(57)【要約】      （修正有）【課題】製造コストダウン、生産効率及びスパッタ歩留りアップ可能な連続式スパッタ装置用工作物輸送装置の提供。【解決手段】支持架に主伝送プーリと従伝送プーリを取り付け、主伝送プーリと従伝送プーリに伝送ベルト１５４を繞設し、該伝送ベルトの一側に主動ロールと従動ロールを枢設し、主動ロールと従動ロール外に主動ロールベルト１１３を繞設する。支持架に二つの補助ロールを取り付け、補助ロールに補助ロールベルト１２２を繞設し、トレイ２００はベースを包含し、ベース上に複数の工作物支持軸２３１を枢設し、工作物支持軸にプーリを固定し、各列のプーリに共同で列ベルトを繞設し、隣り合う２列のプーリ中の二つの位置の対応するプーリに列間ベルトを繞設する。トレイの後側面と補助ロールベルトは当接し、トレイ上の支持軸プーリと主動ロールベルトが当接する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、
トレイ伝送装置であって、該トレイ伝送装置は一つ或いは二つ以上が前後に接続されるトレイ伝送ユニットで構成され、該トレイ伝送ユニットは支持架を包含し、該支持架上に伝送プーリセットが設けられ、該伝送プーリセットに伝送ベルトが繞設され、該支持架上の伝送ベルトの両側それぞれにロールセットが設けられ、二つの該ロールセットにそれぞれロールベルトが繞設され、二組のロールセット中の少なくとも一組は主動ロールセットとされ、該主動ロールセットとモータが接続され、該主動ロールセット上の該ロールベルトは主動ロールベルトとされる、上記トレイ伝送装置と、
若干のトレイであって、これらトレイはいずれもベースを包含し、該ベース上に若干の工作物支持軸が枢設され、該工作物支持軸上に工作物シートが固定され、若干の工作物支持軸中の少なくとも一つの工作物支持軸に支持軸ロールが固定され、全ての工作物支持軸の間がベルト或いはチェーンで伝動され、該支持軸ロールと該トレイ伝送装置上の該主動ロールベルトが組み合わされ、該トレイの、支持軸ロールのある側と反対の一側と別のロールベルトが当接する、上記若干のトレイと、
を包含することを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置。
【請求項２】
請求項１記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、上述の伝送プーリセットは、主伝送プーリを包含し、該主伝送プーリはモータに接続され、主伝送プーリは該支持架上の該支持架の一端に近いところに設けられ、該支持架上の該支持架の別端に近いところに従伝送プーリが取り付けられたことを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置。
【請求項３】
請求項２記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該主動ロールセットは主動ロールと従動ロールを包含し、該主動ロールと該従動ロールは該支持架に枢設され、該主動ロールと該従動ロールはそれぞれ該支持架の一端に接近し且つ該伝送ベルトと同一側に位置し、該主動ロールはモータに接続され、該主動ロールセットに主動ロールベルトが繞設されたことを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置。
【請求項４】
請求項３記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該ロールセット中の一組は補助ロールセットとされ、該補助ロールセットは二つの補助ロールを包含し、二つの該補助ロールは該支持架上に枢設され並びにそれぞれ該支持架の一端に接近し、二つの該補助ロールに補助ロールベルトが繞設され、該補助ロールベルトと主動ロールベルトが該伝送ベルトの両側に位置することを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置。
【請求項５】
請求項１記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該トレイのベースは方形板状のシート板を包含し、該シート板にマトリクス配列された若干の支持軸孔が開設され、上述の工作物支持軸がそれぞれ該支持軸孔中に枢設され、該主動ロールベルトに近い一列の各工作物支持軸に該主動ロールベルトと組み合わされる支持軸ロールが固定され、各工作物支持軸にプーリが固定され、各列のプーリに共同で列ベルトが繞設され、隣り合う各２列のプーリ中の二つの位置が対応するプーリに列間ベルトが繞設されたことを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置。
【請求項６】
請求項５記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該シート板の左右両側辺縁部分が上向きに垂直に延伸されて側壁が形成され、両側壁の前端と該シート板の前端の間に間隙が保留され、該シート板の後側端が上向きに垂直に延伸されて後壁が形成され、該後壁の左右両端と左右の両側壁が接続され、該ベースの上面にカバー板が固定され、該カバー板は方形平板とされ、該カバー板に各工作物支持軸の大きさと位置に対応し該カバー板を貫通するカバー板支持軸孔が開設され、該工作物支持軸が該カバー板支持軸孔に挿通されて突出することを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置。
【請求項７】
請求項１記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該支持軸ロールの周囲に模様が設けられたことを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は一種の連続式スパッタ装置に係り、特に一種の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
伝統的な水平連続式スパッタ装置は工作物に対して外表装飾或いは機能性成膜を行う時、一般に工作物を積載工具とされるトレイ上に単純に置いて輸送する。単純に積載工具とされるトレイで工作物を輸送する時、工作物が立体構造である時、その側辺の膜層が厚さ不均一となりやすく、そのために色の不均一を生じやすく、膜層の金属層に対する付着力にも影響が生じた。
【０００３】
上述の問題を解決するため、市場には一種の立式連続式スパッタ装置が出現しており、その輸送装置にはそれぞれモータで駆動される回動可能なホルダが増設され、工作物がこのホルダに懸架され、ホルダにより工作物が回動させられて、これにより工作物が回動状態でスパッタ処理される。
【０００４】
しかし、既存の輸送装置の伝動モータで駆動される回動可能なホルダは、工作物をホルダに懸架するのが比較的面倒で生産効率をダウンさせ、また輸送装置の構造が比較的複雑で製造コストが高くつく。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の目的は、上述の周知の技術の不足に対して、一種の、構造が簡単で、製造コストが低く、並びに工作物の放置が簡単便利で、工作物生産効率をアップし、並びに工作物上の成膜を均一に行える連続式スパッタ装置用工作物輸送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の考案は、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、
トレイ伝送装置であって、該トレイ伝送装置は一つ或いは二つ以上が前後に接続されるトレイ伝送ユニットで構成され、該トレイ伝送ユニットは支持架を包含し、該支持架上に伝送プーリセットが設けられ、該伝送プーリセットに伝送ベルトが繞設され、該支持架上の伝送ベルトの両側それぞれにロールセットが設けられ、二つの該ロールセットにそれぞれロールベルトが繞設され、二組のロールセット中の少なくとも一組は主動ロールセットとされ、該主動ロールセットとモータが接続され、該主動ロールセット上の該ロールベルトは主動ロールベルトとされる、上記トレイ伝送装置と、
若干のトレイであって、これらトレイはいずれもベースを包含し、該ベース上に若干の工作物支持軸が枢設され、該工作物支持軸上に工作物シートが固定され、若干の工作物支持軸中の少なくとも一つの工作物支持軸に支持軸ロールが固定され、全ての工作物支持軸の間がベルト或いはチェーンで伝動され、該支持軸ロールと該トレイ伝送装置上の該主動ロールベルトが組み合わされ、該トレイの、支持軸ロールのある側と反対の一側と別のロールベルトが当接する、上記若干のトレイと、
を包含することを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置としている。
請求項２の考案は、請求項１記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、上述の伝送プーリセットは、主伝送プーリを包含し、該主伝送プーリはモータに接続され、主伝送プーリは該支持架上の該支持架の一端に近いところに設けられ、該支持架上の該支持架の別端に近いところに従伝送プーリが取り付けられたことを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置としている。
請求項３の考案は、請求項２記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該主動ロールセットは主動ロールと従動ロールを包含し、該主動ロールと該従動ロールは該支持架に枢設され、該主動ロールと該従動ロールはそれぞれ該支持架の一端に接近し且つ該伝送ベルトと同一側に位置し、該主動ロールはモータに接続され、該主動ロールセットに主動ロールベルトが繞設されたことを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置としている。
請求項４の考案は、請求項３記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該ロールセット中の一組は補助ロールセットとされ、該補助ロールセットは二つの補助ロールを包含し、二つの該補助ロールは該支持架上に枢設され並びにそれぞれ該支持架の一端に接近し、二つの該補助ロールに補助ロールベルトが繞設され、該補助ロールベルトと主動ロールベルトが該伝送ベルトの両側に位置することを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置としている。
請求項５の考案は、請求項１記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該トレイのベースは方形板状のシート板を包含し、該シート板にマトリクス配列された若干の支持軸孔が開設され、上述の工作物支持軸がそれぞれ該支持軸孔中に枢設され、該主動ロールベルトに近い一列の各工作物支持軸に該主動ロールベルトと組み合わされる支持軸ロールが固定され、各工作物支持軸にプーリが固定され、各列のプーリに共同で列ベルトが繞設され、隣り合う各２列のプーリ中の二つの位置が対応するプーリに列間ベルトが繞設されたことを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置としている。
請求項６の考案は、請求項５記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該シート板の左右両側辺縁部分が上向きに垂直に延伸されて側壁が形成され、両側壁の前端と該シート板の前端の間に間隙が保留され、該シート板の後側端が上向きに垂直に延伸されて後壁が形成され、該後壁の左右両端と左右の両側壁が接続され、該ベースの上面にカバー板が固定され、該カバー板は方形平板とされ、該カバー板に各工作物支持軸の大きさと位置に対応し該カバー板を貫通するカバー板支持軸孔が開設され、該工作物支持軸が該カバー板支持軸孔に挿通されて突出することを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置としている。
請求項７の考案は、請求項１記載の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置において、該支持軸ロールの周囲に模様が設けられたことを特徴とする、連続式スパッタ装置用工作物輸送装置としている。
【考案の効果】
【０００７】
本考案は、構造が簡単で、製造コストが低く、並びに工作物の放置が簡単便利で、工作物生産効率をアップし、並びに工作物上の成膜を均一に行える連続式スパッタ装置用工作物輸送装置を提供している。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００８】
上述の目的を達成するため、本考案の提供する連続式スパッタ装置用工作物輸送装置は、一つ或いは二つ以上が前後に接続されるトレイ伝送ユニットで構成されるトレイ伝送装置を包含し、該トレイ伝送ユニットは支持架を包含し、該支持架上に伝送プーリセットが設けられ、伝送プーリセットに伝送ベルトが繞設され、該支持架上の伝送ベルトの両側それぞれにロールセットが設けられ、二つのロールセットにそれぞれロールベルトが繞設され、二組のロールセット中の少なくとも一組は主動ロールセットとされ、主動ロールセットとモータが接続される。主動ロールセット上のロールベルトは主動ロールベルトとされる。本考案は更に若干のトレイを包含し、該トレイはトレイ伝送装置の伝送ベルト上に置かれ並びにに二つのロールベルトの間に位置し、トレイの幅は二つのロールベルトの内側間距に対応する。これらトレイはいずれもベースを包含し、ベース上に若干の工作物支持軸が枢設され、工作物支持軸上に工作物シートが固定され、若干の工作物支持軸中の少なくとも一つの工作物支持軸にトレイ伝送装置の主動ロールベルトに組み合わされる支持軸ロールが固定され、全ての工作物支持軸の間はベルト或いはチェーンで伝動される。
【０００９】
以上により、本考案の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置が動作する時、伝送プーリセットが伝送ベルトを駆動して回動させ、主動ロールセットが主動ロールベルトを駆動して回動させる。工作物はトレイの工作物シート上に置かれ、更に工作物がトレイと共にトレイ伝送装置上に置かれ、トレイが伝送ベルトに伴い運動する。この運動過程中、主動ロールベルトが支持軸ロールを駆動して回動させ、支持軸ロールはまた支持軸間のベルト或いはチェーンにより全ての工作物支持軸を回動させえる。工作物支持軸はまた全てのスパッタする工作物を駆動して回動させる。これによりスパッタする工作物が前進しつつ回動し、工作物の各部分が均等なスパッタの機会を得られ、工作物上の成膜が更に均一となる。本考案の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置はロールセット、ロールベルト、支持軸ロールとベルト（或いはチェーン）等、簡単で通用の部品を使用し、主動ロールセットを駆動する一つのモータを既存の技術中の複数のモータの代りに使用している。モータを省略することで、本考案の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置は大幅に製造コストを削減できる。スパッタする工作物を懸架する代りに放置することで、操作は更に便利となり、生産効率をアップできる。
【実施例１】
【００１０】
図１を参照されたい。本考案の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置１０は複数のトレイ伝送ユニット１００（本実施例図中にはわずかに一つのトレイ伝送ユニット１００が表示されている）を包含し、これらトレイ伝送ユニット１００は前後が接続されてトレイ伝送装置を構成し、トレイ伝送ユニット１００中にトレイ２００が放置される。
【００１１】
図２を参照されたい。トレイ伝送ユニット１００は支持架１３０を包含する。支持架１３０は長方形を呈する支持架ベース１３１を包含する。支持架ベース１３１上の、左端近くに主伝送プーリ１５１が取り付けられ、主伝送プーリ１５１とモータ（図示せず）が接続される。支持架ベース１３１上の右端近くに従伝送プーリ１５３が取り付けられる。支持架ベース１３１上の主伝送プーリ１５１と従伝送プーリ１５３の間に中間伝送プーリ１５２が取り付けられる。中間伝送プーリ１５２、主伝送プーリ１５１及び従伝送プーリ１５３が伝送プーリセットを構成する。伝送プーリセットに伝送ベルト１５４が繞設され、伝送ベルト１５４は伝送プーリセットにより駆動される。
【００１２】
支持架ベース１３１上の左右両端近くにそれぞれ主動ロール１１１と従動ロール１１２が枢設され、主動ロール１１１と従動ロール１１２は伝送ベルト１５４の同一側に位置する。主動ロール１１１はモータ（図示せず）に接続される。主動ロール１１１と従動ロール１１２に主動ロールベルト１１３が繞設される。主動ロールベルト１１３はロールベルトの一種である。主動ロール１１１と従動ロール１１２が主動ロールセットを構成し、主動ロールセットはロールセットの一種である。
【００１３】
支持架ベース１３１の左右両端近くにそれぞれ補助ロール１２１が枢設され、二つの補助ロール１２１間に補助ロールベルト１２２が繞設され、補助ロールベルト１２２と主動ロールベルト１１３が伝送ベルト１５４の両側に位置する。二つの補助ロール１２１が補助ロールセットを構成し、補助ロールセットはロールセットの別の一種とされる。補助ロールベルトはロールベルトの一種とされる。
【００１４】
図３と図４を参照されたい。トレイ２００はベース２１０を包含し、ベース２１０は方形板状のシート板２１１を包含し、シート板２１１に縦３×横４の、合計１２個の支持軸孔２１３が開設される。シート板２１１の左右両側辺縁部分が上向きに垂直に延伸されて側壁２１２が形成され、両側壁２１２の前端とシート板２１１の前端の間に間隙が保留される。シート板２１１の後側辺縁が上向きに垂直に延伸されて後壁２１４が形成され、後壁２１４の左右両端が左右の両側壁２１２と接続される。
【００１５】
図３及び図６を参照されたい。ベース２１０の１２個の支持軸孔２１３中にそれぞれ工作物支持軸２３１が枢設される。各工作物支持軸２３１にはそれぞれプーリ２３３が固定され、各プーリ２３３に上下二つのベルト溝が開設されている。各列のプーリ２３３の全ての下部のベルト溝に共同で列ベルト２３４が繞設される。前列プーリ２３３中の左端のプーリ２３３と中列プーリ２３３中の左端のプーリ２３３の上部ベルト溝に列間ベルト２３５が繞設され、中列プーリ２３３中の右端のプーリ２３３と後列プーリ２３３中の右端のプーリ２３３の上部ベルト溝に別の列間ベルト２３５が繞設される。前列の４本の工作物支持軸２３１中右端のプーリ２３３の上部プーリ溝に別の列間ベルト２３５が繞設される。前列の４本の工作物支持軸２３１上のプーリ２３３の上面それぞれに支持軸ロール２３２が固定され、支持軸ロール２３２に主動ロールベルト１１３との間の摩擦力を増加可能な模様２３６が設けられている。前列の４本の工作物支持軸２３１にそれぞれ支持軸ロール２３２が設置されたことで全ての工作物支持軸２３１の回転が更に大きく、安定した回転動力を提供できる。
【００１６】
図３及び図５に示されるように、ベース２１０の上面にカバー板２２０が固定される。カバー板２２０は方形平板であり、その長さと幅の寸法はベース２１０上のシート板２１１に対応する。カバー板２２０に各工作物支持軸２３１の大きさと位置に対応しカバー板２２０を貫通するカバー板支持軸孔２２１が穿たれる。工作物支持軸２３１はこのカバー板支持軸孔２２１を貫通して突出する。カバー板２２０の作用はプーリ２３３、列ベルト２３４、列間ベルト２３５と支持軸ロール２３２等の伝動部品を保護してそのスパッタ材料による汚染を防止することにある。
【００１７】
図１を再度参照されたい。トレイ２００はトレイ伝送ユニット１００の伝送ベルト１５４上に置かれ並びに主動ロールベルト１１３と補助ロールベルト１２２の間に位置し、トレイ２００の前後方向の幅と主動ロールベルト１１３と補助ロールベルト１２２の内側間距を対応し、これによりトレイ２００が伝送ベルト１５４の駆動下で図中の矢印の方向に沿って移動する時、トレイ２００の後側面（後壁２１４の後面に対応）と補助ロールベルト１２２が当接すると共に、トレイ２００上の支持軸ロール２３２と主動ロールベルト１１３が当接する。工作物の放置と位置決めに便利なように、トレイ２００の工作物支持軸２３１上には工作物シート３００が嵌合される（図中にはただ一つが示される）。当然、工作物自身の形状と構造の違いに基づき、工作物シート３００は完全に異なる形状に設計可能である。
【００１８】
本考案の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置１０は動作時に、トレイ伝送ユニット１００上で主伝送プーリ１５１を駆動するモータと主動ロール１１１を駆動するモータを起動する。これら二つのモータの起動後、主伝送プーリ１５１は伝送ベルト１５４を駆動し、主動ロール１１１は主動ロールベルト１１３を駆動する。その後、工作物をトレイ２００上に固定された工作物シート３００上に置き、さらに工作物をトレイ２００と共に複数のトレイ伝送ユニット１００で構成されたトレイ伝送装置上に置くと、トレイ２００は伝送ベルト１５４と共に移動する。この移動過程中、主動ロールベルト１１３は支持軸ロール２３２を駆動して回動させ、支持軸ロール２３２はまた各列ベルト２３４、列間ベルト２３５及び各プーリ２３３の作用により全ての工作物支持軸２３１を駆動し回動させる。工作物支持軸２３１はまた工作物シート３００の作用を通して全てのスパッタを要する工作物を駆動して共に回動させる。これによりスパッタを要する工作物は前進すると同時に回動し、これにより工作物の各部分が均等なスパッタチャンスを得て、これにより工作物上の成膜が均一となる。
【００１９】
上述したように、本考案の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置は、列ベルト２３４、列間ベルト２３５、プーリ２３３、主動ロール１１１、従動ロール１１２、主動ロールベルト１１３、補助ロール１２１及び補助ロールベルト１２２等の、簡単で通用している部品と、主動ロール１１１を駆動する一つのモータを以て既存の技術中の複数のモータの代わりとしている。こうしてモータを減らすことで、本連続式スパッタ装置用工作物輸送装置は大幅に製造コストをダウンでき、またスパッタを要する工作物の設置を放置の方式で従来の懸架方式の代わりとしたことで、操作が更に便利とされ、生産効率が高められる。
【００２０】
本考案の保護範囲は上述の実施例に限定されず、多種類の追加、修正及び置換が可能であり、いずれも本考案の権利請求範囲に属する。例えば、補助ロールセットと補助ロールベルトは主動ロールセットと主動ロールベルトに代替え可能であり、ただこのような状況下では二つのロールセットとロールベルトの回転方向は反対で、速度は等しいことが保証される必要がある。工作物支持軸も軸受を介してベース２１０に取り付け可能である。例中のベルト伝動方式もチェーン伝動方式に代替え可能である。各ベルトとそれに対応するプーリの良好な組合せによるトルク伝送を保証するため、さらにベルトの一側にプレスロールを増設可能で、これによりベルトとプーリの接触面積を更に大きくできる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本考案の連続式スパッタ装置用工作物輸送装置のトレイ伝送ユニットとトレイの立体表示図であり、図中、支持架に対して局部破断表示している。
【図２】図１中のトレイ伝送ユニットの立体表示図であり、図中、支持架と伝送ベルトに対して局部破断表示している。
【図３】図１中のトレイの立体表示図である。
【図４】図３中のベースの立体図である。
【図５】図３中のカバー板の立体図である。
【図６】図３中の若干の工作物支持軸の間の伝動関係の立体表示図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０  連続式スパッタ装置用工作物輸送装置
１００  トレイ伝送ユニット              １１１  主動ロール
１１２  従動ロール                      １１３  主動ロールベルト
１２１  補助ロール                      １２２  補助ロールベルト
１３０  支持架                          １３１  支持架ベース
１５１  主伝送プーリ                    １５２  中間伝送プーリ
１５３  従伝送プーリ                    １５４  伝送ベルト
２００  トレイ                          ２１０  ベース
２１１  シート板                        ２１２  側壁
２１３  支持軸孔                        ２１４  後壁
２２０  カバー板                        ２２１  カバー板支持軸孔
２３１  工作物支持軸                    ２３２  支持軸ロール
２３３  プーリ                          ２３４  列ベルト
２３５  列間ベルト                      ２３６  模様
３００  工作物シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
0003136832.tif 000005
【図４】
0003136832.tif 000006
【図５】
0003136832.tif 000007
【図６】
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