(57)【要約】【課題】装置が大型化する場合であっても、低コストで支持部材の十分な剛性を得ることができるステージ装置を提供する。【解決手段】プレート１０の取付面１０ａに沿って支持部材２を構成する中空部材１２，１３，１４が並設されているため、互いに隣接する中空部材１２，１３の側面壁１２ａ，１３ａと、互いに隣接する中空部材１３，１４の側面壁１３ｂ，１４ａとによってプレート１０を支持し、このプレート１０に対する支持部材２の十分な剛性を確保する。従って、支持部材２は、取付面１０ａが加工される際に、この取付面１０ａの平面度を確保しながらプレート１０をしっかりと支持すると共に、取付面１０ａにガイドレール１７等が取り付けられて移動体３が乗せられた場合でも、歪やたわみを減少させて移動体を支持する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、前記支持体によって移動可能に支持される移動体と、を備えるステージ装置において、
前記支持体は、その短手方向で並設して接合された複数の長尺の中空部材を有し、
前記支持体には、隣接する前記中空部材の接合部分が存在する設置面が形成され、
前記設置面には、被加工面を有するプレートが固定されていることを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記プレートは、隣接する前記中空部材に亘って前記設置面に固定されていることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
【請求項３】
前記中空部材は、水平方向で並設されていることを特徴とする請求項１又は２記載のステージ装置。
【請求項４】
前記中空部材は、鉛直方向で並設されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項記載のステージ装置。
【請求項５】
前記支持体は、複数種類の前記中空部材を有することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載のステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に、大型の液晶ディスプレイ等の製造や検査に利用されるステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のこのような分野の発明として、特開２００６−４９３８４号公報がある。この公報に記載されたステージ装置は、液晶ディスプレイ用ガラス基板などの対象物が載置される石定盤と、石定盤の両端で各々延在する一対のガイドベース（支持体）と、ガイドベース上の直動案内軸受に案内されて対象物の上方で移動するガントリ部（移動体）とを備えている。このようなステージ装置のガイドベースとしては、一般的に中空の角材が用いられる。
【特許文献１】特開２００６−４９３８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、近年液晶ディスプレイ等の大型化によって対象物も大きくなる傾向にあるため、それに伴い移動体も大型化し重量も増加している。これによって、上記ステージ装置にあっては、ガイドベースに歪やたわみが発生してしまうという問題を生じるため、ガイドベースの十分な剛性が要求される。また、ガイドベースには、直動案内軸受やリニアスケールなど、位置精度が必要とされる部品を取り付けるためのプレートが設けられる。このようなプレートには、取り付けられる部品の位置精度を確保するために、製造時において、ガイドベースに取り付けられたままの状態で、部品取付面に高精度な平面加工がなされ、その後部品が取り付けられる。従って、加工を行う際に、被加工面の平面度を確保できるようにプレートをしっかりと支持すべく、ガイドベースには十分な剛性が要求される。ガイドベースのこのような剛性は、対象物の大型化に伴いガイドベースが更に長尺化する場合、特に要求されるものである。一般的に、部材の剛性を高めるためには、部材の内部に長手方向へ延在するリブを設けることが考えられる。しかし、ガイドベースは長尺であるため、通常の溶接装置では長手方向に延在するようなリブを内部に溶接することはできないという問題が生じ、一方、特別な溶接装置を用いた場合はコストが高くなってしまうという問題を生じる。
【０００４】
本発明は、装置が大型化する場合であっても、低コストで支持体の十分な剛性を得ることができるステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るステージ装置は、支持体と、支持体によって移動可能に支持される移動体と、を備えるステージ装置において、支持体は、その短手方向で並設して接合された複数の長尺の中空部材を有し、支持体には、隣接する中空部材の接合部分が存在する設置面が形成され、設置面には、被加工面を有するプレートが固定されていることを特徴とする。
【０００６】
このステージ装置では、支持体が、短手方向で並設された複数の中空部材を有しており、接合部分が存在する設置面にプレートが固定されている。このように、プレートを支持体の接合部分が存在する設置面に固定することによって、互いに隣接する中空部材同士の接合箇所によってプレートが支持されるため、プレートに対する支持体の十分な剛性を確保することができる。従って、支持体は、被加工面が加工される際に、この被加工面の平面度を確保しながらプレートをしっかりと支持できると共に、被加工面にガイドレール等が取り付けられて移動体が乗せられた場合でも、歪やたわみを減少させて移動体を支持することができる。以上によって、装置が大型化する場合であっても、低コストで支持体の十分な剛性を得ることができる。
【０００７】
また、プレートは、隣接する中空部材に亘って設置面に固定されていることが好ましい。互いに隣接する中空部材同士の接合箇所でプレートを直接支持する事ができるので、より確実にプレートを支持することができる。
【０００８】
また、中空部材は、水平方向で並設されていることが好ましい。水平方向に中空部材を並設することによって、支持体の鉛直方向の剛性を確保することができる。
【０００９】
また、中空部材は、鉛直方向で並設されていることが好ましい。鉛直方向に中空部材を並設することによって、支持体の水平方向の剛性を確保することができる。
【００１０】
また、支持体は、複数種類の中空部材を有することが好ましい。大きさや形状の異なる複数種類の中空部材を用いることによって、所望の大きさの支持体を低コストで得ることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るステージ装置によれば、装置が大型化する場合であっても、低コストで支持体の十分な剛性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明によるステージ装置の好適な実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１に示すように、ステージ装置１は、水平面内で互いに平行となるように配置された長尺の一対の支持部材（支持体）２と、支持部材２の延在方向に沿って移動するように両端部がそれぞれ支持部材２で支持される移動体３とを備えている。移動体３には、例えば、加工装置や検査装置などが搭載される。
【００１４】
支持部材２は、長手方向の両端部が脚部４，６で支持され、長手方向の略中央位置が脚部７で支持されている。また、支持部材２の下方には、脚部４と脚部７との間にＸＹステージ装置８が配置されている。このＸＹステージ装置８は、吸着盤９の上面に載置された対象物１１を水平面内で移動させるものである。対象物１１としては、液晶ディスプレイのガラス基板などが挙げられ、移動体３に搭載された加工装置や検査装置などによって、この対象物１１に対して加工や検査がなされる。また、脚部６と脚部７との間の区間は、移動体３に搭載された装置のメンテナンス用のスペースとして用いられる。なお、支持部材２の全長は６〜１０ｍ程度（図１における長さＣ）、支持部材２の脚部４と脚部７との間は３〜５ｍ程度（図１における長さＡ）、支持部材２の脚部６と脚部７との間は３〜５ｍ程度（図１における長さＢ）とされている。
【００１５】
図２に示すように、支持部材２は、その短手方向で、中空部材１２，１３，１４を水平に並設して接合することによって形成されている。なお、「短手方向」とは、移動体３の移動方向と直交する方向である。支持部材２は、断面略長方形状の中空部材１２，１３，１４の長辺側の外周面を接合面として、互いに連結することによって断面略正方形状に形成されている。具体的には、中空部材１２，１３，１４は、中空部材１２の側面壁１２ａと中空部材１３の一方の側面壁１３ａとを面接触させると共に、中空部材１３の他方の側面壁１３ｂと中空部材１４の側面壁１４ａとを面接触させた状態で、外周側のそれぞれの角部同士を溶接し、支持部材２の長手方向に沿って延在する溶接部（接合部分）１５を形成することによって互いに連結されている。なお、各中空部材１２，１３，１４は、複数本の部材を長手方向に連結させることにより長尺化されたものではなく、一本の長尺な部材であることが好ましい。これによって、支持部材２で支持されるガイドレール１７やリニアスケール１６などの部品の長手方向の位置精度を確保することができる。
【００１６】
支持部材２には、その上面側に、溶接部１５が存在する設置面２ａが形成される。この設置面２ａには、支持部材２の略全長に亘って延在するプレート１０が固定されている。プレート１０は、隣接する中空部材１２及び中空部材１３に亘って固定されている。このプレート１０の上面である取付面（被加工面）１０ａには、移動体３の位置を測定するためのリニアスケール１６と、移動体３をガイドするためのガイドレール１７と、移動体３を移動させるためのリニアモータ１８の固定子１８ａとが、支持部材２の長手方向に沿って延在するように取り付けられている。この取付面１０ａは、位置精度が必要とされるリニアスケール１６とガイドレール１７とリニアモータ１８の固定子１８ａとが取り付けられるため、製造時に高精度な平面加工がなされることによって十分な平面度が確保されている。
【００１７】
支持部材２の上側で支持される移動体３には、支持部材２の設置面２ａと対向する連結板１９がその両端部に設けられており、連結板１９の下面には、移動可能にガイドレール１７に嵌合されるスライダ２０と、リニアスケール１６と対向配置されて、リニアスケール１６の目盛りを読み取ることによって移動体３の位置を検出する位置検出部２１と、リニアモータ１８の可動子１８ｂとが取り付けられている。なお、図２においては、一方の支持部材２及び移動体３の一端側のみが示されているが、他方の支持部材２及び移動体３の他端側も同様の構成である。
【００１８】
以上によって、ステージ装置１では、互いに隣接する中空部材１２，１３同士の接合箇所となる側面壁１２ａ，１３ａと、互いに隣接する中空部材１３，１４同士の接合箇所となる側面壁１３ｂ，１４ａとによってプレート１０が支持されるため、このプレート１０に対する支持部材２の十分な剛性を確保することができる。従って、支持部材２は、プレート１０の取付面１０ａが加工される際に、この取付面１０ａの平面度を確保しながらプレート１０をしっかりと支持できると共に、取付面１０ａにガイドレール１７等が取り付けられて移動体３が乗せられた場合でも、歪やたわみを減少させて移動体を支持することができる。以上によって、装置が大型化する場合であっても、低コストで支持部材２の十分な剛性を得ることができる。
【００１９】
特に、下方にＸＹステージ装置８などが配置されるタイプのステージ装置１においては、少なくとも脚部４と脚部７との間の区間で、ＸＹステージ装置８を配置するためのスペースを支持部材２の下方に確保しなくてはならず、支持部材２を下方から補強するような脚部やトラス構造などを設けることができない。従って、支持部材２自体の剛性を高めることのできる本発明は、ステージ装置１のようなタイプのステージ装置に特に有効である。
【００２０】
また、プレート１０は、隣接する中空部材１２及び中空部材１３に亘って設置面２ａに固定されているため、プレート１０の下方には、互いに隣接する中空部材１２，１３同士の接合箇所となる側面壁１２ａ，１３ａが配置される。これによって、側面壁１２ａ，１３ａでプレート１０を直接支持する事ができるので、より確実にプレート１０を支持することができる。
【００２１】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。
【００２２】
例えば、中空部材１２，１３，１４は水平方向に並設されているが、これに代えて、図３に示すように、鉛直方向に並設してもよい。これによって、支持部材３２の水平方向の剛性を確保することができ、例えば、支持部材３２の側面に位置精度が必要な部品を取り付ける場合に有効である。
【００２３】
また、支持部材２は、互いに同一形状な中空部材１２，１３，１４から構成されているが、これに代えて、図４に示すように、複数種類の中空部材から構成されていてもよい。具体的には、支持部材３３は、断面略長方形状の中空部材３４と中空部材３５との間に、断面略正方形状の小さな中空部材３６，３７を上下方向両端に配置して溶接することによって構成されている。このように、大きさや形状の異なる複数種類の中空部材を用いることによって、所望の大きさの支持部材を低コストで得ることができる。
【００２４】
あるいは、図５に示すように、略中空部材を組み合わせることによって構成されていてもよい。具体的には、支持部材４０は、断面コ字状の略中空部材（中空部材）４１と略中空部材（中空部材）４２とを連結させて溶接すると共に、略中空部材４２の開口部分に板状部材４３を溶接することによって構成されている。
【００２５】
また、プレート１０は、中空部材１２，１３に亘って固定されているが、中空部材１２，１３，１４に亘って固定されていてもよい。更に、いずれかの中空部材の上面のみに固定されていてもよい。
【００２６】
また、支持部材２は、全長に亘って中空部材１２，１３，１４によって高剛性に構成されているが、これに代えて、脚部４と脚部７との区間のみを複数の中空部材で構成することによって高剛性とし、脚部７と脚部６との間のメンテナンス用の区間を従来の断面正方形状の１本の中空部材で構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示すステージ装置の要部拡大斜視図である。
【図３】変形例に係るステージ装置の要部拡大斜視図であり、図２に対応する図である。
【図４】変形例に係るステージ装置の要部拡大斜視図であり、図２に対応する図である。
【図５】変形例に係るステージ装置の要部拡大斜視図であり、図２に対応する図である。
【符号の説明】
【００２８】
１…ステージ装置、２，３２，３３，４０…支持部材（支持体）、２ａ…設置面、３…移動体、１０…プレート、１０ａ…取付面（被加工面）、１２，１３，１４，３４，３５，３６，３７…中空部材、１５…溶接部（接合部分）、４１，４２…略中空部材（中空部材）。
【図１】
2009246101.tif 000003
【図２】
2009246101.tif 000004
【図３】
2009246101.tif 000005
【図４】
2009246101.tif 000006
【図５】
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