(57)【要約】並列状態で配置され、周方向に連通した複数の環状流路２４と、この環状流路２４おける流入口と流出口の位置が周方向にずれるように前記環状流路２４に形成された複数の流入口及び流出口と、異なる環状流路２４，２４に形成された前記流入口と前記流出口とを連通し、前記環状流路２４内に突出させた複数の連通管２５と、から熱交換流路２１を構成する。この熱交換流路２１に流体供給管２２及び流体排出管２３を連通して熱交換装置を構成する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列状態で配置され、周方向に連通した複数の環状流路と、この環状流路おける流入口と流出口の位置が周方向にずれるように前記環状流路に形成された複数の流入口及び流出口と、異なる環状流路に形成された前記流入口と前記流出口とを連通し、前記環状流路内に突出させた複数の連通管と、からなる熱交換流路と、この熱交換流路に連通された流体供給管及び流体排出管と、から構成される熱交換装置。
【請求項２】
前記熱交換流路の両端部に貯留槽を配置したことを特徴とする請求項１に記載の熱交換装置。
【請求項３】
前記連通管の一端のみを前記環状流路内に突出させたことを特徴とする請求項１又は２に記載の熱交換装置。
【請求項４】
並列状態で配置される複数の前記環状流路を密着させ、隣接する環状流路間に前記流入口と前記流出口とを兼ねる流通孔を形成したことを特徴とする請求項１乃至３に記載の熱交換装置。
【請求項５】
前記連通管の先端を前記環状流路の内壁面に近接させたことを特徴とする請求項１乃至４に記載の熱交換装置。
【請求項６】
前記連通管の中心軸と前記環状流路の内壁面とを略垂直に配置したことを特徴とする請求項１乃至５に記載の熱交換装置。
【請求項７】
前記環状流路は、同一形状及び同一寸法の環状流路構成部材同士を一体化したものであって、この環状流路構成部材は、環状平面部と、外側周面部と、内側周面部と、から構成されることを特徴とする請求項１乃至６に記載の熱交換装置。
【請求項８】
水蒸気を供給する水蒸気供給装置と、水蒸気を加熱する加熱熱源と、水蒸気を流通させて熱交換を実行する請求項１乃至７に記載の熱交換装置と、から構成される過熱水蒸気発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、小型化、低コスト化を図ることができると共に、熱交換効率を大幅に向上させることができる熱交換装置及びそれを適用した過熱水蒸気発生装置に関する。
【背景技術】  伝熱流体を熱交換流路内において衝突させ熱交換効率を向上させる熱交換装置として、図１０に示すような熱交換装置が知られている（特開平７−２９４１６２号公報参照）。
しかし、この熱交換装置１００は、環状流路１１８を管によって製作しているので、均一寸法の流路を製作するのが困難であり、量産することができず、高コストにならざるを得なかった。又、管寸法の制約から、最適な設計寸法の流路を製作できない場合もあり、熱交換装置１００の小型化を図るのも容易ではなかった。
又、伝熱流体が連通管１１９から環状管１１８内に流入すると、環状管１１９内を乱流状態で流動する伝熱流体に衝突するので、環状管１１８内壁面に衝突する速度が極端に低下し、内壁面衝突時の熱交換効率が低下するという欠点があった。
又、伝熱流体の環状管１１８内壁面への衝突は流入する際に限られ、流出する際には環状管１１８内壁面への衝突は起きておらず、環状管１１８内壁面への衝突による熱交換作用は、一の環状管１１８について一回為されるだけであった。よって、熱交換効率を向上させるためには、環状管１１８の断面積を増大させるか、環状管１１８の本数を増加させる必要があった。
さらに、衝突時における熱交換効率を最大にするために、環状流路１１８内壁面に対する連通管１１９の取付角度、環状流路１１８内壁面の形状等について、特に工夫はされていなかった。
熱交換装置１００の利用形態として、ブロアー等を利用して熱交換流路１１０内を吸引することによって熱交換流路１１０内に伝熱流体を流すようにした場合、伝熱流体が環状管１１８内壁面に衝突しないで流動するため、熱交換装置１００の熱交換効率は大幅に低下した。そのため、ブロアーは必ず熱交換流路１１０の手前に設置しなければならなかった。
一方、過熱水蒸気発生方法として、特開平１０−３３７４９１号公報に開示されるように、ノズルから超音速で水蒸気を吹き出すエジェクターを利用し、高温気体を吸引口から吸引することによって水蒸気の温度を上昇させる方法が知られている。
しかし、この過熱水蒸気発生方法によっては、高流速の過熱水蒸気を得ることはできるが、高温気体の性状によって、清浄な過熱水蒸気が得られないし、気体と蒸気との混合体となって、高純度の過熱水蒸気が得られない。
特に各種の高温排気ガス、火炎等を利用する場合には、半導体用ウェハーの洗浄等に要求される超高純度の過熱水蒸気を得ることはできず、クリーン洗浄には利用できないという欠点があった。又、火炎を利用することができないクリーンルーム内では、使用できなかった。
【発明の開示】
本発明は、上記のような従来技術における問題点に鑑みて為されたものであって、小型化、低コスト化を図ることができると共に、熱交換効率を大幅に向上させることができる熱交換装置を提供することを目的とする。
本発明は、又、その熱交換装置を適用して、高流速かつ高純度の過熱水蒸気を得ることができる過熱水蒸気発生装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の熱交換装置は、並列状態で配置され、周方向に連通した複数の環状流路と、この環状流路おける流入口と流出口の位置が周方向にずれるように前記環状流路に形成された複数の流入口及び流出口と、異なる環状流路に形成された前記流入口と前記流出口とを連通する複数の連通管と、からなる熱交換流路と、この熱交換流路に連通された流体の供給管及び排出管と、から構成されることを特徴とする。
上記目的を達成するため、本発明の過熱水蒸気発生装置は、水蒸気を供給する水蒸気供給装置と、水蒸気を加熱する加熱熱源と、水蒸気を流通させて熱交換を実行する前記熱交換装置と、から構成されることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明の熱交換装置の一実施例における要部を示す縦断面図、図２は、図１に示す熱交換装置における要部の分解斜視図、図３は、熱交換流路の供給側にブロアーを配置し、ブロアーによって熱交換流路内に空気を流通させて、熱交換装置の性能試験を実施する概略構成図、図４は、熱交換流路の排出側にブロアーを配置し、ブロアーによって熱交換流路内に空気を流通させて、熱交換装置の性能試験を実施する概略構成図、図５は、本発明の熱交換装置及び従来の熱交換装置を使用し、図３及び図４に示す概略構成によって性能試験を実施した結果に基づく性能特性グラフ及び性能比較表、図６は、本発明の過熱水蒸気発生装置をクリーンルーム内で半導体用ウェハー等を洗浄する装置に適用した場合の概略構成図、図７は、電気ヒータを使用して本発明の過熱水蒸気発生装置の性能試験を実施した結果に基づく性能特性グラフ及び性能比較表、図８は、本発明の熱交換装置の他実施例における要部を示す縦断面図、図９は、図８に示す熱交換装置における要部の分解斜視図、図１０は、従来の熱交換装置における要部の斜視図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、本発明の熱交換装置及びそれを適用した過熱水蒸気発生装置の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
本発明の熱交換装置１は、図１及び図２に示すように、並列状態で配置され、周方向に連通した複数の環状流路２４と、この環状流路おける流入口と流出口の位置が周方向にずれるように前記環状流路２４に形成された複数の流入口及び流出口と、異なる環状流路２４，２４に形成された前記流入口と前記流出口とを連通する複数の連通管２５と、からなる熱交換流路２１と、この熱交換流路２１に連通された伝熱流体の供給管２２及び排出管２３と、から構成される。
環状流路２４は、同一形状及び寸法の環状流路構成部材２４１，２４１を対向させ、その端面同士を当接させ、溶接等することによって構成される。
環状流路構成部材２４１は、環状平面部２４１ａと、外側周面部２４１ｂと、内側周面部２４１ｃとから構成され、環状平面部２４１ａには、周方向等間隔に連通孔２４１ｄが穿設されている。環状流路構成部材２４１は、金属板材をプレス加工、又は、溶融金属を鋳造することによって成形される。
環状流路構成部材２４１，２４１同士を溶接して環状流路２４を構成する際には、図２に示すように、一方の環状流路構成部材２４１の連通孔２４１ｄと他方の環状流路構成部材２４１の連通孔２４１ｄとを周方向にずらして、環状流路構成部材２４１，２４１同士を溶接等によって固着する。
連通管２５は、所定直径の金属管材を適宜長さに切断したものであって、前記環状流路構成部材２４１に穿設された連通孔２４１ｄに挿通し、環状流路構成部材２４１の環状平面部２４１ａの内壁面から突出した状態で、その外周面と連通孔２４１ｄとが当接する部所を溶接等することによって固着する。
そして、環状流路構成部材２４１，２４１同士を固着して環状流路２４を構成し、環状流路構成部材２４１に連通管２５，２５・・・を挿通して固着し、以下、順次同様にすれば、図１に示すような、複数の環状流路２４，２４，・・・が並列状態で配置された熱交換流路２１が構成される。
尚、伝熱流体の供給管２２及び排出管２３に連通する熱交換流路２１の両端部には、貯留槽２６，２６が配置される。
貯留槽２６は、貯留槽構成部材２６１，２６２を対向させ、その端面同士を当接させ、溶接等することによって構成される。
貯留槽構成部材２６１は、円形平面部２６１ａと外側周面部２６１ｂとから構成され、円形平面部２６１ａには、周方向等間隔に連通孔２６１ｃが穿設されている。一方、貯留槽構成部材２６２は、円形平面部２６２ａと外側周面部２６２ｂとから構成され、円形平面部２６２ａには、中央部に連通孔２６２ｃが穿設されている。又、貯留槽構成部材２６１，２６２は、金属板材をプレス加工、又は、溶融金属を鋳造することによって成形される。
流体供給管２２及び流体排出管２３は、所定直径の金属管材を適宜長さに切断したものであって、前記貯留槽構成部材２６２に穿設された連通孔２６２ｃに挿通し、貯留槽構成部材２６２の円形平面部２６２ａの内壁面から突出した状態で、その外周面と連通孔２６２ｃとが当接する部所を溶接等することによって固着する。
又、連通管２５は、前記貯留槽構成部材２６１に穿設された連通孔２６１ｃに挿通し、貯留槽構成部材２６１の円形平面部２６１ａの内壁面から突出した状態で、その外周面と連通孔２６１ｃとが当接する部所を溶接等することによって固着する。
以上のようにして、熱交換流路２１の両端部に貯留槽２６，２６を介して流体供給管２２及び流体排出管２３を連通させることによって、本発明の熱交換装置１は構成される。
熱交換装置１の構成時において、環状流路構成部材２４１の環状平面部２４１ａの内壁面から突出した連通管２５の先端面２５ａは、連通管２５を流通する流体の流量を絞らない距離まで、対向する環状流路構成部材２４１の環状平面部２４１ａの内壁面に近接させてある。この近接距離は、連通管２５の断面積をＳ、外周長をＬとすれば、０．１×Ｓ／Ｌ〜１０×Ｓ／Ｌに設定するのが好ましい。又、連通管２５の中心軸と環状流路構成部材２４１の環状平面部２４１ａの内壁面とは略直交するように配置するのが好ましい。
以上の如く、本発明の熱交換装置１は、環状流路２４を管によって構成するのではなく、同一形状及び寸法の環状流路構成部材２４１，２４１を対向させ、溶接等することによって構成するようにしたから、連通孔２４１ｄの周方向位置を調整して組み合わせるだけで、正確な寸法の環状流路２４を容易に製作できる。
そして、環状流路構成部材２４１をプレス加工又は鋳造によって製作すれば、正確な環状流路２４が容易に製作でき、最小の部品点数で低コストの環状流路２４を大量に製作することができる。同時に、図１に示すように、連通管２５を環状流路２４内に突出させることが容易になる。
又、本発明の熱交換装置１は、図１に示すように、伝熱流体の流量を絞らない距離まで、連通管２５の先端面２５ａを環状流路２４の内壁面２４ａ−１まで近接させたから、流入した伝熱流体は環状流路２４内を乱流状態で流動する伝熱流体の影響を殆ど受けることなく、すなわち、殆ど流速を減じることなく壁面２４ａ−１に衝突するため、大幅に熱交換効率が上昇する。
又、図１に示すように、連通管２５の中心軸と環状流路２４の内壁面２４ａとをほぼ垂直に配置するようにしたから、伝熱流体全部が同一状態で環状流路２４の内壁面２４ａ−１に衝突し、熱交換効率を安定的に保持することができる。
さらに、出口側の連通管２５の後端面２５ｂを伝熱流体の流量を絞らない距離まで環状流路２４の内壁面２４ａ−２に近接すれば、環状流路２４の内壁面２４ａ−１に衝突した伝熱流体は乱流となって反対側の環状流路２４の内壁面２４ａ−２に衝突して熱交換をするから、一の環状流路２４の両側の内壁面２４ａ−１，２４ａ−２で熱交換をすることができ、熱交換効率はさらに上昇する。
又、環状流路２４内を乱流状態で流通する伝熱流体も、流入及び流出する伝熱流体によって影響されることがないので、環状流路２４の側壁面２４ｂにおける熱交換効率も向上する。
伝熱流体は連通管２５の出口から次の環状流路２４に流動していき、同様の作用を奏するから、同一の大きさの熱交換流路２１であっても、さらに多量の伝熱流体を熱交換することが可能になる。又、環状流路２４が多数になっても、伝熱流体の流速が減じることが殆どなくなり、高流速の伝熱流体の速度を低下させることなく熱交換が可能になる。
上記の改良を行った熱交換装置１は、ブロアーを熱交換流路２１の出口側に設置して伝熱流体を吸引する方法によっても、良好な熱交換を行うことが可能になり、利用範囲が大幅に広がった。
例えば、小型の熱交換装置によって大容量の流体を効率よく熱交換することができるため、大容量の空気を熱交換させるヒートポンプ式空調機における熱交換装置として最適である。
［熱交換装置の性能試験］
次に、図３及び図４に示すように、熱水を満たすことができる容器２内に熱交換流路２１を配置し、熱水を循環させることで熱を供給し、ブロアー４によって空気を供給して、熱交換流路２１の性能試験を実施した。
実験で使用した熱交換流路２１は、外径２００ｍｍの環状流路２４を２個配置したものを使用し、常時７ｍ３／ｍｉｎの空気を供給可能なブロアー４を使用した。熱水の生成にはガスバーナー５を使用し、熱交換流路２１によって熱を奪われた後の熱水を再加熱し、ポンプ３で循環させることによって常時熱水が補給されるようにした。
図４に示すように、ブロアー４を熱交換流路２１の出口側に設置して空気を吸引する方法では、従来の連通管１１９を環状流路１１８内に突出しない熱交換流路１１０では、吸引された空気が環状流路１１８の内壁面に衝突せず、熱交換装置として十分な性能を発揮できなかった。
しかし、本発明の連通管２５を環状流路２４内に突出させた熱交換流路２１では、図３のように空気を送給する場合であっても、図４のように空気を吸引する場合であっても、良好な熱交換性能を発揮でき、利用範囲が大いに広がった。実験例によれば、４５３２Ｋｃａｌ／ｈ（５．３ＫＷ／ｈ）の熱変換性能を達成でき、家庭用の小型ヒートポンプ用の熱交換装置として十分な性能がある。
図５は、同一形状の熱交換装置であって、連通管２５の先端２５ａを環状流路２４の内壁面に伝熱流体を絞らない距離まで近接した本発明の熱交換装置１と、連通管１１９を環状流路１１８内に突出させない特開平７−２９４１６２号公報に開示された熱交換装置１００とを、図３、図４に示すような構成のもとで実験をした性能特性グラフ及び性能比較表である。特開平７−２９４１６２号公報の熱交換装置１００にあっては、図４に示す実験では十分な数値が出なかったので示していない。
本発明の熱交換装置として、図８及び図９に示すような熱交換装置５１を構成することもできる。
この熱交換装置５１は、並列状態で配置される複数の環状流路２４，２４を互いに密着させ、隣接する環状流路２４，２４間に流入口と流出口とを兼ねる連通孔を穿設し、その連通孔に連通管２５の先端面を固着し、連通管２５を一方の環状流路２４にのみ突出させて、熱交換流路５２を構成したものであり、他の構成は上記熱交換装置１と略同様である。
熱交換装置５１にあっては、環状流路２４は、同一形状の環状流路構成部材２４３，２４３を順次密着させることによって構成され、連通管２５は、環状流路構成部材２４３の連通孔に一端面を固着したものであるから、熱交換流路５２を大幅に小型化することができる。又、熱交換流路５２の構成部材の点数を大幅に削減することができ、熱交換流路５２を構成するのも容易であり、大幅に低コスト化することができる。
しかし、熱交換装置５１は、図８に示すように、連通管２５の先端面２５ａは環状流路２４内に突出させておらず、環状流路２４の内壁面２４ａ−１に近接させていない。よって、流入した伝熱流体は、環状流路２４内を乱流状態で流動する伝熱流体の影響を受け、若干ながら流速を減じて壁面２４ａ−１に衝突するため、上記熱交換装置１に比較すると、熱交換効率は若干低下する。
上記の如き熱交換装置１，５１を適用することによって、図６に示すように、室外のボイラーから配管１３にて高流速の水蒸気を、クリーンルーム内の本発明の熱交換流路２１に供給し、電気ヒータ６により加熱することによって水蒸気を高流速のまま加熱し、クリーンな高温高流速の過熱水蒸気１２を発生させることにより、半導体用等に使用される清浄度を要求されるウェハー１１等を洗浄する過熱水蒸気発生装置を構成することができる。
本発明の過熱水蒸気発生装置における熱交換装置１は、熱交換流路２１、これに伝熱媒体を供給する供給管２２、伝熱媒体を排出する排出管２３とからなり、熱交換流路２１は環状流路２４と連通管２５とからなっている。本実施例の過熱蒸気発生装置においては、環状流路２４の数が８のものを使用した。
熱交換流路２１は、１００℃以上の温度に耐えられる材料、例えば、ＳＴＰＴ管、ＳＴＢ管、ＳＴＢＡ管、ＳＵＳ管、その他、アルミニウム、銅、ステンレス等によって形成することができる。
熱交換流路２１は、容器２内に収納されており、容器２には断熱材を用いて熱効率を上げている。容器２自体を断熱材によって成形してもよいし、容器２は別の材料で成形し、その表面又は内面を断熱材で覆うようにしてもよい。
熱交換流路２１を加熱する熱源としては、石油、天然ガス、プロパンなどを原料とするバーナー、電気ヒータ等の各種熱発生装置が考えられる。本実施例においては、省電力のランプヒータ６を用いている。
ボイラーに接続され、減圧弁９と流量調整弁１０が設けられている配管１３が熱交換装置２の供給管２２に接続されている。
又、熱交換装置１の排出管２３は、配管１４によって使用側と連通されている。配管１４には温度センサー８が取り付けられており、温度センサー８の出力は温度制御装置７に入力される。温度制御装置７は、温度センサー８の信号によってランプヒータ６の消費電力のコントロールを行い、ランプヒータ６の温度を所定の温度に設定することにより、発生する過熱水蒸気の温度を制御する。
流量調整弁１０を通って減圧弁９により圧力を調整され、供給される高流速の水蒸気は、配管１３を通って熱交換流路２１に供給される。熱交換流路２１によって熱交換され、加熱された高流速の過熱水蒸気は、配管１４を通って使用側に供給される。
使用側で過熱水蒸気の流速の調整が必要なときは、入口側の配管１３に取り付けられた減圧弁９によって、ボイラーから供給される水蒸気の圧力を調整したり、流量調整弁１０の開度を調整することによって、適正な流速を得ることができる。
使用側で過熱水蒸気１２の温度の調整が必要なときは、出口側の配管１４に取り付けられた温度センサー８により、温度制御装置７によってランプヒータ６で消費される電力を調整し、発生する高流速の過熱水蒸気１２の温度管理を行う。
温度制御装置７は、温度センサー８からの信号が規定値の上限に達したときに電力を切電し、規定値の下限に達したときに入電するようにして、常に一定の温度が保持されるようになっている。又は、サイリスターを利用し、常時一定の電圧が保持されるように調整し、常に一定の温度が保持されるように調整することもできる。
上記のように構成された容器２内の熱交換流路２１に、ボイラー等からの高流速の水蒸気を送り、ランプヒータ６等によって加熱すると、複数に分岐された連通管２５により流速を上げた水蒸気は熱交換流路２１の環状流路２４の内壁面２４ａ−１に高流速で衝突する。高流速で衝突した水蒸気は、壁面２４ａ−１の影響を大きく受け、効率よく熱交換をする。
連通管２５を水蒸気の流量を絞らない距離まで環状流路２４の内壁面２４ａ−１に近接すれば、流入した水蒸気が環状流路内２４の乱流の影響を殆ど受けることなく、すなわち、殆ど流速を減じることなく壁面２４ａ−１に衝突するため、熱交換効率がさらに上昇する。
環状流路２４の内壁面２４ａ−１は平面になるほど、水蒸気の衝突面の影響が内壁面の広い範囲に及び、熱交換効率は大きくなる。
さらに、環状流路２４内において水蒸気は環状流路２４内壁面２４ａ−１で熱交換された後、乱流となって次の連通管２５に向かう。その際、伝熱流体は熱交換装置の環状流路２４の側壁面２４ｂに衝突することにより、側壁面２４ｂの影響を大きく受け、効率よく熱交換をする。
その後、熱交換された高速の水蒸気は次の連通管２５の入口に向かうが、入口側の連通管２５を水蒸気の流量を絞らない距離まで、環状流路２４内壁面２４ａ−２に近接すれば、連通管２５入口は反対側の環状流路２４の内壁面２４ａ−２近くにあるから、環状流路２４内の伝熱流体は、さらに反対側の環状流路２４内壁面２４ａ−２に衝突して熱交換をし、熱効率がさらに上昇する。環状流路２４の内壁面２４ａ−２は平面になるほど、水蒸気の衝突面の影響が内壁面の広い範囲に及び効率が大きくなる。
このようにして、環状流路２４の側壁面２４ｂ、環状流路２４の両側の内壁面２４ａ−１，２４ａ−２において熱交換をするから、熱交換効率は大幅に上昇する。
流入、流出する際の水蒸気が環状流路２４内の水蒸気の乱流の影響を受けることが殆どなく、環状流路２４が多数になっても流速が減じることが殆どないから、高流速の過熱水蒸気を発生させることが可能になる。熱交換をした水蒸気は、連通管２５の入口から次の環状流路２４に送られて、同様の作用をする。
［過熱蒸気発生装置の性能試験］
次に、図６に示すような構成の過熱蒸気発生装置について、その性能試験を実施したところ、図７に示すような性能が発揮されることがわかった。
温度１２０℃の水蒸気を２４０Ｌ／ｍｉｎの流量で供給し、加熱した場合には、９０ｍ／ｓｅｃ以上の流速の過熱水蒸気を発生させることができ、ウェハー洗浄に必要な２００℃、流速１０〜３０ｍ／ｓｅｃの過熱水蒸気を容易に発生することができた。
又、ウェハーに付着したグリースの脱脂実験においては、過熱水蒸気のみによって良好な洗浄効果を得た。
以上の如く、本発明の過熱水蒸気発生装置によれば、クリーンルーム内に設置するために、熱交換流路２１を小型化し、環状流路２４を複数にする必要がある場合であっても、流出する過熱水蒸気の流速が減じることが殆どなくなり、洗浄に必要な高流速のクリーンな過熱水蒸気１２を連続的に発生させることが可能になる。
従来、半導体用ウェハーの洗浄には、フッ素系、ＩＰＡ等の有機溶剤を使用して洗浄している。しかしながら、洗浄後の有機溶剤の無害化処理には高度の技術を必要とし、処理費用が高価になっている。又、有機溶剤が環境に悪影響を与えることが大きな社会問題になっている。
しかし、本発明の過熱水蒸気発生装置によれば、ボイラー等から得られる高流速の清浄な水蒸気を、洗浄に必要な流速を殆ど減じることなく再加熱することで、高流速の清浄な過熱水蒸気１２を発生させることができ、半導体用ウェハー１１、精密部品等の洗浄をすることができる。加熱熱源としては省電力の電気ヒータ６を使用することができるので、清浄度が要求されるクリーンルーム内でも適用することができる。
又、洗浄に必要なものは水蒸気だけであり、フッ素系、ＩＰＡ等の有機溶剤を必要としないから、環境を汚染する有機溶剤等の後処理を考慮する必要はない。
又、過熱水蒸気の温度を１７０℃以上にすれば、過熱水蒸気の逆転温度特性から、そのまま被洗浄物を乾燥することができるので、乾燥工程を省略することができる。よって、乾燥工程で使用されるＩＰＡ等も不要となり、環境を汚染する有機溶剤等の後処理が不要となる。
以上の如く、洗浄に使用されるものは環境に害のない水蒸気だけであるので、環境にやさしい洗浄を実施することができ、又、洗浄と乾燥を同時に実行することができるので、工程の簡素化と同時に製造原価の低コスト化を図ることも可能となる。
さらに、本発明の過熱水蒸気発生装置は、減圧弁によって流速を５〜１０ｍ／ｓｅｃ程度に調整すれば、食品の調理（解凍、焼成、解凍同時焼成、加熱、殺菌、蒸煮、蒸焼、焙煎、乾燥）にも適用することができる。
又、高温過熱水蒸気の逆転温度（１７０℃）特性によって、高温乾燥にも適しているので、部品類、生ゴミ等の乾燥にも適用することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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