(57)【要約】【課題】ストッカ内の入庫ラインと出庫ラインとの間で、かつスタッカクレーンと別に異なる階層間の搬送を可能とした階層間搬送用リフタを配設することで、スタッカクレーンによる作業に支障を与えず、かつ階層間搬送を効率的に行うことができる別階層工程間搬送システムを提供すること。【解決手段】搬送ラインに沿って配設し、かつ搬送ライン側に入出庫口を備えたストッカで、ストッカ内の所定箇所へカセットＫの搬送及び移載を行うように走行可能としたスタッカクレーンＳと、カセットＫを一時保管するための搬送コンベアＣとを配設して、複数階層を同じ構成とした工程間搬送システムにおいて、ストッカ内でカセットＫの一時保管とライン搬送を行うための入庫ラインＬＩ及び出庫ラインＬＯ間で、かつスタッカクレーンＳと別に異なる階層間のカセット搬送を可能とした階層間搬送用リフタ４を配設して構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送ラインに沿って配設し、かつ搬送ライン側に入出庫口を備えたストッカで、該ストッカ内の所定箇所へカセットの搬送及び移載を行うように走行可能としたスタッカクレーンと、該カセットを一時保管するための搬送コンベアとを配設して、複数階層を同じ構成とした工程間搬送システムにおいて、ストッカ内でカセットの一時保管とライン搬送を行うための入庫ライン及び出庫ライン間で、かつスタッカクレーンと別に異なる階層間のカセット搬送を可能とした階層間搬送用リフタを配設して構成したことを特徴とする別階層工程間搬送システム。
【請求項２】
階層間搬送用リフタを、入庫ラインと出庫ラインとの間で、かつ入庫ラインのリフタ入庫口と出庫ラインのリフタ出庫口とが対峙する位置に配設したことを特徴とする請求項１記載の別階層工程間搬送システム。
【請求項３】
階層間搬送用リフタを、移載機能を有するように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の別階層工程間搬送システム。
【請求項４】
入庫ライン及び出庫ラインの入出庫口に、搬送ライン側の搬送車とカセットの受け渡しを行う移載機を配設して構成したことを特徴とする請求項１、２又は３記載の別階層工程間搬送システム。
【請求項５】
入庫ライン及び出庫ラインを、カセット置台及びカセット移送台車よりなる搬送コンベアより構成したことを特徴とする請求項１記載の別階層工程間搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、別階層工程間搬送システムに関し、特に、ストッカ内の入庫ラインと出庫ライン間にスタッカクレーンとは別に、異なる階層間の搬送を可能とした階層間搬送用リフタを配設し、これにより、スタッカクレーンによる作業に支障を与えず、かつ階層間搬送を迅速、かつ効率的に行うことができるようにした別階層工程間搬送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶基板や半導体等の製造工場においては、ループ状をした搬送ラインに沿って配設する複数台の製造装置へ、該搬送ラインに沿って走行する無人搬送車を用いて液晶基板や半導体部品を収納したカセット等の搬送物（以下、「カセット」という。）を搬送している。そして、この搬送ラインには必要に応じて製造装置とは別にストッカを配設し、これにより製造装置に供給するまで必要に応じて搬送カセットを一時保管し、製造装置にて必要とされるカセットを該ストッカより供給するようにしている。
この無人搬送車は、特に限定されるものではないが、例えば、工場の天井部を走行するＯＨＶ（有軌道式天井搬送車）を用いている。
さらに、搬送ラインに沿って配設するストッカとしては、特に限定されるものではないが、例えば、搬送ライン側に入出庫口を備え、ストッカ内には走行可能に配設し、カセットの特定箇所への搬送及び移載を行うためのスタッカクレーンと、該カセットを一時保管するための保管棚や搬送コンベア等を配設して構成している。
【０００３】
また、液晶基板や半導体等の製造工場においては、狭い工場でも製造効率を向上させるため、製造工場を複数階層として各階層に製造装置やストッカを配設するようにし、カセットを同じ階層だけでなく、異なる階層間、例えば、上階層と下階層間で搬送するようにしている。
ところが、カセット搬送において、異なる階層間で行う場合、ストッカ内に配設しているスタッカクレーンを用いて搬送するか、或いは搬送ラインの特定箇所に配設したリフタ等の階層間搬送装置を用いて行っている。
【０００４】
したがって、搬送ラインとストッカ間でカセットの入出庫をスタッカクレーンを用いて異なる階層間搬送を行う場合、この間スタッカクレーンの本来の他の作業が中断され、特に、カセット内の収納基板数が既設設備の半分程度となり、かつ処理数が既設設備と変わらないときには搬送能力が低下するという問題があった。
【０００５】
また、搬送ラインの特定箇所に配設したリフタ等の階層間搬送装置を用いて行う場合、近年の如く液晶基板の大型化により、これを収納したカセットの搬送を行う工程内搬送設備の搬送ライン長が長くなると、定位置に配置されている階層間搬送装置（階層間搬送用リフタ）までカセットを搬送する時間も長くなって階層間の搬送能力が低下するという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、別階層工程間搬送システムの有する問題点に鑑み、ストッカ内の入庫ラインと出庫ラインとの間で、かつスタッカクレーンと別に異なる階層間の搬送を可能とした階層間搬送用リフタを配設することで、スタッカクレーンによる作業に支障を与えず、かつ階層間搬送を効率的に行うことができる別階層工程間搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の別階層工程間搬送システムは、搬送ラインに沿って配設し、かつ搬送ライン側に入出庫口を備えたストッカで、該ストッカ内の所定箇所へカセットの搬送及び移載を行うように走行可能としたスタッカクレーンと、該カセットを一時保管するための搬送コンベアとを配設して、複数階層を同じ構成とした工程間搬送システムにおいて、ストッカ内でカセットの一時保管とライン搬送を行うための入庫ライン及び出庫ライン間で、かつスタッカクレーンと別に異なる階層間のカセット搬送を可能とした階層間搬送用リフタを配設して構成したことを特徴とする。
【０００８】
この場合において、階層間搬送用リフタを、入庫ラインと出庫ラインとの間で、かつ入庫ラインのリフタ入庫口と出庫ラインのリフタ出庫口とが対峙する位置に配設することができる。
【０００９】
また、階層間搬送用リフタを、移載機能を有するように構成することができる。
【００１０】
また、入庫ライン及び出庫ラインの入出庫口に、搬送ライン側の搬送車とカセットの受け渡しを行う移載機を配設して構成することができる。
【００１１】
また、入庫ライン及び出庫ラインを、カセット置台及びカセット移送台車よりなる搬送コンベアより構成することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の別階層工程間搬送システムによれば、搬送ラインに沿って配設し、かつ搬送ライン側に入出庫口を備えたストッカで、該ストッカ内の所定箇所へカセットの搬送及び移載を行うように走行可能としたスタッカクレーンと、該カセットを一時保管するための搬送コンベアとを配設して、複数階層を同じ構成とした工程間搬送システムにおいて、ストッカ内でカセットの一時保管とライン搬送を行うための入庫ライン及び出庫ライン間で、かつスタッカクレーンと別に、異なる階層間のカセット搬送を可能とした階層間搬送用リフタを配設して構成したことにより、スタッカクレーンによる作業に支障を与えることなく、かつ階層間搬送を迅速に、効率的に行うことができる。
【００１３】
また、階層間搬送用リフタを、入庫ラインと出庫ラインとの間で、かつ入庫ラインのリフタ入庫口と出庫ラインのリフタ出庫口とが対峙する位置に配設することにより、階層間搬送用リフタを昇降させるだけで異なる階層での入庫ラインと出庫ラインとの移載が円滑、かつ確実に行うことができる。
【００１４】
また、階層間搬送用リフタを、移載機能を有するように構成することにより、他の移載機を用いることなく移載が円滑に行うことができる。
【００１５】
また、入庫ライン及び出庫ラインの入出庫口に、搬送ライン側の搬送車とカセットの受け渡しを行う移載機を配設して構成することにより、搬送ライン側と入出庫ライン側との移載が確実に行うことができる。
【００１６】
また、入庫ライン及び出庫ラインを、カセット置台及びカセット移送台車よりなる搬送コンベアより構成することにより、カセット搬送だけでなく、このラインを利用して複数個のカセットの一時保管をも行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の別階層工程間搬送システムの実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１〜図３に、本発明の別階層工程間搬送システムの一実施例を示す。
本発明の別階層工程間搬送システムは、無人の搬送車Ｖを周回走行するようにした往路用及び復路用によりループ状とした搬送ラインＲ１、Ｒ２に沿って１又は複数のストッカを配設し、かつ該ストッカ内に入庫ラインＬＩと出庫ラインＬＯとを対とし、これを少なくとも１対（図示の実施例では２対としたがこれは特に限定されない。）を互いに平行するようにして配設し、この１対の入庫ラインＬＩと出庫ラインＬＯとの間に、かつ該ラインに沿って走行するスタッカクレーンＳを配設し、さらに一方の対の入庫ラインＬＩと、これと隣接する他方の対の出庫ラインＬＯとの間に階層間搬送用リフタ４を配設して構成する。
なお、これら対となす入庫ラインＬＩと出庫ラインＬＯの全長は、図示の実施例では等長となるようにしているが、これは特に限定されるものではなく、必要に応じての各長さは設定することができる。
【００１９】
入庫ラインＬＩ及び出庫ラインＬＯの搬送ラインＲ２と接する位置に、ラインの入庫口Ｌａ及び出庫口Ｌｂを配設し、この入庫口Ｌａ及び出庫口Ｌｂには、搬送ラインＲ２に沿って走行する搬送車Ｖ側と入庫ラインＬＩ又は出庫ラインＬＯ側との間でカセットＫを移載するための移載機１をそれぞれ配置する。
【００２０】
また、この入庫ラインＬＩと出庫ラインＬＯとは、端部に移載機１を、そしてこの移載機１に隣接するようにして搬送コンベアＣを配設して構成する。
この搬送コンベアＣは、カセットＫの複数個、例えば、図１に示す実施例では３個、図２に示す実施例では４個のカセットＫを載置できるようにしたカセット置台２と、カセット置台２の下方位置でカセット置台長手方向に沿って移動するようにしたカセット移送台車３とより構成する。なお、このカセット置台２の全長は限定されない。
【００２１】
このカセット置台２は、特に限定されるものではないが、例えば、図示のように、２本のカセット置バーを平行に配列し、このカセット置バー上に複数のカセットＫを置くようにするか、或いはカセットＫの底部四隅を支持できる４本の柱を樹立し、これを載置するカセット数に応じて隣接配列するようにすることができる。そして、このカセット置台２に沿って走行するよう配置するカセット移送台車３は、少なくとも１台以上とし、各カセット移送台車３には昇降台３１を備え、昇降台３１を上昇させることでカセットをカセット置バーより少し持ち上げた状態で、カセット移送台車３にて支持するようにし、この状態で移動させることにより所定位置まで移送させた後、昇降台３１を降下させてカセットをカセット置台２上に載置するようにする。この動作を繰り返すことでカセットをタクト送りでカセット置台２上を移動させるようにする。
【００２２】
また、カセット移送台車３は、特に限定されるものではないが、例えば、入庫ラインＬＩ或いは出庫ラインＬＯのいずれの位置においても昇降台３１を降下させた状態で待機させることができるが、図示の実施例のように入庫ラインＬＩ或いは出庫ラインＬＯのカセット置台２と隣接してカセット移送台車待機ゾーンを形成することもできる。
【００２３】
さらに、平行する入庫ラインＬＩと出庫ラインＬＯとの間に階層間搬送用リフタ４を配設するが、この場合、入庫ラインＬＩに配置するリフタ入庫口Ｌｃと、出庫ラインＬＯに配置するリフタ出庫口Ｌｄとが対峙して一致するようにするが、これは同じ階層であっても異なる階層であっても同じようにする。これにより、カセットを階層間搬送用リフタ４により昇降させて階層間移送するだけで、リフタ入庫口Ｌｃと、異なる階層にあるリフタ出庫口Ｌｄとが対峙し、階層間搬送用リフタ４に搭載したカセット移載装置４１にて円滑に受け渡しできるようになる。
【００２４】
このように、搬送ラインＲ２側に入出庫口を形成した入庫ラインＬＩ及び出庫ラインＬＯと、入庫ラインＬＩ及び出庫ラインＬＯに沿って走行するようにしたスタッカクレーンＳと、異なる対の入庫ラインＬＩと出庫ラインＬＯとの間に配設する階層間搬送用リフタ４にてストッカの１階層分を構成するが、ストッカ内に複数の階層を配設する場合、この配置は上階層でも下階層でも同じ配置とするとともに、下階層から上階層まで挿通するようにして階層間搬送用リフタ４を配設し、これによりカセットＫの上階層と下階層間の搬送を可能とする。
【００２５】
次に、本発明の別階層工程間搬送システムの作用について説明する。
同じ階層でカセットＫを入庫或いは出庫する場合は、対をなす入出庫ラインの入庫ラインＬＩの入庫口Ｌａの位置で搬送車Ｖを停止させ、該搬送車Ｖにて搬送されてきたカセットＫを入庫ラインＬＩの入庫口Ｌａに配設した移載機１にて受け取り、これに隣接した搬送コンベアＣのカセット置台２上を載置し、かつ必要に応じてカセット置台２上をカセット移送台車３を用いて順次移動させ、さらにはこのカセット置台２上のカセットＫを、スタッカクレーンＳにて出庫ラインＬＯ側のカセット置台２上に移載し、かつ必要に応じて該カセットＫを出庫ラインＬＯのカセット置台２上を移動させて複数個のカセットＫを保管するようにする。
【００２６】
また、カセットＫを出庫するには、出庫ラインＬＯ側のカセット移送台車３によりカセットＫをカセット置台２上を入庫時と反対方向へ順次移動させ、出庫ラインＬＯの出庫口Ｌｂから移載機１にて搬送車Ｖに移載して行う。
【００２７】
下階層から上階層へ、また上階層から下階層へと階層間移送する場合は、入庫ラインＬＩにある所定のカセットＫをカセット移送台車３を用いて該ラインのリフタ入庫口Ｌｃまで移動させた後、同じ階層にある階層間搬送用リフタ４に移載する。これは階層間搬送用リフタ４に搭載しているカセット移載装置４１を用いて行う。
【００２８】
所定のカセットＫを階層間搬送用リフタ４に移載した後、該階層間搬送用リフタ４を上昇或いは降下させて所定の階層まで昇降させた後、次にカセット移載装置４１を用いて搬送する所定階層の出庫ラインＬＯにあるリフタ出庫口Ｌｄへカセット移載装置４１に搭載されているカセットを払い出すようにする。このとき、リフタ出庫口Ｌｄにあるカセット置台上に載置し、カセット移送台車３を移動させて所定のカセット置台２上に載置するようにし、このようにしてカセットの階層間の搬送を行う。
また、搬送ラインで搬送車にて搬送されているカセットＫを、指定の階層から異なる階層へ直接搬送する場合には、図１に示す搬送コンベアＣのａ位置より移載機１にて受け取り、該階層の搬送コンベアＣを用いて階層間搬送用リフタ４側へ移送した後、該階層間搬送用リフタ４にて異なる階層へ移送し、その後異なる階層の搬送コンベアＣにて出庫口側へ搬送され、ｂ位置より搬送車側へ渡すようにする。
なお、上記実施例では、搬送車Ｖとして工場の天井部を走行する有軌道式天井搬送車（ＯＨＶ）を用いて説明したが、このＯＨＶの代わりに工場の階層床上を走行する有軌道式地上搬送車（ＲＧＶ）を採用することも可能である。
【００２９】
以上、本発明の別階層工程間搬送システムについて、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明の別階層工程間搬送システムは、スタッカクレーンによる作業に支障を与えず、かつ階層間搬送を効率的に行うことができるという特性を有していることから、複数階層とした液晶基板や半導体等の製造の用途に好適に用いることができるほか、例えば、自動倉庫の用途にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の別階層工程間搬送システムの一実施例を示す平面図である。
【図２】搬送コンベアの平面図である。
【図３】移送台車の側面図である。
【符号の説明】
【００３２】
Ｃ    搬送コンベア
Ｋ    カセット
ＬＩ  入庫ライン
ＬＯ  出庫ライン
Ｒ１  搬送ライン
Ｒ２  搬送ライン
Ｖ    搬送車
Ｓ    スタッカクレーン
Ｌａ  入庫口
Ｌｂ  出庫口
Ｌｃ  リフタ入庫口
Ｌｄ  リフタ出庫口
１    移載機
２    カセット置台
３    カセット移送台車
３１  昇降台
４    階層間搬送用リフタ
４１  カセット移載装置
【図１】
2009035414.tif 000003
【図２】
2009035414.tif 000004
【図３】
2009035414.tif 000005