(57)【要約】  少なくとも片面に回路パターン(2)が形成された可撓性フィルム基板(1)を複数連結して長尺フィルム回路基板(1d)とする際に、可撓性フィルム基板の対向する一対の端部に搬送用スペース(4)を設け、該搬送用スペースの少なくとも一部を該可撓性フィルム基板の搬送方向に平行な方向に突出(15)させ、その突出させた搬送用スペースを隣接する可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせて固定する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも片面に回路パターンが形成された可撓性フィルム基板を複数連結した長尺フィルム回路基板であって、可撓性フィルム基板の対向する一対の端部に搬送用スペースを有し、該搬送用スペースの少なくとも一部が該可撓性フィルム基板の搬送方向に平行な方向に突出し、突出した搬送用スペースが隣接する可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせられて固定されている長尺フィルム回路基板。
【請求項２】
前記可撓性フィルム基板の搬送方向端部が、前記搬送方向に直交する方向の全幅で重ね合わせられて固定されている、請求項１に記載の長尺フィルム回路基板。
【請求項３】
前記可撓性フィルム基板の搬送方向端部は、前記搬送用スペースを除き、前記搬送方向に平行な方向に１ｍｍ以下の長さで隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせられている、請求項２に記載の長尺フィルム回路基板。
【請求項４】
前記突出した搬送用スペースが、前記搬送方向に平行な方向に１．５〜３０ｍｍの長さで隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせられている、請求項１〜３のいずれかに記載の長尺フィルム回路基板。
【請求項５】
重ね合わせられた前記可撓性フィルム基板の間に接着層が設けられている、請求項１〜４のいずれかに記載の長尺フィルム回路基板。
【請求項６】
前記可撓性フィルム基板の上に回路パターンの保護層が形成されており、該保護層と前記接着層とが同一組成である、請求項５に記載の長尺フィルム回路基板。
【請求項７】
複数の可撓性フィルム基板を剥離可能な有機物層を介して支持板の上に固定する工程と、該複数の可撓性フィルム基板を互いに繋ぎ合わせる工程と、繋ぎ合わされた該可撓性フィルム基板を支持板から剥離する工程とを含む長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項８】
対向する一対の端部に搬送用スペースを設けた可撓性フィルム基板を用い、該搬送用スペースの少なくとも一部を可撓性フィルム基板の搬送方向に平行な方向に突出させ、該突出した搬送用スペースを隣接する可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせて複数の可撓性フィルム基板を互いに繋ぎ合わせる、請求項７に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項９】
前記突出した搬送用スペースを前記搬送方向に平行な方向に１．５〜３０ｍｍの長さで隣接する可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせる、請求項８に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項１０】
前記可撓性フィルム基板の搬送方向端部を、前記搬送方向に直交する方向の全幅で隣接する可撓性フィルム基板に重ね合わせる、請求項７〜９のいずれか記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項１１】
前記可撓性フィルム基板の搬送方向端部を、前記搬送用スペースを除き、前記搬送方向に平行な方向に１ｍｍ以下の長さで隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせる、請求項１０に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項１２】
前記複数の可撓性フィルム基板の重ね合わせた部分を樹脂で接着固定して繋ぎ合わせる、請求項７〜１１のいずれかに記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項１３】
前記樹脂をガラス転移点以上の温度で加熱することで前記複数の可撓性フィルム基板を接着固定する、請求項１２に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項１４】
少なくとも片面に回路パターンが形成されている可撓性フィルム基板を用いる、請求項７〜１３のいずれかに記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項１５】
前記回路パターンの保護層を形成する工程を含み、該保護層を形成する工程にて、隣接する可撓性フィルム基板が重ね合わせられる部分に該保護層と同一組成の樹脂による接着層を形成する、請求項１４に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項１６】
前記回路パターンに電子部品を接続し、その後、繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を支持板から剥離する、請求項１４または１５に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。
【請求項１７】
一方の可撓性フィルム基板を、剥離可能な有機物層によって支持板の上に固定された他方の可撓性フィルム基板に繋ぎ合わせる接続手段と、繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を巻き取る巻取手段とを備えている長尺フィルム回路基板の製造装置。
【請求項１８】
複数の可撓性フィルム基板が貼り付けられた支持板を搬送する搬送手段と、該支持板から前記一方の可撓性フィルム基板を剥離する剥離手段とを備えている、請求項１７に記載の長尺フィルム回路基板の製造装置。
【請求項１９】
前記接続手段は、前記一方の可撓性フィルム基板を樹脂を介して支持板上の前記他方の可撓性フィルム基板に重ね合わせる重ね合わせ手段と、重ね合わせられた可撓性フィルム基板を該樹脂のガラス転移点以上の温度で加熱するとともに加圧する加熱加圧手段とを備えている、請求項１７に記載の長尺フィルム回路基板の製造装置。
【請求項２０】
前記加熱加圧手段は、可撓性フィルム基板の搬送用スペースを加熱加圧する部分を除き、可撓性フィルムの搬送方向に１ｍｍ以下の長さを有する加熱加圧ヘッドを備えている、請求項１９に記載の長尺フィルム回路基板製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、高精度な回路パターンを有する回路基板として好適な、可撓性フィルムを用いた長尺フィルム回路基板とその製造方法、製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  エレクトロニクス製品の軽量化、小型化に伴い、プリント回路基板のパターニングの高精度化が求められている。可撓性フィルム基板は、曲げることができるために三次元配線ができ、エレクトロニクス製品の小型化に適していることから需要が拡大している。たとえば、液晶ディスプレイパネルへのＩＣ接続に用いられるＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  ｏｎ  Ｆｌｅｘ）技術では、ポリイミドからなる比較的細幅の長尺フィルム回路基板を加工する。これにより、樹脂基板として最高の微細パターンを得ることができる。しかしながら、微細化の進展に関しては限界に近づきつつある。【０００３】  微細化には、回路パターンを構成するライン幅やライン間のスペース幅で表される指標と、基板上の回路パターンの位置で表される指標がある。ライン幅やスペース幅に関しては、さらに微細化する方策があるが、後者の指標である位置精度は、回路基板とＩＣなどの電子部品を接合する際の電極パッドと回路パターンとの位置合わせに係わり、ＩＣの多ピン化の進展に従い、要求される精度に対応することが厳しくなってきている。【０００４】  近年、可撓性フィルム基板を支持板に貼り合わせて寸法精度を維持することで、非常に微細な回路パターンを形成することが提案されている（特許文献１参照）。この方法によると、可撓性フィルム基板を支持板に貼り合わせて加工を施すことで、加工中の温度、湿度さらには搬送歪みの影響を除くことができる。その結果、低歪みのフィルム回路基板とすることができ、支持板から剥がした後も寸法精度を高く維持することができる。【０００５】  しかしながら、前記提案は、主に枚葉型支持板を用いており、回路パターンが形成された可撓性フィルム基板も枚葉となる。一方、現行のＣＯＦ技術において、電子部品接続、テスト、ＬＣＤパネルとの接続など、回路パターンが形成された可撓性フィルム基板の取り扱いは、枚葉の状態で行う場合もあるものの、長尺フィルム回路基板をリール・ツー・リールで取り扱うケースが多い。よって、前記提案の適用範囲が制限されるという問題がある。そこで、枚葉の可撓性フィルム基板を繋げ長尺フィルム回路基板として適用範囲の拡大を図ることも考えられるが、支持板に貼り合わせられていない状態でたとえば厚さ数十μｍの可撓性フィルム基板を枚葉で扱う場合は、搬送や位置決めが難しいため、つなぎ合わせ工程の自動化が難しく、さらにはその後の長尺フィルム回路基板の加工作業の自動化も困難である。【０００６】  また、長尺フィルム回路基板を取り扱う場合であっても、それを使った回路基板製造装置の連続稼働を図るためには、先行する長尺フィルム回路基板を構成する可撓性フィルム基板末端に、別の長尺フィルム回路基板を構成する可撓性フィルム基板先端を接続する必要がある。その場合、一般的には、先行する長尺フィルム回路基板を構成する可撓性フィルム基板末端と、それに続く別の長尺フィルム回路基板を構成する可撓性フィルム基板先端とを、粘着テープで貼り合わせて繋ぎ合わせる。このとき、連結強度を高くしその後の製造工程で変形や破損が発生しないように、繋ぎ合わせ部分には認識マークを設けておき、加熱工程においては、繋ぎ合わせ部分をスキップして粘着テープが熱によって��がれないようにする方法が提案されている（特許文献２参照）。【０００７】  しかしながら、この方法では、繋ぎ合わせ部分のみならず繋ぎ合わせ部分前後の可撓性フィルム基板が無駄になるという問題がある。また、長尺フィルム回路基板にＩＣを接合する場合、通常等間隔で回路パターンが形成された長尺フィルム回路基板を間欠送りしながら回路パターンへＩＣを接続する。しかしながら、上記のように繋ぎ合わせ部分前後の可撓性フィルム基板が使えないと、繋ぎ合わせ部分前後の回路パターンにはＩＣ接合せず長尺フィルム回路基板を空送りする。すなわち、長尺フィルム回路基板へＩＣ接合する工程で空送りによる時間ロスが発生する。【０００８】  先行する長尺フィルム回路基板とそれに続く別の長尺フィルム回路基板とを接続する方法としては、次のような方法も提案されている。すなわち、先行する長尺フィルム回路基板を構成する可撓性フィルム基板と、それに続く別の長尺フィルム回路基板を構成する可撓性フィルム基板とに、凹部と凸部をそれぞれ形成し、凸部が凹部に挟み込まれるように突き合わせた後、凹部凸部を覆うように粘着テープを貼りつける方法である（特許文献３参照）。しかしながら、この方法によっても、前述の方法と同様、繋ぎ合わせ部分の可撓性フィルム基板が無駄になる。【０００９】  さらに、上記のような接続は、長尺フィルム回路基板上に作製された回路パターン群に不良が集中して発生した場合にも必要になる。この場合、不要部分を切り取り、分割された長尺フィルム回路基板の一方の端部を他方の端部に連結することで、その後の工程の作業効率を低下させないようにする。このとき、切り取った部分の両側端部を突き合わせて梯子型の連結用部材に貼り合わせて固定し、さらに、連結用部材に送り孔を穿孔するとともに連結用部材と長尺フィルム回路基板を同時にかしめて連結強度を高くする方法が提案されている（特許文献４参照）。【００１０】  しかしながら、この方法では、長尺フィルム回路基板とは別に、熱可塑性フィルムなどの梯子型の連結用部材が必要である。さらに、その熱可塑性フィルムを用いる方法であるために、その後の工程に樹脂モールドやはんだリフローなどの加熱工程がある場合に実施が難しい。すなわち、加熱変形によるかしめやすさとその後の工程での耐熱性とを両立するということが難しい。【特許文献１】国際公開第０３／００９６５７号パンフレット（第２頁）
【特許文献２】特開２０００−２５７０９号公報（第４６段、第８０段）
【特許文献３】特開２００５−４５２３３号公報（第１６段）
【特許文献４】特開平４−１２７５４９号公報（第２頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】  本発明の目的は、上述の課題に鑑み、枚葉で取り扱われた可撓性フィルム基板を、リール・ツー・リール設備を最大限に利用して取り扱うことができるようにする、長尺フィルム回路基板の製造方法、製造装置およびそれらによって得られる長尺フィルム回路基板を提供することとする。また、本発明の別の目的は、連結による可撓性フィルム回路基板のロスやＩＣ接合時の時間のロスを低減することができる長尺フィルム回路基板ならびにその製造方法、製造装置を提供することとする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】  上記の課題を解決するための本発明は、次の（１）〜（２０）を特徴とするものである。（１）少なくとも片面に回路パターンが形成された可撓性フィルム基板を複数連結した長尺フィルム回路基板であって、可撓性フィルム基板の対向する一対の端部に搬送用スペースを有し、該搬送用スペースの少なくとも一部が該可撓性フィルム基板の搬送方向に平行な方向に突出し、突出した搬送用スペースが隣接する可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせられて固定されている長尺フィルム回路基板。（２）前記可撓性フィルム基板の搬送方向端部が、前記搬送方向に直交する方向の全幅で重ね合わせられて固定されている、上記（１）に記載の長尺フィルム回路基板。（３）前記可撓性フィルム基板の搬送方向端部は、前記搬送用スペースを除き、前記搬送方向に平行な方向に１ｍｍ以下の長さで隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせられている、上記（２）に記載の長尺フィルム回路基板。（４）前記突出した搬送用スペースが、前記搬送方向に平行な方向に１．５〜３０ｍｍの長さで隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせられている、上記（１）〜（３）のいずれかに記載の長尺フィルム回路基板。（５）重ね合わせられた前記可撓性フィルム基板の間に接着層が設けられている、上記（１）〜（４）のいずれかに記載の長尺フィルム回路基板。（６）前記可撓性フィルム基板の上に回路パターンの保護層が形成されており、該保護層と前記接着層とが同一組成である、上記（５）に記載の長尺フィルム回路基板。（７）複数の可撓性フィルム基板を剥離可能な有機物層を介して支持板の上に固定する工程と、該複数の可撓性フィルム基板を互いに繋ぎ合わせる工程と、繋ぎ合わされた該可撓性フィルム基板を支持板から剥離する工程とを含む長尺フィルム回路基板の製造方法。（８）対向する一対の端部に搬送用スペースを設けた可撓性フィルム基板を用い、該搬送用スペースの少なくとも一部を可撓性フィルム基板の搬送方向に平行な方向に突出させ、該突出した搬送用スペースを隣接する可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせて複数の可撓性フィルム基板を互いに繋ぎ合わせる、上記（７）に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。（９）前記突出した搬送用スペースを前記搬送方向に平行な方向に１．５〜３０ｍｍの長さで隣接する可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせる、上記（８）に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。（１０）前記可撓性フィルム基板の搬送方向端部を、前記搬送方向に直交する方向の全幅で隣接する可撓性フィルム基板に重ね合わせる、上記（７）〜（９）のいずれか記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。（１１）前記可撓性フィルム基板の搬送方向端部を、前記搬送用スペースを除き、前記搬送方向に平行な方向に１ｍｍ以下の長さで隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせる、上記（１０）に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。（１２）前記複数の可撓性フィルム基板の重ね合わせた部分を樹脂で接着固定して繋ぎ合わせる、上記（７）〜（１１）のいずれかに記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。（１３）前記樹脂をガラス転移点以上の温度で加熱することで前記複数の可撓性フィルム基板を接着固定す���、上記（１２）に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。（１４）少なくとも片面に回路パターンが形成されている可撓性フィルム基板を用いる、上記（７）〜（１３）のいずれかに記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。（１５）前記回路パターンの保護層を形成する工程を含み、該保護層を形成する工程にて、隣接する可撓性フィルム基板が重ね合わせられる部分に該保護層と同一組成の樹脂による接着層を形成する、上記（１４）に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。（１６）前記回路パターンに電子部品を接続し、その後、繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を支持板から剥離する、上記（１４）または（１５）に記載の長尺フィルム回路基板の製造方法。（１７）一方の可撓性フィルム基板を、剥離可能な有機物層によって支持板の上に固定された他方の可撓性フィルム基板に繋ぎ合わせる接続手段と、繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を巻き取る巻取手段とを備えている長尺フィルム回路基板の製造装置。（１８）複数の可撓性フィルム基板が貼り付けられた支持板を搬送する搬送手段と、該支持板から前記一方の可撓性フィルム基板を剥離する剥離手段とを備えている、上記（１７）に記載の長尺フィルム回路基板の製造装置。（１９）前記接続手段は、前記一方の可撓性フィルム基板を樹脂を介して支持板上の前記他方の可撓性フィルム基板に重ね合わせる重ね合わせ手段と、重ね合わせられた可撓性フィルム基板を該樹脂のガラス転移点以上の温度で加熱するとともに加圧する加熱加圧手段とを備えている、上記（１７）に記載の長尺フィルム回路基板の製造装置。（２０）前記加熱加圧手段は、可撓性フィルム基板の搬送用スペースを加熱加圧する部分を除き、可撓性フィルムの搬送方向に１ｍｍ以下の長さを有する加熱加圧ヘッドを備えている、請求項１９に記載の長尺フィルム回路基板製造装置。
【発明の効果】
【００１３】  本発明によれば、複数の枚葉型可撓性フィルム基板を連結して長尺フィルム回路基板にする際に、連結強度を大きく保ちつつ連結部分でのロスを低減できる。連結による可撓性フィルム基板のロスを低減するだけでなく、その長尺フィルム回路基板に電子部品を接合するときの、連結部を認識し空送りするための時間のロスを低減できる。特に、本発明の製造方法および製造装置では、支持板上で複数の可撓製フィルム基板を繋ぎ合わせるので、可撓性フィルム基板のハンドリングが容易であり、また、高い位置精度が確保され、２枚の可撓製フィルム基板をより確実に繋ぎ合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明における可撓性フィルム基板の連結の一実施態様を示す概略図である。
【図２】複数の短冊状可撓性フィルム基板を含む広幅の枚葉可撓性フィルム基板を示す概略図である。
【図３】本発明における可撓性フィルム基板の連結の一実施態様を示す概略図である。
【図４】本発明における可撓性フィルム基板の連結の一実施態様を示す概略図である。
【図５】本発明における可撓性フィルム基板の連結の一実施態様を示す概略図である。
【図６】可撓性フィルム基板を剥離する際の剥離角の説明図である。
【図７】本発明の製造装置の一実施態様を示す概略図である。
【図８】図７の装置における可撓性フィルム基板の連結部分の拡大図である。
【図９】図７の装置における加熱加圧手段の概略図である。
【図１０】本発明の製造装置の一実施態様を示す概略図である。
【図１１】図１０の装置における押圧手段およびその動作を説明する概略図である。
【図１２】本発明の製造装置の一実施態様を示す概略図である。
【図１３】本発明の製造装置の一実施態様を示す概略図である。
【図１４】図１３の装置の動作を説明する概略図である。
【図１５】本発明の装置に好適に用いられるラミネート装置の概略図である。
【図１６】複数の短冊状可撓性フィルム基板を含む広幅の枚葉可撓性フィルム基板を示す概略図である。
【図１７】本発明における可撓性フィルム基板の仮繋ぎの一実施態様を示す概略図である。
【図１８】図１７の可撓性フィルム基板にスプロケットホールを形成した態様を示す概略図である。
【図１９】図１８に示す可撓性フィルム基板をスリットした態様を示す概略図である。
【符号の説明】
【００１５】１（ａ，ｂ）、５３、１０１、２０１（ａ、ｂ、ｃ）、３０１（ａ，ｂ）、３６３、４００、５１５  可撓性フィルム基板１ｄ  長尺フィルム回路基板２、３６９  回路パターン３、３６８  保護層４（ａ，ｂ）  搬送用スペース５（ａ，ｂ）、１５（ａ，ｂ）、２０（ａ，ｂ）、２１（ａ，ｂ）、２５、２６、１１５  可撓性フィルム基板の突出部６（ａ，ｂ）、１６（ａ，ｂ）、１７、１１６、３６７、４１３  接着層７  回路パターンの間隙長さ８、３６５  搬送用孔（スプロケットホール）９  突出部の幅１０  突出部の搬送方向の長さ１３  枚葉フィルム５０  剥離角５１、１０３（ａ，ｂ，ｃ）、２０３（ａ，ｂ，ｃ）、３０３（ａ，ｂ，ｃ）、５０４  支持板５２、１０２（ａ，ｂ，ｃ）、２０２（ａ，ｂ，ｃ）、３０２（ａ，ｂ）、５０３  剥離可能な有機物層５４、１０４（ａ，ｂ，ｃ）、２０４（ａ，ｂ，ｃ）、５０１  載置台５５、１０６、２０６、３０６  剥離ロール１０５、４１６  加熱加圧手段１０７、２０７、３０７  ロール１０８、２０８、３０８、４０７  巻き取りロール１０９、２０９、３０９、４０２、４０６  スペーサー  １１０、２１０、３１０、４０５  スペーサー供給ロール  １１１  制御装置１１２、２１２、５００  基台１１３、２１３、５０５  レール１１７  ヒーターブロック１１８  ヘッド１１９  軸１２０、２２０、３３３  挟持手段２０５  押圧手段２１６、３１６、４０９  粘着テープ、２３８  離型フィルム２３９  真空吸着台３０４  搬送ロール群３３０  位置決め治具３３１  バックアップロール３３２  押さえロール３６４  粘着テープ４０１  巻き出しロール４０３  スペーサー巻き取りロール４０４  本繋ぎユニット４１０（ａ，ｂ）  金型４１１、４１２  吸着ステージ４１４、４１５  吸着アーム５０２  静電気帯電装置５０６  ガイド５０７  ナット５０８、５０９  ブラケット５１０  ボールねじ５１１  モーター５１２  可撓性織物５１３  支柱５１４  枠体５１６  スキージ
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】  本発明の長尺フィルム回路基板は、少なくとも片面に回路パターンが形成された可撓性フィルム基板を複数連結したものである。【００１７】  本発明において、可撓性フィルム基板は、ベースフィルム上に回路パターンが形成されたもの、もしくはベースフィルム上に回路パターンが形成される前や形成中のものを言う。ベースフィルムとしては、プラスチックフィルムを使用する。例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルサルファイド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリイミド、ポリアミド、液晶ポリマーなどのフィルムを採用することができる。中でもポリイミドフィルムは、耐熱性に優れるとともに耐薬品性にも優れているので好適に採用される。また、低誘電損失など電気的特性が優れている点や低吸湿性の点で、液晶ポリマーも好適に採用される。可撓性のガラス繊維補強樹脂板を採用することも可能である。また、これらのフィルムが積層されていてもよい。【００１８】  上記ガラス繊維補強樹脂板の樹脂としては、例えば、エポキシ、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニレンエーテル、マレイミド（共）重合樹脂、ポリアミド、ポリイミドなどが挙げられる。【００１９】  可撓性フィルム基板の厚さは、軽量化、小型化、あるいは微細なビアホール形成のためには薄い方が好ましく、１２５μｍ以下が好ましい。一方、機械的強度を確保するためや平坦性を維持するためには厚い方が好ましく、４μｍ以上が好ましい。【００２０】  可撓性フィルム基板上に形成される回路パターンは、抵抗値が小さい銅を主体として形成されていることが好ましい。回路パターンを形成するにあたっては、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法など公知の技術が採用できる。中でも、微細パターンの形成のためには、セミアディティブ法、フルアディティブ法の採用が好ましい。さらに、はんだ接合のためのはんだめっき、錫めっき、金めっきを施したり、金属層保護のためのソルダーレジストを形成することも適宜実施できる。【００２１】  本発明の可撓性フィルム基板は、短冊状の形をなしており、対向する一対の端部に搬送用スペースが設けられている。搬送用スペースは、製造された長尺フィルム回路基板をリール・ツー・リール方式で取り扱うときに用いられる部分である。搬送用スペースには、スプロケットホールが設けられており、そのスプロケットホールにより長尺フィルム回路基盤の送り量が制御される。通常、搬送用スペースの幅は片側３〜４ｍｍで、１．４２ｍｍ角もしくは１．９８１ｍｍ角のスプロケットホールが４．７５ｍｍ間隔で設けられる。【００２２】  本発明においては、その搬送用スペースの少なくとも一部が、可撓性フィルム基板の搬送方向に平行な方向（以下、「搬送方向」という。）に突出している。突出した搬送用スペースが隣接する可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせられて固定されることで、長尺フィルム回路基板となる。このような構成にすることで、複数の枚葉型可撓性フィルム基板を連結した長尺フィルム回路基板の連結強度が高くなり、また、連結部分でのロスを低減できる。さらに、連結による可撓性フィルム基板のロスを低減するだけでなく、長尺フィルム回路基板に電子部品を接合するときの、連結部を認識し空送りするための時間のロスや、電子部品を接合した後の樹脂封止や電気テストのための時間のロスを低減できる。【００２３】  搬送用スペースは、その一部が搬送方向に突出していればよいが、固定時の連結強度を高めるためには幅広であることが好ましく、搬送用スペースの最大幅のままで突出していることが好ましい。【００２４】  搬送用スペースの突出部は、搬送方向に長い方が連結強度を大きくできるため好ましい。しかしながら、長すぎるとその突出部を作るために切断して無駄になる可撓性フィルム基板も長くなる。一方、可撓性フィルム基板の作製においては、ハンドリングや給電などのため、枚葉フィルムの周囲３0ｍｍほどの領域が製品に使えない部分となることが多い。そこで、この領域を用いて突出部を作れば、突出部を作るためだけに無駄となる可撓性フィルム基板もなくなるので好ましい。したがって、搬送用スペースは、搬送方向に１．５〜３０ｍｍの長さで突出し、その突出部が隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせられていることが好ましい。【００２５】  なお、長尺フィルム回路基板が安定して搬送されるためには、可撓性フィルム基板相互の連結強度が、５Ｎ以上であることが好ましく、１０Ｎ以上であることがさらに好ましい。連結強度は、オリエンテック社製“テンシロン”に加熱部を付加したもので、測定雰囲気温度１５０℃で測定する。【００２６】  本発明においては、可撓性フィルム基板の搬送方向の端部が、搬送方向に直交する方向の全幅で、隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせられ固定されていることも好ましい。上記突出部に加えて搬送方向の端部が全幅で重ね合わせられて固定されていると、後段の電子部品搭載工程や検査工程などで搬送されるときに、長尺フィルム回路基板の重ね合わせ部中央部が浮き上がって、近接する部品にひっかかったり擦れたりするような搬送トラブルの発生を防ぐことができる。【００２７】  搬送方向の端部を全幅で重ね合わせる場合、その重ね合わせ部の搬送方向の長さは、搬送用スペースを除いて、回路パターン間の間隙以下であることが、回路パターンのロスを減少させられる点で好ましい。現行の標準的な回路パターンの繰り返し長さは２３．７５ｍｍ〜３３．２５ｍｍであり、その内、各回路パターンの間隙は０．５ｍｍ〜４．７５ｍｍである。しかしながら、可撓性フィルム基板の有効利用のために、回路パターンの間隙は小さくなる傾向があり、最近では各回路パターンの間隙が１ｍｍ程度のものもある。したがって、搬送方向の端部を全幅で重ね合わせる場合、搬送用スペースを除いては搬送方向の長さが１ｍｍ以下の長さであることがより好ましい。【００２８】  上記のように重ね合わせられた搬送用スペースや可撓性フィルム基板の搬送方向端部は、搬送時のトラブル発生を防ぐために、重ね合わせ部の間に設けられた接着層によって固定されていることが好ましい。なお、接着層は重ね合わせ部に一様に設けられている必要はなく、点状、縞状、格子状など不連続に塗布されていてもよい。【００２９】  接着層としては、重ね合わせられた搬送用スペースや可撓性フィルム基板の搬送方向端部を互いに接着固定でき、かつ、封止樹脂キュア工程などの加熱工程に耐えられるものであればよい。たとえば、ポリイミド系、エポキシ系、アクリル系、ウレタン系の接着剤を採用することができる。また、一般的にフィルム回路基板の保護に用いられるソルダーレジストインクと呼ばれる材料を接着層として用いることもできる。【００３０】  ポリイミド系樹脂としてはＳＮ−９０００（日立化成工業（株）製）があり、エポキシ系樹脂としてはＮＰＲ−５、ＮＰＲ−１１（日本ポリテック（株）製）やＣＣＲ−２３２ＧＦ（（株）アサヒ化学研究所製）があり、ウレタン系樹脂としては“プレーンセット”ＡＥ−７０−Ｍ１１などがある。【００３１】  接着層は耐熱性も高いほうが好ましい。そのため、樹脂のガラス転移点（Ｔｇ）は１００℃以上であることが好ましく、半導体封止材等の熱硬化処理等の熱処理の工程があることを考えれば１５０℃以上あることがさらに望ましい。このような樹脂としては、ポリイミド系樹脂やエポキシ系樹脂が好ましい。ポリイミド系樹脂やエポキシ系樹脂は、いずれも耐久性が高いが、ポリイミド系樹脂は耐薬品性も高いのでより好ましい。【００３２】  重ね合わせられた可撓性フィルム基板は、上記したように２枚の可撓製フィルム基板の間に介在している接着層によって固定されている他、回路パターンの間隙におさまる範囲であれば、はとめ、リベット、糸などにより機械的に固定されていてもよい。接着層による固定と機械的に連結固定する方法とが組み合わされていても良い。また、接着層を介さずに直接フィルム同士が溶融固化されて固定されていても、重ね合わせられた２枚の可撓製フィルム基板の上から回路パターンの間隙におさまる範囲で接着テープが貼り付けられて固定されていてもよい。【００３３】  本発明においては、可撓性フィルム基板に形成された回路パターンの保護層が設けられていることも好ましい。その保護層は、可撓性フィルム基板上の回路を保護できる樹脂で構成されていれば特に限定されない。一般的には、フィルム回路基板の保護に用いられる感光性もしくは熱硬化性のソルダーレジストインクと呼ばれる材料を採用できる。具体的には、ポリイミド系、エポキシ系、ウレタン系の樹脂があげられる。ポリイミド系樹脂としてはＳＮ−９０００（日立化成工業（株）製）があり、エポキシ系樹脂としてはＮＰＲ−５、ＮＰＲ−１１（日本ポリテック（株）製）やＣＣＲ−２３２ＧＦ（（株）アサヒ化学研究所製）があり、ウレタン系樹脂としては“プレーンセット”ＡＥ−７０−Ｍ１１などがある。【００３４】  回路パターンの保護層と、可撓性フィルム基板の間に介在させる接着層とは、同一組成の樹脂であることがより好ましい。保護層と接着層とを同一組成の樹脂で構成するということは、それら保護層と接着層とを実質的に同時に形成することができるので、製造工程を低減できる。さらに、熱処理回数を低減できるので、可撓製フィルム基板を構成するベースフィルムと回路パターンとの接着性低下を抑制できる。【００３５】  なお、可撓性フィルム基板の搬送方向端部が全幅で重ね合わせられていない場合、一方の可撓製フィルム基板の搬送方向端部と他方の可撓製フィルム基板の搬送方向端部との間に微少な間隙が存在することが考えられる。その場合、点状や線状に付与された樹脂あるいは狭幅の接着テープ等によって、２枚の可撓製フィルム基板の間が埋められていることが好ましい。このように比較的大きな面積で２枚の可撓性フィルム基板を繋ぎ合わせることにより、ねじれによる剥がれ易さを改善することができる。【００３６】  また、本発明においては、回路パターンに抵抗素子や容量素子が入れ込まれていてもよい。さらに、可撓性フィルム基板の少なくとも一方の面に絶縁層と配線層を積層し、多層化することも可能である。【００３７】  図１に本発明の長尺フィルム回路基板の好ましい態様の一例を示す。なお、図１（ａ）は短冊状の可撓性フィルム基板の概略図である。図１（ｂ）は連結される前の２枚の可撓性フィルム基板の搬送方向端部の拡大図である。図１（ｃ）は、図１（ｂ）に示す２枚の可撓性フィルム基板の搬送方向端部を重ね合わせて固定した状態を示す図である。【００３８】  長尺フィルム回路基板は、図１（ａ）に示すように、各可撓性フィルム基板１上に回路パターン２が形成されており、回路パターン２を覆うように保護層３が形成されている。可撓性フィルム基板１の対向する一対の端部には、搬送用スペース４ａ、４ｂが設けられている。搬送用スペース４ａ、４ｂは、図１（ｂ）、に示すように、搬送方向に突出している（５ａ、５ｂ）。搬送用スペース４ａ、４ｂの突出部５ａ、５ｂは、図１（ｃ）に示すように、別の可撓性フィルム基板１ｂの搬送用スペースに重ね合わせられ、接着層６ａ、６ｂを介して固定され長尺フィルム回路基板１ｄを構成している。なお、符号７は回路パターン間の間隙長さ、符号８は搬送用孔（スプロケットホール）を示している。【００３９】  突出部５ａ、５ｂの幅９（すなわち搬送方向に直交する方向における長さ）は、固定時の強度の点から広い方が好ましく、搬送用スペースの最大幅であることが好ましい。ＣＯＦの搬送用スペースは一般に片側３〜４ｍｍである。また、突出部５ａ、５ｂの搬送方向の長さ１０は、固定時の強度を確保するために長い方が好ましく、１．５ｍｍ以上であることが好ましく、２ｍｍ以上であることがより好ましい。【００４０】  なお、可撓性フィルム基板１は、図２に示すように、１枚の枚葉フィルム１３に複数枚形成されることが好ましいが、枚葉フィルム１３の周囲３０ｍｍほどは、ハンドリングや給電などのため製品として使えない部分となることが多い。そこで、その製品としては使えない部分を用いて突出部５ａ、５ｂを作ることが好ましい。突出部を作るためだけに無駄となる可撓性フィルム基板がなくなる。したがって、突出部５ａ、５ｂの長さの上限は、搬送方向に３０ｍｍであることが好ましく、２０ｍｍであることがさらに好ましい。【００４１】  図３に好ましい態様の別の例を示す。なお、図３（ａ）は短冊状の可撓性フィルム基板の概略図である。図３（ｂ）は連結される前の２枚の可撓性フィルム基板の搬送方向端部の拡大図である。図３（ｃ）は、図３（ｂ）に示す２枚の可撓性フィルム基板の搬送方向端部を重ね合わせて固定した状態を示す図である。【００４２】  この実施形態においては、図３（ａ）に示すように、各可撓性フィルム基板の基本的な構成は図１に示した長尺フィルム回路基板と同じであ���。また、図３（ｂ）に示すように、一方の可撓性フィルム基板の突出部１５ａ、１５ｂが他方の可撓性フィルム基板に重ね合わせられ、接着層１６a、１６ｂを介して固定されている点も同じである。しかしながら、図３における長尺フィルム回路基板では、さらに、２枚の可撓性フィルム基板の搬送方向端部が、搬送方向に直交する方向の全幅で接着層１７を介して重ね合わせられて固定されている。【００４３】  図４、５に好ましい別の態様を示す。図４に示す長尺フィルム回路基板は、各可撓性フィルム基板1ａ、１ｂの一対の搬送用スペース４ａ、４ｂのうち一方が搬送方向に突出し（突出部２５）、他方が搬送方向とは反対方向に突出している（突出部２６）。その他の点は、図３に示す態様と同じである。図５に示す長尺フィルム回路基板は、各可撓性フィルム基板１ａ、１ｂの搬送用スペース４ａ、４ｂが搬送方向にも突出しているが（突出部２１a、２１ｂ）、搬送方向と反対方向にも突出している（突出部２０ａ、２０ｂ）。突出部２０ａと２１ａと、そして突出部２０ｂと２１ｂとがそれぞれ重ね合わせられて固定される。【００４４】  上記のような本発明の長尺フィルム回路基板を製造するにあたっては、まず可撓性フィルム基板が枚葉方式にて製造される。枚葉方式とは、ＴＡＢやＣＯＦで一般的な、リールから巻き出したベースフィルムを搬送しつつ可撓性フィルム基板として必要な加工を施し、別のリールに巻き取るリール・ツー・リール方式でなく、シート状のベースフィルムを搬送して可撓性フィルム基板として必要な加工を施す方式である。枚葉の可撓性フィルム基板は、その後、下記のように繋ぎ合わせられ、長尺化フィルム回路基板となる。【００４５】  （ａ）複数の可撓性フィルム基板を剥離可能な有機物層を介して支持板の上に配置、固定し、（ｂ）それら複数の可撓性フィルム基板を互いに繋ぎ合わせ、（ｃ）繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を支持板から剥離することで得る。  【００４６】  このような本発明の方法によれば、剥離可能な有機物層を介して支持板上に固定した状態で複数の可撓製フィルム基板を繋ぎ合わせるので、繋ぎ合わせの工程を自動化でき、ハンドリングが容易になる。また、自動化が可能になるので、高い位置精度も確保され、２枚の可撓製フィルム基板をより確実に繋ぎ合わせることができる。【００４７】  可撓性フィルム基板には、予め回路パターンが形成されていてもよいが、上記工程中で回路パターンを形成してもよい。低歪みで高い寸法精度を得られる点で工程（ａ）と工程（ｂ）の間で行うことが好ましい。【００４８】  回路パターンは、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法など技術により形成すればよい。中でも、微細パターン形成ができる点でセミアディティブ法やセミアディティブ法により形成することが好ましい。【００４９】  フルアディティブ法は、以下のようなプロセスである。可撓性フィルム基板の回路パターンを形成する面にパラジウム、ニッケルやクロムなどの触媒付与処理を施し、乾燥する。ここで言う触媒とは、そのままではめっき成長の核としては働かないが、活性化処理をすることでめっき成長の核となるものである。次いで、フォトレジストをスピンコーター、ブレードコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、スクリーン印刷機などで塗布して乾燥する。フォトレジストを所定パターンのフォトマスクを介して露光、現像して、めっき膜が不要な部分にレジスト層を形成する。この後、触媒の活性化処理をしてから、硫酸銅とホルムアルデヒドの組合せからなる無電解めっき液に、可撓性フィルム基板を浸漬し、たとえば厚さ２〜２０μｍの銅めっき膜を形成して、回路パターンを得る。【００５０】  セミアディティブ法は、以下のようなプロセスである。可撓性フィルム基板の回路パターンを形成する面に、クロム、ニッケル、銅またはこれらの合金をスパッタし、たとえば厚さ１〜１００ｎｍの下地層を形成する。次いで、下地層の上にさらにたとえば厚さ５０〜３０００ｎｍの銅スパッタ膜を形成する。この銅スパッタ膜は、後に続く電解めっきのための十分な導通を確保したり、金属層の接着力向上やピンホール欠陥防止に効果がある。このようにして形成した下地層、銅スパッタ膜の上にフォトレジストをスピンコーター、ブレードコーター、ロールコーター、ダイコーター、スクリーン印刷などで塗布して乾燥する。その後、フォトレジストを所定パターンのフォトマスクを介して露光、現像して、めっき膜が不要な部分にレジスト層を形成する。次いで、下地層および銅スパッタ膜を電極として電解めっきをおこなう。電解めっき液としては、硫酸銅めっき液、シアン化銅めっき液、ピロ燐酸銅めっき液などが用いられる。銅めっき膜を形成後、フォトレジストを剥離し、続いてスライトエッチングにて下地層を除去して、回路パターンを得る。さらに必要に応じて金、ニッケル、錫などのめっきを施す。なお、下地層形成に先立ち、接着力向上のため、可撓性フィルム基板表面にプラズマ処理、逆スパッタ処理、プライマー層塗布、接着剤層塗布などを行ってもよい。中でも、エポキシ樹脂系、アクリル樹脂系、ポリアミド樹脂系、ポリイミド樹脂系、ＮＢＲ系などの接着剤層塗布は、接着力改善効果が大きく好ましい。【００５１】  また、本発明において、最初の可撓性フィルム基板が幅広である場合は、工程（ｂ）の前後もしくは工程（ｃ）の後で所望の幅、例えば３５ｍｍにスリットする。支持板上で可撓性フィルム基板をスリットする方法としては、レーザー、高圧水ジェットなどの方法が用いられる。また、可撓性フィルム基板を支持板から剥離した後にスリットするのであれば、レーザー、高圧水ジェットの方法の他に、刃物によるスリットやトムソン刃による型抜きなどの方法も採用可能である。【００５２】  可撓性フィルム基板に、スプロケットホールが設けられていない場合も、同様に、工程（ｂ）の前後もしくは工程（ｃ）の後で孔開けを行う。支持板上ではレーザー、高圧水ジェットなどにより、また、支持板から剥離された後であれば、パンチングにより孔開けをすればよい。中でも、スプロケットホールは数が多く、レーザーや高圧水ジェットでは加工時間が長くなるので、支持板から剥がした後でパンチングによりスプロケットホールを形成することが生産性を高める上で好ましい。【００５３】  本発明においては、予め、搬送用スペースの少なくとも一部がその可撓性フィルム基板の搬送方向に平行な方向に突出した形状となるよ��に切断された可撓性フィルム基板を、上述の（ａ）〜（ｃ）に記載するような方法で繋いで長尺フィルム回路基板としてもよいが、長方形の可撓性フィルム基板を、上述の（ａ）〜（ｃ）に記載の方法で一旦仮繋ぎして長尺化し、その長尺化した可撓性フィルム基板を、搬送用スペースの少なくとも一部がその可撓性フィルム基板の搬送方向に平行な方向に突出した形状となるよう切断しながら本繋ぎして長尺フィルム回路基板としてもよい。【００５４】  すなわち、（a’）長方形の複数の可撓性フィルム基板を剥離可能な有機物層を介して支持板上に配置固定し、(ｂ’)それら複数の可撓性フィルム基板を互い粘着テープ等で仮繋ぎし、（ｃ’）繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を支持板から剥離して長尺化する。（ｄ’）次に, その長尺化した可撓性フィルム基板を、搬送用スペースの少なくとも一部がその可撓性フィルム基板の搬送方向に平行な方向に突出した形状となるように、仮繋ぎした部分を中心に金型などで切断除去する。このとき、切断除去する部分の前後の可撓性フィルム基板は真空吸着等で保持する。（ｅ’）その後、分割された２枚の可撓性フィルム基板を真空吸着等で保持したまま一方または双方を動かし、一方の可撓性フィルム基板の突出した搬送用スペースを他方の可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせて固定して（本繋ぎ）、長尺フィルム回路基板とする。【００５５】  このような方法においても、可撓性フィルム基板を支持板に固定して仮繋ぎするので、繋ぎ合わせの工程を自動化でき、ハンドリングが容易になる。また、自動化が可能になるので、高い位置精度も確保され、２枚の可撓製フィルム基板をより確実に仮繋ぎすることができる。もちろん、仮繋ぎに続く本繋ぎの精度は、仮繋ぎの精度の影響を受けるので、仮繋ぎが高精度で実施されていると、本繋ぎの精度を確保し、また、本繋ぎ装置の構造を簡便にすることができる。【００５６】  可撓性フィルム基板には、予め回路パターンが形成されていてもよいが、上記工程中で回路パターンを形成してもよい。低歪みで高い寸法精度を得られる点で工程（ａ’）と工程（ｂ’）の間で行うことが好ましい。最初の可撓性フィルム基板が幅広である場合は、工程（ｃ’）と工程（ｄ’）の間、または工程（ｅ’）の後でスリット加工して、後の工程で用いられる幅にすることが好ましい。可撓性フィルム基板に、スプロケットホールが設けられていない場合も、工程（ｃ’）と工程（ｄ’）の間、または工程（ｅ’）の後でパンチング加工することが好ましい。【００５７】  以下、上記いずれの方法においても共通することについて説明する。【００５８】  回路パターンの最外端にテスト用電極（製品には残らない）が配置されている場合、可撓性フィルムのテスト用電極が設けられた部分を繋ぎ合わせに利用し、テスト電極が設けられた側とは反対側の面を別の可撓性フィルムに接するように重ね合わせることができる。【００５９】  複数の可撓性フィルム基板を互いに繋ぎ合わせるためには、可撓性フィルム基板の対向する一対の端部に搬送用スペースを設けておく。その搬送用スペースの少なくとも一部を可撓性フィルム基板の搬送方向に突出させ、突出した搬送用スペースを隣接する可撓性フィルム基板の搬送用スペースに重ね合わせて固定する。このように複数の可撓性製フィルム基板を固定していることで、長尺フィルム回路基板としての連結強度が高くなり、また、連結部分でのロスを低減できる。さらに、連結による可撓性フィルム基板のロスを低減するだけでなく、長尺フィルム回路基板に電子部品を接合するときの、連結部を認識し空送りするための時間のロスも低減できる。【００６０】  搬送用スペースは、上記したとおり、搬送方向に１．５〜３０ｍｍの長さで突出させ、その突出部を隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせて固定することが好ましい。可撓性フィルム基板を幅方向端部において比較的大きな面積で繋ぎ合わせることにより、ねじれによる可撓性フィルム基板幅方向端部からの剥がれを防止することができる。また、突出部を形成する上で無駄になる可撓性フィルム基板を低減することもできる。【００６１】  突出部を形成する方法は特に限定しないが、突出部の形状を考慮した金型を用いたパンチングにより打ち抜く方法や、所望の突出部の形状に沿うようにＹＡＧ等のレーザーを走査して裁断する方法が挙げられる。【００６２】  本発明においては、上記したように、可撓性フィルム基板の搬送方向端部を、搬送方向に直交する方向の全幅で、隣接する可撓性フィルム基板と重ね合わせることも好ましい。全幅で重ね合わせる場合、その搬送方向の長さは、搬送用スペースを除いて回路パターン間の間隙以下とすることが好ましい。搬送方向に１ｍｍ以下の長さとすることがより好ましい。【００６３】  なお、可撓性フィルム基板の搬送方向端部を全幅で重ね合わせない場合、一方の可撓製フィルム基板の搬送方向端部と他方の可撓製フィルム基板の搬送方向端部との間に微少な間隙が形成されることが考えられる。その場合、その間隙を埋めるように樹脂を点状や線状に付与することが好ましい。樹脂は、２枚の可撓製フィルム基板の間に形成される間隙にディスペンサーで付与してもよいし、シート状の樹脂を２枚の可撓製フィルム基板の間に形成される間隙に配置するようにしてもよい。樹脂の付与は、２枚の可撓製フィルム基板を連結する工程で行ってもよいし、連結した後の別工程で行ってもよい。また、接着テープを用いてもよい。【００６４】  複数の可撓性フィルム基板を固定する方法としては、重ね合わせられた２枚の可撓製フィルム基板の間に上記したような樹脂からなる接着層を形成して固定することが好ましい。接着層による固定の他、回路パターン間隙に収まる範囲ではとめ、リベット、糸などにより機械的に連結固定してもよい。樹脂による接着固定と機械的な連結固定とを組み合わせても良い。そして、直接フィルム同士を固定してもよい。具体的には、レーザーを用いて重ね合わせたフィルムの界面を局所的に加熱することで接着したり、超音波ウェルダーで重ね合わせ部を加熱して接着したりすればよい。また、重ね合わせた上から接着テープを回路パターン間隙に収まる範囲に貼り付けて固定することも好ましい。【００６５】  接着層を形成する方法は、２枚の可撓性フィルム基板を固定できる方法であれば特に限定されない。たとえば、上記したような樹脂を可撓性フィルム基板の重ね合わせ部にスクリーン印刷法によって塗布したりディスペンサーを用いて供給し、その後、乾燥、キュアすればよい。この場合、液状、ゲル状樹脂を用いればよい。また、ＴＳＡ−６７０５（東レ（株）製）などのようにシート状の接着層を必要な形状にパンチング等で加工して使用してもよい。【００６６】  接着層を介して可撓性フィルム基板を固定するにあたっては、接着層を加熱することで樹脂を一旦溶融し、その後、冷却、硬化させる。加熱温度は樹脂が十分に溶融し、密着力が増大されるように、用いる樹脂のガラス転移点（Ｔｇ）より高い温度であることが望ましい。一般的にポリイミド系ソルダーレジストのＴｇは、２００〜２５０℃程度であるので、ポリイミド系樹脂を用いる場合の加熱温度は２５０℃以上であることが好ましく、３００℃以上であることがさらに好ましい。【００６７】  なお、接着層を加熱する際、重ね合わせられた可撓性フィルム基板全体を加熱するのではなく、重ね合わせられている部分のみを局所的に加熱することが好ましい。例えば、回路パターンが錫めっきの場合、ウイスカー防止対策や金属接合条件の点から純錫膜厚を所定の範囲に制御する。しかしながら、接着層を加熱することで、回路パターンまでさらに熱履歴を受けると、純錫膜厚が所定の範囲からはずれる恐れがある。【００６８】  生産性を高めるために、接着層を加熱する時間は短い方が良い。このため、加圧しつつ加熱することが有効であり、一方、加圧しすぎると可撓性フィルム基板が変形する恐れがあるため、０．１〜３Ｎ／ｍｍ２の範囲で加圧することが好ましい。また、熱伝導率が小さいステージを用いるなどして、熱の拡散を抑えることで、繋ぎ合わせに要する時間を短縮することができる。【００６９】  また、接着層を予め形成するのではなく、接着層を形成しつつ２枚の可撓製フィルム基板を重ね合わせて固定してもよい。その場合、液状接着剤をディスペンサー等で一方の可撓性フィルム基板の重ね合わせ部に塗布、乾燥し、その上から連結される別の可撓性フィルム基板を載せ、キュアすればよい。無溶剤型接着剤を採用した場合は、塗布後の乾燥を省略することができる。【００７０】  さらに、接着層は、薄過ぎると接着強度が小さくなり、一方、厚すぎると接合の際に接合部からはみ出す恐れがあるので、乾燥後の厚みが０．５μｍ〜２０μｍの範囲になるようにすることが好ましく、１μｍ〜１０μｍの範囲であることがより好ましい。【００７１】  本発明においては、可撓性フィルム基板に形成された回路パターンの保護層を形成することも好ましい。保護層としては、上記したような樹脂を用いることができる。【００７２】  保護層を形成する方法としては、上記したような樹脂を、スピンコーター、ブレードコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、スクリーン印刷機、ディスペンサーなどによって塗布し、乾燥、キュアすればよい。たとえば、感光性ソルダーレジストを用いる場合は、スピンコーター、ブレードコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーターなどでその感光性ソルダーレジストを回路パターンが形成された可撓性フィルム基板上に一様に塗布し、乾燥、露光、現像、キュアさせて保護層を形成する。熱硬化性ソルダーレジストを用いる場合は、スクリーン印刷機もしくはディスペンサーにより��の熱硬化性ソルダーレジストを回路パターンの形状に合わせて塗布し、乾燥、キュアして保護層を形成する  本発明においては、回路パターンの保護層を形成するとともに可撓性フィルム基板の間に介在させる接着層を形成する、すなわち、保護層と接着層とを実質的に同時に形成することも好ましい。一般に回路パターンを構成する銅は熱処理を繰り返すことによってプラスチックフィルムとの接着力が低下する傾向にある。保護層と接着層とを実質的に同時に形成することで、熱処理回数を低減できるので、可撓製フィルム基板と回路パターンとの接着力性低下を抑制できる。また、回路パターンが錫めっきの場合には純錫膜厚の制御を容易にする効果がある。【００７３】  保護層と接着層とを実質的に同時に形成する方法としては、たとえば、スクリーン印刷などによって一枚の可撓性フィルム基板上の保護層形成部と接着層形成部とに樹脂を同時に供給し、その後、乾燥キュアする方法がある。このためには、回路パターンの保護層の部分のみならず複数の可撓性フィルム基板の連結部に樹脂を塗布できるようにマスク設計することが必要である。また、ディスペンサーなどによって一枚の可撓性フィルム基板上の保護層形成部と接着層形成部とに樹脂を順次供給し、その後、同時に乾燥キュアする方法をもある。さらに、あらかじめ成形されたシート状の樹脂を保護層形成部と接着層形成部に貼りつけ、キュアする方法もある。ディスペンサーやシート状の樹脂を用いる方法は、接着層と保護層とで厚みが異なる場合などに好適である。なお、保護層と接着層とは、塗布工程を分けて行って、その後の乾燥、キュア工程を同時に行えば、熱処理工程を減らせて好ましい。【００７４】  本発明の長尺フィルム回路基板は、上述したように複数の可撓性フィルム基板が支持板上で繋ぎ合わせられる。【００７５】  可撓性フィルム基板を支持板の上に配置するにあたっては、あらかじめ所望の大きさにカットされた枚葉のベースフィルムを用い、そのベースフィルムを可撓性フィルム基板として支持板に固定しても良いし、長尺ロールからベースフィルムを巻きだしながら、それを可撓性フィルム基板として支持板に固定、切断してもよい。【００７６】  支持板としては、ソーダライムガラス、ホウケイ酸系ガラス、石英ガラスなどの無機ガラス、アルミナ、窒化シリコン、ジルコニアなどのセラミックス、ステンレススチール、インバー合金、チタンなどの金属、さらにはガラス繊維補強樹脂を有する板など、線膨張係数や吸湿膨張係数が小さいものが好ましい。その中でも、適当な可撓性が得られやすい点で、無機ガラスと金属板が好ましい。さらに、耐熱性、耐薬品性に優れている点、大面積で表面平滑性が高く基板が安価に入手しやすい点、塑性変形しにくい点、搬送装置との接触によりパーティクルを発生しにくい点、絶縁体で電解めっきによる析出がない点、等により、無機ガラスを主成分とする板が特に好ましい。【００７７】  支持板として薄いガラス基板を用いる場合、可撓性フィルム基板の膨張・収縮力で反りやねじれが大きくなり、平坦な載置台上に真空吸着したときにガラス基板が割れることがある。また、真空吸着・脱着で可撓性フィルム基板が変形することになり、位置精度の確保が難しくな��傾向がある。したがって、ガラス基板の厚みは０．３ｍｍ以上であることが好ましい。一方、厚いガラス基板を用いる場合は、剥離のために湾曲しにくくなる上に、肉厚ムラにより平坦性が低下したり、露光精度も低くなる。また、ロボット等によるハンドリング負荷が大きくなり素早い動作ができずに生産性が低下する。これらの点から、ガラス基板の厚さは、１．１ｍｍ以下であることが好ましい。【００７８】  支持板として薄い金属板を用いる場合は、可撓性フィルム基板の膨張・収縮力で反りやねじれが大きくなり、平坦な載置台上に真空吸着できなくなったり、金属基板の反りやねじれが発生する分だけ可撓性フィルム基板が変形することにより、所定の位置精度が確保できなくなる。また、折れがあるとその時点で不良品になる。したがって、金属板は０．１ｍｍ以上であることが好ましい。一方、厚い金属板では、肉厚ムラにより平坦性が低くなるとともに、剥離のための湾曲が行いにくくなり、露光精度も低下する。また、ロボット等によるハンドリング負荷が大きくなり、素早い動作ができずに生産性が低下する。これらの点から、金属板の厚さは、０．７ｍｍ以下であることが好ましい。【００７９】  可撓性フィルム基板を支持板上に配置するにあたっては、支持板と可撓性フィルム基板との間に剥離可能な有機物の層を介在させる。その剥離可能な有機物としては、加工中には可撓性フィルム基板が動くことを防ぐための十分な粘着力を有し、剥離時には容易に剥離でき、可撓性フィルム基板に歪みを生じさせないものであることが必要である。したがって、弱粘着から中粘着領域の粘着力を有するものが好ましい。具体的には、アクリル系またはウレタン系の再剥離剤と呼ばれる粘着剤を挙げることができる。タック性があるシリコーン樹脂やタック性があるエポキシ系樹脂も使用できる。【００８０】  また、低温領域で接着力、粘着力が減少するもの、紫外線照射で接着力、粘着力が減少するもの、また、加熱処理で接着力、粘着力が減少するものなども、剥離可能な有機物として好適に用いられる。これらの中でも紫外線照射によるものは、接着力、粘着力の変化が大きく好ましい。紫外線照射で接着力、粘着力が減少するものとしては、２液架橋型のアクリル系粘着剤が挙げられる。また、低温領域で接着力、粘着力が減少するものとしては、結晶状態と非結晶状態間を可逆的に変化するアクリル系粘着剤が挙げられる。【００８１】  剥離可能な有機物の層は、支持板との粘着力が可撓性フィルム基板との粘着力よりも大きいことが好ましい。それぞれとの粘着力を制御する方法としては、支持板に剥離可能な有機物を塗布し、空気を遮断した状態で所定の期間架橋を進行させる方法がある。この方法により、支持板に面した側の粘着力に対して、支持板とは反対側（可撓性フィルム基板側）の面における粘着力を低下させ、両側の粘着力に差を生じさせることができる。【００８２】  上記剥離可能な有機物層は、薄くなると平面性が悪くなる他、膜厚むらによる粘着力、すなわち、剥離するときに必要な力にむらが発生するため、０．１μｍ以上であることが好ましく、０．３μｍ以上であることがさらに好ましい。一方、剥離可能な有機物層は、厚くなると有機物層の可撓性フィルム基板への投錨性がよくなるために粘着力が強くなる。従って、２０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがさらに好ましい。さらに、支持板上にある可撓性フィルム基板に形成された回路パターンに電子部品を接合する場合には、その回路パターンの位置精度が重要になる。したがって、回路パターンの厚み方向の位置が大きく変化することを抑制するため、剥離可能な有機物層の厚みは５μｍ以下であることが特に好ましい。【００８３】  なお、剥離可能な有機物層は、電子部品を加熱圧接する際に変形してその表面に凹凸を形成することがある。有機物層が厚いと変形量も大きくなり易く、接合部の回路パターンが沈み込み、配線回路の信頼性に問題が生じることがある。すなわち、沈み込みが大きいときには、電子部品のエッジに回路パターンが接触して短絡を生じることがある。したがって、配線回路の信頼性を確保するためには、沈み込み量が６μｍ以下となるようにすることが好ましく、３μｍ以下となるようにすることがさらに好ましい。なお、沈み込み量は、剥離可能な有機物層の表面に形成される凹凸の高低差とする。【００８４】  繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を支持板から剥離するときは、図６に示すように、剥離中の可撓性フィルム基板５３と支持板５１とのなす角である剥離角５０の範囲が１°以上８０°以下であることが好ましい。剥離角５０が大きすぎると、剥離点において可撓性フィルム基板５３上の金属からなる回路パターンに折れや変形が発生することがある。一方、剥離角５０が小さすぎると可撓性フィルム基板５３の剥離に使われる力よりも可撓性フィルム基板５３を引き延ばす方向の力が大きくなりすぎて、回路パターンや可撓性フィルム基５３板の塑性変形の原因になる。したがって、支持板５１から可撓性フィルム基板５３を低応力で歪みなく剥離するための剥離角の範囲は、好ましくは１°以上８０°以下、より好ましくは２°以上７０°以下、最も好ましくは５°以上６０°以下である。【００８５】  このように剥離角５０を制御するためには、可撓性フィルム基板５３を、曲率を持った剥離ロール５５に沿わせつつ剥離することが好適である。剥離ロール５５の曲率半径は、５０ｍｍ以上、７００ｍｍ以下であることが好ましい。繋ぎ合わされて剥離された可撓性フィルム回路基板は、巻き取り手段によってリールに巻き取られる。【００８６】  なお、このような剥離方法は、上述した１ステップの繋ぎ方法に対しても、仮繋ぎ、本繋ぎに分けた２ステップの繋ぎ方法に対しても採用することできる。【００８７】  また、本発明においては、複数の可撓性フィルム基板を互いに繋ぎ合わせる前には、ＩＣチップ、抵抗やコンデンサなどの電子部品を回路パターンに実装することが好ましい。可撓性フィルム基板が支持板に貼り合わされているので、回路パターンと電子部品との高精度な接続が可能である。【００８８】  回路パターンと電子部品との接続方法としては、回路パターンの接続部に形成された錫、金、はんだなどの金属層と電子部品の接続部に形成された金やはんだなどの金属層とを加熱圧着し金属接合させる方法や、回路パターンと電子部品との間に異方導電性接着剤または非導電性接着剤を塗布し、回路パターンの金属層と電子部品の接続部に���成された金属層とを圧着しつつその異方導電性接着剤または非導電性接着剤を硬化させ、機械的に接合させる方法などがある。【００８９】  次に、本発明の長尺フィルム回路基板の製造装置について、説明する。【００９０】  本発明の製造装置は、一方の可撓性フィルム基板を、剥離可能な有機物層によって支持板の上に固定された他方の可撓性フィルム基板に繋ぎ合わせる接続手段と、繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を巻き取る巻取手段とを備えている。接続手段は、可撓性フィルム基板が固定された支持板を搬送する搬送手段を備え、巻取手段は、支持板から繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を剥離する剥離手段を備えていることが好ましい。【００９１】  具体的には、たとえば図７に示すように、複数の支持板１０３（ａ，ｂ，ｃ）と、それら支持板を保持、搬送する複数の載置台１０４（ａ，ｂ，ｃ）と、支持板に対向配置された上下動可能な加熱加圧手段１０５と、繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を支持板１０３から剥離するときの剥離角を制御する剥離ロール１０６と、剥離された可撓性フィルム基板を巻き取る巻き取りロール１０８などで構成されている。【００９２】  複数の支持板１０３（ａ，ｂ，ｃ）および載置台１０４（ａ，ｂ，ｃ）は、それぞれ搬送方向に整列して設けられており、隣接する支持板、載置台の端部がそれぞれ互いに突き合わせられるようになっている。【００９３】  支持板１０３（ａ，ｂ，ｃ）には、剥離可能な有機物層が設けられ、その上に可撓性フィルム基板１０１（ａ，ｂ）が配置、固定される。このとき、可撓性フィルム基板（ａ，ｂ）は、突出部に最も近い支持板の端部からその突出部がはみ出るように配置される（可撓性フィルム基板１０１ｂ参照）。なお、突出部は、支持板１０３上に可撓性フィルム基板１０１を配置した状態で形成してもよいが、支持板１０３上に配置する前にあらかじめ突出部を形成しておいてもよい。【００９４】  載置台１０４（ａ，ｂ，ｃ）は、剥離ロール１０６の回転に合わせて、基台１１２上に設けられたレール１１３に沿って図中矢印１１４方向に移動する。また、載置台１０４（ａ、ｂ、ｃ）の上面には吸引孔が配置されていて、図示していない真空源により、表面に載置された支持板１０３（ａ、ｂ、ｃ）を吸着保持する。【００９５】  このような構成の装置において、可撓性フィルム基板１０１aを固定している支持板１０３aは、レール１１３に沿って図中矢印１１４方向に搬送され、先行して搬送されていた支持板１０３ｂにその端部が突き合わせられる。その結果、支持板１０３ｂ上に固定されていた可撓性フィルム基板１０１ｂの突出部が、支持板１０３a上に固定されていた可撓性フィルム基板１０１aに重ね合わせられる。【００９６】  図８に、一方の可撓性フィルム基板を支持板上の他方の可撓性フィルム基板に繋ぎ合わせる部分の拡大図を示す。この図に示すように、先行して搬送された可撓性フィルム基板１０１ｂの突出部１１５は、後続する可撓性フィルム基板１０１aの搬送用スペースに、接着層１１６を介して重ね合わされる。【００９７】  なお、支持板端部の突合せにあたっては、後続する可撓性フィルム基板１０１aが先行する可撓性フィルム基板１０１ｂに付き当てられる前に、突出部���１５を真空吸着治具など（図示しない）により保持して持ち上げ、後続する可撓性フィルム基板１０１aが先行する可撓性フィルム基板１０１ｂに突き当てられてから、突出部１１５接着層１１６に接するよう制御する。【００９８】  続いて、重ね合わせ部を加熱加圧手段１０５により加熱加圧する。加熱加圧手段１０５としては、重ね合わせ部のみを加熱するよう加熱加圧面を重ね合わせ部の形状に合わせて設計加工した、昇温可能な治具を用いることが好ましい。その治具を重ね合わせ部に押しあて、加熱し、その後引き離すことにより、局所的に加熱と加圧ができる。治具を加熱してから重ね合わせ部に押しあてることも可能である。また、ヒーターステージや赤外線などにより、加熱を補助することも好ましい。【００９９】  具体的な加熱加圧手段１０５としては、たとえば図９に示すようなものが好ましい。図９（ａ）は加熱加圧手段１０５の側面図、図９（ｂ）は下面図である。図９に示す加熱加圧手段１０５は、ヒーターブロック１１７の先端に、重ね合わせ部に形成される接着層の形状に合わせたヘッド１１８が設けられている。ヒーターブロック１１７によって加熱されたヘッド１１８が、図示しない昇降手段により重ね合わせ部方向に降下し、接着層１１６上に配置された突出部１１５を上から押圧する。昇降手段としては、エアーシリンダーや油圧シリンダーが採用できる。このような構成の加熱加圧手段１０５により接着層を局所的に加熱して、２枚の可撓性フィルム基板を連結することができる。【０１００】  連結された可撓性フィルム基板は、巻取手段によって支持板から剥離されて巻き取られる。巻取手段は、剥離角を制御する剥離ロール１０６と、長尺化された可撓性フィルム基板の巻き取りロール１０８と、可撓性フィルム基板の走行を補助するロール１０７などで構成されている。【０１０１】  剥離ロール１０６は、軸１１９を介して、図示されない剥離ロール１０６の回転角速度を測定するエンコーダ、ロールに与えるトルクを制御する電磁クラッチおよび回転モーターに結合されている。剥離ロール１０６の回転軸の自由度は回転方向のみであり、載置台１０４で可撓性フィルム基板１０１を図中矢印１１４方向に送り、剥離を進行させるように構成されている。このような構成にすることにより、巻取手段が簡素化されている。なお、剥離ロール１０６の回転と載置台１０４の水平移動は、各々独立に行われ、支持板１０３から可撓性フィルム基板１０１を連続して剥離するように制御される。【０１０２】  剥離ロール１０６の表面には吸着孔を配置して、真空源（図示されていない）により、可撓性フィルム基板１０１の接触する部分を吸着しても良い。【０１０３】  剥離ロール１０６の表面の材質は特に限定されないが、プラスチック、または、ゴム、発泡プラスチック等の弾性体であってクッション性を有するものであることが好ましい。可撓性フィルム基板に傷がつくことを防止する。また、弾性変形により可撓性フィルム基板上の回路パターンに接続された電子部品の高さ、あるいは可撓性フィルム基板の仮繋ぎに用いられた粘着テープの高さも吸収する。その結果、電子部品や粘着テープのエッジで可撓性フィルム基板および回路パターンに折れが発生することを防止できる。剥離ロール１０６に電子部品に対応した凹部を形成加工した場合には、その凹部のエッジによって可撓性フィルム基板に折れが発生しにくいなどの効果がある。【０１０４】  また、剥離ロール１０６の表面の材質としては、シリコーン樹脂等のタック性を有するものも好ましい。剥離の進行に伴い可撓性フィルム基板の伸びが累積して、剥離ロール１０６と可撓性フィルム基板との間のずれ量が増加するのを防止できる。その結果、剥離の進行に伴う剥離角の増加を抑制できる。タック性の目安としては、支持板の表面材質と可撓性フィルム基板を重ね合わせてから剥離するとき、１８０°方向のピール強度が９．８Ｎ／ｍ以下であることが好ましい。【０１０５】  剥離ロール１０６の表面が柔らかすぎると、可撓性フィルム基板の剥離が剥離進行方向に垂直な方向に対して均一に進行しにくくなる。電子部品が搭載されている場合や可撓性フィルム基板にスプロケットホールが設けられている場合に弊害が起きやすい。すなわち、可撓性フィルム基板の剥離進行と垂直方向に張力ムラが発生しやすく、可撓性フィルム基板および回路パターンが歪み、位置精度が損なわれることがある。一方、剥離ロール１０６の表面が硬すぎると、上記のように電子部品に対応した凹部を形成加工した場合に凹部のエッジによって可撓性フィルム基板に折れが発生しやすく、また、摩擦により回路パターンが損傷することがある。したがって、剥離ロール１０６の表面の材質としては、ＪＩＳ−Ａ硬度３０°〜８０°の弾性体が好ましい。【０１０６】  また、可撓性フィルム基板１０１に接する剥離ロール１０６の表面は、剥離帯電による可撓性フィルム基板１０１の帯電電位を抑制するために、制電性もしくは導電性であることが好ましい。帯電電位が大きくなると、放電が発生して回路パターンや電子部品を損傷するおそれがある。可撓性フィルム基板の剥離面とは反対の面に制電性あるいは導電性部材が接触していることによって、剥離面に発生する電荷が同じであっても電位を低くすることができるので、放電を防止できる。制電性材料としては、導電性材料を含有し、表面抵抗が１０１２Ω以下であるプラスチック、ゴム、発泡プラスチックなどが好ましい。【０１０７】  剥離ロール１０６には、回路パターンが形成された可撓性フィルム基板１０１に許容される変形量と剥離性を勘案した曲率半径が与えられるが、部分的に異なる曲率半径が与えられていても良い。【０１０８】  繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板は、このような構成の巻取手段において、剥離ロール１０６に沿って走行し、支持板１０３から剥離される。このとき、巻き取りロール１０８を駆動して可撓性フィルム基板に張力を与える。【０１０９】  巻取手段には、剥離される可撓性フィルム基板の連結部を剥離ロール１０６とともに一時的に挟み込む挟持手段１２０を設けることも好ましい。挟持手段１２０は、可撓性フィルム基板の連結部を剥離ロール１０６とともに挟むときは、剥離ロール１０６とともに軸１１９の周りを回転し、エアシリンダー（図示しない）などによって剥離ロール１０６から離されるときは、軸１１９を中心として自在に回転することができるように構成されることが好ましい。【０１１０】  剥離中の可撓性フィル��基板と支持板とのなす角である剥離角は、上述したように１°以上８０°以下であることが好ましいが、これを制御するには、たとえば次のように行う。【０１１１】  剥離ロール１０６の半径をＲとすると、このＲにエンコーダで観測された回転角速度を掛け合わせることにより、剥離ロール１０６表面での周速度Ｖ１が算出される。挟持手段１２０で可撓性フィルムを挟む場合、剥離ロール１０６表面での周速度Ｖ１を載置台１０４の水平移動速度Ｖ２よりも大きくし、かつ、Ｖ１はトルク制限機構により剥離ロール１０６に加わるトルクが所定の値を超えないようＶ２を下回らない範囲で制御する。このように制御することで、可撓性フィルム基板の伸びによる剥離角の拡大を抑制して剥離を安定して進行さえることができ、また、可撓性フィルム基板およびその上に形成された回路パターンの変形を抑制することができる。【０１１２】  Ｖ１、Ｖ２およびトルクの制御は、機械式、電子式もしくは、両者の組み合わせで可能である。機械式トルク制御方式としては、スリップリングと呼ばれる方式などを採用することができ、簡便な点で好ましい。電子式トルク制御方式としては、トルクセンサーとサーボモーターの組み合わせなどで実現することができ、制御の正確さや制御の自由度が高い点で好ましい。Ｖ１、Ｖ２の初期設定値は、Ｖ１／Ｖ２が１．０１以上とすることが好ましい。トルク制限の設定値は、剥離の進行に伴う剥離角の増加防止に十分であり、かつ、金属からなる回路パターンや可撓性フィルム基板が塑性変形を起こさない範囲に設定され、可撓性フィルム基板の材質や幅、厚さにより、適宜選択される。Ｖ１とＶ２を独立して制御するために、可撓性フィルム基板１０１は、剥離ロール１０６との間に０．５〜５ｍｍのギャップを設けることが好ましい。【０１１３】  なお、挟持手段１２０を用いない場合は、巻き取りロール１０８の張力制御と剥離ロール１０６の回転速度制御により、Ｖ１とトルクの制御を行う。【０１１４】  Ｖ１、Ｖ２およびトルクの制御は制御装置１１１によって行われる。この制御装置１１１は、その他、載置台１０４の移動と真空吸着、剥離ロール１０６の回転、巻き取りロール１０８の回転、加熱加圧手段１０５の昇温と上昇下降などをも制御する。【０１１５】  可撓性フィルム基板が剥離された支持板１０３ｃは図示されない移載手段で載置台から取り除かれる。支持板１０３ｃが取り除かれた載置台１０４ｃは、図示されない移動手段により、載置台１０４ａの左側に移動され、新たな可撓性フィルム基板が搭載される。【０１１６】  なお、先行する可撓性フィルム基板がない場合は、最初の可撓性フィルム基板をリードフィルムに繋ぎ合わせる。リール対応の装置は、通常、巻き出しリールおよび巻き取りリールから所定の処理を行う部分まで数十ｃｍから数ｍのフィルムパスがある。したがって、その装置で処理される可撓性フィルム基板の巻き始めおよび巻き終わりにはリードフィルムを接続する必要がある。したがって、図７に示した装置においては、リードフィルムの一端を巻き取りロール１０８に固定し、ロール１０７、剥離ロール１０６を経て、反対側の端部を最初の可撓性フィルム基板の剥離開始端に繋ぎ合わせてから、剥離を開始することが���ましい。後続する可撓性フィルム基板がない場合も同様に、最後の可撓性フィルム基板に適当な長さのリードフィルムを接続して、巻き取りロールに巻き取る。【０１１７】  また、可撓性フィルム基板としては、予め搬送用スペースが搬送方向に平行な方向に突出しているものを支持板に固定してもよいが、支持板に固定した後に、レーザー加工などにより突出部を形成する場合は、突出部の下の支持板を機械式もしくはレーザースクライブを利用して切り離し、突出部を支持板から突出させることができるように構成することが好ましい。【０１１８】  次に、可撓性フィルム基板を一旦仮繋ぎし、その後所定の形状に切断して本繋ぎする場合の装置について、説明する。【０１１９】  図１０に仮繋ぎ装置を示す。この装置においては、複数の支持板２０３（ａ，ｂ，ｃ）と、それら支持板２０３を保持、搬送する複数の載置台２０４（ａ，ｂ，ｃ）と、支持板２０３に対向配置された上下動可能な押圧手段２０５と、繋ぎ合わされた可撓性フィルム基板を支持板２０３から剥離するときの剥離角を制御するロール２０６と、剥離された可撓性フィルム基板を巻き取る巻き取りロール２０８などで構成されている。【０１２０】  複数の支持板２０３（ａ，ｂ，ｃ）および載置台２０４（ａ，ｂ，ｃ）は、それぞれ搬送方向に整列するように設けられており、隣接する支持板、載置台の端部がそれぞれ互いにつき合わせられるか、比較的短い所定の間隙をあけて整列するようになっている。【０１２１】  支持板２０３（ａ，ｂ，ｃ）には、剥離可能な有機物層２０２（ａ，ｂ，ｃ）が設けられ、その上に可撓性フィルム基板２０１(ａ，ｂ)が配置、固定される。このとき、可撓性フィルム基板の端面が支持板の端面とそろうように配置されていることが好ましい。【０１２２】  載置台２０４(ａ，ｂ，ｃ)は、ロール２０６の回転に合わせて、基台２１２上に設けられたレール２１３に沿って図中矢印２１４方向に移動する。また、載置台２０４(ａ，ｂ，ｃ)の上面には吸引孔が配置されていて、図示していない真空源により、表面に載置された支持板２０３(ａ，ｂ，ｃ)を吸着保持する。【０１２３】  押圧手段２０５は、粘着テープを保持し、隣接した可撓性フィルム基板にまたがるように粘着テープを押しつけることができるように構成されている。【０１２４】  このような構成の仮繋ぎ装置において、可撓性フィルム基板２０１aを固定している支持板２０３aは、レール２１３に沿って図中矢印２１４方向に搬送され、先行して搬送されていた支持板２０３ｂにその端部が突き合せられるか、比較的短い所定の間隙をあけて整列される。その結果、支持板２０３ｂ上に固定されていた一方の可撓性フィルム基板２０１の端部と、支持板２０３a上に固定されていた可撓性フィルム基板２０１aとの端部とが突き合わせられるか、所定の比較的短い間隙をあけて整列される。この状態で、粘着テープ２１６を保持している押圧手段２０５が降下してきて、隣接している２枚の可撓性フィルム基板にまたがるように粘着テープ２１６を押しつける。このようにして仮繋ぎされた可撓性フィルム基板は、図７の装置について説明したのと同様にして支持板から剥離され、巻き取りロール２０８に巻き取られる。【０１２５】  ここで���粘着テープを保持し可撓性フィルム基板に押しつける押圧手段２０５について図１１を参照しながら詳細に説明する。図１１（a）は、粘着テープ２１６が離型フィルム２３８に仮固定されている状態を示している。図１１（ｂ）は、突合せられた支持板の可撓性フィルム基板の上に粘着テープ２１６が貼り付けられた状態を示している。【０１２６】  粘着テープ２１６は、あらかじめ可撓性フィルム基板の幅に合わせて枚葉にカットされ、シリコーン樹脂層をポリエステルフィルム上に設けた離型フィルム２３８に仮固定されている。離型フィルム２３８は真空吸着台２３９で裏側から吸着固定される。【０１２７】  上述したように２枚の可撓性フィルム基板２０１（ａ、ｂ）が突き合わせられたところもしくは比較的短い所定の間隙をあけて整列されたところで、押圧手段２０５が粘着テープ２１６を離型フィルム２3８から剥がして可撓性フィルム基板２0１の上に移動する。次いで、押圧手段２０５は、粘着テープ２１６を２枚の可撓性フィルム基板２０１（ａ、ｂ）にまたがるように押しつけて、可撓性フィルム基板を繋ぎ合わせる。なお、図中、２0２（ａ、ｂ）は剥離可能な有機物層、２0３（ａ、ｂ）は支持板、２0４（ａ、ｂ）は載置台である。【０１２８】  本実施態様では、粘着テープはあらかじめカットされ離型フィルムに仮固定されているが、リールに巻かれた状態の粘着テープを繰り出しつつ、可撓性フィルム基板に押しつけ、次いで可撓性フィルム基板幅に切断する方法も採用することができる。【０１２９】  また、支持板を保持、搬送する手段として、載置台の代わりに、可撓性フィルム基板幅方向端部を上下から挟み込むロールやチャックを使用することもできる。図１２にロールを使った例を示す。【０１３０】  この装置においては、搬送ロール群３０４の上に支持板３０３（ａ、ｂ）が配置されており、その上に可撓性フィルム基板３０１（ａ、ｂ）が、剥離可能な有機物層３０２（ａ、ｂ）を介して固定されている。支持板３０３（ａ、ｂ）は、位置決め治具３３０により搬送ロール幅方向の位置が整えられ、先行する、可撓性フィルム基板３０１ｂが貼り合わされた支持板３０３ｂの終端と突き合わされるか、比較的短い所定の間隙を置いて整列させられる。搬送ロール群３０４、位置決め治具３３０によって、複数の可撓性フィルム基板３０１を順次整列させることができる。【０１３１】  このとき、可撓性フィルム基板３０１は搬送方向には各支持板３０３と同じ長さにしておくことが好ましい。こうすることで、先行する支持板３０３ｂの終端とそれに続く支持板３０３ａの始端とを突き合わせると、可撓性フィルム基板３０１ｂの終端と可撓性フィルム基板３０１ａの始端とが突き合わされる。【０１３２】  突き合わされた部分は、たとえば粘着テープ３1６で固定して、２枚の可撓性フィルム基板を繋ぎ合わせる。【０１３３】  繋ぎ合わせられた可撓性フィルム基板は、図中矢印３１４方向に搬送され、剥離ロール３０6、搬送ロール群３０４、バックアップロール３３１、押さえロール３３２に挟まれつつ、支持板３０３ｂから剥離される。可撓性フィルム基板を剥離ロール３０６と挟持手段３３３とで挟み込んで固定し張力を与えることもできるが、巻き取りロール３０８���より、可撓性フィルム基板に張力を与えてもよい。なお、図中、３０９はスペーサー、３１0はスペーサーを供給するスペーサー供給ロールである。【０１３４】  上記のような装置で仮繋ぎされる可撓性フィルム基板には、本繋ぎのための接着層があらかじめ形成されていても良い。また、本繋ぎのための接着層は、仮繋ぎ後に形成されても良い。回路パターンの保護層も仮繋ぎ後に形成されても良い。図１６に、仮繋ぎ前の可撓性フィルム基板３６３に接着層を設けた態様を示す。配置された回路パターンにしたがって、接着層３６７が設けられる。図１７に、粘着テープ３６４で仮繋ぎされた広幅の可撓性フィルム基板３６３の一部を示したものである。その後、可撓性フィルム基板は、たとえば図１３に示す装置で所定の形状に切断され、本繋ぎされる。本繋ぎ前に、可撓性フィルム基板にスプロケットホールを設けたり、回路パターンの配置にしたがって可撓性フィルム基板を所定の幅にスリットしても良い。図１８に仮繋ぎされた幅広の可撓性フィルム基板３６３にスプロケットホール３６５を形成した様子を示す。図１９に、図１８の可撓性フィルム基板３６３を後の工程で用いられる所定の幅にスリットした態様を示す。なお、上述したように、本繋ぎは、仮繋ぎの広幅のまま実施しても良いし、後の工程で用いられる所定の幅にスリットしてから実施しても良い。【０１３５】  図１３に示す装置は、仮繋ぎされた可撓性フィルム基板４００の巻き出しロール４０１および巻き取りロール４０７と、可撓性フィルム基板４００と同時に巻き出されるスペーサーを巻き取るスペーサー巻取りロール４０３および巻き取られる可撓性フィルム基板４００の間にスペーサー４０６を供給するスペーサー供給ロール４０５と、本繋ぎユニット４０４とを備えている。【０１３６】  仮繋ぎされた可撓性フィルム基板は、この装置において、巻き出しロール４０１から本繋ぎユニット４０４へと供給される。長尺フィルム回路基板と共に巻かれていたスペーサー４０２はスペーサー巻き取りロール４０３に巻き取られる。本繋ぎユニット４０４に搬送された可撓性フィルム基板４００は、所定の形状に切断された後、繋ぎ合わせられ、スペーサー供給ロール４０５から供給されるスペーサー４０６とともに巻き取りロール４０７に巻き取られる。なお、可撓性フィルム基板４００には、本繋ぎのための接着層４１３が形成されている。【０１３７】  本繋ぎユニット４０４は、図１４に示すように、金型４１０ａ、４１０ｂと吸着ステージ４１１、４１２とを備えている。金型４１０ａ、４１０ｂは、この金型によって切断された可撓性フィルム基板の少なくとも搬送用スペースが搬送方向に平行な方向に突出した形状となるような形状となっている。【０１３８】  仮繋ぎされた可撓性フィルム基板４００は、この本繋ぎユニット４０４において、粘着テープ４０９が金型４１０ａ、４１０ｂの打ち抜き位置にくるように送られ、吸着ステージ４１１、４１２で吸着される（図１４（ａ））。【０１３９】  この状態で、金型４１０ａ、４１０ｂで可撓性フィルム基板を所定形状に打ち抜く（図１４（ｂ））。その後、金型４１０ａを退避させ、吸着アーム４１４、４１５にて打ち抜き位置前後の可撓性フィルム基板を保持する（図１４（ｃ））。吸着ステージ４１１，４１２の吸着を解除し、次いで、吸着アーム４１４、４１５にて可撓性フィルム基板を持ち上げる。（図１４（ｄ））。２枚の可撓性フィルム基板をそれぞれ下流側に移動させ、下流側の可撓性フィルム基板始端が上流側の可撓性フィルム基板後端に設けられた接着層４１３に重なるよう配置する（図１４（ｅ））。この状態で、加熱加圧手段４１６を移動させてきて、接着層４１３が設けられている位置に可撓性フィルムの上から押し当てる（図１４（ｆ））。このようにして、粘着テープ４０９が切断除去されて分離された２枚の可撓性フィルム基板が繋ぎ合わせられる。【０１４０】  本発明においては、可撓性フィルム基板を支持板上に配置するために、たとえば図１５に示すようなラミネート装置を使用することが好ましい。【０１４１】  図１５に示すラミネート装置は、基台５００上に設けられた載置台５０１と、それに対向配置された可撓製フィルム基板保持手段および静電気帯電装置５０２などで構成されている。【０１４２】  載置台５０１は、剥離可能な有機物層５０３が塗布された支持板５０４を真空吸着等で保持するものであり、レール５０５、ガイド５０６、ナット５０７、ブラケット５０８、５０９、ボールねじ５１０、モーター５１１などによって水平方向に可動に構成されている。【０１４３】  可撓製フィルム基板保持手段は、枠体５１４に保持された可撓性織物５１２と、その可撓性織物５１２を下方に押し付けるスキージ５１６などで構成されている。【０１４４】  静電気帯電装置５０２は、可撓性織物５１２を帯電させるものである。静電気帯電装置５０２は、基台５００に設けられた支柱５１３によって支持されるとともに、載置台５０１との間で上下に可動に構成されている。支柱５１３は、図１５の左右に移動する枠体５１４や載置台５０１と静電気帯電装置５０２が干渉しないように可動である。【０１４５】  このような構成の装置においては、まず、載置台５０１を図１５の破線で示す左端の位置に移動させて停止させ、搬送装置（図示していない）により、可撓性フィルム基板５１５を載置台５０１上に載置し、吸着固定する。次いで載置台５０１を右方向に向かって一定速度にて移動させ、静電気帯電装置５０２の下方を可撓性フィルム基板５１５を通過させる。このとき、静電気帯電装置５０２から正に帯電したイオン風を下向きに吹き付け、可撓性フィルム基板５１５を正に帯電させる。載置台５０１が枠体５１４に保持された可撓性織物５１２の真下にきたら載置台５０１を停止させ、可撓性フィルム基板５１５の吸着を解除する。【０１４６】  次いで、可撓性織物５１２を下降させ、載置台５０１上の可撓性フィルム基板５１５に近接させ、所定の隙間となるところで停止させる。可撓性フィルム基板５１５と可撓性織物５１２との隙間は１０ｍｍ以下が好ましいが、可撓性フィルム基板５１５と可撓性織物５１２を面接触させることも可能である。その後、スキージ５１６を可撓性織物５１２の上側から押しあてて、可撓性織物５１２と載置台５０１の上面とで可撓性フィルム基板５１５を挟むような状態にする。同時に、スキージ５１６を可撓性フィルム基板５１５の左端の位置から右端の位置まで移動させて、可���性織物５１２を可撓性フィルム基板５１５に接触させ、載置台５０１上の可撓性フィルム基板５１５を、静電気力により可撓性織物５１２に移し替える。【０１４７】  可撓性織物５１２が可撓性フィルム基板５１５を保持できたら、スキージ５１６を可撓性織物５１２より引き離すとともに、可撓性織物５１２を上方に移動させて、しばらく待機させる。スキージ５１６を左端の位置に移動させる。【０１４８】  次いで、載置台５０１を再び左端に移動させて停止させ、搬送装置（図示していない）により、剥離可能な有機物層５０３があらかじめ形成されている支持板５０４を、載置台５０１上に載置して、吸着固定する。吸着固定後、載置台５０１を右方向に移動させて、可撓性織物５１２に保持された可撓性フィルム基板５１５の真下に来るところで停止させる。この時の載置台５０１の停止位置は、可撓性フィルム基板５１５が支持板５０４のあらかじめ定められた位置にラミネートできるように定める。【０１４９】  その後、可撓性織物５１２を載置台５０１上の支持板５０４に近接させ、可撓性フィルム基板５１５と支持板５０４とが所定の隙間となるところで停止させる。可撓性フィルム基板５１５と支持板５０４との隙間は１０mm以下が好ましい。続いて、スキージ５１６を可撓性織物５１２の上側から押しあてて、可撓性織物５１２に保持されている可撓性フィルム基板５１５を載置台５０１上の支持板５０４に押し当る。同時にスキージ５１６を可撓性フィルム基板５１５の左端の位置から右端の位置まで移動させ、可撓性織物５１２に保持されている可撓性フィルム基板５１５を、載置台５０１上の支持板５０４に移し替える。この動作により、可撓性フィルム基板５１５は支持板５０４にラミネートされ、剥離可能な有機物層５０３の粘着力により、しっかり固定される。【０１５０】  スキージ５１６が右端までいって停止したら、スキージ６１５を可撓性織物５１２より遠ざける。続いて可撓性織物５１２を上昇させ、載置台５０１の吸着を解除後、搬出装置（図示しない）により、載置台５０１上の可撓性フィルム基板５１５がラミネートされた支持板５０４を次の工程に搬出する。【０１５１】  以下、同じ動作を繰り返して、次の可撓性フィルム基板を、次の支持板に対してラミネートする。【０１５２】  本発明においては、このようなラミネート装置を使うことにより、可撓性フィルム基板を低応力で歪みを抑えて支持板に貼り合わせることができる。【０１５３】  また、本発明においては、上述したように、支持板と可撓性フィルム基板とに間に剥離可能な有機物層を設ける。そのため、製造装置には、図示しないが、有機物塗布手段と、塗布された有機物を乾燥させる有機物乾燥手段とを設けることが好ましい。【０１５４】  有機物塗布手段としては、スピンコーター、ブレードコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、スクリーン印刷機などを用いることができる。中でも、間欠的に送られてくる枚葉型の支持板にその有機物を均一に塗布するためには、ダイコーターを使用することが好ましい。なお、有機物塗布手段は、可撓性フィルム基板に剥離可能な有機物を塗布するものであってもよい。また、別途用意した離型フィルムに剥離可能な有機物を一旦塗布���、乾燥した後に支持板へ転写してもよい。【０１５５】  有機物乾燥手段としては、加熱乾燥機や真空乾燥機、ホットプレートなどを用いることができる。また、支持板に塗布した剥離可能な有機物層上に、離型フィルム（ポリエステルフィルム上にシリコーン樹脂層を設けたフィルム）を貼り合わせて放置する期間を設けることも好ましい。その放置期間に剥離可能な有機物は架橋が進行して粘着力が徐々に低下するが、離型フィルム側表面の粘着力の低下が大きいので、可撓性フィルム基板を支持板から剥離する際、剥離可能な有機物層が支持板上に残り、剥離後の可撓性フィルム基板を洗浄する工程が省ける。離型フィルムを貼り合わせる代わりに、窒素雰囲気中や真空中で保管することもできる。乾燥期間や乾燥温度は、所望の粘着力が得られるように選択する。【０１５６】  本発明においては、可撓性フィルム基板に接着層を形成する手段を付加することも好ましい。接着層形成手段は、接着層塗布手段と乾燥手段からなる。接着層塗布手段としては、パターン形成するために、スクリーン印刷機やディスペンサーなどを用いることができる。なお、前述したように、保護層と重ね合わせ部を固定する接着層とを同時に形成する場合には、スクリーン印刷機を用いることが好ましい。乾燥手段としては、熱風オーブンやホットプレートを用いることができる。
【実施例】
【０１５７】  以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。【０１５８】  実施例１  可撓性フィルム基板を構成するベースフィルムとして、厚さ２５μｍの長尺ポリイミドフィルム（“カプトン”１５０ＥＮ（商品名）東レデュポン（株）製）を準備した。長尺フィルム対応のリール・ツー・リール方式のスパッタ装置で、ポリイミドフィルム上に厚さ１５ｎｍのクロム：ニッケル＝５：９５（重量比）の合金層と厚さ１５０ｎｍの銅層をこの順に積層した。【０１５９】  支持板であるソーダライムガラス（厚さ１．１ｍｍ、３００×３５０ｍｍ）に、ダイコーターで剥離可能な有機物を塗布し、８０℃で２分間乾燥した。剥離可能な有機物としては、紫外線硬化型粘着剤“ＳＫダイン”ＳＷ−２２（綜研化学（株）製）と硬化剤Ｌ４５（綜研化学（株）製）とを１００：３（重量比）で混合したものを用いた。乾燥後の剥離可能な有機物層の厚みは２μｍであった。次いで有機物層に、空気遮断用フィルム（ポリエステルフィルム上に離型容易なシリコーン樹脂層を設けたフィルム）を貼り合わせて１週間放置した。【０１６０】  上記の金属層を設けたポリイミドフィルムを３００×３５０ｍｍに切り出した。ガラスに貼り合わせた上記空気遮断用フィルムを剥がしてから、図１５に示したラミネーター装置で剥離可能な有機物層に金属層を設けたポリイミドフィルムを貼り合わせた。静電気帯電装置５０２でポリエステルメッシュからなる可撓性織物５１２を帯電させ、金属層を設けたポリイミドフィルム（可撓性フィルム基板５１５）を吸着させた。次に、剥離可能な有機物層５０３が塗布されたガラス（支持板５０４）を真空吸着で載置台５０１に保持した。スキージ５１６でポリイミドフィルム（可撓性フィルム基板５１５）を可撓性織物５１２ごと剥離可能な有機物層５０３に押しつけ、ポリイミドフィルム（可撓性フィルム基板５１５）をガラス（支持板５０４）側に移し取った。その後、ガラス側から紫外線を１０００ｍＪ／ｃｍ２照射し、剥離可能な有機物層を硬化した。金属層上にポジ型フォトレジストをスピンコーターで塗布して８０℃で１０分間乾燥した。フォトレジストをフォトマスクを介して露光、現像して、めっき層が不要な部分に厚さ１２μｍのフォトレジスト層を形成した。【０１６１】  １枚の上記ポリイミドフィルムに形成されるパターンは以下のとおりとした。まずガラスの３００ｍｍ長さの方向に４２ｍｍ、ガラスの３５０ｍｍ長さの方向に２３ｍｍの長さの回路パターンを作製し、これを１ユニットとした。このユニットをガラスが３００ｍｍ長さの方向に中心から等配、４８ｍｍピッチで６列を隣接させ配置した。ガラスが３５０ｍｍ長さの方向には中心から等配、２３．７５ｍｍピッチで１４個を配置した。ガラスが３５０ｍｍ長さの方向ではユニット間の距離は０．７５ｍｍである。【０１６２】  この結果、１枚のポリイミドフィルムに最終的な大きさの短冊状可撓性フィルム基板が６枚形成されるようになっている。なお、ポリイミドフィルムは、この段階では、まだ、各短冊に切り分けられていない。【０１６３】  回路パターンには、２５μｍピッチのバンプを備えたＩＣと接続するための配線（インナーリード）を配置し��。すなわち、回路パターンの４２ｍｍの方向に１９．９７５ｍｍで、それと直交する方向に１．９７５ｍｍの長方形上に、２５μｍピッチで、幅１０μｍの配線を配置した。【０１６４】  次いで、上記金属層を電極として厚さ８μｍの銅層を硫酸銅めっき液中での電解めっきで形成した。フォトレジストをフォトレジスト剥離液で剥離し、続いて、過酸化水素−硫酸系水溶液によるソフトエッチングにてレジスト層の下にあった銅層およびクロム−ニッケル合金層を除去した。引き続き、銅めっき層上に、無電解めっきで厚さ０．４μｍの錫層を形成し、回路パターンを得た。【０１６５】  その後、スクリーン印刷機にて回路パターンを保護するための保護層および連結のための接着層を同時に形成した。図１６に示すように、保護層３６８は、回路パターン３６９上およびその周囲だけに樹脂を塗布して形成した。接着層３６７は、本繋ぎにおいて別の可撓性フィルム基板の突出部が重ね合わせられる搬送用スペースに幅２．８ｍｍ、長さ１１．８ｍｍで、また、搬送用スペース間の搬送方向に直行する方向全幅に、搬送方向に０．２ｍｍの長さで樹脂を塗布して形成した。その後、オーブンで１２０℃、９０分間キュアし、１０μｍ厚の保護層３６８および接着層３６７を得た。【０１６６】  保護層および接着層にはソルダーレジストＳＮ−９０００（日立化成工業（株）製）を用いた。この樹脂のガラス転移点Ｔｇを１２０℃、９０分間のキュア後、ＴＭＡ（サーマルメカニカルアナリシス）法で測定したところ、２１２℃であった。なお、装置はセイコーインスツルメント（株）製“Ｅｘｓｔａｒ６０００”を使用し、試料は熱硬化後のソルダーレジストの単膜を用意し、サイズは１０ｍｍ×１０ｍｍとした。測定条件は昇温速度は５℃／分で、測定方向はエクステンション法を用い、変化率最大値をＴｇと定義した。 【０１６７】   続いて、図１０に示した装置で、ポリイミドフィルムを仮繋ぎしてからガラスから剥離し、ロールに巻き取った。なお、各ポリイミドフィルムの３５０ｍｍ長さの辺が搬送方向になるように配置して仮繋ぎした。剥離ロール２０６の半径は１５５ｍｍとし、剥離ロール表面には硬度７０°のポリウレタンゴムを使用した。仮繋ぎのための粘着テープ２１６には、ポリエステルフィルムベースの幅１７ｍｍの粘着テープを使用した。【０１６８】  次に、幅３００ｍｍのパンチング装置にて、ロールに巻き取った幅３００ｍｍのポリイミドフィルムに、４８ｍｍピッチで配置された回路パターンにしたがってスプロケットホールを形成した。スプロケットホールが形成されたポリイミドフィルムを回路パターン配置にしたがって４８ｍｍ幅にスリットした。【０１６９】  その後、図１３に示した本繋ぎ装置にて、次の手順を繰り返し、長さ約４０ｍ、幅４８ｍｍの長尺フィルム回路基板を得た。（a）仮繋ぎ位置を金型で打ち抜き、下流側のポリイミドフィルムの搬送方向端部の一対の搬送用スペースに、幅３ｍｍ、長さ１２ｍｍの突出部を設けた。上流側のポリイミドフィルムは接着層に沿って直線状に切断した。（ｂ）ポリイミドフィルムの搬送方向端部が、搬送方向に直交する方向の全幅で重なるように、分割された２枚のポリイミドフィルムを重ね合わせた。なお、全幅での重ね合わせは搬送方向に０．５ｍｍとなるようにするとともに、連結された後のユニット間隙が０．７５ｍｍとなるようにした。（ｃ）その後、加熱加圧手段４１６を用いて接着層を加熱し、２枚のポリイミドフィルムを連結固定した。なお、加熱加圧手段４１６のヘッドは、搬送用スペース対応位置では幅３ｍｍ、長さ１２ｍｍ、搬送用スペース間対応位置では幅（搬送方向の長さ）０．５ｍｍの面を有していた。押圧は、温度３５０℃、圧力１Ｎ／ｍｍ２で１０秒間行った。【０１７０】  仮繋ぎでは、ガラスに貼り合わせた状態でポリイミドフィルムを繋ぎ合わせたために、薄い枚葉のポリイミドフィルムであるにもかかわらず、しわ、縮みなくかつ２枚のポリミドフィルムをまっすぐに繋ぎ合わせることができ、繋ぎ合わせ部分の横方向ずれは各連結部とも常に０．１ｍｍ以内と良好であった。さらに、ポリイミドフィルムをガラス上に固定した状態で繋ぎ合わせ、その後にガラスから剥離し、連続して巻き取ることから、巻き取りロールおよび巻き出しロール交換時にだけ人が介在し、それ以外のときは自動運転が可能であった。【０１７１】  かくして得られた長尺フィルム回路基板の回路パターンユニット５００個について、回路パターンの１９．９７５ｍｍの長さ方向に並んだ８００本の２５μｍピッチ配線の中心線間距離を測長機ＳＭＩＣ−８００（ソキア（株）製）にて、測定したところ、目標値１９．９７５ｍｍに対して、±２μｍの範囲に入っており非常に良好であった。長尺フィルム回路基板の繋ぎ合わせ部分を切り取り、オリエンテック社製“テンシロン”に加熱部を付加した測定装置で、測定雰囲気温度１５０℃として、連結強度を測定したところ、１１Ｎと後工程での搬送に十分な強度であった。【０１７２】  実施例２  搬送用スペース間の搬送方向に直行する方向全幅に、搬送方向０．４ｍｍ長さで樹脂を塗布した以外は実施例１と同様にして、長尺フィルム回路基板を作製した。【０１７３】  実施例１と同様にして連結強度を測定したところ、１３Ｎと後工程での搬送に十分な強度であった。【０１７４】  実施例３  加熱加圧手段４１６のヘッドの温度を２００℃としたこと以外は実施例１と同様にして、長尺フィルム回路基板を作製した。【０１７５】  実施例１と同様にして連結強度を測定したところ、４．７Ｎと、後工程での使用に供せられる程度の強度を有していた。ただし、間欠送り等の力が作用する場合には多少マージン不足であることが懸念される。【０１７６】  実施例４  実施例１と同様にして、回路パターン、保護層および接着層を形成した。次に、ＹＡＧレーザーを用いて、回路パターン配置にしたがってポリイミドフィルムを幅４８ｍｍ、長さ３５０ｍｍの短冊状に切り分けた。ポリイミドフィルムが貼り合わされた側とは反対側からガラススクライブ装置にて短冊状のポリイミドフィルムに合わせて、ガラスにスクライブラインを入れ、割断した。【０１７７】  ガラスに固定された短冊状のポリイミドフィルムに、ＩＣボンダー（東レエンジニアリング（株）製）にて２５μｍピッチの千鳥配置金バンプを有する外形２２ｍｍ×２．２ｍｍのＩＣを接合した。【０１７８】  ＩＣが接合されたポリイミドフィルムを実施例１と同様にして、仮繋ぎ、スプロケットホール形成、本繋��した。但し、４８ｍｍ幅に対応して仮繋ぎ装置およびパンチング装置の搬送機構を調整し、また、仮繋ぎ装置の剥離ロール表面には発泡ポリウレタンを使用した。【０１７９】  仮繋ぎでは、ガラスに貼り合わせた状態でポリイミドフィルムを繋ぎ合わせたために、薄い枚葉のポリイミドフィルムであるにもかかわらず、しわ、縮みなくかつ２枚のポリミドフィルムをまっすぐに繋ぎ合わせることができ、繋ぎ合わせ部分の横方向ずれは各連結部とも常に０．１ｍｍ以内と良好であった。さらに、ポリイミドフィルムをガラス上に固定した状態で繋ぎ合わせ、その後にガラスから剥離し、連続して巻き取ることから、巻き取りロールおよび巻き出しロール交換時にだけ人が介在し、それ以外のときは自動運転化が可能であった。【０１８０】  得られた長尺フィルム回路基板には、ガラスからの剥離に伴う折れやカールはなかった。連結強度も１１Ｎと良好であった。【０１８１】  実施例５  本繋ぎに用いる接着層のための樹脂を以下のようにして用意した。温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷却装置および撹拌装置を付した反応釜に、１,１,３,３−テトラメチル−１,３−ビス（３−アミノプロピル）ジシロキサン２４．９ｇ（０．１ｍｏｌ）、４,４"−ジアミノジフェニルエーテル１８０．２ｇ（０．９ｍｏｌ）をＮ,Ｎ−ジメチルアセトアミド２８１３ｇと共に仕込み、溶解させた後、３,３"、４,４"−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物２９１．３ｇ（０．９９ｍｏｌ）を添加し、室温で１時間、続いて７０℃で５時間反応させて、１５重量％のポリアミド酸溶液からなる接着剤を得た。実施例１と同様にして、２８０℃、５時間のキュア後、この接着剤のＴｇをＴＭＡ（サーマルメカニカルアナリシス）法で測定したところ、２６０℃であった。【０１８２】  実施例１と同様にして回路パターンを得た後、保護層として、スクリーン印刷機にて、ソルダーレジストＳＮ−９０００（日立化成工業（株）製）を印刷し、オーブンで１２０℃、９０分間キュアした。次いで、本繋ぎにおいて別の可撓性フィルム基板の突出部が重ね合わせられる搬送用スペースに幅２．８ｍｍ、長さ２．４ｍｍで、また、搬送用スペース間の搬送方向に直行する方向全幅に、搬送方向に０．２ｍｍの長さで、上記ポリアミド酸溶液からなる接着剤をディスペンサーで塗布した。その後、１２０℃で１０分間乾燥し、２μｍ厚の接着層を得た。【０１８３】  実施例１と同様にして、仮繋ぎ、スプロケットホール作製、スリットを実施した。図１３に示した本繋ぎ装置にて、次の手順を繰り返し、長さ約４０ｍ、幅４８ｍｍの長尺フィルム回路基板を作製した。（a）仮繋ぎ位置を金型で打ち抜き、下流側のポリイミドフィルムの搬送方向端部の一対の搬送用スペースに、幅３ｍｍ、長さ２．６ｍｍの突出部を設けた。上流側のポリイミドフィルムは接着層に沿って直線状に切断した。（ｂ）ポリイミドフィルムの搬送方向端部が、搬送方向に直交する方向の全幅で重なるように、分割された２枚のポリイミドフィルムを重ね合わせた。なお、全幅での重ね合わせは搬送方向に０．５ｍｍとなるようにするとともに、連結された後のユニット間隙が０．７５ｍｍとなるようにした。（ｃ）その後、加熱加圧手段４１６を用いて接着層を加熱し、２枚のポリイミドフィルムを連結固定した。なお、加熱加圧手段４１６のヘッドは、搬送用スペース対応位置では幅３ｍｍ、長さ２．６ｍｍ、搬送用スペース間対応位置では幅０．５ｍｍの面を有していた。押圧は、温度３５０℃、圧力１Ｎ／ｍｍ２で１０秒間行った。【０１８４】  かくして得られた長尺フィルム回路基板の繋ぎ合わせ部分を切り取り、実施例１と同様にして、連結強度を測定したところ、３０Ｎと十分な強度であった。【０１８５】  実施例６  実施例５とは以下の点を変えて、長尺フィルム回路基板を得た。【０１８６】  本繋ぎにおいて、樹脂を、別の可撓性フィルム基板の突出部が重ね合わせられる搬送用スペースに幅２．８ｍｍ、長さ１．８ｍｍで、また、搬送用スペース間の搬送方向に直行する方向全幅に、搬送方向に０．２ｍｍの長さで塗布した。その後、１２０℃で１０分間乾燥し、２μｍ厚の接着層を得た。【０１８７】  また、本繋ぎの工程（ａ）において、幅３ｍｍ、長さ２ｍｍの突出部を設けた。さらに、本繋ぎの工程（ｃ）において、搬送用スペース対応位置では幅３ｍｍ、長さ２ｍｍ、搬送用スペース間対応位置では幅０．５ｍｍのヘッドを有する加熱加圧手段を用い、温度３５０℃、圧力１Ｎ／ｍｍ２で１０秒間押圧した。【０１８８】  かくして得られた長尺フィルム回路基板の繋ぎ合わせ部分を切り取り、実施例１と同様にして、連結強度を測定したところ、２６Ｎと十分な強度であった。【０１８９】  実施例７  搬送用スペース間の搬送方向に直行する方向全幅に接着層を塗布しなかったこと以外は、実施例５と同様にして、長尺フィルム回路基板を得た。【０１９０】  得られた長尺フィルム回路基板の繋ぎ合わせ部分を切り取り、実施例１と同様にして、連結強度を測定したところ、８Ｎと良好であった。【０１９１】  ただし、接着されていない長尺フィルム幅方向中央部の隙間が搬送途中で開くことがあるので、直径の小さいロールを用い、かつ巻き付け角度が大きい場合には、尺フィルム回路基板に近接して配置された部品にひっかかり、走行トラブルを招く可能性が若干ある。【０１９２】  比較例１  可撓性フィルム基板を構成するベースフィルムとして、厚さ２５μｍの長尺ポリイミドフィルム（“カプトン”１５０ＥＮ（商品名）東レデュポン（株）製）を準備した。長尺フィルム対応のリール・ツー・リール方式のスパッタ装置で、ポリイミドフィルム上に厚さ１５ｎｍのクロム：ニッケル＝５：９５（重量比）の合金層と厚さ１５０ｎｍの銅層をこの順に積層した。【０１９３】  上記の金属層を設けたポリイミドフィルムを３００×３５０ｍｍに切り出した。このポリイミドフィルムをスピンコーターの吸着盤上に置き、金属層上にポジ型フォトレジストをスピンコーターで塗布した後、８０℃で１０分間乾燥した。露光機の吸着盤上に、フォトレジストを塗布したポリイミドフィルムを置き、フォトマスクを介して露光した。該フォトレジストを現像して、めっき層が不要な部分に厚さ１２μｍのフォトレジスト層を形成した。１枚のポリイミドフィルムに形成されるパターンの形状は実施例１と同じにした。【０１９４】  この結果、１枚のポリイミドフィルムには最終的な大きさの短冊状可撓性フィルム基板が６枚形成されている。なお、この段階では、まだ、各短冊に切り分けられていない。【０１９５】  次いで、上記金属層を電極として厚さ８μｍの銅層を硫酸銅めっき液中での電解めっきで形成した。フォトレジストをフォトレジスト剥離液で剥離し、続いて、過酸化水素−硫酸系水溶液によるソフトエッチングにてレジスト層の下にあった銅層およびクロム−ニッケル合金層を除去した。引き続き、銅めっき層上に、無電解めっきで厚さ０．４μｍの錫層を形成し、回路パターンを得た。【０１９６】  その後、スクリーン印刷機にて回路パターンを保護するための保護層および連結のための接着層を同時に形成した。保護層は、回路パターン上およびその周囲だけに樹脂を塗布して形成した。接着層は、本繋ぎにおいて別の可撓性フィルム基板の突出部が重ね合わせられる搬送用スペースに幅２．８ｍｍ、長さ１１．８ｍｍで、また、搬送用スペース間の搬送方向に直行する方向全幅に、搬送方向に０．２ｍｍの長さで樹脂を塗布して形成した。【０１９７】  保護層および接着層にはソルダーレジストＳＮ−９０００（日立化成工業（株）製）を用いた。かくして得られた回路パターンユニット５００個について、回路パターンの１９．９７５ｍｍ長さ方向に並んだ８００本の２５μｍピッチ配線の中心線間距離を測長機ＳＭＩＣ−８００（ソキア（株）製）にて測定したところ、目標値１９．９７５ｍｍに対して、最大６μｍ大きいものがあり、２５μｍピッチでのＩＣ接合に対して、マージンが不足した。【０１９８】  続いて、真空吸着台上に回路パターンが形成されたポリイミドフィルムを並べて３００ｍｍ長さの辺を粘着テープで仮繋ぎした。粘着テープとしては、ポリエステルフィルムベースの幅１７ｍｍのものを使用した。引き続いて、繋ぎ合わせたポリイミドフィルムを真空吸着台脇に置いた巻き取りロールに巻き取った。【０１９９】  しかしながら、薄い枚葉のポリイミドフィルムを支持板のない状態で扱うため、自動化が難しく、手作業にて上記繋ぎ合わせを実施せざるを得なかった。また、繋ぎ合わせ部分の精度を管理することが難しく、繋ぎ合わせ部分の横方向ずれが０．５ｍｍを越すことがあり、また、ポリイミドフィルムの搬送に問題があった。そのため、本繋ぎを行わずにこの時点で作業を終了した。【０２００】  比較例２  実施例５とは、以下の点を変えて、長尺フィルム回路基板を得た。【０２０１】  ポリイミドフィルムの搬送用スペースに突出部を設けなかった。そのため、本繋ぎにおいて、別の可撓性フィルム基板が重ね合わせられるポリイミドフィルムの一方の端部に接着層を形成する工程においても、搬送方向に直行する方向全幅で、搬送方向に０．２ｍｍの長さで樹脂を塗布しただけとした。また、幅（搬送方向に直交する方向）４８ｍｍ、長さ（搬送方向）０．５ｍｍのヘッドを有する加熱加圧手段を用い、温度３５０℃、圧力１Ｎ／ｍｍ２で１０秒間押圧した。【０２０２】  かくして得られた長尺フィルム回路基板の繋ぎ合わせ部分を切り取り、実施例１と同様にして、連結強度を測定したところ、３Ｎと後工程での搬送に不十分な強度であった。
【産業上の利用可能性】
【０２０３】  本発明の回路基板は、電子機器の配線板、ＩＣパッケージ用インターポーザー、などに好ましく使用することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【国際調査報告】
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