(57)【要約】【課題】端面発光型ＬＤの前面光をモニタ可能であり、且つ、ステムの形状が単純であると共に、ステムの主面に対して平行な平面上にＬＤとモニタＰＤを部品実装可能である発光モジュールを提供する。【解決手段】発光モジュール２は、平板状のステム２１の主面２１ａと平行となる実装面２７ａを有するサブマウント２７と、実装面２７ａに沿った光を出射するように実装面２７ａ上に実装される端面発光型ＬＤ２４と、実装面２７ａ上であってＬＤ２４の光出射方向の位置に実装されるＰＤ２５と、入射した光の一部を反射し他を透過する光分割部２６ａを有すると共に実装面２７ａ上であってＬＤ２４とＰＤ２５の間の位置に実装される光学部材２６と、を有し、ＬＤ２４が出射した光のうち、光学部材２６の光分割部２６ａで反射した光を外部に送出し、光学部材２６の光分割部２６ａを透過した光をＰＤ２５で受光する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状のステムのパッケージ内部側の面の主面に搭載される際に該主面と平行となる、部品の実装面を有するサブマウントと、
該サブマウントの実装面に沿った光を出射するように当該実装面上に実装される端面発光型のレーザダイオードと、
前記サブマウントの実装面上であって前記レーザダイオードの光出射方向の位置に実装されるフォトダイオードと、
入射した光の一部を反射し他を透過する光分割部を有すると共に、前記サブマウントの実装面上であって前記レーザダイオードと前記フォトダイオードの間の位置に実装される光学部材と、を有し、
前記レーザダイオードが出射した光のうち、前記光学部材の光分割部で反射した光を外部に送出し、前記光学部材の光分割部を透過し且つ前記光学部材自体を透過した光を前記フォトダイオードで受光することを特徴とする発光モジュール。
【請求項２】
前記フォトダイオードは、前記光学部材を透過した光であって前記サブマウントの実装面と交わる方向に進む光を前記サブマウントの実装面から離間する方向に進むよう屈折させる端面を有し、該端面から入射した光を前記サブマウント側とは反対側に形成された受光部で受光することを特徴とする請求項１に記載の発光モジュール。
【請求項３】
前記サブマウントの実装面のうち前記フォトダイオードの実装面は他の実装面に比べて低く形成されており、前記フォトダイオードは、前記光学部材を透過した光であって前記サブマウントの実装面と交わる方向に進む光を、前記サブマウント側とは反対側に形成された前記受光部で受光することを特徴とする請求項１に記載の発光モジュール。
【請求項４】
前記光学部材は、前記サブマウント側とは反対側の面が、前記サブマウントの実装面に平行であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の発光モジュール。
【請求項５】
前記光学部材は、断面形状が長方形であり、該長方形の対角線に当たる部分に前記光分割部を有し、さらに、該光分割部で反射した光が出射される部分に集光レンズを一体的に有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の発光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信に用いられる光信号を送出する発光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信に用いられる発光モジュールには、光信号を送出するために、電気信号を光信号に変換して送出する半導体レーザ（ＬＤ：Laser Diode）が用いられる。このためのＬＤとしては、波長が１．３１μｍ、１．４９μｍまたは１．５５μｍである光信号を送出する端面発光型のものが多い。また、発光モジュールのうち小型で同軸型のものは、ＣＡＮパッケージを有する。ＣＡＮパッケージは、集光レンズ等の光学窓が設けられたキャップが、端面発光型ＬＤが実装される実装部材であるステムに取付けられてなる。
【０００３】
また、従来の発光モジュールでは一般的に、端面発光型ＬＤからの光出力を温度によらず所望の値にするために、パッケージ内にフォトダイオード（ＰＤ：Photo Diode）を備えて、光出力が強い光送出側とは反対側の面（後面）からの端面発光型ＬＤの光をそのＰＤでモニタし、フィードバック制御していた（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、光送出側である前面からの光出力と、後面からの光出力との比が、一定であるとは限らないため、特許文献１に開示の発光モジュールでは、光出力の制御を十分な精度で行うことができないことがあった。
【０００４】
それに対し、特許文献２に開示の発光モジュールは、ＣＡＮパッケージのステムが、円板である基台と、基台から集光レンズ方向に突出するように設けられた載置部材とから構成され、端面発光型ＬＤが載置部材上に搭載され、載置部材上における端面発光型ＬＤと集光レンズとの間の部分に、モニタＰＤが搭載されている。このような構成により、特許文献２に開示の発光モジュールでは、端面発光型ＬＤから前方へ出射された光の一部をモニタＰＤで検出することができるようにしている。
【０００５】
また、特許文献３に開示の発光モジュールの構成は、端面発光型ＬＤの前面から発せられた光を、モニタＰＤの受光面等から構成される光反射面で反射させ、反射させた光を集光レンズからパッケージ外部に送出できるようになっており、これによりこの発光モジュールではＬＤ前面光の強度をモニタ可能になっている。
【特許文献１】米国特許６，５５６，６０８号明細書
【特許文献２】特開２００４−１６５２９９号公報
【特許文献３】特開２００５−２６０２２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献２に開示の発光モジュールでは、金属製のステムの形状が、円板形状の基台から垂直に金属製の部材（載置部材）が突出した複雑なものになっているが、金属製のステムは、加工コスト等を考慮すると、単純な円板形状である方が好ましい。
【０００７】
また、一般的に、発光モジュールに端面発光型ＬＤやモニタＰＤを実装する際は、まず、ステムが、そのステム（の基台）のパッケージ内部側の面（主面）が、重力方向に関して上になるようにして、実装用の冶具に取付けられる。その後、端面発光型ＬＤやモニタＰＤが、ステムにおける各々の実装面に実装されるが、特許文献２や特許文献３に開示の発光モジュールのように、ステムにおいて、端面発光型ＬＤやモニタＰＤの実装面が主面に対して平行でない場合は、当該実装面が重力方向に関して上になるように回転された後に、ＬＤ等が実装される。
【０００８】
つまり、特許文献２や特許文献３に開示の発光モジュールでは、ＬＤとモニタＰＤの実装面（搭載面）が、ステムの主面に対して９０度もしくは任意の角度となっている（すなわち、平行でない）ため、実装装置には回転機構が必要となり、実装装置の構造が複雑となるので、組み立てコストの低減の観点において改善の余地がある。
【０００９】
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたもので、端面発光型ＬＤの前面光をモニタ可能であり、且つ、ステムの形状が単純であると共に、ステムの主面に対して平行な平面上にＬＤとモニタＰＤを部品実装可能である発光モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明の発光モジュールは、平板状のステムのパッケージ内部側の面の主面に搭載される際にその主面と平行となる、部品の実装面を有するサブマウントと、サブマウントの実装面に沿った光を出射するように当該実装面上に実装される端面発光型のレーザダイオードと、サブマウントの実装面上であってレーザダイオードの光出射方向の位置に実装されるフォトダイオードと、入射した光の一部を反射し他を透過する光分割部を有すると共に、サブマウントの実装面上であってレーザダイオードとフォトダイオードの間の位置に実装される光学部材と、を有し、レーザダイオードが出射した光のうち、光学部材の光分割部で反射した光を外部に送出し、光学部材の光分割部を透過し且つ光学部材自体を透過した光をフォトダイオードで受光することを特徴とする。
【００１１】
フォトダイオードが、光学部材を透過した光であってサブマウントの実装面と交わる方向に進む光をサブマウントの実装面から離間する方向に進むよう屈折させる端面を有し、その端面から入射した光をサブマウント側とは反対側に形成された受光部で受光するようにしてもよい。また、サブマウントの実装面のうちフォトダイオードの実装面を他の実装面に比べて低く形成し、フォトダイオードが、光学部材を透過した光であってサブマウントの実装面と交わる方向に進む光を、サブマウント側とは反対側に形成された受光部で受光するようにしてもよい。
【００１２】
また、光学部材が、サブマウント側とは反対側の面が、サブマウントの実装面に平行であることが好ましい。また、光学部材が、断面形状が長方形であり、その長方形の対角線に当たる部分に光分割部を有し、さらに、光分割部で反射した光が出射される部分に集光レンズを一体的に有していてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の発光モジュールによれば、ＬＤ前面光をモニタ可能であるので、ＬＤのフィードバック制御を精度良く行うことができる。また、ステムは円板状であるため、ステムの加工コストを削減することができる。また、ステムの主面に対して平行な平面上にＬＤとモニタＰＤを部品実装可能であるため、組み立てコストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１及び図２を用いて、本発明の一実施例に係る発光モジュールについて説明する。図１は、本発明の一実施例に係る発光モジュールが用いられるレセプタクル型の光サブアセンブリ（ＯＳＡ：Optical Sub-Assembly）の構成例を示す断面図である。図２は、発光モジュールに実装される部品と、レンズや光ファイバとの位置関係を示す図である。
ＯＳＡ１は、電気信号を光信号に変換して送出する発光モジュール２に、光コネクタのフェルール４の光ファイバ４ａと発光モジュール２の後述のＬＤ２４とを光結合させるためのスリーブ部材５を、取付けて成る。
【００１５】
まず、発光モジュールに取付けられるスリーブ部材について説明する。スリーブ部材５は、例えば、樹脂材料から形成されるものであって、フェルール受納部５１とモジュール受納部５２とを有する。樹脂材料以外に、金属材料、セラミックス材料であっても良い。
フェルール受納部５１は、光コネクタのフェルール４を受納すると共に挿入をガイドするものであって、フェルール４が挿入される挿通孔５１ａが設けられている。挿通孔５１ａの内径は、フェルール４の外径と略同一の大きさである。
モジュール受納部５２は、発光モジュール２を受納するものであって、凹部５２ａにより構成されるが、凹部５２ａの内径は、発光モジュール２の後述のキャップ２３の円筒形部分の外径と略同一の大きさである。モジュール受納部５２の凹部５２ａの内面とキャップ２３の外面とを接着剤等で接着することにより、スリーブ部材５を発光モジュール２に対して固定することができる。
【００１６】
ＯＳＡ１では、発光モジュール２に対して固定されたスリーブ部材５のフェルール受納部５１に光コネクタのフェルール４を挿入することで、挿入後に位置合わせしなくとも、フェルール４の光ファイバ４ａと発光モジュール２のＬＤ２４とが光結合されるようになっている。
【００１７】
なお、スリーブ部材５は、光ファイバを搭載したスタブを搭載していても良い。スタブのＬＤ２４側端面は斜めに研磨されている。スタブを搭載することで、ＬＤ２４から出射される光がフェルール４の光ファイバ４ａの端面で反射が、再びＬＤ２４に結合することを抑制することができ、近端での反射による影響を抑制することができる。
【００１８】
以下は、本発明の発光モジュールについての説明である。発光モジュール２は、同軸型のものであって、ステム２１、リードピン２２、キャップ２３、ＬＤ２４、モニタＰＤ２５、プリズム２６及びサブマウント２７を含む。
【００１９】
ステム２１は、金属製の円板状の部材であり、キャップ２３と協働して、内部に素子搭載空間を有するＣＡＮパッケージを構成しており、ＬＤ２４等の部品が平面実装される。ステム２１の素子搭載空間側（パッケージ内部側）の面である主面２１ａには、サブマウント２７が搭載され、そのサブマウント２７に形成された金属パターン２７ｂ上に、ＬＤ２４、モニタＰＤ２５、プリズム２６等の部品が実装される。つまり、ステム２１への部品の実装は、１つの大型のサブマウント２７を介して行われる。また、ステム２１には、貫通孔２１ｂが形成されており、リードピン２２が貫通孔２１ｂに挿入された状態でガラス封止により取付けられている。
リードピン２２は、ステム２１に実装されたＬＤ２４やモニタＰＤ２５等の電子素子を外部と電気接続させるためのものである。
【００２０】
キャップ２３は、ステム２１と協働してＬＤ２４等を気密封止するもので、金属材料を用いて筒状に形成される。本例のキャップ２３は、レンズ２３ａを保持するキャップシェル２３ｂを有するレンズキャップである。レンズ２３ａは、例えば、ボールレンズであり、スリーブ部材５に挿入された光コネクタの光フェルール４の光ファイバ４ａに、ＬＤ２４からの光を集光する。キャップシェル２３ｂは、ＬＤ２４等の部品側とは反対側の中央に開口２３ｃを有する。この開口２３ｃに、低融点ガラス等の封止ガラスによって、レンズ２３ａが固定される。
【００２１】
ＬＤ２４は、発光モジュール２の中央寄りの側面２４ａを光送出側面とする端面発光（エッジエミット）型ＬＤであり、ステム２１の主面２１ａ（すなわちサブマウント２７の上面２７ａ）を重力方向に関して上にした状態で、サブマウント２７の金属パターン２７ｂ上に載置され、ダイボンド実装により実装される。このＬＤ２４は、水平方向すなわちステム２１の主面２１ａ及びサブマウント２７の上面２７ａに沿った（平行な）方向に、光を出射する。
【００２２】
ＬＤ２４が光送出側から出射した光Ｒ１の一部は、ＬＤ２４を基準として出射方向に実装されたプリズム２６の後述の光分割面２６ａによって、サブマウント２７の上面２７ａに略垂直な方向へ反射される。なお、プリズム２６の光分割面２６ａによって反射された光Ｒ２は、レンズ２３ａを透過して、発光モジュール２の外部に送出され、フェルール４の光ファイバ４ａと光結合する。また、ＬＤ２４の光送出側から出射された後にプリズム２６の光分割面２６ａにより反射されなかった光は、当該光分割面２６ａを透過し、プリズム２６自体を透過する。なお、プリズム２６を透過した光Ｒ３は、ＬＤ２４を基準として出射方向に実装されたモニタＰＤ２５により受光される。
【００２３】
モニタＰＤ２５は、ＬＤ２４をフィードバック制御するためのものであり、ＬＤ２４と同様に、ステム２１の主面２１ａを上にした状態で、サブマウント２７の金属パターン２７ｂ上に載置され、ダイボンド実装により実装される。モニタＰＤ２５は、サブマウント２７への実装面２５ｄとは反対側（サブマウント２７側とは反対側）である上側に、受光部２５ａを有する。モニタＰＤは一般的に、実装（固定）強度を確保するために実装面が広くなっているが、本発明の発光モジュールでは、モニタＰＤにおいて、実装面と反対側に受光部を設けているので、受光部の面積も広くなっている。
【００２４】
モニタＰＤ２５の受光部２５ａで受光する光は、プリズム２６の光分割面２６ａを透過し且つプリズム２６自体を透過した光Ｒ３であって、透過直後においては、略水平方向であってサブマウント２７の上面（実装面）２７ａと交わる方向に進んでいる。本例の発光モジュール２においてＬＤ２４より厚いモニタＰＤ２５でプリズム２６を透過した光Ｒ３を受光するために、モニタＰＤ２５は、端面入射型のＰＤ、例えば、光入射側の端部に面取り部２５ｂを設けたＰＤにより構成される。このような構成とすることにより、プリズムを透過した光Ｒ３を、面取り部２５ｂの端面に入射させることによりサブマウント２７の上面２７ａから離間する方向に進むよう屈折させて、モニタＰＤ２５の受光部２５ａで受光することができる。
【００２５】
プリズム２６は、ＬＤ２４から水平方向に出射された光の一部を鉛直方向に進むよう反射すると共にそれ以外の光を透過する光学部材であり、ステム２１の主面２１ａを上にした状態で、サブマウント２７に載置され、例えば樹脂接着剤等により実装される。なお、プリズム２６は、予め下部を金属コーティング等しておき、サブマウント２７に形成された金属パターン２７ｂ上に実装してもよい。
【００２６】
このプリズム２６は、例えば硝材ＢＫ７を材料として、断面二等辺三角形の角柱体に形成され、二等辺三角形の斜辺部分に、光の一部を反射し他を透過する光分割部（光分割面）２６ａを有し、光分割面２６ａがＬＤ２４の光送出側と対向するように、ＬＤ２４とモニタＰＤ２５の間の位置に実装される。この光分割面２６ａにより、ＬＤ２４の光送出側から出射された光Ｒ１の一部をレンズ２３ａ等を介して発光モジュール２から送出することができ、発光モジュール２から送出された光をより正確にモニタすることができる。光分割面２６ａは、例えば、反射膜をコーティングすることにより形成される。当該反射膜の反射率は１００％でない任意の反射率とすることができる。なお、入射する光の光軸に対して光分割面（反射面）２６ａが、例えば、略４５度の角度となるように、プリズム２６は配置される。
【００２７】
サブマウント２７は、実装面に電極が形成されたＬＤ２４やモニタＰＤ２５を、金属製のステム２１に実装するためのもので、例えば、ＡｌＮ等の絶縁性材料を用いた絶縁性平板基板により構成されることにより、ステム２１の主面２１ａに搭載される際に、部品の実装面である上面２７ａが主面２１と平行になっている。また、サブマウントの上面２７ａには、薄膜金属パターン２７ｂが形成される。金属パターン２７ｂは、ＬＤ２４への変調信号を伝送する伝送路（薄膜配線）や、ＬＤ２４やモニタＰＤ２５のダイボンド実装用の電極等として機能する。
【００２８】
また、本発明の発光モジュールでは、ＬＤ２４やモニタＰＤ２５の電極２４ｂ，２５ｃとリードピン２２とは、ワイヤボンディングにより直接電気接続されてもよく、また、サブマウント２７の金属パターン２７ｂを介して電気接続されてもよい。例えば、ＬＤ２４やモニタＰＤ２５の電極２４ｂ，２５ｃは、ダイボンド実装やワイヤボンディングにより、金属パターン２７ｂと電気接続され、金属パターン２７ｂがワイヤボンディングによりリードピン２２と電気接続される。サブマウント２７を用いることで、本発明の発光モジュールでは、ワイヤの長さを極力短くすることができるため、２．５Ｇｂｐｓ以上の伝送において顕著に表れる、ワイヤのインダクタンスによる高周波信号の劣化を低減させることができる。この効果も発光モジュールにとっては非常に大きい。
【００２９】
上述のように、発光モジュール２では、新規な構造として、円板上のステム２１の主面２１ａに対して平行な平面上に、ＬＤ２４やモニタＰＤ２５、プリズム２６等の部品を一方向から実装する構造を有するため、組み立ての際の作業性が良い。
なお、上部に受光部を有するモニタＰＤがＬＤより厚いときなどは、単純に一方向から部品を実装しただけでは通常、ＬＤ前面光を効率良くモニタＰＤで受光することができない。受光するためには、導光用の光学部材（反射面を有する部材など）を更に用いることが考えられるが、部材の追加はコスト上昇やパッケージの大型化等の問題を招くため好ましくない。発光モジュール２では、モニタＰＤ２５を上述のような端面入射型ＰＤとすることにより、上記問題を避けながら、ＬＤ前面光を効率良くモニタ（受光）することができる。
【００３０】
ＬＤ前面光を効率良く受光する方法は、上述の例に限られず、モニタＰＤとして、上面から光を入射させる通常の上面入射型のものを用いても、サブマウントとして、例えば、図３に示すようなサブマウントを用いれば、ＬＤ前面光の受光は可能である。図３では、図１及び図２の発光モジュール等の構成部分と同様なものについては、同じ符号を付している。上面入射型のモニタＰＤ３１等が実装されるサブマウント３２は、段付き加工が施されており、そのモニタＰＤ実装部３２ａが、他の部分に比べて一段低く形成されている。そのため、モニタＰＤ３１及びサブマウント３２を含む発光モジュール３では、ＬＤ２４よりモニタＰＤ３１が厚くても、サブマウント３２の実装面２７ａと交わる方向に進むプリズム２６からの透過光Ｒ３を、受光部２５ａで受光することができる。
【００３１】
また、本発明の発光モジュールに用いるプリズム（光学部材）は、上述のものに限られず、例えば、図２や図３のプリズム２６に代えて、図４または図５に示すようなプリズムを用いることができる。
図４のプリズム２６′は、断面構造で四角形の一角のみを４５度面取り加工した異型五角形構造となっており、４５度面取り加工した部分に、光分割面２６ａが形成されている。このような構造とすることにより、プリズム２６′は、サブマウント側とは反対側の面である上面が、サブマウントの実装面と平行になっており、図４（Ｂ）に示すように、部品搬送用の吸着コレット６で上面を吸着させる吸着部２６ｂを形成している。このように、プリズム２６′の上面を吸着部２６ｂとすることで、通常の三角形プリズムに比べ、吸着コレットによる部品の搬送が非常に容易となり、部品実装が容易と成る。
【００３２】
このプリズム２６′を用いた発光モジュールにおいても、ＬＤが光送出側から出射した光Ｒ１の一部を、プリズム２６′の光分割部２６ａによって、サブマウントの上面に略垂直な方向へ反射し、反射された光Ｒ２をレンズ２３ａを透過させた後に、フェルール４の光ファイバ４ａと光結合させることができる。また、ＬＤの光送出側から出射された後にプリズム２６′の光分割部２６ａを透過しプリズム２６自体を透過した光Ｒ３を、モニタＰＤで受光することができる。
【００３３】
プリズムの構造としては、断面構造が直角二等辺三角形であるものが一般的である。しかし、図５のプリズム２６″は、断面構造が長方形であり、その長方形の対角線に当たる部分に光分割面２６ａを有している。プリズム２６″は、例えば、４５度傾斜面に光分割部２６ａが形成された断面直角二等辺三角形のプリズムに、当該プリズムと屈折率の異なる材料で形成された通常の断面直角二等辺三角形のプリズムを、４５度傾斜面を基準として対象となるように張り合わせて形成される。図５のプリズム２６″では、図４のプリズム２６′と同様に上面を吸着部とすることができるだけでなく、ＬＤ出射光の反射光（光分割面２６ａで反射した光）を出射する出射面に、回折格子やマイクロレンズ加工により集光レンズ部２６ｃを形成することができる。
【００３４】
このプリズム２６″を用いた発光モジュールにおいても、ＬＤの光送出側から出射された後にプリズム２６″の光分割部２６ａを透過しプリズム２６自体を透過した光Ｒ３を、モニタＰＤで受光することができる。また、プリズム２６″を用いた発光モジュールでは、前述のものと同様に、ＬＤが光送出側から出射した光Ｒ１の一部を、プリズム２６″の光分割部２６ａによって、サブマウントの上面に略垂直な方向へ反射する。しかし、当該発光モジュールは、前述ものと異なり、反射された光Ｒ２を、キャップのレンズ２３ａ（図１参照）を用いずに集光レンズ部２６ｃで集光して、フェルール４の光ファイバ４ａと光結合させる。
【００３５】
つまり、図５のようなプリズムを用いることで、レンズ（例えば、ＣＡＮパッケージを構成するキャップに取付けられるレンズ）を省略することができ、その結果、発光モジュールを小型のものにすることができる。なお、図５のプリズムを用いる場合は、ＣＡＮパッケージを構成するキャップは、例えば、図１の例のキャップシェルの２３ｃに光学窓としてレンズの代わりに光透過性の平板ガラスが取付けられたものとなる。
【００３６】
なお、図５の例では、ＬＤ２４から水平方向に出射された光の一部を鉛直方向に進むよう反射すると共にそれ以外の光を透過する光学部材は、互いに屈折率の異なる２つの断面直角二等辺三角形のプリズムを張り合わせて形成され、透過光の出射面がＬＤ２４の出射光の光軸に垂直になっている。しかし、この透過光の出射面を、上記光軸に対して傾けて形成するようにしてもよい。また、この場合は、同じ屈折率材料のプリズムを張り合わせて上記光学部材を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の発光モジュールが用いられるレセプタクル型の光サブアセンブリの概略を説明する断面図である。
【図２】発光モジュールに実装される部品と、レンズや光ファイバとの位置関係を説明する図である。
【図３】本発明の他の発光モジュールを説明する図である。
【図４】プリズムの他の例を説明する図である。
【図５】プリズムのその他の例を説明する図である。
【符号の説明】
【００３８】
２，３…発光モジュール、２１…ステム、２１ａ…主面、２１ｂ…貫通孔、２２…リードピン、２３…キャップ、２３ａ…レンズ、２３ｂ…キャップシェル、２３ｃ…開口、２４…ＬＤ、２４ａ…側面、２４ｂ…電極、２５…モニタＰＤ、２５ａ…受光部、２５ｂ…面取り部、２５ｃ…電極、２５ｄ…実装面、２６，２６′，２６″…プリズム、２６ａ…光分割部（光分割面）、２６ｂ…吸着部、２６ｃ…集光レンズ部、２７…サブマウント、２７ａ…上面、２７ｂ…金属パターン、３１…モニタＰＤ、３２…サブマウント、３２ａ…モニタＰＤ実装部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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