(57)【要約】【課題】駆動の際に、可動部を支持するばねに生じる応力集中を低減させることが可能な技術を提供する。【解決手段】駆動装置１Ａは、可動部６に駆動変位を与える駆動部５と、可動部６に設けられた支持部７と、一端および他端を有し、支持部７と一端において接続される弾性部７ａと、固定部８と弾性部７ａの他端との間に介挿され、駆動変位に応じて弾性部７ａに生じる弾性変形を緩和させる緩和部７ｂを備える。【選択図】図１
2009044787.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部に対して可動部を駆動させる駆動装置であって、
前記可動部に駆動変位を与える駆動部と、
前記可動部に設けられた支持部材と、
いずれも一端および他端を有し、前記支持部材を介して互いに対向した状態で、前記支持部材と前記一端においてそれぞれ接続される第１弾性部および第２弾性部と、
前記固定部と前記第１弾性部の前記他端との間に介挿され、前記駆動変位に応じて前記第１弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第１緩和手段と、
前記固定部と前記第２弾性部の前記他端との間に介挿され、前記駆動変位に応じて前記第２弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第２緩和手段と、
を備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置において、
前記第１緩和手段は、前記第１弾性部の前記弾性変形を緩和させる方向に前記第１弾性部の前記他端の位置を変位させ、
前記第２緩和手段は、前記第２弾性部の前記弾性変形を緩和させる方向に前記第２弾性部の前記他端の位置を変位させることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の駆動装置において、
前記第１緩和手段は、第３弾性部を有し、
前記第１弾性部の前記他端の位置は、前記第３弾性部の弾性変形に応じて変位し、
前記第２緩和手段は、第４弾性部を有し、
前記第２弾性部の前記他端の位置は、前記第４弾性部の弾性変形に応じて変位することを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の駆動装置において、
前記第１弾性部および前記第２弾性部は、板状の弾性体であることを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の駆動装置において、
前記駆動部と前記支持部材と前記第１弾性部と前記第２弾性部と前記第１緩和手段と前記第２緩和手段とは、ＳＯＩ基板から作製されることを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の駆動装置において、
前記可動部は、その上面において反射面を有し、
前記駆動装置は、光偏向素子として機能することを特徴とする駆動装置。
【請求項７】
固定部に対して可動部を駆動させる可動構造体であって、
前記可動部に駆動変位を与える駆動部と、
前記可動部に設けられた支持部材と、
いずれも一端および他端を有し、前記支持部材を介して互いに対向した状態で、前記支持部材と前記一端においてそれぞれ接続される第１弾性部および第２弾性部と、
前記固定部と前記第１弾性部の前記他端との間に介挿され、前記駆動変位に応じて前記第１弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第１緩和手段と、
前記固定部と前記第２弾性部の前記他端との間に介挿され、前記駆動変位に応じて前記第２弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第２緩和手段と、
を備えることを特徴とする可動構造体。
【請求項８】
固定部に対して可動部を駆動させる駆動装置であって、
前記可動部に駆動変位を与える駆動部と、
前記可動部に設けられた支持部材と、
いずれも一端および他端を有し、前記支持部材を介して互いに対向した状態で、前記支持部材と前記一端においてそれぞれ接続される第１弾性部および第２弾性部と、
前記固定部と前記第１弾性部の前記他端との間に介挿される第３弾性部と、
前記固定部と前記第２弾性部の前記他端との間に介挿される第４弾性部と、
を備え、
前記第１弾性部および前記第３弾性部は、前記駆動変位に応じて前記第１弾性部に与えられるエネルギーを弾性エネルギーとして分散して蓄え、
前記第２弾性部および前記第４弾性部は、前記駆動変位に応じて前記第２弾性部に与えられるエネルギーを弾性エネルギーとして分散して蓄えることを特徴とする駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、レーザ機器および光学機器（以下、「光学機器等」とも称する）の小型化が進んでいる。これに伴い小型の光学機器等に用いられる光偏向素子、光スイッチ素子および形状可変ミラー素子（以下、「光偏向素子等」とも称する）に対する小型化の要請が強くなっている。
【０００３】
そこで、半導体の微細加工技術を駆使して作製されたＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical System)素子を用いて光偏向素子等を構成し、光偏向素子等の小型化を実現する技術が提案されている（特許文献１）。光偏向素子等に用いられるＭＥＭＳ素子（「光ＭＥＭＳ素子」とも称する）においては、一対のばねによって支持された可動体（可動部）を有する可動構造体が採用されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２６２８０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の可動構造体を有する光ＭＥＭＳ素子では、可動部を支持するばね部分に応力集中が生じ易いという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、駆動の際に、可動部を支持するばねに生じる応力集中を低減させることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、固定部に対して可動部を駆動させる駆動装置であって、前記可動部に駆動変位を与える駆動部と、前記可動部に設けられた支持部材と、いずれも一端および他端を有し、前記支持部材を介して互いに対向した状態で、前記支持部材と前記一端においてそれぞれ接続される第１弾性部および第２弾性部と、前記固定部と前記第１弾性部の前記他端との間に介挿され、前記駆動変位に応じて前記第１弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第１緩和手段と、前記固定部と前記第２弾性部の前記他端との間に介挿され、前記駆動変位に応じて前記第２弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第２緩和手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る駆動装置において、前記第１緩和手段は、前記第１弾性部の前記弾性変形を緩和させる方向に前記第１弾性部の前記他端の位置を変位させ、前記第２緩和手段は、前記第２弾性部の前記弾性変形を緩和させる方向に前記第２弾性部の前記他端の位置を変位させることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る駆動装置において、前記第１緩和手段は、第３弾性部を有し、前記第１弾性部の前記他端の位置は、前記第３弾性部の弾性変形に応じて変位し、前記第２緩和手段は、第４弾性部を有し、前記第２弾性部の前記他端の位置は、前記第４弾性部の弾性変形に応じて変位することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記第１弾性部および前記第２弾性部は、板状の弾性体であることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記駆動部と前記支持部材と前記第１弾性部と前記第２弾性部と前記第１緩和手段と前記第２緩和手段とは、ＳＯＩ基板から作製されることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項６の発明は、請求項１から請求項５のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記可動部は、その上面において反射面を有し、前記駆動装置は、光偏向素子として機能することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項７の発明は、固定部に対して可動部を駆動させる可動構造体であって、前記可動部に駆動変位を与える駆動部と、前記可動部に設けられた支持部材と、いずれも一端および他端を有し、前記支持部材を介して互いに対向した状態で、前記支持部材と前記一端においてそれぞれ接続される第１弾性部および第２弾性部と、前記固定部と前記第１弾性部の前記他端との間に介挿され、前記駆動変位に応じて前記第１弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第１緩和手段と、前記固定部と前記第２弾性部の前記他端との間に介挿され、前記駆動変位に応じて前記第２弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第２緩和手段とを備えることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項８の発明は、固定部に対して可動部を駆動させる駆動装置であって、前記可動部に駆動変位を与える駆動部と、前記可動部に設けられた支持部材と、いずれも一端および他端を有し、前記支持部材を介して互いに対向した状態で、前記支持部材と前記一端においてそれぞれ接続される第１弾性部および第２弾性部と、前記固定部と前記第１弾性部の前記他端との間に介挿される第３弾性部と、前記固定部と前記第２弾性部の前記他端との間に介挿される第４弾性部とを備え、前記第１弾性部および前記第３弾性部は、前記駆動変位に応じて前記第１弾性部に与えられるエネルギーを弾性エネルギーとして分散して蓄え、前記第２弾性部および前記第４弾性部は、前記駆動変位に応じて前記第２弾性部に与えられるエネルギーを弾性エネルギーとして分散して蓄えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１から請求項８に記載の発明によれば、駆動変位に応じて第１弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第１緩和手段が、固定部と第１弾性部との間に介挿され、駆動変位に応じて第２弾性部に生じる弾性変形を緩和させる第２緩和手段が、固定部と第２弾性部との間に介挿されているので、駆動の際に、可動部を支持する第１弾性部および第２弾性部に生じる応力集中を低減させることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【００１７】
＜実施形態＞
＜構成＞
本実施形態に係る駆動装置１Ａの構成について説明する。図１は、本実施形態に係る駆動装置１Ａの機能ブロック図である。なお、図１中の矢印（片矢印または両矢印）は、各機能間のエネルギー授受を模式的に示している。
【００１８】
図１に示されるように、駆動装置１Ａは、駆動部５と可動部６と支持部７と固定部８とを備え、固定部８に対して移動可能な可動部６を有する可動構造体として構成されている。
【００１９】
具体的には、駆動部５は、変位（「駆動変位」とも称する）を発生させ、当該変位を可動部６に与える機能を有している。本実施形態では、駆動部５として移動櫛歯電極と固定櫛歯電極とによって構成される静電アクチュエータを採用する。静電アクチュエータは、櫛歯電極間に印加される電圧によって生じる静電気力（引力）を駆動源とし、移動櫛歯電極を固定櫛歯電極に対して相対的に移動させて変位を発生させる。静電アクチュエータについての詳細は、後述する。
【００２０】
可動部６は、支持部７を介して固定部８に接続され、上記駆動変位に応じて移動する。
【００２１】
支持部７は、固定部８に接続され、可動部６を支持（保持）する機能を有している。また、支持部７は、弾性部７ａと緩和部７ｂとを有している。弾性部７ａは、駆動変位に応じた可動部６の移動によって弾性変形を生じ、緩和部７ｂは、弾性部７ａの弾性変形を緩和させる機能を有している。
【００２２】
上述のような各機能部を有する駆動装置１Ａでは、可動部６は、駆動部５から与えられる力（駆動力）によって変位し、支持部７の弾性部７ａにおいて弾性変形を発生させる。そして、駆動力が消滅すると弾性変形を生じていた弾性部７ａの復元力によって、可動部６は元の位置に復帰する。また、駆動装置１Ａでは、可動部６の移動によって生じる弾性部７ａの弾性変形は、緩和部７ｂによって緩和される。これによれば、弾性部７ａの内部に発生する応力集中を減少（低減）させることが可能になる。
【００２３】
次に、上記各機能部を備える駆動装置１Ａの具体的構成について説明する。図２は、駆動装置１Ａの上面図である。図３は、可動部６の上面斜視図である。図４は、図２の矢印Ｋ方向から視認した場合の駆動装置１Ａの側面図である。なお、図２中にはＸＹＺ直交座標系が記入されているが、Ｘ軸方向は、固定櫛歯電極５Ｋａ，５Ｋｂの各歯が伸びる方向（「櫛歯の延伸方向」とも称する）に相当し、Ｙ軸方向は、固定櫛歯電極５Ｋａ，５Ｋｂの歯間溝に沿った方向（「櫛歯の厚さ方向」または「櫛歯面内において櫛歯の延伸方向に垂直な方向」とも称する）に相当し、Ｚ軸方向は、対向する２つの櫛歯電極の各歯が交互配置される方向（「交互配置方向」または「ギャップ方向」とも称する）に相当する。
【００２４】
図２に示されるように、駆動装置１Ａは、可動部６と、可動部６に駆動変位を与える駆動部５と、支持部７として機能し可動部６を支持する支持部材１１ａ，１１ｂと、弾性部７ａとして機能する弾性部材１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと、緩和部７ｂとして機能する緩和部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄと、固定部８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄとを備えている。
【００２５】
具体的には、可動部６は、縦辺部６Ｖと横辺部６Ｈとによって規定される矩形状の略平面を有し、可動部６の上面には、例えば、光を反射するための反射面（反射ミラー）が配置（設置）される。
【００２６】
駆動部５は、可動部６の２つの縦辺部６Ｖにそれぞれ設置される。具体的には、駆動部５は、各縦辺部６Ｖにそれぞれ設置される移動櫛歯電極５Ｅａ，５Ｅｂと、各移動櫛歯電極５Ｅａ，５Ｅｂにそれぞれ対向して配置される固定櫛歯電極５Ｋａ，５Ｋｂとを有している。
【００２７】
また、固定櫛歯電極５Ｋａ，５Ｋｂは、対応する各移動櫛歯電極５Ｅａ，５Ｅｂに対してそれぞれＹ軸方向にずらして配置される。これにより、図３に示されるように、固定櫛歯電極５Ｋａの櫛歯面と移動櫛歯電極５Ｅａの櫛歯面とは、Ｙ軸方向の相対的なずれ（位置ずれ）を有した状態となる。このような位置ずれ状態（「オフセット状態」とも称する）において櫛歯電極間に適当な電位差が与えられると、移動櫛歯電極５Ｅａ，５ＥｂはＹ軸方向（「オフセット方向」とも称する）の力を受け、軸Ｌ１を中心として回転する。また、これに伴い、移動櫛歯電極５Ｅａ，５Ｅｂに連結された可動部６も、軸Ｌ１周りに回転移動（回動）する。
【００２８】
支持部材１１ａ，１１ｂは、いずれも一端ＲＴａ，ＲＴｂおよび他端ＲＨａ，ＲＨｂを有する板状の部材であり、可動部６の各横辺部６Ｈの略中央ＣＰａ，ＣＰｂにおいて当該各一端ＲＴａ，ＲＴｂは可動部６とそれぞれ接続（連結）されている。これにより、支持部材１１ａ，１１ｂは、互いに対向する位置において可動部７を挟持（支持）する。
【００２９】
ここで、駆動装置１Ａは、可動部６の対称線Ｃ−Ｃを境界として、上半部と下半部とにおいて対称的な構成を有しているため、以下では、下半部の機構（「第１機構」とも称する）ＳＲ１が有する構造および機能を中心に詳述する。
【００３０】
第１機構ＳＲ１は、支持部材１１ａと、支持部材１１ａを介して互いに対向した状態で支持部材１１ａに接続される弾性部材１２ａ，１２ｂと、固定部８ａ，８ｂと、弾性部材１２ａ，１２ｂと固定部８ａ，８ｂとの間にそれぞれ介挿される緩和部材１３ａ，１３ｂとを有している。このような各要素を有する第１機構ＳＲ１においては、弾性部材１２ａ、緩和部材１３ａおよび固定部８ａと、弾性部材１２ｂ、緩和部材１３ｂおよび固定部８ｂとは、軸Ｌ１に関して対称的に配置される。
【００３１】
具体的には、第１機構ＳＲ１における支持部材１１ａは、横辺部６Ｈの略中央ＣＰａを始点として、軸Ｌ１に沿って延びている。
【００３２】
弾性部材１２ａ，１２ｂは、矩形の薄板状の弾性体であり、一主面とこれとは反対側を向く他主面とをそれぞれ有している。そして、図４に示されるように、弾性部材１２ａ，１２ｂは、一主面を＋Ｙ方向に向けるとともに、他主面を−Ｙ方向に向けた姿勢で支持部材１１ａに接続（連結）される。具体的には、弾性部材１２ａは、支持部材１１ａの他端ＲＨａを基準にして支持部材１１ａの延伸方向（ここでは、−Ｚ方向）に沿って、弾性部材１２ａの板幅にわたり支持部材１１ａの上端部（「第１の接続部」とも称する）Ｇａと接続される。また、弾性部材１２ｂは、支持部材１１ａの他端ＲＨａを基準にして支持部材１１ａの延伸方向に沿って、弾性部材１２ｂの板幅にわたり支持部材１１ａの他の上端部（「第２の接続部」とも称する）Ｇｂと接続される。
【００３３】
緩和部材１３ａ，１３ｂは、図４に示すように、それぞれがＹＺ方向に広がるとともにＸ方向に間隔をあけて並列して配置される矩形状の複数の板材Ｐ１と、これらの板材Ｐ１と同じ幅を持ち、これらの板材Ｐ１のＺ端側両辺の一辺側および対向辺側で交互に各板材Ｐ１を連結する側片部Ｐ２とを一体的に形成した構造を有している。このような構成を有する緩和部材１３ａ，１３ｂは、ジグザグ状のばねに相当する力学的構造となっており、板材Ｐ１の板面に垂直な方向（ここでは、Ｘ方向）の力を受けて板面に垂直な方向（Ｘ方向）に伸縮するほか、Ｙ方向・Ｚ方向への変位、または各方向（特に板材Ｐ１の板面の法線ベクトルがＸＹ面内で傾く方向）への傾斜をも吸収可能な弾性体として機能する。緩和部材１３ａ，１３ｂの各一端は、弾性部材１２ａ，１２ｂと接続される。具体的には、図４に示されるように、支持部材１１ａの第１の接続部Ｇａと緩和部材１３ａの上端部（「第３の接続部」とも称する）Ｇｃとが、薄板状の弾性部材１２ａを介して接続される。また、支持部材１１ａの第２の接続部Ｇｂと緩和部材１３ｂの上端部（「第４の接続部」とも称する）Ｇｄとが、薄板状の弾性部材１２ｂを介して接続される。一方、緩和部材１３ａ，１３ｂの各他端は、固定部８ａ，８ｂにそれぞれ接続される。緩和部材１３ａ，１３ｂは立体形状とされているため、弾性部材１２ａ，１２ｂと同じ材質で形成される場合であっても、弾性部材１２ａ，１２ｂと比較してＸＹ面内での外力に対する緩和部材１３ａ，１３ｂの弾性係数は大きくなっている。したがって、これら２種の弾性体の結合体を考えたとき、ＸＹ面内での外力による弾性変形は主として弾性部材１２ａ，１２ｂにおいて生じるものの、緩和部材１３ａ，１３ｂがその弾性変形のうちの一部を分担することにより、外力による弾性変形が弾性部材１２ａ，１２ｂにおいて完全に集中する事態を防止する。
【００３４】
上半部の機構（「第２機構」とも称する）ＳＲ２は、第１機構ＳＲ１と同様の構成を有している。簡単には、第２機構ＳＲ２は、支持部材１１ｂと、支持部材１１ｂを介して互いに対向した状態で支持部材１１ｂに接続される弾性部材１２ｃ，１２ｄと、固定部８ｃ，８ｄと、弾性部材１２ｃ，１２ｄと固定部８ｃ，８ｄとの間にそれぞれ介挿される緩和部材１３ｃ，１３ｄとを有している。
【００３５】
＜製法＞
上述のような構成を有する駆動装置１Ａの製造方法について説明する。図５は、ＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板５０の断面を示す図である。図６および図７は、駆動装置１Ａの製法に関する説明図である。
【００３６】
なお、以下では、図５に示されるＳＯＩ基板５０の断面が、図２に示される軸Ｌ１に垂直な平面ＨＬによる第１機構ＳＲ１の切断面ＣＦであると仮定して、作製工程の進展による当該切断面ＣＦの変化を例に駆動装置１Ａの製造方法について説明する。
【００３７】
駆動装置１Ａは、比較的厚い（例えば、２００μｍ）Ｓｉ層（「形成層」とも称する）ＳＬ１と、比較的薄い（例えば、５μｍ）Ｓｉ層（「補助層」とも称する）ＳＬ２と、形成層ＳＬ１と補助層ＳＬ２とに挟まれた比較的薄い（例えば、２μｍ）ＳｉＯ2層（「犠牲層」とも称する）ＧＳとを有するＳＯＩ基板５０（図５参照）を加工して作製される。
【００３８】
具体的には、形成層ＳＬ１の表面および補助層ＳＬ２の表面が、マスクを用いてパターンニングされる。そして、ドライエッチング（例えば、ＩＣＰ−ＲＩＥ（Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching）、高速原子線(Fast Atom Beam)を用いたエッチング）によって犠牲層ＧＳの表面まで、形成層ＳＬ１および補助層ＳＬ２における不要な薄膜（Ｓｉ層）がそれぞれ除去される。例えば、図６に示される切断面ＣＦでは、形成層ＳＬ１において弾性部材１２ａ，１２ｂに相当する部分Ｂ１および緩和部材１３ａ，１３ｂに相当する部分Ｂ２と、補助層ＳＬ２において緩和部材１３ａ，１３ｂに相当する部分Ｂ３とがドライエッチングによって除去される。
【００３９】
次に、ＳｉＯ2を溶解させるＨＦ（フッ酸）を用いたウエットエッチングによって、上記のドライエッチングで露出した犠牲層ＧＳが除去される。例えば、図７に示される切断面ＣＦでは、弾性部材１２ａ，１２ｂに相当する部分Ｂ１０および緩和部材１３ａ，１３ｂに相当する部分Ｂ１１の犠牲層ＧＳがウエットエッチングによって除去される。
【００４０】
このように、ドライエッチングおよびウエットエッチングによってＳＯＩ基板５０から駆動装置１Ａの外形が作製される。
【００４１】
そして、ワイヤーボンディング等により駆動部５の静電アクチュエータへの電気的な配線が行われる。また、例えば、駆動装置１Ａを光偏向素子として使用する場合は、スパッタリング法によって可動部６の上面に金属の反射面が形成される。
【００４２】
＜動作＞
次に、駆動装置１Ａの動作について説明する。図８は、図２の矢印Ｋ方向から視認した場合の駆動状態における駆動装置１Ａの側面図である。図９は、駆動装置１Ａの初期状態と駆動状態ＭＫ１とにおける支持部材１１ａの変化を示す図である。
【００４３】
駆動前の初期状態（図４参照）において、駆動部５の櫛歯電極間に適当な電位差が与えられると、図８に示されるように、可動部６は、軸Ｌ１周りに回動する。そして、この可動部６の回動とともに、支持部材１１ａも回動する。これにより、支持部材１１ａに接続された薄板状の弾性部材１２ａ，１２ｂは、弾性変形し、たわんだ状態になる。具体的には、可動部６の回動によって、弾性部材１２ａ，１２ｂのうち、支持部材１１ａとの連結部分を基準にして一方側の弾性部材（図８では、弾性部材１２ａ）が、当該弾性部材の他主面側（図８の下側）に膨らむように湾曲し、他方側の弾性部材（図８では、弾性部材１２ｂ）が当該弾性部材の一主面側（図８の上側）に膨らむように湾曲する。
【００４４】
詳細には、例えば、図９に示されるように、軸Ｌ１を中心にして可動部６が時計回りに回動した駆動状態ＭＫ１（図８参照）においては、支持部材１１ａにおける第１の接続部Ｇａは、矢印ＡＲ１のように変位する。この変位は、＋Ｘ方向の変位と−Ｙ方向の変位とを有し、第１の接続部Ｇａに接続された弾性部材１２ａは、他主面側に湾曲する弾性変形を生じる。また、支持部材１１ａにおける第２の接続部Ｇｂは、矢印ＡＲ２のように変位する。この変位は、＋Ｘ方向の変位と＋Ｙ方向の変位とを有し、第２の接続部Ｇｂに接続された弾性部材１２ｂは、一主面側に湾曲する弾性変形を生じる。
【００４５】
そして、弾性部材１２ａ，１２ｂに接続された緩和部材１３ａ，１３ｂは、それぞれ第１の接続部Ｇａおよび第２の接続部Ｇｂの変位によって生じた弾性部材１２ａ，１２ｂの弾性変形を緩和させるように弾性変形する。具体的には、他主面側に膨らんだ弾性部材に接続された緩和部材は、弾性部材から圧縮方向の力を受けて縮み変形し、弾性部材の他主面側に膨らんだ弾性変形を緩和させる。一方、一主面側に膨らんだ弾性部材に接続された緩和部材は、弾性部材から伸長方向の力を受けて伸び変形し、弾性部材の弾性変形を緩和させる。
【００４６】
例えば、駆動状態ＭＫ１（図８）においては、第３の接続部Ｇｃには、＋Ｘ方向に変位した第１の接続部Ｇａの影響を受けて弾性部材１２ａから＋Ｘ方向の力が与えられる。緩和部材１３ａは、この＋Ｘ方向の力によって圧縮方向（ここでは、＋Ｘ方向）に縮み変形し、第３の接続部Ｇｃを矢印ＺＲ１で示すように＋Ｘ方向に変位させる。第３の接続部Ｇｃが＋Ｘ方向に変位すると、第１の接続部Ｇａの＋Ｘ方向への変位によって短くなった第１の接続部Ｇａと第３の接続部Ｇｃとの間の距離が長くなるので、弾性部材１２ａで生じる弾性変形を減少（緩和）させることができる。このように、緩和部材１３ａは、弾性部材１２ａの弾性変形を緩和させる方向に第３の接続部Ｇｃを変位させて、矢印ＡＲ１で表される第１の接続部Ｇａにおける＋Ｘ方向の変位の一部を吸収する。これによれば、弾性部材１２ａの弾性変形を緩和し、弾性部材１２ａの内部に発生する応力集中を低減することが可能になる。
【００４７】
一方、第４の接続部Ｇｄには、＋Ｘ方向に変位した第２の接続部Ｇｂの影響を受けて弾性部材１２ｂから＋Ｘ方向の力が与えられる。緩和部材１３ｂは、この＋Ｘ方向の力によって伸長方向（ここでは、＋Ｘ方向）に伸び変形し、第４の接続部Ｇｄを矢印ＺＲ２で示すように＋Ｘ方向に変位させる。これにより、第２の接続部Ｇｂと第４の接続部Ｇｄとの間の距離を駆動状態ＭＫ１によらず略一定に保つことが可能になる。このように、緩和部材１３ｂは、第４の接続部Ｇｄを変位させて矢印ＡＲ２で表される第２の接続部Ｇｂの＋Ｘ方向の変位を吸収する。これによれば、弾性部材１２ｂの内部に発生する応力集中を低減することが可能になる。
【００４８】
また、軸Ｌ１を中心にして可動部６が半時計回りに回動した駆動状態ＭＫ２（不図示）においては、第４の接続部Ｇｄには、−Ｘ方向に変位した第２の接続部Ｇｂの影響を受けて弾性部材１２ｂから−Ｘ方向の力が与えられる。緩和部材１３ｂは、この−Ｘ方向の力によって圧縮方向に縮み変形し、第４の接続部Ｇｄを−Ｘ方向に変位させる。このように、緩和部材１３ｂは、弾性部材１２ｂの弾性変形を緩和させる方向に第４の接続部Ｇｄを変位させて、第１の接続部Ｇｂにおける−Ｘ方向の変位の一部を吸収する。これによれば、弾性部材１２ｂの弾性変形を緩和し、弾性部材１２ｂの内部に発生する応力集中を低減することが可能になる。
【００４９】
一方、駆動状態ＭＫ２においては、第３の接続部Ｇｃには、−Ｘ方向に変位した第１の接続部Ｇａの影響を受けて弾性部材１２ａから−Ｘ方向の力が与えられる。緩和部材１３ａは、この−Ｘ方向の力によって伸長方向（ここでは、＋Ｘ方向）に伸び変形し、第３の接続部Ｇｃを−Ｘ方向に変位させる。このように、緩和部材１３ａは、第３の接続部Ｇｃを変位させて、第１の接続部Ｇａの−Ｘ方向の変位を吸収する。これによれば、弾性部材１２ａの内部に発生する応力集中を低減することが可能になる。
【００５０】
なお、上記では、緩和部材１３ａ，１３ｂによってＸ方向の変位が吸収される場合について説明したが、緩和部材１３ａ，１３ｂは、Ｙ方向・Ｚ方向への変位、または各方向への傾斜をも吸収し、弾性部材１２ａ，１２ｂの内部に発生する応力集中を低減する。
【００５１】
このように、駆動装置１Ａは、可動部６の回動によって弾性部材１２ａ，１２ｂの一端（一辺側）に与えられる変位に応じて弾性部材１２ａ，１２ｂの他端（対向辺側）を移動（スライド）させる機構（「スライド機構」とも称する）を有している。これによれば、弾性部材１２ａ，１２ｂの一端に与えられる変位を吸収することができるので、弾性部材１２ａ，１２ｂの内部において生じる応力集中を低減させることが可能になる。
【００５２】
なお、第２機構ＳＲ２も、可動部６の回動によって弾性部材１２ｃ，１２ｄの一端（一辺側）に与えられる変位に応じて弾性部材１２ｃ，１２ｄの他端（対向辺側）を移動させるスライド機構を有し、可動部６の回動によって弾性部材１２ｃ，１２ｄの内部において生じる応力集中を低減させることが可能になる。
【００５３】
また、駆動装置１Ａは、弾性部材１２ａ〜１２ｄにおける応力集中を低減可能なスライド機構を有していることから、このようなスライド機構を有しない場合に比べて、可動部６の移動可能な最大回転範囲（最大回転角）を大きくすることが可能になる。具体的には、駆動装置１Ａでは、弾性部材１２ａ〜１２ｄにおいて生じる弾性変形が緩和されるので、スライド機構を有しない場合に比べて、可動部６に与えられた回転角に対する弾性部材１２ａ〜１２ｄの弾性変形量が減少する。このため、駆動装置１Ａでは、スライド機構を有しない場合に比べて、弾性部材１２ａ〜１２ｄの最大弾性変形量に対する最大回転角が大きくなる、すなわち可動部６の移動可能な回転範囲が大きくなる。
【００５４】
また、落下等によって駆動装置１Ａに衝撃が与えられた場合は、可動部６の変位によって弾性部材１２ａ〜１２ｄに生じる急激な変形を、緩和部材１３ａ〜１３ｄによって緩和することができる。このように駆動装置１Ａは、スライド機構を有することにより高い衝撃耐久性を備えている。
【００５５】
以上のように、駆動装置１Ａは、可動部６に駆動変位を与える駆動部５と、可動部６に設けられた支持部材１１ａ，１１ｂと、いずれも一端および他端を有し、支持部材を介して互いに対向した状態で、支持部材と一端においてそれぞれ接続される弾性部材１２ａ，１２ｂと、固定部８ａと弾性部材１２ａの他端との間に介挿され、駆動変位に応じて弾性部材１２ａに生じる弾性変形を緩和させる緩和部材１３ａと、固定部８ｂと弾性部材１２ｂの他端との間に介挿され、駆動変位に応じて弾性部材１２ｂに生じる弾性変形を緩和させる緩和部材１３ｂとを備えている。これによれば、駆動の際に、可動部を支持する弾性部材１２ａ，１２ｂに生じる応力集中を低減させることが可能になる。
【００５６】
また、エネルギー授受の観点からみると、上記弾性部材１２ａおよび緩和部材１３ａは、駆動変位に応じて弾性部材１２ａに与えられるエネルギーを弾性エネルギーとしてそれぞれ分散して蓄え、上記弾性部材１２ｂおよび緩和部材１３ｂは、駆動変位に応じて弾性部材１２ｂに与えられるエネルギーを弾性エネルギーとしてそれぞれ分散して蓄えているとも表現することもできる。このように、駆動装置１Ａでは、弾性部材１２ａ，１２ｂにおいて蓄積する弾性エネルギーを減少させることができるので、弾性部材１２ａ，１２ｂの内部において生じる応力集中を低減させることが可能になる。
【００５７】
＜変形例＞  
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は、上記に説明した内容に限定されるものではない。
【００５８】
例えば、緩和部材１３ａ〜１３ｄの構成は、上記実施形態に示されたものに限定されない。図１０は、変形例に係る駆動装置１Ｂの側面図である。
【００５９】
具体的には、緩和部材１３ａ〜１３ｄとして板ばねを用いてもよい。詳細には、図１０に示されるように、固定部８ａに支持台２１ａを接続し、当該支持台２１ａと矩形状の板ばね２２ａとが垂直になるように、支持台２１ａと矩形状の板ばね２２ａの一辺側とを接続する。そして、板ばね２２ａの対向辺側と薄板状の弾性部材１２ａとを接続する。このような構成の緩和部材１３ａ〜１３ｄを有する駆動装置１Ｂでは、板ばね２２ａ〜２２ｄを弾性変形させて弾性部材１２ａ〜１２ｄの他端を移動（スライド）させることが可能になるので、弾性部材１２ａ〜１２ｄの一端に与えられる変位を吸収することができ、弾性部材１２ａ〜１２ｄの内部において生じる応力集中を低減させることが可能になる。
【００６０】
また、上記実施形態においては、駆動部５として静電アクチュエータを採用していたがこれに限定されない。具体的には、電圧を印加することで変形する圧電素子、通電によって発生する熱に応じて変形する形状記憶合金、または有機材料で構成され印加電圧に応じて収縮する有機アクチュエータを駆動部５に採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本実施形態に係る駆動装置の機能ブロック図である。
【図２】駆動装置の上面図である。
【図３】可動部の上面斜視図である。
【図４】図２の矢印Ｋ方向から視認した場合の駆動装置の側面図である。
【図５】ＳＯＩ基板の断面を示す図である。
【図６】駆動装置の製法に関する説明図である。
【図７】駆動装置の製法に関する説明図である。
【図８】図２の矢印Ｋ方向から視認した場合の駆動状態における駆動装置の側面図である。
【図９】駆動装置の初期状態と駆動状態とにおける支持部材の変化を示す図である。
【図１０】変形例に係る駆動装置の側面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１Ａ，１Ｂ  駆動装置
６  可動部
５Ｅａ，５Ｅｂ  移動櫛歯電極
５Ｋａ，５Ｋｂ  固定櫛歯電極
１１ａ，１１ｂ  支持部材
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ  弾性部材
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ  緩和部材
８，８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ  固定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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