(57)【要約】【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得る。【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００（静電駆動型アクチュエータ）は、円盤形状の第１の可動部２００と、第１の可動部２００を取り囲む環状の第２の可動部３００と、第２の可動部３００を取り囲む環状の枠部４００とから主に構成される。第１の可動部２００の外周面２０２と第２の可動部３００の内周面側切欠３１１、３１２とを接続する第１の支持部５０１、５０２が設けられる。第１の支持部５０１、５０２は、直方体の板状部材を幅方向に幾重にも折り畳んだ形状であって、捻り方向に弾性を有し、第１の支持部５０１、５０２を軸として第２の可動部３００に対し揺動可能に第１の可動部２００を支持する。Ｘ方向電極７００は、円盤を直径で二分して得られる２つの略半円７０１、７０２からなる。Ｙ方向電極８００は、環形状を直径で二分して得られる２つの略半輪からなり、内周にＸ方向電極７００を納める。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の可動部と、
前記第１の可動部の周囲に設けられる第２の可動部と、
前記第２の可動部に対し前記第１の可動部を第１の揺動軸周りに揺動自在に支持する第１の支持部と、
前記第２の可動部の周囲に設けられる枠部と、
前記第１の揺動軸と平行でない第２の揺動軸周りに揺動自在となるように前記枠部に対して前記第２の可動部を支持する第２の支持部と、
前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第１の可動部と重なる位置に、前記第１の可動部と一定の距離を置いて設けられる第１の電極と、
前記第１の支持部及び前記第２の支持部と直交する直線上から見たとき、前記第２の可動部と重なる位置に、前記第２の可動部と一定の距離を置いて設けられる第２の電極とを備え、
前記第１の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たときに前記第１の揺動軸により分割されて成る第１の正方向電極及び第１の負方向電極を有し、
前記第２の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たときに前記第２の揺動軸により分割されて成る第２の正方向電極及び第２の負方向電極を有する静電駆動型アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たときに前記第２の可動部と重ならない位置に設けられる請求項１に記載の静電駆動型スキャナ。
【請求項３】
前記第２の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たときに前記第１の可動部と重ならない位置に設けられる請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項４】
前記第１の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第１の支持部と重ならない請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項５】
前記第２の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第２の支持部と重ならない請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項６】
前記第１の支持部又は前記第２の支持部は、弾性体から成る請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電力を用いて光の進行方向を変える静電駆動型光スキャナに用いられる静電駆動型アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電駆動型光スキャナは、静電駆動型アクチュエータの可動部に鏡面を形成し、可動部に対向するように設けられる４つの電極を備えるものが知られている。
【０００３】
可動部は２つの揺動軸周りに揺動自在に設けられる。すなわち、可動部は、第１の揺動軸を介してジンバルリングの内側に取り付けられ、ジンバルリングは、その外周面に接続された第２の揺動軸を介して環状の固定部の内側に取り付けられる。これにより、可動部がジンバルリングに対し第１の揺動軸周りに回動自在となり、ジンバルリングが固定部に対し第２の揺動軸周りに回動自在となる。
【０００４】
４つの電極に電圧を適宜印加することにより、電極と可動部との間に静電力を発生させ、この静電力により可動部を揺動させる。
【０００５】
可動部から見ると、２つの揺動軸が形成する４つの象限に４つの電極が各々配置される。１つの揺動軸周りに可動部を揺動させるとき、その揺動軸に対して互いに同じ側に位置する２つ電極に電圧を印加する。他方の揺動軸周りに可動部を揺動させるとき、同様にして、その揺動軸に対して互いに同じ側に位置する２つ電極に電圧を印加する。２つの揺動軸周りに可動部を同時に駆動するとき、１つの電極に対し、２つの揺動軸周りに可動部を駆動するための２つの電圧が加算されて印加される。
【特許文献１】特開２００５−２０８１６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
鏡面から見て、ジンバルリングと電極とが重なっていると、第１の揺動軸周りに可動部を揺動させるため電極に印加された電圧によりジンバルリングと電極との間に静電力が生じることがある。これにより、ジンバルリングの動作が不安定になることがある。
【０００７】
また、１つの電極に対し２つの電圧が加算されて印加されると、第１の揺動軸周りに可動部を駆動するために印加された電圧が、第２の揺動軸周り可動部の動作に影響を及ぼすことがある。これにより、第２の揺動軸周り可動部の動作が不安定になることがある。
【０００８】
さらに、１つの電極に２つの電圧を加算して印加するため印加電圧が高くなるという問題がある。
【０００９】
本発明はこれらの問題を鑑みてなされたものであり、効率良く駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による静電駆動型アクチュエータは、第１の可動部と、第１の可動部の周囲に設けられる第２の可動部と、第２の可動部に対し第１の可動部を第１の揺動軸周りに揺動自在に支持する第１の支持部と、第２の可動部の周囲に設けられる枠部と、第１の揺動軸と平行でない第２の揺動軸周りに揺動自在となるように枠部に対して第２の可動部を支持する第２の支持部と、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第１の可動部と重なる位置に、第１の可動部と一定の距離を置いて設けられる第１の電極と、第１の支持部及び第２の支持部と直交する直線上から見たとき、第２の可動部と重なる位置に、第２の可動部と一定の距離を置いて設けられる第２の電極とを備え、第１の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たときに第１の揺動軸により分割されて成る第１の正方向電極及び第１の負方向電極を有し、第２の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たときに第２の揺動軸により分割されて成る第２の正方向電極及び第２の負方向電極を有することを特徴とする。
【００１１】
第１の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たときに第２の可動部と重ならない位置に設けられることが好ましい。第１の電極に印加された電圧が、第１の電極と第２の可動部との間に静電力を生じさせ、第２の可動部の動作に影響を与えることを防止する。
【００１２】
第２の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たときに第１の可動部と重ならない位置に設けられることが好ましい。第２の電極に印加された電圧が、第２の電極と第１の可動部との間に静電力を生じさせ、第１の可動部の動作に影響を与えることを防止する。
【００１３】
第１の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第１の支持部と重ならないことが望ましい。第１の電極に印加された電圧が、第１の電極と第１の支持部との間に静電力を生じさせ、第１の支持部の動作に影響を与えることを防止する。
【００１４】
第２の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第２の支持部と重ならないことが望ましい。第２の電極に印加された電圧が、第２の電極と第２の支持部との間に静電力を生じさせ、第２の支持部の動作に影響を与えることを防止する。
【００１５】
第１の支持部又は第２の支持部は、弾性体から成ることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、効率よく駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明による静電駆動型アクチュエータの第１の実施形態について図を用いて説明する。図１から４に静電駆動型アクチュエータを有する静電駆動型光スキャナ１００の構成を示す。
【００１８】
静電駆動型光スキャナ１００（静電駆動型アクチュエータ）は、可動部１１０と電極部１２０とから構成される。可動部１１０は、円盤形状であって円形面のうち１つが鏡面２０１である第１の可動部２００と、第１の可動部２００の外周面２０２を取り囲む環状の第２の可動部３００と、第２の可動部３００の外周面３０１を取り囲む環状の枠部４００とから主に構成される。第１の可動部２００、第２の可動部３００及び枠部４００は略同じ厚さである。第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００の中心は同心をなす。
【００１９】
第２の可動部３００には、内周面３０２側と外周面３０１側に２つずつ、合計４つの矩形の切欠３１１、３１２、３２１、３２２が設けられる。内周面３０２側の２つの切欠３１１、３１２は、第２の可動部３００の中心軸に対して軸対称であり、外周面３０１側の２つの切欠３２１、３２２もまた同様である。
【００２０】
第１の可動部２００の外周面２０２と第２の可動部３００の内周面側切欠３１１、３１２とを接続する第１の支持部５０１、５０２が設けられる。第１の支持部５０１、５０２は、直方体の板状部材を幅方向に幾重にも折り畳んだ形状であり、いわゆる雷紋状を成す。この形状により第１の支持部５０１、５０２は捻り方向に弾性を有する。これにより第１の可動部２００は、第１の支持部５０１、５０２を軸として第２の可動部３００に対し揺動可能に支持される。
【００２１】
第２の可動部３００の外周面側切欠３２１、３２２と枠部４００とを接続する第２の支持部６０１、６０２が設けられる。第２の支持部６０１、６０２の形状は、第１の支持部５０１、５０２の形状と同様であり、捻り方向に弾性を有する。これにより第２の可動部３００は、第２の支持部６０１、６０２を軸として枠部４００に対し揺動可能に支持される。枠部４００は電極部１２０に対して固定される。
【００２２】
図１に示すように、電極部１２０は、第１の可動部２００をＸ軸周りに駆動するためのＸ方向電極７００と、第２の可動部３００をＹ軸周り駆動するためのＹ方向電極８００とから成る。Ｘ方向電極７００は、円盤を直径で二分して得られる２つの略半円７０１、７０２からなる。略半円のうち、図においてＸ軸のＹ軸負側に置かれる略半円をＸ正電極７０１、Ｘ軸のＹ軸正側に置かれる略半円をＸ負電極７０２とする。Ｙ方向電極８００は、環形状を直径で二分して得られる２つの略半輪からなり、内周にＸ方向電極７００を納める。略半輪のうち、図においてＹ軸のＸ軸正側に置かれる略半輪をＹ正電極８０１、Ｙ軸のＸ軸負側に置かれる略半輪をＹ負電極８０２とする。電極部１２０に電位差を与えないアイドル状態においては、Ｘ軸およびＹ軸に直交するＺ軸は、第１の可動部２００の鏡面２０１の法線と一致している。
【００２３】
Ｘ方向電極７００とＹ方向電極８００の中心は、Ｚ軸上にて第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００の中心と同心に置かれる。Ｘ方向電極７００の直径は第１の可動部２００の直径と略等しく、Ｙ方向電極８００の内径及び外径は、第２の可動部３００の内径及び外径と等しい。第１、２の可動部２００、３００及びＸ、Ｙ方向電極８００は、それらの中心軸（すなわちＺ軸）から見たとき、第１の可動部２００とＸ方向電極７００とが、そして第２の可動部３００とＹ方向電極８００とが、各々略一致して重なるように設けられる。別言すると、Ｚ軸方向から見たとき、Ｘ軸周りに駆動するための第１の可動部２００とＹ方向電極８００、そしてＹ軸周り駆動するための第２の可動部３００とＸ方向電極７００とが、夫々重ならないように配置される。
【００２４】
また、第１、２の可動部２００、３００の中心軸から見たとき、Ｘ方向電極７００は第１の可動部２００の揺動軸によりＸ正電極７０１とＸ負電極７０２とに二分され、Ｙ方向電極８００は第２の可動部３００の揺動軸によりＹ正電極８０１とＹ負電極８０２とに二分される。
【００２５】
Ｘ正電極７０１及びＸ負電極７０２の略半円形の頂部には、Ｘ正電極７０１及びＸ負電極７０２に電荷を移送するためのＸ正配線７１１及びＸ負配線７１２が各々設けられる。
【００２６】
Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２は、半輪状の中央に切欠８２１、８２２を有し、第２の可動部３００の中心軸から見たとき、この切欠８２１、８２２に第１の支持部５０１、５０２が各々重なる。すなわち、Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２は第１の支持部５０１、５０２と重ならない。半輪状の頂部には、Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２に電荷を移送するためのＹ正配線８１１及びＹ負配線８１２が各々設けられる。
【００２７】
Ｙ正電極８０１とＹ負電極８０２との間には一定の間隙が設けられ、第２の可動部３００の中心軸から見たとき、この間隙に第２の支持部６０１、６０２が重なる。すなわち、Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２は第２の支持部６０１、６０２と重ならない。この間隙には、Ｘ正電極７０１とＸ負電極７０２に電荷を移送するためのＸ正配線７１１及びＸ負配線７１２が各々設けられる。
【００２８】
Ｘ正負配線７１１、７１２、及びＹ正負配線８１１、８１２は、図示しない電源装置に接続され、第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００は電気的に接地される。
【００２９】
Ｘ正電極７０１とＸ負電極７０２の第１、２の可動部２００、３００と対向する面から、第１、２の可動部２００、３００にむけて第１、２の突起７２１、７２２が各々設けられる。第１、２の突起７２１、７２２は、Ｘ方向電極７００の中心軸に対して対称であり、絶縁体で構成されている。
【００３０】
次に、第１の可動部２００の動作について説明する。
【００３１】
まず、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに揺動する場合について説明する。
【００３２】
図示しない電源装置がＸ正配線７１１を介してＸ正電極７０１に交流電圧を印加する。この交流電圧は、最大振幅電圧が４０Ｖであり、２０Ｖの直流バイアス電圧が重畳されている。そのため、最大電圧は４０Ｖであり、最小電圧は０Ｖである（図４参照）。
【００３３】
この交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間に電圧差が生じ、この電圧差により第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間に静電力が生じる。この静電力により、第１の可動部２００とＸ正電極７０１とが引き合い、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第１の可動部２００が最大の回転角度で回転する。
【００３４】
第１の可動部２００の回転角度が大きくなると、第１の可動部２００は第１の突起７２１と衝突する。第１の突起７２１は電気的に絶縁されているため、第１の可動部２００とＸ正電極７０１とが接触することが防止され、短絡により鏡面２０１や回路等が破壊されるおそれがなくなる。
【００３５】
交流電圧が４０Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第１の可動部２００は、第１の支持部５０１、５０２の弾性力により第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第１の可動部２００は、第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００３６】
これを繰り返すことにより、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに揺動する。
【００３７】
次に、第１の可動部２００がＸ軸時計周りに揺動する場合について説明する。
【００３８】
この場合、電源装置はＸ負配線７１２を介してＸ負電極７０２に交流電圧を印加する。この交流電圧は、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに揺動する場合と同様である（図４参照）。
【００３９】
交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間に電圧差が生じ、この電圧差により第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間に静電力が生じる。この静電力により、第１の可動部２００とＸ負電極７０２とが引き合い、第１の可動部２００がＸ軸時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第１の可動部２００が最大の回転角度で回転する。
【００４０】
第１の可動部２００の回転角度が大きくなると、第１の可動部２００は第２の突起７２２と衝突する。第１の突起７２１と同様に、第２の突起７２２が鏡面２０１や回路等の破壊を防止する。
【００４１】
交流電圧が４０Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第１の可動部２００は、第１の支持部５０１、５０２の弾性力により第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第１の可動部２００は、第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００４２】
これを繰り返すことにより、第１の可動部２００がＸ軸時計周りに揺動する。また、前述したように第１の可動部２００とＹ方向電極８００とがＺ軸方向において重ならないため、第１の可動部２００とＸ方向電極７００との間に生じる第１の可動部２００をＸ軸周りに駆動するための静電力は、Ｙ軸周りの駆動機構（すなわち第２の可動部３００およびＹ方向電極８００）に及ばない。
【００４３】
次に、第２の可動部３００の動作について説明する。
【００４４】
まず、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに揺動する場合について説明する。
【００４５】
図示しない電源装置がＹ正配線８１１を介してＹ正電極８０１に交流電圧を印加する。この交流電圧は、最大振幅電圧が１００Ｖであり、５０Ｖの直流バイアス電圧が重畳されている。そのため、最大電圧は１００Ｖであり、最小電圧は０Ｖである（図５参照）。
【００４６】
この交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間に電圧差が生じ、この電圧差により第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間に静電力が生じる。この静電力により、第２の可動部３００とＹ正電極８０１とが引き合い、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第２の可動部３００が最大の回転角度で回転する。
【００４７】
第２の可動部３００の回転角度が大きくなると、第２の可動部３００の頂部はＹ正電極８０１の切欠に侵入する。そのため、第２の可動部３００とＹ正電極８０１とが直接に接触しない。第２の可動部３００とＹ正電極８０１との短絡により回路等が破壊されるおそれがなくなる。
【００４８】
交流電圧が１００Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第２の可動部３００は、第２の支持部６０１、６０２の弾性力により第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第２の可動部３００は、第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００４９】
これを繰り返すことにより、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに揺動する。
【００５０】
また、Ｙ正電極８０１は第１、２の支持部と重ならないため、第１、２支持部との間に静電力を生じない。そのため、Ｙ正電極８０１に印加された電圧により第１、２支持部が不必要に揺動しなくなる。
【００５１】
第２の可動部３００がＹ軸時計周りに揺動する場合について説明する。
【００５２】
この場合、電源装置はＹ負配線８１２を介してＹ負電極８０２に交流電圧を印加する。この交流電圧は、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに揺動する場合と同様である（図５参照）。
【００５３】
交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間に電圧差が生じ、この電圧差により第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間に静電力が生じる。
【００５４】
この静電力により、第２の可動部３００とＹ負電極８０２とが引き合い、第２の可動部３００がＹ軸時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第２の可動部３００が最大の回転角度で回転する。
【００５５】
第２の可動部３００の回転角度が大きくなると、第２の可動部３００の頂部はＹ負電極８０２の切欠に侵入する。そのため、第２の可動部３００とＹ負電極８０２とが直接に接触しない。第２の可動部３００とＹ負電極８０２との短絡により回路等が破壊されるおそれがなくなる。
【００５６】
交流電圧が１００Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第２の可動部３００は、第２の支持部６０１、６０２の弾性力により第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第２の可動部３００は、第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００５７】
これを繰り返すことにより、第２の可動部３００がＹ軸時計周りに揺動する。また、前述したように第２の可動部３００とＸ方向電極７００とがＺ軸方向において重ならないため、第２の可動部３００とＹ方向電極８００との間に生じる第２の可動部３００をＹ軸周りに駆動するための静電力は、Ｘ軸周りの駆動機構（すなわち第１の可動部２００およびＸ方向電極７００）に及ばない。
【００５８】
また、Ｙ負電極８０２は第１、２の支持部５０１、５０２、６０１、６０２と重ならないため、第１、２の支持部５０１、５０２、６０１、６０２との間に静電力を生じない。そのため、Ｙ負電極８０２に印加された電圧により第１、２の支持部５０１、５０２、６０１、６０２が不必要に揺動しなくなる。すなわち、Ｙ軸周りの駆動のための静電力がＸ軸周りの駆動機構に及ばない。
【００５９】
以上示したＸ軸方向に駆動する電圧及びＹ軸方向に駆動する電圧を重畳すると、図６に示すような交流電圧となる。従来、２つの揺動軸周りに可動部を同時に駆動するとき、このような交流電圧を１つ電極に印加していた。このような構成では、印加電圧の直流バイアス成分が高くなって、静電駆動型光スキャナの効率が低下する。本実施形態によれば、Ｘ軸方向に駆動する電圧及びＹ軸方向に駆動する電圧を重畳して１つ電極に印加する必要がなく、印加電圧が高くなることを防止できる。
【００６０】
次に、第２の実施形態について図７を用いて説明する。第１の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００６１】
第１、第２の可動部２００、３００、枠部４００、第１、第２の支持部６０１、６０２、Ｘ方向電極７００、及びＹ方向電極８００は、第１の実施形態と同様の構成であるため説明を省略する。
【００６２】
Ｘ方向電極７００から延びるＸ正負配線７３１、７３２は、開口部７３３、７３４を有する。第２の可動部３００の中心軸から見たとき、この開口部７３３、７３４に第２の支持部６０１、６０２が重なる。すなわち、Ｘ正配線７１１及びＸ負配線７１２は第２の支持部６０１、６０２と重ならない。
【００６３】
本実施形態によれば、Ｘ正配線７１１及びＸ負配線７１２は、第２の支持部６０１、６０２と重ならないため、第２の支持部６０１、６０２との間に静電力を生じない。そのため、Ｘ正配線７１１及びＸ負配線７１２に印加された電圧により第２の支持部６０１、６０２が不必要に揺動しなくなる。
【００６４】
なお、交流電圧の最大振幅電圧値は１００Ｖ又は４０Ｖでなくても良く、直流バイアス成分は５０Ｖ又は２０Ｖでなくても良い。
【００６５】
交流電圧は正方向にバイアスされたものでなくても良く、負方向にバイアスされたものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】第１の実施形態による静電駆動型光スキャナの分解斜視図である。
【図２】第１及び第２の可動部３００並びに第１及び第２の支持部の正面図である。
【図３】第１及び第２の電極の正面図である。
【図４】第１の電極に印加される電圧の時間変化を示したグラフである。
【図５】第２の電極に印加される電圧の時間変化を示したグラフである。
【図６】従来例による電極に印加される電圧の時間変化を示したグラフである。
【図７】第２の実施形態による静電駆動型光スキャナにおける第１及び第２の電極の正面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１００  静電駆動型光スキャナ（静電駆動型アクチュエータ）
２００  第１の可動部
３００  第２の可動部
４００  枠部
５０１  第１の支持部
６０１  第２の支持部
７００  Ｘ方向電極
８００  Ｙ方向電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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