(57)【要約】      （修正有）【課題】入力ＡＣ電圧が変化した場合に変圧用のトランスを変更することなく、立上がり特性が常に同一である一定の設定駆動電圧を出力するＬＤ用電源を提供する。【解決手段】ＡＣ電源２からの入力電圧を整流して直流電圧を出力する一次側整流回路３と、一次側整流回路３から出力された直流電圧に基づいて形成された一次側充電電圧に対して一段目デューティーに基づいてスイッチングを施してパルス電圧を出力する一段目スイッチング素子６と、一段目スイッチング素子６から一次側に入力されるパルス電圧を変圧して二次側に出力するトランス７と、トランス７から入力される二次側パルス電圧を整流する二次側整流回路８と、二次側整流回路８から出力された二次側パルス電圧に基づいて形成された二次側充電電圧に対して二段目デューティーに基づいてスイッチングを施して高出力ＬＤに設定されている設定駆動電圧を出力する二段目スイッチング素子１１とを有する。【選択図】図１
2009253024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
出力電圧が変化するＡＣ電源から入力するＡＣ電圧を用いてレーザダイオードを駆動するためのレーザダイオード用電源であって、
前記ＡＣ電源からの入力電圧を整流して直流電圧を出力する一次側整流回路と、
前記一次側整流回路から出力された前記直流電圧に基づいて形成された一次側充電電圧に対して一段目デューティーに基づいてスイッチングを施してパルス電圧を出力する一段目スイッチング素子と、
前記一段目スイッチング素子から一次側に入力される前記パルス電圧を変圧して二次側に出力するトランスと、
前記トランスから入力される二次側パルス電圧を整流する二次側整流回路と、
前記二次側整流回路から出力された二次側パルス電圧に基づいて形成された二次側充電電圧に対して二段目デューティーに基づいてスイッチングを施してＬＤに設定されている設定駆動電圧を出力する二段目スイッチング素子と
を有することを特徴とするレーザダイオード用電源。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザダイオード用電源を備えることを特徴とするレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザダイオード（以下、「ＬＤ」という）用電源およびこれを用いたレーザ装置に係り、特に、広範囲に変化する入力ＡＣ電圧から高出力のＬＤに対して適正な入力電圧を供給するのに好適なＬＤ用電源およびこれを用いたレーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のレーザ装置においては、高出力化が要望されており、高出力のＬＤを用いることが多い。
【０００３】
この高出力ＬＤを駆動するためのＬＤ用電源としては、電気エネルギの高い高電圧の交流（ＡＣ）を入力源として当該高出力ＬＤが要求する高い直流（ＤＣ）電圧（パルス状のものが多い）を出力するものが提案されている（特許文献１、図１１参照）。
【０００４】
図５はこの種の従来例のＬＤ用電源の一例を示している。
【０００５】
図５のＬＤ用電源１０１においては、ＡＣ電源１０２から入力される１７０〜４００ＶのＡＣ電圧を整流回路１０３によって整流して平滑インダクタ１０４および平滑コンデンサ１０５によって平滑し、当該平滑コンデンサ１０５に一次側充電電圧を貯留する。この一次側充電電圧がスイッチング素子１０６による所定のドューティー比の基でパルス電圧としてトランス１０７の一次側に通電される。このスイッチング素子１０６はＦＥＴ、ＩＧＢＴ等により形成されており、図示しない電源制御回路から信号によりオン・オフ制御される。トランス１０７においては、一次側と二次側とのコイル巻線比に応じた電圧の大きさを有するパルス電圧が二次側に出力される。トランス１０７の二次側巻線の出力電圧はダイオード１０８により整流されて二次側出力電圧として出力される。このダイオード１０８からの二次側出力電圧は平滑用のインダクタ１０９およびコンデンサ１１０に通電されて、コンデンサ１１０に貯留される。このコンデンサ１１０の両端の接続端子１１０ａ、１１０ｂには直列および並列接続されている多数の高出力のＬＤ１１１が接続されており、コンデンサ１１０に貯留されている電圧が、スイッチング素子１０６の動作によって決定されているパルス電圧としてＬＤ１１１に付与されて、当該ＬＤ１１１が発光する。
【０００６】
【特許文献１】特開平０８−１９５６５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図５に示す従来のＬＤ用電源１０１においては、スイッチング素子１０６のデューティー比を同一とすると、ＡＣ電源１０２の入力電圧の大きさが決定（例えば、４００Ｖ）されると、一次側充電電圧の大きさが決定（５４０Ｖ）され、二次側出力電圧の大きさもトランス１０７の一次側と二次側とのコイル巻線比（例えば、２：１）に比例して決定（２７０Ｖ）される。
【０００８】
ところが、高出力ＬＤ１１１には適正に動作するための駆動電圧がそれぞれ設定されており、ＡＣ電源１０２の入力電圧の大きさが変化する場合には、スイッチング素子１０６のデューティー比を対応して変化させて、二次側出力電圧の大きさを高出力ＬＤ１１１の設定駆動電圧の大きさに合わせる必要がある。
【０００９】
例えば、高出力ＬＤ１１１の設定駆動電圧が５０Ｖ、トランス１０７の一次側と二次側とのコイル巻線比が２：１であるとすると、ＡＣ電源１０２の入力電圧の大きさが４００Ｖの場合には、スイッチング素子１０６のデューティー比を約１９％とし、ＡＣ電源１０２の入力電圧の大きさが２００Ｖの場合には、スイッチング素子１０６のデューティー比を約３７％とすることになる。コンデンサ１１０の両端の接続端子１１０ａ、１１０ｂには共に５０Ｖの出力電圧が得られるが、図６の電圧波形に示すように、スイッチング素子１０６のデューティー比が３７％の場合には電圧波形（実線）の立上がりと立ち下がりの変化率は同一であるが、スイッチング素子１０６のデューティー比が１９％の場合には、電圧波形（破線）の立上がりの変化率が急峻であり、立ち下がりの変化率が緩慢である。ＬＤ１１１は入力される駆動電圧の電圧変化率が変化すると、発光特性が変化してしまい、図示しないレーザ媒質によるレーザ発振特性も、変化していまうという不都合があった。
【００１０】
ＡＣ電源１０２の入力電圧の大きさが変化した場合においても、スイッチング素子１０６のデューティー比を同一に維持したまま同一の二次出力電圧を得るためには、トランス１０７の一次側と二次側とのコイル巻線比を入力電圧の変化に対応して変えなければならないという不都合がある。
【００１１】
また、ＡＣ電源１０２の入力電圧の大きさおよびＬＤ電源１１１に設定されている設定駆動電圧に対応してそれぞれ個別のＬＤ用電源をカスタマイズすることも考えられるが、ＬＤ用電源を共通化することができず、コスト高となるという不都合がある。
【００１２】
本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、入力されるＡＣ電圧を制御してＬＤに対して設定されている設定駆動電圧を出力するＬＤ用電源において、入力電圧が変化した場合に変圧用のトランスを変更することなく、立上がり特性が常に同一である一定の設定駆動電圧を出力することができ、入力ＡＣ電圧とＬＤの設定駆動電圧との組合せに対応して共用化することができるＬＤ用電源を提供することを目的とする。
【００１３】
更に、本発明は前記特性を備えたＬＤ用電源を利用したレーザ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前述した目的を達成するため、本発明のＬＤ用電源は、出力電圧が変化するＡＣ電源から入力するＡＣ電圧を用いてレーザダイオードを駆動するためのレーザダイオード用電源であって、前記ＡＣ電源からの入力電圧を整流して直流電圧を出力する一次側整流回路と、前記一次側整流回路から出力された前記直流電圧に基づいて形成された一次側充電電圧に対して一段目デューティーに基づいてスイッチングを施してパルス電圧を出力する一段目スイッチング素子と、前記一段目スイッチング素子から一次側に入力される前記パルス電圧を変圧して二次側に出力するトランスと、前記トランスから入力される二次側パルス電圧を整流する二次側整流回路と、前記二次側整流回路から出力された二次側パルス電圧に基づいて形成された二次側充電電圧に対して二段目デューティーに基づいてスイッチングを施してＬＤに設定されている設定駆動電圧を出力する二段目スイッチング素子とを有することを特徴とする。
【００１５】
本発明の第１の態様のＬＤ用電源によれば、入力されるＡＣ電圧が変化して一次側充電電圧が変化しても、一段目スイッチング素子の一段目デューティーを変化させることによりトランスによって変圧されて形成される二次側充電電圧を常に一定とさせ、二段目スイッチング素子の二段目デューティーを常に一定に維持した状態で前記二次側充電電圧に対するスイッチングを施して高出力ＬＤに対して設定されている設定駆動電圧を供給することができる。これにより、入力されるＡＣ電圧が変化した場合に変圧用のトランスを変更することなく、立上がり特性が常に同一である一定の設定駆動電圧を高出力ＬＤに対して出力することができ、入力ＡＣ電圧とＬＤの設定駆動電圧との組合せに対応してＬＤ用電源を共用化することができる。
【００１６】
本発明のレーザ装置は、前述の第１の態様のＬＤ用電源を備えることを特徴とする。
【００１７】
本発明のレーザ装置によれば、前述の特性を備えたＬＤ用電源によりＬＤを常に適正に動作させて常に適正なレーザ光を発振させることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のＬＤ用電源によれば、入力されるＡＣ電圧が変化した場合に変圧用のトランスを変更することなく、立上がり特性が常に同一である一定の設定駆動電圧をＬＤに対して出力することができ、入力ＡＣ電圧とＬＤの設定駆動電圧との組合せに対応してＬＤ用電源を共用化することができるという優れた効果を奏する。
【００１９】
本発明のレーザ装置によれば、前述の特性を備えたＬＤ用電源によりＬＤを常に適正に動作させて常に適正なレーザ光を発振させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明のＬＤ用電源およびレーザ装置を図面により説明する。
【００２１】
図１は、本発明のＬＤ用電源の一実施形態の回路図を示している。
【００２２】
本実施形態のＬＤ用電源１においては、ＡＣ電源２から出力される１７０〜４４０ＶのＡＣ電圧を入力としている。このＡＣ電源２はレーザ装置の設置場所に供給されているＡＣ電源２の態様により、例えば、２００Ｖ、２４０Ｖ、４００Ｖと電圧が変化することとなり、また単相、３相も設置場所の条件に従うものである。
【００２３】
このＡＣ電源１の出力端子にはダイオードのブリッジ回路等から形成されている一次側整流回路３が接続されている。この一次側整流回路３はＡＣ電圧を整流して直流電圧として出力する。
【００２４】
この一次側整流回路３の両端の出力端子には、平滑回路としての平滑インダクタ４と平滑コンデンサ５とが直列に接続されている。この平滑回路においては、一次側整流回路３から入力された直流電圧を平滑インダクタ４および平滑コンデンサ５によって平滑し、当該平滑コンデンサ５に一次側充電電圧として貯留する。
【００２５】
この平滑回路の平滑コンデンサ５の両端の出力端子には、一次側充電電圧に対して一段目デューティーに基づいてスイッチングを施してパルス電圧を出力する一段目スイッチング素子６が接続されている。この一段目スイッチング素子６は、ＦＥＴ、ＩＧＢＴ等により形成されており、図示しない電源制御回路からの制御信号によりオン・オフ制御される。一方のＦＥＴは、３００ｋＨｚ程度のスイッチング速度で動作して高速スイッチングが必要な場合に用いられ、他の方のＩＧＢＴは５０ｋＨｚ程度のスイッチング速度で動作して高い出力電圧が必要な場合に用いられる。
【００２６】
この一段目スイッチング素子６の２つの出力端子にはトランス７の一次側コイル巻線が接続されている。このトランス７は、一次側と二次側とのコイル巻線比により、一段目スイッチング素子６から一次側のコイル巻線に入力されるパルス電圧を変圧して二次側パルス電圧として二次側のコイル巻線に出力する。
【００２７】
このトランス７の二次側コイル巻線の両端の出力端子には二次側整流回路８を構成する２個のダイオード８ａ、８ｂのそれぞれのアノードが接続されており、これらの２個のダイオード８ａ、８ｂのそれぞれのカソードが互いに接続されて出力端子８ｃとされている。この出力端子８ｃには２個のダイオード８ａ、８ｂによってトランス７から出力される二次側パルス電圧を整流した状態のパルス電圧が出力される。
【００２８】
この出力端子８ｃとトランス７の二次側コイル巻線の中間点との間には平滑回路を構成するインダクタ９とコンデンサ１０とが直列に接続される。この平滑回路においては、二次側整流回路８から入力された二次側パルス電圧をインダクタ９およびコンデンサ１０によって平滑し、当該コンデンサ１０に二次側充電電圧として貯留する。
【００２９】
この平滑回路のコンデンサ１０の両端の出力端子には、二次側充電電圧に対して二段目デューティーに基づいてスイッチングを施して高出力ＬＤ１５に設定されている設定駆動電圧に等しいパルス電圧を出力する二段目スイッチング素子１１とダイオード１２とが直列に接続されている。この二段目スイッチング素子１１は、一段目スイッチング素子６と同様にＦＥＴ、ＩＧＢＴ等により形成されており、図示しない電源制御回路からの制御信号によりオン・オフ制御される。
【００３０】
このダイオード１２の両端の出力端子には、平滑回路としてのインダクタ１３とコンデンサ１４が直列に接続されている。この平滑回路においては、二次側スイッチング素子１３から入力されたパルス電圧をインダクタ１３およびコンデンサ１４によって平滑し、当該コンデンサ１４に最終出力電圧として貯留する。
【００３１】
このコンデンサ１４の両端の接続端子１４ａ、１４ｂには、直列および並列接続されている多数のＬＤ１５が接続されており、コンデンサ１４に貯留されている電圧が、二段目スイッチング素子１１の動作によって決定されているパルス電圧としてＬＤ１５に付与されて、当該ＬＤ１５が発光するように形成されている。
【００３２】
次に、本実施形態のＬＤ用電源１の作用を図１から図３について説明する。
【００３３】
１）  動作条件
ＬＤ１５の設定駆動電圧が５０Ｖ、その上段の二段目スイッチング素子１１の二段目デューティーが５０％、その上段のトランス７の一次側と二次側とのコイル巻線比が１：１であり、ＡＣ電源２の出力電圧が４００Ｖと２００Ｖに変化するものとする。
【００３４】
２）  ＡＣ電源２の出力電圧が４００Ｖの場合の動作
二段目スイッチング素子１１の二段目デューティーが５０％で高出力ＬＤ１５の設定駆動電圧の５０Ｖを二段目スイッチング素子１１の最終出力電圧として得るためには、コンデンサ１０の両端の出力端子間の二次側充電電圧の大きさを１００Ｖとする必要がある。
【００３５】
１００Ｖの二次側充電電圧を得るためには、トランス７の一次側と二次側とのコイル巻線比が１：１であるので、その上段の一段目スイッチング素子６の一段目デューティーを１９％とする必要がある。
【００３６】
そこで一段目スイッチング素子６の一段目デューティーを１９％とする制御信号を図示しない制御装置より一段目スイッチング素子６の各ゲートに送付して動作させるように設定する。
【００３７】
続いて、ＡＣ電源２から４００ＶのＡＣ電圧出力すると、一次側整流回路３によって整流され、その直流電圧が平滑インダクタ４および平滑コンデンサ５によって平滑されて当該平滑コンデンサ５に５４０Ｖの一次側充電電圧が貯留される。続いて、この５４０Ｖの一次側充電電圧が一段目スイッチング素子６による２５％のデユーティー比の基でスイッチング処理されてトランス７の一次側のコイル巻線に通電される。続いて、トランス７においては、一次側と二次側とのコイル巻線比１：１に応じた大きさの電圧（５４０Ｖ、図２（ａ）参照）を有するパルス電圧が二次側に出力される。トランス７の二次側コイル巻線の出力電圧は二次側整流回路８において整流され二次側出力電圧として出力され、続いてその二次側出力電圧は平滑用のインダクタ９およびコンデンサ１０に通電されて、一段目スイッチング素子６の１９％の一段目デューティーで処理された内容の１００Ｖ（図２（ｂ）参照）の二次側充電電圧として貯留される。続いてコンデンサ１０から出力される二次側充電電圧に対して二段目スイッチング素子１１が５０％の二段目デューティーに基づいてスイッチングを施して高出力ＬＤ１５に設定されている設定駆動電圧に等しい１００Ｖ、デューティ５０％（図２（ｃ）参照）のパルス電圧を出力する。続いてその設定駆動電圧に等しい１００Ｖ、デューティ５０％のパルス電圧は平滑用のインダクタ１３とコンデンサ１４に通電されて、当該コンデンサ１４に最終出力電圧として貯留される。このコンデンサ１４に貯留されている電圧が、パルス電圧として高出力ＬＤ１５に付与されて、当該高出力ＬＤ１５が発光する。
【００３８】
３）  ＡＣ電源２の出力電圧が２００Ｖの場合の動作
二段目スイッチング素子１１の二段目デューティーが５０％で高出力ＬＤ１５の設定駆動電圧の５０Ｖを二段目スイッチング素子１１の最終出力電圧として得るためには、コンデンサ１０の両端の出力端子間の二次側充電電圧の大きさを１００Ｖとする必要がある。
【００３９】
１００Ｖの二次側充電電圧を得るためには、トランス７の一次側と二次側とのコイル巻線比が１：１であるので、その上段の一段目スイッチング素子６の一段目デューティーを３７％とする必要がある。
【００４０】
そこで一段目スイッチング素子６の一段目デューティーを３７％とする制御信号を図示しない制御装置より一段目スイッチング素子６の各ゲートに送付して動作させるように設定する。
【００４１】
続いて、ＡＣ電源２から２００ＶのＡＣ電圧出力すると、一次側整流回路３によって整流され、その直流電圧が平滑インダクタ４および平滑コンデンサ５によって平滑されて当該平滑コンデンサ５に２７０Ｖの一次側充電電圧が貯留される。続いて、この２７０Ｖの一次側充電電圧が一段目スイッチング素子６による３７％のデユーティー比の基でスイッチング処理されてトランス７の一次側のコイル巻線に通電される。続いて、トランス７においては、一次側と二次側とのコイル巻線比１：１に応じた大きさの電圧（２７０Ｖ、図３（ａ）参照）を有するパルス電圧が二次側に出力される。トランス７の二次側コイル巻線の出力電圧は二次側整流回路８において整流され二次側出力電圧として出力され、続いてその二次側出力電圧は平滑用のインダクタ９およびコンデンサ１０に通電されて、一段目スイッチング素子６の３７％の一段目デューティーで処理された内容の１００Ｖ（図３（ｂ）参照）の二次側充電電圧として貯留される。続いてコンデンサ１０から出力される二次側充電電圧に対して二段目スイッチング素子１１が５０％の二段目デューティーに基づいてスイッチングを施して高出力ＬＤ１５に設定されている設定駆動電圧に等しい１００Ｖ、デューティ５０％（図３（ｃ）参照）のパルス電圧を出力する。続いてその設定駆動電圧に等しい１００Ｖ、デューティ５０％のパルス電圧は平滑用のインダクタ１３とコンデンサ１４に通電されて、当該コンデンサ１４に最終出力電圧として貯留される。このコンデンサ１４に貯留されている電圧が、パルス電圧として高出力ＬＤ１５に付与されて、当該ＬＤ１５が発光する。
【００４２】
４）  効果
このように本実施形態のＬＤ用電源１によれば、入力されるＡＣ電圧が４００Ｖと２００Ｖとに変化して一次側充電電圧が変化しても、一段目スイッチング素子６の一段目デューティーを１９％と３７％とに変化させることにより、トランス７によって変圧されて形成される二次側充電電圧を常に一定（１００Ｖ）とさせ、二段目スイッチング素子１１の二段目デューティーを常に一定（５０％）に維持した状態で二次側充電電圧に対するスイッチングを施して高出力ＬＤ１５に対して設定されている設定駆動電圧を供給することができる。これにより、入力されるＡＣ電圧が変化した場合に変圧用のトランス７を変更することなく、立上がり特性が常に同一である一定の設定駆動電圧をＬＤ１５に対して出力することができ、入力ＡＣ電圧とＬＤ１５の設定駆動電圧との組合せに対応してＬＤ用電源１を共用化することができる。
【００４３】
図４は前述の実施形態のＬＤ用電源１を搭載したレーザ装置２１の一実施形態を示している。
【００４４】
本実施形態のレーザ装置２１は、図４に示すように、レーザ光の進行方向において最上流にレーザ発振部として配設され、下流へ順に配設された光アイソレータ２２、入射ユニット２３、伝送用光ファイバ２４、出射ユニット２５および加工テーブル２６とともに、レーザ加工装置２７を構成している。
【００４５】
レーザ装置２１は、ファイバレーザ発振器３１およびＬＤ用電源１を有しており、このＬＤ用電源１として、前述の本実施形態のＬＤ用電源１が配設されている。
【００４６】
ファイバレーザ発振器３１は、電気光学励起部に配設されたＬＤ４０と共振器を備える。共振器は、一対の共振ミラー３６、３８と、その間に配設された一対の光学レンズ４２、４４や発振ファイバ３２等の要素とからなる。発振ファイバ３２は、コアおよびクラッドからなり、コアを活性媒体とし、クラッドを励起用レーザ光ＭＢの伝播光路としている。また、共振器の下流側には、折り返しミラー４６、レーザ吸収体４８、ビームスプリッタ５０、集光レンズ５４、ＰＤ（フォトダイオード）５２を有する。共振ミラー３６、３８および折り返しミラー４６は部分反射ミラーである。
【００４７】
ビームスプリッタ５０は、ファイバレーザ光ＦＢの一部（たとえば１％）を所定の方向に反射させるミラーである。ＰＤ５２は、ビームスプリッタ５０による反射光の光路上に配設されている。集光レンズ５４は、ビームスプリッタ５０による反射光の光路上であってビームスプリッタ５０とＰＤ５２との間に配置されている。
【００４８】
次に、このレーザ装置２１の作用について説明する。
【００４９】
レーザ装置２１のＬＤ用電源１からファイバレーザ発振器３１のＬＤ４０に励起電流が供給されると、ＬＤ４０はポンピング用の励起用レーザ光ＭＢを発振する。ＬＤ４０から励起用レーザ光ＭＢが照射されると、共振ミラー３６は、ＬＤ４０側から入射した励起用レーザ光ＭＢを透過させるとともに、発振ファイバ３２側から入射した発振光線を全反射する。光学レンズ４２は励起用レーザ光ＭＢを発振ファイバ３２の一端面に集光入射させる。また、光学レンズ４４は、発振ファイバ３２の他端面から放出されてきた発振光線を平行光にコリメートする。
【００５０】
発振ファイバ３２の一端面に入射した励起用レーザ光ＭＢは、クラッド外周界面の全反射によって閉じ込められながら発振ファイバ３２の内部を軸方向に伝搬し、その伝搬中にコアを何度も横切ることによってコアのイオンを光励起する。これにより、コアの両端面から軸方向に所定の波長の発振光線が放出される。この発振光線が共振ミラー３６、３８の間を何度も行き来することによって共振増幅され、共振ミラー３８を透過したときに所定の波長のファイバレーザ光ＦＢが得られる。
【００５１】
共振ミラー３８より出力されたファイバレーザ光ＦＢは、折り返しミラー４６をまっすぐ透過し、ビームスプリッタ５０を通ってから光アイソレータ２２に入射する。一方、所定の波長のファイバレーザ光ＦＢを得る前に励起用レーザ光ＭＢが光学レンズ４４および共振ミラー３８を透過した場合、折り返しミラー４６によってレーザ吸収体４８の方向に折り返される。ビームスプリッタ５０は、入射したファイバレーザ光ＦＢの一部、たとえば１％、をフォトダイオード（ＰＤ）５２側に反射する。集光レンズ５４は反射されたファイバレーザ光ＦＢを集光し、フォトダイオード（ＰＤ）５２は反射したファイバレーザ光ＦＢを光電変換してレーザ出力の電気信号を出力する。この電気信号はファイバーレーザ光ＦＢの強さを一定に保つためのフィードバックとしてＬＤ用電源１に送られる。
【００５２】
そして、このように構成され、作用するレーザ装置２１において、その高出力のＬＤ用電源１として前述の実施形態の高出力のＬＤ用電源１を採用することで、高出力のＬＤ用電源１に対して入力されるＡＣ電圧が変化した場合においても、前述の特性を備えたＬＤ用電源１によりＬＤ１５を常に適正に動作させて常に適正なレーザ光を発振させることができる。
【００５３】
なお、本発明は、前述した実施形態などに限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明のＬＤ用電源の１実施形態を示す回路図
【図２】ＡＣ電圧を４００Ｖとした場合の回路構成各部の電圧特性を示す波形図であり、（ａ）はトランスを経た一次側の出力電圧を示し、（ｂ）は二次側充電電圧を示し、（ｃ）は二段目スイッチング素子出力電圧示す。
【図３】ＡＣ電圧を２００Ｖとした場合の回路構成各部の電圧特性を示す波形図であり、（ａ）はトランスを経た一次側の出力電圧を示し、（ｂ）は二次側充電電圧を示し、（ｃ）は二段目スイッチング素子出力電圧示す。
【図４】本発明の高出力ＬＤ電源を用いたレーザ装置の１実施形態を示すブロック図
【図５】従来の高出力ＬＤ電源の１例を示す回路図
【図６】従来の高出力ＬＤ電源の出力電圧の波形を示す線図
【符号の説明】
【００５５】
１  ＬＤ用電源
２  ＡＣ電源
３  一次側整流回路
６  一段目スイッチング素子
７  トランス
８  二次側整流回路
１１  二段目スイッチング素子
１５  高出力ＬＤ
２１  レーザ装置
【図１】
2009253024.tif 000003
【図２】
2009253024.tif 000004
【図３】
2009253024.tif 000005
【図４】
2009253024.tif 000006
【図５】
2009253024.tif 000007
【図６】
2009253024.tif 000008