(57)【要約】  小型で、赤外線受光領域（視野）が広く、検出精度の高い赤外線センサを提供し、さらには、電磁シールド性が高く、耐電磁波特性に優れた赤外線センサを提供する。  赤外線センサ素子１と、１つの面が開口した箱形の形状を有するとともに内部に配線パターン１１を備えた、赤外線センサ素子１がその内部に収納されるパッケージ２と、パッケージ２の開口部全体を覆うように配設され、赤外線センサ素子１に所定の波長の赤外線を受光させる機能と、開口部を封止する蓋としての機能を同時に果たす光学フィルタとを備えた構成とする。  金属製のパッケージを用い、光学フィルタと金属製のパッケージとを電気的に導通させて耐電磁波特性を向上させる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外線センサ素子と、赤外線センサ素子が収納されるパッケージと、所定の波長の赤外線を透過させる光学フィルタとを備えた表面実装型の赤外線センサであって、
赤外線センサ素子と、
内部に前記赤外線センサ素子が収納される、表面実装に対応したパッケージであって、１つの面が開口した箱形の形状を有し、内部に配線パターンが配設されたパッケージと、
部分的な遮蔽が施されておらず、略全面が所定の波長の赤外線を透過させるように構成された光学フィルタであって、前記パッケージの開口部全体を覆うように配設され、前記赤外線センサ素子に所定の波長の赤外線を受光させる機能と、前記開口部を封止する蓋としての機能とを同時に果たす光学フィルタと
を具備することを特徴とする赤外線センサ。
【請求項２】
赤外線センサ素子と、赤外線センサ素子が収納されるパッケージと、所定の波長の赤外線を透過させる光学フィルタとを備えた表面実装型の赤外線素子であって、
赤外線センサ素子と、
内部に前記赤外線センサ素子が収納される、表面実装に対応した金属製のパッケージであって、１つの面が開口した箱形の形状を有し、内部に配線パターンが配設された金属製のパッケージと、
部分的な遮蔽が施されておらず、略全面が所定の波長の赤外線を透過させるように構成された光学フィルタであって、前記金属製のパッケージの開口部全体を覆うように配設され、前記赤外線センサ素子に所定の波長の赤外線を受光させる機能と、前記開口部を封止する蓋としての機能とを同時に果たす光学フィルタと
を具備し、かつ、
前記光学フィルタと前記金属製のパッケージとが電気的に導通していること
を特徴とする赤外線センサ。
【請求項３】
前記光学フィルタとして、抵抗が１ＭΩ／cm以下の光学フィルタを用い、該光学フィルタを前記金属製のパッケージに接合することにより、光学フィルタとパッケージとを電気的に導通させたことを特徴とする請求項２記載の赤外線センサ。
【請求項４】
前記光学フィルタは、フィルタ基材と該フィルタ基材の表面に形成された低抵抗材料からなる被膜とで構成されており、前記光学フィルタを、前記低抵抗材料を介して前記金属製のパッケージに接合することにより、前記光学フィルタと前記パッケージとを電気的に導通させたことを特徴とする請求項２記載の赤外線センサ。
【請求項５】
絶縁体により前記パッケージとは導通しないような態様で、前記金属製のパッケージの所定の位置に配設された、外部と前記赤外線センサ素子とを電気的に接続するための外部接続端子を介して、前記パッケージ内に配設された前記赤外線センサ素子が外部と電気的に接続されるように構成されていることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の赤外線センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、赤外線センサに関し、詳しくは、赤外線を感知する視野角が広い赤外線センサ、および、視野角が広く、かつ、電磁シールド性を高めた赤外線センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
人体の検知や防犯機器などに用いられている従来の赤外線センサの一つに、例えば、図４に示すように、焦電素子６２に受光電極６１を配設してなる赤外線センサ素子５３を、リード端子５１を備えた金属製のベース（ステム）５２上に支持するとともに、赤外線センサ素子５３を、上面側に赤外線を透過させる光学フィルタ５４を備えた円筒状の金属製ケース（キャップ）５５に収納したリード端子付きの赤外線センサがある。なお、この赤外線センサは、さらに、赤外線センサ素子５３を支持する支持台６３、支持台６３が載置され、表面に必要な電極や回路（図示せず）が形成された基板６４、バイパスコンデンサ６５、ＦＥＴ６６、抵抗６７などを備えている。【０００３】
また、この赤外線センサの入出力用のリード端子５１（５１ａ，５１ｂ）は、絶縁材料６０を介して金属製のステム５２を貫通し、基板６４上の回路と接続されており、グランド用のリード端子５１（５１ｃ）は、ステム５２に電気的に接続されている（特許文献１参照）。【０００４】
しかしながら、この従来の赤外線センサにおいては、金属製ケース５５内に、上述のように、赤外線センサ素子５３を支持する支持台６３、支持台６３が載置され、表面に必要な電極や回路（図示せず）が形成された基板６４、バイパスコンデンサ６５、ＦＥＴ６６などを備えており、部品点数が多く、製品が大型化するという問題点があるばかりでなく、製造工程が複雑になって製造コストの増大を招くという問題点がある。【０００５】
また、上記従来の赤外線センサにおいては、光学フィルタ５４が金属製ケース５５の上面の一部に嵌め込まれており、金属製ケース５５の上面全体が受光面とはならないため、赤外線受光領域（視野）が狭くなるという問題点がある。【０００６】
また、図５に示すように、小型化、低コスト化、生産性の向上を目的として、赤外線透過性を有する上部基板（例えばシリコン基板など）７１と、絶縁部と導電部を備えた下部基板７２の２枚が接合された構造を有する赤外線センサが提案されている（特許文献２参照）。【０００７】
この赤外線センサを構成する上部基板７１と下部基板７２には、互いに対向する位置に凹部７１ａ，７２ａが設けられており、両者を接合層７５を介して接合することにより空洞部７３が形成され、この空洞部７３に赤外線センサ素子７４が設置されるように構成されている。そして、この赤外線センサによれば、赤外線センサ素子７４が、空洞部７３内に配設されており、空洞部７３は熱伝導率が低いため、赤外線センサ素子７４が外部からの熱的影響を受けにくく、高い検出精度が得られるとされている。【０００８】
しかしながら、この特許文献２の赤外線センサの場合、上部基板７１，下部基板７２，接合層７５などが側面から露出しており、電磁シールド性（耐電磁波特性）が不十分になりやすいという問題点があるばかりではなく、シリコンなどの赤外線透過性を有する基板に空洞部７３となる凹部７１ａを形成することが容易ではなく、コストの増大を招くという問題点がある。【０００９】
また、この特許文献２の赤外線センサの場合、空洞部７３の側面が垂直に立ち上がらないため、有効な赤外線受光領域（視野）を確保しにくく、大きな視野を確保するためには、赤外線センサ素子を赤外線透過性を有する上部基板に近づけて配設することが必要になり、構造の自由度が制約されるという問題点がある。
【特許文献１】実開平５−１１４６４号公報
【特許文献２】特開２００１−１７４３２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本願発明は、上記課題を解決するものであり、小型で、赤外線受光領域（視野）が広く、検出精度の高い赤外線センサ、さらには、電磁シールド性が高く、耐電磁波特性に優れた赤外線センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）の赤外線センサは、
赤外線センサ素子と、赤外線センサ素子が収納されるパッケージと、所定の波長の赤外線を透過させる光学フィルタとを備えた表面実装型の赤外線センサであって、
赤外線センサ素子と、
内部に前記赤外線センサ素子が収納される、表面実装に対応したパッケージであって、１つの面が開口した箱形の形状を有し、内部に配線パターンが配設されたパッケージと、
部分的な遮蔽が施されておらず、略全面が所定の波長の赤外線を透過させるように構成された光学フィルタであって、前記パッケージの開口部全体を覆うように配設され、前記赤外線センサ素子に所定の波長の赤外線を受光させる機能と、前記開口部を封止する蓋としての機能とを同時に果たす光学フィルタと
を具備することを特徴としている。【００１２】
また、本願発明（請求項２）の赤外線センサは、
赤外線センサ素子と、赤外線センサ素子が収納されるパッケージと、所定の波長の赤外線を透過させる光学フィルタとを備えた表面実装型の赤外線素子であって、
赤外線センサ素子と、
内部に前記赤外線センサ素子が収納される、表面実装に対応した金属製のパッケージであって、１つの面が開口した箱形の形状を有し、内部に配線パターンが配設された金属製のパッケージと、
部分的な遮蔽が施されておらず、略全面が所定の波長の赤外線を透過させるように構成された光学フィルタであって、前記金属製のパッケージの開口部全体を覆うように配設され、前記赤外線センサ素子に所定の波長の赤外線を受光させる機能と、前記開口部を封止する蓋としての機能とを同時に果たす光学フィルタと
を具備し、かつ、
前記光学フィルタと前記金属製のパッケージとが電気的に導通していること
を特徴としている。【００１３】
また、請求項３の赤外線センサは、請求項２記載の発明の構成において、前記光学フィルタとして、抵抗が１ＭΩ／cm以下の光学フィルタを用い、該光学フィルタを前記金属製のパッケージに接合することにより、光学フィルタとパッケージとを電気的に導通させたことを特徴としている。【００１４】
また、請求項４の赤外線センサは、請求項２記載の発明の構成において、前記光学フィルタが、フィルタ基材と該フィルタ基材の表面に形成された低抵抗材料からなる被膜とで構成されており、前記光学フィルタを、前記低抵抗材料を介して前記金属製のパッケージに接合することにより、前記光学フィルタと前記パッケージとを電気的に導通させたことを特徴としている。【００１５】
また、請求項５の赤外線センサは、請求項２〜４のいずれかに記載の発明の構成において、絶縁体により前記パッケージとは導通しないような態様で、前記金属製のパッケージの所定の位置に配設された、外部と前記赤外線センサ素子とを電気的に接続するための外部接続端子を介して、前記パッケージ内に配設された前記赤外線センサ素子が外部と電気的に接続されるように構成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
本願発明（請求項１）の赤外線センサは、赤外線センサ素子と、内部に赤外線センサ素子が収納される、表面実装に対応したパッケージであって、１つの面が開口した箱形の形状を有し、内部に配線パターンが配設されたパッケージと、部分的な遮蔽が施されておらず、略全面が所定の波長の赤外線を透過させるように構成された光学フィルタであって、パッケージの開口部全体を覆うように配設され、赤外線センサ素子に所定の波長の赤外線を受光させる機能と、開口部を封止する蓋としての機能とを同時に果たす光学フィルタとを備えており、光学フィルタには部分的な遮蔽が施されておらず、全面が赤外線を透過させるように構成されていることから、赤外線受光領域（視野）を広くして、検出精度を向上させることが可能になる。
また、パッケージが配線パターンを備えていることから、他の部材に形成すべき配線パターンを少なくして、製品の小型化や部品点数の削減を図ることが可能になる。
また、光学フィルタがパッケージに他の部品を介さずに接合されていることから、製品の小型化を図ることが可能になるとともに、製造工程を簡略化してコストの低減を図ることが可能になる。
さらに、パッケージに、従来の赤外線センサにおけるステムや赤外線センサ素子を支持する支持部（ベース）などの機能を持たせたりすることにより、さらなる部品点数の削減や、製品の小型化を図ることが可能になる。【００１７】
また、本願発明（請求項２）の赤外線センサは、赤外線センサ素子と、内部に赤外線センサ素子が収納される、表面実装に対応したパッケージであって、１つの面が開口した箱形の形状を有し、内部に配線パターンが配設されたパッケージと、部分的な遮蔽が施されておらず、略全面が所定の波長の赤外線を透過させるように構成された光学フィルタであって、パッケージの開口部全体を覆うように配設され、赤外線センサ素子に所定の波長の赤外線を受光させる機能と、開口部を封止する蓋としての機能とを同時に果たす光学フィルタとを備えており、パッケージが金属製で、かつ、赤外線センサ素子が、互いに電気的に導通する光学フィルタとパッケージにより形成される封止空間内に収納されているため、電磁シールド性を向上させて、耐電磁波特性に優れた信頼性の高い赤外線センサを得ることが可能になる。【００１８】
また、本願発明（請求項２）の赤外線センサにおいて用いられている光学フィルタには部分的な遮蔽が施されておらず、全面が所定の波長の赤外線を透過させることから、赤外線受光領域（視野）を広くして、検出精度を向上させることが可能になる。
また、パッケージが配線パターンを備えていることから、他の部材に形成すべき配線パターンを少なくして、製品の小型化や部品点数の削減を図ることが可能になる。
また、光学フィルタがパッケージに他の部品を介さずに接合されていることから、製品の小型化を図ることが可能になるとともに、製造工程を簡略化してコストの低減を図ることが可能になる。
さらに、パッケージに、従来の赤外線センサにおけるステムや赤外線センサ素子を支持する支持部（ベース）などの機能を持たせたりすることにより、さらなる部品点数の削減や、製品の小型化を図ることが可能になる。【００１９】
また、請求項３の赤外線センサのように、請求項２記載の発明の構成において、光学フィルタとして、抵抗が１ＭΩ／cm以下の光学フィルタを用い、該光学フィルタを金属製のパッケージに接合することにより、光学フィルタとパッケージとを容易かつ確実に導通させることが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができる。
また、光学フィルタをパッケージに接合する方法としては、導電性接着剤を用いて接着する方法や機械的に接合させる方法などを用いることが可能であり、その具体的な方法に特別の制約はない。【００２０】
また、請求項４の赤外線センサのように、請求項２記載の発明の構成において、光学フィルタを、フィルタ基材と該フィルタ基材の表面に形成された低抵抗材料からなる被膜とで構成し、該光学フィルタを低抵抗材料を介して金属製のパッケージに接合することにより、光学フィルタとパッケージとを電気的に導通させるようにした場合、光学フィルタ自体を構成する材料の選択の自由度を向上させることが可能になり、光学フィルタの性能面から、赤外線センサの特性を向上させることが可能になる。
なお、フィルタ基材としては、単結晶シリコン、石英やサファイア、フッ化バリウム、スピネル、ポリエチレンなどが例示される。
また、光学フィルタの表面に付与すべき低抵抗材料としては、金属、特にＧｅ（ゲルマニウム）が好ましい。
また、光学フィルタの表面に低抵抗材料を付与する方法としては、蒸着法、スパッタリング法などの種々の薄膜形成方法を適用することが可能であり、その具体的な方法や条件に特別の制約はない。
なお、請求項３で規定した、抵抗が１ＭΩ／cm以下の光学フィルタは、フィルタ基材と低抵抗材料との組み合わせにより達成される。【００２１】
また、請求項５の赤外線センサのように、請求項２〜４のいずれかに記載の発明の構成において、絶縁体によりパッケージとは導通しないような態様で、金属製のパッケージの所定の位置に配設された、外部と赤外線センサ素子とを電気的に接続するための外部接続端子を介して、パッケージ内に配設された赤外線センサ素子が外部と電気的に接続されるようにした場合、接続信頼性の高い表面実装型の赤外線センサを確実に得ることが可能になるとともに、製品の小型化を図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本願発明の一実施例（実施例１）にかかる赤外線センサの構成を模式的に示す図であり、(ａ)は断面図、(ｂ)は斜視図である。
【図２】(ａ)は本願発明の実施例１にかかる赤外線センサの視野（角）を示す図、(ｂ)は従来の金属製ケースの上面の一部に光学フィルタを配設した構成の赤外線センサの視野（角）を示す図である。
【図３】本願発明の他の実施例（実施例２）にかかる赤外線センサの構成を模式的に示す図であり、(ａ)は断面図、(ｂ)は斜視図である。
【図４】従来の赤外線センサの構成を示す図である。
【図５】従来の他の赤外線センサの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２３】
１        赤外線センサ素子
１ａ      焦電素子
２        パッケージ
２ａ      パッケージの開口部
２ｂ      内部（封止空間）
３        光学フィルタ
４        絶縁材料
５        外部接続端子（外部電極）
６        絶縁体（ガラス）
７        導電性接着剤
１０ａ，１０ｂ      電極（受光電極）
１１      配線パターン
１２      支持部（ベース）
１３      バイパスコンデンサ
１４      ＦＥＴ
１５      抵抗
２２      パッケージ
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００２５】
図１(ａ)は本願発明の一実施例（実施例１）にかかる赤外線センサを模式的に示す断面図、図１(ｂ)はその斜視図である。
この赤外線センサは、赤外線センサ素子１と、赤外線センサ素子１がその内部（封止空間）２ｂに収納される、１つの面（図１では上面側）が開口した箱形の形状を有するとともに、内部に配線パターン１１を備え、赤外線センサ素子がその内部に収納される、表面実装に対応した金属製のパッケージ２と、パッケージ２の開口部２ａの全体を覆うように配設され、赤外線センサ素子１に所定の波長の赤外線を受光させる機能と、パッケージ２の開口部２ａを封止する蓋としての機能を同時に果たす光学フィルタ３とを備えている。【００２６】
赤外線センサ素子１としては、厚み方向に分極された焦電素子１ａの表面に配設された２つの電極（受光電極）１０ａ，１０ｂが、直列に、かつ、逆極性に接続され、２つの受光電極１０ａ，１０ｂに同時に入力する外部雑音（周囲環境の温度変化など）がうち消されるように構成された、いわゆるデュアルタイプの赤外線センサ素子が用いられている。【００２７】
また、パッケージ２としては、箱形で、上面の略全面が開口した、例えば４２Ｎｉ、りん青銅、しんちゅう、洋はく、鉄などの金属製のパッケージが用いられており、パッケージ２の内側および外側の一部は、例えば、ガラスやＬＣＰ樹脂（液晶ポリマー）などの絶縁材料４でライニングされている。そして、該絶縁材料４の表面には、赤外線センサの構成に必要な配線パターン１１が形成されている。
また、パッケージ２の開口部２ａの平面形状は長方形とされている。
さらに、パッケージ２の底面には、赤外線センサ素子１を支持する支持部（ベース）１２が配設されており、赤外線センサ素子１は支持部（ベース）１２上に支持されている。【００２８】
さらに、パッケージ２の内部には、赤外線センサを構成するのに必要な、バイパスコンデンサ１３、ＦＥＴ１４、高い抵抗値を有する抵抗１５が特に図示しない電極や配線と導通するように配設されている。【００２９】
また、この実施例１の赤外線センサにおいては、金属製のパッケージ２の所定の位置に、パッケージ２とは導通しないように、絶縁体（この実施例１ではガラス）６により絶縁された、外部接続端子（外部電極）５が設けられている。そして、パッケージ２内に配設された赤外線センサ素子１は、パッケージ２内に配設された配線パターンや、外部接続端子（外部電極）５を介して外部と電気的に接続されるように構成されている。【００３０】
また、光学フィルタ３としては、フィルタ基材として抵抗が１ＭΩ／cm以下で、所定の波長の赤外線を透過させる単結晶シリコンからなる光学フィルタが用いられており、この光学フィルタ３は、パッケージ２の上面の開口部２ａに略対応する長方形の平面形状を有している。
そして、光学フィルタ３は、導電性接着剤７により、金属製のパッケージ２に接合固定され、光学フィルタ３とパッケージ２とが電気的に接続されている。【００３１】
なお、光学フィルタ３としては、蒸着などの方法により、フィルタ基材の表面に低抵抗材料の被膜としてＧｅ（ゲルマニウム）からなる金属被膜を付与した光学フィルタを用い、光学フィルタ３を低抵抗材料を介して、導電性接着剤により金属製のパッケージ２に接合することにより、光学フィルタ３とパッケージ２とを電気的に導通させるように構成することも可能である。【００３２】
上述のように構成された赤外線センサにおいては、パッケージ２が金属製で、かつ、光学フィルタ３とパッケージ２とが電気的に導通しており、赤外線センサ素子１が金属製のパッケージ２と、該パッケージ２と電気的に導通した光学フィルタ３により形成される封止空間２ｂ内に収納されているため、電磁シールド性を高めて、優れた耐電磁波特性を実現することが可能になる。【００３３】
また、この実施例１の赤外線センサにおいて用いられている光学フィルタ３には部分的な遮蔽が施されておらず、全面が赤外線を透過させるように構成されていることから、赤外線受光領域（視野）が広く、検出精度の高い赤外線センサを得ることができる。【００３４】
図２(ａ)は本願発明の実施例１にかかる赤外線センサの視野（角）を模式的に示す図、図２(ｂ)は対比例として従来の金属製ケース５５の上面の一部に光学フィルタ５４を配設した構成の赤外線センサの視野角を模式的に示す図である。なお、図２(ａ)において、図１と同一符号を付した部分は図１と同一部分を示し、図２(ｂ)において、図４と同一符号を付した部分は図４と同一部分を示す。【００３５】
図２(ａ)，(ｂ)より、本願発明の実施例１にかかる赤外線センサ（図２(ａ)）においては、パッケージ２の開口部２ａ全体が光学フィルタ３により覆われており、従来の、金属製ケース５５の上面の一部に光学フィルタ５４を配設した構成の赤外線センサ（図２(ｂ)）に比べて、広い視野角θを確保できることがわかる。
なお、本願発明においては、パッケージ２の底部と側壁の角度（θ１（図２(ａ)参照））を大きくすることにより、さらに広い視野を確保することができる。【００３６】
また、パッケージ２が配線パターン１１を備えていることから、他の部材に形成すべき配線パターンを少なくして、製品の小型化や部品点数の削減を図ることが可能になる。【００３７】
また、光学フィルタ３を、他の部品を介さずにパッケージ２に接合することができるため、製品の小型化を図ることが可能になるとともに、製造工程を簡略化してコストの低減を図ることが可能になる。【００３８】
さらに、パッケージ２が、赤外線センサ素子１を支持する支持部（ベース）１２を備えているため、別途支持部材を必要とすることがなく、さらに、部品点数の削減や、製品の小型化を図ることが可能になる。
また、パッケージ２の底部は従来の赤外線センサのステムの機能を果たすため、この点でも製品の小型化を図ることができる。
【実施例２】
【００３９】
図３(ａ)は本願発明の他の実施例（実施例２）にかかる赤外線センサの構成を模式的に示す断面図、(ｂ)はその斜視図である。【００４０】
この実施例２の赤外線センサは、
(１)赤外線センサ素子１が収納されるパッケージとして、金属製ではなく絶縁体セラミックからなるパッケージ２２が用いられている点、
(２)上記実施例１の赤外線センサの場合のように、パッケージ２の内側面に絶縁材料４によりライニングされた構造を備えておらず、配線パターン１１がパッケージ２２の内面に直接形成されている点、
(３)外部接続端子（外部電極）５が、上記実施例１の赤外線センサの場合のようにガラスなどの絶縁体を介してパッケージに配設されているのではなく、絶縁体セラミックからなるパッケージ２２に直接形成されている点
において上記実施例１とはその構成を異にしているが、その他の点においては、上記実施例１の赤外線センサと同様に構成されている。
なお、図３(ａ)，(ｂ)において、図１(ａ)，(ｂ)と同一符号を付した部分は、同一または相当する部分を示している。【００４１】
この実施例２の赤外線センサにおいては、パッケージ２２が金属製でないことから、実施例１の赤外線センサに比べて、耐電磁波特性は劣るものの、その他の点においては、上記実施例１の赤外線センサの場合と同様の効果を得ることができる。
すなわち、この実施例２の赤外線センサにおいて用いられている光学フィルタ３には部分的な遮蔽が施されておらず、全面が赤外線を透過させるように構成されていることから、赤外線受光領域（視野）が広く、検出精度の高い赤外線センサを得ることができる。
また、パッケージ２２が配線パターン１１を備えていることから、別途回路基板を必要としたりすることがなく、他の部材に形成すべき配線パターンを少なくして、製品の小型化や部品点数の削減を図ることが可能になる。【００４２】
また、光学フィルタ３を、他の部品を介さずにパッケージ２２に接合することができるため、製品の小型化を図ることが可能になるとともに、製造工程を簡略化してコストの低減を図ることが可能になる。【００４３】
さらに、パッケージ２２が、赤外線センサ素子１を支持する支持部（ベース）１２を備えているため、別途支持部材を必要とすることがなく、さらに、部品点数の削減や、製品の小型化を図ることが可能になる。
また、パッケージ２２の底部は従来の赤外線センサのステムの機能を果たすため、この点でも製品の小型化を図ることができる。【００４４】
なお、上記実施例２では絶縁体セラミックからなるパッケージ２２を用いた場合を例にとって説明したが、ガラスエポキシ樹脂などの他の絶縁体からなるパッケージを用いることも可能である。【００４５】
また、上記実施例１および２では、赤外線センサ素子が、焦電素子を用いた、いわゆるデュアルタイプの焦電型の赤外線センサ素子である場合を例にとって説明したが、本願発明において、赤外線センサ素子のタイプに特別の制約はなく、シングルタイプやクワッドタイプ、またはサーモパイル、フォトダイオードなどの種々の赤外線センサ素子を用いた赤外線センサに本願発明を適用することが可能である。【００４６】
また、上記実施例では、単結晶シリコンからなる光学フィルタを用いた場合を例にとって説明したが、光学フィルタとしては、単結晶シリコン以外にも、例えば、石英やサファイア、フッ化バリウム、スピネル、ポリエチレンなどの赤外線を透過させる種々の材料からなるものを用いることが可能である。【００４７】
また、本願発明は、さらにその他の点においても上記実施例１および２に限定されるものではなく、パッケージの具体的な形状などに関し、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
上述のように本願発明においては、光学フィルタを、パッケージの開口部全体を覆うように配設し、光学フィルタに、赤外線センサ素子に所定の波長の赤外線を受光させる機能と、前記開口部を封止する蓋としての機能を同時に果たさせるようにしているので、赤外線受光領域（視野）が広く、検出精度の高い赤外線センサを得ることが可能になる。また、パッケージが配線パターンを備えるようにしているので、他の部材に形成すべき配線パターンを少なくして、製品の小型化、部品点数の削減を図ることが可能になる。
また、金属製のパッケージを用い、光学フィルタと金属製のパッケージとを電気的に導通させることにより、耐電磁波特性を向上させることが可能になる。
したがって、本願発明は、人体の検知や、防犯機器などに用いられる汎用の赤外線センサの分野に広く利用することが可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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