(57)【要約】【課題】サブキャリッジの交換作業開始から各キャリッジを描画位置に配置するまでに要する時間を短縮するとともに、チャンバ内を効率よく温度調節できるパターン形成装置を提供する。【解決手段】液滴吐出装置１の部屋２を第１室Ｚ１と第２室Ｚ２とに区画する隔壁３を設けた。隔壁３は、第１室Ｚ１と第２室Ｚ２との間を各キャリッジが往復移動可能に、且つ、重量測定ユニット５４と第１キャッピングユニットＣＵ１とを第２室Ｚ２に配置させる位置に設けた。第１ドアＤ１が解錠状態のとき、第１室に位置しているキャリッジと、第２〜第６キャッピングユニットＣＵ２〜ＣＵ６と停止状態にした。従って、第２室Ｚ２における機能液の初期充填などの描画準備と第１室Ｚ１における作業者によるサブキャリッジの交換作業とを同時期に行うことができる。また、温度調節を行う空間が第２室Ｚ２だけで済むので温度調節を効率よく行うことができる。【選択図】図２
2009148703.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主走査方向に往復移動して載置した基板を搬送する搬送テーブルと、
前記搬送テーブルの移動経路の上方であって、前記主走査方向と直交する副走査方向に延出形成された一対の案内レールと、
前記一対の案内レールに支持され、その一対の案内レールに沿って副走査方向にそれぞれ独立して往復移動可能な複数のキャリッジと、
前記キャリッジに着脱可能に取着したサブキャリッジに設けられ、前記基板に機能液の液滴を吐出して、同基板にパターンを描画する液滴吐出ヘッドと、
前記搬送テーブルの移動経路から離間した位置であって、前記一対の案内レールに沿って前記副走査方向に並設され、前記サブキャリッジに設けた前記液滴吐出ヘッドをキャップするとともに、同液滴吐出ヘッドから前記機能液を吸引するキャッピングユニットと、を備えたパターン形成装置であって、
隔壁にて区画された描画・描画準備エリアと交換作業エリアを備えた部屋を設け、
前記搬送テーブルと、前記副走査方向に並設された前記キャッピングユニットのうち前記搬送テーブル側に位置しているキャッピングユニットの少なくとも１つを前記描画・描画準備エリアに配置するとともに、
前記副走査方向に並設された前記キャッピングユニットの残りを前記交換作業エリアに配置したことを特徴とするパターン形成装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成装置において、
前記描画・描画準備エリアに配置された前記サブキャリッジが、同描画・描画準備エリアに予め定めた基準位置に配置されているか否かを検出する基準位置検出センサと、
前記基準位置検出センサからの検出信号に基づいて、前記サブキャリッジを前記基準位置に配置する基準位置配置手段と、
を設けたことを特徴とするパターン形成装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のパターン形成装置において、
前記交換作業エリアに位置している前記キャリッジを検出するキャリッジ検出センサと、
前記キャリッジ検出センサからの検出信号に基づいて、前記交換作業エリアに位置している前記キャリッジを停止状態にするキャリッジ停止制御手段と、
前記交換作業エリアに配置した前記キャッピングユニットを停止状態にするキャッピングユニット停止制御手段と、
を設けたことを特徴とするパターン形成装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のパターン形成装置において、
前記隔壁は、
前記交換作業エリアと前記描画・描画準備エリアとを連通させ、前記キャリッジを前記交換作業エリアと前記描画・描画準備エリアとの間を移動可能にする連通窓と、
前記連通窓を開状態または閉状態にするシャッタ部と、
を備えたことを特徴とするパターン形成装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のパターン形成装置において、
前記描画・描画準備エリアには、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を測定する重量測定ユニットを設けたことを特徴とするパターン形成装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のパターン形成装置であって、
前記キャッピングユニットを、前記副走査方向に沿って、前記搬送テーブルの両側に設けたことを特徴とするパターン形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、機能液を使って基板上に所望のパターンを形成する装置として、機能液を液滴にして吐出するインクジェット装置、すなわち液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドを描画エリアに配置して、ステージに載置される基板と液滴吐出ヘッドとを２次元的に相対移動させながら、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴を基板上の任意の箇所に配置することにより所望のパターンを形成する。
【０００３】
近年では、複数の液滴吐出ヘッドを備えたサブキャリッジをキャリッジに固定して、さらに、このキャリッジを複数搭載した多キャリッジタイプの液滴吐出装置が知られている。このような液滴吐出装置は、大画面カラーフィルタの製造などに用いられ、複数のキャリッジから同時に液滴を吐出することで、その描画速度を向上させている。
【０００４】
このような液滴吐出装置には、液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うメンテナンスユニットが設けられている（例えば、特許文献１）。メンテナンスユニットには、液滴吐出ヘッド内の機能液を各ノズルから吸引する吸引ユニットや液滴吐出ヘッドのノズルプレートに付着した機能液を払拭するワイピングユニットなどが設けられている。
【０００５】
ところで、液滴吐出ヘッドに目詰まりや損傷などの不具合が発生したときには、液滴吐出ヘッドを備えたサブキャリッジの交換作業が行われる。このサブキャリッジの交換作業は、各キャリッジを吸引ユニットの直上位置まで移動させて、作業者によって行われる。そして、全てのサブキャリッジの交換作業が終了すると、液滴吐出装置は、各サブキャリッジの位置調整、及び、各キャリッジに設けた液滴吐出ヘッドに機能液の初期充填などを行った後、各キャリッジを描画位置へと配置する。
【特許文献１】特開２００６−７６０６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した液滴吐出装置では、全てのキャリッジにおいてサブキャリッジの交換作業が終了しない限り、次の作業である各サブキャリッジの位置調整、及び、各キャリッジに設けた液滴吐出ヘッドに機能液の初期充填などの作業に移ることができなかった。つまり、サブキャリッジの交換作業が終了したキャリッジは、最後のサブキャリッジの交換作業が終了するまでそのまま待機させざるを得なかった。
【０００７】
従って、サブキャリッジの交換作業を開始して、各キャリッジを描画位置に配置するまで多大な時間を要することとなり、液滴吐出装置の生産性を著しく低下させていた。
また、描画中の液滴吐出ヘッドは、該液滴吐出ヘッドを駆動させる駆動素子によって発熱する。そのため、液滴吐出装置は、雰囲気の温度が所定の温度になるように温度調節されたチャンバ内に設置して描画を行っている。しかしながら、上述した液滴吐出装置では、熱源となる液滴吐出ヘッドがチャンバ内の一方に偏っているにも関わらず、チャンバ内全体の温度調節を行っているため、温度調節が効率よく行われているとは言い難かった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、サブキャリッジの交換作業開始から各キャリッジを描画位置に配置するまでに要する時間を短縮すると
ともに、チャンバ内を効率よく温度調節できるパターン形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、主走査方向に往復移動して載置した基板を搬送する搬送テーブルと、前記搬送テーブルの移動経路の上方であって、前記主走査方向と直交する副走査方向に延出形成された一対の案内レールと、前記一対の案内レールに支持され、その一対の案内レールに沿って副走査方向にそれぞれ独立して往復移動可能な複数のキャリッジと、前記キャリッジに着脱可能に取着したサブキャリッジに設けられ、前記基板に機能液の液滴を吐出して、同基板にパターンを描画する液滴吐出ヘッドと、前記搬送テーブルの移動経路から離間した位置であって、前記一対のガイドレールに沿って前記副走査方向に並設され、前記サブキャリッジに設けた前記液滴吐出ヘッドをキャップするとともに、同液滴吐出ヘッドから前記機能液を吸引するキャッピングユニットと、を備えたパターン形成装置であって、隔壁にて区画された描画・描画準備エリアと交換作業エリアを備えた部屋を設け、前記搬送テーブルと、前記副走査方向に並設された前記キャッピングユニットのうち前記搬送テーブル側に位置しているキャッピングユニットの少なくとも１つを前記描画・描画準備エリアに配置するとともに、前記副走査方向に並設された前記キャッピングユニットの残りを前記交換作業エリアに配置した。
【００１０】
本発明のパターン形成装置によれば、例えば、作業者が交換作業エリアにいるときに、交換作業領域に配置された、キャリッジとキャッピングユニットとを停止状態することによって、描画・描画準備エリアに配置された、キャリッジとキャッピングユニットとを駆動させることができる。
【００１１】
すなわち、交換作業エリアにおいて作業者によるサブキャリッジの交換作業を行っているときであっても、キャッピングユニットを用いた機能液の初期充填などの描画準備を、描画・描画準備エリアにおいて別のキャリッジに対して行うことができる。従って、作業者が、サブキャリッジの交換作業が終了したキャリッジを、順次、描画・描画準備エリアに移動させることによって、キャリッジの描画準備とサブキャリッジの交換作業を同時期に行うことができる。その結果、サブキャリッジの交換作業開始から全てのキャリッジの描画準備が終了するまでに要する時間を短縮し、パターン形成装置の生産効率を向上させることができる。しかも、描画中の液滴吐出ヘッドは、描画・描画準備エリアに配置され、温度調節する領域を小さくすることができることから効率よく温度調節することができる。
【００１２】
このパターン形成装置は、前記描画・描画準備エリアに配置された前記サブキャリッジが、同描画・描画準備エリアに予め定めた基準位置に配置されているか否かを検出する基準位置検出センサと、前記基準位置検出センサからの検出信号に基づいて、前記サブキャリッジを前記基準位置に配置する基準位置配置手段と、を設けることが好ましい。
【００１３】
このパターン形成装置によれば、例えば、各サブキャリッジの原点位置が交換作業エリアに設けられているときであっても、それぞれの原点位置から描画・描画準備エリアの基準位置までの送り量を予め設定することによって、描画・描画準備エリアにおいて各サブキャリッジの新たな原点位置を設定でき、その新たな原点位置に原点復帰させることができる。
【００１４】
すなわち、各サブキャリッジを本来の交換作業エリアでの原点位置に配置することなく、描画・描画準備エリアでの新たな原点位置に原点復帰させることができる。従って、作業者によって交換作業エリアから描画・描画準備エリアへと移動させた各キャリッジを、それぞれの描画位置に正確に配置することができる。
【００１５】
このパターン形成装置は、前記交換作業エリアに位置している前記キャリッジを検出するキャリッジ検出センサと、前記キャリッジ検出センサからの検出信号に基づいて、前記交換作業エリアに位置している前記キャリッジを停止状態にするキャリッジ停止制御手段と、前記交換作業エリアに配置した前記キャッピングユニットを停止状態にするキャッピングユニット停止制御手段と、を設けることが好ましい。
【００１６】
本発明のパターン形成装置によれば、例えば、部屋の外から交換作業エリアに入室するドアが解錠状態のとき、すなわち、作業者が交換作業エリアにて作業中と想定されるとき、交換作業エリアに位置しているキャリッジとキャッピングユニットとを停止状態にすることができる。従って、描画・描画準備エリアにおいて、キャリッジの描画準備を行っているときであっても、交換作業エリアにおいて、サブキャリッジの交換作業を安全に行うことができる。
【００１７】
このパターン形成装置は、前記隔壁は、前記交換作業エリアと前記描画・描画準備エリアとを連通させ、前記キャリッジを前記交換作業エリアと前記描画・描画準備エリアとの間を移動可能にする連通窓と、前記連通窓を開状態または閉状態にするシャッタ部と、を備えることが好ましい。
【００１８】
このパターン形成装置によれば、交換作業エリアと描画・描画準備エリアを、隔壁にて仕切ることができるので、交換作業エリアにおいて、作業者によるサブキャリッジの交換作業を、より安全に行うことができる。
【００１９】
このパターン形成装置は、前記描画・描画準備エリアには、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を測定する重量測定ユニットを設けてもよい。
このパターン形成装置によれば、描画・描画準備エリアにおいて、サブキャリッジの位置の初期化と液滴吐出ヘッドへの機能液の初期充填とを行った後、同液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を測定することができる。従って、その吐出重量測定の結果に基づいて、各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量が等しくなるようにすることによって、基板に高精細なパターンを形成することができる。しかも、交換作業エリアでのサブキャリッジの交換作業と並行して重量測定を行うことができる。
【００２０】
このパターン形成装置は、前記キャッピングユニットを、前記副走査方向に沿って、前記搬送テーブルの両側に設けてもよい。
このパターン形成装置によれば、前記キャッピングユニットを搬送テーブルの両側に設けた。すなわち、交換作業エリアを描画・描画準備エリアの両側に設けた。従って、サブキャリッジの交換作業、及び、キャリッジの描画準備を複数台同時期に行うことができる。その結果、サブキャリッジの交換作業開始から全てのキャリッジの描画準備が終了するまでに要する時間をさらに短縮し、パターン形成装置の生産効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施したパターン形成装置の一実施形態を図面に従って説明する。
図１は、ブラックマトリクスが形成されたガラス基板に赤、緑、青のカラーフィルタを形成するためのパターン形成装置としての液滴吐出装置１の概略構成を示している。液滴吐出装置１は、図１及び図２に示すように、略四角枠状の部屋２を備えている。部屋２は、隔壁３が設けられている。この隔壁３によって、交換作業エリアとしての第１室Ｚ１と、図示しない空調装置によって所定の温度に温度調節された、描画・描画準備エリアとしての第２室Ｚ２とに区画形成されている。また、部屋２には、部屋２の側壁に設けられた第１ドアＤ１と隔壁３に設けられた第２ドアＤ２とが設けられている。そして、第１ドアＤ１が解錠状態のとき、部屋２の外から第１室Ｚ１に入室できるようになっている。同様
に、第２ドアＤ２が解錠状態のとき、第１室Ｚ１から第２室Ｚ２に入室できるようになっている。
【００２２】
液滴吐出装置１は、第２室Ｚ２の床面に、主走査方向（Ｘ軸方向）に延在した基台１０が設置され、その上面１０ａに一対のＸ軸ガイドレール１１が主走査方向（Ｘ軸方向）に敷設され、その一対のＸ軸ガイドレール１１には搬送テーブルを構成するＸ軸移動プレート１２が載置されている。Ｘ軸移動プレート１２は、Ｘ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に搭載されている。一対のＸ軸ガイドレール１１には、Ｘ軸リニアモータＭ１が備えられ、Ｘ軸リニアモータＭ１は、一対のＸ軸ガイドレール１１に載置されたＸ軸移動プレート１２を、エアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に往復移動させる。
【００２３】
尚、図１及び図２において、主走査方向をＸ軸方向、主走査方向（Ｘ軸方向）に直交する副走査方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（上下方向）をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回動方向をθ方向と表記する。
【００２４】
Ｘ軸移動プレート１２の上面には、搬送テーブルを構成する基板ステージ１４が設けられている。基板ステージ１４は、真空吸着テーブルであって、その上面にガラス基板よりなるカラーフィルタ基板（ＣＦ基板という）Ｗを吸着固定し、同ＣＦ基板Ｗを搬送する。基板ステージ１４は、Ｘ軸移動プレート１２と基板ステージ１４との間に設けた破線で示すステージ回動機構１６によって、Ｘ軸移動プレート１２に対してθ方向に回動可能に支持固定されている。
【００２５】
従って、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレート１２とともにＸ軸方向（主走査方向）に移動する。また、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレート１２の平面（ＸＹ平面（水平面））に対して平行にθ方向に回動する。
【００２６】
前記Ｘ軸ガイドレール１１の上方向を跨ぐように、Ｙ軸方向に沿って形成された、一対のＹ軸ガイドレール１８が配設されている。一対のＹ軸ガイドレール１８の一端の支柱１９ａは、基台１０の上面１０ａ一側に立設され、他端の支柱１９ｂは、第１室Ｚ１であって、第２室Ｚ２に設置された基台１０から離間した床に立設されている。
【００２７】
つまり、一対のＹ軸ガイドレール１８は、第２室Ｚ２から、前記隔壁３を貫通（隔壁３に形成した図示しない連通窓を貫通）して第１室まで延出形成されている。一対のＹ軸ガイドレール１８は、Ｘ軸方向に予め定めた間隔をおいて平行に配設されている。尚、本実施形態では、Ｙ軸方向に平行に延びた一対のＹ軸ガイドレール１８において、基台１０の上方位置を描画エリアＡ１、基台１０から離間した位置を待機エリアＡ２としている（図２参照）。
【００２８】
また、図２に示すように、第２室Ｚ２であって、一対のＹ軸ガイドレール１８の中間位置の下方には、第１ベースブロック５５が設けられている。さらに、第２室Ｚ２であって、一対のＹ軸ガイドレール１８の中間位置の下方には、第２ベースブロック５６が設けられている。
【００２９】
一対のＹ軸ガイドレール１８の間に、キャリッジプレートＰが差し渡されるように配置されている。尚、本実施形態では、６つのキャリッジプレートＰが配置され、図２の左側から順に、第１，第２，第３，第４，第５，第６キャリッジプレートＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６としている。そして、第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６は、Ｙ軸ガイドレール１８に沿って副走査方向（Ｙ軸方向）に移動可能に載置されている。つまり、第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６は、第１室Ｚ１及び第２室Ｚ２を移動可能
に載置されている。
【００３０】
一対のＹ軸ガイドレール１８には、Ｙ軸リニアモータＭ２を備え、Ｙ軸リニアモータＭ２は、一対のＹ軸ガイドレール１８に載置された第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６を、それぞれエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に往復移動させる。そして、第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６は、Ｙ軸ガイドレール１８上の描画エリアＡ１、及び、待機エリアＡ２を往復移動するようになっている。
【００３１】
第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６の上面には、機能液供給ユニット２２とヘッド用電装ユニット２３とがそれぞれ載置されている。機能液供給ユニット２２は、機能液Ｆ（図４（ｂ）参照）を所定量貯蔵して、各液滴吐出ヘッド４０（図４（ａ），（ｂ）参照）に機能液Ｆを供給するための供給回路装置である。ヘッド用電装ユニット２３は、各液滴吐出ヘッド４０を駆動するための電気信号を供給するための電気回路装置である。
【００３２】
また、ここでいう機能液Ｆとは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置される赤、緑、青のフィルタ用インクである。機能液Ｆは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置された後に乾燥されると、赤、緑、青のフィルタとなる。
【００３３】
図３に示すように、第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６の各下面の中央位置には、吊下機構２５が設けられ、その吊下機構２５の下端部にキャリッジ３０が取着されている。尚、本実施形態では、第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６の各吊下機構２５に取着したキャリッジ３０を、それぞれ区別して称呼するとき第１，第２，第３，第４，第５，第６キャリッジ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ，３０ｆとしている。
【００３４】
吊下機構２５は、吊下基板２６と、吊下回動枠２７と、吊下支持枠２８とを有している。吊下基板２６は、第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６の下面中央位置に連結固定され、その下端部に吊下回動枠２７を連結している。吊下回動枠２７は、その下端部に吊下支持枠２８をθ方向に回動可能に連結支持している。吊下回動枠２７には、θ軸回動モータ（図示省略）を有し、θ軸回動モータは吊下支持枠２８を吊下基板２６（第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６）に対してθ方向に回動させるようになっている。吊下支持枠２８には、キャリッジ３０が支持固定され、吊下機構２５に垂設されたキャリッジ３０をθ方向に回動させる。
【００３５】
キャリッジ３０は、略直方体形状のキャリッジ枠３１を有している。キャリッジ枠３１には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれの両側面に開口部が設けられており（Ｘ軸方向の各開口部は図示省略）、キャリッジ枠３１の内側に対して、周囲の空気が流出入できるようになっている。また、キャリッジ３０の略直方体形状のキャリッジ枠３１の下端部には、サブキャリッジ３３が図示しないネジ等により取着されている。サブキャリッジ３３のユニットプレート３４には、液滴吐出ヘッド４０が着脱可能に、かつ、ユニットプレート３４に設けた基準部材３５に対して精度よく位置決め固定されて取り付けられている。尚、本実施形態では、Ｘ軸方向に沿って並設された３個の液滴吐出ヘッド４０が、Ｙ軸方向と平行に２列、すなわち合計６個の液滴吐出ヘッド４０が取り付けられている。つまり、基準部材３５を所定の位置に配置することによって、６個の液滴吐出ヘッド４０は、それぞれ所定の位置に配置されるようになっている。また、キャリッジ枠３１の内側は、配管や配線などが配設されているが、表示すると煩雑になるため図示を省略している。
（液滴吐出ヘッド４０）
次に、ユニットプレート３４に取着した液滴吐出ヘッド４０について図４を参照して説明する。図４（ａ）は、液滴吐出ヘッドを基板ステージ１４側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド４０は、２つの接続針４２を有する液体導入部４１と、液体導入部
４１の側方に連なるヘッド基板４３と、液体導入部４１に連なるポンプ部４４と、ポンプ部４４に連なるノズルプレート４５とを備えている。
【００３６】
液体導入部４１の接続針４２には、機能液供給ユニット２２に接続した図示しない配管接続部材が接続されている。ヘッド基板４３には、一対のヘッドコネクタ４３Ａが実装されており、当該ヘッドコネクタ４３Ａを介して、ヘッド用電装ユニット２３に接続された図示しないフレキシブルフラットケーブルが接続される。
【００３７】
一方、ポンプ部４４とノズルプレート４５とにより、方形のヘッド本体４０Ａが構成されている。
ノズルプレート４５のノズル形成面４５ａには、液滴Ｆｂを吐出する吐出ノズル４６からなる２本のノズル列４７が形成されている。２本のノズル列４７は相互に平行に列設されており、各ノズル列４７は、等ピッチで並設された１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４６で構成されている。すなわち、ヘッド本体４０Ａのノズル形成面４５ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４７が対称に配設されている。
【００３８】
図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッド４０のポンプ部４４の内部を示し、各吐出ノズル４６の上側にそれぞれキャビティ５２、振動板５３及び駆動素子としての圧電素子ＰＺを有している。各キャビティ５２は、それぞれ図示しない配管接続部材を介して機能液供給ユニット２２に接続され、同機能液供給ユニット２２からの機能液Ｆ（フィルタ用インク）を収容し、そのフィルタ用インクを吐出ノズル４６に供給する。振動板５３は、各キャビティ５２に対向するエリアをＺ方向に振動することによって、該キャビティ５２の容積を拡大及び縮小させて、これに伴って吐出ノズル４６のメニスカスを振動させる。各圧電素子ＰＺは、それぞれ所定の駆動波形信号を受けるとき、Ｚ方向に収縮して伸張することによって、振動板５３の各エリアをＺ方向に振動させる。各キャビティ５２は、それぞれの振動板５３がＺ方向に振動するとき、収容するフィルタ用インクの一部を所定重量の液滴Ｆｂにして吐出ノズル４６から吐出させる。
【００３９】
ポンプ部４４の基部側、すなわちヘッド本体４０Ａの基部側は、液体導入部４１を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４８が形成されている。このフランジ部４８は、抜け止めの役目を果たすとともに、ヘッド止めネジ（図示せず）でユニットプレート３４と連結固定される連結部の役目を果たす。フランジ部４８には、液滴吐出ヘッド４０をユニットプレート３４に固定する小ネジ用のネジ孔（雌ネジ）４９が一対形成されている。つまり、液滴吐出ヘッド４０は、ユニットプレート３４の所定の位置に形成された貫通穴（図示せず）に、ヘッド本体４０Ａを貫挿させて、ユニットプレート３４を貫挿してネジ孔４９と螺合するヘッド止めネジ（図示せず）によってユニットプレート３４に固定される。
【００４０】
図２、図３、及び、図４に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。すなわち、サブキャリッジ３３が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、液滴吐出ヘッド４０に形成されたノズル列４７（図４（ａ）参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。
（重量測定ユニット５４）
次に、各液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量を測定する重量測定ユニット５４について説明する。図２に示すように、重量測定ユニット５４は、第２室Ｚ２に設けた第１ベースブロック５５の最も基台１０側に設けられている。また、重量測定ユニット５４の上面には、サブキャリッジ３３に設けた各液滴吐出ヘッド４０のそれぞれに対応する受液容器（図示せず）が設けられている。
【００４１】
各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）の液滴吐出ヘッド４０は、それぞれ第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６を適宜移動させることによって、各受液容器（図示せず）の
直上に配置される。そして、各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）の各液滴吐出ヘッド４０から液滴Ｆｂを吐出して、その吐出された液滴Ｆｂが受液容器（図示せず）に着弾し、その吐出重量をそれぞれ測定するようになっている。液滴吐出装置１は、測定した液滴Ｆｂの吐出重量に基づいて、各液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量が等しくなるようにする。
（キャッピングユニットＣＵ）
次に、液滴吐出ヘッド４０のメンテナンスを行うキャッピングユニットＣＵについて説明する。キャッピングユニットＣＵは、第２室Ｚ２に設けた第１ベースブロック５５と第１室Ｚ１に設けた第２ベースブロック５６に設けられている。
【００４２】
キャッピングユニットＣＵは、６個の第１〜第６キャッピングユニットＣＵ１〜ＣＵ６からなる。第２室Ｚ２に設けた第１ベースブロック５５であって重量測定ユニット５４に隣接した位置には、第１キャッピングユニットＣＵ１が設けられている。また、第１室Ｚ１に設けた第２ベースブロック５６には、第２，第３，第４，第５，第６キャッピングユニットＣＵ２，ＣＵ３，ＣＵ４，ＣＵ５，ＣＵ６がＹ軸方向に沿って並設されている。
【００４３】
つまり、第１〜第６キャッピングユニットＣＵ１〜ＣＵ６の第１キャッピングユニットＣＵ１が、隔壁３を隔てた第２室Ｚ２に設けられている。
キャッピングユニットＣＵ（ＣＵ１〜ＣＵ６）は、対応するキャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）のサブキャリッジ３３に設けた各液滴吐出ヘッド４０の吐出ノズル４６から、ポンプ部４４内の機能液Ｆ（フィルタ用インク）などを吸引して、ポンプ部４４内に機能液供給ユニット２２に貯留された機能液Ｆを導入する装置である。また、液滴吐出装置１が休止状態であるとき、各液滴吐出ヘッド４０のノズルプレート４５とそれぞれ密着してポンプ部４４内の機能液Ｆの乾燥を抑制する装置である。
【００４４】
キャッピングユニットＣＵ（ＣＵ１〜ＣＵ６）は、図５に示すように、ユニットプレート３４に設けた各液滴吐出ヘッド４０に対応した数の封止キャップ６４（本実施形態では６個）が設けられている。キャッピングユニットＣＵ（ＣＵ１〜ＣＵ６）は、第１ベースブロック５５または第２ベースブロック５６に固設されたベース６６と、ベース６６の上側に配置され、図示しない昇降装置によってベース６６に対して上下動可能なキャップテーブル６７とを備えている。
【００４５】
各封止キャップ６４には、図示しないシール部材が設けられ、液滴吐出ヘッド４０の全吐出ノズル４６を内包した状態でノズル形成面４５ａに密着するようになっている。また、封止キャップ６４内は、排出チューブ（図示略）が接続され、該排出チューブを介して廃液タンク（図示略）に連通している。排出チューブには、封止キャップ６４側から廃液タンク側へと吸引可能な吸引ポンプ（図示略）が設けられている。
【００４６】
そして、キャップテーブル６７を上昇させて、各封止キャップ６４のそれぞれのシール部材（図示略）が、対応する液滴吐出ヘッド４０の全吐出ノズル４６を内包した状態でノズル形成面４５ａに密着することによって、液滴吐出ヘッド４０を密閉してポンプ部４４内の機能液Ｆ（フィルタ用インク）の乾燥を抑制する。
【００４７】
また、液滴吐出ヘッド４０と封止キャップ６４とを密着させた状態から、各封止キャップ６４に接続された吸引ポンプ（図示せず）を駆動することによって、機能液供給ユニット２２からポンプ部４４に機能液Ｆ（フィルタ用インク）を導入する。すなわち、ポンプ部４４に機能液Ｆが収容されているときには、吐出ノズル４６から増粘した機能液Ｆを吸引除去して、機能液供給ユニット２２から新鮮な機能液Ｆをポンプ部４４に導入し、液滴吐出ヘッド４０のクリーニングを行う。また、ポンプ部４４に機能液Ｆが収容されていないときには、ポンプ部４４に機能液供給ユニット２２から機能液Ｆを導入して機能液Ｆ（
フィルタ用インク）の初期充填を行う。
【００４８】
ここで、第２室Ｚ２に設けた第１キャッピングユニットＣＵ１は、第１キャリッジ３０ａに対応し、第１室Ｚ１に設けた第２〜第６キャッピングユニットＣＵ２〜ＣＵ６は、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆにそれぞれ対応している。各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）は、対応する各キャッピングユニットＣＵ（ＣＵ１〜ＣＵ６）の直上をホームポジションとしている。そして、液滴吐出ヘッド４０のメンテナンスやサブキャリッジ３３の交換作業を行うとき、及び、液滴吐出装置１を停止するときには、各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）をそれぞれのホームポジションに配置するようになっている。
【００４９】
各ホームポジションは、各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）に取着したサブキャリッジ３３のユニットプレート３４に設けた基準部材３５が所定の位置に配置される位置（原点位置）であって、各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）のそれぞれに予め設けられている。
【００５０】
そして、各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）をそれぞれの原点位置（ホームポジション）に配置することによって、それぞれのキャッピングユニットＣＵ（ＣＵ１〜ＣＵ６）の封止キャップ６４が対応する液滴吐出ヘッド４０を確実にキャップするようになっている。また、各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）をそれぞれの原点位置（ホームポジション）から、一対のＹ軸ガイドレール１８に沿って、予め定めた送り量分だけ移動させることによって、各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）の液滴吐出ヘッド４０がそれぞれの描画位置に正確に配置されるようになっている。
【００５１】
液滴吐出装置１には、第１〜第６キャリッジ３０ａ〜３０ｆのそれぞれに対応するように、第１，第２，第３，第４，第５，第６原点検出センサＳＥ１，ＳＥ２，ＳＥ３，ＳＥ４，ＳＥ５，ＳＥ６が、図５に示すように、キャッピングユニットＣＵ（ＣＵ１〜ＣＵ６）に設けられている。第１〜第６原点検出センサＳＥ１〜ＳＥ６は、対応するキャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）がそれぞれの原点位置（ホームポジション）に正確に配置されているか否かを検出する。すなわち、第１〜第６原点検出センサＳＥ１〜ＳＥ６は、各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）に設けたサブキャリッジ３３の基準部材３５が、所定の位置に配置されているか否かを検出するようになっている。
【００５２】
また、基準位置検出センサとしての第１原点検出センサＳＥ１は、第１キャッピングユニットＣＵ１の直上に、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆのそれぞれが移動配置されたときに、当該キャリッジ３０（３０ｂ〜３０ｆ）が、基準位置としての第１キャリッジ３０ａの原点位置（ホームポジション）に配置されているか否か検出するようになっている。
【００５３】
さらに、液滴吐出装置１には、キャリッジ検出センサＣＳＥ（図６参照）がＹ軸ガイドレール１８に設けられている。キャリッジ検出センサＣＳＥは、第１ドアＤ１が解錠状態のとき、第１室Ｚ１内に位置しているキャリッジ３０を検出するようになっている。
（電気的構成）
次に、液滴吐出装置１の電気的構成を図６に従って説明する。図６は、液滴吐出装置１の電気的構成を示すブロック図である。
【００５４】
図６において、制御装置１００は、ＣＰＵ１０１、ＲＯＭ１０２、ＲＡＭ１０３等を有している。制御装置１００は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、Ｘ軸移動プレート１２の搬送処理、各キャリッジプレートＰの搬送処理、及び、液滴吐出ヘッド４０を駆動してＣＦ基板Ｗにパターンを形成する描画処理などを実行する。また、制御装置１００は、各キャリッジ３０に設けた各液滴吐出ヘッド４０が吐出する液滴Ｆｂ
の吐出重量などを検査する検査処理、その検査に基づく各液滴吐出ヘッド４０の液滴Ｆｂの吐出重量調整処理、第１〜第６キャリッジ３０ａ〜３０ｆの原点復帰処理などを実行する。
【００５５】
制御装置１００には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置１０４が接続されている。入出力装置１０４は、液滴吐出装置１が実行する各種処理の処理状況を表示する。入出力装置１０４は、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでカラーフィルタのパターンを形成するための描画データ（ビットマップデータＢＤ）を生成し、そのビットマップデータＢＤを制御装置１００に入力する。また、制御装置１００は、入力されたビットマップデータＢＤを描画データ記憶手段としてのＲＡＭ１０３に記憶する。
【００５６】
ビットマップデータＢＤは、各ビットの値（０あるいは１）に応じて各圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータＢＤは、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下をＣＦ基板Ｗが通過する際、ＣＦ基板Ｗの予め特定された各位置に、液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。
【００５７】
すなわち、ビットマップデータＢＤは、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでカラーフィルタのパターンを描画するために、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下を、何度もＣＦ基板Ｗを往復動させ、その往動及び復動する毎に、カラーフィルタのパターンを描画するために用意された、配置位置に液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。
【００５８】
詳述すると、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下を、往動及び復動する毎に用意された、対応するビットマップデータＢＤを使って、液滴Ｆｂを吐出させれば、ＣＦ基板Ｗにカラーフィルタのパターンが描画されることになる。
【００５９】
そして、本実施形態では、このＣＦ基板Ｗに描画するカラーフィルタのパターンは、予め設計等で求め、その求めたパターンからビットマップデータＢＤが作成される。
制御装置１００には、Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号をＸ軸リニアモータ駆動回路１０５に出力する。Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、Ｘ軸移動プレート１２（ＣＦ基板Ｗ）を移動させるためのＸ軸リニアモータＭ１を駆動させる。
【００６０】
制御装置１００には、Ｙ軸リニアモータ駆動回路１０６が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号をＹ軸リニアモータ駆動回路１０６に出力する。Ｙ軸リニアモータ駆動回路１０６は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、Ｙ軸リニアモータＭ２を駆動して、第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６をそれぞれ移動させる。
【００６１】
制御装置１００には、ヘッド駆動回路１０８が接続されている。制御装置１００は、所定の吐出周波数に同期させた吐出タイミング信号をヘッド駆動回路１０８に出力する。制御装置１００は、各圧電素子ＰＺを駆動するための駆動電圧を吐出周波数に同期させてヘッド駆動回路１０８に出力する。
【００６２】
制御装置１００は、ビットマップデータＢＤを利用して所定の周波数に同期したパターン形成用制御信号を生成し、パターン形成用制御信号をヘッド駆動回路１０８にシリアル転送する。ヘッド駆動回路１０８は、制御装置１００からのパターン形成用制御信号を各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路１０８は、制御装置１００からの吐出タイミング信号を受けるたびに、シリアル／パラレル変換したパターン形成用制御信号をラッチし、パターン形成用制御信号によって選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動電圧を供給する。
【００６３】
制御装置１００は、重量測定ユニット５４が電気的に接続されている。制御装置１００は、重量測定ユニット５４から、その時々の各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）の各液滴吐出ヘッド４０から吐出された液滴Ｆｂの総吐出重量を求め、液滴吐出ヘッド４０毎に液滴Ｆｂの吐出重量を演算する。制御装置１００は、演算した液滴Ｆｂの吐出重量に基づいて、液滴Ｆｂが予め定めた吐出重量になるように各液滴吐出ヘッド４０の圧電素子ＰＺに供給（印加）される駆動電圧を調整する。
【００６４】
制御装置１００には、キャッピングユニット駆動回路１１０が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号をキャッピングユニット駆動回路１１０に出力する。キャッピングユニット駆動回路１１０は、制御装置１００からの制御駆動信号に応答して、各キャッピングユニットＣＵ（ＣＵ１〜ＣＵ６）に備えた昇降装置や吸引ポンプ（ともに図示せず）をそれぞれ駆動させる。
【００６５】
また、キャッピングユニット停止制御手段としての制御装置１００は、第１ドアＤ１が解錠状態であるとき、第１室Ｚ１に配置されている第２〜第６キャッピングユニットＣＵ２〜ＣＵ６を停止状態にする駆動制御信号をキャッピングユニット駆動回路１１０に出力する。
【００６６】
制御装置１００には、第１〜第６原点検出センサＳＥ１〜ＳＥ６が電気的に接続されている。第１〜第６原点検出センサＳＥ１〜ＳＥ６は、その時々の検出信号を制御装置１００にそれぞれ出力する。制御装置１００は、第１〜第６原点検出センサＳＥ１〜ＳＥ６からの検出信号に基づいて、対応するキャリッジ３０をそれぞれ原点位置（ホームポジション）に復帰（原点復帰）させる。
【００６７】
また、基準位置配置手段としての制御装置１００は、第１原点検出センサＳＥ１からの検出信号に基づいて、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆを第１キャリッジ３０ａの原点位置（基準位置）に配置する。そして、制御装置１００は、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆをそれぞれ第１キャリッジ３０ａの原点位置（基準位置）に配置することによって、それぞれを原点復帰させるようになっている。
【００６８】
詳述すると、制御装置１００は、例えば作業者によって第１室Ｚ１から第２室Ｚ２に移動させたキャリッジ３０（３０ｂ〜３０ｆ）をそれぞれ認識するようになっている。つまり、第２室Ｚ２に新たに移動させたキャリッジ３０が、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆのいずれであるか認識するようになっている。
【００６９】
そして、制御装置１００のＲＯＭ１０２には、第１キャリッジ３０ａの原点位置を、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆのそれぞれの原点位置（第２原点位置）とするための補正データが予め記憶されている。補正データは、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆのそれぞれの原点位置（ホームポジション）から第１キャリッジ３０ａの原点位置（第２原点位置）までの送り量のデータである。従って、制御装置１００は、前記補正データを参照することによって、第１キャリッジ３０ａの原点位置を第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆの原点位置（第２原点位置）とすることができるようになっている。つまり、制御装置１００は、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆのそれぞれを、第１キャリッジ３０ａの原点位置に配置することによって、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆを第２原点位置に原点復帰させる。
【００７０】
制御装置１００には、キャリッジ検出センサＣＳＥが接続されている。キャリッジ検出センサＣＳＥは、第１室Ｚ１内に位置しているキャリッジ３０をそれぞれ検出し、その検出信号を制御装置１００に出力する。
【００７１】
キャリッジ停止制御手段としての制御装置１００は、第１ドアＤ１が解錠状態のときに、キャリッジ検出センサＣＳＥからの検出信号に基づいて、第１室Ｚ１内に位置しているキャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）を停止状態にする。
【００７２】
制御装置１００には、シャッタ駆動回路１１３が接続されている。制御装置１００は、シャッタ駆動回路１１３に駆動制御信号を出力する。シャッタ駆動回路１１３は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、シャッタ部６を施錠・解錠制御するとともに、開閉動作制御する。
【００７３】
シャッタ部６は、Ｙ軸ガイドレール１８が第１室と第２室との間を貫通させる隔壁３の連通窓に設けられている。そして、シャッタ部６が開いているとき、キャリッジ３０の経路が開放されて、第１室Ｚ１と第２室Ｚ２との間をキャリッジ３０が一対のＹ軸ガイドレール１８に沿って往復移動できるようになっている。反対にシャッタ部６が閉じているとき、キャリッジ３０が一対のＹ軸ガイドレール１８に沿って往復移動できないようになっている。尚、シャッタ部６は、解錠状態のときには、作業者が手動で開閉させることが可能となっている。
【００７４】
制御装置１００には、ドアロック制御部１１４が接続されている。制御装置１００は、制御信号をドアロック制御部１１４に出力する。ドアロック制御部１１４は、制御装置１００からの制御信号に応答して、第１ドアＤ１及び第２ドアＤ２のそれぞれを施錠状態または解錠状態にする。また、ドアロック制御部１１４は、第１ドアＤ１及び第２ドアＤ２のそれぞれが、施錠状態または解錠状態であることを検出し、その検出結果を示す検出信号を制御装置１００に出力する。すなわち、制御装置１００は、第１ドアＤ１が施錠されているか否かを判断しているとともに、第２ドアＤ２が施錠されているか否かを判断している。
【００７５】
次に、上記のように構成した部屋２を備えた液滴吐出装置１のサブキャリッジ３３の交換作業の作用について図７に従って説明する。
今、サブキャリッジ３３の交換作業に入ると、制御装置１００は、シャッタ部６を開放して、描画エリアＡ１に位置している第１〜第６キャリッジ３０ａ〜３０ｆを待機エリアＡ２に移動させて、対応する第１〜第６キャッピングユニットＣＵ１〜ＣＵ６におけるホームポジションに配置する。第１〜第６キャリッジ３０ａ〜３０ｆが対応するキャッピングユニットＣＵ（ＣＵ１〜ＣＵ６）におけるホームポジションに配置されると、制御装置１００は、シャッタ部６を閉じて施錠する。
【００７６】
制御装置１００は、各キャリッジ３０（３０ａ〜３０ｆ）をホームポジションに配置すると、対応するキャッピングユニットＣＵ（ＣＵ１〜ＣＵ６）を用いて、各液滴吐出ヘッド４０や配管接続部材（図示せず）から機能液Ｆを抜いて、液滴吐出ヘッド４０や配管接続部材（図示せず）の洗浄を行う。
【００７７】
制御装置１００は、洗浄が終了すると、第１ドアＤ１及び第２ドアＤ２を解錠し、作業者の第１室Ｚ１及び第２室Ｚ２への入室を可能にする。
第１ドアＤ１及び第２ドアＤ２が解錠されると、作業者は、まず、第２室Ｚ２に入室し、第２室Ｚ２において、第１キャッピングユニットＣＵ１の直上にある第１キャリッジ３０ａのサブキャリッジ３３の交換作業を行う（ステップＳ２１）。やがて、その交換作業が終了すると、作業者は、第２室Ｚ２から退出し、入出力装置１０４を操作して第２ドアＤ２を施錠する。従って、作業者は、第２室Ｚ２の入室、すなわち、第１室Ｚ１から第２室Ｚ２への入室が不可能になる。
【００７８】
第２ドアＤ２が施錠されると、制御装置１００は、第１キャリッジ３０ａの描画準備を
行う（ステップＳ２２）。制御装置１００は、第１原点検出センサＳＥ１からの検出信号に基づいて、第１キャリッジ３０ａに取着したサブキャリッジ３３の基準部材３５を所定の位置に配置して、第１キャリッジ３０ａを原点位置に原点復帰させる。
【００７９】
続いて、制御装置１００は、第１キャッピングユニットＣＵ１を用いて第１キャリッジ３０ａに機能液Ｆの初期充填を行い、第１キャリッジ３０ａを重量測定ユニット５４の直上に移動させ、吐出重量測定を行う。制御装置１００は、吐出重量測定の測定結果に基づいて、圧電素子ＰＺに印加する駆動電圧を調整し、第１キャリッジ３０ａを描画位置へ移動配置する（ステップＳ２３）。制御装置１００は、第１キャリッジ３０ａを描画位置に配置すると、シャッタ部６を解錠して、シャッタ部６を手動で開放可能にする。
【００８０】
第２室Ｚ２で第１キャリッジ３０ａの描画準備を行っているとき、第１室Ｚ１では、作業者によって、第２キャリッジ３０ｂに設けたサブキャリッジ３３の交換作業を行われる（ステップＳ１１）。このとき、制御装置１００は、第１室Ｚ１に位置している各キャリッジ３０（３０ｂ〜３０ｆ）と第２〜第６キャッピングユニットＣＵ２〜ＣＵ６とを停止状態にしていることから、作業者は、第１室Ｚ１において安全に交換作業を行うことができる。
【００８１】
第２室Ｚ２での第１キャリッジ３０ａの描画準備、及び、第１室Ｚ１での第２キャリッジ３０ｂの交換作業が終了すると、作業者は、シャッタ部６を手動で開けて、第２キャリッジ３０ｂを第２室Ｚ２に手動で移動させる（ステップＳ１２）。そして、作業者は、シャッタ部６を手動で閉めた後、入出力装置１０４の操作を操作して、制御装置１００を介してシャッタ部６を施錠する。
【００８２】
制御装置１００は、シャッタ部６を施錠すると、第２キャリッジ３０ｂの描画準備を行う（ステップＳ２４）。制御装置１００は、第１原点検出センサＳＥ１からの検出信号及び補正データに基づいて、第２キャリッジ３０ｂを第１キャリッジ３０ａの原点位置に配置、すなわち、第２キャリッジ３０ｂを第２原点位置に原点復帰させる。
【００８３】
続いて、制御装置１００は、第１キャッピングユニットＣＵ１を用いて第２キャリッジ３０ｂに機能液Ｆの初期充填を行い、第２キャリッジ３０ｂを重量測定ユニット５４の直上に移動させ、吐出重量測定を行う。制御装置１００は、吐出重量測定の測定結果に基づいて、圧電素子ＰＺに印加する駆動電圧を調整し、第２キャリッジ３０ｂを描画位置へ移動配置する。制御装置１００は、第２キャリッジ３０ｂを描画位置に移動配置すると（ステップＳ２５）、シャッタ部６を解錠して、シャッタ部６を手動で開放可能にする。
【００８４】
一方、同様に、第２キャリッジ３０ｂの描画準備を第２室Ｚ２で行っているとき、第３キャリッジ３０ｃに取着したサブキャリッジ３３の交換作業が作業者によって第１室Ｚ１にて行われる（ステップＳ１３）。
【００８５】
以後、これらを繰り返して第３〜第５キャリッジ３０ｃ〜３０ｅがそれぞれの描画位置へと移動配置される（ステップＳ２６，２７，２８）。
そして、作業者は、第６キャリッジ３０ｆの交換作業を行い、第６キャリッジ３０ｆを第２室Ｚ２に手動で移動させると、シャッタ部６を手動で閉めて、第１室Ｚ１から退出し、入出力装置１０４を操作して制御装置１００を介してシャッタ部６及び第１ドアＤ１を施錠する。
【００８６】
制御装置１００は、第６キャリッジ３０ｆの第２原点位置への配置、機能液Ｆの初期充填、吐出重量測定を行い、第６キャリッジ３０ｆを描画位置に配置する（ステップＳ２９）。そして、第６キャリッジ３０ｆを描画位置に配置すると、図示しない完了ランプを点
灯させ、サブキャリッジ３３の交換作業が終了する。
【００８７】
上記実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態によれば、部屋２を第１室Ｚ１と温度調節された第２室Ｚ２とに仕切る隔壁３を設けた。隔壁３には、各キャリッジ３０が第１室Ｚ１と第２室Ｚ２とを往復移動できるように連通窓（図示せず）を設けるとともに、連通窓には第１室Ｚ１と第２室Ｚ２とを連通状態及び非連通状態にするシャッタ部６を設けた。
【００８８】
また、第２室Ｚ２に重量測定ユニット５４と第１キャッピングユニットＣＵ１とが位置するように、隔壁３を設けた。さらに、第１キャリッジ３０ａの原点位置を検出する第１原点検出センサＳＥ１とＲＯＭ１０２に予め記憶した補正データとを用いて、第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆを第１キャリッジ３０ａの原点位置（第２原点位置）に配置することによって、それぞれを第２原点位置に原点復帰させた。
【００８９】
従って、第１キャリッジ３０ａの原点位置（第２原点位置）に第２〜第６キャリッジ３０ｂ〜３０ｆを配置することによって、第１室Ｚ１に設けた本来の原点位置に移動させることなく、第２室Ｚ２でそれぞれ原点復帰させることができる。また、液滴吐出ヘッド４０への機能液Ｆの初期充填、及び、液滴吐出ヘッド４０の吐出重量測定を第２室Ｚ２で行うことができる。つまり、第２室Ｚ２において各キャリッジ３０の描画準備を行うことができる。
【００９０】
また、第１室Ｚ１と第２室Ｚ２とを隔壁３とシャッタ部６とによって区画することによって、第２室Ｚ２において各キャリッジ３０の描画準備を行っているときに、第１室Ｚ１において、サブキャリッジ３３の交換作業を行うことができる。すなわち、各キャリッジ３０の描画準備と作業者によるサブキャリッジ３３の交換作業とを同時期に行うことができる。その結果、サブキャリッジ３３の交換作業開始から各キャリッジ３０を描画位置に配置するまでに要する時間を短縮して、液滴吐出装置１の生産効率を向上させることができる。しかも、描画中の液滴吐出ヘッド４０は、第２室Ｚ２に配置されることから、温度調節を行う空間が第２室Ｚ２だけで済むので温度調節を効率よく行うことができる。
【００９１】
（２）上記実施形態によれば、第１ドアＤ１が解錠状態のとき、第１室Ｚ１に位置しているキャリッジ３０を検出するキャリッジ検出センサＣＳＥを設け、該キャリッジ検出センサＣＳＥによって検出されたキャリッジ３０を停止状態にした。また、第１ドアＤ１が解錠状態のとき、第２〜第６キャッピングユニットＣＵ２〜ＣＵ６を停止状態にした。
【００９２】
従って、第１室Ｚ１において、作業者によるサブキャリッジ３３の交換作業を行っているとき、第１室Ｚ１のキャリッジ３０及び第２〜第６キャッピングユニットＣＵ２〜ＣＵ６の誤作動を防止することができる。その結果、第１室Ｚ１におけるサブキャリッジ３３の交換作業を、より安全に行うことができる。
【００９３】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、描画・描画準備エリアとしての第２室Ｚ２には、キャッピングユニットＣＵを１台配置した。これに限らず、複数台配置するようにしてもよい。
【００９４】
・上記実施形態では、第２室Ｚ２には、重量測定ユニット５４を１台設けた。これに限らず、複数台配置してもよい。
・上記実施形態では、圧電素子駆動方式の液滴吐出ヘッド４０に具体化した。これに限らず、抵抗加熱方式や静電駆動方式の液滴吐出ヘッドに具体化してもよい。
【００９５】
・上記実施形態では、第１キャリッジ３０ａの原点位置を基準位置とした。これに限ら
ず、描画・描画準備エリアとしての第２室Ｚ２の別の位置に基準位置を設けてもよい。
・上記実施形態では、液滴吐出ヘッド４０を６個備えたキャリッジを６個搭載した液滴吐出装置１に具体化した。これに限らず、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの配置や数、及び、液滴吐出装置に搭載されるキャリッジの数は、適宜変更してもよい。
【００９６】
・上記実施形態では、パターン形成装置としてフィルタ用インクを液滴にして吐出させてＣＦ基板Ｗにカラーフィルタを形成する液滴吐出装置１に具体化した。これに限らず、金属配線を形成する液滴吐出装置、絶縁層を形成する液滴吐出装置、液晶層や配向膜を形成する液滴吐出装置、有機ＥＬ表示装置の発光層や輸送層等を形成する液滴吐出装置等に応用してもよい。
【００９７】
・上記実施形態では、液滴吐出装置１には、機能液Ｆの初期充填を行うキャッピングユニットＣＵと液滴吐出ヘッド４０の吐出重量測定を行う重量測定ユニット５４とを設けた。これに限らず、例えば、液滴吐出ヘッド４０のノズル形成面４５ａに付着した機能液Ｆを払拭するワイピングユニットをさらに設けてもよい。
【００９８】
・上記実施形態では、待機エリアＡ２を一方向に設けた。これに限らず、図８のように、待機エリアＡ２を両側に設けて、それぞれに隔壁３を設置するようにしてもよい。これによれば、サブキャリッジ３３の交換作業、及び、各キャリッジ３０の描画準備などを複数台同時期に行うことができることから、さらに時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図３】キャリッジプレートとキャリッジの関係を表す平面図。
【図４】（ａ）液滴吐出ヘッドを基板ステージ側から見た斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドのポンプ部断面図。
【図５】キャッピングユニットの斜視図。
【図６】液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。
【図７】液滴吐出装置の作用を説明するためのフローチャート。
【図８】別例における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【符号の説明】
【０１００】
Ａ１…描画エリア、Ａ２…待機エリア、ＢＤ…ビットマップデータ、ＣＳＥ…キャリッジ検出センサ、ＣＵ…キャッピングユニット、ＣＵ１，ＣＵ２，ＣＵ３，ＣＵ４，ＣＵ５，ＣＵ６…第１，第２，第３，第４，第５，第６キャッピングユニット、Ｄ１…第１ドア、Ｄ２…第２ドア、Ｆ…機能液、Ｆｂ…液滴、Ｍ１…Ｘ軸リニアモータ、Ｍ２…Ｙ軸リニアモータ、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６…第１，第２，第３，第４，第５，第６キャリッジプレート、ＰＺ…圧電素子、ＳＥ１，ＳＥ２，ＳＥ３，ＳＥ４，ＳＥ５，ＳＥ６…第１，第２，第３，第４，第５，第６原点検出センサ、Ｗ…ＣＦ基板、１…液滴吐出装置、２…部屋、３…隔壁、６…シャッタ部、１０…基台、１０ａ…上面、１１…Ｘ軸ガイドレール、１２…Ｘ軸移動プレート、１４…基板ステージ、１６…ステージ回動機構、１８…Ｙ軸ガイドレール、１９ａ…支柱、１９ｂ…支柱、２１…キャリッジプレート、２２…機能液供給ユニット、２３…ヘッド用電装ユニット、２５…吊下機構、２６…吊下基板、２７…吊下回動枠、２８…吊下支持枠、３０…キャリッジ、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ，３０ｆ…第１，第２，第３，第４，第５，第６キャリッジ、３１…キャリッジ枠、３３…サブキャリッジ、３４…ユニットプレート、４０…液滴吐出ヘッド、４０Ａ…ヘッド本体、４１…液体導入部、４２…接続針、４３…ヘッド基板、４３Ａ…ヘッドコネクタ、４４…ポンプ部、４５…ノズルプレート、４５ａ…ノズル形成面、４６…吐出ノズル、４７…ノズル列、４８…フランジ部、４９…ネジ孔、５２…キャビティ、５
３…振動板、５４…重量測定ユニット、５５…第１ベースブロック、５６…第２ベースブロック、６４…封止キャップ、６６…ベース、６７…キャップテーブル、１００…制御装置、１０１…ＣＰＵ、１０２…ＲＯＭ、１０３…ＲＡＭ、１０４…入出力装置、１０５…Ｘ軸リニアモータ駆動回路、１０６…Ｙ軸リニアモータ駆動回路、１０７…駆動波形生成回路、１０８…ヘッド駆動回路、１１０…キャッピングユニット駆動回路、１１３…シャッタ駆動回路、１１４…ドアロック制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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