(57)【要約】【課題】少ない塗布量で高いＢＳＦ効果を保証しつつ焼成時にシリコン基板に反り等の変形が発生するのを防止し得る薄いアルミニウム電極を形成するために使用される太陽電池用アルミニウムペーストを提供すること。【解決手段】本発明により提供される太陽電池用アルミニウムペーストは、レーザー回折法に基づく粒度分布のＤ５０が３μｍ以下であり且つＤ１０とＤ９０との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２以上であることを特徴とする小粒径アルミニウム粉末と、Ｄ５０が小粒径アルミニウム粉末のＤ５０の２〜６倍であり且つＤ１０／Ｄ９０が０．２以上であることを特徴とする大粒径アルミニウム粉末とを混合することにより調製された混合アルミニウム粉末を含む。【選択図】図３
2009146578.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池のアルミニウム電極を形成するアルミニウムペーストを製造する方法であって、
以下の２種類のアルミニウム粉末：
（ａ）．レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が３μｍ以下であり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２以上であることを特徴とする小粒径アルミニウム粉末；及び
（ｂ）．レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が前記小粒径アルミニウム粉末のＤ５０の２〜６倍であり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２以上であることを特徴とする大粒径アルミニウム粉末；
を用意する工程と、
前記小粒径アルミニウム粉末と、前記大粒径アルミニウム粉末とを混合する工程であって、調製された目的アルミニウムペーストを使用して形成される乾燥アルミニウム膜の密度が、前記小粒径アルミニウム粉末のみをアルミニウム成分として調製された比較アルミニウムペーストを同条件で使用して形成される乾燥アルミニウム膜の密度よりも高くなることを実現する混合比で混合する工程と、
前記混合アルミニウム粉末を有機ビヒクルに分散させる工程と、
を包含する、太陽電池用アルミニウムペースト製造方法。
【請求項２】
前記小粒径アルミニウム粉末の中心粒径が１μｍ〜３μｍであり、前記大粒径アルミニウム粉末の中心粒径が５μｍ〜１０μｍである、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記大粒径アルミニウム粉末と前記小粒径アルミニウム粉末の質量混合比（大粒径アルミニウム粉末／小粒径アルミニウム粉末）が８／２〜２／８の範囲内に設定される、請求項２に記載の製造方法。
【請求項４】
太陽電池のアルミニウム電極を形成するアルミニウムペーストであって、
有機ビヒクル中に分散されるアルミニウム粉末を含み、請求項１〜３のいずれかに記載の製造方法により製造されたアルミニウムペースト。
【請求項５】
前記アルミニウム粉末は、レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が２μｍ〜６μｍであり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２未満である、請求項４に記載のアルミニウムペースト。
【請求項６】
前記中心粒径が３μｍ〜５μｍである、請求項５に記載のアルミニウムペースト。
【請求項７】
受光面の裏面側にアルミニウム電極を備える太陽電池であって、
前記アルミニウム電極が、以下の２種類のアルミニウム粉末：
（ａ）．レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が３μｍ以下であり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２以上であることを特徴とする小粒径アルミニウム粉末；及び
（ｂ）．レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が前記小粒径アルミニウム粉末のＤ５０の２〜６倍であり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２以上であることを特徴とする大粒径アルミニウム粉末；
との混合粉末が焼成されて形成されている、太陽電池。
【請求項８】
前記混合粉末は、レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が２μｍ〜６μｍであり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２未満である、請求項７に記載の太陽電池。
【請求項９】
請求項４〜６のいずれかに記載のアルミニウムペーストを用いて前記アルミニウム電極が形成されている、請求項７又は８に記載の太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池の受光面の裏面側にアルミニウム電極を形成するためのアルミニウムペーストとその製法に関し、さらに該アルミニウム電極が形成された太陽電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、結晶系シリコン太陽電池として図１に示すような片面受光タイプの太陽電池１０が知られている。
この太陽電池１０は、シリコン基板（Ｓｉウエハ）１１のｐ−Ｓｉ層（ｐ型結晶シリコン）１８の受光面側にｐｎ接合形成により形成されたｎ−Ｓｉ層１６を備え、その表面にはＣＶＤ等により形成された酸化チタンや窒化シリコンから成る反射防止膜１４と、典型的には銀ペーストをスクリーン印刷し焼成することによって形成されるＡｇから成る表面電極（受光面電極）１２とを備える。一方、ｐ−Ｓｉ層１８の裏面側には、表面電極１２と同様に銀ペーストをスクリーン印刷・焼成することによって形成されるＡｇから成る裏面側外部接続用電極２２と、いわゆる裏面電界（ＢＳＦ；Back Surface Field）効果を奏するアルミニウム電極２０とを備える。
かかるアルミニウム電極２０は、アルミニウム粉末を主体とするアルミニウムペーストを印刷・焼成することによって裏面の略全面に形成される。この焼成時に図示しないＡｌ−Ｓｉ合金層が形成され、アルミニウムがｐ−Ｓｉ層１８に拡散してｐ＋層２４が形成される。かかるｐ＋層２４、即ちＢＳＦ層が形成されることによって、光生成されたキャリアが裏面電極近傍で再結合することが防止され、例えば短絡電流や開放電圧（Ｖｏｃ）の向上が実現される。
【０００３】
ところで、上記ＢＳＦ効果を効果的に実現させるには、アルミニウム電極２０をある程度の膜厚（例えば５０〜６０μｍ）で形成する必要がある。その一方で、太陽電池（ソーラーセル）の製造コスト低減や太陽電池モジュールのコンパクト化等の理由によって、従来よりも一層のシリコン基板（Ｓｉウエハ）１１、即ち太陽電池素子自体の薄板化が求められている。
しかしながら、基板（Ｓｉウエハ）１１の薄板化は、当該基板１１自体の熱膨張係数とアルミニウム電極２０の熱膨張係数との差によって、当該アルミニウム電極２０を形成するための焼成時にシリコン基板（ウエハ）自体に反りや曲がり等の変形が生じることを助長する。このため、従来、かかる反り等の変形発生を防止するための様々な工夫が行われている。
例えば、特許文献１には、アルミニウム電極形成用のアルミニウムペーストであって、アルミニウム含有有機化合物を添加したことを特徴とするアルミニウムペーストが開示されている。また、特許文献２には、アルミニウム電極形成用のアルミニウムペーストであって、熱膨張率がアルミニウムよりも小さく且つ溶融温度、軟化温度及び分解温度のいずれかがアルミニウムの融点よりも高い無機化合物粉末を含むことを特徴とするアルミニウムペーストが開示されている。そして、これらの特許文献には、かかる特徴の上記アルミニウムペーストを用いることによってアルミニウム電極の膜厚を従来よりも薄くしても十分なＢＳＦ効果が得られ、さらにアルミニウム電極の膜厚が薄くなることによって焼成時にウエハに生じる反り等の変形を小さくし得ると記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−９０７３４号公報
【特許文献２】特開２００３−２２３８１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
これら特許文献に記載される技術（アルミニウムペースト）の適用によって上記従来の問題（即ち、アルミニウム電極焼成時に生じるウエハの反りや曲がり）について多少の改善を図れるものの、更に改善されるべき余地がある。
本発明は、上記特許文献とは異なるアプローチによって上記従来の問題を解決すべく創出されたものであり、少ない塗布量で高いＢＳＦ効果を保証しつつ焼成時にシリコン基板（ウエハ）に反り等の変形が発生するのを防止し得る薄膜状のアルミニウム電極を形成するアルミニウムペーストを提供することを目的とする。また、かかるアルミニウムペーストで形成されたアルミニウム電極を形成すること、さらに当該形成されたアルミニウム電極を備える太陽電池を提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によって提供される一つの製造方法は、太陽電池のアルミニウム電極を形成する用途に用いるアルミニウムペーストの製造方法である。この製造方法では、以下の２種類のアルミニウム粉末：
（ａ）．レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０；即ち累積体積５０％時の粒径）が３μｍ以下であり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２以上であることを特徴とする小粒径アルミニウム粉末；及び
（ｂ）．レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が上記小粒径アルミニウム粉末のＤ５０の２〜６倍であり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２以上であることを特徴とする大粒径アルミニウム粉末；
を用意する工程と、上記小粒径アルミニウム粉末と、上記大粒径アルミニウム粉末とを混合する工程であって、調製された目的アルミニウムペーストを使用して形成される乾燥アルミニウム膜の密度（ｇ／ｃｍ３）が、上記小粒径アルミニウム粉末のみをアルミニウム成分として調製された比較アルミニウムペーストを同条件で使用して形成される乾燥アルミニウム膜の密度（ｇ／ｃｍ３）よりも高くなることを実現する混合比で混合する工程と、上記混合アルミニウム粉末を有機ビヒクルに分散させる工程とを包含する。
なお、上記乾燥アルミニウム膜とは、所定の部位に電極形成用アルミニウムペーストを塗布して得られた塗膜であって、アルミニウム電極形成のために焼成を行う前の乾燥した状態の乾燥膜をいう。
【０００７】
ここで開示されるアルミニウムペースト製造方法では、上記のとおり、粒度分布の異なる２種類のアルミニウム粉末を混合したものを電極形成用原料粉末としてアルミニウムペーストを調製する。このことによって、太陽電池のシリコン基板上に形成される膜状のアルミニウム電極の緻密性（密度）を向上させ得、従来よりも薄い電極膜（例えば乾燥膜での膜厚が３０μｍ以下、特には２０μｍ以下）であるにも拘わらず、従来と同等またはそれ以上の効果（例えば開放電圧Ｖｏｃ）を奏することができる。また、電極膜を薄くし得る結果、塗膜形成後の乾燥時或いは焼成時に基板（ウエハ）に反り等の変形が生じ難く、所望する形状の太陽電池を製造することができる。
【０００８】
好ましくは、上記小粒径アルミニウム粉末の中心粒径が１μｍ〜３μｍであり、上記大粒径アルミニウム粉末の中心粒径が５μｍ〜１０μｍであることを特徴とする。また、  上記大粒径アルミニウム粉末と上記小粒径アルミニウム粉末の質量混合比（大粒径アルミニウム粉末／小粒径アルミニウム粉末）が８／２〜２／８の範囲内に設定されることが特に好ましい。
このような構成の製造方法によると、電極膜（焼成アルミニウム膜）の緻密性（密度）が一層向上し、所望する効果を維持しつつ基板（ウエハ）の反りをより確実に防止することができる。
【０００９】
また、本発明は、上記目的を実現する太陽電池用アルミニウムペーストを提供する。即ち、ここで開示されるアルミニウムペーストは、太陽電池のアルミニウム電極を形成するアルミニウムペーストであって、有機ビヒクル中に分散されるアルミニウム粉末を含む。そして、ここで開示される本発明のいずれかの製造方法により製造されたアルミニウムペーストである。
本発明により提供されるアルミニウムペーストによると、上述のとおり、従来よりも薄いアルミニウム膜（例えば乾燥膜での膜厚が３０μｍ以下、特には２０μｍ以下）で、従来の厚膜（例えば乾燥膜での膜厚が５０〜６０μｍ）と同等またはそれ以上の効果（例えば開放電圧Ｖｏｃ）を奏するアルミニウム電極を形成することができる。そして、本発明のアルミニウムペーストによると、電極膜を薄くし得る結果、塗膜形成後の乾燥時或いは焼成時に基板（ウエハ）に反り等の変形が生じるのを防止することができる。
【００１０】
ペーストに含まれるアルミニウム粉末としては、上記小粒径アルミニウム粉末と大粒径アルミニウム粉末とを混合した結果、レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が２μｍ〜６μｍであり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２未満であるような粒度分布の広い混合粉末が好ましく、その中心粒径が３μｍ〜５μｍであるものが特に好ましい。
このような構成のアルミニウムペーストを使用することによって、所望する効果を維持しつつ基板（ウエハ）の反りをより確実に防止することができる薄い裏面電極（アルミニウム電極）を例えば板厚が１００〜５００μｍのような薄いシリコン基板（Ｓｉウエハ）に形成することができる。
【００１１】
また、本発明は、上記目的を実現する他の側面として、受光面の裏面側にアルミニウム電極を備える太陽電池を提供する。ここで開示される太陽電池は、上記アルミニウム電極が、以下の２種類のアルミニウム粉末：
（ａ）．レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が３μｍ以下であり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２以上であることを特徴とする小粒径アルミニウム粉末；及び
（ｂ）．レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が上記小粒径アルミニウム粉末のＤ５０の２〜６倍であり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２以上であることを特徴とする大粒径アルミニウム粉末；
との混合粉末が焼成されて形成されていることを特徴とする。
例えば、上記混合粉末は、レーザー回折法に基づく粒度分布の中心粒径（Ｄ５０）が２μｍ〜６μｍであり且つ累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が０．２未満であることで規定される。
【００１２】
このような構成の太陽電池では、アルミニウム電極の形成時（乾燥時及び／又は焼成時）にシリコン基板に反り等の変形が発生し難く、結果、形状に関する高精度と性能に関する高信頼性を実現することができる。
このような太陽電池は、ここで開示されるいずれかのアルミニウムペーストを用いてアルミニウム電極（裏面電極）を形成することによって得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の好適な実施形態を説明する。なお、本明細書において特に言及している事項（例えばアルミニウム粉末の種類と混合割合）以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄（例えばペーストの調合法、太陽電池の一般的な製造プロセス）は、当該分野における従来技術に基づく当業者の設計事項として把握され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。
【００１４】
ここで開示されるアルミニウムペーストは、太陽電池におけるアルミニウム電極を形成する用途に用いられるアルミニウムペーストであり、上記粒度分布の異なる小粒径アルミニウム粉末及び大粒径アルミニウム粉末とを含むことで特徴付けられるペースト状材料であり、本発明の目的を実現し得る限りにおいて、その他の構成成分や配合量に関して特に制限はない。
本明細書においてアルミニウム粉末とは、アルミニウム（Ａｌ）を主体とする粒子の集合体をいい、典型的にはＡｌ単体から成る粒子の集合体であるが、Ａｌ以外の不純物やＡｌ主体の合金を微量含むものであっても、全体としてアルミニウム主体の粒子の集合体である限り、ここでいう「アルミニウム粉末」に包含され得る。なお、アルミニウム粉末自体は、従来公知の製造方法によって製造されたものでよく、特別な製造手段を要求するものではない。
【００１５】
また、本明細書においてアルミニウム粉末の粒度分布に関し「中心粒径」とは、当該粉末の粒度分布における累積体積５０％時の粒径、即ちＤ５０（メジアン径）をいう。かかるＤ５０は、レーザー回折法（即ちレーザー光が測定試料に照射され、散乱されたときの散乱パターンにより粒度分布を決定する。）に基づく粒度分布測定装置によって容易に測定することができる。
【００１６】
使用するアルミニウム粉末を構成する粒子は、典型的には球状であるが、いわゆる真球状のものに限られない。フレーク形状や不規則形状の粒子を含むものであってもよい。
例えば中心粒径が３μｍ以下である小粒径アルミニウム粉末としては、当該粉末を構成する粒子（一次粒子）の７０質量％以上が球又はそれに類似する形状を有することが好ましい。例えば小粒径アルミニウム粉末を構成する粒子の７０質量％以上がアスペクト比（即ち長径／短径比）１〜１．３であるものが好ましい。
他方、大粒径アルミニウム粉末は、アスペクト比１．３以上の微視的に細長い粒を含有するものが好ましい（例えば粉末を構成する粒子の７０質量％以上がアスペクト比１．３以上の粒子）。このような形状の大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末とを混合することによって、目的とする緻密性の高い（即ち高密度の）アルミニウム電極を形成することができる。
【００１７】
また、混合する２種の粉末は、それぞれ、粒度分布が比較的狭い（換言すれば粒径の揃った）粉末であることが好ましい。この指標としてレーザー回折法に基づく粒度分布における累積体積１０％時の粒径（Ｄ１０）と累積体積９０％時の粒径（Ｄ９０）との比（Ｄ１０／Ｄ９０）が採用できる。粉末を構成する粒径が全て等しい場合はＤ１０／Ｄ９０の値は１となり、逆に粒度分布が広くなる程このＤ１０／Ｄ９０の値は０に近づくことになる。上記Ｄ１０／Ｄ９０の値が０．２以上（例えば０．２〜０．４）であるような比較的狭い粒度分布の粉末の使用が好ましい。
【００１８】
また、太陽電池を構成するシリコン基板の一つの面（典型的には受光面の裏面側）にアルミニウム電極を形成する場合、本発明の目的を実現する観点からは焼成前の乾燥塗膜（即ち乾燥アルミニウム膜）の状態で膜厚３０μｍ以下が好ましく、典型的には膜厚２０μｍ前後（例えば１５〜２５μｍ、特に好ましくは２０μｍ以下、例えば１０〜２０μｍ）であることが好ましい。
このような乾燥塗膜を構成するのに好適な小粒径アルミニウム粉末としては、中心粒径が３μｍ以下（例えば１〜３μｍ、特に１．５〜２．５μｍ）であるものが挙げられる。一方、そのような小粒径アルミニウム粉末と混合される大粒径アルミニウム粉末としては、当該小粒径アルミニウム粉末の中心粒径の概ね２〜６倍の中心粒径を有する大粒径アルミニウム粉末が好ましい。例えば、小粒径アルミニウム粉末の中心粒径が３μｍ以下（例えば１〜３μｍ、特に１．５〜２．５μｍ）であり、大粒径アルミニウム粉末の中心粒径が５μｍ以上（例えば５〜１０μｍ、特に５．５〜８．５μｍ）であるような２種のアルミニウム粉末を使用することが好ましい。
【００１９】
上記のような観点（粒度分布、粒子形状、等）から、本発明に係るアルミニウムペーストの調製にあたっては、用意した小粒径アルミニウム粉末と大粒径アルミニウム粉末の混合比は特に限定されず、小粒径アルミニウム粉末と大粒径アルミニウム粉末とを混合して調製された目的のアルミニウムペーストを使用して形成された乾燥アルミニウム膜の密度（ｇ／ｃｍ３）が、当該小粒径アルミニウム粉末のみをアルミニウム成分として調製された比較対象としてのアルミニウムペーストを同条件で使用して形成された乾燥アルミニウム膜の密度よりも高くなるような配合比で両アルミニウム粉末を混合するとよい。
例えば大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末の質量混合比（大粒径アルミニウム粉末／小粒径アルミニウム粉末）が、８／２〜２／８の範囲内に設定されることが好ましい。この混合比が７／３〜３／７の範囲内（特に６／４〜４／６、例えば５／５程度）に設定されることが特に好ましい。
【００２０】
また、小粒径アルミニウム粉末と大粒径アルミニウム粉末とを混合した後の混合粉末の粒度分布が、中心粒径（Ｄ５０）２μｍ〜６μｍであり且つＤ１０／Ｄ９０が０．２未満（典型的には０．１以上０．２未満）となるように混合粉末を調製することが好ましい。混合後のアルミニウム粉末全体の中心粒径が３μｍ〜５μｍとなるように小粒径アルミニウム粉末と大粒径アルミニウム粉末とを混合することが特に好ましい。
このような粒度分布上の特徴を有する混合粉末を主成分とするアルミニウムペーストによると、緻密なアルミニウム電極をシリコン基板に形成することができる。また、ペースト中での粉末の分散性を良好に維持することができる。このような粒度分布上の特徴を単一のアルミニウム粉末で実現することは極めて困難であり、ここで開示されるように２種類の相互に粒度分布の異なるアルミニウム粉末を混合することによって実現することができる。
【００２１】
ペースト中のアルミニウム粉末（混合粉末）の含有量は特に制限されないが、ペースト全体を１００質量％として、その６０〜８０質量％（例えば７０〜８０質量％）がアルミニウム粉末となるように含有率を調整することが好ましい。製造されたアルミニウムペースト中のアルミニウム粉末含有量が上記のような場合には緻密性がより向上したアルミニウム電極膜を形成することができる。
【００２２】
次に、アルミニウムペーストを製造する場合に使用するアルミニウム粉末以外の材料について説明する。
アルミニウムペーストの副成分としては、アルミニウム粉末を分散させておく有機媒質（ビヒクル）が挙げられる。かかるビヒクルを構成する有機溶剤は、アルミニウム粉末を良好に分散させ得るものであればよく、従来のこの種のペーストに用いられているものを特に制限なく使用することができる。例えば、ビヒクルを構成する溶剤として、エチレングリコール及びジエチレングリコール誘導体（グリコールエーテル系溶剤）、トルエン、キシレン、ブチルカルビトール（ＢＣ）、ターピネオール等の高沸点有機溶媒を一種類又は複数種組み合わせて使用することができる。
また、ビヒクルを構成する有機バインダーとして種々の樹脂成分を含ませることができる。かかる樹脂成分はアルミニウムペーストに良好な粘性及び塗膜形成能（シリコン基板に対する付着性）を付与し得るものであればよく、従来のこの種のペーストに用いられているものを特に制限なく使用することができる。例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アルキド樹脂、セルロース系高分子、ポリビニルアルコール、ロジン樹脂等を主体とするものが挙げられる。このうち、特にエチルセルロース等のセルロース系高分子が好ましい。
特に限定しないが、有機ビヒクル含有量はペースト全体のほぼ１５〜３５質量％となる量が適当である。
【００２３】
アルミニウムペーストの他の副成分として、アルミニウム電極のシリコン基板への接着強度向上に寄与する種々の無機添加材、典型的にはガラスフリットが挙げられる。好適なガラスフリットとしては、亜鉛系、鉛系、ホウケイ酸系ガラス、及び酸化ビスマス等、又はこれら２種以上の組み合わせが挙げられる。例えば、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＺｎＯ系ガラス、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ系ガラス、Ｂｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＰｂＯ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ−Ｂｉ２Ｏ３系ガラス、ＳｉＯ２−Ｂｉ２Ｏ３−ＰｂＯ系ガラス、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３系ガラス、等からなるガラスフリットが好ましい。シリコン基板（ウエハ）上に付着したペースト成分（塗布膜）を安定的に焼成し・固着させる（焼き付かせる）ために添加するガラスフリットは、その比表面積が概ね０．５〜５０ｍ２／ｇ程度であることが好ましく、中心粒径が２μｍ以下（特に１μｍ程度又はそれ以下）のものが特に好適である。
特に限定しないが、ガラスフリット含有量はペースト全体のほぼ０．５〜５質量％となる量が適当である。
【００２４】
ここで開示されるアルミニウムペーストは、従来の太陽電池用アルミニウムペーストと同様、典型的にはアルミニウム粉末（小粒径アルミニウム粉末及び大粒径アルミニウム粉末）、有機ビヒクル及びその他の添加物（ガラスフリット等）を混合することによって容易に調製することができる。例えば、三本ロールミルその他の混練機を用いて、所定の混合比の小粒径アルミニウム粉末及び大粒径アルミニウム粉末、ならびに各種の添加剤（ガラスフリット）を有機ビヒクルとともに所定の配合比で混合・撹拌するとよい。
【００２５】
本発明によって提供されるアルミニウムペーストは、シリコン基板上に裏面アルミニウム電極（延いてはｐ＋層即ちＢＳＦ層）を形成するのに従来用いられてきたアルミニウムペーストと同様に取り扱うことができ、従来公知の方法を特に制限なく採用することができる。
典型的には、スクリーン印刷法、ディスペンサー塗布法、ディップ塗布法等によって、所望する厚みや塗膜パターンとなるようにしてアルミニウムペーストをシリコン基板（ウエハ）に塗布する。次いで、塗布物を適当な温度（室温〜１００℃程度）で乾燥させる。乾燥後、適当な焼成炉（例えば高速焼成炉）中で適当な加熱条件（例えば７００〜８００℃）で所定時間加熱することによって、乾燥塗膜の焼成を行う。これにより、塗布物がシリコン基板上に焼き付けられ、上述した図１に示すようなアルミニウム電極２０が形成される。通常、アルミニウム電極２０が焼成されるとともに、上述のとおり、Ｐ＋層（ＢＳＦ層）２４も形成され得る。
【００２６】
本発明によって提供されるアルミニウムペーストによると、小粒径アルミニウム粉末と大粒径アルミニウム粉末との混合粉末を主体としているため、従来の厚いアルミニウム電極（例えば膜厚５０〜６０μｍ）を形成（焼成）する場合と同等のＢＳＦ層（ｐ＋層）をより薄いアルミニウム電極（例えば膜厚３０μｍ以下、典型的には１５〜２５μｍ）を形成（焼成）する際に形成することができる。そしてアルミニウム電極を薄膜化することによって、ペースト塗布物の乾燥時や乾燥アルミニウム膜を焼成する際のシリコン基板の熱膨張係数と該アルミニウム膜の熱膨張係数との差によってシリコン基板に反りその他の変形或いは割れ等が発生するのを、未然に防止することができる。
【００２７】
なお、本発明のアルミニウムペーストを使用し、従来よりも薄い膜厚のアルミニウム電極を形成すること以外の太陽電池製造のための材料やプロセスは、従来と全く同様でよく、特別な処理をすることなく本発明のアルミニウムペーストによって形成されたアルミニウム電極を備えた結晶シリコン太陽電池（例示として上述の図１参照）を製造することができる。例えば、従来の銀ペーストを用いてスクリーン印刷等を行うことにより、受光面側及び裏面側に所定パターンのＡｇ電極を形成することができる。また、従来と同様の処理を行うことによって受光面側にｎ＋層や反射防止膜を形成することができる。
このような太陽電池（素子）の製造プロセス自体は従来技法のままでよく特に本発明を特徴付けるものではないため、詳細な説明は省略する。
【００２８】
以下、本発明に関するいくつかの実施例を説明するが、本発明をかかる実施例に示すものに限定することを意図したものではない。なお、以下に記載の粒度分布に関する数値は、分散媒体としてイオン交換水を使用し、レーザー回折・散乱式粒子径分布測定装置（株式会社堀場製作所製品：ＬＡ−９２０）を用いて測定した結果である。
【００２９】
＜製造例１：アルミニウムペーストの調製（１）＞
大粒径アルミニウム粉末として中心粒径（Ｄ５０）が６．５μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：３．８μｍ、Ｄ９０：１２．２μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．３１１）を使用し、小粒径アルミニウム粉末として中心粒径（Ｄ５０）が２．２μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：０．９μｍ、Ｄ９０：４．０μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．２２５）を使用した。
そして、大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比が大／小＝８／２となるようにかかる２種類のアルミニウム粉末を混合すると共に、当該混合粉末７５質量部に、有機ビヒクル２３質量部（ターピネオール２１．５質量部、エチルセルロース１．５質量部）と、ガラスフリット（亜鉛系ガラス：Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＺｎＯ系ガラス）２質量部とを加え、三本ロールミルを用いて混練した。これにより本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル１とする。
【００３０】
＜製造例２：アルミニウムペーストの調製（２）＞
大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比を大／小＝７／３とした以外は、製造例１と同様の材料を使用し同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル２とする。
【００３１】
＜製造例３：アルミニウムペーストの調製（３）＞
大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比を大／小＝５／５とした以外は、製造例１と同様の材料を使用し同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル３とする。
【００３２】
＜製造例４：アルミニウムペーストの調製（４）＞
大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比を大／小＝３／７とした以外は、製造例１と同様の材料を使用し同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル４とする。
【００３３】
＜製造例５：アルミニウムペーストの調製（５）＞
大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比を大／小＝２／８とした以外は、製造例１と同様の材料を使用し同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル５とする。
【００３４】
＜製造例６：アルミニウムペーストの調製（６）＞
大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比を大／小＝９／１とした以外は、製造例１と同様の材料を使用し同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル６とする。
【００３５】
＜製造例７：アルミニウムペーストの調製（７）＞
大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比を大／小＝１０／０、即ち上記大粒径アルミニウム粉末のみを使用し、その他は製造例１と同様の材料、同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル７とする。
【００３６】
＜製造例８：アルミニウムペーストの調製（８）＞
大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比を大／小＝０／１０、即ち上記小粒径アルミニウム粉末のみを使用し、その他は製造例１と同様の材料、同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル８とする。
【００３７】
＜製造例９：アルミニウムペーストの調製（９）＞
アルミニウム粉末として中心粒径（Ｄ５０）が４．０μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：２．４μｍ、Ｄ９０：７．４μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．３２４）のみを使用し、その他は製造例１と同様の材料、同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル９とする。
【００３８】
＜製造例１０：アルミニウムペーストの調製（１０）＞
大粒径アルミニウム粉末として中心粒径（Ｄ５０）が５．５μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：２．５μｍ、Ｄ９０：９．９μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．２５３）を使用し、小粒径アルミニウム粉末として中心粒径（Ｄ５０）が２．２μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：０．９μｍ、Ｄ９０：４．０μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．２２５）を使用した。
そして、大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比が大／小＝５／５となるようにかかる２種類のアルミニウム粉末を混合すると共に、当該混合粉末７５質量部に、有機ビヒクル２３質量部（ターピネオール２１．５質量部、エチルセルロース１．５質量部）と、ガラスフリット（亜鉛系ガラス：Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＺｎＯ系ガラス）２質量部とを加え、三本ロールミルを用いて混練した。これにより本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル１０とする。
【００３９】
＜製造例１１：アルミニウムペーストの調製（１１）＞
使用する大粒径アルミニウム粉末を、中心粒径（Ｄ５０）が８．５μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：４．０μｍ、Ｄ９０：１４．６μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．２７３）に変更した以外は、製造例１０と同様の材料、同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル１１とする。
【００４０】
＜製造例１２：アルミニウムペーストの調製（１２）＞
大粒径アルミニウム粉末として中心粒径（Ｄ５０）が６．５μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：３．８μｍ、Ｄ９０：１２．２μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．３１１）を使用し、小粒径アルミニウム粉末として中心粒径（Ｄ５０）が２．２μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：０．９μｍ、Ｄ５０：２．２μｍ、Ｄ９０：４．１μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．２２）を使用した。
そして、大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比が大／小＝５／５となるようにかかる２種類のアルミニウム粉末を混合すると共に、当該混合粉末７５質量部に、有機ビヒクル２３質量部（ターピネオール２１．５質量部、エチルセルロース１．５質量部）と、ガラスフリット（亜鉛系ガラス：Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＺｎＯ系ガラス）２質量部とを加え、三本ロールミルを用いて混練した。これにより本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル１２とする。
【００４１】
＜製造例１３：アルミニウムペーストの調製（１３）＞
使用する小粒径アルミニウム粉末を、中心粒径（Ｄ５０）が４．０μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：２．４μｍ、Ｄ９０：７．４μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．３２４）に変更した以外は、製造例１２と同様の材料、同様のプロセスを行って本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル１３とする。
【００４２】
＜製造例１４：アルミニウムペーストの調製（１４）＞
大粒径アルミニウム粉末として中心粒径（Ｄ５０）が４．０μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：２．４μｍ、Ｄ９０：７．４μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．３２４）を使用し、小粒径アルミニウム粉末として中心粒径（Ｄ５０）が２．２μｍのアルミニウム粉末（Ｄ１０：０．９μｍ、Ｄ９０：４．０μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０＝０．２２５）を使用した。
そして、大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との質量混合比が大／小＝５／５となるようにかかる２種類のアルミニウム粉末を混合すると共に、当該混合粉末７５質量部に、有機ビヒクル２３質量部（ターピネオール２１．５質量部、エチルセルロース１．５質量部）と、ガラスフリット（亜鉛系ガラス：Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＺｎＯ系ガラス）２質量部とを加え、三本ロールミルを用いて混練した。これにより本製造例に係るアルミニウムペースト（アルミニウム粉末含有率：７５質量％）を調製した。以下、得られたアルミニウムペーストをサンプル１４とする。
【００４３】
＜試験例１：乾燥膜密度の測定＞
乾燥アルミニウム膜（箔）の密度はソーダガラス基板上で測定した。具体的には、スクリーン印刷（ステンレス製スクリーンメッシュＳＵＳ＃１６５を使用）により、ガラス基板上に上記得られたサンプル１〜１４のアルミニウムペーストを印刷（塗布）し、１００ｍｍ×１００ｍｍの塗膜を形成した。このとき、塗布量を調節して、乾燥塗膜の膜厚が２０μｍとなるものと３０μｍとなるものの２種類を作製した。塗布完了後、室温〜８０℃で乾燥し、得られた乾燥アルミニウム膜の密度を、乾燥膜の付着量と厚みの測定から算出した。結果を使用したペースト毎に表１及び表２に区分して示す。
【００４４】
【表１】
2009146578.tif 000003
【００４５】
【表２】
2009146578.tif 000004
【００４６】
表に示す結果から明らかなように、大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末とを適当な比率で混合した混合アルミニウム粉末を使用することによって、乾燥アルミニウム膜密度を向上させ得ることが確認された。
具体的には、中心粒径が５μｍ以上の大粒径アルミニウム粉末と、中心粒径が３μｍ以下の小粒径アルミニウム粉末とを混合比（大／小）が８／２〜２／８の範囲内となるように混合した混合粉末を使用したサンプル１〜５，１０〜１２では、大粒径アルミニウム粉末のみを使用したもの（サンプル７）や小粒径アルミニウム粉末のみを使用したもの（サンプル８）と比較して乾燥膜密度の向上が認められた。
特に、混合比（大／小）を７／３〜３／７の範囲内に設定したサンプル２〜４，１０〜１２では、２ｇ／ｃｍ３以上の乾燥膜密度が得られた。
サンプル２（図２）、サンプル３（図３）及びサンプル４（図４）を使用して得た乾燥アルミニウム膜についてのＳＥＭ像と、単一のアルミニウム粉末を含有するサンプル７（図５）、サンプル８（図６）及びサンプル９（図７）を使用して得た乾燥アルミニウム膜についてのＳＥＭ像との比較から明らかなように、混合アルミニウム粉末を使用しているサンプル２〜４のペーストから得られた乾燥膜は、単一のアルミニウム粉末を使用しているサンプル７〜９のペーストから得られた乾燥膜よりも緻密であった。
【００４７】
また、サンプル３のアルミニウムペーストに使用されている混合アルミニウム粉末の粒度分布を測定したところ、中心粒径は４．１μｍであった。このＤ５０値は、上記サンプル９で用いられている非混合（単一）アルミニウム粉末のＤ５０値（４．０μｍ）とほぼ同じであった。
しかしながら、サンプル３の混合アルミニウム粉末のＤ１０は１．１μｍ、Ｄ９０は８．４μｍ、Ｄ１０／Ｄ９０は０．１３１であった。かかる広い粒度分布は、２種のアルミニウム混合粉末が混合されたことを反映している。そして、図３と図７のＳＥＭ像を比較すると明らかなように、中心粒径が近似することに拘わらず、サンプル３とサンプル９のアルミニウムペーストからそれぞれ構成される乾燥膜の緻密性は顕著に異なる。
このことは、緻密性の高い薄膜状のアルミニウム電極を形成する場合において、上記のような大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末とを混合して使用することが効果的であることを示している。
【００４８】
＜試験例２：反り量の算定＞
上記得られたサンプル１〜１４のアルミニウムペーストをアルミニウム電極形成用として用いて、太陽電池を製造した。
具体的には、市販の１２５ｍｍ四方（□）太陽電池用ｐ型単結晶シリコン基板（板厚２００μｍ）を用意し、その表面をＮａＯＨ水溶液を用いてアルカリエッチング処理した。次いで、上記エッチング処理でテクスチャ構造が形成されたシリコン基板の受光面にリン含有溶液を塗布し、熱処理を行なうことによって当該シリコン基板の受光面に厚さが約０．５μｍであるｎ−Ｓｉ層（ｎ＋層）を形成した（図１参照）
次いで、ｎ−Ｓｉ層上にプラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）法によって厚みが５０〜１００ｎｍ程度の反射防止膜（酸化チタン膜）を形成した。さらに、所定の表面電極（Ａｇ電極）形成用銀ペーストを用いて反射防止膜上にスクリーン印刷法によって表面電極（Ａｇ電極）となる塗膜（厚さ２０〜５０μｍ）を形成した（図１参照）。
シリコン基板の裏面側に、スクリーン印刷（ステンレス製スクリーンメッシュＳＵＳ＃１６５を使用した。以下同じ。）により、サンプル１〜１４の各アルミニウムペーストを印刷（塗布）し、膜厚が２０μｍまたは３０μｍの乾燥アルミニウム膜を形成した。次いで、このシリコン基板を焼成して、焼成アルミニウム電極を形成した。具体的には、大気雰囲気中で近赤外線高速焼成炉を用いて、焼成温度７００〜８００℃で焼成した。
【００４９】
次いで、焼成後のシリコン基板の反り量を調べた。即ち、アルミニウム電極が形成された面が上向きになるように水平試験台上に焼成後のシリコン基板を配置し、当該シリコン基板の厚さ方向における最低部と最上部との間の寸法を測定した。その測定値を本試験例における反り量（ｍｍ）とした。結果を表１及び表２の該当欄に示す。
表に示すように、アルミニウム電極の厚みが２０μｍ或いは３０μｍ程度（乾燥膜時）であることを反映して、何れも反り量を低く抑えることができた。即ち、２０μｍ厚（乾燥膜時）のアルミニウム電極を備える基板の反りは、０．６〜１．１ｍｍ程度であり、３０μｍ厚（乾燥膜時）のアルミニウム電極を備える基板の反りは、１．５〜２．５ｍｍ程度であった。
【００５０】
＜試験例３：開放電圧の測定＞
本試験例では、上記試験例２で表面電極（Ａｇ電極）が形成された各シリコン基板の裏面側に、先ず、上記表面電極（Ａｇ電極）形成用銀ペーストと同様の裏面電極（Ａｇ電極）形成用銀ペーストを用いて所定のパターンにスクリーン印刷し、乾燥することにより、厚さ２０〜５０μｍの裏面側Ａｇ塗布物（即ち、焼成後におけるＡｇから成る裏面側外部接続用電極：図１参照）を形成した。
次いで、スクリーン印刷により、サンプル１〜１４の各アルミニウムペーストを印刷（塗布）し、膜厚が２０μｍまたは３０μｍの乾燥アルミニウム膜を形成した。次いで、このシリコン基板を大気雰囲気中で近赤外線高速焼成炉を用いて、焼成温度７００〜８００℃で焼成した。かかる焼成によって表面電極（Ａｇ電極）及び裏面側外部接続用Ａｇ電極とともに、焼成アルミニウム電極を形成した。
次に、このようにして得られた太陽電池（図１参照）について、表裏Ａｇ電極間に電圧計を接続し、太陽光を受光面に照射したときの最大電圧即ち開放電圧（Ｖｏｃ）を測定した。結果を表１及び表２の該当欄に示す。
表に示すように、アルミニウム電極の厚みが２０μｍ（乾燥膜時）の場合も３０μｍ（乾燥膜時）の場合も、略同等の開放電圧が得られた。具体的には、大粒径アルミニウム粉末と小粒径アルミニウム粉末との混合アルミニウム粉末を使用したほぼ６００ｍＶ以上の開放電圧が得られた。このことは、本発明に係るアルミニウムペーストを使用することにより、従来よりも薄い（典型的には３０μｍ以下、好ましくは２０μｍ又はそれ以下）アルミニウム電極形成で従来の厚膜のアルミニウム電極形成と同等の効果（例えばＢＳＦ効果）を奏し得ることを示している。また、アルミニウム電極を薄くすることで、焼成時や乾燥時にシリコン基板に反り等の変形或いは割れが発生することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】太陽電池の構造の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】一製造例に係る乾燥アルミニウム膜のＳＥＭ像であり、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、１０００倍、３０００倍及び５０００倍のＳＥＭ像である。
【図３】一製造例に係る乾燥アルミニウム膜のＳＥＭ像であり、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、１０００倍、３０００倍及び５０００倍のＳＥＭ像である。
【図４】一製造例に係る乾燥アルミニウム膜のＳＥＭ像であり、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、１０００倍、３０００倍及び５０００倍のＳＥＭ像である。
【図５】一製造例に係る乾燥アルミニウム膜のＳＥＭ像であり、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、１０００倍、３０００倍及び５０００倍のＳＥＭ像である。
【図６】一製造例に係る乾燥アルミニウム膜のＳＥＭ像であり、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、１０００倍、３０００倍及び５０００倍のＳＥＭ像である。
【図７】一製造例に係る乾燥アルミニウム膜のＳＥＭ像であり、（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、１０００倍、３０００倍及び５０００倍のＳＥＭ像である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  太陽電池
１１  シリコン基板（Ｓｉウエハ）
１２  表面電極（受光面電極）
１４  反射防止膜
１６  ｎ−Ｓｉ層
１８  ｐ−Ｓｉ層
２０  裏面アルミニウム電極
２２  裏面側外部接続用電極
２４  ｐ＋層
【図１】
2009146578.tif 000005
【図２】
2009146578.tif 000006
【図３】
2009146578.tif 000007
【図４】
2009146578.tif 000008
【図５】
2009146578.tif 000009
【図６】
2009146578.tif 000010
【図７】
2009146578.tif 000011