(57)【要約】【課題】共通流路には純水が通液されるため、ここに存在していた油性主溶媒と通液される純水とが混ざることになる。この２つの洗浄液は親和性に乏しく、油性主溶媒がゲル状に固化してしまいヘッドの洗浄ができなくなってしまう虞がある。【解決手段】洗浄対象となるヘッド２０の洗浄後、共通流路７７に残留する洗浄液を、ヘッド２０内の液状体流路に最後に通液した洗浄液Ｄから、液状体流路に最初に通液した洗浄液Ａに置換する置換手段を備えた。この構成によれば、洗浄対象となるヘッド２０を洗浄するとき、共通流路７７において、最初に通液する洗浄液Ａと最後に通液する洗浄液Ｄとが混ざることがない。従って、性質の異なる洗浄液の混合による凝集や固化が生じないので、ヘッド２０を安定して洗浄することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドに形成された流入口からノズルまでの液状体流路に、性質の異なる複数の洗浄液を、前記流入口に連結する共通流路を経由して所定の順序で通液することによって、前記液状体流路を洗浄するヘッド洗浄装置であって、
洗浄対象となる前記ヘッドの洗浄後、前記共通流路に残留する洗浄液を、前記液状体流路に最後に通液した前記洗浄液から、前記液状体流路に最初に通液した前記洗浄液に置換する置換手段を備えたことを特徴とするヘッド洗浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッド洗浄装置であって、
前記共通流路と連結可能な流入口と前記液状体を吐出するノズルとを有する非洗浄対象のヘッドを備え、
前記置換手段は、前記非洗浄対象のヘッドに対して、前記共通流路を経由して前記洗浄液を通液することによって、前記共通流路に残留する洗浄液を、前記液状体流路に最後に通液した前記洗浄液から、前記液状体流路に最初に通液した前記洗浄液に置換する手段であることを特徴とするヘッド洗浄装置。
【請求項３】
請求項２に記載のヘッド洗浄装置であって、
前記置換手段は、前記非洗浄対象のヘッドに対して前記洗浄液を通液するとき、前記所定の順序とは逆の順序で通液する手段であることを特徴とするヘッド洗浄装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載のヘッド洗浄装置であって、
前記非洗浄対象のヘッドに形成された前記ノズルは、その流路抵抗が前記洗浄対象となるヘッドに形成された前記ノズルよりも低いことを特徴とするヘッド洗浄装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載のヘッド洗浄装置であって、
前記最初に通液した洗浄液は水もしくは水溶性の溶媒液であり、前記最後に通液した洗浄液は油もしくは油性の溶媒液であることを特徴とするヘッド洗浄装置。
【請求項６】
ヘッドに形成された流入口からノズルまでの液状体流路に、性質の異なる複数の洗浄液を、前記流入口に連結する共通流路を経由して所定の順序で通液することによって、前記液状体流路を洗浄するヘッド洗浄方法であって、
洗浄対象となる前記ヘッドの洗浄後、前記共通流路に残留する洗浄液を、前記液状体流路に最後に通液した前記洗浄液から、前記液状体流路に最初に通液した前記洗浄液に置換する置換工程を備えたことを特徴とするヘッド洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド洗浄装置およびヘッド洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、機能性材料を含む液状体を、その流入口とノズルとを有したヘッドを備えた液状体吐出装置を用いて吐出対象物となる基板などに吐出し、吐出された液状体を固化して薄膜を形成する方法が提案されている。形成する薄膜の代表的な例としては、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬパネルの発光層、金属配線などが挙げられる。
【０００３】
用いられる液状体吐出装置では、形成される薄膜の品質を保つために、予め定められた量の液状体が、ノズルから確実に吐出対象物に吐出されることが要求される。そうでないと、例えば吐出された液状体によって形成される薄膜の厚さにバラツキが生じ、その結果特性バラツキが生じて均質な薄膜形成が阻害されてしまうことになるからである。
【０００４】
ところで、ノズルは通常微小径であるため、流入口より流入した液状体は、時間の経過に伴いノズルに目詰まりを発生させる虞がある。また、ヘッド内部に形成された流入口からノズルまでの液状体流路に保存液を充填してヘッドを保存する場合、保存液中の不純物が析出して液状体流路に目詰まりを発生させることがある。このため、ノズルから液状体が吐出対象物に確実に吐出されない場合がある。
【０００５】
そこで、ヘッドの目詰まりを防止するために、例えば特許文献１には、ヘッド（吐出ヘッド）の洗浄装置が提案されている。この洗浄装置は、複数種類の洗浄液を、供給パイプを介して１種類ずつ順次ヘッド内の液状体流路に通液することによって、ヘッドの洗浄を行うものである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１８２０９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された洗浄装置の技術を用いてヘッドを洗浄すると、１つのヘッドについて洗浄処理が終了した後、次のヘッドを洗浄処理する場合、１つのヘッドの洗浄処理において最後に通液した洗浄液と、次のヘッドの洗浄処理において最初に通液する洗浄液とは異なる種類になる。このとき、ヘッドの流入口に配管された供給パイプは、原理的に複数種類の洗浄液が流れる共通流路となることから、この供給パイプに異なる種類の洗浄液が混在することになる。このとき、例えば、特許文献１に開示されているように、最後に通液する洗浄液が油性溶剤であって最初に通液する洗浄液が純水である場合、供給パイプ内において残留していた油性溶剤が純水によってゲル状に固化する現象が生ずる。その後、固化した溶剤が流入口からヘッド内に流入すると、ヘッド内の液状体流路やノズルに詰まりを生じてしまうという課題が生ずる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するために行われたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］ヘッドに形成された流入口からノズルまでの液状体流路に、性質の異なる複数の洗浄液を、前記流入口に連結する共通流路を経由して所定の順序で通液することによって、前記液状体流路を洗浄するヘッド洗浄装置であって、洗浄対象となる前記ヘッドの洗浄後、前記共通流路に残留する洗浄液を、前記液状体流路に最後に通液した前記洗浄液から、前記液状体流路に最初に通液した前記洗浄液に置換する置換手段を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、洗浄対象となるヘッドを洗浄するとき、共通流路において、最初に通液する洗浄液と最後に通液する洗浄液とが混ざることがない。従って、性質の異なる洗浄液の混合による凝集や固化が生じないので、ヘッドを安定して洗浄することができる。
【００１１】
［適用例２］上記ヘッド洗浄装置であって、前記共通流路と連結可能な流入口と前記液状体を吐出するノズルとを有する非洗浄対象のヘッドを備え、前記置換手段は、前記非洗浄対象のヘッドに対して、前記共通流路を経由して前記洗浄液を通液することによって、前記共通流路に残留する洗浄液を、前記液状体流路に最後に通液した前記洗浄液から、前記液状体流路に最初に通液した前記洗浄液に置換する手段であることを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、非洗浄対象のヘッドを用いて洗浄液を通液するので、洗浄対象となるヘッドに洗浄液を通液する場合と同様に、共通流路を経由して洗浄液を流すことができる。従って、共通流路に残存する洗浄液を、最初に通液する洗浄液に容易に置換することができる。この結果、性質の異なる洗浄液の混合による凝集や固化が生じないので、ヘッドを安定して洗浄することができる。
【００１３】
［適用例３］上記ヘッド洗浄装置であって、前記置換手段は、前記非洗浄対象のヘッドに対して前記洗浄液を通液するとき、前記所定の順序とは逆の順序で通液する手段であることを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、洗浄対象となるヘッドを洗浄するときと逆の順序で洗浄液を通液するので、共通流路において、性質の異なる洗浄液の混合による凝集や固化が生じることなく、最後に通液した洗浄液から最初に通液した洗浄液に置換することができる。従って、ヘッドを安定して洗浄することができる。
【００１５】
［適用例４］上記ヘッド洗浄装置であって、前記非洗浄対象のヘッドに形成された前記ノズルは、その流路抵抗が前記洗浄対象となるヘッドに形成された前記ノズルよりも低いことを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、共通流路を流れる洗浄液の流速が増加することが期待できるので、共通流路において、最後に通液した洗浄液から最初に通液した洗浄液に早く置換することができる。この結果、１つのヘッドの洗浄終了から、次のヘッドの洗浄開始までの時間を短縮することができる。
【００１７】
［適用例５］上記ヘッド洗浄装置であって、前記最初に通液した洗浄液は水もしくは水溶性の溶媒液であり、前記最後に通液した洗浄液は油もしくは油性の溶媒液であることを特徴とする。
【００１８】
この装置によれば、例えばヘッドに最初に充填された液状体が水溶性の液体であって、実際に使用する液状体が油性の液体であった場合、このような洗浄液を用いることによってヘッドを適切に洗浄できる。
【００１９】
［適用例６］ヘッドに形成された流入口からノズルまでの液状体流路に、性質の異なる複数の洗浄液を、前記流入口に連結する共通流路を経由して所定の順序で通液することによって、前記液状体流路を洗浄するヘッド洗浄方法であって、洗浄対象となる前記ヘッドの洗浄後、前記共通流路に残留する洗浄液を、前記液状体流路に最後に通液した前記洗浄液から、前記液状体流路に最初に通液した前記洗浄液に置換する置換工程を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この方法によれば、洗浄対象となるヘッドを洗浄するとき、共通流路において、最初に通液する洗浄液と最後に通液する洗浄液とが混ざることがない。従って、性質の異なる洗浄液の混合による凝集や固化が生じないので、ヘッドを安定して洗浄することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に、本発明を具体化したヘッド洗浄装置について、一実施形態を挙げて説明するが、その前に、本実施形態のヘッド洗浄装置の洗浄対象となるヘッドについて、図１および図２を用いて説明する。図１は、洗浄対象となるヘッドを備えた液状体吐出装置の概要を示す模式図であり、図２は、ヘッドの概略構成を示す模式図である。
【００２２】
図１に示すように、液状体吐出装置は、直線的に設けられた一対のガイドレール１０１と、このガイドレール１０１に沿って移動する移動台１０２を両側に設けたキャリッジ１００が備えられている。さらにキャリッジ１００には、所定の機能液を含む液状体を流入口２５から導入し、底面（図面下側）となるノズル面に設けられたノズルから、吐出対象物としての基板Ｋに液状体を吐出して、所定の文字、図柄、画像等を描画するヘッド２０が取り付けられている。
【００２３】
キャリッジ１００は、ガイドレール１０１と移動台１０２との間で形成されるエアスライダとリニアモータ（図示せず）により１つの直線軸方向（Ｘ軸方向とする）に移動する。一方、基板Ｋは、図示しない移動手段によって、Ｘ軸方向とほぼ直交するＹ軸方向に移動するように構成されている。
【００２４】
移動台１０２のＸ軸方向の移動つまりキャリッジ１００のＸ軸方向の移動制御、基板ＫのＹ軸方向の移動制御、およびヘッド２０に形成された吐出機構の駆動制御つまり液状体の吐出制御は、コンピュータ機能を有する図示しないコントロール装置によって行われる。こうして基板Ｋに、所定の文字、図柄、画像等が描画される。
【００２５】
次に、洗浄対象となるヘッド２０について、図２を用いて説明する。図２は、ヘッド２０を、図１においてキャリッジの基板Ｋと対向する側（図面下側）から見た状態で模式的に示した斜視図である。
【００２６】
図示するように、ヘッド２０には、ノズルがほぼ直線状に複数個並んだノズル列が２列設けられ、その配列方向はＸ軸方向と一致している。なお、ノズル列は２列に限らず１列や３列以上設けられていてもよいし、配列方向もＸ軸方向に対して傾いているなど、必ずしもＸ軸方向と一致しなくても差し支えない。
【００２７】
設けられた各ノズル列において、前述したようにノズル毎に吐出機構がヘッド２０内にそれぞれ形成され、この吐出機構が液状体に圧力を発生させて所定量の液状体をノズルから吐出するように構成されている。もとより、吐出機構は、総てのノズルについて同様な構造を有している。
【００２８】
吐出機構は、図２の吹出し部に示した構造を有し、圧電素子２を駆動体（アクチュエータ）とするものである。すなわち、圧電素子２は、その両端の電極ＣＯＭとＧＮＤとの間に所定の電圧波形が印加されると、電歪性によって収縮あるいは伸長変形し、振動板３を矢印方向に撓ませて流路途中に形成された加圧室４に存在する液状体を加圧する。この結果、加圧された液状体は、ヘッド２０の底面部材８の外表面（これをノズル面と称す）に微小な開口５を有するように設けられたノズルから、液滴９として吐出されるのである。なお、吐出機構は、例えば、駆動体として加熱素子を用いた所謂サーマル方式などを採用することもできる。
【００２９】
吐出される液状体は、これを収容した容器７０から、流入口２５と着脱可能なコネクタ（例えば、カプラ（登録商標））７５によって接続された供給パイプ７１を通して、ヘッド２０内に導入される。そしてヘッド２０内に形成された流入口２５からノズルまでの液状体の図示しない液状体流路において、その途中に設けられた加圧室４に到達し、圧電素子２によって加圧されてノズルから吐出する。なお、容器７０は、キャリッジ１００に搭載されずに別の場所に設けられている。もとより、キャリッジ１００に搭載されて設けられる場合もある。
【００３０】
ところで、ノズルは、その開口５の面積が小さいため、液状体に含まれる溶媒成分の蒸発に起因する液状体粘度の上昇や、液状体の固化、塵埃の付着、さらには気泡の混入などによりノズル開口に目詰まりを発生し、吐出不良を起こすという問題を抱えている。また、キャリッジ１００から取り外して保存したり、交換用のために保存したりする場合は、ヘッド２０内に形成された流入口２５からノズルに至るまでの液状体流路に保存液を充填するが、この充填された保存液中の不純物が析出して目詰まりの原因となることもある。そこで、洗浄装置によって、ヘッド２０をクリーニングし、ヘッド２０内に形成された液状体流路を洗浄するのである。
【００３１】
また、保存されていたヘッド２０を液状体吐出装置にて使用する場合は、ヘッド２０内の液状体流路に充填されている保存液を、使用する液状体若しくは液状体の溶媒に置換する必要があるが、洗浄装置はこの置換処理を含めて液状体流路の洗浄を行う。なお、保存液としては、粘度上昇や固化を抑制するため、水溶性の液体が用いられ、液状体としては、吐出対象物上での定着安定化のため、油性の液体が用いられる場合が多い。従って、洗浄装置は、ヘッド２０内の液状体流路に充填されている水溶性液体を油若しくは油性の溶媒液に置換することが好ましく、本実施形態では、一例として水溶性液体を液状体に含まれる油性主溶媒に置換する。
【００３２】
それでは、洗浄装置について図３を参照して説明する。図３は、本実施形態の洗浄装置１０の構成要素を示した模式図であり、洗浄対象となるヘッド２０がセットされた状態を示している。もとより洗浄装置１０の各構成要素は、上述した特許文献１などに開示されたように、必要に応じてキャビネットにケーシングされたり、支持部材によって固定されたりしている。また、各々の構成要素も機能説明に必要な範囲で図示しており、実際にはさらに部材が追加されたり、形状が異なったりすることは勿論である。
【００３３】
洗浄装置１０は、ヘッド２０の流入口２５より上流側において、種類の異なる洗浄液Ａ、洗浄液Ｂ、洗浄液Ｃ、洗浄液Ｄをそれぞれ収容した４つの容器３０、容器４０、容器５０、容器６０と、３つの三方弁Ｖ１、三方弁Ｖ２、三方弁Ｖ３とを有している。三方弁Ｖ１は、制御信号ＣＳ１によって作動し、配管７８を、容器３０に接続された配管３５または容器４０に接続された配管４５のいずれかと連通させる。三方弁Ｖ３は、制御信号ＣＳ３によって作動し、配管７９を、容器５０に接続された配管５５または容器６０に接続された配管６５のいずれかと連通させる。そして、三方弁Ｖ２は、制御信号ＣＳ２によって作動し、配管７７を、配管７８または配管７９のいずれかと連通させる。
【００３４】
なお、ここでは各三方弁Ｖ１〜Ｖ３は電磁弁であり、所定の電気信号からなる制御信号ＣＳ１〜ＣＳ３によってそれぞれ作動する。もとより、圧縮空気などエアーによって作動するエアー開閉弁を採用することも可能である。
【００３５】
配管７７は、ヘッド２０の流入口２５に装着されたコネクタ７５によってヘッド２０内の流路と連通する。従って、ヘッド２０の流入口２５と連通する配管７７は、総ての洗浄液Ａ〜Ｄが流れる共通流路となる。そこで、以降、配管７７を共通流路７７と呼称する。このように、複数種類の洗浄液を、流入口２５に流入させるためには、原理的に１つの共通流路７７が必要となる。なお、共通流路７７は、洗浄装置１０における各容器３０〜６０の配置位置と洗浄対象となるヘッド２０の設置位置に依存して、その配管長さが決定される。
【００３６】
一方、ヘッド２０のノズルより下流側において、ノズル面に当接する接触部８１とこの接触部８１を保持するキャップ枠８２とからなるキャップ部８０を有している。接触部８１は弾性変形する材料で形成され、図示するように、キャップ枠８２の上面よりヘッド２０の方向に突出するようにキャップ枠８２に取り付けられている。キャップ枠８２は、図示しないバネなどによってノズル面方向に押し上げられ、ヘッド２０の洗浄処理において所定の圧力にて接触部８１がノズル面と当接するようになっている。この結果、キャップ部８０は内部に空間を形成してノズル面を封止状態で覆うことになる。なお、形成される空間には、キャップ枠８２の上面側に、必要に応じて液状体を吸収する吸収材が設置される場合もある。
【００３７】
キャップ枠８２の下面側には洗浄液を排出する排出口８３が形成され、ここに配管８６が接続されている。この配管８６の途中には、吸引ポンプＰが設けられている。吸引ポンプＰは、本実施形態では配管８６をローラーで押しつぶしながら一定方向に回転する方式やダイヤフラム方式など、周知な方式のポンプである。そして、吸引ポンプＰは、制御信号ＣＳ４によって作動し、キャップ部８０内に形成された空間を負圧にすることによってノズルから洗浄液を吸い出す（破線矢印）。吸い出された洗浄液は、配管８６内を流通して廃液タンク９０に排出される。
【００３８】
上述した制御信号ＣＳ１、制御信号ＣＳ２、制御信号ＣＳ３、制御信号ＣＳ４は、図示しない制御部によって生成され、三方弁Ｖ１〜Ｖ３と吸引ポンプＰを制御して、ヘッド２０を洗浄する。
【００３９】
次に、制御部について図４に示した機能ブロック図を用いて説明する。制御部はコンピュータ機能を有し、図示するように、バスラインで相互に接続されたＣＰＵ１１とメモリ１２、および三方弁Ｖ１制御信号生成回路１３、三方弁Ｖ２制御信号生成回路１４、三方弁Ｖ３制御信号生成回路１５、ポンプ制御信号生成回路１６を有している。
【００４０】
ＣＰＵ１１は、メモリ１２に格納された処理プログラムを読み出し、三方弁Ｖ１制御信号生成回路１３、三方弁Ｖ２制御信号生成回路１４、三方弁Ｖ３制御信号生成回路１５、ポンプ制御信号生成回路１６を制御して所定のタイミングで所定の信号を出力する。各出力信号は、必要に応じて図示しないインターフェースを介し、三方弁Ｖ１、三方弁Ｖ２、三方弁Ｖ３、吸引ポンプＰに、それぞれ所定の電気信号（例えば電圧信号）からなる制御信号ＣＳ１〜ＣＳ４を出力する。こうして、洗浄装置１０を制御する。
【００４１】
それでは、本実施形態の洗浄装置１０が行う洗浄処理について、図５に示した処理フローチャートに従って説明する。この処理は、例えば、洗浄装置１０の操作者が、洗浄対象のヘッド２０をセットし（図３参照）、洗浄処理を命令するデータを洗浄装置１０の制御部に入力することによって開始される。
【００４２】
なお、ここでは、保存されていたヘッドを続けて洗浄する場合を想定しているものとする。また、洗浄液Ａは純水、洗浄液Ｂはアルコール（エタノール）、洗浄液Ｃは油性洗浄剤（油性溶媒＋界面活性剤）、洗浄液Ｄは液状体に含まれる油性主溶媒であるものとし、最初に洗浄液Ａ、続いて洗浄液Ｂ、洗浄液Ｃ、そして最後に洗浄液Ｄの順序でヘッド２０に通液するものとして説明する。こうすることで、通液する前後の洗浄液間で洗浄液の親和性が良く、洗浄液が固化することがないからである。また、最初に通液する洗浄液Ａを純水（水）としたのは、保存液が水溶性液体であり、この水溶性液体と確実に親和性が良い液体であるからである。もとより、保存液の種類に応じて、純水（水）以外に水溶性の溶媒液であっても差し支えない。
【００４３】
この処理が開始されると、まずステップＳ１０１にて、ヘッドに純水を通液処理する。制御部は制御信号ＣＳ１と制御信号ＣＳ２とを出力して三方弁Ｖ１と三方弁Ｖ２とを制御し、配管３５と配管７８と共通流路７７とを連通状態にする。また、制御信号ＣＳ４を出力して吸引ポンプＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧にする。すると、ノズルが負圧によって吸引されるため、純水は共通流路７７からヘッド２０の流入口２５に流入し、ヘッド２０内の保存液を追い出しながら液状体流路を通液後、ノズルから吸い出される。吸い出された保存液および純水は、その後吸引ポンプＰを通過して配管８６から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、ヘッド２０内の保存液は純水に置換される。勿論、共通流路７７は純水が存在している状態になる。その後、制御部は、ヘッド２０内の保存液が純水にほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ４の出力を停止して吸引ポンプＰの作動を停止する。
【００４４】
次に、ステップＳ１０２にて、ヘッドにアルコールを通液処理する。制御部は、制御信号ＣＳ１を出力して三方弁Ｖ１を制御し、配管４５と配管７８とを連通状態にする。そして、制御信号ＣＳ４を出力して吸引ポンプＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧状態にする。すると、今度は、アルコールが共通流路７７からヘッド２０の流入口２５に流入し、ヘッド２０内の液状体流路を純水を追い出しながら通液後ノズルから吸い出される。吸い出された純水およびアルコールは、その後吸引ポンプＰを通過して配管８６から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、ヘッド２０内の純水はアルコールに置換される。このとき、共通流路７７は、純水に換わってアルコールが存在している状態になる。その後、制御部は、ヘッド２０内の純水がアルコールにほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ４の出力を停止して吸引ポンプＰの作動を停止する。
【００４５】
次に、ステップＳ１０３にて、ヘッドに油性洗浄剤を通液処理する。制御部は、制御信号ＣＳ２と制御信号ＣＳ３を出力して三方弁Ｖ２と三方弁Ｖ３をそれぞれ制御し、配管５５と配管７９と共通流路７７とを連通状態にする。そして、制御信号ＣＳ４を出力して吸引ポンプＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧状態にする。すると、今度は、油性洗浄剤が共通流路７７からヘッド２０の流入口２５に流入し、ヘッド２０内のアルコールを追い出しながら液状体流路を通液後、ノズルから吸い出される。吸い出されたアルコールと油性洗浄剤は、その後吸引ポンプＰを通過して配管８６から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、ヘッド２０内のアルコールは油性洗浄剤に置換される。このとき、共通流路７７は、アルコールに換わって油性洗浄剤が存在している状態になる。その後、制御部は、ヘッド２０内のアルコールが油性洗浄剤にほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ４の出力を停止して吸引ポンプＰの作動を停止する。
【００４６】
次に、ステップＳ１０４にて、ヘッドに油性主溶媒を通液処理する。制御部は、制御信号ＣＳ３を出力して三方弁Ｖ３を制御し、配管６５と配管７９とを連通状態にする。そして、制御信号ＣＳ４を出力して吸引ポンプＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧状態にする。すると、今度は、油性主溶媒が共通流路７７からヘッド２０の流入口２５に流入し、ヘッド２０内の油性洗浄剤を追い出しながら液状体流路を通液後、ノズルから吸い出される。吸い出された油性洗浄剤と油性主溶媒は、その後吸引ポンプＰを通過して配管８６から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、ヘッド２０内の油性洗浄剤は油性主溶媒に置換される。このとき、共通流路７７は、油性洗浄剤に換わって油性主溶媒が存在している状態になる。その後、ヘッド２０内の油性洗浄剤が油性主溶媒にほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ４の出力を停止して吸引ポンプＰの作動を停止する。
【００４７】
さて、ステップＳ１０４の処理が終了した時点で、ヘッド２０の洗浄は終了することになる。このとき、共通流路７７は油性主溶媒が存在する状態になっている。ここで、仮に洗浄処理が総て終了するものとすると、次のヘッドの洗浄処理が行われる場合にはステップＳ１０１の処理から開始されることになる。すると、共通流路７７には、純水が通液されるため、ここに存在していた油性主溶媒と通液される純水とが混ざることになる。周知のように、この２つの洗浄液は親和性に乏しく、油性主溶媒がゲル状に固化してしまうことになる。この結果、固化した油性主溶媒は、ヘッド２０内に流入すると液状体流路を塞いでしまい、洗浄ができなくなってしまう不具合を発生させる虞がある。
【００４８】
そこで、このような不具合を発生させないように、洗浄装置１０では、最後に通液した洗浄液Ｄ（つまり油性主溶媒）から最初に通液した洗浄液Ａ（つまり純水）に置換するべく、継続してステップＳ１０５からステップＳ１０９の処理を行うのである。
【００４９】
まず次のステップＳ１０５にて、ヘッドをダミーヘッドに交換処理する。ここでは、洗浄装置１０の操作者が、コネクタ７５の流入口２５との接続を外して、洗浄が終了したヘッド２０を洗浄装置１０から除去する。そして、換わりに洗浄対象ではないダミーヘッドを洗浄装置１０にセットする。なお、本実施形態ではダミーヘッドとして、ヘッド２０と同一のヘッドを用いることとする。これは、ダミーヘッドをセットすることで、洗浄液の通液処理を、ヘッド２０をセットしたときと同様に行えるようにするためである。もとより、ヘッド交換作業中、共通流路７７から洗浄液が流出することはない。これは、上述したように、例えばコネクタ７５が所定のマイナス水頭圧を呈するようにするなどして、共通流路７７から負圧によって洗浄液を吸い出すように流路構成されているからである。
【００５０】
次いで、ステップＳ１０６にて、ヘッド交換されたか否かを判定処理する。ここでは、操作者が、ヘッド交換作業の終了を通知するデータを、洗浄装置１０に設けられた図示しない入力手段を用いて制御部に入力するものとする。従って、制御部は、通知されたデータを検出することによって、ダミーヘッドがセットされたか否かを判定する。
【００５１】
もとより、ステップＳ１０５の処理について、ダミーヘッドへの交換手段を備え、制御部が交換手段を制御することによって自動でダミーヘッドに交換することとしてもよい。また、ステップＳ１０６の処理について、制御部は、洗浄装置１０に設けられたセンサーからの出力によって、ダミーヘッドがセットされたか否かを検出して判定してもよい。
【００５２】
そして、ステップＳ１０６にてＮＯであれば、ステップＳ１０５に戻って都度判定処理を繰返し、ヘッド交換されたと判定すると（ステップＳ１０６：ＹＥＳ）、ステップＳ１０７にて、ダミーヘッドに油性洗浄剤を通液処理する。制御部は、制御信号ＣＳ３を出力して三方弁Ｖ３を制御し、配管５５と配管７９とを連通状態にする。そして、制御信号ＣＳ４を出力して吸引ポンプＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧状態にする。すると、油性洗浄剤が共通流路７７からダミーヘッドの流入口２５に流入し、ダミーヘッド内の液状体流路を通液後ノズルから吸い出される。吸い出された油性洗浄剤は、その後吸引ポンプＰを通過して配管８６から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、共通流路７７は、油性主溶媒に換わって油性洗浄剤が存在している状態になる。その後、制御部は、少なくとも共通流路７７が、油性主溶媒から油性洗浄剤にほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ４の出力を停止して吸引ポンプＰの作動を停止する。
【００５３】
次にステップＳ１０８にて、ダミーヘッドにアルコールを通液処理する。制御部は、制御信号ＣＳ２を出力して三方弁Ｖ２を制御し、配管７８と配管７７とを連通状態にする。この結果、配管４５と配管７８と共通流路７７とが連通する。そして、制御信号ＣＳ４を出力して吸引ポンプＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧状態にする。すると、アルコールが共通流路７７からダミーヘッドの流入口２５に流入し、ダミーヘッド内の液状体流路に存在する油性洗浄剤を追い出すように通液して、油性洗浄剤に続いてノズルから吸い出される。吸い出された油性洗浄剤およびアルコールは、その後吸引ポンプＰを通過して配管８６から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、共通流路７７は、油性洗浄剤に換わってアルコールが存在している状態になる。その後、制御部は、少なくとも共通流路７７が、油性洗浄剤からアルコールにほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ４の出力を停止して吸引ポンプＰの作動を停止する。
【００５４】
次にステップＳ１０９にて、ダミーヘッドに純水を通液処理する。制御部は、制御信号ＣＳ１を出力して三方弁Ｖ１を制御し、配管３５と配管７８とを連通状態にする。そして、制御信号ＣＳ４を出力して吸引ポンプＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧状態にする。すると、純水が共通流路７７からダミーヘッドの流入口２５に流入し、ダミーヘッド内の液状体流路に存在するアルコールを追い出すように通液して、アルコールに続いてノズルから吸い出される。吸い出されたアルコールおよび純水は、その後吸引ポンプＰを通過して配管８６から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、共通流路７７は、アルコールに換わって純水が存在している状態になる。その後、制御部は、少なくとも共通流路７７が、アルコールから純水にほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ４の出力を停止して吸引ポンプＰの作動を停止する。
【００５５】
上述したように、ステップＳ１０７からステップＳ１０９までの処理によって、共通流路７７に存在する洗浄液は、ヘッド２０を洗浄する場合に通液した順序と逆の順序で洗浄液を通液し、ヘッド２０を洗浄するために最後に通液した洗浄液から、最初に通液する洗浄液に置換する。こうして、洗浄装置１０での洗浄処理が終了する。洗浄処理の終了後、次の洗浄対象のヘッドを洗浄処理するまでの間に、ダミーヘッドは洗浄装置１０から除去される。
【００５６】
以上、本実施形態の洗浄装置１０によれば、洗浄対象となるヘッド２０を洗浄するとき、共通流路７７において、最初に通液する洗浄液Ａ（純水）と最後に通液する洗浄液Ｄ（油性主溶媒）とが混ざることがない。従って、性質の異なる洗浄液の混合による凝集や固化が生じないので、ヘッドを安定して洗浄することができるのである。
【００５７】
以上、本発明について、一実施形態を用いて説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において様々な形態で実施し得ることは勿論である。以下変形例を挙げて説明する。
【００５８】
（変形例）
上記実施形態では、共通流路に存在する洗浄液を、最後に通液した洗浄液から最初に通液する洗浄液への置換処理（図５、ステップＳ１０７〜Ｓ１０９）において、ダミーヘッドを用いることとしたが、特にこれに限るものでないことは勿論である。例えば、ダミーヘッドを用いないこととしても良い。
【００５９】
本変形例について図６用いて簡単に説明する。図６は、ダミーヘッドを用いないで共通流路７７における洗浄液を置換する様子を示した模式図であり、基本的に、図３に示した洗浄装置１０と同じものである。本変形例では、図示するように、共通流路７７のコネクタ７５を、キャップ枠８２に形成された排出口８３に直接差し込んで接続する。もとより、排出口８３は、コネクタ７５が着脱可能になるよう予め形成されている。なお、共通流路７７の配管長さは、図３よりも長く図示しているが、これは説明の都合上であって、実際は同じ長さとすることも可能である。
【００６０】
このように、コネクタ７５を直接キャップ枠８２の排出口８３に差し込んで接続すると、共通流路７７に存在する洗浄液を置換する処理において、ダミーヘッド内の液状体流路分、通液する洗浄液の量を少なくできる可能性がある。また、吸引ポンプＰの作動によって発生する負圧を、共通流路７７に直接印加することができるので、ダミーヘッド内の液状体流路を介して印加する場合に比べて、印加する負圧は大きくなり、洗浄液の置換処理時間が短くなることが期待できる。
【００６１】
（その他の変形例）
上記実施形態では、用いるダミーヘッドは、洗浄対象のヘッドと同一であることとしたが、必ずしもこれに限るものでないことは勿論である。例えば、ノズル開口を大きくしたり、液状体流路において存在するオリフィスを大きくしたりして、ヘッド内に形成された液状体流路の流路抵抗が、洗浄対象のヘッドよりも小さくなるようにすることとしてもよい。こうすれば、ヘッド内の液状体流路を通液する洗浄液が速く流れることになるため、洗浄液の置換処理時間が短くなる効果がある。
【００６２】
また、上記実施形態では、共通流路において、性質の異なる洗浄液の混合による凝集や固化が生じることなく、最後に通液した洗浄液から最初に通液した洗浄液に置換するため、洗浄対象となるヘッド２０に通液した順序と逆の順序で１種類ずつ洗浄液を通液し、共通流路７７に存在する洗浄液を純水にしたが、必ずしもこれに限るものでないことは勿論である。例えば、上記実施形態において、アルコール（洗浄液Ｂ）が共通流路７７に滞留する油性主溶媒（洗浄液Ｄ）を洗浄可能であることが予め判明している場合、油性洗浄剤（洗浄液Ｃ）を通液しないこととしても良い。こうすれば、図５においてステップＳ１０７の処理が省略されるので、洗浄液の通液処理工程が１つ減ることになり、洗浄液の置換処理時間が短くなる効果がある。
【００６３】
さらに、本変形例において、油性洗浄剤（洗浄液Ｃ）に加えて、アルコール（洗浄液Ｂ）も通液せず、最初に通液する純水（洗浄液Ａ）のみ通液することとしてもよい。この場合、油性主溶媒（洗浄液Ｄ）と純水（洗浄液Ａ）とが共通流路７７において混入し、固化した油性主溶媒が発生することになるが、固化した油性主溶媒がその後流入するヘッドは洗浄対象のヘッドではなく、ダミーヘッドである。従って、次の洗浄対象となるヘッドについての洗浄処理に対して、この固化した油性主溶媒が不具合を与えることはない。この結果、洗浄液の通液処理工程が２つ減ることになり、洗浄液の置換処理時間がさらに短くなる効果がある。
【００６４】
また、上記実施形態では、洗浄対象のヘッド２０をキャリッジ１００から取り外して洗浄することとしたが、必ずしもこれに限るものでないことは勿論である。例えば、ヘッド２０を取り外さずキャリッジ１００と一緒に洗浄処理を行うこととしてもよい。こうすれば、ヘッド２０をキャリッジ１００から取り外す作業負荷が削減される。なお、この場合、キャリッジ１００には、ヘッド２０に設けられたものと同様な液状体の流入口が設けられ、この流入口と上述した共通流路７７とが着脱可能に接続されることは勿論である。
【００６５】
また、上記実施形態では、吸引ポンプＰの作動により発生させた負圧を用いて、ノズルから洗浄液を吸い出すことによって、ヘッド２０内の液状体流路を洗浄することとしたが、必ずしもこれに限るものでないことは勿論である。例えば、各容器３０〜６０に収容された各洗浄液Ａ〜Ｄの液面に圧力を印加して加圧し、ヘッド２０の流入口に洗浄液を押し込んで、ノズルから洗浄液を押し出すことで、ヘッド２０内の液状体流路を洗浄することとしても良い。例えば、ノズル面の形状に起因して、キャップ部８０を用いて負圧を発生させることが困難場合は、こうすることでヘッド２０の洗浄が可能である。もとより、吸引ポンプＰによる負圧と洗浄液の加圧とを併用することとしても差し支えない。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】洗浄対象となるヘッドを備えた液状体吐出装置の概要を示す模式図。
【図２】ヘッドの概略構成を示す模式図。
【図３】本実施形態の洗浄装置の構成要素を示した模式図。
【図４】制御部の機能を説明するためのブロック図。
【図５】本実施形態の洗浄装置が行う処理ステップを示すフローチャート。
【図６】ダミーヘッドを用いないで共通流路における洗浄液を置換する様子を示した模式図。
【符号の説明】
【００６７】
１０…洗浄装置、１１…ＣＰＵ、１２…メモリ、１３…三方弁Ｖ１制御信号生成回路、１４…三方弁Ｖ２制御信号生成回路、１５…三方弁Ｖ３制御信号生成回路、１６…ポンプ制御信号生成回路、２０…ヘッド、２５…流入口、３０，４０，５０，６０，７０…容器、７１…供給パイプ、７５…コネクタ、７７…共通流路、７８，７９…配管、８０…キャップ部、８１…接触部、８２…キャップ枠、８３…排出口、８６…配管、９０…廃液タンク、１００…キャリッジ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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