(57)【要約】【課題】多層膜の各層の位置決め精度向上とマスク製作時間の短縮を図ることができる多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法を得る。【解決手段】母材に複数のアライメント用基準穴を加工し、母材に第１層目のレジストを塗布し、直描画機の母材載置台上に母材をセットし、直描画機のアライメント機能を用いて登録されているアライメント用基準穴の位置情報と比較して母材の位置ずれ量を算出し、露光位置の補正、直描画機による第１層目の露光を行い、現像後に第１層目のめっき加工、第１層目のレジストを剥離し第１層目のめっきを形成し、第１層目のめっき層に第２層目のレジストを塗布し、直描画機の母材載置台上に母材をセットし、上記と同様に直描画機による第２層目の露光を行い、現像後に第２層目のめっき加工、第２層目のレジストを剥離し第２層目のめっきを形成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
母材を用意し、前記母材の外周縁部に複数のアライメント用基準穴を加工する工程と、
前記母材に第１層目のレジストを塗布する工程と、
描画パターンデータを作成し、アライメント機能を有する直描画機に描画パターンデータを転送する工程と、
前記直描画機の母材載置台上の中央付近に前記母材をセットする工程と、
前記直描画機のアライメント機能を用いて前記母材の複数のアライメント用基準穴をＣＣＤカメラで読み取り、予め登録されている母材のアライメント用基準穴の位置情報と比較してセットされている母材の位置ずれ量を算出する工程と、
アライメントによる位置情報を元に露光位置の補正を行い、前記直描画機の描画パターンデータによる第１層目の露光を行う工程と、
前記母材を前記直描画機の載置台から取り外し、現像後に第１層目のめっき加工を行い、第１層目のレジストを剥離して第１層目のめっきを形成する工程と、
前記母材の第１層目のめっき層に第２層目のレジストを塗布する工程と、
前記直描画機の母材載置台上の中央付近に前記第２層目のレジストを塗布した後の母材をセットする工程と、
前記直描画機のアライメント機能を用いて前記母材の複数のアライメント用基準穴をＣＣＤカメラで読み取り、予め登録されているアライメント用基準穴の位置情報と比較してセットされている母材の位置ずれ量を算出する工程と、
アライメントによる位置情報を元に露光位置の補正を行い、前記直描画機の描画パターンデータによる第２層目の露光を行う工程と、
前記母材を前記直描画機の載置台から取り外し、現像後に第２層目のめっき加工を行い、第２層目のレジストを剥離して第２層目のめっきを形成する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法。
【請求項２】
母材を用意し、前記母材の外周縁部に複数のアライメント用基準穴を加工するとともに、母材の基準方向を示すためのマークを加工する工程と、
前記母材に第１層目のレジストを塗布する工程と、
描画パターンデータを作成し、アライメント機能を有する直描画機に描画パターンデータを転送する工程と、
前記直描画機の母材載置台上の中央付近に前記母材をセットする工程と、
前記直描画機のアライメント機能を用いて前記母材の複数のアライメント用基準穴をＣＣＤカメラで読み取り、予め登録されている母材のアライメント用基準穴の位置情報と比較してセットされている母材の位置ずれ量と伸縮率を算出する工程と、
アライメントによる位置情報を元に露光位置の補正と描画パターンの自動伸縮を行い、前記直描画機の描画パターンデータによる第１層目の露光を行う工程と、
前記母材を前記直描画機の載置台から取り外し、現像後に第１層目のめっき加工を行い、第１層目のレジストを剥離して第１層目のめっきを形成する工程と、
前記母材の第１層目のめっき層に第２層目のレジストを塗布する工程と、
前記直描画機の母材載置台上の中央付近に前記第２層目のレジストを塗布した後の母材をセットする工程と、
前記直描画機のアライメント機能を用いて前記母材の複数のアライメント用基準穴をＣＣＤカメラで読み取り、予め登録されているアライメント用基準穴の位置情報と比較してセットされている母材の位置ずれ量と伸縮率を算出する工程と、
アライメントによる位置情報を元に露光位置の補正と描画パターンの自動伸縮を行い、前記直描画機の描画パターンデータによる第２層目の露光を行う工程と、
前記母材を前記直描画機の載置台から取り外し、現像後に第２層目のめっき加工を行い、第２層目のレジストを剥離して第２層目のめっきを形成する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法。
【請求項３】
母材は矩形状であり、前記母材に加工される４個のアライメント用基準穴は母材の四隅にそれぞれ加工された貫通穴であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法。
【請求項４】
母材は矩形状であり、前記母材に加工される基準方向を示すためのマークは母材の一部を切り欠いて形成した切り欠き部であることを特徴とする請求項２記載の多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法。
【請求項５】
母材は矩形状であり、前記母材に加工される基準方向を示すためのマークは母材の一部に特定の図形パターンを施したものであることを特徴とする請求項２記載の多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、２層以上の多層型皮膜構造を持つ多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の２層以上の多層型皮膜構造を持つ多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法について、図１８〜図２８により説明する。
先ず、周縁部の複数個所に位置決め用ガイドピン５０ａを起立させた位置決め治具５０を準備し、この位置決め治具５０の位置決め用ガイドピン５０ａと対応する部分にアライメント用基準穴５１ａを加工した母材５１を用意する。そして、母材５１上に第１層目のレジスト５２を塗布する。次に、パターンデータを作成し、第１層目の露光フィルム５３を作成する。そして、第１層目の露光フィルム５３の位置決め治具５０の位置決め用ガイドピン５０ａと対応する部分にアライメント用基準穴５３ａを加工する（図１８参照）。次に、位置決め治具５０上に母材５１及び第１層目の露光フィルム５３をセットする（図１９参照）。この時、母材５１及び第１層目の露光フィルム５３は、それぞれのアライメント用基準穴５１ａ、５３ａに位置決め治具５０の位置決め用ガイドピン５０ａを挿入することにより位置決めが行われ、第１層目の露光が行われる（図１９参照）。次に第１層目の現像が行われ（図２０参照）、第１層目のめっき工程（図２１参照）を経て、第１層目のレジスト５２を剥離して第１層目のめっき５４を形成する（図２２参照）。更に、第１層目のめっき５４上に第２層目のレジスト５５を塗布する。次に、パターンデータを作成し、第２層目の露光フィルム５６を作成する。そして、第２層目の露光フィルム５６の位置決め治具５０の位置決め用ガイドピン５０ａと対応する部分にアライメント用基準穴５６ａを加工する（図２３参照）。次に、位置決め治具５０上に、第１層目のめっき５４上に第２層目のレジスト５５が塗布された母材５１及び第２層目の露光フィルム５６をセットする（図２４参照）。この時、母材５１及び第２層目の露光フィルム５６は、それぞれのアライメント用基準穴５１ａ、５６ａに位置決め治具５０の位置決め用ガイドピン５０ａを挿入することで位置決めが行われ、第２層目の露光が行われる（図２４参照）。次に第２層目の現像が行われ（図２５参照）、第２層目のめっき工程（図２６参照）を経て、第２層目のレジスト５５を剥離して第２層目のめっき５７を形成する（図２７参照）。最後に、母材５１からめっき皮膜５４、５７を剥がす（図２８参照）。
【０００３】
また、従来技術として、スクリーン印刷版の枠体に形成した位置決め孔を焼付露光治具上のスクリーン用ガイドピンに嵌合して所定位置にセットし、次いでマスクの位置決め孔を焼付露光治具上のフィルム用ガイドピンに嵌合し、焼付露光を行って複数のスクリーン印刷用製版を作製し、印刷機のフレームに固定した版固定用プレートにはスクリーン印刷版の位置決め孔と同一位置に版用ガイドピンを突設し、スクリーン印刷用製版を該版用ガイドピンに嵌合セットして、必要枚数を印刷後、順次版を取替えて重ね印刷を行うスクリーン印刷法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、複雑な構造の位置決め治具を用いて位置合せを行うスクリーン印刷方法も知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開昭６３−１０６７５６号公報
【特許文献２】特許第２７１７７０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
２層以上の多層型皮膜構造を持つ多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法においては、２段めっきをする際に１層目と２層目の位置合せをする場合、位置決め治具を用いて位置合せを行っていた。そのため、工程が複雑となり、しかも特別な位置決め治具の製作が必要であり、位置合せにガイドピンを用いる場合は、ガイドピンとアライメント用基準穴に嵌め合いのクリアランスが必要であり、位置精度に問題があり、２層間のずれ量（段差）が２０〜３０μｍ程もあった。また、露光フィルムを使用する場合には、フィルムの伸縮があるため、位置精度が出ないという問題がある。また、ガラス活版の場合は高価であるとともに活版製作に時間が掛かるという問題があり、更には、めっき液の応力による伸縮の発生及び印刷基板の伸縮によるマスク再製作時はフィルム、ガラス活版等の再作成が必要で、納期の延長とコストアップになるという問題も発生する。
【０００６】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、２層以上の多層型皮膜構造を持つ多層膜構造のスクリーン印刷マスクの製作時に、各層の位置合せを直描画機のＣＣＤカメラによるアライメント機能とアライメント用基準穴を設けた母材を使用して、同一のアライメント用基準穴を用いて各層を露光することにより、多層膜の各層の位置決め精度向上とマスク製作時間の短縮を図ることができる多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係る多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法においては、母材を用意し、母材の外周縁部に複数のアライメント用基準穴を加工する工程と、母材に第１層目のレジストを塗布する工程と、描画パターンデータを作成し、アライメント機能を有する直描画機に描画パターンデータを転送する工程と、直描画機の母材載置台上の中央付近に母材をセットする工程と、直描画機のアライメント機能を用いて母材の複数のアライメント用基準穴をＣＣＤカメラで読み取り、予め登録されている母材のアライメント用基準穴の位置情報と比較してセットされている母材の位置ずれ量を算出する工程と、アライメントによる位置情報を元に露光位置の補正を行い、直描画機の描画パターンデータによる第１層目の露光を行う工程と、母材を直描画機の載置台から取り外し、現像後に第１層目のめっき加工を行い、第１層目のレジストを剥離して第１層目のめっきを形成する工程と、母材の第１層目のめっき層に第２層目のレジストを塗布する工程と、直描画機の母材載置台上の中央付近に第２層目のレジストを塗布した後の母材をセットする工程と、直描画機のアライメント機能を用いて母材の複数のアライメント用基準穴をＣＣＤカメラで読み取り、予め登録されているアライメント用基準穴の位置情報と比較してセットされている母材の位置ずれ量を算出する工程と、アライメントによる位置情報を元に露光位置の補正を行い、直描画機の描画パターンデータによる第２層目の露光を行う工程と、母材を直描画機の載置台から取り外し、現像後に第２層目のめっき加工を行い、第２層目のレジストを剥離して第２層目のめっきを形成する工程と、を少なくとも含むものである。
【０００８】
また、母材を用意し、母材の外周縁部に複数のアライメント用基準穴を加工するとともに、母材の基準方向を示すためのマークを加工する工程と、母材に第１層目のレジストを塗布する工程と、描画パターンデータを作成し、アライメント機能を有する直描画機に描画パターンデータを転送する工程と、直描画機の母材載置台上の中央付近に母材をセットする工程と、直描画機のアライメント機能を用いて母材の複数のアライメント用基準穴をＣＣＤカメラで読み取り、予め登録されている母材のアライメント用基準穴の位置情報と比較してセットされている母材の位置ずれ量と伸縮率を算出する工程と、アライメントによる位置情報を元に露光位置の補正と描画パターンの自動伸縮を行い、直描画機の描画パターンデータによる第１層目の露光を行う工程と、母材を直描画機の載置台から取り外し、現像後に第１層目のめっき加工を行い、第１層目のレジストを剥離して第１層目のめっきを形成する工程と、母材の第１層目のめっき層に第２層目のレジストを塗布する工程と、直描画機の母材載置台上の中央付近に第２層目のレジストを塗布した後の母材をセットする工程と、直描画機のアライメント機能を用いて母材の複数のアライメント用基準穴をＣＣＤカメラで読み取り、予め登録されているアライメント用基準穴の位置情報と比較してセットされている母材の位置ずれ量と伸縮率を算出する工程と、アライメントによる位置情報を元に露光位置の補正と描画パターンの自動伸縮を行い、直描画機の描画パターンデータによる第２層目の露光を行う工程と、母材を直描画機の載置台から取り外し、現像後に第２層目のめっき加工を行い、第２層目のレジストを剥離して第２層目のめっきを形成する工程と、を少なくとも含むものである。
【０００９】
また、母材は矩形状であり、母材に加工される４個のアライメント用基準穴は母材の四隅にそれぞれ加工された貫通穴である。
【００１０】
また、母材は矩形状であり、母材に加工される基準方向を示すためのマークは母材の一部を切り欠いて形成した切り欠き部である。
【００１１】
また、母材は矩形状であり、母材に加工される基準方向を示すためのマークは母材の一部に特定の図形パターンを施したものである。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、アライメント用基準穴を設けた母材を使用して、同一のアライメント用基準穴を用いて各層を露光するため、多層膜の各層の位置精度が向上し、生産工程が簡略化され、納期短縮を図ることができる。また、直描画機のＣＣＤカメラによるアライメント機能を用いるので、母材の劣化がなく、長期間の使用に耐えることができる。更に、露光フィルム、ガラス活版等が不要になるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法に用いる母材の構造を示す平面図、図２はこの発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法による直描画機を用いた位置決め方法を説明するための斜視図、図３は母材のアライメント用基準穴による位置補正のためのＸ軸方向ずれ量とＹ軸方向のずれ量、回転方向のずれ量、及びアライメント用基準穴による伸縮率の算出方法をそれぞれ示す説明図、図４はこの発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の流れを説明するためのフローチャート、図５〜図１６はこの発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の各工程を順番に示す断面図である。
【００１４】
この発明による２層以上の多層型皮膜構造を持つ多層膜構造のスクリーン印刷マスク製造方法は、製作時に各層の位置合せを直描画機のＣＣＤカメラによるアライメント機能とアライメント用基準穴を設けた母材を使用して、同一のアライメント用基準穴を用いて各層を露光することにより、多層膜の各層の位置決め精度向上とマスク製作時間の短縮を図るようにしたものである。
【００１５】
図１において、１はこの発明に用いる矩形状の母材で、４個のアライメント用基準穴（貫通穴）１ａが母材１の四隅にそれぞれ加工されている。また、母材１の四隅のうちの一つは、アライメント用基準穴１ａの外側が斜め方向にカットされ、基準方向を示すための目印となる切り欠き部１ｂが形成されている。この目印により、母材１の向きとパターンの向きを確認することができる。
【００１６】
図２において、２は直描画機で、直描画機制御装置３により制御される。直描画機制御装置３は、位置補正部４と伸縮率算出部５を備えている。６は直描画機２に設けられたＣＣＤカメラ、７は直描画機２の母材載置台で、母材１が載置される。
【００１７】
図３において、直描画機２で露光を開始する前に、母材１のアライメント用基準穴１ａをＣＣＤカメラ６で捕らえ、予め登録されている母材のアライメント用基準穴の基準位置情報と比較して、セットされている母材１のずれ量、すなわち、Ｘ軸方向のずれ量ｘ、Ｙ軸方向のずれ量ｙ、回転軸方向のずれ量（角度θ）、伸縮率（ａ／ｂ）を算出する。そして、このアライメント補正機能ＯＮで露光を実行すると、この情報を元に露光位置の補正と描画パターンの自動伸縮を実行するので、露光工程の位置精度が大幅に向上する。なお、アライメント用基準穴（貫通穴）の形状、大きさは、母材１の種類によって異なる。
【００１８】
次に、この発明による多層構造メタルマスクの製造方法の流れを図４のフローチャート及び図５〜図１６の各工程図を用いて説明する。
先ず、母材１を用意し、アライメント用基準穴（貫通穴）１ａ及び基準方向を示すための切り欠き部１ｂを加工する（ステップＳ１、図５参照）。次に、母材１上に第１層目のレジスト８を塗布する（ステップＳ２、図６参照）。次に、描画パターンデータを作成し、アライメント機能を有する直描画機２に描画パターンデータを転送する（ステップＳ３）。次に、直描画機２の母材載置台７の中央付近（決められたカメラ認識エリア内に置く）に母材１をセットする（ステップＳ４、図７参照）。このセットは単純に置くだけで良い。次に、直描画機２のＣＣＤカメラ６により母材１に加工したアライメント用基準穴１ａを読み取り（ステップＳ５、図７参照）、載置台７上の母材位置情報を収集する（ステップＳ６、図７参照）。そして、直描画機２に予め登録されているアライメント用基準穴の基準位置情報と実際にセットされている載置母材１のアライメント用基準穴の位置情報とを比較し（ステップＳ７）、登録済みの基準位置情報と実際にセットされている載置母材１とのずれ量（相違量）、すなわち、Ｘ軸方向のずれ量ｘ、Ｙ軸方向のずれ量ｙ、回転軸方向のずれ量（角度α）、伸縮率（ａ／ｂ）を算出する（ステップＳ８）。そして、このアライメントによる位置補正の情報、伸縮率の算出の情報から直描画機２の加工情報、すなわち露光位置の補正と描画パターンの自動伸縮を変換し（ステップＳ９）、直描画機２の描画パターンデータによる第１層目の露光を実行する（ステップＳ１０、図８参照）。次に、母材１を直描画機２の載置台７から取り外し、現像後に第１層目のめっき加工を行い（ステップＳ１１、図９参照）、第１層目のレジスト８を剥離し第１層目のめっき９を形成する（ステップＳ１２、図１０参照）。更に、母材１の第１層目のめっき９上に第２層目のレジスト１０を塗布する（ステップＳ１３、図１１参照）。次に、直描画機２の母材載置台７の中央付近（決められたカメラ認識エリア内に置く）に第２層目のレジスト１０を塗布した後の母材１をセットする（ステップＳ１４、図１２参照）。このセットは単純に置くだけで良い。次に、直描画機２のＣＣＤカメラ６により母材１に加工したアライメント用基準穴１ａを読み取り（ステップＳ１５、図１２参照）、載置台７上の母材位置情報を収集する（ステップＳ１６、図１２参照）。そして、直描画機２に予め登録されているアライメント用基準穴の基準位置情報と実際にセットされている載置母材１のアライメント用基準穴の位置情報とを比較する（ステップＳ１７）。登録済みの基準位置情報と実際にセットされている載置母材１のずれ量（相違量）、すなわち、Ｘ軸方向のずれ量ｘ、Ｙ軸方向のずれ量ｙ、回転軸方向のずれ量（角度α）、伸縮率（ａ／ｂ）を算出する（ステップＳ１８）。そして、このアライメント用基準穴の位置補正情報、伸縮率の算出の情報から直描画機２の加工情報、すなわち露光位置の補正と描画パターンの自動伸縮を変換し（ステップＳ１９）、直描画機２の描画パターンデータによる第２層目の露光を実行する（ステップＳ２０、図１３参照）。次に、母材１を直描画機２の載置台７から取り外し、現像後に第２層目のめっき加工を行い（ステップＳ２１、図１４参照）、第２層目のレジスト１��を剥離し第２層目のめっき１１を形成する（ステップＳ２２、図１５参照）。最後に、母材１からめっき皮膜９、１１を剥がす（ステップＳ２３、図１６参照）。
なお、上記実施の形態では、２層の場合について説明したが、３層以上の場合もほぼ同様の方法で実施できることは言うまでもない。
【００１９】
以上により、印刷基板外形よりも長い位置にアライメント用基準穴（貫通穴）を設けた母材を使用して、同一のアライメント用基準穴を用いて各層を直描画機により、露光位置の補正と描画パターンの自動伸縮を実行しながら露光するため、多層膜の各層の位置精度が向上し、生産工程が簡略化され、納期短縮を図ることができる。この方法によれば、従来では２０〜３０μｍもあった２層間のずれ量（段差）が、１〜５μｍ程度に抑えることができる。また、直描画機のＣＣＤカメラによるアライメント機能を用いるので、位置決め用ガイドピンによるアライメント用基準穴の劣化がなく、長期間の位置精度の維持と使用に耐えることができる。更に、めっき液の応力による伸縮の発生時及び印刷基板の伸縮によるマスク再製作時もフィルム、ガラス活版等の作成が不要でデータの補正のみで対応が出来るので、納期短縮とコストダウンが実現される。
【００２０】
実施の形態２．
図１７はこの発明の実施の形態２における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法に用いる母材の構造を示す平面図である。
図１７において、１はこの発明に用いる矩形状の母材で、４個のアライメント用基準穴（貫通穴）１ａが母材１の四隅にそれぞれ加工されている。また、母材１の左側辺の中央部に、基準方向を示すための目印となる十字マークの図形パターン１ｃを施したもの、あるいは母材１の下側辺の中央部に基準方向を示すための目印となる三角形の切り込み１ｄを形成するか、又は三角マークの図形パターンを施したものであっても良い。これらの目印により、母材１の向きとパターンの向きを確認することができる。
【００２１】
この実施の形態２においても、詳細な説明を省略するが、上記実施の形態１と同様の作用、効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法に用いる母材の構造を示す平面図である。
【図２】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法による直描画機を用いた位置決め方法を説明するための斜視図である。
【図３】母材のアライメント用基準穴による位置補正のためのＸ軸方向ずれ量とＹ軸方向のずれ量、回転方向のずれ量、及びアライメントマークによる伸縮率の算出方法をそれぞれ示す説明図である。
【図４】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の流れを説明するためのフローチャートである。
【図５】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の最初の工程を示す断面図である。
【図６】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図７】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図８】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図９】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図１０】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図１１】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図１２】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図１３】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図１４】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図１５】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図１６】この発明の実施の形態１における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の最終工程を示す断面図である。
【図１７】この発明の実施の形態２における多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法に用いる母材の構造を示す平面図である。
【図１８】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の最初の工程を示す断面図である。
【図１９】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図２０】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図２１】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図２２】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図２３】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図２４】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図２５】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図２６】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図２７】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の次工程を示す断面図である。
【図２８】従来の多層構造のスクリーン印刷マスク製造方法の最終工程を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  母材
１ａ  アライメント用基準穴（貫通穴）
１ｂ  切り欠き部
１ｃ  十字マークの図形パターン
１ｄ  三角形の切り込み
２  直描画機
３  直描画機制御装置
４  位置補正部
５  伸縮算出部
６  ＣＣＤカメラ
７  母材載置台
８  第１層目のレジスト
９  第１層目のめっき
１０  第２層目のレジスト
１１  第２層目のめっき
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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