(57)【要約】【課題】基板を破壊させることなく収納できる基板収納容器を提供する。【解決手段】基板を収納する容器本体１０と、前記容器本体１０に対向する面の一部に前記容器本体１０内に突出する突出部２１ａを有し前記容器本体１０に係合する蓋部材２０と、前記容器本体１０内に収納され前記基板と略同一形状を有し前記基板よりも高い剛性を有する変形防止板３０とを具備し、前記変形防止板３０を介して前記蓋部材２０の前記突出部２１ａによって前記基板を押圧することで、前記基板を前記容器本体１０内に保持する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、前記容器本体に対向する面の一部に前記容器本体内に突出する突出部を有し前記容器本体に係合する蓋部材と、前記容器本体内に収納され前記基板と略同一形状を有し前記基板よりも高い剛性を有する変形防止板とを具備し、
前記変形防止板を介して前記蓋部材の前記突出部によって前記基板を押圧することで、前記基板を前記容器本体内に保持することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の基板収納容器において、
前記容器本体内に収納される弾性材料からなる緩衝部材をさらに有することを特徴とする基板収納容器。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器において、
前記変形防止板は、前記容器本体よりも熱による変形が小さい材料で形成されていることを特徴とする基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板等を収納する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、テレビやコンピュータなどの電子機器には、集積回路（ＩＣ）に代表される半導体素子が数多く使用されている。また現在は、電子機器だけではなく道路や建物等の各種インフラにも半導体素子が使用されるようになってきており、その使用される環境は日に日に拡大されてきている。
【０００３】
このような半導体素子は、半導体インゴットをウェハ状にスライスして半導体基板を作成し、作成した半導体基板に対し所望する複数の工程を施すことで作成されている。この半導体基板を安全に且つ表面に塵等を付着させずに各工程場所に運搬するため、あるいは一時的に倉庫等に保管しておくために、半導体基板を収納する半導体基板収納容器が用いられている。
【０００４】
このような半導体基板収納容器の一つとして、半導体基板の一部を押圧して容器内に固定するものが存在する。例えば、半導体基板の外周部を押圧して容器内に固定する半導体基板収納容器が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−１９１１０１号公報（第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の半導体基板収納容器は、容器内の半導体基板の一部だけを押圧する構成になっているため、実際に半導体基板を収納すると、容器内の半導体基板が変形して破壊してしまう虞がある。こうした問題は、特に厚さ方向に貫通孔が複数設けられた半導体基板や、全体にミシン目が形成された半導体基板等を収納する場合に生じ易い。
【０００７】
もちろん、半導体基板の外周部を押圧する場合だけでなく中央部を押圧する場合にも、半導体基板が変形して破壊してしまう虞がある。
【０００８】
また、一般に、このような半導体基板収納容器は成形性のよいプラスチック材料で形成されている。こうしたプラスチック材料は、成形性がよい代わりに熱に弱く、高温になる環境下では剛性が低下するという性質がある。したがって、こうしたプラスチック材料で形成された半導体基板収納容器に半導体基板を収納し、空調のない夏場の倉庫内など比較的高温になる環境下で保管しておくと、容器の剛性が低下して容器が変形し、容器内の半導体基板は破壊してしまう虞がある。
【０００９】
なお、こうした問題は半導体基板だけに特別に存在するものではなく、ガラス基板などの破壊されやすい基板において共通して存在する。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、基板を破壊させることなく収納できる基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体に対向する面の一部に前記容器本体内に突出する突出部を有し前記容器本体に係合する蓋部材と、前記容器本体内に収納され前記基板と略同一形状を有し前記基板よりも高い剛性を有する変形防止板とを具備し、前記変形防止板を介して前記蓋部材の前記突出部によって前記基板を押圧することで、前記基板を前記容器本体内に保持することを特徴とする基板収納容器にある。
【００１２】
かかる態様では、変形防止板により基板表面が一様に押圧される。これにより、容器内の基板が変形してしまうことはなく、基板が変形することによる基板の破壊を確実に防ぐことができる。
【００１３】
また、前記容器本体内に収納される弾性材料からなる緩衝部材をさらに有することが好ましい。これによれば、例えば、寸法誤差により蓋部材の突出部の長さが所定の長さより長い場合等、基板に対して多少大きな力が加わってしまう場合であっても、緩衝部材が変形することで基板に加わる力が緩和される。また、基板収納容器を運搬中、不意に落下させてしまった場合でも、落下の衝撃によるエネルギーを吸収し、容器内の基板が破壊してしまうことを防ぐことができる。
【００１４】
また、前記変形防止板は、前記容器本体よりも熱による変形が小さい材料で形成されていることが好ましい。これによれば、変形防止板は熱により変形し難いため、容器本体が熱によって変形することをある程度阻害することができる。さらに、容器本体が熱によって多少変形してしまったとしても変形防止板が変形しなければ、常温環境下で使用される場合と同様に基板表面に一様に押圧力が加わるため、容器内の基板が変形してしまうことはない。したがって、比較的高温になる環境で使用する場合でも、基板が変形してしまうことによる基板の破壊を確実に防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下より本発明を実施の形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。なお図１では蓋部材の一部が断面となっている。また、図２は本発明の第１の実施形態に係る基板収納容器の断面図であり、実際に基板が収納されている状態を示している図である。また、以下では基板の一例として複数枚重ねられた所定の厚さの円板状のシリコン基板を示す。なお、各シリコン基板の間にはシリコン基板と同一形状であり所定の厚さのポリエチレン製のフィルムが配されており、シリコン基板同士が直接当接することが防止されている。
【００１６】
これらの図に示すように本実施形態に係る基板収納容器１００は、容器本体１０と、蓋部材２０と、容器本体１０内に収容される変形防止板３０と、緩衝部材４０とを備えている。
【００１７】
容器本体１０は、シリコン基板２００を収容する円筒状の部材であり、容器本体１０の内径はシリコン基板２００の外径より僅かに大きく作られている。また容器本体１０の側面部１２には、側面部１２の上端から容器本体１０の底部１１に亘って所定幅のスリット１２ａが容器本体１０の周方向に複数、本実施形態では４つ形成されている。またスリット１２ａで分割された各側面部１２の外周面には、容器本体１０の径方向に外側に突出した部分雄ねじ１２ｂがそれぞれ形成されている。
【００１８】
蓋部材２０は、容器本体１０の側面部１２の外周に係合し、容器本体１０内を密閉する円筒状の部材であり、その側面部２２の内壁面には、容器本体１０の部分雄ねじ１２ｂにねじ嵌合する部分雌ねじ２２ａが形成されている。そして蓋部材２０の天井部２１の内壁面の中央部には、円柱状に突出した突出部２１ａが形成されている。なお、この突出部２１ａは、比較的小さい径で形成されているのが好ましい。詳しくは後述するが、これにより容器本体１０内にシリコン基板２００を破損させることなく収納することができる。また蓋部材２０の突出部２１ａは、図２に示すように、蓋部材２０と容器本体１０とが係合された状態で、容器本体１０内に突出するような長さを有している。
【００１９】
なお容器本体１０及び蓋部材２０の材料は特に限定されず、例えば、ポリプロピレンで形成される。
【００２０】
変形防止板３０は、シリコン基板２００と共に容器本体１０内に収納されてシリコン基板２００の変形を防止する所定の厚さの部材であり、複数枚重ねられたシリコン基板２００よりも高い剛性を有する。なお、剛性とは、同じ力を受けたときの変形しにくさのことを指しており、用いられる材料の弾性率と厚さから決まる。したがって変形防止板３０の厚さは使用する材料によって適宜決定されればよい。ここで、変形防止板３０は容器本体１０よりも熱による変形が小さい材料で形成されるとさらに好ましい。本実施形態では、容器本体１０がポリプロピレンで形成されているので、ポリプロピレンよりも熱による変形が小さい材料で形成されているのが好ましい。そのような材料としては、例えば、ポリカーボネイトやＡＢＳ樹脂等が挙げられる。また、変形防止板３０の平面形状としては、シリコン基板２００と略同一の平面形状を有しているのが好ましく、本実施形態ではシリコン基板２００と同一の平面形状を有している。
【００２１】
緩衝部材４０は、弾性材料で形成された所定の厚さの部材である。なお本実施形態の緩衝部材４０の平面形状はシリコン基板２００と同一の平面形状を有しているが、これに限定されず、例えば多角形状であっても構わない。また、緩衝部材４０の大きさはその平面形状にかかわらずシリコン基板２００の大きさと同程度にされているのが好ましい。また、緩衝部材４０の材料は弾性材料であるならば特に限定されるものではないが、比較的弱い力でも容易に変形する材料であることが好ましい。そのような材料としては、例えば、多孔質のポリウレタン等が挙げられる。なお、緩衝部材４０の厚さは、容器本体１０のシリコン基板２００を収容する空間と、シリコン基板２００の厚さ、変形防止板３０の厚さ等との関係で適宜決定されればよい。
【００２２】
以上で説明した容器本体１０と、蓋部材２０と、変形防止板３０と、緩衝部材４０とを備えた本実施形態に係る基板収納容器１００に、次の手順でシリコン基板２００を収納する。具体的には容器本体１０内に、図２に示すように、容器本体１０の底部１１側から緩衝部材４０、変形防止板３０と配設し、その後シリコン基板２００とポリエチレン製のフィルムとを交互に重ねて配する。そうして重ねた複数のシリコン基板２００の上から変形防止板３０を配設し、最後に蓋部材２０を容器本体１０に被せて両者を相対回動させ、容器本体１０の部分雄ねじ１２ｂと蓋部材２０の部分雌ねじ２２ａとをねじ嵌合させる。ここで、図示はしないが、容器本体１０内に、緩衝部材４０、変形防止板３０、シリコン基板２００、変形防止板３０と配したとき一番上の変形防止板３０の蓋部材２０側の面は、蓋部材２０と容器本体１０とが係合されたときの突出部２１ａの底面より、高い位置に存在している。これにより、容器本体１０と蓋部材２０とを係合させると、突出部２１ａが変形防止板３０に当接し、シリコン基板２００が容器本体１０の底部１１方向に押圧される。
【００２３】
このように本実施形態に係る基板収納容器１００内にシリコン基板２００を収納することによって、蓋部材２０の突出部２１ａによる容器本体１０の底部１１方向への押圧力は、変形防止板３０により、シリコン基板２００の表面に一様に加わる。したがって、シリコン基板２００が変形することはなく、シリコン基板２００が変形してしまうことによりシリコン基板２００が破壊してしまうことを確実に防ぐことができる。これにより、例えば、貫通孔が設けられたシリコン基板や全体にミシン目が形成されたシリコン基板等、特に破壊されやすいシリコン基板であっても、破壊させることなく収納することができる。
【００２４】
また、本実施形態に係る基板収納容器１００では、容器本体１０内に緩衝部材４０が配されている。これにより、例えば、突出部２１ａの長さにばらつきが存在していて突出部２１ａが所定の長さよりも多少長い場合、あるいはシリコン基板２００を通常の量より多少多く重ねてしまった場合など、シリコン基板２００に通常加わる押圧力よりも大きな押圧力が加わってしまう場合であっても、緩衝部材４０が変形することで、シリコン基板２００に加わる押圧力は緩和される。したがって、シリコン基板２００に大きな押圧力が加わってシリコン基板２００が破壊してしまうことを防ぐことができる。また、シリコン基板２００を収納した基板収納容器１００を不意に落下させてしまった場合にも、衝撃によるエネルギーは緩衝部材４０により吸収される。したがって、落下によるシリコン基板２００の破壊も防ぐことができる。
【００２５】
また、本実施形態に係る基板収納容器１００の変形防止板３０は、容器本体１０より熱による変形が小さい材料で形成されている。これにより容器本体１０が熱によって変形してしまうことをある程度阻害することができる。また、空調設備のない夏場の倉庫内など比較的高温になる環境で使用して容器本体１０が多少変形したとしても変形防止板３０は変形しないため、蓋部材２０の突出部２１ａによる押圧力は、常温環境下で使用される場合と同様にシリコン基板２００の表面に一様に加わる。したがって、比較的高温になる環境においてもシリコン基板２００を破壊させることなく収納することができる。
【００２６】
また、本実施形態に係る基板収納容器１００では、蓋部材２０の突出部２１ａが比較的小さい径で形成されている。これにより、突出部２１ａは比較的小さな面で変形防止板３０に当接する。したがって、蓋部材２０と容器本体１０とを係合させるため両者を相対回動させる際に、突出部２１ａと突出部２１ａに当接している変形防止板３０とに働く摩擦力は比較的小さくなり、蓋部材２０の回動に伴う突出部２１ａの回動で、変形防止板３０が回動してしまうことはない。したがって蓋部材２０と容器本体１０とを係合させる際に、変形防止板３０の、突出部２１ａ側の面とは反対側の面に当接しているシリコン基板が破損してしまうことを防ぐことができる。
【００２７】
また、上述した実施形態では容器本体１０内に、容器本体１０の底部１１側から順に、緩衝部材４０、変形防止板３０、複数枚重ねたシリコン基板２００、変形防止板３０というように各部材を配設していたが、これに限定されるものではない。例えば、図３に示すように、容器本体１０内の蓋部材２０側の変形防止板３０よりも蓋部材２０側にさらに緩衝部材４０を配するようにしてもよい。これにより、上述した実施形態よりもシリコン基板２００に加わる押圧力を緩和させることができる。また緩衝部材４０がシリコン基板２００を挟むように配されているので、上述した実施形態よりも衝撃によるシリコン基板２００の破壊をより確実に防ぐことができる。
【００２８】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２９】
上述した実施形態では、容器本体１０内に緩衝部材４０が収納されているが、この緩衝部材４０は無くても構わない。この場合は容器本体１０や蓋部材２０等をある程度精密に作成する必要がある。
【００３０】
また、上述した実施形態では、シリコン基板２００より容器本体１０の底部１１側にも変形防止板３０が配されているが、この変形防止板３０は無くても構わない。
【００３１】
また、上述した実施形態では、変形防止板３０が緩衝部材４０よりもシリコン基板２００側に来るように配されているが、緩衝部材４０が変形防止板３０よりもシリコン基板２００側に来るように配設しても構わない。
【００３２】
また、上述した実施形態では、蓋部材２０の突出部２１ａが天井部２１の容器本体１０に対向する面の中央部に形成されているが、突出部２１ａの位置はこれに限定されるものではない。たとえば、シリコン基板２００の外周付近に対向する位置に突出部が設けられていても構わない。
【００３３】
また、上述した実施形態では、容器本体１０の側面部１２にスリット１２ａが設けられているが、このスリット１２ａは、シリコン基板２００を吸着して把持した真空吸着具等の吸着具を容器本体１０の底部１１近傍まで移動させるために設けられたものであり、吸着具の種類によっては、必ずしも設けられている必要はない。
【００３４】
また、上述した実施形態では、シリコン基板２００を複数枚重ねた状態で収納する例を示したが、これに限定されるものではなく、例えば一枚のシリコン基板２００であっても、破壊させることなく収納することができる。
【００３５】
また、上述した実施形態ではシリコン基板２００を収納する例を示したが、これに限定されるものではない。すなわちガラス基板などの破壊されやすい基板でも破壊させることなく収納することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る基板収納容器の断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態に係る基板収納容器の断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  容器本体、  １１  底部、  １２  側面部、  １２ａ  スリット、
１２ｂ  部分雄ねじ、  ２０  蓋部材、  ２１  天井部、  ２１ａ  突出部、
２２  側面部、  ２２ａ  部分雌ねじ、  ３０  変形防止板、  ４０  緩衝部材、
１００，１００Ａ  基板収納容器、  ２００  シリコン基板、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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