(57)【要約】【課題】組み立て時の調整を治工具なしで高精度に行うことが可能な光学装置を提供する。【解決手段】ベース部１と、ベース部１上に第１アンカー２及び第２アンカー５を介して一体形成され、ベース部１に対して変位可能に構成された第１可動部３及び第２可動部５とを備える。ベース部１は、対向する位置に設けられた二対の固定電極部１１ａ〜１１ｄを備える。第１可動部３は、第１支持部２上に位置する、弾性変形可能に構成された第１弾性変形部３１と、一対の固定電極部１１ａ，１１ｂに対向して設けられた一対の第１可動電極部３４と、一対の第１可動電極部の間に位置し、光学素子Ｌが載置された第１光学素子載置部３３とを備える。第２可動部５は、第１可動部３と同様に、第２弾性変形部５１と、一対の第２可動電極部５４と、第２光学素子載置部５３とを備える。【選択図】図１
0003129822.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
光学素子の位置を調整可能な光学装置であって、
ベース部と、
当該ベース部上に第１支持部を介して一体形成され、前記ベース部に対して変位可能に構成された第１可動部と、
当該ベース部上に第２支持部を介して一体形成され、前記ベース部に対して変位可能に構成された第２可動部と
を備え、
前記ベース部は、
対向する位置に設けられた二対の固定電極部
を備え、
前記第１可動部は、
前記第１支持部上に位置する、弾性変形可能に構成された第１弾性変形部と、
一対の前記固定電極部に対向して設けられた一対の第１可動電極部と、
前記一対の第１可動電極部の間に位置し、前記光学素子が載置された第１光学素子載置部と
を備え、
前記第２可動部は、
前記第２支持部上に位置する、弾性変形可能に構成された第２弾性変形部と、
一対の前記固定電極部に対向して設けられた一対の第２可動電極部と、
前記一対の第２可動電極部の間に位置し、前記光学素子が載置された第２光学素子載置部と
を備え、
前記第１可動電極部と前記固定電極部との間に電位差を与えることで生じる静電力、及び前記第２可動電極部と固定電極部との間に電位差を与えることで生じる静電力により、前記第１光学素子載置部と前記第２光学素子載置部とを可動させることを特徴とする光学装置。
【請求項２】
前記第１可動部は、
前記第１光学素子載置部から前記第２光学素子載置部へ突出した櫛歯状の第１突出部を備え、
前記第２可動部は、
前記第２光学素子載置部から前記第１光学素子載置部へ突出した櫛歯状の第２突出部を備えることを特徴とする請求項１記載の光学装置。
【請求項３】
前記ベース部は、
前記第１光学素子載置部及び前記第２光学素子載置部の伸びる方向に直交する向きに対向して設けられ、弾性変形可能に構成され、前記光学素子を挟持可能な挟持部
を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の光学装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、光学素子の位置を調整可能な光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）の技術進展に伴い、光学素子（レンズ、ミラー、回折格子等）を搭載した光学装置が高精度、且つ小型に加工可能となった。例えば、特許文献１には、ＭＥＭＳを用いた波長変調器が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−２７０５８９号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
例えば、上記ＭＥＭＳの一例として、単一基板上に一括加工するモノリシック(monolithic)ＭＥＭＳが知られている。しかしながら、光学装置製造にモノリシックＭＥＭＳを適応した場合、加工上の都合や特性安定化の点において問題が生じ易い。一方、複数の構成要素をアセンブリする光学装置の製造方法も考えられるが、そのような場合、各要素を組み立てる際に、誤差が生じる。そのため、組み立ての際に光軸調整やフォーカス調整を行わなければならず、治工具などを用いる必要が生じる。この調整は、時間を要し、さらには、精度が十分に得られない場合もある。また、個々の部品が極めて微細であるため取り扱いが難しく、製造時に部品を破損させてしまう恐れもある。
【０００４】
そこで、本考案は、組み立て時の光学素子の調整を治工具なしで高精度に行うことが可能な光学装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本考案の一態様に係る光学装置は、光学素子の位置を調整可能な光学装置であって、ベース部と、当該ベース部上に第１支持部を介して一体形成され、前記ベース部に対して変位可能に構成された第１可動部と、当該ベース部上に第２支持部を介して一体形成され、前記ベース部に対して変位可能に構成された第２可動部とを備え、前記ベース部は、対向する位置に設けられた二対の固定電極部を備え、前記第１可動部は、前記第１支持部上に位置する、弾性変形可能に構成された第１弾性変形部と、一対の前記固定電極部に対向して設けられた一対の第１可動電極部と、前記一対の第１可動電極部の間に位置し、前記光学素子が載置された第１光学素子載置部とを備え、前記第２可動部は、前記第２支持部上に位置する、弾性変形可能に構成された第２弾性変形部と、一対の前記固定電極部に対向して設けられた一対の第２可動電極部と、前記一対の第２可動電極部の間に位置し、前記光学素子が載置された第２光学素子載置部とを備え、前記第１可動電極部と前記固定電極部との間に電位差を与えることで生じる静電力、及び前記第２可動電極部と固定電極部との間に電位差を与えることで生じる静電力により、前記第１光学素子載置部と前記第２光学素子載置部とを可動させることを特徴とする。
【０００６】
上記のように構成することにより、光学素子を静電力により移動させることで、その位置を容易に調整することができる。また、その調整は、静電力により行われるので、高精度なものとなる。また、第１可動部と第２可動部の移動量及び移動方向を異ならせることにより、光学素子の位置調整だけでなく、角度調整も可能となる。
【０００７】
また、前記第１可動部は、前記第１光学素子載置部から前記第２光学素子載置部へ突出した櫛歯状の第１突出部を備え、前記第２可動部は、前記第２光学素子載置部から前記第１光学素子載置部へ突出した櫛歯状の第２突出部を備える構成としてもよい。このような構成とすることにより、第１突出部及び第２突出部が櫛歯状で、その表面積を大きく形成されているので、接着材を第１突出部及び第２突出部の間に流し込んだ場合、強固な接着が可能となる。
【０００８】
また、前記ベース部は、前記第１光学素子載置部及び前記第２光学素子載置部の伸びる方向に直交する向きに対向して設けられ、弾性変形可能に構成され、前記光学素子を挟持可能な挟持部を備える構成としてもよい。このような構成とすることにより、光学素子を挟持させ、光学素子の配置のズレを防止することができる。
【考案の効果】
【０００９】
以上のように本考案によれば、組み立て時の光学素子の調整を治工具なしで高精度に行うことが可能な光学装置を提供することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本考案に係る光学装置の一実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１１】
先ず、図１から図３を参照して、本考案の一実施形態に係る光学装置の構造を説明する。図１は、本考案の一実施形態に係る光学装置の上面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ’断面図であり、図３は、図１のＢ−Ｂ’断面図である。
【００１２】
光学装置は、ベース部１と、ベース部１に２つの第１アンカー（第１支持部）２を介して一体形成され、ベース部１に対して変位可能に構成された第１可動部３と、ベース部１に２つの第２アンカー（第２支持部）４を介して一体形成され、ベース部１に対して変位可能に構成された第２可動部５と、光学素子（両凸レンズ）Ｌとから構成されている。
【００１３】
ベース部１は、ベース部本体１０と、二対の固定電極部１１ａ〜１１ｄと、一対のバネ部１２ａ、１２ｂと、二対の枠部１３ａ、１３ｂとから構成されている。
【００１４】
固定電極部１１ａ〜１１ｄは、ベース部本体１０の上面に、所定の厚みを持って櫛歯状に形成されている。図１に示すように、固定電極部１１ａは、第１可動電極部３を介して固定電極部１１ｂと対向した位置に、固定電極部１１ｃは、第２可動部５を介して固定電極部１１ｄと対向した位置に設けられている。また、固定電極部１１ａは固定電極部１１ｃと並列して設けられ、固定電極部１１ｂは固定電極部１１ｄと並列して設けられている。
【００１５】
ここで、以下の光学装置の説明に用いる方向等を定義する。固定電極部１１ａ〜１１ｄの重心を符号Ｏとし、固定電極部１１ａから固定電極部１１ｂへ向かう方向を＋Ｘ方向、固定電極部１１ａから固定電極部１１ｃへ向かう方向を＋Ｙ方向とする。また、固定電極部１１ｂから固定電極部１１ａへ向かう方向を−Ｘ方向、固定電極部１１ｃから固定電極部１１ａへ向かう方向を−Ｙ方向とする。また、ベース部１から第１或いは第２可動部３、５へ向かう方向を＋Ｚ方向、第１或いは第２可動部３、５からベース部１へ向かう方向を−Ｚ方向とする。
【００１６】
一対のバネ部１２ａ、１２ｂは、重心Ｏから±Ｙ方向に離れた位置に、第１可動電極部３及び第２可動部５を介して対向して設けられている。
【００１７】
バネ部１２ａは、＋Ｚ方向に伸びる３本のコラム１２ａ１と、各々のコラム１２ａ１の上端から＋Ｙ方向に伸びて弾性変形可能にバネ状に形成されたバネ部本体１２ａ２と、各バネ部本体１２ａ２の端部に繋がって形成され光学素子Ｌに当接する当接部１２ａ３とから構成されている。また、各コラム１２ａ１は、ベース部本体１０上に設けられた第３アンカー１２ａ１１と、第３アンカー１２ａ１１上に設けれたコラム本体１２ａ１２と、コラム本体１２ａ１２上に設けられた第４アンカー１２ａ１３とから構成されている。また、当接部１２ａ３の±Ｘ方向にのびる側面は、±Ｘ方向に凹凸状に形成されている。この凹凸は、５〜１０μｍピッチで刻まれている。
【００１８】
バネ部１２ｂは、バネ部１２ａと同様に＋Ｚ方向に伸びる３本のコラム１２ｂ１と、各々のコラム１２ｂ１の上端から−Ｙ方向に伸びて弾性変形可能にバネ状に形成された各々のバネ部本体１２ｂ２と、各バネ部本体１２ｂ２の端部に繋がって形成され光学素子Ｌに当接する当接部１２ｂ３とから構成されている。なお、コラム１２ｂ１は、ベース部本体１０上に設けられた第５アンカー１２ｂ１１と、第５アンカー１２ｂ１１上に設けれたコラム本体１２ｂ１２と、コラム本体１２ｂ１２上に設けられた第６アンカー１２ｂ１３とから構成されている。なお、当接部１２ｂ３の±Ｘ方向にのびる側面は、凹凸状に形成されている。この凹凸は、５〜１０μｍピッチで刻まれている。
【００１９】
二対の枠部１３ａ、１３ｂは、ベース部本端１０上に重心Ｏから±Ｘ方向に離れた位置に設けられている。
【００２０】
枠部１３ａは、＋Ｚ方向に所定の厚みを持って形成され、図１に示すように上面から見て逆コの字状の第１枠部１３ａ１と、第１枠部１３ａ１から＋Ｘ方向に所定距離はなれて第１枠部１３ａ１と対向するコの字状の第２枠部１３ａ２とから構成されている。
【００２１】
枠部１３ｂは、＋Ｚ方向に所定の厚みを持って形成され、図１に示すように上面から見て逆コの字状の第１枠部１３ｂ１と、第１枠部１３ｂ１から＋Ｘ方向に所定距離はなれて第１枠部１３ｂ１と対向するコの字状の第２枠部１３ｂ２とから構成されている。
【００２２】
２つの第１アンカー２、２は、ベース部１上に、重心Ｏから±Ｘ方向、−Ｙ方向に所定間隔離れて設けられている。
【００２３】
第１可動部３は、主として、弾性変形可能な２つの第１弾性変形部３１と、光学素子Ｌの一端が載置された光学素子載置部３３と、２つの第１可動電極部３４と、第１可動部３をベース部１に固定する際に用いる２つの第１突出部３５とから構成されている。なお、第１可動部３において、２つの第１弾性変形部３１と、光学素子載置部３３と、２つの第１可動電極部３４と、２つの第１突出部３５とは、一体形成されている。
【００２４】
第１弾性変形部３１は、二つの導通部３１ａと、二本の第１湾曲部３１ｂと、一本のビーム３１ｃと、二本の第２湾曲部３１ｄとから構成されている。導通部３１ａは、第１アンカー２の端部に位置し、第１アンカー２を介してベース部１に通じている。第１湾曲部３１ｂは、導通部３１ａから−Ｙ方向に延び、湾曲可能な程度に薄く形成されている。ビーム３１ｃは、二本の第１湾曲部３１ｂの端部に±Ｘ方向に延びて設けられている。二本の第２湾曲部３１ｄは、ビーム３１ｃの±Ｘ方向両端から＋Ｙ方向に延び、±Ｘ方向に湾曲可能な程度に薄く形成されている。
【００２５】
光学素子載置部３３は、二本の第２湾曲部３１ｄの端部に位置し、±Ｘ方向に延びるように形成された載置部３３ａと、載置部３３ａの±Ｘ方向に等間隔に設けられ、＋Ｚ方向に形成された複数の突起３３ｂとから構成されている。光学素子Ｌの一端は、突起３３ｂにより挟持され、載置部３３ａ上に接着剤により固定されている。
【００２６】
第１可動電極部３４は、光学素子載置部３３の±Ｘ方向の両端に位置している。各々の第１可動電極部３４は、櫛歯状であり、その櫛歯は、＋Ｘ（−Ｘ）方向に延びるように形成されている。各々の第１可動電極部３４は、固定電極部１１ａ、１１ｄに対向し、それらの櫛歯が互いに嵌る位置に設けられている。
【００２７】
第１突出部３５は、光学素子載置部３３の側面から＋Ｙ方向に突出して設けられており、櫛歯状の形状を有している。第１突出部３５は、後述する第２可動部５の第２突出部５５に対向する位置に設けられている。
【００２８】
なお、ここで上述したベース部１のバネ部１２ａは、光学素子載置部３３から−Ｙ方向であって、一対の第１弾性変形部３３の間に位置する。
【００２９】
２つの第２アンカー４、４は、ベース部１上に、重心Ｏから±Ｘ方向、＋Ｙ方向に所定間隔離れて設けられている。
【００３０】
第２可動部５は、主として、弾性変形可能な２つの第１弾性変形部５１と、光学素子５２が載置された光学素子載置部５３と、２つの第２可動電極部５４と、第２可動部５をベース部１に固定する際に用いる２つの第２突出部５５とから構成されている。なお、第２可動部５においては、２つの第２弾性変形部５１と、光学素子載置部５３と、２つの第２可動電極部５４と、第２突出部５５とは、一体形成されている。
【００３１】
第２弾性変形部５１は、一つの導通部５１ａと、二本の第１湾曲部５１ｂと、一本のビーム５１ｃと、二本の第２湾曲部５１ｄとから構成されている。導通部５１ａは、第２アンカー４の端部に位置し、第２アンカー４を介してベース部１に通じている。第１湾曲部５１ｂは、導通部５１ａから＋Ｙ方向に延び、±Ｘ方向に湾曲可能な程度に薄く形成されている。ビーム５１ｃは、二本の第１湾曲部５１ｂの端部に±Ｘ方向に延びて設けられている。二本の第２湾曲部５１ｄは、ビーム５１ｃの±Ｘ方向両端から−Ｙ方向に延び、±Ｘ方向に湾曲可能な程度に薄く形成されている。
【００３２】
光学素子載置部５３は、二本の第２湾曲部５１ｄの端部に位置し、±Ｘ方向に延びるように形成された載置部５３ａと、載置部５３ａの±Ｘ方向に等間隔に設けられ、＋Ｚ方向に形成された複数の突起５３ｂとから構成されている。光学素子Ｌの一端は、突起５３ｂにより挟持され、載置部３３ａ上に接着剤により固定されている。
【００３３】
第２可動電極部５４は、光学素子載置部５３の±Ｘ方向の両端に位置している。各々の第２可動電極部５４は、櫛歯状であり、その櫛歯は、＋Ｘ（−Ｘ）方向に延びるように形成されている。各々の第２可動電極部５４は、固定電極部１１ｃ、１１ｄに対向し、それらの櫛歯が互いに嵌る位置に設けられている。
【００３４】
第２突出部５５は、光学素子載置部５３の側面から−Ｙ方向に突出して設けられており、その形状は、櫛歯状である。また、第２突出部５５は、第１可動電極部３の第１突出部３５と対向する位置に設けられている。さらに、対向する二対の第１突出部及び第２突出部３３、５５は、それぞれ、枠部１３ａ、１３ｂ内に位置する。
【００３５】
なお、ここで上述したベース部１のバネ部１２ｂは、光学素子載置部５３から＋Ｙ方向であって、一対の第２弾性変形部５３の間に位置する。つまり、光学素子載置部３３、５３に載置された光学素子Ｌは、バネ部１２ａの当接部１２ａ３と、バネ部１２ｂの当接部１２ｂ３とにより挟持される。光学素子載置部３３，５３は、光学素子Ｌを挟持する挟持部として機能する。
【００３６】
次に、上記光学装置を構成する材料及びその製造方法について説明する。例えば、ベース部１は、Ｓｉ等により形成されている。そして、ベース部１の上に位置する第１アンカー２，第２アンカー４，第３アンカー１２ａ１１，第５アンカー１２ｂ１１は、ＳｉＯ２等により形成されている。さらにこれらの上に位置する第１可動部３，第２可動部５，コラム本体１２ａ１２，１２ｂ１２は、Ｓｉ等により形成されている。さらにこれらの上に位置する第４アンカー１２ａ１３、第６アンカー１２ｂ１３は、ＳｉＯ２等により形成されている。さらにこれらの上に位置するバネ部本体１２ａ２，１２ｂ２は、Ｓｉ等により形成されている。つまり、光学装置は、ベース部１上に堆積させたＳｉＯ２、Ｓｉ、ＳｉＯ２、Ｓｉの４層にエッチング等を施して、一体形成することができる。また、第１及び第２可動部３，５は、第１及び第２アンカー２，４によりベース部１から電気的に分離した状態で形成されている。
【００３７】
次に、図４及び図５を参照して、本考案の一実施形態に係る光学装置による光学素子Ｌの位置調整動作を説明する。まず、図示しない電圧印加部から固定電極部１１ａ〜１１ｄ或いは第１可動電極部３４，３４及び第２可動電極部５４，５４に電圧を印加し、固定電極部１１ａ〜１１ｄと第１可動電極部３４、３４との間、固定電極部１１ａ〜１１ｄと第２可動電極部５４，５４との間に電位差を生じさせる。すると、固定電極部１１ａ〜１１ｄと第１可動電極部３４、３４との間、固定電極部１１ａ〜１１ｄと第２可動電極部５４，５４との間に静電力が生じる。この静電力を印加電圧の操作により制御し、第１可動部３及び第２可動部５の位置を制御することができる。つまり、第１可動電極部３４，３４と固定電極部１１ａ、１１ｂとにより所謂、静電コムアクチュエータが構成される。また同様に、第２可動電極部５４，５４と固定電極部１１ｃ、１１ｄとにより所謂、静電コムアクチュエータが構成される。
【００３８】
例えば、固定電極部１１ａと固定電極部１１ｃとに所定電圧Ｖ１を印加し、固定電極部１１ｂと固定電極部１１ｄとに所定電圧Ｖ２（Ｖ２≠Ｖ１）を印加する。すると、第１可動３及び第２可動部５は、＋Ｘ方向、或いは−Ｘ方向に共に等しい静電力を受ける。これにより、図４に示すように、第１可動部３１は、２つの第１弾性変形部３１，３１を湾曲させ、第２可動部５１は、２つの第２弾性変形部５１，５１を湾曲させる。そして、光学素子載置部３３と光学素子載置部５３とは、共に＋Ｘ方向、或いは共に−Ｘ方向に移動する。このように本考案の一実施形態に係る光学装置よれば、光学素子Ｌの位置を±Ｘ軸方向に調整することが可能である。なお、光学素子Ｌの移動に伴い、バネ部１２ａ，１２ｂは、バネ部本体１２ａ２，１２ｂ２を弾性変形させ、当接部１２ａ３，１２ｂ３の側面に形成された凹凸により光学素子Ｌを挟持する。
【００３９】
また、例えば、図５に示すように固定電極部１１ａと固定電極部１１ｄとに所定電圧Ｖ１’を印加し、固定電極部１１ｂと固定電極部１１ｃとに所定電圧Ｖ２’（Ｖ２’≠Ｖ１’）を印加してもよい。すると、第１可動部３及び第２可動部５は、互いに＋Ｘ方向、或いは−Ｘ方向に異なる静電力を受ける。これにより、図５に示すように、第１可動部３１は、２つの第１弾性変形部３１，３１を湾曲させ、第２可動部５１は、２つの第２弾性変形部５１，５１を湾曲させる。そして、光学素子載置部３３ａと光学素子載置部５３ｂとは、別々に異なる方向（＋Ｘ方向、或いは−Ｘ方向）に移動する。このように本考案の一実施形態に係る光学装置によれば、光学素子ＬのＸ方向の傾きを調整することが可能である。
【００４０】
次に、再び図１を参照して、本考案の一実施形態に係る光学装置の固定方法について説明する。上記図４及び図５に示すように、光学素子Ｌの位置及び傾きを調整した後、光学装置を恒久的に固定する。この光学装置の固定は、枠部１３ａ、１３ｂにより囲まれた二対の第１突出部及び第２突出部３５，５５の上方から接着剤を流し込むことによりなされる。接着剤は、第１突出部及び第２突出部３５、５５の櫛歯状の側面を辿り、第１突出部及び第２突出部３５，５５とベース部本体１０との間に流れ込む。ここで、第１突出部及び第２突出部３５，５５は、その側面を櫛歯状に形成し、その表面積が大きく形成されているので、第１突出部３５と第２突出部５５とベース部１との間を強固に接着することが可能である。また、枠部１３ａ、１３ｂにより、接着剤の不要な箇所（光学素子Ｌの配置された箇所等）への流出を防ぐことが可能である。
【００４１】
上記のような本考案の一実施形態に係る光学装置によれば、製造時の光学素子の調整を治工具なしで高精度に行うことが可能である。したがって、光電式エンコーダ、チューナブルレーザなどの光ＭＥＭＳ応用デバイスの性能向上が図れる。また、調整工程の削減によるコストダウンが期待できる。
【００４２】
以上、本考案の光学装置の一実施形態について説明したが、本考案は上記構成に限られるものではない。例えば、上記一実施形態においては、４つの固定電極部と４つの可動電極部を設けたが、固定電極部及び可動電極部は、それぞれ対となるように偶数個あればよい。また、上記一実施形態においては、二対の第１弾性変形部３１，３１及び第２弾性変形部５１，５１を設けているが、一対或いは三対以上の弾性変形部を設けた構成としてもよい。また、上記実施形態においては、光学素子載置部３３，５３に一枚の光学素子Ｌのみを設けているが、複数枚の光学素子を載置する構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本考案の一実施形態に係る光学装置の上面図である。
【図２】本考案の一実施形態に係る光学装置の図１のＡ−Ａ’断面図である。
【図３】本考案の一実施形態に係る光学装置の図１のＢ−Ｂ’断面図である。
【図４】本考案の一実施形態に係る光学装置の動作の一例を示す上面図である。
【図５】本考案の一実施形態に係る光学装置の動作の一例を示す上面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１…ベース部、２…第１アンカー、３…第１可動部３，４…第２アンカー４、５…第２可動部、１０…ベース部本体、１１ａ〜１１ｄ…固定電極部、１２ａ、１２ｂ…バネ部、１２ａ１，１２ｂ１…コラム、１２ａ２，１２ｂ２…バネ部本体、Ｌ…光学素子、１２ａ３，１２ｂ３…当接部、１２ａ１１…第３アンカー、１２ｂ１１…第５アンカー、１２ａ１２，１２ｂ１２…コラム本体、１２ａ１３…第４アンカー、１２ｂ１３…第６アンカー、１３ａ，１３ｂ…枠部、１３ａ１，１３ｂ１…第１枠部、１３ａ２，１３ｂ２…第２枠部、３１…第１弾性変形部、５１…第２弾性変形部、３３，５３…光学素子載置部、３４…第１可動電極部、５４…第２可動電極部、３５，５５…突出部、３１ａ，５１ａ…導通部３１ａ、３１ｂ，５１ｂ…第１湾曲部、３１ｃ，５１ｃ…ビーム、３１ｄ，５１ｄ…第２湾曲部。
【図１】
0003129822.tif 000003
【図２】
0003129822.tif 000004
【図３】
0003129822.tif 000005
【図４】
0003129822.tif 000006
【図５】
0003129822.tif 000007