(57)【要約】【課題】接触端子と支持体との電気的な接触状態を良好に維持して検査精度を高めたプローブピンを提供する。【解決手段】検査対象物２の電気的特性を検査するための電気検査用のプローブピン１において、検査対象物２に電気的に接触される接触端子１０と、接触端子１０を軸心方向に沿って直進移動可能に収容する支持体１１と、接触端子１０を支持体１１の外側方向に向けて付勢するコイルバネ１２とを具備してなり、接触端子１０の外周壁１０ｂには、外周壁１０ｂからの突出長さＬの異なる複数の接触導通部１４・１４・・・よりなる単位ユニット１３が設けられ、単位ユニット１３を構成する複数の接触導通部１４・１４・・・のうち、少なくとも一の接触導通部１４が支持体１１の内周壁１１ｂに当接され、接触端子１０と支持体１１とが導通される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の電気的特性を検査するための電気検査用のプローブピンにおいて、
検査対象物に電気的に接触される接触端子と、
前記接触端子を軸心方向に沿って直進移動可能に収容する支持体と、
前記接触端子を前記支持体の外側方向に向けて付勢する付勢手段とを具備してなり、
前記接触端子の外周壁には、該外周壁からの突出長さの異なる複数の接触導通部よりなる単位ユニットが設けられ、
前記単位ユニットを構成する複数の接触導通部のうち、少なくとも一の接触導通部が前記支持体の内周壁に当接され、前記接触端子と前記支持体とが導通されることを特徴とするプローブピン。
【請求項２】
前記単位ユニットは、対応する接触導通部間の距離が等しくなるように、前記接触端子の軸心方向に沿って複数設けられることを特徴とする請求項１に記載のプローブピン。
【請求項３】
前記接触端子は、略円筒状に形成された前記支持体に直線移動可能に収容され、該接触端子の径方向に沿って前記接触導通部が突設されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプローブピン。
【請求項４】
前記接触端子は、一端が外周壁の所定箇所に開口された回収孔が穿設されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のプローブピン。
【請求項５】
前記支持体は、前記接触導通部の端面形状に沿うように内周壁が形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のプローブピン。
【請求項６】
前記接触導通部は、導電性素材より形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載のプローブピン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピンの技術に関し、より詳細には、検査対象物の電気的特性を検査するための電気検査用のプローブピンに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコン等のウェハー上に形成された集積回路などの半導体素子や、プリント配線基板上に半導体素子等の電子部品が実装された実装基板などの電気的特性を検査する工程においては、電気検査用の端子として複数のプローブピン（プローブカード）を有するプローバ（検査装置）を用いて電気的特性が検査される。例えば、プローバを用いて実装基板の電気検査を行う場合には、実装基板上の端子に各プローブピンを圧接させた状態で、実装基板の所定の端子にテストパターンに従って電圧がかけられ、その出力が期待値と比較されることで実装基板の良否が判定される。
【０００３】
ところで、図７に示すように、従来のプローブピン３０１は、検査対象物に電気的に接触される接触端子３１０と、接触端子３１０を軸心方向に沿って直進移動可能に収容する支持体３１１と、接触端子３１０を支持体３１１の外側方向に向けて付勢する付勢手段としてのコイルバネ３１２等とで構成されている。接触端子３１０は、コイルバネ３１２によって支持体３１１の外側方向（先端部３１０ａが支持体３１１より突出する方向）に向けて付勢されており、コイルバネ３１２の付勢力に抗して先端部３１０ａが検査対象物に圧接されると軸心方向に沿って直進移動される。
【０００４】
上述したプローブピン３０１は、接触端子３１０の外周壁３１０ｂの一部に接触導通部としての導電性薄膜層３１４が形成されるとともに、支持体３１１の内周壁３１１ｂにも同様に導電性薄膜層３１１ｄが形成されており、接触端子３１０の外周壁３１０ｂが導電性薄膜層３１４・３１１ｄを介して支持体３１１の内周壁３１１ｂに電気的に接触される。このようにプローブピン３０１は、接触端子３１０の外周壁３１０ｂが支持体３１１の内周壁３１１ｂに電気的に当接されることで接触端子３１０と支持体３１１とが導通される。
【０００５】
また、その他のプローブピンの構成としては、例えば、特許文献１に開示されるように、接触端子の外周壁に突起部が突設され、かかる突起部を介して接触端子と支持体とが導通されるようにした構成が公知である。特許文献１に開示されたプローブピンでは、支持体の内周壁に螺旋状の溝部が穿設されており、溝部に接触端子の突起部が嵌合されることで、接触端子が軸回りに回転しながら直進移動されるように構成されている。そして、接触端子の突起部と支持体の溝部とは、上述したプローブピンの構成（図７参照）と同様に導電性薄膜層を介して電気的に接触されている。
【特許文献１】特開２００２−２０２３２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のプローブピンの構成では、検査が行われる度に接触端子の外周壁と支持体の内周壁との間で摺接が繰り返されることで、接触端子の外周壁及び支持体の内周壁に形成された導電性薄膜層が長期間の使用により摩耗し、又は酸化膜などの絶縁物が堆積して、接触端子と支持体との電気的な接触状態が劣化してしまい、検査精度に劣るという課題があった。そして、このようなプローブピンを用いて検査対象物の電気的特性の検査が行われると、接触端子と支持体との接触状態の劣化不良に起因して、検査対象物が良品であるにもかかわらず不良であると判定されるなど、検査対象物の歩留りが低下してしまうという課題が生じていた。
【０００７】
そこで、本発明においては、プローブピンに関し、前記従来の課題を解決するもので、接触端子と支持体との電気的な接触状態を良好に維持して検査精度を高めたプローブピンを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００９】
すなわち、請求項１においては、検査対象物の電気的特性を検査するための電気検査用のプローブピンにおいて、検査対象物に電気的に接触される接触端子と、前記接触端子を軸心方向に沿って直進移動可能に収容する支持体と、前記接触端子を前記支持体の外側方向に向けて付勢する付勢手段とを具備してなり、前記接触端子の外周壁には、該外周壁からの突出長さの異なる複数の接触導通部よりなる単位ユニットが設けられ、前記単位ユニットを構成する複数の接触導通部のうち、少なくとも一の接触導通部が前記支持体の内周壁に当接され、前記接触端子と前記支持体とが導通されるものである。
【００１０】
請求項２においては、前記単位ユニットは、対応する接触導通部間の距離が等しくなるように、前記接触端子の軸心方向に沿って複数設けられるものである。
【００１１】
請求項３においては、前記接触端子は、略円筒状に形成された前記支持体に直線移動可能に収容され、該接触端子の径方向に沿って前記接触導通部が突設されるものである。
【００１２】
請求項４においては、前記接触端子は、一端が外周壁の所定箇所に開口された回収孔が穿設されるものである。
【００１３】
請求項５においては、前記支持体は、前記接触導通部の端面形状に沿うように内周壁が形成されるものである。
【００１４】
請求項６においては、前記接触導通部は、導電性素材より形成されるものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１６】
請求項１に示す構成としたので、接触端子と支持体との電気的な接触状態を良好に維持して検査精度を高めることができる。
【００１７】
請求項２に示す構成としたので、接触端子を支持体と複数箇所にて当接させることができ、接触端子が直進移動される際の移動安定性を向上することができる。
【００１８】
請求項３に示す構成としたので、接触端子が直線移動される際に接触導通部を支持体に摺接させて、支持体との電気的な接触状態を維持することができる。
【００１９】
請求項４に示す構成としたので、接触導通部の摩耗により支持体内で発生した削屑等を回収孔内に回収して、削屑等に基づく接触端子と支持体との間の接触不良を防止することができる。
【００２０】
請求項５に示す構成としたので、接触導通部が摩耗しても内周壁との間で接触抵抗が低減するのを防止して、電気的な接触状態を維持することができる。
【００２１】
請求項６に示す構成としたので、接触端子を容易に加工形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
次に、発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は本発明の一実施例に係るプローブピンの全体的な構成を示した側断面図、図２は図１のプローブピンのＡ−Ａ矢視断面図、図３は接触端子における単位ユニットの構成を示した側面図、図４はプローブピンの使用状態を示した図、図５は第二実施例のプローブピンの水平断面図、図６は第三実施例のプローブピンの側断面図である。
なお、以下の実施例では、図１において接触端子１０の軸心方向をＸ方向とし、接触端子１０の径方向をＹ方向とする。
【００２３】
まず、プローブピン１の全体構成について、以下に概説する。
図１及び図２に示すように、本実施例のプローブピン１は、検査対象物２（図４参照）としての実装基板の電気的特性を検査する工程で用いられる電気検査用のプローブピン１として構成されている。具体的には、検査対象物２と電気的に接触される接触端子１０と、接触端子１０を軸心方向（Ｘ方向）に沿って直進移動可能に収容する支持体１１と、接触端子１０を支持体の外側方向に付勢する付勢手段としてのコイルバネ１２等とで構成され、接触端子１０の先端部１０ａが検査対象物２に圧接された状態で検査対象物２の検査が行われる（図４参照）。
【００２４】
接触端子１０は、例えばベリリウム銅、タングステン、レニウムタングステン、パラジウム合金などを母材として形成されており、略円柱状に形成される軸部分の外周壁１０ｂと、前記軸部分の一端側に形成され検査対象物２に圧接される先端部１０ａと、外周壁１０ｂからの突出長さＬが異なる複数の接触導通部１４・１４・・・よりなる単位ユニット１３と、一端が外周壁１０ｂの所定箇所に開口され、内部方向に向けて吸引力が生起された回収孔１５等とが設けられている。
【００２５】
先端部１０ａは、接触端子１０の先端方向に向けて縮径されたテーパ面を有する円錐形状に形成され、円錐形状の尖頭部が検査対象物２に当接される。また、接触端子１０においては、先端部１０ａと逆の端部である他端部１０ｃが後述するコイルバネ１２と接続されており、接触端子１０は、支持体１１に収容された状態でコイルバネ１２により支持体１１の外側方向（先端部１０ａが支持体１１より突出する方向）に向けて付勢されている。
【００２６】
図１及び図３に示すように、単位ユニット１３は、接触端子１０の外周壁１０ｂからの突出長さＬの異なる複数の接触導通部１４・１４・・・より構成されており、本実施例では外周壁１０ｂに接触端子１０の軸心方向（Ｘ方向）に沿って２組の単位ユニット１３が連設されている。なお、この「外周壁１０ｂからの突出長さＬ」とは、外周壁１０ｂの表面から接触導通部１４の端部までの長さをいう。
【００２７】
単位ユニット１３は、接触端子１０の先端部１０ａに近い位置から順に配置される３つの接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃより構成されている。各接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃは、接触端子１０の軸心を挟んで対向する位置であって、接触端子１０の径方向（Ｙ方向）に沿って外周壁１０ｂから逆方向に向けて突設される一対の突起部材により構成されており、前記一対の突起部材同士は、それぞれが同一平面上（接触端子１０の同一水平断面上）に位置するように設けられている。なお、以下の実施例においては、接触導通部１４の構成について特に言及しない限り、接触導通部１４はこのように外周壁１０ｂから逆方向に向けて突設された一組の部材のことをいう。
【００２８】
接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃは、外周壁１０ｂからの突出長さＬがそれぞれ順にＬ１＞Ｌ２＞Ｌ３となるように形成されている（図３参照）。すなわち、本実施例の単位ユニット１３は、接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃの突出長さＬが先端部１０ａに近い位置の接触導通部１４ａから順に短くなる（Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３）ように形成されている。このように、本実施例の接触端子１０の外周壁１０ｂには、２組の単位ユニット１３によって、外周壁１０ｂからの突出長さＬが順に短くなる接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃが繰り返して連設されている。
【００２９】
各単位ユニット１３内においては、接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃは、接触端子１０の軸心方向（Ｘ方向）に沿ってそれぞれ所定の離間（距離Ｄ１）を隔てて設けられている。本実施例では、単位ユニット１３・１３間で隣接する一方（先端側）の単位ユニット１３の接触導通部１４ａと他方（他端側）の単位ユニット１３の接触導通部１４ｃとも、同じ離間（距離Ｄ１）を隔てて設けられている。
また、単位ユニット１３・１３間では、対応する接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃ間の離間（距離Ｄ２）が等しくなるように連設されている。すなわち、２組の単位ユニット１３は、それぞれ同じ突出長さＬを有する、対応する接触導通部１４ａ・１４ａ間の離間、対応する接触導通部１４ｂ・１４ｂ間の離間、及び対応する接触導通部１４ｃ・１４ｃ間の離間が、それぞれ距離Ｄ２で等しくなるように設けられている。
【００３０】
接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃは、例えば金、亜鉛、銅などの導電性素材より突起状に形成され、具体的には、めっき法、蒸着法、スパッタリング法等の公知の方法を用いて形成される。例えば、接触端子１０の外周壁１０ｂにおいて、接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃが設けられる部位以外の部位が不導体材料などでマスキングされ、めっき処理が行われる。やがて、突出長さＬ３にまで成長すると、一旦、不導体材料を用いて接触導通部１４ｃの端部をマスキングしてめっき成長が停止されるとともに、他の接触導通部１４ａ・１４ｂにおいて所定の突出長さＬ１・Ｌ２となるまでめっき処理が継続される。そして、最終的に接触端子１０から不導体材料を除去することで、接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃがめっき成長された単位ユニット１３が構成される。
【００３１】
図１に示したように、回収孔１５は、接触端子１０の内部に穿設されており、支持体１１内部で発生した削屑等を内部に回収して機外に排出するための通路として構成されている。具体的には、回収孔１５は、接触端子１０の略中心部に軸心に沿って穿設された通孔１５ａと、通孔１５ａから接触端子１０の径方向（Ｙ方向）に向けて分枝され、支持体１１内の削屑を通孔１５ａに回収する枝孔１５ｂと、通孔１５ａに回収された削屑を機外に排出する排出孔１５ｃ等とで構成されている。
【００３２】
通孔１５ａは、接触端子１０内部にて枝孔１５ｂ及び排出孔１５ｃの一端とそれぞれ連通されている。枝孔１５ｂは、通孔１５ａから複数に分枝されており、各枝孔１５ｂ・１５ｂ・・・は、外周壁１０ｂにて支持体１１の内部空間に向けて開口されている。通孔１５ａの開口部は、単位ユニット１３を構成する接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃの近傍位置に形成され、具体的には、接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃの離間位置と、外周壁１０ｂからの突出長さＬ（突出長さＬ１）が長い接触導通部１４ａの先端部１０ａ側の近傍位置とに形成される。また、排出孔１５ｃは、接触端子１０の他端部１０ｃにて開口されている。
【００３３】
回収孔１５は、図示せぬ吸引機構と接続されており、枝孔１５ｂから排出孔１５ｃに向けて通孔１５ａ内が負圧吸引されている。このように回収孔１５が設けられることにより、本実施例のプローブピン１では、支持体１１内で発生した削屑が枝孔１５ｂ内に吸引され、吸引された削屑が枝孔１５ｂ内から通孔１５ａ及び排出孔１５ｃに送られて、機外（支持体１１の外側）へと排出される。このように本実施例では、上述した接触導通部１４の摩耗により削屑が発生する場合があるが、この回収孔１５より削屑を機外（支持体１１の外側）へと排出することができる。
【００３４】
図１及び図２に示したように、支持体１１は、主に銅や亜鉛などの合金を母材として略円筒状に形成され、接触端子１０が内部空間に軸心方向に沿って直進移動可能に収容されている。上述した接触端子１０は、軸心が支持体１１の略中央に位置するように嵌入され、支持体１１から先端部１０ａが常時突出された状態で収容される。本実施例の支持体１１は、接触端子１０の先端部１０ａが突出される側の開口端部に設けられた接触端子１０の抜け防止用の係止部１１ａと、内周壁１１ｂの所定箇所に半径方向の外側に向けて凹設された溝部１１ｃ等とが設けられている。
【００３５】
係止部１１ａは、支持体１１の開口端において軸心方向に向けて突設され、接触端子１０の接触導通部１４が係止される。すなわち、支持体１１に収容された接触端子１０は、コイルバネ１２により支持体１１の外側方向（先端部１０ａが支持体１１より突出する方向）に向けて付勢されているため、かかる係止部１１ａにより接触導通部１４が係止されることで、支持体１１から接触端子１０が抜けてしまうのが防止される。
【００３６】
ここで、本実施例のプローブピン１は、単位ユニット１３を構成する複数の接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃのうち、少なくとも一の接触導通部１４が支持体１１の内周壁１１ｂに当接されることで、接触端子１０と支持体１１とが導通されるように構成されている。本実施例では、接触端子１０が支持体１１に収容された状態で、支持体１１の内周壁１１ｂに設けられた溝部１１ｃに接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃがそれぞれ嵌入され、いずれかの接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃが溝部１１ｃに常時当接されることで、接触端子１０と支持体１１とが導通される。
【００３７】
具体的には、まず、溝部１１ｃは、支持体１１の内周壁１１ｂにて接触端子１０の軸心方向（Ｘ方向）に沿って、軸心を挟んで対向する位置にそれぞれ直線状に凹設される一対の凹陥部により構成さており、支持体１１に収容された接触端子１０の接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃがそれぞれ嵌入されている。本実施例のプロープピン１では、接触端子１０に設けられた２組の各単位ユニット１３・１３のうち少なくともいずれかの接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃが溝部１１ｃに当接されて、接触端子１０が接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃを介して支持体１１の内周壁１１ｂに複数箇所にて当接されている。そして、接触端子１０は、接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃが溝部１１ｃにガイドされることで、支持体１１に対して先端部１０ａが進退出する方向（Ｘ方向）に沿って直線移動される。
【００３８】
支持体１１の内周壁１１ｂには、例えば金、亜鉛、銅などの導電性素材よりなる導電性薄膜層１１ｄが形成されている。そのため、溝部１１ｃに嵌入された接触導通部１４は、溝部１１ｃ（内周壁１１ｂ）との当接面である導電性薄膜層１１ｄを介して支持体１１と当接されている。このように、本実施例の接触端子１０は、接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃが溝部１１ｃにて導電性薄膜層１１ｄに当接することで支持体１１と導通されている。また、支持体１１に対して接触端子１０が直線移動される際には、少なくともいずれかの接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃの端面と導電性薄膜層１１ｄとが摺接される。
【００３９】
また、本実施例の内周壁１１ｂは、接触導通部１４との当接面が接触導通部１４の端面形状に沿うように形成されている。具体的には、本実施例では接触導通部１４の端面がＲ状に湾曲された湾曲形状に形成されていることから、接触導通部１４との当接面である溝部１１ｃ（及び導電性薄膜層１１ｄ）が、接触導通部１４の端面形状（湾曲形状）に沿うようにしてＲ状に湾曲するように形成されている。
【００４０】
次に、プローブピン１の検査時の動作について、以下に説明する。
図１及び図４に示すように、本実施例のプローブピン１において、接触端子１０は、先端部１０ａが支持体１１の外側に突出され、コイルバネ１２により支持体１１の外側方向（先端部１０ａが支持体１１より突出する方向）に向けて付勢された状態で、支持体１１に収容されている（図４（ａ）参照）。このとき接触端子１０は、先端部１０ａに最も近い位置に設けられた一の接触導通部１４ａが支持体１１に設けられた係止部１１ａに係止されている。
【００４１】
かかる状態において、単位ユニット１３・１３を構成する接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃは、それぞれ支持体１１の内周壁１１ｂに凹設された溝部１１ｃに嵌入されており、具体的には、接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃのうち外周壁１０ｂからの突出長さＬ（突出長さＬ１）が長い接触導通部１４ａが溝部１１ｃにて導電性薄膜層１１ｄに当接され、接触端子１０と支持体１１とが導通されている。このように、本実施例の接触端子１０は、２組の単位ユニット１３の接触導通部１４ａ・１４ａが支持体１１の内周壁１１ｂに当接されることで、軸心方向（Ｘ方向）に沿って２点支持されている。
【００４２】
プローブピン１を用いて検査対象物２の電気特性が検査される際には、接触端子１０の先端部１０ａが検査対象物２の所定の端子に圧接される（図４（ｂ）参照）。接触端子１０は、検査対象物２に圧接されると、コイルバネ１２の付勢力に抗して直進移動され、具体的には、接触端子１０の軸心方向（Ｘ方向）に沿って先端部１０ａが支持体１１に近接する方向（図４において下方向）に直線移動される。このとき、接触端子１０の接触導通部１４ａが支持体１１の溝部１１ｃに沿って導電性薄膜層１１ｄと摺接される。
【００４３】
検査対象物２の電気特性の検査が終了して、接触端子１０の先端部１０ａが検査対象物２から離脱されると、接触端子１０は、コイルバネ１２による付勢力を受けて接触端子１０の軸心方向（Ｘ方向）に沿って先端部１０ａが支持体１１より突出する方向（図４において上方向）に直進移動される。そして、接触端子１０は、接触導通部１４ａが支持体１１に設けられた係止部１１ａに係止されることで検査前の位置で停止される。
【００４４】
以上のように、本実施例のプローブピン１は、検査対象物２の電気的特性を検査するための電気検査用のプローブピン１において、検査対象物２に電気的に接触される接触端子１０と、接触端子１０を軸心方向に沿って直進移動可能に収容する支持体１１と、接触端子１０を支持体１１の外側方向に向けて付勢するコイルバネ１２とを具備してなり、接触端子１０の外周壁１０ｂには、外周壁１０ｂからの突出長さＬの異なる複数の接触導通部１４・１４・・・よりなる単位ユニット１３が設けられ、単位ユニット１３を構成する複数の接触導通部１４・１４・・・のうち、少なくとも一の接触導通部１４が支持体１１の内周壁１１ｂに当接され、接触端子１０と支持体１１とが導通されるように構成されているため、接触端子１０と支持体１１との電気的な接触状態を良好に維持して検査精度を高めることができる。
【００４５】
すなわち、本実施例で示したプローブピン１では、まず外周壁１０ｂからの突出長さＬ（突出長さＬ１）が一番長い接触導通部１４ａが内周壁１１ｂに常時当接されているが、検査対象物２の電気特性の検査が行われる度に、接触端子１０の接触導通部１４が支持体１１（の導電性薄膜層１１ｄ）との間で摺接が繰り返されることで、やがて接触導通部１４ａが摩耗して短くなると、順次、接触導通部１４ｂ及び接触導通部１４ｃが当接される。このように、本実施例の接触端子１０においては、複数の接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃが順次支持体１１の内周壁１１ｂと当接されるように構成されるため、一の接触導通部１４において摩耗により接点（当接面）での導通不良の原因となる酸化皮膜が発生しても、酸化皮膜が形成されない他の接触導通部１４を支持体１１に当接させることができ、接触端子１０と支持体１１との電気的な接触状態を良好に維持することができるのである。
【００４６】
また、本実施例のプローブピン１は、単位ユニット１３が対応する接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃ間の距離Ｄ２が等しくなるように接触端子１０の軸心方向に沿って複数設けられるため、接触端子１０を支持体１１の内周壁１１ｂに複数箇所にて当接させることができ、接触端子１０が直進移動される際の移動安定性を向上することができる。
【００４７】
また、本実施例のプローブピン１は、接触端子１０が、略円筒状に形成された支持体１１に直線移動可能に収容され、径方向に沿って接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃが突設されるように構成されるため、接触端子１０が直線移動される際に接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃを支持体１１の内周壁１１ｂに沿って摺接させて、支持体１１との電気的な接触状態を維持することができる。
【００４８】
特に、本実施例のプローブピン１は、接触端子１０において、一端が外周壁１０ｂの所定箇所に開口され、内部方向に向けて吸引力が生起された回収孔１５が穿設されているため、接触導通部１４の摩耗により支持体１１内で発生した削屑等を回収孔１５内に吸引することで、削屑等に基づく接触端子１０と支持体１１との間の接触不良を防止することができる。
【００４９】
また、支持体１１は、接触導通部１４との当接面（導電性薄膜層１１ｄ）が接触導通部１４の端面形状に沿うように内周壁１１ｂが形成されているため、接触導通部１４が摩耗してもかかる内周壁１１ｂとの間で接触抵抗が低減するのを防止して、電気的な接触状態を維持することができる。
【００５０】
なお、本実施例のプローブピン１及び各構成部材の構成や形状等は、上述した実施例に限定されず、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
【００５１】
すなわち、上述した接触端子１０は、先端部１０ａが接触端子１０の先端方向に向けて縮径されたテーパ面を有する円錐形状に形成されているが、先端部１０ａの形状としてはこれに限定されず、例えば、全体として細長の針状に形成されてもよい。
【００５２】
また、上述した実施例の接触端子１０は、略円筒状に形成された支持体１１に直進移動可能に収容されているが、例えば、支持体１１に対して直進方向に回転しながら移動可能に収容されるように構成されてもよい。なお、このように構成される場合であっても、一の接触導通部１４が支持体１１の内周壁１１ｂに当接されることで接触端子１０と支持体１１とが導通される点は変わらない。
【００５３】
また、上述した実施例の接触端子１０では、２組の単位ユニット１３がそれぞれ軸心方向に沿って連設されているが、単位ユニット１３の配置や個数等はこれに限定されず、所定の位置に少なくとも１組以上の単位ユニット１３が配設されればよい。なお、３組以上の単位ユニット１３が設けられる場合であっても、上述した実施例と同様に、各単位ユニット１３において対応する接触導通部１４・１４・・・間の距離が等しくなるように連設されるのが好ましい。
【００５４】
特に、上述した実施例の単位ユニット１３は、接触端子１０の軸心を挟んで対向する位置であって接触端子１０の径方向（Ｙ方向）に沿って外周壁１０ｂから逆方向に向けて突設され、接触端子１０の外周壁１０ｂからの突出長さＬが異なる３つの接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃより構成されるが、この単位ユニット１３を構成する複数の接触導通部１４・１４・・・の個数、形状、配置構成等は特に限定されない。
【００５５】
例えば、図５に示す第二実施例のプローブピン１０１のように、接触導通部１１４・１１４・・・が、接触端子１１０の円周方向に渡って突設されるように構成されてもよい。なお、かかる構成の場合には、上述した実施例（図２参照）とは異なり、支持体１１１の内周壁１１１ｂは面一に形成されており、一の接触導通部１１４が内周壁１１１ｂに形成された導電性薄膜層１１１ｄに当接することで、接触端子１１０と支持体１１１とが導通される。このように構成することで、接触端子１１０と支持体１１１との当接面を増大させて電気的な接触状態をより向上できるとともに、接触端子１１０が直進移動される際の移動安定性をより向上できる。
【００５６】
また、図６に示す第三実施例のプローブピン２０１のように、接触導通部２１４ａ・２１４ｂ・２１４ｃは、外周壁２１０ｂからの突出長さＬがそれぞれ順にＬ１＜Ｌ２＜Ｌ３となるように形成されてもよい。すなわち、かかる実施例では、接触導通部２１４ａ・２１４ｂ・２１４ｃの突出長さＬが先端部２１０ａに遠い位置の接触導通部２１４から順に短くなる（Ｌ１＜Ｌ２＜Ｌ３）ように形成される。このように構成することで、プローブピン２０１の使用状態に応じて、接触導通部２１４の摩耗により発生した削屑が接触導通部２１４と内周壁２１１ｂとの間に挟まり、接触端子２１０と支持体２１１との電気的な接触状態が低減するのを防止できる。
【００５７】
また、上述した実施例（図１参照）では、接触導通部１４は、すべて導電性素材より形成されているが、接触導通部１４の構成はこれに限定されず、少なくとも接触導通部１４の一部であって支持体１１の内周壁１１ｂとの当接面（当接部位）が導電性素材より形成されればよい。ただし、このように接触導通部１４を全て導通性素材より形成する方が、接触端子の加工形成が容易であり好ましい。
【００５８】
また、上述した実施例（図１参照）では、接触端子１０に穿設された回収孔１５において、枝孔１５ｂ・１５ｂ・・・がそれぞれ接触導通部１４ａ・１４ｂ・１４ｃの近傍位置に開口されているが、この枝孔１５ｂの数や開口位置についてはこれに限定されず、例えば、外周壁１０ｂからの突出長さＬが最も長い接触導通部１４（上述した実施例では接触導通部１４ａ）の近傍位置にのみ開口するように穿設されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施例に係るプローブピンの全体的な構成を示した側断面図。
【図２】図１のプローブピンのＡ−Ａ矢視断面図。
【図３】接触端子における単位ユニットの構成を示した側面図。
【図４】プローブピンの使用状態を示した図。
【図５】第二実施例のプローブピンの水平断面図。
【図６】第三実施例のプローブピンの側断面図。
【図７】従来のプローブピンの全体的な構成を示した側断面図。
【符号の説明】
【００６０】
１    プローブピン
２    検査対象物
１０    接触端子
１０ａ    先端部
１０ｂ    外周壁
１１    支持体
１１ｂ    内周壁
１１ｃ    溝部
１２    コイルバネ（付勢手段）
１３    単位ユニット
１４    接触導通部
１５    回収孔
Ｌ    突出長さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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