(57)【要約】【課題】Ｘ線画像のぶれを防止し、物品の不良を精度良く検査することが目的とされる。【解決手段】Ｘ線検査装置１は、搬送される物品の検査をＸ線画像Ｉに基づいて行う装置であって、検出部１７１と、制御部１７２とを備える。検出部１７１は、Ｘ線画像Ｉから物品の搬送速度に関するデータＤを検出する。制御部１７２は、検出部１７１で検出されたデータＤに基づいて搬送速度を制御する。具体的には、検出部１７１は、データＤとしてＸ線画像Ｉでの物品の長さＬを検出する。制御部１７２は、検出部１７１で検出された長さＬを、物品の長さの実測値Ｌ０に漸近させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される物品の検査をＸ線画像に基づいて行う装置であって、
前記Ｘ線画像から前記物品の搬送速度に関するデータを検出する検出部と、
前記検出部で検出された前記データに基づいて前記搬送速度を制御する制御部と
を備える、Ｘ線検査装置。
【請求項２】
前記検出部は、前記データとして前記Ｘ線画像での前記物品の長さを検出し、
前記制御部は、前記検出部で検出された前記長さを、前記物品の長さの実測値に漸近させる、
請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記検出部による前記データの検出と、前記制御部による前記データに基づく前記搬送速度の制御とを、複数回繰り返し実行する、請求項１または請求項２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記物品の搬送を担う搬送機構に対して前記データに基づいた指令を出すことで、前記搬送速度を制御する、請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＸ線検査装置に関し、特に製造ラインでの物品の検査に用いられるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、製造された物品中に異物が混入していないかどうかや、物品に欠損が生じていないかどうかなどの不良を検査するために、Ｘ線検査装置が用いられている。具体的にＸ線検査装置は、照射部、受光部、搬送機構、及び画像処理部を備えている。照射部は、物品にＸ線を照射する。受光部は、物品を透過したＸ線を受光する。搬送機構は、Ｘ線の照射位置に物品を搬送する。画像処理部は、受光部で受光されたＸ線の画像（以下、「Ｘ線画像」と称す。）を処理して、物品の不良を検査する。
【０００３】
そして、従来のＸ線検査装置ではＸ線画像のぶれを低減すべく、物品の搬送速度が所望の値になるように、搬送機構がフィードバック制御によって搬送速度を調節していた。かかる所定値は、例えば露光時間との関係で決まる。これにより、画像処理部での処理の精度を高めていた。
【０００４】
なお、本発明に関連する技術を以下に示す。
【特許文献１】特開２０００−３９４０６号公報
【特許文献２】特開２００１−３１８０６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来のＸ線検査装置では、搬送機構がフィードバック制御によって調節した搬送速度は、Ｘ線画像にぶれを生じない所望の値からずれるおそれがあった。搬送速度が所望の値からずれると、Ｘ線画像がぶれてしまう。特に、搬送速度が所望の値よりも速くなると、Ｘ線画像のぶれは顕著である。Ｘ線画像がぶれてしまうと、画像処理の際に、物品の不良を検出できないおそれがある。
【０００６】
また、従来のものでは、Ｘ線検査装置自身に搬送機構を配設することを前提としているため、かかる搬送機構に換えて既設の搬送機構（コンベアなど）を用いた場合、Ｘ線検査装置と既設の搬送装置とを別個に制御する必要がある。このため、既設の搬送機構の仕様などの情報を得ることができない場合には、搬送速度を所望の値に調節することが困難であった。このため、上述したのと同様に、Ｘ線画像がぶれて、物品の不良を検出できないおそれがある。
【０００７】
本発明は上述した事情に鑑みて成されたものであり、Ｘ線画像のぶれを防止し、物品の不良を精度良く検査することが目的とされる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明にかかるＸ線検査装置は、搬送される物品の検査をＸ線画像に基づいて行う装置であって、検出部と、制御部とを備える。検出部は、Ｘ線画像から物品の搬送速度に関するデータを検出する。制御部は、検出部で検出されたデータに基づいて搬送速度を制御する。
【０００９】
第１の発明にかかるＸ線検査装置によれば、Ｘ線画像から検出されたデータに基づいて搬送速度を制御するので、搬送速度を所望の値へと精度良く導くことができる。よって、高い精度で、Ｘ線画像のぶれを補正することができ、以って物品の不良を精度良く検出することができる。
【００１０】
第２の発明にかかるＸ線検査装置は、第１の発明にかかるＸ線検査装置であって、検出部は、データとしてＸ線画像での物品の長さを検出する。制御部は、検出部で検出された長さを、物品の長さの実測値に漸近させる。
【００１１】
第２の発明にかかるＸ線検査装置によれば、Ｘ線画像に写った物品の長さを実測値に漸近させることで、高い精度で、Ｘ線画像のぶれを補正することができる。
【００１２】
第３の発明にかかるＸ線検査装置は、第１または第２の発明にかかるＸ線検査装置であって、検出部によるデータの検出と、制御部によるデータに基づく搬送速度の制御とを、複数回繰り返し実行する。
【００１３】
第３の発明にかかるＸ線検査装置によれば、データの検出と搬送速度の制御とを複数回繰り返し実行することで、Ｘ線画像のぶれがなくなり、以って高い精度で物品の不良を検出することができる。
【００１４】
第４の発明にかかるＸ線検査装置は、第１乃至第３の発明のいずれか一つにかかるＸ線検査装置であって、制御部は、物品の搬送を担う搬送機構に対してデータに基づいた指令を出すことで、搬送速度を制御する。
【００１５】
第４の発明にかかるＸ線検査装置によれば、搬送速度の実測値や、搬送機構の仕様などの情報を得なくても、検出部で検出されるデータが所望のデータになるように、搬送装置に出す指令を調節することで、搬送速度を所望の値へと精度良く導くことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明にかかるＸ線検査装置によれば、Ｘ線画像から検出されたデータに基づいて搬送速度を制御するので、搬送速度を所望の値へと精度良く導くことができる。よって、高い精度で、Ｘ線画像のぶれを補正することができ、以って物品の不良を精度良く検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
１．Ｘ線検査装置の構成
図１は、本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置１を概念的に示す前面図である。なお図１では、Ｘ線検査装置１の前面のカバーは取り外されている。
【００１８】
Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を用いて物品Ｐの検査を行う装置であって、本体１１、シールドボックス１１１、照射部１２、受光部１３、支持部１４、遮蔽カーテン１５、搬送機構１６、制御装置１７を備える。なお、図１には制御装置１７を示していない。
【００１９】
以下、各構成要素について説明する。制御装置１７の詳細については「２．制御装置の構成」で説明する。
【００２０】
＜本体＞
本体１１には、Ｘ線が照射される内部空間Ｓ１と、通路Ｗ１，Ｗ２とが設けられている。通路Ｗ１は、外部から内部空間Ｓ１への物品Ｐの搬入に用いられる。通路Ｗ２は、内部空間Ｓ１から外部への物品Ｐの搬出に用いられる。なお、かかる物品Ｐの搬入及び搬出は、搬送機構１６によって行われる。
【００２１】
＜照射部＞
照射部１２は、内部空間Ｓ１の上側に位置し、Ｘ線を物品Ｐに照射することができる。具体的には、照射部１２で発せられたＸ線は、照射部１２の下側に配置されたスリット１２１を通って、内部空間Ｓ１内の照射位置Ｐ１にある物品Ｐに達する。Ｘ線がスリット１２１を通ることで、照射部１２から照射位置Ｐ１へと向かうＸ線の指向性が高まる。
【００２２】
＜シールドボックス＞
シールドボックス１１１は、Ｘ線を遮蔽することができる筐体であって、本体１１の上に載置されている。シールドボックス１１１の内部には、照射部１２が配設されている。シールドボックス１１１によれば、照射部１２から発せられたＸ線が、本体１１の上側で漏洩するのを防止することができる。
【００２３】
＜受光部＞
受光部１３は、例えばラインセンサであって、照射位置Ｐ１の下側に位置する。受光部１３は、物品Ｐに照射されたＸ線のうち物品Ｐを透過したものを受光する。
【００２４】
そして、受光部１３で受光したＸ線の画像（Ｘ線画像）を、例えば画像処理部で処理することで、物品Ｐに不良があるかどうかが検査される。上述したようにスリット１２１を通ったＸ線の指向性は高いので、受光部１３で得られたＸ線画像にはノイズがほとんど生じず、以って高い精度で不良が検出される。
【００２５】
＜支持部＞
支持部１４は、本体１１に取り付けられており、受光部１３を支持する。
【００２６】
＜遮蔽カーテン＞
遮蔽カーテン１５は、通路Ｗ１，Ｗ２のそれぞれに吊り下げられている。図１では、通路Ｗ１，Ｗ２のそれぞれに、遮蔽カーテン１５が二つずつ配設されている。遮蔽カーテン１５を通路Ｗ１，Ｗ２に吊り下げることで、通路Ｗ１，Ｗ２を通ってＸ線が漏洩することを防止できる。
【００２７】
＜搬送機構＞
搬送機構１６は、Ｘ線の照射位置Ｐ１へと物品Ｐを搬送する機構であって、回転ローラ１６１１〜１６１３、駆動ローラ１６２、搬送ベルト１６３、及び搬送台１６４１，１６４２を有する（図１）。
【００２８】
搬送台１６４１，１６４２はそれぞれ、支持部１４の両側に配置されている。具体的には、搬送台１６４１は、支持部１４に対して下流側の位置で、本体１１及び支持部１４の少なくともいずれか一方に取り付けられている。搬送台１６４２は、支持部１４に対して上流側の位置で、本体１１及び支持部１４の少なくともいずれか一方に取り付けられている。なお、上流及び下流という表現は、物品Ｐの搬送方向９０について用いている。
【００２９】
搬送台１６４１，１６４２には、Ｘ線の透過を妨げる遮蔽部材を採用することが好ましい。これにより、照射部１２から発せられたＸ線の、支持部１４の下側の空間への伝播を遮ることができる。
【００３０】
回転ローラ１６１１は搬送台１６４１に回転自在に支持されている。回転ローラ１６１２は、搬送台１６４２に回転自在に支持されている。回転ローラ１６１３は、支持部１４によって回転自在に支持されている。
【００３１】
搬送ベルト１６３は、回転ローラ１６１１〜１６１３に掛けられる。具体的には、回転ローラ１６１１〜１６１３の各々は、搬送ベルト１６３が三角形状を呈するように、搬送ベルト１６３を内周側から支持する。
【００３２】
このとき、回転ローラ１６１１は、搬送ベルト１６３のうち物品Ｐを載せて搬送する部分１６３ａの下流端を形成する。回転ローラ１６１２は、部分１６３ａの上流端を形成する。なお、部分１６３ａは、搬送ベルト１６３のうち物品Ｐに接する部分と把握することができる。
【００３３】
駆動ローラ１６２は、本体１１に取り付けられており、搬送ベルト１６３に駆動力を与えることができる。駆動ローラ１６２で搬送ベルト１６３に駆動力を与えることで、搬送ベルト１６３は回転する。これにより、搬送ベルト１６３（部分１６３ａ）に載せられた物品Ｐを、搬送方向９０へと搬送することができる。
【００３４】
２．制御装置の構成
図２は、Ｘ線検査装置１を概念的に示すブロック図である。制御装置１７は、検出部１７１及び制御部１７２を有する。
【００３５】
検出部１７１は、受光部１３で得られたＸ線画像Ｉから、物品Ｐの搬送速度Ｖに関するデータＤを検出する。制御部１７２は、検出部１７１で検出されたデータＤに基づいて搬送速度Ｖを制御する。そして、検出部１７１でのデータＤの検出と、制御部１７２によるデータＤに基づく搬送速度Ｖの制御とを、複数回繰り返し実行する。
【００３６】
具体的には、検出部１７１は、搬送速度Ｖに関するデータＤとして、Ｘ線画像Ｉに写った物品Ｐの長さＬを検出する。制御部１７２は、検出部１７１で検出された長さＬが、物品Ｐの長さの実測値Ｌ０に漸近するように、搬送機構１６を制御する。そして、検出部１７１での長さＬの検出と、制御部１７２による搬送機構１６の制御とを、複数回繰り返し実行する。なお、実測値Ｌ０は、予め制御部１７２に与えられている。
【００３７】
３．制御装置による制御
図３は、制御装置１７による制御をフローチャートで示した図である。まず、物品Ｐの搬送を開始する（ＳＴＡＲＴ）。このとき、制御部１７２は搬送機構１６に対して、制御信号Ｓ１を送信することで搬送の開始の指令を出す（図２）。
【００３８】
制御信号Ｓ１を受信した搬送機構１６は、駆動ローラ１６２を回転することで、搬送を開始する。なお、搬送開始時の搬送速度Ｖは、測定などによって得ておく必要はない。
【００３９】
搬送開始後、ステップ３０１に移行する。ステップ３０１では、検出部１７１によって物品Ｐの長さＬを検出する。
【００４０】
ステップ３０１の実行後、ステップ３０２に移行する。ステップ３０２では、制御部１７２によって、検出部１７１で検出した長さＬが、実測値Ｌ０にぶれ幅ΔＬ１を加算したもの（以下、「長さＬ０＋ΔＬ１」と称す。）より小さいかどうかを判定する。ここで、ぶれ幅ΔＬ１は、Ｘ線画像Ｉに写った物品Ｐの長さＬが実測値Ｌ０より大きい場合について、不良の検出に際して許容できるぶれの幅を表す。
【００４１】
ステップ３０２で長さＬが、長さＬ０＋ΔＬ１より大きいと判定された場合（「Ｎｏ」と判定された場合）には、ステップ３０３に移行する。ステップ３０２で長さＬが、長さＬ０＋ΔＬ１より小さいと判定された場合（「Ｙｅｓ」と判定された場合）には、ステップ３０４に移行する。
【００４２】
ステップ３０３では、制御部１７２による搬送機構１６の制御によって、搬送速度Ｖを大きくする。具体的には、制御部１７２は搬送機構１６に対して、制御信号Ｓ２を送信することで搬送速度Ｖを大きくする指令を出す（図２）。
【００４３】
制御信号Ｓ２を受信した搬送機構１６は、駆動ローラ１７２の回転数を大きくすることで、搬送速度Ｖを大きくする。なお、大きくした後の搬送速度Ｖも、測定などによって得る必要はない。ステップ３０３の実行後は、ステップ３０１へと戻る。
【００４４】
ステップ３０４では、制御部１７２によって、検出部１７１で検出した長さＬ（ステップ３０１）が、実測値Ｌ０にぶれ幅ΔＬ２を減算したもの（以下、「長さＬ０−ΔＬ２」と称す。）より大きいかどうかを判定する。ここで、ぶれ幅ΔＬ２は、Ｘ線画像Ｉに写った物品Ｐの長さＬが実測値Ｌ０より小さい場合について、不良の検出に際して許容できるぶれの幅を表す。
【００４５】
ステップ３０４で長さＬが、長さＬ０−ΔＬ２より小さいと判定された場合（「Ｎｏ」と判定された場合）には、ステップ３０５に移行する。ステップ３０４で長さＬが、長さＬ０−ΔＬ２より大きいと判定された場合（「Ｙｅｓ」と判定された場合）には、制御装置１７での制御が終了する。
【００４６】
ステップ３０５では、制御部１７２による搬送機構１６の制御によって、搬送速度Ｖを小さくする。具体的には、制御部１７２は搬送機構１６に対して、制御信号Ｓ３を送信することで搬送速度Ｖを小さくする指令を出す（図２）。
【００４７】
制御信号Ｓ３を受信した搬送機構１６は、駆動ローラ１７２の回転数を小さくすることで、搬送速度Ｖを小さくする。なお、小さくした後の搬送速度Ｖも、測定などによって得る必要はない。ステップ３０５の実行後は、ステップ３０１へと戻る。
【００４８】
上述した制御装置１７による制御によれば、ステップ３０１〜３０５を複数回繰り返し実行することで、Ｘ線画像Ｉに写った物品Ｐの長さＬを、検出部１７１で検出しながら、実測値Ｌ０に漸近させることができる。換言すれば、搬送速度Ｖを所望の値へと近づけることができる。よって、高い精度で、Ｘ線画像Ｉのぶれを補正することができる。
【００４９】
しかも、制御部１７２から搬送機構１６に対しては、制御信号Ｓを送信するだけで良い。よって、搬送速度Ｖの実測値を測定などによって得なくても、検出部１７１で検出されるデータＤ（長さＬ）が所望のデータ（実測値Ｌ０）になるように、搬送機構１６に出す指令（制御信号Ｓ２，Ｓ３）を調節することで、搬送速度Ｖを所望の値へと精度良く導くことができる。
【００５０】
Ｘ線画像Ｉのぶれを防止するという観点からは、ぶれ幅ΔＬ１，ΔＬ２を小さく設定することが好ましい。これにより、Ｘ線画像ＩのぶれがほとんどないＸ線画像Ｉを得ることができ、以って不良の検出の精度がより高まる。
【００５１】
４．変形例
＜Ｘ線検査装置の構成＞
図４は、本変形例にかかるＸ線検査装置１Ａを概念的に示す図である。図５は、Ｘ線検査装置１Ａを概念的に示すブロック図である。なお図４では、Ｘ線検査装置１Ａの前面のカバーは取り外されている。
【００５２】
Ｘ線検査装置１Ａは、上述したＸ線検査装置１（図１）について、搬送機構１６に代えて、Ｘ線検査装置の構成要素でない搬送機構３を採用したものである。搬送機構３は、物品Ｐの搬送を担う機構であって、Ｘ線の照射位置Ｐ１へと物品Ｐを搬送する。搬送機構３には、例えば既設のコンベアが採用できる。
【００５３】
搬送機構３を採用した場合、図４に示されるように支持部１４は、搬送機構１６を採用した場合（図１）よりも下に配置される。これにより、搬送機構３の搬送ベルトのうち物品Ｐを載せる部分を、搬送機構１６を採用した場合（図１）の、搬送ベルト１６３の部分１６３ａと同じ位置に配置することができる。
【００５４】
よって、搬送機構１６に代えて搬送機構３を採用する場合でも、遮蔽カーテン１５の長さを変える必要がない。
【００５５】
搬送機構３を採用した場合、搬送機構３の厚みの分だけ、照射位置Ｐ１と受光部１３との間の距離Ｌｐ１が大きくなり、受光部１３で受光されるＸ線の強度が低下するおそれがある。しかし、受光部１３を搬送機構３の直下に配置することで、Ｘ線の強度の低下を抑えることができる。更には、距離Ｌｐ１に応じて露光時間を調節することで、受光部１３でＸ線の受光量を大きくすることで、Ｘ線の強度の低下を補うことができる。
【００５６】
検出部１７１は、搬送速度Ｖに関するデータＤとして、搬送方向９０についての物品Ｐの長さＬａと、搬送方向９０に交差する方向についての物品Ｐの長さＬｂとを検出する。
【００５７】
制御部１７２は、検出部１７１で検出された長さＬａ，Ｌｂから、長さＬａと長さＬｂの比Ｌａ／Ｌｂを求める。そして、制御部１７２は、比Ｌａ／Ｌｂが所定値Ｌａ０／Ｌｂ０に漸近するように、搬送機構３を制御する。なお、所定値Ｌａ０／Ｌｂ０は、搬送方向９０についての物品Ｐの長さの実測値Ｌａ０と、搬送方向９０に交差する方向についての物品Ｐの長さの実測値Ｌｂ０との比であり、予め制御部１７２に与えられている。
【００５８】
なお、検出部１７１で長さＬａ，Ｌｂを検出する対象は、上から見た形状が円形のものであることが好ましい。なぜなら、上から見た形状が円形のものについては、搬送機構３への置き方を変えても、実測値Ｌａ０，Ｌｂ０が変わらず、以って後述する制御部１７２による制御が容易になるからである。
【００５９】
よって、上から見た形状が円形でない物品Ｐの不良を検査する場合には、予め上から見た形状が円形のものを流して、後述する制御装置１７による制御を実行しておくことが好ましい。
【００６０】
＜制御装置による制御＞
図６は、Ｘ線検査装置１Ａの制御装置１７による制御をフローチャートで示した図である。まず、物品Ｐの搬送を開始する（ＳＴＡＲＴ）。このとき、制御部１７２は搬送機構１６に対して、制御信号Ｓ６１を送信することで、搬送の開始の指令を出す（図５）。
【００６１】
制御信号Ｓ６１を受信した搬送機構３は、物品Ｐの搬送を開始する。搬送開始後、ステップ６０１に移行する。ステップ６０１では、検出部１７１によって物品Ｐの長さＬａ，Ｌｂを検出する。
【００６２】
ステップ６０１の実行後、ステップ６０２に移行する。ステップ６０２では、制御部１７２によって、検出部１７１で検出された長さＬａ，Ｌｂから、長さＬａと長さＬｂの比Ｌａ／Ｌｂが算出される。
【００６３】
ステップ６０２の実行後、ステップ６０３に移行する。ステップ６０３では、制御部１７２によって、検出部１７１で検出した長さＬａ，Ｌｂの比Ｌａ／Ｌｂが、所定値Ｌａ０／Ｌｂ０にぶれ幅ΔＬｃ１を加算したもの（以下、「比Ｌｃ１」と称す。）より小さいかどうかを判定する。ここで、ぶれ幅ΔＬｃ１は、Ｘ線画像Ｉに写った物品Ｐについての比Ｌａ／Ｌｂが所定値Ｌａ０／Ｌｂ０より大きい場合について、不良の検出に際して許容できるぶれの幅を表す。
【００６４】
ステップ６０３で比Ｌａ／Ｌｂが、比Ｌｃ１より大きいと判定された場合（「Ｎｏ」と判定された場合）には、ステップ６０４に移行する。ステップ６０３で比Ｌａ／Ｌｂが、比Ｌｃ１より小さいと判定された場合（「Ｙｅｓ」と判定された場合）には、ステップ６０５に移行する。
【００６５】
ステップ６０４では、制御部１７２による搬送機構３の制御によって、搬送速度Ｖを大きくする。具体的には、制御部１７２は搬送機構３に対して、制御信号Ｓ６２を送信することで搬送速度Ｖを大きくする指令を出す（図５）。制御信号Ｓ６２を受信した搬送機構３は、搬送速度Ｖを大きくする。ステップ６０４の実行後は、ステップ６０１へと戻る。
【００６６】
ステップ６０５では、制御部１７２によって、ステップ６０２で算出された比Ｌａ／Ｌｂが、所定値Ｌａ０／Ｌｂ０にぶれ幅ΔＬｃ２を減算したもの（以下、「比Ｌｃ２」と称す。）より大きいかどうかを判定する。ここで、ぶれ幅ΔＬｃ２は、Ｘ線画像Ｉに写った物品Ｐについての比Ｌａ／Ｌｂが所定値Ｌａ０／Ｌｂ０より小さい場合について、不良の検出に際して許容できるぶれの幅を表す。
【００６７】
ステップ６０５で比Ｌａ／Ｌｂが、比Ｌｃ２より小さいと判定された場合（「Ｎｏ」と判定された場合）には、ステップ６０６に移行する。ステップ６０５で比Ｌａ／Ｌｂが、比Ｌｃ２より大きいと判定された場合（「Ｙｅｓ」と判定された場合）には、制御装置１７での制御が終了する。
【００６８】
ステップ６０６では、制御部１７２による搬送機構３の制御によって、搬送速度Ｖを小さくする。具体的には、制御部１７２は搬送機構３に対して、制御信号Ｓ６３を送信することで搬送速度Ｖを小さくする指令を出す（図５）。制御信号Ｓ６３を受信した搬送機構３は、搬送速度Ｖを小さくする。ステップ６０６の実行後は、ステップ６０１へと戻る。
【００６９】
上述した制御装置１７による制御によれば、搬送機構３の仕様などの情報を得なくても、Ｘ線検査装置１（図１）と同様に、搬送機構３に対して搬送速度Ｖを大きくしたり小さくしたりする指令（制御信号Ｓ２，Ｓ３）を出すだけで、高い精度で、Ｘ線画像Ｉのぶれを補正することができる。
【００７０】
なお、本変形例においても、Ｘ線検査装置１（図１）と同様に、物品Ｐの長さＬを実測値Ｌ０に漸近させても良い。
【００７１】
５．その他の変形例
図１に示されるＸ線検査装置１において、搬送機構１６は上下に移動可能であっても良い。具体的には、厚みの小さい物品Ｐの不良を検査する場合には、搬送機構１６を上に移動させて、通路Ｗ１，Ｗ２の上下方向についての幅Ｌｐ２を小さくする。
【００７２】
他方、厚みの大きい物品Ｐの不良を検査する場合には、搬送機構１６を下に移動させて幅Ｌｐ２を大きくする。
【００７３】
搬送機構１６を上に移動させて幅Ｌｐ２を小さくした場合には、照射部１２と受光部１３との間の距離が小さくなるので、照射部１２から発せられるＸ線の強度を小さくしても、受光部１３で所望の強度のＸ線を受光することができる。よって、精度良く物品Ｐの不良を検出しつつも、Ｘ線の漏洩が防止しやすくなる。しかも、遮蔽カーテン１５の長さを短くすることができ、以って遮蔽カーテン１５を物品Ｐが通過する際の抵抗を小さくすることができる。
【００７４】
物品Ｐの厚みが著しく小さくて、幅Ｌｐ２を著しく小さくした場合には、遮蔽カーテン１５がなくても、通路Ｗ１，Ｗ２からはＸ線はほとんど漏洩しない。よって、遮蔽カーテン１５を除去することができ、以ってＸ線検査装置１を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置を概念的に示す図である。
【図２】Ｘ線検査装置を概念的に示すブロック図である。
【図３】制御装置による制御をフローチャートで示す図である。
【図４】変形例にかかるＸ線検査装置を概念的に示す図である。
【図５】変形例にかかるＸ線検査装置を概念的に示すブロック図である。
【図６】制御装置による制御をフローチャートで示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
１，１Ａ  Ｘ線検査装置
３，１６  搬送機構
１７１  検出部
１７２  制御部
Ｉ  Ｘ線画像
Ｐ  物品
Ｖ  搬送速度
Ｄ  データ
Ｌ  長さ
Ｌ０  実測値
【図１】
2009156631.tif 000003
【図２】
2009156631.tif 000004
【図３】
2009156631.tif 000005
【図４】
2009156631.tif 000006
【図５】
2009156631.tif 000007
【図６】
2009156631.tif 000008