(57)【要約】【課題】検出部を清掃可能な、そして、これにより長時間の使用に対しても検出能力の低下を防止した光学式センサ、及び、該光学式センサを有する界面検出装置、の提供。【解決手段】検出部の周囲を取り巻くように配設された螺旋部材と、該螺旋部材を駆動する駆動手段とを有し、該駆動手段により前記検出部を前記螺旋部材で擦過させることにより、前記検出部に付着した付着物を除去することを特徴とする光学式センサ。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出部の周囲を取り巻くように配設された螺旋部材と、該螺旋部材を駆動する駆動手段とを有し、
該駆動手段により前記検出部を前記螺旋部材で擦過させることにより、前記検出部に付着した付着物を除去することを特徴とする光学式センサ。
【請求項２】
前記駆動手段は前記螺旋部材を回転させる回転手段を有し、
前記螺旋部材は前記回転手段により回転されることを特徴とする請求項１に記載の光学式センサ。
【請求項３】
前記駆動手段は前記螺旋部材を往復動させる往復手段を有し、
前記螺旋部材は前記往復手段により往復されることを特徴とする請求項１または２に記載の光学式センサ。
【請求項４】
前記螺旋部材は上端が自由端となり、下端が前記螺旋部材を保持する保持部材に固定され、
前記回転手段と前記往復手段とは磁石を有し、気密構造の筐体に内装され、
前記筐体の外部に位置する磁化された前記保持部材は、前記回転手段と前記往復手段の磁石の少なくともいずれかとの磁気カップリング作用により回転又は往復することを特徴とする請求項３に記載の光学式センサ。
【請求項５】
前記螺旋部材は、前記螺旋部材が検出光の光軸を遮った場合でも、該検出光の光量の５０％以上が通過するような、太さ及びピッチを有していることを特徴とする請求項４に記載の光学式センサ。
【請求項６】
検出動作中は前記螺旋部材の原点位置に退避させておくことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学式センサ。
【請求項７】
微粒子を含む液体中で、前記検出部の周囲に付着する付着物を除去することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の光学式センサ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の光学式センサを有することを特徴とする界面検出装置。
【請求項９】
界面は、固形微粒子を含んだ液体の上層（上澄み層）と下層（沈殿層）との境界であることを特徴とする請求項８に記載の界面検出装置。
【請求項１０】
１台の前記光学式センサと、該光学センサを往復させる往復駆動手段と、該光学センサの往復方向の位置を検出する検出手段と、制御手段と、を有し、
該制御手段は、前記往復駆動手段により前記光学センサを往復させ、前記検出手段により前記光学センサの位置を把握させ、
前記光学センサが少なくとも上昇中の出力電圧と、予め設定された、上澄み層と沈殿層との検出電圧の中間の電圧と、を比較し、
前記出力電圧が前記中間の電圧に一致した時点の、前記光学センサの位置を界面と判断し、界面検出情報を出力することを特徴とする請求項８又は９に記載の界面検出装置。
【請求項１１】
複数台の前記光学式センサと第２の制御手段とを有し、
第２の制御手段は、
複数台の前記光学式センサのそれぞれの出力電圧と、予め設定された、上澄み層と沈殿層との検出電圧の中間の電圧と、を読み込み、
前記出力電圧と前記中間の電圧とを比較し、
前記中間の電圧より高い出力電圧を出力する一番下側の前記光学式センサと、前記中間の電圧より低い出力電圧を出力する一番上側の前記光学式センサと、の間に界面が有ると判断し、界面検出情報を出力することを特徴とする請求項８又は９に記載の界面検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
光学式センサ、特に検出部の清掃手段を有する光学式センサ、及び該光学センサを有する界面検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、物体の有無や、液体の混濁度或いは気体の汚れ具合を検出するためのセンサとして、光の通過有無や、光の通過度合いを検出する光学式センサが知られている。
【０００３】
また、この光学センサは投光面或いは受光面が汚れると光の入射量が低下してしまい誤動作の原因となることが知られている。
【０００４】
この問題点を改善するものとして、検出部を清掃する清掃手段を有する光学式センサが知られている。
【０００５】
清掃手段を有する光学式センサとして、例えば、液体の懸濁度合いを検出するもので、検出部を気泡で清掃する光学式センサが知られている（例えば特許文献１参照。）。
【０００６】
また、液体の水質を検出するもので、検出部をブラシで清掃する光学式センサが知られている（例えば特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開２００５−２７４２１６号公報
【特許文献２】特開２００６−１９４６５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に記載された光学式センサでは、投受光器間に気泡を吹き付け、検出部に付着した汚れを除去するために、付着力の弱い汚れに対しては効果が大きいが、付着力が強い汚れに対しては充分汚れを除去できない可能性があるという問題点があった。
【０００８】
また、特許文献２に記載された光学式センサでは、回転するブラシで検出部を擦過し、検出部に付着した汚れを除去するために、付着力が強い汚れに対しても充分汚れを除去可能と思われるが、長時間の使用に対してはブラシに汚れが付着・堆積してしまい、充分汚れを除去できなくなってしまう可能性があるという問題点があった。
【０００９】
本発明は上記問題点に鑑み、検出部を清掃可能な、そして、これにより長時間の使用に対しても検出能力の低下を防止した光学式センサ、及び、該光学式センサを有する界面検出装置、を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
１．検出部の周囲を取り巻くように配設された螺旋部材と、該螺旋部材を駆動する駆動手段とを有し、
該駆動手段により前記検出部を前記螺旋部材で擦過させることにより、前記検出部に付着した付着物を除去することを特徴とする光学式センサ。
【００１１】
２．前記駆動手段は前記螺旋部材を回転させる回転手段を有し、
前記螺旋部材は前記回転手段により回転されることを特徴とする前記１に記載の光学式センサ。
【００１２】
３．前記駆動手段は前記螺旋部材を往復させる往復手段を有し、
前記螺旋部材は前記往復手段により往復されることを特徴とする前記１または２に記載の光学式センサ。
【００１３】
４．前記螺旋部材は上端が自由端となり、下端が前記螺旋部材を保持する保持部材に固定され、
前記回転手段と前記往復手段とは磁石を有し、気密構造の筐体に内装され、
前記筐体の外部に位置する磁化された前記保持部材は、前記回転手段と前記往復手段の磁石の少なくともいずれかとの磁気カップリング作用により回転又は往復することを特徴とする前記３に記載の光学式センサ。
【００１４】
５．前記螺旋部材は、前記螺旋部材が検出光の光軸を遮った場合でも、該検出光の光量の５０％以上が通過するような、太さ及びピッチを有していることを特徴とする前記４に記載の光学式センサ。
【００１５】
６．検出動作中は前記螺旋部材の原点位置に退避させておくことを特徴とする前記１〜５のいずれか１項に記載の光学式センサ。
【００１６】
７．微粒子を含む液体中で、前記検出部の周囲に付着する付着物を除去することを特徴とする前記１〜６のいずれか１項に記載の光学式センサ。
【００１７】
８．前記１〜７のいずれか１項に記載の光学式センサを有することを特徴とする界面検出装置。
【００１８】
９．界面は、固形微粒子を含んだ液体の上層（上澄み層）と下層（沈殿層）との境界であることを特徴とする前記８に記載の界面検出装置。
【００１９】
１０．１台の前記光学式センサと、該光学センサを往復させる往復駆動手段と、該光学センサの往復方向の位置を検出する検出手段と、制御手段と、を有し、
該制御手段は、前記往復駆動手段により前記光学センサを往復させ、前記検出手段により前記光学センサの位置を把握させ、
前記光学センサが少なくとも上昇中の出力電圧と、予め設定された、上澄み層と沈殿層との検出電圧の中間の電圧と、を比較し、
前記出力電圧が前記中間の電圧に一致した時点の、前記光学センサの位置を界面と判断し、界面検出情報を出力することを特徴とする前記８又は９に記載の界面検出装置。
【００２０】
１１．複数台の前記光学式センサと第２の制御手段とを有し、
第２の制御手段は、
複数台の前記光学式センサのそれぞれの出力電圧と、予め設定された、上澄み層と沈殿層との検出電圧の中間の電圧と、を読み込み、
前記出力電圧と前記中間の電圧とを比較し、
前記中間の電圧より高い出力電圧を出力する一番下側の前記光学式センサと、前記中間の電圧より低い出力電圧を出力する一番上側の前記光学式センサと、の間に界面が有ると判断し、界面検出情報を出力することを特徴とする前記８又は９に記載の界面検出装置。
【発明の効果】
【００２１】
上記（課題を解決するための手段）に記載した光学式センサ、及び、該光学式センサを有する界面検出装置により、長期の使用によっても検出能力の低下を防止した光学式センサ、及び該光学式センサを有する界面検出装置、の提供が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【００２３】
なお、本発明の構成は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲内において適宜変更可能である。
【００２４】
なお、同一の機能を有する部材には各図において同一の部番を付してある。
【００２５】
図１は、光学式センサの概念図である。
【００２６】
本発明の光学センサは液体の例えば有無、懸濁度、又、粉体の例えば有無、又、気体の例えば汚れ具合等、の検出に適応可能である。
【００２７】
そして、個体微粒子が浮遊する液体や気体は固体微粒子が検出部に付着しやすく、付着すると光学式センサとしての検出能力を著しく低下させるために、後述する検出部の清掃手段を有する光学式センサを使用することが好ましい。
【００２８】
以下図１を参照して、例えば透過型の光学センサを利用して液体の有無を検出する場合について説明する。
【００２９】
光学式センサ１は固体微粒子を含む被検出液Ｌの中に浸積してあり、投光部１１から投光された光Ｈが受光部１２で検出或いは被検出されることにより、液体Ｌの有無を検出している。
【００３０】
そして、投光部１１及び受光部１２にはそれぞれ清掃手段２が設けられている。
【００３１】
清掃手段２は、検出部即ち投光部１１及び受光部１２を清掃する螺旋部３と、螺旋部３を駆動する螺旋駆動部４と、を有している。
【００３２】
螺旋部３は、検出部即ち投光部１１及び受光部１２の周囲を取り巻くように配設されており、投光窓１１１又は受光窓１２１の表面を擦過して清掃する螺旋部材３１と螺旋部材３１の下端が固定されたリング状の螺旋保持部材３２とを有している。
【００３３】
そして螺旋部３は、通常は重力により付勢されて螺旋保持部材３２が螺旋部ストッパ３３に接している（図示）。
【００３４】
以下、螺旋保持部材３２が螺旋部ストッパ３３に接している、螺旋部３の位置を原点位置とも記す。
【００３５】
また、螺旋部材３１は螺旋駆動部４により付勢され、矢印ａ方向に回転又は、矢印ａ方向に回転しながら矢印ｂ方向に往復することにより、投光窓１１１又は受光窓１２１の表面を擦過して、投光窓１１１又は受光窓１２１の表面に付着した付着物を除去（清掃）する。
【００３６】
なお、図示では螺旋部材３１が投光窓１１１又は受光窓１２１に懸かっていないが、回転のみの場合は螺旋部ストッパ３３は、図示の状態より上部に位置して、螺旋部材３１が常に投光窓１１１又は受光窓１２１に懸かかるようになっている（不図示）。
【００３７】
また、回転しながら往復する場合は螺旋部ストッパ３３は図示の位置に位置し、螺旋部材３１が往復することにより投光窓１１１又は受光窓１２１に懸かかるようになっている。
【００３８】
また、螺旋部ストッパ３３は螺旋部３が落下しないためのストッパの機能、及び螺旋部３の原点位置としての機能を持っている。
【００３９】
光学式センサ１は後述するコントローラ６に接続されている。
【００４０】
そして、被検出液Ｌに応じた、液の有無を検出するスレショルド電圧が予め記憶されており、被検出液Ｌの有無検出時に該スレショルド電圧を読み出して、受光部材１２２による検出電圧と比較し、被検出液Ｌの有無を判定する。
【００４１】
なお、液の有無を検出するスレショルド電圧は、液がない場合を検出した時の出力電圧と液がある場合を検出した時の出力電圧との中間の電圧を設定（記憶）する。
【００４２】
図２は、光学式センサの部分断面図である。
【００４３】
図は図１の投光部１１側を示す断面図で、例えば透過型の検出方法を利用したものである。
【００４４】
１０はセンサ筐体で、被検出液Ｌの浸入を防止するように密閉構造となっている。
【００４５】
そして、投光部１１には投光部材１１２から発せられる光Ｈを通す投光窓１１１が配設され、受光部１２には小型で光Ｈを受光部材１２２で受光するための受光窓１２１が配設されている。
【００４６】
投光部材１１２としては光を発するもので有れば良いが、被検出液Ｌの光（具体的には光の波長）に対する性質により選択される。
【００４７】
例えば、光により変性しない液体の場合は例えば可視光（例えば赤、緑、青色）を発するＬＥＤ等を用いることが可能で、可視光で変性してしまうような液体の場合（感光性が有るような液体の場合）は非可視波長領域の光を発する、例えば赤外線や近赤外線を発するＬＥＤ等が好適に用いられる。
【００４８】
また、受光部材１２２は投光部材１１２の発する光に応じた感光領域を有する小型のセンサが用いられる。
【００４９】
投光窓１１１と受光窓１２１は少なくとも投光部材１１２が発する光を効率よく透過する材料であれば良く、且つ螺旋部材３１の擦過により摩耗しない材質が選択される。例えば透明なガラス、プラスチック材料（例えばフッ素係樹脂）、が挙げられる。
【００５０】
螺旋部材３１は、被検出液Ｌに浸食されず、付着物に対して離形性が良い材質〔金属例えばＳＵＳ等、又はプラスチック材料（例えばフッ素係樹脂）〕で構成され、螺旋状（弦巻状）をなしており、その下端部が螺旋保持部材３２の上面に固定され、上端部は自由端となっている。
【００５１】
螺旋部材３１の内径は投光部１１或いは受光部１２の外径より僅かに大きくなっており、回転或いは往復する時に投光窓１１１又は受光窓１２１の表面を擦過する。
【００５２】
ここで、僅かに大きくなっているとは、投光窓１１１又は受光窓１２１の外径と螺旋部材３１の内径との間隙が、投光窓１１１又は受光窓に付着した、除去したい汚れの厚さより小さい距離を言う。
【００５３】
例えば投光部１１又は受光部１２の外径が２０ｍｍとすると螺旋部材３１の内径は２０．１〜２０．５ｍｍ程度が好ましい。
【００５４】
なお、回転及び往復動が可能で有れば間隙は０でも良い。
【００５５】
また、螺旋部材３１の断面形状は円形が好ましいが、四角形、三角形でも良い。
【００５６】
また、螺旋部材３１は、螺旋部材３１が光Ｈの光軸を遮った場合でも光量の５０％以上が通過するようになっている。
【００５７】
また、螺旋部材３１の巻き方向は、螺旋部材３１が矢印ａ方向に回転した場合に、付着物を投光部１１及び受光部１２の先端方向に向けて付勢し、先端部（自由端側）から付着物を排出（除去）する方向に巻かれている。
【００５８】
螺旋保持部材３２は上述したように螺旋部材３１の下端部が固定されたリング状をなし、強磁性体で構成されており、着磁されて磁石となっている。
【００５９】
螺旋駆動部４は、螺旋保持部材３２と磁気カップリングをなす磁石４１と、磁石４１を矢印ａ方向に回転させる回転駆動部４２と、磁石４１を矢印ｂ方向に往復させる往復駆動部４３とを有している。
【００６０】
往復駆動部４３はモータ４３１とモータ４３１の出力軸から延びるネジ部４３２とネジ部４３２に嵌合して回転駆動部４２を往復させる回転駆動部保持部材４３３とを有している。
【００６１】
そして、モータ４３１は前述のコントローラ６に接続され、モータ４３１の作動によりネジ部４３２等を介して回転駆動部４２を往復させる。
【００６２】
回転駆動部４２はモータ４２１とモータ４２１の出力軸４２２に固定された磁石４１とを有している。
【００６３】
そして、モータ４２１は前述のコントローラ６に接続され、モータ４２１の作動により出力軸４２２を介して磁石４１を回転させる。
【００６４】
螺旋保持部材３２と磁石４１とは磁気カップリングを形成し、磁石４１の回転及び往復動に応じて螺旋保持部材３２も回転及び往復動を行う。
【００６５】
そしてその結果、螺旋保持部材３２に固定された螺旋部材３１が、磁気カップリング作用により回転及び往復動を行い、前述したように、投光窓１１１又は受光窓１２１の表面を擦過し、投光窓１１１又は受光窓に付着した付着物を除去する。
【００６６】
なお、コントローラ６は、電源投入時、又は電源投入時と所定時間毎と、に清掃手段２を作動させ、上述した、回転或いは往復動作による投光窓１１１又は受光窓１２１の清掃（表面の擦過）を行なわせる。
【００６７】
なお、検出動作中、例えば液体Ｌの有無を検出中は清掃手段２の作動を遅らせ、清掃手段２を原点位置に退避させておく。
【００６８】
また、清掃を完了すると、モータ４２１を停止させ、且つ螺旋部３が原点位置に来るまでモータ４３１を逆転して停止させ、次の清掃に備える。
【００６９】
以上、光学式センサ１或いは反射型の光学式センサ５と、コントローラ６と、を別体として説明したが、コントローラ６の構成・機能を光学式センサ１或いは反射型の光学式センサ５内部に持たせることが可能であることは言うまでもない。
【００７０】
以上、図１及び２を参照して説明したように、螺旋部材３１を回転或いは往復させ、投光窓１１１又は受光窓１２１の表面を擦過することで、付着物の除去が可能となり、これにより付着物による検出能力の低下を防止した光学式センサの提供が可能となる。
【００７１】
図３は、反射型の光学式センサの部分断面図である。
【００７２】
反射型の光学式センサ５は投光部１１及び受光部１２に対し、これらに相当する投受光部１３が異なるのみである。
【００７３】
このため、投受光部１３以外の説明を省略する。
【００７４】
投受光部１３は、投受光部材１３２を有し、投光器から発射された光Ｈは、投受光窓１３１を通過して被検出物（被検出液Ｌ）に反射されて受光器に戻り、被検出液Ｌの有無を検出する。
【００７５】
投受光部材１３２としては投光器と受光器が一体となったフォトカプラ形式のセンサが好ましいが、個別の投光器と受光器とを組み合わせても良い。
【００７６】
以上説明したように、投光器と受光器とを一体として纏めることが出来るので図２に示した透過型の光電式センサに比べて、光学式センサを小型に出来、更に投光部と受光部とを個々に設ける必要がないためコストダウンが図れる。
【００７７】
以下に界面を検出する界面検出装置について説明するが、界面検出装置は、固形微粒子を含んだ気体又は液体であって、当初は固形微粒子が浮遊した状態で懸濁していても、時間の経過と共に固形微粒子が次第に沈下して上層と下層とに分離するもので有れば、好適に使用可能である。
【００７８】
また、このような個体微粒子が浮遊する液体や気体は固体微粒子が検出部に付着しやすく、付着すると光学式センサとしての検出能力を著しく低下させるために、検出部の清掃手段を有する光学式センサを使用することが好ましい。
【００７９】
図４は、１式の光学式センサを有する界面検出装置の概念図である。
【００８０】
以下、固形微粒子を含んだ液体の上層（上澄み層）と下層（沈殿層）との境界の検出について図４を参照して説明する。
【００８１】
固形微粒子を含んだ液体は、当初は固形微粒子が液体中に浮遊した状態で懸濁した液体Ｌ’となっている。
【００８２】
しかし、時間の経過と共に固形微粒子は次第に沈下して上澄み層Ｌ’１と沈殿層Ｌ’２とに分離する。
【００８３】
ここで、分離した上澄み層Ｌ’１と沈殿層Ｌ’２との境界を界面Ｚと記す。
【００８４】
又、図は懸濁した液体が上澄み層Ｌ’１と沈殿層Ｌ’２とに分離した状態を示している。
【００８５】
なお、使用する光学式センサは透過型の上述した光学式センサ１でも反射型の光学式センサ５でも良いが、以下光学式センサ１を用いた場合について説明する。
【００８６】
１式の光学式センサを有する界面検出装置８は、１式の光学式センサ１と光学式センサ１を矢印ｃ方向に往復させるセンサ往復装置７とコントローラ６とを有している。
【００８７】
センサ往復装置７は不図示のモータ等により光学式センサ１を矢印ｃ方向往復させる。
【００８８】
コントローラ６は、例えばＣＰＵや記憶手段等を有する制御手段（不図示）と、光学式センサ１の往復方向の位置を検出する不図示の位置検出手段と、を有し、界面検出装置８をコントロールしている。
【００８９】
コントローラ６の記憶手段には、各種の固形微粒子毎の懸濁した液体Ｌ’に応じた界面Ｚを検出するスレショルド電圧が予め記憶されている。
【００９０】
ここで、界面を検出するスレショルド電圧は、上澄み層Ｌ’１を検出した時の出力電圧と沈殿層Ｌ’２を検出した時の出力電圧との中間の電圧を設定（記憶）する。
【００９１】
オペレータが検出開始操作を行うと、制御手段（不図示）はセンサ往復装置７を作動させて、光学式センサ１を下端の原点位置（実線）から上昇端（破線）まで上昇させる。
【００９２】
そして、上昇中に検出した受光部材１２２（図２）の出力電圧を取り込み、取り込んだ出力電圧と予め記憶された界面Ｚを検出するスレショルド電圧とを読み出して、該出力電圧とスレショルド電圧とを比較する。
【００９３】
なお、一般的に沈殿層Ｌ’２より上澄み層Ｌ’１における光の透過率が高いので、上澄み層Ｌ’１における出力電圧Ｅ１は、沈殿層Ｌ’２における出力電圧Ｅ２より高い。
【００９４】
また、制御手段（不図示）は上昇中に位置検出手段（不図示）により光学式センサ１の位置を読み出し、光学式センサ１の位置を把握する。
【００９５】
そして、出力電圧がスレショルド電圧と一致すると、一致した時点に位置検出手段（不図示）で読み込んだ位置を、界面Ｚと判断して界面検出情報を出力する。
【００９６】
なお、コントローラ６は、電源投入時、又は電源投入時と所定時間毎、又は被検出液を投入後所定時間経過後に、前述した清掃手段２を作動させ、回転或いは往復動作による投光窓１１１又は受光窓１２１の清掃（表面の擦過）を行なわせる。
【００９７】
以上説明したように、１つの光学式センサを往復方向に移動させることにより小型の界面検出装置の提供が可能となる。
【００９８】
そして、付着物による検出能力の低下を防止した界面検出装置の提供が可能となる。
【００９９】
図５は、複数式の光学式センサを有する界面検出装置の概念図である。
【０１００】
以下、固形微粒子を含んだ液体の上層（上澄み層）と下層（沈殿層）との境界の検出について図５を参照して説明する。
【０１０１】
図は懸濁した液体が、上澄み層Ｌ’１と沈殿層Ｌ’２とに分離した状態を示している。
【０１０２】
なお、使用する光学式センサは上述した光学式センサ１でも反射型の光学式センサ５でも良いが、以下光学式センサ１を用いた場合について説明する。
【０１０３】
複数式の光学式センサを有する界面検出装置９は、複数式の光学式センサ１（１ａ〜１ｆ）とコントローラ６とを有している。
【０１０４】
コントローラ６は、例えばＣＰＵや記憶手段等を有する制御手段（不図示）を有し、界面検出装置９をコントロールしている。
【０１０５】
コントローラ６の記憶手段には、前述したように各種の固形微粒子毎の懸濁した液体Ｌ’に応じた界面Ｚを検出するスレショルド電圧が予め記憶されている。
【０１０６】
オペレータが検出開始操作を行うと、制御手段（不図示）は複数式の光学式センサ１（１ａ〜１ｆ）の受光部材１２２（図２）の出力電圧を読み込み、読み込んだ出力電圧と、予め記憶された界面Ｚを検出するスレショルド電圧を読み出して、該出力電圧とスレショルド電圧とを比較する。
【０１０７】
なお、界面Ｚを検出するスレショルド電圧は、上澄み層Ｌ’１を検出した時の出力電圧と沈殿層Ｌ’２を検出した時の出力電圧との中間の電圧を設定（記憶）する。
【０１０８】
そして、出力電圧がスレショルド電圧より高い一番下側の光学式センサ１と、出力電圧がスレショルド電圧より低い一番上側の光学式センサ１と、の間に界面Ｚが有ると判断し、界面検出情報を出力する。
【０１０９】
なお、コントローラ６は、電源投入時、又は電源投入時と所定時間毎、又は被検出液を投入後所定時間経過後に、前述した、清掃手段２を作動させ、回転或いは往復動作による投光窓１１１又は受光窓１２１の清掃（表面の擦過）を行なわせる。
【０１１０】
以上説明したように、複数の光学式センサを設けることにより、可動部分の無い界面検出装置の提供が可能となる。
【０１１１】
そして、これにより故障の発生が少ない、且つ付着物による検出能力の低下を防止した界面検出装置の提供が可能となる。
【０１１２】
以上、回転駆動部４２と往復駆動部４３とにより機械的に螺旋部材３１を往復・回転させながら投光窓１１１又は受光窓１２１の表面を擦過して付着物を除去（清掃）する構成について説明したが、被検出液Ｌの粘性が低く付着物の付着力が低いような場合は、螺旋部材３１に例えば斜めに傾いたタービン状の羽根を配設し、被検出液Ｌの流動を利用してタービン状の羽根を往復・回転方向に付勢させ、螺旋部材３１を往復・回転させることにより投光窓１１１又は受光窓１２１の表面を擦過して付着物を除去（清掃）するようにしても良い。
【０１１３】
また、タービン状の羽根でなく垂直及び水平方向の２種類の羽根を配設して、螺旋部材３１を往復・回転させるようにしても良い。
【０１１４】
これにより、より簡単な構造の安価な光学式センサを得ることができる。
【０１１５】
また、上述した光学式センサ及び界面検出装置は、特開２００７−２１８９５３に記載された水系微粒子の有機溶媒等の界面検出に応用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】光学式センサの概念図である。
【図２】光学式センサの部分断面図である。
【図３】反射型の光学式センサの部分断面図である。
【図４】１式の光学式センサを有する界面検出装置の概念図である。
【図５】複数式の光学式センサを有する界面検出装置の概念図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１  光学式センサ
２  清掃手段
３  螺旋部
４  螺旋駆動部
５  反射型の光学式センサ
８  １式の光学式センサを有する界面検出装置
９  複数式の光学式センサを有する界面検出装置
１１  投光部
１２  受光部
３１  螺旋部材
３２  螺旋保持部材
４１  磁石
４２  回転駆動部
４３  往復駆動部
１１２  投光部材
１２２  受光部材
Ｌ  被検出液
Ｌ’  懸濁液
Ｌ’１  上澄み層
Ｌ’２  沈殿層
Ｚ  界面（境界）
【図１】
2009257822.tif 000003
【図２】
2009257822.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2009257822.tif 000007