(57)【要約】【課題】簡単な構造で、複数のワークに塵埃が付着するのを抑制しつつこれを徐給材することができるマガジントレイ、浸漬処理装置のマガジンセット装置を提供する。【解決手段】ワークＷを処理溶液に浸漬することによりワークＷの表面処理を行う浸漬処理装置１に対し、ワークＷをセットしたワークマガジン１１を徐給材するためのマガジントレイ１２であって、ワークマガジン１１を位置決め状態で搭載するトレイベース５１と、トレイベース５１の両端部に設けた手持ち用の一対のハンドル５２，５２と、を備え、トレイベース５１は、ワークマガジン１１を支持する外枠部５４と、外枠部５４に設けた１以上の中間桟部５５と、を有している。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを処理溶液に浸漬することにより前記ワークの表面処理を行う浸漬処理装置に対し、ワークをセットしたワークマガジンを徐給材するためのマガジントレイであって、
前記ワークマガジンを位置決め状態で搭載するトレイベースと、
前記トレイベースの両端部に設けた手持ち用の一対のハンドルと、を備え、
前記トレイベースは、前記ワークマガジンを支持する外枠部と、前記外枠部に設けた１以上の中間桟部と、を有していることを特徴とするマガジントレイ。
【請求項２】
前記トレイベースは、前記ワークマガジンの複数個を位置決め状態で並べて搭載することを特徴とする請求項１に記載のマガジントレイ。
【請求項３】
前記ワークマガジンは、セットしたワークと共に前記浸漬処理装置に浸漬されることを特徴とする請求項１または２に記載のマガジントレイ。
【請求項４】
前記トレイベースの上面に設けられ、前記ワークマガジンをそれぞれ位置決めする複数の位置決め片を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のマガジントレイ。
【請求項５】
前記ワークマガジンを搭載した請求項１ないし４のいずれかに記載のマガジントレイがセットされる浸漬処理装置のマガジンセット装置であって、
前記マガジントレイが位置決め状態でセットされる四周枠状のセットテーブルと、
前記セットテーブルの下方に配設され、前記ワークマガジンおよび前記マガジントレイから落下する塵埃を受ける塵埃パンと、を備えたことを特徴とする浸漬処理装置のマガジンセット装置。
【請求項６】
前記塵埃パンは、四周に風除け用の周側板を有していることを特徴とする請求項５に記載の浸漬処理装置のマガジンセット装置。
【請求項７】
前記マガジントレイの有無を検出するトレイセンサ、を更に備えたことを特徴とする請求項５または６に記載の浸漬処理装置のマガジンセット装置。
【請求項８】
前記ワークマガジンの有無を検出するマガジンセンサ、を更に備えたことを特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の浸漬処理装置のマガジンセット装置。
【請求項９】
前記セットテーブル上に設けられ、前記マガジントレイを位置決めする複数の位置決めブロックを、更に備えたことを特徴とする請求項５ないし８のいずれかに記載の浸漬処理装置のマガジンセット装置。
【請求項１０】
前記マガジントレイには、中心部から外れた位置に１つの係合部が設けられ、
前記セットテーブルには、セットした前記マガジントレイの前記係合部が係合する係合受け部が設けられていることを特徴とする請求項５ないし９のいずれかに記載の浸漬処理装置のマガジンセット装置。
【請求項１１】
請求項５ないし１０のいずれかに記載の浸漬処理装置のマガジンセット装置を、備えたことを特徴とする浸漬処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを処理溶液に浸漬することによりワークの表面処理を行う浸漬処理装置に対し、ワークをセットしたワークマガジンを徐給材するためのマガジントレイ、浸漬処理装置のマガジンセット装置および浸漬処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のマガジントレイに類似するものとして、複数枚のウエハ（ワーク）を収納したハーフキャリア（ワークマガジン）を、純水を主成分とする浸漬水を貯留した水槽に浸漬した状態で、各種の半導体ウエハの加工装置間で徐給材するウエハローダが知られている（特許文献１参照）。このウエハローダでは、ハーフキャリアに収納したウエハを、浸漬水に浸漬した状態で装置間の運搬等を行うため、ウエハに傷が生じたり汚れが付着したりすることなく、各加工装置に対し徐給材することができる。
【特許文献１】特開２０００−３２３５５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような、従来のマガジントレイ（ウエハローダ）では、ワーク（ウエハ）に傷が生じたり汚れが付着したりすることはないが、マガジントレイ自体、複雑な構造となり且つ管理や扱いが煩雑なものとなる問題があった。
【０００４】
本発明は、簡単な構造で、複数のワークに塵埃が付着するのを抑制しつつこれを徐給材することができるマガジントレイ、浸漬処理装置のマガジンセット装置および浸漬処理装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のマガジントレイは、ワークを処理溶液に浸漬することによりワークの表面処理を行う浸漬処理装置に対し、ワークをセットしたワークマガジンを徐給材するためのマガジントレイであって、ワークマガジンを位置決め状態で搭載するトレイベースと、トレイベースの両端部に設けた手持ち用の一対のハンドルと、を備え、トレイベースは、ワークマガジンを支持する外枠部と、外枠部に設けた１以上の中間桟部と、を有していることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、トレイベースが、外枠部と中間桟部とで構成されているため、トレイベース上に塵埃が蓄積されるのを極力防止することができ、ワークへの塵埃の付着を極力防止することができる。また、中間桟部により、トレイベースの強度（剛性）が損なわれることがない。さらに、外枠部で、ワークマガジンを支持するようにしているため、ワークマガジンを安定に支持し且つワークマガジンおよびワークに触れることなく、これを運搬することができる。
【０００７】
この場合、トレイベースは、ワークマガジンの複数個を位置決め状態で並べて搭載することが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、複数個のワークマガジンを一括して徐給材することができる。なお、複数個のワークマガジンは同一の形態のものであって、複数枚のワークをセットできるものであることが、好ましい。
【０００９】
また、ワークマガジンは、セットしたワークと共に浸漬処理装置に浸漬されることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、オペレータは、ワークマガジンを非接触で徐給材することができるため、ワークマガジンに異物が付着することがなく、ワークマガジンが浸漬処理装置に浸漬されても、処理溶液に異物が混入することがない。
【００１１】
これらの場合、トレイベースの上面に設けられ、ワークマガジンをそれぞれ位置決めする複数の位置決め片を、更に備えることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、ワークマガジンをがたつくことなく安定に支持することができると共に、ワークマガジンを適切に位置決めしておくことができる。
【００１３】
本発明の浸漬処理装置のマガジンセット装置は、ワークマガジンを搭載した上記のマガジントレイがセットされる浸漬処理装置のマガジンセット装置であって、マガジントレイが位置決め状態でセットされる四周枠状のセットテーブルと、セットテーブルの下方に配設され、ワークマガジンおよびマガジントレイから落下する塵埃を受ける塵埃パンと、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、マガジントレイのセットテーブルが、周枠状に形成されているため、セットテーブル上に塵埃が降り積もるのを極力防止することができ、マガジントレイを介して、セットしたワークに塵埃が付着するのを極力防止することができる。また、セットテーブルの下方に配設した塵埃パンにより、ワークマガジンやマガジントレイから落下する塵埃を受けることができ、塵埃を適切に処理することができる。
【００１５】
この場合、塵埃パンは、四周に風除け用の周側板を有していることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、周側板が、周囲を流れるエアーの風除けとして機能するため、塵埃パンに降り積もった塵埃が、舞い上がるのを防止することができる。なお、塵埃を静電吸着するように塵埃パンを構成することが、より好ましい。
【００１７】
これらの場合、マガジントレイの有無を検出するトレイセンサ、を更に備えることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、トレイセンサの検出結果を制御系に反映させることで、誤って、マガジントレイがセットされていない状態で、装置が起動されるのを有効に防止することができる。
【００１９】
同様に、ワークマガジンの有無を検出するマガジンセンサ、を更に備えることが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、トレイセンサの検出結果を制御系に反映させることで、ワークマガジンが搭載されていないマガジントレイが、セットテーブルに誤ってセットされてしまうのを、防止することができる。
【００２１】
また、セットテーブル上に設けられ、マガジントレイを位置決めする複数の位置決めブロックを、更に備えることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、セットテーブル上に、マガジントレイを介して、複数個のワークマガジンを適切に位置決めすることができる。特に、ワークマガジンがワークと共に浸漬処理装置に浸漬されるものにあっては、ワークマガジン（ワーク）の受取り・受渡しを含む浸漬動作を単純な機構で円滑に行うことができる。
【００２３】
さらに、マガジントレイには、中心部から外れた位置に１つの係合部が設けられ、セットテーブルには、セットしたマガジントレイの係合部が係合する係合受け部が設けられていることが、好ましい。
【００２４】
この構成によれば、セットテーブルに対し、マガジントレイが前後を誤ってセットされてしまうのを物理的に防止することができる。
【００２５】
本発明の浸漬処理装置は、上記した浸漬処理装置のマガジンセット装置を、備えたことを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、ワークをクリーンな状態で且つ位置決め状態で、セットテーブルにセットすることができ、ワークを位置精度良く給材することができると共に、ワークに対する浸漬処理を適切に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係るマガジントレイ、これが装着される浸漬処理装置のマガジンセット装置および浸漬処理装置について説明する。この浸漬処理装置は、処理溶液にワークを浸漬してコーティング等の表面処理を行う、いわゆるＤｉｐコータであり、マガジントレイは、複数枚のワークをセットしたワークマガジンを複数（２個）搭載して、浸漬処理装置に徐給材するためのトレイである。
【００２８】
図１および図２に示すように、浸漬処理装置１は、下部のタンクキャビネット２と、タンクキャビネット２の上面に配設した機台３と、機台３上に設置され、ワーク処理槽５を有する処理装置本体４と、処理装置本体４を収容し、機台３の上部空間を覆うようにして設けられた装置カバー６と、を備えている。タンクキャビネット２および装置カバー６は、図外の排気設備に連通しており、内部雰囲気が適宜換気されるようになっている。また、浸漬処理装置１には、装置カバー６の背面側に設けた電装ボックス７と、装置カバー６の正面（前面）に設けた制御装置本体８とから成る制御装置９が組み込まれている。
【００２９】
処理対象物であるワークＷは、方形の金属板であり、その複数枚（２０枚）を単位としてワークマガジン１１に収容して、浸漬処理装置１に対し徐給材される。より具体的には、複数枚のワークＷを並べて収容した２個のワークマガジン１１，１１が、マガジントレイ１２に搭載され、マガジントレイ１２と共に２個のワークマガジン１１，１１が一括して、浸漬処理装置１に対し徐給材される。そして、複数枚のワークＷは、ワークマガジン１１と共にワーク処理槽５に浸漬され、表面処理される。
【００３０】
処理装置本体４は、ワークを浸漬処理するワーク処理槽５と、ワーク処理槽５の上端開放部を開閉する開閉蓋１４と、ワーク処理槽５に隣接するワーク給材部１５に配設したマガジンセット機構１６と、複数枚のワークＷをワークマガジン１１と共に、ワーク給材部１５とワーク処理槽５との間で浸漬移動させる浸漬移動機構１７と、ワーク処理槽５に対し開閉蓋１４を開閉移動させる蓋移動機構１８と、を備えている。ワーク処理槽５とマガジンセット機構１６とは、機台３の前部に配設され、浸漬移動機構１７と蓋移動機構１８とは、上下に重なった状態で機台３の後部に配設されている。
【００３１】
浸漬移動機構１７は、ワークマガジン１１をフッキングしてワーク処理槽５の直上部まで移動させ、蓋移動機構１８が開閉蓋１４を開放するのを待って、ワークマガジン１１をワーク処理槽５に浸漬する。この浸漬処理では、浸漬移動機構１７は、ワークマガジン１１を処理溶液にゆっくり沈めてゆき、液面の波立ちが静まるのを待ってゆっくり引き上げてゆく。これにより、ワークマガジン１１内の複数枚のワークＷに表面処理が適切に行われる。後述するように、処理溶液は揮発性の高い溶媒を含んでおり、このワークマガジン１１の引き上げ中に、ワークマガジン１１やワークＷに付着した処理溶液（溶媒）は、急速に気化してゆく（乾燥）。ワークマガジン１１の引き上げが完了すると、直ちに蓋移動機構１８が開閉蓋１４を閉塞する。一方、引き上げられたワークマガジン１１は、ワーク給材部１５のマガジントレイ１２に戻される。以上の動作を２回行って、２個のワークマガジン（ワークＷ）１１，１１の浸漬処理が終了したら、ワークマガジン１１をマガジントレイ１２と共に徐材し、新たなワークマガジン（未処理のワークＷ）１１を給材する。
【００３２】
一方、タンクキャビネット２内には、ワーク処理槽５に処理溶液を供給する給液タンク２１と、使用済みの処理溶液をワーク処理槽５から回収する廃液タンク２２と、フィルタリングのためにワーク処理槽５から処理溶液を抜き取って回収するバッファタンク２３と、が収容されている。さらに、タンクキャビネット２内には、これらタンク２１，２２，２３に併設するように、各種のポンプおよびバルブが各種配管と共に収容されている。
【００３３】
処理溶液は、表面処理の主成分となる溶剤と、溶剤を溶かしこんだ溶媒とから成り、溶媒は給液タンク２１からワーク処理槽５に供給され、溶剤はワーク処理槽５の供給した溶媒に直接投入され混合される。また、溶媒には、揮発性の高いものが用いられている。このため、ワーク処理槽５は、浸漬処理を実施するとき以外は、上記の開閉蓋１４で気密に閉塞され、また浸漬処理時にワーク処理槽５から蒸散した気化溶媒は、装置カバー６内の雰囲気と共に排気ダクト２５を介して、上記の排気設備（排気処理設備）に排気される。
【００３４】
次に、図３ないし図９を参照して、ワークマガジン１１およびマガジントレイ１２について詳細に説明すると共に、マガジントレイ１２がセットされるマガジンセット機構１６について説明する。
【００３５】
図３ないし図５に示すように、ワークマガジン１１は、複数枚のワークＷを鉛直姿勢で相互に平行にセットするためのワークセット部３１を構成する一対のワーク支持板３２，３２、および一対のワーク支持板３２，３２を両端部で連結する一対の連結板３３，３３から成る矩形枠状に組んだマガジン本体３０と、ワークセット部３１の上部と各連結板３３側とを仕切るように配設した一対の連結隔板（隔板）３４，３４と、一対の連結板３３，３３の下端部間に渡した一対の支持ロッド（下支え部材）３５，３５と、で構成されている。一対のワーク支持板３２，３２、一対の連結板３３，３３および一対の連結隔板３４，３４は、いわゆる板金製であり、各部を溶接により接合して組み上げられている。また、組み立てられたワークマガジン１１は、自身からの発塵を防止すべく、最終的に電解研磨を行って仕上げられている。
【００３６】
各ワーク支持板３２は、ワークセット部３１に相当する中間部分が複数の鉛直溝条３７で構成され、複数の鉛直溝条３７は、ワーク支持板３２の長辺方向中間部を波板状にプレス成形（折り曲げて）して形成されている。すなわち、一対のワーク支持板３２で構成されるワークセット部３１は、ワークＷの両縁端部が挿入装着される複数の鉛直溝条３７を対向配置して構成されている。複数枚のワークＷは、対向配置した各一対の鉛直溝条３７，３７間に上側から差し込むようにしてセットされる。この場合、複数の鉛直溝条３７は、ワーク支持板３２を波板状にプレス成形することで簡単に形成することができる。また、ワーク支持板３２、連結板３３および連結隔板３４により、セットしたワークＷを囲うようにして保護するため、ワークＷの損傷やワークＷへの塵埃の付着を極力防止することができる。
【００３７】
各連結板３３には、上下に横長の打抜き開口４１ａ，４１ｂがプレスで打抜くようにしてそれぞれ形成されており、上側の打抜き開口４１ａにより連結板３３の上部にハンドリング部４２が構成されている。このハンドリング部４２は、オペレータによる手持ち部としての機能と、上記の浸漬移動機構１７によるフッキング部としての機能とを有している。このため、フッキング部としての機能を奏するように上側の打抜き開口４１ａには、浸漬移動機構１７の一対のフックが係止される２つの小切欠き部４３，４３が形成されている（図５参照）。また、上下の切欠き開口４１ａ，４１ｂの中間に位置して各連結板３３の右部には、ワークセンサ（図示省略）の光軸に合致するセンサ用の検出開口４４が形成されている。そして、このワークセンサは制御装置９に接続されており、ワークマガジン１１にワークＷがセットされているか否が検出される。
【００３８】
各連結隔板３４は、上記のハンドリング部４２に対し間隙を存して平行に配設されており、ハンドリング部４２を把持した手や浸漬移動機構１７のフックが、ワークセット部３１のワークＷに干渉しないようにワークＷをプロテクトしている。また、一対の連結隔板３４，３４は、矩形枠状に組み上げられたマガジン本体３０の補強部材としても機能している。これにより、ワークマガジン１１は、軽量ながら十分な剛性（強度）を有している。
【００３９】
一方、各支持ロッド３５は、細い丸棒で構成されており、ワークセット部３１において、各ワーク支持板３２の下部近傍にこれと平行に配設されている。各支持ロッド３５の端部は、各連結板３３の下部内面に固着した補強パッチ４６を介して連結板３３に固定されている。そして、一対の支持ロッド３５，３５は、ワークセット部３１に挿入セットした各ワークＷを下側から抜け落ちないように支持する。この場合、各ワークＷの支持を一対の支持ロッド３５，３５で行うことで、底板を廃した構造にしているため、ワークマガジン１１の底に塵埃が堆積することがなく、ワークＷへの塵埃の付着を有効に防止することができる。また、ワークマガジン１１をワーク処理槽５から引き上げたときに、処理溶液の水切り性が良好になる。
【００４０】
図６（前後を反転して描いている）ないし図８に示すように、マガジントレイ１２は、２個のワークマガジン１１，１１が横並びに搭載される厚板状のトレイベース５１と、トレイベース５１の左右両端部（長辺方向両端部）に取り付けた手持ちのための一対のハンドル５２，５２と、トレイベース５１上に設けられ、２個のワークマガジン１１，１１を位置決めするための複数の位置決め片５３と、で構成されている。各ハンドル５２は、トレイベース５１の端部に立設するように取り付けられており、前後方向に水平に延在する手持ち部５２ａを中間に位置させて、逆「Ｕ」字状に屈曲形成され、且つ手持ち部５２ａを含む上部が外側に屈曲した形状を有している。オペレータは、トレイベース５１上の２個のワークマガジン１１，１１を搭載し、左右の両手持ち部５２ａ，５２ａを把持してマガジントレイ１２を持ち運びし、マガジンセット機構１６に対し、マガジントレイ１２を介してワーク（ワークマガジン１１）Ｗを徐給材する（図１参照）。
【００４１】
トレイベース５１は、２個のワークマガジン１１，１１を支持する長方形の外枠部５４と、外枠部５４の内側において短辺方向に渡すように配置した２つ（複数）の中間桟部５５，５５と、で一体に形成されている。すなわち、トレイベース５１には、前後方向（短辺方向）に延びる２つの中間桟部５５，５５により、左部切欠き開口５６、中間部切欠き開口５７および右部切欠き開口５８が形成されている。この場合も、ワークマガジン１１と同様に、各切欠き開口５６，５７，５８によりトレイベース５１に塵埃が堆積し難く、ワークＷへの塵埃の付着を有効に防止することができる。
【００４２】
また、トレイベース５１の後縁部には、長辺方向の中間位置を僅かに外れた位置（右寄りの位置）に、「Ｕ」字状の係合溝（係合部）５９が形成されている。係合溝は、トレイベース５１の長辺に対し「Ｕ」字状に切り込んだ溝であり、マガジントレイ１２を後述するセットテーブル６４に適切にセットした状態で、セットテーブル６４に突設した係合ピン７４に係合するようになっている（詳細は、後述する。）。
【００４３】
一方、複数の位置決め片５３は、いずれも樹脂製の矩形小ブロックで形成されており、２個のワークマガジン１１の左右方向を位置決めする短尺の６個の左右位置決め片５３ａと、前後方向を位置決めする長尺の４個の前後位置決め片５３ｂと、で構成されている。６個の左右位置決め片５３ａは、前後に位置する２個を１組として３組設けられており、中間の１組は、両ワークマガジン１１，１１に対し兼用のものとなっている。すなわち、中間に位置する一対（１組）の左右位置決め片５３ａは、両ワークマガジン１１，１１の離間距離をも位置規制している。また、４個の前後位置決め片５３ｂは、前後に位置する２個を１組とし、２個のワークマガジン１１，１１に対応して２組設けられている。
【００４４】
このように構成された複数の位置決め片５３により、マガジントレイ１２に位置決め状態で搭載された各ワークマガジン１１は、その一対の連結板３３，３３の部分で、トレイベース５１の長辺部分に支持される。すなわち、各ワークマガジン１１は、一対の連結板３３，３３の部分を除いて主要部分が、左部切欠き開口５６、中間部切欠き開口５７および右部切欠き開口５８の直上部に位置するように、マガジントレイ１２に搭載される。これにより、上方から降ってくる塵埃は、ワークマガジン１１およびマガジントレイ１２を通過して、マガジンセット機構１６に捕捉される（詳細は後述する）。
【００４５】
図６および図９に示すように、マガジンセット機構１６は、矩形のベースプレート６１と、ベースプレート６１の四隅に設けられ、脚部を構成する４つのアジャストボルト６２と、ベースプレート６１の四隅に立設した４本の支柱６３と、４本の支柱６３に支持され、ベースプレート６１と平行に配設したセットテーブル６４と、４本の支柱６３の内側に位置してベースプレート６１上に搭載した塵埃パン６５と、を備えている。機台３上に載置されたマガジンセット機構１６は、４つのアジャストボルト６２により、セットされた２個のワークマガジン（ワークＷ）１１が水平になるように高さ調整される。
【００４６】
また、セットテーブル６４の左右の後端部には、セットテーブル６４上の２個のワークマガジン１１，１１の有無を検出する左右一対のマガジンセンサ６７，６７が、それぞれＬ字アーム６８を介して取り付けられている。さらに、セットテーブル６４の後端部の中央には、セットテーブル６４上のマガジントレイ１２の有無を検出するトレイセンサ６９が支持金具７０を介して取り付けられている。この場合も、両マガジンセンサ６７，６７およびトレイセンサ６９は、制御装置９に接続されており、２個のワークマガジン１１，１１の有無、およびマガジントレイ１２の有無が検出される。そして、この検出結果により、浸漬処理装置１の起動をキャンセルし或いは警報を発するようにしている。
【００４７】
セットテーブル６４は、厚板状の部材で四周枠状に形成され、四隅には、マガジントレイ１２を位置決めするための４つのＬ字ブロック（位置決めブロック）７２が固定されている。セットテーブル６４は、ベースプレート６１と略同一の外形（矩形）を有し、且つマガジントレイ１２のトレイベース５１より一回り大きく形成されている。四周枠状のセットテーブル６４に対し、マガジントレイ１２を４つのＬ字ブロック７２に位置決めして載置すると、マガジントレイ１２は、セットテーブル６４の周縁部に支持される。すなわち、セットテーブル６４にマガジントレイ１２を搭載すると、セットテーブル６４の内側空間７３の直上部に、マガジントレイ１２の左部切欠き開口５６、中間部切欠き開口５７および右部切欠き開口５８が位置するようになっている。
【００４８】
一方、セットテーブル６４の後縁部には、長辺方向の中間位置を僅かに外れた位置（右寄りの位置）に、上記の係合溝５９に係合する係合ピン７４が立設されている（図９参照）。マガジントレイ１２を、マガジンセット機構（セットテーブル６４）１６にセットする場合には、セットテーブル６４の係合ピン７４にマガジントレイ１２の係合溝５９を位置合わせして、セットする。その際、マガジントレイ１２を、前後を誤ってマガジンセット機構１６にセットしようとすると、マガジントレイ１２が係合ピン７４に乗り上げてセット不良となる。すなわち、係合溝５９および係合ピン７４により、オペレータが、マガジントレイ１２を前後を誤ってマガジンセット機構１６にセットしてしまうのを防止している。本実施形態の浸漬処理装置１では、各ワークマガジン１１に収容したワークＷの浸漬履歴を残すため、２個のワークマガジン（ワークＷ）１１の浸漬手順が決められており、マガジントレイ１２をマガジンセット機構１６に適切にセットすることが必要になる。
【００４９】
塵埃パン６５は、主体を為す平坦な底板６５ａと、底板６５ａの縁部から四周に亘って立ち上がった周側板６５ｂと、で一体に形成されており、セットテーブル（の内側空間７３）６４の直下に位置してベースプレート６１上に着座している。これにより、上方から降ってくる塵埃は、ワークマガジン１１およびマガジントレイ１２を通過して、この塵埃パン６５に捕捉される。一方、塵埃パン６５の周側板６５ｂは、装置カバー６内の換気により発生する気流に対し風除けとして機能し、堆積した塵埃の飛散を防止する。そして、塵埃パン６５は、適宜装置外部に持ち出されて塵埃が除去清掃される。
【００５０】
以上のように、本実施形態のマガジントレイ１２によれば、トレイベース５１が、外枠部５４と中間桟部５５とで構成されているため、トレイベース５１上に塵埃が堆積するのを極力防止することができ、ワークＷへの塵埃の付着を有効に防止することができる。また、外枠部５４により、２個のワークマガジン１１，１１を支持するようにしているため、オペレータがワークマガジン１１およびワークＷに触れることなく、これを運搬することができる。同様に、マガジンセット機構１６は、そのセットテーブル６４が周枠状に形成されているため、セットテーブル６４上に塵埃が堆積するのを防止することができ、マガジントレイ１２を介して、セットしたワークＷに塵埃が付着するのを防止することができる。さらに、セットテーブル６４の下方に配設した塵埃パン６５により、ワークマガジン１１やマガジントレイ１２から落下する塵埃を適切に捕捉することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施形態に係る浸漬処理装置の正面側から見た外観斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る浸漬処理装置の背面側から見た外観斜視図である。
【図３】ワークマガジンの上側から見た斜視図である。
【図４】ワークマガジンの下側から見た斜視図である。
【図５】ワークマガジンと浸漬移動機構との関係を示す斜視図である。
【図６】セット状態におけるワークマガジン、マガジントレイおよびマガジンセット機構の前後を逆にした斜視図である。
【図７】マガジントレイの上側から見た斜視図である。
【図８】マガジントレイの下側から見た斜視図である。
【図９】マガジンセット機構の斜視図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  浸漬処理装置、４  処理装置本体、５  ワーク処理槽、９  制御装置、１１  ワークマガジン、１２  マガジントレイ、１５  ワーク徐給材部、１６  マガジンセット機構、１７  浸漬移動機構、５１  トレイベース、５２  ハンドル、５３  位置決め片、５４  外枠部、５５  中間桟部、５９  係合溝、６１  ベースプレート、６４  セットテーブル、６５  塵埃パン、６７  マガジンセンサ、６９  トレイセンサ、７２  Ｌ字ブロック、７４  係合ピン、Ｗ  ワーク
【図１】
2009189977.tif 000003
【図２】
2009189977.tif 000004
【図３】
2009189977.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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