(57)【要約】【課題】逆帯電により除電対象物が不適合品となることを防止しつつ、好適に除電できる除電装置を提供すること。【解決手段】コンソール３３に、３段階の許容帯電圧レベル、３段階の距離レベル及びノズル１８の有無を選択可能な画面を表示し、除電対象物Ｗの許容帯電圧に応じた許容帯電圧レベルと、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌに応じた距離レベルと、ノズル１８の有無とが選択されるようにした。制御部３１は、コンソール３３にて選択された許容帯電圧レベル、距離レベル及びノズル１８の有無の組み合わせに対応づけられた周波数を記憶部３４から読み出し、同周波数を制御部３１内の作業メモリ３２に指令周波数として記憶させるようにした。そして、制御部３１は、正極性の高電圧と負極性の高電圧とを、放電針１７に対して作業メモリ３２に記憶された指令周波数で交互に印加するようにした。【選択図】図１
2009059631.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電針と、
正極性の高電圧と負極性の高電圧とを生成する高電圧生成回路と、
前記正極性の高電圧と前記負極性の高電圧とを、前記放電針に対して所定の指令周波数で交互に印加する制御手段と、
前記指令周波数を設定する周波数設定手段と、を備えた除電装置において、
予め設定された複数の許容帯電圧レベルの中から、除電対象物の許容帯電圧に応じた１つの許容帯電圧レベルを選択可能な第１の選択手段と、
複数の前記許容帯電圧レベルにそれぞれ対応づけられた周波数が記憶された記憶手段と、を備え、
前記周波数設定手段は、前記第１の選択手段において選択された前記許容帯電圧レベルに対応づけられた周波数を前記記憶手段から読み出し、該周波数を前記指令周波数として設定することを特徴とする除電装置。
【請求項２】
予め設定された複数の距離レベルの中から、前記除電対象物と前記放電針との距離に応じた１つの距離レベルを選択可能な第２の選択手段を備え、
前記記憶手段には、前記複数の許容帯電圧レベルと前記複数の距離レベルとの各組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数が記憶され、
前記周波数設定手段は、前記第１の選択手段において選択された前記許容帯電圧レベルと、前記第２の選択手段において選択された前記距離レベルとの組み合わせに対応づけられた周波数を前記記憶手段から読み出し、該周波数を前記指令周波数として設定することを特徴とする請求項１に記載の除電装置。
【請求項３】
前記放電針で生成されたイオンを前記除電対象物に供給するとともに着脱可能なノズルと、
前記ノズルが前記除電装置に設けられているか否かを選択可能な第３の選択手段と、を備え、
前記記憶手段には、前記複数の許容帯電圧レベルと、前記複数の距離レベルと、前記ノズルの有無との各組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数が記憶され、
前記周波数設定手段は、前記第１の選択手段において選択された前記許容帯電圧レベルと、前記第２の選択手段において選択された前記距離レベルと、前記第３の選択手段において選択された前記ノズルの有無との組み合わせに対応づけられた周波数を前記記憶手段から読み出し、該周波数を前記指令周波数として設定することを特徴とする請求項２に記載の除電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除電装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、正負の高電圧を放電針に対して所定の周波数で印加することで正負のイオンを交互に生成し、これら正負のイオンを帯電した集積回路等の除電対象物に照射する等して、該除電対象物を電気的に中和する除電装置がある。ところで、除電対象物と放電針との間の距離が短い場合にはイオンがすばやく除電対象物まで到達するため、同じ極性のイオンを照射する周期が長い（周波数が低い）と、除電対象物が除電装置から照射されているイオンの極性に帯電（逆帯電）し、静電気放電が生じる虞がある。一方、除電対象物と放電針との間の距離が長い場合にはイオンが除電対象物に到達までに時間がかかるため、同じ極性のイオンを長時間照射することが必要になる。そこで、特許文献１に記載の除電装置では、除電対象物と放電針との間の距離が短い場合には周波数を高く設定し、除電対象物と放電針との間の距離が長い場合には低く設定することで、除電対象物を好適に除電している。
【特許文献１】特開２０００−５８２９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、許容帯電圧（帯電により生じる静電気放電によって除電対象物が破損しない最大の電圧や帯電により除電対象物に吸着される塵等が所定量を超えないように定められた電圧等の電圧）は、材質や大きさ等により除電対象物毎に異なる。そのため、許容帯電圧の低い除電対象物では、例えば逆帯電により生じた静電気放電によって破損したり、塵等が付着することで除電対象物上に形成された回路が短絡したりして、不適合品になりやすい。しかしながら、上記特許文献１に記載の除電装置では、除電対象物と放電針との間の距離に応じて周波数を設定するため、除電対象物と放電針との間の距離が長い場合には周波数が低く設定されてしまい、許容帯電圧の小さい除電対象物では逆帯電による静電気放電などにより、不適合品となる虞があった。
【０００４】
そこで、除電対象物と放電針との距離が短くなるように除電装置及び除電対象物を配置することで、周波数が高く設定されるようにすることが考えられる。しかし、ユーザの使用環境によっては、除電対象物と放電針との距離が短くなるように除電装置及び除電対象物を配置することができず問題となっていた。
【０００５】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、逆帯電により除電対象物が不適合品となることを防止しつつ、好適に除電できる除電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、放電針と、正極性の高電圧と負極性の高電圧とを生成する高電圧生成回路と、前記正極性の高電圧と前記負極性の高電圧とを、前記放電針に対して所定の指令周波数で交互に印加する制御手段と、前記指令周波数を設定する周波数設定手段と、を備えた除電装置において、予め設定された複数の許容帯電圧レベルの中から、除電対象物の許容帯電圧に応じた１つの許容帯電圧レベルを選択可能な第１の選択手段と、複数の前記許容帯電圧レベルにそれぞれ対応づけられた周波数が記憶された記憶手段と、を備え、前記周波数設定手段は、前記第１の選択手段において選択された前記許容帯電圧レベルに対応づけられた周波数を前記記憶手段から読み出し、該周波数を前記指令周波数として設定するようにした。
【０００７】
同構成によれば、第１の選択手段において、除電対象物の許容帯電圧に応じた許容帯電圧レベルが複数の許容帯電圧レベルの中から１つ選択される。そして、周波数設定手段により、許容帯電圧レベルに対応づけられた周波数が記憶手段から読み出され、該周波数が指令周波数として設定される。記憶手段には、例えば許容帯電圧レベルが小さいほど高い周波数が対応づけられて記憶されている。そのため、除電対象物の許容帯電圧が小さいほど高い周波数が指令周波数として設定されるため、逆帯電により除電対象物に生じる電圧が低く抑えられる。従って、許容帯電圧の低い除電対象物であっても静電気放電などにより不適合品になることが抑制され、好適に除電が行われる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の除電装置において、予め設定された複数の距離レベルの中から、前記除電対象物と前記放電針との距離に応じた１つの距離レベルを選択可能な第２の選択手段を備え、前記記憶手段には、前記複数の許容帯電圧レベルと前記複数の距離レベルとの各組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数が記憶され、前記周波数設定手段は、前記第１の選択手段において選択された前記許容帯電圧レベルと、前記第２の選択手段において選択された前記距離レベルとの組み合わせに対応づけられた周波数を前記記憶手段から読み出し、該周波数を前記指令周波数として設定するようにした。
【０００９】
同構成によれば、周波数設定手段により、第１の選択手段において選択された許容帯電圧レベルと、第２の選択手段において選択された距離レベルとの組み合わせに対応づけられた周波数が記憶手段から読み出され、該周波数が指令周波数として設定される。そして、記憶手段には、例えば許容帯電圧レベルが小さいほど高くなるように各許容帯電圧レベルと対応づけられた周波数に、距離レベルに応じた周波数を加算した周波数が、許容帯電圧レベル及び距離レベルの各組み合わせとそれぞれ対応づけられている。また、距離レベルが大きいほど、許容帯電圧レベルと対応づけられた周波数に加算される周波数が大きくなる。そのため、除電対象物と放電針との距離が短い場合には、指令周波数がより高く設定されることで、逆帯電により除電対象物に生じる電圧がより低く抑えられるため、静電気放電などにより除電対象物が不適合品になることがより確実に抑制され、好適に除電が行われる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の除電装置において、前記放電針で生成されたイオンを前記除電対象物に供給するとともに着脱可能なノズルと、前記ノズルが前記除電装置に設けられているか否かを選択可能な第３の選択手段と、を備え、前記記憶手段には、前記複数の許容帯電圧レベルと、前記複数の距離レベルと、前記ノズルの有無との各組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数が記憶され、前記周波数設定手段は、前記第１の選択手段において選択された前記許容帯電圧レベルと、前記第２の選択手段において選択された前記距離レベルと、前記第３の選択手段において選択された前記ノズルの有無との組み合わせに対応づけられた周波数を前記記憶手段から読み出し、該周波数を前記指令周波数として設定するようにした。
【００１１】
ノズルを設けた場合に、該ノズルが帯電すると放電針で生成されたイオンがノズルを除電することで消滅するため、効率的に除電を行うことができなくなる。そのため、ノズルを設けた場合には、該ノズルが帯電しないように指令周波数を高くする必要がある。この点、同構成によれば、周波数設定手段により、第１の選択手段において選択された許容帯電圧レベルと、第２の選択手段において選択された距離レベルと、第３の選択手段において選択されたノズルの有無との組み合わせに対応づけられた周波数が記憶手段から読み出され、該周波数が指令周波数として設定される。そして、記憶手段には、例えば許容帯電圧レベルが小さいほど高くなるように各許容帯電圧レベルと対応づけられた周波数に、距離レベルに応じた周波数及びノズルの有無に応じた周波数を加算した周波数が、許容帯電圧レベル、距離レベル及びノズルの有無の各組み合わせとそれぞれ対応づけられている。また、ノズルの有無に応じた周波数は、ノズルが除電装置に設けられている場合には、選択された許容帯電圧レベルと距離レベルとに基づく周波数を高くし、ノズルが除電装置に設けられていない場合には、選択された許容帯電圧レベルと距離レベルとに基づく周波数を変更しないようになっている。そのため、除電装置にノズルを設けた場合に、周波数設定手段は、選択された許容帯電圧レベルと距離レベルとに基づく周波数よりも高い周波数を指令周波数として設定するため、除電装置にノズルを設けた場合であっても、放電針で生成されたイオンがノズルを除電することで消滅せず、除電対象物の除電が効率的に行われる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、逆帯電により除電対象物が不適合品となることを防止しつつ、好適に除電可能な除電装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
図１は、除電装置１１のブロック回路図である。除電装置１１は、帯電した集積回路等の除電対象物Ｗに正負のイオンを照射して、該除電対象物Ｗを電気的に中和するために用いられる。除電装置１１の交流電源１２は、低圧側スイッチ１３ａを介して正極性の高電圧を生成する正高電圧生成回路１４に接続されるとともに、低圧側スイッチ１３ｂを介して負極性の高電圧を生成する負高電圧生成回路１５に接続されている。
【００１４】
正高電圧生成回路１４は、低圧側スイッチ１３ａに接続されるトランス２１と、同トランス２１に接続される倍電圧整流回路２２とから構成されている。トランス２１は、交流電源１２から印加された電圧を、その巻き数比に応じた電圧に昇圧して倍電圧整流回路２２に出力する。そして、倍電圧整流回路２２は、トランス２１により昇圧された電圧を、正極性の直流電圧に整流するとともに所定の倍率（例えば、２倍）の電圧にして出力する。このようにして、正高電圧生成回路１４は、正極性の高電圧を出力するようになっている。同様に、負高電圧生成回路１５は、低圧側スイッチ１３ｂに接続されるトランス２３と、同トランス２３に接続される倍電圧整流回路２４とを備えている。そして、負高電圧生成回路１５は、交流電源１２により印加される電圧をトランス２３により昇圧して倍電圧整流回路２４に出力し、倍電圧整流回路２４により負極性の直流電圧に整流するとともに所定の倍率の電圧にすることで、負極性の高電圧を出力するようになっている。なお、本実施形態では、倍電圧整流回路２２，２４は、所謂コッククロフト・ウォルトン型の倍電圧整流回路として構成されている。
【００１５】
正高電圧生成回路１４の出力端子は、高圧側スイッチ１６ａを介して放電針１７に接続されるとともに、負高電圧生成回路１５の出力端子は、高圧側スイッチ１６ｂを介して放電針１７に接続されている。そして、放電針１７の先端側には、円筒状のノズル１８が着脱可能に設けられている。高圧側スイッチ１６ａがオンすることで正高電圧生成回路１４により生成された正極性の高電圧が放電針１７に印加され、該放電針１７において正極性のイオンが生成される。また、高圧側スイッチ１６ｂがオンすることで、負高電圧生成回路１５で生成された負極性の高電圧が放電針１７に印加され、該放電針１７において負極性のイオンが生成される。そして、放電針１７において生成されたイオンは、ノズル１８を介して除電対象物Ｗに照射される。なお、高圧側スイッチ１６ａ，１６ｂは、例えば半導体成分に炭化ケイ素を含めることで耐電圧を大きくした電界効果型トランジスタにより構成されており、高電圧の切り換えを高速で行うことが可能になっている。
【００１６】
低圧側スイッチ１３ａ，１３ｂ及び高圧側スイッチ１６ａ，１６ｂは、制御手段及び周波数設定手段としての制御部３１に接続されている。そして、制御部３１からの制御信号Ｓにより、低圧側スイッチ１３ａ及び高圧側スイッチ１６ａと、低圧側スイッチ１３ｂ及び高圧側スイッチ１６ｂとが相補的にオンオフするようになっている。例えば、制御部３１の制御信号ＳがＨレベルの場合には、低圧側スイッチ１３ａ及び高圧側スイッチ１６ａがオンするとともに、低圧側スイッチ１３ｂ及び高圧側スイッチ１６ｂがオフして、放電針１７に正極性の高電圧が印加されるようになっている。一方、制御部３１の制御信号ＳがＬレベルの場合には、低圧側スイッチ１３ａ及び高圧側スイッチ１６ａがオフするとともに、低圧側スイッチ１３ｂ及び高圧側スイッチ１６ｂがオンして、放電針１７に負極性の高電圧が印加されるようになっている。
【００１７】
また、制御部３１には、揮発性メモリからなる作業メモリ３２が設けられている。作業メモリ３２には、制御信号Ｓの出力レベルを切り換える、即ち低圧側スイッチ１３ａ，１３ｂ及び高圧側スイッチ１６ａ，１６ｂのオンオフを切り換える周期（以下、指令周波数という）が記憶される。そして、制御部３１は、指令周波数に応じて低圧側スイッチ１３ａ，１３ｂ及び高圧側スイッチ１６ａ，１６ｂのオンオフを切り換えることで、正極性の高電圧と負極性の高電圧とを、放電針１７に対して指令周波数で交互に印加するようになっている。
【００１８】
さらに、制御部３１には、第１、第２及び第３の選択手段としてのコンソール３３及び不揮発性メモリ等からなる記憶手段としての記憶部３４が接続されている。コンソール３３は、例えば液晶ディスプレイ等からなる表示画面と、同表示画面の表面に配置されたタッチパネルとを備え、表示画面に制御部３１からの信号に応じて文字等を表示するとともに、その文字等が表示された範囲に対する接触を検出し、その信号を制御部３１に出力するようになっている。
【００１９】
記憶部３４には、除電対象物Ｗの許容帯電圧に応じて、例えば３段階に階層化された許容帯電圧レベル（許容帯電圧レベル「大」，「中」，「小」）と、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌに応じて３段階に階層化された距離レベル（距離レベル「大」，「中」，「小」）が記憶されている。さらに、記憶部３４には、許容帯電圧レベルと距離レベルとの各組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数が記憶されている。具体的には、記憶部３４には、図２に示すように、許容帯電圧レベルが小さいほど高くなるように各許容帯電圧レベルと対応づけられた周波数に、距離レベルに応じた周波数及びノズル１８の有無に応じた周波数を加算した周波数が、許容帯電圧レベル、距離レベル及びノズル１８の有無の各組み合わせとそれぞれ対応づけられている。なお、距離レベルに応じた周波数は、距離レベルが小さいほど高く、距離レベルが最大の場合（本実施形態では、距離レベル「大」）に０となっており、許容帯電圧レベルと対応づけられた周波数よりも低い周波数が指令周波数として設定されないようになっている。また、ノズル１８の有無に応じた周波数は、ノズル１８が除電装置１１に設けられている場合には、選択された許容帯電圧レベルと距離レベルとに基づく周波数を高くし、ノズル１８が除電装置１１に設けられていない場合には、選択された許容帯電圧レベルと距離レベルとに基づく周波数を変更しないようになっている。そして、コンソール３３には、３段階の許容帯電圧レベル、３段階の距離レベル及びノズル１８の有無が選択可能に表示されるようになっている。
【００２０】
次に、指令周波数の設定について説明する。
コンソール３３には、３段階の許容帯電圧レベル、３段階の距離レベル及びノズル１８の有無を選択可能な画面が表示され、ユーザにより、除電対象物Ｗの許容帯電圧に応じた許容帯電圧レベル、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌに応じた距離レベル及びノズル１８の有無が選択される。そうすると、制御部３１は、コンソール３３にて選択された許容帯電圧レベル、距離レベル及びノズルの有無の組み合わせに対応づけられた周波数を記憶部３４から読み出し、同周波数を制御部３１内の作業メモリ３２に指令周波数として記憶させる。そして、制御部３１により、除電対象物Ｗの許容帯電圧、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌ及びノズル１８の有無に応じた周波数で、正極性の高電圧と負極性の高電圧とが放電針１７に対して交互に印加される。
【００２１】
このため、除電対象物Ｗの許容帯電圧に応じて、許容帯電圧レベルが小さい場合ほど高い周波数で、正極性の高電圧と負極性の高電圧とが放電針１７に対して交互に印加される。従って、除電対象物Ｗの許容帯電圧が低い場合には、指令周波数が高く設定されることで、逆帯電により除電対象物Ｗに生じる電圧が低く抑えられるため、該除電対象物Ｗが静電気放電などにより不適合品になることが抑制される。また、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌに応じて、距離レベルが小さい場合ほどより高い周波数で、正極性の高電圧と負極性の高電圧とが放電針１７に対して交互に印加される。従って、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌが短い場合には、指令周波数がより高く設定されることで、逆帯電により除電対象物Ｗに生じる電圧がより低く抑えられるため、該除電対象物Ｗが静電気放電などにより不適合品になることがより確実に抑制される。
【００２２】
ノズル１８が設けられている場合には、指令周波数がさらに高く設定されることで、ノズル１８が帯電することが防止されるため、放電針１７で生成されたイオンがノズル１８を除電することで消滅せず、除電対象物Ｗの除電が効率的に行われる。このように、ノズル１８を設けた場合には、局所的にイオンを照射することが可能になるため、除電対象物Ｗに形成された溝の底部なども好適に除電される。なお、ノズル１８を取り外した場合には、広範囲にわたってイオンを照射することが可能になるため、除電対象物Ｗ全体が除電される。そして、ノズル１８は除電装置１１に着脱可能であるため、除電対象物Ｗに応じて好適に除電を行うことが可能である。
【００２３】
以上記述したように、本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）コンソール３３に、３段階の許容帯電圧レベル、３段階の距離レベル及びノズル１８の有無を選択可能な画面を表示し、除電対象物Ｗの許容帯電圧に応じた許容帯電圧レベルと、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌに応じた距離レベルと、ノズル１８の有無とが選択されるようにした。制御部３１は、コンソール３３にて選択された許容帯電圧レベル、距離レベル及びノズル１８の有無の組み合わせに対応づけられた周波数を記憶部３４から読み出し、同周波数を制御部３１内の作業メモリ３２に指令周波数として記憶させるようにした。そして、制御部３１は、正極性の高電圧と負極性の高電圧とを、放電針１７に対して作業メモリ３２に記憶された指令周波数で交互に印加するようにした。記憶部３４には、許容帯電圧レベルが小さいほど高くなるように各許容帯電圧レベルと対応づけられた周波数に、距離レベルに応じた周波数及びノズル１８の有無に応じた周波数を加算した周波数が、許容帯電圧レベル、距離レベル及びノズル１８の有無の各組み合わせとそれぞれ対応づけられている。このため、除電対象物Ｗの許容帯電圧に応じて、許容帯電圧レベルが低いほど高い周波数で、正極性の高電圧と負極性の高電圧とが放電針１７に対して交互に印加される。従って、除電対象物Ｗの許容帯電圧が低い場合には、指令周波数が高く設定されることで、逆帯電により除電対象物Ｗに生じる電圧が低く抑えられるため、該除電対象物Ｗが静電気放電などにより不適合品になることが抑制され、好適に除電を行うことができる。また、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌに応じて、距離レベルが小さい場合ほどより高い周波数で、正極性の高電圧と負極性の高電圧とが放電針１７に対して交互に印加される。従って、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌが短い場合には、指令周波数がより高く設定されることで、逆帯電により除電対象物Ｗに生じる電圧がより低く抑えられるため、該除電対象物Ｗが静電気放電などにより不適合品になることがより確実に抑制され、好適に除電を行うことができる。
【００２４】
（２）ノズル１８が設けられている場合には、指令周波数がさらに高く設定されることで、ノズル１８が帯電することが防止されるため、放電針１７で生成されたイオンがノズル１８を除電することで消滅せず、除電対象物Ｗの除電を効率的に行うことができる。
【００２５】
尚、本実施形態は、以下の態様で実施してもよい。
・本実施形態では、許容帯電圧レベル、距離レベル及びノズル１８の有無の組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数を記憶部３４に記憶し、コンソール３３で選択された許容帯電圧レベル、距離レベル及びノズル１８の有無の組み合わせに対応づけられた周波数を読み出して指令周波数としたが、これに限らない。例えば、許容帯電圧レベル及び距離レベルの組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数を記憶部３４に記憶し、コンソール３３で選択された許容帯電圧レベル及び距離レベルの組み合わせに対応づけられた周波数を読み出すとともに、ノズル１８が設けられている場合には、この周波数に所定値を加えて高くした周波数を指令周波数としてもよい。
【００２６】
・本実施形態では、記憶部３４に除電対象物Ｗの許容帯電圧に応じた３段階の許容帯電圧レベルと、除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌに応じた３段階の距離レベルを記憶し、これらの中から除電対象物Ｗの許容帯電圧に応じた許容帯電圧レベル、及び除電対象物Ｗと放電針１７との距離Ｌに応じた距離レベルを選択するようにした。しかし、これに限らず、記憶部３４に記憶される許容帯電圧レベル及び距離レベルは、２段階以上であれば何段階でもよい。
【００２７】
・本実施形態では、記憶部３４に許容帯電圧レベル、距離レベル及びノズル１８の有無の各組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数を記憶したが、これに限らず、複数の許容帯電圧レベル及び距離レベルの組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数を記憶部３４に記憶してもよい。また、複数の許容帯電圧レベル及びノズル１８の有無の組み合わせにそれぞれ対応づけられた周波数を記憶部３４に記憶してもよく、許容帯電圧レベルのみに対応づけられた周波数を記憶部３４に記憶してもよい。このようにしても、除電対象物Ｗの許容帯電圧に応じた周波数で、正極性の高電圧と負極性の高電圧とが放電針１７に対して交互に印加されるため、除電対象物Ｗが静電気放電などにより不適合品になることを抑制しつつ、好適に除電できる。
【００２８】
・本実施形態では、高圧側スイッチ１６ａ，１６ｂを、半導体成分に炭化ケイ素を含めることで許容帯電圧を大きくした電界効果型トランジスタにより構成したが、これに限らず、高電圧の切り換えを高速で行うことが可能であれば、その他のスイッチング素子でよく、例えば半導体成分に炭化ケイ素が含まれたバイポーラトランジスタでもよい。また、許容帯電圧を大きくしたスイッチング素子を用いずに、スイッチング素子を並列に複数個並べることにより、高電圧の切り換えを高速で行うようにしてもよい。
【００２９】
・本実施形態では、倍電圧整流回路２２，２４をコッククロフト・ウォルトン型の倍電圧整流回路として構成したが、これに限らず、所謂ビラード型の倍電圧整流回路として構成してもよい。
【００３０】
・本実施形態では、除電装置１１にノズル１８を設けたが、これに限らず、ノズル１８を設けなくともよい。
・本実施形態では、交流電源１２により、正高電圧生成回路１４及び負高電圧生成回路１５に交流電圧を供給したが、これに限らず、直流電源からの電圧をインバータにより交流電圧に変換して、正高電圧生成回路１４及び負高電圧生成回路１５に供給してもよい。
【００３１】
・本実施形態において、ファン等によりエアーを発生させ、該エアーによってイオンを除電対象物Ｗに吹き付けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】除電装置のブロック回路図。
【図２】許容帯電圧レベルと周波数との関係を示す波形図。
【符号の説明】
【００３３】
１１…除電装置、１３ａ，１３ｂ…低圧側スイッチ、１４…正高電圧生成回路、１５…負高電圧生成回路、１６ａ，１６ｂ…高圧側スイッチ、１７…放電針、１８…ノズル、３１…制御部、３３…コンソール、３４…記憶部、Ｌ…距離、Ｗ…除電対象物。
【図１】
2009059631.tif 000003
【図２】
2009059631.tif 000004