(57)【要約】【課題】作業工程のサイクルタイムを削減して作業効率を向上させるとともに、装置の専有面積当たりの生産量の向上をも達成出来る、電子部品の配置装置を提供する。【解決手段】電子部品を収納部材上の所定の位置に配置する電子部品配置装置であって、電子部品を供給する供給手段１１ａ（ｂ）と、収納部材を保持する収納手段１５ａと、供給手段１１ａ（ｂ）から供給される電子部品を保持し、収納手段に保持される収納部材上の所定の位置まで移動させる２つの移動手段１２ａ（ｂ）と、２つの移動手段１２ａ（ｂ）が互いに所定の距離以内には近づかないように夫々の移動を制御する制御手段１７とを備える。【選択図】図１
2009148858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を収納部材上の所定の位置に配置する電子部品配置装置であって、
前記電子部品を供給する供給手段と、
前記収納部材を保持する収納手段と、
夫々が前記供給手段から供給される前記電子部品を保持し、前記収納手段に保持される前記収納部材上の前記所定の位置まで移動させる２つの移動手段と、
前記２つの移動手段が互いに所定の距離以内には近づかないように夫々の移動を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする電子部品配置装置。
【請求項２】
前記２つの移動手段は、同一の軸上において移動することを特徴とする請求項１に記載の電子部品配置装置。
【請求項３】
夫々が前記電子部品を供給する２つの前記供給手段を備え、
前記２つの移動手段のうち一方は、一方の前記供給手段から、他方は、他方の前記供給手段から夫々供給される前記電子部品を保持し、前記所定の位置まで移動させることを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品配置装置。
【請求項４】
夫々が前記収納部材を保持する２つの前記収納手段を備え、
前記２つの移動手段のうち一方は、一方の前記収納手段に、他方は、他方の前記収納手段に夫々保持される前記収納部材上の前記所定の位置まで、前記電子部品を移動させることを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品配置装置。
【請求項５】
前記供給手段における前記電子部品の配置、及び前記収納部材上の前記所定の位置を画像取り込みする第１画像取込手段を更に備え、
前記制御手段は、前記第１画像取込手段により取り込まれた画像に基づいて前記供給手段における前記電子部品の位置、及び前記収納部材上の前記所定の位置を認識し、該認識結果に基づいて前記移動手段の移動を制御することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の電子部品配置装置。
【請求項６】
前記移動手段に保持される前記電子部品を画像取り込みする第２画像取込手段を更に備え、
前記制御手段は、前記第２画像取込手段により取り込まれた画像に基づいて前記移動手段に保持される前記電子部品の態様を認識し、該認識結果に基づいて前記移動手段の保持の態様を制御することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電子部品配置装置。
【請求項７】
前記移動手段は、前記第２画像取込手段の画像取り込み位置において、等速移動をしていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電子部品配置装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の配置装置であって、特に電子部品を所定の位置に配置する配置装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、水晶発振器や測定器などに組み込まれる水晶片を蒸着用トレイ（蒸着マスクともいう）、或いは治具トレイなどに移載する配置装置においては、配置装置内に敷設されたレールなどに沿って移動する吸着ヘッドなどによって、供給トレイ上に無秩序に配置されるなどして供給される水晶片を蒸着マスク上の所定の位置（典型的にはポケット）に移載するように構成されたものが用いられている。
【０００３】
文献１には、画像取り込みによって、供給トレイ上の水晶片の位置及び蒸着マスク上のポケットの位置を認識し、自動制御された移載ヘッドによって水晶片を移載する構成が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３２６２７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この種の配置装置は、典型的には工場のクリーンルーム内に設置され、生産に寄与することとなる。そのような場合には単位時間当たりの生産量（言い換えれば、１工程辺りの所要時間、サイクルタイム）は工場の生産能力を決定する重要な要素であり、生産量の向上のための装置の改善が常に期待されてきた。他方で、限られたクリーンルーム内の敷地の中で、装置の専有する面積、或いは専有面積当たりの生産量も重要な要素として改良が期待されてきた。
【０００６】
しかしながら、前述のような配置装置においては、移載ヘッドの動作が工程の大部分を占めるにもかかわらず、その改善には限界があるとされてきた。すなわち、生産量の上昇のために、移載ヘッドが行う動作を高速化させれば、制動時の振動などにより、水晶片の吸着や、水晶片を保持しながらの移動、及びポケットへの配置に際し悪影響が現れ、例えば、歩留まりの低下などの結果を招く虞があった。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題に鑑みて為されたものであり、配置装置における作業工程のサイクルタイムを削減して作業効率を向上させるとともに、該装置の専有面積当たりの生産量をも増加させることで全体的な生産量の向上をも達成出来る、水晶片を一例とする電子部品の配置装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の電子部品配置装置は、電子部品を収納部材上の所定の位置に配置する電子部品配置装置であって、前記電子部品を供給する供給手段と、前記収納部材を保持する収納手段と、夫々が、前記供給手段から供給される前記電子部品を保持し、前記収納手段に保持される前記収納部材上の前記所定の位置まで移動させる２つの移動手段と、前記２つの移動手段が互いに所定の距離以内には近づかないように夫々の移動を制御する制御手段とを備える。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の電子部品配置装置に係る実施形態は、電子部品を収納部材上の所定の位置に配置する電子部品配置装置であって、前記電子部品を供給する供給手段と、前記収納部材を保持する収納手段と、夫々が、前記供給手段から供給される前記電子部品を保持し、前記収納手段に保持される前記収納部材上の前記所定の位置まで移動させる２つの移動手段と、前記２つの移動手段が互いに所定の距離以内には近づかないように夫々の移動を制御する制御手段とを備える。
【００１０】
本発明の電子部品配置装置に係る実施形態によれば、移動手段の動作により、電子部品（例えば水晶片など）を、収納部材（例えば、水晶片に電極を形成する際の蒸着マスクなど）上の所定の位置（例えば、該蒸着マスク上に形成されたポケットなど）に配置することが出来る。
【００１１】
電子部品は、例えばトレイなど、当該電子部品配置装置に備えられる供給手段に上に配置された状態で供給される。このとき供給手段は、例えばベルトコンベアなどを備えることで駆動するように構成されていても構わない。この構成によれば、典型的には、移動手段が保持可能な電子部品が全て移動された時に新しく保持可能な電子部品を搬入することが出来る。
【００１２】
他方で、収納部材は、例えば可動型ステージなど、当該電子部品配置装置に備えられる収納手段によって保持されている。この時、収納手段は、収納部材上の所定の位置全てに電子部品が配置された場合に、該収納部材を搬出し、新しい収納部材を搬入するように構成しても構わない。
【００１３】
また、本実施形態における移動手段は、当該電子部品配置装置内に敷設されたレール上などを移動し、電子部品を吸着するなどして保持する可動型ヘッドが一例として挙げられる。移動手段は、原則的には、動きだしたときには加速を行い、設定された速度に達したところで等速運動に移行し、止まる際には減速を行う。
【００１４】
本実施形態における最も基本的な動作の流れでは、移動手段は、供給手段上に配置された電子部品を保持し、収納手段に保持される収納部材上まで移動を行い、次いで、該収納部材上の所定の位置へ保持した電子部品を配置し、再び供給手段上までの移動する、という一連の工程を繰り返し行う。
【００１５】
更に、本実施形態の電子部品配置装置は、前述した移動手段を２つ備えることにより、後に詳述するように、２つの供給手段の夫々から供給される電子部品を１つの収納手段が保持する収納部材上の所定の位置に、或いは、１つの供給手段から供給される電子部品を２つの収納手段の夫々が保持する収納部材上の所定の位置に夫々配置することが出来る。
【００１６】
また、制御手段によって、２つの移動手段は互いに衝突などを起こさないよう、互いに所定の距離以内に近づかないよう、その移動は制御される。典型的には、設定された基準位置に対する２つの移動手段夫々の座標が常時検出されることによって、移動手段同士の相対距離が算出され、該相対距離が設定された所定の距離以下とならないよう、制御手段によって移動が制御される。具体的には、一方の移動手段を、他方の移動手段から所定の距離だけ離れた位置で停止するように、移動の制御を行う。
【００１７】
２つの移動手段は主に、２つの供給手段から１つの収納手段へと移動する構成では収納手段上において、また、１つの供給手段から２つの収納手段へと移動する構成では供給手段上において、互いに接近することが想定される。制御手段の制御によって２つの移動手段は、常に互いの間が少なくとも所定の距離だけ離れているように制御された上で、典型的には交互に、供給手段からの電子部品の保持、収納手段に保持される収納部材上までの移動、所定の位置への電子部品の配置、及び、供給手段上までの移動に代表される一連の工程を繰り返し行う。
【００１８】
このとき、２つの移動手段の間ではなく、２つの移動手段が共有する供給手段、或いは収納手段上において、他方の移動手段が向かう先である目的位置（具体的には、収納手段上に保持される収納部材上の所定の位置、或いは、供給手段上の電子部品の位置）と一方の移動手段との間が、前述した所定の距離だけ離れているように制御しても良い。このような制御の一例として、制御手段は、常時検出される２つの移動手段夫々の座標、及び２つの移動手段の夫々の目的地点を検出し、該検出結果に基づき、いずれの移動手段が先に目的地点に到達するかを演算した上で、後に目的地点に到達する移動手段が、先に目的地点に到達する移動手段、或いはその目的地点から所定の距離だけ離れた位置で停止するように、移動の制御を行う。
【００１９】
このように構成することによって、例えば、供給手段及び収納手段の少なくとも一つ、移動手段が用いるレール、制御手段の一例であるＣＰＵなどの主要な構成を共有しつつも、同時に稼働する２つの移動手段を備えた電子部品配置装置を得ることが出来る。
【００２０】
これによって、１つの移動手段によって１つの供給手段から１つの収納手段まで電子部品を移動させる従来型の電子部品配置装置と略同一の専有面積を占める装置でありながら、略２倍のサイクルタクトで電子部品を所定の位置へと移動させることが出来る。つまり、当該電子部品配置装置が配置されることにより、専有面積当たりの生産量を略２倍にするという顕著な効果を得ることが出来る。
【００２１】
言いかえれば、従来型の電子部品配置装置と略同一の生産量を、略半分の専有面積を占める装置で達成することが出来る。結果、生産量を低減させることなく、当該電子部品配置装置が設置される例えばクリーンルームの専有面積を略半分とすることが出来るという顕著な効果を得ることが出来る。
【００２２】
本発明の電子部品配置装置に係る実施形態の一の態様は、前記２つの移動手段は、同一の軸上において移動する。
【００２３】
この態様によれば、２つの移動手段はお互いに共有される同一の軸（例えば、Ｘ軸）上を移動する。このとき、移動の制限から、供給手段及び収納手段は少なくとも一部が該軸と同一の軸上に設置されている必要がある。このように構成すれば、移動手段の移動する距離を最低限に抑えることが出来、よりサイクルタクトの増加、引いては生産量の増加を達成することが出来る。
【００２４】
また、このとき、供給手段及び収納手段は、該軸とは直交する軸成分（例えば、Ｙ軸）を含むような経路上を移動するように構成しても構わない。このように構成すれば、供給手段上の電子部品を保持する際、及び収納手段に保持される収納部材上の所定の位置に電子部品を配置する際に、移動手段の動作によってＸ軸を一致させ、供給手段、或いは収納手段の動作によってＹ軸を一致させることによって、位置合わせを行うことが出来る。結果、供給手段及び収納手段における目的の位置（つまり、電子部品、或いは所定の位置）への簡便な到達を可能としつつも、移動手段の移動する距離を最低限に抑えることが出来、更なるサイクルタクトの増加、すなわち生産量の増加を達成することが出来る。
【００２５】
本発明の電子部品配置装置に係る実施形態の他の態様は、夫々が、前記電子部品を供給する２つの前記供給手段を備え、前記２つの移動手段のうち一方は、一方の前記供給手段から、他方は、他方の前記供給手段から夫々前記電子部品を保持し、前記所定の位置まで移動させる。
【００２６】
この態様によれば、２つの移動手段により、２つの供給手段から夫々別個独立に供給される電子部品を１つの収納手段が保持する収納部材上の所定の位置に配置することが出来る。
【００２７】
このように構成することによって、収納手段、移動手段が用いるレール、制御手段の一例であるＣＰＵなどの主要な構成を共有しつつも、同時に稼働する２つの移動手段を備えた電子部品配置装置を得ることが出来る。結果、２つの移動手段によるサイクルタクトの増加を達成することが出来る。
【００２８】
本発明の電子部品配置装置に係る実施形態の他の態様は、夫々が、前記収納部材を保持する２つの前記収納手段を備え、前記２つの移動手段のうち一方は、一方の前記収納手段に、他方は、他方の前記収納手段に夫々保持される前記収納部材上の前記所定の位置まで、前記電子部品を移動させる。
【００２９】
この態様によれば、２つの移動手段により、１つの供給手段から供給される電子部品を、２つの収納手段が夫々別個独立に保持する収納部材上の所定の位置に配置することが出来る。
【００３０】
このように構成することによって、供給手段、移動手段が用いるレール、制御手段の一例であるＣＰＵなどの主要な構成を共有しつつも、同時に稼働する２つの移動手段を備えた電子部品配置装置を得ることが出来る。
【００３１】
また、例えば、電子部品が配置される所定の位置の数が少ない収納部材一つに対して、一つの移動手段が電子部品を配置する、という工程を同時に２つの収納部材に対して行うことが出来るため、結果、収納部材の搬出入の頻度が増加することによるサイクルタイムの低減を抑制しつつも、２つの移動手段によるサイクルタクトの増加を達成することが出来る。
【００３２】
本発明の電子部品配置装置に係る実施形態の他の態様は、前記供給手段における前記電子部品の配置、及び前記収納部材上の前記所定の位置を画像取り込みする第１画像取込手段を更に備え、前記制御手段は、前記第１画像取込手段により取り込まれた画像に基づいて前記供給手段における前記電子部品の位置、及び前記収納部材上の前記所定の位置を認識し、該認識結果に基づいて前記移動手段の移動を制御する。
【００３３】
この態様によれば、供給手段上の電子部品の配置、及び収納手段に保持される収納部材上の所定の位置が、典型的にはカメラである第１画像取込手段によって画像に取り込まれる。そして、制御手段によって該画像から電子部品の位置データ、及び所定の位置の位置データが認識され、該認識結果に基づいて移動手段の移動が制御される。
【００３４】
このように構成すれば、例えば、供給手段上に無秩序に配置された電子部品の位置情報を把握して保持することが出来、同様に、収納部材上に無秩序に存在する所定の位置を把握して、電子部品を配置することが出来る。
【００３５】
また、前述したように、２つの移動手段の夫々が一軸上を移動し、該軸に直交して供給手段及び収納手段が移動することで、移動手段が電子部品を移動させる場合には、該認識結果に基づいて制御手段が、移動手段、供給手段及び収納手段の移動を制御しても良いことは言うまでもない。
【００３６】
第１画像取込手段は、典型的には、当該電子部品配置装置内に敷設されたレール上などを移動し、目的の位置で画像を取り込むことが可能であるように構成されており、サイクルタクトの増加を達成するためには、２つの第１画像取込手段が設置され、夫々が２つの移動手段夫々に対応する動作を行うように構成されていることが望ましい。
【００３７】
本発明の電子部品配置装置に係る実施形態の他の態様は、前記移動手段に保持される前記電子部品を画像取り込みする第２画像取込手段を更に備え、前記制御手段は、前記第２画像取込手段により取り込まれた画像に基づいて前記移動手段に保持される前記電子部品の態様を認識し、該認識結果に基づいて前記移動手段の保持の態様を制御する。
【００３８】
この態様によれば、例えば、移動手段によって保持された電子部品の保持の態様が、典型的にはカメラである第２画像取込手段によって画像に取り込まれる。そして、制御手段によって該画像から電子部品の保持の態様が認識され、例えば、所定の位置への簡便な配置が達成できる態様へと保持の態様が変化するよう、電子部品の動作が制御される。
【００３９】
このように構成すれば、移動手段が電子部品を保持して移動している間に、角度などに代表される保持の態様を、所定の位置への最適な配置が行えるように変更することが出来、結果、更なるサイクルタクトの増加を達成することが出来る。また、画像取り込みの位置を安定させ、より良好な取り込みを行うために、第２画像取込手段が画像を取り込む位置において、移動手段は、所定の速度で等速運動をしていることが望ましい。
【００４０】
第２画像取込手段は、典型的には、移動手段が移動する経路上に、該移動を妨げないように設置され、移動手段の移動中に画像の取り込みが可能であるように構成されており、サイクルタクトの増加を達成するためには、２つの第２画像取込手段が設置され、夫々が２つの移動手段夫々に対応する動作を行うように構成されていることが望ましい。
【００４１】
本発明の電子部品配置装置に係る実施形態の他の態様は、前記移動手段は、前記第２画像取込手段の画像取り込み位置において、等速移動をしている。
【００４２】
この態様によれば、移動手段が、移動を開始した後に、加速を終えて等速運動となった状態で第２画像取込手段（より詳細には、その画像取り込み位置）上を移動出来る。
【００４３】
このような態様の一構成例として、供給手段と第２画像取込手段の画像取り込み位置とは、夫々向かい合う端部が少なくとも、移動手段が供給手段から供給される電子部品を保持して移動を開始した後、設定された速度まで加速を終える間に移動する距離以上離れて設置されている。
【００４４】
また、この態様によれば、制御手段によって、移動手段が互いに所定の距離以内には近づかないように移動を制御された状態においても、第２画像取込手段の画像取り込み位置において、停止及び加減速を行わない。
【００４５】
このような態様の一構成例として、収納手段と第２画像取込手段の画像取り込み位置とは、夫々向かい合う端部が少なくとも、(i)一方の移動手段と、他方の移動手段或いはその目的地点との間で近づかないよう設定された所定の距離、及び(ii)少なくとも移動手段が該所定の距離だけ離れた位置で停止するよう減速している間に進む距離（つまり制動距離）の和以上離れて設置されている。
【００４６】
このように構成すれば、第２画像取込手段での画像取り込みの位置を安定させ、より良好な取り込みを達成することが出来る。
【００４７】
本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から更に明らかにされよう。
【００４８】
以上、説明したように、本発明の電子部品配置装置に係る実施形態によれば、供給手段と、収納手段と、２つの移動手段と、制御手段とを備える。従って、従来型の電子部品配置装置と略同一の専有面積を占める装置でありながら、略２倍のサイクルタクトで電子部品を所定の位置へと移動させることが出来る。
【実施例】
【００４９】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
（第１構成例）
まず、図１から図３を参照して、本発明に係る実施形態の第１構成例について説明する。ここに、図１は第１構成例における電子部品配置装置１の基本構造を示す概略図、図２は該概略図における電子部品配置装置１の各部の動作方向を示す模式図であり、図３は電子部品配置装置１の動作制御を模式的に示すブロック図である。
【００５０】
図１或いは図３に示されるように、第１構成例における電子部品配置装置の一例である電子部品配置装置１は、例えば、電子部品の一例である水晶チップを収納部材の一例である蒸着マスクのポケット（つまり所定の位置）に配置する作業を行う装置であり、供給ステージ１１ａ、供給ステージ１１ｂ、移載ヘッド１２ａ、移載ヘッド１２ｂ、上カメラ１３ａ、上カメラ１３ｂ、下カメラ１４ａ、下カメラ１４ｂ、収納ステージ１５ａ、マスク交換部１６ａ、及びＣＰＵ１７を備えて構成されている。
【００５１】
本明細書においては、供給ステージ１１ａ及び供給ステージ１１ｂを供給ステージ１１ａ（ｂ）と総称することがある。同様に、上カメラ１３ａ及び上カメラ１３ｂを上カメラ１３ａ（ｂ）、下カメラ１４ａ及び下カメラ１４ｂを下カメラ１４ａ（ｂ）と総称することがある。
【００５２】
特に、第１構成例においては、供給手段の一具体例として、供給ステージ１１ａ及び供給ステージ１１ｂの２つを備えており、移動手段の一具体例である移載ヘッド１２ａ及び移載ヘッド１２ｂの動作により、夫々から供給されるチップが、収納手段の一具体例である収納ステージ１５ａに保持された蒸着マスクのポケットに配置される。ここで、移載ヘッド１２ａ及び移載ヘッド１２ｂは、図２に示されるように、電子部品配置装置１内に敷設されたレールに沿って、夫々、供給ステージ１１ａと収納ステージ１５ａとの間、或いは、供給ステージ１１ｂと収納ステージ１５ａとの間を移動するように構成されている。また、供給ステージ１１ａ、供給ステージ１１ｂ、及び収納ステージ１５ａは、移載ヘッド１２ａ（ｂ）の移動軸（例えばＸ軸）と直行する軸（例えばＹ軸）上に駆動するように構成されている。そして、図３に示される制御手段の一具体例であるＣＰＵ１７の制御のもと、適切なチップの保持及びポケットへの配置が行われるよう、移載ヘッド１２ａ（ｂ）、供給ステージ１１ａ（ｂ）及び収納ステージ１５ａが移動を行う。
【００５３】
また、移載ヘッド１２ａ（ｂ）は、ＣＰＵ１７の制御のもと、常時互いの距離が検出されており、互いに予め設定される安全限界距離Ｘ以内には近寄らないように移動する。具体的には、ＣＰＵ１７は、例えば、移載ヘッド１２ａ（ｂ）に動力を付与するモータのパルスなどを読み取ることにより、所定の座標系における移載ヘッド１２ａ及び移載ヘッド１２ｂの座標を常時検出し、移載ヘッド１２ａと移載ヘッド１２ｂとの相対距離が前述した安全限界距離Ｘ以下にならないように、移動の制御（例えば、停止など）を行う。移載ヘッド１２ａ（ｂ）の移動の態様は、チップの保持或いはポケットへの配置などによる停止状態から動き出す際には、所定の速度まで加速を行った後、等速運動に移行し、減速を経て停止をする。ここで、安全限界距離Ｘとは、少なくとも２つの移載ヘッド１２ａ（ｂ）が互いに衝突しないよう設定される距離であって、可能な限り短く設定されることが好ましい。
【００５４】
また、第１画像取込手段の一具体例である上カメラ１３ａ及び上カメラ１３ｂは、電子部品配置装置１内に敷設されたレールに沿って、夫々、供給ステージ１１ａと収納ステージ１５ａとの間、或いは、供給ステージ１１ｂと収納ステージ１５ａとの間を移動し、供給ステージ１１ａ（ｂ）上のチップの配置、及び、収納ステージ１５ａに保持される蒸着マスク上のポケットの位置を画像取り込みする。取り込まれた画像はＣＰＵ１７によって解析され、チップの位置及びポケットの位置が認識される。該認識結果に基づいて、ＣＰＵ１７は、適切にチップの保持及びポケットへの配置が行われるよう、移載ヘッド１２ａ（ｂ）、供給ステージ１１ａ（ｂ）及び収納ステージ１５ａの移動を制御する。
【００５５】
また、下カメラ１４ａ及び下カメラ１４ｂは、夫々、供給ステージ１１ａと収納ステージ１５ａとの間、或いは、供給ステージ１１ｂと収納ステージ１５ａとの間に設置され、移載ヘッド１２ａ（ｂ）に保持されているチップの態様を画像取り込みする。取り込まれた画像はＣＰＵ１７によって解析され、チップの保持の態様（例えば角度など）が認識される。該認識結果に基づくＣＰＵ１７の制御のもと、移載ヘッド１２ａ（ｂ）は適切にチップのポケットへの配置が行われるよう、チップの保持の態様を調整する。
【００５６】
また、全てのポケットへのチップの配置が終了した蒸着マスクは、収納ステージ１５ａの動作によって、マスク交換部１６ａへと移送され、新しい蒸着マスクが収納ステージ１５ａに保持される。他方で、供給ステージ１１ａ（ｂ）上に配置された保持可能なチップ（つまり、互いに重なるなどの要因により適切な画像認識が行えず、保持の制御が行えないものでないチップ）が全て保持された場合、或いは所定の数以下となった場合、供給ステージ１１ａ（ｂ）の動作によって新しいチップが供給されるよう構成しても良い。
【００５７】
このような動作は、図３に示すようにＣＰＵ１７の制御のもと行われる。ＣＰＵ１７は、上カメラ１３ａ（ｂ）及び下カメラ１４ａ（ｂ）の動作を制御するとともに、取り込まれた画像の入力を受け、該画像より解析された供給ステージ１１ａ（ｂ）上のチップ、及び収納ステージ１５ａ上の蒸着マスクのポケットの夫々の位置を認識する。該認識結果に基づいてチップの保持及び配置が適切に行えるよう、供給ステージ１１ａ（ｂ）、移載ヘッド１２ａ（ｂ）、及び収納ステージ１５ａの動作を制御する。また、供給ステージ１１ａ（ｂ）上のチップ、或いは収納ステージ１５ａ上の蒸着マスクを交換する際にも、各部の動作を制御する。
【００５８】
また、供給ステージ１１ａ（ｂ）と下カメラ１４ａ（ｂ）の画像取り込み位置とは、夫々向かい合う端部が少なくとも、移載ヘッド１２ａ（ｂ）が供給ステージ１１ａ（ｂ）から供給されるチップを保持して移動を開始した後、設定された速度まで加速を終える間に移動する距離以上離れて設置されている。
【００５９】
また、収納ステージ１５ａと下カメラ１４ａ（ｂ）の画像取り込み位置とは、夫々向かい合う端部が少なくとも、(i)一方の移載ヘッド（例えば移載ヘッド１２ａ）と、他方の移載ヘッド（例えば移載ヘッド１２ｂ）或いは該他方の移載ヘッド１２ｂの移動の目的地点との間の安全限界距離Ｘと、(ii)該一方の移載ヘッド１２ａが該安全限界距離Ｘだけ離れた位置で停止するよう減速している間に進む距離（すなわち制動距離）との和以上離れて設置されている。
（動作例）
続いて、図４を参照して、本発明に係る実施形態の第１構成例の動作例について説明する。ここに、図４は第１構成例における電子部品配置装置１の基本的な動作の流れを示すフローチャートである。
【００６０】
図４によれば、まず供給ステージ１１ａ（ｂ）上にチップが配置される（ステップＳ１０１）。典型的には、供給ステージ１１ａ（ｂ）、或いは図示されない搬送手段の動作によって、チップが搬送され、配置される。それと同時に、或いは相前後して、収納ステージ１５上に蒸着マスクが保持される（ステップＳ１０２）。典型的には、マスク交換部１６の動作により搬送されてくる蒸着マスクが、収納ステージ１５に保持される。
【００６１】
次に、蒸着マスク上のチップが配置されるポケットの配置が、上カメラ１３ａ（ｂ）の動作によって画像として取り込まれる（ステップＳ１０３）。それと相前後して、同じく上カメラ１３ａ（ｂ）の動作によって、供給ステージ１５上のチップの配置が画像として取り込まれる（ステップＳ１０４）。このとき、上カメラ１３ａは供給ステージ１１ａ、上カメラ１３ｂは供給ステージ１１ｂ、というように、上カメラ１３ａ（ｂ）は、互いに独立して、各々対応が設定された供給ステージ１１ａ（ｂ）上のチップの配置を画像に取り込む。ここで取り込まれた画像から、ＣＰＵ１７の動作によって、ポケットの位置データ、及びチップの位置データが認識される。
【００６２】
次に、チップの位置データを認識したＣＰＵ１７の制御のもと移載ヘッド１２ａ（ｂ）がチップを保持する（ステップＳ１０５）。具体的には、移載ヘッド１２ａ（ｂ）は、例えば、図示されない吸着部によりチップを吸着することで該チップを保持する。
【００６３】
次に、移載ヘッド１２ａ（ｂ）は、モータの動作などによって目的地点まで移動する（ステップＳ１０６）。ここで、目的地点とは、基本的には、保持されたチップが配置される、収納ステージ１５ａ上の蒸着マスクにおける所定のポケットである。
【００６４】
移載ヘッド１２ａ（ｂ）の移動開始に際して、ＣＰＵ１７の動作のもと、他方の移載ヘッド１２ｂ（ａ）の位置が確認される。他方の移載ヘッド１２ｂ（ａ）が収納ステージ１５ａ上で作業を行っている場合、或いはこれから作業を行う場合には、前述の目的地点として、下カメラ１４ａ（ｂ）と、収納ステージ１５ａとの間の地点を仮の目的地点として設定し、移動を開始する。このとき、仮の目的地点とは、他方の移載ヘッド１２ｂ（ａ）の目的地点より、少なくとも前述の安全限界距離Ｘ離れた位置である。
【００６５】
移載ヘッド１２ａ（ｂ）の移動中に下カメラ１４ａ（ｂ）の画像取り込み位置において、移載ヘッド１２ａ（ｂ）によるチップの保持の態様が画像取り込みされる（ステップＳ１０７）。該取り込まれた画像から、ＣＰＵ１７によってチップの保持の態様が認識され、ＣＰＵ１７の制御のもと移載ヘッド１２ａ（ｂ）は、ポケットへの配置に適した態様へと保持の態様を調節する。
【００６６】
移載ヘッド１２ａ（ｂ）が、収納ステージ１５ａ上の蒸着マスクにおける目的のポケットの位置まで移動した後には、該ポケットへとチップが配置される（ステップＳ１０８）。その後に移載ヘッド１２ａ（ｂ）は、夫々対応する供給ステージ１１ａ（ｂ）上まで移動し、チップの保持（ステップＳ１０５）、移動（ステップＳ１０６）、保持の調節（ステップＳ１０７）、チップの配置（ステップＳ１０８）を繰り返し行う。
【００６７】
一連の流れにおいて、供給ステージ１１ａ（ｂ）上の保持可能なチップが全て移送された場合（ステップＳ１０９：Ｙｅｓ）、ステップＳ１０１と同様に、新しいチップが搬送され、配置される（ステップＳ１１０）。その後、上カメラ１４ａ（ｂ）の動作により、供給ステージ１１ａ（ｂ）上のチップの配置の態様が再度画像取り込みされ（ステップＳ１０４）、一連の流れを繰り返す。
【００６８】
一連の流れにおいて、収納ステージ１５ａ上の蒸着マスクにおいて、チップを配置可能なポケット全てにチップが配置された場合（ステップＳ１１１：Ｙｅｓ）、該蒸着マスクはマスク交換部１１６ａの動作により、搬送され、ステップＳ１０２と同様に、新しい蒸着マスクが搬送され、設置される（ステップＳ１１２）。その後、上カメラ１４ａ（ｂ）の動作によって、収納ステージ１５ａ上の新しい蒸着マスクにおけるポケットの配置の態様を再度画像取り込みされ（ステップＳ１０３）、一連の流れを繰り返す。
【００６９】
尚、本動作例においては、ステップＳ１０３、ステップＳ１０４、ステップＳ１０５、ステップＳ１０６、ステップＳ１０７、ステップＳ１０８、ステップＳ１０９、及びステップＳ１１０の諸動作は、夫々２つずつ備えられた供給ステージ１１ａ（ｂ）、移載ヘッド１２ａ（ｂ）、上カメラ１３ａ（ｂ）、下カメラ１４ａ（ｂ）によって、互いに他方の同様の動作とは独立して実施される。
【００７０】
以上説明したように、本実施形態によれば、電子部品配置装置１は、収納ステージ１５ａ、マスク交換部１６ａ、ＣＰＵ１７、及び移載ヘッド１２ａ（ｂ）の移動に用いられるレールなどの主要な構成を共有しつつも、独立別個に稼働する２つの移載ヘッド１２ａ（ｂ）及び供給ステージ１１ａ（ｂ）夫々の動作に関わる諸構成を備える。つまり、電子部品配置装置１は、１つの移載ヘッドを備える従来型の電子部品配置装置と略同一の専有面積を占める装置において、２つの移載ヘッド１２ａ（ｂ）夫々の動作によって、電子部品の一例であるチップを蒸着マスクにおける目的のポケットの位置に配置することが出来る。
【００７１】
従来型の配置装置におけるチップの保持（本動作例におけるステップＳ１０５）、移動（同ステップＳ１０６）、保持の調節（同ステップＳ１０７）、及びチップの配置（同ステップＳ１０８）の繰り返し動作は、１つの移載ヘッドによって行われていたため、１サイクルの動作には、供給ステージ１１ａ（又は１１ｂ）から収納ステージ１５ａまでの往復が必要であり、往復時間分のサイクルタクトが必要であった。他方、本実施形態における電子部品配置装置１では、一方の移載ヘッド（例えば１２ａ）がチップの配置（ステップＳ１０８）の作業中に、他方の移載ヘッド（例えば１２ｂ）がチップの保持（ステップＳ１０５）、移動（ステップＳ１０６）、及び保持の調節（ステップＳ１０７）、までの作業が可能であることから、往復の時間を省略し、従来の構成に対し略２倍のサイクルタクトでチップを蒸着マスクにおける目的のポケットの位置へと移動させることが出来る。つまり、電子部品配置装置１が配置されることにより、専有面積当たりの生産量を略２倍にするという顕著な効果を得ることが出来る。
【００７２】
言いかえれば、従来型の配置装置と略同一の生産量を、略半分の専有面積を占める装置で達成することが出来る。結果、生産量を低減させることなく、電子部品配置装置１が設置される例えばクリーンルームの専有面積を略半分とすることが出来るという顕著な効果を得ることが出来る。
【００７３】
尚、本実施形態に係る電子部品配置装置は、電子部品の例として挙げた水晶チップを収納部材の例として挙げた蒸着マスクのポケットに配置するだけの構成に留まらず、前述の動作例より読み取れる範囲のあらゆる形態の電子部品を夫々対応する収納部材の所定の位置に配置することが可能である。一例として、半導体素子である受光素子を、セラミックパッケージに配置するよう構成されていても良い。
（第２構成例）
次に、図５及び図６を参照して、本発明に係る実施形態の第２構成例について説明する。ここに、図５は第２構成例における電子部品配置装置２の基本構造を示す概略図であり、図６は該概略図における電子部品配置装置２の各部の動作方向を示す模式図である。
【００７４】
図５に示されるように、第２構成例における電子部品配置装置の一例である電子部品配置装置２は、供給ステージ１１ｃ、移載ヘッド１２ａ、移載ヘッド１２ｂ、上カメラ１３ａ、上カメラ１３ｂ、下カメラ１４ａ、下カメラ１４ｂ、収納ステージ１５ｂ、収納ステージ１５ｃ、マスク交換部１６ｂ、及びマスク交換部１６ｃを備えて構成されている。
【００７５】
本明細書においては、収納ステージ１５ｂ及び収納ステージ１５ｃを収納ステージ１５ｂ（ｃ）、同様に、マスク交換部１６ｂ及びマスク交換部１６ｃをマスク交換部１６ｂ（ｃ）と総称することがある。また、明細書中、或いは図中の同一の構成要素には、同一の番号が付されている。
【００７６】
特に、第２構成例においては、供給手段の一具体例として、供給ステージ１１ｃを備えており、移動手段の一具体例である移載ヘッド１２ａ及び移載ヘッド１２ｂの動作により、供給されるチップが、収納手段の一具体例である収納ステージ１５ｂ或いは収納ステージ１５ｃに夫々保持された蒸着マスクのポケットに夫々配置される。ここで、移載ヘッド１２ａ及び移載ヘッド１２ｂは、図６に示されるように、電子部品配置装置１内に敷設されたレールに沿って、夫々、供給ステージ１１ｃと収納ステージ１５ｂとの間、或いは、供給ステージ１１ｃと収納ステージ１５ｃとの間を移動するように構成されている。
【００７７】
実施形態に係る第１構成例における電子部品配置装置１が、供給ステージ１１ａ（ｂ）、収納ステージ１５ａ、及びマスク交換部１６ａを備えることに対し、第２構成例における電子部品配置装置２では、供給ステージ１１ｃ、収納ステージ１５ｂ（ｃ）、及びマスク交換部１６ｂ（ｃ）を備える。
【００７８】
このように構成が変化していても、その他の各部の構成及び動作の基本的概念は、第１構成例と同一である。
【００７９】
例えば、第１構成例に係る動作例において、２つの移載ヘッド１２ａ（ｂ）が夫々２つの供給ステージ１１ａ（ｂ）上のチップを保持し（ステップＳ１０５）、収納ステージ１５ａへと移動（ステップＳ１０８）していることに対して、第２構成例に係る動作例では、移載ヘッド１２ａ（ｂ）が夫々１つの供給ステージ１１ｃ上のチップを保持し、相異なる２つの収納ステージ１５ｂ（ｃ）へと移動する。その他の各部の動作に関しては、前述した第１動作例に係る動作例と同様である。
【００８０】
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電子部品配置装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明に係る実施形態の第１構成例の概略的なブロック図である。
【図２】本発明に係る実施形態の第１構成例の各部の動作方向を示す模式図である。
【図３】本発明に係る実施形態の第１構成例の各部の動作制御を模式的に示すブロック図である
【図４】本発明に係る実施形態の第１構成例の動作の流れを概略的に示すフローチャートである。
【図５】本発明に係る実施形態の第２構成例の概略的なブロック図である。
【図６】本発明に係る実施形態の第２構成例の各部の動作方向を示す模式図である。
【符号の説明】
【００８２】
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ…供給ステージ、１２ａ、１２ｂ…移載ヘッド、１３ａ、１３ｂ…上カメラ、１４ａ、１４ｂ…下カメラ、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ…収納ステージ、１６ａ、１６ｂ、１６ｃ…マスク交換部、１７、ＣＰＵ
【図１】
2009148858.tif 000003
【図２】
2009148858.tif 000004
【図３】
2009148858.tif 000005
【図４】
2009148858.tif 000006
【図５】
2009148858.tif 000007
【図６】
2009148858.tif 000008