(57)【要約】【課題】欠陥製品を誘発するような問題となる粒子群がノズルから吐出されることを抑制し、製品の歩留り向上を図った情報表示用パネルの製造装置を提供する。【解決手段】少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に粒子群を表示媒体として封入し、当該表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルの製造装置３０であって、前記基板１が載置される載置台を内部に配備してある粒子充填槽３１と、前記粒子充填槽内に前記粒子群ＡＰを吐出するノズル４５と、前記粒子群を貯留し搬送管４２を介して前記ノズルに粒子群を供給する粒子群収容部４０とを備え、前記粒子群収容部が前記粒子群に超音波振動を与える超音波振動手段５０を備えている。ノズルから均一な粒子群を吐出させながら粒子充填を行えるので、欠陥製品を誘発するような問題となる粒子群がノズルから吐出されることを抑制して製品の歩留りを向上することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に粒子群を表示媒体として封入し、当該表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルの製造装置であって、
前記基板が載置される載置台を内部に配備してある粒子充填槽と、前記粒子充填槽内に前記粒子群を吐出するノズルと、前記粒子群を貯留し搬送管を介して前記ノズルに粒子群を供給する粒子群収容部とを備え、
前記粒子群収容部が前記粒子群に超音波振動を与える超音波振動手段を備えている、ことを特徴とする情報表示用パネルの製造装置。
【請求項２】
前記超音波振動手段は、前記搬送管を接続した排出口の近傍に配置してある、ことを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネルの製造装置。
【請求項３】
前記超音波振動手段の周波数は、３０〜４０ｋＨｚに設定されている、ことを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネルの製造装置。
【請求項４】
前記超音波振動手段は周波数をスイープ設定可能である、ことを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、このセル内に粒子群を表示媒体として封入し、この表示媒体を移動させて画像等の情報を表示するようにした情報表示用パネルに係る製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報表示装置として液晶表示装置（ＬＣＤ）が広く普及している。しかし、一般に液晶表示装置は電力消費量が大きく、視野角が狭いなどの欠点があることが知られていた。そこで、液晶表示装置に代わるものとして、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、このセル内に粒子群を表示媒体として封入して、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルの提案がある。このような情報表示用パネルを作製する際には、先ず基板（例えばガラス基板）上にセルを構成するための隔壁（例えば格子状隔壁）を形成する。次に、基板上の隔壁によって仕切られた複数のセル内に表示媒体とする粒子群を充填し封入した情報表示用パネルを製造する。
【０００３】
上記のような情報表示用パネルの製造装置では、例えば特許文献１で開示するように粒子群を貯留して供給するように構成した粒子群収容部としてのフィーダを備えている。図８は、特許文献1で示す情報表示用パネル製造装置に適用された従来のフィーダ構造について示す図である。フィーダ１００は、気体注入口１１１と不図示のチャンバ内に粒子群を吐出するノズル１１２に搬送管１１３を介して接続された気体排出口１１４とを備える。このフィーダ１００内には、収容している粒子群ＡＰを撹拌する撹拌ローラ１１５およびその搬送量を規制するブレード１１６が配置されている。さらに、撹拌ローラ１１５に粒子群ＡＰを供給するための供給ローラ１１７を設けて構成されている。
【０００４】
上記のような構造で、気体注入口１１１側から所定の気体をフィーダ１００内に供給して内部を昇圧する（陽圧にする）と共に、撹拌ローラ１１５の回転とブレード１１６で一定量としながら粒子群ＡＰを上部に導きながら浮遊状態とした粒子群ＡＰを気体排出口１１４、搬送管１１３を介してノズル１１２によって不図示のチャンバ内に吐出して、所定位置に載置されている基板のセル内に粒子群を充填する粒子充填工程を行うようにしている。
【特許文献１】特開２００５−２５８２５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のようなフィーダ１００は内部に粒子群ＡＰを強制的に撹拌する撹拌ローラ１１５や供給ローラ１１７などが配備されている。そのために、フィーダ１００の壁面と撹拌ローラ１１５や供給ローラ１１７との間に挟まれた隙間や、撹拌ローラ１１５と供給ローラ１１７との間の隙間に存在していた粒子群ＡＰに撹拌のための力を受けて混錬されたときに、過度の圧力（ストレス）が加わる場合がある。これにより粒子群ＡＰが変性し、また混錬によって粒子群ＡＰが凝集して肥大化する（以下、このように凝集した粒子の集合体を「凝集体」と称す）場合がある。このように変性、或いは凝集体となった粒子群が搬送気体に乗って搬送管内を流れ、ノズルから吐出されると基板上に落下する。その結果、セル内への粒子群の充填状態が不均一のものとなり表示欠陥や、繰返し表示書き換えを行う際の回数耐久性が劣る欠陥のある情報表示用パネルとなって、製品歩留りが低下するという問題がある。
【０００６】
よって、本発明の目的は、上述した従来技術の課題を解決して、欠陥製品を誘発するような問題となる粒子群がノズルから吐出されることを抑制し、製品の歩留り向上を図った情報表示用パネルの製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に粒子群を表示媒体として封入し、当該表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルの製造装置であって、前記基板が載置される載置台を内部に配備してある粒子充填槽と、前記粒子充填槽内に前記粒子群を吐出するノズルと、前記粒子群を貯留し搬送管を介して前記ノズルに粒子群を供給する粒子群収容部とを備え、前記粒子群収容部が前記粒子群に超音波振動を与える超音波振動手段を備えている情報表示用パネルの製造装置によって達成できる。
【０００８】
また、前記超音波振動手段は、前記搬送管を接続した排出口の近傍に配置してあることが好ましい。また、前記超音波振動手段の周波数は、３０〜４０ｋＨｚに設定されていることが望ましい。そして、前記超音波振動手段は周波数をスイープ設定可能としてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、粒子群収容部となるフィーダに粒子群に超音波振動を与える超音波振動手段が配備されているので、変性させ或いは凝集体を形成するようなストレスを粒子群に与えず適度に撹拌できる。したがって、ノズルから均一な粒子群を吐出させながら粒子充填を行える。よって、欠陥製品を誘発するような問題となる粒子群がノズルから吐出されることを抑制して、製品の歩留り向上を図った情報表示用パネルの製造装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る一実施形態の情報表示用パネルの製造装置を、図面に基づき詳細に説明する。ここでは、本発明の理解を容易とするため、粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルの一例として、帯電粒子移動方式の情報表示用パネルについて、その概略構成を説明する。
【００１１】
前記情報表示用パネルは、対向する２枚の基板間の空間に封入した帯電性粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体に電界が付与される。付与された電界方向に沿って、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動することにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し表示情報を書き換える時、或いは表示情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。
【００１２】
本発明によって製造可能な前記帯電粒子移動方式の情報表示用パネルの例を、図１（ａ）、（ｂ）〜図４（ａ）、（ｂ）、図５（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。
【００１３】
図１（ａ）、（ｂ）に示す例は、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成される互いに光学的反射率および帯電特性が異なる少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（画素電極）と基板２に設けた電極６（画素電極）とで形成する電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示をすることができる。
なお、図１（ａ）、（ｂ）においては、手前にある隔壁は省略している。各電極５、６は、基板１、２の外側に設けても、基板の内側に設けても、基板内部に埋め込むように設けてもよい。
【００１４】
また、図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成される互いに光学的反射率および帯電特性が異なる少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ライン電極）と基板２に設けた電極６（ライン電極）とが対向直交交差に形成する画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図２（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。
なお、図２（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。各電極５、６は、基板１、２の外側に設けても、基板の内側に設けても、基板内部に埋め込むように設けてもよい。
【００１５】
また、図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、３個のセルで表示単位（１ドット）を構成するカラー表示の例を示している。図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、表示媒体としてはセル２１−１〜２１−３の全てに負帯電性白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色表示媒体３Ｂとを充填してある。第１のセル２１−１の観察者側に赤色カラーフィルター２２Ｒを設け、第２のセル２１−２の観察者側に緑色カラーフィルター２２Ｇを設け、第３のセル２１−３の観察者側に青色カラーフィルター２２Ｂを設けてある。これら第１のセル２１−１、第２のセル２１−２および第３のセル２１−３の３個のセルで表示単位（１ドット）を構成している。
本例では、カラー表示を行う際には、第１セル２１−１〜第３のセル２１−３のいずれかを白色ドット表示にすると共に他を黒色ドット表示にして赤色、緑色、青色の表示を行う。そして、図３（ａ）に示すように、観察者側に、第１セル２１−１〜第３のセル２１−３の全てにおいて白色表示媒体３Ｗを移動することで、観察者に対し白色ドット表示を行う。さらに、図３（ｂ）に示すように、観察者側に、第１セル２１−１〜第３のセル２１−３の全てにおいて黒色表示媒体３Ｂを移動することで、観察者に対し黒色ドット表示を行っている。なお、この図３（ａ）、（ｂ）に例示の構成でも、手前にある隔壁は省略している。各セル内での表示媒体の移動を適宜に行って多色カラー表示を行うことができる。
【００１６】
図４（ａ）、（ｂ）に示す例は、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成される１種類の表示媒体（ここでは負帯電性表示媒体用白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５と黒色電極６との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と平行方向に移動させる。そして、図４（ａ）に示すように、白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図４（ｂ）に示すように、黒色電極６の色を観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図４（ａ）、（ｂ）で示す例でも手前にある隔壁は省略している。
【００１７】
更に、図５（ａ）〜（ｄ）に示す例は、まず、図５（ａ）、（ｃ）に示すように、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成される互いに光学的反射率および帯電特性が異なる少なくとも２種以上の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１の外側に設けた外部電界形成手段７と基板２の外側に設けた外部電界形成手段８との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図５（ｂ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図５（ｄ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図５（ａ）〜（ｄ）で示す例でも手前にある隔壁は省略している。また、基板１の内側には導電部材９を設けるとともに、基板２の内側には導電部材１０を設けている。これら導電部材は設けなくてもよい。
【００１８】
次に、上記で説明した情報表示用パネルを製造する際の粒子充填工程で、好適に採用できる情報表示用パネルの製造装置について詳述する。
図６は、本発明の一実施形態に係る情報表示用パネルの製造装置３０の側断面図である。この情報表示用パネルの製造装置３０は、前述した基板１が載置される載置台（ステージ）３２を内部に配備してある粒子充填槽（チャンバ）３１を備えている。更に、この粒子充填槽３１内には粒子群を吐出するノズル４５が配備されている。このノズル４５は基板１の上方において粒子群を吐出させる先端部４５ＦＲを下向きにして配置されている。
【００１９】
なお、この図６では、粒子充填槽３１内の載置台３２上に下側の基板１が載置されている状態を図示している。そして、この基板１上に、スペーサ３４がセットされている。スペーサ３４は基板１上に形成する隔壁４（前記図１など参照）の高さと、情報表示用パネル１個分の切欠空間ＳＰが設定されている。この図６では、図示を省略しているが、この空間ＳＰ内に隔壁により形成された微細なセルが多数存在している。
【００２０】
更に、図６の例示では、スペーサ３４上に少なくとも表面を導電性とした導電性マスク３５が配備されている。この導電性マスク３５は情報表示用パネルを多数個同時に取り出す（多個取り、と称す）ためのもので、情報表示用パネル１個分に対応した開口３５ＣＡが複数（ここでは、後述するように６個）形成してある。なお、例えば導電性マスク３５を基板１に設けた透明電極と重ねて等電位とするのが好ましい。このような導電性マスク３５を採用すると電気的な外乱の影響も抑制して、更に確実に粒子群をセル内に均一充填できる。
【００２１】
そして、本製造装置３０には、更に上記ノズル４５に粒子群を供給する粒子群収容部としてのフィーダ４０を備えている。このフィーダ４０は、内部に所定空間を備えた金属製容器を本体としており、この本体に搬送用の気体を導入する気体注入管４１や内部の粒子群ＡＰを搬送管４２に送り出す気体排出口４３などが設けられている。搬送管４２の他端は粒子充填槽３１の上部に配備したノズル４５に接続されている。フィーダ４０の気体注入管４１は図示しないポンプなどの昇圧装置に接続されており所定圧以上とされた窒素ガスなどの所定気体が搬送気体として送り込まれており、この搬送気体が媒体となって粒子群がノズル４５へと搬送されている。これにより、ノズル４５の先端部４５ＦＲから粒子群ＡＰを吐出させることができる。
【００２２】
上記のようなフィーダ４０の基本的構造は従来の製造装置と同様であるが、図6で示す装置には変性や凝集体となり問題を誘発するような粒子群が搬送気体に乗って搬送管４２内を流れて、ノズル４５から吐出させない新規な構成を備えている。更に、この点について説明する。
【００２３】
フィーダ４０には、その内部に貯留している粒子群に超音波振動を与える超音波振動手段として超音波振動子５０が配備されている。超音波振動子５０は、フィーダ５０内の粒子群ＡＰに超音波に基づく振動を付与することにより、従来装置では撹拌ローラ等を配備して行っていた撹拌と同様の作用を得ようとするものである。なお、本発明者が確認したところによると、フィーダ４０に超音振動を与えると、内部に収容している粒子群は通常の粉体などより流動性に富むので、あたかも液体のような挙動を示す（液体のように振る舞う）ことを確認した。本明細書では、これを粒子群の「擬似的な液状状態」と称する。粒子群がこのように擬似的な液状状態となったときには、適度に撹拌されている状態で気体排出口４３を介して搬送管４２に流れ出る。このとき、超音波振動を受けることにより粒子群は適度に分散されるので、従来装置のように撹拌ローラや供給ローラ等により粒子群に過剰なストレスが加わって変性或いは凝集体が発生する状態を防止できる。
【００２４】
なお、フィーダ４０に設ける超音波振動子５０については特に限定的な条件はなく、適宜の調整を行って内部の粒子群に超音波振動を付与する状態を形成すればよい。ただし、図６で例示すように搬送管４２が接続される気体排出口４３の近傍位置に超音波振動子５０を配置するのが好ましい。このような位置に超音波振動子５０を配置しておくと、フィーダ４０内の粒子群ＡＰに超音波振動を付与して撹拌を行うことができるだけでなく、気体排出口４３を介して搬送管４２へ送り出される粒子群ＡＰにも直接、超音波振動を付与できる。よって、欠陥製品を誘発するような凝集体の粒子群がノズル４５に向けて搬送されてしまう不都合を確実に抑制できる。
【００２５】
また、超音波振動子５０は図示のように外付け配置のタイプとすれば、従来のフィーダ本体（容器）を活用することができる。そして、超音波振動子５０に制御信号ケーブル５１を介してコントローラ５２に接続して、このコントローラ５２により超音波振動子５０を制御するようにすればよい。
【００２６】
なお、撹拌ローラ等の強制手段を用いず、フィーダ内の粒子群を撹拌するという観点からは、超音波でなく、通常のバイブレータ等を振動子として振動して撹拌を行うことも考えられるが、このような通常の振動手段は振幅が大きいため十分な効果を期待できない場合がある。前述したように、本実施形態例で採用する粒子群は、擬似的な液状状態を形成するような微小な粒子団であり、所定範囲の超音波振動を付与することで好ましい撹拌状態を形成できる。このような超音波振動子５０の周波数は、例えば２０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚ、より好ましくは３０ｋＨｚ〜４０ｋＨｚである。そして、このような好ましい周波数３０ｋＨｚ〜４０ｋＨｚの範囲内で、更にスイープ設定して周波数を制御すると、粒子群をより最適な撹拌状態にできる。周波数が３０ｋＨｚ以下である場合には粒子自体の内部にキャビテーションを発生して粒子が破壊してしまう可能性があり、表示不良となる場合がある。また、４０ｋＨｚ以上であると、撹拌の効果が薄れて搬送し難くなり粒子群がバラバラにならずに搬送され、表示不良となる場合がある。また、スイープすることにより、容器内での定在波の場所をずらすことができ、局所的な加熱や粒子へのダメーを抑制することができる。
【００２７】
以上で説明した実施例の情報表示用パネルの製造装置によると、粒子群収容部となるフィーダに粒子群に超音波振動を与える超音波振動手段が配備されているので、粒子群を変性させるようなストレスを与えずに適度に撹拌できる。よって、ノズル４５の先端部４５ＦＲから均一に粒子群を吐出させながら粒子充填槽３１内での粒子充填を行える。よって、情報表示用パネルにおける表示不良製品の発生を抑制できる。
【００２８】
下記の表１は、超音波振動子を配備した各種製造装置で製造した情報表示用パネルの表示不良発生率を示したものである。各種製造装置で粒子群の供給を行って作製した評価用の表示パネルにテストパターン表示して評価した結果を表1にまとめて示している。
【表１】
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【００２９】
上記表１から、超音波振動の周波数（超音波振動数）を３５ｋＨｚとした実施例１は不良発生率を1.4％という低い値に抑えることができるのが分かる。そして、これにスイープ設定した実施例２の場合には、更に低い不良発生率0.6％にすることができた。
これに対して、超音波振動数が３０〜４０ｋＨｚから外れた比較例１、比較例２は、スイープ設定しても不良発生率が2.0％以上になった。更に、従来装置の場合は8.0％以上にもなった。
【００３０】
なお、上記基板１としては、ガラス基板、樹脂シート基板、樹脂フィルム基板等の基板を用いることができる。基板１を表示面側（観察側）とする場合には、基板１は透明基板とする。この基板１には、所定の電圧および極性（正・負）を有する電圧を印加するための電極（図１などで説明した、個別またはライン電極５あるいは導電膜）が透明な導電材にて配設されている。図６で示す粒子充填工程が完了すると、スペーサ３４及び導電性マスク３５を外して、上側の基板２がセットされて情報表示用パネルの積層構造が完成する。このように製造された情報表示用パネルを構成する表裏２枚の基板１、２の表面には、マトリックス状電極対を構成するように画素電極もしくはライン電極あるいは導電膜が形成されており、電流を流したときに、表示媒体（粒子群）に電界をかけることにより移動して所望の表示を行う前述の構造が実現される。
【００３１】
以下では、更に、本発明の対象となる情報表示用パネルを構成する各部材について説明する。
【００３２】
前述した基板としては、少なくとも一方の基板はパネル外側から表示媒体の色が確認できる透明基板であり、可視光の透過率が高くかつ耐熱性の良い材料が好適である。もう一方の基板となる背面基板は透明でも不透明でもかまわない。基板材料を例示すると、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルサルフィン（ＰＥＳ）、アクリル等の有機高分子系基板や、ガラスシート、石英シート、金属シート等を用い、表示面側にはこのうち透明なものを用いる。基板の厚みは、２〜２０００μｍが好ましく、さらに５〜１０００μｍが好適であり、薄すぎると、強度、基板間の間隔均一性を保ちにくくなり、２０００μｍより厚いと、薄型情報表示用パネルとする場合に不都合となる。
【００３３】
必要に応じて、上記基板に設ける電極の形成材料としては、アルミニウム、銀、ニッケル、銅、金等の金属類や酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化亜鉛アルミニウム（ＡＺＯ）、酸化インジウム、導電性酸化錫、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピローラ、ポリチオフェンなどの導電性高分子類を例示でき、これらを適宜に選択して用いることができる。電極の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状にパターニング形成する方法や、金属箔をラミネートする方法（例えば圧延銅箔法）や、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布してパターニング形成する方法を用いることができる。
視認側（表示面側）基板に設ける電極は透明である必要があるが、背面側基板に設ける電極は透明である必要がない。いずれの場合もパターン形成可能である導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、電極厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、０．０１〜１０μｍ、好ましくは０．０５〜５μｍが好適である。背面側基板に設ける電極の材質や厚みなどは上述した表示面側基板に設ける電極と同様であるが、透明である必要はない。
【００３４】
基板に設ける隔壁については、その形状は表示にかかわる表示媒体の種類や、配置する電極の形状、配置により適宜最適設定され、一概には限定されないが、隔壁の幅は２〜１００μｍ、好ましくは３〜５０μｍである。隔壁の高さは、基板間ギャップ以内で、基板用ギャップ確保用部分は基板間ギャップと同じに、それ以外のセル形成用部分は基板間ギャップと同じか、それよりも低くすることができる。また、隔壁を形成するにあたり、対向する両基板１、２の各々にリブを形成した後に接合する両リブ法、片側の基板上にのみリブを形成する片リブ法が考えられる。この発明では、いずれの方法も好適に用いられる。隔壁の高さは、基板間距離に合わせるが、部分的に基板間距離よりも低くすることもできる。
これらのリブからなる隔壁により形成されるセルは、図７に示すごとく、基板平面方向からみて四角状、三角状、ライン状、円形状、六角状が例示され、配置としては格子状やハニカム状や網目状が例示される。表示面側から見える隔壁断面部分に相当する部分（セルの枠部の面積）はできるだけ小さくした方がよく、表示状態の鮮明さを増すことができる。
ここで、隔壁の形成方法を例示すると、金型転写法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、フォトリソ法、アディティブ法が挙げられる。いずれの方法もこの発明の情報表示装置に搭載する情報表示用パネルに好適に用いることができるが、これらのうち、レジストフィルムを用いるフォトリソ法や金型転写法を好適に用いられる。
【００３５】
次に、本発明の装置あるいは方法により製造される一例である帯電粒子移動方式の情報表示用パネルにおいて、表示媒体として用いる粒子群を構成する光学的反射率と帯電性とを有する粒子（以下、表示媒体用粒子ともいう）について説明する。表示媒体用粒子は、そのまま該表示媒体用粒子だけで構成して表示媒体としたり、その他の粒子と合わせて構成して表示媒体としたりして用いられる。
表示媒体用粒子には、その主成分となる樹脂に、必要に応じて、荷電制御剤、着色剤、無機添加剤等を含めることができる。更に、以下で樹脂、荷電制御剤、着色剤、その他添加剤を例示する。
【００３６】
表示媒体用粒子の主成分となる樹脂の例としては、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、アクリルウレタン樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、アクリルフッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、スチレンアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ブチラール樹脂、塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂等が挙げられ、２種以上混合することもできる。特に、基板との付着力を制御する観点から、アクリルウレタン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、アクリルフッ素樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂が好適である。
【００３７】
荷電制御剤としては、特に制限はないが、負荷電制御剤としては例えば、サリチル酸金属錯体、含金属アゾ染料、含金属（金属イオンや金属原子を含む）の油溶性染料、４級アンモニウム塩系化合物、カリックスアレン化合物、含ホウ素化合物（ベンジル酸ホウ素錯体）、ニトロイミダゾール誘導体等が挙げられる。正荷電制御剤としては例えば、ニグロシン染料、トリフェニルメタン系化合物、４級アンモニウム塩系化合物、ポリアミン樹脂、イミダゾール誘導体等が挙げられる。その他、超微粒子シリカ、超微粒子酸化チタン、超微粒子アルミナ等の金属酸化物、ピリジン等の含窒素環状化合物及びその誘導体や塩、各種有機顔料、フッ素、塩素、窒素等を含んだ樹脂等も荷電制御剤として用いることもできる。
【００３８】
着色剤としては、以下に例示するような、有機または無機の各種、各色の顔料、染料が使用可能である。黒色着色剤としては、カーボンブラック、酸化銅、二酸化マンガン、アニリンブラック、活性炭等がある。青色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、紺青、コバルトブルー、アルカリブルーレーキ、ビクトリアブルーレーキ、フタロシアニンブルー、無金属フタロシアニンブルー、フタロシアニンブルー部分塩素化物、ファーストスカイブルー、インダンスレンブルーＢＣ等がある。赤色着色剤としては、ベンガラ、カドミウムレッド、鉛丹、硫化水銀、カドミウム、パーマネントレッド４Ｒ、リソールレッド、ピラゾロンレッド、ウォッチングレッド、カルシウム塩、レーキレッドＤ、ブリリアントカーミン６Ｂ、エオシンレーキ、ローダミンレーキＢ、アリザリンレーキ、ブリリアントカーミン３Ｂ、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２等がある。
【００３９】
また、黄色着色剤としては、黄鉛、亜鉛黄、カドミウムイエロー、黄色酸化鉄、ミネラルファーストイエロー、ニッケルチタンイエロー、ネーブルイエロー、ナフトールイエローＳ、ハンザイエローＧ、ハンザイエロー１０Ｇ、ベンジジンイエローＧ、ベンジジンイエローＧＲ、キノリンイエローレーキ、パーマネントイエローＮＣＧ、タートラジンレーキ、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２等がある。緑色着色剤としては、クロムグリーン、酸化クロム、ピグメントグリーンＢ、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、マラカイトグリーンレーキ、ファイナルイエローグリーンＧ等がある。橙色着色剤としては、赤色黄鉛、モリブデンオレンジ、パーマネントオレンジＧＴＲ、ピラゾロンオレンジ、バルカンオレンジ、インダンスレンブリリアントオレンジＲＫ、ベンジジンオレンジＧ、インダンスレンブリリアントオレンジＧＫ、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１等がある。紫色着色剤としては、マンガン紫、ファーストバイオレットＢ、メチルバイオレットレーキ等がある。白色着色剤としては、亜鉛華、酸化チタン、アンチモン白、硫化亜鉛等がある。
【００４０】
体質顔料としては、バライト粉、炭酸バリウム、クレー、シリカ、ホワイトカーボン、タルク、アルミナホワイト等がある。また、塩基性、酸性、分散、直接染料等の各種染料として、ニグロシン、メチレンブルー、ローズベンガル、キノリンイエロー、ウルトラマリンブルー等がある。
【００４１】
無機系添加剤の例としては、酸化チタン、亜鉛華、硫化亜鉛、酸化アンチモン、炭酸カルシウム、鉛白、タルク、シリカ、ケイ酸カルシウム、アルミナホワイト、カドミウムイエロー、カドミウムレッド、カドミウムオレンジ、チタンイエロー、紺青、群青、コバルトブルー、コバルトグリーン、コバルトバイオレット、酸化鉄、カーボンブラック、マンガンフェライトブラック、コバルトフェライトブラック、銅粉、アルミニウム粉などが挙げられる。
これらの顔料および無機系添加剤は、単独であるいは複数組み合わせて用いることができる。このうち特に黒色顔料としてカーボンブラックが、白色顔料として酸化チタンが好ましい。上記着色剤を配合して所望の色の表示媒体用粒子を作製できる。
【００４２】
また、表示媒体用粒子は平均粒子径ｄ（0.5）が、１〜２０μｍの範囲であり、均一で揃っていることが好ましい。平均粒子径ｄ（0.5）がこの範囲より大きいと表示上の鮮明さに欠け、この範囲より小さいと粒子同士の凝集力が大きくなり過ぎるために表示媒体としての移動に支障をきたすようになる。
【００４３】
さらに本発明では、各表示媒体用粒子の粒子径分布に関して、下記式に示される粒子径分布Spanを５未満、好ましくは３未満とするのが望ましい。
Span＝（ｄ(0.9)−ｄ(0.1)）／ｄ(0.5)
（但し、ｄ(0.5)は粒子の50％がこれより大きく、50％がこれより小さいという粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.1)はこれ以下の粒子の比率が10％である粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.9)はこれ以下の粒子が90％である粒子径をμｍで表した数値である。）
Spanを５以下の範囲に納めることにより、各粒子のサイズが揃い、均一な表示媒体としての移動が可能となる。
【００４４】
さらにまた、使用した表示媒体用粒子の内、最大径を有する表示媒体用粒子のd(0.5)に対する最小径を有する表示媒体用粒子のd(0.5)の比を１０以下とすることが肝要である。たとえ粒子径分布Spanを小さくしたとしても、互いに帯電特性の異なる表示媒体用粒子が互いに反対方向に動くので、互いの粒子サイズを同程度にし、互いの表示媒体用粒子が反対方向に容易に移動できるようにするのが好適であり、それがこの範囲となる。
【００４５】
なお、上記の粒子径分布および粒子径は、レーザー回折／散乱法などから求めることができる。測定対象となる粒子にレーザー光を照射すると空間的に回折／散乱光の光強度分布パターンが生じ、この光強度パターンは粒子径と対応関係があることから、粒子径および粒子径分布が測定できる。
ここで、本発明における粒子径および粒子径分布は、体積基準分布から得られたものである。具体的には、Mastersizer2000(Malvern Instruments Ltd.)測定機を用いて、窒素気流中に粒子を投入し、付属の解析ソフト（Ｍｉｅ理論を用いた体積基準分布を基本としたソフト）にて、粒子径および粒子径分布の測定を行うことができる。
【００４６】
さらに、表示媒体用粒子で構成する表示媒体を気体中空間で駆動させる乾式の情報表示用パネルでは、基板間の表示媒体を取り巻く空隙部分の気体の管理が重要であり、表示安定性向上に寄与する。具体的には、空隙部分の気体の湿度について、２５℃における相対湿度を６０％ＲＨ以下、好ましくは５０％ＲＨ以下とすることが重要である。
この空隙部分とは、上記図１（ａ）、（ｂ）〜図４（ａ）、（ｂ）、図５（ａ）〜（ｄ）において、対向する基板１、基板２に挟まれる部分から、電極５、６（電極を基板の内側に設けた場合）、表示媒体３の占有部分、隔壁４の占有部分、情報表示用パネルのシール部分を除いた、いわゆる表示媒体が接する気体部分を指すものとする。空隙部分の気体は、先に述べた湿度領域であれば、その種類は問わないが、乾燥空気、乾燥窒素、乾燥アルゴン、乾燥ヘリウム、乾燥二酸化炭素、乾燥メタンなどが好適である。この気体は、その湿度が保持されるように情報表示用パネルに封入することが必要であり、例えば、表示媒体の充填、情報表示用パネルの組み立てなどを所定湿度環境下にて行い、さらに、外からの湿度侵入を防ぐシール材、シール方法を施すことが肝要である。
【００４７】
本発明の対象となる情報表示用パネルにおける基板と基板との間隔は、表示媒体が移動できて、コントラストを維持できればよいが、通常１０〜５００μｍ、好ましくは１０〜２００μｍに調整される。帯電粒子移動方式の情報表示用パネルでは１０〜１００μｍ、好ましくは１０〜５０μｍに調整される。
対向する基板間の気体中空間における表示媒体の体積占有率は５〜７０％が好ましく、さらに好ましくは５〜６０％である。なお、７０％を超える場合には表示媒体の移動に支障をきたし、５％未満の場合にはコントラストが不明確となり易い。
【００４８】
以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明に係る情報表示用パネルの製造装置により製造される情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞、電子マニュアル（電子取扱説明書）等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板やホワイトボード等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ（Point Of Presence、Point Of Purchase advertising）、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられる。他に、外部電界形成手段を用いたり、外部書き換え手段に接続したりして表示書き換えを行う、いわゆるリライタブルペーパーとしても好適に用いられる。
なお、本発明に係る情報表示用パネルの駆動方式については、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マトリックス駆動方式やスタティック駆動方式、また、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）で代表される三端子スイッチング素子あるいは薄膜ダイオード（ＴＦＤ）で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティブマトリックス駆動方式や、外部電界形成手段を用いた外部電界駆動方式など、種々のタイプの駆動方式が適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成を説明するために示した図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの他の原理的構成を説明するために示した図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの他の原理的構成を説明するために示した図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの他の原理的構成を説明するために示した図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの他の原理的構成を説明するために示した図である。
【図６】本発明の実施形態に係る情報表示用パネルの製造装置の側断面図である。
【図７】本発明の対象となる情報表示用パネルにおける隔壁の形状の一例を示す図である。
【図８】従来の情報表示用パネルの製造装置に適用されたフィーダ構造について示した図である。
【符号の説明】
【００５１】
１、２                基板
３                    表示媒体（粒子群）
３０                  情報表示用パネルの製造装置
３１                  粒子充填槽
３２                  載置台
４０                  フィーダ（粒子群収容部）
４２                  搬送管
４５                  ノズル
４５ＦＲ              ノズルの先端部
５０                  超音波振動子（超音波振動手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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