(57)【要約】【課題】  メンテナンス等における作業性に優れ、コスト低減を図ることができるターボ分子ポンプ。【解決手段】コンタクトソケットを保持しているインシュレータソケット１２０がポンプ本体側のハーメチックシールコネクタ１０に装着されると、前記制御ユニットの電装品の配線が取り付けられるコンタクトソケットは、ハーメチックシールコネクタ１０のコネクタピンに接続される。インシュレータソケット１２０は、取り付けパネル１２７と一体にポンプ本体のベース部４に固定されている。制御ユニット３のケーシング３５をステー４０，４１を介してベース部４に固定すると、ケーシング３５の開口３５ａは取り付けパネル１２７およびインシュレータソケット１２０により塞がれる。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ本体と、
前記ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、
前記ポンプ本体に設けられ、前記制御ユニットからの電力や制御信号が入力されるコネクタとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記制御ユニットの電装品と接続するための配線が取り付けられ、前記コネクタのコネクタピンに接続されるコンタクトソケットと、
前記コンタクトソケットを保持し、該コンタクトソケットと前記コネクタピンとの接続を行わせるインシュレータソケットと、
前記インシュレータソケットが取り付けられ、該インシュレータソケットと一体に前記ポンプ本体に固定される取り付けパネルと、
前記電装品が収納されるとともに前記配線が通過する開口部が形成され、前記ポンプ本体に一体に固定されている前記取り付けパネルおよび前記インシュレータソケットにより前記開口部が塞がれるように、前記ポンプ本体に固定されるケーシングと、
前記ケーシングと前記パネルとの間を水密封止する封止部材とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】
ポンプ本体と、
前記ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、
前記ポンプ本体に設けられ、前記制御ユニットからの電力や制御信号が入力されるコネクタとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記制御ユニットの電装品と接続するための配線が取り付けられ、前記コネクタのコネクタピンと接続されるコンタクトソケットと、
前記コンタクトソケットを保持し、該コンタクトソケットと前記コネクタピンとの接続を行わせるインシュレータソケットと、
前記インシュレータソケットを前記ポンプ本体に固定する固定手段と、
前記電装品および前記インシュレータソケットを収納し、前記ポンプ本体に固定されるケーシングと、
前記ケーシングと前記本体との間を水密封止する封止部材とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項３】
ポンプ本体と、
前記ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、
前記ポンプ本体に設けられ、前記制御ユニットからの電力や制御信号が入力されるコネクタとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記制御ユニットの電装品と接続するための配線が取り付けられ、前記コネクタのコネクタピンと接続されるコンタクトソケットと、
前記コンタクトソケットを保持し、該コンタクトソケットと前記コネクタピンとの接続を行わせるインシュレータソケットと、
前記電装品および前記インシュレータソケットを収納し、前記ポンプ本体に固定されるケーシングと、
前記ケーシングと前記ポンプ本体との間を水密封止する封止部材とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ターボ分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置等の真空排気に用いられるターボ分子ポンプは、ポンプ本体とそのポンプ本体を制御する制御ユニットとからなる。一般的に、ポンプ本体は装置の真空チャンバに固定され、制御ユニットは真空チャンバから離れた場所に設置され、ポンプ本体と制御ユニットとの間はケーブルとコネクタプラグ機構とで接続される。また、ケーブルを用いることなく、ポンプ本体と制御ユニットとをコネクタプラグ機構で直接接続するターボ分子ポンプも知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、ポンプ本体や半導体製造装置には水冷による冷却機構が設けられることが多いため、コネクタプラグ機構には防滴構造が必要とされる。しかし、防滴仕様のプラグは高価なためにコストアップの要因となるため、そのようなコネクタを必要としない接続構造が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１７３２９３号公報
【特許文献２】特開２００６−２５００３３号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に記載のターボ分子ポンプでは、コネクタのコンタクトピンに直接基板を取り付けるようにしているので、コネクタと基板との間隔を大きく取れず、ポンプ本体にコネクタをビス止めする際に基板と干渉して作業性が良くない。また、その作業の際に、コンタクトピンに過大な力がかかるおそれもあった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の本考案によるターボ分子ポンプは、ポンプ本体と、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体に設けられ、制御ユニットからの電力や制御信号が入力されるコネクタとを備えるターボ分子ポンプに適用され、制御ユニットの電装品と接続するための配線が取り付けられ、コネクタのコネクタピンに接続されるコンタクトソケットと、コンタクトソケットを保持し、該コンタクトソケットとコネクタピンとの接続を行わせるインシュレータソケットと、インシュレータソケットが取り付けられ、該インシュレータソケットと一体にポンプ本体に固定される取り付けパネルと、電装品が収納されるとともに配線が通過する開口部が形成され、ポンプ本体に一体に固定されている取り付けパネルおよびインシュレータソケットにより開口部が塞がれるように、ポンプ本体に固定されるケーシングと、ケーシングとパネルとの間を水密封止する封止部材とを備えたことを特徴とする。
請求項２の本考案によるターボ分子ポンプは、ポンプ本体と、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体に設けられ、制御ユニットからの電力や制御信号が入力されるコネクタとを備えるターボ分子ポンプに適用され、制御ユニットの電装品と接続するための配線が取り付けられ、コネクタのコネクタピンと接続されるコンタクトソケットと、コンタクトソケットを保持し、該コンタクトソケットとコネクタピンとの接続を行わせるインシュレータソケットと、インシュレータソケットをポンプ本体に固定する固定手段と、電装品およびインシュレータソケットを収納し、ポンプ本体に固定されるケーシングと、ケーシングと本体との間を水密封止する封止部材とを備えたことを特徴とする。
請求項２の本考案によるターボ分子ポンプは、ポンプ本体と、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体に設けられ、制御ユニットからの電力や制御信号が入力されるコネクタとを備えるターボ分子ポンプに適用され、制御ユニットの電装品と接続するための配線が取り付けられ、コネクタのコネクタピンと接続されるコンタクトソケットと、コンタクトソケットを保持し、該コンタクトソケットとコネクタピンとの接続を行わせるインシュレータソケットと、電装品およびインシュレータソケットを収納し、ポンプ本体に固定されるケーシングと、ケーシングとポンプ本体との間を水密封止する封止部材とを備えたことを特徴とする。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、作業性の向上が図れるとともに、さらなるコスト低減を図ることができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図を参照して本考案によるターボ分子ポンプの実施の形態について説明する。図１に示すように、本実施の形態のターボ分子ポンプ１はポンプ本体２と制御ユニット３から成り、制御ユニット３はポンプ本体２のベース部４に固定されている。ターボ分子ポンプ１は、ポンプ本体２に設けられた吸気口フランジ５を半導体製造装置７の真空チャンバに固定することにより、半導体製造装置７に取り付けられる。ポンプ本体２の排気ポート６にはバックポンプが接続される。
【０００９】
図２、３はベース部４に固定された制御ユニット３の詳細を示す図である。図２はベース部４の一部および制御ユニット３の断面を示したもので、図３は分解斜視図である。ベース部４のコネクタ取り付け部４ａには、ハーメチックシールコネクタ１０が設けられている。ハーメチックシールコネクタ１０には、貫通孔１００が形成されたフランジ部１０１が設けられている。このフランジ部１０１を締結治具として用いられる４本のネジ付きスペーサ１２５でベース部４に固定することで、ハーメチックシールコネクタ１０が取り付けられている。ハーメチックシールコネクタ１０とベース部４との間には真空シール１１６が設けられている。なお、図３では、真空シール１１６の図示を省略した。
【００１０】
図４（ａ）はハーメチックシールコネクタ１０の詳細を示す断面図であり、（ｂ）はハーメチックシールコネクタ１０に設けられているコンタクトピン１１１の一つを拡大して示した図である。ハーメチックシールコネクタ１０は絶縁性のシール部材１１２により気密構造となっており、このシール部材１１２を貫通するように複数のコンタクトピン１１１が設けられている。コンタクトピン１１１の内側部分（ポンプ本体側部分）にはハンダ付け用ソルダカップ１１１ａが形成されており、このソルダカップ１１１ａにポンプ内の配線（モータ配線、制御配線等）１１３がハンダ付けされる。
【００１１】
本実施の形態では、ハーメチックシールコネクタ１０に係合する部品として、図５（ａ）に示すインシュレータソケット１２０が用いられる。インシュレータソケット１２０は電気的絶縁材で形成されたソケットであり、図５（ｂ）に示すコンタクトソケット１２１が装着される貫通孔１２３が複数形成されている。コンタクトソケット１２１には、配線用のワイヤ１２２が取り付けられる。インシュレータソケット１２０を、ベース部４に取り付けられたハーメチックシールコネクタ１０に装着すると、各コンタクトソケット１２０にコンタクトピン１１１が挿入され、それらが電気的に接続される。
【００１２】
インシュレータソケット１２０のフランジ部１２０ａは、ビス１２６によりスペーサ１２５の頂部に固定される。その際、フランジ部１２０ａとスペーサ１２５との間に、取り付けパネル１２７が共締めされる。ビス１２６により共締めされた部分には、水密保持のためのシール剤が施される。このように、スペーサ１２５は、ハーメチックシールコネクタ１０をベース部４に固定する機能と、インシュレータソケット１２０および取り付けパネル１２７を一体に支持する機能とを有している。その結果、インシュレータソケット１２０および取り付けパネル１２７は、ベース部４に一体に固定されることになる。
【００１３】
コンタクトソケット１２１に接続されたハーネス３１，３２は、制御ユニット３のケーシング３５に設けられたプリント基板３３，３４（例えば、制御信号用プリント基板や電力供給用プリント基板）に接続される。ケーシング３５はステー４０，４１を用いて、ポンプ本体２のベース部４にボルト固定される。その結果、ケーシング３５の開口部３５ａは、インシュレータソケット１２０と一体となっている取り付けパネル１２７によって塞がれる。ケーシング３５と取り付けパネル１２７との間には水密用のシールリング１２４が設けられており、ポンプ本体側に設けられた冷却水系や装置の冷却水系に水漏れがあった場合でも、ケーシング３５への水の浸入を防止することができる。
【００１４】
なお、制御ユニット３のメンテナンスを行う場合には、図６のようにボルト３７をはずしてケーシング３５をステー４０，４１から取り外す。このとき、インシュレータソケット１２０はスペーサ１２５にビス止めされた状態となっており、ハーネス３１，３２とプリント基板３３，３４との接続を外すことで、制御ユニット３がポンプ本体２から分離される。
【００１５】
このように、インシュレータソケット１２０はスペーサ１２５によりベース部４に固定されているので、作業時に不用意にインシュレータソケット１２０に触れた場合でも、コネクタピン１１１とコネクタソケット１２１の接続部に過大な力が加わらない。また、従来のように、インシュレータソケット１２０をハーメチックシールコネクタ１０に固定するための高価な防滴型コネクタプラグを必要とせず、ターボ分子ポンプのコストダウンを図ることができる。
【００１６】
［変形例］
図７は本実施の形態の変形例を示す図である。図７（ａ）に示す第１の変形例では、取り付けパネル１２７を省略した構成とした。制御ユニット３のケーシング３５は、ベース部４に直接にボルト固定されている。ケーシング３５とベース部４との間には、水密用のシールリング３６が設けられている。ケーシング３５の開口部の大きさは図２，６に示す場合よりも大きくなるので、制御ユニット３の着脱作業が行いやすくなり、作業中、不用意にインシュレータソケット１２０に触れるのを防止することができる。ただし、図２，６に示す場合よりも大きなシールリング３６が必要とされる。
【００１７】
図７（ｂ）は、第２の変形例を示す図であり、図７（ａ）に示す構成からさらにサポート１２５を省略したものであって、最もコストダウンが図れる。図７（ａ），（ｂ）の構成の場合、ハーメチックシールコネクタ１０およびインシュレータソケット１２０はケーシング３５内に収められているので、通常使用時においては不用意な力がかかることはない。そのため、図７（ｂ）に示すように、単にハーメチックシールコネクタ１０にインシュレータソケット１２０を差し込んだ状態のままでも不都合はない。この場合、インシュレータソケット１２０に図３に示すようなフランジ部１２０ａを設ける必要がない。
【００１８】
なお、以上の説明はあくまでも一例であり、本考案の特徴を損なわない限り、本考案は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本考案によるターボ分子の一実施の形態を示す図である。
【図２】ベース部４に固定された制御ユニット３の詳細を示す図である。
【図３】ベース部４の一部および制御ユニット３の断面を示す分解斜視図である。
【図４】ハーメチックシールコネクタ１０の詳細を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）はコンタクトピン１１１の拡大図である。
【図５】インシュレータソケット１２０の詳細を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）はコンタクトソケット１２１の拡大図である。
【図６】ケーシング３５をベース部４から外した状態を示す図である。
【図７】（ａ）は変形例１を示す図であり、（ｂ）は変形例２を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  ターボ分子ポンプ
２  ポンプ本体
３  制御ユニット
４  ベース部
１０  ハーメチックシールコネクタ
３１，３２  ハーネス
３３，３４  プリント基板
３５  ケーシング
３５ａ  開口部
３６，１２４  水密用シールリング
１１１  コンタクトピン
１１２  コンタクトソケット
１１６  真空シール
１２０  インシュレータソケット
１２５  スペーサ
１２７  取り付けパネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003138105.tif 000007
【図６】
0003138105.tif 000008
【図７】
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