(57)【要約】【課題】洗浄槽に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することが可能な洗浄装置を提供すること。【解決手段】洗浄装置１は、被洗浄物２が浸漬される洗浄槽３と、洗浄槽３に洗浄液を供給する給液部９と、洗浄槽３から排出される洗浄液を給液部９まで循環させるための循環経路１０とを備えている。循環経路１０は、循環する洗浄液の帯電を抑制する帯電抑制手段２８を備え、この帯電抑制手段２８は、洗浄液が通過する通過路の内部に配置されるとともに接地される導電性部材を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物が浸漬される洗浄槽と、前記洗浄槽に洗浄液を供給する給液部と、前記洗浄槽から排出される前記洗浄液を前記給液部まで循環させるための循環経路とを備え、
前記循環経路は、循環する前記洗浄液の帯電を抑制する帯電抑制手段を備え、
前記帯電抑制手段は、前記洗浄液が通過する通過路の内部に配置されるとともに接地される導電性部材を備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記帯電抑制手段は、前記導電性部材として金属製の網目状部材を備えるフィルタであることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記帯電抑制手段は、前記導電性部材として、前記通過路の少なくとも一部を構成する配管部材の内部に配置される金属製の線状部材を備えることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記循環経路は、前記洗浄液内の塵埃を除去するための濾過手段を備え、
前記帯電抑制手段は、前記濾過手段の下流側に配置されていることを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記濾過手段は、前記洗浄液内の塵埃を除去するための樹脂製の網目状部材を備えることを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記循環経路は、前記洗浄槽から排出される前記洗浄液を前記給液部に向かって送るためのポンプを備え、
前記ポンプは、前記濾過手段の上流側に配置されていることを特徴とする請求項４または５記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記循環経路は、前記洗浄槽と前記給液部とを連結するための樹脂製の配管部材を備えることを特徴とする請求項１から６いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記循環経路は、少なくとも一部が導電性を有する導電性樹脂で形成される前記配管部材を備えることを特徴とする請求項７記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウェハ等の半導体デバイスを洗浄するための洗浄装置として、半導体デバイスの洗浄を行うための洗浄槽と、洗浄液としての純水を洗浄槽に供給するための注水配管とを備えた洗浄装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の洗浄装置では、注水配管は絶縁性材料で形成されている。したがって、この洗浄装置では、注水配管内を通過する純水の帯電を防止して、半導体デバイスの洗浄後に洗浄槽内に浮遊する塵埃が静電気の作用によって再び半導体デバイスに付着するのを防止するため、注水配管に導電性材料からなる静電シートカバーが被されており、この静電シールドカバーは接地されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２０３１８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の洗浄装置では、注水配管に静電シールドカバーが被されているため、注水配管の内壁面でのみ純水の除電を行うことが可能であり、注水配管の内壁面以外では純水の除電を行うことはできない。したがって、洗浄槽に供給される純水の帯電を十分に抑制すること困難である。特に、洗浄液として比抵抗が高いフッ素系溶剤等が使用されると、洗浄液の帯電を抑制することは一層困難になる。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、洗浄槽に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することが可能な洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の洗浄装置は、被洗浄物が浸漬される洗浄槽と、洗浄槽に洗浄液を供給する給液部と、洗浄槽から排出される洗浄液を給液部まで循環させるための循環経路とを備え、循環経路は、循環する洗浄液の帯電を抑制する帯電抑制手段を備え、帯電抑制手段は、洗浄液が通過する通過路の内部に配置されるとともに接地される導電性部材を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の洗浄装置では、洗浄液が通過する通過路の内部に導電性部材が配置されている。そのため、循環する洗浄液と導電性部材とを接触させる確率を高めることができる。また、導電性部材は接地されているため、循環する洗浄液と導電性部材と接触させることで洗浄液の除電を行うことができる。このように、本発明では、洗浄液の除電効果を有する導電性部材と洗浄液とを高い確率で接触させることが可能となり、洗浄槽に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することが可能になる。
【０００９】
本発明において、帯電抑制手段は、たとえば、導電性部材として金属製の網目状部材を備えるフィルタである。この場合には、洗浄液と導電性部材とをより高い確率で接触させることが可能になる。したがって、より効果的に洗浄液の帯電を抑制することが可能になる。
【００１０】
本発明において、帯電抑制手段は、たとえば、導電性部材として、通過路の少なくとも一部を構成する配管部材の内部に配置される金属製の線状部材を備えている。この場合には、配管部材の内部に金属製の線状部材を配置するといった簡易な構成で、洗浄槽に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することが可能になる。
【００１１】
本発明において、循環経路は、洗浄液内の塵埃を除去するための濾過手段を備え、帯電抑制手段は、濾過手段の下流側に配置されていることが好ましい。このように構成すると、濾過手段を通過する際に洗浄液が帯電しても、帯電抑制手段によって洗浄槽に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することができる。
【００１２】
本発明において、濾過手段は、洗浄液内の塵埃を除去するための樹脂製の網目状部材を備えることが好ましい。濾過手段の網目状部材が樹脂で形成される場合には、網目状部材の目の粗さを微小にすることが可能になるため、このように構成すると、洗浄液内の塵埃を効果的に除去することができる。一方、濾過手段の網目状部材が樹脂で形成されると、網目状部材を通過する洗浄液は摩擦により帯電しやすくなるが、帯電抑制手段が濾過手段の下流側に配置されているため、網目状部材を通過する際に洗浄液が帯電しても、帯電抑制手段によって洗浄槽に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することができる。
【００１３】
本発明において、循環経路は、洗浄槽から排出される洗浄液を給液部に向かって送るためのポンプを備え、ポンプは、濾過手段の上流側に配置されていることが好ましい。このように構成すると、流体抵抗が大きな濾過手段内であっても、ポンプの作用で洗浄液を円滑に通過させることができる。
【００１４】
本発明において、循環経路は、洗浄槽と給液部とを連結するための樹脂製の配管部材を備えることが好ましい。ステンレス鋼等の金属製の配管部材と比較して樹脂製の配管部材は柔軟性を有するため、このように構成すると、循環経路の組立が容易になる。一方、配管部材が樹脂製であると、配管部材の内部を通過する洗浄液は帯電しやすくなるが、本発明では、帯電抑制手段によって洗浄槽に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することが可能になる。
【００１５】
本発明において、循環経路は、少なくとも一部が導電性を有する導電性樹脂で形成される配管部材を備えることが好ましい。このように構成すると、配管部材を接地させることで、配管部材の内壁に接触する洗浄液の除電を行うことができる。したがって、帯電抑制手段と導電性樹脂で形成される配管部材とによって、洗浄液の帯電をより効果的に抑制することが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明にかかる洗浄装置では、洗浄槽に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
（洗浄装置の概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる洗浄装置１の概略構成を説明するための概略図である。
【００１９】
本形態の洗浄装置１は、電子部品、金属部品、プリント配線基板あるいはガラス基板等の各種の被洗浄物２（以下、「ワーク２」とする。）を洗浄処理するための装置である。この洗浄装置１は、図１に示すように、ワーク２を洗浄液に浸漬するための洗浄槽３を下端側に有する本体部４と、本体部４の中へ洗浄液の蒸気を供給するための蒸気発生槽５と、本体部４の上端側に取り付けられ洗浄液の蒸気を冷却して液化させるための冷却手段６と、冷却手段６で液化された洗浄液を回収して水と分離するための水分離槽７と、ワーク２を保持するワーク保持治具８と、洗浄槽３に洗浄液を供給する給液部９と、洗浄槽３から排出される洗浄液を給液部９まで循環させるための循環経路１０とを備えている。
【００２０】
洗浄装置１で使用される洗浄液は、導電性を有しない有機溶剤であり、たとえば、ＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン）やＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）等のフッ素系溶剤、ジクロロメタンやトリクロロエチレン等の塩素系溶剤、あるいは、１−ブロモプロパン等の臭素系溶剤である。
【００２１】
本体部４は、上述の洗浄槽３に加え、洗浄槽３の周囲に配置され洗浄槽３から溢れ出した洗浄液が流れ込むオーバーフロー槽１２と、洗浄槽３に浸漬されたワーク２を超音波を用いて洗浄するための超音波振動子１３とを備えている。また、本体部４では、蒸気発生槽５で蒸気化された洗浄液を用いてワーク２を蒸気洗浄するための蒸気洗浄空間１４が洗浄槽３の上方に形成されている。
【００２２】
洗浄槽３は、洗浄液で満たされている。また、オーバーフロー槽１２の底面には、循環経路１０の一端側が接続されている。本形態では、ワーク２を洗浄する際に、洗浄槽３からオーバーフロー槽１２に溢れ出した洗浄液が循環経路１０を介して給液部９に供給される。すなわち、オーバーフロー槽１２を介して洗浄槽３から排出される洗浄液が循環経路１０を通過して給液部９に供給される。
【００２３】
蒸気発生槽５の内部には、洗浄液を温めて気化させるためのヒータ１６が配置されている。蒸気発生槽５の上端は、蒸気洗浄空間１４に接続されており、ヒータ１６によって気化された洗浄液は、蒸気洗浄空間１４に供給される。また、図１に示すように、蒸気発生槽５には、洗浄槽３から洗浄液が補充される。
【００２４】
冷却手段６は、たとえば、水道水を利用するものであり、本体部４の上端側の周囲を囲むように配置されている。この冷却手段６は、本体部４の、蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁を冷却する。そのため、蒸気洗浄空間１４内の洗浄液の蒸気は、冷却手段６によって冷却され液化されて蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁につく。本形態の洗浄装置１では、蒸気洗浄空間１４の上端側の内壁についた液体状の洗浄液は、内壁に沿って流れ落ちて、その後、水分離槽７に流れ込む。
【００２５】
また、冷却手段６は、本体部４の上端部近傍の空気も冷却するため、内壁が飽和水蒸気圧温度以下になると空気中に含まれる水分も内壁に結露する。結露して内壁に付着した水滴は、洗浄液と同様に内壁に沿って流れ落ちて水分離槽７に流れ込む。
【００２６】
水分離槽７の内部には、水分離槽７の底面との間に所定の隙間をあけた状態で、かつ、上端が水分離槽７の液面よりも上側へ突出するように仕切壁１７が配置されている。この水分離槽７は、水の比重と洗浄液の比重との違いを利用して、水と洗浄液とを分離する。
【００２７】
ワーク保持治具８は、図示を省略する昇降機構に連結されている。そのため、ワーク保持治具８に保持されたワーク２は、洗浄槽３に対して出し入れ可能となっている。
【００２８】
給液部９は、ワーク２に向かって洗浄液を噴射する２個のシャワーヘッド２０を備えている。２個のシャワーヘッド２０は、洗浄液を噴射するための複数の噴射孔（図示省略）が形成されたシャワー面２０ａが互いに対向するように配置されている。また、シャワーヘッド２０は、配管部材２１、２２および分岐管２３を介して循環経路１０の他端側に接続されている。給液部９は、図示を省略する昇降機構に連結されており、シャワーヘッド２０は洗浄槽３の上端側から下端側まで移動可能となっている。
【００２９】
上述のように、循環経路１０の一端側はオーバーフロー槽１２の底面に接続され、循環経路１０の他端側は給液部９に接続されている。循環経路１０の詳細な構成については、後述する。
【００３０】
以上のように構成された洗浄装置１では、たとえば、以下のように、ワーク２の洗浄が行われる。まず、ワーク２を保持したワーク保持治具８を下降させて、シャワーヘッド２０が内部に配置され洗浄液で満たされた洗浄槽３の中にワーク２を浸漬する。その後、超音波振動子１３を用いてワーク２の超音波洗浄を行うとともに、シャワーヘッド２０から洗浄液を噴射する。
【００３１】
洗浄槽３内でのワーク２の洗浄が終わると、ワーク保持治具８を上昇させ、ワーク２を洗浄槽３から引き上げて、蒸気洗浄空間１４に配置する。この状態で、蒸気発生槽５から供給される蒸気化された洗浄液によって、ワーク２の蒸気洗浄を行う。蒸気洗浄空間１４でのワーク２の蒸気洗浄が終わると、さらに、ワーク保持治具８を上昇させ、冷却手段６の内周側にワーク２を配置してワーク２を乾燥させる。ワーク２の乾燥が終わるとワーク２の洗浄が完了する。
【００３２】
なお、ワーク２の洗浄時には、シャワーヘッド２０から洗浄槽３内に洗浄液が供給され、洗浄槽３からオーバーフロー槽１２に向かって洗浄液が流出する。また、オーバーフロー槽１２に流出した洗浄液は、さらにオーバーフロー槽１２から排出され、循環経路１０を通過してシャワーヘッド２０に供給される。
【００３３】
（循環経路の構成）
図２は、図１に示す金属メッシュフィルタ２８の概略構成を説明するための概略図である。
【００３４】
循環経路１０は、図１に示すように、オーバーフロー槽１２を介して洗浄槽３から排出される洗浄液を給液部９に向かって送るためのポンプ２６と、洗浄槽３から排出される洗浄液を濾過して洗浄液内の塵埃等の不純物を取り除くための濾過手段としての除塵フィルタ２７と、循環する洗浄液の帯電を抑制するための帯電抑制手段としての金属メッシュフィルタ２８と、給液部９を構成する配管部材２２が接続される分岐管２９とを備えている。ポンプ２６、除塵フィルタ２７、金属メッシュフィルタ２８および分岐管２９は、上流側から下流側に向かって（すなわち、洗浄槽３から給液部９に向かって）この順番に配置されている。また、循環経路１０は、主として、オーバーフロー槽１２と給液部９とを連結するための複数の配管部材３０で構成されている。
【００３５】
除塵フィルタ２７は、洗浄液内の塵埃を除去するための網目状部材（メッシュ、図示省略）を備えている。この網目状部材は、除塵フィルタ２７のケース体（図示省略）の内部に配置されている。本形態では、除塵フィルタ２７の網目状部材は、ポリエチレン、ポリアミドあるいはポリフルオロエチレン等の樹脂で形成されており、網目状部材の目は非常に細かくなっている。
【００３６】
金属メッシュフィルタ２８は、図２に示すように、ケース体３５と、ケース体３５の内部に配置される導電性部材としての複数の金属製の網目状部材（メッシュ板）３６を備えている。すなわち、本形態の金属メッシュフィルタ２８は、導電性部材として金属製の網目状部材３６を備えるフィルタである。
【００３７】
ケース体３５は金属等の導電性を有する導電性材料で形成されている。また、図２に示すように、ケース体３５は接地されている。このケース体３５の底面側には、金属等の導電性を有する導電性材料で形成された載置部材３７がケース体３５の底面に接触するように配置されている。この載置部材３７の上には網目状部材３６が載置されている。
【００３８】
網目状部材３６は、網目状に織り込まれたステンレス鋼等の非常に細い複数の線材によって構成されている。また、複数の網目状部材３６は円環状に形成され、径方向で重なるようにケース体３５の内部に配置されている。本形態では、除塵フィルタ２７を通過して金属メッシュフィルタ２８に流入した洗浄液（より具体的には、ケース体３５の内部に流入した洗浄液）は、網目状部材３６を外周側から内周側に向かって通過する。また、外周側から内周側に向かって網目状部材３６を通過した洗浄液は、その後、金属メッシュフィルタ２８から流出する。
【００３９】
上述のように、網目状部材３６は、載置部材３７の上に載置されている。具体的には、網目状部材３６の下端が載置部材３７の上面に接触するように載置されている。そのため、網目状部材３６は、載置部材３７およびケース体３５を介して接地されている。
【００４０】
配管部材３０は、導電性を有しない絶縁性の樹脂で形成されている。たとえば、配管部材３０は、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン）で形成されている。なお、この場合には、配管部材３０内部の流体抵抗を軽減するため、配管部材３０は、カーボン入りのＰＦＡで形成されることが好ましい。また、配管部材３０はステンレス鋼等の金属で形成されても良い。
【００４１】
本形態の循環経路１０では、ポンプ２６の内部、除塵フィルタ２７の内部（具体的にはケース体の内部）、金属メッシュフィルタ２８の内部（具体的にはケース体３５の内部）および配管部材３０の内部を洗浄液が通過する。すなわち、本形態では、ポンプ２６、除塵フィルタ２７、金属メッシュフィルタ２８および配管部材３０は、洗浄液が通過する通過路となっている。
【００４２】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、洗浄液が通過する通過路を構成する金属メッシュフィルタ２８の内部に金属製の網目状部材３６が配置され、金属メッシュフィルタ２８に流入した洗浄液は、網目状部材３６を外周側から内周側に向かって通過して、金属メッシュフィルタ２８から流出する。そのため、循環経路１０を通過する洗浄液と金属製の網目状部材３６とを接触させることができる。また、網目状部材３６は、載置部材３７およびケース体３５を介して接地されているため、網目状部材３６と洗浄液とを接触させて洗浄液の除電を行うことができる。このように、本形態では、洗浄液の除電効果を有する網目状部材３６と洗浄液とを高い確率で接触させることができ、その結果、給液部９から洗浄槽３に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することが可能になる。
【００４３】
特に本形態では、通過路の内部に配置されるのが網目状部材３６であるため、網目状部材３６を構成する複数の線材に洗浄液をより高い確率で接触させることができる。したがって、本形態では、より効果的に洗浄液の帯電を抑制することが可能になる。
【００４４】
本形態では、除塵フィルタ２７は樹脂製の網目状部材を備えている。網目状部材が樹脂で形成される場合には、網目状部材の目の粗さを微小にすることができるため、本形態では、洗浄液内の塵埃を効果的に除去することができる。一方、除塵フィルタ２７の網目状部材が樹脂で形成されると、網目状部材を通過する洗浄液は摩擦により帯電しやすくなる。本形態では、除塵フィルタ２７の下流側に金属メッシュフィルタ２８が配置されているため、除塵フィルタ２７の網目状部材を通過する際に洗浄液が帯電しても、金属メッシュフィルタ２８によって洗浄槽３に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することができる。
【００４５】
本形態では、循環経路１０は、主として絶縁性の樹脂で形成された配管部材３０で構成されている。樹脂製の配管部材３０は柔軟性を有するため、ステンレス鋼等の金属製の配管部材を主として循環経路１０が構成される場合と比較して、本形態では、循環経路１０の組立が容易になる。一方、配管部材３０が絶縁性の樹脂で形成されると、配管部材３０の内部を通過する洗浄液は帯電しやすくなるが、本形態では、金属メッシュフィルタ２８によって洗浄槽３に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することができる。
【００４６】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００４７】
上述した形態では、循環経路１０は、循環する洗浄液の帯電を抑制するための帯電抑制手段として金属メッシュフィルタ２８を備えている。この他にもたとえば、図３に示すように、通過路を構成する配管部材３０の内部に配置される複数の金属製の線状部材４０によって、循環する洗浄液の帯電を抑制するための帯電抑制手段が構成されても良い。この場合には、たとえば、図４に示すように、接地された金属製の継手４１で複数の配管部材３０を連結するとともに、線状部材４０の端部を継手４１に接触させて固定すれば良い。なお、この場合には、線状部材４０は、接地された導電性部材となる。また、この場合には、線状部材４０は耐腐食性を有している。
【００４８】
この場合であっても上述した形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、洗浄液が通過する通過路を構成する配管部材３０の内部に金属製の線状部材４０が配置されるため、循環経路１０を通過する洗浄液と線状部材４０とを高い確率で接触させることができる。また、線状部材４０は継手４１を介して接地されているため、循環経路１０を通過する洗浄液と線状部材４０とを接触させて洗浄液の除電を行うことができる。このように、配管部材３０の内部に接地された線状部材４０が配置される場合であっても、洗浄液の除電効果を有する線状部材４０と洗浄液とを高い確率で接触させることができる。その結果、この場合には、配管部材３０の内部に金属製の線状部材４０を配置するといった簡易な構成で、給液部９から洗浄槽３に供給される洗浄液の帯電を十分に抑制することが可能になる。
【００４９】
なお、配管部材３０の内部に配置される線状部材４０は１本であっても良い。また、配管部材３０の内部に配置される線状部材４０は、配管部材３０の長手方向に沿った直線状に形成されても良いし、配管部材３０の長手方向に沿った螺旋形状に形成されても良い。さらに、循環経路１０を構成する配管部材３０の全域に線状部材４０を配置しても良いし、配管部材３０の一部分にのみ線状部材４０を配置しても良い。上述のように、除塵フィルタ２７の網目状部材が樹脂で形成されると、網目状部材を通過する洗浄液は帯電しやすくなるため、配管部材３０の一部分のみに線状部材４０が配置される場合には、除塵フィルタ２７の下流側に線状部材４０が配置されるのが好ましい。また、帯電抑制手段として、金属メッシュフィルタ２８と、配管部材３０の内部に配置される金属製の線状部材４０との両者が設けられても良い。
【００５０】
上述した形態では、循環経路１０は、導電性を有しない絶縁性の樹脂で形成された配管部材３０を備えている。この他にもたとえば、循環経路１０は、少なくとも一部が導電性を有する導電性樹脂で形成された配管部材３０を備えていても良い。この場合には、配管部材３０を接地させることで、配管部材３０の内壁に接触する洗浄液の除電を行うことができる。したがって、導電性樹脂で形成された配管部材３０と金属メッシュフィルタ２８とによって、洗浄液の帯電をより効果的に抑制することができる。
【００５１】
上述した形態では、循環経路１０は、導電性部材としての金属製の網目状部材３６を有する金属メッシュフィルタ２８を備えている。この他にもたとえば、循環経路１０は、導電性部材として導電性を有する導電性樹脂で形成された網目状部材を有するフィルタを備えていても良い。また、図３、図４に示す金属製の線状部材４０に代えて、配管部材３０の内部に導電性樹脂で形成された線状部材を配置しても良い。
【００５２】
上述した形態では、本体部４は、１個の洗浄槽３を備えている。この他にもたとえば、本体部４は、荒洗浄槽、仕上洗浄槽等の複数の洗浄槽を備えていても良い。また、上述した形態では、洗浄液として、フッ素系溶剤、塩素系溶剤あるいは臭素系溶剤が使用される洗浄装置１を例に本発明の実施の形態を説明しているが、本発明の循環系の構成は、洗浄液として純水が使用される洗浄装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施の形態にかかる洗浄装置の概略構成を説明するための概略図である。
【図２】図１に示す金属メッシュフィルタの概略構成を説明するための概略図である。
【図３】本発明の他の実施の形態にかかる配管部材の内部を示す断面図である。
【図４】図３に示す線状部材の端部の状態を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  洗浄装置
２  ワーク（被洗浄物）
３  洗浄槽
９  給液部
１０  循環経路
２６  ポンプ（通過路の一部）
２７  除塵フィルタ（濾過手段、通過路の一部）
２８  金属メッシュフィルタ（帯電抑制手段、フィルタ、通過路の一部）
３０  配管部材（通過路の一部）
３６  網目状部材（導電性部材）
４０  線状部材（導電性部材）
【図１】
2009189988.tif 000003
【図２】
2009189988.tif 000004
【図３】
2009189988.tif 000005
【図４】
2009189988.tif 000006