(57)【要約】【課題】フレキシブル印刷回路基板の回路パターンと外観を総合して検査することができるフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム及び方法を提供する。【解決手段】本発明は、フレキシブル印刷回路基板の回路パターンと外観を総合して検査することができるフレキシブル印刷回路基板の総合検査システムに関することである。本発明による総合検査システムは、検査対象物が提供される巻出部と、検査を済ました前記検査対象物がアンロードされる巻取部と、前記巻出部と前記巻取部の間に位置されて前記巻出部から前記巻取部に移動される前記検査対象物を検査する検査部と、を含み、前記検査部は、前記検査対象物のパターンを検査するパターン検査部と、前記検査対象物の外観を検査する外観検査部と、を含む。【選択図】図１
2009300438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物の総合検査システムにおいて、
前記検査対象物が提供される巻出部と、
検査を済ませた前記検査対象物がアンロードされる巻取部と、
前記巻出部と前記巻取部の間に配置されて、前記巻出部から前記巻取部へ移動させられる前記検査対象物を検査する検査部とを備え、
前記検査部は、前記検査対象物のパターンを検査するパターン検査部と、前記検査対象物の外観を検査する外観検査部とを含むことを特徴とするフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項２】
前記パターン検査部は、カメラと前記検査対象物に光を照射する照明部とを有する撮像部を含み、
前記照明部は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物を透過した透過光を生じさせる透過照明と、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせる反射照明とのうち、少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項３】
前記透過照明又は前記反射照明は、グリーン色の光を照射する照明であることを特徴とする請求項２に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項４】
前記透過照明又は前記反射照明は、５００〜５７０ｎｍの波長を有する光を照射する照明であることを特徴とする請求項２に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項５】
前記透過照明又は前記反射照明は、ＬＥＤ照明であることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項６】
前記パターン検査部の前記照明部は、前記検査対象物に赤外線帯域の光を照射することを特徴とする請求項２に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項７】
前記パターン検査部の前記カメラは、赤外線カメラであることを特徴とする請求項２又は請求項６に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項８】
前記外観検査部は、カメラと前記検査対象物に光を照射する照明部とを有する撮像部を含み、
前記照明部は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物を透過した透過光を生じさせる透過照明と、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせる反射照明とのうち、少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項９】
前記パターン検査部及び前記外観検査部により検出された不良部分をカラーイメージとして撮像して、該検出された不良部分が実際の不良であるのか誤検出であるのかを作業者に判断させるためにディスプレイに提供する不良イメージ確認部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項１０】
前記不良イメージ確認部は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせる反射照明と、前記検査対象物の互いに異なる領域を区画して撮像するカラーカメラとを含むことを特徴とする請求項９に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項１１】
前記不良イメージ確認部は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせる反射照明と、前記検査対象物の不良部分をエリアスキャン方式に撮像するエリアカメラと、前記エリアカメラを前記検査対象物の不良部分に移動させるための移動部材とを含むことを特徴とする請求項９に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項１２】
前記検査部は、前記検査対象物を湾曲した経路に沿って移送する湾曲移送部をさらに含み、
前記パターン検査部、前記外観検査部及び前記不良イメージ確認部は、前記湾曲移送部により湾曲した経路に沿って移送される前記検査対象物の移動経路上に配置されることを特徴とする請求項９に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項１３】
前記検査部は、前記検査対象物を湾曲した経路に沿って移送する湾曲移送部と、前記検査対象物を水平に移送する直線移送部とをさらに含み、
前記パターン検査部と前記外観検査部は、前記湾曲移送部により湾曲した経路に沿って移送される前記検査対象物の移動経路上に配置され、
前記不良イメージ確認部は、前記直線移送部により直線状に移送される前記検査対象物の移動経路上に配置されることを特徴とする請求項９に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項１４】
フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物の総合検査システムにおいて、
前記検査対象物にグリーン色の光を照射する照明部と、
前記検査対象物のイメージを撮像するカメラを有する撮像部とを備えることを特徴とするフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項１５】
前記撮像部は、前記検査対象物のパターンを検査するパターン検査用撮像部と、前記検査対象物の外観を検査する外観検査用撮像部とを含むことを特徴とする請求項１４に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項１６】
前記照明部は、５００〜５７０ｎｍの波長を有する光を照射するＬＥＤ照明であることを特徴とする請求項１５に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム。
【請求項１７】
フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物の総合検査方法において、
前記検査対象物を供給する段階と、
前記検査対象物に光を照射してパターン不良を検査するパターン検査段階と、
前記検査対象物に光を照射して外観不良を検査する外観検査段階と、
検査を済ませた前記検査対象物を回収する段階とを含み、
前記パターン検査段階では、グリーン色の光を照射する照明を使用することを特徴とするフレキシブル印刷回路基板の総合検査方法。
【請求項１８】
前記グリーン色の光を照射する照明は、５００〜５７０ｎｍの波長を有する光を照射することを特徴とする請求項１７に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査方法。
【請求項１９】
前記検査対象物は、パターン成分の表面上に絶縁成分であるはんだレジストが塗布されたことを特徴とする請求項１８に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査方法。
【請求項２０】
前記パターン検査段階は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物を透過した透過光を生じさせ、パターンの断線、合線、突出、凹みを検査する第１撮像段階と、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせ、繊維性異物、フリーパンチ、表面欠陥を検査する第２撮像段階とを含むことを特徴とする請求項１９に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査方法。
【請求項２１】
前記外観検査段階は、
前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物を透過した透過光を生じさせ、はんだレジストのピンホール、固まり、損傷を検査する第３撮像段階と、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせ、はんだレジストの飛び、汚染、スクラッチ、異物、表面欠陥を検査する第４撮像段階とを含むことを特徴とする請求項２０に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査方法。
【請求項２２】
前記パターン検査段階及び前記外観検査段階により検出された不良部分をカラーイメージとして撮像して、該検出された不良部分が実際の不良であるのか誤検出であるのかを作業者に判断させるためにディスプレイに提供する不良イメージ確認段階をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査方法。
【請求項２３】
前記パターン検査段階での照明は、前記検査対象物に赤外線帯域の光を照射することを特徴とする請求項１７に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査方法。
【請求項２４】
前記パターン検査段階では、赤外線カメラによりイメージを撮像することを特徴とする請求項２３に記載のフレキシブル印刷回路基板の総合検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブル印刷回路基板の総合検査システム及びその方法に関し、より詳細には、フレキシブル印刷回路基板の回路パターンと外観を総合して検査することができるフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置のドライバ集積回路、メモリなどの各種半導体デバイスの製造に使われる主要材料の１つであるの印刷回路基板は、半導体デバイスの小型化、軽量化傾向によってフィルム（ｆｉｌｍ）、テープ（ｔａｐｅ）タイプなどのフレキシブル印刷回路基板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｏａｒｄ）を多く使用している。フレキシブル形態の印刷回路基板には、例えば、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）基板などがあり、露光、現像、エッチング工程などを通じて基板に微細回路パターンが形成される。
【０００３】
このようなフレキシブル印刷回路基板の生産においては、パターンを検査するためのパターン検査器（ＡＯＩ）と、パターン検査後の鍍金、はんだレジスト（ｓｏｌｄｅｒ  ｒｅｓｉｓｔ）工程を経て、最終出荷前に全体外観を検査するための外観検査器（ＡＶＩ）を利用した検査工程とを２回に分けて別に実施しているのが実情である。
【０００４】
従って、フレキシブル印刷回路基板の生産においては、パターン検査と外観検査とをより効果的に且つ速かに行うことができる検査設備が要求されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、パターン検査と外観検査とを１つの設備で検査することができるフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム及びその方法を提供することである。
【０００６】
本発明は、はんだレジストが塗布されたフレキシブル印刷回路基板におけるパターン検査が可能なフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム及びその方法を提供するものである。
【０００７】
本発明は、誤検出を防止することができるフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム及びその方法を提供することある。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、ここに制限されず、言及されない他の課題は以下の記載から当業者に明確に理解されるはずである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するため、本発明は、フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物の総合検査システムを提供する。本発明の一実施形態によると、本発明の総合検査システムは、検査対象物が提供される巻出部（ｌｏａｄｅｒ）と、検査を済ませた前記検査対象物がアンロードされる巻取部（ｕｎｌｏａｄｅｒ）と、前記巻出部と前記巻取部の間に配置されて前記巻出部から前記巻取部へ移動させられる前記検査対象物を検査する検査部とを備え、前記検査部は、前記検査対象物のパターンを検査するパターン検査部と、前記検査対象物の外観を検査する外観検査部とを含む。
【００１０】
本発明の実施形態によると、前記パターン検査部は、カメラと前記検査対象物に光を照射する照明部とを有する撮像部を含み、前記照明部は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物を透過した透過光を生じさせる透過照明と、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせる反射照明とのうち、少なくとも１つを含む。
【００１１】
本発明の実施形態によると、前記透過照明又は前記反射照明は、グリーン色の光を照射する照明である。
【００１２】
本発明の実施形態によると、前記透過照明又は前記反射照明は、５００〜５７０ｎｍの波長を有する光を照射する照明である。
【００１３】
本発明の実施形態によると、前記透過照明又は前記反射照明は、ＬＥＤ照明である。
【００１４】
本発明の実施形態によると、前記パターン検査部の照明部は、前記検査対象物に赤外線帯域の光を照射する。
【００１５】
本発明の実施形態によると、前記パターン検査部の前記カメラは、赤外線カメラである。
【００１６】
本発明の実施形態によると、前記外観検査部は、カメラと前記検査対象物に光を照射する照明部とを有する撮像部を含み、前記照明部は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物を透過した透過光を生じさせる透過照明と、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせる反射照明のうち、少なくとも１つを含む。
【００１７】
本発明の実施形態によると、前記フレキシブル印刷回路基板の総合検査システムは、前記パターン検査部及び前記外観検査部により検出された不良部分をカラーイメージとして撮像して、該検出された不良部分が実際の不良であるのか誤検出であるのかを作業者に判断させるためにディスプレイに提供する不良イメージ確認部をさらに備える。
【００１８】
本発明の実施形態によると、前記不良イメージ確認部は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせる反射照明と、前記検査対象物の互いに異なる領域を区画して撮像するカラーカメラとを含む。
【００１９】
本発明の実施形態によると、前記不良イメージ確認部は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせる反射照明と、前記検査対象物の不良部分をエリアスキャン（ａｒｅａ  ｓｃａｎ）方式に撮像するエリアカメラと、前記エリアカメラを前記検査対象物の不良部分に移動させるための移動部材とを含む。
【００２０】
本発明の実施形態によると、前記検査部は、前記検査対象物を湾曲した経路に沿って移送する湾曲移送部をさらに含み、前記パターン検査部、前記外観検査部及び前記不良イメージ確認部は、前記湾曲移送部により湾曲した経路に沿って移送される前記検査対象物の移動経路上に配置される。
【００２１】
本発明の実施形態によると、前記検査部は、前記検査対象物を湾曲した経路に沿って移送する湾曲移送部と、前記検査対象物を水平に移送する直線移送部とをさらに含み、前記パターン検査部と前記外観検査部は、前記湾曲移送部により湾曲した経路に沿って移送される前記検査対象物の移動経路上に配置され、前記不良イメージ確認部は、前記直線移送部により直線状に移送される前記検査対象物の移動経路上に配置される。
【００２２】
本発明のフレキシブル印刷回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物の総合検査システムは、前記検査対象物にグリーン色の光を照射する照明部と、前記検査対象物のイメージを撮像するカメラを有する撮像部とを備える。
【００２３】
本発明の実施形態によると、前記撮像部は、前記検査対象物のパターンを検査するパターン検査用撮像部と、前記検査対象物の外観を検査する外観検査用撮像部とを含む。
【００２４】
本発明の実施形態によると、前記照明部は、５００〜５７０ｎｍの波長を有する光を照射するＬＥＤ照明である。
【００２５】
本発明のフレキシブル印刷回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物の総合検査方法は、前記検査対象物を供給する段階と、前記検査対象物に光を照射してパターン不良を検査するパターン検査段階と、前記検査対象物に光を照射して外観不良を検査する外観検査段階と、検査を済ませた前記検査対象物を回収する段階とを含み、前記パターン検査段階では、グリーン色の光を照射する照明を使用する。
【００２６】
本発明の実施形態によると、前記グリーン色の光を照射する照明は、５００〜５７０ｎｍの波長を有する光を照射する。
【００２７】
本発明の実施形態によると、前記検査対象物は、パターン成分の表面上に絶縁成分であるはんだレジストが塗布されている。
【００２８】
本発明の実施形態によると、前記パターン検査段階は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物を透過した透過光を生じさせ、パターンの断線、合線、突出、凹みを検査する第１撮像段階と、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせ、繊維性異物、フリーパンチ、表面欠陥を検査する第２撮像段階とを含む。
【００２９】
本発明の実施形態によると、前記外観検査段階は、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物を透過した透過光を生じさせ、はんだレジストのピンホール、固まり、損傷を検査する第３撮像段階と、前記検査対象物に光を照射して、該検査対象物で反射した反射光を生じさせ、はんだレジストの飛び、汚染、スクラッチ、異物、表面欠陥を検査する第４撮像段階とを含む。
【００３０】
本発明の実施形態によると、前記パターン検査段階及び前記外観検査段階により検出された不良部分をカラーイメージとして撮像して、該検出された不良部分が実際の不良であるのか誤検出であるのかを作業者に判断させるためにディスプレイに提供する不良イメージ確認段階をさらに含む。
【００３１】
本発明の実施形態によると、前記パターン検査段階での照明は、前記検査対象物に赤外線帯域の光を照射する。
【００３２】
本発明の実施形態によると、前記パターン検査段階では、赤外線カメラによりイメージを撮像する。
【発明の効果】
【００３３】
上述した本発明によると、パターン検査と外観検査を１つの設備で実施することができる。
【００３４】
又、本発明によると、はんだレジストが塗布されたフレキシブル印刷回路基板でパターン検査が可能である。
【００３５】
又、本発明によると、はんだレジスト内部にあるパターンまできれいなイメージを得ることができて検査効率を高めることができる。
【００３６】
又、本発明は、伝導性異物質と非伝導性異物質を検出することができて、パターン検査で非伝導性異物質による良品を検出して誤検出を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１実施形態による総合検査システムの主要構成を示す図である。
【図２】検査部の主要構成を示す図である。
【図３】第１実施形態の各撮像部別の検査項目及びその仕様を示す表である。
【図４】本発明の第２実施形態による総合検査システムの主要構成を示す図である。
【図５】検査部で不良イメージ確認部の構成を示す図である。
【図６】各撮像部別の検査項目及びその仕様を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の実施形態を添付された図面の図１乃至図６を参照してより詳細に説明する。本発明の実施形態は、多様な形態に変形することができ、本発明の範囲が以下の実施形態に限定されると解釈してはならない。本実施形態は、該当技術分野で平均的な知識を有した者に本発明をより完全に説明するために提供される。従って、図面での要素の形状は、より明確な説明を強調するために誇張されている。前記図面で同一の機能を実行する構成要素に対しては同一の参照番号を併記する。
【００３９】
図１は、本発明の第１実施形態による総合検査システムの主要構成を示す図である。図２は、検査部の主要構成を示す図である。図３は、各撮像部別の検査項目及びその仕様を示す表である。
【００４０】
図１乃至図３を参照すると、本発明の第１実施形態による総合検査システム１０は、フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続的に形成されたフィルム（ｆｉｌｍ）、テープ（ｔａｐｅ）タイプなどの検査対象物２０を複数の撮像部を利用してパターン検査と外観検査、そして不良イメージ確認（ｖｅｒｉｆｙ）の再検査まで自動に処理することができるシステムである。
【００４１】
総合検査システム１０は、巻出部１００（ｆｅｅｄ  ｒｏｌｌｅｒ、ｌｏａｄｅｒ）と、検査部３００と、巻取部２００（ｗｉｎｄｉｎｇ  ｒｏｌｌｅｒ、ｕｎｌｏａｄｅｒ）と、これらの構成要素の諸般の動作を制御する制御部９００とを含む。
【００４２】
巻出部１００には、検査対象物２０がリール１１０に巻かれ、巻出部１００から送出された検査対象物２０は、案内ローラ１２０を経て検査部３００の湾曲移送部３１０に供給される。検査対象物２０は、検査部３００を経て巻取部２００のリール２１０に巻かれる。
【００４３】
制御部９００は、典型的なコンピュータシステム（いわゆる、マイコン）に具備されて、光学検査による諸般の動作を制御、処理するようになる。そして制御部９００は、検査部３００の第１乃至第４撮像部から反射イメージと透過イメージを受けて、既に入力されたプログラムによって検査対象物のパターン不良及び外観不良を判別するようになる。
【００４４】
図２及び図３を参照すると、検査部３００は、湾曲移送部３１０と、パターン検査部３２０と、外観検査部３３０と、不良イメージ確認部３４０とを含む。
【００４５】
湾曲移送部３１０は、検査対象物２０が円弧状に移送されるように一定の半径を有する円周に沿って配置されて検査対象物２０を支持する支持部３１２を有する。支持部３１２は、互いに離隔されて設置される１組の支持ローラ３１４を含む。検査部３００では、検査対象物２０が湾曲した経路に沿って移送されることによって、検査対象物２０が直線状に移送される場合の移送長さに比べて相対的に移送長さが長くなるので、多くの数の撮像部を相互干渉無しに設置することができる。一般的に、撮像部のカメラは、固定ブラケットａと、カメラ位置を調整するための調整部材ｂが１組に設置されるので、カメラサイズより広い装着空間が要求される。
【００４６】
パターン検査部３２０は、第１、２撮像部３２２、３２６、外観検査部３３０の第３、４撮像部３３２、３３６、及び不良イメージ確認部３４０の第５撮像部３４２を有し、これらは、湾曲移送部３１０周辺に配置される。これらの撮像部３２２、３２６、３３２、３３６、３４２の各々は、カメラ３０２と、検査対象物に光を照射する照明部３０４とを含む。照明部３０４は、検査対象物２０に光を照射する透過照明３０６と、検査対象物２０に光を照射する反射照明３０８とからなり、検査しようとする項目の特性によって反射照明と透過照明のうち、何れか１つを選択的に使用することができる。透過照明３０６は、支持部材３１２に設置され、１組の支持ローラ３１４の間の隙間を通して検査対象物２０に光を照射する。反射照明３０８は、カメラ３０２と検査対象物２０の間に配置され、検査対象物２０に光を照射するようになる。例えば、カメラ３０２としては、ラインスキャンカメラ又は赤外線カメラを使うことができる。
【００４７】
パターン検査部３２０をより具体的に説明すると、パターン検査部３２０は、２つの第１撮像部３２２と、２つの第２撮像部３２６とを含む。第１撮像部３２２のカメラ３０２は、検査対象物２０の回路パターンの断線、合線、突出、凹みなどを検査するためにパターン領域を撮像する。第１撮像部３２２では、透過照明３０６から照射され検査対象物２０を透過した透過光を使用して撮像が行われる。第２撮像部３２６のカメラ３０２は、検査対象物２０の繊維性異物、フリーパンチ、表面欠陥などを検査するためにパターン領域を撮像する。第２撮像部３２６では、反射照明３０８から照射され検査対象物２０で反射した反射光を使用して撮像が行われる。
【００４８】
外観検査部３３０は、１つの第３撮像部３３２と、２つの第４撮像部３３６とを含む。第３撮像部３３２のカメラ３０２は、検査対象物２０のはんだレジストのピンホール、固まる、損傷を検査するためにはんだレジスト領域を撮像する。検査対象物２０の撮像領域には透過照明３０６から光が照射される。第４撮像部３３６のカメラ３０２は、検査対象物２０のはんだレジストの飛び、汚染、スクラッチ、異物、表面欠陥などを検査するためにはんだレジスト領域を撮像する。検査対象物２０の撮像領域には反射照明３０８から光が照射される。
【００４９】
パターン検査部３２０と外観検査部３３０の照明部３０４は、５００〜５７０ｎｍの波長のグリーン色の光を照射する高輝度のＬＥＤ照明を使用することが望ましい。グリーン色のＬＥＤ照明を使用する理由は、パターン検査で、より正確で、鮮明なパターンイメージを得るためである。例えば、検査対象物２０において、パターン成分は、絶縁成分であるグリーン色のはんだレジストＳＲで覆われている。もし、一般的に使われる色相（白色及び赤色）の照明を使用すると、はんだレジストのせいでパターンが鮮明に撮像されない。しかし、本発明のように、はんだレジストの色相と同一、或いは類似の波長のグリーン色ＬＥＤ照明を照射して撮影すると、同一の波長のＬＥＤ照明がはんだレジスト層を通過して内側のパターン面を明るく照らすようになる。勿論、パターン検査部３２０の透過検査でも同一の原理が適用される。すなわち、グリーンのＬＥＤ照明を使用すると、透過光を用いた検査であっても、はんだレジスト内部にあるパターンが同一にきれいに（ＳＲがないように）撮像される。又、グリーン色のＬＥＤ照明は、外観検査項目のうちではんだレジスト異物を検査することにも非常に有用である。
【００５０】
このように、本発明では、はんだレジストと類似の波長の照明を使用すると、はんだレジスト内部にあるパターンまできれいなイメージを得ることができるので、はんだレジスト塗布後にパターン検査が可能となる。
【００５１】
例えば、本発明のパターン検査部３２０では、赤外線帯域の光を照射する照明部を使うことができる。即ち、パターン検査部３２０は、回路パターンが鍍金された領域のみでなく、内部にパターン成分と空間成分が形成され、上部にはんだレジストが塗布されたはんだレジスト領域の電気的な回路パターン検査のために赤外線帯域の光信号を照射する照明部を利用すると、異物による反応が少なくて検査効率を高めることができる。例えば、赤外線帯域の照明部を利用して映像イメージを獲得するためには、赤外線レンズを利用する、或いは赤外線帯域は可視光線帯域より焦点距離がより長いので一般レンズを使用する場合には、レンズ焦点距離をより長くセッティングする。勿論、赤外線レンズは、可視光線帯域と赤外線帯域の焦点距離を同一にするレンズであるので、焦点距離を調整する必要がない。
【００５２】
本発明の総合検査システム１０のパターン検査部３２０では、赤外線帯域の照明を使用する方法の以外に赤外線カメラを適用しても同一の効果を得ることができる。
【００５３】
本発明の総合検査システム１０は、パターン工程、鍍金工程、そしてはんだレジスト工程を済ませた完成品状態の検査対象物を対象に検査を実施するようになる。はんだレジストの内部に存在する異物質は、はんだレジスト成分が覆いかぶさっているため、従来では良品性異物質であるのか不良性異物質であるのかを区分することが難しかった。しかし、本発明では、波長が長い赤外線帯域の光を照射することによって、良品性異物質と不良性異物質を区分することができる。
【００５４】
不良イメージ確認部３４０は、パターン検査部３２０及び外観検査部３３０から検出した不良部分のみを選択的にカラーイメージに撮像して、その撮像されたイメージをモニタを通してディスプレイして作業者が実際不良であるのか誤検出であるのかを判断させるためのものである。不良イメージ確認部３４０は、３つの第５撮像部３４２を含むが、第５撮像部３４２は、検査対象物２０に光を照射する反射照明３０８と、検査対象物の不良部分を撮像するカラーカメラ３０３とを含む。第５撮像部は、直前段階（パターン検査及び外観検査）で撮像されたイメージを検査して不良と判明された部分をカラーイメージとして撮像する。このように撮像されたカラーイメージは、制御部９００に提供され、制御部９００ではカラーイメージと、直前段階（パターン検査及び外観検査）で不良に判明された部分のイメージをモニタ（図示せず）に表示する。作業者はモニタに表示された２つの映像を比較して最終的な良、不の可否を入力装置を通じて入力するようになる。
【００５５】
一方、本発明の総合検査システムの検査部３００は、パターン検査後に外観検査を実施するが、外観検査とパターン検査の順番は変わっても関係なく、パターン検査と外観検査は、同一の速度で移動される検査対象物を相対的に検査するので同一の検査時間を必要とする。
【００５６】
図３のように、パターン検査と外観検査には、同一のカメラと照明が使われ、２セットのカメラからなる、第１撮像部３２２、第２撮像部３２６及び第４撮像部３３６は、同一の視野２４ｍｍと解像度を有するレンズが使われ、１セットのカメラからなる第３撮像部３３２は、レンズの視野が広く、解像度でも差がある。一方、第５撮像部３４２は、３セットのカメラからなるので、レンズの視野がもう少し小さく、解像度も３．５７?である。図面ではレンズが示さないが、レンズがカメラの前方（光が入る経路上）に設置されるということは当業者であると誰でも知っている技術であるので便宜のため省略した。
【００５７】
図４は、本発明の第２実施形態による総合検査システムの主要構成を示す図である。図５は、検査部で不良イメージ確認部の構成を示す図である。図６は、各撮像部別の検査項目及びその仕様を示す表である。
【００５８】
図４乃至図６を参照すると、本発明の第２実施形態による総合検査システム１０ａは、図１に示した第１実施形態によるシステムと同一の構成と機能を有する巻出部１００（ｆｅｅｄ  ｒｏｌｌｅｒ、ｌｏａｄｅｒ）と、検査部３００ａと、巻取部２００（ｗｉｎｄｉｎｇ  ｒｏｌｌｅｒ、ｕｎｌｏａｄｅｒ）と、これらの構成要素の諸般の動作を制御する制御部９００とを含む。これらに対する説明は第１実施形態で詳細に説明されたので本実施形態では省略する。但し、第１実施形態では、不良イメージ確認部３４０が３台のカラーラインスキャンカメラ３０３により不良部分を撮像したが、本実施形態では、２台のカラーエリアカメラ３５４により不良部分を撮像する。Ｘ軸−Ｙ軸への移動がロボット化されたカメラを不良部分に移動させてイメージを撮像する不良イメージ確認部３５０を有することにその構造的な特徴を有する。
【００５９】
図４及び図５に示したように、不良イメージ確認部は、検査部の直線状の移送部上に配置される。直線移送部３８０は、検査対象物２０が水平に直線移送されるように一定間隔に離隔された１組の搬送ローラ３８２を含む。不良イメージ確認部３５０は、検査対象物２０に光を照射する反射照明３０８と、検査対象物の不良部分をエリアスキャン（ａｒｅａ  ｓｃａｎ）方式に撮像するエリアカメラ３５４及びエリアカメラ３５４を検査対象物の不良部分に移動させるためのＸ−Ｙ軸移動部材３６０を含む２つの第５撮像部３５２とを含む。Ｘ-Ｙ軸移動部材３６０は、Ｘ軸移動部３６２と、Ｙ軸移動部３６４とを含む。エリアカメラ３５４は、これらの移動部によって不良部分に移動させられて不良部分のイメージを撮像する。第５撮像部である、カメラ３５４と反射照明３０８は、Ｘ−Ｙ軸移動部材３６０によって検査対象物２０のＸ−Ｙ軸方向に移動させられる。ここで、Ｘ−Ｙ軸移動部材３６０として、油圧を利用したシリンダ方式又はモータ、ボールスクリュ及び移送ナットを利用した多様な方式を使うことができる。
【００６０】
図６のように、パターン検査と外観検査には、同一のカメラと照明が使われ、２セットのカメラからなる、第１撮像部３２２、第２撮像部３２６及び第４撮像部３３６は、同一の視野２４ｍｍと解像度を有するレンズが使われ、１セットのカメラからなる第３撮像部３３２は、レンズの視野が広く、解像度でも差がある。一方、第５撮像部３５２は、２セットのエリアカメラ（３ＣＣＤカラーエリアスキャンカメラ）３５４からなるので、１．２ｍｍ×１．６ｍｍの視野を有する。特に、エリアカメラ３５４は、撮像領域が小さいので、Ｘ−Ｙ軸移動部材３６０によって移動させられた後にその不良部分を撮像するようになる。
【００６１】
上述のように、本発明の検査部は、はんだレジストと同一のグリーン色の照明を使用することによって、はんだレジストによって覆われてあるパターンまできれいなイメージを得ることができる。従って、はんだレジスト工程まで済ませた完成品の最終段階で外観検査のみではなくパターン検査まで実施することができるので、はんだレジスト工程以前に実施したパターン検査を省略することができる。
【００６２】
一方、本発明は、上記の構成からなる総合自動検査システムにおいて、多様に変形されることができ、多様な形態を行なうことができる。しかし、本発明は、上述で言及される特別な形態に限定されることではなく、添付された特許請求の範囲によって定義される本発明の思想と範囲内にある全ての変形物と均等物と代替物を含むことに理解されるべきである。
【符号の説明】
【００６３】
１００      巻出部
２００      巻取部
３００      検査部
３２０      パターン検査部
３３０      外観検査部
３４０      不良イメージ確認部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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