(57)【要約】【課題】従来の多層型光ディスクの製造法では、歩留まりが低く、多層型光ディスクの低価格化が困難であった。また、歩留まりが低いことに起因する不良品の廃棄も問題となっていた。【解決手段】少なくとも片面にｎ層（ｎは２以上の整数）の情報層を有する光ディスクにおいて、第１の基板を作製後、情報の記録または再生が可能な層を作製、検査処理を順次行って第１の光ディスクを製作する。また、第２の基板を、ナノインプリント法でシートに凹凸を形成後、情報の記録または再生が可能な層を作製、検査処理を順次行って第２の光ディスクを製作する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも片面から光を照射することにより情報の記録または再生が可能なｎ層（ｎは２以上の整数）以上の情報層を有する多層型光ディスクの製造方法において、
凹凸パターンが形成された第１の基板上に情報の記録または再生が可能な層を設けた第１の光ディスクと、ナノインプリント法で凹凸が形成されたシート状の第２から第ｎの基板上に情報の記録または再生が可能な層を設けた第２から第ｎの光ディスクとを各々個別に製造し、その後、前記第１から第ｎの光ディスクについて各々個別に検査をし、検査の結果、良品と判断された光ディスクのみを、前記第１の光ディスクから第ｎの光ディスクまで順番に、情報の記録または再生が可能な面と光ディスクの基板面とを貼り合わせ、多層型光ディスクを製造することを特徴とする多層型光ディスクの製造方法。
【請求項２】
第１の基板がナノインプリント法で凹凸が形成されたシートであることを特徴とする請求項１記載の多層型光ディスクの製造方法。
【請求項３】
第１の基板が射出成形で凹凸が形成された基板であることを特徴とする請求項１記載の多層型光ディスクの製造方法。
【請求項４】
ナノインプリント法で凹凸が形成されたシートからなる基板に情報の記録または再生が可能な層を設けた光ディスクの検査において、当該光ディスクを支持板に保持しながら光学的な手段を用いた検査を行うことを特徴とする請求項１乃至３に記載の多層型光ディスクの製造方法。
【請求項５】
ナノインプリント法で凹凸が形成されたシートからなる基板に情報の記録または再生が可能な層を設けた光ディスクの検査において、当該光ディスクを高速で回転させながら光学的な手段を用いた検査を行うことを特徴とする請求項１乃至３に記載の多層型光ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、片側あるいは両側から光ビームを入反射することにより、情報の記録または再生が可能な２以上の層を備えてなる光ディスクを製造する多層型光ディスクの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクの大容量化の要求に対して、従来はレーザ光を短波長化することにより記録密度を高めて光ディスクの記録容量を大きくしてきた。しかし、光ディスクや光学部品の耐光性の観点などから、レーザの短波長化も限界に来ている。そのため、従来のレーザ光を短波長化して記録密度を高めて光ディスクの容量を大きくする方法にかえて、情報の記録または再生が可能な層を多層化することにより光ディスクの容量を大きくする方法が注目されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
情報の記録または再生が可能な層を多層化する手法には、大きく分けて２つの方法がある。１つは、凹凸を有する第１基板に情報の記録または再生が可能な層を設け、その上にさらに凹凸を有する基板と、情報の記録または再生が可能な層から成る各層を積み上げていく順積層法である。もう１つは、凹凸を有する第１基板に情報の記録または再生が可能な層を設けた第１基板と、凹凸を有する第２基板に情報の記録または再生が可能な層を設けた第２基板を貼り合せる逆積層法である（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
しかし、逆積層法だけでは片側に２層の情報の記録または再生が可能な層を有する光ディスクを作製できるに留まる。そのため、逆積層法を用いて３層以上の情報の記録または再生が可能な層を有する光ディスクを作製するには、少なくともその製造プロセス中に順積層法も併用する必要がある。
【０００５】
通常、順積層法では情報の記録または再生が可能な層を有する第１光ディスク上にＰｈｏｔｏ  Ｐｏｌｙｍｅｒ法（２Ｐ法）を使用して第２層の凹凸を有する基板を作製し、その上に情報の記録または再生が可能な層を作製する（例えば、特許文献３参照）。３層以上にする場合は、同様に、前の光ディスクに次の凹凸を有する基板と情報の記録または再生が可能な層を順番に作製する。
【０００６】
従来、順積層法では各層を設ける度に検査を行い、良品であることが確かめられた後、光ディスクの上に次の層を設けていた。しかし、この方法ではｎ番目の層を積層した後に検査を行って不良品と判断された場合は、n−１番目までは良品だったものが全て無駄になる。また、全体の歩留まりは各層の歩留まりを掛け合わせたものになるため、全体の歩留まりが悪くなる。その結果、多層型光ディスクの製造コストが増大し、不良品である廃棄物が増加するという問題が生じていた。
【０００７】
一方で、逆積層法を使用した片面２層のデジタル・バーサタイル・ディスクでは、第１番目の基板と第２番目の基板は、共に約０．６ｍｍの厚みを有していて十分な剛性が得られるため、各々の基板を従来の製造方法で作製した後、個別に検査して貼り合せることが可能である。この結果、順積層法の場合に比べて２層型光ディスクの製造の歩留まりを向上させることができる。
【０００８】
しかし、逆積層法の場合であっても、片側の基板が０．２mm以下の薄い光ディスクを貼り合せる片面２層のブルーレイ・ディスクでは、０．２mm以下の薄い光ディスクの外側が自重で垂れてしまうため、各々の基板を従来の製造方法で作製した後、個別に検査して貼り合せる前記の従来の製造方法を使用することが困難であった。
【０００９】
本発明の目的は、前記の従来技術の課題を解決することにより、多層型光ディスクの製造の歩留まりを飛躍的に向上し、製造コストを低減すると共に、不良品である廃棄物を低減することができる、従来に無い多層型光ディスクの製造方法を提供することにある。
【００１０】
【特許文献１】特開２００５−３３２４９３号公報
【特許文献２】特開２００５−３１０３４９号公報
【特許文献３】特開平０８−３０６０６７号公報
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した問題を解決するために、本発明者は鋭意検討した結果、以下に示す発明を完成した。
【００１２】
即ち、本発明に係る多層型光ディスクの製造方法は、凹凸パターンが形成された第１基板上に情報の記録または再生が可能な層を設けた第１の光ディスクと、ナノインプリント法で凹凸が形成されたシート状の第２から第ｎ基板上に情報の記録または再生が可能な層を設けた第２から第ｎの光ディスクを各々個別に製造し、その後、前記第１から第ｎの光ディスクについて各々個別に検査し、検査の結果、良品と判断された光ディスクのみを、前記第１の光ディスクから第ｎの光ディスクまで順番に、情報の記録または再生が可能な面と光ディスクの基板面とを貼り合わせることにより多層型光ディスクを製造するものである。
【００１３】
なお、本発明では、前記第１基板は、ナノインプリント法で凹凸を形成したシートであっても良いし、射出成形で凹凸を形成した基板であっても良い。さらに、本発明の多層型光ディスクは、片面から光を入射して片面の情報の記録または再生を行っても良いし、両側から光を入射して両面の情報の記録または再生を行っても良い。
【００１４】
また、本発明は、ナノインプリント法で凹凸を形成したシートからなる基板に、情報の記録または再生が可能な層を設けた光ディスクの前記検査において、当該光ディスクを支持板に保持しながら光学的な手段を用いて検査を行い、多層型光ディスクを製造するものである。
【００１５】
さらに、本発明は、ナノインプリント法で凹凸を形成したシートからなる基板に、情報の記録または再生が可能な層を設けた光ディスクの前記検査において、光ディスクを高速で回転させながら光学的な手段を用いて検査を行い、多層型光ディスクを製造するものである。
【発明の効果】
【００１６】
以上の本発明に従えば、各層を構成する基板と情報の記録または再生が可能な層を作製して各層ごとの光ディスクを個別に作製し、その後、光ディスクを個別に検査し、検査の結果、良品と判断された光ディスクのみを貼り合せることにより多層型光ディスクを製造することができる。
【００１７】
前記本発明に従う多層型光ディスクの製造方法を実現するにあたって、本発明は、ナノインプリント法で凹凸を形成したシートからなる基板に情報の記録または再生が可能な層を設けた光ディスクの検査時において、当該光ディスクを支持板に保持しながら光学的な手段を用いて検査することを特徴とする。支持体は、光ディスクを支持する効果を有するので、薄い光ディスクの検査時に、光ディスクの外側が自重で垂れてしまうという従来の問題を解決できる。
【００１８】
さらに、本発明は、前記支持板に保持しながら光学的な手段を用いて行う検査にかえて、ナノインプリント法で凹凸を形成したシートからなる基板に情報の記録または再生が可能な層を設けた光ディスクの検査時に、当該光ディスクを高速で回転させながら光学的な手段を用いた検査を行うことを特徴とする。光ディスクを高速で回転させると、光ディスク自身に働く遠心力の効果、および光ディスクと安定板の間に発生する安定な気流の効果により、光ディスクは自重で下側に垂れることを防止できる。
【００１９】
これら本発明に従う検査手段を用いれば、薄い光ディスクの検査時に、光ディスクの外側が自重で垂れてしまうという従来の問題を解決でき、各層ごとの光ディスクを個別に作製した後、個別に検査し、良品のみを貼り合せることが可能となる。
【００２０】
この結果、従来の順積層法において、ｎ番目の層を積層した後に検査を行って不良と判断された場合は、n−１番目までは良品だったものが全て無駄になるという問題点を解決できる。また、従来の逆積層法において、片側の基板が０．２mm以下の薄い光ディスクを貼り合せる片面２層の光ディスクでは、０．２mm以下の薄い光ディスクの外側が自重で垂れてしまうため、各々の基板を従来の製造方法で作製した後、個別に検査して貼り合せる前記の従来の製造方法を使用することが困難であったという問題点も解決できる。
【００２１】
したがって、本発明の多層型光ディスクの製造方法を用いて多層型光ディスクの製造を行えば、多層型光ディスクの製造の歩留まりを飛躍的に向上し、製造コストを低減すると共に、不良品である廃棄物を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための最良の形態（以下、発明の実施の形態）について詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することが出来る。また、使用する図面は本実施の形態を説明するためのものであり、実際の大きさを表すものではない。
【実施例】
【００２３】
以下、本発明に係る多層型光ディスクの製造方法の実施形態の一例を詳説する。
【００２４】
図１は、本発明に従う多層型光ディスクの製造方法で製造される、片面３層型の多層型光ディスクの説明図である。当該多層型光ディスクは、第１の基板１、第１の情報の記録または再生が可能な層２、第１の接着層３、第２の基板４、第２の情報の記録または再生が可能な層５、第２の接着層６、第３の基板７、第３の情報の記録または再生が可能な層８、第３の接着層９、及びカバー層１０で構成される。なお、図１に示した片面３層型の多層型光ディスクは、カバー層１０側からレーザ光を入反射して、情報の記録または再生が行われる。
【００２５】
本発明に係る多層型光ディスクの製造方法のうち、まず基板の製造方法について説明する。第１の基板１の基板厚が０．２ｍｍ以上である場合には、基板自体に十分な剛性があるので、第１の基板１は、凹凸を持つスタンパを使用して射出成形で作製することが好ましい。射出成形に使用される材料としては、成形性、コスト、形状安定性、低吸湿性などに優れた材料が好ましい。具体的にはポリカーボネート樹脂、アモルファスポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂等が例示できるがこれらに限定されるものではない。
【００２６】
一方、第１の基板１の基板厚が０．２ｍｍ未満である場合には、基板自体に十分な剛性がないので、第１の基板１は、第２の基板４および第３の基板７と同様に、所定の膜厚のシートに凹凸を持つスタンパを加熱加圧して凹凸を転写させる熱ナノインプリント法で凹凸を形成して作製することが好ましい。あるいは、シートに紫外線硬化樹脂をコートした後、凹凸を有するスタンパを押し当てて、スタンパ越しに紫外線を照射して凹凸を転写させる光ナノイインプリント法で凹凸を形成して作製してもよい。シートとして使用される材料としては、光透過性、コスト、形状安定性、低吸湿性などに優れた材料が好ましい。具体的にはポリカーボネート樹脂、アモルファスポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂等が例示できるがこれらに限定されるものではない。
【００２７】
次に、基板上に設けられる情報の記録または再生が可能な層の製造方法について説明する。第１の記録または再生が可能な層、第２の記録または再生が可能な層、第３の記録または再生が可能な層はレーザ光によって記録または再生できるものなら特に限定されないが、光入射側に近い第２の記録または再生が可能な層、および第３の記録または再生が可能な層は、適度な光の反射と透過を両立するために、反射材料からなる半透明膜を少なくとも含むことが望ましい。また、光入射側に最も遠い第１の記録または再生が可能な層は、光を反射するために、反射材料からなる反射膜を少なくとも含むことが望ましい。具体的には、色素と反射材料からなる記録層、誘電体と相変化材料と反射材料を積層した記録層、シリコンと金属と反射材料を積層した記録層などを挙げることができる。また、再生専用の光ディスクの場合は基板の凹凸としてピットを形成した上に反射材料からなる再生層を形成することにより作製することができる。
【００２８】
色素としては、具体的にはシアニン色素、メロシアニン色素、スクアリウム色素、アントラキノン系色素、トリアリールメタン色素、ピリリウム色素、アゾ色素、含金属アゾ色素、フタロシアニン色素、ポリフィリン色素、トリアリールアミン色素、スクアリリウム色素、ピロメテン系色素、ホルマザン金属錯体系色素、アヌレン系色素等が例示できるが、これらに限定されるものではない。
【００２９】
これらの有機色素は１種類のみを用いても２種類以上の色素を混ぜて使用しても良い。また、クエンチャーや他の色素、添加剤、高分子（例えばニトロセルロース等の熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー）、金属微粒子等を含んでいても良い。上記の色素および任意の添加剤を公知の有機溶媒（たとえばテトラフルオロプロパノール、ケトンアルコール、アセチルアセトン、メチルセルロブ、トルエン等）で溶解・溶媒和したものを基板上に形成する。
【００３０】
反射材料は、光を反射する材料ならどのようなものでもかまわないが、耐食性のある材料が望ましい。金、銀、アルミニウムなどの金属、あるいはこれらを含む合金、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３などの金属酸化物、Ｓｉ３Ｎ４などの窒化物、ＺｎＳ-ＳｉＯ２などの複合化合物などを挙げることができる。特に、例えば、金、銀、アルミニウム或いはこれらを含む合金は反射率が高いので好ましく、スパッタ法等の手段により形成することができる。Ａｇを主成分としているものはコストが安い点、反射率が高い点から特に好ましい。反射材料は膜の結晶粒が大きいと再生ノイズの原因となるため、結晶粒が小さい材料を用いるのが好ましい。純銀は結晶粒が大きい傾向があるためＡｇは合金として用いるのが好ましい。中でもＡｇを主成分とし、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属よりなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を０．１原子％〜５原子％含有することが好ましい。Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属のうち２種以上含む場合は、各々０．１原子％〜５原子％でもかまわないが、それらの合計が０．１原子％〜５原子％であることが好ましい。具体的には、ＡｇＰｄＣｕ、ＡｇＣｕＡｕ、ＡｇＣｕＡｕＮｄ、ＡｇＣｕＮｄ、ＡｇＣａＣｕ、ＡｇＣａＣｕ、ＡｇＩｎ等である。
【００３１】
半透明膜は、光の透過と反射をバランスさせるために、銀合金を５ｎｍ〜２０ｎｍの膜厚の範囲で調整することが好ましい。
【００３２】
反射膜は、高い反射率を有する反射膜にするために、銀合金を５０ｎｍ〜１５０ｎｍの膜厚の範囲で調整することが好ましい。膜厚が薄いと反射率が低くなり、一方、膜厚が厚いとディスクの反りが大きくなり、材料コストも増加するからである。
【００３３】
次に、基板上に設けられる接着層の製造方法について説明する。
【００３４】
第１の接着層３、第２の接着層６、及び第３の接着層９は、接着力が高く、硬化接着時の収縮率が小さく、かつ環境に対する保存安定性が高い材料が好ましい。さらに、接着層の材料は、情報の記録または再生が可能な層にダメージを与えない材料であることが望ましい。あるいは、接着層の材料が情報の記録または再生が可能な層にダメージを与えないように、接着層と情報の記録または再生が可能な層の間に公知の無機系または有機系の保護層を形成してもよい。
【００３５】
以上の観点から、接着層の材料としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂（遅延硬化型を含む）、感圧式両面テープ等を挙げることができる。これらの中でも、無溶剤タイプの紫外線硬化性樹脂が環境性と生産性に優れるため好適である。紫外線硬化性樹脂は、１０℃〜４０℃において、粘度が２０ｍＰａ・ｓ〜１０００ｍＰａ・ｓであるものが好ましい。この条件を満たせば、溶媒を用いることなく塗布できるからである。なお、無溶剤タイプの紫外線硬化性樹脂には様々な種類があるが、透明であればいずれも用いることができる。
【００３６】
これら条件を満たす紫外線硬化性樹脂としては、ラジカル系紫外線硬化性樹脂とカチオン系紫外線硬化性樹脂があり、いずれも使用可能である。ラジカル系紫外線硬化性樹脂としては、公知の全ての組成物を用いることができ、紫外線硬化性化合物と光重合開始剤を必須成分として含む組成物が用いられる。紫外線硬化性化合物としては、単官能アクリレート、単官能メタアクリレート、多官能アクリレート、多官能メタアクリレートを重合性モノマー成分として、各々、単独または２種類以上を併用できる。
【００３７】
接着層は紫外線硬化性樹脂を塗布し、紫外光を照射して硬化させることによって形成できる。塗布方法としては、光吸収性色素記録膜と同様にスピンコート法、スクリーン印刷、キャスト法等の塗布法等の方法が用いられるが、この中でもスピンコート法が好ましい。スピンコート法は、紫外線硬化樹脂の粘度、基板の回転数、および光ディスク回転時間を調整することで、基板上の紫外線硬化樹脂の膜厚を容易にかつ均一に形成することができるからである。
【００３８】
次に、基板上に設けられるカバー層１０の製造方法について説明する。
カバー層１０の材料は、レーザ光に対して、透過性があり、コスト、形状安定性、低吸湿性などに優れた材料が好ましい。具体的には、ポリカーボネート樹脂、アモルファスポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、上記接着層の材料等が例示できるがこれらに限定されるものではない。
【００３９】
図２は、本発明に係る多層型光ディスクの製造方法の実施形態の一例であり、片面３層型の記録再生が可能な多層型光ディスクの製造プロセスを説明するためのフローチャートである。第１の光ディスク、第２の光ディスク、および第３の光ディスクは、基板に情報の記録または再生が可能な層を作製後、それぞれ光ディスクの全数について個別に検査を行う。検査装置としては、インライン型の光学検査装置を使用することが好ましい。光学的に機械特性の測定と欠陥検査ができるので、検査工程のコストが低く、かつ検査スピードが速いという利点があるからである。
【００４０】
第１の光ディスクの検査Ａにて良品と判断された第１の光ディスクの情報の記録または再生が可能な面と、第２の光ディスクの検査Ｂにて良品と判断された第２の光ディスクの基板面とを貼り合わせ、その貼り合わされた光ディスクの全数について検査Ｄを行う。次に、検査Ｄにて良品と判断された光ディスクの情報の記録または再生が可能な面と、検査Ｃにて良品と判断された第３の光ディスクの基板面とを貼り合せる。その後、この貼り合せた光ディスクの全数について検査Ｅを行い、検査Ｅにて良品と判断された光ディスクにカバー層を貼り合せて、最後に、検査Ｆを行って多層型光ディスクを製造する。なお、このフローチャートに示した以外に、記録特性、光学特性、機械特性などを検査する抜き取り検査や全数検査を実施しても良い。
【００４１】
図３は本発明に係る多層型光ディスクを検査装置の実施形態の一例を説明するための模式図である。当該検査装置は支持体１２、検査装置の光源１４、検査装置の検出器１５または１６、検査装置のデータ処理部１７で構成される。なお、検査装置の検出器は、１５と１６の両方が装備されていてもよい。情報の記録または再生が可能な層が形成された厚さ３０μｍのポリカーボネート製シートの光ディスク１３は、検査のために当該検査装置の支持体１２上に搭載される。
【００４２】
光ディスク１３の厚さは約３０μｍのため、そのままでは光ディスク１３の外側が自重で下側に垂れてしまい、検査できない。そこで、本発明の検査装置では、光ディスク１３の外側が自重で下側に垂れないように支持体１２で保持する。光ディスク１３を保持する方法は、支持体１２に載せるだけでも良いし、治具で固定しても良い。
【００４３】
支持体１２は光ディスク１３を検査するために支障がないような平面性、水平性を実現できるものであればよい。ただし、光ディスク１３からの反射光を用いて検査する場合であれば、支持体１２の材質は特に限定されないが、透過光を用いて検査する場合には、支持体１２の材質は、光源１４の光が透過する材質である必要がある。
【００４４】
光源１４にはレーザ、ＬＥＤ、ハロゲンランプ等を用いることができ、特に限定されない。
【００４５】
光ディスク１３の検査時には、光ディスク１３を載せた支持体１２を回転させると同時に光源１４からの光を光ディスク１３上で走査させ、反射光を検出器１５で検出し、あるいは透過光を検出器１６で検出し、欠陥の有無を検査する。また、検出された光の強弱や波長分布をデータ処理することにより、シートの膜厚を計測しても良い。なお、透過光を用いて検査する場合は、光ディスク１３と支持体１２の間の空間で光が干渉を起こして検査データに支障をきたしやすいため、検査は反射光を用いて行う方が好ましい。
【００４６】
一方、光ディスクの自重による垂れを防止して検査を行う別の方法として、光ディスクを高速で回転させ、その際に光ディスク自身に発生する遠心力を利用して、光ディスクを水平に保ち、検査を行う方法もある。
【００４７】
図４は、本発明に係る光ディスクを高速に回転させて検査する装置の実施形態の一例を説明するための模式図である。当該検査装置は、安定板１８、検査装置の光源２０、検査装置の検出器２１または２２、検査装置のデータ処理部２３で構成される。なお、検査装置の検出器は、２１と２２の両方が装備されていてもよい。情報の記録または再生が可能な層が形成された厚さ３０μｍのポリカーボネート製シートの光ディスク１９は、検査のために当該検査装置の安定板１８上に搭載される。
【００４８】
光ディスク１９を高速で回転させると、光ディスク１９自身に働く遠心力の効果、および光ディスク１９と安定板１８の間に発生する安定な気流の効果により、光ディスク１９の外側が自重で下側に垂れることを防止できる。光ディスク１９に必要な回転数は、光ディスク１９に用いたシートの膜厚および材質などに依存するが、自重で下側に垂れることを防止できればよいので、具体的には２０００ｒｐｍ以上、好ましくは３０００ｒｐｍ以上であればよい。光ディスク１９を高速で回転させて自重で下側に垂れることを防止する方法としては、図４中の、安定板１８と光ディスク１９を共に回転させても良いし、回転しない安定板１８を光ディスク１９に近づけて、光ディスク１９と安定板１８の間に安定な気流を発生させるようにしても良い。
【００４９】
光ディスク１９からの反射光を用いて検査する場合であれば、安定板１８の材質は特に限定されないが、透過光を用いて検査する場合には、安定板１８の材質は、光源２０の光が透過する材質である必要がある。
【００５０】
光源２０にはレーザ、ＬＥＤ、ハロゲンランプ等を用いることができ、特に限定されない。光ディスク１９の検査時には、光ディスク１９を高速で回転させると同時に光源２０からの光を光ディスク１９上で走査させ、反射光を検出器２１で検出し、あるいは透過光を検出器２２で検出し、欠陥の有無を検査する。また、検出された光の強弱や波長分布をデータ処理することにより、シートの膜厚を計測しても良い。なお、透過光を用いて検査する場合は、光ディスク１９と安定板１８の間の空間で光が干渉を起こして検査データに支障をきたしやすいため、検査は反射光を用いて行う方が好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本実施の形態が適用される片面３層の多層型光ディスクの実施形態の断面模式図である。
【図２】本発明に係る製造方法の実施形態を説明するための片面３層の多層型光ディスク製造工程のフローチャートである。
【図３】本発明に係る製造方法の実施形態を説明するための検査装置の模式図（１）である。
【図４】本発明に係る製造方法の実施形態を説明するための検査装置の模式図（２）である。
【符号の説明】
【００５２】
１  第１の基板
２  第１の記録または再生が可能な層
３  第１の接着層
４  第２の基板
５  第２の記録または再生が可能な層
６  第２の接着層
７  第３の基板
８  第３の記録または再生が可能な層
９  第３の接着層
１０  カバー層
１１  レーザ光
１２  支持体
１３  光ディスク
１４  光源
１５  検出器
１６  検出器
１７  データ処理部
１８  安定板
１９  光ディスク
２０  光源
２１  検出器
２２  検出器
２３  データ処理部
【図１】
2009043341.tif 000003
【図２】
2009043341.tif 000004
【図３】
2009043341.tif 000005
【図４】
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