(57)【要約】【課題】実際に撮像を行うことなく信号処理部の動作確認を行なうことができると共に、所望のデータでの動作確認を容易に実現することができるＣＭＯＳイメージセンサを提供する。【解決手段】画素１がマトリクス状に配列された画素アレイ部２と、画素列毎に配線された垂直信号線１６と、垂直信号線に接続されて画素から読み出された電気信号を保持するカラムラッチ１９と、カラムラッチを順次選択する選択信号を供給可能に構成された水平転送部６とを備えるＣＭＯＳイメージセンサであって、水平走査部を構成するシフトレジスタの各レジスタからカラムラッチのラッチ部に所定のデータを供給可能に構成する。【選択図】図１（ｂ）
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、
該画素アレイ部の画素列毎に配線された垂直信号線と、
該垂直信号線に接続されて前記画素から読み出された電気信号を保持する保持部と、
該保持部を順次選択する選択信号を供給可能に構成されると共に、前記保持部に所定のデータ信号を供給可能に構成された水平走査部と、
該水平走査部により選択された保持部から読み出された電気信号を出力する信号処理部とを備える
ことを特徴とする固体撮像素子。
【請求項２】
前記水平走査部は、シフトレジスタを備え、
該シフトレジスタを構成する各レジスタは、同レジスタに対応する前記保持部に同保持部を選択するための選択信号を供給可能に構成されると共に、対応する前記保持部に所定のデータ信号を供給可能に構成された
ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項３】
前記信号処理部は、読み出された電気信号を所定の期待値と比較し、該比較の結果を出力する期待値確認部を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項４】
画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、
該画素アレイ部の画素列毎に配線された垂直信号線と、
該垂直信号線に接続されて前記画素から読み出された電気信号を保持する保持部と、
該保持部を順次選択する選択信号を供給可能に構成されると共に、前記保持部に所定のデータ信号を供給可能に構成された水平走査部と、
該水平走査部により選択された保持部から読み出された電気信号を出力する信号処理部とを備える固体撮像素子の検査方法であって、
前記水平走査部から前記保持部に所定のデータ信号を入力する工程と、
前記保持部に入力された所定のデータを前記信号処理部に読み出す工程とを備える
固体撮像素子の検査方法。
【請求項５】
画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、
該画素アレイ部の画素列毎に配線された垂直信号線と、
該垂直信号線に接続されて前記画素から読み出された電気信号を保持する保持部と、
シフトレジスタを備える水平走査部と、
該水平走査部により選択された保持部から読み出された電気信号を出力する信号処理部とを備え、
前記シフトレジスタを構成する各レジスタが、同レジスタに対応する前記保持部に同保持部を選択するための選択信号を供給可能に構成されると共に、対応する前記保持部に所定のデータ信号を供給可能に構成された固体撮像素子の検査方法であって、
前記レジスタ間で所定のデータ信号を転送する工程と、
前記レジスタから、同レジスタが対応する前記保持部に所定のデータ信号を入力する工程と、
前記保持部に入力された所定のデータを前記信号処理部に読み出す工程とを備える
固体撮像素子の検査方法。
【請求項６】
前記信号処理部に読み出された電気信号を所定の期待値と比較し、該比較の結果を出力する工程を備える
請求項４または請求項５に記載の固体撮像素子の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は固体撮像素子及びその検査方法に関する。詳しくは、特にＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサに代表されるＸ−Ｙアドレス型固体撮像素子及びその検査方法に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＭＯＳイメージセンサは、図２（ａ）及び図２（ｂ）で示す様に、光電変換素子を有する多数の画素１０１がマトリクス状に配列された画素アレイ部１０２と、画素アレイ部の各画素を１行ずつ選択して各画素のシャッタ動作や読み出し動作を制御する垂直走査部１０３と、画素アレイ部からの信号を１行分ずつ読み出して、列毎に所定の信号処理を行なうカラム信号処理部１０４と、カラム信号処理部の信号を１つずつ選択して水平信号線１０５に導く水平走査部１０６と、水平信号線からの信号を意図した出力形態にデータ変換を行なう信号処理部１０７と、基準クロックに基づいて各部の動作に必要な各種パルス信号を供給するタイミングジェネレータ１０８を有する。
【０００３】
ここで、画素アレイ部の各画素は、図３で示す様に、光電変換によって生成された電子が蓄積するフォトダイオード（ＰＤ）１１０と、ＰＤに蓄積した電子をフローティングディフュージョン（ＦＤ）１１１に転送するための転送トランジスタ（転送Ｔｒ）１１２と、ゲートがＦＤと接続されてＦＤの電位変動を電気信号に変換するための増幅トランジスタ（増幅Ｔｒ）１１３と、信号を読み出す画素を行単位で選択するための選択トランジスタ（選択Ｔｒ）１１４と、ＦＤの電位を電源電位（Ｖｄｄ）にリセットするためのリセットトランジスタ（リセットＴｒ）１１５を有している。また、選択Ｔｒは、画素列毎に配線された垂直信号線１１６とソースフォロア構造で接続されている。
【０００４】
また、カラム信号処理部１０４は、コンパレータ１１７、カラムカウンタ１１８及びカラムラッチ１１９を有しており、コンパレータ１１７は垂直信号線と接続されており、画素に蓄積された電荷が画素出力として入力されると共に、カウンタクロックの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングでその出力値が一定割合で減少するランプ波が入力され（図４中の"ランプ波"参照。）、画素出力とランプ波の関係が「（ランプ波）＞（画素出力）」の関係を満たす場合にはハイレベル（Ｈレベル）信号を出力し、「（ランプ波）＜（画素出力）」の関係を満たす場合にはローレベル（Ｌレベル）信号を出力する様に構成されている（図４中の"コンパレータ出力"参照。）。
【０００５】
更に、カラムカウンタ１１８はＤＤＲカウンタ（Ｄｏｕｂｌｅ  Ｄａｔｅ  Ｒａｔｅ）カウンタであり、即ち、入力されるカウンタクロックの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングの両方でカウントする構成を採るカウンタであり（図４中の"カウンタ出力"参照。）、コンパレータからの出力信号がＬレベルとなったタイミングでカウントが停止し、そのカウンタ値を画素出力のデジタル値として出力する様に構成されている。
【０００６】
また、カラムラッチ１１９は、信号処理部内のタイミング制御部からの"カラムカウンタ結果取り込み指示信号"に基づいてラッチ部１１９ａにカラムカウンタの出力を取り込み可能に構成されると共に、信号処理部内のタイミング制御部からの"水平走査開始信号"に基づいて発せられる水平走査部からの"データ出力指示信号（選択信号）"によって、ラッチ部に取り込んだカラムカウンタの出力を水平信号線１０５に出力する様に構成されている。
【０００７】
更に、水平走査部はシフトレジスタを有しており、シフトレジスタを構成する各レジスタ（フリップフロップ）は、信号処理部内のタイミング制御部からの"水平走査開始信号"に基づいて、対応するカラムラッチに順次"データ出力指示信号"を供給可能に構成されている。
【０００８】
上記の様に構成されたＣＭＯＳイメージセンサでは、垂直走査部からの"行選択指示"によって画素アレイ部の任意の行が出力選択されることとなり、選択された行はコンパレータ及びカラムカウンタを経由して、カラムカウンタのカウント値として画素データが決定される。カラムカウンタのカウント値は、信号処理部内のタイミング制御部からの"カラムカウンタ結果取り込み指示信号"に基づいて、カラムラッチのラッチ部に取り込まれる。その後、信号処理部内のタイミング制御部からの"水平走査開始信号"に基づいて、水平走査部の各レジスタから順に"データ出力指示信号"が供給され、カラムラッチのラッチデータを順に水平信号線に出力する。水平信号線に出力されたデータはセンスアンプ１２０に取り込まれ、信号処理部に転送されて信号処理部内の信号データ処理部により信号出力処理が施された後に、ＣＭＯＳイメージセンサ出力として出力されることとなる。
【０００９】
ところで、従来の固体撮像素子の検査、特に量産選別検査では、固体撮像素子に対して光を照射して実際に撮像を行い、そのときの撮像信号を用いて検査を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
こうした実際に撮像を行う検査方法によれば、実際の使用条件に近い状態で検査を行なうことが可能であると共に、実際に撮像された画像情報に基づいて固体撮像素子の良否判定がなされるために量産選別に当たっての選別基準を設定し易くなる。
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−２５８０５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述した従来の固体撮像素子の検査方法では、カラムラッチでのラッチ部でデータを取り込んだ後の処理に関しての動作確認を行なう場合であっても、実際に撮像を行なう必要が生じてしまう。なお、実際に撮像を行う検査方法の場合には、光源の制御が必要であったり、実使用時の蓄積時間だけ待たなければなかったりするため検査に長時間を要してしまう。また、通常のロジックテスタではなく、検査用の高精度な光源が搭載された特殊なシステムを導入する必要があるために、設備投資が大きくなってしまう。
【００１２】
また、カラムラッチでのラッチ部でデータを取り込んだ後の処理に関しての動作確認を行なうにあたって、カラムラッチに所望のデータを取り込みたいという要望が現に存在するのであるが、実際に撮像を行う検査方法の場合には、取り込みたいデータを撮像によって作り出す必要が生じ、そのための撮像制御は非常に困難なものである。
【００１３】
本発明は以上の点に鑑みて創案されたものであって、実際に撮像を行うことなく信号処理部の動作確認を行なうことができると共に、所望のデータでの動作確認を容易に実現することができる固体撮像素子及びその検査方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の目的を達成するために、本発明に係る固体撮像素子は、画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、該画素アレイ部の画素列毎に配線された垂直信号線と、該垂直信号線に接続されて前記画素から読み出された電気信号を保持する保持部と、該保持部を順次選択する選択信号を供給可能に構成されると共に、前記保持部に所定のデータ信号を供給可能に構成された水平走査部と、該水平走査部により選択された保持部から読み出された電気信号を出力する信号処理部とを備える。
【００１５】
ここで、保持部を順次選択する選択信号を供給可能に構成されると共に、保持部に所定のデータ信号を供給可能に構成された水平走査部によって、画素アレイ部で撮像を行なうことなく水平走査部から保持部へのデータ信号の入力が可能となる。また、撮像を行なうことなく水平走査部から保持部へのデータ信号の入力ができるために、所望のデータを容易に保持部に入力することが可能となる。
【００１６】
また、上記の目的を達成するために、本発明に係る固体撮像素子の検査方法は、画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、該画素アレイ部の画素列毎に配線された垂直信号線と、該垂直信号線に接続されて前記画素から読み出された電気信号を保持する保持部と、該保持部を順次選択する選択信号を供給可能に構成されると共に、前記保持部に所定のデータ信号を供給可能に構成された水平走査部と、該水平走査部により選択された保持部から読み出された電気信号を出力する信号処理部とを備える固体撮像素子の検査方法であって、前記水平走査部から前記保持部に所定のデータ信号を入力する工程と、前記保持部に入力された所定のデータを前記信号処理部に読み出す工程とを備える。
【００１７】
ここで、水平走査部から保持部に所定のデータ信号を入力することによって、画素アレイ部で撮像を行なうことなく保持部へのデータ信号の入力が可能となる。また、撮像を行なうことなく保持部へのデータ信号の入力ができるために、所望のデータを容易に保持部に入力することが可能となる。
【００１８】
また、本発明に係る固体撮像素子の検査方法は、画素がマトリクス状に配列された画素アレイ部と、該画素アレイ部の画素列毎に配線された垂直信号線と、該垂直信号線に接続されて前記画素から読み出された電気信号を保持する保持部と、シフトレジスタを備える水平走査部と、該水平走査部により選択された保持部から読み出された電気信号を出力する信号処理部とを備え、前記シフトレジスタを構成する各レジスタが、同レジスタに対応する前記保持部に同保持部を選択するための選択信号を供給可能に構成されると共に、対応する前記保持部に所定のデータ信号を供給可能に構成された固体撮像素子の検査方法であって、前記レジスタ間で所定のデータ信号を転送する工程と、前記レジスタから、同レジスタが対応する前記保持部に所定のデータ信号を入力する工程と、前記保持部に入力された所定のデータを前記信号処理部に読み出す工程とを備える。
【００１９】
ここで、レジスタから、同レジスタが対応する保持部に所定のデータを入力することによって、画素アレイ部で撮像を行なうことなく保持部へのデータ信号の入力が可能となる。また、撮像を行なうことなく保持部へのデータ信号の入力ができるために、所望のデータを容易に保持部に入力することが可能となる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の固体撮像素子及びその検査方法では、画素アレイ部で撮像を行なうことなく保持部へのデータ信号の入力が可能となるために、実際に画素アレイ部で撮像を行うことなく信号処理部の動作確認を行なうことができる。
【００２１】
また、撮像を行なうことなく保持部へのデータ信号の入力ができるために、所望のデータ信号を容易に保持部に入力することが可能となり、所望のデータ信号での動作確認を容易に実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
図１（ａ）及び図１（ｂ）は本発明を適用した固体撮像素子の一例であるＣＭＯＳイメージセンサを説明するための模式図であり、ここで示すＣＭＯＳイメージセンサは、上記した従来のＣＭＯＳイメージセンサと同様に、光電変換素子を有する多数の画素１がマトリクス状に配列された画素アレイ部２と、画素アレイ部の各画素を１行ずつ選択して各画素のシャッタ動作や読み出し動作を制御する垂直走査部３と、画素アレイ部からの信号を１行ずつ読み出して、列毎に所定の信号処理を行なうカラム信号処理部４と、カラム信号処理部の信号を１つずつ選択して水平信号線５に導く水平走査部６と、水平信号線からの信号を意図した出力形態にデータ変換を行なう信号処理部７と、基準クロックに基づいて各部の動作に必要な各種パルス信号を供給するタイミングジェネレータ８を有する。
【００２３】
ここで、画素アレイ部の各画素は、従来のＣＭＯＳイメージセンサと同様に、光電変換によって生成された電子が蓄積するＰＤ１０と、ＰＤに蓄積した電子をＦＤ１１に転送するための転送Ｔｒ１２と、ゲートがＦＤと接続されてＦＤの電位変動を電気信号に変換するための増幅Ｔｒ１３と、信号を読み出す画素を行単位で選択するための選択Ｔｒ１４と、ＦＤの電位を電源電位（Ｖｄｄ）にリセットするためのリセットＴｒ１５を有している。また、選択Ｔｒは、画素列毎に配線された垂直信号線１６とソースフォロア構造で接続されている（図３参照。）。
【００２４】
また、カラム信号処理部は、従来のＣＭＯＳイメージセンサと同様に、コンパレータ１７、カラムカウンタ１８及びカラムラッチ１９を有しており、コンパレータ１７は垂直信号線と接続されており、画素に蓄積された電荷が画素出力として入力されると共に、カウンタクロックの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングでその出力値が一定割合で減少するランプ波が入力され、画素出力とランプ波の関係が「（ランプ波）＞（画素出力）」の関係を満たす場合にはＨレベル信号を出力し、「（ランプ波）＜（画素出力）」の関係を満たす場合にはＬレベル信号を出力する様に構成されている。
【００２５】
更に、カラムカウンタ１８はＤＤＲカウンタであり、コンパレータからの出力信号がＬレベルとなったタイミングでカウントが停止し、そのカウンタ値を画素出力のデジタル値として出力する様に構成されている。
【００２６】
ここで、本実施例では、カウンタクロックの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングでその出力が一定の割合で減少していくランプ波を例に挙げ、コンパレータからの出力信号がＬレベルとなったタイミングでカウンタのカウントが停止する場合を例に挙げて説明を行っているが、カウンタクロックの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングでその出力が一定の割合で増加していくランプ波を用いて、コンパレータからの出力信号がＨレベルとなったタイミングでカウンタのカウントを停止する構成としても良い。更に、本実施例ではＤＤＲカウンタを例に挙げて説明を行っているが、特にカウンタの種類を限定するものではないことは勿論である。
【００２７】
また、カラムラッチ１９は、信号処理部内のタイミング制御部からの"カラムカウンタ結果取り込み指示信号"に基づいてラッチ部１９ａにカラムカウンタの出力を取り込み可能に構成されると共に、信号処理部内のタイミング制御部からの"通常動作時水平走査開始信号"に基づいて発せられる水平走査回路からの"データ出力指示信号（選択信号）"によって、ラッチ部に取り込んだカラムカウンタの出力を水平信号線５に出力する様に構成されている。
【００２８】
更に、本発明を適用したＣＭＯＳイメージセンサのカラムラッチでは、信号処理部内のタイミング制御部からの"データ出力指示信号をラッチデータとしての取り込み指示信号"に基づいてラッチ部１９ａに水平走査部からの"データ出力指示信号"をラッチデータとして取り込み可能に構成されている。
【００２９】
また、水平走査部はセレクタ２０及びシフトレジスタを有しており、セレクタには信号処理部内のタイミング制御部からの"通常動作時水平走査開始信号"、"センスアンプテスト動作時信号"及び"通常動作／テスト動作切り替え信号"が入力され、"通常動作／テスト動作切り替え信号"に基づいて、セレクタは"通常動作時水平走査開始信号"若しくは"センスアンプテスト動作時信号"のいずれかを出力可能に構成されている。
【００３０】
更に、シフトレジスタを構成する各レジスタは、セレクタからの出力信号が"通常動作時水平走査開始信号"の場合には、対応するカラムラッチに順次"データ出力指示信号（選択信号）"を供給可能に構成されており、セレクタからの出力信号が"センスアンプテスト動作信号"の場合には、セレクタからの出力信号を対応するカラムラッチのラッチ部にラッチデータとして供給する様に構成されている。
【００３１】
また、信号処理部は、"フリップフロップシフト動作用クロック"をシフトレジスタを構成する各レジスタに供給し、"通常動作時水平走査開始信号"、"センスアンプテスト動作時信号"及び"通常動作／テスト動作切り替え信号"を水平走査部内のセレクタに供給し、"カラムカウンタ結果取り込み指示信号"及び"データ出力指示信号をラッチデータとしての取り込み指示信号"をカラムラッチ内のラッチに供給するタイミング制御部２１と、通常動作時にセンスアンプから転送されたデータのデータ出力処理を行なう信号データ処理部２２と、センスアンプテスト動作時にセンサアンプから転送されたデータを期待値データと比較して、比較結果を外部に出力するテスト期待値確認部２３を有する。
【００３２】
上記の様に構成されたＣＭＯＳイメージセンサでは、撮像を行なう場合には、従来のＣＭＯＳイメージセンサと同様に、垂直走査部からの"行選択指示"によって画素アレイ部の任意の行が出力選択されることとなり、選択された行はコンパレータ及びカラムカウンタを経由して、カラムカウンタのカウント値として画素データが決定される。カラムカウンタのカウント値は、信号処理部内のタイミング制御部からの"カラムカウンタ結果取り込み指示信号"に基づいて、カラムラッチのラッチ部に取り込まれる。また、信号処理部内のタイミング信号制御部からの"通常動作／テスト動作切り替え信号"に基づいてセレクタは"通常動作時水平走査開始信号"を出力する様に設定されており、信号処理部内のタイミング制御部からの"通常動作時水平走査開始信号"に基づいて、水平走査部の各レジスタから順に"データ出力指示信号"が供給され、カラムラッチのラッチデータが順に水平信号線に出力されることとなる。水平信号線に出力されたデータはセンスアンプ２０に取り込まれ、信号処理部に転送されて信号処理部内の信号処理部により信号出力処理が施された後に、ＣＭＯＳイメージセンサ出力として出力されることとなる。
【００３３】
また、カラムラッチでのラッチ部でデータを取り込んだ後の動作確認を行なう場合には、先ず、信号処理部内のタイミング制御部からの"通常動作／テスト動作切り替え信号"に基づいてセレクタは"センスアンプテスト動作時信号"を出力する様に設定を行ない、信号処理部内のタイミング制御部からの"センスアンプテスト動作時信号"がシフトレジスタの各レジスタに順次供給されることで、全てのレジスタに所望のデータの設定がなされる。その後、信号処理部内のタイミング制御部からの"データ出力指示信号をラッチデータとしての取り込み指示信号"に基づいて、各レジスタに設定された所望のデータがカラムラッチのラッチ部に取り込まれることとなる。
【００３４】
続いて、信号処理部内のタイミング制御部からの"通常動作／テスト動作切り替え信号"に基づいてセレクタを"通常動作時水平走査開始信号"を出力する様に設定を行ない、信号処理部内のタイミング制御部からの"通常動作時水平走査開始信号"に基づいて、水平走査部の各レジスタから順に"データ出力指示信号"が供給され、カラムラッチのラッチデータを順に水平信号線に出力する。水平信号線に出力されたデータはセンスアンプ２０に取り込まれ、信号処理部に転送されて信号処理部内の期待値確認部により所定の期待値と比較を行って、比較の結果問題がない場合には期待値確認状態として"１"を出力し、比較の結果問題が発生した場合には期待値確認状態として"０"を出力する。
【００３５】
本発明を適用したＣＭＯＳイメージセンサ及びその検査方法では、カラムラッチでのラッチ部でデータを取り込んだ後の動作確認を行なうにあたって、画素アレイ部で撮像したデータに依存することがなく、更に、所望のデータ信号を用いて動作確認を行なうことができる。
【００３６】
また、高速インターフェイスを通信手段とする様な固体撮像素子の場合であったとしても、ＣＭＯＳイメージセンサの不良であるのか高速インターフェイスの不良であるのかの切り分けが容易である。
即ち、従来の固体撮像素子の検査方法では実際に撮像を行っていたために、動作確認の結果についても通常動作時のセンサ出力と同様に出力されることとなる。そして、高速インターフェイスを通信手段とする様な固体撮像素子の場合には、高速インターフェイスを介して出力がなされるために、高速インターフェイスを介して出力されたデータに問題が生じている場合には、ＣＭＯＳイメージセンサの不良であるのか、高速インターフェイスの不良であるのかの切り分けが容易ではなく、結果としてＣＭＯＳイメージセンサの動作確認が困難であった。これに対して本発明を適用したＣＭＯＳイメージセンサ及びその検査方法では、高速インターフェイスを介して出力を行なうセンサ出力とは別に期待値確認部における比較結果を出力しているために、具体的には、動作確認のデータについては高速インターフェイスを介さずに出力されるために、ＣＭＯＳイメージセンサの動作確認を確実に行なうことができる。
【００３７】
図５は、本発明を適用したＣＭＯＳイメージセンサの検査方法を行なう場合における各信号のタイミングチャートの一例を示すものである。
【００３８】
ここで示すタイミングチャートでは、図中符合ｔ１で示すタイミングで"通常動作／テスト動作切り替え信号"をＨレベルとしてテスト動作モードを選択することで、"センスアンプテスト動作信号"が"フリップフロップ動作用クロック"と同期して、シフトレジスタを構成する各レジスタに"データ出力指示信号"としてテストデータが設定されることとなる。
【００３９】
次に、最終番目のレジスタ（第ｎ番目のレジスタ）までテストデータの設定がなされると、図中符合ｔ２で示すタイミングで"データ出力指示信号をラッチデータとしての取り込み指示信号"をＨレベルとして、各カラムラッチ列に"データ出力指示信号"をデータとして取り込ませる。
【００４０】
続いて、図中符合ｔ３で示すタイミングで"通常動作／テスト動作切り替え信号"をＬレベルとして通常動作モードを選択すると共に、"通常動作時水平走査開始信号"を１パルス分だけＨレベルとすることで、"フリップフロップ動作クロック"と同期して各レジスタを順に選択する"データ出力指示信号"を出力して、カラムラッチに取り込んだデータの読み出しを行なう。
【００４１】
なお、ここで示すタイミングチャートでは、同一の設定データについて、図中符合ｔ３〜ｔ４で示す期間、図中符合ｔ４〜ｔ５で示す期間、図中符合ｔ５〜ｔ６で示す期間、図中符合ｔ６〜ｔ７で示す期間及び図中符合ｔ８〜ｔ９で示す期間の計５回の読み出しを行なう場合を例に挙げている。
【００４２】
上記の様なタイミングチャートでＣＭＯＳイメージセンサの検査を行なうのであるが、信号処理部内の期待値確認部からの"期待値確認状態"がＨレベル（期待値確認状態として"１"の出力）である場合にはＣＭＯＳイメージセンサの出力に問題が無く、"期待値確認状態"がＬレベル（期待値確認状態として"０"の出力）である場合にはＣＭＯＳイメージセンサの出力に問題が生じていることを示している。即ち、図中符合ｔ９で示すタイミングで"期待値確認状態"がＨレベルからＬレベルへと変化しているが、これは、ＣＭＯＳイメージセンサの出力に問題があったことを示している。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１（ａ）】本発明を適用した固体撮像素子の一例であるＣＭＯＳイメージセンサを説明するための模式図（１）である。
【図１（ｂ）】本発明を適用した固体撮像素子の一例であるＣＭＯＳイメージセンサを説明するための模式図（２）である。
【図２（ａ）】従来のＣＭＯＳイメージセンサを説明するための模式図（１）である。
【図２（ｂ）】従来のＣＭＯＳイメージセンサを説明するための模式図（２）である。
【図３】画素の構成を説明するための模式図である。
【図４】コンパレータの動作を説明するための模式図である。
【図５】本発明を適用したＣＭＯＳイメージセンサの検査方法を行なう場合における各信号のタイミングチャートの一例を示すものである。
【符号の説明】
【００４４】
１    画素
２    画素アレイ部
３    垂直走査部
４    カラム信号処理部
５    水平信号線
６    水平走査部
７    信号処理部
８    タイミングジェネレータ
１０    ＰＤ
１１    ＦＤ
１２    転送Ｔｒ
１３    増幅Ｔｒ
１４    選択Ｔｒ
１５    リセットＴｒ
１６    垂直信号線
１７    コンパレータ
１８    カラムカウンタ
１９    カラムラッチ
１９ａ  ラッチ部
２０    セレクタ
２１    タイミング制御部
２２    信号データ処理部
２３    テスト期待値確認部
【図１（ａ）】
2009077173.tif 000003
【図１（ｂ）】
2009077173.tif 000004
【図２（ａ）】
2009077173.tif 000005
【図２（ｂ）】
2009077173.tif 000006
【図３】
2009077173.tif 000007
【図４】
2009077173.tif 000008
【図５】
2009077173.tif 000009