(57)【要約】【課題】熱膨張率が低い繊維複合材料の製造方法を提供する。【解決手段】繊維複合材料の製造方法であって、炭素繊維のアスペクト比をｘ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比をｙとした場合、下記式（１）を満たすように体積比ｙを調整して、炭素繊維と純銅または銅合金とを複合させる方法。  ｙ≧０．２５３×ｘ-0.145−０．０３  ・・・  （１）【選択図】図３
2009221527.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
繊維複合材料の製造方法であって、
炭素繊維のアスペクト比をｘ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比をｙとした場合、下記式（１）を満たすように体積比ｙを調整して、炭素繊維と純銅または銅合金とを複合させることを特徴とする方法。
ｙ≧０．２５３×ｘ-0.145−０．０３  ・・・  （１）
【請求項２】
繊維複合材料の製造方法であって、
炭素繊維のアスペクト比をｘ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比をｙとした場合、下記式（２）を満たすように体積比ｙを調整して、炭素繊維と純アルミニウムまたはアルミニウム合金とを複合させることを特徴とする方法。
ｙ≧０．４３８×ｘ-0.188−０．０５  ・・・  （２）
【請求項３】
繊維複合材料の製造方法であって、
炭素繊維のアスペクト比をｘ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比をｙとした場合、下記式（３）を満たすように体積比ｙを調整して、炭素繊維とプラスチックとを複合させることを特徴とする方法。
ｙ≧１．５０×ｘ-0.53−０．０５  ・・・  （３）
【請求項４】
繊維複合材料の製造方法であって、
繊維状シリカのアスペクト比をｘ、繊維複合材料中の繊維状シリカの体積比をｙとした場合、下記式（４）を満たすように体積比ｙを調整して、繊維状シリカとプラスチックとを複合させることを特徴とする方法。
ｙ≧１．４８×ｘ-0.50−０．０４  ・・・  （４）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱膨張率が低い繊維複合材料の製造方法に関するものである。本発明の製造方法によって得られる繊維複合材料は、低熱膨張が要求される用途に有用である。本発明の製造方法によって得られる銅−炭素繊維複合材料およびアルミニウム−炭素繊維複合材料は、例えばパソコンなどの電子・電気機器などで使用される半導体の伝熱板または放熱板として有用である。また本発明の製造方法によって得られるプラスチック−炭素繊維複合材料およびプラスチック−繊維状シリカ繊維複合材料は、例えば精密機器部品および光学部品などに有用である。
【背景技術】
【０００２】
近年、パソコンなどの電子・電気機器などで用いられている半導体チップ（ＣＰＵなど）では、その高性能化にともない、発熱量および発熱密度が飛躍的に増大している。そこで、半導体チップ（Ｓｉチップ）で発熱する熱を周囲に伝えて放出させるために、Ｓｉチップには、伝熱板が取り付けられている。伝熱板には、通常、熱伝導率が大きい純銅または銅合金（以下「銅」と略称することがある。）、或いは純アルミニウムまたはアルミニウム合金（以下「アルミニウム」と略称することがある。）などの金属が、工業的に良く用いられている。
【０００３】
しかしこれらの熱膨張率は、Ｓｉチップでは３×１０-6（／℃）、銅では１７×１０-6（／℃）、アルミニウムでは２３．５×１０-6（／℃）である。このようにＳｉチップと銅またはアルミニウム放熱板とでは熱膨張率に大きな差があるので、発熱量が増大してくると、Ｓｉチップと放熱板との間に発生する熱応力が大きくなり、破壊（剥離や亀裂など）が生じることがある。
【０００４】
そのため電子・電気機器の分野では、熱膨張率が低い銅またはアルミニウムの材料が求められており、これまで様々な技術が提案されている。その一例として、銅またはアルミニウムの金属マトリックスに、炭素繊維を含有させた繊維複合材料が開示されている（例えば特許文献１〜３および非特許文献１）。炭素繊維は、その軸方向の熱膨張率が負の値であり（−１×１０-6〜−１．５×１０-6（／℃）程度）、繊維複合材料の熱膨張率を下げることができる。
【０００５】
また高い精度が要求される精密機器部品および光学部品の分野では、使用材料の熱膨張率をできるだけ小さくして、温度変化に伴う使用材料の寸法変化をできるだけ小さくしたいというニーズがある。これらの部品の材料として、上記のように金属ではなくプラスチックのマトリックスに炭素繊維を含有させた繊維複合材料の使用が提案されている（例えば特許文献４および５）。
【特許文献１】特開平１１−６１２９２号公報
【特許文献２】特開平１１−１９９９４９号公報
【特許文献３】特許第２５９０６０３号公報
【特許文献４】特開２００５−２８８６１９号公報
【特許文献５】特開１１−１１６６９６号公報
【非特許文献１】佐藤富雄ら、「ＰＭ法による炭素繊維／金属基繊維複合材料の創製とその熱伝導・熱膨張特性」、粉体および粉末冶金、２００４年１０月、第５１巻第１０号、ｐ．７３０−７３５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、熱膨張率が低い繊維複合材料の製造方法を提供することにある。また本発明の他の目的は、高価な炭素繊維を用いずに、熱膨張率が低い繊維複合材料の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成し得た本発明に係る繊維複合材料の製造方法は、目標とする熱膨張率を実現するために、使用する炭素繊維または繊維状シリカのアスペクト比に応じて、繊維複合材料中の繊維の体積比を所定量以上に調整することに特徴がある。
【０００８】
より詳しくは、本発明法の第１態様は、繊維複合材料の製造方法であって、
炭素繊維のアスペクト比をｘ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比をｙとした場合、下記式（１）を満たすように体積比ｙを調整して、炭素繊維と純銅または銅合金とを複合させることを特徴とする。
ｙ≧０．２５３×ｘ-0.145−０．０３  ・・・  （１）
【０００９】
本発明法の第２態様は、繊維複合材料の製造方法であって、
炭素繊維のアスペクト比をｘ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比をｙとした場合、下記式（２）を満たすように体積比ｙを調整して、炭素繊維と純アルミニウムまたはアルミニウム合金とを複合させることを特徴とする。
ｙ≧０．４３８×ｘ-0.188−０．０５  ・・・  （２）
【００１０】
本発明法の第３態様は、繊維複合材料の製造方法であって、
炭素繊維のアスペクト比をｘ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比をｙとした場合、下記式（３）を満たすように体積比ｙを調整して、炭素繊維とプラスチックとを複合させることを特徴とする。
ｙ≧１．５０×ｘ-0.53−０．０５  ・・・  （３）
【００１１】
本発明法の第４態様は、繊維複合材料の製造方法であって、
繊維状シリカのアスペクト比をｘ、繊維複合材料中の繊維状シリカの体積比をｙとした場合、下記式（４）を満たすように体積比ｙを調整して、繊維状シリカとプラスチックとを複合させることを特徴とする。
ｙ≧１．４８×ｘ-0.50−０．０４  ・・・  （４）
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、使用する繊維のアスペクト比に応じて、上記式（１）〜（４）を満たすような量（体積比ｙ）の繊維を用いて繊維複合材料を製造しているため、必要最小限の繊維量で目標とする熱膨張率を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明者は、使用する炭素繊維または繊維状シリカのアスペクト比が大きいほど、当該繊維の量（体積比）が少なくても、繊維複合材料の熱膨張率を大きく低減できること、換言すれば、アスペクト比が大きい繊維ほど、繊維複合材料の熱膨張率を低減させる作用が大きいことを見出し、本発明を完成した。本発明は、目標とする熱膨張率を実現するために、炭素繊維または繊維状シリカのアスペクト比に応じて、繊維複合材料中の繊維の体積比を所定量以上に調整することに特徴がある。
【００１４】
本発明において、繊維複合材料とは、銅（銅合金を含む）若しくはアルミニウム（アルミニウム合金を含む）の金属マトリックス、またはプラスチックに、炭素繊維または繊維状シリカの繊維を含浸させた繊維複合材料を意味する。繊維複合材料を構成するマトリックスには、金属マトリックスとプラスチックマトリックスの両方が含まれ、繊維複合材料を構成する繊維には、炭素繊維または繊維状シリカの両方が含まれる。
【００１５】
具体的には、下記に示す第１態様〜第４態様の繊維複合材料が包含される。
（第１態様）純銅または銅合金と炭素繊維との繊維複合材料（銅−炭素繊維複合材料）であり、上記式（１）を満足している。
（第２態様）・・・純アルミニウムまたはアルミニウム合金と炭素繊維との繊維複合材料（アルミニウム−炭素繊維複合材料）であり、上記式（２）を満足している。
（第３態様）・・・プラスチックと炭素繊維との繊維複合材料（プラスチック−炭素繊維複合材料）であり、上記（３）を満足している。
（第４態様）・・・プラスチックと繊維状シリカとの繊維複合材料（プラスチック−繊維状シリカ複合材料）であり、上記（４）を満足している。
【００１６】
本発明において、マトリックスとして用いる銅またはアルミニウムには特に限定は無く、これらの純金属および合金のいずれも使用することができる。合金の組成は特に限定されず、繊維複合材料に通常用いられるものを採用することができる。具体的には、銅合金を構成する元素としては、例えば、Ｓｎ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｐｂ、Ｚｎなどが挙げられる。また、アルミニウム合金を構成する元素としては、例えば、Ｍｎ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃｕなどが挙げられる。
【００１７】
本発明において、マトリックスとして用いるプラスチックは、繊維複合材料に通常用いられるものを採用することができる。代表的には、ポリカーボネートが挙げられ、そのほかにポリアミド、ポリプロピレン、ＡＢＳ樹脂なども用いることができる。
【００１８】
本発明において、炭素繊維は、ピッチ系炭素繊維およびＰＡＮ系炭素繊維のいずれも使用することができる。また、これらの通常の炭素繊維に加えて、カーボンナノチューブ、カーボンナノコイル、カーボンナノ繊維などを用いてもよい。
【００１９】
本発明において、マトリックスとしてプラスチックを使用する場合は、炭素繊維ではなく繊維状シリカを使用してもよい。繊維状シリカは、炭素繊維よりも安価であり、且つプラスチックとの相性（密着性など）が良い。繊維状シリカの形状は限定されず、円柱状および長楕円体状のいずれでもよい。
【００２０】
本発明で目標とする熱膨張率は、繊維複合材料の種類に応じて異なる。まず、金属マトリックスとの繊維複合材料である、銅−炭素繊維複合材料（第１態様）およびアルミニウム−炭素繊維複合材料（第２態様）では、いずれも１２×１０-6（／℃）以下と定めた。この値は、Ｓｉ（３×１０-6（／℃））と銅（１７×１０-6（／℃））またはアルミニウム（２３．５×１０-6（／℃））との熱膨張率のほぼ中間の値であり、Ｓｉチップの熱膨張率にできるだけ近づけるという観点から設定したものである。一方、プラスチックマトリックスとの繊維複合材料である、プラスチック−炭素繊維複合材料（第３態様）およびプラスチック−繊維状シリカ繊維複合材料（第４態様）では、いずれも、実現可能な範囲内である５×１０-6（／℃）以下に定めた。
【００２１】
本発明によれば、（銅またはアルミニウム）−炭素繊維複合材料では、上記式（１）および（２）を満たすように使用する炭素繊維のアスペクト比ｘとその体積比ｙを調整することによって、繊維複合材料の熱膨張率を目標レベルの１２×１０-6（／℃）程度以下に低減させることができる。また、プラスチック−（炭素繊維または繊維状シリカ）繊維複合材料では、上記式（３）または（４）を満たすように炭素繊維または繊維状シリカのアスペクト比ｘとその体積比ｙを調整することによって、繊維複合材料の熱膨張率を目標レベルの５×１０-6（／℃）程度以下に低減させることができる。
【００２２】
ここで本発明における「繊維のアスペクト比」とは、繊維の長径（軸方向長さ）と短径（直径）との比（長径／短径）であり、使用する繊維から無作為に選んだ１００本の繊維の平均値を表す。
【００２３】
使用する繊維（炭素繊維または繊維状シリカ）のアスペクト比ｘについて、炭素繊維のアスペクト比は、一般に、１〜５００であり、繊維状シリカのアスペクト比は、一般に、１〜２００である。本発明において、金属マトリックスとして銅またはアルミニウムを用いる場合、炭素繊維のアスペクト比は、好ましくは２以上（より好ましくは５以上、さらに好ましくは１０以上）であり、好ましくは１００以下である。一方、マトリックスとしてプラスチックを用いる場合、炭素繊維のアスペクト比は、好ましくは２０以上（より好ましくは３０以上）であり、好ましくは１００以下である。また、マトリックスとしてプラスチックを用いる場合、繊維状シリカのアスペクト比は、好ましくは１０以上（より好ましくは２０以上、さらに好ましくは５０以上）であり、好ましくは１００以下である。
【００２４】
使用する繊維の使用量（体積比）ｙの好ましい範囲は以下のとおりである。炭素繊維の使用量（体積比）は、マトリックスが銅である場合は、好ましくは０．３以下（より好ましくは０．２以下）であり；マトリックスがアルミニウムまたはプラスチックである場合は、好ましくは０．４以下（より好ましくは０．３以下）である。炭素繊維の体積比が過剰になると、マトリックス（銅、アルミニウムまたはプラスチック）と炭素繊維との均一な混合が困難となる。また炭素繊維は高価であるため、その体積比が増大すると、繊維複合材料の製造コストが増大する。一方、繊維状シリカの使用量（体積比）は、好ましくは０．５以下（より好ましくは０．４以下）である。繊維状シリカが過剰になると、プラスチックと繊維状シリカとの混合物中間体の流動性が低下し、繊維状シリカ間へプラスチックが含浸し難くなるからである。
【００２５】
上記式（１）〜（４）は、後記する実施例に示すように、上述した第１〜第４態様の各繊維複合材料において、使用する繊維のアスペクト比（ｘ）と繊維複合材料中の繊維の体積比（ｙ）を種々変えて得られた繊維複合材料の熱膨張率を測定し、目標の熱膨張率を達成できる近似曲線を計算により求めた。（寄与率Ｒは０．８〜０．９７）
【００２６】
本発明の繊維複合材料は、当該繊維複合材料の分野で公知のあらゆる手段を採用することができる。
【００２７】
具体的には、（銅またはアルミニウム）−炭素繊維複合材料は、例えば、粉末金属（銅またはアルミニウム）と炭素繊維とを流動型ボールミルで充分に乾式混合し、得られた混合粉末を焼結することによって、製造することができる。このようにして製造された繊維複合材料では、炭素繊維が、マトリックス中でランダムに配向する。その結果、繊維複合材料の熱膨張率を、全体で均一に低減させることができる。
【００２８】
一方、プラスチック−（炭素繊維または繊維状シリカ）繊維複合材料は、射出成形で製造することが好ましい。射出成形は、成形物の形状に対する自由度が大きく、複雑な形状物を容易に製造することができる。具体的には、例えば、約３００℃で溶解したプラスチック樹脂に炭素繊維を混ぜて分散させ、得られた混合物を射出成形することによって製造することができる。
【００２９】
なお、板状の繊維複合材料（例えば伝熱板）を製造する場合、炭素繊維または繊維状シリカを二次元（面内）ランダムに配向させることが好ましい。
【００３０】
本発明法によって得られる繊維複合材料は、低い熱膨張率が要求される種々の用途に適用することができる。例えば、上記方法によって得られる（銅またはアルミニウム）−炭素繊維複合材料は、Ｓｉチップの伝熱板または放熱板として使用することが好ましい。なお伝熱板には、熱膨張率が低いことに加えて、熱伝導率が高いことも求められるが、炭素繊維の熱伝導率（通常４００Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上）は、銅（３９７Ｗ／（ｍ・Ｋ））またはアルミニウム（２３８Ｗ／（ｍ・Ｋ））と同等またはそれ以上であるため、炭素繊維と金属マトリックスとの繊維複合材料は、銅またはアルミニウムと同等またはそれ以上の熱伝導率を示すことができる。具体的には、図１に示すようにＳｉチップの伝熱板全体に使用しても良い。但し、Ｓｉチップと伝熱板との熱膨張率の差に起因する熱応力は、Ｓｉチップ周辺にのみ発生するので、上記の繊維複合材料は、図２に示すようにＳｉチップ周辺の伝熱板の一部にのみ使用しても良い。
【００３１】
本発明法によって得られるプラスチック−（炭素繊維または繊維状シリカ）複合材料は、例えば精密機器部品および光学部品（詳しくは定盤、ガイド、テーブル、ウェハーチャック、フレームなど）として使用することが好ましい。
【実施例】
【００３２】
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって制限を受けるものではなく、上記・下記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。
【００３３】
実施例１
本実施例は、第１態様である、純銅と炭素繊維との繊維複合材料に関する実験例である。
【００３４】
銅粉末（平均粒径：４４μｍ、熱膨張率：１７．０×１０-6（／℃））と、炭素繊維（日本グラファイトファイバー社製「ＸＮ−９０」、石炭ピッチ系、繊維直径（短径）：１０μｍ、ヤング率：９００ＧＰａ、繊維軸方向熱膨張率：−１×１０-6（／℃））とを、流動型ボールミルで３時間乾式混合し、得られた混合粉末を焼結（焼結温度：１１７０Ｋ、保持時間：１５分）し、縦５ｃｍ×横５ｃｍ×厚さ０．５ｃｍの焼結板を製造した。なお焼結板の炭素繊維の配向分布を顕微鏡で観察したところ、平面内で二次元ランダム配向していた。
【００３５】
この実施例で使用した炭素繊維のアスペクト比ｘを１、２、５、１０、２０、５０および１００と変化させ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比ｙを０．０５、０．１、０．１５、０．２、０．２５、０．３および０．４と変化させた。炭素繊維のアスペクト比は１００本の繊維の平均値である。このようにして得られた銅−炭素繊維複合材料の熱膨張率を計測した。結果を表１および図３に示す。
【００３６】
【表１】
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【００３７】
表１および図３に示す結果から、使用する炭素繊維のアスペクト比が大きいほど、炭素繊維の体積比が少なくても、焼結板（銅−炭素繊維複合材料）の熱膨張率を大きく低減できることが分かる。そして上記式（１）を満足するように炭素繊維の体積比ｙを調整することによって、焼結板の熱膨張率を１２×１０-6（／℃）程度以下にすることができる。
【００３８】
実施例２
本実施例は、第２態様である、純アルミニウムとの繊維複合材料に関する実験例である。
【００３９】
アルミニウム粉末（平均粒径：３μｍ、熱膨張率：２３．５×１０-6（／℃））と、上述した実施例１に用いた炭素繊維とを、流動型ボールミルで３時間乾式混合し、得られた混合粉末を焼結（焼結温度：７７３Ｋ、保持時間：１０分）し、縦５ｃｍ×横５ｃｍ×厚さ０．５ｃｍの焼結板を製造した。なお焼結板の炭素繊維の配向分布を顕微鏡で観察したところ、平面内で二次元ランダム配向していた。
【００４０】
この実施例で使用した炭素繊維のアスペクト比ｘを１、２、５、１０、２０、５０および１００と変化させ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比ｙを０．１、０．２、０．３、０．４および０．５と変化させた。炭素繊維のアスペクト比は１００本の繊維の平均値である。このようにして得られたアルミニウム−炭素繊維複合材料の熱膨張率を計測した。結果を表２および図４に示す。
【００４１】
【表２】
2009221527.tif 000004
【００４２】
表２および図４に示す結果から、使用する炭素繊維のアスペクト比が大きいほど、炭素繊維の体積比が少なくても、焼結板（アルミニウム−炭素繊維複合材料）の熱膨張率を大きく低減できることが分かる。そして上記式（２）を満足するように炭素繊維の体積比ｙを調整することによって、焼結板の熱膨張率を、１２×１０-6（／℃）程度以下にすることができる。
【００４３】
実施例３
本実施例は、第３態様である、プラスチックと炭素繊維との繊維複合材料に関する実験例である。
【００４４】
ポリカーボネート樹脂（ヤング率：４．５ＧＰａ、ポアソン比：０．３８、熱膨張率：５０．０×１０-6（／℃））と、上述した実施例１に用いた炭素繊維とを約３００℃にてシリンダー容器内で混合し、得られた混合物を射出成形（シリンダー内温度：３００℃、金型温度：８０℃、射出圧力：１７０ＭＰａ、背圧：１．０〜１．５ＭＰａ）して、縦８ｃｍ×横８ｃｍ×厚さ１ｃｍの成形板を製造した。なお成形板の炭素繊維の配向分布を顕微鏡で観察したところ、平面内で二次元ランダム配向していた。
【００４５】
この実施例で使用した炭素繊維のアスペクト比ｘを１５、２０、３０、５０および１００と変化させ、繊維複合材料中の炭素繊維の体積比ｙを０（樹脂のみ）、０．０５、０．１、０．２、０．３、０．４、および０．５と変化させた。炭素繊維のアスペクト比は１００本の繊維の平均値である。このようにして得られたポリカーボネート−炭素繊維複合材料の熱膨張率を計測した。結果を表３および図５に示す。
【００４６】
【表３】
2009221527.tif 000005
【００４７】
表３および図５に示す結果から、使用する炭素繊維のアスペクト比が大きいほど、炭素繊維の体積比が少なくても、成形板（ポリカーボネート−炭素繊維複合材料）の熱膨張率を大きく低減できることが分かる。そして上記式（３）を満足するように炭素繊維の体積比ｙを調整することによって、成形板の熱膨張率を、５×１０-6（／℃）程度以下にすることができる。
【００４８】
実施例４
本実施例は、第４態様である、プラスチックと繊維状シリカとの繊維複合材料に関する実験例である。
【００４９】
上述した実施例３に用いたポリカーボネート樹脂と、繊維状シリカ（平均直径（短径）：１５μｍ、ヤング率：７７８ＧＰａ、ポアソン比：０．２、熱膨張率：０．５×１０-6（／℃））とを約３００℃にてシリンダー容器内で混合し、得られた混合物を射出成形（シリンダー内温度：３００℃、金型温度：８０℃、射出圧力：１７０ＭＰａ、背圧：１．０〜１．５ＭＰａ）して、縦８ｃｍ×横８ｃｍ×厚さ０．６ｃｍの成形板を製造した。なお成形板の繊維状シリカの配向分布を顕微鏡で観察したところ、平面内で二次元ランダム配向していた。
【００５０】
この実施例で使用した繊維状シリカのアスペクト比ｘを１０、２０、５０および１００と変化させ、繊維複合材料中の繊維状シリカの体積比ｙを０（樹脂のみ）、０．０５、０．１、０．２、０．３、０．４および０．５と変化させた。なお繊維状シリカのアスペクト比は１００本の繊維の平均値である。このようにして得られたポリカーボネート−繊維状シリカ繊維複合材料の熱膨張率を計測した。結果を表４および図６に示す。
【００５１】
【表４】
2009221527.tif 000006
【００５２】
表４および図６に示す結果から、使用する繊維状シリカのアスペクト比が大きいほど、繊維状シリカの体積比が少なくても、成形板（ポリカーボネート−繊維状シリカ繊維複合材料）の熱膨張率を大きく低減できることが分かる。そして上記式（４）を満足するように炭素繊維の体積比ｙを調整することによって、成形板の熱膨張率を、５×１０-6（／℃）程度以下にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の製造方法で得られる（銅またはアルミニウム）−炭素繊維複合材料を、Ｓｉチップの伝熱板全体に用いた場合の概略図である。
【図２】本発明の製造方法で得られる（銅またはアルミニウム）−炭素繊維複合材料を、Ｓｉチップの伝熱板の一部（Ｓｉチップ周辺のみ）に用いた場合の概略図である。
【図３】実施例１で計測された銅−炭素繊維複合材料の熱膨張率と炭素繊維体積比との関係を表すグラフである。
【図４】実施例２で計測されたアルミニウム−炭素繊維複合材料の熱膨張率と炭素繊維体積比との関係を表すグラフである。
【図５】実施例３で計測されたポリカーボネート−炭素繊維複合材料の熱膨張率と炭素繊維体積比との関係を表すグラフである。
【図６】実施例４で計測されたポリカーボネート−繊維状シリカ繊維複合材料の熱膨張率と繊維状シリカ体積比との関係を表すグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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