(57)【要約】【課題】分析感度が高く、かつ、分析値のばらつきを小さくして、再現性のよい分析を行うことが可能な非直線抵抗体の残留炭素測定方法、非直線抵抗体の製造方法、及び非直線抵抗体を提供することを目的とする。【解決手段】酸化亜鉛を主成分とし、造粒、成形後に、焼成された非直線抵抗体に対して、焼成体を粉砕し分級する。そして、粉体の粒径が造粒粉の平均粒径の０．８〜１．２倍程度の大きさの粉体を分析試料とし、この分析試料を用いて残留炭素量を測定する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化亜鉛を主成分とし、造粒、成形後に焼成された非直線抵抗体の残留炭素測定方法であって、
前記非直線抵抗体の焼成体を粉砕して分級し、得られた粉体の粒径が前記焼成体に含まれる造粒粉の平均粒径の０．８〜１．２倍の範囲にある前記粉体を用いて残留炭素量の測定を行うことを特徴とする非直線抵抗体の残留炭素測定方法。
【請求項２】
造粒、成形後に焼成された非直線抵抗体の残留炭素量測定方法であって、
前記非直線抵抗体の焼成体を粉砕し、得られた粉体の粒径に応じて前記粉体を複数種の試料に分級する工程と、
前記複数種に分級された試料のそれぞれに対して、複数回の残留炭素量の測定を行う工程と、
前記複数回の残留炭素量の測定結果から、前記各試料に対して、残留炭素量の平均値および標準偏差を算出する工程と、
前記標準偏差が最小となる試料に含まれる粉体の粒径範囲を抽出する工程と、
を含み、
前記抽出された粒径範囲にある粉体を残留炭素測定用の分析試料として選択することを特徴とする非直線抵抗体の残留炭素測定方法。
【請求項３】
酸化亜鉛を主成分とする非直線抵抗体の組成物に有機物バインダーを添加し、造粒、成形後に焼成する非直線抵抗体の製造方法であって、
前記非直線抵抗体の成形体を、焼成温度まで昇温する昇温過程、前記焼成温度に所定時間保持する温度保持過程、および前記焼成温度から降温する降温過程を含む焼成工程において、
前記昇温過程では、２００℃から６００℃までの温度域では５℃／ｈ〜２０℃／ｈの範囲の昇温速度で昇温することを特徴とする非直線抵抗体の製造方法。
【請求項４】
前記昇温過程では、２００℃から６００℃までの昇温に続いて、前記成形体を６００℃にて１０時間保持した後に、６００℃より高温に設定された前記焼成温度まで昇温することを特徴とする請求項３に記載の非直線抵抗体の製造方法。
【請求項５】
酸化亜鉛を主成分とし添加物として少なくとも酸化ビスマスを含む非直線抵抗体の組成物に有機物バインダーを添加し、造粒、成形後に、前記非直線抵抗体の成形体を、２００℃から６００℃までの温度域では５℃／ｈ〜２０℃／ｈの範囲の昇温速度で昇温し、さらに６００℃より高温に設定された焼成温度まで昇温する昇温過程、前記焼成温度に所定時間保持する温度保持過程、および前記焼成温度から降温する降温過程を経て焼成して得られたものであることを特徴とする非直線抵抗体。
【請求項６】
前記非直線抵抗体の残留炭素量が５〜８０重量ｐｐｍであることを特徴とする請求項５に記載の非直線抵抗体。
【請求項７】
請求項１に記載の残留炭素測定方法により求めた非直線抵抗体の残留炭素量が５〜８０重量ｐｐｍであることを特徴とする非直線抵抗体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非直線抵抗体の残留炭素測定方法、非直線抵抗体の製造方法、および非直線抵抗体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、非直線抵抗体などセラミックス中に残留する炭素の分析は、酸素中で高周波電磁波（あるいは抵抗）を用いて試料を加熱し、試料中の炭素を二酸化炭素に化合させ、赤外分析によって二酸化炭素の吸収ピークを求め、この吸収ピークの大きさから炭素量を求める方法を採用した分析装置を用いるのが一般的である。この種の分析装置は例えば堀場製作所から炭素・硫黄分析装置として販売されている。セラミックス中の残留炭素量を計測する従来技術に関する文献としては、例えば特許文献１および２がある。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１１１２０７号公報
【特許文献２】特開２０００−３４８９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の残留炭素分析では、試料を分析装置に入れる際に必要な粉砕などの前処理についての記述が全くなされておらず、前処理条件が分からないため分析結果の再現ができず、分析値そのものの信憑性が乏しいものであった。
【０００５】
この発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、分析感度が高く、かつ、分析値のばらつきを小さくして、再現性のよい分析を行うことが可能な非直線抵抗体の残留炭素測定方法を提供することを目的とする。また、電気特性に優れた非直線抵抗体の製造方法、および非直線抵抗体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る非直線抵抗体の残留炭素測定方法は、酸化亜鉛を主成分とし、造粒、成形後に焼成された非直線抵抗体の残留炭素測定方法であって、前記非直線抵抗体の焼成体を粉砕して分級し、得られた粉体の粒径が前記焼成体に含まれる造粒粉の平均粒径の０．８〜１．２倍の範囲にある前記粉体を用いて残留炭素量の測定を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、焼成体を粉砕して分級し、得られた粉体の粒径が焼成体に含まれる造粒粉の平均粒径の０．８〜１．２倍の範囲にある粉体を用いて残留炭素量を測定することで、分析感度を高く、かつ、分析値のばらつきを小さくて、再現性のよい炭素の定量分析が可能になるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、本発明に係る非直線抵抗体の残留炭素測定方法、非直線抵抗体の製造方法、および非直線抵抗体の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【０００９】
実施の形態１．
本実施の形態に係る非直線抵抗体の残留炭素測定方法について説明する。まず、本実施の形態において、酸化亜鉛（ＺｎＯ）を主成分とする非直線抵抗体は例えば次の様にして作製する。
【００１０】
主成分を酸化亜鉛とし、添加物粉体として、酸化ビスマスをＢｉ２Ｏ３換算で０．５モル％、酸化アンチモンをＳｂ２Ｏ３換算で１．０モル％、酸化マンガンをＭｎ３Ｏ４で０．５モル％、酸化コバルトをＣｏ３Ｏ４換算で０．５モル％、酸化ニッケルをＮｉＯ換算で１．０モル％、酸化珪素をＳｉＯ２換算で１．０％秤量する。
【００１１】
さらに、微量添加物として、アルミニウムをＡｌ２Ｏ３換算で０．００２モル％、硼素をＨ３ＢＯ３換算で０．０４モル％秤量する。
【００１２】
続いて、添加物粉体と純水とを混合し十分粉砕する。粉砕後、これに適当量の純水を加え、酸化亜鉛と微量添加物とを一緒にして十分混合する。このとき、混合を十分行うため分散剤を、酸化亜鉛と添加物粉体と微量添加物の重量合計の０．５重量％加え、さらに、成形性改善のために有機物バインダーとしてポリビニールアルコール（以下、ＰＶＡという）を、酸化亜鉛と添加物粉体と微量添加物の重量合計の０．５重量％加え、混合してスラリーを作製する。
【００１３】
次に、このスラリーを造粒機に送り造粒する。このとき造粒機は、例えば、胴径２ｍのディスク型造粒機を用い、回転数は例えば１００００ｒｐｍとした。このとき得られた造粒粉の平均粒径は７０μｍであった。
【００１４】
次に、この造粒粉を例えば直径４０ｍｍ、厚さ４０ｍｍに成形した。続いて、この成形体を例えば３００〜５００℃の温度域でバインダー除去し、次工程で、例えば１２００℃で焼成した。本実施の形態では、この焼成体を粉砕し篩で分級して、例えば、次の試料Ａ１〜Ａ６を得た。
【００１５】
Ａ１：篩目開き４５μｍを通過した粉体
Ａ２：篩目開き７５μmを通過し篩目開き４５μｍに残った粉体
Ａ３：篩目開き１２５μmを通過し篩目開き７５μｍに残った粉体
Ａ４：篩目開き２５０μmを通過し篩目開き１２５μｍに残った粉体
Ａ５：篩目開き２ｍｍを通過し篩目開き２５０μｍに残った粉体
Ａ６：篩目開き２ｍｍを通過した粉体
【００１６】
ここで、試料Ａ６が従来の残留炭素測定方法で使用される試料である。
【００１７】
次に、これら６種類の試料をそれぞれ、炭素・硫黄分析装置（堀場製作所製、EMIA-820（登録商標））を用いて炭素の定量分析を行った。本装置は、酸素リークチェックなど通常の点検を行った後、標準試料による校正を行い上記試料の定量分析を行った。
【００１８】
炭素の定量分析を各試料ＮＯ.（すなわち、Ａ１〜Ａ６）ごとに６回測定して得た結果を表１、および図１に示す。
【００１９】
【表１】
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【００２０】
表１では、各試料ＮＯ.（すなわち、Ａ１〜Ａ６）ごとに６回の測定（ｎ１〜ｎ６で示す）のそれぞれ対する炭素分析値（重量ｐｐｍ）を表示するとともに、これら６回の測定の平均値および標準偏差（σｎ−１で示した）を表示している。また、図１は、試料分級と炭素分析値との関係を示す図であり、横軸は試料分級を表すＡ１〜Ａ６を、縦軸は炭素分析値（重量ｐｐｍ）の平均値または標準偏差（重量ｐｐｍ）を示している。
【００２１】
表１、図１より、炭素の検出感度（分析感度）は粒径の小さい試料Ａ１が最も高く、粒径が大きくなるほど検出感度は小さくなる傾向がある。すなわち、粒径の最も小さい試料Ａ１から粒径の最も大きい試料Ａ５へと変化するにつれて、検出感度は小さくなっている。なお、従来の方法で使用される試料Ａ６には、粒径２ｍｍ未満の粉体が混在しているので、その検出感度は試料Ａ５の場合よりわずかに増加している。また、測定値（炭素分析値）のばらつきを示す標準偏差をみると、試料Ａ２が最も小さく、この粒径よりも大きくても小さくても標準偏差は大きくなる傾向がある。
【００２２】
この傾向は次のように説明できる。造粒粉は造粒機によって作られる。造粒機に送られたスラリーは、回転するディスク上に垂らされることによって液滴の形になり、上記の例ではこれが約１７０℃の熱風にさらされて乾燥して造粒粉が得られる。その際、ディスク回転数によって液滴の大きさが決まり造粒粉の大きさが決められる。ディスク回転数が大きいほど液滴の形は小さくなり造粒粉も小さいものが得られる。
【００２３】
液滴が熱風にさらされ造粒粉が形成される過程で、液滴を構成する塊の内部の液体は温度上昇し外部に向かって蒸発する。このとき水に溶解しているＰＶＡなど有機物も造粒粉の表面に移動する。結局、有機物は造粒粉の表面に濃縮されることになる。
【００２４】
上記の例では造粒粉の平均粒径は７０μｍであるが、１２００℃で焼成すると約１５％収縮して約６０μｍ程度の塊になっている。焼成して有機物が炭素として残留する位置もその塊の周辺が多い。
【００２５】
焼成体を粉砕して、その粉体の粒径を２５０μｍ、１２５μｍ、７５μｍと小さくすると、造粒粉周辺の残留炭素の多い箇所が多くさらされることになる。このような試料を分析装置に装填し、酸素中で加熱すれば、二酸化炭素になる箇所が増えるから、小さく粉砕した試料ほど検出される炭素量は多いことになる。本実施の形態では、焼成体中の造粒粉の大きさ（平均粒径）は約６０μｍであるから、試料Ａ２の細かさになるまでは検出炭素量は急激に増加する。
【００２６】
なお、試料Ａ１になると粉体の粒径は造粒粉の平均粒径よりも小さくなり、このとき検出される炭素は、造粒粉の内部の空洞などに残った炭素であるとともに、次に説明するコンタミ（contamination）と称する汚れに含まれる炭素も混入しているものと思われる。
【００２７】
焼成体の粉砕は、チタンによって表面が硬化処理された粉砕用容器（いわゆるチタン乳鉢）に焼成体の塊を入れ、同じくチタンによって表面が硬化処理された金属棒で叩いて行う。小さく粉砕するには長時間かかり、このとき、容器、棒や作業などから有機系不純物や油、埃などがコンタミとして混入し、これらに含まれる炭素も検出されることになる。
【００２８】
次に分析値のばらつきを示す標準偏差についてみると、粉砕試料の粒径が焼成体中の造粒粉の平均粒径より大きいほどばらつきは大きい。これは残留炭素の多い箇所が表面に現れる確率が試料によって乱れるからである。粉砕試料の粒径を小さくして試料Ａ２の大きさになるまで標準偏差は小さくなる。これは試料Ａ２の粉体は焼成体中の造粒粉の平均粒径程度に粉砕されているので、残留炭素の多い箇所が十分表面に現れているため、酸素との反応が十分起きて一定の二酸化炭素を発生させるためである。
【００２９】
粉砕試料がこれよりも小さい試料Ａ１では、試料Ａ２よりも標準偏差が大きくなっているのは前述のコンタミが不規則に入るためと思われる。
【００３０】
結局、残留炭素分析における前処理条件としては、分析感度が高く、ばらつきの小さい試料Ａ２が好ましい。これは、焼成体の粉砕程度は焼成体中の造粒粉の平均粒径を含み、その前後２０％程度（すなわち、±２０％程度）の粒径をもった粉体が炭素分析用試料として好適であることを示す。
【００３１】
なお、焼成体の粉砕程度が焼成体中の造粒粉の平均粒径に近いほど、分析感度が高く、ばらつきが小さくなるため、粉砕程度として、焼成体中の造粒粉の平均粒径を含み、この平均粒径の０．８〜１．２倍の範囲より小さい範囲であってもよく、例えば、焼成体の粉砕程度がこの平均粒径の０．９〜１．１倍の範囲であってもよい。
【００３２】
また、上述のように、試料Ａ２は分級された６種の試料Ａ１〜Ａ６のうち最も標準偏差が小さいが、これは試料Ａ２では、粉体は焼成体中の造粒粉の平均粒径程度に粉砕されており、残留炭素の多い箇所が十分表面に現れているからであり、同時に炭素の分析感度が高くなることを意味する。したがって、焼成体を粉砕後に複数種の試料に分級し、炭素分析値の標準偏差を調べ、標準偏差が最も小さい試料に含まれる粉体の粒径範囲を抽出し、この粒径範囲にある粉体を残留炭素測定用の分析試料として選択することで、分析感度が高く、ばらつきが小さい炭素の定量分析が可能となる。このような方法は、非直線抵抗体の組成その他の条件等によらずに適用することができる。
【００３３】
本実施の形態によれば、焼成体中の粉体の粒径が造粒粉の平均粒径の０．８〜１．２倍の範囲にある粉体を用いて残留炭素量を測定することで、分析感度を高く、かつ、分析値のばらつきを小さくて、再現性のよい炭素の定量分析が可能になるという効果がある。
【００３４】
なお、上記説明では、この実施の形態の用途として塊状の非直線抵抗体の場合を例に説明したが、その他の積層セラミックスの場合や造粒・成形工程を有するセラミックスの分野にも利用できる。
【００３５】
実施の形態２．
本実施の形態では、実施の形態１の非直線抵抗体の残留炭素測定方法を利用した、非直線抵抗体の製造方法、および非直線抵抗体について説明する。
【００３６】
酸化亜鉛（ＺｎＯ）を主成分とする非直線抵抗体を作製するとき、バインダー除去工程の条件を変えることによって非直線抵抗体の残留炭素を変えた焼結体の素子が得られ、これらの素子について電気特性を測定した結果、以下に示すことが分かった。
【００３７】
まず、主成分を酸化亜鉛とし、添加物粉体として、酸化ビスマスをＢｉ２Ｏ３換算で０．５モル％、酸化アンチモンをＳｂ２Ｏ３換算で１．０モル％、酸化マンガンをＭｎ３Ｏ４で０．５モル％、酸化コバルトをＣｏ３Ｏ４換算で０．５モル％、酸化ニッケルをＮｉＯ換算で１．０モル％、酸化珪素をＳｉＯ２換算で１．０％秤量する。
【００３８】
さらに、微量添加物として、アルミニウムをＡｌ２Ｏ３換算で０．００２モル％、硼素をＨ３ＢＯ３換算で０．０４モル％秤量する。
【００３９】
続いて、添加物粉体と純水とを混合し十分粉砕する。粉砕後、これに適当量の純水を加え、酸化亜鉛と微量添加物とを一緒にして十分混合する。このとき、混合を十分行うため分散剤を、酸化亜鉛と添加物粉体と微量添加物の重量合計の０．５重量％加え、さらに、成形性改善のために有機物バインダーとしてポリビニールアルコール（以下、ＰＶＡという）を、酸化亜鉛と添加物粉体と微量添加物の重量合計の０．５重量％加え、混合してスラリーを作製する。
【００４０】
次に、このスラリーを造粒機に送り造粒する。このとき造粒機は、例えば胴径２ｍのディスク型造粒機を用い、回転数は例えば１００００ｒｐｍとした。このとき得られた造粒粉の平均粒径は７０μｍであった。
【００４１】
この造粒粉を用いて例えば直径４０ｍｍ、厚さ１５ｍｍに成形した。次いで有機物バインダーを除去するために、この成形体を２００〜６００℃の温度域での処理条件を変えてバインダー除去し、次工程で例えば１１５０℃、３時間焼成した。具体的には、２００〜６００℃の温度域での温度パターンを次のように変えて試料Ｄ１〜Ｄ４を得た。
【００４２】
Ｄ１：２００〜６００℃を２℃／ｈで昇温した後１１５０℃、３時間焼成した試料
Ｄ２：２００〜６００℃を５℃／ｈで昇温した後１１５０℃、３時間焼成した試料
Ｄ３：２００〜６００℃を２０℃／ｈで昇温した後１１５０℃、３時間焼成した試料
Ｄ４：２００〜６００℃を１００℃／ｈで昇温した後１１５０℃、３時間焼成した試料
【００４３】
図２は、脱バインダー条件を変えた焼成温度パターンの例を示す図であり、それぞれ試料Ｄ１〜Ｄ４に対応する焼成温度パターンを示している。図２では、一例として、室温から２００℃まで、６００℃から１１５０℃まで、１１５０℃から室温までの昇温又は降温速度は５０℃／ｈであり、６００℃では１０時間保持し、１１５０℃では３時間保持した。
【００４４】
これら４種類の試料を上記のように焼成した後、側面にガラスを塗布し、５５０℃、３時間の熱処理を行って側面高抵抗層を素子側面に形成した。その後、研磨・電極付けを行って電気特性を計測し、表２を得た。
【００４５】
【表２】
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【００４６】
表２において、バリスタ電圧とは、ＡＣ,１ｍＡを素子に通電したときの素子両端電極に発生する電圧で、これを素子厚みで除してＶ／ｍｍという単位で表示した。
【００４７】
素子の小電流域平坦率は、素子にＤＣ,１ｍＡを通電したときの素子両端電極に発生する電圧Ｖ１ｍＡと、ＤＣで１０μＡを通電したときの素子両端電極に発生した電圧Ｖ１０μＡとの比（Ｖ１ｍＡ／Ｖ１０μＡ）を示す。
【００４８】
温度特性は、１２０℃と３０℃の素子抵抗分漏れ電流の比（Ｉｒ（１２０℃）／Ｉｒ（３０℃））を示す。ここで、Ｉｒ（１２０℃）は、オーブン中で素子温度を１２０℃にした後、ＡＣ,１ｍＡを素子に通電したときの素子両端電極に発生する電圧の９０％を印加したときの素子に流れる抵抗分電流Ｉｒの値である。同様に、Ｉｒ（３０℃）は、オーブン中で素子温度を３０℃にした後、ＡＣ,１ｍＡを素子に通電したときの素子両端電極に発生する電圧の９０％を印加したときの素子に流れる抵抗分電流Ｉｒである。
【００４９】
次に、上記の電気測定を終えた後、電極と側面ガラスを剥がし、実施の形態１で説明した手順に従って素子を粉砕し、篩目開き７５μｍを通過し篩目開き４５μｍに残った粉体を得て、素子中の残留炭素を測定した。その結果を表２に、残炭（重量ｐｐｍ）として示す。なお、表２の残炭値は、試料Ｄ１〜Ｄ４の各々に対して、測定を３回行った平均を示す。
【００５０】
表２より、試料中の残留炭素は焼成時の２００℃から６００℃までの昇温速度を変えることによって変えられることが分かる。最も遅く昇温した試料Ｄ１では残留炭素は５重量ｐｐｍに満たない。試料Ｄ２で５〜１２重量ｐｐｍ、試料Ｄ３で４５〜６０重量ｐｐｍ、Ｄ４では８０〜１００重量ｐｐｍであった。
【００５１】
表２に示すように、バリスタ電圧は、試料Ｄ１では３７０〜３９４Ｖ／ｍｍであり、ばらつきが大きく好ましくない。他の試料Ｄ２〜Ｄ４のバリスタ電圧は安定して得られた。小電流域平坦率は残留炭素の多い試料Ｄ４で少し大きい数値（この数値は小さいほど好ましい）であるが、他の試料Ｄ１〜Ｄ３は安定して小さい値であった。なお、表２に示していないが、大電流域平坦率も全ての試料で良好であった。温度特性は、残留炭素の多い試料Ｄ４の値は他の試料Ｄ１〜Ｄ３の値の２倍以上あり、好ましくない。
【００５２】
これらの傾向は次のように説明できる。試料Ｄ１でバリスタ電圧がばらつくのは酸化亜鉛粒子の成長にむらがあるからである。分散性、成形性改善のため投入された有機物バインダーは、造粒粉の周辺に多く、成形しても造粒粉の粒界部に多く存在する。バインダー除去工程の加熱によって有機物は炭酸ガスとなって分解する。そうすると造粒粉の粒界部に空洞ができ、ここにその後の加熱によって添加物のうち酸化ビスマスが液体となってたまり、この隙間を流れる。この液状の酸化ビスマスは酸化亜鉛粒子を成長させる。有機物の抜けが十分なほど液状の酸化ビスマスはたまりやすく、酸化亜鉛の粒成長もたまりの周辺でよく起きるので、結果として酸化亜鉛粒子の粒子成長にばらつきが生じやすくなる。このためバリスタ電圧にばらつきが大きくなると推定される。すなわち、バリスタ電圧を安定して得るには残留炭素量は５重量ｐｐｍ以上が望ましい。
【００５３】
小電流域平坦率はコバルトやマンガンなどの添加物効果もあるが、焼成中の酸素雰囲気にも左右される。酸素の欠乏した雰囲気（例えば窒素中で）で焼成すると本非直線抵抗体は電圧−電流が非直線的な特性を示さない。残留炭素に注目する理由は、残留炭素が多いと焼成中酸素と反応して素子に必要な酸素量が不足することを嫌うからである。本実施の形態では、残留炭素の多い試料Ｄ４でも小電流域平坦率は悪くない。しかしながら、これは室温の電気特性であって高温になると残留炭素が酸素と反応し易くなり電気特性を悪化させる可能性がある。そのため１２０℃という高温の漏れ電流を調査した。温度特性は残留炭素が約６０重量ｐｐｍの試料Ｄ３迄は安定してよいが残留炭素が約８０重量ｐｐｍ以上ある試料Ｄ４では悪化している。これは残留炭素が高温になると酸化亜鉛粒界部の酸素と反応して粒界障壁を小さくしているため漏れ電流が大きくなったためと推定される。
【００５４】
結局、残留炭素量は５重量ｐｐｍ未満ではバリスタ電圧のばらつきを大きくし、残留炭素が８０重量ｐｐｍ以上あれば温度特性が悪化する。安定したバリスタ電圧を得、小電流平坦率、温度特性を良好にするには残留炭素量は５〜８０重量ｐｐｍであることが好適である。
【００５５】
本実施の形態においては、試料Ｄ２、Ｄ３に適用された有機物バインダー除去条件、具体的には、２００℃から６００℃までの温度域では５℃／ｈ〜２０℃／ｈの範囲で昇温させ、続いて６００℃にて１０時間保持することにより、焼成工程後の残留炭素量が５〜８０重量ｐｐｍで規定される非直線抵抗体を得ることができる。この際、実施の形態１で説明した非直線抵抗体の残留炭素測定方法を用いることにより、残留炭素量を高い信頼性で分析できる。このようにして、バリスタ電圧、小電流平坦率、温度特性の良好な非直線抵抗体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】実施の形態１において、試料分級と炭素分析値との関係を示す図である。
【図２】実施の形態２において、脱バインダー条件を変えた焼成温度パターンの例を示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
Ａ１〜Ａ６  試料
Ｄ１〜Ｄ４  試料
【図１】
2009253089.tif 000005
【図２】
2009253089.tif 000006