(57)【要約】  【課題】  電子部品実装用のテープキャリアに形成された配線パターンの外観検査を確実に行なうためのテープキャリア保持装置を提供する。  【解決手段】  被検査面を上向きにしてテープキャリア７を搬送する搬送手段と、被検査面に光を照射してその反射光を取得する撮像手段１５、２５と、上面に吸着面を有して昇降自在に設けられた吸着ステージ２４とを備え、前記搬送手段がテープキャリア７を搬送するときは吸着ステージ２４はこのテープキャリア７と接触しない下方に位置し、前記搬送を停止して撮像手段１５、２５が撮像を行なうときは、吸着ステージ２４が上方に移動してその上面をテープキャリア７の下面に接触させ、このテープキャリアを吸着保持することを特徴とする。【選択図】          図３
2009088375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品実装用のテープキャリアに形成された配線パターンの形状を光学的に取得して検査するパターン検査装置において、被検査面を上向きにしてテープキャリアを搬送する搬送手段と、被検査面に光を照射してその反射光を取得する撮像手段と、上面に吸着面を有して昇降自在に設けられた吸着ステージとを備え、前記搬送手段が前記テープキャリアを搬送するときは前記吸着ステージはこのテープキャリアと接触しない下方に位置し、前記搬送を停止して前記撮像手段が撮像を行なうときは、前記吸着ステージが上方に移動してその上面を前記テープキャリアの下面に接触させ、このテープキャリアを吸着保持することを特徴とするテープキャリアの保持装置。
【請求項２】
前記吸着ステージの上面を構成する吸着板は多孔質部材からなり、この上面の吸着領域の寸法において、前記テープキャリアの幅方向に対応する吸着領域の幅寸法が、テープキャリアの全幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のテープキャリアの保持装置。
【請求項３】
前記テープキャリアの上方に押さえユニットが固定されて設けられ、前記吸着ステージが上昇して前記テープキャリアを押し上げることにより、この押さえユニットに設けられた押さえ部が、前記吸着ステージ上にある前記テープキャリアの少なくともパーフォレーションホールを含む領域に接触することを特徴とする請求項２に記載のテープキャリアの保持装置。
【請求項４】
前記押さえ部は弾性を有し、前記テープキャリアの搬送方向に細長い帯状部品であることを特徴とする請求項３に記載のテープキャリアの保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）法に用いられるテープキャリアのパターン検査装置において、当該テープキャリアの保持装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）やＣＯＰ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）など、樹脂フィルムを基材とした長尺のテープにＩＣチップを実装して外部端子を設ける集積回路の生産方法が広く利用されている。このテープはテープキャリアと称され、このようなテープキャリアを製造するには、一般に次のような工程を経る。
【０００３】
まず、絶縁基材となるポリイミドフィルムを所望の形状となるようにパンチングしたあと、銅箔を接着剤を介して貼着する。次に銅箔上にフォトレジストを塗布し、フォトマスクを使用して露光、現像しエッチングにより配線パターンを形成する。  そして、配線および配線間を保護するために、配線パターンのうち接続端子となる部分を除いてソルダ−レジストが印刷される。次にソルダ−レジストを乾燥、硬化させたあと露出した接続端子部分に錫めっきや金めっき等の所望のめっき処理が行なわれる。
【０００４】
このように、テープキャリアにＩＣチップが実装される前の過程にも、いくつかの工程で、処理後の乾燥や加熱凝固のために乾燥装置での温風吹き付け処理が必要となる。そしてこのように加熱処理が行なわれると、前述したように、主に絶縁基材と銅箔で構成されたテープキャリアは、その両者の熱膨張率の差によって反りが生じる。この反りは一般的に図９で示すようなテープキャリア５１の幅方向の反りとなり、この反りは従来から光学的に配線パターンの欠陥を検査する装置においての課題であった。
【０００５】
また、これとは別の現象として次のようなものがある。一般にテープキャリア５１はリールに巻かれて取り扱われるが、テープキャリア５１のみをリールに巻きつけた場合、テープキャリア５１の表裏面が接触し傷が発生するので、テープキャリア５１に加えてテープキャリア５１とほぼ同等の外形寸法であるスペーサテープを重ねてリールに巻きつけるようにしている。さらにこのスペーサテープの形状は、単に平面ではなく図１０で示すように幅方向の両端が波状に形成されたものが多く使用されており、このようなスペーサテープ５３とテープキャリア５１とを重ねてリール５２に巻きつけることで、図１１（ａ）で示すようにテープキャリア５１間に空隙を設けることができる。
【０００６】
このような形態にしておくことでテープキャリア５１の表面どうしが接触しないことに加えて、テープキャリア５１の配線パターンが形成された領域においては、スペーサテープ５３との接触も防ぐことができる。またさらに、前記テープキャリア５１間の空隙が存在することで、前述したような温風乾燥や温風加熱を行なう場合には、図１１（ｂ）で示すように、テープキャリア５１全体に均一に温風を吹き付けることが可能となる。
【０００７】
しかしながら、図１１で示すような状態で加熱されたテープキャリア５１には、スペーサテープ５３の波状に形成された部分が転写されるような現象が発生し、テープキャリア５１自身の幅方向両端にも波型の変形が発生する。しかも、この波型は図１１（ａ）で示されているように、テープキャリア５１の表裏を押圧するスペーサテープ５３の波型部の位置関係がランダムなので、テープキャリア５１の幅方向両端には不規則な波型の変形が発生する。したがって、前述したテープキャリア５１の幅方向の反りと合わせてこの不規則な変形も影響することで、テープキャリアを平坦に維持することがさらに困難となり、光学的な配線パターンの検査装置における大きな課題となっている。
【０００８】
従来から上記課題を解決するための工夫がなされてきたが、その中の一つの方法は特許文献１が開示しているように、撮像部であるラインセンサ７０をテープキャリア５１の長手方向に沿って配置し、幅方向に反りのある被検査面の反りに合わせてラインセンサ７０をテープキャリア５１の幅方向に走査する、つまりラインセンサ７０を被検査面の方向に移動させながらテープの幅方向に走査するというものである（図１２）。また他の方法として、特許文献２が開示しているように、テープキャリア５１の幅方向の両端部を機械的に把持して、キャリアテープ５１を幅方向に引っ張ることでキャリアテープ５１の反りを無くそうというものである（図１３）。
【０００９】
図１３はテープキャリア５１の搬送方向からテープキャリア５１の断面を見た図である。ここで、テープ押さえ５４が矢印アの方向に移動してテープキャリア５１の幅方向両端を把持し、そのあとアクチュエータ５５が駆動して支柱５６を矢印イの方向へ移動させることでテープキャリア５１を平坦にしようというものである。テープキャリア５１の幅方向の両端はスプロケットホールが形成され配線パターンが形成されない帯状の領域であるから、この部分を利用した方法である。
【００１０】
さらに他の方法として特許文献３が開示しているのは、テープキャリア５１の幅方向両端を把持してテープを幅方向に引っ張る把持機構に加えて、この把持機構のあいだに吸着ステージを設けるものである。図１４はこの方法を説明するもので、テープキャリア５１の幅方向両端を把持する把持機構５７およびテープを幅方向に引っ張る駆動機構５８の動作は図１３に基づいた前記説明と同様であり、一対の把持機構５７の間に吸着ステージ５９が設けられている。この吸着ステージ５９の上面には真空吸着孔又は溝６０が形成されており、検査のために搬送が停止した状態のテープキャリア５１を吸着する。
【００１１】
またこの特許文献３の場合、テープキャリア５１の上方に撮像部、そして上方と下方の両側に照明を設け、上方からの照明の反射光に加えて下方からの照明の透過光も撮像できるようにした装置に関する技術なので、前記吸着ステージ５９をテープキャリア５１の幅方向に細長く形成し、これを図１４を見て前後方向に２つ用意して、そのあいだ、つまりテープキャリア５１の下面に吸着ステージ５９が存在しない領域で検査するものとしている。
【００１２】
【特許文献１】特開２００２−３７２５０３号公報（第２頁、図２、図３）
【特許文献２】特開２００４−２８５９７号公報（第５頁、図３、図５）
【特許文献３】特開２００６−１７６４２号公報（第６頁、図１、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、図１２に基づいて説明した特許文献１に記載された方法は、１度目の走査によってテープキャリア５１の反りの深さを検知し、このデータに基づいてラインセンサ７０に前記反りに沿った動きをさせて走査するというもので、一つの領域を２度走査することで検査時間が長くなる欠点と、センサに被検査面と垂直方向の移動をさせながらテープの幅方向に移動させる、つまり曲線的な動作で走査するための大掛りな機構を設けねばならず、装置が高価で大規模になってしまう。また、前記ラインセンサ７０の近傍に、ラインセンサ７０と被検査面との距離を検出する測距センサを設けて１度の走査でテープの反りに沿った動作をさせることも考えられるが、これも同様あるいはさらに大掛りな機構を設けねばならず、装置が高価で大規模になってしまう。
【００１４】
また、図１３に基づいて説明した特許文献２に記載された方法は、近年多く採用されている多条品、つまり図１５に示すようにキャリアテープの幅方向に複数列の被検査ピース列を配置した幅広テープ（図では被検査ピース列が４列配置された４条品）を検査する場合、テープ幅が１６０ｍｍ程度に達するものが多く採用されているため、テープの幅方向の両端を引っ張るだけでは、被検査面全域を撮像部の焦点深度の範囲内にするのが困難になってきた。
【００１５】
図１５に基づいてこの幅広テープを説明すると、まず大きな四角で示してあるのが被検査ピース６１であり、テープの搬送方向に４列つまり４条並べて設けられている。また符号６２で示す小さな四角がパーフォレーションホールであり、被検査ピース６１の両側に配置されている。テープの幅方向両端に配置されている小さな四角は、この４条品のテープキャリア全体を搬送及び位置決めするためのパーフォレーションホール６３である。したがってこのような幅広テープにおいては、４条に並んだ被検査ピースの４つの列それぞれが１条品のような傾向で湾曲するという現象を示すことが多い。
【００１６】
また、図１０および図１１に基づいて説明した、スペーサテープ５３の波型形状と加熱工程が影響して引き起こすテープキャリアの幅方向両端の不規則な変形がある場合、図１３に基づいて説明した技術ではテープの幅方向両端のみを把持して機械的に平面に矯正するだけなので、テープの幅方向両端の不規則な変形が矯正された場合に、その反発力がテープキャリアの内側方向に表れ、かえって被検査領域を不規則に湾曲させてしまう可能性がある。したがって、テープキャリア５１の幅方向両端を機械的に挟んで幅方向に引っ張るだけでは、十分にテープキャリア５１を平面にすることはできない。
【００１７】
さらに、図１４に基づいて説明した特許文献３に記載された方法は、把持機構５７の間に吸着ステージ５９を配置するものであるが、ある程度の改善はあるものの、撮像部が撮像する被検査ピースが吸着ステージ５９上で吸着されているわけではないので、前述した幅広テープの複数の条それぞれの湾曲や、テープの幅方向両端の不規則な変形の影響を防ぐのが困難である。また、検査装置が透過光を用いず反射光の撮像のみで検査を行なうものであった場合は、吸着ステージ５９を撮像領域の直下に配置することは可能であるが、近年の傾向である薄型（厚さ約２０μｍ）の絶縁基材で構成されたテープキャリアを機械的に穿設された吸引口や溝で吸引した場合、その吸引力により被検査面に凹凸が発生し、これが高精細配線パターンの検査には大きく悪影響を及ぼす。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は第１の態様として、電子部品実装用のテープキャリアに形成された配線パターンの形状を光学的に取得して検査するパターン検査装置において、被検査面を上向きにしてテープキャリアを搬送する搬送手段と、被検査面に光を照射してその反射光を取得する撮像手段と、上面に吸着面を有して昇降自在に設けられた吸着ステージとを備え、前記搬送手段が前記テープキャリアを搬送するときは前記吸着ステージはこのテープキャリアと接触しない下方に位置し、前記搬送を停止して前記撮像手段が撮像を行なうときは、前記吸着ステージが上方に移動してその上面を前記テープキャリアの下面に接触させ、このテープキャリアを吸着保持することを特徴とするテープキャリアの保持装置を提供する。
【００１９】
また本発明は第２の態様として、前記吸着ステージの上面を構成する吸着板は多孔質部材からなり、この上面の吸着領域の寸法において、前記テープキャリアの幅方向に対応する吸着領域の幅寸法が、テープキャリアの全幅よりも大きいことを特徴とする第１の態様として記載のテープキャリアの保持装置を提供する。
【００２０】
また本発明は第３の態様として、前記テープキャリアの上方に押さえユニットが固定されて設けられ、前記吸着ステージが上昇して前記テープキャリアを押し上げることにより、この押さえユニットに設けられた押さえ部が、前記吸着ステージ上にある前記テープキャリアの少なくともパーフォレーションホールを含む領域に接触することを特徴とする第２の態様として記載のテープキャリアの保持装置を提供する。
【００２１】
さらに本発明は第４の態様として、前記押さえ部は弾性を有し、前記テープキャリアの搬送方向に細長い帯状部品であることを特徴とする第３の態様として記載のテープキャリアの保持装置を提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の第１の態様によれば、吸着ステージが上下するように構成してあるので、テープキャリアが搬送されているときは吸着ステージは下方に退避し、カメラによる撮像のためにテープキャリアが停止しているときは吸着ステージが上方に移動してテープキャリアを吸着保持する。したがって、テープキャリアの下面を傷つけることなく、確実にテープ搬送時と撮像時とのテープの保持状態を切り替えることができると同時に、テープキャリアの上方にテープ押さえのための可動部を設けていないので、テープキャリアの上方で被検査面に接近して走査のための移動を行なう撮像装置とテープ押さえ機構とが干渉しないように構成することが容易になる。
【００２３】
また、本発明の第２の態様によれば、テープキャリアの幅方向の両端も吸着ステージ上の吸着領域に含まれるので、テープキャリア自身の搬送方向の張力と吸着ステージの吸着力が同時にテープの幅方向両端に作用する。したがって、リールへのスペーサテープとの重ね巻きに起因するテープキャリアの幅方向両端の不規則な変形が発生していても、これを平坦化し、少なくとも被検査領域に影響するのを防ぐことが期待できる。
【００２４】
また、本発明の第３の態様によれば、吸着ステージによるテープキャリアの吸着を妨げる一要因であるパーフォレーションホールを塞ぐことができるので、テープの幅方向に複数のピース列が存在してそれらのあいだの部分が浮き上がったり、テープの幅方向両端が不規則に変形していたりしても、吸着ステージの吸引力をこれらの部分に確実に及ぼすことができるので、テープの被検査領域をより確実に平坦化できる。
【００２５】
さらに、本発明の第４の態様によれば、テープキャリアの押圧すべき領域に対して、押さえ部自身の弾性による押圧とパーフォレーションホールを塞ぐことによる吸着力の増大が同時に作用し、確実にテープキャリアを平坦化することができる。また、これらの作用はテープキャリアの上方に駆動部を設けることなく実現できる、つまり扁平で平坦な形状に構成できるので、この押さえ部に接近してその上方を水平方向に移動する撮像装置との干渉を容易に避けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に添付図面を参照して本発明に係るテープキャリアの保持装置の実施形態を詳細に説明する。
【００２７】
実施の形態としては、配線パターンが形成されたテープキャリアのパターン外観検査装置に備えたテープキャリアの保持装置として説明する。まず図１に基づいて、このパターン外観検査装置の全体構成を説明する。図１において、符号１は巻き出し部、２は検査部、３はテンショナー部、４はパンチ部、５は巻き取り部である。ここで、装置の動作を制御する制御部および検査部で取得した画像を処理して配線パターンに欠陥が存在するか否かを検査するデータ処理部は図示を省略してある。
【００２８】
まず図を見て左から、巻き出し部１には巻き出しリール６が装着されており、この巻き出しリール６には未検査のテープキャリア７およびスペーサテープ８が収納されている。テープキャリア７は配線パターン面が図を見て上側になった状態で検査部２へと搬送される。一方スペーサテープ８はスペーサ巻き取りリール９に巻き取られる。そして検査部２に搬送されたテープキャリア７は後で詳細に説明する検査ステージ１０に搬送され、外観検査のための撮像が行われる。ここで、撮像中はテープの搬送を停止させ、撮像が終了すると次の被検査領域を撮像するために搬送するという間欠搬送が行なわれる。
【００２９】
次に撮像が終了したテープキャリア７はテンショナー部３を経由してパンチ部４に搬送される。パンチ部４にはパンチユニット１１が備えられており、検査ステージ１０で取得した画像に基づいてデータ処理部が不良と判断した被検査ピースにパンチングで穴を明け、次工程に流出しないようにする。またテンショナー部３は検査ステージ１０およびパンチユニット１１に在るテープキャリア７に所望の張力を付与すると共に、検査部２とパンチ部４の搬送の非同期性による両者間のテープ長の変化を吸収する。パンチ部４を通過したテープキャリア７は最後に巻き取り部５に搬送され、巻き取りリール１２に巻き取られる。このときスペーサ巻き出しリール１３から巻き出されたスペーサテープ１４と前記テープキャリア７が交互に重なった状態で巻き取られる。
【００３０】
図２は図１で示した検査ステージ１０内の構成を示す正面図であり本発明の第１の実施形態を示している。本図はテープキャリア７の搬送が停止し、カメラ１５による撮像を開始する前の状態である。ここでテープキャリア７は、補助ローラ１６、１７間に所定の張力が付与された状態で停止しているが、補助ローラ１６、１７間の空中に在るだけなので、テープキャリア７の被検査面はテープの幅方向に反っており、ミクロン単位の解像度で画像を取得するカメラ１５にとって有効な撮像が可能な状態ではない。また図２において、符号１８は直径約１μｍ以下の気孔を多数有する多孔質セラミックスプレートからなる吸着板であり、その上面以外のほとんどが吸着ボックス１９で覆われている。またこの吸着ボックス１９の底面には排気管２０が接続されており、図示しない排気手段により吸着ボックス１９内に負圧を与えるようになっている。
【００３１】
さらに吸着ボックス１９の底面にはエアシリンダ−２１が配置されており、その駆動によって吸着ボックス１９は上下方向に移動するようになっている。また、この上下動の最上部での位置は、吸着ボックス１９から下方にＬ字形に突出した突起２２と、これに隣接して設けられたストッパー２３とが当接することで制限される。ストッパー２３は上面視長方形の吸着ボックス１９の四隅近傍にそれぞれ配置されており、ストッパー２３に備わったマイクロメータ２３Ａをそれぞれ調節することで、吸着ボックス１９と共に上昇し最上部に位置したときの吸着板１８の上面の傾斜姿勢を調節することができる。本書ではこの吸着板１８と吸着ボックス１９とを合わせて吸着ステージ２４と記載する。
【００３２】
図３はカメラ１５の撮像のために吸着ステージ２４が上方に移動し、最上部に位置した状態を示している。ここで、補助ローラ１６、１７間で張力が付与されほぼ水平に保持されていたテープキャリア７は、吸着ステージ２４の上面によって数ｍｍ程度上方に持ち上げられるように設定されている。そして、図示しない排気手段により排気管２０を介して吸着ステージ２４内を減圧すると、吸着ステージ２４上面の多数の微細な気孔に吸引力が発生しテープキャリア７を真空吸着する。これにより、テープの幅方向の反りが強制され、平面に仕上げられた吸着ステージ２４の上面に貼り付いた状態となる。
【００３３】
次にカメラ１５が撮像を開始するのであるが、本実施形態の場合はカメラ１５はラインセンサであり、図３の符号２５で示したドーム型照明がカメラ１５と撮像対象の間隙に配置してある。このドーム型照明２５は図示しない光源装置から光ファイバの束であるライトガイド７１を経由して半球状のドーム内部で乱反射した光を被検査面に照射するものである。またこのドーム型照明２５はカメラ１５と一体的に前後左右に移動するようになっており、カメラ１５のラインセンサはドーム型照明２５に設けられたスリット２５Ａから被検査面を撮像する。
【００３４】
ここで、吸着ステージ２４の上面に多数設けられた気孔は１μｍ程度の直径なのでテープキャリア７に凹凸を生じさせること無く撮像に悪影響を及ぼさない。また、先にスペーサテープ８によってテープキャリア７の幅方向両端に不規則な波型の変形が発生することを技術的課題として取り上げたが、これがさほど大きくない場合は、テープキャリアに付与されている搬送方向の張力と前記真空吸着によって、少なくとも配線パターンの存在する被検査領域は平面を保つことができるので、カメラ１５の撮像に悪影響を及ぼさない。
【００３５】
しかしながら、スペーサテープ８によってテープキャリア７の幅方向両端に不規則な波型の変形が大きく発生している場合は、これまで説明した図３の構成だけでは良好なテープキャリア７の保持は困難となる。さらに、テープキャリア７が多条品の幅広テープであった場合にも、先に技術的課題として述べたような１条１条それぞれがテープの幅方向に反り、条と条との間（以下条間と記載する）が浮き上がってしまう現象を引き起こす。これら２つの現象は、パーフォレーションホール６２、６３が存在する部分に発生しており、このパーフォレーションホールによる空気の流通が真空吸着を妨げていることも原因の一つであることが分かる。図４にこれら２つの現象が発生した状態のテープキャリアを示す。
【００３６】
次に第２の実施形態として、テープキャリアが吸着ステージ２４上で真空吸着されている状態にもかかわらずテープの幅方向両端の波型の変形が被検査領域の平面度に影響したり、条間の浮きが被検査領域の平面度に影響したりする場合のテープキャリアの保持装置について説明する。
【００３７】
まず、第２の実施形態は、第１の実施形態で説明した吸着ステージ２４及びその周辺の構成はそのままの形態を維持し、図５に斜視図で示す押さえユニット２７を追加するものである。図５において、４本の脚２６を備えた押さえユニット２７は、２本の第１のフレーム２８と２本の第２のフレーム２９によってほぼ全体の剛性が保たれるような構造となっている。そして２本の第１のフレーム２８のあいだには２本のローラ３０が回転自在に支持されており、２本の第２のフレームにはベルト３１、３２が張り渡されている。そして、テープ幅方向外側の２本のベルト３１は内側の３本のベルト３２よりも幅広のものを使用している。後に詳しく説明するが、このベルト３１、３２が直接テープキャリアに接触する押さえ部となる。
【００３８】
次に図６では、図５で示した押さえユニット２７が検査ステージ１０内に実装された様子を示す。図６において、押さえユニット２７は４本の脚２６によって吸着ステージ２４にまたがるように固定されている。本図では吸着ステージ２４のみ描き、エアシリンダーやカメラ等の周辺の構成部品は図示を省略している。ここで、押さえユニット２７は図示しない基台に固定されており、吸着ステージ２４のみが上下動するものである。また本図は、吸着ステージ２４は下がった位置にあり、その上方に４条の幅広テープであるテープキャリア７Ａが停止した状態を示している。
【００３９】
そして、押さえユニット２７に設けた２本のローラ３０の５箇所の大径部３０Ａはそれぞれテープキャリア７Ａの３ヶ所の条間とテープの幅方向両端部に対応するように位置している。また、２本のベルト３１はテープの幅方向の両端に対応し、３本のベルト３２は前記条間に対応するように位置している。これらベルト３１及び３２は帯状の弾性体からなり、本実施形態ではシリコンゴムを素材として使用している。またこの素材は通気性のないものあるいは僅かなものが好ましい。
【００４０】
次に図７で示す断面図に基づいて吸着ステージ２４と押さえユニット２７の動作を説明する。図７はテープキャリア７Ａおよび押さえユニット２７をテープの搬送方向に沿って切断して正面から見た図である。図７（ａ）はカメラ１５による撮像が行なわれていないときの状態、図７（ｂ）は撮像が行なわれているときの状態を示す。図７（ａ）の状態において、テープキャリア７Ａは図を見て左から右へ搬送され停止する。このとき吸着ステージ２４は下方に位置しているのでテープ７Ａとの接触はない。また図５及び図６に基づいて説明した押さえユニット２７はローラ３０の大径部３０Ａがテープキャリア７Ａの上面に接触する位置に固定してある。この大径部３０Ａはテープの幅方向両端および条間に回動自在に接触しており、第２のフレーム２９の下端２９Ａはこの接触点より上方に位置しているため、テープキャリア７Ａが搬送されているとき上下に振動しても、前記下端２９Ａがテープキャリア７Ａに接触して被検査面を傷つけることはない。
【００４１】
テープキャリア７Ａの、次に検査すべき検査領域を吸着ステージ２４の上方に搬送し終えたら、この搬送を停止させて吸着ステージ２４を図７（ｂ）のように上昇させる。このとき吸着ステージ２４の上面を、テープキャリア７Ａを所定量（数ミリ）押し上げる位置まで上昇させるので、テープキャリア７Ａが上方へ押し上げられることによりその上面がベルト３１及び３２に接触する。そしてさらに吸着ステージ２４が若干上昇することでベルト３１及び３２も若干上方へ押し上げられる。この動作により、弾性を有するベルト３１及び３２は、自身の張力および自重によってキャリアテープ７Ａの幅方向の両端部と条間を吸着ステージ７Ａの上面に向けて押圧するとともに、それぞれが押圧している部分のパーフォレーションホール６２及び６３を塞ぐ。
【００４２】
そして、この図７（ｂ）の状態で吸着ステージ２４が吸着を開始すると、ベルト３１および３２が、テープキャリア７Ａの幅方向両端と条間とを吸着ステージ２４の上面に向けて押圧するのと同時に、吸着作用の妨げとなっていたパーフォレーションホールを塞ぐのでこれら押圧部に作用する吸着ステージ２４の吸着力も増大させることができる。したがって、確実にテープキャリア７Ａを平坦にしてカメラ１５の焦点深度の範囲に被検査領域全域を位置させることができる。
【００４３】
また、ここまで説明してきた実施形態で、検査対象となっていたテープキャリア７Ａは検査ピースがテープの幅方向に複数列並んだ多条品であるが、テープキャリアが１条品である場合でも、図５および図６で示したベルト３１および３２のうち３２を設けず３１のみを利用することで、テープの幅方向両端を吸着ステージ２４の上面に押圧することができるので、被検査領域を平坦にするという効果に差異がないことは言うまでもない。
【００４４】
またこの場合は、図８で示すような押さえユニットとしても同様の効果を奏する。図８はテープキャリア７Ｂの保持部をテープの搬送方向から見た断面図である。ここでは、テープキャリア７Ｂの幅方向近傍に、帯状の弾性部材３３を板ばね部材３４で支持させた押さえユニットが固定して設けてある。この状態から吸着ステージ２４が上昇することで、弾性部材３３はパーフォレーションホールを含むテープの幅方向両端を吸着ステージ２４の上面に向けて押圧する。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施形態を示す正面図
【図２】本発明の実施形態を示す正面図
【図３】本発明の実施形態を示す正面図
【図４】テープキャリアの状態を示す斜視図
【図５】本発明の実施形態を示す斜視図
【図６】本発明の実施形態を示す斜視図
【図７】本発明の実施形態を示す断面図
【図８】本発明の実施形態を示す断面図
【図９】従来の技術に関連した斜視図
【図１０】従来の技術に関連した斜視図
【図１１】従来の技術に関連した側面図
【図１２】従来の技術を示す斜視図
【図１３】従来の技術を示す側面図
【図１４】従来の技術を示す側面図
【図１５】従来の技術に関連した斜視図
【符号の説明】
【００４６】
１  巻き出し部
２  検査部
３  テンショナー部
４  パンチ部
５  巻き取り部
６  巻き出しリール
７  テープキャリア
８、１４  スペーサテープ
９  スペーサ巻き取りリール
１０  検査ステージ
１１  パンチユニット
１２  巻き取りリール
１３  スペーサ巻き出しリール
１５  カメラ
１６、１７  補助ローラ
１８  吸着板
１９  吸着ボックス
２０  排気管
２１  エアシリンダ
２２  突起
２３  ストッパー
２４  吸着ステージ
２５  ドーム型照明
【図１】
2009088375.tif 000003
【図２】
2009088375.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2009088375.tif 000007
【図６】
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【図７】
2009088375.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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