(57)【要約】【課題】収容されている複数の基板の姿勢を、所望の状態となるよう一度に修正することが可能な基板収容装置を提供する。【解決手段】基板収容装置１は、基板支持カセット１２と、回動軸３０Ａ，３０Ｂと、歯車３２Ａ，３２Ｂと、チェーン３４と、連結具３８Ａ，３８Ｂと、Ｌ字アングル４０Ａ，４０Ｂと、駆動機構と、ストッパ部材とを有する。基板支持カセット１２は、複数の棚２０を有し、各棚２０にガラス基板１８がそれぞれ支持される。Ｌ字アングル４０Ａは連結具３８Ａによって回動軸３０Ａに取り付けられており、Ｌ字アングル４０Ｂは連結具３８Ｂによって回動軸３０Ａに取り付けられている。回動軸３０Ａ，３０Ｂは、歯車３２Ａ，３２Ｂ及びチェーン３４によって同期して回動する。駆動機構は、Ｌ字アングル４０Ａを回動軸３０Ａ周りに駆動させる。ストッパ部材は、Ｌ字アングル４０Ａ，４０Ｂの回転を規制する。【選択図】図３
2009246099.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一対の主面と、互いに対向する第１及び第２の側面と、互いに対向すると共に前記第１及び第２の側面とそれぞれ隣り合う第３及び第４の側面とを有する平板状の基板を複数収容可能な基板収容装置であって、
前記複数の基板の前記一対の主面がいずれも鉛直方向と交差すると共に前記複数の基板が鉛直方向において互いに離間した状態となるように、前記複数の基板をそれぞれ支持する基板支持カセットと、
上端が前記基板支持カセットに支持される前記複数の基板のうち最も上方に位置する基板よりも上方に位置し且つ下端が前記基板支持カセットに支持される前記複数の基板のうち最も下方に位置する基板よりもよりも下方に位置するように鉛直方向に沿って延びる第１及び第２の回動軸と、
上端が前記基板支持カセットに支持される前記複数の基板のうち最も上方に位置する基板よりも上方に位置し且つ下端が前記基板支持カセットに支持される前記複数の基板のうち最も下方に位置する基板よりもよりも下方に位置するように鉛直方向に沿って延びる第１及び第２の部分を有しており、第１の連結具を介して前記第１の回動軸に取り付けられ、これにより前記第１の回動軸が回動することで前記第１の回動軸の周りに回動可能とされている第１の移動規制具と、
上端が前記基板支持カセットに支持される前記複数の基板のうち最も上方に位置する基板よりも上方に位置し且つ下端が前記基板支持カセットに支持される前記複数の基板のうち最も下方に位置する基板よりもよりも下方に位置するように鉛直方向に沿って延びる第１及び第２の部分を有しており、第２の連結具を介して前記第２の回動軸に取り付けられ、これにより前記第２の回動軸が回動することで前記第２の回動軸の周りに回動可能とされている第２の移動規制具と、
前記第１の移動規制具を前記第１の回動軸周りに駆動させると共に前記第２の移動規制具を前記第２の回動軸周りに駆動させる少なくとも一つの駆動手段と、
前記第１の移動規制具が前記基板に接近する方向における前記第１の移動規制具の回転を規制して、前記第１の移動規制具の前記第１の部分が前記複数の基板の前記第１の側面に向かう状態となると共に前記第１の移動規制具の前記第２の部分が前記複数の基板の前記第３の側面に向かう状態となる所定位置にて前記第１の移動規制具を停止させるための第１のストッパと、
前記第２の移動規制具が前記基板に接近する方向における前記第２の移動規制具の回転を規制して、前記第２の移動規制具の前記第１の部分が前記複数の基板の前記第２の側面に向かう状態となると共に前記第２の移動規制具の前記第２の部分が前記複数の基板の前記第４の側面に向かう状態となる所定位置にて前記第２の移動規制具を停止させるための第２のストッパとを備え、
前記第１のストッパによって前記第１の移動規制具が所定位置にて停止すると共に前記第２のストッパによって前記第２の移動規制具が所定位置にて停止した状態で、前記第１の移動規制具の前記第１及び第２の部分並びに前記第２の移動規制具の前記第１及び第２の部分によって前記複数の基板の水平方向の移動を規制する移動規制領域が画成されることを特徴とする基板収容装置。
【請求項２】
前記第１の回動軸の回動に伴い前記第２の回動軸を同期して回動させる同期手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載された基板収容装置。
【請求項３】
前記第１の連結具は、
前記第１の移動規制具が固定され、前記第１の回動軸が貫通すると共に前記第１の回動軸の回動に付随することなく前記第１の回動軸を中心に回動可能とされた第１の部分と、
前記第１の回動軸が貫通すると共に前記第１の回動軸に固着された第２の部分と、
前記第１の連結具の前記第１の部分と前記第１の連結具の前記第２の部分とを連結する弾性部材とを有し、
前記第２の連結具は、
前記第２の移動規制具が固定され、前記第２の回動軸が貫通すると共に前記第２の回動軸の回動に付随することなく前記第２の回動軸を中心に回動可能とされた第１の部分と、
前記第２の回動軸が貫通すると共に前記第２の回動軸に固着された第２の部分と、
前記第２の連結具の前記第１の部分と前記第２の連結具の前記第２の部分とを連結する弾性部材とを有していることを特徴とする請求項１又は２に記載された基板収容装置。
【請求項４】
真空チャンバを更に備え、
前記駆動手段の駆動源は、前記真空チャンバ外に配置され、
前記基板支持カセット、前記第１及び第２の回動軸、前記第１及び第２の移動規制具、前記駆動手段のうち前記駆動源を除いた部分、並びに、前記第１及び第２のストッパは、前記真空チャンバ内に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載された基板収容装置。
【請求項５】
前記第１及び第２の移動規制具は、共に、縦断面がＬ字形状を呈する棒状体であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載された基板収容装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に対して成膜等の処理を施すための基板処理システムにおいて、成膜等の処理の前の基板を複数収容するために用いられる基板収容装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、カセットの各棚に載置された各ガラス基板の位置ズレを一挙に修正して整列させ、検査台の所定の載置範囲に対応させることを目的とした、カセット内のガラス基板整列装置が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００３】
このガラス基板整列装置は、鉛直方向に沿って延びる回動可能なローラがカセットの一方側に２個設けられて構成された第１のローラ群と、鉛直方向に沿って延びる回動可能なローラがカセットの他方側に２個設けられて構成された第２のローラ群と、当該第１のローラ群を構成する各ローラを、鉛直方向に沿って延びる回動軸周りに回動させる第１の回動機構と、当該第２のローラ群を構成する各ローラを、鉛直方向に沿って延びる回動軸周りに回動させる第２の回動機構と、当該第１及び第２のローラ群を昇降させる昇降機構とを備えている。
【特許文献１】特開平８−２４４９０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板（例えば、ガラス基板）に対して成膜等の処理を施すための基板処理システムは、一般に、成膜等の処理の前の基板を複数収容するために用いられる基板収容装置（ロードロック・アンロードロックチャンバ（以下、ＬＣ／ＵＬＣと略称する。））と、プラズマ源から出射されたプラズマによって蒸発した成膜材料を基板に蒸着させる成膜チャンバと、ＬＣ／ＵＬＣに収容されている基板を受け取り成膜チャンバの基板支持手段に受け渡すロボットハンドとを備える。
【０００５】
ところで、上記の成膜チャンバでは、基板の所望の領域に成膜材料を蒸着させるために、通常、所定形状の開口（マスクパターン）が形成されたマスクを基板に重ねた状態で成膜が行われる。その際、マスクと基板とを極めて高精度（例えば、±５０ｎｍ程度）に位置合わせ（アライメント）する必要があるので、成膜チャンバには、一般に、位置合わせ調整手段が設けられている。
【０００６】
ところが、成膜チャンバ内でのマスクと基板との位置合わせは上記のように極めて高精度に行われる必要があり、従って、位置合わせ前におけるマスクと基板との位置ズレの許容範囲が大きく制限されている。そのため、ＬＣ／ＵＬＣ内での基板の位置ズレが大きいと、ロボットハンドには一般に基板の位置ズレを修正する機能が設けられていないので、もはや成膜チャンバ内の位置合わせ調整手段によってはマスクと基板とを位置合わせすることができなくなってしまう。つまり、成膜チャンバ内でのマスクと基板との位置合わせを確実に行うためには、位置合わせ前におけるマスクと基板との位置ズレが許容範囲内となるように、ＬＣ／ＵＬＣ内において予め基板の姿勢を修正（プレアライメント）しておく必要がある。
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に記載されたような従来のガラス基板整列装置は、単にカセットの両側から一対のローラ群で基板を押圧して基板の整列を行っているに過ぎず、位置合わせ前におけるマスクと基板との位置ズレが許容範囲内となるように予め基板の姿勢を修正しようとする思想を有するものではなかったので、基板の姿勢を修正するには不十分な構成であった。
【０００８】
そこで、本発明は、収容されている複数の基板の姿勢を、所望の状態となるよう一度に修正することが可能な基板収容装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る基板収容装置は、互いに対向する一対の主面と、互いに対向する第１及び第２の側面と、互いに対向すると共に第１及び第２の側面とそれぞれ隣り合う第３及び第４の側面とを有する平板状の基板を複数収容可能な基板収容装置であって、複数の基板の一対の主面がいずれも鉛直方向と交差すると共に複数の基板が鉛直方向において互いに離間した状態となるように、複数の基板をそれぞれ支持する基板支持カセットと、上端が基板支持カセットに支持される複数の基板のうち最も上方に位置する基板よりも上方に位置し且つ下端が基板支持カセットに支持される複数の基板のうち最も下方に位置する基板よりもよりも下方に位置するように鉛直方向に沿って延びる第１及び第２の回動軸と、上端が基板支持カセットに支持される複数の基板のうち最も上方に位置する基板よりも上方に位置し且つ下端が基板支持カセットに支持される複数の基板のうち最も下方に位置する基板よりもよりも下方に位置するように鉛直方向に沿って延びる第１及び第２の部分を有しており、第１の連結具を介して第１の回動軸に取り付けられ、これにより第１の回動軸が回動することで第１の回動軸の周りに回動可能とされている第１の移動規制具と、上端が基板支持カセットに支持される複数の基板のうち最も上方に位置する基板よりも上方に位置し且つ下端が基板支持カセットに支持される複数の基板のうち最も下方に位置する基板よりもよりも下方に位置するように鉛直方向に沿って延びる第１及び第２の部分を有しており、第２の連結具を介して第２の回動軸に取り付けられ、これにより第２の回動軸が回動することで第２の回動軸の周りに回動可能とされている第２の移動規制具と、第１の移動規制具を第１の回動軸周りに駆動させると共に第２の移動規制具を第２の回動軸周りに駆動させる少なくとも一つの駆動手段と、第１の移動規制具が記基板に接近する方向における第１の移動規制具の回転を規制して、第１の移動規制具の第１の部分が複数の基板の第１の側面に向かう状態となると共に第１の移動規制具の第２の部分が複数の基板の第３の側面に向かう状態となる所定位置にて第１の移動規制具を停止させるための第１のストッパと、第２の移動規制具が基板に接近する方向における第２の移動規制具の回転を規制して、第２の移動規制具の第１の部分が複数の基板の第２の側面に向かう状態となると共に第２の移動規制具の第２の部分が複数の基板の第４の側面に向かう状態となる所定位置にて第２の移動規制具を停止させるための第２のストッパとを備え、第１のストッパによって第１の移動規制具が所定位置にて停止すると共に第２のストッパによって第２の移動規制具が所定位置にて停止した状態で、第１の移動規制具の第１及び第２の部分並びに第２の移動規制具の第１及び第２の部分によって複数の基板の水平方向の移動を規制する移動規制領域が画成されることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る基板収容装置では、第１のストッパによって、第１の移動規制具の第１の部分が複数の基板の第１の側面に向かう状態となると共に第１の移動規制具の第２の部分が複数の基板の第３の側面に向かう状態となる所定位置にて第１の移動規制具を停止させるようにしており、第２のストッパによって、第２の移動規制具の第１の部分が複数の基板の第２の側面に向かう状態となると共に第２の移動規制具の第２の部分が複数の基板の第４の側面に向かう状態となる所定位置にて第２の移動規制具を停止させるようにしている。そして、第１のストッパによって第１の移動規制具が所定位置にて停止すると共に第２のストッパによって第２の移動規制具が所定位置にて停止した状態で、第１の移動規制具の第１及び第２の部分並びに第２の移動規制具の第１及び第２の部分によって複数の基板の水平方向の移動を規制する移動規制領域を画成している。そのため、例えば、後工程であるマスクと基板との位置合わせの前におけるマスクと基板との位置ズレが許容範囲内となるように、この移動規制領域を設定することで、基板収容装置に収容されている基板の姿勢を、所望の状態となるよう修正することが可能となっている。
【００１１】
また、本発明に係る基板収容装置では、第１及び第２の回動軸並びに第１及び第２の移動規制具が、いずれも、上端が基板支持カセットに支持される複数の基板のうち最も上方に位置する基板よりも上方に位置し且つ下端が基板支持カセットに支持される複数の基板のうち最も下方に位置する基板よりもよりも下方に位置するように鉛直方向に沿って延びている。そのため、基板収容装置内に収容されている全ての基板に対して、上記の移動規制領域が画成されることとなる。その結果、収容されている複数の基板の姿勢を、所望の状態となるよう一度に修正することが可能となっている。
【００１２】
好ましくは、第１の回動軸の回動に伴い第２の回動軸を同期して回動させる同期手段を更に備える。このようにすると、駆動手段によって、例えば第１の回動軸のみを駆動させることで、同期手段によって第２の回動軸も駆動されることとなる。つまり、一つの駆動手段を備えるのみで、第１及び第２の回動軸を共に駆動させることができる。その結果、基板収容装置の構成を簡便にすることが可能となると共に、コストの低減を図ることが可能となる。
【００１３】
好ましくは、第１の連結具は、第１の移動規制具が固定され、第１の回動軸が貫通すると共に第１の回動軸の回動に付随することなく第１の回動軸を中心に回動可能とされた第１の部分と、第１の回動軸が貫通すると共に第１の回動軸に固着された第２の部分と、第１の連結具の第１の部分と第１の連結具の第２の部分とを連結する弾性部材とを有し、第２の連結具は、第２の移動規制具が固定され、第２の回動軸が貫通すると共に第２の回動軸の回動に付随することなく第２の回動軸を中心に回動可能とされた第１の部分と、第２の回動軸が貫通すると共に第２の回動軸に固着された第２の部分と、第２の連結具の第１の部分と第２の連結具の第２の部分とを連結する弾性部材とを有している。ここで、これらの弾性部材がない場合、第１及び第２の移動規制具から基板に作用する力の大きさは第１及び第２の回動軸を回動させるトルクに比例する。そのため、必要以上のトルクで第１及び第２の回動軸を回動させた場合には、基板に大きな外力が加えられることとなり、基板の破損に繋がる虞がある。しかしながら、上記のような弾性部材を有していることにより、必要以上のトルクで第１及び第２の回動軸を回動させた場合であっても、余剰のエネルギーは弾性部材に吸収されるようになるので、基板には基板を移動させるために必要十分な大きさの力が作用することとなる。その結果、基板が破損する虞を大きく低減することが可能となる。
【００１４】
好ましくは、真空チャンバを更に備え、駆動手段の駆動源は、真空チャンバ外に配置され、基板支持カセット、第１及び第２の回動軸、第１及び第２の移動規制具、駆動手段のうち駆動源を除いた部分、並びに、第１及び第２のストッパは、真空チャンバ内に配置されている。ここで、駆動源が動作しなくなってしまうため、一般に、真空中には駆動源を設けない。真空中でも動作する駆動源を製造することもできるが、特注品となってしまうため、極めてコストが高くなる。しかしながら、上記のように駆動手段の駆動源を真空チャンバ外に配置することで、真空中で基板の姿勢を修正しようとする場合でも、コストアップを招くことなしに駆動源の動作を確保することが可能となる。
【００１５】
好ましくは、第１及び第２の移動規制具は、共に、縦断面がＬ字形状を呈する棒状体である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、収容されている複数の基板の姿勢を、所望の状態となるよう一度に修正することが可能な基板収容装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明に係る基板収容装置１の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１８】
（基板収容装置の構成）
まず、基板収容装置１の構成について、図１〜図１１を参照して説明する。基板収容装置１は、図１に示されるように、ＬＣ／ＵＬＣ（真空チャンバ）１０と、基板支持カセット１２と、移動規制機構１４と、その駆動機構１６とを備える。
【００１９】
ＬＣ／ＵＬＣ１０は、いわゆるクラスター式の基板処理システムの一部を構成するものである。基板処理システムとしては、ＬＣ／ＵＬＣ１０の他、図示しないロボットチャンバや成膜チャンバを備えており、いずれのチャンバも真空容器にて構成されている。
【００２０】
ＬＣ／ＵＬＣ１０は、減圧及び大気開放可能とされており、複数のガラス基板（基板）１８（図２参照）を支持する基板支持カセット１２がその内部に配置されている。ロボットチャンバは、ＬＣ／ＵＬＣ１０の側壁に設けられた開口部１０ａを通じて、ＬＣ／ＵＬＣ１０と成膜チャンバとの間でガラス基板１８をロボットアーム（図示せず）によって搬送する搬送ロボット（図示せず）を有している。
【００２１】
成膜チャンバは、いわゆるイオンプレーティング法を用いて、ガラス基板１８に対して成膜処理を行うための成膜チャンバである。成膜チャンバは、アライメント室と、トリートメント室と、退避室とを有しており（いずれも図示せず）、アライメント室、トリートメント室及び退避室がこの順に並んで配置されている。アライメント室では、マスク（図示せず）とガラス基板１８との位置合わせが行われる。なお、マスクは、所定形状の開口（マスクパターン）が形成された矩形状の薄板である。
【００２２】
ＬＣ／ＵＬＣ１０内に配置されている基板支持カセット１２は、図２に示されるように、外形が直方体形状を呈している。具体的には、基板支持カセット１２は、互いに対向する一対の上壁１２ａ及び下壁１２ｂと、互いに対向する一対の側壁１２ｃ，１２ｄとを有しており、上壁１２ａと下壁１２ｂとが側壁１２ｃ，１２ｄによって連結されている。そのため、基板支持カセット１２は、前後方向において、側壁を有しておらず、開放されている。
【００２３】
ここで、側壁１２ｃには、駆動機構１６を構成するロッド７４（詳しくは後述する）の先端部が通過可能な開口部Ｈが設けられている（図２、図１１及び図１２参照）。また、基板支持カセット１２の下壁１２ｂには、図示しない昇降機構に接続された昇降ロッドＲの先端部が設けられており（図１〜図３参照）、基板支持カセット１２がＬＣ／ＵＬＣ１０内において昇降するようになっている。
【００２４】
基板支持カセット１２は、図２及び図３に示されるように、ガラス基板１８を１枚ずつ支持するための棚２０を複数（本実施形態においては１０個）有している。そのため、基板支持カセット１２は、ガラス基板１８を複数（本実施形態においては１０枚）収容可能である。
【００２５】
ここで、ガラス基板１８は、図５に示されるように、直方体形状を呈しており、互いに対向する一対の主面１８ａ，１８ｂと、互いに対向する一対の側面１８ｃ，１８ｄと、互いに対向する一対の側面１８ｅ，１８ｆとを有する。側面１０ｃ，１０ｄは、主面１０ａ，１０ｂ及び側面１０ｅ，１０ｆと隣り合っており、主面１０ａ，１０ｂ及び側面１０ｅ，１０ｆを連結するように延びている。側面１０ｅ，１０ｆは、主面１０ａ，１０ｂ及び側面１０ｃ，１０ｄと隣り合っており、主面１０ａ，１０ｂ及び側面１０ｃ，１０ｄを連結するように延びている。
【００２６】
複数の棚２０は、基板支持カセット１２内において、鉛直方向に沿って並ぶように互いに離間して配置されている。１つの棚２０は、図４において詳しく示されるように、４つの支持体２０Ａ〜２０Ｄによって構成されている。
【００２７】
支持体２０Ａ，２０Ｂは、基板支持カセット１２の側壁１２ｃの内面に、基板支持カセット１２の内方に向かうように突設されている。支持体２０Ｃ，２０Ｄは、基板支持カセット１２の側壁１２ｄの内面に、基板支持カセット１２の内方に向かうように突設されている。
【００２８】
支持体２０Ａ，２０Ｃは、基板支持カセット１２の前方側（図１〜図４の矢印Ａ側）に配置されている。支持体２０Ｂ，２０Ｄは、基板支持カセット１２の後方側（図１〜図４の矢印Ｂ側）に配置されている。
【００２９】
支持体２０Ａは、支持板２２Ａと、支持アーム２４Ａとを有している。支持体２０Ｂ〜２０Ｄについても、同様に、支持板２２Ｂ〜２２Ｄと、支持アーム２４Ｂ〜２４Ｄとをそれぞれ有している。
【００３０】
支持板２２Ａ，２２Ｂは、共に、側壁１２ｃ上において、基板支持カセット１２の前後方向（図１〜図４の矢印Ａ，Ｂ方向）に延びている。支持板２２Ｃ，２２Ｄは、共に、１２ｄ上において、基板支持カセット１２の前後方向（図１〜図４の矢印Ａ，Ｂ方向）に延びている。
【００３１】
支持アーム２４Ａは、基板支持カセット１２の内方側を向く支持板２２Ａの端面のうち基板支持カセット１２の前方側の領域に突設されている。支持アーム２４Ａは、鉛直方向（上壁１２ａと下壁１２ｂとの対向方向）から見てＬ字形状を呈しており、支持板２２Ａの端面から支持体２０Ｃ側に向けて延びた後、基板支持カセット１２の後方側に向けて屈曲している。
【００３２】
支持アーム２４Ｂは、基板支持カセット１２の内方側を向く支持板２２Ｂの端面のうち基板支持カセット１２の後方側の領域に突設されている。支持アーム２４Ｂは、鉛直方向（上壁１２ａと下壁１２ｂとの対向方向）から見てＬ字形状を呈しており、支持板２２Ｂの端面から支持体２０Ｄ側に向けて延びた後、基板支持カセット１２の前方側に向けて屈曲している。
【００３３】
支持アーム２４Ｃは、基板支持カセット１２の内方側を向く支持板２２Ｃの端面のうち基板支持カセット１２の前方側の領域に突設されている。支持アーム２４Ｃは、鉛直方向（上壁１２ａと下壁１２ｂとの対向方向）から見てＬ字形状を呈しており、支持板２２Ｃの端面から支持体２０Ａに向けて延びた後、基板支持カセット１２の後方側に向けて屈曲している。
【００３４】
支持アーム２４Ｄは、基板支持カセット１２の内方側を向く支持板２２Ｄの端面のうち基板支持カセット１２の後方側の領域に突設されている。支持アーム２４Ｄは、鉛直方向（上壁１２ａと下壁１２ｂとの対向方向）から見てＬ字形状を呈しており、支持板２２Ｄの端面から支持体２０Ｂ側に向けて延びた後、基板支持カセット１２の前方側に向けて屈曲している。
【００３５】
支持板２２Ａ〜２２Ｄには、基板支持カセット１２の内方側における端部表面に、基板支持突起２６及び移動規制突起２８の組がそれぞれ３組ずつ設けられている。支持アーム２４Ａ〜２４Ｄには、その先端部表面に、基板支持突起２６及び移動規制突起２８の組がそれぞれ１組ずつ設けられている。
【００３６】
基板支持突起２６は、円柱形状を呈しており、ガラス基板１８と直接接触し、ガラス基板１８を支持する。基板支持突起２６の表面は、棚２０を構成する支持体２０Ａ〜２０Ｄにおいて全て略同一の高さに位置している。そのため、棚２０に支持されるガラス基板１８の主面１８ａ，１８ｂは、水平面と略平行となる。従って、複数のガラス基板１８は、主面１０ａ，１０ｂがいずれも鉛直方向と交差すると共に鉛直方向において互いに離間した状態で、各棚２０によって支持される。
【００３７】
移動規制突起２８は、基板支持カセット１２の内方に向かうと共に鉛直方向に沿って延びる側面２８ａと、基板支持カセット１２内方に向かうにつれて下る、下り傾斜の傾斜面（スロープ）２８ｂとを有している。そのため、ガラス基板１８が棚２０によって支持される際には、ガラス基板１８は、各移動規制突起２８の傾斜面２８ｂに沿って降り、その後、各基板支持突起２６によって支持されることとなる。
【００３８】
このとき、ガラス基板１８は、各移動規制突起２８の側面２８ａによって囲まれており、鉛直方向から見て各移動規制突起２８の側面２８ａによって画成される領域内に位置することとなる。なお、この領域内にガラス基板１８が位置することで、アライメント室でのマスクとガラス基板１８との位置合わせの前におけるマスクとガラス基板１８との位置ズレが±１ｍｍ程度となる。
【００３９】
複数の棚２０のうち最も上方に位置する棚２０を構成する支持板２２Ａ，２２Ｄ及び最も下方に位置する棚２０を構成する支持板２２Ａ，２２Ｄには、それぞれストッパ部材（ストッパ）Ｓが設けられている。ストッパ部材Ｓは、図４及び図９に示されるように、台座部Ｓ１と、雄ねじＳ２と、ナットＳ３とを含む。台座部Ｓ１は、Ｌ字形状を呈する板材であり、一方の平板部分が支持板２２Ａ，２２Ｄの表面に固着されており、他方の平板部分が上方に向かって延びている。雄ねじＳ２は、台座部Ｓ１の当該他方の平板部分を貫通して形成された雌ねじ（図示せず）と螺合している。ナットＳ３は、基板支持カセット１２の内側から雄ねじＳ２と螺合しており、雄ねじＳ２を台座部Ｓ１に固定している。
【００４０】
図２及び図３に戻って、移動規制機構１４は、回動軸３０Ａ，３０Ｂと、歯車（同期手段）３２Ａ，３２Ｂと、チェーン（同期手段）３４と、テンショナー３６と、連結具３８Ａ，３８Ｂと、Ｌ字アングル４０Ａ（第１の移動規制具），４０Ｂ（第２の移動規制具）と、回動補助部材４２とを有する。
【００４１】
回動軸３０Ａは、本実施形態において丸棒状を呈しており、鉛直方向に沿うように、基板支持カセット１２の上壁１２ａ、複数の棚２０の各支持体２０Ａ及び基板支持カセット１２の下壁１２ｂをそれぞれ貫通して延びている。そのため、回動軸３０Ａは、上端が基板支持カセット１２に支持されるガラス基板１８のうち最も上方に位置するガラス基板１８よりも上方に位置しており、下端が基板支持カセット１２に支持されるガラス基板１８のうち最も下方に位置するガラス基板１８よりも下方に位置している。
【００４２】
回動軸３０Ａは、外輪が上壁１２ａに固定されたベアリング（図示せず）の内輪に挿着されていると共に、外輪が下壁１２ｂに固定されたベアリング（図示せず）の内輪に挿着されている。そのため、回動軸３０Ａは、自身の回動軸線を中心に回動可能とされている。
【００４３】
回動軸３０Ａの先端は、基板支持カセット１２の上壁１２ａよりも上方に突出している。回動軸３０Ａの当該先端には、歯車３２Ａが固着されている。そのため、歯車３２Ａは、回動軸３０Ａの回動に伴い回動する。
【００４４】
回動軸３０Ｂは、本実施形態において丸棒状を呈しており、鉛直方向に沿うように、基板支持カセット１２の上壁１２ａ、複数の棚２０の各支持体２０Ｄ及び基板支持カセット１２の下壁１２ｂをそれぞれ貫通して延びている。そのため、回動軸３０Ｂは、上端が基板支持カセット１２に支持されるガラス基板１８のうち最も上方に位置するガラス基板１８よりも上方に位置しており、下端が基板支持カセット１２に支持されるガラス基板１８のうち最も下方に位置するガラス基板１８よりも下方に位置している。
【００４５】
回動軸３０Ｂは、外輪が上壁１２ａに固定されたベアリング（図示せず）の内輪に挿着されていると共に、外輪が下壁１２ｂに固定されたベアリング（図示せず）の内輪に挿着されている。そのため、回動軸３０Ｂは、自身の回動軸線を中心に回動可能とされている。
【００４６】
回動軸３０Ｂの先端は、基板支持カセット１２の上壁１２ａよりも上方に突出している。回動軸３０Ｂの当該先端には、歯車３２Ｂが固着されている。そのため、歯車３２Ｂは、回動軸３０Ｂの回動に伴い回動する。
【００４７】
各回動軸３０Ａ，３０Ｂにそれぞれ取り付けられている歯車３２Ａ，３２Ｂには、図２及び図３に示されるように、歯車３２Ａ，３２Ｂとそれぞれ噛合するようにチェーン３４が掛け渡されている。これにより、例えば、回動軸３０Ａが回動すると、歯車３２Ａ、チェーン３４、歯車３２Ｂ、回動軸３０Ｂの順に回動することとなる。つまり、歯車３２Ａ，３２Ｂ及びチェーン３４は、回動軸３０Ａ，３０Ｂを同期して回動させる同期手段を構成している。なお、チェーン３４は、歯車３２Ａ，３２Ｂに加えてテンショナー３６にも掛け渡されており、テンショナー３６によってチェーン３４が外方に拡がる方向に付勢されている。
【００４８】
回動軸３０Ａには、図３及び図６に示されるように、本実施形態において、連結具３８Ａが２つ取り付けられている。具体的には、連結具３８Ａの一方は、複数の棚２０のうち最も上方に位置する棚２０のやや上方に位置しており、連結具３８Ａの他方は、複数の棚２０のうち最も下方に位置する棚２０のやや上方に位置している（図３参照）。上方に位置する連結具３８Ａは、回動軸３０ＡとＬ字アングル４０Ａの上端側とを連結しており、下方に位置する連結具３８Ａは、回動軸３０ＡとＬ字アングル４０Ａの下端側とを連結している。
【００４９】
連結具３８Ａは、図６〜図９に示されるように、ブラケット３８Ａ１（第２の部分），３８Ａ２（第１の部分）と、バネ４４とを含む。ブラケット３８Ａ１は、回動軸３０Ａによって貫通されており、回動軸３０Ａの回動軸線に対して略直交する方向に延びている。ブラケット３８Ａ１は回動軸３０Ａに固着されている（図８参照）。そのため、ブラケット３８Ａ１も、回動軸３０Ａの回動に伴い、回動軸３０Ａの回動軸線を中心に回動する。
【００５０】
ブラケット３８Ａ２は、回動軸３０Ａによって貫通されており、回動軸３０Ａの回動軸線に対して略直交する方向に延びている。ブラケット３８Ａ２には、ベアリング４８の外輪が固着されており、回動軸３０Ａは、ベアリング４８の内輪に挿着されている（図８参照）。そのため、ブラケット３８Ａ２は、回動軸３０Ａの回動に付随することなく、回動軸３０Ａの回動軸線を中心に回動可能とされている。
【００５１】
ブラケット３８Ａ２には、Ｌ字アングル４０Ａが取り付けられている。ここで、Ｌ字アングル４０Ａは、縦断面がＬ字形状を呈する棒状体であり、平板部分４０Ａ１（第１の部分），４０Ａ２（第２の部分）を含んでいる。Ｌ字アングル４０Ａは、図３に示されるように、上端が基板支持カセット１２に支持されるガラス基板１８のうち最も上方に位置するガラス基板１８よりも上方に位置しており、下端が基板支持カセット１２に支持されるガラス基板１８のうち最も下方に位置するガラス基板１８よりも下方に位置している。
【００５２】
Ｌ字アングル４０Ａのうち一方の平板部分４０Ａ１は、ブラケット３８Ａ２が回動軸３０Ａの回動軸線を中心に反時計回りをしたときに先行するブラケット３８Ａ２の側面と固着されている。そのため、Ｌ字アングル４０Ａのうち他方の平板部分４０Ａ２は、鉛直方向から見てブラケット３８Ａ２の当該側面と略直交している（図９参照）。
【００５３】
ブラケット３８Ａ２には、回動軸３０Ａとは離れた側の先端部分であって、ブラケット３８Ａ２が回動軸３０Ａの回動軸線を中心に反時計回りで回転したときに先行する側の側面に、ボルト４６が螺着されている。ボルト４６は、対応するストッパ部材Ｓの雄ねじＳ２と略同一の高さに位置している。
【００５４】
そのため、ブラケット３８Ａ２が回動軸３０Ａの回動軸線を中心に反時計回りで回転しているときに、ボルト４６が雄ねじＳ２と当接すると、ブラケット３８Ａ２の回転が停止する（詳しくは後述する）。つまり、ストッパ部材Ｓの雄ねじＳ２は、回動軸３０Ａの回動軸線を中心とした反時計回りでのブラケット３８Ａ２の回転を規制する機能を有している。
【００５５】
ブラケット３８Ａ１とブラケット３８Ａ２とは、バネ（弾性部材）４４によって連結されている。具体的には、バネ４４は、ブラケット３８Ａ１が回動軸３０Ａの回動軸線を中心に反時計回りをしたときに先行するブラケット３８Ａ１の側面と、ブラケット３８Ａ２の上面側に立設された壁部５０とを接続している。
【００５６】
回動軸３０Ａには、図３、図６、図１０及び図１１に示されるように、回動補助部材４２が取り付けられている。具体的には、回転補助部材４２は、上方に位置する連結具３８Ａと下方に位置する連結具３８Ａとの間に位置している（図６参照）。
【００５７】
回動補助部材４２は、回動軸３０Ａによって貫通されており、回動軸３０Ａの回動軸線に対して略直交する方向に延びている。回動補助部材４２は回動軸３０Ａに固着されている。そのため、回動補助部材４２は、回動軸３０Ａの回動に伴い、回動軸３０Ａの回動軸線を中心に回動する。
【００５８】
回動補助部材４２には、付勢部材５２の一端が接続されている。付勢部材５２の他端は、基板支持カセット１２の側壁１２ｃに固着された台座部５４に接続されている。そのため、回動補助部材４２及び回動軸３０Ａは、付勢部材５２によって、常時、回動軸３０Ａの回動軸線を中心に反時計回りに回転する方向に付勢されている。
【００５９】
回動補助部材４２には、回動軸３０Ａとは離れた側の先端部分に、軸５６を介してローラ５８が軸支されている。このローラ５８は、軸５６の軸線を中心に回動可能とされている。
【００６０】
回動軸３０Ａに取り付けられている連結具３８Ａ及びＬ字アングル４０の構成は以上の通りであるが、回動軸３０Ｂに取り付けられている連結具３８Ｂ及びＬ字アングル４０Ｂの構成も回動軸３０Ａに取り付けられている連結具３８Ａ及びＬ字アングル４０Ａの構成と同様であるので、その説明は省略する。なお、回動軸３０Ｂには、回動補助部材４２は取り付けられていない。
【００６１】
続いて、図１０及び図１１を参照して、駆動機構１６について説明する。駆動機構１６は、シリンダ（駆動源）６０と、支持体６２と、連結具６４と、フランジ部材６６，６８と、リニアブッシュ７０と、ベローズ７２と、ロッド７４と、を含む。
【００６２】
シリンダ６０は、例えばエアシリンダであり、ピストンロッド６０ａを直線方向に進退させるものである。シリンダ６０は、ＬＣ／ＵＬＣ１０の側壁１０ｂの外表面に立設された支持体６２によって支持されている。つまり、シリンダ６０は、ＬＣ／ＵＬＣ１０の外側に位置している。
【００６３】
ピストンロッド６０ａは、その先端が軸６０ｂと接続されている。軸６０ｂは、ベアリング６０ｃの内輪に挿着されている。
【００６４】
支持体６２には、軸６２ａを介して連結具６４が軸支されている。つまり、連結具６４は、軸６２ａの軸線を中心に回動可能とされている。連結具６４には、その両端に長孔６４ａ，６４ｂがそれぞれ形成されている。ベアリング６０ｃの外輪は、連結具６４の長孔６４ａ内に挿入されており、ベアリング６０ｃが長孔６４ａ内を摺動可能とされている。
【００６５】
フランジ部材６６は、突出部６６ａを有しており、この突出部６６ａがＬＣ／ＵＬＣ１０の側壁１０ｂを貫通する貫通孔１０ｃと嵌合した状態で、ＬＣ／ＵＬＣ１０の側壁１０ｂに固着されている。突出部６６ａ内には、リニアブッシュ７０が配設されており、このリニアブッシュ７０によって、丸棒形状を呈するロッド７４がスライド自在に保持されている。
【００６６】
フランジ部材６６は、所定の範囲で伸縮可能なベローズ７２によってフランジ部材６８と連結されている。フランジ部材６８は、ロッド７４に固着されている。このベローズ７２内は、気密状態が保たれており、そのため、ＬＣ／ＵＬＣ１０の側壁１０ｂに貫通孔１０ｃが設けられていても、ＬＣ／ＵＬＣ１０内を真空のまま保持することができるようになっている。
【００６７】
ロッド７４には、その先端に、ロッド７４の直径よりも小さな直径を有する押し出しピン７４ａが設けられている。押し出しピン７４ａは、図１０及び図１１に示されるように、回動補助部材４２のローラ５８に対向している。つまり、押し出しピン７４ａは、回動補助部材４２のローラ５８の高さと略同一の高さとなるように、ロッド７４に設けられている。
【００６８】
ロッド７４は、その基端が軸７４ｂと接続されている。軸７４ｂは、ベアリング７４ｃの内輪に挿着されている。ベアリング７４ｃの外輪は、連結具６４の長孔６４ｂ内に挿入されており、ベアリング７４ｃが長孔６４ｂ内を摺動可能とされている。
【００６９】
（基板収容装置の動作）
次に、図９及び図１１〜図１４を参照して、基板収容装置１の動作を、特に回動軸３０Ａ，３０Ｂの回動の様子を中心に説明する。
【００７０】
まず、シリンダ６０が駆動していない初期状態を図９及び図１１に示す。この初期状態においては、ロッド７４の押し出しピン７４ａが基板支持カセット１２の外方に位置しており、ロッド７４の押し出しピン７４ａとローラ５８とが当接していない。これは、回動補助部材４２及び回動軸３０Ａが、付勢部材５２によって、回動軸３０Ａの回動軸線を中心に反時計回りに回転する方向に付勢されているためである。このとき、Ｌ字アングル４０Ａ，４０Ｂは、ガラス基板１８から離れて位置している。
【００７１】
続いて、この初期状態からシリンダ６０を駆動し、ピストンロッド６０ａを伸暢させる（図１２参照）。このピストンロッド６０ａの伸暢に伴い、ベアリング６０ｃが連結具６４の長孔６４ａ内を摺動しながら、連結具６４の一端がＬＣ／ＵＬＣ１０の側壁１０ｂから遠ざかる方向に押される。このとき、連結具６４は、軸６２ａの軸線を中心に反時計回りに回転する。
【００７２】
これにより、連結具６４の他端がＬＣ／ＵＬＣ１０の側壁１０ｂに近づく方向に移動すると共に、ベアリング７４ｃが連結具６４の長孔６４ｂ内を摺動しながら、ロッド７４をＬＣ／ＵＬＣ１０の内側に向かう方向に押す。こうして、ロッド７４の先端に設けられている押し出しピン７４ａが基板支持カセット１２の側壁１２ｃに設けられた開口部Ｈを通過し、押し出しピン７４ａの先端がローラ５８に当接する。
【００７３】
ロッド７４が更に押されると、回動補助部材４２が回動軸３０Ａの回動軸線を中心に反時計回りに回転する。ここで、回動補助部材４２は回動軸３０Ａに固着されているので、回動軸３０Ａも自身の回動軸線を中心に反時計回りに回転する。
【００７４】
回動軸３０Ａが回転すると、回動軸３０Ａにブラケット３８Ａ１が固着されているので、ブラケット３８Ａ１も同時に反時計回りに回転する。ブラケット３８Ａ１とブラケット３８Ａ２とはバネ４４によって接続されているので、ブラケット３８Ａ１が反時計回りに回転すると、バネ４４がやや圧縮されながらブラケット３８Ａ２もブラケット３８Ａ１と共に反時計回りに回転する。従って、ブラケット３８Ａ２に固着されているＬ字アングル４０Ａも、ブラケット３８Ａ２と同時に反時計回りに（ガラス基板１８に近づく方向に）回転することとなる（図１３参照）。
【００７５】
ブラケット３８Ａ２の反時計回りの回転は、図１３に示されるように、ブラケット３８Ａ２に設けられているボルト４６がストッパ部材Ｓの雄ねじＳ２に当接することにより、停止する。つまり、回動軸３０Ａの回動軸線を中心とするＬ字アングル４０Ａの反時計回りの回転は、所定位置で停止するようストッパ部材Ｓによって規制されている。
【００７６】
この状態からロッド７４が更に押されて、回動補助部材４２及び回動軸３０Ａが回動軸３０Ａの回動軸線を中心に反時計回りに回転すると、図１４に示されるように、ブラケット３８Ａ２は停止したままブラケット３８Ａ１が更に反時計回りに回転し、バネ４４が大きく圧縮される。なお、歯車３２Ａ，３２Ｂ及びチェーン３４によって、回動軸３０Ｂも、回動軸３０Ａと同期して回動軸３０Ｂの回動軸線を中心に反時計回りに回転するので、回動軸３０Ｂの回動軸線を中心とするＬ字アングル４０Ｂの反時計回りの回転も、所定位置で停止するようストッパ部材Ｓによって規制される。
【００７７】
ここで、ストッパ部材ＳによってＬ字アングル４０Ａ，４０Ｂの回転が規制されると、図５に示されるように、Ｌ字アングル４０Ａの平板部分４０Ａ１がガラス基板１８の側面１８ｃに向かい、Ｌ字アングル４０Ａの平板部分４０Ａ２がガラス基板１８の側面１８ｅに向かい、Ｌ字アングル４０Ｂの平板部分４０Ｂ１がガラス基板１８の側面１８ｄに向かい、Ｌ字アングル４０Ｂの平板部分４０Ｂ２がガラス基板１８の側面１８ｆに向かう状態となる。つまり、鉛直方向から見て、ガラス基板１８が、Ｌ字アングル４０Ａの平板部分４０Ａ１，４０Ａ２及びＬ字アングル４０Ｂの平板部分４０Ｂ１，４０Ｂ２によって画成される領域（移動規制領域）内に位置することとなり、これにより、ガラス基板１８は、Ｌ字アングル４０Ａの平板部分４０Ａ１，４０Ａ２及びＬ字アングル４０Ｂの平板部分４０Ｂ１，４０Ｂ２によって水平方向の移動が規制される。なお、この領域内にガラス基板１８が位置することで、アライメント室でのマスクとガラス基板１８との位置合わせの前におけるマスクとガラス基板１８との位置ズレを、例えば±０．５ｍｍ程度とすることができる。
【００７８】
（作用）
以上のような本実施形態においては、Ｌ字アングル４０Ａの平板部分４０Ａ１がガラス基板１８の側面１８ｃに向かい、Ｌ字アングル４０Ａの平板部分４０Ａ２がガラス基板１８の側面１８ｅに向かい、Ｌ字アングル４０Ｂの平板部分４０Ｂ１がガラス基板１８の側面１８ｄに向かい、Ｌ字アングル４０Ｂの平板部分４０Ｂ２がガラス基板１８の側面１８ｆに向かう状態となるように、ストッパ部材ＳによってＬ字アングル４０Ａ，４０Ｂの回転を規制している。そして、Ｌ字アングル４０Ａの平板部分４０Ａ１，４０Ａ２及びＬ字アングル４０Ｂの平板部分４０Ｂ１，４０Ｂ２によって画成される移動規制領域により、ガラス基板１８の水平方向の移動を規制している。そのため、アライメント室でのマスクとガラス基板１８との位置合わせの前におけるマスクとガラス基板１８との位置ズレが許容範囲内となるように、この移動規制領域を設定することで、基板収容装置１に収容されているガラス基板１８の姿勢を、所望の状態となるよう修正することが可能となっている。
【００７９】
また、本実施形態においては、回動軸３０Ａ，３０Ｂ及びＬ字アングル４０Ａ，４０Ｂが、いずれも、上端が基板支持カセット１２に支持される複数のガラス基板１８のうち最も上方に位置するガラス基板１８よりも上方に位置し且つ下端が基板支持カセット１２に支持される複数のガラス基板１８のうち最も下方に位置するガラス基板１８よりもよりも下方に位置するように鉛直方向に沿って延びている。そのため、基板収容装置１内に収容されている全てのガラス基板１８に対して、上記の移動規制領域が画成されることとなる。その結果、収容されている複数のガラス基板１８の姿勢を、所望の状態となるよう一度に修正することが可能となっている。
【００８０】
また、本実施形態においては、歯車３２Ａ，３２Ｂ及びチェーン３４によって、回動軸３０Ｂが、回動軸３０Ａの回動に同期して回動するようになっている。そのため、一つのシリンダ６０によって、回動軸３０Ａ，３０Ｂを共に駆動させることができるようになっている。その結果、その結果、基板収容装置１の構成を簡便にすることが可能となると共に、コストの低減を図ることが可能となる。
【００８１】
また、本実施形態においては、ブラケット３８Ａ１が、回動軸３０Ａに固着され、ブラケット３８Ａ２が、回動軸３０Ａの回動に付随することなく、回動軸３０Ａの回動軸線を中心に回動可能とされており、ブラケット３８Ａ１とブラケット３８Ａ２とが、バネ４４によって連結されている。連結具３８Ｂにおいても同様である。ここで、バネ４４がない場合、Ｌ字アングル４０Ａ，４０Ｂからガラス基板１８に作用する力の大きさは回動軸３０Ａ，３０Ｂを回動させるトルクに比例する。そのため、必要以上のトルクで回動軸３０Ａ，３０Ｂを回動させた場合には、ガラス基板１８に大きな外力が加えられることとなり、ガラス基板１８の破損に繋がる虞がある。しかしながら、上記のようなバネ４４を有していることにより、必要以上のトルクで回動軸３０Ａ，３０Ｂを回動させた場合であっても、余剰のエネルギーはバネ４４に吸収されるようになるので、ガラス基板１８にはガラス基板１８を移動させるために必要十分な大きさの力がＬ字アングル４０Ａ，４０Ｂから作用することとなる。その結果、ガラス基板１８が破損する虞を大きく低減することが可能となる。
【００８２】
また、本実施形態においては、シリンダ６０がＬＣ／ＵＬＣ１０の外側に位置しており、基板支持カセット１２、移動規制機構１４、及び、駆動機構１６のうちシリンダ６０、連結具６４等を除いた部分がＬＣ／ＵＬＣ１０の内側（真空中）に位置している。ここで、シリンダ６０が動作しなくなってしまうため、一般に、真空中にはシリンダ６０を設けない。真空中でも動作するシリンダを製造することもできるが、特注品となってしまうため、極めてコストが高くなる。しかしながら、上記のように駆動源であるシリンダ６０をＬＣ／ＵＬＣ１０外に配置することで、真空中でガラス基板１８の姿勢を修正しようとする場合でも、コストアップを招くことなしにシリンダ６０の動作を確保することが可能となる。
【００８３】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、大気中においても本発明を適用することができる。
【００８４】
また、本実施形態では駆動源として一つのシリンダ６０を用いたが、回動軸３０Ａ，３０Ｂをそれぞれ駆動させる駆動源を各回動軸３０Ａ，３０Ｂに対応して設けるようにしてもよい。
【００８５】
また、本実施形態ではＬ字アングル４０Ａ，４０Ｂを用いたが、ガラス基板１８の水平方向の移動を規制する移動規制領域を画成できれば、他の形状の部材を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】図１は、本実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、基板収容カセットを示す斜視図である。
【図３】図３は、基板収容カセットを一部破断して示す斜視図である。
【図４】図４は、基板支持カセットが有する棚を主として示す斜視図である。
【図５】図５は、ガラス基板を主として示す斜視図である。
【図６】図６は、回動軸及び当該回動軸に取り付けられている各種部材を主として示す斜視図である。
【図７】図７は、連結具を主として示す斜視図である。
【図８】図８は、連結具を主として示す分解斜視図である。
【図９】図９は、連結具を主として示す上面図である。
【図１０】図１０は、回動補助部材を主として示す斜視図である。
【図１１】図１１は、回動補助部材及び駆動機構を主として示す上面図である。
【図１２】図１２は、駆動機構によって回動軸が回転している様子を、回動補助部材及び駆動機構を主として示す上面図である。
【図１３】図１３は、駆動機構によって回動軸が回転している様子を、連結具を主として示す上面図である。
【図１４】図１４は、図１３からさらに回動軸が回転した様子を、連結具を主として示す上面図である。
【符号の説明】
【００８７】
１…基板収容装置、１０…ＬＣ／ＵＬＣ（真空チャンバ）、１２…基板支持カセット、１４…移動規制機構、１６…駆動機構、１８…ガラス基板（基板）、１８ａ，１８ｂ…主面、１８ｃ…側面（第１の側面）、１８ｄ…側面（第２の側面）、１８ｅ…側面（第３の側面）、１８ｄ…側面（第４の側面）、２０…棚、２０Ａ〜２０Ｄ…支持体、３０Ａ，３０Ｂ…回動軸、３２Ａ，３２Ｂ…歯車（同期手段）、３４…チェーン（同期手段）、３８Ａ，３８Ｂ…連結具、３８Ａ１…ブラケット（第２の部分）、３８Ａ２…ブラケット（第１の部分）、４０Ａ…Ｌ字アングル（第１の移動規制具）、４０Ｂ…Ｌ字アングル（第２の移動規制具）、４０Ａ１…平板部分（第１の部分）、４０Ａ２…平板部分（第２の部分）、４０Ｂ１…平板部分（第１の部分）、４０Ｂ２…平板部分（第２の部分）、４２…回動補助部材、４４…バネ（弾性部材）、Ｓ…ストッパ部材（ストッパ）。
【図１】
2009246099.tif 000003
【図２】
2009246099.tif 000004
【図３】
2009246099.tif 000005
【図４】
2009246099.tif 000006
【図５】
2009246099.tif 000007
【図６】
2009246099.tif 000008
【図７】
2009246099.tif 000009
【図８】
2009246099.tif 000010
【図９】
2009246099.tif 000011
【図１０】
2009246099.tif 000012
【図１１】
2009246099.tif 000013
【図１２】
2009246099.tif 000014
【図１３】
2009246099.tif 000015
【図１４】
2009246099.tif 000016