【手続補正書】
【提出日】令和2年11月13日(2020.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの物体（１１２，１１１２）の位置を決定するための検出器（１１０，１１１０，２１１０）であって、
−  前記物体（１１２，１１１２，２１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）に伝播する少なくとも１つ入射光ビーム（１１６，１１１６）に応じて少なくとも１つの焦点距離を有する、少なくとも１つの転送装置（１２８，１１２８，２１２８）と、
−  少なくとも２つの光センサ（１１３，１１１８，１１２０，２１１３）であって、各光センサ（１１３，１１１８，１１２０）は少なくとも１つの感光エリア（１２１，１１２２，１１２４，２１２１）を有し、各光センサ（１１３，１１１８，１１２０，２１１３）は前記光ビーム（１１６，１１１６，２１３１）によるそれぞれの感光エリアの照射に応答して少なくとも１つのセンサ信号を生成するように設計されている、少なくとも２つの光センサ（１１３，１１１８，１１２０，２１１３）と、
−  前記センサ信号からの商信号Ｑを評価することによって前記物体（１１２，１１１２，２１１２）の少なくとも１つの縦方向座標ｚを決定するように構成される、少なくとも１つの評価装置（１３２，１１３２，２１３３）と、を有し、
前記検出器が、物体平面内の前記物体サイズから独立して少なくとも１つの測定範囲における前記物体の縦方向座標ｚを決定するように適合されている、検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２】
前記測定範囲は、前記物体から前記転送装置までの縦方向距離ｚ０と；前記転送装置の焦点距離ｆと；前記転送装置の射出瞳の直径Ｅｘと；前記転送装置から前記感光エリアまでの縦方向距離ｚｓと；前記転送装置から前記物体の像までの距離ｚｉと；前記物体平面における前記物体の大きさＯｓｉｚｅと、からなる群から選択される１つ以上のパラメータを調整することによって調整可能である、請求項１に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３】
前記検出器は、前記検出器の少なくとも１つの点から放射された少なくとも１つの光ビームの錯乱円が前記物体の像の大きさより大きい場合は、前記物体の大きさから独立して前記物体の縦方向座標ｚを決定するように適合されている、請求項２に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４】
前記検出器は、数式１が少なくとも１つの距離で真である場合に、前記物体の大きさから独立して前記物体の縦方向座標ｚを決定するように適合されている、請求項３に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【数１】
2020503500.tif 000001
【請求項５】
低い物体サイズ限度が、好ましくは０．５μｍ以上、より好ましくは１μｍ以上、もっとも好ましくは１０μｍ以上である、請求項４に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項６】
前記評価装置（１３２）は、前記センサ信号を割算すること、前記センサ信号の倍数を割算すること、前記センサ信号の線形結合を割算することのうちの１つまたは複数により前記商信号Ｑを導出するように構成されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項７】
前記評価装置（１３２）は、前記縦方向座標を決定するために前記商信号Ｑと前記縦方向座標との間の少なくとも１つの所定の関係を使用するように構成されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項８】
前記評価装置（１３２）は、数式２によって前記商信号Ｑを導出するように構成され、ここで、ｘおよびｙは横方向座標であり、Ａ１およびＡ２はセンサ位置におけるビームプロファイルの面積であり、Ｅ（ｘ，ｙ，ｚ０）は物体距離ｚ０において与えられるビームプロファイルを表す、請求項１〜７のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【数２】
2020503500.tif 000002
【請求項９】
前記光センサ（１１３）が焦点からずれて配置されている、請求項１〜８のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項１０】
前記転送装置（１２８）は光軸（１２９）を有し、前記転送装置（１２８）は座標系を構成し、縦方向座標ｌは前記光軸（１２９）に沿った座標であり、ｄは前記光軸（１２９）からの空間的オフセットであり、前記光センサ（１１３）は、前記光センサ（１１３）の前記感光エリア（１２１）が縦方向座標または空間的オフセットまたは表面積の少なくとも１つで異なるように構成されている、実施形態１〜９のうちのいずれか１つによる検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項１１】
各前記センサ信号は、前記光ビームの少なくとも１つのビームプロファイルの少なくとも１つのビームプロファイル面積の少なくとも１つの情報を含む、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項１２】
前記ビームプロファイルは、台形ビームプロファイル、三角形ビームプロファイル、円錐形ビームプロファイルおよびガウスビームプロファイルの線形結合からなる群から選択される、請求項１１に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項１３】
前記感光領域は、第１のセンサ信号が前記ビームプロファイルの第１の領域の情報を含み、第２のセンサ信号が前記ビームプロファイルの第２の領域の情報を含むように構成され、前記ビームプロファイルの第１の領域と前記ビームプロファイルの第２の領域は、隣接する領域または重なり合う領域の一方または両方である、請求項１１または１２に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項１４】
前記評価装置（１３２）は、前記ビームプロファイルの前記第１の領域と前記ビームプロファイルの前記第２の領域とを決定するように構成されている、請求項１３に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項１５】
前記ビームプロファイルの前記第１の領域は、本質的に前記ビームプロファイルのエッジ情報を含み、前記ビームプロファイルの前記第２の領域は、本質的に前記ビームプロファイルの中心情報を含む、請求項１１〜１４のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項１６】
前記エッジ情報は、前記ビームプロファイルの前記第１の領域内の光子の数に関する情報を含み、前記中心情報は、前記ビームプロファイルの前記第２の領域内の光子の数に関する情報を含む、請求項１５のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項１７】
前記評価装置（１３２）は、前記エッジ情報と前記中心情報を割算すること、前記エッジ情報と前記中心情報の倍数を割算すること、前記エッジ情報と前記中心情報の線形結合を割算することのうちの１つ以上によって前記商信号Ｑを導出するように構成されている、請求項１５または１６に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項１８】
前記光センサ（１１３）は、第１感光エリア（１２２）を有する第１光センサ（１１８）と第２感光エリア（１２４）を有する第２光センサ（１２０）を有し、前記第１と第２の感光エリア（１２２，１２４）は、数式３の条件が満足されるように配置され、ここで、ａは、前記転送装置（１２９）の焦点距離の半分に等しい距離で前記光軸（１２９）と交差する前記光軸（１２９）に垂直な平面の内側領域と、前記第１感光エリア（１２２）の両方に当たる光子の比率であり、ｂは前記平面の内側領域と前記第２感光エリア（１２４）の両方に当たる光子の比率であり、ｃは前記平面の外側領域と前記第１感光エリア（１２２）の両方に当たる光子の比率であり、ｄは前記平面の外側領域と前記第２感光エリア（１２４）の両方に当たる光子の比率である、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【数３】
2020503500.tif 000003
【請求項１９】
前記第１感光エリア（１１８）および前記第２感光エリア（１２２）は、前記内側領域が、前記光軸（１２９）上に幾何学中心点を有する領域を有し、および光子の半分が前記内側領域の内で前記平面に当たり、残りの半分が前記内側領域の外で前記平面に当たる延長を有するように構成されている、請求項１８に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２０】
前記第１感光エリア（１１８）および前記第２感光エリア（１２２）は、前記内側領域が、前記光軸上に中心点を有する円として、および、前記光子の半分が前記円の内で前記平面に当たり、残りの半分が前記円の外で前記平面に当たるように選択された半径ｒとして設計されるように、請求項１９に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２１】
前記光センサ（１１３）は、第１感光エリア（１２２）を有する第1光センサ（１１８）と、第２感光エリア（１２４）を有する第２光センサ（１２０）を有し、
−  前記第１光センサ（１１８）は、前記物体（１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）に伝播する光ビーム（１１６）による前記第１感光エリア（１２２）の照射に応答して少なくとも１つの第１センサ信号を生成するように構成され、
−  前記第２光センサ（１２０）は、前記光ビーム（１１６）による前記第２感光エリア（１２４）の照射に応答して少なくとも１つの第２センサ信号を生成するように構成され、前記第１感光エリア（１２２）は前記第２感光エリア（１２４）より小さい、
請求項１〜２０のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２２】
前記評価装置（１３２）は、前記第１および第２のセンサ信号を割算することにより、または、前記第１および第２のセンサ信号の倍数を割算することにより、または、前記第１および第２のセンサ信号の線形結合を割算することにより、商信号Ｑを導出するように構成され、前記評価装置（１３２）は、前記商信号Ｑを評価することによって前記縦方向座標を決定するように構成されている、請求項２１に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２３】
前記第１および第２の光センサ（１８０，１２０）は、前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）の同一のビーム経路内に直線的に配置されている、請求項２１または２２に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２４】
前記第１および第２の光センサ（１８０，１２０）は、前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）の光軸（１２６）に対して同心的に配置されている、請求項２３に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２５】
前記第１および第２の光センサ（１８０，１２０）はそれぞれ、半導体センサ、好ましくは無機半導体センサ、より好ましくはフォトダイオード、最も好ましくはシリコンフォトダイオードである、請求項２１〜２４のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２６】
前記第１および第２の光センサ（１８０，１２０）はそれぞれ、それぞれの単一の感光エリアを有する均一なセンサである、請求項２１〜２５のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２７】
前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）は、前記物体（１１２）を照射するための照射源（１３６）をさらに含む、請求項２１〜２６のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２８】
−  光センサ（１１３）のマトリックス（１１７）を有する少なくとも１つのセンサ要素（１１５）であって、前記光センサ（１１３）はそれぞれ感光エリア（１２１）を有し、各光センサ（１１３）は、前記物体（１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）まで伝播する少なくとも１つの光ビーム（１１６）による前記感光エリア（１２１）の照射に応答して少なくとも１つのセンサ信号を生成するように構成されている、少なくとも１つのセンサ要素（１１５）と、
−  少なくとも１つの評価装置（１３２）であって、
ａ）最高のセンサ信号を有し、少なくとも１つの中心信号を形成する少なくとも１つの光センサ（１１３）を決定すること；
ｂ）前記マトリックス（１１７）の光センサ（１１３）のセンサ信号を評価し、少なくとも１つの和信号を形成すること；
ｃ）前記中心信号と前記和信号を結合することによって少なくとも１つの結合信号を決定すること；および
ｄ）前記結合信号を評価することによって前記物体（１１２）の少なくとも１つの縦方向座標ｚを決定すること、により、前記センサ信号を評価するように構成された評価装置（１３２）と、
を有する請求項１〜２７のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項２９】
前記中心信号が、前記最高のセンサ信号；前記最高センサ信号から所定の許容範囲内にあるセンサ信号群の平均；前記最高のセンサ信号を有する光センサ（１１３）と隣接する光センサ（１１３）の所定の群を含む光センサ（１１３）群のセンサ信号の平均；前記最高のセンサ信号を有する光センサ（１１３）と隣接する光センサ（１１３）の所定の群を含む光センサ（１１３）群のセンサ信号の合計；前記最高のセンサ信号から所定の許容範囲内にあるセンサ信号群の合計；所定の閾値を超えているセンサ信号群の平均；所定の閾値を超えているセンサ信号群の合計；前記最高のセンサ信号を有する光センサ（１１３）と隣接する光センサ（１１３）の所定の群を含む光センサ（１１３）群のセンサ信号の積分；前記最高のセンサ信号から所定の許容範囲内にあるセンサ信号群の積分；所定の閾値を超えているセンサ信号群の積分、からなる群から選択される、請求項２８に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３０】
前記和信号は、前記マトリックス（１１７）の全センサ信号の平均；前記マトリックス（１１７）の全センサ信号の合計；前記マトリックス（１１７）の全センサ信号の積分；前記中心信号に寄与する光センサ（１１３）のセンサ信号を除く前記マトリックス（１１７）の全センサ信号の平均；前記中心信号に寄与する光センサ（１１３）のセンサ信号を除く前記マトリックス（１１７）の全センサ信号の合計；前記中心信号に寄与する光センサ（１１３）のセンサ信号を除く前記マトリックス（１１７）の全センサ信号の積分；前記最高センサ信号を有する光センサ（１１３）から所定範囲内の光センサ（１１３）のセンサ信号の合計；前記最高センサ信号を有する光センサ（１１３）から所定範囲内の光センサ（１１３）のセンサ信号の積分；前記最高センサ信号を有する光センサ（１１３）から所定範囲内に位置する光センサ（１１３）の所定の閾値を超えるセンサ信号の合計；前記最高センサ信号を有する光センサ（１１３）から所定範囲内に位置する光センサ（１１３）の所定の閾値を超えるセンサ信号の積分、からなる群から選択される、請求項２８または２９に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３１】
前記結合信号は、前記中心信号と前記和信号の商またはその逆の商を形成すること；前記中心信号の倍数と前記和信号の倍数の商またはその逆の商を形成すること；前記中心信号の線形結合と前記和信号の線形結合の商またはその逆の商を形成すること；前記中心信号と前記和信号の第１の線形結合と、前記中心信号と前記和信号の第２の線形結合の商を形成すること、のうちの１つまたは複数から導出される前記商信号Ｑである、請求項２８〜３０のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３２】
前記評価装置（１３２）は、前記縦方向座標を決定するために、前記商信号Ｑと前記縦方向座標の間の少なくとも１つの所定の関係を使用するように構成されている、請求項３１に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３３】
前記評価装置（１３２）は少なくとも１つのデバイダ（１４２）を含み、前記デバイダ（１４２）は前記商信号を導出するように構成されている、請求項３１または３２に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３４】
前記評価装置（１３２）はさらに、前記最高のセンサ信号を有する少なくとも１つの光センサ（１１３）の横方向位置を評価することにより、前記物体（１１２）の少なくとも１つの横方向座標を決定するように構成されている、請求項２８〜３３のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３５】
各感光エリア（１２２，１２４）は幾何学中心（１８２，１８４）を有し、前記光センサ（１１８，１２０，１７６）の前記幾何学中心（１８２，１８４）は前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）の光軸（１２６）から異なる空間的オフセットで離れており、各光センサ（１１８，１２０，１７６）は、前記物体（１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）へ伝播する光ビーム（１１６）によるそれぞれの感光エリア（１２２，１２４）の照射に応答してセンサ信号を生成するように構成されている、請求項１〜３４のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３６】
前記光センサ（１１８，１２０，１７６）は前記センサアレイ（１７４）の一部であり、前記センサアレイ（１７４）の幾何学中心（１８０）が前記光軸（１２６）からずれている、請求項３５に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３７】
前記センサアレイ（１７４）は前記光軸（１２６）に対して移動可能である、請求項３６に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３８】
前記評価装置（１３２）は、最初に、前記センサ信号を使用することによって、前記光ビーム（１１６）によって生成された前記センサアレイ（１７４）上の光スポット（１８６）の横方向位置を決定し、次に、前記光スポット（１８６）が偏心するまで前記センサアレイ（１７４）を前記光軸（１２６）に対して移動させるように構成されている、請求項３７に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項３９】
前記光センサ（１１８，１２０，１７６）は、象限ダイオード（１７８）の部分ダイオードであり、前記象限ダイオード（１７８）の幾何学中心（１８０）は前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）の前記光軸（１２６）から偏心している、請求項３５〜３８のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４０】
−  第１感光エリア（１１２２）を有する少なくとも１つの第１光センサ（１１１８）であって、前記物体（１１１２）から前記検出器（１１１０）へ伝播する光ビーム（１１１６）による前記第１感光エリア（１１２２）の照射に応答して少なくとも１つの第１センサ信号を生成するように構成される、第１光センサ（１１１８）と、
−  少なくとも１つの第２光センサ（１１２０）であって、
・  第２感光エリア（１１２４）を形成する蛍光導波シート（１１７４）であって、前記蛍光導波シート（１１７４）は、前記物体（１１１２）から前記検出器（１１１０）に向かって伝播する少なくとも１つの光ビーム（１１１６）が前記第２感光エリア（１１２４）に少なくとも１つの光スポット（１２０２，１２０４）を生成するように、前記物体（１１１２）に向けられ、前記蛍光導波シート（１１７４）は少なくとも１つの蛍光材料（１１８０）を含み、前記蛍光材料（１１８０）は、前記光ビーム（１１１６）の照射に応答して蛍光ライトを発する、蛍光導波シート（１１７４）と、
・  前記蛍光導波シート（１１７４）の少なくとも１つのエッジ（１１９０，１１９２，１１０４，１１９６）に配置される少なくとも１つの感光要素（１１８２，１１８４，１１８６，１１８８，１２１２）であって、前記蛍光導波シート（１１７４）によって前記光スポット（１２０２，１２０４）から前記感光要素（１１８２，１１８４，１１８６，１１８８，１２１２）へガイドされる蛍光ライトを検出することができ、前記光ビーム（１１１６）による前記第２感光エリア（１１２４）の照射に応答して少なくとも１つの第２センサ信号を生成することができ、前記第１感光エリア（１１２２）は前記第２感光エリアよ（１１２４）り小さい、感光要素（１１８２，１１８４，１１８６，１１８８，１２１２）と、
を有する、第２光センサ（１１２０）と、
−  前記第１および第２のセンサ信号を評価することにより、前記物体（１１１２）の少なくとも１つ縦方向座標ｚを決定するように構成されている少なくとも１つの評価装置（１１３２）と、
を有する、請求項１〜３９のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４１】
前記少なくとも１つの感光要素（１１８２，１１８４，１１８６，１１８８，１２１２）は、前記蛍光導波シート（１１７４）によって案内される蛍光ライトを前記蛍光導波シート（１１７４）の外へ少なくとも部分的に結合するように構成された少なくとも１つの光結合要素（１２１６）によって前記蛍光導波シート（１１７４）に光学的に結合されている、請求項４０に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４２】
前記評価装置（１１３２）は、前記第１および第２のセンサ信号を割算することにより、または前記第１および第２のセンサ信号の倍数を割算することにより、または前記第１および第２のセンサ信号の線形結合を割算することにより前記商信号Ｑを導出するように構成され、前記評価装置（１１３２）は、前記商信号Ｑを評価することによって前記縦方向座標を決定するように構成されている、請求項４０または４１に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４３】
前記評価装置（１１３２）は、前記商信号Ｑと前記縦方向座標の間の少なくとも１つの所定の関係を使用するように構成されている、請求項４２に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４４】
前記第１光センサ（１１１８）は、前記光ビーム（１１１６）が所与の順序で前記第１光センサ（１１１８）を照射し、次に、前記第２光センサ（１１２０）を照射するように、前記第２光センサ（１１２０）の前に配置される、請求項４０〜４３のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４５】
前記第２光センサ（１１２０）は、少なくとも２つの感光要素(１１８２，１１８４，１１８６，１２１２)であって、前記蛍光導波シート（１１７４）の少なくとも２つエッジ（１１９０，１１９２，１１９４，１１９６）に配置され、前記蛍光導波シート（１１７４）によって前記光スポット（１２０２，１２０４）から前記感光要素(１１８２，１１８４，１１８６，１２１２)へガイドされる蛍光ライトを検出することができ、それぞれ少なくとも１つのセンサ信号を生成することができる、感光要素(１１８２，１１８４，１１８６，１２１２)を有している、請求項４０〜４４のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４６】
前記評価装置（１１３２）は、前記少なくとも２つの感光要素(１１８２，１１８４，１１８６，１２１２)の前記センサ信号を合算し、それにより和信号Ｓを形成するように構成された少なくとも１つの合算装置（１２０８）を有し、前記評価装置（１１３２）は、前記第１センサ信号、前記第２センサ信号の前記和信号Ｓ、及び前記縦方向座標ｚの間の少なくとも１つの所定の関係を使用することによって前記物体（１１１２）の少なくとも１つの縦方向座標ｚを決定するように構成されている、請求項４５に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４７】
前記評価装置（１１３２）は、前記感光要素(１１８２，１１８４，１１８６，１２１２)の前記センサ信号を評価することにより、前記物体（１１１２）の少なくとも１つの横方向座標ｘ，ｙを決定するようにさらに構成されている、請求項４５または４６に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４８】
前記第２感光エリア（１１２４）は前記第１感光エリア（１１２２）に比して、少なくとも２倍大きい、請求項４０〜４７のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項４９】
前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）は、前記物体（１１１２）を照射するための照射源（１１３６）をさらに含む、請求項４０〜４８のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項５０】
−  少なくとも１つの角度依存光学要素（２１３０）であって、前記物体（２１１２）から前記検出器（２１１０）に向かって伝播して該角度依存光学要素（２１３０）を照射する入射光ビーム（２１１６）の入射角に応じて、少なくとも１つのビームプロファイルを有する少なくとも１つの光ビーム（２１３１）を生成するように適合された角度依存光学要素（２１３０）と；
−  少なくとも２つの光センサ（２１１３）であって、各光センサ（２１１３）は少なくとも１つの感光エリア（２１２１）を有し、各光センサ（２１１３）は、前記角度依存光学要素（１３０）によって生成された光ビーム（２１３１）によるそれぞれの感光エリアの照射に応じて少なくとも１つのセンサ信号を生成するように設計された、光センサ（２１１３）と；
−  前記センサ信号から商信号Ｑを評価することによって前記物体（２１１２）の少なくとも１つの縦方向座標ｚを決定するように構成された少なくとも１つの評価装置（２１３３）と、
を有する、請求項１〜４９のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）。
【請求項５１】
前記角度依存光学要素（２１３０）は、少なくとも１つの光ファイバ、特に少なくとも１つの多分岐光ファイバ、特に少なくとも１つの二分岐光ファイバ；少なくとも１つの回折光学要素；少なくとも１つの角度依存反射要素、少なくとも１つの回折格子要素、特にブレーズ格子要素；少なくとも１つの開口絞り；少なくとも１つのプリズム；少なくとも１つのレンズ；少なくとも１つのレンズアレイ、特に少なくとも１つのマイクロレンズアレイ；少なくとも１つの光フィルタ；少なくとも１つの偏光フィルタ；少なくとも１つの帯域通過フィルタ；少なくとも１つの液晶フィルタ、特に液晶チューナブルフィルタ；少なくとも１つのショートパスフィルタ；少なくとも１つのロングパスフィルタ；少なくとも１つのノッチフィルタ；少なくとも１つの干渉フィルタ；少なくとも１つの伝送格子；少なくとも１つの非線形光学要素、特に１つの複屈折光学要素、からなる群から選択される少なくとも１つの光学要素を有している、請求項５０に記載の検出器（２１１０）。
【請求項５２】
少なくとも１つの物体（１１２）の位置を決定するための検出器システム（１３４）であって、
請求項１〜５１のいずれか一項に記載の少なくとも１つの検出器（１１０，１１１０，２１１０）を備え、少なくとも１つの光ビーム（１１６）を前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）に指向させるように適合された少なくとも１つのビーコン装置（１１４）をさらに備え、
前記ビーコン装置（１１４）は、前記物体（１１２）に取り付け可能であること、前記物体（１１２）によって保持可能であること、前記物体（１１２）に一体化可能であることのうちの１つである、検出器システム（１３４）。
【請求項５３】
ユーザ（１６２）とマシン（１７０）との間で少なくとも１つの情報項目を交換するためのヒューマンマシンインタフェース（１４８）であって、
少なくとも１つの請求項５２に記載の検出器システム（１３４）を有し、前記少なくとも１つのビーコン装置（１１４）は前記ユーザ（１６２）に直接または間接的に取り付けられること、および前記ユーザ（１６２）によって保持されることのうちの少なくとも１つであるように適合され、前記ヒューマンマシンインタフェース（１４８）は、前記検出器システム（１３４）により前記ユーザ（１６２）の少なくとも１つの位置を決定するように設計され、前記位置に少なくとも１つの情報項目を割り当てるように設計されている、ヒューマンマシンインターフェース（１４８）。
【請求項５４】
少なくとも１つの娯楽機能を実行するための娯楽装置（１５０）であって、
少なくとも１つの請求項５３に記載のヒューマンマシンインターフェース（１４８）を備え、前記ヒューマンマシンインターフェース（１４８）により少なくとも１つの情報項目がプレーヤによって入力され得るように設計され、前記情報により前記娯楽機能を変えられるように設計されている、娯楽装置（１５０）。
【請求項５５】
少なくとも１つの移動可能な物体（１１２）の位置を追跡するための追跡システム（１５２）であって、
検出器システムに言及する請求項５２〜５４のいずれか１項に記載の検出器システム（１３４）を少なくとも１つ備え、少なくとも１つの追跡コントローラをさらに備え、前記追跡コントローラは特定の時点における前記物体（１１２）の一連の位置を追跡するように適合されている、追跡システム（１５２）。
【請求項５６】
場景の奥行きプロファイルを決定するための走査システム（１５４）であって、
検出器（１１０，１１１０，２１１０）に言及する請求項１〜５１のいずれか一項に記載の少なくとも１つの検出器（１１０，１１１０，２１１０）を備え、少なくとも１つの光ビーム（１１６）によって前記場景を走査するように適合された少なくとも１つの照射源（１３６）をさらに備えた、走査システム（１５４）。
【請求項５７】
少なくとも１つの物体（１１２）を撮像するためのカメラ（１４６）であって、
検出器（１１０，１１１０，２１１０）に言及する請求項１〜５１のいずれか一項に記載の少なくとも１つの検出器（１１０，１１１０，２１１０）を備えた、カメラ（１４６）。
【請求項５８】
光記憶媒体のための読出し装置（１９２）であって、検出器（１１０，１１１０，２１１０）に言及する請求項１〜５１のいずれか一項に記載の少なくとも１つの検出器（１１０，１１１０，２１１０）を備えた、読出し装置。
【請求項５９】
少なくとも１つの検出器（１１０，１１１０，２１１０）を使用することによって少なくとも１つの物体（１１２）の位置を決定するための方法であって、
−  少なくとも２つの光センサ（１１３）であって、各光センサ（１１３）は感光エリア（１２１）を有し、各光センサ（１１３）は光ビーム（１１６）によるそのそれぞれの感光エリアの照射に応答してセンサ信号を生成するように構成され、前記検知器は少なくとも１つの転送装置（１２８）を有し、前記転送装置（１２８）は前記物体（１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）に伝播する前記光ビーム（１１６）に応じて少なくとも１つの焦点距離を有している、光センサ（１１３）を提供する、ステップと、
−  前記物体（１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）へ伝播する前記光ビーム（１１６）によって、前記検出器の少なくとも２つの光センサ（１１３）の各感光エリア（１２１）を照射し、それによって、各感光エリア（１２１）が少なくとも１つのセンサ信号を生成する、ステップと、
−  前記センサ信号を評価し、それによって前記物体（１１２）の少なくとも１つの縦方向座標ｚを決定するし、前記評価は前記センサ信号の商信号Ｑの導出を含み、前記物体の前記縦方向座標ｚは物体平面内の物体サイズから独立して少なくとも１つの測定範囲内で決定される、ステップと、
を含む方法。
【請求項６０】
前記商信号Ｑの導出は、前記センサ信号を割算すること、前記センサ信号の倍数を割算すること、前記センサ信号の線形結合を割算することのうちの１つ以上を含む、請求項５９に記載の方法。
【請求項６１】
前記物体から前記転送装置までの縦方向距離ｚ０；前記転送装置の焦点距離ｆ；前記転送装置Ｅｘの射出瞳の直径；前記転送装置から前記感光エリアまでの縦方向距離ｚｓ；前記転送装置から前記物体の画像までの距離ｚｉ；前記物体の前記物体平面内の物体サイズ、からなる群から選択される１つ以上のパラメータを調整することによって前記測定範囲を調整することを含む、方法に言及する請求項５９〜６０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６２】
前記転送装置（１２８）が光軸（１２９）を有し、前記転送装置（１２８）が座標系を構成し、縦方向座標ｌは前記光軸（１２９）に沿った座標であり、ｄは前記光軸（１２９）からの空間的オフセットであり、前記光センサ（１１３）の前記感光エリア（１２１）がそれらの縦座標、それらの空間的オフセット、またはそれらの表面積のうちの少なくとも１つにおいて異なるように、前記光センサ（１１３）を構成することを含む、方法に言及する請求項５９〜６１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６３】
前記センサ信号のそれぞれは、前記光ビームの少なくとも１つのビームプロファイルの少なくとも１つの情報を含み、前記ビームプロファイルは、台形ビームプロファイル、三角形ビームプロファイル、円錐形ビームプロファイル、およびガウスビームプロファイルの線形結合、からなる群から選択され、前記感光領域は、第１のセンサ信号が前記ビームプロファイルの第１領域の情報を含み、第２のセンサ信号が前記ビームプロファイルの第２領域の情報を含むように構成され、前記ビームプロファイルの第１領域と前記ビームプロファイルの第２領域は、隣接領域または重複領域の一方または両方である、方法に言及する、請求項１〜６２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６４】
前記評価は、前記ビームプロファイルの前記第１領域と前記ビームプロファイルの前記第２領域を決定することを含む、請求項６３に記載の方法。
【請求項６５】
前記ビームプロファイルの前記第１領域は前記ビームプロファイルの本質的にエッジ情報を含み、前記ビームプロファイルの前記第２領域は前記ビームプロファイルの本質的に中心情報を含み、前記エッジ情報は前記ビームプロファイルの前記第１領域内の光子の数に関する情報を含み、前記中心情報は前記ビームプロファイルの前記第２領域内の光子の数に関する情報を含み、前記評価は前記エッジ情報および前記中心情報を割算すること、前記エッジ情報および前記中心情報の倍数を割算すること、前記エッジ情報および前記中心情報の線形結合を割算することのうちの１つ以上によって前記商信号Ｑを導出することを含む、請求項６３または６４に記載の方法。
【請求項６６】
−  前記物体（１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）に伝播する光ビーム（１１６）によって前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）の少なくとも１つの第１光センサ（１１８）の少なくとも１つの第１感光エリア（１２２）を照射し、それによって少なくとも１つの第１センサ信号を生成する、ステップと、
−  前記光ビーム（１１６）によって前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）の少なくとも１つの第２光センサ（１２０）の少なくとも１つの第２感光エリア（１２４）を照射し、それによって少なくとも１つの第２センサ信号を生成し、前記第1感光エリア（１２２）は前記第2感光エリア（１２４）より小さい、ステップと、
を含む、方法に言及する請求項５９〜６５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６７】
−  前記物体（１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）へ伝播する少なくとも１つの光ビーム（１１６）によって前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）の少なくとも１つのセンサ要素（１１５）を照射し、前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）は光センサ（１１３）のマトリックス（１１７）を有し、各光センサ（１１３）は感光エリア（１２１）を有し、各光センサ（１１３）は照射に応答して少なくとも１つのセンサ信号を生成する、ステップと、
−  ａ）最高のセンサ信号を有し、少なくとも１つの中心信号を形成する少なくとも１つの光センサ（１１３）を決定すること； 
ｂ）前記マトリックス（１１７）の光センサ（１１３）のセンサ信号を評価し、少なくとも１つの和信号を形成すること；
ｃ）前記中心信号と前記和信号とを結合することによって少なくとも１つの結合信号を決定すること；および
ｄ）前記結合信号を評価することによって、前記物体（１１２）の少なくとも１つの縦方向座標ｚを決定すること、
によりセンサー信号を評価する、ステップと、
を有する、方法に言及する請求項５９〜６６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６８】
前記結合信号は、前記中心信号と前記和信号の商またはその逆の商を形成すること、前記中心信号の倍数と前記和信号の倍数の商またはその逆の商を形成すること、前記中心信号の線形結合と前記和信号の線形結合の商またはその逆の商を形成すること、前記中心信号と前記和信号の第１の線形結合と前記中心信号と前記和信号の第２の線形結合の商を形成すること、のうちの１つ以上によって導出される商信号Ｑである、請求項６７に記載の方法。
【請求項６９】
各感光エリア（１２２，１２４）が幾何学中心（１８２，１８４）を有し、前記光センサ（１１８，１２０，１７６）の前記幾何学中心（１８２，１８４）は、前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）の光軸（１２６）から異なる間隔で離間している、方法に言及する請求項５９〜６８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７０】
−  前記物体（１１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）へ伝播する光ビーム（１１１６）によって少なくとも１つの第１光センサ（１１１８）の少なくとも１つの第１の感光エリア（１１２２）を照射し、前記第１感光エリア（１１２２）の照射に応答して、前記第１光センサ（１１１８）によって少なくとも１つの第１センサ信号を生成する、ステップと、
−  前記光ビーム（１１１６）によって少なくとも１つの第２光センサ（１１２０）の少なくとも１つの第２感光エリア（１１２４）を照射し、前記第２感光エリア（１１２４）の照射に応答して、前記第２光センサ（１１２０）によって少なくとも１つの第２センサ信号を生成し、前記第２光センサ（１１２０）は、
・  第２の感光エリア（１１２４）を形成する少なくとも１つの蛍光導波シート（１１７４）であって、前記蛍光導波シート（１１７４）は、前記物体（１１１２）から前記検出器（１１０，１１１０，２１１０）に伝播する少なくとも１つの光ビーム（１１１６）が前記第２感光エリア（１１２４）に少なくとも1つの光スポット（１２０２，１２０４）を生成するように、前記物体（１１１２）に向けられ、前記蛍光導波シート（１１７４）は少なくとも1つの蛍光材料（１１８０）を含み、前記蛍光材料（１１８０）は前記光ビーム（１１１６）による照射に応答して蛍光ライトを生成するように適合されている、蛍光導波シート（１１７４）と、
・  前記蛍光導波シート（１１７４）の少なくとも１つのエッジ（１１９０，１１９２，１１９４，１１９６）に配置された少なくとも１つの感光要素（１１８２，１１８４，１１８６，１１８８，１２１２）であって、前記蛍光導波シート（１１７４）によって前記光スポット（１２０２，１２０４）から前記感光要素（１１８２，１１８４，１１８６，１１８８）に導かれる蛍光ライトを検出することができ、前記光ビーム（１１１６）による前記第２感光エリア（１１２４）の照射に応答して少なくとも１つの第２センサ信号を生成することができ、前記第１感光エリア（１１２２）は前記第２感光エリア（１１２４）より小さい、感光要素（１１８２，１１８４，１１８６，１１８８）と、
を有する、ステップと、
−  前記第１および第２のセンサ信号を評価することによって前記物体（１１１２）の少なくとも１つの縦方向座標ｚを決定する、ステップと、
を有する、方法に言及する請求項５９〜６９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７１】
−  少なくとも１つの角度依存光学要素（１３０）を提供し、入射角に依存する少なくとも１つのビームプロファイルを有する少なくとも１つの光ビーム（１３１）を生成するステップ；
−  少なくとも２つの光センサ（１１３）を提供し、各光センサ（１１３）は少なくとも１つの感光エリア（１２１）を有し、各光センサ（１１３）は前記角度依存光学要素（１３０）によって生成された光ビーム（１３１）によるそれぞれの感光エリア（１２１）の照射に応答して少なくとも１つのセンサ信号を生成するように設計されているステップ；
−  前記角度依存光学要素（１３０）によって生成された光ビーム（１３１）によって前記検出器（１１０）の前記少なくとも２つの光センサ（１１３）の各感光エリア（１２１）を照射することによって、各感光エリア（１２１）が少なくとも１つのセンサ信号を生成するステップ；および
−  前記センサ信号を評価し、それによって前記物体（１１２）の少なくとも１つの縦方向座標ｚを決定し、前記評価が前記センサ信号の結合信号Ｑを導出することを含むステップ、を含む、方法に言及する請求項５９〜７０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７２】
使用目的が、交通技術における位置測定、娯楽用途、光データ記憶用途、セキュリティ用途、監視用途、安全用途、ヒューマンマシンインターフェース（１４８）用途、物流用途、追跡用途、写真撮影用途、マシンビジョン用途、ロボット用途、品質管理用途、製造用途、光データの記憶および読出しと組み合わせ用途、からなる群から選択される、検出器（１１０，１１１０，２１１０）に関する請求項１〜５１のいずれか一項に記載の検出器（１１０，１１１０，２１１０）の使用。