(57)【要約】情報面を有する基板の情報面上に薄膜層を形成し、前記薄膜層に光硬化性樹脂フィルム及び光透過性樹脂スタンパを載置して押圧し、光透過性樹脂スタンパに光を透過させることにより光硬化性樹脂フィルムを硬化させ、前記硬化した光硬化性樹脂フィルムから前記光透過性樹脂スタンパを剥離させて情報面を形成し、そして、前記情報面上を薄膜層で被覆して情報層を形成する工程を含み、前記光透過性樹脂スタンパ情報面を形成するための転写面を有し、前記転写面には金属薄膜が形成されていることを特徴とする多層情報記録媒体の製造方法に関する。  前記製造方法により多層情報記録媒体を製造する場合には、同一面側から連続して新たな情報層を順次積層することができるため、製造工程を簡略化でき、製造コストを低下することができる。また、スタンパ表面には薄膜層が形成されているために、硬化させた光硬化性樹脂フィルムからスタンパのみを比較的小さい力で容易に剥離することができるため、他の層に剥離等を生じさせることのない寸法精度の高い多層情報記録媒体が得られる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の情報面を有する基板の情報面上を第１の薄膜層で被覆する第１の工程、
前記第１の薄膜層上に光硬化性樹脂フィルムを載置し、前記フィルム上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程、
前記光透過性樹脂スタンパを介して光を透過させることにより前記光硬化性樹脂フィルムを硬化させる第３の工程、
前記硬化した光硬化性樹脂フィルムから前記光透過性樹脂スタンパを剥離させて第２の情報面を形成する第４の工程、及び
前記第４の工程により形成された第２の情報面上を第２の薄膜層で被覆して情報層を形成する第５の工程を含み、
前記光透過性樹脂スタンパが第２の情報面を形成するための転写面を有し、前記転写面には金属薄膜が形成されていることを特徴とする多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記第５の工程で形成された第２の薄膜層上に、更に前記第２〜第５の工程を複数回繰り返すことにより複数の情報層を基板上に形成する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記第５の工程で形成された最外層の薄膜層上に透明層を形成する工程を含む請求項１又は請求項２に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記第２の工程において、前記薄膜層上に前記光硬化性樹脂フィルムを載置し、押圧して前記薄膜層に貼り合わせた後に、前記フィルム上に前記光透過性樹脂スタンパを載置した後、前記光透過性樹脂スタンパを押圧する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記第２の工程において、前記薄膜層上に前記光硬化性樹脂フィルムと前記光透過性樹脂スタンパとを載置した後、前記光透過性樹脂スタンパを押圧する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記光透過性樹脂スタンパの紫外線透過率が５〜８０％である請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記光透過性樹脂スタンパに形成される金属薄膜の膜厚が５〜５０ｎｍである請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記光透過性樹脂スタンパがポリカーボネート系樹脂で形成されたスタンパに紫外線を透過する厚みの金属薄膜が形成されてなる光透過性樹脂スタンパである請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】
前記光透過性樹脂スタンパに形成される金属薄膜が銀（Ａｇ）又はアルミニウム（Ａｌ）を主成分とする金属薄膜である請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
前記透明層が前記透明層と前記第１の情報面を有する基板との間に形成された情報層を包むように形成されている請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
前記第１の情報面を有する基板の外縁及び前記透明層の外縁よりも小さい光硬化性樹脂フィルムを用いる請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
光硬化性樹脂フィルムにより形成される情報層を２層以上有する多層情報記録媒体の製造方法において、前記光硬化性樹脂フィルムの外縁を前記第１の情報面を有する基板の外縁及び前記透明層の外縁よりも小さく形成し、更に前記光硬化性樹脂フィルムの外縁が前記第１の情報面を有する基板から遠ざかるほど小さく形成されている請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】
前記第１の情報面を有する基板は中心穴を有する円盤形状であり、更に、前記光硬化性樹脂フィルムが中心穴を有する円盤形状であり、前記光硬化性樹脂フィルムの内径が前記第１の情報面を有する基板の内径よりも大きく形成され、前記透明層が前記光硬化性樹脂フィルムの中心穴よりも内径側の前記第１の情報面を有する基板上まで形成されている請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
前記光硬化性樹脂フィルムの内径が前記基板から遠ざかるほど大きく形成されている請求項１３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１５】
前記光硬化性樹脂フィルムの外径を前記第１の情報面を有する基板の外径及び前記透明層の外径よりも小さくなるように形成し、前記光硬化性樹脂フィルムの外径が前記第１の情報面を有する基板から遠ざかるほど小さく形成されている請求項１３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１６】
前記第１の情報面を有する基板が、前記情報面を上にした場合に凸反り形状になるものを用いる請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１７】
前記薄膜層に光硬化性樹脂フィルムを載置して、その上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程において、表面温度が２０〜１００℃のローラーにより２０〜１００ｋｇ／ｃｍ２で押圧する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１８】
前記薄膜層に光硬化性樹脂フィルムを載置して、その上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程において、表面温度が２５〜８０℃のローラーにより２０〜８０ｋｇ／ｃｍ２で押圧する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１９】
前記多層情報記録媒体の製造方法において、アニール処理工程を含む請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項２０】
請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法によって得られる多層情報記録媒体。
【請求項２１】
情報層を４層有し、各情報層の厚みが５〜２５μｍである請求項２０に記載の多層情報記録媒体。
【請求項２２】
情報層を４層有する多層情報記録媒体において、厚みが１．１６〜１．５ｍｍであることを特徴とする請求項２０に記載の多層情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、再生または記録再生を目的とした情報記録媒体及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来から、情報機器・映像音響機器等の各種情報処理装置により処理される情報記録媒体として、コンパクトディスク（ＣＤ）やデジタルバーサタイルディスク（ＤＶＤ）、ブルーレイディスク（ＢＤ）等が知られている。【０００３】  しかしながら、近年、前記各種情報処理装置により処理される情報量は飛躍的に拡大しており、高容量のデータを処理するために更に高密度化された情報記録媒体が求められている。【０００４】  情報記録媒体の高密度化を達成する手段として情報が記録される情報層を厚み方向に多層化することにより情報量を拡大させる多層情報記録媒体の開発が進められている。【０００５】  代表的な多層情報記録媒体の構成を図２に示す。【０００６】  図２に示された多層情報記録媒体は、情報溝が形成された情報面を有する第１情報基板３０１、第１情報基板３０１の情報面上に形成された第１薄膜層３０２、薄膜層３０２上に形成された第２の情報面を有する第２信号層３０３、第２信号層３０３の情報面上に形成された第２薄膜層３０４、第２薄膜層３０４上に透明基板３０６を貼り合わせるために設けられた透明層３０５及び透明基板３０６から構成されている。【０００７】  ここで、従来の多層情報記録媒体の製造工程を図３を用いて説明する。【０００８】  まず、第１情報基板３０１は、キャビティに金属スタンパが装着された射出成形用金型を用いて射出（圧縮）成形により成形される（図示せず）。【０００９】  第１情報基板３０１は通常、透明樹脂からなる厚み１．１ｍｍ程度の円盤形状の基板であり、その片面には金属スタンパにより転写された情報面が形成されている。【００１０】  前記工程で得られた第１情報基板３０１は回転テーブル４０３にバキューム等により固定される（図３Ａ）。【００１１】  次に、第１情報基板３０１の情報面上に第１薄膜層３０２が形成される（図３Ｂ）。薄膜層は通常、スパッタリングや蒸着により形成される。第１薄膜層３０２は、記録膜や反射膜を含む薄膜層である。【００１２】  さらに、第１薄膜層３０２上に紫外線硬化性樹脂４０４を延伸塗布する（図３Ｃ）。前記延伸塗布にはスピンコート法が用いられる。【００１３】  そして、延伸塗布された紫外線硬化性樹脂４０４の上方から紫外線照射機４０５で紫外線照射することにより、紫外線硬化性樹脂４０４を硬化させる（図３Ｄ）。【００１４】  一方、別の回転テーブル４０７上にスタンパ４０６を固定する（図３Ｅ）。【００１５】  次に、スタンパ４０６上に光硬化性樹脂４０８をスピンコート法により延伸塗布する（図３Ｆ）。【００１６】  そして、延伸塗布された光硬化性樹脂４０８の上方から紫外線照射機４０９で紫外線を照射し、光硬化性樹脂４０８を硬化させて、第２の情報面を有する第２信号層３０３（図３Ｇ）を形成する。【００１７】  次に、光硬化性樹脂４０４の上に光硬化性樹脂４１２を延伸塗布し、その上に第２信号層３０３を貼り合わせる（図３Ｈ）。【００１８】  そして、スタンパ４０６の上方から紫外線を照射して、光硬化性樹脂４１２を硬化させ、光硬化性樹脂４０４と第２信号層３０３とを接着する（図３１）。【００１９】  次に、スタンパ４０６を剥離する（図３Ｊ）。ここで、スタンパ４０６は第２信号層３０３との界面のみで剥離する必要があるため、光硬化性樹脂４１２と第２信号層３０３との界面の接着力が、スタンパ４０６と第２信号層３０３との界面の接着力よりも高くなるように材料を選択する必要がある。【００２０】  そして、剥離されて現れる第２信号層３０３の第２の情報面上に第２薄膜層３０４を形成し（図３Ｋ）、さらにその上に光硬化性樹脂４１３を延伸塗布し（図３Ｌ）、最外層になる透明基板３０６を貼り合せ、光硬化性樹脂４１３を紫外線硬化させることにより多層情報記録媒体が形成される（図３Ｍ）。【００２１】  しかしながら、前記工程のように液状の光硬化性樹脂をスピンコート法により延伸塗布して、硬化させて各層を形成する場合には膜厚を均一に制御することが困難であり、周方向の細かな膜厚変動や、半径方向の大きな膜厚変動の原因になる。各層の膜厚変動は情報層を複数層積層する場合にはそれらの層の膜厚変動が足し合わされ、全体としての膜厚変動が大きくなる。このような膜厚変動は、信号の記録・再生を行う際に、光スポットの絞り変動や信号面上に対する光スポットのフォーカス制御、信号列に光スポットを追従させるトラッキング制御に悪影響を与える。【００２２】  前記課題を解決する手段として、光硬化性樹脂を延伸塗布する代わりに、光硬化性樹脂フィルムを用いる方法が開発されている。【００２３】  前記光硬化性樹脂フィルムとしては、主にアクリルコポリマーで構成される感圧接着剤（ＰＳＡ）と光硬化性樹脂などの光硬化性樹脂と光開始剤とを混合してなる粘着剤を含有するフィルムが用いられている。このような光硬化性樹脂フィルムは、硬化前は高粘着であるが、硬化後は粘着性が消失し、金属材料との剥離性が著しく向上する。また、光硬化性樹脂フィルムは、光硬化性樹脂の延伸塗布に比べて形成される層の厚みの精度が格段に高い。【００２４】  光硬化性樹脂フィルムを用いて多層情報記録媒体を製造する方法としては、例えば、特許文献１には、中心にセンタホールを有する略円盤形状の媒体基板を形成し、その凹凸形状形成面上に第１光学記録層を形成し、その上層に感光性の樹脂フィルムからなる中間層を形成し、一方の面に凹凸形状を有するスタンパを前記中間層に貼り合わせたまま光硬化させ、その後スタンパのみを剥離して、中間層の表面に凹凸形状を転写する技術が開示されている。【００２５】  前記開示された技術におけるスタンパとしてはその第１実施形態としてニッケル等の金属からなるスタンパ（段落００４５）が用いられている。【００２６】  前記のように金属スタンパにより、凹凸形状を形成する場合には、金属は樹脂との剥離性が良いために樹脂フィルムが硬化して形成される中間層からスタンパを容易に剥離することができる。【００２７】  しかしながら、金属スタンパを用いた場合にはスタンパ自身は光を透過させることができない。従って、スタンパを貼り合せた面とは逆の面、すなわち、光透過性のある媒体基板側から光を照射して硬化させなければならない。この場合、スタンパを貼り合せた面の逆の面側に情報層として記録膜や反射膜が既に形成されている場合には、媒体基板側からは充分に光を透過させることができず、樹脂フィルムを硬化させることができない。【００２８】  従って、このような場合には、予め別に情報層を作製しておき光硬化性樹脂を延伸塗布して貼り合せるしかなかった。【００２９】  この場合、製造工程が煩雑になり、また、膜厚が不均一になるという欠点があった。【００３０】  また、特許文献１には、第２実施形態としてアモルファスポリオレフィンからなる樹脂製スタンパが用いられている（段落（００５２）〜（００５５））。【００３１】  前記樹脂製スタンパを用いた場合には、スタンパを介して紫外線を照射することにより樹脂フィルムを硬化させて、新たな情報層を形成することができる。【００３２】  しかしながら、樹脂スタンパは樹脂フィルムとの剥離性が悪い。従って、樹脂フィルムを硬化させた後にスタンパを剥離する際に、媒体基板に必要以上の力がかかるため反りや歪みが生じたり、本来剥離することを望まない他の層の界面において剥離が生じたりするおそれがあった。そのため、得られる多層情報記録媒体に読取・記録ミスが生じるおそれがあった。【００３３】  さらに、特許文献１には、第３実施形態として次のような技術が開示されている。（段落（００５７）〜（００５８））。【００３４】  始めに、表面に光学記録層を有する樹脂製スタンパを樹脂フィルムに圧着して、その表面に凹凸パターンを転写することにより中間層を形成する。次に、前記樹脂製スタンパを中間層に圧着したまま、樹脂製スタンパとその表面に形成された光学記録層越しに紫外線を照射して中間層を硬化させる。その後、樹脂製スタンパと前記光学記録層との界面を剥離することにより、中間層の表面に凹凸パターンを転写するとともに光学記録層を形成する技術が開示されている。【００３５】  しかしながら、前記転写形成方法を用いて、新たな情報層を形成する場合には、前記光学記録層が比較的厚くなければ（例えば８０ｎｍ以上）光学記録層を樹脂製スタンパから正確に剥離することができなかった。【００３６】  すなわち、例えば、比較的薄い膜（例えば８０ｎｍ未満）で形成される光学記録層を凹凸形状の表面に転写させる場合、薄膜が破れたり、薄膜の一部が樹脂製スタンパの表面に残ったりすることがあり、正確な薄膜層の形成が困難であった。【００３７】  一方、前記光学記録層が比較的厚い場合においては、紫外線が透過しにくくなり、スタンパを介して硬化させることが困難であった。また、前記方法では、光学記録層自身が反射膜、誘電体膜、記録膜等複数の層構造からなる場合には、前記各層間の密着力が弱い場合には全ての層を転写することができず、光学記録層の層内で剥離が生じるおそれがあった。さらに、寸法精度の高い樹脂製スタンパを成形し、その樹脂製スタンパを用いて複数枚転写形成する場合には、前記樹脂製スタンパ自身に転写する枚数分のスパッタリング等の薄膜形成処理が必要であり、そのため、熱履歴等により樹脂製スタンパ自身の寸法精度が狂うため、寸法精度の高い多層情報記録媒体を得ることが困難であった。
【特許文献１】特開２００３−２２８８９１号公報
【発明の開示】
【００３８】  本発明者らは、前記課題を解決するために、多層情報記録媒体の製造において、転写面の表面が金属薄膜で被覆された光透過性樹脂スタンパを用いて光硬化性樹脂シートに情報面を転写形成することにより、寸法精度の高い多層情報記録媒体を容易に得ることができることを見出した。
【００３９】  すなわち、本発明は、第１の情報面を有する基板の情報面上を第１の薄膜層で被覆する第１の工程、前記第１の薄膜層に光硬化性樹脂フィルムを載置し、前記フィルム上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程、前記光透過性樹脂スタンパを介して光を透過させることにより前記光硬化性樹脂フィルムを硬化させる第３の工程、前記硬化した光硬化性樹脂フィルムから前記光透過性樹脂スタンパを剥離させて第２の情報面を形成する第４の工程、及び前記第４の工程により形成された第２の情報面上を第２の薄膜層で被覆して情報層を形成する第５の工程を含み、前記光透過性樹脂スタンパが第２の情報面を形成するための転写面を有し、前記転写面には金属薄膜が形成されていることを特徴とする多層情報記録媒体の製造方法に関する。
【００４０】  本発明の製造方法によれば、情報面を形成するために光硬化性樹脂フィルム上に光透過性樹脂スタンパを押圧した後、光硬化性樹脂フィルムを硬化させる場合においても、光透過性樹脂スタンパ側から紫外線を照射して硬化させることができる。従って、複数の情報層から形成される多層情報記録媒体を製造する場合には、別に形成された情報層を貼り合わせる工程を必要とせず、同一面側から連続して新たな情報層を順次積層することができるため、製造工程を簡略化でき、製造コストを低下することができる。
【００４１】  また、光透過性樹脂スタンパ表面には薄膜層が形成されているために、硬化させた光硬化性樹脂フィルムから光透過性樹脂スタンパを容易に剥離することができる。そのため、他の層に剥離等を生じさせることがなく、寸法精度の高い多層情報記録媒体が得られる。
【００４２】  さらに、スタンパを樹脂の射出（圧縮）成形により得ることができるので、複数のスタンパを複製する場合にも低コストで製造できる。
【００４３】  また、既に形成された薄膜層上に、更に前記第２〜第５の工程を複数回繰り返すことにより、さらに複数の情報層を形成することができる。
【００４４】  そして、前記製造方法により、読取り、又は記録用のレーザー光等が各々の情報層を通過するときの光路長の変動が少なく、収差による光スポットの絞り変動を抑え、フォーカス制御、トラッキング制御を安定化させることができる多層情報記録媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】［図１］本発明の多層情報記録媒体の断面図の一例を示す。
［図２］従来の多層情報記録媒体の断面図である。
［図３］従来の多層情報記録媒体の製造方法の製造工程を示した断面図である。
［図４］相変化型の記録膜の構成について示した断面図である。
［図５］本発明の多層情報記録媒体の製造方法の製造工程の一例を示す断面図である。
［図６］本発明の実施の形態において各情報層が透明層に包まれている状態を示す模式図である。
［図７］実施の形態２におけるローラー温度と押圧力と転写溝深さとの関係を示したグラフである。
［図８］実施の形態２におけるローラー温度と押圧力と多層情報記録媒体の反りとの関係を示したグラフである。
［図９］実施の形態２における多層情報記録媒体の反り量の測定方法を示す模式図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】  （実施の形態１）
以下に本発明の具体的な実施形態を説明する。【００４７】  図１に本発明の多層情報記録媒体の一例として、情報層を４層有する多層情報記録媒体の構造を示す。【００４８】  前記多層情報記録媒体は第１の情報面を有する基板１０１（以下、第１情報基板１０１ともいう）、第１情報基板１０１の情報面上に形成された第１薄膜層１０２、第２信号層１０３、第２信号層１０３の情報面上に形成された第２薄膜層１０４、第３信号層１０５、第３信号層１０５の情報面上に形成された第３薄膜層１０６、第４信号層１０７、第４信号層１０７の情報面上に形成された第４薄膜層１０８、及び第４薄膜層１０８上に形成された透明層１０９からなる。【００４９】  第１情報基板１０１はピットや案内溝などの情報溝が形成された情報面を有する。【００５０】  また、第２信号層１０３、第３信号層１０５及び第４信号層１０７は後述する製造方法により光硬化性樹脂フィルムを用いて形成されている。【００５１】  以下に、本発明の多層情報記録媒体の製造方法の一例として、情報層を４層有する多層情報記録媒体を製造する場合について説明する。【００５２】  本発明の多層情報記録媒体の製造方法は、第１の情報面を有する基板の情報面上に第１の薄膜層を形成する第１の工程、前記第１の薄膜層に光硬化性樹脂フィルムを載置して、その上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程、前記光透過性樹脂スタンパに光を透過させることにより前記光硬化性樹脂フィルムを硬化させる第３の工程、前記硬化した光硬化性樹脂フィルムから前記光透過性樹脂スタンパを剥離させて第２の情報面を形成する第４の工程、及び前記第４の工程により形成された第２の情報面の表面に第２の薄膜層で被覆して情報層を形成する第５の工程を含む。【００５３】  図５に前記製造工程の模式図を示す。【００５４】  本発明における第１の工程は第１情報基板の情報面上に第１の薄膜層を形成する工程である。【００５５】  図５において、第１情報基板１０１は少なくとも一方の面に情報面を有する透明樹脂基板である。【００５６】  第１情報基板１０１の材料としては、光ディスクの透明基板として従来から用いられている材料、具体的にはポリカーボネート系樹脂材料や、（メタ）アクリル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂などが挙げられるが、光透過性の観点からはポリカーボネート系樹脂材料が好ましい。【００５７】  第１情報基板１０１は金属スタンパがキャビティに装着された金型を用いて、射出（圧縮）成形等により形成される（図示せず）。【００５８】  なお、第１情報基板１０１の形状としては、特には限定されず、具体的には、例えばＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等の製造において採用されている中心穴を有する円盤形状やメモリーカードの製造に採用されているカード形状等が挙げられる。【００５９】  また、第１情報基板の厚みは特に限定されないが、前記円盤形状の場合には、ＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等との互換性を考慮すれば厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度であることが好ましい。【００６０】  第１工程では、第１情報基板１０１の情報面上に第１の薄膜層１０２を形成する（図５Ａ参照）。【００６１】  第１薄膜層１０２は記録膜や反射膜を含む薄膜層であり、スパッタリングや蒸着等の方法により形成される。【００６２】  第１薄膜層１０２の構成の具体例としては、以下のようなものが挙げられる。【００６３】  多層情報記録媒体としてＲＯＭ（Ｒｅａｄ  ｏｎｌｙ  ｍｅｍｏｒｙ）のを製造する場合には、再生されるレーザ光に対して反射特性を有する薄膜、例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ２などの金属薄膜や半導体薄膜、誘電体薄膜が形成される。【００６４】  一方、多層情報記録媒体として追記型多層情報記録媒体を製造する場合には、図４に示したような相変化型記録膜が形成される。【００６５】  図４においては、第１情報基板５０１の情報面５０２上に、Ａｌからなる反射膜５０３、ＺｎＳ−ＳｉＯ２からなる誘電体膜５０４、Ｇｅ、Ｓｂ、Ｔｅ等からなる相変化型の記録膜５０５及びＺｎＳ−ＳｉＯ２からなる誘電体膜５０６が形成されている。【００６６】  反射膜５０３は信号記録時に発生する熱を適度に放熱し、記録マークを最適に形成するために、最適な厚みに形成されている。【００６７】  また、前記多層情報記録媒体がＷＯ（ｗｒｉｔｅ−ｏｎｃｅ）の場合には、記録膜として色素膜等が形成される。【００６８】  本発明における第２の工程は、前記第１薄膜層上に光硬化性樹脂フィルムを載置して、その上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する工程である。【００６９】  第２の工程においては、前記薄膜層の上に前記光硬化性樹脂フィルムを載置し、押圧して前記薄膜層に貼り合わせた後に、更にその上に前記光透過性樹脂スタンパを載置した後に、前記光透過性樹脂スタンパを押圧する方法（以下、第２工程Ａという）や、前記薄膜層の上に前記光硬化性樹脂フィルムと前記光透過性樹脂スタンパとを載置した後、前記光透過性樹脂スタンパを押圧する方法（以下、第２工程Ｂという）が用いられる。【００７０】  また、別の方法としては、予め、前記光硬化性樹脂フィルム上に前記スタンパを押圧することにより前記スタンパの転写面を転写形成させておいたものを、前記前記薄膜層上に載置して押圧する方法等を用いてもよい。【００７１】  本実施の形態においては第２工程Ａを代表例として説明する。【００７２】  光硬化性樹脂フィルム６０４を第１薄膜層１０２上に載置して、保護シート６０６の上からローラー６０５を用いて光硬化性樹脂フィルム６０４を押圧し、貼り合わせる（図５Ｂ参照）。【００７３】  次に、保護シート６０６を剥離して、光透過性樹脂スタンパ６１０を載置し、光透過性樹脂スタンパ６１０の上からローラー６０５を用いて押圧する（図５Ｄ参照）。【００７４】  そして、光透過性樹脂スタンパ６１０に光を照射して光を透過させて光硬化性樹脂フィルムを硬化させる（図５Ｅ参照）。【００７５】  なお、第２工程Ｂとしては、光硬化性樹脂フィルム６０４を第１薄膜層１０２上に載置した後に必要により保護シート６０６を剥離して、光透過性樹脂スタンパ６１０を載置して、光透過性樹脂スタンパ６１０の上からローラー６０５を用いて押圧し、その後、光透過性樹脂スタンパ６１０に光を照射して光を透過させて光硬化性樹脂フィルムを硬化させる方法が採用される。【００７６】  第２工程Ｂは、製造工程が簡略化される点から好ましい。【００７７】  前記光硬化性樹脂フィルムとは、光を照射することにより硬化する性質を有する樹脂フィルムであり、例えば紫外線により硬化する紫外線硬化性樹脂フィルム等が挙げられる。具体的には、例えば、ＳＵＲＰＨＥＸ（デュポン社製）や、紫外線硬化性のＵＶテープ（例えば、古河電工（株）製）など、ポリオレフィン系等の基材と光硬化性のアクリル系粘着剤等からなる紫外線硬化性樹脂フィルム等が挙げられる。【００７８】  光硬化性樹脂フィルムの厚みとしては５〜２５μｍであるのが好ましい。前記厚みが５μｍ未満の場合にはスタンパにより与えられる押圧力や押圧に用いられるローラーの熱により光硬化性樹脂フィルムが破れるおそれがあり、２５μｍを越える場合には、光硬化による硬化収縮が大きくなるために、得られる多層情報記録媒体の平坦性を調整するのが困難になり、また、厚み方向に情報層を複数層形成する場合に多層情報記録媒体が厚くなり過ぎる傾向がある。【００７９】  一例として、光硬化性樹脂フィルム６０４は次のようにして貼り合わせられる。【００８０】  光硬化性樹脂フィルム６０４は、例えば、外部からの衝撃や粉塵等の付着から保護する目的でその両表面が保護シート６０６で保護された状態で入手できる。保護シート６０６は、厚みが６０μｍ程度のポリエチレンやポリエチレンテレフタレートの樹脂フィルムから形成されている。【００８１】  光硬化性樹脂フィルム６０４が第１薄膜層１０２上に載置される直前に、載置される面のみの保護シート６０６を剥離除去し、第１薄膜層４０２上に光硬化性樹脂フィルム６０４を載置する（図示せず）。【００８２】  そして、剥離除去されていない面の保護シート６０６上でローラー６０５を走行させることにより光硬化性樹脂フィルム６０４を第１薄膜層４０２上に貼り合わせる（図５Ｂ参照）。【００８３】  光硬化性樹脂フィルム６０４が第１薄膜層４０２に貼り合わられた後、保護シート６０６を剥離除去する（図５Ｃ参照）。【００８４】  次に、光硬化性樹脂フィルム６０４の上に光透過性樹脂スタンパ６１０が貼り合わされる（図５Ｄ参照）。このとき、光透過性樹脂スタンパ６１０は、情報面が光硬化性樹脂フィルム６０４と対向するようにして載置され、光透過性樹脂スタンパ６１０上でローラー６０５を押圧しながら走行させることにより貼り合わされる（図５Ｄ参照）。【００８５】  ここで本発明における光透過性樹脂スタンパについて説明する。【００８６】  本発明における光透過性樹脂スタンパは、少なくとも１面に転写面を有する光透過性樹脂からなるスタンパの転写面上に金属薄膜を形成することにより得られる。なお、前記転写面とは、光硬化性樹脂フィルム上にピットや案内溝等の情報溝を転写形成するために形成された面である。【００８７】  前記光透過性樹脂スタンパは、その転写面に金属薄膜が形成されているために硬化後の光硬化性樹脂フィルムとの剥離性に優れている。従って、光透過性樹脂スタンパと硬化された光硬化性樹脂フィルムの界面のみを容易に剥離することができ、他の面を剥離することがないために、得られる多層情報記録媒体の寸法精度は優れたものになる。【００８８】  また前記光透過性樹脂スタンパを用いて新たな情報面を形成する場合には、従来のように別々に形成した情報面を光硬化性樹脂等により貼り合せる工程を必要とせず、既に形成された情報層に連続した工程で新たな情報層を順次積み上げて形成することができるため、製造工程を簡略化できる。【００８９】  前記光透過性樹脂からなるスタンパはキャビティに金属スタンパが装着された金型を用いて、透明樹脂を射出（圧縮）成形することにより形成される。【００９０】  透明樹脂としては、ポリカーボネート系樹脂や（メタ）アクリル系樹脂、ポリオレフィン樹脂など光透過性、特に紫外線透過性に優れた材料が選ばれる。【００９１】  前記光透過性樹脂からなるスタンパの厚みは特に限定されないが、具体的には０．３〜１．１ｍｍ程度であることが光、特に紫外線を充分に透過させる点から好ましい。【００９２】  次に、前記光透過性樹脂からなるスタンパの転写面上に金属薄膜を形成するについて説明する。【００９３】  金属薄膜は光硬化性樹脂フィルムの硬化物からスタンパを容易に剥離するために形成されるものである。【００９４】  前記金属薄膜は前記転写面上に金属材料をスパッタリングや蒸着することにより形成される。【００９５】  前記金属材料としては、光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物との剥離性が良い金属材料、具体的には、例えば、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）等を主成分とする金属材料が挙げられる。【００９６】  前記金属材料の中では、特に、銀あるいはアルミニウムを主成分とする金属材料が前記剥離性の点から好ましい。【００９７】  また、光透過性樹脂スタンパ６１０に形成される金属薄膜は、光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物と光透過性樹脂スタンパ６１０との密着力が第１薄膜層１０２と光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物との密着力よりも小さくなるような材料や表面性になるように選択することが好ましい。光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物と光透過性樹脂スタンパ６１０との密着力が第１薄膜層１０２と光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物の密着力よりも大きい場合には第１薄膜層１０２と光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物の界面で剥離して新たな情報面を形成させることができないためである。【００９８】  光透過性樹脂スタンパは光硬化性樹脂フィルムを硬化させるのに必要な量の光を透過させるように形成されていることが必要である。具体的には、前記光が紫外線の場合には、透過率が５〜８０％、好ましくは１０〜５０％になるように形成されているのが好ましい。前記紫外線の透過率が５％未満の場合には光硬化性樹脂フィルム６０４を効果的に硬化させることが困難であり、８０％を越える場合には、硬化効率が著しく低下するため、実用的な製造条件としては好ましくない。【００９９】  光透過性樹脂スタンパ６１０に形成する薄膜層の厚みとしては、スタンパが紫外線等の光を透過させるように形成されている限り特には限定されないが、好ましくは、５〜５０ｎｍ、さらには１０〜２０ｎｍ程度である。前記厚みが５ｎｍ未満の場合には光硬化性樹脂フィルムの硬化物との剥離性が不充分になる傾向があり、５０ｎｍを越える場合には光が透過しにくくなるとともに、光硬化性樹脂フィルムの硬化物との剥離の際に、光透過性樹脂スタンパに形成された金属薄膜が硬化された紫外線硬化性樹脂フィルム上に付着し��り、転写するおそれがあるため好ましくない。【０１００】  次に前記光透過性樹脂スタンパを用いて、その転写面を光硬化性樹脂フィルムに押圧して転写形成する方法について説明する。【０１０１】  前記転写形成は、既に貼り合わせられた光硬化性樹脂フィルム６０４上に光透過性樹脂スタンパ６１０を載置して、その表面をローラー６０５で押圧する方法等が採用される（図５Ｄ参照）。【０１０２】  ローラー６０５のローラー面は温度調整できることが好ましい。すなわち、ローラー６０５により光硬化性樹脂フィルム６０４を加熱することにより、光硬化性樹脂フィルム６０４を軟化することができる。この場合、比較的低い押圧力で転写面を転写することができるため、紫外線樹脂フィルム６０４の厚みを比較的均一に保つことができ、結果的に、得られる多層情報記録媒体の反りを小さくすることができる。【０１０３】  なお、ローラー面の温度が高すぎる場合には、シートの寸法が変化したり、第１情報基板１０１が反ることにより多層情報記録媒体の反りが大きくなる傾向がある。また前記温度が低すぎる場合には光硬化性樹脂フィルムを充分に軟化させることができないために完全に転写形成するためには高い押圧力が必要となり、得られる多層情報記録媒体の反りが大きくなる傾向がある。【０１０４】  次に、本発明における第３の工程である光透過性樹脂スタンパに光を透過させることにより光硬化性樹脂フィルムを硬化させる工程について説明する。【０１０５】  光透過性樹脂スタンパ６１０が貼り合されている光硬化性樹脂フィルム６０４は、光透過性樹脂スタンパ６１０に光を透過させることにより硬化される。【０１０６】  具体的には光透過性樹脂スタンパ６１０を光照射機６０７により光照射することにより、光が光透過性樹脂スタンパ６１０を透過して光硬化性樹脂フィルム６０４に達し、光硬化性樹脂フィルム６０４が硬化される（図５Ｅ参照）。【０１０７】  次に、本発明における第４の工程である前記硬化した光硬化性樹脂フィルムから前記光透過性樹脂スタンパを剥離させて第２の情報面を形成する工程について説明する。【０１０８】  前記第３工程において硬化された光硬化性樹脂フィルム６０４上に存在する光透過性樹脂スタンパ６１０を剥離除去することにより第２信号層１０３の表面を形成することができる（図示せず）。【０１０９】  前記剥離除去は、例えば、光透過性樹脂スタンパ６１０と光硬化性樹脂フィルム６０４との間に圧縮エアーを吹き込む方法等が用いられる。【０１１０】  次に、第５の工程として、前記第２の情報面である第２信号層１０３の表面を第２の薄膜層で被覆して第２薄膜層１０４を形成することにより第２の情報層が形成される（図５Ｆ参照）。【０１１１】  なお、第２薄膜層１０４の形成は第１薄膜層１０２の形成と同様に行なわれる。【０１１２】  本実施の形態においては、第２の工程で形成された薄膜層上に、更に前記第２の工程から第５の工程と同様の工程をさらに２回繰り返すことにより厚み方向に４つの情報層が形成される（図５Ｇ参照）。【０１１３】  本発明の多層情報基板の製造方法を用いた場合には、前記のように既に形成された情報層上に第２の工程から第５の工程を繰り返す毎に新たな情報層を容易に���成することができる。【０１１４】  そして、前記のようにして形成された複数の情報層のうち、その最外層の情報層上に透明層を形成することにより多層情報記録媒体が得られる。【０１１５】  本実施の形態においては、第１情報基板１０１上に形成された４つの情報層のうち、最外層に形成された第４薄膜層１０８上に透明層１０９を形成することにより４つの情報層を有する多層情報記録媒体が得られる（図５Ｈ参照）。【０１１６】  透明層１０９は記録再生光に対して高い透過性を有する層であり、各情報層を保護するとともに読み取り光を透過させる層である。【０１１７】  透明層１０９は液状の光硬化性樹脂をスピンコート法により延伸塗布し、光硬化させることにより形成される。【０１１８】  前記光硬化性樹脂としては、透明性の紫外線硬化性樹脂、具体的には（メタ）アクリル樹脂を主成分とする液状の紫外線硬化性樹脂等が用いられる。【０１１９】  光硬化性樹脂は第４薄膜層１０８上にディスペンサー等を用いて、所望の半径上に同心円状に滴下された後、スピンコート法により延伸塗布され、紫外線等の光が照射されることにより硬化される。【０１２０】  透明層１０９の厚みとしては３０〜６０μｍ程度であるのが好ましい。【０１２１】  透明層１０９は、図５Ｈに示すように透明層１０９と前記第１の情報面を有する基板との間に形成された情報層を包むように形成されていることが好ましい。このように透明層１０９を形成することにより全ての層を透明層１０９により封止することができ、各層間の剥離を防ぐことができるためである。【０１２２】  例えば、多層情報記録媒体の形状が中心部に多層情報記録媒体を保持するために設けられた中心穴を有するＣＤ、ＤＶＤ及びＢＤで採用されているような円盤形状（以下、ディスク形状ともいう）である場合における前記透明層の形成状態の一例を図６に示す。【０１２３】  図６において、第１情報基板６０１の中心穴６００の外周部及び第１情報基板６０１の周縁部にまで光硬化性樹脂を塗布し、すべての情報層６０２を包むように接着することにより、光硬化性樹脂フィルム等から形成される情報層６０２は密閉され、各層の剥離を防ぐことができる。特に、第１情報基板６０１がポリカーボネート系樹脂である場合には光硬化性樹脂との接着性が高いためより好ましい。【０１２４】  また、全ての情報層を包むように形成するためには、例えば、各情報層を形成する光硬化性樹脂フィルムの外縁を前記第１の情報面を有する基板の外縁及び透明層の外縁よりも小さくなるように形成することが好ましい。【０１２５】  さらに、図６に示すように、前記第１の情報面を有する基板が中心穴を有する円盤形状であり、更に、前記光硬化性樹脂フィルムが中心穴を有する円盤形状である場合において、前記光硬化性樹脂フィルムの内径が前記第１の情報面を有する基板の内径よりも大きく形成され、前記液状光硬化性樹脂が前記光硬化性樹脂フィルムの中心穴よりも内側の前記第１の情報面を有する基板上まで塗布されるように延伸塗布することが好ましい。【０１２６】  前記のように光硬化性樹脂フィルムを形成することにより、第１情報基板の面上の周縁部においても光硬化性樹脂を塗布することが可能であり、光硬化性樹脂フィルムを包むために多層情報記録媒体の周縁部から光硬化性樹脂フィルムが極力はみ出さないようにできる。【０１２７】  なお、第１情報基板の外縁（外径ともいう）と光硬化性樹脂フィルムの外縁との間に形成される寸法差は０．５〜１ｍｍ程度であることが、情報面を最大限に確保でき、かつ、光硬化性樹脂フィルムの貼り合せ時の偏心によるシートのはみ出しを抑制できる点から好ましい。【０１２８】  また、スピンコート法により光硬化性樹脂を延伸塗布して透明層を形成させる場合、透明層の上面の外周部で光硬化性樹脂が表面張力により盛り上がる場合がある。平坦な基板上に光硬化性樹脂の延伸塗布を行った場合、基板の外周部において表面張力による光硬化性樹脂の盛り上がりが発生することが知られている。このような盛り上がりは樹脂の厚膜化による信号の記録や再生特性の劣化、またディスクと記録再生ヘッドの接触する等の問題を生じる。【０１２９】  前記表面張力による光硬化性樹脂盛り上がりを抑えるために、例えば、多層情報記録媒体の形状がディスク形状である場合には、図６に示すように情報層６０２を構成するそれぞれの光硬化性樹脂フィルムの外径は第１情報基板６０１側から遠ざかるにつれて小さくなり、また光硬化性樹脂フィルムに形成される内径は第１情報基板６０１側から遠ざかるにつれて大きくなるように形成されていることが好ましい。すなわち、第１情報基板６０１側から透明層１０９に近づくにつれて、光硬化性樹脂フィルムの外径が小さくなり、光硬化性樹脂フィルムの内径が大きくなるように形成することが好ましい。【０１３０】  また、前記のように形成される光硬化性樹脂フィルムにおいては、隣り合う各層の光硬化性樹脂フィルムの内径及び外径のそれぞれの寸法差は０．５〜１ｍｍであることが、情報面を最大限に確保でき、かつ、光硬化性樹脂フィルムの貼り合せ時の偏心によるシートのはみ出しを抑制できる点から好ましい。【０１３１】  前記本発明の製造方法により得られる多層情報記録媒体は、情報層の形成に光硬化性樹脂フィルムが用いられるため、寸法精度が高いものとなり、また、熱硬化性樹脂フィルムと剥離性が良い薄膜を形成した光透過性樹脂スタンパを用いて得られるため、スタンパ剥離時に必要以上の力を必要とせず、従って、寸法安定性が良い多層情報記録媒体が得られる。【０１３２】  本発明の多層情報記録媒体の厚みとしては、ディスク形状の多層情報記録媒体の場合には、ＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤなどの各種光ディスクプレーヤーとの再生互換を持たすために、１．１６〜１．５ｍｍ程度であることが好ましい。【０１３３】  また、本発明の多層情報記録媒体においては、情報層を厚み方向に４層有し、片側から４つの情報層にアクセスすることができるような多層情報記録媒体が好ましい。【０１３４】  さらに、前記情報層を厚み方向に４層有する多層情報記録媒体においては、各情報層の厚みは５〜２５μｍ程度であることが好ましい。厚み方向に情報層をより多く積層でき、光硬化性樹脂フィルムに情報溝を転写形成する工程において光硬化による硬化収縮を小さく抑えるためにはなるべく薄い方が好ましいが、光透過性樹脂スタンパにより与えられる押圧力や押圧のために用いられるローラーの熱により光硬化性樹脂フィルムが破れることを防止するためには５μｍ以上であることが好ましい。【０１３５】  本実施の形態においては、主として、４層の光情報記録媒体を例にとって説明したが、第１情報基板や各情報層、透明層の厚み等を調整することにより、更に多層構造の情報記録媒体を得ることができる。【０１３６】  このようにして得られる本発明の多層情報記録媒体としてはＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等に採用されている光ディスクの形状の他、例えばメモリカード等のカード形状など目的に応じた形状を有する記録媒体として用いられる。【０１３７】  （実施の形態２）
多層情報記録媒体においては、厚み方向に複数の層が形成されているために、従来の単層情報記録媒体に比べて高い寸法精度が要求される。【０１３８】  しかしながら、情報層が多層であるために従来の単層の情報記録媒体よりも寸法精度、特に反りの制御が比較的困難である。【０１３９】  本発明の多層情報記録媒体の製造方法においては、光透過性樹脂スタンパによる情報溝の転写形成条件を調整することにより反りを低く抑えることができる。【０１４０】  また、第１情報基板として情報面を上にした場合に凸反り形状のものを用いて多層情報記録媒体を製造した場合には反りの小さな情報記録媒体が得られる。【０１４１】  本発明者らは、多層情報記録媒体の反りを少なくする方法として、光透過性樹脂スタンパによる情報溝の転写形成条件を種々検討した結果、ローラー面の温度と押圧力とを一定の範囲に調整することにより、反りの小さな多層情報記録媒体が得られることを見出した。【０１４２】  また、得られた多層情報記録媒体が反りを有する場合には、特定の条件によりアニール処理することにより反りを矯正できることを見出した。
以下にその検討の内容を説明する。【０１４３】〈ローラー面の温度と押圧力の調整による反り低減の方法〉
本発明の製造方法における情報層の形成工程において、光硬化性樹脂シート上に光透過性樹脂スタンパを貼り付けた後に光透過性樹脂スタンパ上にローラーを走行させて光透過性樹脂スタンパの情報溝を転写形成する際に、ローラー面の温度と押圧力を変化させたときに得ら得られる転写溝の深さを評価した。【０１４４】  図７は、ローラー温度及び押圧力を変化させたときに形成される転写溝の深さを示すグラフである。【０１４５】  なお、本検討においては、第１情報基板として中心穴を有する直径１２０ｍｍディスク形状で、厚み１．１ｍｍのポリカーボネート樹脂製透明基板を用いた。また、光硬化性樹脂フィルムとしては、ポリオレフィン系樹脂基材と光硬化性アクリル系粘着剤等からなる厚み２０μｍの紫外線硬化性樹脂フィルム（古河電工（株）製のＵＶテープ）を用いた。また、第２信号層を転写形成させる光透過性樹脂スタンパの転写面として、溝深さが２０ｎｍ、溝幅が１７０ｎｍ及びトラックピッチが０．３２μｍのスパイラル状の溝を有する光透過性樹脂スタンパを用いた。【０１４６】  図７によれば、ローラー温度が２０℃以上で、押圧力が２０ｋｇ／ｃｍ２以上の場合には光透過性樹脂スタンパに形成された転写面が良好に転写されている。【０１４７】  一方、図８は、前記同様に各情報層を形成する際にローラー温度及び押圧力を種々変更した情報層の形成工程を用いて、光硬化性樹脂フィルムを用いて形成された３層の情報層を含む４層の情報層を有する記録媒体を製造した場合の多層情報記録媒体の反り量を示すグラフである。【０１４８】  なお、前記反り量は図９に示すように、第２信号層が形成された情報記録媒体をその中心穴を用いて直径３０ｍｍの台座に固定して、前記第１情報基板の情報溝が形成されている面にレーザー光を照射した時の反射光を捕捉して、入射光と反射光により形成される角度（θ）により評価した。なお、前記評価は外縁から中心方向に１ｍｍ内側の部分を、外周方向に均等になるように１２点測定した角度のうち、最も大きい値を角度（θ）とした。【０１４９】  反りがない場合にはθ＝０であり、反り量が大きくなるにつれてθも大きくなる。【０１５０】  図８によれば、押圧力が１２０ｋｇ／ｃｍ２以上で反り量は非常に大きくなっており、また、ローラー温度が１００℃以上の場合においては押圧力が１００ｋｇ／ｃｍ２以下でも、反り量は大きくなっている。これは、ローラー温度が１００℃を越えると、第１情報基板自身が樹脂の応力緩和と耐熱性の影響により変形しやすくなると考えられる。【０１５１】  図７及び図８の結果を考慮すると、ローラー温度は２０〜１００℃、さらには２５〜８０℃で、加圧力は２０〜１００ｋｇ／ｃｍ２、さらには２０〜８０ｋｇ／ｃｍ２の場合には比較的転写精度がよく、反りの小さな多層情報記録媒体が得られることが分かる。【０１５２】〈凸形状の第１情報基板を用いることによる反り低減の方法〉
本発明の製造方法においては第１情報基板上に光硬化性樹脂フィルムを載置して、光硬化性樹脂フィルムに光透過性樹脂スタンパで情報溝を形成させた後に光硬化性樹脂フィルムを硬化させることにより各情報層が形成される。また、最外層の情報層上に形成された透明層はスピンコート法等により液状の光硬化性樹脂を延伸塗布した後、光硬化させることにより形成される。【０１５３】  光硬化性樹脂フィルム及び液状の光硬化性樹脂は硬化するときに収縮（以下、硬化収縮という）するために、平坦な透明樹脂基板を用いた場合には、硬化収縮により凹形状の反りが発生する。【０１５４】  従って、反りの少ない多層情報記録媒体を得るためには、予め第１情報基板の情報面を上にした場合に凸形状の反り（以下凸形状の反りともいう）を有するものを用いた場合には、前記凹形状の反りを相殺することができ、比較的平坦度が高い多層情報記録媒体が得られる。【０１５５】  前記凸形状の反りは、第１情報基板を製造する際に、射出（圧縮）成形の各種条件、即ち、射出圧力・速度やシリンダ温度、金型温度、金型圧力等を調整して成形することにより所望の反りを有する第１情報基板が得られる。【０１５６】  本検討においては、予め凸形状の反りを有する円盤状の第１情報基板の上に、本発明の製造方法を用いて１層ずつ情報層を形成し、合計３層の情報層を光硬化性樹脂フィルムを用いて形成したときの反り量の変化を測定した。結果を表１に示す。【０１５７】
2005088629.tif 000002
【０１５８】  第１情報基板のそり量θは情報層の積層前は、θ＝１．０度であったが、光硬化性樹脂フィルムによる１層目の情報層を形成させたときは０．８度となり、２層目を形成させたときは０．５度になり、３層目を形成させたときには０．３度になり、最終的に最外層の情報層の上に光硬化性樹脂をスピンコートして透明層を形成することによりθが０度になり、反りの殆どない多層情報記録媒体が得られた。【０１５９】  このように、予め凸形状の反りを有する第１情報基板を用いて多層情報記録媒体を形成することにより最終的に得られる多層情報記録媒体の反りを制御することができることがわかる。【０１６０】〈アニール処理を用いた反り制御の方法〉
次にアニール処理を用いる反り制御の方法について説明する。【０１６１】  本発明の製造方法により得られた多層情報記録媒体は、更に、後処理工程として内部応力を緩和させて、反り・歪み等を解消するためにアニール処理を行なうことにより反り量を制御することが好ましい。【０１６２】  本検討においては、上記「凸形状の第１情報基板を用いることによる反り低減の方法」の検討と同様に、予め凸形状の反りを有する円盤状の第１情報基板１０１の上に、本発明の製造方法を用いて１層ずつ情報層を形成し、合計３層の情報層を光硬化性樹脂フィルム６０４を用いて形成し、さらに透明層を形成させて４層の情報層を有する情報記録媒体を製造したときの反り量を測定した。【０１６３】  なお、本実施形態においては、多層情報記録媒体の製造後、アニール処理を行なうことを考慮して、反り量θ＝０．５度の凸形状の第１情報基板を用いた。この第１情報基板１０１に対して光硬化性樹脂フィルム６０４を順次３層形成した際の反り量θの変化を示したものを表２に示す。【０１６４】
2005088629.tif 000003
【０１６５】  前記反り量θ＝０．５度の凸形状の第１情報基板を用いて、４層の多層情報記録媒体を製造した場合には、最終的に得られた多層情報記録媒体は反り量θ＝−０．５度の凸形状すなわち、θ＝０．５度の凹形状の多層情報記録媒体が得られた。【０１６６】  このように、凸形状の第１情報基板の反り量が小さい場合には熱硬化性樹脂の硬化収縮により、凹形状の多層情報記録媒体が得られる。【０１６７】  次に、得られた反り量θ＝−０．５度の多層情報記録媒体を表３に記載の処理時間及び処理条件でアニール処理した。【０１６８】  そして、アニール処理した多層情報記録媒体の反り量と予め測定しておいたアニール処理前の多層情報記録媒体の反り量の差（θ）を以下の式により比較した。【０１６９】  （アニール処理後の反り量（θ２））−（アニール処理前の反り量（θ１））【０１７０】
2005088629.tif 000004
【０１７１】  表３の結果より、８０℃で１２０〜１８０分処理した場合には反り量差（θ）は０．５度であり、アニール処理前の反り量θが−０．５度であった多層情報記録媒体は殆ど反りのない平坦なθ＝０度の多層情報記録媒体が得られた。【０１７２】  一方、９０℃以上で処理した場合には、全ての処理時間において、第１情報基板自身に大きな変形（表３中、×で示す）が見られた。【０１７３】  前記結果より、アニール処理前の多層情報記録媒体に反りが生じた場合には、前記アニール処理を施すことにより反りを矯正することができ、平坦な多層情報記録媒体を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１７４】  本発明にかかる多層情報記録媒体及びその製造方法は、多くの情報層を１つの記録媒体中に複数有し、光ディスク等として有効である。また、情報メモリカード等の用途にも応用できる。
【図１】
2005088629.tif 000005
【図２】
2005088629.tif 000006
【図３】
2005088629.tif 000007
【図４】
2005088629.tif 000008
【図５】
2005088629.tif 000009
【図６】
2005088629.tif 000010
【図７】
2005088629.tif 000011
【図８】
2005088629.tif 000012
【図９】
2005088629.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成17年6月29日(2005.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の情報面を有する基板の情報面上を第１の薄膜層で被覆する第１の工程、
前記第１の薄膜層上に光硬化性樹脂フィルムを載置し、前記フィルム上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程、
前記光透過性樹脂スタンパを介して光を透過させることにより前記光硬化性樹脂フィルムを硬化させる第３の工程、
前記硬化した光硬化性樹脂フィルムから前記光透過性樹脂スタンパを剥離させて第２の情報面を形成する第４の工程、及び
前記第４の工程により形成された第２の情報面上を第２の薄膜層で被覆して情報層を形成する第５の工程を含み、
前記光透過性樹脂スタンパが第２の情報面を形成するための転写面を有し、前記転写面には金属薄膜が形成されていることを特徴とする多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記第５の工程で形成された第２の薄膜層上に、更に前記第２〜第５の工程を複数回繰り返すことにより複数の情報層を基板上に形成する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記第５の工程で形成された最外層の薄膜層上に透明層を形成する工程を含む請求項１又は請求項２に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記第２の工程において、前記薄膜層上に前記光硬化性樹脂フィルムを載置し、押圧して前記薄膜層に貼り合わせた後に、前記フィルム上に前記光透過性樹脂スタンパを載置した後、前記光透過性樹脂スタンパを押圧する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記第２の工程において、前記薄膜層上に前記光硬化性樹脂フィルムと前記光透過性樹脂スタンパとを載置した後、前記光透過性樹脂スタンパを押圧する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記光透過性樹脂スタンパの紫外線透過率が５〜８０％である請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記光透過性樹脂スタンパに形成される金属薄膜の膜厚が５〜５０ｎｍである請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記光透過性樹脂スタンパがポリカーボネート系樹脂で形成されたスタンパに紫外線を透過する厚みの金属薄膜が形成されてなる光透過性樹脂スタンパである請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】
前記光透過性樹脂スタンパに形成される金属薄膜が銀（Ａｇ）又はアルミニウム（Ａｌ）を主成分とする金属薄膜である請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
前記透明層が前記透明層と前記第１の情報面を有する基板との間に形成された情報層を包むように形成されている請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
前記第１の情報面を有する基板の外縁及び前記透明層の外縁よりも小さい光硬化性樹脂フィルムを用いる請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
光硬化性樹脂フィルムにより形成される情報層を２層以上有する多層情報記録媒体の製造方法において、前記光硬化性樹脂フィルムの外縁を前記第１の情報面を有する基板の外縁及び前記透明層の外縁よりも小さく形成し、更に前記光硬化性樹脂フィルムの外縁が前記第１の情報面を有する基板から遠ざかるほど小さく形成されている請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】
前記第１の情報面を有する基板は中心穴を有する円盤形状であり、更に、前記光硬化性樹脂フィルムが中心穴を有する円盤形状であり、前記光硬化性樹脂フィルムの内径が前記第１の情報面を有する基板の内径よりも大きく形成され、前記透明層が前記光硬化性樹脂フィルムの中心穴よりも内径側の前記第１の情報面を有する基板上まで形成されている請求項３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
前記光硬化性樹脂フィルムの内径が前記基板から遠ざかるほど大きく形成されている請求項１３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１５】
前記光硬化性樹脂フィルムの外径を前記第１の情報面を有する基板の外径及び前記透明層の外径よりも小さくなるように形成し、前記光硬化性樹脂フィルムの外径が前記第１の情報面を有する基板から遠ざかるほど小さく形成されている請求項１３に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１６】
前記第１の情報面を有する基板が、前記情報面を上にした場合に凸反り形状になるものを用いる請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１７】
前記薄膜層に光硬化性樹脂フィルムを載置して、その上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程において、表面温度が２０〜１００℃のローラーにより２０〜１００ｋｇ／ｃｍ2で押圧する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１８】
前記薄膜層に光硬化性樹脂フィルムを載置して、その上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程において、表面温度が２５〜８０℃のローラーにより２０〜８０ｋｇ／ｃｍ2で押圧する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項１９】
前記多層情報記録媒体の製造方法において、アニール処理工程を含む請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項２０】
請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法によって得られる多層情報記録媒体。
【請求項２１】
情報層を４層有し、各情報層の厚みが５〜２５μｍである請求項２０に記載の多層情報記録媒体。
【請求項２２】
情報層を４層有する多層情報記録媒体において、厚みが１．１６〜１．５ｍｍであることを特徴とする請求項２０に記載の多層情報記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、再生または記録再生を目的とした情報記録媒体及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、情報機器・映像音響機器等の各種情報処理装置により処理される情報記録媒体として、コンパクトディスク（ＣＤ）やデジタルバーサタイルディスク（ＤＶＤ）、ブルーレイディスク（ＢＤ）等が知られている。
【０００３】
しかしながら、近年、前記各種情報処理装置により処理される情報量は飛躍的に拡大しており、高容量のデータを処理するために更に高密度化された情報記録媒体が求められている。
【０００４】
情報記録媒体の高密度化を達成する手段として情報が記録される情報層を厚み方向に多層化することにより情報量を拡大させる多層情報記録媒体の開発が進められている。
【０００５】
代表的な多層情報記録媒体の構成を図２に示す。
【０００６】
図２に示された多層情報記録媒体は、情報溝が形成された情報面を有する第１情報基板３０１、第１情報基板３０１の情報面上に形成された第１薄膜層３０２、薄膜層３０２上に形成された第２の情報面を有する第２信号層３０３、第２信号層３０３の情報面上に形成された第２薄膜層３０４、第２薄膜層３０４上に透明基板３０６を貼り合わせるために設けられた透明層３０５及び透明基板３０６から構成されている。
【０００７】
ここで、従来の多層情報記録媒体の製造工程を図３を用いて説明する。
【０００８】
まず、第１情報基板３０１は、キャビティに金属スタンパが装着された射出成形用金型を用いて射出（圧縮）成形により成形される（図示せず）。
【０００９】
第１情報基板３０１は通常、透明樹脂からなる厚み１．１ｍｍ程度の円盤形状の基板であり、その片面には金属スタンパにより転写された情報面が形成されている。
【００１０】
前記工程で得られた第１情報基板３０１は回転テーブル４０３にバキューム等により固定される（図３Ａ）。
【００１１】
次に、第１情報基板３０１の情報面上に第１薄膜層３０２が形成される（図３Ｂ）。薄膜層は通常、スパッタリングや蒸着により形成される。第１薄膜層３０２は、記録膜や反射膜を含む薄膜層である。
【００１２】
さらに、第１薄膜層３０２上に紫外線硬化性樹脂４０４を延伸塗布する（図３Ｃ）。前記延伸塗布にはスピンコート法が用いられる。
【００１３】
そして、延伸塗布された紫外線硬化性樹脂４０４の上方から紫外線照射機４０５で紫外線照射することにより、紫外線硬化性樹脂４０４を硬化させる（図３Ｄ）。
【００１４】
一方、別の回転テーブル４０７上にスタンパ４０６を固定する（図３Ｅ）。
【００１５】
次に、スタンパ４０６上に光硬化性樹脂４０８をスピンコート法により延伸塗布する（図３Ｆ）。
【００１６】
そして、延伸塗布された光硬化性樹脂４０８の上方から紫外線照射機４０９で紫外線を照射し、光硬化性樹脂４０８を硬化させて、第２の情報面を有する第２信号層３０３（図３Ｇ）を形成する。
【００１７】
次に、光硬化性樹脂４０４の上に光硬化性樹脂４１２を延伸塗布し、その上に第２信号層３０３を貼り合わせる（図３Ｈ）。
【００１８】
そして、スタンパ４０６の上方から紫外線を照射して、光硬化性樹脂４１２を硬化させ、光硬化性樹脂４０４と第２信号層３０３とを接着する（図３Ｉ）。
【００１９】
次に、スタンパ４０６を剥離する（図３Ｊ）。ここで、スタンパ４０６は第２信号層３０３との界面のみで剥離する必要があるため、光硬化性樹脂４１２と第２信号層３０３との界面の接着力が、スタンパ４０６と第２信号層３０３との界面の接着力よりも高くなるように材料を選択する必要がある。
【００２０】
そして、剥離されて現れる第２信号層３０３の第２の情報面上に第２薄膜層３０４を形成し（図３Ｋ）、さらにその上に光硬化性樹脂４１３を延伸塗布し（図３Ｌ）、最外層になる透明基板３０６を貼り合せ、光硬化性樹脂４１３を紫外線硬化させることにより多層情報記録媒体が形成される（図３Ｍ）。
【００２１】
しかしながら、前記工程のように液状の光硬化性樹脂をスピンコート法により延伸塗布して、硬化させて各層を形成する場合には膜厚を均一に制御することが困難であり、周方向の細かな膜厚変動や、半径方向の大きな膜厚変動の原因になる。各層の膜厚変動は情報層を複数層積層する場合にはそれらの層の膜厚変動が足し合わされ、全体としての膜厚変動が大きくなる。このような膜厚変動は、信号の記録・再生を行う際に、光スポットの絞り変動や信号面上に対する光スポットのフォーカス制御、信号列に光スポットを追従させるトラッキング制御に悪影響を与える。
【００２２】
前記課題を解決する手段として、光硬化性樹脂を延伸塗布する代わりに、光硬化性樹脂フィルムを用いる方法が開発されている。
【００２３】
前記光硬化性樹脂フィルムとしては、主にアクリルコポリマーで構成される感圧接着剤（ＰＳＡ）と光硬化性樹脂などの光硬化性樹脂と光開始剤とを混合してなる粘着剤を含有するフィルムが用いられている。このような光硬化性樹脂フィルムは、硬化前は高粘着であるが、硬化後は粘着性が消失し、金属材料との剥離性が著しく向上する。また、光硬化性樹脂フィルムは、光硬化性樹脂の延伸塗布に比べて形成される層の厚みの精度が格段に高い。
【００２４】
光硬化性樹脂フィルムを用いて多層情報記録媒体を製造する方法としては、例えば、特許文献１には、中心にセンタホールを有する略円盤形状の媒体基板を形成し、その凹凸形状形成面上に第１光学記録層を形成し、その上層に感光性の樹脂フィルムからなる中間層を形成し、一方の面に凹凸形状を有するスタンパを前記中間層に貼り合わせたまま光硬化させ、その後スタンパのみを剥離して、中間層の表面に凹凸形状を転写する技術が開示されている。
【００２５】
前記開示された技術におけるスタンパとしてはその第１実施形態としてニッケル等の金属からなるスタンパ（段落００４５）が用いられている。
【００２６】
前記のように金属スタンパにより、凹凸形状を形成する場合には、金属は樹脂との剥離性が良いために樹脂フィルムが硬化して形成される中間層からスタンパを容易に剥離することができる。
【００２７】
しかしながら、金属スタンパを用いた場合にはスタンパ自身は光を透過させることができない。従って、スタンパを貼り合せた面とは逆の面、すなわち、光透過性のある媒体基板側から光を照射して硬化させなければならない。この場合、スタンパを貼り合せた面の逆の面側に情報層として記録膜や反射膜が既に形成されている場合には、媒体基板側からは充分に光を透過させることができず、樹脂フィルムを硬化させることができない。
【００２８】
従って、このような場合には、予め別に情報層を作製しておき光硬化性樹脂を延伸塗布して貼り合せるしかなかった。
【００２９】
この場合、製造工程が煩雑になり、また、膜厚が不均一になるという欠点があった。
【００３０】
また、特許文献１には、第２実施形態としてアモルファスポリオレフィンからなる樹脂製スタンパが用いられている（段落（００５２）〜（００５５））。
【００３１】
前記樹脂製スタンパを用いた場合には、スタンパを介して紫外線を照射することにより樹脂フィルムを硬化させて、新たな情報層を形成することができる。
【００３２】
しかしながら、樹脂スタンパは樹脂フィルムとの剥離性が悪い。従って、樹脂フィルムを硬化させた後にスタンパを剥離する際に、媒体基板に必要以上の力がかかるため反りや歪みが生じたり、本来剥離することを望まない他の層の界面において剥離が生じたりするおそれがあった。そのため、得られる多層情報記録媒体に読取・記録ミスが生じるおそれがあった。
【００３３】
さらに、特許文献１には、第３実施形態として次のような技術が開示されている。（段落（００５７）〜（００５８））。
【００３４】
始めに、表面に光学記録層を有する樹脂製スタンパを樹脂フィルムに圧着して、その表面に凹凸パターンを転写することにより中間層を形成する。次に、前記樹脂製スタンパを中間層に圧着したまま、樹脂製スタンパとその表面に形成された光学記録層越しに紫外線を照射して中間層を硬化させる。その後、樹脂製スタンパと前記光学記録層との界面を剥離することにより、中間層の表面に凹凸パターンを転写するとともに光学記録層を形成する技術が開示されている。
【００３５】
しかしながら、前記転写形成方法を用いて、新たな情報層を形成する場合には、前記光学記録層が比較的厚くなければ（例えば８０ｎｍ以上）光学記録層を樹脂製スタンパから正確に剥離することができなかった。
【００３６】
すなわち、例えば、比較的薄い膜（例えば８０ｎｍ未満）で形成される光学記録層を凹凸形状の表面に転写させる場合、薄膜が破れたり、薄膜の一部が樹脂製スタンパの表面に残ったりすることがあり、正確な薄膜層の形成が困難であった。
【００３７】
一方、前記光学記録層が比較的厚い場合においては、紫外線が透過しにくくなり、スタンパを介して硬化させることが困難であった。また、前記方法では、光学記録層自身が反射膜、誘電体膜、記録膜等複数の層構造からなる場合には、前記各層間の密着力が弱い場合には全ての層を転写することができず、光学記録層の層内で剥離が生じるおそれがあった。さらに、寸法精度の高い樹脂製スタンパを成形し、その樹脂製スタンパを用いて複数枚転写形成する場合には、前記樹脂製スタンパ自身に転写する枚数分のスパッタリング等の薄膜形成処理が必要であり、そのため、熱履歴等により樹脂製スタンパ自身の寸法精度が狂うため、寸法精度の高い多層情報記録媒体を得ることが困難であった。
【特許文献１】特開２００３−２２８８９１号公報
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【００３８】
本発明者らは、前記課題を解決するために、多層情報記録媒体の製造において、転写面の表面が金属薄膜で被覆された光透過性樹脂スタンパを用いて光硬化性樹脂シートに情報面を転写形成することにより、寸法精度の高い多層情報記録媒体を容易に得ることができることを見出した。
【００３９】
すなわち、本発明は、第１の情報面を有する基板の情報面上を第１の薄膜層で被覆する第１の工程、前記第１の薄膜層に光硬化性樹脂フィルムを載置し、前記フィルム上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程、前記光透過性樹脂スタンパを介して光を透過させることにより前記光硬化性樹脂フィルムを硬化させる第３の工程、前記硬化した光硬化性樹脂フィルムから前記光透過性樹脂スタンパを剥離させて第２の情報面を形成する第４の工程、及び前記第４の工程により形成された第２の情報面上を第２の薄膜層で被覆して情報層を形成する第５の工程を含み、前記光透過性樹脂スタンパが第２の情報面を形成するための転写面を有し、前記転写面には金属薄膜が形成されていることを特徴とする多層情報記録媒体の製造方法に関する。
【００４０】
本発明の製造方法によれば、情報面を形成するために光硬化性樹脂フィルム上に光透過性樹脂スタンパを押圧した後、光硬化性樹脂フィルムを硬化させる場合においても、光透過性樹脂スタンパ側から紫外線を照射して硬化させることができる。従って、複数の情報層から形成される多層情報記録媒体を製造する場合には、別に形成された情報層を貼り合わせる工程を必要とせず、同一面側から連続して新たな情報層を順次積層することができるため、製造工程を簡略化でき、製造コストを低下することができる。
【００４１】
また、光透過性樹脂スタンパ表面には薄膜層が形成されているために、硬化させた光硬化性樹脂フィルムから光透過性樹脂スタンパを容易に剥離することができる。そのため、他の層に剥離等を生じさせることがなく、寸法精度の高い多層情報記録媒体が得られる。
【００４２】
さらに、スタンパを樹脂の射出（圧縮）成形により得ることができるので、複数のスタンパを複製する場合にも低コストで製造できる。
【００４３】
また、既に形成された薄膜層上に、更に前記第２〜第５の工程を複数回繰り返すことにより、さらに複数の情報層を形成することができる。
【００４４】
そして、前記製造方法により、読取り、又は記録用のレーザー光等が各々の情報層を通過するときの光路長の変動が少なく、収差による光スポットの絞り変動を抑え、フォーカス制御、トラッキング制御を安定化させることができる多層情報記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
（実施の形態１）
以下に本発明の具体的な実施形態を説明する。
【００４６】
図１に本発明の多層情報記録媒体の一例として、情報層を４層有する多層情報記録媒体の構造を示す。
【００４７】
前記多層情報記録媒体は第１の情報面を有する基板１０１（以下、第１情報基板１０１ともいう）、第１情報基板１０１の情報面上に形成された第１薄膜層１０２、第２信号層１０３、第２信号層１０３の情報面上に形成された第２薄膜層１０４、第３信号層１０５、第３信号層１０５の情報面上に形成された第３薄膜層１０６、第４信号層１０７、第４信号層１０７の情報面上に形成された第４薄膜層１０８、及び第４薄膜層１０８上に形成された透明層１０９からなる。
【００４８】
第１情報基板１０１はピットや案内溝などの情報溝が形成された情報面を有する。
【００４９】
また、第２信号層１０３、第３信号層１０５及び第４信号層１０７は後述する製造方法により光硬化性樹脂フィルムを用いて形成されている。
【００５０】
以下に、本発明の多層情報記録媒体の製造方法の一例として、情報層を４層有する多層情報記録媒体を製造する場合について説明する。
【００５１】
本発明の多層情報記録媒体の製造方法は、第１の情報面を有する基板の情報面上に第１の薄膜層を形成する第１の工程、前記第１の薄膜層に光硬化性樹脂フィルムを載置して、その上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する第２の工程、前記光透過性樹脂スタンパに光を透過させることにより前記光硬化性樹脂フィルムを硬化させる第３の工程、前記硬化した光硬化性樹脂フィルムから前記光透過性樹脂スタンパを剥離させて第２の情報面を形成する第４の工程、及び前記第４の工程により形成された第２の情報面の表面に第２の薄膜層で被覆して情報層を形成する第５の工程を含む。
【００５２】
図５に前記製造工程の模式図を示す。
【００５３】
本発明における第１の工程は第１情報基板の情報面上に第１の薄膜層を形成する工程である。
【００５４】
図５において、第１情報基板１０１は少なくとも一方の面に情報面を有する透明樹脂基板である。
【００５５】
第１情報基板１０１の材料としては、光ディスクの透明基板として従来から用いられている材料、具体的にはポリカーボネート系樹脂材料や、（メタ）アクリル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂などが挙げられるが、光透過性の観点からはポリカーボネート系樹脂材料が好ましい。
【００５６】
第１情報基板１０１は金属スタンパがキャビティに装着された金型を用いて、射出（圧縮）成形等により形成される（図示せず）。
【００５７】
なお、第１情報基板１０１の形状としては、特には限定されず、具体的には、例えばＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等の製造において採用されている中心穴を有する円盤形状やメモリーカードの製造に採用されているカード形状等が挙げられる。
【００５８】
また、第１情報基板の厚みは特に限定されないが、前記円盤形状の場合には、ＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等との互換性を考慮すれば厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度であることが好ましい。
【００５９】
第１工程では、第１情報基板１０１の情報面上に第１の薄膜層１０２を形成する（図５Ａ参照）。
【００６０】
第１薄膜層１０２は記録膜や反射膜を含む薄膜層であり、スパッタリングや蒸着等の方法により形成される。
【００６１】
第１薄膜層１０２の構成の具体例としては、以下のようなものが挙げられる。
【００６２】
多層情報記録媒体としてＲＯＭ（Read only memory）を製造する場合には、再生されるレーザ光に対して反射特性を有する薄膜、例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ2などの金属薄膜や半導体薄膜、誘電体薄膜が形成される。
【００６３】
一方、多層情報記録媒体として追記型多層情報記録媒体を製造する場合には、図４に示したような相変化型記録膜が形成される。
【００６４】
図４においては、第１情報基板５０１の情報面５０２上に、Ａｌからなる反射膜５０３、ＺｎＳ−ＳｉＯ２からなる誘電体膜５０４、Ｇｅ、Ｓｂ、Ｔｅ等からなる相変化型の記録膜５０５及びＺｎＳ−ＳｉＯ２からなる誘電体膜５０６が形成されている。
【００６５】
反射膜５０３は信号記録時に発生する熱を適度に放熱し、記録マークを最適に形成するために、最適な厚みに形成されている。
【００６６】
また、前記多層情報記録媒体がＷＯ(write-once)の場合には、記録膜として色素膜等が形成される。
【００６７】
本発明における第２の工程は、前記第１薄膜層上に光硬化性樹脂フィルムを載置して、その上に光透過性樹脂スタンパを載置して押圧する工程である。
【００６８】
第２の工程においては、前記薄膜層の上に前記光硬化性樹脂フィルムを載置し、押圧して前記薄膜層に貼り合わせた後に、更にその上に前記光透過性樹脂スタンパを載置した後に、前記光透過性樹脂スタンパを押圧する方法（以下、第２工程Aという）や、前記薄膜層の上に前記光硬化性樹脂フィルムと前記光透過性樹脂スタンパとを載置した後、前記光透過性樹脂スタンパを押圧する方法（以下、第２工程Bという）が用いられる。
【００６９】
また、別の方法としては、予め、前記光硬化性樹脂フィルム上に前記スタンパを押圧することにより前記スタンパの転写面を転写形成させておいたものを、前記前記薄膜層上に載置して押圧する方法等を用いてもよい。
【００７０】
本実施の形態においては第２工程Aを代表例として説明する。
【００７１】
光硬化性樹脂フィルム６０４を第１薄膜層１０２上に載置して、保護シート６０６の上からローラー６０５を用いて光硬化性樹脂フィルム６０４を押圧し、貼り合わせる（図５Ｂ参照）。
【００７２】
次に、保護シート６０６を剥離して、光透過性樹脂スタンパ６１０を載置し、光透過性樹脂スタンパ６１０の上からローラー６０５を用いて押圧する（図５D参照）。
【００７３】
そして、光透過性樹脂スタンパ６１０に光を照射して光を透過させて光硬化性樹脂フィルムを硬化させる（図５E参照）。
【００７４】
なお、第２工程Bとしては、光硬化性樹脂フィルム６０４を第１薄膜層１０２上に載置した後に必要により保護シート６０６を剥離して、光透過性樹脂スタンパ６１０を載置して、光透過性樹脂スタンパ６１０の上からローラー６０５を用いて押圧し、その後、光透過性樹脂スタンパ６１０に光を照射して光を透過させて光硬化性樹脂フィルムを硬化させる方法が採用される。
【００７５】
第２工程Bは、製造工程が簡略化される点から好ましい。
【００７６】
前記光硬化性樹脂フィルムとは、光を照射することにより硬化する性質を有する樹脂フィルムであり、例えば紫外線により硬化する紫外線硬化性樹脂フィルム等が挙げられる。具体的には、例えば、ＳＵＲＰＨＥＸ（デュポン社製）や、紫外線硬化性のＵＶテープ（例えば、古河電工（株）製）など、ポリオレフィン系等の基材と光硬化性のアクリル系粘着剤等からなる紫外線硬化性樹脂フィルム等が挙げられる。
【００７７】
光硬化性樹脂フィルムの厚みとしては５〜２５μｍであるのが好ましい。前記厚みが５μｍ未満の場合にはスタンパにより与えられる押圧力や押圧に用いられるローラーの熱により光硬化性樹脂フィルムが破れるおそれがあり、２５μｍを越える場合には、光硬化による硬化収縮が大きくなるために、得られる多層情報記録媒体の平坦性を調整するのが困難になり、また、厚み方向に情報層を複数層形成する場合に多層情報記録媒体が厚くなり過ぎる傾向がある。
【００７８】
一例として、光硬化性樹脂フィルム６０４は次のようにして貼り合わせられる。
【００７９】
光硬化性樹脂フィルム６０４は、例えば、外部からの衝撃や粉塵等の付着から保護する目的でその両表面が保護シート６０６で保護された状態で入手できる。保護シート６０６は、厚みが６０μｍ程度のポリエチレンやポリエチレンテレフタレートの樹脂フィルムから形成されている。
【００８０】
光硬化性樹脂フィルム６０４が第１薄膜層１０２上に載置される直前に、載置される面のみの保護シート６０６を剥離除去し、第１薄膜層４０２上に光硬化性樹脂フィルム６０４を載置する（図示せず）。
【００８１】
そして、剥離除去されていない面の保護シート６０６上でローラー６０５を走行させることにより光硬化性樹脂フィルム６０４を第１薄膜層４０２上に貼り合わせる（図５Ｂ参照）。
【００８２】
光硬化性樹脂フィルム６０４が第１薄膜層４０２に貼り合わられた後、保護シート６０６を剥離除去する（図５Ｃ参照）。
【００８３】
次に、光硬化性樹脂フィルム６０４の上に光透過性樹脂スタンパ６１０が貼り合わされる（図５Ｄ参照）。このとき、光透過性樹脂スタンパ６１０は、情報面が光硬化性樹脂フィルム６０４と対向するようにして載置され、光透過性樹脂スタンパ６１０上でローラー６０５を押圧しながら走行させることにより貼り合わされる（図５Ｄ参照）。
【００８４】
ここで本発明における光透過性樹脂スタンパについて説明する。
【００８５】
本発明における光透過性樹脂スタンパは、少なくとも１面に転写面を有する光透過性樹脂からなるスタンパの転写面上に金属薄膜を形成することにより得られる。なお、前記転写面とは、光硬化性樹脂フィルム上にピットや案内溝等の情報溝を転写形成するために形成された面である。
【００８６】
前記光透過性樹脂スタンパは、その転写面に金属薄膜が形成されているために硬化後の光硬化性樹脂フィルムとの剥離性に優れている。従って、光透過性樹脂スタンパと硬化された光硬化性樹脂フィルムの界面のみを容易に剥離することができ、他の面を剥離することがないために、得られる多層情報記録媒体の寸法精度は優れたものになる。
【００８７】
また前記光透過性樹脂スタンパを用いて新たな情報面を形成する場合には、従来のように別々に形成した情報面を光硬化性樹脂等により貼り合せる工程を必要とせず、既に形成された情報層に連続した工程で新たな情報層を順次積み上げて形成することができるため、製造工程を簡略化できる。
【００８８】
前記光透過性樹脂からなるスタンパはキャビティに金属スタンパが装着された金型を用いて、透明樹脂を射出（圧縮）成形することにより形成される。
【００８９】
透明樹脂としては、ポリカーボネート系樹脂や（メタ）アクリル系樹脂、ポリオレフィン樹脂など光透過性、特に紫外線透過性に優れた材料が選ばれる。
【００９０】
前記光透過性樹脂からなるスタンパの厚みは特に限定されないが、具体的には０．３〜１．１ｍｍ程度であることが光、特に紫外線を充分に透過させる点から好ましい。
【００９１】
次に、前記光透過性樹脂からなるスタンパの転写面上に金属薄膜を形成するについて説明する。
【００９２】
金属薄膜は光硬化性樹脂フィルムの硬化物からスタンパを容易に剥離するために形成されるものである。
【００９３】
前記金属薄膜は前記転写面上に金属材料をスパッタリングや蒸着することにより形成される。
【００９４】
前記金属材料としては、光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物との剥離性が良い金属材料、具体的には、例えば、銀（Ag）、アルミニウム（Al）、金（Au）、ニッケル（Ni）、銅（Cu）等を主成分とする金属材料が挙げられる。
【００９５】
前記金属材料の中では、特に、銀あるいはアルミニウムを主成分とする金属材料が前記剥離性の点から好ましい。
【００９６】
また、光透過性樹脂スタンパ６１０に形成される金属薄膜は、光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物と光透過性樹脂スタンパ６１０との密着力が第１薄膜層１０２と光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物との密着力よりも小さくなるような材料や表面性になるように選択することが好ましい。光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物と光透過性樹脂スタンパ６１０との密着力が第１薄膜層１０２と光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物の密着力よりも大きい場合には第１薄膜層１０２と光硬化性樹脂フィルム６０４の硬化物の界面で剥離して新たな情報面を形成させることができないためである。
【００９７】
光透過性樹脂スタンパは光硬化性樹脂フィルムを硬化させるのに必要な量の光を透過させるように形成されていることが必要である。具体的には、前記光が紫外線の場合には、透過率が５〜８０％、好ましくは１０〜５０％になるように形成されているのが好ましい。前記紫外線の透過率が５％未満の場合には光硬化性樹脂フィルム６０４を効果的に硬化させることが困難であり、８０％を越える場合には、硬化効率が著しく低下するため、実用的な製造条件としては好ましくない。
【００９８】
光透過性樹脂スタンパ６１０に形成する薄膜層の厚みとしては、スタンパが紫外線等の光を透過させるように形成されている限り特には限定されないが、好ましくは、５〜５０ｎｍ、さらには１０〜２０ｎｍ程度である。前記厚みが５ｎｍ未満の場合には光硬化性樹脂フィルムの硬化物との剥離性が不充分になる傾向があり、５０ｎｍを越える場合には光が透過しにくくなるとともに、光硬化性樹脂フィルムの硬化物との剥離の際に、光透過性樹脂スタンパに形成された金属薄膜が硬化された紫外線硬化性樹脂フィルム上に付着したり、転写するおそれがあるため好ましくない。
【００９９】
次に前記光透過性樹脂スタンパを用いて、その転写面を光硬化性樹脂フィルムに押圧して転写形成する方法について説明する。
【０１００】
前記転写形成は、既に貼り合わせられた光硬化性樹脂フィルム６０４上に光透過性樹脂スタンパ６１０を載置して、その表面をローラー６０５で押圧する方法等が採用される（図５Ｄ参照）。
【０１０１】
ローラー６０５のローラー面は温度調整できることが好ましい。すなわち、ローラー６０５により光硬化性樹脂フィルム６０４を加熱することにより、光硬化性樹脂フィルム６０４を軟化することができる。この場合、比較的低い押圧力で転写面を転写することができるため、紫外線樹脂フィルム６０４の厚みを比較的均一に保つことができ、結果的に、得られる多層情報記録媒体の反りを小さくすることができる。
【０１０２】
なお、ローラー面の温度が高すぎる場合には、シートの寸法が変化したり、
第１情報基板１０１が反ることにより多層情報記録媒体の反りが大きくなる傾向がある。また前記温度が低すぎる場合には光硬化性樹脂フィルムを充分に軟化させることができないために完全に転写形成するためには高い押圧力が必要となり、得られる多層情報記録媒体の反りが大きくなる傾向がある。
【０１０３】
次に、本発明における第３の工程である光透過性樹脂スタンパに光を透過させることにより光硬化性樹脂フィルムを硬化させる工程について説明する。
【０１０４】
光透過性樹脂スタンパ６１０が貼り合されている光硬化性樹脂フィルム６０４は、光透過性樹脂スタンパ６１０に光を透過させることにより硬化される。
【０１０５】
具体的には光透過性樹脂スタンパ６１０を光照射機６０７により光照射することにより、光が光透過性樹脂スタンパ６１０を透過して光硬化性樹脂フィルム６０４に達し、光硬化性樹脂フィルム６０４が硬化される（図５Ｅ参照）。
【０１０６】
次に、本発明における第４の工程である前記硬化した光硬化性樹脂フィルムから前記光透過性樹脂スタンパを剥離させて第２の情報面を形成する工程について説明する。
【０１０７】
前記第３工程において硬化された光硬化性樹脂フィルム６０４上に存在する光透過性樹脂スタンパ６１０を剥離除去することにより第２信号層１０３の表面を形成することができる（図示せず）。
【０１０８】
前記剥離除去は、例えば、光透過性樹脂スタンパ６１０と光硬化性樹脂フィルム６０４との間に圧縮エアーを吹き込む方法等が用いられる。
【０１０９】
次に、第５の工程として、前記第２の情報面である第２信号層１０３の表面を第２の薄膜層で被覆して第２薄膜層１０４を形成することにより第２の情報層が形成される（図５Ｆ参照）。
【０１１０】
なお、第２薄膜層１０４の形成は第１薄膜層１０２の形成と同様に行なわれる。
【０１１１】
本実施の形態においては、第２の工程で形成された薄膜層上に、更に前記第２の工程から第５の工程と同様の工程をさらに２回繰り返すことにより厚み方向に４つの情報層が形成される（図５Ｇ参照）。
【０１１２】
本発明の多層情報基板の製造方法を用いた場合には、前記のように既に形成された情報層上に第２の工程から第５の工程を繰り返す毎に新たな情報層を容易に形成することができる。
【０１１３】
そして、前記のようにして形成された複数の情報層のうち、その最外層の情報層上に透明層を形成することにより多層情報記録媒体が得られる。
【０１１４】
本実施の形態においては、第１情報基板１０１上に形成された４つの情報層のうち、最外層に形成された第４薄膜層１０８上に透明層１０９を形成することにより４つの情報層を有する多層情報記録媒体が得られる（図５H参照）。
【０１１５】
透明層１０９は記録再生光に対して高い透過性を有する層であり、各情報層を保護するとともに読み取り光を透過させる層である。
【０１１６】
透明層１０９は液状の光硬化性樹脂をスピンコート法により延伸塗布し、光硬化させることにより形成される。
【０１１７】
前記光硬化性樹脂としては、透明性の紫外線硬化性樹脂、具体的には（メタ）アクリル樹脂を主成分とする液状の紫外線硬化性樹脂等が用いられる。
【０１１８】
光硬化性樹脂は第４薄膜層１０８上にディスペンサー等を用いて、所望の半径上に同心円状に滴下された後、スピンコート法により延伸塗布され、紫外線等の光が照射されることにより硬化される。
【０１１９】
透明層１０９の厚みとしては３０〜６０μm程度であるのが好ましい。
【０１２０】
透明層１０９は、図５Hに示すように透明層１０９と前記第１の情報面を有する基板との間に形成された情報層を包むように形成されていることが好ましい。このように透明層１０９を形成することにより全ての層を透明層１０９により封止することができ、各層間の剥離を防ぐことができるためである。
【０１２１】
例えば、多層情報記録媒体の形状が中心部に多層情報記録媒体を保持するために設けられた中心穴を有するCD、DVD及びBDで採用されているような円盤形状（以下、ディスク形状ともいう）である場合における前記透明層の形成状態の一例を図６に示す。
【０１２２】
図６において、第１情報基板６０１の中心穴６００の外周部及び第１情報基板６０１の周縁部にまで光硬化性樹脂を塗布し、すべての情報層６０２を包むように接着することにより、光硬化性樹脂フィルム等から形成される情報層６０２は密閉され、各層の剥離を防ぐことができる。特に、第１情報基板６０１がポリカーボネート系樹脂である場合には光硬化性樹脂との接着性が高いためより好ましい。
【０１２３】
また、全ての情報層を包むように形成するためには、例えば、各情報層を形成する光硬化性樹脂フィルムの外縁を前記第１の情報面を有する基板の外縁及び透明層の外縁よりも小さくなるように形成することが好ましい。
【０１２４】
さらに、図６に示すように、前記第１の情報面を有する基板が中心穴を有する円盤形状であり、更に、前記光硬化性樹脂フィルムが中心穴を有する円盤形状である場合において、前記光硬化性樹脂フィルムの内径が前記第１の情報面を有する基板の内径よりも大きく形成され、前記液状光硬化性樹脂が前記光硬化性樹脂フィルムの中心穴よりも内側の前記第１の情報面を有する基板上まで塗布されるように延伸塗布することが好ましい。
【０１２５】
前記のように光硬化性樹脂フィルムを形成することにより、第１情報基板の面上の周縁部においても光硬化性樹脂を塗布することが可能であり、光硬化性樹脂フィルムを包むために多層情報記録媒体の周縁部から光硬化性樹脂フィルムが極力はみ出さないようにできる。
【０１２６】
なお、第１情報基板の外縁（外径ともいう）と光硬化性樹脂フィルムの外縁との間に形成される寸法差は０．５〜１ｍｍ程度であることが、情報面を最大限に確保でき、かつ、光硬化性樹脂フィルムの貼り合せ時の偏心によるシートのはみ出しを抑制できる点から好ましい。
【０１２７】
また、スピンコート法により光硬化性樹脂を延伸塗布して透明層を形成させる場合、透明層の上面の外周部で光硬化性樹脂が表面張力により盛り上がる場合がある。平坦な基板上に光硬化性樹脂の延伸塗布を行った場合、基板の外周部において表面張力による光硬化性樹脂の盛り上がりが発生することが知られている。このような盛り上がりは樹脂の厚膜化による信号の記録や再生特性の劣化、またディスクと記録再生ヘッドの接触する等の問題を生じる。
【０１２８】
前記表面張力による光硬化性樹脂盛り上がりを抑えるために、例えば、多層情報記録媒体の形状がディスク形状である場合には、図６に示すように情報層６０２を構成するそれぞれの光硬化性樹脂フィルムの外径は第１情報基板６０１側から遠ざかるにつれて小さくなり、また光硬化性樹脂フィルムに形成される内径は第１情報基板６０１側から遠ざかるにつれて大きくなるように形成されていることが好ましい。すなわち、第１情報基板６０１側から透明層１０９に近づくにつれて、光硬化性樹脂フィルムの外径が小さくなり、光硬化性樹脂フィルムの内径が大きくなるように形成することが好ましい。
【０１２９】
また、前記のように形成される光硬化性樹脂フィルムにおいては、隣り合う各層の光硬化性樹脂フィルムの内径及び外径のそれぞれの寸法差は０．５〜１ｍｍであることが、情報面を最大限に確保でき、かつ、光硬化性樹脂フィルムの貼り合せ時の偏心によるシートのはみ出しを抑制できる点から好ましい。
【０１３０】
前記本発明の製造方法により得られる多層情報記録媒体は、情報層の形成に光硬化性樹脂フィルムが用いられるため、寸法精度が高いものとなり、また、熱硬化性樹脂フィルムと剥離性が良い薄膜を形成した光透過性樹脂スタンパを用いて得られるため、スタンパ剥離時に必要以上の力を必要とせず、従って、寸法安定性が良い多層情報記録媒体が得られる。
【０１３１】
本発明の多層情報記録媒体の厚みとしては、ディスク形状の多層情報記録媒体の場合には、ＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤなどの各種光ディスクプレーヤーとの再生互換を持たすために、１．１６〜１．５ｍｍ程度であることが好ましい。
【０１３２】
また、本発明の多層情報記録媒体においては、情報層を厚み方向に４層有し、片側から４つの情報層にアクセスすることができるような多層情報記録媒体が好ましい。
【０１３３】
さらに、前記情報層を厚み方向に４層有する多層情報記録媒体においては、各情報層の厚みは５〜２５μｍ程度であることが好ましい。厚み方向に情報層をより多く積層でき、光硬化性樹脂フィルムに情報溝を転写形成する工程において光硬化による硬化収縮を小さく抑えるためにはなるべく薄い方が好ましいが、光透過性樹脂スタンパにより与えられる押圧力や押圧のために用いられるローラーの熱により光硬化性樹脂フィルムが破れることを防止するためには５μｍ以上であることが好ましい。
【０１３４】
本実施の形態においては、主として、４層の光情報記録媒体を例にとって説明したが、第１情報基板や各情報層、透明層の厚み等を調整することにより、更に多層構造の情報記録媒体を得ることができる。
【０１３５】
このようにして得られる本発明の多層情報記録媒体としてはＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等に採用されている光ディスクの形状の他、例えばメモリカード等のカード形状など目的に応じた形状を有する記録媒体として用いられる。
【０１３６】
（実施の形態２）
多層情報記録媒体においては、厚み方向に複数の層が形成されているために、従来の単層情報記録媒体に比べて高い寸法精度が要求される。
【０１３７】
しかしながら、情報層が多層であるために従来の単層の情報記録媒体よりも寸法精度、特に反りの制御が比較的困難である。
【０１３８】
本発明の多層情報記録媒体の製造方法においては、光透過性樹脂スタンパによる情報溝の転写形成条件を調整することにより反りを低く抑えることができる。
【０１３９】
また、第１情報基板として情報面を上にした場合に凸反り形状のものを用いて多層情報記録媒体を製造した場合には反りの小さな情報記録媒体が得られる。
【０１４０】
本発明者らは、多層情報記録媒体の反りを少なくする方法として、光透過性樹脂スタンパによる情報溝の転写形成条件を種々検討した結果、ローラー面の温度と押圧力とを一定の範囲に調整することにより、反りの小さな多層情報記録媒体が得られることを見出した。
【０１４１】
また、得られた多層情報記録媒体が反りを有する場合には、特定の条件によりアニール処理することにより反りを矯正できることを見出した。
以下にその検討の内容を説明する。
【０１４２】
〈ローラー面の温度と押圧力の調整による反り低減の方法〉
本発明の製造方法における情報層の形成工程において、光硬化性樹脂シート上に光透過性樹脂スタンパを貼り付けた後に光透過性樹脂スタンパ上にローラーを走行させて光透過性樹脂スタンパの情報溝を転写形成する際に、ローラー面の温度と押圧力を変化させたときに得ら得られる転写溝の深さを評価した。
【０１４３】
図７は、ローラー温度及び押圧力を変化させたときに形成される転写溝の深さを示すグラフである。
【０１４４】
なお、本検討においては、第１情報基板として中心穴を有する直径１２０ｍｍディスク形状で、厚み１．１ｍｍのポリカーボネート樹脂製透明基板を用いた。また、光硬化性樹脂フィルムとしては、ポリオレフィン系樹脂基材と光硬化性アクリル系粘着剤等からなる厚み２０μｍの紫外線硬化性樹脂フィルム（古河電工（株）製のＵＶテープ）を用いた。また、第２信号層を転写形成させる光透過性樹脂スタンパの転写面として、溝深さが２０ｎｍ、溝幅が１７０ｎｍ及びトラックピッチが０．３２μｍのスパイラル状の溝を有する光透過性樹脂スタンパを用いた。
【０１４５】
図７によれば、ローラー温度が２０℃以上で、押圧力が２０ｋｇ／ｃｍ2以上の場合には光透過性樹脂スタンパに形成された転写面が良好に転写されている。
【０１４６】
一方、図８は、前記同様に各情報層を形成する際にローラー温度及び押圧力を種々変更した情報層の形成工程を用いて、光硬化性樹脂フィルムを用いて形成された３層の情報層を含む４層の情報層を有する記録媒体を製造した場合の多層情報記録媒体の反り量を示すグラフである。
【０１４７】
なお、前記反り量は図９に示すように、第２信号層が形成された情報記録媒体をその中心穴を用いて直径３０ｍｍの台座に固定して、前記第１情報基板の情報溝が形成されている面にレーザー光を照射した時の反射光を捕捉して、入射光と反射光により形成される角度（θ）により評価した。なお、前記評価は外縁から中心方向に１ｍｍ内側の部分を、外周方向に均等になるように１２点測定した角度のうち、最も大きい値を角度（θ）とした。
【０１４８】
反りがない場合にはθ＝０であり、反り量が大きくなるにつれてθも大きくなる。
【０１４９】
図８によれば、押圧力が１２０ｋｇ／ｃｍ2以上で反り量は非常に大きくなっており、また、ローラー温度が１００℃以上の場合においては押圧力が１００ｋｇ／ｃｍ2以下でも、反り量は大きくなっている。これは、ローラー温度が１００℃を越えると、第１情報基板自身が樹脂の応力緩和と耐熱性の影響により変形しやすくなると考えられる。
【０１５０】
図７及び図８の結果を考慮すると、ローラー温度は２０〜１００℃、さらには２５〜８０℃で、加圧力は２０〜１００ｋｇ／ｃｍ2、さらには２０〜８０ｋｇ／ｃｍ2の場合には比較的転写精度がよく、反りの小さな多層情報記録媒体が得られることが分かる。
【０１５１】
〈凸形状の第１情報基板を用いることによる反り低減の方法〉
本発明の製造方法においては第１情報基板上に光硬化性樹脂フィルムを載置して、光硬化性樹脂フィルムに光透過性樹脂スタンパで情報溝を形成させた後に光硬化性樹脂フィルムを硬化させることにより各情報層が形成される。また、最外層の情報層上に形成された透明層はスピンコート法等により液状の光硬化性樹脂を延伸塗布した後、光硬化させることにより形成される。
【０１５２】
光硬化性樹脂フィルム及び液状の光硬化性樹脂は硬化するときに収縮（以下、硬化収縮という）するために、平坦な透明樹脂基板を用いた場合には、硬化収縮により凹形状の反りが発生する。
【０１５３】
従って、反りの少ない多層情報記録媒体を得るためには、予め第１情報基板の情報面を上にした場合に凸形状の反り（以下凸形状の反りともいう）を有するものを用いた場合には、前記凹形状の反りを相殺することができ、比較的平坦度が高い多層情報記録媒体が得られる。
【０１５４】
前記凸形状の反りは、第１情報基板を製造する際に、射出（圧縮）成形の各種条件、即ち、射出圧力・速度やシリンダ温度、金型温度、金型圧力等を調整して成形することにより所望の反りを有する第１情報基板が得られる。
【０１５５】
本検討においては、予め凸形状の反りを有する円盤状の第１情報基板の上に、本発明の製造方法を用いて１層ずつ情報層を形成し、合計３層の情報層を光硬化性樹脂フィルムを用いて形成したときの反り量の変化を測定した。結果を表１に示す。
【０１５６】
【表１】
2005088629.tif 000014
【０１５７】
第１情報基板のそり量θは情報層の積層前は、θ＝１．０度であったが、光硬化性樹脂フィルムによる１層目の情報層を形成させたときは０．８度となり、２層目を形成させたときは０．５度になり、３層目を形成させたときには０．３度になり、最終的に最外層の情報層の上に光硬化性樹脂をスピンコートして透明層を形成することによりθが０度になり、反りの殆どない多層情報記録媒体が得られた。
【０１５８】
このように、予め凸形状の反りを有する第１情報基板を用いて多層情報記録媒体を形成することにより最終的に得られる多層情報記録媒体の反りを制御することができることがわかる。
【０１５９】
〈アニール処理を用いた反り制御の方法〉
次にアニール処理を用いる反り制御の方法について説明する。
【０１６０】
本発明の製造方法により得られた多層情報記録媒体は、更に、後処理工程として内部応力を緩和させて、反り・歪み等を解消するためにアニール処理を行なうことにより反り量を制御することが好ましい。
【０１６１】
本検討においては、上記「凸形状の第１情報基板を用いることによる反り低減の方法」の検討と同様に、予め凸形状の反りを有する円盤状の第１情報基板１０１の上に、本発明の製造方法を用いて１層ずつ情報層を形成し、合計３層の情報層を光硬化性樹脂フィルム６０４を用いて形成し、さらに透明層を形成させて４層の情報層を有する情報記録媒体を製造したときの反り量を測定した。
【０１６２】
なお、本実施形態においては、多層情報記録媒体の製造後、アニール処理を行なうことを考慮して、反り量θ＝０．５度の凸形状の第１情報基板を用いた。この第１情報基板１０１に対して光硬化性樹脂フィルム６０４を順次３層形成した際の反り量θの変化を示したものを表２に示す。
【０１６３】
【表２】
2005088629.tif 000015
【０１６４】
前記反り量θ＝０．５度の凸形状の第１情報基板を用いて、４層の多層情報記録媒体を製造した場合には、最終的に得られた多層情報記録媒体は反り量θ＝―０．５度の凸形状すなわち、θ＝０．５度の凹形状の多層情報記録媒体が得られた。
【０１６５】
このように、凸形状の第１情報基板の反り量が小さい場合には熱硬化性樹脂の硬化収縮により、凹形状の多層情報記録媒体が得られる。
【０１６６】
次に、得られた反り量θ＝−０．５度の多層情報記録媒体を表３に記載の処理時間及び処理条件でアニール処理した。
【０１６７】
そして、アニール処理した多層情報記録媒体の反り量と予め測定しておいたアニール処理前の多層情報記録媒体の反り量の差（θ）を以下の式により比較した。
【０１６８】
（アニール処理後の反り量（θ２））―（アニール処理前の反り量（θ１））
【０１６９】
【表３】
2005088629.tif 000016
【０１７０】
表３の結果より、８０℃で１２０〜１８０分処理した場合には反り量差（θ）は０．５度であり、アニール処理前の反り量θが−０．５度であった多層情報記録媒体は殆ど反りのない平坦なθ＝０度の多層情報記録媒体が得られた。
【０１７１】
一方、９０℃以上で処理した場合には、全ての処理時間において、第１情報基板自身に大きな変形（表３中、×で示す）が見られた。
【０１７２】
前記結果より、アニール処理前の多層情報記録媒体に反りが生じた場合には、前記アニール処理を施すことにより反りを矯正することができ、平坦な多層情報記録媒体を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１７３】
本発明にかかる多層情報記録媒体及びその製造方法は、多くの情報層を１つの記録媒体中に複数有し、光ディスク等として有効である。また、情報メモリカード等の用途にも応用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１７４】
【図１】本発明の多層情報記録媒体の断面図の一例を示す。
【図２】従来の多層情報記録媒体の断面図である。
【図３】従来の多層情報記録媒体の製造方法の製造工程を示した断面図である。
【図４】相変化型の記録膜の構成について示した断面図である。
【図５】本発明の多層情報記録媒体の製造方法の製造工程の一例を示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態において各情報層が透明層に包まれている状態を示す模式図である。
【図７】実施の形態２におけるローラー温度と押圧力と転写溝深さとの関係を示したグラフである。
【図８】実施の形態２におけるローラー温度と押圧力と多層情報記録媒体の反りとの関係を示したグラフである。
【図９】実施の形態２における多層情報記録媒体の反り量の測定方法を示す模式図である。
【国際調査報告】
2005088629.tif 000017
2005088629.tif 000018
2005088629.tif 000019
2005088629.tif 000020