(57)【要約】    【課題】  本発明は、ハロゲンランプから放射される近赤外線を、遠赤外線放射塗料により遠赤外線にシフトして使用する加熱器を対象とし、ハロゲンランプヒータのヒータ管に遠赤外線放射塗料を塗布した従来の構成において、上記遠赤外線放射塗料の温度が上昇することにより生じる遠赤外線の放射効率の低下や、上記遠赤外線放射塗料の温度が耐熱限度を超えることにより生じる剥離等の不都合を未然に防止し得る加熱器の提供を目的とするものである。    【解決手段】  本発明の加熱器は、端部に端部ベースを有するヒータ管と、上記ヒータ管を囲繞する管体を有して成る加熱器であって、上記ヒータ管からの近赤外線放射を遠赤外線放射にシフトする遠赤外線放射塗料を、上記管体の周面における少なくともヒータ管の発光部を覆う範囲に亘って全周に塗布し、ヒータ管の動作に基づいて遠赤外線を放射するよう構成したことを特徴としている。    【選択図】  図２
2009099259.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
端部に端部ベースを有するヒータ管と、
前記ヒータ管を囲繞する管体を有して成る加熱器であって、
前記ヒータ管からの近赤外線放射を遠赤外線放射にシフトする遠赤外線放射塗料を、前記管体の周面における少なくとも前記ヒータ管の発光部を覆う範囲に亘って全周に塗布し、前記ヒータ管の動作に基づいて遠赤外線を放射するよう構成したことを特徴とする加熱器。
【請求項２】
前記管体が、ハロゲンランプであるヒータ管を全長に亘って囲繞するアウター管であり、ハロゲンランプヒータを構成していることを特徴とする請求項１記載の加熱器。
【請求項３】
前記アウター管と前記端部ベースとの間に隙間を設けていることを特徴とする請求項２記載の加熱器。
【請求項４】
前記管体が、被加熱流体の供給される外管に設けられて前記外管との間に被加熱流体の流路を画成する内管であり、流体加熱装置を構成していることを特徴とする請求項１記載の加熱器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば薬液等の被加熱流体を加熱するために使用される加熱器に関し、詳しくは、遠赤外線放射塗料を塗布することによって、ハロゲンランプヒータのヒータ管から放射される近赤外線を遠赤外線にシフトさせた加熱器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
熱源として熱容量の小さいタングステンフィラメントを使用しているハロゲンランプヒータは、放射エネルギーの立ち上がり特性が早い利点があり、例えば半導体製造分野においては、様々な製造プロセスにおける薬液(被温調流体)の温度管理に、上記ハロゲンランプヒータを加熱手段とした流体加熱装置が採用されている。
【０００３】
上記流体加熱装置としては、両端部が閉止された外管と、この外管に貫通設置された内管と、この内管に挿入設置されたハロゲンランプヒータとを有して成る流体加熱装置が提供されている(例えば、特許文献１参照)。
【０００４】
図９および図１０は、従来の流体加熱装置の一具体例であって、この流体加熱装置Ａは、箱形状を呈するケーシングＣに収容された外管Ｏを有し、この両端部を端壁により閉塞された円筒形状の外管Ｏには、端壁を貫通して円筒形状の内管Ｉが設置されており、この内管Ｉの内部には、加熱手段としてのハロゲンランプヒータＨが挿入設置されている。
【０００５】
上記ハロゲンランプヒータＨは、図１１に示す如く、耐熱ガラスから形成されたヒータ管Ｈｐの内部にフィラメントＨｆを封入し、ヒータ管Ｈｐの両端部を端部ベースＨｂ、Ｈｂで封止することによって構成されている。
【０００６】
ここで、上記加熱流体装置Ａは、薬液(被温調流体)Ｌであるガルテンの温度管理に供されるものであり、上記ハロゲンランプヒータＨから放射される近赤外線の波長を、上記ガルテンに吸収され易いようシフトさせる目的で、上記ハロゲンランプヒータＨにおけるヒータ管Ｈｐの表面には、遠赤外線を効率良く放射する、セラミックを基材とした遠赤外線放射塗料Ｈｃが直接に塗布されている。
【０００７】
上記ハロゲンランプヒータＨの挿入設置された内管Ｉによって、外管Ｏの内部には薬液(被温調流体)Ｌの流路Ｏｇが画成されており、外管Ｏに設けられた流入口Ｏｉから供給された薬液(被温調流体)Ｌは、流路Ｏｇを通過する際に、ハロゲンランプヒータＨから放射される遠赤外線を吸収して加熱され、外管Ｏに設けられた流出口Ｏｏを介して排出されて行く。
【特許文献１】特開平０５−２３１７１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上述した遠赤外線放射塗料については、その温度が上昇するに伴って、遠赤外線の放射効率が低下することが知られており、上述した構成の流体加熱装置Ａにおいて、ハロゲンランプヒータＨのヒータ管Ｈｐに塗布されている遠赤外線放射塗料Ｈｃは、フィラメントＨｆの極く近傍を囲繞しているに過ぎず、その塗布されている面積が少ないために単位面積当たりの近赤外線照射量が多く、これにより高温となるために遠赤外線の放射効率が低下してしまう不都合があった。
【０００９】
一方、流体加熱装置全体のコンパクト化を考慮しつつ、要求される加熱能力を満足させるべく、図１３に示す如く、各々にフィラメントＨｆ′を封入した２本のヒータ管Ｈｐ′を並設し、各ヒータ管のＨｐ′、Ｈｐ′の両端部を端部ベースＨｂ′、Ｈｂ′で封止するとともに、一端側(図中の右端側)の端部ベースＨｂ′において、各フィラメントＨｆ′、Ｈｆ′を互いに接続して成るハロゲンランプヒータＨ′が提供されている。
【００１０】
ここで、上記ハロゲンランプヒータＨに′おいても、セラミックを基材とした遠赤外線放射塗料Ｈｃ′が、各ヒータ管Ｈｐ′、Ｈｐ′の表面に塗布されているのであるが、近接して並設されたヒータ管Ｈａ′、Ｈａ′同士の熱の干渉によって、遠赤外線放射塗料Ｈｃ′が耐熱限界を超えるまでに高温となり、過熱によって上記遠赤外線放射塗料Ｈｃ′の損傷や剥離等を生じる不都合があった。
【００１１】
本発明は上記実状に鑑みて、ハロゲンランプヒータのヒータ管に遠赤外線放射塗料を塗布した従来の構成において、上記遠赤外線放射塗料の温度が上昇することにより生じる遠赤外線の放射効率の低下を未然に防止し得るとともに、上記遠赤外線放射塗料の温度が耐熱限度を超えることにより生じる剥離等の不都合を未然に防止し得る加熱器の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するべく、請求項１に関わる加熱器は、端部に端部ベースを有するヒータ管と、上記ヒータ管を囲繞する管体を有して成る加熱器であって、
ヒータ管からの近赤外線放射を遠赤外線放射にシフトする遠赤外線放射塗料を、管体の周面における少なくともヒータ管の発光部を覆う範囲に亘って全周に塗布し、ヒータ管の動作に基づいて遠赤外線を放射するよう構成したことを特徴としている。
【００１３】
請求項２の発明に関わる加熱器は、請求項１に関わる加熱器において、管体が、ハロゲンランプであるヒータ管を全長に亘って囲繞するアウター管であり、ハロゲンランプヒータを構成していることを特徴としている。
【００１４】
請求項３の発明に関わる加熱器は、請求項２に関わる加熱器において、アウター管と端部ベースとの間に隙間を設けていることを特徴としている。
【００１５】
請求項４の発明に関わる加熱器は、請求項１に関わる加熱器において、管体が、被加熱流体の供給される外管に設けられて、外管との間に被加熱流体の流路を画成する内管であり、流体加熱装置を構成していることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明に関わる加熱器によれば、ヒータ管を囲繞する管体の周面に遠赤外線放射塗料を塗布したことで、ハロゲンランプヒータのヒータ管に遠赤外線放射塗料を塗布している従来の構成に比べ、ヒータ管の発光部から遠赤外線放射塗料までの距離(半径)が増加することとなり、上記発光部を取り囲む遠赤外線放射塗料の面積が格段に増大する。  
このように、遠赤外線放射塗料の面積が増大することで、ヒータ管から放射される遠赤外線の単位面積当たりの照射量が減少するため、上記遠赤外線放射塗料の温度上昇が抑えられ、もって上記遠赤外線放射塗料からの遠赤外線の放射効率が向上する。  
また、請求項１の発明に関わる加熱器によれば、２本のヒータ管が近接して並設されている構成であっても、ヒータ管を囲繞する管体の周面に遠赤外線放射塗料を塗布したことで、個々のヒータ管に遠赤外線放射塗料を塗布している従来の構成に対して、ヒータ管同士の熱の干渉により遠赤外線放射塗料が過熱することはなく、もって遠赤外線放射塗料の損傷や剥離等を防止することができる。
【００１７】
請求項２の発明に関わる加熱器によれば、ハロゲンランプヒータを構成している管体、すなわちハロゲンランプであるヒータ管を全長に亘って囲繞するアウター管に遠赤外線放射塗料を塗布したことで、遠赤外線の放射効率の低下や遠赤外線放射塗料の剥離等を未然に防止し得る、ハロゲンランプヒータを得ることが可能となる。
【００１８】
請求項３の発明に関わる加熱器によれば、アウター管と端部ベースとの間に隙間を設けたことで、上記アウター管の内部の熱を有効に逃がすことが可能となる。
【００１９】
請求項４の発明に関わる加熱器によれば、流体加熱装置を構成している管体、すなわち被加熱流体の供給される外管に設けられて、外管との間に被加熱流体の流路を画成する内管に遠赤外線放射塗料を塗布したことで、遠赤外線の放射効率の低下や遠赤外線放射塗料の剥離等を未然に防止し得る、流体加熱装置を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、実施例を示す図面に基づいて、本発明を詳細に説明する。  
図１〜図３は、本発明に関わる加熱器を、半導体製造の様々なプロセスにおいて使用される薬液(被温調流体)、詳しくはガルテン等の遠赤外線を吸収し易い薬液を温度調節するための、流体加熱装置におけるハロゲンランプヒータに適用した例を示している。
【００２１】
上記流体加熱装置１は、箱形状を呈するケーシング１Ｃに収容された外管２を有し、両端部を端壁により閉塞された上記外管２には、両端壁を貫通して円筒形状の内管３が設置されており、耐熱ガラス等から成る上記内管３の内部には、加熱手段としてのハロゲンランプヒータ１０が挿入設置されている。
【００２２】
図２および図３に示す如く、上記ハロゲンランプヒータ１０は、内部にフィラメント１０ｆを封入した１本のヒータ管１０ａを有し、該ヒータ管１０ａの一方端部のみを端部ベース１０ｂで支持するとともに、上記ダブルエンド型のヒータ管１０ａを、サポートを兼ねた導入線１０ｗによってシングルエンド化したもので、端部ベース１０ｂからは２本の配線１０ｅ、１０ｅが導出している。
【００２３】
また、上記ハロゲンランプヒータ１０は、ヒータ管１０ａを囲繞するアウター管(管体)１０ｏを具備している。すなわち、上記ハロゲンランプヒータ１０は、ヒータ管１０ａおよび端部ベース１０ｂ等から成る基本的要素に、アウター管１０ｏを付加することによって構成されたものである。
【００２４】
上記アウター管１０ｏは、耐熱ガラスから成る円筒の一端を閉止した形状を呈しており、上記ヒータ管１０ａの全体を収容した状態で、開口側端部を端部ベース１０ｂに支持されている。なお、アウター管１０ｏと端部ベース１０ｂとの間には、上記アウター管１０ｏ内の熱を逃がす為の隙間１０ｓが設けられている。
【００２５】
さらに、上記アウター管１０ｏの外周面には、セラミックを基材とした遠赤外線放射塗料１０ｃが塗布されており、この遠赤外線放射塗料１０ｃは、少なくともヒータ管１０ａにおけるフィラメント１０ｆの発光範囲(発光部)ｌｆを覆う範囲ｌｃに亘って、上記アウター管１０ｏの全周に及ぶ態様で塗布されている。
【００２６】
図１に示す如く、上述したハロゲンランプヒータ１０の挿入設置された内管３によって、外管２の内部には薬液Ｌの流路２ｇが画成されており、外管２に設けられた流入口２ｉから供給された薬液Ｌは、流路２ｇを通過する際にハロゲンランプヒータ１０から放射される遠赤外線を吸収して加熱され、外管２に設けられた流出口２ｏを介して排出されて行く。
【００２７】
上述した如き流体加熱装置１を構成するハロゲンランプヒータ１００、すなわち、本発明に関わる加熱器としてのハロゲンランプヒータ１００によれば、ヒータ管１０ａを囲繞するアウター管(管体)１０ｏの周面に遠赤外線放射塗料１０ｃを塗布したことで、ハロゲンランプヒータのヒータ管に遠赤外線放射塗料を塗布している従来の構成(図１１、図１２参照)に比べ、ヒータ管１０ａの発光部(フィラメント１０ｆ)から遠赤外線放射塗料１０ｃまでの距離(半径)が増加することとなり、上記発光部(フィラメント１０ｆ)を取り囲む遠赤外線放射塗料１０ｃの面積が格段に増大する。
【００２８】
このように、遠赤外線放射塗料１０ｃの面積が増大することで、ヒータ管１０ａから放射される遠赤外線の単位面積当たりの照射量が減少するため、上記遠赤外線放射塗料１０ｃの温度上昇が抑えられることとなり、もって遠赤外線放射塗料１０ｃからの遠赤外線の放射効率の向上を達成することが可能となる。
【００２９】
なお、上述した実施例においては、ハロゲンランプヒータ１０におけるアウター管１０ｏの外周面に遠赤外線放射塗料１０ｃを塗布した例を示したが、上記アウター管１０ｏの内周面に遠赤外線放射塗料１０ｃを塗布することも可能であり、このような構成においても、遠赤外線放射塗料１０ｃをアウター管１０ｏの外周面に塗布したと同等の作用効果を奏することは勿論である。
【００３０】
図４〜図６は、本発明に関わる加熱器を、半導体製造の様々なプロセスにおいて使用される薬液(被温調流体)、詳しくはガルテン等の遠赤外線を吸収し易い薬液を温度調節するための、流体加熱装置におけるハロゲンランプヒータに適用した他の実施例を示している。
【００３１】
すなわち、流体加熱装置１′におけるハロゲンランプヒータ１０′は、内部にフィラメント１０ｆ′を封入した２本のヒータ管１０ａ′、１０ａ′を並列配置し、これらヒータ管１０ａ′、１０ａ′の両端部を端部ベース１０ｂ′、１０ｂ′で支持するとともに、各フィラメント１０ｆ′、１０ｆ′を一方の端部ベース１０ｂ′において接続してシングルエンド化したもので、もう一方の端部ベース１０ｂ′から２本の配線１０ｅ′、１０ｅ′が導出している。
【００３２】
また、上記ハロゲンランプヒータ１０′は、２本のヒータ管１０ａ′、１０ａ′を囲繞するアウター管(管体)１０ｏ′を具備している。すなわち、上記ハロゲンランプヒータ１０′は、２本のヒータ管１０ａ′および一対の端部ベース１０ｂ′等から成る基本的要素に、アウター管１０ｏ′を付加することによって構成されたものである。
【００３３】
上記アウター管１０ｏ′は、耐熱ガラスから成る円筒形状を呈しており、上記ヒータ管１０ａ′の全体を収容した状態で、各端部ベース１０ｂ′、１０ｂ′に支持されている。なお、アウター管１０ｏ′と各端部ベース１０ｂ′との間には、上記アウター管１０ｏ′内の熱を逃がす為の隙間１０ｓ′が設けられている。
【００３４】
さらに、上記アウター管１０ｏ′の外周面には、セラミックを基材とした遠赤外線放射塗料１０ｃ′が塗布されており、この遠赤外線放射塗料１０ｃ′は、少なくとも各ヒータ管１０ａ′、１０ａ′におけるフィラメント１０ｆ′、１０ｆ′の発光範囲(発光部)ｌｆ′を覆う範囲ｌｃ′に亘って、上記アウター管１０ｏ′の全周に及ぶ態様で塗布されている。
【００３５】
なお、流体加熱装置１′の構成は、上述したハロゲンランプヒータ１０′以外、図１〜図３に示した流体加熱装置１と基本的に同一なので、流体加熱装置１′の構成要素において、流体加熱装置１と同一の作用を成すものには、図４において図１と同一の符号に′(ダッシュ)を附して詳細な説明は省略する。
【００３６】
上述した如き流体加熱装置１′を構成するハロゲンランプヒータ１０′、すなわち、本発明に関わる加熱器としてのハロゲンランプヒータ１０′によれば、２本のヒータ管１０ａ′、１０ａ′を囲繞するアウター管(管体)１０ｏ′の周面に遠赤外線放射塗料１０ｃ′を塗布したことで、図１〜図３に示したハロゲンランプヒータ１０と同様、遠赤外線放射塗料１０ｃ′の面積が増大することで、ヒータ管１０ａ′、１０ａ′から放射される遠赤外線の単位面積当たりの照射量が減少するため、遠赤外線放射塗料１０ｃ′の温度上昇が抑えられ、もって遠赤外線放射塗料１０ｃ′からの遠赤外線の放射効率の向上を達成することができる。
【００３７】
また、本発明に関わる加熱器としてのハロゲンランプヒータ１０′によれば、２本のヒータ管１０ａ′、１０ａ′が近接して並設されている構成であっても、これらのヒータ管１０ａ′、１０ａ′を囲繞するアウター管(管体)１０ｏ′の周面に遠赤外線放射塗料１０ｃ′を塗布したことで、個々のヒータ管に遠赤外線放射塗料を塗布している従来の構成に対し、ヒータ管１０ａ′同士の熱の干渉により遠赤外線放射塗料１０ｃ′が過熱することはなく、もって遠赤外線放射塗料１０ｃ′の損傷や剥離等を未然に防止することができる。
【００３８】
なお、上述した実施例においては、ハロゲンランプヒータ１０′におけるアウター管１０ｏ′の外周面に遠赤外線放射塗料１０ｃ′を塗布した例を示したが、上記アウター管１０ｏ′の内周面に遠赤外線放射塗料１０ｃ′を塗布することも可能であり、このような構成においても、遠赤外線放射塗料１０ｃ′をアウター管１０ｏ′の外周面に塗布したと同等の作用効果を奏することは勿論である。
【００３９】
図７〜図９は、本発明に関わる加熱器を、半導体製造の様々なプロセスにおいて使用される薬液(被温調流体)、詳しくはガルテン等の遠赤外線を吸収し易い薬液を温度調節するための流体加熱装置に適用した例を示している。
【００４０】
上記流体加熱装置１００は、箱形状を呈するケーシング１００Ｃに収容された外管１０２を有し、両端部を端壁により閉塞された上記外管１０２には、両端壁を貫通して円筒形状の内管１０３が設置されており、耐熱ガラス等から成る上記内管１０３の内部には、加熱手段としてのハロゲンランプヒータ１１０が挿入設置されている。
【００４１】
上記ハロゲンランプヒータ１１０は、内部にフィラメント１１０ｆを封入したヒータ管１１０ａの両端部を端部ベース１１０ｂ、１１０ｂで支持したダブルエンド型であり、各端部ベース１１０ｂ、１１０ｂからは配線１１０ｅ、１１０ｅが導出している。
【００４２】
上述した如く流体加熱装置１００は、ハロゲンランプヒータ１１０の挿入設置される、言い換えればハロゲンランプヒータ１１０のヒータ管１１０ａを囲繞する内管(管体)１０３を具備している。
【００４３】
上記内管１０３は、上述の如く耐熱ガラス等から成る円筒形状を呈しており、の内周面には、セラミックを基材とした遠赤外線放射塗料１０３ｃが塗布されており、この遠赤外線放射塗料１０３ｃは、少なくともヒータ管１１０ａにおけるフィラメント１１０ｆの発光範囲(発光部)ｌｆを覆う範囲ｌｃに亘って、上記内管１０３の全周に及ぶ態様で塗布されている。
【００４４】
図７および図８に示す如く、上述したハロゲンランプヒータ１１０の挿入設置された内管１０３によって、外管１０２の内部には薬液Ｌの流路１０２ｇが画成されており、外管１０２に設けられた流入口１０２ｉから供給された薬液Ｌは、流路１０２ｇを通過する際に、ハロゲンランプヒータ１１０から放射された近赤外線が、内管１０３に塗布された遠赤外線放射塗料１０ｃによりシフトされた遠赤外線を吸収して加熱され、外管１０２に設けられた流出口１０２ｏを介して排出されて行く。
【００４５】
上述した如き構成の流体加熱装置１００、すなわち、本発明に関わる加熱器としての流体過熱装置１００によれば、ハロゲンランプヒータ１１０(ヒータ管１１０ａ)を囲繞する内管(管体)１０３の周面に遠赤外線放射塗料１０３ｃを塗布したことで、ハロゲンランプヒータのヒータ管に遠赤外線放射塗料を塗布している従来の構成(図１１、図１２参照)に比べ、ヒータ管１１０ａの発光部(フィラメント１１０ｆ)から遠赤外線放射塗料１０３ｃまでの距離(半径)が増加することとなり、上記発光部(フィラメント１１０ｆ)を取り囲む遠赤外線放射塗料１０３ｃの面積が格段に増大する。
【００４６】
このように、遠赤外線放射塗料１０３ｃの面積が増大することで、ヒータ管１１０ａから放射される遠赤外線の単位面積当たりの照射量が減少するため、上記遠赤外線放射塗料１０３ｃの温度上昇が抑えられることとなり、もって遠赤外線放射塗料１０３ｃからの遠赤外線の放射効率の向上を達成することが可能となる。
【００４７】
因みに、上述した実施例では、流体加熱装置１００の内管１０３にダブルエンド型のハロゲンランプヒータ１１０を装着した例を示したが、図１〜図３に示した如き１本のヒータ管１０ａを有して成るシングルエンド型のハロゲンランプヒータ１０や、図４〜図６に示した如き並設した２本のヒータ管１０ａ′、１０ａ′を有して成るシングルエンド型のハロゲンランプヒータ１０を、上記内管１０３に装着して流体加熱装置１００を構成することも可能である。
【００４８】
ここで、図４〜図６に示した如き並設した２本のヒータ管１０ａ′、１０ａ′を有するハロゲンランプヒータ１０′を、上記内管１０３に装着して流体加熱装置１００を構成した場合でも、２本のヒータ管１０ａ′、１０ａ′を囲繞する内管(管体)１０３の周面に遠赤外線放射塗料１０３ｃを塗布することで、個々のヒータ管に遠赤外線放射塗料を塗布している従来の構成に対し、ヒータ管１０ａ′同士の熱の干渉により遠赤外線放射塗料１０３ｃが過熱することはなく、もって遠赤外線放射塗料１０３ｃの損傷や剥離等は未然に防止されることとなる。
【００４９】
また、上述した実施例においては、流体加熱装置１００における内管１０３の内周面に遠赤外線放射塗料１０３ｃを塗布した例を示したが、条件によっては上記内管１０３の外周面に遠赤外線放射塗料１０３ｃを塗布することも可能であり、このような構成においても、遠赤外線放射塗料１０３ｃを内管１０３の内周面に塗布したと同等の作用効果を奏することは勿論である。
【００５０】
なお、上述した各実施例においては、半導体製造に関わる様々なプロセスに使用される薬液、特にガルテン等の遠赤外線を吸収し易い薬液の温度調節に、本発明の加熱器を適用した例を示したが、例示したガルテン以外の様々な薬液の温度管理においても、本発明の加熱器を有効に適用し得ることは勿論である。
【００５１】
さらに、上述した実施例においては、半導体装置の製造分野に本発明を適用した例を示したが、遠赤外線放射による被加熱流体の加熱を必要とする様々な産業分野における諸設備に対しても、本発明の加熱器を有効に適用し得ることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明を適用したハロゲンランプヒータの実施例を示す流体加熱装置の概念的な断面側面図。
【図２】(ａ)および(ｂ)は、図１に示したハロゲンランプヒータの外観側面図および外観平面図。
【図３】(ａ)は図１に示したハロゲンランプヒータの要部断面側面図、(ｂ)は(ａ)中のｂ−ｂ線断面図、(ｃ)は(ａ)中のｃ−ｃ線断面図。
【図４】本発明を適用したハロゲンランプヒータの他の実施例を示す流体加熱装置の概念的な断面側面図。
【図５】(ａ)および(ｂ)は、図４に示したハロゲンランプヒータの外観側面図および外観平面図。
【図６】(ａ)は図５に示したハロゲンランプヒータの断面側面図、(ｂ)は(ａ)中のｂ−ｂ線断面図、(ｃ)は(ａ)中のｃ−ｃ線断面図。
【図７】本発明を適用した加熱流体装置の実施例を示す概念的な断面側面図。
【図８】図７に示した流体加熱装置の要部断面側面図。
【図９】図８中のIX−IX線断面図。
【図１０】従来の流体加熱装置を示す概念的な外観斜視図。
【図１１】図１０に示した流体加熱装置の断面側面図。
【図１２】(ａ)は従来のハロゲンランプヒータを示す全体側面図、(ｂ)は(ａ)中のｂ−ｂ線断面図。
【図１３】(ａ)は従来のハロゲンランプヒータを示す全体側面図、(ｂ)は(ａ)中のｂ−ｂ線断面図。
【符号の説明】
【００５３】
１…流体加熱装置、
２…外管、
３…内管、
１０…ハロゲンランプヒータ(加熱器)、
１０ａ…ヒータ管、
１０ｂ…端部ベース、
１０ｆ…フィラメント、
１０ｏ…アウター管、
１０ｃ…遠赤外線放射塗料、
１′…流体加熱装置、
２′…外管、
３′…内管、
１０′…ハロゲンランプヒータ(加熱器)、
１０ａ′…ヒータ管、
１０ｂ′…端部ベース、
１０ｆ′…フィラメント、
１０ｏ′…アウター管、
１０ｃ′…遠赤外線放射塗料、
１００…流体加熱装置(加熱器)、
１０２…外管、
１０３…内管、
１０３ｃ…遠赤外線放射塗料、
１１０…ハロゲンランプヒータ、
１１０ａ…ヒータ管、
１１０ｂ…端部ベース、
１１０ｆ…フィラメント。
【図１】
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【図２】
2009099259.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009099259.tif 000009
【図８】
2009099259.tif 000010
【図９】
2009099259.tif 000011
【図１０】
2009099259.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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