【手続補正書】
【提出日】令和1年12月27日(2019.12.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ式（Ｉ）の単量体に由来する、式（ＩＡ）で表される１つ以上の個別の第１繰り返し単位と、
【化１】
2019503415.tif 000001
［式中、
【化２】
2019503415.tif 000002
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−ＣＯ２Ｒ、ハロゲン及び式（Ａ）の基
【化３】
2019503415.tif 000003
からなる群より選択され、
ここで、Ｒは、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリルであり、
Ｒａは、−（ＣＨ２）ｐ−、−（ＣＨ２）ｑ−ＯＣＨ２−及び−（ＣＨ２）ｑ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｒ−ＯＣＨ２−からなる群より選択され、ｐは０〜６の整数、ｑは０〜４の整数、ｒは０〜３の整数である。］
式（ＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第２繰り返し単位と、
【化４】
2019503415.tif 000004
［式中、
Ｒ５及びＲ６は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル及びフルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ７は、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキル及び−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）からなる群より選択される。］
式（ＩＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第３繰り返し単位と
【化５】
2019503415.tif 000005
［式中、
Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ１０は、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、（Ｃ３−Ｃ９）シクロアルキル、（Ｃ３−Ｃ９）シクロアルキル（Ｃ１−Ｃ１０）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ４）アルキル、（Ｃ１−Ｃ１６）アルキルＣＯ２Ｒ、（Ｃ１−Ｃ１６）アルキルＣＨ２ＯＲ、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールＣＯ２Ｒ及び（Ｃ６−Ｃ１０）アリールＣＨ２ＯＲ（ここで、Ｒは、水素、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリルである。）からなる群より選択される。］
を含み、式（ＩＩＩＡ）の繰り返し単位のモル量が少なくとも３モル％である重合体；
光活性化合物；
架橋剤；及び
キャリア溶媒；
を含む、組成物。
【請求項２】
前記重合体は、式（ＩＶ）の単量体由来の式（ＩＶＡ）の１つ以上の個別の第４繰り返し単位をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
【化６】
2019503415.tif 000006
（式中、
【化７】
2019503415.tif 000007
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
ｍは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３、Ｒ１４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ及びハロゲンからなる群より選択される。）
【請求項３】
前記重合体は、式（Ｉ）の単量体由来の式（ＩＢ）の繰り返し単位をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
【化８】
2019503415.tif 000008
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、請求項１と同義である。）
【請求項４】
前記重合体は、式（ＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル及びフェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキルからなる群より選択される、請求項１に記載の組成物。
【請求項５】
前記重合体は、式（ＩＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ５及びＲ６は、同一であっても異なっていてもよく、それぞれ独立に、水素及びメチルから選択され、Ｒ７は、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチルから選択される、請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
前記重合体は、式（ＩＩＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ８及びＲ９は、同一であっても異なっていてもよく、それぞれ独立に、水素及びメチルから選択され、Ｒ１０は、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、フェニル、ベンジル、フェネチルから選択される、請求項１に記載の組成物。
【請求項７】
前記重合体は、式（ＩＶＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、ｍは０であり、
Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３及びＲ１４は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、直鎖及び分岐の（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、フェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキル及び−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａは１又は２であり、ｂは２〜４であり、ｃは２又は３である。）からなる群より選択される、請求項２に記載の組成物。
【請求項８】
前記重合体は、
ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン（ノルボルナジエン）；
２−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
ｔｅｒｔ−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−カルボキシレート；
トリメチルシリルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−カルボキシレート；及び
ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−イルメタノール；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第１繰り返し単位を有する、請求項１に記載の組成物。
【請求項９】
前記重合体は、
無水マレイン酸；
２−メチル−無水マレイン酸（３−メチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ジメチル−無水マレイン酸（３，４−ジメチルフラン−２，５−ジオン）；
２−エチル−無水マレイン酸（３−エチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ジエチル−無水マレイン酸（３，４−ジエチルフラン−２，５−ジオン）；
２−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−トリフルオロメチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ビス（トリフルオロメチル）−無水マレイン酸（３，４−ビス（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）；及び
２−メチル−３−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−メチル−４−（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第２繰り返し単位を有する、請求項１に記載の組成物。
【請求項１０】
前記重合体は、
マレイミド；
Ｎ−メチルマレイミド；
Ｎ−ブチルマレイミド；
３−メチルマレイミド（３−メチルピロリジン−２，５−ジオン）；
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド；
Ｎ−フェニルマレイミド；
Ｎ−ベンジルマレイミド；及び
Ｎ−フェネチルマレイミド；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第３繰り返し単位を有する、請求項１に記載の組成物。
【請求項１１】
前記重合体は、
ノルボルネン；
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン；
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；及び
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第４繰り返し単位を有する、請求項２に記載の組成物。
【請求項１２】
前記重合体は、
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−フェニルマレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、マレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−シクロヘキシル−マレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−フェニルマレイミドの四元重合体；
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、マレイミドの四元重合体；及び
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−フェニルマレイミド、マレイミドの四元重合体；
からなる群より選択される、請求項１に記載の組成物。
【請求項１３】
前記光活性化合物は、それぞれ構造式（Ｖａ）及び（Ｖｂ）で表される１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホニル部分、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホニル部分、
【化９】
2019503415.tif 000009
又は構造式（Ｖｃ）で表されるスルホニルベンゾキノンジアジド基
【化１０】
2019503415.tif 000010
を１つ以上含む、請求項１から１２のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１４】
前記光活性化合物は、
【化１１】
2019503415.tif 000011
からなる群より選択され、
少なくとも１つのＱが、式（Ｖａ）又は（Ｖｂ）の基であり、
【化１２】
2019503415.tif 000012
残りのＱは水素である、請求項１３に記載の組成物。
【請求項１５】
前記架橋剤は、
【化１３】
2019503415.tif 000013
及び、
これらを組み合わせた混合物
からなる群より選択される、請求項１から１４のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１６】
前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチルロラクトン、及びこれらを組み合わせた混合物からなる群より選択される、請求項１から１５のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１７】
前記組成物は、
光塩基発生剤；
熱塩基発生剤；
接着促進剤；
抗酸化剤；
界面活性剤；及び
これらを組み合わせた混合物；
からなる群より選択される１種以上の添加剤をさらに含む、請求項１から１６のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１８】
硬化生成物の形成工程であって、
（ｉ）請求項１から１７のいずれか一項の前記層形成用重合体組成物を基板に塗布して被覆膜を形成するステップ、
（ｉｉ）所望のパターンのマスクを通じて前記被覆膜を露光するステップ、
（ｉｉｉ）アルカリ現像剤で現像して前記露光部を溶解及び除去して前記所望のパターンを得るステップ、及び
（ｉｖ）前記所望のパターンを加熱するステップ
を含む、硬化生成物の形成工程。
【請求項１９】
請求項１から１７のいずれか一項に記載の前記組成物を硬化して得られることを特徴とする、硬化生成物。
【請求項２０】
それぞれ式（Ｉ）の単量体に由来する、式（ＩＡ）で表される１つ以上の個別の第１繰り返し単位と、
【化１４】
2019503415.tif 000014
［式中、
【化１５】
2019503415.tif 000015
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−ＣＯ２Ｒ、ハロゲン及び式（Ａ）の基
【化１６】
2019503415.tif 000016
からなる群より選択され、
ここで、Ｒは、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリルであり、
Ｒａは、−（ＣＨ２）ｐ−、−（ＣＨ２）ｑ−ＯＣＨ２−及び−（ＣＨ２）ｑ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｒ−ＯＣＨ２−からなる群より選択され、ｐは０〜６の整数、ｑは０〜４の整数、ｒは０〜３の整数である。］
式（ＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第２繰り返し単位と、
【化１７】
2019503415.tif 000017
［式中、
Ｒ５及びＲ６は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル及びフルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ７は、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキル及び−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）からなる群より選択される。］
式（ＩＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第３繰り返し単位と、
【化１８】
2019503415.tif 000018
［式中、
Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ１０は、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、（Ｃ３−Ｃ９）シクロアルキル、（Ｃ３−Ｃ９）シクロアルキル（Ｃ１−Ｃ１０）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ４）アルキル、（Ｃ１−Ｃ１６）アルキルＣＯ２Ｒ、（Ｃ１−Ｃ１６）アルキルＣＨ２ＯＲ、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールＣＯ２Ｒ及び（Ｃ６−Ｃ１０）アリールＣＨ２ＯＲ（ここで、Ｒは、水素、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリルである。）からなる群より選択される。］
を含み、
式（ＩＩＩＡ）の繰り返し単位のモル量は少なくとも３モル％である、重合体。
【請求項２１】
それぞれ式（Ｉ）の単量体に由来する、式（ＩＡ）で表される１つ以上の個別の第１繰り返し単位と、
【化１４】
2019503415.tif 000019
［式中、
【化１５】
2019503415.tif 000020
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−ＣＯ２Ｒ、ハロゲン及び式（Ａ）の基
【化１６】
2019503415.tif 000021
からなる群より選択され、
ここで、Ｒは、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリルであり、
Ｒａは、−（ＣＨ２）ｐ−、−（ＣＨ２）ｑ−ＯＣＨ２−及び−（ＣＨ２）ｑ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｒ−ＯＣＨ２−からなる群より選択され、ｐは０〜６の整数、ｑは０〜４の整数、ｒは０〜３の整数である。］
式（ＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第２繰り返し単位と、
【化１７】
2019503415.tif 000022
［式中、
Ｒ５及びＲ６は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル及びフルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ７は、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキル及び−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）からなる群より選択される。］
式（ＩＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第３繰り返し単位と、
【化１８】
2019503415.tif 000023
［式中、
Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル及び直鎖又は分岐の（Ｃ３−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ１０は、水素、メチル、エチル、直鎖又は分岐の（Ｃ３−Ｃ１６）アルキル、（Ｃ５−Ｃ９）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール及び（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ４）アルキルからなる群より選択される。］
を含み、
式（ＩＩＩＡ）の繰り返し単位のモル量は少なくとも３モル％である、重合体。
【請求項２２】
式（ＩＶ）の単量体由来の式（ＩＶＡ）の１つ以上の個別の第４繰り返し単位をさらに含む、請求項２１に記載の重合体。
【化１９】
2019503415.tif 000024
［式中、
【化２０】
2019503415.tif 000025
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
ｍは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３、Ｒ１４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ、ハロゲン及び式（Ａ）の基
【化２１】
2019503415.tif 000026
（ここで、Ｒａは、−（ＣＨ２）ｐ−、−（ＣＨ２）ｑ−ＯＣＨ２−、−（ＣＨ２）ｑ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｒ−ＯＣＨ２−からなる群より選択され、ｐは０〜６の整数、ｑは０〜４の整数、ｒは０〜３の整数である。）、からなる群より選択される。］
【請求項２３】
式（Ｉ）の単量体由来の式（ＩＢ）の繰り返し単位をさらに含む、請求項２１に記載の重合体。
【化２２】
2019503415.tif 000027
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、請求項２１と同義である。）
【請求項２４】
式（ＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル及びフェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキルからなる群より選択される、請求項２１に記載の重合体。
【請求項２５】
式（ＩＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ５及びＲ６は、同一であっても異なっていてもよく、それぞれ独立に、水素及びメチルから選択され、Ｒ７は、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチルから選択される、請求項２１に記載の重合体。
【請求項２６】
式（ＩＩＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ８及びＲ９は、同一であっても異なっていてもよく、それぞれ独立に、水素及びメチルから選択され、Ｒ１０は、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、フェニル、ベンジル、フェネチルから選択される、請求項２１に記載の重合体。
【請求項２７】
式（ＩＶＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、ｍは０であり、
Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３及びＲ１４は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、直鎖及び分岐の（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、フェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａは１又は２であり、ｂは２〜４であり、ｃは２又は３である。）からなる群より選択される、請求項２２に記載の重合体。
【請求項２８】
ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン（ノルボルナジエン）；
２−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
ｔｅｒｔ−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−カルボキシレート；
トリメチルシリルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−カルボキシレート；及び
ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−イルメタノール；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第１繰り返し単位を有する、請求項２１に記載の重合体。
【請求項２９】
無水マレイン酸；
２−メチル−無水マレイン酸（３−メチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ジメチル−無水マレイン酸（３，４−ジメチルフラン−２，５−ジオン）；
２−エチル−無水マレイン酸（３−エチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ジエチル−無水マレイン酸（３，４−ジエチルフラン−２，５−ジオン）；
２−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−トリフルオロメチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ビス（トリフルオロメチル）−無水マレイン酸（３，４−ビス（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）；及び
２−メチル−３−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−メチル−４−（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第２繰り返し単位を有する、請求項２１に記載の重合体。
【請求項３０】
マレイミド；
Ｎ−メチルマレイミド；
Ｎ−ブチルマレイミド；
３−メチルマレイミド（３−メチルピロリジン−２，５−ジオン）；
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド；
Ｎ−フェニルマレイミド；
Ｎ−ベンジルマレイミド；及び
Ｎ−フェネチルマレイミド；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第３繰り返し単位を有する、請求項２１に記載の重合体。
【請求項３１】
ノルボルネン；
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）；
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン；
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；及び
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第４繰り返し単位を有する、請求項２２に記載の重合体。
【請求項３２】
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−フェニルマレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、マレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−シクロヘキシル−マレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−フェニルマレイミドの四元重合体；
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、マレイミドの四元重合体；及び
ノルボルナジエン、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−フェニルマレイミド、マレイミドの四元重合体；
からなる群より選択される、請求項２１に記載の重合体。
【請求項３３】
ノルボルナジエン、Ｎ−フェニルマレイミドおよび無水マレイン酸（無水マレイン酸繰り返し単位はメタノールで開環されている。）の三元重合体である、請求項２１に記載の重合体。
【請求項３４】
ノルボルナジエン、マレイミド及び無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）の三元重合体である、請求項２１に記載の重合体。
【請求項３５】
ノルボルナジエン、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド及び無水マレイン酸（無水マレイン酸繰り返し単位はメタノールで開環されている。）の三元重合体である、請求項２１に記載の重合体。
【請求項３６】
ノルボルナジエン、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、マレイミド及び無水マレイン酸（無水マレイン酸繰り返し単位はメタノールで開環されている。）の四元重合体である、請求項２１に記載の重合体。
【請求項３７】
ノルボルナジエン、Ｎ−フェニルマレイミド、マレイミド及び無水マレイン酸（無水マレイン酸繰り返し単位はメタノールで開環されている。）の四元重合体である、請求項２１に記載の重合体。
【請求項３８】
ノルボルナジエン、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、Ｎ−フェニルマレイミド及び無水マレイン酸（無水マレイン酸繰り返し単位はメタノールで開環されている。）の四元重合体である、請求項２２に記載の重合体。
【請求項３９】
それぞれ式（Ｉ）の単量体に由来する、式（ＩＡ）で表される１つ以上の個別の第１繰り返し単位と、
【化２３−１４】
2019503415.tif 000028
［式中、
【化２３−１５】
2019503415.tif 000029
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル及びヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキルからなる群より選択される。］
式（ＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第２繰り返し単位と、
【化２３−１７】
2019503415.tif 000030
［式中、
Ｒ５及びＲ６は、それぞれ独立に、水素、メチル及びエチルからなる群より選択され、
Ｒ７は、水素及び直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択される。］
式（ＩＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第３繰り返し単位と、
【化２３−１８】
2019503415.tif 000031
［式中、
Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、水素、メチル及びエチルからなる群より選択され、
Ｒ１０は、水素、メチル、エチル、シクロヘキシル、フェニル及びベンジルからなる群より選択される。］
を含み、式（ＩＩＩＡ）の繰り返し単位のモル量は少なくとも３モル％である、重合体。
【請求項４０】
式（ＩＶ）の単量体由来の式（ＩＶＡ）の１つ以上の個別の第４繰り返し単位をさらに含む、請求項３９に記載の重合体。
【化２３−１９】
2019503415.tif 000032
［式中、
【化２３−２０】
2019503415.tif 000033
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
ｍは０であり、
Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３、Ｒ１４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル及び−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）からなる群より選択される。］
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６３】
以上、特定の例によって本発明を説明したが、本発明はこれらにより限定されるものと解釈すべきではない。むしろ、本発明は、ここに開示された一般領域を包含するものであり、その趣旨及び範囲から逸脱することなく種々の変更形態及び実施形態を行うことが可能である。
この明細書により開示される事項には、以下のものが含まれる。
〔１〕  それぞれ式（Ｉ）の単量体に由来する、式（ＩＡ）で表される１つ以上の個別の第１繰り返し単位と、
【化４３−１】
2019503415.tif 000034
［式中、
【化４３−２】
2019503415.tif 000035
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−ＣＯ２Ｒ（ここで、Ｒは（Ｃ１−Ｃ６）アルキル又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリルである。）、ハロゲン、式（Ａ）の基
【化４３−３】
2019503415.tif 000036
（ここで、Ｒａは、−（ＣＨ２）ｐ−、−（ＣＨ２）ｑ−ＯＣＨ２−、−（ＣＨ２）ｑ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｒ−ＯＣＨ２−からなる群より選択され、ｐは０〜６の整数、ｑは０〜４の整数、ｒは０〜３の整数である。）、
からなる群より選択される。］
式（ＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第２繰り返し単位と、
【化４３−４】
2019503415.tif 000037
［式中、
Ｒ５及びＲ６は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ７は、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）からなる群より選択される。］
式（ＩＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第３繰り返し単位と
【化４３−５】
2019503415.tif 000038
［式中、
Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ１０は、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、（Ｃ３−Ｃ９）シクロアルキル、（Ｃ３−Ｃ９）シクロアルキル（Ｃ１−Ｃ１０）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ４）アルキル、（Ｃ１−Ｃ１６）アルキルＣＯ２Ｒ、（Ｃ１−Ｃ１６）アルキルＣＨ２ＯＲ、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールＣＯ２Ｒ、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールＣＨ２ＯＲ（ここで、Ｒは、水素、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリルである。）からなる群より選択される。］
を含み、式（ＩＩＩＡ）の繰り返し単位のモル量が少なくとも３モル％である重合体；
光活性化合物；
架橋剤；及び
キャリア溶媒；
を含む、組成物。
〔２〕  前記重合体は、式（ＩＶ）の単量体由来の式（ＩＶＡ）の１つ以上の個別の第４繰り返し単位をさらに含む、上記〔１〕に記載の組成物。
【化４３−６】
2019503415.tif 000039
（式中、
【化４３−７】
2019503415.tif 000040
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
ｍは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３、Ｒ１４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ、ハロゲンからなる群より選択される。）
〔３〕  前記重合体は、式（Ｉ）の単量体由来の式（ＩＢ）の繰り返し単位をさらに含む、上記〔１〕に記載の組成物。
【化４３−８】
2019503415.tif 000041
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、上記〔１〕と同義である。）
〔４〕  前記重合体は、式（ＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル及びフェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキルからなる群より選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔５〕  前記重合体は、式（ＩＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ５及びＲ６は、それぞれ独立に、水素及びメチルから選択され、Ｒ７は、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチルから選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔６〕  前記重合体は、式（ＩＩＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、水素及びメチルから選択され、Ｒ１０は、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、フェニル、ベンジル、フェネチルから選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔７〕  前記重合体は、式（ＩＶＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、ｍは０であり、
Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３及びＲ１４は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、直鎖及び分岐の（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、フェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａは１又は２であり、ｂは２〜４であり、ｃは２又は３である。）からなる群より選択される、上記〔２〕に記載の組成物。
〔８〕  前記重合体は、
ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン（ノルボルナジエン）；
２−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
ｔｅｒｔ−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−カルボキシレート；
トリメチルシリルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−カルボキシレート；及び
ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−イルメタノール；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第１繰り返し単位を有する、上記〔１〕に記載の組成物。
〔９〕  前記重合体は、
無水マレイン酸；
２−メチル−無水マレイン酸（３−メチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ジメチル−無水マレイン酸（３，４−ジメチルフラン−２，５−ジオン）；
２−エチル−無水マレイン酸（３−エチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ジエチル−無水マレイン酸（３，４−ジエチルフラン−２，５−ジオン）；
２−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−トリフルオロメチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ビス（トリフルオロメチル）−無水マレイン酸（３，４−ビス（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）；及び
２−メチル−３−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−メチル−４−（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第２繰り返し単位を有する、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１０〕  前記重合体は、
マレイミド；
Ｎ−メチルマレイミド；
Ｎ−ブチルマレイミド；
３−メチルマレイミド（３−メチルピロリジン−２，５−ジオン）；
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド；
Ｎ−フェニルマレイミド；
Ｎ−ベンジルマレイミド；及び
Ｎ−フェネチルマレイミド；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第３繰り返し単位を有する、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１１〕  前記重合体は、
ノルボルネン；
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）；
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン；
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；及び
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第４繰り返し単位を有する、上記〔２〕に記載の組成物。
〔１２〕  前記重合体は、
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環）、Ｎ−フェニルマレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環）、マレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環）、Ｎ−シクロヘキシル−マレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環）、Ｎ−フェニルマレイミドの四元重合体；
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環）、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド（Ｎ−ＣｙＨｅｘＭＩ）、マレイミドの四元重合体；及び
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環）、Ｎ−フェニルマレイミド、マレイミドの四元重合体；
からなる群より選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１３〕  前記光活性化合物は、それぞれ構造式（Ｖａ）及び（Ｖｂ）で表される１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホニル部分、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホニル部分、
【化４３−９】
2019503415.tif 000042
又は構造式（Ｖｃ）で表されるスルホニルベンゾキノンジアジド基
【化４３−１０】
2019503415.tif 000043
を１つ以上含む、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１４〕  前記光活性化合物は、
【化４３−１１】
2019503415.tif 000044
からなる群より選択され、
少なくとも１つのＱが、式（Ｖａ）又は（Ｖｂ）の基であり、
【化４３−１２】
2019503415.tif 000045
残りのＱは水素である、上記〔１３〕に記載の組成物。
〔１５〕  前記架橋剤は、
【化４３−１３】
2019503415.tif 000046
及び、
これらを組み合わせた混合物
からなる群より選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１６〕  前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、γ−ブチルロラクトン（ＧＢＬ）、及びこれらを組み合わせた混合物からなる群より選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１７〕  前記組成物は、
光塩基発生剤；
熱塩基発生剤；
接着促進剤；
抗酸化剤；
界面活性剤；及び
これらを組み合わせた混合物；
からなる群より選択される１種以上の添加剤をさらに含む、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１８〕  硬化生成物の形成工程であって、
（ｉ）上記〔１〕の前記層形成用重合体組成物を基板に塗布して被覆膜を形成するステップ、
（ｉｉ）所望のパターンのマスクを通じて前記被覆膜を露光するステップ、
（ｉｉｉ）アルカリ現像剤で現像して前記露光部を溶解及び除去して前記所望のパターンを得るステップ、及び
（ｉｖ）前記所望のパターンを加熱するステップ
を含む、硬化生成物の形成工程。
〔１９〕  上記〔１〕に記載の前記組成物を硬化して得られることを特徴とする、硬化生成物。
〔２０〕  １ＭＨｚで３．２以下の誘電率を有する上記〔１９〕の前記硬化生成物を含む、光電子デバイス又はマイクロ電子デバイス。
〔２１〕  それぞれ式（Ｉ）の単量体に由来する、式（ＩＡ）で表される１つ以上の個別の第１繰り返し単位と、
【化４３−１４】
2019503415.tif 000047
［式中、
【化４３−１５】
2019503415.tif 000048
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−ＣＯ２Ｒ（Ｒは（Ｃ１−Ｃ６）アルキル又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリル）、ハロゲン、式（Ａ）の基
【化４３−１６】
2019503415.tif 000049
（ここで、Ｒａは、−（ＣＨ２）ｐ−、−（ＣＨ２）ｑ−ＯＣＨ２−、−（ＣＨ２）ｑ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｒ−ＯＣＨ２−からなる群より選択され、ｐは０〜６の整数、ｑは０〜４の整数、ｒは０〜３の整数である。）、からなる群より選択される。］
式（ＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第２繰り返し単位と、
【化４３−１７】
2019503415.tif 000050
［式中、
Ｒ５及びＲ６は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ７は、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）からなる群より選択される。］
式（ＩＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第３繰り返し単位と、
【化４３−１８】
2019503415.tif 000051
［式中、
Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ１０は、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、（Ｃ３−Ｃ９）シクロアルキル、（Ｃ３−Ｃ９）シクロアルキル（Ｃ１−Ｃ１０）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ４）アルキル、（Ｃ１−Ｃ１６）アルキルＣＯ２Ｒ、（Ｃ１−Ｃ１６）アルキルＣＨ２ＯＲ、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールＣＯ２Ｒ、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールＣＨ２ＯＲ（ここで、Ｒは、水素、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリルである。）からなる群より選択される。］
を含み、式（ＩＩＩＡ）の繰り返し単位のモル量は少なくとも３モル％である、重合体。
〔２２〕  式（ＩＶ）の単量体由来の式（ＩＶＡ）の１つ以上の個別の第４繰り返し単位をさらに含む、上記〔２１〕に記載の重合体。
【化４３−１９】
2019503415.tif 000052
［式中、
【化４３−２０】
2019503415.tif 000053
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
ｍは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３、Ｒ１４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１−Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３−Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６−Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７−Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５−Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１−Ｃ６）アシルオキシ、ハロゲン、式（Ａ）の基
【化４３−２１】
2019503415.tif 000054
（ここで、Ｒａは、−（ＣＨ２）ｐ−、−（ＣＨ２）ｑ−ＯＣＨ２−、−（ＣＨ２）ｑ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｒ−ＯＣＨ２−からなる群より選択され、ｐは０〜６の整数、ｑは０〜４の整数、ｒは０〜３の整数である。）、からなる群より選択される。］
〔２３〕 式（Ｉ）の単量体由来の式（ＩＢ）の繰り返し単位をさらに含む、上記〔２１〕に記載の重合体。
【化４３−２２】
2019503415.tif 000055
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、上記〔２１〕と同義である。）
〔２４〕  式（ＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル及びフェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキルからなる群より選択される、上記〔２１〕に記載の重合体。
〔２５〕  式（ＩＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ５及びＲ６は、それぞれ独立に、水素及びメチルから選択され、Ｒ７は、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチルから選択される、上記〔２１〕に記載の重合体。
〔２６〕  式（ＩＩＩＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、水素及びメチルから選択され、Ｒ１０は、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、フェニル、ベンジル、フェネチルから選択される、上記〔２１〕に記載の重合体。
〔２７〕  式（ＩＶＡ）の１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ここで、ｍは０であり、
Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３及びＲ１４は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、直鎖及び分岐の（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、フェニル（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ４）アルキル（ここで、ａは１又は２であり、ｂは２〜４であり、ｃは２又は３である。）からなる群より選択される、上記〔２２〕に記載の重合体。
〔２８〕  ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン（ノルボルナジエン）；
２−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
２−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン；
ｔｅｒｔ−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−カルボキシレート；
トリメチルシリルビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−カルボキシレート；及び
ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２，５−ジエン−２−イルメタノール；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第１繰り返し単位を有する、上記〔２１〕に記載の重合体。
〔２９〕  無水マレイン酸；
２−メチル−無水マレイン酸（３−メチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ジメチル−無水マレイン酸（３，４−ジメチルフラン−２，５−ジオン）；
２−エチル−無水マレイン酸（３−エチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ジエチル−無水マレイン酸（３，４−ジエチルフラン−２，５−ジオン）；
２−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−トリフルオロメチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ビス（トリフルオロメチル）−無水マレイン酸（３，４−ビス（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）；及び
２−メチル−３−トリフルオロメチル−無水マレイン酸（３−メチル−４−（トリフルオロメチル）フラン−２，５−ジオン）；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第２繰り返し単位を有する、上記〔２１〕に記載の重合体。
〔３０〕  マレイミド；
Ｎ−メチルマレイミド；
Ｎ−ブチルマレイミド；
３−メチルマレイミド（３−メチルピロリジン−２，５−ジオン）；
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド；
Ｎ−フェニルマレイミド；
Ｎ−ベンジルマレイミド；及び
Ｎ−フェネチルマレイミド；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第３繰り返し単位を有する、上記〔２１〕に記載の重合体。
〔３１〕  ノルボルネン；
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）；
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン；
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；及び
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
からなる群より選択される各単量体由来の１つ以上の個別の第４繰り返し単位を有する、上記〔２２〕に記載の重合体。
〔３２〕  ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−フェニルマレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、マレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−シクロヘキシル−マレイミドの三元重合体；
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−フェニルマレイミドの四元重合体；
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド（Ｎ−ＣｙＨｅｘＭＩ）、マレイミドの四元重合体；及び
ノルボルナジエン（ＮＢＤ）、無水マレイン酸（無水マレイン酸の繰り返し単位はメタノールで開環されている。）、Ｎ−フェニルマレイミド、マレイミドの四元重合体；
からなる群より選択される、上記〔２１〕に記載の重合体。
〔３３〕  それぞれ式（Ｉ）の単量体に由来する、式（ＩＡ）で表される１つ以上の個別の第１繰り返し単位と、
【化４３−２３】
2019503415.tif 000056
［式中、
【化４３−２４】
2019503415.tif 000057
は、他の繰り返し単位と結合する位置を示し、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ３）アルキル、−ＣＯ２Ｒ（ここで、Ｒは（Ｃ１−Ｃ６）アルキル又はトリ（（Ｃ１−Ｃ６）アルキル）シリルである。）、ハロゲン、式（Ａ）の基
【化４３−２５】
2019503415.tif 000058
（ここで、Ｒａは、−（ＣＨ２）ｐ−、−（ＣＨ２）ｑ−ＯＣＨ２−、−（ＣＨ２）ｑ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｒ−ＯＣＨ２−からなる群より選択され、ｐは０〜６の整数であり、ｑは０〜４の整数であり、ｒは０〜３の整数である。）、からなる群より選択される。］
式（ＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＡ）で表される１つ以上の個別の第２繰り返し単位と
【化４３−２６】
2019503415.tif 000059
ｆ［式中、
Ｒ５及びＲ６は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ１−Ｃ９）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ９）アルキルからなる群より選択され、
Ｒ７は、直鎖又は分岐の（Ｃ４−Ｃ１６）アルキル、フルオロ化又はパーフルオロ化された（Ｃ１−Ｃ１６）アルキル、−（ＣＨ２）ａ−（Ｏ−（ＣＨ２）ｂ）ｃ−Ｏ−（Ｃ１−Ｃ６）アルキル（ここで、ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数である。）からなる群より選択される。］
を含む、重合体；
光活性化合物；
架橋剤；及び
キャリア溶媒；
を含む、組成物。