【手続補正書】
【提出日】令和2年7月27日(2020.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の上の関心のポイント、および、位置決め装置の上に装着されている非接触式プローブの光学検査システムを、所望の関係に置く方法であって、前記方法は、
ａ）前記非接触式プローブおよび前記物体を第１の相対的構成に配置することによって、検査されることとなる前記物体の上の関心のポイントを識別するステップであって、前記第１の相対的構成において、マーカーフィーチャーが、前記関心のポイントを識別しており、前記マーカーフィーチャーは、前記光学検査システムの光軸と同軸ではないプロジェクター軸線に沿って前記非接触式プローブによって投射される、ステップと、
ｂ）その後に、前記非接触式プローブおよび／または物体を移動させ、それらを第２の相対的構成に置くようになっているステップであって、前記第２の相対的構成において、前記関心のポイントおよび前記光学検査システムは、前記所望の関係にあり、前記所望の関係においては、前記位置決め装置が、そのような運動をガイドするように構成されている、ステップと
を含む、方法。
【請求項２】
前記位置決め装置は、座標位置決め装置である請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ステップａ）は、ユーザーが前記非接触式プローブおよび物体の相対的な位置および／または相対的な配向を手動で操作し、前記非接触式プローブおよび物体を第１の相対的構成に配置するようになっているステップと、前記第１の相対的構成において、前記マーカーフィーチャーは、前記光学検査システムの光軸と同軸ではないプロジェクター軸線に沿って前記非接触式プローブによって投射され、前記関心のポイントに当たり、前記マーカーフィーチャーが、前記関心のポイントを識別するインディケーションを受け取るステップと、を含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記位置決め装置は、ステップｂ）において、前記運動をガイドするように構成されており、前記第２の相対的構成において、前記プロジェクター軸線が、それが前記第１の相対的構成において前記物体の前記表面と交差したのと実質的に同じ位置において、前記物体の前記表面と交差するようになっている請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の構成と前記第２の構成との間の前記運動の間に、前記プロジェクター軸線は、それがステップａ）において前記物体の前記表面と交差したのと実質的に同じポイントにおいて、前記物体の前記表面と交差する請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記第１の構成と前記第２の構成との間の位置の変化は、前記第１の相対的構成における前記プロジェクターのプロジェクター軸線に対して平行な軸線に沿っている請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記非接触式プローブおよび物体は、前記第１の相対的構成における前記プロジェクターのプロジェクター軸線と平行な線に沿って、前記第１の構成と前記第２の構成との間で互いに対して移動する請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記ステップａ）は、人が、入力デバイスを介して、随意的に、ジョイスティックを介して、前記物体および／または非接触式プローブの前記相対的構成を手動で操作することを含む請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記物体の上の前記マーカーフィーチャーは、人が見ることができる請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記ステップｂ）は、前記位置決め装置が前記非接触式プローブおよび／または物体を自動的に移動させ、前記光学検査システムおよび前記関心のポイントを前記第２の相対的構成に置くようになっていることを含む請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記光学検査システムおよび前記関心のポイントを前記第２の相対的構成に置くために必要とされる前記運動の程度を自動的に決定するステップを含む請求項１から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記運動の程度を自動的に決定するステップは、前記マーカーフィーチャーが前記第１の相対的構成において前記非接触式プローブのセンサーに当たる場所を決定するステップを含む請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記所望の関係は、前記光学検査システムと前記関心のポイントとの間の事前定義された距離、および／または、前記光学検査システムのセンサーの上の前記関心のポイントの事前定義された場所を含む請求項１から１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
前記光学検査システムは、カメラを含む請求項１から１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
非接触式プローブは、前記物体の上へ光学パターンを投射するように構成されており、前記光学パターンは、前記光学検査システムによって検出可能であり、随意的に、光学検査システムは、前記光学パターンおよび前記マーカーフィーチャーを検出するように構成されている請求項１から１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１６】
前記光学パターンおよびマーカーフィーチャーは、互いから区別でき、それらが一緒にまたは個別に投射され得るようになっている請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記方法は、前記非接触式プローブおよび前記物体の相対的移動を前記ステップａ）におけるそれらの相対的な位置から前記所望の関係に向けてガイドするための制御経路を決定するステップを含み、前記ステップｂ）において、前記位置決め装置は、前記制御経路にしたがって、そのような運動をガイドするように構成されている請求項１から１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
前記物体についての表面位置測定情報を取得するステップを含む請求項１から１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
物体の上の関心のポイント、および、位置決め装置の上に装着されている非接触式プローブの光学検査システムを、所望の関係に置く方法であって、前記方法は、
ユーザーが前記非接触式プローブおよび物体を第１の相対的構成に手動で配置するステップであって、前記第１の相対的構成において、マーカーフィーチャーが、関心のポイントを識別しており、前記マーカーフィーチャーは、前記光学検査システムの光軸と同軸ではないプロジェクター軸線に沿って前記非接触式プローブによって投射される、ステップと、
その後に、前記位置決め装置が前記非接触式プローブおよび／または物体を自動的に移動させ、それらを第２の相対的構成に置くようになっているステップであって、前記第２の相対的構成において、前記関心のポイントおよび光学検査システムは、前記所望の関係にある、ステップと
を含む、方法。
【請求項２０】
物体の上の関心のポイント、および、位置決め装置の上に装着されている非接触式プローブの光学検査システムを、所望の関係に置く方法であって、前記方法は、
ユーザーが前記非接触式プローブおよび物体を第１の相対的構成に手動で配置するステップであって、前記第１の相対的構成において、マーカーフィーチャーが、関心のポイントを識別しており、前記マーカーフィーチャーは、前記光学検査システムの光軸と同軸ではないプロジェクター軸線に沿って前記非接触式プローブによって投射される、ステップと、
前記非接触式プローブおよび物体のその後の手動の相対的移動が制限されるように、前記位置決め装置を動作させ、前記非接触式プローブおよび前記物体の上の識別された前記関心のポイントを前記所望の関係に向けてガイドするようになっている、ステップと
を含む、方法。
【請求項２１】
前記その後の手動の相対的移動は、前記プロジェクター軸線に沿った運動に制限されている請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
インストラクションを含むコンピュータープログラムコードであって、前記インストラクションは、プロセッサーデバイスによって実行されるときに、前記プロセッサーデバイスが請求項１から２１のいずれか一項に記載の方法を実行することを引き起こす、コンピュータープログラムコード。
【請求項２３】
請求項２２に記載のコンピュータープログラムコードを保存するコンピューター可読媒体。
【請求項２４】
物体を検査するための装置であって、前記装置は、
位置決め装置と、
前記位置決め装置の上に装着されている非接触式プローブであって、前記非接触式プローブは、光軸を有する光学検査システム、および、前記光軸と同軸ではないプロジェクター軸線に沿ってマーカーフィーチャーを投射するように構成されているプロジェクターを含む、非接触式プローブと
を含み、
前記マーカーフィーチャーによって識別される前記物体の前記表面の上に示された関心のポイントに基づいて、前記装置は、前記位置決め装置を制御するように構成されており、前記非接触式プローブおよび／ または物体の相対運動を相対的構成へガイドするようになっており、前記相対的構成において、示された前記関心のポイントおよび光学検査シ
テムは、所望の関係にある、装置。
【請求項２５】
前記装置は、前記位置決め装置を制御するように構成されており、前記非接触式プローブおよび／または物体の相対運動を第１の相対的構成から第２の相対的構成へ経路に沿ってガイドするようになっており、前記第１の相対的構成において、前記マーカーフィーチャーは、識別された前記関心のポイントを識別し、前記第２の相対的構成において、識別された前記関心のポイントおよび光学検査システムは、前記所望の関係にある請求項２４に記載の装置。
【請求項２６】
位置決め装置の上に装着されている非接触式プローブを含む検査装置であって、前記非接触式プローブは、光軸を有する光学検査システムと、前記光軸とは異なるプロジェクター軸線に沿ってマーカーフィーチャーを投射するように構成されているプロジェクターとを含み、前記装置は、前記マーカーフィーチャーによって識別される前記物体の前記表面の上に示された関心のポイントに基づいて、どのように前記非接触式プローブおよび物体を相対的構成へガイドするかということを決定するように構成されており、前記相対的構成において、前記光学検査システムおよび示された前記関心のポイントは、所望の関係にあり、また、前記相対的構成において、前記プロジェクター軸線は、前記マーカーフィーチャーが示された前記関心のポイントを識別したときに、それが前記物体の前記表面と交差したのと同じ位置において、前記物体の前記表面と交差する、検査装置。