(57)【要約】【課題】  水等のように粘度がもともと低いものであっても、インピーダンスの変化量を高感度で測定する。【解決手段】  液体導入路１８及び液体排出路１９に連通される反応槽１２と、反応槽の底部に設けられ水晶振動子の表裏面の一対の電極から供給される交流信号により水晶振動子が共振されるセンサとを備え、測定対象となる液体が液体導入路から反応槽内に導入され、そのときのセンサの共振時のインピーダンスの変化量から液体の粘度を測定する粘度測定装置である。反応槽の深さＤを、液体界面での水晶振動子の振動が液体中に侵入する距離を平均化した深さを表す液体侵入度よりも浅く設定している。【選択図】  図３
2009174930.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体導入路及び液体排出路に連通される反応槽と、該反応槽の底部または天板部に設けられ圧電素子の表裏面の一対の電極から供給される交流信号により該圧電素子が共振されるセンサとを備え、測定対象となる液体が前記液体導入路から前記反応槽内に導入され、そのときの前記センサの基準溶液のインピーダンスと前記測定対象となる液体のインピーダンスとの変化量から前記液体の粘度を測定する粘度測定装置であって、
前記反応槽の深さが、液体界面で前記圧電素子が振動する際その振動が液体中に侵入する平均距離を表す液体侵入度よりも浅く設定されていることを特徴とする粘度測定装置。
【請求項２】
液体導入路及び液体排出路に連通される反応槽と、該反応槽の底部または天板部に設けられ圧電素子の表裏面の一対の電極から供給される交流信号により該圧電素子が共振されるセンサとを備え、測定対象となる液体が前記液体導入路から前記反応槽内に導入され、そのときの前記センサの基準溶液のインピーダンスと前記測定対象となる液体のインピーダンスとの変化量から前記液体の粘性を測定する粘度測定装置であって、
前記反応槽の深さが２０μｍ〜２００μｍに設定されていることを特徴とする粘度測定装置。
【請求項３】
前記反応槽の深さが２０μｍ〜２００μｍに代わって４０μｍ〜１６５μｍに設定されていることを特徴とする請求項２に記載の粘度測定装置。
【請求項４】
前記測定対象となる液体が前記液体導入路から前記反応槽内に導入される際に、前記センサの基準溶液のインピーダンスと前記測定対象となる液体のインピーダンスとの変化量の他に共振周波数の変化量も測定して、前記液体の粘性を評価することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の粘度測定装置。
【請求項５】
前記液体導入路及び前記液体排出路がそれぞれ屈曲して形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の粘度測定装置。
【請求項６】
測定対象となる液体を、深さ２０μｍ〜２００μｍに設定した反応槽内に液体導入路及び液体排出路によって流通させ、この状態で前記反応槽の底部または天板部に設けた圧電素子に、その表裏面に設けた一対の電極に交流信号を印加して、該圧電素子の基準溶液のインピーダンスと前記測定対象となる液体のインピーダンスとの変化量から前記液体の粘度を測定することを特徴とする粘度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象の液体が微量であってもリアルタイムでその粘度を測定することができる、粘度測定装置及び粘度測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体の粘度を測定する方法として、粘度細管法や水晶振動子を用いた測定方法が知られている。粘度細管法は、液体が細管を落下する速度から粘度を求める方法である。また、水晶振動子を用いた測定方法は、水晶振動子のインピーダンスを測定し、これから液体の粘度を計測する方法である。
水晶振動子を用いた測定方法は、微量な試料でも測定可能であり、しかも、水晶振動子の電極表面に付着する質量の変化も同時にリアルタイムで計測することができる利点がある。
水晶振動子を用いた測定方法の中でインピーダンスを測定するものとして、インピーダンスアナライザと、コンピュータを用いた測定方法（特許文献１参照）や、発振回路、Ｖ−Ｆコンバータ、電流電圧変換回路、ピークホールド回路から構成される装置による測定方法（特許文献２参照）が知られている。
【特許文献１】特開平４−１５１５３８号公報
【特許文献２】特開平６−１０９６７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、インピーダンスを測定する従来の水晶振動子を用いた測定方法にあっては、粘度の高い液体は比較的容易に測定できるものの、粘度が低い液体の測定は非常に難しいという問題があった。
これは、粘度変化に伴い水晶振動子のインピーダンスが変化するとき、粘度が低い液体では、インピーダンスの変化量があまりに小さすぎて粘度が測定できないことが原因と考えられる。
【０００４】
発明者等は、鋭意研究を重ねた結果、インピーダンスの変化量が周波数測定用のセンサが収容される反応槽の深さに依存すること、言い換えれば、インピーダンスの変化量が、反応槽の深さが浅ければ浅いほど、大きく現れることを見出した。
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、水等のように粘度が低い液体であっても、インピーダンスの変化量を高感度で測定できる、粘度測定装置及び粘度測定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明に係る粘度測定装置は、液体導入路及び液体排出路に連通される反応槽と、該反応槽の底部または天板部に設けられ圧電素子の表裏面の一対の電極から供給される交流信号により該圧電素子が共振されるセンサとを備え、測定対象となる液体が前記液体導入路から前記反応槽内に導入され、そのときの前記センサの基準溶液のインピーダンスと前記測定対象となる液体のインピーダンスとの変化量から前記液体の粘性を測定する粘度測定装置であって、前記反応槽の深さが、液体界面で前記圧電素子が振動する際その振動が液体中に侵入する平均距離を表す液体侵入度よりも浅く設定されていることを特徴としている。
【０００６】
本願発明に係る粘度測定装置によれば、圧電素子は、共振点付近の周波数の交流信号を印加されることによって機械的な振動を起こす。この圧電素子の振動は反応槽内を流れる液体から剪断抵抗を受ける。このときの共振抵抗値つまりインピーダンスは、液体の粘度によって異なる。したがって、インピーダンスの変化量を測定すれば、液体の粘度を知ることができる。
【０００７】
ここで、圧電素子の振動が反応槽内の液体から剪断方向の抵抗を受けるとき、その共振抵抗値は反応槽の深さによって大きく異なる。
つまり、反応槽の深さが、液体界面で前記圧電素子が振動する際その振動が液体中に侵入する平均距離を表す液体侵入度より深いと、圧電素子の振動が反応槽内の液体から受ける共振抵抗値はごく小さな値に止まるが、反応槽の深さが粘性侵入度より浅いと、圧電素子の振動が反応槽内の液体から受ける共振抵抗値は急激に増大する。
【０００８】
本願発明では、予め、反応槽の深さを粘性侵入度より浅く設定しているため、圧電素子の振動の共振抵抗値つまりインピーダンス自体が大きな値として測定される。したがって、反応槽内に流す液体の粘度の影響を受けてインピーダンスが変化する際、インピーダンス変化の割合が小さい場合でも、その変化量を測定することができる。言い換えれば、インピーダンスの変化量を高感度で測定することができる。
【０００９】
本願の請求項２に係る発明は、液体導入路及び液体排出路に連通される反応槽と、該反応槽の底部または天板部に設けられ圧電素子の表裏面の一対の電極から供給される交流信号により該圧電素子が共振されるセンサとを備え、測定対象となる液体が前記液体導入路から前記反応槽内に導入され、そのときの前記センサの基準溶液のインピーダンスと前記測定対象となる液体のインピーダンスとの変化量から前記液体の粘性を測定する粘度測定装置であって、前記反応槽の深さが２０μｍ〜２００μｍに設定されていることを特徴としている。
【００１０】
本願発明によれば、反応槽の深さを２０μｍ〜２００μｍに設定しているので、測定対象の液体が水等のように粘度が比較的低い液体であっても、反応槽の深さを粘性侵入度よりも浅く設定されていることとなり、結果的に、反応槽内に流す液体の粘度の影響を受けてインピーダンスが変化する際、その変化量を高感度で測定することができる。
【００１１】
本願の請求項３に係る発明は、前記反応槽の深さが４０μｍ〜１６５μｍに設定されていることを特徴としている。
この場合、反応槽の深さをより狭い範囲で浅く設定しているので、インピーダンスが変化する際のインピーダンスの変化量を、より高感度で測定することができる。
【００１２】
本願の請求項４に係る発明は、前記測定対象となる液体が前記液体導入路から前記反応槽内に導入される際に、前記センサの基準溶液のインピーダンスと前記測定対象となる液体のインピーダンスとの変化量の他に共振周波数の変化量も測定して、前記液体の粘性を評価することを特徴としている。
この場合、基準溶液のインピーダンスと前記測定対象となる液体のインピーダンスとの変化量の他に共振周波数の変化量も加えて粘性を評価しているので、液体の粘度測定の他に、液体に含まれる物質がセンサに付着することに伴う微小な重量変化も測定することができる。この結果、比較的粘度が低い液体の性状をより詳しく評価することができる。
【００１３】
本願の請求項５に係る発明は、前記液体導入路及び前記液体排出路がそれぞれ屈曲して形成されていることを特徴としている。
この場合、液体導入路及び液体排出路をそれぞれ屈曲して形成したため、それら流路には大きな流路抵抗が付加されることとなる。この結果、反応槽内には、偏流が少ない均一な流れが確保されることとなり、液体の粘度の高精度の測定が可能になる。
【００１４】
本願の請求項６に係る発明は、測定対象となる液体を、深さ２０μｍ〜２００μｍに設定した反応槽内に液体導入路及び液体排出路によって流通させた状態とし、このときに前記反応槽の底部または天板部に設けた圧電素子に、その表裏面に設けた一対の電極に交流信号を印加して、該圧電素子の基準溶液のインピーダンスと前記測定対象となる液体のインピーダンスとの変化量から前記液体の粘性を測定することを特徴としている
本発明によれば、請求項２に係る発明と同様な効果を奏する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、反応槽の深さを粘性侵入度よりも浅く設定しており、共振抵抗値つまりインピーダンス自体が大きな値として測定されるため、反応槽内に流す液体の粘度の影響を受けて、インピーダンスが変化する際、インピーダンス変化の割合が小さい場合でも、その変化量を測定することができる。つまり、インピーダンスの変化量を高感度で測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る粘度測定装置の実施形態について、図１〜図４を参照して説明する。図１は粘度測定装置の全体構成を示す概略図、図２は粘度測定装置の中で用いられるマイクロフローセルの平面図、図３は同マイクロフローセルの断面図、図４は粘度測定装置のブロック図である。
【００１７】
本実施形態の粘度測定装置１００は、図１に示すように、測定対象となるサンプル液が貯留された試料容器１と、試料容器１にチューブ２を介して接続されたマイクロフローセル３と、該マイクロフローセル３にチューブ４を介して吸引側が接続されたポンプ５と、該ポンプ５の吐出側にチューブ６を介して接続された廃液容器７と、前記マイクロフローセル３に電気的に接続され、このマイクロフローセル３内にセットされた水晶振動子を有するセンサ８からの出力信号を基に、該センサ８の共振時の周波数の変化量とインピーダンスの変化量をそれぞれ測定する制御部９とを備える。
【００１８】
マイクロフローセル３は、図２及び図３に示すように、中央のホールド基板１０と、このホールド基板１０の図３において上側に配置される樹脂プレート１１と、ホールド基板１０の下側に配置される前記センサ８とを備え、それらが３層に積層されることで構成されている。
【００１９】
ホールド基板１０は、アクリル樹脂等から形成された透明な基板であり、外形がＳＤメモリカードの如く形成されている。このホールド基板１０には、サンプル液を図３における上面側から下面側に流して反応槽１２に導入するための液体導入口１０aとなる貫通孔と、サンプル液を下面側から上面側に流すための液体排出口１０ｂとなる貫通孔と、がそれぞれ形成されている。
【００２０】
また、ホールド基板１０の下面には、センサ８の検出電極８ａと対向電極８ｂとにそれぞれ電気接続される配線パターン部１３ａ、１３ｂが形成されている。この配線パターン部１３ａ、１３ｂは、外部接続端子として機能する。なお、この配線パターン部１３ａ、１３ｂは、１種類の金属或いは異なる金属を積層（例えば、チタン又はクロムと、金とを２層に積層）して形成される。
【００２１】
樹脂プレート１１は、透明なシリコン樹脂により板状に形成されている。この樹脂プレート１１には、ホールド基板１０に対向する面上において、導入溝１４及び排出溝１５がそれぞれ形成されている。これら導入溝１４及び排出溝１５は、それぞれ一端側が直径１．５ｍｍ程度に形成された導入貫通孔１６，排出貫通孔１７に連通し、他端側が液体導入口１０ａ及び液体排出口１０ｂと同じサイズである直径０．５ｍｍ程度の凹部１４ａ、１５ａとなっている。そして、樹脂プレート１１は、凹部１４ａ、１５ａと、液体導入口１０ａ及び液体排出口１０ｂと、がそれぞれ連通するように、ホールド基板１０の表面に接着されている。
【００２２】
そして、本実施形態のマイクロフローセル３では、導入貫通孔１６、導入溝１４及び液体導入口１０ａからなる液体導入路１８を介して反応槽１２内にサンプル液が導入され、反応槽１２内を通過したサンプル液が、液体排出口１０ｂ、排出溝１５及び排出貫通孔１７からなる液体排出路１９を介して排出されるようになっている。
ここで、前記液体導入路１８及び液体排出路１９は、液体導入口１０ａと液体排出口１０ｂが導入貫通孔１６と排出貫通孔１７に対して同軸上にならないように、つまり、それぞれ、流路が全体として屈曲するように形成されている。
【００２３】
上記センサ８は、水晶振動子４０と、該水晶振動子４０の両面に設けられて水晶振動子４０を所定の周波数で共振させる一対の電極、即ち、検出電極８ａ及び対向電極８ｂと、から構成されたＱＣＭセンサである(図４参照)。
水晶振動子４０は、例えばＡＴカット水晶板であり、８ｍｍ角ウエハから正方形状に形成された透明な基板である。検出電極８ａ及び対向電極８ｂは、それぞれ水晶振動子４０の略中心に位置するように、蒸着やスパッタリングによって形成されている。つまり、検出電極８ａ及び対向電極８ｂは、水晶振動子４０を間に挟んで対向した状態となっている。
【００２４】
また、水晶振動子４０の両面には、検出電極８ａ及び対向電極８ｂにそれぞれ電気接続されるリード電極２０ａ、２０ｂが形成されている。これら検出電極８ａ、対向電極８ｂ及びリード電極２０ａ、２０ｂは、配線パターン部１３a、１３ｂと同様に、１種類の金属或いは異なる金属を積層（例えば、チタン又はクロムと、金とを２層に積層）して形成されている。
なお、検出電極８ａは、インピーダンスが１ＫΩ以下で、液中で安定に発振する直径３ｍｍに形成されている。また、対向電極８ｂも同様のサイズとされている。
【００２５】
このように構成されたセンサ８は、図３に示すように、リング状のパッキン２１を間に挟んだ状態でホールド基板１０の裏面側に接合されている。この際、センサ８は、検出電極８ａがホールド基板１０に対向するように接合されている。
【００２６】
反応槽１２は、検出電極８ａの周囲を囲ってサンプル液を貯留させ、サンプル液に含有される特定物質を検出電極８ａに吸着或いは結合させる空間である。この反応槽１２の深さＤは、図３に示すように、液体界面で前記圧電素子が振動する際その振動が液体中に侵入する平均距離を表す液体侵入度よりも浅く設定されている。液体侵入度については、後に詳しく説明する。反応槽１２の深さＤは、水のように比較的低い粘度のものを測定する場合には２０μｍ〜２００μｍに設定され、好ましくは、４０μｍ〜１６５μｍに設定される。
【００２７】
制御部９は２つに大きく分かれる。一つは図４中９Ａで示される共振時のインピーダンスの変化量を測定する部分であり、他の一つは同図中９Ｂで示される共振周波数の変化量を測定する部分である。
センサ８の構成要素である水晶振動子４０には発振回路４１が接続されている。発振回路４１にはミキサ４２が接続され、このミキサ４２には参照クロック４３から測定時の基準となる信号が導入される。ミキサ４２には不用なノイズを除去するローパスフィルタ４４が接続される。ローパスフィルタ４４には周波数カウンタ４５が接続され、ここで、周波数がカウントされる。ここでカウントされた周波数は、周波数測定部４６へ送られる。周波数測定部４６は参照クロック４３からも基準となる信号が導入されて、発振回路４１から導入される信号の周波数が例えば１００分の１ヘルツの精度をもって測定される。
【００２８】
一方、前記発振回路４１には、ＲＭＳ／ＤＣコンバータ４７、ＡＤコンバータ４８及びインピーダンス測定部４９が順に接続される。ＲＭＳ／ＤＣコンバータ４７では、交流信号の平均化した信号が直流の信号へ変換され、さらにＡＤコンバータ４８では、アナログの直流信号からデジタル信号へ変換される。そして、インピーダンス測定部４９にて、水晶振動子４０が共振する際の抵抗値、すなわちインピーダンスが測定される。
【００２９】
次に、このように構成された粘度測定装置によって液体の粘度を測定する方法について説明する。
始めに測定を開始する前に、予めセンサ８を作動させ、図示せぬ交流電源により検出電極８ａと対向電極８ｂとの間に交流電圧を印加して水晶振動子４０を共振させる。そして、そのときの共振周波数とインピーダンスをそれぞれ制御部９により測定しておく。
【００３０】
すなわち、交流電源により検出電極８ａと対向電極８ｂとの間に交流電圧を、所定の範囲で周波数を周期的に変動させながら印加する。水晶振動子４０に流れる電流は共振点で最大になる。このときの値を共振周波数として求める。また、共振点での検出電極８ａと対向電極８ｂとの間を流れる電流変化を電圧に変換すると、水晶振動子４０の共振抵抗に依存値した信号が得られる。このときの信号をＲＭＳ／コンバータ４７で直流信号に変換し、さらにＡＤコンバータ４８で、アナログの直流信号からデジタル信号へ変換し、最終的に、共振点における抵抗値であるインピーダンスを求める。
【００３１】
次に、ポンプ５を作動させて、試料容器１内のサンプル液(測定対象となる液体)をチューブ２を介してマイクロフローセル３内に導入する。そして、このときの、水晶振動子４０が振動する際の、基準溶液のインピーダンスと前記サンプル液のインピーダンスとの変化量と共振周波数の変化量をそれぞれ制御部９によって測定する。
【００３２】
サンプル液が反応槽１２内に流入するとき、このサンプル液によって水晶振動子４０の振動は剪断抵抗を受ける。このときの共振抵抗値つまりインピーダンスは、液体の粘度によって異なる。したがって、インピーダンスの変化量を測定すれば、液体の粘度を知ることができる。
ここで、基準溶液のインピーダンスは、予め測定しておきデータとして内蔵しておく。また、基準溶液としては、例えば、水や緩衝液を用いる。緩衝液はｐＨを変化させないように塩の入ったものを用いる。具体的にはＰＢＳ（生理食塩水）やトリス緩衝液を用いる。
【００３３】
このとき、水晶振動子４０の振動が反応槽１２内を流れる液体から受ける共振抵抗値は、反応槽１２の深さによって大きく異なる。
つまり、液体(流体)界面での圧電素子を振動させたとき、その振動が液体(流体)中にどの程度の深さまで侵入するかを平均深さ(平均距離)として表したものが粘性侵入度Ｌである。この粘性侵入度Ｌは、以下の（１）式で表される。
【００３４】
【数１】
2009174930.tif 000003
【００３５】
例えば、液体(流体)が水の場合、粘性侵入度Ｌは１６５．６μｍであり、流体が空気の場合、粘性侵入度Ｌは２２．３μｍである。
反応槽１２の深さＤが、粘性侵入度Ｌより深いと、水晶振動子４０の振動が反応槽１２内の液体から受ける共振抵抗値はごく小さな値に止まるが、反応槽１２の深さＤが粘性侵入度Ｌより浅いと、水晶振動子４０の振動が反応槽１２内の液体から受ける共振抵抗値は急激に増大する。
【００３６】
ここで、本実施形態では、反応槽１２の深さＤを粘性侵入度Ｌより浅い値に設定している。このため、圧電素子の振動が反応槽１２内の液体から受ける共振抵抗値、つまりインピーダンスは非常に大きな値になっている。したがって、反応槽１２内に流す液体の粘度の影響を受けてインピーダンスが変化するとき、インピーダンスの変化の割合がごく小さい場合でも、インピーダンス自体が大きな値として測定できるので、そのごく小さな変化量を測定することができる。言い換えれば、本実施形態では、インピーダンスの変化量を高感度で測定することができる。
【００３７】
図５は、反応槽内に導入される液体が粘度として比較的低い水の場合の反応槽の深さと共振抵抗値との関係を表したものである。
このように、水の場合には、反応槽１２の深さＤが、粘性侵入度Ｌの値である１６５μｍより浅くなると、共振抵抗値は急激にあがる。このため、反応槽１２の深さＤが１６５μｍより浅ければ浅いほど、共振抵抗値は大きくなり、測定し易くなる。しかしながら、共振抵抗値があまりに大きくなりすぎると、信号の強度がその分弱くなり、これが原因で逆に測定しづらくなる減少が生じる。共振抵抗値、つまりインピーダンスの変化量を測定するにあたっては、共振抵抗値自体の大きさと信号の強度との双方を考慮する必要がある。これら双方を考慮した場合、反応槽１２の深さＤは２０μｍ〜２００μｍに設定するのが好ましく、さらにＤの最低値の２倍程度である４０μｍ〜１６５μｍに設定するのがより好ましい。
このように反応槽１２の深さを設定した場合には、測定対象物の液体の粘度が水のように低いときに、インピーダンスの変化量を高感度で測定することができ、しかも、信号の強さも測定に支障ないほど十分に強いものが得られる。
【００３８】
なお、以上述べた反応槽１２の深さの設定は、測定対象が水のように粘度の低い液体の場合の例であり、測定対象の液体の粘度が異なる場合には、それに応じて反応槽１２の深さを適宜変えればよい。即ち、粘度が高い液体の場合には反応槽１２の深さＤをより深く設定し、また、粘度が低い液体の場合には反応槽１２の深さをより浅く設定すればよい。要は、信号の強度を考慮しつつ、反応槽１２の深Ｄさを粘性侵入度Ｌよりも浅く設定すれば足りる。
【００３９】
また、上記インピーダンスの変化量の測定と並行して、共振周波数の変化量も測定する。反応槽１２内に導入されるサンプル液に含まれる物質が水晶振動子４０に付着することがあるが、この場合、共振周波数が変化する。したがって、この共振周波数の変化量を測定することによって、サンプル液中に含まれる物質の情報が得られる。つまり、サンプル液自体の性状をより詳しく評価することができる。
【００４０】
加えて、本実施形態では、反応槽１２に液体を導入する液体導入路１８及び反応槽１２から液体を排出する液体排出路１９をそれぞれ屈曲して形成し、これにより、これら流路１８，１９に大きな流路抵抗を与えている。したがって、反応槽１２内には偏流が少ない均一な流れが確保され易くなり、この結果、液体の粘度の高精度の測定が可能になる。
【００４１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。
上記実施形態では、センサ８に組み込まれる圧電素子の例として水晶振動子４０を用いているが、これに限られることなく、他の圧電素子を用いても良い。
また、上記実施形態では、反応槽１２の底部にセンサ８を設けたが、これに代わり反応槽１２の天板部（樹脂プレート１１の下面）にセンサ８を設けても良い。
また、ホールド基板１０とセンサ８との間に反応槽１２を形成しているが、反応槽１２は、これらホールド基板１０とセンサ８の間に形成されることに限定されることなく、２枚のホールド基板の間に形成されてもよい。この場合、何れかのホールド基板には、センサが組みつけられることになる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施形態を示す粘度測定装置の簡略構成図である。
【図２】粘度測定装置の中で用いられるマイクロフローセルの平面図である。
【図３】同マイクロフローセルの断面図である。
【図４】本発明の一実施形態の粘度測定装置のブロック図である。
【図５】図１に示す粘度測定装置の反応槽において、反応槽の深さと共振抵抗値との関係を表す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１試料容器  ３マイクロフローセル  ５ポンプ  ７廃液容器  ８センサ  ９制御部  １０ホールド基板  １１樹脂プレート  １２  反応槽  １８液体導入路  １９液体排出路  １００粘度測定装置。
【図１】
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【図２】
2009174930.tif 000005
【図３】
2009174930.tif 000006
【図４】
2009174930.tif 000007
【図５】
2009174930.tif 000008