(57)【要約】【課題】ファンフィルターユニットの回転数の調整幅を切り替えることにより、製造装置等にファンフィルターユニットが組み込まれた際も、ファンフィルターユニットから吹き出される風量を調整できることを目的としている。【解決手段】チャンバー４の吸込口側にファンモータユニット３の回転数幅を調整することができる設定部７を配置させることで、ファンモータユニット３の回転数の調整幅を切り替えることができ、ファンフィルターユニットが製造装置に組み込まれた際に、回転数の調整の必要が生じた場合でも設定部７により調整幅を切り替えることができるということを特徴としたものである。【選択図】図１
2009180410.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を送風するファンと、前記ファンを回転させるモータと、前記ファンと前記モータとで構成されるファンモータと、前記ファンモータを収納し、上面には吸込口を下面には供給口を供えた箱型状のチャンバーと、前記チャンバーの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、前記チャンバー内部に設けられ、前記ファンモータユニットの回転数を制御する制御部と、前記チャンバーの吸込口側にファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変更することができる設定部を設けたことを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記設定部の前記ファンモータユニットの回転数の調整幅の変更手段は、プッシュスイッチであることを特徴とする請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
前記設定部の前記ファンモータユニットの回転数の調整幅の変更手段は、コネクター接続であることを特徴とする請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
前記設定部の前記ファンモータユニットの回転数の調整幅の変更手段は、前記設定部内に発光素子と受光素子とを備えたものであり、前記発光素子から発せられた光を前記受光素子が受光することによって、前記ファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変更することを特徴とする請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
前記発光素子と前期受光素子との間に平板状の仕切板を設けたことを特徴とする請求項４記載のファンフィルターユニット。
【請求項６】
前期発光素子と前記受光素子を前記設定部内に複数個設置し、平板上の複数の仕切板によって、前記ファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変更することを特徴とする請求項４に記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主にクリーンルーム内に設置される半導体デバイスや液晶等を製造する製造装置に取り付けられたファンフィルターユニットで、チャンバー内に設けられたファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変更する機構を有したファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットは、図示していないが、ケーシングの上部に開口を設けると共に、開口に流出量調整用のダンパーを設けて構成したものが知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−００３２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のファンフィルターユニットでは、ファンフィルターユニットが取り付けられる製造装置の大小や取り付けスペースの等に合わせてファンフィルターユニットが選定され、吹出風量を調整しているが、開口をスライド板の手動操作によって調整し、風量を調整しており、細かな微調整を行うことが困難であり、容易に調整を行うことが要求されている。
【０００４】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、チャンバーの吸込口側にファンモータユニットの回転数の調整幅を切り替えることが設定部を設け、ファンフィルターユニットの回転数調整幅の設定を変更することができることを特徴としたファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のファンフィルターユニットは、上記の目的を達成するために、空気を送風するファンと、前記ファンを回転させるモータと、前記ファンと前記モータとで構成されるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを収納し、上面には吸込口を下面には供給口を供えた箱型状のチャンバーと、前記チャンバーの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、前記チャンバー内部に設けられた前記ファンモータユニットの回転数を制御する制御部と、前記チャンバーの吸込口側にファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変更することができる設定部とで構成されたことを特徴としたものである。
【０００６】
この手段により、ファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変え、切替作業が容易なファンフィルターユニットが得られる。
【０００７】
また、他の手段は、前記設定部内に設けられたファンモータユニットの回転数の調整幅の変更手段をプッシュスイッチ切替としたことを特徴としたものである。
【０００８】
また、他の手段は、前記設定部内に設けられたファンモータユニットの回転数の調整幅の変更手段をコネクター接続による切替としたことを特徴としたものである。
【０００９】
また、他の手段は、前記設定部内に発光素子と受光素子とを備えたものであり、前記発光素子から発せられた光を前記受光素子が受光することによって、ファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変えることを特徴としたものである。
【００１０】
また、他の手段は、前記発光素子と前記受光素子との間に平板状の仕切板を設けたことを特徴としたものである。
【００１１】
また、他の手段は、前期発光素子と前記受光素子を設定部内に複数個設置し、平板上の仕切板によって、前記ファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変更することを特徴したものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、チャンバーの吸込口側に設けられた設定部により、ファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変更し、調整幅の切替作業が容易なファンフィルターユニットが得られるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の請求項１記載のファンフィルターユニットは、空気を送風するファンと、前記ファンを回転させるモータと、前記ファンと前記モータとで構成されるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを収納し、上面には吸込口を下面には供給口を供えた箱型状のチャンバーと、前記チャンバーの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、前記チャンバー内部に設けられ、前記ファンモータユニットの回転数を制御する制御部と、前記チャンバーの吸込口側にファンフィルターユニットの回転数の調整幅の設定を変更することができる設定部を設けたことを特徴としたものであり、前記チャンバー吸込口側に設けられた前記設定部によりファンモータユニットの回転数幅を変更することができるという作用を有する。
【００１４】
本発明の請求項２記載のファンフィルターユニットは、前記設定部内に設けられたファンモータユニットの回転数の調整幅の変更手段をスイッチであることを特徴としたものであり、プッシュスイッチを切り替えることにより、ファンフィルターユニットの回転数幅を切り替えることができるという作用を有する。
【００１５】
本発明の請求項３記載のファンフィルターユニットは、前記設定部内に設けられたファンモータユニットの回転数の調整幅の変更手段を、コネクター接続としたことを特徴としたものであり、コネクターの接続口を切り替えることにより、ファンフィルターユニットの回転数幅を切り替えることができるという作用を有する。
【００１６】
本発明の請求項４記載のファンフィルターユニットは、前記設定部内に発光素子と受光素子とを備えたものであり、前記発光素子から発せられた光を前記受光素子が受光することによって、前記ファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を変更することを特徴としたものであり、スイッチやコネクターを用いなくても、ファンフィルターユニットの回転数幅を切り替えることができるという作用を有する。
【００１７】
本発明の請求項６記載のファンフィルターユニットは、前記発光素子と前記受光素子との前に平板状の仕切板を設けたことを特徴としたものであり、スイッチやコネクターを用いなくても、ファンフィルターユニットの回転数幅を切り替えることができ、切替手段も容易なファンフィルターユニットが得られる。
【００１８】
本発明の請求項７記載のファンフィルターユニットは、前期発光素子と前記受光素子を設定部内に複数個設置し、平板上の仕切板によって、回転数調整幅の設定を変えることを特徴としたものであり、複数のファンモータが搭載されたユニットにおいても、切替手段が容易なファンフィルターユニットが得られる。
【００１９】
（実施の形態１）
図１に示すように、ファンフィルターユニット１５は、ファン１とモータ２で構成されるファンモータユニット３が、チャンバー４に収納され、空気を清浄化するフィルター５がチャンバー４の下部に取り付けられているものである。ファンモータユニット３の回転数を制御する制御部６がチャンバー４の内部に収納され、ファンフィルターユニット１５の回転数の調整幅の設定を変更することができる設定部７がチャンバー４の吸込口側に取り付けられている。
【００２０】
上記の構成において、ファンモータユニット３を運転させ、製造装置等に組み込まれた際に、ファンモータユニット３の回転数の微調整の必要が生じた場合、設定部７により、ファンモータユニット３の回転数の調整幅を変更することができる。
【００２１】
調整幅とは、ファンモータユニット３が回転することのできる範囲を示したものであり、ファンモータユニット３の最小回転数から最高回転数までの間としたものである。
【００２２】
ファンモータユニットの回転数の調整幅を変更することにより、ファンフィルターユニットが製造装置に取り付けられた際に、ファンフィルターユニット１５から吹き出される風速を調整することができ、製造装置内の環境を仕様に応じて調整することができる。例えば、製造装置内に清浄空気を供給するファンフィルターユニット１５から吹き出される風の風量不足や、吹き出される風の風速が超低風速でなければならない環境である必要が生じた場合、ファンフィルターユニット１５の回転数調整幅を切り替えることにより、製造装置内を仕様に応じた環境にすることができる。
【００２３】
（実施の形態２）
実施の形態１と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図２に示すようにファンモータユニット３の回転数幅の切替手段を、設定部７に設けられたプッシュスイッチ８としたものである。プッシュスイッチ８にて切り替え行うことにより、ファンモータユニットの回転数の調整幅が切り替わり、ファンフィルターユニット１５から吹き出される風速を調整することができ、製造装置内の環境を仕様に応じて調整することができる。
【００２４】
（実施の形態３）
図３に示すようにファンモータユニット３の回転数幅の切替手段を、設定部７に設けられた切換手段をコネクター９接続としたものである。コネクター９を接続することにより、ファンモータユニットの回転数の調整幅が切り替わり、コネクター９が接続されていない場合は、回転数幅の設定は変わらないとした構成としている。このような構成により、ファンフィルターユニット１５から吹き出される風速を調整することができ、製造装置内の環境を仕様に応じて調整することができる。
【００２５】
（実施の形態４）
図４に示すようにファンモータユニット３の回転数幅の切替手段を、設定部７に設けられた発光素子１０と受光素子１１としたものである。発光素子１０から発せられた光を受光素子１１が受光した場合にファンモータユニット３の回転数幅が切り替わり、受光素子１１が発光素子１０から発せられた光を受光しない場合は、回転数幅の設定は変わらないとした構成としている。
【００２６】
上記の構成において、仕切板１２が発光素子１０と受光素子１１の間に設けられ、発光素子１０から発せられた光を遮断することにより、受光素子１１が光を受光せず、設定は変更されることはない。
【００２７】
なお、図５に示すように、発光素子１０を設定部７内に複数個設ける構成としても良い。このような構成により、複数枚の仕切板１２と、あらかじめファンモータユニット３の回転数調整幅の設定を複数のパターンに設定しておき、仕切板１２をどのように立てるか選択することによって、使用環境に応じて、ファンモータユニットの回転数の調整幅を任意に切り替えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明にかかるファンフィルターユニットは、チャンバー吸込口側の上面にファンモータユニットの回転数の調整幅の設定を切り替える手段を備えた設定部を設けることにより、ファンモータユニットの回転数の調整幅を切り替えることができるファンフィルターユニットとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットの断面図
【図２】同実施の形態２のブロック図
【図３】同実施の形態３のブロック図
【図４】同実施の形態４のブロック図
【図５】同実施の形態４の（ａ）ブロック図、（ｂ）設定部の詳細図
【符号の説明】
【００３０】
１    ファン
２    モータ
３    ファンモータユニット
４    チャンバー
５    フィルター
６    制御部
７    設定部
８    プッシュスイッチ
９    コネクター
１０  発光素子
１１  受光素子
１２  仕切板
１５  ファンフィルターユニット
【図１】
2009180410.tif 000003
【図２】
2009180410.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009180410.tif 000006
【図５】
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