(57)【要約】本発明により、窒素酸化物及び硫黄酸化物除去用フィルタを装着した被検ガス流入孔を有するハウジングと、前記ハウジング内に配設した酸化銅を主成分とするＰ型金属酸化物半導体検出素子とを有する一酸化炭素センサにおいて、前記フィルタが、無機材料で形成してなる一酸化炭素センサが開示される。フィルタを形成する無機材料としては、成分比ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３（モル基準）が５〜５１０のゼオライトが好ましい。【特許請求の範囲】
【請求項１】
窒素酸化物及び硫黄酸化物除去用フィルタを装着した被検ガス流入孔を有するハウジングと、前記ハウジング内に配設した酸化銅を主成分とするＰ型金属酸化物半導体検出素子とを有する一酸化炭素センサにおいて、前記フィルタが、無機材料で形成してなる一酸化炭素センサ。
【請求項２】
無機材料がゼオライトであって、その成分比ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３（モル基準）が５〜５１０のゼオライトである請求の範囲第１項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項３】
フィルタが未焼成のゼオライトで形成してなる請求の範囲第１項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項４】
フィルタが未焼成をゼオライトのプレス成形してなる請求の範囲１項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項５】
フィルタが、平均粒径１５０μｍ以下のゼオライトを焼成してなる請求の範囲第１項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項６】
フィルタが円盤状に形成してなる請求の範囲第１項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項７】
フィルタが耐水剤を塗布してなる請求の範囲第１項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項８】
フィルタが、ゼオライト層と活性炭層との積層構造を有し、ゼオライト層をハウジングの外方に向けて被検ガス流入孔に装着してなる請求の範囲第１項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項９】
フィルタが、少なくともその一表面に無機クッション材を積層してなる請求の範囲第１項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項１０】
無機クッション材がアルミナ繊維からなる請求の範囲第９項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項１１】
クッション材の厚さが０．４〜１ｍｍである請求の範囲第９項に記載の一酸化炭素センサ。
【請求項１２】
６０〜２５０℃の被検ガスを請求の範囲第１項に記載の一酸化炭素センサにより検出する一酸化炭素の検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、被検ガスに含まれる一酸化炭素（ＣＯガス）を選択性良く検出する一酸化炭素センサ、及び前記センサを用いる被検ガス中の一酸化炭素の検出方法に関する。
【背景技術】  従来、セラミック半導体を検出素子とするガスセンサを用いて、大気中に含まれる微量のガスを検出することが行われている。検出素子に用いられる半導体としては、Ｎ型セラミック半導体がよく知られている。Ｐ型セラミック半導体を検出素子として用いる一酸化炭素センサも知られている。Ｐ型セラミック半導体は、酸化銅（ＣｕＯ）を主成分とする金属酸化物で構成されている。（日本国特許第３３３３２５７号公報（請求項１））。
この酸化銅を主成分とする検出素子の一酸化炭素に対する感度は、被検ガス中に共存する窒素酸化物（ＮＯｘ）や硫黄酸化物（ＳＯｘ）等の酸化物成分により変動する。従って、被検ガス中の一酸化炭素を選択的に、精度良く検出するためには、被検ガス中に共存するこれらの酸化物成分をフィルタ等を用いて予め除去し、その後一酸化炭素を検出する必要がある。
ＮＯｘ、ＳＯｘを除去するフィルタを備える一酸化炭素センサとしては、検出素子に通じる被検ガス通路に活性炭フィルタを配置したセンサがある（特開２０００−３３８０７２号公報（段落番号（００１１）））。この文献には、活性炭フィルタを備えることにより、被検ガス中の一酸化炭素を選択的かつ安定に検出できることが記載されている。
【発明の開示】
本発明者らは、活性炭フィルタを備える多数のガスセンサを用いて一酸化炭素の検出試験を体系的に、かつ繰り返し行った。この試験中において、活性炭フィルタが消失したり、縮小したりすることが起きた。その際に、一酸化炭素の検出感度が不安定化し又は感度が低下する現象に本発明者らは度々遭遇した。この現象は、活性炭フィルタが有機系材料であることから、一酸化炭素の測定に際し、ガス器具等から排出される高温の燃焼ガス（被検ガス）により活性炭が酸化されて、減少、消失するために起きると考えられる。
本発明は、ＮＯｘ、ＳＯｘが共存する高温の燃焼ガス等の被検ガス中の一酸化炭素を選択的にかつ安定に検出することができる、一酸化炭素センサ及び一酸化炭素の検出方法を提供することを目的とする。
本願発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、ＮＯｘ、ＳＯｘの除去フィルタとして無機材料からなるフィルタが適していること、特にゼオライトのフィルタが好適であることを見出し、本発明を完成するに到った。
〔１〕  窒素酸化物及び硫黄酸化物除去用フィルタを装着した被検ガス流入孔を有するハウジングと、前記ハウジング内に配設した酸化銅を主成分とするＰ型金属酸化物半導体検出素子とを有する一酸化炭素センサにおいて、前記フィルタが、無機材料で形成してなる一酸化炭素センサ。
〔２〕  無機材料がゼオライトであって、その成分比ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３（モル基準）が５〜５１０のゼオライトである〔１〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔３〕  フィルタが未焼成のゼオライトで形成してなる〔１〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔４〕    フィルタが未焼成のゼオライトをプレス成形してなる〔１〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔５〕  フィルタが、平均粒径１５０μｍ以下のゼオライトを焼成してなる〔１〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔６〕  フィルタが円盤状に形成してなる〔１〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔７〕  フィルタが耐水剤を塗布してなる〔１〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔８〕  フィルタが、ゼオライト層と活性炭層との積層構造を有し、ゼオライト層をハウジングの外方に向けて被検ガス流入孔に装着してなる〔１〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔９〕  フィルタが、少なくともその一表面に無機クッション材層を積層してなる〔１〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔１０〕  無機クッション材層がアルミナ繊維からなる〔９〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔１１〕  クッション材の厚さが０．４〜１ｍｍである〔９〕に記載の一酸化炭素センサ。
〔１２〕  ６０〜２５０℃の被検ガスを〔１〕に記載の一酸化炭素センサにより検出する一酸化炭素の検出方法。
本発明の一酸化炭素センサは、非酸化性の無機フィルタを備えているので、ＮＯｘ、ＳＯｘが共存する高温の被検ガス中の一酸化炭素を選択性良く長期間にわたり安定に検出できる。本発明の一酸化炭素センサは、燃焼ガス器具、暖房器具、ボイラー等が排出する燃焼ガス中の一酸化炭素を検出することを目的とするガス警報器に組込むセンサとして好適である。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明の一酸化炭素ガスセンサの一例を示す平面図（ａ）及び断面図（ｂ）である。
図２は、本発明の一酸化炭素ガスセンサに取付けるフィルタの一構成例を示す断面図である。
図３は、本発明の一酸化炭素ガスセンサに取り付けるフィルタの他の構成例を示す断面図である。
図４は、実施例１及び比較例１で測定したセンサの抵抗値の経時変化を示すグラフである。
図５は、実施例１及び比較例１のセンサの出力に与えるＮＯ２の影響を示すグラフである。
図６は、実施例２のセンサの出力に与える温度の影響を示すグラフである。
図７は、実施例３及び比較例２のセンサの抵抗値の経時変化を示すグラフである。
図８は、実施例３及び比較例２のセンサ出力Ｓに与えるＮＯ２の影響を示すグラフである。
図９は、実施例１のセンサ抵抗値に与えるＳＯ２の影響を示すグラフである。
符号１０１はフィルタ、２は被検ガス流入孔、３は上壁、４は上部ハウジング、５は底部ハウジング、６は結合部、７はフィルタ支持部、８はハウジング、１０は検出部、１２は検出素子、１４はセラミック基板、１６、１８は検出部支持体、２０、２６はゼオライト層、２２、２４は無機クッション材層、２８は活性炭層、１００は一酸化炭素センサである。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、本発明の一酸化炭素センサの一実施形態につき、図面を参照して詳細に説明する。
図１（ａ）は、本発明の一酸化炭素センサの一例を示す平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のｂ−ｂ線における断面図である。
図１中、１００は本発明の一酸化炭素センサである。
上部ハウジング４は、その外部と内部とが気密に形成された円筒状で、その下端は径方向に突出した基部４ａを有する。
上部ハウジング４の内壁には、内周に沿って円環状のフィルタ支持部７が形成されている。また、上部ハウジング４の上端は、上壁３が形成されている。前記上壁３には、上部ハウジング４の内部に被検ガスを導入する被検ガス流入孔２が形成されている。なお、上壁３は、連結部６において着脱自在に上部ハウジング４に取り付けることができる。フィルタ支持部７上にフィルタ１０１を載置して、結合部６において上部ハウジング４に上壁３を取り付けることにより、被検ガス流入孔２を覆ってフィルタ１０１を装着できる。
上記ハウジング４の下部側には、円盤状の底部ハウジング５が嵌合されている。上部ハウジング４と、底部ハウジング５とにより、センサ１００のハウジング８が構成されている。
検出部１０は、一酸化炭素ガスの検出素子１２と、ヒータ（不図示）を下面に備えたセラミック基板１４と、検出部支持管１６、１８とからなる。検出素子１２は、セラミック基板１４の上面に設けられている。セラミック基板１４は底部ハウジング５を貫通する検出部支持管１６、１８によって、ハウジング８内に支持されている。検出部支持管１６、１８内には、検出素子１２と電流計（不図示）とを連結するワイヤ及びヒータとヒータ用外部電源（不図示）とを接続するワイヤ（不図示）とが挿入されている。
検出部１０においては、セラミック基板１４の下面に備えられたヒーターで検出素子が適当な動作温度（２００℃〜３００℃）に加熱される。この温度範囲に制御されている検出素子１２の抵抗値の変化を電気的に測定することにより、検出素子１２の表面に接触する一酸化炭素の濃度が検出される。
被検ガスは、被検ガス流入孔２を通過後、フィルタ１０１を拡散により透過して検出素子１２の表面に到達する。被検ガスがフィルタ１０１を透過する際に、ＮＯｘ、ＳＯｘはフィルタ１０１に吸着されるので、検出素子１２の表面に到達するＮＯｘ、ＳＯｘ量は実質的に無い。一方、一酸化炭素は、フィルタ１０１に殆ど吸着されない。従って、検出素子１２は、ＮＯｘ、ＳＯｘの影響を殆ど受けることなく、一酸化炭素を選択的に検出する。
検出素子１２としては、酸化銅を主成分とする公知のＰ型金属酸化物半導体を何ら制限無く使用することができる。上記半導体は、ＣｕＯを主成分とし、Ｎａ化合物を０．１〜１５質量％程度含有する焼結体が例示される。具体的には、特開平１１−１１８７４７、日本国特許第３３３３２５７等に記載されているものを例示できる。
流入孔２を覆って配置するフィルタ１０１は、無機材料からなる。
フィルタの材料としてはシリカゲル等の珪素酸化物、活性白土、更にはゼオライト等の含水珪素アルミニウム等が好ましい。これらの内でも、ゼオライトが適している。ゼオライトの中でも、珪酸の成分比が大きいゼオライトがより好ましい。具体的には、成分比ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３（モル比）が５〜５１０のものが好ましく、５〜３００のものがより好ましく、５〜３０のものが特に好ましい。この成分比のゼオライトで形成したフィルタは、耐熱性が高く、且つ酸化して消滅することが無い。更に、被検ガス中のＮＯｘ、ＳＯｘを実用上充分な時間（５００時間以上）にわたり吸着除去して、検出素子がこれらのガスと接触することを防ぐ。その結果、実用上十分な時間、検出素子は一酸化炭素を選択的に検出できる。このような、珪酸の成分比が大きいゼオライトは、市販されている。
以下、フィルタの製造方法につき、ゼオライトを例として説明する。他の無機材料を用いてフィルタを製造する場合もゼオライトの場合とほぼ同様にして製造できる。
ゼオライトのフィルタは、ゼオライトを所望の形状にプレス成形して成型品とする事により製造できる。この成形品は焼成することなくそのままフィルタとして用いることができる。
ゼオライトをプレス成形する際には、フィルタの吸着作用を損なわない範囲内で、成形材料にバインダーを添加してもよい。バインダーの添加量は５質量％以下が好ましく、１〜２質量％がより好ましい。バインダーとしては、公知のものが使用でき、例えばポリビニルアルコール等を挙げることができる。
プレス成形するゼオライトの粒度としては、２００μｍ以下のものが好ましく、５０〜１００μｍのものがより好ましい。
フィルタの形状等に起因して強度が不足する場合には、ガス吸着能が低下しない温度範囲でフィルタを焼成してフィルタの強度を高めることが好ましい。ゼオライトは高温で焼成する場合には、その結晶構造がクリストバライト型へ変化することが知られている。ゼオライトの結晶構造がクリストバライト型へ変化するとＮＯｘ吸着能が低下する。このため、焼成温度はゼオライトの結晶構造が変化しない温度以下とすることが好ましい。ゼオライトはその組成により結晶構造が変化する温度が異なるため、組成に応じて焼成温度を適宜選択する必要がある。焼成温度は、概ね９００℃以下が好ましく、８００〜８５０℃がより好ましい。
ゼオライトを触媒や吸着材として用いる場合には、４００℃以上の雰囲気で使用することがある。しかし、ＮＯｘ、ＳＯｘに対するゼオライトの吸着能は前記温度よりも低温域の６０〜２５０℃で著しくなるので、本発明のガスセンサを用いて一酸化炭素を検出する際には、被検ガスの温度を前記範囲内とする必要がある。
フィルタ形状は、ハウジング形状に応じて適宜決定すれば良く、特に制限されないが、ハンドリング性を考慮すると厚さ０．５〜１．５ｍｍ、直径１０〜１５ｍｍの円盤形状が望ましい。
図１に示すように、フィルタ１０１は少なくともゼオライト等からなる無機材料で構成されていれば、その構造は特に制限されない。フィルタの少なくとも一面に無機クッション材層を形成しても良い。
図２に示すように、フィルタ１０２の構造を、ゼオライト層２０の両表面に無機クッション材層２２、２４を積層した構造とすることが好ましい。この構造とする場合は、ＮＯｘ、ＳＯｘに対する吸着能を低下させることなく、ゼオライト層の強度を補強できる。
無機クッション材層２２、２４を形成する無機クッション材としては、通気性及び耐熱性の良い無機材料が好ましい。具体的には、アルミナ繊維が挙げられる。市販品としては、セラミックペーパー（タクミ産業社製）が好ましい無機材料である。クッション材層２２、２４の各厚さは、０．４〜１ｍｍが好ましい。
図３は、ゼオライト層２６の一面に活性炭層２８を積層してなるフィルタ１０３を示す。このフィルタ１０３は、ゼオライト層２６をハウジング８の外方に向けてガスセンサに取り付ける。フィルタ１０３をこの構造に構成することにより、ゼオライト層２６の吸着力に加えて、活性炭層２８の吸着力が加わり、被検ガス中のＮＯｘ、ＳＯｘガスの除去効率をより一層高めることができる。このフィルタ１０３は、ゼオライト層をハウジング８の外方に向けて装着しているので、高温被検ガスが直接活性炭層に吹付けない。このため、このフィルタ１０３は被検ガスが酸素を含んでいても、活性炭層が酸素と反応して酸化され、消滅することが長期にわたり避けられる。活性炭層の厚さとしては特に制限はないが、１〜２ｍｍとすることが好ましい。
フィルタの耐湿性を向上させるために、耐水剤をフィルタに塗布することが好ましい。
本センサを取付けている燃焼装置が通常の燃焼運転をしている期間中は、被検ガス温度は通常１００℃を越えている。従って、被検ガス中の水蒸気が凝縮することはない。しかし、待機運転時のように、通常運転期間よりも少量の燃料を燃焼している期間もある。この期間は、燃料の燃焼量が少ないので、被検ガス温度も低下し、６０℃程度になることがあり、この期間は被検ガス中の水蒸気が凝縮する場合がある。
フィルタ表面に被検ガス中の水蒸気が凝縮すると、フィルタの吸着能が阻害され、ＳＯＸ、ＮＯＸの吸着除去能が低下する。その結果、一酸化炭素の正確な検出が不可能になる。フィルタに耐水剤を塗布すると、フィルタに水蒸気が凝縮しても、フィルタを構成するゼオライト等の吸着材の細孔を閉塞することが避けられる。その結果、フィルタの吸着除去能は減少しない。
耐水剤は、被検ガスに曝される。従って、２５０℃以上の耐熱性があり、且つ酸化して消滅しないものが好ましい。このような耐水剤としては、無機質を素材とし、有機物を含まず、凝縮水は通さないが気体は透過できる性質を有するものが望ましい。
具体的な耐水剤としては、０．１ミクロン以下、好ましくは３０〜１０ｎｍの粒径を持つ球形シリカゲルであるコロイダルシリカ、エアロジル等の商品名のアルミナ等が挙げられる。塗布方法としては、これらの耐水剤の０．１質量％程度の分散液にフィルタを浸漬させた後、乾燥させる方法が挙げられる。
市販品の耐水剤としては、ナノコート（コロイダルシリカ、日興社製）を挙げることができる。
【実施例】  実施例１
被検ガスが通過する流路に、図１に示す構造のガスセンサを取付けた。
検出素子は、ＣｕＯを主成分とし、Ｎａ元素を２質量％含有する７００℃で焼成したＰ型半導体（厚さ１ｍｍ、幅１．５ｍｍ、長さ１．５ｍｍ）であった。
センサに取付けるフィルタは、焼結剤としてポリビニルアルコールを加えた市販のゼオライト（東ソー社製、Ｆ−９、粒径７５μｍ以下）を圧力２０ＭＰａでプレス成形し、８００℃で１５分間焼成して製造した。得られたフィルタは厚さ２ｍｍ、直径１０ｍｍの円盤状であった。
検出素子温度を２５０℃に制御しながら、後述するベースガス、及び２種類の被検ガス（温度２００℃）を順次流路に供給して、検出素子の抵抗値の変化を測定した。被検ガスの流量は１  ｌ／ｍｉｎであった。
ベースガスは、窒素ガスを主体とし、二酸化炭素濃度７．５容量％、酸素７．５容量％を含むガスで、９０℃における飽和水蒸気相当の水蒸気を含ませた。このベースガスは、正常な燃焼状態のガス燃焼器具の排気口から排出される排気を擬似的に作り出したものである。
被検ガスは、ベースガス中に一酸化炭素を３０００ｐｐｍ混合したもの（被検ガス１）と、ベースガスに一酸化炭素３０００ｐｐｍと二酸化窒素１０ｐｐｍとを混合したもの（被検ガス２）と、の２種類を準備した。
実施例１の測定結果を図４及び５に示す。図４は、測定した検出素子の抵抗値の経時変化を示すグラフである。
図５は、検出素子の出力に及ぼす二酸化窒素の影響を示すグラフである。
図５において、センサ出力Ｓは下記式（１）を用いて算出した。
Ｓ＝３０００×ＲＮＯ２／Ｒ３０００        （１）
ここで、
Ｒ３０００：ベースガスに一酸化炭素３０００ｐｐｍを混合した被検ガス１に検出素子を暴露したときの検知素子の抵抗値
ＲＮＯ２：ベースガスに一酸化炭素３０００ｐｐｍとＮＯ２１０ｐｐｍとを混合した被検ガス２に検出素子を暴露したときの検知素子の抵抗値
このセンサ出力Ｓは、ベースガスに一酸化炭素３０００ｐｐｍを混合したガスに暴露されたときのセンサの抵抗値をセンサ出力３０００と定義し、二酸化窒素混合時のセンサの抵抗値からそのときのセンサ出力を比例計算して算出したものである。
比較例１
ガスセンサのフィルタを取外した以外は実施例１と同様にして検出素子の抵抗値の変化を測定した。比較例１の測定結果を図４及び５に示す。
図４及び図５に示すように、被検ガスに二酸化窒素を加えると（１．５〜２時間の期間）、比較例１のセンサの場合は検出素子の抵抗値及びセンサ出力Ｓが大きく低下した。しかし、実施例１の検知素子の場合は抵抗値及びセンサ出力Ｓは二酸化窒素によりほとんど影響されていなかった。
実施例２
市販のゼオライト（東ソー社製、Ｆ−９）をプレス成形し、８００℃で１５分間焼成してフィルタを得た。このフィルターを１０質量％の耐水剤（日興社製商品名ナノコート）水溶液に浸漬した後１５０℃で乾燥させた。このフィルタを実施例１と同じセンサに装着した。ベースガス及び被検ガス温度を６０℃、１２０℃、２００℃とした以外は、実施例１と同様に操作してセンサ出力Ｓを求めた。
実施例２の結果を図６に示す。いずれの温度においても、二酸化窒素混合時のセンサ出力Ｓは一酸化炭素のみ混合したときの値と同等であった。即ち、６０℃においてもセンサに対する結露の影響は見られなかった。
実施例１で作製したセンサを用いて、実施例２と同様に操作してセンサ出力を求めた結果を図６に示した。フィルタに耐水剤ナノコートを塗布していない実施例１のセンサ出力は、被検ガス温度が低くなると、多少低下する傾向が認められた。
実施例３
図１に示す構造のガスセンサを用い、給湯器を使用した実機耐久試験（排ガスの最大温度２５０℃）を行った。フィルタとして市販のゼオライト（東ソー社製、Ｆ−９）をプレス成形し、８００℃で１５分間焼成したものに、活性炭繊維からなる活性炭層（活性炭フィルタ（厚さ１．５ｍｍ、質量０．０２ｇ））を前記フィルタの内側に積層したものを使用した。給湯器の燃焼時間が１０００時間を経過した後、給湯器からセンサを取り外し、実施例１と同様に操作して検出素子の抵抗値を測定した。
なお、活性炭フィルタを取外す以外は同一条件で実機耐久試験を行い、ゼオライトフィルタ単独の場合のＮＯ２の連続吸着可能時間は７４４時間であることが予め確認されていた。
実施例３において測定した検出素子の抵抗値の経時変化を図７に、センサ出力Ｓを図８に示した。
比較例２
実施例３で使用した活性炭繊維からなるフィルタのみを装着したガスセンサ（ゼオライトフィルタを使用していない）を使用した以外は実施例３と同様にして実機耐久試験を行った。その後、実施例１と同様に操作して被検素子の抵抗値を測定した。
比較例２において測定した検出素子の抵抗値の経時変化を図７に、センサ出力Ｓを図８に示した。
実施例３及び比較例２で使用した活性炭繊維フィルタは、給湯器を使用した実機耐久試験（最大温度２５０℃）において、燃焼時間３００時間を経過すると酸化されて消滅し、ＮＯ２吸着能が低下することがわかっている。
図７及び図８より、実施例３において用いたセンサは、実機耐久試験が１０００時間を経過しているにもかかわらず、活性炭繊維フィルタの酸化による消滅が見られず、ＮＯｘ吸着能が高いことが判明した。
実施例４
比較例１で用いたセンサ（実施例１で用いたセンサからフィルタを除いたセンサ）を実施例１と同一条件でベースガス、及び６ｐｐｍのＳＯ２を含むベースガスに暴露し、ベースガスに対する抵抗値Ｒｂａｓｅ及びベースガスにＳＯ２を含むガスに対する抵抗値Ｒｇａｓを測定した。
下式（２）で定義するガス感度は３．６であった。即ち、フィルタを除いたガスセンサは、ＳＯ２の存在により抵抗値が大きく変化する。
ガス感度＝Ｒｇａｓ／Ｒｂａｓｅ            （２）
次に、実施例１で用いたガスセンサ（フィルタを有するセンサ）を、実施例１と同様にして、１０００ｐｐｍのＣＯを含んだベースガスに暴露した。
１ｐｐｍ、次いで６ｐｐｍのＳＯ２をベースガスに加えたが、図９に示すように、センサ抵抗値に変動は認められなかった。
【図１】
2005080952.tif 000002
【図２】
2005080952.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005080952.tif 000008
【図８】
2005080952.tif 000009
【図９】
2005080952.tif 000010
【国際調査報告】
2005080952.tif 000011
2005080952.tif 000012
2005080952.tif 000013