(57)【要約】      （修正有）【課題】周波数調整用金属膜のバリが残ることを防止した周波数調整方法を提供する。【解決手段】水晶振動子は、第一表面と第一表面に対向する第二表面と断面凸部を有する第一側面と第一側面と対向する第二側面とを有し、周波数調整用金属膜は、水晶振動子の第一表面と第一側面と第二側面とに渡って形成されており、レーザーは、水晶振動子の第二表面から入射し、水晶振動子を透過し、第一表面形成された周波数調整用金属膜の一部を除去する構成であり、第一表面を基準として、第二側面から前記第一側面に向かって鋭角に入射して周波数調整用金属膜の一部を除去する。【選択図】図１
2009088806.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶振動子に形成した周波数調整用金属膜の一部をレーザーによって除去し、発振周波数を調整する水晶振動子の周波数調整方法において、
前記水晶振動子は、第一表面と第一表面に対向する第二表面と断面凸部を有する第一側面と第一側面と対向する第二側面とを有し、
前記周波数調整用金属膜は、前記水晶振動子の前記第一表面と前記第一側面と前記第二側面とに渡って形成されており、
前記レーザーは、前記水晶振動子の前記第二表面から入射し、前記水晶振動子を透過し、前記第一表面に形成された周波数調整用金属膜の一部を除去する構成であり、
前記レーザーが前記第一表面に形成された前記周波数調整用金属膜へ入射する角度が、前記第一表面を基準として、前記第二側面から前記第一側面に向かって鋭角であることを特徴とする水晶振動子の周波数調整方法。
【請求項２】
複数の水晶振動子を配列したワークに対して、それぞれの周波数調整用金属膜の一部をレーザーによって除去し、発振周波数を調整する水晶振動子の周波数調整方法において、
前記水晶振動子は、第一表面と第一表面に対向する第二表面と断面凸部を有する第一側面と第一側面と対向する第二側面とを有し、
前記周波数調整用金属膜は、前記水晶振動子の前記第一表面と前記第一側面と前記第二側面とに渡って形成されており、
前記レーザーは、前記水晶振動子の前記第二表面から入射し、前記水晶振動子を透過し、前記第一表面に形成された周波数調整用金属膜の一部を除去する構成であり、
前記レーザーが前記第一表面に形成された前記周波数調整用金属膜へ入射する角度が、前記ワークの全ての水晶振動子に対して、前記第一表面を基準として、前記第二側面から前記第一側面に向かって鋭角であることを特徴とする水晶振動子の周波数調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子の周波数調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、水晶振動子の周波数調整方法として、振動片に形成した金属膜を、トリミングして、発振周波数を調整する方法が知られている。
【０００３】
図３は、従来技術による音叉型の水晶振動子の振動片に金属膜を形成した状態を説明する図である。図４は、従来技術による振動片に周波数調整用金属膜を形成した状態を説明する要部断面図である。
【０００４】
図３に示すように、音叉型の水晶振動子１の振動片１ａの先端部には、重りとして、周波数調整用金属膜２が、形成されている。周波数調整用金属膜２は、主として、Ａｇや、Ａｕ等の比重の高い金属が用いられる。この周波数調整用金属膜２を、レーザーで除去し、重りを軽くして、周波数を調整している。使用するレーザーは、ＹＡＧレーザーや、半導体レーザー等が用いられる。
【０００５】
また、図４に示すように、エッチングで水晶片を加工する工程で、水晶の異方性により、一側面に断面凸部８ができる。振動片１ａの第一表面４と断面凸部８を有する第一側面６と第二側面７とに周波数調整用金属膜２を蒸着にて形成すると、第一側面６の断面凸部８の影響で、振動片１ａに形成する周波数調整用金属膜２は、第二側面側よりも、第一側面６側では厚く形成される。
【０００６】
さらに特許文献１では、水晶振動子１の第二表面５側から、レーザー３を照射し、水晶振動子１の第一表面４の周波数調整用金属膜２の一部を除去し、周波数調整用金属膜２の周縁部を残すことで、除去した周波数調整用金属膜２が、振動片に再付着することを防止している。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−３３２８７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図５は、従来技術による周波数調整用金属膜のバリを説明する断面図である。
【０００９】
しかしながら、図５に示すように、第一側面６側で周波数調整用金属膜２が厚く形成されることによって、除去すべき周波数調整用金属膜２がバリ１０として残ってしまう。
【００１０】
周波数調整用金属膜２のバリ１０が、生産工程上や製品完成後に、落下すると、調整した周波数から大きく変化してしまう。
【００１１】
本発明は、周波数調整用金属膜のバリが残ることを防止した周波数調整方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
水晶振動子に形成した周波数調整用金属膜の一部をレーザーによって除去し、発振周波数を調整する水晶振動子の周波数調整方法において、前記水晶振動子は、第一表面と第一表面に対向する第二表面と断面凸部を有する第一側面と第一側面と対向する第二側面とを有し、前記周波数調整用金属膜は、前記水晶振動子の前記第一表面と前記第一側面と前記第二側面とに渡って形成されており、前記レーザーは、前記水晶振動子の前記第二表面から入射し、前記水晶振動子を透過し、前記第一表面に形成された周波数調整用金属膜の一部を除去する構成であり、前記レーザーが前記第一表面に形成された前記周波数調整用金属膜へ入射する角度が、前記第一表面を基準として、第二側面から前記第一側面に向かって鋭角である水晶振動子の周波数調整方法とする。
【００１３】
複数の水晶振動子を配列したワークに対して、それぞれの周波数調整用金属膜の一部をレーザーによって除去し、発振周波数を調整する水晶振動子の周波数調整方法において、前記水晶振動子は、第一表面と第一表面に対向する第二表面と断面凸部を有する第一側面と第一側面と対向する第二側面とを有し、前記周波数調整用金属膜は、前記水晶振動子の前記第一表面と前記第一側面と前記第二側面とに渡って形成されており、前記レーザーは、前記水晶振動子の前記第二表面から入射し、前記水晶振動子を透過し、前記第一表面に形成された周波数調整用金属膜の一部を除去する構成であり、前記レーザーが前記第一表面に形成された前記周波数調整用金属膜へ入射する角度が、前記ワークの全ての水晶振動子に対して、前記第一表面を基準として、第二側面から前記第一側面に向かって鋭角である水晶振動子の周波数調整方法とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、第一表面に形成した周波数調整用金属膜に対して、レーザーが入射する角度を、第二側面から前記第一側面に向かって鋭角にすることで、第一側面側の周波数調整用金属膜がバリ状に残ることを防止できる。
【００１５】
また、複数のワークに対して、トリミングを行うレーザーの入射する角度を同様に規制することで、量産時における品質の安定性を確保する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の最良の実施形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明によるレーザーの照射方法を説明する振動片の要部断面図である。図２は、複数の音叉型の水晶振動子が配列したワークを説明する図である。従来技術と重複する内容に関しては、従来技術の図を用いる。
【００１７】
図２に示すように、水晶ウエハをエッチングして複数の音叉型の水晶振動子１を形成する。水晶の異方性により水晶振動子１の一側面には断面凸部８ができる。水晶振動子１に電極膜(不図示)をスパッタまたは蒸着により成膜した後、図３に示すように、周波数調整用金属膜２を蒸着により水晶振動子１の振動片１ａの端部に成膜し、熱処理を行う。
【００１８】
振動片１ａの端部に成膜された周波数調整用金属膜２を周波数調整装置で一部除去することにより所望の発振周波数に調整する。
【００１９】
周波数調整装置では、図１に示すように、第二表面５側から第一表面４の周波数調整用金属膜２にレーザー３を照射する。
【００２０】
レーザー３の入射角度(θとする)は、第二側面７側から第一側面６側に向かって鋭角とする。
【００２１】
レーザー３の入射角度を鋭角とすることで、第一側面６側で周波数調整用金属膜２が厚く形成されても、調整時のバリの発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明によるレーザーの照射方法を説明する振動片の要部断面図
【図２】複数の音叉型の水晶振動子が配列したワークを説明する図
【図３】音叉型の水晶振動子の振動片に金属膜を形成した状態を説明する図
【図４】従来技術による振動片に周波数調整用金属膜を形成した状態を説明する要部断面図
【図５】従来技術による周波数調整用金属膜のバリを説明する断面図である
【符号の説明】
【００２３】
１    水晶振動子
１ａ  振動片
２    周波数調整用金属膜
３    レーザー
４    第一表面
５    第二表面
６    第一側面
７    第二側面
８    断面凸部
９    ワーク
１０    バリ
【図１】
2009088806.tif 000003
【図２】
2009088806.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009088806.tif 000006
【図５】
2009088806.tif 000007