(57)【要約】【課題】排気パネルと冷却ステージを熱的に離接可能にしたコンパクトな機構を採用し、冷凍機を運転したままクライオトラップの起動時間及び再生時間の短縮を図る。【解決手段】真空容器３内に固定して設置され、冷却することにより気体を凝縮して排気する排気パネル７と、冷凍機２と接続し冷却される冷却ステージ５とを有するクライオトラップ１であって、冷却ステージ５と熱接触を保持し、固定して設置された蓄冷体６と、蓄冷体６と排気パネル７を熱的に連結・遮断する機構とを備える。熱的に連結・遮断する機構は、排気パネル７と蓄冷体６に対して離接可能な良熱伝導性の可動部を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空処理装置内に固定して設置され、冷却することにより気体を凝縮して排気する排気パネルと、冷凍機と接続し冷却される冷却ステージとを有するクライオトラップであって、
前記冷却ステージと熱接触を保持し、固定して設置された蓄冷体と、
前記排気パネルと前記蓄冷体を熱的に連結・遮断する機構とを備えることを特徴とするクライオトラップ。
【請求項２】
前記熱的に連結・遮断する機構は、前記排気パネルと前記蓄冷体の双方に対して離接可能な良熱伝導性の可動部を有するように構成されることを特徴とする請求項１に記載のクライオトラップ。
【請求項３】
前記可動部は、機械的操作により移動されることを特徴とする請求項２に記載のクライオトラップ。
【請求項４】
前記可動部は、形状記憶合金を用いて熱的手段により移動されることを特徴とする請求項２に記載のクライオトラップ。
【請求項５】
前記熱的に連結・遮断する機構は、前記排気パネルと前記蓄冷体との間で、一方に固定され、他方に熱的に離接する良熱伝導の変形部材により構成されることを特徴とする請求項１に記載のクライオトラップ。
【請求項６】
前記変形部材は、導入・排気される気体により作動されることを特徴とする請求項５に記載のクライオトラップ。
【請求項７】
前記変形部材は、形状記憶合金を用いて熱的手段により作動されることを特徴とする請求項５に記載のクライオトラップ。
【請求項８】
前記熱的に連結・遮断する機構は、前記排気パネルと前記蓄冷体との間の空室に、気体を導入・排気させて気体の対流により熱伝達を変化させるように構成されることを特徴とする請求項１に記載のクライオトラップ。
【請求項９】
前記排気パネルにヒータを設置し排気パネルの加熱を急速に行うことを可能とする請求項１ないし８のいずれかに記載のクライオトラップ。
【請求項１０】
前記蓄冷体は、排気パネルの熱容量の２．０倍以上の熱容量を有することを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のクライオトラップ。
【請求項１１】
前記蓄冷体は、排気パネルの熱容量の３．８倍以上の熱容量を有することを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のクライオトラップ。
【請求項１２】
前記真空処理装置内に突出して設けた真空容器を有し、前記真空容器の底部外面に前記排気パネルが取り付けられ、少なくとも前記蓄冷体、前記冷却ステージが前記真空容器内に配置されていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のクライオトラップ。
【請求項１３】
前記真空容器内に配置された、少なくとも前記蓄冷体、前記冷却ステージの部分が、前記真空処理装置から分離可能であることを特徴とする請求項１２に記載のクライオトラップ。
【請求項１４】
前記真空処理装置内に突出して設けた真空容器を有し、前記真空容器の底部外面に前記排気パネルが取り付けられ、少なくとも前記蓄冷体、前記冷却ステージが前記真空容器内に配置されていることを特徴とする請求項８に記載のクライオトラップ。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれかに記載のクライオトラップが設置されたことを特徴とする真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低温を利用し主に水蒸気を凝縮することで真空排気を行うクライオトラップに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クライオトラップは、真空処理装置等の真空容器内の物質の蒸気を、排気パネルを２００°Ｋ以下に冷却することにより凝縮作用を利用して排気することで真空排気を行うものである。水蒸気を凝縮排気することが多く、この場合、「水トラップ」と呼ばれることもある。
【０００３】
例えば、Ｇ−Ｍ型冷凍システムを利用したクライオトラップ１０１は、図７に示される構造を有している。
【０００４】
冷凍機１０２が真空処理装置１１３に直接設置される構造となっている。冷凍機１０２には外部に設置されたコンプレッサ１１１より耐圧ホース１１２を通してヘリウムガスが供給され、冷却ステージ１０５の温度１５０〜５０°Ｋになるように運転される。
【０００５】
この冷凍ステージ１０５には熱伝導良好に排気パネルが設置されており、水蒸気はここに凝縮排気される。
【０００６】
通常、真空処理装置１１３内は粗引きポンプ１１４に粗引きされた後、メインバルブ１１５を介して取り付けられているターボ分子ポンプ等の主排気ポンプ１１６により所定の圧力まで排気される。クライオトラップ１０１は主排気ポンプ１１６と並行して使用され主に水蒸気の凝縮排気を行う。
【０００７】
図７に示されるクライオトラップ１０１の構造は、排気パネル１０７が真空処理装置１１３内に対し大きなコンダクタンスを有しており大きな排気速度が期待できる。しかし、真空処理装置１１３内を真空状態から大気暴露するときには、結露を防止する等の目的から排気パネル１０７の温度を常温まで温度上昇させる時間が必要である。また、大気中での作業の後粗引きしてから排気パネル１０７の温度を常温から排気可能な温度まで冷却しなければならない。すなわち、真空装置やクライオトラップのメインテナンスなどの際に、真空容器を大気圧に戻すために常温に戻していた排気パネルを、真空容器を排気するために再び冷却する場合などである。
【０００８】
この場合、通常の冷凍機１０２の冷凍能力ではかなりの時間を要すことになり、頻繁に真空と大気暴露を繰り返すバッチ式の真空処理装置等では稼働率を上げることが困難である。例えば、冷凍機を停止し、再起動して排気パネルを常温から約１００°Ｋまで下げるのに冷凍機の能力にもよるが１〜２時間かかっていた。
【０００９】
近年では、クライオトラップをメインバルブと主排気ポンプの間に設置し、真空処理装置内を真空状態から大気暴露するときでもメインバルブを閉じることで、排気パネルを低温のまま維持できる構造にするものも現れている。
【００１０】
このようなクライオトラップの構造では、真空処理装置内を真空状態から大気暴露するときでもメインバルブを閉じておけば排気パネルを低温のまま維持できる。しかし、メインバルブを介して真空処理装置内と接続されているため、排気パネルが真空処理装置内に対し大きなコンダクタンスを確保することは困難である。このため、大きな排気速度は期待できず、バッチ式の真空処理装置のように真空内に水蒸気が多く残留する場合、その排気性能が不十分である。
【００１１】
一方、下記特許文献１に開示されたクライオポンプにおいて、再生時に冷却パネル（本発明の「排気パネル」に相当）と冷却機側シリンダを切り離して、冷却パネルを加温することにより、冷凍機を運転したまま再生処理時間の短縮を図っている。冷却パネルと冷却機側シリンダの切り離しは、冷却パネル取り付け部に形状記憶合金を用い、外部からその温度を制御することにより行われる。
【００１２】
特許文献２に開示されたクライオポンプにおいて、冷却ステージ（冷凍機と良熱接触に構成）と冷却パネルを熱伝導特性可変の機構で結合し、該機構の熱伝導性を高くして冷却パネルを冷却している。冷却パネルを常温に戻す際には、該機構の熱伝導性を低くする。熱伝導特性可変の機構は、ヘリウムガス導入機構によりヘリウムガスの供給・排出が行われ、ガスの供給・排出に連動して伸縮するベローズ構造により作動されるか、供給・排出されるヘリウムガス自体の対流により作動される。
【００１３】
特許文献３に開示されたクライオポンプにおいて、コールドパネル（排気パネル）面に当接離接自在の熱伝導棒を設け、この熱伝導棒のケーシング外部側端部に、熱伝導棒の冷却及び加熱を行う温度調節源を取り付けている。これにより起動時間と再生時間の短縮を図っている。
【特許文献１】特開昭６３−１２４８８０号公報
【特許文献２】特開平１０−１２２１４３号公報
【特許文献３】特開昭６１−１１４７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上記特許文献１又は２に開示された従来のクライオポンプの技術によれば、冷却パネルを常温に戻すのに冷凍機を停止する必要がないので再立ち上げする時間を短縮することができる。しかし、排気するために冷却パネルを低温にする場合、冷却ステージにはほとんど蓄冷機能は無く熱容量は小さいので、冷却パネルと熱接触しても、直ぐには冷却パネルを所定の温度以下まで冷却することはできなかった。
【００１５】
また、このような構成では、十分な熱容量を有する蓄冷体は作れなかった。
【００１６】
特許文献３のクライオポンプは、コールドパネルを常温に戻す際、冷凍機を停止しなければならない上、温度調節源には液体窒素を供給する手間がかかるなどの問題があった。
【００１７】
そこで、本発明の目的は、排気パネルと冷却ステージを熱的に離接可能にしたコンパクトな機構を採用し、冷凍機を運転したままクライオトラップの起動時間及び再生時間の短縮を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題は、冷却ステージと熱接触を保持し固定して設置された蓄冷体と、排気パネルと蓄冷体を熱的に離接可能にする機構を有することで解決される。
【００１９】
本発明のクライオトラップは、真空処理装置内に固定して設置され、冷却することにより気体を凝縮して排気する排気パネルと、冷凍機と接続し冷却される冷却ステージとを有するクライオトラップであって、前記冷却ステージと熱接触を保持し、固定して設置された蓄冷体と、前記排気パネルと前記蓄冷体を熱的に連結・遮断する機構とを備えることを特徴とする。
【００２０】
［作用］
排気パネルと蓄冷体を、熱的に連結・遮断する機構を操作させる。排気パネルの温度を高くするときには排気パネルと蓄冷体との熱接触を遮断した状態で蓄冷体の温度を低温に維持し、排気パネルを冷却するときには排気パネルと蓄冷体との熱接触を回復させる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明により、クライオトラップに高い排気能力を持たせると共に、排気パネルの急速な冷却が可能で、頻繁に真空と大気暴露を繰り返すバッチ式の真空処理装置でも稼働率を高く維持することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
［実施形態の概要］
クライオトラップは、真空処理装置等の真空容器内の物質の蒸気を、排気パネル（冷却パネル）を２００°Ｋ以下に冷却することにより凝縮作用を利用して排気することで真空排気を行う点は、従来と同様である。なお、蒸気は、水蒸気として説明するが、他の物質の蒸気であってもよい。
【００２３】
クライオトラップにおいて、排気パネルをクライオトラップ内に新たに設置される真空容器外面に熱伝導良好に設置する。その真空容器内には排気パネルの熱容量に対し２倍以上の熱容量を持つ蓄冷体と冷凍システムの冷却部を保持する。また排気パネルと蓄冷体とは、熱的に連結・遮断が可能な構造、すなわち熱伝導及び熱絶縁を切り替え可能な構造とする。
【００２４】
この蓄冷体は常に冷凍システムで冷却されている。蓄冷体の熱容量を大きく自在に設計することが可能である。
【００２５】
蓄冷体は、冷却した蓄冷体を常温の排気パネルと熱接触させたとき、排気パネルの温度が、目的とする真空室圧力よりも低い水の蒸気圧になる温度になるような熱容量を有する。蓄冷体と排気パネルは、固定して設置される。
【００２６】
排気パネルを、常温まで温度上昇させるときにはこの蓄冷体と熱的に遮断し、冷却するときには蓄冷体と熱的に連結させる構造となっている。このため、真空処理装置内部に排気パネルを設置し大きなコンダクタンスを確保できるにもかかわらず排気パネルの急速な冷却が可能で、頻繁に真空と大気暴露を繰り返すバッチ式の真空処理装置でも稼働率を高く維持することができる。
【００２７】
そこで、蓄冷機能に特化した蓄冷体と熱のスイッチング機能に特化した熱伝導性に優れた可動部を採用しそれぞれに役割分担した。
【００２８】
可動部は、熱抵抗が小さく、熱接触に優れていればよく、熱容量は小さい方がよい。このため可動部は、小さくコンパクトに構成でき、しかも壊れにくい。
【００２９】
蓄冷体を可動部とし、冷凍機との間にベローズ等の変形部材が介在する場合、熱接触が制限され易く蓄冷体の蓄冷効率は低下する懸念がある。また、その場合、排気パネルの冷却効率の低下も懸念される。本発明では、十分に熱接触が保たれ、耐久性に優れる。
【００３０】
排気パネルを常温に戻すのに、冷凍機を停止すること無く、その後、真空排気を行うために排気パネルを常温から所定の温度以下まで冷却するのに、蓄冷体を排気パネルと熱接触させて、系が定常状態に達するまでの時間で行うことができる。このため、装置の停止時間を大幅に短縮することができ、稼動率を上げることができる。
【００３１】
熱的に連結・遮断を可能にする機構は、下記（１）−（３）の手段が採用される。
【００３２】
（１）固定して設置された蓄冷体と排気パネルの双方に、熱的に離接する良熱伝導性の可動部により構成する。可動部は、（ｉ）機械的操作より移動させるか、（ii）形状記憶合金を利用して熱的手段により移動させる。
【００３３】
（２）固定して設置された蓄冷体と排気パネルの一方に、良熱伝導に固定され他方に熱的に離接するベローズなどの変形部材による。変形部材は、（ｉ）導入・排気される気体により作動させるか、（ii）形状記憶合金を利用して熱的手段により作動させる。
【００３４】
（３）固定して設置された蓄冷体と排気パネルとの空間に、気体を導入・排気させ、気体の対流により熱伝達を変化させるように構成する。
【００３５】
次に、蓄冷体の設計例を示す。
【００３６】
蓄冷体は、冷却した蓄冷体（約５０°Ｋ）を常温の排気パネル（約２８０°Ｋ）と熱接触させる。このとき、排気パネルの温度が約１２０°Ｋ以下（水の蒸気圧が、通常のスパッタ装置の到達圧力（１０−７Ｐａ）よりも１００分の１以下（１０−９Ｐａ以下）になる温度）になるように、排気パネルの熱容量の３．８倍以上の熱容量を有する。
【００３７】
別の例として、蓄冷体は、冷却した蓄冷体（約５０°Ｋ）を常温の排気パネル（約２８０°Ｋ）と熱接触させる。このとき、排気パネルの温度が約１５０°Ｋ以下（水の蒸気圧が、通常の蒸着装置の到達圧力（１０−４Ｐａ）よりも１０分の１以下１０−５Ｐａ以下になる温度）になるように、排気パネルの熱容量の２．０倍以上の熱容量を有する。
【００３８】
［実施形態１］
以下、本発明の実施形態１におけるクライオトラップの構成、作用について、図面を参照して説明する。上記熱的に連結・遮断を可能にする機構の（１）の（ｉ）に対応する例である。
【００３９】
図１は、本実施形態に基づくＧ−Ｍ型冷凍システムを利用したクライオトラップ１の構成図である。
【００４０】
図２は、本実施形態に基づくクライオトラップの図１のＡ−Ａ′断面図である。
【００４１】
クライオトラップ１には、真空容器３が新たに設置される。真空処理装置内に突出する真空容器３を介して真空処理装置１３に取り付けられる。クライオトラップ１において、シリンダ４により接続された冷却ステージ５は、冷凍機２により冷却される。
【００４２】
Ｇ−Ｍ型冷凍システムはパルスチュブ冷凍システム等他の冷凍システムにおいても置換可能である。
【００４３】
真空容器３は、円筒状であり真空（数Ｐａ）で使用される。このため、排気口と排気装置（共に不図示）を設け、円筒の中を排気した後、バルブを閉じ封止する。中に吸着剤（非蒸発型のゲッタ剤）を封入してもよい。上記したような従来のクライオトラップでは、ほとんど真空を破らない真空処理装置の真空室内で使われていたが、本発明では、頻繁に真空室の真空を破って使用するバッチ式の装置を想定しているため、冷却ステージ５を含む冷却部を真空に保つ必要がある。
【００４４】
真空容器３は、真空処理装置１３の開口部を覆う基板３１、側部３２、底部３３からなる。
【００４５】
クライオトラップ１に真空容器３の底部外面、すなわち底部３３の真空処理装置１３内に露出する面に取り付けられた排気パネル７が、熱伝導良好に取り付けられる。底部３３自体も熱伝導良好な材質となっている。排気パネル７、底部３３は、Ｃｕなどが用いられる。
【００４６】
真空容器３の側部３２は、排気パネル７が低温時に常温部からの入熱を抑制するため、熱伝導率の低いＳＵＳなどの材質で断面積が小さく構成される。
【００４７】
真空容器３内には、排気パネル７の熱容量に対し２倍以上の熱容量を持った蓄冷体６と冷凍機２の冷却ステージ５が、真空容器３内に配置され、真空容器３との熱伝達を遮断するため常に真空中に保持されている。蓄冷体６は、冷却ステージ５の外側で熱伝導良好に接続されて冷却されており、常に低温に維持されている。蓄冷体６は、熱容量を大きく設計でき、Ｃｕなどが用いられる。図２に示されるように、蓄冷体６は、円筒状の真空容器３の内部で、その外形が切り欠いた円柱状になっている。
【００４８】
また、真空容器３内には真空外部より移動操作可能で熱伝導率の高い材料で構成される伝熱体８が設置されており、真空容器３の底部３３と蓄冷体６とを熱伝導させたり熱絶縁させたり切り替えることが可能な熱スイッチの構造となっている。熱スイッチは、Ｃｕなどが用いられ、また、熱接触をよくするために、インジウムやグラファイトを用いることもできる。図１における熱スイッチは、真空容器３の基板３１の外部にあるノブ９により棒で連結された可動部である伝熱体８を移動させ、底部３３と蓄冷体６との接離を行う構造である。
【００４９】
図３ａは、本実施形態に基づくクライオトラップを真空処理装置に取り付け、排気パネルと蓄冷体との熱接触を維持した状態を示す図である。
【００５０】
ノブ９を操作し、伝熱体８を底部３３と蓄冷体６に接触させ、排気パネル７と蓄冷体６との熱接触を行う。
【００５１】
従来技術と同様に、真空処理装置１３内は粗引きポンプ１４に粗引きされた後、メインバルブ１５を介して取り付けられているターボ分子ポンプ等の主排気ポンプ１６により所定の圧力まで排気される。クライオトラップ１は主排気ポンプ１６と並行して使用され主に水蒸気の凝縮排気を行う。冷凍機２には外部に設置されたコンプレッサ１１より耐圧ホース１２を通してヘリウムガスが供給され、冷却ステージ５の温度１５０〜５０°Ｋになるように運転される。
【００５２】
図３ｂは、排気パネルと蓄冷体との熱接触を遮断した状態を示す図である。
【００５３】
ノブ９を操作し、伝熱体８を底部３３と蓄冷体６から離して、排気パネル７と蓄冷体６との熱接触が遮断されている。
【００５４】
本実施形態においては、真空処理装置１３内に排気パネル７が設置されているが、真空処理装置１３内を大気暴露する場合は、伝熱体８の操作により真空容器３の底部３３と蓄冷体６とを熱絶縁させた後、排気パネル７の温度を上昇させる。このため、蓄冷体６や冷凍機２の冷却ステージ５の温度を上昇させる必要はない。
【００５５】
排気パネル７の温度を上昇させる時間を短縮させるには、排気パネル７又は真空容器３の底部３３にヒータ１０を設置することが有効である。
【００５６】
真空処理装置１３内を大気中にて作業等終了した後、図３ａのように、再度、真空処理装置１３内の粗引きを行い、伝熱体７の操作により底部３３と蓄冷体６との熱伝導を回復させる。こうして、排気パネル７が急速に冷却され、水蒸気の凝縮排気能力を短時間に復帰させることができる。
【００５７】
排気パネル７及び真空容器３の底部３３と、蓄冷体６との熱容量と差が大きければ大きい程、また、熱伝導回復前の蓄冷体６の温度が低ければ低いほど冷却の効果は高くなる。
【００５８】
図４ａは、本実施形態に基づくクライオトラップにおいて、一部が分離可能な構成とした例を示す図である。
【００５９】
この実施形態では、真空容器３の基板を２つの部分３４，３５に分け、外側の部分を分離可能な構成としたものである。
【００６０】
これにより、クライオトラップ１は、真空容器３の基板３４、側部３２、底部３３、排気パネル７は、真空処理装置１３に取り付けたままであるが、基板３５に支持されたそれ以外の構成部分は、取り外しが可能である。この取り外し構造により、清掃等のメインテナンスを容易にしている。メインテナンスは、年１−２回程度必要であり、冷凍機内部のシール部分、ベアリング、バルブなどを交換する。
【００６１】
図４ｂは、図４ａのクライオトラップにおいて、一部が分離した状態を示す図である。
【００６２】
基板の一方の部分３４は、真空処理装置１３に固定されたままであるが、他方の部分３５は、基板の一方の部分３４に対し着脱自在である。
【００６３】
なお、熱的に連結・遮断を可能にする機構の上記（１）の（ｉ）に対応する例について説明したが、（ii）のように可動部である伝熱体８は、形状記憶合金を利用して熱的手段により移動されるようにしてもよい。すなわち、伝熱体８に形状記憶合金を取り付け、真空容器３の外部から形状記憶合金に温度変化を与えその変形により伝熱体８を移動させる。
【００６４】
［実施形態２］
本実施形態は、上記熱的に連結・遮断を可能にする機構の（２）の（ｉ）に対応する例である。
【００６５】
図５ａは、本実施形態に基づくクライオトラップの構成を示し、排気パネルと蓄冷体との熱接触を維持した状態を示す図である。
【００６６】
蓄冷体６と排気パネル７との間で、一方に固定され、他方に熱的に離接する良熱伝導の変形部材を介在させる。変形部材は、良熱伝導性のベローズ１８等と良熱伝導性の接触体１７からなっている。ベローズ１８内に導入・排気されるガス導入管１９により気体を導入し変形部材を蓄冷体６と排気パネル７の両方に接触させる。
【００６７】
図５ｂは、排気パネルと蓄冷体との熱接触を遮断した状態を示す図である。
【００６８】
ベローズ１８内に気体を導入しなければ、蓄冷体６と排気パネル７の熱接触は遮断される。
【００６９】
なお、（２）の（ii）のように変形部材は、形状記憶合金を利用して熱的手段により変形されるようにしてもよい。
【００７０】
また、実施形態１における図４ａ、図４ｂに示した一部が分離可能な構成とした例は、本実施形態においても適用可能である。
【００７１】
［実施形態３］
本実施形態は、上記熱的に連結・遮断を可能にする機構の（３）に対応する例である。
【００７２】
図６は、本発明の実施形態３に基づくクライオトラップの構成を示す図である。
【００７３】
実施形態１，２のような可動部や変形部材は用いていない。蓄冷体６と排気パネル７との間の空室２０に、ガス導入管２１によりヘリウムなどの熱伝導率の大きい気体を導入・排気させて気体の対流により熱伝達を変化させるように構成される。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の実施形態１に基づくＧ−Ｍ型冷凍システムを利用したクライオトラップの構成図
【図２】同実施形態１に基づくクライオトラップの図１のＡ−Ａ′断面図
【図３ａ】同実施形態１に基づくクライオトラップを真空処理装置に取り付け、排気パネルと蓄冷体との熱接触を維持した状態を示す図
【図３ｂ】同じく排気パネルと蓄冷体との熱接触を遮断した状態を示す図
【図４ａ】同実施形態１に基づくクライオトラップにおいて、一部が分離可能な構成とした例を示す図
【図４ｂ】図４ａのクライオトラップにおいて、一部が分離した状態を示す図
【図５ａ】本発明の実施形態２に基づくクライオトラップの構成を示し、排気パネルと蓄冷体との熱接触を維持した状態を示す図
【図５ｂ】同じく排気パネルと蓄冷体との熱接触を遮断した状態を示す図
【図６】本発明の実施形態３に基づくクライオトラップの構成図
【図７】従来のＧ−Ｍ型冷凍システムを利用したクライオトラップの構造を示す図
【符号の説明】
【００７５】
１…クライオトラップ
２…冷凍機
３…真空容器
３１，３４，３５…基板
３２…側部
３３…底部
４…シリンダ
５…冷却ステージ
６…蓄冷体
７…排気パネル（冷却パネル）
８…伝熱体
９…ノブ
１０…ヒータ
１１…コンプレッサ
１２…耐圧ホース
１３…真空処理装置
１４…粗引きポンプ
１５…メインバルブ
１６…主排気ポンプ
１７…接触体
１８…ベローズ
１９，２１…ガス導入管
２０…空室
【図１】
2009019501.tif 000003
【図２】
2009019501.tif 000004
【図３ａ】
2009019501.tif 000005
【図３ｂ】
2009019501.tif 000006
【図４ａ】
2009019501.tif 000007
【図４ｂ】
2009019501.tif 000008
【図５ａ】
2009019501.tif 000009
【図５ｂ】
2009019501.tif 000010
【図６】
2009019501.tif 000011
【図７】
2009019501.tif 000012