(57)【要約】【課題】多層板作製に使用できる作業性の良い、熱膨張係数の小さいコンポジットシートおよびその成形体を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、無機充填材１００と樹脂成分１１０とからなるコンポジット材料をキャリア材１２０上に塗工し乾燥することにより形成される未硬化のコンポジットシートに関する。無機充填材１００の含有率は、コンポジット材料に対して７０〜９０重量％である。樹脂成分１１０は難燃性エポキシ樹脂と多官能エポキシ樹脂と柔軟性を付与する官能基を低極性結合基を介して導入された樹脂とアクリル樹脂とを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エポキシ樹脂とアクリル樹脂からなる樹脂成分に、無機充填材を分散したコンポジット材料をキャリア材上に塗工し乾燥することにより形成される未硬化コンポジットシートにおいて、前記無機充填材の含有率が７０〜９０重量％であり、前記エポキシ樹脂は難燃性エポキシ樹脂と多官能エポキシと柔軟性を付与する官能基を低極性結合基を介して導入された樹脂とを含み、前記アクリル樹脂の重量平均分子量が４５×１０4〜８５×１０4であり、前記キャリア材から剥離可能に形成されたことを特徴とするコンポジットシート。
【請求項２】
難燃性エポキシ樹脂が臭素化エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のコンポジットシート。
【請求項３】
キャリア材として、離型材処理を片面或いは両面に施した高分子フィルムを用いたことを特徴とする請求項１〜２に記載のコンポジットシート。
【請求項４】
キャリア材として、ポリエステルフィルムを用いたことを特徴とする請求項１〜２に記載のコンポジットシート。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のコンポジットシートを成形硬化したことを特徴とする成形品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層配線板の製造のために使用される配線板製造用のコンポジットシートおよびその成形品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の多層プリント配線板の製造方法として、回路形成した内層回路板に絶縁接着層としてガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸し、半硬化状態（Ｂステージ状態）したプリプレグシートを数枚積層後ホットプレスし、スルーホールによって電気的導通を取る方法が一般に知られている。しかし、この方法では、プリプレグシートにガラスクロスを用いるため層間厚みに制限があった。
【０００３】
このような問題点を対策する方法として、近年、内層回路板の導体層上に有機絶縁層を交互に積み上げるビルトアップ方式の多層プリント配線板の製造が盛んに行われている（例えば、特許文献１参照）。その方法として、回路形成された内層回路板に液状樹脂を塗布、乾燥後、銅箔を貼り合わせるものや樹脂付銅箔を積層成形し、多層プリント配線板を製造する方法がある。
【特許文献１】特開平７−２０２４２６号公報
【特許文献２】特開２００６−１２４４３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、これらの方法では、液状樹脂を塗工、乾燥するため周辺を汚したり、工程中に樹脂層に異物が混入する可能性が高く、断線やショート等の回路不良を起こす危険があった。また、樹脂層のみでは、熱膨張係数が大きくなる問題もあった。これらの問題を解決した図１に示す構造のコンポジットシートの開発が行われている（図２にコンポジットシートのＰＥＴフィルム剥離状態の写真を示す。）が、半硬化状態（Ｂステージ状態）のコンポジットシートは可とう性がなく、切断加工時に切断屑が発生するという問題が生じている（例えば、特許文献２参照）。また、切断屑を発生しないように可とう性を付与することも考えられるが、この場合、難燃性を付与した（例えば、難燃性エポキシ樹脂を含有した）コンポジットシートの加熱加圧時の流動性が不均一となり、多層配線板のビア形成時にビア径のバラツキ（ビア抵抗値のバラツキ）を生じる可能性がある。
【０００５】
本発明は、上記の問題点を改善したものであり、多層板作製に用いることのできる作業性の良い、熱膨張係数の小さいコンポジットシートおよびその成形体を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のコンポジットシートは、エポキシ樹脂とアクリル樹脂とからなる樹脂成分に、無機充填材を分散したコンポジット材料をキャリア材上に塗工し乾燥することにより形成される未硬化コンポジットシートにおいて、前記無機充填材の含有率が７０〜９０重量％であり、前記エポキシ樹脂が難燃性エポキシ樹脂と多官能エポキシ樹脂と柔軟性を付与する官能基を低極性結合基を介して導入された樹脂とを含み、前記アクリル樹脂の重量平均分子量が４５×１０4〜８５×１０4であり、前記キャリア材から剥離可能に形成されたことを特徴とするものである。
【０００７】
本発明では、難燃性エポキシ樹脂として、臭素化エポキシを用いることができる。
【０００８】
また、本発明では、キャリア材として、離型材処理を片面或いは両面に施した高分子フィルムを用いることができる。
【０００９】
また、本発明では、キャリア材として、ポリエステルフィルムを用いることができる。
【００１０】
本発明の成形品は、請求項１〜４のいずれか一項に記載のコンポジットシートを成形硬化したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のコンポジットシートは、シート材料であるために周りを汚さず、また、樹脂中に異物が混入することもなく、さらに、熱膨張係数の小さい無機充填材を含有しているため、熱膨張係数も小さい硬化物が得られるものである。
【００１２】
また、エポキシ樹脂に熱可塑性アクリル樹脂を添加することで、コンポジットシートの可とう性が改善し、シート切断加工時に切断屑を発生することがなく、加熱加圧時に均一に流動（塑性変形）することができる。
【００１３】
また、エポキシ樹脂に難燃性エポキシ樹脂を使用することで問題となる加熱加圧時の不均一流動性を、柔軟性を付与する官能基を低極性結合基を介して導入された樹脂を用いることで改善することができる。
【００１４】
また、キャリア材に離型剤処理を施すことにより、コンポジットシートの剥離が容易になる。
【００１５】
また、キャリア材がポリエステルフィルムであるため、安価に、乾燥工程でも安定して、コンポジットシートが得られる。
【００１６】
また、上記いずれかのコンポジットシートを成形硬化するために、コンポジットシートによる積層形成により取り扱いが容易で、異物混入がなく信頼性が高く、無機充填材の含有により熱膨張係数の小さい難燃性硬化物を得ることができる。さらに、キャリア材からコンポジットシートのみを破ることなく容易に剥離できるため、一括積層が可能である。また、必要に応じて、半硬化状態（Ｂステージ状態）の樹脂層と導体回路（或いは金属箔）とを一体に成形した他のコンポジットシート材とともに、複数枚積層して一括積層することにより多層板を作製することができるものであり、併せて導体回路の微細化・高密度化による小型化と、回路の短縮化による信頼性の向上とを達成することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。図１は、コンポジットシートの断面図である。
【００１８】
図１において、１００はコンポジットシートに含まれる無機充填材、１１０は、コンポジットシートに含まれる樹脂成分、１２０はコンポジットシートのキャリア材である。
【００１９】
まず、樹脂成分１１０として、後述するが、難燃性のエポキシ樹脂と、硬化物の強度を向上させるためのエポキシ基を多数持つ樹脂である多官能エポキシと、加熱流動性を向上させるための柔軟性を付与する官能基を低極性結合基を介して導入された樹脂とを用いる。
【００２０】
また、無機充填材としては、低誘電率材料として二酸珪素（ＳｉＯ2）、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）熱の良伝導材料として、酸化マクネシウム（ＭｇＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化ホウ素（ＢＮ）、高誘電率材料としてチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、磁性材料として、フェライト材料、難燃剤として、水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）3）、水酸化マグネシウム（Ｍｇ（ＯＨ）2）、三酸化アンチモン（Ｓｂ2Ｏ3）、五酸化アンチモン（Ｓｂ2Ｏ5）、グアニジン塩、ホウ酸亜鉛、モリブデン化合物、スズ酸亜鉛、その他として、人工および天然粘土鉱物等を用いることができ、これらのものを一種類或いは複数の組合わせで用いることができる。上記難燃剤を使用すると、さらに難燃性の向上を図ることができる。
【００２１】
これらの無機充填材は、比誘電率、熱伝導性、難燃性、粒度分布、色調の自由度が高いことから、所望の機能を選択的に発揮させる場合に適宜配合および粒度設計を行って、容易に高充填化を行うことができる。特に、無機充填材として、最大粒径が２０μｍ以下が好ましくは１０μｍ以下のものを用いると、貫通孔の形成のためのレーザー加工、ドリル加工時の孔形状や磨耗を良好に保つことができる。
【００２２】
また、コンポジットシートを５０μｍ以下の薄膜とする場合にはコンポジットシートの表面が滑らかになるという効果を得ることができる。また、樹脂組成物中における無機充填材の分散性を向上させるために、無機充填材の表面をシランカップリング剤処理を施すことが好ましい。シランカップリング剤としは、エポキシシラン系、アミノシラン系、メルカプトシラン系、ビニルシラン系、スチリルシラン系、メタクリロキシシラン系、アクリロキシシラン系、チタネート系等が好ましい。
【００２３】
難燃性エポキシ樹脂および多官能エポキシ樹脂としては、軟化点４０℃〜８０℃の範囲が好ましく、柔軟性を付与する官能基を低極性結合基を介して導入された樹脂である液体の変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂としては、粘度が１００００〜２００００（ｍＰａ．ｓ／２５℃）が好ましい。アクリル樹脂としは、エポキシ基を有し、アミノ基を含有しないものが好ましい。
【００２４】
また、硬化剤としては、ジシアンジアミド、フェノール、酸無水物などを用いることができる。フェノールにおいては、ノボラック型、アラルキル型、テルペン型、などを用いることができるが、特に、上記エポキシ樹脂と同様に軟化温度として４０℃〜８０℃の範囲のものを用いることが好ましい。また、アラルキル型フェノール、特に、フェノールフェニルアラルキル樹脂を用いた場合においては、著しく耐衝撃性を向上させることができるとともに、低吸湿率、高密着性を併せ持ちプリント回路基板用材料としての信頼性の高い成形物（硬化物）が得られる。また、酸無水物系に関しては、液状、結晶のどちらでも可能であるが、常温で液状のものや低分子量のものを用いることで無機充填材の量を増量してもコンポジットシートの可とう性を保持することができる。
【００２５】
そして、本発明のコンポジットシートを製造するにあたっては、上記のエポキシ樹脂、アクリル樹脂、無機充填材、硬化剤を所定の有機溶剤（メチルエチルケトンやジメチルホルムアミドなど）に溶解・分散した樹脂スラリーを調整し、この樹脂スラリーをキャリアの片面或いは両面に塗布した後、過熱により有機溶剤を乾燥させる。
【００２６】
このようにして、常温で樹脂と無機充填材からなるコンポジットシートをキャリア材の表面に作製することができる。このコンポジットシートは、エポキシ樹脂とアクリル樹脂からなる樹脂成分と無機充填材の複合シート（コンポジットシート）であって、７０〜９０重量％の無機充填材とを含有し、その他の成分が１０〜３０重量％の樹脂成分となる。
【００２７】
本発明のコンポジットシートは、キャリア材の表面上に未硬化の状態に形成している。ここで、未硬化とは、まったく硬化していない状態と、いわゆるＢステージ状態とを含む概念である。Ｂステージ状態とは、エポキシ樹脂とアクリル樹脂からなる樹脂組成物を加熱することにより、樹脂組成物の反応を一部行わせた状態を表している。従って、本発明のコンポジットシートは、プリプレグと同様に、積層成形のホットプレスによって、いったん溶融した後に硬化する性質を備えているものである。
【００２８】
キャリア材としては、高分子フィルム或いは金属シートが好ましい。高分子フィルムとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリカーボネートなどを例示することができ、金属シートとしては、銅箔、アルミニウム、ニッケル箔のような金属箔などが挙げられる。さらには、離型紙等を用いることができる。キャリア材の厚みとしては１０〜１５０μｍが一般的である。
【００２９】
また、キャリア材は、価格、耐熱性の点からポリエステルフィルムが好ましい。
【００３０】
また、キャリア材の片面或いは両面には離型処理を施してあることが好ましい。離型剤としては、ポリジメチルシロキサン、ポリジフェニルシロキサン等のオルガノポリシロキサン、フロン系樹脂を用いることができ、これらをグラビアコート等により１μｍ以下に塗布することにより離型剤処理を行うことができる。これてより、塗工乾燥後の未硬化のコンポジットシートは、キャリア材の表面から加熱することなく容易に剥離することができる。
【００３１】
本発明のコンポジットシートの厚みは、１０μｍ〜１０００μｍであることが好ましい。１０μｍ未満では、塗工時においては、用いることのできる無機充填材の粒子径が微細化してくることから充填性に問題が生じやすくなり、また、コンポジットシートの強度が低下することになり、事実上、キャリア材からの離型が不可能となる。また、１０００μｍを超える場合では、コンポジットシートの表面の発泡や内部ボイドを発生しやすくなり品質的に問題となる。発泡や内部ボイドの対策として、乾燥時間を長くすることが考えられるが生産上問題である。
【００３２】
本発明のコンポジットシートの長所は、（１）プリント配線基板作製時の時間短縮、（２）工程での取り扱いの容易さ（３）硬化物の難燃性付与がある。（１）の説明として、液状物であれば基板に樹脂塗工後、硬化を行う必要がある。しかし、本発明のコンポジットシートであれば、塗工することなく、硬化させるだけで良いので、プリント板作製時の時間短縮が可能である。（２）の説明として、液状物であれば、基板以外に付着し、硬化の際に揮発分が出たりするが、本発明のコンポジットシートの場合、固体であるので、周囲に付着する心配がなく、揮発分の発生がほとんどない。また、コンポジットシートの可とう性と加熱加圧時の均一流動性が改善されているので、シート切断加工時に切断屑を発生することがなく、加熱加圧時に均一に塑性変形することができる。
【００３３】
また、無機充填材を含む長所としては、熱膨張係数の低減および高い弾性率を有することが挙げられる。
【００３４】
また、コンポジットシートをキャリア材から剥がせる長所としては、複数枚のシートを重ね合わせて所望の厚みのものが得られる点が挙げられる。複数枚のシートを重ねて厚いシートを作製する長所としては、信頼性の向上やシートの生産性の向上が挙げられる。複数枚のシートを重ねることにより、コンポジットシートにピンホールがあった場合、複数枚重ねた厚いシートでは厚いシートを一度に作製する場合に比べて、ピンホール発生の確率は大幅に低減する。また、厚いシートに比べて、薄いシートのほうが生産性は向上し、安価に作製することができる。また、コンポジットシートをキャリア材から剥がせる長所としては、上記の他に、一括積層への応用が挙げられる。なお、一括積層とは、個別の各層に穴あけ、導電ペースト等接続材料の充填、配線パターンの形成したものを必要層数準備し、位置合わせして積み重ね、成形し多層板を得るものであり、本発明のコンポジットシートを用いれば回路転写を用いることにより、一括積層の可能性がある。そのためには、半硬化状態（Ｂステージ状態）のコンポジットシートに回路形成することが必要であり、シート特性として半硬化状態（Ｂステージ状態）で剥離可能であり敗れないことが必要である。（３）の説明として、従来難燃性を付与しようとすると、コンポジットシートの流動性が悪くなっていたが、上記のようにすることで流動性を維持しつつ、硬化物に難燃性を付与することで、燃焼の可能性のある電源系の多層基板等に使用できる。
【００３５】
次に、本発明の成形品である積層板や多層板が上記コンポジットシートを用いて、製造される例について説明する。まず、キャリア材から剥離したコンポジットシートを一又は複数枚積層するとともに、必要に応じてその片側又は両側の最外層に金属箔を配置して積層物を構成し、この積層物をホットプレスして積層一体化する。ここで金属箔としては、銅、アルミニウム、真鍮、ニッケル等の単独、合金、複合の金属箔を用いることができる。積層物をホットプレスする条件としては、エポキシ樹脂とアクリル樹脂の樹脂組成物が硬化する条件で適宜調整すれば良いが、加圧の圧力が低すぎると、得られる積層板の内部に気泡が残留し、電気的特性が低下する場合があるため、成形性を満足する条件で加圧することが好ましい。例えば、加熱温度が１３０〜１８０℃、圧力０．９８〜４．９ＭＰａの条件下で３０〜２００分間ホットプレス成形することにより一体成形して積層体を得ることができ。そして、積層体の表面にアディティブ法やサブトラクティブ法等にて回路形成して、回路板を得ることができる。この回路板は、さらに多層の回路板製造のための内層材として使用することができ、この内装材に対してキャリア材から剥離した上記コンポジットシートおよび金属箔を積層一体化し、回路形成を施すことにより、多層の回路板を形成することができる。内装材としては、適宜単層又は多層の回路板を用いることができる。このようにして形成された多層の積層板の表面に、さらにアディティブ法やサブトラクティブ法にてビアホール形成や回路形成を施して、多層の回路板を形成することができる。
【００３６】
さらに、本発明では、キャリア材からコンポジットシート破ることなく容易に剥離することができるため、上記一体化積層が可能である。つまり、必要に応じて、半硬化状態（Ｂステージ状態）の樹脂層と導体回路（或いは金属箔）とを一体に形成した他のコンポジットシートとともに、複数枚積層して一括積層することにより多層板を作製することができるものである。
【実施例】
【００３７】
以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。
【００３８】
（実施例１〜６、比較例１〜７）
（表１）に示す各成分を含有するスラリーをプラネタリーミキサーにて混練し、所定量の溶剤（メチルエチルケトンとジメチルホルムアミドの混合溶液）を配合することにより粘度を２０００〜３０００ｃｐｓに調整したスラリーを得る。次に、このスラリーを厚み７５μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）製フィルム（ポリジメチルシロキサンを厚み０．５μｍコートして離型処理されたキャリア材）に塗布し、８０℃で６０分間加熱乾燥することにより、キャリア材の一面に厚み１００μｍで半硬化状態（Ｂステージ状態）の樹脂と無機充填材からなるコンポジットシートを形成した。
【００３９】
【表１】
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【００４０】
なお、（表１）中の樹脂原料の詳細は、以下の通りである。
臭素化エポキシ樹脂：ＪＥＲ５０５０（ジャパンエポキシレジン株式会社製／難燃性あり）
固形エポキシ樹脂：ＪＥＲ１００１（ジャパンエポキシレジン株式会社製／難燃性なし）
多官能エポキシ樹脂：ＪＥＲ１０３２Ｈ６０（ジャパンエポキシレジン株式会社製）
可とう性エポキシ樹脂：ＥＸＡ−４８５０−１５０（大日本インキ化学株式会社製）
液状エポキシ樹脂：ＹＤＦ−８１７０（東都化成工業株式会社製）
アクリル樹脂：ＳＧ−８０Ｈ（ナガセケミテックス株式会社製／重量平均分子量：３５×１０4）、ＳＧ−Ｐ３（ナガセケミテックス株式会社製／重量平均分子量：８５×１０4）、ＥＰ−３ＤＲ（根上工業株式会社製／重量平均分子量：８５×１０4）、ＥＰ−１０−ＤＲ（根上工業株式会社製／重量平均分子量：４５×１０4）
シリカフィラー：Ｓ４３０−２Ｈ（平均粒径８μｍ／エポキシシランカップリング剤処理／株式会社マイクロン）、ＳＰ３０Ｈ（平均粒径３μｍエポキシシランカップリング剤処理／株式会社マイクロン）
硬化剤：ＤＩＣＹ７（ジャパンエポキシレジン株式会社製）
硬化触媒：ＥＭＩ２４（ジャパンエポキシレジン株式会社製）
そして、各実施例および比較例の特性は、次に示す方法により測定評価を行い、結果を（表１）に示した。
【００４１】
（１）コンポジットシートの剥離性試験
コンポジットシートの剥離性は、厚み１００μｍ、幅５０ｍｍ、引張り速度５０ｍｍ／分の条件でキャリア材からコンポジットシートが破れずに剥離できるかを評価した。図２にコンポジットシートのＰＥＴフィルム剥離状態の写真を示す。なお、図２において２００はキャリア材としてのＰＥＴフィルム、２１０はコンポジット材料である。
【００４２】
（２）断加工性試験
コンポジットシートの切断加工性は、厚み１００μｍ、５０ｍｍ角の未硬化コンポジットシートを８０℃で６０分間加熱し半硬化状態（Ｂステージ状態）で、金型を用いて中心付近を外径１０ｍｍの円板に打抜き、外周に亀裂を生じるか否かで評価した。図３および図４にコンポジットシーの切断加工評価写真（図３：切断加工性良好／外周亀裂なし、図４：切断加工性不良／外周亀裂あり）を示す。なお、図３、４において、３００、４００はコンポジット材料、３１０、４１０は金型を用いて打抜かれた孔である。
【００４３】
（３）均一加熱加圧流動性評価試験
コンポジットシートの均一加熱加圧流動性を評価する方法として、厚み１００μｍ、５０ｍｍ角の未硬化コンポジットシートを直径１０ｍｍの円板に金型を用いて打抜き（図５に打抜き円板の写真を示す。）、ＰＥＴフィルムから剥離した直径１０ｍｍの円板を５０ｍｍ角のＰＥＴフィルムで挟んで、１２０℃、４．９ＭＰａの圧力でホットプレスし、広がった外径の最大外径と最小外径の平均値が１２±０．５ｍｍの時の外観で均一流動性を評価する。図６および図７にコンポジットシートの均一加熱加圧流動性を評価した円板の写真（図６：均一加熱加圧流動性の良いホットプレス後の打抜き円板の写真、図７：均一加熱加圧流動性の悪いホットプレス後の打抜き円板の写真）を示す。
【００４４】
（４）難燃性評価試験および熱膨張係数測定
難燃性評価および熱膨張係数測定用硬化物は、１２５ｍｍ角のコンポジットシートを３枚重ね、銅箔２５μｍを上下に配置し、真空中で過熱温度１８０℃、加圧力４．９ＭＰａで６０分間、ホットプレス成形して作製した。難燃性評価は、垂直燃焼試験法で行い、熱膨張係数は、ＴＭＡを用いて測定した。
【００４５】
（表１）から実施例１から実施例６までは、シート塗工、乾燥後の巻き取り工程でキャリア材から剥離することがなく、キャリア材がＰＥＴフィルムであることにより、半硬化状態（Ｂステージ状態）のコンポジットシートを加熱することなく、容易に剥離することができ、保持することができた。また、切断加工性の評価結果より、アクリル樹脂を用いて可とう性を付与することができ、また、均一加熱加圧流動性の評価結果より、柔軟性を付与する官能基を低極性結合基を介して導入された樹脂である柔軟性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を用いることで、均一な加熱加圧流動性を付与することができた。比較例１では、樹脂の割合が多く、シート塗工、乾燥後の巻き取り工程でキャリア材から剥離することができなかった。比較例２では、シリカフィラーの割合が高く、コンポジットシートが硬いため、切断加工性評価において、外周に亀裂が生じた。比較例３〜５では、アクリル樹脂の重量平均分子量が低いため、シート塗工、乾燥後の巻き取り工程でキャリア材から剥離することができなかった。比較例６では、可とう性のない液状エポキシ樹脂を用いたことにより、均一な加熱加圧流動性を付与できなかった。比較例７では、難燃性のないエポキシ樹脂を用いたことにより、難燃性を付与できなかった。
【００４６】
硬化物の難燃性評価は、垂直燃焼試験法において燃焼後コンポジット材料８００に火がついていない状態を示すＵＬ９４  Ｖ−０相当品（図８に難燃性評価後の硬化物の写真を示す。）である。図中、先端の黒色部分は燃焼試験後に発生した材料８００が炭に変化した状態を示す。硬化物の熱膨張係数は、熱膨張係数３０ｐｐｍ以下の小さいものが得られている。以上の結果より、半硬化状態（Ｂステージ状態）でキャリア材から剥離し、取り扱い可能なコンポジットシートが得られ、その硬化物は熱膨張係数が小さく難燃性で、切断加工性に優れた材料であることを確認した。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明のコンポジットシートおよびその成形品は、多層配線板の製造のために使用される配線板製造用部材として利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】コンポジットシートの断面図
【図２】コンポジットシートのキャリア材からの剥離状態の図
【図３】コンポジットシートの１０ｍｍ打抜き後（亀裂なし）の図
【図４】コンポジットシートの１０ｍｍ打抜き後（亀裂あり）の図
【図５】均一加熱加圧流動性評価用コンポジットシート打抜き円板のホットプレス前の図
【図６】均一加熱加圧流動性の良い打抜き円板のホットプレス後の図
【図７】均一加熱加圧流動性の悪い打抜き円板のホットプレス後の図
【図８】難燃性評価試験（垂直燃焼試験法）後の硬化物の図
【符号の説明】
【００４９】
１００    無機充填材
１１０    樹脂成分
１２０    キャリア材
２００    ＰＥＴフィルム
２１０    コンポジット材料
３００    コンポジット材料
３１０    孔
８００    コンポジット材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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