(57)【要約】【課題】順番間違えや作業抜かしを生ずることなく加工条件等の入力設定操作を適正に行わせることができる加工装置を提供する。【解決手段】操作パネル１が、操作画面６０の一部に、加工手段により被加工物に対する加工開始から加工終了までに設定操作を要する一連の操作項目、例えば「デバイスデータ選択」「データ編集」「カット準備」「カット実行」「ワーク取り外し」を、カテゴリー別に大別し、設定操作を要する順番で時系列に図表化して表示する操作フロー表示部５１を有することで、操作項目毎の操作順序を常に明確にし、順番間違えや作業抜かしを生じないようにした。【選択図】        図１３
2009194326.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、前記保持手段に保持された被加工物の表面を撮像する撮像手段と、前記加工手段および前記撮像手段を含む当該加工装置の構成要素を制御する制御手段と、該制御手段に対して加工条件、その他の情報を入力設定する操作画面を表示する操作パネルとを備える加工装置であって、
前記操作パネルは、前記操作画面の一部に、前記加工手段が被加工物に対して加工開始から加工終了までに要する設定のための一連の操作項目を、カテゴリー別に大別し、設定操作を要する順番で時系列に図表化して表示する操作フロー表示部を有することを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記操作パネルは、前記操作フロー表示部を操作項目の進捗状況が判る状態で表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記操作パネルは、現在処理中の操作項目に関する作業内容を操作すべき順番で時系列に図表化して前記操作画面に表示することを特徴とする請求項１または２に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、操作パネルを有する切削装置等の加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが複数形成されたウエーハは、裏面が研削されて所定の厚さに形成され、ダイシング装置等の加工装置によって個々のデバイスに分割されて携帯電話機、パソコン等の電子機器に利用される。ここで、様々な種類の電子部品を少量生産する場合や量産前の条件選定等の少量加工の場合、その製品毎にマシン設定や加工条件を変更し加工される。
【０００３】
この際、実際に製品を加工するまでに、様々なマシン設定、調整作業を経ることとなる。そして、製品加工前の設定作業、調整作業はメンテナンス員が行うレベルやオペレータが日常的に行う作業等、様々な作業員が関わるため、設定画面、調整画面が作業者のレベルに合わせて操作パネルに表示される。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１０７０９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、各種設定作業や調整作業は、マシン自体の機能が多岐に渡っているため、熟練オペレータでも順番を間違えたり、作業を抜かしてしまうことがあり、最悪の場合には、製品加工時に重大なミスにつながってしまうおそれがある。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、順番間違えや作業抜かしを生ずることなく加工条件等の入力設定操作を適正に行わせることができる加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる加工装置は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、前記保持手段に保持された被加工物の表面を撮像する撮像手段と、前記加工手段および前記撮像手段を含む当該加工装置の構成要素を制御する制御手段と、該制御手段に対して加工条件、その他の情報を入力設定する操作画面を表示する操作パネルとを備える加工装置であって、前記操作パネルは、前記操作画面の一部に、前記加工手段が被加工物に対して加工開始から加工終了までに要する設定のための一連の操作項目を、カテゴリー別に大別し、設定操作を要する順番で時系列に図表化して表示する操作フロー表示部を有することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明にかかる加工装置は、上記発明において、前記操作パネルは、前記操作フロー表示部を操作項目の進捗状況が判る状態で表示することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかる加工装置は、上記発明において、前記操作パネルは、現在処理中の操作項目に関する作業内容を操作すべき順番で時系列に図表化して前記操作画面に表示することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる加工装置によれば、操作パネルが、操作画面の一部に、加工手段により被加工物に対する加工開始から加工終了までに設定操作を要する一連の操作項目を、カテゴリー別に大別し、設定操作を要する順番で時系列に図表化して表示する操作フロー表示部を有するので、操作項目毎の操作順序が常に明確であり、順番間違えや作業抜かしを生ずることなく加工条件等の入力設定操作を適正に行わせることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための最良の形態である加工装置について図面を参照して説明する。
【００１２】
本実施の形態は、加工装置として、切削ブレードを有する加工手段を備える切削装置への適用例を示す。図１は、本実施の形態の加工装置の一例を示す正面図であり、図２は、その加工手段周りの構成を抽出して示す斜視図である。本実施の形態の加工装置１０は、ウエーハなどの被加工物Ｗを分割予定ラインに沿って切削する切削装置に適用したものであり、基本的な構成として、図１に示すように、正面上部に操作パネル１を備え、図２に示すように、被加工物Ｗを保持する保持手段１１、撮像手段１２、加工手段１３、Ｘ軸移動手段１４、Ｙ軸移動手段１５、Ｚ軸移動手段１６、制御手段１７等を内蔵している。
【００１３】
まず、ウエーハ等の被加工物Ｗは、後述の図４等に示すように、環状のフレームＦに装着された粘着テープＴの表面に貼着されている。また、被加工物Ｗは、表面Ｗａに格子状に形成された複数の分割予定ラインＳによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ，ＬＳＩ等の半導体チップ構成のデバイス１８が形成されている。このように構成された被加工物Ｗは、環状のフレームＦに装着された粘着テープＴに表面Ｗａを上側にして裏面が貼着される。
【００１４】
保持手段１１は、被加工物Ｗを吸着保持する保持面１１ａを有するチャックテーブル構成のもので、モータ１９に連結されて回転可能に設けられている。また、保持手段１１は、ボールネジ２０、ナット、パルスモータ２１等による周知構成のＸ軸移動手段１４によって保持面１１ａに対して水平方向となるＸ軸方向に移動可能に設けられ、搭載された被加工物Ｗを撮像手段１２や加工手段１３に対して相対的にＸ軸方向に移動させる。
【００１５】
撮像手段１２は、保持手段１１の保持面１１ａ上に保持された被加工物Ｗの表面Ｗａを撮像するＣＣＤカメラ等を搭載した電子顕微鏡であり、アライメント用およびカーフチェック用に共用される。ここで、アライメント用の場合であれば、撮像手段１２によって取得した画像情報を基に切削すべき領域部分を検出し、加工手段１３による加工動作の位置付けに供する。また、カーフチェック用の場合であれば、切削された切削溝を撮像手段１２の撮像位置に位置付けることで該切削溝を撮像して画像情報を生成するとともに、画像処理による切削溝データの生成に供する。この撮像手段１２は、特に図示しないが、被加工物Ｗを真上から照明する落斜光源と、斜め方向から照明する斜光光源とを光源として備える。
【００１６】
加工手段１３は、保持手段１１の保持面１１ａに保持された被加工物Ｗを回転するリング形状の極薄の切削ブレード２４によって分割予定ラインＳに沿って切削して切削溝を形成するものである。撮像手段１２は、加工手段１３用のハウジング２５の一部に取り付け支持されることで一体化されており、ボールネジ、ナット、パルスモータ２６等によるＺ軸移動手段１６によってＺ軸方向に移動可能に設けられている。また、保持手段１１の保持面１１ａに対して撮像手段１２や加工手段１３を相対的にＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段１５は、ボールネジ２８、ナット、パルスモータ２９等からなる。
【００１７】
操作パネル１は、加工装置１０の筐体において見やすくて操作しやすい箇所に配設されて、制御手段１７による制御の下に、撮像手段１２が撮像した画像の他、加工処理等に伴う必要な各種情報を表示する表示パネルを兼用するとともに、加工処理等に必要な加工条件、その他の情報の入力設定操作を行うためにボタン表示等を行う操作画面を表示するタッチパネル構成のものである。
【００１８】
このような構成の加工装置１０は、高速回転させた切削ブレード２４を被加工物Ｗに所定の切り込み深さで切り込ませながら、加工手段１３に対して保持手段１１をＸ軸移動手段１４でＸ軸方向に相対的に加工送りさせることで、被加工物Ｗ上の分割予定ラインＳを切削加工して切削溝を形成することができる。そして、同一方向の全ての分割予定ラインＳについて切削溝を形成した後、保持手段１１の回転により被加工物Ｗを９０°回転させ、新たにＸ軸方向に配された全ての分割予定ラインＳについて加工手段１３で同様の切削加工を繰り返すことにより、個々のデバイス１８に分割することができる。
【００１９】
ここで、切削ブレード２４周りの構成例について図３および図４を参照して説明する。図３は、切削ブレード周りの構成例を示す分解斜視図であり、図４は、切削ブレード周りの構成例を示す斜視図である。切削ブレード２４は、加工手段１３用のハウジング２５により回転自在に保持されたスピンドル３０の先端に着脱交換自在に取り付けられたものである。切削ブレード２４の周りには、ハウジング２５に固定されたブレードカバー３１とこのブレードカバー３１にネジ３２により固定される着脱カバー３３とが設けられ、下端側に切削ブレード２４の切刃２４ａが所定量露出するように構成されている。また、ブレードカバー３１や着脱カバー３３には、切削ブレード２４の下部側表裏面に対向して切削水を噴射するブレードクーラー用の切削水ノズル３４，３５が設けられている。また、切削ブレード２４周りに対しては、特に図示しないが、切削水を噴射するスプレーやシャワーも配設されている。これら切削水ノズル３４，３５やスプレーやシャワーは、図示しない切削水供給源から切削水供給管３６，３７を介して切削水が供給される。
【００２０】
また、ブレードカバー３１には、ブレード破損検出器３８が取り付けられている。ブレード破損検出器３８は、発光素子と受光素子との対からなる図示しないブレードセンサが取り付けられ、このブレードセンサにより切削ブレード２４の切刃２４ａの状態を検出するためのものであり、固定ネジ３９により取り付けられつつ調整ネジ４０を上下動させることによりブレードセンサの位置調整が可能とされている。
【００２１】
このようなブレード周りの構成において、製品毎に適した切削ブレード２４を使用するため、製品毎にブレード品種を交換する必要があり、ブレード外径が以前とは異なる場合には、ノズル位置の調整が必要となる。このようなブレード交換作業においては、例えば、概略的には、
（１）  着脱カバー３３を外す。
（２）  切削水ノズル３４，３５のそれぞれのノズル位置を調整する。
（３）  切削ブレード２４を取り付ける。
（４）  着脱カバー３３を取り付ける。
（５）  ブレード破損検出器３８の調整ネジ４０を上下させることでブレードセンサ位置を調整する。
如き、作業を行うこととなる。
【００２２】
次に、本実施の形態の加工装置１０が備える制御系の構成について説明する。図４は、本実施の形態の加工装置１０が備える制御手段１７の構成例を示す概略ブロック図である。制御手段１７は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え加工装置１０全体の制御を司るマイクロプロセッサ４１を主体に構成されている。撮像手段１２や加工手段１３の他、Ｘ軸移動手段１４、Ｙ軸移動手段１５、Ｚ軸移動手段１６およびその他の構成要素４２は、マイクロプロセッサ３１に接続されてマイクロプロセッサ４１により加工動作、移動動作等の動作が制御される。また、マイクロプロセッサ４１は、操作パネル１に対して必要な表示情報を記憶部４３やパネル表示画面記憶部４４から読み出して表示制御部４５を介して表示内容を制御するとともに、操作パネル１上で指示操作された入力情報を解析し、各部の動作制御、表示制御等に供する。パネル表示画面記憶部４５には、各種モードに応じた操作キー等の表示パターンが設定された操作画面を表示するための表示画面情報が格納されている。
【００２３】
また、マイクロプロセッサ４１は、撮像手段１２が撮像した画像情報の処理制御を行う。この画像情報の処理制御として、撮像手段１２が撮像した画像情報をそのまま記憶手段４３に記憶させたり、画像情報を画像処理部４６で画像処理したデータ等を記憶手段４３に記憶させたりする制御を行う。
【００２４】
ここで、本実施の形態の加工装置１０は、加工手段１３が被加工物Ｗに対して加工開始から加工終了までに要する設定のための一連の操作項目として、例えば、「デバイスデータ選択」「データ編集」「カット準備」「カット実行」「ワーク取り外し」を有する。ここに、本実施の形態では、これら操作項目は、加工条件編集モードと、装置機能設定モードと、加工実行モードとのカテゴリー別に大別されている。加工条件編集モードなるカテゴリーは、被加工物（ワーク）Ｗを特定するＩＤ情報とともにこのＩＤ情報の被加工物Ｗの加工条件を設定するためのモードであり、「デバイスデータ選択」「データ編集」なる２つの操作項目を纏めたものである。装置機能設定モードなるカテゴリーは、加工条件設定モードで設定された加工条件に従い、加工時に必要な加工装置１０の加工手段１３等の各構成要素の各種機能を設定するためのモードであり、「カット準備」なる操作項目が該当する。加工実行モードなるカテゴリーは、設定された加工条件に従い被加工物Ｗの加工を遂行するためのモードであり、「カット実行」「ワーク取り外し」なる２つの操作項目を纏めたものであある。
【００２５】
次に、制御手段１７による制御の下に実行される本実施の形態の操作パネル１の画面表示例について説明する。図６は、操作画面５０の一つとして、「データ編集」用の画面のうちの「カット設定（基本）」用の操作画面５０ａの表示例を示す。ここで、本実施の形態では、基本的に、操作画面５０においては、例えばその最上部の一部で画面表示に支障ない領域に操作フロー表示部５１が常に表示される。この操作フロー表示部５１は、上述の一連の操作項目をカテゴリー別に大別し、設定操作を要する順番で時系列に図表化して表示する領域である。すなわち、設定操作を要する順番で画面左側から右側に向けて一列に時系列となるように「デバイスデータ選択」「データ編集」「カット準備」「カット実行」「ワーク取り外し」の各操作項目が三角矢印表示等を伴って図表化されて表示されている。また、図６に示す操作フロー表示部５１の表示例は、「データ編集」なる操作項目の表示部分は例えば緑色表示（図面上、無背景表示）により現在処理中であり、「デバイスデータ選択」なる操作項目の表示部分は例えば灰色表示（図面上、斜線表示）により処理済みであり、「カット準備」「カット実行」「ワーク取り外し」なる各操作項目の表示部分は例えば反転表示（図面上、網掛表示）により未処理であること、すなわち、操作項目の進捗状況が判る状態で表示される。
【００２６】
なお、特に図示しないが、「デバイスデータ選択」なる操作項目は、被加工物Ｗの加工条件の設定等に際して予めメモリに登録されているデバイスデータを選択設定するためのものであり、この処理が終了することにより、図６に示す「データ編集」なる時系列的に次の操作項目の処理が可能となっているものである。この「データ編集」なる操作項目用の操作画面５０においては、例えば、画面左端に縦一列に「カット設定（基本）」ボタン５２ａ，「オートアライメント」ボタン５２ｂ、「カーフチェック」ボタン５２ｃ、「オートセットアップ」ボタン５２ｄ、「プリカット」ボタン５２ｅ、「プロセステーブル」ボタン５２ｆ、「切削水」ボタン５２ｇが押下操作可能に表示される。また、画面右端には、処理を次へ進めるための「次へ」ボタン５３ａ、処理を戻すための「戻る」ボタン５３ｂが表示される。
【００２７】
図６は、「データ編集」なる操作項目用の操作画面５０において、「カット設定（基本）」ボタン５２ａが押下された場合の「カット設定（基本）」用の操作画面５０ａの表示例を示す。この操作画面５０ａは、被加工物Ｗに対する加工条件を設定するためのものであり、一例として、図６に示すように、ワーク形状、Ｙ軸移動手段１５によるインデックス送り量、Ｘ軸移動手段１４による送り速度等の項目毎の入力欄を縦一列に纏めて配列表示させたパラメータ入力領域５４と、個々の項目毎の加工条件の内容をイメージ描画による表示で纏めて表現したイメージ描画領域５５とが同時に表示される。また、パラメータ入力領域５４の各入力欄とイメージ描画領域５５中の対応するイメージ描画との対応関係が判るように両者を連結する連結線５６も併せて同時に表示される。
【００２８】
また、図７は、「データ編集」なる操作項目用の操作画面５０において、「オートアライメント」ボタン５２ｂが押下された場合の「オートアライメント」用の操作画面５０ｂの表示例を示す。この操作画面５０ｂは、オートアライメントの際に必要なデータ設定のためのものであり、マクロのアライメントおよびミクロの各チャンネルのアライメントに対するＱ値のしきい値を設定したり、ウインドウ幅（ピクセルサイズ）、ティーチ時の撮像手段１２における落射照明や斜光照明の光量などが表示される。
【００２９】
また、図８は、「データ編集」なる操作項目用の操作画面５０において、「カーフチェック」ボタン５２ｃが押下された場合の「カーフチェック」用の操作画面５０ｃの表示例を示す。この操作画面５０ｃは、カット中に行うカーフチェック（切削溝の切削状態のチェック）動作のデータを設定するためのものであり、カーフチェック時のカーフ最大幅の許容値、カットラインの最大チッピング幅の許容値等を設定する。
【００３０】
また、図９は、「データ編集」なる操作項目用の操作画面５０において、「オートセットアップ」ボタン５２ｄが押下された場合の「オートセットアップ」用の操作画面５０ｄの表示例を示す。この操作画面５０ｄは、カット中に行うセットアップの設定を行うためのものであり、オートセットアップを行う頻度をカット距離やカット本数を設定する。
【００３１】
また、図１０は、「データ編集」なる操作項目用の操作画面５０において、「プリカット」ボタン５２ｅが押下された場合の「プリカット」用の操作画面５０ｅの表示例を示す。この操作画面５０ｅでは、例えば、後述のブレード交換において、旧ブレードがセットされている場合の開始送り速度のＳｅｑ  Ｎｏ．や新ブレードがセットされている場合の最初のプリカットにおける開始送り速度のＳｅｑ  Ｎｏ．や、各Ｓｅｑにおける送り速度やカット本数を設定する。
【００３２】
また、図１１は、「データ編集」なる操作項目用の操作画面５０において、「プロセステーブル」ボタン５２ｆが押下された場合の「プロセステーブル」用の操作画面５０ｆの表示例を示す。この操作画面５０ｆは、加工、アライメント等の各種基本動作の順序を設定するためのものであり、ＡＬＩ（標準アライメント）、ＣＵＴ（標準カット）等を設定する。
【００３３】
また、図１２は、「データ編集」なる操作項目用の操作画面５０において、「切削水」ボタン５２ｇが押下された場合の「切削水」用の操作画面５０ｇの表示例を示す。この操作画面５０ｇは、加工中の切削水の流量設定を行うためのものであり、ブレードクーラー（切削水ノズル３４，３５）、シャワー、スプレーの各流量を設定する。
【００３４】
ここで、「次へ」ボタン５３ａは、通常は例えば赤色表示されて入力操作が無効となるように設定されており、上述の「データ編集」の図６〜図１２に示すような全ての項目のデータ入力が終了することで、緑色表示に変化して入力操作が有効となる。そこで、この時点で、「次へ」ボタン５３ａを押下することで、時系列的に次の「カット準備」なる操作項目用の操作画面６０に移行する。
【００３５】
図１３は、「カット準備」なる操作項目用の操作画面６０の表示例を示す。すなわち、操作フロー表示部５１の表示は、「カット準備」なる操作項目の表示部分が、例えば緑色表示（図面上、無背景表示）に変化して現在処理中となった操作項目であることを示し、「データ編集」なる操作項目の表示部分は「デバイスデータ選択」なる操作項目の表示部分と同じく例えば灰色表示（図面上、斜線表示）となって処理済みであることを示し、「カット実行」「ワーク取り外し」なる各操作項目の表示部分は依然として例えば反転表示（図面上、網掛表示）により未処理であることを示す表示状態となる。
【００３６】
また、現在処理中となった「カット準備」なる操作項目に関する作業内容としては、例えば、「システムイニシャル」「ブレード」「マシン」「切削水」「カーフチェック」「ワークセット」「オートアライメント」「マニュアルアライメント」を含む。「システムイニシャル」は、マシン（加工装置１０）を正常に使用できるようにするための作業を示す。「ブレード」は、切削ブレード２４の状態を確認するための作業を示す。「マシン」「切削水」「カーフチェック」は、装置のカット準備を整えるための作業を示す。「ワークセット」は、ワーク（被加工物Ｗ）をチャックテーブル（保持手段１１）にセットするための作業を示す。「オートアライメント」「マニュアルアライメント」は、カット位置決め（アライメント）のための作業を示す。
【００３７】
ここで、図１３に示す操作画面６０では、現在処理中となった「カット準備」なる操作項目に関する上記の作業内容が、操作すべき順番で時系列に図表化して配列表示される。具体的には、画面左側には、操作すべき順番を示すステップ番号および各ステップの処理概要を表示した処理順表示領域６１を有し、処理順表示領域６１の右側には、ステップ１の位置に対応させた「システムイニシャル」ボタン６２、ステップ２の位置に対応させた「ブレード」ボタン６３、ステップ３の位置に対応させた「マシン」ボタン６４、「切削水」ボタン６５、「カーフチェック」ボタン６６、ステップ４の位置に対応させた「ワークセット」ボタン６７、ステップ５の位置に対応させた「オートアライメント」ボタン６８、「マニュアルアライメント」ボタン６９が、それぞれ下向き三角矢印とともに図表化されて押下操作により選択可能に表示されている。作業内容のうち、「マシン」「切削水」「カーフチェック」は、順不同であり、かつ、「カーフチェック」自体は必ずしも必須の作業内容ではなく任意とされている。また、作業内容のうち、「オートアライメント」「マニュアルアライメント」は、択一的なものである。
【００３８】
よって、図１３に示す操作画面６０は、「カット準備」なる操作項目に関して、「システムイニシャル」→「ブレード」→「マシン」「切削水」「カーフチェック（任意）」→「ワークセット」→「オートアライメント」または「マニュアルアライメント」の順番で各作業内容を処理すべきことを図表化して表示している。
【００３９】
また、操作画面６０においては、左端上部側に「オートカット」ボタン７０ａ、「セミオートカット」ボタン７０ｂが選択的に押下操作可能に表示され、右端下部側に「スタート」ボタン７０ｃ、「戻る」ボタン７０ｄが押下操作可能に表示されている。さらに、操作画面６０中の各ボタン６２〜６９内の下部領域には、各ボタン対応の作業内容の設定状態の可否に関して、「ＯＫ」「ＲＥＡＤＹ」を緑色表示し、または「ＣＡＵＴＩＯＮ」を黄色表示する状態表示部６２ａ〜６９ａを有する。状態表示部６２ａ〜６９ａは、初期状態では「ＣＡＵＴＩＯＮ」表示（黄色表示）するように設定されている。
【００４０】
このような操作画面６０の表示により、作業員は、「カット準備」なる操作項目に関して、まず、「システムイニシャル」なる作業内容を処理すべきことが判る。そこで、最初に、「システムイニシャル」ボタン６２を押下操作することで、「システムイニシャル」作業が実行される。このシステムイニシャル処理は、装置の各可動部を原点位置（装置運転時に、機械各部の動きの基準となる位置）に移動させる処理であり、「システムイニシャル」ボタン６２を押下することにより実行される。システムイニシャル処理が、正常に終了すると、状態表示部６２ａの表示が「ＯＫ」の緑色表示に変化し、作業終了が判るとともに、時系列的に次となる作業の実行が可能となる。
【００４１】
そこで、作業員は、次に、「ブレード」ボタン６３を押下することで、「ブレード」作業を実行する。この「ブレード」ボタン６３を押下すると、操作パネル１には図１４に示すような「ブレード」用の操作画面７１が表示される。この操作画面７１においては、ブレードに関する作業項目として、ブレード情報欄７２、ＢＢＤ欄７３、ノズル欄７４、セットアップ欄７５、ヘアライン合わせ欄７６、プリカット欄７７およびドレス欄７８が配列表示される。
【００４２】
ブレード情報欄７２は、ブレードサイズ表示部７２ａ、フランジサイズ表示部７２ｂ、「ブレードデータ」ボタン７２ｃおよび状態表示部７２ｄを有する。ＢＢＤ欄７３は、ブレード破損検出器３８用のものであり、透過量表示部７３ａ、「ＢＢＤ調整」ボタン７３ｂ、「ブレード交換」ボタン７３ｃおよび状態表示部７３ｄを有する。ノズル欄７４は、切削水量表示部７４ａ、「シャワーノズル」ボタン７４ｂ、「ブレードクーラー」ボタン７４ｃおよび状態表示部７４ｄを有する。セットアップ欄７５は、「セットアップ」ボタン７５ａ、「セットアップデータ」ボタン７５ｂ、「チャックテーブルタイプ」ボタン７５ｃおよび状態表示部７５ｄを有する。ヘアライン合わせ欄７６は、ワークセット表示部７６ａ、「ワークセットＯＮ／ＯＦＦ」ボタン７６ｂ、「ヘアライン合わせ」ボタン７６ｃおよび状態表示部７６ｄを有する。プリカット欄７７は、表示部７７ａ、「プリカットＯＮ」ボタン７７ｂ、「プリカットＯＦＦ」ボタン７７ｃおよび状態表示部７７ｄを有する。ドレス欄７８は、「ドレス」ボタン７８ａおよび状態表示部７８ｄを有する。
【００４３】
ここで、図１５および図１６を参照して、ブレード操作画面での作業処理としてブレード交換作業を行う場合について説明する。図１５は、ブレード交換用の操作画面８０の表示例を示す正面図であり、図１６は、ブレード操作画面での作業処理の手順を示す概略フローチャートである。まず、ブレード交換を呼び出す（ステップＳ１）。図１４に示す操作画面７１において、「ブレード交換」ボタン７３ｃを押下すると、スピンドル３０の回転および切削水の供給が停止し、ブレード交換が可能になるとともに、操作パネル１には、図１５に示すブレード交換用の操作画面８０が表示される。そこで、この操作画面８０の表示に従い、ブレード情報を入力する（ステップＳ２）。この場合のブレード情報としては、ロットＩＤ、新／旧情報、ブレード外径、刃厚、フランジ外径等の情報がある。そして、操作画面８０中に表示されている「ブレード交換」ボタン８１を押下すると、入力設定されたブレード情報が登録される。そして、「戻る」ボタン７０ｄを押下することで、図１４のブレード用の操作画面７１のステータスに戻る。
【００４４】
ついで、着脱カバー３３を取り外し（ステップＳ３）、さらに、ブレード破損検出器３８を取り外し（ステップＳ４）、古い切削ブレード２４を取り外す。そして、「ブレードクーラー」ボタン７４ｃを押下し、切削水ノズル３４，３５のノズル位置を新しい切削ブレード２４の外径等に応じて調整する（ステップＳ５）。この調整後、新しい切削ブレード２４を装着する（ステップＳ６）。この後、ブレード破損検出器３８を取り付け（ステップＳ７）、着脱カバー３３を取り付ける（ステップＳ８）。そして、ブレード破損検出器３８の調整ネジ４０を上下させることでブレードセンサ位置を調整する（ステップＳ９）。引き続き、「セットアップ」ボタン７５ａを押下し、センサ位置合わせセットアップを実施する（ステップＳ１０）。このセンサ位置合わせセットアップは、チャックテーブル（保持手段１１）のセットアップを行い、その後、非接触セットアップを行うことで、非接触センサの位置合わせを行うものである。引き続き、「ヘアライン合わせ」ボタン７６ｃを押下し、ヘアライン合わせを実施する（ステップＳ１１）。ヘアライン合わせは、カットライン（カーフ）が画面上のヘアラインと一致するようにするための作業であり、保持手段１１にダミーワークをセットし、撮像手段１２の光量調整、フォーカス調整、θ合わせを行った後、ヘアライン合わせを実行する。
【００４５】
さらに、「プリカットＯＮ」ボタン７７ｂを押下し、プリカット画面を出現させ、プリカット情報を入力する（ステップＳ１２）。この場合の入力情報としては、ワークサイズ、厚み、ブレードハイト、送り速度、スピンドル回転数等がある。あるいは、「ドレス」ボタン７８ａを押下し、ドレス画面を出現させ、ドレス情報を入力する。情報入力後、プリカットまたはドレスを実施する（ステップＳ１３）。さらに、非接触のセットアップを実施し（ステップＳ１４）、ブレード画面での作業が終了する。
【００４６】
ブレード用の操作画面８０でのブレードに関する作業が正常に終了すると、状態表示部６３ａの表示が「ＯＫ」の緑色表示に変化し、作業終了が判るとともに、時系列的に次となる作業の実行が可能となる。なお、ブレードに関する作業において、設定等に不備があると、状態表示部６３ａの表示が「ＣＡＵＴＩＯＮ」の黄色表示のままであり、設定し直しを要する。
【００４７】
そこで、作業員は、次に、「マシン」「切削水」「カーフチェック」に関する作業を順不同で実行する。例えば、「マシン」ボタン６４を押下すると、操作パネル１には図１７に示すような「マシン」用の操作画面９０が表示される。また、「切削水」ボタン６５を押下すると、操作パネル１には図１８に示すような「切削水」用の操作画面９１が表示される。さらに、「カーフチェック」ボタン６６を押下すると、操作パネル１には図１９に示すような「カーフチェック」用の操作画面９２が表示される。そして、「ブレード」に関する作業の場合と同様に、それぞれの操作画面９０〜９２の表示に従い、「マシン」「切削水」または「カーフチェック」に関する作業を実行する。
【００４８】
マシン用の操作画面９０でのマシンに関する作業が正常に終了すると、状態表示部６４ａの表示が「ＯＫ」の緑色表示に変化し、作業終了が判る。なお、マシンに関する作業において、設定等に不備があると、状態表示部６４ａの表示が「ＣＡＵＴＩＯＮ」の黄色表示のままであり、設定し直しを要する。また、切削水用の操作画面９１での切削水に関する作業が正常に終了すると、状態表示部６５ａの表示が「ＯＫ」の緑色表示に変化し、作業終了が判る。なお、切削水に関する作業において、設定等に不備があると、状態表示部６５ａの表示が「ＣＡＵＴＩＯＮ」の黄色表示のままであり、設定し直しを要する。さらに、カーフチェック用の操作画面９２でのカーフチェックに関する作業が正常に終了すると、状態表示部６６ａの表示が「ＯＫ」の緑色表示に変化し、作業終了が判る。
【００４９】
そこで、作業員は、次に、「ワークセット」ボタン６７を押下することで、「ワークセット」作業を実行する。ワークセットに関する作業が正常に終了すると、状態表示部６７ａの表示が「ＯＫ」の緑色表示に変化し、作業終了が判るとともに、時系列的に次となる作業の実行が可能となる。なお、ワークセットに関する作業において、設定等に不備があると、状態表示部６７ａの表示が「ＣＡＵＴＩＯＮ」の黄色表示のままであり、設定し直しを要する。
【００５０】
そこで、作業員は、次に、「オートアライメント」または「マニュアルアライメント」に関する作業を択一的に実行する。例えば、「オートアライメント」ボタン６８を押下すると、操作パネル１には図２０に示すような「オートアライメント」用の操作画面９３が表示される。そして、「ブレード」の場合と同様に、操作画面９３の表示に従い、「オートアライメント」に関する作業を実行する。オートアライメント用の操作画面９３でのオートアライメントに関する作業が正常に終了すると、状態表示部６８ａの表示が「ＲＥＡＤＹ」の緑色表示に変化し、作業終了が判るとともに、時系列的に次となる作業の実行が可能となる。なお、オートアライメントに関する作業において、設定等に不備があると、状態表示部６８ａの表示が「ＣＡＵＴＩＯＮ」の黄色表示のままであり、設定し直しを要する。
【００５１】
オートアライメント（または、マニュアルアライメント）に関する作業が正常に終了すると、「スタート」ボタン７０ｃが、入力操作を無効とする赤色表示から緑色表示に変化して入力操作が有効となる。この状態で、「スタート」ボタン７０ｃを押下することで、次の「カット実行」なる操作項目に従い、加工手段１３による被加工物Ｗの加工が開始される。そして、被加工物Ｗに対する加工が終了すると、ワーク取り外しが可能となる。
【００５２】
このように、本実施の形態の加工装置１０によれば、操作パネル１が、操作画面５０，６０，７１，８１〜８３の一部に、加工手段１３により被加工物Ｗに対する加工開始から加工終了までに設定操作を要する一連の操作項目を、カテゴリー別に大別し、設定操作を要する順番で時系列に図表化して表示する操作フロー表示部５１を有するので、操作項目毎の操作順序が常に明確であり、順番間違えや作業抜かしを生ずることなく加工条件等の入力設定操作を適正に行わせることができる。また、操作フロー表示部５１は、操作項目の進捗状況が判る状態で表示されるので、操作項目の進捗状況の把握が容易で、作業効率が向上する。さらには、図１３に例示する如く、現在処理中の操作項目に関する作業内容が、操作すべき順番で時系列に図表化して操作画面６０に表示されるので、操作項目内の作業内容の把握も容易で、順番間違えや作業抜かしを生ずることのない入力設定操作が可能となる。特に、前の作業による設定内容が正常に終了し、状態表示部の表示が「ＯＫ」または「ＲＥＡＤＹ」にならないと、次の作業が有効とならないので、順番間違えや作業抜かしを確実に回避することができる。
【００５３】
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、本実施の形態では、一つの切削ブレード２４を有する１軸構成の加工手段１３を用いて加工を行う加工装置１０の例で説明したが、２つの切削ブレードを有する２軸構成の加工手段を用いてデュアルカットやステップカットを行う切削装置、あるいは、レーザ照射源を有する加工手段を用いてカット等を行う加工装置、あるいは、研削装置等であっても同様に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態の加工装置の一例を示す正面図である。
【図２】図１の加工手段周りの構成を抽出して示す斜視図である。
【図３】切削ブレード周りの構成例を示す分解斜視図である。
【図４】切削ブレード周りの構成例を示す斜視図である。
【図５】制御系の構成例を示す概略ブロック図である。
【図６】「カット設定（基本）」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図７】「オートアライメント」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図８】「カーフチェック」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図９】「オートセットアップ」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図１０】「プリカット」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図１１】「プロセステーブル」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図１２】「切削水」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図１３】「カット準備」なる操作項目用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図１４】「ブレード」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図１５】ブレード交換用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図１６】ブレード操作画面での作業処理の手順を示す概略フローチャートである。
【図１７】「マシン」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図１８】「切削水」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図１９】「カーフチェック」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【図２０】「オートアライメント」用の操作画面の表示例を示す正面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  操作パネル
１０  加工装置
１１  保持手段
１２  撮像手段
１３  加工手段
１４  Ｘ軸移動手段
１５  Ｙ軸移動手段
１６  Ｚ軸移動手段
１７  制御手段
４２  その他の構成要素
５０，６０，７１，８１〜８３  操作画面
５１  操作フロー表示部
Ｗ  被加工物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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