(57)【要約】【課題】ハルバッハ配列の磁石群において発生する反発力による可動部の変形量を低減する駆動装置を提供する。【解決手段】ハルバッハ配列で配列される磁石群９と、磁石群９と対向するコイル群７とを相対的に移動させることによって磁石群９が取り付けられた可動部１を駆動する駆動装置は、磁石群９をコイル群側から保持する非磁性材料からなる第１保持部材２を有する。【選択図】図１
2009225512.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石群とコイル群とを相対的に移動させることによって前記磁石群が取り付けられた可動部を駆動する駆動装置であって、
前記磁石群は複数の第１磁石と複数の第２磁石を有し、前記複数の第１磁石と前記複数の第２磁石はハルバッハ配列を形成し、前記第１磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向と垂直な方向に磁化方向を有し、前記第２磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向に磁化方向を有し、
前記駆動装置は、前記第１磁石が配列される方向において少なくとも２つの隣り合う第１磁石を前記コイル群側から保持し、非磁性材料からなる第１保持部材を更に有することを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記第１保持部材は前記磁石群を覆う板状部材であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記第１保持部材は繊維強化複合材からなり、前記第１磁石と前記第２磁石が配列される方向は前記繊維強化複合材の繊維方向であることを特徴とする請求項１又は２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記コイル群と反対側から前記磁石群を保持し、非磁性材料からなる板状の第２保持部材を更に有することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記第１磁石と前記第２磁石は二方向にハルバッハ配列を形成することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記磁石群は、前記コイル群に対向する前記可動部の底面に取り付けられることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の駆動装置。
【請求項７】
光源からの光を利用して原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、
前記基板又は原版を搭載して位置決めするステージを有し、
前記ステージは請求項１乃至６のいずれか一項に記載の駆動装置によって構成されることを特徴とする露光装置。
【請求項８】
請求項７に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。 
【請求項９】
磁石群とコイル群とを相対的に移動させることによって前記磁石群が取り付けられた可動部を駆動する駆動装置であって、
前記磁石群は複数の第１磁石と複数の第２磁石を有し、前記複数の第１磁石と前記複数の第２磁石はハルバッハ配列を形成し、前記第１磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向と垂直な方向に磁化方向を有し、前記第２磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向に磁化方向を有し、
前記第１磁石が配列される方向において少なくとも２つの隣り合う第１磁石を前記コイル群側から保持し、非磁性材料からなる第１保持部材を更に有する駆動装置の製造方法であって、
定盤上に前記可動部を固定するステップと、
前記磁石群を前記可動部の前記定盤とは反対の側に固定するステップと、
前記磁石群に前記第１磁石の磁化方向と垂直な方向に力を加えるステップと、
前記磁石群の前記可動部とは反対側から前記第１保持部材を前記磁石群に固定するステップと、
前記力を解除するステップと、
前記可動部を前記定盤から分離するステップと、
を有することを特徴とする駆動装置の製造方法。
【請求項１０】
磁石群とコイル群とを相対的に移動させることによって前記磁石群が取り付けられた可動部を駆動する駆動装置であって、
前記磁石群は複数の第１磁石と複数の第２磁石を有し、前記複数の第１磁石と前記複数の第２磁石はハルバッハ配列を形成し、前記第１磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向と垂直な方向に磁化方向を有し、前記第２磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向に磁化方向を有し、
前記第１磁石が配列される方向において少なくとも２つの隣り合う第１磁石を前記コイル群側から保持する非磁性材料からなる第１保持部材と、
前記コイル群と反対側から前記磁石群を保持する非磁性材料からなる板状の第２保持部材と、
を更に有する駆動装置の製造方法であって、
定盤上に前記第２保持部材を固定するステップと、
前記磁石群を前記第２保持部材の前記定盤とは反対の側に固定するステップと、
前記磁石群に前記第１磁石の磁化方向と垂直な方向に力を加えるステップと、
前記磁石群の前記第２保持部材とは反対側から前記第１保持部材を前記磁石群に固定するステップと、
前記力を解除するステップと、
前記第２保持部材を前記定盤から分離するステップと、
前記第２保持部材を前記可動部に固定するステップと、
を有することを特徴とする駆動装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は駆動装置及びその製造方法に関する。また、本発明は駆動装置を有する露光装置及びデバイス製造方法にも関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置において原版（マスク又はレチクル）又は基板（ウエハ、液晶パネルなど）の駆動及び位置決めに使用されるステージ（可動部）は、高精度の位置決めと高速移動が要求される。また、高い結像性能を維持するために露光装置のステージには高い面精度が要求されている。
【０００３】
このようなステージのアクチュエータとして、特許文献１は、平面状に並べたコイル群と磁石群との間の作用により制御力を発生するリニアモータを開示している。特許文献１は、ステージの裏面に接着剤で接着された磁石群が主極磁石と補極磁石により二方向にハルバッハ配列を形成するリニアモータとそれを有する露光装置を開示している。
【特許文献１】特開２００６−１３６１５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、磁石群のコイル群に面した側では、互いに隣接する主極磁石と補極磁石との間で反発力が発生し、主極磁石は鉛直方向に飛び出す方向に力を受け、補極磁石は水平方向に主極磁石から遠ざかる方向に力を受ける。接着剤の剛性は無限ではないため、磁石はわずかに変位すると、これらの力はステージに伝わることになり、湾曲変形を引き起こす。この湾曲変形によりステージは面精度を維持できず、露光装置の結像性能が低下する。
【０００５】
本発明は、ハルバッハ配列の磁石群において発生する反発力による可動部の変形量を低減する駆動装置を提供することを例示的な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面としての駆動装置は、磁石群とコイル群とを相対的に移動させることによって前記磁石群が取り付けられた可動部を駆動する駆動装置であって、前記磁石群は複数の第１磁石と複数の第２磁石を有し、前記複数の第１磁石と前記複数の第２磁石はハルバッハ配列を形成し、前記第１磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向と垂直な方向に磁化方向を有し、前記第２磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向に磁化方向を有し、前記駆動装置は、前記第１磁石が配列される方向において少なくとも２つの隣り合う第１磁石を前記コイル群側から保持し、非磁性材料からなる第１保持部材を更に有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の別の側面としての駆動装置の製造方法は、磁石群とコイル群とを相対的に移動させることによって前記磁石群が取り付けられた可動部を駆動する駆動装置であって、前記磁石群は複数の第１磁石と複数の第２磁石を有し、前記複数の第１磁石と前記複数の第２磁石はハルバッハ配列を形成し、前記第１磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向と垂直な方向に磁化方向を有し、前記第２磁石は前記ハルバッハ配列として配列される方向に磁化方向を有し、前記第１磁石が配列される方向において少なくとも２つの隣り合う第１磁石を前記コイル群側から保持する非磁性材料からなる第１保持部材を更に有する駆動装置の製造方法であって、定盤上に前記可動部を固定するステップと、前記磁石群を前記可動部の前記定盤とは反対の側に固定するステップと、前記磁石群に前記第１磁石の磁化方向と垂直な方向に力を加えるステップと、前記磁石群の前記可動部とは反対側から前記第１保持部材を前記磁石群に固定するステップと、前記力を解除するステップと、前記可動部を前記定盤から分離するステップと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ハルバッハ配列の磁石群において発生する反発力による可動部の変形量を低減する駆動装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は、実施例１のリニアモータ（駆動装置）の断面図である。図１において、１はステージ本体（可動部）、２ａは保持部材（第１保持部材）、３は磁石群のうちの補極磁石（第２磁石）、４は磁石群のうち主極磁石（第１磁石）、６は固定子台、７はコイル群、９は磁石群である。磁石群９は二方向にハルバッハ配列を有する二次元ハルバッハ配列を形成している。リニアモータは、磁石群９と対向するコイル群７とを相対的に移動させることによって磁石群９が取り付けられたステージ本体１を駆動する。なお、リニアモータは、コイル群７と磁石群９の配置は逆でもステージ本体１を駆動することはできる。
【００１１】
磁石群９は、ステージ本体１のコイル群に対向する底面１ａに取り付けられる。従来は磁石群９をステージ本体１の底面１ａに直接接着せずにステージ本体１の側面１ｃから外側に突出した腕部に設けられていたが、本実施例では、磁石群９をステージ本体１の底面１ａに接着固定することによってリニアモータの小型化を図っている。
【００１２】
図２は、図１をＩ−Ｉ線で切断した平面図であり、磁石群９とステージ本体１をＺ方向の下方から見た平面図である。図２において、符号ａで示した４、符号ｂで示した５は磁石群９の主極磁石であり、Ｚ方向に着磁されている永久磁石である。主極磁石４と主極磁石５とは磁化方向が逆向き（反平行）である。これらの主極磁石４、５は交互に周期的に配列され、その間に符号ｃで示した補極磁石３が配置される。図２において、ステージ本体１と磁石群９は、ＸＹ平面の形状が同じ大きさの正方形形状であり、一辺が１１ｔ√２である。磁石群９において、主極磁石４、５、補極磁石３は、一辺がｔの同一の正方形形状を有し、各磁石の辺が延びる方向はＸ軸又はＹ軸と４５°をなしている。但し、磁石の形状は正方形に限定されず、六角形、八角形などその他の多角形形状を含む。
【００１３】
まず、ハルバッハ配列について図３を参照して説明する。図３（ａ）は磁石群９の一部を取り出した平面図で、図３（ｂ）は図３（ａ）のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。ハルバッハ配列は、図３（ａ）のＩＩ−ＩＩ線に沿った配列（又は図３（ｂ）に示す配列）として知られている。ハルバッハ配列においては、磁石群９は複数の主極磁石４、５と複数の補極磁石３とを有する。
【００１４】
図３（ａ）において、ＸＹ軸を反時計回りに４５°回転したＸ’Ｙ’軸を考えると、主極磁石４、５は、ハルバッハ配列として配列される方向（図３（ａ）に示すＸ’軸方向又は−Ｘ’軸方向）と垂直な方向（Ｚ軸方向）に磁化方向を有する。補極磁石３は、主極磁石４、５が配列される方向に磁化方向を有する。図３（ａ）に示すＸ’軸方向又は−Ｘ’軸方向において主極磁石と補極磁石は交互に配置される。また、図３（ａ）に示すＸ’軸方向又は−Ｘ’軸方向において補極磁石３を介して隣り合う２つの主極磁石４、５の磁化方向は逆向き（反平行）である。また、図３（ａ）では共通の符号ｃを付しているが、実際には、補極磁石３は、その磁化方向によって４種類の補極磁石３ａ〜３ｄに分類される。
【００１５】
補極磁石３ａはＸ’軸方向に磁化方向を有し、補極磁石３ｂはＹ’軸方向に磁化方向を有し、補極磁石３ｃは−Ｘ’軸方向に磁化方向を有し、補極磁石３ｄは−Ｙ’軸方向に磁化方向を有する。そして、図３（ａ）に示すＸ’軸方向又は−Ｘ’軸方向において主極磁石を介して隣り合う２つの補極磁石３（補極磁石３ａと３ｃ）の磁化方向は逆向きである。また、主極磁石４のＹ軸方向に隣接する補極磁石３ｂと３ｄの磁化方向も逆向きであり、主極磁石４の周りの補極磁石３はＸ軸方向、Ｙ軸方向共に主極磁石４から離れる方向に磁化方向を有する。また、主極磁石５のＹ軸方向に隣接する補極磁石３ｂと３ｄの磁化方向も逆向きであり、主極磁石５の周りの補極磁石３はＸ軸方向、Ｙ軸方向共に主極磁石４に向かう方向に磁化方向を有する。
【００１６】
図２は、二次元ハルバッハ配列を示している。二次元ハルバッハ配列は、二方向においてハルバッハ配列を有する配列である。図２において、ＸＹ軸を反時計回りに４５°回転したＸ’Ｙ’軸を考えると、磁石群９は、Ｘ’軸方向とＹ’軸方向にハルバッハ配列を形成している。なお、図２では共通の符号ｃを付しているが、実際には、補極磁石３は、その磁化方向によって４種類の補極磁石３ａ〜３ｄに分類され、その配置は図３（ａ）と同様である。
【００１７】
コイル群７は長尺のコイルが平面状に二層に敷き詰められている。上層コイル８ａと下層コイル８ｂとはコイルの並び方向が直交している。また、図１に示したコイルピッチＣＰ（コイルの中心から隣のコイルまでの中心までの距離）は、図２に示した磁極ピッチＭＰの１．５倍となっている。コイルは、ステージ本体の可動ストロークに応じて長尺方向の長さが決まり、必要な本数も定まる。
【００１８】
上述したように、図３（ａ）は、図２に示す磁石群９の主極磁石４、５と補極磁石３の一部を取り出して着磁方向（磁化方向）を示したものである。ここで、ハルバッハ配列は次のような問題を有する。即ち、図３（ｂ）において、補極磁石と主極磁石が隣接する箇所のステージ本体側の部分１０においては、補極磁石と主極磁石とで異極が隣接しており、互いに吸引する。これに対して反対側のコイル群側の部分１１では同極が隣接しており、互いに反発する。このような磁石の吸引、反発の特性のため、従来のように部分１０をステージ本体１に接着固定するとステージ本体１が下凸形状に変形するという問題が発生する。これは接着部である部分１０から磁石の高さ分だけ離れた部分１１に力が作用するため、ステージ本体１にはモーメントとして加わるためである。
【００１９】
そこで、ステージ本体１の変形を防止するために磁石群９から発生する反発力の影響低減する手段が必要となる。特に、本実施例のように、ステージ本体１の底面１ａに磁石群９を設けると磁石群９から発生する反発力の影響がより顕著になる。本実施例は、反発力低減手段として主極磁石４が配列される方向において少なくとも２つの隣り合う主極磁石をコイル群側から保持する非磁性材料からなる保持部材２ａを設けている。非磁性材料は、例えば、樹脂である。
【００２０】
保持部材２ａは磁石群９を覆う板状部材として構成される。これにより、磁石群９の一部を覆うよりも反発力がステージ本体１に及ぼす影響をより低減することができる。保持部材２ａは磁石群９のコイル群側の底面９ａに接着剤で接着されて固定されるが、保持部材２ａの固定手段を限定しない。
【００２１】
以下、図４及び図５を参照して図１に示すリニアモータの製造方法について説明する。図４は、リニアモータの製造方法を説明するためのフローチャートである。なお、図４において、「Ｓ」はステップを表す。
【００２２】
まず、ステージ本体１を上下反転して定盤上にステージ本体１を固定する（Ｓ３１）。定盤１２は十分な厚みを持ち、曲げ方向の剛性は非常に大きくなっている。定盤１２の上面１２ａとステージ本体１の上面（図４では下面）１ｂは高精度に仕上げられており、ほぼ密着している。この状態でステージ本体１を定盤１２にボルト締結するのが好ましい。
【００２３】
次に、磁石群９をステージ本体１の定盤１２とは反対の側の底面（図４では上面）１ａに接着剤により固定する（Ｓ３２）。このとき、前述の力によりステージ本体１は変形しようとするが、定盤１２に密着して固定されているので変形は極力小さく抑えられる。
【００２４】
更に変形を小さくするために、磁石群９に水平方向（Ｚ軸方向に垂直な方向）に力Ｆを加える（Ｓ３３）。力Ｆは互いに反対方向の同じ大きさの力とする。例えば、磁石突き当て部を非磁性にし、送りねじ機構を用いて突き当て部を水平方向に押して水平方向の力Ｆを加えることができる。水平方向は、Ｘ’方向と−Ｘ’方向、Ｙ’方向と−Ｙ’方向でもよいし、Ｘ方向と−Ｘ方向、Ｙ方向と−Ｙ方向でもよい。
【００２５】
次に、磁石群９のステージ本体１とは反対側の底面９ａに保持部材２を磁石群９に接着剤によって固定する（Ｓ３４）。磁石群９による力の大きな部分１１の極近傍に保持部材２を設けることにより、保持部材２の張力により磁石群９の力を抑えることができる。この状態を図５に示す。
【００２６】
その後、水平方向の力Ｆを解除する（Ｓ３５）。水平方向の力Ｆを解除しても、保持部材２の張力により磁石群９の力を抑えることができる。次に、ステージ本体１を定盤１２から分離する（Ｓ３６）。定盤１２からステージ本体１を分離した後でも保持部材２によりステージ本体１の磁石群９の力による変形を非常に小さくすることができる。その後、別工程で形成したコイル群に対して定盤１２から分離したステージ本体１、磁石群９及び保持部材２を配置する（Ｓ３７）。
【００２７】
本実施例では補極磁石の磁化方向が主極磁石の磁化方向と直交しているが、両者はある角度を持っていてもよい。即ち、主極磁石と補極磁石との間の反発力が発生する配列であれば、保持部材２を用いることができる。
【実施例２】
【００２８】
図６は、実施例２のリニアモータの要部の断面図である。本実施例のリニアモータは、ステージ本体１と磁石群９との間に磁石群９を保持する保持部材（第２保持部材）１３を設けている点で実施例１のリニアモータと異なる。保持部材１３は、コイル群７又は保持部材２と反対側から磁石群９を保持し、非磁性材料からなる板状部材である。保持部材１３は、保持部材２と共に磁石群９の反発力を低減する手段として機能するが、以下に説明するように、リニアモータの製造及び保守を容易にする効果も有する。
【００２９】
以下、図７及び図８を参照して図６に示すリニアモータの製造方法について説明する。図７は、リニアモータの製造方法を説明するためのフローチャートである。なお、図７において、「Ｓ」はステップを表す。
【００３０】
まず、保持部材１３の上面１３ａを定盤１２の上面１２ａに固定する（Ｓ４１）。このとき、定盤１２に保持部材１３をボルト締結する。ボルトの締結の間隔は小さいほうが好ましい。次に、磁石群９を保持部材１３の定盤１２とは反対の側の底面１３ｂに接着剤により固定する（Ｓ４２）。このとき、前述の力により保持部材１３は変形しようとするが、定盤１２に密着して固定されているので変形は極力小さく抑えられる。
【００３１】
更に変形を小さくするために、磁石群９に水平方向（Ｚ軸方向に垂直な方向）に力Ｆを加える（Ｓ４３）。力Ｆは互いに反対方向の同じ大きさの力とする。例えば、磁石突き当て部を非磁性にし、送りねじ機構を用いて突き当て部を水平方向に押して水平方向の力Ｆを加えることができる。水平方向は、Ｘ’方向及び−Ｘ’方向、Ｙ’方向及び−Ｙ’方向でもよいし、Ｘ方向及び−Ｘ方向、Ｙ方向及び−Ｙ方向でもよい。保持部材１３は薄板であり、定盤１２にボルト締結されており、更に水平方向の力Ｆを付加されているので、保持部材１３の変形は非常に小さくなっている。
【００３２】
次に、磁石群９の保持部材１３とは反対側の底面９ａに保持部材２を磁石群９に接着剤によって固定する（Ｓ４４）。磁石群９による力の大きな部分１１の極近傍に保持部材２を設けることにより、保持部材２及び１３の張力により磁石群９の力を抑えることができる。この状態を図８に示す。
【００３３】
その後、水平方向の力Ｆを解除する（Ｓ４５）。水平方向の力Ｆを解除しても、保持部材２の張力により磁石群９の力を抑えることができる。次に、保持部材１３を定盤１２から分離する（Ｓ４６）。定盤１２から保持部材１３を分離した後でも保持部材２により保持部材１３の磁石群９の力による変形を非常に小さくすることができる。次に、保持部材１３を別工程で形成したステージ本体１にボルト締結により固定する（Ｓ４７）。このように、保持部材１３はステージ本体１に分離可能に固定される。本実施例では、保持部材１３、磁石群９及び保持部材２を一つのユニットとして用いることができ、ステージ本体１や磁石群９のユニットのどちらかに故障があった場合に故障があったユニットのみを交換することができるため、保守性と経済性に優れる。また、ステージ本体１に対する他の加工や組立を、保持部材１３、磁石群９及び保持部材２からなるユニットの組立と平行して作業できるので製造効率が高まる。その後、別工程で形成したコイル群に対して定盤１２から分離したステージ本体１、磁石群９及び保持部材２を配置する（Ｓ４８）。
【実施例３】
【００３４】
図９は、実施例３の保持部材２ｃと磁石群９の関係を示す平面図である。図９は保持部材２ｃの下の磁石群９の配列を透過している。実際の保持部材２は透明である必要はない。保持部材２ｃは前述の通り磁石群９からの大きな力を張力として対抗している。また、ステージ本体１の質量を小さくするためにも保持部材２ｃは軽い材料が好ましい。
【００３５】
本実施例では保持部材２ｃに繊維強化複合材を用いている。繊維強化複合材は、例えば、ガラス繊維を用いたＧＦＲＰ（Ｇｌａｓｓ  Ｆｉｂｅｒ  Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ）材でもよく、炭素繊維を用いたＣＦＲＰ（Ｃａｒｂｏｎ  Ｆｉｂｅｒ  Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ）材でもよい。また、図９において、ＸＹ軸を反時計回りに４５°回転した軸をＸ’Ｙ’軸とすると、主極磁石と補極磁石との間で働く力は図２において主極磁石の異なる磁極の並び方向、即ち、Ｘ’軸方向とＹ’軸方向である。繊維方向を、図９に示すように、面内で９０度に交わる方向にして、磁石間の反発力の発生する方向と一致させている。
【００３６】
繊維強化材の製作において面内に９０度に交わる方向に繊維方向を合わせるには、次の二種類の方法がある。一つは繊維を９０度に交わるように織り込んで一枚の層にする所謂クロス材である。二つ目は、一方向の繊維で構成した一層を作り、その層を二層以上用いて互いに９０度回転させて重ね合せて一枚に成型する方法である。本実施例では、製作手法は問わず主極磁石の並び方向と繊維方向があっていれば足りる。なお、繊維強化複合材の制作上の都合で繊維方向にわずかなずれが生じる場合があるが、その程度のずれは問題にならない。このように強度の高い繊維方向と保持部材２ｃの張力方向を一致させることにより、薄い板状で保持部材２ｃを構成することができ、軽量化が図られる。保持部材１３も同様な構成を用いることができる。
【実施例４】
【００３７】
図１０は、実施例４の保持部材２ｄの概略平面図である。保持部材２ｄにＣＦＲＰ材を用いた大きな板を製作するにはコストが高くなるおそれがある。この場合、図１０のように保持部材２ｄを２ｄ−１，２ｄ−２のように二枚に分割してもよい。分割線２ｄ−３は図１０に示す水平線に限定されない。信頼性を上げるため、変形を小さく抑えるため、少なくとも異なる磁極の最低でも二つの主極磁石を覆う大きさであるのが好ましい。また、なるべく分割数を小さくして大きな板で構成するのが望ましい。分割数を大きくすると保持部材２を磁石群９に接着する際の接着剤が表面上に暴露する面積が大きくなりやすい。接着剤からの化学性の脱ガスは、露光装置の投影光学系に悪影響を及ぼすことがあるので、接着剤の暴露面積を小さくすることが好ましいからである。
【実施例５】
【００３８】
図１１（ａ）は、実施例５の磁石群の概略平面図であり、各磁石の磁化方向も示している。主極磁石４、５の磁化方向は紙面に垂直であり、補極磁石３の磁化方向は水平方向である。図１１（ｂ）は、これに対応する保持部材２ｅの概略平面図であり、保持部材２ｅの繊維方向を示している。保持部材２ｅの繊維方向は補極磁石３の磁化方向と同様に水平方向である。本実施例は、磁石群に対して二次元ハルバッハ配列ではなく一次元のハルバッハ配列を使用している。この場合は磁石間の反発力の発生する向きは一方向のみになるので、保持部材２ｅの繊維方向は図１１に示すように一方向（水平方向）でもよい。
【実施例６】
【００３９】
図１２は、上記リニアモータを原版又は基板のステージに適用した露光装置である。露光装置は、光源からの光を利用して原版Ｍを照明光学系により照明し、原版Ｍのパターンからの回折光を投影光学系５６を介して基板Ｗに投影する。５２は光源と照明光学系を含んだ照明装置である。本実施例の露光装置はステップアンドスキャン方式で原版Ｍと基板Ｗをそれぞれ原版ステージ５４及び基板ステージ５８によって同期駆動することによって露光する。原版ステージ５４は原版を搭載して位置決めする。基板ステージ５８は基板を搭載して位置決めする。この原版ステージ５４又は基板ステージ５８に上記リニアモータを適用することができる。また、別の実施例では露光装置はステップアンドリピート方式で原版パターンを基板Ｗに露光する。この場合には、基板ステージに上記リニアモータを適用することができる。
【００４０】
デバイス（半導体集積回路素子、液晶表示素子等）は、前述のいずれかの実施例の露光装置を使用して感光剤を塗布した基板（ウエハ、ガラスプレート等）を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
【００４１】
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施例１のリニアモータの断面図である。
【図２】図１に示すリニアモータの磁石群とステージ本体の底面図である。
【図３】図１に示すリニアモータの磁石群の磁化方向を示す平面図と断面図である。
【図４】図１に示すリニアモータの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図５】図１に示すリニアモータの製造方法を説明するための断面図である。
【図６】本発明の実施例２のリニアモータの要部の断面図である。
【図７】図６に示すリニアモータの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図８】図６に示すリニアモータの製造方法を説明するための断面図である。
【図９】本発明の実施例３のリニアモータの保持部材を透過した状態における磁石群の底面図である。
【図１０】本発明の実施例４の保持部材の概略平面図である。
【図１１】本発明の実施例５の保持部材と磁石群の磁化方向を示す図である。
【図１２】駆動装置を有する露光装置のブロック図である。
【符号の説明】
【００４３】
１        ステージ本体（可動部）
２ａ、２ｃ、２ｄ、２ｅ  保持部材（第１保持部材）
３        補極磁石（第２磁石）
４、５    主極磁石（第１磁石）
７        コイル群
９        磁石群
１２      定盤
１３      保持部材（第２保持部材）
５４      原版ステージ
５６      基板ステージ
【図１】
2009225512.tif 000003
【図２】
2009225512.tif 000004
【図３】
2009225512.tif 000005
【図４】
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【図５】
2009225512.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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