(57)【要約】【課題】  恒温槽に収容される複数の電子部品の、気体の循環方向における温度のばらつきを抑制することができるエージング装置を提供する。【解決手段】  恒温槽２と、恒温槽２内の気体を循環させ、恒温槽２内の気体の温度を調整する温度調整部３と、恒温槽２に収容され、気体が循環する方向に沿って複数の被試験体５を配列した状態で、通電可能に各被試験体５を保持する保持部４とを含み、保持部４は、気体が循環する方向に沿って配列される複数の被試験体５の温度分布を調整する調整機構を有する。【選択図】      図１
2009300122.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験体の雰囲気の温度を調整して被試験体の信頼性の評価および選別に用いられるエージング装置であって、
恒温槽と、
前記恒温槽内の気体を循環させ、恒温槽内の気体の温度を調整する温度調整部と、
前記恒温槽に収容され、前記気体が循環する方向に沿って複数の被試験体を配列した状態で、通電可能に各被試験体を保持する保持部とを含み、
前記保持部は、前記気体が循環する方向に沿って配列される複数の被試験体の温度分布を調整する調整機構を有することを特徴とするエージング装置。
【請求項２】
前記保持部は、
被試験体を個別に保持し、放熱フィンを備える複数の放熱ブロックと、
複数の前記放熱ブロックを支持するベースブロックとを含み、
前記気体が循環する方向の下流側における前記放熱ブロックが備える前記放熱フィンの大きさは、上流側における前記放熱ブロックが備える前記放熱フィンの大きさよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のエージング装置。
【請求項３】
前記保持部は、
被試験体を個別に保持する複数の放熱ブロックと、
複数の前記放熱ブロックを支持するベースブロックとを含み、
気体が循環する方向の下流側における前記放熱ブロックの大きさは、上流側における前記放熱ブロックの大きさよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のエージング装置。
【請求項４】
前記保持部は、
被試験体を個別に保持し、放熱フィンを備える複数の放熱ブロックと、
複数の前記放熱ブロックを支持するベースブロックとを含み、
気体が循環する方向の下流側における前記放熱ブロックが備える前記放熱フィンの数は、上流側における前記放熱ブロックが備える前記放熱フィンの数よりも多いことを特徴とする請求項１に記載のエージング装置。
【請求項５】
前記放熱ブロックは、放熱フィンを備える１または複数のブロック体と、前記ブロック体を支持するブロック基部とを組み合わせて構成されることを特徴とする請求項４に記載のエージング装置。
【請求項６】
前記保持部は、
被試験体を個別に保持する複数の放熱ブロックと、
複数の前記放熱ブロックを支持するベースブロックとを含み、
気体が循環する方向の下流側における前記放熱ブロックの熱伝導率は、上流側における前記放熱ブロックの熱伝導率よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のエージング装置。
【請求項７】
前記各放熱ブロックの熱伝導率は、前記各放熱ブロックの材質の相違に応じて変化させることを特徴とする請求項６に記載のエージング装置。
【請求項８】
前記保持部は、
被試験体を個別に保持する複数の放熱ブロックと、
複数の前記放熱ブロックを支持するベースブロックとを含み、
前記ベースブロックは、気体が循環する方向の上流側から下流側に向かうに連れて、気体の流路の断面積が徐々に小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載のエージング装置。
【請求項９】
被試験体を前記放熱ブロックに弾発的に押圧する押圧部を有し、
前記押圧部は、複数の放熱フィンを備えることを特徴とする請求項２〜８のいずれか１つに記載のエージング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品などの被試験体のスクリーニングに用いられるエージング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器に用いられる電子デバイスの信頼性を確保するために、高温雰囲気下で、かつ高電圧を印加してスクリーニングが行われる。スクリーニングでは、電子デバイスを恒温槽に収容し、予め定める温度で動作させてバーンインを実施する。電子デバイスを動作させると、動作に伴って電子デバイスから熱が発生するので、電子デバイスは放熱性の高い治工具を用いて、必要以上に自己発熱しないように工夫されている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３３７８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
たとえば電子デバイスが発光素子の場合では、光出力が大きくなるにつれて自己発熱も大きくなってしまう。またスクリーニングの効率化を図るためには、恒温槽に同時に多くの電子デバイスを収容して、スクリーニングを行う必要がある。このような場合、低出力の電子デバイスでは程度が小さい電子デバイス自体の発熱による槽内の温度分布も無視できなくなってしまう。恒温槽では、温度調整された気体が槽内を循環するようにし、槽内の気温を一定に保つようにしている。電子デバイスの発熱がなければ、槽内の温度分布を±１℃以下に保持できる機能を持つ恒温槽であっても、電子デバイスの発熱があれば槽内の温度の均一化が非常に困難になるという問題がある。まして、発光素子では高出力になれば成るほど発熱量も大きくなり、槽内の温度分布のばらつきが大きくなってしまう。この場合、複数の電子デバイスを保持する保持部において、特に温度調整された気体の循環方向の上流側の電子デバイスと、下流側の電子デバイスとの温度差が大きくなってしまう。この原因として挙げられるのは、保持部の近傍において、気体の循環方向の上流側から下流側までの気体の流速が一定でなかったり、気体の循環方向の下流側では、上流側に設けられる電子デバイスの発熱によって気体が温度調整された温度以上になったりするためである。特許文献１に記載される発明においても、上述した問題が発生する。
【０００５】
したがって本発明の目的は、恒温槽に収容される複数の電子部品の、気体の循環方向における温度のばらつきを抑制することができるエージング装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、被試験体の雰囲気の温度を調整して被試験体の信頼性の評価および選別に用いられるエージング装置であって、
恒温槽と、
前記恒温槽内の気体を循環させ、恒温槽内の気体の温度を調整する温度調整部と、
前記恒温槽に収容され、前記気体が循環する方向に沿って複数の被試験体を配列した状態で、通電可能に各被試験体を保持する保持部とを含み、
前記保持部は、前記気体が循環する方向に沿って配列される複数の被試験体の温度分布を調整する調整機構を有することを特徴とするエージング装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、保持部が、恒温槽を循環する気体の循環する方向に沿って配列される複数の被試験体を保持し、前記気体が循環する方向に沿って配列される複数の被試験体の温度分布を調整する調整機構を有するので、被試験体の気体の循環方向における温度のばらつきを抑制することができる。したがって、多数の電子部品を恒温槽に収納してスクリーニングを行うときに、気体の循環方向に沿って配列される多数の電子部品における温度のばらつきを抑制することができるので、多数の電子部品をほぼ等しい条件で信頼性の評価および選別を行うことができ、良品として選別された複数の被試験体の品質かつ良品率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１は、本発明の実施の一形態のエージング装置１の構成を模式的に示す図である。図２は、保持部４の基本的な構成を示す斜視図である。図３は、放熱ブロック２３の基本的な構成を示す斜視図であり、図４は放熱ブロック２３の基本的な構成を示す側面図である。なお図３および図４では、放熱ブロック２３に被試験体５を保持させた状態で示している。
【０００９】
エージング装置１は、恒温槽２と、温度調整部３と、保持部４とを含んで構成される。エージング装置１は、被試験体の雰囲気の温度を調整して被試験体５の信頼性の評価および選別に用いられる。被試験体５は、たとえば半導体レーザ素子、ＬＥＤ（Light
Emitting Diode）および集積回路素子などの電子デバイスである。本実施の形態では、被試験体５は、円柱形状で金属から成るステム５ａと、ステム５ａの厚み方向の一表面上に設けられ、ステム５ａに搭載される半導体レーザチップを覆い、合成樹脂から成るキャップ５ｂと、前記半導体レーザチップに電気的に接続され、ステム５ａから該ステム５ａの厚み方向の他表面側に突出するリードとを備えて構成される。
【００１０】
恒温槽２は、収容空間１１を形成し、収容空間１１と外部空間と断熱する。恒温槽２は図示しない開口扉を有する。前記開口扉を開放することによって、収容空間１１と外部空間とを連通させて、収容空間１１に被試験体５を保持部４に保持させた状態で搬入したり、収容空間１１から被試験体５を保持部４に保持させた状態で搬出したりすることができる。
【００１１】
温度調整部３は、恒温槽２内、すなわち収容空間１１の気体を対流させて、循環するように気体を加熱または冷却し、収容空間１１における気体の温度を調整する。図１に示す仮想線の矢符は、気体が循環する方向を示している。前記気体は、空気である。温度調整部３は、加熱器および冷凍器を備える気温調整器１２と、送風機１３と、気温調整器１２および送風機１３を制御する温度制御器１４とを含んで構成される。気温調整器１２のうち、ヒータは、たとえばハロゲンヒータなどの気体を加熱することができる加熱装置によって実現され、冷凍器は、たとえば室内空気などの気体を取り込み、冷却することができる冷却装置によって実現される。送風機１３は、気温調整器１２に向かって送風し、収容空間１１の気体を循環させる。気温調整器１２に送風された気体が、気温調整器１２によって加熱または冷却されることによって、収容空間１１内の気体が循環する。
【００１２】
温度制御器１４は、収容空間１１の気体が所定の温度になるように、気温調整器１２に電力を供給して気温調整器１２に気体を加熱させたり、気温調整器１２による気体の加熱を停止させたり、気温調整器に気体を冷却させたり、気温調整器１２による気体の冷却を停止させたりするとともに、送風機１３を制御して、エージング試験中に送風機１３に送風させる。
【００１３】
保持部４は、恒温槽２に収容され、気体が循環する方向に沿って複数の被試験体５を配列した状態で保持する。以下保持部４を、エージングカセット４と記載する。エージングカセット４は、通電可能に各被試験体５を保持する。恒温槽２は、複数のエージングカセット４を収容可能に構成される。恒温槽２は、複数のエージングカセット４が装着される装着部２１を備える。装着部２１には、エージングカセット４が所定の間隔をあけて装着される。エージングカセット４には、保持する各被試験体５に電気的に接続される図示しないカセット電気配線部が設けられる。カセット電気配線部は、エージングカセット４の表面部に設けられるカセットコネクタに接続されている。装着部２１には、恒温槽２の外部まで延びて形成される装着電気配線部と、前記カセットコネクタに着脱可能に接続され、前記装着電気配線部に接続される装着コネクタが設けられ、装着部２１にエージングカセット４を装着すると、カセットコネクタと装着コネクタとが接続されて、カセット電気配線部と装着電気配線部とが電気的に接続される。
【００１４】
エージングカセット４は、被試験体５を個別に保持する複数の放熱ブロック２３と、複数の放熱ブロック２３を支持するベースブロック２４とを含む。ベースブロック２４は、板状に形成される。放熱ブロック２３は、略直方体形状に形成され、ベースブロック２４の厚み方向の一表面２５上に、隣接する放熱ブロック２３と相互に間隔をあけて設けられる。放熱ブロック２３は、マトリクス状に配置され、正方形の一表面２５の各辺に沿って配列されている。エージングカセット４を装着部２１に装着したときに、前記正方形の一表面２５の各辺のうち、平行な一対の辺２６ａ，２６ｂは、気体が循環する方向に沿って配置され、すなわち、前記平行な一対の辺２６ａ，２６ｂに沿って配列される各放熱ブロック２３は、気体が循環する方向に沿って配置されている。
【００１５】
放熱ブロック２３には、その内部にカセット電気配線部の一部が設けられ、被試験体５を保持した状態で、電気配線部に被試験体５のリードが接続される。放熱ブロック２３は、ベースブロック２４とは反対側の一表面２６に、被試験体５の外表面を当接させた状態で、被試験体５を保持する。前記一表面２６は平面に形成され、被試験体５のステム５ａの厚み方向の他表面に当接する。放熱ブロック２３には、前記一表面２６の中央部に孔が形成され、この孔にカセット電気配線部の端部が放熱ブロック２３とは電気的に絶縁された状態で設けられている。被試験体５を保持するときには、前記孔に被試験体５のリードを挿入し、リードは、放熱ブロック２３とは接触しないで、放熱ブロック２３と電気的に絶縁された状態で保持される。放熱ブロック２３は、熱伝導率の高い金属から成り、たとえばアルミニウム、銅、またはこれらの金属を含む合金によって形成される。
【００１６】
装着部２１は、エージングカセット４を、前記ベースブロック２４の厚み方向に所定の間隔をあけて並べて保持する。装着部２１には、所定の方向の一方から他方に向かって気体が循環する複数の経路が形成され、この各経路内にエージングカセット４が個別に設けられる。装着部２１に形成される複数の経路の大きさは等しく形成される。
【００１７】
装着部２１に複数のエージングカセット４を保持した状態で、温度調整部３によって基体を循環させると、各エージングカセット４の厚み方向に垂直な所定の方向の一方４Ａから他方４Ｂに向かって、気体が流れる。装着部２１に各エージングカセット４が装着された状態で、各エージングカセット４の所定の方向の一方４Ａには、温度調整部３から送られてくる気体を、各エージングカセット４に導き、各エージングカセット４に沿って流れる気体の風量を調整する風量調整板２７が、各エージングカセット４に対して個別に設けられている。温度調整部３の気温調整器１２および送風機１３は、複数のエージングカセット４が並ぶ方向において、装着部２１の一方に設けられ、気温調整器１２は、複数のエージングカセット４が並ぶ方向において、風量調整板２７の一方に設けられている。風量調整板２７によって、各エージングカセット４に沿って流れる風量が等しくなるように調整される。エージングカセット４の隙間を通過した気体は、装着部２１の循環経路から所定の方向の他方に排出され、送風機１３によって吸引され、また送風機１３によって気温調整器１２に送られる。
【００１８】
図３および図４に示すように、放熱ブロック２３には、放熱ブロック２３が被試験体５を保持した状態で、被試験体５を放熱ブロック２３に押さえつける押圧部３１が設けられる。図３は、押圧部３１を放熱ブロック２３から取り外した状態を示し、図４は、押圧部３１を放熱ブロック２３に取付けた状態を示す。押圧部３１には、平板状に形成され、被試験体５のキャップ５ｂが挿入される貫通孔３２が、厚み方向に貫通している。押圧部３１は、被試験体５のキャップ５ｂを貫通孔３２に挿通させて、被試験体５のステム５ａの厚み方向の一表面に当接する。押圧部３１は、各放熱ブロック２３に対応して個別に設けてもよく、１つのエージングカセット４の複数の放熱ブロック２３に対して、共通に設けてもよい。押圧部３１は、ばね部材を介して装着部２１に設けられ、エージングカセット４の放熱ブロック２３に被試験体５を保持させた状態で、エージングカセット４を装着部２１に装着することによって、弾発的に被試験体５を放熱ブロック２３に押さえつける。これによって被試験体５を放熱ブロック２３に安定して保持することができる。さらに。押圧部３１は、熱伝導率の高い金属から成り、たとえばアルミニウム、銅、またはこれらの金属を含む合金によって形成される。このように押圧部を熱伝導率の高い金属によって形成することで、被試験体５で発生する熱をさらに放熱しやすくすることができる。
【００１９】
装着部２１には、エージングカセット４が装着された状態で、各放熱ブロック２３に対向する位置に、被試験体５を駆動したときに、被試験体５からの受光する受光素子が個別に設けられる。受光素子は、装着電気配線部が接続され、受光素子の受光に応じた信号が外部に取り出される。装着電気配線部は、被試験体５を駆動する駆動部と、被試験体５に流れる電流を個別に測定可能な第１測定部と、受光素子から出力される電流を個別に測定可能な第２測定部とに、それぞれ接続される。駆動部は、第１測定部および第２測定部の測定結果に応じて被試験体５を駆動し、駆動電流を一定に保ったときの光出力の変動を評価するＡＣＣ（Automatic Current Control）試験、および、光出力を一定に保つために必要となる駆動電流の変動を評価するＡＰＣ（Automatic Power Control）試験とのいずれかを選択的に行うことができる。第１測定部および第２測定部の測定結果は、外部の表示部に表示したり、記憶部に記憶させたりして、予め定める条件と比較される。
【００２０】
このようなＡＣＣ試験、ＡＰＣ試験を行う場合では、被試験体５の直近に受光素子が配置する必要があるので、被試験体５と発光素子との間で、気体が通過する隙間を十分に空けられない。さらに被試験体５であるデバイスの高出力化に伴い、デバイスからの発熱が大きくなると、熱が被試験体に蓄積してしまい、所望の試験条件で試験を行うことが困難になってしまう。
【００２１】
そこで保持部４は、気体が循環する方向に沿って配列される複数の被試験体５の温度分布を調整する調整機構を有する。温度調整機構は、エージングカセット４に沿って気体が流れるときに、気体が移動する方向の下流側で流速が落ちにくくしている。保持部４は、循環経路の断面積が、気体が移動する方向の上流側から下流側に向かうに徐々に小さくなるように形成されている。
【００２２】
図５は、保持部４の構成を具体的に示す斜視図である。図５では、図面の理解を容易にするために、放熱ブロック２３の一部を省略して記載している。本実施の形態では、前記温度調整機構が、ベースブロック２４によって実現される。
【００２３】
ベースブロック２４には、所定の方向に並ぶ放熱ブロック２３から成る群の間に、所定の方向に延びる溝３７が形成される。ベースブロック２４の厚み方向の一表面２５において、溝３７の底面３８は、放熱ブロック２３が設けられる平面３９に対して勾配を有する。すなわち、溝３７は、ベースブロック２４の所定の方向の一方２４Ａから他方２４Ｂに向かって、徐々に浅くなるように形成されている。これによって、所定の方向の一方２４Ａから他方２４Ｂに向かうにつれて、流路断面積が狭くなるので、所定の方向の一方２４Ａから他方２４Ｂに流れる気体の流速の低下を抑制することができ、所定の方向の他方２４Ｂ寄りに配置される各放熱ブロック２３においても、所定の方向の他方２４Ｂ寄りに配置される各放熱ブロック２３と同等の放熱効果を付与することができる。
【００２４】
したがって、多数の被試験体５を恒温槽２に収納してスクリーニングを行うときに、気体の循環方向に沿って配列される多数の被試験体５における温度のばらつきを抑制することができるので、多数の被試験体５をほぼ等しい条件で信頼性の評価および選別を行うことができ、すなわち装置要因による被試験体５の特性不良を除去することができ、良品として選別された複数の被試験体５の品質かつ良品率を向上させることができる。
【００２５】
前述の実施の形態では、温度調整機構がベースブロック２４によって実現されているが、温度調整機構は、複数の放熱ブロック２３によって構成されてもよい。図６は、本発明の実施の他の形態のエージング装置における放熱ブロック２３の構成を示す側面図である。図６（１）は、所定の方向の一方側に設けられる放熱ブロック２３Ａを示し、図６（２）は、放熱ブロック２３Ａよりも、所定の方向の他方に設けられる放熱ブロック２３Ｂを示し、図６（３）は、放熱ブロック２３Ｂよりも、所定の方向の他方に設けられる放熱ブロック２３Ｃを示す。なお図６では、放熱ブロック２３Ａ〜２３Ｃにそれぞれ被試験体５を保持させた状態を示している。本実施の形態のエージング装置と、前述の図５に示す実施の形態のエージング装置１とは、保持部４の形状のみが異なり、他の構成は同様であるので、同様の構成には同様の参照符号を付して、その説明を省略し、異なる部分について説明する。
【００２６】
本実施の形態おけるベースブロック２４は直方体形状に形成され、その厚み方向の一表面２４ａは、平面に形成されている。
【００２７】
また本実施の形態における各放熱ブロック２３は、１または複数の放熱フィン４１を備えて構成される。各放熱ブロック２３は、それぞれ同数の放熱フィン４１を備えている。放熱ブロック２３は、ベースブロック２４の一表面２４ａに設けられる基部５１と、基部５１からベースブロック２４の厚み方向の一方に立設する立設部５２とを有している。放熱フィン４１は、環状に形成されて立設部５２に設けられ、ベースブロック２４の一表面２４ａに沿って立設部５２の側面から外方に突出する。基部５１、立設部５２および放熱フィン４１の外形は、ベースブロック２４の厚み方向から見た形状が、四角形状などの正多角形状であってもよく、また円形状であってもよい。放熱フィン４１は、ベースブロック２４の厚み方向に所定の間隔をあけて設けられる。立設部５２の基部５１とは反対側の一表面５３に、被試験体５の外表面を当接させた状態で、被試験体５を保持する。
【００２８】
所定の方向で相互に隣接する放熱ブロック２３において、所定の方向の一方の放熱ブロック２３の放熱フィン４１の大きさが、所定の方向の他方の放熱ブロック２３の放熱フィン４１の大きさよりも大きくなるように形成される。すなわち、所定の方向で相互に隣接する放熱ブロック２３では、放熱フィン４１の表面積が異なる。すなわち図６（１）〜（３）に示すように、所定の方向の一方に向かうにつれて、放熱ブロック２３の放熱フィン４１の大きさが大きくなる。
【００２９】
特に高出力の被試験体５のエージング試験では、所定の方向の一方および他方、すなわち循環経路において気体が循環する方向の上流側と下流側とでは、エージングカセット４に沿って流れる気体によって、同等な放熱性は得られにくいが、前述のように放熱フィン４１の大きさを変えることによって、所定の方向の一方２４Ａから他方２４Ｂに向かうにつれて、流路断面積が狭くするとともに、環経路において気体が循環する方向の下流側における放熱性を向上させて、多数の被試験体５を恒温槽２に収納してスクリーニングを行うときに、前述した実施の形態よりもさらに、気体の循環方向に沿って配列される多数の被試験体５における温度のばらつきを抑制して、より均一な面内特性分布が得られる。したがって、高出力の被試験体５の試験を行う場合に、前述の実施の形態よりも好適に用いることができる。
【００３０】
図７は、本発明の実施のさらに他の形態のエージング装置における放熱ブロック２３の構成を示す側面図である。図７（１）は、所定の方向の一方側に設けられる放熱ブロック２３Ａを示し、図７（２）は、放熱ブロック２３Ａよりも、所定の方向の他方に設けられる放熱ブロック２３Ｂを示し、図７（３）は、放熱ブロック２３Ｂよりも、所定の方向の他方に設けられる放熱ブロック２３Ｃを示す。なお図７では、放熱ブロック２３Ａ〜２３Ｃにそれぞれ被試験体５を保持させた状態を示している。本実施の形態のエージング装置と、前述の図５に示す実施の形態のエージング装置１とは、保持部４の形状のみが異なり、他の構成は同様であるので、同様の構成には同様の参照符号を付して、その説明を省略し、異なる部分について説明する。
【００３１】
本実施の形態おけるベースブロック２４は直方体形状に形成され、その厚み方向の一表面２４ａは、平面に形成されている。
【００３２】
また本実施の形態における各放熱ブロック２３は、略直方体形状に形成される。放熱ブロック２３は、厚み方向から見た形状が、四角形状などの正多角形状であってもよく、また円形状であってもよい。所定の方向で相互に隣接する放熱ブロック２３において、所定の方向の一方の放熱ブロック２３の大きさ、表面積が、所定の方向の他方の放熱ブロック２３の表面積よりも大きくなるように形成される。すなわち図７（１）〜（３）に示すように、所定の方向の一方に向かうにつれて、放熱ブロック２３の大きさが大きくなる。このような構成であっても、前述した実施の形態と同様の効果を達成することができる。
【００３３】
図８は、本発明の実施のさらに他の形態のエージング装置における放熱ブロック２３の構成を示す側面図である。図８（１）は、所定の方向の一方側に設けられる放熱ブロック２３Ａを示し、図８（２）は、放熱ブロック２３Ａよりも、所定の方向の他方に設けられる放熱ブロック２３Ｂを示し、図８（３）は、放熱ブロック２３Ｂよりも、所定の方向の他方に設けられる放熱ブロック２３Ｃを示す。なお図７では、放熱ブロック２３Ａ〜２３Ｃにそれぞれ被試験体５を保持させた状態を示している。本実施の形態のエージング装置と、前述の図５に示す実施の形態のエージング装置１とは、保持部４の形状のみが異なり、他の構成は同様であるので、同様の構成には同様の参照符号を付して、その説明を省略し、異なる部分について説明する。
【００３４】
また本実施の形態における各放熱ブロック２３は、１または複数の放熱フィン４１を備えて構成される。放熱ブロック２３は、ベースブロック２４の一表面２４ａに設けられる基部５１と、基部５１からベースブロック２４の厚み方向の一方に立設する立設部５２とを有している。放熱フィン４１は、環状に形成されて立設部５２に設けられ、ベースブロック２４の一表面２４ａに沿って立設部５２の側面から外方に突出する。各放熱ブロック２３における１つの放熱フィン４１の大きさは等しい。基部５１、立設部５２および放熱フィン４１の外形は、ベースブロック２４の厚み方向から見た形状が、四角形状などの正多角形状であってもよく、また円形状であってもよい。放熱フィン４１は、ベースブロック２４の厚み方向に所定の間隔をあけて設けられる。立設部５２の基部５１とは反対側の一表面５３に、被試験体５の外表面を当接させた状態で、被試験体５を保持する。
【００３５】
所定の方向で相互に隣接する放熱ブロック２３において、所定の方向の一方の放熱ブロック２３の放熱フィン４１の数が、所定の方向の他方の放熱ブロック２３の放熱フィン４１の数よりも大きくなるように形成される。すなわち、所定の方向で相互に隣接する放熱ブロック２３では、放熱ブロック２３が有する放熱フィン４１の表面積が異なる。すなわち図８（１）〜（３）に示すように、所定の方向の一方に向かうにつれて、放熱ブロック２３の放熱フィン４１の枚数が大きくなる。このような構成であっても、前述した実施の形態と同様の効果を達成することができる。
【００３６】
図９は、前述した図８に示す実施の形態の放熱ブロック２３を分解して示す図である。図９（１）は、放熱ブロック２３Ａを分解して示し、図９（２）は、放熱ブロック２３Ｂを分解して示し、図９（３）は、放熱ブロック２３Ｃを分解して示す。放熱ブロック２３は、放熱フィン４１を備える１または複数のブロック体５５と、ブロック体５５を支持するブロック基部である基部５１とを組み合わせて構成される。ブロック体５５は、例えば、所定の方向の長さが異なる第１〜第３ブロック体５５ａ，５５ｂ，５５ｃを有する。各ブロック体５５ａ，５５ｂ，５５ｃは、筒形状のブロック本体５６ａ，５６ｂ，５６ｃと、各ブロックに１つの放熱フィン４１とを備える。各ブロック本体５６ａ，５６ｂ，５６ｃの、所定の方向の一端部に放熱フィン４１が設けられる。各ブロック本体の長さは自由に設計でき、それぞれのブロック本体５６ａ，５６ｂ，５６ｃの放熱フィン４１が設けられる端部とは反対側の端部が、別のブロック本体５６ａ，５６ｂ，５６ｃの放熱フィン４１が設けられる端部と連結できるような形状としている。
【００３７】
基部５１は、ベースブロック２４とは反対側の一表面部に、各ブロック本体５６ａ，５６ｂ，５６ｃの放熱フィン４１が設けられる端部とは反対側の端部を挿入可能に設けられる。またブロック本体５６ａの放熱フィン４１が設けられる一端部には、被試験体５に当接可能な当接面が設けられている。
【００３８】
以上のように基部５１と、１または複数のブロック体５５とを組み合わせることによって、放熱フィン４１の枚数の異なる放熱ブロック２３を容易に構成することができ、各放熱ブロック２３における放熱フィン４１の表面積を容易に調整することができる。したがって、被試験体５の特性に合わせて、放熱フィン４１の枚数を調整することができるので、汎用性が高いエージング装置を実現することができる。
【００３９】
図１０は、押圧部３１の他の構成を示す斜視図であり、図１１は図１０の切断面腺ＸＩ−ＸＩから見た断面図である。前述の実施の形態では、押圧部３１は平板状であるが、押圧部３１に１または複数の放熱フィン６３を形成してもよい。放熱フィン６３を形成することによって、押圧部３１の表面積が拡がって、放熱しやすくすることができる。放熱フィン６３は、押圧部３１の被試験体５に当接する側とは反対の表面部に形成される。また放熱フィン６３の延びる方向は、所定の方向に平行であり、これによって、放熱フィン６３に挟まれる空間にも気体が流れて、より放熱しやすくすることができる。
【００４０】
所定の方向に相互に隣接する押圧部３１について、所定の方向の他方の押圧部３１の放熱フィン６３の大きさを、所定の方向の一方の押圧部３１の放熱フィン６３の大きさよりも大きくして、所定の方向の他方の押圧部３１の表面積を、所定の方向の一方の押圧部３１の表面積よりも大きくしてもよい。また所定の方向に相互に隣接する押圧部３１について、所定の方向の他方の押圧部３１の放熱フィン６３の数を、所定の方向の一方の押圧部３１の放熱フィン６３の数よりも多くして、所定の方向の他方の押圧部３１の表面積を、所定の方向の一方の押圧部３１の表面積よりも大きくしてもよい。
【００４１】
また本発明の他の実施の形態では、ベースブロック２４を平板状に形成し、さらにベースブロック２４に設けられる各放熱ブロック２３の大きさを等しく形成し、所定の方向で相互に隣接する放熱ブロック２３において、所定の方向の他方の放熱ブロック２３の熱伝導率が、所定の方向の一方の放熱ブロック２３の熱伝導率よりも大きくなるように形成してもよい。このような構成であっても、前述した実施の形態と同様の効果を達成することができる。熱伝導率は、放熱ブロック２３を形成する材質の相違に応じて変えることができる。このような放熱ブロック２３は、たとえば合金を用いて、含まれる金属の割合を変更することによって、実現することができる。このように熱伝導率を異ならせる場合には、放熱ブロック２３の形状を異ならせる必要がないので、放熱ブロック２３の成形が容易となる。
【００４２】
また前述の実施の形態において、所定の方向およびベースブロック２４の厚み方向に相互に垂直な方向に配列される放熱ブロック２３について、放熱フィン４１の数を変えたり、放熱ブロック２３の大きさを変えたり、放熱ブロック２３の熱伝導率を変えたりして、２次元の各方向における温度のばらつきを抑制してもよく、この場合には、より均一な面内特性分布が得られる。また前述の各実施の形態の形態は、相互に組み合わせることができ、たとえば所定の方向に配列される放熱ブロック２３において、表面積および熱伝導率の両者を変更するように、放熱ブロック２３の形状および材質を変化させる構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の一形態のエージング装置１の構成を模式的に示す図である。
【図２】保持部４の基本的な構成を示す斜視図である。
【図３】放熱ブロック２３の基本的な構成を示す斜視図である。
【図４】放熱ブロック２３の基本的な構成を示す側面図である。
【図５】保持部４の構成を具体的に示す斜視図である。
【図６】本発明の実施の他の形態のエージング装置における放熱ブロック２３の構成を示す側面図である。
【図７】本発明の実施のさらに他の形態のエージング装置における放熱ブロック２３の構成を示す側面図である。
【図８】本発明の実施のさらに他の形態のエージング装置における放熱ブロック２３の構成を示す側面図である。
【図９】前述した図８に示す実施の形態の放熱ブロック２３を分解して示す図である。
【図１０】押圧部３１の他の構成を示す斜視図である。
【図１１】図１０の切断面腺ＸＩ−ＸＩから見た断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１      エージング装置
２      恒温槽
３      温度調整部
４      保持部
５      被試験体
１１    収容空間
１２    気温調整器
１３    送風機
１４    温度制御器
２３    放熱ブロック
２４    ベースブロック
３１    押圧部
３７    溝
４１，６３    放熱フィン
５５    ブロック体
【図１】
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【図２】
2009300122.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009300122.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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