(57)【要約】【課題】本発明は、ヒーター層への電圧の印加直後から液面を正確に検出することができる液面検出センサを提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明の液面検出センサは、液位検出抵抗層２７と第１の液体温度検出抵抗層３１との間の中点電位を第１の出力電極２４により検出するとともに、気体温度検出抵抗層３２と第２の液体温度検出抵抗層３３との間の中点電位を第２の出力電極２５により検出し、かつ第１の出力電極２４と第２の出力電極２５からの出力信号を除算する除算手段４５を設けた構成としたものである。【選択図】図５
2009019888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
立設された絶縁基板と、この絶縁基板の一面に設けられた電源電極、第１の出力電極、第２の出力電極およびＧＮＤ電極と、前記絶縁基板の一面に上方から下方にわたって設けられるとともに、一端が前記電源電極に接続され、かつ他端が前記第１の出力電極に電気的に接続された液位検出抵抗層と、前記絶縁基板の一面の下方に位置して設けられるとともに、一端が前記第１の出力電極に電気的に接続され、かつ他端が前記ＧＮＤ電極に電気的に接続された第１の液体温度検出抵抗層と、前記絶縁基板の上方に位置して設けられるとともに、一端が前記電源電極に電気的に接続され、かつ他端が前記第２の出力電極に電気的に接続された気体温度検出抵抗層と、前記絶縁基板の一面の下方に位置して設けられるとともに、一端が前記第２の出力電極に電気的に接続され、かつ他端が前記ＧＮＤ電極に電気的に接続された第２の液体温度検出抵抗層と、前記絶縁基板の一面に設けられるとともに、前記液位検出抵抗層、第１の液体温度検出抵抗層、気体温度検出抵抗層、第２の液体温度検出抵抗層に熱を供給するヒーター層とを備え、前記液位検出抵抗層と第１の液体温度検出抵抗層との間の中点電位を第１の出力電極により検出するとともに、前記気体温度検出抵抗層と第２の液体温度検出抵抗層との間の中点電位を第２の出力電極により検出し、かつ前記第１の出力電極と第２の出力電極からの出力信号を除算する除算手段を設けた液面検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に、水タンクの液面を検出する液面検出センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の液面検出センサは、図７、図８に示すような構成を有していた。
【０００３】
図７は従来の液面検出センサの正面図、図８は同液面検出センサの側断面図である。
【０００４】
図７、図８において、１はフィルム状に構成されたポリエチレンテレフタレートからなる直方体形状の絶縁基板で、この絶縁基板１は長手方向に略垂直に立設されるとともに、一側面にエポキシ系樹脂からなる絶縁層２を設けており、さらに、前記絶縁基板１と絶縁層２との間にはＡｇ系樹脂とエポキシ系樹脂との混合物からなるヒーター層３を設けている。また、前記絶縁基板１における絶縁層２の側面には上方から下方にわたってＡｇ系樹脂とエポキシ系樹脂との混合物からなる樹脂材料をバインダーとするサーミスタで構成した約５ｋΩの抵抗値である液位検出抵抗層４を設けており、そしてこの液位検出抵抗層４の長手方向と垂直の方向の両端には一対の液位検出電極５を設けるとともに、この液位検出電極５は回路パターン６を介して外部電極７に電気的に接続している。そしてまた、前
記絶縁基板１における絶縁層２の側面には上方に位置してＡｇ系樹脂とエポキシ系樹脂との混合物からなる樹脂材料をバインダーとするサーミスタで構成した４０ｋΩの抵抗値である気体温度検出抵抗層８を設けており、そしてこの気体温度検出抵抗層８の両端には一対のＡｇからなる気体温度検出電極９を設けるとともに、この気体温度検出電極９は回路パターン６を介して外部電極７に電気的に接続している。さらに、前記絶縁基板１における絶縁層２の側面には下方に位置してＡｇ系樹脂とエポキシ系樹脂との混合物からなる樹脂材料をバインダーとするサーミスタで構成した４０ｋΩの抵抗値である液体温度検出抵抗層１０を設けており、そしてこの液体温度検出抵抗層１０の両端には一対のＡｇからなる液体温度検出電極１１を設けるとともに、この液体温度検出電極１１は回路パターン６
を介して外部電極７に電気的に接続している。また、前記一対の気体温度検出電極９間の長さと、一対の液体温度検出電極１１間の長さは略同一としており、この長さを単位長さと定義する。１２はＳｉ系またはアクリル系からなる接着層で、この接着層１２は前記絶縁基板１、液位検出抵抗層４、液位検出電極５、気体温度検出抵抗層８、気体温度検出電極９、液体温度検出抵抗層１０および液体温度検出電極１１の側面に設けている。
【０００５】
以上のように構成された従来の液面検出センサについて、次にその動作を図面を参照しながら説明する。
【０００６】
図９に示すように、まず、液面検出センサを点滴溶液１４を満たした点滴容器１３の外側面に貼り付ける。この場合、気体温度検出抵抗層８は点滴容器１３内における気体と対向し、かつ液体温度検出抵抗層１０は点滴容器１３内における液体と対向し、さらに液位検出抵抗層４は点滴容器１３の外側面に貼り付ける。そしてこの状態において、絶縁基板１に埋設されたヒーター層３に電圧が印加されると、ヒーター層３に流れる電流によりヒーター層３からジュール熱が発生する。このジュール熱は絶縁層２を介して液位検出抵抗層４、気体温度検出抵抗層８および液体温度検出抵抗層１０に到達する。このとき、液位検出抵抗層４における液体に対向する部分と気体に対向する部分とでは、熱放散定数の差により単位長さあたりの自己発熱量に差が生じるため、液位検出抵抗層４における気体に対向する部分と液体に対向する部分とでは温度差が生じ、これにより、サーミスタの抵抗−温度特性により単位長さあたりの抵抗値に差が生じる。この抵抗値の差を一対の気体温度検出電極間に位置する気体温度検出抵抗層８の抵抗値および一対の液体温度検出電極１１間に位置する液体温度検出抵抗層１０の抵抗値と比較して演算することにより、点滴容器１３内の点滴溶液１４の液面を検出するものである。
【０００７】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開２００６−９０７１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記した従来の液面検出センサにおいては、ヒーター層３への電圧の印加直後は、液面を検出するための比較対象である気体温度検出抵抗層８および液体温度検出抵抗層１０の抵抗値が安定していないため、液位検出抵抗層４の抵抗値を測定しても、液面を正確に検知することができないという課題を有していた。
【０００９】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、ヒーター層への電圧の印加直後から液面を正確に検出することができる液面検出センサを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１１】
本発明の請求項１に記載の発明は、立設された絶縁基板と、この絶縁基板の一面に設けられた電源電極、第１の出力電極、第２の出力電極およびＧＮＤ電極と、前記絶縁基板の一面に上方から下方にわたって設けられるとともに、一端が前記電源電極に接続され、かつ他端が前記第１の出力電極に電気的に接続された液位検出抵抗層と、前記絶縁基板の一面の下方に位置して設けられるとともに、一端が前記第１の出力電極に電気的に接続され、かつ他端が前記ＧＮＤ電極に電気的に接続された第１の液体温度検出抵抗層と、前記絶縁基板の上方に位置して設けられるとともに、一端が前記電源電極に電気的に接続され、かつ他端が前記第２の出力電極に電気的に接続された気体温度検出抵抗層と、前記絶縁基板の一面の下方に位置して設けられるとともに、一端が前記第２の出力電極に電気的に接続され、かつ他端が前記ＧＮＤ電極に電気的に接続された第２の液体温度検出抵抗
層と、前記絶縁基板の一面に設けられるとともに、前記液位検出抵抗層、第１の液体温度検出抵抗層、気体温度検出抵抗層、第２の液体温度検出抵抗層に熱を供給するヒーター層とを備え、前記液位検出抵抗層と第１の液体温度検出抵抗層との間の中点電位を第１の出力電極により検出するとともに、前記気体温度検出抵抗層と第２の液体温度検出抵抗層との間の中点電位を第２の出力電極により検出し、かつ前記第１の出力電極と第２の出力電極からの出力信号を除算する除算手段を設けたもので、この構成によれば、前記液位検出抵抗層と第１の液体温度検出抵抗層との間の中点電位を第１の出力電極により検出するとともに、前記気体温度検出抵抗層と第２の液体温度検出抵抗層との間の中点電位を第２の出力電極により検出し、かつ第１の出力電極と第２の出力電極からの出力信号を除算する
除算手段を設けているため、ヒーター層への電圧の印加直後から、前記気体温度検出抵抗層、第１の液体温度検出抵抗層および第２の液体温度検出抵抗層の抵抗値が安定していない状態においても、液位検出抵抗層と第１の液体温度検出抵抗層との間の中点電位と、気体温度検出抵抗層と第２の液体温度検出抵抗層との間の中点電位とを除した値は変動しないものとなり、これにより、液面を正確に検出することができるという作用効果を有するものである。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように本発明の液面検出センサは、立設された絶縁基板と、この絶縁基板の一面に設けられた電源電極、第１の出力電極、第２の出力電極およびＧＮＤ電極と、前記絶縁基板の一面に上方から下方にわたって設けられるとともに、一端が前記電源電極に接続され、かつ他端が前記第１の出力電極に電気的に接続された液位検出抵抗層と、前記絶縁基板の一面の下方に位置して設けられるとともに、一端が前記第１の出力電極に電気的に接続され、かつ他端が前記ＧＮＤ電極に電気的に接続された第１の液体温度検出抵抗層と、前記絶縁基板の上方に位置して設けられるとともに、一端が前記電源電極に電気的に接続され、かつ他端が前記第２の出力電極に電気的に接続された気体温度検出抵抗層と、前記絶縁基板の一面の下方に位置して設けられるとともに、一端が前記第２の出力電極に電気
的に接続され、かつ他端が前記ＧＮＤ電極に電気的に接続された第２の液体温度検出抵抗層と、前記絶縁基板の一面に設けられるとともに、前記液位検出抵抗層、第１の液体温度検出抵抗層、気体温度検出抵抗層、第２の液体温度検出抵抗層に熱を供給するヒーター層とを備え、前記液位検出抵抗層と第１の液体温度検出抵抗層との間の中点電位を第１の出力電極により検出するとともに、前記気体温度検出抵抗層と第２の液体温度検出抵抗層との間の中点電位を第２の出力電極により検出し、かつ第１の出力電極と第２の出力電極からの出力信号を除算する除算手段を設けているため、ヒーター層への電圧の印加直後から、前記気体温度検出抵抗層、第１の液体温度検出抵抗層および第２の液体温度検出抵抗層の抵抗値が安定していない状態においても、液位検出抵抗層と第１の液体温度検出抵抗層との間の中点電位と、気体温度検出抵抗層と第２の液体温度検出抵抗層との間の中点電位とを除した値は変動しないものとなり、これにより、ヒーター層への電圧の印加直後から液面を正確に検出することができる液面検出センサを提供することができるという優れた効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１は本発明の一実施の形態における液面検出センサの側断面図、図２は同液面検出センサにおける絶縁基板の正面図、図３は同液面検出センサにおける絶縁基板の側断面図、図４は同液面検出センサの絶縁基板から保護層およびヒーター層を取り外した状態を示す正面図、図５は同液面検出センサの回路図である。
【００１５】
図１〜図５において、２１はフィルム状に構成されたポリエチレンテレフタレートからなる直方体形状の絶縁基板で、この絶縁基板２１は長手方向に略垂直に立設させるとともに、下端に略直角に折り曲げられた屈曲部２２を設けている。また、前記絶縁基板２１の一側面には、上側に位置して、Ａｇからなる電源電極２３、第１の出力電極２４、第２の出力電極２５およびＧＮＤ電極２６を設けている。さらに、前記絶縁基板２１には、一側面の上部から下部にわたって液位検出抵抗層２７を設けており、そして、この液位検出抵抗層２７は、Ａｇ系樹脂とエポキシ系樹脂との混合物からなる樹脂材料をバインダーとするサーミスタで構成されている。また、この液位検出抵抗層２７は複数の並列抵抗層２８で構成されている。そしてまた、この液位検出抵抗層２７の常温時での抵抗値は約４０ｋ Ωである。さらに、この液位検出抵抗層２７における複数の並列抵抗層２８は、鉛直に対して同一の角度である約４５度の角度に傾けて設置され、そして隣り合う並列抵抗層２８の端部２９が水平方向に対して互いに重なり合うようにすることにより、液位検出抵抗層２７を水平方向で切断したときの断面積が、上方から下方にわたって略同一になるように構成されている。さらにまた、この液位検出抵抗層２７は一端を回路パターン３０により電源電極２３と電気的に接続するとともに、他端を第１の出力電極２４と電気的に接続している。
【００１６】
また、前記絶縁基板２１の一側面には、液位検出抵抗層２７の下方に位置して屈曲部２２に約４０ＫΩのＡｇ系樹脂とエポキシ系樹脂との混合物からなる樹脂材料をバインダーとするサーミスタからなる第１の液体温度検出抵抗層３１を設けており、そしてこの第１の液体温度検出抵抗層３１は、一端を回路パターン３０により第１の出力電極２４と電気的に接続するとともに、他端をＧＮＤ電極２６と電気的に接続している。さらに、前記絶縁基板２１の一側面には、液位検出抵抗層２７の上方に位置して約４０ＫΩのＡｇ系樹脂とエポキシ系樹脂との混合物からなる樹脂材料をバインダーとするサーミスタからなる気体温度検出抵抗層３２を設けており、この気体温度検出抵抗層３２は、一端を回路パターン３０により電源電極２３と電気的に接続するとともに、他端を第２の出力電極２５と電気的に接続している。
【００１７】
そしてまた、前記絶縁基板２１の一側面には、液位検出抵抗層２７の下方で、かつ前記第１の液体温度検出抵抗層３１の横に位置して屈曲部２２に約４０ＫΩのＡｇ系樹脂とエポキシ系樹脂との混合物からなる樹脂材料をバインダーとするサーミスタからなる第２の液体温度検出抵抗層３３を設けており、この第２の液体温度検出抵抗層３３は、一端を回路パターン３０により第２の出力電極２５と電気的に接続するとともに、他端をＧＮＤ電極２６と電気的に接続している。また、前記第１の液体温度検出抵抗層３１、気体温度検出抵抗層３２および第２の液体温度検出抵抗層３３は長さを略同一にしており、さらに前記絶縁基板２１における第１の液体温度検出抵抗層３１および第２の液体温度検出抵抗層３３は、絶縁基板２１の下端に設けた屈曲部２２に設けることにより、略同一の高さにな
るように構成されている。
【００１８】
３４は絶縁層で、この絶縁層３４は前記絶縁基板２１の一側面に設けた液位検出抵抗層２７、第１の液体温度検出抵抗層３１、気体温度検出抵抗層３２および第２の液体温度検出抵抗層３３を覆うように設けられている。３５はヒーター層で、このヒーター層３５は前記絶縁層３４の上面を蛇行するように設けられるとともに、回路パターン３０を介して前記絶縁基板２１の一側面に設けられたヒーター電極３６と電気的に接続されている。３７は保護層で、この保護層３７は前記ヒーター層３５の上面を覆うように設けられている。３８は金属製のケースで、このケース３８は前記絶縁基板２１を内側に収納するとともに、底面に当接部材３９を取り付けることにより、前記絶縁基板２１に設けた屈曲部２２をケース３８の底面にこの当接部材３９で保持している。４０は回路基板で、この回路基板４０は、ケース３８の上方に位置して設けられるとともに、上面に、第１のＡＤ 
変換器４１、第２のＡＤ変換器４２、マイコン４３およびＤＡ変換器４４を設けている。そして、この回路基板４０の上面に設けた第１のＡＤ変換器４１、第２のＡＤ変換器４２、マイコン４３およびＤＡ変換器４４により、除算手段４５を構成し、第１の出力電極２４および第２の出力電極２５から出力される出力信号を処理して、リード線４６から外部に出力している。４７は蓋で、この蓋４７はケース３８の上側を前記回路基板４０が内側に収納されるように閉塞している。
【００１９】
以上のように構成された本発明の一実施の形態における液面検出センサについて、次に、その製造方法を説明する。
【００２０】
まず、ポリイミド製の絶縁基板２１の一側面において、電源電極２３、第１の出力電極２４、第２の出力電極２５、ＧＮＤ電極２６、回路パターン３０およびヒーター電極３６を設ける位置に、厚膜印刷工法によりＡｇペーストを印刷した後、約２５０℃で約３０分間焼成することにより、電源電極２３、第１の出力電極２４、第２の出力電極２５、ＧＮＤ電極２６、回路パターン３０およびヒーター電極３６を形成する。
【００２１】
次に、絶縁基板２１の上面において、液位検出抵抗層２７、気体温度検出抵抗層３２、第１の液体温度検出抵抗層３１および第２の液体温度検出抵抗層３３を設ける位置にサーミスタペーストを印刷した後、約２７０℃で約２時間焼成することにより、絶縁基板２１の一側面に液位検出抵抗層２７、気体温度検出抵抗層３２、第１の液体温度検出抵抗層３１および第２の液体温度検出抵抗層３３を形成する。
【００２２】
次に、前記絶縁基板２１の一側面における回路パターン３０、液位検出抵抗層２７、気体温度検出抵抗層３２、第１の液体温度検出抵抗層３１および第２の液体温度検出抵抗層３３の上面に絶縁層ペーストを印刷した後、紫外線を照射して硬化させることにより、絶縁層３４を形成する。
【００２３】
次に、前記絶縁層３４の上面において、ヒーター層３５を設ける位置にヒーターペーストを印刷した後、約１５０℃で約３０分間焼成することにより、絶縁層３４の上面にヒーター層３５を形成する。
【００２４】
次に、前記絶縁基板２１およびヒーター層３５の上面に保護層ペーストを印刷した後、紫外線を照射して硬化させることにより、絶縁基板２１およびヒーター層３５の上面に保護層３７を形成する。
【００２５】
次に、ケース３８の上方に予め第１のＡＤ変換器４１、第２のＡＤ変換器４２、マイコン４３およびＤＡ変換器４４を実装した回路基板４０を固着した後、この回路基板４０に、前記絶縁基板２１における電源電極２３、第１の出力電極２４、第２の出力電極２５およびＧＮＤ電極２６を半田付けすることにより電気的に接続する。
【００２６】
次に、回路基板４０にリード線４６を半田付けした後、回路基板４０が内側に収納されるように蓋４７をケース３８に取り付ける。
【００２７】
最後に、ケース３８の下端部に当接部材３９を取り付ける。
【００２８】
以上のように構成され、かつ製造された本発明の一実施の形態における液面検出センサについて、次に、その動作を図面を参照しながら説明する。
【００２９】
図６に示すように、予めスチーム型電子レンジ（図示せず）等に使用される熱伝導性のプラスチック容器４８に水４９を満たした後、液面検出センサをプラスチック容器４８に取り付ける。
【００３０】
このとき、第１の液体温度検出抵抗層３１および第２の液体温度検出抵抗層３３は、常に、水４９に浸漬されるように、液面検出センサをプラスチック容器４８に取り付けるとともに、気体温度検出抵抗層３２は、常に、気体中に位置するように設けられている。
【００３１】
そして、電源電極２３に５Ｖの電圧を印加すると、第１の出力電極２４からは、液位検出抵抗層２７と第１の液体温度検出抵抗層３１との間の中点電位が、一方、第２の出力電極２５からは、気体温度検出抵抗層３２と第２の液体温度検出抵抗層３３との間の中点電位が出力される。この状態において、絶縁基板２１におけるヒーター層３５に電圧が印加されると、ヒーター層３５に流れる電流によりヒーター層３５からジュール熱が発生する。このジュール熱は絶縁層３４を介して液位検出抵抗層２７、気体温度検出抵抗層３２、第１の液体温度検出抵抗層３１および第２の液体温度検出抵抗層３３に到達する。このとき、液位検出抵抗層２７における液体に対向する部分と気体に対向する部分とでは、熱放散定数の差により単位長さあたりの自己発熱量に差が生じるため、液位検出抵抗層２７における気体に対向する部分と液体に対向する部分とでは温度差が生じ、これにより、サーミスタの抵抗−温度特性により液位検出抵抗層２７の抵抗値が変化する。
【００３２】
そして、プラスチック容器４８における水４９の水位が変化する場合を考えて見ると、まず、第１の液体温度検出抵抗層３１および第２の液体温度検出抵抗層３３のみが水没し、そして液位検出抵抗層２７および気体温度検出抵抗層３２が水面の上にある場合には、第１の液体温度検出抵抗層３１および第２の液体温度検出抵抗層３３のみが冷却され、そしてこれらは略同一の抵抗値となり、一方、液位検出抵抗層２７および気体温度検出抵抗層３２は加熱され、略同一の抵抗値としてそれらの抵抗値は減少する。これにより、第１の出力電極２４と第２の出力電極２５からの出力信号は略同一となる。そして、第１の出力電極２４からの出力信号Ｖ１は、第１のＡＤ変換器４１に入力され、かつデジタル値化されてマイコン４３に入力される。また、これと同様に、第２の出力電極２５からの出力信号Ｖ２は、第２のＡＤ変換器４２に入力され、かつデジタル値化されてマイコ
ン４３に入力される。そして、このマイコン４３により、第１のＡＤ変換器４１からの出力信号と、第２のＡＤ変換器４２からの出力信号とが（数１）の式により除算され、Ｓ＝１の値として、ＤＡ変換器４４によりアナログ値に変換された後、リード線４６により外部に出力されるものである。
【００３３】
【数１】
2009019888.tif 000003
【００３４】
次に、プラスチック容器４８に満たされている水４９の水位が上昇すると、この水位の上昇に伴い、液位検出抵抗層２７は水位が増すほど冷却され、抵抗値が増加する。そうすると、第１の出力電極２４からの出力信号Ｖ１が、水位の増加とともに減少する。一方、第２の出力電極２５からの出力信号は一定であるため、Ｓ値は水位の上昇に伴い順次減少する。
【００３５】
さらに、プラスチック容器４８に満たされている水４９の水位が上昇して、液位検出抵抗層２７が完全に水没すると、液位検出抵抗層２７が上部から下部にわたって冷却され、液位検出抵抗層２７の抵抗値が最大値となる。そうすると、液位検出抵抗層２７と第１の液体温度検出抵抗層３１の抵抗値が略同一となる。そして第１の出力電極２４からの出力電圧が、電源電極２３に付加された電圧５Ｖの略半分の値である２．５Ｖの出力値を示すようになり、Ｓ値は零となる。したがって、マイコン４３からの出力信号は零値となる。
【００３６】
上記したように本発明の一実施の形態においては、液位検出抵抗層２７と第１の液体温度検出抵抗層３１との間の中点電位を第１の出力電極２４により検出するとともに、気体温度検出抵抗層３２と第２の液体温度検出抵抗層３３との間の中点電位を第２の出力電極２５により検出し、かつ第１の出力電極２４と第２の出力電極２５からの出力信号を除算する除算手段４５を設けているため、ヒーター層３５への電圧の印加直後から、前記気体温度検出抵抗層３２、第１の液体温度検出抵抗層３１および第２の液体温度検出抵抗層３３の抵抗値が安定していない状態においても、液位検出抵抗層２７と第１の液体温度検出抵抗層３１との間の中点電位と、気体温度検出抵抗層３２と第２の液体温度検出抵抗層３３との間の中点電位とを除した値は変動しないものとなり、これにより、液面を正確に検出することができるという優れた効果を有するものである。
【００３７】
そして、マイコン４３からの出力信号をＤＡ変換器４４によりアナログ信号に変換し、そしてリード線４６により外部に出力してプラスチック容器４８における水４９の液位を測定するものである。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明に係る液面検出センサは、ヒーター層への電圧の印加直後から液面を検出することができるという効果を有するものであり、特に、スチーム型電子レンジに使用される水タンクの液面を検出する液面検出センサにおいて有用となるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施の形態における液面検出センサの側断面図
【図２】同液面検出センサにおける絶縁基板の正面図
【図３】同液面検出センサにおける絶縁基板の側断面図
【図４】同液面検出センサの絶縁基板からなる保護層およびヒーター層を取り外した状態を示す正面図
【図５】同液面検出センサの回路図
【図６】同液面検出センサが動作する状態を示す側断面図
【図７】従来の液面検出センサの正面図
【図８】同液面検出センサの側断面図
【図９】同液面検出センサが動作する状態を示す側断面図
【符号の説明】
【００４０】
２１  絶縁基板
２３  電源電極
２４  第１の出力電極
２６  ＧＮＤ電極
２７  液位検出抵抗層
３１  第１の液体温度検出抵抗層
３２  気体温度検出抵抗層
３３  第２の液体温度検出抵抗層
３５  ヒーター層
４５  除算手段
【図１】
2009019888.tif 000004
【図２】
2009019888.tif 000005
【図３】
2009019888.tif 000006
【図４】
2009019888.tif 000007
【図５】
2009019888.tif 000008
【図６】
2009019888.tif 000009
【図７】
2009019888.tif 000010
【図８】
2009019888.tif 000011
【図９】
2009019888.tif 000012