(57)【要約】【課題】金属層を含む複数の層を積層し、これらを加圧して接合することによって製造される金属張積層体の反りを抑制する。【解決手段】金属張積層体１０の製造方法は、金属張積層体１０を構成する複数の層を積層して、加圧前の積層体１０Ｐを形成する工程と、この積層体１０Ｐを加圧することによって、複数の層を接合する工程とを備えている。複数の層を接合する工程では、凹面２１ａを有する第１の部材２１と凸面２２ａを有する第２の部材２２を用い、積層体１０Ｐが凹面２１ａと凸面２２ａとの間に挟み込まれるように、第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２を重ね合わせ、これらを加圧する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属層を含む複数の層を積層し、これらを加圧して接合することによって、前記複数の層を有する金属張積層体を製造する方法であって、
前記金属張積層体を構成する前記複数の層を積層して、加圧前の積層体を形成する工程と、
第１の面を有する第１の部材と第２の面を有する第２の部材とを用い、前記加圧前の積層体が前記第１の面と第２の面との間に挟み込まれるように、前記第１の部材、前記加圧前の積層体および前記第２の部材を重ね合わせ、これらを加圧することによって、前記複数の層を接合する工程とを備え、
前記第１の面は、曲面からなる凹面であり、前記第２の面は、曲面からなる凸面であって、前記第１の面と重ね合わせたときに第１の面と合致する面であることを特徴とする金属張積層体の製造方法。
【請求項２】
前記複数の層を接合する工程では、前記加圧前の積層体を湾曲しない状態に保持して加圧することによって前記複数の層を接合して金属張積層体を作製した場合に金属張積層体に生じる反りの方向とは逆方向に前記加圧前の積層体が反るように、前記加圧前の積層体を前記第１の面と第２の面との間に配置することを特徴とする請求項１記載の金属張積層体の製造方法。
【請求項３】
更に、前記金属張積層体を製造する前に、前記加圧前の積層体を湾曲しない状態に保持して加圧することによって前記複数の層を接合して反り検出用の試料を作製し、この反り測定用の試料に生じる反りの方向を検出する工程を備え、
前記複数の層を接合する工程では、前記反りの方向を検出する工程によって検出された反りの方向とは逆方向に前記加圧前の積層体が反るように、前記加圧前の積層体を前記第１の面と第２の面との間に配置することを特徴とする請求項１記載の金属張積層体の製造方法。
【請求項４】
前記第１の面と第２の面は、いずれも円柱面であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の金属張積層体の製造方法。
【請求項５】
前記複数の層を接合する工程では、前記複数の層を加熱することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の金属張積層体の製造方法。
【請求項６】
前記金属張積層体は、前記複数の層として、互いに材質の異なる金属よりなる第１および第２の金属層と、第１の金属層と第２の金属層の間に配置された絶縁樹脂層とを有するものであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の金属張積層体の製造方法。
【請求項７】
金属層を含む複数の層を積層し、これらを加圧して接合することによって、前記複数の層を有する金属張積層体を製造する際に用いられる金属張積層体製造用治具であって、
第１の面を有する第１の部材と、第２の面を有する第２の部材とを備え、
前記第１の部材と第２の部材は、前記金属張積層体を構成する前記複数の層が積層されてなる加圧前の積層体を、前記第１の面と第２の面との間に挟み込んだ状態で加圧されるものであり、
前記第１の面は、曲面からなる凹面であり、前記第２の面は、曲面からなる凸面であって、前記第１の面と重ね合わせたときに第１の面と合致する面であることを特徴とする金属張積層体製造用治具。
【請求項８】
前記第１の面と第２の面は、いずれも円柱面であることを特徴とする請求項７記載の金属張積層体製造用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属層を含む複数の層を積層し、これらを加圧して接合することによって金属張積層体を製造する金属張積層体の製造方法、および金属張積層体を製造する際に用いられる金属張積層体製造用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置では、磁気ヘッドを含むスライダが、サスペンションによって弾性的に支持されて、記録媒体に対向するように配置される。記録媒体が回転すると、記録媒体とスライダとの間を通過する空気流によってスライダに揚力が生じ、スライダは、この揚力によって記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。従って、サスペンションの剛性等の機械的な特性は、スライダの浮上量や姿勢に大きな影響を与える。
【０００３】
スライダに含まれる磁気ヘッドには配線が接続される。この配線は、サスペンションに沿って配置される。従来、この配線は、サスペンションの作製後に、サスペンションに取り付けられていた。しかしながら、このようにサスペンションに配線を取り付ける方法では、配線の剛性や空気抵抗等がスライダの浮上量や姿勢に影響を与えるという問題点や、配線と磁気ヘッドとの接続工程を簡略化できないという問題点があった。
【０００４】
そこで、例えば特許文献１に示されるように、サスペンションと配線とを一体化した配線一体型サスペンションも提案されている。この配線一体型サスペンションは、サスペンション上に絶縁層を介してパターン化された導体層が形成されたものである。特許文献１には、導体層のパターニングの方法として、ステンレス箔上に絶縁層と導体層を順に積層してなる積層体を用い、この積層体における導体層をエッチングによってパターニングする方法と、ステンレス箔上に絶縁層が積層されてなる積層体を用い、この積層体における絶縁層の上に、スパッタ法やめっき法等を用いて、パターン化された導体層を形成する方法が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２４４５９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述のように、配線一体型サスペンションの製造に用いられるサスペンション用積層体としては、ステンレス箔上に絶縁層と導体層を順に積層して構成された積層体が知られている。特許文献１に記載されているように、従来、このような積層体では、この積層体の製造後に、積層体が反る場合があるという問題点があった。このように積層体が反ると、サスペンションの製造過程において、反った積層体によって積層体の搬送路が詰まったり、サスペンションの機械的な精度が劣化したりするという問題が生じる。
【０００７】
上記の積層体の製造方法としては、特許文献１に記載されているように、ステンレス箔上に絶縁層と導体層を順に積層した後、これらを加熱圧着する方法が知られている。この方法で製造された積層体が製造後に反る原因の一つは、特許文献１に記載されているように、ステンレス箔と絶縁層と導体層の各線熱膨張係数の違いにあると考えられる。
【０００８】
特許文献１には、ステンレス箔上に絶縁層と導体層を順に積層して構成された積層体において、ステンレス箔におけるマルテンサイト相の体積率を制御することによって、製造後の積層体の反りを抑制する技術が記載されている。
【０００９】
ところで、積層体が製造後に反るという問題は、上記のようにステンレス箔上に絶縁層と導体層を順に積層して構成された積層体に限らず、金属層を含む複数の層が積層されて構成された積層体全般で発生し得る。本出願において、金属層を含む複数の層が積層されて構成された積層体を金属張積層体と呼ぶ。
【００１０】
そのため、適用される金属張積層体が特定の構造や材料のものに限られることなく、製造後の金属張積層体の反りを抑制する技術が求められている。
【００１１】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、金属層を含む複数の層を積層し、これらを加圧して接合することによって金属張積層体を製造する方法であって、金属張積層体の反りを抑制できるようにした金属張積層体の製造方法、およびこの製造方法によって金属張積層体を製造する際に用いられる金属張積層体製造用治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の金属張積層体の製造方法は、金属層を含む複数の層を積層し、これらを加圧して接合することによって、複数の層を有する金属張積層体を製造する方法である。この製造方法は、金属張積層体を構成する複数の層を積層して、加圧前の積層体を形成する工程と、第１の面を有する第１の部材と第２の面を有する第２の部材とを用い、加圧前の積層体が第１の面と第２の面との間に挟み込まれるように、第１の部材、加圧前の積層体および第２の部材を重ね合わせ、これらを加圧することによって、複数の層を接合する工程とを備えている。本発明において、第１の面は、曲面からなる凹面であり、第２の面は、曲面からなる凸面であって、第１の面と重ね合わせたときに第１の面と合致する面である。
【００１３】
本発明の金属張積層体の製造方法において、複数の層を接合する工程では、加圧前の積層体を湾曲しない状態に保持して加圧することによって複数の層を接合して金属張積層体を作製した場合に金属張積層体に生じる反りの方向とは逆方向に加圧前の積層体が反るように、加圧前の積層体を第１の面と第２の面との間に配置してもよい。
【００１４】
また、本発明の金属張積層体の製造方法は、更に、金属張積層体を製造する前に、加圧前の積層体を湾曲しない状態に保持して加圧することによって複数の層を接合して反り検出用の試料を作製し、この反り測定用の試料に生じる反りの方向を検出する工程を備え、複数の層を接合する工程では、反りの方向を検出する工程によって検出された反りの方向とは逆方向に加圧前の積層体が反るように、加圧前の積層体を第１の面と第２の面との間に配置してもよい。
【００１５】
また、本発明の金属張積層体の製造方法において、第１の面と第２の面は、いずれも円柱面であってもよい。
【００１６】
また、本発明の金属張積層体の製造方法において、複数の層を接合する工程では、複数の層を加熱してもよい。
【００１７】
また、本発明の金属張積層体の製造方法において、金属張積層体は、複数の層として、互いに材質の異なる金属よりなる第１および第２の金属層と、第１の金属層と第２の金属層の間に配置された絶縁樹脂層とを有するものであってもよい。
【００１８】
本発明の金属張積層体製造用治具は、金属層を含む複数の層を積層し、これらを加圧して接合することによって、複数の層を有する金属張積層体を製造する際に用いられるものである。この金属張積層体製造用治具は、第１の面を有する第１の部材と、第２の面を有する第２の部材とを備えている。第１の部材と第２の部材は、金属張積層体を構成する複数の層が積層されてなる加圧前の積層体を、第１の面と第２の面との間に挟み込んだ状態で加圧されるものである。第１の面は、曲面からなる凹面であり、第２の面は、曲面からなる凸面であって、第１の面と重ね合わせたときに第１の面と合致する面である。
【００１９】
本発明の金属張積層体製造用治具において、第１の面と第２の面は、いずれも円柱面であってもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の金属張積層体の製造方法または金属張積層体製造用治具によれば、本発明を適用せずに製造した場合に金属張積層体に生じる反りの方向とは逆方向に反るように、加圧前の積層体を第１の面と第２の面との間に挟み込んだ状態で、加圧前の積層体を加圧することが可能になる。これにより、本発明によれば、金属張積層体の反りを抑制することが可能になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施の形態に係る金属張積層体の製造方法および金属張積層体製造用治具について図面を参照して詳細に説明する。始めに、本実施の形態が適用される金属張積層体を用いて製造される製品の一例として、配線一体型サスペンションについて説明する。図５は、配線一体型サスペンションの構成の一例を示す平面図である。この配線一体型サスペンションは、磁気ヘッドを含むスライダを、記録媒体に対向するように弾性的に支持するものである。
【００２２】
図５に示した配線一体型サスペンションは、例えばステンレス鋼によって形成された板ばね状のロードビーム１、このロードビーム１の一端部に取り付けられたフレキシャ２とを備えている。フレキシャ２の一端部には、磁気ヘッドを含む図示しないスライダが取り付けられるようになっている。フレキシャ２は、スライダに適度な自由度を与えるものである。フレキシャ２において、スライダが取り付けられる部分には、スライダの姿勢を一定に保つためのジンバル部３が設けられている。ロードビーム１の他端部は、アクチュエータに取り付けられるようになっている。このアクチュエータは、スライダが記録媒体のトラック横断方向に移動するようにサスペンションを駆動する。フレキシャ２は、一端が磁気ヘッドに接続される配線４を含んでいる。本実施の形態が適用される金属張積層体は、例えばフレキシャ２を製造するために用いられる。
【００２３】
なお、本実施の形態が適用される金属張積層体を用いて製造される配線一体型サスペンションの構成は、図５に示したものに限らない。例えば、配線一体型サスペンションは、図５におけるロードビーム１およびフレキシャ２の代わりに、これらが一体化されたサスペンション本体を備えたものであってもよい。この場合には、サスペンション本体が配線４を含む。そして、本実施の形態が適用される金属張積層体は、サスペンション本体を製造するために用いられる。
【００２４】
次に、図４を参照して、本実施の形態に係る製造方法によって製造される金属張積層体１０の構成の一例について説明する。図４は、金属張積層体１０の一部を示す断面図である。金属張積層体１０は、互いに材質の異なる金属よりなる第１の金属層１１および第２の金属層１３と、第１の金属層１１と第２の金属層１３の間に配置された絶縁樹脂層１２とを備えている。第１の金属層１１は、例えばステンレス箔からなる。絶縁樹脂層１２は、例えばポリイミド系樹脂からなる。また、第２の金属層１３は、例えば銅箔からなる。
【００２５】
図４に示した金属張積層体１０を用いて、フレキシャ２またはサスペンション本体を製造する場合には、エッチング等によって第２の金属層１３をパターニングして配線４を形成する。また、金属張積層体１０は、フレキシャ２またはサスペンション本体となるように、エッチング等によって所定の形状に加工される。
【００２６】
次に、図４に示した金属張積層体１０を例にとって、本実施の形態に係る金属張積層体１０の製造方法の概略について説明する。本実施の形態に係る金属張積層体１０の製造方法では、金属張積層体１０を構成する複数の層１１，１２，１３を積層し、これらを加圧して接合することによって、複数の層１１，１２，１３を有する金属張積層体１０を製造する。
【００２７】
より詳しく説明すると、本実施の形態に係る金属張積層体１０の製造方法は、金属張積層体１０を構成する複数の層１１，１２，１３を積層して、加圧前の積層体を形成する工程と、加圧前の積層体を加圧することによって、複数の層１１，１２，１３を接合する工程とを備えている。本実施の形態では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において、複数の層１１，１２，１３を加熱する。すなわち、本実施の形態では、複数の層１１，１２，１３を加熱圧着する。また、複数の層１１，１２，１３を接合する工程では、本実施の形態に係る金属張積層体製造用治具を用いる。
【００２８】
加圧前の積層体を形成する工程では、第１の金属層１１の上に絶縁樹脂層１２を積層した後、絶縁樹脂層１２の上に第２の金属層１３を形成してもよいし、その逆に、第２の金属層１３の上に絶縁樹脂層１２を積層した後、絶縁樹脂層１２の上に第１の金属層１１を形成してもよい。第１の金属層１１または第２の金属層１３の上に絶縁樹脂層１２を積層する方法は、特に限定されない。例えば、キャスティングにより、第１の金属層１１または第２の金属層１３の上に絶縁樹脂層１２を形成してもよいし、第１の金属層１１または第２の金属層１３の上に樹脂フィルムをラミネートして絶縁樹脂層１２を形成してもよい。
【００２９】
ここで、図１ないし図３を参照して、複数の層１１，１２，１３を接合する工程で用いられる本実施の形態に係る金属張積層体製造用治具（以下、単に治具と記す。）について説明する。図１は治具を示す斜視図である。図２は、図１に示した治具における第１の部材を示す側面図である。図３は、図１に示した治具における第２の部材を示す側面図である。
【００３０】
図１に示したように、本実施の形態に係る治具２０は、第１の部材２１と第２の部材２２とを備えている。第１の部材２１は、曲面からなる凹面２１ａと、この凹面２１ａとは反対側の平面２１ｂとを有する板状をなしている。凹面２１ａは、特に円柱面になっている。なお、円柱面とは、直線を、その直線に平行な中心軸を中心として回転させたときに直線の軌跡によって描かれる面を言う。第２の部材２２は、曲面からなる凸面２２ａと、この凸面２２ａとは反対側の平面２２ｂとを有する板状をなしている。凸面２２ａは、特に円柱面になっている。面２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂは、いずれも鏡面仕上げされている。凹面２１ａは本発明における第１の面に対応し、凸面２２ａは本発明における第２の面に対応する。凹面２１ａと凸面２２ａを重ね合わせたときに、凹面２１ａと凸面２２ａは互いに合致するようになっている。すなわち、凹面２１ａの曲率と凸面２２ａの曲率は等しくなっている。第１の部材２１および第２の部材２２は、例えばステンレス鋼によって形成されている。
【００３１】
ここで、図１に示したように、第１の部材２１および第２の部材２２において、厚み方向をＴ方向と呼び、凹面２１ａおよび凸面２２ａを構成する円柱面の中心軸の方向をＭＤ方向と呼び、Ｔ方向およびＭＤ方向に垂直な方向をＴＤ方向と呼ぶ。また、第１の部材２１のＭＤ方向の長さを記号ＭＤ１で表わし、第１の部材２１のＴＤ方向の長さを記号ＴＤ１で表わし、第２の部材２２のＭＤ方向の長さを記号ＭＤ２で表わし、第２の部材２２のＴＤ方向の長さを記号ＴＤ２で表わす。図２はＭＤ方向から見た第１の部材２１を示し、図３はＭＤ方向から見た第２の部材２２を示している。
【００３２】
図２に示したように、第１の部材２１は、ＴＤ方向における中央において最も薄く、ＴＤ方向における両端で最も厚い。ここで、第１の部材２１における最大の厚みを記号Ｔ１で表わし、第１の部材２１における最小の厚みを記号Ｔ１２で表わす。また、最大の厚みＴ１と最小の厚みＴ１２との差を、凹面２１ａの深さと呼び、記号Ｔ１１で表わす。
【００３３】
また、図３に示したように、第２の部材２２は、ＴＤ方向における中央において最も厚く、ＴＤ方向における両端で最も薄い。ここで、第２の部材２２における最大の厚みを記号Ｔ２で表わし、第２の部材２２における最小の厚みを記号Ｔ２２で表わす。また、最大の厚みＴ２と最小の厚みＴ２２との差を、凸面２２ａの高さと呼び、記号Ｔ２１で表わす。
【００３４】
複数の層１１，１２，１３を接合する工程では、加圧前の積層体が凹面２１ａと凸面２２ａとの間に挟み込まれるように、第１の部材２１、加圧前の積層体および第２の部材２２を重ね合わせ、これらを加圧することによって、複数の層１１，１２，１３を接合する。その際、図１に示したように、第１の部材２１と第２の部材２２は、それぞれのＭＤ方向が互いに平行になり、それぞれのＴＤ方向が互いに平行になるように配置される。また、本実施の形態では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において、複数の層１１，１２，１３を加熱する。上記の加圧および加熱は、加熱可能なプレス装置、例えば加熱可能な真空プレス装置を用いて行われる。
【００３５】
ここで、図８を参照して、本実施の形態において用いられる真空プレス装置の構成の一例について説明する。図８は、真空プレス装置の概略の構成を示す断面図である。この真空プレス装置は、基台３０と、この基台３０上に固定された下側ハウジング部材３１と、この下側ハウジング部材３１の上方に配置された上側ハウジング部材３２と、この上側ハウジング部材３２に接続された複数のロッド３３とを備えている。上側ハウジング部材３２は、複数のロッド３３によって上下方向に移動可能に支持されている。上側ハウジング部材３２は、最も下方に配置されたとき、下側ハウジング部材３１と連結され、このとき、下側ハウジング部材３１と上側ハウジング部材３２とによって密封された空間がされるようになっている。また、上側ハウジング部材３２は、最も下方の位置から上昇すると、下側ハウジング部材３１から離れるようになっている。また、下側ハウジング部材３１には、排気口３５が設けられている。そして、下側ハウジング部材３１と上側ハウジング部材３２とによって密封された空間がされた状態で、図示しない真空ポンプによって、排気口３５より、密封された空間内の空気を吸引することによって、密封された空間内を真空状態にすることができる。
【００３６】
真空プレス装置は、更に、基台３０上に固定された下プレス盤４１と、この下プレス盤４１の上方に配置された上プレス盤４２と、この上プレス盤４２の上端に接続されたシリンダ４３とを備えている。シリンダ４３は、上プレス盤４２を上下方向に移動させる。下プレス盤４１と上プレス盤４２は、下側ハウジング部材３１と上側ハウジング部材３２とによって囲まれた空間内に配置されている。シリンダ４３は、上側ハウジング部材３２を貫通している。下プレス盤４１は平面からなる上面を有し、上プレス盤４２は平面からなる下面を有している。下プレス盤４１の上面と上プレス盤４２の下面は、互いに平行に配置されている。下プレス盤４１の上面と上プレス盤４２の下面の間には、プレスされる対象物が配置されるようになっている。本実施の形態では、このプレスされる対象物は、前述の第１の部材２１、加圧前の積層体１０Ｐおよび第２の部材２２を重ね合わせたものである。また、下プレス盤４１と上プレス盤４２は、それぞれヒータを内蔵している。これにより、プレスされる対象物を加熱することができるようになっている。
【００３７】
本実施の形態では、例えば図８に示した真空プレス装置を用い、下プレス盤４１の上面と上プレス盤４２の下面の間に、第１の部材２１、加圧前の積層体１０Ｐおよび第２の部材２２を配置し、これらを加圧および加熱することによって、複数の層１１，１２，１３を接合して金属張積層体１０を製造する。
【００３８】
なお、本実施の形態において用いられる真空プレス装置の構成は、図８に示したものに限定されない。例えば、図８では、上側ハウジング部材３２が上下方向に移動可能になっているが、下側ハウジング部材３１が上下方向に移動可能になっていてもよい。また、図８では、上プレス盤４２が上下方向に移動可能になっているが、下プレス盤４１が上下方向に移動可能になっていてもよい。また、図８では、下側ハウジング部材３１に排気口３５が設けられているが、上側ハウジング部材３２に排気口が設けられていてもよい。また、本実施の形態において、複数の層１１，１２，１３を接合する工程で使用されるプレス装置は、加熱可能なものであれば、真空プレス装置に限らない。
【００３９】
次に、図９および図１０を参照して、下プレス盤４１の上面と上プレス盤４２の下面の間に、第１の部材２１、加圧前の積層体１０Ｐおよび第２の部材２２を配置する際における、これらの位置関係について説明する。ここでは、積層体１０Ｐが、第１の金属層１１の上に絶縁樹脂層１２と第２の金属層１３が順に積層されて構成される場合を例にとって説明する。この場合、第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２の位置関係としては、図９に示した態様と図１０に示した態様とがある。
【００４０】
図９に示した態様では、凹面２１ａが上を向くように、第１の部材２１が最も下に配置され、第１の金属層１１が凹面２１ａに接するように、凹面２１ａの上に積層体１０Ｐが配置され、第２の金属層１３に凸面２２ａが接するように、積層体１０Ｐの上に第２の部材２２が配置されている。
【００４１】
図１０に示した態様では、凸面２２ａが上を向くように、第２の部材２２が最も下に配置され、第１の金属層１１が凸面２２ａに接するように、凸面２２ａの上に積層体１０Ｐが配置され、第２の金属層１３に凹面２１ａが接するように、積層体１０Ｐの上に第１の部材２１が配置されている。
【００４２】
なお、積層体１０Ｐが、第２の金属層１３の上に絶縁樹脂層１２と第１の金属層１１が順に積層されて構成される場合においても、第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２の位置関係としては、図９に示した態様と同様に下から第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２の順に配置される態様と、図１０に示した態様と同様に下から第２の部材２２、積層体１０Ｐおよび第１の部材２１の順に配置される態様とがある。
【００４３】
図９に示した態様と図１０に示した態様のいずれにおいても、凹面２１ａと凸面２２ａとの間に挟み込まれた積層体１０Ｐは反った状態となる。図９に示した態様と図１０に示した態様のどちらが選択されるかは、本実施の形態を適用せずに製造した場合に金属張積層体１０に生じる反りの方向に依存する。具体的には、本実施の形態では、加圧前の積層体１０Ｐを湾曲しない状態に保持して加圧することによって金属張積層体１０を作製した場合に金属張積層体１０に生じる反りの方向とは逆方向に積層体１０Ｐが反るように、積層体１０Ｐを凹面２１ａと凸面２２ａとの間に配置する。以下、加圧前の積層体１０Ｐを湾曲しない状態に保持して加圧することによって作製した金属張積層体１０を、本実施の形態に係る製造方法によって製造した金属張積層体１０と区別するために、基準金属張積層体と呼ぶ。
【００４４】
ここで、図１１を参照して、基準金属張積層体を作製する方法の一例について説明する。図１１に示した例では、本実施の形態における第１の部材２１および第２の部材２２の代わりに、第３の部材１２１および第４の部材１２２を用いて基準金属張積層体を作製する。第３の部材１２１は、それぞれ平面よりなる上面１２１ａおよび下面１２１ｂを有する板状をなしている。第４の部材１２２は、それぞれ平面よりなる下面１２２ａおよび上面１２２ｂを有する板状をなしている。面１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂは、いずれも鏡面仕上げされている。第３の部材１２１および第４の部材１２２は、例えばステンレス鋼によって形成されている。図１１に示した例では、第３の部材１２１の上面１２１ａの上に積層体１０Ｐを配置し、積層体１０Ｐの上に第４の部材１２２を配置し、この第３の部材１２１、積層体１０Ｐおよび第４の部材１２２を、図８に示した真空プレス装置の下プレス盤４１の上面と上プレス盤４２の下面の間に配置して、これらを加圧および加熱することによって、複数の層１１，１２，１３を接合して基準金属張積層体を作製する。
【００４５】
次に、図６および図７を参照して、基準金属張積層体を含む金属張積層体１０の反りの方向と反りの大きさについて説明する。金属張積層体１０の反りの態様には、次の２つの態様がある。第１の態様は、図６に示したように、第１の金属層１１が下になるように金属張積層体１０を机上に載置したときに、中央が浮く態様である。第２の態様は、図７に示したように、第１の金属層１１が下になるように金属張積層体１０を机上に載置したときに、周辺が浮く態様である。以下、第１の態様における金属張積層体１０の反りの方向を第１の方向と呼び、第２の態様における金属張積層体１０の反りの方向を第２の方向と呼ぶ。第１の方向と第２の方向は互いに逆方向である。また、加圧前の積層体１０Ｐの反りに関しても同様に、図６に示したように積層体１０Ｐが反る場合における積層体１０Ｐの反りの方向を第１の方向と呼び、図７に示したように積層体１０Ｐが反る場合における積層体１０Ｐの反りの方向を第２の方向と呼ぶ。
【００４６】
本実施の形態では、金属張積層体１０の反りの大きさを、以下のような測定によって得られる反り量によって表わす。すなわち、第１の金属層１１が下になるように金属張積層体１０を机上に載置したときに最も机の面から浮き上がった部分の机の面からの高さを、ノギスを用いて測定し、その高さを金属張積層体１０の反り量Ｗとする。また、本実施の形態では、図６に示した第１の方向の反り量Ｗを正の値で表し、図７に示した第２の方向の反り量Ｗを負の値で表す。
【００４７】
また、凹面２１ａと凸面２２ａとの間に挟み込まれた積層体１０Ｐの反りの大きさは、上記の金属張積層体１０の反り量の定義に合わせて以下のように定義した反り量によって表わす。すなわち、凹面２１ａと凸面２２ａとの間に挟み込まれた状態において、積層体１０Ｐの最も高い部分と最も低い部分との高低差を、積層体１０Ｐの反り量とする。この場合、積層体１０Ｐの反り量は、積層体１０Ｐの一方の面における最も高い部分と最も低い部分との高低差に、積層体１０Ｐの厚みを加えた値となる。ただし、積層体１０Ｐの一方の面における最も高い部分と最も低い部分との高低差が、積層体１０Ｐの厚みに比べて十分に大きい場合には、積層体１０Ｐの反り量は、積層体１０Ｐの一方の面における最も高い部分と最も低い部分との高低差とほぼ等しいと言える。
【００４８】
本実施の形態では、図１１に示したように加圧前の積層体１０Ｐを湾曲しない状態に保持して加圧することによって基準金属張積層体を作製した場合に、作製後の基準金属張積層体に図６に示したような第１の方向の反りが生じる場合には、第１の方向とは逆方向に積層体１０Ｐが反るように、すなわち図９に示したように第２の方向に積層体１０Ｐが反るように、積層体１０Ｐを凹面２１ａと凸面２２ａとの間に配置する。一方、図１１に示したように加圧前の積層体１０Ｐを湾曲しない状態に保持して加圧することによって基準金属張積層体を作製した場合に、作製後の基準金属張積層体に図７に示したような第２の方向の反りが生じる場合には、第２の方向とは逆方向に積層体１０Ｐが反るように、すなわち図１０に示したように第１の方向に積層体１０Ｐが反るように、積層体１０Ｐを凹面２１ａと凸面２２ａとの間に配置する。
【００４９】
本実施の形態に係る金属張積層体１０の製造方法は、金属張積層体１０を製造する前に、図１１に示したように加圧前の積層体１０Ｐを湾曲しない状態に保持して加圧することによって反り検出用の試料としての基準金属張積層体を作製し、この反り測定用の試料に生じる反りの方向を検出する工程を備えていてもよい。そして、複数の層１１，１２，１３を接合する工程では、反りの方向を検出する工程によって検出された反りの方向とは逆方向に積層体１０Ｐが反るように、積層体１０Ｐを凹面２１ａと凸面２２ａとの間に配置してもよい。
【００５０】
なお、予め、経験的にあるいは理論的に、加圧前の積層体１０Ｐを湾曲しない状態に保持して加圧することによって基準金属張積層体を作製した場合に基準金属張積層体に生じる反りの方向が分かっている場合には、上記の反りの方向を検出する工程は必ずしも必要ではない。
【００５１】
以上説明したように、本実施の形態に係る金属張積層体１０の製造方法は、金属張積層体１０を構成する複数の層１１，１２，１３を積層して、加圧前の積層体１０Ｐを形成する工程と、加圧前の積層体１０Ｐを加圧および加熱することによって、複数の層１１，１２，１３を接合する工程とを備えている。複数の層１１，１２，１３を接合する工程では、凹面２１ａを有する第１の部材２１と凸面２２ａを有する第２の部材２２を用い、積層体１０Ｐが凹面２１ａと凸面２２ａとの間に挟み込まれるように、第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２を重ね合わせ、これらを加圧する。この工程では、加圧前の積層体１０Ｐを湾曲しない状態に保持して加圧することによって基準金属張積層体を作製した場合に基準金属張積層体に生じる反りの方向とは逆方向に積層体１０Ｐが反るように、積層体１０Ｐを凹面２１ａと凸面２２ａとの間に配置する。すなわち、本実施の形態では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において、製造後に金属張積層体１０に生じる反りが相殺されるように、積層体１０Ｐに逆方向の反りを加えている。そのため、本実施の形態に係る製造方法によって製造された金属張積層体１０では、製造後、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えた反りの方向とは逆方向に変形する。その結果、本実施の形態によれば、金属張積層体１０の反りを抑制することができる。
【００５２】
ここで、基準金属張積層体の反り量を、基準反り量と呼ぶ。複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加える反り量の絶対値は、基準反り量の絶対値にできるだけ近いことが好ましい。これにより、金属張積層体１０の反り量をできるだけ小さくすることが可能になる。また、積層体１０Ｐに加える反り量の絶対値が基準反り量の絶対値の２倍以上である場合には、製造後の金属張積層体１０の反り量が、基準反り量に対して正負の符号が逆で、その絶対値が基準反り量の絶対値以上のものとなる可能性がある。従って、積層体１０Ｐに加える反り量の絶対値は、基準反り量の絶対値の２倍未満であることが好ましい。また、金属張積層体１０の反り量の絶対値を、基準反り量の絶対値の２分の１以下にするためには、積層体１０Ｐに加える反り量の絶対値は、基準反り量の絶対値の０．５〜１．５倍の範囲内であることが好ましい。
【００５３】
また、積層体１０Ｐの平面形状が、長方形のように一方向に長い形状である場合には、この積層体１０Ｐを湾曲しない状態に保持して加圧することによって金属張積層体１０を製造すると、金属張積層体１０は、長手方向および厚み方向に垂直な方向の軸を中心として湾曲するように反りやすい。そのため、この場合には、積層体１０Ｐの長手方向が第１の部材２１および第２の部材２２のＴＤ方向と平行になるように、積層体１０Ｐを凹面２１ａと凸面２２ａとの間に配置することが好ましい。
【００５４】
［実施例］
以下、本実施の形態における実施例と比較例について説明する。なお、以下の説明では、ステンレス箔におけるマルテンサイト相の体積率を記載している。このマルテンサイト相の体積率は、以下の方法で測定した。すなわち、ステンレス箔を１０枚重ねて、縦３０ｍｍ、横３０ｍｍの矩形のシートを作成し、このシートのフェライト含有率を、（株）フィシャーインストルメンツ製のフェライトスコープ（商品名）を用いて測定し、得られた値を、ステンレス箔におけるマルテンサイト相の体積率とした。
【００５５】
また、以下の説明では、下記の略号を使用する。これらの意味は、下記の通りである。
ＰＭＤＡ：ピロメリット酸二無水物
ＤＳＤＡ：3,4,3',4'-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物
ＢＰＤＡ：3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ＭＡＢＡ：4,4'-ジアミノ-2'-メトキシベンズアニリド
ＤＡＰＥ：4,4'-ジアミノジフェニルエーテル
ＰＤＡ：p-フェニレンジアミン
ＢＡＰＰ：2,2'-ビス[4-（4-アミノフェノキシ）フェニル]プロパン
ＤＭＡｃ：N,N-ジメチルアセトアミド
【００５６】
実施例および比較例の金属張積層体の製造にあたり、３種類のポリイミド前駆体樹脂Ａ，Ｂ，Ｃの各溶液を、下記の合成例１〜３に従って用意した。
【００５７】
［合成例１］
合成例１では、まず、５００ｍｌのセパラブルフラスコの中において、撹拌しながら１５．４４ｇ（０．０６モル）のＭＡＢＡおよび８．０１ｇ（０．０４モル）のＤＡＰＥを２５６ｇのＤＭＡｃに溶解させた。次に、その溶液に窒素気流中で２１．８１ｇ（０．１モル）のＰＭＤＡを加えた。その後、約３時間攪拌を続けて重合反応を行い、粘稠なポリイミド前駆体樹脂Ａの溶液を得た。
【００５８】
［合成例２］
合成例２では、まず、５００ｍｌのセパラブルフラスコの中において、撹拌しながら２９．２３ｇ（０．１モル）のＰＤＡを３６９ｇのＤＭＡｃに溶解させた。次に、その溶液に窒素気流中で３５．８３ｇ（０．１モル）のＤＳＤＡを加えた。その後、約３時間攪拌を続けて重合反応を行い、粘稠なポリイミド前駆体樹脂Ｂの溶液を得た。
【００５９】
［合成例３］
合成例３では、まず、５００ｍｌのセパラブルフラスコの中において、撹拌しながら４１．４２ｇ（０．１モル）のＢＡＰＰを３４９ｇのＤＭＡｃに溶解させた。次に、その溶液に窒素気流中で２９．９８ｇ（０．１モル）のＢＰＤＡを加えた。その後、約３時間攪拌を続けて重合反応を行い、粘稠なポリイミド前駆体樹脂Ｃの溶液を得た。
【００６０】
また、実施例および比較例の金属張積層体の製造にあたり、以下のように３種類の治具を作製した。第１の治具および第２の治具は、本実施の形態に係る治具２０に対応するものであり、図１に示した第１の部材２１および第２の部材２２を備えている。第３の治具は、図１１に示した第３の部材１２１および第４の部材１２２を備えている。
【００６１】
［第１の治具］
第１の治具における第１の部材２１および第２の部材２２は、以下のようにして作製した。まず、縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み５ｍｍで、両面が鏡面仕上げされたステンレス板（新日本製鐵株式会社製、ＳＵＳ４２０）を２枚用意した。次に、一方のステンレス板を用い、その一方の面を加工して円柱面からなる凹面２１ａを形成することによって、第１の部材２１を作製した。凹面２１ａは鏡面仕上げされている。この第１の部材２１において、凹面２１ａの曲率は０．２２ｍ−１、ＭＤ１は３００ｍｍ、ＴＤ１は３００ｍｍ、Ｔ１は５ｍｍ、Ｔ１２は２．５ｍｍ、凹面２１ａの深さＴ１１は２．５ｍｍである。次に、他方のステンレス板を用い、その一方の面を加工して円柱面からなる凸面２２ａを形成することによって、第２の部材２２を作製した。凸面２２ａは鏡面仕上げされている。この第２の部材２２において、凸面２２ａの曲率は０．２２ｍ−１、ＭＤ２は３００ｍｍ、ＴＤ２は３００ｍｍ、Ｔ２は５ｍｍ、Ｔ２２は２．５ｍｍ、凸面２２ａの高さＴ２１は２．５ｍｍである。凹面２１ａと凸面２２ａが合致するように第１の部材２１と第２の部材２２を重ね合わせたときの第１の治具の全体の厚みは７．５ｍｍである。
【００６２】
［第２の治具］
第２の治具における第１の部材２１および第２の部材２２は、以下のようにして作製した。まず、縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み３ｍｍで、両面が鏡面仕上げされたステンレス板（新日本製鐵株式会社製、ＳＵＳ４２０）を２枚用意した。次に、一方のステンレス板を用い、その一方の面を加工して円柱面からなる凹面２１ａを形成することによって、第１の部材２１を作製した。凹面２１ａは鏡面仕上げされている。この第１の部材２１において、凹面２１ａの曲率は０．１３ｍ−１、ＭＤ１は３００ｍｍ、ＴＤ１は３００ｍｍ、Ｔ１は３ｍｍ、Ｔ１２は１．５ｍｍ、凹面２１ａの深さＴ１１は１．５ｍｍである。次に、他方のステンレス板を用い、その一方の面を加工して円柱面からなる凸面２２ａを形成することによって、第２の部材２２を作製した。凸面２２ａは鏡面仕上げされている。この第２の部材２２において、凸面２２ａの曲率は０．１３ｍ−１、ＭＤ２は３００ｍｍ、ＴＤ２は３００ｍｍ、Ｔ２は３ｍｍ、Ｔ２２は１．５ｍｍ、凸面２２ａの高さＴ２１は１．５ｍｍである。凹面２１ａと凸面２２ａが合致するように第１の部材２１と第２の部材２２を重ね合わせたときの第２の治具の全体の厚みは４．５ｍｍである。
【００６３】
［第３の治具］
第３の治具における第３の部材１２１および第４の部材１２２は、いずれも、縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み５ｍｍで、両面が鏡面仕上げされたステンレス板（新日本製鐵株式会社製、ＳＵＳ４２０）からなる。
【００６４】
前述の合成例１〜３に従って得られたポリイミド前駆体樹脂Ａ，Ｂ，Ｃの各溶液と、第１ないし第３の治具を使用して、下記の実施例および比較例の金属張積層体１０を製造した。
【００６５】
［実施例１］
実施例１の金属張積層体１０は、以下のようにして製造した。まず、第１の金属層１１として、マルテンサイト相の体積率２．３８体積％、縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み２０μｍのステンレス箔（新日本製鐵株式会社製、ＳＵＳ３０４、テンションアニール処理品）を用意した。次に、合成例２で得られたポリイミド前駆体樹脂Ｂの溶液を、第１の金属層１１の上に、硬化後の厚みが１μｍになるように塗布し、１１０℃で３分間乾燥した。次に、その上に合成例１で得られたポリイミド前駆体樹脂Ａの溶液を、硬化後の厚みが７μｍとなるように塗布し、１１０℃で１０分間乾燥した。次に、その上に合成例２で得られたポリイミド前駆体樹脂Ｂの溶液を、硬化後の厚みが２μｍとなるように塗布し、１１０℃で３分間乾燥した。次に、１３０〜３６０℃の範囲で段階的な熱処理を行うことによりイミド化を完結させ、第１の金属層１１の上に、絶縁樹脂層１２として、厚みが１０μｍのポリイミド樹脂層を形成した。
【００６６】
次に、第１の治具の第２の部材２２を、凸面２２ａが上を向くように配置し、第１の金属層１１が凸面２２ａに接するように、凸面２２ａの上に、第１の金属層１１と絶縁樹脂層１２からなる積層体を配置した。次に、絶縁樹脂層１２の上に、第２の金属層１３として、縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み１２μｍの圧延銅箔（日鉱金属株式会社製、ＮＫ１２０（製品名））を配置して、第１の金属層１１の上に絶縁樹脂層１２と第２の金属層１３が順に積層されて構成された積層体１０Ｐを形成した。
【００６７】
次に、第２の金属層１３に凹面２１ａが接するように、積層体１０Ｐの上に、第１の治具の第１の部材２１を配置した。このように、実施例１では、図１０に示した態様で第２の部材２２、積層体１０Ｐおよび第１の部材２１を配置した。なお、第２の部材２２、積層体１０Ｐおよび第１の部材２１は、第２の部材２２のＭＤ方向と積層体１０Ｐの縦方向と第１の部材２１のＭＤ方向が平行になり、第２の部材２２のＴＤ方向と積層体１０Ｐの横方向と第１の部材２１のＴＤ方向が平行になり、且つ第２の部材２２、積層体１０Ｐおよび第１の部材２１の各側面が、面２１ｂ，２２ｂに対して垂直な仮想の面上に揃えられるように配置されている。実施例１では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値は、およそ２．５ｍｍとなる。
【００６８】
次に、図８に示した真空プレス装置を用い、下プレス盤４１の上面と上プレス盤４２の下面の間に、第２の部材２２、積層体１０Ｐおよび第１の部材２１を配置し、面圧１５ＭＰａ、温度３２０℃、プレス時間２０分の条件で、複数の層１１，１２，１３を加熱圧着して、実施例１の金属張積層体１０を製造した。実施例１の金属張積層体１０の反り量は、−１．２ｍｍであった。
【００６９】
［実施例２］
実施例２の金属張積層体１０は、実施例１における第１の治具の代わりに第２の治具を使用したこと以外は実施例１と同じ条件で製造した。実施例２では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値は、およそ１．５ｍｍとなる。実施例２の金属張積層体１０の反り量は、−２．２ｍｍであった。
【００７０】
［実施例３］
実施例３の金属張積層体１０は、以下のようにして製造した。まず、第１の金属層１１として、マルテンサイト相の体積率０．３０体積％、縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み２０μｍのステンレス箔（新日本製鐵株式会社製、ＳＵＳ３０４、テンションアニール処理品）を用意した。次に、合成例２で得られたポリイミド前駆体樹脂Ｂの溶液を、第１の金属層１１の上に、硬化後の厚みが１μｍになるように塗布し、１１０℃で３分間乾燥した。次に、その上に合成例１で得られたポリイミド前駆体樹脂Ａの溶液を、硬化後の厚みが７μｍとなるように塗布し、１１０℃で１０分間乾燥した。次に、その上に合成例２で得られたポリイミド前駆体樹脂Ｂの溶液を、硬化後の厚みが２μｍとなるように塗布し、１１０℃で３分間乾燥した。次に、１３０〜３６０℃の範囲で段階的な熱処理を行うことによりイミド化を完結させ、第１の金属層１１の上に、絶縁樹脂層１２として、厚みが１０μｍのポリイミド樹脂層を形成した。
【００７１】
次に、第１の治具の第１の部材２１を、凹面２１ａが上を向くように配置し、第１の金属層１１が凹面２１ａに接するように、凹面２１ａの上に、第１の金属層１１と絶縁樹脂層１２からなる積層体を配置した。次に、絶縁樹脂層１２の上に、第２の金属層１３として、縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み１２μｍの圧延銅箔（日鉱金属株式会社製、ＮＫ１２０（製品名））を配置して、第１の金属層１１の上に絶縁樹脂層１２と第２の金属層１３が順に積層されて構成された積層体１０Ｐを形成した。
【００７２】
次に、第２の金属層１３に凸面２２ａが接するように、積層体１０Ｐの上に、第１の治具の第２の部材２２を配置した。このように、実施例３では、図９に示した態様で第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２を配置した。なお、第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２は、第１の部材２１のＭＤ方向と積層体１０Ｐの縦方向と第２の部材２２のＭＤ方向が平行になり、第１の部材２１のＴＤ方向と積層体１０Ｐの横方向と第２の部材２２のＴＤ方向が平行になり、且つ第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２の各側面が、面２１ｂ，２２ｂに対して垂直な仮想の面上に揃えられるように配置されている。実施例３では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値は、およそ２．５ｍｍとなる。
【００７３】
次に、図８に示した真空プレス装置を用い、下プレス盤４１の上面と上プレス盤４２の下面の間に、第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２を配置し、面圧１５ＭＰａ、温度３２０℃、プレス時間２０分の条件で、複数の層１１，１２，１３を加熱圧着して、実施例３の金属張積層体１０を製造した。実施例３の金属張積層体１０の反り量は、１．５ｍｍであった。
【００７４】
［実施例４］
実施例４の金属張積層体１０は、実施例３における第１の治具の代わりに第２の治具を使用したこと以外は実施例３と同じ条件で製造した。実施例４では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値は、およそ１．５ｍｍとなる。実施例４の金属張積層体１０の反り量は、２．５ｍｍであった。
【００７５】
［実施例５］
実施例５の金属張積層体１０は、以下のようにして製造した。まず、縦１５０ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み１２．５μｍのポリイミドフィルム（東レ・ディポン株式会社製、カプトンＥＮ（商品名））を用意した。次に、合成例３で得られたポリイミド前駆体樹脂Ｃの溶液を、上記ポリイミドフィルムの一方の面上に、硬化後の厚みが２μｍになるように塗布し、１１０℃で３分間乾燥した。次に、上記ポリイミドフィルムの他方の面上に、合成例３で得られたポリイミド前駆体樹脂Ｃの溶液を、硬化後の厚みが２μｍになるように塗布し、１１０℃で３分間乾燥した。次に、１３０〜３６０℃の範囲で段階的な熱処理を行うことによりイミド化を完結させ、縦１５０ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み１６．５μｍのフィルム状の絶縁樹脂層１２を形成した。
【００７６】
次に、第１の金属層１１として、マルテンサイト相の体積率２．３８体積％、縦１５０ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み２０μｍのステンレス箔（新日本製鐵株式会社製、ＳＵＳ３０４、テンションアニール処理品）を用意し、第２の金属層１３として、縦１５０ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み１２μｍの圧延銅箔（日鉱金属株式会社製、ＮＫ１２０（製品名））を用意した。次に、第１の治具の第２の部材２２を、凸面２２ａが上を向くように配置し、凸面２２ａの上に、第１の金属層１１、絶縁樹脂層１２および第２の金属層１３を順に積層して積層体１０Ｐを形成した。
【００７７】
次に、第２の金属層１３に凹面２１ａが接するように、積層体１０Ｐの上に、第１の治具の第１の部材２１を配置した。このように、実施例５では、図１０に示した態様で第２の部材２２、積層体１０Ｐおよび第１の部材２１を配置した。なお、第２の部材２２、積層体１０Ｐおよび第１の部材２１は、第２の部材２２のＭＤ方向と積層体１０Ｐの縦方向と第１の部材２１のＭＤ方向が平行になり、第２の部材２２のＴＤ方向と積層体１０Ｐの横方向と第１の部材２１のＴＤ方向が平行になり、且つ第２の部材２２のＴＤ方向の両側側面と積層体１０Ｐの横方向の両側の側面と第２の部材２２のＴＤ方向の両側の側面が、面２１ｂ，２２ｂに対して垂直な仮想の面上に揃えられるように配置されている。実施例５では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値は、およそ２．５ｍｍとなる。
【００７８】
次に、図８に示した真空プレス装置を用い、下プレス盤４１の上面と上プレス盤４２の下面の間に、第２の部材２２、積層体１０Ｐおよび第１の部材２１を配置し、面圧１５ＭＰａ、温度３２０℃、プレス時間２０分の条件で、複数の層１１，１２，１３を加熱圧着して、実施例５の金属張積層体１０を製造した。実施例５の金属張積層体１０の反り量は、−１．３ｍｍであった。
【００７９】
［実施例６］
実施例６の金属張積層体１０は、実施例５における第１の治具の代わりに第２の治具を使用したこと以外は実施例５と同じ条件で製造した。実施例６では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値は、およそ１．５ｍｍとなる。実施例６の金属張積層体１０の反り量は、−２．３ｍｍであった。
【００８０】
［実施例７］
実施例７の金属張積層体１０は、以下のようにして製造した。まず、縦１５０ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み１２．５μｍのポリイミドフィルム（東レ・ディポン株式会社製、カプトンＥＮ（商品名））を用意した。次に、合成例３で得られたポリイミド前駆体樹脂Ｃの溶液を、上記ポリイミドフィルムの一方の面上に、硬化後の厚みが２μｍになるように塗布し、１１０℃で３分間乾燥した。次に、上記ポリイミドフィルムの他方の面上に、合成例３で得られたポリイミド前駆体樹脂Ｃの溶液を、硬化後の厚みが２μｍになるように塗布し、１１０℃で３分間乾燥した。次に、１３０〜３６０℃の範囲で段階的な熱処理を行うことによりイミド化を完結させ、縦１５０ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み１６．５μｍのフィルム状の絶縁樹脂層１２を形成した。
【００８１】
次に、第１の金属層１１として、マルテンサイト相の体積率０．３０体積％、縦１５０ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み２０μｍのステンレス箔（新日本製鐵株式会社製、ＳＵＳ３０４、テンションアニール処理品）を用意し、第２の金属層１３として、縦１５０ｍｍ、横３００ｍｍ、厚み１２μｍの圧延銅箔（日鉱金属株式会社製、ＮＫ１２０（製品名））を用意した。次に、第１の治具の第１の部材２１を、凹面２１ａが上を向くように配置し、凹面２１ａの上に、第１の金属層１１、絶縁樹脂層１２および第２の金属層１３を順に積層して積層体１０Ｐを形成した。
【００８２】
次に、第２の金属層１３に凸面２２ａが接するように、積層体１０Ｐの上に、第１の治具の第２の部材２２を配置した。このように、実施例７では、図９に示した態様で第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２を配置した。なお、第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２は、第１の部材２１のＭＤ方向と積層体１０Ｐの縦方向と第２の部材２２のＭＤ方向が平行になり、第１の部材２１のＴＤ方向と積層体１０Ｐの横方向と第２の部材２２のＴＤ方向が平行になり、且つ第１の部材２１のＴＤ方向の両側の側面と積層体１０Ｐの横方向の両側の側面と第２の部材２２のＴＤ方向の両側の側面が、面２１ｂ，２２ｂに対して垂直な仮想の面上に揃えられるように配置されている。実施例７では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値は、およそ２．５ｍｍとなる。
【００８３】
次に、図８に示した真空プレス装置を用い、下プレス盤４１の上面と上プレス盤４２の下面の間に、第１の部材２１、積層体１０Ｐおよび第２の部材２２を配置し、面圧１５ＭＰａ、温度３２０℃、プレス時間２０分の条件で、複数の層１１，１２，１３を加熱圧着して、実施例７の金属張積層体１０を製造した。実施例７の金属張積層体１０の反り量は、１．９ｍｍであった。
【００８４】
［実施例８］
実施例８の金属張積層体１０は、実施例７における第１の治具の代わりに第２の治具を使用したこと以外は実施例７と同じ条件で製造した。実施例８では、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値は、およそ１．５ｍｍとなる。実施例８の金属張積層体１０の反り量は、２．５ｍｍであった。
【００８５】
［比較例１］
比較例１の金属張積層体１０は、実施例１における第１の治具の代わりに第３の治具を使用したこと以外は実施例１と同じ条件で製造した。比較例１の金属張積層体１０の反り量は、−３．７ｍｍであった。比較例１の金属張積層体１０は、実施例１、２の金属張積層体１０に対する基準金属張積層体に相当する。
【００８６】
［比較例２］
比較例２の金属張積層体１０は、実施例３における第１の治具の代わりに第３の治具を使用したこと以外は実施例３と同じ条件で製造した。比較例２の金属張積層体１０の反り量は、４．０ｍｍであった。比較例２の金属張積層体１０は、実施例３、４の金属張積層体１０に対する基準金属張積層体に相当する。
【００８７】
［比較例３］
比較例３の金属張積層体１０は、実施例５における第１の治具の代わりに第３の治具を使用したこと以外は実施例５と同じ条件で製造した。比較例３の金属張積層体１０の反り量は、−３．８ｍｍであった。比較例３の金属張積層体１０は、実施例５、６の金属張積層体１０に対する基準金属張積層体に相当する。
【００８８】
［比較例４］
比較例４の金属張積層体１０は、実施例７における第１の治具の代わりに第３の治具を使用したこと以外は実施例７と同じ条件で製造した。比較例４の金属張積層体１０の反り量は、４．３ｍｍであった。比較例４の金属張積層体１０は、実施例７、８の金属張積層体１０に対する基準金属張積層体に相当する。
【００８９】
実施例１、２の金属張積層体１０の反り量の絶対値は、比較例１の金属張積層体１０の反り量の絶対値よりも小さくなっている。実施例３、４の金属張積層体１０の反り量の絶対値は、比較例２の金属張積層体１０の反り量の絶対値よりも小さくなっている。実施例５、６の金属張積層体１０の反り量の絶対値は、比較例３の金属張積層体１０の反り量の絶対値よりも小さくなっている。実施例７、８の金属張積層体１０の反り量の絶対値は、比較例４の金属張積層体１０の反り量の絶対値よりも小さくなっている。これらのことから、本実施の形態によれば金属張積層体１０の反りを抑制できることが分かる。
【００９０】
また、実施例１、３、５、７において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値は、それぞれ、実施例２、４、６、８において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値に比べて、比較例１、２、３、４の金属張積層体１０の反り量すなわち基準反り量の絶対値に近い。そして、実施例１、３、５、７の金属張積層体１０の反り量の絶対値は、それぞれ、実施例２、４、６、８の金属張積層体１０の反り量の絶対値よりも小さくなっている。このことから、複数の層１１，１２，１３を接合する工程において積層体１０Ｐに加えられる反り量の絶対値が基準反り量の絶対値に近い方が、より金属張積層体１０の反りを抑制できることが分かる。
【００９１】
なお、本発明は上記各実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、本発明の金属張積層体製造用治具において、第１の部材の第１の面と第２の部材の第２の面は円柱面に限られない。
【００９２】
また、本発明は、実施の形態に示した構成の金属張積層体１０に限らず、金属層を含む複数の層が積層されて構成された金属張積層体全般に適用することができる。
【００９３】
また、本発明は、複数の層を接合する工程において複数の層を加熱しない場合にも適用することができる。例えば、接着剤を用い、複数の層を加圧することによって複数の層を接合して金属張積層体を製造する場合でも、金属張積層体に反りが生じる場合があり、本発明はこのような場合にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の一実施の形態に係る金属張積層体製造用治具を示す斜視図である。
【図２】図１に示した治具における第１の部材を示す側面図である。
【図３】図１に示した治具における第２の部材を示す側面図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係る製造方法によって製造される金属張積層体の一部を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施の形態が適用される金属張積層体を用いて製造される配線一体型サスペンションの一例の平面図である。
【図６】金属張積層体の反りの第１の態様を示す説明図である。
【図７】金属張積層体の反りの第２の態様を示す説明図である。
【図８】本発明の一実施の形態において用いられる真空プレス装置の概略の構成を示す断面図である。
【図９】本発明の一実施の形態における第１の部材、加圧前の積層体および第２の部材の配置の第１の態様を示す説明図である。
【図１０】本発明の一実施の形態における第１の部材、加圧前の積層体および第２の部材の配置の第２の態様を示す説明図である。
【図１１】本発明の一実施の形態における基準金属張積層体を作製する方法の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００９５】
１０…金属張積層体、１１…第１の金属層、１２…絶縁樹脂層、１３…第２の金属層、２０…金属張積層体製造用治具、２１…第１の部材、２１ａ…凹面、２２…第２の部材、２２ａ…凸面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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