(57)【要約】【課題】エジェクタを電子部品搭載装置に取り付けたままでも、背圧特性を容易に取得でき、負圧発生能力の良否を容易に判定できるようにする。【解決手段】搭載ヘッドに装着され、電子部品を負圧により吸着する吸着ノズル２０と、該吸着ノズルに、連結された配管２２を通して負圧を供給するエジェクタ２４と、該配管内を流れる気体の流量を調整するバルブ２６と、該バルブにより調整される気体の流量を検出する流量計２８と、前記エジェクタによる負圧側の圧力を測定する圧力計３０とを備えていると共に、前記エジェクタの動作時に、前記流量計により検出される流量と、前記圧力計により検出される圧力との関係から、該エジェクタの背圧特性を測定し、測定された背圧特性を予め作成されている良否判定基準と比較し、該エジェクタの負圧発生能力を判定する判定手段を備えた。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給部から電子部品を吸着保持し、基板上に搭載する搭載ヘッドを備えた電子部品搭載装置において、
前記搭載ヘッドに装着され、電子部品を負圧により吸着する吸着ノズルと、
該吸着ノズルに、連結された配管を通して負圧を供給するエジェクタと、
該配管内を流れる気体の流量を調整するバルブと、
該バルブにより調整される気体の流量を検出する流量計と、
前記エジェクタによる負圧側の圧力を測定する圧力計とを備えていると共に、
前記エジェクタの動作時に、前記流量計により検出される流量と、前記圧力計により検出される圧力との関係から、該エジェクタの背圧特性を測定し、測定された背圧特性を予め作成されている良否判定基準と比較し、該エジェクタの負圧発生能力を判定する判定手段を備えたことを特徴とする電子部品搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搭載装置、特に電子部品を負圧により吸着する負圧吸着装置を備えた電子部品搭載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
吸着ノズルの先端に電子部品を負圧により吸着保持して搬送する方法は、機械的なチャックにより保持して搬送する方法と比較して、構成が簡単である上に、省スペースで、高速性である等の理由から電子部品の搭載装置等で広く採用されている。
【０００３】
このような目的で負圧を発生させる機器には真空ポンプ等数種類あるが、中でも加圧エア供給時の配管経路の圧力差から負圧を発生させるタイプの真空発生器であるエジェクタは、省スペースである上に、負圧・正圧の切替性も良好であることから電子部品の搭載装置では広く採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、エジェクタは使用する環境や頻度等により負圧発生能力が低下していき、部品の吸着不良を引き起こすようになる。このように能力が低下したエジェクタは、新品に交換することで対応可能であるが、日々緻密に組まれている生産日程の中で稼動している電子部品搭載装置等においては、突然発生したエジェクタの部品交換による時間的損失は、そのまま利益に影響するため、簡単に交換することができない。
【０００５】
よって、エジェクタの負圧発生能力の低下から不具合の発生を予知し、計画的にエジェクタを交換することが損失を回避するための有効な手段となっている。
【０００６】
電子部品搭載装置に組み込まれているエジェクタの負圧発生能力は、真空到達圧で判断する方法が一般である。しかしながら、真空到達圧だけでエジェクタの負圧発生能力を判断しようとした場合には、問題があることがある。
【０００７】
例えば、吸着する部品とノズルの接触が隙間無く密着した状態で行なわれる場合はエア流量が０となるため、エジェクタの負圧発生能力は吸い込み流量が０になったときの圧力を見ることで真空到達圧を容易に判断できる。
【０００８】
ところが、ノズルと部品の接触部に隙間の発生が避けられない状況、例えばコネクタ等の電子部品のように表面形状に凹凸が多いため、密着した状態でノズルを接触させることができない場合等では、常に隙間からエアを吸い込み続けることになるため、流量０で検出される真空到達圧によってはエジェクタの負圧発生能力を判断することはできない。
【０００９】
流量０の真空到達圧以外でエジェクタの負圧発生能力を判断する場合は、エジェクタが負圧により吸い込むエアの流量と圧力値との関係を表わす背圧特性を取得する必要がある。
【００１０】
【特許文献１】特許第３９０５７９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、従来の電子部品搭載装置には、背圧特性を取得する目的の機能が付いていなかったため、背圧特性を取得するためには該装置からエジェクタを一旦取り外し、別途設けた専用の測定器具に取り付けて計測しなければならず、時間的にも作業的にも損失が大きくなってしまう。そのため、一度装置に組み付けられたエジェクタに関しては、背圧特性を取得することは困難であるため行われていなかった。
【００１２】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、エジェクタを装置に取り付けたままでもその背圧特性を容易に取得することができ、結果としてエジェクタの良否判定を時間的・作業的な損失を伴うことなく行なうことができる電子部品搭載装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、部品供給部から電子部品を吸着保持し、基板上に搭載する搭載ヘッドを備えた電子部品搭載装置において、前記搭載ヘッドに装着され、電子部品を負圧により吸着する吸着ノズルと、該吸着ノズルに、連結された配管を通して負圧を供給するエジェクタと、該配管内を流れる気体の流量を調整するバルブと、該バルブにより調整される気体の流量を検出する流量計と、前記エジェクタによる負圧側の圧力を測定する圧力計とを備えていると共に、前記エジェクタの動作時に、前記流量計により検出される流量と、前記圧力計により検出される圧力との関係から、該エジェクタの背圧特性を測定し、測定された背圧特性を予め作成されている良否判定基準と比較し、該エジェクタの負圧発生能力を判定する判定手段を備えたことにより、前記課題を解決したものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、搭載ヘッドに装着されている吸着ノズルに負圧を供給するエジェクタについて、負圧発生時の流量と圧力とを適宜測定して背圧特性を取得できるようにしたので、予め作成してある良否判定基準と比較することにより、装置に取り付けたままでも該エジェクタの負圧発生能力の良否判定を容易に行なうことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明に係る一実施形態の電子部品搭載装置の概要を示す斜視図である。
【００１７】
この電子部品搭載装置１０は、搭載ヘッド１１を備え、該搭載ヘッド１１は、Ｘ軸ガイド１２によりＸ方向に移動されると共に、該Ｘガイド１２と一体的にＹ軸ガイド１３によりＹ方向に移動されることにより、テープフィーダ（部品供給部）１４から後述する吸着ノズルにより電子部品（図示せず）を吸着保持し、部品認識カメラ１５で認識した後、位置決めされている基板Ｓ上に搭載することが可能になっている。
【００１８】
本実施形態の搭載装置１０は、図２に模式的に示すように、前記搭載ヘッド１１に装着され、図示しない電子部品を負圧により吸着する吸着ノズル２０と、該吸着ノズル２０に、連結された配管２２を通して負圧を供給する、前記搭載ヘッド１１に取付けられているエジェクタ２４とを備えている。又、該配管２２を通る気体の流量を調整するバルブ２６と、該バルブ２６により調整される気体の流量を検出する流量計２８と、前記エジェクタ２４による負圧側の圧力を測定する圧力計３０とを備えている。ここで、バルブ２６、流量計２８及び圧力計３０は、エジェクタ２４の吸込側（負圧側）であればどこに配置してもよい。
【００１９】
本実施形態では、図２に対応する気体制御回路を図３に示すように、搭載装置１０の全体を制御する制御装置（図示せず）に含まれる制御部３２により、バルブ２６の開度を調整できるようになっている。
【００２０】
又、この制御部３２には、バルブ２６の任意の開度調整位置に対応して流量計２８と圧力計３０からそれぞれセンサ出力として検出値が入力されるようになっている。
【００２１】
一方、この制御部３２には、流量計２８により検出される流量と、圧力計３０により検出される圧力との関係から測定される前記エジェクタ２４の背圧特性について、負圧発生能力の良否を判定するための良否判定基準を表わす基準線が実験的に予め作成され、保存されている。図４には、この良否判定基準線の一例を示す。
【００２２】
本実施形態では、上記制御部（判定手段）３２により、エジェクタ２４の動作時に適宜検出される流量と圧力との関係（背圧特性）を、上記良否判定基準線と比較することにより、該エジェクタ２４の負圧発生能力を判定するようになっている。
【００２３】
即ち、図５のフローチャートに示すように、エジェクタ２４を動作させてバキュームをＯＮにして電子部品を吸着し（ステップ１）、その部品の吸着時に圧力を検出する（ステップ２）と共に、流量を検出する（ステップ３）。
【００２４】
次いで、検出した圧力と流量の関係を図４の良否判定基準線と比較し（ステップ４）、良否判定基準線より下回っていれば警告を発する。
【００２５】
又、部品吸着時以外でも、必要に応じてバルブ２６により流量調整を行ない、流量と圧力の関係を検出できるようにし、検出した流量と圧力が良否判定基準線より下回れば同様に警告を発する。
【００２６】
以上詳述した本実施形態によれば、エジェクタ２４の動作時の圧力検出機能と流量検出機能を搭載ヘッド１１に有するようにしたため、電子部品の吸着時や任意の時に圧力と流量を検出することができ、その検出した圧力と流量の関係を予め定めてある良否判定基準線と比較することにより、良否判定を行なう機能を持たせることが可能となった。
【００２７】
その結果、以下の効果が得られた。
【００２８】
（１）エジェクタを電子部品搭載装置から取り外すことなく、該エジェクタの良否判定を行なうことができるため、時間的・作業的な損失を削減できる。
【００２９】
（２）容易にエジェクタの良否判定を行なうことができるため、エジェクタの能力低下をいち早く知ることができ、計画的な生産を行なうことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る一実施形態の電子部品搭載装置の概要を示す斜視図
【図２】本実施形態の電子部品搭載装置が備えている搭載ヘッドの負圧発生部に含まれる吸着ノズルとエジェクタの関係を示す模式図
【図３】上記負圧発生部の判定制御部の概要を示す気体制御回路図
【図４】エジェクタの背圧特性と良否判定基準線との関係を示す線図
【図５】本実施形態の作用を示すフローチャート
【符号の説明】
【００３１】
１０…電子部品搭載装置
１１…搭載ヘッド
１２…Ｘ軸ガイド
１３…Ｙ軸ガイド
１４…テープフィーダ
１５…部品認識カメラ
２０…吸着ノズル
２２…配管
２４…エジェクタ
２６…バルブ
２８…流量計
３０…圧力計
Ｓ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図４】
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