(57)【要約】 大きさの異なるウエハキャリアを載置台に選択的に載置できると共に、載置台に載置されたウエハキャリアに収容された大きさの異なるウエハをマッピングすることができるロードポート及びウエハキャリアを載置台に間接的に取付けることができるアダプタを提供する。 ロードポート１００は、テーブル１０１に移動可能に設けられ、ウエハ２００Ａを収納するウエハキャリア２００をアダプタ１０を介して間接的に載置し、又は、ウエハ３００Ａを収納するウエハキャリア３００を直接載置する載置台１１０と、ウエハキャリア２００，３００のどちらが載置台１１０に載置されたかを検出し、載置されたウエハキャリア２００，３００に応じた検出信号を出力するキャリア判定部１６１と、キャリア判定部１６１からの検出信号に基づいて、ウエハ２００Ａ，３００Ａをマッピングするマッピング判定部１６２とを備えている。【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が搬送される基板処理装置のドア開口部の前面に設けられ、その内部に所定間隔で前記基板を収納するキャリアを載置し、前記ドア開口部のロードポートドアを開閉するロードポートであって、
載置台と、
前記載置台に直接載置され第１基板を収納する第１キャリアと、前記第１キャリアと大きさが異なり、前記載置台にアダプタを介して載置され前記第１基板と大きさが異なる第２基板を収納する第２キャリアと、のどちらが前記載置台に載置されたかを検出する検出部と、
を含むロードポート。
【請求項２】
請求項１に記載のロードポートにおいて、
前記検出部は、前記載置台に載置された前記第１キャリア又は前記第２キャリアに応じた検出信号を出力し、
前記検出信号に基づいて、前記第１基板又は前記第２基板をマッピングするマッピング部をさらに含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項３】
請求項２に記載のロードポートにおいて、
前記マッピング部は、前記検出信号に基づいて、前記マッピングを行うときの初期設定値を変更すること、
を特徴とするロードポート。
【請求項４】
請求項３に記載のロードポートにおいて、
前記初期設定値は、前記第１基板間又は前記第２基板間の距離、及び、前記第１キャリア又は前記第２キャリアに設けられ、前記第１基板又は前記第２基板を保持する最下段又は最上段の保持部と前記載置台との距離であること、
を特徴とするロードポート。
【請求項５】
請求項４に記載のロードポートにおいて、
前記マッピング部は、前記保持部の最下段から最上段、又は、最上段から最下段に移動しながら、前記第１基板又は前記第２基板の検出を行うマッピングセンサを含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項６】
請求項５に記載のロードポートにおいて、
前記載置台は、前記載置台に載置された前記第１キャリアに収容された前記第１基板の前記ロードポートドア側の先端部と、前記載置台に載置された前記第２キャリアに収容された前記第２基板の前記ロードポートドア側の先端部と、が略同位置にあるように、前記ロードポートドア側に移動可能であり、
前記マッピング部は、前記ロードポートドアに設けられ、前記第１基板又は前記第２基板が前記保持部から前記ロードポートドア側に飛び出したことを検出する飛び出しセンサを含み、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域内に位置しているときに、前記マッピングを中止すること、
を特徴とするロードポート。
【請求項７】
請求項６に記載のロードポートにおいて、
前記マッピング部は、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域外に位置しているときに、前記マッピングを開始すること、
を特徴とするロードポート。
【請求項８】
請求項１に記載のロードポートにおいて、
前記検出部は、
前記第１キャリアが前記載置台に載置されたときに、前記第１キャリアの下面との変位量を検出すると共に、前記アダプタが前記載置台に載置されたときに、前記アダプタの下面との変位量を検出する第１センサと、
前記アダプタの下面に設けられ、前記第２キャリアが前記アダプタを介して前記載置台に載置されたときに、前記載置台側に移動する移動部との変位量を検出する第２センサと、
を含むことを特徴とするロードポート。
【請求項９】
請求項８に記載のロードポートにおいて、
前記アダプタは、その上面に設けられ、前記第２キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部を含み、
前記移動部は、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動すること、
を特徴とするロードポート。
【請求項１０】
載置台に直接載置され第１基板を収納する第１キャリアと、前記第１キャリアと大きさが異なり、前記載置台に間接的に載置され前記第１基板と大きさが異なる第２基板を収納する第２キャリアと、が選択的に前記載置台に載置可能であり、前記載置台に前記第２キャリアが載置されたことを示す検出信号を出力する検出部を備えたロードポートシステムに用いられ、前記第２キャリアと前記載置台との間に配置されるアダプタであって、
その上面に設けられ、前記第２キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部と、
その下面に設けられ、前記第２キャリアが前記載置台に間接的に載置されたときに、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動し、前記検出部に前記検出信号を出力させる移動部と、
を含むアダプタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエハ等の各種基板（以下、ウエハという）が搬送される基板処理装置に設けられ、ウエハを所定間隔で収納する基板収納容器（以下、ウエハキャリアという）を載置するロードポート及びウエハキャリアに取付けられるアダプタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のロードポートは、通常、ウエハ上に回路のパターンを焼き付ける等の処理を行う、いわゆる前工程で用いられる。
特許文献１は、内部が高クリーン度に保たれたウエハキャリアの開口部のキャリアドアを、高クリーン度に保たれた基板処理装置の開口部のロードポートドアに係合させて、この両開口部の周辺部を密着させて高クリーン度を保ったまま、キャリアドアを着脱するものであって、キャリアドアの位置決めをする位置決めピンの位置を微調整する微調整機構と、位置決めピンによって係合したキャリアドアの位置を保持する位置保持機構とを備えたロードポートを開示している。【０００３】
特許文献１のロードポートは、高クリーン度を要求される前工程で用いることを前提にしており、前工程を経たウエハをチップ化し、ボンディングし、樹脂成形等のモールディングを行う、いわゆる後工程で用いることを主な目的としていない。【０００４】
後工程を行う工場等では、前工程を行う工場等に比べて高クリーン度を要求されないので、キャリアドアが予め取り外されたＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｏｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ）と、キャリアドアがないオープンカセットとを使用している場合がある。このため、後工程で用いられるロードポートには、特許文献１に開示されたロードポートドアとキャリアドアとを係合して、キャリアドアを着脱する機構が不要となる。【０００５】
ところで、ロードポートは、ＦＯＳＢとオープンカセットとの両方に使用できないので、ＦＯＳＢとオープンカセットとの両方に対応する基板処理装置は、その前面に、ＦＯＳＢ用のロードポートと、オープンカセット用のロードポートとを取付けなければならず、コストが高くなること、作業スペースが小さくなってしまうこと等の問題があった。【０００６】
また、２００ｍｍ用のオープンカセットは、将来的には３００ｍｍ用に仕様変更されることも考えられ、その場合には、たとえ、基板処理装置に、２００ｍｍ用のオープンカセットに使用できるＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）が取付けられていても、顧客の要望に応じて、３００ｍｍ用のオープンカセットに使用できるロードポートに取り替えなければならない。【０００７】
さらに、ＦＯＳＢに収容された３００ｍｍのウエハやオープンカセットに収容された２００ｍｍのウエハを、同一機構を用いて検出して、マッピングすることは、非常に困難であった。この理由としては、ウエハの大きさや厚さが異なるだけでなく、いわゆるＳＥＭＩ規格に準拠したＦＯＳＢやオープンカセットでは、ウエハを保持するスロットのピッチが異なる点が挙げられる（例えば、ＦＯＳＢでは１０ｍｍ、オープンカセットでは６．３５ｍｍである）。【０００８】
また、ウエハ上に形成された膜種が、ＮｉｔｒｉｄｅやＯｘｉｄｅ系の膜である場合には、反射型センサではウエハを検出し難いことが知られている。
そのため、３００ｍｍのウエハをマッピングするときには、透過型センサが主に用いられている。しかし、透過型センサは、ウエハの先端部を検出する必要があり、大きさの異なるウエハを同一機構で検出することは困難であった。【０００９】
【特許文献１】特開２００２−６８３６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、大きさの異なるウエハキャリアを載置台に選択的に載置できると共に、載置台に載置されたウエハキャリアに収容された大きさの異なるウエハをマッピングすることができるロードポート及びウエハキャリアを載置台に間接的に取付けることができるアダプタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。
請求項１の発明は、基板が搬送される基板処理装置のドア開口部の前面に設けられ、その内部に所定間隔で前記基板を収納するキャリアを載置し、前記ドア開口部のロードポートドアを開閉するロードポートであって、載置台と、前記載置台に直接載置され第１基板を収納する第１キャリアと、前記第１キャリアと大きさが異なり、前記載置台にアダプタを介して載置され前記第１基板と大きさが異なる第２基板を収納する第２キャリアと、のどちらが前記載置台に載置されたかを検出する検出部と、を含むロードポートである。【００１２】
請求項２の発明は、請求項１に記載のロードポートにおいて、前記検出部は、前記載置台に載置された前記第１キャリア又は前記第２キャリアに応じた検出信号を出力し、前記検出信号に基づいて、前記第１基板又は前記第２基板をマッピングするマッピング部をさらに含むこと、を特徴とするロードポートである。【００１３】
請求項３の発明は、請求項２に記載のロードポートにおいて、前記マッピング部は、前記検出信号に基づいて、前記マッピングを行うときの初期設定値を変更すること、を特徴とするロードポートである。【００１４】
請求項４の発明は、請求項３に記載のロードポートにおいて、前記初期設定値は、前記第１基板間又は前記第２基板間の距離、及び、前記第１キャリア又は前記第２キャリアに設けられ、前記第１基板又は前記第２基板を保持する最下段又は最上段の保持部と前記載置台との距離であること、を特徴とするロードポートである。【００１５】
請求項５の発明は、請求項４に記載のロードポートにおいて、前記マッピング部は、前記保持部の最下段から最上段、又は、最上段から最下段に移動しながら、前記第１基板又は前記第２基板の検出を行うマッピングセンサを含むこと、を特徴とするロードポートである。【００１６】
請求項６の発明は、請求項５に記載のロードポートにおいて、前記載置台は、前記載置台に載置された前記第１キャリアに収容された前記第１基板の前記ロードポートドア側の先端部と、前記載置台に載置された前記第２キャリアに収容された前記第２基板の前記ロードポートドア側の先端部と、が略同位置にあるように、前記ロードポートドア側に移動可能であり、前記マッピング部は、前記ロードポートドアに設けられ、前記第１基板又は前記第２基板が前記保持部から前記ロードポートドア側に飛び出したことを検出する飛び出しセンサを含み、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域内に位置しているときに、前記マッピングを中止すること、を特徴とするロードポートである。【００１７】
請求項７の発明は、請求項６に記載のロードポートにおいて、前記マッピング部は、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域外に位置しているときに、前記マッピングを開始すること、を特徴とするロードポートである。【００１８】
請求項８の発明は、請求項１に記載のロードポートにおいて、前記検出部は、前記第１キャリアが前記載置台に載置されたときに、前記第１キャリアの下面との変位量を検出すると共に、前記アダプタが前記載置台に載置されたときに、前記アダプタの下面との変位量を検出する第１センサと、前記アダプタの下面に設けられ、前記第２キャリアが前記アダプタを介して前記載置台に載置されたときに、前記載置台側に移動する移動部との変位量を検出する第２センサと、を含むことを特徴とするロードポートである。【００１９】
請求項９の発明は、請求項８に記載のロードポートにおいて、前記アダプタは、その上面に設けられ、前記第２キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部を含み、前記移動部は、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動すること、を特徴とするロードポートである。【００２０】
請求項１０の発明は、載置台に直接載置され第１基板を収納する第１キャリアと、前記第１キャリアと大きさが異なり、前記載置台に間接的に載置され前記第１基板と大きさが異なる第２基板を収納する第２キャリアと、が選択的に前記載置台に載置可能であり、前記載置台に前記第２キャリアが載置されたことを示す検出信号を出力する検出部を備えたロードポートシステムに用いられ、前記第２キャリアと前記載置台との間に配置されるアダプタであって、その上面に設けられ、前記第２キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部と、その下面に設けられ、前記第２キャリアが前記載置台に間接的に載置されたときに、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動し、前記検出部に前記検出信号を出力させる移動部と、を含むアダプタである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、載置台に直接載置され第１基板を収納する第１キャリアと、載置台に間接的に載置され第２基板を収納する第２キャリアと、を選択的に載置台に載置可能であるので、低コスト化、省スペース化を図ることができる。
また、第１キャリアと第２キャリアのどちらが載置台に載置されたかを検出し、第１キャリア又は第２キャリアに応じた検出信号に基づいて、第１基板又は第２基板をマッピングするので、大きさの異なる基板を同一機構でマッピングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施例によるロードポート及びアダプタを示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例によるロードポートと、載置台にアダプタを介して載置されるウエハキャリアと、載置台に直接載置されるウエハキャリアとを示す斜視図である。
【図３】図１に示すロードポートの載置台の内部及びアダプタを示す拡大図である。
【図４】本発明の実施例によるアダプタを示すＡ−Ａ断面図である。
【図５】本発明の実施例によるアダプタを示す上面図及び側面図である。
【図６】本発明の実施例によるアダプタを示す下面図である。
【図７】本発明の実施例によるロードポートに載置される大きさの異なるウエハキャリアと、ロードポートに設けられた透過型センサ及びマッピングセンサとの配置関係を示す上面図及び側面図である。
【図８】本発明の実施例によるロードポートを示すブロック図である。
【図９】本発明の実施例によるロードポートの動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００２３】
１０    アダプタ
１１    ベース板
２２−１，２２−２    移動体
２４−１，２４−２    押下部
１００    ロードポート
１１０    載置台
１２１ａ〜１２１ｄ    第１センサ
１２２ａ，１２２ｂ    第２センサ
１４１ａ，１４１ｂ    透過型センサ
１５０    ロードポートドア開閉機構
１５２ａ，１５２ｂ    マッピングセンサ
１６１    キャリア判定部
１６２    マッピング判定部
１６３    初期値設定部
２００，３００    ウエハキャリア
２００Ａ，３００Ａ    ウエハ
２００Ｂ，３００Ｂ    スロット
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明は、大きさの異なるウエハキャリアを載置台に選択的に載置できると共に、載置台に載置されたウエハキャリアに収容された大きさの異なるウエハをマッピングするという目的を、第１基板を収納する第１キャリアを直接載置し、又は、第２基板を収納する第２キャリアを間接的に載置する載置台と、第１キャリア又は第２キャリアに応じた検出信号に基づいて、第１基板又は第２基板をマッピングするマッピング部とを含むことによって実現する。
【実施例】
【００２５】
以下、図面等を参照して、本発明の実施例をあげて、さらに詳しく説明する。
図１は、本発明の実施例によるロードポート及びアダプタを示す斜視図である。
図２は、本発明の実施例によるロードポートと、載置台にアダプタを介して載置されるウエハキャリアと、載置台に直接載置されるウエハキャリアとを示す斜視図である。
ロードポート１００は、図１、図２に示すように、ロードポートドア１４０が開閉されるドア開口部１３１が形成された壁面１３０等を備え、ウエハに後工程の処理（前工程を経たウエハをチップ化し、ボンディングし、樹脂成形等のモールディングを行う処理等）を行う不図示の基板処理装置の壁面に据え付けられている。
ロードポート１００は、キャリア開口部２０２，３０２により一面が開放された状態のウエハキャリア２００，３００を載置し、ドア開口部１３１のロードポートドア１４０を開閉する装置であって、テーブル１０１と、ロードポート１００を支持する支持台１０２と、テーブル１０１に移動可能に設けられた載置台１１０と、テーブル１０１の内部に設けられ、載置台１１０を駆動する駆動部１２０（図３参照）と、ロードポートドア１４０を開閉するためのロードポートドア開閉機構１５０等を備えている。【００２６】
載置台１１０は、不図示の自動搬送装置により搬送されてきたウエハキャリア２００，３００を選択的に載置する台であって、ウエハキャリア２００はアダプタ１０を介して間接的に載置され、ウエハキャリア３００は直接載置される。
ロードポートドア１４０は、上端部付近又は下端部付近に、後述するマッピングを行うときに用いられ、いずれか一方が発光側であり、他方が受光側となる透過型センサ１４１ａ，１４１ｂが設けられている。
載置台１１０は、その上部に、アダプタ１０又はウエハキャリア３００の位置決めを行うキネマティックピン１１１ａ〜１１１ｃ等を備えている。【００２７】
ウエハキャリア２００は、図２、図７に示すように、その内部に所定間隔（６．３５ｍｍ程度）で２００ｍｍのウエハ２００Ａを収納する、いわゆるオープンカセットであって、キャリアシェル２０１と、ウエハ２００Ａを保持するスロット２００Ｂ等とを備えている。
キャリアシェル２０１は、その上部に、自動搬送装置により把持されるためのロボットフランジ２０３が設けられ、その下面２１０に、アダプタ１０の上面に設けられた押下部２４−１，２４−２を押下げる押下凸部（不図示）が設けられている。【００２８】
ウエハキャリア３００は、図２、図７に示すように、その内部に所定間隔（１０ｍｍ程度）で３００ｍｍのウエハ３００Ａを収納する、いわゆるＦＯＳＢであって、キャリアシェル３０１と、ウエハ３００Ａを保持するスロット３００Ｂ等とを備えている。
キャリアシェル３０１は、その上部に、ロボットフランジ３０３が設けられ、その下面３１０に、キネマティックピン１１１ａ〜１１１ｃと係合するＶ字溝部（不図示）が形成されている。【００２９】
図３は、図１に示すロードポートの載置台の内部及びアダプタを示す拡大図である。
駆動部１２０は、図３に示すように、テーブル１０１の内部に設けられ、載置台１１０をロードポートドア１４０側に移動可能とするスライド部１２３と、スライド部１２３の周辺に設けられ、スライド部１２３と共に移動する第１センサ１２１ａ〜１２１ｄ、第２センサ１２２ａ，１２２ｂ等とを備えている。【００３０】
スライド部１２３は、載置台１１０に形成された孔を貫通する突起部を有している。この突起部は、水平移動しながら降下可能であって、図１、図２に示すように、載置台１１０が駆動部１２０の上部に配置されたときに、載置台１１０を駆動部１２０に保持するように載置台１１０の上面に当接する。【００３１】
第１センサ１２１ａ〜１２１ｄは、接触型センサであって、載置台１１０に形成された孔を貫通する第１突出部を有しており、ウエハキャリア３００が載置台１１０に直接載置されたときに、ウエハキャリア３００の下面３１０との変位量を検出すると共に、アダプタ１０が載置台１１０に載置されたときに、アダプタ１０の下面との変位量を検出する。【００３２】
第２センサ１２２ａ，１２２ｂは、接触型センサであって、載置台１１０に形成された孔を貫通する第２突出部を有しており、アダプタ１０の下面に設けられ、ウエハキャリア２００がアダプタ１０を介して載置台１１０に載置されたときに、載置台１１０側に移動する移動体２２−１，２２−２（図４参照）との変位量を検出する。【００３３】
図４は、本発明の実施例によるアダプタを示すＡ−Ａ断面図である。
図５は、本発明の実施例によるアダプタを示す上面図及び側面図である。
図６は、本発明の実施例によるアダプタを示す下面図である。
アダプタ１０は、図２に示すように、ウエハキャリア２００と載置台１１０との間に配置され、ウエハキャリア２００を載置台１１０に間接的に載置させるためのものであって、図４〜６に示すように、ベース板１１と、ベース板１１の側面に取付けられた把持部１２ａ，１２ｂ等とを備えている。
ベース板１１は、載置台１１０に載置されたときにロードポートドア１４０側となる側面に、切込部１６が形成され、切込部１６の略中央には溝部１５が形成されている。ベース板１１は、その上面に、溝部１５に渡され、その両端部に爪部１４ａ，１４ｂを有する複数の渡し板１４と、この渡し板１４と略平行に配置され、ウエハキャリア２００の下面２１０に設けられた凸部（不図示）と係合する係合孔１３ａ，１３ｂが形成された係合板１３と、渡し板１４の長手方向に沿って形成され、保持ねじ部２１−１，２１−２及び押下部２４−１，２４−２がそれぞれ挿入される挿入孔１１ｃ，１１ｄ等とを備えている。【００３４】
ベース板１１は、その下面に、キネマティックピン１１１ａ〜１１１ｃに係合するＶ字溝部１７ａ〜１７ｃと、移動体２２−１，２２−２を収納し、保持ねじ部２１−１，２１−２及び押下部２４−１，２４−２の位置にそれぞれ対応する溝１１ａ及び円形溝１１ｂ等とを備えている。【００３５】
ここで、押下部２４−１と移動体２２−１との配置関係について説明する。なお、押下部２４−１，２４−２は、略同一の構造を有しているので、押下部２４−２と移動体２２−２との配置関係については省略する。
ベース板１１に形成された挿入孔１１ｄには、フランジ部を有する保持台２３が取付けられている。保持台２３の上面側は筒状になっており、その内部２３ａに押下部２４−１が挿入されている。
押下部２４−１は、その上端がベース板１１の上面から突出するように、スプリング２５によって、この上面側に付勢されている。押下部２４−１の下端は、保持台２３を貫通し、移動体２２−１に形成された係合孔２２ａに固定されている。【００３６】
ベース板１１に形成された挿入孔１１ｃには、保持ねじ部２１−１がねじ止めされており、その下端には、支柱２６が取付けられている。支柱２６は、移動体２２−１に形成された係合孔２２ｂを貫通し、移動体２２−１がベース板１１の上下方向に移動可能なように、隙間を隔てて移動体２２−１を保持している。【００３７】
したがって、アダプタ１０は、その上面に、ウエハキャリア２００が取付けられると、ウエハキャリア２００の下面２１０に設けられた押下凸部が、スプリング２５に抗して押下部２４−１をベース板１１の下面側に押下げる。押下部２４−１が押下げられることにより、移動体２２−１は、支柱２６に保持された状態で、ベース板１１の下面側に移動する。【００３８】
また、ウエハキャリア２００の下面２１０は、渡し板１４の爪部１４ａ，１４ｂと、係合板１３の係合孔１３ａ，１３ｂとに係合することにより、アダプタ１０の上面に安定した状態で取付けられる。
さらに、アダプタ１０は、その上面にウエハキャリア２００が取付けられた状態で、載置台１１０に載置されると、Ｖ字溝部１７ａ〜１７ｃがキネマティックピン１１１ａ〜１１１ｃに係合すると共に、切込部１６の溝部１５がスライド部１２３の凹凸部に係合する。これにより、ウエハキャリア２００は、アダプタ１０を介して間接的に載置台１１０に安定した状態で載置される。【００３９】
移動体２２−１は、ウエハキャリア２００がアダプタ１０を介して載置台１１０に載置されたときに、載置台１１０側に移動しているので、第２センサ１２２ａ，１２２ｂの第２突出部の上端と、接触箇所２２Ａにおいて接触する。【００４０】
アダプタ１０は、第２センサ１２２ａ，１２２ｂに移動体２２−１を接触させることにより、ウエハキャリア２００が間接的に載置台１１０に載置されたことを、キャリア判定部１６１（図８参照）に検出させることができる（詳細は、後述）。【００４１】
つぎに、ロードポート１００の載置台１１０に、ウエアキャリア２００又はウエハキャリア３００が載置された状態について、図７、図８を用いて説明する。
図７は、本発明の実施例によるロードポートに載置される大きさの異なるウエハキャリアと、ロードポートに設けられた透過型センサ及びマッピングセンサとの配置関係を示す上面図及び側面図である。なお、図７は、ウエハ２００Ａ，３００Ａと透過型センサ１４１ａ，１４１ｂとマッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂとの配置関係を示すために、ウエハ２００Ａ，３００Ａのロードポートドア１４０側の先端部が一致するように、ウエハキャリア２００とウエハキャリア３００とを重ねて示す図である。
図８は、本発明の実施例によるロードポートを示すブロック図である。
ロードポート１００は、図８に示すように、制御部１６０と、キャリア判定部１６１と、マッピング判定部１６２と、第１センサ１２１ａ〜１２１ｄと、第２センサ１２２ａ，１２２ｂと、透過型センサ１４１ａ，１４１ｂと、初期値設定部１６３と、マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂと、ロードポートドア開閉機構１５０等とを備えており、これら各部材は、制御部１６０を介して電気的に接続されている。【００４２】
キャリア判定部１６１は、ウエハキャリア２００，３００のどちらが載置台１１０に載置されたかを検出し、載置台１１０に載置されたウエハキャリア２００，３００に応じた検出信号を、マッピング判定部１６２に出力する装置である。【００４３】
マッピング判定部１６２は、キャリア判定部１６１から出力された検出信号に基づいて、ウエハ２００Ａ，３００Ａをマッピングする装置である。ここで、マッピングとは、特定のスロット２００Ｂ，３００Ｂにおけるウエハ２００Ａ，３００Ａの有無を判定し、ウエハキャリア２００，３００でのウエハ２００Ａ，３００Ａの有無及び位置を示す情報を生成することをいい、基板処理装置のウエハ搬送ロボットは、このマッピングの判定結果に基づいて、その動きを変化させる。【００４４】
初期値設定部１６３は、検出信号に基づいて、マッピングを行うときの初期設定値を変更する装置である。なお、初期設定値は、ウエハ２００Ａ間又はウエハ３００Ａ間の距離、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａを保持する最上段又は最下段のスロット２００Ｂ，３００Ｂ（図７（ｂ）参照）と載置台１１０との距離である。【００４５】
マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂは、図７（ｂ）に示すように、ロードポートドア開閉機構１５０の上端部付近に沿って配置された支持軸１５１に回転可能に設けられている。マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂは、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの検出を開始するときに、図７（ｂ）中、反時計方向に回転すると共に、支持軸１５１の上下方向の移動に伴って、スロット２００Ｂ，３００Ｂの最上段から最下段に移動しながら、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの検出を行う装置である。【００４６】
また、マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂは、載置台１１０にウエハキャリア２００又はウエハキャリア３００が載置されたときに、他の部材と干渉することなく、ウエハ２００Ａ，３００Ａを検出可能な位置、すなわち、図７（ａ）に示すように、キャリア開口部２０２の内壁と透過型センサ１４１ａ，１４１ｂとの間に配置されており、さらに、その端部は、ウエハ２００Ａ，３００Ａの先端部よりも内側に挿入される。【００４７】
載置台１１０は、図７に示すように、ロードポートドア１４０側に移動可能であって、ウエハキャリア２００又はウエハキャリア３００が載置台１１０に載置されたときに、ウエハ２００Ａのロードポートドア１４０側の先端部と、ウエハ３００Ｂのロードポートドア１４０側の先端部とを略同位置とすることができる。【００４８】
マッピング判定部１６２は、載置台１１０がロードポートドア１４０側に移動した後であって、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの先端部が透過型センサ１４１ａ，ｂのセンサ領域の領域外に位置しているときに、マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂにウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの検出を開始させる装置である。【００４９】
以下、ロードポート１００がウエハキャリア２００又はウエハキャリア３００のどちらが載置台１１０に載置されたかを検出し、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａをマッピングするときの動作を、図８、図９を用いて、キャリア判定部１６１とマッピング判定部１６２を中心にして説明する。
図９は、本発明の実施例によるロードポートの動作を示すフローチャートである。
まず、キャリア判定部１６１は、ウエハキャリア３００又はアダプタ１０が載置台１１０に載置されたときに、第１センサ１２１ａ〜１２１ｄから出力される検出信号Ａ１を検出する（Ｓ１０１）。この検出信号Ａ１は、第１センサ１２１ａ〜１２１ｄの第１突出部がウエハキャリア３００の下面３１０、又は、アダプタ１０の下面に接触したときに生成される。【００５０】
つぎに、キャリア判定部１６１は、第２センサ１２２ａ，１２２ｂから検出信号Ａ２が出力されたか否か検出する（Ｓ１０２）。第２センサ１２２ａ，１２２ｂは、ウエハキャリア２００がアダプタ１０を介して載置台１１０に載置されたときに、キャリア判定部１６１に検出信号Ａ２を出力する。この検出信号Ａ２は、第２センサ１２２ａ，１２２ｂの第２突出部がアダプタ１０の移動体２２−１，２２−２の接触箇所２２Ａ，２２Ｂに接触したときに生成される。【００５１】
キャリア判定部１６１は、第２センサ１２２ａ，１２２ｂから検出信号Ａ２が出力された場合には（Ｓ１０２，ＹＥＳ）、ウエハキャリア２００がアダプタ１０を介して載置台１１０に載置されたことを検出すると共に、この検出結果を、マッピング判定部１６２に出力する。【００５２】
マッピング判定部１６２は、ウエハキャリア２００の各スロット２００Ｂに保持されたウエハ２００Ａをマッピングするために、初期値設定部１６３から信号Ｂ１を読込む（Ｓ１０３）。信号Ｂ１は、ウエハ２００Ａ間のピッチ（例えば、６．３５ｍｍ）と、マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂがウエハ２００Ａの検出を開始する位置を示す最上段のスロット２００Ｂと載置台１１０との距離とを示す情報を有する。なお、信号Ｂ１は、スロット２００Ｂの数を情報として有してもよく、これにより、マッピング判定部１６２は、ウエハ２００Ａの検出を終了する位置を算出することができる。【００５３】
一方、キャリア判定部１６１は、第２センサ１２２ａ，１２２ｂから検出信号Ａ２が出力されなかった場合には（Ｓ１０２，ＮＯ）、ウエハキャリア３００が載置台１１０に載置されたことを検出すると共に、この検出結果を、マッピング判定部１６２に出力する。なお、載置台１１０にアダプタ１０のみが載置されたときにも、キャリア判定部１６１には検出信号Ａ１だけが出力されるが、後工程の処理を行う製造ラインでは、アダプタ１０の上面には必ずウエハキャリア２００が取付けられており、そのため、キャリア判定部１６１は、上述のように、ウエハキャリア３００が載置台１１０に載置されたことを検出する。【００５４】
つぎに、マッピング判定部１６２は、ウエハキャリア３００の各スロット３００Ｂに保持されたウエハ３００Ａをマッピングするために、初期値設定部１６３から信号Ｂ２を読込む（Ｓ１０４）。信号Ｂ２は、ウエハ３００Ａ間のピッチ（例えば、１０ｍｍ）と、マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂがウエハ３００Ａの検出を開始する位置を示す最上段のスロット３００Ｂと載置台１１０との距離とを示す情報を有する。なお、信号Ｂ２は、スロット３００Ｂの数を情報として有してもよく、これにより、マッピング判定部１６２は、ウエハ３００Ａの検出を終了する位置を算出することができる。【００５５】
マッピング判定部１６２は、透過型センサ１４１ａ，１４１ｂから出力された信号Ｃ１を読込んだ後に（Ｓ１０５）、マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂに信号Ｄ１を出力し、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの検出を開始させる（Ｓ１０６）。【００５６】
信号Ｃ１は、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａがマッピングされる好適な位置、すなわち、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａのロードポートドア１４０側の全ての先端部が、載置台１１０がロードポートドア１４０側に移動した後に、透過型センサ１４１ａ，１４１ｂのセンサ領域の領域外に位置していることを示す情報を有する。【００５７】
ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの先端部は、例えば、載置台１１０の移動に伴う振動等により、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａが各スロット２００Ｂ，３００Ｂからずれてしまい、ロードポートドア１４０側に飛び出す等の不具合が生じた場合には、透過型センサ１４１ａ，ｂのセンサ領域に位置することになる。
このとき、透過型センサ１４１ａ，１４１ｂは、マッピング判定部１６２にウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの位置がずれていることを示す信号を出力し、マッピング判定部１６２は、マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂにウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの検出を開始させず、マッピングを中止する。
この場合には、載置台１１０は、ロードポートドア１４０側から離れるように移動して、再び元の位置に戻る。このとき、マッピング判定部１６２は、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの位置がずれていることを作業者等に警告するために、不図示の音声出力部に警告音を発生させる信号を出力したり、また、適宜の表示部に警告表示を表示させる信号を出力するようにしてもよい。さらに、マッピング判定部１６２は、これらの信号を基板処理装置等に出力することもできる。【００５８】
そして、マッピング判定部１６２は、作業者等により、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａが各スロット２００Ｂ，３００Ｂに適切に保持された後に、再び、信号Ｃ１を読込み、信号Ｄ１を出力して、マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂにウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの検出を開始させる。【００５９】
つぎに、制御部１６０は、ロードポートドア開閉機構１５０に信号Ｅ１を出力する（Ｓ１０７）。ロードポートドア開閉機構１５０は、制御部１６０から信号Ｅ１が出力されると、ドア開口部１３１のロードポートドア１４０を開く。これにより、ウエハキャリア２００，３００のキャリア開口部２０２，３０２と、基板処理装置内の処理空間とが連続した状態になる。
その後、ウエハ２００Ａ，３００Ａは、基板処理装置のウエハ搬送ロボットにより、その処理空間に搬送され、後工程の処理が行われる。【００６０】
ロードポート１００によれば、ウエハキャリア３００を直接載置台１１０に載置し、ウエハキャリア２００をアダプタ１０を介して間接的に載置台１１０に載置することができるので、大きさの異なるウエハキャリア２００，３００を載置台１１０に選択的に載置することができる。
このため、基板処理装置は、その前面に、ロードポート１００を据え付けるだけで、大きさの異なるウエハキャリアに対応することができ、低コスト化、省スペース化を図ることができる。【００６１】
また、ロードポート１００は、ウエハキャリア２００，３００のどちらが載置台１１０に載置されたかを検出すると共に、大きさの異なるウエハキャリア２００，３００が載置台１１０に載置された場合にも、初期値設定部１６３で初期値を変更するだけで、大きさの異なるウエハ２００Ａ，３００Ａを同一機構でマッピングすることができる。【００６２】
アダプタ１０は、ウエハキャリア２００と載置台１１０との間に配置されることにより、移動体２２−１，２２−２が載置台１１０側に移動して、第２センサ１２２ａ，１２２ｂに検出信号Ａ２を出力させるので、ウエハキャリア２００が載置台１１０に間接的に載置されたことを、ロードポート１００に検出させることができる。【００６３】
（変形例）
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
（１）ロードポート１００では、ウエハキャリア２００，３００を選択的に載置台１１０に載置可能としたが、これに限られず、ＳＥＭＩ規格を準拠した適宜のキャリアを載置するために、第１センサ１２１ａ〜１２１ｄ、第２センサ１２２ａ，１２２ｂ、押下部２４−１，２４−２の位置を変更してもよい。
（２）キャリア判定部１６１は、第１センサ１２１ａ〜１２１ｄから検出信号Ａ１が出力され、第２センサ１２２ａ，１２２ｂから検出信号Ａ２が出力されなかった場合に、ウエハキャリア３００が載置台１１０に載置されたことを検出していたが（Ｓ１０１、Ｓ１０２）、例えば、検出信号Ａ１が出力されたときにタイマー等を作動させ、所定時間が経過しても検出信号Ａ２が出力されなかった場合には、ウエハキャリア３００が載置台１１０に載置されたと検出してもよい。
（３）第１センサ１２１ａ〜１２１ｄ、第２センサ１２２ａ，１２２ｂは、接触型センサとしたが、これに限られず、ウエハキャリア３００の下面３１０又はアダプタ１０の下面、移動体２４−１，２４−２の変位量を検出できるのであれば、非接触型のセンサであってもよい。
（４）マッピングセンサ１５２ａ，１５２ｂは、ウエハ２００Ａ又はウエハ３００Ａの検出を最上段のスロット２００Ｂ，３００Ｂから開始するようにしたが、これに限られず、支持軸１５１を予め降下させ、さらに、最下段のスロット２００Ｂ，３００Ｂと載置台１１０との距離、スロット２００Ｂ，３００Ｂの数を示す情報を信号Ｂ１，Ｂ２に組み込むことにより、最下段のスロット２００Ｂ，３００Ｂから開始するようにしてもよい。
（５）ロードポート１００は、後工程で用いることを前提としたが、その内部が高クリーン度に保たれたクリーンルームで使用されるのであれば、これに限られず、前工程で用いてもよい。以下、具体的に説明する。
一般的なロードポートは、３００ｍｍのウエハを主に処理する３００ｍｍ工場で使用することを前提としている。なお、３００ｍｍ工場は、クリーンルーム内部のクリーン度を下げて、局所で高クリーン度を保っている。
３００ｍｍ工場のうち、高クリーン度が要求される前工程を行う３００ｍｍ前工程工場では、キャリアドアを有するウエハキャリアが使用され、３００ｍｍのウエハが処理される。これに対して、３００ｍｍ工場のうち、前工程に比べて高クリーン度が要求されない後工程を行う３００ｍｍ後工程工場では、一面が開放されたウエハキャリア２００，３００が使用され、３００ｍｍのウエハだけでなく２００ｍｍのウエハも処理される場合がある。
したがって、ロードポート１００は、３００ｍｍ後工程工場において、好適に使用することができる。
一方、２００ｍｍのウエハを処理する２００ｍｍ工場は、クリーンルーム内部が高クリーン度に保たれているので、２００ｍｍ後工程工場に限らず２００ｍｍ前工程工場でも、一面が開放されたウエハキャリア２００が使用され、２００ｍｍのウエハが処理される場合がある。このため、ロードポート１００は、２００ｍｍ後工程工場だけでなく、２００ｍｍ前工程工場でも使用することができる。
また、３００ｍｍ工場であっても、実験等を行う最小限の生産ラインが構築されたミニファブ等では、クリーンルーム内部が高クリーン度に保たれているので、一面が開放されたウエハキャリア２００，３００を使用でき、その結果、ロードポート１００を前工程で用いることができる。
さらに、上述した各工場に限らず、その内部が高クリーン度に保たれたクリーンルームを有する研究所においても、ロードポート１００を前工程で用いることができる。
【図１】
2006051577.tif 000002
【図２】
2006051577.tif 000003
【図３】
2006051577.tif 000004
【図４】
2006051577.tif 000005
【図５】
2006051577.tif 000006
【図６】
2006051577.tif 000007
【図７】
2006051577.tif 000008
【図８】
2006051577.tif 000009
【図９】
2006051577.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月28日(2005.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】請求の範囲
【請求項１】（削除）
【請求項２】（補正後）  基板が搬送される基板処理装置のドア開口部の前面に設けられ、その内部に所定間隔で前記基板を収納するキャリアを載置し、前記ドア開口部のロードポートドアを開閉するロードポートであって、
載置台と、
前記載置台に直接載置され第１基板を収納する第１キャリアと、前記第１キャリアと大きさが異なり、前記載置台にアダプタを介して載置され前記第１基板と大きさが異なる第２基板を収納する第２キャリアと、のどちらが前記載置台に載置されたかを検出する検出部と、
を含むロードポートにおいて、
前記検出部は、前記載置台に載置された前記第１キャリア又は前記第２キャリアに応じた検出信号を出力し、
前記検出信号に基づいて、前記第１基板又は前記第２基板をマッピングするマッピング部をさらに含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項３】請求項２に記載のロードポートにおいて、
前記マッピング部は、前記検出信号に基づいて、前記マッピングを行うときの初期設定値を変更すること、
を特徴とするロードポート。
【請求項４】請求項３に記載のロードポートにおいて、
前記初期設定値は、前記第１基板間又は前記第２基板間の距離、及び、前記第１キャリア又は前記第２キャリアに設けられ、前記第１基板又は前記第２基板を保持する最下段又は最上段の保持部と前記載置台との距離であること、
を特徴とするロードポート。
【請求項５】請求項４に記載のロードポートにおいて、
前記マッピング部は、前記保持部の最下段から最上段、又は、最上段から最下段に移動しながら、前記第１基板又は前記第２基板の検出を行うマッピングセンサを含むこと、
を特徴とするロードポート。
【請求項６】請求項５に記載のロードポートにおいて、
前記載置台は、前記載置台に載置された前記第１キャリアに収容された前記第１基板の前記ロードポートドア側の先端部と、前記載置台に載置された前記第２キャリアに収容された前記第２基板の前記ロードポートドア側の先端部と、が略同位置にあるように、前記ロードポートドア側に移動可能であり、
前記マッピング部は、前記ロードポートドアに設けられ、前記第１基板又は前記第２基板が前記保持部から前記ロードポートドア側に飛び出したことを検出する飛び出しセンサを含み、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域内に位置しているときに、前記マッピングを中止すること、
を特徴とするロードポート。
【請求項７】請求項６に記載のロードポートにおいて、
前記マッピング部は、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域外に位置しているときに、前記マッピングを開始すること、
を特徴とするロードポート。
【請求項８】請求項１に記載のロードポートにおいて、
前記検出部は、
前記第１キャリアが前記載置台に載置されたときに、前記第１キャリアの下面との変位量を検出すると共に、前記アダプタが前記載置台に載置されたときに、前記アダプタの下面との変位量を検出する第１センサと、
前記アダプタの下面に設けられ、前記第２キャリアが前記アダプタを介して前記載置台に載置されたときに、前記載置台側に移動する移動部との変位量を検出する第２センサと、
を含むことを特徴とするロードポート。
【請求項９】請求項８に記載のロードポートにおいて、
前記アダプタは、その上面に設けられ、前記第２キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部を含み、
前記移動部は、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動すること、
を特徴とするロードポート。
【請求項１０】載置台に直接載置され第１基板を収納する第１キャリアと、前記第１キャリアと大きさが異なり、前記載置台に間接的に載置され前記第１基板と大きさが異なる第２基板を収納する第２キャリアと、が選択的に前記載置台に載置可能であり、前記載置台に前記第２キャリアが載置されたことを示す検出信号を出力する検出部を備えたロードポートシステムに用いられ、前記第２キャリアと前記載置台との間に配置されるアダプタであって、
その上面に設けられ、前記第２キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部と、
その下面に設けられ、前記第２キャリアが前記載置台に間接的に載置されたときに、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動し、前記検出部に前記検出信号を出力させる移動部と、
を含むアダプタ。
２２
【国際調査報告】
2006051577.tif 000011
2006051577.tif 000012