(57)【要約】【課題】大型サイズのガラス板のような透明板状体であっても、安定しかつ正確に、気泡や異物等の欠陥を検出する。【解決手段】欠陥検出装置は、透明板状体の内部を照明する照明光源ユニットと、透明板状体の対向する上面及び下面の少なくとも一方の面の側に設けられ、透明板状体を撮影する、直列状に配列した複数の撮影カメラを有する撮影カメラユニットと、撮影カメラから出力された受光信号を用いて透明板状体の欠陥を検出する検出器と、を有する。直列状に配列した複数の撮影カメラの、少なくとも両側に位置する撮影カメラには、光強度を減らす減光フィルタが設けられている。透明板状体と撮影カメラとを相対的に移動させて透明板状体を撮影する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明板状体の内部または／および内表面に存在する欠陥を検査する欠陥検出装置であって、
透明板状体の対向する側面から透明板状体の内部を照明する照明光源ユニットと、
透明板状体の対向する上面及び下面の少なくとも一方の面の側に設けられ、透明板状体の画像を撮影し、撮影された画像の受光信号を出力する複数の撮影カメラを有する撮影カメラユニットと、
前記撮影カメラユニットから出力された受光信号を用いて透明板状体の欠陥を検出する検出器と、を有し、
前記撮影カメラユニットの前記複数の撮影カメラは、透明板状体の上面または下面の、前記対向する側面の間を横切る横断領域を部分毎に区切って撮影するように、前記横断領域に沿って直列状に配列され、
前記直列状に配列した前記複数の撮影カメラの、少なくとも両側に位置する撮影カメラには、受光しようとする光の光強度を減らす減光フィルタが設けられていることを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項２】
前記減光フィルタが設けられる撮影カメラは、前記直列状に配列された撮影カメラの列のうち、前記両側に位置する撮影カメラを含む、前記両側から列の内側に向けて隣り合って並ぶ複数のカメラである請求項１に記載の欠陥検出装置。
【請求項３】
前記配列した撮影カメラは、前記横断領域をライン状に撮影するラインセンサであり、
前記ラインセンサは、透明板状体の前記横断領域を隙間なく撮影するように設けられ、ている請求項１または２に記載の欠陥検出装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の欠陥検出装置を用いて透明板状体の欠陥を検出する際、
透明板状体と前記撮影カメラとを相対的に移動させ、このときの透明板状体を前記撮影カメラで撮影することを特徴とする透明板状体の欠陥検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板等の透明板状体の内部または内表面に存在する、気泡や異物等の欠陥を検査する欠陥検出装置および欠陥検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス板等の透明板状体の内部や内表面に存在する欠陥を検出する方法として、エッジライト法が知られている。エッジライト法は、ガラス板の側面から照明光を照射し、ガラス板の内部を照明する。このとき、ガラス板に欠陥がある場合、内部を照明する光は、欠陥位置でガラス板の上面あるいは下面の方に向けて散乱する。この散乱光をガラス板の外側に設けたカメラで撮影することにより、欠陥の存在を検出し、欠陥位置を特定することができる。
【０００３】
下記特許文献１では、エッジライト法を用いた欠陥検出装置が開示されている。当該文献に記載の発明は、ガラス板の側面から照明光として入射する光の入射角度を１５〜４５度とする装置である。これにより、透明板状体の表面に付着したゴミ等の検出対象外の汚れを欠陥として検出することがなく、透明板状体の内部または内表面に存在する欠陥を選択的に検出することができると記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特許第３３２９２３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、今日、ガラス板はフラットパネルディスプレイ等に用いる大型サイズのガラス板が求められ、ガラス板に気泡や異物等の欠陥が可能な限り無いことが求められている。
しかし、大型サイズ、例えば幅が１．５ｍを超えるガラス板に上記特許文献１に記載の欠陥検出装置を用いた場合、照明光が照射されるガラス板の側面近傍の領域と、ガラス板の両側の側面から最も遠いガラス板の幅方向センター領域では、照明光の光強度が異なるので、安定した欠陥検出には光強度調整が必要となる。光強度調整として、シェーディング補正やカメラレンズの絞り等が用いられるが、ガラス板が大型サイズであると照明光の光強度を均一にするには限界があり、また、カメラレンズの絞りはカメラに対して減光するだけでなく光学特性が変化して検出感度が悪くなる。このため、十分に正確にかつ安定して欠陥を検出することができないといった問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、上記問題点を解決するために、大型サイズのガラス板のような透明板状体であっても、安定して正確に気泡や異物等の欠陥を検出することのできる欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、透明板状体の内部または内表面に存在する欠陥を検査する欠陥検出装置であって、透明板状体の対向する側面から透明板状体の内部を照明する照明光源ユニットと、透明板状体の対向する上面及び下面の少なくとも一方の面の側に設けられ、透明板状体の撮影された画像の受光信号を出力する複数の撮影カメラを有する撮影カメラユニットと、前記撮影カメラユニットから出力された受光信号を用いて透明板状体の欠陥を検出する検出器と、を有し、前記撮影カメラユニットの前記複数の撮影カメラは、透明板状体の上面または下面の、前記対向する側面の間を横切る横断領域を部分毎に区切って撮影するように、前記横断領域に沿って直列状に配列され、前記直列状に配列した前記複数の撮影カメラの、少なくとも両側に位置する撮影カメラには、受光しようとする光の光強度を減らす減光フィルタが設けられていることを特徴とする欠陥検出装置を提供する。
【０００８】
その際、前記減光フィルタが設けられる撮影カメラは、前記直列状に配列された撮影カメラの列のうち、前記両側に位置する撮影カメラを含む、前記両側から列の内側に向けて隣り合って並ぶ複数のカメラであることが好ましい。
その際、前記配列した撮影カメラは、前記横断領域をライン状に撮影するラインセンサであり、前記ラインセンサは、透明板状体の前記横断領域を隙間なく撮影するように設けられていることが好ましい。
【０００９】
さらに、本発明は、前記欠陥検出装置を用いて透明板状体の欠陥を検出する際、透明板状体と前記撮影カメラとを相対的に移動させ、このときの透明板状体を前記撮影カメラで撮影することを特徴とする透明板状体の欠陥検出方法を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の欠陥検出装置の撮影カメラユニットは、透明板状体の上面または下面の横断領域を部分毎に区切って撮影する撮影カメラが、直列状に複数配列して構成され、直列状に配列した複数の撮影カメラの、少なくとも両側に位置する撮影カメラに、光強度を減らす減光フィルタが設けられている。このため、大型サイズのガラス板のような透明板状体であっても、安定した欠陥の検出を行うことができる。
また、従来のように、撮影カメラの撮影感度をレンズの絞りを用いて、透明板状体の上面または下面の横断領域の撮影場所に応じて変更する必要がないので、透明板状体に存在する欠陥の散乱光の光強度が方向性を持って分布していても、安定しかつ正確に欠陥の検出を行うことができる。
さらに、透明板状体と撮影カメラとを相対的に移動させ、このときの透明板状体をカメラで撮影することにより、効率よく透明板状体の欠陥を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の欠陥検出装置および欠陥検出方法について、図面にしたがって詳細に説明する。
図１は、本発明の欠陥検出方法を実施する欠陥検出装置の一実施形態である欠陥検出装置（以降、検査装置という）１０の概略を示す図である。図１に示す検査装置１０は、切断されたままもしくは面取りされたガラス板Ｇの搬送中にガラス板Ｇの内部または内表面に存在する気泡や異物等の欠陥を検出する装置である。内表面とは、ガラス板Ｇの内部からみた内部の境界面をいう。
また、本発明において、ガラス板Ｇ等の透明板状体の上面及び下面とは、板形状の各面のうち面積の最も大きい、対抗する２面をいう。
検出装置１０は、照明光源ユニット１２、１４と、撮影カメラユニット１６，１８と、検出器２０と、を主に有する。ガラス板Ｇは、ガラス板Ｇの下方から支持するように設けられた駆動ローラ２２を複数備えたコンベアによって一定速度で搬送される。ガラス板Ｇは、図１に示すように、対向する側面に平行な方向で、かつ、ガラス板Ｇの上面及び下面の法線に対して垂直な方向に搬送される。ガラス板Ｇのサイズは、幅５００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下、特に１５００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下のものを好適に用いることができる。ガラスＧの搬送方向の長さは特に制限されないが、幅５００ｍｍ以上、特に１５００ｍｍ以上のものに好適に用いることができる。厚さは、０．１ｍｍ以上２０ｍｍ以下のものを好適に用いることができる。幅とはガラス板Ｇの搬送方向と直交する方向の長さをいう。
【００１２】
照明光源ユニット１２，１４は、駆動ローラ２２によって作られる搬送経路の両側に互いに対向するように設けられ、通過するガラス板Ｇの側面から、ガラス板Ｇの表面に対して上方に１５〜４５度の範囲で傾斜させて照明光を入射させる。これによって、ガラス板Ｇの内部を照明する。このように照明光の入射角を１５〜４５度傾斜させるのは、検出器２０においてガラス板Ｇの表面に付着した汚れを検出しないためである。なお、ガラス板Ｇの表面に対して下方に１５〜４５度の範囲で照明光を入射させてもよい。
【００１３】
照明光源ユニット１２，１４は、メタルハライドランプ、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、キセノンランプ等の光源１２ａ，１２ｂ、１４ａ，１４ｂから出射する光を集光して光ファイバ１２ｃ，１２ｄ，１４ｃ，１４ｄで伝送した光を帯状の光束として出射するヘッド１２ｅ，１４ｅを有して構成される。ヘッド１２ｅ，１４ｅは、図示されないシリンドリカルレンズを有し、光ファイバ１２ｃ，１２ｄ，１４ｃ，１４ｄで伝送した光を帯状の光束とする。このような帯状の光束は、検査するガラス板Ｇの厚さに比べて幅が広くなっている。これは、搬送されるガラス板Ｇの振動によって高さ方向の位置が変動しても、ガラス板Ｇの側面から光が確実に入射できるようにするためである。
照明光源ユニット１２，１４から出射され、ガラス板Ｇの側面からガラス板Ｇの内部に入射した照明光は、ガラス板Ｇの内表面で全反射を繰り返してガラス板Ｇの内部を進行する。
【００１４】
撮影カメラユニット１６，１８は、ガラス板Ｇの上面（上側の表面）の上方及び下面（下側の表面）の下方に互いに対向するように設けられ、図１中のガラス板Ｇの幅方向（Ｘ方向）の線状横断領域Ｌをライン状に撮影するＣＣＤラインセンサ（撮影カメラ）で構成されている。
図２は、撮影カメラユニット１６，１８の概略の構成を示す図である。
撮影カメラユニット１６，１８は、Ｘ方向に沿ってガラス板Ｇを撮影する複数のラインセンサ２４，２６を有する。ラインセンサ２４，２６は、図２に示されるように、ガラスＧの上面または下面の、図１に示す側面の間を横切る線状横断領域Ｌを撮影するように、Ｘ方向（ガラス板Ｇの幅方向）に沿って直列状に配列される。
【００１５】
各ラインセンサ２４，２６はガラス板Ｇの線状横断領域Ｌを部分毎に区切って撮影する。その際、隣接するラインセンサと撮影範囲が部分的に重なっている。これにより、ライセンサ２４，２６は、ガラス板ＧのＸ方向の線状横断領域Ｌを漏れなく撮影することができる。また、ガラス板Ｇは、図２の紙面に垂直方向に搬送されるので、ラインセンサ２４，２６が線状横断領域Ｌの撮影を連続的に行うことにより、ガラス板Ｇの面全体の領域を撮影することができる。
【００１６】
直列状に配列したラインセンサ２４，２６のうち、ガラス板Ｇの側面近傍領域を撮影する、ガラス板Ｇの上方に位置する４つのラインセンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ及び、ガラス板Ｇの下方に位置する４つのラインセンサ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄには、それぞれのラインセンサの受光面の前面に減光フィルタ２８が設けられている。
減光フィルタ２８は、ラインセンサ２４の入射する光の強度を低下させるフィルタで、例えば２分の１減光フィルタ、４分の１減光フィルタ等が用いられる。減光フィルタ２８をガラス板Ｇの側面近傍領域を撮影するラインセンサに設ける理由は、後述する。なお、本発明では、直列状に配列した複数のラインセンサの、少なくとも両側に位置するラインセンサに、光強度を減らす減光フィルタが設けられていればよい。図２に示す例では、直列状に複数配列された撮影カメラ２４の列のうち、両側から列の内側に向けて隣り合って並ぶラインセンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ及び、ガラス板Ｇの下方に位置する４つのラインセンサ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄに減光フィルタ２６が設けられている。
ラインセンサ２４，２６にて撮影され出力される受光信号は、それぞれ、検出器２０に供給される。
【００１７】
検出器２０は、ラインセンサ２４，２６から出力され供給された受光信号を用いて、ガラス板Ｇの内部または内表面に存在する欠陥を検出する装置である。
具体的には、検出器２０は、ラインセンサ２４，２６から受光信号が連続的に供給され、ガラス板Ｇの線状横断領域Ｌの受光信号を得る。検出器２０は、この線状横断領域Ｌの受光信号の信号値に対して、予め設定されている欠陥がない理想的なガラスＧの線状横断領域Ｌの信号値を差し引くことによって、シェーディング補正を行う。このシェーディング補正に用いる理想的な線状横断領域Ｌの信号値についても、ラインセンサの撮影場所に対応した信号値が用いられる。すなわち、シェーディング補正は、受光信号を出力したラインセンサ毎に行われる。
【００１８】
線状横断領域Ｌの理想的な信号（欠陥が無いときに得られる信号）は、ガラスＧのセンター領域を中心として下に凸形状を成した信号で構成されている。このため、線状横断領域Ｌの一部分を撮影範囲とする各ラインセンサの理想的な信号は、ガラスＧのセンター領域を中心として下に凸形状を成した信号の一部分となっている。
このような線状横断領域Ｌ全体の理想的な信号は、図３に示すガラス板Ｇの内部の照明光の光強度分布に比例している。欠陥の無い理想的なガラス板Ｇであっても、ガラスＧの内表面で反射した照明光の一部分は透過し、ガラスＧの外側に漏れ出る。すなわち、欠陥の無い理想的なガラスＧの信号値は、ラインセンサ２４，２６で計測される欠陥の存在によって信号値が変化する受光信号の信号値の背景成分として扱われる。
このため、欠陥の無い理想的なガラスＧの信号値は、図３に示す光強度分布に比例した値を持ち、この値が信号値としてシェーディング補正に用いられる。なお、図３には、ガラスＧのサイズ（幅）の異なる３サイズの光強度分布の例（大型サイズＡ、中型サイズＢ，小型サイズＣ）が示されている。
このようなシェーディング補正に用いる理想的なガラスＧの信号値は、検出器２０の図示されないメモリにラインセンサ毎に記憶され、シェーディング補正のたびに呼び出される。
【００１９】
さらに、検出器２０は、シェーディング補正されたガラス板Ｇの受光信号の中から、周囲に比べて信号値の高い位置または／および領域を、あらかじめ設定された閾値を用いて欠陥の位置または／および領域として検出する。こうして、検出器２０は、欠陥の有無と欠陥の位置または／および領域の情報を図示しないメモリに記憶する。
【００２０】
検出器２０で行う欠陥の検出は、ラインセンサ２４で撮影されたガラス板Ｇの上方から撮影して得られた受光信号と、ラインセンサ２６で撮影されたガラス板Ｇの下方から撮影して得られた受光信号とを用いて行う。
このようにガラス板Ｇの上方と下方からラインセンサ２４，２６を用いてガラス板Ｇを撮影するのは、ガラス板Ｇの内表面に存在する気泡や異物等の欠陥を、上方からの撮影及び下方からの撮影によって、確実かつ正確に検出するためである。欠陥がガラス板Ｇの上面の側の内表面に存在する場合、上方に散乱する散乱光強度は低く、下方に散乱する散乱光強度は高く、他方、ガラス板Ｇの下面の側の内表面に欠陥が存在する場合、下方に散乱する散乱光強度は低く、上方に散乱する散乱光強度は高い、といった特性を持つ。このため、この散乱光の特性を考慮して、ラインセンサ２４，２６により、ガラス板Ｇの上方から、及び下方から撮影する。これによって、ガラスＧの内部または内表面に存在する欠陥を確実に検出することができる。
【００２１】
本実施形態では、Ｘ方向に直列状に並ぶラインセンサ２４，２６のうち、両側の端に位置するラインセンサ２４ａ，２４ｄ，２６ａ，２６ｄから内側に向けて隣り合って並ぶラインセンサに減光フィルタ２８が設けられ、ガラス板Ｇのセンター領域には設けられない。
減光フィルタを設けるラインセンサの数は、欠陥を検出するガラス板Ｇの幅及びガラス板Ｇの内部の照明光の光強度分布に応じて設定される。図２に示す例では、減光フィルタ２６が設けられ、隣り合って並ぶラインセンサの個数は２個であるが、２個に限定されず、光強度分布に応じて１個でもよいし、３個以上であってもよい。
【００２２】
ガラス板Ｇは、近年サイズが大型化し、例えば１．５ｍを超える幅を持つガラス板Ｇが生産される。このようなガラス板Ｇの場合、照明光源ユニット１２，１４において、ガラス板幅方向全ての領域に対して欠陥検出に必要な光強度を供給するために、ガラス板Ｇへ入射する照明光として光強度が強い光を用いるが、ガラス板Ｇの内部の、側面近傍の光強度と、ガラス板Ｇの側面から最も遠いガラスＧの幅方向のセンター領域の光強度とは、ガラスＧの吸収特性や光の拡散等によって大きく異なる。
図３は、そのような光強度の分布をガラス板Ｇの幅方向側面からセンター領域まで、サイズ別（大型サイズＡ，中型サイズＢ、小型サイズＣ）に記したグラフである。大型サイズＡ及び中型サイズＢは、ガラスＧの幅が１．５ｍを超える。図３では、縦軸に光強度の相対値を採っている。相対値は、ガラス板Ｇの幅方向のセンター領域の光強度を基準（相対値＝１）としている。
【００２３】
大型サイズＡの場合、ガラス板Ｇの側面では光強度の相対値が略１４となり、中型サイズＢの場合、ガラス板Ｇの側面では光強度の相対値が略５となり、小型サイズＣの場合、ガラス板Ｇの側面では光強度の相対値が略２となっている。
中型サイズＢ〜大型サイズＡにおいては、センター領域の光強度に対して５〜１４倍と大きく変化しているので、撮影感度を固定して複数のラインセンサ２４，２６で撮影することは難しい。撮影感度を固定して撮影した場合、光強度のダイナミックレンジが大きいため、強い光強度に合わせた撮影感度で撮影すると、弱い光強度の領域を撮影したときの受光信号は、信号値のレベルが低くＳＮ比が低い。このため、ノイズによって欠陥の誤検出をする場合が多い。一方、弱い光強度に合わせた撮影感度で撮影すると、強い光強度の光を受光したときの受光信号は、受光した光の光強度に比例した正常な値を持たない。
したがって、従来の方法では、撮影感度をガラス板Ｇの幅方向（Ｘ方向）の撮影場所に応じて、光強度に応じて変化させることにより適切な受光信号を得ていた。
【００２４】
しかし、ラインセンサ２４，２６の撮影感度を変えた場合、撮影感度に応じて受光面の前面に設けられる絞りの開口面積も変化する。例えば、撮影感度を上げた場合、絞りの開口面積は小さくなる。
ガラス板Ｇのセンター領域に位置するラインセンサ２４及びラインセンサ２６に対する撮影感度を上げて絞りの開口面積を小さくした場合、気泡や異物等の欠陥を安定して検出することができない。図４はガラス板Ｇの内部に存在する欠陥Ｄを説明する図である。図４中の欠陥Ｄのように、欠陥Ｄがいびつな形状をしている場合、ガラス板Ｇの内部を照明する光が欠陥Ｄによって散乱し、散乱光の光強度分布は方向性を持つ。図４に示すように、欠陥Ｄが右上方に傾斜した形状を成している場合、欠陥Ｄによって散乱されて上方に向かう散乱光は、左上方に向かう散乱光が強くなる。このため、ラインセンサ２４，２６の絞りの開口面積を小さくした場合、ラインセンサ２４，２６は方向性を持つ散乱光を十分に受光できない。このため、実際に欠陥Ｄが存在しても、この欠陥Ｄを検出できない場合がある。
【００２５】
本発明では、ラインセンサ２４，２６において、欠陥を安定して検出できるように、光強度の強いガラス板Ｇの側面近傍に位置するラインセンサ２４ａ〜２４ｄ及びラインセンサ２６ａ〜２６ｄには減光フィルタ２８を設け、光強度の低い領域に位置するラインセンサ２４，２６には減光フィルタ２８を設けない。減光フィルタ２８は、絞りの開口面積を変更して入射する光の光強度の調整をする替わりに、光強度自体を低減するので、方向性を持つ欠陥Ｄの散乱光であっても、この散乱光を広範囲の方向からラインセンサにより受光することができる。このため、欠陥Ｄの検出を安定して、かつ正確に行うことができる。
ラインセンサ２４ａ〜２４ｄ及びラインセンサ２６ａ〜２６ｄには減光フィルタ２８を設けるので、シェーディング補正に用いる欠陥の無い理想的なガラスＧの信号値も、減光フィルタ２８の減光特性に応じて変更される。この変更された信号値は、検出器２０の図示されないメモリに記憶され、シェーディング補正時に随時呼び出される。
【００２６】
このように、ガラス板Ｇの幅方向の撮影場所に応じてガラスＧ内部の照明光の光強度分布は異なるので、この光り強度分布に応じて減光フィルタ２８を設けるラインセンサの数を定める。例えば、２分の１減光フィルタの場合、ガラス板Ｇのセンター領域の光強度に対して光強度の相対値が２以上の領域を撮影場所とするラインセンサ２４，２６に対して２分の１減光フィルタ２８を設ける。
【００２７】
なお、上記実施形態では、撮影カメラユニット１６，１８においてラインセンサを用いるが、ラインセンサの替わりに一定の面領域を撮影範囲として撮影するエリアセンサを用いてもよい。
また、本発明の欠陥検出装置は、ガラス板Ｇを搬送中に欠陥の検出を行う装置の替わりに、静止したガラス板Ｇに対して欠陥の検出を行う装置であってもよい。この場合、撮影カメラユニット１６，１８が、ガラス板Ｇに対して相対的に移動することが好ましい。すなわち、上述の欠陥検出装置を用いてガラスＧ等の透明板状体の欠陥を検出する際、透明板状体と撮影カメラとを相対的に移動させ、この相対的に移動する透明板状体を撮影カメラで撮影すればよい。エリアセンサを用いる場合、ガラス板Ｇのサイズ次第では両者とも静止して欠陥の検出を行ってもよい。
【００２８】
以上、本発明の欠陥検出装置および欠陥検出方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の欠陥検出装置の一実施形態の概略図である。
【図２】図１に示す欠陥検出装置の撮影カメラユニットを説明する図である。
【図３】ガラス板内の照明光の光強度分布を示す図である。
【図４】ガラス板内の欠陥によって生じる散乱光を説明する図である。
【符号の説明】
【００３０】
１０  欠陥検出装置
１２，１４  照明光源ユニット
１２a，１２ｂ,１４ａ，１４ｂ  光源
１２ｃ，１２ｄ，１４ｃ，１４ｄ  光ファイバ
１２ｅ，１４ｅ  ヘッド
１６，１８  撮影カメラユニット
２０  検出器
２２  駆動ローラ
２４，２６，２４ａ〜２４ｄ，２６ａ〜２６ｄ  ラインセンサ
２８  減光フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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