(57)【要約】【課題】少なくとも1つ以上の貫通孔を有するグリーンシートとキャリアフィルムが一体となった複合シートからキャリアフィルムのみを確実に剥離するキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置を提供する。【解決手段】複数の貫通孔を有するキャリアフィルムとグリーンシートから成る複合シートをグリーンシート面が接するように保持部材に固定する複合シート固定工程と、プレート部材を前記複合シートの貫通孔を塞ぐように前記複合シートに密着させるプレート部材密着工程と、前記キャリアフィルムの端部を前記グリーンシートから分離するキャリアフィルム分離工程と、前記複合シートから前記プレート部材を分離するプレート部材開放工程と、前記キャリアフィルムを前記グリーンシートから完全に分離するキャリアフィルム剥離工程とによりキャリアフィルムの剥離を行う。【選択図】図1
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つ以上の貫通孔を有するキャリアフィルムとグリーンシートから成る複合シートから前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離方法であって、
前記グリーンシート側が接するように前記複合シートを保持部材に固定する複合シート固定工程と、
プレート部材を前記複合シートの貫通孔を塞ぐように前記複合シートに密着させるプレート部材密着工程と、
前記キャリアフィルムの端部を前記グリーンシートから分離するキャリアフィルム分離工程と、
前記複合シートから前記プレート部材を分離するプレート部材開放工程と、
前記キャリアフィルムを前記グリーンシートから完全に分離するキャリアフィルム剥離工程と、を含むキャリアフィルム剥離方法。
【請求項２】
前記複合シート固定工程において、前記保持部材は複数の貫通孔を有し負圧により前記複合シートを前記保持部材に固定する請求項１に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項３】
前記プレート部材は、その一方の面と他方の面とを貫通あるいは密閉するための開閉自在なシャッター機構を備えている請求項１に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項４】
前記プレート部材のシャッター機構は、外部からの指示で開閉可能である請求項３に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項５】
前記プレート部材は、前記キャリアフィルム分離工程で分離するキャリアフィルムの端部は覆わない形状である請求項３に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項６】
前記プレート部材密着工程は、前記保持部材を経由して得られる負圧により前記複合シートに密着する請求項２に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項７】
前記キャリアフィルム分離工程は、前記キャリアフィルムの端部から前記プレート部材に接するまで前記キャリアフィルムを分離する請求項１に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項８】
前記プレート部材開放工程は、前記プレート部材に与えられた前記負圧を開放させるように前記シャッター機構を動かして前記負圧が開放された後、前記プレート部材を前記複合シートから離す請求項３に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項９】
少なくとも一つ以上の貫通孔を有するキャリアフィルムとグリーンシートから成る複合シートから、前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離装置であって、
前記複合シートを固定するための保持部材と、
前記複合シートを押さえるために前記複合シートと密着するためのプレート部材と、
前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離機構と、
前記プレート部材の移動を行うプレート移動機構と、
前記プレート移動機構と前記キャリアフィルム剥離機構とを制御するための剥離制御部とを持つ、キャリアフィルム剥離装置。
【請求項１０】
前記保持部材は負圧により前記複合シートを前記保持部材上に固定するための複数の貫通孔を有する請求項９に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１１】
前記プレート部材は、その一方の面と他方の面とを貫通あるいは密閉するための開閉自在なシャッター機構を備えている請求項９に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１２】
前記シャッター機構は、外部からの指示で開閉可能である請求項１１に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１３】
前記プレート部材は、前記保持部材で固定された前記複合シートの端部のうち、最初に剥離させる端部は覆わない形状である請求項９に記載のキャリアフィルム剥離工法。
【請求項１４】
少なくとも一つ以上の貫通孔を有するキャリアフィルムとグリーンシートから成る複合シートから前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離装置であって、
前記複合シートを載せるための保持部材と、
外部からの指令により開閉自在となるシャッターが設けられているプレート部材と、
前記複合シートが前記保持部材上に載せられた後に前記プレート部材が前記複合シートを押さえるように制御する剥離制御部と、を持つキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１５】
前記保持部材の前記複合シートを載せる面は、空気を通すために多孔質素材から成っており、負圧により前記複合シートを保持する請求項１４に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１６】
前記保持部材の負圧状態に応じて第１の検出信号と第２の検出信号とを出力する圧力センサとを有し、前記第１の検出信号を出力する時の負圧は前記第２の検出信号を出力する時の負圧よりも低い請求項１５に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１７】
前記複合シートの反射光量に応じてキャリアフィルム面とグリーンシート面とを検出する物体検出センサをさらに備えた請求項１６に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１８】
前記第１の信号を検知して前記プレート部材と前記複合シートが密着されたと判断しプレート密着完了信号を出力するプレート密着部と、前記第２の信号を検知して前記プレート部材と前記複合シートとが分離されたと判断しプレート部材分離信号を出力するプレート分離判断部と、前記剥離制御からの指令により前記プレート部材を前記複合シートから分離するように移動させるプレート移動機構とをさらに備えた請求項１６に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１９】
前記剥離制御部の指示により前記複合シートから前記キャリアフィルムを剥離させるキャリアフィルム剥離機構と、前記キャリアフィルムが所定の位置まで剥離されたことを検知した時にキャリアフィルム分離信号を前記剥離制御部に出力するキャリアフィルム剥離検知機構とをさらに備えた請求項１８に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項２０】
前記剥離制御部は、前記プレート密着完了信号が出力された時に前記キャリアフィルム剥離機構に前記複合シートから前記キャリアフィルムを剥離させる指令を出力し、
前記キャリアフィルム剥離検知機構からキャリアフィルム分離信号が出力された時に前記プレート部材のシャッターを開放する指令を前記前記プレート部材に出力するとともに前記キャリアフィルム剥離機構に前記キャリアフィルムの剥離を停止させる指令を出力し、
前記プレート部材を前記複合シートから分離するように前記プレート移動機構に指令し、前記プレート部材分離信号を検知したとき前記キャリアフィルム剥離機構に前記複合シートから前記キャリアフィルムを剥離させる指令を出力する請求項１９に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は剥離装置に関し、特に、セラミック多層基板に用いられるグリーンシートとキャリアフィルムが一体となった複合シートからキャリアフィルムのみを剥離するキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複合シートのキャリアフィルムを剥離するためには、次のような構成のキャリアフィルム剥離装置が用いられていた。すなわち、キャリアフィルムを上面にして複合シートを多孔質材料から成る載架台に置き、載架台内部に設けられた真空引きチャンバーにより真空吸引して複合シートを載架台に固定した後、この複合シートの一端に外周面に粘着剤を有する巻取りローラの外周面を押し当てながら複合シートの他端部側へ転動させて、キャリアフィルムを複合シートから剥離していた（例えば特許文献１を参照。）。
【特許文献１】特開平７−３０２５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、貫通孔がある複合シートに前記従来の技術を用いた場合に、複合シートからキャリアフィルムを剥離する際に、複合シートを保持する為の吸着力が貫通孔からの吸引漏れにより低下し、キャリアフィルムとグリーンシートの接着力よりも複合シートの吸着力が低くなる場合がある。特に剥離開始時にはより強い剥離力が必要であり剥離開始時に吸着力が低下すると剥離する前に載架台からグリーンシートが離れ剥離できなくなると言う問題があった。
【０００４】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、少なくとも1つ以上の貫通孔を有するグリーンシートとキャリアフィルムが一体となった複合シートからキャリアフィルムのみを確実に剥離するキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記従来の課題を解決するために、本発明のキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置は、少なくとも一つ以上の貫通孔を有するキャリアフィルムとグリーンシートから成る複合シートから、前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離方法であって、前記グリーンシート側が接するように前記複合シートを保持部材に固定する複合シート固定工程と、プレート部材を前記複合シートの貫通孔を塞ぐように前記複合シートに密着させるプレート部材密着工程と、前記キャリアフィルムの端部を前記グリーンシートから分離するキャリアフィルム分離工程と、前記複合シートから前記プレート部材を分離するプレート部材開放工程と、前記キャリアフィルムを前記グリーンシートから完全に分離するキャリアフィルム剥離工程と、を含むことを特徴とするものである。
【０００６】
さらに、本発明のキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置は、少なくとも一つ以上の貫通孔を有するキャリアフィルムとグリーンシートから成る複合シートから前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離装置であって、前記複合シートを載せるための保持部材と、外部からの指令により開閉自在となるシャッターが設けられているプレート部材と、前記複合シートが前記保持部材上に載せられた後に前記プレート部材が前記複合シートを押さえるように制御する剥離制御部と、を持つことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置によれば、少なくとも一つ以上の貫通孔を有するキャリアシートとグリーンシートからなる複合シートにおいても、保持部材と複合シートとの吸着力低下を防ぎ、キャリアフィルム剥離の際に保持部材からグリーンシートが離れることなく、キャリアフィルムを確実にグリーンシートから分離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、本発明のキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
【０００９】
（実施の形態１）
図１ａから図１ｆに本発明のキャリアフィルム剥離方法の全体工程を示す。図１ａから図１ｆにおいて、１は保持部材であり、２は空気を通す多孔質材料からなる多孔質板であり、両者は図１ａに示すように、一体となっている。保持部材１には、孔１０が設けられており、図示していない真空ポンプ等によって多孔質板２を通して負圧が得られるように設計されている。なお、１２は複合シートであり、キャリアフィルム４とグリーンシート３から構成され、例えば図５のように少なくとも１つ以上の貫通孔５を有している。また、８は複数の貫通孔１１を設けたプレート部材であり、複合シート１２に密着することの出来るベース部材６及び複合シート１２に密着しないシャッター部材７から構成されており、プレート部材８に設けられたシャッター機構によりこの複数の貫通孔１１を貫通あるいは密閉できるようにシャッター部材７を動かすことが出来る。また、９はキャリアフィルム剥離機構であり、先端は吸引保持できるキャリアフィルム吸引部を有しており、図示しない剥離駆動部の動作によりキャリアフィルム４に先端を接触させて吸引し、剥離駆動部の動作により複合シート１２からキャリアフィルム４を剥離する。次に、図１ａから図１ｆを参照しながら、本発明のキャリアフィルム剥離方法の詳細を示す。
【００１０】
＜複合シート固定工程＞
図１ａを用いて複合シート固定工程を示す。複合シート１２はキャリアフィルム４を上にして保持部材１に設けられた多孔質板２上に置かれる。複合シート１２が多孔質板２上の所定の位置に載せられた後、図示しない真空ポンプによって保持部材１の孔１０を介して多孔質板２に負圧を与えることにより複合シート１２を吸引し多孔質板２に固定する。複合シート１２が多孔質板２上に固定されたことは、図示していない圧力センサにより検知される。
【００１１】
＜プレート部材密着工程＞
図１ｂを用いてプレート部材密着工程を示す。複合シート１２が保持部材１に固定された後に、複合シート１２の貫通孔５を塞ぐように、シャッター機構を密閉した状態でプレート部材８を図示しないプレート移動機構により複合シート１２に接触させる。すると貫通孔５を介しての負圧によりプレート部材８は複合シート１２に密着し、さらに貫通孔５からの吸引漏れが減少するため保持部材１に対する複合シート１２の吸着力が増加する。
【００１２】
＜キャリアフィルム分離工程＞
図１ｃを用いてキャリアフィルム分離工程を示す。保持部材１に固定された複合シート１２にプレート部材１が密着した状態で、キャリアフィルム剥離機構９の先端のキャリアフィルム吸引部を図示しない剥離駆動部の動作によりキャリアフィルム４の端部に接触させ吸引保持する。その後キャリアフィルム４を吸引保持したまま剥離駆動部を移動させることによりキャリアフィルム４の端部をグリーンシート３から分離させる。分離はキャリアフィルム４の端部からプレート部材８に接するまで行う。
【００１３】
＜プレート部材開放工程＞
図１ｄ及び図１ｅを用いてプレート部材開放工程を示す。キャリアフィルム４が端部からプレート部材８に接するまで分離されたことを、図示しない物検センサにより検知すると、複合シート１２の貫通孔５からの吸引漏れによるプレート部材８に与えられた負圧を開放させる為にプレート部材のシャッター機構を図示しないシャッター開閉駆動部により動かして貫通孔１１を貫通させて負圧を開放してプレート部材８の吸着力を減少させる。具体的にはシャッター開閉駆動部はベース部材６を複合シート１２に密着させたままの状態でシャッター部材７を空圧シリンダ等の推力でスライドさせることで貫通孔１１を密閉状態から貫通状態にさせる。
【００１４】
次にプレート部材８の貫通孔１１が貫通しプレート部材８の吸着力が減少した状態で、図示しないプレート移動機構によりプレート部材８を複合シート１２から分離する。
【００１５】
＜キャリアフィルム剥離工程＞
図１ｆを用いてキャリアフィルム剥離工程を示す。キャリアフィルム４が端部からプレート部材８に接するまで分離され、さらにプレート部材８が複合シート１２から分離した状態になると、プレート移動機構の動作によりプレート部材８を水平方向へ移動させる。キャリアフィルム４の剥離に影響の無い位置にプレート部材８が移動するとプレート移動機構はストロークエンドとなり動作を停止する。プレート移動機構が停止した後にキャリアフィルム剥離機構９のキャリアフィルム吸引部にキャリアフィルム４の端部を保持した状態でキャリアフィルム剥離機構９の剥離駆動部を移動することによりキャリアフィルム４をグリーンシート３から完全に分離することができる。
【００１６】
以上のように、実施の形態１においてはプレート部材８によって吸着固定された複合シート１２の貫通孔５を塞ぐことにより、貫通孔５からの吸引漏れによる吸着力の低下を防ぎ、より強い剥離力を必要とする剥離開始時のキャリアフィルム端部を保持部材１からグリーンシートが離れること無く確実にグリーンシートから剥離することができる。
【００１７】
また、プレート部材８に備えられたシャッター機構を前後にスライドさせてプレート部材１２の貫通孔１１を貫通させることにより、複合シート１２にプレート部材８を強く密着させる複合シート１２の貫通孔５から与えられる負圧を開放してプレート部材８の吸着力を減少させることができ、容易にプレート部材８を複合シート１２から分離して、キャリアフィルム４の剥離行為を円滑に行うことができる。
【００１８】
（実施の形態２）
図６に、本発明のキャリアフィルム剥離装置の構成を示す。保持部材１は空気を通す多孔質材料からなる多孔質板２と一体となっており、保持部材１に設けられた孔１０に接続された真空ポンプ１９によって多孔質板２を通して負圧が得られるように設計されている。この負圧によりグリーンシート３とキャリアフィルム４から構成される複合シート１２は保持部材１に固定される。
【００１９】
また、孔１０と真空ポンプ１９の経路の間には圧力センサ１６が設けられており、保持部材１に複合シート１２が固定されているかどうかの検知を行う。複合シート１２の固定の有無は、圧力センサ１６から出力される値で判断できる。本実施例では、約−６０ｋＰａの時はプレート部材８が複合シート１２へ密着されていると判断し、約−２０ｋＰａの時は複合シート１２からプレート部材８が分離されていると判断し、約―５ｋＰａの時は多孔質板２上に複合シート１２が存在しないと判断する。なお、この値は、多孔質板２の平均孔径や複合シート１２の面積等を加味して、適宜最適な値を選択すれば良い。なお、本実施例では、圧力センサ１６に、真空用圧力スイッチ（製品品番ＺＳＥ３０、ＳＭＣ社）を用いたが、これに限定されるものでは無く、同様の機能を果たすものであれば良い。
【００２０】
プレート部材８は、複合シート１２を押さえるために設けられており、複数の貫通孔１１を設けたベース部材６とシャッター部材７とから構成されている。また、プレート部材８に複合シート１２を押さえる際は、ベース部材６が複合シート１２に接触するように構成されている。このプレート部材８に設けられているシャッター部材７は、シャッター開閉駆動部１８によってシャッター部材７がベース部材６の貫通孔１１を貫通あるいは密閉できるように動かすことができるシャッター機能を有している。図２はシャッター部材７により貫通孔１１が密閉した状態を示し、図３はシャッター部材７により貫通孔１１が貫通した状態を示す。さらにベース部材６は、保持部材１上に固定された複合シート１２のうち、最初にキャリアフィルム４を複合シート１２から剥離させる位置を覆わないような形状を有している。本実施例では、図２の矢印に示すようにベース部材６の角部の面取りをしている。また、プレート部材８の貫通孔１１は複合シート１２の貫通孔５と同位置に設けることが望ましい。さらに貫通孔１１は図４のように複合シート１２の貫通孔５の位置を含む場所をつなげた形状でも良い。
【００２１】
キャリアフィルム剥離機構９は、キャリアフィルム４を吸引保持できるキャリアフィルム吸引部１４と剥離駆動部１５からなる。剥離駆動部１５はキャリアフィルム４を吸引保持するために先端のキャリアフィルム吸引部１４をキャリアフィルム４の端部に接触させる動作と、キャリアフィルム４を吸引保持してプレート部材８に接するまで複合シート１２から剥離する動作と、キャリアフィルム４をグリーンシート３から完全に剥離する為にキャリアフィルム吸引部１４によりキャリアフィルム４の端部を吸引保持したまま移動する動作とを行う。なお、キャリアフィルム吸引部１４は、キャリアフィルム４の端部を保持する為に吸引以外にも粘着機構を用いても良い。
【００２２】
また、キャリアフィルム４がプレート部材８に接するまで分離される位置には物検センサ１３が設置されている。物検センサ１３は、キャリアフィルム４の表面からの反射光とグリーンシート３の表面からの反射光との違いを非接触で検出することにより保持部材１に固定された複合シート１２からキャリアフィルム４が分離しているかどうかを検知する。本実施例では、この物検センサ１３に、光電センサ（製品番号ＣＺ−Ｖ２０、ＫＥＹＥＮＣＥ社）を使用したが、これに限るものではなく検出すべき物体の表面反射光を非接触検出し、キャリアフィルム４の表面状態とグリーンシート３の表面状態との差が判別できる機能を有するものであれば良い。
【００２３】
この検知信号はキャリアフィルム剥離検知機構２１へと伝達される。キャリアフィルム剥離検知機構２１は、物検センサ１３からグリーンシート３の表面状態であることを示す信号が伝達されるとキャリアフィルム４が分離していると判断し、キャリアフィルム分離信号を剥離制御部２２に出力する。
【００２４】
本実施例のプレート移動機構１７は、上下駆動機構を用いてプレート部材８を複合シート１２へ密着あるいは分離させる動作と、キャリアフィルム剥離機構９によるキャリアフィルム４の剥離動作に支障をきたさない位置までプレート部材８を移動させる動作の２つのプレート部材移動機能を持つ。この動作は、後述する剥離制御部２２の指令に従って行う。
【００２５】
先に説明した通り、圧力センサ１６は多孔質板２、プレート部材８および複合シート１２の相互の密着状態を検出しＡ、Ｂ、Ｃの検知信号を出力する。この検出信号は、プレート部材密着検出部２０及びプレート分離判断部２３へと伝達される。プレート部材密着検出部２０は、約−６０ｋＰａの値が圧力センサ１６から入力された時にプレート部材８が複合シート１２へ密着していると判断してプレート密着完了信号を剥離制御部２２に出力する。また、プレート分離判断部２３は、約−２０ｋＰａの値が圧力センサ１６から入力された時に複合シート１２からプレート部材８が分離されていると判断してプレート部材分離信号を剥離制御部２２に出力する。
【００２６】
剥離制御部２２は、キャリアフィルム剥離検知機構２１からキャリアフィルム分離信号が入力されると、複合シート１２からプレート部材８を分離する指示をプレート移動機構１７へ行い、プレート部材密着検出部２０からプレート密着完了信号が入力されると、キャリアフィルム４の分離の指示をキャリアフィルム剥離機構９へ行い、プレート分離判断部２３からプレート部材分離信号が入力されると、複合シート１２からキャリアフィルム４を完全に剥離する指示をキャリアフィルム剥離機構９へ行う。
【００２７】
図７に本発明のキャリアフィルム剥離装置の一連の動作を示すフローチャートを示す。まず、複合シート１２が保持部材１に真空ポンプ１９の負圧により固定されると、プレート移動機構１７の上下駆動によりプレート部材８を複合シート１２へ密着させる。その後、プレート部材８が複合シート１２へ密着したことを圧力センサ１６で検知するとその情報がプレート密着検出部２０へ伝達され、プレート密着検出部２０はプレート密着完了信号を剥離制御部２２へ出力する。
【００２８】
次に、剥離制御部２２はプレート密着完了信号を受けてキャリアフィルム４の分離の指示をキャリアフィルム剥離機構９へ行い、キャリアフィルム剥離機構９はキャリアフィルムの分離を開始する。このときのキャリアフィルム分離はキャリアフィルム４の端部からプレート部材８に接するまで行う。複合シート１２からキャリアフィルム４が分離される状態は物検センサ１３によりモニターされ、キャリアフィルム４が分離されたことを検知するとその情報がキャリアフィルム剥離検知機構２１へ伝達される。この時、キャリアフィルム剥離検知機構２１はキャリアフィルム分離信号を剥離制御部２２へ出力し、剥離制御部２２は、直ちにキャリアフィルム４の剥離を停止するようにキャリアフィルム剥離機構９に指令を出す。
【００２９】
剥離制御部２２はキャリアフィルム分離信号を受けて複合シート１２からプレート部材８を分離する指示をプレート移動機構１７へ行う。この指示でプレート移動機構１７は複合シート１２からプレート部材８の分離を開始する。この分離状態は、圧力センサ１６によりモニターされ、プレート部材８が分離されたことを検知するとその情報がプレート分離判断部２３へ伝達されてプレート分離判断部２３からプレート部材分離信号を剥離制御部２２へ出力する。
【００３０】
その後、剥離制御部２２はプレート部材分離信号を受けて複合シート１２からキャリアフィルム４を完全に剥離する指示をキャリアフィルム剥離機構９へ行う。キャリアフィルム４を完全に剥離する指示を受けたキャリアフィルム剥離機構９は、複合シート１２からキャリアフィルム４を完全に取り除くように剥離動作を開始する。
【００３１】
以上のように実施の形態２においてはプレート移動機構とキャリアフィルム剥離機構９の動作を剥離制御部２２により制御することにより、容易にプレート部材８を複合シート１２から分離して、キャリアフィルム４の剥離行為を円滑に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明にかかるキャリアフィルム剥離方法及びキャリアフィルム剥離装置は、少なくとも一つ以上の貫通孔を有するキャリアシートとグリーンシートからなる複合シートの保持部材に対する吸着力の低下を防止し、保持部材からグリーンシートが離れることなく、より強い剥離力を必要とするキャリアフィルムの端部を確実にグリーンシートから分離することができる特徴を有し、セラミック多層基板に用いられるグリーンシートとキャリアフィルムが一体となった複合シートからキャリアフィルムのみを剥離する方法及び装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明のキャリアフィルム剥離方法の全体工程図
【図２】本発明のプレート部材の貫通孔密閉状態の正面図
【図３】本発明のプレート部材の貫通孔貫通状態の正面図
【図４】本発明のプレート部材の貫通孔の一例の正面図
【図５】貫通孔を有する複合シートの一例の正面図
【図６】本発明のキャリアフィルム剥離装置のブロック図
【図７】本発明のキャリアフィルム剥離装置の動作を示す図
【符号の説明】
【００３４】
１  保持部材
２  多孔質板
３  グリーンシート
４  キャリアフィルム
５  貫通孔
６  ベース部材
７  シャッター部材
８  プレート部材
９  キャリアフィルム剥離機構
１０  孔
１１  貫通孔
１２  複合シート
１３  物検センサ
１４  キャリアフィルム吸引部
１５  剥離駆動部
１６  圧力センサ
１７  プレート移動機構
１８  シャッター開閉駆動部
１９  真空ポンプ
２０  プレート密着検出部
２１  キャリアフィルム剥離検知機構
２２  剥離制御部
２３  プレート分離判断部
【図１】
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【図２】
2009038223.tif 000004
【図３】
2009038223.tif 000005
【図４】
2009038223.tif 000006
【図５】
2009038223.tif 000007
【図６】
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【図７】
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