(57)【要約】【課題】外形寸法を小型化した際に気流の風速分布の均一性を高めたファンフィルタユニットを提供することを目的とする。【解決手段】チャンバ５上部に吸込口１を有し、ファンユニット４をチャンバ５に内蔵し、ファンユニット４の下流側にフィルタ６を配設し、フィルタ６の吸込側にパンチングプレート８を備えることにより、パンチングプレート８の整流作用により、吹出風速分布の均一性を高め、小型化、軽量化が図れるファンフィルタユニットが得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、前記チャンバ一辺の長さとほぼ同じ径のファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吸込側に、全面に孔を設けたパンチングプレートを設け、このパンチングプレートに、モータの回転軸と同心でモータ外径とほぼ同径の円孔を設けたファンフィルタユニット。
【請求項２】
前記パンチングプレートは、全面に直径１ｍｍ程度、穴ピッチ２ｍｍ程度の丸孔を設けた請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項３】
前記パンチングプレートはチャンバ外周から中心に向かって吹出方向へ下がる傾斜を設けた請求項１または２記載のファンフィルタユニット。
【請求項４】
パンチングプレートの材質としてステンレスを使用した請求項１〜３に記載のファンフィルタユニット。
【請求項５】
パンチングプレートの材質として塩化ビニルを使用した請求項１〜３に記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの、清浄空間を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
清浄空間を必要とする製造装置内では、ファンフィルタユニットの吹出風速が均一でない場合には、気流の澱みが発生してパーティクルが空間内に滞留し、製造装置内の清浄度が下がり、製品の歩留まりに悪影響を及ぼす可能性があるため、ファンフィルタユニットの吹出風速を均一にすることが求められている。
【０００３】
従来、この種のファンフィルタユニットにおいては、風速分布の改善のための手段として複数のガイド板や拡散板をチャンバ内に設ける構成としている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−９４４１９号公報（段落００１２〜００１８、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来のファンフィルタユニットでは、チャンバ内のモータ直下の空間は狭く気流が流れにくいため、複数のガイド板や拡散板をチャンバ内に設けて風速分布の改善が図られている。しかし、近年では製造装置内におけるファンフィルタユニット設置スペース削減への要望が高まり、ファンフィルタユニットの外形寸法の小型化が図られ、チャンバ内に風速分布の改善手段を設けるスペースの確保が困難となっている。
【０００５】
また、ファンフィルタユニットの小型化により、ファン外径とチャンバ側面との距離が狭くなり、結果として、ファンフィルタユニットから吹き出す風速分布はより周辺部の風速が高まることになっている。
【０００６】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、外形寸法を小型化した場合にも風速分布の均一性を確保するファンフィルタユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、前記チャンバ一辺の長さとほぼ同じ径のファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吸込側に、全面に孔を設けたパンチングプレートを設け、このパンチングプレートに、モータの回転軸と同心でモータ外径とほぼ同径の円孔を設けたものである。
【０００８】
また、他の手段は、前記パンチングプレートは、全面に直径１ｍｍ程度、穴ピッチ２ｍｍ程度の丸孔を設けたものである。
【０００９】
また、他の手段は、前記パンチングプレートは、チャンバ外周から中心に向かって吹出方向へ傾斜した形状としたものである。
【００１０】
また他の手段は、パンチングプレートの材質としてステンレスを使用したものである。
【００１１】
また他の手段は、パンチングプレートの材質として塩化ビニルを使用したものである。
【００１２】
これらの手段により、外形寸法を小型化した場合にも風速分布の均一性を確保するファンフィルタユニットが得られる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、チャンバ内の偏った気流は、パンチングプレートを通過する際に、パンチングプレートの抵抗により気流の一部はモータ直下の孔の方へ流れるため、フィルタを通過する風速が均一化し、吹出風速分布の均一化が図れるという効果のあるファンフィルタユニットが得られる。
【００１４】
また、チャンバ外周からモータ直下へ気流が流れ易くなり、フィルタを通過する風速が均一化し、吹出風速分布の均一化が図れるという効果が得られる。
【００１５】
また、破損しにくく耐久性がある効果が得られる。
【００１６】
また、有機溶剤などの薬液を含む雰囲気においてパンチングプレートの腐食の抑制が図れるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の請求項１記載の発明は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、前記チャンバ一辺の長さとほぼ同じ径のファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吸込側に、全面に孔を設けたパンチングプレートを設け、このパンチングプレートに、モータの回転軸と同心でモータ外径とほぼ同径の円孔を設けたものであり、チャンバ内の偏った気流は、パンチングプレートを通過する際に、パンチングプレートの抵抗により気流の一部はモータ直下の孔の方へ流れるため、フィルタを通過する風速が均一化し、吹出風速分布の均一化が図れるという作用を有する。
【００１８】
また、請求項２記載の発明は、前記パンチングプレートは、全面に直径１ｍｍ程度、穴ピッチ２ｍｍ程度の丸孔を設けたパンチングプレートを配設し、パンチングプレートにモータ外径と同程度の孔を設け、モータ外径と同程度の孔の中心はモータの中心と一致するように設けたものであり、チャンバ内の偏った気流は、パンチングプレートを通過する際に、パンチングプレートの抵抗により気流の一部はモータ直下の孔の方へ流れるため、フィルタを通過する風速が均一化し、吹出風速分布の均一化が図れるという作用を有する。
【００１９】
また、本発明の請求項３記載の発明は、前記パンチングプレートは、チャンバ外周から中心に向かって吹出方向へ傾斜した形状としたものであり、チャンバ外周からモータ直下へ気流が流れ易くなり、フィルタを通過する風速が均一化し、吹出風速分布の均一化が図れるという作用を有する。
【００２０】
本発明の請求項４記載の発明は、パンチングプレートの材質としてステンレスを使用したものであり、破損しにくく耐久性があるという作用を有する。
【００２１】
本発明の請求項５記載の発明は、パンチングプレートの材質として塩化ビニルを使用したものであり、有機溶剤などの薬液を含む雰囲気においてパンチングプレートの腐食の抑制が図れるという作用を有する。
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２３】
（実施の形態１）
図１に示すように、第１の実施の形態のファンフィルタユニットは、ターボ型のファン２とモータ３からなるファンユニット４を箱形状のチャンバ５に内蔵して構成されている。ファンユニット４の吹出側となる下方にはフィルタ６を設け、サポート７によりファンユニット４を固定する。フィルタ６の吸込側には全面に直径１ｍｍ程度の細孔を設けたパンチングプレート８を設け、パンチングプレート８にモータ３の外径と同程度の孔９を設ける。孔９は、モータ３の回転軸と同心となるように設ける。
【００２４】
上記構成において、ファンユニット４を運転することにより吸込口１より空気が吸込まれ、チャンバ５内に送り込まれる。そのファンユニット４から吹出された気流は、ターボ型のファン２の外周へ向けて吹き出されるため、チャンバ５外周部の風速が速くなっている。チャンバ５内に吹き出された空気は、チャンバ５の外周部では、パンチングプレート８の抵抗によりモータ３直下の孔９に向けて流れ、孔９を通過してフィルタ６に向けて吹き出すことになる。このように、整流された気流がフィルタ６を通過し、風速分布の均一化ができることになる。
【００２５】
本実施の形態では、パンチングプレート８に設けた細孔は１ｍｍ程度としたが、孔径は大きくなるとパンチングプレート８が抵抗の役割を果たさず、外周部からたくさんの空気が流れ出すことになるため、１ｍｍ程度の細孔が適している。
【００２６】
（実施の形態２）
実施の形態２は、図２に示すように、フィルタ６の吹出側に、孔９に向けて下がる傾斜が設けられたパンチングプレート８を設けている。その他の構成は実施の形態１と同じである。
【００２７】
上記構成において、チャンバ５内の偏った気流はパンチングプレート８の抵抗および傾斜により、その気流の一部がモータ３直下の空間に流れて孔９を通過するため、整流された気流がフィルタ６を通過し、風速分布の均一化ができる。
【００２８】
また、パンチングプレート８の材質としてステンレスを使用ことにより、破損しにくく耐久性が向上する。また、金属材料としたことにより、材料からの揮発成分の発生がなく、クリーンルームなどの用途に適したファンフィルタユニットが得られる。
【００２９】
また、パンチングプレート８の材質として、塩化ビニルを使用することにより、有機溶剤などの薬液を含む雰囲気においてパンチングプレート８の腐食が抑制される。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
風速分布の高精度な均一性を確保しつつ、薄形化、軽量化を図ることにより、ファンフィルタユニットを省スペースで設置可能となり、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とし、設置スペースの限定されたクリーンルームや製造装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルタユニットの縦断面図
【図２】本発明の実施の形態２のファンフィルタユニットの縦断面図
【符号の説明】
【００３２】
１  吸込口
２  ファン
３  モータ
４  ファンユニット
５  チャンバ
６  フィルタ
７  サポート
８  パンチングプレート
９  孔
【図１】
2009257645.tif 000003
【図２】
2009257645.tif 000004