(57)【要約】【課題】偏芯測定装置の光軸と結像光学系の光軸とのずれが偏芯量の測定に与える影響を抑制することが可能な偏芯測定装置を提供すること。【解決手段】偏芯測定装置１は、所定の焦点距離を有する結像光学系５と、結像光学系５からの光を被検体Ｓに向けて反射する第１の直角ミラー８と、被検体Ｓからの光を結像光学系５に向けて反射する第２の直角ミラー１１と、第２の直角ミラー１１での反射光を集光し、集光された光の光量中心の位置を観察する位置センサ１３とを備える。第１及び第２の直角ミラー８、１１は、稜線８ｃ、１１ｃの双方に平行な基準面に対して、これらの稜線８ｃ、１１ｃを投影した場合、基準面に投影された稜線８ｃに沿った直線と稜線１１ｃに沿った直線とが直交するように配置されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体の偏芯量を測定する装置であって、
所定の焦点距離を有する結像光学系と、
前記結像光学系からの光を前記被検体に向けて反射する第１の反射部材と、
前記被検体からの光を前記結像光学系に向けて反射する第２の反射部材と、
前記装置の光軸に対する前記結像光学系を透過した前記第２の反射部材での反射光の傾きを検出する傾き検出手段と、を備え、
前記第１の反射部材は、互いに直交する一対の反射面と、当該一対の反射面によって形成される稜線とを有し、
前記第２の反射部材は、互いに直交する一対の反射面と、当該一対の反射面によって形成される稜線とを有し、
前記第１の反射部材の前記稜線及び前記第２の反射部材の前記稜線の双方に平行な基準面に対し、前記第１の反射部材の前記稜線と前記第２の反射部材の前記稜線とを投影した場合、前記基準面に投影された前記第１の反射部材の前記稜線に沿った直線と前記第２の反射部材の前記稜線に沿った直線とが直交するように、前記第１及び第２の反射部材が配置されていることを特徴とする偏芯測定装置。
【請求項２】
前記第１の反射部材の前記一対の反射面が形成する前記稜線及び前記第２の反射部材の前記一対の反射面が形成する前記稜線の双方が前記装置の前記光軸と直交するように、前記第１及び第２の反射部材が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の偏芯測定装置。
【請求項３】
前記第１及び第２の反射部材の双方又は一方は、その反射部材が有する一対の反射面がミラーであることを特徴とする請求項１又は２に記載の偏芯測定装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の反射部材の双方又は一方は、直角プリズムであることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の偏芯測定装置。
【請求項５】
入射された光を反射又は透過する光反射透過部材をさらに備え、
前記第１の反射部材は、前記結像光学系からの光を、前記光反射透過部材を介して前記被検体に向けて反射し、
前記第２の反射部材は、前記被検体からの光を、前記光反射透過部材を介して前記結像光学系に向けて反射することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の偏芯測定装置。
【請求項６】
前記結像光学系は、前記焦点距離を変えることができることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の偏芯測定装置。
【請求項７】
前記結像光学系は、有限の焦点距離を有し、前記被検体の曲率中心から光軸に沿って前記焦点距離だけ離れた位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の偏芯測定装置。
【請求項８】
前記傾き検出手段は、前記結像光学系を透過した前記第２の反射部材での反射光を集光し、集光された光の光量中心の位置を観察することで、前記装置の光軸に対する前記結像光学系を透過した前記第２の反射部材での反射光の傾きを検出することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載の偏芯測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏芯測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、偏芯測定装置として、回転対称な被検体を取り付けた状態で高速回転可能な高精度回転軸（スピンドル）を備える装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような偏芯測定装置では、被検体の被検面で反射された光の像の振れを測定することで被検体の偏芯量を測定する。測定に際し特許文献１に記載の偏芯測定装置では、平行光束を利用して偏芯を測定するため、結像光学系を測定装置の光路中に挿入し、この結像光学系を介して光を被検体に入射させ、且つ結像光学系を介して被検体からの反射光を偏芯量検出センサに入射させている。
【特許文献１】特開平１１−２８７７４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
結像光学系を偏芯測定装置の光路中に挿入する際に、結像光学系の光軸と偏芯測定装置の光軸とがずれてしまった場合、偏芯量を精度良く測定することは困難である。
【０００４】
本発明は、偏芯測定装置の光軸と結像光学系の光軸とのずれが偏芯量の測定に与える影響を抑制することが可能な偏芯測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明を例示する態様に従えば、被検体の偏芯量を測定する装置であって、被検体の偏芯量を測定する装置であって、所定の焦点距離を有する結像光学系と、結像光学系からの光を被検体に向けて反射する第１の反射部材と、被検体からの光を結像光学系に向けて反射する第２の反射部材と、装置の光軸に対する結像光学系を透過した第２の反射部材での反射光の傾きを検出する傾き検出手段と、を備え、第１の反射部材は、互いに直交する一対の反射面と、当該一対の反射面によって形成される稜線とを有し、第２の反射部材は、互いに直交する一対の反射面と、当該一対の反射面によって形成される稜線とを有し、第１の反射部材の稜線及び第２の反射部材の稜線の双方に平行な基準面に対し、第１の反射部材の稜線と第２の反射部材の稜線とを投影した場合、基準面に投影された第１の反射部材の稜線に沿った直線と第２の反射部材の稜線に沿った直線とが直交するように、第１及び第２の反射部材が配置されていることを特徴とする偏芯測定装置が提供される。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、偏芯測定装置の光軸と結像光学系の光軸とのずれが偏芯量の測定に与える影響を抑制することが可能な偏芯測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【０００８】
図１を参照して、実施形態に係る偏芯測定装置１の構成について説明する。図１は、本実施形態に係る偏芯測定装置の構成図である。
【０００９】
図１に示す偏芯測定装置１は、光源２と、コリメータレンズ３と、偏光ビームスプリッタ４と、結像光学系５と、偏光ビームスプリッタ（光反射透過部材）６と、１／４波長板７、９、１０と、第１の直角ミラー（第１の反射部材）８と、第２の直角ミラー（第２の反射部材）１１と、集光光学系１２と、位置センサ１３とを備えている。偏芯測定装置１は、光源２から出力された光Ｌを、結像光学系５及び第１の直角ミラー８を介して被検体Ｓに入射させ、被検体Ｓの被検面Ｓｍで反射された光Ｌを第２の直角ミラー１１及び結像光学系５を介して位置センサ１３に入射させることで、被検体Ｓの偏芯量を測定する装置である。
【００１０】
光源２は、例えばレーザ装置であり、光Ｌをコリメータレンズ３に入射する。コリメータレンズ３は、光源２から出力された光Ｌを平行光束にして、偏光ビームスプリッタ４に入射させる。偏光ビームスプリッタ４は、コリメータレンズ３を透過した光Ｌを反射して結像光学系５に入射させる。偏光ビームスプリッタ４はまた、結像光学系５を透過した光Ｌを透過する。
【００１１】
結像光学系５は、有限の焦点距離を有する合焦光学系である。結像光学系５は、その焦点距離を変えることができる可変焦点距離光学系でもある。結像光学系５は、被検体Ｓの被検面Ｓｍの曲率中心から偏芯測定装置１の光軸Ａｘに沿って焦点距離の分だけ離れた位置に配置されている。光源２側から結像光学系５を透過した光Ｌは、偏光ビームスプリッタ６に入射する。一方、被検体Ｓ側から結像光学系５を透過した光Ｌは、偏光ビームスプリッタ４に入射する。
【００１２】
偏光ビームスプリッタ６は、結像光学系５を透過した光Ｌを反射して、１／４波長板７に入射させる。偏光ビームスプリッタ６はまた、第１の直角ミラー８で反射されて１／４波長板７を透過した光Ｌを透過して１／４波長板９及び被検体Ｓに入射させる。偏光ビームスプリッタ６はまた、被検体Ｓの被検面Ｓｍで反射されて１／４波長板９を透過した光Ｌを反射して１／４波長板１０及び第２の直角ミラー１１に入射させる。偏光ビームスプリッタ６はまた、第２の直角ミラー１１で反射されて１／４波長板１０を透過した光Ｌを透過して結像光学系５に入射させる。
【００１３】
１／４波長板７、９、１０は、入射された光Ｌが直線偏光の場合にはその偏光状態を円偏光とし、入射された光Ｌが円偏光の場合にはその偏光状態を直線偏光とする。
【００１４】
第１の直角ミラー８は、結像光学系５を透過後の結像光学系５からの光であって、偏光ビームスプリッタ６及び１／４波長板７を介して入射した光Ｌを、偏光ビームスプリッタ６及び１／４波長板７、９を介して被検体Ｓに入射するように、被検体Ｓに向けて反射する。第１の直角ミラー８は、互いに直交する一対の反射面８ａ、８ｂと、当該一対の反射面８ａ、８ｂによって形成される稜線８ｃと、を有する。第１の直角ミラー８では、反射面８ａと反射面８ｂとが９０°をなすように、稜線８ｃを間に挟んで隣接する。
【００１５】
第１の直角ミラー８は、稜線８ｃが偏芯測定装置１の光軸Ａｘと直交するように配置されている。また、第１の直角ミラー８は、反射面８ａ、８ｂと光軸Ａｘとがなす角度が４５°となるように配置されることが好ましい。また、第１の直角ミラー８は、稜線８ｃが直方体状の偏光ビームスプリッタ６の一辺と平行となるように配置されていてもよい。
【００１６】
第１の直角ミラー８は、入射した光Ｌを一対の反射面８ａ、８ｂで反射する。具体的には、反射面８ａに入射した光は、反射面８ａ、反射面８ｂの順で反射して、１／４波長板７に入射する。反射面８ｂに入射した光は、反射面８ｂ、反射面８ａの順で反射して、１／４波長板７に入射する。
【００１７】
第２の直角ミラー１１は、被検体Ｓで反射された後、偏光ビームスプリッタ６及び１／４波長板９、１０を介して入射した光Ｌを、偏光ビームスプリッタ６及び１／４波長板１０を介して結像光学系５に入射するように、結像光学系５に向けて反射する。第２の直角ミラー１１は、互いに直交する一対の反射面１１ａ、１１ｂと、当該一対の反射面１１ａ、１１ｂによって形成される稜線１１ｃと、を有する。第２の直角ミラー１１では、反射面１１ａと反射面１１ｂとが９０°をなすように、稜線１１ｃを間に挟んで隣接する。
【００１８】
第２の直角ミラー１１は、稜線１１ｃが偏芯測定装置１の光軸Ａｘと直交するように配置されている。また、第２の直角ミラー１１は、反射面１１ａ、１１ｂと光軸Ａｘとがなす角度が４５°となるように配置されることが好ましい。また、第２の直角ミラー１１は、稜線１１ｃが直方体状の偏光ビームスプリッタ６の一辺と平行となるように配置されていてもよい。
【００１９】
ここで、図２を参照して、第１及び第２の直角ミラー８、１１の配置について説明する。第１及び第２の直角ミラー８、１１は、図２に示されるように、第１の直角ミラー８の稜線８ｃ及び第２の直角ミラー１１の稜線１１ｃの双方に平行な基準面Ｓに対して、これらの稜線８ｃ、１１ｃを投影した場合、基準面Ｓに投影された稜線８ｃに沿った直線ＳＬ１と稜線１１ｃに沿った直線ＳＬ２とが直交するように配置されている。すなわち、第１及び第２の直角ミラー８、１１は、これらの稜線８ｃ、１１ｃがねじれの位置の関係にあって、且つ稜線８ｃ、１１ｃそれぞれの方向ベクトルが直交する関係となるように、配置されている。
【００２０】
再び図１に戻って、偏心測定装置１の構成について説明する。第２の直角ミラー１１は、入射した光Ｌを一対の反射面１１ａ、１１ｂで反射する。具体的には、反射面１１ａに入射した光は、反射面１１ａ、反射面１１ｂの順で反射して、１／４波長板１０に入射する。反射面１１ｂに入射した光は、反射面１１ｂ、反射面１１ａの順で反射して、１／４波長板１０に入射する。
【００２１】
集光光学系１２は、結像光学系５を透過した第２の直角ミラー１１での反射光Ｌを位置センサ１３上に集光する。位置センサ１３は、集光光学系１２によって集光された光Ｌの光量中心の位置を観察する。位置センサ１３は、例えばスクリーン及びＣＣＤカメラによって構成されていてもよい。この場合、スクリーン上に集光されたスポット光をＣＣＤカメラが撮像する。あるいは、位置センサ１３は、例えば光位置センサ（Position Sensitive Detector；ＰＳＤ）であってもよい。あるいは、位置センサ１３は、例えばスクリーンであって、スクリーン上に集光されたスポット光の位置を測量によって観察してもよい。
【００２２】
位置センサ１３はさらに、観察された反射光Ｌの光量中心の位置に基づき、光軸Ａｘに対する集光光学系１２を透過した第２の直角ミラー１１での反射光Ｌの傾きを検出する。このように、集光光学系１２及び位置センサ１３は傾き検出手段として機能する。
【００２３】
なお、結像光学系５、コリメータレンズ３、及び集光光学系１２は、図１では１枚の光学レンズで表しているが、実際には複数枚の光学レンズによって構成されていてもよい。
【００２４】
次に、偏芯測定装置１によって被検体Ｓの偏芯を測定する方法を説明する。まず、光源２から出射された光Ｌがコリメータレンズ３を通って平行光束にされ、偏光ビームスプリッタ４で反射される。結像光学系５は被検体Ｓの被検面Ｓｍの曲率中心に集光するように、その焦点距離を変える。偏光ビームスプリッタ４で反射された光Ｌは、結像光学系５を透過し、偏光ビームスプリッタ６で反射する。偏光ビームスプリッタ６で反射された光Ｌは、１／４波長板７を通って、第１の直角ミラー８で反射する。第１の直角ミラー８で反射した光は再度１／４波長板７及び偏光ビームスプリッタ６を透過後、さらに１／４波長板９を通ったあとに、被検体Ｓの被検面Ｓｍに入射する。被検面Ｓｍで反射した光Ｌは再度１／４波長板９を透過した後に、偏光ビームスプリッタ６で反射する。偏光ビームスプリッタ６で反射した光Ｌは、１／４波長板１０を透過後、第２の直角ミラー１１で反射し、再度１／４波長板１０を透過して偏光ビームスプリッタ６を通る。この光Ｌはさらに結像光学系５を通り、偏光ビームスプリッタ４を通った後、集光光学系１２を介して位置センサ１３に集光される。位置センサ１３上のスポットの位置から、光軸Ａｘに対する集光光学系１２を透過した第２の直角ミラー１１での反射光Ｌの傾きを検出する。そして、被検体Ｓの被検面Ｓｍの偏芯量を検出することができる。
【００２５】
続いて、図３を参照して結像光学系５の光軸と偏芯測定装置１の光軸Ａｘとのずれが偏芯量の測定に与える影響を抑制する原理を説明する。偏芯測定装置１では、結像光学系５がその光軸５ａと偏芯測定装置１の光軸Ａｘとがずれて配置された場合、結像光学系５を通った光Ｌが装置の結像光学系５の光軸５ａを装置の光軸として進行してしまう。そのため、結像光学系５以降の光軸は、元々の装置の光軸Ａｘからずれてしまう。
【００２６】
具体的な例を、図３を参照して説明する。図３は、結像光学系５の点Ｐ１から光が出射された場合の例である。点Ｐ１は、偏芯測定装置１の光軸Ａｘから＋Ｙ方向及び＋Ｚ方向にずれた点に位置する。ここで、偏芯測定装置１の光軸Ａｘに沿って結像光学系５から偏光ビームスプリッタ６に向かう方向を＋Ｘ方向とし、偏芯測定装置１の光軸Ａｘに沿って偏光ビームスプリッタ６から第１の直角ミラー１１に向かう方向を＋Ｚ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向の双方と直交し且つ図３の紙面の奥に向かう方向を＋Ｙ方向とする。また、本実施形態に係る偏芯測定装置１では、第１の直角ミラー８の稜線８ｃがＹ軸方向と平行に、第２の直角ミラー１１の稜線１１ｃがＺ軸方向と平行になるように配置されている。
【００２７】
結像光学系５の点Ｐ１から出た光は、偏光ビームスプリッタ６で反射されて、第１の直角ミラー８の反射面８ａ上の点Ｐ２に入射する。点Ｐ２は、偏芯測定装置１の光軸Ａｘから＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向にずれた点に位置する。第１の直角ミラー８の反射面８ａの点Ｐ２で反射された光は、第１の直角ミラー８の反射面８ｂ上の点Ｐ３に入射する。点Ｐ３は、偏芯測定装置１の光軸Ａｘから−Ｘ方向及び＋Ｙ方向にずれた点に位置する。第１の直角ミラー８は、その稜線８ｃが偏芯測定装置１の光軸Ａｘと直交するように配置されている。そのため、点Ｐ３は、光軸Ａｘと稜線８ｃとを含む面に関して点Ｐ２と面対称となる。
【００２８】
第１の直角ミラー８の反射面８ｂの点Ｐ３で反射された光は、偏光ビームスプリッタ６を透過して、被検面Ｓｍの曲率中心Ｏからずれた点Ｐ４に集光される。点Ｐ４は、被検面Ｓｍの曲率中心Ｏから−Ｘ方向及び＋Ｙ方向にずれた点に位置する。ここで、被検面Ｓｍに偏芯がなければ、被検面Ｓｍで反射した光の像点は曲率中心Ｏに関して点Ｐ４と点対称な位置にある点Ｐ５になる。したがって、被検面Ｓｍで反射した光Ｌは、点Ｐ５から出射された光のように進行する。点Ｐ５は、被検面Ｓｍの曲率中心Ｏから＋Ｘ方向及び−Ｙ方向にずれた点に位置する。
【００２９】
被検面Ｓｍで反射した光Ｌは、偏光ビームスプリッタ６で反射されて、第２の直角ミラー１１の反射面１１ａ上の点Ｐ６に入射する。点Ｐ６は、偏芯測定装置１の光軸Ａｘから−Ｙ方向及び＋Ｚ方向にずれた点に位置する。第２の直角ミラー１１の反射面１１ａの点Ｐ６で反射された光は、第２の直角ミラー１１の反射面８ｂ上の点Ｐ７に入射する。点Ｐ７は、偏芯測定装置１の光軸Ａｘから＋Ｙ方向及び＋Ｚ方向にずれた点に位置する。第２の直角ミラー１１は、その稜線１１ｃが偏芯測定装置１の光軸Ａｘと直交するように配置されている。そのため、点Ｐ７は、光軸Ａｘと稜線１１ｃとを含む面に関して点Ｐ６と面対称となる。
【００３０】
偏芯測定装置１では、図３に示されるように、点Ｐ７は結像光学系５の光軸５ａの延長線上にある。そのため、被検面Ｓｍに偏芯がない場合、第２の直角ミラー１１で反射された後結像光学系５を透過した光は、偏芯測定装置１の光軸Ａｘに平行な平行光束になる。一方、被検面Ｓｍに偏芯がある場合には、第２の直角ミラー１１で反射された後結像光学系５を透過した光は、通常の測定と同じように、偏芯測定装置１の光軸Ａｘに平行な平行光束ではなくなり、位置センサ１３上のスポットの光量中心の位置が変化する。
【００３１】
このように、偏芯測定装置１では、結像光学系５の光軸５ａと偏芯測定装置１の光軸Ａｘとがずれている場合には、被検体Ｓの被検面Ｓｍでの反射光Ｌは結像光学系５の光軸５ａを光軸として結像光学系５に戻される。これは、第１及び第２の直角ミラー８，１１が、それらが有する一対の反射面８ａ、８ｂ、１１ａ、１１ｂがそれぞれ互いに直交していること、並びにそれらの稜線８ｃ、１１ｃの方向ベクトルが直交するように配置されていることによる。
【００３２】
すなわち、第１及び第２の直角ミラー８，１１それぞれの一対の反射面８ａ、８ｂ、１１ａ、１１ｂは互いに直交しているため、第１及び第２の直角ミラー８，１１への入射光とこれらでの反射光とが平行になる。さらに、図３からも理解されるように、結像光学系５の光軸５ａが偏芯測定装置１の光軸Ａｘからずれている場合、結像光学系５を通過した光Ｌが集光される点Ｐ４と被検面Ｓｍで反射した光の像点Ｐ５とが、光軸Ａｘ上にある曲率中心Ｏに関して点対称な関係となる。これに対し、第１の直角ミラー８では、光の入射位置Ｐ２と出射位置Ｐ３とが、Ｙ軸に平行な稜線８ｃを含む面と面対称となるように反射され、第２の直角ミラー１１では、光の入射位置Ｐ６と出射位置Ｐ７とが、Ｚ軸に平行な稜線１１ｃを含む面と面対称となるように反射される。したがって、偏芯測定装置１では、被検面Ｓｍでの反射の際に起こる曲率中心Ｏに関する点対称の像点移動が、２つの直交する軸（例えば、図３におけるＹ軸及びＺ軸）をそれぞれ含む面に関する面対称の反射点移動により実質的にキャンセルされるのである。
【００３３】
その結果、被検面Ｓｍに偏芯がない場合、結像光学系５を透過した被検体Ｓの被検面Ｓｍでの反射光Ｌは平行光束となることができる。これにより、偏芯測定装置１では、結像光学系５の光軸５ａと偏芯測定装置１の光軸Ａｘとがずれている場合であっても、被検体の偏芯量を精度よく測定することが可能となる。
【００３４】
また、偏芯測定装置１では、上述のように結像光学系５の光軸５ａが偏芯測定装置１の光軸Ａｘとずれていても、ずれによる影響を抑制して偏芯量を測定することが可能である。
【００３５】
また、偏芯の測定おいて回転台が不要であるため、測定時間の短縮化、及びコストの抑制が可能となる。さらに、回転台の設置によって被検体Ｓの姿勢が制限されることもなく、様々な配置で測定することが可能である。
【００３６】
偏芯測定装置１では、第１及び第２の直角ミラー８，１１は、それらの稜線８ｃ、１１ｃが偏芯測定装置１の光軸Ａｘと直交するように配置されている。そのため、例えば偏光ビームスプリッタ６等が大型化されることを抑制することが可能である。その結果、偏芯測定装置１を小型化することが可能となる。
【００３７】
また、偏芯測定装置１は、入射された光を反射又は透過する偏光ビームスプリッタ６を備える。そして、第１の直角ミラー８は、偏光ビームスプリッタ６を介して入射した結像光学系５からの光を、偏光ビームスプリッタ６を介して被検体Ｓに入射するように、被検体Ｓに向けて反射する。第２の直角ミラー１１は、被検体Ｓで反射された被検体Ｓからの光であって、偏光ビームスプリッタ６を介して入射した光を、偏光ビームスプリッタ６を介して結像光学系５に入射するように、結像光学系５に向けて反射する。このように偏芯測定装置１では偏光ビームスプリッタ６を利用しているため、装置を小型化することが可能である。
【００３８】
また、結像光学系５は、その焦点距離を変えることができる可変焦点距離光学系である。そのため、被検体Ｓを交換して被検面Ｓｍの曲率中心の位置が変化しても、結像光学系５の焦点距離を変えて、集光点の位置を変えることができる。これにより、偏芯測定装置１では、さまざまな形状の被検体の偏芯量を精度よく測定することが可能となる。
【００３９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、第１又は第２の反射部材として、直角ミラー８，１１ではなく直角プリズムを用いてもよい。また、結像光学系５は、焦点距離を変えることができず、固定された焦点距離を有する光学系であってもよい。第１及び第２の直角ミラー８，１１は、それらの稜線８ｃ、１１ｃが偏芯測定装置１の光軸Ａｘと直交するように配置されてなくてもよい。第１及び第２の直角ミラー８、１１はそれぞれ、稜線８ｃ、１１ｃが直方体状の偏光ビームスプリッタ６の一辺と平行となるように配置されていなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施形態に係る偏芯測定装置の構成図である。
【図２】第１及び第２の直角ミラーの配置について説明するための図である。
【図３】実施形態に係る偏芯測定装置による測定方法の原理を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４１】
１…偏芯測定装置、２…光源、３…コリメータレンズ、４…偏光ビームスプリッタ、５…結像光学系、７、９、１０…１／４波長板、８…第１の直角ミラー、１１…第２の直角ミラー、１２…集光光学系、１３…位置センサ。
【図１】
2009250927.tif 000003
【図２】
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【図３】
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