(57)【要約】【課題】カーテンなどの開閉手段が垂下及び巻上げ等の開閉移動動作時に他の部材と接触して、塵埃などの微粒子が発塵した場合でも、その微粒子が装置の外側に排出するのを抑制する。【解決手段】巻取軸に一端部が巻き回され、その巻取り状態に応じて他端部が開口部を開閉移動するシート状のカーテン手段、開口部周縁部に設けられたスリット状の出入口からカーテン手段が出入りするように巻取軸を回転させることによって開閉移動を制御する開閉制御手段、及びスリット状の出入口から出入りするカーテン手段の両側端部を挟み込みように案内するガイド手段などのような塵埃などの微粒子を発生する可能性のあるものを収納手段内に収納し、その収納手段内のエアを排気手段で排気することによって、塵埃などの微粒子が装置外に排出するのを抑制したものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
巻取軸に一端部が巻き回され、その巻取り状態に応じて他端部が開口部を開閉移動するシート状のカーテン手段と、
前記巻取軸の回転を制御することによって前記カーテン手段を開閉移動させる開閉制御手段と、
前記開閉移動する前記カーテン手段の両側端部を挟み込みように案内するガイド手段と、
前記カーテン手段、前記開閉制御手段及び前記ガイド手段をそれぞれ収納する収納手段と、
前記収納手段内のエアを排気する排気手段と
を備えたことを特徴とするクリーンルーム用ロールスクリーン装置。
【請求項２】
請求項１に記載されたクリーンルーム用ロールスクリーン装置において、前記排気手段は、前記収納手段内のエアをフィルタ手段によって清浄化して排気する送風機手段を備えたことを特徴とするクリーンルーム用ロールスクリーン装置。
【請求項３】
請求項２に記載されたクリーンルーム用ロールスクリーン装置において、前記排気手段は、前記開閉手段の両側端部に設けられた前記ガイド手段に対応して前記収納手段の両側端部に設けられることを特徴とするクリーンルーム用ロールスクリーン装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３に記載されたクリーンルーム用ロールスクリーン装置によって間仕切られたことを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内を所定の空間に間仕切る場合に使用されたり、クリーンルームとの出入口に使用されるクリーンルーム用ロールスクリーン装置及びこれを用いたクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路や液晶パネルなどの微小で精密な部品などの製造においては、塵埃などの微粒子が品質を阻害するので、これが極めて少ないクリーンルーム内で作業がなされる。クリーンルーム内は高性能フィルタなどを通過した清浄空気によって満たされており、クリーンルーム内に存在する塵埃などの微粒子は微粒子検出器により測定カウントされ、その清浄度が常時管理されている。
【０００３】
このようなクリーンルーム内には、精密部品の生産装置などが多数配置されており、そのレイアウトに応じて間仕切りを行なっている場合がある。例えば、クリーンルーム内において更に超清浄度を維持するために生産機器等を囲むように間仕切りを設けたり、逆に生産装置などの保守点検のために進入する作業者の作業エリアを囲み、他のエリアへ塵埃などの微粒子が飛散するのを防止するように間仕切りを設けたりしている。
【０００４】
クリーンルーム内に間仕切りを設けるようにしたものとしては、特許文献１，２に記載されたものがある。特許文献１には、回転ドラムに錘を下辺に有するカーテンを巻き付け、カーテンの垂下・巻上げの動作をモータプーリ用電気部品で行なうようにした自動巻上げカーテン装置をスクリーンカーテンの間仕切りに用いるようにしたものが記載されている。特許文献２には、クリーンルーム内を間仕切るために巻取り軸に巻取りように構成された気密性カーテンの側端縁同士を挟持固定する一対の連結支柱を用いたものが記載されている。
【特許文献１】実公平４−５６７３号公報
【特許文献２】特開平１１−１０１０１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
回転ドラムにカーテンを巻き取るように構成されたロールカーテン装置は、収納ケースにスリット状の出入口を備えており、カーテンはこのスリット状の出入口を通過し、ガイドレールを介して垂下されたり、巻上げられたりする。カーテンが垂下する場合、回転ドラムに巻き回されたカーテンが巻き出され、回転ドラムの巻き半径が徐々に小さくなるために、カーテンの垂下位置が徐々に回転ドラムの回転軸に向かって移動するようになる。逆に、カーテンが巻上げられる場合、回転ドラムにカーテンが巻き回され、回転ドラムの巻き半径が徐々に大きくなるために、カーテンの巻上げ位置が徐々に回転ドラムの回転軸から遠ざかるように移動するようになる。このようにカーテンの垂下及び巻上げ動作時に、カーテンの垂下位置及び巻上げ位置が移動することによって、カーテン表面が収納ケースのスリット状の出入口付近やガイドレールに接触したりして、塵埃などの微粒子を発生する可能性がある。
【０００６】
また、特許文献１に記載されたものは、カーテンの側縁をガイドレールを介してガイドする構造となっているが、このガイドレールはカーテンの下辺全長にわたって設けられた錘バーをガイドするものであり、カーテン自身をガイドするものではないため、カーテン表面に対して何らかの荷重がかかった場合に、カーテンの側縁がガイドレールから容易に外れてしまうおそれがある。また、特許文献２に記載されたものは、カーテンの側縁部を互いに噛み合うような凹凸状の連結支柱（ガイドレール）で挟持してはいるが、これは気密性を保持するためのものであり、同じくカーテン表面に対して何らかの荷重がかかった場合に、連結支柱からカーテンが外れてしまうおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、カーテンなどの開閉手段が垂下及び巻上げ等の開閉移動動作時に他の部材と接触して、塵埃などの微粒子が発塵した場合でも、その微粒子が装置の外側に排出するのを抑制することのできるクリーンルーム用ロールスクリーン装置及びこれを用いたクリーンルームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るクリーンルーム用ロールスクリーン装置の第１の特徴は、巻取軸に一端部が巻き回され、その巻取り状態に応じて他端部が開口部を開閉移動するシート状のカーテン手段と、前記巻取軸の回転を制御することによって前記カーテン手段を開閉移動させる開閉制御手段と、前記開閉移動する前記カーテン手段の両側端部を挟み込みように案内するガイド手段と、前記カーテン手段、前記開閉制御手段及び前記ガイド手段をそれぞれ収納する収納手段と、前記収納手段内のエアを排気する排気手段とを備えたことにある。これは、カーテン手段、開閉制御手段及びガイド手段などのような塵埃などの微粒子を発生する可能性のあるものを収納手段内に収納し、その収納手段内のエアを排気手段で排気することによって、塵埃などの微粒子が装置外に排出するのを抑制したものである。
【０００９】
本発明に係るクリーンルーム用ロールスクリーン装置の第２の特徴は、前記第１の特徴に記載されたクリーンルーム用ロールスクリーン装置において、前記排気手段が、前記収納手段内のエアをフィルタ手段によって清浄化して排気する送風機手段を備えたことにある。これは、排気手段をＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタなどのフィルタ手段と送風機手段とからなるファンフィルタユニットで構成することによって、排気されるエアを清浄化し、塵埃などの微粒子の発生を抑制したものである。
【００１０】
本発明に係るクリーンルーム用ロールスクリーン装置の第３の特徴は、前記第２の特徴に記載されたクリーンルーム用ロールスクリーン装置において、前記排気手段は、前記開閉手段の両側端部に設けられた前記ガイド手段に対応して前記収納手段の両側端部に設けられることにある。これは、塵埃などの微粒子の発生の原因となるガイド手段が開口部の両側端部に位置するので、排気手段をこのガイド手段の位置に近い、収納手段の両側端部に設け、ガイド手段などから発生する塵埃などの微粒子を効率良く排気手段から排気できるようにしたものである。
【００１１】
本発明に係るクリーンルーム用ロールスクリーン装置の第４の特徴は、請求項１、２又は３に記載されたクリーンルーム用ロールスクリーン装置によって間仕切られたことにある。これは、前述の第１〜３の特徴に記載されたクリーンルーム用ロールスクリーン装置を間仕切りとして利用したクリーンルームに関するものである。間仕切りには、クリーンルーム内を所定の領域に間仕切る場合と、クリーンルームと外部との間の出入口を間仕切る場合が該当する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のクリーンルーム用ロールスクリーン装置及びこれを用いたクリーンルームによれば、カーテンなどの開閉手段が垂下及び巻上げ等の開閉移動動作時に他の部材と接触して、塵埃などの微粒子が発塵した場合でも、その微粒子が装置の外側に排出するのを抑制することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルーム用ロールスクリーン装置の一実施の形態について説明する。図１は、本発明に係るクリーンルーム用ロールスクリーン装置の概略を示す図であり、図１（Ａ）は、クリーンルーム用ロールスクリーン装置の正面図を示し、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のクリーンルーム用ロールスクリーン装置の左側から見た側面図を示す。図２は、このクリーンルーム用ロールスクリーン装置の概略構成を示す斜視図である。
【００１４】
この実施の形態に係るクリーンルーム用ロールスクリーン装置は、材質が合成繊維製布地（ポリエステルなど）からなるカーテン布を巻取シャフトに巻き取ったり巻戻したりすることによって、その先端側が開口部を開閉移動するものであり、さらに、このカーテン布の両側にはファスナー部がその全長に渡って設けられている。このファスナー部は、ガイドレール内に設けられたインナーレール内に挟み込まれて上下方向に自在に摺動するようになっている。このファスナー部は、通常のスライドファスナー（滑り式留金具）の噛み合う部分であるエレメントを利用したものである。このファスナー部は、エレメントが丹銅・アルミ・洋白などの金属でできるいる金属製ファスナーやエレメントがコイル状のポリエステル樹脂でできている樹脂ファスナーやポリアセタールなどの樹脂製のエレメントがテープに射出成型されたビスロンファスナーなどで構成される。ガイドレール１６，１７内に内部ガイドレールが設けられているが、その図示は省略して示してある。従って、図１及び図２では、カーテン布の両側にガイドレール１６，１７がその全長に渡って設けられているように示してあるが、実際はガイドレール１６，１７内に内部ガイドレール（前記インナーレール）が設けられており、カーテン布の両側は、このガイドレール１６，１７内に挟み込まれて上下方向に自在に摺動するような構成になっている。
【００１５】
このクリーンルーム用ロールスクリーン装置は、クリーンルーム内の天井部に直接又は他の部材を介して間接的に設けられたり、建物上方の梁に直接又は他の部材を関して間接的に設けられたり、クリーンルーム内に別途構築されたパーティション用構造体に設けられたりする。クリーンルーム用ロールスクリーン装置は単体で設けられたり、又は複数が並べられて設けられる。
【００１６】
クリーンルーム用ロールスクリーン装置は、収納ボックス１０、巻取シャフト１３、合成繊維製布地からなるスクリーンカーテン１４、ウェイトバー１５、ガイドレール１６，１７、及びファンフィルタユニット（ＦＦＵ）ダクト３１〜３４及びファンフィルタユニット（ＦＦＵ）３５〜３８から構成される。
【００１７】
巻取シャフト１３は、収納ボックス１０内の左右両側側面の内壁面に設けられた軸受け部（図示せず）とロールエンド部（図示せず）との間に回転可能に取り付けられている。スクリーンカーテン１４は、その一端部が巻取シャフト１３に取り付けられており、その他端部にウェイトバー１５が取り付けられており、収納ボックス１０の下端部に設けられたスリット状の出入口に案内されるようになっている。従って、スクリーンカーテン１４は、巻取シャフト１３の回転に応じて、巻取シャフト１３に巻き取られたり、スリット状の出入口から繰り出されたりするようになっている。なお、巻取り時にスクリーンカーテン１４が収納ボックス１０内で弛んだりした場合の異常状態を検出するための異常検出センサ（図示せず）が収納ボックス１０の内壁面に取り付けられている。
【００１８】
巻取シャフト１３は、中空パイプ形状をしており、この中空部分に内挿された電動モータによって回転制御される。電動モータの本体外側と巻取シャフト１３の内側とが固定され、電動モータの出力軸が軸受け部に回転しないようにボルトなどで固定されている。従って、電動モータが正方向に回転することによって、スクリーンカーテン１４は繰り出されるように動作し、逆方向に回転することによってスクリーンカーテン１４は巻き取られるように動作する。すなわち、電動モータを正逆方向に回転させることによって開閉体であるスクリーンカーテン１４の開閉動作を制御している。なお、電動モータは巻取シャフト１３内に存在するので図示されていない。電動モータを駆動制御する制御装置は、クリーンルームの外に設けられており、クリーンルームの外側から操作されるようになっいてる。なお、電動モータ制御装置をクリーンルーム内に設けても良いが、その設置によって操作時に塵埃などの微粒子が発生しないようにするなどの処置が必要になるので、外部に設けてそこで制御可能にした方が好ましい。
【００１９】
図２は、スクリーンカーテン１４が巻き戻されて、ウェイトバー１５が床面に接し、開口部が閉鎖した状態を示している。この状態では、スクリーンカーテン１４の巻取り半径は巻取シャフト１３と同程度くらいに小さくなるが、スクリーンカーテン１４には図示していない中間ドラム軸を設け、常に同じ位置からスリット状の出入口を移動するように構成してもよい。これによって、スクリーンカーテン１４がこの出入口に接触することはなく出入するようになり、この部分からの塵埃などの微粒子の発生はより一層少なくなる。
【００２０】
図３は、このクリーンルーム用ロールスクリーン装置のガイドレールの左側の詳細を示す図であり、図１のＡ−Ａ線の断面図である。なお、ガイドレールの右側の詳細は、図３の略対称形状となっている。ガイドレール１６は、収納ボックス１０の一部を構成するものであり、収納ボックス１０と空間的に一体に構成されている。ガイドレール１６は、一点鎖線で示すスクリーンカーテン１４を案内する内部ガイドレール１６１を収納するものなので、ここではガイドレール１６と呼ぶこととする。ガイドレール１６の内部には、スクリーンカーテン１４の両端部に接するように開口部の両端側に沿って設けられ、収納ボックス１０の下側に設けられたスリット状のカーテン出入口からウェイトバー１５の当接面に至るまで掛け渡された断面形状が略コの字型の金属製部材で構成された内部ガイドレール１６１が設けられている。
【００２１】
内部ガイドレール１６１は、金属製部材のガイドレール１６の内壁面に沿って設けられたインナーレール１６２を備えた、二重構造をしている。インナーレール１６２は、スクリーンカーテン１４の両端部のファスナー部などを挟み込むようなＣ型状をしている。このインナーレール１６２のＣ型の対向面がスクリーンカーテン１４に接触する。そこで、この接触箇所から塵埃などの微粒子が発生するのを抑制するために、インナーレール１６２をファスナー部と同じ材質の樹脂（例えばＰＶＣ（ポリ塩化ビニール）など）で構成している。
【００２２】
このようにスクリーンカーテン１４は、このＰＶＣ製などスクリーンカーテン１４の両端部のファスナー部と同じ材質のインナーレール１６２を案内溝として上昇下降し、開口部の開閉動作を行う。図３に示すように、インナーレール１６２と内部ガイドレール１６１との間には、それぞれＰＥ材などからなるクッションゴム１６３，１６４が設けられている。このクッションゴム１６３，１６４は、スクリーンカーテン１４に何らかの荷重がかかって、スクリーンカーテン１４の両端部のファスナー部が開口部の中央付近に引っ張られ、インナーレール１６２に接触した場合の衝撃を和らげる緩衝材としての働きをするようになっている。ウェイドバー１５の両端部には内部ガイドレール１６１に沿ってウェイトバー１５が移動可能なようにウェイトバーキャップ１５１が設けられている。
【００２３】
ＦＦＵダクト３１〜３４は、内部ガイドレール１６１を収納するガイドレール１６，１７にそれぞれ設けられている。ＦＦＵ３５〜３８は、それぞれのＦＦＵダクト３１〜３４の先端側、すなわち最下端部に設けられている。ＦＦＵダクト３１，３２は、ガイドレール１６，１７のほぼ中央付近に設けられ、ＦＦＵダクト３３，３４は、ガイドレール１６，１７の下端部付近に設けられている。ＦＦＵダクト３１〜３４は、上側から徐々にダクトの高さが高くなるような傾斜部を有し、その最下端部にＦＦＵ３５〜３８がそれぞれ設けられている。ＦＦＵダクト３１〜３４内部とガイドレール１６，１７との間は空洞となっており、ＦＦＵダクト３１〜３４がガイドレール１６，１７に接する部分から収納ボックス１０及びガイドレール１６，１７内のエアを排出するようになっている。ＦＦＵダクト３１，３２は、主に収納ボックス１０及びガイドレール１６，１７の上側付近、ＦＦＵダクト３３，３４は、主にガイドレール１６，１７の下側付近のエアを排出対象としている。
【００２４】
ＦＦＵ３５〜３８は、例えばＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタなどのフィルタ手段と送風機が内蔵されたものであり、電力の供給によって収納ボックス１０及び／又はガイドレール１６，１７内のエアをＦＦＵダクト３１〜３４を介して清浄な空気として下面（床面）に向かって排出する。ＦＦＵ３５〜３８は、ＦＦＵダクト３１〜３４を介してエアを導入するダクト接続方式を採用している。ＦＦＵ３５〜３８の性能は、フィルタ厚さ及び寸法などで決まり、クリーンルーム内の仕様に応じて最適な機種や個数を選択することが好ましい。ＦＦＵ３５〜３８は収納ボックス１０及びガイドレール１６，１７内の空気を排出しているので、ＦＦＵ３５〜３８以外の部分の収納ボックス１０及びガイドレール１６，１７内から収納ボックス１０及びガイドレール１６，１７外への空気の流れはほとんど収納ボックス１０及びガイドレール１６，１７内への流れとなり、エアフィルタを介さず収納ボックス１０及びガイドレール１６，１７内から収納ボックス１０及びガイドレール１６，１７外へ空気が流れることはほとんどなく、塵埃などの微粒子が発散するのを抑制することができる。また、ＦＦＵダクト及びＦＦＵを収納ボックス及び／又はガイドレールにどのように設けるかは、任意であるが、ガイドレールの収納される部分に設けることが好ましい。この実施の形態では、ファンフィルタユニットダクト３１〜３４及びファンフィルタユニット３５〜３８は、本実施例では開口部の前後（図１（Ｂ）における左右）の一方側にのみ設けているが、両側に設けることも可能である。ファンフィルタユニットのファンは、スクリーンカーテンの動作に応じてオン／オフを自動的に切替えるようにしても良い。
【００２５】
上述の実施の形態では、スクリーンカーテンが下降しながら繰り出されて閉鎖する場合を例に説明したが、これ以外にもスクリーンカーテンが横引き方式で繰り出されたり、上昇方式で繰り出されたり、あるいは水平方式で繰り出されたりするものであっても同様に適用することができる。また、ロールスクリーン装置は、電動駆動式としたが、手動などの他の駆動方式としてもよい。
【００２６】
上述の実施の形態では障害物感知装置を設けない場合について説明したが、ウェイトバー近傍および／または開口部近傍に障害物感知装置を設けるようにしてもよい。この場合、障害物感知装置として、座板スイッチ、テープスイッチなどのように障害物に当接することによって障害物を検出するものやこれ以外に非当接にて障害物を検出可能なものを用いてもよい。例えば、非当接にて障害物を検出するものとして、開閉部材の両側に赤外光の発光素子と受光素子を設けたり、開口部を挟んで赤外光の発光素子と受光素子を設けたりして、赤外光が遮断された場合に障害物を検出するようなものなどがある。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係るクリーンルーム用ロールスクリーン装置の概略を示す図であり、図１（Ａ）は、クリーンルーム用ロールスクリーン装置の正面図を示し、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のクリーンルーム用ロールスクリーン装置の左側から見た側面図を示す。
【図２】このクリーンルーム用ロールスクリーン装置の概略構成を示す斜視図である。
【図３】クリーンルーム用ロールスクリーン装置のガイドレールの左側の詳細を示す図であり、図１のＡ−Ａ線の断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０…収納ボックス
１３…巻取シャフト
１４…スクリーンカーテン
１５…ウェイトバー
１６，１７…ガイドレール
１６１…内部ガイドレール
１６２…インナーレール
１６３，１６４…クッションゴム
１５１…ウェイトバーキャップ
３１〜３４…ファンフィルタユニットダクト
３５〜３８…ファンフィルタユニット
【図１】
2009019420.tif 000003
【図２】
2009019420.tif 000004
【図３】
2009019420.tif 000005