(57)【要約】【課題】処理装置において発生した異常の原因解析を効率的に行うために有用な技術を提供する。【解決手段】情報処理装置２０２は、物体を処理する処理装置において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を処理する。情報処理装置２０２は、正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に正常イベント情報および異常イベント情報を並べて時系列データを生成するデータ処理部２２２と、データ処理部２２２によって生成された時系列データにおける区間を区間指定条件に応じて指定する区間指定部２２３と、区間指定部２２３によって指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を出力する出力部２３３とを備える。【選択図】図３
2009169623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体を処理する処理装置において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を処理する情報処理装置であって、
正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に正常イベント情報および異常イベント情報を並べて時系列データを生成するデータ処理部と、
前記データ処理部によって生成された時系列データにおける区間を区間指定条件に応じて指定する区間指定部と、
前記区間指定部によって指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を出力する出力部と、
を備えることを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記区間指定部によって指定された前記時系列データにおける区間に含まれる異常イベント情報を抽出する抽出部を更に備え、
前記出力部は、更に、前記抽出部によって抽出された異常イベント情報を出力する、
ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記抽出部は、前記区間指定部によって指定された時系列データにおける区間に複数の異常イベント情報が含まれる場合に、異常イベントの種類と異常イベントの重要性とを対応付けたテーブルを参照することにより該複数の異常イベント情報の中から最も重要性の高い異常イベント情報を抽出する、
ことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記抽出部は、前記区間指定部によって指定された前記時系列データにおける区間に複数の異常イベント情報が含まれる場合に、異常イベントの種類と異常イベントの重要性とを対応付けたテーブルを参照することにより該複数の異常イベント情報のそれぞれに対応する重要性を特定し、
前記出力部は、該複数の異常イベント情報をそれらに対応する重要性を示す情報とともに出力する、
ことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記処理装置は、基板を露光する露光装置を含む、ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項６】
物体を処理する処理装置と、前記処理装置において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を処理する情報処理装置とを備える処理システムであって、
前記情報処理装置は、
正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に正常イベント情報および異常イベント情報を並べて時系列データを生成するデータ処理部と、
前記データ処理部によって生成された時系列データにおける区間を区間指定条件に応じて指定する区間指定部と、
前記区間指定部によって指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を出力する出力部とを備える、
ことを特徴とする処理システム。
【請求項７】
物体を処理する処理装置において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を処理する情報処理方法であって、
正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に正常イベント情報および異常イベント情報を並べて時系列データを生成するデータ処理ステップと、
前記データ処理ステップで生成された時系列データにおける区間を区間指定条件に応じて指定する区間指定ステップと、
前記区間指定ステップで指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を出力する出力ステップと、
を含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項８】
物体を処理する処理装置において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報をコンピュータに処理させるためのコンピュータプログラムであって、
正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に正常イベント情報および異常イベント情報を並べて時系列データを生成するデータ処理ステップと、
前記データ処理ステップで生成された時系列データにおける区間を区間指定条件に応じて指定する区間指定ステップと、
前記区間指定ステップで指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を出力する出力ステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報処理装置、情報処理方法、処理システムおよびコンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造のために、露光装置、塗布・現像装置、成膜装置、エッチング装置、検査装置等の種々の処理装置が使用されうる。処理装置は、一般に、複数のユニットで構成されている。例えば、露光装置は、照明系ユニット、ウエハ、及びレチクルステージユニット、アライメント系ユニットなどの多数のユニットで構成されている。
【０００３】
各ユニットにおいて発生した異常イベントを示す異常イベント情報は、処理装置の内部又は外部のメモリに蓄積される。異常が発生した場合には、メモリに蓄積された異常イベント情報に基づいて異常の原因を探ることができる。また、露光装置は、それが実行した正常イベントを示す正常イベント情報もメモリに蓄積する。異常の原因の特性においては、この正常イベント情報を参照することも有用である。
【特許文献１】特開２００１−２６５４３１号公報
【特許文献２】特許３３３６４５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、処理装置内では、一般に複数のユニットが並行して動作しており、ある１つの原因によって動作中の複数のユニットにおいて同時に異常イベントが発生しうる。このため、異常イベントの数が大量になり、根本的な異常原因を特定するために長時間を要することになりうる。
【０００５】
本発明は、上記の背景に鑑みてなされたものであり、例えば、処理装置において発生した異常の原因解析を効率的に行うために有用な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の側面は、物体を処理する処理装置において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を処理する情報処理装置に係り、前記情報処理装置は、正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に正常イベント情報および異常イベント情報を並べて時系列データを生成するデータ処理部と、前記データ処理部によって生成された時系列データにおける区間を区間指定条件に応じて指定する区間指定部と、前記区間指定部によって指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を出力する出力部とを備える。
【０００７】
本発明の第２の側面は、物品を処理する処理装置と、前記処理装置において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を処理する情報処理装置とを備える処理システムに係り、前記情報処理装置は、正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に正常イベント情報および異常イベント情報を並べて時系列データを生成するデータ処理部と、前記データ処理部によって生成された時系列データにおける区間を区間指定条件に応じて指定する区間指定部と、前記区間指定部によって指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を出力する出力部とを備える。
【０００８】
本発明の第３の側面は、物体を処理する処理装置において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を処理する情報処理方法に係り、前記情報処理方法は、正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に正常イベント情報および異常イベント情報を並べて時系列データを生成するデータ処理ステップと、前記データ処理ステップで生成された時系列データにおける区間を区間指定条件に応じて指定する区間指定ステップと、前記区間指定ステップで指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を出力する出力ステップとを含む。
【０００９】
本発明の第４の側面は、物体を処理する処理装置において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報をコンピュータに処理させるためのコンピュータプログラムに係り、前記コンピュータプログラムは、正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に正常イベント情報および異常イベント情報を並べて時系列データを生成するデータ処理ステップと、前記データ処理ステップで生成された時系列データにおける区間を区間指定条件に応じて指定する区間指定ステップと、前記区間指定ステップで指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を出力する出力ステップとを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、例えば、処理装置において発生した異常の原因解析を効率的に行うために有用な技術が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
【００１２】
図１は、本発明に係る処理装置の好適な実施形態としての露光装置の構成を概略的に示す図である。露光装置は、物体を処理する処理装置の一例に過ぎず、処理装置の範疇には、例えば、検査装置、塗布・現像装置、搬送装置、成膜装置、エッチング装置、搬送装置等が含まれうる。この実施形態では、露光装置１００は、走査型露光装置として構成されているが、露光装置は、走査露光装置には限定されない。
【００１３】
露光装置１００において、光源１から提供される光束は、照明光学系２でスリット形状に整形されるとともに光量分布が調整され、レチクルステージ６に保持されたレチクル（原版）３を照明する。レチクル３のパターンは、投影光学系４を介して、ウエハステージ７に保持された感光剤（レジスト）が塗布されたウエハ（基板）５に転写される。これにより、感光剤に潜像パターンが形成される。潜像パターンは、現像工程において現像されて、マスクパターン（レジストパターン）となる。
【００１４】
照明光学系２には、例えば、コヒーレンスファクタ（σ）の値を設定するための円形開口面積が異なる複数の開口絞りが備えられうる。照明光学系２には、更に、輪帯照明用のリング形状絞り、４重極絞り、照明光量を調整するための機構（例えば、複数のＮＤフィルタ及びそれを切り替える機構）が備えられうる。照明光学系２には、更に、光量を計測する光量検出器、スリット状の照明範囲を確保するためにレチクル３と共役な位置に載置されたブラインド及びそれを駆動する駆動機構が備えられうる。投影光学系４には、開口数を設定するための開口数設定機構や、収差を補正するためのレンズ駆動機構が備えられうる。
【００１５】
スリット状の照明領域をもって照明されたレチクル３のパターンからの光は、投影光学系４を介してウエハ５に投影される。レチクルステージ６（結果としてレチクル３）の位置は、レチクルステージ計測系１０によって計測され、レチクルステージ制御系１１によって制御される。
【００１６】
ウエハ５の位置は、ウエハステージ計測系１２及びアライメント計測系８によって計測されうる。ウエハステージ計測系１２は、例えば、投影光学系４の光軸方向（即ち、Ｚ方向）、該光軸に直交する面内における直交する２つの軸方向（即ち、Ｘ、Ｙ方向）の位置、並びに、これらの軸周り回転を計測する。アライメント計測系８は、投影光学系４の光軸方向（Ｚ方向）におけるウエハ５の表面位置を計測する。アライメント計測系８は、ウエハ５の露光時にウエハ５の表面位置を計測することができる。ウエハステージ制御系１３は、ウエハステージ計測系１２及びアライメント計測系８から提供される情報に基づいてウエハステージ７の位置を制御する。投影光学系４の光軸方向におけるレチクルステージ６（レチクル３）の位置を計測するための計測系が更に設けられてもよい。
【００１７】
また、ウエハ５表面を非露光光で観察及び計測することが可能なオフアクシス観察光学系２１が構成される。アライメント計測時には、ウエハ５表面のマークを観察する。また、ステージ基準マーク２２を観察し、ステージ基準マーク２２の位置を計測できる。
【００１８】
スリット状の照明光束でレチクル３の全てのパターン範囲をウエハ５に転写するため、レチクルステージ６によって保持されたレチクル３は、図１に示された”走査方向”に駆動される。それと同時に、ウエハステージ７によって保持されたウエハ５も図１に示された走査方向に駆動される。ここで、レチクル３とウエハ５は、投影光学系４の投影倍率に応じた速度比で駆動される。レチクル３とウエハ５との相対位置がずれると、ウエハ５に変形したパターンが転写される。そこで、相対位置制御系１５は、レチクル３とウエハ５との相対位置ずれを計算し、その相対位置ずれがゼロになるようにレチクルステージ制御系１１及びウエハステージ制御系１３を制御する。
【００１９】
主制御系１６は、露光装置１００の構成要素、例えば、相対位置制御系１５、レチクルステージ制御系１１、ウエハステージ制御系、照明光学系２等を制御する。
【００２０】
露光装置１００の走査露光動作について説明する。まず、主制御系１６は、通信インターフェース１７を介して後述の情報処理装置２０２から、露光装置１００の動作を制御するためのパラメータ値を取得する。パラメータ値は、工程名（ジョブ名）、ロット認識ＩＤ、レチクル名、実施するアライメント項目とそのオフセット量等を含みうる。
【００２１】
露光装置１００では、ロット処理、搬送動作、走査露光動作等に関して、例えば、以下のような正常イベントが発生しうる。ここで、正常イベントは、露光装置１００が予定されたシーケンスを実行している状態でそのシーケンスの実行のために必然的に発生するイベントである。
【００２２】
・ロット処理の開始および終了
・ウエハ処理の開始および終了
・ショット露光の開始および終了
・レチクル搬送の開始および終了
・ウエハ搬送の開始および終了
・アライメント処理の開始および終了
・ロット処理の一時停止および停止の終了
・コマンドの実行の開始および終了
・露光装置の待ち状態の開始および終了
・露光装置のリセットの開始および終了
・露光装置の電源Ｏｆｆ状態の開始および終了
これらの正常イベントを示す正常イベント情報は、当該正常イベントが発生する度に、発生時刻（発生日時）、ジョブ名、ロット認識ＩＤ、ウエハ番号、ショット番号を示す情報と共に、通信インターフェース１７を介して後述の情報処理装置２０２に送られる。
【００２３】
露光装置１００では、様々な要因により異常イベントが発生しうる。異常イベントは、故障、ユーティティ（電力、水等）の供給の異常等によって発生するイベントである。異常イベントを示す異常イベント情報は、当該異常イベントが発生する度に、発生時刻（発生日時）を示す情報および異常コードと共に、通信インターフェース１７を介して後述の情報処理装置２０２に送られ、データベース２３１に蓄積される。
【００２４】
異常コードは、図２に例示するように、第１部分で、異常が発生したユニット分類を特定し、第２部分で、異常内容を特定する。第１部分は、後述するユニット分類別の異常解析のために使用されうる。
【００２５】
異常内容には、例えば、異常のレベルを示す情報、より具体的には、異常がワーニングのレベルであるか、エラーのレベルであるのかを特定する情報が含まれうる。
【００２６】
図３は、本発明の処理システムの好適な実施形態としての露光システムの構成を概略的に示す図である。露光システムは、露光装置１００と、該露光装置１００に通信インターフェース２０１を介して接続された情報処理装置２０２とを備えうる。情報処理装置２０２は、露光装置１００を管理する管理装置或いは管理システムとして把握することもできる。
【００２７】
情報処理装置２０２は、処理装置としての露光装置１００において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を含む情報を処理する。そして、情報処理装置２０２は、露光装置１００を停止させた異常（原因）を特定し又はその特定を支援する。以下で説明するような特有の機能を有する情報処理装置２０２は、例えば、汎用のコンピュータにコンピュータプログラムをインストールすることによって構成されうる。情報処理装置２０２は、例えば、該プログラムがインストールされることによって、情報収集部２２１、データ処理部２２２、区間指定部２２３、抽出部２２４、入力部２３２、出力部２３３、管理部２３０を備える装置として動作する。或いは、情報処理装置２０２は、該プログラムがインストールされることによって、情報収集ステップ、データ処理ステップ、区間指定ステップ、抽出ステップ、入力ステップ、出力ステップ、管理ステップを含む処理を実行する装置として動作する。
【００２８】
情報収集部２２１は、露光装置１００から通信インターフェース２０１を介して送られてくる露光装置１００において発生した正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を含む情報をデータベース２３１に蓄積する。
【００２９】
データ処理部２２２は、データベース２３１から正常イベント情報および異常イベント情報を読み出して、正常イベントおよび異常イベントの発生時刻の順に該正常イベント情報および該異常イベント情報を並べながら統合して時系列データを生成する。
【００３０】
区間指定部２２３は、データ処理部２２２によって生成された時系列データにおける区間を区間指定条件２４１に応じて指定する。出力部２３３は、例えば、表示器、記憶部、プリンタ、通信デバイスの少なくとも１つを含みうる。出力部２３３は、区間指定部２２３によって指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を時系列で表示器に表示する。或いは、出力部２３３は、区間指定部２２３によって指定された時系列データにおける区間に含まれる正常イベント情報および異常イベント情報を時系列でプリンタによって記録媒体に記録してもよい。これにより、ユーザは、時系列データの全体のうち区間指定条件によって指定された区間のデータを閲覧することができるので、異常の原因を効率的に特定することができる。
抽出部２２４は、区間指定部２２３によって指定された時系列データにおける区間に含まれる異常イベント情報を抽出する。抽出部２２４は、区間指定部２２３によって指定された時系列データにおける区間に複数の異常イベント情報が含まれる場合には、重要性特定テーブル２４２を参照することにより、最も重要性の高い異常イベント情報を抽出しうる。抽出部２２４は、抽出した異常イベント情報を出力部２３３に提供して、当該異常イベント情報を出力部２３３に表示或いは出力させる。重要性特定テーブル２４２は、異常イベントの種類と異常イベントの重要性とを対応付ける情報を有する。
【００３１】
抽出部２２４は、区間指定部２２３によって指定された時系列データにおける区間に複数の異常イベント情報が含まれる場合には、重要性特定テーブル２４２を参照することにより該複数の異常イベント情報のそれぞれに対応する重要性を特定することもできる。抽出部２２４は、抽出した複数の異常イベント情報をそれらに対応する重要性を示す情報とともに出力部２３３に提供して、それらを出力部２３３に表示或いは出力させる。抽出された複数の異常イベント情報は、それぞれの重要性に応じて順位が付加されて表示或いは出力されてもよい。
【００３２】
解析部２２５は、抽出部２２４によって抽出された異常イベント情報に基づいて、当該異常イベント情報に対応する異常イベントを原因として発生した装置停止イベントによる装置停止時間（ダウン時間）を計算する。例えば、ダウン時間は、抽出部２２４により抽出された異常イベント情報に含まれる発生時刻に基づいて装置停止イベントの終了時刻までとすることができる。
【００３３】
また、解析部２２５は、上記ダウン時間の計算結果と、正常イベント情報と異常イベント情報に含まれる情報に基づいて、装置停止イベントの発生回数やダウン時間の合計を計算ことができる。
【００３４】
解析部２２５は、例えば、装置停止回数や、装置停止の総時間、装置停止エラー毎の装置停止回数・停止総時間、ジョブ名毎の装置停止回数・停止総時間、異常コードによって分類される分類毎の装置停止回数・停止総時間、などを解析結果として、を出力する。
【００３５】
このような解析に関する解析条件２４３は、入力部２３２から解析部２２５に提供される。解析条件２４３は、典型的には、入力部２３２の操作を通じてユーザによって決定されうる。解析条件２４３は、例えば、予め用意された複数の候補の中から入力部２３２の操作を通じてユーザによって選択されてもよいし、数値や式としてユーザによって入力部２３２に入力されてもよい。
【００３６】
［具体例１］・・・装置リセットに関する異常イベントの抽出
この具体例では、情報処理装置２０２は、装置停止の一例としての装置リセットに関連した異常イベントを抽出する。図４は、区間指定条件を例示している。ここでは、区間指定部２２３に与えられる区間指定条件２４１のうち区間の終了時刻を指定する条件は、装置リセット開始イベントの終了時刻であるとする。また、区間指定条件２４１のうち区間の開始時刻を指定する条件は、装置リセット開始イベントの終了時刻または特定の正常イベントであるものとする。
【００３７】
区間指定部２２３は、上記のような区間指定条件２４１にしたがって区間を指定する。ここで、指定された区間に属する正常イベントおよび異常イベントをそれぞれ示す正常イベント情報および異常イベント情報を時系列に並べたデータが抽出部２２４に提供されてもよいし、区間の開始時刻および終了時刻を示す情報が抽出部２２４に提供されてもよい。
【００３８】
図４に示す例では、”装置リセット開始イベントＮｏ．２”の発生時刻が区間Ａの終了時刻であり、”装置リセット開始イベントＮｏ．１”が区間Ａの開始時刻であるとともに区間Ｂの終了時刻である。また、”特定の正常イベント”が区間Ｂの開始時刻である。なお、”特定の正常イベント”は、種々の正常イベントのうち区間指定条件２４１において定義された正常イベントを意味するものであり、”特定の正常イベント”は正常イベントの名称ではない。
区間の指定するイベントとして、複数のイベントを指定することができる。例えば、ロット処理の終了イベントおよびウエハ処理の終了イベントを区間を指定するイベントとして指定すれば、装置リセット直前のロットにおける最後のウエハの処理の終了時刻からロット処理の終了までに発生したイベントを評価対象とすることができる。
【００３９】
図５および図６は、重要性特定テーブル２４２の例を模式的に示す図である。異常イベントの抽出条件として、重要性特定テーブル２４２によって提供されるような異常内容の重要性を考慮することができる。図５に例示するように、異常内容が、ワーニングであれば重要性が低く、リセットまたは電源操作の指示が無ければ重要性が低いものとすることができる。或いは、図６に例示するように、リセットまたは電源操作の指示の内容により異なる重要性を与えてもよい。
【００４０】
次に、図７に例示するように、抽出部２２４は、重要性特定テーブル２４２を参照することによって区間指定部２２３によって指定された区間ごとに異常イベントに重要性を示す情報を付加してその結果を出力部２３３に提供する。或いは、抽出部２２４は、区間ごとに重要性に基づいて抽出された１つの異常イベントを決定してその結果を出力部２３３に提供しもよい。なお、図７において、異常イベントは、発生時刻と異常コードによって特定されている。
【００４１】
解析部２２５は、例えば、装置リセット毎のダウン時間を計算することができる。ここで、例えば、装置リセットの要因として抽出された異常イベントの発生時刻から装置リセットの終了までの時間がダウン時間とされうる。
【００４２】
また、解析部２２５は、リセット回数やリセットによるダウン時間を計算することもできる。例えば、解析条件２４３として、装置ごと、ジョブ名ごと、エラー毎、ユニット分類ごとという条件を指定した場合において、解析結果として、以下のものを出力することが有用である。
【００４３】
・装置ごとリセット発生回数と総ダウン時間
・ジョブ名ごとのリセット発生回数と総ダウン時間
・異常の種類ごとのリセット発生回数と総ダウン時間
・ユニット分類ごとののリセット発生回数と総ダウン時間
また、解析条件２４３として、複数の解析条件を指定することもできる。例えば、装置ごと且つジョブ名ごとに解析を行うように指定することができる。
【００４４】
また、解析条件として、日ごと、週ごと、月ごとなど、期間ごとの解析を行うように指定することもできる。
【００４５】
図８に例示するように、出力部（表示器）２３３は、この解析結果をグラフで表示しうる。これにより、ユーザは、エラーによる装置リセットのダウン時間を装置間で容易に比較することができる。また、エラーごとのダウン時間の比較も可能となる。
【００４６】
［具体例２］・・・抽出結果の編集
抽出部２２４によって抽出された結果が不適切であると判断される場合には、その結果を編集した後に解析部２２５に解析を実行させることもできる。
例えば、抽出部２２４による抽出結果として出力部２３３によって図７に例示するような結果が出力された場合を考える。図７における”抽出”（最右欄）を編集（書き直し）したものを入力部２３２から入力し、解析部２２５に解析させることにより、編集後の抽出結果を更に解析することができる。
【００４７】
更に、重要性特定テーブル２４２で示される抽出条件が不適切である場合には、これを編集することもできる。
また、複数のユーザが独自に情報処理装置を持つ場合、様々な抽出条件が作成されうる。それらの抽出条件を集めて、抽出条件の違いを学習し、新たな抽出条件を作成することもできる。
【００４８】
［具体例３］  ・・・ロット処理の一時停止に関する異常イベントの抽出〕
区間指定条件２４１によりロット処理の一時停止に関する異常イベントを抽出することもできる。
例えば、区間の終了時刻をロット処理の一時停止の開始イベントとし、区間の開始時刻の１つをロット処理の一時停止の開始イベントとし、区間の開示時刻のもう１つを、例えば、ロット処理の終了イベント又はウエハ処理の終了イベントとする。ここで、装置リセットに関連した異常イベントの抽出条件とは別に、ロット処理の一時停止に関連した異常イベントの抽出条件を別途設けることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係る処理装置の好適な実施形態としての露光装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】異常コードのフォーマットを例示する図である。
【図３】本発明の処理システムの好適な実施形態としての露光システムの構成を概略的に示す図である。
【図４】区間指定条件を例示する図である。
【図５】重要性特定テーブルの例を模式的に示す図である。
【図６】重要性特定テーブルの例を模式的に示す図である。
【図７】異常イベントの抽出結果を例示する図である。
【図８】異常（エラー）の解析結果を例示する図である。
【図１】
2009169623.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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