(57)【要約】【課題】短時間でインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定することができる駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法を提供する。【解決手段】基準パルス幅を有する駆動電圧の最大値が一定の駆動電圧パルスと、基準パルス幅を中心としてパルス幅をそれぞれ変化させた従属パルス幅を有する駆動電圧パルスとをそれぞれ印加してノズルから吐出したインク吐出量をそれぞれ測定し、基準パルス幅及び従属パルス幅と、インク吐出量との関係に基づいて２次近似曲線を求めると共に、その関係と２次近似曲線との相関係数を算出する相関係数算出工程と、相関係数算出工程により得られた相関係数が設定値以上となっているか否かを判断する相関係数判断工程と、相関係数が設定値より小さい場合に、基準パルス幅を変更する基準パルス幅変更工程とを具備する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴が噴射されるノズルに連通する複数の圧力室と、複数の圧力室に共通する共通液室と、該共通液室内の液体を前記圧力室に供給する供給口と、前記圧力室の一方面に設けられた可撓性電極と、該可撓性電極に一定間隔で対向配置された固定電極とを具備すると共に、前記可撓性電極及び前記固定電極の間に駆動電圧パルスを印加して、これらの間に発生する静電気力によって前記可撓性電極を変位させることにより前記圧力室に圧力変動を発生させて前記ノズルから液滴を吐出させる液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法であって、所定の基準パルス幅を有する駆動電圧の最大値が一定の前記駆動電圧パルスと、前記基準パルス幅を中心として所定のパルス幅を変化させた従属パルス幅を有する２点以上の前記駆動電圧パルスとをそれぞれ印加して前記ノズルから吐出したインク吐出量をそれぞれ測定し、前記基準パルス幅及び前記従属パルス幅と、それらのパルス幅を有する駆動電圧パルスをそれぞれ印加した際に吐出されたインク吐出量との関係に基づいて２次近似曲線を求めると共に、その関係と前記２次近似曲線との相関係数を算出する相関係数算出工程と、前記相関係数算出工程により得られた相関係数が所定の設定値以上となっているか否かを判断する相関係数判断工程と、前記相関係数が前記所定の設定値より小さい場合に、前記基準パルス幅を変更する基準パルス幅変更工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法。
【請求項２】
前記基準パルス幅工程は、前記相関係数が前記所定の設定値より小さい場合に、前記基準パルス幅に隣接する２つの前記従属パルス幅のうち、インク吐出量が大きいものの方に向かって前記基準パルス幅を変更することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法。
【請求項３】
前記基準パルス幅工程は、前記基準パルス幅を前記基準パルス幅と一方の従属パルス幅との中間点に変更することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法。
【請求項４】
前記相関係数算出工程は、変更された基準パルス幅を有する前記駆動電圧パルスを印加して前記ノズルから吐出したインク吐出量のみを測定し、その変更された基準パルス幅及び前記従属パルス幅と、それらのパルス幅を有する駆動電圧パルスをそれぞれ印加した際に吐出されたインク吐出量との関係に基づいて２次近似曲線を求めると共に、その関係と前記２次近似曲線との相関係数を算出することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法。
【請求項５】
前記相関係数が前記設定値以上となるまで、基準パルス幅変更工程と、前記相関係数算出工程と、前記相関係数判断工程とを繰り返すことを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法。
【請求項６】
前記設定値が０．９５６であることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力室の一方面に設けられた可撓性電極と、可撓性電極に一定間隔をおいて設けられた固定電極との間に駆動電圧を印加することにより、これらの間に発生する静電気力によって可撓性電極を変位させてノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドにおいて、その駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、プリンタ、ファクシミリ、複写機等に用いられるインクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドは、液滴を吐出させるためのメカニズムに応じて各種方式のものが知られている。例えば、発熱素子等によって液体を沸騰させ、そのときに生じる気泡圧で液滴を吐出させるものや、液滴が充填された圧力室の容積を、圧電素子の変位によって膨張又は収縮させることでノズルから液滴を吐出させるものなどがある。さらに、例えば、静電気力を利用して圧力室の容積を変化させることで、ノズルから液滴を吐出させるようにした静電駆動方式のインクジェット式記録ヘッドがある。
【０００３】
例えば、静電駆動方式のインクジェット式記録ヘッドとしては、複数のノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルに連通するインクキャビティ（圧力室）及びインクリザーバ（共通液室）が形成され、インクキャビティの底面に可撓性電極が設けられたキャビティプレートと、可撓性電極に一定間隔で対向配置された個別電極（固定電極）が設けられた電極基板とが貼り付けられて構成され、上記インクキャビティとインクリザーバとが、ノズルプレートに形成されたインク供給路（供給口）を介して連通させるようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、一定間隔で対向配置された可撓性電極と固定電極との間に駆動電圧パルスを印加して、これらの間に発生する静電気力によって可撓性電極を変位させて、圧力室の容積を変化させることで、ノズルから液滴を吐出させている。
【０００５】
かかるインクジェット式記録ヘッドでは、各電極の寸法ばらつきなどの個体差によるインク吐出量やインク速度に差があるので、インクジェット式記録ヘッドの印刷画像の品位を一定に保持するために、たとえば出荷段階において、駆動電圧パルスのパルス幅を３点以上変化させながらノズルから吐出されるインク吐出量を測定し、各駆動電圧パルスのパルス幅とそれらに対応するインク吐出量との関係に基づいて２次近似曲線（Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋Ｃで示される）を算出すると共に、その関係と２次近似曲線との相関係数を算出する。そして、算出された相関係数が所定の設定値以上の場合に、その２次近似曲線を用いてインク吐出量の極大点を求めることにより、駆動電圧パルスの最適パルス幅を求める方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−１９８３８６号公報（特許請求の範囲、第１図）
【特許文献２】特開２００４−３３０５２５号公報（特許請求の範囲）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述したような最適パルス幅を求める方法では、２次近似曲線を求めた後、その２次近似曲線からインク吐出量の極大点をさらに求める必要があり、インク吐出量の極大値を求めるのに時間がかかるという問題がある。また、上述した相関係数が所定の設定値より小さい場合には、複数の新たなパルス幅を有する駆動電圧パルスを印加して各インク吐出量を測定し、得られたデータ（パルス幅及びそれに対応するインク吐出量）及び以前２次近似曲線を求める際に用いたデータからなる各駆動電圧パルスのパルス幅とそれらに対応するインク吐出量との関係に基づいて２次近似曲線を再度算出する必要があり、インク吐出量の極大値を求めるためにはより時間がかかる。これは、２次近似曲線を算出する際に用いるデータ数（パルス幅及びそれに対応するインク吐出量）が多くなるにつれて、２次近似曲線を算出するのに必要となる時間が長くなるからである。その結果、２次近似曲線を算出する際に用いるデータ数が多くなるにつれて、インク吐出量の極大値を求めるのに必要となる時間は長くなる。
【０００８】
本発明は、上述した事情に鑑み、短時間でインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定することができる液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、液滴が噴射されるノズルに連通する複数の圧力室と、複数の圧力室に共通する共通液室と、該共通液室内の液体を前記圧力室に供給する供給口と、前記圧力室の一方面に設けられた可撓性電極と、該可撓性電極に一定間隔で対向配置された固定電極とを具備すると共に、前記可撓性電極及び前記固定電極の間に駆動電圧パルスを印加して、これらの間に発生する静電気力によって前記可撓性電極を変位させることにより前記圧力室に圧力変動を発生させて前記ノズルから液滴を吐出させる液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法であって、所定の基準パルス幅を有する駆動電圧の最大値が一定の前記駆動電圧パルスと、前記基準パルス幅を中心として所定のパルス幅を変化させた従属パルス幅を有する２点以上の前記駆動電圧パルスとをそれぞれ印加して前記ノズルから吐出したインク吐出量をそれぞれ測定し、前記基準パルス幅及び前記従属パルス幅と、それらのパルス幅を有する駆動電圧パルスをそれぞれ印加した際に吐出されたインク吐出量との関係に基づいて２次近似曲線を求めると共に、その関係と前記２次近似曲線との相関係数を算出する相関係数算出工程と、前記相関係数算出工程により得られた相関係数が所定の設定値以上となっているか否かを判断する相関係数判断工程と、前記相関係数が前記所定の設定値より小さい場合に、前記基準パルス幅を変更する基準パルス幅変更工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法にある。
かかる態様によれば、短時間でインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定することができる。
【００１０】
ここで、前記基準パルス幅工程は、前記相関係数が前記所定の設定値より小さい場合に、前記基準パルス幅に隣接する２つの前記従属パルス幅のうち、インク吐出量が大きいものの方に向かって前記基準パルス幅を変更することが好ましい。これによれば、適切な方向に基準パルス幅を変更することができるので、より短時間でインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定することができる。
【００１１】
また、前記基準パルス幅工程は、前記基準パルス幅を前記基準パルス幅と一方の従属パルス幅との中間点に変更することが好ましい。これによれば、適切な基準パルス幅に変更することができるので、さらに短時間でインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定することができる。
【００１２】
また、前記相関係数算出工程は、変更された基準パルス幅を有する前記駆動電圧パルスを印加して前記ノズルから吐出したインク吐出量のみを測定し、その変更された基準パルス幅及び前記従属パルス幅と、それらのパルス幅を有する駆動電圧パルスをそれぞれ印加した際に吐出されたインク吐出量との関係に基づいて２次近似曲線を求めると共に、その関係と前記２次近似曲線との相関係数を算出することが好ましい。これによれば、従属パルス幅を有する駆動電圧パルスを印加して、その従属パルス幅に対応するインク吐出量を測定する必要がないので、より短時間でインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスのパルス幅を測定することができる。
【００１３】
また、前記相関係数が前記設定値以上となるまで、基準パルス幅変更工程と、前記相関係数算出工程と、前記相関係数判断工程とを繰り返すことが好ましい。これによれば、インク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パスル幅を容易かつ正確に測定することができる。
【００１４】
また、前記設定値が０．９５６であることが好ましい。これによれば、インク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パスル幅をより正確に測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図である。図１に示すように、液体噴射装置は、インクジェット式記録ヘッド２１０を有するヘッドユニット２００は、インク供給手段を構成するカートリッジ１Ａ及び１Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット２００を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット２００は、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００１６】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット２００を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００１７】
ここで、インクジェット式記録ヘッド２１０について詳細に説明する。なお、図２は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は、インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００１８】
図２及び図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド２１０は、いわゆる静電駆動方式のヘッドであり、キャビティ基板１０と、このキャビティ基板１０の両面にそれぞれ接合されるノズルプレート２０及び電極基板３０とで構成されている。
【００１９】
キャビティ基板１０は、例えば、面方位（１００）又は（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方面側に開口する圧力室（キャビティ）１１がその幅方向に複数並設されている。また、キャビティ基板１０には、各圧力室１１に共通するインク室となる共通液室である共通インク室１２が形成されており、この共通インク室１２は、後述する供給口２３を介して各圧力室１１に連通されている。また、共通インク室１２の底壁には、共通インク室１２にインクを供給するためのインク供給孔１３が形成されている。また、キャビティ基板１０には、共通インク室１２の外側に、後述する個別電極に接続される個別端子部を露出させるための貫通孔１４が形成されている。なお、この貫通孔１４は、キャビティ基板１０の共通インク室１２とは反対側の端面まで連続的に形成されていてもよい。
【００２０】
なお、各圧力室１１の底壁は、圧力室１１内に圧力変化を生じさせるための振動板として機能すると共に、この振動板を変位させる静電気力を発生させるための共通電極としての役割を兼ねる可撓性電極１５となっている。そして、キャビティ基板１０の貫通孔１４近傍には、ノズルプレート２０の後述する露出孔内に露出されて図示しない駆動配線が接続される共通端子部１６が形成されている。
【００２１】
また、可撓性電極１５の電極基板３０に相対向する面には、詳しくは後述する電極基板３０の個別電極３３に相対向する領域に、酸化膜からなる絶縁膜１７が設けられている。本実施形態では、絶縁膜１７をキャビティ基板１０の電極基板３０側の表面の全面に亘って形成するようにした。
【００２２】
このような絶縁膜１７としては、ドライ酸化により形成されたドライ酸化膜が好ましく、特に、ドライ酸化により形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）が好ましい。絶縁膜１７は、例えば、シリコンからなるキャビティ基板１０を熱酸化することにより形成することができる。また、絶縁膜１７は、キャビティ基板１０上にＴＥＯＳ−ＣＶＤ法により形成することもできる。
【００２３】
ノズルプレート２０は、キャビティ基板１０と同様に、面方位（１００）又は（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、各圧力室１１に連通する複数のノズル２１が形成されている。そして、このノズルプレート２０は、キャビティ基板１０の開口面側に接合され、圧力室１１及び共通インク室１２の一方の面を形成している。また、ノズルプレート２０のキャビティ基板１０とは反対側の面には、ノズル２１に対応する領域に亘って厚さ方向の一部を除去したノズル段差部２２が形成されている。
【００２４】
ここで、各ノズル２１は、インク滴が吐出される面側に設けられて、ノズル段差部２２内に開口する略円形の小径部２１ａと、小径部２１ａよりも大きい内径を有し小径部２１ａと圧力室１１とを連通する大径部２１ｂとからなる。すなわち、全てのノズル２１（小径部２１ａ）は、ノズル段差部２２内に開口しており、本実施形態では、ノズル段差部２２内のノズルプレート２０の表面がノズル面となる。
【００２５】
また、このノズルプレート２０のキャビティ基板１０との接合面には、圧力室１１と共通インク室１２との境界に対応する領域に、これら各圧力室１１と共通インク室１２とを連通する供給口２３が形成されている。供給口２３は、ノズルプレート２０のキャビティ基板１０側に設けられた凹部により形成されている。また、ノズルプレート２０には、共通インク室１２の外側に対応する位置に、キャビティ基板１０の貫通孔１４に連通し、後述する個別端子部と共に共通端子部１６を露出させる露出孔２４が形成されている。なお、この露出孔２４は、貫通孔１４と同様に、共通インク室１２とは反対側の端面まで連続的に形成されていてもよい。
【００２６】
また、ノズルプレート２０の表面、本実施形態では、ノズル段差部２２内には、例えば、フッ素含有シランカップリング化合物等からなる撥水撥油性材料からなる撥水撥油膜２５が形成されている。これにより、ノズルプレート２０の表面（ノズル面）へのインク滴の付着を抑えている。
【００２７】
なお、ノズルプレート２０のノズル２１及び供給口２３等は、ノズルプレート２０をドライエッチングすることにより形成されている。
【００２８】
一方、電極基板３０は、シリコン単結晶基板に近い熱膨張率を有する、例えば、ホウ珪酸ガラス等のガラス基板からなり、キャビティ基板１０の可撓性電極１５側の面に接合されている。この電極基板３０の可撓性電極１５に対向する領域には、各圧力室１１に対応して溝３１が形成されている。また、電極基板３０には、キャビティ基板１０のインク供給孔１３に対応する位置に、インク供給孔１３に連通するインク導入孔３２が形成されている。そして、図示しないインクタンクからこのインク導入孔３２及びインク供給孔１３を介して共通インク室１２にインクが導入されるようになっている。
【００２９】
また、各溝３１には、各可撓性電極１５を変位させる静電気力を発生させるための固定電極である個別電極３３が、可撓性電極１５との間に所定の間隔を確保した状態でそれぞれ配置されている。また、溝３１内には、キャビティ基板１０の貫通孔１４に対向する領域に、図示しない駆動配線が接続される個別端子部３４が形成されており、この個別端子部３４と各個別電極３３とはリード電極３５によって接続されている。なお、図示しないが、これら各個別電極３３及び可撓性電極１５は絶縁膜１７によって封止され、また個別端子部３４と共通端子部１６との間には、接続配線を介して駆動電圧パルスを印加するためのドライバＩＣ（図示なし）が接続されている。
【００３０】
このようなインクジェット式記録ヘッド２１０では、ドライバＩＣによって個別電極３３と可撓性電極１５との間に駆動電圧を印加すると、これら個別電極３３と可撓性電極１５との隙間に発生する静電気力によって可撓性電極１５が個別電極３３側に撓み変形して、圧力室１１の容積が拡大し、駆動電圧の印加を解除すると、可撓性電極１５が元の状態に復帰して圧力室１１の容積が収縮する。そして、このとき発生する圧力室１１内の圧力変化によって、圧力室１１内のインクの一部が、ノズル２１からインク滴として吐出される。
【００３１】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッド２１０の可撓性電極１５と個別電極３３との間に印加される駆動電圧パルスについて、図４を参照して説明する。なお、図４は、実施形態１に係る駆動電圧パルスの一例を示す波形図であり、横軸に時間を、縦軸に電圧をとっている。同図に示すように、本実施形態では、駆動電圧パルスの駆動電圧は、急激に上昇した後しばらく一定に保たれ、次いで急激に下降している。なお、本実施形態では、駆動電圧パルスの駆動電圧の最大値は一定となっている。
【００３２】
このような駆動電圧パルスをインクジェット式記録ヘッド２１０の個別電極３３と可撓性電極１５との間に印加することにより、上述したように、ノズル２１からインクが吐出されることになる。したがって、同一の駆動電圧パルスを印加した際に、各電極の寸法ばらつきなどの個体差によって各ノズル２１から吐出されるインク吐出量に差があったとしても、各電極に印加される駆動電圧パルスのパルス幅を調整することによって、インク吐出量を調整することができる。ここで、駆動電圧パルスのパルス幅は、駆動電圧が上昇する時点と駆動電圧が下降する時点との差をいう。
【００３３】
本発明は、上述したインクジェット式記録ヘッド２１０のような液体噴射ヘッドにおいて、インク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定する方法に特徴を有するものである。そこで、まず、上述したインクジェット式記録ヘッド２１０における駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法に用いる測定装置について説明する。
【００３４】
図５は、本実施形態における駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法に用いる測定装置の概略図である。同図に示すように、この測定装置１００では、上述したインクジェット式記録ヘッド２１０は、インク供給チューブ１０３を介して、秤量計１１１上に載置されたインク貯蔵容器１０５に接続されており、インク貯蔵容器１０５からインクジェット式記録ヘッド２１０にインクを供給することができるようになっている。また、インク貯蔵容器１０５は、インク搬送チューブ１０２を介してインク供給部１０１に接続されており、インク供給部１０１内に貯留されているインクをインク貯蔵容器１０５に供給することができるようになっている。すなわち、インク供給部１０１から供給されたインクは、最終的にインクジェット式記録ヘッド２１０から吐出されるようになっている。さらに、インクジェット式記録ヘッド２１０、インク供給部１０１及び秤量計１１１はそれぞれパーソナルコンピュータ１０８に接続されている。そして、パーソナルコンピュータ１０８は、インクジェット式記録ヘッド２１０の可撓性電極１５と個別電極３３との間に印加される駆動電圧パルスのパルス幅を制御することができると共に、インク供給部１０１から供給されるインク量を制御することができ、さらには秤量計１１１によって計測されたインク貯蔵容器１０５内のインクの質量（重量）に基づいて、インク供給部１０１から供給されたインク量とインクジェット式記録ヘッド２１０から吐出されたインク吐出量とをそれぞれ計測することができるようになっている。すなわち、パーソナルコンピュータ１０８は、あるパルス幅を有する駆動電圧パルスを印加させた際に、インクジェット式記録ヘッド２１０から吐出されるインク吐出量を計測することができると共に、インク供給部１０１から供給されたインク量を計測することができるようになっている。
【００３５】
次に、この測定装置１００を用いて、インク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定する方法について説明する。この方法は、図６に示すように、相関係数算出工程と、相関係数判断工程と、基準パルス幅変更工程とからなっているが、まず相関係数算出工程について説明する。なお、図６は、本実施形態に係る液体噴射ヘッドにおける駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法のフローチャートである。
【００３６】
＜相関関係算出工程＞
まず、所定のパルス幅を基準パルス幅に設定する（Ｓ１）と共に、その基準パルス幅を中心として所定のパルス幅（たとえば±１μｓ、±２μｓ）をそれぞれ変化させた４点の従属パルス幅を設定する（Ｓ２）。そして、それら５点のパルス幅を有する駆動電圧パルスをインクジェット式記録ヘッド２１０の可撓性電極１５と個別電極３３との間にそれぞれ印加し、ノズル２１から吐出されるインク吐出量をそれぞれ計測する（Ｓ３）。すなわち、基準パルス幅を中心として１μｓ刻みで変化させた５点のパルス幅の駆動電圧パルスをそれぞれ印加して、ノズル２１から吐出されるインク吐出量をそれぞれ計測する。その結果、たとえば図７に示すパルス幅とインク吐出量との関係を示すグラフが得られる。
【００３７】
次に、基準パルス幅及び４点の従属パルス幅と、それらのパルス幅の駆動電圧パルスを印加した際にノズル２１から吐出されたインク吐出量との関係に基づいて２次近似曲線を求める（Ｓ４）。本実施形態では、２次近似曲線をＹ＝ａＸ２＋ｂＸ＋Ｃ（Ｘを横軸，Ｙを縦軸）とし、最小二乗法により求める。その結果、図７に示す２次近似曲線が得られる。
【００３８】
そして、得られた２次近似曲線と、基準パルス幅及び４点の従属パルス幅とそれらのパルス幅の駆動電圧パルスを印加した際にノズル２１から吐出されたインク吐出量との関係との相関係数を求める（Ｓ５）。
【００３９】
＜相関係数判断工程＞
次に、相関係数判断工程について説明する。相関係数判断工程では、上述した相関関係算出工程により得られた相関係数が、所定の設定値以上となっているか否かを判断する（Ｓ６）。本実施形態では、設定値を０．９５６とした。この設定値以上の相関係数を有するものの基準パルス幅は、実質的にインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスのパルス幅と考えることができるからである。したがって、設定値を０．９５６とすることにより、インク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パスル幅をより正確に測定することができる。
【００４０】
そして、得られた相関係数が、この設定値以上の場合には、そのときの基準パルス幅をインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅とする（Ｓ７）。
【００４１】
＜基準パルス幅変更工程＞
さらに、基準パルス幅変更工程について説明する。上述したようにして得られた相関係数が設定値よりも低い相関係数の場合には、基準パルス幅に隣接する２つの従属パルス幅のうち、インク吐出量が大きいものの方に向かって所定のパルス幅（たとえば、０．５μｓ）だけ基準パルス幅を変更する（Ｓ８）。たとえば、図７に示したパルス幅とインク吐出量との関係に基づいて算出した相関係数が０．９５６より小さい場合、その基準パルス幅を、たとえば０．５μｓだけ長くしたものを新たな基準パルス幅として設定する。すなわち、同図に示すように、基準パルス幅に隣接する従属パルス幅のうち、基準パルス幅の右側（パルス幅が大きくなる方向）に位置する従属パルス幅に対応するインク吐出量の方が基準パルス幅の左側（パルス幅が小さくなる方向）に位置する従属パルス幅に対応するものよりも大きい。このことから、基準パルス幅の右側に２次近似曲線の極大値、すなわちインク吐出量の最大値が存在することを推定することができるので、その基準パルス幅を０．５μｓだけ長くしたものを新たな基準パルス幅として設定する。なお、２つの従属パルス幅に対応するインク吐出量が等しい場合には、どちらの従属パルス幅の方に向かって基準パルス幅を変更してもよい。
【００４２】
その後、相関係数が設定値以上となるまで、上述したステップＳ２〜Ｓ６を繰り返す。なお、本実施形態では、一度２次近似曲線を算出する際に用いられた基準パルス幅及び４点の従属パルス幅と、それらに対応するインク吐出量は、基準パルス幅を変更した際の２次近似曲線を算出する際に用いられることはない。すなわち、２次近似曲線は、常に基準パルス幅及び４点の従属パルス幅の計５つのパルス幅と、それらに対応するインク吐出量とに基づいて算出されることになる。したがって、本実施形態に係る駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法は、従来のように一度２次近似曲線を算出する際に用いられたパルス幅と新たに加えたパルス幅と、それらに対応するインク吐出量とに基づいて算出されるものと比較して、短時間で２次近似曲線を算出することができる。これは、２次近似曲線を算出する際に用いるデータ（パルス幅及びそれに対応するインク吐出量）の数が多くなるにつれて、２次近似曲線を算出するのに必要となる時間が長くなるからである。すなわち、本実施形態では、２次近似曲線を算出する際に用いるデータの数は常に５つであるので、より短時間で２次近似曲線を算出することができ、結果としてより短時間でインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定することができる。
【００４３】
そして、本実施形態では、基準パルス幅を０．５μｓだけ長くすると、図８に示すようなパルス幅とインク吐出量との関係を示すグラフが得られる。同図に示したパルス幅とインク吐出量との関係に基づいて算出した２次近似曲線と、それらの関係との相関係数は０．９５６以上であることから、このときの基準パルス幅がインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスのパルス幅となる（Ｓ７）。
【００４４】
以上説明したように、本実施形態に係る駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法によれば、２次近似曲線から極大値を算出する場合と比較して、短時間でインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスの最適パルス幅を測定することができる。
【００４５】
（実施形態２）
実施形態１では、基準パルス幅変更工程において基準パルス幅を変更して設定し直した後、その基準パルス幅及びその基準パルス幅を中心とした４点の従属パルス幅の駆動電圧パルスを再設定し、計５点のパルス幅の駆動電圧パルスをそれぞれ印加して、ノズル２１から吐出されるインク吐出量をそれぞれ計測したが、本実施形態では、従属パルス幅については再度設定し直してインク吐出量を測定することなく、一度測定したインク吐出量をそのまま利用して相関係数を算出する。
【００４６】
具体的には、図９に示すように、図６とは異なり、基準パルス幅を変更した後（Ｓ８）、ステップＳ３〜Ｓ６を繰り返すようにする。すなわち、従属パルス幅については、新たに設定された基準パルス幅に対応して変更することなくそのままの値を用いると共に、各従属パルス幅に対応するインク吐出量についても測定せず、新たな基準パルス幅についてのみその基準パルス幅に対応するインク吐出量を測定する（Ｓ３）。そして、得られた新たな基準パルス幅に対応するインク吐出量と、既に測定してある従属パルス幅とそれらに対応する以前測定したインク吐出量とに基づいて２次近似曲線を算出する（Ｓ４）と共に、その相関係数を算出する（Ｓ５）。次に、得られた相関係数が設定値以上か否かを判断する（Ｓ６）。そして、このような操作を実施形態１と同様に繰り返す。
【００４７】
以上説明したような駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法によれば、各従属パルス幅を有する駆動電圧パルスを印加して、各従属パルス幅に対応するインク吐出量を測定する必要がないので、より短時間でインク吐出量が最大となる駆動電圧パルスのパルス幅を測定することができる。
【００４８】
（他の実施形態）
上述した実施形態では、図５に示した測定装置を用いてインク吐出量を測定していたが、本発明に適用できる測定装置はこれに限定されない。
【００４９】
また、上述した実施形態では、相関係数が設定値以上になるまで測定方法を繰り返すようにしていたが、所定の回数（たとえば２回）繰り返しても相関係数が設定値以上にならない場合には、そのインクジェット式記録ヘッドは不良品と判断するようにしてもよい。
【００５０】
さらに、上述した実施形態１では、液体噴射ヘッドとしてインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドを例に挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般に適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとして、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図。
【図４】実施形態１に係る駆動電圧パルスの波形図。
【図５】実施形態１における最適パルス幅の測定方法に用いる測定装置の概略図。
【図６】実施形態１に係る駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法のフローチャート。
【図７】基準パルス幅を用いた際のパルス幅とインク吐出量との関係を示すグラフ。
【図８】修正基準パルス幅を用いた際のパルス幅とインク吐出量との関係を示すグラフ。
【図９】他の実施形態に係る駆動電圧パルスの最適パルス幅の測定方法のフローチャート。
【符号の説明】
【００５２】
１Ａ、１Ｂ  カートリッジ、３  キャリッジ、  １０  キャビティ基板、  １１  圧力室、  １２  共通インク室、  １４  貫通孔、  １５  可撓性電極、  １７  絶縁膜、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル、  ２１ａ  小径部、  ２１ｂ  大径部、  ２２  ノズル段差部、  ２３  供給口、  ２４  露出孔、  ２５  撥水撥油膜、  ３０  電極基板、  ３１  溝、  ３３  個別電極、  ２００  ヘッドユニット、  ２１０  インクジェット式記録ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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