(57)【要約】【課題】被測定ガス中の特定ガス成分の濃度を検出するガスセンサの被水検知方向と、被水の有無を検知し、被水割れを未然に防ぐことが可能な耐久性の高いガスセンサを提供する【解決手段】  少なくとも、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するセンサ素子１０と、センサ素子１０を被測定ガス流路内に保持するハウジング３０と、ハウジング３０の先端側に固定されセンサ素子１０の被測定ガスに晒される測定部１０１を保護するカバー体４０、４１と、センサ素子１０を活性化するヒータ１３とを具備するガスセンサ１であって、測定部１０１の表面温度を測定する複数の熱電対ＴＣ（１、２・・・）の接合点２０１（１、２・・・）と導線部２０（１ａ、１ｂ、２ａ、２ｂ・・・）とを保護層２（１、２・・・）により素子測定部１０１表面に絶縁性を確保しつつ固着せしめる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するセンサ素子と、該センサ素子を被測定ガス流路内に保持するハウジングと、該ハウジングの先端側に固定され上記センサ素子の上記被測定ガスに晒される測定部を保護する素子カバー体と、上記センサ素子を活性化するヒータとを具備するガスセンサであって、
上記測定部の表面温度を測定する複数対の熱電対を具備することを特徴とするガスセンサ。
【請求項２】
上記熱電対の接合点と導線部とを保護層により上記測定部表面に絶縁性を確保しつつ固着せしめたことを特徴とする請求項１に記載のガスセンサ。
【請求項３】
上記複数対の熱電対は、互いに接合点が上記測定部の軸方向及び径方向にずれて配設せしめたことを特徴とする請求項１又は２に記載のガスセンサ。
【請求項４】
上記熱電対の接合点は、軸方向に伸びる他の熱電対を保護する上記保護層の端縁との間に所定の間隙を設けて配設せしめたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガスセンサ。
【請求項５】
ガスセンサの測定部表面への被測定ガス中に含まれる水滴の付着の有無を検出するガスセンサの被水検知方法であって、
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のガスセンサにおいて、上記熱電対によって計測した測定部表面温度と閾値との比較によって被水の有無を検知することを特徴とするガスセンサの被水検知方法。
【請求項６】
ガスセンサの測定部表面への被測定ガス中に含まれる水滴の付着の有無を検出するガスセンサの被水検知方法であって、
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のガスセンサにおいて、上記複数対の熱電対によって測定した測定部表面温度を互いに比較して被水の有無を検知することを特徴とするガスセンサの被水検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車エンジン等の内燃機関の燃焼排気中に含まれる特定ガス成分の濃度を検出するセンサ素子を含むガスセンサ関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、車両エンジン等の内燃機関の燃焼排気流路に載置され、燃焼排気中に含まれる特定ガス成分の濃度を検知するセンサ素子を含むガスセンサによって、空燃比、ＮＯｘ濃度等を算出して、エンジン回転数やエンジン水温等のエンジン状況に応じて内燃機関の燃焼制御を行っている（特許文献１等参照）。
【０００３】
このようなガスセンサは、高温の被測定ガスに晒されると共に、センサ素子を活性化すべく発熱体によって加熱されている。このため、被測定ガス中に含まれる水分がセンサ素子の表面に付着したとき、その被水した部位と周辺部位との間に大きな温度差が生じ、これに起因して生じる熱応力によってセンサ素子に亀裂が発生する虞がある。
【０００４】
ガスセンサの応答性を向上させるために被測定ガスのセンサ素子検出部への導入を容易にすると、被測定ガスと共にこれに含まれる水分も導入されやすくなる。一方、被測定ガス中の水分の侵入を抑制して耐被水性を向上しようとすると、被測定ガスの導入も阻害され、応答性が低下する虞がある。
このような二律背反する課題に対して、センサ素子を保護するカバー体に設けられた導入孔の開口面積を制限して、必要な応答性を確保しつつ、被水割れの抑制を図ろうとする技術が種々と開示されている（特許文献２、特許文献３参照）。
【０００５】
また、更なるガスセンサの応答性、耐被水性の向上を図るためには、ガスセンサの被水状況を正確に知る必要がある。そこで、特許文献４には、ガスセンサの測定部表面に被水確認用粉末を塗布し、被水によって、被水確認用粉末の除去された痕を観察することによって被水状況を確認する被水確認試験方法が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−２１１６９１号公報
【特許文献２】特開３００８−３２６５１号公報
【特許文献３】特開３００８−５８２９７号公報
【特許文献４】特開３００７−２２５５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、従来のガスセンサにおいては、完全に被水を防止することは困難で、被水割れの虞が残っている。また、特許文献３にあるような被水確認試験では、センサを取り外さなければ被水の有無が確認できず、実際の車両等の機関燃焼排気流路にガスセンサを搭載した状態で常時被水の有無を監視することは困難であった。
【０００７】
本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであり、更なる応答性と耐被水性との向上を図るべく、正確な被水の検知により、被水の方向性、被水時期を特定するガスセンサの被水検知方向を提供すると共に、被水の有無を速やかに検知し、被水割れを未然に防ぎ耐久性の高いガスセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明では、少なくとも、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するセンサ素子と、該センサ素子を被測定ガス流路内に保持するハウジングと、該ハウジングの先端側に固定され上記センサ素子の上記被測定ガスに晒される測定部を保護する素子カバー体と、上記センサ素子を活性化するヒータと、を具備するガスセンサであって、上記測定部の表面温度を測定する複数対の熱電対を具備する。
【０００９】
請求項１の発明によれば、被測定ガス中に含まれる水滴が、カバー体内に侵入しガスセンサに被水したときに生じる、ガスセンサ表面の急激な温度変化を速やかに検知することができる。
したがって、ガスセンサが被水したときに、速やかに発熱体への通電を停止し、ガスセンサの被水割れを未然に防ぎ、耐久性の高いガスセンサを実現することも可能となる。
また、複数対の熱電対からの温度情報により、被水の発生した方向を特定することも可能となり、さらに応答性、耐被水性に優れたガスセンサの開発に役立てることもできる。
【００１０】
具体的には、請求項２の発明のように、上記熱電対の接合点と導線部とを保護層により上記測定部表面に絶縁性を確保しつつ固着せしめた構成とするのが望ましい。
【００１１】
請求項２の発明によれば、ガスセンサの機能を阻害することなく、センサ素子表面に容易に熱電対を固着することができ、測定されたガスセンサの表面温度の変化から速やかに被水の有無を検知して、被水割れを防ぐことが可能な耐久性に優れたガスセンサが実現できる。
【００１２】
さらに、請求項３の発明のように、上記複数対の熱電対は、互いに接合点が上記測定部の軸方向及び径方向にずれて配設せしめるのが望ましい。
【００１３】
請求項３の発明によれば、センサ素子表面への被水の有無をまんべんなく検知することが可能となる。
【００１４】
より好ましくは、請求項４の発明のように、上記熱電対の接合点は、軸方向に伸びる他の熱電対を保護する上記保護層の端縁との間に所定の間隙を設けて配設せしめる。
【００１５】
請求項４の発明によれば、１の熱電対が他の熱電対の被水検出をじゃますることがない。したがって、センサ素子表面をくまなく、しかも、より正確に温度測定することが可能となる。
【００１６】
具体的なガスセンサの被水検知方法としては、請求項５の発明のように、ガスセンサの測定部表面への被測定ガス中に含まれる水滴の付着の有無を検出するガスセンサの被水検知方法であって、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のガスセンサにおいて、上記熱電対によって計測した測定部表面温度と閾値との比較によって被水の有無を検知する構成としても良い。
【００１７】
また、請求項６の発明のように、ガスセンサの測定部表面への被測定ガス中に含まれる水滴の付着の有無を検出するガスセンサの被水検知方法であって、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のガスセンサにおいて、上記複数対の熱電対によって測定した測定部表面温度を互いに比較して被水の有無を検知する構成としても良い。
【００１８】
請求項５又は６の発明によれば、実際の使用状況下でガスセンサの被水の有無を速やかに検出できる。したがって、ガスセンサが被水したときに、速やかに発熱体への通電を停止し、ガスセンサの被水割れを未然に防ぎ、耐久性の高いガスセンサを実現することも可能となる。
また、複数対の熱電対からの温度情報により、被水の発生した方向を特定することも可能となり、さらに応答性、耐被水性に優れたガスセンサの開発に役立てることもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１を参照して、本発明の第１の実施形態におけるガスセンサ１の概要について説明する。ガスセンサ１は、自動車等の内燃機関において、燃焼排気管等の被測定ガス流路の流路壁５０に装着され、被測定ガス中の酸素やＮｏｘ（窒素酸化物）等の特定ガス成分の濃度を検出するガスセンサである。
ガスセンサ１は、センサ素子１０と、センサ素子１０内に把持されセンサ素子１０を活性化するヒータ１３と、センサ素子１０を保持するハウジング３０と、ハウジング３０の先端に固定され、センサ素子１０の被測定ガスに晒される測定部１０１を覆う素子カバー体４０、４１と、本発明の要部であり、センサ素子１０の測定部１０１の表面に保護層２（１、２・・・）によって固着された熱電対ＴＣ（１、２・・・）とで構成されている。  なお、本実施形態において、熱電対ＴＣを７対配設した場合を例に説明する。
【００２０】
本発明において、センサ素子１０は、特に限定するものではなく、用途・目的に応じて各種のセンサ素子が適宜利用できる。本実施形態において、自動車の空燃比制御等に用いられる、いわゆるコップ型のセンサ素子を例に説明する。
センサ素子１０は、ジルコニア等の酸素イオン伝導性の固体電解質セラミックからなり、有底筒状に形成された固体電解質基体１００の内外の表面に、白金等からなる基準電極層１１０と測定電極層１２０とが、無電解メッキ、圧膜印刷等の方法により形成されている。
【００２１】
測定電極層１２０は、個体電解質基体１００の基端側の外周に挿嵌された接続金具１２１、圧着端子を介して外部に設けられた図略の制御装置に接続する信号線１２２に接続されている。
基準電極層１１０は、固体電解質基体１００の基端側の内周に挿嵌された接続金具１１１、圧着端子を介して外部に設けられた図略の制御装置に接続する信号線１１２に接続されている。
接続金具１１１の先端側にはヒータ保持金具が形成されている。
センサ素子１０の内側にはセンサ素子１０を加熱し活性化するためのヒータ１３がヒータ保持金具を介して把持されている。
ヒータ１３の基端側表面にはヒータ電極１３１ａ、１３１ｂが形成され、先端側にはヒータ電極１３１ａ、１３１ｂへの通電により発熱する発熱体１３０が内蔵されている。
ヒータ電極１３１ａ、１３２ｂには接続端子等を介して、外部の通電用電源に接続される通電線１３２ａ、１３２ｂが接続されている。
一対の信号線１１２、１２２と一対の通電線１３２ａ、１３２ｂ、及び、熱電対ＴＣ（１〜７）の導線部２０（１ａ〜７ａ、１ｂ〜７ｂ）とが、ハウジング３０の基端側で、封止部材等によって、絶縁性を確保しつつ集束固定されている。
また、封止部材には、多孔質フッ素樹脂等からなる撥水フィルタを介して大気を固体電解質体１００に設けられた図略の大気室内部に導入する大気導入孔が形成されている。
【００２２】
ガスセンサ１は、基準ガスとしての大気中の酸素濃度と被測定ガス中の酸素濃度との差によって、固体電解質１００内を酸素イオンが拡散し、基準電極１１０と測定電極１２０との間に電位差を生じ、これを検出することによって、被測定ガス中の酸素濃度を検知することができる。
【００２３】
ハウジング３０は、略筒状に形成されたハウジング基体３００からなり、その基端側にはボス部３０４が形成され、上記一対の信号線１１２、１２２と一対の通電線１３２ａ、１３２ｂ、及び、熱電対ＴＣ（１〜７）の導線部２０（１ａ〜７ａ、１ｂ〜７ｂ）とを収納するケーシングによって覆われている。
ハウジング基体３００の先端側には、センサ素子１０の測定部１０１を覆うカバー体４０、４１が加締め部３０１によって加締め固定されている。
カバー体４０、４１は、有底筒状に形成され、内部に被測定ガスを導入する複数の開口が形成されている。
本実施形態において、カバー体４０、４１は、インナカバー４０とアウタカバー４１との２重筒構造となっている。
ハウジング２０の先端外周にはネジ部３０２が形成され、基端側外周には、六角部３０３が形成され、ネジ部３０２を被測定ガスの流路壁５０に螺結することによって、センサ素子１０の測定部１０１が被測定ガス中に載置されている。
【００２４】
ガスセンサ１の測定部１０１の表面に載置した熱電対ＴＣ（１〜７）によって、表面温度を監視し、被測定ガス中に含まれる水滴が測定部１０１の表面に付着する被水が発生したときの温度変化を速やかに検知できる。
したがって、本発明によれば、ヒータ１３への通電を速やかに停止しして、センサ素子１０の被水割れを防ぐことも可能となり、極めて信頼性の高いガスセンサを実現できる。
また、本発明のガスセンサをカバー体４０、４１の耐被水性評価用センサとして使用することも可能である。
複数対の熱電対ＴＣ（１〜７）の温度変化を監視することによって、被水の方向を特定したり、被水発生の時期的条件を特定したりすることが可能となる。
したがって、さらに耐被水性、応答性に優れたカバー体や、個体電解質体１００の表面に形成する保護層の耐久性向上等に、本発明により得られた被水の方向や被水の発生時期的条件についての情報を役立てることも可能となる。
【００２５】
図２、３を参照して、本発明の要部であるガスセンサ測定部への熱電対ＴＣの載置方法について説明する。図２は、本発明の第１の実施形態におけるガスセンサ１の測定部１０１表面に設けた２対の熱電対ＴＣ（１）、ＴＣ（２）の載置方法を示し、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、断面図である。図３は、本発明で除外する、ガスセンサ１の測定部１０１表面への熱電対の載置方法において望ましくない態様を示し、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、断面図である。
【００２６】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、熱電対ＴＣ（１）、ＴＣ（２）は、導線部２０（１ａ、１ｂ）、２０（２ａ、２Ｂ）と接合点２０１（１）、（２）とからなり、保護層２（１）、２（２）によって、測定部１０１の表面に固着されている。
保護層２（１）、２（２）は、例えば、無機バインダーと耐熱性セラミックとを含む絶縁性の熱硬化性接着剤によって形成することができる。
この時、測定部１０１の表面に形成された測定用電極１２０の一部を研削除去すれば、測定用電極１２０と熱電対ＴＣ（１）、ＴＣ（２）との絶縁性の確保と熱電対ＴＣ（１）、ＴＣ（２）の測定部１０１表面への固着とが容易にできる。
【００２７】
１つの接合点２０１（１）と他の接合点２０１（２）とは、測定部１０１の軸方向には軸方向間隙ＬＶだけ離隔され、外周方向には周方向間隙ＬＨだけ離隔された状態で載置されている。
また、複数の接合点２０１（１）、ＴＣ（２）間の距離ＬＤは、それぞれの検出範囲ＡＲ（１）、ＡＲ（２）が重なり得る範囲とすることによって、測定精度をより高くすることができる。しかし、適用するセンサ素子１０の測定部１０１の表面積が大きくなれば、それだけ必要となる熱電対の数が増えるので、要求する検出精度、測定目的に応じて適宜変更可能である。
このように、センサ素子１０の測定部１０１表面に熱電対ＴＣ（１）、ＴＣ（２）が所定の間隙を設けて配設されていると、接合点２０１（１）、２０１（２）に対してどの方向から水滴が侵入しても、接合点２０１（１）、２０１（２）の周囲における所定の範囲ＡＲ（１）、ＡＲ（２）内であれば、被水による熱変化を正確に検知できる。
本実施形態において、熱電対ＴＣ（１）、ＴＣ（２）は、例えば、クロメル−アルメル、クロメル−コンスタンタン、ロジウム白金−白金、イリジウム−ロジウム・イリジウム等が用いることができる。
本実施形態において、導線部２０（１ａ、１ｂ）２０（２ａ、２ｂ）の外径は、それぞれ、φ０．０９ｍｍのものが用いられ、保護層２（１）２、（２）の幅は、それぞれ、０．５ｍｍに形成されている。
また、接合点２０１（１）と接合点２０１（２）とは、軸方向間隙Ｌｖが５ｍｍ、周方向間隙ＬＨが５ｍｍとなるように形成されている。
なお、本実施形態において、熱電対ＴＣ（１）、ＴＣ（２）によって、被水検出が可能な範囲ＡＲ（１）、ＡＲ（２）は、φ６ｍｍ程度の範囲であることが判明した。
【００２８】
一方、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、１つの熱電対ＴＣ（２ｚ）の接合点２０１（２ｚ）と他の熱電対ＴＣ（１ｚ）の保護層２（１ｚ）とが隣接するように載置されていると、被水の方向によっては、他の熱電対ＴＣ（１ｚ）の保護層２（１ｚ）が立体的障壁となり、正確な温度変化の検出が困難となり、感度低下領域が生じる虞がある。
【００２９】
図４、図５に、本発明の第１の実施形態におけるガスセンサの変形例を示し、センサ素子１０の測定部１０１を円筒と見立て、これを展開した模式図で表してある。
図４（ａ）に示す測定部１０１（ａ）では、６対の熱電対ＴＣ（１〜６）の検出範囲ＡＲ（１〜６）が測定部１０１（ａ）の先端側の半分程度を覆うように、その接合点２０１（１〜６）を均等な間隔で、軸方向の位置を交互に上下せしめて千鳥に配設し、センサ素子底部１０２の中心に、１つの熱電対ＴＣ（７）の接合点２０１（７）を配設してある。
このような、構成とすることによって、測定部１０１（ａ）の先端側半部の表面温度を極めて正確に検出することが可能となる。
【００３０】
また、図４（ｂ）に示す測定部１０１（ｂ）では、６対の熱電対ＴＣ（１〜６）の検出範囲ＡＲ（１〜６）が、測定部１０１（ｂ）の側面の３分の２程度を覆うように、接合点２０１（１〜６）を、それぞれの検出範囲ＡＲ（1〜６）が重ならないように配設し、センサ素子底部１０２の中心に、１つの熱電対ＴＣ（７）の接合点２０１（７）を配設してある。このような、構成とすることによって、測定精度は下がるが、測定部１０１（ｂ）の全体的な被水状況を大まかに把握することができる。
【００３１】
図５（ａ）に示すように、測定部１０１（ｃ）では、３対の熱電対ＴＣ（１、３、５）を測定部１０１（Ｃ）と底部１０２との境界となる下端外周縁に接合点２０１（１、３、５）が等間隔に並ぶように配設し、３対の熱電対ＴＣ（２、４、６）の各測定範囲ＡＲ（２、４、６）と熱電対ＴＣ（１、３、５）の測定範囲ＡＲ（１、３、５）とが均等に重なり合うように、接合点２０１（２、４、６）を側面に等間隔で配設してある。このような構成とすることによって、測定部１０１（ｃ）の底部１０２を含む先端側部分の表面温度を、底部１０２に熱電対を設けることなく、より正確に測定することも可能となる。
【００３２】
図５（ｂ）に示すように、測定部１０１（ｄ）では、６対の熱電対ＴＣ（１〜６）を、６対の熱電対ＴＣ（１〜６）の検出範囲ＡＲ（１〜６）が測定部１０１（ａ）の中心部分を覆うように、その接合点２０１（１〜６）を均等な間隔で軸方向の位置を交互に上下せしめて千鳥に配設してある。このような構成とすることによって、測定部１０１（ｄ）の側面中心部分の被水状況を正確に検知することも可能となる。
【００３３】
図４、５に示すように、熱電対の配設位置を変更することによって、被水方向の違いに対応したガスセンサの実現が可能となる。
また、複数対の熱電対からの温度情報により、被水の発生した方向をより正確に特定することも可能となり、さらに応答性、耐被水性に優れたガスセンサの開発に役立てることもできる。
【００３４】
図６を参照して、本発明の第１の実施形態におけるガスセンサに用いることのできる被水判定方法並びに被水と判断した場合のガスセンサの制御例について説明する。
本実施形態において、図６に例示するようなフローチャートに従って、ガスセンサ１への被水の有無を判定し、被水時には、ヒータ１３への通電を速やかに停止し、ガスセンサ１の被水割れを未然に防ぐことも可能となる。
なお、本実施形態において、以下のフローチャートに示した被水判定制御と同時に、測定電極と基準電極との起電力差を監視して被測定ガス中の特定ガス成分濃度の検出制御を行うことができる。
ステップＳ１００で、ガスセンサ１の測定が開始されると、スタート直後の被水割れを抑制すべく、ステップＳ１０１、Ｓ１０２に従って、例えばタイマにより所定の時間が経過するまで発熱体１３０への通電が待機される。所定時間経過後、Ｓ１０３にて機関の停止判定がなされ、機関が停止していなければ、Ｓ１０４にて、発熱体１３０への通電が開始される。Ｓ１０５にて、センサ素子１０の測定部１０１表面の温度が熱電対ＴＣ（１〜ｎ）によって測定され、Ｓ１０６にて、任意の熱電対ＴＣ（ｉ）の測定温度Ｔｅｍｐ(ｉ)が所定の閾値より低い場合には、Ｓ１０７にて、被水と判断し、Ｓ１０１に戻り速やかに発熱体１３０への通電が停止される。
Ｓ１０６にて、任意の熱電対ＴＣ（ｉ）の測定温度Ｔｅｍｐ（ｉ）が所定の閾値以上であれば、Ｓ１０４にて発熱体１３０への通電を維持し、Ｓ１０５にてセンサ素子１０の測定部１０１表面の温度監視を継続する。
Ｓ１０３にて機関が停止と判断されればＳ１０８にて終了となる。
なお、上記実施形態においては、任意の熱電対ＴＣ（ｉ）による測定温度Ｔｅｍｐ（ｉ）と所定の閾値との比較によって被水の有無を判定したが、複数対の熱電対同士を比較して、その温度差を監視することによって被水の有無を判定しても良いし、任意の熱電対ＴＣ（ｉ）による測定温度Ｔｅｍｐ（ｉ）の温度変化の時間微分を計測することによって急激な温度変化を監視し、被水の有無を判定する構成としても良い。
【００３５】
本発明は上記実施形態に限定するものではなく、センサ素子の測定部表面に複数対の熱電対を載置し、測定部表面温度を監視することによって、センサ素子表面への被水発生の有無を速やかに検出する本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて各種変更可能である。
例えば、上記実施形態においてセンサ素子として、いわゆるコップ型のガス濃度検出素子を用いた場合について説明したが、コップ型に限定するものではなく、積層型のガス濃度検出素子であっても良い。
上記実施形態において、カバー体４０、４１は２重筒構造のものを示したが、素子カバー体の構造は特に限定されるものではなく、使用条件等により適宜変更可能であり、本発明は、かかるカバー体の最適な構造を見いだすべく、カバー体を種々取り換えて評価することも可能である。
さらに、本発明の適用される内燃機関においては、ガソリン、ディーゼル、液化天然ガス等の燃料の種類を限定するものではなく、また、吸気管噴射、筒内噴射等の噴射方式を限定するものでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるガスセンサの概要を示す縦断面図。
【図２】は、本発明の第１の実施形態におけるガスセンサの測定部表面に設けた２対の熱電対の載置方法を示し、（ａ）は、平面図、（ｂ）は断面図。
【図３】は、本発明で除外する、ガスセンサの測定部表面への熱電対の載置方法において望ましくない態様を示し、（ａ）は、平面図、（ｂ）は断面図。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１の実施形態におけるガスセンサの変形例を示す要部模式図。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１の実施形態におけるガスセンサの変形例を示す要部模式図。
【図６】本発明の第１の実施形態におけるガスセンサに用いられる被水判定方法の例として示すフローチャート図。
【符号の説明】
【００３７】
１  ガスセンサ
１０  センサ素子
１０１  測定部
ＴＣ（１、２・・・）  熱電対
２（１、２・・・）  保護層
２０（１ａ、１ｂ、２ａ、２ｂ・・・）  導線部
２０１（１、２・・・）  接合点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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