(57)【要約】      （修正有）【課題】撥液性、耐久性の極めて高い撥液層を供えたノズル板を提供すること。また、これを用いたヘッド、それを用いた液体吐出装置および方法を提供する。【解決手段】ノズル３１から液滴を吐出する液体吐出装置用ヘッドのノズル板３０において、ノズル形成部材のインク吐出面側にフィラーを含有した撥液層９０を具備した液体吐出装置用ヘッドのノズル板。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから液滴を吐出する液体吐出装置用ヘッドのノズル板において、ノズル形成部材のインク吐出面側にフィラーを含有した撥液層を具備したことを特徴とする液体吐出装置用ヘッドのノズル板。
【請求項２】
前記フィラーがシリカ粒子であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置用ヘッドのノズル板。
【請求項３】
前記撥液層がシリコーン樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置用ヘッドのノズル板。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のノズル板を用いたことを特徴とする液体吐出装置用ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載のヘッドを用いたことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項６】
吐出される液体がインクジェット用インクであり、このインクを、請求項５に記載の液体吐出装置にて吐出することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項７】
吐出液体である前記インクが、色材として顔料を含有していることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録装置。
【請求項８】
吐出液体である前記インク中に樹脂微粒子を含有していることを特徴とする請求項６又は７に記載のインクジェット記録装置。
【請求項９】
請求項５に記載の液体吐出装置を用いたことを特徴とする液体吐出方法。
【請求項１０】
吐出される液体がインクジェット用インクであり、このインクを、請求項９に記載の液体吐出方法にて吐出することを特徴とするインクジェット記録方法。
【請求項１１】
吐出液体であるインク中に樹脂微粒子を含有していることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェット記録方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出装置用ヘッドのノズル板、それを用いた液体吐出装置／方法、特にインクジェット記録装置／方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、これらの複合機、プロッタ等の各種画像形成装置、その他各種パターニング装置として使用されている液体流路を加圧してヘッドから液滴を吐出させる液体吐出装置において、ノズルの周囲表面に吐出液体の濡れが生じると、吐出液滴の飛翔方向にずれが生じるため、また、ノズル面のワイピング不良が生じるためなどの理由から、ノズル表面は撥液性を付与されているのが一般的である。
撥液層としては、Ｎｉ／ＰＴＦＥ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着したもの、シリコーン系樹脂・フッ素系樹脂を塗布したもの等が挙げられる。
一方、液体吐出装置は、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、これらの複合機、プロッタ等の各種画像形成装置をはじめ、その他各種パターニング装置としての利用が益々活発になり、種々の物性（表面張力、粘度等）の吐出液体にも対応できることが求められるようになっている。
たとえば、インクジェットプリンタにおいては、最近のインクはさらなる高画質、高耐久性が求められ、表面張力を下げ媒体である紙への浸透性を上げて発色性を上げる、色材を顔料として画像耐光性、耐水性を上げる、樹脂を添加して画像定着性を上げる等の種々の改良が行なわれており、これらのインクを安定して使えるような高撥インク性、高耐久性のノズル板が必要とされている。特に耐久性への要求が非常に厳しく、従来よりもさらに多くのワイピング動作にも十分な耐久性のある撥インク性を備えたノズル板が求められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたもので、撥液性、耐久性の極めて高い撥液層を供えたノズル板を提供し、これを用いたヘッド、また、それを用いた液体吐出装置および方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題は、以下の本発明によって解決される。
（１）「ノズルから液滴を吐出する液体吐出装置用ヘッドのノズル板において、ノズル形成部材のインク吐出面側にフィラーを含有した撥液層を具備したことを特徴とする液体吐出装置用ヘッドのノズル板」、
（２）「前記フィラーがシリカ粒子であることを特徴とする前記第（１）項に記載の液体吐出装置用ヘッドのノズル板」、
（３）「前記撥液層がシリコーン樹脂であることを特徴とする前記第（１）項に記載の液体吐出装置用ヘッドのノズル板」、
（４）「前記第（１）項乃至第（３）項のいずれかに記載のノズル板を用いたことを特徴とする液体吐出装置用ヘッド」、
（５）「前記第（４）項に記載のヘッドを用いたことを特徴とする液体吐出装置」、
（６）「吐出される液体がインクジェット用インクであり、このインクを、前記第（５）項に記載の液体吐出装置にて吐出することを特徴とするインクジェット記録装置」、
（７）「吐出液体である前記インクが、色材として顔料を含有していることを特徴とする前記第（６）項に記載のインクジェット記録装置」、
（８）「吐出液体である前記インク中に樹脂微粒子を含有していることを特徴とする前記第（６）項又は第（７）項に記載のインクジェット記録装置」、
（９）「前記第（５）項に記載の液体吐出装置を用いたことを特徴とする液体吐出方法」、
（１０）「吐出される液体がインクジェット用インクであり、このインクを、前記第（９）項に記載の液体吐出方法にて吐出することを特徴とするインクジェット記録方法」、
（１１）「吐出液体であるインク中に樹脂微粒子を含有していることを特徴とする前記第（１０）項に記載のインクジェット記録方法」。
【発明の効果】
【０００５】
本発明の上記第（１）項記載の技術により、撥液性、耐久性を兼ね備えた液体吐出装置用ノズル板が提供でき、第（２）項記載の事項により、特に高耐久化が効果的に達成され、第（３）項により、特に撥液性を維持した上での高耐久化が効果的に達成され、第（４）項により、撥液性、耐久性の極めて高い撥液層を供えた液体吐出装置用ヘッドが提供でき、第（５）項により、充填性、吐出安定性、信頼性を兼ね備えた液体吐出装置が提供でき、第（６）項及び第（９）項により、充填性、吐出安定性、信頼性を兼ね備えたインクジェット記録装置およびインクジェット記録方法が提供でき、インクに顔料を含有している場合耐久性に問題があったが、第（７）項及び第（１０）項により、十分な耐久性向上効果が得られ、また、インクに樹脂微粒子を含有している場合耐久性に問題があったが、第（８）項及び第（１１）項により、十分な耐久性向上効果が得られた。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明を詳細に説明する。
ノズルから液滴を吐出する液体吐出装置用ヘッドのノズル板において、撥液層にフィラーを含有させることにより、前記目的を達成できることを見い出した。
すなわち、ノズルから液滴を吐出する液体吐出装置用ヘッドのノズル板において、ノズル形成部材の液体吐出面側にフィラーを含有した撥液層を具備したノズル板、ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出方法を見い出した。
特にフィラーがシリカ粒子である場合、撥液層がシリコーン樹脂であるときに効果的である。
本発明の好例はインクジェット記録装置であり、吐出液体であるインクが色材として顔料、樹脂微粒子などの粒子成分を含有している場合には、ワイピングによる撥インク層へのダメージが大きいため、本発明が効果的となる。
【０００７】
なお、特開平８−１７４８５０号公報では、撥インク性物質を含有する樹脂からなる被覆層に帯電防止の目的で導電性フィラーが充填されている例があるが、本発明では撥液層の撥液性および吐出液体との相互作用も含めた耐久性を向上させるために、それに適したフィラーを添加するものであり、導電性機能に関係なくフィラーを用いるものである。
また、樹脂などにフィラーを添加して強度を増加させるなどの技術は一般的には公知であるが、撥液層のように薄膜状のものに、しかも撥液機能を維持した上でフィラーを添加して、前記目的を充分に達成する結果を得るのは一般的には困難である。これに対して本発明では、フィラー材料種、形状、大きさ、表面性などを検討し、撥液機能を維持した上で、または撥液機能も向上させて、さらに機械的な耐久性も向上させることが可能となった。
【０００８】
本発明に用いる撥液層に含有させるフィラーであるが、上記目的を達成するものである限り、特に限定されるものではない。
フィラーには金属、セラミックス微粒子などの無機フィラーと樹脂微粒子などの有機フィラー、および有機／無機ハイブリッドタイプなどがある。
無機フィラーとしては、たとえば、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｗ２Ｏ３、ＳｎＯ２、ＺｎＯ、ＢａＳＯ４、ＭｎＯ２、Ｍｏ２Ｏ３などの酸化物粉体、その他窒素化合物、炭素化合物、ガラス繊維などが挙げられる。
有機物フィラーとしては、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ポリエーテルケトン、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリイミド樹脂などが挙げられる。フィラーの形状は球形のものから不定形のものまで様々であるが、撥液層が薄い場合には、球形よりも燐片状などが好ましい場合もある。これらフィラーは単独で又は複数種併用して用いることができる。フィラーの撥液層への含有量は、撥液層にもよるが、０．１〜５０重量％が好ましい。含有量が０．１％より少ないと耐久性向上効果が少なく、５０％より多いと本来の撥液性に悪影響するなどの副作用が考えられる。
【０００９】
無機フィラーは後述する樹脂から構成された撥液層に含有させる場合、比重が大きいために均一に分散させることが難しい場合があるが、フィラー粒子を表面処理することによって分散安定化させることも可能である。フィラーの表面処理は、シランカップリング剤処理など一般的な方法を用いることができる。
【００１０】
一方、有機フィラーは撥液層を構成する樹脂と比重が近いため、均一に含有させ易いが、硬度という点から考えると、機械的耐久性向上効果では若干無機フィラーに劣る場合もある。また、撥インク層の厚みが１μｍ以下のように薄い場合、フィラー粒子径も小粒径が求められるため、１μｍ以下の微粒子ということでは、無機フィラーの方が選択の幅が多くなる。本発明で用いるフィラーの粒径は、撥インク層との組み合わせもあり一概に言えないが、０．０１〜１０μｍ程度であることが好ましい。
このような中で、無機フィラーのＳｉＯ２（シリカ）粒子は、多種多様のものがあり選択の幅が大きく、また、後述するシリコーン樹脂を撥液層とする場合に、撥液性を損なわずに耐久性を向上する効果が非常に高い。而して、複数のシリカフィラー同士を好ましく併用することができ、また、他のフィラーと併用することもできる。他のフィラーと併用する場合、全フィラー中でシリカフィラーは過半数量であることが好ましい。
【００１１】
本発明の液体吐出装置の一例として、インクジェット記録装置について説明する。
インクジェット記録装置は、インクジェットヘッドとして、インク流路内のインクを加圧する圧力発生手段として圧電素子を用いてインク流路の壁面を形成する振動板を変形させてインク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させるいわゆるピエゾ型のもの（特開平２−５１７３４号公報参照）、あるいは、発熱抵抗体を用いてインク流路内で熱エネルギーでインクを加熱して気泡を発生させるいわゆるサーマル型のもの（特開昭６１−５９９１１号公報参照）、インク流路の壁面を形成する振動板と電極とを対向配置し、振動板と電極との間に発生させる静電力によって振動板を変形させることで、インク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させる静電型のもの（特開平６−７１８８２号公報参照）などいずれの場合も含まれる。
特に、振動板を変形させるピエゾ型のもの、熱エネルギーで吐出させるサーマル型のものが効果的である。
【００１２】
図１に示すインクジェット記録装置は、装置本体（１０１）と、装置本体（１０１）に装着した用紙を装填するための給紙トレイ（１０２）と装置本体（１０１）に装着され画像が記録（形成）された用紙をストックするための排紙トレイ（１０３）とを備えている。そして装置本体（１０１）の上カバー（１１１）の上面は略平坦な面であり、装置本体（１０１）の前カバーの前面（１１２）が上面に対して斜め後方に傾斜し、この傾斜した前面（１１２）の下方側に、前方（手前側）に突き出した排紙トレイ（１０３）および給紙トレイ（１０２）を備えている。さらに、前面（１１２）の端部側には、前面（１１２）から前方側に突き出し、上カバー（１１１）よりも低くなった箇所にインクカートリッジ装填部（１０４）を有し、このインクカートリッジ装填部（１０４）の上面に操作キーや表示器などの操作部（１０５）を配置している。このインクカートリッジ装填部（１０４）にはインクカートリッジの脱着を行なうための開閉可能な前カバー（１１５）を有している。
【００１３】
装置本体（１０１）内には、図２及び図３に示すように、図示を省略している左右の側板に横架したガイド部材であるガイドロッド（１３１）とステー（１３２）とでキャリッジ（１３３）を主走査方向に摺動自在に保持し、主走査モータ（不図示）によって図３で矢示方向に移動走査する。
【００１４】
キャリッジ（１３３）には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色の記録用インク滴を吐出する４個のインクジェット記録用ヘッドからなる記録ヘッド（１３４）を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
記録ヘッド（１３４）を構成するインクジェット記録用ヘッドとしては、圧電素子などの圧電アクチュエータ、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマルアクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータなどを記録用インクを吐出するためのエネルギー発生手段として備えたものなどを使用できる。
ヘッドのインク吐出部であるノズル面には、吐出安定性、ワイピング性向上のため、Ｎｉ／ＰＴＦＥ共析、シリコーン樹脂、フッ素系撥水付与剤により形成された層が設けられている。本発明ではこの撥インク層がシリコーン樹脂により形成されている場合にも非常に効果的である。フッ素系撥水性付与剤は、一般的に、より高価で、かつ、場合により高温焼付けを要するという難点はあるものの、反面、形成された撥水膜は非常に耐久性が高いという利点がある。
【００１５】
シリコーン樹脂は、ＳｉとＯからできたシロキサン結合を基本骨格とし、側鎖に有機基を有するオルガノポリシロキサン部位を含むが、アルキルシリコーン樹脂（ジメチルシリコーン樹脂、ヒドロキシ基等の活性水素基（又は水分により加水分解して該活性水素基を生じるアルコキシ基、クロロ基等）を幾分含む架橋性のメチルシリコーン樹脂等）、アルキルアリールシリコーン樹脂（メチル−フェニルシリコーン樹脂、ヒドロキシ基等の活性水素基（又は水分により加水分解して該活性水素基を生じるアルコキシ基、クロロ基）を幾分含む架橋性のメチル−フェニルシリコーン樹脂等）を、好ましく用いることができる。シリコーン樹脂層を形成する方法としては、塗布法、電着法などが挙げられるが、特に限定されるものではない。シリコーン樹脂層を形成する際、電着法以外ではノズル板裏面などシリコーン層を形成しない部分はフォトレジスト、水溶性樹脂等でマスキングし、シリコーン樹脂層形成後、レジストを剥離除去すれば目的の部分にのみシリコーン層を形成することができる。シリコーン層の厚みは、０．１〜５．０μｍ程度が好ましく、特にノズル径精度等を考慮すると０．３〜２．０μｍが好ましい。この場合、含有させるフィラーの平均粒径は０．０１〜１．０μｍ程度が好ましい。フィラーを撥インク層中に含有させるには、シリコーン樹脂の塗布液、電着液中にフィラーを分散させて、撥インク層形成時に同時にフィラーを入れ込むなどの方法が挙げられる。フィラーの分散には、必要に応じて界面活性剤、樹脂などの分散剤を用いても良い。
【００１６】
キャリッジ（１３３）には、記録ヘッド（１３４）に各色のインクを供給するための各色のサブタンク（１３５）を搭載している。サブタンク（１３５）には、図示しない記録用インク供給チューブを介して、インクカートリッジ装填部（１０５）に装填されたインクカートリッジからインクが供給されて補充される。
【００１７】
一方、給紙トレイ（１０２）の用紙積載部（圧板）（１４１）上に積載した用紙（１４２）を給紙するための給紙部として、用紙積載部（１４１）から用紙（１４２）を１枚づつ分離給送する半月コロ（給紙コロ１４３）、及び給紙コロ（１４３）に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド（１４４）を備え、この分離パッド（１４４）は給紙コロ（１４３）側に付勢されている。
【００１８】
この給紙部から給紙された用紙（１４２）を記録ヘッド（１３４）の下方側で搬送するための搬送部として、用紙（１４２）を静電吸着して搬送するための搬送ベルト（１５１）と、給紙部からガイド（１４５）を介して送られる用紙（１４２）を搬送ベルト（１５１）との間で挟んで搬送するためのカウンタローラ（１５２）と、略鉛直上方に送られる用紙（１４２）を略９０°方向転換させて搬送ベルト（１５１）上に倣わせるための搬送ガイド（１５３）と、押さえ部材（１５４）で搬送ベルト（１５１）側に付勢された先端加圧コロ（１５５）とが備えられ、また、搬送ベルト（１５１）表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ（１５６）が備えられている。
【００１９】
搬送ベルト（１５１）は、無端状ベルトであり、搬送ローラ（１５７）とテンションローラ（１５８）との間に張架されて、ベルト搬送方向に周回可能である。この搬送ベルト（１５１）は、例えば、抵抗制御を行なっていない厚さ４０μｍ程度の樹脂材、例えば、テトラフルオロエチレンとエチレンの共重合体（ＥＴＦＥ）で形成した用紙吸着面となる表層と、この表層と同材質でカーボンによる抵抗制御を行なった裏層（中抵抗層、アース層）とを有している。搬送ベルト（１５１）の裏側には、記録ヘッド（１３４）による印写領域に対応してガイド部材（１６１）が配置されている。なお、記録ヘッド（１３４）で記録された用紙（１４２）を排紙するための排紙部として、搬送ベルト（１５１）から用紙（１４２）を分離するための分離爪（１７１）と、排紙ローラ（１７２）及び排紙コロ（１７３）とが備えられており、排紙ローラ（１７２）の下方に排紙トレイ（１０３）が配されている。
【００２０】
装置本体（１０１）の背面部には、両面給紙ユニット（１８１）が着脱自在に装着されている。両面給紙ユニット（１８１）は、搬送ベルト（１５１）の逆方向回転で戻される用紙（１４２）を取り込んで反転させて再度カウンタローラ（１５２）と搬送ベルト（１５１）との間に給紙する。なお、両面給紙ユニット（１８１）の上面には手差し給紙部（１８２）が設けられている。
【００２１】
このように構成したインクジェット記録装置においては、給紙部から用紙（１４２）が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙（１４２）はガイド（１４５）で案内され、搬送ベルト（１５１）とカウンターローラ（１５２）との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド（１５３）で案内されて先端加圧コロ（１５５）で搬送ベルト（１５１）に押しつけられ、略９０°搬送方向を転換される。
この時、帯電ローラ（１５６）によって搬送ベルト（１５１）が帯電されており、用紙（１４２）は搬送ベルト（１５１）に静電吸着されて搬送される。そこで、キャリッジ（１３３）を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド（１３４）を駆動することにより、停止している用紙（１４２）にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙（１４２）を所定量搬送後、次の行の記録を行なう。記録終了信号または用紙（１４２）の後端が記録領域に到達した信号を受け取ることにより、記録動作を終了して、用紙（１４２）を排紙トレイ（１０３）に排紙する。
そしてサブタンク（１３５）内のインクの残量ニアーエンドが検知されると、インクカートリッジから所要量のインクがサブタンク（１３５）に補給される。
【００２２】
以下、本発明を適用したインクジェットヘッドについて示す。
図４は本発明を適用したインクジェットヘッドの要素拡大図、図５は同ヘッドのチャンネル間方向の要部拡大断面図である。
このインクジェットヘッドは、図示してないインク供給口（図４の表面方向から奥方向（紙の裏面方向）に向かってインクを供給する）と共通液室（１２）となる彫り込みを形成したフレーム（１０）と、流体抵抗部（２１）、加圧液室（２２）となる彫り込みとノズル（３１）に連通する連通口（２３）を形成した流路板（２０）と、ノズル（３１）を形成するノズル板（３０）と、凸部（６１）、ダイヤフラム部（６２）およびインク流入口（６３）を有する振動板（６０）と、振動板（６０）に接着層（７０）を介して接合された積層圧電素子（５０）と、積層圧電素子（５０）を固定しているベース（４０）を備えている。ベース（４０）はチタン酸バリウム系セラミックからなり、積層圧電素子（５０）を２列配置して接合している。
積層圧電素子（５０）は、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層（５１）と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層（５２）とを交互に積層している。内部電極層（５２）は両端で外部電極（５３）に接続する。
積層圧電素子（５０）はハーフカットのダイシング加工により櫛歯上に分割され、１つ毎に駆動部（５６）と支持部（５７）（非駆動部）として使用（図５）する。
２つの外部電極（５３）のうち一方（図の表面方向又は奥方向（紙の裏面方向）で内部電極層（５２）の一端に連なる）の外側端はハーフカットのダイシング加工で分割されるように、切り欠き等の加工により長さを制限しており、これらは複数の個別電極（５４）となる。他方はダイシングでは分割されずに導通しており、共通電極（５５）となる。
駆動部の個別電極（５４）にはＦＰＣ（８０）が半田接合されている。また、共通電極（５５）は積層圧電素子の端部に電極層を設けて回し込んでＦＰＣ（８０）のＧｎｄ電極に接合している。ＦＰＣ（８０）には図示しないドライバＩＣが実装されており、これにより駆動部（５６）への駆動電圧印加を制御している。
【００２３】
振動板（６０）は、薄膜のダイヤフラム部（６２）と、このダイヤフラム部（６２）の中央部に形成した駆動部（５６）となる積層圧電素子（５０）と接合する島状凸部（アイランド部）（６１）と、図示してない支持部に接合する梁を含む厚膜部と、インク流入口（６３）となる開口を電鋳工法によるＮｉメッキ膜を２層重ねて形成している。ダイヤフラム部の厚さは３μｍ、幅は３５μｍ（片側）である。
この振動板（６０）の島状凸部（６１）と積層圧電素子（５０）の可動部（５６）、振動板（６０）とフレーム（１０）の結合は、ギャップ材を含んだ接着層（７０）をパターニングして接着している。
【００２４】
流路板（２０）はシリコン単結晶基板を用いて、流体抵抗部（２１）、加圧液室（２２）となる彫り込み、およびノズル（３１）に対する位置に連通口（２３）となる貫通口をエッチング工法でパターニングした。
エッチングで残された部分が加圧液室（２２）の隔壁（２４）となる。また、このヘッドではエッチング幅を狭くする部分を設けて、これを流体抵抗部（２１）とした。
【００２５】
ノズル板（３０）は金属材料、例えば電鋳工法によるＮｉメッキ膜等で形成したもので、インク滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル（３１）を多数を形成している。このノズル（３１）の内部形状（内側形状）は、ホーン形状（略円柱形状又は略円錘台形状でもよい）に形成している。また、このノズル（３１）の径はインク滴出口側の直径で約２０〜３５μｍである。また各列のノズルピッチは１５０ｄｐｉとした。
このノズル板（３０）のインク吐出面（ノズル表面側）は、図示しない撥水性の表面処理を施した撥水処理層を設けている。ＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えば、フッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコーン系樹脂及びフッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。また、これらの中でも、例えば、フッ素系樹脂としては、色々な材料が知られているが、変性パーフルオロポリオキセタン（ダイキン工業株式会社製、商品名：オプツールＤＳＸ）を厚みが３０〜１００Åとなるように蒸着することで良好な撥水性を得ることができる。
インク供給口と共通液室（１２）となる彫り込みを形成するフレーム（１０）は樹脂成形で作製している。
【００２６】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、記録信号に応じて駆動部（５６）に駆動波形（１０〜５０Ｖのパルス電圧）を印加することによって、駆動部（５６）に積層方向の変位が生起し、ノズル板（３０）を介して加圧液室（２２）が加圧されて圧力が上昇し、ノズル（３１）からインク滴が吐出される。
その後、インク滴吐出の終了に伴い、加圧液室（２２）内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって加圧液室（２２）内に負圧が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、インクタンクから供給されたインクは共通液室（１２）に流入し、共通液室（１２）からインク流入口（６３）を経て流体抵抗部（２１）を通り、加圧液室（２２）内に充填される。
流体抵抗部（２１）は、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果がある反面、表面張力による最充填（リフィル）に対して抵抗になる。流体抵抗部を適宜に選択することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次のインク滴吐出動作に移行するまでの時間（駆動周期）を短くできる。
【００２７】
次に本発明で用いる吐出液体の一例であるインク組成物について説明する。
本発明のインク構成成分としては、たとえば、色材、湿潤剤、水溶性有機溶剤、界面活性剤、その他添加剤（防腐防黴剤、防錆剤、水溶性紫外線吸収剤、水溶性赤外線吸収剤、ｐＨ調整剤等）、樹脂等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
まず色材としては、従来公知のものであれば使用することができるが、本発明では特に顔料インクの場合に効果的である。
【００２８】
顔料としては、無機顔料として、酸化チタン及び酸化鉄、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、水酸化アルミニウム、バリウムイエロー、カドミウムレッド、クロムイエローに加え、コンタクト法、ファーネス法、サーマル法などの公知の方法によって製造されたカーボンブラックを使用することができる。
また、有機顔料としては、アゾ顔料（アゾレーキ、不溶性アゾ顔料、縮合アゾ顔料、キレートアゾ顔料などを含む）、多環式顔料（例えば、フタロシアニン顔料、ぺリレン顔料、ぺリノン顔料、アントラキノン顔料、キナクリドン顔料、ジオキサジン顔料、インジゴ顔料、チオインジゴ顔料、イソインドリノン顔料、キノフラロン顔料など）、染料キレート（例えば、塩基性染料型キレート、酸性染料型キレートなど）、ニトロ顔料、ニトロソ顔料、アニリンブラックなどを使用できる。
これらの顔料のうち、溶媒と親和性の良いものが好ましく用いられる。インク組成物中の色材としての顔料の添加量は、０．５〜２５重量％程度が好ましく、より好ましくは２〜１５重量％程度である。一般に顔料濃度が高くなると画像濃度が上がり画質が向上するが、定着性や吐出安定性、目詰まり等の信頼性に対しては悪影響が出易くなる。
【００２９】
本発明において好ましく用いられる顔料の具体例として、黒色用としては、ファーネスブラック、ランプブラック、アセチレンブラック、チャンネルブラック等のカーボンブラック（Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７）類、または銅、鉄（Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１１）、酸化チタン等の金属類、アニリンブラック（Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１）等の有機顔料が挙げられる。
さらに、カラー用としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１７、２４、３４、３５、３７、４２（黄色酸化鉄）、５３、５５、８１、８３、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、４０８、１０９、１１０、１１７、１２０、１３８、１５０、１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５、１３、１６、１７、３６、４３、５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、５、１７、２２、２３、３１、３８、４８：２、４８：２（パーマネントレッド２Ｂ（Ｃａ））、４８：３、４８：４、４９：１、５２：２、５３：１、５７：１（ブリリアントカーミン６Ｂ）、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１、８３、８８、１０１（べんがら）、１０４、１０５、１０６、１０８（カドミウムレッド）、１１２、１１４、１２２（キナクリドンマゼンタ）、１２３、１４６、１４９、１６６、１６８、１７０、１７２、１７７、１７８、１７９、１８５、１９０、１９３、２０９、２１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１（ローダミンレーキ）、３、５：１、１６、１９、２３、３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、２、１５（フタロシアニンブルー）、１５：１、１５：２、１５：３（フタロシアニンブルー）、１６、１７：１、５６、６０、６３、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１、４、７、８、１０、１７、１８、３６、等がある。
【００３０】
その他、顔料（例えばカーボン）の表面にスルホン基やカルボキシル基等の官能基を付加し水中に分散可能とした自己分散顔料等が使用できる。また、顔料をマイクロカプセルに包含させ、該顔料を水中に分散可能なものとしたものであっても良い。これは、顔料粒子を含有させた樹脂微粒子と言い換えることができる。この場合、インクに配合される顔料はすべて樹脂微粒子に封入または吸着されている必要はなく、本発明の効果が損なわれない範囲において、該顔料がインク中に分散していてもよい。
【００３１】
顔料の粒径については特に制限は無いが、最大個数換算で最大頻度が２０〜１５０ｎｍの粒径の顔料インクを用いることが本発明では好ましい。粒径が１５０ｎｍを超えると、インク組成物としての顔料分散安定性が悪くなるばかりでなく、吐出安定性も劣化し、画像濃度などの画像品質も低くなり好ましくない。粒径が２０ｎｍ未満では、インク組成物の保存安定性、プリンタでの噴射特性は安定するが、そのように細かな粒径にまで分散せしめるのは、分散操作や、分級操作が複雑となり、経済的に記録液を製造することが困難となる。分散剤を用いて顔料を分散する場合には、従来公知のものであれば使用することができる。たとえば、高分子分散剤、水溶性界面活性剤などが挙げられる。
【００３２】
次に湿潤剤、水溶性有機溶剤についてだが、これらはインクを所望の物性にするため、インクの乾燥を防止するため、またインクの溶解安定性を向上させるため等の目的で必要に応じて使用することができる。
水溶性有機溶媒としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコーノレ、ポリプロピレングリコール、１，５ペンタンジオール、１，６へキサンジオール、グリセリン、１，２，６−へキサントリオール、１，２，４−ブタントリオール、１，２，３−ブタントリオール、ペトリオール等の多価アルコール類、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル類、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノベンジルエーテル等の多価アルコールアリールエーテル類、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−ヒドロキシエチル−２−ピロリドン、２−ピロリドン、１，３−ジメチルイミダゾリジノン、ε−カプローラクタム等の含窒素複素環化合物、ホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等のアミド類、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン等のアミン類、ジメチルスルホキシド、スルホラン、チオジエタノール等の含硫黄化合物類、プロピレンカーボネート、炭酸エチレン、γ−ブチローラクトン等を用いることができる。
【００３３】
次に界面活性剤であるが、これは色材の分散安定化を行なったり、インクの表面張力を調整して被記録材に対する浸透性を改良し、またインクジェットプリンタのヘッド部材に対するインクの濡れ性を向上させることによりインクの吐出安定性を改良する等の目的で必要に応じて添加することができる。
特に、フッ素系界面活性剤を用いるとインクの表面張力を下げて紙への濡れ性が上がり発色性を向上させる効果が大きいが、一方ではノズル板の撥インク性を確保するのが難しく、耐久性を維持するのも難しいので、本発明の効果がより顕著に現れる。
【００３４】
フッ素系界面活性剤の例としては、パーフルオロアルキルスルホン酸塩、パーフルオロアルキルカルボン酸塩、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルエチレンオキサイド付加物、パーフルオロアルキルベタイン、パーフルオロアルキルアミンオキサイド化合物等が挙げられる。
フッ素系化合物として市販されているものを挙げると、サーフロンＳ−１１１，Ｓ−１１２，Ｓ−１１３，Ｓ１２１，Ｓ１３１，Ｓ１３２，Ｓ−１４１，Ｓ−１４５（旭硝子社製）、フルラードＦＣ−９３，ＦＣ−９５，ＦＣ−９８，ＦＣ−１２９，ＦＣ−１３５，ＦＣ−１７０Ｃ，ＦＣ−４３０，ＦＣ−４３１，ＦＣ−４４３０（住友スリーエム社製），メガファックＦ−４７０，Ｆ−１４０５，Ｆ４７４（大日本インク化学工業社製）、ゾニールＦＳ−３００，ＦＳＮ，ＦＳＮ−１００，ＦＳＯ（デュポン社製）、エフトップＥＦ−３５１，３５２，８０１，８０２（ジェムコ社製）等が簡単に入手でき本発明に用いることができる。
この中でも特に信頼性と発色向上に関して良好なゾニールＦＳ−３００，ＦＳＮ，ＦＳＮ−１００，ＦＳＯ（デュポン社製）が好適に使用できる。これら市販のものは、数種類の分子量のものの混合物であることが多いが、本発明の効果においては問題なく認められる。
これらは、単独または二種以上を混合して用いることも可能で、また、後述するアニオン系、カチオン系、ノニオン系等の各種界面活性剤と混合して用いることも可能である。
【００３５】
本発明はフッ素系界面活性剤に限定されたものではなく、通常の炭化水素系界面活性剤等にも適応されるものである、これら界面活性剤を界面活性機能部位から分類すると、アニオン系、カチオン系、ノニオン系、両性界面活性剤に分類できる。
【００３６】
例えばアニオン界面活性剤としてはアルキルアリル又はアルキルナフタレンスルホン酸塩、アルキルリン酸塩、アルキル硫酸塩、アルキルスルホン酸塩、アルキルエーテル硫酸塩、アルキルスルホコハク酸塩、アルキルエステル硫酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸塩、アルキルアリールエーテルリン酸塩、アルキルアリールエーテル硫酸塩、アルキルアリールエーテルエステル硫酸塩、オレフィンスルホン酸塩、アルカンオレフィンスルホン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸エステル塩、エーテルカルボキシレート、スルホコハク酸塩、α−スルホ脂肪酸エステル、脂肪酸塩、高級脂肪酸とアミノ酸の縮合物、ナフテン酸塩等がある。
【００３７】
カチオン界面活性剤としてはアルキルアミン塩、ジアルキルアミン塩、脂肪族アミン塩、ベンザルコニウム塩、第４級アンモニウム塩、アルキルピリジニウム塩、イミダゾリニウム塩、スルホニウム塩、ホスホニウム塩等がある。
【００３８】
ノニオン系界面活性剤としてはポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレングリコールエステル、ポリオキシエチレン脂肪酸アミド、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール、グリセリンエステル、ソルビタンエステル、ショ糖エステル、グリセリンエステルのポリオキシエチレンエーテル、ソルビタンエステルのポリオキシエチレンエーテル、ソルビトールエステルのポリオキシエチレンエーテル、脂肪酸アルカノールアミド、アミンオキシド、ポリオキシエチレンアルキルアミン、グリセリン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、アルキル（ポリ）グリコキシド等がある。
【００３９】
両性界面活性剤としてはイミダゾリニウムベタイン等のイミダゾリン誘導体、ジメチルアルキルラウリルベタイン、アルキルグリシン、アルキルジ（アミノエチル）グリシン等がある。
【００４０】
インク組成物中でのこれら界面活性剤の添加量は０．０１重量％〜５．０重量％であり、好ましくは０．５重量％〜３重量％である。０．０１重量％未満では添加した効果は無く、５．０重量％より多い添加では記録媒体への浸透性が必要以上に高くなり、画像濃度の低下や裏抜けの発生といった問題がある。前記界面活性剤は、単独または二種以上を混合して用いることができる。
【００４１】
その他の添加剤で防腐防黴剤としては、１、２−ベンズイソチアゾリン−３−オン、安息香酸ナトリウム、デヒドロ酢酸ナトリウム、ソルビン酸ナトリウム、ぺンタクロロフェノールナトリウム、２−ピリジンチオール−１−オキサイドナトリウム等が挙げられ、防錆剤としては、酸性亜硫酸塩、チオ硫酸ナトリウム、チオジグリコ−ル酸アンモン、ジイソプロピルアンモニイウムニトライト、四硝酸ペンタエリスリト−ル、ジシクロヘキシルアンモニウムニトライト等が挙げられる。ｐＨ調整剤としては、調合されるインクに悪影響をおよぼさずにｐＨを所望の値に調整できるものであれば、任意の物質を使用することができる。その例として、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属元素の水酸化物、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアルカリ金属の炭酸塩、第４級アンモニウム水酸化物やジエタノールアミン、トリエタノ−ルアミン等のアミン、水酸化アンモニウム、第４級ホスホニウム水酸化物等が挙げられる。
【００４２】
さらに上記インク構成成分以外にも、画像定着性の向上、画質の向上、顔料分散性の向上等の目的で樹脂を添加することもあり、このような場合、ノズル表面のみならず、ノズル孔内壁等のインク流路にも付着、残留が認められるため、本発明のノズル板は有効である。
【００４３】
添加する樹脂の例としては、親水性高分子として、天然系ではアラビアガム、トラガンガム、グーアガム、カラヤガム、ロー力ストビーンガム、アラビノガラクトン、ペクチン、クインスシードデンプン等の植物性高分子、アルギン酸、カラギーナン、寒天等の海藻系高分子、ゼラチン、カゼイン、アルブミン、コラーゲン等の動物系高分子、キサンテンガム、デキストラン等の微生物系高分子、半合成系ではメチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、カルボキシメチルセルロース等の繊維素系高分子、デンプングリコール酸ナトリウム、デンプンリン酸エステルナトリウム等のデンプン系高分子、アルギン酸ナトリウム、アルギン酸ブロピレングリコールエステル等の海藻系高分子、純合成系ではポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、アクリル酸−アクリロニトリル共重合体、酢酸ビニル−アクリル酸エステル共重合体、アクリル酸−アクリル酸アルキルエステル共重合体、スチレン−アクリル酸共重合体、スチレン−メタクリル酸共重合体、スチレン−アクリル酸−アクリル酸アルキルエステル共重合体、スチレン−メタクリル酸−アクリル酸アルキルエステル共重合体、スチレン−α−メチルスチレン−アクリル酸共重合体、スチレン−α−メチルスチレン−アクリル酸共重合体−アクリル酸アルキルエステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体、ビニルナフタレン−マレイン酸共重合体、酢酸ビニル−エチレン共重合体、酢酸ビニル−脂肪酸ビニルエチレン共重合体、酢酸ビニル−マレイン酸エステル共重合体、酢酸ビニル−クロトン酸共重合体、酢酸ビニル−アクリル酸共重合体等とこれらの塩が挙げられる。
これらの樹脂の添加量は、信頼性を考慮した上で適宜選択される。
【００４４】
また、最近は溶媒に溶けるタイプの樹脂ではなく、溶媒中で微粒子として分散したいわゆる樹脂エマルジョンが用いられることが多い。樹脂エマルジョンとは、樹脂微粒子を連続相としての溶媒中に分散したものであり、必要に応じて界面活性剤のような分散剤を含有しても良い。分散相成分としての樹脂微粒子の含有量（樹脂エマルジョン中の樹脂微粒子の含有量）は一般的には１０〜７０重量％程度であり、樹脂微粒子の粒径は特にインクジェット記録装置に使用することを考慮すると、平均粒径で１０〜１０００ｎｍが好ましく、さらに２０〜３００ｎｍが好ましいが、本発明では特に限定されるものではない。
【００４５】
分散相の樹脂微粒子成分としてはアクリル系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、スチレン系樹脂、ブタジエン系樹脂、スチレン−ブタジエン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、アクリルスチレン系樹脂、アクリルシリコン系樹脂などが挙げられ、特にアクリルシリコン系樹脂が効果的であるが、本発明においてはこれら樹脂エマルジョンの種類に限定されるものではなく、公知のものを用いた場合に信頼性を確保するためのものであり、市販の樹脂エマルジョンを用いることも可能である。
【００４６】
市販の樹脂エマルジョンとしては、マイクロジェルＥ−１００、Ｅ−２００２、Ｅ−５００２（スチレン−アクリル系樹脂エマルジョン  日本ペイント製）、ボンコート５４５４（スチレン−アクリル系樹脂エマルジョン  大日本インキ化学製）、ジョンクリル７７５（スチレン−アクリル系樹脂エマルジョン  ジョンソンポリマー製）、ＳＡＥ１０１４（スチレン−アクリル系樹脂エマルジョン  日本ゼオン製）、サイビノールＳＫ−２００（アクリル系樹脂エマルジョン  サイデン化学製）、プライマルＡＣ−２２、ＡＣ−６１（アクリル系樹脂エマルジョン  ローム・アンド・ハース製）、ナノクリルＳＢＣＸ−２８２１、３６８９（アクリル‐シリコン系樹脂エマルジョン  東洋インキ製）、＃３０７０（メタクリル酸メチル重合体樹脂エマルジョン  御国色素製）などが挙げられる。インク組成物中の前記樹脂微粒子の含有量としては、一般的には０．１〜５０重量％、好ましくは０．５〜２０重量％、さらに好ましくは１〜１０重量％であるが、本発明では特に限定されるものではない。
【００４７】
また、本発明ではインク組成物中で樹脂微粒子と色材が別々に分散している状態のほかに、樹脂微粒子中に水不溶性または難溶性の色材を含有した状態で用いることも可能である。樹脂微粒子中に色材を含有した状態とは、色材を封入した状態、あるいは樹脂微粒子表面に色材が吸着した状態のいずれかまたは双方を表す。水不溶性または難溶性とは、２０℃で水１００重量部に対して色材が１０重量部以上溶解しないことをいい、溶解するとは目視にて水溶液表層または下層に色材の分離や沈殿が認められないことをいう。たとえば、油溶性染料、分散染料、顔料等が挙げられる。樹脂微粒子中に色材を封入している場合には、インク組成物中の樹脂微粒子の含有量としては色材成分も含まれるため、２〜３０重量％程度が好ましいが、本発明はこれらの含有量に左右されるものではない。
【００４８】
本発明のインク組成物は、前述の構成成分を媒体中に分散または溶解し、さらに必要に応じて攪拌混合して作製する。分散はサンドミル、ホモジナイザー、ボールミル、ペイントシャイカー、超音波分散機等により行なうことができ、攪拌混合は通常の攪拌羽を用いた攪拌機、マグネチックスターラー、高速の分散機等で行なうことができるが、本発明は製造方法に左右されるものではない。このようにして作製したインク組成物の粘度は１ｍＰａ・ｓ程度から５０ｍＰａ・ｓ程度まで種々であるが、５ｍＰａ・ｓ以上の高粘度になるほどノズル撥インク層への付着性が上がるため、本発明のノズル板は有効である。
【実施例】
【００４９】
以下に本発明の液体吐出装置として、インクジェット記録装置の実施例を示す。
（実施例１）
トルエン１０重量部にフィラーとしてのシリカ微粒子（日本触媒製  ＫＥ−Ｐ１０  平均粒径０．０８〜０．１４μｍ）２重量部を添加して、ボールミルにて１０時間分散し、この分散液１重量部をシリコーンレジン（東レダウコーニングシリコーン社製ＳＲ２４１１）１０重量部に添加して撹拌混合した後、Ｎｉ電鋳ノズル表面上にスプレー法にて塗布して約１．０μｍシリコーン層を形成した。この際、ノズル孔及びノズル板裏面を水溶性樹脂でマスキングし、シリコーン層塗布形成後、剥離除去して形成した。これを大気中で２００℃１時間加熱硬化させて撥インク層とした。
このようにして作製したノズル板の評価として、以下のインクに対する後退接触角を拡張伸縮法にて測定した。さらに、プリンタでの実使用上の機械的強度の指標として硬度等ではなく、ワイパーブレード（ＥＰＤＭゴム硬度７０°）にて、下記インクを付着させた状態で５０００回ワイピングした後の後退接触角を測定し、結果をそれぞれ表１に示した。
＜インク＞
キャボット製カーボンブラック分散体（スルホン基付加型自己分散タイプ）を用いて、以下の処方で混合攪拌後、０．８μｍポリプロピレンフィルターにて濾過しインクを作製した。
・ブラック分散体                                      ４０重量部
ＣＡＢ−Ｏ−ＪＥＴ  ２００（スルホン基付加型  キャボット製）
・アクリルシリコン系樹脂エマルジョン                    ８重量部
ナノクリルＳＢＣＸ−２８２１  東洋インキ製
・１，３−ブタンジオール                              １８重量部
・グリセリン                                            ９重量部
・フッ素系界面活性剤ＦＳ−３００（Ｄｕ  Ｐｏｎｔ社製）  ２重量部
・プロキセルＬＶ（アビシア社製）                    ０．２重量部
・イオン交換水                                    ２２．８重量部
【００５０】
（実施例２）
トルエン１０重量部にフィラーとしてのアルミナ微粒子（住友化学製  ＡＫＰ−５０  平均粒径０．２〜０．３μｍ）２．５重量部を添加して、ボールミルにて１０時間分散し、この分散液１重量部をシリコーンレジン（東レダウコーニングシリコーン社製ＳＲ２４０６）１０重量部に添加して撹拌混合した後、Ｎｉ電鋳ノズル表面上にスプレー法にて塗布して約２．０μｍシリコーン層を形成した。この際、ノズル孔及びノズル板裏面を水溶性樹脂でマスキングし、シリコーン層塗布形成後、剥離除去して形成した。これを大気中で２００℃１時間加熱硬化させて撥インク層とした。これを以下のインクに対して実施例１と同様に評価して、結果を表１に示した。
＜インク＞
キャボット製カーボンブラック分散体（スルホン基付加型自己分散タイプ）を用いて、以下の処方で混合攪拌後、０．８μｍポリプロピレンフィルターにて濾過しインクを作製した。
・ブラック分散体                                      ４５重量部
ＣＡＢ−Ｏ−ＪＥＴ  ２００（スルホン基付加型  キャボット製）
・１，３−ブタンジオール                              １８重量部
・グリセリン                                            ９重量部
・フッ素系界面活性剤ＦＳ−３００（Ｄｕ  Ｐｏｎｔ社製）  ２重量部
・プロキセルＬＶ（アビシア社製）                    ０．２重量部
・イオン交換水                                    ２５．８重量部
【００５１】
（実施例３）
トルエン１０重量部にフィラーとしてのシリコーン樹脂微粒子（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン製  ＸＣ９９−Ａ８８０８  平均粒径０．７μｍ）１重量部を添加して、ホモジナイザーにて撹拌分散し、この分散液１重量部をシリコーンレジン（東レダウコーニングシリコーン社製ＳＲ２４０５）１０重量部に添加して撹拌混合した後、Ｎｉ電鋳ノズル表面上にスプレー法にて塗布して約３．０μｍシリコーン層を形成した。この際、ノズル孔及びノズル板裏面を水溶性樹脂でマスキングし、シリコーン層塗布形成後、剥離除去して形成した。大気中で２００℃１時間加熱硬化させて撥インク層とした。これを実施例１のインクに対して同様に評価して、結果を表１に示した。
【００５２】
（実施例４）
トルエン１０重量部にフィラーとしてのメラミン樹脂微粒子（日本触媒製  エポスターＳ  平均粒径０．１〜０．３μｍ）１重量部を添加して、ホモジナイザーにて撹拌分散し、この分散液１重量部をシリコーンレジン（東レダウコーニングシリコーン社製ＳＲ２３１６）１０重量部に添加して撹拌混合した後、Ｎｉ電鋳ノズル表面上にスプレー法にて塗布して約１．０μｍシリコーン層を形成した。この際、ノズル孔及びノズル板裏面を水溶性樹脂でマスキングし、シリコーン層塗布形成後、剥離除去して形成した。大気中で２００℃１時間加熱硬化させて撥インク層とした。これを以下のインクに対して同様に評価して、結果を表１に示した。
＜シアンインク＞
特開２００１−１３９８４９号公報の調製例３を参考に、銅フタロシアニン顔料含有ポリマー微粒子分散液を追試調製した。
まず始めに、ポリマー溶液の調製として、機械式攪拌機、温度計、窒素ガス導入管、還流管及び滴下ロートを備えた１Ｌフラスコ内を十分に窒素ガスで置換した後、スチレン１１．２ｇ、アクリル酸２．８ｇ、ラウリルメタクリレート１２．０ｇ、ポリエチレングリコールメタクリレート４．０ｇ、スチレンマクロマー（東亜合成（株）製、商品名：ＡＳ−６）４．０ｇ及びメルカプトエタノール０．４ｇメチルエチルケトン４０ｇを混合し、６５℃に昇温した。次にスチレン１００．８ｇ、アクリル酸２５．２ｇ、ラウリルメタクリレート１０８．０ｇ、ポリエチレングリコールメタクリレート３６．０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート６０．０ｇ、スチレンマクロマー（東亜合成（株）製、商品名：ＡＳ−６）３６．０ｇ、メルカプトエタノール３．６ｇ、アゾビスジメチルバレロニトリル２．４ｇ及びメチルエチルケトン３４２ｇの混合溶液を２．５時間かけてフラスコ内に滴下した。滴下終了後、アゾビスジメチルバレロニトリル０．８ｇ及びメチルエチルケトン１８ｇの混合溶液を０．５時間かけてフラスコ内に滴下した。６５℃で１時間熟成した後、アゾビスジメチルバレロニトリル０．８ｇを添加し、更に１時間熟成し、濃度が５０％のポリマー溶液８００ｇを得た。
前述で得られたポリマー溶液２８ｇ、銅フタロシアニン顔料２６ｇ、１ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウム水溶液１３．６ｇ、メチルエチルケトン２０ｇ及びイオン交換水３０ｇを十分に攪拌した。その後、３本ロールミル（（株）ノリタケカンパニー製、商品名：ＮＲ−８４Ａ）を用いて２０回混練した。得られたペーストをイオン交換水２００ｇに投入し、十分に攪拌した後、エバポレーターを用いてメチルエチルケトン及び水を留去し、固形分量が２０．０ｗｔ％のシアン色のポリマー微粒子分散液１６０ｇを得た。
この分散液を用いて以下の処方で混合攪拌後、０．８μｍポリプロピレンフィルターにて濾過し、８．３ｍＰａ・ｓ（２５℃）、表面張力３３．５ｍＮ／ｍ（２５℃）のシアンインクを作製した。
・シアンポリマー微粒子分散液                                    ５５重量部
・１，３−ブタンジオール                                        ２１重量部
・グリセリン                                                      ８重量部
・界面活性剤ＣＨ３（ＣＨ２）１２Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）３ＣＨ２ＣＯＯＨ    ２重量部
・イオン交換水                                                  １４重量部
【００５３】
（実施例５）
トルエン１０重量部にフィラーとしてのシリカ／アクリル複合微粒子（日本触媒製  ソリオスター１１  平均粒径１．１μｍ）２重量部を添加して、ホモジナイザーにて撹拌分散し、この分散液１重量部をシリコーンレジン（東レダウコーニングシリコーン社製ＳＲ２４０５）１０重量部に添加して撹拌混合した後、Ｎｉ電鋳ノズル表面上にスプレー法にて塗布して約３．０μｍシリコーン層を形成した。この際、ノズル孔及びノズル板裏面を水溶性樹脂でマスキングし、シリコーン層塗布形成後、剥離除去して形成した。これを大気中で２００℃１時間加熱硬化させて撥インク層とした。これを以下のインクに対して同様に評価して、結果を表１に示した。
＜マゼンタインク＞
以下の処方で混合攪拌後、０．８μｍポリプロピレンフィルターにて濾過し、粘度２．０ｍＰａ・ｓ（２５℃）、表面張力２９．７ｍＮ／ｍ（２５℃）のマゼンタインクを作製した。
・Ｄａｉｗａ  ＩＪ  Ｍａｇｅｎｔａ  Ｒ（ダイワ化成）  ５０重量部
・グリセリン                                        ５．２重量部
・ジエチレングリコール                            １５．６重量部
・界面活性剤  ＥＣＴＤ３ＮＥＸ（日光ケミカルズ）    １．０重量部
・ＬｉＯＨ                                        ０．１５重量部
・イオン交換水                                  ２８．０５重量部
【００５４】
（実施例６）
トルエン１０重量部にフィラーとしてのシリカ微粒子（日本触媒製  ＫＥ−Ｐ３０  平均粒径０．２７〜０．３５μｍ）２重量部、シリカの表面処理剤としてシランカップリング剤（信越化学製ＫＢＭ−４０３）１重量部を添加して、ボールミルにて１０時間分散し、この分散液１重量部をシリコーン変性フッ素樹脂塗布液（富士化成工業製ＺＸ−００７Ｃ）１０重量部に添加して撹拌混合した後、Ｎｉ電鋳ノズル表面上にスプレー法にて塗布して約２．０μｍシリコーン層を形成した。この際、ノズル孔及びノズル板裏面を水溶性樹脂でマスキングし、シリコーン変性フッ素樹脂層塗布形成後、剥離除去して形成した。これを大気中で１００℃１時間加熱硬化させて撥インク層とした。これを以下のインクに対して同様に評価して、結果を表１に示した。
＜イエローインク＞
イエロー顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８を低温プラズマ処理しカルボン酸基を導入した顔料を作製した。これをイオン交換水に分散したものを、限外濾過膜にて脱塩濃縮し顔料濃度１５％のイエロー顔料分散液とした。これを用いて以下の組成で混合撹拌し、イエローインクを作製した。
・イエロー顔料分散液                                            ４５重量部
・１，３−ブタンジオール                                        ２０重量部
・グリセリン                                                      ８重量部
・界面活性剤ＣＨ３（ＣＨ２）１２Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）３ＣＨ２ＣＯＯＨ    ２重量部
・イオン交換水                                                  ２５重量部
【００５５】
（比較例１）
実施例１において、フィラーとしてのシリカ微粒子を添加しなかった。
【００５６】
（比較例２）
実施例２において、フィラーとしてのアルミナ微粒子を添加しなかった。
【００５７】
（比較例３）
実施例３において、フィラーとしてのシリコーン樹脂微粒子を添加しなかった。
【００５８】
（比較例４）
実施例４において、フィラーとしてのメラミン樹脂微粒子を添加しなかった。
【００５９】
（比較例５）
実施例５において、フィラーとしてのシリカ／アクリル複合微粒子とを添加しなかった。
【００６０】
（比較例６）
実施例６において、フィラーとしてのシリカ微粒子とシリカの表面処理剤としてシランカップリング剤を添加しなかった。
【００６１】
（比較例７）
実施例１において、シリカ微粒子の代わりに、旭硝子製ＣＴＸ−８０５Ａ：１重量部／同和鉱業製Ｎｉ粉ＤＮＩ−２０：３重量部を添加した以外は同様である。
【００６２】
【表１】
2009066945.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明に関わる、インクジェット記録装置の前方側から見た斜視説明図である。
【図２】本発明に関わる、インクジェット記録装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図である。
【図３】本発明に関わる、インクジェット記録装置の機構部の要部平面概略図である。
【図４】本発明に関わる、インクジェットヘッドの一例を示す要素拡大図である。
【図５】本発明に関わる、インクジェットヘッドの一例を示す要部拡大断面図である。
【００６４】
（図１〜３について）
１０１  装置本体
１０２  給紙トレイ
１０３  排紙トレイ
１０４  インクカートリッジ装填部
１０５  操作部
１１１  上カバー
１１２  前面
１１５  カバー
１３１  ガイドロッド
１３２  ステー
１３３  キャリッジ
１３４  記録ヘッド
１３５  サブタンク
１４１  用紙載置部
１４２  用紙
１４３  給紙コロ
１４４  分離パッド
１４５  ガイド
１５１  搬送ベルト
１５２  カウンタローラ
１５３  搬送ガイド
１５４  押さえ部材
１５５  先端加圧コロ
１５６  帯電ローラ
１５７  搬送ローラ
１５８  デンションローラ
１６１  ガイド部材
１７１  分離爪
１７２  排紙ローラ
１７３  排紙コロ
１８１  両面給紙ユニット
１８２  手差し給紙部
（図４，５について）
１０  フレーム
１２  共通液室
２０  流路板
２１  流体抵抗部
２２  加圧液室
２３  連通口
２４  隔壁
３０  ノズル板
３１  ノズル
４０  ベース
５０  積層圧電素子
５１  圧電層
５２  内部電極層
５３  外部電極
５４  個別電極
５５  共通電極
５６  駆動部（可動部）
５７  支持部
６０  振動板
６１  島状凸部
６２  ダイヤフラム部
６３  インク流入口
７０  接着層
８０  ＦＰＣ
９０  撥インク層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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