(57)【要約】【課題】複数の検査ポイントを同時に検査できるとともに、検査ポイントの位置がずれている場合でもプローブピンの移動時間を短縮させて検査効率を向上させることが可能なセラミック配線基板用テスタを提供する。【解決手段】セラミック配線基板用テスタはセラミック配線基板８の両面の検査ポイント１０に接触可能に配置される複数のプローブピン１と、このプローブピン１をＸＹ平面内で回動自在に保持するプローブピン保持部と、このプローブピン保持部に搭載されてプローブピン１の位置を微調整する駆動部３ａと、複数のプローブピン保持部を一体としてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各方向に前進又は後退させる駆動部３ｂと、検査ポイント１０を撮像するＣＣＤカメラ４と、その画像データを処理するデータ処理部５と、その処理結果に基づいて駆動部３ａ，３ｂの動作を制御する制御部６とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック配線基板に対して略平行に設けられるＸＹ平面内で回動自在にプローブピンを保持する複数のプローブピン保持部と、このプローブピン保持部に搭載される第一の駆動部と、複数の前記プローブピン保持部を一体としてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各方向に前進又は後退させる第二の駆動部とを備え、前記第一の駆動部は前記プローブピンの端部近傍であって、かつ前記プローブピンを含むＸＹ平面と略同一平面内に設置されるとともに前記プローブピンを前記ＸＹ平面内で回動させる第一のソレノイドを備えることを特徴とするセラミック配線基板用テスタ。
【請求項２】
前記第一の駆動部は、前記プローブピンの端部近傍であって前記プローブピンを含むＹＺ平面と略同一平面内に設置されるとともに前記プローブピンを前記ＹＺ平面内で回動させる第二のソレノイドを備え、前記プローブピン保持部は前記ＹＺ平面内で回動自在に前記プローブピンを保持することを特徴とする請求項１記載のセラミック配線基板用テスタ。
【請求項３】
前記第一の駆動部は、前記プローブピンをＹ軸方向に対して前進又は後退させる機構を備え、前記プローブピン保持部は前記プローブピンをＹ軸方向に対して進退自在に保持することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセラミック配線基板用テスタ。
【請求項４】
前記第二の駆動部は、前記プローブピン保持部をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各方向に対してそれぞれ前進自在又は後退自在に設置されるボールネジと、このボールネジを駆動するモータとを備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のセラミック配線基板用テスタ。
【請求項５】
前記セラミック配線基板上に設定された検査ポイントを撮像する撮像手段と、この撮像手段から送られる画像データから前記検査ポイントの位置を検出するデータ処理部と、このデータ処理部の検出結果に基づいて前記第一の駆動部及び前記第二の駆動部の動作を制御する制御部とを備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のセラミック配線基板用テスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック配線基板上の複数の検査ポイントにプローブピンを接触させて配線回路の断線や短絡の有無などを検査するセラミック配線基板用テスタに係り、特に、複数のプローブピンの位置を個々に微調整することが可能なセラミック配線基板用テスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック配線基板の配線回路の断線や短絡を検査する装置として、例えば、セラミック配線基板上に設定された複数の検査ポイントに対応するように予め配列されたプローブピンと、これら複数のプローブピンを一体として保持するピンホルダを備えたテスタが知られている。しかしながら、セラミック配線基板は、セラミックを焼成して形成するので、焼成による寸法収縮が発生し、検査ポイントの位置が個々にずれることとなる。このようなセラミック配線基板を上記のテスタで検査する場合には、検査ポイントに対してプローブピンを正確に接触させることが容易ではないという課題があった。また、上記のテスタで検査する場合には、検査ポイントの位置が異なる他のセラミック配線基板に対して適用できないという課題があった。そこで、このような課題を解決するべく、プローブピンの位置を調整できるテスタについて盛んに研究や開発がなされおり、それに関して既に幾つかの発明や考案が開示されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には「インサーキットテスタ用Ｘ−Ｙユニットのプローブピン支持機構」という名称で、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３方向に移動可能なプローブピンを備えたプリント基板用のテスタに関する発明が開示されている。
特許文献１に開示された発明は、Ｘ軸方向に移動可能なアーム上にＹ軸方向に移動可能なＺ軸ユニットを取り付け、このＺ軸ユニットでプローブピンを支持するとともにＺ軸方向に対して移動させる構造となっている。そして、アームのＸ軸方向への往復動とＺ軸ユニットのＹ軸方向への往復動にはサーボモータを用い、Ｚ軸ユニットにおけるプローブピンのＺ軸方向への往復動にはステッピングモータを用いることを特徴としている。
このような構造のインサーキットテスタにおいては、アームとＺ軸ユニットの動作を制御してプローブピンをＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３方向に対してそれぞれ適宜移動させることにより、基板上に予め設定された複数の検査ポイントに対してプローブピンを順次接触させることができる。
【０００４】
また、特許文献２には、プリント基板沿接面上を互いに直交する縦横の方向に対して移動可能に設置されるプローブ保持ユニットについて、その移動及び位置決め操作時間を最小限度に抑えて検査能率をアップさせることが可能な「プリント基板検査装置」に関する発明が開示されている。
特許文献２に開示された発明は、プリント基板に接離可能な多数本の電動式プローブが送り機構に連なるプローブ保持盤に対して縦横方向にプローブ保持ユニットによって、プリント基板の回路設計基準寸法の間隔をおいて保持されることを特徴としている。
このような構造のプリント基板検査装置においては、検査ポイントの間隔が設計基準寸法未満であっても、プローブ保持ユニットのプリント基板に対する位置決め回数を少なくして、プリント基板の検査能率を向上させることが可能である。
【０００５】
特許文献３には、プローブを高速作動させることによりベアボード等の基板の検査効率を向上させることが可能な「プローブ装置」に関する発明が開示されている。
特許文献３に開示された発明は、プローブが被検査対象に対して略垂直に、かつ進退可能に取り付けられた移動体と、この移動体に配設されてモータの駆動によりプローブを大きなストロークで進退させる第１の送り機構と、この第１の送り機構に設けられてプローブを僅かなストロークで高速に進退させる第２の送り機構とを備えるものである。
このような構造のプローブ装置においては、基板上の所定の検査箇所に移動したプローブの先端が第１の送り機構により基板から僅かに離隔した位置まで送り出された後、第２の送り機構によって高速で送り出されて検査箇所に接触するという作用を有する。また、検査終了後に、プローブが第２の送り機構によって検査箇所から高速で離隔されるという作用を有する。これにより、基板上の検査箇所を迅速に検査することが可能となる。
【０００６】
【特許文献１】特許第２８６０６９７号公報
【特許文献２】特開２０００−９７８５号公報
【特許文献３】特開平７−２１２１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の従来技術である特許文献１に開示された発明では、プローブピン支持機構を複数備えておらず、複数の検査ポイントに対して同時にプローブピンを接触させることができないため、プローブピンの移動時間を短縮させて検査効率を向上させることができないという課題があった。
【０００８】
また、特許文献２に開示された発明では、複数の電動式プローブの位置をそれぞれ独立に調整することができないため、検査ポイントに位置ずれが生じている場合には、プローブ保持ユニットのプリント基板に対する位置決め回数が増えて検査効率が低下してしまうという課題があった。
【０００９】
さらに、特許文献３に開示された発明では、プローブの位置を基板の厚み方向に微調整できることから、検査箇所の厚みがばらついている場合には確かに検査効率が向上するものの、検査箇所の位置が基板と平行な方向にずれている場合には、プローブの位置を微調整できないため、検査効率を向上させることができないという課題があった。
【００１０】
本発明はかかる従来の事情に対処してなされたものであり、複数の検査ポイントを同時に検査できるとともに、検査ポイントの位置がずれている場合でもプローブピンの移動時間を短縮させて検査効率を向上させることが可能なセラミック配線基板用テスタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明であるセラミック配線基板用テスタは、セラミック配線基板に対して略平行に設けられるＸＹ平面内で回動自在にプローブピンを保持する複数のプローブピン保持部と、このプローブピン保持部に搭載される第一の駆動部と、複数のプローブピン保持部を一体としてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各方向に前進又は後退させる第二の駆動部とを備え、第一の駆動部はプローブピンの端部近傍であって、かつプローブピンを含むＸＹ平面と略同一平面内に設置されるとともにプローブピンをＸＹ平面内で回動させる第一のソレノイドを備えることを特徴とするものである。
このような構造のセラミック配線基板用テスタにおいては、第二の駆動部によってプローブピン保持部がＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各方向に対して所定の距離だけ前進又は後退させられることにより、セラミック配線基板上に予め設定された複数の検査ポイントの近傍に複数のプローブピンがそれぞれ配置されるという作用を有する。また、プローブピンが第一の駆動部によってＸＹ平面内で所定の角度だけ回動させられることにより、各検査ポイントに対して接触可能に複数のプローブピンの位置が個々に微調整されるという作用を有する。
【００１２】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のセラミック配線基板用テスタにおいて、第一の駆動部は、プローブピンの端部近傍であってプローブピンを含むＹＺ平面と略同一平面内に設置されるとともにプローブピンをＹＺ平面内で回動させる第二のソレノイドを備え、プローブピン保持部はＹＺ平面内で回動自在にプローブピンを保持することを特徴とするものである。
このような構造のセラミック配線基板用テスタにおいては、プローブピンが第一の駆動部によってＸＹ平面内に加えてＹＺ平面内においても所定の角度だけ回動させられることにより、複数のプローブピンの位置が各検査ポイントに対してそれぞれ接触可能に微調整されるという作用を有する。
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のセラミック配線基板用テスタにおいて、第一の駆動部は、プローブピンをＹ軸方向に対して前進又は後退させる機構を備え、プローブピン保持部はプローブピンをＹ軸方向に対して進退自在に保持することを特徴とするものである。
このような構造のセラミック配線基板用テスタにおいては、請求項１又は請求項２に記載の発明に比べてＹ軸の正又は負の方向へ第一の駆動部によってプローブが移動させられる距離が長くなるという作用を有する。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のセラミック配線基板用テスタにおいて、第二の駆動部は、プローブピン保持部をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各方向に対してそれぞれ前進自在又は後退自在に設置されるボールネジと、このボールネジを駆動するモータとを備えたことを特徴とするものである。
このような構造のセラミック配線基板用テスタにおいては、第二の駆動部の構造が簡素化されるとともに、プローブピン保持部の位置決め精度が向上するという作用を有する。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のセラミック配線基板用テスタにおいて、セラミック配線基板上に設定された検査ポイントを撮像する撮像手段と、この撮像手段から送られる画像データから検査ポイントの位置を検出するデータ処理部と、このデータ処理部の検出結果に基づいて第一の駆動部及び第二の駆動部の動作を制御する制御部とを備えたことを特徴とするものである。
このような構造のセラミック配線基板用テスタにおいては、第二の駆動部によるプローブピンの移動及び第一の駆動部によるプローブピンの位置の微調整が短時間に、かつ高精度に行われるという作用を有する。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明の請求項１に記載のセラミック配線基板用テスタにおいては、セラミック配線基板上に予め設定された複数の検査ポイントに対してプローブピンを同時に、かつ高精度に接触させることができる。また、セラミック配線基板ごとに検査ポイントの位置がＸＹ平面内でばらついている場合であっても、プローブピンの移動距離を少なくして検査に要する時間を短縮させるとともに、検査ポイントに対してプローブピンを確実に接触させることが可能である。さらに、検査ポイントの位置の変更が第一の駆動部によって調整可能な範囲内である場合、配線回路が異なるセラミック配線基板に対しても本発明のセラミック配線基板用テスタを適用することができる。
【００１７】
本発明の請求項２に記載のセラミック配線基板用テスタにおいては、セラミック配線基板の厚さがばらつくなどして検査ポイントの位置がセラミック配線基板によってＺ軸の正又は負の方向に異なる場合であっても検査ポイントに対してプローブを確実に接触させることができる。
【００１８】
本発明の請求項３に記載のセラミック配線基板用テスタによれば、セラミック配線基板によって検査ポイントの位置がＹ軸の正又は負の方向にばらついている場合に、第一の駆動部によるＹ軸の正又は負の方向へのプローブピンの位置調整機能を請求項１又は請求項２に記載の発明よりもさらに広範囲にわたって発揮させることができる。
【００１９】
本発明の請求項４に記載のセラミック配線基板用テスタにおいては、装置を小型化するとともに、製造コストを安くすることが可能である。
【００２０】
本発明の請求項５に記載のセラミック配線基板用テスタにおいては、検査精度及び検査効率を請求項１乃至請求項４に記載の発明よりもさらに向上させることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明の最良の実施の形態に係るセラミック配線基板用テスタの実施例について説明する。
【実施例】
【００２２】
図１は本発明の実施の形態に係るセラミック配線基板用テスタの実施例の構成を示す概念図であり、図２は本実施例のセラミック配線基板用テスタの駆動部の構成を示す模式図である。また、図３及び図４はそれぞれ本実施例のセラミック配線基板用テスタのＺ軸ユニットの側面図及び平面図であり、図５及び図６はそれぞれ本実施例のセラミック配線基板用テスタのプローブピン保持部の側面図及び平面図である。
図１に示すように、本実施例のセラミック配線基板用テスタはセラミック配線基板８の両面にそれぞれ設けられ導体層９などによって互いに電気的に接続される導体パッドなどの検査ポイント１０に対してそれぞれ接触可能に配置される複数のプローブピン１と、プローブピン１をＸＹ平面内で回動自在に保持するプローブピン保持部（図示せず）と、このプローブピン保持部に搭載されてプローブピン１の位置を微調整する駆動部３ａと、複数のプローブピン保持部を一体としてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各方向に前進又は後退させる駆動部３ｂと、セラミック配線基板８上の検査ポイント１０を撮像するとともにその画像データをデータ信号ａ１として出力するＣＣＤカメラ４と、データ信号ａ１から検査ポイント１０の位置を検出して検査ポイント１０の位置に関するデータをデータ信号ａ２として出力するデータ処理部５と、制御信号ａ４，ａ５を送って駆動部３ａ，３ｂの動作を制御する制御部６とを備えている。なお、制御信号ａ４，ａ５はともに駆動部３ｂに送られ、さらに制御信号ａ５は駆動部３ｂを経由して各駆動部３ａに送られる。
駆動部３ｂは制御信号ａ４に従ってプローブピン保持部を所定の箇所まで移動させ、駆動部３ａは制御信号ａ５に従ってプローブピン１を検査ポイント１０に接触可能な位置まで微少量移動させる。また、プローブピン１は断線や短絡などの配線不良を検出して、データ信号ａ３として出力する。そして、判定部７では、このデータ信号ａ３に基づいて配線不良の有無を判断する。
【００２３】
図２に示すように、駆動部３ｂ，３ｂはフレーム１７の前面側及び後面側にそれぞれ設置されている。また、駆動部３ｂはプローブピン保持部（図示せず）が設置されるＺ軸ユニット１６と、このＺ軸ユニット１６を駆動するＹ軸駆動用モータ１２及びボールネジ１４と、これらＺ軸ユニット１６、Ｙ軸駆動用モータ１２及びボールネジ１４が搭載されたアーム１５と、このアーム１５を駆動するＸ軸駆動用モータ１１及びボールネジ１３とから構成されている。そして、Ｘ軸駆動用モータ１１によってボールネジ１３を回動すると、アーム１５はＸ軸方向に移動し、Ｙ軸駆動用モータ１２によってボールネジ１４を回動すると、Ｚ軸ユニット１６はＹ軸方向に移動する。すなわち、Ｚ軸ユニット１６に設置されるプローブピン保持部はＸ軸及びＹ軸の各方向に対してそれぞれ前進自在又は後退自在となっている。
また、Ｘ軸駆動用モータ１１の近傍にはアーム１５の原点の位置を検出するための近接スイッチ２０ａが設置され、Ｙ軸駆動用モータ１２の近傍にはＺ軸ユニット１６の原点の位置を検出するための近接スイッチ２０ｂが設置されている。これにより、電源投入時等におけるアーム１５及びＺ軸ユニット１６の原点の位置が検出される。
フレーム１７の略中央には開口部１７ａが設けられており、この開口部１７ａには固定具１８によって取付板１９が着脱可能に取り付けられている。なお、取付板１９はセラミック配線基板８を取り付けるための複数の基板取付穴１９ａを有しており、セラミック配線基板８はその両面をフレーム１７の前面側及び後面側にそれぞれ露出した状態で基板取付穴１９ａに取り付けられる。
【００２４】
図３及び図４に示すように、Ｚ軸ユニット１６は、上面にモータ取付部２１及びテーブル支持部２２ａ，２２ｂを有するベース２３と、モータ取付部２１に設置されるＺ軸駆動用モータ２４と、下面に突出部２５を有するとともにテーブル支持部２２ａ，２２ｂの上面に摺動自在に載置される移動テーブル２６と、テーブル支持部２２ａ，２２ｂにそれぞれ設けられた凹部２７ａ及び貫通孔２７ｂによって回動自在に保持されるとともに端部に接続されたＺ軸駆動用モータ２４によって駆動されるボールネジ２８とから構成されている。また、ボールネジ２８は移動テーブル２６の突出部２５に形成された雌ネジ２５ａに螺合している。従って、Ｚ軸駆動用モータ２４によってボールネジ２８を回動させると、移動テーブル２６はＺ軸方向に移動する。そして、これに伴い、移動テーブル２６の上面に設置された複数のプローブピン保持部２は一体となってＺ軸方向に移動する。
【００２５】
図５及び図６に示すように、プローブピン保持部２は、先端部１ａが屈曲したプローブピン１をＸＹ平面内及びＹＺ平面内においてそれぞれ所定の角度内で回動自在に、かつＹ軸方向に対して進退自在に保持するものであり、プローブピン１の後端部１ｂ近傍を回動可能に支持するブロック２９，２９及びソレノイド３０ａ〜３０ｃが設置された移動テーブル３１と、この移動テーブル３１をＹ軸方向に移動させるボールネジ３２及びＹ軸駆動用モータ３３が設置されたベース３４を備えている。なお、ソレノイド３０ａ〜３０ｃ、ボールネジ３２及びＹ軸駆動用モータ３３はプローブピン１をＸＹ平面内及びＹＺ平面内において回動させるとともにＹ軸方向に対して前進又は後退させる前述の駆動部３ａを構成している。
プローブピン１の後端部１ｂには両側面にすり鉢状の凹部１ｃがそれぞれ形成されている。また、移動テーブル３１の端部近傍に設置されるブロック２９，２９はプローブピン１に対向する側面に楔状の突起部２９ａ，２９ａがそれぞれ形成されており、プローブピン１の凹部１ｃを突起部２９ａ，２９ａによって両側から挟持している。従って、プローブピン１はＸＹ平面内及びＹＺ平面内において凹部１ｃ付近を中心としてそれぞれ所定の角度内で回動可能となっている。
プローブピン１は後端部１ｂに鉄片３５が取り付けられており、鉄片３５はコイルバネ３６を介して移動テーブル３１の固定部３１ａに繋止されている。また、移動テーブル３１には鉄片３５に対向するようにソレノイド３０ｃが配設され、鉄片３５を両側から挟むようにソレノイド３０ａ，３０ｂが配設されている。なお、ソレノイド３０ａ〜３０ｃは鉄芯４１ａに導線４１ｂをコイル状に巻き付けたものであり、本実施例ではそれらの構造及び大きさを全て等しくしている。また、非励磁状態ではソレノイド３０ａ〜３０ｃと鉄片３５が接触せず、かつ、励磁状態ではソレノイド３０ａ〜３０ｃによって鉄片３５が吸着されるように、ソレノイド３０ａ〜３０ｃと鉄片３５は互いに所定の間隔を空けて設置されている。
従って、ソレノイド３０ａを励磁させた場合、鉄片３５はソレノイド３０ａによって吸着され、コイルバネ３６が伸長する。このとき、プローブピン１は凹部１ｃ付近を中心として回動し、その先端部１ａはＸ軸の正の向きに振れることになる。また、ソレノイド３０ｂを励磁させた場合には、鉄片３５がソレノイド３０ｂによって吸着されるとともにコイルバネ３６が伸長し、プローブピン１が凹部１ｃ付近を中心として回動する。この場合、先端部１ａはＸ軸の負の向きに振れる。さらに、ソレノイド３０ｃを励磁させた場合には、鉄片３５がソレノイド３０ｃによって吸着されるとともにコイルバネ３６が伸長し、プローブピン１は凹部１ｃ付近を中心として回動する。この場合、先端部１ａはＺ軸の負の向きに振れる。なお、ソレノイド３０ａ〜３０ｃを全て消磁させた場合には、プローブピン１の後端部１ｂに作用するコイルバネ３６の復元力によって、プローブピン１は凹部１ｃ付近を中心としてそれまでとは逆の方向に回動させられる。その結果、プローブピン１は図５及び図６に示した状態に戻る。
【００２６】
ベース３４の片面にはモータ取付部４０及びテーブル支持部３７ａ，３７ｂが設けられており、モータ取付部４０にはＹ軸駆動用モータ３３が設置されている。また、テーブル支持部３７ａ，３７ｂにそれぞれ設けられた凹部３８ａ及び貫通孔３８ｂによってボールネジ３２が回動自在に保持されており、ボールネジ３２の端部にはＹ軸駆動用モータ３３が接続されている。さらに、移動テーブル３１は、ベース３４に対向する面に突出部３９を有しており、この突出部３９に形成された雌ネジ３９ａにボールネジ３２が螺合している。なお、移動テーブル３１はテーブル支持部３７ａ，３７ｂ上を摺動可能に配設されている。従って、Ｙ軸駆動用モータ３３を用いてボールネジ３２を駆動すると、移動テーブル３１はテーブル支持部３７ａ，３７ｂに案内されてＹ軸方向に移動する。
前述のソレノイド３０ａ，３０ｂによってプローブピン１を回動させる機構では、Ｙ軸方向への先端部１ａの調整可能距離がＸ軸方向に比べて短くなるが、ボールネジ３２及びＹ軸駆動用モータ３３によって移動テーブル３１を前進又は後退させる上記機構によればＹ軸方向への先端部１ａの調整可能距離を長くすることができる。
【００２７】
このような構造のセラミック配線基板用テスタにおいては、駆動部３ｂがプローブピン保持部２をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各方向に対して所定の距離だけ前進又は後退させ、複数のプローブピン１をセラミック配線基板８上の複数の検査ポイント１０の近傍に同時に配置させるという作用を有する。また、駆動部３ａがプローブピン１をＸＹ平面内やＹＺ平面内において所定の角度だけ回動させ、あるいはＺ軸の方向に前進又は後退させて、複数の検査ポイント１０に対してプローブピン１がそれぞれ確実に接触するようにその位置を個々に微調整するという作用を有する。さらに、本実施例に示した駆動部３ｂによれば、エアシリンダやガイドレールを用いてプローブピン支持部２を移動させる場合に比べて構造が簡素化され、プローブピン支持部２の位置決め精度が向上するという作用を有する。さらに、ＣＣＤカメラ４とデータ処理部５によって検出された検査ポイント１０の位置に基づいて制御部６によって駆動部３ａ，３ｂの動作が制御されるため、プリント配線板８ごとに検査ポイント１０の位置がずれている場合でも、プローブピン１の位置が短時間に、かつ高精度に微調整されるという作用を有する。
【００２８】
以上説明したように、本実施例のセラミック配線基板用テスタにおいては、セラミック配線基板８上の複数の検査ポイント１０に対してプローブピン１を同時に接触させることで検査時間を短縮することができる。また、セラミック配線基板８によって検査ポイント１０の位置がＸＹ平面内やＺ軸の正又は負の方向に対して異なるような場合でも、検査ポイント１０の画像データに基づいてプローブピン１の位置を微調整することによりプローブピン１の移動に要する時間を短縮するとともに検査ポイント１０に対してプローブピン１を確実に接触させることが可能である。これにより、検査精度及び検査効率が向上する。なお、配線回路のパターンが異なる別のセラミック配線基板８に対しても、検査ポイント１０の位置の変更が駆動部３ａによって調整可能な範囲内であれば、装置の仕様を変更することなく本実施例のセラミック配線基板用テスタをそのまま適用することができる。加えて、本実施例のセラミック配線基板用テスタでは、駆動部３ｂの構造が簡単であるため、装置を小型化して製造コストを安くすることが可能である。
【００２９】
なお、Ｚ軸ユニット１６に設置されるプローブピン支持部２の個数や配置は本実施例に限定されるものではなく、適宜変更可能である。また、鉄片３５をプローブピン１の後端部１ｂに設置する代わりに、先端部１ａに設置するとともにソレノイド３０ａ〜３０ｃをその近傍に配置する構成とすることもできる。さらに、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のいずれかに対して検査ポイント１０の位置ずれが微調整を行う必要がない程度に小さい場合には、駆動部３ａのうちソレノイド３０ａ，３０ｂと、ボールネジ３２及びＹ軸駆動用モータ３３のいずれか一方を省略することができる。また、Ｚ軸方向に対して検査ポイント１０の位置ずれが微調整を行う必要がない程度に小さい場合には、ソレノイド３０ｃと、ボールネジ２８及びＺ軸駆動用モータ２４のいずれか一方を省略しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
請求項１乃至請求項５に記載された発明は、セラミック配線基板に限らず、プリント樹脂配線基板等の複数の検査ポイントを有する各種の電子部品の導通検査において使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施の形態に係るセラミック配線基板用テスタの実施例の構成を示す概念図である。
【図２】本実施例のセラミック配線基板用テスタの駆動部の構成を示す模式図である。
【図３】本実施例のセラミック配線基板用テスタのＺ軸ユニットの側面図である。
【図４】本実施例のセラミック配線基板用テスタのＺ軸ユニットの平面図である。
【図５】本実施例のセラミック配線基板用テスタのプローブピン保持部の側面図である。
【図６】本実施例のセラミック配線基板用テスタのプローブピン保持部の平面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１...プローブピン  １ａ...先端部  １ｂ...後端部  １ｃ...凹部  ２...プローブピン保持部  ３ａ，３ｂ...駆動部  ４...ＣＣＤカメラ  ５...データ処理部  ６...制御部  ７...判定部  ８...セラミック配線基板  ９...導体層  １０...検査ポイント  １１...Ｘ軸駆動用モータ  １２...Ｙ軸駆動用モータ  １３，１４...ボールネジ  １５...アーム  １６...Ｚ軸ユニット  １７...フレーム  １７ａ...開口部  １８...固定具  １９...取付板  １９ａ...基板取付穴  ２０ａ，２０ｂ...近接スイッチ  ２１...モータ取付部  ２２ａ，２２ｂ...テーブル支持部  ２３...ベース  ２４...Ｚ軸駆動用モータ  ２５...突出部  ２５ａ...雌ネジ  ２６...移動テーブル  ２７ａ...凹部  ２７ｂ...貫通孔  ２８...ボールネジ  ２９...ブロック  ２９ａ...突起部  ３０ａ〜３０ｃ...ソレノイド  ３１...移動テーブル  ３１ａ...固定部  ３２...ボールネジ  ３３...Ｙ軸駆動用モータ  ３４...ベース  ３５...鉄片  ３６...コイルバネ  ３７ａ，３７ｂ...テーブル支持部  ３８...ボールネジ  ３９...突出部  ３９ａ...雌ネジ  ４０...モータ取付部  ４１ａ...鉄芯  ４１ｂ...導線  ａ１〜ａ３...データ信号  ａ４，ａ５...制御信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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