(57)【要約】【課題】顕微鏡装置において、簡素な構成で焦準合わせの高精度化を図る。【解決手段】対物レンズ５をその光軸方向（矢印Ｄ１）に移動させることで焦準位置を合わせる顕微鏡装置１において、対物レンズ５が配置されるレボルバ６を支持し、対物レンズ５と共に上記光軸方向（矢印Ｄ１）に移動するレボルバ支持部４と、アクチュエータ（１０）を有し、レボルバ支持部４を移動させることで対物レンズ５を上記光軸方向（矢印Ｄ１）に移動させる移動機構７と、レボルバ支持部４を上記光軸方向（矢印Ｄ１）に微小に移動させる変位発生素子（９）とを備え、変位発生素子（９）は、アクチュエータ（１０）とレボルバ支持部４との間に配置される構成とする。【選択図】図１
2009156903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズをその光軸方向に移動させることで焦準位置を合わせる顕微鏡装置において、
前記対物レンズが配置されるレボルバを支持し、前記対物レンズと共に前記光軸方向に移動するレボルバ支持部と、
アクチュエータを有し、前記レボルバ支持部を移動させることで前記対物レンズを前記光軸方向に移動させる移動機構と、
前記レボルバ支持部を前記光軸方向に微小に移動させる変位発生素子とを備え、
前記変位発生素子は、前記アクチュエータと前記レボルバ支持部との間に配置される、
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記変位発生素子は、前記移動機構と前記レボルバ支持部との間に配置されることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記移動機構と前記レボルバ支持部との間に配置されたリンク機構を更に備え、
該リンク機構は、前記レボルバ支持部の移動方向と直交する方向から前記移動機構による動力を受け、該移動機構による動力を前記レボルバ支持部の移動方向に変換する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
前記変位発生素子は、前記リンク機構と前記レボルバ支持部との間に配置される、
ことを特徴とする請求項３記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
前記レボルバ支持部は、倍率の異なる複数の前記対物レンズが配置される前記レボルバを支持し、
前記顕微鏡装置は、前記複数の対物レンズの各々に対して設定された条件に基づいて前記移動機構及び前記変位発生素子の少なくとも一方を制御する制御部を更に備える、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項記載の顕微鏡装置。
【請求項６】
オートフォーカスユニットを更に備え、
前記制御部は、操作者が焦準移動量を入力する操作部に接続され、前記複数の対物レンズの各々に対して入力された前記焦準移動量及び前記オートフォーカスユニットによる焦準移動量に基づいて、前記移動機構及び前記変位発生素子を制御する、
ことを特徴とする請求項５記載の顕微鏡装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記オートフォーカスユニットによるオートフォーカス時において、前記移動機構に対し合焦動作を行わせた後、前記変位発生素子による合焦動作を行わせることを特徴とする請求項６記載の顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、標本の拡大観察を行う顕微鏡装置に関し、更に詳しくは、対物レンズをその光軸方向に移動させる技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡装置は、観察標本が小さい場合には観察標本が載置されるステージの上下機構で焦点合わせを行うことが多いが、液晶基板はもとより半導体ウエハの検査に用いる顕微鏡装置においては、観察標本の大口径化により、顕微鏡の焦点合わせは対物レンズを光軸方向に上下させる方式が主流になってきている。
【０００３】
対物レンズの上下動作には、モータ、ボールネジ、ガイド等を組み合わせた機構で、必要な移動分解能を確保する方法が一般的である（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１記載の顕微鏡ユニットは、光学ユニット、対物レンズ用レボルバ、焦準機構、照明光源等を備え、電動アクチュエータの制御により焦準調整を行う構成となっている。焦準機構は、モータ、ボールネジ、ガイド及び、動力を水平方向から鉛直方向に変換するリンク機構を組み合わせた構成となっている。
【０００４】
また、移動ストロークは短いものの細かな微動送りが可能なアクチュエータである圧電素子を用いた移動ステージも広く一般的に知られている（例えば、特許文献２参照）。
特許文献２記載の焦準調整機構は、光軸方向へ移動自在に顕微鏡本体に支持された粗動台、及び、この粗動台を移動させるための粗動機構、並びに、光軸方向へ移動自在に粗動台に支持され試料台または対物レンズが取り付けられた微動台、及び、この微動台を粗動台に固定された圧電素子により微動させる微動機構を備え、焦点調整の高精度化を図っている。
【特許文献１】国際公開第０１／０７１４０６号パンフレット
【特許文献２】特開平６−１０９９６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年、半導体デザインルールの微細化のため、例えば光学顕微鏡では限界に近い高倍率での観察が要求されている。また、解像度を向上させるために深紫外領域の光源を使った観察方法も実用化されている。これらの観察では、通常の対物レンズよりも被写界深度が浅くなるため、焦準合わせについても高分解能化が要求されている。
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１記載の顕微鏡ユニットでは、モータの位置決め精度、ボールネジのバックラッシ等の駆動系の微小なガタつきによって、高精度な移動分解能を確保することが困難になってしまっていた。その結果、高倍率時のオートフォーカスで合焦位置が合いづらいといった課題があった。
【０００７】
また、上記特許文献２記載の焦点調整機構は、粗動及び微動のための機構に加えて、粗動台及び微動台をも要するため、構成が複雑になってしまっていた。
本発明の目的は、上記従来の実情に鑑み、簡素な構成で焦準合わせの高精度化を図ることができる顕微鏡装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の顕微鏡装置は、対物レンズをその光軸方向に移動させることで焦準位置を合わせる顕微鏡装置において、上記対物レンズが配置されるレボルバを支持し、上記対物レンズと共に上記光軸方向に移動するレボルバ支持部と、アクチュエータを有し、上記レボルバ支持部を移動させることで上記対物レンズを上記光軸方向に移動させる移動機構と、上記レボルバ支持部を上記光軸方向に微小に移動させる変位発生素子とを備え、上記変位発生素子は、上記アクチュエータと上記レボルバ支持部との間に配置される構成とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、変位発生素子（例えば圧電素子）をレボルバ支持部とアクチュエータとの間に配置しているため、変位発生素子によりレボルバ支持部を微小に移動させるための複雑な機構を要さない。また、変位発生素子がレボルバ支持部とアクチュエータとの間に配置されているため、移動機構（アクチュエータ等）のガタつきに起因する焦準合わせの精度悪化を抑えることができる。よって、本発明によれば、簡素な構成で焦準合わせの高精度化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態に係る顕微鏡装置について、図面を参照しながら説明する。
＜一実施の形態＞
図１（ａ）は、本発明の一実施の形態に係る顕微鏡装置１の焦準機構２を示す、筐体３を省略して水平方向から見た概略構成図であり、図１（ｂ）は上方から見た概略構成図である。ここで、図１（ａ）は、紙面に平行な面内の上方に向かう方向をＺ軸方向、紙面に平行な面内の右方向でＺ軸方向と直交する方向をＸ軸、Ｚ軸方向及びＸ軸方向に直交（即ち、紙面に直交）し、紙面の表面裏面に向かう方向をＹ軸方向とする。
【００１１】
図１（ａ）及び（ｂ）において、顕微鏡装置１は、焦準機構２、レボルバ支持部４、対物レンズ５、レボルバ６、図１（ｂ）には図示しない制御部１５、操作部１６等を備えている。
【００１２】
レボルバ支持部４は、対物レンズ５が配置されるレボルバ６を支持し対物レンズ５と共に対物レンズ５の光軸方向（Ｚ軸方向である矢印Ｄ１）に移動する構成となっている。また、レボルバ支持部４は、図示しない上下駆動用のガイドによって高精度に上下移動することが可能となっており、重力に従って下向き移動しようとするが、後述のリンク機構８により支えられて、Ｚ軸方向の位置が決められている。なお、レボルバ６には、倍率の異なる複数の対物レンズ５が配置されているものとする。
【００１３】
焦準機構２は、移動機構７、リンク機構８及び、変位発生素子としての圧電素子９を有している。
移動機構７は、アクチュエータとしてのステッピングモータ１０に加え、カップリング１１、軸受け１２、ボールネジ１３及びガイド１４から構成され、リンク機構８に対し、Ｘ軸方向（矢印Ｄ２）から動力を伝えている。
【００１４】
即ち、リンク機構８は、後述する圧電素子９の伸縮方向である光軸方向（Ｚ軸方向である矢印Ｄ１）と直交する方向（Ｘ軸方向である矢印Ｄ２）から、移動機構７による動力を受けている。そして、リンク機構８は、Ｘ軸方向（矢印Ｄ２）の動力を光軸方向（Ｚ軸方向である矢印Ｄ１）の動力に変換している。
【００１５】
具体的には、リンク機構８は、圧電素子９との接触側（作動部）及びボールネジ１３との接触側にベアリング８ａ，８ｂを有し、支点８ｃを中心にベアリング８ａ，８ｂが円弧軌道を描くように移動して、水平方向（矢印Ｄ２）の動力を光軸方向（矢印Ｄ１）の動力に変換している。但し、ベアリング８ａ，８ｂは、図１（ｂ）に示すように同一のＸＺ平面上にはなく、シャフト支持部８ｄ，８ｅにより軸支された支点８ｃを回転軸としたクランクとして力を伝達している。
【００１６】
圧電素子９は、伸縮することで電圧の変化を微小な変位に変換し、レボルバ支持部４を上記光軸方向（矢印Ｄ１）に微小に移動（極微動）させている。これにより、顕微鏡装置１は、高倍率観察時でも必要十分な焦準動作を行うことができる。
【００１７】
また、圧電素子９は、ステッピングモータ１０（アクチュエータ）とレボルバ支持部４との間として、本実施の形態では、移動機構７とレボルバ支持部４との間に配置されており、具体的には、リンク機構８（ベアリング８ａ）とレボルバ支持部４との間に挟み込まれている。
【００１８】
なお、圧電素子９は、ステッピングモータ１０とレボルバ支持部４との間に配置されればよいため、例えば、移動機構７とリンク８との間に配置してもよい。また、本実施形態では、変位発生素子として圧電素子９を採用しているが、レボルバ支持部４を極微動（微小に移動）させることができるものであれば採用可能である。
【００１９】
移動機構７は、ステッピングモータ１０がカップリング１１及び軸受け１２を介してボールネジ１３を回転させることで、レボルバ支持部４を移動させ、対物レンズ５を上記光軸方向（矢印Ｄ１）に粗動及び微動させている。なお、ボールネジ１３には、高精度な水平移動を実現するためのガイド１４が設けられている。
【００２０】
制御部１５は、レボルバ６、圧電素子９、ステッピングモータ１０等に接続され、これらを制御することが可能となっている。また、詳しくは後述するが、制御部１５は、複数の対物レンズ５の各々に対して、標本の観察倍率、対物レンズ５毎のＷＤ（ワーキングディスタンス）等予め設定された条件に基づいて、移動機構７及び圧電素子９の動作を制御している。なお、制御部１５は、移動機構７及び圧電素子９の一方として、例えば圧電素子９のみを制御する構成とすることも可能であるが、構成の簡素化の観点から、移動機構７及び圧電素子９の両方を制御部１５により一括制御する構成とすることが望ましい。また、制御部１５は、通信回線などを通じて各種設定される条件を入手して記憶している。
【００２１】
操作部１６は、制御部１５に接続されており、操作者が焦準移動量を入力することが可能となっている。なお、操作部１６は、顕微鏡装置１自体に設けられていても、制御部１５に有線又は無線で接続された、顕微鏡装置１とは別個のものであってもよい。
【００２２】
以上のように、顕微鏡装置１は、移動機構７による粗動モード及び微動モード、並びに、圧電素子９による極微動モードの３モードで対物レンズ５を光軸方向（矢印Ｄ１）に移動させることにより対物レンズ５の焦準位置を合わせている。
【００２３】
なお、対物レンズ５を移動させる移動モードは、移動機構７及び圧電素子９の両方を用いたものであれば、本実施の形態のように３種のモードでなくとも、２種のモード又は４種以上のモードであってもよい。
【００２４】
図２は、上記顕微鏡装置１の筐体３の内部構成を示す概略構成図である。
同図において、顕微鏡装置１は、落射顕微鏡観察に必要な光学ユニットが筐体３内に一体化され、電動で光学ユニットをリモートコントロール可能な構成となっている。筐体３内には、図２においては図示しない焦準機構２（移動機構７、リンク機構８及び圧電素子９）に加えて、ＡＦ（オートフォーカス）ユニット１７、ＦＳ（視野絞り、Field Stop）ユニット１８、ＡＳ（明るさ絞り、Aperture Stop）ユニット１９、キューブ２０、光源２１、レンズ２２，２３等が配置されている。なお、筐体３内にはレボルバ支持部４も配置されているが、レボルバ支持部４の下部は、光軸方向（矢印Ｄ１）の移動量によって筐体３から下方に突出することもある。
【００２５】
複数の対物レンズ５を装着できるレボルバ６は、制御部１５により電動で対物レンズ５の種類（倍率）を変換可能となっている。筐体３内には、高画質な顕微鏡観察に必要なＦＳユニット１８による視野絞りや、ＡＳユニット１９による明るさ絞りの電動切り替え機構も内蔵されており、例えば制御部１５を介してリモートで制御することができる。
【００２６】
観察方法は、明視野観察と暗視野観察の２種類が可能となっており、それぞれのキューブ２０をやはりリモートで切り替えることによって観察方法を選択することができる。
光源２１としては、ハロゲンランプが一般的だが、高輝度白色ＬＥＤ等の他の光源を使用してもよい。筐体３の上部には、図示しない接眼鏡筒を直接設置して肉眼観察したり、ＴＶカメラアダプタ及びＣＣＤカメラを設置してＴＶモニタを介して顕微鏡画像を観察したりすることもできる。
【００２７】
筐体３内の構成は一例にすぎないが、本実施の形態では、光源２１から照射される光はレンズ２２、ＡＳユニット１９、ＦＳユニット１８及びレンズ２３を介してキューブ２０に導光される。そして、この光は、キューブ２０において反射し、対物レンズ５の下方に位置する液晶基板や半導体ウエハなどの標本に導光される。この標本において反射した光は、キューブ２０を透過し、上記接眼鏡筒或いはＴＶカメラ等を介して観察される。
【００２８】
以下、本実施の形態の作用について説明する。
まず、顕微鏡装置１の下の図示しないステージに半導体ウェハなどの基板の標本が搬送される。制御部１５は、搬送された標本について事前に入手した観察倍率の情報から、レボルバ６を自動操作するか、又は操作者が操作部１６から操作することにより観察時の対物レンズ５を選択する。
【００２９】
操作者が手動で合焦を行う場合（このときの動作を「ＪＯＧ動作」と呼ぶこととする。）は、操作部１６にある粗動用上下ボタンと微動用ＪＯＧダイアルによる操作を行う。操作者は、図示しない接眼レンズ又は観察画像の表示を行うモニタを見ながら粗動用上下ボタンによりレボルバ支持部４を下降させ大まかな焦点を合わせる。そして、微動用ＪＯＧダイアルを回すことによりレボルバ支持部４を上下動させ、さらに詳細に追い込みの合焦動作を行う。
【００３０】
このとき制御部１５は、選択された対物レンズ５の倍率が所定の倍率、例えば５０倍以下であるとき、粗動用上下ボタンを押すと予め設定された速度で移動機構７を動作させ粗動の合焦動作を行い、微動用ＪＯＧダイアルを回すことにより先の予め設定された粗動用上下ボタンを押したときの速度より遅い速度で移動機構７を動作させ微動の合焦動作を行う。
【００３１】
また、選択された対物レンズ５の倍率が、所定の倍率、例えば５０倍より大きいとき、制御部１５は、粗動用上下ボタンが押されると、予め設定された速度で移動機構７を動作させ微動の合焦動作を行い、微動用ＪＯＧダイアルを回すことにより圧電素子９を動作させ極微動の合焦動作を行う。
【００３２】
ここで、粗動用上下ボタンをなくして、粗動と微動の切り替えボタンを設けることにより微動用ＪＯＧダイアルのみで操作できるようにしてもよい。
次に、ＡＦ動作を行う場合は、操作者が操作部１６のＡＦボタンを押すことによりＡＦが開始される。ＡＦユニット１７が周知のナイフエッジ法によるアクティブＡＦ方式でオートフォーカスを行うものとして説明する。
【００３３】
ＡＦユニット１７は、ＡＦ用のレーザ光を射出し、レーザ光は対物レンズ５を通して標本に照射される。標本からの反射光は、位置情報を含む光として再度対物レンズ５に入射して、ＡＦユニット１７に入射する。ＡＦユニット１７は、検出器として２分割フォトディテクタを備え、２つのディテクタの受光した光量を演算することにより合焦の度合いを示す信号を作成する。
【００３４】
ＡＦユニット１７は、検出された信号を制御部１５に送信する。制御部１５は、受け取った信号が予め設定された閾値の範囲に収まるようレボルバ支持部４を移動させ合焦動作を行う。
【００３５】
ここで、対物レンズ５の倍率が所定の倍率、例えば５０倍以下のとき、移動機構７のみを用いて合焦動作を行う。また、対物レンズ５の倍率が所定の倍率、例えば５０倍より大きい場合は、予め記憶されている合焦と判定する閾値が所定より大きな値に設定され、ある程度の合焦が得られたところで、圧電素子９による動作に切り替えて極微動の合焦が行われる。
【００３６】
図３は、上記顕微鏡装置１の制御部１５に設定される焦準動作設定例を示す図表である。
同図に示すように、ＡＦユニット１７によるオートフォーカス（ＡＦ）、及び、操作部１６における操作者のＪＯＧ動作は、対物レンズ５の倍率（５×、１０×、５０×、１００×、１５０×）ごとに動作モードを設定することが可能となっている。
【００３７】
例えば、低倍の５倍、１０倍及び５０倍では、ＡＦ時は移動機構７のみを使用しての粗動モードのみで動作し、ＪＯＧ動作時は移動機構７のみを使用しての粗動モード及び微動モードの２段階で焦準スピードの切り替えを行う。
【００３８】
一方、高倍の１００倍及び１５０倍では、ＡＦ時は移動機構７による粗動モード及び圧電素子９による極微動モードの２段階で焦準スピードの切り替えを行う。また、ＪＯＧ動作時は移動機構７による微動モード及び圧電素子９による極微動モードの２段階で焦準スピードの切り替えを行う。
【００３９】
そして、制御部１５は、操作部１６において入力された焦準移動量及びオートフォーカスユニット１７による焦準移動量に基づいて、移動機構７及び圧電素子９を制御している。
【００４０】
なお、ＪＯＧ動作は、移動機構７による粗動モード及び微動モード並びに圧電素子９による極微動モードの３段階切り替えとなっているが、対物レンズ５の切り替えと同時に自動的に対物レンズ５に対応する設定に変更されるため、操作者は全く意識せずにマニュアルで焦準位置を探す作業を行うことができる。
【００４１】
以上説明した本実施の形態では、圧電素子９をレボルバ支持部４とステッピングモータ１０との間に配置しているため、圧電素子９によりレボルバ支持部４を極微動させるための複雑な機構を要さない。また、圧電素子９がレボルバ支持部４とステッピングモータ１０との間に配置されているため、移動機構７のガタつきに起因する焦準合わせの精度悪化を抑えることができる。よって、本実施の形態によれば、簡素な構成で焦準合わせの高精度化を図ることができる。
【００４２】
更には、圧電素子９をレボルバ支持部４とステッピングモータ１０との間に配置すればよいため、従来型の顕微鏡装置等へも本実施の形態の構成を簡単に適用することができ、したがって、設置性に優れるという効果をも奏する。
【００４３】
また、本実施の形態では、圧電素子９は、移動機構７とレボルバ支持部４との間に配置されている。そのため、移動機構７のガタつきに起因する焦準合わせの精度悪化をより有効に抑えることができ、したがって、より一層、焦準合わせの高精度化を図ることができる。
【００４４】
また、本実施の形態では、移動機構７とレボルバ支持部４との間に配置されたリンク機構８は、レボルバ支持部４の移動方向（対物レンズ５の光軸方向である矢印Ｄ１）と直交する方向（矢印Ｄ２）から移動機構７による動力を受け、この移動機構７による動力をレボルバ支持部４の移動方向（矢印Ｄ１）に変換している。そのため、例えば、対物レンズ５の光軸方向（矢印Ｄ１）を本実施の形態のように鉛直方向とした場合には、鉛直方向に顕微鏡装置１が大きくならず、顕微鏡装置１の水平方向のスペースを有効に利用することができる。したがって、より一層、簡素な構成とすることができる。
【００４５】
また、本実施の形態では、圧電素子９は、リンク機構８とレボルバ支持部４との間に配置されている。そのため、移動機構７に加えリンク機構８のガタつきに起因する焦準合わせの精度悪化をも抑えることができ、したがって、より一層、焦準合わせの高精度化を図ることができる。また、リンク機構８がどの位置にあっても、圧電素子９の駆動量はリニアに設定すればよく、不要な演算を省くことができる。
【００４６】
また、本実施の形態では、レボルバ支持部４は、倍率の異なる複数の対物レンズ５が配置されるレボルバ６を支持し、制御部１５は、複数の対物レンズ５の各々に対して設定された条件に基づいて移動機構７及び圧電素子９の少なくとも一方（本実施の形態では両方）を制御している。そのため、複数の対物レンズ５における焦準合わせを有効に行わせることができ、したがって、より一層、焦準合わせの高精度化を図ることができる。
【００４７】
また、本実施の形態では、制御部１５は、操作者が焦準移動量を入力する操作部１６に接続され、複数の対物レンズ５の各々に対して入力された焦準移動量、及び、オートフォーカスユニット１７（オートフォーカス）による焦準移動量に基づいて、移動機構７及び圧電素子９を制御している。そのため、複数の対物レンズ５における焦準合わせをより有効に行わせることができ、したがって、より一層、焦準合わせの高精度化を図ることができる。
【００４８】
また、本実施の形態では、制御部１５は、高倍率（１００×、１５０×）でのオートフォーカスユニット１７によるオートフォーカス時及び操作者によるＪＯＧ動作時において、移動機構７に対し合焦動作（粗動又は微動）を行わせた後、圧電素子９による合焦動作（極微動）を行わせている。そのため、複数の対物レンズ５における焦準合わせをより有効に行わせることができ、したがって、より一層、焦準合わせの高精度化を図ることができる。
【００４９】
＜他の実施の形態＞
本実施の形態は、上記一実施の形態における移動機構７を鉛直方向であるＺ軸方向に配置した移動機構３７とすると共に、リンク機構８を省略して動力の方向を変換しない接続部３８とした点を除いて上記一実施の形態と同様であるため、上記実施の形態と同一のものには同一の符号を付して説明を省略する。
【００５０】
図４は、本発明の他の実施の形態に係る顕微鏡装置３１の焦準機構３２を示す概略構成図である。
同図において、顕微鏡装置３１は、焦準機構３２、レボルバ支持部４、対物レンズ５、レボルバ６、制御部１５、操作部１６等を備えている。
【００５１】
焦準機構３２は、移動機構３７及び、変位発生素子としての圧電素子９を有している。
移動機構３７は、アクチュエータとしてのステッピングモータ１０に加え、カップリング１１、軸受け１２、ボールネジ１３、ガイド１４及び接続部３８から構成され、鉛直方向（矢印Ｄ１）の動力を、圧電素子９を介してレボルバ支持部４に伝えている。なお、接続部３８には、レボルバ支持部４及び圧電素子９側の一端にベアリング３８ａが設けられており、残る他端においてボールネジ１３に接続されている。
【００５２】
圧電素子９は、ステッピングモータ（アクチュエータ）１０とレボルバ支持部４との間として、本実施の形態では、移動機構３７（具体的には、接続部３８のベアリング３８ａ）とレボルバ支持部４との間に挟み込まれている。
【００５３】
以上説明した本実施の形態においても、レボルバ支持部４を極微動させる圧電素子９を、レボルバ支持部４とステッピングモータ１０との間、具体的にはレボルバ支持部４と移動機構３７との間に配置しているため、圧電素子９によりレボルバ支持部４を極微動させるための複雑な機構を要さない。また、圧電素子９がレボルバ支持部４とステッピングモータ１０との間に配置されているため、移動機構３７のガタつきに起因する焦準合わせの精度悪化を抑えることができる。よって、本実施の形態によれば、簡素な構成で焦準合わせの高精度化を図ることができる。
【００５４】
また、本実施の形態では、上記一実施の形態のリンク機構８を省略し、移動機構３７による鉛直方向の動力をレボルバ支持部４に伝達している。そのため、上記一実施の形態よりも、更に機械的な誤差を抑えることができ、したがって、より一層、焦準合わせの高精度化を図ることができる。
【００５５】
また、本実施の形態によれば、移動機構３７を光軸方向（矢印Ｄ１）に配置していることでリンク機構８を省略することができるため、部品点数を少なくすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】図１（ａ）は、本発明の一実施の形態に係る顕微鏡装置の焦準機構を示す、筐体を省略して水平方向から見た概略構成図であり、図１（ｂ）は上方から見た概略構成図である。
【図２】上記一実施の形態に係る顕微鏡装置の筐体の内部構成を示す概略構成図である。
【図３】上記一実施の形態に係る顕微鏡装置の制御部に設定される焦準動作設定例を示す図表である。
【図４】本発明の他の実施の形態に係る顕微鏡装置の焦準機構を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００５７】
１      顕微鏡装置
２      焦準機構
３      筐体
４      レボルバ支持部
５      対物レンズ
６      レボルバ
７      移動機構
８      リンク機構
８ａ，８ｂ      ベアリング
８ｃ      支点
８ｄ，８ｅ      シャフト支持部
９      圧電素子
１０      ステッピングモータ
１１      カップリング
１２      軸受け
１３      ボールネジ
１４      ガイド
１５      制御部
１６      操作部
１７      ＡＦユニット
１８      ＦＳユニット
１９      ＡＳユニット
２０      キューブ
２１      光源
２２，２３      レンズ
３１      顕微鏡装置
３２      焦準機構
３７      移動機構
３８      接続部
３８ａ      ベアリング
【図１】
2009156903.tif 000003
【図２】
2009156903.tif 000004
【図３】
2009156903.tif 000005
【図４】
2009156903.tif 000006