(57)【要約】【課題】磁極の固定に起因する雰囲気汚染を回避しながらもモータ性能が高く且つ信頼性の高い，大気外の雰囲気中で用いられるブラシレスモータを提供する。【解決手段】取り扱い上の不備等によって永久磁石３０ａに剥がれ、欠けなどによって小片が生じた場合には、かかる小片は、相手側のロータ磁石に吸引されるが、カバー部材３２があるため、第１の内側ロータ３０から外れても、隔壁１３との間に挟まれることがなく、第１の内側ロータ３０の精度良いつれ回りを確保し、検出器の検出精度を維持できる。【選択図】図４
2009038911.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大気外の雰囲気中で用いられる、表面磁石型のブラシレスモータにおいて、
ハウジングと、
前記ハウジングから延在し、大気側と大気外側を隔絶する隔壁と、
前記隔壁に対して大気外側に配置され、外側磁石を備えた外側ロータと、
前記ハウジングに対して前記外側ロータを回転自在に支持する第１の軸受装置と、
前記隔壁に対して大気側に配置されたステータと、
前記隔壁に対して大気側に配置され、前記外側ロータと共に連れ回る内側ロータと、
前記ハウジングに対して前記内側ロータを回転自在に支持する第２の軸受装置と、
前記内側ロータの回転位置を検出する検出器と、を有しており、
前記内側ロータは、前記外側ロータの外側磁石に対して前記隔壁を挟んで対向するように内側磁石を周方向に並べて取り付けており、前記内側磁石と前記外側ロータとの間に確立する磁気カップリング作用により、前記内側ロータと前記外側ロータとは磁気的に連結されており、
前記内側磁石は、前記内側磁石と前記隔壁との間に介在するカバー部材により覆われていることを特徴とするブラシレスモータ。
【請求項２】
前記カバー部材は、前記内側磁石の前記隔壁に対向する面に当接する円筒部と、前記円筒部より半径方向内方に延在し前記内側ロータに当接するフランジ部とを有することを特徴する請求項１に記載のブラシレスモータ。
【請求項３】
前記カバー部材は、前記内側磁石の前記隔壁に対向する面に当接するベルト状をなしていることを特徴する請求項１に記載のブラシレスモータ。
【請求項４】
前記ベルト状のカバー部材の全長は、前記内側磁石の前記隔壁に対向する面に接する仮想円筒面の内周長より長くなっており、前記内側磁石は、周方向に隔置されており、
前記ベルト状のカバー部材が全周の前記内側磁石を取り巻いた状態で、隣接する前記内側磁石の間に侵入することにより、前記ベルト状のカバー部材のテンションを増大させるテンション部材が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のブラシレスモータ。
【請求項５】
前記テンション部材の前記内側ロータに対する組付け位置を調整可能となっていることを特徴とする請求項４に記載のブラシレスモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面磁石型のブラシレスモータに関し、大気外の雰囲気例えば真空中で用いられる搬送ロボットなどに好適なブラシレスモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造装置等においては、不純物を極力排除するために真空槽内の超高真空雰囲気中で被加工物に対する加工作業が行われる。その場合に使用されるアクチュエータとして、例えば被加工物位置決め装置の駆動モータにあっては、駆動軸の軸受に一般的なグリースなどのように揮発成分を含有する潤滑剤を用いることはできないから、金や銀などの軟質金属を軸受の内外輪にプレーティングすることで潤滑性を高めている。また、駆動モータのコイル絶縁材、配線被覆材及び積層磁極の接着剤なども、耐熱性に優れ放出ガスの少ない安定した材料が選定されるという実情がある。
【０００３】
特に近年、半導体の集積度が高まり、それに伴って同時にＩＣのパターン幅の微細化による高密度化が進められている。この微細化に対応できるウエハを製造するために、ウエハ品質に対する高度の均一性が要求されている。その要求に応えるためには、ウエハの低圧ガス処理室における不純物ガス濃度の一層の低減が重要である。また、要求通りに微細加工を行うためには、極めて高精度の位置決め装置が必要である。こうした見地から上記従来のアクチュエータを検討すると、以下のような種々の問題点が指摘される。
【０００４】
すなわち、超真空雰囲気を備えた真空槽内で用いる駆動モータの場合、たとえ駆動モータのコイル絶縁材や配線被覆等に、耐熱性に優れ放出ガスの少ない安定した材料が選定されても、それが有機系の絶縁材料である限り、ミクロ的には多孔質であって表面には無数の穴を有している。これを一旦大気にさらすと、その表面の穴にガスや水分子等を取り込んで吸蔵してしまう。それらの吸蔵不純分子を真空排気で除去する脱ガスに長時間を要してしまい、生産効率の低下は避けがたい。さらには、真空中においては空気の対流による放熱があり得ないから、コイル温度の局部的な上昇を生じた場合に、その部分の抵抗が増大して発熱が加速され、コイル絶縁皮膜の焼損を招き易い。これに対して、コイル絶縁材に無機材料を用いると共に、配線はステンレス管のシース電線を用いることで吸着不純分子を低減することが考えられる。しかしその場合はコストが非常に高くなるのみならず、コイル巻線スぺース内に占める銅などの導体の比率が減少して電気抵抗が増加し、その結果、モータの容量低下を来す恐れがある。
【０００５】
これに対し，従来においては，大気側から分離隔絶された真空槽内のフロッグレッグアーム式ロボットを駆動する手段として，ベロ−ズ式駆動方式や磁気結合駆動方式，磁性流体シール駆動方式等のカップリング機構やシール機構を介して，大気中に配置した複数台のモータの出力を多重構造のシャフトにまとめ，その多重構造のシャフトを真空槽内に導入する方法が用いられていた。ところが，上記のようなベローズ式駆動方式や磁気結合駆動方式などのカップリング機構を用いた場合，バックラッシが大きかったり，回転方向のねじれ剛性が低かったりして，高精度の位置決め精度が得られないという問題点があった。また，シール機構を介して回転力を導入する方式の場合，シール材に含まれる揮発成分によるアウトガスが発生してしまい，超高真空槽に適用することが難しかった。
【０００６】
このような問題に対し，エアギャップ部に真空封止体を設け，真空側に軸受と回転子と速度検出器の回転側部材とを配置し，大気側に固定子と速度検出器の固定側部材とを配置したモータ構造とし，そのモータを真空槽外に突出させる形で多段に重ねて，各モータの出力を多重構造のシャフトを介して真空槽内に導入することでフロッグレッグアーム式ロボットを駆動するモータシステムが特許文献１〜３に記載されている。特許文献１〜３のダイレクトドライブモータによれば，ステータに付随するコイル絶縁材や配線被覆などは，真空封止体の大気側に配置され，かつ回転真空シールを必要としないので，吸蔵不純分子の排出の問題を回避できる。
【特許文献１】特表平０８−５０６７７１号公報
【特許文献２】米国特許第５７２０５９０号明細書
【特許文献３】米国特許第５８９９６５８号明細書
【特許文献４】特開２００６−１０９６５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが，上記のようなベローズ式駆動方式や磁気結合駆動方式などを採用するカップリング機構を用いた場合，バックラッシが大きかったり，回転方向のねじれ剛性が低かったりして，高精度の位置決め精度が得られないという問題点があった。一方，シール機構を介して回転力を導入する方式の場合，シール材に含まれる揮発成分によるアウトガスが発生してしまい，超高真空槽に適用することが難しかった。
【０００８】
一方、回転子と固定子の間に大気側との分離隔絶するためのカップ型の隔壁を配した２軸モータの場合，各々の回転子に軸受を配置する際，軸受の固定輪はチャンバ側の軸はモータ基台などの剛性の高い部材に固定できるが，もう一方の軸は剛性の低い薄管状の隔壁に固定せざるを得ず，フロッグレッグアーム式などの搬送ロボットに適用する場合は，機械的な剛性および耐荷重を高めることが困難であった。
【０００９】
また，大気側と分離隔絶された環境に配置される軸受は，固体潤滑や特殊な潤滑剤を用いることが多く，このような軸受は一般的な軸受に対して寿命が短いため頻繁に交換する必要がある。しかるに、カップ型の隔壁に軸受の固定輪を配した場合，何れか一方の軸受を交換する際にはモータをチャンバから外す必要があり，その度にシール部材を分解するので，軸受交換後はシール性能を確認するためのリーク試験などが必要であり，装置全体の稼働率を低めていた。
【００１０】
これに対し，特許文献４に示すように、外側ロータと内側ロータに対向する磁極を導入して、磁気カップリングを構成し、両磁極の磁気吸引力により外側ロータと内側ロータとが連れ回ることを利用して、外側ロータの回転位置を検出するモータシステムも開発されている。これにより、高剛性で軸受交換容易なモータシステムが構成できる。ところが、内側ロータの内側磁石に剥がれ、欠けなどの不具合が生じた場合、剥がれた磁石などは内側ロータと隔壁の間に挟まれ、角度検出器をロックされてしまう恐れがある。
【００１１】
本発明は，かかる従来技術の間題点に鑑みてなされたものであり，磁極の固定に起因する雰囲気汚染を回避しながらもモータ性能が高く且つ信頼性の高い，大気外の雰囲気中で用いられるブラシレスモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のブラシレスモータは、大気外の雰囲気中で用いられる、表面磁石型のブラシレスモータにおいて、
ハウジングと、
前記ハウジングから延在し、大気側と大気外側を隔絶する隔壁と、
前記隔壁に対して大気外側に配置され、外側磁石を備えた外側ロータと、
前記ハウジングに対して前記外側ロータを回転自在に支持する第１の軸受装置と、
前記隔壁に対して大気側に配置されたステータと、
前記隔壁に対して大気側に配置され、前記外側ロータと共に連れ回る内側ロータと、
前記ハウジングに対して前記内側ロータを回転自在に支持する第２の軸受装置と、
前記内側ロータの回転位置を検出する検出器と、を有しており、
前記内側ロータは、前記外側ロータの外側磁石に対して前記隔壁を挟んで対向するように内側磁石を周方向に並べて取り付けており、前記内側磁石と前記外側ロータとの間に確立する磁気カップリング作用により、前記内側ロータと前記外側ロータとは磁気的に連結されており、
前記内側磁石は、前記内側磁石と前記隔壁との間に介在するカバー部材により覆われていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のブラシレスモータによれば、前記内側磁石が、前記内側磁石と前記隔壁との間に介在するカバー部材により覆われているので、前記内側磁石の剥がれ、欠けなどにより小片が分離した場合に、かかる小片が隔壁との間に挟まれることがなく、前記内側ロータの精度良いつれ回りを確保し、前記検出器の検出精度を維持できる。
【００１４】
前記カバー部材は、前記内側磁石の前記隔壁に対向する面に当接する円筒部と、前記円筒部より半径方向内方に延在し前記内側ロータに当接するフランジ部とを有すると、前記隔壁などの部品を組立てる時に、誤って擦ったりした場合でも、前記カバー部材が脱落することが抑制され、組立やすい構造を提供できる。
【００１５】
前記カバー部材は、前記内側磁石の前記隔壁に対向する面に当接するベルト状をなしていると、形状が単純で製造コストを低く抑えることができる。
【００１６】
前記ベルト状のカバー部材の全長は、前記内側磁石の前記隔壁に対向する面に接する仮想円筒面の内周長より長くなっており、前記内側磁石は、周方向に隔置されており、
前記ベルト状のカバー部材が全周の前記内側磁石を取り巻いた状態で、隣接する前記内側磁石の間に侵入することにより、前記ベルト状のカバー部材のテンションを増大させるテンション部材が設けられていると、前記ベルト状のカバー部材の脱落等を抑制できるので好ましい。
【００１７】
前記テンション部材の前記内側ロータに対する組付け位置を調整可能となっていると好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態にかかる表面磁石型ブラシレスモータであるダイレクトドライブモータを用いたフロッグレッグアーム式搬送ロボットの斜視図である。図１において、２つのダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ２を直列に連結している。下方のダイレクトドライブモータＤ１のロータには、第１アームＡ１が連結され、第１アームＡ１の先端には第１リンクＬ１が枢動可能に連結されている。一方、上方のダイレクトドライブモータＤ２のロータには、第２アームＡ２が連結され、第２アームＡ２の先端には第２リンクＬ２が枢動可能に連結されている。リンクＬ１，Ｌ２は、ウエハＷを載置するテーブルＴに、それぞれ枢動可能に連結されている。
【００１９】
図１より明らかであるが、ダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ２のロータがそれぞれ同方向に回転すれば、テーブルＴも同方向に回転し、かかるロータが逆方向に回転すれば、テーブルＴは、ダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ２に接近もしくは離隔するようになっている。従って、ダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ２を任意の角度で回転させれば、テーブルＴが届く範囲内で、任意の２次元位置にウエハＷを搬送させることができる。
【００２０】
このように例えば半導体製造装置における真空槽内に配置されるウエハ搬送アーム、例えばスカラ型や図に示すフロッグレッグ型のように複数のアームを備えた装置では、特に複数の回転モータが必要となる。真空環境では外界との接触表面積を極力小さくすると同時に、スぺースを有効に活用するためにモータ等の取付穴はなるべく少なくする必要がある。また、ウエハＷを水平にまっすぐに、振動を極力少なくして搬送するためには、アームの先端に作用するモーメントをロータ支持部で強固に保持する必要がある。そこで、ダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ２を複数、ハウジング部分で同軸に連結し、連結部分はシールで密に接合（溶接、Ｏリング、金属ガスケット、等による密な接合）して、モータロータの配設された空間とハウジング外部空間とを離隔することも必要となる。
【００２１】
また、ウエハＷを水平にまっすぐ、振動を少なく搬送するためにはアームＡ１、Ａ２の先端に作用するモーメントを、ロータ支持部で強固に保持する必要がある。更に、又、真空環境での複数軸のアーム駆動の際には、電源投入時に現在のアームの回転位置を認識しないと真空槽の壁や、真空槽のシャッタにアームＡ１，Ａ２等をぶつけてしまう可能性がある。このような要求に応じることができるダイレクトドライブモータを同軸に連結したモータシステムについて説明する。
【００２２】
本実施の形態は、表面磁石型の４０極３６スロットアウターロータ式ブラシレスタイプのダイレクトドライブモータを用いる。４０極３６スロットというスロットコンビネーションは、コギング力は小さいが径方向に磁気吸引力が発生し回転時の振動は大きいことが一般的に知られている１０極９スロットというスロットコンビネーションの４倍の構成である。２n倍（ｎは整数）にしたことにより、径方向の磁気吸引力は相殺されるので、固定子と回転子の真円度や同軸度および機構部品の剛性を高めることなく回転時の振動を小さくでき、かつ、本来的にコギングが小さい構成であるので、非常に滑らかな回転が得られる。一方、このような非常に多極なモータとすることにより、機械角の周期に対する電気角の周期が多いので、位置決め制御性が良い。よって、本発明の如く、減速器を用いずにロボット装置を駆動するようなダイレクトドライブモータには好適である。また、総磁束量を下げることなく固定子連結部の肉厚と突極幅、および回転子のヨーク肉厚を狭くできるので、本発明の如く、薄型かつ大径幅狭のダイレクトドライブモータには好適である。
【００２３】
図２は、図１の構成をII-II線で切断して矢印方向に見た図である。図２を参照して、２軸のモータシステムの内部構造について詳細に説明する。まず、ダイレクトドライブモータＤ１について説明する。定盤（不図示）に据え付けられる円板１０の上面に対して、中空円筒状の本体１２は、円盤１０の中央開口１０ａに同軸に接合されボルト１１により相互に固定されてなる。円盤１０の上面にカップ状の隔壁１３を取り付けている。本体１２の中央の空間には、ステータへの配線などを通すために用いることができる。本体１２，円板１０によりハウジングを構成する。
【００２４】
隔壁１３は、非磁性体であるステンレス製であり、本体１２に嵌合される肉厚の底部１３ａと、その周縁から軸線方向にダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ２を貫くようにして延在する薄肉の円筒部１３ｂと、円筒部１３ｂの下縁に形成された厚肉環状の取付部１３ｃとからなる。従って、隔壁１３は、ダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ２に共通に用いられる。円筒部１３ｂの取付部１３ｃは、円板１０にボルト止めされている。取付部１３ｃと円板１０の接触面には、シール部材を填め込む溝加工が施してあり、シール部材ＯＲを溝に填め込んだ後に取付部１３ｃと円板１０をボルトで締結することにより、締結部分を大気側から分離隔絶している。隔壁１３は耐食性が高く、特に磁性の少ないオーステナイト系ステンレスのＳＵＳ３１６を材料としている。
【００２５】
更に、円板１０と定盤とは気密されているので、円板１０と隔壁１３とで囲われる内部空間は、その外部から気密されている。尚、隔壁１３は必ずしも非磁性体である必要はない。又、Ｏ−リングＯＲを用いて気密する代わりに、電子ビーム溶接やレーザビーム溶接などで部材間を気密しても良い。
【００２６】
円板１０の外周上面に、軸受ホルダ１７がボルト１６により固定されている。軸受ホルダ１７には、真空中で用いられる複列のアンギュラコンタクト玉軸受１９の外輪が嵌合的に取り付けられている。一方、アンギュラコンタクト玉軸受１９の内輪は、第１外側ロータ部材２１の外周に嵌合し、円筒状部材２３を共締めするボルト（不図示）により固定されている。すなわち、第１外側ロータ部材２１は、アームＡ１（図１）を支持する円筒状部材２３と一体的に、円盤１０及び隔壁１３に対して回転自在に支持されている。尚、第１外側ロータ部材２１と円筒状部材２３とで、外側ロータを構成する。
【００２７】
円板１０（軸受ホルダ１７を含む）は、耐食性が高いオーステナイト系ステンレスを材料としており、円板１０は、チャンバである定盤との嵌合固定およびシール装置を兼ねている。
【００２８】
アンギュラコンタクト玉軸受１９（第１の軸受）は、ラジアル、アキシアル、モーメント荷重を１個の軸受で負荷できる。この形式の軸受を用いることにより、ダイレクトドライブモータＤ１の軸受は１個で済むため、本発明の２軸同軸モータシステムを薄型化できる。アンギュラコンタクト玉軸受１９は、内外輪とも耐食性が高くかつ焼入れによる硬化が得られるマルテンサイト系ステンレスを材料とし、転動体はセラミックボール、潤滑剤は真空であっても固化しない真空用のグリスを用いている。
【００２９】
尚、アンギュラコンタクト玉軸受１９は内輪と外輪に金や銀などの軟質金属をプレーティングして、真空中でもアウトガス放出のない金属潤滑としたものを用いてもよく、またアームＡ１からの第１外側ロータ部材２１がチルトする方向のモーメントを受けることができるが、これに限らず、クロスローラ、クロスボール、クロステーパ軸受も用いることができ、予圧状態で用いても良いし、潤滑性向上のためフッ素系被膜処理（ＤＦＯ）を行っても良い。
【００３０】
第１外側ロータ部材２１は、永久磁石（外側磁石）２１ａと、磁路を形成するため磁性体から成る円環状のヨーク２１ｂと、永久磁石２１ａとヨーク２１ｂを機械的に締結するための非磁性体からなるくさび（不図示）によって構成されている。永久磁石２１ａは、４０極の構成でＮ極、Ｓ極の磁石が各２０個交互に磁性金属からなり、極ごとに分割されたセグメント形式であり、その個々の形状は扇形である。内径と外径の円弧中心は同一であるが、円周方向端面の接線交点を永久磁石２１ａ寄りとすることで、くさびをヨーク２１ｂ外径側からねじで締め上げることにより永久磁石２１ａをヨーク２１ｂに締結している。このような構成とすることにより、接着剤など、アウトガスを発生する固定部材を用いることなく永久磁石を締結できる。永久磁石２１ａはエネルギー積の高いネオジウム（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）系磁石であり、耐食性を高めるためにニッケルコーティングを施してある。ヨーク２１ｂは高い磁性を有する低炭素鋼を材料とし、加工成型後に、防錆および耐食性を高め、かつ軸受交換時の磨耗を防ぐためにニッケルめっきを施している。
【００３１】
隔壁１３の半径方向内側において、第１外側ロータ部材２１の内周面に対向するようにして、第１ステータ２９が配置されている。第１ステータ２９は、本体１２の中央で半径方向に延在したフランジ部１２ａの円筒状に変形した下部に取り付けられており、電磁鋼板の積層材で形成され、各突極には絶縁処理としてボビンを嵌め込んだ後にモータコイルが集中巻されている。第１ステータ２９の外径は隔壁１３の内径と略同一もしくは小さい寸法としている。
【００３２】
第１ステータ２９に隣接且つ平行して、第１内側ロータ３０が配置されている。第１内側ロータ３０は、ロータホルダ３１にボルト止めされ、本体１２のフランジ部１２ａに対して、玉軸受３３を介して回転自在に支持されている。
【００３３】
図３は、第１内側ロータ３０とカバー部材３２とを組み付けた状態で示す断面図であり、図４は、第１内側ロータ３０とカバー部材３２とを分解した状態で示す斜視図である。図４に示すように、第１内側ロータ３０は、磁路を形成するための磁性体から成る円環状（但し外周側が厚い）のバックヨーク３０ｂからなり、その外周に複数の永久磁石（内側磁石）３０ａが周方向に等間隔に接着剤等で取り付けられている。永久磁石３０ａは、第１外側ロータ部材２１の永久磁石２１ａと同様に４０極の構成でＮ極、Ｓ極の磁石が各２０個交互に磁性金属からなっている。従って、第１内側ロータ３０は、磁気カップリング作用により、第１ステータ２９によって駆動される第１外側ロータ部材２１に同期して連れ回されるようになっている。バックヨーク３０ｂは、高い磁性を有する低炭素鋼を材料とし，加工成形後に防錆のためにクロメートめっきを施している。
【００３４】
永久磁石３０ａに被せられるリング皿状のカバー部材３２は、永久磁石３０ａの隔壁１３に対向する外側の面に当接する円筒部３２ａと、円筒部３２ａより半径方向内方に延在しバックヨーク３０ｂの表面に接触するフランジ部３２ｂとを有し、内側ロータ３０にかぶせるようにして接着剤で固定されている。磁気カップリングを生じさせる磁気回路への影響などを考慮して、カバー部材３２は非磁性の材料で作られ、薄板の板金加工で成形される。
【００３５】
第１内側ロータ３０を回転自在に支持する軸受（第２の軸受）３３は、ラジアル、アキシアル、モーメント荷重を１個の軸受で負荷できる４点接触玉軸受である。この形式の軸受を用いることにより、１個の軸受で済むため、ダイレクトドライブモータＤ１を薄型化できる。隔壁１３の内部は大気環境であるため、一般的な軸受鋼と鉱油を基油としたグリス潤滑を用いた軸受を適用できる。
【００３６】
隔壁１３内部は大気環境であるため、永久磁石３０ａはバックヨーク３０ｂに接着固定してある。永久磁石３０ａはエネルギー積の高いネオジウム（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）系磁石であり、錆による減磁を防ぐためにニッケルコーティングを施してある。バックヨーク３０ｂは高い磁性を有する低炭素鋼を材料とし、加工成形後に防錆のためにクロメートめっきを施している。
【００３７】
図２において、第１内側ロータ３０を取り付けたロータホルダ３１の内周には、回転角度を計測する検出器として、レゾルバロータ３４ａ及び３４ｂを組みつけており、それに対向する形で、本体１２の外周に、レゾルバステータ３５，３６を取り付けているが、本実施の形態では、高分解能のインクリメンタルレゾルバステータ３５と、１回転のいずれの位置にロータがあるかを検出できるアブソリュートレゾルバステータ３６とを２層に配置している。これによりアブソリュートレゾルバからの絶対角度情報に基づき，電源投入直後の回転子機械角の認識と，モータコイルへのコンミテーションを行っている。一方，インクリメンタルレゾルバからの相対角度情報に基づき，高分解能の角度位置決め動作を行っている。このため電源投入時にも、アブソリュートレゾルバロータ３４ｂの回転角度がわかり、原点復帰が不要であり、また、コイルに対する磁石の電気的位相角度がわかるため、ダイレクトドライブモータＤ１の駆動電流制御に使用する回転角度検出が、極検出センサを用いることなく可能となっている。このため、本実施の形態の如く，ロボット装置を駆動するようなダイレクトドライブモータには好適である。
【００３８】
検出器の回転側と軸受１９の回転側および検出器カップリングとを連結するアウタボスおよび角度検出器の静止側と軸受装置の静止側とを連結するインナボスは，モータの界磁およびモータコイルからの電磁ノイズが検出器であるレゾルバに伝達しないように，磁性体である炭素鋼を材料とし，加工成形後に防錆のためにクロメートめっきを施している。
【００３９】
本実施の形態に用いている高分解能の可変リラクタンス形レゾルバにおいて、インクリメンタルレゾルバロータ３４ａは、一定のピッチを有する複数のスロツト歯列を有し、インクリメンタルレゾルバステータ３５の外周面には、回転軸と平行に各磁極でインクリメンタルレゾルバロータ３４ａに対して位相をずらした歯が設けられており、コイルが各磁極に巻回されている。軸受３３により支持された第１内側ロータ３０と一体でインクリメンタルレゾルバロータ３４ａが回転すると、インクリメンタルレゾルバステータ３５の磁極との間のリラクタンスが変化し、インクリメンタルレゾルバロータ３４ａの１回転でリラクタンス変化の基本波成分がｎ周期となるようにして、そのリラクタンス変化を検出して、図５に例を示すレゾルバ制御回路によりデジタル化し、位置信号として利用することでインクリメンタルレゾルバロータ３４ａ即ち第１内側ロータ３０の回転角度（又は回転速度）を検出するようになっている。レゾルバロータ３４ａ、３４ｂと、レゾルバステータ３５，３６とで検出器を構成する。
【００４０】
本実施の形態によれば、第１外側ロータ部材２１に対して、磁気カップリング作用により第１内側ロータ３０が同速で回転し、すなわち連れ回るので、第１外側ロータ部材２１の回転角を隔壁１３越しに検出することができる。また、本実施の形態では、モータを形成する部品やハウジングを用いることなくレゾルバ単体で軸受３３を有しており、従ってハウジングに組み込む前に、レゾルバ単体での偏芯調整やレゾルバコイルの位置調整などの精度調整が行えるので、ハウジングや両フランジに調整用の穴や切り欠きを別途設ける必要がない。
【００４１】
本実施の形態によれば、取り扱い上の不備等によって永久磁石３０ａに剥がれ、欠けなどによって小片が生じた場合には、かかる小片は、相手側のロータ磁石に吸引されるが、カバー部材３２があるため、第１の内側ロータ３０から外れても、隔壁１３との間に挟まれることがなく、第１の内側ロータ３０の精度良いつれ回りを確保し、検出器の検出精度を維持できる。
【００４２】
次に、ダイレクトドライブモータＤ２について説明するが、ここでは本体１２がハウジングを構成する。上述したダイレクトドライブモータＤ１の円筒状部材２３は、ダイレクトドライブモータＤ２に重合する位置まで上方に延在しており、その内周面に、真空中で用いられる複列のアンギュラコンタクト玉軸受１９’の外輪が嵌合的に取り付けられ固定されている。一方、アンギュラコンタクト玉軸受１９’の内輪は、第２外側ロータ部材２１’の外周に嵌合し、円筒状部材２３’を共締めするボルト（不図示）により固定されている。すなわち、第２外側ロータ部材２１’は、アームＡ２（図１）を支持する円筒状部材２３’と一体的に、隔壁１３に対して回転自在に支持されている。尚、第２外側ロータ部材２１’と円筒状部材２３’とで、外側ロータを構成する。
【００４３】
アンギュラコンタクト玉軸受１９’は、ラジアル、アキシアル、モーメント荷重を１個の軸受で負荷できる。この形式の軸受を用いることにより、ダイレクトドライブモータＤ２の軸受は１個で済むため、本発明の２軸同軸モータを薄型化できる。内外輪とも耐食性が高くかつ焼入れによる硬化が得られるマルテンサイト系ステンレスを材料とし、転動体はセラミックボール、潤滑剤は真空であっても固化しない真空用のグリスを用いている。
【００４４】
尚、アンギュラコンタクト玉軸受（第１の軸受）１９’は内輪と外輪に金や銀などの軟質金属をプレーティングして、真空中でもアウトガス放出のない金属潤滑としたものを用いてもよく、またアームＡ１からの第１外側ロータ部材２１’がチルトする方向のモーメントを受けることができるが、これに限らず、クロスローラ、クロスボール、クロステーパ軸受も用いることができ、予圧状態で用いても良いし、潤滑性向上のためフッ素系被膜処理（ＤＦＯ）を行っても良い。
【００４５】
第２外側ロータ部材２１’は、永久磁石（外側磁石）２１ａ’と、磁路を形成するため磁性体から成る円環状のヨーク２１ｂ’と、永久磁石２１ａ’とヨーク２１ｂ’を機械的に締結するための非磁性体からなるくさび（不図示）によって構成されている。永久磁石２１ａ’は、３２極の構成でＮ極、Ｓ極の磁石が各１６個交互に磁性金属からなり、極ごとに分割されたセグメント形式であり、その個々の形状は扇形である。内径と外径の円弧中心は同一であるが、円周方向端面の接線交点を永久磁石２１ａ’寄りとすることで、くさびをヨーク２１ｂ’外径側からねじで締め上げることにより永久磁石２１ａ’をヨーク２１ｂ’に締結している。このような構成とすることにより、接着剤など、アウトガスを発生する固定部材を用いることなく永久磁石を締結できる。永久磁石２１ａ’はエネルギー積の高いネオジウム（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）系磁石であり、耐食性を高めるためにニッケルコーティングを施してある。ヨーク２１ｂ’は高い磁性を有する低炭素鋼を材料とし、加工成型後に、防錆および耐食性を高め、かつ軸受交換時の磨耗を防ぐためにニッケルめっきを施している。
【００４６】
隔壁１３の半径方向内側において、第２外側ロータ部材２１’の内周面に対向するようにして、第２ステータ２９’が配置されている。第２ステータ２９’は、本体１２の中央で半径方向に延在したフランジ部１２ａの円筒状に変形した上部に取り付けられており、電磁鋼板の積層材で形成され、各突極には絶縁処理としてボビンを嵌め込んだ後にモータコイルが集中巻されている。第２ステータ２９’の外径は隔壁１３の内径と略同一もしくは小さい寸法としている。
【００４７】
第２ステータ２９’に隣接且つ平行して、第２内側ロータ３０’が配置されている。第２内側ロータ３０’は、ロータホルダ３１’ボルト止めされ、本体１２のフランジ部１２ａに対して、玉軸受３３’を介して回転自在に支持されている。
【００４８】
第２内側ロータ３０’は第１内側ロータ３０と同様の構成を有し、カバー部材３２’はカバー部材３２と同様の構成を有する。従って図４を参照して、第２内側ロータ３０’は、磁路を形成するための磁性体から成る円環状（但し外周側が厚い）のバックヨーク３０ｂ’からなり、その外周に複数の永久磁石（内側磁石）３０ａ’が周方向に等間隔に接着剤等で取り付けられている。永久磁石３０ａ’は、第２外側ロータ部材２１’の永久磁石２１ａ’と同様に４０極の構成でＮ極、Ｓ極の磁石が各２０個交互に磁性金属からなっている。従って、第２内側ロータ３０’は、磁気カップリング作用により、第２ステータ２９’によって駆動される第２外側ロータ部材２１’に同期して連れ回されるようになっている。バックヨーク３０ｂ’は、高い磁性を有する低炭素鋼を材料とし，加工成形後に防錆のためにクロメートめっきを施している。
【００４９】
永久磁石３０ａに被せられるリング皿状のカバー部材３２’は、永久磁石３０ａ’の隔壁１３に対向する外側の面に当接する円筒部３２ａ’と、円筒部３２ａ’より半径方向内方に延在しバックヨーク３０ｂ’の表面に接触するフランジ部３２ｂ’とを有し、内側ロータ３０’にかぶせるようにして接着剤で固定されている。磁気カップリングを生じさせる磁気回路への影響などを考慮して、カバー部材３２’は非磁性の材料で作られ、薄板の板金加工で成形される。
【００５０】
第２内側ロータ３０’を回転自在に支持する軸受（第２の軸受）３３’は、ラジアル、アキシアル、モーメント荷重を１個の軸受で負荷できる４点接触玉軸受である。この形式の軸受を用いることにより、１個の軸受で済むため、ダイレクトドライブモータＤ２を薄型化できる。隔壁１３の内部は大気環境であるため、一般的な軸受鋼と鉱油を基油としたグリス潤滑を用いた軸受を適用できる。
【００５１】
隔壁１３内部は大気環境であるため、永久磁石３０ａ’はバックヨーク３０ｂ’に接着固定してある。永久磁石３０ａ’はエネルギー積の高いネオジウム（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）系磁石であり、錆による減磁を防ぐためにニッケルコーティングを施してある。バックヨーク３０ｂ’は高い磁性を有する低炭素鋼を材料とし、加工成形後に防錆のためにクロメートめっきを施している。
【００５２】
第２内側ロータ３０’の内周には、回転角度を計測する検出器として、レゾルバロータ３４ａ’及び３４ｂ’を組みつけており、それに対向する形で、レゾルバホルダ３２’の外周に、レゾルバステータ３５’，３６’を取り付けているが、本実施の形態では、高分解能のインクリメンタルレゾルバステータ３５’と、１回転のいずれの位置にロータがあるかを検出できるアブソリュートレゾルバステータ３６’とを２層に配置している。これによりアブソリュートレゾルバからの絶対角度情報に基づき，電源投入直後の回転子機械角の認識と，モータコイルへのコンミテーションを行っている。一方，インクリメンタルレゾルバからの相対角度情報に基づき，高分解能の角度位置決め動作を行っている。このため電源投入時にも、アブソリュートレゾルバロータ３４ｂ’の回転角度がわかり、原点復帰が不要であり、また、コイルに対する磁石の電気的位相角度がわかるため、ダイレクトドライブモータＤ２の駆動電流制御に使用する回転角度検出が、極検出センサを用いることなく可能となっている。このため、本実施の形態の如く，ロボット装置を駆動するようなダイレクトドライブモータには好適である。
【００５３】
検出器の回転側と軸受１９’の回転側および検出器カップリングとを連結するアウタボスおよび角度検出器の静止側と軸受装置の静止側とを連結するインナボスは，モータの界磁およびモータコイルからの電磁ノイズが検出器であるレゾルバに伝達しないように，磁性体である炭素鋼を材料とし，加工成形後に防錆のためにクロメートめっきを施している。
【００５４】
本実施の形態によれば、第２外側ロータ部材２１’に対して、磁気カップリング作用により第２内側ロータ３０’が同速で回転し、すなわち連れ回るので、第２外側ロータ部材２１’の回転角を隔壁１３越しに検出することができる。また、本実施の形態では、モータを形成する部品やハウジングを用いることなくレゾルバ単体で軸受３３’を有しており、従ってハウジングに組み込む前に、レゾルバ単体での偏芯調整やレゾルバコイルの位置調整などの精度調整が行えるので、ハウジングや両フランジに調整用の穴や切り欠きを別途設ける必要がない。
【００５５】
本実施の形態に用いている高分解能の可変リラクタンス形レゾルバにおいて、インクリメンタルレゾルバロータ３４ａ’は、一定のピッチを有する複数のスロツト歯列を有し、インクリメンタルレゾルバステータ３５’の外周面には、回転軸と平行に各磁極でインクリメンタルレゾルバロータ３４ａ’に対して位相をずらした歯が設けられており、コイルが各磁極に巻回されている。軸受３３’により支持された第２内側ロータ３０’と一体でインクリメンタルレゾルバロータ３４ａ’が回転すると、インクリメンタルレゾルバステータ３５’の磁極との間のリラクタンスが変化し、インクリメンタルレゾルバロータ３４ａ’の１回転でリラクタンス変化の基本波成分がｎ周期となるようにして、そのリラクタンス変化を検出して、図５に例を示すレゾルバ制御回路によりデジタル化し、位置信号として利用することでインクリメンタルレゾルバロータ３４ａ’即ち第２内側ロータ３０’の回転角度（又は回転速度）を検出するようになっている。レゾルバロータ３４ａ’、３４ｂと、レゾルバステータ３５’，３６’とで検出器を構成する。
【００５６】
ここで、取り扱い上の不備等によって永久磁石３０ａ’に剥がれ、欠けなどによって小片が生じた場合には、かかる小片は、相手側のロータ磁石に吸引されるが、本実施の形態によれば隔壁１３との間にカバー部材３２’が存在するため、第２の内側ロータ３０’から小片が分離しても、隔壁１３との間に挟まれることがなく、第２の内側ロータ３０’の精度良いつれ回りを確保し、検出器の検出精度を維持できる。
【００５７】
本実施の形態によれば、ダイレクトドライブモータＤ２の外側ロータ（第２外側ロータ２１’及び円筒状部材２３’）が、他のダイレクトドライブモータＤ１の外側ロータ（第１外側ロータ２１及び円筒状部材２３）に対してアンギュラコンタクト玉軸受１９’により支持されているので、ダイレクトドライブモータＤ２の外側ロータを取り外せば、かかる外側ロータを支持していたアンギュラコンタクト玉軸受１９’を露出でき、次にダイレクトドライブモータＤ１の外側ロータを取り外せば、かかる外側ロータを支持していたアンギュラコンタクト玉軸受１９を露出でき、それらの点検や取り外しを容易に行えるため、メンテナンス性も向上する。更に、隔壁１３の外側にある外側ロータのみを取り外せばよいので、隔壁構造を取り外す必要がなく、再組立の際にリークチェックなどが不要となり、組立性が向上する。
【００５８】
尚、フランジ部１２ａを中心として第１ステータ２９と第２ステータ２９’を上下に配置し、その半径方向内側にレゾルバを配置している。また、本体１２は中空構造となっており、フランジ部１２ａには中央に連通する径方向の通し穴１２ｄが少なくとも１つ設けてあり、ここを介してモータ配線を本体１２の中央に引き出す構造となっている。一方、本体１２の両端部にはそれぞれ少なくとも１つの切り欠き１２ｅ、１２ｅが設けてあり、これらを介してレゾルバの配線を本体１２の中央に引き出す構造となっている。このような構造とすることで、ハウジング側から順に、ダイレクトモータＤ１のレゾルバ、ステータ２９、ダイレクトモータＤ２のステータ２９’、そのレゾルバの順で配置することが可能となり、２軸でありながら容易にステータとレゾルバの角度調整が行える。そこで、基準となる外側ロータを回転駆動する設備を別に用意しておけば、その設備にステータとレゾルバを組み込んだ本体１２をセットすることにより、高精度にステータに対するレゾルバの角度調整ができるので、コンミテーションずれによる角度位置決め精度の低下を防ぎ、かつ、本発明の２軸同軸モータに対する駆動制御回路の互換性を高めることができる。
【００５９】
図６は、ダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ２の駆動回路を示すブロック図である。外部のコンピュータからモータ回転指令が入力されたとき、ダイレクトドライブモータＤ１用のモータ制御回路ＤＭＣ１及びダイレクトドライブモータＤ２用のモータ制御回路ＤＭＣ２は、それぞれ、そのＣＰＵから３層アンプ（ＡＭＰ）に駆動信号を出力し、３層アンプ（ＡＭＰ）からダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ２に駆動電流が供給される。それによりダイレクトドライブモータＤ１、Ｄ１の外側ロータ部材２１，２１’が独立して回転し、アームＡ１，Ａ２（図１）を移動させるようになっている。外側ロータ部材２１，２１’が回転すると、上述のようにして回転角度を検出したレゾルバステータ３５，３６，３５’、３６’からレゾルバ信号が出力されるので、それをレゾルバデジタル変換器（ＲＤＣ）でデジタル変換した後に入力したＣＰＵは、外側ロータ部材２１，２１’が指令位置に到達したか否かを判断し、指令位置に到達すれば、３層アンプ（ＡＭＰ）への駆動信号を停止することで外側ロータ部材２１，２１’の回転を停止させる。これにより外側ロータ部材２１，２１’のサーボ制御が可能となる。
【００６０】
真空環境での複数軸のアーム駆動の際には、電源投入時に現在のアームＡ１及びＡ２の回転位置を認識しないと真空槽の壁や、真空槽のシャッタにアームＡ１等をぶつけてしまう可能性があるが、本実施の形態では、回転軸の１回転の絶対位置を検出するアブソリュートレゾルバステータ３６及び３６’と、より分解能の細かい回転位置を検出するインクリメンタルレゾルバステータ３５及び３５’からなる可変リラクタンス型レゾルバを採用しているので、外側ロータ部材２１、２１’即ちアームＡ１，Ａ２の回転位置制御を高精度に行える。
【００６１】
尚、ここでは内側ロータ３０の回転検出にレゾルバを採用したが、検出器を隔壁１３の内部の大気側に配置できるため、一般に高精度位置決めに使用するサーボモータにおいては高精度で滑らかに駆動するための位置検出手段として採用されている光学式エンコーダや、磁気抵抗素子を使用した磁気式エンコーダ等も使用できる。
【００６２】
図７は、第２の実施の形態にかかる第１内側ロータ３０とカバー部材１３２とを組み付けた状態で示す断面図であり、図８は、第１内側ロータ３０とカバー部材１３２とを分解した状態で示す斜視図である。本実施の形態では、カバー部材１３２以外は、上述した実施の形態と同様である。
【００６３】
本実施の形態においては、無端ベルト状のカバー部材１３２を用いている。ＳＵＳなどの非磁性材料で作られた薄いベルト状のカバー部材１３２の全長は、永久磁石３０ａの隔壁１３に対向する外側の面に接する仮想円筒面の内周長より長くなっており、即ちカバー部材１３２を、全周の永久磁石３０ａの外側を囲うよに巻き付けたとき、両者の間には若干の隙間が形成される。
【００６４】
かかる状態で、周方向に隣接する永久磁石３０ａの間に、非磁性材料からなる「コ」字状のクリップ１００を図８に示すように挿入すると、その両端は、バックヨーク３０ｂを挟み込むように侵入し、バックヨーク３０ｂに形成した軽量化孔３０ｃに臨む位置になる。ここで、軽量化孔３０ｃ内に配置した特殊ナット１０１の一対の足１０１ａを、クリップ１００の両端に形成された孔に嵌合させ、更にバックヨーク３０ｂの内周側よりボルト１０２を特殊ナット１０１に螺合させる。するとボルト１０２の先端が、バックヨーク３０ｂの内周に当接し、その反力でナット１０１を半径方向内方に押し出すように作用する。これにより、クリップ１００がバックヨーク３０ｂの半径方向内方に変位するので、ベルト状のカバー部材１３２が、それにつれて永久磁石３０ａの間に引き込まれ、テンションが増大することで、永久磁石３０ａの面に密着し、弛みが排除されることとなる。クリップ１００，特殊ナット１０１，ボルト１０２がテンション部材を構成する。
【００６５】
本実施の形態によれば、ベルト状のカバー部材１３２が、永久磁石３０ａの面に密着するので、磁石の剥がれ、欠けなどにより小片が分離した場合でも、カバー部材１３２より外方に移動することを効果的に阻止できる。
【００６６】
以上の実施の形態では、表面磁石型の４０極３６スロットアウターロータ式ブラシレスモータを用いた例を用いて説明したが、この形式のモータに限定されるものではなく、ブラシレスモータであれば適用できるものであり、他の磁極形式、例えば永久磁石埋め込み型であっても良いし、他のスロットコンビネーションでも良いし、あるいはインナロータ型であっても良い。
【００６７】
また、各軸の干渉対策として、軸方向に隣接する軸同士の回転子の極数およびスロット数が異なる構成としても良い。例えば、２軸同軸の場合は、第一軸が４０極３６スロット、第二軸が２４極２７スロット、４軸同軸の場合は、第一軸および第三軸が４０極３６スロット、第二軸および第四軸が２４極２７スロットといった構成にすれば、各軸の磁界による回転子および磁気カップリング装置への回転方向の推力発生といった相互干渉を防ぐことができる。
【００６８】
また、ロータの永久磁石は、ネオジウム（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）系磁石を用い、耐食性を高めるためのコーティングとして、ニッケルコーティングを施した例を用いて説明したが、この材質、表面処理に限定されるものではなく、使用される環境などによって適宜変更されるものであり、例えばべークアウト時の温度条件によっては高温減磁しにくいサマリウム・コバルト（Ｓｍ・Ｃｏ）系の磁石を用いるべきであり、超真空中で使用されるのであればアウトガス遮断性の高い窒化チタンコーティングを施すべきである。
【００６９】
また、ヨークは、低炭素鋼を材料とし、ニッケルめっきを施した例を用いて説明したが、この材質、表面処理に限定されるものではなく、使用される環境などによって適宜変更されるものであり、特に表面処理に関しては、超真空中で使用されるのであればピンホールの少ないカニゼンめっきやクリーンエスめっき、窒化チタンコーティング等を施すべきである。
【００７０】
また、永久磁石をヨークに締結する方法は、非磁性のくさびをヨーク外径側からねじで締め上げる例を用いて説明したが、使用される環境などによって適宜変更されるものであり、環境によっては接着でも良いし、他の締結方法でも良い。
【００７１】
また、アンギュラコンタクト玉軸受１９，１９’は真空用グリス潤滑を用いた例を説明したが、この形式、材質、潤滑方法に限定されるものではなく、使用される環境、荷重条件、回転速度などによって適宜変更されるものであり、クロスローラ軸受であっても良いし、４軸同軸モータの場合、さらに機械的な剛性を高めるために、別な軸受で支持する構造としても良いし、高速回転する場合など、多点接触軸受を用いることができない場合は各軸の回転子を支持する軸受および別な軸受を深溝玉軸受やアンギュラ軸受として予圧をかける構造としても良いし、超真空中で使用される場合は、軌道輪に金や銀などの軟質金属をプレーティングしたような、ガス放出のない金属潤滑としたものを用いても良い。
【００７２】
また、磁気カップリングとして機能する内側ロータとして、永久磁石とバックヨークを用いた形式で説明したが、永久磁石とバックヨークの材質および形状はこれに限定されるものではない。例えば、レゾルバの質量と軸受の摩擦トルクによっては、ロータと同極数でなくても良いし、同幅でなくても良い。永久磁石を用いない突極でも良い。
【００７３】
また、角度検出器としてレゾルバを用いた例で説明したが、製造コストや分解能によって適宜変更されるものであり、例えば光学式のロータリエンコーダでも良い。
【００７４】
また、角度検出器の回転側を回転自在に支持する軸受３３，３３’として、グリス潤滑の４点接触玉軸受を用いた例を説明したが、この形式、潤滑方法に限定されるものではなく、設置スぺースや摩擦トルク、回転速度などによって適宜変更されるものであり、高速回転や摩擦トルクの低減など、多点接触軸受を用いることができない場合は、アンギュラ軸受や深溝玉軸受を各軸ごとに２個配置して、予圧をかける構造としても良い。
【００７５】
また、その他の隔壁の外、中に配置される構造部品および隔壁の材質、形状、製造方法は、製造コストや使用される環境、荷重条件、構成などによって適宜変更されるものである。
【００７６】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、本実施の形態のモータシステムは、真空雰囲気に限らず、大気外の雰囲気で使用することができる。例えば、半導体製造工程の場合、真空排気後に真空槽内部にエッチング用の反応性ガスが導入されることがあるが、本実施の形態のモータシステムでは、隔壁により内部と外部とが遮蔽されているため、モータコイルや絶縁材等がエッチングされてしまうおそれもない。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本実施の形態にかかるダイレクトドライブモータを含むモータシステムを用いたフロッグレッグアーム式搬送ロボットの斜視図である。
【図２】図１の構成をII-II線で切断して矢印方向に見た図である。
【図３】第１内側ロータ３０とカバー部材３２とを組み付けた状態で示す断面図である。
【図４】第１内側ロータ３０とカバー部材３２とを分解した状態で示す斜視図である。
【図５】レゾルバ制御回路の例を示す図である。
【図６】モータ制御回路の例を示す図である。
【図７】第２の実施の形態にかかる第１内側ロータ３０とカバー部材１３２とを組み付けた状態で示す断面図である。
【図８】第１内側ロータ３０とカバー部材１３２とを分解した状態で示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７８】
１０ 円板
１１ ボルト
１２ 本体
１２ａ フランジ部
１２ｂ 外周縁
１２ｄ 穴
１２ｅ 欠き
１３、１１３ 隔壁
１６ ボルト
１７、１７’ 軸受ホルダ
１８、１８’ ボルト
１９、１９’ アンギュラコンタクト玉軸受
２０、２０’ ボルト
２１、２１’ 外側ロータ部材
２１ａ、２１ａ’ 永久磁石
２１ｂ、２１ｂ’ ヨーク
２３、２３’ 円筒状部材
２９、２９’ ステータ
３０、３０’ 内側ロータ
３０ａ、３０ａ’ 永久磁石
３０ｂ、３０ｂ’ バックヨーク
３２、３２’、１３２，１３２’ カバー部材
３３、３３’ 軸受
３４、３４’ 検出ロータ
３４ａ、３４ａ’ インクリメンタルレゾルバロータ
３４ｂ、３４ｂ’ アブソリュートレゾルバロータ
３５、３５’ インクリメンタルレゾルバステータ
３６、３６’ アブソリュートレゾルバステータ
Ａ１，Ａ２ アーム
Ｄ１，Ｄ２ ダイレクトドライブモータ
ＤＭＣ１ モータ制御回路
ＤＭＣ２ モータ制御回路
Ｇ 定盤
Ｌ１，Ｌ２ リンク
ＯＲ Ｏ−リング
Ｔ テーブル
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図２】
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