(57)【要約】【課題】  ヘッドスライダの浮上中に蓄積した付着物による記録媒体の汚染や浮上の乱れによる記録障害を防止する。【解決手段】  ヘッドスライダのヘッド部浮上面の浮上パッド面より低く位置する流出端溝部分１０ｄに発熱体１７を設ける。【選択図】図７
2009146547.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変換素子を有するヘッド部と、このヘッド部に接続するスライダ本体とを備え、前記変換素子を搭載したパッド面と、このパッド面の側部に設けた前記パッド面よりも深いリセス面とが形成されたヘッドスライダであって、
前記ヘッド部の前記リセス面に発熱体を備えたヘッドスライダ。
【請求項２】
前記変換素子を搭載した前記パッド面を突出させる第二の発熱体を備えた請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
前記発熱体は前記ヘッド部の加工面に平行に配置された平板型発熱体で構成される請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
前記ヘッド部は、前記発熱体を有する第一の層と前記発熱体を有しない第二の層とから形成され、前記第一の層の主材料と前記第二の層の主材料とが異なる請求項２記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
前記第一の層の主材料は、前記第二の層の主材料よりもエッチング比が大きい請求項４記載のヘッドスライダ。
【請求項６】
前記第一の層の主材料はＳｉＯ２であり、前記第二の層の主材料はＡｌ２Ｏ３である請求項４記載のヘッドスライダ。
【請求項７】
前記ヘッド部の前記リセス面に溝を備えた請求項２に記載のヘッドスライダ。
【請求項８】
前記溝は、前記ヘッドスライダの幅方向に形成された請求項７記載のヘッドスライダ。
【請求項９】
前記溝を複数備えた請求項８記載のヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記複数の溝を並列に形成された請求項９記載のヘッドスライダ。
【請求項１１】
前記発熱体を前記リセス面へ投影した位置が前記溝と重なる請求項７記載のヘッドスライダ。
【請求項１２】
前記ヘッド部は、前記発熱体及び前記溝を有する第一の層と、前記発熱体及び前記溝の何れも有さない第二の層とを備え、前記第一の層の主材料は、前記第二の層の主材料よりも熱伝達率が高い請求項１１記載のヘッドスライダ。
【請求項１３】
前記第一の層の主材料はＡｌＮであり、前記第二の層の主材料はＡｌ２Ｏ３である請求項１２記載のヘッドスライダ。
【請求項１４】
前記発熱体が前記溝よりも前記リセス面側に突出している請求項７記載のヘッドスライダ。
【請求項１５】
前記ヘッド部は、前記発熱体を有する第一の層と、前記溝を有する第二の層とを備え、前記第一の層の主材料は、前記第二の層の主材料よりも熱伝達率が高い請求項１４記載のヘッドスライダ。
【請求項１６】
前記第一の層の主材料はＳｉＣであり、前記溝を構成する層の主材料はＡｌ２Ｏ３である請求項１５記載のヘッドスライダ。
【請求項１７】
変換素子を有するヘッド部と、このヘッド部に接続するスライダ本体とを備え、前記変換素子を搭載したパッド面と、このパッド面の側部に設けた前記パッド面よりも深いリセス面とが形成されたヘッドスライダであって、
前記ヘッド部の前記リセス面に溝を備えたヘッドスライダ。
【請求項１８】
前記溝は、前記ヘッドスライダの幅方向に形成された請求項１７記載のヘッドスライダ。
【請求項１９】
前記溝を複数備えた請求項１８記載のヘッドスライダ
【請求項２０】
前記複数の溝を並列に配置した請求項１９記載のヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はディスク装置に用い、回転するディスク媒体上に浮上させて記録再生動作を行うスライダの高信頼性化技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスク装置は、回転する記録媒体と、支持機構によって支持されて媒体の径方向に位置決めされるヘッドスライダとを有し、ヘッドスライダに搭載された電磁変換素子（記録再生素子）が相対的に記録媒体上を浮上走行して記録媒体に情報を記録するように構成されている。このヘッドスライダは、記録媒体に対向するスライダ面（スライダ浮上面）に空気軸受機能を有し、空気膜により媒体に対して浮上しており、記録媒体とヘッドスライダとが直接には接触しないようにしている。
【０００３】
スライダ浮上面は、必要な空気軸受機能を得るために、浮上パッド、浮上パッド面より低く異なる深さの溝パターン及び斜面からなる形状を有している。ヘッドスライダは、変換素子、いわゆるヘッドを有するヘッド部と、スライダ本体とを有している。そしてヘッド部は、一般にヘッドスライダの浮上量が低いスライダ本体後端にあたる流出端部付近に配置される。
【０００４】
ディスク装置の記録密度向上のため、変換素子と記録媒体との間隔のさらなる狭小化が要求されている。変換素子と記録媒体との距離（スペーシング）を狭小化するため、ヘッドスライダを低浮上化させると、ディスク装置の長時間の記録再生動作に伴いスライダ浮上面に装置内部品から放出されるアウトガス成分の液状もしくは固形物及び記録媒体上に塗布された潤滑剤が付着及び蓄積する。特に、アウトガス成分の及び潤滑剤といった液状付着物はヘッドスライダの流出端部、つまりヘッド部に蓄積する傾向があり、ヘッドスライダ浮上中に肥大化して、記録媒体へ接触もしくは落下した場合には、記録媒体の汚染やヘッドスライダ浮上の乱れによる記録再生障害の恐れがある。
【０００５】
上記の問題を解決する従来技術として、特開２００３−１０９３４０号公報（特許文献１）及び特開平８−２７９１２０号公報（特許文献２）が示されている。特許文献１では、ヘッドスライダの流出端側面の記録再生素子近傍に溝を形成し、その溝の一端を浮上面の素子近傍に露出させて、その露出部から液状付着物を毛細管現象により吸引保持する機構を有し、さらに記録動作に伴って発生するジュール熱により捕獲した付着物を蒸発させるスライダが記載されている。これにより、記録再生素子部近傍での液状付着物の蓄積を防止している。特許文献２では、ヘッドスライダの後端側の側面に専用の発熱体を設けることで側面の付着物を蒸発させる機構を有しているヘッドスライダが記載されており、これによりヘッドスライダが磁気ディスク上に静止した時の吸着現象を防止している。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１０９３４０号公報
【特許文献２】特開平８−２７９１２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の発明では、液状付着物捕獲用の溝をヘッドスライダ後端の側面に有しその溝の一端を素子位置近傍に露出させている。そのため、素子位置近傍以外に蓄積した液状付着物を溝部に吸引することができずに液状付着物が蓄積してしまい、ヘッドスライダ浮上中に磁気ディスクに接触もしくは落下する恐れが高い。また、ヘッドスライダ後端の側面には、変換素子用の端子やその配線があり、溝を設けることが出来る場所は限られている。よって液状付着物捕獲用の溝を多数設けることも難しい。また、記録動作による発熱は発熱量に制限があり、十分に液状付着物を揮発させることができない恐れがある。
【０００８】
特許文献２の発明では、発熱源をヘッドスライダ後端の側面に有しているために、液状付着物が側面へ回りこまなければ揮発効果が発揮され難い。そのため、スライダ浮上面に蓄積した液状付着物が回り込まずに磁気ディスクに接触及び落下してしまう恐れがある。
【０００９】
発明者は実験の結果、近年のヘッドスライダにおいて液状付着物が蓄積しやすい場所は、浮上面流出端近傍の浮上パッド面より低い溝やそのエッジ部分であることを確認した。また、ヘッドスライダの浮上面形状及びヘッドスライダが浮上する記録媒体の半径位置により液状付着物が蓄積しやすい場所が異なることも発見した。スライダ浮上面上に付着した液状物は、浮上面形状によって発生する空気流のパターンにならって流動する。この空気流のパターンはヘッドスライダの浮上する記録媒体の半径位置によっても異なるため、ディスク装置動作状況により液状付着物が蓄積し易い場所は流出端近傍で変動する。この蓄積し易い部分において液状付着物が肥大化して記録媒体と接触した場合及びディスク装置の動作状況の変化により、ヘッドスライダが位置を移動する際に、肥大化した液状付着物が記録媒体に落下した場合に、記録障害が発生する恐れがある。
【００１０】
本発明が解決しようとする課題は、ヘッドスライダの浮上中にスライダ浮上面に蓄積した液状付着物が記録媒体に接触もしくは落下するのを抑制することで、記録媒体の汚染やヘッドスライダ浮上の乱れによる記録障害を防止し、長期に渡って高い信頼性を有するヘッドスライダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題点を解決するために、本発明では、スライダ浮上面の浮上パッド面より低く位置する流出端溝部分近傍に発熱体を設ける。発熱体で流出端溝部近傍に付着した液状付着物を加熱することにより、前記液状付着物を揮発させて除去する。
【００１２】
または、上記の流出端溝部分に溝形状を設ける。溝内への液状付着物の吸着効果により、流出端溝部に流れ込む液状付着物を溝内に拡散させて、液状付着物が流出端部で肥大化するのを抑制する。液状付着物の肥大化を抑制することにより、液状付着物が磁気ディスクに接触及び落下するのを防止する。
【００１３】
または、上記の流出端溝部分の近傍に発熱体と上記の該当溝部分に溝形状とを設ける。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の磁気ヘッドスライドによれば、スライダ浮上中にスライダ浮上面に蓄積した液状付着物が磁気ディスクに接触もしくは落下するのを抑制して、ディスク汚染やスライダ浮上の乱れによる記録障害を防止することにより、長期に渡って高い信頼性を有する磁気ディスク装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明をディスク装置の一例として磁気ディスク装置に適用した場合の実施の形態につき、図面を用いて説明する。図１は、磁気ディスク装置の斜視図、図２は、図１の装置における磁気ヘッドスライダのディスク（記録媒体）に対向する浮上面（空気軸受け面或いはＡＢＳ面）の斜視図である。図１の磁気ディスク装置は、ＨＤＤ筺体１と、その内部で回転する磁気ディスク２と、磁気ディスク２を回転させるスピンドルモータ３と、磁気ディスク２に対向するように配置されるヘッドスライダ４と、これを支持するサスペンション５と、ヘッドサスペンションアセンブリ（ＨＳＡ）６と、ヘッドスライダ４をディスク半径方向に駆動するためのボイスコイルモータ（ＶＣＭ）７とから構成される。
【００１６】
図２は磁気記録再生素子８を有する磁気ヘッドスライダ４の浮上面形状で、浮上面上での空気の流れ方向１３とし、流出端側面１１がスライダ後端の側面にあたる。浮上面は、正圧を発生する浮上パッド（パッド面）９ａ，９ｂ，９ｃと、これら浮上パッドに対して、数ｎｍから１０μｍ程度の異なる深さの溝１０を備えている。浮上パッド９ｂ，９ｃは、浮上面の流入端側の幅方向に並んで設けられ、浮上パッド９ａは、浮上面の流出端側中央部に設けられている。溝１０の種類には、超浅溝１０ａ、浅溝１０ｂ、深溝１０ｃ、流出端深溝１０ｄとがあり、溝深さは浅い順に、超浅溝１０ａ、浅溝１０ｂ、深溝１０ｃ、流出端深溝１０ｄとなっている。同じ溝でも深さが数ｎｍで浮上パッド９ａ，９ｂ，９ｃの正圧発生を補助する浅溝１０ｂ１，１０ｂ３をステップ面或いは、浮上パッド９ａ，９ｂの下流に設けられた浅溝１０ｂ２を含めてレール面と呼ぶことや、深さが１０μｍ程度で浮上パッド９ｂ，９ｃの下流にて負圧を発生する深溝１０ｃ及び１０ｄをリセス面と呼ぶこともある。深溝１０ｃと流出端深溝１０ｄとの境界１２が磁気記録再生素子８を備えるヘッド部とこのヘッド部に隣接するスライダ本体との接合点である。ヘッド部は電磁変換素子である磁気記録再生素子８を除いて主にアルミナで構成され、スライダ本体は主にＡｌＴｉＣで構成されている。この材料の違いにより生じるエッチング比の差により、設計上は同一深さとしていても、実際は流出端深溝１０ｄと深溝１０ｃとの間に段差が生じ、流出端深溝１０ｄが深溝１０ｃよりも若干深くなっている。
【００１７】
液状物付着実験の結果では、液状付着物がスライダ浮上面に付着する場合、まず最もスライダ浮上面から突出している浮上パッド９ａ，９ｂ，９ｃに付着する。その後、スライダ浮上面の流出端側に流動し一部が蓄積する。液状付着物は段差のある場所に蓄積しやすいので、例えば９ａに付着した場合には、超浅溝１０ａと浅溝１０ｂ１のエッジ（境界）部、浅溝１０ｂ１と流出端深溝１０ｄのエッジ部の流出端側に蓄積し易い。また、９ｂ或いは９ｃに付着した場合には、９ｂ或いは９ｃの流出端側と浅溝１０ｂ２或いは深溝１０ｃのエッジ部に流動して一部が蓄積する。また、エッジに蓄積した液状付着物はエッジに沿って流動することもあり、浅溝１０ｂ２と深溝１０ｃとのエッジ部に沿って流出端側に流動して、浅溝１０ｂ２の流出端部に蓄積する場合もある。９ｂ或いは９ｃの流出端側と浅溝１０ｂ２或いは深溝１０ｃのエッジ部から深溝１０ｃ上を流動し、深溝１０ｃと流出端深溝１０ｄのエッジに蓄積することもある。
【００１８】
浮上パッド９ｂ、９ｃに付着した場合には、空気の流線に沿って浅溝１０ｂ２、深溝１０ｃを流動して流出端深溝１０ｄに到達する。その後、深溝１０ｃと流出端深溝１０ｄのエッジ部や流出端深溝１０ｄに蓄積する。
【００１９】
図３はヘッドスライダ４の流出端側から見た液状物の付着例を示したもので、液状付着物１４ａは流出端深溝１０ｄ上に、液状付着物１４ｂは浅溝１０ｂ１と深溝１０ｃと流出端深溝１０ｄのエッジ部に、液状付着物１４ｃは浅溝１０ｂ１と流出端深溝１０ｄのエッジ部に蓄積した例である。上記以外のエッジ部や面上にも蓄積する。蓄積した液状付着物１４は肥大化して、ヘッドスライダ４が浮上中にディスク表面１５と接触して磁気ディスク２を汚染したり、落下して記録障害を引き起こしたり恐れがある。
（実施形態１）
図４、図５に示すヘッドスライダ４は、浮上面の流出端深溝１０ｄ（ヘッド部のリセス面）に発熱体である平板型ヒーター１６或いは１７を備え、浮上中に流出端に蓄積する液状付着物を除去して記録障害を防止する。
【００２０】
図４は本発明を適用した実施形態１のヘッドスライダ４の斜視図と、斜視図のＡ−Ａ断面を示す図である。流出端深溝１０ｄの内部に、浮上面に平行にヒーター１６が埋め込まれており、浮上中にも流出端の溝部近傍を加熱することが可能である。流出端深溝１０ｄ近傍に付着した液状物は、ヒーター１６により加熱され、蒸発し除去される。液状物が潤滑剤を含む場合には、加熱されることにより液の粘性が低下してエッジ部への拡散が生じ易くなるために、肥大化が抑制され、蒸発の効率も良い。ヒーター１６の設置位置は、加熱による温度上昇により熱膨張が生じて浮上量が変化してしまうことを防ぐため、浮上パッド近傍を避けることが望ましい。図４に示すヘッドスライダ４は、浮上パッド９ａの部分を避け、浅溝１０ｂ１のある部分から外側にのみヒーター１６を設けている。また、浮上面の空気流のパターンに合わせて液状付着物が蓄積し易い場所、例えば先ほど述べた、浅溝１０ｂ１と流出端深溝１０ｄのエッジ部に沿ってのみ配置しても良い。
【００２１】
図５は、図４における実施形態１のヒーターと異なる構造を備えたヘッドスライダ４の斜視図とヒーター構造を示す図である。ヒーター１７は、磁気記録再生素子８の加工面に平行な発熱体部材１７ａ，１７ｂ，良導体１７ｃ及び配線１７ｄ，１７ｅから構成される。発熱体部材１７ａは、流出端側面１１近傍のヘッド部に設置されており、配線１７ｄ，１７ｅに流出端側面に並行な発熱体部材１７ａ，１７ｂが直列に接続している。
【００２２】
発熱体部材１７ｂは、パッド面にはそもそも液状付着物があまり付着しないこと、及び磁気記録再生素子８を形成する必要があることから浮上パッド９ａの部分を避けている。一方、発熱体部材１７ａは、記録再生素子８が存在しないことから、ヘッドスライダ４のほぼ全幅に渡って設けている。また、発熱体部材１７ａは、浮上中に液状付着物が流動して、流出端深溝１０ｄから流出端側面１１に流出端エッジ１８を回りこんだ液状付着物を蒸発させやすくするため、他の発熱体部材よりもヘッドスライダ４の厚さ方向を大型化すると良い。尚、流出端側面１１や記録再生素子８と並行にヒーター構造を配置することにより、従来の磁気記録再生素子８の製作法と同様のスパッタリング及びリソグラフィ技術により、ヒーター１７を製作できる。
【００２３】
上記のヒーター１６もしくは１７を有するヘッドスライダ４で、浮上中にスライダ流出端近傍の浮上面に蓄積する液状付着物を除去し、記録障害を防止して、長期に渡って高い信頼性を有するヘッドスライダ、このヘッドスライダを用いる磁気ディスク装置の提供が可能となる。これらのヒーターは、ヘッドスライダ４が磁気ディスク２上を浮上している際には、常時使用することが望ましい。
（実施形態２）
図６に示すヘッドスライダ４は、流出端深溝１０ｄに溝形状１９を備え、流出端近傍の浮上面に蓄積する液状付着物の肥大化を抑制して記録障害を防止する。図６は本発明を適用した実施形態２のスライダの斜視図及び断面図で、流出端深溝１０ｄに溝形状１９を有する。溝形状１９は、溝深さ５μｍで溝幅５μｍ程度の並列した溝からなる。それぞれの溝深さ、溝幅は同等である必要はない。
【００２４】
本実施例によれば、流出端深溝１０ｄ面に溝形状１９の凹凸を形成したことにより、流出端部へ流入した液状付着物は、図３の液状付着物１４ａ、１４ｂ、１４ｃのように肥大化せずに、溝形状１９の凹面エッジ部へ拡散され図６の液状付着物２０のように各溝形状１９の隅にそれぞれ蓄積する。このため、液状付着物は肥大化しないので、磁気ディスク２への接触、もしくは落下を抑制でき、記録障害を防止できる。溝幅が１μｍ以下では、液体の表面張力のため溝部エッジ部への吸着効果が阻害される。溝幅が１〜５μｍの時に溝の毛細管現象により顕著な吸着効果が得られるが、これ以上の溝幅としてもエッジ部の吸着効果は有効であるので、溝幅は１μｍ以上であれば良い。上記の溝形状１９を有するヘッドスライダ４で、浮上中にスライダ流出端に蓄積する液状付着物の肥大化を抑制し、記録障害を防止して、このヘッドスライダ４を利用することにより長期に渡って高い信頼性を有する磁気ディスク装置の提供が可能となる。
（実施形態３）
図７に示すヘッドスライダは、流出端深溝１０ｄに溝形状とヒーターとを備え、流出端に蓄積する液状付着物の肥大化を抑制して、さらにこれを除去することにより記録障害を防止する。図７から図９は本発明の実施形態３のヘッドスライダの斜視図及び図７のＡ−Ａ断面図である。本実施形態のヘッドスライダは、ヒーター１７と溝形状１９とを有し、ヒーター１７は、溝形状１９の底面、つまり凹面の底面近傍に位置している。この時、ヒーター１７は、付着物が蓄積した場所にその熱を効率的に伝えることが出来るようにするのが望ましい。そのため、実施形態１と同様、最も流出端側面１１に近いヒーターは、浮上面のみでなく、側面にも熱を伝えることができるように、他のヒーターよりも高さ方向を大型としている。
【００２５】
浮上面において付着物が主に蓄積するのは溝形状１９の溝部である。そこで図７に示すようにヒーター１７をヘッド部に投影した位置が溝形状１９の溝部に合う位置、つまり流出端深溝１０ｄの凹部上にヒーター１７を設置して図面の縦方向に溝部を加熱する構成、或いは図８に示すようにヒーター１７を溝形状１９の溝底面よりもリセス面側に突出させ、溝の両側から加熱する構成とすると良い。スパッタリング及びリソグラフィ技術により、ヘッド部を製作する際、ヒーター１７を設ける層２１とヒーターの無い層２２とで主材料を異ならせると容易に形成することができる。具体的には、ヒーター１７を溝部に設置する場合にはヒーター１７を設ける層２１の材料をヒーター１７の無い層２２よりもエッチングされやすい材料、例えば、ヒーター１７を設ける層２１の主材料をＳｉＯ２やＡｌＮ、或いはＳｉを含有させたＡｌ２Ｏ３、ヒーター１７の無い層２２をＡｌ２Ｏ３とし、ヒーター１７で溝部を挟む場合には、ヒーター１７を設けない層２２の主材料を、ヒーター１７を設ける層２１よりもエッチングされやすい主材料、例えばヒーター１７を設けない層２２の主材料をＡｌ２Ｏ３、ヒーター１７を設ける層２１の主材料をＳｉＣとすることが考えられる。
【００２６】
尚、図９に示すようにヒーター１７を設ける層２１の材料をヒーター１７の無い層２２よりも熱伝達率の高い材料、例えば、ヒーター１７を設ける層２１の主材料をＳｉＣ或いはＡｌＮとし、ヒーター１７を設けない層２１の主材料をＡｌ２Ｏ３とすることにより、付着物が蓄積した溝にヒーター１７の熱をより効率的に伝えることができる。
【００２７】
本実施形態のスライダでは、流出端深溝１０ｄに流入した液状付着物は溝形状１９のエッジ部に拡散されて蓄積される。蓄積した液状付着物２０はヒーター１７により加熱されて蒸発し除去される。ヒーター１７による加熱により液体の粘度が低下する場合には拡散速度が増加して、流出端部での液状付着物の肥大化が抑制できる。さらに、液状付着物が拡散されることにより、液体の表面積が増大して、ヒーター加熱による液状付着物の蒸発効率も向上する。
【００２８】
図１０は、図７のＢ−Ｂ断面図である。本実施形態では、浮上パッド９ａの部分に、記録再生素子８の周囲を暖め、熱膨張によって超浅溝１０ａより記録再生素子８を突出させる第二の発熱体として、浮上量調整ヒーター２３を備えている。浮上量調整ヒーター２３は、記録再生素子８の浮上量を調整することに用いる。
【００２９】
一例として、データ再生時に、記録再生素子８の再生素子８ａの浮上量を低下させ、磁気ディスク２からの漏れ磁界が小さくても、データを正しく再生出来るようにする。この場合、浮上量調整ヒーター２３は、再生素子８ａを突出させやすくするため、境界１２と再生素子８ａとの間のヘッド部内に形成されている。本実施例ではこちらの形状を説明する。
【００３０】
他の例として、常時使用することにより、ヘッドスライダ個々の浮上量の誤差を調整し、何れのヘッドスライダにおいてもデータを正しく再生出来るようにする。その場合には、浮上量調整ヒーター２３は、再生素子８ａと記録素子８ｂとの間に設けるのが望ましい。
【００３１】
尚、浮上量調整ヒーター２３は記録再生素子８の周囲を熱膨張させる目的であり、他の箇所まで突出させた場合、磁気ディスク２への無用な接触を生じる恐れが大きくなるので、その幅は記録再生素子８と同等か少し広い程度である。
【００３２】
本実施例では、ヒーター１７と浮上量調整ヒーター２３との複数の発熱体を備えている。先にも述べた通り、ヒーター１７はヘッドスライダ４が浮上している際には常時使用することが望ましい。一方、浮上量調整ヒーター２３は常時使用される場合と、状況に応じて使用される場合とがある。よって何れの場合にも対応できるよう、ヒーター１７と浮上量調整ヒーター２３とは個別に配線して制御する方が望ましい。しかし、浮上量調整ヒーター２３が常時使用されない場合であっても、端子の数及び配線の数を抑えるため、一つの配線上にヒーター１７と浮上量調整ヒーター２３とを備え、浮上量調整ヒーター２３使用時のみヒーター１７を使用する構成としても良い。また、ヒーター１７と浮上量調整ヒーター２３とを並列回路化し、交流（ＡＣ）と直流（ＤＣ）の印加によってそれぞれを別個に制御しても良い。このようにすれば、端子及び配線数を増加することなく、ヒーター１７と浮上量調整ヒーター２３とを個別に制御することができる。
【００３３】
尚、先に示した実施形態１及び／または実施形態２においては説明しなかったが、実施形態３と同様に、図１０に示した浮上量調整ヒーター２３を備えて良いことは言うまでも無い。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態に係る磁気ディスク装置の斜視図の一例である。
【図２】図１の装置における磁気ヘッドスライダのディスクに対向する浮上面の斜視図の一例である。
【図３】スライダ後端側から見た液状物の付着例である。
【図４】実施形態１のスライダの斜視図及びＡ−Ａ断面図の一例である。
【図５】実施形態１のスライダの斜視図及びそのヒーター構造の一例である。
【図６】実施形態２のスライダの斜視図及び断面図の一例である。
【図７】実施形態３のスライダの斜視図及びＡ−Ａ断面図の一例である。
【図８】図７のＡ−Ａ断面図の一例である。
【図９】図７のＡ−Ａ断面図の一例である。
【図１０】図７のＢ−Ｂ断面図の一例である。
【符号の説明】
【００３５】
１…ＨＤＤ筺体、２…磁気ディスク、３…スピンドルモータ、４…磁気ヘッドスライダ、５…サスペンション、６…ヘッドサスペンションアセンブリ（ＨＳＡ）、７…ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）、８…磁気記録再生素子（電磁変換素子）、８ａ…再生素子、８ｂ…記録素子、９，９ａ，ｂ，ｃ…浮上パッド、１０…溝、１０ａ…超浅溝、１０ｂ１，ｂ３…浅溝（ステップ面）、１０ｂ２…浅溝（レール面）、１０ｃ，１０ｄ…深溝（リセス面）、１１…流出端側面、１２…境界、１３…空気の流れの方向、１４，１４ａ，ｂ，ｃ…液状付着物、１５…ディスク表面、１６…平板型ヒーター、１７…平板型ヒーター、１７ａ，１７ｂ…発熱体部材、１７ｃ…良導体、１７ｄ，１７ｅ…配線、１８…流出端エッジ、１９…溝形状、２０…液状付着物、２３…浮上量調整ヒーター。
【図１】
2009146547.tif 000003
【図２】
2009146547.tif 000004
【図３】
2009146547.tif 000005
【図４】
2009146547.tif 000006
【図５】
2009146547.tif 000007
【図６】
2009146547.tif 000008
【図７】
2009146547.tif 000009
【図８】
2009146547.tif 000010
【図９】
2009146547.tif 000011
【図１０】
2009146547.tif 000012