(57)【要約】【課題】ワークの加工寸法精度を向上させることができるワーク固定シートおよびそれを用いた加工方法を提供する。【解決手段】ワーク固定シート１０において、剥離機能を有する剥離層１２の他面１２ｂにワーク固定剤１３を付着させる。また、剥離層１２の他面１２ｂからワーク固定剤１３を剥離してワーク３０の加工に用いる。すなわち、ワーク固定剤１３が剥離層１２から剥離されるまでは剥離層１２に付着させておくことができる一方、剥離層１２からワーク固定剤１３を容易に剥離することができるので、ワーク固定剤１３を容易に取り扱うことができる。このワーク固定剤１３を介して固定台４０の上にワーク３０を直接固定することができるので、ワーク３０を固定台４０に強固に固定した状態で加工を行うことができる。これにより、ワークの加工寸法精度を向上させることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材（１１）と、
前記基材（１１）の上に形成され、前記基材（１１）側の一面（１２ａ）とは反対側の他面（１２ｂ）に剥離機能を有する剥離層（１２）と、
前記剥離層（１２）の他面（１２ｂ）に塗布されると共に、温度に応じて融解および凝固することによりワーク（３０）を固定するワーク固定剤（１３）とを備えることを特徴とするワーク固定シート。
【請求項２】
前記剥離層（１２）はシリコン系樹脂で形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のワーク固定シート。
【請求項３】
前記ワーク固定剤（１３）は、パラフィンもしくはエチレングリコールを主成分としたものからなることを特徴とする請求項１または２に記載のワーク固定シート。
【請求項４】
前記ワーク固定剤（１３）は、セラック樹脂とロジンとを混合したものからなることを特徴とする請求項１または２に記載のワーク固定シート。
【請求項５】
基材（１１）と、
前記基材（１１）の上に形成され、前記基材（１１）側の一面（１２ａ）とは反対側の他面（１２ｂ）に剥離機能を有する剥離層（１２）と、
前記剥離層（１２）の他面（１２ｂ）に塗布されると共に、温度に応じて融解および凝固することによりワーク（３０）を固定するワーク固定剤（１３）とを備えたワーク固定シートを用いた加工方法であって、
前記ワーク固定シートの前記剥離層（１２）の他面（１２ｂ）から前記ワーク固定剤（１３）を剥離して固定台（４０）の上に載せる工程と、
前記固定台（４０）の上に載せられた前記ワーク固定剤（１３）の上に前記ワーク（３０）を載せた後、前記ワーク固定剤（１３）を加熱して融解し、溶融した前記ワーク固定剤（１３）を冷却して凝固することで、前記ワーク固定剤（１３）で前記ワーク（３０）を前記固定台（４０）に固定する工程と、
前記固定台（４０）に固定された前記ワーク（３０）を加工する工程と、
加工終了後、前記ワーク（３０）から前記ワーク固定剤（１３）を除去する工程とを含んでいることを特徴とする加工方法。
【請求項６】
基材（１１）と、
前記基材（１１）に塗布されて密着固定されるものであり、前記基材（１１）に密着固定される一面（１２ａ）とは反対側の他面（１２ｂ）に剥離機能を有する剥離層（１２）と、
前記剥離層（１２）の他面（１２ｂ）に塗布されると共に、温度に応じて融解および凝固することによりワーク（３０）を固定するワーク固定剤（１３）とを備えたワーク固定シートを用いた加工方法であって、
前記ワーク固定シートの前記ワーク固定剤（１３）の上にワーク（３０）を載せた後、前記ワーク固定剤（１３）を加熱して溶融し、溶融した前記ワーク固定剤（１３）を冷却して凝固することで、前記ワーク固定剤（１３）に前記ワーク（３０）を固定する工程と、
前記ワーク固定剤（１３）に前記ワーク（３０）を固定した後、前記ワーク固定シートの前記剥離層（１２）の他面（１２ｂ）から前記ワーク固定剤（１３）を剥離する工程と、
前記ワーク（３０）と固定台（４０）との間に前記ワーク固定剤（１３）が配置されるように、前記ワーク固定剤（１３）に前記ワーク（３０）が固定されたものを前記固定台（４０）の上に配置し、この後、前記ワーク固定剤（１３）を加熱して溶融し、溶融した前記ワーク固定剤（１３）を冷却して凝固することで、前記ワーク固定剤（１３）で前記ワーク（３０）を前記固定台（４０）に固定する工程と、
前記固定台（４０）に固定された前記ワーク（３０）を加工する工程と、
加工終了後、前記ワーク（３０）から前記ワーク固定剤（１３）を除去する工程とを含んでいることを特徴とする加工方法。
【請求項７】
前記ワーク固定シートとして、前記剥離層（１２）がシリコン系樹脂で形成されたものを用いることを特徴とする請求項５または６に記載の加工方法。
【請求項８】
前記ワーク固定シートとして、前記ワーク固定剤（１３）がパラフィンもしくはエチレングリコールを主成分としたものからなるものを用いることを特徴とする請求項５ないし７のいずれか１つに記載の加工方法。
【請求項９】
前記ワーク固定シートとして、前記ワーク固定剤（１３）がセラック樹脂とロジンとを混合したものからなるものを用いることを特徴とする請求項５ないし７のいずれか１つに記載の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工したい被加工物（以下、ワークという）を強固に固定すると共に、加工後に容易に取り外すことができるワーク固定シートおよびそれを用いた加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、加工したいワークを強固に固定するワーク固定シートが、例えば特許文献１で提案されている。具体的に、特許文献１では、母体としてのＰＥＴシートと、ＰＥＴシートの片面に塗布されたワーク固定剤とを備えて構成されるワーク固定シートが提案されている。ワーク固定剤は、ワークを固定するものであり、パラフィンやエチレングリコールを主成分とするもので構成されている。
【０００３】
このようなワーク固定シートを用いてワークを加工する場合、以下のように行う。まず、ワーク固定シートを真空チャックなどで土台の上に固定し、ワーク固定シート上にワークを置く。そして、土台をヒータ等で加熱する。このようにして土台を介してワーク固定シートを加熱すると、ワーク固定剤が溶融するため、ワークの表面に溶融したワーク固定剤が密着する。続いて、土台の温度を融点以下に下げると、ワーク固定剤が凝固してワークがワーク固定シート上に固定される。この後、ワークを加工する。
【特許文献１】米国特許出願公開第２００７／０１２２５８９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の技術では、ワークと土台との間にＰＥＴシートが介在するため、ワークを加工する際にＰＥＴシートを真空チャックなどで土台に固定することが必要となる。このように、ＰＥＴシートの固定の精度によっては、ワークの固定の精度が悪くなり、ひいてはワークの加工寸法精度が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記点に鑑み、ワークの加工寸法精度を向上させることができるワーク固定シートおよびそれを用いた加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、基材（１１）と、基材（１１）の上に形成され、基材（１１）側の一面（１２ａ）とは反対側の他面（１２ｂ）に剥離機能を有する剥離層（１２）と、剥離層（１２）の他面（１２ｂ）に塗布されると共に、温度に応じて融解および凝固することによりワーク（３０）を固定するワーク固定剤（１３）とを備えることを特徴とする。
【０００７】
これによると、ワーク固定剤（１３）は剥離層（１２）の上に配置されるが、剥離層（１２）の剥離機能によって剥離層（１２）から容易に剥離することができる。すなわち、剥離層（１２）から剥離したワーク固定剤（１３）を固定台（４０）の上に載せて、このワーク固定剤（１３）を介してワーク（３０）を固定台（４０）に直接固定することができる。これにより、ワーク（３０）を固定台（４０）に強固に固定することができるので、ワーク（３０）を加工する際の加工寸法の精度を向上させることができる。
【０００８】
請求項２に記載の発明のように、剥離層（１２）としてシリコン系樹脂で形成されたものを用いることができる。
【０００９】
シリコン系樹脂は粘着性が無く、室温付近で固形なので、基材（１１）から剥離しても取り扱いが簡単な特徴がある。また、シリコン系樹脂のものは表面に保護がいらない特徴がある。したがって、剥離層（１２）からワーク固定剤（１３）を容易に剥離することができ、ワーク（３０）と固定台（４０）との間に容易に設置することができる。そして、ワーク固定剤（１３）の厚さを一定とすると、ワーク（３０）を均一な高さに固定することができるので、加工時の精度が向上するメリットがある。
【００１０】
請求項３に記載の発明では、ワーク固定剤（１３）は、パラフィンもしくはエチレングリコールを主成分としたものからなることを特徴とする。
【００１１】
パラフィンもしくはエチレングリコールを主成分としたワーク固定剤（１３）については、所定の温度で固体と融解とを繰り返し行うことができる。また、パラフィンもしくはエチレングリコールを主成分とするワーク固定剤（１３）は、粘着剤とは異なり、融点以下の温度では固体であり、べたつき感はない。しかし、融点以上の温度で溶液になり、簡単にワーク（３０）の固定を解除する機能を有することができる。
【００１２】
パラフィン材料はＣｎＨｍ（ｎ、ｍは任意の整数）の分子式で記述される。低温で融解するパラフィン材料についてはＣの数が小さく、Ｃの数が大きくなると融解温度が高くなる。また、Ｃの数が大きいものと小さいものとが混ざると、融解する温度に幅ができ、結果的に融解温度に幅ができる。
【００１３】
低温で融解するパラフィン材料の純度においては、例えば室温付近で２℃の温度差で融解したい場合、分子量分布幅が約５０〜３０００のものを用いる。また、５０℃付近で融解するパラフィン材料の純度においては、分子量分布幅が１００〜１００００のものを用いる。さらに、９０℃付近で融解するパラフィン材料の純度においては、分子量分布幅が５００〜１０００００の幅が好ましい。
【００１４】
分子量分布幅を狭める方法は、材料の精製による。精製を精度良く行うと、分子量分布幅は小さくなる。分子量分布幅が狭いと純度が高くなると共に、融解温度の幅が小さくなり、狭い温度範囲で融解・凝固を起こすことができる。
【００１５】
また、広い軟化点を有する分子量範囲が広いパラフィン材料を用いることもできる。このパラフィン材料は融点範囲が±１０〜３０℃の軟化温度を有し、融解したときの粘度が数１０ｍＰａ〜数千ｍＰａであるので、ワーク固定剤（１３）として剥離層（１２）に塗布するときに塗布しやすいという特徴がある。
【００１６】
パラフィンもしくはエチレングリコールを主成分としたワーク固定剤（１３）として、融解開始温度と融解終了温度のとの温度差が５℃以下の材料を用いることが好ましい。これは、パラフィンもしくはエチレングリコールの純度を上げることにより、融解開始温度と融解終了温度との温度差を小さくすることができ、上記のように５℃以下を実現できる。
【００１７】
このように、融解と凝固とを５℃以下の温度変化で完了できるワーク固定剤（１３）を剥離層（１２）に塗布したものでワーク固定シートを構成する。これにより、剥離層（１２）から剥離したワーク固定剤（１３）の温度を変化させるだけで、ワーク（３０）をワーク固定剤（１３）に容易に固定することができると共に、ワーク固定剤（１３）からワーク（３０）を容易に剥離することができる。
【００１８】
ワーク固定剤（１３）の種類により異なるが、融解開始温度や融解終了温度を１８℃〜１５０℃の範囲内にすることができる。
【００１９】
ワーク固定剤（１３）として、５３℃で融解するパラフィン材料（±２℃で融解・凝固）を用いる場合、ワーク固定剤（１３）を約６３℃から７０℃に加熱すると、粘性が数ｍＰａと低くなる。また、ワーク固定剤（１３）として、８８℃で融解するパラフィン材料（±２℃で融解・凝固）を用いる場合、ワーク固定剤（１３）を約９８℃〜１００℃に加熱すると、粘性が数ｍＰａと低くなる。この低粘性の材料を剥離層（１２）の表面に、一般的な塗布方法にて、塗布して冷却すると、剥離層（１２）の表面に固化させることができる。
【００２０】
ワーク固定剤（１３）にアルミナ、カーボン、金属粉末、セラミック材料などの添加物を加えることができる。
【００２１】
ワーク固定剤（１３）にアルミナを添加する場合、パラフィンの含有量を４０〜１００重量％、アルミナ（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量を０〜６０重量％であることが好ましい。これにより、ワーク固定剤（１３）の粘度を高くすることができる。
【００２２】
ワーク固定剤（１３）にカーボン粒子を添加して導電性シートとする場合、パラフィンの含有量を４０〜９９重量％、電気伝導性が良いカーボン粉末（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の含有量を１〜６０重量％であることが好ましい。例えば、ワーク固定剤（１３）に約１５％の微粒子状（数μｍの粒子）のカーボン粉末を添加することによって、シート抵抗が１０〜５０Ωｃｍの導電性を得ることができる。
【００２３】
ワーク固定剤（１３）にＳｉＣ、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＯ２、ＡｌＮ、ＷＣ、ＴｉＣ、ＴｉＮなどのセラミック材料を添加することができる。
【００２４】
ワーク固定剤（１３）に微粒子や粒状などの金属粉末を添加する場合、パラフィンの含有量を２０〜１００重量％、金属（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量を０〜８０重量％であることが好ましい。
【００２５】
また、軟化点が広い材料として、ワーク固定剤（１３）の融解開始温度と融解終了温度との温度差が約１０℃から２０℃以下の材料を用いることもできる。融解開始温度と融解終了温度との温度差が５℃以下の材料は非常に精製された材料であるが、温度差が約１０℃から２０℃以下の材料は、融解開始温度と融解終了温度との温度差が大きい材料でも使用することができる。
【００２６】
ワーク固定剤（１３）として、約±１０℃で融解・凝固するものとして、約６５℃で軟化するパラフィン材料の場合、約７５℃から９０℃に加熱すると、粘性が数１０ｍＰａと低くなる。また、ワーク固定剤（１３）として、約±１０℃で融解・凝固するものとして、約７４℃で軟化するパラフィン材料の場合、約８４℃から１００℃に加熱すると、粘性が数１０ｍＰａと低くなる。この低粘性の材料を剥離層（１２）の表面に、一般的な塗布方法にて、塗布して冷却すると、剥離層（１２）の表面に固化させることができる。
【００２７】
また、上記と同様に、ワーク固定剤（１３）にアルミナ、カーボン、金属粉末、セラミック材料などを添加することができる。
【００２８】
請求項４に記載の発明では、ワーク固定剤（１３）は、セラック樹脂とロジンとを混合したものからなることを特徴とする。
【００２９】
接着力が強いセラック樹脂やロジン材料は、室温では固体であり、約８０℃以上で軟化する性質を有している。この材料は熱硬化性材料であり、温度が高くなると硬化が進み、固化時の硬度が上がるので良好な接着力を得ることができる。また、松脂を含むロジンは粘着性が有るが、この材料にセラック樹脂を混合すると、粘着性は無くなり、室温付近では、扱いが容易になる。
【００３０】
セラック樹脂は、カイガラムシの分泌液であるスチックラックを原料とし、この材料をアルコールによって抽出し、ロウ分を除いたものである。融点は主に、７０℃から８０℃のものが多いが、１００℃を超える融点のものを使用することもできる。また、ロジンは、松脂の成分を有機溶剤で抽出したものである。融点は９０〜１００℃であり、１００℃を超える融点のものを使用することもできる。
【００３１】
セラック樹脂とロジンとの混合割合を６：４とする場合、粉末状あるいは粒状または板状のセラック樹脂とロジン（松脂）とを用い、例えば約５００ｇの混合物を１リットルのエチルアルコールやメチルアルコールやＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等のアルコールに溶解して液状にする。この液体の粘性は数百ｍＰａ〜数千ｍＰａとなり、液体状態で剥離層（１２）の上に塗布することとなる。
【００３２】
剥離層（１２）への塗布が室温で行われるために、箔・薄膜とされるワーク固定剤（１３）は柔軟性があり、取り扱いが便利な特徴がある。すなわち、従来のセラック樹脂とロジンとの混合物の塗布は、８０〜２００℃の高温で行う場合が一般的である。セラック樹脂とロジンとの混合物は熱硬化性の材料であり、加熱の程度が大きくなると、硬化度が進み、硬くなって柔軟性が失われる。したがって、混合物の硬度が高くなり、パリパリ感が強くなって扱いにくい。しかし、常温でワーク固定剤（１３）としての混合物を剥離層（１２）に塗布したものでは、ワーク固定剤（１３）に加熱の経歴がほとんど無く、ワーク固定剤（１３）の柔軟性が維持されるため、ワーク固定剤（１３）が例えば箔や薄膜の性質を保つことができる。
【００３３】
セラック樹脂とロジンとの混合割合を４：６とする場合、上記と同様に約５００ｇの混合物を１リットルのアルコールに溶解して液状にし、液体状態で剥離層（１２）の上に塗布することでワーク固定シートが得られる。
【００３４】
セラック樹脂とロジンとの混合物で構成されるワーク固定剤（１３）にアルミナ、カーボン、金属粉末、セラミック材料などの添加物を加えることができる。
【００３５】
ワーク固定剤（１３）にアルミナを添加する場合、セラック樹脂とロジンとの混合物の含有量が７０〜１００重量％、アルミナ（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量が０〜３０重量％であることが好ましい。これにより、ワーク固定剤（１３）の粘度を高くすることができる。
【００３６】
ワーク固定剤（１３）にカーボン粒子を添加する場合、セラック樹脂とロジンとの混合物の含有量が７０〜１００重量％であり、電気伝導性が良いカーボン粉末（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の含有量が０〜３０重量％であることが好ましい。約１５％の微粒子状（数μｍの粒子）のカーボン粉末をワーク固定剤（１３）に添加することによって、シート抵抗が１０〜５０Ωｃｍの導電性を得ることができる。
【００３７】
ワーク固定剤（１３）にセラミック材料を添加する場合、セラック樹脂とロジンとの混合物の含有量が７０〜１００重量％であり、ＳｉＣ、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＯ２、ＡｌＮ、ＷＣ、ＴｉＣ、ＴｉＮなどのセラミック材料（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量が０〜３０重量％であることが好ましい。
【００３８】
ワーク固定剤（１３）に金属粉末を添加する場合、金属材料をセラック樹脂とロジンとの混合物の含有量が７０〜１００重量％であり、微粒子や粒状の金属（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の含有量が０〜３０重量％であることが好ましい。
【００３９】
請求項５に記載の発明では、基材（１１）と、基材（１１）の上に形成され、基材（１１）側の一面（１２ａ）とは反対側の他面（１２ｂ）に剥離機能を有する剥離層（１２）と、剥離層（１２）の他面（１２ｂ）に塗布されると共に、温度に応じて融解および凝固することによりワーク（３０）を固定するワーク固定剤（１３）とを備えたワーク固定シートを用いた加工方法であって、ワーク固定シートの剥離層（１２）の他面（１２ｂ）からワーク固定剤（１３）を剥離して固定台（４０）の上に載せる工程と、固定台（４０）の上に載せられたワーク固定剤（１３）の上にワーク（３０）を載せた後、ワーク固定剤（１３）を加熱して融解し、溶融したワーク固定剤（１３）を冷却して凝固することで、ワーク固定剤（１３）でワーク（３０）を固定台（４０）に固定する工程と、固定台（４０）に固定されたワーク（３０）を加工する工程と、加工終了後、ワーク（３０）からワーク固定剤（１３）を除去する工程とを含んでいることを特徴とする。
【００４０】
このように、剥離層（１２）からワーク固定剤（１３）を容易に剥離することができ、当該ワーク固定剤（１３）を介してワーク（３０）を固定台（４０）に直接固定することができる。したがって、ワーク（３０）が固定台（４０）に対して移動したりずれたりすることはなく、ワーク（３０）の加工寸法の精度を向上させることができる。
【００４１】
請求項６に記載の発明では、ワーク固定シートのワーク固定剤（１３）の上にワーク（３０）を載せた後、ワーク固定剤（１３）を加熱して溶融し、溶融したワーク固定剤（１３）を冷却して凝固することで、ワーク固定剤（１３）にワーク（３０）を固定する工程と、ワーク固定剤（１３）にワーク（３０）を固定した後、ワーク固定シートの剥離層（１２）の他面（１２ｂ）からワーク固定剤（１３）を剥離する工程と、ワーク（３０）と固定台（４０）との間にワーク固定剤（１３）が配置されるように、ワーク固定剤（１３）にワーク（３０）が固定されたものを固定台（４０）の上に配置し、この後、ワーク固定剤（１３）を加熱して溶融し、溶融したワーク固定剤（１３）を冷却して凝固することで、ワーク固定剤（１３）でワーク（３０）を固定台（４０）に固定する工程と、固定台（４０）に固定されたワーク（３０）を加工する工程と、加工終了後、ワーク（３０）からワーク固定剤（１３）を除去する工程とを含んでいることを特徴とする。
【００４２】
このように、先にワーク固定剤（１３）にワーク（３０）を固定したとしても、ワーク固定シートの剥離層（１２）からワーク固定剤（１３）を容易に剥離することができる。また、ワーク固定剤（１３）を溶融させることでワーク（３０）を固定台（４０）に直接固定することができる。したがって、請求項６に記載のワーク（３０）の固定方法によっても、ワーク（３０）の加工寸法の精度を向上させることができる。
【００４３】
請求項７〜９に記載の発明では、請求項２〜４と同様の特徴を有するワーク固定剤（１３）を用いることができる。
【００４４】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００４６】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について図を参照して説明する。本実施形態で示されるワーク固定シートは、セラミック材料、金属材料、ガラス、Ｓｉウェハ、樹脂材料などの材料を固定するワーク固定剤を備えたものであり、ワーク固定シートからワーク固定剤を剥離して上記材料を固定できるものである。
【００４７】
図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係るワーク固定シートの平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。以下、図１を参照して説明する。
【００４８】
図１（ｂ）に示されるように、ワーク固定シート１０は、基材としてのＰＥＴシート１１と、剥離層１２と、ワーク固定剤１３とを備えて構成されている。
【００４９】
ＰＥＴシート１１は、例えばポリエステル等の樹脂で形成されたシート状のものである。図１（ａ）に示されるように、本実施形態では、ＰＥＴシート１１は長方形状になっており、その長軸方向の長さは例えば１５ｃｍ、幅は例えば１０ｃｍである。また、ＰＥＴシート１１の厚さは例えば０．０３８ｍｍ〜１ｍｍである。ＰＥＴシート１１として、ポリエチルテレフタレートシート、フッ素系樹脂シート、シリコン樹脂シート、ポリエステルシート等を用いることができる。
【００５０】
剥離層１２は、ＰＥＴシート１１に塗布されるものである。剥離層１２のうちＰＥＴシート１１に接触する一面１２ａはＰＥＴシート１１に密着している。また、剥離層１２の一面１２ａに対して反対側の他面１２ｂは剥離機能を有する面になっている。
【００５１】
剥離層１２は、例えばシリコン系樹脂によって形成されている。このシリコン系樹脂の特性により、剥離層１２の他面１２ｂは剥離機能を有している。シリコン系樹脂は、Ｒ１、Ｒ２を１価の炭化水素基としたとき、Ｓｉ（ＯＲ１）４で表される珪素化合物やＲ２Ｓｉ（ＯＲ１）３で表される珪素化合物を指す。剥離層１２の厚さは、例えば２０μｍ〜３０μｍである。
【００５２】
また、ワーク固定剤１３は、温度に応じて融解および凝固するものである。このようなワーク固定剤１３は、パラフィンを主成分とするもので構成され、ワークを固定するものとして用いられる。そして、図１に示されるように、ワーク固定剤１３は、上記剥離層１２の他面１２ｂに均一に塗布されて固化した状態になっている。このようなワーク固定剤１３の厚さは自由に設計可能であり、例えば数μｍ〜数ｍｍである。なお、パラフィンを主成分とするものとは、パラフィンのみで構成されるものも含んでいる。
【００５３】
上述のように、パラフィンを主成分とするワーク固定剤１３の融点は種々あるが、本実施形態では、ワーク固定剤１３の融解開始温度（融点）は５３℃であり、融解終了温度は５５℃〜５８℃のものを用いる。また、ワーク固定剤１３は、溶融して凝固する温度幅が２℃〜５℃になっている。このため、ワーク固定剤１３を加熱する温度をわずか２〜５℃変化させるだけでワーク固定剤１３を容易に融解・凝固させることができる。なお、わずかな温度差でワーク固定剤１３を融解・凝固させるためには、溶融開始温度と溶融終了温度との温度差は２℃であることが好ましい。
【００５４】
したがって、ワーク固定剤１３は、室温（例えば２７℃）にて剥離層１２に凝固して付着した状態になっており、ワーク固定剤１３が融点以上に加熱されると、融点温度からわずか２℃〜５℃の温度が上昇するだけで溶融し、融点以下の温度になると凝固する。
【００５５】
このようなワーク固定剤１３は、ワークを固定する際に剥離層１２から剥離されてワークを固定するために用いられる。すなわち、剥離層１２の他面１２ｂは剥離機能を有する面になっているため、ワーク固定剤１３は剥離層１２の他面１２ｂに付着している状態であり、剥離層１２の他面１２ｂから剥離しやすくなっている。付着には、吸着することも含まれる。
【００５６】
具体的に、「剥離」とは、Ｔ剥離の剥離強度の上限値が０．１Ｎ未満の力で剥がれることである。剥離強度の下限値は、測定器の測定限界にもよるが、１０−３Ｎのオーダーの剥離強度である。Ｔ剥離とは、ワーク固定シート１０を台に貼り付け、剥離層１２からワーク固定剤１３を剥がしていくことであり、Ｔ剥離の剥離強度とは、ワーク固定剤１３を剥離層１２から剥がすために必要な力である。
【００５７】
したがって、ワーク固定剤１３は剥離層１２に付着しているが、０．１Ｎ未満の力で剥離層１２から剥がれる状態となっている。粘着テープの剥離強度は例えば１Ｎを超える力であるから、ワーク固定剤１３が剥離層１２から容易に剥離することがわかる。
【００５８】
例えば、人の手や機械によって剥離層１２からワーク固定剤１３が剥離される。したがって、剥離層１２からワーク固定剤１３を剥離しやすいように、剥離層１２の他面１２ｂ全体にワーク固定剤１３が塗布されているのではなく、図１（ａ）に示されるようにワーク固定剤１３の剥離のために剥離層１２の一部がワーク固定剤１３から露出していることが好ましい。
【００５９】
ＰＥＴシート１１に対する剥離層１２のＴ剥離強度は０．２Ｎを超える値となっており、剥離層１２からワーク固定剤１３を剥離する力ではＰＥＴシート１１から剥離層１２を剥離することができない強さでＰＥＴシート１１と剥離層１２とがくっついている。以上が、本実施形態に係るワーク固定シート１０の構成である。
【００６０】
次に、上記ワーク固定シート１０の製造方法について図を参照して説明する。図２は、ワーク固定シート１０を製造する様子を示した図である。
【００６１】
まず、ワーク固定シート１０を製造する塗布装置２０について説明する。図２に示されるように塗布装置２０は、送り出し用ロール２１および巻き取り用ロール２２と、各ロール２１、２２を駆動する図示しないロール駆動装置と、ＰＥＴシート１１上の剥離層１２に溶融したワーク固定剤１３を塗布するノズル２３と、そのノズル２３を駆動する図示しないノズル駆動装置と、ノズル２３から噴射された溶融したワーク固定剤１３をせき止めると共に、ワーク固定剤１３の厚さを調整するための堤部材２４と、その堤部材２４の高さ調整を行う図示しない高さ調整装置と、を備えて構成されている。
【００６２】
続いて、厚さが例えば０．０３８μｍのＰＥＴシート１１を用意し、このＰＥＴシート１１の上に剥離層１２が塗布されたものを用意する。具体的には、シロキサン結合を骨格とした高分子有機化合物を用い、これを有機溶剤で溶かした状態で粘度が１０〜１００００ｍＰａ・ｓのものをＰＥＴシート１１の表面に塗布する。その後、乾燥させることで、剥離層１２を形成する。
【００６３】
なお、シリコン系樹脂とＰＥＴシート１１との表面の接着強度を向上させるため、ＰＥＴシート１１の表面を荒らすこともできる。具体的には、ＰＥＴシート１１の表面を例えば＃１０〜１０００番のサンドペーパで横方向、縦方向、十文字、斜め十文字、波の形、３方向の重ね形などに荒らし、当該表面にシリコン系樹脂を塗布することができる。これにより、ＰＥＴシート１１と剥離層１２との密着性を向上させて接着強度を向上させることができる。
【００６４】
そして、剥離層１２が塗布されたＰＥＴシート１１を送り出し用ロール２１に巻き付ける。この送り出し用ロール２１を塗布装置２０に設置し、図２に示されるように、ＰＥＴシート１１を巻き取り用ロール２２に巻き付ける。
【００６５】
また、剥離層１２の他面１２ｂと堤部材２４の先端との隙間がワーク固定剤１３の厚さとなるため、堤部材２４の高さがＰＥＴシート１１から一定の高さとなるように調整する。この堤部材２４の高さを調整することで、数μｍ〜数ｍｍの厚さのワーク固定剤１３を塗布することができる。
【００６６】
そして、溶融したワーク固定剤１３を塗布する剥離層１２の表面温度を融点以上に加熱しておく。例えば、塗布時のワーク固定剤１３の温度は、溶解温度＋10℃の温度に加熱する。本実施形態では、ワーク固定剤１３の融点は５３℃であるので、約６３〜６５℃にワーク固定剤１３を加熱して液状にする。
【００６７】
なお、送り出し用ロール２１を例えばワーク固定剤１３の融点より高い温度（本実施形態では５３℃以上）に加熱しておいても良い。また、溶融したワーク固定剤１３を凝固させて巻き取り用ロール２２にてＰＥＴシート１１を巻き取るようにするため、巻き取り用ロール２２側をワーク固定剤１３の融点より低くなるようにしておくことが好ましい。
【００６８】
この後、各ロール２１、２２を駆動すると、ＰＥＴシート１１が送り出し用ロール２１から送り出されると共に、巻き取り用ロール２２に巻き取られてゆく。このような状態で、ワーク固定剤１３を融点以上に加熱し、ワーク固定剤１３をノズル２３から剥離層１２の他面１２ｂに噴射する。
【００６９】
剥離層１２上に噴射された溶融したワーク固定剤１３は、送り出されるＰＥＴシート１１と共に移動する。このとき、ワーク固定剤１３は堤部材２４でせき止められるため、剥離層１２の他面１２ｂと堤部材２４の先端との間の厚さでＰＥＴシート１１と共に移動してゆく。このようにして、ワーク固定剤１３を剥離層１２の他面１２ｂに塗布する。
【００７０】
ＰＥＴシート１１をロール状に巻き取る場合のワーク固定剤１３の厚さは、０．０１〜０．３ｍｍ程度であることが好ましい。また、ＰＥＴシート１１をロール状に巻いた状態でも、ワーク固定剤１３の表面には粘性が無いので、ワーク固定剤１３の表面の保護が不要であるというメリットがある。
【００７１】
そして、溶融したワーク固定剤１３は、剥離層１２上において、巻き取り用ロール２２に巻き取られる前に融点以下に冷やされて凝固し、ＰＥＴシート１１と共に巻き取り用ロール２２に巻き取られる。上述のように、ワーク固定剤１３は、わずか２℃〜５℃の範囲で融解・凝固の状態がシャープに変化するため、溶融したワーク固定剤１３を冷却して固化させる装置を必要とせず、ＰＥＴシート１１を巻き取る過程で融点以下になり凝固する。すなわち、ワーク固定剤１３を噴射する側のみ（ノズル２３側のみ）をワーク固定剤１３の融点以上に加熱しておくだけで良い。また、凝固したワーク固定剤１３は剥離層１２に付着しているため、巻き取り用ロール２２にてＰＥＴシート１１と共に巻き取られたとしても、剥離層１２から剥離することはない。さらに、ワーク固定剤１３には粘着性はないので、巻き取り用ロール２２にＰＥＴシート１１を巻いたとしても、ワーク固定剤１３がＰＥＴシート１１に張り付いてしまうこともない。
【００７２】
続いて、巻き取り用ロール２２に巻かれたＰＥＴシート１１を一定間隔で切断することにより、図１に示されるワーク固定シート１０が完成する。
【００７３】
次に、上記のようにして製造したワーク固定シート１０を用いて、ワークを固定する方法および加工方法について図を参照して説明する。図３は、ワーク固定シート１０にワークを固定すると共に、ワークを加工する様子を示した図である。
【００７４】
まず、ワーク３０として、セラミック材料、金属材料、ガラス、Ｓｉウェハ、樹脂材料の材料が採用される。具体的には、以下のものが挙げられる。
（１）セラミックコンデンサ、ＰＺＴ、ＺｒＯ２などのセラミックの生シート
（２）セラミックコンデンサ、ＰＺＴ、ＺｒＯ２、碍子、瓦、レンガ、タイルなどのセラミックの焼結製品
（３）アルミニウム金属、銅、ニッケル、鉄鋼、ステンレス材料、真鍮などの金属材料の板、箔、ブロック
（４）フェライト、ＮｄＦｅ、ＳｍＣｏなどの磁性材料
（５）Ｓｉ、ＧａＡｓ、レーザー材料などの半導体材料
（６）ベークライト、アクリル樹脂、ポリカ樹脂、塩化ビニル、ナイロン、レーヨン、フッ素樹脂、シリコン樹脂以外の材料などの樹脂材料
（７）石英ガラス、サファイヤガラスなどガラス材料
まず、図３（ａ）に示す工程では、固定台４０の上にワーク固定剤１３を載せる。具体的には、図１に示されるワーク固定剤１３が剥離層１２に付着したままのワーク固定シート１０を、ワーク固定剤１３が固定台４０と剥離層１２とで挟まれるように固定台４０に載せ、固定台４０をワーク固定剤１３の融点以上に加熱した後、固定台４０を冷却する。こうして、ワーク固定剤１３を固定台４０に接合する。そして、人の手や機械によってＰＥＴシート１１を固定台４０から離すように持ち上げることで、剥離層１２からワーク固定剤１３を剥離する。これにより、固定台４０にワーク固定剤１３を載せる。
【００７５】
次に、図３（ｂ）に示す工程では、ワーク３０を固定台４０に固定する。このため、再び固定台４０をワーク固定剤１３の融点以上に加熱する。これにより、ワーク固定剤１３は軟化または溶液状になり、ワーク３０と固定台４０との隙間に流れ込む。そして、固定台４０を室温に冷却する。これにより、ワーク固定剤１３が固化するため、ワーク３０を固定台４０に固定することができる。
【００７６】
続いて、図３（ｃ）に示す工程では、ワーク３０を加工する。本実施形態では、砥石５０を用いてワーク３０を切断加工する。このとき、ワーク３０と共に、ワーク固定剤１３も切断する。
【００７７】
この後、ワーク３０からワーク固定剤１３を除去する工程を行う。本実施形態のように、ワーク固定剤１３がパラフィンを主成分とするものである場合、固定台４０をワーク固定剤１３の融点以上に加熱してワーク固定剤１３を溶融し、ワーク３０の付着したワーク固定剤１３を流して取り除く。ワーク３０にワーク固定剤１３が微量残った場合、ワーク３０にお湯をかけるかまたは有機溶剤で洗浄することで完全に取り除く。こうして、加工が終了する。
【００７８】
当該加工方法でワーク３０を固定することにより、ワーク３０と固定台４０との間のワーク固定剤１３の厚さを一定に保つことができ、かつ、ワーク固定剤１３の間の接着強度を均一にすることができるので、ワーク３０の切断面を均一に仕上げることができる。
【００７９】
以上説明したように、本実施形態では、ワーク固定シートにおいて、剥離機能を有する剥離層１２の他面１２ｂにワーク固定剤１３を付着させていることが特徴となっている。また、剥離層１２の他面１２ｂからワーク固定剤１３を剥離してワーク３０の加工に用いることが特徴となっている。
【００８０】
このように、ワーク固定剤１３は剥離層１２から剥離されるものであるが、剥離されるまでは剥離層１２に付着させておくことができるので、ワーク固定剤１３の管理を容易にすることができる。また、剥離層１２からワーク固定剤１３を容易に剥離することができるので、ワーク固定剤１３を容易に取り扱うことができる。
【００８１】
そして、ワーク（３０）と固定台４０との間にワーク固定剤（１３）を配置し、ワーク固定剤１３の溶融及び凝固によってワーク（３０）を固定台（４０）に直接固定することができる。これにより、ワーク（３０）を固定台（４０）に強固に固定することができ、ワーク３０が固定台４０から外れたり、固定台４０に対するワーク３０の位置がずれたりすることはないので、ワーク３０を加工する際の加工寸法の精度を向上させることができる。
【００８２】
（第２実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。上記第１実施形態では、ワーク固定剤１３はパラフィンを主成分とするものであったが、本実施形態では、ワーク固定剤１３はセラック樹脂とロジンとの混合物であることが特徴となっている。
【００８３】
セラック樹脂とロジンとの混合物によるワーク固定剤１３の剥離層１２への塗布方法は第１実施形態と同様である。また、有機溶剤に上記混合物を溶解させて剥離層１２に塗布する場合、塗布方法によって適する粘度に合わせる。例えば、セラック樹脂：ロジン＝０．２〜０．８：０．８〜０．２の場合であって、有機溶剤として例えばエチルアルコールを用いる場合、セラック樹脂とロジンとの混合物：有機材料＝１：０．５〜１０の割合で混合攪拌させると、室温付近で液状になり、室温付近で剥離層１２に塗布することが可能である。塗布後、有機溶剤を乾燥して放出させると、固化されたワーク固定剤１３を得ることができる。
【００８４】
ここで、セラック樹脂とロジンとの混合割合は、多くの割合で混ぜることが可能である。ロジンの量が多くなると粘性が高くなり、「べたつき感」が発生する。また、ロジンの量が少ないと、剥離層１２に塗布しにくくなる。好ましくは、セラック樹脂：ロジン＝０．２〜０．８：０．８〜０．２である。
【００８５】
このようなセラック樹脂とロジンとの混合物によるワーク固定剤１３は、ワーク３０を強固に固定することができる。ワーク３０としては、アルミニウム金属やステンレス金属の場合で、金属材料の表面が有機溶剤によって十分洗浄され、かつ、さびなどが無い状態のものを加工することが好ましい。固定したいワーク３０やワーク固定剤１３の厚さによって異なるが、ワーク固定剤１３の厚さが０．１ｍｍの場合、２０ｍｍのＴ剥離計測で５〜５０Ｎの剥離強度を有する。
【００８６】
セラック樹脂とロジンとの混合物は、加熱されると硬化する材料である。そこで、固定台４０からワーク３０の固定を解除するために、有機溶剤を用いる。すなわち有機溶媒にて、ワーク固定剤１３を溶解し溶かしだすことになる。また、メタノール、エチルアルコール、ＩＰＡなどの有機溶剤によって、ワーク３０に微量残ったワーク固定剤１３を簡単に洗浄することができ、ワーク固定剤１３をワーク３０から完全に取り除くことができる。
【００８７】
以上のように、ワーク固定剤１３としてセラック樹脂とロジンとの混合物を用いることができる。
【００８８】
（第３実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。上記第１実施形態では、先にワーク固定剤１３を固定台４０に配置した後、ワーク固定剤１３の上にワーク３０を載せてワーク３０を固定していたが、本実施形態では、ワーク固定剤１３を剥離層１２から剥離する前にワーク固定剤１３にワーク３０を固定することが特徴となっている。
【００８９】
図４は、ワーク固定シート１０にワーク３０を固定すると共に、ワーク３０を加工する様子を示した図である。以下、図４を参照して、ワーク３０を加工する方法について説明する。
【００９０】
図４（ａ）に示す工程では、ワーク固定シート１０において、ワーク固定剤１３の上にワーク３０を載せる。この後、ワーク固定シート１０を加熱してワーク固定剤１３を溶融させると、ワーク固定剤１３がワーク３０と剥離層１２との間に流れ込む。そして、ワーク固定シート１０を冷却することで、ワーク固定剤１３を凝固させて固化させる。これにより、ワーク３０をワーク固定剤１３に固定する。
【００９１】
図４（ｂ）に示す工程では、剥離層１２からワーク固定剤１３を剥離する。例えば、人の手や機械によって、ＰＥＴシート１１および剥離層１２をワーク３０から離れる方向に移動させることで、ワーク固定剤１３から剥離層１２を離す。
【００９２】
図４（ｃ）に示す工程では、ワーク３０を固定台４０に固定する。本工程では、図３（ｂ）に示す工程と同様に、固定台４０を加熱してワーク３０と固定台４０との間のワーク固定剤１３を溶融させ、この後、固定台４０を冷却してワーク固定剤１３を凝固させることでワーク固定剤１３を介してワーク３０を固定台４０に固定する。
【００９３】
図４（ｃ）に示す工程では、図３（ｃ）に示す工程と同様に、砥石５０でワーク３０を加工する。
【００９４】
以上説明したように、ワーク固定剤１３が剥離層１２を介してＰＥＴシート１１に保持された状態でワーク固定剤１３にワーク３０を固定した後、ワーク固定剤１３を介してワーク３０を固定台４０に固定することにより、ワーク３０を加工することができる。
【００９５】
（第４実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。本実施形態では、ワーク固定シート１０において剥離層１２に塗布するワーク固定剤１３の塗布模様がストライプ状になっていることが特徴である。
【００９６】
図５（ａ）は、本発明の第４実施形態に係るワーク固定シートの平面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図５に示されるように、本実施形態におけるワーク固定シート１０において、ワーク固定剤１３は、剥離層１２にストライプ状に塗布されて固化した状態になっている。このようなワーク固定剤１３のストライプの幅は自由に設計可能であり、例えば、幅が０．０５ｍｍ〜数十ｍｍ、間隔が０．１ｍｍ〜数ｍｍの縦方向または横方向で塗布することが好ましい。
【００９７】
図６は、図５に示されるワーク固定シート１０を製造する様子を示した図である。本実施形態では、塗布装置２０において堤部材２４の高さ調整を行う図示しない高さ調整装置が堤部材２４を駆動することにより、例えば一定周期で堤部材２４の先端を剥離層１２に接触させたり遠ざけたりする。これにより、図６に示されるように、剥離層１２の上には、ワーク固定剤１３が塗布された部分と塗布されない部分とが設けられる。したがって、図５に示されるストライプ状のワーク固定剤１３が形成されることとなる。以上のようにして剥離層１２にストライプ状のワーク固定剤１３を形成するができる。
【００９８】
（第５実施形態）
本実施形態では、上記各実施形態と異なる部分についてのみ説明する。上記各実施形態では、塗布装置２０を用いて剥離層１２にワーク３０を塗布していたが、本実施形態では型を用いてワーク３０を剥離層１２に付着させることが特徴となっている。
【００９９】
図７は、本実施形態に係るワーク固定シート１０の製造方法を示した図であり、図１に示されるＡ−Ａ断面図に相当する図である。以下、図７を参照して、ワーク固定シート１０の製造方法について説明する。
【０１００】
図７（ａ）に示す工程では、ＰＥＴシート１１に剥離層１２が塗布されたものを用意し、剥離層１２の上に型６０を載せる。そして、型６０の一部が貫通した開口部６１に粉末状のワーク固定剤１３を充填する。
【０１０１】
続いて、図７（ｂ）に示す工程では、粉末状のワーク固定剤１３を加熱して溶融する。そして、図７（ｃ）に示す工程では、剥離層１２から型６０を取り外す。これにより、図１に示されるワーク固定剤１３が完成する。
【０１０２】
以上説明したように、型６０を用いて剥離層１２にワーク固定剤１３を配置させることができる。
【０１０３】
（他の実施形態）
上記実施形態では、基材としてＰＥＴシート１１を用いることについて説明したが、ＰＥＴシート１１ではなく、他のものを用いても良い。例えば、基材として、和紙や新聞紙等の紙、不織布、ポーラスな布、地球上に放置されたとき、分解し、土などの還元する機能を有する生分解シートを用いることができる。
【０１０４】
上記実施形態では、剥離層１２としてシリコン系樹脂を用いることについて説明したが、剥離層１２にシリコン系樹脂が含まれていれば良い。また、剥離層１２は、例えばシリコン、オルガノシロキサン、テトラフロロエチレン、フッ素系樹脂などによって形成されていても良い。剥離層１２をテトラフロロエチレンで形成する場合、Ｔ剥離の剥離強度の上限値は０．２Ｎ未満である。
【０１０５】
上記実施形態では、塗布装置２０を用いたが、剥離層１２へのワーク固定剤１３の塗布方法については、ブレードコータ法、転写ローラ方式、ダイコータ法などを採用しても良い。
【０１０６】
一方、ワーク固定剤１３を有機溶剤に溶解させて剥離層１２に塗布する方法を採用することもできる。パラフィンやエチレングリコールを有機溶剤に溶解させ、室温付近で液状にした後、室温付近で剥離層１２に塗布することが可能である。塗布後、有機溶剤を乾燥させて放出すると、固化された塗布膜、すなわちワーク固定剤１３を得ることができる。有機材料の溶解量については、塗布方法によって適する粘度に合わせれば良い。例えば、５３℃で溶解するパラフィン材料を用いる場合であって、有機溶剤として例えばエチルアルコールを用いる場合、パラフィン材料：有機材料＝１：０．５〜５の割合とすれば良い。
【０１０７】
上記ワーク固定剤１３はパラフィンを主成分とするものやセラック樹脂とロジンとの混合物の他に、エチレングリコールを主成分とするもので構成されていても構わない。
【０１０８】
ワーク固定剤１３としてセラック樹脂とロジンとの混合物を用いる場合、ワーク３０に付着したワーク固定剤１３を例えばＫＯＨやＮａＯＨなどの強アルカリ水溶液に溶解させて剥離させる方法を採用しても良い。水溶液の温度が高いほど、溶解スピードが速くなるので有効な方法である。
【０１０９】
第５実施形態では、図１に示されるワーク固定シート１０を製造するために型６０の一部が貫通した開口部６１が設けられたものを用いていたが、当該型６０の開口部６１のレイアウトを変更することで、ワーク固定剤１３を様々なパターンにレイアウトすることができる。
【０１１０】
上記各実施形態では、剥離層１２はＰＥＴシート１１の片面に塗布され、ワーク固定剤１３は当該剥離層１２に塗布されているが、ＰＥＴシート１１の両面に剥離層１２を塗布し、各剥離層１２にワーク固定剤１３を塗布しても構わない。
【０１１１】
ワーク固定剤１３のレイアウトとして、図１や図５に示されるものの他に、図８に示されるものでも良い。すなわち、図８（ａ）に示されるように、ワーク固定剤１３がドット状にレイアウトされるものや、図８（ｂ）に示されるように、一定のパターンでレイアウトされるものでも良い。また、図８（ｃ）に示されるように、ワーク固定剤１３が二層で構成され、剥離層１２の上の一層は全面レイアウトとされ、当該一層の上に一定のパターンがレイアウトされたものでも良い。ワーク固定剤１３は二層ではなく、三層以上であっても構わない。このように、ワーク固定剤１３を様々なパターンにレイアウトすることもできる。
【０１１２】
上記各実施形態では、１枚のシート状のワーク固定剤１３を用いてワーク３０を固定する場合について説明したが、複数枚のワーク固定剤１３を用いてワーク３０を固定することもできる。この様子を図９に示す。
【０１１３】
図９（ａ）に示されるように、ワーク３０を２枚のワーク固定剤１３で覆うことができる。また、図９（ｂ）に示されるように、異形のものをワーク固定剤１３で完全に覆うこともできる。このように、複数枚のワーク固定剤１３を用いてワーク３０を固定することにより、固定台４０に対するワーク３０の設置面積が小さい場合や、異形のものを固定台４０に固定する際などに、強固にワーク３０を固定することができる。
【０１１４】
上記各実施形態では、砥石５０でワーク３０を加工する場合について説明したが、これは一例を示すものであって、他の方法によってワーク３０を加工しても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】（ａ）は、本発明の第１実施形態に係るワーク固定シートの平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図２】ワーク固定シートを製造する様子を示した図である。
【図３】ワーク固定シートにワークを固定すると共に、ワークを加工する様子を示した図である。
【図４】第３実施形態において、ワーク固定シートにワークを固定すると共に、ワークを加工する様子を示した図である。
【図５】（ａ）は本発明の第４実施形態に係るワーク固定シートの平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図５に示されるワーク固定シートを製造する様子を示した図である。
【図７】第５実施形態に係るワーク固定シートの製造方法を示した図である。
【図８】他の実施形態において、ワーク固定剤のレイアウトの一例を断面で示した図である。
【図９】他の実施形態において、複数枚のワーク固定剤でワークを覆った様子を示した図である。
【符号の説明】
【０１１６】
１０    ワーク固定シート
１１    ＰＥＴシート
１２    剥離層
１２ａ  剥離層の一面
１２ｂ  剥離層の他面
１３    ワーク固定剤
３０    ワーク
４０    固定台
【図１】
2009148839.tif 000003
【図２】
2009148839.tif 000004
【図３】
2009148839.tif 000005
【図４】
2009148839.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2009148839.tif 000009
【図８】
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【図９】
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