(57)【要約】複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドラ２において、プッシャ本体３３およびスプロケット３５ａ，３５ｂは連動機構３８を介して連動可能になっており、プッシャ本体３３およびスプロケット３５ａ，３５ｂのいずれか一方が駆動されたときに、プッシャ本体３３およびスプロケット３５ａ，３５ｂの双方が連動して移動するようになっている。かかる構成により、プッシャ本体３３およびスプロケット３５ａ，３５ｂは単一の駆動源（サーボモータ３１）により別々に移動させることができる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを、プッシャユニットによって支持しつつ、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接続端子に接触させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記プッシャユニットは、プッシャ本体と、前記プッシャ本体の近傍にてキャリアテープを支持するテープ支持体とを備え、前記プッシャ本体および前記テープ支持体がそれぞれ前記コンタクト部側に移動することにより前記キャリアテープを前記コンタクト部に押圧する構成を有し、
前記プッシャ本体および前記テープ支持体は連動機構を介して連動可能になっており、前記プッシャ本体および前記テープ支持体のいずれか一方が駆動されたときに、前記プッシャ本体および前記テープ支持体の双方が連動して移動することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
前記連動機構は、レバー部材を含んで構成されており、前記プッシャ本体および前記テープ支持体は、前記レバー部材の異なる位置に連結または係合し、前記レバー部材の回転に応じて相互に異なる移動量にて連動することを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記レバー部材の一端部は、ＴＣＰハンドリング装置の本体に回転可能または回転・摺動可能に取り付けられており、前記レバー部材の他端部は、前記プッシャ本体に回転・摺動可能または回転可能に取り付けられており、前記レバー部材の中間部は、前記テープ支持体に当接可能となっており、前記プッシャ本体に駆動装置が接続されていることを特徴とする請求項２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記連動機構は、前記プッシャ本体に設けられた第一係合部と、前記テープ支持体に設けられた第二係合部とを含んで構成され、前記第一係合部と前記第二係合部とが係合することにより、前記プッシャ本体および前記テープ支持体が一体的に移動する請求項１〜３のいずれかに記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
前記連動機構は、レバー部材と、前記プッシャ本体に設けられた第一係合部と、前記テープ支持体に設けられた第二係合部とを含んで構成され、
前記プッシャ本体および前記テープ支持体は、前記プッシャ本体および前記テープ支持体が前記コンタクト部と離隔した位置にあるときは、前記レバー部材の異なる位置に連結または係合して、前記レバー部材の回転に応じて相互に異なる移動量にて連動し、前記プッシャ本体および前記テープ支持体が前記コンタクト部に近接すると、前記第一係合部と前記第二係合部とが係合し、前記プッシャ本体および前記テープ支持体が一体的に移動することを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項６】
前記プッシャ本体はキャリアテープを吸着することが可能になっており、前記第一係合部と前記第二係合部とが係合している間、キャリアテープを吸着することを特徴とする請求項５に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項７】
キャリアテープのＴＣＰを、電気的に試験を行うためのコンタクト部に搬送し、前記ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接続端子に接触させることにより、前記ＴＣＰを電気的試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
キャリアテープを前記コンタクト部に押圧することのできるプッシャ本体と、キャリアテープを係止し支持することのできるテープ支持体と、前記プッシャ本体または前記テープ支持体が前記コンタクト部に対して進退できるように前記プッシャ本体または前記テープ支持体を駆動する駆動装置とを備えたプッシャユニットが、前記コンタクト部に対向する位置に設けられており、
前記駆動装置は、ＴＣＰハンドリング装置の本体に固定されており、前記プッシャユニットは、前記駆動装置によって前記プッシャ本体および前記テープ支持体をコンタクト部方向に連携して移動させることのできる連動機構を備えていることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項８】
前記連動機構は、前記プッシャユニットをコンタクト部方向に移動させる初期段階においては、前記プッシャ本体の移動量が前記テープ支持体の移動量よりも大きくなるように前記プッシャ本体および前記テープ支持体を移動させ、前記プッシャユニットをコンタクト部方向に移動させる後期段階においては、前記プッシャ本体の移動量と前記テープ支持体の移動量とが同一になるように前記プッシャ本体および前記テープ支持体を移動させることを特徴とする請求項７に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項９】
前記連動機構は、リニアモーションガイドと、レバー部材と、係合部材とを備えており、
前記リニアモーションガイドは、前記プッシャ本体および前記テープ支持体がコンタクト部方向に互いにスライドし得るように、前記プッシャ本体と前記テープ支持体との間に設けられており、
前記レバー部材の一端部は、ＴＣＰハンドリング装置の本体に取り付けられて支点となり、前記レバー部材の他端部は、前記プッシャ本体に取り付けられて力点となり、前記レバー部材の中間部は、前記テープ支持体に当接して作用点となり得、
前記係合部材は、前記プッシャ本体に設けられた第一係合部と、前記テープ支持体に設けられた第二係合部とを有しており、前記第一係合部および前記第二係合部は、前記プッシャユニットがコンタクト部方向に移動する初期段階においては互いに離隔しており、前記プッシャユニットがコンタクト部方向に移動する後期段階においては互いに係合し、前記プッシャ本体と前記テープ支持体とが一体的に移動し得るような位置に設けられていることを特徴とする請求項７または８に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）やＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置に関するものである。
【背景技術】  ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子をプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。
このようなＴＣＰハンドラは、一般的に、キャリアテープをプローブに押し付けるプッシャ本体と、プッシャ本体の両脇でキャリアテープを支持し当該キャリアテープを搬送するプーリー、スプロケット等のテープ支持体とを備えている。これらプッシャ本体とテープ支持体とは、テープ支持体に支持され移動するキャリアテープがプッシャ本体と擦らないように、上下移動をそれぞれ別々に行う必要がある。
かかるプッシャ本体およびテープ支持体の上下移動を別々に行うにあたり、実開昭６４−３４５７６号公報に記載のＴＣＰ試験装置では、これらのプッシャ本体およびテープ支持体を別々の駆動源（アクチュエータ）により駆動していた。
しかしながら、駆動源を複数設けることはコストが嵩み、また、複数の駆動源の駆動タイミングを制御する必要があるため試験装置として複雑なものとなっていた。
【発明の開示】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、プッシャ本体およびテープ支持体を単一の駆動源により別々に移動させることのできるＴＣＰハンドリング装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、第１に本発明は、テープ上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを、プッシャユニットによって支持しつつ、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接続端子に接触させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記プッシャユニットは、プッシャ本体と、前記プッシャ本体の近傍にてキャリアテープを支持するテープ支持体とを備え、前記プッシャ本体および前記テープ支持体がそれぞれ前記コンタクト部側に移動することにより前記キャリアテープを前記コンタクト部に押圧する構成を有し、前記プッシャ本体および前記テープ支持体は連動機構を介して連動可能になっており、前記プッシャ本体および前記テープ支持体のいずれか一方が駆動されたときに、前記プッシャ本体および前記テープ支持体の双方が連動して移動することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。
なお、本明細書における「テープ支持体」には、キャリアテープを直接支持するスプロケット等の他、当該スプロケット等を支持するフレーム等も含まれるものとする。
上記発明（発明１）によれば、連動機構によって、プッシャ本体およびテープ支持体を単一の駆動源により別々に移動させることができる。
上記発明（発明１）において、前記連動機構は、レバー部材を含んで構成されており、前記プッシャ本体および前記テープ支持体は、前記レバー部材の異なる位置に連結または係合し、前記レバー部材の回転に応じて相互に異なる移動量にて連動することが好ましい（発明２）。
上記発明（発明２）によれば、連動機構を簡素な構造で構成することができ、またレバー比を変えることによって、プッシャ本体およびテープ支持体の移動量をそれぞれ任意に変更することができる。
上記発明（発明２）において、前記レバー部材の一端部は、ＴＣＰハンドリング装置の本体に回転可能または回転・摺動可能に取り付けられており、前記レバー部材の他端部は、前記プッシャ本体に回転・摺動可能または回転可能に取り付けられており、前記レバー部材の中間部は、前記テープ支持体に当接可能となっており、前記プッシャ本体に駆動装置が接続されていることが好ましい（発明３）。
上記発明（発明１〜３）において、前記連動機構は、前記プッシャ本体に設けられた第一係合部と、前記テープ支持体に設けられた第二係合部とを含んで構成され、前記第一係合部と前記第二係合部とが係合することにより、前記プッシャ本体および前記テープ支持体が一体的に移動するようにしてもよい（発明４）。
上記発明（発明４）によれば、プッシャ本体およびテープ支持体を異なる移動量で別々に移動させることができるだけでなく、プッシャ本体およびテープ支持体を一体的に移動させることもできる。このようにプッシャ本体およびテープ支持体を一体的に移動させる間に、ＴＣＰの位置ずれ情報を取得し、そのＴＣＰの位置ずれ量に応じてプッシャ本体およびテープ支持体を一緒に変位させてＴＣＰの位置ずれ補正をすることが可能である。
上記発明（発明１）において、前記連動機構は、レバー部材と、前記プッシャ本体に設けられた第一係合部と、前記テープ支持体に設けられた第二係合部とを含んで構成され、前記プッシャ本体および前記テープ支持体は、前記プッシャ本体および前記テープ支持体が前記コンタクト部と離隔した位置にあるときは、前記レバー部材の異なる位置に連結または係合して、前記レバー部材の回転に応じて相互に異なる移動量にて連動し、前記プッシャ本体および前記テープ支持体が前記コンタクト部に近接すると、前記第一係合部と前記第二係合部とが係合し、前記プッシャ本体および前記テープ支持体が一体的に移動することが好ましい（発明５）。
上記発明（発明５）によれば、コンタクト部の近傍にてプッシャ本体およびテープ支持体を一体的に移動させる間に、ＴＣＰの位置ずれ情報を取得し、その位置ずれ量に応じてプッシャ本体およびテープ支持体を一緒に変位させてＴＣＰの位置ずれ補正をすることが可能である。
上記発明（発明５）においては、前記プッシャ本体はキャリアテープを吸着することが可能になっており、前記第一係合部と前記第二係合部とが係合している間、キャリアテープを吸着することが好ましい（発明６）。
上記発明（発明６）によれば、コンタクト部の近傍では、プッシャ本体とキャリアテープとを密着させ、コンタクト部に対してＴＣＰを正確にコンタクトさせることができる。また、ＴＣＰのコンタクト部に対する位置ずれを補正する際に、プッシャ本体とキャリアテープとの位置がずれてしまうことを防止することができる。
第２に本発明は、キャリアテープのＴＣＰを、電気的に試験を行うためのコンタクト部に搬送し、前記ＴＣＰの外部端子を前記コンタクト部の接続端子に接触させることにより、前記ＴＣＰを電気的試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、キャリアテープを前記コンタクト部に押圧することのできるプッシャ本体と、キャリアテープを係止し支持することのできるテープ支持体と、前記プッシャ本体または前記テープ支持体が前記コンタクト部に対して進退できるように前記プッシャ本体または前記テープ支持体を駆動する駆動装置とを備えたプッシャユニットが、前記コンタクト部に対向する位置に設けられており、前記駆動装置は、ＴＣＰハンドリング装置の本体に固定されており、前記プッシャユニットは、前記駆動装置によって前記プッシャ本体および前記テープ支持体をコンタクト部方向に連携して移動させることのできる連動機構を備えていることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明７）。
上記発明（発明７）によれば、連動機構によって、プッシャ本体およびテープ支持体を単一の駆動装置により連携して移動させることができる。
上記発明（７）において、前記連動機構は、前記プッシャユニットをコンタクト部方向に移動させる初期段階においては、前記プッシャ本体の移動量が前記テープ支持体の移動量よりも大きくなるように前記プッシャ本体および前記テープ支持体を移動させ、前記プッシャユニットをコンタクト部方向に移動させる後期段階においては、前記プッシャ本体の移動量と前記テープ支持体の移動量とが同一になるように前記プッシャ本体および前記テープ支持体を移動させることが好ましい（発明８）。
上記発明（発明８）によれば、プッシャ本体を、テープ支持体に支持され搬送されるキャリアテープがプッシャ本体と擦らない位置まで移動させることができるとともに、プッシャ本体とテープ支持体とを一体的に移動させ、両者を一緒に変位させてＴＣＰの位置ずれ補正をすることが可能である。
上記発明（発明７，８）において、前記連動機構は、リニアモーションガイドと、レバー部材と、係合部材とを備えており、前記リニアモーションガイドは、前記プッシャ本体および前記テープ支持体がコンタクト部方向に互いにスライドし得るように、前記プッシャ本体と前記テープ支持体との間に設けられており、前記レバー部材の一端部は、ＴＣＰハンドリング装置の本体に取り付けられて支点となり、前記レバー部材の他端部は、前記プッシャ本体に取り付けられて力点となり、前記レバー部材の中間部は、前記テープ支持体に当接して作用点となり得、前記係合部材は、前記プッシャ本体に設けられた第一係合部と、前記テープ支持体に設けられた第二係合部とを有しており、前記第一係合部および前記第二係合部は、前記プッシャユニットがコンタクト部方向に移動する初期段階においては互いに離隔しており、前記プッシャユニットがコンタクト部方向に移動する後期段階においては互いに係合し、前記プッシャ本体と前記テープ支持体とが一体的に移動し得るような位置に設けられていることが好ましい（発明９）。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの正面図である。
図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図である。
図４は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの動作を示す説明図（正面）である。
図５は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの動作を示す説明図（側面）である。
図６は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの動作を示すグラフである。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を図１に示す。
［ＴＣＰ試験装置］
ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成される。
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものであり、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。
また、巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。
イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられている。このプッシャユニット３については後述する。
プッシャユニット３は、図示しないプッシャステージに接続されている。プッシャステージは、複数のボールネジを介してサーボモータに接続されており（図示省略）、サーボモータの駆動により、プッシャユニット３を水平方向（ＸＹ平面方向）に移動させることができるとともに、プッシャユニット３を垂直軸回り（Ｚ軸回り）に回転させることができる。
プッシャユニット３の前段側（図１中左側）には第１カメラ６ａが、プッシャユニット３の下側（後述するプローブカードステージ７の内側）には第２カメラ６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）には第３カメラ６ｃが設けられている。また、プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。
マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、図示しない画像処理装置に接続されており、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものであり、第２カメラ６ｂは、キャリアテープ５上のＴＣＰとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。また、第２カメラ６ｂは、視野内の複数の対象についての位置ずれ情報を取得することができるようになっている。
第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１上に搭載されており、カメラステージ６１が有するアクチュエータによって平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。
プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、プローブカード８を搭載したプローブカードステージ７が設置されている。プローブカードステージ７は、複数のボールネジを介してサーボモータに接続されており（図示省略）、サーボモータの駆動により、プローブカード８を水平方向（ＸＹ平面方向）に移動させることができるとともに、プローブカード８を垂直軸回り（Ｚ軸回り）に回転させることができる。
複数のプローブ８１を備えたプローブカード８は、ピンによってプローブカードステージ７のカードリングに着脱自在に取り付けられている（図示省略）。なお、プローブカード８の各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されており、プローブカード８の下側であって、プローブカードステージ７の内側には第２カメラ６ｂが位置している。
このＴＣＰ試験装置１では、キャリアテープ５はプッシャユニット３の下側を通過するように搬送され、このキャリアテープ５をプッシャユニット３が吸着・支持しながらテストヘッド１０上のプローブカード８に押圧する。すると、キャリアテープ５上のＴＣＰがプローブカード８のプローブ８１にコンタクトしてテスト信号がＴＣＰに印加され、ＴＣＰから読み出された応答信号は、テストヘッド１０を通じてテスタ本体に送られる。これによりＴＣＰの性能や機能等が試験される。
かかる試験は、キャリアテープ５が搬送されることにより、キャリアテープ５上の全てのＴＣＰについて順次行われる。そして、試験結果に基づいてマークパンチ２６ａまたはリジェクトパンチ２６ｂが駆動される。
［プッシャユニット］
図２および図３は、図１に記載したＴＣＰ試験装置のプッシャユニットを示す正面図（図２）および側面図（図３）である。
このプッシャユニット３は、プッシャ本体３３と、プッシャフレーム（エプロンプレート）３６と、プッシャフレーム３６に回転可能に設置されたスプロケット３５（テンションスプロケット３５ａおよびメインスプロケット３５ｂ）と、連動機構３８とを含み構成されており、支持部材２７を介してＴＣＰハンドラ２の本体に支持されている（図１〜図３参照）。
プッシャ本体３３は、２本のリニアモーションガイド３７，３７を介してプッシャフレーム３６上にスライド可能に取り付けられている。このプッシャ本体３３の上部には、ボールネジ３２を介してサーボモータ３１が連結されている。プッシャ本体３３は、このサーボモータ３１の駆動により、リニアモーションガイド３７にガイドされつつプッシャフレーム３６の平面上を上下方向（Ｚ軸方向）にスライドして移動できる（図２および図３参照）。
また、プッシャ本体３３は、その下端部に吸着部３４を有する。プッシャ本体３３は、この吸着部３４がエアを吸引してキャリアテープ５を吸着することにより、その下端部にてキャリアテープ５を保持できる。
プロケット３５ａ，３５ｂは、正面視にてプッシャ本体３３の両脇に配置されており、その下端部にてキャリアテープ５をそれぞれ支持しつつ回転できるようになっている。これにより、キャリアテープ５は、プッシャ本体３３の下方を通って左側から右側に送られる（図１および図２参照）。
なお、メインスプロケット３５ｂは、ステッピングモータ等によって駆動されてキャリアテープ５を搬送し、テンションスプロケット３５ａは、キャリアテープ５の走行方向と逆方向に回転することによりキャリアテープ５に所定のテンションをかけ、キャリアテープ５の位置精度を向上させる。
また、スプロケット３５ａ，３５ｂは、その下端部にてキャリアテープ５をそれぞれ支持しつつ、プッシャフレーム３６に伴って上下移動することにより、キャリアテープ５のテープ面の高さ位置（Ｚ軸上の位置）を調整できる。
プッシャフレーム３６は、プッシャ本体３３の背面側に配置されており、後述する連動機構３８により駆動されて、上下方向（Ｚ軸方向）にスライドして移動する（図１〜図３参照）。かかるプッシャフレーム３６の移動によって、スプロケット３５ａ，３５ｂが上下方向に移動できる。
このプッシャフレーム３６は、ＴＣＰハンドラ２の本体に対して、吊下部材３９，３９により吊り下げられて設置されている（図２参照）。この吊下部材３９，３９は、例えば、バネにより構成され、プッシャフレーム３６（スプロケット３５ａ，３５ｂ）を上側に付勢するようにして吊り下げている。
連動機構３８は、レバー部材３８１と、第一係合部３８２ａと、第二係合部３８２ｂとを含み構成され（図３参照）、プッシャ本体３３（吸着部３４）およびプッシャフレーム３６（スプロケット３５ａ，３５ｂ）を連動させる機能を有する。なお、本実施形態における連動機構３８は、プッシャ本体３３の左右両端部にて２つ設けられているが、これに限定されるものではない。
レバー部材３８１は、その一端（端部Ａ）にてベース２７１に回転可能に取り付けられており、その他端（端部Ｂ）にて長孔を介してプッシャ本体３３の上部に回転および摺動可能に取り付けられている。また、レバー部材３８１は、その中間部にローラ３８０を有しており、このローラ３８０にてプッシャフレーム３６の上部に当接する。なお、ベース２７１は、支持部材２７に固定された板状部材である。このようなレバー部材３８１においては、端部Ａが支点となり、端部Ｂが力点となり、中間部のローラ３８０が作用点となる。
第一係合部３８２ａは、プッシャ本体３３の両側部に固定設置されており、その接点をプッシャ本体３３のスライド方向（Ｚ軸方向）に対して下方に向けている。一方、第二係合部３８２ｂは、プッシャフレーム３６に固定設置されており、その接点をプッシャフレーム３６のスライド方向（Ｚ軸方向）に対して上方に向けている。また、第二係合部３８２ｂは、第一係合部３８２ａの下方に位置しており、その接点を第一係合部３８２ａの接点に対向させている。したがって、第一係合部３８２ａと第二係合部３８２ｂとは、プッシャ本体３３がプッシャフレーム３６に対して下方にスライドしたときに、その接点にて相互に当接する位置関係にある。
図４〜図６は、プッシャユニット３の動作を示す説明図である。これらの図では、図４がプッシャ本体３３（吸着部３４）とスプロケット３５ａ，３５ｂとの位置関係を示しており、図５が連動機構３８の動作を示している。また、図６が、吸着部３４およびスプロケット３５ａ，３５ｂの移動量と、ボールネジ３２の回転量との関係を示している。
このプッシャユニット３では、初期状態（原点）にて、プッシャ本体３３およびスプロケット３５ａ，３５ｂはプローブカード８の上方に位置している。この状態では、プッシャ本体３３（吸着部３４）はキャリアテープ５に接触しておらず、スプロケット３５ａ，３５ｂはその下端においてキャリアテープ５を係止し支持している（図４（ａ）参照）。また、プッシャフレーム３６には、吊下部材３９による上方への付勢力（バネによる弾性力）が作用しており、これにより、プッシャフレーム３６の上部はレバー部材３８１のローラ３８０に付勢されつつ当接している（図３および図５（ａ）参照）。一方、第一係合部３８２ａおよび第二係合部３８２ｂは、互いに離れた位置にあり、係合していない。
この状態（原点）にあるときは、キャリアテープ５をプッシャ本体３３（吸着部３４）に擦ることなく搬送することができる。
ＴＣＰ試験では、まず、ＴＣＰハンドラ２（メインスプロケット３５ｂ）の駆動によりキャリアテープ５上のＴＣＰが搬送されてプッシャ本体３３の下方に配置される。そして、サーボモータ３１が駆動されてボールネジ３２が回転し、プッシャ本体３３（吸着部３４）がキャリアテープ５に向かって下降する（図４（ｂ）参照）。
また、プッシャ本体３３の下降によってレバー部材３８１がそのベース２７１側の端部（端部Ａ）を軸にして回転し、回転したレバー部材３８１のローラ３８０に押されてプッシャフレーム３６が下降する（図５（ｂ）参照）。そして、レバー部材３８１のレバー比によるプッシャ本体３３およびプッシャフレーム３６の移動量の差異により、プッシャ本体３３がリニアモーションガイド３７，３７にガイドされてプッシャフレーム３６上をスライドし、プッシャ本部３３の吸着部３４がキャリアテープ５に接触して、キャリアテープ５を吸着する（図４（ｂ）参照）。また、これとともに、第一係合部３８２ａと第二係合部３８２ｂとが互いに当接する（図５（ｃ）参照）。
なお、初期状態から吸着部３４がキャリアテープ５に接触するまでは、吸着部３４の下降移動量がスプロケット３５ａ，３５ｂの下降移動量よりも大きくなるように構成されている（図６参照）。したがって、初期状態では吸着部３４はキャリアテープ５に接触していないが、吸着部３４が下降するに従って、吸着部３４と、スプロケット３５ａ，３５ｂに支持されて下降しているキャリアテープ５との距離が小さくなり、吸着部３４とキャリアテープ５とが接触することとなる。このとき、吸着部３４の吸着面とスプロケット３５ａ，３５ｂの下端部とは同じ高さに位置する（図４（ｂ）参照）。
次に、プッシャ本体３３がさらに下降すると、吸着部３４によってキャリアテープ５が下方に押し下げられてＴＣＰの外部端子がプローブカード８のプローブ８１に接触する（図４（ｃ）参照）。また、プッシャ本体３３の下降により、第二係合部３８２ｂが第一係合部３８２ａに押し下げられて、プッシャフレーム３６が下降する（図５（ｄ）参照）。このとき、プッシャフレーム３６は、レバー部材３８１との係合が外れており、係合部３８２ａ，３８２ｂの係合によりプッシャ本体３３と同じ速度で下降する。これにより、吸着部３４とスプロケット３５ａ，３５ｂとは一体的に連動して下降する（図６参照）。
なお、ＴＣＰの位置ずれ補正は、キャリアテープ５が吸着部３４に吸着されてからプローブカード８に接触するまでの間に行われる。ＴＣＰの位置決めでは、まず、第２カメラ６ｂが所定距離にてＴＣＰのアライメントマーク等を撮像し、その画像情報が画像処理装置（図示省略）に送信される。そして、画像処理装置が画像処理を行ってＴＣＰの位置ずれ量を演算し、この演算結果に基づいてプッシャユニット３またはプローブカードステージ７が駆動されて変位し、ＴＣＰの位置ずれが補正される。
次に、キャリアテープ５上のＴＣＰの外部端子がプローブカード８のプローブ８１に接触した状態にてＴＣＰの試験を行う。その後、サーボモータ３１が駆動されて、プッシャ本体３３およびプッシャフレーム３６が上記とは逆工程にて上昇する（図示省略）。そして、途中にてキャリアテープ５が吸着部３４から分離され、プッシャ本体３３およびプッシャフレーム３６が原点に戻る。その後に、キャリアテープ５が搬送されて次のＴＣＰがプッシャ本体３３の下方に配置され、上記の試験工程が繰り返される。
このＴＣＰハンドラ２によれば、一のサーボモータ３１によって、プッシャ本体３３およびスプロケット３５ａ，３５ｂを別々に上下移動させることができるため、ＴＣＰハンドラ２を簡易な構造とし、ＴＣＰハンドラ２の製造コストの低減を図ることができる。
また、連動機構３８としてレバー部材３８１を利用することにより、連動機構３８を簡素な構造で構成することができ、またレバー部材３８１のレバー比（レバー部材３８１の長さ・角度、ローラ３８０の位置等）を変えることによって、プッシャ本体３３およびスプロケット３５ａ，３５ｂの上下移動量をそれぞれ任意に変更することができる。
さらに、連動機構３８として第一係合部３８２ａおよび第二係合部３８２ｂを設けることにより、プローブカード８の近傍で第一係合部３８２ａおよび第二係合部３８２ｂを係合させてプッシャ本体３３およびスプロケット３５ａ，３５ｂを一体的に移動させ、その間にＴＣＰの位置ずれ情報を取得し、その位置ずれ量に応じてプッシャユニット３またはプローブカードステージ７を変位させてＴＣＰの位置ずれ補正をすることが可能である。
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
例えば、連動機構３８は、１つだけ設けられていてもよい。また、連動機構３８のプッシャ本体３３側の端部に回転可能なローラが設けられ、そのローラがプッシャ本体３３に対して摺動可能に取り付けられていてもよい。
【産業上の利用可能性】  以上説明したように、本発明に係るＴＣＰハンドリング装置によれば、単一の駆動源によりプッシャ本体およびテープ支持体を上下移動させることができるため、ＴＣＰハンドリング装置を簡易な構造とし、ＴＣＰハンドリング装置の製造コストの低減を図ることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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