【誤訳訂正書】
【提出日】令和2年4月20日(2020.4.20)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４１】
［００５０］第１のリスト部材駆動部材２５０と第１のリスト部材従動部材２５２のカム面２５０Ｓ、２５２Ｓ（図２Ｆ）は、第１のリスト部材２１０の回転速度が非線形となるように構成されうる。したがって、第１の上腕部２０２と第１の前腕部２０６は非均等な長さであるが、第１のリスト部材２１０と、連結された第１のエンドエフェクタ１１８はＹ方向における純粋な平行移動で駆動されうる（図２Ｂ参照）。具体的には、カム面２５０Ｓ、２５２Ｓ、したがって回転速度は、第１の上腕部２０２の中心間の長さＬ１と、第１の前腕部２０６の中心間の長さＬ２に関連している。最小カム半径Ｒ１と最大カム半径Ｒ２との関係は、第１と第２の上腕部２０２、２０４と、第１と第２の前腕部の長さに基づいて選択され、これにより、回転中のベルトの長さが一定になりうる。第１と第２のエンドエフェクタ１１８、１２０の軌道は、選択されたカム形状に応じて、ある実施形態では線形であってよく、あるいは、ある実施形態ではオプションとして、弧を描いていてよい。カム面２５０Ｓ及び２５２Ｓは、最大半径を有するローブ（ｌｏｂｅ）の位置が互いから９０度に配向されるように、配向されるべきである。他のローブ形状を用いることが可能である。一実施形態では、ローブ形状は、第１のエンドエフェクタ１１８が常に、延長及び引込においてＹ軸に沿った線形経路を移動するような形状になっている。第２のリスト部材２１２を駆動させるように構成された第２のリスト部材駆動アセンブリは、上述した第１のリスト部材駆動アセンブリと同一である。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットであって、
肩軸の周りで回転可能な第１の上腕部と、
前記第１の上腕部から垂直に間隔を置いて配置され、前記肩軸の周りで回転可能な第２の上腕部と、
前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置する第１の前腕部であって、前記肩軸からオフセットされた位置にある第２の軸の周りで前記第１の上腕部に対して回転するように適合された第１の前腕部と、
前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置する第２の前腕部であって、前記肩軸からオフセットされた位置にある第３の軸の周りで前記第２の上腕部に対して回転するように適合された第２の前腕部と、
前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置する第１のリスト部材であって、前記第２の軸からオフセットされた位置にある第４の軸の周りで前記第１の前腕部に対して回転するように適合された第１のリスト部材と、
前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置する第２のリスト部材であって、前記第３の軸からオフセットされた位置にある第５の軸の周りで前記第２の前腕部に対して回転するように適合された第２のリスト部材と
を備え、
前記第１のリスト部材が、前記第１の前腕部に対して非線形の回転速度で回転するように構成されている、ロボット。
【請求項２】
前記第１のリスト部材に連結された第１のエンドエフェクタと、前記第２のリスト部材に連結された第２のエンドエフェクタとを備える、請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
第１のモータと、前記第１のモータに、また前記第１の上腕部に連結され、前記第１の上腕部を独立回転させるように適合された第１のシャフトとを含む第１の上腕部駆動アセンブリを備える、請求項１に記載のロボット。
【請求項４】
第２のモータと前記第２の上腕部とに連結された第２のシャフトであって、前記第１のリスト部材と前記第２のリスト部材の側面に沿って通り、前記第２の上腕部を独立回転させるように適合された第２のシャフトを含む第２の上腕部駆動アセンブリ
を備える、請求項１に記載のロボット。
【請求項５】
第３のモータと、前記第３のモータに、また第１の前腕部駆動部材に連結された第３のシャフトと、前記第１の前腕部に連結された第１の前腕部従動部材と、前記第１の前腕部駆動部材と前記第１の前腕部従動部材との間に連結された第１の前腕部伝達要素とを含む第１の前腕部駆動アセンブリ
を備える、請求項１に記載のロボット。
【請求項６】
前記第１の上腕部に、また第１のリスト部材駆動部材に剛連結された第１の前腕部シャフトと、前記第１のリスト部材に連結された第１のリスト部材従動部材と、前記第１のリスト部材駆動部材と前記第１のリスト部材従動部材との間に連結された第１のリスト部材伝達要素とを含む第１のリスト部材駆動アセンブリを備える、請求項５に記載のロボット。
【請求項７】
前記第１のリスト部材駆動部材と前記第１のリスト部材従動部材は各々、カム面を含む、請求項６に記載のロボット。
【請求項８】
第４のモータと、前記第４のモータに、また第２の前腕部駆動部材に連結された第４のシャフトと、前記第２の前腕部に連結された第２の前腕部従動部材と、前記第２の前腕部駆動部材と前記第２の前腕部従動部材との間に連結された第２の前腕部伝達要素とを含む第２の前腕部駆動アセンブリを備える、請求項１に記載のロボット。
【請求項９】
前記第２の上腕部に、また第２のリスト部材駆動部材に剛連結された第２の前腕部シャフトと、前記第２のリスト部材に連結された第２のリスト部材従動部材と、前記第２のリスト部材駆動部材と前記第２のリスト部材従動部材との間に連結された第２のリスト部材伝達要素とを含む第２のリスト部材駆動アセンブリを備える、請求項８に記載のロボット。
【請求項１０】
前記第２のリスト部材駆動部材と前記第２のリスト部材従動部材は各々、カム面を含む、請求項９に記載のロボット。
【請求項１１】
前記第１の前腕部と前記第１のリスト部材とは、前記第２の前腕部と前記第２のリスト部材の下に位置している、請求項１に記載のロボット。
【請求項１２】
前記第１の前腕部は前記第１の上腕部とは異なる中心間の長さを含み、前記第２の前腕部は前記第２の上腕部とは異なる中心間の長さを含む、請求項１に記載のロボット。
【請求項１３】
電子デバイス処理システムであって、
移送チャンバと、
前記移送チャンバ内に少なくとも部分的に配置され、前記移送チャンバに連結された処理チャンバへ、及び処理チャンバから基板を搬送するように適合されたロボットであって、
肩軸の周りで回転可能な第１の上腕部と、
前記第１の上腕部から垂直に間隔を置いて配置され、前記肩軸の周りで回転可能な第２の上腕部と、
前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置し、前記肩軸からオフセットされた位置にある第２の軸の周りで前記第１の上腕部に対して回転するように適合された第１の前腕部と、
前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置し、前記肩軸からオフセットされた位置にある第３の軸の周りで前記第２の上腕部に対して回転するように適合された第２の前腕部と、
前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置し、前記第２の軸からオフセットされた位置にある第４の軸の周りで前記第１の前腕部に対して回転するように適合された第１のリスト部材と、
前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置し、前記第３の軸からオフセットされた位置にある第５の軸の周りで前記第２の前腕部に対して回転するように適合された第２のリスト部材と
を備えるロボットと
を備え、前記第１のリスト部材が、前記第１の前腕部に対して非線形の回転速度で回転するように構成されている、システム。
【請求項１４】
電子デバイス処理システム内で基板を搬送する方法であって、該方法は、
肩軸の周りで回転可能な第１の上腕部と、前記第１の上腕部から垂直に間隔を置いて配置され、前記肩軸の周りで回転可能な第２の上腕部と、前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置し、前記肩軸からオフセットされた位置にある第２の軸の周りで前記第１の上腕部に対して回転するように適合された第１の前腕部と、前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置し、前記肩軸からオフセットされた位置にある第３の軸の周りで前記第２の上腕部に対して回転するように適合された第２の前腕部と、前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置し、前記第２の軸からオフセットされた位置にある第４の軸の周りで前記第１の前腕部に対して回転するように適合された第１のリスト部材と、前記第１の上腕部と前記第２の上腕部との間に垂直に位置し、前記第３の軸からオフセットされた位置にある第５の軸の周りで前記第２の前腕部に対して回転するように適合された第２のリスト部材とを含むロボットを提供することと、
第１のエンドエフェクタが第１のチャンバの中へ半径方向に延びるように、前記第１の上腕部を独立回転させることと、
第２のエンドエフェクタが第２のチャンバの中へ半径方向に延びるように、前記第２の上腕部を独立回転させることと
を含み、前記第１のリスト部材が、前記第１の前腕部に対して非線形の回転速度で回転するように構成されている、方法。