【事件の表示】
　上記当事者間の特許第４８３１５２１号「マテリアル取扱システム」の特許無効審判事件についてされた平成２６年１０月１５日付け審決に対し、知的財産高等裁判所において請求項１、２、５、６に係る発明に対する部分の審決取消しの判決（平成２６年（行ケ）第１０２５３号、平成２７年７月９日判決言渡）があったので、審決が取り消された部分の請求項に係る発明についてさらに審理のうえ、次のとおり審決する。
【結　論】
　請求のとおり訂正を認める。
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
１　本件特許第４８３１５２１号についての出願は、２００３年３月２０日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００２年６月１９日、米国、２００２年１０月１１日、米国）を国際出願日として出願され、平成２３年９月３０日にその発明について特許権の設定登録がなされた。
２　これに対して、請求人は、平成２５年４月１０日に、本件特許の請求項１−７に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件特許を無効にするとの審決を求める無効審判を請求し、証拠方法として甲第１号証ないし甲第６号証（以下「甲１」ないし「甲６」という。）を提出した。
３　被請求人は、平成２５年７月１日に答弁書を提出するとともに、同日付で訂正請求書（以下「訂正請求書１」という）を提出して訂正を求めた。
４　請求人は、平成２５年９月９日に弁駁書（以下「弁駁書１」という）を提出した。
５　当審は、平成２５年１１月１１日付けで審理事項を通知した。
６　請求人は、平成２５年１２月５日に口頭審理陳述要領書を提出した。
７　被請求人は、平成２５年１２月５日に口頭審理陳述要領書を提出した。
８　請求人は、平成２５年１２月１９日に上申書を提出した。
９　当審は、平成２５年１２月１９日に口頭審理を行った。
１０　被請求人は、平成２６年１月１０日に上申書を提出した。
１１　当審は、平成２６年２月２６日付けで審決の予告を行った。
１２　被請求人は、平成２６年５月２日に訂正請求書（以下「訂正請求書２」という）を提出して訂正を求めた。
１３　請求人は、平成２６年６月１３日に弁駁書（以下「弁駁書２」という）を提出した。
１４　平成２６年１０月１５日付けで、当審は「請求のとおり訂正を認める。特許第４８３１５２１号の請求項１ないし２、５ないし６に係る発明についての特許を無効とする。」との審決（以下、「一次審決」という。）を行った。
１５　被請求人は、一次審決を不服として、「特許庁が無効２０１３−８０００６１号事件について平成２６年１０月１５日にした審決のうち、「特許第４８３１５２１号の請求項１ないし２、５ないし６に係る発明についての特許を無効とする。」とした部分を取り消す。」との判決を求め、知的財産高等裁判所に審決取消訴訟を提起した（平成２６年（行ケ）第１０２５３号）。
１６　平成２７年７月９日に、知的財産高等裁判所は、特許庁がした一次審決のうち「特許第４８３１５２１号の請求項１ないし２、５ないし６に係る発明についての特許を無効とする。」とした部分を取り消すと判示され、平成２７年７月２３日に判決が確定した。
第２　本審決の審理範囲
　上記「第１　手続の経緯」１５及び１６により、一次審決は、平成２７年７月９日に言渡された判決において、「特許第４８３１５２１号の請求項１ないし２、５ないし６に係る発明についての特許を無効とする。」との結論が取り消された。
　よって、本審決において審理すべき対象は、請求項１ないし２、５ないし６に係る部分とされるが、当該部分は訂正請求の対象とされている関係から、訂正の可否及び一次審決で無効とされた特許第４８３１５２１号の請求項１ないし２、５ないし６に係る発明に対する部分である。
第３　訂正の可否に対する判断
　本件特許の訂正について、平成２５年７月１日に訂正請求書１が、平成２６年５月２日に訂正請求書２が、それぞれ提出されているが、「訂正の請求がされた場合において、その審判事件において先にした訂正の請求があるときは、当該先の請求は、取り下げられたものとみなす。」（特許法第１３４条の２第６項）との規定により、訂正請求書２における訂正の請求のみを検討の対象とする。 
１　訂正事項 
　訂正請求書２による訂正（以下「本件訂正」という。）は、以下のとおりである。 
（１）訂正事項１ 
　特許請求の範囲の請求項１において、「貯蔵容器を含む貯蔵ユニットであって、前記貯蔵容器はマテリアル・ユニットを保持するように設定された前記貯蔵ユニット」を「カセットポッドを保持するように設定された固定棚」と訂正する。 
（２）訂正事項２ 
　特許請求の範囲の請求項１において、「前記オーバーヘッドホイストは、移動ステージ及びこの移動ステージに取り付けられ水平移動及び垂直移動可能なマテリアル・ユニットを把持するホイスト把持部を有し」を「前記オーバーヘッドホイストは、水平移動可能な移動ステージ及びこの移動ステージに取り付けられ前記移動ステージの水平移動によって水平移動可能で且つそれ自体が垂直移動可能なカセットポッドを把持するホイスト把持部を有し」と訂正する。 
（３）訂正事項３ 
　特許請求の範囲の請求項１において、「前記オーバーヘッドホイスト搬送車は、貯蔵容器に隣接する所定経路を画定する懸架軌道に沿って移動するように構成された」を「前記オーバーヘッドホイスト搬送車は、前記ホイスト把持部でカセットポッドを把持した状態で固定棚に隣接する所定経路を画定する懸架軌道に沿って吊り下げられて移動し且つ前記オーバーヘッドホイストを前記懸架軌道よりも下方位置に搭載するように構成された」と訂正する。
（４）訂正事項４ 
　特許請求の範囲の請求項１において、「前記移動ステージは、前記ホイスト把持部に把持されたマテリアル・ユニットの全部がオーバーヘッドホイスト搬送車の外に位置するように前記ホイスト把持部を水平方向に移動させ、且つ、その全部がオーバーヘッドホイスト搬送車の外に位置するマテリアル・ユニットを前記ホイスト把持部により把持可能なように水平方向に移動させるようになっており」を「前記移動ステージは、前記ホイスト把持部に把持されたカセットポッドの全部がオーバーヘッドホイスト搬送車の外に位置するように前記ホイスト把持部を水平方向に移動させ、且つ、その全部がオーバーヘッドホイスト搬送車の外に位置するカセットポッドを前記ホイスト把持部により把持可能なように水平方向に移動させるようになっており」と訂正する。 
（５）訂正事項５ 
　特許請求の範囲の請求項１において、「前記貯蔵容器は開放されており、前記オーバーヘッドホイストのホイスト把持部が、一製品の製造施設内の種々の立地間を軌道に沿って次の搬送のために、前記オーバーヘッド搬送車のいずれかの側方において、貯蔵容器に保持されたマテリアル・ユニットへ直接到達するようになっており」を「前記固定棚は開放されており、前記オーバーヘッドホイストのホイスト把持部が、一製品の製造施設内の種々の立地間を軌道に沿って次の搬送のために、前記オーバーヘッドホイスト搬送車のいずれかの側方で且つ前記懸架軌道の下方において、固定棚に保持されたカセットポッドへ直接到達するようになっており」と訂正する。 
（６）訂正事項６ 
　特許請求の範囲の請求項１において、「前記移動ステージは、ホイスト把持部をオーバーヘッドホイスト搬送車に最も近い第１の位置から貯蔵容器に最も近い第２の位置へ移動させるように設定され、ホイスト把持部は、これらの第１の位置及び第２の位置の両方の位置からマテリアル・ユニットへ到達してマテリアル・ユニットを取り出すことができるようになっている」を「前記移動ステージは、ホイスト把持部をオーバーヘッドホイスト搬送車に最も近い第１の位置から固定棚に最も近い第２の位置へ移動させるように設定され、ホイスト把持部は、第１の位置から下降することにより処理加工治具ロードポートのカセットポッドへ到達してカセットポッドを取り出すことができ且つ第２の位置から下降することにより前記処理加工治具ロードポートより高い位置にある固定棚のカセットポッドへ到達してカセットポッドを取り出すことができるようになっている」と訂正する。 
（７）訂正事項７ 
　特許請求の範囲の請求項２において、「前記オーバーヘッドホイストのホイスト把持部が、マテリアル・ユニットを直接に貯蔵容器へ供するように構成される」を「前記オーバーヘッドホイストのホイスト把持部が、カセットポッドを直接に固定棚へ供するように構成される」と訂正する。 
（８）訂正事項８ 
　特許請求の範囲の請求項３、請求項４、請求項７を削除する。 
（９）訂正事項９ 
　特許請求の範囲の請求項５において、「貯蔵容器」を「固定棚」に、「マテリアルユニット」を「カセットポッド」に、それぞれ訂正する。 
（１０）訂正事項１０ 
　明細書における発明の名称を「縦型輪状コンベヤ及びオーバーヘッドホイストを基にした半導体製造のためのマテリアルの自動化処理システム」から「マテリアル取扱システム」と訂正する。 
２　当審の判断 
　これら訂正事項１ないし７、及び９ないし１０について検討する。
　なお、訂正事項８については、上記第２に述べたとおり、本件審理の対象に属せず、一次審決の結果一部確定として平成２６年１１月１０日付けで登録としているので、検討から省略する。
（１）訂正事項１について
　訂正事項１は、本件特許の請求項１に係る発明の「貯蔵容器を含む貯蔵ユニット」を全体として下位概念の「固定棚」に限定するもの、及び、「マテリアル・ユニット」を下位概念の「カセットポッド」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、本件特許請求の範囲の【請求項３】に「前記貯蔵容器が固定された貯蔵個所として設定される」、同【請求項４】に「前記固定された貯蔵個所が固定棚からなる」という記載があり、同【請求項７】に「マテリアル・ユニットはカセットポッドからなる」という記載もあることから、「固定棚」及び「カセットポッド」は本件明細書又は図面に記載されたものである。
　よって、訂正事項１が願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内で行われたことは明らかであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（２）訂正事項２について
　訂正事項２は、本件特許の請求項１に係る発明の「移動ステージ」を「水平移動可能な移動ステージ」に限定するもの、及び、「水平移動及び垂直移動可能なマテリアル・ユニットを把持するホイスト把持部」を「前記移動ステージの水平移動によって水平移動可能で且つそれ自体が垂直移動可能なカセットポッドを把持するホイスト把持部」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、本件特許明細書（以下「本件明細書」という。）の段落【００３０】には「オーバーヘッド搬送車４０５は、さらに、オーバーヘッドホイスト４３１を含み、このホイストは、ＦＯＵＰ４１０を貯蔵容器４３２へ上方から出し入れするためのグリッパー（把持部）を有している。好ましい実施例においては、このホイストグリッパー４３０は、移動ステージに取り付けられていて、オーバーヘッドホイストでオーバーヘッド搬送車４０５のいずれかの側面からカセットポッドを取り上げたり、該側面に配置したりするようになっている。」との記載があり、段落【００３２】には「オーバーヘッドホイスト搬送車７０５は、移動ステージに取り付けられ、搬送車７０５から突き出てＦＯＵＰ７１０を取り上げ、ついで、これを搬送車７０５へ引き戻すホイストグリッパー７３１を含み、このようにしてＦＯＵＰ７１０は、オーバーヘッドホイスト搬送車７０５内を動く（図５ｂ参照）。」との記載があり、段落【００３４】には「オーバーヘッド搬送車８０５を用いて、レールに乗せられたコンベヤ８９５への上方からの積み卸しを行うようになっている。この目的のために、オーバーヘッド搬送車８０５には、ホイストグリッパー８３５をもつオーバーヘッドホイスト８３１が含まれていて、これは、移動ステージ８３３に取り付けられ、これは、矢印８７０，８７１それぞれに示すように、水平及び垂直移動できるようになっている。」との記載があることから、「水平移動可能な移動ステージ」及び「前記移動ステージの水平移動によって水平移動可能で且つそれ自体が垂直移動可能なカセットポッドを把持するホイスト把持部」が示されていると認められる。
　よって、訂正事項２が願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内で行われたことは明らかであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（３）訂正事項３について
　訂正事項３は、本件特許の請求項１に係る発明の「オーバーヘッドホイスト搬送車」の移動に関して、「前記ホイスト把持部でカセットポッドを把持した状態で」行うことを限定し、「且つ前記オーバーヘッドホイストを前記懸架軌道よりも下方位置に搭載するように構成された」ことを限定するものであり、さらに、「貯蔵容器」を下位概念の「固定棚」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、本件明細書の段落【００３４】には、「ついで、ＦＯＵＰ８１０を保持しているホイストグリッパー８３５を移動ステージ８３３を介して引き上げて後退させ、このようにしてＦＯＵＰ８１０をオーバーヘッドホイスト搬送車８０５内へ移動させる。ついで搬送車８０５でＦＯＵＰ８１０をＩＣチップ製造フロアーのワークスエーション又は処理加工マシンへ運ぶ。」との記載があり、当該記載中の「ホイストグリッパー８３５」及び「ＦＯＵＰ８１０」は、本件請求項１に係る発明の「ホイスト把持部」及び「カセットポッド」にそれぞれ相当するものである。また、本件特許図面（以下「本件図面」という）の【図６】には、懸架軌道に相当する架設されたトラック８０８よりも下方位置にオーバーヘッドホイスト８３１が搭載されていることが示されている。さらに、「固定棚」については、上記（１）で指摘したように本件特許請求の範囲の【請求項３】及び【請求項４】に記載されている。
　よって、訂正事項３が願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内で行われたことは明らかであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（４）訂正事項４について
　訂正事項４は、本件特許の請求項１に係る発明の「マテリアル・ユニット」を下位概念の「カセットポッド」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、「カセットポッド」については、上記（１）で指摘したように本件特許請求の範囲の【請求項３】及び【請求項４】に記載されているから、本件明細書又は図面に記載されたものである。 
　よって、訂正事項４が願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内で行われたことは明らかであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（５）訂正事項５について
　訂正事項５は、本件特許の請求項１に係る発明の「貯蔵容器」及び「マテリアル・ユニット」をそれぞれ下位概念の「固定棚」及び「カセットポッド」に限定するもの、並びに、本件請求項１に係る発明の「ホイスト把持部」が「オーバーヘッドホイスト搬送車のいずれかの側方で且つ前記懸架軌道の下方において」カセットポッドへ到達するよう限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、「固定棚」及び「カセットポッド」については、上記（１）で指摘したように本件特許請求の範囲の【請求項３】、【請求項４】及び【請求項７】に記載されている。また、本件図面の【図６】には、ホイスト把持部に相当するホイストグリッパー８３５が、懸架軌道に相当する架設されたトラック８０８の下方において、カセットポッドに相当するＦＯＵＰ８１０に直接到達することが示されている。
　よって、訂正事項５が願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内で行われたことは明らかであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（６）訂正事項６について
　訂正事項６は、本件特許の請求項１に係る発明の「貯蔵容器」を下位概念の「固定棚」に限定するとともに、「ホイスト把持部」について、「これらの第１の位置及び第２の位置の両方の位置からマテリアル・ユニットへ到達してマテリアル・ユニットを取り出すことができるようになっている」を「第１の位置から下降することにより処理加工治具ロードポートのカセットポッドへ到達してカセットポッドを取り出すことができ且つ第２の位置から下降することにより前記処理加工治具ロードポートより高い位置にある固定棚のカセットポッドへ到達してカセットポッドを取り出すことができるようになっている」と限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、「固定棚」については、上記（１）で指摘したように本件特許請求の範囲の【請求項３】及び【請求項４】に記載されている。また、本件明細書の段落【００３１】には、「図５ａ〜図５ｂは、固定の貯蔵位置へアクセスする移送ホイスト搬送車サブシステム７０４を示す。図示の実施例では、移送ホイスト搬送車サブシステム７０４は、架設トラック７０８及びこのトラックにそって走行するオーバーヘッドホイスト搬送車７０５を含む。このオーバーヘッド搬送車７０５でＦＯＵＰ７１０を固定の貯蔵位置７３２から取り上げたり、配置したりするようになっている。（後略）」と記載され、段落【００３２】には、「オーバーヘッドホイスト搬送車７０５は、架設のトラック７０８の直下になる位置からＦＯＵＰ７１０を取り上げ（そして配置する）。この目的のために、オーバーヘッドホイスト搬送車７０５は、移動ステージに取り付けられ、搬送車７０５から突き出てＦＯＵＰ７１０を取り上げ、ついで、これを搬送車７０５へ引き戻すホイストグリッパー７３１を含み、このようにしてＦＯＵＰ７１０は、オーバーヘッドホイスト搬送車７０５内を動く（図５ｂ参照）。好ましい実施例では、前記移動ステージによりオーバーヘッドホイストでカセットポッドをオーバーヘッド搬送車７０５のいずれかの側面から取り上げたり、配置したりするようになっている。ＦＯＵＰ７１０がホイストグリッパ７３０に保持されると、オーバーヘッドホイスト搬送車７０５がそれをＩＮチップ製造フロアーのワークステーション又は処理加工マシンへと運ぶ。」と記載され、段落【００３３】には、「図６は、コンベヤ８９５の上にあるか又は移動中のマテリアルにアクセスする移送ホイスト搬送車システム８００を図示する。特には、オーバーヘッドホイスト搬送サブシステム８０４を用いて、ＦＯＵＰ８１０をオーバーヘッドレールをベースとするコンベヤ８９５から直接取り上げたり、配置したりするようになっている。（中略）移送ホイスト搬送車システム８００は、さらに、処理加工治具ロードポート８９９を含んでいる。」と記載され、段落【００３４】には、「（前略）移動ステージ８３３を介してホイストグリッパー８３５がＦＯＵＰ８１０に向けて降下し、コンベヤ８９５からＦＯＵＰ８１０を直接掴み上げる。ついで、ＦＯＵＰ８１０を保持しているホイストグリッパー８３５を移動ステージ８３３を介して引き上げて後退させ、このようにしてＦＯＵＰ８１０をオーバーヘッドホイスト搬送車８０５内へ移動させる。ついで搬送車８０５でＦＯＵＰ８１０をＩＣチップ製造フロアーのワークスエーション又は処理加工マシンへ運ぶ。」と記載されている。そして、これらの記載を勘案すれば、本件図面の【図６】におけるコンベヤ８９５に代えて【図５ａ】及び【図５ｂ】に記載された固定の貯蔵位置７３２（固定棚に相当するものである。）が適用可能であることも、当業者には自明の事項であるから、「ホイスト把持部は、第１の位置から下降することにより処理加工治具ロードポートのカセットポッドへ到達してカセットポッドを取り出すことができ且つ第２の位置から下降することにより前記処理加工治具ロードポートより高い位置にある固定棚のカセットポッドへ到達してカセットポッドを取り出すことができるようになっている」という事項も、本件明細書又は図面に記載されたものである。
　よって、訂正事項６が願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内で行われたことは明らかであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（７）訂正事項７について 
　訂正事項７は、本件特許の請求項２において、「マテリアル・ユニット」及び「貯蔵容器」を、それぞれ下位概念の「カセットポッド」及び「固定棚」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、「固定棚」及び「カセットポッド」については、上記（１）で指摘したように本件特許請求の範囲の【請求項３】、【請求項４】及び【請求項７】に記載されているから、本件明細書又は図面に記載されたものである。
　よって、訂正事項７が願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内で行われたことは明らかであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（８）訂正事項９について
　訂正事項９は、本件特許の請求項５において、「貯蔵容器」及び「マテリアルユニット」をそれぞれ下位概念の「固定棚」及び「カセットポッド」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、「固定棚」及び「カセットポッド」については、上記（１）で指摘したように本件特許請求の範囲の【請求項３】、【請求項４】及び【請求項７】に記載されているから、本件明細書又は図面に記載されたものである。
　よって、訂正事項９が願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内で行われたことは明らかであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（９）訂正事項１０について
　訂正事項１０は、明細書における発明の名称を、各請求項に係る発明の「マテリアル取扱システム」に整合させるものであるから、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　また、訂正事項１０が願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内で行われ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないことも明らかである。
（１０）まとめ 
　したがって、本件訂正は、特許法第１３４条の２第１項ただし書き、及び、同条第５項において準用する同法第１２６条第３項及び第４項の規定に適合するので、適法な訂正と認める。
第４　本件訂正発明
　訂正後の本件特許の請求項１、２、５及び６に係る発明（以下、「本件訂正発明１」、「本件訂正発明２」、「本件訂正発明５」及び「本件訂正発明６」という。）は、本件訂正後の明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１、２、５及び６に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】
　自動化されたマテリアル取扱システムであって、
　カセットポッドを保持するように設定された固定棚と、
　オーバーヘッドホイストを搭載したオーバーヘッドホイスト搬送車を含むオーバーヘッドホイスト搬送サブシステムであって、前記オーバーヘッドホイストは、水平移動可能な移動ステージ及びこの移動ステージに取り付けられ前記移動ステージの水平移動によって水平移動可能で且つそれ自体が垂直移動可能なカセットポッドを把持するホイスト把持部を有し、前記オーバーヘッドホイスト搬送車は、前記ホイスト把持部でカセットポッドを把持した状態で固定棚に隣接する所定経路を画定する懸架軌道に沿って吊り下げられて移動し且つ前記オーバーヘッドホイストを前記懸架軌道よりも下方位置に搭載するように構成された前記オーバーヘッドホイスト搬送サブシステムと、を有し、
　前記移動ステージは、前記ホイスト把持部に把持されたカセットポッドの全部がオーバーヘッドホイスト搬送車の外に位置するように前記ホイスト把持部を水平方向に移動させ、且つ、その全部がオーバーヘッドホイスト搬送車の外に位置するカセットポッドを前記ホイスト把持部により把持可能なように水平方向に移動させるようになっており、
　前記固定棚は開放されており、前記オーバーヘッドホイストのホイスト把持部が、一製品の製造施設内の種々の立地間を軌道に沿って次の搬送のために、前記オーバーヘッドホイスト搬送車のいずれかの側方で且つ前記懸架軌道の下方において、固定棚に保持されたカセットポッドへ直接到達するようになっており、
　前記移動ステージは、ホイスト把持部をオーバーヘッドホイスト搬送車に最も近い第１の位置から固定棚に最も近い第２の位置へ移動させるように設定され、ホイスト把持部は、第１の位置から下降することにより処理加工治具ロードポートのカセットポッドへ到達してカセットポッドを取り出すことができ且つ第２の位置から下降することにより前記処理加工治具ロードポートより高い位置にある固定棚のカセットポッドへ到達してカセットポッドを取り出すことができるようになっているマテリアル取扱システム。
【請求項２】
　前記オーバーヘッドホイストのホイスト把持部が、カセットポッドを直接に固定棚へ供するように構成される請求項１のマテリアル取扱システム。
【請求項５】
　前記移動ステージは、さらに、ホイスト把持部を固定棚に最も近い第２の位置からオーバーヘッドホイスト搬送車に最も近い第１の位置へ移動させ、これにより、ホイスト把持部は固定棚からカセットポッドを取り出すことができるようになっている請求項１のマテリアル取扱システム。
【請求項６】
　前記移動ステージは、ホイスト把持部をオーバーヘッドホイスト搬送車に最も近い第１の位置から第２の位置および第３の位置の選択された少なくとも一つの位置へ移動するように設定され、これにより、第２と第３の位置はオーバーヘッドホイスト搬送車のいずれかの側方に配置される請求項１のマテリアル取扱システム。」
第５　当事者の主張
１　請求人の主張
（１）「審決の予告」前の主張
　請求人の主張する請求の趣旨は、本件訂正発明１ないし７についての特許を無効とする、との審決を求めるものである。
　また、その請求の理由は、本件訂正発明１ないし７は、甲１ないし甲６に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件特許は特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである、というものである。
　さらに、弁駁書１において、本件訂正発明１が訂正されたことにより本件訂正発明５が不明確となったため、本件特許は特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とされるべきである、という理由を追加する補正を行った。
　詳細は下記のとおりである。
ア　無効理由１
　本件訂正発明１は、甲１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。
イ　無効理由２
　本件訂正発明１は、甲２及び甲３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。
ウ　無効理由３
　本件訂正発明１は、甲２及び甲４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。
エ　無効理由４
　本件訂正発明１は、甲２及び甲１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。
オ　本件訂正発明２ないし７に対する無効理由１ないし４
　本件訂正発明２ないし７は、本件訂正発明１と同様に、甲１ないし甲４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。
カ　無効理由５
　本件訂正発明５は、発明特定事項が理解できず不明確であるとともに、その具体的構成が発明の詳細な説明に記載された構成のいずれであるのか理解できず不明確となっている。
（２）「審決の予告」後の主張
　本件訂正に対する弁駁書２の記載からみて、請求人の主張する請求の趣旨は、本件訂正発明１、２、５及び６についての特許を無効とする、との審決を求めるものである。
　また、その請求の理由は、本件訂正発明１、２、５及び６は、甲１ないし甲６に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件特許は特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである、というものである。
　そして、無効理由２ないし４については、審決予告後も審決予告前と同様に主張が維持されているが、無効理由１及び弁駁書１で追加された無効理由５については、審決予告後は主張が撤回されている。
（３）証拠方法
請求人は、審判請求書において、証拠方法として以下の甲１ないし甲６を提出している。
甲１：国際公開第２００２／０３５５８３号
甲２：特開平１０−４５２１３号公報
甲３：特開２０００−１６１４５７号公報
甲４：実願平４−８７９５６号（実開平６−５３５７８号）のＣＤ−ＲＯＭ
甲５：特表２００４−５１２６９２号公報
甲６：無効２０１２−８０００４８号審判事件における被請求人提出の平成２４年８月１７日付け口頭審理陳述要領書
２　被請求人の主張
　一方、被請求人の答弁の趣旨は、本件審判の請求は成り立たない、との審決を求めるものである。
ア　無効理由１について
　本件訂正発明１は、甲１に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到できたものではない。
イ　無効理由２について
　甲３に記載された発明を甲２に記載された発明に適用しても、本件訂正発明１を得ることができず、さらに、甲３に記載された発明を甲２に記載された発明に適用する動機付けが甲２及び甲３の何れにも無い。
ウ　無効理由３について
　甲４に記載された発明を甲２に記載された発明に適用しても、本件訂正発明１を得ることができず、さらに、甲４に記載された発明を甲２に記載された発明に適用する動機付けが甲２及び甲４の何れにも無い。
エ　無効理由４について
　甲１に記載された発明を甲２に記載された発明に適用しても、本件訂正発明１を得ることができず、さらに、甲１に記載された発明を甲２に記載された発明に適用する動機付けが甲２及び甲１の何れにも無い。
オ　本件訂正発明２ないし７に対する無効理由１ないし４について
　本件訂正発明２ないし７は、いずれも、本件訂正発明１に直接的又は間接的に従属する形式により記載された発明であるから、無効理由１ないし４は存在しない。
カ　無効理由５について
　本件訂正発明５は、本件訂正発明１の特定事項及び本件訂正発明５の特定事項の両方を備えた発明であり、明確である。
キ　甲２に記載された発明に甲１、甲３及び甲４に記載された発明を適用する動機付けについて
（ア）甲２の請求項４の作用効果は、移動体の数に較べて物品保持部の方が多数となる場合が多いので、移載手段を移動体側に設けることにより、移載手段の数を少なくすることができると言っているのみで、この作用効果を奏する代表例である図１の第１実施形態においては、移動体３に物品移載手段ＢＭ（索状体３ｂ、昇降部３ｃ、把持部３ｄ）が設けられており、この物品移載手段ＢＭが、物品保持部ＢＳとの間で物品Ｂの移載を行う保持部用移載手段ＢＣとステーションＳＴとの間で物品Ｂの移載を行うステーション用移載手段ＳＣとを兼ねるようになっている（甲２の段落〔００２０〕参照）。しかしながら、この第１実施形態においても、水平移動を行うための物体移動手段ＭＳ（リンク機構１０、油圧シリンダ１２）は依然として物品保管部ＢＳに設けられている。それゆえ、当業者であれば、請求項４の記載及び作用効果から、請求項４に規定された「保持部移載手段」は、図１に示された第１実施形態の物品移載手段ＢＭ（及び保持部移載手段ＢＣ）のような垂直移動を行うものと理解するのが普通である。なお、仮に、請求項４に記載された「保持部用移載手段」が、図１２に示された設備の移載手段（屈曲アーム２０ｂ）を含むものであっても、上述したように、図１２に示された物品搬送設備においては、物品Ｂが水平方向にしか移動しないので、物品の垂直移動も必要な第１実施形態に適用する動機付けがない。（被請求人が提出した口頭審理陳述要領書の第１５ページ第８−２６行）
（イ）甲２発明において物品載置台１１が移動体３の横幅方向にあっても、当業者が、甲２発明における把持具３ｄ（保持部用移載手段）が下降し物品載置台１１の物品１１の物品Ｂへ到達して物品Ｂを取り出すことに代えて、図１２に示された屈曲アーム２０ｂのような物品を移動体横幅方向に移動させて移載を行う手段（横幅方向へ移動可能な保持部用移載手段）を設けようと試みることはない。（訂正請求書２の第２１ページ第２−７行）
（ウ）甲２の図１２に示された実施形態による物品搬送設備においては、物品保持部ＢＳ（物品保持台３０）及び物品受け入れ部５ａを備えた加工装置５が、移動体３の両脇に配置されるレイアウトになっており、このレイアウトでは、物品Ｂは、水平方向（横方向）にのみ移動させれば良いので、移動体３に物品Ｂを上下動させるホイスト機能は不要なため、このレイアウトを前提として用いられる屈曲アーム２０ｂを、ホイスト機能が必須のレイアウトを前提とした甲２発明に適用する動機付けはない。（訂正請求書２の第２１ページ第１６−２５行）
（エ）本件訂正発明１の移動ステージは甲１に記載された伸長可能アーム２３とは使用目的が異なっているので、当該伸長可能アーム２３を甲２発明に適用する動機付けがない。（訂正請求書２の第２７ページ第２−１０行）
（オ）甲４に記載された「横行レール１３」は、本件訂正発明１の「移動ステージ」に相当するものではない。（訂正請求書２の第２２ページ第１５行−第２３ページ第１７行）
第６　無効理由についての当審の判断
１　甲１ないし甲４の記載事項
（１）甲１の記載事項
　甲１には、以下の事項ア〜サが記載されている。なお、括弧書きで示した日本語訳は、甲１の日本出願である甲５の対応する記載を参考にした。また、行数は空白行を含む。
ア　明細書第３ページ第１８−２３行
「It is a primary object of this invention to provide an arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier in wafer fabrication processes、 which reduces the amount of travel and load or unload times between subsequent processing steps、 and where less transport equipment is necessary to transport semiconductor wafers to the processing machines.」
（「本発明の主な目的は、ウェハ製造プロセスにおける半導体ウェハキャリアを運搬するための設備を提供することである。この設備は、次に続く処理工程間の移動および積載または積降の膨大な時間を低減し、ここで、半導体ウェハを加工装置に運搬するために必要な運搬機器を少なくする。」【０００９】）
イ　明細書第５ページ第４−１１行
「The vehicle and the carrier transfer car can meet anywhere in the bay area、 since both tracks are mounted on each other and the carrier transfer car can move to any place along the intrabay rail track. Even in the case of all load ports in the present bay being occupied、 the vehicle can deliver its carrier load to a carrier transfer car at a non-load-position and then being free to receive another transfer task、 while just the carrier transfer car waits for a free load port.」
（「運搬手段およびキャリア搬送車は、ベイ領域におけるどこででも合流し得る。なぜなら、両方のトラックは、互いに取り付けられ、かつ、キャリア搬送車は、ベイ内レールトラックに沿う任意の場所に移動し得るからである。現在のベイ内のすべてのロードポートが使用中である場合でさえ、運搬手段は、そのキャリアロードを非積載位置におけるキャリア搬送車に送達し、その後、別の搬送タスクを受け取るために空になり得、他方、キャリア搬送車だけが空いたロードポートを待つ。」【００１４】）
ウ　明細書第５ページ第２６−２８行
「they quickly release their carrier load to carrier transfer cars at a non-load-position in the bay entrance area」
（「運搬手段は、ベイ入口領域における非積載位置（ｎｏｎ−ｌｏａｄ−ｐｏｓｉｔｉｏｎ）にて、そのキャリアロードをキャリア搬送車に迅速に放出し、」【００１５】）
エ　明細書第６ページ第８−１４行
「A further aspect considers an extendable hoist arm for the carrier transfer car、 which achieves a fast removal of the wafer carrier from the wafer carrier load space above the vehicle. The hoist arm can be extended into a position、 where the wafer carrier cannot obstruct with other wafer carriers being deposited on top of another vehicle that passes through the present location of the carrier transfer car.」
（「キャリア搬送車の伸長可能ホイストアームを考慮する。これは、運搬手段上のウェハキャリア積載空間からウェハキャリアを迅速に除去することを達成する。ホイストアームは、ウェハキャリアが、キャリア搬送車の現在位置を通過する別の運搬手段の上部に置かれている他のウェハキャリアによって妨害され得ない位置に伸長され得る。」【００１８】）
オ　明細書第６ページ第１８−２１行
「the extension means of the hoist arm is constructed such as to reach a position above the load port of the processing machine、 from where the wafer carrier can be directly lifted down to the load port、」
（「ホイストアームの伸長手段は、加工装置のロードポート上の位置に達するように構成される。この位置から、ウェハキャリアは、ロードポートに直接的に降ろされ得、」【００１９】）
カ　明細書第６ページ第２４−３０行
「the hoist arm can be designed as a gripper arm that can be extended. It takes the wafer carrier with the gripper、 removes the carrier from the load space、 and then extends down to the load port with the improvement、 that horizontal movements can be achieved. E.g.、 Special barriers can be circumvented or load ports of processing machines can be reached、 which are shifted relative to the rail tracks.」
（「ホイストアームは、伸長され得るグリッパアームとして設計され得る。このグリッパアームは、グリッパを用いてウェハキャリアを取り、積載空間からキャリアを除去し、その後、ロードポートに向かって下方へ伸長する。この際、水平方向の運動が達成され得る。例えば、特別な障壁が迂回され得るか、レールトラックに対して相対的シフトして加工装置のロードポートに到達され得る。」【００２０】）
キ　明細書第６ページ第３２−３４行
「A further aspect employs a winch and rope as the mechanism to lift and deposit the wafer carrier from the vehicle to the load port and vice versa.」
（「機構がウェハを運搬手段からロードポートへまたはロードポートから運搬手段に持ち上げおよび載せるので、ウィンチおよびロープを用いる。」【００２１】）
ク　明細書第９ページ第２６行−第１０ページ第１０行
「A remotely controlled vehicle 11 in Figure 1 (a) moves on an T-shaped guide-rail representing the interbay rail track 10、 thereby carrying the wafer carrier 1. The T-shaped guide-rail track is mounted on support arms 12、 which are themselves mounted on the ceiling 13. The whole system represents an overhead transport system. Beneath the T-shaped guide-rail track 10 another guide-rail is horizontally flanged representing the intrabay rail track 20. A carrier transfer car 21 is moving in a floating rail type beneath this guide-rail track 20 along the interbay rail track 10. A crane-type hoist arm 22 is mounted on the carrier transfer car 21 at the opposite side of the support arms 12、 which hold the rail tracks 10 and 20. The top of the hoist arm 22 is provided with a winch and roap structure 24 that latches on to a connector 3 on top of the wafer carrier 1. In the specific situation displayed in Figure lb、 the carrier transfer car 21 and the on-top-vehicle 11 have already met to start the transfer of the wafer carrier. The crane-type hoist arm 22 is mounted off-axis of the rail tracks 10 and 20 and leads around the rail tracks to a top position beneath the ceiling 13 sufficiently high above the vehicle platform in order give passage to a vehicle loaded with a wafer carrier 1.」
（「図１（ａ）のリモート制御される運搬手段１１は、ベイ間レールトラック１０を表すＴ字形のガイドレール上で移動し、これによって、ウェハキャリア１を運ぶ。Ｔ字形のガイドレールトラックは、支持アーム１２上に取り付けられ、この支持アームはそれ自体天井１３に取り付けられる。システム全体は頭上運搬システムを表す。Ｔ字形のガイドレールトラック１０の下に、もう一つのガイドレールが、ベイ内レールトラック２０で表すように、水平にフランジ取りつけされている。キャリア搬送車２１は、このガイドレールトラック２０の下でベイ間トラック１０に沿って浮遊（ｆｌｏａｔｉｎｇ）レールタイプで動く。クレーンタイプのホイストアーム２２は、支持アーム１２に対向して、キャリア搬送車２１上に取り付けられ、この支持アームは、レールトラック１０および２０を保持する。ホイストアーム２２の上部は、ウェハキャリア１の上部のコネクタ３にラッチするウィンチとロープ構造２４を備える。図１ｂで示す特定の状況で、キャリア搬送車２１および上部運搬手段１１は、既にウェハキャリアの運搬を開始して合流している。クレーンタイプのホイストアーム２２は、レールトラック１０および２０の軸から離れて取り付けられ、そして運搬手段プラットフォームの上に充分高い天井１３の下の上部位置にレールトラックの周りに導き、この結果、ウェハキャリア１を積載した運搬手段の通過を可能にする。」【００３０】）
ケ　明細書第１０ページ第１２−１９行
「the transfer happens in front of a processing machine 30 having a load port 31 in front of it、 which is shown in Figure 1 (b) . The hoist arm 22 has an extendable arm 23 on its top which can be extended to reach a position above the load port 31 using the winch and rope 24. the wafer carrier can be lifted down onto the load port 31 with the wafer carrier door 2 orientated into a loading position for the process chamber of the processing machine 30.」
（「この運搬は、加工装置３０の前で起こり、この加工装置は図１（ｂ）のように、この前にロードポート３１を有する。ホイストアーム２２は、その上部に伸長可能アーム２３を有し、この上部は、ウィンチおよびロープ２４を用いて、ロードポート３１上の位置に達するまで下方へ伸ばされ得る。ウェハキャリアは、加工装置３０のプロセスチャンバの積載位置に方向付けられたウェハキャリアドア２を有してロードポート３１上に降ろされ得る。」【００３１】）
コ　明細書第１３ページ第１２−１６行
「an intrabay transport arrangement、 which comprises an intrabay rail track (20) and a carrier transfer car (21) moving on the track within a bay area、 for transferring the wafer carrier (1) between said interbay transport arrangement and the processing machines (30)、」
（「該ウェハキャリア（１）を該ベイ間運搬設備と該加工装置（３０）との間で搬送するために、ベイ内レールトラック（２０）および該トラック上を移動するキャリア搬送車（２１）を備えるベイ内運搬設備」【請求項１】）
サ　図１ａ及び図１ｂ
　上記記載事項ク及びケも参酌しながら図１ａ及び図１ｂの記載を見ると、図１ａではグリッパがキャリア搬送車２１に最も近い位置にあり、図１ｂではグリッパに把持されたウェハキャリア１の全部がキャリア搬送車２１の外に位置していて、グリッパがロードポート３１に最も近い位置になっていることが理解できる。また、図１ｂでは、キャリア搬送車２１の側方側に隣接してロードポート３１が設けられ、グリッパがロードポート３１のウェハキャリア１に直接到達している状態であることも理解できる。
　甲１の上記記載事項を、技術常識を踏まえ整理すると、甲１には下記の事項が記載されている。
「ウェハ製造プロセスにおける運搬設備がウェハキャリア１を運搬している点。」（以下、「甲１事項１」という。）
「水平移動可能な伸長可能アーム２３及びこの伸長可能アーム２３に取り付けられ前記伸長可能アーム２３の水平移動によって水平移動可能なグリッパを有し、
　前記伸長可能アーム２３は、前記グリッパに把持されたウェハキャリア１の全部がキャリア搬送車２１の外に位置するように前記グリッパを水平方向に移動させ、且つ、その全部がキャリア搬送車２１の外に位置するウェハキャリア１を前記グリッパにより把持可能なように水平方向に移動させるようになっており、
　所定経路に隣接するロードポート３１があり、前記グリッパが、ロードポート３１に保持されたウェハキャリア１へ直接到達するのが、前記キャリア搬送車２１のいずれかの側方であり、
　前記伸長可能アーム２３は、グリッパをキャリア搬送車２１に最も近い位置からロードポート３１に最も近い位置へ移動させるように設定され、グリッパは、ロードポート３１に最も近い位置からロードポート３１のウェハキャリア１へ到達するようになっている構造。」（以下、「甲１事項２」という。）
（２）甲２の記載事項及び甲２に記載された発明
ア　甲２（特開平１０−４５２１３号公報）には、以下の記載がある。
「【特許請求の範囲】
【請求項１】 搬送用空間と、その搬送用空間とは別の空間とが上下に並ぶ状態で設けられ、前記搬送用空間に、案内レールと、その案内レールに案内されて走行する移動体とが設けられ、前記移動体が、複数のステーション間で物品を搬送するように構成されている物品搬送設備であって、前記搬送用空間に、前記ステーション間の物品搬送及び前記ステーションに対する物品移載を許容する状態で、前記移動体との間で物品を移載可能に複数の物品を保持する物品保持部が設けられている
物品搬送設備。
【請求項２】 上下が区画された作業用空間の天井の上側若しくは下側又は床下の空間が、前記搬送用空間として設定され、床上の空間が、前記別の空間として設定されている請求項１記載の物品搬送設備。
【請求項３】 前記物品保持部は、前記案内レールに沿って設けられ、且つ、前記案内レールにおける、前記ステーションに対する停止位置間の途中箇所に位置する移動体との間で物品を移載可能に構成されている請求項１又は２記載の物品搬送設備。
【請求項４】 前記移動体に、前記物品保持部との間で、物品を移載するための保持部用移載手段が設けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
【請求項５】 前記移動体に、前記ステーションとの間で、物品を移載するためのステーション用移載手段が設けられている請求項１〜４のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
【請求項６】 前記保持部用移載手段と前記ステーション用移載手段とが、単一の物品移載手段にて兼用される状態で設けられている請求項５記載の物品搬送設備。」
「【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送用空間と、その搬送用空間とは別の空間とが上下に並ぶ状態で設けられ、前記搬送用空間に、案内レールと、その案内レールに案内されて走行する移動体とが設けられ、前記移動体が、複数のステーション間で物品を搬送するように構成されている物品搬送設備に関する。」
「【０００７】又、上記請求項４記載の構成を備えることにより、物品保持部と移動体との間で物品の移載を行う保持部用移載手段が移動体側に設けられている。このような物品搬送設備では、一般的に、移動体の数に較べて物品保持部の数の方が多数となる場合が多いので、その移載手段を物品保持部側に設ける場合に較べて、必要となる移載手段の数が少なくて済み、設備全体として構成の簡素化を図ることができる。」
「【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した物品搬送設備の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔第１実施形態〕物品搬送設備ＴＳは、複数の工程で加工処理されて完成品となる物品Ｂの製造設備において、各工程間でその物品Ｂを搬送する設備である。この搬送のために、設備の全体レイアウト図である図７に示すように、６個のループ状の案内レール１と、それらの案内レール１間で物品Ｂを搬送するためのループ状の連絡用案内レール２とが備えられており、各案内レール１では複数台の移動体３が案内されて物品Ｂを一定方向（例えば反時計周り方向）に搬送し、連絡用案内レール２においても複数台の連絡用移動体４が案内されて物品Ｂを一定方向（例えば時計周り方向）に搬送する。
【００１７】各案内レール１は、床面ＦＬと天井ＣＬとによって区画される作業用空間において、図１に示すように、天井ＣＬの下側に取り付けられ、天井ＣＬの下側の、案内レール１、移動体３及び後述する物品保管部ＢＳが存在する空間が、物品Ｂの搬送するための搬送用空間ＴＡを形成し、その搬送用空間ＴＡの下側に位置する床面ＦＬ上側の空間が搬送用空間ＴＡとは別の空間ＯＡを形成し、前記別の空間ＯＡに、案内レール１に沿って床面ＦＬ上に並ぶ状態で複数台の加工装置５が設置されている。移動体３は、図３に示す各加工装置５の物品受入れ部５ａ及び物品払出し部５ｂに対して物品Ｂの受け渡しを行うので、厳密には、図３に示すように、各加工装置５の物品受入れ部５ａ及び物品払出し部５ｂにおける移動体３との物品移載位置が案内レール１における移動体３のステーションＳＴとなる。尚、一つの案内レール１に沿って設置される加工装置５は、物品Ｂに対して同一の処理を行う装置である場合が多いが、一連に行われる複数種類の処理をするために複数種類の加工装置５を並べて配置する場合もある。この他、案内レール１に沿って物品Ｂを一時的に保持する物品保持部ＢＳが複数設けられ、案内レール１に対する物品の出入り部ＩＯには、案内レール１の移動体３と連絡用案内レール２の連絡用移動体４との間で物品Ｂを移載するための出入り部用移載装置６が設けられている。」
「【００１９】以下、上記した各部分について概略説明する。案内レール１を走行する移動体３は、図１及び図２に示すように、上記の案内レール１によって上下方向並びに左右方向での位置が規制される図示しない走行輪を備えた走行部３ａと、走行部３ａにおいて巻き取り駆動される索状体３ｂにて吊下げ支持されて昇降自在の昇降部３ｃと、昇降部３ｃの下端から下方に延びる物品把持用の把持具３ｄとが備えられて構成され、リニアモータ（例えば移動体３側に駆動用コイルを備えたＬＤＭ）にて走行駆動される。尚、移動体３の走行や昇降部３ｃの昇降移動のための電力は、図示を省略するが、案内レール１の側面に設置された給電線から集電子等を経て供給される。
【００２０】この移動体３とステーションＳＴとの間の物品Ｂの移載は、図１及び図２に示すように、昇降部３ｃの昇降作動と把持具３ｄの把持作動とにより、案内レール１の直下に位置する加工装置５の物品受入れ部５ａ及び物品払出し部５ｂとの間で、物品Ｂを昇降移動させて行うものであり、後述するように物品保持部ＢＳにおいても、昇降部３ｃの昇降距離が異なるものの同様の移載動作を行う。従って、物品保持部ＢＳとの間で物品Ｂの移載を行う保持部用移載手段ＢＣと、ステーションＳＴとの間で物品Ｂの移載を行うステーション用移載手段ＳＣとは、索状体３ｂ、昇降部３ｃ及び把持具３ｄを主要部とする単一の物品移載手段ＢＭにて構成されている。
【００２１】・・・（略）・・・物品保持部ＢＳには、図１、図２及び図７に示すように、天井ＣＬ近くの移動体移動経路の両側に配置され、一端側を天井ＣＬに揺動自在に取り付けられたリンク機構１０と、そのリンク機構１０の他端側が揺動自在に取り付けられて水平揺動自在の物品載置台１１と、伸縮端１２ａがリンク機構１０に取り付けられた油圧シリンダ１２とが備えられており、油圧シリンダ１２の駆動力により、物品載置台１１が、移動体３の走行経路に進出する状態と、走行経路の側脇に引退する状態とに切り換えられる。物品載置台１１は、通常、走行経路の側脇に引退する状態を維持し、移動体３が案内レール１に沿って走行するのを許容すると共に、移動体３の昇降部３ｃの昇降を許容して、ステーションＳＴに対する物品移載を許容する。尚、一つの物品載置台１１には、図２及び図７に示すように、移動体移動方向に並ぶ状態で４つの物品Ｂを保持可能である。
【００２２】物品載置台１１が移動体３の走行経路に進出する状態では物品載置台１１に載置される物品Ｂが、移動体３の昇降部３ｃの直下の移載用位置に位置し、この位置で、移動体３と物品の受け渡しを行う。すなわち、物品保持部ＢＳに保持される物品Ｂを移動体３に移載するときは、移動体３の昇降台３ｃを降下させて、把持具３ｄにて物品Ｂにおける移動体前後方向の上端部を把持した後、昇降部３ｃを上昇端まで上昇させる。移動体１は、物品Ｂをその上昇位置で保持する状態で搬送する。移動体３が保持する物品Ｂを物品保持部ＢＳに移載するときは、上記とほぼ逆の動作となる。従って、リンク機構１０及び油圧シリンダ１２を主要部として、案内レール横幅方向に保持する複数個（具体的には２個）の物品Ｂの夫々を、移動体３との移載用位置に位置させる物品移動手段ＭＳが構成されている。」
イ　甲２の前記アの記載によれば、以下のことが認められる。
甲２には、案内レールとその案内レールに案内されて走行し複数のステーション間で物品を搬送する移動体とが設けられた搬送用空間と、その搬送用空間とは別の空間とが上下に並ぶ状態で設けられた物品搬送設備が記載されている（【０００１】）。
物品搬送設備ＴＳは、床面ＦＬと天井ＣＬとで区画される作業用空間の上側に位置する搬送用空間ＴＡと、搬送用空間ＴＡの下側に位置する別の空間ＯＡとを含み、搬送用空間ＴＡには、天井ＣＬの下側に取り付けられたループ状の案内レール１と、案内レール１に案内されて物品Ｂを搬送する複数台の移動体３と、物品保管部ＢＳとが存在し、別の空間ＯＡには、案内レール１に沿って床面ＦＬに並ぶ状態で複数台の加工装置５が設置される（【００１６】、【００１７】、図１、図７）。
案内レール１を走行する移動体３は、案内レール１によって上下方向及び左右方向の位置が規制される走行輪を備えた走行部３ａと、走行部３ａで巻き取り駆動される索状体３ｂで支持されて昇降自在の昇降部３ｃと、昇降部３ｃの下端から下方に延びる物品把持用の把持具３ｄとから構成される（【００１９】、図１、図２）。ここで、図１を参照すると、走行部３ａは、案内レール１に吊り下げられており、昇降部３ｃを案内レール１より下方に搭載していることが見て取れる。
物品保持部ＢＳは、移動体移動経路の両側に配置され、一端側を天井ＣＬに揺動自在に取り付けられたリンク機構１０と、リンク機構１０の他端側が揺動自在に取り付けられて水平揺動自在の物品載置台１１と、伸縮端１２ａがリンク機構１０に取り付けられた油圧シリンダ１２とを備え、油圧シリンダ１２の駆動力により、物品載置台１１が移動体３の走行経路に進出する状態と走行経路の側脇に引退する状態とに切り換えられる（【００２１】、図１、図２、図７）。
物品載置台１１は、通常、走行経路の側脇に引退する状態を維持し、移動体３が案内レール１に沿って走行するのを許容するとともに、移動体３の昇降部３ｃの昇降を許容して、ステーションＳＴに対する物品移載を許容する（【００２１】）。
移動体３とステーションＳＴ（加工装置５の物品受入れ部５ａ及び物品払い出し部５ｂにおける物品移載位置。【００１７】、図３。）との物品Ｂの移載は、物品載置台１１が走行経路の側脇に引退した状態で、昇降部３ｃの昇降作動と把持具３ｄの把持作動とにより、案内レール１の直下に位置する加工装置５の物品受入れ部５ａ及び物品払出し部５ｂとの間で物品Ｂを昇降移動させて行う（【００２０】、【００２１】、図１、図２）。
移動体３と物品保持部ＢＳの物品載置台１１との物品Ｂの移載は、物品載置台１１が移動体３の走行経路に進出する状態では、移動体３の昇降部３ｃの直下の移載用位置にある物品Ｂを昇降移動させて行う（【００２２】）。
移動体３とステーションＳＴとの間で物品Ｂの移載を行うステーション用移載手段ＳＣと、移動体３と物品保持部ＢＳとの間で物品Ｂの移載を行う保持部用移載手段ＢＣとは、索状体３ｂ、昇降部３ｃ、把持具３ｄを主要部とする単一の物品移載手段ＢＭで構成され、ステーションＳＴとの間での移載と物品保持部ＢＳとの間での移載とは、昇降距離が異なるものの同じ動作（昇降動作）で行われる（【００２０】）。
ウ　前記イのとおり、物品載置台１１は、通常、走行経路の側脇に引退する状態を維持し、移動体３が案内レール１に沿って走行するのを許容する。すなわち、移動体３が案内レール１に沿って走行することができるのは、物品載置台１１が走行経路の側脇に引退する状態を維持するときである。
したがって、移動体３が物品載置台１１との間で物品Ｂを移載するときは、まず、物品載置台１１が走行経路の側脇に引退する状態で移動体３（の走行部３ａ）が移載を行う位置まで移動して停止し、次に、物品載置台１１が移動体３の走行経路に進出する状態に切り換えられ、その後、前記イのとおり移動体３の昇降部３ｃの直下の移載用位置にある物品Ｂを昇降移動させることが分かる。
このとき、移動体３の把持部３ｄが物品載置台１１の上方に位置していることは、明らかである。
エ　前記イないしウのとおり、移動体３は、ステーション用移載手段ＳＣと保持部用移載手段ＢＣとを兼ねる単一の物品移載手段ＢＭで物品Ｂを直下に昇降移動させて、加工装置５の物品受入れ部５ａ及び物品払出し部５ｂとの間で、又は物品載置台１１との間で、物品Ｂを移載するものである。
そして、加工装置５の物品受入れ部５ａ及び物品払出し部５ｂは、前記イのとおり加工装置５が床面ＦＬに設置されている以上、移動体３を案内する案内レール１から見て常に直下に位置すると認められるものの、それに対して物品Ｂの移載が許容されるのは、前記イのとおり物品載置台１１が走行経路の側脇に引退する状態にあるときである。一方、物品載置台１１に載置された物品Ｂが移動体３の直下に位置するのは、前記ウのとおり、物品載置台１１が移動体３の走行経路に進出する状態にあるときである。
すなわち、甲２に記載された物品搬送設備ＴＳは、物品載置台１１が走行経路の側脇に引退する状態にあるときには加工装置５の物品受入れ部５ａ及び物品払出し部５ｂとの間で物品Ｂの移載を行い、物品載置台１１が移動体３の走行経路に進出する状態にあるときには物品載置台１１との間で物品Ｂを移載するものである。
　そうすると、甲２に記載された物品搬送設備ＴＳは、物品載置台１１が水平揺動自在な移動棚であり、移動体３の昇降部３ｃの把持部３ｄが物品載置台１１との間で昇降動作をするときに、物品載置台１１が走行経路に進出する状態にあることを前提とするものであると認められる。
オ　以上のことをまとめると、甲２には、以下の発明が「第１実施形態」として記載されていると認められる。
「自動化された物品搬送設備ＴＳであって、
　物品Ｂを保持するように設定されリンク機構１０により水平揺動自在の物品載置台１１と、
　昇降部３ｃを搭載した走行部３ａを含む移動体３であって、前記昇降部３ｃは、それ自体が垂直移動可能な物品Ｂを把持する把持具３ｄを有し、前記走行部３ａは、前記把持具３ｄで物品Ｂを把持した状態で物品載置台１１に隣接する走行経路を画定する案内レール１に沿って吊り下げられて移動し且つ前記昇降部３ｃを前記案内レール１よりも下方位置に搭載するように構成された前記移動体３と、を有し、
　前記物品載置台１１は開放されており、前記昇降部３ｃの把持具３ｄが、複数の工程で加工処理されて完成品となる物品Ｂの製造設備の各工程間を案内レール１に沿って次の搬送のために、前記案内レール１の下方において、リンク機構１０により走行経路に進出した状態の物品載置台１１に保持された物品Ｂへ直接到達するようになっており、
　把持具３ｄは、案内レール１の真下の位置から下降することにより加工装置５のステーションＳＴの物品Ｂへ到達して物品Ｂを取り出すことができ且つ案内レール１の真下の位置から下降することにより前記加工装置５のステーションＳＴより高い位置にあるリンク機構１０により走行経路に進出した状態の物品載置台１１の物品Ｂへ到達して物品Ｂを取り出すことができるようになっている物品搬送設備ＴＳ。」
（３）甲３の記載事項
　甲３には、以下の事項ア〜クが記載されている。
ア　段落【０００２】
「直進／回転機構は、物体を直線方向に移動したり回転したりする装置に組み込まれている。例えば、工場などの天井に取り付けられて、搬送物体を直進方向に往復移動させたり回転移動させたりするクレーンなどの天井搬送装置、いわゆるＯＨＴ（オーバヘッドホイストトランスポート）などに組み込まれている。このＯＨＴは、図４に斜視図を示すような構造になっており、レールに沿って走行する走行機構１５の下部に搬送機構が取り付けられている。この搬送機構は、図に表示されない直進／回転機構の駆動によって、テーブル１７が図の矢印のように直進方向に往復移動したり回転移動したりする。これによって、テーブル１７の下部に取り付けられた物体保持装置１９に保持された物体を直進及び回転移動させることが出来る。」
イ　段落【００１４】
「図１は、本発明の実施の形態の直線／回転機構の斜視図である。同図において、モータ２１の回転軸に直結してボールネジ２３が延びており、これらが上部を開放されたケース２５に収納されている。このボールネジ２３には、スライド部材２７ａで螺合されたラック２７が取り付けられている。そして、モータ２１の回転に伴うボールネジ２３の回転によって、スライド部材２７ａが螺動してラック２７が直線方向（図のＹ方向）に移動できるように構成されている。」
ウ　段落【００１５】
「一方、ラック２７の歯面と対向する側にも、前述と同様な機構部品が対称配置されている。すなわち、モータ３１の回転軸に直結してボールネジ３３が延びており、これらが上部を開放されたケース３５に収納されている。このボールネジ３３には、スライド部材３７ａで螺合されたラック３７が、ラック２７と歯面を対向して取り付けられている。そして、モータ３１の回転に伴うボールネジ３３の回転によって、スライド部材３７ａが螺動してラック３７が直線方向（図のＹ方向）に移動できるように構成されている。」
エ　段落【００１６】
「さらに、ラック２７の歯とラック３７の歯に挟まれる位置にピニオンギア３９が螺合されて配置されている。このピニオンギア３９は、ラック２７の歯とラック３７の歯に沿って直線方向に移動でき、且つ、ラック２７とラック３７の移動速度差によって回転出来るように構成されている。そして、ピニオンギア３９の下部端面にはスライドレール２９が固定され、さらに、このピニオンギア３９の上部端面には図示しないスライドテーブルが取り付けられている。このスライドテーブルが、この直進／回転機構によって、直進もしくは回転駆動をするものである。」
オ　段落【００１７】
「次に、この実施の形態の動作について説明する。先ず、ピニオンギア３９に固着されたスライドテーブルの直進駆動の動作について説明する。今、モータ２１とモータ３１を同じ方向に同じ速度で回転させると、ボールネジ２３とボールネジ３３とによって、それぞれ、ラック２７とラック３７とが同方向に同じ早さで直進駆動する。そして、直進駆動中のラック２７とラック３７の相対速度はゼロであるので、ピニオンギア３９は回転することなく、ラック２７とラック３７の歯に噛み合わされて、２つのラック２７、３７と共に直線方向（図のＹ方向）に移動する。」
カ　段落【００１８】
「これに伴って、ピニオンギア３９と共にスライドレール２９が直線方向に移動し、結果としてスライドテーブルは図の矢印Ｙの方向に直進駆動する。そして、所望の位置まで移動したとき２つのモータ２１、３１を停止する。なお、スライドテーブルの直進駆動の方向を反対にするときは、モータ２１とモータ３１を共に前述とは反対の向きに同じ速度で回転させればよい。このようにして、スライドテーブルを往復直進移動させることが出来る。」
キ　段落【００２２】
「また、ラック２７、３７の長さを充分に大きくとることが出来れば、直進方向の移動ストロークも大きくとれるし、ピニオンギアを何回転も回すことが出来るので、スライドテーブルを複数回転させることも可能である。」
ク　段落【００３２】
「本発明の直進／回転機構によれば、直進駆動と回転駆動が１組のアクチュエータ機構で実現できるので、装置全体を小型化することが出来、且つ生産コストを下げることが出来る。」
　甲３の上記記載事項を、技術常識を踏まえ整理すると、甲３には下記の事項（以下、「甲３事項」という。）が記載されている。
「搬送物体を直進方向に往復移動させたり回転移動させたりするクレーンなどの天井搬送装置、いわゆるＯＨＴ（オーバヘッドホイストトランスポート）の物体保持装置１９が、移動経路横方向に沿って移動させることができるスライドテーブル１７及び直進／回転機構を有するとしたもの」
（４）甲４の記載事項
　甲４には、以下の事項ア〜サが記載されている。
ア　段落【０００３】
「建屋の天井梁の下にＩ型鋼を取付け、該Ｉ型鋼の下フランジをレールとなし、これにホイストやチェインブロックなどを懸垂させて走行させるようにしたモノレール式の荷役装置が用いられている。」
イ　段落【０００４】
「上記した従来のモノレール式の荷役装置においては、前記ホイストやチェインブロックがレールに沿った前後方向にしか走行できないため、品物を吊上げることのできる範囲がレールの直下のごく狭い部分のみに限定されるため、吊上げようとする品物をレール直下まで移動させるのが煩雑であるという問題点がある。」
ウ　段落【０００５】
「従来のモノレール式の荷役装置における上記課題に着目してなされたものであって、ホイストやチェインブロックなどの巻上げユニットが曲線状の走行レールに沿って走行するとともに前記走行レールの直角方向に横行することが可能で、吊上げおよび搬送の可能な範囲を拡大することができる荷役装置を提供することを目的としている。」
エ　段落【００１３】
「また、前記電動チェインブロック５は、（中略）当該電動チェインブロック５の本体内部に巻上げ用モータを備えており、同じく押ボタンスイッチ７の操作によってロードチェイン５ｃと噛合うロードシーブを減速回転させ、前記ロードチェイン５ｃのフック５ｄに掛止した重量物１０（図２参照）の吊上げ、吊下げを行うようになっている。」
オ　段落【００１７】
「この実施例においては、前記横行レールを横桁を介して走行ユニットに摺動自在に取付けることによって、荷役作業範囲をさらに拡大するようにしたもの」
カ　段落【００１８】
「図３に示すように、走行ユニット３は、走行モータ３ｂや走行車輪３ｃを備え、前記実施例と同様に走行レール２に係合して走行するようになっており、前記走行ユニット３のフレームには、走行レール２と同様にＩ形鋼からなる横桁１２が前記走行レール２と直交する方向に固定してあって、」
キ　段落【００１９】
「横桁１２の図中左端部には、スライドモータ１４ａと該スライドモータ１４ａによって減速駆動され、横行レール１３の上フランジに係合して該横行レール１３を前記横桁１２の長手方向に摺動させるスライドローラ１４ｂとを備えた摺動ユニット１４が取付けてある。」
ク　段落【００２０】
「横行レール１３は、この実施例では、前記走行レール２や横桁１２と同様なＩ形鋼を上下に２本接続したものであって、その右方端部には、図４に示すように、上方のＩ形鋼に固定したベースプレート１３ａ、１３ａを介して横桁１２の側に延出するローラプレート１３ｂ、１３ｂを相対向して取付けると共に、該ローラプレート１３ｂ、１３ｂの相対向する内側面にはローラ１３ｃ、１３ｃが設けてあって、前記ローラ１３ｃ、１３ｃを前記横桁１２の上フランジの下面に当接させると共に、前述のように、横行レール１３の上方のＩ形鋼の上フランジを前記のスライドローラ１４ｂに係合させることによって、当該横行レール１３が横桁１２の長手方向に摺動自在に支持され、前記摺動ユニット１４によって延出あるいは引込み方向に駆動されるようになっている。」
ケ　段落【００２１】
「前記横行レール１３の下側のＩ形鋼の下フランジには、前記実施例と同様な電動チェインブロック５が懸架されており、横行モータ５ａに駆動されて、左右方向に横行すると共に、重量物１０の吊上げおよび吊下げを行うようになっている。なお、当該チェインブロック５にはコントロールケーブル１５ａを介して８点式押ボタンスイッチ１５が接続され、この操作によって前記走行ユニット３による走行、摺動ユニット１４による横行レール１３の延出および引込み駆動、チェインブロック５の横行、および吊上げ、吊下げの各動作が制御されるようになっている。」
コ　段落【００２２】
「摺動ユニット１４を作動させることによって、図５に仮想線で示すように、横行レール１３を左方向に延出させることができ、荷役作業の可能な範囲をさらに拡大することができる。」
サ　図５
　図５には、横行レール１３の横桁１２の長手方向（左方向）への延出による移動により、フック５ｄに掛止された重量物１０の全部が走行ユニット３を固定した横桁１２の外に位置するように、フック５ｄを横桁１２の長手方向に移動させる点が、二点鎖線により示されている。
　甲４の上記記載事項を、技術常識を踏まえ整理すると、甲４には下記の事項（以下、「甲４事項」という。）が記載されている。
「横桁１２の長手方向への移動可能な横行レール１３及びこの横行レール１３に取り付けられ前記横行レール１３の横桁１２の長手方向への移動によって横桁１２の長手方向への移動可能なフック５ｄを有し、
　前記横行レール１３は、前記フック５ｄに掛止された重量物１０の全部が走行ユニット３を固定した横桁１２の外に位置するように前記フック５ｄを横桁１２の長手方向に移動させ、且つ、その全部が走行ユニット３を固定した横桁１２の外に位置する重量物１０を前記フック５ｄにより掛止可能なように横桁１２の長手方向に移動させるようになっており、
　前記フック５ｄが、重量物１０へ直接到達するのが、前記走行ユニット３を固定した横桁１２のいずれかの側方であり、
　前記横行レール１３は、フック５ｄを前記横桁１２の下の位置から左方向に延出させた位置へ移動させるように設定され、フック５ｄは横桁１２の下の位置から左方向に延出させた位置から重量物１０へ到達するようになっている横行レール１３の構造。」
２　無効理由についての判断
（１）無効理由２ないし４について
ア　対比
　本件訂正発明１と甲２発明とを対比する。
　甲２発明の「物品Ｂ」は、甲２の記載事項によれば、複数の製造設備の各工程間を搬送され、加工処理される物品とされ、他方本件訂正発明１の「マテリアル」も、ＩＣチップとして製造される半導体ウエファーを含むＷＩＰパーツ類であって、製造工程間を搬送される物品の一つであるとされるから、甲２発明の「物品Ｂ」と本件訂正発明１の「マテリアル」とは、共に搬送され加工される扱いがなされる、「被搬送加工品」という点で一致するものである。
　また、物品の搬送に係る取扱いの一般的な態様として、何らかの収納容器を伴い搬送に供する態様を伴うこと、及び、当該態様の際には、搬送対象として収納容器も被搬送物として認識されることがあり得ると判断されるので、前記一致するとした「被搬送加工品」である甲２発明の「物品Ｂ」は、本件訂正発明１で半導体ウエファーを含むＷＩＰパーツ類を収容する「カセットポッド」に、搬送の取扱いがなされる際には相当する。
　また、甲２発明の「物品Ｂを保持するように設定され」た「物品載置台１１」は、上記相当ないし一致関係を参酌すると、本件訂正発明１の「カセットポッドを保持するように設定された固定棚」と、「固定」を除く点で相当する。
　次に、甲２発明の「把持具３ｄ」は、物品Ｂを把持して吊下げるものであるから、本件訂正発明１の「ホイスト把持部」に相当し、甲２発明の「昇降部３ｃ」は、走行部３ａに吊下げ支持されて昇降自在に構成されているから、本件訂正発明１の「オーバーヘッドホイスト」に相当し、甲２発明の「走行部３ａ」は、案内レール１によって位置が規制される走行輪を備えて走行するものであるから、本件訂正発明１の「オーバーヘッドホイスト搬送車」に相当する。そして、甲２発明の「移動体３」は、走行部３ａ、昇降部３ｃ及び把持具３ｄを備えて走行するとともに物品Ｂの受け渡しを行うものであるから、本件訂正発明１の「オーバーヘッドホイスト搬送サブシステム」に相当するものである。
　また、甲２発明の「案内レール１」は、移動体３を吊り下げて走行させるから、本件訂正発明１の「懸架軌道」又は「軌道」に相当するものであり、当該案内レール１は物品載置台１１の側脇を通る走行経路を画定しているから、甲２発明の「走行経路」は本件訂正発明１の「所定経路」に相当するものである。
　さらに、甲２発明の「案内レール１の直下の位置」は、移動体３の走行部３ａの直下を意味して、走行部３ａに最も近い位置ということになるから、本件訂正発明１の「第１の位置」に相当し、甲２発明の「加工装置５のステーションＳＴ」は、加工装置５に対して物品受入れ及び物品払出しを行う場所であるから、本件訂正発明１の「処理加工治具ロードポート」に相当し、甲２発明の「物品搬送設備ＴＳ」は、物品を搬送して取り扱う装置構造であるから、本件訂正発明１の「マテリアル取扱システム」に相当するものである。
　そして、甲２発明の「複数の工程で加工処理されて完成品となる物品Ｂの製造設備の各工程間」が、本件訂正発明１の「一製品の製造施設内の種々の立地間」のように言い換えられることも、当業者には自明である。
　そうすると、本件訂正発明１と甲２発明とは、下記の点で一致している。
＜一致点＞
「自動化されたマテリアル取扱システムであって、
　被搬送加工品を保持するように設定された棚と、
　オーバーヘッドホイストを搭載したオーバーヘッドホイスト搬送車を含むオーバーヘッドホイスト搬送サブシステムであって、前記オーバーヘッドホイストは、それ自体が垂直移動可能な被搬送加工品を把持するホイスト把持部を有し、前記オーバーヘッドホイスト搬送車は、前記ホイスト把持部で被搬送加工品を把持した状態で棚に隣接する所定経路を画定する懸架軌道に沿って吊り下げられて移動し且つ前記オーバーヘッドホイストを前記懸架軌道よりも下方位置に搭載するように構成された前記オーバーヘッドホイスト搬送サブシステムと、を有し、
　前記棚は開放されており、前記オーバーヘッドホイストのホイスト把持部が、一製品の製造施設内の種々の立地間を軌道に沿って次の搬送のために、前記懸架軌道の下方において、棚に保持された被搬送加工品へ直接到達するようになっており、
　ホイスト把持部は、第１の位置から下降することにより処理加工治具ロードポートの被搬送加工品へ到達して被搬送加工品を取り出すことができ且つ下降することにより前記処理加工治具ロードポートより高い位置にある棚の被搬送加工品へ到達して被搬送加工品を取り出すことができるようになっているマテリアル取扱システム。」
　そして、両者は下記の点で相違する。
＜相違点＞
本件訂正発明１が、
　水平移動可能な移動ステージ及びこの移動ステージに取り付けられ前記移動ステージの水平移動によって水平移動可能なホイスト把持部を有し、
　前記移動ステージは、前記ホイスト把持部に把持されたカセットポッドの全部がオーバーヘッドホイスト搬送車の外に位置するように前記ホイスト把持部を水平方向に移動させ、且つ、その全部がオーバーヘッドホイスト搬送車の外に位置するカセットポッドを前記ホイスト把持部により把持可能なように水平方向に移動させるようになっており、
　所定経路に隣接する棚が固定棚であり、前記ホイスト把持部が、固定棚に保持されたカセットポッドへ直接到達するのが、前記オーバーヘッドホイスト搬送車のいずれかの側方であり、
　前記移動ステージは、ホイスト把持部をオーバーヘッドホイスト搬送車に最も近い第１の位置から固定棚に最も近い第２の位置へ移動させるように設定され、ホイスト把持部は、第２の位置から固定棚のカセットポッドへ到達するようになっている
　のに対し、甲２発明は、
　把持具３ｄを水平方向に移動させる水平移動可能な移動ステージを有しておらず、所定経路に隣接する棚が水平搖動自在の物品載置台１１であり、この物品載置台１１が水平搖動して移動体３の走行経路に進出した状態で、把持具３ｄは案内レール１の直下の位置で下降して、物品載置台１１に保持された物品Ｂに到達するようになっている点。
イ　判断
［１］ 甲２発明の技術的意義
［１−１］ 甲２発明においては、ステーション用移載手段ＳＣと保持部用移載手段ＢＣとが移動体３に設けられた単一の物品移載手段ＢＭで構成され、ステーションＳＴとの間での移載と物品保持部ＢＳとの間での移載とが、昇降距離が異なるものの同じ動作（昇降動作）で行われる。このことは、以下に述べるとおり、甲２発明である「第１実施形態」に限らず、甲２に記載された他の実施形態でも同様である。
　まず、「第２実施形態」は、連絡用移動体４の構成が「第１実施形態」と異なるだけであるから（【００３２】）、移動体３の構成は、「第１実施形態」と同じであり、ステーション用移載手段ＳＣと保持部用移載手段ＢＣとが移動体３に設けられた単一の物品移載手段ＢＭで構成され、ステーションＳＴとの間での移載と物品保持部ＢＳとの間での移載とが同じ動作（昇降動作）で行われることが明らかである。また、物品保持部ＢＳも、「第１実施形態」と同じく、水平搖動自在な搖動棚である物品載置台１１である。
次に、【００３５】以降に列記された「その他の別実施形態」のうち、【００３６】、【００３７】、図１４、図１５に記載された実施形態では、水平揺動自在な移動棚である物品載置台１１の代わりに、ガイド枠２２ａに案内されて移動体３の横幅方向にスライド移動自在な載置台２２を用いるとともに、加工装置５のステーションＳＴの上方には、物品保持部ＢＳ（載置台２２）を設けない構成が採用されている。
　また、「その他の別実施形態」のうち、【００３８】、図１６、図１７に記載された実施形態では、案内レール１に沿って一列に並べて物品Ｂを保持する構成の物品保持部ＢＳを用いるとともに、加工装置５のステーションＳＴの上方には、物品保持部ＢＳを設けない構成が採用されている。
　これら２つの実施形態のうち、前者は物品保持部ＢＳとしてスライド移動自在な載置台２２を用い、後者は物品保持部ＢＳとして固定棚を用いているが、いずれの実施形態でも、水平揺動自在な移動棚である物品載置台１１を用いる「第１実施形態」と同様、ステーション用移載手段ＳＣと保持部用移載手段ＢＣとは移動体３に設けられた単一の物品移載手段ＢＭで兼用され、ステーションＳＴとの間での移載と物品保持部ＢＳとの間での移載とは、昇降距離が異なる（物品保持部ＢＳが上方に位置する。）ものの同じ動作（昇降動作）で行われる。
［１−２］　さらに、【００３５】、図１２、図１３には、もう一つの「その他の別実施形態」として、案内レール１上を走行する型式の移動体３（【００３２】）を用いて、ステーションＳＴとの間での物品Ｂの移載及び物品保持部ＢＳとの間での物品Ｂの移載を、昇降動作（物品Ｂの上下方向への移動）ではなく、物品Ｂの移動体３の横幅方向への移動により行う実施形態が記載されている。
　この実施形態では、物品保持部ＢＳ（物品保持台３０）との間の移載もステーションＳＴとの間の移載も、移動体３に設けられた屈曲アーム２０ｂによって行われる（【００３２】、図９）。
　したがって、この実施形態でも、ステーション用移載手段ＳＣと保持部用移載手段ＢＣとは、移動体３に設けられた単一の物品移載手段ＢＭ（屈曲アーム２０ｂ）で兼用され、ステーションＳＴとの間での移載と物品保持部ＢＳとの間での移載とは、同じ動作（移動体３の横幅方向への移動）で行われる。
［１−３］　前記のとおり、甲２に記載された実施形態は、甲２発明である「第１実施形態」だけでなく、他のいずれの実施形態も、ステーション用移載手段ＳＣと保持部用移載手段ＢＣとを移動体３に設けられた単一の物品移載手段ＢＭで兼用し、ステーションＳＴとの間での移載と物品保持部ＢＳとの間での移載とを同じ動作で行うものである。
　その技術的意義は、甲２の記載をみると、以下のとおりである。
　甲２の請求項４には、物品保持部との間で物品を移載する保持部用移載手段を移動体に設けることが記載され、請求項５には、ステーションとの間で物品を移載するステーション用移載手段を移動体に設けることが記載されている。そして、こうすることで、保持部用移載手段を物品保持部に設ける場合や、ステーション用移載手段をステーションに設ける場合に比べて、必要となる移載手段が少なくて済み、設備全体として構成の簡素化を図ることができる点に技術的意義がある（【０００７】、【０００８】）。
　甲２の請求項６には、保持部用移載手段とステーション用移載手段とを単一の物品移載手段で兼用することが記載されている。請求項６は、請求項５の記載を引用して記載されているから、請求項６の記載は、ステーション用移載手段を移動体に設けることを前提にしている。したがって、請求項６には、保持部用移載手段とステーション用移載手段とを兼用する単一の物品移載手段を移動体に設けることが記載されている。そして、こうすることで、設備全体として一層の構成の簡素化を図ることができる点に技術的意義がある（【０００８】）。
［１−４］　以上のことをまとめると、甲２には、ステーション用移載手段ＳＣと保持部用移載手段ＢＣとを移動体３に設けた単一の物品移載手段ＢＭで兼用し、ステーションＳＴとの間での移載と物品保持部ＢＳとの間での移載とを同じ動作（昇降動作又は物品Ｂの移動体３の横幅方向への移動）で行うという特徴的な技術事項が記載されている。すなわち、甲２発明の技術的意義は、ステーション用移載手段ＳＣ及び保持部用移載手段ＢＣを移動体３に設けることで、設備全体として構成の簡素化を図ることができ、さらに、両者を兼用することで、設備全体として一層の構成の簡素化を図ることができる点にある。
［２］ 「移動ステージ」の適用の容易想到性
［２−１］　上記「第６　無効理由についての当審の判断」の「１　甲１ないし甲４の記載事項」の（１）に記載した甲１事項１ないし事項２、同じく（３）に記載した甲３の記載事項、及び（４）に記載した甲４事項に示したとおり、大略すると、甲１にはウェハキャリア１を搬送するキャリア搬送車に、ウェハキャリア１の水平方向移動をなす、グリッパを有する伸長可能アーム２３を搭載したとする事項が記載され、甲３にはオーバーヘッドホイストトランスポート（ＯＨＴ）の物体保持装置１９を、移動経路横方向に沿って移動させることができるスライドテーブル１７及び直進／回転機構を有するとした事項が記載され、甲４には走行レール２に懸架される、フック５ｄを備える走行ユニット３に対し、当該走行レール２と、当該走行レールから横方向に延出可能とされた横桁４とを組合せた構造を採用し、延出方向へ走行ユニットを移動させるようにしたことが、各々公知技術とされている。
　そして、審理の対象とされる無効理由２は、甲２及び甲３記載事項に基づいて当業者が容易に発明できたとするもの、無効理由３は、甲２及び甲４記載事項に基づいて当業者が容易に発明できたとするもの、無効理由４は、甲２及び甲１記載事項に基づいて当業者が容易に発明できたとするものであって、いずれの無効理由も、甲３、甲４、甲１に記載された、本件訂正発明１の「オーバーヘッドホイスト」が有するとした「水平移動可能な移動ステージ」と共通する水平移動を奏する構造部分を示す公知発明を甲２発明に適用した場合、適用後のシステムは本件訂正発明１となるとした趣旨とされていることから、甲２発明に対して甲１、甲３、甲４のいずれかを適用した場合の、いわゆる容易想到性について判断することとする。
［２−２］　まず、甲２発明において、既に水平方向に揺動自在な物品載置台１１が存在するのであるから、移動体３の真下にあるステーションＳＴとの間で物品Ｂを移載する場合はもちろん、物品保持部ＢＳとの間で物品Ｂを移載する場合も、把持具３ｄを水平方向に移動させる必要がない。すなわち、物品載置台１１を水平方向に揺動させれば足りるから、別途「水平移動可能な移動ステージ」を設けて把持具３ｄを水平方向に移動させる理由がないことは明らかである。
　したがって、甲２発明の「水平方向に揺動自在な物品載置台１１」に代えて、相違点に係る本件訂正発明１の構成を備えるようにすることを容易に想到できたか否かを検討すべきところ、甲２発明に「水平移動可能な移動ステージ」を設け、その下方に把持具３ｄを保持したとすると、そのようにして得られるものは、ステーションＳＴとの間での移載及び物品保持部ＢＳとの間での移載のうち、一方については、単に把持具３ｄを昇降させることで行い、他方については、把持具３ｄを「水平移動可能な移動ステージ」で水平方向に移動させてから昇降させることで行うことになる。
　そうすると、甲２発明に「水平移動可能な移動ステージ」を設け、その下方に把持具３ｄを保持して得られるものは、ステーションＳＴとの間での移載と物品保持部ＢＳとの間での移載とを、互いに異なる動作で行うことになる。また、ステーションＳＴとの間での移載及び物品保持部ＢＳとの間での移載のうち、一方は把持具３ｄで、他方は「水平移動可能な移動ステージ」及び把持具３ｄで、それぞれ行うことになるから、ステーション用移載手段ＳＣと保持部用移載手段ＢＣとを移動体３に設けた単一の物品移載手段ＢＭで兼用しているとはいえなくなる。
　すなわち、甲２発明の構成を上記のように変更すると、甲２発明の技術的意義（前記［１］）が失われることになるから、「物品載置台１１」と「水平方向に揺動自在」とするための部材が省略できることを考慮してもなお、そのような変更をする動機付けが当業者にあるとは認められない。
［２−３］　以上に述べたとおり、当業者が、甲２発明に「水平移動可能な移動ステージ」を設け、その「水平移動可能な移動ステージ」の下方に把持具３ｄを保持する変更を行う動機付けはなく、また、そのようにすると甲２発明の技術的意義を失わせる結果になるから、阻害要因があるといえ、当業者が容易に想到し得ることであるということはできない。
　なお、請求人は、上記「第１　手続の経緯」の４にある弁駁書１（第１４ページ〜１８ページ「（ｂ−４）相違点についての判断」欄等）、１３にある弁駁書２（第６ページ〜７ページ「（ａ−２）相違点の判断」欄等）、１５にある審決取消訴訟手続にて、無効理由２ないし４に関し、甲２発明に対して甲３、甲４、甲１の適用は容易であり、かつその動機付けもあるとの主張を繰り返している。
　しかしながら、当該請求人の主張は、上記「第１　手続の経緯」の１６にある知的財産高等裁判所の確定判決第６１ページ「(4)被告の主張について」欄で、
「ア 被告は、相違点２は、移載に必要な垂直移動機能と水平移動機能とを、オーバーヘッドホイスト搬送車に備えさせるか（本件訂正発明１）、オーバーヘッドホイスト搬送車と物品載置台１１とに分散して備えさせるか（甲２発明）という機能の振り分けの違いにすぎず、甲２の請求項４の作用効果の記載（【０００７】）は、物品移載機能の移動体への集約を示唆し、請求項４を引用する請求項５の記載は、甲２の図１に示された物品保持部とステーションとの位置関係も相まって、移載に必要な水平移動機能と垂直移動機能とを移動体に集約することを示唆するから、甲２発明の水平移動機能として、水平搖動する物品載置台１１に代えて、甲１に記載された「伸長可能アーム２３」を採用する動機付けが存在すると主張する。
　相違点２は機能の振り分けの違いにすぎないという被告の主張は、物品載置台１１を移動させるか移動体３の把持具３ｄを移動させるかは単なる二者択一的な選択にすぎないという審決の判断と同じ趣旨であるから、前記のとおり、誤りである。
　また、前記のとおり、甲２の請求項４、請求項５、【０００７】の記載は、そもそも、甲２に記載された実施形態に表れていない何らかの新たな構成を開示したり、それをこれらの実施形態に付加したりすることを示唆するものではない。
　被告の主張は、採用することができない。」
とされており、本審決でも当該裁判所の判断を是とし、同様に採用することができない。
ウ　結論
　したがって、本件訂正発明１は、甲２発明に対して、甲１、甲３、ないし甲４のいずれの公知技術も適用に際してこれを阻害する要因があるため、当業者が容易に発明をすることができたとはいえず、無効理由２ないし４のいずれによっても、これを無効とすべきものとはいえない。
（２）本件訂正発明２、５及び６についての進歩性違反の無効理由について
ア　本件訂正発明２について
　本件訂正発明２は、本件訂正発明１の「ホイスト把持部」が「カセットポッドを直接に固定棚へ供するように構成される」ように特定したものである。
イ　本件訂正発明５について
　本件訂正発明５は、本件訂正発明１の「移動ステージ」について、「さらに、ホイスト把持部を固定棚に最も近い第２の位置からオーバーヘッドホイスト搬送車に最も近い第１の位置へ移動させ、これにより、ホイスト把持部は固定棚からカセットポッドを取り出すことができるようになっている」点を特定したものである。
ウ　本件訂正発明６について
　本件訂正発明６は、本件訂正発明１の「移動ステージ」について、「ホイスト把持部をオーバーヘッドホイスト搬送車に最も近い第１の位置から第２の位置および第３の位置の選択された少なくとも一つの位置へ移動するように設定され、これにより、第２と第３の位置はオーバーヘッドホイスト搬送車のいずれかの側方に配置される」点を特定したものである。
エ　本件訂正発明２、５、６についての判断
　本件訂正発明２、５、６は、前記アないしウに示したとおり、本件訂正発明１の構成をすべて含みつつ、その一部をさらに特定したものであるから、上記（１）の「ウ　結論」と同様、当業者が容易に発明をすることができたとはいえず、無効理由２ないし４のいずれによっても、これを無効とすべきものとはいえない。
第７　むすび
　以上のとおり、本件特許第４８３１５２１号の訂正後の請求項１ないし２、５ないし６に係る発明の特許は、請求人の主張する理由及び証拠によっては、無効とすることはできないから、請求人の主張する無効理由は理由がない。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。