(57)【要約】【課題】  高精度研磨を可能とするバッキング材、ならびに被研磨加工物の保持材を提供すること。【解決手段】  数平直径が１ｎｍ〜５μｍである繊維を少なくとも一部に有するバッキング材、ならびに被研磨加工物の保持材により達成することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
数平均直径が１ｎｍ〜５μｍである繊維を少なくとも一部に有するバッキング材。
【請求項２】
繊維がポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィン、ポリフェニレンスルフィドから選ばれるポリマーから形成されることを特徴とする請求項１に記載のバッキング材。
【請求項３】
バッキング材の表面粗さＲａが２０μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２記載のバッキング材。
【請求項４】
バッキング材が織物、編物、不織布から選ばれる基材であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のバッキング材。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のバッキング材と、基材シートと、テンプレートとから構成された被研磨加工物の保持材。
【請求項６】
請求項５に記載の保持材を用いることを特徴とする半導体の研磨方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法で得られた半導体ウエーハ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被研磨加工物である半導体ウエーハなどを保持して固定するためのバッキング材ならびに被研磨加工物の保持材に関し、更に詳しくは、被研磨加工物の精密研磨を行なう際のバッキング材、ならびにバッキング材と基材シート、テンプレートから構成される保持材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエーハ、半導体デバイスの層間絶縁膜およびメタル配線、各種記録用ディスク、液晶ディスプレイ用ガラス等の精密平面研磨は、回転する定盤に装着された研磨パッドと、定盤面に対向配置した回転可能な金属やセラミックス製の貼り付けプレートに、被研磨加工物保持材（以下、保持材と呼ぶことがある）を貼り付け、その保持材により保持された被研磨加工物（以下、ワークと呼ぶことがある）とを研磨パッドに対して押し付けた状態で、研磨パッドとワークの間に研磨スラリーを供給しつつ、ワークおよび研磨パッドを互いに摺動させることにより行われてきた。
【０００３】
ここで、被加工物の保持材としては、フィルム製の基材シートに、ワークを吸着するためのポリウレタンスエード製のバッキング材を積層し、さらにウエーハが研磨中に外れるのを防ぐためのガラス繊維やアラミド繊維にエポキシ樹脂を含浸したテンプレートを備えたものが知られている（特許文献１および２）。
【０００４】
上述のバッキング材は、例えば特許文献１に記載のように、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）や、ポリプロピレン（ＰＰ）、ナイロン等のフィルム製基材シート上に、ポリウレタン、ポリアミド、ポリイミド等の熱可塑性樹脂の溶剤溶液を湿式凝固させた多孔質フィルムを形成してなるものや、特許文献２に記載のようにポリウレタンなどの発泡フォームを基材シートに貼り付けたものなどが知られている。
【０００５】
なお、これらバッキング材は表面平滑性を高める等の目的のため、表面の発泡ポリウレタン層を研削し開口させる手法が取られている。
【０００６】
例えば、シリコンウエーハ（Ｓｉウエーハ）を研磨する際には、特許文献２に記載のように上記バッキング材の表面を水などの液体で濡らすことでしバッキング材表層の多数の孔部分に水が保持され、その保持された水の表面張力を利用してＳｉウエーハなどのワークを保持して研磨を行なうのであるが、このような発泡ポリウレタンからなる従来のバッキング材ではその表層が発泡ポリウレタン層を研削して得られた表面であるため、部分的に表面粗さにバラツキが生じている。研磨する際にはパッドに対してワークを押し付けるのであるが、それによりワークと接触している発泡ポリウレタン層も圧縮される。発泡ポリウレタンは弾性的な性質を持つため、ポリウレタン層が圧縮されたことにより発生する応力がワークにかかる際に、この部分の表面粗さにバラツキがあるとワークの箇所ごとに応力の大きさが異なり、その応力分布がそのままワークへの加圧バラツキとなってしまうために、結果として研磨後のワークの平坦性に悪影響を及ぼす。また、表面粗さにバラツキがあるとワークがポリウレタン層に対して均一に密着できなくなるために、ワークに対する保持力の低下が起こるので、研磨レートの更なる向上は難しいものであった。さらに、表面粗さにバラツキがあると、研磨パッドに押し付ける際にもその圧力分布により、ワークの表面を均一に研磨できないために、研磨後のワークの表面粗さも大きくなるといった課題があった。このように、従来のバッキング材を用いて研磨した場合、研磨後のウエーハの平坦性をさらに向上させるには限界があった。
【０００７】
また、発泡ポリウレタンは製法上、孔形成のために溶剤や発泡剤を使用したり、ガスを注入したりするが、このような製法では孔のサイズやその数を幅広い範囲で自由に制御することは難しいために、従来よりもワークに対する保持力に優れるバッキング材を設計しようとしても、その性能向上には限界があった。さらに、孔形成のために溶剤や発泡剤、ガスなどの有害物質を使用するために、環境面においても好ましいものではなかった。
【０００８】
そこで、高精度の研磨を要求される分野においては、表面の平滑性や平坦性ならびにウエーハの保持力に優れ、さらには環境面に配慮した製法により得られるバッキング材が求められていたのである。
【特許文献１】特開２００６−６８８８２号公報  （４〜５頁）
【特許文献２】特開２００７−３０１４４号公報  （４〜５頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、従来にはなかった表面平滑性が高く、ウエーハの保持力に優れ、さらには研磨時のウエーハにかかる圧力の分布が小さいバッキング材を用いることで、研磨後のウエーハの表面粗さを小さくし、さらにウエーハの平坦性に優れた加工を可能とする新規なバッキング材ならびに被研磨加工物の保持材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的は、数平均直径が１ｎｍ〜５μｍである繊維を少なくとも一部に有するバッキング材、ならびに該バッキング材と基材シート、およびテンプレートから構成された被研磨加工物の保持材により達成される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、従来の多孔質フィルムや発泡フォームとは異なり、繊維をバッキング材に適用することで、従来の多孔質フィルムや発泡フォームに比べて、その表層が微細な繊維で構成されるために従来のバッキング材よりも表面が平滑となるために、バッキング材表面のワークへの転写が起きても、ワークの表面平滑性に優れるものとなるため、高精度の研磨を可能とするバッキング材ならびに被研磨加工物の保持材を提供することができる。
【００１２】
また、繊維をバッキング材に適用することで、その表層の繊維が容易に変形して研磨時の加圧によってウエーハにかかる圧力の分布を小さく抑えることができるために、研磨後のウエーハの平坦性を大きく向上させることができる。
【００１３】
さらに、繊維をバッキング材に適用することで、繊維間や繊維構造体の組織で構成される微細孔や空隙の数やそのサイズを容易に設計でき、その繊維間の細かい空隙に水などの液体を従来よりも多数保持することができるため、その保持された水の表面張力を利用してＳｉウエーハのようなワークをしっかりと固定することが可能となり、それによりウエーハとパッドとの摩擦力が増大することで研磨レートを向上できる。
【００１４】
その他、繊維を利用することで繊維間の空隙や繊維構造体の目開きによって孔形成が可能であるため、従来のように溶剤や発泡剤、ガスなどの有害物質を使用して孔形成する必要がなく、環境に配慮した製品を創出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、さらに詳しく本発明のバッキング材ならびに被研磨加工物の保持材について説明をする。
【００１６】
まず、本発明のバッキング材および被研磨加工物の保持材について図面を用いて説明する。本発明において、保持材はバッキング材と基材シート、テンプレートから構成されている。
【００１７】
バッキング材とはＳｉウエーハなどのワークと直接接触してワークを保持するもののことであり、バッキング材の表面を水などの液体で濡らした後に、その部分にウエーハなどのワークを押し付けることで、バッキング材に保持された多数の水の表面張力によりワークを保持するものである。
【００１８】
また、基材シートとはバッキング材に積層されたフィルムなどのシートのことを指し、バッキング材をサポートする支持体のことである。
【００１９】
ここで、従来のバッキング材および基材シートの一例を図１および図２に示した。図１は従来のバッキング材の表面ＳＥＭ写真であり、バッキング材３は例えば発泡ポリウレタン製の多孔質フィルム層をバフにより研削して得られたものである。また、図２は従来のバッキング材および基材シートの断面ＳＥＭ写真であり、多孔質フィルムからなるバッキング材３とＰＥＴなどのフィルムからなる基材シート２が接着されて積層されている。
【００２０】
また、バッキング材およびテンプレートの概観図を図３に示したが、ここでいうテンプレートとは図中のバッキング材３の上にさらに積層された符号４で示されるもので、これはウエーハが外れるのを防止するための型枠であり、研磨時の摩耗にも耐え得るように、ガラス繊維やアラミド繊維をエポキシ樹脂で含浸した、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）が用いられている。
【００２１】
ここで、本発明のバッキング材および被研磨加工物の保持材の構成について概略図面を用いて説明する。
【００２２】
本発明で言う保持材とは、研磨時にウエーハなどのワークを固定し、研磨パッドにワークを押し付けるための消耗品のことを指し、バッキング材および基材シート、ならびにテンプレートなどがすべて積層されて一体化したものである。研磨時には金属やセラミック製の貼り付けプレートにこの保持材自体を貼り付けて使用する。
【００２３】
本発明の保持材の断面の一例を図４に示したが、基材シート２の上にバッキング材３が接着により積層されており、さらにバッキング材３の上にテンプレート４が接着されて保持材５は構成されている。ワークを研磨する際には、貼り付けプレート１の上面に保持材５を接着し、この保持材５にシリコンウエーハ６を水などの液体を介して貼り付けた状態で、貼り付けプレートごと研磨パッドに押し付けて、貼り付けプレートと研磨パッドを相対的に回転させながら研磨スラリーを供給してワークの表面研磨を行う。
【００２４】
次に、本発明のバッキング材を構成する繊維基材について詳細に説明する。
【００２５】
本発明のバッキング材は、数平均直径が１ｎｍ〜５μｍである繊維を少なくとも一部に有するものである。
【００２６】
ここで、本発明の繊維の形態としてはその単繊維がバラバラに分散したもの、単繊維が部分的に結合しているもの、あるいは複数の単繊維が凝集した集合体（例えば、束状のもの）などであって、その繊維長や断面形状などには限定がない。
【００２７】
そして、本発明では、この単繊維の数平均直径値が重要である。これは、繊維を少なくとも一部に有するバッキング材の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察し、同一横断面内で無作為に抽出した３０本以上の単繊維の直径を測定するものであるが、これを３カ所以上で行い、少なくとも合計９０本以上の単繊維の直径を測定して、これを単純平均することによって求めることができる。
【００２８】
本発明のように極細繊維をバッキング材に用いると、その表層が微細な繊維で構成されたバラツキの非常に小さい平滑な表面となる。このため、従来の多孔質フィルムや発泡フォームとは異なり、その表層が微細な繊維で構成されるために従来のバッキング材よりも表面が平滑性に優れたものとなるために、バッキング材表面のワークへの転写が起きたとしても、ワークの表面平滑性を維持したまま、高精度の研磨が可能となる。
【００２９】
従来の発泡ポリウレタンからなるバッキング材ではその表層が発泡ポリウレタン層を研削して得られた表面であるため、部分的に表面粗さにバラツキが生じている。研磨する際には発泡ポリウレタン表面が圧縮されることでウエーハなどのワークに対して応力が発生するのであるが、発生する応力の分布がウエーハへの加圧バラツキとなって伝播するため、結果として研磨後の平坦性に悪影響を及ぼすことになる。また、表面粗さにバラツキがあるとワークがポリウレタン層に対して均一に密着できなくなるために、ワークに対する保持力の低下が起こるので、研磨レートが低くなる傾向となる。さらに、表面粗さにバラツキがあると、研磨パッドに押し付ける際にもその応力分布により、ワークの表面を均一に研磨できないために、研磨後のワークの表面粗さも大きくなりやすい。
【００３０】
一方、本発明のように極細繊維をバッキング材に用いることで、その表層が微細な繊維で構成された表面粗さのバラツキが非常に小さい平滑な表面となる。また、本発明で使用する極細繊維からなる構造体は吸水すると微小な力で大きく変形する、すなわちバッキング材とした時の表層部分が容易に変形するために、変形に伴う応力発生が極端に小さくなる。このため、バッキング材の圧縮によりウエーハにかかる応力の分布がほとんどないバッキング材を作製することが可能となり、ワークへの加圧バラツキがなくなるので、研磨後のウエーハの平坦性を大きく向上することができる。また、その表面粗さのバラツキが小さいために、ワークがバッキング材の繊維層に対して均一に密着し、ワークに対する保持力が高まるため、研磨レートを高くすることが可能となる。さらに、その表面粗さのバラツキが小さいために、研磨パッドに押し付ける際にも応力分布がほとんどないため、ワークの表面を均一に研磨でき、研磨後のワークの表面粗さを小さくすることができる。
【００３１】
さらに、このような極細繊維でバッキング材を構成することにより、繊維間で構成される多数の微細空隙によって水などの液体を従来のバッキング材に比べて多量に保持することができ、このことでワークに対して水の表面張力が働く面積が増大するため、ワークをしっかりと固定することができる。これにより、研磨時の研磨レートを向上させることができるばかりでなく、研磨中にウエーハの揺動や振動を抑制することができるため、高精度の研磨を実現することができる。
【００３２】
繊維の数平均直径が小さくなればなるほど、繊維間で構成される微細空隙の数が増えるため、水などの液体をより多く保持できるために、ウエーハを固定する保持力が高まり好ましい。また、繊維の数平均直径が小さくなるにつれて、繊維で構成されるバッキング材表面の凹凸が小さくなり、バッキング材自身の表面粗さＲａが小さくなり、表面平滑性に優れたバッキング材とすることができる。
【００３３】
繊維の数平均直径は、好ましくは１ｎｍ〜１０００ｎｍ、より好ましくは１ｎｍ〜５００ｎｍ、さらに好ましくは３０〜３００ｎｍである。
【００３４】
本発明の繊維を構成するポリマーとしては、より細い繊維を製造しやすいといった観点からは、溶融紡糸可能なポリマーである熱可塑性ポリマーであることが好ましい。ここで言う熱可塑性ポリマーとしては、ＰＥＴ、ポリトリメチレンテレフタレート（以下、ＰＴＴと呼ぶことがある）、ポリブチレンテレフタレート（以下、ＰＢＴと呼ぶことがある）、ポリ乳酸（以下、ＰＬＡと呼ぶことがある）などのポリエステルやナイロン６（以下、Ｎ６と呼ぶことがある）、ナイロン６６などのポリアミド、ポリエチレン（以下、ＰＥと呼ぶことがある）やＰＰなどのポリオレフィン、さらにはポリフェニレンスルフィド（以下、ＰＰＳと呼ぶことがある）等が挙げられる。
【００３５】
繊維がポリアミドである場合、ポリマーの親水性が高いために、バッキング材としたときにより多くの水を保持して、ウエーハの保持力を高めることができるためより好ましく、研磨時に水系のスラリーを使用する場合には好適である。
【００３６】
また、繊維がポリエステルであると、ポリアミドに比べて湿潤強力が大きいために、繊維の破断や擦過によるバッキング材からの繊維の脱落が起こりにくいため、バッキング材としての耐久性が高まるため好ましい。
【００３７】
さらに、研磨時のスラリーのアルカリや酸を強くしたり、有機溶剤や油成分、また酸化剤などの各種添加剤を混合する場合、耐薬品性の観点からは、ポリオレフィンやポリフェニレンスルフィドであることが好ましい。
【００３８】
本発明のバッキング材に用いる繊維基材としては、織物、編物、不織布などの繊維基材を好適に用いることができる。
【００３９】
織物としては、平織、綾織、朱子織などが代表例として挙げられる。繊維基材を織物とすることで、バッキング材自身の表面粗さＲａを小さく設計することができるために、表面平滑性に優れたバッキング材を作製でき、結果として研磨後のウエーハの表面粗さＲａを小さくすることができる。また、織物の場合従来のバッキング材の厚みが３５０μｍ程度に対して、その厚みを１５０μｍ程度とを小さく設計することができるために、それを厚みが２００μｍ程度のフィルムからなる剛直な基材シートでサポートすることで、研磨する際にウエーハがバッキング材の柔らかい繊維層に沈み込むことを抑制し、ウエーハ全体をより平坦に研磨パッドに押し付けることが出来るため、研磨レートを向上させることができる。
【００４０】
さらに、繊維基材を織物とすることで、織組織を変えることによって、目的とする特性に合ったバッキング材を自由に設計することが可能となる。
【００４１】
例えば、平織りとした場合、経緯の糸の拘束点が他の組織に比べて多くなるために、バッキング材の耐久性が向上する。
【００４２】
また、朱子織とした場合には組織点が平織や綾織のように規則的に連続せず、経糸または緯糸のみが表面に多く表れるため、織物としては表面がなめらかであり、すなわちバッキング材の表面平滑性が向上する。
【００４３】
さらに、綾織とした場合には平織りと朱子織の中間のような織組織となるため、耐久性と表面平滑性のバランスが取れたバッキング材とすることができる。
【００４４】
本発明のバッキング材に用いる編物としてはトリコット編み、アトラス編み、コード編み、鎖編み、平編み、ゴム編み、パール編みなどが代表例として挙げられる。繊維基材を編物とすると、織物と同様にバッキング材自身の表面粗さＲａを小さく設計できるばかりでなく、バッキング材を基材シートに積層する際に、編物が伸縮性を持つために、フィルムなどの基材シートに貼り込む際に編物をある程度伸ばした状態で貼り込むことができるために、しわになりにくく、バッキング材を作製する際の作業性が向上する。
【００４５】
さらに、本発明のバッキング材に用いる不織布としてはニードルパンチやメルトブロー、スパンボンド、湿式抄紙などを好適に用いることができる。不織布は織物や編物に比べて目付けの大きいものを設計しやすいため、繊維基材を不織布とすることで厚みの大きなバッキング材とすることが可能であり、これによりバッキング材のクッション性が向上し、ウエーハを研磨する際に砥粒が凝集した場合にも、凝集砥粒がウエーハに押し付けられた際の局所的なウエーハへの応力集中を緩和することができるために、研磨時のウエーハのスクラッチ生成を抑制することが出来る。
【００４６】
さらに、上述の織物や編物、不織布などの繊維基材の表層に存在する繊維を開繊させて、単繊維分散させることで、バッキング材の表面粗さＲａをさらに小さく設計することができる。これにより、表面平滑性がさらに向上した優れたバッキング材を作製でき、結果として研磨後のウエーハの表面粗さＲａを開繊前のものに比べて小さくすることができる。繊維を開繊させる方法としては特に限定はなく、単繊維分散できればいずれの方法を用いても良いが、例えば繊維基材の表面に高圧水流を作用させたり、繊維基材の表層を乾燥状態あるいは湿潤状態で綿布などを用いて摩擦するなどの種々の方法を採用することができる。その中でも、作業性、コスト、衝突エネルギー量、加工効率などの観点から、ウォータージェットパンチ装置により繊維基材を加工することが好ましい。
【００４７】
高圧水流の圧力としては、０．１ＭＰａ以上であることが好ましく、１ＭＰａ以上がより好ましい。圧力の上限としては特に限定されないが、２０ＭＰａ以下とすることが好ましく、１０ＭＰａ以下がさらに好ましい。圧力が低いと、上記繊維の分散効果が十分でなく、圧力が高すぎると、繊維が処理中に脱落したり、繊維基材が破断するので好ましくない。
【００４８】
また、高圧水流で処理する際に、処理水の中に他の成分、例えば、有機溶剤、アルカリ、酸、染料、樹脂、平滑剤、柔軟剤、シリコーン、ウレタンなどを混合した水溶液、分散液、乳化液などを用いることもできる。
【００４９】
上述の繊維の製造方法としては、単成分紡糸や海島複合紡糸、分割複合紡糸、静電紡糸などを採用することができる。この中で、例えば特開２００４−１６２２４４号公報に記載されているように、易溶解性ポリマーを海成分に用い、難溶解成分を島成分として、ポリマーアロイ繊維とした後、易溶解性ポリマーを溶解あるいは分解除去してナノレベルの極細繊維を作製する方法や、特開２００５−２７３０６７号公報に記載されているように、ポリマーを溶剤に溶かし、これを静電紡糸してナノレベルの極細繊維を作製する方法を用いると、繊維径をより小さく設計できるため、バッキング材とした時にその表面粗さＲａを小さくすることができるばかりでなく、繊維間の微細空隙が増えることで水などの液体の保持性が高くなり、よりウエーハの保持性が高まるため好ましい。
【００５０】
本発明のバッキング材は、その表面粗さＲａが２０μｍ以下であることが好ましい。ここで、表面粗さは後述の実施例中に記載した測定方法により求める。すなわち、バッキング材の表面を共焦点型レーザー顕微鏡で測定し解析することで求めることができる。バッキング材の表面粗さＲａが小さいと、バッキング材表面の平滑性が高いために、ウエーハなどのワークをしっかりと固定することができるため、ウエーハを研磨した際の加工精度が向上し、結果として研磨後のウエーハ自身の表面粗さＲａを小さくすることができる。表面粗さＲａは１５μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがさらに好ましい。表面粗さは小さければ小さいほど良いが、現在の技術範囲では０．５μｍ程度が下限である。
【００５１】
一般にバッキング材は研磨するごとにウエーハを保持して繰り返し使用されるため、消耗品ではあるものの、ある程度の耐久性が要求される。特に本発明の極細繊維を使用したバッキング材は繊維が非常に細いために、繊維の破断や擦過によって繊維基材表面の耐久性が不十分である場合がある。そこで、バッキング材としての耐久性を向上させるために、繊維基材に各種バインダーを使用することが好ましい。バインダーとしては、例えば本発明の極細繊維に、他の繊維として熱融着繊維を混用しても良いし、高分子弾性体を付着させても良い。
【００５２】
バインダーとして高分子弾性体を使用した場合、繊維同士の接着剤としての役割だけでなく、研磨時の振動吸収のためのクッションとしての役割も果たすことができ、ウエーハなどのワークへのフィット性およびワークへのキズの抑制効果に優れるため、好ましい。
【００５３】
かかる高分子弾性体としては、ウレタン系、シリコーン系、アクリル系高分子などを使用することができる。中でも、ポリウレタンが研磨プロセスにおけるクッション性や繊維基材への浸透性および含浸加工性の容易さから好ましい。また、高分子弾性体からなるバインダーとしては、大きく大別すると溶剤系のものと、水系エマルジョン系のものがあるが、溶剤系のものを用いると繊維基材の表面に膜を形成しやすく、繊維表面をバインダーの膜で覆ってしまうために、繊維基材に対するバインダーの付与量が多すぎる場合には繊維の特性が損なわれる場合がある。
【００５４】
そこで、繊維基材への浸透性が良く、バインダーが凝固する際にも繊維基材の表面に膜を形成しにくい水系エマルジョン系のバインダーを用いることが好ましい。繊維が細い場合にはエマルジョンサイズとしては、より小さいほうが繊維の表面というよりも、むしろ繊維間に比較的均一に浸透して付着するため好ましく、繊維の細さのオーダーに合わせてエマルジョンサイズを適宜選択すればよいが、エマルジョンサイズとしては１μｍ以下であることが好ましく、２００ｎｍ以下であることがより好ましく、１００ｎｍ以下であることがさらに好ましい。
【００５５】
高分子弾性体の含有量は、少なすぎると繊維の補強効果があまり期待できず、多すぎると繊維表面を高分子弾性体が膜状に覆ってしまい、繊維のバッキング材としての特性が損なわれる場合があるため、繊維重量に対し５〜３０重量％であることが好ましく、含有量によってバッキング材の表面状態、空隙率、クッション性、硬度、強度などを調節することができる。かかる高分子弾性体の付与方法としては、高分子弾性体を塗布あるいは含浸後凝固させる方法などを採用することができる。
【００５６】
高分子弾性体の含有量は、面積１ｍ２のバッキング材を試料として用い測定をする。高分子弾性体の含有量の確認は、試料面積１ｍ２の研磨布から高分子弾性体を溶媒などで溶出除去させ、該溶出除去処理の前後の重量をそれぞれ求めることにより確認をすることができる。
【００５７】
本発明のバッキング材の支持層である基材シートとしては、平坦でかつ平滑であるものが好ましく、ＰＥＴやＰＰ、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）などのフィルムが用いられる。
【００５８】
また、本発明のテンプレートは研磨時の摩耗耐久性に優れるものであることが好ましく、ガラス繊維やアラミド繊維等にエポキシ樹脂等を含浸し、それを積層して成形したものが用いられる。
【００５９】
本発明のバッキング材ならびに被研磨加工物の保持材は、表面粗さＲａが小さく、表面平滑性に優れるため、シリコン（Ｓｉ）やガリウムナイトライド（ＧａＮ）、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、サファイアなどの半導体ウエーハの研磨用のみに限らず、アルミディスクやガラスディスクなどのハードディスク用基板の研磨用、さらに液晶ディスプレイ用ガラスやレンズなどの光学ガラス、フォトマスクなどの研磨用としても好適に用いることができる。
【実施例】
【００６０】
以下、本発明について実施例を用いて詳細に説明する。なお、実施例中の測定方法は以下の方法を用いた。
【００６１】
Ａ．ポリマーの溶融粘度
東洋精機製作所（株）製キャピログラフ１Ｂによりポリマーの溶融粘度を測定した。な
お、サンプル投入から測定開始までのポリマーの貯留時間は１０分とした。
【００６２】
Ｂ．融点
Ｐｅｒｋｉｎ  Ｅｌｍａｅｒ  ＤＳＣ−７を用いて２ｎｄ  ｒｕｎでポリマーの融解を
示すピークトップ温度をポリマーの融点とした。このときの昇温速度は１６℃／分、サン
プル量は１０ｍｇとした。
【００６３】
Ｃ．ＳＥＭ観察
サンプルに白金を蒸着し、超高分解能電解放射型走査型電子顕微鏡で観察した。
ＳＥＭ装置：日立製作所（株）製ＵＨＲ−ＦＥ−ＳＥＭ
Ｄ．繊維の数平均直径
上記ＳＥＭで少なくとも３０本以上の単繊維を１視野中に観察できる倍率で観察し、その観察画像から、三谷商事（株）製の画像処理ソフト（ＷＩＮＲＯＯＦ）を用いて、繊維長手方向に対して垂直な方向の繊維幅を繊維の直径として算出した。この際、同一横断面内で無作為に抽出した３０本の単繊維の直径を測定し、これを３カ所で行い、合計９０本の単繊維の直径を測定して、これを単純平均して数平均直径を求めた。
【００６４】
Ｅ．力学特性
室温（２５℃）で、初期試料長＝２００ｍｍ、引っ張り速度＝２００ｍｍ／分とし、ＪＩＳ  Ｌ１０１３に示される条件で荷重−伸長曲線を求めた。次に、破断時の荷重値を初期の繊度で割り、それを強度とし、破断時の伸びを初期試料長で割り、伸度として強伸度曲線を求めた。
【００６５】
Ｆ．研磨評価
研磨機はラップマスターＳＦＴ株式会社製の片面研磨機である「ラップマスターＬＭ−１５Ｅ」を用いた。研磨パッドはニッタ・ハース株式会社製ＳＵＢＡ８００を用い、研磨スラリーにはコロイダルシリカの水分散体である株式会社フジミインコーポレーテッド製ＧＬＡＮＺＯＸ１３０２を用いた。ワークは１０．１６ｃｍ（４インチ）のシリコンエッチドウエーハを用い、１０．１６ｃｍ（４インチ）が保持できる大きさの保持材を実施例および比較例にて作製し、これにウエーハを保持して研磨を行なった。この時の研磨条件は下記の通りである。
【００６６】
＜研磨条件＞
定盤回転数  ：  ５０ｒｐｍ
圧力  ：  ２６９ｇ／ｃｍ２
研磨時間  ：  １０分
スラリー濃度  ：  １％
スラリー供給量  ：  ２５ｍｌ／分
なお、研磨後のシリコンウエーハの表面粗さはＺｙｇｏ社製の白色干渉顕微鏡ＮｅｗＶｉｅｗ６３００により倍率１０００倍で測定して求めた。
【００６７】
なお、研磨後のウエーハの研磨レートが０．４０μｍ／分以上、ウエーハの表面粗さＲａが５．５ｎｍ以下となったバッキング材を性能の高いバッキング材と判断した。
【００６８】
Ｇ．バッキング材の表面粗さＲａ
株式会社キーエンス製のレーザー顕微鏡ＶＫ−８５００で倍率４００倍で測定し、３箇所の測定視野の表面粗さを単純平均して表面粗さＲａとした。
【００６９】
Ｈ．高分子弾性体の含有量
高分子弾性体の含有量の確認は、試料面積１ｍ２の研磨布から高分子弾性体を溶媒などで溶出除去させ、該溶出除去処理の前後の重量をそれぞれ求めることにより確認をした。
【００７０】
実施例１
溶融粘度５３Ｐａ・ｓ（２６２℃、剪断速度１２１．６ｓｅｃ−１）、融点２２０℃のＮ６（２０重量％）と溶融粘度３１０Ｐａ・ｓ（２６２℃、剪断速度１２１．６ｓｅｃ−１）、融点２２５℃のイソフタル酸を８ｍｏｌ％、ビスフェノールＡを４ｍｏｌ％共重合した融点２２５℃の共重合ＰＥＴ（８０重量％）を２軸押し出し混練機で２６０℃で混練してポリマーアロイチップを得た。なお、この共重合ＰＥＴの２６２℃、１２１６ｓｅｃ−１での溶融粘度は１８０Ｐａ・ｓであった。
【００７１】
さらに、このときの混練条件は以下のとおりであった。
【００７２】
ポリマー供給  ：Ｎ６と共重合ＰＥＴを別々に計量し、別々に混練機に供給した
スクリュー型式：同方向完全噛合型  ２条ネジ
スクリュー    ：直径３７ｍｍ、有効長さ１６７０ｍｍ
Ｌ／Ｄ        ：４５
温度          ：２６０℃
ベント        ：２箇所
このポリマーアロイチップを２７５℃の溶融部で溶融し、紡糸温度２８０℃のスピンブロックに導いた。そして、限界濾過径１５μｍの金属不織布でポリマーアロイ溶融体を濾過した後、口金面温度２６２℃とした口金から紡糸速度９００ｍ／分で溶融紡糸した。
【００７３】
この時、口金としては口金孔径０．７ｍｍ、吐出孔長１．７５ｍｍのものを使用し、単孔あたりの吐出量は２．９ｇ／分とした。吐出された糸条は２０℃の冷却風で１ｍにわたって冷却固化され、口金から１．８ｍ下方に設置した給油ガイドで給油された後、非加熱の第１引き取りローラーおよび第２引き取りローラーを介して巻き取った。その後、糸条を、温度９０℃の第１ホットローラーと、温度１３０度の第２ホットローラーとで延伸熱処理した。この時、第１ホットローラーと第２ホットローラーによる延伸倍率を３．２倍とした。得られたポリマーアロイ繊維は１２０ｄｔｅｘ、１２フィラメント、強度４．０ｃＮ／ｄｔｅｘ、伸度３５％であった。
【００７４】
得られたポリマーアロイ繊維を用いて平織を作製し、この織物を９８℃の３％水酸化ナトリウム水溶液にて２時間浸漬することでポリマーアロイ繊維中の共重合ＰＥＴの９９％以上を加水分解除去し、酢酸で中和後、水洗、乾燥し、Ｎ６の極細繊維織物からなるバッキング材を得た。
【００７５】
図５には実施例１のバッキング材の断面を、図６には実施例１のバッキング材の表面の拡大を示した。
【００７６】
得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、Ｎ６極細繊維の数平均直径は６０ｎｍであった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは６．９μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【００７７】
さらに、ＰＥＴフィルム製基材シートにバッキング材を接着固定し、さらにバッキング材の上にテンプレートを接着して保持材とした。
【００７８】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．６７μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも２．５ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【００７９】
実施例２
溶融粘度２１２Ｐａ・ｓ（２６２℃、剪断速度１２１．６ｓｅｃ−１）、融点２２０℃のＮ６を４０重量％、重量平均分子量１２万、溶融粘度３０Ｐａ・ｓ（２４０℃、剪断速度２４３２ｓｅｃ−１）で融点１７０℃のポリＬ乳酸（光学純度９９．５％以上）を６０重量％とし、２軸押出混練機で２２０℃で溶融混練してポリマーアロイチップを得た。なお、このポリＬ乳酸の２１５℃、剪断速度１２１６ｓｅｃ−１での溶融粘度は８６Ｐａ・ｓであった。
【００８０】
さらに、このときの混練条件は以下のとおりであった。
【００８１】
ポリマー供給  ：Ｎ６とポリＬ乳酸を別々に計量し、別々に混練機に供給した
スクリュー型式：同方向完全噛合型  ２条ネジ
スクリュー    ：直径３７ｍｍ、有効長さ１６７０ｍｍ、
Ｌ／Ｄ        ：４５
温度          ：２２０℃
ベント        ：２箇所
このポリマーアロイチップを２３０℃の溶融部で溶融し、紡糸温度２３０℃のスピンブロックに導いた。そして、限界濾過径１５μｍの金属不織布でポリマーアロイ溶融体を濾過した後、口金面温度２１５℃とした口金から紡糸速度３５００ｍ／分で溶融紡糸した。
【００８２】
この時、口金としては口金孔径０．３ｍｍ、吐出孔長０．５５ｍｍのものを使用し、単孔あたりの吐出量は０．９４ｇ／分とした。吐出された糸条は２０℃の冷却風で１ｍにわたって冷却固化され、口金から１．８ｍ下方に設置した給油ガイドで給油された後、非加熱の第１引き取りローラーおよび第２引き取りローラーを介して巻き取った。その後、糸条を、温度９０℃の第１ホットローラーと、温度１３０度の第２ホットローラーとで延伸熱処理した。この時、第１ホットローラーと第２ホットローラーによる延伸倍率を１．５倍とした。得られたポリマーアロイ繊維は６７ｄｔｅｘ、３６フィラメント、強度３．６ｃＮ／ｄｔｅｘ、伸度４０％であった。
【００８３】
得られたポリマーアロイ繊維を用いて綾織を作製し、この織物を９８℃の３％水酸化ナトリウム水溶液にて１時間浸漬することでポリマーアロイ繊維中のポリＬ乳酸成分の９９％以上を加水分解除去し、酢酸で中和後、水洗、乾燥し、Ｎ６の極細繊維織物からなるバッキング材を得た。
【００８４】
得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、Ｎ６極細繊維の数平均直径は１２０ｎｍであった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは９．２μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【００８５】
さらに、ＰＥＴフィルム製基材シートにバッキング材を接着固定し、さらにバッキング材の上にテンプレートを接着して保持材とした。
【００８６】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．５８μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも３．０ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【００８７】
実施例３
海成分に５−ナトリウムスルホイソフタル酸を５ｍｏｌ％共重合したアルカリ可溶型共重合ポリエステル樹脂６０重量％、島成分にＮ６樹脂４０重量％を用い、溶融紡糸で島成分を４００島とし、５．３ｄｔｅｘの高分子配列体複合繊維（以後複合繊維）を作成後、３．０倍の倍率で延伸して２．０ｄｔｅｘの複合繊維を得た。この複合繊維の強度は２．５ｃＮ／ｄｔｅｘ、伸度は３２％であった。
【００８８】
得られた複合繊維を用いて平織りを作製し、この織物を実施例１と同様にポリエステル成分の９９％以上を加水分解除去し、酢酸で中和後、水洗、乾燥してＮ６の極細繊維からなるバッキング材を得た。
【００８９】
得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、Ｎ６極細繊維の数平均直径は９００ｎｍ相当であった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは１４．９μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【００９０】
さらに、実施例１と同様に基材シート、上記バッキング材、テンプレートからなる保持材を作製した。
【００９１】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．４４μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも５．０ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【００９２】
実施例４
海成分にアルカリ可溶型共重合ポリエステル樹脂６０重量％、島成分にＮ６樹脂４０重量％を用い、溶融紡糸で島成分を７０島とし、５．３ｄｔｅｘの高分子配列体複合繊維（以後、複合繊維）を作成後、２．５倍の倍率で延伸して２．１ｄｔｅｘの複合繊維を得た。この複合繊維の強度は２．６ｃＮ／ｄｔｅｘ、伸度は３５％であった。
【００９３】
得られたポリマーアロイ繊維を用いて朱子織りを作製し、この織物を９８℃の５％水酸化ナトリウム水溶液にて１時間浸漬することでポリマーアロイ繊維中の共重合ポリエステル成分の９９％以上を加水分解除去し、酢酸で中和後、水洗、乾燥し、Ｎ６の極細繊維からなるバッキング材を得た。
【００９４】
得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、Ｎ６極細繊維は０．０２ｄｔｅｘ（平均繊維径２μｍ）相当であった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは１７．０μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【００９５】
さらに、実施例１と同様に基材シート、上記バッキング材、テンプレートからなる保持材を作製した。
【００９６】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．４１μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも５．４ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【００９７】
実施例５
実施例１で得られたポリマーアロイ繊維をトリコット編みにして、この織物を９８℃の３％水酸化ナトリウム水溶液にて２時間浸漬することでポリマーアロイ繊維中のポリＬ乳酸成分の９９％以上を加水分解除去し、酢酸で中和後、水洗、乾燥し、Ｎ６の極細繊維編み物からなるバッキング材を得た。
【００９８】
得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、Ｎ６極細繊維の数平均直径は１２０ｎｍであった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは９．５μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【００９９】
さらに、実施例１と同様に基材シート、上記バッキング材、テンプレートからなる保持材を作製した。
【０１００】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．５６μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも３．４ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【０１０１】
実施例６
実施例２で得られたポリマーアロイチップを用いて、溶融温度２３０℃、紡糸温度２３０℃（口金面温度２１５℃）、紡糸速度３２００ｍ／分として実施例１と同様に溶融紡糸して未延伸糸を得た。得られた未延伸糸を延伸温度９０℃、延伸倍率を１．５倍、熱セット温度１３０℃として実施例１と同様に延伸熱処理し、ポリマーアロイ繊維を得た。このポリマーアロイ繊維は７０ｄｔｅｘ、３６フィラメントであり、強度３．４ｃＮ／ｄｔｅｘ、伸度３８％であった。この繊維に捲縮付与およびカットを行い、カット長５１ｍｍの複合原綿を得た。
【０１０２】
上記ポリマーアロイ原綿をカーディングおよびラッピングを施した後、さらにニードルパンチを３０００本／ｃｍ２施し、目付５００ｇ／ｍ２のポリマーアロイ原綿からなる不織布を得た。
【０１０３】
この不織布を９５℃の３％水酸化ナトリウム水溶液にて１時間浸漬することで不織布中
のポリエステル成分の９９％以上を加水分解除去し、酢酸で中和後、水洗、乾燥した。
【０１０４】
次に、この不織布にポリビニルアルコールを不織布中の繊維に対して固形分で２０重量
％となるように付与した。さらに、この不織布にポリエステル−ポリエーテル系ポリウレタンのジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）溶液を、固形分として不織布中の繊維に対して固形分で３０重量％となるように含浸し、湿式凝固して目付３９０ｇ／ｍ２のＮ６極細繊維からなる不織布を得た。
【０１０５】
得られた不織布の表面をＪＩＳ＃２４０、＃３５０、＃５００番のサンドペーパーでバフィングし、さらに、これを隙間が１．０ｍｍの表面温度１５０℃の上下２本のフッ素加工した加熱ローラーでニップし、０．７ｋｇ／ｃｍ２の圧力でプレスした後、表面温度１５℃の冷却ローラーで急冷し表面を平滑化したバッキング材を得た。
【０１０６】
得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、Ｎ６極細繊維の数平均直径は１２０ｎｍと従来にない細さであった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは９．６μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【０１０７】
さらに、実施例１と同様に基材シート、上記バッキング材、テンプレートからなる保持材を作製した。
【０１０８】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．５０μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも４．１ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【０１０９】
実施例７
実施例２で得られたＮ６極細繊維織物に、０．１ｍｍφの円孔が０．６ｍｍ間隔で開いているノズルから圧力３ＭＰａの水流を噴射することにより、織物表層の極細繊維が単繊維分散した織物を得た。なお、処理速度は１ｍ／分であり、ノズルはシート状物の幅方向に振幅４ｍｍで１８．６Ｈｚで揺動させながら処理を行った。また、ノズルから噴射した水流の向きは概略、織物に対して直角になるようにした。この場合のカバーファクターは１５０％であった。
【０１１０】
さらにこの織物に日華化学（株）製の水系エマルジョンであるエバファノールＨＡ−１５（エマルジョン径５０ｎｍ）を織物中の繊維に対して固形分で１５重量％となるように含紳し、１１０℃で１０分乾燥した後、さらに１３０℃で１０分間キュアリングして、バッキング材得た。
【０１１１】
得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、Ｎ６極細繊維の数平均直径は１２０ｎｍであった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは４．６μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【０１１２】
さらに、実施例１と同様に基材シート、上記バッキング材、テンプレートからなる保持材を作製した。
【０１１３】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．６９μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも２．０ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【０１１４】
実施例８
溶融粘度１２０Ｐａ・ｓ（２６２℃、１２１．６ｓｅｃ−１）、融点２２５℃のＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）と「２エチルヘキシルアクリレートを２２％共重合したポリスチレン（ＰＳ）」を用い、ＰＢＴの含有率を２０重量％、ＰＳの含有率を８０重量％とし、混練温度を２４０℃として実施例１と同様に溶融混練し、ポリマーアロイチップを得た。この時、共重合ＰＳの２６２℃、１２１．６ｓｅｃ−１での溶融粘度は１４０Ｐａ・ｓ、２４５℃、１２１６ｓｅｃ−１での溶融粘度は６０Ｐａ・ｓであった。
【０１１５】
これを溶融温度２６０℃、紡糸温度２６０℃（口金面温度２４５℃）、紡糸速度１２００ｍ／分で実施例１と同様に溶融紡糸を行った。この時、口金として吐出孔上部に直径０．３ｍｍの計量部を備えた、吐出孔径が０．７ｍｍ、吐出孔長が１．８５ｍｍのものを使用し、単孔あたりの吐出量は１．０ｇ／分とした。得られた未延伸糸を延伸温度１００℃、延伸倍率を２．４９倍とし、熱セット温度１１５℃として実施例１と同様に延伸熱処理した。得られた延伸糸は１６１ｄｔｅｘ、３６フィラメントであり、強度１．４ｃＮ／ｄｔｅｘ、伸度３３％であった。
【０１１６】
得られたポリマーアロイ繊維を用いて綾織を作製し、この織物から溶剤としてトリクレンを用いてポリマーアロイ繊維中のＰＳ成分の９９％以上を溶解除去し、乾燥してＰＢＴの極細繊維からなるバッキング材を得た。
【０１１７】
得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、ＰＢＴ極細繊維の数平均直径は２００ｎｍであった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは９．８μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【０１１８】
さらに、実施例１と同様に基材シート、上記バッキング材、テンプレートからなる保持材を作製した。
【０１１９】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．５０μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも３．６ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【０１２０】
実施例９
実施例２のＮ６を溶融粘度３５０Ｐａ・ｓ（２２０℃、１２１．６ｓｅｃ−１）、融点１６２℃のＰＰとし、ＰＰの比率を２３重量％、ＰＬＡの比率を７７重量％とした以外は実施例１と同様に溶融混練し、ポリマーアロイチップを得た。なお、ポリＬ乳酸の２２０℃、１２１．６ｓｅｃ−１における溶融粘度は１０７Ｐａ・ｓであった。このポリマーアロイチップを溶融温度２３０℃、紡糸温度２３０℃（口金面温度２１５℃）、単孔吐出量１．５ｇ／分、紡糸速度９００ｍ／分で分散液の製造例１と同様に溶融紡糸を行った。得られた未延伸糸を延伸温度９０℃、延伸倍率を２．７倍、熱セット温度１３０℃として実施例１と同様に延伸熱処理した。得られたポリマーアロイ繊維は、７７ｄｔｅｘ、３６フィラメント、強度２．５ｃＮ／ｄｔｅｘ、伸度５０％であった。
【０１２１】
得られたポリマーアロイ繊維を用いて平織りを作製し、この織物を９８℃の３％水酸化ナトリウム水溶液にて１時間浸漬することでポリマーアロイ繊維中のポリＬ乳酸成分の９９％以上を加水分解除去し、酢酸で中和後、水洗、乾燥し、ＰＰの極細繊維からなるバッキング材を得た。
【０１２２】
得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、ＰＰ極細繊維の数平均直径は２４０ｎｍであった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは１１．８μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【０１２３】
さらに、実施例１と同様に基材シート、上記バッキング材、テンプレートからなる保持材を作製した。
【０１２４】
この保持材にシリコンウエーハを保持し、研磨スラリーに添加剤として過酸化水素をスラリーに対して３％濃度となるように添加して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．４７μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも４．２ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【０１２５】
実施例１０
溶融粘度２８０Ｐａ・ｓ（３００℃、１２１６ｓｅｃ−１）のＰＥＴを６０重量％、溶融粘度１６０Ｐａ・ｓ（３００℃、１２１６ｓｅｃ−１）のＰＰＳを４０重量％として、下記条件で２軸押出混練機を用いて溶融混練を行った。ここで、ＰＰＳは直鎖型で分子鎖末端がカルシウムイオンで置換された物を用いた。また、ここで用いたＰＥＴを３００℃で５分間保持した時の重量減少率は０．９％であった。
【０１２６】
スクリュー        Ｌ／Ｄ＝４５
途中２個所のバックフロー部有り
ポリマー供給      ＰＰＳとＰＥＴを別々に計量し、別々に混練機に供給した
温度              ３００℃
ベント            無し
ここで得られたポリマーアロイ溶融体をそのまま紡糸機に導き、紡糸を行った。この時紡糸温度は３１５℃、限界濾過径１５μｍの金属不織布でポリマーアロイ溶融体を濾過した後、口金面温度２９２℃とした口金から溶融紡糸した。この時、口金としては、吐出孔上部に直径０．３ｍｍの計量部を備えた、吐出孔径が０．６ｍｍのものを用い、この時の単孔あたりの吐出量は１．１ｇ／分とした。さらに、口金下面から冷却開始点までの距離は７．５ｃｍであった。吐出された糸条は２０℃の冷却風で１ｍにわたって冷却固化され、脂肪酸エステルが主体の工程油剤が給油された後、非加熱の第１引き取りローラーおよび第２引き取りローラーを介して１０００ｍ／分で巻き取られた。そして、これを第１ホットローラーの温度を１００℃、第２ホットローラーの温度を１３０℃として延伸熱処理した。この時、第１ホットローラーと第２ホットローラー間の延伸倍率を３．１倍とした。
【０１２７】
得られたポリマーアロイ繊維は４３０ｄｔｅｘ、２４０フィラメント、強度４．４ｃＮ／ｄｔｅｘ、伸度２６％であった。
【０１２８】
得られたポリマーアロイ繊維を用いて平織りを作製し、この織物を９８℃、３％水酸化ナトリウム水溶液に減量促進剤として明成化学工業（株）社製「マーセリンＰＥＳ」３％ｏｗｆを併用した脱海処理液に３時間浸浸することでポリマーアロイ繊維中のＰＥＴ成分の９９％以上を加水分解除去し、酢酸で中和後、水洗、乾燥し、ＰＰＳの極細繊維織物からなるバッキング材を得た。得られたバッキング材をＳＥＭ写真から解析した結果、ＰＰＳ極細繊維の数平均直径は９０ｎｍであった。また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは８．７μｍであり、表面平滑性に優れることがわかった。
【０１２９】
さらに、実施例１と同様に基材シート、上記バッキング材、テンプレートからなる保持材を作製した。
【０１３０】
この保持材にシリコンウエーハを保持し、研磨スラリーに過マンガン酸カリウムをスラリーに対して１％となるように添加して研磨したところ、従来の保持材に比べてウエーハの保持性が高いために、研磨レートは０．６２μｍ／分と高く、研磨後のウエーハの表面粗さＲａも３．４ｎｍと平滑性に優れるものであった。
【０１３１】
比較例１
単糸繊度２．３ｄｔｅｘ（繊維直径１６μｍ）、総繊度８４ｄｔｅｘ、３６フィラメント、強度４．５ｃＮ／ｄｔｅｘ、伸度４５％のＮ６繊維を用いて綾織を作製し、Ｎ６の通常繊維織物からなるバッキング材を得た。
【０１３２】
また、バッキング材の表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは１９．４μｍであった。
【０１３３】
さらに、実施例１と同様に基材シート、上記バッキング材、テンプレートからなる保持材を作製した。
【０１３４】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したが、繊維径が大きいためにバッキング材としてのウエーハの保持力が劣るため、研磨中にウエーハが保持材から外れてしまい研磨できなかった。
【０１３５】
比較例２
ＰＵスエードからなるバッキング材とテンプレートからなる市販の保持材（ニッタ・ハース株式会社製：商標Ｒ３０１）のバッキング材表面をレーザー顕微鏡で評価したところ、表面粗さＲａは２２．９μｍであった。
【０１３６】
この保持材にシリコンウエーハを保持して研磨したところ、研磨レートは０．３５μｍ／分であり、研磨後のウエーハの表面粗さＲａは６．０ｎｍであった。
【０１３７】
【表１】
2009088456.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【０１３８】
本発明のバッキング材、ならびに被研磨加工物の保持材により、従来では達成できなかったシリコンウエーハを始めとする半導体の高精度な研磨加工が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１３９】
【図１】従来のバッキング材の表面形状を示す
【図２】従来のバッキング材の断面形状を示す
【図３】バッキング材およびテンプレートの概観を示す概略図
【図４】本発明の保持材の断面の一例を示す概略図
【図５】実施例１のバッキング材の断面形状を示す
【図６】実施例１のバッキング材の表面形状の拡大を示す
【符号の説明】
【０１４０】
１：貼り付けプレート
２：基材シート
３：バッキング材
４：テンプレート
５：保持材
６：シリコンウエーハ
【図１】
2009088456.tif 000004
【図２】
2009088456.tif 000005
【図３】
2009088456.tif 000006
【図４】
2009088456.tif 000007
【図５】
2009088456.tif 000008
【図６】
2009088456.tif 000009