(57)【要約】      （修正有）【課題】必要な出力を維持しつつより小型化を図ることが可能な駆動装置とそのような駆動装置を用いたアクチュエータを提供する。【解決手段】可動部１又は固定部３の誘電率差のある領域に電界を付与することによって電界エネルギーの勾配による駆動力を得るようにしたものであり、それによって、簡単でコンパクトな構成で必要な出力を得ることができ、アクチュエータに適用した場合にはアクチュエータの小型化を効果的に図ることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部又は固定部の誘電率差のある領域に電界を付与することによって電界エネルギーの勾配による駆動力を得るようにしたことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１記載の駆動装置において、  少なくとも２つの異なる誘電率を備えた材料又は気体又は真空を可動部又は固定部として使用するようにしたことを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項２記載の駆動装置において、２つ以上の電極を持ちそれらを切り換えることにより移動方向の切り替えを行う及び又は長いストロークを得るようしたことを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項２記載の駆動装置において、異なる誘電率を持つ材料又は気体又は真空が縞状に配置されることを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項３又は請求項４記載の駆動装置において、電極間ピッチが誘電体の移動方向の長さの一倍を超え、且つ、電極の移動方向の長さが誘電体の移動方向の長さの一倍以上であることを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１記載の駆動装置において、誘電体に導電体が接合されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れかに記載の駆動装置を用いることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、位置決めシステムに用いるアクチュエータに組み込まれる駆動装置と該駆動装置を組み込んだアクチュエータに係り、特に、小型化を図ることができるように工夫したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
自動化の進んだ工場では駆動装置やアクチュエータとして多くのエアーシリンダが使用されている。しかしながら、高圧エアーを用いるエアーシリンダは、コンプレッサーによる高圧エアー製造及びそのエアー機器までの配管ロスにより電動機器の１０倍の電気が必要となり、地球温暖化対策のＣＯ２削減に相反するものである。そのため昨今エアーシリンダから電動アクチュエータへ置換えが進みつつある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の構成によると次のような問題があった。すなわち、エアーシリンダから電動アクチュエータへ置換えることにより地球温暖化対策のＣＯ２削減には合致することになるが、電動アクチュエータの場合にはその小型化が困難であるという問題があり、それがエアーシリンダから電動アクチュエータの置換えの大きな障害になっていた。
【０００４】
そこで、本件特許出願人は小型の電動アクチュエータとして小径の電動アクチュエータを提案している。それを示すのが特許文献１である。
【特許文献１】特開２００７−２８２４７５号公報
【０００５】
上記特許文献１に開示されたアクチュエータの場合には、従来の電動アクチュエータに比べ大幅な小径化が図られており、エアーシリンダの置換えに好適なものとして広く使われようとしている。  
【０００６】
しかしながらその小型化は決して十分なものではなくさらなる小型化が要求されている。又、電磁式のモータを応用した電動アクチュエータでは、少なくとも小型化に伴う体積減少分の出力ダウンがあり、小型化すれば大幅な出力ダウンは避けられず、小型化が大変困難になっている。したがって、電磁式のモータを応用した電動アクチュエータに代わり、小型化が可能であって出力も確保できる新方式の電動アクチュエーの出現が望まれている。
【０００７】
又、同様の目的で、特許文献２に示すような誘電型アクチュエータが提案されている。
【特許文献２】特開２００３−２２４９８５号公報
【０００８】
しかしながら、特許文献２に開示されている駆動方法では実際には駆動困難であり新たな駆動方式の提案が望まれている。  
【０００９】
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、必要な出力を維持しつつより小型化を図ることこが可能な駆動装置とそのような駆動装置を用いたアクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するべく本願発明の請求項１による駆動装置は、可動部又は固定部の誘電率差のある領域に電界を付与することによって電界エネルギーの勾配による駆動力を得るようにしたことを特徴とするものである。又、請求項２による駆動装置は、請求項１記載の駆動装置において、少なくとも２つの異なる誘電率を備えた材料又は気体又は真空を可動部又は固定部として使用するようにしたことを特徴とするものである。又、請求項３による駆動装置は、請求項２記載の駆動装置において、２つ以上の電極を持ちそれらを切り換えることにより移動方向の切り替えを行う及び又は長いストロークを得るようしたことを特徴とするものである。又、請求項４による駆動装置は、請求項２記載の駆動装置において、異なる誘電率を持つ材料又は気体又は真空が縞状に配置されることを特徴とするものである。又、請求項５による駆動装置は、請求項３又は請求項４記載の駆動装置において、電極間ピッチが誘電体の移動方向の長さの一倍を超え、且つ、電極の移動方向の長さが誘電体の移動方向の長さの一倍以上であることを特徴とするものである。又、請求項６による駆動装置は、請求項１記載の駆動装置において、誘電体に導電体が接合されていることを特徴とするものである。又、請求項７によるアクチュエータは、請求項１〜請求項６の何れかに記載の駆動装置を用いることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
以上述べたように本願発明の請求項１による駆動装置は、可動部又は固定部の誘電率差のある領域に電界を付与することによって電界エネルギーの勾配による駆動力を得るようにした構成になっているので、簡単でコンパクトな構成で必要な出力を得ることができ、アクチュエータに適用した場合にはアクチュエータの小型化を効果的に図ることができる。又、請求項２による駆動装置は、請求項１記載の駆動装置において、少なくとも２つの異なる誘電率を備えた材料又は気体又は真空を可動部又は固定部として使用するようにした構成になっており、簡単な構成で上記効果を確実に得ることができる。又、請求項３による駆動装置は、請求項２記載の駆動装置において、２つ以上の電極を持ちそれらを切り換えることにより移動方向の切り替えを行う及び又は長いストロークを得るようにした構成になっているので、長いストロークに対しても容易に対応することができる。又、請求項４による駆動装置は、請求項２記載の駆動装置において、異なる誘電率を持つ材料又は気体又は真空が縞状に配置される構成になっているので、上記効果を確実に得ることができる。又、請求項５による駆動装置は、請求項３又は請求項４記載の駆動装置において、電極間ピッチが誘電体の移動方向の長さの一倍を超え、且つ、電極の移動方向の長さが誘電体の移動方向の長さの一倍以上である構成になっているので、上記効果を確実に得ることができる。又、請求項６による駆動装置は、請求項１記載の駆動装置において、誘電体に導電体が接合されている構成になっているので、電界ロスをなくすことができる。又、請求項７によるアクチュエータは、請求項１〜請求項６の何れかに記載の駆動装置を用いる構成になっているので、アクチュエータの小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図１乃至図３を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。此の第１の実施の形態は本願発明による駆動装置の駆動原理を説明するためのものである。まず、図１を参照して最も簡単な構成によりその駆動原理を説明する。図１は駆動装置の構成を示す図で、可動部１と固定部３が設置されている。上記可動部１は、一対の誘電体５、７を接合して構成されている。上記誘電体５はその誘電率はε１であり、又、上記誘電体７の誘電率はε２である。そして、誘電率ε１とε２との間には次の式（Ｉ）に示す関係が成立している。
【００１３】
ε１＞ε２―――（Ｉ）  
【００１４】
一方、固定部３は＋側電極９と−側電極１１とから構成されている。上記＋側電極９と−側電極１１は対向・配置されていて、その間に上記可動部１が、図１中左右方向に移動可能な状態で設置されている。  
【００１５】
そして、上記＋側電極９と−側電極１１との間に電圧を掛けることにより電界が発生する。その際、図１に示すように、上記誘電体５及び誘電体７の一部がその発生する電界中にあるとき、電界エネルギーの勾配のため、誘電体５及び誘電体７を図１中右方向に向けて移動させるための駆動力が発生する。この実施の形態による駆動装置はこの駆動力を利用するものである。  
【００１６】
以下、数式を用いて上記駆動原理をさらに詳しく説明する。まず、誘電体が電界下で生ずる電界エネルギーは次の式（ＩＩ）によって示される。
【００１７】
ｕ＝ε＊Ｅ２／２―――（ＩＩ）
【００１８】
但し、ｕ：電界エネルギー（単位体積当たり）、ε：誘電率、Ｅ：電界  
【００１９】
この式（ＩＩ）を用いて、図１に示す誘電体５、７の配置での電界エネルギーＵを計算すると次の式（ＩＩＩ）に示すようなものとなる。
【００２０】
Ｕ＝｛（ε１−ε２）＊Ｘ+ε２＊Ｌ０｝＊Ｓ＊Ｅ２／２―――（ＩＩＩ）
【００２１】
但し、ε１：誘電体５の誘電率、ε２：誘電体７の誘電率、Ｘ：誘電体５の電極下の長さ、Ｌ０：電極長さ、Ｓ：誘電体の断面積（紙面に直交する面の面積）、Ｅ：電界  
【００２２】
この式（ＩＩＩ）は、誘電体５の電極下の長さＸが変化すると、電界エネルギーＵが変化することを示している。つまり、図１に示す誘電体５、７の配置、すなわち、異なる誘電率ε１、ε２を持つ誘電体５、７の一部が電界下にある配置では、電界エネルギー勾配があることを表している。この電界エネルギーの勾配による
駆動力発生が本発明の駆動原理である。  
【００２３】
さらに、この電界エネルギー勾配による駆動力の大きさは以下のように求められる。すなわち、図１の右方向への駆動力は、式（ＩＩＩ）をＸ方向（図１中左右方向）に偏微分することにより求められる。それを次（ＩＶ）に示す。
【００２４】
Ｆ＝（ε１−ε２）＊Ｓ＊Ｅ２／２―――（ＩＶ）
【００２５】
すなわち、式（ＩＶ）により、誘電体５、７の誘電率ε１、ε２の差（ε１−ε２）があれば駆動力が生じることが示される。本実施の形態による駆動装置はこの駆動原理を用いるものである。尚、誘電体５、７は誘電率ε１、ε２の差があればどのようなものでも良い。具体的には、固体、気体、液体を問うものではない。又、誘電率の低い誘電体としては、真空や空気が知られている。因みに、真空や空気の比誘電率は「１」であり、このような真空や空気を誘電体７として用いると好都合である。尚、可動部１と固定部３を固定部１と可動部３としても良い。
【００２６】
次に、図２を参照して、駆動方向の切替について説明する。図２に示す駆動装置は、図１に示した駆動装置の場合と同様、可動部１と固定部３とから構成されている。上記可動部１は、誘電率ε１の誘電体５、５の間に、誘電率ε２の誘電体７を挟んだ状態で連接した構成になっている。又、固定部３は、＋側電極９ａと−側電極１１ａとからなる一対の電極対と、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂとからなる別の一対の電極対を設置した構成になっている。
【００２７】
そして、図２（ａ）に示すように、図中左側に示す＋側電極９ａと−側電極１１ａは、誘電体５と誘電体７に跨って配置されており、よって、図１にて説明した駆動原理と同じ駆動原理によって、電界下にて駆動力を発生する。図２（ａ）に示す配置では、図２（ａ）中右方向に向かう駆動力が発生する（矢印ａで示す）。よって、可動部１は図２（ａ）中右方向へ移動することになる。そして、図２（ｂ）に示す位置まで移動した時には、図中左側に配置されている＋側電極９ａと−側電極１１ａの電界下には誘電体５のみが位置しており、よって、それ以上の駆動力は発生せず停止することになる。尚、この場合行き過ぎてしまうと逆に、図２（ｂ）中左方向（矢印ｂで示す）の駆動力が発生することになる。
【００２８】
次に、図２（ｂ）に示す配置から図２（ｂ）中左方向に向けて駆動する場合には、＋側電極９ａと−側電極１１ａの電界を「ＯＦＦ」とし、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電界を「ＯＮ」とする。＋側電極９ｂと−側電極１１ｂ電極２の電界下では、誘電率ε１の誘電体５と誘電率ε２の誘電体７とがあり、よって、その誘電率ε１とε２の差による駆動力が発生する。そして、高い誘電率ε１を備えた誘電体５が＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電界下に引き込まれることになる。その結果、可動部１は図２（ｂ）中左方向に移動することになる。
【００２９】
上記移動方向の切替に際しては次の条件が必要となる。まず、図２（ａ）に示すような右方向への移動に際しては、＋側電極９ａと−側電極１１ａの電界下において高い誘電率ε１の誘電体がその左側に位置としていることが必要である。又、図２（ｂ）に示すような左方向への移動に際しては、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電界下において高い誘電率ε１の誘電体５がその右側に位置していることが必要である。
【００３０】
すなわち、＋側電極９ａと−側電極１１ａ、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電極長さ（Ｌ０：可動部１の移動方向に沿った長さ）を高い誘電率ε１の誘電体５の長さ（Ｌ）と同じか又はより大きく設定し、且つ、＋側電極９ａと−側電極１１ａ、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂのピッチ（Ｐ）を＋側電極９ａと−側電極１１ａ、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電極幅（ｂ）と同じか又はより大きくすることが必要となる。因みに、図２では誘電率ε１の誘電体５と誘電率ε２の誘電体７の長さ（Ｌ）は同じであり、電極ピッチ（Ｐ）は誘電体５、７の長さ（Ｌ）の４／３倍であり、＋側電極９ａと−側電極１１ａ、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電極長さ（Ｌ０）は誘電体５、７の長さ（Ｌ）と同じである。尚、この条件が最も簡単な駆動方向切替の条件の一例であるが、本発明はこの条件に限定されるものではない。又、可動部と固定部は逆でも良い。
【００３１】
次に、図３を参照してさらに長いストローク移動させる方法について説明する。図１及び図２に示した駆動装置の場合と同様、可動部１と固定部３とから構成されている。上記可動部１は、誘電率ε１の誘電体５と誘電率ε２の誘電体７を交互に連接した構成になっている。この実施の形態の場合には３個の誘電体５と４個の誘電体７を交互に連接しているものである。又、固定部３は、＋側電極９ａと−側電極１１ａとからなる一対の電極対と、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂとからなる別の一対の電極対と、＋側電極９ｃと−側電極１１ｃとからなるさらに別の一対の電極対を設置した構成になっている。
【００３２】
又、上記＋側電極９ａと−側電極１１ａ、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂ、＋側電極９ｃと−側電極１１ｃ電極の電極長さ（Ｌ０：可動部１の移動方向に沿った長さ）は誘電体５、７の長さ（Ｌ）の４／３に設定してある。又、上記＋側電極９ａと−側電極１１ａ、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂ、＋側電極９ｃと−側電極１１ｃの電極間ピッチ（Ｐ）と電極長さ（Ｌ０）についても誘体５、７の移動方向長さ（Ｌ）の４／３に設定している。
【００３３】
以下、上記＋側電極９ａと−側電極１１ａ、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂ、＋側電極９ｃと−側電極１１ｃを切替えていくことにより、可動部１を長いストロークで移動させることについて順次説明する。まず、図３（ａ）に示すような配置において、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂ間に電界を発生させる。それによって、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電界下の誘電体５が図３（ａ）中右方向に引き込まれる。
【００３４】
そして、図３（ｂ）図に示すような位置まで移動した時点で、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電界を「ＯＦＦ」とし、代わりに＋側電極９ａと−側電極１１ａの電界を「ＯＮ」とする。それによって、＋側電極９ａと−側電極１１ａの電界下にある誘電体５が図３（ｂ）中右方向に引き込まれる。
【００３５】
そして、図３（ｃ）図に示すような位置まで移動した時点で、＋側電極９ａと−側電極１１ａの電界を「ＯＦＦ」とし、代わりに＋側電極９ｃと−側電極１１ｃの電界を「ＯＮ」とする。それによって、＋側電極９ｃと−側電極１１ｃの電界下にある誘電体５が図３（ｃ）中右方向に引き込まれる。それによって、図３（ｄ）に示すような位置まで移動することができる。
【００３６】
次に、図３（ｄ）に示す位置から図３（ｄ）中左方向に可動部１を移動させる場合には、＋側電極９ａと−側電極１１ａ間に電界を発生させ、＋側電極９ａと−側電極１１ａの電界下にある誘電体５を図３（ｄ）中左方向に駆動させる。そして、誘電体５が＋側電極９ａと−側電極１１ａの電界下に入りきった時点で、＋側電極９ａと−側電極１１ａ間の電界を「ＯＦＦ」とし、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂ間の電界を「ＯＮ」   とする。それによって、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電界下にある誘電体５の図３（ｅ）中左方向への駆動力により可動部１を図３（ｅ）中左方向へ移動させる。
【００３７】
そして、誘電体５が＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電界下に入りきった時点で、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂの電界を「ＯＦＦ」とし、＋側電極９ｃと−側電極１１ｃの電界を「ＯＮ」とする。それによって、＋側電極９ｃと−側電極１１ｃの電界下にある誘電体５の図３（ｆ）中左方向への駆動力により可動部１を図３（ｅ）中左方向へ移動させる。それによって、可動部１をさらに左へ移動させることができ、図３（ｇ）に示すような状態となる。
【００３８】
このように、＋側電極９ａと−側電極１１ａ、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂ、＋側電極９ｃと−側電極１１ｃを適宜切り替えていくことにより、可動部１を長いストロークにわたって左右両方向に夫々移動させることができる。尚、図３では３対の＋側電極９ａと−側電極１１ａ、＋側電極９ｂと−側電極１１ｂ、＋側電極９ｃを使用して、電極間ピッチ及び電極幅を誘電体５、７の移動方向の長さの４／３に設定した構成とし、誘電体５と誘電体７の長さを同じとしたが、これらの条件設定については様々なものが想定される。又、可動部１と固定部３は逆でも良い。
【００３９】
次に、図４を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。前記第１の実施の形態では本発明による駆動装置の駆動方式を説明したが、この第２の実施の形態の場合には、そのような駆動装置を使用したアクチュエータの一例を示すものである。
【００４０】
まず、可動部１０１と固定部１０３がある。上記可動部１０１は複数個の誘電体１０５とそれら複数個の誘電体１０５を保持する誘電体ホルダ１０７とから構成されている。上記誘電体ホルダ１０７の内側には内部空間１０９が形成されていて、この内部空間１０９内に上記複数個の誘電体１０５が所定の間隔を存した状態で設置されている。すなわち、上記内部空間１０９を図４（ａ）中左右方向にみてみると、誘電体１０５とスペース（空間）１１１が等間隔で交互に配置された縞状構成状態になっており、フレーム状の誘電体ホルダ１０７によって保持・固定されている。そして、この場合には誘電体１０５が誘電率ε１の高誘電率の誘電体であり、スペース１１１が誘電率ε２の低誘電率の誘電体となる。因みに、スペース１１１は大気中では空気が満たされているのでその誘電率ε２は低く、比誘電率は約１である。
【００４１】
一方、固定部１０３側であるが、電極ベース１１３と、この電極ベース１１３に取り付けられた電極構成部１１５とから構成されている。この電極構成部１１５は、＋側電極１１７ａと−側電極１１９ａ、＋側電極１１７ｂと−側電極１１９ｂ、＋側電極１１７ｃと−側電極１１９ｃとからなる三対の電極を二組設置した構成になっている。又、上記電極ベース１１３の幅方向左右両側にはガイド溝１１３ａ、１１３ｂが形成されている。上記ガイド溝１１３ａ、１１３ｂはその横断面形状がＶ字形状をなしている。
【００４２】
一方、既に説明した誘電体ホルダ１０７の幅方向左右両側にもガイド部１０７ａ、１０７ｂが形成されている。これらガイド部１０７ａ、１０７ｂは上記ガイド溝１１３ａ、１１３ｂに合致するような形状、すなわち、横断面形状がＶ字形状をなしており、ガイド部１０７ａ、１０７ｂはガイド溝１１３ａ、１１３ｂとの組み合わせによって滑りガイドを構成しており、可動部１０１と固定部１０３の位置関係を保っている。
【００４３】
又、＋側電極１１７ａと−側電極１１９ａ、＋側電極１１７ｂと−側電極１１９ｂ、＋側電極１１７ｃと−側電極１１９ｃの電極間ピッチ及び電極幅については、誘電体１０５の移動方向の長さの４／３に設定されている。又、その駆動方式については、前記第１の実施の形態で説明したものと同じである。
【００４４】
以上この第２の実施の形態によると次のような効果を奏することができる。まず、フレーム状の剛性のある誘電体ホルダ１０７を用いているので、より薄い誘電体薄板でも撓んだりせず、電極間の中央近傍に安定して配置できるので、薄い誘電体１０５を使用することが可能になり、それによって、電極間距離（＋側電極１１７ａと−側電極１１９ａとの距離、＋側電極１１７ｂと−側電極１１９ｂとの距離、＋側電極１１７ｃと−側電極１１９ｃとの距離）を狭くすることができる。よって、駆動力が一定であればより低電圧（低電界）で事足りることになる。又、駆動装置部分を薄くすることができるので、薄くてコンパクトなアクチュエータを提供することができる。又、この薄いアクチュエータを積層することにより高推力のアクチュエータの実現も可能となる。尚、この実施の形態では滑りガイド機構を用いたが、ボール
ガイドでも良い。又、この場合にも可動部と固定部を逆にしても良い。
【００４５】
次に、図５を参照して本発明の第３の実施の形態を説明する。この第３の実施の形態の場合にも、前記第２の実施の形態の場合と同様に、本願発明による駆動装置を使用したアクチュエータの一例を示すものである。
【００４６】
まず、可動部２０１と固定部２０３がある。可動部２０１は、円筒形状をなす誘電体ホルダ２０７と、この誘電体ホルダ２０７の内周側に圧入されている滑りガイド２０５と、誘電体ホルダ２０７の外周面に所定の間隔を存した状態で設置された環状の誘電体２０９とから構成されている。上記誘電体２０９相互の間はスぺース２１１となっている。そして、この場合にも誘電体２０９が誘電率ε１の高誘電率の誘電体であり、スペース２１１が誘電率ε２の低誘電率の誘電体となる。
【００４７】
一方、上記固定部２０３は、有底円筒形状をなす電極ベース２１３と、この電極ベース２１３の中央部に設置された円筒形状をなす電極コア２１５と、上記電極ベース２１３の内周面に設置された電極構成部２１７とから構成されている。上記電極構成部２１７は３個の電極２１９ａ、２１９ｂ、２１９ｃとから構成されている。電極コア２１５の外周部には、可動部２０１の滑りガイド２０５が摺動でき、滑り案内が構成されており、アクチュエータのコンパクト化を実現されている。
【００４８】
この第３の実施の形態の場合には、誘電体２０９を環状にすることにより、１個の電極下における誘電体２０９の幅（誘電体ホルダ２０７の周方向長さ）を長くすることができ、それによって、推力の向上を図り、且つ、コンパクト化を図るようにしたものである。又、この実施の形態では、電界は固定部２０の電極構成部２１７の電極２１９ａ、２１９ｂ、２１９ｃと電極コア２１５との間で発生する。すなわち、電極は３種類（電極２１９ａ、２１９ｂ、２１９ｃ）であるが、電極コア２１５は分割されておらず共通であり、このような構成とすることにより若干の電界拡がりはあるがコンパクト化が実現できる。
【００４９】
又、この実施の形態では、ギャップによる誘電体２０９への実効電界が減じるのを少なくするために、誘電体ホルダ２０７及び滑りガイド２０５を導電体とし、電極コア２１５の電位が滑りガイド２０５及び誘電体ホルダ２０７と略同電位になるようにしている。すなわち、誘電体ホルダ２０７及び滑りガイド２０５を導電体とすることにより電界は誘電体ホルダ２０５と電極２１９ａ、２１９ｂ、２１９ｃの間で発生することになり、誘電体２０９と電極コア２１５間のギャップによる電界ロスを殆どなくすことができる。又、本実施の形態の場合の駆動については前記第２の実施の形態の場合と同じである。又、誘電体２０９は誘電体ホルダ２０７に接合されており、より薄い誘電体であっても、誘電体ホルダ２０７によって剛性は確保できるので、誘電体薄板が撓んだりすることはない。その為、より薄い誘電体２０９を用いることが可能になり、電極間、すなわち、電極２１９ａ、２１９ｂ、２１９ｃと電極コア２１５との距離を狭くすることができ、電圧を一定とすると電界は大きくなり、駆動力はさらに大きくなる。尚、滑りガイド２０５として好適なものは、りん青銅系のベースに摺動部に銅系の多孔質焼結層を設け、そこにフッ素系樹脂をコーティングしたものであるが、これに限定されるものではない。
【００５０】
尚、本発明は前記第１〜第３の実施の形態に限定されるものではない。前記第１〜第３の実施の形態の場合には、誘電体側を可動部とし電極側を固定部として構成した例を示したが、それに限定されるものではなく、誘電体側を固定部とし電極側を可動部として構成してもよい。又、誘電体としては誘電率の差があるようなものであればどのようなものでも良い。その他図示した各部の構成はあくまで一例である。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は駆動装置と該駆動装置を組み込んだアクチュエータに係り、特に、小型化を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、位置決めシステムに使用するアクチュエータとそこに組み込まれる駆動装置に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、駆動方式を説明するための図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２（ａ）は図中右方向への駆動の様子を示す図、図２（ｂ）は図中左方向への駆動の様子を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３（ａ）〜図３（ｃ）は図中右方向への駆動の様子を示す図、図３（ｄ）〜図３（ｇ）は図中左方向への駆動の様子を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図４（ａ）はアクチュエータの構成を示す平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のｂ−ｂ断面図、図４（ｃ）は図４（ａ）のｃ−ｃ断面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態を示す図で、図５（ａ）はアクチュエータの構成を示す平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のｂ−ｂ断面図、図５（ｃ）は図５（ａ）のｃ−ｃ矢視図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  可動部、３  固定部、５  誘電体、７  誘電体、９  ＋側電極、９ａ  ＋側電極、９ｂ  ＋側電極、９ｃ  ＋側電極、１１  −側電極、１１ａ  −側電極、１１ｂ  −側電極、１１ｃ  −側電極、１０１  可動部、１０３  固定部、  １０５  誘電体、１０７  誘電体ホルダ、１１１  スペース、１１５  電極構成部、１１７ａ  ＋側電極、１１７ｂ  ＋側電極、１１７ｃ  ＋側電極、１１９ａ  −側電極、１１９ｂ  −側電極、１１９ｃ  −側電極、２０１  可動部、２０３  固定部、２０５  滑りガイド、２０７  誘電体ホルダ、２０９  誘電体、２１１  スペース、２１３  電極ベース、２１５  電極コア、２１７  電極構成部、２１９ａ  電極、２１９ｂ  電極、２１９ｃ  電極   
【図１】
2009303422.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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