(57)【要約】【課題】開閉手段の開閉移動動作時に塵埃などの微粒子が発塵した場合でも、その微粒子が開口部からクリンルーム内へ侵入するのを抑制する。【解決手段】開口部を開閉するように動作する開閉手段、開口部の周縁部に設けられた出入口から開閉手段を出入り移動させることによって開口部の開閉動作を制御する開閉制御手段、及び出入口から出入りする開閉手段の両側端部を案内するガイド手段などのような塵埃などの微粒子を発生する可能性のあるものを収納手段内に収納し、その収納手段内のエアを排気手段で排気することによって、開口部からクリンルーム内へ塵埃などの微粒子が侵入するのを抑制したものである。【選択図】図１
2009019419.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を開閉するように動作する開閉手段と、
開口部の周縁部に設けられた出入口から前記開閉手段を出入り移動させることによって前記開口部の開閉動作を制御する開閉制御手段と、
前記出入口から出入りする前記開閉手段の両側端部を案内するガイド手段と、
前記開閉手段、前記開閉制御手段及び前記ガイド手段を収納する収納手段と、
前記収納手段内のエアを排気する排気手段と
を備えたことを特徴とするクリーンルーム用開閉装置。
【請求項２】
請求項１に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記開閉手段は、剛性部材からなるパネル手段で構成されることを特徴とするクリーンルーム用開閉装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記ガイド手段は、前記開閉手段の両側端部に沿って設けられ、前記開閉手段を案内するＬＭガイドで構成されることを特徴とするクリーンルーム用開閉装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記開閉制御手段は、前記開閉手段の閉鎖側先端部とは反対側の端部に可動部の接続された流体シリンダで構成されることを特徴とするクリーンルーム用開閉装置。
【請求項５】
請求項１、２、３又は４に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記排気手段は、前記収納手段内のエアをフィルタ手段によって清浄化して排気する送風機手段を備えたことを特徴とするクリーンルーム用開閉装置。
【請求項６】
請求項５に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記排気手段は、前記開閉手段の両側端部に設けられた前記ガイド手段に対応して前記収納手段の両側端部近傍に設けられることを特徴とするクリーンルーム用開閉装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１に記載されたクリーンルーム用開閉装置によって間仕切られたことを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内を所定の空間に間仕切る場合に使用されたり、クリーンルームの出入口に使用されるクリーンルーム用開閉装置及びこれを用いたクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路や液晶パネルなどの微小で精密な部品などの製造においては、塵埃などの微粒子が品質を阻害するので、これが極めて少ないクリーンルーム内で作業がなされる。クリーンルーム内は高性能フィルタなどを通過した清浄空気によって満たされており、クリーンルーム内に存在する塵埃などの微粒子は微粒子検出器により測定カウントされ、その清浄度が常時管理されている。
【０００３】
このようなクリーンルーム内には、精密部品の生産装置などが多数配置されており、そのレイアウトに応じて間仕切りを行なっている場合がある。例えば、クリーンルーム内において更に超清浄度を維持するために生産機器等を囲むように間仕切りを設けたり、逆に生産装置などの保守点検のために進入する作業者の作業エリアを囲み、他のエリアへ塵埃などの微粒子が飛散するのを防止するように間仕切りを設けたりしている。
【０００４】
クリーンルーム内に間仕切りを設けるようにしたものとしては、特許文献１，２に記載されたものがある。特許文献１には、回転ドラムに錘を下辺に有するカーテンを巻き付け、カーテンの垂下・巻上げの動作をモータプーリ用電気部品で行なうようにした自動巻上げカーテン装置をスクリーンカーテンの間仕切りに用いるようにしたものが記載されている。特許文献２には、クリーンルーム内を間仕切るために巻取り軸に巻取るように構成された気密性カーテンの側端縁同士を挟持固定する一対の連結支柱を用いたものが記載されている。
【特許文献１】実公平４−５６７３号公報
【特許文献２】特開平１１−１０１０１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
回転ドラムにカーテンを巻き取るように構成されたロールカーテン装置は、収納ケースにスリット状の出入口を備えており、カーテンはこのスリット状の出入口を通過し、ガイドレールを介して垂下されたり、巻上げられたりする。カーテンが垂下する場合、回転ドラムに巻き回されたカーテンが巻き出され、回転ドラムの半径が徐々に小さくなるために、カーテンの垂下位置が徐々に回転ドラムの回転軸に向かって移動するようになる。逆に、カーテンが巻上げられる場合、回転ドラムにカーテンが巻き回され、回転ドラムの半径が徐々に大きくなるために、カーテンの巻上げ位置が徐々に回転ドラムの回転軸から遠ざかるように移動するようになる。このようにカーテンの垂下及び巻上げ動作時に、カーテンの垂下位置及び巻上げ位置が移動することによって、カーテン表面が収納ケースのスリット状の出入口付近やガイドレールに接触したりして、塵埃などの微粒子を発生する可能性がある。
【０００６】
また、特許文献１に記載されたものは、カーテンの側縁をガイドレールを介してガイドする構造となっているが、このガイドレールはカーテンの下辺全長にわたって設けられた錘バーをガイドするものであり、カーテン自身をガイドするものではないため、カーテン表面に対して何らかの荷重がかかった場合に、カーテンの側縁がガイドレールから容易に外れてしまうおそれがある。また、特許文献２に記載されたものは、カーテンの側縁部を互いに噛み合うような凹凸状の連結支柱（ガイドレール）で挟持してはいるが、これは気密性を保持するためのものであり、同じくカーテン表面に対して何らかの荷重がかかった場合に、連結支柱からカーテンが外れてしまうおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、開閉手段の開閉移動動作時に塵埃などの微粒子が発塵した場合でも、その微粒子が開口部からクリーンルーム内へ侵入するのを抑制することができるように構成されたクリーンルーム用開閉装置及びこれを用いたクリーンルームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るクリーンルーム用開閉装置の第１の特徴は、開口部を開閉するように動作する開閉手段と、開口部の周縁部に設けられた出入口から前記開閉手段を出入り移動させることによって前記開口部の開閉動作を制御する開閉制御手段と、前記出入口から出入りする前記開閉手段の両側端部を案内するガイド手段と、前記開閉手段、前記開閉制御手段及び前記ガイド手段を収納する収納手段と、前記収納手段内のエアを排気する排気手段とを備えたことにある。これは、開閉手段、開閉制御手段及びガイド手段などのような塵埃などの微粒子を発生する可能性のあるものを収納手段内に収納し、その収納手段内のエアを排気手段で排気することによって、開口部からクリーンルーム内へ塵埃などの微粒子が侵入するのを抑制したものである。
【０００９】
本発明に係るクリーンルーム用開閉装置の第２の特徴は、前記第１の特徴に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記開閉手段が、剛性部材からなるパネル手段で構成されることにある。これは、開閉手段を剛性の高いパネル手段で構成することによって、パネル手段が開口部の周縁部に設けられた出入口やガイド手段に接触して塵埃などの微粒子が極力発生しないようにしたものである。
【００１０】
本発明に係るクリーンルーム用開閉装置の第３の特徴は、前記第１又は第２の特徴に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記ガイド手段が、前記開閉手段の両側端部に沿って設けられ、前記開閉手段を案内するＬＭガイドで構成されることにある。これは、ガイド手段として剛性の高いＬＭガイドを使用することによって、塵埃などの微粒子の発生する可能性を少なくしたものである。
【００１１】
本発明に係るクリーンルーム用開閉装置の第４の特徴は、前記第１、第２又は第３の特徴に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記開閉制御手段が、前記開閉手段の閉鎖側先端部とは反対側の端部に可動部の接続された流体シリンダで構成されることにある。これは、開閉制御手段として、塵埃などの微粒子の発生する可能性の少ない流体シリンダ（例えば、エアシリンダ又はオイルシリンダ等）を採用することで、塵埃などの微粒子が極力発生しないようにしたものである。
【００１２】
本発明に係るクリーンルーム用開閉装置の第５の特徴は、前記第１、第２、第３又は第４の特徴に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記排気手段が、前記収納手段内のエアをフィルタ手段によって清浄化して排気する送風機手段を備えたことにある。これは、排気手段をＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタなどのフィルタ手段と送風機手段とからなるファンフィルタユニットで構成することによって、排気されるエアを清浄化し、塵埃などの微粒子の発生を抑制したものである。
【００１３】
本発明に係るクリーンルーム用開閉装置の第６の特徴は、前記第５の特徴に記載されたクリーンルーム用開閉装置において、前記排気手段が、前記開閉手段の両側端部に設けられた前記ガイド手段に対応して前記収納手段の両側端部近傍に設けられることにある。これは、塵埃などの微粒子の発生の原因となるガイド手段が開口部の両側端部に位置するので、排気手段をこのガイド手段の位置に近い、収納手段の両側端部近傍に設け、ガイド手段などから発生する塵埃などの微粒子を効率良く排気手段から排気できるようにしたものである。
【００１４】
本発明に係るクリーンルームの第７の特徴は、前記第１から第６のいずれか１に記載されたクリーンルーム用開閉装置によって間仕切られたことにある。これは、前述の第１から第６の特徴に記載されたいずれか１のクリーンルーム用開閉装置を間仕切り用として利用したクリーンルームに関するものである。間仕切りには、クリーンルーム内を所定の領域に間仕切る場合と、クリーンルームと外部との間の出入口を間仕切る場合が該当する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のクリーンルーム用開閉装置及びこれを用いたクリーンルームによれば、開閉手段のが開閉移動動作時に塵埃などの微粒子が発塵した場合でも、その微粒子が開口部から侵入するのを抑制することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルーム用開閉装置の一実施の形態について説明する。この実施の形態に係るクリーンルーム用開閉装置は、クリーンルーム内の天井部に直接又は他の部材を介して間接的に設けられたり、建物上方の梁に直接又は他の部材を関して間接的に設けられたり、クリーンルーム内に別途構築されたパーティション用構造体に設けられたりする。クリーンルーム用開閉装置は単体で設けられたり、又は複数が並べられて設けられることがある。
【００１７】
この実施の形態に係るクリーンルーム用開閉装置は、アルミ製のパネルを流体シリンダ（エアシリンダ又はオイルシリンダ）で上昇下降することによって、開口部の開閉を制御するものである。開口部は、例えば約１８００［ｍｍ］×９００［ｍｍ］など所定範囲のサイズの精密機器に用いられる大型パネルを通過させることができるものであり、この開口部を介して露光処理装置などの精密機器製造の各処理ステージに大型のパネルを搬送する際に間口部を開閉するものである。
【００１８】
図１は、本発明に係るクリーンルーム用開閉装置の概略を示す正面図である。図２は、図１のクリーンルーム用開閉装置のＡ−Ａ線の断面図であり、図２（Ａ）はパネル手段が上昇して開口部を閉状態にした様子を示す図であり、図２（Ｂ）はパネル手段が下降して開口部を開状態にした様子を示す図である。
【００１９】
この実施の形態に係るクリーンルーム用開閉装置１は、収納ボックス１０、開閉パネル１１、エアシリンダ１２、ＬＭガイド１３，１４、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）ダクト３１〜３４及びファンフィルタユニット（ＦＦＵ）３５〜３８から構成される。
【００２０】
収納ボックス１０は、開閉パネル１１、エアシリンダ１２、ＬＭガイド１３，１４等を収納するものであり、鉄製の枠組みによって直方体形状のボックスを構成するようになっており、アルミ製の板材などが枠組みを利用して枠組み全体を覆うように取り付けられている。収納ボックス１０の上側には横長形状の開口部２０が設けられている。この開口部２０は、前述の大型の液晶パネルを搬送可能な大きさである。なお、図では、枠組みを覆うように設けられるアルミ製の板材を一体的に示しているが、実際は複数のアルミ製板材を隙間が発生しないように枠組みに取り付けることによって密閉された収納ボックスを構成するようにしている。なお、開閉パネル１１や収納ボックス１０の鉄製の枠組み、アルミ製の板材等の材料は、それぞれ金属製（鉄製・アルミ製・ステンレス製など）、樹脂製などとしても良い。
【００２１】
開閉パネル１１は、開口部２０を開閉する開閉手段である。ＬＭガイド１３，１４は、開閉パネル１１の両側に開閉パネル１１の直線移動をガイドするように設けられている。このＬＭガイド１３，１４は、開口部２０の縦方向長さの約２倍の長さであり、開口部２０の側面に沿って、その下側に延びるように設けられている。開閉パネル１１は、このＬＭガイド１３，１４上を移動することによって、開口部２０の開閉動作を行う。開閉パネル１１は、アルミ製で構成されており、丁度開口部２０を閉鎖可能な大きさとなっている。開閉パネル１１の下端部にはエアシリンダ１２の可動部先端が結合されている。エアシリンダ１２は、圧縮空気の持つエネルギーを、直線運動、揺動、あるいはその組み合わせなどの、具体的な動力に変換して対象物を移動させる機器である。通常、この種のエアシリンダが動力源装置であって開閉制御手段として用いられている。従って、開閉パネル１１は、エアシリンダ１２の動力に応じてＬＭガイド１３，１４に案内されて上下方向に自在に移動し、開口部２０を開閉するようになっている。エアシリンダ１２のピストンロッド部（可動部）が上昇することによって開閉パネル１１を上昇し、開閉パネル１１は図２（Ａ）に示すように開口部２０を閉状態にする。逆に、一方、エアシリンダ１２のピストンロッド部が下降することによって開閉パネル１１は図２（Ｂ）に示すように開口部２０を開状態にする。
【００２２】
ＦＦＵダクト３１〜３４は、収納ボックス１０の両側に設けられている。ＦＦＵ３５〜３８は、それぞれのＦＦＵダクト３１〜３４の先端側、すなわち最下端部に設けられている。ＦＦＵダクト３１，３２は、開閉パネル１１の全開時の側面部から収納ボックス１０の下側まで伸びる長尺形状をしている。ＦＦＵダクト３３，３４は、ＦＦＵダクト３１，３２の約３分の１の長さをしており、ＦＦＵダクト３１，３２の下端部付近に設けられている。ＦＦＵダクト３１〜３４は、上側から徐々にダクトの高さが高くなるような傾斜部を有し、その最下端部にＦＦＵ３５〜３８がそれぞれ設けられている。ＦＦＵダクト３１〜３４内部と収納ボックス１０との間は空洞となっており、ＦＦＵダクト３１〜３４が収納ボックス１０に接する部分の全体で収納ボックス１０内のエアを排出するようになっている。ＦＦＵダクト３１，３２は、主に収納ボックス１０の上側、ＦＦＵダクト３３，３４は、主に収納ボックス１０の下側のエアを排出対象としている。
【００２３】
ＦＦＵ３５〜３８は、例えばＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタなどのフィルタ手段と送風機が内蔵されたものであり、電力の供給によって収納ボックス１０内のエアをＦＦＵダクト３１〜３４を介して清浄な空気として下面（床面）に向かって排出する。ＦＦＵ３５〜３８は、ＦＦＵダクト３１〜３４を介してエアを導入するダクト接続方式を採用している。ＦＦＵ３５〜３８の性能は、フィルタ厚さ及び寸法などで決まり、クリーンルーム内の仕様に応じて最適な機種や個数を選択することが好ましい。ＦＦＵ３５〜３８は収納ボックス１０内の空気を排出しているので、ＦＦＵ３５〜３８以外の部分の収納ボックス１０内から収納ボックス１０外への空気の流れはほとんど収納ボックス１０内への流れとなり、エアフィルタを介さず収納ボックス１０内から収納ボックス１０外へ空気が流れることはほとんどなく、塵埃などの微粒子が発散するのを抑制することができる。なお、ＦＦＵダクト３１〜３４と収納ボックス１０内とを接続する空洞部をＦＦＵダクト３１〜３４の傾斜部のみに限定的に設けるようにしてもよい。また、エアシリンダ１２の下側付近に、ＦＦＵダクト３３及びＦＦＵ３７を設けるようにしてもよい。この実施の形態では、ファンフィルタユニットダクト３１〜３４及びファンフィルタユニット３５〜３８は、開口部の前後（図２における開口部２０の左右）の一方側にのみ設けているが、両側に設けても良い。ファンフィルタユニットのファンは、開閉パネルの動作に応じてオン／オフを自動的に切替えるようにしても良い。
【００２４】
上述の実施の形態では、アルミ製パネルが上昇下降して開口部を開閉する場合を例に説明したが、アルミ製パネルが横引き方式で繰り出されたり、又はスクリーンカーテンが上昇下降しながら繰り出されて開閉するものやスクリーンカーテンが横引き方式で繰り出されたりするものであっても同様に適用することができる。また、開閉パネルは複数のパネルに分割されていてもよいが、実施の形態のように一枚状に接合されていることが好ましい。
【００２５】
上述の実施の形態では障害物感知装置を設けない場合について説明したが、アルミ製パネルの閉鎖側先端部近傍および／または開口部２０の周縁部近傍に障害物感知装置を設けるようにしてもよい。この場合、障害物感知装置として、座板スイッチ、テープスイッチなどのように障害物に当接することによって障害物を検出するものやこれ以外に非当接にて障害物を検出可能なものを用いてもよい。例えば、非当接にて障害物を検出するものとして、開閉部材の両側に赤外光の発光素子と受光素子を設けたり、開口部を挟んで赤外光の発光素子と受光素子を設けたりして、赤外光が遮断された場合に障害物を検出するものなどがある。上述の実施の形態では、エアシリンダを例に説明したが、オイルシリンダを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係るクリーンルーム用開閉装置の概略を示す正面図である。
【図２】図１のクリーンルーム用開閉装置のＡ−Ａ線の断面図であり、図２（Ａ）はパネル手段が上昇して開口部を閉状態にした様子を示す図であり、図２（Ｂ）はパネル手段が下降して開口部を開状態にした様子を示す図である。
【符号の説明】
【００２７】
１…クリーンルーム用開閉装置
１０…収納ボックス
１１…開閉パネル
１２…エアシリンダ
１３，１４…ＬＭガイド
３１〜３４…ファンフィルタユニットダクト
３５〜３８…ファンフィルタユニット
【図１】
2009019419.tif 000003
【図２】
2009019419.tif 000004