(57)【要約】 【課題】コンパクトな構成で精密な温度調整を実現する。【解決手段】エアダクト（供給経路）側の空間を各部屋１０ａ〜１０ｃ及び空間３０に分け、各部屋１０ａ〜１０ｃに送風器３、加熱器４，５、冷却器８を設ける。各部屋１０ａ〜１０ｃ及び空間３０は、隣接する部屋１０又は空間３０と、吸排気口２０ａ〜２０ｃを介して繋がっている。吸排気口２０ａ〜２０ｃは、空気の流れが一本道（基本方向Ａ）にならないような位置に設けられており、空気は例えばジグザグに流れ、また攪拌されながら、上流から下流へと流れていく。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度調整対象空間と、該温度調整対象空間または外部から流入した空気を温度調整して該温度調整対象空間へ流出させる為の温度調整部とからなる精密温調システムにおいて、
前記温度調整部は、
前記空気の供給経路を分割する複数の温調部屋と、
該各温調部屋間に設けられ、上流側の温調部屋の空気を下流側の温調部屋へと流入させる吸排気口と、
最上流の前記温調部屋に設置され、前記温度調整対象空間または外部から流入する空気を冷却又は加熱する冷却器又は加熱器と、
最上流以外の前記温調部屋の少なくとも何れかに設置され、上流の前記温調部屋から流入する空気を冷却又は加熱する冷却器又は加熱器と、
前記加熱器及び冷却器に設けられる送風器と、
前記各吸排気口から流出する空気の温度が所定の設定温度となるように前記冷却器及び加熱器を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする精密温調システム。
【請求項２】
最下流の前記温調部屋と前記温度調整対象空間との間には、該温度調整対象空間の平面に沿って吹き出し口が複数設けられ、
前記各吹き出し口毎に加熱器又は冷却器が設けられ、
該加熱器又は冷却器は、個別に温調制御が行われることを特徴とする請求項１記載の精密温調システム。
【請求項３】
少なくとも一部の前記温調部屋に設けられている吸排気口は、各温調部屋内での空気の流れる距離が最短とはならないような位置に設けられることを特徴とする請求項１または２記載の精密温調システム。
【請求項４】
前記温調部屋の形状は略直方体であり、
前記吸排気口の吸気側と排気側とは該直方体の長手方向において、相対する面の離れた位置に設けられることを特徴とする請求項３記載の精密温調システム。
【請求項５】
少なくとも一部の前記温調部屋に設けられている送風器は、前記吸排気口から流入する空気が前記温調部屋内で攪拌される方向に送風を行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載の精密温調システム。
【請求項６】
前記吸排気口は、開口率が可変であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載の精密温調システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密温調システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場等で用いられるクリーンルーム等においては、作業環境の条件が厳しく求められる。この条件としては例えば、室温管理・清浄度の維持・静粛性(振動の無い空間)等が挙げられる。室内の温度管理に関しては、空調設備による高精度で一定な温度管理が要求されている。
【０００３】
これに対して、例えば特許文献１，２に記載の従来技術が知られている。
特許文献１には、加熱または冷却制御された空気を、１基または直列に多段に配置した複数基の温度変動吸収ユニットに通過させることで、供給空気内の空間温度分布を斉一にし、精密に温度制御することができる空調システムが提案されている。特許文献１における図１には、３基の温度変動吸収ユニットを直列に設けた構成が開示されており、これによって気流の温度変動幅を徐々に小さくしており、精密な温度調整がなされている。
【０００４】
また、特許文献２においても、その図３に示すように、冷却器と複数の加熱器（第１の加熱器、第２の加熱器）が直列に配置された構成が開示されている。精密環境チャンバ室内の空気は、吸気ダクトからエアダクトに吸引され、冷却器によって冷却された後、まず第１の加熱器によって要求温度の近傍まで加熱され、更に第２の加熱器によって要求温度まで加熱される。第２の加熱器では制御熱量の変動が少なく制御が行い易くなっている。
【特許文献１】特開２００７−３１０７号公報
【特許文献２】特開２００４−１２５３４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献１，２の従来技術では、温度変動吸収ユニットあるいは加熱器等を複数個直列に配置することで、精密な温度調整を実現している。
しかしながら、まだ改善の余地が残っている。すなわち、ここで、加熱器によって加熱された直後の空気の温度は均一ではない。しかし、ある程度の距離を流れることで、次第に均一状態へと近づいていく。上記特許文献１、２等の従来技術では、複数の温度変動吸収ユニットあるいは複数の加熱器が１本のダクト内に直列に設けられた構成であり、ダクトを長くすることで加熱後の空気が流れる距離を長くすれば、温度をほぼ均一にすることは可能であるが、この様な構成では装置が大型化してしまう。よって、この様に大型化することなく、コンパクトな構成かつ精密な温度調整を実現できるようにすることが望まれる。
【０００６】
本発明の課題は、コンパクトな構成かつ精密な温度調整を実現できる精密温調システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の精密温調システムは、温度調整対象空間と、該温度調整対象空間または外部から流入した空気を温度調整して該温度調整対象空間へ流出させる為の温度調整部とからなる精密温調システムにおいて、前記温度調整部は、前記空気の供給経路を分割する複数の温調部屋と、該各温調部屋間に設けられ、上流側の温調部屋の空気を下流側の温調部屋へ
と流入させる吸排気口と、最上流の前記温調部屋に設置され、前記温度調整対象空間または外部から流入する空気を冷却又は加熱する冷却器又は加熱器と、最上流以外の前記温調部屋の少なくとも何れかに設置され、上流の前記温調部屋から流入する空気を冷却又は加熱する冷却器又は加熱器と、前記加熱器及び冷却器に設けられる送風器と、前記各吸排気口から流出する空気の温度が所定の設定温度となるように前記冷却器及び加熱器を制御する制御手段とを有する。
【０００８】
空気の温度が所定の設定温度となるように冷却器や加熱器を操作し段階的に精密に制御することで、特に最終段（最下流）において精密な温度調整が行い易くなることに加えて、空気の供給経路の空間を、従来のように一本道とすることなく、複数の温調部屋より成る構成とすることで、空気温度を均一化し易くできる。
【０００９】
例えば、各温調部屋内で空気が温調部屋の内壁に突き当たる等して攪拌されることで、空気温度を均一化し易くできる。また、長いダクトを用いないコンパクトな構成でも、空気が流れる距離を長くできる。例えば、前記各吸排気口は、各温調部屋内での空気の流れる方向が上流側から下流側へ向かう方向である基本方向と略直交する方向を含むものとなるような位置に設けることで、従来のように基本方向へと一本道に流れる場合に比べて、空気が流れる距離を長くできる。少なくとも一部の各温調空間内では、空気の流れる距離が最短とはならないような位置に設けられ、例えば、各温調空間の形状が略直方体である場合、各温調空間における吸排気口の吸気側と排気側とは、該直方体の長手方向において、相対する面の離れた位置に設けられる。
【００１０】
また、上記構成の精密温調システムにおいて、例えば、最下流の前記温調部屋と前記温度調整対象空間との間には、該温度調整対象空間の平面に沿って吹き出し口が複数設けられ、前記各吹き出し口毎に加熱器又は冷却器が設けられ、該加熱器又は冷却器は、個別に温調制御が行われる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の精密温調システムによれば、コンパクトな構成かつ精密な温度調整を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１、図２は、本例の精密温調システムの概略構成図であり、図１は斜視透過図、図２は平面的な模式図である。図１では斜め上部から見た全体の構成と室内の空気の流れを説明し、図２では図１を平面的に模式化して示している。尚、図２は図１を模式化して平面に表現した関係上、各部位の配置関係を相対的に描画しており、実際の設置位置を表したものでは無い。
【００１３】
図１、図２において、クリーンルーム２は、精密温調システム１によって精密な温度調整を行う対象となる空間である。この様な空間は、クリーンルームに限らないが、ここではクリーンルームを例にする。
【００１４】
クリーンルーム２内の空気は、不図示の吸気ダクトから吸気ダクト７を経て、エアダクト（供給経路）内に吸引される。具体的には、吸気口９から流入した空気と混合してから、冷却性能の高い水冷による冷却器８によって冷却された後、送風器３（ファン）により上段に送風される。その後、第１の加熱器（ファン＋ヒーター）４によって加熱され、更に第２の加熱器５（ファン＋ヒーター）によって要求温度近傍まで加熱された後、複数台の吹き出し口個別加熱器６（図示の例では６ａ、６ｂ、６ｃの３基）によってそれぞれ加熱されることで、クリーンルーム２内に精密に温度制御された空気が流入することになる
。各吹き出し口個別加熱器６は、図示のように、クリーンルーム２の平面（ここでは天井）に沿って複数個設けられる。
【００１５】
吹き出し口個別加熱器６側に流入する空気は、要求温度近傍となっており更に温度変動が少なくなっているので、温度制御が行い易くなっており、微調整を行うだけで済むので、高精度の温度制御が可能になる。尚、各吹き出し口個別加熱器６は、ファン＋ヒーター、あるいはファン＋ヒーター＋フィルターによって構成される。
【００１６】
ここで、上記のように複数の加熱器を用いることで段階的に加熱を行う構成自体は、例えば上記特許文献２の従来技術と略同様である。また、冷却器や各加熱器自体、これら冷却器や各加熱器の制御自体は、従来と略同様であってよく、特に説明しない。
【００１７】
本例の精密温調システムでは、上記冷却器や各加熱器が備えられるエアダクト（供給経路）側の構成として、図示のように、それぞれに上記冷却器８や各加熱器４，５の何れか１つが設けられた、各部屋（温調空間）１０（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）が設けられた構成となっている。図示の例では、部屋１０ａには送風器３が備えられ、部屋１０ｂには加熱器４が備えられ、部屋１０ｃには加熱器５が備えられている。ここで、部屋１０ａの吸気ダクト７の手前には、冷却器８が備わっている。すなわち、各部屋１０ごとに温調機能と送風機能との組み合わせ機能が備わっている。
【００１８】
部屋１０ａは部屋１０ｂに隣接し、部屋１０ｂは部屋１０ｃに隣接している。また、部屋１０ａにはクリーンルーム２内の空気を流入させる吸気ダクト７が設けられている。また、部屋１０ｃは、複数台の吹き出し口個別加熱器６が設けられた空間３０に隣接している。
【００１９】
隣接する部屋間には、空気の吸気口／排気口となる吸排気口２０（２０ａ、２０ｂ、２０ｃ）が設けられている。吸排気口２０は、隣接する２つの部屋において、上流側の部屋１０にとっては排気口となり、下流側の部屋１０にとっては吸気口となる。つまり、互いに隣接する部屋１０間には、上流側の部屋の空気を下流側の部屋へと流入させる為の吸排気口２０が設けられている。例えば、部屋１０ｂ−１０ｃ間にある吸排気口２０ｂは、上流側となる部屋１０ｂにとっては排気口となり、下流側となる部屋１０ｃにとっては吸気口となる。
【００２０】
また、部屋１０ｃの排気口となる吸排気口２０ｃから排出される空気は、図示のように、複数台の吹き出し口個別加熱器６が設けられた空間３０内に流入するようになっている。尚、図１の構成では、部屋１０ｃから排出される空気は、板３１によって後述する“基本方向Ａと略直交する方向”に流れた後、複数台の吹き出し口個別加熱器６へと流入する。
【００２１】
空間３０は、図上左側のエリア（板３１があるエリア）と図上右側のエリア（複数台の吹き出し口個別加熱器６があるエリア）とに分けることができ、部屋１０ｃから空間３０内に流入した空気は、図上左側のエリアをある程度の距離流れることで更なる温度均一化が行われた後、図上右側のエリアに流入し、各吹き出し口個別加熱器６はこの空気を加熱調整して、クリーンルーム２内に排出することになる。
【００２２】
ここで、各吸排気口２０は、空気の流れが図示のようにジグザグ（非直線的で、比較的長い距離の空気の流れを形成）になるように配置されている。つまり、例えば、部屋１０ｃを例にすると、吸気口となる吸排気口２０ｂが図示のように部屋の一方に設けられていると、排気口となる吸排気口２０は図示のように加熱器５をはさんで反対側に設けられている。
【００２３】
別の言い方をすれば、エアダクト（供給経路）の空気の流れは、本来は上流側の部屋１０から下流側の部屋１０へ向かう方向（すなわち、図上矢印Ａで示す方向；以下、基本方向Ａという）であるが、各部屋１０内でこの基本方向Ａと略直交する方向（図示の例では各部屋は長辺×短辺×高さの直方体であり、この例ではほぼ長辺の方向）の空気の流れも作り出すように、吸排気口２０を設けるものである。
【００２４】
尚、従来のようにエアダクト（供給経路）が１本道である場合（特に直線状の場合）の空気の流れの方向が、上記基本方向Ａに相当することになる。図１、図２を見れば明らかなように、上記各部屋１０の構成により、少なくとも基本方向Ａに略直線状に空気が流れる場合に比べて、本例ではエアダクト（供給経路）側において空気が流れる距離が長くなるものである。
【００２５】
また、各部屋１０内の加熱器４，５は、上記“基本方向Ａと略直交する方向”への空気の経路上に設けられており、各部屋１０内の加熱器４，５からの加熱空気の排出方向は、図１に示すように基本方向Ａとしてもよいし（あるいはその部屋１０にとって排気口となる吸排気口２０に向けてもよい）、図２に示すように“基本方向Ａと略直交する方向”としてもよい。
【００２６】
何れの場合であっても、上記従来のようにエアダクト（供給経路）が１本道である場合に比べると空気の流れる方向に対して障害となるものが多いことから、空気は障害となるもの（部屋１０の天井や側壁等）に突き当たり方向を変えることで攪拌されるようになる。尚、図１に示す矢印は、空気の流れる方向の一例を示すものであり、各部屋１０内において空気が攪拌されるイメージを矢印で示してある（回転方向の矢印）。
【００２７】
各温調部屋（温調空間）に設けられる吸排気口は、少なくとも、各温調空間内での空気の流れる距離が最短とはならないような位置に設けられる。また、各温調空間の形状が図示の例のように略直方体である場合、各温調空間における吸排気口の吸気側と排気側とは、例えば、該直方体の長手方向において、相対する面の離れた位置に設けられるようにしてもよい。また、例えば、各温調空間内の送風器（送風器３や加熱器内のファン等）は、吸排気口から流入する空気がその温調空間内で攪拌される方向に送風を行うように構成されるようにしてもよい。これらの構成は、全ての温調空間ではなく一部の温調空間に適用するようにしてもよい。
【００２８】
この様に構成することで、図示のようにコンパクトな構成でも、空気が流れる距離が長くなる。また、気流が攪拌されるようになる。例えば、空気が部屋１０の壁に当たる等して、その一部が本来空気が流れるべき方向とは異なる方向(図示の例では逆方向)に流れる等して、攪拌されるようになる。この様に、空気が流れる距離だけでなく攪拌されることによって、空気が混ざり合い、空気温度が均一になる効果が大きくなる。
【００２９】
この様に、吸排気口２０ａ〜２０ｃは、空気の流れる方向が基本方向Ａだけにならないようにする位置に設けられており、空気はジグザグに流れ、また攪拌されながら、上流から下流へと流れていく。
【００３０】
尚、図２には、冷却器８を制御する為の構成を概略的に示しているが（ＦＳ１、ＦＳ２、Ｈ１等）、上記の通り、冷却器８及びその制御方法自体は、従来と略同様であってよいので、特に説明しない。冷却器８についても、高精度に冷却制御できれば、冷却媒体を水に限定するものではない。
【００３１】
また、図２に示すＴＡ０１、ＴＡ０２、ＴＡ０３、ＴＡ０４、ＴＡ０５、ＴＡ０６は、
温度センサである。ＴＡ０１、ＴＡ０２、ＴＡ０３は、吹き出し口個別加熱器６がクリーンルーム２内へ吹き出す空気の温度を測定する為の温度センサである。ＴＡ０４は吸排気口２０ｂ近傍に設けられ、ＴＡ０５は吸排気口２０ｃ近傍に設けられる。つまり、ＴＡ０５は空間３０内に流入する空気の温度、ＴＡ０４は部屋１０ｃ内に流入する空気の温度を、それぞれ測定するための温度センサである。尚、ＴＡ０６は吸排気口２０ａ近傍に設けられ、部屋１０ｂに流入する温度を測定する為のセンサである。
【００３２】
図３は、図２の構成に対する制御部の構成図である。
図示の各制御部は、何れも同じ構成であり、減算器４１とＰＩＤ４２（ＰＩＤ制御部）とヒータ駆動装置４３とから成る。減算器４１には予め設定されている目標温度とセンサ出力値とが入力され、両者の差分がＰＩＤ４２へと入力され、ＰＩＤ４２による制御処理に応じてヒータ駆動装置４３が当該制御部による制御対象のヒータを駆動制御する。制御対象のヒータは、各加熱器４，５又は各吹き出し口個別加熱器６内のヒータである。あるいは、冷却器８を制御する制御部の場合（図示の４１ａ、４２ａ、４３ａから成る）、図示のヒータＨ１が制御対象のヒータとなる。
【００３３】
上記の通り、各制御部の構成自体は同じであり、異なるのは、減算器４１に入力する目標温度及びセンサ出力値と、ヒータ駆動装置４３による制御対象である。各制御部は、上記ＴＡ０１〜ＴＡ０６の６つの温度センサの何れかのセンサ出力値を入力し、加熱器４，５又は各吹き出し口個別加熱器６あるいは冷却器８を間接的に制御するヒータＨ１の何れかを制御対象とする。例えば、４１ｂ、４２ｂ、４３ｂから成る制御部は、温度センサＴＡ０４によるセンサ出力値を入力し、この実測温度が目標温度２２℃となるように、加熱器４を制御する。
【００３４】
図示の例では、クリーンルーム２の室内温度を２３℃とすることを目的としており、よって、各吹き出し口個別加熱器６ａ、６ｂ，６ｃに対応する各制御部の目標温度は、何れも２３℃となっている。そして、クリーンルーム２内の装置や作業員等の熱源により温度上昇することで、吸気ダクト７から部屋１０ａに流入する空気の温度は、２３＋α℃（例えば２４〜２５℃程度）になっている。この空気を冷却器８によって一旦２３℃以下に下げる。図示の例では冷却器８を制御する制御部（図示の４１ａ、４２ａ、４３ａから成る）の目標温度は２１．５℃になっているので、２１．５℃近辺まで温度を下げる。つまり、温度センサＴＡ０６による計測温度値が２１．５℃となるように制御する。
【００３５】
その後、図示の例では、部屋１０ｂ内の加熱器４により温度を２２℃近辺まで上昇させ、更に部屋１０ｃ内の加熱器５により温度を２２．５℃近辺まで上昇させ、最後に各吹き出し口個別加熱器６ａ、６ｂ，６ｃによって温度を２３℃に調整させて、これをクリーンルーム２内に吹き出す。ここで、各吹き出し口個別加熱器６ａ、６ｂ，６ｃは、同じ目標温度であっても、個別に制御している。この事により、各吹き出し口個別加熱器６ａ、６ｂ，６ｃの位置によって温度分布の僅かな偏りがあったときも、個々に対応し、流出先のクリーンルーム２内に対し一様かつ精密な温度になるよう調整している。また、各吹き出し口で温度を計測しているので、クリーンルーム２への吹き出し全体において多点保証も実現している。尚、ここでは一例として各吹き出し口個別加熱器６ａ、６ｂ，６ｃの３基の例を示したが、室内の規模や諸条件に応じて台数を増減して構わない。
【００３６】
この様に、段階的に温度上昇させると共に、上記図１、図２で説明した構成により空気温度が均一になり温度変動が小さくなることから、各吹き出し口個別加熱器６ａ、６ｂ，６ｃへと流入する空気は、クリーンルーム２に対する目標温度２３℃に近い２２．５℃近辺となっていると共に温度変動が小さくなっていることから、温度制御が行い易くなっており、高精度の温度制御が可能になる。
【００３７】
図４（ａ）〜（ｃ）及び図５（ａ）〜（ｃ）に、上記図１〜図３に示す精密温調システムの実機を用いて、実際に温度制御を行ったときの各温度センサＴＡ０１〜ＴＡ０６の実測データを示す。
【００３８】
例えば、図４（ｃ）に示す温度センサＴＡ０６の実測データによれば、冷却器８によって冷却された直後の空気は、上記目標温度２１．５℃近辺で温度変動の変動幅が±０．０１６℃となっている。
【００３９】
しかし、上述した気流のジグザグ・攪拌の効果により、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、加熱器によって加熱された空気が次の部屋（又は空間３０）に流入するときには、温度変動は±０．００９℃や±０．０１１℃となっており、変動幅が非常に小さくなっている。
【００４０】
これより、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、各吹き出し口個別加熱器６からクリーンルーム２内に流入する空気は、２３℃±０．００５℃となっており、変動幅（精度）が非常に小さくなっており、精度を０．０１未満にすることできる。
【００４１】
この様に、本例の精密温調システムによれば、コンパクトな構成で精密な温度調整を実現できる。
更に、温度調整した空気をクリーンルーム２内に吹き出す構成（最終段の構成）を、上記の通り、複数台の吹き出し口個別加熱器６としており、且つこれら個別加熱器６をそれぞれ個別に温度調整制御しているので、温度の多点保証を実現できる。
【００４２】
図６（ａ）〜（ｄ）に、実際に作成された精密温調システム（実機）の寸法を示す。尚、当然、この寸法は単なる一例を示しているだけである。
図６（ａ）の例では、クリーンルーム２を含めた精密温調システム全体は、長辺×短辺×高さが、2300×2100×2500(mm；ミリメートル)の直方体である。尚、ここで説明する寸法は全てmm（ミリメートル)である。各部屋１０ｂ、１０ｃは、長辺×短辺×高さが、2000（内寸）×1000×700の直方体である。尚、部屋１０ａは、部屋１０ｂ、１０ｃと同様の寸法であるが、その短辺の内寸は、図示の配管の為の空間がある分だけ短くなっている。
【００４３】
エアダクト（供給経路）側の空間を上記部屋１０ａ〜１０ｃ及び空間３０に区切る為の図示の間仕切り板５１，５２，５３の寸法を、図６（ｂ）〜（ｄ）に示す。
これら間仕切り板５１，５２，５３は、何れも長辺×短辺が、2000×1000の長方形となっている。そして、まず、部屋１０ａ−１０ｂ間にある間仕切り板５１においては、図６（ｄ）に示すように、２００×１４０の２つの穴５１ａ（長方形）が設けられており、これが上記吸排気口２０ａに相当する。冷却器８によって冷却された空気は送風器３により送風され、この穴５１ａを通って部屋１０ｂ内に流入することになる。
【００４４】
また、部屋１０ｂ−１０ｃ間にある間仕切り板５２においては、図６（ｃ）に示すように、その長辺方向において図上左側から２００の位置から長さ５００で短辺方向に長さ５００の領域内に多数のスリット穴５２ａが設けられている。更に、そこから１００の位置から長さ２００で短辺方向に長さ５００の領域内にも多数のスリット穴５２ａが設けられている。これら多数のスリット穴５２ａが上記吸排気口２０ｂに相当する。加熱器４によって加熱された空気は、これら多数のスリット穴５２ａを通って部屋１０ｃ内に流入することになる。尚、スリット穴５２ａの大きさは可変であり、その幅を変更することができる。つまり、スリット穴５２ａは、開口率が可変である。
【００４５】
また、部屋１０ｃ−空間３０間にある間仕切り板５３においては、図６（ｂ）に示すように、その長辺方向において図上右側から２００の位置から長さ７００で短辺方向に長さ
８００の穴５３ａが設けられている。この穴５３ａが上記吸排気口２０ｃに相当する。加熱器５によって加熱された空気は、この穴５３ａを通って空間３０内に流入することになる。
【００４６】
尚、図１、図２、図３、図６等に示す構成やその説明は、一例を示したものであり、この例に限らない。例えば、図１〜図３、図６等に示す構成では、冷却器と３段階の加熱器による「冷却→加熱→加熱→加熱」の構成を示したが、この例に限るわけではない。加熱を２段階や４段階にしてもよいし、必ずしも冷却を最初に（最上流で）行うものとは限らず、冷却／加熱は様々なバリエーションで構成してもよい。
【００４７】
また、板３１に関しても必要に応じて具備するものであり、必須な構成ではない。図７は、本例の精密温調システムの概略構成図であり、図１の構成を部分的に変更したもの一例である。板３１を外し、図６に示す穴５３ａをスリット穴５２ａの形状にしたものである。これらの機能については上述の通りなので特に説明しないが、板３１の有無による違いについて説明する。
【００４８】
図１のように板３１を有する事により、空気の流れのジグザグ（非直線的で、比較的長い距離の空気の流れを形成）相当の箇所が長くなる。ところで、図１や図７のように各部屋１０を通過することにより攪拌するに十分な距離が確保されている場合は、空間３０において板３１を設けて更なるジグザク形状を確保しなくてもよい。また、空間３０には不図示の天井が比較的近接しているので、穴５３ａから流入する空気は、障害となるもの（天井や側壁等）に突き当たり方向を変えることで十分に攪拌される。以上から分かるように、板３１は必要に応じて具備すればよい。
【００４９】
各図における加熱器４や５、送風器３の台数も、この例に限るわけではなく、各部屋１０の大きさや形状、加熱器４や５、送風器３の性能等に応じて増減させて構わない。
また、各吸排気口の形状や開口率に関しても同様で、この例では吸排気口２０ｂに関してスリット穴５２ａを設けたが、他の吸排気口においてスリット穴を設けてもよく、あるいは吸排気口の形状を例えばフィン状にして吹き出し方向を制御できるようにしても構わない。また、図３に示す制御部の構成もこの例に限らない。例えば、ＰＩＤ制御部４２はＰＩＤ以外の制御方式を用いた調節器としてもよく、さらに、複数のヒータ駆動装置４３を一つの調節器で駆動するといった多変数制御で構成してもよい。
【００５０】
また、図１、図２、図３、図６等に示す構成は、吸気口９から空気の流入があるものの基本的には閉循環の温調システムであるが、この例に限らず、開循環（外気→供給経路→温度調整対象空間→外気）の温調システムに本例の構成を適用してもよい。
【００５１】
以上、説明してきた通り、クリーンルーム２に流入される空気を精密に制御し、クリーンルーム２を高精度で一定な温度管理することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本例の精密温調システムの概略構成図（斜視透過図）である。
【図２】本例の精密温調システムの概略構成図（平面的な模式図）である。
【図３】図２の構成に対する制御部の構成図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は実際の各温度センサの実測データ例（その１）である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は実際の各温度センサの実測データ例（その２）である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は、精密温調システム（実機）の寸法の一例である。
【図７】本例の精密温調システムの概略構成図（斜視透過図）である。
【符号の説明】
【００５３】
１  精密温調システム
２  クリーンルーム
３  送風器
４、５  加熱器
６（６ａ、６ｂ、６ｃ）  吹き出し口個別加熱器
７  吸気ダクト
８  冷却器
９  吸気口
１０（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）  部屋（温調空間）
２０（２０ａ、２０ｂ、２０ｃ）  吸排気口
３０  空間
３１  板
４１（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ、４１ｅ、４１ｆ）  減算器
４２（４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅ、４２ｆ）  ＰＩＤ（ＰＩＤ制御部）
４３（４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅ、４３ｆ）  ヒータ駆動装置
５１，５２，５３  間仕切り板
ＴＡ０１、ＴＡ０２、ＴＡ０３、ＴＡ０４、ＴＡ０５、ＴＡ０６  温度センサ
【図２】
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【図３】
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【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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