(57)【要約】  光学性能を充分に発揮でき、接着箇所が剥離しない充分な接着強度を有し、かつアライメントが簡便な、複数の光学部材を接着剤で貼り合わせて光学素子とする製造法を提供する。  ２以上の光学部材を接着剤で接合して光学素子とする光学素子製造法であって、前記光学部材の少なくとも１つの接合面において相対する被接着面の少なくとも一方について、該被接着面を少なくとも被接着面に連接する面をマスキングした状態でドライ洗浄後、該洗浄面に液状接着剤を配し液状接着剤を硬化させて接合することを特徴とする光学素子製造法。【特許請求の範囲】
【請求項１】
２以上の光学部材を接着剤で接合して光学素子とする光学素子製造法であって、前記光学部材の少なくとも１つの接合面において相対する被接着面の少なくとも一方について、該被接着面を少なくとも被接着面に連接する面をマスキングした状態でドライ洗浄後、該洗浄面に液状接着剤を配し液状接着剤を硬化させて接合することを特徴とする光学素子製造法。
【請求項２】
前記相対する被接着面の両方について、該被接着面を少なくとも被接着面に連接する面をマスキングした状態でドライ洗浄する請求項１記載の光学素子製造法。
【請求項３】
前記被接着面のうち光学的に機能しない周端部もマスキングする請求項１または２記載の光学素子製造法。
【請求項４】
前記マスキングを液状接着剤をはじく性質を有する材料で行う請求項１、２または３記載の光学素子製造法。
【請求項５】
前記ドライ洗浄の前処理として光学部材を超音波洗浄する請求項１、２、３または４記載の光学素子製造法。
【請求項６】
前記接合する複数の光学部材の相対する被接着面において、ドライ洗浄する部分の面積、形状を同一とする請求項１〜５のいずれかに記載の光学素子製造法。
【請求項７】
前記ドライ洗浄はプラズマ照射処理または紫外線照射処理である請求項１〜６のいずれかに記載の光学素子製造法。
【請求項８】
前記ドライ洗浄は減圧下または大気圧下のプラズマ照射である請求項７記載の光学素子製造法。
【請求項９】
前記光学部材の少なくとも１つが光学ガラス部材である請求項１〜８のいずれかに記載の光学素子製造法。
【請求項１０】
２つの光学部材を接着剤で接合する方法であって、前記光学部材のそれぞれの被接着面が他の面より液状接着剤に濡れやすい性状を有しており、当該被接着面に液状接着剤を配して接合したときに、液状接着剤の表面張力により２つの光学部材の相対的位置決めがなされることを特徴とする光学部材の接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光学部材を接着剤で接合して１つの光学素子とする光学素子製造法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の光学部材を接着剤で貼り合せて、１つの光学素子（例えば、接合レンズなど）とする製造法においては、貼り合せる光学部材の光学的位置合わせ（光軸調整ともいうが、以下、総称してアライメントという）が不充分であると光学性能が損なわれる。そのため、精密な組み立てステージでアライメントしながら接合する方法が特許文献１に提案されている。【０００３】
しかし、特許文献１に提案されている方法では、ある程度のアライメントがとれているものについて最終アライメントをするには適しているが、貼り合わせ時の大まかなアライメント（以下、初期アライメントという）がとれていないと最終アライメント自体が実質的に困難である。また初期アライメントをするためにも高度な熟練作業を必要とするなどの問題がある。【０００４】
一方、前記接着剤をつける面（以下、被接着面という）の洗浄が不充分であると、貼り合わせ時に接着剤が泡を巻き込み光学素子の光学性能が充分発揮されないおそれや、被接着面の接着強度が不足し剥離が発生するおそれがある。そのため被接着面を充分に洗浄する必要がある。光学ガラス部材の洗浄法としては、洗浄液に粉体を混ぜて超音波洗浄する方法（特許文献２）、紫外光とオゾンや活性酸素とを併用した光洗浄法（特許文献３）、減圧下でプラズマ洗浄する方法（特許文献４）などが提案されている。しかし、これらの洗浄法は、単に光学部材全体の洗浄を目的とするものであった。【０００５】
また、被接着面を充分に洗浄できても初期アライメントが簡単にできずに長時間かかるようであれば、その間に洗浄面が再び汚染されるおそれがあり、再汚染を防止するための設備が必要となるほか、初期アライメントに熟練を必要とし、生産性を上げることができない。しかしながら、上記の文献も含めて、被接着面を充分に洗浄でき、しかも初期アライメントが簡単にできる方法については、提案されていない。【０００６】
【特許文献１】特開平０７−００２５５０号公報（１、２頁、図１）
【特許文献２】特開平０６−１２６２６０号公報（１〜２頁、図１）
【特許文献３】特開２０００−１６２４０２号公報（１〜３頁）
【特許文献４】特開２００３−１１９０５４号公報（１〜４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、光学性能を充分に発揮でき、接着箇所が剥離しない充分な接着強度を有し、かつアライメントが簡便な、複数の光学部材を接着剤で貼り合わせて光学素子とする製造法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、２以上の光学部材を接着剤で接合して光学素子とする光学素子製造法であって、前記光学部材の少なくとも１つの接合面において相対する被接着面の少なくとも一方について、該被接着面を少なくとも被接着面に連接する面をマスキングした状態でドライ洗浄後、該洗浄面に液状接着剤を配し液状接着剤を硬化させて接合することを特徴とする光学素子製造法を提供する。【０００９】
さらに、本発明は、２つの光学部材を接着剤で接合する方法であって、前記光学部材のそれぞれの被接着面が他の面より液状接着剤に濡れやすい性状を有しており、当該被接着面に液状接着剤を配して接合したときに、液状接着剤の表面張力により２つの光学部材の相対的位置決めがなされることを特徴とする光学部材の接合方法を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の光学素子製造法（以下、本製造法という）では、接着剤で貼り合わせる光学部材の少なくとも被接着面に連接する面をマスキングした状態で被接着面をプラズマ照射や紫外線照射などのドライ洗浄後、該洗浄面に接着剤を配するため、マスキングされた前記連接された面には前記接着剤が濡れずに被接着面だけ選択的に前記接着剤が濡れた状態となる。【００１１】
被接着面だけが選択的に濡れた光学部材を液状接着剤で貼り合わせると、液状接着剤の表面張力により両光学部材が自動的にアライメント（以下、セルフアライメントという）される。これにより本製造法では、熟練を必要とする初期アライメントをする必要がない。また、光学部材のアライメント精度がそれほど厳しく要求されないときは、最終アライメントも不要となるか、最終アライメント作業が非常に簡便化されて生産性が著しく向上する。【００１２】
また、本製造法では、貼り合わせるものが自動的にセルフアライメントされるため、光学素子の材質、サイズ、形状等の制約が少なく、サイズの小さいガラスレンズのようなアライメントしにくいものでも容易にアライメントされた状態で貼り合わせることができる。さらに、貼り合わせとアライメントを同時に簡便に行えるため、生産性にも優れる。【００１３】
本製造法においては、光学部材の被接着面をプラズマ照射や紫外線照射などのドライ洗浄するため有機物等の汚れを完全に除去でき、貼り合わせた面の接着強度が充分に確保されるほか、光学素子の光学性能も充分に確保される。プラズマ照射や紫外線照射などのドライ洗浄の前に超音波洗浄しておくと、かかる接着強度や光学強度の確保の確実性がさらに向上する。【００１４】
光学素子の使用方法によっては、液状接着剤の光学特性との兼ね合いで接着力のそれほど強くない液状接着剤を使用しなければならない場合もあるが、そのような場合でも充分な接着力を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本製造法における光学部材のマスキングの一例。
【図２】本製造法における光学部材のマスキングの別の一例。
【図３】セルフアライメントの概念図。
【図４】本製造法の工程フローチャートの一例。
【図５】本製造法で製造した光学素子の概念断面図。
【図６】本発明の対象となる光学部材の断面説明図。
【図７】本製造法の大気圧下でプラズマ照射される光学部材の実施例。
【符号の説明】
【００１６】
１：貼り合わせ対象である凸レンズ
１ａ、２ａ：被接着面
１ｂ、２ｂ：連接面
１ｃ、２ｃ：外周
１ｄ、２ｄ：被接着面以外の光学面
１ｅ、２ｅ：光学軸
１ｆ：被接着面１ａの外周１ｃ付近（光学的に機能しない周端部）
１ｇ、２ｇ：ドライ洗浄した箇所
２：貼り合わせの別の対象であるメニスカスレンズ
２ｆ：被接着面２ａの外周２ｃ付近（光学的に機能しない周端部）
３：マスキング
４：プラズマ照射処理や紫外線照射処理の照射方向
５：液状接着剤
６、７：セルフアライメントによるメニスカスレンズ２の移動方向
８：硬化した液状接着剤
９：プラズマ生成装置
１０：高周波電源
１１：ノズル
１２：マスキング治具
１３：マスキング治具の搬送方向
１４：プラズマジェット
１００：接合レンズ
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本製造法は、２以上の光学部材を接着剤で接合して光学素子とする光学素子製造法であって、前記光学部材の少なくとも１つの接合面において相対する被接着面の少なくとも一方について、該被接着面を少なくとも被接着面に連接する面をマスキングした状態でドライ洗浄後、該洗浄面に液状接着剤を配し液状接着剤を硬化させて接合することを特徴とする。本製造法において、前記接合面において相対する被接着面の両方について、該被接着面を少なくとも被接着面に連接する面をマスキングした状態でドライ洗浄後、該洗浄面に液状接着剤を配し液状接着剤を硬化させて接合すると好ましい。【００１８】
本製造法において、前記光学部材の被接着面に連接する面とは、被接着面に隣り合う面で、外周を被接着面と共有するものをいう。例えば、図６において、１は貼り合わせの対象である凸レンズを、１ａは被接着面を、１ｂは被接着面に連接する面（以下、単に連接面と略す）を、１ｃは被接着面と連接面とで共有する外周を、１ｄは被接着面以外の光学面を、１ｅは凸レンズの光学軸を、それぞれ示す。２は前記凸レンズ１の貼り合わせの対象となるメニスカスレンズを示す。２ａは被接着面を、２ｂは連接面を、２ｃは被接着面と連接面に共通な外周を、２ｄは被接着面以外の光学面を、２ｅはメニスカスレンズの光学軸を、それぞれ示す。【００１９】
本製造法は、被接着面１ａを選択的に、すなわち被接着面１ａだけを部分的にドライ洗浄することを特徴とする。そのため外周１ｃを被接着面１ａと共有する連接面１ｂに、該連接面がドライ洗浄を受けないようにマスキングする。この様子を図１に示す。図１中、図６と同符号が付与されているものは同じものを示し、それ以外の、３はマスキングを、４はドライ洗浄であるプラズマ照射処理や紫外線照射処理の照射方向を、それぞれ示す。【００２０】
マスキングの位置、材質等は、ドライ洗浄処理された被接着面１ａとドライ洗浄されない連接面１ｂとを比べたときに前者の被接着面１ａの方が、液状接着剤によく濡れて、前述したセルフアライメントの効果が得られる限り特に制限されない。【００２１】
例えば、マスキングする箇所については、セルフアライメントの効果が得られる限り、マスキング３を連接面１ｂ全体とする必要はなく、１ｃの近傍だけとしてもよい。同様に、被接着面１ａの外周１ｃ付近１ｆが光学有効面でない場合、例えば、１ｆがレンズを収納する鏡筒に隠れる部分である場合には、図２のように連接面１ｂ以外に１ｆをマスキングしてもよい。【００２２】
図２中、図１と同符号のものは同一のものを示し、１ｆはマスキングする箇所を示す。また、図２について、セルフアライメントの概念図を図３に示す。図３中、図１、図２と同符号のものは同一のものを示し、５は液状接着剤を、６、７はセルフアライメントによるメニスカスレンズ２の移動方向、斜線部はドライ洗浄した部分を示す。【００２３】
図３の（ａ）は、被接着面１ａの光学有効面だけをドライ洗浄した凸レンズ１と、同様に、被接着面２ａの光学有効面だけをドライ洗浄したメニスカスレンズ２との、メニスカスレンズ２のドライ洗浄した部分に所定量の液状接着剤５を滴下した後で、前記凸レンズ１と、前記メニスカスレンズ２とを貼り合わせる前の状態を示す。図３の（ｂ）は、前記凸レンズ１と、液状接着剤５を配した前記メニスカスレンズ２とを貼り合せた直後の状態を示す。この状態では、前記凸レンズ１の光学軸１ｅと前記メニスカスレンズ２の光学軸２ｅとはずれた状態にある。図３の（ｃ）は、液状接着剤５の表面張力によりメニスカスレンズ２が矢印６、７の方向に移動して前記凸レンズ１の光学軸１ｅと前記メニスカスレンズ２の光学軸２ｅとがセルフアライメントにより一致した状態を示す。図３の（ｄ）は、セルフアライメント後の状態を示す。【００２４】
光学部材のドライ洗浄面、すなわち図３の１ｇと２ｇとが、面積が同一で、しかも形状が同一であるとセルフアライメントしやすいので好ましい。ドライ洗浄面が光軸を中心とする円形状であると特に好ましい。さらに、ドライ洗浄面１ｇの中心と被接着面１ａの中心とが一致し、かつ、ドライ洗浄面２ｇの中心と被接着面２ａの中心とが一致すると、光学機能の点、セルフアライメントの点でも特に好ましい。
なお、図３では便宜的にレンズを立てて配置しているが、通常はレンズを水平に配置してアライメントする。しかし、極小径レンズのように軽量である場合には、立ててもアライメントが可能である。【００２５】
マスキングの材料としては、液状接着剤５をはじく性質を有するものであるとマスキングした境界での液状接着剤の濡れ性に明瞭な差がつきセルフアライメントの効果がより顕著となるため好ましい。前述のマスキング材料としては、フッ素系、シリコン系、ポリイミド系、ポリオレフィン系樹脂製のフィルム、板状部材等を単独でまたは他の材料と併用して使用すると好ましい。【００２６】
前記樹脂以外の材料としては、鉄、アルミニウム、黄銅などの金属が例示され、これらの金属を使用する場合には、その表面に撥水、撥油性の膜等を形成するのが好ましい。さらに、ドライ洗浄手段として減圧下のプラズマ処理を採用する場合には、液状接着剤５をはじく性質以外に電気絶縁性を備えるとプラズマが安定するので好ましい。また、マスキング材料をマスキング治具として設置しておくと、毎回フィルム等を巻きつける等の手間が省け、生産性も向上するので好ましい。【００２７】
本製造法において、光学部材の洗浄としては、ドライ洗浄する前に、中性洗剤、アルカリ水溶液、有機溶剤などの洗浄液を使用して超音波洗浄すると、その後のドライ洗浄がより効果的となるので好ましい。超音波洗浄した場合には、適宜、スピン乾燥や乾燥ガスによるブロー乾燥、減圧乾燥、加熱乾燥などの乾燥手段を用いて乾燥させておくとよい。【００２８】
本製造法において、ドライ洗浄は、被接着面１ａと連接面１ｂとの境界で液状接着剤の濡れ性に顕著な差ができてセルフアライメント効果が得られ、しかも充分な接着ができるレベルに洗浄でき、光学部材にダメージを与えないもので、かつ溶液を使用しないものであれば特に制限されないが、洗浄力、作業性などの点から、プラズマ照射処理や紫外線照射処理が好ましいものとして挙げられる。【００２９】
紫外線照射処理としては、酸素を含む雰囲気中で低圧水銀ランプの紫外線を対象物に照射する方法などが挙げられる。こうすると低圧水銀ランプから発生した紫外線が酸素に吸収されてオゾンを発生し、さらに非常に酸化力の強い励起酸素原子を生成して主要な汚れである有機物と反応して飛散除去される。【００３０】
プラズマ照射処理としては、気体中で原子が励起されてイオンや電子、ラジカルなどの粒子が混在し、全体としては電気的中性を保った活性な状態であるプラズマを使用するものであれば特に制限されない。プラズマ照射処理の方が紫外線照射処理より洗浄能力が高く、処理時間が短いことから生産性も高いので好ましい。【００３１】
プラズマ照射処理は、圧力により減圧処理と大気圧処理とに大別される。減圧の方が洗浄力が高く、またバッチ処理となるので強固な汚れが付着したものを一度に大量に短時間で処理するのに適する。【００３２】
一方、大気圧処理の方は使用気体にもよるが相対的に減圧処理より洗浄力がマイルドになり光学部材へのダメージが少ない点で好ましく、そのため処理条件範囲が広くなる利点もある。また、インライン処理ができるため搬送ステージの上に処理対象物である光学部材をその処理面を上にして載せ、例えば、１０〜２００ｍｍ／秒の搬送速度で処理できるため生産性が非常に高い。【００３３】
プラズマに使用する気体としては、不活性ガスと酸素ガスとの混合ガスが好ましい。混合ガス中の酸素ガスの含有量は、０．１〜１０体積％とすると好ましく、減圧処理では５〜１０体積％、大気圧処理では０．５〜３体積％とするとさらに好ましい。前記混合ガス中の酸素ガスの含有量が、大気圧処理では０．７〜２．５体積％であると特に好ましい。
不活性ガスとしては、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｒｎの希ガスまたは窒素ガスから選ばれる１種以上であると好ましい。なお、希ガスとしてはＨｅ、Ａｒであると放電開始電圧を低くできるのでさらに好ましい。【００３４】
その他のプラズマ処理におけるプラズマ発生条件などの操作条件は、光学部材の材質、サイズ、形状、液状接着剤の種類、接着剤の硬化方法、光学部材の汚れの程度等に合せて適宜選択できる。なお、本製造法においては、貼り合わせる光学部材の材質によりドライ洗浄の手段として別々のものを採用してもよい。例えば、光学ガラス部材をプラズマ照射処理し、一方、光学樹脂部材を紫外線照射処理してこれらを接合してもよい。【００３５】
本製造法において、光学部材を貼り合わせるのに使用する液状接着剤５としては、必要とされる光学性能を有し、変形や応力を受けても剥離しないような適度な弾性を持ち、硬化時間の短い有機物などが好ましく使用される。液状接着剤５の粘性が低いほど、表面張力が大きいほどセルフアライメントの効果が大きいので好ましい。硬化方法としては硬化時間が短いことから紫外線硬化法が好ましいものとして挙げられる。液状接着剤５としては、紫外線などの光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂などが挙げられ、具体的にはエポキシ系、アクリル系、ポリエン・ポリチオール系、フッ素化エポキシ系、シリコーン系、などを例示できる。【００３６】
本製造法においては、液状接着剤５をドライ洗浄した部分につける手段としては特に制限されず、滴下、塗布などが適宜採用できる。液状接着剤をドライ洗浄した部分につけた後は、セルフアライメントされるので初期アライメントが終了されるが、その後、必要に応じて最終アライメントを適宜実施後、光学部材間にある液状接着剤５を所望の手段で硬化させて光学素子製造を終了する。【００３７】
また、本製造法は、３以上の光学部材を接着剤で接合して光学素子を製造する場合、これらの光学部材の接合面の一部またはすべての被接着面、すなわち少なくとも１つの接合面における被接着面に対し実施できる。【００３８】
本製造法の好ましい工程のフローチャートの一例を図４に示す。図４では、工程全体を洗浄工程と接着工程とに大きく分け、前記洗浄工程は超音波洗浄後、乾燥し、これを必要に応じて複数回繰り返し、さらにドライ洗浄する。なお、このフローチャート図では、マスキングなど洗浄する際の準備については記載を省略してある。【００３９】
また、前記接着工程は液状接着剤を前記ドライ洗浄した箇所に塗布し、次いで光学部材を貼り合わせし、そこでセルフアライメントの効果により初期アライメントし、その後必要に応じて最終アライメントし、最後に液状接着剤を硬化させて一連の工程を終了する。このようなフローチャートに従って凸レンズ１とメニスカスレンズ２とを液状接着剤５で貼り合わせ後、液状接着剤５を硬化させて接合レンズ１００とした場合の概念断面図を図５に示す。【００４０】
本製造法においては、接合される光学部材の材質としては、特に制限されず、光学樹脂部材、光学ガラス部材などが好ましいものとして挙げられる。また、本製造法においては、光学樹脂部材と光学樹脂部材との組合せ、光学ガラス部材と光学ガラス部材との組合せなど同種材質の接合だけでなく、光学樹脂部材と光学ガラス部材というような異種材料の組合せの接合にも好適に採用される。本製造法による光学素子としては、接合レンズ、プリズム、光学フィルター、回折格子等が好ましいものとして挙げられるが、それらに限定されるものではない。
【実施例】
【００４１】
本発明の実施の一例として、外径１０ｍｍ、合計厚さ５ｍｍの異なる波長に対して色収差を除去できる接合ガラスレンズを形成した。接合ガラスレンズの構成は、凹レンズ２の材料にはフリントガラスＳＦ２、凸レンズ１にはクラウンガラスＢＫ７を用い、液状接着剤５にはアクリル系紫外線硬化型接着剤を用いた。凸レンズ１、凹レンズ２ともに外径１０ｍｍである。【００４２】
ドライ洗浄の前処理として、接合レンズの部品となる凸レンズ１、凹レンズ２に窒素ガスを吹き付けて被接着面の埃等を除去後、１；中性洗剤、２；純水、３；イソプロピルアルコール、４；アセトンの順で洗浄液に浸漬して各１分、各３回の超音波洗浄した。超音波洗浄後、窒素ガスを吹き付けて乾燥後、水分を完全に除去するために、減圧（０．５ｋＰａ）下５０℃で加熱乾燥した。【００４３】
次に、Ａｒガスに１体積％の酸素ガスを混合した処理ガスを用いた図７に示す大気圧プラズマ処理装置を用い、処理ガスと高周波電源１０によってプラズマ生成装置９で生成したプラズマを内径３ｍｍのノズル１１先端からプラズマジェット１４として各レンズの被接着面に照射した。以下のドライ洗浄は凸レンズ１について説明するが、凹レンズ２についても同様にして実施した。【００４４】
この際、被接着面１ａ以外の面はプラズマジェット１４が接触しないようにＰＴＦＥ製のマスキング治具１２でマスクした。ノズル１１先端と凸レンズ１との間の距離Δｄは、３〜８ｍｍの範囲にするとムラなく均一に処理できるが、特に最適な処理ができる５ｍｍに調整した。この場合のプラズマ処理径は約５ｍｍとなるために、凸レンズ１の被接着面１ａの全面が処理できるように位置を変えて複数回にわたって凸レンズ１を搬送速度３０ｍｍ／ｓｅｃでプラズマジェット１４の下を通過させた。その結果、被接着面１ａにおける純水の接触角は、未処理の場合に接触角４０°〜６０°であったものが、プラズマ処理後には４°〜１０°程度となった。これにより、被接着面１ａが充分に清浄されたことが確かめられた。【００４５】
硬化後の接着剤層の厚さが１０μｍとなるように液状接着剤５の塗布量を調整し、凹レンズ２の被接着面２ａに液状接着剤５を塗布して凸レンズ１の被接着面１ａと貼り合わせて放置したところ、液状接着剤５の表面張力によって両レンズはセルフアライメントに位置調整され、凹レンズと凸レンズの外径のずれは１０μｍ以下であった。最後に、紫外線照射して液状接着剤５を硬化させて接合レンズ１００を形成した。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本製造法は、従来、熟練を必要とした、接着剤で貼り合わせる光学部材のアライメントを液状接着剤の表面張力を使用したセルフアライメントにより、簡単な作業できるため大量の光学素子の製造法に適する。【００４７】
また、本製造法では、貼り合わせる光学面を洗浄力の強いドライ洗浄で洗浄するため、弱い接着力の接着剤でも充分な接着強度を発現されることができ、また、残留汚れによる接着剤のない部分、泡の巻き込み等による光学欠点を発生させないため、高品質な貼り合わせ光学素子を提供できる。【００４８】
さらに、本製造法では、セルフアライメントの効果を利用するため、ステージを利用したアライメントに適さないようなサイズ、形状等の光学素子に柔軟に対応できる。
なお、２００４年６月１日に出願された日本特許出願２００４−１６３１０３号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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2005118502.tif 000010
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