(57)【要約】【課題】箱体の内部空間に長尺状圧電素子、ロック片、プランジャ及びバネ部材を容易に組み付けることができること。【解決手段】箱体の内部空間にその先端部が箱体の開口から突出するようにバネ部材で常時付勢されたプランジャを設け、また、前記箱体の内壁に電圧信号を機械的な変位に変換する長尺状圧電素子の基端部を固定すると共に、長尺状圧電素子の自由端部に該長尺状圧電素子と共働して位置変位する可動係止部材を接続し、該可動係止部材の前記プランジャに対するロック又はアンロックの制御は、前記長尺状圧電素子の俯仰作用に基づくことを特徴とする圧電アクチュエーター。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱体の内部空間にその先端部が箱体の開口から突出するようにバネ部材で常時付勢されたプランジャを設け、また、前記箱体の内壁に電圧信号を機械的な変位に変換する長尺状圧電素子の基端部を固定すると共に、長尺状圧電素子の自由端部に該長尺状圧電素子と共働して位置変位する可動係止部材を接続し、該可動係止部材の前記プランジャに対するロック又はアンロックの制御は、前記長尺状圧電素子の俯仰作用に基づくことを特徴とする圧電アクチュエーター。
【請求項２】
箱体の内部空間に、箱体の保持部に保持された状態で垂直位置から斜めの状態へと位置変位可能な可動係止部材と、該可動係止部材の対向面を有する角孔を貫通すると共にその先端部が箱体の開口から突出するようにバネ部材で常時付勢されたプランジャと、基端部が箱体に支持されていると共に自由端部が前記可動係止部材に接続され、かつ電圧信号を機械的な変位に変換する長尺状圧電素子とをそれぞれ組込み、前記可動係止部材の前記プランジャに対するロック又はアンロックの制御は、前記長尺状圧電素子の俯仰作用に基づくことを特徴とする圧電アクチュエーター。
【請求項３】
請求項２に於いて、通電時、長尺状圧電素子は自由端部側から反るように変位し、該長尺状圧電素子と共働する可動係止部材は、その角孔の対向面がプランジャの対向側壁に対して平行するアンロック（非係止状態）から傾斜するロック（係止状態）になるように位置変位することを特徴とする圧電アクチュエーター。
【請求項４】
請求項２に於いて、通電時、長尺状圧電素子は自由端部側から反るように変位し、該長尺状圧電素子と共働する可動係止部材は、その角孔の対向面がプランジャの対向側壁に対して傾斜するロック（係止状態）から平行するアンロック（非係止状態）になるように位置変位することを特徴とする圧電アクチュエーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチュエーターに関し、特に、機械駆動機構における電気的制御可能なクラッチ装置用の圧電アクチュエーターに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、技術分野を問わず、電気制御式のラッチ機構について独占権を要求するものであり、そのラッチ機構は、「箱体に往復動可能に設けられた中空プランジャ（中空作動杆）の内部に長尺状の圧電素子を中空作動杆の長手方向に配設し、前記長尺状圧電素子の基端部をニ分割の中空作動杆片でもって挟持し、基端部から水平状態に延びる圧電素子の自由端部を、箱体に軸支された係合片（ツメと称する係合片）の中空作動杆片の内部に延在する受け脚部に臨ませ、圧電素子にリード線を介して電圧信号を印加すると、圧電素子の自由端部が変位して前記係合片の受け脚部を押圧し、これにより、係合片は一端部の支軸を支点にして、その係合先端部が中空作動杆片の外面に形成された傾斜状切欠溝から離れること」、を特徴とする。
【０００３】
特許文献１について付言すれば、特許文献１は、（ア）長尺状の圧電素子を中空作動杆内に一端部を固定した状態で内装した点、（イ）図示しない、リード線が中空作動杆の水平移動量に対応して可動する点、（ウ）横Ｔ字形状の係合片を、その受け脚部が圧電素子の自由端部に対向するように中空作動杆の内部に延在し、かつ受け脚部と交差する係合先端部が中空作動杆片の外面傾斜状切欠溝と係脱する点に特徴がある、と認定することができる。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の電気制御式のラッチ機構は、圧電素子を中空作動杆片に挟持状態に内蔵させ、ツメと称する係合片の脚部を圧電素子の自由端部付近へと延在させるために、中空作動杆片を複雑に構成しなければ成らないという問題点があった。また、部品点数が多すぎるという欠点もあった。
【０００５】
なお、ここで、電圧を印加するとか、電気的信号を与えるとか、駆動信号を与える等の用語は、発明の本質的観点から法解釈学的に認定判断されるものである。電圧印加、電気信号を印加する、駆動信号を与える等の用語は、同じ意味合いである。
【特許文献１】特表２００６−５１９４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の所期の目的は、箱体の内部空間に長尺状圧電素子、ロック片、プランジャ及びバネ部材を容易に組み付けることができることである。第２の目的は、変位量の大きい長尺状圧電素子（アクチュエータ）も実装することができることである。第３の目的は、係止板をプランジャに係脱させ、かつロック及びアンロックを確実に行うことができることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電アクチュエーターは、箱体の内部空間にその先端部が箱体の開口から突出するようにバネ部材で常時付勢されたプランジャを設け、また、前記箱体の内壁に電圧信号を機械的な変位に変換する長尺状圧電素子の基端部を固定すると共に、長尺状圧電素子の自由端部に該長尺状圧電素子と共働して位置変位する可動係止部材を接続し、該可動係止部材の前記プランジャに対するロック又はアンロックの制御は、前記長尺状圧電素子の俯仰作用に基づくことを特徴とする。
【０００８】
特に、実施化レベルの圧電アクチュエーターは、箱体の内部空間に、箱体の保持部に保持された状態で垂直位置から斜めの状態へと位置変位可能な可動係止部材と、該可動係止部材の対向面を有する角孔を貫通すると共にその先端部が箱体の開口から突出するようにバネ部材で常時付勢されたプランジャと、基端部が箱体に支持されていると共に自由端部が前記可動係止部材に接続され、かつ電圧信号を機械的な変位に変換する長尺状圧電素子とをそれぞれ組込み、前記可動係止部材の前記プランジャに対するロック又はアンロックの制御は、前記長尺状圧電素子の俯仰作用に基づくことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、長尺状圧電素子とプランジャとを別体にした（圧電素子をプランジャの外部に位置付けた）ので、箱体の内部空間に主たる構成部材を容易に組み込むことができる。また、変位量の大きい長尺状圧電素子（アクチュエータ）も実装することができる。さらに、可動係止部材の一例として係止板を用いたので、長尺状圧電素子に極力負荷を掛けないようにして係止板をプランジャに係脱させ、かつロック及びアンロックを確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図１乃至図７に示す本発明を実施するための最良の形態（第１実施例）により説明する。
【００１１】
（１）発明の実施の環境
図１は圧電アクチュエーターＸを示す概略説明図である。この圧電アクチュエーターＸは、例えば機械駆動機構における電気的制御可能なクラッチ装置に使用される。したがって、用途の一例は特許文献１と同じである。図１は箱体１の内部構造を示している。なお、符号Ｙは、例えば戸枠である。
【００１２】
（２）箱体１
図１は圧電アクチュエーターＸの外観を示す斜視図、図２は正面視からの概略断面説明図、図３は図２の３−３線に基づく概略断面説明図である。さて、箱体１は、ケース身１ａと、このケース身に合体するケース蓋１ｂとから成る。したがって、錠箱と同様の構成である。例えば図２、図３を参照にすると、２、３は前後の壁で、前壁２の中央部には、プランジャ４１用の開口４が形成されている。また、５はケース蓋１ｂと対向するケース身１ａの底壁である。さらに、図１を参照にすると、６，７は左右の側壁である。
【００１３】
しかして、箱体１の内部は、主たる部材を組み込むために複数個の収納空間に区分けされている。例えば図２を基準にすると、箱体１の収納空間は、内部の後壁３寄りの垂直方向の隔壁８を基準として、その右側（前壁２側）にプランジャ４１、係止板３１等を収納する第１収納部９が形成され、一方、左側（後壁３側）に昇圧回路を有する基板１５を収納する第２収納部１０が形成されている。そして、前記基板１５は前記隔壁８の内壁面に添設するように適宜に固定されている。
【００１４】
さらに、本実施例では、プランジャ４１は、その先端部（ラッチ部分）４３が山形形状に形成され、かつ先端部にストレートに連設する後端部にフランジ部分４２を有する長杆状のラッチ部材であることから、前記第１収納部９はプランジャ４１の形状に対応し、かつ該プランジャ４１を前後方向に案内することができるように左右側壁６，７の各内壁面の中央部に一組の案内手段１１、１１を有する。また、長尺状の圧電素子２１は、その基端部２１ａがケース蓋１ｂの内壁面に取付けられることから、前壁付近のケース蓋１ｂの内壁面の適宜箇所に支持部材１２が設けられている。加えて、長尺状の圧電素子２１と共働し、かつプランジャ４１をロック及びアンロックにするストッパー部材の一例として縦長状係止板３１を用いているので、前述した第１収納部９を形成するケース蓋１ｂとケース身１ａの底壁５に開口状保持部１３，１４が設けられている。
【００１５】
付言すると、ケース蓋１ｂの支持部材１２の付近（例えば支持部材１２よりも後方側付近）には、縦長状係止板３１の上端部に突出形成された上方舌片３２が遊嵌合する小保持部１３が形成され、これに一部が対向するようにケース身１ａの底壁５に前壁２に至るまで形成され、かつ縦長状係止板３１の下端部に突出形成された下方舌片３３が遊嵌合する大保持部１４が形成されている。
なお、本実施例の圧電アクチュエーターＸは、水平（横）又は垂直（縦）に使用することができるので、例えばプランジャ４１の先端部４３が上向きなるように圧電アクチュエーターＸを扉等に取付けた場合には、当然のことながら、前壁２は上壁、後壁３は底壁等の概念になる。
【００１６】
（３）箱体１内に組み込まれる部材
図２、図３で示すように、箱体１の各収納部には、昇圧回路を有する基板１５、該基板１５にリード線１６を介して電気的に接続する長尺状の圧電素子２１、該圧電素子２１と共働すると共に、プランジャ４１をロック又はアンロック状態にする縦長状係止板３１、案内手段１１（例えば案内突起）に案内されて水平方向に進退動するプランジャ４１、該プランジャ４１の先端部４３が箱体１の開口４から突出するように該プランジャを常時付勢するバネ部材４７がそれぞれ組み込まれている。
【００１７】
（４）圧電素子２１
電圧信号を機械的な変位に変換する長尺状の圧電素子２１は、箱体１の第１収納部９の内面に沿って配設された一枚タイプ（本実施例）又は二枚タイプの長板体で、その基端部２１ａはケース蓋１ｂの支持部材１２に差込み固定される。本実施例の圧電アクチュエーターＸは、例えば縦に使用する形式（仕様）であることから、前記基端部２１ａから垂下する自由端部２１ｂは、底壁５の大保持部１４付近に至る。そして、前記垂直状態の自由端部２１ｂは係止板３１の下端部に接続（例えば差込み係合）する。
【００１８】
ここで、図６を参照にして、圧電素子２１の構成及び機能を説明する。圧電素子２１は、圧電体を含む多層構造の長方状の板状体であり、例えば中央板２２と、この中央板２２の両面に導電性接着層２３を介して積層される一対の長方状圧電板２４とを備えている。
【００１９】
しかして、前記中央板２２は、表面部に導電性を有する補強材であり、その材料としては、ＳＫ鋼を焼入れ処理したものが用いられている。また、前記圧電板２４は、不番の圧電体と、この圧電体の両面に積層される一対の電極２５とを備えている。圧電板２４の圧電体は、電圧の印加により歪みが生じるピエゾ効果を有する材料であれば特に限定されるものではないが、例えば圧電セラミックス、高分子圧電体、単結晶圧電体等を使用する。中でも、大きな圧電効果を有し、耐久性も良好なチタン酸・ジルコン酸鉛系圧電セラミックス（ＰＺＴ）が使用されている。また、電極２５は圧電体の外縁部を除いたほぼ全面に積層され、例えば銀ペーストの印刷及び焼付けにより形成される。
【００２０】
上記の圧電素子２１には、外面側に配設される一対の電極２５と中央板２２に、例えば外部に配設した制御部１７を介して基板１５の駆動部（ドライブ）から駆動（電圧）信号が印加される。本実施例では、固定リード線１６が、前記基板１５に電気的に接続しており、プランジャ４１が動いても、リード線１６自体は全く動かない。基板１５は、このリード線１６を介して外側の両電極２５に正電圧及び負電圧を交互に印加する。このように正電圧を印加した場合、一方の圧電体は伸び、これに対して、他方の圧電体は縮む結果、圧電素子２１は正面側又は背面側の一方側に湾曲する。本実施例では、ケース蓋１ｂ側（図２では手前側）からケース身１ａの奥側に反るように湾曲する。このような圧電素子２１の機能を、ここでは「電圧信号を機械的な変位に変換する」と表現する。
【００２１】
なお、電圧効果に関しては、前記したように、電圧板２４を両面に備えたバイモルフ構造の他に、片面のみに電圧板２４を備えたユニモルフ構造が公知事項として知られている。
【００２２】
（５）可動係止部材−係止板３１
図４は長板状係止板３１の斜視図、図５は図４の５−５線断面図である。本実施例の長板状係止板３１は、図２で示すように、その下端部が長尺状圧電素子２１の自由端部２１ｂに接続された状態で、しかも、箱体１の上方の小保持部１３と下方（底壁５）の大保持部１４に上下の舌片３２、３３を介して垂直状態から傾斜状態になるように箱体１に保持されている。係止板３１は長尺状圧電素子２１の自由端部２１ｂに一体的に連結された状態で第１収納部９に収納されることから、長尺状圧電素子２１と共働してプランジャ４１をロック又はアンロックにする。
【００２３】
ここで、図４を参照にして係止板３１の構成を説明すると、３２は上方舌片、３３は下方舌片、３４は中央部の角孔、３５は下端部の一側壁寄りの部位に設けられた受け入れ型の接続部である。
【００２４】
しかして、前記下方舌片３３は上方舌片３２よりも若干長く形成されている。また、中央部の角孔３４は、図５で示すように、所定の傾斜角度を有して互いに対向する上下の対向面３４ａ、３４ｂを有している。ここで、上下の対向面３４ａ、３４ｂ間の広さ（開口部の大きさ）に関して簡単に説明すると、図１、図７で示すように、角型のプランジャ４１が角孔３４を貫通すること、該角孔３４の上下の傾斜状対向面３４ａ、３４ｂの縁辺でプランジャ４１を挟持するように係止（ロック）又は係止解除（アンロック）にすることから、角孔３４の正投影幅と傾斜投影幅は適宜に設定されている。
【００２５】
付言すると、本実施例では、角孔３４の幅は、図２で示すように、長板状係止板３１が垂直状態の姿勢の時、上対向面３４ａの前側下縁がプランジャ４１の上面のＶ字形状係合溝４４に係合すると共に、下対向面３４ｂの後側上縁がプランジャ４１の下面の逆Ｖ字形状係合溝４４に同時に係合する反面、図７で示すように、長板状係止板３１が垂直姿勢から傾斜状態の姿勢へと位置変位すると、角孔３４の上下の対向面３４ａ、３４ｂがプランジャ４１の上下の面に対して平行状態となって係止解除（アンロック）姿勢となるように設定されている。したがって、図５を基準にした場合には、角孔３４の正投影幅は、その傾斜投影幅よりも小さい。
【００２６】
（６）プランジャ４１と付勢バネ４７、
第１収納部９に水平状態に収納されたプランジャ４１は、前述したように後端部に箱体１の案内突起１１に係合するフランジ部分４２が形成され、該後端部からストレートに延びた先端部がラッチ部分４３となっている。そして、前述したように上下の対向面３４ａ、３４ｂと対向する上下の面の適宜箇所には、断面にすると、Ｖ字・逆Ｖ字形状係合溝４４、４４がそれぞれ形成されている。
【００２７】
また、バネ部材４７は、第１収納部９に収納され、その後端部が隔壁８に支持された状態でプランジャ４１のラッチ部分４３が箱体１の開口４から突出するように該プランジャを常時付勢する。なお、プランジャ４１のラッチ部分４３は、本実施例では三角形に形成されているが、これは任意事項であり、係止機能を有する係止面と、摺接機能を有する傾斜面を直角三角形にすることもできる。
【００２８】
（７）作用
図２と図７を対比すると、本発明の作用は明らかである。これらの図面では、圧電アクチュエーターＸの箱体１の前壁２と対向する固定体（例えば戸枠）Ｙが存在していることを前提としている。もちろん、Ｙが可動側であって、圧電アクチュエーターＸの箱体１が固定側であっても良い。
【００２９】
図２は通電時（ロック時）、一方、図７は非通電時（アンロック時）の状態をそれぞれ示す。図２及び図７で示すように、プランジャ４１はバネ部材４７のバネ力により突出方向に付勢されているので、その先端部４３は箱体１の開口４から突出し、戸枠Ｙの図示しない受け具に係合している。
【００３０】
図２で示す通電時、長尺状圧電素子２１は、その自由端部２１ｂ側から隔壁（後方）８側に反るように変位する。すなわち、第１実施例では、通電時、長尺状圧電素子２１は自由端部側から反るように変位し、該長尺状圧電素子と共働する可動係止部材３１は、その角孔３４の傾斜状対向面３４ａ、３４ｂがプランジャ４１の対向側壁（上面と下面）に対して平行する図７のアンロック（非係止状態）から傾斜するロック（図２の係止）状態になるように位置変位する。
【００３１】
したがって、箱体１の上下の保持部１３、１４で保持されている可動係止部材３１は、その上方舌片３２が上方の保持部１３の支持面に支持された状態で、下方舌片３３が下方の長孔状保持部１４に案内されながら所定角度（例えば１３度、１５度、１７度など）まで回動する。
【００３２】
このように、通電時、長尺状圧電素子２１と共働した可動係止部材３１は垂直姿勢となり、プランジャ４１に対してロック（図２の係止）機能を発揮するので、後退動することができない。これに対して、非通電時、可動係止部材３１は傾斜姿勢となり、プランジャ４１に対してアンロック（非係止）となるので、バネ部材４７のバネ力に抗して後退動可能となる。
【実施例】
【００３３】
第１実施例では、通電時の場合にはロック状態（図２）、一方、非通電時の場合にはアンロック状態（図７）であることを説明したが、設計如何によっては逆の態様にすることもできる。また、第１実施例の長尺状圧電素子２１は、箱体１の第２収納部９の内面に沿って配設された一枚タイプであるが、図１２で示すように二重構造体２１Ａ、２１Ｂであっても良い。すなわち、この圧電素子２１は、箱体１の前壁２の内面付近に設けられた支持部材１２に支持された基端部２１ａを有する第１圧電素子２１Ａと、該第１圧電素子の一端部２１ｃにその一端部が結合すると共に、自由端部２１ｂ側から反るように外拡変位可能な第２圧電素子２１Ｂとを有し、前記第２圧電素子の自由端部２１ｂは可動係止部材（係止片）３１の接続部３５に差込み嵌合している。
【００３４】
このような二重構造体２１Ａ、２１Ｂの長尺状圧電素子２１は、通電時には、中央部に相当する結合端部２１ｃ側と同時に、第２圧電素子２１Ｂの自由端部２１ｂも反るように変位するので、ロック３１の俯仰する幅（変位量）が大きくなる。
【００３５】
以下、この実施例の欄では、通電時の場合にはアンロック状態（図８）、一方、非通電時の場合にはロック状態（図９）となるものを説明の便宜上「第２実施例」として、その構成を簡単に説明する。なお、この第２実施例の説明に当たって、第１実施例と同一の部分には、同一又は同様の符号を付して重複する説明を省略する。
【００３６】
この第２実施例の圧電アクチュエーターＸ１に於いて、前記第１実施例と主に異なる第１点は、可動係止部材３１の角孔３４の上下の対向面３４ａ、３４ｂの角度である。すなわち、第１実施例の中央部の角孔３４は、図５で示すように、所定の傾斜角度を有して互いに対向する上下の傾斜状対向面３４ａ、３４ｂとなっているのに対して、第２実施例の中央部の角孔３４は、図１０、図１１で示すように傾斜角度を有しない互いに対向する上下の水平状対向面３４ａ、３４ｂとなっている。
【００３７】
また、異なる第１点は、長尺状圧電素子２１の基端部２１ａは、ケース蓋１ｂではなく、ケース身１ａの底壁５の支持部材１２に支持されていることである。したがって、長孔状保持部１４も下方ではなく、上方に設けられている。
【００３８】
さらに、長尺状圧電素子２１の前方側に可動係止部材３１が配設されている。図８と図９を対比すると明らかなように、第２実施例の圧電アクチュエーターＸ１は、通電時、長尺状圧電素子は自由端部側から前壁２側に反るように変位し、該長尺状圧電素子と共働する可動係止部材３１は、その角孔３４の対向面３４ａ、３４ｂがプランジャ４１の対向側壁に対して傾斜するロック（係止状態）から平行するアンロック（非係止状態）になるように位置変位する。
【００３９】
なお、本発明の第１実施例及び第２実施例の長尺状圧電素子２１は、それぞれバイモルフ構造としているが、ユニモルフ構造としても構わない。ここで、バイモルフとユニモルフの各用語について付言すると、前者のバイモルフは、中央ベース板の表面と裏側の両面に電圧セラミックスをそれぞれ張り付けたもの、つまり、二枚の電圧セラミックスを用いて構成される圧電アクチュエーターの総称である。一方、後者のユニモルフは、基本的には一枚の金属板の一側面に一枚の電圧セラミックスを張り付けた構造のものである。
【００４０】
したがって、本発明の圧電素子２１は、発明の目的を逸脱しない範囲内に於いて、「バイモルフ」及び「ユニモルフ」のいずれでも用いることができる。
【００４１】
また、本発明の圧電アクチュエーターＸ、Ｘ１の用途は、電気的制御用のクラッチ機構に限定されるものではなく、建具用のラッチ機構やロック機構に用いることができる。圧電アクチュエーターＸを建具に用いる場合には、上下方向に移動するシャッターや可動障子、水平方向に回転する扉に装着することができる。また、本実施例では、基板１５に少なくとも駆動部を設けたが、駆動部と共に制御部１７を設けても良いことはもちろんである。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、主に建具や錠前の業界で利用される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
図１乃至図７は本発明の最良の実施例（第１実施例）を示す各説明図。図８乃至図１１は本発明の最良の実施例（第２実施例）を示す各説明図。
【図１】第１実施例の圧電アクチュエーターＸを示す概略説明図。
【図２】正面面視からの概略断面説明図（通電時・ロック状態）。
【図３】図２の３−３線に基づく概略断面説明図。
【図４】要部（可動係止部材）の斜視図。
【図５】図４の５−５線断面図。
【図６】圧電素子の具体的構成を示す概略説明図。
【図７】図２と同様の概略断面説明図（非通電時・アンロック状態）。
【図８】第２実施例の正面視からの概略断面説明図（通電時・アンロック状態）。
【図９】図８と同様の概略断面説明図（非通電時・ロック状態）。
【図１０】要部（可動係止部材）の正面図。
【図１１】図１０の１１−１１線断面図。
【図１２】圧電素子のその他の実施例の概略断面説明図（図２と同様の図）。
【符号の説明】
【００４４】
Ｘ、Ｘ１…圧電アクチュエーター、Ｙ…固定側（又は可動側）、１…箱体、１ａ…ケース身、１ｂ…ケース蓋、２…前壁、３…後壁、４…開口、５…底壁、７、６…左右の側壁、８…隔壁、９…第１収納部、１０…第２収納部、１１…案内手段、１２…支持部材、１３…上方保持部、１４…下方保持部、１５…基板、１６…リード線、１７…制御部、２１…圧電素子、２１ａ…基端部、２１ｂ…自由端部、３１…可動係止部材（係止片）、３２…上方舌片、３３…下方舌片、３４…角孔、３４ａ、３４ｂ…対向面、３５…接続部、４１…プランジャ、４２…フランジ部分、４３…ラッチ部分（先端部）、４４…係合溝、４７…バネ部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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