持ち部と枢着部と滑り止め部とを備え、該主体が、金属シートによりＶ文字状に一体成型され、また、該主体の一端が該挟み持ち部で、もう一端が該枢着部であり、該固定部の下方に凹槽があり、該固定部の面積がウェハの面積の１５分の１より大きく、該枢着部が該凹槽に挿入され、該滑り止め部が該枢着部の下方から延ばして垂直に湾曲され、該固定部の下方に位置することを特徴とするウェハチャックの構造である。
【０００６】
請求項２の考案は、該挟み持ち部が一列のウェブ状の下へ曲がる柱体であることを特徴とする請求項１に記載のウェハチャックの構造である。
【０００７】
請求項３の考案は、該挟み持ち部と該固定部とにより、該ウェハを挟み持ち、また、該滑り止め部により、該ウェハが任意に摺動することがないことを特徴とする請求項１に記載のウェハチャックの構造である。
【０００８】
請求項４の考案は、該固定部が該ウェハ面積の大きさに応じて異なるサイズに交換できることを特徴とする請求項１に記載のウェハチャックの構造である。
【０００９】
請求項５の考案は、主体と固定部とが備えられ、該主体が少なくとも押し部と挟み持ち部と枢着部と滑り止め部とを備え、該主体が金属シートによりＶ文字状に一体成型され、また、該主体の一端が該挟み持ち部で、もう一端が該枢着部であり、該固定部の裏面に半田区があり、該固定部の面積がウェハの面積の１５分の１より大きく、該枢着部が該半田区に半田され、該滑り止め部が該枢着部の下方から延ばして垂直に湾曲され、該固定部の下方に位置することを特徴とするウェハチャックの構造である。
【００１０】
請求項６の考案は、該挟み持ち部が一列のウェブ状の下へ曲がる柱体であることを特徴とする請求項５に記載のウェハチャックの構造である。
【００１１】
請求項７の考案は、該挟み持ち部と該固定部により該ウェハを挟み持ち、また、該滑り止め部により、該ウェハが任意に摺動することがないことを特徴とする請求項５に記載のウェハチャックの構造である。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１〜図４は、それぞれ、本考案の第１の実施例の立体概念図と本考案の第１の実施例の他の立体概念図、本考案の第１の実施例の分解概念図及び本考案の第１の実施例固定部の概念図である。図のように、本考案は、ウェハチャックの構造であり、主体１１と固定部１４から構成され、該主体１１が、少なくとも、押し部１１１と挟み持ち部１２、枢着部１３及び滑り止め部１５を備え、ウェハの耐磨耗性と平坦度が向上され、また、ウェハの異なる大きさに対応できる。
【００１３】
該主体１１は、金属シートにより、Ｖ文字状に一体成型され、押すことに供される押し部１１１があり、また、該主体１１のＶ文字状の一端が、該枢着部１３で、もう一端が、該挟み持ち部１２であり、該挟み持ち部１２に、該ウェハを挟み持つための一列のウェブ状の下へ曲がる柱体がある。
【００１４】
該固定部１４の下方には、該枢着部１３が挿入される凹槽１４１があり、該固定部１４の面積が、該ウェハ面積の１５分の１より大きく、該挟み持ち部１２と一緒に該ウェハを固定する時、該ウェハの面積の大きさに応じて、異なるサイズの固定部１４を交換できる。
【００１５】
該滑り止め部１５は、該枢着部１３の下方から延ばして、垂直に湾曲され、該固定部１４の下方に位置し、該挟み持ち部１２と該固定部１４とにより、該ウェハに抵当することにより、該ウェハが任意に摺動することができない。
【００１６】
図５は、本考案の操作概念図である。図のように、本考案は、ウェハチャック１上の該枢着部１３（図３を参照しながら）が該固定部１４に挿入されて、何時でも、ウェハ２面積の大きさに応じて、該固定部１４のサイズを交換でき、また、該固定部１４は、面積が、該ウェハ２面積の１５分の１より大きく、該ウェハ２を固定する、同時に、該枢着部１３の下方から延ばして垂直に湾曲された、該固定部１４の下方に位置する、滑り止め部１５が、該ウェハ２に抵当するため、該ウェハチャック１は、該押し部１１１を押すことにより、該挟み持ち部１２と該固定部１４とで該ウェハ２を挟み持ち、また、該滑り止め部１５で該ウェハ２を抵当するため、該ウェハ２が任意に摺動できなくなる。
【００１７】
図６〜図９は、それぞれ、本考案の第２の実施例の立体概念図と本考案の第２の実施例の他の立体概念図、本考案の第２の実施例の更に他の立体概念図及び本考案の第２の実施例の固定部の概念図である。図のように、本考案は、ウェハチャックの構造であり、主体２１と固定部２４から構成され、また、該主体２１は、少なくとも、押し部２１１と挟み持ち部２２、枢着部２３及び滑り止め部２５を備え、ウェハチャックの耐磨耗性や平坦度が向上され、また、構造が簡単で、実用性が向上され、そして適用範囲が広くなる。
【００１８】
該主体２１は、金属シートによりＶ文字状に一体成型され、また、押すことに供される押し部２１１があり、また、該主体２１のＶ文字状の一端が、該枢着部２３で、もう一端が、該挟み持ち部２２であり、また、該挟み持ち部２２は、ウェハを挟み持つための一列のウェブ状の下へ曲がる柱体がある。
【００１９】
該固定部２４の裏面２６に、該枢着部２３を半田付けるための半田区２６１があり（図９を参照しながら）、また、該固定部２４の面積が、該ウェハの面積の１５分の１より大きく、該挟み持ち部１２に合わせて、該ウェハを固定する。
【００２０】
該滑り止め部２５は、該枢着部２３の下方から延ばして、垂直に湾曲され、該固定部２４の下方に位置し、該挟み持ち部２２と該固定部２４に合わせて、該ウェハを抵当して、該ウェハが任意に摺動できなくなる。
【００２１】
以上のように、本考案は、ウェハチャックの構造であり、有効に従来の諸欠点を改善でき、交換可能の固定部により、ウェハチャックの固定面積が、ウェハの面積の１５分の１以上になり、また、滑り止め部で抵当することにより、該ウェハが、任意に摺動することができなく、また、構造が簡単で、より実用的になり、また、応用範囲が広くなり、そのため、本考案は、より進歩的かつより実用的で、法に従って実用新案登録請求を出願する。
【００２２】
以上は、ただ、本考案のより良い実施例であり、本考案は、それによって制限されることが無く、本考案に係わる実用新案登録請求の範囲や明細書の内容に基づいて行った等価の変更や修正は、全てが、本考案の実用新案登録請求の範囲内に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本考案の第１の実施例の立体概念図
【図２】本考案の第１の実施例の他の立体概念図
【図３】本考案の第１の実施例の分解概念図
【図４】本考案の第１の実施例の固定部概念図
【図５】本考案の操作概念図
【図６】本考案の第２の実施例の立体概念図
【図７】本考案の第２の実施例の他の立体概念図
【図８】本考案の第２の実施例の立体構造概念図
【図９】本考案の第２の実施例の固定部概念図
【図１０】従来のウェハチャックの概念図
【符号の説明】
【００２４】
（本考案部分）
１        ウェハチャック
１１      主体
１１１    押し部
１２      挟み持ち部
１３      枢着部
１４      固定部
１４１    凹槽
１５      滑り止め部
２        ウェハ
２１      主体
２１１    押し部
２２      挟み持ち部
２３      枢着部
２４      固定部
２５      滑り止め部
２６      裏面
２６１    半田区
（従来部分）
３        ウェハチャック
３１      押し部
３２      挟み持ち部
３３      滑り止め部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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