(57)【要約】【課題】  本発明の課題は、第一に工場内での非接触ＩＣタグを取り付けた被加工品の加工、生産において、作業者の誤認、ミスによる生産効率の低下を減少させることができるハンドラーを提供することである。第二に、該ハンドラーを使用した生産効率の高い生産管理方法を提供することである。【解決手段】  非接触ＩＣタグを取り付けた被加工品を、作業者が把持し、所定の装置に運搬するためのハンドラーであって、該ハンドラーに交信部、データ記憶部、データ処理部、表示装置、キー入力装置、制御部を設けて、少なくとも該非接触ＩＣタグとの交信機能、交信したデータの記憶・照合機能、該蓄積したデータおよび交信したデータを表示可能とする機能を設けたことを特徴とするハンドラーである。また、さらに該被加工品の生産に関する装置との交信機能、該交信したデータを記憶、照合する機能を有するハンドラーである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非接触ＩＣタグを取り付けた被加工品を、作業者が把持し、所定の装置へ運搬するためのハンドラーであって、該ハンドラーが少なくとも該非接触ＩＣタグとの交信機能を有する交信部、該交信したデータとデータ処理部からのデータを記憶する機能を有するデータ記憶部、該記憶したデータと交信したデータとを照合する機能を有するデータ処理部、該記憶したデータおよび交信したデータを表示する表示部、キー入力部、制御部を有することを特徴とするハンドラー。
【請求項２】
前記非接触ＩＣタグがＲＦ−ＩＤタグ、または／および光−ＩＣタグであることを特徴とする請求項１に記載のハンドラー。
【請求項３】
前記所定の装置が、少なくとも、前記非接触ＩＣタグ、および／または請求項１または２に記載のハンドラーとの間で、加工条件、加工結果のデータの交信が可能な加工装置、検査条件、検査結果のデータの交信が可能な検査装置、収納条件、収納結果のデータの交信が可能な収納装置のいずれかであることを特徴とする請求項１または２に記載のハンドラー。
【請求項４】
前記交信部が、前記被加工品を把持した状態で交信可能な機能と、把持しない状態で交信可能な機能を併有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項５】
前記被加工品を把持した状態で交信するための交信部と、把持しない状態で交信するための交信部を併有することを特徴とする請求項４に記載のハンドラー。
【請求項６】
前記被加工品を前記所定の装置へ着脱する機能を有することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項７】
少なくとも、前記被加工品の生産に関する装置との無線交信、または／および光交信する機能を有する交信部、該交信したデータを記憶する機能を有する記憶部、該記憶したデータと交信したデータとを照合する機能を有するデータ処理部、該記憶したデータおよび交信したデータを表示する機能を有する表示部を有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項８】
前記被加工品の生産に関する装置が、少なくとも前記被加工品の加工装置、検査装置、収納装置、中央制御装置、他のハンドラーのいずれか一つであることを特徴とする請求項７に記載のハンドラー。
【請求項９】
前記表示機能が、目視可能な表示または／および音声による表示であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１０】
前記の交信部、データ記憶部、データ処理部、表示部、キー入力部、制御部の少なくとも一部を一体とし、ハンドラー本体と着脱可能な形態としたことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載のハンドラー。
【請求項１１】
請求項３ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーを用いた前記被加工品の生産管理方法であって、前記所定の装置による、加工結果、検査結果、収納結果のデータを前記非接触ＩＣタグまたは／および該ハンドラーの記憶部に記憶し、必要に応じて取り出すことを特徴とする前記被加工品の生産管理方法。
【請求項１２】
請求項８ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーを用いた前記被加工品の加工条件、検査条件、収納条件の照合方法であって、予め前記中央制御装置から前記加工装置、前記検査装置、前記収納装置、および前記ハンドラーへ直接送られた加工、検査、収納に関する計画データと、前記非接触ＩＣタグまたは該ハンドラーの記憶部に記憶させた加工、検査、収納に関する結果データとを、該ハンドラー、前記加工装置、前記検査装置または前記中央制御装置のいずれかにおいて照合することを特徴とする被加工品の照合方法。
【請求項１３】
前記被加工品を把持する前に請求項８ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーに設置した照合スイッチをＯＮにして交信し、把持すべき被加工品であるか否かを照合することを特徴とする請求項１２記載の被加工品の照合方法。
【請求項１４】
請求項８ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーを使用して前記の加工装置、検査装置、収納装置に着脱する前に、該装置と交信して、所定の装置であるか否かを、該装置が記憶しているデータ、または中央制御装置からのデータと照合して判定し、目視可能データ、または音声によって作業者へ知らせることを特徴とする請求項１２に記載の前記被加工品の照合方法。
【請求項１５】
前記中央制御装置が不調の場合、少なくとも請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーの記憶部に記憶されているデータを使用して、該中央制御装置のデータを復元すること、または復元し生産を続行することを特徴とする前記被加工品の生産管理方法。
【請求項１６】
前記被加工品が、少なくともフォトマスクブランクス基板、フォトマスクブランクス、フォトマスク、印刷回路用基板、被エッチング基板、被メッキ基板のいずれか一つであることを特徴とする請求項１２、１３、１４のいずれか１項に記載の被加工品の照合方法。
【請求項１７】
前記被加工品が、少なくともフォトマスクブランクス基板、フォトマスクブランクス、フォトマスク、印刷回路用基板、被エッチング基板、被メッキ基板のいずれか一つであることを特徴とする請求項１１または１５に記載の被加工品の生産管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作業者が非接触ＩＣタグを取り付けた被加工品を把持し所定の場所へ運搬するためのハンドラーに関するものであり、特に作業者による取り扱い時のミス、誤認、および作業者の記録の手間を低減するためのハンドラーに関し、さらに該ハンドラーを使用した被加工品の照合方法ならびに生産管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
非接触ＩＣタグには、ＲＦ−ＩＤタグ、無線ＩＤタグ、ＲＦタグ、ＩＣタグ等の名前で呼ばれる電波で交信するタイプと、光で交信する光ＩＣタグがあるが、区別する必要がない場合には、以下非接触ＩＣタグと記す。構造は、少なくともメモリ部、制御回路部、演算部、交信回路部を有するＩＣチップに少なくともアンテナまたは光送受信部を付設したものである。機能は、非接触でリーダライタと交信し、リーダライタからの受信データをメモリ部に記憶し、逆にメモリ部に記憶しているデータをリーダライタに送信できるものであり、さらに必要に応じてデータ間の照合、判定、指示などの機能を保有させることが可能である。
【０００３】
特許文献１に、半導体集積回路や液晶表示装置の製造時のフォトリソグラフィ工程で使用されるフォトマスク、ペリクル、収納ケース等に非接触ＩＣタグを取り付けて識別に利用し、生産管理に使用する方法が開示されている。
【０００４】
上記文献の方法は、非接触ＩＣタグのリーダライタでフォトマスク基板に取り付けられた非接触ＩＣタグに記憶されているデータを読み取ってから、ハンドラーで把持し所定の装置、収納容器へ運搬する方法であるが、作業者が読取りミスしたり、勘違い、記憶間違いによって別の基板を把持したり、別の装置、容器へ運搬してしまうことを防ぐことができない。また、該非接触ＩＣタグにデータ記憶させるにはリーダライタで手入力する作業が必要である。
【０００５】
また、特許文献２、３に、非接触ＩＣタグを取り付けた基板収納容器とそれを使用した管理システムが開示されている。フォトマスクブランクスを加工してフォトマスクを製造する工程に適用される方法であり、該収納容器に収納されている基板の内容は、該収納容器に付設されている表示装置に表示される。しかし、作業者がハンドラー等を使用して該収納容器から間違った基板を取り出してしまうこと、および正確に取り出したとしても間違った運搬先へ届けてしまうことを防止することはできない。
【０００６】
上記のフォトマスクブランクスを加工してフォトマスクを製造する工程だけでなく、被加工品が多品種であり、少量生産の場合、作業者が被加工品を工場の所定の場所へ運搬し、セットすることが多い。また、試作品の作成の場合も同様である。例えば、フォトマスクブランクス基板を加工してフォトマスクブランクスを製造する工程、印刷回路基板を加工して印刷回路を製造する工程、各種エッチング加工、各種メッキ加工である。これらの場合にも非接触ＩＣタグを使用して製造管理を行う場合に、上記の問題が発生し、生産効率低下の原因となる。
【０００７】
公知文献を以下に示す。
【特許文献１】特開２００５−９１９８３号公報
【特許文献２】特開２００５−３００７２３号公報
【特許文献３】特開２００６−２１９１６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、第一に工場内での非接触ＩＣタグを取り付けた被加工品の加工、生産において、作業者の誤認、ミスによる生産効率の低下を抑制することができるハンドラーを提供することである。第二に、該ハンドラーを使用した生産効率の高い生産管理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明において上記課題を達成するための、請求項１の発明は、非接触ＩＣタグを取り付けた被加工品を、作業者が把持し、所定の装置へ運搬するためのハンドラーであって、該ハンドラーが少なくとも該非接触ＩＣタグとの交信機能を有する交信部、該交信したデータとデータ処理部からのデータを記憶する機能を有するデータ記憶部、該記憶したデータと交信したデータとを照合する機能を有するデータ処理部、該記憶したデータおよび交信したデータを表示する表示部、キー入力部、制御部を有することを特徴とするハンドラーである。
【００１０】
請求項２の発明は、前記非接触ＩＣタグがＲＦ−ＩＤタグ、または／および光−ＩＣタグであることを特徴とする請求項１に記載のハンドラーである。
【００１１】
請求項３の発明は、前記所定の装置が、少なくとも、前記非接触ＩＣタグ、および／または請求項１または２に記載のハンドラーとの間で、加工条件、加工結果のデータの交信が可能な加工装置、検査条件、検査結果のデータの交信が可能な検査装置、収納条件、収納結果のデータの交信が可能な収納装置のいずれかであることを特徴とする請求項１または２に記載のハンドラーである。
【００１２】
請求項４の発明は、前記交信部が、前記被加工品を把持した状態で交信可能な機能と、把持しない状態で交信可能な機能を併有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のハンドラーである。
【００１３】
請求項５の発明は、前記被加工品を把持した状態で交信するための交信部と、把持しない状態で交信するための交信部を併有することを特徴とする請求項４に記載のハンドラーである。
【００１４】
請求項６の発明は、前記被加工品を前記所定の装置へ着脱する機能を有することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のハンドラーである。
【００１５】
請求項７の発明は、少なくとも、前記被加工品の生産に関する装置との無線交信、または／および光交信する機能を有する交信部、該交信したデータを記憶する機能を有する記憶部、該記憶したデータと交信したデータとを照合する機能を有するデータ処理部、該記憶したデータおよび交信したデータを表示する機能を有する表示部を有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載のハンドラーである。
【００１６】
請求項８の発明は、前記被加工品の生産に関する装置が、少なくとも前記被加工品の加工装置、検査装置、収納装置、中央制御装置、他のハンドラーのいずれか一つであることを特徴とする請求項７に記載のハンドラーである。
【００１７】
請求項９の発明は、前記表示機能が、目視可能な表示または／および音声による表示であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載のハンドラーである。
【００１８】
請求項１０の発明は、前記の交信部、データ記憶部、データ処理部、表示部、キー入力部、制御部の少なくとも一部を一体とし、ハンドラー本体と着脱可能な形態としたことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載のハンドラーである。
【００１９】
請求項１１の発明は、請求項３ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーを用いた前記被加工品の生産管理方法であって、前記所定の装置による、加工結果、検査結果、収納結果のデータを前記非接触ＩＣタグまたは／および該ハンドラーの記憶部に記憶し、必要に応じて取り出すことを特徴とする前記被加工品の生産管理方法である。
【００２０】
請求項１２の発明は、請求項８ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーを用いた前記被加工品の加工条件、検査条件、収納条件の照合方法であって、予め前記中央制御装置から前記加工装置、前記検査装置、前記収納装置、および前記ハンドラーへ直接送られた加工、検査、収納に関する計画データと、前記非接触ＩＣタグまたは該ハンドラーの記憶部に記憶させた加工、検査、収納に関する結果データとを、該ハンドラー、前記加工装置、前記検査装置または前記中央制御装置のいずれかにおいて照合することを特徴とする被加工品の照合方法である。
【００２１】
請求項１３の発明は、前記被加工品を把持する前に請求項８ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーに設置した照合スイッチをＯＮにして交信し、把持すべき被加工品であるか否かを照合することを特徴とする請求項１２記載の被加工品の照合方法である。
【００２２】
請求項１４の発明は、請求項８ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーを使用して前記の加工装置、検査装置、収納装置に着脱する前に、該装置と交信して、所定の装置であるか否かを、該装置が記憶しているデータ、または中央制御装置からのデータと照合して判定し、目視可能データ、または音声によって作業者へ知らせることを特徴とする請求項１２に記載の前記被加工品の照合方法である。
【００２３】
請求項１５の発明は、前記中央制御装置が不調の場合、少なくとも請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のハンドラーの記憶部に記憶されているデータを使用して、該中央制御装置のデータを復元すること、または復元し生産を続行することを特徴とする前記被加工品の生産管理方法である。
【００２４】
請求項１６の発明は、前記被加工品が、少なくともフォトマスクブランクス基板、フォトマスクブランクス、フォトマスク、印刷回路用基板、被エッチング基板、被メッキ基板のいずれか一つであることを特徴とする請求項１２、１３、１４のいずれか１項に記載の被加工品の照合方法である。
【００２５】
請求項１７の発明は、前記被加工品が、少なくともフォトマスクブランクス基板、フォトマスクブランクス、フォトマスク、印刷回路用基板、被エッチング基板、被メッキ基板のいずれか一つであることを特徴とする請求項１１または１５に記載の被加工品の生産管理方法である。
【発明の効果】
【００２６】
請求項１の発明によるハンドラーは、第一に目視可能な画像表示装置を付設し、被加工品に取り付けられた非接触ＩＣタグに記憶されている生産管理番号、品番、加工条件等のデータを読み出し、画像表示装置で表示することによって、作業者がそれらを確認できるようにしたので、被加工品をハンドラーに把持した状態で、例えば被加工品の生産管理番号、品名、運搬先等を確認しながら取り扱うことができる。従って、作業者の記憶ミス、勘違いによる間違いを大幅に減らすことができるという効果がある。
【００２７】
請求項２の発明によるハンドラーは、前記非接触ＩＣタグとしてノイズ（雑音）に弱いが送受信範囲を広くすることができるＲＦ−ＩＤタグを使用した被加工品と、ノイズ（雑音）に強いが受光範囲の狭い光−ＩＣを使用した被加工品のいずれかを状況に応じて使い分けるか、あるいはその双方にも対応することもできるので、対象とする被加工品の種類が広いという効果がある。
【００２８】
請求項３の発明は、請求項１に記載の「所定の装置」を被加工品の加工装置、検査装置、収納装置に特定し、さらにそれら装置の機能を、少なくとも加工条件や加工結果、検査条件や検査結果、収納条件や収納結果のデータを、第一に被加工品に取り付けた非接触ＩＣタグと送受信することができること、第二に請求項１または２に記載のハンドラーと送受信することができることに特定したものである。被加工品に取り付けた非接触ＩＣタグに、上記の各種データを記憶させることができ、さらに請求項１または２に記載のハンドラーは、該非接触ＩＣタグと交信して上記の各種データを取得、記憶、照合することができるので、作業者はそれらの状況を表示装置で見ることによって、記憶ミス、勘違いによる間違いをさらに減らすことができる。
【００２９】
請求項４の発明によるハンドラーを使用することによって、作業者は被加工品を把持する前に、所定のものであるか否かを知ることができるので、作業効率が高い。さらに把持した後に所定のものであったか否かを確認することができるので、ミスによる作業効率低下を抑制することができる。
【００３０】
請求項５の発明によるハンドラーを使用することによって、作業者は把持した被加工品に取り付けた非接触ＩＣタグと交信しながら、次に把持すべき被加工品に取り付けた非接触ＩＣタグとも交信することができるので、作業効率が向上する。
【００３１】
請求項６の発明によるハンドラーは、被加工品を所定の装置へ直接装着し、直接取り出すことができるので、生産効率が高い。
【００３２】
請求項７ならびに８に記載のハンドラーは、被加工品の生産に関する装置からデータを受信し、被加工品に取り付けてある非接触ＩＣタグへ送信することことができる。作業者が手入力しないでも該非接触ＩＣタグの記憶内容を簡単に書き換えることができるので、作業効率が高く、手入力によるミスがないという効果がある。
【００３３】
また、請求項７ならびに８に記載のハンドラーを使用することによって、被加工品に取り付けてある非接触ＩＣタグに記憶されているデータを被加工品の生産に関する装置へ送信することができるので、作業者の作業効率が高い。
【００３４】
請求項８は請求項７に記載の「生産に関する装置」の種類を特定したものであり、請求項３で特定した所定の装置である被加工品の加工装置、検査装置、収納装置以外に中央制御装置、他のハンドラーが含まれる。請求項８に記載のハンドラーを使用すると、中央制御装置から生産管理に関するデータを取得することができるので、該データを各種照合の基礎データとして使用することができるという効果がある。また、他のハンドラーと交信することができるので、中央制御装置を経由してデータを授受するよりも生産効率が高いという効果がある。
【００３５】
請求項９に記載のハンドラーを使用することによって、作業者は各種データや照合した結果を目視または／および音声で知ることができるので、ミスが減り、迅速に行動することができるという効果がある。
【００３６】
請求項１０に記載のハンドラーを使用することによって、作業者はハンドラー本体を保
持しないでも、頻度の高い操作、例えば照合操作を行うことが可能なので、作業が容易になるという効果がある。特に、光交信を使用する場合には指向性が強いので、ハンドラーから着脱可能な一体となっている交信部を使用すると、作業効率が高く、疲労が少ないという効果がある。
【００３７】
請求項１１に記載の生産管理方法は、中央制御装置を介してデータをやりとりする生産管理方法と比較して、生産効率が高い。特に、多品種少量生産の場合や試作品の作成の場合など、加工条件や検査条件等が被加工品ごとに異なる場合に有効である。
【００３８】
請求項１２に記載の照合方法は、中央制御装置を介してのみデータをやりとりする照合方法と比較して、生産効率が高い。特に、多品種少量生産の場合や試作品の作成の場合など、被加工品ごと、各工程ごとに照合する必要性が高い場合に効果が高い。
【００３９】
請求項１３に記載の照合方法は、作業者が必要な場合に照合のためのスイッチをＯＮすることで、把持すべき被加工品であるか否かを簡単に確認することができるので、作業効率が高くなるという効果がある。
【００４０】
請求項１４に記載の照合方法を用いると、作業者の照合時のミスを抑制することが可能であり、さらに作業者の負担が大幅に減少するので、作業効率が高くなるという効果がある。
【００４１】
請求項１５に記載の生産管理方法を用いると、中央制御装置で一括して記憶している生産管理データ一式とは別の一式を、ハンドラー、非接触型ＩＣタグ、中央制御装置以外の生産に関する装置に分散させて記憶させることができる。その結果、中央制御装置が不調の場合にも生産を継続することが可能であり、また中央制御装置のデータ復元を容易に行うことができるので、生産効率が向上するという効果がある。さらに、中央制御装置が稼働している場合には、分散処理型の生産管理システムのデータと照合することによって、システムの不調を早期に検出することができるという効果がある。
【００４２】
請求項１６は、請求項１２、１３、１４に記載した照合方法の適用を、多品種少量生産品や試作品が多く、しかも工程が長く、加工条件が一定でない場合が多いフォトマスクブランクス基板、フォトマスクブランクス、フォトマスク、印刷回路用基板、被エッチング基板、被メッキ基板に特定したものであり、それらの加工において、作業者の負担を大幅に減少させることができ、作業者のミスを抑制することができるという効果がある。
【００４３】
請求項１７は、請求項１１または１５に記載した生産管理方法の適用を、多品種少量生産品や試作品が多く、工程が長く、加工条件が一定でない場合が多いフォトマスクブランクス基板、フォトマスクブランクス、フォトマスク、印刷回路用基板、被エッチング基板、被メッキ基板に特定したものであり、中央制御装置が不調の場合にも生産を継続することが可能であるという効果がある。また、中央制御装置のデータ復元を容易に行うことができるので、生産効率が向上するという効果がある。さらに、中央制御装置が稼働している場合には、分散処理型の生産管理システムのデータと照合することによって、システムの不調を早期に検出することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
まず、本発明請求項７に記載のハンドラーの構造例を図１に基づいて以下に説明する。なお、請求項１に記載のハンドラーは所定の装置との交信機能を保有せず、構造例としては図１のハンドラーにおいて生産に関する装置用の無線交信アンテナ（９）、および生産に関する装置用の光交信送受信部（１０）を除いたものである。
【００４５】
図１は、フォトマスク製造時に使用して好ましいハンドラーの構造例の平面説明図である。フォトマスク用基板は２本の把持用アーム（１）に設置された把持部（２）で把持する。把持するための構造は従来知られているものを使用することができる。画像表示装置（３）は、ハンドラーの取っ手部（４）を作業者が握った状態で、作業者が見やすい位置に設置してある。切り替えスイッチＡ（５）は画像表示装置の画面切り替え用であり、例えば、音声表示のみ、画像表示のみ、音声表示と画像表示を切り替える。音声表示の場合には音声出力装置（１２）から音声が放出される。切り替えスイッチＢ（６）は交信相手を切り替えるためのものである。切り替えスイッチは必要に応じて個数を増減させることができる。
【００４６】
フォトマスク製造時には、フォトマスク用基板の側面に光−ＩＣタグでなくＲＦ−ＩＤタグを取り付けることが一般的には好ましいので、フォトマスクの非接触ＩＣタグと交信するためのアンテナＡ（７）、Ｂ（８）は把持用アームの側面に取り付けてある。すなわちアンテナＡはフォトマスクを把持した際に、フォトマスクに取り付けたＲＦ−ＩＤタグのアンテナの面と平行に相対する位置に設置してある。一方、アンテナＢは遠距離交信用のアンテナであって、ハンドラーの先を目的のフォトマスクに向けた時に電波の強度が強くなる方向に設置してある。
【００４７】
なお、被加工品に光ＩＣタグを取り付けた場合には、ハンドラーの光送受信部は、交信しやすい位置に設置する。
【００４８】
所定の装置に対して被加工品を把持する前に把持することの可否を打診したり、中央制御装置や他のハンドラーとデータを授受するための無線交信用アンテナ（９）、ならびに光交信用光送受信部（１０）は、作業者がハンドラーを握った状態で交信したい装置に向けやすいように把持用アーム（１）の先端に設置してある。
【００４９】
データ処理部（１１）は取っ手の内部に設置されている。また、キー入力装置は取っ手部に設置してあり、握った状態で、親指で入力できるようにしている。電源部は図示してないが、取っ手の内部に設置することが好ましい。
【００５０】
図２の回路ブロック図によって、ハンドラーにおけるデータ処理関係の機能を以下に説明する。フォトマスクに貼付けたＲＦ−ＩＤタグや所定の装置との交信において、ＲＦ−ＩＤタグ用アンテナＡ（７）、Ｂ（８）および無線交信用アンテナ（９）、光交信用送受信部（１０）で受信したデータは、データ処理部（１１）内の入力部に配線によって導かれ、次に演算部で処理される。処理されたデータは、出力部から画像表示装置（３）、音声出力装置（１２）やＲＦ−ＩＤタグ用アンテナＡ（７）、Ｂ（８）および無線交信用アンテナ（９）、光交信用送受信部（１０）に配線によって導かれ、フォトマスクに貼付けたＲＦ−ＩＤタグや所定の装置に送信される。
【００５１】
切り替えスイッチＡ（５）は画像表示装置画面切り替え用であり、切り替えスイッチＢ（６）は、交信や照合のために交信相手を切り替えるためのものであり、入力部に接続されている。上記回路構成は、非接触ＩＣタグとの送受信、所定の装置との送受信におけるデータ処理を同一のデータ処理部で行う構成である。
【００５２】
ハンドラーの機械的構造は、対象となる被加工品の形状によって大幅に異なる。しかし、上記の非接触ＩＣタグとの交信、内部データ処理部、所定の装置との交信部については、被加工品に使用されている非接触ＩＣタグの種類によって、また所定の装置に設置してある送受信部の種類によって多少変化するが、構造、作用上の基本構成は図１、図２に示したものと同じである。
【００５３】
図３は画像表示装置の表示例であり、図３（ａ）は、ハンドラーにフォトマスク基板を把持した状態で、表示部に生産管理番号と運搬先を表示した例であり、図３（ｂ）はある加工装置へフォトマスク基板を受け取りに行く途中で交信して、受け取りの可否を打診し、「加工中なので、受け取り否」の表示がでている例である。作業者はこれらの表示を読み取ることによってミス、時間のロスを少なくすることができる。
【００５４】
ハンドラーの交信部、データ処理部・記憶部、表示部、キー入力部、制御部等のいずれかを取り外し可能な一体構造とした例を図４に示す。図４は、本体から取り外した状態で生産に関する装置との交信を作業者が容易に行うためのものであり、図１のハンドラーにおいて、所定の装置との交信部、データ処理部、表示部を一体化したものである。その他の機能部は、必要に応じて、本体に設置する。
【００５５】
図４において、画像表示部（３）が図１におけるキー入力部の位置に設置してあり、また無線交信用アンテナ（９）、光交信用送受信部（１０）が先端部に設置してある。本体の取っ手部に嵌合部を設け、そこに着脱できる構造である。図４の一体化した部分と本体との交信は有線でもよいし、テレビ等のリモコンのように赤外線交信であってもよい。
【００５６】
目視可能な表示としては、各種画像表示装置（液晶、有機ＥＬ、無機ＥＬ、蛍光表示管、電子ペーパ、発光ダイオード等）があり、さらに単純に色ランプ（赤、青、黄等）の表示でもよい。また、これらを併用してもよい。
【００５７】
音声とは、音としてブザー音、ベル音、サイレン音、等の音であってもよい。声としては、肉声を録音したもの、または合成音による言葉であってもよい。
【００５８】
目視可能な表示と音声を併用してもよい。例えば、ブザー音で被加工品選択が間違っていることを作業者に警告すると共に、画像表示装置上で、その事態でなすべき作業を表示する。
【００５９】
被加工品を直接ハンドラーで把持することが不能の場合、あるいは好ましくない場合には、アダプターを使用して被加工品をアダプターに取り付け、アダプターをハンドラーで把持するようにしてもよい。本発明においては、アダプターに取り付けた状態の場合であっても被加工品と記す。また、アダプターに非接触ＩＣタグを取り付けてもよい。本発明においては、アダプターに非接触ＩＣタグを取り付けてある場合であっても、被加工品に取り付けた非接触ＩＣタグと記す。
【００６０】
本発明における収納装置とは、収納品の内容をデータとして記憶し、被加工品の有無、収納場所、該被加工品の内容を、所定の装置と交信し、データを授受することができるものを指す。被加工品に取り付けられた非接触ＩＣタグと交信して、該非接触ＩＣタグの内容を読み出し、更新することができる機能を有することが好ましい。実際の収納装置としては、例えば原材料保管倉庫内や製品保管倉庫内の収納庫、各加工装置、検査装置に付設されている一時収納用ストッカーがある。
【００６１】
所定の装置に一時保管用のストッカー等の収納装置がない場合、被加工品を所定の装置に直接装着したり、所定の装置から直接取り出したりできる構造、機能を本発明のハンドラーに付与することが好ましい。例えば、ハンドラーを作業ロボットに取り付けた構造とする方法がある。
【００６２】
生産に関する装置とハンドラーとの間の交信方法としては、見通しがよい作業環境の場合には光交信のほうが、無線交信より指向性が強く、雑音（ノイズ）に強いので好ましい。光交信機能と無線交信機能を併備したハンドラーとすれば、生産に関する装置に光交信機能と無線交信機能のいずれか好ましい方を付設することができる。
【００６３】
所定の装置へ着脱する順序は中央制御装置からハンドラーへ送信されたデータによる。その場合、ハンドラーから中央制御装置に直接アクセスするのではなく、各加工装置、検査装置、収納装置と交信した場合に一緒に送信するほうが、生産効率が高い。
【００６４】
本発明のハンドラーにおいて、照合とは、判定を含む。例えば、被加工品がハンドラーに把持すべきであるものかどうかを、ハンドラーが記憶しているデータと、生産に関する装置や被加工品に取り付けた非接触ＩＣタグからのデータとを比較、照合して把持すべき被加工品であるか否かを判定する。また、加工装置の加工条件が把持している被加工品の加工条件と一致しているか否かを照合し、判定する機能を有する。作業者が判定するのではなく、判定可能なハンドラーであるので、作業者の勘違い、記憶ミスによる間違いをなくすことができる。
【００６５】
本発明におけるハンドラー、非接触ＩＣタグ、各種装置間の交信例を図５に基づいて以下説明する。図５のハンドラー（Ｈ）には所定の装置である加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）との交信部（Ｈ−Ｐ）、被加工品（Ｍ）に取り付けた非接触ＩＣタグとの交信部（Ｈ−Ｍ）、中央制御装置（Ｃ）との交信部（Ｈ−Ｃ）、記憶／演算／制御部および表示部よりなるデータ交信・処理・表示機能部が設置してある。
【００６６】
中央制御装置（Ｃ）には、被加工品に取り付けた非接触ＩＣタグとの交信部（Ｃ−Ｍ）、加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）との交信部（Ｃ−Ｐ）、ハンドラーとの交信部（Ｃ−Ｈ）、記憶／演算／制御部および表示部よりなるデータ交信・処理・表示機能部が設置してある。
【００６７】
加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）には被加工品に取り付けた非接触ＩＣタグとの交信部（Ｐ−Ｍ）、ハンドラーとの交信部（Ｐ−Ｈ）、中央制御装置（Ｃ）との交信部（Ｐ−Ｃ）、記憶／演算／制御部および表示部よりなるデータ交信・処理・表示機能部が設置してある。
【００６８】
被加工品（Ｍ）に取り付けた非接触ＩＣタグはハンドラー（Ｈ）、加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）のデータ交信部と交信することができる。また、中央制御装置のデータを再構築する等の緊急時に備えて、中央制御装置と交信できるようにしておくことが好ましい。
【００６９】
ここで中央制御装置（Ｃ）と加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）の間の交信は、定時交信でもよいが、常時交信が好ましい。ハンドラー（Ｈ）は作業者が指示指定した時だけ被加工品（Ｍ）、加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）、中央制御装置（Ｃ）と交信する。中央制御装置（Ｃ）と被加工品（Ｍ）間の交信は必要なら行う。ハンドラー（Ｈ）と被加工品（Ｍ）に取り付けた非接触ＩＣタグとの交信は、必要に応じて被加工品を把持した状態でも、把持しない状態でも行う。
【００７０】
非接触ＩＣタグに記憶されたデータ、例えば品名、品番、加工方法、加工条件、検査方法、は非接触ＩＣタグからハンドラーの交信部（Ｈ−Ｍ）を通じて、ハンドラーの記憶部に記憶されると共に、作業者が指定した項目が、画像表示装置に表示される。
【００７１】
ハンドラーの交信部（Ｈ−Ｐ）は加工装置、検査装置、収納装置の交信部（Ｐ−Ｈ）と交信し、非接触ＩＣタグから、および中央制御装置からの加工装置の指定、加工条件等の指定のデータを加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）に送る。
【００７２】
一方、加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）は受け取ったデータで加工条件、検査条件、収納条件を設定して、加工、検査、収納作業を行うか、またはあらかじめ中央制御装置交信部（Ｃ−Ｐ）と交信した加工、検査、収納条件のデータに基づき、設定した状態で待っていて、加工すべき被加工品がセットされた時点で、ハンドラーからのデータと照合して、ＯＫなら加工、検査、収納を開始する。
【００７３】
加工、検査、収納が終了した時点で加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）のデータ交信・処理・表示機能部の記憶部に実際の加工条件、日時、担当者、検査結果等のデータを保管すると共に、ハンドラー（Ｈ）および中央制御装置（Ｃ）へ、該データが送信される。
【００７４】
全体として、生産管理データ全体を中央制御装置（Ｃ）に一式保管し、別途、該生産管理データ一式を、ハンドラー（Ｈ）、加工装置、検査装置、収納装置（Ｐ）、被加工品（Ｍ）に取り付けた非接触ＩＣタグに分散して保管することができる。従って、中央制御装置が不調の場合、その分散した形で保管されている生産管理データ一式を使用して、生産を継続することができる。また、中央制御装置の生産管理データを再構築することができる。
【００７５】
収納装置内の多数の被加工品から所望の被加工品を見いだす方法としては、ハンドラーの記憶部に予め被加工品の位置データをいれておき、作業者が生産管理番号等を入力すると、収納されている位置を表示するようにすることが好ましい。目的とする被加工品にアクセスできた時には、被加工品の非接触ＩＣタグに記憶されているデータをハンドラーの記憶部に送り、記憶させる。
【００７６】
本発明において、被加工品に取り付けて使用することができる非接触ＩＣタグは、被加工品がどのような扱いを受けるかによって異なる。例えば、被加工品がフォトマスクブランクス用石英基板であれば、クロム膜成膜時に高温にさらされるので、高温耐性が要求される。現在は、例えばフォトマスクブランクスの製造、フォトマスクの製造、印刷回路の製造、通常のエッチング、通常のメッキにおける各種環境に耐えることができる非接触ＩＣタグが開発されている。
【００７７】
また、取り付け方法によって、耐性を増す方法がある。例えば、耐性がある接着剤を使用して接着するだけでなく、非接触ＩＣ全体を耐性がある接着剤でくるんでしまう方法がある。
【００７８】
非接触ＩＣタグのうち、指向性が強く、雑音（ノイズ）に強い点では光−ＩＣタグが好ましく、一方見通しのない場所では、ＲＦ−ＩＤタグが好ましい。用途、条件によって使い分ける。場合によっては、両方を被加工品に貼付けてもよい。
【００７９】
厚さが薄い印刷回路基板、被メッキ基板等の場合、側面に非接触ＩＣタグを取り付けることは困難なので、基板面の周辺部に取り付ける。非接触ＩＣタグのアンテナの面は印刷回路基板面、被メッキ基板等と平行なので、ハンドラー側のアンテナを、該被加工品を把持した状態で平行に相対するように取り付ける。
【００８０】
＜具体的な適用例＞
生産時の作業者の作業を中心としたハンドラー、非接触ＩＣタグ、装置間の交信例を図５に基づいて以下に説明する。なお、以下の（ａ）から（ｄ）の条件が満たされているとする。
（ａ）ハンドラーは、被加工品を製造するためのどの工程でも使用可能な構造である。
（ｂ）（ａ）に適するようにするため、各装置は一時収納部を有し、加工前後の被加工品を一時的に該収納部に収納する構造となっている。
（ｃ）該装置は、予め中央制御装置（Ｃ）と（Ｐ−Ｃ）交信部を使用して交信し、記憶部に当該装置の加工分担データが記憶されている。
（ｄ）作業者は自分専用のハンドラーを持っていて、ある被加工品の一連の加工・検査工程を担当している。
【００８１】
（１）作業者はハンドラーの交信部を（Ｈ−Ｃ）として、中央制御装置（Ｃ）と交信し、少なくとも作業分担分のデータを受け取り、自分のハンドラーに記憶させる。（中央制御装置には、作業者との交信内容が記憶される。）
（２）作業者はハンドラーの表示装置を見たり、音声を聞いたりして、指示を受取り、行動を開始する。以下、該作業者が被加工品を倉庫の収納装置から取り出し、所定の加工装置の一時収納装置へセットするまでの作業例を記す。
（３）倉庫の収納装置へ近づき、交信が可能になったら、作業者はハンドラーの該収納装置との交信部（Ｈ−Ｐ）のスイッチをＯＮして、交信し、指定された被加工品が収納されている場所を照合、確認し、該被加工品を取り出す。ハンドラーのデータ記憶部、および該収納装置のデータ記憶部には、授受された際の各種データ（時刻、作業者名、被加工品の生産管理番号等）が記憶される。
（４）該被加工品を把持した時点で、被加工品にとりつけられた非接触ＩＣタグと交信して、指定されたものであるか否かを照合し、結果を表示装置を見たり、音声を聞いたりして、確認する。また、交信部（Ｈ−Ｍ）のスイッチをＯＮにしてハンドラーの記憶装置から該被加工品の運搬先を読み出し、被加工品の非接触ＩＣタグのデータと照合し、確認する。
（５）照合結果がＯＫならば、指示された加工装置へ、該被加工品を運搬する。目的とする装置に近づき、交信可能となったら、ハンドラーの交信部（Ｈ−Ｐ）のスイッチをＯＮして、該装置の交信・制御装置の交信部（Ｐ−Ｈ）と交信し、該装置がハンドラーで把持している被加工品の加工装置であることを照合し、確認する。
（６）照合結果がＮｏであれば、ハンドラーの記憶部のデータを読み出して、他の運搬すべき装置を見いだし、その装置へ運搬する。
（７）該被加工品を該加工装置の一時収納装置へ収納する。収納に関するデータは、該収納装置の記憶部、ハンドラーの記憶部に記憶される。また、取り出しから収納までの一連のデータは被加工品に取り付けてある非接触ＩＣの記憶部に記憶される。加工終了予定時刻もハンドラーへ送信される。加工済み棚の被加工品も、運搬先が記録され、作業者の指示に応じて、内容が表示装置に表示される。
（８）作業者は該加工品加工完了予時刻になる少し前に、音声で加工完了の予告を聞き、さらに目視表示装置に掲示された予告を読みとる。
（９）該加工装置へ受け取りにいく際、作業者は、該加工装置と交信できる場所へ来たら、交信して、加工が完了していることを確認し、受け取る。完了してない場合には、異常事態なので、該加工装置と交信して、異常内容を把握し、所定の処置を講じる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明請求項７に記載のハンドラーの構造例の説明図である。
【図２】図１のハンドラーにおける交信データの処理方法を説明するブロック図である。
【図３】図１のハンドラーの表示装置の表示例である。
【図４】ハンドラーの一部の機能部を着脱可能な一体構造とした場合の構造例である。
【図５】被加工品の生産管理システムにおける生産管理データの流れを示す説明図である。
【符号の説明】
【００８３】
１…把持用アーム
２…把持部
３…画像表示装置
４…取っ手部
５…切り替えスイッチＡ
６…切り替えスイッチＢ
７…ＲＦ−ＩＤタグ用アンテナＡ
８…ＲＦ−ＩＤタグ用アンテナＢ
９…無線交信用アンテナ
１０…光交信用送受信部
１１…データ処理部
１２…音声出力装置
１３…キー入力装置
１０１…フォトマスク用基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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