(57)【要約】【課題】可動子を浮上させた場合に、負荷物への影響を削減できる平面モータを実現する。【解決手段】固定子と、この固定子に対向して配置された可動子と、この可動子と固定子の間に流体を吹き出すことによって可動子を浮上させる浮上装置とを具備する平面モータにおいて、前記可動子の一方の面側に設けられた負荷取り付けベースと、前記可動子の一方の面の中央部あるいは周縁部の所定位置と前記負荷取り付けベースとを接続する接続部とを具備したことを特徴とする平面モータである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子と、この固定子に対向して配置された可動子と、この可動子と固定子の間に流体を吹き出すことによって可動子を浮上させる浮上装置とを具備する平面モータにおいて、
前記可動子の一方の面側に設けられた負荷取り付けベースと、
前記可動子の一方の面の中央部あるいは周縁部の所定位置と前記負荷取り付けベースとを接続する接続部と
を具備したことを特徴とする平面モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体により可動子が浮上する平面モータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
平面モータに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２０３９６９号公報
【特許文献２】特開２００６−２０３９７９号公報
【０００４】
図４は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。図５は図４の動作説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
【０００５】
図において、平面モータの固定子１上には、平面モータの可動子２が配置されている。
浮上装置３は、可動子２に設けられ、可動子２の一方の面側に、可動子浮上用の空気Ａを噴出する。
この場合は、可動子２に設けられた、ノズル１ａから空気Ａを排出する。
負荷Ｂは、可動子２上に載置される。
【０００６】
以上の構成において、平面モータは、図４に示す如く、可動子２と固定子１により構成されている。
可動子２は、図５に示す如く、ノズル１ａから空気Ａを排出することによって、固定子２から浮上し、可動子２に磁力を適切に発生させることによって、Ｘ、Ｙ任意の方向へ移動することが出来る。
なお、図では浮上装置３が可動子２に設けられているが、固定子１に設けられた場合も同様にノズルから排出された空気によって可動子２は浮上する。
【０００７】
可動子２の上に任意の負荷物Ｂを固定、搭載することにより、負荷物ＢをＸ、Ｙ任意の位置まで移動させることが出来る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような装置においては、以下の間題点がある。
ノズル１ａから排出する空気Ａによって可動子２と固定子１の間に、一般的には可動子２の中央が高く、周辺が低くなるような圧力分布が生じる。
磁力で固定子と可動子に吸引力が働く平面モータは、吸引力に打ち勝つだけの空気圧となるよう空気を吹き出すため、大きな浮上変形が生ずるからである。
このため可動子２は浮上時、図５に示す如く、中央が圧力高Ｃ、周縁部は圧力低Ｄとなり、中央部が凸となるようわずかながら変形する。
【０００９】
この変形は、可動子２の上に固定された負荷物Ｂを変形させる、あるいは歪ませてしまう。
この変形あるいはひずみが問題となる場合には、可動子２の強度を上げたり、可動子２を浮上させた状態で負荷物Ｂを固定・搭載することが必要になる。
しかしながら、可動子２の強度増は重量増加となり動力性能が低下する。
また、可動子２を浮上させた状態での負荷物Ｂの固定、搭載は不安定で作業性に問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、可動子を浮上させた場合に、可動子と固定子の間の圧力分布に違いが生じても、負荷取り付け面が変形しない平面モータを実現し、負荷物への影響を削減できると共に、動力性能の向上と負荷物搭載、固定の作業性向上が実現できる平面モータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の平面モータにおいては、
固定子と、この固定子に対向して配置された可動子と、この可動子と固定子の間に流体を吹き出すことによって可動子を浮上させる浮上装置とを具備する平面モータにおいて、前記可動子の一方の面側に設けられた負荷取り付けベースと、前記可動子の一方の面の中央部あるいは周縁部の所定位置と前記負荷取り付けベースとを接続する接続部とを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
浮上による変形が小さい可動子の中央部分あるいは周縁部分のみを、負荷取り付けベースに固定することにより、負荷取り付けベースの変形を極力削減することが可能となり、負荷物が変形しない、あるいは歪みが入らない構造を実現することが出来る平面モータが得られる。
【００１３】
負荷物が変形しない、あるいは歪みが入らない構造であるため、可動子自体の変形はより許容されるようになり、強度を下げ、すなわち軽量化が可能となり、動力性能を向上させることが可能となる平面モータが得られる。
【００１４】
また、負荷物の搭載、固定は、可動子を着地させた状態で行うことが出来るため、作業性の向上につながる平面モータが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図４と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図４との相違部分のみ説明する。
【００１６】
図１において、負荷取り付けベース１１は、可動子２の一方の面側に設けられている。
接続部１２は、可動子２の一方の面の中央部と負荷取り付けベース１１とを接続する。
【００１７】
以上の構成において、可動子２は、ノズル１ａから空気Ａを排出することによって、固定子２から浮上し、可動子２に磁力を適切に発生させることによって、Ｘ、Ｙ任意の方向へ移動することが出来る。
可動子２の上に負荷取り付けベース１１が配置され、任意の負荷物Ｂを、負荷取り付けベース１１に固定、搭載することにより、負荷物ＢをＸ、Ｙ任意の位置まで移動させることが出来る。
【００１８】
この結果、浮上による変形が小さい可動子２の中央部のみを、負荷取り付けベース１１に固定することにより、負荷取り付けベース１１の変形を極力削減することが可能となり、負荷物Ｂが変形しない、あるいは歪みが入らない構造を実現することが出来る平面モータが得られる。
【００１９】
負荷物Ｂが変形しない、あるいは歪みが入らない構造であるため、可動子２自体の変形はより許容されるようになり、強度を下げ、すなわち軽量化が可能となり、動力性能を向上させることが可能となる平面モータが得られる。
また、負荷物Ｂの搭載、固定は可動子２を着地させた状態で行うことが出来るため作業性の向上につながる平面モータが得られる。
【００２０】
図２は、本発明の他の実施例の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図ある。
図２において、負荷取り付けベース２１は、可動子２の一方の面側に設けられている。
接続部２２は、可動子２の他方の面の周縁部の所定位置と負荷取り付けベース２１とを接続する。
ここで、所定位置とは、浮上装置３に基づく可動子２の変位量が同じ周縁部を指す。
この場合は、図２に示す如く、接続部２２は、可動子２の四隅に設けられている。
【００２１】
以上の構成において、可動子２は、ノズル１ａから空気Ａを排出することによって、固定子２から浮上し、可動子２に磁力を適切に発生させることによって、Ｘ、Ｙ任意の方向へ移動することが出来る。
可動子２の上に負荷取り付けベース２１が配置され、任意の負荷物Ｂを、負荷取り付けベース２１に固定、搭載することにより、負荷物ＢをＸ、Ｙ任意の位置まで移動させることが出来る。
【００２２】
この結果、浮上による変形が同じ可動子２の周縁部のみを、負荷取り付けベース２１に固定することにより、負荷取り付けベース２１の変形を極力削減することが可能となり、負荷物Ｂが変形しない、あるいは歪みが入らない構造を実現することが出来る平面モータが得られる。
【００２３】
負荷物Ｂが変形しない、あるいは歪みが入らない構造であるため、可動子２自体の変形はより許容されるようになり、強度を下げ、すなわち軽量化が可能となり、動力性能を向上させることが可能となる平面モータが得られる。
また、負荷物Ｂの搭載、固定は可動子２を着地させた状態で行うことが出来るため作業性の向上につながる平面モータが得られる。
【００２４】
図３は、本発明の他の実施例の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図ある。
図３において、負荷取り付けベース３１は、可動子２の一方の面側に設けられている。
接続部３２は、可動子２の他方の面の周縁部の所定位置と負荷取り付けベース３１とを接続する。
【００２５】
ここで、所定位置とは、浮上装置３に基づく可動子２の変位量が同じ周縁部を指す。
この場合は、図３に示す如く、接続部３２は、可動子２の四隅からの中間部に設けられている。
【００２６】
以上の構成において、可動子２は、ノズル１ａから空気Ａを排出することによって、固定子２から浮上し、可動子２に磁力を適切に発生させることによって、Ｘ、Ｙ任意の方向へ移動することが出来る。
可動子２の上に負荷取り付けベース３１が配置され、任意の負荷物Ｂを、負荷取り付けベース３１に固定、搭載することにより、負荷物ＢをＸ、Ｙ任意の位置まで移動させることが出来る。
【００２７】
この結果、浮上による変形が同じ可動子２の周縁部のみを、負荷取り付けベース３１に固定することにより、負荷取り付けベース3１の変形を極力削減することが可能となり、負荷物Ｂが変形しない、あるいは歪みが入らない構造を実現することが出来る平面モータが得られる。
【００２８】
負荷物Ｂが変形しない、あるいは歪みが入らない構造であるため、可動子２自体の変形はより許容されるようになり、強度を下げ、すなわち軽量化が可能となり、動力性能を向上させることが可能となる平面モータが得られる。
また、負荷物Ｂの搭載、固定は可動子２を着地させた状態で行うことが出来るため作業性の向上につながる平面モータが得られる。
【００２９】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
また、平面モータに限らず、外部からの力によって動くＸＹテーブルなども、流体によって固定部から浮上する可動部を持つ場合には適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図５】図１の動作説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１      固定子
１ａ    ノズル
２      可動子
３      浮上装置
１１    負荷取り付けベース
１２    接続部
２１    負荷取り付けベース
２２    接続部
３１    負荷取り付けベース
３２    接続部
Ａ      空気
Ｂ      負荷物
Ｃ      圧力高
Ｄ      圧力低
【図１】
2009207245.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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