(57)【要約】【課題】ワークの表面処理を安定に行うことができる浸漬処理装置を提供する。【解決手段】ワークＷを処理溶液に浸漬することによりワークＷの表面処理を行う浸漬処理装置１であって、貯留した処理溶液によりワークＷを浸漬処理する処理槽部５Ａ、処理槽部５Ａに処理溶液を補充する補充槽部５Ｂ、および処理槽部５Ａと補充槽部５Ｂとを画成すると共に処理槽部５Ａの処理溶液を補充槽部５Ｂにオーバーフローさせる隔板４２、を有するワーク処理槽５と、補充槽部５Ｂと処理槽部５Ａとを連通する補充流路７８と、補充流路７８に介設され、補充槽部５Ｂの処理溶液を処理槽部５Ａに送液する往ポンプ３４と、往ポンプ３４を制御する制御手段９と、を備え、制御手段は、１の浸漬処理と次の浸漬処理との間の処理待ち時に、往ポンプ３４を駆動して処理槽部５Ａに処理溶液を補充する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを処理溶液に浸漬することにより前記ワークの表面処理を行う浸漬処理装置であって、
貯留した処理溶液により前記ワークを浸漬処理する処理槽部、前記処理槽部に前記処理溶液を補充する補充槽部、および前記処理槽部と前記補充槽部とを画成すると共に前記処理槽部の前記処理溶液を前記補充槽部にオーバーフローさせる隔板、を有するワーク処理槽と、
前記補充槽部と前記処理槽部とを連通する補充流路と、
前記補充流路に介設され、前記補充槽部の前記処理溶液を前記処理槽部に送液する送液手段と、
前記送液手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、１の前記浸漬処理を行っている間、前記送液手段を停止状態とすることを特徴とする浸漬処理装置。
【請求項２】
前記制御手段は、１の前記浸漬処理と次の前記浸漬処理との間の処理待ち時に、前記送液手段を駆動し、前記処理槽部に前記処理溶液を補充することを特徴とする請求項１に記載の浸漬処理装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記処理待ち時毎に前記送液手段を駆動し、前記処理槽部からオーバーフローするまで前記処理溶液を補充することを特徴とする請求項２に記載の浸漬処理装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記送液手段による前記処理溶液の補充をタイマー制御で行うことを特徴とする請求項２または３に記載の浸漬処理装置。
【請求項５】
前記補充流路は、上流端で前記補充槽部の下部に接続され、下流端で前記処理槽部の下部に接続されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の浸漬処理装置。
【請求項６】
前記処理槽部の底部および前記補充槽部の底部には、前記処理溶液を廃液するための廃液流路に連通する集液部がそれぞれ設けられ、
前記処理槽部の底面および前記補充槽部の底面は、それぞれ各集液部に向って下り勾配に形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の浸漬処理装置。
【請求項７】
前記処理溶液は、前記ワーク処理層に導入した溶媒に溶剤を投入し混合したものであり、
前記制御手段は、前記送液手段を駆動し、前記処理溶液を前記処理槽部から前記補充槽部を経て前記処理槽部に戻す循環を繰り返すことで、前記溶媒と前記溶剤とを混合することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の浸漬処理装置。
【請求項８】
前記ワーク処理槽を開閉する開閉蓋を、更に備え、
前記ワーク処理槽の上周縁部には、閉塞した前記開閉蓋との間をシールするシール部材が埋め込まれていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の浸漬処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象物であるワークを処理溶液に浸漬することにより前記ワークの表面処理を行う浸漬処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の浸漬処理装置として、ワークに対して表面処理を行う浸漬槽（処理タンク）と、浸漬槽からオーバーフローしたコーティング用液体（処理溶液）を回収する貯液槽（補充層）と、貯液槽と浸漬槽とを接続する配管と、配管に介設され、コーティング用液体中に混入した異物を除去するフィルタと、配管に介設され、貯液槽のコーティング用液体を浸漬槽に送液するポンプと、を有するコーティング装置が知られている（特許文献１参照）。このコーティング装置では、定量ポンプやディスペンサ等の液体定量吐出装置又は点滴装置を用いて、コーティング用液体の有機溶媒を貯液槽に短時間間隔で連続的に補充する一方、ポンプを駆動し、コーティング用液体を浸漬槽からオーバーフローさせながら、貯液槽と浸漬槽との間で循環させる。これにより、コーティング用液体の濃度を一定に保ち、コーティング膜厚を一定に保持するようにしている。
【特許文献１】特開２００４−１１３９３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このように、従来の浸漬処理装置は、コーティング用液体の濃度を一定に保つため、コーティング用液体を貯液槽と浸漬槽との間で循環させるようにしている。このため、使用するコーティング用液体（処理溶液）にもよるが、浸漬槽における液面の波立ちにより、ワークの引上げ時に成膜が不安定になり、コーティング膜厚が不均一になる（縞模様となる）問題があった。
【０００４】
本発明は、ワークの表面処理を安定に行うことができる浸漬処理装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の浸漬処理装置は、ワークを処理溶液に浸漬することによりワークの表面処理を行う浸漬処理装置であって、貯留した処理溶液によりワークを浸漬処理する処理槽部、処理槽部に処理溶液を補充する補充槽部、および処理槽部と補充槽部とを画成すると共に処理槽部の処理溶液を補充槽部にオーバーフローさせる隔板、を有するワーク処理槽と、補充槽部と処理槽部とを連通する補充流路と、補充流路に介設され、補充槽部の処理溶液を処理槽部に送液する送液手段と、送液手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、１の浸漬処理を行っている間、送液手段を停止状態とすることを特徴とする。
【０００６】
この場合、制御手段は、１の浸漬処理と次の浸漬処理との間の処理待ち時に、送液手段を駆動し、処理槽部に処理溶液を補充することが、好ましい。
【０００７】
これらの構成によれば、送液手段を駆動し、補充槽部に貯留された処理溶液を処理槽部に送液することで、補充槽部から処理槽部に処理溶液を補充されるが、１の浸漬処理を行っている間、送液手段を停止状態とするようにしているため、１の浸漬処理時において、処理溶液の補充は行われず、処理槽部の液面が波立つことがない。したがって、ワークの表面処理を安定に行うことができる。また、１の浸漬処理と次の浸漬処理との間の処理待ち時に、処理槽部に処理溶液を補充するため、次の浸漬処理に処理溶液の補充が影響を及ぼすことがない。
【０００８】
また、制御手段は、処理待ち時毎に送液手段を駆動し、処理槽部からオーバーフローするまで処理溶液を補充することが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、処理待ち時毎に且つ処理槽部からオーバーフローするまで処理溶液を補充するようにしているため、処理槽部において浸漬処理毎に常に同一の液位で処理が行われることになる。このため、常にワークの表面処理を安定に行うことができる。
【００１０】
この場合、制御手段は、送液手段による処理溶液の補充をタイマー制御で行うことが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、処理溶液のオーバーフローと相俟って、簡単な制御動作により処理溶液の補充を確実に行うことができる。
【００１２】
これらの場合、補充流路は、上流端で補充槽部の下部に接続され、下流端で処理槽部の下部に接続されていることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、処理溶液の補充時にあっても、処理槽部の液面の波立ちを抑制することができるため、波立ちが収まる時間を短縮することができ、全体としてワーク処理のタクトタイムを短縮することができる。
【００１４】
この場合、処理槽部の底部および補充槽部の底部には、処理溶液を廃液するための廃液流路に連通する集液部がそれぞれ設けられ、処理槽部の底面および補充槽部の底面は、それぞれ各集液部に向って下り勾配に形成されていることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、処理槽部および補充槽部に貯留された処理溶液を廃液する際に、全ての処理溶液を送液することができ、同時に処理溶液に混入した異物も排出することができる。したがって、処理溶液に異物が混入した場合でも、処理溶液を入れ替える（使捨てする）ことにより、処理槽部の処理溶液をきれいな状態に保ち、適切に表面処理することができる。或いは、全て処理溶液を抜き取ってからフィルタリングすることで、濾過効率を向上させることができる。
【００１６】
この場合、処理溶液は、ワーク処理槽に導入した溶媒に溶剤を投入し混合したものであり、制御手段は、送液手段を駆動し、処理溶液を処理槽部から補充槽部を経て処理槽部に戻す循環を繰り返すことで、溶媒と溶剤とを混合することが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、新たに処理溶液を調整するときに、送液手段を活用し、ワーク処理槽に貯留した溶媒に溶剤を完全に溶け込ませることができる。したがって、処理溶液の濃度を一定に保つことができ、適切に表面処理することができる。
【００１８】
この場合、ワーク処理槽を開閉する開閉蓋を、更に備え、ワーク処理槽の上周縁部には、閉塞した開閉蓋との間をシールするシール部材が埋め込まれていることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、処理槽部へワークの搬入および搬出するとき以外は、開閉蓋によりワーク処理槽を密閉することができるため、処理溶液（の溶媒）の気化を抑制することができ、安定な表面処理が可能になる。また、稼動待機時にもワーク処理槽は開閉蓋により密閉されているため、ワーク処理槽に貯留されている処理溶液に異物が混入するのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係る浸漬処理装置について説明する。この浸漬処理装置は、処理溶液にワークを浸漬してコーティング等の表面処理を行う、いわゆるＤｉｐコータである。
【００２１】
図１および図２に示すように、浸漬処理装置１は、下部のタンクキャビネット２と、タンクキャビネット２の上面に配設した機台３と、機台３上に設置され、ワーク処理槽５を有する処理装置本体４と、処理装置本体４を収容し、機台３の上部空間を覆うようにして設けられた装置カバー６と、を備えている。タンクキャビネット２および装置カバー６は、図外の排気設備に連通しており、内部雰囲気が適宜換気されるようになっている。また、浸漬処理装置１には、装置カバー６の背面側に設けた電装ボックス７と、装置カバー６の正面（前面）に設けた制御装置本体８とから成る制御装置９が組み込まれている。
【００２２】
処理対象物であるワークＷは、方形の金属板であり、その複数枚（２０枚）を単位としてワークマガジン１１に収容して、浸漬処理装置１に対し徐給材される。より具体的には、複数枚のワークＷを並べて収容した２個のワークマガジン１１，１１が、マガジントレイ１２に搭載され、マガジントレイ１２と共に２個のワークマガジン１１，１１が一括して、浸漬処理装置１に対し徐給材される。そして、複数枚のワークＷは、ワークマガジン１１と共にワーク処理槽５に浸漬され、表面処理される。
【００２３】
処理装置本体４は、ワークを浸漬処理するワーク処理槽５と、ワーク処理槽５の上端開放部を開閉する開閉蓋１４と、ワーク処理槽５に隣接するワーク給材部１５に配設したマガジンセット機構１６と、複数枚のワークＷをワークマガジン１１と共に、ワーク給材部１５とワーク処理槽５との間で浸漬移動させる浸漬移動機構１７と、ワーク処理槽５に対し開閉蓋１４を開閉移動させる蓋移動機構１８と、を備えている。ワーク処理槽５とマガジンセット機構１６とは、機台３の前部に配設され、浸漬移動機構１７と蓋移動機構１８とは、上下に重なった状態で機台３の後部に配設されている。
【００２４】
浸漬移動機構１７は、ワークマガジン１１をフッキングしてワーク処理槽５の直上部まで移動させ、蓋移動機構１８が開閉蓋１４を開放するのを待って、ワークマガジン１１をワーク処理槽５に浸漬する。この浸漬処理では、浸漬移動機構１７は、ワークマガジン１１を処理溶液にゆっくり沈めてゆき、液面の波立ちが静まるのを待ってゆっくり引き上げてゆく。これにより、ワークマガジン１１内の複数枚のワークＷに表面処理が適切に行われる。後述するように、処理溶液は揮発性の高い溶媒を含んでおり、このワークマガジン１１の引き上げ中に、ワークマガジン１１やワークＷに付着した処理溶液（溶媒）は、急速に気化してゆく（乾燥）。ワークマガジン１１の引き上げが完了すると、直ちに蓋移動機構１８が開閉蓋１４を閉塞する。一方、引き上げられたワークマガジン１１は、ワーク給材部１５のマガジントレイ１２に戻される。以上の動作を２回行って、２個のワークマガジン（ワークＷ）１１，１１の浸漬処理が終了したら、ワークマガジン１１をマガジントレイ１２と共に徐材し、新たなワークマガジン（未処理のワークＷ）１１を給材する。
【００２５】
一方、タンクキャビネット２内には、ワーク処理槽５に処理溶液を供給する給液タンク２１と、使用済みの処理溶液をワーク処理槽５から回収する廃液タンク２２と、フィルタリングのためにワーク処理槽５から処理溶液を抜き取って回収するバッファタンク２３と、が収容されている。さらに、タンクキャビネット２内には、これらタンク２１，２２，２３に併設するように、各種のポンプおよびバルブが各種配管（詳細は後述する。）と共に収容されている。
【００２６】
処理溶液は、表面処理の主成分となる溶剤と、溶剤を溶かし込む溶媒とから成り、溶媒は給液タンク２１からワーク処理槽５に供給され、溶剤はワーク処理槽５の供給した溶媒に直接投入され混合される。また、溶媒には、揮発性の高いものが用いられている。このため、ワーク処理槽５は、浸漬処理を実施するとき以外は、上記の開閉蓋１４で気密に閉塞され、また浸漬処理時にワーク処理槽５から蒸散した気化溶媒は、装置カバー６内の雰囲気と共に排気ダクト２５を介して、上記の排気設備（排気処理設備）に排気される。
【００２７】
図３の配管系統図に示すように、処理装置本体４は、上述したワーク処理槽５、給液タンク２１、廃液タンク２２およびバッファタンク２３を備えると共に、ワーク処理槽５と給液タンク２１およびバッファタンク２３を接続する往流路３１と、ワーク処理槽５と廃液タンク２２およびバッファタンク２３を接続する返流路３２と、往流路３１と返流路３２とを接続するバイパス流路３３と、往流路３１の介設した往ポンプ（送液手段）３４と、返流路に介設した返ポンプ３５と、を備えている。
【００２８】
ワーク処理槽５は、ワークＷを直接表面処理する処理槽部５Ａと、処理槽部５Ａに処理溶液を補充するための補充槽部５Ｂと、処理槽部５Ａと補充槽部５Ｂとを画成すると共に処理槽部５Ａの処理溶液を補充槽部５Ｂにオーバーフローさせる隔板４２、とを有している。
【００２９】
図４および図５に示すように、ワーク処理槽５は、ドレンパン２７上に設置されており、ステンレス等で略方形に形成されている。また、ワーク処理槽５は、内部を隔板４２により処理槽部５Ａと補充槽部５Ｂとに画成した処理槽本体４１と、処理槽本体４１をドレンパン２７上に支持する４つの脚片４３と、処理槽本体４１の上端部に設けられ上記の開閉蓋１４を受ける蓋載置部４４と、で構成されている。蓋載置部４４には、開閉蓋１４との間隙をシールする蓋シール４５が上向きに埋め込まれている。
【００３０】
処理槽部５Ａの底部４７は、隔板４２の位置から対向する側壁４８に向って下り傾斜（下り勾配）に形成され、側壁４８側の中央には集液部となる処理槽排水口４９が形成されている。同様に、補充槽部５Ｂの底部５１は、隔板４２の位置から対向する側壁５２に向って下り傾斜（下り勾配）に形成され、側壁５２側の中央には集液部となる補充槽排水口５３が形成されている。そして、この処理槽排水口４９および補充槽排水口５３は、後述する補充流路７８に接続されている。すなわち、補充流路７８は、上流端で補充槽部５Ｂの下部に接続され、下流端で処理槽部５Ａの下部に接続されている。
【００３１】
また、図中の符号５５は、補充槽部５Ｂの底部５１から立ち上がった（補充槽排水口５３に隣接している）オーバーフロー管であり、例えば給液タンク２１から処理溶液の供給停止が誤作動により実施されない場合に、この部分から処理溶液を排液し、ワーク処理槽５から処理溶液が溢れるのを防止している。なお、処理槽部５Ａの底部４７を、処理槽排水口４９に向かってロート状の下り勾配とすることが、好ましい。同様に、補充槽部５Ｂの底部５１にあっても、補充槽排水口５３に向かってロート状の下り勾配とすることが、好ましい。また、バッファタンク２３の底部にあっても、上記のような形態とすることが、好ましい。
【００３２】
図３に示すように、往流路３１は、下流端を処理槽部５Ａに接続した主往流路６１と、主往流路６１の上流端に合流する循環往流路６２および給液流路６３と、で構成されている。主往流路６１には、上記の往ポンプ３４が介設され、往ポンプ３４の下流側には、フィルタ３６および送液センサ３７が介設されている。また、往ポンプ３４の上流側に位置して主往流路６１には、第２合流切替バルブ６５が介設され、第２合流切替バルブ６５には、バイパス流路３３が合流接続されている。さらに、主往流路６１の上流端には、第１合流切替バルブ６４を介して、バッファタンク２３に接続した循環往流路６２および給液タンク２１に接続した給液流路６３がそれぞれ接続されている。また、循環往流路６２は、バッファタンク２３の底部に接続され、給液流路６３は、給液タンク２１の上端部に接続され、その先端は給液タンク２１の底部近傍に達している。
【００３３】
一方、返流路３２は、補充槽部５Ｂと処理槽部５Ａとを通連する連通する連通流路６７と、連通流路６７の中間位置から分岐した主返流路６８と、主返流路６８の下流端から分岐した廃液流路６９および循環返流路７０と、で構成されている。連通流路６７は、主返流路６８の分岐部を境にして、処理槽部５Ａに接続された処理側短流路７１と補充槽部５Ｂに接続された補充側短流路７２とから成り、処理側短流路７１には処理側開閉バルブ７３が、補充側短流路７２には補充側開閉バルブ７４がそれぞれ介設されている。
【００３４】
主返流路６８には、上記の返ポンプ３５が介設され、返ポンプ３５の上流側には、第１分岐切替バルブ７５を介して上記のバイパス流路３３が分岐接続されている。そして、主返流路６８の下流端には、第２分岐切替バルブ７６を介して、廃液タンク２２に接続した廃液流路６９およびバッファタンク２３に接続した循環返流路７０がそれぞれ接続されている。また、廃液流路６９は、廃液タンク２２の上端部に接続され、同様に循環返流路７０は、バッファタンク２３の上端部に接続されている。なお、実施形態にいう補充流路７８は、補充側短流路７２、第１分岐切替バルブ７５までの主返流路６８、バイパス流路３３および第２合流切替バルブ６５以降の主往流路６１により、構成されている。
【００３５】
次に、図３を参照して、上記の制御装置９による浸漬処理装置１の運転方法について説明する。浸漬処理装置１の運転動作には、表面処理に先立って、給液タンク２１に貯留された処理溶液（溶媒）をワーク処理槽５に給液して溶剤と混合する調整動作と、処理溶液を補充槽部５Ｂから処理槽部５Ａに補充する補充動作と、処理溶液中の異物をフィルタ３６を通過させて除去する濾過動作と、使用済みの処理溶液を廃液タンク２２に廃棄する廃液動作と、がある。
【００３６】
調整動作では、第１合流切替バルブ６４を給液流路６３側に切り替えると共に、第２合流切替バルブ６５を主往流路６１側に切り替え、往ポンプ３４を駆動する。これにより、給液タンク２１の処理溶液（溶媒）はワーク処理槽５に給液され、その後、ワーク処理槽５に貯留する処理溶液（溶媒）に所定の濃度になるように少量の溶剤を添加する。次に、処理側開閉バルブ７３を「閉」、補充側開閉バルブ７４を「開」とし、且つ第１分岐切替バルブ７５および第２合流切替バルブ６５を、それぞれバイパス流路３３側に切り替え、往ポンプ３４を駆動する。これにより、補充槽部５Ｂの処理溶液は、補充側短流路７２、主返流路６８、バイパス流路３３および主往流路６１（合せて補充流路７８）を流れて処理槽部５Ａに送液され、更に処理槽部５Ａからオーバーフローして補充槽部５Ｂに戻る。この循環動作を複数回（実際には、所定時間）繰り返すことにより、処理溶液（溶媒）と溶剤とが均一に混合して、所定濃度の処理溶液が調整される。
【００３７】
補充動作では、上記と同様に、処理側開閉バルブ７３を「閉」、補充側開閉バルブ７４を「開」とし、また第１分岐切替バルブ７５および第２合流切替バルブ６５をそれぞれバイパス流路３３側に切り替え、往ポンプ３４を駆動する。これにより、補充槽部５Ｂの処理溶液は、補充側短流路７２、主返流路６８、バイパス流路３３および主往流路６１（合せて補充流路７８）を流れて処理槽部５Ａに送液される。そして、処理槽部５Ａから処理溶液がオーバーフローしたところで（満液）、往ポンプ３４を停止して処理溶液の補充を完了する。なお、処理槽部５Ａに補充される処理溶液は、主往流路６１においてフィルタ３６を通過し適宜濾過される。
【００３８】
濾過動作は、ワークＷの浸漬処理によって処理溶液に混入した異物の除去が必要な場合に行う。まず、処理側開閉バルブ７３および補充側開閉バルブ７４を共に「開」とし、第１分岐切替バルブ７５を主返流路６８側に切り替え、且つ第２分岐切替バルブ７６を循環返流路７０側に切り替えた後、返ポンプ３５を駆動する。これにより、処理槽部５Ａおよび補充槽部５Ｂに貯留されている全ての処理溶液は、それぞれ処理側短流路７１および補充側短流路７２から主返流路６８に流れ、更に循環返流路７０を流れていったんバッファタンク２３に貯留（液抜き）される。
【００３９】
次に、第１合流切替バルブ６４を循環往流路６２側に切り替え、且つ第２合流切替バルブ６５を主往流路６１側に切り替え、往ポンプ３４を駆動する。この往ポンプ３４を駆動は、バッファタンク２３が空になるまで続行され、バッファタンク２３の処理溶液は、循環往流路６２および主往流路６１を流れて処理槽部５Ａに、その一部はさらにオーバーフローして補充槽部５Ｂに送液される。このとき、全ての処理溶液は、主往流路６１に介設したフィルタ３６を通過し濾過が行われる。すなわち、全ての処理溶液がフィルタ３６を通過することになるため、処理溶液に混入する異物が一斉に濾過される。
【００４０】
廃棄動作では、処理側開閉バルブ７３および補充側開閉バルブ７４をそれぞれ「開」とし、且つ第１分岐切替バルブ７５を主返流路６８側に切り替え、且つ第２分岐切替バルブ７６を廃液流路６９側に切り替えて、返ポンプ３５を駆動する。これにより、処理溶液に濾過しきれない異物が混入した場合あるいは経時的な劣化により交換が必要になった処理溶液は、それぞれ処理側短流路７１および補充側短流路７２から主返流路６８を流れ、更に廃液流路６９を流れて全て廃液タンク２２に廃液される。
【００４１】
ここで、上記の補充動作とワークＷの浸漬処理動作との関係について説明する。上述したように、複数枚のワークＷはワークマガジン１１にセットされた状態で、浸漬移動機構１７によりワーク処理槽５に搬入され、且つ処理槽部５Ａに浸漬される。また、浸漬処理装置１には、２個のワークマガジン１１，１１が一括して運び込まれ（給材）、２回を単位として浸漬処理が行われる。これに対して、補充動作は１回の浸漬処理毎に行われる。すなわち、補充動作は、１の浸漬処理と次の浸漬処理との間の処理待ち時間の間に行われ、各浸漬処理は、常に処理槽部５Ａが満液になった状態で行われる。
【００４２】
上述したように、補充動作は、隔板４２を介して処理槽部５Ａから処理溶液がオーバーフローするまで行われるが、これは上記の往ポンプ３４のタイマー制御により実施される。タイマー制御は、浸漬処理時の処理溶液のオーバーフロー量、引き上げたワークＷおよびワークマガジン１１に付着して持ち去られる処理溶液の消耗量、および浸漬処理時の処理溶液の蒸散量を合計した減液量と、往ポンプ３４の吐出量との関係から、予め余裕を見込んで定めた往ポンプ３４の駆動時間となる。また、補充動作は、浸漬処理が完了した直後に行い、少なくとも浸漬処理が開始される時点では、補充動作が完了しかつ液面の波立ちが収まっている状態とする。
【００４３】
なお、上記のように、処理待ち時間毎に補充動作を行わない運転方法を執る場合には、処理槽部５Ａに減液センサを設け、減液センサがＯＮしたところで往ポンプ３４を所定時間（オーバーフローするまで）駆動することが好ましい。また、補充槽部５Ｂには、満液センサおよび減液センサを設けておき、処理溶液の給液時には満液センサＯＮで往ポンプ３４を停止し（給液完了）、減液センサＯＮで補充用処理溶液が不足である旨、警報を発するようにすることが好ましい。
【００４４】
このように、本実施形態では、浸漬処理時に処理溶液の補充動作を行わない（停止）するようにしているため、ワークＷの浸漬処理を開始するときには、処理溶液の液面には一切の波立ちが生じておらず、浸漬処理を適切に行うことができる。また、浸漬動作（昇降）もゆっくり行われ、特に成膜において重要な引上動作では液面の波立ちが収まってからゆっくり行われるため、より一層浸漬処理を適切に行うことができる。しかも、補充動作は１回の浸漬処理毎に行われるため、各回の浸漬処理を常に同じ液位、すなわち同じ条件で行うことができ、浸漬処理を安定して行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】第１実施形態にかかる浸漬処理装置の正面側から見た外観斜視図である。
【図２】第１実施形態にかかる浸漬処理装置の背面側から見た外観斜視図である。
【図３】第１実施形態にかかる浸漬処理装置の配管系統図である。
【図４】ワーク処理槽廻りの斜視図である。
【図５】ワーク処理槽の断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  浸漬処理装置、４  処理装置本体、５  ワーク処理槽、５Ａ  処理槽部、５Ｂ  補充槽部、９  制御装置、１１  ワークマガジン、１７  浸漬移動機構、３１  往流路、３２  返流路、３３  バイパス流路、３４  往ポンプ、４１  処理槽本体、４２  隔板、４７  底部、４９  処理槽排出口、５１  底部、５３  補充槽排出口、６１  主往流路、６７  連通流路、６８  主返流路、７８  補充流路、Ｗ  ワーク
【図１】
2009189946.tif 000003
【図２】
2009189946.tif 000004
【図３】
2009189946.tif 000005
【図４】
2009189946.tif 000006
【図５】
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