(57)【要約】【課題】ノズルが形成されている樹脂製のプレートを共通液室のダンパ壁として利用する構成において、ノズルの開口面を払拭部材でクリーニングしても、払拭部材が前記プレートにかける押圧力でインクを漏出させ吐出不良を引き起こすことを防止する。【解決手段】キャビティ部３０には可撓性を有する第１のプレート４１が備えられ、この第１のプレート４１にノズル７が穿設されるとともに、第１のプレート４１の一部で共通液室５０の一側となる部位がダンパ壁５１となり、払拭部材２０は、第１のプレート４１におけるノズルの開口面４１ａに対して相対的に移動しながら払拭するように構成され、払拭部材２０が、少なくとも第１のプレート４１におけるダンパ壁５１の部位と接触するときに、キャビティ部３０の液体に負圧を与えるように、制御部３００はアクチュエータ３１を駆動する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルと、各ノズル毎に設けられ前記ノズルに連通する圧力室と、各圧力室に連通して液体を分配する共通液室と、可撓性を有し前記共通液室の一側を構成するダンパ壁とを少なくとも備えたキャビティ部と、
前記キャビティ部の内部の液体に、前記圧力室毎に選択的に吐出圧力を与えるアクチュエータと、
前記キャビティ部の前記ノズルの開口面に対して接離動可能に設けられた払拭部材と、
前記アクチュエータの駆動及び前記払拭部材の接離動を制御する制御部とが備えられた液滴吐出装置において、
前記キャビティ部には可撓性を有する第１のプレートが備えられ、この第１のプレートに前記ノズルが穿設されるとともに、当該第１のプレートの一部で前記共通液室の一側となる部位が前記ダンパ壁となり、
前記払拭部材は、前記第１のプレートにおける前記ノズルの開口面に対して相対的に移動しながら払拭するように構成され、
前記払拭部材が、少なくとも前記第１のプレートにおける前記ダンパ壁の部位と接触するときに、前記キャビティ部の液体に負圧を与えるように、前記制御部は前記アクチュエータを駆動することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記アクチュエータが液体に印加する負圧は、前記払拭部材が前記ダンパ壁の部位を押圧したときに液体に与える正圧を相殺する大きさに設定されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記払拭部材は、前記ノズルの開口面に平行な第１の方向に相対的に移動し、
前記ノズルは、前記第１の方向と交差する第２の方向に延びる列状に配置され、
前記ノズルの開口面に平行な平面視にて、前記ダンパ壁は、前記ノズルの列と重ならない位置で前記第２の方向に沿って細長く形成されていて、
前記払拭部材は、前記第２の方向に、前記ノズルの列と同じかそれよりも長い長さで設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記キャビティ部には、複数種類の液体が蓄えられ、
前記第１のプレートには、前記液体の種類毎に対応する前記ダンパ壁の部位と前記ノズルの列とが、第１の方向に沿って平行状に並設されていて、
前記ダンパ壁の部位と前記払拭部材との接触に伴う前記アクチュエータによる液体への負圧の印加は、前記液体の種類毎に行うことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記キャビティ部と前記アクチュエータとを有する液滴吐出ヘッドは、前記第１の方向に往復移動するように構成され、
前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する検出手段が備えられ、
前記制御部は、前記検出手段による前記液滴吐出ヘッドの位置に基づいて、前記払拭部材の接離動、及び前記アクチュエータによる液体への負圧の印加の制御を行うことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記払拭部材が前記ダンパ壁の前記第１の方向における幅のほぼ中央位置を押圧しているときに、前記アクチュエータによって前記液体に与えられる前記負圧が最大値となることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記第１のプレートは、ポリイミド製であることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記第１のプレートは、前記共通液室となる穴部が穿設された第２のプレートに積層されていて、
前記キャビティ部は、前記ノズルの開口面に直交する側面視にて、前記ノズルの開口面と反対の面側に前記圧力室が配置され、前記圧力室と前記ノズルの開口面との間に前記共通液室が配置され、前記共通液室における前記ノズルの開口面側の壁が、前記ダンパ壁となっていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出するノズルと、このノズルが開口している面を払拭する払拭部材とを備えた液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置の一例としてのインクジェットプリンタ装置に用いられるインクジェット式の記録ヘッドでは、従来から、インク供給源から供給されたインクが共通インク室から各圧力室に分配されてノズルに至るようにインク流路が形成されたキャビティ部と、このキャビティ部に積層されるアクチュエータとを備えた構造が知られている（特許文献１、２等）。この構成では、アクチュエータから各圧力室に選択的に吐出圧力を与えることで、その圧力室に対応するノズルからインクを吐出するようにしている。
【０００３】
上記のような構成では、圧力室はノズルと共通インク室の両方に連通しているので、アクチュエータにより圧力室が加圧されると、圧力室からのインクの圧力波には、ノズルに向かう前進成分だけでなく、共通インク室に向かう後退成分も発生する。この圧力波の後退成分が共通インク室を介して他のノズルに伝播する所謂クロストークが発生すると、記録品質が低下する。そのため、前記圧力波の後退成分を吸収する（減衰させる）ダンパを共通インク室に設け、クロストークを防止するようにしている。
【０００４】
例えば、特許文献１の記録ヘッドでは、共通インク室の一側を構成するダンパ壁を、薄い金属壁で形成するとともに、ダンパ壁を挟んで共通インク室の反対側にダンパ室を設け、前記ダンパ壁を振動可能にすることで圧力変動を吸収するようにしている。また、特許文献２では、ノズルが形成されているポリイミド樹脂からなるノズルプレートで、共通インク室の一側を構成し、ノズルプレートの一部を樹脂製のダンパ壁として用いている。このようにダンパ壁を樹脂製にすることによって、振動させ易くし、圧力変動に対する減衰効果を高めている。
【０００５】
ところで、特許文献１及び２のような記録ヘッドでは、増粘したインクやミスト状のインクがノズルの開口周辺に付着して吐出不良を引き起こすことが知られている。そのため、液滴吐出装置には、一般的に非記録時にノズルの開口面を覆うキャップ部材と、ノズルの開口面を払拭してクリーニングする払拭部材（ワイパー）が備えられている。そして、キャップ部材にてノズルの開口面を覆った状態でノズル内のインクを吸引し、その後に、払拭部材がノズルの開口面に対して、所定のタイミングでまたは任意に払拭するよう摺動し、ノズルの開口面上のインク類（例えば、紙粉、埃、増粘インク、ミストのインクなど）を拭き取っている。
【特許文献１】特開２００７−１２５８０７号公報（図２及び図３参照）
【特許文献２】特開２００６−３４７０３６号公報（図３及び図４参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２のように剛性の低い樹脂製のノズルプレートが共通インク室のダンパ壁を兼用している場合、払拭部材がノズルの開口面を払拭するためにノズルプレートに接触すると、ノズルプレートが共通インク室側に押圧される。その結果、共通インク室において圧力波がおこり、その圧力波がキャビティ部の内部のインクに伝達して（正圧を受け）、ノズルに形成されていたメニスカスが破壊されてノズルからインクが漏出する現象が生じる。このインクのメニスカスの破壊は、払拭部材によるクリーニングに引き続いて記録動作を行うときに、吐出不良の要因となっていた。
【０００７】
本発明は、上記課題を解消するものであって、ノズルが形成されている樹脂製のプレートを共通液室のダンパ壁として利用する構成において、ノズルの開口面を払拭部材でクリーニングしても、払拭部材が前記プレートにかける押圧力でインクを漏出させ吐出不良を引き起こすことを防止することができる液滴吐出装置の実現を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明における液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数のノズルと、各ノズル毎に設けられ前記ノズルに連通する圧力室と、各圧力室に連通して液体を分配する共通液室と、可撓性を有し前記共通液室の一側を構成するダンパ壁とを少なくとも備えたキャビティ部と、前記キャビティ部の内の液体に、前記圧力室毎に選択的に吐出圧力を与えるアクチュエータと、前記キャビティ部の前記ノズルの開口面に対して接離動可能に設けられた払拭部材と、前記アクチュエータの駆動及び前記払拭部材の接離動を制御する制御部とが備えられた液滴吐出装置において、前記キャビティ部には可撓性を有する第１のプレートが備えられ、この第１のプレートに前記ノズルが穿設されるとともに、当該第１のプレートの一部で前記共通液室の一側となる部位が前記ダンパ壁となり、前記払拭部材は、前記第１のプレートにおける前記ノズルの開口面に対して相対的に移動しながら払拭するように構成され、前記払拭部材が、少なくとも前記第１のプレートにおける前記ダンパ壁の部位と接触するときに、前記キャビティ部の液体に負圧を与えるように、前記制御部は前記アクチュエータを駆動することを特徴とするものである。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液滴吐出装置において、前記アクチュエータが液体に印加する負圧は、前記払拭部材が前記ダンパ壁の部位を押圧したときに液体に与える正圧を相殺する大きさに設定されていることを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、前記払拭部材は、前記ノズルの開口面に平行な第１の方向に相対的に移動し、前記ノズルは、前記第１の方向と交差する第２の方向に延びる列状に配置され、前記ノズルの開口面に平行な平面視にて、前記ダンパ壁は、前記ノズルの列と重ならない位置で前記第２の方向に沿って細長く形成されていて、前記払拭部材は、前記第２の方向に、前記ノズルの列と同じかそれよりも長い長さで設けられていることを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の液滴吐出装置において、前記キャビティ部には、複数種類の液体が蓄えられ、前記第１のプレートには、前記液体の種類毎に対応する前記ダンパ壁の部位と前記ノズルの列とが、第１の方向に沿って平行状に並設されていて、前記ダンパ壁の部位と前記払拭部材との接触に伴う前記アクチュエータによる液体への負圧の印加は、前記液体の種類毎に行うことを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれかに記載の液滴吐出装置において、前記キャビティ部と前記アクチュエータとを有する液滴吐出ヘッドは、前記第１の方向に往復移動するように構成され、前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する検出手段が備えられ、前記制御部は、前記検出手段による前記液滴吐出ヘッドの位置に基づいて、前記払拭部材の接離動、及び前記アクチュエータによる液体への負圧の印加の制御を行うことを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の液滴吐出装置において、前記払拭部材が前記ダンパ壁の前記第１の方向における幅のほぼ中央位置を押圧しているときに、前記アクチュエータによって前記液体に与えられる前記負圧が最大値となることを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれかに記載の液滴吐出装置において、前記第１のプレートは、ポリイミド製であることを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項８に記載の発明は、請求項１から７のいずれかに記載の液滴吐出装置において、前記第１のプレートは、前記共通液室となる穴部が穿設された第２のプレートに積層されていて、前記キャビティ部は、前記ノズルの開口面に直交する側面視にて、前記ノズルの開口面と反対の面側に前記圧力室が配置され、前記圧力室と前記ノズルの開口面との間に前記共通液室が配置され、前記共通液室における前記ノズルの開口面側の壁が、前記ダンパ壁となっていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、可撓性を有する第１のプレートにノズルを穿設し且つこの第１のプレートで共通液室の一側となるダンパ壁を構成している。そして、払拭部材が、少なくとも第１のプレートにおけるダンパ壁の部位と接触するときに、キャビティ部の液体に負圧を与えるように、制御部は前記アクチュエータを駆動する。つまり、ノズルが形成されている第１のプレートの可撓性を利用して、共通液室に伝わる圧力変動を効果的に減衰し、キャビティ部を構成するプレートの枚数を減らして部品点数の削減を図ることができる。その一方、第１のプレートがノズルを形成したプレートであるため、当該プレートはクリーニング時に払拭部材に押圧されて、内部の液体に正圧がかかる。しかしながら、この払拭部材によって内部の液体に正圧が掛かるときに、アクチュエータで液体に負圧を掛けるようにしているから、クリーニング時に払拭部材が液体に及ぼす影響を軽減できる。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、アクチュエータが液体に印加する負圧は、前記払拭部材が前記ダンパ壁の部位を押圧したときに液体に与える正圧を相殺する大きさに設定されているから、払拭部材に液体が押圧されても、ノズルに生じるメニスカスが破壊され、液体が漏出することを抑制できる。その結果、払拭部材によるクリーニングに引き続いて液体を吐出するときに、吐出不良を生じ難にくくする効果が得られる。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、払拭部材及びノズルの列は第２の方向に延び、ダンパ壁はノズルの列と平面視で重ならない位置で、第２の方向に沿って細長く形成されている。従って、払拭部材がノズルの開口面に対して相対的に第１の方向に移動すると、ダンパ壁とノズルの列とに順次当接する。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、キャビティ部には、複数の液体が蓄えられ、ダンパ壁の部位と払拭部材との接触に伴うアクチュエータによる液体への負圧の印加は、液体の種類毎に行う。従って、任意の１つの液体に対応するダンパ壁が払拭部材で押圧されているときには、この液体にアクチュエータから負圧がかけられ、この液体を吐出するノズルにおけるメニスカスの破壊や液体の漏出が防止される。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、キャビティ部とアクチュエータとを有する液滴吐出ヘッドは第１の方向に往復移動し、液滴吐出ヘッドの位置を検出する検出手段が設けられている。従って、液滴吐出ヘッドが第１の方向に移動することで、相対的に払拭部材がノズルの開口面に対して摺動し払拭することになる。液滴吐出ヘッドが、払拭部材が設けられている位置の近傍に近づいたことを検出手段で検出すると、これに連動して、払拭部材がノズルの開口面に接近するように変動を開始する。
【００２１】
また、払拭部材がノズルの開口面に対して相対的に摺動して、液滴吐出ヘッドのダンパ壁の部位に近づいたことを検出手段で検出すると、これに基づいて、アクチュエータによる液体への負圧の印加の制御が開始される。
【００２２】
請求項６に記載の発明によれば、払拭部材が、可撓性を有するダンパ壁の第１の方向における幅の端から連続して押圧し、ほぼ中央位置にきたときに、ダンパ壁（第１プレート）の撓み値が最大になり、共通液室内の液体にかかる正圧が最大となる。そのため、予めその最大値にあわせてアクチュエータを駆動させてキャビィ部の内部の液体に負圧をかけるようにすれば、効率的にアクチュエータを駆動制御させて、メニスカスを破壊するような圧力波を相殺することができる。
【００２３】
請求項７に記載の発明によれば、第１のプレートはポリイミド製であるため、ノズルプレート及び共通液室の一側を構成するプレートとして、液体に対する耐性が高く、また、ノズルをレーザ加工するときの加工性にも優れている。
【００２４】
請求項８に記載の発明によれば、ノズルが形成された第１のプレートと、共通液室となる穴部が穿設された第２のプレートが積層されることで、第１のプレートが共通液室の一側となるダンパ壁を構成する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は液滴吐出装置としての記録装置１の概略平面図である。この記録装置１は、単独のプリンタ装置に適用しても、あるいは、ファクシミリ機能やコピー機能等の複数の機能を備えた多機能装置のプリンタ機能（記録部）に適用してもよい。
【００２６】
記録装置１には、図１に示すように、液滴吐出ヘッドとしての記録ヘッド３がキャリッジ２に搭載され、記録ヘッド３の下面に対向してプラテン４が設けられている。キャリッジ２には、プラテン４に対向するようにノズル７（図４及び図５参照）を露出させて、記録ヘッド（請求項の液滴吐出ヘッド）３が取り付けられている。第１ガイド部材５及び第２ガイド部材６は、キャリッジ２の主走査方向（Ｙ軸方向、請求項の第１の方向に相当））に延びた部材であり、これらに跨ってキャリッジ２は移動する。なお、説明では、記録ヘッド３のノズル７が開口された側を下面（下側）とし、その反対側を上面（上側）とする。
【００２７】
記録媒体である用紙は、キャリッジ２の主走査方向（Ｙ軸方向）に直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。キャリッジ２は、キャリッジ（ＣＲ）モータ８に連結された駆動プーリ９と、従動プーリ１０とに掛け渡されたタイミングベルト１１によってＹ軸方向に沿って往復移動する。キャリッジ２（記録ヘッド３）のＹ軸方向（主走査方向）の位置とその方向の移動速度を検知するための検出手段３３０（図７参照）として光学式リニアエンコーダが備えられ、その構成部品であるテープスケール（図示せず）がＹ軸方向（主走査方向）に沿って配置されている。この検出手段３３０で検出された記録ヘッド３のＹ軸方向（主走査方向）の位置に基づいて、後述する払拭部材２０によるクリーニングやそれに伴うアクチュエータ３１の制御も行われる（以降、位置検出手段３３０と記載する）。
【００２８】
本体フレーム１２内には、図１に示すように、交換式のインクカートリッジ１３の収納部１４が設けられており、インク色の数に応じたインクカートリッジ１３（ここではブラックインク用、シアンインク用、マゼンタインク用、イエローインク用の４つ）が収納されている。各インクカートリッジ１３のインクは、可撓性を有するインク供給管（樹脂製のチューブ）１５を介して、それぞれ独立してキャリッジ２の記録ヘッド３に供給される。
【００２９】
図１に示すように、記録装置１の本体フレーム１２内で、用紙のＹ軸方向の幅（記録領域）よりも外側における一方の側（図１の左側）には、インク受け部１６が設けられ、他方の側（図１の右側）にはメンテナンスユニット１７が設けられている。記録ヘッド３は、インク受け部１６と対向する位置（フラッシング位置）にて、記録前または記録動作中に定期的にノズルの目詰まり防止のためのインク吐出（フラッシング）を行う。
【００３０】
メンテナンスユニット１７は、キャリッジ２の待機位置（ホームポジション）に対応して設けられており、記録ヘッド３に対するクリーニングを行う。クリーニングとしては、後で詳しく説明するが、ノズル内の増粘したインクなどの不良インクを吸引する回復動作（吸引パージ動作）と、その後にノズル開口面４１ａに対して付着したインクなどを払拭するワイピング動作とがある。メンテナンスユニット１７には、図２の模式図に示すように、記録領域に近い側から順に、ノズル開口面４１ａを払拭する払拭部材２０と、吸引ポンプ１８（図１参照）に接続されたキャップ体１９とが並設されている。キャップ体１９と払拭部材２０とは、いずれも昇降手段２１によって、キャリッジ２の移動方向（Ｙ軸方向）に直交する方向（上下方向）に沿って、ノズル開口面４１ａに接触する位置と離隔する位置との間で変位できるように設けられている。
【００３１】
払拭部材２０は、可撓性を有する素材（例えば、ゴム等）を用いて、図２及び図６に示すように、ノズル開口面４１ａのＸ軸方向の長さ寸法と略同じ長さ寸法を有するワイパー状に形成されている。払拭部材２０は、メンテナンスユニット１７に設けられていて、前述したように昇降手段２１によりノズル開口面４１ａに対して接離動する。ノズル開口面４１ａと当接可能な位置に払拭部材２０があるときに、払拭部材２０の位置を通過するように記録ヘッド３が移動する（走査する）ことによって、相対的に払拭部材２０はノズル開口面４１ａに対して摺動する。払拭部材２０がノズル開口面４１ａをクリーニングするときには、払拭部材２０の先端が撓みながら、ノズル開口面４１ａに付着した紙粉やインク等を擦って拭き取る（ワイピング動作）ように構成されている。なお、払拭部材２０は、記録動作時には、ワイピング動作を行う位置（ノズル開口面４１ａに当接可能な位置）から下がった後退位置にある。
【００３２】
キャップ体１９は、弾性材（例えば、ゴム等）で形成されている。キャップ体１９には、ノズル開口面４１ａ側に向かって突出するリブ１９ａが、昇降手段２１によってノズル開口面４１ａに接触したときにノズル群の外周を囲むように形成されており、リブの弾性変形でキャップ体１９はノズル開口面４１ａに密着する。また、キャップ体１９は吸引ポンプ１８に連通する排出口１９ｂを有しており、クリーニング（メンテナンス）時には、キャップ体１９でノズル開口面４１ａを覆っている状態で、吸引ポンプ１８によりキャップ体１９の内側に負圧を発生させ、ノズル７からキャビティ部２の内部の不良インク（増粘インク）や気泡等を吸引して強制的に排出させ、記録ヘッド３の回復を図る（吸引パージ動作）。なお、キャップ体は、記録時に、吸引パージ動作行う位置（ノズル開口面４１ａに当接可能な位置）から下がった後退位置とされる。
【００３３】
また、図示しないが、排気口１９ｂから排出される廃インクは廃インクタンクに吸引ポンプを介して収容される。
【００３４】
昇降手段２１は、昇降の駆動源３２１（図７参照）となるモータと、駆動力の伝達を切り替えるためのカム切替手段（図示せず）とを有し、キャップ体１９と払拭部材２０とは、順次連動して昇降される。なお、駆動源３２１として、この実施形態では専用のモータを設けているが、記録装置１に配置された他のモータを利用したり、リンク手段を設けたりしてもよい。
【００３５】
メンテナンス位置における、記録ヘッド３に対する一連のクリーニング（パージングとワイピング）は、記録動作中に定期的に行ったり、カートリッジの交換時や、あるいは、使用者が所望のタイミングで（非定期に）ボタン操作等で指令したりすることによって実行される。また、記録ヘッド３は、記録動作を所定時間以上行わないときや電源オフのときにも、メンテナンス位置に移動し、クリーニングが行なわれてからそこで待機（休止）する。そのため、待機中は、ノズル開口面４１ａはきれいな状態で、キャップ体１８で覆われていて、覆われていることでノズル内のインクの乾燥が防止される。待機状態から記録動作に移るために、メンテナンス位置から記録領域に戻る時には、ノズル開口面４１ａは、きれいな状態のままであるため、そのまま記録動作に入っていくことができる。
【００３６】
次に、図３〜図６を用いて記録ヘッド３の構成について説明する。記録ヘッド３は、複数のノズル７を外部に開口させ内部にインク流路を有するキャビティ部３０と、キャビティ部３０内のインクに吐出圧力を与える圧電式のアクチュエータ３１と、このアクチュエータ３１に駆動信号を出力するフレキシブル配線材３２とが積層配置される構造を有している。
【００３７】
キャビティ部３０は、図４に示すように、ノズルプレート（請求項の第１のプレートに相当）４１、２枚のマニホールドプレート（請求項の第２のプレートに相当）４２ａ、４２ｂ、サプライプレート４３、ベースプレート４４、及びキャビティプレート４５の合計６枚の薄い平板を、その各広幅面同士が対向するように積層し接合した構造となっている。
【００３８】
実施形態では、各プレート４１〜４５は、４０〜１５０μｍ程度の暑さを有している。ノズルプレート４１は合成樹脂製で約４０μｍの厚みで、ここではノズル７をレーザ加工するときの加工性と耐インク性とに優れている点でポリイミド樹脂を用いている。その他のプレート４２〜４５は、インク流路を構成するための穴部や凹部はエッチングにより形成されている。なお、ノズルプレート４１は、アミド系樹脂やポリプロピレン樹脂などでもよい。
【００３９】
ノズルプレート４１には、微小径（２０μｍ程度）のインク吐出用のノズル７が微小間隔で多数個穿設されており、ノズル７は、Ｘ軸方向に沿って延びる列状に配置され、５列設けられている（ノズル列に個別に符号７ａ〜７ｅを付す）。ノズルプレート４１の各ノズル７は、キャビティプレート４５に形成されている圧力室４６にそれぞれ個別に連通路４７を介して連通している。そのため、ノズルプレート４１とキャビティプレート４５の間に介挿されたマニホールドプレート４２ａ、４２ｂ、サプライプレート４３、ベースプレート４４には、それぞれ連通路４７の一部となる穴が穿設されている（図５参照）。
【００４０】
キャビティプレート４５は、複数の圧力室４６がノズル７の配列に対応して５列に配列されている。各圧力室４６は、図２に示すように、平面視細長形状でその長手方向がＹ軸方向に沿うようにしてキャビティプレート４５の板厚を貫通して形成されている。各圧力室４６の長手方向の一端は、ベースプレート４４に穿設された接続穴４８と、サプライプレート４３に形成された接続流路４９とを介して共通インク室２６に連通している。各圧力室４６の長手方向の他端は、前述した連通路４７が接続している。
【００４１】
２枚のマニホールドプレート４２ａ、４２ｂには、Ｘ軸方向に沿って長い５つの（共通インク室５０になるべき）溝状の穴部が板厚を貫通して略平行状に形成されており、２枚のマニホールドプレート４２ａ、４２ｂを積層し、且つその上面をサプライプレート４３にて覆い、下面をノズルプレート４１にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）５０が形成される。換言すれば、共通インク室５０の下側（一側）の壁は、樹脂製のノズルプレート４１で形成され、共通インク室５０を覆う部分がダンパ壁５１となっている。
【００４２】
ノズルプレート４１における共通インク室５０の反対側の面は、外部に開放されているので（図５参照）、ノズルプレート４１のダンパ壁５１の部位が弾性変形により自由に振動することができる。これにより、圧力室４６から共通インク室５０に伝播した圧力変動（圧力波の後退成分）を吸収減衰させ、圧力変動が他の圧力室４６へ伝播するクロストークを抑制する。なお、各共通インク室５０（各ダンパ壁５１）のＹ軸方向の幅はほぼ同じ寸法となっている。
【００４３】
この実施形態では、５列のノズル列７ａ〜７ｅは、等間隔で配置されるのではなく、図４及び図６に示すように、２列（ノズル列７ａ、７ｂ）、２列（ノズル列７ｃ、７ｄ）、１列（ノズル列７ｅ）がそれぞれグループ化されている。そして、各グループが所定の間隔をあけて配置され、この間隔の領域にそれぞれ２つのダンパ壁５１が配置され、ノズル列７ａの外側の領域に１つのダンパ壁５１が配置される構成になっている。つまり、各ノズル列に対応するダンパ壁５１に個別に５１ａ〜５１ｅの符号を付すと、図６の下面図に示すように、ノズルプレート４１には、左から順にダンパ壁５１ａ、ノズル列７ａ、ノズル列７ｂ、ダンパ壁５１ｂ、ダンパ壁５１ｃ、ノズル列７ｃ、ノズル列７ｄ、ダンパ壁５１ｄ、ダンパ壁５ｅ、ノズル列７ｅが配置されている。
【００４４】
キャビティプレート４５のＹ軸方向に平行な一方の辺寄りには、インク供給源からのインクを導入するためのインク供給口５２が４つ穿設されており、各インク供給口５２と上下位置を対応させて、ベースプレート４４とサプライプレート４３とにそれぞれ４つの接続口５３が穿設されている。４つのインク供給口５２には、インク中の異物を除去するためのフィルタ体５４（図３参照）が接着剤等で一括して貼着されている。
【００４５】
この実施形態では、図４における左側の１つのインク供給口５２から、同じく左側の２つの共通インク室５０、５０にブラックインクが分岐して流入するようにし、ブラックインクを吐出するノズル列を２列に設定している。これは、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものであり、他の３つのインク供給口５２には、シアン、イエロー、マゼンタの各インクがそれぞれ単独に供給され、それぞれノズル列が１列ずつ設けられている。
【００４６】
このように、キャビティ部３０には、インクが、インク供給口５２から接続口５３を経て共通インク室５０に流入し、接続流路４９及び接続穴４８を経由して圧力室４６に至り、さらに連通路４７を経てノズル７に至るインク流路が形成されている。
【００４７】
アクチュエータ３１は、全ての圧力室４６にわたる大きさを有する扁平形状で、特開２００５−３２２８５０号公報等に開示された公知のものと同様に、扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層６０（例えばＰＺＴ）を備えている（図５参照）。セラミックス層６０を挟んで、圧力室４６毎に設けた個別電極６１の電極層と複数の圧力室４６に共通なコモン電極６２の電極層とが積層されている。セラミックス等６０における個別電極６１とコモン電極６２とで上下を挟まれた部位が、これら電極間に駆動電圧が印加されたときに変位する活性部（駆動部）となる。詳細には、駆動電圧は後述する回路素子３３を介して、各活性部に選択的に印加される。つまり、活性部は圧力室４６毎に形成されていて、活性部が変位することで圧力室４６の容積を変化させ、圧力室４６の内部のインク、ひいてはその圧力室４６に連通しているインク流路のインクに、正圧または負圧を与える。
【００４８】
個別電極６１及びコモン電極６２は、特開２００３-８０７０９号公報等に開示された公知のものと同様に、スルーホールにてアクチュータ３１の最上面の外部電極６３（図３及び図４参照、図５では図示を省略している）と電気的に接続が行なわれている。そして、外部電極６３とフレキシブル配線材３２の電極パターン（図示せず）とが接合接着されている。
【００４９】
フレキシブル配線材３２には、回路素子３３（図３参照）が実装されており、図示しない本体側の回路基板から送られた駆動信号は、フレキシブル配線材３２の回路素子３３を介してアクチュエータ３１に入力される。アクチュエータ３１では、駆動信号に基づいてコモン電極６２と個別電極６１との間に電圧を印加されて、アクチュエータ３１の活性部が選択的に変位し、圧力室４６内のインクに、正圧（吐出圧力）を与えてノズル７からインク滴を吐出させたり、後述する負圧を与えたりすることができる。
【００５０】
次に、図７を用いて、この記録装置１の全体的な動作を制御する制御部３００について説明する。制御部３００は、ＣＰＵ３０４、ＲＯＭ３０１、ＲＡＭ３０２、ＥＥＰＲＯＭ３０３からなるマイクロコンピュータ、及びそれらにバス３０５を介して接続されたＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit ）３０６を中心として構成されている。
【００５１】
ＲＯＭ３０１には、記録装置１の各種動作を制御するプログラム等が格納されており、ＲＡＭ３０２は、ＣＰＵ３０４がこれらのプログラムを実行する際に用いる各種データを一時的に記憶する記憶領域として、また作業領域として用いられる。
【００５２】
また、ＡＳＩＣ３０６は、マイクロコンピュータからの指令に従い、例えば各モータに通電する相励磁信号等を生成して、これらの信号を用紙の搬送用ローラ３３１を駆動するＬＦモータ３２０の駆動回路３０７、キャリッジ２を駆動するキャリッジ（ＣＲ）モータ８の駆動回路３０８、及び払拭部材２０とキャップ体１９のための駆動源３２１の駆動回路３１１に与える。また、ＡＳＩＣ３０６には、キャリッジ２（記録ヘッド３）のＹ軸方向の位置を検出する位置検出手段３３０が接続されている。これにより、制御部３００は、位置検出手段３３０の検出結果も利用しながら、用紙の搬送（ＬＦモータ４１）、キャリッジ２の走査（キャリッジ（ＣＲ）モータ８）、メンテナンスユニット１７（払拭部材２０、キャップ体１９）の制御を行っている。
【００５３】
ＡＳＩＣ３０６に接続されている駆動回路３０９は、記録ヘッド３から所定のタイミングでインクを用紙に対して選択的に吐出させるためのものであり、記録データに基づきＡＳＩＣ３０６から出力された信号を受けて、記録ヘッド３を制御する。また、この駆動回路３０９は、払拭部材２０によるクリーニング時に、圧力室４６に後述する負圧を与えるようにアクチュエータ３１の活性部を変位させる。
【００５４】
なお、ＡＳＩＣ３０６から出力される駆動信号のパルス波形としては、異なるインクの液滴量を吐出するための複数種類のパルス波形（パルス幅、パルス数等が相違）が予めＲＯＭ３０１に記憶されている。そして、インクを吐出するときには、インクの色や印字モードの違いなどに応じて、記録（目的）に最適なパルス波形が選択される。ワイピング時には、ＲＯＭ３０１に記憶されている複数の駆動信号のパルス波形のうち、負圧を与えるように活性部を変位させるパルス波形が選択される。
【００５５】
なお、本実施形態では、制御部３００は、各駆動信号の電圧が立ち上がったとき、個別電極６１には電圧の印加が停止され、各駆動信号の電圧が立ち下がったとき、個別電極６１には電圧が印加されるように、個別電極６１への電圧を制御している。従って、インク吐出前は、全個別電極６１に正の電圧が印加され、コモン電極６２が接地されており、その間の活性部が伸長し、全圧力室４６の容積が収縮された状態にある。インクを吐出させるときには、吐出するノズル７に連通する圧力室４６に対応した、積層方向の各個別電極６１への電圧印加を停止すると、活性部が収縮状態に復帰して圧力室４６の容積を拡大する。その結果、圧力室４６内のインクが負圧になり圧力波が発生する。なお、インクを吐出するときは、この圧力波の圧力が反転して正圧になるタイミングで前記各個別電極６１に再び電圧を印加すると、活性部の伸長による圧力と、正圧に反転した圧力とが重畳され、インク滴がノズル４から吐出される。
【００５６】
前述したような圧力室４６への負圧の発生を、ワイピング時にも行うことにより、払拭部材２０によってキャビティ部３０に発生した正圧を相殺させることができる。もちろん、この負圧は、負圧の発生によってインク滴が吐出されることのない大きさに設定されている。
【００５７】
なお、上述とは逆に、特開２００１−３０１１６１号公報に開示されているアクチュエータのように、駆動電極に電圧を印加することで、圧力室の容積を拡大して圧力室４６内のインクを負圧にして圧力波を発生し、印字するときには、圧力波が反転した時点で電圧の印加を停止することで、圧力室の容積を縮小してインク滴を吐出するようにしてもよい。
【００５８】
このように構成された記録装置１における記録ヘッド３のクリーニング（回復動作）について説明する。記録ヘッド３のクリーニングには、前述したように、払拭部材２０でノズル開口面４１ａを拭き取るワイピング動作と、キャップ体１９と吸引ポンプ１８とを用いた吸引パージ動作とがある。なお、キャリッジ２に設けたインク貯留部から気泡を排気する排気動作を行う場合もあるが、ここでは説明を省略する。
【００５９】
記録ヘッド３が記録動作を行っているときに、定期的にまたは使用者がボタン操作等を行うことによって、メンテナンスユニット１７でのクリーニング（回復動作）が開始される。クリーニング（回復動作）を行うときには、記録ヘッド３がメンテナンスユニット１７の位置に移動し、これに連動して（位置検出手段３３０の検出値に基づいて、以降の動作も同様）、まずキャップ体１９がノズル開口面４１ａを覆うように昇降手段２１によって上昇し、吸引ポンプ１８を用いて吸引パージ動作を行う。
【００６０】
吸引パージ動作が終了すると、キャップ体１９の内側が大気圧に戻され、昇降手段２１によってキャップ体１９が下降する。これに連動して払拭部材２０が昇降手段２１によって、ノズル開口面４１ａに当接して払拭部材２０の先端が撓む程度の位置までに上昇するとともに、記録ヘッド３は記録領域に戻る方向（図１の左側）に移動する。つまり、記録ヘッド３が移動することで、ノズル開口面４１ａに当接する位置にある払拭部材２０が、ノズル開口面４１ａを拭き取るように摺動する。
【００６１】
このとき、図６の下面図に示すように、ノズルプレート４１には前述したようにダンパ壁５１ａ〜５１ｅとノズル列７ａ〜７ｅとが平行状に形成されている。従って、ワイピング動作の開始時に、払拭部材２０がノズルプレート４１の下面側の一方の端部（図６の左側）に接触し、次いで、相対的にＹ軸方向に移動する。すると、まず、ダンパ壁５１ａの位置に当接してこれを押圧する。
【００６２】
これによって、このダンパ壁５１ａに対応する共通インク室５０のインクに正圧を与えることになるが、これと同時に当該共通インク室５０のインクのみに負圧を与えるように、アクチュエータ３１（の活性部）が複数の波形からクリーニング用のパルス波形（印字用のパルス波形を兼ねる）を選択して駆動される。摺動する払拭部材２０が、記録ヘッド３のノズル開口面４１ａのダンパ壁５１のどの位置に当接しているかは、前述した位置検出手段３３０の検出値により判別することができる。
【００６３】
つまり、払拭部材２０によってインクに与えられた正圧を相殺するようにアクチュエータ３１によって負圧がかけられる。これにより、このノズル列７ａのノズル７のメニスカスは、払拭部材２０による正圧によって破壊されることが回避され、メニスカスが保持されるので、ノズル７からインクが漏出することを回避できる。
【００６４】
なお、払拭部材２０によってインクに掛かる正圧は一定ではなく、払拭部材２０がダンパ壁５１のＹ軸方向の幅の略中心位置に接触するときにピーク値になる。従って、アクチュエータ３１によってインクに掛ける負圧は、払拭部材２０による正圧の変化に応じて、徐々に変化させるように設定してもよいが、ここでは、正圧のピーク値を相殺する値を、最初から印加するようにしている。正圧のピーク値を相殺させるために、アクチュエータ３１を複数回駆動させてもよいし、一度のみ駆動させるようにしてもよい。
【００６５】
そして、次に前述した相対的な移動により、払拭部材２０がダンパ壁５１ａとの当接から外れる位置に移動すると、順次、ノズル列７ａ、７ｂのノズル７の開口を払拭する。そして、払拭部材２０がダンパ壁５１ｂと当接するときには、ダンパ壁５１ａに対するときと同様に、ダンパ壁５１ｂに対応する共通インク室５０のインクのみにアクチュエータ３１が負圧を与えるように駆動され、ノズル列７ｂのノズル７のメニスカス破壊が回避される。以降、払拭部材２０は、順次、ダンパ壁５１ｃ、ノズル列７ｃ、ノズル列７ｄ、ダンパ壁５１ｂ、ダンパ壁５１ａ、ノズル列７ａの順に当接し、ダンパ壁５１に当接しているときに、それに対応するインクに負圧をかけるようにアクチュエータ３１が駆動される。
【００６６】
つまり、ダンパ壁とノズル列とが平面視で交互に配置されているから、位置検出手段３３０の検出値を利用して、摺動する払拭部材２０がダンパ壁と当接するタイミングを見計らって、アクチュエータ３１が間欠的に負圧をかけ、これにより、キャビティ部３０の内部に間欠的に生じる正圧を相殺している。
【００６７】
最後に、記録ヘッド３が記録領域に戻る方向（図１の左側）に移動して、払拭部材２０が全てのダンパ壁５１、ノズル列を払拭した後は、昇降手段２１が払拭部材２０を下降させるように駆動するとともに、記録ヘッド３がメンテナンスユニット１７の位置に戻る方向（図１の右側）に移動してクリーニング（吸引パージ動作とワイピング動作）を終了する。
【００６８】
なお、本実施形態では、記録ヘッド１が吸引パージ動作を終了して、記録領域に戻る方向に移動（図１の左側、往路）したときワイピング動作を行い、これに対応してアクチュエータ３１を駆動しているが、ワイピング動作のタイミングはこれに限定するものではない。例えば、記録ヘッド１が、前述した吸引パージ動作、ワイピング動作の後に、メンテナンスユニット１７側に移動（図１の右側、帰路）するときに、再びワイピング動作とアクチュエータ３１の駆動を行うように構成してもよい。
【００６９】
また、吸引パージ動作の後に行うワイピング動作だけでなく、例えば、待機中にメンテナンスユニット１７に位置し、キャップ体１９に覆われている記録ヘッド３が、その位置から記録領域に戻るとき（記録動作を行う前）でもよい。その他、ノズル開口面４１ａを払拭させる必要があって、ワイピング動作が行われる場面においては、同様にアクチュエータ３１を駆動させるようにすることが望ましい。
【００７０】
また、本実施形態では、複数の共通インク室の幅が同一で、ノズル径やその配列も同様に形成されているが、インク（液体）の種類や性質、液滴吐出径などを異なえるために、複数の共通液室のＹ軸方向の幅が異なる場合や、ノズルの径、配列が異なる場合がある。このような場合であっても、位置検出手段３３０の検出値によって、払拭部材２０がノズルプレート４１のどの位置に接触しているか（ダンパ壁５１かそれ以外の部位か）が正確に把握できる。従って、本実施形態と同様に、ダンパ壁５１に払拭部材２０が当接しているときだけ、アクチュエータ３１を駆動させ、メニスカスの破壊を防ぐように負圧を与えることができる。また、ＲＯＭ３０１には、複数種類のパルス波形が記憶されているので、相殺させる正圧に応じて、最適なパルス波形を選択することも容易である。
【００７１】
さらに、上記実施形態では、ダンパ壁５１が払拭部材２０で押圧されるタイミングに合わせて、換言すれば、払拭部材２０が各ダンパ壁５１に個別に当接しているときのみ（間欠的に）、当該ダンパ壁５１に対応するインクだけに負圧をかけるように制御部３００が制御している。他の制御方法として、払拭部材２０が各ダンパ壁５１に個別に当接しているときに、すべてのインクに負圧をかけるようにしてもよい。さらに、払拭部材２０が各ダンパ壁５１に当接しているか否かに拘らず、ワイピング動作の開始から終了まで、すべてのインクに（連続的に）負圧をかけるようにしてもよい。
【００７２】
なお、この実施形態では、前述したワイピング動作を行う払拭部材２０をメンテナンス位置に配置したが、フラッシング位置（図１の左側）に配置してもよい。また、液滴吐出装置は、もちろんインクジェット式の記録装置に限定するものではなく、その他の液体を吐出する装置であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の液滴吐出装置としての記録装置の概略平面図である。
【図２】メンテナンスユニットを説明する模式的な要部斜視図である。
【図３】記録ヘッドの斜視図である。
【図４】キャビティ部の分解斜視図である。
【図５】記録ヘッドをＹ軸方向に沿って切断した縦断面図である。
【図６】記録ヘッドの下面図である。
【図７】記録装置の制御を説明するブロック図である。
【符号の説明】
【００７４】
１          記録装置
２          キャリッジ
３          記録ヘッド
７          ノズル
７ａ〜７ｅ  ノズル列
１７        メンテナンスユニット
１９        キャップ体
２０        払拭部材
３０        キャビティ部
３１        アクチュエータ
３２        フレキシブル配線材
４１        ノズルプレート（第１のプレート）
４１ａ      ノズル開口面
４２ａ、４２ｂ          マニホールドプレート（第２のプレート）
４３        サプライプレート
４４        ベースプレート
４５        キャビティプレート
４６        圧力室
５０        共通インク室
５１（５１ａ〜５１ｅ）  ダンパ壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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