(57)【要約】【課題】被処理ガス中の硫化水素に対する吸着処理を連続して行えるものでありながら、吸着塔は小型化せずに装置全体を小型化して安価に構成する。【解決手段】被処理ガス中の硫化水素を吸着するように水酸化第二鉄を含む多孔質材料による吸着材を充填した吸着塔１と、吸着塔１よりも容量が小さい吸着処理用の小容器５を設け、吸着塔１に外気を供給して再生処理可能に構成する。吸着塔１内の吸着材に対して再生処理を行っている状態で、被処理ガスを小容器５に供給できるように構成し、かつ、小容器５に被処理ガスの供給を停止した状態で外気を供給できるように構成する。小容器５内に充填する水酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材の充填量を、吸着塔１内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間に基づいて少量に設定する。【選択図】図１
2009207945.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理ガス中の硫化水素を吸着するように水酸化第二鉄を含む多孔質材料による吸着材を充填した吸着塔を設け、前記吸着塔内の吸着材に水分を含む空気を再生ガスとして供給して再生処理を行うように構成した吸着処理装置であって、
前記吸着塔よりも容量が小さい吸着処理用の小容器を設けるとともに、前記小容器内に水酸化第二鉄または／および酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材を充填し、前記吸着塔内の吸着材に対して再生処理を行っている状態で被処理ガスを供給する配管を前記小容器に接続し、かつ、前記小容器用吸着材の充填量を、前記吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間に基づいて少量に設定したことを特徴とする吸着処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着処理装置において、
前記小容器用吸着材の充填量を、前記吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間と前記吸着塔内の吸着材に硫黄が蓄積して再生不能となるまでの回数との積で計算される処理時間に基づいて少量に設定したことを特徴とする吸着処理装置。
【請求項３】
被処理ガス中の硫化水素を吸着するように水酸化第二鉄を含む多孔質材料による吸着材を充填した吸着塔を設け、前記吸着塔内の吸着材に水分を含む空気を再生ガスとして供給して再生処理を行うように構成した吸着処理装置であって、
前記吸着塔よりも容量が小さい吸着処理用の小容器を設けるとともに、前記小容器内に水酸化第二鉄または／および酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材を充填し、前記吸着塔内の吸着材に対して再生処理を行っている状態で被処理ガスを供給する配管と、被処理ガスの供給を停止した状態で再生ガスを供給する再生ガス供給管とを前記小容器に接続し、かつ、前記小容器用吸着材の充填量を、前記吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間に基づいて少量に設定したことを特徴とする吸着処理装置。
【請求項４】
請求項１、２、３のいずれかに記載の吸着処理装置において、
吸着材に対する再生処理を行わない定常状態で、被処理ガスを吸着塔から小容器に直列に流動するように構成してある吸着処理装置。
【請求項５】
被処理ガス中の溶剤を吸着する吸着材を充填した吸着塔を設け、前記吸着塔内の吸着材に過熱水蒸気を供給して再生処理を行うように構成した吸着処理装置であって、
前記吸着塔よりも容量が小さい吸着処理用の小容器を設けるとともに、前記吸着塔内の吸着材に対して再生処理を行っている状態で被処理ガスを供給する配管を前記小容器に接続し、前記小容器に、被処理ガスの供給を停止した状態で過熱水蒸気を供給する蒸気分岐供給管を接続し、かつ、前記小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を、前記吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間に基づいて少量に設定したことを特徴とする吸着処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の吸着処理装置において、
吸着材に対する再生処理を行わない定常状態で、被処理ガスを吸着塔から小容器に直列に流動するように構成してある吸着処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、食品工場などから発生するバイオガス中に含まれる硫化水素を除去するとか、クリーニング工場などから発生する排ガス中に含まれる溶剤を回収するなどのために、被処理ガス中の被吸着物を吸着する吸着材を充填した吸着塔を設け、吸着塔内の吸着材に対する再生処理を可能に構成した吸着処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上述のような吸着処理装置としては、従来、次のようなものが知られている。
すなわち、活性炭素繊維を充填した同じ大きさの充填塔（吸着塔）が並列に設けられ、両充填塔の長手方向一端側に、被処理ガスを供給する配管が、供給側開閉ダンパーを介装した分岐供給管を介して接続されるとともに、両充填塔の長手方向他端側に、排出側開閉ダンパーを介装した排ガス配管が接続されている。
【０００３】
また、両充填塔の排ガス配管の接続側に、スチームを供給する配管が、供給側開閉弁を介装した分岐スチーム供給管を介して接続されるとともに、両充填塔の長手方向他端側に、回収配管が、排出側開閉弁を介装した分岐回収配管を介して接続されている。
回収配管には、凝縮器、油水分離槽、蒸留塔などが接続されている。
【０００４】
上述構成により、一方の充填塔にのみ被処理ガスを供給して溶剤を吸着処理し、活性炭素繊維が破過に至る前に、その充填塔への被処理ガスの供給を停止するとともに、他方の充填塔に被処理ガスを供給し、しかる後に、溶剤を吸着した充填塔に対してスチームを供給し、吸着材に吸着した溶剤を脱着して吸着材を再生処理するとともに脱着した溶剤を回収し、それらを交互に繰り返すことで連続して溶剤を回収できるようになっている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特公平６−７９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のような従来の公報例の場合にあって、充填塔に充填する吸着材の量を少なくすると、吸着材が破過に至る時間が短くなり、吸着と再生とを頻繁に繰り返さなければならず、ダンパーや開閉弁を頻繁に開閉し、その耐久性が早期に低下する問題があり、充填塔の容量を大きくして吸着材の充填量が多くなるように構成している。
【０００６】
しかしながら、容量の大きな充填塔を並設するために、装置全体として大型化するとともに設置スペースが大きくなり、高価になる欠点があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、被処理ガス中の硫化水素あるいは溶剤を吸着する吸着処理装置を小型化して安価に構成できるようにすることを目的とするものであり、請求項１および２に係る発明は、被処理ガス中の硫化水素に対する吸着処理を連続して行えるものでありながら、吸着塔は小型化せずに装置全体を小型化して安価に構成できるようにすることを目的とし、請求項３に係る発明は、被処理ガス中の硫化水素に対する吸着処理を連続して行えるものでありながら、吸着塔は小型化せずに装置全体を一層小型化して安価に構成できるようにすることを目的とし、請求項４に係る発明は、吸着塔内の吸着材の吸着能力の不測の低下に起因する硫化水素の除去効率の低下を回避できるようにすることを目的とし、請求項５に係る発明は、被処理ガス中の溶剤に対する吸着処理を連続して行えるものでありながら、吸着塔は小型化せずに装置全体を小型化して安価に構成できるようにすることを目的とし、請求項６に係る発明は、吸着塔内の吸着材の吸着能力の不測の低下に起因する溶剤の除去効率の低下を回避できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る発明は、上述のような目的を達成するために、
被処理ガス中の硫化水素を吸着するように水酸化第二鉄を含む多孔質材料による吸着材を充填した吸着塔を設け、前記吸着塔内の吸着材に水分を含む空気を再生ガスとして供給して再生処理を行うように構成した吸着処理装置であって、
前記吸着塔よりも容量が小さい吸着処理用の小容器を設けるとともに、前記小容器内に水酸化第二鉄または／および酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材を充填し、前記吸着塔内の吸着材に対して再生処理を行っている状態で被処理ガスを供給する配管を前記小容器に接続し、かつ、前記小容器用吸着材の充填量を、前記吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間に基づいて少量に設定したことを特徴としている。
上記再生時間としては、少なくとも一回の再生に要する時間であれば良く、その場合、小容器用吸着材の充填量としては、一回の再生に要する時間だけ被処理ガス中の硫化水素を吸着できるように設定するものであれば良い。
【０００９】
（作用・効果）
請求項１に係る発明の吸着処理装置の構成によれば、吸着処理に要する時間に比べて再生処理に要する時間が大幅に短いことに着目し、吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間の間、小容器内の小容器用吸着材に被処理ガス中の硫化水素を吸着させることができるようにする。
したがって、被処理ガス中の硫化水素を吸着するうえで、小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を吸着塔内に充填する吸着材の充填量に比べて少量にでき、小容器を小型化でき、被処理ガス中の硫化水素に対する吸着処理を連続して行えるものでありながら、吸着塔は小型化せずに装置全体を小型化して安価に構成できる。
小容器用吸着材は再生を行わないため、吸着塔に使用する吸着材と異なり、再生特性を考慮せずに吸着特性のみを考慮して選択できる。小容器用吸着材の寿命までの吸着量および吸着速度は、吸着塔に使用する吸着材より大きなものを選択できるのでより小型化が可能となる。この点からは、小容器用吸着材として酸化第二鉄を含む多孔質材料を使用する方が好ましい。
【００１０】
請求項２に係る発明は、上述のような目的を達成するために、
請求項１に記載の吸着処理装置において、
前記小容器用吸着材の充填量を、前記吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間と前記吸着塔内の吸着材に硫黄が蓄積して再生不能となるまでの回数との積で計算される処理時間に基づいて少量に設定したことを特徴としている。
【００１１】
（作用・効果）
請求項２に係る発明の吸着処理装置の構成によれば、吸着処理に要する時間に比べて再生処理に要する時間が大幅に短いことに着目し、吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間の間、小容器内の小容器用吸着材に被処理ガス中の硫化水素を吸着させることができるようにする。かつ、硫化水素を吸着する吸着材として水酸化第二鉄または／および酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材を使用する場合、吸着処理で硫化水素と水酸化第二鉄または／および酸化第二鉄とが反応して硫化鉄を生成し、その硫化鉄が再生処理で水分と空気中の酸素とに反応して水酸化第二鉄に変化するに伴い硫黄を生成し、この硫黄が多孔質材料に蓄積し、再生を繰り返したときに特定の回数で再生不能になる。この再生不能となるまでの回数と吸着塔内の吸着材に対する再生時間との積から、小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量および小容器の大きさを設定する。
詳述すれば、例えば、吸着塔において吸着処理に要する時間と再生処理に要する時間との比が４２：１であり、吸着塔での再生不能となるまでの回数が１４回であったとすれば、その寿命時間と小容器で吸着するのに必要な時間との比は４２：１４×１＝３：１になり、小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を、吸着塔内に充填する吸着材の寿命時間の１／３を設計上の時間として決定できる。
したがって、被処理ガス中の硫化水素を吸着するうえで、小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を吸着塔内に充填する吸着材の充填量に比べて少量にでき、小容器を小型化でき、被処理ガス中の硫化水素に対する吸着処理を連続して行えるものでありながら、吸着塔は小型化せずに装置全体を小型化して安価に構成できる。
また、請求項１に係る発明の場合と同様に、小型化の点からは、小容器用吸着材として酸化第二鉄を含む多孔質材料を使用する方が好ましい。
【００１２】
また、請求項３に係る発明は、前述のような目的を達成するために、
被処理ガス中の硫化水素を吸着するように水酸化第二鉄を含む多孔質材料による吸着材を充填した吸着塔を設け、前記吸着塔内の吸着材に水分を含む空気を再生ガスとして供給して再生処理を行うように構成した吸着処理装置であって、
前記吸着塔よりも容量が小さい吸着処理用の小容器を設けるとともに、前記小容器内に水酸化第二鉄または／および酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材を充填し、前記吸着塔内の吸着材に対して再生処理を行っている状態で被処理ガスを供給する配管と、被処理ガスの供給を停止した状態で再生ガスを供給する再生ガス供給管とを前記小容器に接続し、かつ、前記小容器用吸着材の充填量を、前記吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間に基づいて少量に設定したことを特徴としている。
【００１３】
（作用・効果）
請求項３に係る発明の吸着処理装置の構成によれば、吸着処理に要する時間に比べて再生処理に要する時間が大幅に短いことに着目し、吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間の間、小容器内の小容器用吸着材に被処理ガス中の硫化水素を吸着させることができるようにする。かつ、硫化水素を吸着する吸着材として水酸化第二鉄または／および酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材を使用する場合、吸着処理で硫化水素と水酸化第二鉄とが反応して硫化鉄を生成し、その硫化鉄が再生処理で水分と空気中の酸素とに反応して水酸化第二鉄に変化するに伴い硫黄を生成し、この硫黄が多孔質材料に蓄積し、再生を繰り返したときに特定の回数で再生不能になる。この再生不能となることを考慮しながら、吸着塔内の吸着材に対する再生時間に基づいて、小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量および小容器の大きさを設定する。
詳述すれば、例えば、吸着塔において吸着処理に要する時間と再生処理に要する時間との比が４２：１であった場合、小容器に充填する小容器用吸着材に対しても再生処理を行うために、その吸着処理に要する時間と再生処理に要する時間との比に比例し、計算上は小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を吸着塔内に充填する吸着材の充填量の１／４２にできるといったこととなり、実際上は、小容器用吸着材の充填量が少なくなるために種々の影響が生じるが、それらの種々の影響を十分考慮しても小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を少なくできる。
したがって、被処理ガス中の硫化水素を吸着するうえで、小容器内の小容器用吸着材を再生処理しない場合に比べ、小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を吸着塔内に充填する吸着材の充填量に比べて一層少量にでき、小容器を小型化でき、被処理ガス中の硫化水素に対する吸着処理を連続して行えるものでありながら、吸着塔は小型化せずに装置全体を小型化して安価に構成できる。
また、請求項１に係る発明の場合と同様に、小型化の点からは、小容器用吸着材として酸化第二鉄を含む多孔質材料を使用する方が好ましい。
【００１４】
また、請求項４に係る発明は、前述のような目的を達成するために、
請求項１、２、３のいずれかに記載の吸着処理装置において、
吸着材に対する再生処理を行わない定常状態で、被処理ガスを吸着塔から小容器に直列に流動するように構成する。
【００１５】
（作用・効果）
請求項４に係る発明の吸着処理装置の構成によれば、被処理ガス中の硫化水素の濃度の予期しない上昇とか、再生処理時期の不測の遅れなどによって硫化水素を吸着塔で吸着できないなど、吸着塔内の吸着材の吸着能力が不測に低下することとなった場合でも、その硫化水素を小容器内の小容器用吸着材で吸着できる。
したがって、吸着塔内の吸着材の吸着能力の不測の低下に起因する硫化水素の除去効率の低下を回避できる。
【００１６】
また、請求項５に係る発明は、前述のような目的を達成するために、
被処理ガス中の溶剤を吸着する吸着材を充填した吸着塔を設け、前記吸着塔内の吸着材に過熱水蒸気を供給して再生処理を行うように構成した吸着処理装置であって、
前記吸着塔よりも容量が小さい吸着処理用の小容器を設けるとともに、前記吸着塔内の吸着材に対して再生処理を行っている状態で被処理ガスを供給する配管を前記小容器に接続し、前記小容器に、被処理ガスの供給を停止した状態で過熱水蒸気を供給する蒸気分岐供給管を接続し、かつ、前記小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を、前記吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間に基づいて少量に設定したことを特徴としている。
【００１７】
（作用・効果）
請求項５に係る発明の吸着処理装置の構成によれば、吸着処理に要する時間に比べて再生処理に要する時間が短いことに着目し、吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間の間、小容器内の小容器用吸着材に被処理ガス中の溶剤を吸着させることができるようにし、吸着塔内の吸着材に対する再生時間に基づいて、小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量および小容器の大きさを設定する。
詳述すれば、例えば、吸着塔において吸着処理に要する時間と再生処理に要する時間との比が５：１であり、小容器に充填する小容器用吸着材に対しても再生処理を行うために、その吸着処理に要する時間と再生処理に要する時間との比に比例し、計算上は小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を吸着塔内に充填する吸着材の充填量の１／５にできるといったこととなる。
したがって、被処理ガス中の溶剤を吸着するうえで、小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を吸着塔内に充填する吸着材の充填量に比べて少量にでき、小容器を小型化でき、被処理ガス中の溶剤に対する吸着処理を連続して行えるものでありながら、吸着塔は小型化せずに装置全体を小型化して安価に構成できる。
【００１８】
また、請求項６に係る発明は、前述のような目的を達成するために、
請求項５に記載の吸着処理装置において、
吸着材に対する再生処理を行わない定常状態で、被処理ガスを吸着塔から小容器に直列に流動するように構成する。
【００１９】
（作用・効果）
請求項６に係る発明の吸着処理装置の構成によれば、被処理ガス中の溶剤の濃度の予期しない上昇とか、再生処理時期の不測の遅れなどによって溶剤を吸着塔で吸着できないなど、吸着塔内の吸着材の吸着能力が不測に低下することとなった場合でも、その溶剤を小容器内の小容器用吸着材で吸着できる。
したがって、吸着塔内の吸着材の吸着能力の不測の低下に起因する溶剤の除去効率の低下を回避できる。
【発明の効果】
【００２０】
以上の説明から明らかなように、請求項１に係る発明の吸着処理装置の構成によれば、吸着処理に要する時間に比べて再生処理に要する時間が大幅に短いことに着目し、吸着塔内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間の間、小容器内の小容器用吸着材に被処理ガス中の硫化水素を吸着させることができるようにする。
したがって、被処理ガス中の硫化水素を吸着するうえで、小容器内に充填する小容器用吸着材の充填量を吸着塔内に充填する吸着材の充填量に比べて少量にでき、小容器を小型化でき、被処理ガス中の硫化水素に対する吸着処理を連続して行えるものでありながら、吸着塔は小型化せずに装置全体を小型化して安価に構成できる。
小容器用吸着材は再生を行わないため、吸着塔に使用する吸着材と異なり、再生特性を考慮せずに吸着特性のみを考慮して選択できる。小容器用吸着材の寿命までの吸着量および吸着速度は、吸着塔に使用する吸着材より大きなものを選択できるのでより小型化が可能となる。この点からは、小容器用吸着材として酸化第二鉄を含む多孔質材料を使用する方が好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００２２】
図１は、本発明に係る吸着処理装置の実施例１を示す全体概略構成図であり、吸着材を充填した吸着塔１の下方側に、第１の開閉弁Ｖ１を介装した被処理ガス供給管２が接続されている。また、吸着塔１の上方側に、第２の開閉弁Ｖ２を介装した処理ガス排出管３が接続されている。
【００２３】
被処理ガス供給管２の第１の開閉弁Ｖ１よりも上流側箇所に、第３の開閉弁Ｖ３を介装した被処理ガス分岐供給管４が接続され、その被処理ガス分岐供給管４が、小容器用吸着材を充填した小容器５の下方側に接続されている。また、小容器５の上方側と処理ガス排出管３の第２の開閉弁Ｖ２より下流側箇所とにわたって処理ガス分岐排出管６が接続されている。
【００２４】
被処理ガス供給管２の第１の開閉弁Ｖ１と吸着塔１との間の箇所に、フィルター７、ブロワー８および第５の開閉弁Ｖ５を介装した、再生ガスとしての外気を供給する外気供給管９が接続されている。また、処理ガス排出管３の吸着塔１と第２の開閉弁Ｖ２との間の箇所に、再生処理後の外気を排出する外気排出管１０が接続され、その外気排出管１０に第６の開閉弁Ｖ６が接続されている。
【００２５】
外気供給管９のブロワー８と第５の開閉弁Ｖ５との間の箇所と被処理ガス分岐供給管４の第３の開閉弁Ｖ３と小容器５との間の箇所とにわたって再生ガス供給管としての外気分岐供給管１１が接続され、その外気分岐供給管１１に第７の開閉弁Ｖ７が接続されている。また、処理ガス分岐排出管６の小容器５と第４の開閉弁Ｖ４との間の箇所に、第８の開閉弁Ｖ８を介装した外気分岐排出管１２が接続されている。
【００２６】
図示しないが、吸着塔１の上方箇所に、吸着材の色の変化を監視する監視窓が設けられ、吸着材の色の変化から吸着材が再生を必要とするかどうかを判別できるようになっている。
すなわち、吸着材が、多孔質材料の表面を水酸化第二鉄によりコーティングして構成され、硫化水素と次のように反応するようになっている。
２Ｆｅ（ＯＨ）３＋３Ｈ２Ｓ＝２Ｆｅ２Ｓ３＋６Ｈ２Ｏ
すなわち、水酸化第二鉄が硫化水素と反応して硫化鉄が生成され、この生成した硫化鉄によって、橙色から黒色に変色し、この変色の進み具合によって再生が必要な時期を判別するようになっている。
再生は、水分を含んだ空気である外気を通すことによって行われ、次のような反応による。
Ｆｅ２Ｓ３＋３／２Ｏ２＋３Ｈ２Ｏ＝２Ｆｅ（ＯＨ）３＋３Ｓ
吸着工程を繰り返すに連れて硫黄が吸着材に蓄積されていくために、例えば、１４回など、特定回数の再生を行うことによって寿命に達し、交換を必要とする。
吸着材が再生を必要とするかどうかを判別する構成としては、吸着塔１内の上方所定レベルから吸着処理後の被処理ガスをサンプリングするようなものなど、各種の構成が採用できる。これは、後述の実施例２、実施例３、実施例４および実施例５についても同様である。
【００２７】
上記構成により、食品工場などから発生する硫化水素を含んだバイオガスを被処理ガスとして吸着塔１に供給し、吸着材に硫化水素を吸着する吸着工程と、吸着材に再生ガスとしての外気を通す再生工程とに切り替えられるようになっており、次に説明する。
【００２８】
・吸着工程
図１の（ａ）に示すように、第１および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ２を開くとともに、第３、第４、第５および第６の開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６を閉じ、被処理ガスを吸着塔１にのみ供給し、吸着材に硫化水素を吸着させる。第７および第８の開閉弁Ｖ７，Ｖ８は小容器５内の小容器用吸着材を再生するときにのみ開き、ブロワー８を駆動して小容器５にのみ外気を供給する。この小容器５内の小容器用吸着材に対する再生を終了した後は、ブロワー８の駆動を停止するとともに第７および第８の開閉弁Ｖ７，Ｖ８を閉じる。
【００２９】
・再生工程
再生が必要になった後には、図１の（ｂ）に示すように、第７および第８の開閉弁Ｖ７，Ｖ８を閉じた状態で、第１および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ２を閉じるとともに、第３、第４、第５および第６の開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６を開き、被処理ガスを小容器５にのみ供給し、硫化水素の吸着処理を継続する。一方、ブロワー８を駆動して吸着塔１にのみ外気を供給し、吸着塔１内の吸着材に対する再生を行う。
【００３０】
次に、上記実施例１に係る装置を用いた場合の計算例を示す。
被処理ガスとしては、窒素ガス中に濃度１０００ｐｐｍで硫化水素（分子量３４）を水分が無い状態で混合したもの（温度２５℃）を用い、雰囲気温度２５℃の条件下、流量１ｍ３Ｎ／ｈ（０℃、１気圧換算流量）で吸着塔１に供給し、１ｐｐｍレベルまで低減できる場合を想定した。再生空気（外気）としては、温度２５℃、湿度６０％とした。
吸着塔１および小容器５はそれぞれステンレス製で、それぞれに、多孔質材料の表面を水酸化第二鉄によりコーティングした吸着材（充填密度８００ｋｇ／ｍ３）を充填したものとし、硫化水素の負荷は１．５１６ｇ／ｈであるとした。
【００３１】
吸着塔１における寿命がきて再生ができなくなるまでの硫化水素の積算吸着量は５０重量％で、一回の吸着工程で吸着可能な平均量は３．８５重量％であり、吸着工程の吸着可能な回数は１３回であり、再生可能な回数、すなわち、吸着塔１内の吸着材に硫黄が蓄積して再生不能となるまでの回数は１２（１３−１）回となる。
一回の吸着処理時間は３００ｈ、一回の吸着処理での吸着量は、０．４５５ｋｇ（≒１．５１６ｇ×３００÷１０００）、吸着塔１内における吸着材の充填量は１１．８３ｋｇ（≒０．４５５÷３．８５×１００）、再生工程の吸着塔１内の吸着材および吸着工程の小容器５内の小容器用吸着材を再生処理する場合に要する再生時間は１０ｈとした。
【００３２】
上記構成から、上述再生時間に基づいて特定される小容器５内の小容器用吸着材の計算上の充填量は０．３９ｋｇ（≒１１．８３×１０÷３００）である。
実際の小容器５内の小容器用吸着材の充填量は、上記計算値より増量することが好ましい。
充填量が少ないことにより吸着帯の影響が増大し、一回の吸着工程で吸着可能な吸着量の平均値が吸着塔１での充填値より小さくなるからである。
被処理ガス条件を一定にして吸着材量を変化させ、出口濃度がどのように変化するかを見た場合、吸着帯の影響を小さくするには、被処理ガスの硫化水素濃度に依存して、ある程度の接触時間（被処理ガスが小容器用吸着材の充填層を通過する時間）が必要であり、小容器５内への小容器用吸着材の充填量を決める場合、前記計算上の充填量にこの接触時間に相当する量の小容器用吸着材を追加することが好ましい。
また、このようにして決められた小容器５内への小容器用吸着材の充填量に安全係数として１倍〜１．５倍をかけたものを実際の小容器５内への小容器用吸着材の充填量としてもよい。本実施例では前記接触時間を５秒に想定し、この接触時間に相当する量の小容器用吸着材を前記計算上の充填量に追加したものを小容器５内への充填量とした。以下にその計算方法を示す。
接触時間５秒に相当する小容器用吸着材の量は
＝１ｍ３Ｎ／ｈ＊（２９８℃／２７３℃）＊（５秒／３６００秒）＊８００ｋｇ／ｍ３    ＝１．２１ｋｇ
実際に小容器５に充填する小容器用吸着材の量は
＝１．２１ｋｇ＋０．３９ｋｇ（前記計算上の充填量）＝１．６０ｋｇ
となる。
これに伴い、小容器５の容量を吸着塔１の容量の１／７．４（≒１．６０／１１．８３）に設定でき、大幅に小型化できると推定された。
【実施例２】
【００３３】
図２は、本発明に係る吸着処理装置の実施例２を示す全体概略構成図であり、実施例１と異なるところは次の通りである。
すなわち、処理ガス排出管３における、外気排出管１０との接続箇所と第２の開閉弁Ｖ２との間の箇所と、被処理ガス分岐供給管４における、第３の開閉弁Ｖ３と外気分岐供給管１１との接続箇所との間の箇所とにわたって直列用被処理ガス供給管２１が接続されている。
処理ガス排出管３において、外気排出管１０との接続箇所と直列用被処理ガス供給管２１との接続箇所との間の箇所に第９の開閉弁Ｖ９が介装されている。また、被処理ガス分岐供給管４において、直列用被処理ガス供給管２１との接続箇所と外気分岐供給管１１との接続箇所との間の箇所に第１０の開閉弁Ｖ１０が介装されている。他の構成は実施例１と同じであり、同一図番を付し、その説明は省略する。
【００３４】
上記構成により、食品工場などから発生する硫化水素を含んだバイオガスを被処理ガスとして吸着塔１および小容器５に直列に供給し、吸着材および小容器用吸着材に硫化水素を吸着する吸着工程と、吸着塔１内の吸着材に再生ガスとしての外気を通す吸着塔再生工程と、小容器５内の小容器用吸着材に再生ガスとしての外気を通す小容器再生工程とに切り替えられるようになっており、次に説明する。
【００３５】
・吸着工程
図２の（ａ）に示すように、第１、第９、第１０および第４の開閉弁Ｖ１，Ｖ９，Ｖ１０，Ｖ４を開くとともに、第２、第３、第５、第６、第７および第８の開閉弁Ｖ２，Ｖ３，Ｖ５，Ｖ６，Ｖ７，Ｖ８を閉じ、被処理ガスを吸着塔１から小容器５に直列に供給し、吸着材および小容器用吸着材に硫化水素を吸着させる。
この構成によれば、不測に吸着塔１内の吸着材に硫化水素が吸着されない場合でも、吸着塔１を経て流される硫化水素を小容器５内の小容器用吸着材によって吸着できる。
【００３６】
・吸着塔再生工程
吸着塔１内の吸着材に対する再生が必要になった後には、図２の（ｂ）に示すように、第３、第１０、第４、第５および第６の開閉弁Ｖ３，Ｖ１０，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６を開くとともに、第１、第９、第２、第７および第８のＶ１，Ｖ９，Ｖ２，Ｖ７，Ｖ８を閉じ、被処理ガスを小容器５にのみ供給し、硫化水素の吸着処理を継続しながら、ブロワー８を駆動して吸着塔１にのみ外気を供給し、吸着塔１内の吸着材に対する再生を行う。
【００３７】
・小容器再生工程
吸着塔１内の吸着材に対する再生を終了した後には、図２の（ｃ）に示すように、第１、第９、第２、第７および第８のＶ１，Ｖ９，Ｖ２，Ｖ７，Ｖ８を開くとともに、第３、第１０、第４、第５および第６の開閉弁Ｖ３，Ｖ１０，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６を閉じ、被処理ガスを吸着塔１にのみ供給し、硫化水素を吸着処理しながら、ブロワー８を駆動して小容器５にのみ外気を供給し、小容器５内の小容器用吸着材に対する再生を行う。この小容器５内の小容器用吸着材に対する再生が終了した後には、前述の吸着塔１および小容器５に被処理ガスを直列に供給する吸着工程に戻る。
【実施例３】
【００３８】
図３は、本発明に係る吸着処理装置の実施例３を示す全体概略構成図であり、実施例１と異なるところは次の通りである。
すなわち、実施例１における、外気分岐供給管１１、第７の開閉弁Ｖ７、外気分岐排出管１２および第８の開閉弁Ｖ８を無くし、小容器５内の小容器用吸着材に対する再生処理を行わないように構成されている。他の構成は実施例１と同じであり、同一図番を付し、その説明は省略する。
【００３９】
上記構成により、食品工場などから発生する硫化水素を含んだバイオガスを被処理ガスとして吸着塔１に供給し、吸着材に硫化水素を吸着する吸着工程と、吸着材に再生ガスとしての外気を通す再生工程とに切り替えられるようになっており、次に説明する。
【００４０】
・吸着工程
図３の（ａ）に示すように、第１および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ２を開くとともに、第３、第４、第５および第６の開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６を閉じ、被処理ガスを吸着塔１にのみ供給し、吸着材に硫化水素を吸着させる。
・再生工程
再生が必要になった後には、図３の（ｂ）に示すように、第１および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ２を閉じるとともに、第３、第４、第５および第６の開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６を開き、被処理ガスを小容器５にのみ供給し、硫化水素の吸着処理を継続する。一方、ブロワー８を駆動して吸着塔１にのみ外気を供給し、吸着塔１内の吸着材に対する再生を行う。
【００４１】
次に、上記実施例３に係る装置を用いた場合の計算例を示す。
被処理ガスとしては、窒素ガス中に濃度５００ｐｐｍで硫化水素（分子量３４）を水分が無い状態で混合したもの（温度２５℃）を用い、雰囲気温度２５℃の条件下、流量１ｍ３Ｎ／ｈ（０℃、１気圧換算流量）で吸着塔１に供給し、１ｐｐｍレベルまで低減できる場合を想定した。再生空気（外気）としては、温度２５℃、湿度６０％とした。
吸着塔１および小容器５はそれぞれステンレス製で、それぞれに、多孔質材料の表面を水酸化第二鉄によりコーティングした吸着材を充填したものとし、硫化水素の負荷は０．７５７ｇ／ｈであるとした。
【００４２】
吸着塔１における寿命がきて再生ができなくなるまでの硫化水素の積算吸着量は５０重量％で、一回の吸着工程で吸着可能な平均量は３．８５重量％であり、吸着工程の可能な回数は１３回であり、再生可能な回数、すなわち、吸着塔１内の吸着材に硫黄が蓄積して再生不能となるまでの回数は１２（１３−１）回となる。
一回の吸着処理時間は５００ｈ、一回の吸着処理での吸着量は、０．３７９ｋｇ（≒０．７５７ｇ×５００÷１０００）、吸着塔１内における吸着材の充填量は９．８５ｋｇ（≒０．３７９÷３．８５×１００）、再生工程の吸着塔１内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間は１０ｈとした。
【００４３】
上記構成から、上述再生時間と再生不能となるまでの回数との積から計算される処理時間（１２×１０ｈ）に基づいて設定される小容器５内の小容器用吸着材の計算上の充填量は２．３６ｋｇ（≒９．８５×１２×１０÷５００）である。
本実施例３では、吸着帯の影響を小さくするための接触時間を４秒とした。この接触時間に相当する小容器用吸着材０．９７ｋｇを前記計算上の充填量に追加して実際の小容器５内への充填量を３．３３ｋｇ（＝２．３６ｋｇ＋０．９７ｋｇ）とした。
これに伴い、小容器５の容量を吸着塔１の容量の１／３．０（≒３．３３／９．８５）に設定でき、大幅に小型化できると推定された。
【実施例４】
【００４４】
図４は、本発明に係る吸着処理装置の実施例４を示す全体概略構成図であり、実施例２と異なるところは次の通りである。
すなわち、実施例２における、外気分岐供給管１１、第７の開閉弁Ｖ７、外気分岐排出管１２および第８の開閉弁Ｖ８を無くし、小容器５内の小容器用吸着材に対する再生処理を行わないように構成されている。他の構成は実施例２と同じであり、同一図番を付し、その説明は省略する。
【００４５】
上記構成により、食品工場などから発生する硫化水素を含んだバイオガスを被処理ガスとして吸着塔１に供給し、吸着材および小容器用吸着材に硫化水素を吸着する吸着工程と、吸着材に再生ガスとしての外気を通す再生工程とに切り替えられるようになっており、次に説明する。
【００４６】
・吸着工程
図４の（ａ）に示すように、第１、第９、第１０および第４の開閉弁Ｖ１，Ｖ９，Ｖ１０，Ｖ４を開くとともに、第２、第３、第５および第６の開閉弁Ｖ２，Ｖ３，Ｖ５，Ｖ６を閉じ、被処理ガスを吸着塔１から小容器５に直列に供給し、吸着材および小容器用吸着材に硫化水素を吸着させる。
この構成によれば、不測に吸着塔１内の吸着材に硫化水素が吸着されない場合でも、吸着塔１を経て流される硫化水素を小容器５内の小容器用吸着材によって吸着できる。
【００４７】
・再生工程
吸着塔１内の吸着材に対する再生が必要になった後には、図４の（ｂ）に示すように、第３、第１０、第４、第５および第６の開閉弁Ｖ３，Ｖ１０，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６を開くとともに、第１、第９および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ９，Ｖ２を閉じ、被処理ガスを小容器５にのみ供給し、硫化水素の吸着処理を継続しながら、ブロワー８を駆動して吸着塔１にのみ外気を供給し、吸着塔１内の吸着材に対する再生を行う。
【実施例５】
【００４８】
本発明に係る吸着処理装置の実施例５は、小容器５内に、酸化第二鉄を含む多孔質材料による吸着材を小容器用吸着材として充填した。
この酸化第二鉄と硫化水素の反応式は次の通りである。
Ｆｅ２Ｏ３＋３Ｈ２Ｓ＝Ｆｅ２Ｓ３＋３Ｈ２Ｏ
すなわち、酸化第二鉄が硫化水素と反応して硫化鉄が生成される。他の構成は実施例３と同じである。
【００４９】
次に上記実施例５の計算例を示す。
被処理ガスとしては、バイオガスプラントから得られるバイオガスとし、そのバイオガス中の硫化水素（分子量３４）の平均濃度は１５００ｐｐｍであり、被処理ガスの流量を６リットル／ｈ（２５℃、１気圧換算流量）とする。この条件の硫化水素の負荷は０．０１２５ｇ／ｈである。
【００５０】
吸着塔１はステンレス製で、その吸着塔１内に、水酸化第二鉄を含む多孔質材料による粒状の吸着材（サルファ・バインド：サニックス社製）を１８８ｇ充填する。この吸着材の一回の吸着工程で吸着可能な吸着量は３．３重量％であり、一回分の吸着処理後に再生できる回数は１４回、つまり吸着工程の可能な回数は１５回であり、寿命がきて再生できなくなるまでの硫化水素の積算吸着量は約５０重量％（≒３．３重量％×１５）である。また、再生に必要な時間は１０ｈとする。
以上の条件での一回の吸着処理時間（吸着量が３．３重量％になる時間）は４９６ｈ（≒〔１８８×０．０３３〕÷０．０１２５）となる。
【００５１】
小容器５もステンレス製で、その小容器５内に、酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材として、市販のもので寿命までの吸着量が２０重量％程度のものを充填する。これは、吸着塔１の吸着材の吸着量３．３重量％より大幅に大きいものである。ただし、吸着塔１の吸着材の積算吸着量（約５０重量％）より小さいものである。小容器用吸着材の形状は直径１０ｍｍの円筒状のペレットであり、これを平均６ｍｍ程度の長さに調整したものを使用した。
小容器用吸着材を充填した小容器５に要求される寿命は、吸着塔１に充填する吸着材の性能に基づいて決定される。すなわち、上述再生時間と再生不能になるまでの回数との積
とから計算される処理時間１４０ｈ〔（１５−１）×１０ｈ〕がそれに該当する。
その処理時間を満たす小容器５内の小容器用吸着材の充填量は下記の実験により約６９．７４ｇであることがわかった。この結果から、小容器用吸着材の充填量と吸着塔１の吸着材の充填量との比率は６９．７４：１８８であり、約１／２．７にすることができ、大幅に小型化が可能となることがわかった。
【００５２】
〈小容器用吸着材の充填量を求める実験〉
小容器用吸着材の充填量を求める実験は、以下のようにして行った。
実験用に被処理ガスとしては、試験が行いやすいように模擬バイオガスを用いた。模擬バイオガスのメタンと二酸化炭素の組成比は一般的な範囲にあるメタン７０体積％、二酸化炭素３０体積％とし、硫化水素濃度は上記と同じ１５００ｐｐｍとした。また、被処理ガスの流量と温度も、上記と同じ６リットル／ｈ（２５℃、１気圧換算流量）とした。
小容器５内に、小容器用吸着材５０ｇ、６０ｇ、７０ｇ入れたもの３水準につき、実験用の被処理ガスを処理させ、破過時間（小容器５の出口濃度が２０ｐｐｍ程度に上昇するまでの時間）を計測した。その結果は、それぞれ７１ｈ、１０２ｈ、１４１ｈであり、上述の寿命１４０ｈを得るために必要な充填量は比例計算から約６９，７４ｇ〔-≒６０＋１０×３８／３９〕であった。
上述の酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材としては、上記実施例４の吸着処理装置に使用しても良い。
【００５３】
上記実施例５で使用する酸化第二鉄を含む多孔質材料による小容器用吸着材としては、酸化第二鉄、酸化カルシウム、ケイ砂の各粉末を混合してペレット状に押出し成形したものとか、酸化第二鉄の粉末と粘土を混合してペレット状に押出し成形したものなどでも良い。また、天然に産出する黄土をペレット状に押出し成形したものでも良い。
本発明としては、上記実施例１、実施例２、実施例３、実施例４および実施例５において、小容器５内に水酸化第二鉄と酸化第二鉄の混合物を含む多孔質材料による小容器用吸着材を充填するものでも良い。
【実施例６】
【００５４】
図５は、本発明に係る吸着処理装置の実施例６を示す全体概略構成図であり、実施例１と異なるところは次の通りである。
溶剤を含む被処理ガスから溶剤を吸着して回収するもので、吸着塔１内に充填する吸着材および小容器５内に充填する小容器用吸着材が、溶剤回収用の粒状活性炭であり、フィルター７、ブロワー８、第５、第６、第７および第８の開閉弁Ｖ５，Ｖ６，Ｖ７，Ｖ８、外気供給管９および外気分岐排出管１２に代えて再生用の過熱水蒸気を供給する構成が備えられている。
【００５５】
すなわち、処理ガス排出管３の吸着塔１と第２の開閉弁Ｖ２との間の箇所に、過熱水蒸気を供給する蒸気供給管３１が接続され、その蒸気供給管３１に第１１の開閉弁Ｖ１１が接続されている。また、蒸気供給管３１の第１１の開閉弁Ｖ１１よりも上流側箇所と、処理ガス排出管６の小容器５と第４の開閉弁Ｖ４との間の箇所とにわたって、第１２の開閉弁Ｖ１２を介装した再生ガス供給管としての蒸気分岐供給管３２が接続されている。
【００５６】
被処理ガス供給管２の第１の開閉弁Ｖ１と吸着塔１との間の箇所に、第１３の開閉弁Ｖ１３を介装した溶剤回収管３３が接続され、その溶剤回収管３３にコンデンサー３４と溶剤回収タンク３５がその順に接続されている。また、溶剤回収管３３の第１３の開閉弁Ｖ１３とコンデンサー３４との間の箇所と、被処理ガス分岐供給管４の第３の開閉弁Ｖ３と小容器５との間の箇所とにわたって溶剤分岐回収管３６が接続され、その溶剤分岐回収管３６に第１４の開閉弁Ｖ１４が接続されている。溶剤回収タンク３５には、再生工程初期に発生する未凝縮ガスの放散口３７が付設されている。他の構成は実施例１と同じであり、同一図番を付し、その説明は省略する。
【００５７】
上記構成により、クリーニング工場などから発生する溶剤を含んだガスを被処理ガスとして吸着塔１に供給し、吸着材に溶剤を吸着する吸着工程と、吸着材に再生ガスとしての過熱水蒸気を供給して溶剤を脱着する再生工程とに切り替えられるようになっており、次に説明する。
【００５８】
・吸着工程
図５の（ａ）に示すように、第１および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ２を開くとともに、第３、第４、第１１および第１３の開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ１１，Ｖ１３を閉じ、被処理ガスを吸着塔１にのみ供給し、吸着材に溶剤を吸着させる。第１２および第１４の開閉弁Ｖ１２，Ｖ１４は小容器５内の小容器用吸着材を再生するときにのみ開き、過熱水蒸気を小容器５にのみ供給する。この小容器５内の小容器用吸着材に対する再生を終了した後は、第１２および第１４の開閉弁Ｖ１２，Ｖ１４を閉じる。
【００５９】
・再生工程
再生が必要になった後には、図５の（ｂ）に示すように、第１２および第１４の開閉弁Ｖ１２，Ｖ１４を閉じた状態で、第１および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ２を閉じるとともに、第３、第４、第１１および第１３の開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ１１，Ｖ１３を開き、被処理ガスを小容器５にのみ供給し、溶剤の吸着処理を継続する。一方、吸着塔１にのみ過熱水蒸気を供給し、吸着塔１内の吸着材に対する再生を行う。
【００６０】
次に、上記実施例６に係る装置を用いた場合の計算例を示す。
被処理ガスとしては、窒素ガス中に濃度２０ｐｐｍでオクタメチルシクロテトラシロキサン（分子量２９７）を水分が無い状態で混合したもの（温度２５℃）を想定し、雰囲気温度２５℃の条件下、流量１ｍ３Ｎ／ｈ（０℃、１気圧換算流量）で吸着塔１に供給し、吸着塔１および小容器５の出口のオクタメチルシクロテトラシロキサンの時間平均濃度を０．５ｐｐｍ程度（除去率は９７．５％）まで低減できる場合を想定した。再生空気（過熱水蒸気）としては、温度２２０℃のものを流量０．０６ｋｇ／ｈで供給するものとした。
吸着塔１および小容器５はそれぞれステンレス製で、それぞれに、粒状活性炭を充填密度４１０ｋｇ／ｍ３で充填したものを想定した。吸着塔１内への吸着材の充填量は０．２５ｋｇ、小容器５内への小容器用吸着材の充填量は０．０５ｋｇとした。
【００６１】
吸着工程では、４８時間連続して被処理ガスを吸着塔１に流し、処理ガスは大気中に放散するものとした。吸着工程で４８時間吸着させた後に再生工程に移行し、過熱水蒸気を２時間吸着塔１に流すものとした。脱着したオクタメチルシクロテトラシロキサンは水蒸気とともにコンデンサー３４で冷却し、液体で溶剤回収タンク３５に回収し、その後、過熱水蒸気の供給を停止し、吸着材を常温まで冷却するために外気を３０分間供給し、吸着塔１の再生工程を終了するものとした。
小容器５に対しては、吸着塔１が再生工程にある時間被処理ガスを供給し、オクタメチルシクロテトラシロキサンを小容器５内の小容器用吸着材に吸着させるものとした。再生時間は１時間とし、再生後は放置して自然に冷却させるものとした。
【００６２】
小容器５の容量としては、再生工程の吸着塔１内の吸着材を再生処理する場合に要する再生時間は、冷却時間も加えて２．５時間であり、計算上は、吸着塔１での連続吸着時間（４８時間）との比較から小容器用吸着材の充填量を吸着塔１の吸着材の１／１９．２（２．５／４８）にできることとなるが、小容器用吸着材の充填量を少なくなることに起因する種々の影響を考慮し、上記再生時間に基づきながら、１／５に設定した。
【００６３】
上記実施例６において、吸着材および小容器用吸着材としては、繊維状活性炭、あるいは、粒状活性炭と繊維状活性炭の両方を使用するものでも良い。
【００６４】
上記実施例１、実施例２、実施例３、実施例４および実施例５の吸着処理装置は、下水道、畜産、産業廃棄物より発生するバイオガスを利用したバイオガスプラント、嫌気性消化槽よりバイオガスを発生するし尿処理場、埋め立て廃棄物より嫌気性ガスが発生する最終処分場、消化槽からバイオガスが発生する都市型下水処理場などのバイオガス中に含まれる硫化水素の処理を行う場合とか、ＢＳＥ対策プラントで死亡牛より発生する硫化水素の処理を行う場合など、各種の場合に適用できる。
【００６５】
本発明としては、吸着塔１における吸着処理時間に比べと再生時間が大幅に短いことに着目し、小容器５に充填する小容器用吸着材を再生しない場合において、その小容器用吸着材の充填量を、吸着塔１が寿命に到達する間での時間硫化水素を吸着できるに足る量に設定するものに限らず、吸着塔１で再生を行っている一回分や２回分など、吸着塔１が寿命に到達するよりも短い時間だけ硫化水素を吸着できるに足る量に設定するものでも良い。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明に係る吸着処理装置の実施例１を示す全体概略構成図である。
【図２】本発明に係る吸着処理装置の実施例２を示す全体概略構成図である。
【図３】本発明に係る吸着処理装置の実施例３を示す全体概略構成図である。
【図４】本発明に係る吸着処理装置の実施例４を示す全体概略構成図である。
【図５】本発明に係る吸着処理装置の実施例６を示す全体概略構成図である。
【符号の説明】
【００６７】
１…吸着塔
２…被処理ガス供給管
４…処理ガス分岐供給管（配管）
５…小容器
９…外気供給管
１１…外気分岐供給管（再生ガス供給管）
２１…直列用被処理ガス供給管
３１…蒸気供給管
３２…蒸気分岐供給管（再生ガス供給管）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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