(57)【要約】【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型光スキャナを得る。【解決手段】静電駆動型光スキャナは、可動部と電極部１２０とから構成される。電極部１２０が設けられる層の下、つまり可動部と対向する面の裏と対向する位置に、配線層９００が設けられる。配線層９００には、Ｘ正配線９７１、Ｘ負配線、Ｙ正配線９８１、及びＹ負配線９８２が設けられる。Ｘ正配線９７１は、Ｘ正電極７０１の裏まで延び、Ｘ正接続ビア７１１によりＸ正電極７０１と電気的に接続される。Ｘ負配線も同様にしてＸ負接続ビア７１２によりＸ負電極７０２と電気的に接続される。Ｙ正配線９８１は、Ｙ正配線接続部８１１の裏まで延び、Ｙ正接続ビア８１３によりＹ正配線接続部８１１と電気的に接続される。Ｙ負配線９８２も同様にしてＹ負接続ビア８１４によりＹ負配線接続部８１２と電気的に接続される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部と、
前記第１の可動部の周囲に設けられる第２の可動部と、
前記第２の可動部に対し前記第１の可動部を第１の揺動軸周りに揺動自在に支持する第１の支持部と、
前記第２の可動部の周囲に設けられる枠部と、
前記第１の揺動軸と平行でない第２の揺動軸周りに揺動自在となるように前記枠部に対し前記第２の可動部を揺動自在に支持する第２の支持部と、
前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第１の可動部と重なる位置に、前記第１の可動部と一定の距離を置いて設けられる第１の電極と、
前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第２の可動部と重なる位置に、前記第２の可動部と一定の距離を置いて設けられる第２の電極と、
前記第１の電極に接続され、前記第１の可動部と前記第１の電極との間に電位差を発生させるための電荷を送電する第１の導線とを備え、
前記第１の導線と前記第２の可動部との距離は、前記第２の電極と前記第２の可動部との距離よりも長い静電駆動型アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第２の可動部と重ならない位置に設けられる請求項１に記載の静電駆動型スキャナ。
【請求項３】
前記第２の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第１の可動部と重ならない位置に設けられる請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項４】
前記第２の電極に接続され、前記第２の可動部と前記第２の電極との間に電位差を発生させるための電荷を送電する第２の導線とをさらに備え、
前記第２の導線と前記第２の可動部との距離は、前記第２の電極と前記第２の可動部との距離よりも長い請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第２の揺動軸により分割されて成る第１の正方向電極及び第１の負方向電極を有する請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項６】
前記第２の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第２の揺動軸により分割されて成る第２の正方向電極及び第２の負方向電極を有する請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項７】
前記第１の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第１の支持部と重ならない請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項８】
前記第２の電極は、前記第１の揺動軸及び前記第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、前記第２の支持部と重ならない請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【請求項９】
前記第１の支持部又は前記第２の支持部は、弾性体から成る請求項１に記載の静電駆動型アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電力を用いて光の進行方向を変える静電駆動型光スキャナに用いられる静電駆動型アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電駆動型光スキャナは、静電駆動型アクチュエータの可動部に鏡面を形成し、可動部に対向するように設けられる４つの電極を備えるものが知られている。
【０００３】
可動部は２つの揺動軸周りに揺動自在に設けられる。すなわち、可動部は、第１の揺動軸を介してジンバルリングの内側に取り付けられ、ジンバルリングは、その外周面に接続された第２の揺動軸を介して環状の固定部の内側に取り付けられる。これにより、可動部がジンバルリングに対し第１の揺動軸周りに回動自在となり、ジンバルリングが固定部に対し第２の揺動軸周りに回動自在となる。
【０００４】
４つの電極に電圧を適宜印加することにより、電極と可動部との間に静電力を発生させ、この静電力により可動部を揺動させる。
【０００５】
可動部から見ると、２つの揺動軸が形成する４つの象限に４つの電極が各々配置される。１つの揺動軸周りに可動部を揺動させるとき、その揺動軸に対して互いに同じ側に位置する２つの電極に電圧を印加する。他方の揺動軸周りに可動部を揺動させるとき、同様にして、その揺動軸に対して互いに同じ側に位置する２つの電極に電圧を印加する。２つの揺動軸周りに可動部を同時に駆動するとき、１つの電極に対し、２つの揺動軸周りに可動部を駆動するための２つの電圧が加算されて印加される。
【特許文献１】特開２００５−２０８１６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電極に電圧を印加する導線とジンバルリングとが近接していると、導線に通電した際、ジンバルリングと導線との間に静電力が生じることがある。これにより、ジンバルリングの動作が不安定になることがある。
【０００７】
また、可動体から見て、ジンバルリングと電極とが重なっていると、第１の揺動軸周りに可動部を揺動させるため電極に印加された電圧によりジンバルリングと電極との間に静電力が生じることがある。これにより、ジンバルリングの動作が不安定になることがある。
【０００８】
１つの電極に対し２つの電圧が加算されて印加されると、第１の揺動軸周りに可動部を駆動するために印加された電圧が、第２の揺動軸周りの可動部の動作に影響を及ぼすことがある。これにより、第２の揺動軸周りの可動部の動作が不安定になることがある。
【０００９】
さらに、１つの電極に２つの電圧を加算して印加するため印加電圧が高くなるという問題がある。
【００１０】
本発明はこれらの問題を鑑みてなされたものであり、効率良く駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明による静電駆動型アクチュエータは、第１の可動部と、第１の可動部の周囲に設けられる第２の可動部と、第２の可動部に対し第１の可動部を第１の揺動軸周りに揺動自在に支持する第１の支持部と、第２の可動部の周囲に設けられる枠部と、第１の揺動軸と平行でない第２の揺動軸周りに揺動自在となるように枠部に対し第２の可動部を揺動自在に支持する第２の支持部と、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第１の可動部と重なる位置に、第１の可動部と一定の距離を置いて設けられる第１の電極と、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第２の可動部と重なる位置に、第２の可動部と一定の距離を置いて設けられる第２の電極と、第１の電極に接続され、第１の可動部と第１の電極との間に電位差を発生させるための電荷を送電する第１の導線とを備え、第１の導線と第２の可動部との距離は、第２の電極と第２の可動部との距離よりも長いことを特徴とする。
【００１２】
第１の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第２の可動部と重ならない位置に設けられることが好ましい。第１の電極に印加された電圧が、第１の電極と第２の可動部との間に静電力を生じさせ、第２の可動部の動作に影響を与えることを防止する。
【００１３】
第２の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第１の可動部と重ならない位置に設けられることが好ましい。第２の電極に印加された電圧が、第２の電極と第１の可動部との間に静電力を生じさせ、第１の可動部の動作に影響を与えることを防止する。
【００１４】
第２の電極に接続され、第２の可動部と第２の電極との間に電位差を発生させるための電荷を送電する第２の導線とをさらに備え、第２の導線と第２の可動部との距離は、第２の電極と第２の可動部との距離よりも長いことが好ましい。第２の導線に印加された電圧が、第２の導線と第２の可動部との間に静電力を生じさせ、第２の可動部の動作に影響を与えることを防止する。
【００１５】
第１の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第２の揺動軸により分割されて成る第１の正方向電極及び第１の負方向電極を有することが好ましい。第１の可動部を効率よく揺動させることができる。
【００１６】
第２の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第２の揺動軸により分割されて成る第２の正方向電極及び第２の負方向電極を有することが好ましい。第２の可動部を効率よく揺動させることができる。
【００１７】
第１の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第１の支持部と重ならないことが好ましい。第１の電極が第２の可動部の動作に影響を与えることを防止する。
【００１８】
第２の電極は、第１の揺動軸及び第２の揺動軸と直交する直線上から見たとき、第２の支持部と重ならないことが好ましい。第２の電極が第１の可動部の動作に影響を与えることを防止する。
【００１９】
第１の支持部又は第２の支持部は、弾性体が好適である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、効率よく駆動することが可能な静電駆動型アクチュエータを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明による静電駆動型アクチュエータの第１の実施形態について図を用いて説明する。図１から４に静電駆動型アクチュエータを有する静電駆動型光スキャナ１００の構成を示す。
【００２２】
静電駆動型光スキャナ１００（静電駆動型アクチュエータ）は、可動部１１０と電極部１２０とから構成される。可動部１１０は、円盤形状であって円形面のうち１つが鏡面２０１である第１の可動部２００と、第１の可動部２００の外周面２０２を取り囲む環状の第２の可動部３００と、第２の可動部３００の外周面３０１を取り囲む環状の枠部４００とから主に構成される。第１の可動部２００、第２の可動部３００及び枠部４００は略同じ厚さである。第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００の中心は同心をなす。
【００２３】
第２の可動部３００には、内周面３０２側と外周面３０１側に２つずつ、合計４つの矩形の切欠３１１、３１２、３２１、３２２が設けられる。内周面３０２側の２つの切欠３１１、３１２は、第２の可動部３００の中心軸に対して軸対称であり、外周面３０１側の２つの切欠３２１、３２２もまた同様である。
【００２４】
第１の可動部２００の外周面２０２と第２の可動部３００の内周面側切欠３１１、３１２とを接続する第１の支持部５０１、５０２が設けられる。第１の支持部５０１、５０２は、直方体の板状部材を幅方向に幾重にも折り畳んだ形状であり、いわゆる雷紋状を成す。この形状により第１の支持部５０１、５０２は捻り方向に弾性を有する。これにより第１の可動部２００は、第１の支持部５０１、５０２を軸として第２の可動部３００に対し揺動可能に支持される。
【００２５】
第２の可動部３００の外周面側切欠３２１、３２２と枠部４００とを接続する第２の支持部６０１、６０２が設けられる。第２の支持部６０１、６０２の形状は、第１の支持部５０１、５０２の形状と同様であり、捻り方向に弾性を有する。これにより第２の可動部３００は、第２の支持部６０１、６０２を軸として枠部４００に対し揺動可能に支持される。枠部４００は電極部１２０に対して固定される。
【００２６】
図１に示すように、電極部１２０は、第１の可動部２００をＸ軸周りに駆動するためのＸ方向電極７００と、第２の可動部３００をＹ軸周りに駆動するためのＹ方向電極８００とから成る。Ｘ方向電極７００は、円盤を直径で二分して得られる２つの略半円７０１、７０２からなる。略半円のうち、図においてＸ軸のＹ軸負側に置かれる略半円をＸ正電極７０１、Ｘ軸のＹ軸正側に置かれる略半円をＸ負電極７０２とする。Ｙ方向電極８００は、環形状を直径で二分して得られる２つの略半輪からなり、内周にＸ方向電極７００を納める。略半輪のうち、図においてＹ軸のＸ軸正側に置かれる略半輪をＹ正電極８０１、Ｙ軸のＸ軸負側に置かれる略半輪をＹ負電極８０２とする。電極部１２０に電位差を与えないアイドル状態においては、Ｘ軸およびＹ軸に直交するＺ軸は、第１の可動部２００の鏡面２０１の法線と一致している。
【００２７】
Ｘ方向電極７００とＹ方向電極８００の中心は、Ｚ軸上にて第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００の中心と同心に置かれる。Ｘ方向電極７００の直径は第１の可動部２００の直径と略等しく、Ｙ方向電極８００の内径及び外径は、第２の可動部３００の内径及び外径と等しい。第１、２の可動部２００、３００及びＸ、Ｙ方向電極８００は、それらの中心軸（すなわちＺ軸）から見たとき、第１の可動部２００とＸ方向電極７００とが、そして第２の可動部３００とＹ方向電極８００とが、各々略一致して重なるように設けられる。別言すると、Ｚ軸方向から見たとき、Ｘ軸周りに駆動するための第１の可動部２００とＹ方向電極８００、そしてＹ軸周り駆動するための第２の可動部３００とＸ方向電極７００とが、夫々重ならないように配置される。
【００２８】
また、第１、２の可動部２００、３００の中心軸から見たとき、Ｘ方向電極７００は第１の可動部２００の揺動軸によりＸ正電極７０１とＸ負電極７０２とに二分され、Ｙ方向電極８００は第２の可動部３００の揺動軸によりＹ正電極８０１とＹ負電極８０２とに二分される。
【００２９】
Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２は、半輪状の中央に切欠８２１、８２２を有し、第２の可動部３００の中心軸から見たとき、この切欠８２１、８２２に第１の支持部５０１、５０２が各々重なる。すなわち、Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２は第１の支持部５０１、５０２と重ならない。半輪状の頂部には、Ｙ正電極８０１及びＹ負電極８０２に電荷を移送する配線を接続するためのＹ正配線接続部８１１及びＹ負配線接続部８１２が各々設けられる。
【００３０】
電極部１２０が設けられる層の下、つまり可動部１１０と対向する面の裏と対向する位置に、配線層９００が設けられる。
【００３１】
配線層９００には、Ｘ正配線９７１、Ｘ負配線９７２、Ｙ正配線９８１、及びＹ負配線９８２が設けられる。Ｘ正配線９７１は、Ｘ正電極７０１の裏まで延び、Ｘ正接続ビア７１１によりＸ正電極７０１と電気的に接続される。Ｘ負配線９７２も同様にしてＸ負接続ビア７１２によりＸ負電極７０２と電気的に接続される。Ｙ正配線９８１は、Ｙ正配線接続部８１１の裏まで延び、Ｙ正接続ビア８１３によりＹ正配線接続部８１１と電気的に接続される。Ｙ負配線９８２も同様にしてＹ負接続ビア８１４によりＹ負配線接続部８１２と電気的に接続される。
【００３２】
Ｘ正配線９７１、Ｘ負配線９７２、Ｙ正配線９８１、及びＹ負配線９８２は、図示しない電源装置に接続され、第１、２の可動部２００、３００及び枠部４００は電気的に接地される。
【００３３】
次に、図７を用いて電極部１２０及び配線層９００の形成手段を示す。
【００３４】
まずステップ１では、プリント基板の製造と同様の手段を用いて、配線層９００にＸ正配線９７１、Ｘ負配線９７２、Ｙ正配線９８１、及びＹ負配線９８２を設ける。
【００３５】
次にステップ２において、配線層９００の上に絶縁層８３０を設ける。この絶縁層８３０は、接続ビアが設けられる位置に開口部を有する。
【００３６】
そしてステップ３において、プリント基板の製造と同様の手段を用いて、絶縁層８３０の上にＸ方向電極７００及びＹ方向電極８００を形成する。
【００３７】
これにより、電極部１２０及び配線層９００が形成される。
【００３８】
次に、第１の可動部２００の動作について説明する。
【００３９】
まず、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに揺動する場合について説明する。
【００４０】
図示しない電源装置がＸ正配線９７１を介してＸ正電極７０１に交流電圧を印加する。この交流電圧は、例えば最大振幅電圧が４０Ｖであり、２０Ｖの直流バイアス電圧が重畳されている。そのため、最大電圧は４０Ｖであり、最小電圧は０Ｖである。
【００４１】
この交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間に電圧差が生じ、この電圧差により第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間に静電力が生じる。この静電力により、第１の可動部２００とＸ正電極７０１とが引き合い、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第１の可動部２００が最大の回転角度で回転する。
【００４２】
交流電圧が４０Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第１の可動部２００は、第１の支持部５０１、５０２の弾性力により第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第１の可動部２００とＸ正電極７０１との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第１の可動部２００は、第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００４３】
これを繰り返すことにより、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに揺動する。
【００４４】
次に、第１の可動部２００がＸ軸時計周りに揺動する場合について説明する。
【００４５】
この場合、電源装置はＸ負配線９７２を介してＸ負電極７０２に交流電圧を印加する。この交流電圧は、第１の可動部２００がＸ軸反時計周りに揺動する場合と同様である。
【００４６】
交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間に電圧差が生じ、この電圧差により第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間に静電力が生じる。この静電力により、第１の可動部２００とＸ負電極７０２とが引き合い、第１の可動部２００がＸ軸時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第１の可動部２００が最大の回転角度で回転する。
【００４７】
交流電圧が４０Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第１の可動部２００は、第１の支持部５０１、５０２の弾性力により第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第１の可動部２００とＸ負電極７０２との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第１の可動部２００は、第２の可動部３００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００４８】
これを繰り返すことにより、第１の可動部２００がＸ軸時計周りに揺動する。また、前述したように第１の可動部２００とＹ方向電極８００とがＺ軸方向において重ならないため、第１の可動部２００とＸ方向電極７００との間に生じる第１の可動部２００をＸ軸周りに駆動するための静電力は、Ｙ軸周りの駆動機構（すなわち第２の可動部３００およびＹ方向電極８００）に及ばない。
【００４９】
次に、第２の可動部３００の動作について説明する。
【００５０】
まず、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに揺動する場合について説明する。
【００５１】
図示しない電源装置がＹ正配線９８１を介してＹ正電極８０１に交流電圧を印加する。この交流電圧は、例えば最大振幅電圧が１００Ｖであり、５０Ｖの直流バイアス電圧が重畳されている。そのため、最大電圧は１００Ｖであり、最小電圧は０Ｖである。
【００５２】
この交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間に電圧差が生じ、この電圧差により第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間に静電力が生じる。この静電力により、第２の可動部３００とＹ正電極８０１とが引き合い、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第２の可動部３００が最大の回転角度で回転する。
【００５３】
交流電圧が１００Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第２の可動部３００は、第２の支持部６０１、６０２の弾性力により第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第２の可動部３００とＹ正電極８０１との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第２の可動部３００は、第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００５４】
これを繰り返すことにより、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに揺動する。
【００５５】
また、Ｙ正電極８０１は第１、２の支持部と重ならないため、第１、２支持部との間に静電力を生じない。そのため、Ｙ正電極８０１に印加された電圧により第１、２支持部が不必要に揺動しなくなる。
【００５６】
第２の可動部３００がＹ軸時計周りに揺動する場合について説明する。
【００５７】
この場合、電源装置はＹ負配線９８２、８１２を介してＹ負電極８０２に交流電圧を印加する。この交流電圧は、第２の可動部３００がＹ軸反時計周りに揺動する場合と同様である。
【００５８】
交流電圧が０Ｖから増加していくと、接地されている第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間に電圧差が生じ、この電圧差により第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間に静電力が生じる。
【００５９】
この静電力により、第２の可動部３００とＹ負電極８０２とが引き合い、第２の可動部３００がＹ軸時計周りに回転する。交流電圧が最大となるとき、第２の可動部３００が最大の回転角度で回転する。
【００６０】
交流電圧が１００Ｖから減少していくと同時に静電力が減少し、第２の可動部３００は、第２の支持部６０１、６０２の弾性力により第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態に近づいてゆく。交流電圧が０Ｖになると第２の可動部３００とＹ負電極８０２との間の電位差が無くなって静電力が消滅し、第２の可動部３００は、第１の可動部２００及び枠部４００と平行な状態となる。
【００６１】
これを繰り返すことにより、第２の可動部３００がＹ軸時計周りに揺動する。また、前述したように第２の可動部３００とＸ方向電極７００とがＺ軸方向において重ならないため、第２の可動部３００とＹ方向電極８００との間に生じる第２の可動部３００をＹ軸周りに駆動するための静電力は、Ｘ軸周りの駆動機構（すなわち第１の可動部２００およびＸ方向電極７００）に及ばない。
【００６２】
また、Ｙ負電極８０２は第１、２の支持部５０１、５０２、６０１、６０２と重ならないため、第１、２の支持部５０１、５０２、６０１、６０２との間に静電力を生じない。そのため、Ｙ負電極８０２に印加された電圧により第１、２の支持部５０１、５０２、６０１、６０２が不必要に揺動しなくなる。
【００６３】
次に、第２の実施形態について図８及び９を用いて説明する。第１の実施形態と同様の構成については説明が省略される。
【００６４】
第１の可動部２００、第２の可動部３００、枠部４００、第１の支持部６０１、第２の支持部６０２、及びＸ方向電極７００は、第１の実施形態と同様の構成であるため説明を省略する。
【００６５】
Ｙ正配線接続部８３１及びＹ負配線接続部８３２がＹ正方向電極８０３及びＹ負方向電極８０４から各々延びる。Ｙ正方向電極８０３とＹ正配線接続部８３１とにより開口部８３３が、そしてＹ負方向電極８０４とＹ負配線接続部８３２とにより開口部８３４が形成される。第２の可動部３００の中心軸（Z軸）から見たとき、この開口部８３３、８３４に第１の支持部５０１、５０２が重なる。すなわち、Ｙ正方向電極８０３、Ｙ負方向電極８０４、Ｙ正配線接続部８３１、及びＹ負配線接続部８３２は第１の支持部５０１、５０２と全く重ならない。
【００６６】
Ｙ正配線９８３及びＹ負配線９８４は、配線層９００に埋め込まれて設けられる。すなわち、配線層９００の表面にＹ正配線９８３及びＹ負配線９８４が突出しない。
【００６７】
そして、Ｙ正配線接続部８３１及びＹ負配線接続部８３２は、配線層９００に設けられるＹ正配線９８３及びＹ負配線９８４とＹ正接続ビア８５３及びＹ負接続ビア８６３を介して各々電気的に接続される。
【００６８】
次に、第３の実施形態について図１０及び１１を用いて説明する。第１及び第２の実施形態と同様の構成については説明が省略される。
【００６９】
第１の可動部２００、第２の可動部３００、枠部４００、第１の支持部６０１、第２の支持部６０２、及びＸ方向電極７００は、第１の実施形態と同様の構成であるため説明を省略する。
【００７０】
本実施形態におけるＹ方向電極は、Ｙ正配線接続部及びＹ負配線接続部を有さない。Ｙ正方向電極８０５ａ、８０５ｂは、半輪状をその中心を通る直線により二等分して得られる。Ｙ正方向電極８０５ａ、８０５ｂとの間には、間隙部８３５が設けられる。第２の可動部３００の中心軸から見たとき、この間隙部８３５に第１の支持部５０１が重なる。すなわち、Ｙ正方向電極８０５ａ、８０５ｂは第１の支持部５０１と全く重ならない。Ｙ負方向電極８０６ａ、８０６ｂは、半輪状をその中心を通る直線により二等分して得られる。Ｙ負方向電極８０６ａ、８０６ｂとの間には、間隙部８３６が設けられる。第２の可動部３００の中心軸から見たとき、この間隙部８３６に第１の支持部５０２が重なる。すなわち、Ｙ負方向電極８０６ａ、８０６ｂは第１の支持部５０２と全く重ならない。
【００７１】
配線層９００には、Ｘ正配線９７１、Ｘ負配線９７２、Ｙ正配線９８５、及びＹ負配線９８６が設けられる。Ｘ正配線９７１及びＸ負配線９７２は第１及び第２の実施形態と同様であるため説明を省略する。
【００７２】
Ｙ正配線９８５は、二股に分かれてＹ正方向電極８０５ａ、８０５ｂの裏まで各々延び、Ｙ正接続ビア８１５ａ、８１５ｂによりＹ正方向電極８０５ａ、８０５ｂと各々電気的に接続される。Ｙ負配線９８６は、二股に分かれてＹ負方向電極８０６ａ、８０６ｂの裏まで各々延び、Ｙ正接続ビア８１６ａ、８１６ｂによりＹ負方向電極８０６ａ、８０６ｂと各々電気的に接続される。
【００７３】
これにより、Ｙ正配線９８５及びＹ負配線９８６と、第１、第２の可動部２００、３００との間の距離を大きく取ることができ、Ｙ正配線９８５及びＹ負配線９８６の電位が第１、第２の可動部２００、３００の動きに及ぼす影響を低減することができる。
【００７４】
また、Ｙ正配線９８５及びＹ負配線９８６が、第１の支持部５０１、５０２と重ならないため、第１の支持部５０１、５０２との間に静電力を生じない。そのため、Ｙ正配線９８５及びＹ負配線９８６が有する電位により第１の支持部５０１、５０２及び第１の可動部２００が不必要に揺動しなくなる。
【００７５】
本発明によれば、配線層９００の配線パターンが簡単なもので済むため、配線パターンを形成するときに精度を要求される作業を行う必要が無くなる。
【００７６】
また、配線層９００を設けることにより、Ｙ正電極及びＹ負電極との間にＸ正電極及びＸ負電極と接続する配線を形成する必要がないため、Ｙ正電極及びＹ負電極の面積を広げることができ、第２の可動部３００を効率よく駆動できる。また、Ｙ正電極及びＹ負電極との間に配線が形成されないため、Ｙ正電極及びＹ負電極との間における追加工が容易となる。
【００７７】
なお、配線層９００を設けず、絶縁層８３０の電極が設けられる面の裏に配線を設けても良い。
【００７８】
また、接続ビアを用いずに、スパッタリング加工により配線と電極を接続しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】第１の実施形態による静電駆動型光スキャナの分解斜視図である。
【図２】電極部及び配線層の斜視図である。
【図３】図２のIII−III線における断面図である。
【図４】図２のIV−IV線における断面図である。
【図５】Ｘ方向電極とＹ方向電極の正面図である。
【図６】配線層の正面図である。
【図７】電極部及び配線層の形成手段を示した図である。
【図８】第２の実施形態による静電駆動型光スキャナの斜視図である。
【図９】図８のIX−IX線における断面図である。
【図１０】第３の実施形態による静電駆動型光スキャナの正面透視図である。
【図１１】Ｘ方向電極とＹ方向電極の正面図である。
【図１２】配線層の正面図である。
【符号の説明】
【００８０】
１００  静電駆動型光スキャナ（静電駆動型アクチュエータ）
２００  枠部
２１０  第１の面
２２０ａ  枠部側電極
２２０ｂ  枠部側電極
３００  可動部
３１０  鏡面
３２０ａ  可動部側電極
３２０ｂ  可動部側電極
４００  支持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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