(57)【要約】【課題】Ｘ線検出素子の変換層におけるＸ線の突き抜けを抑制することにより、検出部の耐久性の向上が図られたＸ線検査装置を提供する。【解決手段】被検査物４にＸ線６を照射する照射部１と、被検査物４を透過したＸ線を検出する検出部２とを備えたＸ線検査装置を用いる。検出部２には、入射したＸ線を電気信号に変換する変換層１１及び１２を含むＸ線検出素子（Ｘ線センサ１０）を備えさせる。照射部１からのＸ線６の照射方向（ｚ軸方向）に対して、変換層１１の入射面１１ａの法線方向（ｚ´軸方向）が傾斜するように、Ｘ線検出素子が配置される。これにより、Ｘ線が変換層１１及び１２内を進行する距離は、変換層１１及び１２の厚みよりも長く設定される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物にＸ線を照射する照射部と、
前記被検査物を透過したＸ線を検出する検出部と
を備えたＸ線検査装置であって、
前記検出部は、入射したＸ線を電気信号に変換する変換層を含むＸ線検出素子を有し、
前記照射部からのＸ線の照射方向に対して、前記変換層の入射面の法線方向が傾斜するように前記Ｘ線検出素子が配置されることにより、Ｘ線が前記変換層内を進行する距離が前記変換層の厚みよりも長く設定されている、Ｘ線検査装置。
【請求項２】
前記照射部と前記検出部との間を通過するように前記被検査物を搬送する搬送部を更に備え、
前記検出部は、前記Ｘ線検出素子を複数個有し、
複数個の前記Ｘ線検出素子それぞれの前記変換層の入射面の法線方向は、前記照射方向と前記搬送部による前記被検査物の搬送方向とに平行な平面内で、前記照射方向に対して傾斜し、
複数個の前記Ｘ線検出素子は、前記照射方向及び前記搬送方向に直交する第１の方向と、前記入射面内において前記第１の方向に直交する第２の方向とに沿って、アレイ状に配列されている、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記第２の方向に沿って移動可能であり、且つ、前記第１の方向に沿って並ぶ前記Ｘ線検出素子の列毎に、前記Ｘ線検出素子をＸ線から遮蔽するシールド部材を更に備える、請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記Ｘ線検出素子の傾斜角度が可変となっている、請求項１〜３のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、肉眼では見えない製品内部を非破壊で検査するため、食品や、電子機器等の種々の分野で、Ｘ線検査装置が利用されている。Ｘ線検査装置は、被検査物にＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ線センサで検出することによって被検査物のＸ線透視画像を生成する。Ｘ線センサは、Ｘ線検査装置において重要な役割を担っており、Ｘ線検査装置によって得られるＸ線透視画像の画質は、Ｘ線センサの解像度に依存する。
【０００３】
Ｘ線センサとしては、Ｘ線を直接電荷に変換する変換素子を備えた直接型のＸ線センサ（例えば、特許文献１参照。）が知られている。特許文献１に記載のＸ線センサは、複数個のＸ線検出素子の集合によって構成されている。各Ｘ線検出素子は、例えば、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）等で形成された変換層を備えている。変換層は、入射したＸ線を電気信号に変換する。また、変換層は、バイアス電圧を印加する電極と、回路基板とで挟み込まれている。回路基板は、変換層で得られた電気信号を取り出すための電極、半導体素子、配線等といった電子回路を有している。
【０００４】
また、Ｘ線センサとしては、他に、間接型のＸ線センサも知られている（例えば、特許文献２参照。）。間接型のＸ線センサは、Ｘ線を一旦可視光に変換する変換層と、可視光を電気信号に変換する変換層とを備えている。図７は、従来からの間接型のＸ線センサを示す斜視図である。
【０００５】
図７に示す間接型のＸ線センサ１００は、Ｘ線を可視光に変換する変換層（シンチレータ）１０１と、得られた可視光を電気信号に変換する変換層１０２とを備えている。変換層１０１は、変換層１０２の入射面を覆う単一の層である。外部からのＸ線は先ず変換層１０１に入射する。なお、図７では、変換層１０１は破線によって示されている。
【０００６】
図７の例では、変換層１０２は、複数個のフォトダイオード１０２ａによって構成されている。これらフォトダイオード１０２ａは、半導体基板上にアレイ状に形成されている。また、Ｘ線センサ１００は、変換層１０２の入射面の反対側に、回路基板１０３を備えている。回路基板１０３も、上述した直接型のＸ線センサの場合と同様に、フォトダイオード１０２ａ毎に電気信号を取り出すための電極、半導体素子、配線等を含む電子回路（図示せず）を備えている。
【０００７】
このような構成により、Ｘ線センサ１００では、フォトダイオード１０２ａ毎に、電気信号が出力され、Ｘ線が検出される。また、Ｘ線センサ１００においては、一つのフォトダイオード１０２ａと、回路基板１０３中のこのフォトダイオード１０２ａに対応する電子回路と、このフォトダイオード１０２ａに重なっている変換層１０１の一部分とが、一つのＸ線検出素子を構成している。Ｘ線センサ１００は、複数個のＸ線検出素子を備えている。
【０００８】
また、上述したＸ線センサ１００を備えたＸ線検査装置の一例について、図８及び図９を用いて説明する。図８は、従来のＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。図９は、図８に示すＸ線検査装置の一部分を拡大して示す図である。図８及び図９の例では、図７に示したＸ線センサ１００が用いられている。
【０００９】
図８に示すように、Ｘ線検査装置は、被検査物１０７に含まれる異物１０８（図９参照）の検出に用いられる。Ｘ線検査装置は、Ｘ線を照射する照射部１０４と、照射されたＸ線を検出する検出部１０５と、被検査物１０７を搬送するベルトコンベア１０６とを備えている。検出部１０５は、Ｘ線カメラであり、図７に示したＸ線センサ１００を備えている。
【００１０】
図９に示すように、照射部１０４は、Ｘ線源１０９と、遮蔽板１１０とを備えている。遮蔽板１１０により、Ｘ線源１０９のＸ線発生点１１２から放出されたＸ線１１１の形状は、搬送方向側から見た時に扇状となり、側面側から見た時にライン状となる（図８参照）。また、Ｘ線センサ１００は、Ｘ線発生点１１２から放出されたＸ線束の中心軸１１３が、Ｘ線の入射面に直交するように（入射面の法線と一致するように）配置されている。中心軸１１３は、図９の例では、照射野の中心とＸ線発生点１１２とを通っている。
【００１１】
よって、照射部１０４が被検査物１０７に向けてＸ線を出射すると、検出部１０５は、Ｘ線センサ１００によって、被検査物１０７を透過したＸ線を検出する。Ｘ線検査装置は、検出部１０５からの電気信号に基づいて被検査物１０７のＸ線透視画像を形成し、これを表示装置（図示せず）の表示画面に表示する。図８及び図９に示すＸ線検査装置を用いれば、異物を含んだ製品を簡単に見つけることができる。
【特許文献１】特開昭５９−９９３８４号公報
【特許文献２】特開２００３−８４０６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、図８及び図９に示したＸ線検査装置では、Ｘ線センサ１００に入射したＸ線の一部が、変換層１０１、更には変換層１０２を突き抜けてしまうことがある。この場合、突き抜けたＸ線は、変換層１０２や、回路基板１０３（特に電子回路）に損傷を与え、Ｘ線センサ１００の耐久性を低下させてしまう。また、直接型のＸ線センサにおいても、変換層を突き抜けたＸ線が回路基板に損傷を与え、Ｘ線センサの耐久性を低下させることがある。
【００１３】
本発明の目的は、上記問題を解消し、Ｘ線検出素子の変換層におけるＸ線の突き抜けを抑制することにより、検出部の耐久性の向上が図られたＸ線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明におけるＸ線検査装置は、被検査物にＸ線を照射する照射部と、前記被検査物を透過したＸ線を検出する検出部とを備えたＸ線検査装置であって、前記検出部は、入射したＸ線を電気信号に変換する変換層を含むＸ線検出素子を有し、前記照射部からのＸ線の照射方向に対して、前記変換層の入射面の法線方向が傾斜するように前記Ｘ線検出素子が配置されることにより、Ｘ線が前記変換層内を進行する距離が前記変換層の厚みよりも長く設定されている、ことを特徴とする。
【００１５】
本発明におけるＸ線検査装置では、Ｘ線検出素子は傾いた状態で配置され、変換層内におけるＸ線の通過距離は、変換層の厚みよりも長くなっている。このため、本発明によれば、Ｘ線は、変換層を突き抜けるためには、変換層内において従来よりも長い距離を進む必要があり、Ｘ線の変換層の突き抜けは抑制される。また、これにより、Ｘ線によるＸ線検出素子の損傷が発生し難くなるので、検出部の耐久性は向上する。
【００１６】
上記本発明におけるＸ線検査装置は、前記照射部と前記検出部との間を通過するように前記被検査物を搬送する搬送部を更に備え、前記検出部は、前記Ｘ線検出素子を複数個有し、複数個の前記Ｘ線検出素子それぞれの前記変換層の入射面の法線方向は、前記照射方向と前記搬送部による前記被検査物の搬送方向とに平行な平面内で、前記照射方向に対して傾斜し、複数個の前記Ｘ線検出素子は、前記照射方向及び前記搬送方向に直交する第１の方向と、前記入射面内において前記第１の方向に直交する第２の方向とに沿って、アレイ状に配列されている態様であるのが好ましい。
【００１７】
上記態様では、Ｘ線検出素子と被検査物の載置面との距離は、第１の方向に沿って並ぶＸ線検出素子の列（以下「幅列」という。）毎に異なる。よって、Ｘ線検出素子に入射するＸ線の強度も幅列毎に異なる。また、上記態様のように被検査物が照射部と検出部との間を搬送される場合は、少なくとも一つの幅列から取り出された電気信号が得られれば、被検査物のＸ線透視画像の形成は可能である。
【００１８】
従って、上記態様によれば、Ｘ線検査装置は、最も感度の良い幅列を選択し、選択した幅列の電気信号に基づいてＸ線透視画像を形成することができるので、Ｘ線透視画像の画質の向上が図られる。また、幅列間におけるＸ線強度の差により、幅列毎にＸ線検出素子の寿命が異なることから、Ｘ線検査装置は、画像形成の対象としている幅列の寿命が尽きたとしても、別の幅列を選択してＸ線透視画像を形成できる。
【００１９】
また、上記態様においては、Ｘ線検査装置は、前記第２の方向に沿って移動可能であり、且つ、前記第１の方向に沿って並ぶ前記Ｘ線検出素子の列毎に、前記Ｘ線検出素子を前記Ｘ線から遮蔽するシールド部材を更に備えているのが好ましい。この場合は、Ｘ線透視画像の形成に用いていない幅列をシールド部材によって遮蔽でき、これらの長寿命化が図られる。
【００２０】
上記本発明におけるＸ線検査装置においては、前記Ｘ線検出素子の傾斜角度が可変となっているのが好ましい。この場合は、予想される被検査物中の異物の種類や大きさに応じて、Ｘ線検出素子の傾斜角度を適切な角度に設定できる。
【００２１】
なお、本発明において「Ｘ線の照射方向」とは、照射部から照射されたＸ線束の中心軸方向をいう。また、「Ｘ線の照射方向と搬送方向とに平行な平面」とは、Ｘ線の照射方向に平行な軸とこれに交差する搬送方向に平行な軸とによって規定される平面をいう。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように本発明におけるＸ線検査装置によれば、Ｘ線検出素子の変換層におけるＸ線の突き抜けが抑制され、これにより、検出部の耐久性の向上が図られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（実施の形態）
以下、本発明の実施の形態におけるＸ線検査装置について、図１〜図４を参照しながら説明する。最初に、図１〜図３を用いて本実施の形態におけるＸ線検査装置の構成を説明する。図１は、本発明の実施の形態におけるＸ線検査装置の外観を概略的に示す斜視図である。図２は、図１に示したＸ線検査装置を構成する検出部を示す斜視図である。図３は、図１に示したＸ線検査装置の内部構成を概略的に示す図である。図４は、図１に示したＸ線検査装置を構成する検出部の一部分を拡大して示す図である。
【００２４】
図１に示すように、Ｘ線検査装置は、食品等の被検査物４にＸ線を照射する照射部１と、被検査物４を透過したＸ線を検出する検出部２とを備えている。Ｘ線検査装置は、被検査物４に含まれる異物５（図３参照）の検出に用いられる。検出部２は、Ｘ線カメラであり、Ｘ線センサ１０を有している。Ｘ線の検出は、Ｘ線センサ１０によって行われる。Ｘ線センサ１０は、入射したＸ線を電気信号に変換する変換層を含むＸ線検出素子を備えている。
【００２５】
図２に示すように、本実施の形態では、Ｘ線センサ１０は、図７に示したＸ線センサ１００と同様に、間接型のＸ線センサである。Ｘ線センサ１０は、Ｘ線を可視光に変換する変換層（シンチレータ）１１と、可視光を電気信号に変換する変換層１２と、回路基板１３とを備えている。回路基板１３、変換層１２、及び変換層１１は、順に積層されている。よって、外部からのＸ線は、先ず上層の変換層１１に入射する。図２及び図３において、１１ａは変換層１１の入射面を示している。
【００２６】
また、下層の変換層１２は、複数の光電変換素子１２ａ、例えば、フォトダイオードによって構成されている。図２において、各光電変換素子１２ａは破線によって示されている。回路基板１３は、光電変換素子１２ａ毎に電気信号を取り出すための電極、半導体素子、配線等を含む電子回路を備えている。
【００２７】
また、Ｘ線センサ１０では、一つの光電変換素子１２ａと、回路基板１３中のこの光電変換素子１２ａに対応する電子回路と、この光電変換素子１２ａに重なっている変換層１１の一部分とが、一つのＸ線検出素子を構成している。Ｘ線センサ１０は、複数個のＸ線検出素子を備えている。また、変換層１１の入射面１１ａにおける各部分が、Ｘ線検出素子それぞれの入射面となる。
【００２８】
更に、本実施の形態では、Ｘ線検査装置は、照射部１と検出部２との間を被検査物４が通過するように、被検査物４を搬送する搬送部３も備えている。具体的には、搬送部３は、複数本の回転軸３ａと、ベルト３ｂとを備えたベルトコンベアである。ベルト３ｂの移動方向が、搬送部３による被検査物４の搬送方向となる。
【００２９】
また、本実施の形態では、図３に示すように、照射部１は、Ｘ線源７と遮蔽板８とを備えている。遮蔽板８は、Ｘ線源７からのＸ線の一部を遮蔽している。遮蔽板８によって遮蔽されなかったＸ線は、Ｘ線束となって被検査物４へと照射される。図１及び図３において、９はＸ線束の中心軸を示している。中心軸９の軸方向がＸ線の照射方向となる。また、中心軸９は、図１及び図３に示すように、Ｘ線源７におけるＸ線発生点１４と、被検査物４の載置面１５における照射野（図示せず）の中心とを通る軸である。
【００３０】
図１〜図３に示すように、本実施の形態では、搬送部３による被検査物４の搬送方向をｘ軸方向とし、中心軸９の軸方向に平行な方向をｚ軸方向とする。更に、ｘ軸方向とｚ軸方向との両方に直交する方向をｙ軸方向とする。また、図３に示すように、本実施の形態でも、従来例と同様に（図８参照）、遮蔽板８により、照射部１から照射されたＸ線６の形状は、ｘ軸方向（搬送方向）側から見ると扇形状となり、ｙ軸方向側から見るとライン状となる。
【００３１】
このような構成により、本実施の形態におけるＸ線検査装置においても、従来例と同様に、照射部１が被検査物４に向けてＸ線を照射すると、検出部２が、被検査物４を透過したＸ線を受線する。そして、Ｘ線検査装置は、検出部２が出力した信号に基づいて被検査物４のＸ線透視画像を形成し、これを表示装置（図示せず）の表示画面に表示する。
【００３２】
但し、本実施の形態では、図１〜図３に示すように、Ｘ線センサ１０は、それを構成する各Ｘ線検出素子の入射面の法線方向（ｚ´軸方向）が、照射部１からのＸ線の照射方向（ｚ軸方向）に対して傾斜するように配置されている。更に、この配置により、図４に示すように、変換層１１において、変換層１１を突き抜けるＸ線６が変換層１１内を進行する距離Ｌ１は、変換層１１の厚みＴ１よりも長く設定される（Ｌ１＞Ｔ１）。従来例においては、変換層を突き抜けるＸ線が変換層内を進行する距離と、変換層の厚みとは、一致する（図９参照）。
【００３３】
従って、本実施の形態におけるＸ線検査装置では、Ｘ線が変換層１１を突き抜けるために進む必要のある距離Ｌ１は、従来例よりも長くなり、Ｘ線の変換層１１における突き抜けは抑制される。本実施の形態におけるＸ線検査装置によれば、Ｘ線が、光電変換素子１２ａに入射しにくくなり、Ｘ線による変換層１２の損傷が抑制される。更に、これにより、当然に、変換層１１を突き抜けたＸ線による回路基板１３（特に電子回路）の損傷も抑制される。
【００３４】
このように本実施の形態によれば、変換層１２及び回路基板１３のＸ線による損傷が抑制されるので、検出部２の耐久性が向上する。また、本実施の形態では、変換層１２においても、Ｘ線が変換層１２を突き抜けるために進む必要のある距離Ｌ２は、変換層１２の厚みＴ２よりも長く設定される（Ｌ２＞Ｔ２）。このため、Ｘ線による回路基板１３（特に電子回路）の損傷は、いっそう抑制される。
【００３５】
また、本実施の形態では、図２及び図３に示すように、Ｘ線検出素子の入射面の法線方向（ｚ´軸方向）の傾斜は、照射方向（ｚ軸方向）と搬送方向（ｘ軸方向）とに平行な平面（ｚｘ平面）内で行われている。更に、Ｘ線センサ１０を構成する複数個のＸ線検出素子は、ｙ軸方向と、入射面１１ａ内においてｙ軸方向に直交するｘ´軸方向とに沿って、アレイ状に配列されている。
【００３６】
よって、Ｘ線検出素子と搬送部３における載置面１５との距離は、ｙ軸方向に沿って並ぶＸ線検出素子の列（以下「幅列」という。）毎に異なることとなる。この点について図５を用いて説明する。図５は、図１に示したＸ線検査装置を構成する検出部と搬送部との位置関係を示す図である。
【００３７】
図５に示すように、Ｘ線検出素子と搬送部３における載置面１５との距離（Ｄ１、・・・Ｄｎ、・・・Ｄｍ（ｎは２以上の自然数。ｍはｎより大きい自然数））は、幅列毎に異なり、入射するＸ線の強度も幅列毎に異なることとなる。このため、幅列間においては感度にも若干の差が生じてしまう。
【００３８】
ところが、被検査物４が照射部１と検出部２との間に搬送される場合は、少なくとも一つの幅列から取り出された電気信号が得られれば、被検査物４のＸ線透視画像の形成は可能である。従って、本実施の形態におけるＸ線検査装置は、最も感度の良い幅列を選択し、選択した幅列の電気信号に基づいてＸ線透視画像を形成できる。本実施の形態によれば、Ｘ線透視画像の画質の向上が図られる。選択される幅列は複数列であっても良い。
【００３９】
なお、各Ｘ線検出素子と載置面１５との距離の差△Ｄは、Ｘ線発生点１４から載置面１５までの距離ＬＤを考慮すると、異物検出に大きな悪影響を与える程度ではない。例えば、Ｘ線発生点１４から載置面１５までの距離ＬＤは通常４００ｍｍ〜６００ｍｍ程度であるのに対し、Ｘ線センサ１０のｘ´軸方向の長さＢは通常１０ｍｍ程度である。この場合、△Ｄは、距離ＬＤに対して無視できるほど小さく、上述したように異物検出に大きな悪影響を与える程度ではない。
【００４０】
また、本実施の形態では、上述したように、入射するＸ線の強度が幅列毎に異なるため、Ｘ線検出素子の寿命も幅列毎に異なる。よって、Ｘ線検査装置は、Ｘ線透視画像の形成に用いている幅列の寿命が尽きた場合は、別の幅列を選択し、それを用いてＸ線透視画像を形成できる。
【００４１】
更に、本実施の形態では、Ｘ線検査装置は、Ｘ線センサ１０の長寿命化を図るため、未使用のＸ線検出素子をＸ線から遮蔽するシールド部材を備えていても良い。この態様について図６を用いて説明する。図６は、図１に示したＸ線検査装置を構成する検出部の他の例を示す斜視図である。
【００４２】
図６に示すように、検出部２は、シールド部材１７を備えることができる。シールド部材１７は、ｘ´軸方向に沿って移動可能であって、Ｘ線検出素子を幅列毎にＸ線から遮蔽する。図６の例では、シールド部材１７は、２つの幅列に対応する部分を露出させる開口部１８を有している。よって、シールド部材１７をｘ´軸方向に移動させることにより、順次、Ｘ線透視画像の形成に用いるＸ線検出素子を切り替えることができる。
【００４３】
図６の例によれば、Ｘ線透視画像の形成に用いられていない幅列はＸ線から遮蔽されるので、更なる長寿命化が達成される。なお、シールド部材１７及び開口部１８の形状は、特に限定されるものではない。また、シールド部材１７は、Ｘ線を透過させにくい材料、例えば、鉛によって形成すれば良い。
【００４４】
また、本実施の形態では、Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出素子の傾斜角度θを可変できる構成を備えていても良い。具体的には、図２及び図６に示すように、検出部２は、回転機構１６を備えることができる。回転機構１６は、例えば、電動機と歯車等とによって構成でき、ｙ軸に平行な軸を回転軸としてＸ線センサ１０を回転させる。このような構成によれば、被検査物４中の異物５の種類や大きさに応じて、Ｘ線センサ１０の傾斜角度θを適切な角度に設定できる。
【００４５】
本実施の形態では、Ｘ線センサが間接型である場合について説明しているが、本発明は、これに限定されるものではない。本発明においては、Ｘ線センサは直接型であっても良い。直接型のＸ線センサでは、変換層が単一の層によって形成されている場合があるが、この場合であっても、回路基板が複数個の端子を備え、端子毎に電気信号の取り出しが行われる。よって、各端子と、変換層の対応する一部分と、バイアス電極の一部分とが一つのＸ線検出素子を構成するため、このような直接型のＸ線センサは複数個のＸ線検出素子を備えている。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上のように、本発明は、Ｘ線検査装置における耐久性の向上に有用である。本発明のＸ線検査装置は、産業上の利用可能性を有している。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１は、本発明の実施の形態におけるＸ線検査装置の外観を概略的に示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示したＸ線検査装置を構成する検出部を示す斜視図である。
【図３】図３は、図１に示したＸ線検査装置の内部構成を概略的に示す図である。
【図４】図４は、図１に示したＸ線検査装置を構成する検出部の一部分を拡大して示す図である。
【図５】図５は、図１に示したＸ線検査装置を構成する検出部と搬送部との位置関係を示す図である。
【図６】図６は、図１に示したＸ線検査装置を構成する検出部の他の例を示す斜視図である。
【図７】図７は、従来からの間接型のＸ線センサを示す斜視図である。
【図８】図８は、従来のＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図９】図９は、図８に示すＸ線検査装置の一部分を拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  照射部
２  検出部
３  搬送部
３ａ  回転軸
３ｂ  ベルト
４  被検査物
５  異物
６  Ｘ線
７  Ｘ線源
８  遮蔽板
９  Ｘ線束の中心軸
１０  Ｘ線センサ
１１  変換層（シンチレータ）
１１ａ  入射面
１２  変換層
１２ａ  光電変換素子（フォトダイオード）
１３  回路基板
１４  Ｘ線発生点
１５  載置面
１６  回転機構
１７  シールド部材
１８  開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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