(57)【要約】【課題】コストが掛からず、且つアレイ基板上の引き回し配線を損傷させること無くアレイ基板上の信号入力用端子と接触できるアレイ基板を提供する。【解決手段】このアレイ基板１は、基板３と、基板３上に形成された画素形成部５と、基板３上に形成された複数の信号入出力端子７と、基板３上に画素形成部５と複数の信号入出力端子７とを繋ぐ様に形成された複数の引き回し配線９とを備え、数の引き回し配線９は、基板３上の、所定の検査用プローブの間隔保持用突起部が接触する接触領域１１を避ける様に形成される。【選択図】図１
2009265570.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に形成された画素形成部と、
前記基板上に形成された複数の信号入出力端子と、
前記基板上に前記画素形成部と前記複数の信号入出力端子とを繋ぐ様に並べて形成された複数の引き回し配線とを備え、
前記複数の引き回し配線の並びは、前記基板上の所定の領域を避ける様に流れを乱して形成されることを特徴とするアレイ基板。
【請求項２】
前記所定の領域は、検査用プローブの間隔保持用突起部が接触する接触領域であることを特徴とする請求項１に記載のアレイ基板。
【請求項３】
前記所定の領域は、直径５０μｍ〜５００μｍの円形領域であることを特徴とする請求項１に記載のアレイ基板。
【請求項４】
前記所定の領域は、５本〜１００本の前記引き回し配線間隔毎に形成されることを特徴とする請求項１に記載のアレイ基板。
【請求項５】
前記所定の領域には、導電性膜または絶縁膜により、前記引き回し配線と電気的に分離される様に、保護層が形成されることを特徴とする請求項１に記載のアレイ基板。
【請求項６】
前記保護層は、前記引き回し配線よりも厚く形成されることを特徴とする請求項５に記載のアレイ基板。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかに記載のアレイ基板と、
前記アレイ基板に液晶層を介して対向配置されるカラーフィルタ基板と、
を備えることを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置などの表示装置に搭載されるアレイ基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のアレイ基板では、高精細化技術が求められている。高精細なアレイ基板を作成することは、アレイ基板のパターンが微細化されることを意味し、製造歩留まりを低下させることに繋がる。
【０００３】
歩留まりが低い中、製造工程の途中で実施する検査は、不良品を次工程に送らない（次工程で使用する部品や材料を無駄にしない）為に重要な役割となってくる。
【０００４】
この検査の方法としては、アレイ基板のパターンを電気的に検査する方法が採用されている。この検査では、アレイ基板上の信号入出力端子に検査用プローブを接触させて、アレイ基板に対して電気的な試験を行うことにより、アレイ基板のパターンに欠陥がないかの確認を行っている。
【０００５】
この様にアレイ基板の検査では、アレイ基板上の信号入出力端子に検査用プローブを接触させる必要がある。しかし、アレイ基板のパターンが微細化されている為に、信号入出力端子のサイズが十分に確保できない。そのため、検査用プローブも、微細なピッチに対応できるような特殊なフィルム状のプローブに形成されている。
【０００６】
この検査用プローブは、ベース基材上にフィルム状のフラットケーブルを配設し、そのフラットケーブル上に導電性の接触用の突起部を配設してあり、その突起部をアレイ基板上の信号入出力端子に接触させることにより、アレイ基板の検査を行う。
【０００７】
しかし、この検査用プローブを使用する場合、前記突起部の高さが数μｍ〜２０μｍ程度と殆ど無く、また前記突起と信号入出力端子との接触の安定性を確保する為の緩衝材（ゴム状部材）が前記突起の裏側におけるベース基材とフラットケーブルとの間に配設されているので、検査時に前記突起部を信号入出力端子に接触させると、前記突起部が前記緩衝材に押し込まれて、フラットケーブルの一部がアレイ基板上の引き回し配線に接触することがある。
【０００８】
この様にフラットケーブルの一部がアレイ基板上の引き回し配線に接触すると、フラットケーブルにより引き回し配線を損傷させる場合があり、最悪の場合、引き回し配線を断線させてしまい、製品が不良品になるという問題点がある。
【０００９】
この問題を解決する為に、特許文献１に示すように、検査用プローブのフラットケーブル上に板状部材を配設し、その板状部材上に接触用の突起部を形成することにより、その板状部材によりフラットケーブルとアレイ基板との間隔を保って、フラットケーブルの一部がアレイ基板上の引き回し配線に接触する事を防止する方法が提案されている。また検査用プローブのプラットケーブルに、板状部材を配設する代わりに、アレイ基板上の引き回し配線との間隔を保持するための間隔保持用の突起部を配設する方法も提案されている。
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−３４３３９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし上記の様に、フラットケーブル上に板状部材を配設する方法では、板状部材を別部材で形成するので、コストが掛かるという問題点がある。
【００１２】
また上記の様に、フラットケーブルに間隔保持用の突起部を配設する方法では、フラットケーブルとアレイ基板の引き出し配線との接触面積は低減できるが、間隔保持用の突起部がアレイ基板の引き回し配線に接触すると、その突起部により引き回し配線を損傷させる場合があるという問題点がある。
【００１３】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、コストが掛からず、且つ検査用プローブによりアレイ基板の引き回し配線が損傷されることを防止できるアレイ基板を提供することを目的としている。
【００１４】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、コストが掛からず、且つアレイ基板上の引き回し配線を損傷させること無くアレイ基板上の信号入力用端子と接触できるアレイ基板を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決する為に、本発明の第１の形態は、基板と、前記基板上に形成された画素形成部と、前記基板上に形成された複数の信号入出力端子と、前記基板上に前記画素形成部と前記複数の信号入出力端子とを繋ぐ様に並べて形成された複数の引き回し配線とを備え、前記複数の引き回し配線の並びは、前記基板上の所定の領域を避ける様に流れを乱して形成されるものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の第１の形態によれば、複数の引き回し配線の並びは、基板上の所定の領域を避ける様に流れを乱して形成されるので、検査時に所定の検査用プローブがアレイ基板に押し当てられても、基板上の前記所定の領域に検査用プローブの間隔保持用突起部が接触することで、検査用プローブの間隔保持用突起部によりアレイ基板の引き回し配線が破損される事を防止できる。また従来の様に検査用プローブに板状部材を別部材で備える事が無いので、コストが掛かることも防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
実施の形態１．  
この実施の形態に係るアレイ基板１は、例えば液晶表示装置に搭載されるＴＦＴアレイ基板であり、図１の様に、基板３と、基板３上に形成された画素形成部５と、基板３上に形成された複数の信号入出力端子７と、基板３上に画素形成部５と複数の信号入出力端子７とを繋ぐ様に形成された複数の引き回し配線９とを備えている。
【００１８】
画素形成部５は、画素を構成する薄型トランジスタが縦横に形成された領域である。尚、この画素形成部５に液晶層を介してカレーフィルタ基板が対向配置されて、液晶表示装置が構成される。
【００１９】
各信号入出力端子７は、画素形成部５に信号を入力するための端子または画素形成部５からの信号を取り出すための端子である。各信号入出力端子７は、例えば、画素形成部５の周囲に一列に配列されて形成されている。
【００２０】
各引き回し配線９は、画素形成部５の各入出力部５ａとその入出力部５ａに対応する信号入出力端７とを直線状に繋ぐ様に並べて形成される（尚、一般的に引き回し配線９は、信号入出力端子７から画素形成部５に向かうに従って均等に配線９間の間隔が広がり、または配線９そのものの幅が広くなる構造を持つものが多い）。しかし、その直線状の形成路上に、後述する所定の検査用プローブ１５の間隔保持用突起部１５ｄが接触する接触領域１１が存在する場合は、各引き回し配線の並びは、接触領域１１を避ける様に流れを乱して（換言すれば曲成（例えば曲折）して）形成される。これに伴って、接触領域１１を避ける様に曲成形成された引き回し配線９ａの近くの引き出し配線９ｂも、隣接する引き回し配線９との間隔を確保するために、曲成形成される。
【００２１】
接触領域１１は、例えば、検査用プローブ１５の間隔保持用の突起部１５ｄが作成可能で且つ引き回し配線９のレイアウトに影響を与えない直径５０μｍ〜５００μｍの円形領域である事が望ましい。この接触領域１１は、各引き回し配線９を少しずつずらして確保するため、例えば５本〜１００本の引き回し配線９間隔毎に形成される事が望ましい。
【００２２】
ここでは、各接触領域１１には、導電性膜または絶縁性膜により、引き回し配線９と電気的に分離される様に、保護層１１ａが形成されている。
【００２３】
図２は、このアレイ基板１の検査に使用される検査用プローブ１５の平面図であり、図３は、その検査用プローブ１５をアレイ基板１に接触させた状態の側面視の断面図である。
【００２４】
この検査用プローブ１５は、図２および図３の様に、シート状のベース基材１５ａと、ベース基材１５ａの下面に配設されたフィルム状のフラットケーブル１５ｂと、フラットケーブル１５ｂの下面に配設された接触用の突起部１５ｃおよび間隔保持用の突起部１５ｄと、プローブ基材１５ａとフラットケーブル１５ｂとの間に部分的に配設された緩衝材（例えばゴム状部材）１５ｅとを備えている。
【００２５】
フラットケーブル１５ｂは、例えば、互いに貼着された２枚の絶縁性シート間に複数の配線が互いに間隔を空けて並列に形成されて構成されている。
【００２６】
接触用の突起部１５ｃは、アレイ基板１の信号入出力端子７との電気接触用（即ちコンタクト用）の突起部である。突起部１５ｃは、導電性部材により形成されており、フラットケーブル１５ｂ内の配線に電気的に接続されている。突起部１５ｃは、例えばフラットケーブルの一端部側（即ちフラットケーブル１５ｂ内の配線の長手方向の一端部側）において、アレイ基板１の各信号入出力端子７に対応する様に一列に（即ちフラットケーブル１５ｂ内の配線の並列方向に沿って一列に）配置する様に複数形成されている。
【００２７】
間隔保持用の突起部１５ｄは、絶縁部材により形成されており、アレイ基板１の各保護層１１ａに対応する様に複数形成されている。
【００２８】
緩衝材１５ｅは、検査用プローブ１５の一端部側（各突起部１５ｂ，１５ｃの裏側）におけるベース基材１５ａとフラットケーブル１５ｂとの間に部分的に配設されている。
【００２９】
次に検査用プローブ１５を用いてのアレイ基板１の検査方法を説明する。図３の様に、検査用プローブ１５の各突起部１５ｃをその突起部１５ｃに対応するアレイ基板１の各信号入出力端子７に接触させ、且つ検査用プローブ１５の各突起部１５ｄをその突起部１５ｄに対応するアレイ基板１の保護層１１ａに当接させる様に、検査用プローブ１５をアレイ基板１に押し当てる。この押し当てにより、各突起部１５ｃは緩衝材１５ｅに若干押し込まれるが、突起部１５ｃの近くに配置された突起部１５ｄにより、フラットケーブル１５とアレイ基板１との間隔が保持されて、フラットケーブル１５がアレイ基板１の引き回し配線９に接触する事が防止される。
【００３０】
そしてこの状態で、検査信号をフラットケーブル１５内の各配線、各突起部１５ｃおよびアレイ基板１の各信号入出力端子７を介してアレイ基板１に入力し、その応答信号をアレイ基板１の各信号入出力端子７、各突起部１５ｃおよびフラットケーブル１５の各配線を介して取得して、アレイ基板１の良否の検査が行われる。
【００３１】
尚、この検査は、液晶およびカラーフィルタ基板をアレイ基板１に配設する前でも後でも構わない。
【００３２】
以上の様に構成されたアレイ基板１によれば、複数の引き回し配線９の並びは、基板３３上の接触領域（所定の領域）１１を避ける様に流れを乱して形成されるので、検査時に所定の検査用プローブ１５がアレイ基板１に押し当てられても、基板３上の接触領域１１に検査用プローブ１５の間隔保持用突起部１５ｄが接触することで、検査用プローブ１５の間隔保持用突起部１５ｄによりアレイ基板１の引き回し配線９が破損される事を防止できる。また従来の様に検査用プローブに板状部材を別部材で備える事が無いので、コストが掛かることも防止できる。
【００３３】
また接触領域（所定の領域）１１は、直径５０μｍ〜５００μｍの円形領域であるので、アレイ基板１の引き回し配線９のレイアウトに影響を与えるないで、接触領域１１を確保できる。
【００３４】
また接触領域１１は、５本〜１００本の引き回し配線９間隔毎に形成されるので、接触領域１１を確保することで、引き回し配線９の間隔が狭く成りすぎる事を防止できる。
【００３５】
また接触領域１１には、導電性膜または絶縁性膜により、引き回し配線９と電気的に分離される様に保護層１１ａが形成されるので、その保護膜１１ａにより、検査用プローブ１５の間隔保持用突起部１５ｄによりアレイ基板１が破損される事を防止できる。
【００３６】
またこの様なアレイ基板１を用いて構成された液晶表示装置では、アレイ基板１の歩留まりを向上できて製造コストを低減できる。
【００３７】
尚、この実施の形態では、接触領域１１に保護膜１１ａを形成したが、保護膜１１ａを省略しても構わない。
【００３８】
尚、この実施の形態において、保護膜１１ａの厚さを引き回し配線９よりも厚く（高く）形成しても良い。これにより保護膜１１ａに、検査用プローブ１５の間隔確保用の突起部１５ｄの補助的な役割をさせる事ができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施の形態１に係るアレイ基板の平面視図の一例図である。
【図２】検査用プローブの平面視図の一例図である。
【図３】実施の形態１に係るアレイ基板に検査用プローブを押し当てた状態を示した側面視の断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  アレイ基板、３  基板、５  画素形成部、７  信号入出力端子、９  引き回し配線、１１  接触領域、１５  検査用プローブ、１５ａ  ベース基材、１５ｂ  フラットケーブル、１５ｃ  接触用の突起部、１５ｄ  間隔保持用の突起部、１５ｅ  緩衝材。
【図１】
2009265570.tif 000003
【図２】
2009265570.tif 000004
【図３】
2009265570.tif 000005