(57)【要約】【課題】検査内容の編集が容易に行えることで、電子部品の多品種少量生産化に対応することが可能な電子部品の検査装置および検査プログラムを提供する。【解決手段】電子部品を、規格の種類を示す検査規格情報に対応した検査条件情報に基づいて検査する電子部品の検査装置である。ＬＣＤに表示されたセル編集画面２００の検査条件一覧表示欄２０４に表形式に表示されている検査条件情報を編集する際に、まず、セル操作ボタン２０５をクリックしてセル編集モードへ移行する。次に、変更したいセルをダブルクリックして入力可能な状態とし、キーボードを操作して新たな数値を各セルに入力して編集し、「データベースへ保存」ボタン２０５ｃをクリックすることで、ハードディスク装置へ保存される。検査は、この編集された検査条件情報に基づいて行われる。【選択図】図１５
2009174977.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を、規格の種類を示す検査規格情報に対応した検査条件情報に基づいて検査する電子部品の検査装置であって、
前記検査条件情報を入力する入力手段と、
前記検査条件情報が前記検査規格情報に対応させて格納される格納手段と、
前記検査条件情報と検査結果とが表示される表示手段と、
前記検査条件情報を前記表示手段に表形式で表示し、前記入力手段により選択して変更された検査条件情報を前記格納手段に格納し、前記格納手段に格納された検査条件情報に基づいて前記電子部品を検査する制御手段とを備えた電子部品の検査装置。
【請求項２】
前記制御手段は、変更された検査条件情報が位置するセルの背景色を、編集前の他のセルとは異なる色に変更して表示することを特徴とする請求項１記載の電子部品の検査装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記格納手段に格納された検査規格情報を、前記入力手段により入力されたフィルタ情報に基づいて抽出し、抽出された検査規格情報の一覧を表形式で前記表示手段に表示することを特徴とする請求項１または２記載の電子部品の検査装置。
【請求項４】
前記制御手段は、検査規格情報を区分する区分情報に基づいて、区分された検査規格情報の一覧を、前記表示手段に表形式で表示することを特徴とする請求項１から３のいずれかの項に記載の電子部品の検査装置。
【請求項５】
前記格納手段には、操作者を識別する識別情報が、前記区分情報に関連付けられて格納され、
前記制御手段は、前記入力手段により入力された識別情報に基づいた区分情報から、前記検査規格情報を抽出することを特徴とする請求項４記載の電子部品の検査装置。
【請求項６】
電子部品を、規格の種類を示す検査規格情報に対応した検査条件情報に基づいて検査するためにコンピュータを、
前記検査条件情報を入力する入力手段と、
前記検査条件情報が前記検査規格情報に対応させて格納される格納手段と、
前記検査条件情報と検査結果とが表示される表示手段と、
前記検査条件情報を前記表示手段に表形式で表示し、前記入力手段により編集された検査条件情報を前記格納手段に格納し、前記格納手段に格納された検査条件情報に基づいて前記電子部品を検査する制御手段として機能させる検査プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品に電源電圧や信号を付与し、電圧や電流を測定することで、規格の適合を検査する電子部品の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置などの電子部品は、所定の電気的特性を保証するために、検査工程にて検査装置による検査が行われている。この検査装置は、一般にはＩＣテストシステム、ＩＣ検査装置などと呼ばれている。
【０００３】
検査装置は、ＤＣ特性検査を実施するために、複数の電源、リレー、リレーマトリクス、電圧測定部、電流測定部を備えているが、ＡＣ特性の検査を実施するために、複数の信号源、カウンタ、デジタイザ等を備えているものもある。また、フォトＩＣを検査するためのフォトＩＣテストシステムでは、赤外線、可視光線、紫外線等を実信号光として入力し、出力電流や出力電圧を測定することで、実使用に即した検査を行っている。
【０００４】
このようなフォトＩＣテストシステムで動作するプログラムは、専用の言語やＣ言語、マシン語、中間言語等で記述されており、プログラム中に、評価項目、入力条件、測定条件、測定規格等が一般に記述されている。
【０００５】
このような電子部品を検査する検査装置として、例えば、特許文献１に記載されたものがある。特許文献１に記載の測定プログラム作成装置は、入力された測定仕様を、測定装置の言語形式に依存しない拡張性に富んだ中間言語へと変換し、この中間言語に変換された測定仕様に基づいてデータベースを作成・編集し、作成されたデータベースを、測定装置の言語形式に即した測定プログラムに変換することで、測定装置ごとに言語形式が異なる測定プログラムを、容易に作成することができるというものである。
【特許文献１】特開平１−１９５３８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載の測定プログラム作成装置は、入力された測定仕様に編集の必要が生じた場合には、中間言語によるデータベースを直接修正することになるので、マシン語などと比較すると容易ではあるが、中間言語に対する知識、ノウハウが必要であり、習得に時間が必要である。
【０００７】
一方、製造装置および検査装置などの量産設備に求められる要求も、電子部品の多品種少量生産化により変化しており、設備導入の期間短縮による垂直立ち上げ化が求められている。従来の検査装置においては、この多品種少量生産化に対応するため、検査を行う電子部品の規格変更や検査項目の変更に伴う検査プログラムの変更が必要であるが、検査プログラムに記述された検査項目、入力条件、測定条件は、人手により、作成、編集する必要があり、その作業は繁雑である。また、同一の検査装置で、多品種の製品を検査するためには、一品種に割り当ることができる作業時間も限られている。従って、従来の検査装置では、検査プログラムの編集時の負荷が大きな問題となっている。
【０００８】
そこで本発明は、検査内容の編集が容易に行えることで、電子部品の多品種少量生産化に対応することが可能な電子部品の検査装置および検査プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、検査条件情報を表示手段に表形式で表示し、入力手段により選択して変更された検査条件情報を格納手段に格納し、格納手段に格納された検査条件情報に基づいて電子部品を検査することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、操作者が、制御手段により表示手段に表形式で表示された検査条件情報を見ながら、入力手段により選択して変更することができるので、所望とする検査条件情報に容易に編集することができる。よって、本発明の検査装置および検査プログラムは、検査内容の編集が容易に行えることで、電子部品の多品種少量生産化に対応することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本願の第１の発明は、電子部品を、規格の種類を示す検査規格情報に対応した検査条件情報に基づいて検査する電子部品の検査装置であって、検査条件情報を入力する入力手段と、検査条件情報が検査規格情報に対応させて格納される格納手段と、検査条件情報と検査結果とが表示される表示手段と、検査条件情報を表示手段に表形式で表示し、入力手段により選択して変更された検査条件情報を格納手段に格納し、格納手段に格納された検査条件情報に基づいて電子部品を検査する制御手段とを備えたことを特徴とした電子部品の検査装置である。
【００１２】
本発明の電子部品の検査装置は、操作者が、制御手段により表示手段に表形式で表示された検査条件情報を見ながら、入力手段により選択して変更することができるので、所望とする検査条件情報に容易に編集することができる。編集された検査条件情報は、制御手段により格納手段に格納される。そして、格納手段に格納された編集された検査条件情報に基づいて制御手段が電子部品を検査するので、編集された検査条件情報で容易に検査を行うことができる。
【００１３】
本願の第２の発明は、第１の発明において、制御手段は、変更された検査条件情報が位置するセルの背景色を、編集前の他のセルとは異なる色に変更して表示することを特徴としたものである。
【００１４】
本願の第２の発明においては、制御手段が、変更された検査条件情報が位置するセルの背景色を、編集前の他のセルとは異なる色に変更して表示するので、変更した検査条件情報の位置を容易に把握することができる。
【００１５】
本願の第３の発明は、第１および第２の発明において、制御手段は、格納手段に格納された検査規格情報を、入力手段により入力されたフィルタ情報に基づいて抽出し、抽出された検査規格情報の一覧を表形式で表示手段に表示することを特徴としたものである。
【００１６】
本願の第３の発明においては、フィルタ情報に基づいて制御手段が、格納手段に格納された検査規格情報を抽出し、その一覧を、表形式で表示手段に表示するので、検査項目が多数あっても所望とする検査項目を容易に表示手段に表示させることができる。
【００１７】
本願の第４の発明は、第１から３のいずれかの発明において、制御手段は、検査規格情報を区分する区分情報に基づいて、区分された検査規格情報の一覧を、表示手段に表形式で表示することを特徴としたものである。
【００１８】
本願の第４の発明においては、制御手段が、検査規格情報を区分情報に基づいて、区分された検査規格情報の一覧を、表示手段に表形式で表示するので、編集や検査の実行を制限したい検査項目を区分しておくことで、作業者が誤って操作することを防止することができる。
【００１９】
本願の第５の発明は、第４の発明において、格納手段には、操作者を識別する識別情報が、区分情報に関連付けられて格納され、制御手段は、入力手段により入力された識別情報に基づいた区分情報から、検査規格情報を抽出することを特徴としたものである。
【００２０】
本願の第５の発明においては、制御手段が、入力された識別情報に基づいた区分情報から検査規格情報を抽出し、抽出された検査規格情報を一覧として表形式に表示手段に表示するので、識別情報を入力するだけで、作業者の誤操作を防止することができる。
【００２１】
本願の第６の発明は、電子部品を、規格の種類を示す検査規格情報に対応した検査条件情報に基づいて検査するためにコンピュータを、検査条件情報を入力する入力手段と、検査条件情報を検査規格情報に対応させて格納される格納手段と、検査条件情報と検査結果とが表示される表示手段と、検査条件情報を表示手段に表形式で表示し、入力手段により編集された検査条件情報を格納手段に格納し、格納手段に格納された検査条件情報に基づいて電子部品を検査する制御手段として機能させることを特徴とした検査プログラムである。
【００２２】
本発明の検査プログラムは、コンピュータを、検査条件情報を入力する入力手段と、検査条件情報が検査規格情報に対応させて格納される格納手段と、検査条件情報と検査結果とが表示される表示手段と、格納手段に格納された検査条件情報に基づいて電子部品を検査する制御手段として機能させるものである。この検査条件情報においては、操作者が、表示手段に表形式で表示された検査条件情報を見ながら、入力手段により表形式の一のセルを選択して編集することができるので所望とする検査条件情報に容易に変更することができる。編集された検査条件情報は、格納手段に格納される。そして、格納手段に格納された編集された検査条件情報に基づいて電子部品を検査するので、編集された検査条件情報で容易に検査を行うことができる。
【００２３】
（実施の形態）
本発明の実施の形態に係る電子部品の検査装置を、図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る検査装置を示す図である。図２は、図１に示す検査装置の構成を示すブロック図である。
【００２４】
図１に示すように、検査装置１は、電子部品の一例である半導体装置の電気的特性を測定して、検査規格に適合しているか否かの判定を行うものである。検査装置１は、パーソナルコンピュータ（以下、ＰＣと称す。）２と、テスタ３とを備えている。
【００２５】
図２に示すように、ＰＣ２は、液晶表示装置（以下、ＬＣＤと称す。）２１と、キーボード２２と、マウス２３と、光ディスク装置２４と、ハードディスク装置２５と、マザーボード２６とを備えている。また、ＰＣ２は、図示しないフレキシブルディスク装置を備えている。
【００２６】
ＬＣＤ２１は、マザーボード２６からの表示データをカラー表示する表示手段である。本実施の形態では、表示手段としてＬＣＤを採用しているが、ＣＲＴやプラズマディスプレイとすることも可能である。
【００２７】
キーボード２２は、アルファベット、数字、漢字、記号などが入力可能な入力手段である。マウス２３は、ＬＣＤ２１に表示されるマウスポイントを移動したり、クリックボタンを押下することにより、決定や選択をマザーボード２６に通知したりする入力手段である。本実施の形態では、入力手段としてキーボード２２やマウス２３を用いているが、タブレット、タッチパネル、ジョイステックなどとすることも可能である。
【００２８】
光ディスク装置２４は、光ディスク媒体にデータを書き込んだり、光ディスク媒体からデータを読み込んだりする入出力装置である。光ディスクとしては、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷや、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−Ｒ／ＲＡＭなどを使用することができる。
【００２９】
ハードディスク装置２５は、マザーボード２６の指示により、格納されたデータを読み出したり、データを格納したりする格納手段である。ハードディスク装置２５には、ＯＳの一例であるＷｉｎｄｏｗｓ（登録商標）、本実施の形態に係る検査プログラムや、各種のアプリケーションの他、各種の設定データや、テンポラリファイルなどが格納されている。
【００３０】
マザーボード２６には、ＣＰＵ２６ａ、ＲＯＭ２６ｂ、ＲＡＭ２６ｃおよび周辺回路２６ｄが搭載され、ＰＣ２全体を統括する制御手段である。このマザーボード２６には、図示しないＬＡＮインタフェースやＵＳＢ（Universal Serial Bus）インタフェースなどが設けられている。マザーボード２６のＲＡＭ２６ｃに展開された検査プログラムをＣＰＵ２６ａが実行することで、テスタ３が接続されたＰＣ２が検査装置として機能する。
【００３１】
テスタ３は、インタフェースカード３１と測定部３２とを備えている。インタフェースカード３１と測定部３２とは接続ケーブル３３で接続されている。
【００３２】
インタフェースカード３１は、マザーボード２６に設けられているＰＣＩ（Peripheral Component Interconnect）バスに接続され、マザーボード２６からデータを測定部３２へ通知し、測定部３２からのデータをマザーボード２６へ通知するインタフェース手段である。
【００３３】
測定部３２は、検査される半導体装置がセットされ、マザーボード２６からの検査条件に基づいて半導体装置を検査し、半導体装置の電気的特性を測定してインタフェースカード３１を介してマザーボード２６へ通知する。ここで、半導体装置がセットされる測定部３２の測定回路について、図３に基づいて説明する。図３は、半導体装置がセットされる測定部３２の測定回路を示す概略回路図である。なお、図３においては、半導体装置としてＰＤＩＣ（フォトディテクタ）を例に図示している。
【００３４】
図３に示すように、測定回路３２０には、端子が１６ピンのＰＤＩＣ４が搭載可能な接点ユニット３２１が設けられている。この接点ユニット３２１の所定の端子には、抵抗Ｒ１〜Ｒ１０とコンデンサＣ１〜Ｃ１０が接続され、リレーＲＬ１〜ＲＬ８が接続されている。ＰＤＩＣ４を検査するときには、測定回路３２０により電源端子（Ｎｏ．１６）と、グランド端子（Ｎｏ．０２）との間に５Ｖを印加すると共に、リファレンス端子（Ｎｏ．０１）には直接Ｖrefとして２．２Ｖを印加し、リファレンス端子（Ｎｏ．０９、Ｎｏ．１０）にはコンデンサＣ５，Ｃ６を介してＶrefとして２．２Ｖを印加して、測定したい端子に接続されているリレーＲＬ１〜ＲＬ８のいずれかを動作させて、電圧値を電圧計Ｖにて測定する。そして、測定された電圧値を測定部３２からＰＣ２へ送信することで、ＰＣ２にて良否判定が行われる。
【００３５】
以上のように構成された本発明の実施の形態に係る検査装置の使用状態を、図４から図１９に基づいて説明する。図４は、検査プログラムのログイン画面の一例を示す図である。図５は、検査プログラムのメインメニュー画面の一例を示す図である。図６は、検査プログラムの各機能を示す図である。図７は、検査プログラムの機器確認画面の一例を示す図である。図８は、検査プログラムの検査規格選定画面の一例を示す図である。図９は、検査プログラムの検査画面の一例を示す図である。図１０は、検査プログラムの規格編集画面の一例を示す図である。図１１は、検査プログラムの新規登録画面の一例を示す図である。図１２は、検査プログラムの登録画面の一例を示す図である。図１３は、検査プログラムの削除確認画面の一例を示す図である。図１４は、検査プログラムの行編集画面の一例を示す図である。図１５は、検査プログラムのセル編集画面の一例を示す図である。図１６は、検査プログラムのセル編集画面において、フィルタ機能を実行した状態を示す図である。図１７は、検査プログラムのセル編集画面において、セル編集を行った状態を示す図である。図１８は、検査プログラムの品種マスタ編集画面の一例を示す図である。図１９は、検査プログラムの規格コピー画面の一例を示す図である。
【００３６】
まず、ＰＣ２の電源を投入すると、マザーボード２６のＲＯＭ内のＢＩＯＳ（バイオス）が実行された後、ローダおよびＯＳが順次、ハードディスク装置２５から読み出されて実行され、そして、検査プログラムが実行されることで、図４に示されるログイン画面１００がＬＣＤ２１に表示される。ログイン画面１００には、ユーザ名入力欄１０１と、パスワード入力欄１０２と、「ＯＫ」ボタン１０３と、「キャンセル」ボタン１０４とが表示されている。
【００３７】
操作者は、他の操作者と識別するための識別情報として予め割り当てられているユーザＩＤをユーザ名入力欄１０１に、そのユーザＩＤに対応するパスワードをパスワード入力欄１０２に、キーボード２２により入力して、マウス２３により「ＯＫ」ボタン１０３をクリックすることで、ログインする。このログインは、ハードディスク装置２５内に登録されたユーザＩＤ情報、およびそのユーザＩＤ情報に対応するパスワード情報と、入力されたユーザＩＤおよびパスワードとが一致した場合にのみ許可される。
【００３８】
ハードディスク装置２５内に登録されたユーザＩＤ情報は、権限情報と関連付けられており、権限のレベルが低い権限情報に関連付けられたユーザＩＤ情報の操作者は、操作および機能が制限される。
【００３９】
ログインすると、次に、図５に示すような大分類された機能を選択するメインメニュー画面１１０が表示される。メインメニュー画面１１０には、「機器確認」ボタン１１１と、「検査」ボタン１１２と、「規格編集」ボタン１１３と、「品種マスタ」ボタン１１４と、「規格ＣＯＰＹ」ボタン１１５と、「バージョン情報」ボタン１１６と、「マニュアル表示」ボタン１１７と、「終了」ボタン１１８とが表示されている。操作者は、これらのボタンのうち、一のボタンをマウス２３によりクリックすることで、それぞれのプログラムが呼び出され実行される。つまり、メインメニューは、図６に示すように、階層化された検査プログラムの各機能の最上位に位置している。
【００４０】
例えば、「機器確認」を行いたいときには、「機器確認」ボタン１１１を押下することで、図７に示すような機器確認画面１２０が表示される。機器確認画面１２０には、接続状態表示欄１２１と、リレー状態表示欄１２２と、チェック状態表示欄１２３と、「接続機器チェック」ボタン１２４と、「終了」ボタン１２５とが表示されている。
【００４１】
「機器確認」は、ＰＣ２にテスタ３が通信可能に接続されているか否かを確認する機能を有しており、「接続機器チェック」ボタン１２４をマウス２３にてクリックすることで、半導体装置を検査する前に、ＰＣ２のマザーボード２６とテスタ３とのデータの通信が正常に動作するか否かの確認を行うことができる。操作者は、接続状態表示欄１２１に「接続ＯＫ」と表示されることで、ＰＣ２とテスタ３との接続に問題がないことが確認できる。
【００４２】
また、「機器確認」では、図３に示すリレーＲＬ１〜ＲＬ８の累積動作回数を確認することができる。一般的にリレーは、機械的なスイッチであるため寿命があり、累積動作回数について限界がある。従って、正常に検査を行うためにはリレーＲＬ１〜ＲＬ８の累積動作回数が所定回数を超えていないことを確認する必要がある。機器確認画面１２０では、リレー状態表示欄１２２に表示された累積動作回数と予め設定された寿命回数とを比較して、リレーＲＬ１〜ＲＬ８（図３参照）の累積回数が、寿命回数に至っていないことで、正常であると判断している。全てが正常である場合には、チェック状態表示欄１２３にて「チェック完了ＯＫ」と表示されることで、総合的な機器の正当性を確認することができる。「機器確認」が終了すると、「終了」ボタン１２５をクリックすることで、メインメニューに戻ることができる。
【００４３】
次に、「検査」を行いたい場合には、図５に示すメインメニュー画面１１０にて、「検査」ボタン１１２をクリックする。そうすることで、図８に示すような検査規格選定画面１３０が表示される。検査規格選定画面１３０には、規格名入力欄１３１と、タイプ入力欄１３２と、設定者入力欄１３３と、「フィルタ実行」ボタン１３４と、検査規格表示欄１３５と、「検査」ボタン１３６と、「終了」ボタン１３７とが表示されている。
【００４４】
「検査」は、テスタ３に搭載される半導体装置を検査するために、検査規格を選定して実行する機能を有している。検査規格選定画面１３０では、ログインしたユーザＩＤ情報に関連付けられた権限情報に応じて検査規格表示欄１３５に、ハードディスク装置２５から検査の種類を示す検査規格情報が読み出されてＬＣＤ２１に表形式で表示される。
【００４５】
検査規格情報は、検査規格ナンバー情報、検査規格名情報、タイプコード、入力日情報、メモ情報、品種タイプ情報、設定者情報などが含まれ、それぞれが関連付けられてハードディスク装置２５に格納されている。例えば、検査規格ナンバー情報「０１」は、検査規格名情報「ＰＮ６８９  ２ｎｄ（量産用）」と関連付けられており、型名「ＰＮ６８９」のＰＤＩＣ４の量産出荷時の検査に使用される検査規格であることを示している。
【００４６】
例えば、権限情報が、検査規格の作成および編集が可能なレベルである場合には、全ての検査規格情報が検査規格表示欄１３５に表示される。また、権限情報が、検査規格の作成および編集が制限されているレベルでは、検査規格情報に「量産」のキーワードが含まれている検査規格情報のみが、検査規格表示欄１３５に表示される。
【００４７】
本実施の形態では、図８に示すように、検査規格表示欄１３５として、８種類の検査規格情報が表示されているが、検査規格表示欄１３５に表示しきれないほどの検査規格が蓄積されている場合には、フィルタ機能にて表示される検査規格情報を絞り込むことができる。
【００４８】
フィルタ機能は、規格名入力欄１３１に検査規格名を入力したり、コンボボックスで表示されているタイプ入力欄１３２や設定者入力欄１３３にタイプコードあるいは設定者名（操作者名）を入力または選択したりして、「フィルタ実行」ボタン１３４をクリックすることで、該当する検査規格情報が抽出され検査規格表示欄１３５に表示される。これらは、それぞれ入力するとＡＮＤ条件で検査規格情報が検索され、抽出される。
【００４９】
そして、「検査」を実行する場合には、検査規格表示欄１３５に表示された検査規格を選択して、「検査」ボタン１３６をクリックすることで、選択された検査規格情報に関連付けられた検査条件情報に基づいて検査が開始される。
【００５０】
検査が開始されることで、図９に示すような検査画面１４０が表示されると共に、図３に示すＰＤＩＣ４に対して電源電圧や、その他の電圧が印加される。検査画面１４０では、現在行っている検査名である検査規格名情報を示す検査規格名表示欄１４１と、タイプ表示欄１４２と、入力者表示欄１４３と、入力日表示欄１４４と、メモ表示欄１４５とが表示される。
【００５１】
検査規格の詳細は、ハードディスク装置２５から検査条件情報が読み込まれて、規格一覧表示欄１４６に表形式に表示されることで、操作者は検査している検査規格の内容の詳細を容易に確認することができる。検査条件情報は、検査されるＰＤＩＣ４に印加する電圧の範囲を示す印加電圧上限情報および印加電圧下限情報、測定された電圧値または電流値の許容範囲を示す規格上限値情報および規格下限値情報や、単位情報などである。検査が行われると、測定された電圧または電流の実測値が、実測値情報として測定部３２から通知され、測定値表示欄１４６ａに表示される。
【００５２】
そして、その実測値情報が規格上限値情報および規格下限値情報で示される範囲内である場合には規格が満足していることを示す青色、範囲外である場合には規格外であることを示す赤色を、該当する検査条件情報の背景色として色別表示することで、良否判定を容易に理解することができる。
【００５３】
検査された結果は、検査結果表示１４７の判定結果表示欄１４７ａに表示される。また、操作者は、検査した個数を示す扱数表示欄１４７ｂと、合格した累計数を示すＯＫ数表示欄１４７ｃと、不合格であった累計数を示すＮＧ数表示欄１４７ｄと、歩留まりを示す良品率表示欄１４７ｅとから、統計的な情報を得ることができる。
【００５４】
次に、「規格編集」を行いたい場合には、図５に示すメインメニュー画面１１０にて、「規格編集」ボタン１１３をクリックする。そうすることで、図１０に示すような規格編集画面１５０が表示される。規格編集画面１５０では、検査規格表示欄１５１と、規格内容一覧表示欄１５２とが表示されている。検査規格表示欄１５１には、ハードディスク装置２５に登録されている検査規格情報が表形式で表示される。規格内容一覧表示欄１５２には、検査規格表示欄１５１にて選択されることで反転表示している検査規格の内容である検査条件情報が表示される。
【００５５】
ここで操作者は、「新規作成」ボタン１５３、「登録」ボタン１５４、または「削除」ボタン１５５のいずれかをクリックすることで、「新規作成」、「登録」、または「削除」のいずれかを選択することができる。また、操作者は、「ファイル出力」ボタン１５６、「行編集」ボタン１５７、「Ｃｅｌｌ編集」ボタン１５８、または「終了」ボタン１５９のいずれかをクリックすることで、「ファイル出力」、「行編集」、「Ｃｅｌｌ編集」、または「終了」のいずれかを選択することができる。
【００５６】
「新規登録」が選択されると、図１１に示すような新規作成画面１６０が表示される。新規作成画面１６０では、検査規格ナンバー入力欄１６１と、検査規格名入力欄１６２と、タイプ入力欄１６３と、設定者入力欄１６４と、入力日表示欄１６５と、メモ入力欄１６６とが表示されている。
【００５７】
登録を行う操作者は、検査規格ナンバー入力欄１６１に検査規格ナンバーを、検査規格名入力欄１６２に検査規格名を入力する。また、タイプ入力欄１６３および設定者入力欄１６４には、タイプ入力欄１６３にタイプコードを、設定者入力欄１６４に操作者の名前を、入力するか、またはリストから選択して入力する。メモ入力欄１６６は、必要であれば入力する。入力日表示欄１６５には、マザーボード２６に搭載された図示しないカレンダＬＳＩからの日付が自動的に読み出されて表示されているので、入力を省略することができる。操作者は各入力を行った後に、「新規登録」ボタン１６７をクリックすることで、入力された各情報は、検査規格情報としてそれぞれが関連付けられて、ハードディスク装置２５に登録される。
【００５８】
図１０に示す規格編集画面１５０にて、「登録」ボタン１５４を選択した場合には、図１２に示すような登録画面１７０が表示される。登録画面１７０では、検査規格ナンバー編集欄１７１と、検査規格名編集欄１７２と、タイプ編集欄１７３と、設定者編集欄１７４と、入力日表示欄１７５と、メモ編集欄１７６と、「登録」ボタン１７７とが表示されている。
【００５９】
この登録画面１７０は、規格編集画面１５０の検査規格表示欄１５１にて選択されている検査規格情報の内容を、編集することができる画面である。操作者は、変更したい項目の内容を入力して「登録」ボタン１７７をクリックすることで、変更した検査規格情報をハードディスク装置２５に登録することができる。
【００６０】
図１０に示す規格編集画面１５０にて、「削除」ボタン１５５を選択した場合には、図１３に示すような削除確認画面１８０がポップアップウィンドウとして表示される。この削除確認画面１８０は、図１０に示す規格編集画面１５０の検査規格表示欄１５１にて選択されている検査規格情報の削除の確認を求める画面である。選択された検査規格情報を削除してもよい場合には、「はい」ボタン１８１をクリックすることでハードディスク装置２５から選択された検査規格情報が削除される。
【００６１】
図１０に示す規格編集画面１５０にて、「ファイル出力」ボタン１５６を選択した場合には、規格編集画面１５０の検査規格表示欄１５１にて選択されている検査規格情報を、この検査規格情報と関連付けられている検査条件情報と共に、一つのファイルとして、光ディスク装置２４、ハードディスク装置２５、フレキシブルディスク装置や、ＬＡＮを介して他のコンピュータへ保存することができる。
【００６２】
本実施の形態では、保存されるファイルの形式をＣＳＶ（Comma Separated Values）形式としているので、表計算ソフトや他のプログラムなどで読み込むことで、内容の確認や印刷が容易である。保存されるファイルの形式は、ＣＳＶ形式とする以外に、ＸＭＬ（Extensible Markup Language）形式とすることも可能である。
【００６３】
規格編集画面１５０にて、「行編集」ボタン１５７を選択した場合には、規格編集画面１５０の検査規格表示欄１５１にて選択されている検査規格情報に関連付けられていた検査条件情報がハードディスク装置２５から読み込まれ、図１４に示すような行編集画面１９０が表示される。行編集画面１９０では、検査規格名表示欄１９１と、検査条件一覧表示欄１９２と、行操作ボタン１９３として、「空行挿入」ボタン１９３ａ、「行ＣＯＰＹ」ボタン１９３ｂ、「行貼付」ボタン１９３ｃおよび「行削除」ボタン１９３ｄと、「終了」ボタン１９４とが表示されている。
【００６４】
操作者は、マウス２３により所望とする行操作ボタン１９３をクリックすることで、簡単に検査条件一覧表示欄１９２に表示されている検査条件情報を編集することができる。例えば、検査条件情報を追加したい場合には、まず、追加したい位置を空ける必要があるので、追加したい位置の下の行を選択して、「空行挿入」ボタン１９３ａをクリックすることで、空行を一行挿入することができる。そして、追加したい検査条件情報と似通った検査条件情報を行単位で選択して、「行ＣＯＰＹ」ボタン１９３ｂをクリックすることで、選択された検査条件情報が一時的にＲＡＭ２６ｃ上またはハードディスク装置２５上に保管される。そして、挿入された空行を選択して、「行貼付」ボタン１９３ｃをクリックすることで、一時的に保管された検査条件情報がその空行に貼り付けることができる。つまり、検査条件情報を複写したことで、一項目追加したことになる。また、検査条件情報を削除したい場合には、該当する検査条件情報を行単位で選択して、「行削除」ボタン１９３ｄをクリックすることで、該当する検査条件情報が削除される。本実施の形態では、「行貼付」ボタン１９３ｃは、一時的に保管された検査条件情報を、選択された行に上書きすることで貼り付けているが、選択された行とその上の行との間に、空行を挿入して後に一時的に保管された検査条件情報を貼り付ける「行挿入」としてもよい。
【００６５】
このように行編集画面１９０では、表形式に表示された表示検査条件情報を行単位で編集することができるので、順次実行される検査内容を、素早く追加したり削除したり編集することができる。
【００６６】
図１０に示す規格編集画面１５０にて、「Ｃｅｌｌ編集」ボタン１５８を選択した場合には、規格編集画面１５０の検査規格表示欄１５１にて選択されている検査規格情報に関連付けられていた検査条件情報がハードディスク装置２５から読み込まれ、図１５に示すようなセル編集画面２００が表示される。セル編集画面２００では、検査規格名表示欄２０１と、フィルタ条件入力欄２０２と、「フィルタ実行」ボタン２０３と、検査条件一覧表示欄２０４と、セル操作ボタン２０５として、「データ修正」ボタン２０５ａ、「修正破棄」ボタン２０５ｂおよび「データベースへ保存」ボタン２０５ｃと、「終了」ボタン２０６とが表示されている。
【００６７】
操作者は、検査条件一覧表示欄２０４に表示されている検査条件情報をセル単位で選択して編集を行うが、検査条件情報の全部の検査条件が表示されると、列方向（横方向）へのスクロールが必要となり、編集作業が繁雑である。そこで、検査条件一覧表示欄２０４に表示されている検査条件のうち、予め編集したい検査条件がわかっている場合には、コンボボックスで表示されたフィルタ条件入力欄２０２から検査条件を選択して、「フィルタ実行」ボタン２０３をクリックすることで、該当する検査条件のみを表示させることができる。例えば、フィルタ条件入力欄２０２に「測定上下限」と設定して、「フィルタ実行」ボタン２０３をクリックすることで、検査条件一覧表示欄２０４では、図１６に示すように、検査条件情報の規格上限値情報および規格下限値情報と、単位情報を残し、その右側が非表示となった状態で表示されるので、編集したい箇所が容易に発見することができる。
【００６８】
操作者は、検査条件一覧表示欄２０４に表示されている検査条件情報を、セル操作ボタン２０５を操作して各セルを編集する。例えば、操作者が、検査条件情報が表形式に表示されている検査条件一覧表示欄２０４を見て、検査条件情報を変更したいと思った場合には、まず、「データ修正」ボタン２０５ａをクリックすることで、検査プログラムはセル編集モードに移行する。
【００６９】
セル編集モードでは、図１７に示すように、分類行２０４ａおよびナンバー行２０４ｂの背景色が灰色に変わり、編集不可能なセルが識別可能な状態となることで、操作者に、編集可能なセルと編集が不可能なセルとを、容易に把握させることができる。
【００７０】
操作者が、編集したいセルの位置で、マウス２３によりダブルクリックすることで、そのセルは入力可能な状態となる。例えば、図１７に示すように、ナンバー１４における検査条件情報で、規格上限値情報２０４ｃに「４１」を入力し、ナンバー３０における検査条件情報で、規格上限値情報２０４ｃに「３９」を入力するなど、新たな数値を入力した場合には、背景色が青色に変わる。そうすることで、変更した検査条件情報のセル位置を一目で把握することができる。
【００７１】
この変更は、画面上で変更されただけで、「データベースへ保存」ボタン２０５ｃがクリックされない限り、ハードディスク装置２５へ保存はされない。従って、数多くセルを変更してしまい元の状態がわからなくなってしまったときには、「修正破棄」ボタン２０５ｂをクリックすることで、変更されたセルの内容は破棄され、再度、ハードディスク装置２５から検査条件情報が読み込まれ、検査条件一覧表示欄２０４に表示されることで、最初からセル操作を行うことができる。
【００７２】
このように、操作者が、表形式で表示された検査条件情報を見ながら、キーボード２２やマウス２３によって選択して編集することができるので、所望とする検査条件情報に容易に変更することができる。また、変更したセルの背景色が変更となることで、操作者は変更した箇所を容易に把握できる。
【００７３】
次に、図５に示すメインメニュー画面１１０にて、「品種マスタ」ボタン１１４をクリックすると、図１８に示すような品種マスタ編集画面２１０が表示される。この品種マスタ編集画面２１０は、ハードディスク装置２５から検査規格情報が読み出されて表示されるもので、検査規格一覧編集欄２１１と、「データ修正」ボタン２１２と、「保存」ボタン２１３と、「終了」ボタン２１４とが表示されている。
【００７４】
品種マスタ編集画面２１０では、検査規格一覧編集欄２１１にて選択されている検査規格情報の内容を、編集することができる画面である。操作者は、編集する際には、まず、「データ修正」ボタン２１２をクリックすることで、検査プログラムを検査規格編集モードに移行させる。次に、操作者は、変更したいセルをダブルクリックする。そうすることで、そのセルは入力可能な状態となる。そして、操作者は、ナンバーの変更、規格名（分類）の変更、または日付の変更をした後に、「保存」ボタン２１３をクリックすることで、変更された検査規格情報が、ハードディスク装置２５に格納される。
【００７５】
次に、図５に示すメインメニュー画面１１０にて、「規格ＣＯＰＹ」ボタン１１５をクリックすると、図１９に示すような規格コピー画面２２０が表示される。この規格コピー画面２２０は、コピー元検査規格一覧表示欄２２１と、コピー元検査条件一覧表示欄２２２と、コピー先検査規格一覧表示欄２２３と、コピー操作ボタン２２４とが表示されている。
【００７６】
コピー操作ボタン２２４は、ハードディスク装置２５内でコピーを行うデータベースコピーボタン２２４ｘと、フレキシブルディスク、光ディスクまたはＬＡＮを介して接続された他のコンピュータからコピーを行うファイルコピーボタン２２４ｙとが表示されている。
【００７７】
データベースコピーボタン２２４ｘには、「ＣＯＰＹ元データベースセット」ボタン２２４ｘａと、「ＣＯＰＹ先セット」ボタン２２４ｘｂと、「データベースからのＣＯＰＹ実行」２２４ｘｃとが設けられている。また、ファイルコピーボタン２２４ｙには、「ＣＯＰＹ元ファイルデータセット」ボタン２２４ｙａと、「ＣＯＰＹ先セット」ボタン２２４ｙｂと、「ファイルからのＣＯＰＹ実行」２２４ｙｃとが設けられている。
【００７８】
この規格コピー画面２２０では、コピー元の検査規格情報を、コピー先の検査規格情報に上書きコピーすることで、その検査規格情報に関連付けられた検査条件情報をコピーすることができる。同じような検査規格を有する半導体装置を検査するためには、規格上限値情報および規格下限値情報などの検査条件情報を作成しておく必要があるが、同様な半導体装置が予め登録されているときには、その半導体装置を検査するための検査条件情報を複写して、異なる検査条件情報のみを編集することで、作成に要する時間を短縮することができる。以下に、その手順を示す。
【００７９】
まず、予めコピー先となる検査規格情報を、図１１に示す新規作成画面１６０を操作して作成しておく。次に、図１９に示す規格コピー画面２２０のコピー元検査規格一覧表示欄２２１の中からコピー元の検査規格情報を選択して、「ＣＯＰＹ元データベースセット」ボタン２２４ｘａをクリックする。コピー元の検査規格情報を選択すると、コピー元検査条件一覧表示欄２２２には、選択された検査規格情報に関連付けられた検査条件情報が表形式に表示される。操作者は、コピー元検査規格一覧表示欄２２１とコピー元検査条件一覧表示欄２２２とに表示された内容を確認して問題がなければ、予め新規作成画面１６０（図１１参照）にて新規に作成しておいた検査規格情報を、コピー先検査規格一覧表示欄２２３の中から選択して、「ＣＯＰＹ先セット」ボタン２２４ｘｂをクリックする。コピー元およびコピー先を選択すると、「データベースからのＣＯＰＹ実行」２２４ｘｃをクリックする。そうすることで、コピー元検査規格一覧表示欄２２１にて選択された検査規格情報と、この検査規格情報に関連付けられた検査条件情報とを、コピー先に上書きコピーする。このようにしてハードディスク装置２５に格納された検査規格情報と、検査条件情報とを、ハードディスク装置２５内に、コピーすることができる。
【００８０】
また、コピー元となる検査規格情報と検査条件情報とをハードディスク装置２５内へコピーすることも可能である。例えば、フレキシブルディスク内に検査規格情報と検査条件情報とがＣＳＶ形式で格納されている場合には、「ＣＯＰＹ元ファイルデータセット」ボタン２２４ｙａをクリックして、ドライブおよびファイルを指定する。このファイルの指定によりファイル内に格納された検査条件情報が読み込まれ、表形式にコピー元検査条件一覧表示欄２２２に表示される。操作者は、コピー元検査規格一覧表示欄２２１とコピー元検査条件一覧表示欄２２２とに表示された内容を確認して問題がなければ、予め新規作成画面１６０（図１１参照）にて新規に作成しておいた検査規格情報を、コピー先検査規格一覧表示欄２２３の中から選択して、「ＣＯＰＹ先セット」ボタン２２４ｙｂをクリックする。コピー元およびコピー先を選択すると、「ファイルからのＣＯＰＹ実行」２２４ｙｃをクリックする。そうすることで、コピー元検査規格一覧表示欄２２１にて選択された検査規格情報と、この検査規格情報に関連付けられた検査条件情報とを、コピー先に上書きコピーする。このようにしてフレキシブルディスクに格納された検査規格情報と、検査条件情報とを、ハードディスク装置２５内に、コピーすることができる。本実施の形態では、フレキシブルディスク内の検査規格情報および検査条件情報のコピーを説明したが、ファイルとして読み込めることができれば、光ディスクからでも、ＵＳＢメモリからでも、他のコンピュータからでもコピー元として指定することが可能である。
【００８１】
図５に示すメインメニュー画面１１０にて、「バージョン情報」ボタン１１６をクリックすると、検査プログラムのバージョン情報画面が、ポップアップウィンドウで表示される。また、「マニュアル表示」ボタン１１７をクリックすると、ハードディスク装置２５に格納されたマニュアルがマニュアル表示画面にて表示される。そして、「終了」ボタン１１８をクリックすることで、この検査プログラムを終了させることができる。
【００８２】
このように、操作者が、ＬＣＤ２１に表形式で表示された検査条件情報を見ながら、キーボード２２やマウス２３により検査条件情報を選択して変更することができるので、所望とする検査条件情報に容易に編集することができる。
【００８３】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではない、本実施の形態では、電子部品として、半導体装置の一種であるＰＤＩＣを例に説明したが、抵抗、コンデンサ、コイルなどの受動素子や、ロジックＩＣ、オペアンプ、トランジスタなどの受動素子や、スイッチ、リレーなど機械的な電子部品などでも、検査として電気的特性を測定する検査装置であれば本発明を適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明は、検査内容の編集が容易に行えることで、電子部品の多品種少量生産化に対応することが可能なので、電子部品に電源や信号を付与し、電圧や電流を測定することで、規格の適合を検査する電子部品の検査装置に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の実施の形態に係る検査装置を示す図
【図２】図１に示す検査装置の構成を示すブロック図
【図３】半導体装置がセットされる測定部の測定回路を示す概略回路図
【図４】検査プログラムのログイン画面の一例を示す図
【図５】検査プログラムのメインメニュー画面の一例を示す図
【図６】検査プログラムの各機能を示す図
【図７】検査プログラムの機器確認画面の一例を示す図
【図８】検査プログラムの検査規格選定画面の一例を示す図
【図９】検査プログラムの検査画面の一例を示す図
【図１０】検査プログラムの規格編集画面の一例を示す図
【図１１】検査プログラムの新規登録画面の一例を示す図
【図１２】検査プログラムの登録画面の一例を示す図
【図１３】検査プログラムの削除確認画面の一例を示す図
【図１４】検査プログラムの行編集画面の一例を示す図
【図１５】検査プログラムのセル編集画面の一例を示す図
【図１６】検査プログラムのセル編集画面において、フィルタ機能を実行した状態を示す図
【図１７】検査プログラムのセル編集画面において、セル編集を行った状態を示す図
【図１８】検査プログラムの品種マスタ編集画面の一例を示す図
【図１９】検査プログラムの規格コピー画面の一例を示す図
【符号の説明】
【００８６】
１  検査装置
２  パーソナルコンピュータ（ＰＣ）
３  テスタ
４  ＰＤＩＣ
２１  液晶表示装置（ＬＣＤ）
２２  キーボード
２３  マウス
２４  光ディスク装置
２５  ハードディスク装置
２６  マザーボード
２６ａ  ＣＰＵ
２６ｂ  ＲＯＭ
２６ｃ  ＲＡＭ
２６ｄ  周辺回路
３１  インタフェースカード
３２  測定部
３３  接続ケーブル
１００  ログイン画面
１０１  ユーザ名入力欄
１０２  パスワード入力欄
１０３  「ＯＫ」ボタン
１０４  「キャンセル」ボタン
１１０  メインメニュー画面
１１１  「機器確認」ボタン
１１２  「検査」ボタン
１１３  「規格編集」ボタン
１１４  「品種マスタ」ボタン
１１５  「規格ＣＯＰＹ」ボタン
１１６  「バージョン情報」ボタン
１１７  「マニュアル表示」ボタン
１１８  「終了」ボタン
１２０  機器確認画面
１２１  接続状態表示欄
１２２  リレー状態表示欄
１２３  チェック状態表示欄
１２４  「接続機器チェック」ボタン
１２５  「終了」ボタン
１３０  検査規格選定画面
１３１  規格名入力欄
１３２  タイプ入力欄
１３３  設定者入力欄
１３４  「フィルタ実行」ボタン
１３５  検査規格表示欄
１３６  「検査」ボタン
１３７  「終了」ボタン
１４０  検査画面
１４１  検査規格名表示欄
１４２  タイプ表示欄
１４３  入力者表示欄
１４４  入力日表示欄
１４５  メモ表示欄
１４６  規格一覧表示欄
１４６ａ  測定値表示欄
１４７  検査結果表示
１４７ａ  判定結果表示欄
１５０  規格編集画面
１５１  検査規格表示欄
１５２  規格内容一覧表示欄
１５３  「新規作成」ボタン
１５４  「登録」ボタン
１５５  「削除」ボタン
１５６  「ファイル出力」ボタン
１５７  「行編集」ボタン
１５８  「Ｃｅｌｌ編集」ボタン
１５９  「終了」ボタン
１６０  新規作成画面
１６１  検査規格ナンバー入力欄
１６２  検査規格名入力欄
１６３  タイプ入力欄
１６４  設定者入力欄
１６５  入力日表示欄
１６６  メモ入力欄
１６７  「新規登録」ボタン
１７０  登録画面
１７１  検査規格ナンバー編集欄
１７２  検査規格名編集欄
１７３  タイプ編集欄
１７４  設定者編集欄
１７５  入力日表示欄
１７６  メモ編集欄
１７７  「登録」ボタン
１８０  削除確認画面
１８１  「はい」ボタン
１９０  行編集画面
１９１  検査規格名表示欄
１９２  検査条件一覧表示欄
１９３  行操作ボタン
１９３ａ  「空行挿入」ボタン
１９３ｂ  「行ＣＯＰＹ」ボタン
１９３ｃ  「行貼付」ボタン
１９３ｄ  「行削除」ボタン
１９４  「終了」ボタン
２００  セル編集画面
２０１  検査規格名表示欄
２０２  フィルタ条件入力欄
２０３  「フィルタ実行」ボタン
２０４  検査条件一覧表示欄
２０４ａ  分類行
２０４ｂ  ナンバー行
２０５  セル操作ボタン
２０５ａ  「データ修正」ボタン
２０５ｂ  「修正破棄」ボタン
２０５ｃ  「データベースへ保存」ボタン
２０６  「終了」ボタン
２１０  品種マスタ編集画面
２１１  検査規格一覧編集欄
２１２  「データ修正」ボタン
２１３  「保存」ボタン
２１４  「終了」ボタン
２２０  規格コピー画面
２２１  コピー元検査規格一覧表示欄
２２２  コピー元検査条件一覧表示欄
２２３  コピー先検査規格一覧表示欄
２２４  コピー操作ボタン
２２４ｘ  データベースコピーボタン
２２４ｘａ  「ＣＯＰＹ元データベースセット」ボタン
２２４ｘｂ  「ＣＯＰＹ先セット」ボタン
２２４ｘｃ  「データベースからのＣＯＰＹ実行」
２２４ｙ  ファイルコピーボタン
２２４ｙａ  「ＣＯＰＹ元ファイルデータセット」ボタン
２２４ｙｂ  「ＣＯＰＹ先セット」ボタン
２２４ｙｃ  「ファイルからのＣＯＰＹ実行」
３２０  測定回路
３２１  接点ユニット
Ｃ１〜Ｃ１０  コンデンサ
Ｒ１〜Ｒ１０  抵抗
ＲＬ１〜ＲＬ８  リレー
【図１】
2009174977.tif 000003
【図２】
2009174977.tif 000004
【図３】
2009174977.tif 000005
【図４】
2009174977.tif 000006
【図５】
2009174977.tif 000007
【図６】
2009174977.tif 000008
【図７】
2009174977.tif 000009
【図８】
2009174977.tif 000010
【図９】
2009174977.tif 000011
【図１０】
2009174977.tif 000012
【図１１】
2009174977.tif 000013
【図１２】
2009174977.tif 000014
【図１３】
2009174977.tif 000015
【図１４】
2009174977.tif 000016
【図１５】
2009174977.tif 000017
【図１６】
2009174977.tif 000018
【図１７】
2009174977.tif 000019
【図１８】
2009174977.tif 000020
【図１９】
2009174977.tif 000021