(57)【要約】【課題】高効率でしかも高精度にグリーンシートを積層可能なグリーンシート積層装置および積層型電子部品の製造装置を提供すること。【解決手段】シート積層位置に配置される積層テーブル８０の上で、第１ヘッド４２から受け渡されたグリーンシート１０ａの第１積層位置と、第２ヘッド４４から受け渡されたグリーンシート１０ｂの第２積層位置との搬送位置ズレを検出する搬送ズレ検出手段７２と、搬送ズレ検出手段７２で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、テーブル旋回機構３６に対する第１テーブル３２の相対位置を調節し、搬送位置ズレが小さくなるようにする制御手段７０とを有するグリーンシート積層装置である。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層されるべきグリーンシートがそれぞれ設置される第１テーブルおよび第２テーブルを具備し、これらの第１テーブルおよび第２テーブルを、これらのテーブルの中間に位置するテーブル旋回軸を中心に、少なくともシート受渡位置を通過するように旋回させるテーブル旋回機構と、
前記テーブル旋回機構の旋回動作により前記第１テーブルが前記シート受渡位置に位置する場合に、当該第１テーブルに設置された前記グリーンシートが受け渡される第１ヘッドを具備する共に、前記テーブル旋回機構の旋回動作により前記第２テーブルが前記シート受渡位置に位置する場合に、当該第２テーブルに設置された前記グリーンシートが受け渡される第２ヘッドを具備し、これらの第１ヘッドおよび第２ヘッドの中間に位置するヘッド旋回軸を中心に、前記シート受渡位置とシート積層位置とを通過するように、前記第１ヘッドおよび第２ヘッドを旋回させるヘッド旋回機構と、
前記ヘッド旋回機構の旋回動作により前記第１ヘッドまたは第２ヘッドが前記シート積層位置に位置する場合に、前記第１ヘッドまたは第２ヘッドが保持している前記グリーンシートが積層される積層テーブルと、
前記シート積層位置に配置され、前記積層テーブルの上で、前記第１ヘッドから受け渡されたグリーンシートの第１積層位置と、前記第２ヘッドから受け渡されたグリーンシートの第２積層位置との搬送位置ズレを検出する搬送ズレ検出手段と、
前記搬送ズレ検出手段で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、前記テーブル旋回機構に対する前記第１テーブルの相対位置を調節する第１調節機構と、を有するグリーンシート積層装置。
【請求項２】
前記搬送ズレ検出手段が、前記グリーンシートに形成された位置決めマークを撮像する積層位置検出カメラに接続してある請求項１に記載のグリーンシート積層装置。
【請求項３】
前記搬送ズレ検出手段で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、前記第１調節機構を制御する第１制御手段をさらに有し、第１制御手段では、前記搬送位置ズレが小さくなるように、前記第１調節機構を制御する請求項１または２に記載のグリーンシート積層装置。
【請求項４】
前記第１テーブルまたは第２テーブルに対して、前記グリーンシートが受け渡されるシート受取位置に配置され、前記第１テーブルまたは第２テーブルに受け渡されたグリーンシートの初期位置ズレを検出する初期ズレ検出手段をさらに有する請求項１〜３のいずれかに記載のグリーンシート積層装置。
【請求項５】
前記第１調節機構では、前記初期ズレ検出手段で検出された前記初期位置ズレのデータと、前記搬送位置ズレのデータとに基づき、前記テーブル旋回機構に対する前記第１テーブルの相対位置を調節することを特徴とする請求項４に記載のグリーンシート積層装置。
【請求項６】
前記初期ズレ検出手段が、前記グリーンシートに形成された位置決めマークを撮像する初期位置検出カメラに接続してある４または５に記載のグリーンシート積層装置。
【請求項７】
前記第１調節機構は、前記テーブル旋回機構に対する前記第１テーブルの旋回平面内の相互に垂直なＸ軸およびＹ軸方向の第１移動機構と、第１テーブルの中心に対する回転角度θを調節する第１角度調節機構とを含む請求項１〜６のいずれかに記載のグリーンシート積層装置。
【請求項８】
前記搬送ズレ検出手段で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、前記テーブル旋回機構に対する前記第２テーブルの相対位置を調節する第２調節機構をさらに有する請求項１〜７のいずれかに記載のグリーンシート積層装置。
【請求項９】
前記搬送ズレ検出手段で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、前記第２調節機構を制御する第２制御手段をさらに有し、第２制御手段では、前記搬送位置ズレが小さくなるように、前記第２調節機構を制御する請求項８に記載のグリーンシート積層装置。
【請求項１０】
前記第１制御手段が前記第２制御手段を兼ねる請求項９に記載のグリーンシート積層装置。
【請求項１１】
前記第２調節機構は、前記テーブル旋回機構に対する前記第２テーブルの旋回平面内の相互に垂直なＸ軸およびＹ軸方向の第２移動機構と、第２テーブルの中心に対する回転角度θを調節する第２角度調節機構とを含む請求項８〜１０のいずれかに記載のグリーンシート積層装置。
【請求項１２】
前記搬送ズレ検出手段にて検出された搬送位置ズレが、所定値以上である場合には、警告信号を出力する警告手段をさらに有する請求項１〜１１のいずれかに記載のグリーンシート積層装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかに記載のグリーンシート積層装置を含む積層型電子部品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシート積層装置および積層型電子部品の製造装置に係り、さらに詳しくは、高効率でしかも高精度にグリーンシートを積層可能なグリーンシート積層装置および積層型電子部品の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサなどの電子部品を製造する過程においては、グリーンシートを高精度に位置合わせして積層するためのグリーンシート積層装置が必要となる。このような積層装置においては、従来では、単一のハンドを有する搬送装置により、グリーンシートを積層位置に搬送して積層することが一般的であった（特許文献１）。
【０００３】
しかしながら、単一のハンドを有する搬送装置により、グリーンシートを積層位置に搬送して積層する装置では、積層時の位置合わせが容易であるが、搬送効率および積層効率が悪いという課題を有している。
【０００４】
そこで、旋回テーブルや旋回ヘッドを用いて、グリーンシートを積層位置に搬送して積層することが考えられる。しかしながら、旋回テーブルや旋回ヘッドの組み合わせにより、グリーンシートの積層ズレが発生してしまい、旋回テーブルや旋回ヘッドを組み合わせてグリーンシートを実際に積層することは困難であろうと考えられていた。
【０００５】
特に、積層型電子部品の小型化に伴い、グリーンシートにおける許容可能な積層ズレの範囲も狭くなってきており、高精度に位置決めして、高効率でグリーンシートを積層することができるグリーンシート積層装置が求められている。
【特許文献１】特開平０６−２４６７３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、高効率でしかも高精度にグリーンシートを積層可能なグリーンシート積層装置および積層型電子部品の製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係るグリーンシート積層装置は、
積層されるべきグリーンシートがそれぞれ設置される第１テーブルおよび第２テーブルを具備し、これらの第１テーブルおよび第２テーブルを、これらのテーブルの中間に位置するテーブル旋回軸を中心に、少なくともシート受渡位置を通過するように旋回させるテーブル旋回機構と、
前記テーブル旋回機構の旋回動作により前記第１テーブルが前記シート受渡位置に位置する場合に、当該第１テーブルに設置された前記グリーンシートが受け渡される第１ヘッドを具備する共に、前記テーブル旋回機構の旋回動作により前記第２テーブルが前記シート受渡位置に位置する場合に、当該第２テーブルに設置された前記グリーンシートが受け渡される第２ヘッドを具備し、これらの第１ヘッドおよび第２ヘッドの中間に位置するヘッド旋回軸を中心に、前記シート受渡位置とシート積層位置とを通過するように、前記第１ヘッドおよび第２ヘッドを旋回させるヘッド旋回機構と、
前記ヘッド旋回機構の旋回動作により前記第１ヘッドまたは第２ヘッドが前記シート積層位置に位置する場合に、前記第１ヘッドまたは第２ヘッドが保持している前記グリーンシートが積層される積層テーブルと、
前記シート積層位置に配置され、前記積層テーブルの上で、前記第１ヘッドから受け渡されたグリーンシートの第１積層位置と、前記第２ヘッドから受け渡されたグリーンシートの第２積層位置との搬送位置ズレを検出する搬送ズレ検出手段と、
前記搬送ズレ検出手段で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、前記テーブル旋回機構に対する前記第１テーブルの相対位置を調節する第１調節機構と、を有する。
【０００８】
本発明に係るグリーンシート積層装置では、搬送ズレ検出手段により、第１ヘッドから受け渡されたグリーンシートの第１積層位置と、前記第２ヘッドから受け渡されたグリーンシートの第２積層位置との搬送位置ズレを検出する。搬送位置ズレは、第１テーブルと第１ヘッドの組み合わせと、第２テーブルと第２ヘッドとの組み合わせとの違いにより形成されると考えられる。すなわち、第１テーブルに受け取られたグリーンシートは、必ず第１ヘッドに受け渡され、第２テーブルに受け取られたグリーンシートは、必ず第２ヘッドに受け渡されるからである。
【０００９】
たとえば受渡位置において、第１テーブルと第２テーブルが必ず同じ位置に来て、第１ヘッドと第２ヘッドとが必ず同じ位置に来る場合には、搬送位置ズレは生じない。しかしながら、実際の装置では、テーブル旋回機構の誤差や、ヘッド旋回機構の誤差などのために、第１テーブルと第２テーブルが全く同じ位置に来ることは少なく、また、第１ヘッドと第２ヘッドとが全く同じ位置に来ることも少ない。そのために、第１テーブルへのグリーンシートの受取時の位置決めと、第２テーブルへのグリーンシートの位置決めとを同じにした場合には、何ら対策を採用しないと、第１ヘッドから受け渡されたグリーンシートの第１積層位置と、前記第２ヘッドから受け渡されたグリーンシートの第２積層位置とは、位置ズレしてしまう。
【００１０】
しかしながら、本発明の装置では、搬送ズレ検出手段で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、第１調節機構により、テーブル旋回機構に対する前記第１テーブルの相対位置を調節する。そのため、本発明の装置では、容易に積層ズレを防止し、高精度な位置決めでグリーンシートを積層することができる。しかも、旋回テーブルと旋回ヘッドの組み合わせを用いているために、一方のヘッドが積層している間に、他方のヘッドがグリーンシートの取り出しを行うために、待ち時間がなくなり、搬送効率および積層効率が向上する。
【００１１】
すなわち、本発明の装置では、高効率でしかも高精度にグリーンシートを積層することが可能になる。
【００１２】
特に本発明の装置では、第１テーブルと第１ヘッドの組み合わせと、第２テーブルと第２ヘッドとの組み合わせとの違いを考慮に入れて制御するために、一枚ごとのグリーンシートに対して、搬送位置ズレを検出する必要はなく、たとえばグリーンシートの種類が変わる毎などに、搬送位置ズレを検出すれば十分である。あるいは、ロット毎に搬送位置ズレを検出すれば十分であり、いったん、搬送位置ズレのデータに基づき、テーブル旋回機構に対する第１テーブルの相対位置を調節した後は、しばらく、その位置を調節しなくとも、搬送積層ズレは生じないことが多い。
【００１３】
なお、本発明では、一枚ごとのグリーンシートに対して、搬送位置ズレを検出して、搬送位置ズレのデータに基づき、テーブル旋回機構に対する第１テーブルの相対位置を調節してもよい。また、本発明では、積層動作を繰り返している同一ロット内のグリーンシートに経時変化が生じ、位置ズレの度合いが変動するような場合でも、位置調整の動作を追従させて、積層位置の精度を保つことができる。
【００１４】
好ましくは、前記搬送ズレ検出手段が、前記グリーンシートに形成された位置決めマークを撮像する積層位置検出カメラに接続してある。積層位置検出カメラがグリーンシートに形成された位置決めマークを撮像することで、搬送ズレを容易に検出することができる。
【００１５】
好ましくは、前記搬送ズレ検出手段で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、前記第１調節機構を制御する第１制御手段をさらに有し、第１制御手段では、前記搬送位置ズレが小さくなるように、前記第１調節機構を制御する。搬送位置ズレが小さくなるように第１調節機構を制御することで、高効率でしかも高精度にグリーンシートを積層することが可能になる。
【００１６】
好ましくは、本発明のグリーンシート積層装置は、前記第１テーブルまたは第２テーブルに対して、前記グリーンシートが受け渡されるシート受取位置に配置され、前記第１テーブルまたは第２テーブルに受け渡されたグリーンシートの初期位置ズレを検出する初期ズレ検出手段をさらに有する。
【００１７】
好ましくは、前記第１調節機構では、前記初期ズレ検出手段で検出された前記初期位置ズレのデータと、前記搬送位置ズレのデータとに基づき、前記テーブル旋回機構に対する前記第１テーブルの相対位置を調節する。二種類の位置補正を一つの動作で行うことにより、誤差が累積せず、且つ位置補正に要する工程時間を短縮することができる。
【００１８】
好ましくは、前記初期ズレ検出手段が、前記グリーンシートに形成された位置決めマークを撮像する初期位置検出カメラに接続してある。初期位置ズレ検出カメラがグリーンシートに形成された位置決めマークを撮像することで、第１テーブルまたは第２テーブルの上に受け渡されたグリーンシートと各テーブルとの初期位置補正を高精度に行うことができる。
【００１９】
好ましくは、前記第１調節機構は、前記テーブル旋回機構に対する前記第１テーブルの旋回平面内の相互に垂直なＸ軸およびＹ軸方向の第１移動機構と、第１テーブルの中心に対する回転角度θを調節する第１角度調節機構とを含む。位置ズレは、Ｘ軸およびＹ軸方向のみでなく、角度θ方向にも生じるために、これらの方向で位置を調節することで、高精度な位置決めが可能になる。
【００２０】
グリーンシート積層装置は、前記搬送ズレ検出手段で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、前記テーブル旋回機構に対する前記第２テーブルの相対位置を調節する第２調節機構をさらに有しても良い。グリーンシート積層装置が第２調節機構を有することで、テーブル旋回機構に対して第２テーブルの相対位置を調節することが可能になる。搬送ズレは、第１調節機構のみでも解消可能であるが、双方の調節機構を調節することで、補正動作を迅速にすることが期待できる。
【００２１】
好ましくは、グリーンシート積層装置は、前記搬送ズレ検出手段で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、前記第２調節機構を制御する第２制御手段をさらに有し、第２制御手段では、前記搬送位置ズレが小さくなるように、前記第２調節機構を制御する。搬送位置ズレが小さくなるように第２調節機構を制御することで、さらに高効率でしかも高精度にグリーンシートを積層することが可能になる。
【００２２】
前記第１制御手段が前記第２制御手段を兼ねていてもよい。このように第１制御手段が第２制御手段を兼ねることで、部品点数の削減に寄与する。
【００２３】
好ましくは、前記第２調節機構は、前記テーブル旋回機構に対する前記第２テーブルの旋回平面内の相互に垂直なＸ軸およびＹ軸方向の第２移動機構と、第２テーブルの中心に対する回転角度θを調節する第２角度調節機構とを含む。位置ズレは、Ｘ軸およびＹ軸方向のみでなく、角度θ方向にも生じるために、これらの方向で位置を調節することで、高精度な位置決めが可能になる。
【００２４】
好ましくは、本発明のグリーンシート積層装置は、前記搬送ズレ検出手段にて検出された搬送位置ズレが、所定値以上である場合には、警告信号を出力する警告手段をさらに有する。搬送位置ズレが所定値以上である場合には、何らかの警告信号を出力し、装置の稼働を停止させ、不良となる積層品の発生を未然に防ぐことができる。あるいは、警告音を出力したり、警告映像などを表示して、作業者に警告を発しても良い。
【００２５】
本発明に係る積層型電子部品の製造装置は、上述したグリーンシート積層装置を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの概略断面図、
図２は図１に示すコンデンサを製造する過程で製造されるグリーンシートの切断前平面図、
図３（Ａ）および図３（Ｂ）は図２に示すグリーンシートを切断後のグリーンシートの平面図、
図４（Ａ）および図４（Ｂ）は図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すグリーンシートを交互に積層した後の積層体の例を示す断面図、
図５は本発明の一実施形態に係るグリーンシート積層装置の概略平面図、
図６は図５に示す積層装置の側面図、
図７は図６に示す積層装置をさらに具体化した側面図、
図８は図７の要部拡大側面図である。
積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
【００２７】
まず、本発明の一実施形態に係るグリーンシート積層装置を含む積層電子部品の製造装置により製造される積層電子部品の一例として、積層セラミックコンデンサおよびその製造方法の概略について説明する。
【００２８】
図１に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ２は、コンデンサ素体４と、第１端子電極６と第２端子電極８とを有する。コンデンサ素体４は、誘電体層１０と、内部電極層１２とを有し、誘電体層１０の間に、これらの内部電極層１２が交互に積層してある。交互に積層される一方の内部電極層１２は、コンデンサ素体４の第１端部外側に形成してある第１端子電極６に電気的に接続してある。また、交互に積層される他方の内部電極層１２は、コンデンサ素体４の第２端部外側に形成してある第２端子電極８に電気的に接続してあり、第１端子電極６との間で、コンデンサ回路を形成している。
【００２９】
本実施形態では、この積層セラミックコンデンサ２を製造するために、図２に示すように、ＰＥＴフィルムなどで構成される支持シート２０の表面に、その長手方向に沿って、図１に示す誘電体層１０となるべき誘電体グリーンシート１０Ａをドクターブレードなどで形成する。
【００３０】
グリーンシート１０Ａの表面には、図１に示す一方の内部電極層１０となる第１パターンの第１電極ペースト層１２ａと、他方の内部電極層１０となる第２パターンの第２電極パターン層１２ｂと、がグリーンシート１０Ａの長手方向に沿って交互に形成される。これらのペースト層１２ａ，１２ｂの外周四隅位置には、位置決め用マーク１２ｃ，１２ｄがそれぞれ形成される。
【００３１】
電極ペースト層１２ａ，１２ｂと位置決め用マーク１２ｃ，１２ｄとは、同じ電極ペーストを用いて、たとえばスクリーン印刷により、グリーンシート１０Ａの表面に形成される。
【００３２】
図２に示す電極ペースト層１２ａ，１２ｂと位置決め用マーク１２ｃ，１２ｄとが形成されたグリーンシート１０Ａは、各電極ペースト層１２ａ，１２ｂ毎に、切断され、図３（Ａ）に示す第１グリーンシート１０ａと、図３（Ｂ）に示す第２グリーンシート１０ｂとが得られる。これらのグリーンシート１０ａ，１０ｂに形成してある電極ペースト層１２ａ，１２ｂの各パターンは、図４（Ａ）または図４（Ｂ）に示すようにグリーンシート１０ａ，１０ｂを交互に積層する際に所定ピッチずれるようなパターンである。
【００３３】
図３（Ａ）に示す第１グリーンシート１０ａと、図３（Ｂ）に示す第２グリーンシート１０ｂとは、図４（Ａ）または図４（Ｂ）に示すように交互に積層され、その後に、切断線１６に沿って切断されることで、図１に示すコンデンサ素体４となるグリーンチップ４ａが得られる。グリーンチップ４ａは、脱バインダ処理および焼成処理されて、図１に示すコンデンサ素体４となり、その後に端子電極６および８が形成されて図１に示す積層セラミックコンデンサ２となる。
【００３４】
図４（Ａ）または図４（Ｂ）から明らかなように、グリーンシート１２ａおよび１２ｂを交互に積層する際に、これらのグリーンシート１２ａおよび１２ｂが位置ズレして積層されると、コンデンサ回路を構成しないおそれがある。そのため、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、グリーンシート１０ａ，１０ｂには、位置決めマーク１２ｃ，１２ｄがそれぞれ形成してあり、これらのマーク１２ｃ，１２ｄを用いてグリーンシート１０ａ，１０ｂを正確に位置決めして積層することが重要である。
グリーンシート積層装置
【００３５】
本実施形態では、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すようなグリーンシート１０ａ，１０ｂを正確に位置決めして積層するために、図５〜図８に示すグリーンシート積層装置３０を用いている。本実施形態のグリーンシート積層装置３０は、テーブル旋回機構３６と、ヘッド旋回機構４６とを少なくとも有する。
【００３６】
テーブル旋回機構３６には、第１旋回軸３８を回転中心として旋回される第１テーブル３２と、その１８０度反対側に位置して同様に旋回される第２テーブル３４とを有する。テーブル旋回機構３６により第１テーブル３２および第２テーブル３４が旋回軸３８回りに回転し、第１テーブル３２がシート受渡位置５２に位置する場合には、第２テーブル３４がシート受取位置５０に位置する。また、さらに１８０度の回転角度で、テーブル旋回機構３６により第１テーブル３２および第２テーブル３４が旋回軸３８回りに回転すれば、第１テーブル３２がシート受取位置５０に位置し、第２テーブル３４がシート受渡位置５２に位置する。
【００３７】
ヘッド旋回機構４６には、第２旋回軸４８を回転中心として旋回される第１ヘッド４２と、その１８０度反対側に位置して同様に旋回される第２ヘッド４４とを有する。ヘッド旋回機構４６により第１ヘッド４２および第２ヘッド４４が旋回軸４８回りに回転し、第１ヘッド４２がシート受渡位置５２に位置する場合には、第２ヘッド４４がシート積層位置５４に位置する。また、さらに１８０度の回転角度で、ヘッド旋回機構４６により第１ヘッド４２および第２ヘッド４４が旋回軸４８回りに回転すれば、第２ヘッド４４がシート受渡位置５２に位置し、第１ヘッド４２がシート積層位置５４に位置する。
【００３８】
シート積層位置５４には、積層テーブル８０が設置してある。積層テーブル８０の上には、第１ヘッド４２および第２ヘッド４４により搬送されてきた図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すグリーンシート１０ａ，１０ｂが交互に積層される。たとえば第１ヘッド４２では、図３（Ａ）に示すパターンの第１電極ペースト層１２ａが形成された第１グリーンシート１０ａが搬送され、第２ヘッド４４では、図３（Ｂ）に示すパターンの第２電極ペースト層１２ｂが形成された第２グリーンシート１０ｂが搬送されて交互に積層される。
【００３９】
第１ヘッド４２または第２ヘッド４４は、受渡位置５２では、第１テーブル３２または第２テーブル３４からグリーンシートを受け取る機能を有し、シート積層位置５４では、積層テーブル８０の上に、順次、保持しているグリーンシートを積層する機能を有する。これらの第１ヘッド４２または第２ヘッド４４は、第２旋回機構４６に対して、旋回軸３８および４８に平行なＺ軸方向に上下移動する昇降機構をも具備している。
【００４０】
テーブル旋回機構３６は、その旋回機構３６に対する第１テーブル３２の相対位置を調節する第１調節機構を有すると共に、旋回機構３６に対する第２テーブル３４の相対位置を調節する第２調節機構を有する。第１調節機構は、第１テーブル旋回機構３６に対する第１テーブル３２の旋回平面（Ｚ軸に垂直）内の相互に垂直なＸ軸およびＹ軸方向の第１移動機構と、第１テーブル３２の中心３２ａに対する回転角度θを調節する第１角度調節機構とを含む。
【００４１】
第２調節機構は、第１テーブル旋回機構３６に対する第２テーブル３４の旋回平面（Ｚ軸に垂直）内の相互に垂直なＸ軸およびＹ軸方向の第２移動機構と、第２テーブル３４の中心３４ａに対する回転角度θを調節する第２角度調節機構とを含む。
【００４２】
テーブル旋回機構３６における上述した第１調節機構および第２調節機構は、制御手段７０により制御される。制御手段７０は、たとえばパソコンあるいはマイコンなどで構成され、テーブル旋回機構３６に内蔵してあっても良いし、外部に配置しても良い。
【００４３】
制御手段７０には、シート受取位置５０に位置する第１テーブル３２または第２テーブル３４の上に設置されたグリーンシート１０ａ，１０ｂの表面に形成してある位置決めマーク１２ｃ，１２ｄを読み取り可能な初期位置検出カメラ６０が初期ズレ検出手段７４を介して接続してある。
【００４４】
また、制御手段７０には、シート積層位置５４に位置する第１ヘッド４２または第２ヘッド４４により搬送されて積層テーブル８０の上に設置されたグリーンシート１０ａ，１０ｂの表面に形成してある位置決めマーク１２ｃ，１２ｄを読み取り可能な積層位置検出カメラ６２が搬送ズレ検出手段７２を介して接続してある。
【００４５】
積層位置検出カメラ６２は、ヘッド旋回機構４６の第１ヘッド４２または第２ヘッド４４がシート積層位置から退避している（９０回転した位置で待機中、または旋回している最中）時に積層テーブル８０上の積層体を撮像することになる。
【００４６】
なお、図５では、これらのカメラ６０，６２が、シート受取位置５０またはシート積層位置５４のＹ軸方向の側方に位置するように描いてあるが、実際には、図７および図８に示すように、シート受取位置５０またはシート積層位置５４のＺ軸方向の上方に位置する。
【００４７】
図７に示すように、シート受取位置５０へ、図３（Ａ）または図３（Ｂ）に示すグリーンシート１０ａ，１０ｂを搬送するために、本実施形態の積層装置３０では、テーブル旋回機構３６のＸ軸方向の左隣に、切断後のグリーンシート１０ａ，１０ｂを搬送する搬送用ヘッド旋回機構９６が設置してある。搬送用ヘッド旋回機構９６は、テーブル旋回機構３６のＸ軸方向の右隣に位置する積層用ヘッド旋回機構４６と同様な構造を持ち、旋回軸９８回りに旋回するヘッド９２および９４を有する。
【００４８】
次に、図５に示す制御手段７０、搬送ズレ検出手段７２および初期ズレ検出手段７４について説明する。なお、搬送ズレ検出手段７２および初期ズレ検出手段７４は、制御手段７０の一部であっても良い。
【００４９】
搬送ズレ検出手段７２は、グリーンシート１０ａ，１０ｂに形成された位置決めマーク１２ｃ，１２ｄを撮像する積層位置検出カメラ６２からのデータに基づき、積層テーブル８０の上で、第１ヘッド５２から受け渡されたグリーンシート１０ａの第１積層位置と、第２ヘッド４４から受け渡されたグリーンシート１０ｂの第２積層位置との搬送位置ズレを検出する。
【００５０】
初期ズレ検出手段７４は、グリーンシート１０ａ，１０ｂに形成された位置決めマーク１２ｃ，１２ｄを撮像する初期位置検出カメラ６０からのデータに基づき、受取位置５０で、第１テーブル３２または第２テーブル３４へ受け渡されたグリーンシート１０ａまたは１０ｂの初期位置ズレを検出する。
【００５１】
制御手段７０は、初期ズレ検出手段７４で検出された初期位置ズレのデータと、搬送ズレ検出手段７２で検出された搬送位置ズレのデータとに基づき、テーブル旋回機構３６に対する第１テーブル３２の相対位置を調節する。あるいは、制御手段７０は、同様にして、テーブル旋回機構３６に対する第２テーブル３４の相対位置を調節する。
【００５２】
具体的には、制御手段７０は、搬送ズレ検出手段７２で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、搬送位置ズレが小さくなるように、しかも、初期ズレ検出手段７４で検出された初期位置ズレが小さくなるように、第１調節機構を制御し、テーブル旋回機構３６に対する第１テーブル３２の相対位置を調節する。あるいは、制御手段７０は、同様にして、第２調節機構を制御し、テーブル旋回機構３６に対する第２テーブル３４の相対位置を調節する。
【００５３】
また、制御手段７０には、警告手段７６が接続してあり、搬送ズレ検出手段７２にて検出された搬送位置ズレが、所定値以上である場合には、警告信号を出力するようになっている。なお、警告手段７６では、初期ズレ検出手段７４にて検出された初期位置ズレが、所定値以上である場合には、警告信号を出力するようにしてもよい。
【００５４】
警告信号に基づき、グリーンシート積層装置３０の稼働を停止させ、不良となるグリーンシート積層品の発生を未然に防ぐことができる。あるいは、警告信号に基づき、警告音を出力したり、警告映像などを表示して、作業者に警告を発しても良い。
【００５５】
本実施形態に係るグリーンシート積層装置３０によれば、搬送ズレ検出手段７２により、第１ヘッド４２から受け渡されたグリーンシート１０ａの第１積層位置と、第２ヘッド４４から受け渡されたグリーンシート１０ｂの第２積層位置との搬送位置ズレを検出することができる。搬送位置ズレは、第１テーブル３２と第１ヘッド４２の組み合わせと、第２テーブル３４と第２ヘッド４４との組み合わせとの違いにより形成されると考えられる。すなわち、第１テーブル３２に受け取られたグリーンシート１０ａは、必ず第１ヘッド４２に受け渡され、第２テーブル３４に受け取られたグリーンシート１０ｂは、必ず第２ヘッド４４に受け渡されるからである。
【００５６】
たとえば受渡位置５０において、第１テーブル３２と第２テーブル３４が必ず同じ位置に来て、第１ヘッド４２と第２ヘッド４４とが必ず同じ位置に来る場合には、搬送位置ズレは生じない。しかしながら、実際の装置３０では、テーブル旋回機構６の誤差や、ヘッド旋回機構４６の誤差などのために、第１テーブル３２と第２テーブル３４が全く同じ位置に来ることは少なく、また、第１ヘッド４２と第２ヘッド４４とが全く同じ位置に来ることも少ない。そのために、第１テーブル３２へのグリーンシート１０ａの受取時の位置決めと、第２テーブル３４へのグリーンシート１０ｂの位置決めとを同じにした場合には、何ら対策を採用しないと、第１ヘッド４２から受け渡されたグリーンシート１０ａの第１積層位置と、第２ヘッド４４から受け渡されたグリーンシート１０ｂの第２積層位置とは、位置ズレしてしまう。
【００５７】
しかしながら、本実施形態の装置３０では、搬送ズレ検出手段７２で検出された搬送位置ズレのデータに基づき、第１調節機構または第２調節機構により、テーブル旋回機構３６に対する第１テーブル３２または第２テーブル３４の相対位置を調節する。そのため、本実施形態の装置では、容易に積層ズレを防止し、高精度な位置決めでグリーンシート１０ａ，１０ｂを積層することができる。しかも、旋回テーブル３６と旋回ヘッド４６の組み合わせを用いているために、一方のヘッド４２が積層している間に、他方のヘッド４４がグリーンシートの取り出しを行うために、待ち時間がなくなり、搬送効率および積層効率が向上する。
【００５８】
すなわち、本実施形態の装置３０では、高効率でしかも高精度にグリーンシート１０ａ，１０ｂを積層することが可能になる。
【００５９】
特に本実施形態の装置３０では、第１テーブル３２と第１ヘッド４２の組み合わせと、第２テーブル３４と第２ヘッド４４との組み合わせとの違いを考慮に入れて制御するために、一枚ごとのグリーンシート１０ａ，１０ｂに対して、搬送位置ズレを検出する必要はなく、たとえばグリーンシートの種類、厚み、大きさなどが変わる毎などに、搬送位置ズレを検出すれば十分である。あるいは、ロット毎に搬送位置ズレを検出すれば十分であり、いったん、搬送位置ズレのデータに基づき、テーブル旋回機構３６に対するテーブル３２，３４の相対位置を調節した後は、しばらく、その位置を調節しなくとも、搬送積層ズレは生じないことが多い。
【００６０】
さらに本実施形態では、初期ズレ検出手段７４で検出された初期位置ズレのデータと、搬送ズレ検出手段７２で検出された搬送位置ズレのデータとに基づき、テーブル旋回機構３６に対する第１テーブル３２または第２テーブル３４の相対位置を調節する。そのため、二種類の位置補正を一つの動作で行うことにより、誤差が累積せず、且つ位置補正に要する工程時間を短縮することができる。
【００６１】
さらにまた本実施形態では、Ｘ軸およびＹ軸方向の位置ズレのみでなく、角度θ方向の位置ズレも補正するために、高精度な位置決めが可能になる。
【００６２】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００６３】
たとえば、上述した実施形態では、グリーンシート積層装置を含む積層型電子部品の製造装置により、積層セラミックコンデンサを製造しているが、本発明の装置により製造される積層型電子部品としては、積層セラミックコンデンサに限らず、積層インダクタ、積層バリスタ、積層サーミスタ、積層圧電素子、ＬＴＣＣ（低温同時焼成セラミックス）基板などが例示される。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの概略断面図である。
【図２】図２は図１に示すコンデンサを製造する過程で製造されるグリーンシートの切断前平面図である。
【図３】図３（Ａ）および図３（Ｂ）は図２に示すグリーンシートを切断後のグリーンシートの平面図である。
【図４】図４（Ａ）および図４（Ｂ）は図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すグリーンシートを交互に積層した後の積層体の例を示す断面図である。
【図５】図５は本発明の一実施形態に係るグリーンシート積層装置の概略平面図である。
【図６】図６は図５に示す積層装置の側面図である。
【図７】図７は図６に示す積層装置をさらに具体化した側面図である。
【図８】図８は図７の要部拡大側面図である。
【符号の説明】
【００６５】
２…  積層セラミックコンデンサ
４…  コンデンサ素体
６，８…  端子電極
１０…  誘電体層
１０Ａ，１０ａ，１０ｂ…  グリーンシート
１２…  内部電極層
１２ａ…  第１電極ペースト層
１２ｂ…  第２電極ペースト層
１２ｃ，１２ｄ…  位置決め用マーク
２０…  支持シート
３０…  グリーンシート積層装置
３２…  第１テーブル
３４…  第２テーブル
３６…  テーブル旋回機構
３８…  第１旋回軸
４２…  第１ヘッド
４４…  第２ヘッド
４６…  ヘッド旋回機構
４８…  第２旋回軸
５０…  シート受取位置
５２…  シート受渡位置
５４…  シート積層位置
６０…  初期位置検出カメラ
６２…  積層位置検出カメラ
７０…  制御手段
７２…  搬送ズレ検出手段
７４…  初期ズレ検出手段
７６…  警告手段
８０…  積層テーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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