(57)【要約】【課題】簡単な構造で低慣性かつ高剛性を実現したガルバノスキャナ用モータの回転軸構造を提供する。【解決手段】固定子５４に流れる電流を制御することによって永久磁石で構成された回転子７０を回転させ、この回転子を有する回転軸５２を揺動動作させるガルバノスキャナ用モータの回転軸構造において、回転軸５２にその外周面５２ａから軸心Ｑを挟んで反対側の外周面５２ａまで貫通する貫通穴５２ｂを形成し、この貫通穴５２ｂの内部に永久磁石を挿入して回転子７０を構成した。【選択図】図３
2009303451.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子に流す電流を制御することによって永久磁石で構成された回転子の回転を制御し、この回転子を有する回転軸を揺動動作させるガルバノスキャナ用モータの回転軸構造において、
前記回転軸にその外周面から径方向内側に向かって貫通する貫通穴を形成し、この貫通穴の内部に永久磁石を挿入して回転子を構成したことを特徴とするガルバノスキャナ用モータの回転軸構造。
【請求項２】
前記貫通穴の開口から表出する前記永久磁石の外表面を、前記回転軸の外周面に沿って円弧状に形成したことを特徴とする請求項１に記載のガルバノスキャナ用モータの回転軸構造。
【請求項３】
前記永久磁石を前記貫通穴に接着剤で固定したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のガルバノスキャナ用モータの回転軸構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動角度によらず、ミラーを高速で位置決めすることができるガルバノスキャナ用モータの回転軸構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光を偏光させる光偏向器には、レーザ光が照射されるガルバノミラーを有限角度内で高速に揺動動作させるガルバノスキャナ用モータが使用されている。このガルバノスキャナ用モータの回転軸に配される回転子には、ティースレス構造の固定子と対応する位置に永久磁石が設けられており、回転軸は、この固定子に流す電流を制御することによって揺動動作することになる。
【０００３】
このガルバノスキャナ用モータの回転子は、２極構造のものが多く用いられている。また、回転軸は、揺動動作において高応答性が求められることから、低慣性でかつ高剛性のものが望まれる。
この２極構造を回転軸に設ける構造としては、例えば、回転軸の外周面に永久磁石を接着によって貼り付けるものがある（例えば、特許文献１参照）。他方、回転軸の軸方向において、回転子に相当する部分の全体を永久磁石に置き換えたもの（軸方向において回転軸と永久磁石とを接着により接合したもの）がある（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平１１−２７５７９０号公報
【特許文献２】実開昭６２−１１９１８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、外周面に貼り付ける構造では、回転軸の太さは一定であることから、回転軸の太さが永久磁石の厚み分だけ細くなり、回転軸の剛性が低くなってしまう。特に、貼り付けるための永久磁石をリング形状に製造することは困難であることから、周方向に分離したセグメント型の永久磁石を使用することが多く、それぞれに分離した永久磁石は回転軸の曲げ剛性にあまり寄与しないため、剛性を高めることが困難である。
また、剛性を高めるために回転軸の径を大きくすると、永久磁石の厚みを薄くしなければならないため、トルクが小さくなってしまう。また、回転軸の径を大きくすることは、高剛性は実現できても、低慣性を実現することはできない。
さらに、外周面に接着で貼り付ける構造では、永久磁石が剥離するおそれがあり、信頼性を高くすることができない。
【０００５】
他方、回転軸と永久磁石とを軸方向で接合する構造では、回転軸と永久磁石とを接着で接合するため、剛性を高めることは困難である。特に、特許文献２のように、剛性を高めるための筒状の補強部材を回転軸の外周に取り付ける必要があるが、この補強部材は永久磁石の磁路が閉じないように非磁性体で構成しなければならず、高価なもになってしまう。
また、筒状の補強部材は、回転軸と同芯になるように加工しなければならないため、精度を必要とする。特に、高トルク化を図るためには、ステータとのギャップを小さくし、かつ補強部材の厚みを薄くする必要があり、精度を要する。
さらに、回転軸の軸受挿入部を高精度に仕上げるために、接着後に回転軸の加工をしなければならず、加工工数がかかってしまう。また、永久磁石を一部に有する回転軸を加工することは困難である。
【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、簡単な構造で低慣性かつ高剛性を実現したガルバノスキャナ用モータの回転軸構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明では、固定子に流れる電流を制御することによって永久磁石で構成された回転子を回転させ、この回転子を有する回転軸を揺動動作させるガルバノスキャナ用モータの回転軸構造において、前記回転軸にその外周面から軸心を挟んで反対側の外周面まで貫通する貫通穴を形成し、この貫通穴の内部に永久磁石を挿入して回転子を構成したことを特徴とする。
この構造によれば、回転軸の径を固定子とのギャップを確保する位置まで大きくすることができる。また、永久磁石を貫通穴に挿入することによって確実に回転軸に取り付けることができる。
【０００８】
また、前記貫通穴の開口から表出する前記永久磁石の外表面を、前記回転軸の外周面に沿って円弧状に形成してもよい。
この構成によれば、回転子と固定子との隙間を管理し易くすることができる。
【０００９】
さらに、前記永久磁石を前記貫通穴に接着剤で固定してもよい。
この構成によれば、簡単な方法で回転軸に永久磁石を取り付けることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、前記回転軸にその外周面から軸心を挟んで反対側の外周面まで貫通する貫通穴を形成し、この貫通穴の内部に永久磁石を挿入して回転子を構成しているので、回転軸の外周面に永久磁石を設ける場合と比較して、回転軸の径を固定子とのギャップを確保する位置まで大きくすることができ、回転軸の剛性を高めることができる。
また、貫通穴の内部に永久磁石を挿入することで、セグメント型の永久磁石にする場合と比較して、永久磁石が回転軸の剛性を高める役割を果たすようになる。
さらに、貫通穴の内部に永久磁石を挿入することで、永久磁石を外周面に貼り付ける場合と比較して、永久磁石を大きくすることができるので、高トルクを得ることができる。
また、回転軸を軸方向で接合する場合と比較して、回転軸が回転軸線の方向において連続しているので、曲げ力を接着強度で受ける構造とはならず、剛性が確保される。その結果、モータの信頼性が向上する。
さらにまた、回転軸が回転軸線の方向において連続しているので、軸受挿入部を後加工する必要がなく、回転軸の単品加工のみによって軸受部の精度を確保することができる。
また、永久磁石を貫通穴に挿入することで、永久磁石を外周面に貼り付けた場合と比較して、剥離等の心配が無く、確実に回転軸に取り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、本実施形態に係るレーザ加工装置１の構成を示す図である。また、図２は、図１に示すガルバノスキャナ用モータ４１Ａ（以下、単にモータという）にスキャナミラー４０Ａを取り付けた状態を拡大して示す図である。
レーザ加工装置１は、レーザ発振器２と、スキャナ光学装置３と、レーザ発振器２から放射されたレーザ光４５をスキャナ光学装置３に導く光学素子たる１対のミラー４Ａ、４Ｂとを備えており、これらが板状の石定盤５に載置・固定されている。
【００１２】
レーザ発振器２は、レーザ媒質に応じた波長のレーザ光４５を発振する。このレーザ発振器２は、図示せぬレーザ共振器を内蔵する直方体形状の発振器本体２０と、この発振器本体２０の先端部２０Ａに開口するレーザ出射口２１とを備えている。
このレーザ発振器２としては、固体レーザ発振器、液体レーザ発振器、気体レーザ発振器、半導体レーザ発振器、或いは、自由電子レーザ発振器などがある。
【００１３】
発振器本体２０の下側には、その先端部２０Ａ側及び後端部２０Ｂ側にＸＹＺ軸ステージ２２が設けられている。このＸＹＺ軸ステージ２２は、石定盤５にねじ止め固定されている。この石定盤５は、一般に、平面精度が非常に高いため、ＸＹＺ軸ステージ２２を調整することで、レーザ発振器２の光軸が微調整可能となっている。また、石定盤５は、熱伝導率が非常に小さいため、レーザ発振器２が発熱しても他の光学要素に与える熱影響を最小に抑えることが可能である。
【００１４】
スキャナ光学装置３は、レーザ発振器２から出力されたレーザ光４５の強度を変調するＡＯＭ（音響光学変調素子）３０と、レーザ光４５のフォーカスを調整するダイナミックフォーカスレンズ３１と、レーザ光４５を偏向して対象物に照射するスキャナヘッド３２とを備え、これらの光学要素が、ミラー４Ｂとの光軸を合わせるための直線状に延びた高さ調整用ステージ３３に載置されている。この高さ調整用ステージ３３には、ダイナミックフォーカスレンズ３１及びスキャナヘッド３２の間に設けられ、ダイナミックフォーカスレンズ３１から出力された光を整形してスキャナヘッド３２に入力する光学素子としてのレンズ３４と、ＡＯＭ３０に入射するレーザ光４５を整形する光学素子としての２組のレンズ３５Ａ、３５Ｂとが取り付けられている。
【００１５】
スキャナヘッド３２は、底面が開口した箱型の筐体４２を備えており、この筐体４２の
上部及び側部には、モータ４１Ａ、４１Ｂが設けられている。
モータ４１Ａの回転軸５２は、図１における左右方向に延在しており、その先端には、レーザ光４５を偏向するスキャナミラー４０Ａが取り付けられている。このスキャナミラー４０Ａは、モータ４１Ａの回転軸５２をＲ方向（図２参照）へ適宜回転（回動、揺動）させることにより、ミラーの角度を変えられるようになっている。
一方、モータ４１Ｂの回転軸は、図１における上下方向に延在しており、その先端には、スキャナミラー４０Ａの偏向方向に対して所定の角度となる方向にレーザ光４５を偏向するスキャナミラー４０Ｂが取り付けられている。このスキャナミラー４０Ｂは、モータ４１Ｂの回転軸を回転させることにより、ミラーの角度を変えられるようになっている。
これらのスキャナミラー４０Ａ、４０Ｂは、筐体４２の内部に配置されており、筐体４２の側面には、その内部にレーザ光４５を導くための図示せぬ導入口が形成されている。
【００１６】
また、筐体４２が配置された部分の高さ調整用ステージ３３には、上記スキャナミラー４０Ａ、４０Ｂにて偏向された光を出射する出射口４３が設けられている。これにより、スキャナヘッド３２、レンズ３４及びこの出射口４３によって、レーザ発振器２から出力されたレーザ光４５を偏向する偏向モジュールが構成されている。この偏向モジュールによって偏向されたレーザ光４５は、出射口４３を通過してワーキングエリア４６（被加工物。図２参照）へと向けられる。
【００１７】
ダイナミックフォーカスレンズ３１は、レーザ光４５をスキャナヘッド３２で偏向し対象物をレーザ光４５で走査する際に、対象物の走査面におけるレーザ光４５の照射スポット径を照射位置によらず略一定に維持するようにレーザ光４５の焦点距離を可変するものである。ダイナミックフォーカスレンズ３１は、図示せぬモータによってレンズ系が光軸方向に駆動され、レーザ光４５の焦点距離が可変される。さらに、対象物が立体的な走査面の場合には、該走査面で焦点が合うように、ダイナミックフォーカスレンズ３１がコントロールユニット６によって制御される。この図示せぬモータ、及び、上記スキャナヘッド３２のモータ４１Ａ、４１Ｂは、コントロールユニット６により制御されている。このコントロールユニット６は、走査面におけるレーザ光４５の照射位置に基づいて焦点距離を調整すべく、ダイナミックフォーカスレンズ３１のモータと、スキャナヘッド３２のモータ４１Ａ、４１Ｂとを互いに同期させながら制御する。なお、ダイナミックフォーカスレンズ３１に代えてｆθレンズを焦点距離調整手段として用いても良い。
【００１８】
ＡＯＭ３０は、上記の通り、レーザ発振器２から出力された連続発振レーザ光、或いは、パルスレーザ光の強度変調を行うものであり、上記コントロールユニット６により制御されており、コントロールユニット６は、対象物の走査面におけるレーザ加工深度等の加工度合いを常に一定に維持すべく、スキャナヘッド３２のモータ４１Ａ、４１Ｂの駆動量によって規定されるレーザ光４５の走査速度に応じて、レーザ光４５の強度を可変する。すなわち、コントロールユニット６は、レーザ光４５の走査速度が速い場合には、単位面積あたりのエネルギーが低下するためレーザ光４５の強度もしくはレーザ光４５の密度を高め、これとは逆に、走査速度が遅い場合にはレーザ光４５の強度もしくはレーザ光４５の密度を低める制御を行い、レーザ光４５の走査時の単位面積あたりのエネルギーを略一定に維持する制御を行う。
なお、上記レーザ光４５の密度は、パルスレーザ光の単位時間当たりのパルス数により定義され、当該レーザ光密度を可変することで、単位面積当たりのレーザ光４５のエネルギーを可変することができる。
【００１９】
また、スキャナヘッド３２のモータ４１Ａ、４１Ｂには、スキャナミラー４０Ａ、４０Ｂの回転量に応じたパルス数のデジタルパルス信号ＳＡ、ＳＢをコントロールユニット６に出力するエンコーダ４４Ａ及び４４Ｂが設けられている。
コントロールユニット６は、各デジタルパルス信号ＳＡ、ＳＢをカウントし、このカウント値に基づいて、スキャナミラー４０Ａ、４０Ｂの回転量を特定し、現在のレーザ光照射位置のＸＹ座標値を特定する。
また、コントロールユニット６は、レーザ光照射位置の目標値と現在のＸＹ座標値との偏差を打ち消すように、モータ４１Ａ、４１Ｂのそれぞれに出力してネガティブフィードバック制御を実行する。このように、コントロールユニット６においては、デジタルパルス信号ＳＡ、ＳＢを出力するエンコーダ４４Ａ、４４Ｂ、及び、コントロールユニット６によりクローズドループ制御系が構成されており、各モータ４１Ａ、４１Ｂの駆動が高精度に補償される。これにより、高精度なモータ制御、すなわち、被加工物の加工面における高精度な照射位置制御が実現される。
【００２０】
このようなレーザ加工装置１としては、例えば、リモートレーザ溶接、ワーキングディスタンスが比較的長い光造形システム、高い描画精度が要求される描画システム（単なる製造年月日などの文字を認識するために描画されるものを除く）などに使用することができる。
【００２１】
図３は、モータ４１Ａの側面断面図、図４は、図３のＩＶ―ＩＶにおける断面図を示す。また、図５は、モータ４１Ａに使用されている回転軸５２の側面図、及び断面図を示す。なお、モータ４１Ａと４１Ｂは同一の構造であるため、以下の説明ではモータ４１Ａについて説明し、４１Ｂの説明は省略する。
【００２２】
モータ４１Ａは、図３に示すように、筒状のステータヨーク５６と、このステータヨーク５６の内部にベアリング５７ａ、５７ｂによって回転自在に軸支された回転軸５２と、この回転軸５２の一方の軸端部（図３における右側端部）側に取り付けられたエンコーダ部５８とで構成されている。
【００２３】
ステータヨーク５６の筒状の内周面には、図３及び図４に示すように、モールド樹脂で固定されたコイル５４（固定子）が周方向に間隔をあけて４個設けられている。このコイル５４の長さは、ベアリング５７ａ、５７ｂ間の全長に亘って延在している。このコイル５４は、図示しない電源部から供給される電流が流れることにより磁界を発生し、回転軸５２に回転トルクを発生させる。また、供給される電流値は、図示しない制御部によって可変に制御されている。
【００２４】
また、ステータヨーク５６の左側部分には、上述したベアリング５７ａが設けられている。また、ステータヨーク５６の右側部分には、上述したベアリング５７ｂが設けられており、これらのベアリング５７ａ、５７ｂによって回転軸５２が回転可能に支持されている。ステータヨーク５６の左側端部には、ウエブワッシャ６５とスペーサ６６を介してベアリング５７ａの外輪左側を支持する支持部材５３がねじ等の締結部材５５によって取り付けられている。また、ベアリング５７ａの内輪右側は、回転軸５２に形成された段部によって支持されている。ベアリング５７ｂの外輪右側はベース部材６０により支持され、ベアリング５７ｂの内輪内側は、回転軸５２に形成された段部によって支持されている。回転軸５２は、前記ウエブワッシャ６５の右側押し付け力により、ベアリング５７ａ、５７ｂを介して回転自在に固定されている。
【００２５】
エンコーダ部５８には、ステータヨーク５６の図３における右側の開口を閉塞するベース部材６０と、回転軸５２と共に回動するエンコーダスリット板６１と、光を照射及び受光する受発光素子６２とを備えている。
ベース部材６０には、上述したベアリング５７ｂが設けられており、回転軸５２の一方の端部を回転可能に支持している。また、ベース部材６０は、回転軸５２の右側端部の側方を覆うように形成されており、このベース部材６０に受発光素子６２がねじ等の締結部材６４によって取り付けられている。この受発光素子６２は、エンコーダスリット板６１に向けて光を照射及び受光するために、エンコーダスリット板６１と対向するように配置されている。
【００２６】
エンコーダスリット板６１は、図３に示すように、回転軸５２の一方の軸端に支持部材６３（段差５１ａにねじによって固定）を介して取り付けられている。このエンコーダスリット板６１は、その平面が回転軸５２の回転軸線と直角になるように取り付けられ、上述した受発光素子６２と対応する位置にスリット６１ａが形成されている。これにより、受発光素子６２がエンコーダスリット板６１に向けて光を照射し、回転するエンコーダスリット板６１のスリット６１ａの有無によって反射光の相違を確認することで、回転軸５２の回転角度を精度よく検出可能にしている。
【００２７】
回転軸５２は、図４及び図５に示すように、両端に２つの段差５１ａ、５１ｂを有する丸棒形状をなしており、この段差５１ｂに上述したベアリング５７ａ、５７ｂがそれぞれ取り付けられる。また、回転軸５２の左側の軸端には、スキャナミラー４０Ａ（図２参照）が取り付けられ、回転軸５２と共に回動するようになっている。
【００２８】
回転軸５２は、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、回転軸５２の外周面５２ａから径方向に向かって貫通する貫通穴５２ｂが形成されている。この貫通穴５２ｂは、図５（ｂ）に示すように、回転軸５２の軸心Ｑを通る中心線に対して対称に形成されており、回転軸５２が回転する際に生じる慣性力をできるだけ一定になるようにしている。
【００２９】
貫通穴５２ｂの軸方向の長さは、上述したコイル５４の長さと対応し、かつ、回転軸５２の剛性を確保可能な範囲で長く形成されている。また、後述する永久磁石７０によって得られる回転トルクが十分に確保できるように、回転軸５２の外周面５２ａから表出する永久磁石７０の面積を確保し、かつ、磁気抵抗を低減可能な十分な体積を確保できるように、貫通穴５２ｂの内容積を決定している。なお、この貫通穴５２ｂの内側の角部は、外力が作用したときに応力が集中するのを防止すべく、適度なＲ形状が設けられている。
【００３０】
この貫通穴５２ｂの内部には、図３及び図４に示すように、この貫通穴５２ｂに隙間無く埋め込まれる態様で永久磁石７０（回転子）が取り付けられている。この永久磁石７０は、回転軸５２において、回転子として機能する。また、永久磁石７０は、貫通穴５２ｂに接着剤によって強固に接着されている。
【００３１】
回転軸５２の外周面５２ａから表出する永久磁石７０の外表面７０ａは、図４に示すように、回転軸５２の外周面５２ａと面一で、かつ、断面において回転軸５２の外周面５２ａと共に円形（外周面５２ａに沿って面一な円弧状）をなす態様に形成されている。これにより、回転軸５２の回転時の慣性力をできるだけ一定になるようにしている。
また、この外周面５２ａ及び外表面７０ａの径は、コイル５４とのギャップＧを確保して高トルクを得ることができる最大の径にしている。すなわち、外周面５２ａ及び外表面７０ａを同一面とすることにより、ギャップＧの確保及びその調整を容易にすると共に、回転軸５２の径を最大限に確保することができるようになる。
【００３２】
本発明の実施の形態に係るガルバノスキャナ用モータの回転軸構造によれば、回転軸５２にこの回転軸５２の外周面５２ａから径方向内側に向かって貫通する貫通穴５２ｂを形成し、この貫通穴５２ｂの内部に永久磁石７０を挿入して回転子を構成しているので、回転軸５２の外周面に永久磁石を貼設する場合と比較して、回転軸５２の径をコイル５４とのギャップＧを確保する位置まで大きくすることができ、回転軸５２の剛性を高めることができる。
【００３３】
また、貫通穴５２ｂの内部に永久磁石７０を隙間無く挿入することで、セグメント型の永久磁石にする場合と比較して、永久磁石７０が回転軸５２の剛性を高める役割を果たすようになる。
【００３４】
さらに、貫通穴５２ｂの内部に永久磁石７０を挿入することで、永久磁石を外周面に貼り付ける場合と比較して、ギャップＧを確保しつつ、永久磁石７０の容積をより大きくすることができるので、磁気抵抗をより大きくすることなく、モータ４１Ａ、４１Ｂとして高トルクを得ることができる。
【００３５】
また永久磁石７０を取り付ける部分を貫通穴５２ｂとすることで、貫通穴５２ｂの断面において貫通穴５２ｂの両側に回転軸５２の部分が残り、回転軸５２が回転軸線の延在する方向において連続しているので、回転軸を軸方向で接着剤を用いて接合する場合と比較して、曲げ力を接着強度で受ける構造とはならず、剛性が確保される。その結果、モータの信頼性が向上する。
【００３６】
さらに、回転軸５２が回転軸線の方向において連続しているので、永久磁石７０を装着した後に軸受挿入部を後加工する必要がなく、回転軸５２の単品加工のみによって段差５１ａ、５１ｂの精度を確保することができる。
【００３７】
さらにまた、永久磁石７０を貫通穴５２ｂに挿入することで、永久磁石を外周面に貼り付けた場合と比較して、永久磁石７０が剥離等する心配が無く、確実に回転軸５２に永久磁石７０を取り付けることができる。
【００３８】
さらに、永久磁石７０の形状を略直方体形状に形成すればよいので、永久磁石を筒状あいはセグメント状に形成する必要がなく、永久磁石７０の製造を容易に行うことができる。
【００３９】
他方、貫通穴５２ｂから表出する永久磁石７０の外表面７０ａを、回転軸５２の外周面５２ａに沿って面一な円弧状に形成しているので、回転軸５２の外周面５２ａの外側に突出する部分がなく、回転軸５２の回転時の慣性力をできるだけ一定になる。また、コイル５４とのギャップＧを最小限に設定することができる。さらに、ギャップＧの確保及びその調整を容易にすると共に、回転軸５２の径を最大限に確保することができる。
【００４０】
さらに、永久磁石７０を貫通穴５２ｂに接着剤で固定しているので、簡単な方法で回転軸５２に永久磁石７０を取り付けることができ、組み立て作業を軽減することができる。
【００４１】
以上、本発明を実施するための最良の形態について述べたが、本発明は既述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想に基づいて各種の変形および変更が可能である。
本実施の形態では、永久磁石７０を貫通穴５２ｂに接着剤を用いて接着して取り付けているが、回転軸５２の回転に対して十分な取付強度を確保できる場合には、貫通穴５２ｂに永久磁石７０を嵌め込んで（嵌挿して）、接着剤を使用せずに取り付けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】ガルバノスキャナ用モータを用いたレーザ加工装置の概要図である。
【図２】図１に示すモータにスキャナミラーが取り付けられた状態を拡大して示す概要図である。
【図３】ガルバノスキャナ用モータの側部断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ断面図である。
【図５】（ａ）はモータ回転軸の側面図、（ｂ）はＶ−Ｖ断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  レーザ加工装置
２  レーザ発振器
３  スキャナ光学装置
４Ａ、４Ｂ  ミラー
５  石定盤
６  コントロールユニット
２０  発振器本体
２０Ａ  先端部
２０Ｂ  後端部
２１  レーザ出射口
２２  ＸＹＺ軸ステージ
３０  ＡＯＭ
３１  ダイナミックフォーカスレンズ
３２  スキャナヘッド
３３  調整用ステージ
３４  レンズ
３５Ａ  レンズ
４０Ａ、４０Ｂ  スキャナミラー
４１Ａ、４１Ｂ  ガルバノスキャナ用モータ
４２  筐体
４３  出射口
４４Ａ  エンコーダ
４５  レーザ光
４６  ワーキングエリア
５１ａ、５１ｂ  段差
５２  回転軸
５２ａ  外周面
５２ｂ  貫通穴
５２ｃ  取付穴
５３  支持部材
５４  コイル
５５  締結部材
５６  ステータヨーク
５７ａ、５７ｂ  ベアリング
５８  エンコーダ部
６０  ベース部材
６１  エンコーダスリット板
６１ａ  スリット
６２  受発光素子
６３  支持部材
６４  締結部材
６５  ウエブワッシャ
６６  スペーサ
７０  永久磁石（回転子）
７０ａ  外表面
ＳＡ  デジタルパルス信号
Ｑ  軸心
【図１】
2009303451.tif 000003
【図２】
2009303451.tif 000004
【図３】
2009303451.tif 000005
【図４】
2009303451.tif 000006
【図５】
2009303451.tif 000007