(57)【要約】【課題】磁気的に硬い材料の飽和保持力に対抗する方法は、補助磁場を発生する書込み極の先端に隣接する書込み補助素子を包含することによりさらに強力な書込み磁場を提供することである。しかしながら、補助磁場が書込み磁場に対抗する領域は一般的に書込み極先端から少し離れており、磁気媒体に転移が書き込まれる領域での勾配改善は限定されている。【解決手段】本発明は、書込み要素の後縁側で書込み要素に磁気的に結合した第１復帰要素と書込み要素先端を有する書き込み用を含む磁気素子に関係する。書込み要素先端の縁に近接して配置された導体は、書込み要素により発生される書込み磁場を増強する補助磁場を発生するよう構成される。少なくとも１個のギャップを含むシールドは第１復帰要素から書込み要素先端へ延びる。【選択図】図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気素子において、
書込み要素先端を有する書込み要素と、
書込み要素の後縁側で書込み要素と磁気的に結合した第１復帰要素と、
書込み要素により発生された書込み磁場を増強する補助磁場を発生するよう構成された書込み要素先端の縁に近接する導体と、
少なくとも１個のギャップを含み、第１復帰要素から書込み要素先端へ伸びるシールドと、
を含む、磁気素子。
【請求項２】
請求項１記載の磁気素子において、
書込み要素の先縁側で書込み要素と磁気的に結合した第２復帰要素と、
をさらに含む、磁気素子。
【請求項３】
請求項１記載の磁気素子において、少なくとも１個のギャップは非磁性材料を含む、磁気素子。
【請求項４】
請求項１記載の磁気素子において、少なくとも１個のギャップは、第１復帰要素に隣接するシールドの第１端部と第１端部に対向するシールドの第２端部との間の第１ギャップを含む、磁気素子。
【請求項５】
請求項４記載の磁気素子において、少なくとも１個のギャップは第１復帰要素と隣接する第２ギャップをさらに含む、磁気素子。
【請求項６】
請求項１記載の磁気素子において、導体は書込み要素先端の後縁側に隣接して配置されている、磁気素子。
【請求項７】
請求項６記載の磁気素子において、導体は少なくともシールドの一部と隣接している、磁気素子。
【請求項８】
磁気書込み器において、
前面で書込み磁場を発生する書込み要素と、
書込み要素の後縁側で書込み要素に磁気的に結合された第１復帰要素と、
書込み要素の先縁側で書込み要素に磁気的に結合された第２復帰要素と、
書込み磁場を増強する補助磁場を発生するための電流を導入するために前面に近接する導体と、
少なくとも１個のギャップを含み、前面で第１復帰要素から書込み要素に伸びるシールドと、
を含む磁気書込み器。
【請求項９】
請求項８記載の磁気書込み器において、シールドは前面に大寸法部と小寸法部を有し、少なくとも１個のギャップは少なくとも前面の大寸法部の部分に沿ってシールド中に伸びている、磁気書込み器。
【請求項１０】
請求項９記載の磁気書込み器において、少なくとも１個のギャップは前面の大寸法部全体に沿ってシールド中に伸びている、磁気書込み器。
【請求項１１】
請求項８記載の磁気書込み器において、少なくとも１個のギャップは、第１復帰要素に隣接するシールドの第１端部と第１端部に対向するシールドの第２端部との間の第１ギャップを含む、磁気書込み器。
【請求項１２】
請求項１１記載の磁気書込み器において、少なくとも１個のギャップは第１復帰要素に隣接する第２ギャップをさらに含む、磁気書込み器。
【請求項１３】
請求項８記載の磁気書込み器において、少なくとも１個のギャップは非磁気材料を含む、磁気書込み器。
【請求項１４】
請求項８記載の磁気書込み器において、導体は書込み要素の後縁側に近接して配置されている、磁気書込み器。
【請求項１５】
請求項１４記載の磁気書込み器において、導体は少なくともシールドの一部と隣接している、磁気書込み器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気素子に関係する。特に、本発明は書込み磁場を補助する磁場を提供するため電流導入導体を使用する磁気素子に関係する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記憶装置の記憶容量を増加するために磁気記録記憶密度が進化し続けているため、磁気素子の磁気転移（すなわち、ビット）寸法と限界機能は１００ｎｍ以下まで押し下げられている。さらに、高面積密度で記録媒体を安定にすることは磁気的に硬い（すなわち、高飽和保磁力）記憶媒体材料を必要とする。磁気媒体に印加される磁場を増加するために記録素子の磁気材料の飽和磁化を増加することにより磁気的に硬い媒体に書き込んでもよい。しかしながら、既知の材料の最大飽和磁化はビット面積密度の毎年の成長率を保持するのには十分ではない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
磁気的に硬い材料の飽和保磁力に対抗するその他の方法は、書込み極の近くの磁気媒体の飽和保磁力に打ち勝つため補助磁場を発生する書込み極の先端に隣接する書込み補助素子を包含することによりさらに強力な書込み磁場を提供することである。補助磁場が書込み磁場に対抗する領域での書込み極からの迷走磁場の打ち消しのため、書込み極のまわりの磁場勾配は改善される。しかしながら、補助磁場が書込み磁場に対抗する領域は一般的に書込み極先端から少し離れており、従って磁気媒体に転移が書き込まれる領域では勾配改善は限定されている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、書込み要素先端と、書込み要素の後縁側で書込み要素に磁気的に結合された第１復帰要素とを含む磁気素子に関係する。書込み要素先端の縁に近接して配置されている導体が、書込み要素により発生される書込み磁場を増強する補助磁場を発生するよう構成されている。
【実施例】
【０００５】
図１Ａは磁気書込み器１０の断面図で、図１Ｂはその詳細な断面図であり、これは書込み極または要素１２、電流導入導体１４、第１復帰極または要素１６、第２復帰極または要素１８、第１伝導コイル２０、及び第２伝導コイル２２を含む。第１伝導コイル２０は書込み極１２を第１復帰極１６に磁気的に結合する第１磁気スタッド２４を取り囲む。第２伝導コイル２２は書込み極１２と第２復帰極１８とを磁気的に結合する第２磁気スタッド２６を取り囲む。伝導コイル２０の一部は書込み極１２と第１復帰極１４との間に配置され、第２伝導コイル２２の一部は書込み極１２と第２復帰極１４との間に配置されている。書込み極１２はヨーク３０と、書込み極先端３４を有する書込み極本体３２とを含む。ギャップ３８を含むシールド３６は第２復帰極１８から電流導入導体１４と書込み極先端３４に向かって延びる。
【０００６】
第１復帰極１６、第２復帰極１８、第１磁気スタッド２４、及び第２磁気スタッド２６は軟磁気材料（たとえば、ＮｉＦｅ）を含んでもよい。伝導コイル２０と２２はＣｕのような低電気抵抗の材料を含んでもよい。書込み極本体３２への磁束引渡しの効率を改善するため、書込み極本体３２はＣｏＦｅのような高モーメント磁気材料を含み、ヨーク３４とシールド３６はＮｉＦｅのような軟磁気材料を含んでもよい。
【０００７】
磁気書込み器１０は、書込み極先端３４、第１復帰極１６、及び第２復帰極１８により定義される媒体対向表面４２で磁気媒体４０と対向する。磁気媒体４０は基盤４４、軟下部層（ＳＵＬ）４６、及び媒体層４８を含む。ＳＵＬ４６は基盤４４と媒体層４８との間に配置される。ＳＵＬ４６に対向する媒体層４８の表面が書込み極１２と向き合うように磁気媒体４０は磁気書込み器１０に近接して配置される。磁気媒体４０は単に図解の都合上図示され、複合媒体、連続／粒状結合（ＣＧＣ）媒体、離散トラック媒体、及びビット・パターン媒体のような、磁気書込み器１０と関連して使用可能な任意の型式の媒体でよい。
【０００８】
書込み極１２が第１復帰極１６の後を追い、第２復帰極１８を先導し、磁気媒体４０にデータを物理的に書きこむように、矢印Ａに示すように磁気書込み器１０に対して移動される、磁気媒体４０の表面上を磁気書込み器１０は運ばれる。磁気媒体４０にデータを書き込むためには、第１電流が第１伝導コイル２０中に流される。コイル中の起磁力により磁束が書込み極先端３４から垂直に媒体層４８、ＳＵＬ４６中、そして第１復帰極１６と第１磁気スタッド２４を走行して第１閉磁束路を与える。磁気媒体４０に書き込まれるデータの状態と関係する、書込み極先端３４の表面に対向する媒体の書込み磁場の方向は、第１電流が第１伝導コイル２０を流れる方向を基にして制御可能である。
【０００９】
磁気媒体４０に対して磁気書込み器１０の駆動と関係するボイスコイル・モーターのような外部源からの迷走磁場もＳＵＬ４６に入る。書込み極１２と第１復帰極１８との間の閉鎖磁路のため、これらの迷走磁場は第１復帰極１８により磁気書込み器１０に引き込まれる。これらの迷走磁場を減少または除去するため、第２復帰極１８が第２磁気スタッド２６を介して書込み極１２に接続されて迷走磁場の磁束路を与える。さらに、書込み極１２中の書込み磁場の強度は、第２電流を第２伝導コイル２２中に流すことにより増強される。コイルの起磁力は、磁束を書込み極先端３４から垂直に媒体層４８を通り、ＳＵＬ４６、そして第２復帰極１８と第２磁気スタッド２６を通過させて第２閉鎖磁束路を与える。第２電流の方向は第１電流とは反対で、書込み極１２で同じ方向に磁束を発生する。２個の復帰極と２個の伝導コイルの使用の効果は書込み極１２への有効な駆動力であり、第１復帰極１６と第２復帰極１８上の全体の駆動力の減少となる。
【００１０】
磁気書込み器１０は、本発明の原理と関連して使用できる例示構成を図示する目的で単に図示されていて、設計上の変更を施してもよい。例えば、書込み極１２は書込み極本体３２とヨーク３０を含むが、書込み極１２はまた単一層の磁気材料から構成されることも可能である。さらに、図示した２重の復帰極書込み器構成の代わりに単一の後縁復帰極を設けてもよい。また、伝導コイル２０は、単一巻きコイルまたは書込み極１２の周りに螺旋的に配置されたコイルのような、その他の構成を有してもよい。さらに、磁気書込み器１０は磁気媒体４０に垂直にデータを書きこむように構成されているが、磁気書込み器１０と磁気媒体４０をデータを長手方向に書きこむように構成してもよい。
【００１１】
高保磁媒体層４８にデータを書きこむためには、より強力な書込み磁場を与えて、媒体中の磁化反転を起こさせる。これを実行するため、導体１４を書込み極１２と磁気媒体４０に近接して設ける。電流を導体１４に印加すると、書込み極１２により発生される書込み磁場を増強する補助磁場が発生される。書込み磁場と導体１４により発生された補助磁場との組合せが媒体層４８の高飽和保持力に打ち勝って磁気媒体４０へのデータの制御書込みを可能とする。加えて、導体１４は書込み磁場勾配を改良し、これは書込み極先端３４に近接するより強力な書込み磁場を与える。
【００１２】
書込み極１２からの磁束のダウントラック書込み磁場勾配を改良するためにシールド３６が磁気書込み器１０に含まれる。伝導コイル２２を流れる電流により誘起される書込み極１２中の磁束は磁気媒体４０と平行のシールド３６を通過する。これは、シールド３６と磁気媒体４０との間の領域の垂直磁場成分を減少し、磁気書込み器４０からの大部分の垂直成分を書込み極１２に近接して与える。結果として、媒体層４８に記憶された情報は磁気書込み器４０からのダウントラック方向の非安定性が少なくなる。
【００１３】
図１Ｂは、ヨーク３０、書込み極本体３２、書込み極先端３４、導体１４、シールド３６、第２復帰極１８、及び磁気媒体４０の詳細な断面図である。図１Ｂに図示した磁気書込み器１０の部品の外観は必ずしもスケールを合わせて描かれていないことに注意すべきである。シールド３６は書込み極１２に近接し、磁気書込み器１０と磁気媒体４０との間の接触時に書込み極１２への損傷を避けるという大きな効果を与える。シールド３６は、シールド３６が導体１４に隣接してかつ書込み極先端３４に近接するように第２復帰極１８から延びていてもよい。書込み極先端３４は媒体対向面４２でシールド３６と実質的に整合し、シールド３６の表面域は媒体対向面４２で書込み極先端３４のそれより実質的に大きい。従って、接触事象からの長期的効果を受けにくいシールド３６が、書込み極先端３４を保護するため、磁気書込み器１０と磁気媒体４０との間の接触事象による書込み極１２への損傷は最小にされる。
【００１４】
書込み極１２からの対向側の導体１４により発生される磁場は書込み磁場とは反対方向を有する。シールド３６の軟磁気材料のため、これらの磁場は媒体層４８に記憶されたデータを部分的に消去するほど十分大きい。これらの迷走磁場の効果を減少するため、シールド３６は、幅Ｗｇを有し、非磁性材料を含むギャップ３８を含む。ギャップ３８の非磁性材料は第２電導コイル２２を取囲む材料と同じまたは同様な材料でよい。図示の実施例では、ギャップ３８はシールド３６の第２部分３６ｂから書込み極先端３４に近接するシールド３６の第１部分３６ａを磁気的に分離する。磁気的に分離された部分３６ｂはギャップ３８のないシールド３６より周辺の迷走磁場の影響を受けやすい。従って、シールド３６で導体１４により発生された局所磁場は書込み極からの迷走磁場（これは導体１４からの局所磁場のそれと反対の方向を有する）により部分的にバランスされる。このように、シールド３６の磁気的に分離された部分での全体の磁場は媒体消去の閾値を十分下回る。別の実施例では、第１部分３６ａは第２部分３６ｂよりも媒体対向面からさらに延びている（すなわち、第１部分３６ａは第２部分３６ｂより大きな喉高を有する）。
【００１５】
図２は、ダウントラック位置（すなわち、書込み極先端３４から第２復帰極１８へ向けて）の関数として書込み極１２からの書込み磁場と導体１４からの補助磁場との組合せ磁場の垂直成分（Ｈｙ）へのギャップの効果を示すグラフである。書込み極先端３４の中央をダウントラック位置０．０μｍにプロットし、書込み極先端３４の後縁は約０．１μｍにある。線５０は１０ｎｍのギャップ幅ｗｇのＨｙを図示し、線５２は５０ｎｍのギャップ幅ｗｇのＨｙを図示する。比較のため、線５４はギャップなしのシールド３６のＨｙを図示する。図示のように、ギャップ幅ｗｇのギャップを含ませると、磁気書込み器４０により発生されるピーク垂直磁場がわずかに増加し、書込み極先端３４の後縁に近接するＨｙのアンダーシュートを減少する。従って、ギャップ幅ｗｇは、磁場アンダーシュートを最小にし、かつ磁気書込み器１０の垂直磁場をダウントラック方向で媒体消去レベル以下に保持するよう設定可能である。
【００１６】
シールド３６のギャップ３８の寸法と形状はシールド３６、特に磁気的に分離された部分３６ｂの垂直磁場応答に変化を与えるように変更しても良い。図３Ａ−３Ｃは、シールド３６のギャップ３８の例示構成を示す、導体１４、書込み極先端３４、シールド３６及び復帰極１８の媒体対向面の図である。シールドは導体１４に隣接する大きな縁６０と大きな縁６０に実質的に垂直な小さな縁６２と６４を含む。媒体対向面４２で小さな縁６２と６４により囲まれたシールド３６の長寸法側は本明細書では大寸法部と呼び、媒体対向面４２での主寸法に垂直な短寸法側は本明細書では小寸法部と呼ぶ。図３Ａでは、ギャップ３８は大寸法部の小部分に沿ってシールド３６の大きな縁６０へ延びて、導体１４に隣接する小さな外観を有する磁気的に分離された部分３６ｂを与える。図３Ｂで、ギャップ３８はさらに大寸法部に沿ってシールド３６の大きな縁６０へ延びて、導体１４に隣接するさらに大きな外観を有する磁気的に分離された部分３６ｂを与える。図３Ｃでは、ギャップ３８はシールド３６の全ての大寸法部上を小さな縁６２と６４まで延びて部分３６ａと等しい大寸法部を有する磁気的に分離された部分３６ｂを与える。
【００１７】
シールド３６中のギャップ３８の位置を変更してシールド３６の垂直磁気応答の変化を与えてもよい。図４Ａと図４Ｂは、シールド３６中のギャップ３８の例示の別の位置を示す、ヨーク３０、書込み極本体３２、書込み極先端３４、導体１４、シールド３６、第２復帰極１８、及び磁気媒体４０の詳細な断面図である。図４Ａでは、ギャップ３８は導体１４と第２復帰極１８との間の大体半分のところに形成されて、媒体対向面４２で大きな小寸法部外観を有する磁気的に分離された部分３８を与える。図４Ｂでは、ギャップ３８は第２復帰極１８に隣接して形成されて、導体１４に隣接するさらに大きな小寸法部外観を有するシールド３６を与える。要約すると、ギャップ３８は導体１４と第２復帰極１８との間のどこに形成してもよい。さらに、図４Ａと図４Ｂのギャップ３８の寸法と形状は図３Ａ−３Ｃに関して記載したものと同じまたは同様でも良い。
【００１８】
シールド３６の垂直磁場応答を変更するため別のギャップ３８をシールド３６に形成してもよい。図５Ａと５Ｂは、２個のギャップ３８ａと３８ｂを含むシールド３６を示す、ヨーク３０、書込み極本体３２、書込み極先端３４、導体１４、シールド３６、第２復帰極１８、及び磁気媒体４０の詳細な断面図である。図５Ａでは、ギャップ３８ａと３８ｂは共に導体１４と第２復帰極１８との中間に形成されて第２復帰極１８に隣接する部分３８ａと２個の磁気的に分離された部分３６ｂと３６ｃとを与える。図５Ｂでは、ギャップ３８ａは第２復帰極１８に隣接して形成され、ギャップ３８ｂは導体１４と第２復帰極１８との中間に形成されて、磁気的に分離された部分３６ａと３６ｂとを与える。シールド３６の２つの部分を磁気的に分離することにより、シールド３６に沿った垂直磁場は、ギャップ３８ａと３８ｂの構成と寸法を調節することにより整合される。図５Ａと図５Ｂのギャップ３８ａと３８ｂの位置は単に例示であり、この設計の変更も考えられることに注意すべきである。また、２個のギャップ３８ａと３８ｂを図示したが、他のギャップも形成してシールド３６の他の磁気的に分離した部分を設けてもよい。
【００１９】
図６Ａ−６Ｃはシールド３６のギャップ３８ａと３８ｂの例示構成を図示する、導体１４の一部、書込み極先端３４、シールド３６、及び復帰極１８の媒体対向面の図である。図６Ａでは、ギャップ３８ａは第２復帰極１８に隣接して大寸法部の全体上を小さな縁６２と６４へ延びて、ギャップ３８ｂは大寸法部の一部に沿ってシールド３６の大きな縁６０まで延びて、シールド部分３６ａと３６ｂを与える。図６Ｂでは、ギャップ３８ａと３８ｂは共に大寸法部の一部に沿ってシールド３６の大きな縁６０へ延びてシールド部分３６ａ、３６ｂ、３６ｃを与える。図６Ｃでは、ギャップ３８ａは第２復帰極に隣接して大寸法部全体上を小さな縁６２と６４へ延び、ギャップ３８ｂは大寸法部全体上を導体１４と第２復帰極１８の中間の小さな縁６２と６４まで延びてシールド部分３６ａと３６ｂとを与える。
【００２０】
シールド３６に形成した単数または複数のギャップ３８は、代わりに、シールド３６の大寸法部上で延びているが、大きな縁６０または小さな縁６２または６４のどちらかまでは延びないように形成されてもよい。図７Ａ−７Ｃはシールド３６に部分的に磁気的に分離された部分を与えるこのようなギャップ構成を図示する、導体１４、書込み極先端３４、シールド３６、及び復帰極１８の媒体対向面の図である。図７Ａでは、ギャップ３８はシールド３６の大寸法部の小部分に沿って延びて導体１４に隣接する小さな外観を有する部分的に磁気的に分離された部分３６ｂを与える。図７Ｂでは、ギャップ３８は大寸法部に沿ってシールド３６の大きな縁６０へさらに延びて導体１４に隣接するより大きな外観を有する部分的に磁気的に分離された部分３６ｂを与える。図７Ｃでは、ギャップ３８ａと３８ｂはシールドの大寸法部に沿って延びて部分的に磁気的に分離された部分３６ｂと３６ｃを与える。
【００２１】
図８Ａ、８Ｂ、及び８Ｃは他の例示のギャップ付きシールド構成を示す、導体１４、書込み極先端３４、シールド３６、及び復帰極１８の媒体対向面の図である。図８Ａでは、ギャップ３８ａは大寸法部の一部に沿ってシールド３６の大きな縁６０へ延び、ギャップ３８ｂはシールド３６の大寸法部の部分に沿って延びるが、大きな縁６０または小さな縁６２または６４へは延びない。この構成は、第２復帰極１８に隣接するシールド部分３６ａ、磁気的に分離された部分３６ｂ、及び部分的に磁気的に分離された部分３６ｃを与える。図８Ｂでは、ギャップ３８ａはシールド３６の大寸法部の部分に沿って延びるが、大きな縁６０または小さな縁６２または６４へは延びず、ギャップ３８ｂはシールド３６の大寸法部の部分に沿ってシールド３６の大きな縁６０へ延びる。この構成は第２復帰極１８に隣接するシールド部分３６ａ、部分的に磁気的に分離された部分３６ｂ、及び導体１４に隣接する磁気的に結合された部分３６ｃを与える。図３Ｃでは、ギャップ３８は、図７Ｂに示した実施例よりも第２復帰極１８に近接してシールド３６の大寸法部の部分に沿って延びるが、大きな縁６０または小さな縁６２または６４へは延びない。
【００２２】
要約すると、本発明は、書込み要素の後縁側で書込み要素に磁気的に結合した第１復帰要素と書込み要素先端を有する書き込み要素を含む磁気素子に関係する。書込み要素先端の縁に近接して配置された導体は、書込み要素により発生される書込み磁場を増強する補助磁場を発生するよう構成される。少なくとも１個のギャップを含むシールドは第１復帰要素から書込み要素先端へ延びる。この構成を有する磁気素子は書込み磁場強度を増加するのみならず、磁気媒体へ転移が書き込まれる領域の磁場勾配も改良する。さらに、シールドは書込み要素に近接し、磁気素子と磁気媒体間の接触時に書込み要素への損傷を防止する大きな効果を与える。さらに、シールドの少なくとも１個のギャップは導体からの補助磁場によりシールドに発生する磁場を減少する。
【００２３】
本発明を望ましい実施例を参照して記載してきたが、本発明の要旨と範囲から逸脱することなく形式と詳細に変更を加えうることが当業者には認められる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１Ａ】磁気媒体に対して配置された磁気書込み器の断面図。
【図１Ｂ】ギャップを含む後縁シールドに隣接する書込み補助磁場を提供する導体を示す磁気書込み器の詳細な断面図。
【図２】ダウントラック位置の関数としての導体からの補助磁場と書込み極からの組合せ書込み磁場の垂直成分へのシールド・ギャップ幅変動の効果を示すグラフ。
【図３】Ａ〜Ｃは後縁シールドのギャップの例示構成を示す磁気書込み器の一部の媒体対向表面図。
【図４】Ａ、Ｂは後縁シールドのギャップの例示位置を示す磁気書込み器の詳細な断面図。
【図５】Ａ、Ｂは２個のギャップを含む後縁シールドを示す磁気書込み器の詳細な断面図。
【図６】Ａ〜Ｃは２個のギャップを含む後縁シールドの例示ギャップ構成を示す磁気書込み器の一部の媒体対向表面図。
【図７】Ａ〜Ｃは部分的に磁気的に分離されたシールド部分を提供するための例示ギャップ構成を示す磁気書込み器の一部の媒体対向表面図。
【図８】Ａ〜Ｃはその他の例示のギャップ構成を示す磁気書込み器の一部の媒体対向表面図。
【符号の説明】
【００２５】
１０  磁気書込み器
１２  書込み極
１４  導体
１６  第１復帰極
１８  第２復帰極
２０  第１電導コイル
２２  第２電導コイル
２４  第１磁気スタッド
２６  第２磁気スタッド
３０  ヨーク
３２  書込み極本体
３４  書込み極先端
３６  シールド
３８  ギャップ
４０  磁気媒体
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
2009009677.tif 000005
【図３】
2009009677.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
2009009677.tif 000009
【図７】
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【図８】
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