(57)【要約】  フレキシブルＴＦＴ基板等に使用する歪みのない積層体用の多層フィルム、および無機材料製板に前記多層フィルムを積層した積層体並びにその製造方法を提供する。  樹脂製のフィルム基材上に無機材料と接着可能な接着樹脂層を設た多層フィルムであって、３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率が、前記１３０℃まで加熱した多層フィルムを３０℃以下に冷却した後に再度３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率より３０〜４００ｐｐｍ／℃大きい多層フィルム、および無機材料製板の少なくとも一面に上記多層フィルムを貼付した積層体、並びに上記多層フィルムと無機材料製板とを、４０℃以上で、かつ多層フィルムの接着樹脂層を構成する樹脂のガラス転移温度以下で接着する前記積層体の製造方法。【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂製のフィルム基材上に無機材料と接着可能な接着樹脂層を設けた多層フィルムであって、３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率が、前記１３０℃まで加熱した多層フィルムを３０℃以下に冷却した後に再度３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率より３０〜４００ｐｐｍ／℃大きいことを特徴とする多層フィルム。
【請求項２】
溶剤含有量が０．６〜２．３質量％である請求項１に記載の多層フィルム。
【請求項３】
前記フィルム基材がポリエステル樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、鎖状オレフィン樹脂、脂環式構造を有する樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、及びポリスチレン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂からなり、かつ該樹脂のガラス転移温度が８０℃以上である請求項１に記載の多層フィルム。
【請求項４】
前記接着樹脂層が酸無水物基、エポキシ基、及びカルボキシル基からなる群から選ばれる少なくとも一つの官能基を有する樹脂を含有する請求項１に記載の多層フィルム。
【請求項５】
波長４００〜６５０ｎｍにおける全光線透過率が８０％以上である請求項１に記載の多層フィルム。
【請求項６】
無機材料製板とその少なくとも一面に貼付された請求項１に記載の多層フィルムとを有することを特徴とする積層体。
【請求項７】
前記無機材料製板がガラス板、シリコンウエハ、ステンレス箔、銅箔、アルミ箔、及びセラミックス板からなる群から選ばれる少なくとも一つである請求項６に記載の積層体。
【請求項８】
前記無機材料製板の厚さが０．１〜２００μｍである請求項６に記載の積層体。
【請求項９】
請求項１に記載の多層フィルムと無機材料製板とを、４０℃以上で、かつ接着樹脂層を構成する樹脂のガラス転移温度以下で接着する請求項６に記載の積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は多層フィルムおよびこれを用いた積層体並びに積層体の製造方法に関し、詳しくは無機材料との接着性が優れており、例えば、ガラス製薄膜トランジスタ基板等と貼り合わせた際、剥離や変形の起こらない積層体が得られる多層フィルムおよびこれを用いた積層体並びにその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶などに使用される薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと略称することがある。）基板は通常ガラスなどの無機材料が用いられている。しかし、湾曲面のような非平面の表示装置を作るためにはフレキシブルＴＦＴ基板が必要になる。そこで、ＴＦＴ基板を可撓性のある樹脂で作ることが考えられている。しかし、樹脂は水分や酸素といったガスの遮断性がガラス等の無機材料より劣る傾向にある。そこでガラス薄膜に樹脂フィルムを積層して可撓性とガス遮断性の両方の機能を併せ持った基板が考えられている。【０００３】
例えば、仮基板に積層したガラス薄膜上にＴＦＴ基板を作成し、このガラス薄膜を樹脂フィルム基板に転写する方法でフレキシブルＴＦＴ基板を作る方法が知られている。このような方法として、光硬化型、熱硬化型等の接着剤を用いガラス薄膜を樹脂フィルムに接着し積層基板とする方法が報告されている。しかし、熱硬化型接着剤を用いる方法では接着時の硬化収縮が大きく、基板の変形や配線の断線等の問題を起こし易かった。また、光硬化型接着剤を使用した場合、硬化の際に、ＴＦＴ基板に強い光が当たり、ＴＦＴ本体のトランジスタ部分が劣化し電気特性が変化する危険性があった。【０００４】
そこで、熱可塑性樹脂による接着方法が検討されている。特許文献１には特定の環構造含有熱可塑性重合体が半導体材料用の接着剤として有用であることが開示され、加熱加圧条件下で接着する方法が記載されている。また、特許文献２には、環状オレフィン樹脂と溶剤とからなる接着剤が提案されており、やはり加圧条件下での接着が推奨されている。【０００５】
【特許文献１】ＷＯ９９／０１５１９Ａ１号パンフレット
【特許文献２】特開平３-９５２８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のようにガラス薄膜と熱可塑性樹脂フィルムとを積層した積層体は、積層時に特別の工夫をしないと熱歪みや光の影響を受けて、ガラス薄膜と熱可塑性樹脂フィルムとが剥離するなどの問題が生じるために、ＴＦＴ基板等としての使用が容易ではない。また、特許文献１または２に記載の接着方法による積層体においては、高い温度で熱処理しなければならず、その結果、透明性の優れた脂環式構造を有する樹脂フィルムを使用しても、樹脂フィルムと接着樹脂層を積層した多層フィルムは、熱処理時における高い熱の影響を受けて透明性が低下してしまう場合があった。【０００７】
本発明においては、上記フレキシブルＴＦＴ基板等に使用する歪みのない積層体用の多層フィルム、無機材料製板に前記多層フィルムを積層した積層体、及びその積層体の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための手段は、
（１）樹脂製のフィルム基材上に無機材料と接着可能な接着樹脂層を設けた多層フィルムであって、３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率が、前記１３０℃まで加熱した多層フィルムを３０℃以下に冷却した後に再度３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率より３０〜４００ｐｐｍ／℃大きい多層フィルムであり、
（２）溶剤含有量が０．６〜２．３質量％である上記（１）に記載の多層フィルムであり、
（３）前記フィルム基材がポリエステル樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂，鎖状オレフィン樹脂、脂環式構造を有する樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、及びポリスチレン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂からなり、かつ該樹脂のガラス転移温度が８０℃以上である上記（１）に記載の多層フィルムであり、
（４）前記接着樹脂層が酸無水物基、エポキシ基、及びカルボキシル基からなる群から選ばれる少なくとも一つの官能基を有する樹脂を含有する上記（１）に記載の多層フィルムであり、
（５）波長４００〜６５０ｎｍにおける全光線透過率が８０％以上である上記（１）に記載の多層フィルムであり、
（６）無機材料製板と、その少なくとも一面に貼付された上記（１）に記載の多層フィルムとを有することを特徴とする積層体であり、
（７）前記無機材料製板がガラス板、シリコンウエハ、ステンレス箔、銅箔、アルミ箔、及びセラミックス板からなる群から選ばれる少なくとも一つである上記（６）に記載の積層体であり、
（８）前記無機材料製板の厚さが０．１〜２００μｍである上記（６）に記載の積層体であり、
（９）（１）に記載の多層フィルムと無機材料製板とを、４０℃以上で、かつ接着樹脂層を構成する樹脂のガラス転移温度以下で接着する上記（６）に記載の積層体の製造方法である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の多層フィルムは、無機材料等との接着性が良く、高温での加温や紫外線などを用いなくてもガラス板等と接着できる接着樹脂層を有する。このため、薄膜ガラス板等と接着すれば、可撓性のある本発明の積層体ができる。この積層体は剥離や破損、ひび割れが起こり難く、ＴＦＴ基板等に好適に使用できる。また、本発明の積層体の製造方法は、上記積層体の良好な製造方法である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の多層フィルムは、樹脂製のフィルム基材上に、無機材料と接着可能な接着樹脂層を設けた多層フィルムである。フィルム基材用の樹脂としては特に限定はないが、非晶性樹脂であることが好ましく、透明性が高くガラス転移温度が比較的高い樹脂が好ましい。具体的には、エステル結合を繰り返し単位として有するポリエステル樹脂、エーテルスルフォン結合を繰り返し単位として有するポリエーテルスルフォン樹脂、直鎖状のオレフィン結合を繰り返し単位として有する鎖状オレフィン樹脂、脂環式構造を有する樹脂、炭酸エステル結合を繰り返し単位として有するポリカーボネート樹脂、アクリル結合を繰り返し単位として有するアクリル樹脂、メタクリル結合を繰り返し単位として有するメタクリル樹脂、及びスチレン結合を繰り返し単位として有するポリスチレン樹脂が挙げられる。その中でもポリエステル樹脂、脂環式構造を有する樹脂が特に好適な樹脂である。これらの樹脂は耐熱性、透明性等の光学特性、接着樹脂層の樹脂との接着性、熱膨張率等の性質のバランスがよく、液晶材料のＴＦＴに好適に利用できる。この多層フィルムは１層の樹脂製のフィルム基材層と接着樹脂層との２層からなっていても、多層つまり２層以上の樹脂製のフィルム基材層と接着樹脂層とからなっていても良い。例えば、樹脂製のフィルム基材層には、接着樹脂層と接する面とは反対側の表面に樹脂製の保護膜層などを設けても良い。【００１１】
また、このフィルム基材に用いる樹脂のガラス転移温度（以下、Ｔｇと略記することがある。）または融点（以下、Ｔｍと略記することがある。）は、好ましくは８０℃以上、より好ましくは１２０℃以上である。フィルム基材用樹脂のＴｇまたはＴｍは接着樹脂層を形成する樹脂（以下、接着樹脂と略称することがある。）のＴｇまたはＴｍ以上であることが好ましい。後述する本発明の積層体を製造する好適な方法として、この多層フィルムを接着樹脂のＴｇまたはＴｍに近い温度まで加熱してガラス板に積層する際、フィルム基材用樹脂が軟化しないためである。【００１２】
本発明の多層フィルムは、該多層フィルムを３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率が、前記１３０℃まで加熱した多層フィルムを３０℃以下に冷却した後に再度３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率より３０〜４００ｐｐｍ／℃大きい。二回目の加熱は平均熱膨張率を測定するためであり、最低限８０℃までの加熱でも平均熱膨張率の測定はできる。なお、本発明における熱膨張率は、特に断らない限り線熱膨脹率である。一般に樹脂の熱膨張率は無機材料の熱膨張率よりも大きいので、多層フィルムと無機材料とを貼り合わせて温度変化を与えると、熱膨張率の差により貼り合わせ部に応力が発生し、貼り合わせた多層フィルム又は無機材料に剥離、亀裂、変形などが起こり易い。これを防ぐには、貼り合わせる前の多層フィルムの熱膨張率の差を一定の値の中に収めておけばよい。特に多層フィルムの使用温度範囲付近での熱膨張率の差を調整しておくことが大切である。【００１３】
通常、多層フィルムにおけるフィルム基材を形成する樹脂の熱膨張率は１００ｐｐｍ／℃以下であり、ガラス等の無機材料の熱膨張率は５０ｐｐｍ／℃以下であるが、この程度の差であればＴＦＴ基板用積層体とする際には、フィルム基材と無機材料とを貼付した積層体に剥離、亀裂、及び変形などの不具合が生じることはない。【００１４】
一方、フィルム基材と無機材料とを貼り合わせるための接着樹脂層として、熱可塑性の樹脂を用いる場合、溶剤を含まなければ、無機材料と積層体を作っても熱膨張率の差に起因して、フィルム基材と無機材料とを貼付した積層体に剥離、亀裂、及び変形などの問題が生じることは少ない。しかし、溶剤を含んでいない接着樹脂層は、ガラス等の無機材料製板との接着性がないか乏しいため、無機材料と接着させるための接着温度を、接着樹脂層を構成する樹脂のガラス転移温度または融点以上にしなければならない。ところが、接着温度を、接着樹脂層を構成する樹脂のガラス転移温度以上にすると、接着樹脂層やフィルム基材が劣化して着色、発泡、変形などが起こり易く、透明性、精密性を要求されるＴＦＴ基板などには使用できないことが多い。【００１５】
そこで、本発明の多層フィルムは、接着樹脂層に溶剤を特定量含ませておくこと等により、熱膨張率を特定の範囲とし、無機材料との接着性を向上させている。この場合、多層フィルムの製造においてフィルム基材上に接着樹脂層を形成するときに、溶剤を含んだ、または溶剤に溶解した接着樹脂を用いることが好ましい。溶剤を含んだ樹脂は熱膨張率が非常に大きくなり、特に８０℃以下の温度での熱膨張率は、溶剤が蒸発せずに接着樹脂中に残っているので大きな値となりやすい。一方、８０℃以上での熱膨張率は、溶剤の蒸散の効果により次第に低下していく。そして、最初に１３０℃に加熱しながら熱膨張率を測定した接着樹脂を３０℃以下に冷却して、再度１３０℃に加熱しながら熱膨張率を測定すると、二回目に測定した熱膨張率は温度条件によらずほぼ一定の値となる。この値は溶剤を含まない接着樹脂の熱膨張率に近いものとなる。このことから、最初の熱膨張率測定の際の加熱操作により接着樹脂中の溶剤が蒸散してしまい、二回目の熱膨張率測定時は接着樹脂のみの熱膨張率が測定されたものと考えられる。すなわち、溶剤を含む接着樹脂層を有する多層フィルムでも１度加熱処理すれば溶剤が蒸散し、樹脂本来の熱膨張率を示す。【００１６】
本発明の多層フィルムは、該多層フィルムの熱膨張率を二回測定した場合において、第一回目測定の６０〜８０℃における平均熱膨張率が、第二回目測定の６０〜８０℃における平均熱膨張率より３０〜４００ｐｐｍ／℃大きい。前記熱膨張率の差は、好ましくは７５〜３００ｐｐｍ／℃、より好ましくは１３０〜２７０ｐｐｍ／℃である。さらに好ましい態様の多層フィルムとしては、第一回目測定の８０〜１２０℃における平均熱膨張率が、第二回目測定の８０〜１２０℃における平均熱膨張率より２０〜７０ｐｐｍ／℃、好ましくは２５〜６５ｐｐｍ／℃大きい。熱膨張率の差の下限を上記のようにしたのは、接着樹脂層中に溶剤が含まれており、無機材料との接着性を向上させ、接着樹脂を高温にしなくとも接着することができるようにする為である。前記熱膨張率の差の上限が上記範囲を超えると、本発明の多層フィルムと無機材料とを接着する際に、接着時の加熱により接着面において剥離や変形、発泡が起こり易くなる。また、無機材料との接着性をさらに向上させ、接着樹脂を高温にしなくとも（４０℃以上で、かつ多層フィルムの接着樹脂層を構成する樹脂のガラス転移温度以下の範囲の温度で）接着することができる観点から、該多層フィルムの熱膨張率を二回測定した場合において、第一回目測定の６０〜８０℃における平均熱膨張率と第二回目測定の６０〜８０℃における平均熱膨張率との差が、第一回目測定の８０〜１２０℃における平均熱膨張率と第二回目測定の８０〜１２０℃における平均熱膨張率との差よりも大きいことが好ましい。なお、熱膨張率は、例えば、市販の熱機械分析装置（ＴＭＡ）を用いて以下の要領で測定すればよい。まず、多層フィルムを所定の大きさに裁断する。そして、裁断した多層フィルムを熱機械分析装置にセットし、荷重０．１Ｎをかけながら、窒素雰囲気下で、室温から毎分５℃の速度で昇温し、３０℃から１３０℃まで加熱しながら熱膨張率を測定する（第一回目測定）。次に、第一回目測定を終えた多層フィルムを室温（３０℃以下）まで冷却し、荷重０．１Ｎをかけながら、再度室温から５℃／ｍｉｎの速度で昇温し、温度３０〜１３０℃の熱膨張率を測定する（第二回目測定）。測定した熱膨張率から、６０〜８０℃の温度域における熱膨張率の平均値、および８０℃〜１２０℃の温度域における熱膨張率の平均値を、それぞれ各温度域における平均熱膨張率とする。各温度域における第一回目測定の平均熱膨張率と第二回目測定の平均熱膨張率との差は、各温度域における第一回目測定時の平均熱膨張率から第二回目測定時の平均熱膨張率を引いて求めればよい。なお、８０〜１２０℃における平均熱膨張率を測定する必要がない場合は、第二回目の熱膨張率の測定においては、６０〜８０℃の温度域における熱膨張率を測定できる温度、すなわち８０℃まで加熱するだけでもよい。【００１７】
通常、多層フィルムとガラス板等との積層は、およそ４０〜１２０℃、好ましくは６０〜１２０℃の条件下で多層フィルムとガラス板等とを圧着して行うので、接着樹脂層中の溶剤の一部は蒸散してしまい、得られた積層体は接着樹脂層中の溶剤がほとんどなくなり、接着樹脂層の熱膨張率が樹脂本来の熱膨張率に近くなる。定量的な検討の結果、上述のようにして測定した、３０℃から１３０℃まで加熱しながら熱膨張率を測定する第一回目測定の６０〜８０℃における平均熱膨張率が、第二回目測定の６０〜８０℃における平均熱膨張率より３０〜４００ｐｐｍ／℃大きい多層フィルムが、接着樹脂層中に適度の溶剤を含み、無機材料への接着性および積層体の密着性や耐剥離性が良好であることが認められた。このような評価方法は、多層フィルムの熱膨張率を測定するだけで、接着樹脂や溶剤の種類によらず、本発明の課題を解決するために好適な積層体を製造するのに適した多層フィルムを容易に識別でき、生産管理上非常に便利な指標である。【００１８】
本発明の多層フィルムにおいて、溶剤含有量は０．６〜２．３質量％、さらに好ましくは０．７〜１．８質量％、特に好ましくは０．８〜１．５質量％であることが望ましい。溶剤含有量が上記範囲より少なくなると、本発明の多層フィルムの無機材料への接着性が低下する恐れがある。また、溶剤含有量が上記範囲より多くなると、本発明の多層フィルムを無機材料に貼付する際に、接着時の加熱により多層フィルムの剥離、その変形、発泡等が起こりやすくなる。溶剤含有量は、多層フィルムを溶剤に溶解させ、得られた溶液を内部標準を用いてガスクロマトグラフィーにより分析し算出する。このとき、多層フィルムを溶解させる際に用いる溶剤は、接着樹脂層を形成する際に用いた溶剤とは異なる溶剤を用いる。【００１９】
本発明において、接着樹脂層を構成する樹脂は特に限定はないが、非晶性樹脂であることが好ましく、フィルム基材に用いる樹脂と同じか類似の分子構造を有する樹脂を用いればよい。具体的には、前記アクリル樹脂、前記ポリエステル樹脂、前記鎖状オレフィン樹脂、および前記脂環式構造を有する樹脂などが挙げられる。中でも、透明性の観点から脂環式構造を有する樹脂が好ましい。脂環式構造を有する樹脂は、主鎖及び／又は側鎖に脂環式構造を有する。機械強度、耐熱性などの観点から、好適な脂環式構造を有する樹脂は、主鎖に脂環式構造を含有する。樹脂に含まれる脂環式構造としては、飽和脂環炭化水素（シクロアルカン）構造、および不飽和脂環炭化水素（シクロアルケン）構造などが挙げられるが、機械強度、耐熱性などの観点から、シクロアルカン構造が好ましい。脂環式構造を構成する炭素原子数には、格別な制限はないが、通常４〜３０個、好ましくは５〜２０個、より好ましくは５〜１５個の範囲であるときに、機械強度、耐熱性、及びフィルムの成形性の特性が高度にバランスされ、好適である。本発明に好適に使用される脂環式構造を有する樹脂中の脂環式構造を含有してなる繰り返し単位の割合は、使用目的に応じて適宜選択すればよいが、好ましくは３０質量％以上、さらに好ましくは５０質量％以上、特に好ましくは７０質量％以上、もっとも好ましくは９０質量％以上である。脂環式構造を有する樹脂中の脂環式構造を有する繰り返し単位の割合が、この範囲にあると基材フィルムの透明性および耐熱性の観点から好ましい。【００２０】
脂環式構造を有する樹脂は、具体的には、（１）ノルボルネン系重合体、（２）単環の環状オレフィン系重合体、（３）環状共役ジエン系重合体、および（４）ビニル脂環式炭化水素重合体、並びにこれらの水素添加物などが挙げられる。これらの中でも、透明性や成形性の観点から、ノルボルネン系重合体や環状共役ジエン系重合体がより好ましい。【００２１】
ノルボルネン系重合体（１）としては、ノルボルネン系モノマーの開環重合体、ノルボルネン系モノマーとこのノルボルネン系モノマーに対して開環共重合可能な他のモノマーとの開環共重合体、およびこれら開環共重合体の水素化物、ならびにノルボルネン系モノマーの付加重合体、およびノルボルネン系モノマーとこのノルボルネン系モノマーに対して共重合可能な他のモノマーとの付加共重合体等を挙げることができる。これら重合体および共重合体の中でも、耐熱性、機械的強度の観点からすると、ノルボルネン系モノマーの開環（共）重合体の水素化物が特に好ましい。【００２２】
単環の環状オレフィン系重合体（２）としては、シクロヘキセン、シクロヘプテン、およびシクロオクテン等の単環を有する環状オレフィン系モノマーの付加重合体を挙げることができる。【００２３】
環状共役ジエン系重合体（３）としては、１，３-ブタジエン、イソプレン、およびクロロプレン等の共役ジエン系モノマーの付加重合体を環化反応して得られる重合体、シクロペンタジエン、およびシクロヘキサジエン等の環状共役ジエン系モノマーの１，２または１，４付加重合体、並びにこれらの水素化物等を挙げることができる。【００２４】
ビニル脂環式炭化水素重合体（４）としては、ビニルシクロヘキセン、およびビニルシクロヘキサン等のビニル脂環式炭化水素系モノマーの重合体並びにその水素化物、スチレン、およびα-メチルスチレン等のビニル芳香族炭化水素系モノマーを重合してなる重合体に含まれる芳香環部分を水素化してなる水素化物、ビニル脂環式炭化水素系モノマーまたはビニル芳香族炭化水素系モノマーとこれらビニル芳香族炭化水素系モノマーに対して共重合可能な他のモノマーとのランダム共重合体またはブロック共重合体等の共重合体の芳香環部分の水素化物等を挙げることができる。ブロック共重合体としては、ジブロック、トリブロックまたはそれ以上のマルチブロック、傾斜ブロック共重合体等を挙げることもできる。【００２５】
上記の脂環式構造を有する樹脂は、例えば特開２００２−３２１３０２号公報などに開示されている公知の重合体から選ばれる。接着樹脂層を構成する樹脂のガラス転移温度は、好ましくは４０〜１９０℃、より好ましくは５０〜１６０℃、特に好ましくは６０〜１４５℃である。【００２６】
本発明においては、前記接着樹脂層が、酸無水物基、エポキシ基、及びカルボキシル基からなる群から選ばれる少なくとも一つの官能基を有する樹脂からなることが好ましい。接着樹脂層が、前記官能基を有する樹脂からなることにより、無機材料製板との接着性をさらに向上させることができる。接着樹脂層を構成する樹脂中の上記官能基の含有量は、樹脂１００ｇあたりのモル量で、好ましくは０．００５〜０．２５モル、より好ましくは０．０１２〜０．１５モル、特に好ましくは０．０１５〜０．１２モルである。ここで、樹脂１００ｇあたりのモル量、すなわち樹脂１００ｇあたりの官能基の含有量は、上記官能基を分子とみなして、その分子量相当分の質量（ｇ）を１モルとしたときの、樹脂１００ｇ中に実際に含まれる上記官能基の質量（ｇ）をモルに換算して表わした量である。【００２７】
接着樹脂層を形成する方法に格別な制限はなく、溶液キャスト法や溶融押出法が挙げられる。接着樹脂層の厚みをできるだけ均一に塗工でき、かつ多層フィルム中の溶剤含有量を所望の量とすることができる点で、溶液キャスト法が好ましい。溶液キャスト法により接着樹脂層を形成する場合、接着樹脂層を構成する樹脂を、樹脂が溶解する溶剤に溶解させてワニスを得て、リバースロールコーティング、グラビアコーティング、エアナイフコーティング、およびブレードコーティングなどの方法により、樹脂製のフィルム基材上に塗工し、その後溶剤を除去するために乾燥すればよい。この際、多層フィルムの溶剤含有量を上述の範囲とすることが望ましい。乾燥条件は、使用する溶剤の種類により適宜選択される。接着樹脂層を形成する際に用いる溶剤としては、ケトン類、エーテル類、エステル類並びに芳香族炭化水素類及びその水素添加物が挙げられる。これらは、１種類を単独で用いても、２種類以上を組み合わせて用いてもよい。【００２８】
本発明の多層フィルムは、液晶用ＴＦＴ等の光学材料に使用される場合が多いので光透過性が重要である。本発明の多層フィルムの波長４００〜６５０ｎｍにおける全光線透過率は好ましくは８０％以上、より好ましくは８５％以上、特に好ましくは８８％以上である。全光線透過率は、ＪＩＳ  Ｋ７３６１−１に準拠して、市販の濁度計を用いて測定すればよい。【００２９】
本発明の積層体は、上述した本発明の多層フィルムと無機材料製板とを積層した構造をしている。本発明の積層体に用いる無機材料としては、無機材料製の板であればよく、例えば、白色ガラス、ソーダガラス、および蒸着形成薄膜ガラス（酸化シリコン）、などのガラス；アルミニウム、銅、シリコン、および鉄などの金属並びに金属酸化物膜；ステンレス、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、およびセラミックス；等の材料からなる板が挙げられる。中でもガラス板、シリコンウエハ、ステンレス箔、銅箔、アルミ箔およびセラミックス板が好ましい。特に、ガラス板は多くのＴＦＴ基板等に使用されており有用な積層体となる。無機材料製板の厚さは０．１〜２００μｍであることが好ましい。また、無機材料製板が超薄膜ガラス板の場合は０．１〜１μｍが、通常のガラス薄膜の場合は１〜１００μｍ程度が望ましい。【００３０】
本発明の積層体は、上述の無機材料製板に本発明の多層フィルムを貼付する際、無機材料製板と本発明の多層フィルムとを４０℃以上で、かつ多層フィルム中の接着樹脂層を構成する樹脂のガラス転移温度以下の温度で接着することにより好適に製造できる。上述したように本発明の積層体は、本発明の多層フィルムと無機材料製板とを密着性よく接着させる一方で、接着後の積層体の剥離や変形を抑え、透明性を保つことが求められている。そのために多層フィルムの接着樹脂層には少量の溶剤が含まれており、定量的には熱膨張率の変化を利用して接着時の密着性と接着後の耐久性を実現している。その際、接着方法は、接着時の密着性にも接着後の耐久性にも大きな影響があり重要である。上述のように接着温度を制御しながら積層体を作ることにより、効果的に本発明の積層体が製造できる。一般に４０℃より低い温度で接着すると、多層フィルムと無機材料製板との接着性が悪く、剥離が起きやすい。また、接着樹脂層中の溶剤がそのまま残り、製造された積層体の接着樹脂層の熱膨張率が大きくなるだけでなく、使用中の温度変化により溶剤の気化による発泡の恐れもある。一方、接着樹脂層を構成する樹脂のガラス転移温度より高い温度で接着すると、接着の際、接着樹脂層が溶融し、多層フィルムが大きな膨脹を起こしたり変形したりする恐れがある。なお、接着時にフィルム基材に用いる樹脂についてもガラス転移温度以上にすることは好ましくない。ここでいう接着温度は、例えば多層フィルムと無機材料製板とを、プレス手段を用いて貼付して接着するときの、プレス手段のプレス面の温度で表わすことができる。プレス手段を有する装置としては、例えばラミネーターなどが挙げられる。【００３１】
本発明の多層フィルムと厚さ２００μｍ以下の薄膜ガラスとを接着させることで完全ガスバリアー性を有するフレキシブルで透明な本発明の積層体が作成できる。この積層体のガラス面にＩＴＯ蒸着層やＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）蒸着層などの透明導電性材料を事前にまたは接着後に製膜することで導電性フレキシブル薄膜透明ガラス板を提供できる。
【実施例】
【００３２】
以下に実施例および比較例を挙げて、本発明について、更に具体的に説明する。なお、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。また、実施例、比較例における部および％は、特に断りのない限り質量基準である。【００３３】
（１）フィルム基材を構成する樹脂、接着樹脂層を構成する樹脂、多層フィルムまたは積層体の評価方法
・ガラス転移温度（Ｔｇという）：
ＪＩＳ  Ｋ７２１１に準拠して、示差走査熱量法（ＤＳＣ法という）により１０℃／分で昇温して測定する。
・質量平均分子量（Ｍｗという）：
トルエンを溶媒とするゲル・パーミレーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣという）によるポリスチレン換算値として測定する。
・マレイン化率：
滴定法により樹脂換算（１００ｇあたり）でのマレイン酸単位をモルとして算出する。
・エポキシ化率：
１Ｈ−ＮＭＲ測定値より樹脂換算（１００ｇあたり）でのエポキシ単位をモルとして算出する。【００３４】
・多層フィルムの熱膨張率：
熱機械分析装置（ＴＭＡ）を用いて、以下の手順で測定する。
多層フィルムを２０ｍｍ×１０ｍｍに裁断する。そして、裁断した多層フィルムを熱機械分析装置にセットし、荷重０．１Ｎをかけながら、窒素雰囲気下で、毎分５℃の速度で昇温し、温度３０℃から１３０℃に加熱中の熱膨張率を測定する（第一回目測定）。次に、室温（３０℃以下）まで冷却し、荷重０．１Ｎをかけながら、再度室温から５℃／ｍｉｎの速度で昇温し、温度３０〜１３０℃の熱膨張率を測定する（第二回目測定）。測定した熱膨張率から、第一回目測定、第二回目測定のそれぞれにつき、６０〜８０℃および８０℃〜１３０℃の温度域におけるそれぞれの平均熱膨張率を算出する。各温度域における平均熱膨張率の差は、各温度域における第一回目測定時の平均熱膨張率から第二回目測定時の平均熱膨張率を引いて求める。
・全光線透過率とヘイズ：
ＪＩＳ  Ｋ７３６１−１に準拠して、日本電色工業製ヘイズメーターＮＤＨ２０００により測定する。
・多層フィルム中の溶剤含有量：
多層フィルムを切り取り（２００ｍｇ程度）、正確に秤量する。トルエンを内部標準として含有したテトラヒドロフラン５ｍｌを正確に秤量し、これに切り取った多層フィルムを加えて溶解させて測定用溶液を得る。得られた溶液をフレームイオン検出器付ガスクロマトグラフィーにより分析し、内部標準法により多層フィルム中の溶剤含有量を算出する。【００３５】
・剥離試験：
無機材料製板と多層フィルムとを接着した積層体の初期密着性および耐湿試験後の密着性を以下の碁盤目剥離試験により評価し、初期密着性試験および耐湿試験後密着性試験とする。
・碁盤目剥離試験：
ＪＩＳ  Ｋ５４００法に準じて、サンプル片の多層フィルム側から１ｍｍ×１ｍｍの碁盤目状に切り込みを加え、セロハン粘着テープ（２４ｍｍ幅、ＪＩＳ  Ｚ１５２２に規定）で剥離試験を行い、多層フィルムの樹脂がセロハンテープ側に移った升目の数（１００升目あたり）を測定する。
・耐湿試験：
耐湿試験の条件は以下の通りである。
耐湿試験装置：「ＥＨＳ-２１１ＭＤ」（エスペック社製）
温度：６０℃
湿度：９０％ＲＨ
圧力：常圧（１０１ｋＰａ）
さらし時間：２００時間
・耐熱試験（密着性、界面剥離、界面発泡、波状化、クラックの有無確認試験）：
無機材料製板と多層フィルムとを貼り合わせた積層体を１３０℃のオーブン中３０分放置した後、室温冷却する。この操作を３回繰り返した後に評価した。無機材料製板と多層フィルムとの密着性評価は上記碁盤目剥離試験により、界面剥離は碁盤目剥離試験時の剥離面積測定により、界面発泡の有無、接着部位の波状化（熱膨脹率の差によるフィルムの皺）およびクラックの有無は目視観察により評価した。【００３６】
（２）接着樹脂の合成
（合成例１：接着樹脂Ｍ−１の製造）
冷却管、窒素ガス導入管、同圧滴下ロートを備えた反応器に脂環式構造を有する樹脂である６−メチル−１，４：５，８−ジメタノ−１，４，４ａ，５，６，７，８，８ａ−オクタヒドロナフタレンの開環重合体の水素添加物（Ｔｇ＝１４０℃、水素添加率１００％、Ｍｎ＝約２８０００、「水添ＭＴＤ樹脂」と記すことがある）２０１部、無水マレイン酸６．３７部、ｔ―ブチルベンゼン４７０．４部を入れ、窒素ガス雰囲気下、１３５℃に加熱して樹脂を均一に溶解した。この樹脂溶液にジクミルパーオキサイド１．７６部をシクロヘキサノン３３．４部に溶解した均一溶液を１３５℃に反応液温度を保ちながら２時間かけて分割滴下した。さらに、反応温度１３５℃で３時間反応を継続した後、反応液を室温まで冷却した。この反応液にトルエン２０００部を加え、均一希釈溶液とした。イソプロピルアルコール７０００部、アセトン２０００部の混合溶液中に、前記均一希釈溶液を滴下し、樹脂を凝固させた。得られた樹脂をろ別後、１０５℃で１２時間真空乾燥してマレイン酸変性水添ＭＴＤ樹脂を得た。このマレイン酸変性水添ＭＴＤ樹脂を接着樹脂Ｍ−１とした。得られた接着樹脂Ｍ−１の物性を表−１にまとめて記載する。【００３７】
（合成例２：接着樹脂Ｍ−２の製造）
合成例１において、無水マレイン酸を１１．７６部、ジクミルパーオキサイドを３．２４部、シクロヘキサノンを６３．４部に変更した以外は、合成例１と同様の操作を行うことにより、マレイン酸変性水添ＭＴＤ樹脂を得た。これを接着樹脂Ｍ−２とした。得られた樹脂Ｍ−２の物性を表−１にまとめて記載する。【００３８】
（合成例３：接着樹脂Ｅ−１の製造）
水添ＭＴＤ樹脂５０部、アリルグリシジルエーテル１０部、ジクミルパーオキシド１．５部、シクロヘキサン２００部をオートクレーブ中にて１５０℃、３時間反応を行った後、得られた反応液をアセトン５００部中に注ぎ、反応生成物を凝固した。得られた樹脂をろ別後、１０５℃で１２時間真空乾燥し、エポキシ変性水添ＭＴＤ樹脂を得た。これを接着樹脂Ｅ−１とした。得られた樹脂Ｅ−１の物性を表−１にまとめて記載する。【００３９】
（合成例４：接着樹脂ＭＩＲ−１の製造）
攪拌機、温度計、還流冷却管および窒素ガス導入管を備えた４つ口フラスコに、シス−１，４構造イソプレン単位８３％、トランス−１，４構造イソプレン単位１５％、３，４構造イソプレン単位２％、質量平均分子量１３６，０００のポリイソプレン１００部、トルエン１５７０部を仕込んだ。フラスコ内を窒素置換した後、フラスコの内容物をオイルバスで８５℃に加温し、次いで前記内容物を攪拌することによりポリイソプレンを完全に溶解させた。かくして得られた溶液に、ｐ−トルエンスルホン酸３．９部を添加し、前記溶液の温度を８５℃に保ったまま前記溶液の攪拌を続けて環化反応を行った。環化反応を開始してから５時間後、この溶液にイオン交換水４００部を投入して環化反応を停止した。イオン交換水を投入して３０分後、油層を分取した。この油層をイオン交換水４００部で３回洗浄後、回転数３００ｒｐｍで遠心分離して水分を除去した。残った油層を１３０℃に加熱して水分を完全に除去した。この水分を完全に除去した油層に無水マレイン酸３．５部を攪拌しながら加え、均一化させた後、反応温度を１６０℃に上げトルエンを留去した。その後、１６０℃で４時間、付加反応を行った。次いで油層の温度を１１０℃まで冷却し、酸化防止剤（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、Ｉｒｇａｎｏｘ１０１０）を樹脂に対して１０００ｐｐｍ添加して均一化させ、室温まで冷却して、マレイン酸変性環化ポリイソプレンを得た。これを接着樹脂ＭＩＲ−１とした。得られた接着樹脂ＭＩＲ−１の物性を表−１にまとめて記載する。【００４０】
【表１】
2006082887.tif 000002
【００４１】
＊表１において、環化率は環化イソプレンの環化率を示す。環化率はプロトンＮＭＲにより共役ジエン二重結合の環化反応前後の二重結合由来のプロトンのピーク面積より算出した。なお、詳細な測定法は（ｉ）ｍ．Ａ．Ｇｏｌｕｂ  ａｎｄ  Ｊ．Ｈｅｌｌｅｒ．，Ｃａｎ．Ｊ．Ｃｈｅｍ．，４１，９３７（１９６３）に記載の方法を参考にした。【００４２】
（３）多層フィルムの製造
（実施例１：多層フィルム１の製造）
合成例１で得た２０部の接着樹脂Ｍ−１をシクロペンチルメチルエーテル（沸点１０６℃）溶剤８０部に溶解し、１μｍのフィルターでろ過して粘度１３０ｃｐｓの樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液（以下、樹脂溶液１と記すことがある。）を、ノルボルネン重合体フィルム（厚さ１８８μｍ、ノルボルネン重合体のＴｇ１６０℃、全光線透過率９２．３％、以下「フィルム基材１」と記すことがある）に厚さ１００μｍ用のドクターブレードを用いて塗工することにより塗工フィルムを得た。次いで、この塗工フィルムを１０５℃で1５分間乾燥することにより多層フィルム１を得た。得られた多層フィルムの特性を表−２及び表−３に記載する。【００４３】
（実施例２：多層フィルム２の製造）
実施例１において、塗工フィルムの乾燥条件を１１５℃で２０分間とした他は、実施例１と同様の操作を行うことにより、多層フィルム２を得た。得られた多層フィルム２の特性を表−２及び表−３に記載する。【００４４】
（実施例３：多層フィルム３の製造）
実施例１において、フィルム基材１に代えて、環状ポリオレフィンフィルム（住友ベークライト社製：スミライトＦＳ−１７００、厚さ１００μｍ、環状ポリオレフィンのガラス転移温度１６３℃）を用いた他は、実施例１と同様の操作を行うことにより多層フィルム３を得た。得られた多層フィルム３の特性を表−２及び表−３に記載する。【００４５】
（実施例４：多層フィルム４の製造）
合成例３で得られた２０部の接着樹脂Ｅ−１をトリメチルベンゼン８０部に溶解させ、これを１μｍフィルターでろ過して樹脂溶液を得た。この樹脂溶液の粘度は２１０ｃｐｓであった。実施例１の樹脂溶液１に代えて、この樹脂溶液を用いた他は、実施例１と同様の操作を行うことにより、多層フィルム４を得た。得られた多層フィルム３の特性を表−２及び表−３に記載する。【００４６】
（実施例５：多層フィルム５の製造）
実施例１において、フィルム基材１に代えて、ポリカーボネートフィルム（住友ベークライト社製：スミライトＦＳ−１６５０Ｈ、厚み１２５μｍ、ポリカーボネートのガラス転移温度１４５℃）を用いた他は、実施例１と同様の操作を行うことにより、多層フィルム５を得た。得られた多層フィルム５の特性を表−２及び表−３に記載する。【００４７】
（実施例６：多層フィルム６の製造）
合成例４で得られた接着樹脂ＭＩＲ−１をトルエンと酢酸エチルとを質量比で３：１で混合した溶液に、樹脂濃度が２８％となるように溶解させて樹脂溶液を得た。実施例１の樹脂溶液１に代えて、この樹脂溶液を用いた他は、実施例１と同様の操作を行うことにより多層フィルム６を得た。得られた多層フィルム６の特性を表−２及び表−３に記載する。【００４８】
（比較例１：多層フィルム７の製造）
実施例１において、塗工フィルムの乾燥条件を８０℃、１５分間とした他は、実施例１と同様の操作を行うことにより多層フィルム７を得た。得られた多層フィルム７の特性を表−２及び表−３に記載する。【００４９】
（比較例２：多層フィルム８の製造）
実施例１において、塗工フィルムの乾燥条件を９０℃、１５分間とした他は、実施例１と同様の操作を行うことにより多層フィルム８を得た。得られた多層フィルム８の特性を表−２及び表−３に記載する。【００５０】
（比較例３：多層フィルム９の製造）
実施例４において、塗工フィルムの乾燥条件を８０℃、１５分間とした他は、実施例４と同様の操作を行うことにより多層フィルム９を得た。得られた多層フィルム９の特性を表−２及び表−３に記載する。【００５１】
（比較例４：多層フィルム１０の製造）
実施例５において、塗工フィルムの乾燥条件を８０℃、１５分間とした他は、実施例５と同様の操作を行うことにより多層フィルム１０を得た。得られた多層フィルム１０の特性を表−２及び表−３に記載する。【００５２】
（比較例５：多層フィルム１１の製造）
実施例６において、塗工フィルムの乾燥条件を８０℃、１５分間とした他は、実施例６と同様の操作を行うことにより多層フィルム１１を得た。得られた多層フィルム１１の特性を表−２及び表−３に記載する。【００５３】
（比較例６：多層フィルム１２の製造）
実施例１において、塗工フィルムの乾燥条件を１２０℃、３０分間とした他は、実施例１と同様の操作を行うことにより多層フィルム１２を得た。得られた多層フィルム１２の特性を表−２及び表−３に記載する。【００５４】
【表２】
2006082887.tif 000003
【００５５】
【表３】
2006082887.tif 000004
【００５６】
（４）積層体の製造（ガラス板と多層フィルムとの積層）
（実施例８）積層体１の製造
厚さ５０μｍのガラスフィルム（松波ガラス社製）を、０．１％アミノプロピルトリエトキシシラン、及び水とを混合してなる混合溶液に２分間浸漬処理した後、室温で２４時間乾燥させた。このガラスフィルムと実施例１で得られた多層フィルムの接着樹脂層の面とを貼り合わせ、真空ラミネーターを用いて、気泡が発生しないように真空ラミネートすることにより積層体１を得た。真空ラミネート条件は、真空引き１５秒、接着温度１００℃、接着時間３６０秒、接着圧１ＭＰａとした。得られた積層体１を初期密着性試験、耐湿試験後密着性試験および耐熱試験により評価した。結果を表４に記載する。【００５７】
（実施例９）積層体２の製造
多層フィルム１の代わりに、実施例２で得られた多層フィルム２を用いた他は、実施例８と同様の操作を行うことにより積層体２を得た。得られた積層体２について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。【００５８】
（実施例１０）積層体３の製造
多層フィルム１の代わりに、実施例３で得られた多層フィルム３を用いた他は、実施例８と同様の操作を行うことにより積層体３を得た。得られた積層体３について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。【００５９】
（実施例１１）積層体４の製造
多層フィルム１の代わりに、実施例４で得られた多層フィルム４を用いた他は、実施例８と同様の操作を行うことにより積層体４を得た。得られた積層体４について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。【００６０】
（実施例１２）積層体５の製造
多層フィルム１の代わりに、実施例５で得られた多層フィルム５を用いた他は、実施例８と同様の操作を行うことにより積層体５を得た。得られた積層体５について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。【００６１】
（実施例１３）積層体６の製造
多層フィルム１の代わりに、実施例６で得られた多層フィルム６を用い、真空ラミネートにおいて接着温度を６０℃とした他は、実施例８と同様の操作を行うことにより積層体６を得た。得られた積層体６について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。
【００６２】
（比較例８）積層体７の製造
多層フィルム１の代わりに比較例１で得られた多層フィルム７を用いた他は、実施例８と同様の操作を行うことにより、積層体７を得た。得られた積層体７について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。【００６３】
（比較例９）積層体８の製造
多層フィルム１の代わりに比較例２で得られた多層フィルム８を用いた他は、実施例８と同様の操作を行うことにより、積層体８を得た。得られた積層体８について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。【００６４】
（比較例１０）積層体９の製造
多層フィルム１の代わりに比較例３で得られた多層フィルム９を用いた他は、実施例８と同様の操作を行うことにより、積層体９を得た。得られた積層体９について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。【００６５】
（比較例１１）積層体１０の製造
多層フィルム１の代わりに比較例４で得られた多層フィルム１０を用いた他は、実施例８と同様の操作を行うことにより、積層体１０を得た。得られた積層体１０について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。【００６６】
（比較例１２）積層体１１の製造
多層フィルム１の代わりに比較例５で得られた多層フィルム１１を用いた他は、実施例８と同様の操作を行うことにより、積層体１１を得た。得られた積層体１１について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する。
【００６７】
（比較例１３）積層体１２の製造
多層フィルム７の代わりに、比較例６で得られた多層フィルム１２を用い、真空ラミネートにおいて接着温度を６０℃とした他は、実施例８と同様の操作を行うことにより積層体１２を得た。得られた積層体１２について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表４に記載する【００６８】
【表４】
2006082887.tif 000005
【００６９】
表４および表５における各試験および総合判定の評価基準
・剥離試験（初期密着性試験、耐湿試験後密着性試験および密着性評価）
Ａ：剥離がない／１００個
ＡＢ：剥離が１００個中１〜５個ある
Ｂ：剥離が１００個中６個以上ある
・界面剥離
Ａ：剥離が無い
ＡＢ：接着面の１〜５％程度の剥離がある
Ｂ：接着面の５％以上の剥離がある
・界面発泡
Ａ：界面に発泡が無い
Ｂ：界面に発泡（微細発泡を含む）がある
・クラック
Ａ：接着界面にクラックが無い、
Ｂ：接着界面にクラックが発生している
・波状化
Ａ：フィルム変形が無い
ＡＢ：フィルムの一部に皺がある
Ｂ：フィルムの全面に皺がある
・総合判定
Ａ：実用性あり
ＡＢ：用途により使用可能
Ｂ：使用可能性が低い【００７０】
（実施例１５）フレキシブル基板１の製造
特開平１０−１２５９３０の実験例１に記載の方法に従って、１００ｍｍ角の石英基板片面上に分離層として非晶質シリコン膜（膜厚１００ｎｍ）、およびガスバリアー型絶縁層としてＳｉＯ２膜（膜厚２００ｎｍ）をこの順に形成した転写用超薄膜ガラス板を得た。転写用超薄膜ガラス板のＳｉＯ２膜をシランカップリング剤（アズマックス社製Ｓ−３３０を０．１％含有するエタノール／水＝７０／３０の均一溶液）に浸漬処理後、１２０℃、５分間乾燥した。このシランカップリング剤で処理されたＳｉＯ２膜の表面と実施例１で得られた多層フィルム１の接着樹脂層の表面とを貼り合わせて真空ラミネーターで気泡が発生しないように接着して積層体を得た。ラミネート条件は真空引き１５秒、接着温度１００℃、接着時間３６０秒、接着圧１ＭＰａとした。積層体の石英基板側からＸｅ−Ｃｌエキシマレーザー（波長３０８ｎｍ）を照射し、ＳｉＯ２膜が接着された多層フィルム１と、分離層および石英基板との剥離を起こさせた。この操作により、多層フィルム１のノルボルネン重合体フィルムに接着樹脂層を介して２００ｎｍのＳｉＯ２膜が転写されたフレキシブル基板１を得た。このフレキシブル基板１について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表５に記載する。さらに、フレキシブル基板１をＳｉＯ２膜側が内側になるように約３０度湾曲させたところ、ＳｉＯ２膜の剥離やクラックは生じなかった。【００７１】
（実施例１６）フレキシブル基板２の製造
多層フィルム１の代わりに実施例４で得られた多層フィルム４を用いた他は、実施例１５と同様の操作を行うことによりフレキシブル基板２を得た。このフレキシブル基板２について、実施例８と同様の評価を行い、その結果を表５に示した。さらに、フレキシブル基板１を、ＳｉＯ２膜側が内側になるように、約３０度湾曲させたところ、ＳｉＯ２膜の剥離やクラックは生じなかった。【００７２】
（比較例１５）フレキシブル基板３の製造
多層フィルム１の代わりに比較例１で得られた多層フィルム７を用いた他は、実施例１５と同様の操作を行うことによりフレキシブル基板３を得た。このフレキシブル基板３について、実施例８と同様の評価を行った。その結果を表５に記載する。さらに、フレキシブル基板１を、ＳｉＯ２膜側が内側になるように、約３０度湾曲させたところ、ＳｉＯ２膜の剥離やクラックは生じなかった。【００７３】
（比較例１６）フレキシブル基板４の製造
実施例１５で得られた転写用超薄膜ガラス板のＳｉＯ２膜の上に紫外線硬化型接着剤（ＵＶＺ−１０８Ｅ：ノガワケミカル）を厚さが３０μｍとなるように塗布した。そして、この接着剤を介してフィルム基材１を接着させ、フィルム基材面から紫外線照射（６０００ｍｊ／ｍ２）を行った。転写用超薄膜ガラス板の石英基板側からＸｅ−Ｃｌエキシマレーザー（波長３０８ｎｍ）を照射し、ＳｉＯ２膜が接着されたフィルム基材１と、分離層および石英基板との剥離を起こさせた。剥離の際、接着剤の硬化収縮応力がかかり、超薄膜ガラスに大きなクラックが入っていた。また、転写用超薄膜ガラス板を加熱した際、６０℃を超えたあたりで超薄膜ガラス板の硬化収縮がさらに進み（約４％体積収縮）、超薄膜ガラス板全体にくもの巣状の細かいクラックが入っていた。【００７４】
【表５】
2006082887.tif 000006
【００７５】
上記の結果から、以下のことがわかる。３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率が、前記１３０℃まで加熱した多層フィルムを３０℃以下に冷却した後に再度３０℃から１３０℃まで加熱しながら測定した６０〜８０℃における平均熱膨張率より３０〜４００ｐｐｍ／℃大きい特性を有する、実施例の積層フィルムは、無機材料製板と接着して積層体したときに、層間剥離、発泡、亀裂、変形などの問題が生じることがなく、且つ、無機材料製板との密着強度が高い。一方、比較例の積層フィルムは、無機材料製板と接着して積層体したときに、層間剥離、発泡、亀裂、変形などの問題が生じたり、無機材料製板との密着強度が低かったりすることがある。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明の多層フィルムおよび積層体は液晶や有機ＥＬ素子の製造に有用である。特に、本発明の多層フィルムおよび積層体はフレキシブルな薄膜トランジスタ基板の好適な素材を提供できる。