(57)【要約】検査画面上における注目領域を識別するための識別表示を該検査画像上に同時に表示する位置を指定するための識別表示位置指定手段と、識別表示を輪郭座標データに変換して画面における注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出するための注目領域情報抽出手段と、位置情報および形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶するための注目領域情報記憶手段と、注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力するための分析結果出力手段と、を備える。【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示デバイスの画面に表示された画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査装置において、
前記検査画像上における注目領域を識別するための識別表示を該検査画像上に同時に表示する位置を指定するための識別表示位置指定手段と、
前記識別表示を画像データに変換して前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出するための注目領域情報抽出手段と、
前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶するための注目領域情報記憶手段と、
前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力するための分析結果出力手段と、
を備えることを特徴とする表示デバイスの検査装置。
【請求項２】
表示デバイスの画面に表示された画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査装置において、
前記検査画像に表示された注目領域の形状および位置を該検査画像に重ねて配置したシートに透写し、このシートに透写された前記注目領域の形状および位置を画像データに変換して前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出するための注目領域情報抽出手段と、
前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶するための注目領域情報記憶手段と、
前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力するための分析結果出力手段と、
を備えることを特徴とする表示デバイスの検査装置。
【請求項３】
前記注目領域抽出手段は、
前記画像データへの変換に輪郭のコード化のためのチェインコード分析を用いることを特徴とする請求項１または２のいずれか一項に記載の表示デバイスの検査装置。
【請求項４】
表示デバイスの画面に表示された画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査方法において、
識別表示位置指定手段により、前記検査画像上における注目領域を識別するための識別表示を該検査画像上に同時に表示する位置を指定する位置指定工程と、
注目領域情報抽出手段により、前記識別表示を画像データに変換して前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出する抽出工程と、
注目領域情報記憶手段により、前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶する記憶工程と、
分析結果出力手段により、前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力する出力工程と、
を有することを特徴とする表示デバイスの検査方法。
【請求項５】
表示デバイスの画面に表示された画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査方法において、
前記検査画像に表示された注目領域の形状および位置を該検査画像に重ねて配置したシートに透写し、注目領域情報抽出手段により、このシートに透写された前記注目領域の形状および位置を画像データに変換して前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出する抽出工程と、
注目領域情報記憶手段により、前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶する記憶工程と、
分析結果出力手段により、前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力する出力工程と、
を有することを特徴とする表示デバイスの検査方法。
【請求項６】
前記位置指定工程または前記抽出工程において抽出された前記注目領域に係る位置情報及び形状情報を修正する修正工程をさらに含むことを特徴とする請求項４記載の表示デバイスの検査方法。
【請求項７】
前記修正工程はさらに、
前記識別位置指定手段を用いて入力された点の座標を初期値として記憶する記憶工程と、
前記記憶工程において記憶された前記初期値と被修正対象である前記注目領域を構成する点の座標との距離が所定値以下であるかを判断する判断工程と、
前記判断工程において前記距離が所定値以下の場合、前記注目領域を構成する点の座標をＸ軸方向またはＹ軸方向に所定量ずつ移動させる第１の移動工程と、
前記判断工程において前記距離が所定値を超える場合、前記識別位置指定手段から連続して入力される点の座標を記憶する第２の記憶工程と、
前記第２の記憶工程の記憶する座標と前記初期値の座標の差を算出する算出工程と、
前記算出工程で算出された差の量だけ前記初期値の座標を移動する第２の移動工程と、
前記第２の記憶工程を前記第２の記憶工程の値が更新し続けている間繰り返す繰り返し工程と、
から成るアドレッシング工程をさらに含むことを特徴とする請求項６記載の表示デバイスの検査方法。
【請求項８】
前記修正工程はさらに、
前記識別位置指定手段を用いて入力された最初の点を初期値として記憶する第１の記憶工程と、
前記初期値に入力に続いて入力された点の座標を順次記憶する第２の記憶工程と、
前記第２の記憶工程において記憶された点の座標と前記第１の記憶手段において記憶された前記初期値との差を算出する算出工程と、
前記注目領域を前記算出工程において算出された量だけ移動する移動工程と、
から成るシフトモード機能をさらに含むことを特徴とする請求項６記載の表示デバイスの検査方法。
【請求項９】
前記修正工程はさらに、
修正したい注目領域に係る位置情報及び形状情報を選択する選択工程と、
選択された前記位置情報及び形状情報を構成する点の座標を表示する表示工程と、
前記識別位置指定手段の座標を順次記憶する記憶工程と、
前記記憶工程で取得した前記識別位置指定手段の座標の中心から所定の距離の内部に前記表示工程で表示した座標が存在する場合に、前記点の座標を前記所定の距離だけ前記識別位置指定手段の移動方向に移動する移動工程と、
前記移動した前記点を再表示する再表示工程と、
から成るムーブ工程を含むことを特徴とする請求項６記載の表示デバイスの検査方法。
【請求項１０】
前記修正工程はさらに前記位置指定工程において、
前記識別位置指定手段が前記注目領域を指定する場合の座標を、最初の点を基準として順次点列として記憶する記憶工程と、
前記最初の点に最も近い隣接点を前記点列に追加する第１の追加工程と、
前記隣接点に最も近い隣接点を前記点列に追加する第２の追加工程と、
前記第２の追加工程を前記記憶工程が記憶する最後の点まで繰り返す繰り返し工程と、
前記点列に記憶された点から構成されるポリゴンを表示する表示工程と、
から成るノイズ削除工程をさらに含むことを特徴とする請求項６記載の表示デバイスの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、表示デバイスの製造工程における画面検査において、その検査結果を蓄積し分析するための表示デバイスの検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどの表示デバイスの製造工程において画面検査が行われている。この画面検査は、製造した表示デバイスの動作チェックと、および表示画面上に意図しない不具合点（点欠陥や、線欠陥など）などの有無の確認を行う。【０００３】  この画面検査では、表示デバイスに検査用に作成した検査画像を表示させて、意図しない不具合点の有無を検査者が目視にて確認している。また、目視にて確認された意図しない不具合点があった場合、その不具合点の位置や形状、大きさ、種類などが品質基準を満たさない場合は、不良として処理され出荷されない（非特許文献１参照）。
【非特許文献１】「液晶ディスプレイ製造装置実用便覧」生垣  展／鷲田  浩志  １９９３年４月  株式会社サイエンスフォーラム
【発明の開示】
【０００４】  しかしながら、上述した従来の技術による表示デバイスの画面検査では、意図しない不具合点の有無を確認することはできるものの、多くの台数の表示デバイスの画面検査結果を蓄積して記憶し、必要に応じて分析することは容易ではなかった。
【０００５】  本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、表示デバイスの製造工程における画面検査の結果を容易に蓄積し記憶することができ、記憶した画面検査の結果を必要に応じて分析し出力することを可能とし、もって表示デバイスの生産効率の向上と品質の向上を可能とする表示デバイスの検査装置および検査方法を提供することにある。
【０００６】  本発明は、表示デバイスの画面に表示された画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査装置において、前記検査画面上における注目領域を識別するための識別表示を該検査画面上に同時に表示する位置を指定するための識別表示位置指定手段と、前記識別表示を輪郭データに変換して前記検査画像に合成するとともに前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出するための注目領域情報抽出手段と、前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶するための注目領域情報記憶手段と、前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力するための分析結果出力手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】  また、本発明は、表示デバイスの画面に表示された画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査装置において、前記検査画像に表示された注目領域の形状および位置を該検査画像に重ねて配置したシートに透写し、このシートに透写された前記注目領域の形状および位置を一旦画像データに変換してこの画像データからさらに輪郭データなどを前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出するための注目領域情報抽出手段と、前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶するための注目領域情報記憶手段と、前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力するための分析結果出力手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】  これらにおいては、前記注目領域抽出手段は、前記画像データから前記注目領域の形状および位置の情報を抽出するためにチェインコード分析を用いることが好ましい。
【０００９】  また、本発明は、表示デバイスの画面に表示された画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査方法において、識別表示位置指定手段により、前記検査画像上における注目領域を識別するための識別表示を該検査画像上に同時に表示する位置を指定する工程と、注目領域情報抽出手段により、前記識別表示を輪郭データに変換して前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出する工程と、注目領域情報記憶手段により、前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶する工程と、分析結果出力手段により、前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力する工程と、を有することを特徴とする。
【００１０】  また、本発明は、表示デバイスの画面に表示された画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査方法において、前記検査画像に表示された注目領域の形状および位置を該検査画像に重ねて配置したシートに透写し、注目領域情報抽出手段により、このシートに透写された前記注目領域の形状および位置を一旦画像データに変換してこの画像データからさらに輪郭データなどを前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出する工程と、注目領域情報記憶手段により、前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶する工程と、分析結果出力手段により、前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力する工程と、を有することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、全体構成を説明するための構成図である。
【図２】図２は、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画面検査の手順を説明するためのフローチャートである。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画面検査に用いる領域入力手段を説明するための説明図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画面検査に用いる領域入力手段の別の形態を説明するための説明図である。
【図４】図４は、チェインコード分析を説明するための説明図である。
【図５】図５は、チェインコード分析の手順を説明するための説明図である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画像検査結果の検査データの一例である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、欠陥箇所を表す輪郭線の一例である。
【図７】図７は、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画像検査結果の検査データの一例である。
【図８】図８は、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画像検査データの分析出力処理を説明するためのフローチャートである。
【図９】図９は、本発明の表示デバイスの検査装置の第２の実施の形態に係る、全体構成を説明するための構成図である。
【図１０】図１０は、本発明の表示デバイスの検査装置の第２の実施の形態に係る、画像データ取得を説明するための説明図である。
【図１１Ａ】図１１Ａは、本発明におけるアドレッシング機能を説明するための説明図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、本発明におけるアドレッシング機能を説明するための説明図であり、図１１Ａにおいて所定の操作をした後の画面を示す。
【図１２】図１２は、本発明におけるアドレッシング機能を説明するためのフローチャートである。
【図１３Ａ】図１３Ａは、本発明におけるアドレッシング機能の位置調整行程を説明するためのフローチャートである。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、本発明におけるアドレッシング機能の位置調整行程を説明するためのフローチャートである。
【図１４】図１４は、本発明のシフトモード機能を説明するためのフローチャートである。
【図１５】図１５は、本発明のムーブ機能を説明するためのフローチャートである。
【図１６Ａ】図１６Ａは、ムーブ機能を説明するための第１の説明図である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは、ムーブ機能を説明するための第２の説明図であって、ムーブ機能が実行される前の欠陥選択領域を表す図である。
【図１６Ｃ】図１６Ｃは、ムーブ機能を説明するための第３の説明図であって、ムーブ機能が実行された後の欠陥選択領域を表す図である
【図１７】図１７は、ムーブ機能を説明するための第４の説明図である。
【図１８】図１８は、本発明のノイズ削除機能を説明するための説明図である。
【図１９】図１９は、ノイズ削除機能を説明するためのフローチャートである。
【図２０】図２０は、本発明の線欠陥プロット機能を説明するためのフローチャートである。
【図２１】図２１は、線欠陥プロット機能を説明するための説明図である。
【図２２Ａ】図２２Ａは、線欠陥プロット機能の位置調整行程におけるフローチャートである。
【図２２Ｂ】図２２Ｂは、線欠陥プロット機能の位置調整行程におけるフローチャートである。
【図２３】図２３は、本発明を適応可能な表示デバイスの製造工程を説明する説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】  以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。なお、本発明では３つの種類のデータ構造を扱うことが可能である。すなわち、１：輪郭のデータとしてのチェインコードによって構成されるデータ、２：輪郭のデータとしての輪郭上の点列から構成されるデータ、３：上記１、２のデータ構造と異なり輪郭そのものをあらわすデータの代わりに、輪郭に囲われた内部に存在する点の集合によって構成されるデータ、である。１のデータ構造は後述する第２の実施形態に好適なデータ構造であり、スキャナなどで取得した画像データを所定の手法を用いてチェインデータに変換することで、欠陥箇所を表す輪郭データを得るものである。また、３のデータ構造は、輪郭内部を所定間隔で升目に区切った場合に、各升目に存在するデータの座標の代表値（例えば升目の重心など）から構成されるデータである。【００１３】  ＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、全体構成を説明するための構成図を示している。【００１４】  図１に示すように本発明のシステムは、表示デバイスの画面検査を行うための欠陥検査装置１と、画面検査によって抽出された欠陥情報（欠陥選択領域、注目領域）をＤＢへ登録するための欠陥情報ＤＢ登録部（注目領域情報記憶手段）２と、欠陥情報を分析するための欠陥位置情報分析部（分析結果出力手段）３と、欠陥情報を蓄積して記憶したＤＢを構成する欠陥データ蓄積部４と、欠陥データ蓄積部４に蓄積された欠陥情報を分析利用するための欠陥位置情報分析利用端末部５と、インターネットやＬＡＮなどの通信ネットワークである通信網６と、から概略構成される。【００１５】  また、欠陥情報ＤＢ登録部２は、欠陥情報−ＤＢ登録書式変換部７と、ＤＢ登録制御部８とを備えている。【００１６】  また、欠陥位置情報分析部３は、欠陥位置情報分析条件設定部９と、分析対象データ検索部１０と、欠陥位置情報積算部１１と、欠陥位置積算グラフ生成部１２とを備えている。【００１７】  さらに、欠陥検査装置１は、欠陥検査装置１の全体の動作を制御するための欠陥検査制御部１６と、被検査対象表示デバイス２１を識別するための識別情報を読み取る検査対象情報読み取り部２２と、表示デバイス駆動部２５と、特定表示デバイス用駆動電源変換部２６と、表示補助デバイス駆動部２８と、必要に応じて被検査対象表示デバイス２１の背面より透過光を照射するための表示補助デバイス２７と、被検査対象表示デバイス２１を所定位置に固定すると共に電気的に接続するための表示デバイス固定部２９と、被検査対象表示デバイス２１の位置を所定の位置へ移動させるための表示デバイス固定部を駆動する部（固定部駆動部）３０と、を備える。【００１８】  さらに、欠陥検査装置１は、欠陥情報特定制御部１３と、欠陥情報送信部１４と、欠陥情報入力画面の標準信号発生部１８と、欠陥定義１７と、ポインティングデバイス（識別表示位置指定手段）１５と、入力画面・検査パターン信号合成部１９と、被検査対象表示デバイス２１と、特定表示デバイス用信号変換部２０と、検査パターン切り替え操作部２４と、標準検査パターン信号発生部２３と、を備える。【００１９】  このような図１に示す構成では、欠陥検査装置１に検査対象となる表示デバイスを接続し、この表示デバイスに検査画像を表示した状態で、検査者が画面の不良箇所を目視にて検査する。なお、表示デバイスは図１において披検査対象表示デバイス２１として示されている。【００２０】  次に、この図１に示した構成に基づいて被検査対象表示デバイス２１を画面検査する方法について、図２を参照しつつ説明する。【００２１】  図２は、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画面検査の手順を説明するためのフロー図を示している。【００２２】  まず被検査対象表示デバイス２１が欠陥検査装置１にセットされる（ステップ１：Ｓ１）。ここで、欠陥検査装置１と被検査対象表示デバイス２１とが電気的に接続される。この接続は、具体的には特定表示デバイス用信号変換部２０と表示デバイス駆動部２５、および特定表示デバイス用駆動電源変換部２６に対して行われる。表示デバイス駆動部２５により、被検査対象表示デバイス２１を駆動するための制御信号や電源の供給が行われ、特定表示デバイス用駆動電源変換部２６により被検査対象表示デバイス２１に適した電源供給が実行される。【００２３】  次に、被検査対象表示デバイス（パネル）２１に検査画面が表示される（ステップ２：Ｓ２）。この検査画面は標準検査パターン信号発生部２３により画像データが生成される。この検査画面のパターンは複数種類が存在し、検査パターン切り替え操作部２４により画面検査の必要に応じて切り替えられる。被検査対象表示デバイス２１に直接に接続して検査画面の画像表示信号を出力するのは、特定表示デバイス用信号変換部２０が行っており、被検査対象表示デバイス２１の種類に応じた画像表示信号を生成する。【００２４】  なお、標準パターン信号発生部２３と特定表示デバイス用信号変換部２０との間には、入力画面・検査パターン信号合成部１９が配置されている。この入力画面・検査パターン信号合成部１９は、欠陥情報特定制御部（注目領域情報抽出手段）１３により制御される欠陥情報入力画面の標準信号発生部１８に接続している。【００２５】  また、欠陥情報入力画面の標準信号発生部１８からは、被検査対象表示デバイス２１の画面に検査画像（検査パターン）と同時に画面上に表示されるマウスカーソルや機能選択メニューなどの表示信号が出力される。これらのマウスカーソルや機能選択メニューなどの表示は、ポインティングデバイス１５の操作に連動して、被検査対象表示デバイス２１の画面上に表示される。【００２６】  次に、被検査対象表示デバイス（パネル）２１の種類を識別する（ステップ３：Ｓ３）。この種類の識別は検査対象情報読み取り部２２により実行される。なお、このステップ３は、ステップ１において被検査対象表示デバイス２１が欠陥検査装置１に接続された時点で実行してもよい。また、図示しないバーコードリーダなどを介して被検査対象表示デバイス２１に予め付与されたバーコードを読み取り、被検査対象表示デバイス２１の種類や固有の識別情報などを読み取ってもよい。さらに、読み取り部２２のかわりに適宜ユーザーインタフェースを用いて手入力してもよい。【００２７】  次に、被検査対象表示デバイス２１の画面上の欠陥の有無を調べる（ステップ４：Ｓ４）。ここでは、被検査対象表示デバイス２１の画面に表示された検査画像を用いて、目視にて画面上の欠陥の有無が調べられる。被検査対象表示デバイスに表示される検査画像は種々の欠陥を発見するのに容易になるような色やパターン、輝度などで構成されている。【００２８】  また、この工程で調べる画面上の欠陥としては、表示ドットの不点灯や抜けによる点（点欠陥）、縦筋状の線（線欠陥）、色や輝度のムラなどの不良箇所である。これらの欠陥となる不良箇所は同一の画面上に同時に複数で存在する場合もあり、複数種類の不良箇所の組み合わせの場合も存在する。【００２９】  次に、欠陥箇所が被検査対象表示デバイス２１の画面上に存在するか否かが判断される（ステップ５：Ｓ５）。この判断において、欠陥箇所が見つからず（ステップ５においてＮＯの場合）良品である場合は，良品コードの入力が行われる（ステ���プ１２：Ｓ１２）。その後に被検査対象表示デバイス２１を欠陥検査装置１から取り外し（ステップ１１：Ｓ１１）、一連の検査が終了する。【００３０】  一方、ステップ５：Ｓ５にて被検査対象表示デバイス２１の画面上に欠陥箇所が見つかった場合（ステップ５においてＹＥＳの場合）は、不良モードが選択され、欠陥箇所の輪郭データが取得されるための処理が開始される。【００３１】  次に、被検査対象表示デバイス２１の画面上に存在を確認された欠陥箇所について、その欠陥の種類を予め設定されている複数種類の不良モード表示の中からポインティングデバイス１５を用いて選択する（ステップ６：Ｓ６）。【００３２】  この不良モード表示は、被検査対象表示デバイス２１の画面上に検査画像の上に重ねて同時に表示される。この不良モード表示には複数種類の不良モード（画面上の欠陥の種類）が表示され、例えば「Ｕｎｅｖｅｎ」、「Ｂｌｕｅ  Ｓｐｏｔ」、「Ｂｒｉｇｈｔ  Ｐｏｉｎｔ」、「Ｂｒｉｇｈｔ  Ｐｏｉｎｔ  Ｃｌｕｓｔｅｒ」といった項目である。これらの項目を表示するための定義は、欠陥定義１７に予め記憶されている。【００３３】  ここで選択した不良モードに応じて、欠陥情報特定制御部１３においてデータ処理される欠陥箇所の輪郭データ抽出方法が選択される。【００３４】  なお、ここで用いるポインティングデバイス１５は、例えば図３Ａ、３Ｂに参照される方式を用いることができる。【００３５】  図３Ａ、３Ｂは、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画面検査に用いる領域入力手段を説明するための説明図を示している。【００３６】  この図３に参照されるように、ポインティングデバイス１５の方式は様々なものが知られており、たとえば図３Ａに示すようなペン型入力デバイス３５や、あるいは図３Ｂに示すマウス３６などを用いることができる。他に、図示しないデジタイザなどを用いてもよい。【００３７】  なお、図３Ａには、ポインティングデバイス１５（ペン型入力デバイス３５）が、検査対象の表示パネル画面（被検査対象表示デバイス２１）３７に存在する欠陥箇所３８上またはその近傍をなぞって欠陥選択領域１００を描いている様子が示されている。欠陥箇所３８の輪郭線上にはポインティングデバイス１５の位置を示すカーソル５０が示されている。なお、欠陥箇所３８の状態によっては、正確に欠陥の箇所、領域を描くことが困難な場合があるが、検査者は後述する各種機能を用いて、点欠陥、線欠陥、一定の広がりを持つ欠陥領域夫々を可能な限り正確に指定できる。【００３８】  表示パネル画面３７に表示された欠陥箇所３８を見ながら、タブレット３７１上にてペン型入力デバイス３５をなぞるように操作して描いた軌跡（欠陥選択領域）１００と同じ形状で欠陥箇所３８が描かれる。【００３９】  また、図３Ｂには、ポインティングデバイス１５としてマウス３６を適用した例を示している。マウス３６を操作するための平面には例えばマウスパット３７２が載置されており、このマウスパット３７２に写し取った欠陥選択領域１００をマウス３６でなぞることにより、表示パネル３７上に欠陥個所３８が表示される、この欠陥箇所３８の輪郭線上にはカーソル（マウスカーソル）５０が示され、マウス３６の現在位置を示している。【００４０】  次に、被検査対象表示デバイス２１の画面上に確認された欠陥箇所である不良領域の輪郭線（欠陥選択領域）をタブレットまたはマウス３６などのポインティングデバイス１５を用いてなぞる（ステップ７：Ｓ７）。【００４１】  この工程では、被検査対象表示デバイス２１の画面上に確認された欠陥箇所（注目領域）の輪郭をポインティングデバイス１５でなぞることにより、その軌跡の情報を輪郭座標データとして欠陥情報特定制御部１３へ取込むことを行っている。【００４２】  ポインティングデバイス１５で不良領域の輪郭線をなぞった軌跡は、被検査対象表示デバイス２１の画面上に描線される。また不良領域が点の場合は、点状不良点（点欠陥）を中心とした円として描画される。こうした軌跡の表示を行うことにより、画面上に確認された欠陥箇所の位置や形状などを目視で容易に確認できるので、作業性も向上する。【００４３】  次に、不良領域の入力が完了する（ステップ８：Ｓ８）。この工程では、１箇所の不良領域に対して、ポインティングデバイス１５でもって輪郭をなぞり、その輪郭データ（欠陥情報）を欠陥情報特定制御部１３にて保持する。輪郭データは１箇所の不良領域に対して一つの輪郭データが生成される。【００４４】  次に、ポインティングデバイス１５で不良箇所の輪郭をなぞることにより生成された軌跡のデータが、輪郭データ（欠陥情報）として登録される（ステップ９：Ｓ９）。この欠陥情報の登録は、対象となる欠陥情報を欠陥情報特定制御部１３から欠陥情報送信部１４に送り、この欠陥情報送信部１４から通信網６を介して欠陥情報ＤＢ登録部２へ送って実行する。【００４５】  欠陥情報ＤＢ登録部２は、欠陥情報−ＤＢ登録書式変換部７によって欠陥情報の書式（データ形式）を、ＤＢ（データベース）である欠陥データ蓄積部４に登録するのに適した書式に変換する。こうして変換された欠陥情報は、ＤＢ登録制御部８に送られ、ここで欠陥データ蓄積部４に登録するための制御を受け、欠陥データ蓄積部４への登録がされる。【００４６】  なお、この登録において、検査対象情報読み取り部２２により読取られた被検査対象表示デバイス２１を識別するための識別情報も、対応する欠陥情報と関連付けされて同時に欠陥データ蓄積部４に登録される。この識別情報の登録において、その情報伝達は検査対象情報読み取り部２２から欠陥情報特定制御部１３を介して送信される。あるいは、欠陥検査制御部１６を介して送信されてもよい。【００４７】  次に、未だなぞっていない欠陥箇所が有るか否かが判断される（ステップ１０：Ｓ１０）。この判断により、なぞっていない欠陥箇所が存在する場合（ステップ１０におけるＹＥＳの場合）は、ステップ６：Ｓ６に戻って、以下同様の工程を実行する。また、なぞっていない欠陥箇所が存在しない場合（ステップ１０におけるＮＯの場合）は、ステップ１１：Ｓ１１へ進み、一連の欠陥箇所の欠陥情報の取り込み工程が終了する。【００４８】  図４は、本発明の表示デバイスの検査装置の主に第２の実施の形態に係る、チェインコード分析を説明するための説明図を示している（×印は欠陥を表す）。第１の実施形態ではデータ構造が上記２の場合に相当するの���、チェインコード分析は必須ではないが、以下に示すチェインコード分析を用いて取得済みの輪郭データをさらに処理をしてもよい。【００４９】  すなわち図４に示すチェインコード分析は、既に説明した欠陥情報の取り込み工程において、欠陥箇所をなぞることにより取得したポインティングデバイス１５の軌跡データを欠陥情報として抽出するための方法のひとつである。図４に参照されるように、始点に対して連続する位置の点はチェインコード化して保管される（図４中の白抜き四角）。また連続しない点は座標値で保管される（図４中の斜線塗り四角）。これらのチェインコードデータと座標値データは、互いに連続していない場所同士で線分で接続され、その線分を線形関数や種々の曲線関数などで表現して保管される。【００５０】  図５は、本発明の表示デバイスの検査装置の第２の実施の形態に係る、チェインコード分析の手順を説明するための説明図を示している。【００５１】  この図５に参照されるように、欠陥箇所をなぞった軌跡データが開曲線であると（ステップ２０：Ｓ２０）、たとえば被検査対象表示デバイス２１の画面上に「警告」の文字などを表示して注意を促す（ステップ２１：Ｓ２１）。【００５２】  次に、警告された軌跡データがどのような形状であるかが判断される（ステップ２２：Ｓ２２）。この判断により、対象となる軌跡データの形状が概ね閉曲線である場合は（ステップ２３：Ｓ２３）、正しい閉曲線になるように修正が実行される（ステップ２４：Ｓ２４）。この修正により閉曲線が生成されるので、チェインコード化されて保管され（ステップ２５：Ｓ２５）、一連の処理が終了する（ステップ３１：Ｓ３１）。【００５３】  一方、なぞった軌跡データが閉曲線とは異なる連続した線である場合は（ステップ２６：Ｓ２６）、対象となる線の左右の両端部にそれぞれ始点と終点を設定する（ステップ２７：Ｓ２７）。【００５４】  次に、設定した始点と終点を結ぶ１曲線になるように軌跡データの修正を行う（ステップ２８：Ｓ２８）。この修正は、欠陥箇所をなぞる際に生じる不連続な描線の軌跡を修正するためである。この修正により、軌跡データは閉曲線になり、この閉曲線をチェインコード化して保管する（ステップ２９：Ｓ２９）。【００５５】  次に、図４を参照して説明したように、独立した点と閉曲線とをつなぐために、点座標と輪郭線の始点および終点のそれぞれを互いの点座標同士でつなぐ（ステップ３０：Ｓ３０）。この修正処理の後に一連の処理が終了する（ステップ３１：Ｓ３１）。【００５６】  第１実施形態の説明に戻る。図６Ａ、６Ｂは、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画像検査結果の検査データの一例を示している。【００５７】  この図６Ａに示すのは、欠陥箇所をポインティングデバイス１５でなぞって抽出した輪郭データについて、欠陥データ蓄積部４に登録される際のデータ形式の一例である。また、図６Ｂに示すのは、被検査対象表示デバイス２１の画面上に確認され輪郭をなぞられた欠陥箇所を＃１、＃２、＃３として、それぞれ示している。＃１の欠陥箇所は閉曲線からなる欠陥領域であり、その内部に欠陥領域ではない＃２の領域が存在している。＃３は点で構成された欠陥（点欠���）である。【００５８】  始点の座標が「（＃１、ｘ１）（＃１、ｙ１）」で示されている。また、欠陥箇所のエリア（領域）を示すデータはチェインコード化されて「（＃１、ｘ１）（＃１、ｙ１）０１２１２１２００１１・・・・・」といった書式で登録されている。また、代表点として「（＃１、ｘｒ）（＃１、ｙｒ）」が登録されている。同様に＃２、＃３に対するデータも同様に登録されている。なお、＃３のエリア情報は、データが点であるので登録されていない。【００５９】  あるいは、連続・不連続にかかわらず、チェインコードデータを用いずに、座標値データのみで欠陥情報を保管してもよい。この場合は、たとえば座標列を「（＃１、ｘ１、＃１、ｙ１）（＃１、ｘ２、＃１、ｙ２）・・・」といった形式で表現する。【００６０】  図７は、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画像検査結果の検査データの一例を示している。【００６１】  ここで示す検査データは、たとえば被検査対象表示デバイス２１の工程検査において確認された欠陥箇所を検査者が把握するための書式の一例である。ここで、被検査対象表示デバイス２１の個体識別情報のためのパネル特定情報が「ＲＡＥＡ０３７１Ａ，（Ｂ１）」として記載され、そのパネルに対して確認された複数の欠陥箇所にそれぞれシリアルＮｏ．が付与され「＃１」「＃２」として表記されている。【００６２】  なお、「＃１」が２箇所存在するのは、一つの欠陥領域の内側に他の正常領域が存在するような輪状の欠陥領域（欠陥選択領域）である場合を表現している。このような表現にするのは、工程検査において検査者が輪状の欠陥領域を確認した場合、輪状の内側の領域は正常領域ではあるものの、全体としては輪状の欠陥領域として把握したほうが認識しやすいためである。そのため、「不良箇所のシリアルＮｏ．」は輪状の欠陥領域とその内側の正常領域とを共に「＃１」として分類している。【００６３】  「不良モード」の欄は、確認された欠陥箇所の状態を欠陥定義１７に予め登録された欠陥定義に基づいて分類し表示している。たとえば、「不良箇所のシリアルＮｏ．」が「＃１」の部位の「不良モード」は、画像むらであるので「ムラ」として表現されている。「不良／良」の欄は、不良箇所を構成する個々の部位の不良／良を示している。たとえば、輪状の欠陥領域の内側の領域は、正常領域ではあるので「良」となるが、輪状の欠陥領域全体から見れば不良箇所の構成要素となる。「検査時刻」は欠陥箇所を検査した日時を示している。【００６４】  図８は、本発明の表示デバイスの検査装置の第１の実施の形態に係る、画像検査データの分析出力処理を説明するためのフローチャートである。【００６５】  図８に示されるフローチャートは、欠陥位置情報分析利用端末部５を用いて欠陥データ蓄積部４に登録された欠陥情報を欠陥位置情報分析部３で分析し、欠陥位置情報分析利用端末部５へ結果を出力するための分析出力処理の一例である。【００６６】  まず、欠陥位置情報分析利用端末部５から入力された条件に基づき、欠陥位置情報分析条件設定部９において、積算マップ作成条件の設定が行われる（ステップ４０：Ｓ４０）。ここで設定された積算マップ作成条件に基づいて、分析対���データ検索部１０により欠陥データ蓄積部４に登録された欠陥情報に対して不良領域データの検索が実行される（ステップ４１：Ｓ４１）。【００６７】  次に、欠陥位置情報積算部１１において、積算マップ用配列のメモリ空間を確保し初期化を実行する（ステップ４２：Ｓ４２）。【００６８】  次に、検索して得られた不良領域データの全てについて、以下のステップ４４：Ｓ４４〜ステップ４７：Ｓ４７の一連の処理を実行する（ステップ４３：Ｓ４３）。【００６９】  まず、ステップ４４：Ｓ４４にて、作業用配列のメモリ空間を確保し初期化する。次に、ステップ４５：Ｓ４５にて、作業配列上で、不良領域データが表す不良領域の輪郭に相当する部分に不良の輪郭を表す値を代入する。このとき、輪郭が閉じているように適宜に補完する。次に、ステップ４６：Ｓ４６にて、作業配列上の不良領域内の配列要素に不良領域を表す値を代入する。次に、ステップ４７：Ｓ４７にて、積算マップ用の配列に対して、作業配列上の不良領域内の配列要素と輪郭の配列要素の部分に相当する要素に１を加える。【００７０】  このような一連のステップ４４：Ｓ４４〜ステップ４７：Ｓ４７の処理により、不良領域データは必ずしも隣り合う要素で構成されてはいないので、これを補完して連続した閉曲線にするために、輪郭を表す要素が全て２次元配列上でお互いに隣り合うように補完すると、閉曲線から成る不良領域が得られる。【００７１】  次に、全ての不良領域に対してステップ４３：Ｓ４３の一連の処理が施された後に、欠陥位置積算グラフ作成部１２において、積算マップ用配列の値を用いて積算マップを作成する（ステップ４８：Ｓ４８）。【００７２】  こうして作成された積算マップは欠陥位置情報分析利用端末５に通信網６を介して送信され、分析結果が積算マップとして出力される。【００７３】  ＜第２の実施の形態＞
図９に示すのは、本発明の表示デバイスの検査装置の第２の実施の形態に係る、全体構成を説明するための構成図である。【００７４】  既に説明した本発明の第１の実施の形態においては、被検査対象表示デバイス２１に検査画像を表示させて、この検査画像上において確認される欠陥箇所をポインティングデバイス１５でなぞって、その軌跡データを輪郭情報として処理して欠陥情報として欠陥データ登録部４に登録している。【００７５】  これに対して、本発明の第２の実施の形態においては、被検査対象表示デバイス４４（被検査対象表示デバイス２１）に表示された検査画像について欠陥箇所を目視にて確認し、この被検査対象表示デバイス４４の画面に重ねたＯＨＰシートなどの透明シート４３に筆記具などを用いて複写する方法である。【００７６】  本発明の第２の実施の形態の欠陥情報収集装置では、イメージスキャナなどで構成される欠陥情報−画像データ変換部４０と、取込んだ欠陥箇所の輪郭データを画像補正するための欠陥情報の画像補正部４１と、欠陥情報特定制御部１３と、欠陥情報送信部１４と、欠陥定義１７とを備えている。【００７７】  こうした構成の欠陥情報収集装置においては、被検査対象表示デバイス４４に検査画像を表示させ、この表示された画面の上に透明シート４３を重ねて置き、透明シート４３を通して確認できる欠陥箇所に筆記具（着色マーカ）などを用いて印をつける。この印のつけ方として、点状の欠陥箇所はその上に点を打つか、あるいは線で周囲を囲む。なお、複写の際に検査画像を表示しなくても見える欠陥については、必ずしも検査画像を表示する必要はない。【００７８】  また、画像ムラなどの領域は、その領域の輪郭を筆記具でなぞり描線する。線状の欠陥箇所については、その線の上に重ねるように線を引く。このようにして透明シート４３上にて欠陥情報転写作業（ステップ５０：Ｓ５０）が実施される。この欠陥情報転写作業の結果、欠陥情報が記載された透明シート（フィルム）４２が生成される。【００７９】  次に、欠陥情報が記載された透明シート４２を欠陥情報−画像データ変換部４０にて画像データに変換して読み込む。この読み込みは、図１０に参照されるように、ＯＨＰシートなどの透明シートに欠陥情報（パネルの不良）をなぞって作成した欠陥情報が記載された透明シート４２を、イメージスキャナなどの欠陥情報−画像データ変換部４０によりスキャンして読み込み、欠陥情報の画像（画像データ）が生成される（ステップ５１：Ｓ５１）。【００８０】  次に、欠陥情報の画像補整部４１により欠陥情報の画像に対して補整が実行される。ここで実行される補整は、図４、図５を参照して既に説明した閉曲線にするための補整である。この補整作業を経て補整された欠陥情報の画像が生成される（ステップ５２：Ｓ５２）。【００８１】  生成された欠陥情報の画像は欠陥情報特定制御部１３へ送られ、欠陥情報送信部１４と通信網６を介して欠陥情報ＤＢ登録部２に送信され、欠陥データ蓄積部４に登録される。なお、欠陥定義１７は、補整された欠陥情報の画像について、欠陥の種類を分類するための欠陥情報を予め記憶しており、この中から生成された欠陥情報の画像を分類するための欠陥定義が付与される。なお第��の実施の形態においては、説明のためにチェインコード化のためのチェインコード分析を行うが、例えばポリゴンデータとして座標データを取得する方法などの既存の画像処理方法を用いてもよい。【００８２】  以上説明した本発明の実施の形態によれば、表示デバイスの製造工程における画面検査の結果を容易に蓄積し記憶することができ、記憶した画面検査の結果を必要に応じて分析し出力することを可能とし、もって表示デバイスの生産効率の向上と品質の向上を可能とする表示デバイスの検査装置および検査方法を実現できる。【００８３】  なお、本発明の表示デバイスは、ＳＥＤ、液晶、プラズマディスプレイ、ブラウン管などに限定されることはなく、検査用の画面を表示するための信号入力手段が備わっていればよい。【００８４】＜編集機能＞
なお本発明では、以下に説明するより精確に不良箇所の位置を入力するための機能や、検出工程を円滑にするための機能を実装していてもよい。すなわち、本発明では上記図２のステップ７：Ｓ７において行う不良領域の検出に際し、以下のような機能をさらに有していてもよい。【００８５】［アドレッシング機能］
アドレッシング機能は、点欠陥の正確な位置をプロットするのに好適なモードである。例えば、被検査対象表示デバイスを構成する膨大な数のピクセルのうち、一つのピクセルないしは、一つのピクセルを構成するサブピクセル一つが不良であるような場合に、不良ピクセル（不良サブピクセル）上に正確にクロスカーソルを移動させる場合に、アドレッシング機能が好適である。もちろん、図３Ａ、３Ｂに示したような操作においても好適である。【００８６】  以下、図１１Ａ，１１Ｂ、１２、１３を参照しながらアドレッシング機能の各ステップについて説明する。【００８７】  図１１Ａは、検査画面の一表示例であり、画面上に示されるカーソル５０Ｅを欠陥のおおよその位置を示す領域５０Ｄに重ねた状態でクリック等の操作をすることで、図１１Ｂの画面に移行する。【００８８】  図１１Ｂでは、表示パネル（被検査対象表示デバイス）３７上にカーソル５０Ａ、クロスカーソル５０Ｂ（なお、クロスカーソル５０Ｂの位置は領域５０Ｄの中心である）が夫々表示されている。また、物理的な欠陥は、例えば欠陥５０Ｃの様にパネル上に存在する。図１２に示すように、欠陥位置描画が成され（ステップ１２１：Ｓ１２１）、欠陥モードが入力され（ステップ１２２：Ｓ１２２）る。ここで、検査者によって位置調整モードが起動され、サブピクセルの点欠陥までカーソルを移動させる場合は必要に応じて（Ｒ）、（Ｇ）、（Ｂ）いずれのサブピクセルを表示させるかが選択され（ステップ：Ｓ１２３）、欠陥が選択される（ステップ１２４：Ｓ１２４）。ここまでは、図２のステップ７：Ｓ７と同様である。ついで、アドレッシング機能の要部である欠陥（点欠陥）位置の調整工程（ステップ１２５：Ｓ１２５）が実行される。【００８９】  以下、調整工程について図１３Ａ、１３Ｂを参照しながら詳説する。【００９０】  まず、ステップ１２４：Ｓ１２４までで選択（描画）した欠陥位置（欠陥選択領域）を変更するためにカーソルを移動することで、位置調整が開始される（ステップ：１３１Ｓ１３１）。なお、位置調整が開始されるための動作としては、例えば描画にマウスを使用していればクリック、タブレットを使用していればペンをタブレットに接触させた場合などである。【００９１】  次に、カーソル５０Ａとクロスカーソル５０Ｂの距離が所定ピクセル以下であるかが判断される（ステップ１３２：Ｓ１３２）。ここで、図１３Ａの例では所定ピクセルとして５０ピクセルが設定されている場合を示したが、かかる所定値は求める検査の精度や被検査対象表示デバイスの種類などに応じて変更される。【００９２】  ステップ１３２：Ｓ１３２においてカーソル５０Ａとクロスカーソル５０Ｂの距離が所定値を超える場合（ステップ１３２：Ｓ１３２においてＮＯの場合）、カーソル５０Ａとクロスカーソル５０Ｂを構成するＸ軸方向の距離、Ｙ軸方向の距離の大小が判定される（ステップ１３３：Ｓ１３３）。ここで、Ｘ軸方向の距離がＹ軸方向の距離以下の場合（ステップ１３３：Ｓ１３３においてＹＥＳの場合）、Ｘ軸方向の距離が所定値以下であるか否かが判断される（ステップ１３４：Ｓ１３４）。なお図１３Ａにおいて、ステップ１３３：Ｓ１３４における所定値も５０ピルセルと���てあるが、適宜変更可能である。【００９３】  さらに、ステップ１３４：Ｓ１３４においてＸ軸方向の距離が所定値を超える場合（ステップ１３４：Ｓ１３４においてＮＯの場合）、カーソル５０Ａのｘ成分とクロスカーソル５０Ｂのｘ成分の大小が比較される（ステップ：Ｓ１３５）。ステップ１３５：Ｓ１３５において、カーソル５０Ａのｘ成分ｘが、クロスカーソル５０Ｂのｘ成分ｘ０を超える場合（ステップ１３５：Ｓ１３５においてＮＯの場合）、すなわちｘ＞ｘ０の場合、クロスカーソル５０Ｂのｘ成分ｘ０を１ピクセルずつ増加させ（ステップ１３６：Ｓ１３６）、カーソル５０Ａとクロスカーソル５０Ｂの再表示が行われる（ステップ１３７：Ｓ１３７）。この後、適宜調整終了を検査者に問い合わせる画面（図示なし）を表示するなどして調整終了の有無が判断される（ステップ１３８：Ｓ１３８）。Ｓ１３８において調整の終了が選択されると（ステップ１３８：Ｓ１３８においてＹＥＳの場合）、必要に応じて必要に応じて、Ｒ、Ｇ、Ｂの情報からサブピクセルに変換され（ステップ１３９：Ｓ１３９）、調整工程が終了される。また、調整が終了しない場合は再度ステップ１３１：Ｓ１３１に処理が戻される。【００９４】  図１３Ｂに示すように、ステップ１３２：Ｓ１３２おいてカーソル５０Ａとクロスカーソル５０Ｂとの距離が所定値以下の場合（ステップ１３２：Ｓ１３２においてＹＥＳの場合）、検査者がクリックしたままカーソル５０Ａを移動させる（ステップ１３２−１：Ｓ１３２−１）。次いで、ステップ１３２：Ｓ１３２におけるカーソル５０Ａの座標と、Ｓ１３２−１におけるカーソル５０Ａの座標の差を計算し、この計算結果をＳ１３２におけるクロスカーソル５０Ｂの座標から減算して新たなクロスカーソル５０Ｂの座標が算出され、クロスカーソル５０Ｂがかかる新しい座標上に再表示される（ステップ：Ｓ１３２−２）。ここで、検査者が依然としてクリックし続けているかが判断される（ステップ：Ｓ１３２−３）。操作者がクリックし続けていれば、Ｓ１３２−１に処理が移動し、クリックしていなければＳ１３２に処理が移動する。【００９５】  またステップ１３３：Ｓ１３３においてＮＯの場合、カーソル５０Ａとクロスカーソル５０Ｂとのｙ成分の距離が所定値（例えば５０ピクセル）以下か否かが判断される（ステップ１３３−１：Ｓ１３３−１）。ここで、ｙ成分の距離が所定値以下の場合（ステップ１３３−１：Ｓ１３３−１においてＹＥＳの場合）、カーソル５０Ａのｙ成分の値が、クロスカーソル５０Ｂのｙ成分ｙ０に代入される（ステップ１３３−２：Ｓ１３３−２）。ステップ１３３−２：Ｓ１３３−２終了後、上記Ｓ１３７へ処理が移動し、新しい座標上にカーソル５０Ａ、クロスカーソル５０Ｂがそれぞれ表示され、上述のＳ１３８、Ｓ１３９が適宜処理される。【００９６】  またステップ１３３−１：Ｓ１３３−１においてカーソル５０Ａ、クロスカーソル５０ＢのＹ軸方向の距離が所定値を超える場合（ステップ１３３−１：Ｓ１３３−１においてＮＯの場合）、カーソル５０Ａのｙ成分と、クロスカーソル５０Ｂのｙ成分の大小が比較される（ステップ１３３−３：Ｓ１３３−３）。ステップ１３３−３：Ｓ１３３−３においてカー��ル５０Ａのｙ成分がクロスカーソル５０Ｂのｙ成分ｙ０よりも小さい場合、すなわちｙ＜ｙ０の場合（ステップ１３３−３：Ｓ１３３−３においてＹＥＳの場合）、クロスカーソル５０Ｂのｙ成分の値ｙ０を１ピクセルずつ減少させ（ステップ１３３−５：Ｓ１３３−５）、他方、カーソル５０Ａのｙ成分がクロスカーソル５０Ｂのｙ成分ｙ０よりも大きい場合（ステップ：Ｓ１３３−３においてＮＯの場合）、クロスカーソル５０Ｂのｙ成分の値ｙ０を１ピクセルずつ増加させる（ステップ１３３−４：Ｓ１３３−４）。ステップ１３３−４：Ｓ１３３−４またはステップ１３３−４：Ｓ１３３−５が終了後、上記ステップ１３７：Ｓ１３７へ処理が移動し、新しい座標上にカーソル５０Ａ、クロスカーソル５０Ｂがそれぞれ表示され、上述のステップ１３８：Ｓ１３８、ステップ１３９：Ｓ１３９が適宜処理される。【００９７】  またステップ１３４：Ｓ１３４においてカーソル５０Ａとクロスカーソル５０ＢのＸ軸方向の距離が所定値以下の場合（ステップ１３４：Ｓ１３４においてＹＥＳの場合）、カーソル５０Ａのｘ座標の値がクロスカーソル５０Ｂのｘ成分ｘ０に代入される（ステップ１３４−１：Ｓ１３４−１）。ステップ１３４−１：Ｓ１３４−１終了後、上記ステップ１３７：Ｓ１３７へ処理が移動し、新しい座標上にカーソル５０Ａ、クロスカーソル５０Ｂがそれぞれ表示され、ステップ１３８：Ｓ１３８、ステップ１３９：Ｓ１３９が適宜処理される。【００９８】  また、Ｓ１３５においてｘ＜ｘ０が成立する場合（ステップ１３５：Ｓ１３５においてＹＥＳの場合）、クロスカーソル５０Ｂのｘ座標ｘ０の値を１ピクセルずつ減算される（ステップ１３５−１：Ｓ１３５−１）。ステップ１３５−１：Ｓ１３５−１終了後、上記ステップ１３７：Ｓ１３７へ処理が移動し、新しい座標上にカーソル５０Ａ、クロスカーソル５０Ｂがそれぞれ表示され、上述のステプ１３８：Ｓ１３８、ステップ１３９：Ｓ１３９が適宜処理される。【００９９】［シフトモード機能］
次に、図１４を参照しながら、シフトモード機能について説明する。【０１００】  シフトモードは、上記アドレッシング機能を用いて特定した位置が、正しく欠陥位置に一致しているか否かを確認する場合、また欠陥位置の確認を行う場合に好適である。【０１０１】  シフトモード機能が呼び出されると、検査者がマウスやタブレットのペンなどを用いてクリックした座標値が記憶され（ステップ１４１：Ｓ１４１）、欠陥の位置や形状を示す図形の座標が記憶される（ステップ１４２：Ｓ１４２）。ここで、検査者がクリックしながらカーソルを移動させ（カーソルをドラッグさせ）、このときのカーソルの座標が順次記憶される（ステップ１４３：Ｓ１４３）。次いで、ステップ１４１：Ｓ１４１におけるカーソルの座標と、ステップ１４３：Ｓ１４３におけるカーソルの座標の差分を計算し、欠陥の位置や形状を示す図形（欠陥選択領域）を移動した後画面を再表示する（ステップ１４４：Ｓ１４４）。ここで、クリックの有無が判断され（ステップ１４５：Ｓ１４５）、検査者がクリックをし続けている場合にはステップ１４３：Ｓ１４３に処理を移し（ステップ１４５：Ｓ１４５においてＹＥＳの場合）、クリックしていなければ（ステップ１４５：Ｓ１４５においてＮＯの場合）、上記Ｓ１４２の座標で欠陥の位置や形状を示す図形（欠陥選択領域）を再表示し（ステップ１４６：Ｓ１４６）、処理が終了される。シフトモード機能を利用することで、一時的に指定した場所が正確に欠陥位置に合致しているか否かを確認することができる。【０１０２】［ムーブ機能］
以下、ムーブ機能について図１５乃至１７を参照しながら説明する。【０１０３】  マウスやタブレットのペンを用いて欠陥選択領域１００を囲った後、再度欠陥選択領域を修正する際に、後述するムーブ機能を使用すると効率的に誤って囲った箇所を修正することができる。【０１０４】  以下では、例えばあらかじめ図２のステップ７：Ｓ７などの工程で欠陥を示す図形（欠陥選択領域）が検査者によって囲われている（描画されている）ことを前提とする。【０１０５】  まず複数の欠陥選択料機が存在する場合、検査者によってムーブ機能を用いて修正したい欠陥選択領域が選択されると、ポリゴン、あるいは近時曲線によって表示された欠陥領域が点のみを用いた状態で再表示される（ステップ：Ｓ１５１、図１６Ａ、１６Ｂ）。【０１０６】  例えば図１６Ａ、１６Ｂに示す例では、欠陥Ｐを指定するために、欠陥選択領域１００がポリゴン表示されていた場合（図１６Ａ）、ステップ１５１：Ｓ１５１が実行されると欠陥選択領域１００が点Ｐ１乃至Ｐ１０によって再表示される（図１６Ｂ）。【０１０７】  次に画面上のカーソルＣ（ｘ００、ｙ００）が所定の形状に変形される（ステップ１５２：Ｓ１５２）。なお、図１６ＢではカーソルＣが半径ｒ２の円形に変形される場合を示すが、正方形、楕円形など適宜変更可能である。【０１０８】  次に検査者が変形されたカーソルＣを修正したい点へ移動させる（図１６ＢではカーソルＣを矢印ＡＲ１方向に沿って修正したい点Ｐ７（Ｂｅｆｏｒｅ）の方向へ移動する場合を示している）。この際、移動したカーソルＣの座標が順次記憶される（ステップ１５３：Ｓ１５３）。【０１０９】  ここで、図１７に示すように半径ｒ２の内側に修正しようとする欠陥選択領域１００を構成する点（例えばＰ７（Ｂｅｆｏｒｅ））が存在するか否かが判断される（ステップ１５４：Ｓ１５４）。ステップ１５４：Ｓ１５４において該当する点がない場合処理が終了する（ステップ１５４：Ｓ１５４においてＮＯの場合）。なお、半径ｒ２の大きさは適宜変更可能である。詳細には、図１７に示すように円形のカーソルＣ内に点Ｐ７（Ｂｅｆｏｒｅ）が含まれているか否かが判断される。【０１１０】  欠陥選択領域１００を構成する点がカーソルＣ内に存在する場合（ステップ１５４：Ｓ１５４においてＹＥＳの場合）は、かかる点を移動する移動量が算出される（ステップ１５５：Ｓ１５５）。具体的には図１７において点Ｐ７（Ｂｅｆｏｒｅ）（ｘ０１、ｙ０１）を、カーソルＣの移動方向（ＡＲ１方向）のカーソルＣの中心Ｏ（ｘ００、ｙ００）から所定の距離（半径ｒ２）上に移動させる。具体的には、Ｐ７（Ｂｅｆｏｒｅ）の移動先座標：Ｐ７（Ａｆｔｅｒ）（ｘ０２、ｙ０２）が、ｘ０２＝ｘ００＋Δｘ２、ｙ０２＝ｙ００＋Δｙ２として算出される。最後に、移動先の点（Ｐ７（Ａｆｔｅｒ））を再表示し（ステップ１５６：Ｓ１５６）、処理が終了する。この処理を所望の回数だけ繰り返す。【０１１１】  ムーブ機能によって、例えば、図１６Ｃに示すＰ７（Ｂｅｆｏｒｅ）がＰ７（Ａｆｔｅｒ）に移動される。この作業を繰り返すことで、より正確に欠陥Ｐを囲うことができる。【０１１２】［ノイズ削除機能］
次に、図１８、１９を参照しながら、ノイズ削除機能について説明する。【０１１３】  ノイズ削除機能は例えば図２のステップ８：Ｓ８を強化するために設けられる一機能であり、例えば図２のステップ７：Ｓ７で示すような工程において、図１８に示すように誤ってクリックしてしまったＰ１１を自動的に削除し、Ｐ１０とＰ１とを接続して不要な箇所を省いた欠陥選択領域１００を作成することを特徴とする。以下、図１９を参照しながら詳説する。【０１１４】  ノイズ削除機能付きステップ７、ステップ８が開始された状態で、検査者が欠陥選択領域１００を描画すると、自動的に所定間隔ごとに検査者が描画している欠陥選択領域１００を構成する座標が順次記憶される（ステップ１９１：Ｓ１９１）。ここで、検査者が欠陥モードを記憶するように構成されていてもよい（ステップ１９２：Ｓ１９２）。【０１１５】  次に、検査者により、ステップ１９１：Ｓ１９１で描画し記憶された座標のうち任意の一点を開始点として選択される（ステップ１９３：Ｓ１９３）。以下、例えば図１８においてＰ１が選択されたとする。なお、開始点は検査者が選択するように構成されていてもよいし、システムが自動的に決定するように構成されていてもよい。【０１１６】  次に、選択された開始点に最も近い点が決定され、一つの線分が確定する（ステップ１９４：Ｓ１９４）。この工程は、自動的に行われてもよいし検査者が開始点の次の選択点を手動で選ぶように構成されていてもよい。ステップ１９４：Ｓ１９４を繰り返して行い、ステップ１８４：Ｓ１９４の点とステップ１９２：Ｓ１９２の点（開始点）が一致するまで行われる（ステップ１９５：Ｓ１９５）。ステップ１９５：Ｓ１９５においてＮＯの場合に、選択された点によってのみ構成される新しい欠陥選択領域１００を描画して処理が終了する（ステップ１９６：Ｓ１９６）。【０１１７】  図１８を例に説明すると、検査者が最初に描いた欠陥選択領域１００を構成する点はＰ１乃至Ｐ１１であるが、ノイズ削除機能により自動的に新しい欠陥選択領域１００を構成する点はＰ１乃至Ｐ１０である。このように、ノイズ除去機能を用いると、歪んだ欠陥選択領域（ポリゴン）を作成しないこと、及びノイズ除去作業を軽減できるという効果がある。【０１１８】［線欠陥プロット機能］
次に、図２０乃至２２Ｂを参照して線欠陥を正確にプロットするための機能である、線欠陥プロット機能について説明する。線欠陥とは、被検査対象表示デバイスに横方向または縦方向に一直線に連なった点欠陥の集合である。【０１１９】  図２０に示すように、線欠陥プロット機能は、図１２に示したアドレッシング機能（点欠陥プロット機能）と同様に、欠陥位置描画（ステップ２０１：Ｓ２０１）、欠陥モード入力（ステップ２０２：Ｓ２０２）の後に呼び出される（ステップ２０３：Ｓ２０３）。そして、線欠陥プロット機能が呼び出された後、欠陥モードが選択され（ステップ２０５：Ｓ２０４）、欠陥の位置調整（ステップ２０５：Ｓ２０５）が開始される。以下では、本機能の特徴である欠陥の位置調整（ステッｖプ：Ｓ２０５）について詳説する。【０１２０】  以下では、図２１に示すようにＹ軸方向に伸びる線欠陥Ｌ（Ｌ０（ｘ０、ｙ０）とＬ１（ｘ１、ｙ１）とを結ぶ線分）を、カーソルＰｃ（ｘ、ｙ）で正確にプロットする場合を想定するが、Ｘ軸方向に伸びる線欠陥についても、以下の説明においてＸ軸の処理とＹ軸の処理を入れ替えることで対応可能である。【０１２１】  欠陥位置の調整が開始（ステップ２０５：Ｓ２０５）されると、検査者が線欠陥Ｌの座標を指定するためにクリックした最初の点の座標が記憶される（ステップ２２１：Ｓ２２１）。次に、ステップ２２１：Ｓ２２１で取得したカーソルの座標と線欠陥Ｌの一方端Ｌ０の点との距離が所定値以下であるか否かが判断される。一方端との距離が所定値を越える場合（ステップ：Ｓ２２２においてＮＯの場合）、線欠陥Ｌの他端Ｌ１との距離が所定値以下であるか判断される。なお、ステップ２２２：Ｓ２２２、ステップ２２３：Ｓ２２３において、図２２に示す例では所定値として１５ピクセルが設定されている場合を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。【０１２２】  他端との距離も所定値を越える場合（ステップ２２３：Ｓ２２３においてＮＯの場合）、カーソルＰｃと線欠陥の一方端Ｌ０のＸ軸方向の距離が所定値以下であるかが判断され（ステップ２２４：Ｓ２２４）、Ｘ軸方向の距離が所定値以下の場合（ステップ２２４：Ｓ２２４においてＹＥＳの場合）に、検査者がクリックし続けているかどうかが判断される（ステップ２２５：Ｓ２２５）。なお、ステップ２２４：Ｓ２２４においてＮＯの場合、後述するステップ２２８：Ｓ２２８に処理が移動する。【０１２３】  検査者がクリックし続けている場合（ステップ２２５：Ｓ２２５においてＹＥＳの場合）、検査者がカーソルをドラッグしているので、この時のカーソルＰｃ座標が順次記憶される（ステップ２２６：Ｓ２２６）。そして、ステップ２２１：Ｓ２３２及びステップ２２６：Ｓ２２６におけるカーソルＰｃ及び一方端Ｌ０のｘ成分の差分を求め、算出された差分を線欠陥Ｌの一方端Ｌ０のｘ成分に加減算して新しい線欠陥Ｌの一方端Ｌ０のｘ成分を決定し、新しい座標に基づく線欠陥Ｌの表示を行う（ステップ２２７：Ｓ２２７）。次いで検査者の入力が判断され（ステップ２２８：Ｓ２２８）、検査者がカーソルの移動を続けていれば（ドラッグし続けていれば）ステップ２２６：Ｓ２３２に処理を戻し、カーソルの移動をしていな��れば線欠陥Ｌの両端Ｌ０及びＬ１上に始点（終点）を表す図形、例えば図２１におけるＸ印（Ｘ図形と称す）を表示し（ステップ２２８：Ｓ２２８）、調整を終了するか否かが判断される（ステップ２２９：Ｓ２２９）。なお、ステップ２２９：Ｓ２２９で調整が終了していなければ（ステップ２２９：Ｓ２２９においてＮＯの場合）、処理をステップ：Ｓ２２１に戻して上述の工程を繰り返す。【０１２４】  ステップ２２５：Ｓ２２５においてクリックし続けていないと判断された場合（ステップ２２５：Ｓ２２５においてＮＯの場合）、カーソルＰｃのｘ成分ｘが線欠陥Ｌの一方端Ｌ０のｘ成分ｘ０よりも小さいか否かが判断される（ステップ２２５−１：Ｓ２２５−１）。カーソルＰｃのｘ成分が一方端Ｌ０のｘ成分ｘ０よりも小さければ（ステップ２２５−１：Ｓ２２５−１においてＹＥＳの場合）、ｘ０の値を１ピクセルずつ減算させた後上記Ｓ２３８に処理を移し（ステップ２２５−２：Ｓ２３２−２）、カーソルＰｃのｘ成分が一方端Ｌ０のｘ成分ｘ０よりも大きければ（ステップ２２５−１：Ｓ２２５−１においてＮＯの場合）、ｘ０の値を１ピクセルずつ増加させた後上記ステップ２２８：Ｓ２２８に処理を移す（ステップ２２５−２：Ｓ２２５−２）。【０１２５】  また、ステップ２２２：Ｓ２２２においてカーソルＰｃと線欠陥Ｌの一方端Ｌ０との距離が所定値以上の場合（ステップ２２２：Ｓ２２２においてＹＥＳの場合）、まず検査者がクリックし続けているかが判断され（ステップ２２２−１：Ｓ２２２−１）、クリックし続けている場合（ステップ２２２−１：Ｓ２２２−１においてＹＥＳの場合）検査者がカーソルＰｃを移動（ドラッグ）しているので、順次カーソルＰｃの座標が記憶される（ステップ２２２−２：Ｓ２２２−２）。ここで、ステップ２２１：Ｓ２２１及びステップ２２２−２：Ｓ２２２−２において記憶されたカーソルＰｃの座標の差分を算出し、得られた差分から線欠陥ＬのＬ０の座標を新たに算出し、新しい座標に基づいて線欠陥Ｌを表示する（ステップ２２２−３：Ｓ２２２−３）。次いで、クリックし続けられているかが判断され（ステップ２２２−４：Ｓ２２２−４）、クリックし続けられている場合にはステップ２２２−１：Ｓ２２２−１に処理を戻して上記処理を繰り返し、クリックされてない場合にはステップ２２９：Ｓ２２９に処理を移動する。【０１２６】  また、ステップ２２２−１：Ｓ２２２−１においてクリックしていない場合（ステップ２２２−１：Ｓ２２２−１においてＮＯの場合）、カーソルＰｃと一方端Ｌ０のＸ軸方向の距離とＹ軸方向の距離の大小関係が判断される（ステップ２２２−５：Ｓ２２２−５）。Ｙ軸方向の距離が大きい場合（ステップ２２２−５：Ｓ２２２−５においてＹＥＳの場合）、カーソルＰｃと一方端Ｌ０のｘ成分の大小関係が判断される（ステップ２２２−６：Ｓ２２２−６）。ここで、カーソルＰｃのｘ成分の方が大きければ（ステップ２２２−６：Ｓ２２２−６においてＮＯの場合）、一方端Ｌ０のｘ成分ｘ０の値を１ピクセルずつ増加させた後ステップ２２８：Ｓ２２８に処理を移す（ステップ２２２−７：Ｓ２２２−７）。他方、カーソルＰｃのｘ成分の方が小さければ（ステップ：Ｓ２３２−６にお��てＹＥＳの場合）、一方端Ｌ０のｘ成分ｘ０の値を１ピクセルずつ減算させた後Ｓ２３８に処理を移す（ステップ２２２−８：Ｓ２２２−８）。【０１２７】  また、Ｙ軸方向の距離がＸ軸方向の距離よりも小さい場合（ステップ２２２−５：Ｓ２２２−５においてＮＯの場合）、カーソルＰｃと一方端Ｌ０のｙ成分の大小関係が判断される（ステップ２２２−９：Ｓ２２２−９）。ここで、カーソルＰｃのｙ成分の方が大きければ（ステップ２２２−６：Ｓ２２２−６においてＮＯの場合）、一方端Ｌ０のｙ成分ｙ０の値を１ピクセルずつ増加させた後ステップ２２８：Ｓ２２８に処理を移す（ステップ２２２−１０：Ｓ２２２−１０）。他方、カーソルＰｃのｙ成分の方が小さければ（ステップ２２２−９：Ｓ２２２−９においてＹＥＳの場合）、一方端Ｌ０のｙ成分ｙ０の値を１ピクセルずつ減算させた後ステップ２２８：Ｓ２２８に処理を移す（ステップ２２２−１１：Ｓ２２２−１１）。【０１２８】  なお、ステップ２２３：Ｓ２２３においてカーソルＰｃと線欠陥Ｌの他方端Ｌ１との距離が所定値以上の場合（ステップ２２３：Ｓ２２３においてＹＥＳの場合）、上記ステップ２２２−１：Ｓ２２２１−１以下と同様の工程（図２２Ｂの行程群Ｉ）を座標ｘ１、ｙ１に対して行う。【０１２９】  なお、上記説明した、アドレッシング機能、シフト機能、ムーブ機能、ノイズ削除機能、線欠陥プロット機能は、例えば欠陥検査装置１の欠陥情報特定制御部１３の一機能として付加される。【０１３０】＜第３実施形態＞
図２３は、例えば液晶といった表示デバイスを作る際の製造工程を模式的に表す図である。製造工程は、アレイ工程、セル工程、モジュール工程とからなる。上記第１、２実施形態では、欠陥検査装置１をセル工程のセル工程不良解析において使用することを想定していたが、本実施形態にかかる欠陥検査装置はモジュール工程においても適用可能である。さらに、ノートパソコンなどの最終製品自体に上述の各機能を実装することで本発明の欠陥検査装置１の代用品として使用可能であるので、組み立て工程においても本発明は実施可能である。【０１３１】  具体的には、モジュール工程における画像検査工程や、組み立て工程における画像検査工程などにも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１３２】  以上説明した本発明によれば、表示デバイスの製造工程における画面検査の結果を容易に蓄積し記憶することができ、記憶した画面検査の結果を必要に応じて分析し出力することを可能とし、もって表示デバイスの生産効率の向上と品質の向上を可能とする表示デバイスの検査装置および検査方法を提供することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１６Ｃ】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２Ａ】
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【図２２Ｂ】
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【図２３】
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【手続補正書】
【提出日】平成18年4月21日(2006.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】請求の範囲
【請求項１】（補正後）表示デバイスの画面に表示された表示画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査装置において、
前記画面における注目領域を指定することで該画面に該注目領域の識別表示を行うための識別表示位置指定手段と、
前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出するための注目領域情報抽出手段と、
前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶するための注目領域情報記憶手段と、
前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力するための分析結果出力手段と、
を備えることを特徴とする表示デバイスの検査装置。
【請求項２】（補正後）表示デバイスの画面に表示された表示画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査装置において、
前記画面に表示された注目領域の形状および位置を該画面に重ねて配置したシートに透写し、このシートに透写された前記注目領域の形状および位置を画像データに変換して、このデータからさらに前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出するための注目領域情報抽出手段と、
前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶するための注目領域情報記憶手段と、
前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力するための分析結果出力手段と、
を備えることを特徴とする表示デバイスの検査装置。
【請求項３】（補正後）前記注目領域抽出手段は、
前記画像データへの変換に前記注目領域の位置情報および形状情報を抽出する輪郭のコード化のためのチェインコード分析を用いることを特徴とする請求項１または２のいずれか一項に記載の表示デバイスの検査装置。
【請求項４】（補正後）表示デバイスの画面に表示された表示画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査方法において、
識別表示位置指定手段により、前記画面における注目領域を指定することで該画面に該注目領域の識別表示を行う位置指定工程と、
注目領域情報抽出手段により、前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出する抽出工程と、
注目領域情報記憶手段により、前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶する記憶工程と、
分析結果出力手段により、前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力する出カ工程と、
を有することを特徴とする表示デバイスの検査方法。
【請求項５】（補正後）表示デバイスの画面に表示された表示画像を見て前記表示デバイスを検査するための表示デバイスの検査方法において、
前記画面に表示された注目領域の形状および位置を該画面に重ねて配置したシートに透写し、注目領域情報抽出手段により、このシートに透写された前記注目領域の形状および位置を画像データに変換して、このデータからさらに前記画面における前記注目領域に係る位置情報および形状情報を抽出する抽出工程と、
注目領域情報記憶手段により、前記位置情報および前記形状情報を予め設定された分類基準に基づいて分類して記憶する記憶工程と、
分析結果出力手段により、前記注目領域情報記憶手段に記憶された内容を分析して構成した検査結果情報を出力する出力工程と、
を有することを特徴とする表示デバイスの検査方法。
【請求項６】前記位置指定工程または前記抽出工程において抽出された前記注目領域に係る位置情報及び形状情報を修正する修正工程をさらに含むことを特徴とする請求項４記載の表示デバイスの検査方法。
【請求項７】前記修正工程はさらに、
前記識別位置指定手段を用いて入力された点の座標を初期値として記憶する記憶工程と、
前記記憶工程において記憶された前記初期値と被修正対象である前記注目領域を構成する点の座標との距離が所定値以下であるかを判断する判断工程と、
前記判断工程において前記距離が所定値以下の場合、前記注目領域を構成する点の座標をＸ軸方向またはＹ軸方向に所定量ずつ移動させる第１の移動工程と、
前記判断工程において前記距離が所定値を超える場合、前記識別位置指定手段から連続して入力される点の座標を記憶する第２の記憶工程と、
前記第２の記憶工程の記憶する座標と前記初期値の座標の差を算出する算出工程と、
前記算出工程で算出された差の量だけ前記初期値の座標を移動する第２の移動工程と、
前記第２の記憶工程を前記第２の記憶工程の値が更新し続けている間繰り返す繰り返し工程と、
から成るアドレッシング工程をさらに含むことを特徴とする請求項６記載の表示デバイスの検査方法。
【請求項８】前記修正工程はさらに、
前記識別位置指定手段を用いて入力された最初の点を初期値として記憶する第１の記憶工程と、
前記初期値に入力に続いて入力された点の座標を順次記憶する第２の記憶工程と、
前記第２の記憶工程において記憶された点の座標と前記第１の記憶手段において記憶された前記初期値との差を算出する算出工程と、
前記注目領域を前記算出工程において算出された量だけ移動する移動工程と、
から成るシフトモード機能をさらに含むことを特徴とする請求項６記載の表示デバイスの検査方法。
【請求項９】前記修正工程はさらに、
修正したい注目領域に係る位置情報及び形状情報を選択する選択工程と、
選択された前記位置情報及び形状情報を構成する点の座標を表示する表示工程と、
前記識別位置指定手段の座標を順次記憶する記憶工程と、
前記記憶工程で取得した前記識別位置指定手段の座標の中心から所定の距離の内部に前記表示工程で表示した座標が存在する場合に、前記点の座標を前記所定の距離だけ前記識別位置指定手段の移動方向に移動する移動工程と、
前記移動した前記点を再表示する再表示工程と、
から成るムーブ工程を含むことを特徴とする請求項６記載の表示デバイスの検査方法。
【請求項１０】前記修正工程はさらに前記位置指定工程において、
前記識別位置指定手段が前記注目領域を指定する場合の座標を、最初の点を基準として順次点列として記憶する記憶工程と、
前記最初の点に最も近い隣接点を前記点列に追加する第１の追加工程と、
前記隣接点に最も近い隣接点を前記点列に追加する第２の追加工程と、
前記第２の追加工程を前記記憶工程が記憶する最後の点まで繰り返す繰り返し工程と、
前記点列に記憶された点から構成されるポリゴンを表示する表示工程と、
から成るノイズ削除工程をさらに含むことを特徴とする請求項６記載の表示デバイスの検査方法。
【国際調査報告】
2006059662.tif 000032
2006059662.tif 000033
2006059662.tif 000034
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