(57)【要約】【課題】正確な離型力を測定できる離型力測定装置および離型力測定方法を提供する。【解決手段】第１貫通孔１１ａを有する第１金型１１と、第１貫通孔１１ａに挿入され、第１貫通孔１１ａを摺動する第１ロッド１２と、第２貫通孔１３ａと、第２貫通孔１３ａを囲み、第１貫通孔１１ａより大きい開口を有する凹部１３ｂとを備え、第１金型１１と凹部１３ｂとが対向し、第１貫通孔１１ａと第２貫通孔１３ａとが同軸状に対向するように第１金型１１に重ね合わされる第２金型１３と、一端面に凹部１３ｂに嵌合する鍔状の第１部品１４を有するとともに、第２貫通孔１３ａに挿入され、第２貫通孔１３ａを摺動する第２ロッド１５と、第２ロッド１５を釣支する弾性体１６と、第２金型１３と第１部品１４との距離を求める距離検出手段１７と、を具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１貫通孔を有する第１金型と、
前記第１貫通孔に挿入され、前記第１貫通孔を摺動する第１ロッドと、
第２貫通孔と、前記第２貫通孔を囲み、前記第１貫通孔より大きい開口を有する凹部とを備え、前記第１金型と前記凹部とが対向し、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とが同軸状に対向するように前記第１金型に重ね合わされる第２金型と、
一端面に前記凹部に嵌合する鍔状の第１部品を有するとともに、前記第２貫通孔に挿入され、前記第２貫通孔を摺動する第２ロッドと、
前記第２ロッドを釣支する弾性体と、
前記第２金型と前記第１部品との距離を求める距離検出手段と、
を具備することを特徴とする離型力測定装置。
【請求項２】
前記弾性体がバネであり、前記第２金型と前記第２ロッドの他端部に形成された鍔状の第２部品との間に挟まれていることを特徴とする請求項１に記載の離型力測定装置。
【請求項３】
前記第１金型に前記第２金型を重ね合わせ、前記第１ロッドで前記第１部品を押圧したときに、前記凹部に勘合した前記第１部品と前記第２金型とが同一平面上にあることを特徴とする請求項１に記載の離型力測定装置。
【請求項４】
材質および表面状態の異なる複数の前記第１部品を具備し、前記第１部品が前記第２ロッドの一端面に着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１または請求項３に記載の離型力測定装置。
【請求項５】
第１貫通孔を有する第１金型に前記第１貫通孔を摺動する第１ロッドを挿入し、前記第１貫通孔にタブレット状の樹脂を投入する工程と、
第２貫通孔と、前記第２貫通孔を取り囲み、前記第１貫通孔より大きい凹部とを有する第２金型に一端面に前記凹部に嵌合する鍔状の第１部品を有し、弾性体で釣支されて前記第２貫通孔を摺動する第２ロッドを挿入し、前記第１金型に前記第２金型を重ね合わせて、前記第１部品で前記第１貫通孔を密閉する工程と、
前記第１ロッドで前記タブレット状の樹脂を押圧して圧縮成形する工程と、
前記第１金型を相対的に移動させ、前記圧縮成形された樹脂と前記第１部品とが引き離されるまでに前記第１部品が移動した距離を求める工程と、
前記移動距離と前記弾性体のバネ定数とから、前記圧縮成形された樹脂と前記第１部品との離型力を求める工程と、
を具備することを特徴とする離型力測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離型力測定装置および離型力測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
金型を用いてリードフレーム上に載置された半導体チップを樹脂で封止する工程においては、リードフレームと成形された樹脂との間には高い密着性が要求されるが、金型と成形された樹脂との間には高い離型性が要求される。
【０００３】
金型と成形された樹脂との間の離型性が低いと、金型から成形された樹脂を取り出すときに、成形された樹脂に反りによる応力が発生する。  
反りによる応力が過大になると、樹脂封止された半導体チップの特性に影響を及ぼし、半導体チップの破損を招く問題がある。  
更に、反りによる応力が成形された樹脂の弾性限界を超えると、成形された樹脂自体が破損する恐れがある。
【０００４】
そのため、金型と成形された樹脂との間の離型力を正確に評価し、金型の表面状態や、樹脂の成形条件などを最適化するとともに、適切に維持管理することが求められている。
【０００５】
従来、金型と成形された樹脂との間の離型力を測定するために、下金型の底面に埋設され、成形された樹脂を押し上げるためのエジェクタピンと、エジェクタピンの下に組み込まれた荷重センサを用いた離型力測定装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
特許文献１に開示された離型力測定装置は、可動盤を貫通し、可動側金型内まで伸び、その先端がエジェクタプレートに当接するエジェクタロッドと、エジェクタプレートに設けられた複数のエジェクタピンと、エジェクタピンに装着され、エジェクタピンを金型内から引き込まれる方向に付勢するバネと、を具備している。  
エジェクタロッドを前進させてエジェクタプレートを押圧すると、エジェクタプレートがバネの力に抗して前進する。これにより、エジェクタピンを金型内に突出させ、成形品を突き出している。
【０００７】
然しながら、特許文献１に開示された離型力測定装置は、樹脂を成形するときに、エジェクタピンとエジェクタピン穴との隙間に樹脂が侵入し、樹脂を離型するときに、エジェクタピンの摺動抵抗が増加する問題がある。
【０００８】
これにより、測定に誤差が生じ、正確な離型力が測定できなくなるという問題がある。隙間に浸入した樹脂は離型されずに蓄積するので、測定を繰り返すと、測定誤差が累積するという問題がある。  
更には、増大した摺動抵抗にエジェクタピンが耐えられなくなり、離型力測定装置の破損を招く恐れがある。
【特許文献１】特開２００２−１４４３８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、正確な離型力を測定できる離型力測定装置および離型力測定方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様の離型力測定装置は、第１貫通孔を有する第１金型と、前記第１貫通孔に挿入され、前記第１貫通孔を摺動する第１ロッドと、第２貫通孔と、前記第２貫通孔を囲み、前記第１貫通孔より大きい開口を有する凹部とを備え、前記第１金型と前記凹部とが対向し、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とが同軸状に対向するように前記第１金型に重ね合わされる第２金型と、一端面に前記凹部に嵌合する鍔状の第１部品を有するとともに、前記第２貫通孔に挿入され、前記第２貫通孔を摺動する第２ロッドと、前記第２ロッドを釣支する弾性体と、前記第２金型と前記第１部品との距離を求める距離検出手段と、を具備することを特徴としている。
【００１１】
また、本発明の一態様の離型力測定方法は、第１貫通孔を有する第１金型に前記第１貫通孔を摺動する第１ロッドを挿入し、前記第１貫通孔にタブレット状の樹脂を投入する工程と、第２貫通孔と、前記第２貫通孔を取り囲み、前記第１貫通孔より大きい凹部とを有する第２金型に一端面に前記凹部に嵌合する鍔状の第１部品を有し、弾性体で釣支されて前記第２貫通孔を摺動する第２ロッドを挿入し、前記第１金型に前記第２金型を重ね合わせて、前記第１部品で前記第１貫通孔を密閉する工程と、前記第１ロッドで前記タブレット状の樹脂を押圧して圧縮成形する工程と、前記第１金型を相対的に移動させ、前記圧縮成形された樹脂と前記第１部品とが引き離されるまでに前記第１部品が移動した距離を求める工程と、前記移動距離と前記弾性体のバネ定数とから、前記圧縮成形された樹脂と前記第１部品との離型力を求める工程と、を具備することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、正確な離型力を測定できる離型力測定装置および離型力測定方法が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【実施例】
【００１４】
本発明の実施例に係る離型力測定装置について、図１および図２を参照して説明する。図１は本発明の実施例に係る離型力測定装置の構成を示す断面図、図２は離型力測定装置の要部を示す断面図である。
【００１５】
図１に示すように、本実施例の離型力測定装置１０は、第１貫通孔１１ａを有する第１金型１１と、第１貫通孔１１ａに挿入され、第１貫通孔１１ａを摺動する第１ロッド１２と、第２貫通孔１３ａと、第２貫通孔１３ａを囲み、第１貫通孔１１ａより大きい開口を有する凹部１３ｂとを備え、第１金型１１と凹部１３ｂとが対向し、第１貫通孔１１ａと第２貫通孔１３ａとが同軸状に対向するように第１金型１１に重ね合わされる第２金型１３と、一端面に凹部１３ｂに嵌合する鍔状の第１部品１４を有するとともに、第２貫通孔１３ａに挿入され、第２貫通孔１３ａを摺動する第２ロッド１５と、第２ロッド１５を釣支する弾性体１６と、第２金型１３と第１部品１４との距離を求める距離検出手段１７と、を具備している。
【００１６】
更に、第２ロッド１５の他端部に、第２金型１３との間に弾性体１６を挟むように鍔状の第２部品１８を具備している。  
第２金型１３上には、支柱１９ａと、支柱１９ａにより支えられた天板１９ｂとを有する架台１９が取り付けられている。架台１９の天板１９ｂに、距離検出手段１７が取り付けられている。
【００１７】
第１および第２金型１１、１３は、例えばブロック状のステンレス材であり、第１および第２金型１１、１３が重ね合わされる面は、それぞれ平坦に仕上げられている。
【００１８】
第１ロッド１２は、熱膨張係数が第１金型１１と等しく、一端面が平坦な円柱状のステンレス材である。同様に、第２ロッド１５は、熱膨張係数が第２金型１３と等しく、両端面が平坦な円柱状のステンレス材である。
【００１９】
第１部品１４は、熱膨張係数が第２金型１３と等しく、板状のステンレス材である。第１部品１４は、第２ロッド１５の一端面に着脱可能に取り付けられている。
【００２０】
弾性体１６は、例えばコイル状のバネである。コイルの空芯に第２ロッド１５を通すことにより、弾性体１６は第２ロッド１５と同軸状に配置され、第２金型１３と鍔状の第２部品１８との間に挟まれている。これにより、第２ロッド１５が弾性体１６により釣支されている。
【００２１】
弾性体１６の長さおよびバネ定数は、第２ロッド１５と、第１部品１４と、第２部品１８との自重とつり合ったところで、第１部品１４が第２金型１３の凹部１３ｂの底面から離間し、第２金型１３より下側に位置するように設定されている。
【００２２】
距離検出手段１７は、例えば渦電流式の変位センサである。距離検出手段１７の励起コイル（図示せず）に高周波電流を流すと、電磁誘導により、鍔状の第２部品１８に距離検出手段１７との距離に応じた渦電流が流れる。  
当然ながら、第２金型１３と第２部品１８との距離の変化量は、第２金型１３と第１部品１４との距離の変化量と等しい。
【００２３】
渦電流の強さは、例えば励起コイルの高周波電流を常に一定に維持するために必要な電力により求めることができる。従って、鍔状の第２部品１８は、低抵抗の導電材に限られ、例えば銅材が好ましい。
【００２４】
第１金型１１に第２金型１３を重ね合わせるときは、始めに第１部品１４が第１金型１１に接触し、第２ロッド１５が第２貫通孔１３ａを摺動して上昇し、第１部品１４が凹部１３ｂに嵌合する。
【００２５】
第１金型１１と第２金型１３とが重ね合わされ、第１ロッド１２で第１部品１４を押圧したときに、凹部１３ｂに嵌合した第１部品１４と第２金型１３とが同一平面（第１金型１１の面）上にあるように、第２金型１３の凹部１３ｂの深さと、第１部品１４の厚さは、例えば等しく設定されている。
【００２６】
これにより、第１金型１１と第１部品１４とが密着し、第１部品１４により第１貫通孔１１ａが蓋をされて、第１貫通孔１１ａと、第１ロッド１２と、第１部品１４とで囲まれた空間が密閉される。
【００２７】
第１貫通孔内にタブレット状の樹脂（図示せず）を投入し、モータＭにより昇降可能なピストン２０を有する駆動手段２１により第１ロッド１２を摺動して上昇させ、タブレット状の樹脂を押圧することにより、圧縮成形が行われる。
【００２８】
圧縮成形により第１部品と樹脂が密着する。第１金型１１を下降させると、第１部品１４は圧縮成形された樹脂に引っ張られ、第２ロッド１５が摺動して下降し、弾性体１６が圧縮される。
【００２９】
圧縮された弾性体１６の反発力が、第１部品１４と圧縮成形された樹脂との密着力を上回ると、第１部品１４と樹脂とが引き離される。  
この、第１部品１４と圧縮成形された樹脂とが引き離される瞬間の最大荷重が、第１部品１４と圧縮成形された樹脂との離型力となる。  
離型力は、第１部品１４が引き離されるまでに移動した距離と、弾性体１６のバネ定数との積で求められる。  
ここで、本明細書でいう離型力とは、第１部品１４と圧縮成形された樹脂とを密着面に垂直な方向に引き離す力、所謂正面離型力を意味している。
【００３０】
図２は第２ロッド１５の一端面に着脱可能に取り付けられた第１部品１４を示す断面図である。  
図２に示すように、第１部品１４は中央部に皿穴３０、３１を有し、第２ロッド１５の一端面に形成された雌ネジ３２、３３に皿ネジ３４、３５により固定されている。
【００３１】
予め、同じサイズで、材質および表面状態の異なる複数の第１部品１４ａ、１４ｂ、１４ｃを用意しておき、第１部品１４を交換することにより、材質および表面状態と離型力の関係を詳しく調べることが可能である。
【００３２】
次に離型力の測定方法について、図３乃至図７を用いて詳しく説明する。図３乃至図６は離型力を測定する工程を順に示す断面図、図７は距離検出手段１７の出力を示す図である。
【００３３】
始めに、図３に示すように、第１貫通孔１１ａに第１ロッド１２を挿入し、第１貫通孔１１ａにタブレット状の樹脂４０を投入する。
【００３４】
次に、図４に示すように、第１金型１１に第２金型１３を、第１金型１１と凹部１３ｂとが対向し、第１貫通孔１１ａと第２貫通孔１３ａとが同軸状に対向するように重ね合わせる。
【００３５】
次に、タブレット状の樹脂４０を加熱しながら、第１ロッド１２を摺動して上昇させ、タブレット状の樹脂４０を押圧し、第１貫通孔１１ａの内壁と、第１ロッド１２の一端面と、第１部品１４とで構成される型に倣って、圧縮成形された樹脂４１を得る。  
このとき、距離検出手段１７により、第２部品１８までの距離Ｌｍｉｎを測定する。距離Ｌｍｉｎは、第２ロッド１５が最上位点まで押し上げられた位置である。
【００３６】
第１部品１４は第１金型１１に密着し、第１貫通孔１１ａは第１部品１４により密閉されているので、溶融したタブレット状の樹脂４０が、第１金型１１と第１部品１４との隙間に侵入することは皆無である。
【００３７】
次に、図５に示すように、第１金型１１を摺動して降下させながら、距離検出手段１７により、第２部品１８までの距離Ｌをモニターし、第２金型１３と第１部品１４との距離Ｌ−Ｌｍｉｎを求める。
【００３８】
圧縮成形された樹脂４１は、第１貫通孔１１ａの内壁との側面密着力、第１ロッド１２との裏面密着力で第１金型１１に保持されている。  
この側面密着力と裏面密着力との和は、第１部品１４との正面密着力より大きいので、第１部品１４は圧縮成形された樹脂４１に引っ張られて、第２ロッド１５が摺動して下降する。
【００３９】
これにより、弾性体１６は押し縮められていき、降下した距離に応じて、弾性体１６には、反発力Ｆ＝ｋ（Ｌ−Ｌｍｉｎ）が蓄積される。ここで、ｋは弾性体１６のバネ定数である。
【００４０】
次に、図６に示すように、弾性体１６の反発力Ｆが、第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１との間の密着力を超えると、第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１が引き離される。  
そのときの距離検出手段１７から第２部品１８までの距離をＬｍａｘとすると、第２金型１３と第１部品１４との距離は、Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎで表わされる。  
これにより、第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１との間の離型力Ｆ＝ｋ（Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎ）が求められる。
【００４１】
第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１とが引き離されると、第２ロッド１５は弾性体１６の反発力Ｆにより、第２貫通孔１３ａを摺動して上昇する。  
第２ロッド１５は減衰振動しながら、第２ロッド１５、第１部品１４、第２部品１８との自重と弾性体１６の反発力が釣り合った位置で静止する。そのときの距離検出手段１７から第２部品１８までの距離をＬ０とする。
【００４２】
図７は距離検出手段１７の出力を示す図である。図７に示すように、時間ｔ０〜ｔ１で、タブレット状の樹脂４０が投入され、第１金型１１に第２金型１３が重ね合わされ、第１ロッド１２が第１貫通孔１１ａを摺導して上昇を開始する。このときの距離検出手段１７の出力はＬ０である。  
次に、時間ｔ１で、タブレット状の樹脂４０が第１部品１４に接触し、圧縮成形が開始される。このときの距離検出手段１７の出力はＬｍｉｎである。
【００４３】
次に、時間ｔ２で、第１金型１１が下降を開始し、第１金型１１と第２金型１３が開放される。このときの距離検出手段１７の出力は、下降時間に応じてＬｍｉｎからＬｍａｘまで増加する。  
次に、時間ｔ３で、第１部品１４と樹脂４１が引き離される。このときの距離検出手段１７の出力は、減衰振動しながらＬ０に戻る。
【００４４】
本実施例においては、エジェクタピンにより圧縮成形された樹脂を押し出すのではなく、第１部品１４により圧縮成形された樹脂４１を引き出すようにしたので、圧縮成形時に第１貫通孔１１ａと第１ロッド１２との隙間に侵入した樹脂は、離型力の測定に影響を及ぼさない。  
第１金型１１と第１部品１４とは隙間なく密着しているので、圧縮成形時に摺動のように隙間へ樹脂が侵入することはない。
【００４５】
図８は、第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１との密着面にかかる力を比較例と対比して示す図で、実線が本実施例を示す図、破線が比較例を示す図である。  
ここで、比較例とは、弾性体１６を有せず、第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１とを引き離す力を荷重センサで測定する場合を意味している。始めに、比較例について説明する。
【００４６】
図８に示すように、比較例では、第１金型１１を下降させ始めると、荷重センサは剛性が高いので、僅かな変位で第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１との界面に急激に力が作用する。  
そのため、第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１との界面における力のかかり具合の不均一性および密着力の不均一性などに起因して、測定値にバラツキが生じ、再現性良く離型力を求めることが難しい。
【００４７】
一方、本実施例では、弾性体１６は伸縮性が高いので、第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１との界面に緩やかに力が作用し、大きな変位に至って第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１が離型する。  
そのため、第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１との界面における力のかかり具合の不均一性および密着力の不均一性などに起因した測定値のバラツキが生じにくく、再現性良く離型力を求めることが可能である。
【００４８】
以上説明したように、本実施例に係る離型力測定装置１０は、第１金型１１と密着し、第１貫通孔１１ａを密閉する第１部品１４と、第１部品１４が一端面に着脱可能に取り付けられた第２ロッド１５釣支する弾性体１６と、第２金型１３と第１部品１４との距離を求める距離測定手段１７とを具備している。
【００４９】
エジェクタピンにより圧縮成形された樹脂４１を押し出すのではなく、第１部品１４により圧縮成形された樹脂４１を引き出すようにしたので、圧縮成形時に第１貫通孔１１ａと第１ロッド１２との隙間に侵入した樹脂は、離型力の測定に影響を及ぼさない。  
第１金型１１と第１部品１４とは隙間なく密着しているので、圧縮成形時に摺動のように隙間へ樹脂が侵入することはない。
【００５０】
弾性体１６により、密着した第１部品１４と圧縮成形された樹脂４１との界面に緩やかに力が作用するので、力のかかり具合の不均一性および密着力の不均一性などに起因した測定値のバラツキが生じにくい。従って、正確な離型力を測定できる離型力測定装置および離型力測定方法が得られる。
【００５１】
弾性体１６がコイル状のバネであることから、荷重測定精度が高い、耐熱性がある（圧縮成形温度の１８０℃以上）、交換が容易、安価であるなどの利点が得られる。
【００５２】
ここでは、第２ロッド１５が、コイル状のバネで、第２金型１３と第２部品１８との間に挟まれた弾性体１６により釣支された場合ついて説明したが、第２ロッド１５を、架台１９から弾性体を介して釣下げるようにしても構わない。
【００５３】
図９は架台１９から弾性体を介して釣支された第２ロッド１５を具備する離型力測定装置の要部を示す図である。  
図９に示すように、離型力測定装置５０は、一端が架台１９の天板１９ｂに固定され、他端が第２部品１８に固定された弾性体５１、５２、５３により釣支された第２ロッド１５を具備している。  
弾性体５１、５２、５３は、例えば正三角形状に配置され、３点で第２ロッド１５を釣支している。
【００５４】
これによれば、弾性体５１、５２、５３は、引き伸ばされる方向にのみ荷重が印加されるので、弾性体５１、５２、５３はバネに限定されることなく、ゴムを使用することも可能である。
【００５５】
第１部品１４が、皿ネジ３４、３５により、第２ロッド１５に着脱可能に取り付けられている場合について説明したが、図１０に示すように、第２ロッド１５の一端面に雌ネジ６０を形成し、第１部品１４に形成された雄ネジ６１で着脱可能に取り付けても構わない。これによれば、第１部品１４の表面に皿ネジ３４、３５が露出していないので、圧縮成形された樹脂４１との密着性がより安定化する利点がある。
【００５６】
弾性体１６が、コイル状のバネである場合について説明したが、皿状のバネでも構わない。皿状のバネは、コイル状のバネに比べ、狭いスペースで大きな荷重を発生させたい場合に適している。  
取付け方法は、図１と同様で、皿状のバネの中央部に形成された貫通孔に第２ロッド１５を通すことにより、皿状のバネは第２ロッド１５と同軸状に配置され、第２金型１３と鍔状の第２部品１８との間に挟まれる。これにより、第２ロッド１５が皿状のバネにより釣支される。
【００５７】
距離検出手段１７が、渦電流式の変位センサである場合について説明したが、距離が連続的に測定でき、測定値が記録（記憶）できるものであれば、他の方式の変位センサ、例えば静電容量方式の変位センサ、光学方式の変位センサなどでも構わない。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施例に係る離型力測定装置の構成を示す断面図。
【図２】本発明の実施例に係る離型力測定装置の要部を示す断面図。
【図３】本発明の実施例に係る離型力測定方法を工程順に示す断面図。
【図４】本発明の実施例に係る離型力測定方法を工程順に示す断面図。
【図５】本発明の実施例に係る離型力測定方法を工程順に示す断面図。
【図６】本発明の実施例に係る離型力測定方法を工程順に示す断面図。
【図７】本発明の実施例に係る離型力測定装置の距離検出手段の出力を示す図。
【図８】本発明の実施例に係る変位と離型力との関係を比較例と対比して示す図で、実線が本実施例を示す図、破線が比較例を示す図。
【図９】本発明の実施例に係る別の離型力測定装置の要部を示す断面図。
【図１０】本発明の実施例に係る別の離型力測定装置の要部を示す断面図。
【符号の説明】
【００５９】
１０、５０  離型力測定装置
１１ａ  第１貫通孔
１１  第１金型
１２  第１ロッド
１３ａ  第２貫通孔
１３ｂ  凹部
１３  第２金型
１４、１４ａ〜１４ｆ  第１部品
１５  第２ロッド
１６、５１、５２、５３  弾性体
１７  距離検出手段
１８  第２部品
１９  架台
１９ａ  支柱
１９ｂ  天板
２０  ピストン
２１  駆動手段
３０、３１  皿穴
３２、３３、６０  雌ネジ
３４、３５  皿ネジ
４０、４１  樹脂
６１  雄ネジ
【図１】
2009148987.tif 000003
【図２】
2009148987.tif 000004
【図３】
2009148987.tif 000005
【図４】
2009148987.tif 000006
【図５】
2009148987.tif 000007
【図６】
2009148987.tif 000008
【図７】
2009148987.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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