(57)【要約】光励振効率と、速度計測効率の両立を実現することができるヘテロダインレーザドップラープローブ及びそれを用いた測定システムを提供する。  ヘテロダインレーザドップラープローブであって、第１の光路２から光励振のための励振光を、第２の光路４からヘテロダインレーザドップラー計測のための計測光をそれぞれ光プローブ１に導く。励振光は第１の光路２を出射後、反射ミラー３、ビームスプリッタ６を経て、焦点レンズ７に導かれ、測定対象物（励振対象物）８へと導かれる。一方、ヘテロダインレーザドップラー計測のための計測光は第２の光路４を出射後、１／４波長板５を通過し、直線偏光は円偏光に変換された後、ビームスプリッタ５、焦点レンズ７を経て測定対象物（励振対象物）８へと導かれる。測定対象物（励振対象物）８で反射した計測光（信号光）は、同一の経路を経て、１／４波長板５に到達し、１／４波長板５において円偏光から直線偏光に変換された後、その直線偏光の計測光は第２の光路４を経てヘテロダインレーザドップラー計測装置へと戻す。【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）励振光を導く第１の光路と、
（ｂ）計測光を導く第２の光路とを備え、
（ｃ）前記励振光は前記第１の光路から出射されて、光プローブ内の焦点レンズに導かれ、測定対象物上で焦点を結び、前記計測光は前記光プローブ内の１／４波長板を介して前記焦点レンズに導かれ、測定対象物上で焦点を結び、前記測定対象物から反射した計測光は、前記焦点レンズと前記１／４波長板を介して第２の光路に戻るようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項２】
請求項１記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記第１の光路から導かれる励振光を受ける反射ミラーとビームスプリッタとを配置し、前記１／４波長板で受けた計測光を前記ビームスプリッタで受け、該ビームスプリッタからの出射光を焦点レンズに導き、該焦点レンズに戻ってきた計測光は前記ビームスプリッタと前記１／４波長板を介して第２の光路に戻るようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項３】
請求項１記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記第１の光路は第１の光ファイバーであり、第２の光路は第２の光ファイバーであり、前記第１の光ファイバーからの励振光は前記第１の光ファイバーから出射後、第１のコリメートレンズを経て、前記焦点レンズに導かれ、前記第２の光ファイバーからの計測光は前記第２の光ファイバーから出射後、第２のコリメートレンズを経て、前記焦点レンズに導かれるようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項４】
請求項１、２または３に記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記測定対象物がカンチレバーであり、該カンチレバーの速度を計測することを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の測定対象物上での焦点位置を前記計測光の測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項６】
請求項１から４の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記反射ミラーを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の測定対象物上での焦点位置を前記計測光の測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項７】
請求項１から４の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタ及び反射ミラーを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の測定対象物上での焦点位置を前記計測光の測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項８】
請求項１から７の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いて、前記第２の光路からの出射する前記測定対象物から反射した前記計測光をビームスプリッタで反射させて計測部に導くことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システム。
【請求項９】
請求項８記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにおいて、前記第１および第２光路に配置される光路調整用ミラーにおいて、前記励振光と前記計測光を重畳して前記光プローブに導くことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システム。
【請求項１０】
請求項８又は９記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにおいて、前記第１および第２光路中に、ガラス隔壁を配置し、前記光プローブを真空、ガス、液中に配置可能にし、光源や光路調整機構を大気中に配置可能にすることを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高効率光励振レーザドップラープローブに係り、特に、ヘテロダインレーザドップラープローブ及びそれを用いた測定システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の光励振機能を有する光プローブで、プローブまで光ファイバーを用いて光を導いているものは、励振光と計測光を一本の光ファイバーで伝送していた（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１１４１８２号公報
【発明の開示】
【０００３】
しかしながら、励振光と計測光の波長が大きく異なる場合、特定の波長に特化して設計された光ファイバーでは、一方の光の伝送効率が悪くなる。また、同一のレンズを用いて光ファイバーへの光入射、並びに測定対象物への光照射を行っている場合、色収差にそって一方の光は十分に絞れず、結果として測定信号強度の低下、もしくは光励振効率の低下を招いていた。
【０００４】
また、計測用の光ビームの照射位置と励振用の光ビームの照射位置とをずらすことができれば、励振を大きくするとともに、計測の感度を上げることができるが、従来の光励振レーザドップラープローブでは実現されていない。
【０００５】
本発明は、上記状況に鑑みて、光励振効率と、速度計測効率の両立を実現することができるヘテロダインレーザドップラープローブ及びそれを用いた測定システムを提供することを目的とする。
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕ヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、励振光を導く第１の光路と、計測光を導く第２の光路とを備え、前記励振光は前記第１の光路から出射されて、光プローブ内の焦点レンズに導かれ、測定対象物上で焦点を結び、前記計測光は前記光プローブ内の１／４波長板を介して前記焦点レンズに導かれ、測定対象物上で焦点を結び、前記測定対象物から反射した計測光は、前記焦点レンズと前記１／４波長板を介して第２の光路に戻るようにしたことを特徴とする。
【０００７】
〔２〕上記〔１〕記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記第１の光路から導かれる励振光を受ける反射ミラーとビームスプリッタとを配置し、前記１／４波長板で受けた計測光を前記ビームスプリッタで受け、該ビームスプリッタからの出射光を焦点レンズに導き、この焦点レンズに戻ってきた計測光は前記ビームスプリッタと前記１／４波長板を介して第２の光路に戻るようにしたことを特徴とする。
【０００８】
〔３〕上記〔１〕記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記第１の光路は第１の光ファイバーであり、前記第２の光路は第２の光ファイバーであり、前記第１の光ファイバーからの励振光は前記第１の光ファイバーから出射後、第１のコリメートレンズを経て、前記焦点レンズに導かれ、前記第２の光ファイバーからの計測光は前記第２の光ファイバーから出射後、第２のコリメートレンズを経て、前記焦点レンズに導かれるようにしたことを特徴とする。
【０００９】
〔４〕上記〔１〕、〔２〕または〔３〕記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記測定対象物がカンチレバーであり、このカンチレバーの速度を計測することを特徴とする。
【００１０】
〔５〕上記〔１〕から〔４〕の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の測定対象物上での焦点位置を前記計測光の測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とする。
【００１１】
〔６〕上記〔１〕から〔４〕の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記反射ミラーを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の測定対象物上での焦点位置を前記計測光の測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とする。
【００１２】
〔７〕上記〔１〕から〔４〕の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタ及び反射ミラーを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の測定対象物上での焦点位置を前記計測光の測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とする。
【００１３】
〔８〕ヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムであって、上記〔１〕から〔７〕の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いて、前記第２の光路から出射する前記測定対象物から反射した前記計測光をビームスプリッタで反射させて計測部に導くことを特徴とする。
【００１４】
〔９〕上記〔８〕記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにおいて、前記第１および第２光路に配置される光路調整用ミラーにおいて、前記励振光と前記計測光を重畳して前記光プローブに導くことを特徴とする。
【００１５】
〔１０〕上記〔８〕又は〔９〕記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにおいて、前記第１および第２光路中に、ガラス隔壁を配置し、前記光プローブを真空、ガス、液中に配置可能にし、光源や光路調整機構を大気中に配置可能にすることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例を示す、ヘテロダインレーザドップラープローブ（基本形）の模式図である。
【図２】本発明の実施例を示す、ヘテロダインレーザドップラープローブ（第１の変形形）の模式図である。
【図３】本発明の実施例を示す、ヘテロダインレーザドップラープローブ（第２の変形形）の模式図である。
【図４】本発明の第２実施例を示すヘテロダインレーザドップラープローブの模式（その１）図である。
【図５】図４に示すヘテロダインレーザドップラープローブのビームスプリッタの調整態様を示す図である。
【図６】本発明の第２実施例を示すヘテロダインレーザドップラープローブの模式（その２）図である。
【図７】図６に示すヘテロダインレーザドップラープローブのビームスプリッタの調整態様を示す図である。
【図８】本発明の図２に示すヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムの模式図である。
【図９】本発明の第２実施例を示すヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムの模式図である。
【図１０】本発明の第３実施例を示すヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムの模式図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明のヘテロダインレーザドップラープローブは、第１の光路から光励振のための励振光を、第２の光路からヘテロダインレーザドップラー計測のための計測光をそれぞれ光プローブに導く。励振光は第１の光路を出射後、反射ミラー、ビームスプリッタを経て、焦点レンズに導かれ、測定対象物（励振対象物）へと導かれる。一方、ヘテロダインレーザドップラー計測のための計測光は第２の光路を出射後、１／４波長板を通過し、直線偏光は円偏光に変換された後、ビームスプリッタ、焦点レンズを経て測定対象物（励振対象物）へと導かれる。測定対象物（励振対象物）で反射した計測光（信号光）は、同一の経路を経て、１／４波長板に到達し、１／４波長板において円偏光から直線偏光に変換された後、その直線偏光の計測光は第２の光路を経てヘテロダインレーザドップラー計測装置へと戻るようにした。
【実施例】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。【００１９】
図１は本発明の実施例を示す、ヘテロダインレーザドップラープローブ（基本形）の模式図である。【００２０】
この図に示すように、１は光プローブ（ヘテロダインレーザドップラープローブ本体）、２は光プローブ１に導入される光励振のための第１の光路、３は第１の光路２から導入される光励振のための光（励振光）を受ける反射ミラー、４は光プローブ１に導入されるヘテロダインレーザドップラー計測（速度計測）のための第２の光路、５は第２の光路に配置される１／４波長板、６はビームスプリッタ、７は焦点レンズ、８は測定対象物（ここでは、カンチレバー）であり、第２の光路４から導入される計測光を１／４波長板５で受け、ビームスプリッタ６は反射ミラー３からの励振光を反射するとともに、１／４波長板５からの計測光を透過するとともに、測定対象物８で反射され、焦点レンズ７を経た計測光（信号光）を透過して、１／４波長板５へ導く。【００２１】
このように、第１の光路２から光励振のための励振光を、第２の光路４からヘテロダインレーザドップラー計測のための計測光をそれぞれ光プローブ１に導く。励振光は第１の光路２を出射後、反射ミラー３、ビームスプリッタ６を経て、焦点レンズ７に導かれ、測定対象物（励振対象物）８へと導かれる。一方、ヘテロダインレーザドップラー計測のための計測光は第２の光路４を出射後、１／４波長板５を通過し、直線偏光は円偏光に変換された後、ビームスプリッタ６、焦点レンズ７を経て測定対象物（励振対象物）８へと導かれる。測定対象物（励振対象物）８で反射した計測光は、同一の経路を経て、１／４波長板５に到達し、１／４波長板５において円偏光から直線偏光に変換された後、その直線偏光の計測光は第２の光路４を経てヘテロダインレーザドップラー計測装置（図示なし）へと戻る。【００２２】
図２は本発明の実施例を示す、ヘテロダインレーザドップラープローブ（第１の変形形）の模式図である。図１と同じ部分については、同じ符号を付してそれらの説明は省略する。【００２３】
この実施例では、図１における第１の光路２、第２の光路４による伝搬に代えて、個々の波長に適する第１の光ファイバー１１と第２の光ファイバー１３を用るようにしている。また、光プローブ（ヘテロダインレーザドップラープローブ本体）１０内では、第１の光ファイバー１１から導入される励振光を受ける第１のコリメートレンズ１２を配置し、第２の光ファイバー１３から導入される計測光を受け、かつ、測定対象物８で反射した計測光（信号光）を導出する第２のコリメートレンズ１４を配置するようにしている。【００２４】
このように、第１の光ファイバー１１から導入される励振光は第１のコリメートレンズ１２を経て反射ミラー３に導かれる。一方、第２の光ファイバー１３から導入される計測光は第２のコリメートレンズ１４を経て１／４波長板５を通過し、直線偏光は円偏光に変換された後、ビームスプリッタ６−焦点レンズ７を経て測定対象物（カンチレバー）８へと導かれる。測定対象物（カンチレバー）８で反射した計測光（信号光）は、同一の経路を経て１／４波長板５に到達し、１／４波長板５において円偏光から直線偏光に変換された後、第２のコリメートレンズ１４を経て第２の光ファイバー１３に入射し、第２の光ファイバー１３を経由してヘテロダインレーザドップラー計測装置（図示なし）へと戻る。【００２５】
図３は本発明の実施例を示す、ヘテロダインレーザドップラープローブ（第２の変形形）の模式図である。【００２６】
この図において、２０は光プローブ（ヘテロダインレーザドップラープローブ本体）、２１は励振光を導く第１の光路、２２は計測光を導く第２の光路、２３は１／４波長板、２４は焦点レンズ、２５は測定対象物（カンチレバー）である。【００２７】
この実施例では、第１の光路２１と第２の光路２２をほぼ同一の箇所と方向から１／４波長板２３に導き、かつ、この光プローブ２０を真空中や、液中に配置可能にしたものである。【００２８】
図４は本発明の第２実施例を示すヘテロダインレーザドップラープローブの模式（その１）図、図５はそのビームスプリッタの調整態様を示す図である。【００２９】
この実施例においては、上記実施例（図２）に示したビームスプリッタ６を変位させる調整機構３１を設けるようにしている。【００３０】
図５（ａ）に示すように、調整機構３１によって、ビームスプリッタ６の角度をθだけ移動させた場合、１／４波長板５からビームスプリッタ６を通過する計測光は影響されないためカンチレバー８に照射される計測光の照射位置８Ａは変わらないが、反射ミラー３で反射され、さらにビームスプリッタ６で反射される励振光は、ビームスプリッタ６の変位（角度）によってカンチレバー８への照射位置が８Ａから８Ｂへと移行する。【００３１】
また、図５（ｂ）に示すように、調整機構３１によって、ビームスプリッタ６の位置をスライドさせた場合も、１／４波長板５からビームスプリッタ６を通過する計測光は影響されないためカンチレバー８に照射される計測光の照射位置８Ａは変わらないが、反射ミラー３で反射され、さらにビームスプリッタ６で反射される励振光は、ビームスプリッタ６の変位（位置）によってカンチレバー８への照射位置が８Ａから８Ｃへと移行する。【００３２】
このように、励振光のみの照射位置を調整することができる。特に、励振光はその照射位置がカンチレバー８の根元に近くなるにしたがって、カンチレバー８の反り（振れ）を大きくすることができる。それに対して、計測光はよりカンチレバー８の先端側に照射した方が精密な計測を行うことができる。【００３３】
このように、計測光とは相対的に励振光の試料に対する照射位置をそれぞれ調整することができる。【００３４】
図６は本発明の第２実施例を示すヘテロダインレーザドップラープローブの模式（その２）図、図７はその反射ミラーの調整態様を示す図である。【００３５】
この実施例においては、上記実施例に示した反射ミラー３を変位させる調整機構４１を設けるようにしている。【００３６】
図７（ａ）に示すように、調整機構４１によって、反射ミラー３の角度をαだけ移動させた場合、１／４波長板５からビームスプリッタ６を通過する計測光は影響されないためカンチレバー８に照射される計測光の照射位置８Ａは変わらないが、励振光はその反射ミラー３の変位（角度）によってカンチレバー８への照射位置が８Ａから８Ｄへと移行する。【００３７】
また、図７（ｂ）に示すように、調整機構４１によって、反射ミラー３の位置をスライドさせた場合も、１／４波長板５からビームスプリッタ６を通過する計測光は影響されないためカンチレバー８に照射される計測光の照射位置８Ａは変わらないが、反射ミラー３で反射され、さらにビームスプリッタ６で反射される励振光は、ビームスプリッタ６の変位（位置）によってカンチレバー８への照射位置が８Ａから８Ｅへと移行する。【００３８】
このように、計測光とは相対的に励振光の試料に対する照射位置をそれぞれ調整することができる。【００３９】
なお、図５のようなビームスプリッタ６の変位による調整と、図７に示すような反射ミラー３の変位による調整との両方を組み合わせて、計測光とは相対的に励振光の試料に対する照射位置を精密に調整するようにしてもよい。【００４０】
図８は本発明の図２に示したヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムの模式図である。【００４１】
ここで、ヘテロダインレーザドップラープローブは、上記した図２に示したものを用いる。この図において、５０は励起レーザ光源（ＬＤ）、５１は計測装置、５２は計測光の光源、５３はビームスプリッタ、５４は計測部（レーザドップラー干渉計）である。【００４２】
そこで、ヘテロダインレーザドップラープローブ１０から出力される計測光（信号光）は計測装置５１に取り込まれる。そして、その計測光は、ビームスプリッタ５３で反射されて、計測部（レーザドップラー干渉計）５４で、例えば、測定対象物（励振対象物）８の速度の計測を行うことができる。【００４３】
なお、このヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにも上記した調整機構を付加することができる。【００４４】
図９は本発明の第２実施例を示すヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムの模式図である。【００４５】
この図において、光プローブは上記した実施例（図１）と同じものを用いるようにしている。【００４６】
そこで、この実施例では、計測光の光源７１と、ビームスプリッタ７２と、計測部（レーザドップラー計）７３を有する計測装置７０、光励振用光源６１のそれぞれの光源から、測定対象物（励振対象物）８までの光路調整の方法を示している。これにより、測定対象物（励振対象物）８と光プローブ１のｘ，ｙ，ｚ方向への変位に対して励振光と計測光を意図した場所に位置決めすることが可能となる。【００４７】
計測装置７０の第２の光路４は、計測光の光源７１を出射した後、第２の光路調整用ガラス板７４の回転（傾き２自由度）を用いて並進変位し、あおり２角を調整可能な第２の光路調整用ミラー７５において、光路を調整され、次に第４の光路調整用ミラー７６において光路調整上、第３の光路調整用ガラス板６５によって光路の平行変位を調整され、ガラス隔壁（光プローブが真空等の環境にある場合）６６を経て光プローブ１へ導かれる。光励振用の第１の光路２においては、光励振用光源６１を出射した後、第１の光路調整用ガラス板６２、第１の光路調整用ミラー６３、第３の光路調整用ミラー６４、第３の光路調整用ガラス板６５を経た後、光プローブ１が真空等の環境にある場合にはガラス隔壁６６を経て光プローブ１へ導かれる。なお、各光調整ミラーは、並進ｘ，ｙ，ｚ、あおり２角の調整自由度があり、行路の並進変位と、あおり２自由度の調整が可能である。第１の光路２と第２の光路４は、光プローブ１への入射直前において若干平行からずれることにより、測定対象物（励振対象物）８の異なる位置にその焦点を結ぶことが可能である。【００４８】
図１０は本発明の第３実施例を示すヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムの模式図である。【００４９】
この図において、光プローブは上記した実施例（図３）と同じものを用いるようにしている。また、８１は光励振用光源、８２は第１の光路調整用ガラス板、８３は第１の光路調整用ミラー、８４は第３の光路調整用ミラー（ダイクロイックミラー）、８５は第３の光路調整用ガラス板、８６はガラス隔壁、９０は計測装置、９１は計測光の光源、９２はビームスプリッタ、９３は計測部（レーザドップラー計）、９４は第２の光路調整用ガラス板、９５は第２の光路調整用ミラー、９６は第４の光路調整用ミラーである。【００５０】
この実施例では、第３の光路調整用ミラー８４が、第１の光路２１を反射し、第２の光路２２の光を透過する、ダイクロイックミラーなどの波長選択性のあるミラーであり、光プローブ２０の第１の光路２１、第２の光路２２の入射位置は、ほぼ同一の箇所となるように構成されている。【００５１】
また、上記したように、第１および第２の光路２１，２２中に、ガラス隔壁６６，８６を配置するようにしたので、光プローブ１，２０を真空、ガス、液中に配置可能にし、光源や光路調整機構は大気中に配置することができる。【００５２】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。本発明によれば、光励振用第１の光路又は光ファイバー、計測用第２の光路又は光ファイバーをそれぞれ設けることにより、測定対象物の効率の良い光励振と速度計測が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明のヘテロダインレーザドップラープローブは、計測一般、速度計測、顕微鏡、物質同定、ナノバイオメカニクスの分野に利用可能である。
【図１】
2006093209.tif 000002
【図２】
2006093209.tif 000003
【図３】
2006093209.tif 000004
【図４】
2006093209.tif 000005
【図５】
2006093209.tif 000006
【図６】
2006093209.tif 000007
【図７】
2006093209.tif 000008
【図８】
2006093209.tif 000009
【図９】
2006093209.tif 000010
【図１０】
2006093209.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月19日(2006.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）励振光を導く第１の光路と、
（ｂ）計測光を導く第２の光路とを備え、
（ｃ）前記励振光は前記第１の光路から出射されて、光プローブ内の焦点レンズに導かれ、測定対象物上で焦点を結び、前記計測光は前記光プローブ内の１／４波長板を介して前記焦点レンズに導かれ、測定対象物上で焦点を結び、前記測定対象物から反射した計測光は、前記焦点レンズと前記１／４波長板を介して第２の光路に戻るようにするとともに、前記第１の光路から導かれる励振光を受ける反射ミラーとビームスプリッタとを配置し、前記１／４波長板で受けた計測光を前記ビームスプリッタで受け、該ビームスプリッタからの出射光を焦点レンズに導き、該焦点レンズに戻ってきた計測光は前記ビームスプリッタと前記１／４波長板を介して第２の光路に戻るようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項２】
（削除）
【請求項３】
請求項１記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記第１の光路は第１の光ファイバーであり、第２の光路は第２の光ファイバーであり、前記第１の光ファイバーからの励振光は前記第１の光ファイバーから出射後、第１のコリメートレンズを経て、前記焦点レンズに導かれ、前記第２の光ファイバーからの計測光は前記第２の光ファイバーから出射後、第２のコリメートレンズを経て、前記焦点レンズに導かれるようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項４】
請求項１または３に記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記測定対象物がカンチレバーであり、該カンチレバーの速度を計測することを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項５】
請求項１、３または４に記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の測定対象物上での焦点位置を前記計測光の測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項６】
請求項１、３または４に記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記反射ミラーを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の測定対象物上での焦点位置を前記計測光の測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項７】
請求項１、３または４に記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタ及び反射ミラーを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の測定対象物上での焦点位置を前記計測光の測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
【請求項８】
請求項１または３から７の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いて、前記第２の光路からの出射する前記測定対象物から反射した前記計測光をビームスプリッタで反射させて計測部に導くことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システム。
【請求項９】
請求項８記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにおいて、前記第１および第２光路に配置される光路調整用ミラーにおいて、前記励振光と前記計測光を重畳して前記光プローブに導くことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システム。
【請求項１０】
請求項８又は９記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにおいて、前記第１および第２光路中に、ガラス隔壁を配置し、前記光プローブを真空、ガス、液中に配置可能にし、光源や光路調整機構を大気中に配置可能にすることを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システム。
【国際調査報告】
2006093209.tif 000012
2006093209.tif 000013
2006093209.tif 000014
2006093209.tif 000015