(57)【要約】【課題】プローブカードに用いられるばね構造を改良し、ばねの交換および調整作業が容易で、ばねの長さのバラツキに影響を受けないプローブカードを提供する。【解決手段】メイン基板、複数のプローブを備え上記メイン基板の一方の面側に所定の間隔で配置されているプローブユニット、上記メイン基板の他方の面側に配置されたガイドプレート、上記プローブユニットを保持し、上記メイン基板および上記ガイドプレートに設けられた孔を貫通している複数の摺動軸、上記ガイドプレートおよび上記メイン基板を上記プローブユニットと挟み込む状態で配置され、上記摺動軸が固定された軸・ばね固定プレート、および上記軸・ばね固定プレートと上記ガイドプレートを接続する複数の引張りばねを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メイン基板、複数のプローブを備え上記メイン基板の一方の面側に所定の間隔で配置されているプローブユニット、上記メイン基板の他方の面側に配置されたガイドプレート、上記プローブユニットを保持し、上記メイン基板および上記ガイドプレートに設けられた孔を貫通している複数の摺動軸、上記ガイドプレートおよび上記メイン基板を上記プローブユニットと挟み込む状態で配置され、上記摺動軸が固定された軸・ばね固定プレート、および上記軸・ばね固定プレートと上記ガイドプレートを接続する複数の引張りばねを備えることを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
上記引張りばねは上記軸・ばね固定プレートの外周に接続されて引張り力を付与していることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
【請求項３】
上記メイン基板のプローブユニットが配置される面に、上記プローブユニットが入る大きさの座繰りを設けることを特徴とする請求項１または２に記載のプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカードに関し、特に、オーバードライブ時のマージンを確保するためのばね構造の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プローブカードは、メイン基板に、プローブユニットを搭載したもので、上記プローブユニットを構成するユニットベースとガイドプレートの間にばね構造を用いて、オーバードライブのマージンを確保している。
【０００３】
従来のプローブカード３１において、図４に示すように、プローブユニット２は、ユニットベース８’、ガイドプレート１３’、バッキングプレート９、およびプローブ７を備えるインターポーザー６から構成されている。そして、上記ガイドプレート１３’は、フレーム２７、スペーサ軸２８およびねじ２６によって上記ユニットベース８’に保持されている。
【０００４】
上記ユニットベース８’は、ばねポスト３０によってメイン基板３’に固定されており、上記プローブカード３１は、板ばね１５’、ばねポスト３０および傾き調整ねじ１４’によって位置調整が出来るように構成されている。そして、上記ユニットベース８’と上記ガイドプレート１３’の間に、複数のばね２５を設け、検査時のオーバードライブのマージンを確保する構造となっている。また、メイン基板３’に設けられた与圧調整シャフト２９により、上記ばね２５の与圧を調整できる構造となっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のプローブカード３１に用いる上記ばね２５は、上記プローブカード３１の内部に配置されており、上記ばね２５の与圧調整段階で、上記ばね２５の交換、数量変更を行う場合には、基板等の分解作業が必要となり、非常に手間が掛かるという問題があった。
【０００６】
また、上記ばね２５として圧縮ばねを用いているために、配置された複数のばね２５の長さにバラツキがある場合、あるいは、上記ばね２５自体が傾いている場合、微小ストローク（１００μｍ程度）での動作のために、実働オーバードライブに対する立上がり荷重は、理論値よりも低めになるという問題がある。
【０００７】
本発明は、プローブカードに用いられるばね構造を改良し、ばねの交換および調整作業が容易で、ばねの長さのバラツキに影響を受けないプローブカードを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のプローブカードは、メイン基板、複数のプローブを備え上記メイン基板の一方の面側に所定の間隔で配置されているプローブユニット、上記メイン基板の他方の面側に配置されたガイドプレート、上記プローブユニットを保持し、上記メイン基板および上記ガイドプレートに設けられた孔を貫通している複数の摺動軸、上記ガイドプレートおよび上記メイン基板を上記プローブユニットと挟み込む状態で配置され、上記摺動軸が固定された軸・ばね固定プレート、および上記軸・ばね固定プレートと上記ガイドプレートを接続する複数の引張りばねを備えることを特徴とする。
【０００９】
また、上記引張りばねは上記軸・ばね固定プレートの外周に接続されて引張り力を付与する構成とする。
【００１０】
さらに、上記メイン基板のプローブユニットが配置される面に、上記プローブユニットが入る大きさの座繰りを設ける構成とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のプローブカードは、メイン基板、複数のプローブを備え上記メイン基板の一方の面側に所定の間隔で配置されているプローブユニット、上記メイン基板の他方の面側に配置されたガイドプレート、上記プローブユニットを保持し、上記メイン基板および上記ガイドプレートに設けられた孔を貫通している複数の摺動軸、上記ガイドプレートおよび上記メイン基板を上記プローブユニットと挟み込む状態で配置され、上記摺動軸が固定された軸・ばね固定プレート、および上記軸・ばね固定プレートと上記ガイドプレートを接続する複数の引張りばねを備えることにより、構造体の外側にばねを設置することができるので、ばね変更の作業を容易に行うことが出来、作業性が向上する。
【００１２】
また、上記引張りばねは上記軸・ばね固定プレートの外周に接続されて引張り力を付与することにより、与圧調整を簡単に行うことが可能となる。
【００１３】
さらに、上記メイン基板のプローブユニットが配置される面に、上記プローブユニットが入る大きさの座繰りを設けることにより、メイン基板からプローブの針先までの距離を小さくすることが可能となり、プローブカード全体の厚みを薄くできる。
【本発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に図を用いて本発明のプローブカード１について詳しく説明する。図１が、本発明のプローブカード１の概略断面図である。
【００１５】
図１に示すように、本発明のプローブカード１は、メイン基板３、複数のプローブ７を備え上記メイン基板３の一方の面側に所定の間隔で配置されているプローブユニット２、上記メイン基板３の他方の面側に配置されたガイドプレート１３、上記プローブユニット２を保持し、上記メイン基板３および上記ガイドプレート１３に設けられた孔２２，２３を貫通している摺動軸４、上記ガイドプレート１３および上記メイン基板３を上記プローブユニット２と挟み込む状態で配置され、上記摺動軸４が固定された軸・ばね固定プレート１０、および上記軸・ばね固定プレート１０と上記ガイドプレート１３とを接続する複数の引張りばね５を備えている。
【００１６】
さらに、上記プローブユニット２は、ユニットベース８、バッキングプレート９および複数のプローブ７が配置されたインターポーザー６から構成される。
【００１７】
上記メイン基板３と上記ガイドプレート１３の間には上記メイン基板３を補強するための補強板１２が配置され、補強板固定ねじ２４によって上記メイン基板３に固定されている。そして、上記ガイドプレート１３が固定ねじ２１により上記補強板１２に固定され、さらに板ばね１５および傾き調整ねじ１４によって間隔を調節可能としている。上記補強板１２には、上記メイン基板３および上記ガイドプレート１３と同様に、上記摺動軸４が貫通する孔が設けられている。
【００１８】
上記メイン基板３に設けられた孔２２および上記ガイドプレート１３に設けられた孔２３は、上記摺動軸４が摺動可能な大きさとし、上記孔２２，２３と上記摺動軸４は所定のクリアランスを有している。上記孔２２，２３は、上記メイン基板３および上記ガイドプレート１３に複数設けており、例えば略矩形状に４箇所設けている。
【００１９】
上記引張りばね５の構造について、図２を用いて詳しく説明する。図２に示すように、上記引張りばね５の一端は、上記軸・ばね固定プレート１０から外側に張り出すように設けられたバー２０に引っ掛けて固定され、他端は、上記ガイドプレート１３に固定されているねじ１１の頭部に設けられたポスト１８の孔に引っ掛けられて固定されている。上記ねじ１１には緩み止めのナット１９が設けられている。
【００２０】
上記引張りばね５によって、軸・ばね固定プレート１０とガイドプレート１３等の間に引張り力が付与され、検査時のオーバードライブ量に対して適切なばね荷重が作用する構図となる。また、上記引張りばね５は、上記メイン基板３の上部で、軸・ばね固定プレート１０の外周に位置し、プローブカード１の外部に露出していることから、取り付け状況の確認が確実に行え、さらに、調整作業も容易であり、上記引張りばね５の交換作業も簡単に行うことが可能となる。
【００２１】
そして、上記ねじ１１のねじ込み量を調整することにより、上記引張りばね５の引張り量を調整できるので、与圧調整・微調整を簡単に行うことが可能となる。
【００２２】
また、上記引張りばね５は、引っ張った状態で上記バー２０および上記ポスト１８にセットされるので、従来のようなばねの傾き、あるいはばねの長さのバラツキによる荷重のバラツキ等の不具合が生じることは無い。
【００２３】
また、上記軸・ばね固定プレート１０と上記ガイドプレート１３との間にはブロック１６を設けている。これは、上記メイン基板３から上記プローブ７の針先までの距離を調整するために設けており、上記ブロック１６の高さを変更することによって、上記プローブユニット２と上記メイン基板３の間隔が変更され、上記プローブ７の針先高さを簡単に変更することが可能となる。
【００２４】
さらに、上記メイン基板３の上記プローブユニット２が配置される面に、上記プローブユニット２が入る程度の大きさの座繰り１７を設けることも可能である。上記座繰り１７を設けることにより、上記ブロック１６の高さを高くすると、図３に示すように、上記プローブユニット２が上記座繰り１７へと入り、上記メイン基板３から上記プローブ７の針先までの距離を小さくすることが可能となり、プローブカード１全体の厚みを薄くできる。
【００２５】
このように、本発明のプローブカード１は、引張りばね５を用いることにより、与圧等の調整作業、ばねの交換作業等の作業性が向上し、さらに、安定したばね荷重の管理が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明のプローブカードの概略断面図である。
【図２】引張りばねの拡大図である。
【図３】他の実施形態のプローブカードの概略断面図である。
【図４】従来のプローブカードの概略断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１          プローブカード
２          プローブユニット
３、３’    メイン基板
４          摺動軸
５          引張りばね
６          インターポーザー
７          プローブ
８、８’    ユニットベース
９          バッキングプレート
１０        軸・ばね固定プレート
１１        ねじ
１２、１２’補強板
１３、１３’ガイドプレート
１４、１４’傾き調整ねじ
１５、１５’板ばね
１６        ブロック
１７        座繰り
１８        ポスト
１９        ナット
２０        バー
２１        固定ねじ
２２        孔
２３        孔
２４        補強板固定ねじ
２５        ばね
２６        ねじ
２７        フレーム
２８        スペーサ軸
２９        与圧調整シャフト
３０        ばねポスト
３１        従来のプローブカード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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