(57)【要約】基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造装置であって、前記基板又は前記情報記録層の上に、微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを含む吐出部と、前記吐出部を制御する制御部とを備え、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造装置であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを含む吐出部と、
前記吐出部を制御する制御部と
を備え、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成する、多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項２】
前記吐出部は、前記基板の内周側と外周側との間を移動することを特徴とする請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項３】
前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけて複数のインクジェットノズルが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項４】
前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側の方がインクジェットノズルの密度が高いことを特徴とする請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項５】
前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側に配置されたインクジェットノズルの方が吐出量が多いことを特徴とする請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項６】
前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけての最大吐出幅が前記基板上の前記情報記録層の半径方向の幅以上であることを特徴とする請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項７】
前記吐出部は、１ｐＬ〜１ｎＬの微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを有することを特徴とする請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項８】
前記基板を回転させる回転部をさらに備え、
前記制御部は、前記吐出部に加えてさらに前記回転部を制御することを特徴とする請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を、前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下に制御することを特徴とする請求項８に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１０】
前記制御部は、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めることを特徴とする請求項８に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１１】
基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、インクジェットノズルを含む吐出部から微小樹脂液滴を滴下して樹脂を塗布することによって、前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層である樹脂層を形成することを特徴とする多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
前記樹脂を塗布する工程において、前記基板と前記吐出部との少なくとも一方を移動させて、前記基板の上を渦巻状に前記吐出部を相対移動させることを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】
前記樹脂を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めることを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
前記樹脂を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径が大きいほど、前記吐出部からの吐出量が多くなることを特徴とする請求項１３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１５】
前記樹脂を塗布する工程において、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を、前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下に制御することを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１６】
前記樹脂を塗布する工程において、前記樹脂を複数回に分けて塗布することを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１７】
前記樹脂を塗布する工程において、複数回に分けて塗布する前記樹脂は、複数種類の樹脂であることを特徴とする請求項１６に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１８】
前記樹脂を塗布する工程において、前記樹脂層を構成する主な樹脂の塗布前、塗布途中、塗布後の少なくともいずれかのタイミングで、前記樹脂層に付加情報体を埋め込むことを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１９】
前記樹脂層が複数ある場合に、前記樹脂層ごとに異なる付加情報体を埋め込むことを特徴とする請求項１８に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項２０】
基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体であって、
前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層である樹脂層は、前記基板又は前記情報記録層の上にインクジェットノズルを含む吐出部から微小樹脂液滴を滴下して樹脂層を塗布することによって形成されたことを特徴とする多層情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本願は、日本国に２００５年４月１日に出願した特願２００５−１０５８７１号の日本特許出願を優先権主張の基礎とするものであり、この日本特許出願の内容は本願明細書の一部をなすものとしてここに挙げておく。【０００２】  本発明は、再生または記録再生を目的とした情報記録媒体とその製造方法に関し、特に、２層以上の情報記録層を持つ多層情報記録媒体、その製造装置、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００３】  近年、情報機器・映像音響機器等が必要とされる情報量の拡大化に伴い、データアクセスの容易さ、大容量データの蓄積、機器の小型化に優れている光ディスクなどの情報記録媒体が注目され、記録情報の高密度化がなされている。例えば光ディスクの高密度化の手段として、レーザ光の波長を約４００ｎｍとし、レーザ光を絞り込むための集光レンズの開口数（ＮＡ）を０．８５と高めたピックアップヘッドを用いて記録する場合に、単層の情報記録層で２５ＧＢ程度、２層の情報記録層で５０ＧＢ程度の容量の光情報記録媒体が実現されている。２層以上の情報記録層を持つ光情報記録媒体の製造方法においては、情報記録層と情報記録層の間を高精度に一定間隔に保つための樹脂中間層の形成に高度な技術が必要とされる。樹脂中間層の形成には、通常、スピンコート法（例えば、特許文献１参照。）やスクリーン印刷法（例えば、特許文献２参照。）などが利用される。【０００４】  以下に、従来の多層情報記録媒体の構造及び製造方法について、図１９から図２１を用いて説明する。図１９（Ａ）〜（Ｆ）は、従来の多層情報記録媒体を作製するための基板作製用金型であるスタンパの製造方法を示している。このスタンパは、まず、ガラス板２０１上にフォトレジスト等の感光材料を塗布して感光膜２０２を形成し（図１９（Ａ）参照）、その後レーザ光２０３による光記録により、ピットや案内溝等のパターンの露光を行って得られる（図１９（Ｂ）参照）。図１９（Ｂ）中、感光膜２０２ａが露光された部分を示している。露光部の感光材料は現像工程を経ることにより除去され、ピットや案内溝等のパターン２０４が形成された光記録原盤２０５が作製される（図１９（Ｃ）参照）。感光膜２０２に形成されたピットや案内溝等のパターン２０４の形状は、スパッタリングや蒸着等の方法によって膜付けされた導電膜２０６に転写される（図１９（Ｄ）参照）。さらに、導電膜２０６の剛性及び厚みを増加させるために、めっき膜２０７を形成する（図１９（Ｅ）参照）。次に、感光膜２０２と導電膜２０６との界面から導電膜２０６およびめっき膜２０７を剥離することにより、スタンパ２０８が作製される（図１９（Ｆ）参照）。【０００５】  図２０は、従来の多層情報記録媒体の構造を示す断面図である。この多層情報記録媒体は、片面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成された成形樹脂基板３０１上に複数の情報記録層３０２、３０４を積層したものである。ここでは、成形樹脂基板３０１の情報面側を上方、反対側を下方として説明する。この多層情報記録媒体は、成形樹脂基板３０１上方に接するように配置された第０情報記録層３０２と、第０情報記録層３０２上方に接するように配置され、第０情報記録層３０２とは反対の面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成された第１樹脂中間層３０３と、第１樹脂中間層３０３上方に接するように配置された第１情報記録層３０４と、第１樹脂中間層３０３に対向配置された透明基板３０６と、第１情報記録層３０４と透明基板３０６とを貼り合わせるために設けられた接着層３０５により構成されている。【０００６】  成形樹脂基板３０１には、図１９（Ｆ）に示したスタンパ２０８を用いて、���出成形等により片面にピットや案内溝が凹凸形状の情報面として転写形成されている。この情報面の上に薄膜層を形成することによって情報記録層が形成されている。成形樹脂基板３０１の厚みは１．１ｍｍ程度である。第０情報記録層３０２および第１情報記録層３０４は、スパッタリングや蒸着等の方法により形成される記録膜や反射膜から成る。【０００７】  第１樹脂中間層３０３は、光硬化性樹脂をスピンコート法やスクリーン印刷法によって形成された樹脂膜からなり、その上方にピットや案内溝が凹凸形状の情報面が形成されている。この情報面は、図１９（Ｆ）に示したスタンパ２０８や成形樹脂基板３０１のように片面にピットや案内溝が凹凸形状の情報面として形成された転写基板を、転写基板の情報面が成形樹脂基板３０１と対向するように光硬化性樹脂を介して貼り合わせ、光硬化性樹脂の光硬化後に光硬化性樹脂との界面から転写基板を剥離することによって形成されている。透明基板３０６は、記録再生光に対して透明な（透過性を有する）材料からなり、厚みが０．１ｍｍ程度である。接着層３０５は、２枚の基板３０６、３０７を互いに接着するために設けられており、光硬化性樹脂や感圧接着剤等の接着剤から形成されている。この多層情報記録媒体の記録再生は、透明基板３０６から記録再生レーザ光を入射することによって行う。【０００８】  図２１の（Ａ）−（Ｉ）を参照しながら、樹脂中間層の形成にスピンコート法を用いる従来の多層情報記録媒体の製造方法について説明する。【０００９】  まず、成形樹脂基板４０１は、ピットや案内溝などからなる第０の信号面が形成された面にスパッタリングや蒸着等の方法により記録膜材料や反射膜材料を含んだ第０情報記録層４０２が形成される。成形樹脂基板４０１は、第０情報記録層４０２が形成された面とは反対側の面で真空吸着等の手段によって回転テーブル４０３上に固定される。（図２１（Ａ）参照）。回転テーブル４０３に固定された成形樹脂基板４０１上の第０情報記録層４０２には、ディスペンサーによって光硬化性樹脂Ａ４０４が所望の半径上に同心円状に塗布され（図２１（Ｂ）参照）、回転テーブル４０３をスピン回転させることにより光硬化性樹脂Ａ４０４の延伸を行う（図２１（Ｃ）参照）。このとき、延伸される光硬化性樹脂Ａ４０４の厚みは、光硬化性樹脂Ａ４０４樹脂の粘度やスピン回転の回転数、時間、スピン回転をさせている周りの雰囲気（温度や湿度など）を任意に設定することにより、所望の厚みに制御することができる。スピン回転停止後、延伸された光硬化性樹脂Ａ４０４は、光照射機４０５の光照射によって硬化される。【００１０】  次に、成形樹脂基板４０１の上に第１の情報面を形成するために、図１９（Ｆ）に示したスタンパ２０８や成形樹脂基板４０１のように片面にピットや案内溝が凹凸形状として形成された転写基板４０６が回転テーブル４０７上に固定される。（図２１（Ｄ）参照）。回転テーブル４０７に固定された転写基板４０６の上には、ディスペンサーによって光硬化性樹脂Ｂ４０８が所望の半径上に同心円状に塗布され（図２１（Ｅ）参照）、回転テーブル４０７をスピン回転させることにより光硬化性樹脂Ｂ４０８の延伸を行う（図２１（Ｆ）参照）。��伸される光硬化性樹脂Ｂ４０８は光硬化性樹脂Ａ４０４と同様に、所望の厚みに制御することができる。スピン回転の停止後、延伸された光硬化性樹脂Ｂ４０８は、光照射機４０９の光照射によって硬化される。【００１１】  １つの回転テーブル４０３の上で、２枚の基板４１０、４１１は、それぞれの基板４１０、４１１の光硬化性樹脂層が対向するように光硬化性樹脂Ｃ４１２を介して重ね合わされ（図２１（Ｇ）参照）、一体化させた状態で回転テーブル４０３によってスピン回転させられる。光硬化性樹脂Ｃ４１２は、スピン回転によって所望の厚みに制御された後に光照射機４０５の光照射によって硬化される（図２１（Ｈ）参照）。光硬化性樹脂Ｃ４１２によって基板４１０、４１１が一体化された後に、転写基板４０６と光硬化性樹脂Ｂ４０８の界面より、転写基板４０６を剥離することによって成形樹脂基板４０１の上に第２の情報面が形成される（図２１（Ｉ）参照）。【００１２】  ここで用いられている光硬化性樹脂Ａ４０４は、第０情報記録層４０２と光硬化性樹脂Ｃ４１２との接着性が良好なものを選定している。また、光硬化性樹脂Ｂ４０８は転写基板４０５との剥離性が良く、且つ、光硬化性樹脂Ｃ４１２との接着性が良好なものを選定している。【００１３】  成形樹脂基板４０１の上に形成された第１の情報面には、スパッタリングや蒸着等の方法により記録膜材料や反射膜材料を含んだ第１情報記録層４１３が形成される。第１情報記録層４１３と透明基板４１４を貼り合わせるときに形成される接着層４１５は、記録再生光に対してほぼ透明で、第１情報記録層４１３に光硬化性樹脂を塗布した後にスピン回転させることによって延伸された後に光照射されることによって硬化することで形成される。なお、ここでは３種類の光硬化性樹脂を用いる製造方法について述べたが、転写基板４０６の付着力などを制御することにより、用いる光硬化性樹脂の種類を減らした、より簡便な製造方法も提案されている。【００１４】  なお、特許文献２に示されるような、スクリーン印刷法により樹脂中間層を形成する多層光情報記録媒体の製造方法では、上記説明した多層光情報記録媒体の製造方法に対して、光硬化性樹脂の延伸に用いたスピンコート法をスクリーン印刷に代えて光硬化性樹脂の薄膜を形成する点で異なるが、それ以外の部分については基本的に同様の工程を経る。【００１５】
【特許文献１】特開２００２−０９２９６９号公報
【特許文献２】特開平９−３５３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】  しかしながら、スピンコート法によって樹脂中間層を形成する場合、ある特定の領域のみに樹脂の供給が行われることや、延伸に利用する遠心力が半径位置により異なることなどを主な要因として、均一な厚さの光硬化性樹脂層を形成するのが難しい。また、成形樹脂基板の外周端面まで樹脂が到達するため、端面の表面張力の影響を受けて、最外周部で盛り上がってしまうという課題がある。さらに、スピンコート法は、被塗布面の凹凸の影響を受け易い。そのため、スピンコート法で３層以上の情報記録層を持つ光情報記録媒体を製造する際や、樹脂保護層を形成する際には、前もって形成された樹脂中間層の上にスピンコートを行うことになるため、厚さ均一性がより悪化しやすくなる。また、スピンコート法を用いた場合、一回の塗布当たりに１０秒前後の時間を要するため、多層情報記録媒体の製造において生産効率を向上させる際のボトルネックともなりうる。【００１７】  一方、スクリーン印刷法によって樹脂中間層を形成する場合、スピンコート法に比べて均一な厚みを実現しやすい。しかし、スクリーンが情報記録層や、転写基板の情報面に接触することで、直接、または間接的に情報記録層に傷を発生させるという課題がある。また、スクリーン印刷では、スクリーンに開けられた孔の部分のみから樹脂が供給されるため、樹脂が供給されない部分に気泡が噛みやすいという課題もある。【００１８】  本発明の目的は、スピンコート法、スクリーン印刷法に関する課題を解決し、高精度に制御された均一な厚さの樹脂中間層及び／又は樹脂保護層を持ち、良好な信号特性を有する多層情報記録媒体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】  本発明の多層情報記録媒体の製造装置は、基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造装置であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを含む吐出部と、
前記吐出部を制御する制御部と
を備え、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成することを特徴とする。【００２０】  本発明に係る多層情報記録媒体の製造装置によれば、樹脂中間層又は樹脂保護層である樹脂層の形成の際、樹脂の塗布において微少樹脂液滴を滴下できるインクジェット法を用いているので、高精度に制御された厚さを有する樹脂層を実現することができる。【００２１】  また、前記吐出部は、前記基板の内周側と外周側との間を移動できることが好ましい。【００２２】  さらに、前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけて複数のインクジェットノズルが配置されていてもよい。このように単一のインクジェットノズルに代えて複数のインクジェットノズルを含むので、より迅速に樹脂層を塗布できる。【００２３】  なお、前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側の方がインクジェットノズルの密度が高い配置であってもよい。あるいは、前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側に配置されたインクジェットノズルの方が吐出量が多い配置としてもよい。【００２４】  さらに、前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけての最大吐出幅が前記基板上の前記情報記録層の半径方向の幅以上としてもよい。吐出部の最大吐出幅が大きいほど１回当たりの塗布時間を短くすることができる。そのため、吐出部の最大吐出幅が情報記録層の半径方向の幅、すなわち情報面の最外周の半径から最内周の半径を引いたものと同等以上である場合、情報記録層、すなわち基板を１回転するだけで１回の塗布を完了できるため、大幅に塗布時間を短縮できるため、より好ましい。さらに、吐出部の最大吐出幅が前記情報記録層の所望の塗布面の大きさ、すなわち情報面の最外周の直径と同等以上である場合、１回の走査で１回の塗布を完了できるため、大幅な塗布時間の短縮が可能となり、特に好ましい。【００２５】  また、前記吐出部は、１ｐＬ〜１ｎＬの範囲の微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを有することが好ましい。さらに、一つのインクジェットノズルから吐出する微少樹脂液滴の体積は、５〜１００ｐＬの範囲とすることがより好ましく、１０〜１００ｐＬの範囲とすることがさらに好ましい。【００２６】  さらに、多層情報記録媒体の製造装置は、前記基板を回転させる回転部をさらに備えることが好ましい。この場合には、前記制御部は、前記吐出部に加えてさらに前記回転部を制御する。また、前記制御部は、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を、前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下に制御することが好ましい。【００２７】  また、前記制御部は、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めてもよい。【００２８】  本発明に係る多層情報記録媒体の製造方法は、基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、インクジェットノズルを含む吐出部から微小樹脂液滴を滴下して樹脂層を塗布することによって、前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層である樹脂層を形成することを特徴とする。【００２９】  上記、本発明に係る製造方法によれば、半径方向の位置に依存しない均一な厚みの樹脂層を形成できる。また、情報記録媒体の端面を汚すことなく情報記録層の多層化を進めた場合にも円滑な製造が可能となり、非接触で樹脂層の塗布を行うことができるので情報面を傷つけることもない。【００３０】  前記樹脂層を塗布する工程において、前記基板と前記吐出部との少なくとも一方を移動させて、前記基板の上を渦巻状に前記吐出部を相対移動させてもよい。【００３１】  また、前記樹脂層を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めてもよい。前記樹脂層を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径が大きいほど、前記吐出部からの吐出量が多くしてもよい。このように、情報記録層、すなわち基板を低回転で回す場合であっても、滴下する位置の半径に応じて吐出量を多くすることで半径方向にわたって高精度に制御された厚さの樹脂層を得ることができる。【００３２】  さらに、前記樹脂層を塗布する工程において、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を、前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下に制御することが好ましい。【００３３】  また、前記樹脂を塗布する工程において、前記樹脂を複数回に分けて塗布してもよい。これによって、１回の塗布では不可能であった厚い樹脂層を形成できるほか、複数種類の樹脂を塗布することもできる。【００３４】  また、前記樹脂層を塗布する工程において、前記樹脂層を構成する主な樹脂の塗布前、塗布途中、塗布後の少なくともいずれかのタイミングで、前記樹脂層に付加情報体を埋め込んでもよい。この場合、前記樹脂層が複数ある場合に、前記樹脂層ごとに異なる付加情報体を埋め込んでもよい。【００３５】  本発明に係る多層情報記録媒体は、基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体であって、
前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層である樹脂層は、前記基板又は前記情報記録層の上にインクジェットノズルを含む吐出部から微小樹脂液滴を滴下して樹脂層を塗布することによって形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】  本発明の多層情報記録媒体の製造装置及び製造方法によれば、基板の半径方向の位置に依存することなく均一な厚みの樹脂中間層や樹脂保護層を形成することが可能となる。そのため、情報記録媒体の端面を汚すことなく情報記録層の多層化を進めた場合にも円滑な製造ができる。また、インクジェット技術を用いて非接触で樹脂の塗布を行うので情報面を傷つけることもない。よって良好に信号の記録再生が行える多層情報記録媒体を実現することができる。また、情報記録層が本来持つ情報以外に個々の情報記録媒体によって異なる付加情報を有する付加情報体を埋め込むこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体の製造装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体の製造方法のフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態１における樹脂の塗布工程の一例を示す断面図である。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の実施の形態１におけるインクジェットノズルの２つの例を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１における多層情報記録媒体の断面図である。
【図６】本発明の実施の形態１における成形樹脂基板の回転数と樹脂粘度と樹脂層厚みの均一性を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッドの例を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態１における樹脂の塗布工程の一例を示す断面図である。
【図９】（Ａ）−（Ｄ）は、本発明の実施の形態１における樹脂層への情報面の転写工程の各工程の例を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体製造方法によって作製された樹脂層の厚み測定結果を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体製造方法によって作製された４層情報記録媒体の３層の樹脂中間層と１層の樹脂保護層の厚みの合計の測定結果を示す図である。
【図１２】（Ａ）−（Ｄ）は、本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体製造方法における付加情報体の配置の例を示す図である。
【図１３】（Ａ）は、本発明の実施の形態２における樹脂の塗布工程の一例を示す図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の断面図である。
【図１４】（Ａ）−（Ｄ）は、本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッドの例を示す図である。
【図１５】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッドと成形樹脂基板との位置関係を示す図である。
【図１６】本発明の実施の形態２における樹脂の塗布工程の一例を示す図である。
【図１７】本発明の実施の形態２における多層情報記録媒体製造方法によって作製された４層情報記録媒体の３層の樹脂中間層と１層の樹脂保護層の厚みの合計の測定結果を示す図である。
【図１８】成型樹脂基板の両面に情報記録層を設けた多層情報記録媒体の断面図である。
【図１９】（Ａ）−（Ｆ）は、従来の多層情報記録媒体を作製するための基板作製用金型の製造方法を示した断面図である。
【図２０】従来の多層情報記録媒体の断面図である。
【図２１】（Ａ）−（Ｊ）は、従来の多層情報記録媒体の製造方法の各工程を示した断面図である。
【符号の説明】
【００３８】  １０  製造装置、
１１  吐出部
１２  アーム
１３  スライダ
１４  回転部
１５  モータ
１６  回転軸
１７  制御部
１０１    成形樹脂基板
１０２    第０情報記録層
１０３    回転テーブル
１０４    インクジェットヘッド
１０５    紫外線硬化樹脂
２０３    レーザ光
２０４    ピットや案内溝等のパターン
２０５    光記録原盤
２０６    導電膜
２０７    めっき膜
２０８    スタンパ
３０１    成形樹脂基板
３０２    第０情報記録層
３０３    第１樹脂中間層
３０４  第１情報記録層
３０５  接着層
３０６  透明基板
４０１  成形樹脂基板
４０２  第０情報記録層
４０３  回転テーブル
４０４  光硬化性樹脂Ａ
４０５  光照射機
４０６  転写基板
４０７  回転テーブル
４０８  光硬化性樹脂Ｂ
４０９  光照射機
４１０  基板
４１１  基板
４１２  光硬化性樹脂Ｃ
４１３  第１情報記録層
４１４  透明基板
４１５  接着層
５０１  吐出液
５０２  振動素子
５０３  ヒーター
６０１  成形樹脂基板
６０２  第０情報記録層
６０３  第１樹脂中間層
６０４  第１情報記録層
６０５  第２樹脂中間層
６０６  第２情報記録層
６０７  第３樹脂中間層
６０８  第３情報記録層
６０９  樹脂保護層
９０１  インクジェットヘッド
１００１  真空チャンバ
１００２  信号転写基板
１００３  センターボス
１００４  真空ポンプ
１００５  加圧プレート
１００６  紫外線照射機
１５０１  移動方向
１５０２  有効吐出幅
１８０１  付加情報体
１８０２  情報領域
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】  以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照しながら説明する。本実施の形態は、光ディスク形状の情報記録媒体の構造例について説明するが、光ディスクのように回転を伴って情報の記録や再生を行う情報記録媒体に限らず、高精度な厚み精度を要求される多層情報記録媒体全般に有用である。【００４０】（実施の形態１）
本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体の製造装置１０は、図１に示すように、基板又は基板上の情報記録層の上に微少樹脂液滴１０５を滴下する単一又は複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッド１０４を備えた吐出部１１と、基板１０１を回転させる回転部１４と、吐出部１１と回転部１４とを制御する制御部１７とを備える。吐出部１１は、インクジェットヘッド１０４を設けたアーム１２と、アーム１２を移動させるスライダ１３とを有する。また、回転部１４は、基板１０１を設置する回転テーブル１０３と、回転テーブル１０３を支持し、回転の中心となる回転軸１６と、回転軸１６を回転させるモータ１５とを有する。制御部１７は、吐出部１１を構成するインクジェットヘッド１０４からの吐出量やアーム１２の移動を制御すると共に、回転部１４のモータ１５の回転数を制御する。【００４１】  この吐出部１１を構成するインクジェットヘッド１０４は、微少樹脂液滴１０５を滴下する単一又は複数のインクジェットノズルを有する。インクジェットノズルとは、体積１ｐＬから１ｎＬ程度の微小液滴を吐出するインクジェット技術を用いたノズルである。図４の（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の実施に用いることのできる２つの代表的なインクジェットノズルの構造を示す断面図である。図では、いずれも吐出液５０１の供給路や液タンク等を省略している。図４（Ａ）は、例えば、圧電素子などの振動素子５０２により吐出液５０１を押し出して吐出を行うタイプで、ピエゾ方式インクジェットノズルと呼ばれる。図４（Ｂ）は、ヒーター５０３を用いて瞬時に吐出液を沸騰させることにより、ヒーター近傍の吐出液５０１の体積膨張を動力源として吐出を行うタイプで、サーマル方式（バブルジェット（登録商標）方式）と呼ばれる。本発明では、これらを例とする単一のインクジェットノズル、または複数のインクジェットノズルを集積したインクジェットノズルヘッド１０４を備えた吐出部１１を用いて、高精度に制御された厚さを有する樹脂薄膜を形成する。なお、本発明に用いることのできるインクジェットノズルは、上記に挙げた例に限定されるものではない。また、本発明の製造装置の吐出部から吐出する液体は、吐出後に光照射により硬化させる必要があるため、例えば、ピエゾ方式インクジェットノズル等のように、吐出時に吐出液を変質させないインクジェットノズルが好ましい。【００４２】  次に、吐出部１１を構成するインクジェットヘッド１０４の具体的な構成について説明する。インクジェットヘッド１０４は、少なくとも１つのインクジェットノズルを有し、微小樹脂液滴１０５を適宜吐出することができる。従来、インクジェット技術では、高精細な印刷等を実現するために、微小液滴の体積を、例えば、数ｐＬ程度とするなど、液滴の大きさをより小さくする方向に開発が進められている。一方、本発明の多層情報記録媒体の製造装置では、例えば、１０〜２０μｍ程度の比較的厚い樹脂層を形成する必要がある。そのため、吐出部１１のインクジェットヘッド１０４としては、例えば、数十ｐＬ程度の大きな液滴を吐出できるインクジェットヘッド１０４を用いることが好ましい。具体的には、使用できるインクジェットヘッドは、微小液滴の体積が５〜１００ｐＬ程度、対応樹脂粘度が５〜４０ｍ・Ｐａ程度、動作周波数が１０〜２０ｋＨｚ程度のものである。【００４３】  なお、吐出部１１は、基板１０１の内周側と外周側との間を移動できるものであってもよい。例えば、図１に示すように、インクジェットヘッド１０４を設けたアーム１２をスライダ１３で移動させてもよい。あるいは、アーム１２を２次元平面上で走査するものであってもよい。この場合には、基板自体を回転させなくてもよい。また、インクジェットヘッド１０４は、後述するように基板の内周側から外周側にかけて複数のインクジェットノズルが配置されていてもよい。さらに、インクジェットヘッド１０４は、基板１０１の内周側よりも外周側の方がインクジェットノズルの密度が高い配置であってもよい。あるいは、インクジェットヘッド１０４は、基板１０１の内周側よりも外周側に配置されたインクジェットノズルの方が吐出量が多い配置としてもよい。またさらに、インクジェットヘッド１０４は、基板１０１の内周側から外周側にかけての最大吐出幅を基板上の情報記録層の半径方向の幅以上としてもよい。また、吐出部の最大吐出幅が前記情報記録層の所望の塗布面の大きさ、すなわち情報面の最外周の直径と同等以上であってもよい。【００４４】  回転部１４は、基板１０１を固定する回転テーブル１０３と、回転テーブル１０３を支持し、回転の中心となる回転軸１６と、回転軸１６を回転させるモータ１５とを有する。回転部１４によって、基板１０１を回転軸１６の周りに回転させることができる。なお、例えば、基板１０１を回転テーブル１０３上に真空吸引によって固定してもよい。【００４５】  制御部１７は、吐出部１１及び回転部１４を制御する。例えば、制御部１７は、インクジェットヘッド１０４からの吐出量とアーム１２の移動とを制御する。また、制御部１７は、回転部１４のモータ１５の回転数を制御する。【００４６】  図５は、本発明の実施の形態１の製造装置によって得られる多層情報記録媒体の断面図である。この多層情報記録媒体は、片面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成された成形樹脂基板６０１上に複数の情報記録層を積層したものである。ここでは、成形樹脂基板６０１の情報面側を上方、反対側を下方として説明する。【００４７】  この多層情報記録媒体は、成形樹脂基板６０１上に、順に、第０情報記録層６０２、第１樹脂中間層６０３、第１情報記録層６０４、第２樹脂中間層６０５、第２情報記録層６０６、第３樹脂中間層６０７、第３情報記録層６０８、樹脂保護層６０９が積層されている。それぞれの樹脂中間層６０３、６０５、６０７には、その上方の面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成されている。なお、図５では、樹脂保護層６０９の外径が成形樹脂基板６０１の外径と等しくなっているが、樹脂保護層の外径は少なくとも、もっとも上方に位置する情報記録層をほぼ覆ってさえいればよく、成形樹脂基板より大きくても小さくても良い。【００４８】  成形樹脂基板６０１は、ＣＤやＤＶＤ、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃなどの光ディスクと外形の互換を有するように、外径φ１２０ｍｍ、中心穴径φ１５ｍｍ、厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度のポリカーボネートやアクリル系樹脂の円板から形成されており、図１９（Ｆ）で示した従来のスタンパを用いる射出成形等の樹脂成形によって、片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が作製されている。本実施の形態においては、代表例としてポリカーボネートを用いた場合について説明する。【００４９】  第０情報記録層６０２は、情報記録媒体が再生専用媒体の場合、少なくとも、再生光を反射する特性を持てばよく、例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２などを含む反射材料をスパッタリングや蒸着等の方法を用いて形成される。一方、情報記録媒体が記録可能媒体の場合、第０情報記録層６０２は、記録光の照射によって情報を書き込む必要があるため、例えば、ＧｅＳｂＴｅなどの相変化材料や、例えば、フタロシアニンなどの有機色素などの記録材料からなる層を少なくとも含み、必要に応じて、反射層や界面層など、記録再生特性を向上させる層を含んでなる。なお、第１情報記録層６０４、第２情報記録層６０６、および第３情報記録層６０８についても、上記第０情報記録層６０２と同様に形成することができる。【００５０】  第１樹脂中間層６０３は、記録再生光に対して透過性を有し、例えば、アクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。液体状の紫外線硬化樹脂を第０情報記録層６０２の上に、後に述べる方法でインクジェットヘッドを用いて塗布し、ピットや案内溝などの情報面を有する転写基板を押し当て、その状態で紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる。その後、転写基板を紫外線硬化樹脂との界面から剥離することによって、転写基板の凹凸形状が転写された紫外線硬化樹脂からなる第１樹脂中間層６０３が形成することができる。【００５１】  また、第２樹脂中間層６０５および第３樹脂中間層６０７についても、上記第１樹脂中間層６０３と同様の方法で形成することができる。【００５２】  樹脂保護層６０９は、記録再生光に対して透過性を有し、例えば、アクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂をスピンコート法や、インクジェット法、スクリーン印刷法などにより塗布した後に、紫外線照射により硬化させて形成することができる。また、ポリカーボネートやアクリルなどからなるシート状の材料を、接着剤などを介して貼り付けることによっても樹脂保護層６０９を形成できる。【００５３】  以上、本発明の実施の形態における多層情報記録媒体の構成と製造方法の概要を簡単に述べたが、本発明の多層情報記録媒体の製造方法は、樹脂中間層または樹脂保護層の形成方法に特徴があり、その他の構成またはその製造方法により本発明の範囲が制限されることはない。【００５４】  以下、樹脂中間層の形成方法を中心に本発明の多層情報記録媒体の製造方法の詳細について、添付図面を参照しながら説明する。【００５５】  図２は、この多層情報記録媒体の製造方法のフローチャートである。
（ａ）基板１０１又は基板１０１上に情報記録層１０２を有する被塗布物を設置する（Ｓ０１）。ここでは、回転部１４の回転テーブル１０３上に基板１０１を設置する。なお、基板１０１の中心と回転軸１６とは一致させておくことが好ましい。
（ｂ）インクジェットヘッド１０４を有する吐出部１１を配置する（Ｓ０２）。
（ｃ）回転テーブル１０３を回転させる（Ｓ０３）。回転テーブル１０３は、モータ１５によって駆動され、回転数等の駆動条件は制御部１７で制御する。
（ｄ）インクジェットヘッド１０４から樹脂液滴１０５の吐出を開始する（Ｓ０４）。
（ｅ）インクジェットヘッド１０４を移動させる（Ｓ０５）。例えば、図１の例では、スライダ１３によって基板１０１の半径方向の内周側と外周側との間でインクジェットヘッド１０４を設けたアーム１２を移動させる。なお、吐出部１１の移動方法は図１の例に限定されない。例えば、２次元面上に設定した経路に沿って吐出部１１を走査してもよい。
（ｆ）インクジェットヘッド１０４からの樹脂液滴１０５の吐出を終了する（Ｓ０６）。これによって樹脂の塗布を終了する。
（ｇ）その後、回転テーブル１０３の回転を停止する（Ｓ０７）。
（ｈ）樹脂層に紫外線照射して硬化させる（Ｓ０８）。なお、樹脂層が樹脂中間層の場合には、紫外線照射の前に、後述するようにピットや案内溝の凹凸形状の情報面を形成する工程を行う。一方、樹脂層が樹脂保護層の場合には、樹脂を塗布した後、そのまま紫外線照射して硬化させる。【００５６】  図３は、本発明の実施の形態１における多層情報記録媒体の製造方法における樹脂中間層又は樹脂保護層となる樹脂層の塗布工程の一例を示す断面図である。まず、成形樹脂基板１０１は、ピットや案内溝の情報面が形成された面にスパッタリングや蒸着等の方法により、記録膜材料又は反射膜材料の少なくとも一方を含む第０情報記録層１０２が形成されている。また、この成型樹脂基板１０１は、第０情報記録層１０２が形成された面とは反対側の面が真空吸着などの手段によって回転部である回転テーブル１０３上に固定される。【００５７】  成形樹脂基板１０１の上方には、単一又は複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッド１０４が配置されており、回転テーブル１０３と共に成形樹脂基板１０１を回転させながら、インクジェットヘッド１０４から紫外線硬化樹脂の微少樹脂液滴１０５を連続的に滴下する。滴下する量は１回あたり体積１ｐＬから１ｎＬ程度と極めて微小である。このとき、インクジェットヘッド１０４と回転テーブル１０３とのいずれか、または双方を移動させることにより、紫外線硬化樹脂の滴下位置が、少なくとも成形樹脂基板１０１の半径方向に相対的に移動する。これによって、紫外線硬化樹脂が螺旋状に滴下され、最終的に紫外線硬化樹脂の膜が第０情報記録層１０２を覆うように形成される。なお、制御の容易さの観点から、インクジェットヘッド１０４は成形樹脂基板１０１の半径方向に水平に移動させるのが本発明にとって好適な移動方法である。【００５８】  ここで、本発明の製造方法で、樹脂中間層を形成する際に必要となる塗布時間と走査速度について計算式を示す。樹脂中間層はドーナツ状に形成されるが、その内径（半径）をｒ１、外径（半径）をｒ２、樹脂中間層の面積をＳ、樹脂中間層の厚さをｄ、インクジェットヘッド１０４から吐出される微小液滴１０５の体積をｖ、インクジェットヘッド１０４の動作周波数をｆとすると、塗布時間ｔは、下記式（１）より求められる。【００５９】
【数１】
2006106735.tif 000002
【００６０】  また、螺旋状に塗布する際の送りピッチをｘとすると、インクジェットヘッドの相対的な走査速度（線速度）はｆ×ｘで表される。また、単位時間当たりの塗布面積が下記式（２）として表される。そこで、ｘは、下記式（３）によって求められる。【００６１】
【数２】
2006106735.tif 000003
【００６２】
【数３】
2006106735.tif 000004
【００６３】  例えば、微小液滴１０５の体積が１滴あたり２０ｐＬ、動作周波数が１０ｋＨｚのインクジェットノズルを１つ持つインクジェットヘッド１０４を用いて、内周を半径１５ｍｍ、外周半径を５９ｍｍとして厚さ２０μｍの樹脂層を形成する場合、塗布時間は１０００秒程度、インクジェットヘッドの送りピッチは３０μｍ程度、走査速度は０．３ｍ／ｓ程度となる。このとき、走査速度一定での塗布が想定されているため、成形樹脂基板１０１の回転速度は線速度一定方式（ＣＬＶ）となり、走査半径によって異なる。走査速度０．３ｍ／ｓの場合、内周部に塗布する際の成形樹脂基板１０１の回転速度は、１９０ｒｐｍ程度となるが、回転速度が比較的大きい場合、遠心力により、樹脂層の厚み分布が変化してしまう問題がある。許容できる回転速度の上限は、図６に示したように、用いる紫外線硬化樹脂の粘度に大きく依存する。図６では、１０、２０、４０ｍ・Ｐａの粘度の紫外線硬化樹脂を用いて、成形樹脂基板の回転速度を変えて、平均厚さ２０μｍの樹脂中間層を形成した場合に、厚みばらつきが１μｍ以下となる場合を「良」、２μｍ以下となる場合を「可」、２μｍを越える場合を「不可」としている。例えば、樹脂の粘度が２０ｍ・Ｐａ程度の場合では、回転速度は１００ｒｐｍ以下にするのが好ましい。被塗布物の回転数をＲ（ｒｐｍ）、紫外線硬化樹脂の粘度をｐ（ｍ・Ｐａ）とすると、図６より、下記式（４）を満たす回転数と粘度の組合せを用いることによって本発明の方法を好適に行うことができる。
Ｒ≦５ｐ    （４）【００６４】  走査速度を０．１５ｍ／ｓ程度にすれば、回転速度は、最内周で１００ｒｐｍ程度、外周にいくほど半径に比例して遅くなり、使用する樹脂の粘度２０ｍ・Ｐａの際に好適な塗布を行うことができる。このときの塗布時間は２０００秒程度となる。なお、本発明で用いる紫外線硬化樹脂の粘度としては、成形樹脂基板の回転を速くする観点からは、より高粘度のものが好ましいが、１０ｍ・Ｐａ以上であれば、十分好適に用いることができる。また、塗布時間については、後述する手段で容易に短縮することができる。【００６５】  次に、塗布時間の短縮についてさらに検討する。実際に情報記録媒体を製造する際には、塗布時間の２０００秒はあまりにも長いが、インクジェットヘッド１０４が有するインクジェットノズルの数を増やすことで、容易に塗布時間を短縮することができる。インクジェットノズルの配置については、成形樹脂基板の接線方向に並べる場合と、半径方向に並べる場合と、あるいは、その二つを組み合わせる場合とが考えられるが、接線方向に並べた場合、走査速度を速める工夫が必要であるため、回転速度を上げられない点を考慮すべきである。つまり、インクジェットノズルは成形樹脂基板の半径方向に並べるのが好ましく、例えば、２００ノズル並べることにより、塗布時間は１０秒程度と十分実用的な時間となる。このとき、ノズルの配置間隔は上記で求めた送りピッチｘとする必要があるが、その間隔でのノズルの配置が困難な場合は、複数のノズル列を用いればよい。例えば、図７に示したように１２０μｍ間隔でノズルを５０個並べたノズルの列を、３０μｍずつずらして４つ並べることで、実質的に３０μｍ間隔で２００ノズル並べたインクジェットヘッドと同等のインクジェットヘッドを構成することができる。【００６６】  上述した例では、塗布時のインクジェットヘッドの吐出量と走査速度との両方が一定で、成形樹脂基板１０１の回転速度が塗布半径に依存する場合について述べたが、成形樹脂基板１０１の回転速度を一定にした方が、全体の制御が容易となる場合も考えられる。その場合は、吐出部１１であるインクジェットヘッドの吐出量を半径と比例するように変えれば良い。吐出量を変えるには、一つのインクジェットノズルから滴下される液滴の量を変える方法と、作動するインクジェットノズルの数を変える方法とが考えられるが、いずれの方法を用いても本発明の効果が制限されることはない。さらに、図８に示したように、樹脂中間層、および樹脂保護層を形成したい半径幅と同等以上の最大吐出幅を持つインクジェットヘッド９０１を用いて、インクジェットヘッド９０１の吐出量を半径と比例させることで、インクジェットヘッド９０１を平行移動させることなく、成形樹脂基板１０１を一回転させるだけで、塗布を完了させることもできる。この場合、例えば６０ｒｐｍで回転させた場合で、塗布時間を１秒と非常に短くすることができる。もちろん、このとき、回転させるのはインクジェットヘッド９０１側でも良いし、成形樹脂基板１０１とインクジェットヘッド９０１の両方を回転させてもよい。【００６７】  図９の（Ａ）−（Ｄ）は、本発明の実施の形態における樹脂中間層への転写工程の一例を示す断面図である。紫外線硬化樹脂１０５の塗布が完了した成形樹脂基板１０１は、次に真空チャンバ１００１の中に搬送される。このとき転写基板１００２も真空チャンバ１００１の中に配置されている。転写基板１００２は、紫外線硬化樹脂１０５との剥離性が良好な材料であるポリオレフィン材料を用いており、厚みが、例えば、０．６ｍｍなどのように成形樹脂基板１０１よりも薄く形成されている。厚みが１．１ｍｍの基板の成形樹脂基板１０１から信号転写基板１００２を剥離する際に、基板の厚みが異なることによる剛性の差を利用し、転写基板を反らせて剥離することを目的としたものである。【００６８】  ポリオレフィン材料は、成形樹脂基板１０１と同様に従来のスタンパを用いて、射出成形等の方法で片面に凹凸形状で形成されたピットや案内溝などの情報面を容易に作製できる材料である。また紫外線の透過率が高く、転写基板１００２を通して紫外線照射することにより紫外線硬化樹脂を効率良く硬化させることができ、さらに、硬化した紫外線硬化樹脂との付着力が小さく、硬化後に紫外線硬化樹脂との界面から容易に剥離することができるという特徴を持っている。基板の中心部には、成形樹脂基板１０１とセンターボス１００３を介して偏芯をとるための中心穴が設けられている（図９（Ａ）参照）。真空チャンバ１００１内は、例えば、ロータリーポンプやメカニカルブースターポンプなどの真空ポンプ１００４によって排気され、短時間で真空雰囲気となる。本実施の形態においては、真空チャンバ１００１内が１００Ｐａ以下の真空度に達したときに、転写基板１００２を成形樹脂基板１０１上に重ね合わせている。このとき、転写基板１００２の上部に設置されている加圧プレート１００５が転写基板１００２を加圧することによって紫外線硬化樹脂１０５に転写基板１００２に形成されている情報面が転写される。【００６９】  真空チャンバ１００１内が真空雰囲気であることから、紫外線硬化樹脂１０５と転写基板１００２の間には気泡が混入することなく貼り合せることが可能となる（図９（Ｂ）参照）。貼り合わされた成形樹脂基板１０１と転写基板１００２は真空チャンバ１００１内部で、または、取り出された後で、紫外線照射装置１００６によって転写基板１００２を介して紫外線が照射される（図９（Ｃ）参照）。その後、転写基板１００２と紫外線硬化樹脂１０５の間に楔を打ち込んだり、圧縮エアーを吹き込むなどして、紫外線硬化樹脂１０５と転写基板１００２の界面から転写基板１００２を剥離する。こうして、情報面が転写された第１樹脂中間層６０３が形成される（図９（Ｄ）参照）。【００７０】  なお、ここで述べた以外にも、転写基板に、例えば、金属などの異なる材料を用いたり、２種類以上の紫外線硬化樹脂を用いて２層以上の樹脂層からなる樹脂中間層を形成したり、成形樹脂基板側から紫外線を照射するなど、紫外線硬化樹脂層に情報面を転写させる種々の公知の方法を用いてもよい。これらのいずれの方法を用いた場合にも、本発明の方法が有する紫外線硬化樹脂を均一な厚さで塗布する効果を得ることができる。例えば、情報記録層への付着力の強い紫外線硬化樹脂を情報記録層上に配置し、その上に転写基板との付着力の弱い紫外線硬化樹脂を配置して、情報面の転写後の転写基板を容易に剥離することができる。この場合には、それぞれの紫外線硬化樹脂を２度に分けて本発明の塗布方法で塗布すればよい。その際、２度に分けられる塗布とは、１回目の塗布が所望の塗布領域全域に渡って完了した後に、２回目の塗布を開始しても良い。あるいは、１回目の塗布が所望の塗布領域全域に渡って完了する前に２回目の塗布を開始しても良い。１回日に塗布された紫外線硬化樹脂の硬化については、２回目の塗布の完了後でも良いし、２回目の塗布が行われる前でも良い。なお、１回目の塗布と２回目の塗布とが時間的に重なる場合は、１回目の塗布が完了している部分のみに照射可能な紫外線照射機構を用いればよい。例えば、部分照射可能な紫外線ランプをインクジェットヘッドに設置しておけばよい。【００７１】  また、ここでは２種類の紫外線硬化樹脂を用いて樹脂中間層を形成する場合に２回に分けて塗布する方法について例を挙げたが、３種類以上の紫外線硬化樹脂を用いたり、例えば、インクジェットノズルの容量が不足して１回の塗布では所望の厚みに塗布できない場合など、樹脂の種類の数にかかわらず複数回塗布を行う場合も同様に本発明の方法を用いて効果を得ることができる。【００７２】  また、本発明の方法では、高精度な位置制御が容易であるインクジェット技術を用いて樹脂中間層を形成する樹脂を塗布するため、従来のスピンコート法やスクリーン印刷法などに比べて、塗布厚さの精度だけでなく、塗布領域の位置精度も高くすることができる。例えば、情報記録媒体の外径が半径にして６０ｍｍで情報記録層が外周側で半径５８．５ｍｍまで必要な場合を例に挙げる。従来のスピンコート法等の方法では、情報記録層を完全に覆うように樹脂を塗布しようとすると、情報記録媒体の外周端面に樹脂がはみ出してしまう場合があり、情報記録媒体の美観を損ねるだけでなく、その後の情報記録層、樹脂中間層の積層を良好に行えなくなる場合があった。しかし、本発明の方法で用いるインクジェット技術は、容易に誤差０．１ｍｍ以下の位置精度で塗布を行うことができるため、下層の情報記録層を完全に覆いながら、情報記録媒体の外周端面にはみ出すことなく、樹脂中間層又は樹脂保護層となる樹脂を塗布できる。これによって、情報記録媒体の美観や製造歩留まりを高めることができる。【００７３】  さらに、多層情報記録媒体の樹脂中間層又は樹脂保護層において、外部から読み取り可能な付加情報を有する付加情報体１８０１を設ける場合について説明する。図１２の（Ａ）−（Ｄ）に示したように、樹脂中間層を形成する主要材料とは異なる材料、例えば、色素や無機材料等を含有する液体を、特定の領域に塗布することによって、情報記録媒体を作製した後に、外部から光や電磁場などにより情報を読み取り可能な付加情報体１８０１を情報記録層とは独立に埋め込むことが可能となる。さらに、その付加情報体１８０１の形状をインクジェットノズルの制御により、多層情報記録媒体毎に、さらには、各情報記録層毎に異なるものとすることが容易であるため、多層情報記録媒体やその中の情報記録層の個体認証などに利用することができる。例えば、樹脂中間層を構成する主要材料とは異なる光学特性を持つ材料を特定の領域に塗布し、文字やバーコードのような形状情報を埋め込み（図１２（Ａ）、図１２（Ｃ））、情報記録層の再生に用いるレーザ光などで読み取ることもできる。また、導電体または半導体の材料を特定の領域に塗布し、無線タグに利用されるような特定の電磁場に応答する回路状の情報を埋め込み（図１２（Ｂ）、図１２（Ｄ））、電磁場などにより読み取ることもできる。付加情報体１８０１が、本来の情報記録層の情報を読み書きする際に、許容可能な悪影響しか持たない場合には、付加情報体１８０１を情報記録層の情報領域１８０２と重なる位置に配置してもよい（図１２（Ａ）、図１２（Ｂ））。一方、許容できない悪影響を持つ場合には、情報記録層の情報領域１８０２と重ならないように配置する必要がある。【００７４】  次に、樹脂保護層６０９の形成について説明する。図５に戻ると、第１樹脂中間層６０３の形成後、複数の情報記録層および樹脂中間層を、それぞれ、第０情報記録層６０２および第１樹脂中間層６０３と同様の方法で積層して、４層の情報記録層を３層の樹脂中間層とを交互に成形樹脂基板６０１の上に積層した。樹脂保護層６０９は、最外層として形成される。【００７５】  この樹脂保護層６０９は、記録再生光に対して透過性を有し、例えば、アクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂をスピンコート法や、インクジェット法、スクリーン印刷法などにより塗布した後に、紫外線照射により硬化させて形成することができる。また、ポリカーボネートやアクリルなどからなるシート状の材料を、接着剤などを介して貼り付けることによっても樹脂保護層６０９を形成できる。なお、上記各方法は公知技術であるので、その詳細は省略する。【００７６】  一方、本発明に係る多層情報記録媒体の製造方法として、樹脂保護層６０９についてもインクジェット法を用いて形成することができる。ここでは、インクジェット法による樹脂保護層の形成方法について詳細を述べる。【００７７】  樹脂保護層６０９をインクジェット法で形成するには、上記で２０μｍの樹脂中間層の形成について説明した方法と同じ方法で紫外線硬化樹脂を塗布し、情報面の転写工程を経ることなく、紫外線照射により硬化を行えばよい。もっとも、樹脂中間層の形成時に転写基板を重ねたのと同じ要領で、情報面などの凹凸形状を持たない平面を持つ平板を、情報面などの凹凸形状を持たない平面が紫外線硬化樹脂に接するようにして重ねた後に紫外線照射により硬化を行った後に、平板を剥離することにより、樹脂保護層の厚み均一性や樹脂保護層の表面の平坦さの向上を図ることも可能である。厚さ４０μｍの樹脂保護層を形成するには、２０μｍの樹脂中間層の形成時に対して、２倍の体積の微小液滴を用いれば良いが、インクジェットノズルの容量不足の問題があるときには、例えば、２０μｍの厚さで塗布した後に、再度２０μｍの厚さで塗布した後に紫外線硬化させるなどのように、複数回に分けて樹脂保護層を形成しても良い。このとき、１度目の塗布と２度目の塗布の間に、１度目の塗布分のみあらかじめ紫外線硬化させても良い。この方法を用いれば、薄い樹脂中間層と厚い樹脂保護層とを同じインクジェットノズルを用いて形成するのも容易となる。【００７８】  なお、樹脂保護層の形���においては、情報面などの凹凸形状を転写する必要が無いため、例えば、インクジェットヘッドに紫外線照射機構を付加して、インクジェットヘッドを追うように紫外線照射機構を配置移動させるなどして、樹脂保護層を形成すべき樹脂の塗布を行いながら、塗布の行われた領域のみに順次、紫外線照射によって硬化を行っても良い。【００７９】  次に、樹脂保護層６０９及び樹脂中間層の厚さについて説明する。樹脂保護層６０９や樹脂中間層の厚さは、次のような技術的背景を元に決定される。複数の情報記録層を有する光情報記録媒体では、個々の情報記録層によって、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から情報記録層に達するまでの距離が異なる。すなわち、良好な記録、再生特性を得るためには、個々の情報記録層に対して、異なる収差補正を適用する必要がある。情報記録層毎に異なる必要収差補正量の差をできるだけ小さくして、記録、再生装置の製造を容易にするには、樹脂中間層の厚さをできるだけ薄くすれば良い。しかしながら、樹脂中間層の厚さを薄くするほど、再生すべき情報記録層の隣接に配置される情報記録層からの反射光が迷光として再生光に混入する量が多くなり、再生品質を低下させてしまう。このような観点から、例えば、再生光波長４００ｎｍ程度、対物レンズの開口数０．８５程度のピックアップヘッドを用いて再生を行う多層情報記録媒体では樹脂中間層の厚さは１０〜３０μｍ程度が好適である。【００８０】  再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの距離を１００μｍとすると、本実施の形態における４つの情報記録層を持つ多層情報記録媒体の樹脂保護層６０９の厚みは樹脂中間層の厚さを決めることにより、自動的に決定される。例えば、樹脂中間層の厚さをすべて２０μｍとすると、樹脂保護層６０９の厚さは４０μｍと決定される。もちろん、個々の樹脂中間層の厚さを同じにする必要はなく、むしろ、互いに変えた場合の方が、再生すべき情報記録層以外からの迷光を低減することができる場合もある。いずれにしても、本発明の効果を得られることに変わりはない。【００８１】  図１０は、本発明の製造方法で形成した厚さ２０μｍの樹脂中間層の面内各点での厚み測定結果を示す図である。図１０によれば、本発明の製造方法を用いれば、樹脂中間層の面内での厚みばらつきを２μｍ以下と十分小さくすることができた。さらに、図１１に、本発明の製造方法で、４層の情報記録層と、各情報記録層の間に設けた３層の厚さ２０μｍの樹脂中間層と、最外層である１層の厚さ４０μｍの樹脂保護層とを有する４層情報記録媒体を製造した際の、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの面内各点での厚み測定結果を示す。図１１によれば、本発明の製造方法を用いれば、４層の情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する際に、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの厚みはらつきを６μｍ以下と十分小さくすることができた。【００８２】  以上説明したように、本発明の多層情報記録媒体の製造方法を用いれば、高精度に制御された厚さの樹脂中間層��樹脂保護層を持つ多層情報記録媒体を製造することができる。特に、本発明の製造方法では、スピンコート法のように樹脂の被塗布面の凹凸に影響されることがないため、情報記録層の数が多い場合にも良好な厚み精度を確保でき、スクリーン印刷法のように被塗布面（情報記録層）に接触して傷をつけることもないため、被塗布面に被接触で樹脂中間層や樹脂保護層を構成する樹脂を塗布することができるなどの高い効果を持つ。また、本発明の製造方法では、高度な位置制御技術が確立されているインクジェット技術を用いることにより、樹脂中間層を形成する樹脂の塗布領域を、情報記録層の必要な領域を完全に覆いながら、かつ、成形樹脂基板の外周端面へはみ出すことの無いように制御可能となり、情報記録媒体の美観をも良好にすることができる。【００８３】  なお、実施の形態１では、成形樹脂基板に予め情報面が転写されている場合について述べたが、成形樹脂基板が単なる平板で情報面を持っていない場合でも、情報記録層の数が１つ減るだけで、本発明の製造方法の効果を制限することはない。また、実施の形態１では、成形樹脂基板に対して片側に情報記録層や樹脂保護層が形成されている場合を例に用いたが、図１８に示したように成形樹脂基板に対して両側に情報記録層や樹脂保護層を形成する場合にも、本発明の製造方法を用いることができる。このとき、成形樹脂基板には成形時に両側に情報面が形成されていても良い。また、片側に情報面の形成された２枚の成形樹脂基板を情報面の形成されていない側同士を貼り合わせても良い。さらに、一方または両方の成形樹脂基板に情報面が形成されていなくとも本発明の方法を用いることができる。【００８４】（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係る多層情報記録媒体の製造方法について述べる。実施の形態２は、実施の形態１と比べて、樹脂中間層または樹脂保護層の形成のために行う紫外線硬化樹脂の塗布方法が異なる。なお、成形樹脂基板の作成方法や情報面の転写方法など、その他の工程については、実施の形態１と同じである。そこで、ここでは、実施の形態２において特徴となる紫外線硬化樹脂の塗布方法について述べ、それ以外の本発明の多層情報記録媒体の製造に必要な工程については割愛する。【００８５】  図１３（Ａ）は、本発明の実施の形態２の多層情報記録媒体の製造方法における紫外線硬化樹脂の塗布工程の一例を示す図であり、図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）の断面図である。成形樹脂基板１０１および成形樹脂基板１０１上の第０情報記録層１０２は実施の形態１で述べた方法で製造される。この多層情報記録媒体の製造方法で用いるインクジェットヘッドは、複数のインクジェットノズルを有する。図１４の（Ａ）〜（Ｄ）に実施の形態２の製造方法で用いるインクジェットヘッドの例を示す。インクジェットヘッドは、一つまたは複数のインクジェットノズル列からなる。ここでインクジェットノズルの配置間隔が等しくなる方向に見た場合に両端となるインクジェットノズル間の距離をそのインクジェットヘッドの最大吐出幅とする。【００８６】  紫外線硬化樹脂の塗布は、インクジェットヘッド、成形樹脂基板１０１の少なくとも一方を移動させながら、所望の領域に塗布できるようインクジェットヘッド上のインクジェットノズルからの紫外線硬化樹脂の滴下を制御することにより行われる。【００８７】  図１５の（Ａ）及び（Ｂ）に、樹脂塗布時のインクジェットヘッド１０４と成形樹脂基板１０１との位置関係を示した。インクジェットヘッド１０４の成形樹脂基板１０１に対する相対的な移動方向１５０１を、インクジェットヘッドの最大吐出幅の方向と垂直な方向にした場合に、有効吐出幅１５０２が極大となり効率のよい紫外線硬化樹脂の滴下が行えるので、本発明の方法を好適に行うことができる（図１５（Ａ））。一方、インクジェットヘッド１０４の成形樹脂基板１０１に対する相対的な移動方向１５０１を、インクジェットヘッドの最大吐出幅の方向と垂直でない方向にすることにより、本発明の樹脂の塗布における実質的なインクジェットノズルの配置間隔を小さくすることができる。そのため、インクジェットヘッドの製造上、インクジェットノズルの間隔を必要なだけ小さくすることが難しい場合には、このケースが有効である（図１５（Ｂ））。有効吐出幅１５０２と被塗布面との関係から、インクジェットヘッド１０４の必要走査回数が決まる。本発明の方法で製造する多層情報記録媒体の所望塗布面の大きさは直径１２ｃｍ程度の円であるから、例えば、有効吐出幅が３０ｍｍであれば、４回の走査で塗布が完了する。また、図１６に示したように、有効吐出幅が所望塗布面の大きさより大きい場合、１回の走査で塗布を完了することができる。【００８８】  インクジェットヘッド１０４と成形樹脂基板１０１との相対的な移動速度については、所望の塗布厚みに応じて適宜調整すればよいが、移動速度が速すぎると樹脂膜が切れてしまい良好な樹脂の塗布を行うことが���きない。そこで、一例として、本発明の紫外線硬化樹脂の塗布における実質的なインクジェットノズルの配置間隔と同程度の間隔で紫外線硬化樹脂の液滴を滴下できる移動速度に制御すれば好適な塗布が行える。例えば、微小液滴の体積が２０ｐＬ、動作周波数が１０ｋＨｚのインクジェットノズルを用いた場合を一例として考える。図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）に示したように、移動方向１５０１と最大吐出幅の方向とが垂直な方向にインクジェットノズルが１つ配置されたインクジェットヘッドを移動方向１５０１と最大吐出幅の方向とが垂直となるように移動させると、移動速度は０．３ｍ／ｓとなる。本発明の方法で製造する多層情報記録媒体の所望塗布面の大きさは直径１２ｃｍ程度の円であるから、１枚当たりの塗布時間は、４回の走査で塗布が完了する場合で２秒弱、１回の走査で塗布が完了する場合は０．５秒弱と十分短くすることができる。また、例えば、図１４（Ｃ）、図１４（Ｄ）に示したように、移動方向１５０１にインクジェットノズルが２つ配置されたインクジェットヘッドを同様に用いれば、移動速度を２倍にすることができ、その分塗布時間を短くすることができる。同じ要領で、移動方向１５０１のインクジェットノズルの数を増やすほど塗布時間を短くすることができる。【００８９】  以上説明したように紫外線硬化樹脂を塗布した後、実施の形態１で説明したのと同様の方法を用いて、転写基板からの情報面の転写や、情報記録層の形成を行う。なお、本発明の実施の形態２で説明した方法においても、実施の形態１で説明したように、複数種類の紫外線硬化樹脂を用いて樹脂中間層を形成したり、複数回に分けて紫外線硬化樹脂を塗布、または紫外線硬化したり、あるいは付加情報体を埋め込んでもよい。【００９０】  なお、樹脂保護層の形成については、上記で２０μｍの樹脂中間層の形成について説明した方法と同じ方法で紫外線硬化樹脂を塗布し、情報面の転写工程を経ることなく、紫外線照射により硬化を行えばよい。その際、実施の形態１で述べたように、形成したい樹脂保護層の厚みに合わせて、インクジェットノズルの容量を変えたり、樹脂の塗布を複数回に分けるなどの方法を用いても良い。【００９１】  図１７に、本発明の方法で４層の情報記録層と、厚さ２０μｍの３層の樹脂中間層と、厚さ４０μｍの１層の樹脂保護層とを有する４層情報記録媒体を製造した際の、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの面内各点での厚み測定結果を示す。図１７によれば、本発明の方法を用いれば、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する際に、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの厚みはらつきを５μｍ以下と十分小さくすることができた。【００９２】  なお、実施の形態２では、成形樹脂基板に予め情報面が転写されている場合について述べたが、成形樹脂基板が単なる平板で情報面を持っていない場合でも、情報記録層の数が１つ減るだけで、本発明の方法の効果が制限されることはない。また、実施の形態２では、成形樹脂基板に対して片側に情報記録層や樹脂保護層が形成されている場合を例に用いたが、図１８に示したように成形樹脂基板に対して両面のそれぞれに情報記録層や樹脂保護層が形成する場合にも、本発明の製造方法を用いることができる。このとき、成形樹脂基板には成形時に両側に情報面が形成されていても良いし、片側に情報面の形成された２枚の成形樹脂基板について、それぞれ情報面の形成されていない側同士を貼り合わせても良い。また、一方、または両方の成形樹脂基板に情報面が形成されていなくとも本発明の方法を用いることができる。【００９３】  上述の通り、本発明は好ましい実施の形態により詳細に説明されているが、本発明はこれらに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的範囲内において多くの好ましい変形例及び修正例が可能であることは当業者にとって自明なことであろう。
【産業上の利用可能性】
【００９４】  本発明に係る多層情報記録媒体の製造装置及び製造方法は、多くの情報面を１つの記録媒体中に複数有する光ディスク等の製造方法において有効である。また、光ディスクのように回転を伴って情報の記録や再生を行う情報記録媒体に限らず、高精度な厚み精度を要求される多層情報記録媒体全般の製造方法に有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【手続補正書】
【提出日】平成18年8月24日(2006.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】請求の範囲
【請求項１】  基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造装置であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを含む吐出部と、
前記吐出部の前記基板に対する相対的な移動方向が、前記基板の直径方向に対して平行になるように前記吐出部を制御する制御部と
を備え、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成する、多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項２】  前記吐出部と前記基板に対する相対的な移動方向は、前記吐出部の最大吐出幅の方向と垂直な方向であることを特徴とする請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項３】  基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造装置であって、
前記基板を回転させる回転部と、
前記基板又は前記情報記録層の上に、微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを含む吐出部と、
前記吐出部の移動を制御するとともに、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下になるよう前記回転部を制御する制御部とを備え、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成する、多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項４】  前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけて複数のインクジェットノズルが配置されていることを特徴とする請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項５】  前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側の方がインクジェットノズルの密度が高いことを特徴とする請求項４に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項６】  前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側に配置されたインクジェットノズルの方が吐出量が多いことを特徴とする請求項４に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項７】  前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけての最大吐出幅が前記基板上の前記情報記録層の半径方向の幅以上であることを特徴とする請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項８】  前記制御部は、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めることを特徴とする請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項９】  基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、インクジェットノズルを含む吐出部から微小樹脂液滴を滴下して樹脂を塗布する際に、前記吐出部の前記基板に対する相対的な移動方向が、前記基板の直径方向に対して平行になるようにすることによって、前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層である樹脂層を形成することを特徴とする多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１０】  前記吐出部と前記基板に対する相対的な移動方向は、前記吐出部の最大吐出幅の方向と垂直な方向であることを特徴とする請求項９に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１１】  基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、インクジェットノズルを含む吐出部から微少樹脂液滴を滴下して樹脂を塗布する際に、前記基板と吐出部との少なくとも一方を移動させて、前記基板の上を渦巻状に前記吐出部を移動させ、
前記基板を回転させる場合は、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下になるよう前記回転部を制御することにより、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成する、多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】  前記樹脂を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めることを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】  前記樹脂を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径が大きいほど、前記吐出部からの吐出量が多くなることを特徴とする請求項１２に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】  前記樹脂を塗布する工程において、前記樹脂を複数回に分けて塗布することを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１５】  前記樹脂を塗布する工程において、複数回に分けて塗布する前記樹脂は、複数種類の樹脂であることを特徴とする請求項１４に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１６】  前記樹脂を塗布する工程において、前記樹脂層を構成する主な樹脂の塗布前、塗布途中、塗布後の少なくともいずれかのタイミングで、前記樹脂層に付加情報体を埋め込むことを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１７】  前記樹脂層が複数ある場合に、前記樹脂層ごとに異なる付加情報体を埋め込むことを特徴とする請求項１６に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１８】  前記樹脂を塗布する工程において、前記樹脂層を構成する主な樹脂の塗布前、塗布途中、塗布後の少なくともいずれかのタイミングで、前記樹脂層に付加情報体を埋め込むことを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１９】  前記樹脂層が複数ある場合に、前記樹脂層ごとに異なる付加情報体を埋め込むことを特徴とする請求項１８に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項２０】  基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体であって、
前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層である樹脂層は、前記基板又は前記情報記録層の上にインクジェットノズルを含む吐出部から微小樹脂液滴を滴下して樹脂層を塗布することによって形成されたことを特徴とする多層情報記録媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月17日(2007.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造装置であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを含む吐出部と、
前記吐出部の前記基板に対する相対的な移動方向が、前記基板の直径方向に対して平行になるように前記吐出部を制御する制御部と
を備え、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成する、多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項２】
前記吐出部と前記基板に対する相対的な移動方向は、前記吐出部の最大吐出幅の方向と垂直な方向であることを特徴とする請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項３】
基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造装置であって、
前記基板を回転させる回転部と、
前記基板又は前記情報記録層の上に、微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを含む吐出部と、
前記吐出部の移動を制御するとともに、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下になるよう前記回転部を制御する制御部とを備え、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成する、多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項４】
前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけて複数のインクジェットノズルが配置されていることを特徴とする請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項５】
前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側の方がインクジェットノズルの密度が高いことを特徴とする請求項４に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項６】
前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側に配置されたインクジェットノズルの方が吐出量が多いことを特徴とする請求項４に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項７】
前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけての最大吐出幅が前記基板上の前記情報記録層の半径方向の幅以上であることを特徴とする請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項８】
前記制御部は、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めることを特徴とする請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項９】
基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、インクジェットノズルを含む吐出部から微小樹脂液滴を滴下して樹脂を塗布する際に、前記吐出部の前記基板に対する相対的な移動方向が、前記基板の直径方向に対して平行になるようにすることによって、前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層である樹脂層を形成することを特徴とする多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
前記吐出部と前記基板に対する相対的な移動方向は、前記吐出部の最大吐出幅の方向と垂直な方向であることを特徴とする請求項９に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、インクジェットノズルを含む吐出部から微少樹脂液滴を滴下して樹脂を塗布する際に、前記基板と吐出部との少なくとも一方を移動させて、前記基板の上を渦巻状に前記吐出部を移動させ、
前記基板を回転させる場合は、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下になるよう前記回転部を制御することにより、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成する、多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
前記樹脂を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めることを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】
前記樹脂を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径が大きいほど、前記吐出部からの吐出量が多くなることを特徴とする請求項１２に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
前記樹脂を塗布する工程において、前記樹脂を複数回に分けて塗布することを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１５】
前記樹脂を塗布する工程において、複数回に分けて塗布する前記樹脂は、複数種類の樹脂であることを特徴とする請求項１４に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１６】
前記樹脂を塗布する工程において、前記樹脂層を構成する主な樹脂の塗布前、塗布途中、塗布後の少なくともいずれかのタイミングで、前記樹脂層に付加情報体を埋め込むことを特徴とする請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１７】
前記樹脂層が複数ある場合に、前記樹脂層ごとに異なる付加情報体を埋め込むことを特徴とする請求項１６に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、日本国に２００５年４月１日に出願した特願２００５−１０５８７１号の日本特許出願を優先権主張の基礎とするものであり、この日本特許出願の内容は本願明細書の一部をなすものとしてここに挙げておく。
【０００２】
本発明は、再生または記録再生を目的とした情報記録媒体とその製造方法に関し、特に、２層以上の情報記録層を持つ多層情報記録媒体、その製造装置、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
近年、情報機器・映像音響機器等が必要とされる情報量の拡大化に伴い、データアクセスの容易さ、大容量データの蓄積、機器の小型化に優れている光ディスクなどの情報記録媒体が注目され、記録情報の高密度化がなされている。例えば光ディスクの高密度化の手段として、レーザ光の波長を約４００ｎｍとし、レーザ光を絞り込むための集光レンズの開口数（ＮＡ）を０．８５と高めたピックアップヘッドを用いて記録する場合に、単層の情報記録層で２５ＧＢ程度、２層の情報記録層で５０ＧＢ程度の容量の光情報記録媒体が実現されている。２層以上の情報記録層を持つ光情報記録媒体の製造方法においては、情報記録層と情報記録層の間を高精度に一定間隔に保つための樹脂中間層の形成に高度な技術が必要とされる。樹脂中間層の形成には、通常、スピンコート法（例えば、特許文献１参照。）やスクリーン印刷法（例えば、特許文献２参照。）などが利用される。
【０００４】
以下に、従来の多層情報記録媒体の構造及び製造方法について、図１９から図２１を用いて説明する。図１９（Ａ）〜（Ｆ）は、従来の多層情報記録媒体を作製するための基板作製用金型であるスタンパの製造方法を示している。このスタンパは、まず、ガラス板２０１上にフォトレジスト等の感光材料を塗布して感光膜２０２を形成し（図１９（Ａ）参照）、その後レーザ光２０３による光記録により、ピットや案内溝等のパターンの露光を行って得られる（図１９（Ｂ）参照）。図１９（Ｂ）中、感光膜２０２ａが露光された部分を示している。露光部の感光材料は現像工程を経ることにより除去され、ピットや案内溝等のパターン２０４が形成された光記録原盤２０５が作製される（図１９（Ｃ）参照）。感光膜２０２に形成されたピットや案内溝等のパターン２０４の形状は、スパッタリングや蒸着等の方法によって膜付けされた導電膜２０６に転写される（図１９（Ｄ）参照）。さらに、導電膜２０６の剛性及び厚みを増加させるために、めっき膜２０７を形成する（図１９（Ｅ）参照）。次に、感光膜２０２と導電膜２０６との界面から導電膜２０６およびめっき膜２０７を剥離することにより、スタンパ２０８が作製される（図１９（Ｆ）参照）。
【０００５】
図２０は、従来の多層情報記録媒体の構造を示す断面図である。この多層情報記録媒体は、片面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成された成形樹脂基板３０１上に複数の情報記録層３０２、３０４を積層したものである。ここでは、成形樹脂基板３０１の情報面側を上方、反対側を下方として説明する。この多層情報記録媒体は、成形樹脂基板３０１上方に接するように配置された第０情報記録層３０２と、第０情報記録層３０２上方に接するように配置され、第０情報記録層３０２とは反対の面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成された第１樹脂中間層３０３と、第１樹脂中間層３０３上方に接するように配置された第１情報記録層３０４と、第１樹脂中間層３０３に対向配置された透明基板３０６と、第１情報記録層３０４と透明基板３０６とを貼り合わせるために設けられた接着層３０５により構成されている。
【０００６】
成形樹脂基板３０１には、図１９（Ｆ）に示したスタンパ２０８を用いて、射出成形等により片面にピットや案内溝が凹凸形状の情報面として転写形成されている。この情報面の上に薄膜層を形成することによって情報記録層が形成されている。成形樹脂基板３０１の厚みは１．１ｍｍ程度である。第０情報記録層３０２および第１情報記録層３０４は、スパッタリングや蒸着等の方法により形成される記録膜や反射膜から成る。
【０００７】
第１樹脂中間層３０３は、光硬化性樹脂をスピンコート法やスクリーン印刷法によって形成された樹脂膜からなり、その上方にピットや案内溝が凹凸形状の情報面が形成されている。この情報面は、図１９（Ｆ）に示したスタンパ２０８や成形樹脂基板３０１のように片面にピットや案内溝が凹凸形状の情報面として形成された転写基板を、転写基板の情報面が成形樹脂基板３０１と対向するように光硬化性樹脂を介して貼り合わせ、光硬化性樹脂の光硬化後に光硬化性樹脂との界面から転写基板を剥離することによって形成されている。透明基板３０６は、記録再生光に対して透明な（透過性を有する）材料からなり、厚みが０．１ｍｍ程度である。接着層３０５は、２枚の基板３０６、３０７を互いに接着するために設けられており、光硬化性樹脂や感圧接着剤等の接着剤から形成されている。この多層情報記録媒体の記録再生は、透明基板３０６から記録再生レーザ光を入射することによって行う。
【０００８】
図２１の（Ａ）−（Ｉ）を参照しながら、樹脂中間層の形成にスピンコート法を用いる従来の多層情報記録媒体の製造方法について説明する。
【０００９】
まず、成形樹脂基板４０１は、ピットや案内溝などからなる第０の信号面が形成された面にスパッタリングや蒸着等の方法により記録膜材料や反射膜材料を含んだ第０情報記録層４０２が形成される。成形樹脂基板４０１は、第０情報記録層４０２が形成された面とは反対側の面で真空吸着等の手段によって回転テーブル４０３上に固定される。（図２１（Ａ）参照）。回転テーブル４０３に固定された成形樹脂基板４０１上の第０情報記録層４０２には、ディスペンサーによって光硬化性樹脂Ａ４０４が所望の半径上に同心円状に塗布され（図２１（Ｂ）参照）、回転テーブル４０３をスピン回転させることにより光硬化性樹脂Ａ４０４の延伸を行う（図２１（Ｃ）参照）。このとき、延伸される光硬化性樹脂Ａ４０４の厚みは、光硬化性樹脂Ａ４０４樹脂の粘度やスピン回転の回転数、時間、スピン回転をさせている周りの雰囲気（温度や湿度など）を任意に設定することにより、所望の厚みに制御することができる。スピン回転停止後、延伸された光硬化性樹脂Ａ４０４は、光照射機４０５の光照射によって硬化される。
【００１０】
次に、成形樹脂基板４０１の上に第１の情報面を形成するために、図１９（Ｆ）に示したスタンパ２０８や成形樹脂基板４０１のように片面にピットや案内溝が凹凸形状として形成された転写基板４０６が回転テーブル４０７上に固定される。（図２１（Ｄ）参照）。回転テーブル４０７に固定された転写基板４０６の上には、ディスペンサーによって光硬化性樹脂Ｂ４０８が所望の半径上に同心円状に塗布され（図２１（Ｅ）参照）、回転テーブル４０７をスピン回転させることにより光硬化性樹脂Ｂ４０８の延伸を行う（図２１（Ｆ）参照）。延伸される光硬化性樹脂Ｂ４０８は光硬化性樹脂Ａ４０４と同様に、所望の厚みに制御することができる。スピン回転の停止後、延伸された光硬化性樹脂Ｂ４０８は、光照射機４０９の光照射によって硬化される。
【００１１】
１つの回転テーブル４０３の上で、２枚の基板４１０、４１１は、それぞれの基板４１０、４１１の光硬化性樹脂層が対向するように光硬化性樹脂Ｃ４１２を介して重ね合わされ（図２１（Ｇ）参照）、一体化させた状態で回転テーブル４０３によってスピン回転させられる。光硬化性樹脂Ｃ４１２は、スピン回転によって所望の厚みに制御された後に光照射機４０５の光照射によって硬化される（図２１（Ｈ）参照）。光硬化性樹脂Ｃ４１２によって基板４１０、４１１が一体化された後に、転写基板４０６と光硬化性樹脂Ｂ４０８の界面より、転写基板４０６を剥離することによって成形樹脂基板４０１の上に第２の情報面が形成される（図２１（Ｉ）参照）。
【００１２】
ここで用いられている光硬化性樹脂Ａ４０４は、第０情報記録層４０２と光硬化性樹脂Ｃ４１２との接着性が良好なものを選定している。また、光硬化性樹脂Ｂ４０８は転写基板４０５との剥離性が良く、且つ、光硬化性樹脂Ｃ４１２との接着性が良好なものを選定している。
【００１３】
成形樹脂基板４０１の上に形成された第１の情報面には、スパッタリングや蒸着等の方法により記録膜材料や反射膜材料を含んだ第１情報記録層４１３が形成される。第１情報記録層４１３と透明基板４１４を貼り合わせるときに形成される接着層４１５は、記録再生光に対してほぼ透明で、第１情報記録層４１３に光硬化性樹脂を塗布した後にスピン回転させることによって延伸された後に光照射されることによって硬化することで形成される。なお、ここでは３種類の光硬化性樹脂を用いる製造方法について述べたが、転写基板４０６の付着力などを制御することにより、用いる光硬化性樹脂の種類を減らした、より簡便な製造方法も提案されている。
【００１４】
なお、特許文献２に示されるような、スクリーン印刷法により樹脂中間層を形成する多層光情報記録媒体の製造方法では、上記説明した多層光情報記録媒体の製造方法に対して、光硬化性樹脂の延伸に用いたスピンコート法をスクリーン印刷に代えて光硬化性樹脂の薄膜を形成する点で異なるが、それ以外の部分については基本的に同様の工程を経る。
【００１５】
【特許文献１】特開２００２−０９２９６９号公報
【特許文献２】特開平９−３５３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、スピンコート法によって樹脂中間層を形成する場合、ある特定の領域のみに樹脂の供給が行われることや、延伸に利用する遠心力が半径位置により異なることなどを主な要因として、均一な厚さの光硬化性樹脂層を形成するのが難しい。また、成形樹脂基板の外周端面まで樹脂が到達するため、端面の表面張力の影響を受けて、最外周部で盛り上がってしまうという課題がある。さらに、スピンコート法は、被塗布面の凹凸の影響を受け易い。そのため、スピンコート法で３層以上の情報記録層を持つ光情報記録媒体を製造する際や、樹脂保護層を形成する際には、前もって形成された樹脂中間層の上にスピンコートを行うことになるため、厚さ均一性がより悪化しやすくなる。また、スピンコート法を用いた場合、一回の塗布当たりに１０秒前後の時間を要するため、多層情報記録媒体の製造において生産効率を向上させる際のボトルネックともなりうる。
【００１７】
一方、スクリーン印刷法によって樹脂中間層を形成する場合、スピンコート法に比べて均一な厚みを実現しやすい。しかし、スクリーンが情報記録層や、転写基板の情報面に接触することで、直接、または間接的に情報記録層に傷を発生させるという課題がある。また、スクリーン印刷では、スクリーンに開けられた孔の部分のみから樹脂が供給されるため、樹脂が供給されない部分に気泡が噛みやすいという課題もある。
【００１８】
本発明の目的は、スピンコート法、スクリーン印刷法に関する課題を解決し、高精度に制御された均一な厚さの樹脂中間層及び／又は樹脂保護層を持ち、良好な信号特性を有する多層情報記録媒体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置は、基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造装置であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを含む吐出部と、
前記吐出部を制御する制御部と
を備え、前記基板又は前記情報記録層の上に前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層となる樹脂層を形成することを特徴とする。
【００２０】
本発明に係る多層情報記録媒体の製造装置によれば、樹脂中間層又は樹脂保護層である樹脂層の形成の際、樹脂の塗布において微少樹脂液滴を滴下できるインクジェット法を用いているので、高精度に制御された厚さを有する樹脂層を実現することができる。
【００２１】
また、前記吐出部は、前記基板の内周側と外周側との間を移動できることが好ましい。
【００２２】
さらに、前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけて複数のインクジェットノズルが配置されていてもよい。このように単一のインクジェットノズルに代えて複数のインクジェットノズルを含むので、より迅速に樹脂層を塗布できる。
【００２３】
なお、前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側の方がインクジェットノズルの密度が高い配置であってもよい。あるいは、前記吐出部は、前記基板の内周側よりも外周側に配置されたインクジェットノズルの方が吐出量が多い配置としてもよい。
【００２４】
さらに、前記吐出部は、前記基板の内周側から外周側にかけての最大吐出幅が前記基板上の前記情報記録層の半径方向の幅以上としてもよい。吐出部の最大吐出幅が大きいほど１回当たりの塗布時間を短くすることができる。そのため、吐出部の最大吐出幅が情報記録層の半径方向の幅、すなわち情報面の最外周の半径から最内周の半径を引いたものと同等以上である場合、情報記録層、すなわち基板を１回転するだけで１回の塗布を完了できるため、大幅に塗布時間を短縮できるため、より好ましい。さらに、吐出部の最大吐出幅が前記情報記録層の所望の塗布面の大きさ、すなわち情報面の最外周の直径と同等以上である場合、１回の走査で１回の塗布を完了できるため、大幅な塗布時間の短縮が可能となり、特に好ましい。
【００２５】
また、前記吐出部は、１ｐＬ〜１ｎＬの範囲の微少樹脂液滴を滴下するインクジェットノズルを有することが好ましい。さらに、一つのインクジェットノズルから吐出する微少樹脂液滴の体積は、５〜１００ｐＬの範囲とすることがより好ましく、１０〜１００ｐＬの範囲とすることがさらに好ましい。
【００２６】
さらに、多層情報記録媒体の製造装置は、前記基板を回転させる回転部をさらに備えることが好ましい。この場合には、前記制御部は、前記吐出部に加えてさらに前記回転部を制御する。また、前記制御部は、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を、前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下に制御することが好ましい。
【００２７】
また、前記制御部は、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めてもよい。
【００２８】
本発明に係る多層情報記録媒体の製造方法は、基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記各情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板又は前記情報記録層の上に、インクジェットノズルを含む吐出部から微小樹脂液滴を滴下して樹脂層を塗布することによって、前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層である樹脂層を形成することを特徴とする。
【００２９】
上記、本発明に係る製造方法によれば、半径方向の位置に依存しない均一な厚みの樹脂層を形成できる。また、情報記録媒体の端面を汚すことなく情報記録層の多層化を進めた場合にも円滑な製造が可能となり、非接触で樹脂層の塗布を行うことができるので情報面を傷つけることもない。
【００３０】
前記樹脂層を塗布する工程において、前記基板と前記吐出部との少なくとも一方を移動させて、前記基板の上を渦巻状に前記吐出部を相対移動させてもよい。
【００３１】
また、前記樹脂層を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径に応じて前記吐出部からの吐出量を決めてもよい。前記樹脂層を塗布する工程において、微少樹脂液滴を滴下する位置の前記基板における半径が大きいほど、前記吐出部からの吐出量が多くしてもよい。このように、情報記録層、すなわち基板を低回転で回す場合であっても、滴下する位置の半径に応じて吐出量を多くすることで半径方向にわたって高精度に制御された厚さの樹脂層を得ることができる。
【００３２】
さらに、前記樹脂層を塗布する工程において、前記基板の回転数（ｒｐｍ単位）を、前記樹脂の粘度（ｍ・Ｐａ単位）の５倍以下に制御することが好ましい。
【００３３】
また、前記樹脂を塗布する工程において、前記樹脂を複数回に分けて塗布してもよい。これによって、１回の塗布では不可能であった厚い樹脂層を形成できるほか、複数種類の樹脂を塗布することもできる。
【００３４】
また、前記樹脂層を塗布する工程において、前記樹脂層を構成する主な樹脂の塗布前、塗布途中、塗布後の少なくともいずれかのタイミングで、前記樹脂層に付加情報体を埋め込んでもよい。この場合、前記樹脂層が複数ある場合に、前記樹脂層ごとに異なる付加情報体を埋め込んでもよい。
【００３５】
本発明に係る多層情報記録媒体は、基板と、前記基板の上に配置される複数の情報記録層と、前記情報記録層の間に配置される樹脂中間層と、全ての前記情報記録層に対して前記基板と反対側に配置される樹脂保護層とを有する多層情報記録媒体であって、
前記樹脂中間層又は前記樹脂保護層である樹脂層は、前記基板又は前記情報記録層の上にインクジェットノズルを含む吐出部から微小樹脂液滴を滴下して樹脂層を塗布することによって形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置及び製造方法によれば、基板の半径方向の位置に依存することなく均一な厚みの樹脂中間層や樹脂保護層を形成することが可能となる。そのため、情報記録媒体の端面を汚すことなく情報記録層の多層化を進めた場合にも円滑な製造ができる。また、インクジェット技術を用いて非接触で樹脂の塗布を行うので情報面を傷つけることもない。よって良好に信号の記録再生が行える多層情報記録媒体を実現することができる。また、情報記録層が本来持つ情報以外に個々の情報記録媒体によって異なる付加情報を有する付加情報体を埋め込むこともできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照しながら説明する。本実施の形態は、光ディスク形状の情報記録媒体の構造例について説明するが、光ディスクのように回転を伴って情報の記録や再生を行う情報記録媒体に限らず、高精度な厚み精度を要求される多層情報記録媒体全般に有用である。
【００３８】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体の製造装置１０は、図１に示すように、基板又は基板上の情報記録層の上に微少樹脂液滴１０５を滴下する単一又は複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッド１０４を備えた吐出部１１と、基板１０１を回転させる回転部１４と、吐出部１１と回転部１４とを制御する制御部１７とを備える。吐出部１１は、インクジェットヘッド１０４を設けたアーム１２と、アーム１２を移動させるスライダ１３とを有する。また、回転部１４は、基板１０１を設置する回転テーブル１０３と、回転テーブル１０３を支持し、回転の中心となる回転軸１６と、回転軸１６を回転させるモータ１５とを有する。制御部１７は、吐出部１１を構成するインクジェットヘッド１０４からの吐出量やアーム１２の移動を制御すると共に、回転部１４のモータ１５の回転数を制御する。
【００３９】
この吐出部１１を構成するインクジェットヘッド１０４は、微少樹脂液滴１０５を滴下する単一又は複数のインクジェットノズルを有する。インクジェットノズルとは、体積１ｐＬから１ｎＬ程度の微小液滴を吐出するインクジェット技術を用いたノズルである。図４の（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の実施に用いることのできる２つの代表的なインクジェットノズルの構造を示す断面図である。図では、いずれも吐出液５０１の供給路や液タンク等を省略している。図４（Ａ）は、例えば、圧電素子などの振動素子５０２により吐出液５０１を押し出して吐出を行うタイプで、ピエゾ方式インクジェットノズルと呼ばれる。図４（Ｂ）は、ヒーター５０３を用いて瞬時に吐出液を沸騰させることにより、ヒーター近傍の吐出液５０１の体積膨張を動力源として吐出を行うタイプで、サーマル方式（バブルジェット（登録商標）方式）と呼ばれる。本発明では、これらを例とする単一のインクジェットノズル、または複数のインクジェットノズルを集積したインクジェットノズルヘッド１０４を備えた吐出部１１を用いて、高精度に制御された厚さを有する樹脂薄膜を形成する。なお、本発明に用いることのできるインクジェットノズルは、上記に挙げた例に限定されるものではない。また、本発明の製造装置の吐出部から吐出する液体は、吐出後に光照射により硬化させる必要があるため、例えば、ピエゾ方式インクジェットノズル等のように、吐出時に吐出液を変質させないインクジェットノズルが好ましい。
【００４０】
次に、吐出部１１を構成するインクジェットヘッド１０４の具体的な構成について説明する。インクジェットヘッド１０４は、少なくとも１つのインクジェットノズルを有し、微小樹脂液滴１０５を適宜吐出することができる。従来、インクジェット技術では、高精細な印刷等を実現するために、微小液滴の体積を、例えば、数ｐＬ程度とするなど、液滴の大きさをより小さくする方向に開発が進められている。一方、本発明の多層情報記録媒体の製造装置では、例えば、１０〜２０μｍ程度の比較的厚い樹脂層を形成する必要がある。そのため、吐出部１１のインクジェットヘッド１０４としては、例えば、数十ｐＬ程度の大きな液滴を吐出できるインクジェットヘッド１０４を用いることが好ましい。具体的には、使用できるインクジェットヘッドは、微小液滴の体積が５〜１００ｐＬ程度、対応樹脂粘度が５〜４０ｍ・Ｐａ程度、動作周波数が１０〜２０ｋＨｚ程度のものである。
【００４１】
なお、吐出部１１は、基板１０１の内周側と外周側との間を移動できるものであってもよい。例えば、図１に示すように、インクジェットヘッド１０４を設けたアーム１２をスライダ１３で移動させてもよい。あるいは、アーム１２を２次元平面上で走査するものであってもよい。この場合には、基板自体を回転させなくてもよい。また、インクジェットヘッド１０４は、後述するように基板の内周側から外周側にかけて複数のインクジェットノズルが配置されていてもよい。さらに、インクジェットヘッド１０４は、基板１０１の内周側よりも外周側の方がインクジェットノズルの密度が高い配置であってもよい。あるいは、インクジェットヘッド１０４は、基板１０１の内周側よりも外周側に配置されたインクジェットノズルの方が吐出量が多い配置としてもよい。またさらに、インクジェットヘッド１０４は、基板１０１の内周側から外周側にかけての最大吐出幅を基板上の情報記録層の半径方向の幅以上としてもよい。また、吐出部の最大吐出幅が前記情報記録層の所望の塗布面の大きさ、すなわち情報面の最外周の直径と同等以上であってもよい。
【００４２】
回転部１４は、基板１０１を固定する回転テーブル１０３と、回転テーブル１０３を支持し、回転の中心となる回転軸１６と、回転軸１６を回転させるモータ１５とを有する。回転部１４によって、基板１０１を回転軸１６の周りに回転させることができる。なお、例えば、基板１０１を回転テーブル１０３上に真空吸引によって固定してもよい。
【００４３】
制御部１７は、吐出部１１及び回転部１４を制御する。例えば、制御部１７は、インクジェットヘッド１０４からの吐出量とアーム１２の移動とを制御する。また、制御部１７は、回転部１４のモータ１５の回転数を制御する。
【００４４】
図５は、本発明の実施の形態１の製造装置によって得られる多層情報記録媒体の断面図である。この多層情報記録媒体は、片面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成された成形樹脂基板６０１上に複数の情報記録層を積層したものである。ここでは、成形樹脂基板６０１の情報面側を上方、反対側を下方として説明する。
【００４５】
この多層情報記録媒体は、成形樹脂基板６０１上に、順に、第０情報記録層６０２、第１樹脂中間層６０３、第１情報記録層６０４、第２樹脂中間層６０５、第２情報記録層６０６、第３樹脂中間層６０７、第３情報記録層６０８、樹脂保護層６０９が積層されている。それぞれの樹脂中間層６０３、６０５、６０７には、その上方の面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成されている。なお、図５では、樹脂保護層６０９の外径が成形樹脂基板６０１の外径と等しくなっているが、樹脂保護層の外径は少なくとも、もっとも上方に位置する情報記録層をほぼ覆ってさえいればよく、成形樹脂基板より大きくても小さくても良い。
【００４６】
成形樹脂基板６０１は、ＣＤやＤＶＤ、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃなどの光ディスクと外形の互換を有するように、外径φ１２０ｍｍ、中心穴径φ１５ｍｍ、厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度のポリカーボネートやアクリル系樹脂の円板から形成されており、図１９（Ｆ）で示した従来のスタンパを用いる射出成形等の樹脂成形によって、片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が作製されている。本実施の形態においては、代表例としてポリカーボネートを用いた場合について説明する。
【００４７】
第０情報記録層６０２は、情報記録媒体が再生専用媒体の場合、少なくとも、再生光を反射する特性を持てばよく、例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２などを含む反射材料をスパッタリングや蒸着等の方法を用いて形成される。一方、情報記録媒体が記録可能媒体の場合、第０情報記録層６０２は、記録光の照射によって情報を書き込む必要があるため、例えば、ＧｅＳｂＴｅなどの相変化材料や、例えば、フタロシアニンなどの有機色素などの記録材料からなる層を少なくとも含み、必要に応じて、反射層や界面層など、記録再生特性を向上させる層を含んでなる。なお、第１情報記録層６０４、第２情報記録層６０６、および第３情報記録層６０８についても、上記第０情報記録層６０２と同様に形成することができる。
【００４８】
第１樹脂中間層６０３は、記録再生光に対して透過性を有し、例えば、アクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。液体状の紫外線硬化樹脂を第０情報記録層６０２の上に、後に述べる方法でインクジェットヘッドを用いて塗布し、ピットや案内溝などの情報面を有する転写基板を押し当て、その状態で紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる。その後、転写基板を紫外線硬化樹脂との界面から剥離することによって、転写基板の凹凸形状が転写された紫外線硬化樹脂からなる第１樹脂中間層６０３が形成することができる。
【００４９】
また、第２樹脂中間層６０５および第３樹脂中間層６０７についても、上記第１樹脂中間層６０３と同様の方法で形成することができる。
【００５０】
樹脂保護層６０９は、記録再生光に対して透過性を有し、例えば、アクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂をスピンコート法や、インクジェット法、スクリーン印刷法などにより塗布した後に、紫外線照射により硬化させて形成することができる。また、ポリカーボネートやアクリルなどからなるシート状の材料を、接着剤などを介して貼り付けることによっても樹脂保護層６０９を形成できる。
【００５１】
以上、本発明の実施の形態における多層情報記録媒体の構成と製造方法の概要を簡単に述べたが、本発明の多層情報記録媒体の製造方法は、樹脂中間層または樹脂保護層の形成方法に特徴があり、その他の構成またはその製造方法により本発明の範囲が制限されることはない。
【００５２】
以下、樹脂中間層の形成方法を中心に本発明の多層情報記録媒体の製造方法の詳細について、添付図面を参照しながら説明する。
【００５３】
図２は、この多層情報記録媒体の製造方法のフローチャートである。
（ａ）基板１０１又は基板１０１上に情報記録層１０２を有する被塗布物を設置する（Ｓ０１）。ここでは、回転部１４の回転テーブル１０３上に基板１０１を設置する。なお、基板１０１の中心と回転軸１６とは一致させておくことが好ましい。
（ｂ）インクジェットヘッド１０４を有する吐出部１１を配置する（Ｓ０２）。
（ｃ）回転テーブル１０３を回転させる（Ｓ０３）。回転テーブル１０３は、モータ１５によって駆動され、回転数等の駆動条件は制御部１７で制御する。
（ｄ）インクジェットヘッド１０４から樹脂液滴１０５の吐出を開始する（Ｓ０４）。
（ｅ）インクジェットヘッド１０４を移動させる（Ｓ０５）。例えば、図１の例では、スライダ１３によって基板１０１の半径方向の内周側と外周側との間でインクジェットヘッド１０４を設けたアーム１２を移動させる。なお、吐出部１１の移動方法は図１の例に限定されない。例えば、２次元面上に設定した経路に沿って吐出部１１を走査してもよい。
（ｆ）インクジェットヘッド１０４からの樹脂液滴１０５の吐出を終了する（Ｓ０６）。これによって樹脂の塗布を終了する。
（ｇ）その後、回転テーブル１０３の回転を停止する（Ｓ０７）。
（ｈ）樹脂層に紫外線照射して硬化させる（Ｓ０８）。なお、樹脂層が樹脂中間層の場合には、紫外線照射の前に、後述するようにピットや案内溝の凹凸形状の情報面を形成する工程を行う。一方、樹脂層が樹脂保護層の場合には、樹脂を塗布した後、そのまま紫外線照射して硬化させる。
【００５４】
図３は、本発明の実施の形態１における多層情報記録媒体の製造方法における樹脂中間層又は樹脂保護層となる樹脂層の塗布工程の一例を示す断面図である。まず、成形樹脂基板１０１は、ピットや案内溝の情報面が形成された面にスパッタリングや蒸着等の方法により、記録膜材料又は反射膜材料の少なくとも一方を含む第０情報記録層１０２が形成されている。また、この成形樹脂基板１０１は、第０情報記録層１０２が形成された面とは反対側の面が真空吸着などの手段によって回転部である回転テーブル１０３上に固定される。
【００５５】
成形樹脂基板１０１の上方には、単一又は複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッド１０４が配置されており、回転テーブル１０３と共に成形樹脂基板１０１を回転させながら、インクジェットヘッド１０４から紫外線硬化樹脂の微少樹脂液滴１０５を連続的に滴下する。滴下する量は１回あたり体積１ｐＬから１ｎＬ程度と極めて微小である。このとき、インクジェットヘッド１０４と回転テーブル１０３とのいずれか、または双方を移動させることにより、紫外線硬化樹脂の滴下位置が、少なくとも成形樹脂基板１０１の半径方向に相対的に移動する。これによって、紫外線硬化樹脂が螺旋状に滴下され、最終的に紫外線硬化樹脂の膜が第０情報記録層１０２を覆うように形成される。なお、制御の容易さの観点から、インクジェットヘッド１０４は成形樹脂基板１０１の半径方向に水平に移動させるのが本発明にとって好適な移動方法である。
【００５６】
ここで、本発明の製造方法で、樹脂中間層を形成する際に必要となる塗布時間と走査速度について計算式を示す。樹脂中間層はドーナツ状に形成されるが、その内径（半径）をｒ１、外径（半径）をｒ２、樹脂中間層の面積をＳ、樹脂中間層の厚さをｄ、インクジェットヘッド１０４から吐出される微小液滴１０５の体積をｖ、インクジェットヘッド１０４の動作周波数をｆとすると、塗布時間ｔは、下記式（１）より求められる。
【００５７】
【数１】
2006106735.tif 000026
【００５８】
また、螺旋状に塗布する際の送りピッチをｘとすると、インクジェットヘッドの相対的な走査速度（線速度）はｆ×ｘで表される。また、単位時間当たりの塗布面積が下記式（２）として表される。そこで、ｘは、下記式（３）によって求められる。
【００５９】
【数２】
2006106735.tif 000027
【００６０】
【数３】
2006106735.tif 000028
【００６１】
例えば、微小液滴１０５の体積が１滴あたり２０ｐＬ、動作周波数が１０ｋＨｚのインクジェットノズルを１つ持つインクジェットヘッド１０４を用いて、内周を半径１５ｍｍ、外周半径を５９ｍｍとして厚さ２０μｍの樹脂層を形成する場合、塗布時間は１０００秒程度、インクジェットヘッドの送りピッチは３０μｍ程度、走査速度は０．３ｍ／ｓ程度となる。このとき、走査速度一定での塗布が想定されているため、成形樹脂基板１０１の回転速度は線速度一定方式（ＣＬＶ）となり、走査半径によって異なる。走査速度０．３ｍ／ｓの場合、内周部に塗布する際の成形樹脂基板１０１の回転速度は、１９０ｒｐｍ程度となるが、回転速度が比較的大きい場合、遠心力により、樹脂層の厚み分布が変化してしまう問題がある。許容できる回転速度の上限は、図６に示したように、用いる紫外線硬化樹脂の粘度に大きく依存する。図６では、１０、２０、４０ｍ・Ｐａの粘度の紫外線硬化樹脂を用いて、成形樹脂基板の回転速度を変えて、平均厚さ２０μｍの樹脂中間層を形成した場合に、厚みばらつきが１μｍ以下となる場合を「良」、２μｍ以下となる場合を「可」、２μｍを越える場合を「不可」としている。例えば、樹脂の粘度が２０ｍ・Ｐａ程度の場合では、回転速度は１００ｒｐｍ以下にするのが好ましい。被塗布物の回転数をＲ（ｒｐｍ）、紫外線硬化樹脂の粘度をｐ（ｍ・Ｐａ）とすると、図６より、下記式（４）を満たす回転数と粘度の組合せを用いることによって本発明の方法を好適に行うことができる。
Ｒ≦５ｐ        （４）
【００６２】
走査速度を０．１５ｍ／ｓ程度にすれば、回転速度は、最内周で１００ｒｐｍ程度、外周にいくほど半径に比例して遅くなり、使用する樹脂の粘度２０ｍ・Ｐａの際に好適な塗布を行うことができる。このときの塗布時間は２０００秒程度となる。なお、本発明で用いる紫外線硬化樹脂の粘度としては、成形樹脂基板の回転を速くする観点からは、より高粘度のものが好ましいが、１０ｍ・Ｐａ以上であれば、十分好適に用いることができる。また、塗布時間については、後述する手段で容易に短縮することができる。
【００６３】
次に、塗布時間の短縮についてさらに検討する。実際に情報記録媒体を製造する際には、塗布時間の２０００秒はあまりにも長いが、インクジェットヘッド１０４が有するインクジェットノズルの数を増やすことで、容易に塗布時間を短縮することができる。インクジェットノズルの配置については、成形樹脂基板の接線方向に並べる場合と、半径方向に並べる場合と、あるいは、その二つを組み合わせる場合とが考えられるが、接線方向に並べた場合、走査速度を速める工夫が必要であるため、回転速度を上げられない点を考慮すべきである。つまり、インクジェットノズルは成形樹脂基板の半径方向に並べるのが好ましく、例えば、２００ノズル並べることにより、塗布時間は１０秒程度と十分実用的な時間となる。このとき、ノズルの配置間隔は上記で求めた送りピッチｘとする必要があるが、その間隔でのノズルの配置が困難な場合は、複数のノズル列を用いればよい。例えば、図７に示したように１２０μｍ間隔でノズルを５０個並べたノズルの列を、３０μｍずつずらして４つ並べることで、実質的に３０μｍ間隔で２００ノズル並べたインクジェットヘッドと同等のインクジェットヘッドを構成することができる。
【００６４】
上述した例では、塗布時のインクジェットヘッドの吐出量と走査速度との両方が一定で、成形樹脂基板１０１の回転速度が塗布半径に依存する場合について述べたが、成形樹脂基板１０１の回転速度を一定にした方が、全体の制御が容易となる場合も考えられる。その場合は、吐出部１１であるインクジェットヘッドの吐出量を半径と比例するように変えれば良い。吐出量を変えるには、一つのインクジェットノズルから滴下される液滴の量を変える方法と、作動するインクジェットノズルの数を変える方法とが考えられるが、いずれの方法を用いても本発明の効果が制限されることはない。さらに、図８に示したように、樹脂中間層、および樹脂保護層を形成したい半径幅と同等以上の最大吐出幅を持つインクジェットヘッド９０１を用いて、インクジェットヘッド９０１の吐出量を半径と比例させることで、インクジェットヘッド９０１を平行移動させることなく、成形樹脂基板１０１を一回転させるだけで、塗布を完了させることもできる。この場合、例えば６０ｒｐｍで回転させた場合で、塗布時間を１秒と非常に短くすることができる。もちろん、このとき、回転させるのはインクジェットヘッド９０１側でも良いし、成形樹脂基板１０１とインクジェットヘッド９０１の両方を回転させてもよい。
【００６５】
図９の（Ａ）−（Ｄ）は、本発明の実施の形態における樹脂中間層への転写工程の一例を示す断面図である。紫外線硬化樹脂１０５の塗布が完了した成形樹脂基板１０１は、次に真空チャンバ１００１の中に搬送される。このとき転写基板１００２も真空チャンバ１００１の中に配置されている。転写基板１００２は、紫外線硬化樹脂１０５との剥離性が良好な材料であるポリオレフィン材料を用いており、厚みが、例えば、０．６ｍｍなどのように成形樹脂基板１０１よりも薄く形成されている。厚みが１．１ｍｍの基板の成形樹脂基板１０１から信号転写基板１００２を剥離する際に、基板の厚みが異なることによる剛性の差を利用し、転写基板を反らせて剥離することを目的としたものである。
【００６６】
ポリオレフィン材料は、成形樹脂基板１０１と同様に従来のスタンパを用いて、射出成形等の方法で片面に凹凸形状で形成されたピットや案内溝などの情報面を容易に作製できる材料である。また紫外線の透過率が高く、転写基板１００２を通して紫外線照射することにより紫外線硬化樹脂を効率良く硬化させることができ、さらに、硬化した紫外線硬化樹脂との付着力が小さく、硬化後に紫外線硬化樹脂との界面から容易に剥離することができるという特徴を持っている。基板の中心部には、成形樹脂基板１０１とセンターボス１００３を介して偏芯をとるための中心穴が設けられている（図９（Ａ）参照）。真空チャンバ１００１内は、例えば、ロータリーポンプやメカニカルブースターポンプなどの真空ポンプ１００４によって排気され、短時間で真空雰囲気となる。本実施の形態においては、真空チャンバ１００１内が１００Ｐａ以下の真空度に達したときに、転写基板１００２を成形樹脂基板１０１上に重ね合わせている。このとき、転写基板１００２の上部に設置されている加圧プレート１００５が転写基板１００２を加圧することによって紫外線硬化樹脂１０５に転写基板１００２に形成されている情報面が転写される。
【００６７】
真空チャンバ１００１内が真空雰囲気であることから、紫外線硬化樹脂１０５と転写基板１００２の間には気泡が混入することなく貼り合せることが可能となる（図９（Ｂ）参照）。貼り合わされた成形樹脂基板１０１と転写基板１００２は真空チャンバ１００１内部で、または、取り出された後で、紫外線照射装置１００６によって転写基板１００２を介して紫外線が照射される（図９（Ｃ）参照）。その後、転写基板１００２と紫外線硬化樹脂１０５の間に楔を打ち込んだり、圧縮エアーを吹き込むなどして、紫外線硬化樹脂１０５と転写基板１００２の界面から転写基板１００２を剥離する。こうして、情報面が転写された第１樹脂中間層６０３が形成される（図９（Ｄ）参照）。
【００６８】
なお、ここで述べた以外にも、転写基板に、例えば、金属などの異なる材料を用いたり、２種類以上の紫外線硬化樹脂を用いて２層以上の樹脂層からなる樹脂中間層を形成したり、成形樹脂基板側から紫外線を照射するなど、紫外線硬化樹脂層に情報面を転写させる種々の公知の方法を用いてもよい。これらのいずれの方法を用いた場合にも、本発明の方法が有する紫外線硬化樹脂を均一な厚さで塗布する効果を得ることができる。例えば、情報記録層への付着力の強い紫外線硬化樹脂を情報記録層上に配置し、その上に転写基板との付着力の弱い紫外線硬化樹脂を配置して、情報面の転写後の転写基板を容易に剥離することができる。この場合には、それぞれの紫外線硬化樹脂を２度に分けて本発明の塗布方法で塗布すればよい。その際、２度に分けられる塗布とは、１回目の塗布が所望の塗布領域全域に渡って完了した後に、２回目の塗布を開始しても良い。あるいは、１回目の塗布が所望の塗布領域全域に渡って完了する前に２回目の塗布を開始しても良い。１回目に塗布された紫外線硬化樹脂の硬化については、２回目の塗布の完了後でも良いし、２回目の塗布が行われる前でも良い。なお、１回目の塗布と２回目の塗布とが時間的に重なる場合は、１回目の塗布が完了している部分のみに照射可能な紫外線照射機構を用いればよい。例えば、部分照射可能な紫外線ランプをインクジェットヘッドに設置しておけばよい。
【００６９】
また、ここでは２種類の紫外線硬化樹脂を用いて樹脂中間層を形成する場合に２回に分けて塗布する方法について例を挙げたが、３種類以上の紫外線硬化樹脂を用いたり、例えば、インクジェットノズルの容量が不足して１回の塗布では所望の厚みに塗布できない場合など、樹脂の種類の数にかかわらず複数回塗布を行う場合も同様に本発明の方法を用いて効果を得ることができる。
【００７０】
また、本発明の方法では、高精度な位置制御が容易であるインクジェット技術を用いて樹脂中間層を形成する樹脂を塗布するため、従来のスピンコート法やスクリーン印刷法などに比べて、塗布厚さの精度だけでなく、塗布領域の位置精度も高くすることができる。例えば、情報記録媒体の外径が半径にして６０ｍｍで情報記録層が外周側で半径５８．５ｍｍまで必要な場合を例に挙げる。従来のスピンコート法等の方法では、情報記録層を完全に覆うように樹脂を塗布しようとすると、情報記録媒体の外周端面に樹脂がはみ出してしまう場合があり、情報記録媒体の美観を損ねるだけでなく、その後の情報記録層、樹脂中間層の積層を良好に行えなくなる場合があった。しかし、本発明の方法で用いるインクジェット技術は、容易に誤差０．１ｍｍ以下の位置精度で塗布を行うことができるため、下層の情報記録層を完全に覆いながら、情報記録媒体の外周端面にはみ出すことなく、樹脂中間層又は樹脂保護層となる樹脂を塗布できる。これによって、情報記録媒体の美観や製造歩留まりを高めることができる。
【００７１】
さらに、多層情報記録媒体の樹脂中間層又は樹脂保護層において、外部から読み取り可能な付加情報を有する付加情報体１８０１を設ける場合について説明する。図１２の（Ａ）−（Ｄ）に示したように、樹脂中間層を形成する主要材料とは異なる材料、例えば、色素や無機材料等を含有する液体を、特定の領域に塗布することによって、情報記録媒体を作製した後に、外部から光や電磁場などにより情報を読み取り可能な付加情報体１８０１を情報記録層とは独立に埋め込むことが可能となる。さらに、その付加情報体１８０１の形状をインクジェットノズルの制御により、多層情報記録媒体毎に、さらには、各情報記録層毎に異なるものとすることが容易であるため、多層情報記録媒体やその中の情報記録層の個体認証などに利用することができる。例えば、樹脂中間層を構成する主要材料とは異なる光学特性を持つ材料を特定の領域に塗布し、文字やバーコードのような形状情報を埋め込み（図１２（Ａ）、図１２（Ｃ））、情報記録層の再生に用いるレーザ光などで読み取ることもできる。また、導電体または半導体の材料を特定の領域に塗布し、無線タグに利用されるような特定の電磁場に応答する回路状の情報を埋め込み（図１２（Ｂ）、図１２（Ｄ））、電磁場などにより読み取ることもできる。付加情報体１８０１が、本来の情報記録層の情報を読み書きする際に、許容可能な悪影響しか持たない場合には、付加情報体１８０１を情報記録層の情報領域１８０２と重なる位置に配置してもよい（図１２（Ａ）、図１２（Ｂ））。一方、許容できない悪影響を持つ場合には、情報記録層の情報領域１８０２と重ならないように配置する必要がある。
【００７２】
次に、樹脂保護層６０９の形成について説明する。図５に戻ると、第１樹脂中間層６０３の形成後、複数の情報記録層および樹脂中間層を、それぞれ、第０情報記録層６０２および第１樹脂中間層６０３と同様の方法で積層して、４層の情報記録層を３層の樹脂中間層とを交互に成形樹脂基板６０１の上に積層した。樹脂保護層６０９は、最外層として形成される。
【００７３】
この樹脂保護層６０９は、記録再生光に対して透過性を有し、例えば、アクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂をスピンコート法や、インクジェット法、スクリーン印刷法などにより塗布した後に、紫外線照射により硬化させて形成することができる。また、ポリカーボネートやアクリルなどからなるシート状の材料を、接着剤などを介して貼り付けることによっても樹脂保護層６０９を形成できる。なお、上記各方法は公知技術であるので、その詳細は省略する。
【００７４】
一方、本発明に係る多層情報記録媒体の製造方法として、樹脂保護層６０９についてもインクジェット法を用いて形成することができる。ここでは、インクジェット法による樹脂保護層の形成方法について詳細を述べる。
【００７５】
樹脂保護層６０９をインクジェット法で形成するには、上記で２０μｍの樹脂中間層の形成について説明した方法と同じ方法で紫外線硬化樹脂を塗布し、情報面の転写工程を経ることなく、紫外線照射により硬化を行えばよい。もっとも、樹脂中間層の形成時に転写基板を重ねたのと同じ要領で、情報面などの凹凸形状を持たない平面を持つ平板を、情報面などの凹凸形状を持たない平面が紫外線硬化樹脂に接するようにして重ねた後に紫外線照射により硬化を行った後に、平板を剥離することにより、樹脂保護層の厚み均一性や樹脂保護層の表面の平坦さの向上を図ることも可能である。厚さ４０μｍの樹脂保護層を形成するには、２０μｍの樹脂中間層の形成時に対して、２倍の体積の微小液滴を用いれば良いが、インクジェットノズルの容量不足の問題があるときには、例えば、２０μｍの厚さで塗布した後に、再度２０μｍの厚さで塗布した後に紫外線硬化させるなどのように、複数回に分けて樹脂保護層を形成しても良い。このとき、１度目の塗布と２度目の塗布の間に、１度目の塗布分のみあらかじめ紫外線硬化させても良い。この方法を用いれば、薄い樹脂中間層と厚い樹脂保護層とを同じインクジェットノズルを用いて形成するのも容易となる。
【００７６】
なお、樹脂保護層の形成においては、情報面などの凹凸形状を転写する必要が無いため、例えば、インクジェットヘッドに紫外線照射機構を付加して、インクジェットヘッドを追うように紫外線照射機構を配置移動させるなどして、樹脂保護層を形成すべき樹脂の塗布を行いながら、塗布の行われた領域のみに順次、紫外線照射によって硬化を行っても良い。
【００７７】
次に、樹脂保護層６０９及び樹脂中間層の厚さについて説明する。樹脂保護層６０９や樹脂中間層の厚さは、次のような技術的背景を元に決定される。複数の情報記録層を有する光情報記録媒体では、個々の情報記録層によって、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から情報記録層に達するまでの距離が異なる。すなわち、良好な記録、再生特性を得るためには、個々の情報記録層に対して、異なる収差補正を適用する必要がある。情報記録層毎に異なる必要収差補正量の差をできるだけ小さくして、記録、再生装置の製造を容易にするには、樹脂中間層の厚さをできるだけ薄くすれば良い。しかしながら、樹脂中間層の厚さを薄くするほど、再生すべき情報記録層の隣接に配置される情報記録層からの反射光が迷光として再生光に混入する量が多くなり、再生品質を低下させてしまう。このような観点から、例えば、再生光波長４００ｎｍ程度、対物レンズの開口数０．８５程度のピックアップヘッドを用いて再生を行う多層情報記録媒体では樹脂中間層の厚さは１０〜３０μｍ程度が好適である。
【００７８】
再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの距離を１００μｍとすると、本実施の形態における４つの情報記録層を持つ多層情報記録媒体の樹脂保護層６０９の厚みは樹脂中間層の厚さを決めることにより、自動的に決定される。例えば、樹脂中間層の厚さをすべて２０μｍとすると、樹脂保護層６０９の厚さは４０μｍと決定される。もちろん、個々の樹脂中間層の厚さを同じにする必要はなく、むしろ、互いに変えた場合の方が、再生すべき情報記録層以外からの迷光を低減することができる場合もある。いずれにしても、本発明の効果を得られることに変わりはない。
【００７９】
図１０は、本発明の製造方法で形成した厚さ２０μｍの樹脂中間層の面内各点での厚み測定結果を示す図である。図１０によれば、本発明の製造方法を用いれば、樹脂中間層の面内での厚みばらつきを２μｍ以下と十分小さくすることができた。さらに、図１１に、本発明の製造方法で、４層の情報記録層と、各情報記録層の間に設けた３層の厚さ２０μｍの樹脂中間層と、最外層である１層の厚さ４０μｍの樹脂保護層とを有する４層情報記録媒体を製造した際の、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの面内各点での厚み測定結果を示す。図１１によれば、本発明の製造方法を用いれば、４層の情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する際に、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの厚みばらつきを６μｍ以下と十分小さくすることができた。
【００８０】
以上説明したように、本発明の多層情報記録媒体の製造方法を用いれば、高精度に制御された厚さの樹脂中間層や樹脂保護層を持つ多層情報記録媒体を製造することができる。特に、本発明の製造方法では、スピンコート法のように樹脂の被塗布面の凹凸に影響されることがないため、情報記録層の数が多い場合にも良好な厚み精度を確保でき、スクリーン印刷法のように被塗布面（情報記録層）に接触して傷をつけることもないため、被塗布面に被接触で樹脂中間層や樹脂保護層を構成する樹脂を塗布することができるなどの高い効果を持つ。また、本発明の製造方法では、高度な位置制御技術が確立されているインクジェット技術を用いることにより、樹脂中間層を形成する樹脂の塗布領域を、情報記録層の必要な領域を完全に覆いながら、かつ、成形樹脂基板の外周端面へはみ出すことの無いように制御可能となり、情報記録媒体の美観をも良好にすることができる。
【００８１】
なお、実施の形態１では、成形樹脂基板に予め情報面が転写されている場合について述べたが、成形樹脂基板が単なる平板で情報面を持っていない場合でも、情報記録層の数が１つ減るだけで、本発明の製造方法の効果を制限することはない。また、実施の形態１では、成形樹脂基板に対して片側に情報記録層や樹脂保護層が形成されている場合を例に用いたが、図１８に示したように成形樹脂基板に対して両側に情報記録層や樹脂保護層を形成する場合にも、本発明の製造方法を用いることができる。このとき、成形樹脂基板には成形時に両側に情報面が形成されていても良い。また、片側に情報面の形成された２枚の成形樹脂基板を情報面の形成されていない側同士を貼り合わせても良い。さらに、一方または両方の成形樹脂基板に情報面が形成されていなくとも本発明の方法を用いることができる。
【００８２】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係る多層情報記録媒体の製造方法について述べる。実施の形態２は、実施の形態１と比べて、樹脂中間層または樹脂保護層の形成のために行う紫外線硬化樹脂の塗布方法が異なる。なお、成形樹脂基板の作成方法や情報面の転写方法など、その他の工程については、実施の形態１と同じである。そこで、ここでは、実施の形態２において特徴となる紫外線硬化樹脂の塗布方法について述べ、それ以外の本発明の多層情報記録媒体の製造に必要な工程については割愛する。
【００８３】
図１３（Ａ）は、本発明の実施の形態２の多層情報記録媒体の製造方法における紫外線硬化樹脂の塗布工程の一例を示す図であり、図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）の断面図である。成形樹脂基板１０１および成形樹脂基板１０１上の第０情報記録層１０２は実施の形態１で述べた方法で製造される。この多層情報記録媒体の製造方法で用いるインクジェットヘッドは、複数のインクジェットノズルを有する。図１４の（Ａ）〜（Ｄ）に実施の形態２の製造方法で用いるインクジェットヘッドの例を示す。インクジェットヘッドは、一つまたは複数のインクジェットノズル列からなる。ここでインクジェットノズルの配置間隔が等しくなる方向に見た場合に両端となるインクジェットノズル間の距離をそのインクジェットヘッドの最大吐出幅とする。
【００８４】
紫外線硬化樹脂の塗布は、インクジェットヘッド、成形樹脂基板１０１の少なくとも一方を移動させながら、所望の領域に塗布できるようインクジェットヘッド上のインクジェットノズルからの紫外線硬化樹脂の滴下を制御することにより行われる。
【００８５】
図１５の（Ａ）及び（Ｂ）に、樹脂塗布時のインクジェットヘッド１０４と成形樹脂基板１０１との位置関係を示した。インクジェットヘッド１０４の成形樹脂基板１０１に対する相対的な移動方向１５０１を、インクジェットヘッドの最大吐出幅の方向と垂直な方向にした場合に、有効吐出幅１５０２が極大となり効率のよい紫外線硬化樹脂の滴下が行えるので、本発明の方法を好適に行うことができる（図１５（Ａ））。一方、インクジェットヘッド１０４の成形樹脂基板１０１に対する相対的な移動方向１５０１を、インクジェットヘッドの最大吐出幅の方向と垂直でない方向にすることにより、本発明の樹脂の塗布における実質的なインクジェットノズルの配置間隔を小さくすることができる。そのため、インクジェットヘッドの製造上、インクジェットノズルの間隔を必要なだけ小さくすることが難しい場合には、このケースが有効である（図１５（Ｂ））。有効吐出幅１５０２と被塗布面との関係から、インクジェットヘッド１０４の必要走査回数が決まる。本発明の方法で製造する多層情報記録媒体の所望塗布面の大きさは直径１２ｃｍ程度の円であるから、例えば、有効吐出幅が３０ｍｍであれば、４回の走査で塗布が完了する。また、図１６に示したように、有効吐出幅が所望塗布面の大きさより大きい場合、１回の走査で塗布を完了することができる。
【００８６】
インクジェットヘッド１０４と成形樹脂基板１０１との相対的な移動速度については、所望の塗布厚みに応じて適宜調整すればよいが、移動速度が速すぎると樹脂膜が切れてしまい良好な樹脂の塗布を行うことができない。そこで、一例として、本発明の紫外線硬化樹脂の塗布における実質的なインクジェットノズルの配置間隔と同程度の間隔で紫外線硬化樹脂の液滴を滴下できる移動速度に制御すれば好適な塗布が行える。例えば、微小液滴の体積が２０ｐＬ、動作周波数が１０ｋＨｚのインクジェットノズルを用いた場合を一例として考える。図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）に示したように、移動方向１５０１と最大吐出幅の方向とが垂直な方向にインクジェットノズルが１つ配置されたインクジェットヘッドを移動方向１５０１と最大吐出幅の方向とが垂直となるように移動させると、移動速度は０．３ｍ／ｓとなる。本発明の方法で製造する多層情報記録媒体の所望塗布面の大きさは直径１２ｃｍ程度の円であるから、１枚当たりの塗布時間は、４回の走査で塗布が完了する場合で２秒弱、１回の走査で塗布が完了する場合は０．５秒弱と十分短くすることができる。また、例えば、図１４（Ｃ）、図１４（Ｄ）に示したように、移動方向１５０１にインクジェットノズルが２つ配置されたインクジェットヘッドを同様に用いれば、移動速度を２倍にすることができ、その分塗布時間を短くすることができる。同じ要領で、移動方向１５０１のインクジェットノズルの数を増やすほど塗布時間を短くすることができる。
【００８７】
以上説明したように紫外線硬化樹脂を塗布した後、実施の形態１で説明したのと同様の方法を用いて、転写基板からの情報面の転写や、情報記録層の形成を行う。なお、本発明の実施の形態２で説明した方法においても、実施の形態１で説明したように、複数種類の紫外線硬化樹脂を用いて樹脂中間層を形成したり、複数回に分けて紫外線硬化樹脂を塗布、または紫外線硬化したり、あるいは付加情報体を埋め込んでもよい。
【００８８】
なお、樹脂保護層の形成については、上記で２０μｍの樹脂中間層の形成について説明した方法と同じ方法で紫外線硬化樹脂を塗布し、情報面の転写工程を経ることなく、紫外線照射により硬化を行えばよい。その際、実施の形態１で述べたように、形成したい樹脂保護層の厚みに合わせて、インクジェットノズルの容量を変えたり、樹脂の塗布を複数回に分けるなどの方法を用いても良い。
【００８９】
図１７に、本発明の方法で４層の情報記録層と、厚さ２０μｍの３層の樹脂中間層と、厚さ４０μｍの１層の樹脂保護層とを有する４層情報記録媒体を製造した際の、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの面内各点での厚み測定結果を示す。図１７によれば、本発明の方法を用いれば、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する際に、再生面側から見て情報記録媒体の表面（樹脂保護層の表面）から最も奥に配置された情報記録層までの厚みばらつきを５μｍ以下と十分小さくすることができた。
【００９０】
なお、実施の形態２では、成形樹脂基板に予め情報面が転写されている場合について述べたが、成形樹脂基板が単なる平板で情報面を持っていない場合でも、情報記録層の数が１つ減るだけで、本発明の方法の効果が制限されることはない。また、実施の形態２では、成形樹脂基板に対して片側に情報記録層や樹脂保護層が形成されている場合を例に用いたが、図１８に示したように成形樹脂基板に対して両面のそれぞれに情報記録層や樹脂保護層が形成する場合にも、本発明の製造方法を用いることができる。このとき、成形樹脂基板には成形時に両側に情報面が形成されていても良いし、片側に情報面の形成された２枚の成形樹脂基板について、それぞれ情報面の形成されていない側同士を貼り合わせても良い。また、一方、または両方の成形樹脂基板に情報面が形成されていなくとも本発明の方法を用いることができる。
【００９１】
上述の通り、本発明は好ましい実施の形態により詳細に説明されているが、本発明はこれらに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的範囲内において多くの好ましい変形例及び修正例が可能であることは当業者にとって自明なことであろう。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明に係る多層情報記録媒体の製造装置及び製造方法は、多くの情報面を１つの記録媒体中に複数有する光ディスク等の製造方法において有効である。また、光ディスクのように回転を伴って情報の記録や再生を行う情報記録媒体に限らず、高精度な厚み精度を要求される多層情報記録媒体全般の製造方法に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体の製造装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体の製造方法のフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態１における樹脂の塗布工程の一例を示す断面図である。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の実施の形態１におけるインクジェットノズルの２つの例を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１における多層情報記録媒体の断面図である。
【図６】本発明の実施の形態１における成形樹脂基板の回転数と樹脂粘度と樹脂層厚みの均一性を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッドの例を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態１における樹脂の塗布工程の一例を示す断面図である。
【図９】（Ａ）−（Ｄ）は、本発明の実施の形態１における樹脂層への情報面の転写工程の各工程の例を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体製造方法によって作製された樹脂層の厚み測定結果を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体製造方法によって作製された４層情報記録媒体の３層の樹脂中間層と１層の樹脂保護層の厚みの合計の測定結果を示す図である。
【図１２】（Ａ）−（Ｄ）は、本発明の実施の形態１に係る多層情報記録媒体製造方法における付加情報体の配置の例を示す図である。
【図１３】（Ａ）は、本発明の実施の形態２における樹脂の塗布工程の一例を示す図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の断面図である。
【図１４】（Ａ）−（Ｄ）は、本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッドの例を示す図である。
【図１５】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッドと成形樹脂基板との位置関係を示す図である。
【図１６】本発明の実施の形態２における樹脂の塗布工程の一例を示す図である。
【図１７】本発明の実施の形態２における多層情報記録媒体製造方法によって作製された４層情報記録媒体の３層の樹脂中間層と１層の樹脂保護層の厚みの合計の測定結果を示す図である。
【図１８】成形樹脂基板の両面に情報記録層を設けた多層情報記録媒体の断面図である。
【図１９】（Ａ）−（Ｆ）は、従来の多層情報記録媒体を作製するための基板作製用金型の製造方法を示した断面図である。
【図２０】従来の多層情報記録媒体の断面図である。
【図２１】（Ａ）−（Ｊ）は、従来の多層情報記録媒体の製造方法の各工程を示した断面図である。
【符号の説明】
【００９４】
１０  製造装置
１１  吐出部
１２  アーム
１３  スライダ
１４  回転部
１５  モータ
１６  回転軸
１７  制御部
１０１    成形樹脂基板
１０２    第０情報記録層
１０３    回転テーブル
１０４    インクジェットヘッド
１０５    紫外線硬化樹脂
２０３    レーザ光
２０４    ピットや案内溝等のパターン
２０５    光記録原盤
２０６    導電膜
２０７    めっき膜
２０８    スタンパ
３０１    成形樹脂基板
３０２    第０情報記録層
３０３    第１樹脂中間層
３０４    第１情報記録層
３０５    接着層
３０６    透明基板
４０１    成形樹脂基板
４０２    第０情報記録層
４０３    回転テーブル
４０４    光硬化性樹脂Ａ
４０５    光照射機
４０６    転写基板
４０７    回転テーブル
４０８    光硬化性樹脂Ｂ
４０９    光照射機
４１０    基板
４１１    基板
４１２    光硬化性樹脂Ｃ
４１３    第１情報記録層
４１４    透明基板
４１５    接着層
５０１    吐出液
５０２    振動素子
５０３    ヒーター
６０１    成形樹脂基板
６０２    第０情報記録層
６０３    第１樹脂中間層
６０４    第１情報記録層
６０５    第２樹脂中間層
６０６    第２情報記録層
６０７    第３樹脂中間層
６０８    第３情報記録層
６０９    樹脂保護層
９０１    インクジェットヘッド
１００１    真空チャンバ
１００２    信号転写基板
１００３    センターボス
１００４    真空ポンプ
１００５    加圧プレート
１００６    紫外線照射機
１５０１    移動方向
１５０２    有効吐出幅
１８０１    付加情報体
１８０２    情報領域
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
2006106735.tif 000030
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2006106735.tif 000039
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【国際調査報告】
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2006106735.tif 000051
2006106735.tif 000052
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