(57)【要約】【課題】振動板の変質を防止して、振動板の弾性率の変化を防止する。【解決手段】液体噴射ヘッド１０は、液体を噴射するノズル開口１３に連通する圧力発生室１１を有する液体流路が形成された流路形成基板１２と、圧力発生室１１に対向して設けられた振動板１５と、振動板１５を介して圧力発生室１１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを備え、前記振動版１５の圧力発生室１１側の面の、圧力発生室１１を構成する領域に保護膜６０が設けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を有する液体流路が形成された流路形成基板と、圧力発生室に対向して設けられた振動板と、振動板を介して圧力発生室に圧力変化を発生させる圧力発生手段とを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記振動板の圧力発生室側の面に、圧力発生室内の液体に対して耐性を有する保護膜が設けられたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記振動板の圧力発生室側の面のうち、前記流路形成基板の液体流路に対向する面部分に前記保護膜を設けたことを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記振動板が、樹脂フィルムからなる弾性膜を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記圧力発生手段が、圧電材料と電極形成材料とが縦に積層され櫛歯状に切り分けられて圧電素子が形成された圧電素子形成部材、及びこの圧電素子形成部材が固定される固定基板を具備する圧電素子ユニットからなり、前記液体噴射ヘッドが、前記圧電素子の先端面を露出させた状態で該圧電素子ユニットが収容され、かつ、前記固定基板が接着剤によって固定されるケースヘッドを備え、このケースヘッドの前記圧電素子の先端面が露出する端面に前記振動板が接合されるとともに、前記振動板が前記圧電素子の先端面を固定することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記ケースヘッドに設けられたインク流路と、流路形成基板の圧力発生室とを連通するための振動板に設けられた開口の周縁部に保護部材が設けられたことを特徴とする請求項４記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記開口の周縁部に設けられた保護部材が、ケースヘッドと、振動板とを接着するための接着剤を延在させてなるものであることを特徴とする請求項５記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドに関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子の変位による圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。具体的には、ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられる流路形成板とその一方面側に設けられる振動板とを有する流路ユニットと、流路ユニットに接着剤を介して接着されたノズル開口を有するノズルプレートと、各圧力発生室に対応して設けられ支持基板に固定された圧電素子（圧電振動子）と、この圧電素子を収容する収容室を有するケースヘッド（基台）とを有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３３７１３号公報（例えば、請求項１参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記態様のインクジェット式記録ヘッドにおいては、振動板が、圧力発生室が設けられている流路形成板の一方面側に設けられているので、振動板の流路形成板側の面が直接圧力発生室内のインクに接触していることになる。このインクの含有成分により、時間経過と共に振動板が変質する場合があり、とくに振動板を樹脂フィルムで構成した場合に変質するおそれがある。振動板が変質すると、振動板の弾性率が変化してしまうので、結果としてインクジェット式記録ヘッドの印字特性が変化してしまうおそれがあるという問題がある。
【０００５】
他方で、振動板自体の材料を、耐インク性を有する材料に変更するとなると、振動板自体の弾性率が変化してしまい、インクジェット式記録ヘッド全体の設計変更をしなければならないという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、上記従来技術の問題に鑑みて、時間経過によっても振動板が変質せず、かつ、既存の液体噴射ヘッドに対応することができる液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を有する液体流路が形成された流路形成基板と、圧力発生室に対向して設けられた振動板と、振動板を介して圧力発生室に圧力変化を発生させる圧力発生手段とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記振動板の圧力発生室側の面に、圧力発生室内の液体に対して耐性を有する保護膜が設けられたことを特徴とする。圧力発生室側の面に圧力発生室内の液体に対して耐性を有する保護膜を形成することで、振動板の変質を防止することが可能である。
【０００８】
この場合、前記振動板の圧力発生室側の面のうち、前記流路形成基板の液体流路に対向する面部分に前記保護膜を設けることが好ましい。液体流路に対向する面部分で振動板が液体に接触し、振動板が変質するので、液体流路に対向する面部分に保護膜を設ければ、振動板の変質及びこれに起因する弾性率の変化を抑制できる。
【０００９】
ここで、前記振動板が樹脂フィルムからなる弾性膜を備えている場合には、圧力発生室内の液体に対して耐性を有する保護膜を設けることで、圧力発生室内の液体による振動板の変質をより効果的に防止することができる。
【００１０】
また、圧力発生室内の液体による振動板の変質する虞がある液体噴射ヘッドとしては、前記圧力発生手段が、圧電材料と電極形成材料とが縦に積層され櫛歯上に切り分けられて圧電素子が形成された圧電素子形成部材、及びこの圧電素子形成部材が固定される固定基板を具備する圧電素子ユニットからなり、前記液体噴射ヘッドが、前記圧電素子の先端面を露出させた状態で該圧電素子ユニットが収容され、かつ、前記固定基板が接着剤によって固定されるケースヘッドを備え、このケースヘッドの前記圧電素子の先端面が露出する端面に前記振動板が接合されるとともに、前記振動板が前記圧電素子の先端面を固定するものが挙げられる。かかる液体噴射ヘッドに対して本発明の保護膜を設けることで、印字品質の劣化を抑制することが可能である。
【００１１】
前記ケースヘッドに設けられたインク流路と、流路形成基板の圧力発生室とを連通するための振動板に設けられた開口の周縁部に保護部材が設けられたことが好ましい。圧力発生室に対向する面のみならず、かかる振動板に設けられた開口の周縁部にも保護部材を設けることで、より振動板の変質を抑制することが可能である。
【００１２】
この場合に、前記開口の周縁部に設けられた保護部材が、ケースヘッドと、振動板とを接着するための接着剤を延在させてなるものであることが好ましい。開口の周縁部に保護部材を設けることが難しい場合には、ケースヘッドと振動板とを接着するための接着剤を延在させることで、簡易に振動板の変質を抑制することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を、図１及び図２に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図である。図２は、図１に示すインクジェット式記録ヘッドの断面拡大図である。図１及び図２において同一の構成要素については同一の参照符号を付してある。まず、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの一例について説明するが、本発明は他の構成のインクジェット式記録ヘッドに適用することができるものである。
【００１４】
図１に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０は、複数の圧力発生室１１を有する流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反対側の面に設けられる振動板１５とを具備する流路ユニット１６を有する。さらに、振動板１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられる圧電素子１７を有する圧電素子ユニット１８と、振動板１５上に固定されて圧電素子ユニット１８が収容される収容部１９を有するケースヘッド２０とを有する。
【００１５】
流路形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁によって区画されてその幅方向で複数並設されている。例えば、本実施形態では、流路形成基板１２には、複数の圧力発生室１１が並設されている。各圧力発生室１１の列の外側には、ケースヘッド２０外部のインク供給手段（図示せず）に連通するインク流路２１を介してインクが供給されるリザーバ２２が、流路形成基板１２を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、リザーバ２２と各圧力発生室１１とは、インク供給路２３を介して連通し、各圧力発生室１１には、インク供給手段からインク流路２１及びリザーバ２２を介してインクが供給される。インク供給路２３は、本実施形態では、圧力発生室１１よりも狭い幅で形成されており、リザーバ２２から圧力発生室１１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、圧力発生室１１のリザーバ２２とは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通するノズル連通孔２４が形成されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板１２に液体流路として、圧力発生室１１、リザーバ２２、インク供給路２３、ノズル連通孔２４が設けられている。このような流路形成基板１２は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１２に設けられる上記圧力発生室１１等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって形成されている。
【００１６】
この流路形成基板１２の一方面側にはノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４が接着剤５０を介して接着され、各ノズル開口１３は、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２４を介して各圧力発生室１１と連通している。
【００１７】
また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち、圧力発生室１１の開口面側には振動板１５が接合されて、各圧力発生室１１はこの振動板１５によって封止されている。
【００１８】
この振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２５と、この弾性膜２５を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２６との複合板で形成されており、弾性膜２５側が流路形成基板１２に接合されている。例えば、本実施形態では、弾性膜２５は、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板２６は、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子１７の先端部が当接する島部２７が設けられている。この圧電素子１７の先端面は、接着剤２８によって島部２７に接合されている。また、本実施形態では、振動板１５のリザーバ２２に対向する領域に支持板２６がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜２５のみで構成されるコンプライアンス部２９が設けられている。なお、このコンプライアンス部２９は、リザーバ２２内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２９の弾性膜２５が変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバ２２内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。さらに、図２に示すようにインク流路２１とリザーバ２２とが連通するように振動板１５には開口３０が設けられている。
【００１９】
このような振動板１５は、流路形成基板１２に接着剤５１を介して接着されている。
【００２０】
ここで、本実施形態では、振動板１５の流路形成基板１２側（圧力発生室１１の開口面側）の全面には、耐インク性の保護膜６０が設けられている。振動板１５が圧力発生室１１の開口面側に接合されて、各圧力発生室１１が振動板によって封止されるように構成されていることから、振動板１５は直接圧力発生室１１内のインクに接触する。この場合に、圧力発生室１１内のインクに含有される成分により振動板１５は時間経過と共に変質し、振動板１５の弾性率が低下してしまうおそれがある。そこで、上述のように振動板１５の流路形成基板１２側（圧力発生室１１の開口面側）に耐インク性の保護膜６０を設けることで、インクによる振動板１５の変質及びこれに伴う振動板１５の弾性率の低下を抑制して、この振動板１５の振動によりインクを吐出するように構成されている本インクジェット式記録ヘッド１０の印字品質の劣化を抑制できる。また、振動板１５、特に振動板１５を構成するインクによって変質しやすい弾性膜２５自体を変質しにくい材料で構成するのではなく、既存の振動板１５に保護膜６０を設けているので、インクの印字特性に影響する振動板自体を新規に設計する必要がない。
【００２１】
保護膜６０は、その形成の容易さに鑑みて、上述したように図１中では振動板１５の流路形成基板１２側全面にわたり設けているが、振動板１５の前記液体流路に対向する面、即ち圧力発生室１１、リザーバ２２及びインク供給路２３に対向するインク接触面６１のうち、少なくとも圧力発生室１１に対向する面部分に設けられていれば、弾性率の低下を抑制できる。好ましくは、振動板１５のインク接触面６１全体に保護膜６０が設けられていることである。インク接触面６１（液体流路に対向する面）全体に設けられていることで、インクによる振動板１５の変質及びこれに伴う振動板１５の弾性率の低下を抑制することができる。
【００２２】
また、振動板１５のインク接触部分としては、インク接触面６１だけでなく、インク流路２１とリザーバ２２とを連通させるために設けられている振動板１５の開口３０の周縁部６２も挙げられる。この周縁部６２は圧力発生室１１が対向する面からは離れているが、長時間経過すると周縁部６２からの振動板１５の変質の影響が大きくなる場合も考えられるので、この周縁部６２にも保護部材６３を設けることが好ましい。保護部材６３としては、上述した保護膜６０と同一のものを設けることも挙げられるが、この周縁部６２に保護膜を形成することが難しい場合もある。そこで、本実施形態においては、保護部材６３は、ケースヘッド２０と振動板１５とを接着するために設けられた接着剤２８をオーバーハングさせて固定基板２６側に延在させてなるものである。この接着剤２８である保護部材６３により振動板１５の開口の周縁部６２を保護し、振動板１５の変質を防止している。
【００２３】
また、さらに振動板１５の圧電素子１７側、又は弾性膜２５の圧電素子１７側に保護膜６０を設けてもよく、この場合には、両面に保護膜が設けられたことで振動板１５の弾性率を変化させないように保護膜６０を、例えばより薄く設けるか、弾性率を変化させない材料で形成する。もちろん、弾性膜２５を薄く構成して保護膜６０を厚く構成することも可能である。
【００２４】
保護膜６０としては、振動板１５のインクによる変質を抑制できる膜であればどのような膜でも適用することができる。このような膜としては、例えば、金属膜、有機膜、無機膜等が挙げられる。金属膜として用いられる金属としては、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｎｉ、Ｐｔ等が挙げられる。有機膜としては、特に耐溶剤性の強いゴム材からなる膜、例えば、フッ素系ゴム膜やシリコーンゴム膜などが挙げられる。無機膜としては、金属酸化膜（Ａｌ２Ｏ３膜、ＳｉＯ２膜等）等が挙げられる。また、本発明はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を吐出する液体噴射ヘッドも対象としているものであるので、保護膜６０の材料は、上記材料から液体の種類に応じて適宜選択することができる。本実施形態によれば、例えば、インクの酸性度が高く、弾性膜２５が変質しやすい場合であっても、このインクに応じて耐酸性の強い膜（例えばＳｉＯ２膜）を設けることで、弾性膜２５の変質を抑制することができる。
【００２５】
なお、保護膜６０として金属膜を形成する場合は、振動板１５のインク接触部、即ちインク接触面６１又はインク接触面６１と開口３０の周縁部６２とに形成する。これは、振動板１５の圧電素子１７側に保護膜６０としての金属膜を設けると、島部２７が他の部材と接続されてしまい、島部２７の絶縁性が保てないからである。
【００２６】
この場合に、保護膜６０は振動板１５の弾性率が変化して印字特性が変化しない厚さで設ける。保護膜６０の許容される厚さは保護膜６０を構成する材料に依存するが、上記材料であれば、例えば厚さは１００Å程度以上であることが好ましい。
【００２７】
かかる保護膜６０は、弾性膜２５と支持板２６とを図示しない接着層を介して接合した後、この振動板１５を構成する弾性膜２５の支持板２６が固定された面と対向する面に形成される。形成方法としては、公知の成膜方法、例えばＰＶＤ法、ＣＶＤ法、スピンコート法、ディッピング法などが挙げられ、保護膜６０の材料や保護膜６０の形状によって適宜選択することができる。
【００２８】
例えば、図１に示すように保護膜６０を振動板１５の流路形成基板１２側全体に形成する場合には、ＰＶＤ法、ＣＶＤ法又はスピンコート法により、振動板１５に保護膜６０を設ければよい。振動板１５の開口３０の周縁部にも保護膜６０を形成する場合には、ディッピング法により、弾性膜２５と支持板２６とが図示しない接着層を介して接合された振動板１５を保護膜６０の材料からなる液体に浸漬させることにより、簡単に振動板１５の開口３０の周縁部にも保護膜６０を形成することができる。この場合には振動板１５は両面成膜となるので、上述したように島部２７を絶縁するために、形成する保護膜６０は、絶縁性を有する膜とすればよい。
【００２９】
ここで、圧力発生室１１内にインク滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段である圧電素子１７について説明する。本実施形態では、圧電素子１７は、一つの圧電素子ユニット１８において一体的に形成されている。すなわち、圧電材料３１と電極形成材料３２，３３とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３４を形成し、この圧電素子形成部材３４を各圧力発生室１１に対応して櫛歯状に切り分けることによって各圧電素子１７が形成されている。すなわち、本実施形態では、複数の圧電素子１７が一体的に形成されている。そして、この圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）の振動に寄与しない不活性領域、すなわち、圧電素子１７の基端部側が固定基板３５に固着されている。本実施形態では、これら圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）と固定基板３５とで圧電素子ユニット１８が構成されている。そして、圧電素子１７の基端部近傍には、固定基板３５とは反対側の面に、各圧電素子１７を駆動するための信号を供給する配線３６を有する回路基板３７が接続されている。
【００３０】
このような圧電素子ユニット１８は、圧電素子１７の先端部が上述したように振動板１５の島部２７に当接された状態で固定されている。例えば、本実施形態では、上述したように振動板１５上にケースヘッド２０が固定されており、圧電素子ユニット１８は、このケースヘッド２０の収容部１９内に収容されて、圧電素子１７が固定された固定基板３５が、圧電素子１７とは反対面側でケースヘッド２０に固定されている。具体的には、ケースヘッド２０の収容部１９内には、段差部３８が設けられており、固定基板３５は、このケースヘッド２０の段差部３８に接着剤３９によって接合されている。
【００３１】
さらにケースヘッド２０上には、回路基板３７の各配線３６がそれぞれ接続される複数の導電パッド４０が設けられた配線基板４１が固定されており、ケースヘッド２０の収容部１９は、この配線基板４１によって実質的に塞がれている。配線基板４１には、ケースヘッド２０の収容部１９に対向する領域にスリット状の開口部４２が形成されており、回路基板３７はこの配線基板４１の開口部４２から収容部１９の外側に引き出されている。
【００３２】
また、圧電素子ユニット１８を構成する回路基板３７は、例えば、本実施形態では、圧電素子１７を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたチップオンフィルム（ＣＯＦ）からなる。そして、回路基板３７の各配線３６は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１７を構成する電極形成材料３２，３３に接続されている。一方、先端部側では、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。具体的には、配線基板４１の開口部４２から収容部１９の外側に引き出された回路基板３７の先端部が配線基板４１の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。
【００３３】
そして、このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１７及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル開口１３からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからリザーバ２２にインクが供給されると、インク供給路２３を介して各圧力発生室１１にインクが分配される。実際には、圧電素子１７に電圧を印加することにより圧電素子１７を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１７と共に変形されて圧力発生室１１の容積が広げられ、圧力発生室１１内にインクが引き込まれる。ノズル開口１３に至るまで内部にインクが満たされた後、配線基板を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１７の電極形成材料３２，３３に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１７が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１の容積が収縮して圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル開口１３からインク滴が吐出される。
【００３４】
本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図３は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００３５】
図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００３６】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００３７】
上述した実施形態１では、圧力発生室１１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、縦振動型の圧電素子１７を用いて説明したが、これに限定されず、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子などを使用することができる。以下、厚膜型の圧電素子を適用した本発明の第２のインクジェット記録ヘッドについて簡単に説明する。図４は、本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図５は本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００３８】
図４によれば、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１１０は、複数個、例えば、４つのアクチュエータユニット１２０と、これら４つのアクチュエータユニット１２０が固定される１つの流路ユニット１３０と、アクチュエータユニット１２０に接続されるフィルム状の配線基板１５０とで構成されている。
【００３９】
アクチュエータユニット１２０は、圧電素子１４０を具備するアクチュエータ装置であり、圧力発生室１２１が形成された流路形成基板１２２と、流路形成基板１２２の一方面側に設けられた振動板１２３と、流路形成基板１２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板１２４とを有する。
【００４０】
流路形成基板１２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室１２１がその幅方向に沿って並設された列が２列形成されている。そして、この流路形成基板１２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板１２３が固定され、圧力発生室１２１の一方面はこの振動板１２３により封止されている。
【００４１】
振動板１２３の流路形成基板側には、保護膜６０が設けられている。かかる本実施形態でも、振動板１２３の圧力発生室１２１側に耐インク性の保護膜６０を設けることで、振動板１２３の変質及びこれに伴う振動板の弾性率の変化を防止して、印字品質の劣化を防止できる。この場合、例えば振動板１２３はジルコニアからなるものであるので、第１の実施形態に記載された弾性膜２５とはその特性が異なるので、保護膜６０として、この振動板１２３に対応した材料を選択し、振動板１２３の弾性率が変化しない厚さで設ければ、既存の振動板１２３について、設計変更を行わずに時間経過と共に振動板１２３の変質により印字特性が劣化することを抑制できる。
【００４２】
圧電素子１４０は、振動板１２３上の各圧力発生室１２１に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本実施形態では、圧力発生室１２１の列が２列設けられているため、圧電素子１４０の列も２列設けられている。なお、アクチュエータユニット１２０の各層である流路形成基板１２２、振動板１２３及び圧力発生室底板１２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室１２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。
【００４３】
ここで、各圧電素子１４０は、振動板１２３上に設けられた下電極膜１４３と、各圧力発生室１２１に独立して設けられた圧電体層１４４と、各圧電体層１４４上に設けられた上電極膜１４５とで構成されている。圧電体層１４４は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。
【００４４】
一方、流路ユニット１３０は、アクチュエータユニット１２０の圧力発生室底板１２４に接合されるインク供給口形成基板１３１と、複数の圧力発生室１２１の共通インク室となるリザーバ１３２が形成されるリザーバ形成基板１３３と、ノズル開口１３４が形成されたノズルプレート１３５とからなる。
【００４５】
なお、実施形態１及び２では、液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの要部断面図である。
【図３】本発明の液体噴射ヘッドを用いたインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【図４】本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  インクジェット式記録ヘッド、  １１  圧力発生室、  １２  流路形成基板、  １３  ノズル開口、  １４  ノズルプレート（接合部材）、  １５  振動板（接合部材）、  １６  流路ユニット、  １７  圧電素子、  １８  圧電素子ユニット、  １９  収容部、  ２０  ケースヘッド、  ３５  固定基板、  ３６  配線、  ３７  回路基板、  ４１  配線基板、  ５０、５１  接着剤、  ６０  保護膜、  ６１  インク接触面、  ６２  周縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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