(57)【要約】【課題】電極と可動部との接触を防止することが可能な静電駆動型アクチュエータを得る。【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００は、可動部１１０と電極部１２０とから構成される。電極部１２０は、第１の可動部２００を駆動するためのＸ方向電極と、第２の可動部３００を駆動するためのＹ方向電極８００とから成る。Ｘ方向電極及びＹ方向電極８００は、電極基板１２１に設けられ、電極基板１２１の表面に穿たれた凹部の底部に設けられる。Ｘ方向電極は、円盤を直径で二分して得られる２つの略半円であるＸ正電極７０１とＸ負電極７０２からなり、それぞれにＸ正突起７２１及びＸ負突起７２２が設けられる。第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２は、Ｘ方向電極の中心軸上に中心を置く円上に設けられる。可動部１１０の回転角度が大きくなると、可動部１１０はＸ正突起７２１と衝突する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部と、
可動部を揺動自在に支持する支持部と、
前記可動部と一定の距離を置いて設けられる電極と、
前記可動部が揺動したとき、前記可動部が当接することにより前記可動部が前記電極に接触することを防止する突起とを備える静電駆動型アクチュエータ。
【請求項２】
前記可動部は円盤形状であって、円盤の軸と直交する直線上に前記支持部が設けられる請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項３】
前記電極は、前記可動部の円形面とほぼ同じ大きさを有する円形状であって前記可動部の軸がその中心で円形状と直交し、前記可動部の円盤形状の軸からみたとき、前記支持部と重なる部分を除いた２つの略半円形から成る請求項２に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項４】
前記突起は、前記電極と同心かつ前記電極の外周よりも小さい径を有する複数の略半輪形状であって、前記電極上に設けられる請求項３に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項５】
前記突起は、同じ径を有する２つの略半輪形状が前記電極の２つの略半円形上に各々設けられることを特徴とする請求項４に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項６】
前記突起は、複数の略半輪形状が前記電極の略半円形上に等間隔で設けられることを特徴とする請求項５に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項７】
前記突起は、前記電極上であって、前記電極と同心並びに前記電極の外周よりも小さくかつ同じ径を有する２つの略半輪線上に等間隔で設けられる複数の突起から成る請求項３に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項８】
前記突起は、前記電極上であって、前記電極と同心かつ前記電極の外周よりも小さい径を有する複数の略半輪線上に等間隔で設けられる複数の突起から成る請求項３に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項９】
前記突起は、前記電極の円形の中心を通る複数の放射線上であって、前記電極の外周から中心に向けて延びる複数の突起から成り、前記電極上に設けられる請求項３に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項１０】
前記電極の径方向における前記突起の長さは、前記電極の半径よりも短い請求項９に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項１１】
前記突起は、前記電極の中心を通り等間隔で並ぶ複数の放射線上に設けられる請求項９に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項１２】
前記突起は、前記電極の円形の中心を通る複数の放射線上であって、前記電極の外周から中心に向けて延びる複数の突起と、前記電極と同心かつ前記電極の外周よりも小さい径を有する複数の略半輪形状を成す突起とから成り、前記電極上に設けられる請求項３に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項１３】
前記円形の径方向における前記突起の長さは、前記円形の半径よりも短い請求項１２に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項１４】
前記突起は、前記円形の中心を通り等間隔で並ぶ複数の放射線上に設けられる請求項１２に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項１５】
前記突起は、前記支持部を形成する基材で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電力を用いて光の進行方向を変える静電駆動型光スキャナに用いられる静電駆動型アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電駆動型光スキャナは、静電駆動型アクチュエータの可動部に鏡面を形成し、可動部に対向するように設けられる４つの電極を備えるものが知られている。
【０００３】
可動部は２つの揺動軸周りに揺動自在に設けられる。すなわち、可動部は、第１の揺動軸を介してジンバルリングの内側に取り付けられ、ジンバルリングは、その外周面に接続された第２の揺動軸を介して環状の固定部の内側に取り付けられる。これにより、可動部がジンバルリングに対し第１の揺動軸周りに回動自在となり、ジンバルリングが固定部に対し第２の揺動軸周りに回動自在となる。
【０００４】
４つの電極に電圧を適宜印加することにより、電極と可動部との間に静電力を発生させ、この静電力により可動部を揺動させる。
【０００５】
鏡面から見ると、２つの揺動軸が形成する４つの象限に４つの電極が各々配置される。１つの揺動軸周りに可動部を揺動させるとき、その揺動軸に対して互いに同じ側に位置する２つの電極に電圧を印加する。他方の揺動軸周りに可動部を揺動させるとき、同様にして、その揺動軸に対して互いに同じ側に位置する２つの電極に電圧を印加する。２つの揺動軸周りに可動部を同時に駆動するとき、１つの電極に対し、２つの揺動軸周りに可動部を駆動するための２つの電圧が加算されて印加される。
【特許文献１】特開２００５−２０８１６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電極と可動部との間に大きい静電力が加えられたとき、可動部の揺動範囲が大きくなって、電極に接触することがある。電極と可動部との間には電位差があるため、電極と可動部とが接触すると回路が短絡する。この短絡によって回路が破壊されたり、短絡により生じる火花によりミラーが破損したりするおそれがある。
【０００７】
さらに、静電引力により電極と可動部とが接触すると、可動部が電極に固着するプルインと呼ばれる現象が生じることがある。
【０００８】
本発明はこれらの問題を鑑みてなされたものであり、電極と可動部との接触を防止することが可能な静電駆動型アクチュエータを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による静電駆動型アクチュエータは、可動部と、可動部を揺動自在に支持する支持部と、可動部と一定の距離を置いて設けられる電極と、可動部が揺動したとき、可動部が当接することにより可動部が電極に接触することを防止する突起とを備えることを特徴とする。
【００１０】
可動部は円盤形状であって、円盤の軸と直交する直線上に支持部が設けられることが好ましい。
【００１１】
電極は、可動部の円形面とほぼ同じ大きさを有する円形状であって可動部の軸がその中心で円形状と直交し、可動部の円盤形状の軸からみたとき、支持部と重なる部分を除いた２つの略半円形から成ることが好ましい。これにより、第１の可動部の回転方向毎に、電極を設けることができる。
【００１２】
突起は、電極と同心かつ電極の外周よりも小さい径を有する複数の略半輪形状であって、電極上に設けられてもよい。
【００１３】
突起は、同じ径を有する２つの略半輪形状が電極の２つの略半円形上に各々設けられてもよい。
【００１４】
突起は、複数の略半輪形状が電極の略半円形上に等間隔で設けられてもよい。
【００１５】
突起は、電極上であって、電極と同心並びに電極の外周よりも小さくかつ同じ径を有する２つの略半輪線上に等間隔で設けられる複数の突起から成るものであってもよい。
【００１６】
突起は、電極上であって、電極と同心かつ電極の外周よりも小さい径を有する複数の略半輪線上に等間隔で設けられる複数の突起から成るものであってもよい。
【００１７】
突起は、電極の円形の中心を通る複数の放射線上であって、電極の外周から中心に向けて延びる複数の突起から成り、電極上に設けられるように構成されても良い。
【００１８】
電極の径方向における突起の長さは、電極の半径よりも短くてもよい。
【００１９】
第１の突起は、第１の電極の中心を通り等間隔で並ぶ複数の放射線上に設けられることが望ましい。
【００２０】
突起は、電極の中心を通り等間隔で並ぶ複数の放射線上に設けられることが好ましい。
【００２１】
突起は、電極の円形の中心を通る複数の放射線上であって、電極の外周から中心に向けて延びる複数の突起と、電極と同心かつ電極の外周よりも小さい径を有する複数の略半輪形状を成す突起とから成り、電極上に設けられてもよい。
【００２２】
この円形の径方向における突起の長さは、円形の半径よりも短いことが好ましい。
【００２３】
突起は、円形の中心を通り等間隔で並ぶ複数の放射線上に設けられることが好ましい。
【００２４】
突起は、支持部を形成する基材で形成されてもよい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、電極と可動部との接触を防止することが可能な静電駆動型アクチュエータを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明による静電駆動型アクチュエータの第１の実施形態について図を用いて説明する。図１から４に本実施形態による静電駆動型アクチュエータを有する静電駆動型光スキャナ１００の構成を示す。
【００２７】
静電駆動型光スキャナ１００は、可動部１１０と電極部１２０とから構成される。可動部１１０は、円盤形状であって円形面のうち１つが鏡面２０１である第１の可動部２００と、第１の可動部２００の外周面２０２を取り囲む環状の第２の可動部３００と、第２の可動部３００の外周面３０１を取り囲む環状の枠部４００とから主に構成される。第１の可動部２００、第２の可動部３００及び枠部４００は略同じ厚さである。第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００の中心は全て同心上にあって、第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００は同心円状となっている。
【００２８】
第２の可動部３００には、内周面３０２側と外周面３０１側に２つずつ、合計４つの矩形の切欠３１１、３１２、３２１、３２２が設けられる。内周面３０２側の２つの切欠３１１、３１２は、第２の可動部３００の中心軸に対して軸対称であり、外周面３０１側の２つの切欠３２１、３２２もまた同様である。
【００２９】
第１の可動部２００の外周面２０２と第２の可動部３００の内周面側切欠３１１、３１２とを接続する第１の支持部５０１、５０２が設けられる。第１の支持部５０１、５０２は、直方体の板状部材を幅方向に幾重にも折り畳んだ形状であり、いわゆる雷紋状を成す。この形状により第１の支持部５０１、５０２は捻り方向に弾性を有する。これにより第１の可動部２００は、第１の支持部５０１、５０２を軸として第２の可動部３００に対し揺動可能に支持される。
【００３０】
第２の可動部３００の外周面側切欠３２１、３２２と枠部４００とを接続する第２の支持部６０１、６０２が設けられる。第２の支持部６０１、６０２の形状は、第１の支持部５０１、５０２の形状と同様であり、捻り方向に弾性を有する。これにより第２の可動部３００は、第２の支持部６０１、６０２を軸として枠部４００に対し揺動可能に支持される。枠部４００は電極部１２０に対して固定される。
【００３１】
電極部１２０は、第１の可動部２００を駆動するためのＸ方向電極７００と、第２の可動部３００を駆動するためのＹ方向電極８００とから成る。Ｘ方向電極７００及びＹ方向電極８００は、電極基板１２１に設けられ、電極基板１２１の表面に穿たれた凹部の底部に設けられる。
【００３２】
Ｘ方向電極７００は、円盤を直径で二分して得られる２つの略半円７０１、７０２からなる。略半円のうち、図においてＸ軸のＹ軸負側に置かれる略半円をＸ正電極７０１、Ｘ軸のＹ軸正側に置かれる略半円をＸ負電極７０２とする。Ｙ方向電極８００は、環形状を直径で二分して得られる２つの略半輪からなり、内周にＸ方向電極７００を納める。略半輪のうち、図においてＹ軸のＸ軸正側に置かれる略半輪をＹ正電極８０１、Ｙ軸のＸ軸負側に置かれる略半輪をＹ負電極８０２とする。
【００３３】
Ｘ方向電極７００とＹ方向電極８００の中心軸は、第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００の中心軸と同一直線上に置かれる。Ｘ方向電極７００の直径は第１の可動部２００の直径と略等しく、Ｙ方向電極８００の内径及び外径は、第２の可動部３００の内径及び外径と等しい。第１、２の可動部２００、３００及びＸ、Ｙ方向電極８００は、それらの中心軸から見たとき、第１の可動部２００とＸ方向電極７００とが、そして第２の可動部３００とＹ方向電極８００とが、各々略一致して重なるように設けられる。
【００３４】
また、第１、２の可動部２００、３００の中心軸から見たとき、Ｘ方向電極７００は第１の可動部２００の揺動軸によりＸ正電極７０１とＸ負電極７０２とに二分され、Ｙ方向電極８００は第２の可動部３００の揺動軸によりＹ正電極８０１とＹ負電極８０２とに二分される。
【００３５】
Ｘ正電極７０１及びＸ負電極７０２には、Ｘ正電極７０１及びＸ負電極７０２に電荷を移送するための図示しないＸ正配線及びＸ負配線が各々接続される。
【００３６】
Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２には、Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２に電荷を移送するための図示しないＹ正配線及びＹ負配線が各々接続される。
【００３７】
Ｘ正負配線及びＹ正負配線は図示しない電源装置に接続され、第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００は電気的に接地される。
【００３８】
Ｘ正電極７０１とＸ負電極７０２には、Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２が設けられる。Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２は、Ｘ正電極７０１とＸ負電極７０２の第１、２の可動部２００、３００と対向する面から、第１、２の可動部２００、３００に向けて突出し、その頂面は電極基板１２１の表面と面一となる。
【００３９】
Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２は、電極部１２０の基材である絶縁物質のガラスから成り、Ｘ正電極７０１およびＸ負電極７０２を形成する前に形成される。まず、Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２の形状に応じてレジスト剤をガラス基板上に塗布する。その後、エッチング処理、蒸着処理等の処理を経てＸ正電極７０１およびＸ負電極７０２を形成する。電極部１２０の基材の絶縁性を利用することで、特別な工程を追加することなく、容易かつ比較的高い自由度で突起を形成することができる。
【００４０】
なお、これらの突起は別の絶縁部材で構成されても良い。
【００４１】
第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２はＸ方向電極７００の中心軸に対して対称となる２つの略半輪状を成し、その内周及び外周は、Ｘ正電極７０１及びＸ負電極７０２の弧と平行である。言いかえると、第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２は、Ｘ方向電極７００の中心軸上に中心を置く円上に設けられる。Ｘ方向電極７００の中心とＸ正突起７２１及びＸ負突起７２２との距離は、Ｘ方向電極７００の半径の略１／３である。Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２は、電気的に接地される。
【００４２】
Ｙ正電極８０１とＹ負電極８０２には、Ｙ正突起８２１及びＹ負突起８２２が設けられる。Ｙ正突起８２１及びＹ負突起８２２は、Ｙ正電極８０１とＹ負電極８０２の第１、２の可動部２００、３００と対向する面から、第１、２の可動部２００、３００に向けて突出し、その頂面は電極基板１２１の表面と面一となる。
【００４３】
第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｙ正突起８２１及びＹ負突起８２２はＹ方向電極８００の中心軸に対して対称となる２つの略半輪状を成し、その内周及び外周は、Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２の弧と平行である。Ｙ正突起８２１及びＹ負突起８２２は、電気的に接地される。
【００４４】
次に、第１の可動部２００の動作について説明する。
【００４５】
まず、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに揺動する場合について説明する。
【００４６】
図示しない電源装置がＸ正配線７１１を介してＸ正電極７０１に交流電圧を印加する。この交流電圧は、最大振幅電圧が４０Ｖであり、２０Ｖの直流バイアス電圧が重畳されている。そのため、最大電圧は４０Ｖであり、最小電圧は０Ｖである。
【００４７】
この交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間に電圧差が生じ、この電圧差により第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間に静電力が生じる。この静電力により、第１の可動部２００とＸ正電極７０１とが引き合い、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第１の可動部２００が最大の回転角度で回転する。
【００４８】
第１の可動部２００の回転角度が大きくなると、第１の可動部２００はＸ正突起７２１と衝突する。Ｘ正突起７２１は電気的に接地されているため、第１の可動部２００とＸ正電極７０１とが直接に接触しない。第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間にプルインが発生するおそれ、及び第１の可動部２００とＸ正電極７０１との短絡により鏡面２０１や回路等が破壊されるおそれがなくなる。
【００４９】
交流電圧が４０Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第１の可動部２００は、第１の支持部５０１、５０２の弾性力により第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第１の可動部２００は、第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００５０】
これを繰り返すことにより、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに揺動する。
【００５１】
次に、第１の可動部２００がＸ軸時計周りに揺動する場合について説明する。
【００５２】
この場合、電源装置はＸ負配線７１２を介してＸ負電極７０２に交流電圧を印加する。この交流電圧は、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに揺動する場合と同様である。
【００５３】
交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間に電圧差が生じ、この電圧差により第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間に静電力が生じる。この静電力により、第１の可動部２００とＸ負電極７０２とが引き合い、第１の可動部２００がＸ軸時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第１の可動部２００が最大の回転角度で回転する。
【００５４】
第１の可動部２００の回転角度が大きくなると、第１の可動部２００はＸ負突起７２２と衝突する。Ｘ正突起７２１と同様に、Ｘ負突起７２２が、第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間のプルイン、及び鏡面２０１や回路等の破壊を防止する。
【００５５】
交流電圧が４０Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第１の可動部２００は、第１の支持部５０１、５０２の弾性力により第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第１の可動部２００は、第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００５６】
これを繰り返すことにより、第１の可動部２００がＸ軸時計周りに揺動する。
【００５７】
次に、第２の可動部３００の動作について説明する。
【００５８】
まず、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに揺動する場合について説明する。
【００５９】
図示しない電源装置がＹ正配線８１１を介してＹ正電極８０１に交流電圧を印加する。この交流電圧は、最大振幅電圧が１００Ｖであり、５０Ｖの直流バイアス電圧が重畳されている。そのため、最大電圧は１００Ｖであり、最小電圧は０Ｖである。
【００６０】
この交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間に電圧差が生じ、この電圧差により第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間に静電力が生じる。この静電力により、第２の可動部３００とＹ正電極８０１とが引き合い、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第２の可動部３００が最大の回転角度で回転する。
【００６１】
第２の可動部３００の回転角度が大きくなると、第２の可動部３００はＹ正突起８２１と衝突する。Ｘ正突起７２１と同様に、Ｙ正突起８２１が、第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間のプルイン、及び鏡面２０１や回路等の破壊を防止する。
【００６２】
交流電圧が１００Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第２の可動部３００は、第２の支持部６０１、６０２の弾性力により第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第２の可動部３００は、第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００６３】
これを繰り返すことにより、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに揺動する。
【００６４】
第２の可動部３００がＹ軸時計周りに揺動する場合について説明する。
【００６５】
この場合、電源装置はＹ負配線８１２を介してＹ負電極８０２に交流電圧を印加する。この交流電圧は、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに揺動する場合と同様である。
【００６６】
交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間に電圧差が生じ、この電圧差により第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間に静電力が生じる。
【００６７】
この静電力により、第２の可動部３００とＹ負電極８０２とが引き合い、第２の可動部３００がＹ軸時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第２の可動部３００が最大の回転角度で回転する。
【００６８】
第２の可動部３００の回転角度が大きくなると、第２の可動部３００はＹ負突起８２２と衝突する。Ｘ正突起７２１と同様に、Ｙ負突起８２２が、第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間のプルイン、及び鏡面２０１や回路等の破壊を防止する。
【００６９】
交流電圧が１００Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第２の可動部３００は、第２の支持部６０１、６０２の弾性力により第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第２の可動部３００は、第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００７０】
これを繰り返すことにより、第２の可動部３００がＹ軸時計周りに揺動する。
【００７１】
なお、Ｘ正突起７２１及びＸ負突起７２２がＸ正電極７０１とＸ負電極７０２を直径で分断する突起と接続されても良く、Ｙ正突起８２１及びＹ負突起８２２がＹ正電極８０１とＹ負電極８０２を直径で分断する突起と接続されても良い。
【００７２】
次に、第２の実施形態について図５から７を用いて説明する。第１の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００７３】
Ｘ正電極７０１とＸ負電極７０２には、４つのＸ正突起７２１ａ及び４つのＸ負突起７２２ａが設けられる。Ｘ正突起７２１ａ及びＸ負突起７２２ａは、Ｘ正電極７０１とＸ負電極７０２の第１、２の可動部２００、３００と対向する面から、第１、２の可動部２００、３００に向けて突出し、その頂面は電極基板１２１の表面と面一となる。
【００７４】
第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｘ正突起７２１ａ及びＸ負突起７２２ａは、Ｘ方向電極７００の中心軸上に中心を置く同心円上に設けられる。すなわち、それらの内周及び外周は、Ｘ正電極７０１及びＸ負電極７０２の弧と平行である。隣接する同心円との間隔は等しい。Ｘ正突起７２１ａ及びＸ負突起７２２ａは、電気的に接地される。
【００７５】
本実施形態によれば、第１の可動部２００が歪んだときでも第１の可動部２００がＸ方向電極７００と接触することを防止できる。
【００７６】
なお、Ｘ正突起７２１ａ及びＸ負突起７２２ａと同様の構成を持つＹ正突起及びＹ負突起がＹ正電極８０１とＹ負電極８０２に設けられても良い。
【００７７】
次に、第３の実施形態について図８から１０を用いて説明する。第１、第２の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００７８】
本実施形態によるＸ正突起７２１ｂ及びＸ負突起７２２ｂは、第１の実施形態によるＸ正突起７２１及びＸ負突起７２２を、円周方向に裁断した形状を有する。すなわち、Ｘ正突起７２１ｂ及びＸ負突起７２２ｂは、第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｘ方向電極７００の中心軸上に中心を置く円上に等間隔で設けられる複数の小突起である。
【００７９】
本実施形態によれば、Ｘ正突起７２１ｂ及びＸ負突起７２２ｂの形状を小さくすることにより、Ｘ方向電極７００が生じる静電引力に対して、Ｘ正突起７２１ｂ及びＸ負突起７２２ｂが与える影響を小さくすることができる。すなわち、Ｘ正突起７２１ｂ及びＸ負突起７２２ｂをＸ方向電極７００の外周に近い位置に設けることにより、Ｘ方向電極７００の端部と第１の可動部２００との間のプルインを防止し、モーメントの大きい電極端部に加えられる静電引力が小さくなることを防止する。
【００８０】
なお、Ｘ正突起７２１ｂ及びＸ負突起７２２ｂは、等間隔に設けられなくても良い。
【００８１】
また、Ｘ正突起７２１ｂ及びＸ負突起７２２ｂと同様の構成を持つＹ正突起及びＹ負突起がＹ正電極とＹ負電極に設けられても良い。
【００８２】
次に、第４の実施形態について図１１から１３を用いて説明する。第１から第３の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００８３】
本実施形態によるＸ正突起７２１ｃ及びＸ負突起７２２ｃは、第２の実施形態によるＸ正突起７２１ａ及びＸ負突起７２２ａを、円周方向に裁断した形状を有する。すなわち、Ｘ正突起７２１ｃ及びＸ負突起７２２ｃは、第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｘ方向電極７００の中心軸上に中心を置く円上に等間隔で設けられる複数の小突起である。
【００８４】
本実施形態のように複数の小突起を配置することにより、例えば第１の可動部２００の一部が破損してＸ方向電極７００の上に破片が落ちた場合であっても、破片を介して第１の可動部２００と第１の可動部２００とが接触することを防止できる。
【００８５】
なお、Ｘ正突起７２１ｃ及びＸ負突起７２２ｃは、等間隔に設けられなくても良い。
【００８６】
また、Ｘ正突起７２１ｃ及びＸ負突起７２２ｃと同様の構成を持つＹ正突起及びＹ負突起がＹ正電極８０１とＹ負電極８０２に設けられても良い。
【００８７】
次に、第５の実施形態について図１４から１６を用いて説明する。第１から第４の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００８８】
Ｘ正電極７０１とＸ負電極７０２には、その弧から中心に向けて延びる複数のＸ正突起７２１ｄ及び複数のＸ負突起７２２ｄが設けられる。Ｘ正突起７２１ｄどうし及びＸ負突起７２２ｄどうしの間隔は、周方向において等間隔である。Ｘ正突起７２１ｄは、Ｘ正電極７０１の弧から中心までの距離の略１／３まで延びる。Ｘ負突起７２２ｄもまた同様である。
【００８９】
第１の可動部２００の厚さを薄くして剛性を低下させると、第１の可動部２００がＸ方向電極７００と接触した場合、第１の可動部２００が撓んで第１の可動部２００とＸ方向電極７００との接触面積が大きくなるおそれがある。本実施形態によれば、厚さの薄い第１の可動部２００であっても、Ｘ方向電極７００の外周から一定程度延びる各突起がＸ方向電極７００との接触を防ぐ。
【００９０】
なお、Ｘ正突起７２１ｄ及びＸ負突起７２２ｄは、等間隔に設けられなくても良い。
【００９１】
また、Ｘ正突起７２１ｄ及びＸ負突起７２２ｄと同様の構成を持つＹ正突起及びＹ負突起がＹ正電極８０１とＹ負電極８０２に設けられても良い。
【００９２】
次に、第６の実施形態について図１７及び図１８を用いて説明する。第１から第５の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００９３】
本実施形態によるＸ正突起７２１ｅ及びＸ負突起７２２ｅは、第１の実施形態によるＸ正突起７２１及びＸ負突起７２２と、第５の実施形態によるＸ正突起７２１ｄ及びＸ負突起７２２ｄを、組み合わせた形状を有する。すなわち、Ｘ正突起７２１ｅ及びＸ負突起７２２ｅは、第１の可動部２００の軸方向から見たとき、Ｘ方向電極７００の弧から中心に向けて延びる複数のＸ正突起７２１ｄ及び複数のＸ負突起７２２ｄと、Ｘ方向電極７００の中心軸上に中心を置く円上に設けられる円弧状の突起とを組み合わせた形状である。
【００９４】
本実施形態によれば、第５の実施形態と比較して、第１の可動部２００とＸ方向電極７００とが接触する確率をより低下させることができる。
【００９５】
なお、Ｘ正突起７２１ｅ及びＸ負突起７２２ｅは、等間隔に設けられなくても良く、Ｘ方向電極７００の中心軸上に中心を置く円上に設けられる突起と、Ｘ方向電極７００の中心との距離は、Ｘ方向電極７００の半径の略１／３でなくても良い。
【００９６】
また、Ｘ正突起７２１ｅ及びＸ負突起７２２ｅと同様の構成を持つＹ正突起及びＹ負突起がＹ正電極８０１とＹ負電極８０２に設けられても良い。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】第１の実施形態による静電駆動型光スキャナの分解斜視図である。
【図２】Ｘ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の正面図である。
【図３】図２のIII−III線における斜視断面図である。
【図４】Ｘ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の斜視図である。
【図５】第２の実施形態によるＸ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の正面図である。
【図６】図５のVI−VI線における斜視断面図である。
【図７】Ｘ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の斜視図である。
【図８】第３の実施形態によるＸ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の正面図である。
【図９】図８のIX−IX線における斜視断面図である。
【図１０】Ｘ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の斜視図である。
【図１１】第４の実施形態によるＸ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の正面図である。
【図１２】図１１のXI−XI線における斜視断面図である。
【図１３】Ｘ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の斜視図である。
【図１４】第５の実施形態によるＸ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の正面図である。
【図１５】図１４のXV−XV線における斜視断面図である。
【図１６】Ｘ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の斜視図である。
【図１７】第６の実施形態によるＸ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の正面図である。
【図１８】Ｘ方向電極とＹ方向電極とが設けられた電極基板の斜視図である。
【符号の説明】
【００９８】
１００  静電駆動型光スキャナ（静電駆動型アクチュエータ）
２００  第１の可動部
３００  第２の可動部
７００  Ｘ方向電極
７０１  Ｘ正方向電極
７０２  Ｘ負方向電極
７２１  Ｘ正突起
７２２  Ｘ負突起
８００  Ｙ方向電極
８０１  Ｙ正方向電極
８０２  Ｙ負方向電極
８２１  Ｙ正突起
８２２  Ｙ負突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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