(57)【要約】【課題】複数のノズルから膜形成領域に吐出される液状体の吐出量のバラツキを抑え、より吐出ムラが目立ち難い状態に吐出量を制御することが可能な液状体の吐出方法、これを用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。【解決手段】液状体の吐出方法は、複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に複数のノズルとワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、主走査の間に複数のノズルから膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、吐出工程では、主走査において膜形成領域に掛かる複数のノズルのうち、液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離したノズルがある場合には、少なくとも当該ノズルの使用率を、ねらいの吐出量に近い他のノズルに比べて低下させる副走査を組み合わせて液滴の吐出を行う。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記複数のノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離したノズルがある場合には、少なくとも当該ノズルの使用率を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルに比べて低下させる副走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項２】
前記吐出工程では、前記当該ノズルの使用率を低下させると共に、前記他のノズルの使用率を上昇させる副走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項３】
複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量に基づいて、前記複数のノズルを前記吐出量が異なるｎ個のノズルグループに区分するノズルグループ化工程を備え、
前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記複数のノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離した前記ノズルグループに含まれる少なくとも１つの前記ノズルがある場合には、当該ノズルグループの使用率を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルグループに比べて低下させる副走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項４】
前記吐出工程では、前記当該ノズルグループの使用率を低下させると共に、前記他のノズルグループの使用率を上昇させる副走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする請求項３に記載の液状体の吐出方法。
【請求項５】
前記ねらいの吐出量は、前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量の平均値を基準として、±ｃ％の所定の範囲を有して設定され、前記主走査において使用されるすべての前記ノズルグループの使用率の合計を１００％としたときに、前記平均値から前記吐出量がｘ％乖離した前記当該ノズルグループの使用率が、ｃ／ｘ／ｎ以下の割合となるように副走査を行うことを特徴とする請求項４に記載の液状体の吐出方法。
【請求項６】
複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離した前記ノズルがある場合には、少なくとも当該ノズルから吐出される前記液滴の吐出数を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルに比べて低下させる主走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項７】
前記吐出工程では、前記当該ノズルの前記吐出数を低下させると共に、前記他のノズルの前記吐出数を、前記膜形成領域に所定の吐出数の前記液滴が付与されるように上昇させる主走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする請求項６に記載の液状体の吐出方法。
【請求項８】
複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量に基づいて、前記複数のノズルを前記吐出量が異なるｎ個のノズルグループに区分するノズルグループ化工程を備え、
前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離した前記ノズルグループに含まれる少なくとも１つの前記ノズルがある場合には、当該ノズルグループから吐出される前記液滴の吐出数を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルグループに比べて低下させる主走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項９】
前記吐出工程では、前記当該ノズルグループの前記吐出数を低下させると共に、前記他のノズルグループの前記吐出数を、前記膜形成領域に所定の吐出数の前記液滴が付与されるように上昇させる主走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする請求項８に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１０】
前記ねらいの吐出量は、前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量の平均値を基準として、±ｃ％の所定の範囲を有して設定され、前記主走査において使用されるすべての前記ノズルグループの吐出数の合計を１００％としたときに、前記平均値から前記吐出量がｘ％乖離した前記当該ノズルグループの吐出数が、ｃ／ｘ／ｎ以下の割合となるように主走査を行うことを特徴とする請求項９に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１１】
複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離した前記ノズルがある場合には、少なくとも当該ノズルの使用率を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルに比べて低下させる副走査と、少なくとも当該ノズルから吐出される前記液滴の吐出数を、前記他のノズルに比べて低下させる主走査とを組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項１２】
基板上に区画形成された複数の膜形成領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１３】
基板上に区画形成された複数の膜形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能性材料を含む液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタの製造方法として、基板上の着色領域を複数の走査領域に分割し、各走査領域を順次インクジェット方式により着色するカラーフィルタの製造方法が知られている（特許文献１）。特許文献１のカラーフィルタの製造方法は、走査領域が互いに重複する部分を有することを特徴としている。また、１つの被着色部の着色をインクジェットヘッドの異なるノズルを用いて行い、さらには、両端に位置するノズルのインク吐出量の差が、２０％以下であるインクジェットヘッドを用いて着色を行うことが好ましいとしている。
【０００３】
これにより、重複領域を設けることにより、走査領域の境界近傍におけるスジ状の色むらを発生し難くし、ノズルの吐出量ムラに起因する着色部間での色むらを防止できるとしている。
【０００４】
他のカラーフィルタの製造方法としては、インクジェットヘッドの複数のノズルのうち一部のノズルから透明基板上の複数の被着色部に同時にインクを吐出して着色部を形成する着色工程を有し、該着色工程では、インクを吐出させるノズルのみの情報からなる画像データを用いて着色部を形成するカラーフィルタの製造方法が知られている（特許文献２）。特許文献２のカラーフィルタの製造方法では、予め、各ノズルの吐出量を測定し、該測定値に応じて各ノズルの吐出ピッチを補正した後に、インクを吐出させるノズルのみの情報からなる圧縮画像データを作成するとしている。
【０００５】
これにより、走査方向のインク吐出数をノズルごとに変化させて吐出すると、各被着色部に吐出されるインク量を一定にして、各着色部の濃度むらを防止できるとしている。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１４７２１号公報
【特許文献２】特開２００１−１４７３１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１および上記特許文献２のカラーフィルタの製造方法では、インクの吐出量の制御が不十分であり、被着色部に吐出されるインクの吐出量のバラツキをさらに抑え、より色むらが目立ち難い状態に吐出量を制御することが要求されている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記複数のノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離したノズルがある場合には、少なくとも当該ノズルの使用率を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルに比べて低下させる副走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする。
【００１０】
この方法によれば、液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離したノズルの使用率が、ねらいの吐出量に近い他のノズルに比べて低下するように、複数のノズルとワークとを相対移動させる副走査と、膜形成領域に液滴を吐出する主走査とが組み合わされる。したがって、複数のノズルから吐出される液滴の吐出量にバラツキを有していても、ねらいの吐出量で液滴を吐出した状態に近づけることができる。すなわち、ノズルごとの吐出量のバラツキを分散させて、膜形成領域に必要量の液状体を付与することができる。
【００１１】
［適用例２］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程では、前記当該ノズルの使用率を低下させると共に、前記他のノズルの使用率を上昇させる副走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことが好ましい。
この方法によれば、ねらいの吐出量から乖離したノズルの使用率を低下させることにより不足する液状体を、ねらいの吐出量に近い他のノズルの使用率を上昇させることにより補完して、膜形成領域に精度よく必要量の液状体を付与することができる。
【００１２】
［適用例３］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量に基づいて、前記複数のノズルを前記吐出量が異なるｎ個のノズルグループに区分するノズルグループ化工程を備え、前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記複数のノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離した前記ノズルグループに含まれる少なくとも１つの前記ノズルがある場合には、当該ノズルグループの使用率を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルグループに比べて低下させる副走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする。なお、ｎは２以上の整数である。
【００１３】
この方法によれば、液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離したノズルグループの使用率が、ねらいの吐出量に近い他のノズルグループに比べて低下するように、複数のノズルとワークとを相対移動させる副走査と、膜形成領域に液滴を吐出する主走査とが組み合わされる。したがって、吐出される液滴の吐出量がノズルグループごとに異なっていても、ねらいの吐出量で液滴を吐出した状態に近づけることができる。すなわち、ノズルごとの吐出量のバラツキを分散させて、膜形成領域に必要量の液状体を付与することができる。また、ノズル単位ごとに副走査を制御する場合に比べて、ノズルグループ単位ごとに副走査を制御することが可能となり、液状体の吐出量の制御が比較的に容易に行える。
【００１４】
［適用例４］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程では、前記当該ノズルグループの使用率を低下させると共に、前記他のノズルグループの使用率を上昇させる副走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことが好ましい。
この方法によれば、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループの使用率を低下させることにより不足する液状体を、ねらいの吐出量に近い他のノズルグループの使用率を上昇させることにより補完して、膜形成領域に精度よく必要量の液状体を付与することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記ねらいの吐出量は、前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量の平均値を基準として、±ｃ％の所定の範囲を有して設定され、前記主走査において使用されるすべての前記ノズルグループの使用率の合計を１００％としたときに、前記平均値から前記吐出量がｘ％乖離した前記当該ノズルグループの使用率が、ｃ／ｘ／ｎ以下の割合となるように副走査を行うことを特徴とする。  この方法によれば、主走査におけるノズルグループごとの使用率を制御して、膜形成領域に付与される液状体の総量を基準となる必要量に対して±ｃ％の所定の範囲に収めることができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離した前記ノズルがある場合には、少なくとも当該ノズルから吐出される前記液滴の吐出数を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルに比べて低下させる主走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする。
【００１７】
この方法によれば、液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離したノズルの吐出数が、ねらいの吐出量により近い他のノズルに比べて低下するように、膜形成領域に液滴を吐出する主走査と、複数のノズルとワークとを相対移動させる副走査とが組み合わされる。したがって、複数のノズルから吐出される液滴の吐出量にバラツキを有していても、ねらいの吐出量で液滴を吐出した状態に近づけることができる。すなわち、ノズルごとの吐出量のバラツキを分散させて、膜形成領域に必要量の液状体を付与することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程では、前記当該ノズルの前記吐出数を低下させると共に、前記他のノズルの前記吐出数を、前記膜形成領域に所定の吐出数の前記液滴が付与されるように上昇させる主走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことが好ましい。
この方法によれば、ねらいの吐出量から乖離したノズルの吐出数を低下させることにより不足する液状体を、ねらいの吐出量に近い他のノズルの吐出数を上昇させることにより補完して、膜形成領域に精度よく必要量の液状体を付与することができる。
【００１９】
［適用例８］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量に基づいて、前記複数のノズルを前記吐出量が異なるｎ個のノズルグループに区分するノズルグループ化工程を備え、前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離した前記ノズルグループに含まれる少なくとも１つの前記ノズルがある場合には、当該ノズルグループから吐出される前記液滴の吐出数を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルグループに比べて低下させる主走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする。なお、ｎは２以上の整数である。
【００２０】
この方法によれば、液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離したノズルグループの吐出数が、ねらいの吐出量に近い他のノズルグループに比べて低下するように、膜形成領域に液滴を吐出する主走査と、複数のノズルとワークとを相対移動させる副走査とが組み合わされる。したがって、吐出される液滴の吐出量がノズルグループごとに異なっていても、ねらいの吐出量で液滴を吐出した状態に近づけることができる。すなわち、ノズルごとの吐出量のバラツキを分散させて、膜形成領域に必要量の液状体を付与することができる。また、ノズル単位ごとに主走査を制御する場合に比べて、ノズルグループ単位ごとに主走査を制御することが可能となり、液状体の吐出量の制御が比較的に容易に行える。
【００２１】
［適用例９］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程では、前記当該ノズルグループの前記吐出数を低下させると共に、前記他のノズルグループの前記吐出数を、前記膜形成領域に所定の吐出数の前記液滴が付与されるように上昇させる主走査を組み合わせて前記液滴の吐出を行うことが好ましい。
この方法によれば、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループの吐出数を低下させることにより不足する液状体を、ねらいの吐出量に近い他のノズルグループの吐出数を上昇させることにより補完して、膜形成領域に精度よく必要量の液状体を付与することができる。
【００２２】
［適用例１０］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記ねらいの吐出量は、前記ノズルごとに吐出される前記液滴の吐出量の平均値を基準として、±ｃ％の所定の範囲を有して設定され、前記主走査において使用されるすべての前記ノズルグループの吐出数の合計を１００％としたときに、前記平均値から前記吐出量がｘ％乖離した前記当該ノズルグループの吐出数が、ｃ／ｘ／ｎ以下の割合となるように主走査を行うことを特徴とする。
この方法によれば、主走査におけるノズルグループごとの液滴の吐出数を制御して、膜形成領域に付与される液状体の総量を基準となる必要量に対して±ｃ％の所定の範囲に収めることができる。
【００２３】
［適用例１１］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルと膜形成領域を有するワークとを相対移動させる主走査と、主走査方向に直交する方向に前記複数のノズルと前記ワークとを相対移動させる副走査とを組み合わせ、前記主走査の間に前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記吐出工程では、前記主走査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルのうち、前記液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離した前記ノズルがある場合には、少なくとも当該ノズルの使用率を、前記ねらいの吐出量に近い他のノズルに比べて低下させる副走査と、少なくとも当該ノズルから吐出される前記液滴の吐出数を、前記他のノズルに比べて低下させる主走査とを組み合わせて前記液滴の吐出を行うことを特徴とする。
【００２４】
この方法によれば、液滴の吐出量がねらいの吐出量から乖離したノズルの使用率および吐出数を、ねらいの吐出量に近い他のノズルに比べて低下させるように制御して、膜形成領域により精度よく必要量の液状体を付与することができる。
【００２５】
［適用例１２］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上に区画形成された複数の膜形成領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、ノズルごとの吐出量のバラツキを分散させて、膜形成領域に必要量の液状体を付与できるので、所望の光学特性を有する着色層を備えたカラーフィルタを製造することができる。
【００２６】
［適用例１３］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上に区画形成された複数の膜形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、ノズルごとの吐出量のバラツキを分散させて、膜形成領域に必要量の液状体を付与できるので、所望の発光特性を有する発光層を備えた有機ＥＬ着色層を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部を認識可能な大きさとするため、各部の縮尺を適宜変更している。
【００２８】
本実施形態の液状体の吐出方法について、これを適用したカラーフィルタの製造方法を例に説明する。本実施形態のカラーフィルタの製造方法は、液滴吐出法（インクジェット法）により、着色材料を含む液状体を液滴として所定の膜形成領域に吐出することにより、着色材料からなる着色層を形成するものである。
【００２９】
＜液滴吐出装置＞
まず、液状体を液滴としてワークに吐出可能な液滴吐出装置について、図１〜図５を参照して、説明する。
【００３０】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装置１００は、ワークＷが載置されるステージ１０４と、載置されたワークＷに液状体を液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット１０１とを備えている。
【００３１】
そして、ヘッドユニット１０１をＸ方向に駆動するためのＸ方向ガイド軸１０２と、Ｘ方向ガイド軸１０２を回転させるＸ方向駆動モータ１０３とを備えている。また、ステージ１０４をＸ方向に対して直交するＹ方向にガイドするためのＹ方向ガイド軸１０５と、Ｙ方向ガイド軸１０５に係合して回転するＹ方向駆動モータ１０６とを備えている。これらＸ方向ガイド軸１０２とＹ方向ガイド軸１０５とが上部に配設された基台１０７を有し、その基台１０７の下部に、各部を制御する制御装置１０８を備えている。
【００３２】
さらに、ヘッドユニット１０１の複数の液滴吐出ヘッド２０をクリーニング（回復処理）するために、Ｙ方向ガイド軸１０５に沿って移動するクリーニング機構１０９と、吐出された液状体を加熱し溶媒を蒸発・乾燥させるためのヒータ１１１とを備えている。クリーニング機構１０９は、Ｙ方向ガイド軸１０５に係合して回転するＹ方向駆動モータ１１０を有している。
【００３３】
ヘッドユニット１０１には、液状体をワークＷに塗布する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備えている。そして、これら複数の液滴吐出ヘッド２０により、制御装置１０８から供給される吐出用の制御信号に応じて、個別に液状体を吐出できるようになっている。この液滴吐出ヘッド２０については後述する。
【００３４】
Ｘ方向駆動モータ１０３は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータなどであり、制御装置１０８から駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸１０２を回転させ、Ｘ方向ガイド軸１０２に係合したヘッドユニット１０１をＸ方向に移動させる。以降、ヘッドユニット１０１をＸ方向に移動させることにより、搭載された液滴吐出ヘッド２０とワークＷとをＸ方向に相対移動させることを副走査と呼ぶ。
【００３５】
同様にＹ方向駆動モータ１０６，１１０は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータなどであり、制御装置１０８から駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸１０５に係合して回転し、Ｙ方向駆動モータ１０６，１１０を備えたステージ１０４およびクリーニング機構１０９をＹ方向に移動させる。以降、ステージ１０４をＹ方向に移動させることにより、液滴吐出ヘッド２０とワークＷとをＹ方向に相対移動させることを主走査と呼ぶ。
【００３６】
クリーニング機構１０９は、液滴吐出ヘッド２０をクリーニングする際には、ヘッドユニット１０１を臨む位置に移動し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面に密着して不要な液状体を吸引するキャッピング、液状体などが付着したノズル面を拭き取るワイピング、液滴吐出ヘッド２０の全ノズルから液状体の吐出を行う予備吐出あるいは不要となった液状体を受けて排出させる処理を行う。クリーニング機構１０９の詳細は省略する。
【００３７】
ヒータ１１１は、これに限定されるものではないが例えばランプアニールによりワークＷを熱処理する手段であり、ワークＷ上に吐出された液状体を加熱して、溶媒を蒸発させ膜に変換するための熱処理を行う。このヒータ１１１の電源の投入および遮断も制御装置１０８によって制御される。
【００３８】
液滴吐出装置１００の塗布動作は、制御装置１０８から所定の駆動パルス信号をＸ方向駆動モータ１０３およびＹ方向駆動モータ１０６に送り、ヘッドユニット１０１に搭載された液滴吐出ヘッド２０をＸ方向（副走査方向）に副走査する。また、ステージ１０４をＹ方向（主走査方向）に主走査する。そして、この主走査の間に制御装置１０８から吐出用の制御信号を供給し、各液滴吐出ヘッド２０からワークＷの所定の膜形成領域に液状体を液滴として吐出し塗布を行う。液滴の吐出は、主走査における液滴吐出ヘッド２０とワークＷの相対移動の往動と復動のいずれにおいても可能である。
【００３９】
図２は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略斜視図、同図（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの複数のノズルの配置を示す概略平面図である。
【００４０】
図２（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２を有するノズルプレート２１と、各ノズル２２に対応してこれを区画する区画部２４を含む液状体の流路が形成されたリザーバプレート２３と、駆動手段としての圧電素子（ピエゾ）２９を有する振動板２８とからなる３層構造の所謂ピエゾ方式インクジェットヘッドである。ノズルプレート２１とリザーバプレート２３の区画部２４および振動板２８によって複数の圧力発生室２５が構成されている。各ノズル２２は、各圧力発生室２５にそれぞれ連通している。また、圧電素子２９は、各圧力発生室２５に対応するように振動板２８に複数配設されている。
【００４１】
リザーバプレート２３には、振動板２８に形成された供給孔２８ａを通じてタンク（図示省略）から供給される液状体が、一時的に貯留される共通流路２７が設けられている。また共通流路２７に充填された液状体は、供給口２６を通じて各圧力発生室２５に供給される。
【００４２】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有しており、それぞれ複数（１８０個）のノズル２２がピッチＰ1で配列している。そして、２つのノズル列２２ａ，２２ｂは互いにピッチＰ1に対して半分のノズルピッチＰ2ずれた状態でノズルプレート２１に配設されている。ノズル２２の直径は、およそ２８μｍである。ピッチＰ1は、およそ１４０μｍである。よって、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見ると３６０個のノズル２２がおよそ７０μｍのノズルピッチＰ2で配列した状態となっている。したがって、２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有する液滴吐出ヘッド２０の有効ノズルの全長（描画幅）は、ノズルピッチＰ2×３５９（およそ２５ｍｍ）である。また、ノズル列２２ａ，２２ｂの間隔は、およそ２．５４ｍｍである。
【００４３】
液滴吐出ヘッド２０は、電気信号としての駆動電圧パルスが圧電素子２９に印加されると圧電素子２９自体が歪んで振動板２８を変形させる。これにより、圧力発生室２５の体積変動が起こり、これによるポンプ作用で圧力発生室２５に充填された液状体が加圧され、ノズル２２から液状体を液滴Ｄとして吐出することができる。
【００４４】
なお、本実施形態の液滴吐出ヘッド２０は、所謂２連のノズル列２２ａ，２２ｂを有しているが、これに限定されず１連のものでもよい。さらには、ノズル２２から液状体を液滴Ｄとして吐出させる駆動手段は、圧電素子２９に限定されず、電気熱変換素子としてのヒータや電気機械変換素子としての静電アクチュエータなどでもよい。
【００４５】
図３は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図３に示すように、制御装置１０８は、液状体の吐出データを外部情報処理装置から受け取る入力バッファメモリ１２０と、入力バッファメモリ１２０に一時的に記憶された吐出データを記憶手段（ＲＡＭ）１２１に展開して、関連する各部に制御信号を送る処理部（ＣＰＵ）１２２とを備えている。また処理部１２２からの制御信号を受けてＸ方向駆動モータ１０３とＹ方向駆動モータ１０６とに位置制御信号を送る走査駆動部１２３と、同じく処理部１２２からの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に駆動電圧パルスを送るヘッド駆動部１２４とを備えている。
【００４６】
入力バッファメモリ１２０に受け取られる吐出データは、ワークＷ上の膜形成領域の相対位置を表すデータと、膜形成領域に液状体の液滴をドットとしてどのように配置するかを示すデータと、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂのうち、どのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータと、を含んでいる。
【００４７】
処理部１２２は、ＲＡＭ１２１に格納された吐出データの中から膜形成領域に関する位置の制御信号を走査駆動部１２３に送る。走査駆動部１２３は、この制御信号を受けてＸ方向駆動モータ１０３に位置制御信号を送って液滴吐出ヘッド２０を副走査方向（Ｘ方向）に移動させる。またＹ方向駆動モータ１０６に位置制御信号を送ってワークＷが保持されたステージ１０４を主走査方向（Ｙ方向）に移動させる。これによってワークＷの所望の位置に液滴吐出ヘッド２０から液状体の液滴Ｄが吐出されるように液滴吐出ヘッド２０とワークＷとを相対移動させる。
【００４８】
図４は、液滴の吐出に係る制御信号を示すタイミングチャートである。処理部１２２は、ＲＡＭ１２１に格納された吐出データの中から膜形成領域に液状体の液滴Ｄをドットとしてどのように配置するかを示すデータを、ノズル２２ごとの４ビットの吐出ビットマップデータに変換してヘッド駆動部１２４に送る。また、液滴吐出ヘッド２０の圧電素子２９に印加する駆動電圧パルス（ＣＯＭ）をいつ発信するかの「タイミング検出信号」であるＬＡＴ（ラッチ）信号をヘッド駆動部１２４に送る。駆動電圧パルス（ＣＯＭ）は、ノズル列２２ａ，２２ｂのうち、どのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータに基づいて生成された制御信号としてのＳＩ（ノズルデータ）信号によりラッチされ、ヘッド駆動部１２４が液滴吐出ヘッド２０に適正な駆動電圧パルス（ＣＯＭ）を送って、ノズル２２から液状体の液滴Ｄを吐出させる。この場合、駆動電圧パルス（ＣＯＭ）の周波数ｆ１は、圧電素子２９の固有振動特性を考慮して、２０ｋＨｚに設定されている。
【００４９】
図２に示したように、各ノズル列２２ａ，２２ｂは、それぞれに独立した共通流路２７に連通している。したがって、液滴吐出ヘッド２０は、各ノズル列２２ａ，２２ｂを構成する１８０個のノズル２２の圧電素子２９に同一の大きさおよび形状の駆動電圧パルスを印加しても、ノズル列間、あるいはノズル間において、吐出される液滴Ｄの吐出量（体積または重量）や吐出スピードが変動するという吐出特性を有している。
【００５０】
図５は、ノズル列の吐出特性を示すグラフである。詳しくは、ノズル２２ごとに吐出された液滴Ｄの吐出量Ｉｗ（ｎｇ）をプロットして、近似したグラフである。図４に示した駆動電圧パルスは、ノズル２２から吐出される液滴Ｄの吐出量が、ねらいの吐出量となるように、予め駆動電圧Ｖｈや波形形状が設定されている。したがって、図５に示すように、ノズル列２２ａの１８０個のノズル２２の大半がねらいの吐出量に対して所定の範囲に収まっている。一方、前述したようにノズル２２に至る液状体の流路や圧電素子２９ごとの特性など、機械的、電気的な条件の違いによって、ノズル列２２ａの両端側に位置するノズル２２の吐出量が他のノズル２２に比べて多くなる傾向を有している。このようなノズル列２２ａの吐出量のグラフをＩｗアーチと呼ぶ。この場合、上記所定の範囲は、±１％であり、ノズル列２２ａの両端側では、１〜３％まで吐出量が変化している。なお、他方のノズル列２２ｂも同様である。また、ヘッド駆動部１２４における駆動電圧Ｖｈや波形形状の設定は、ノズル列２２ａ，２２ｂごとに行うことが可能な構成となっている。
【００５１】
本実施形態の液状体の吐出方法は、上記Ｉｗアーチを考慮して、実際の液状体の吐出に際して、膜形成領域に必要量の液状体を液滴Ｄとして精度よく吐出することを実現するものである。
【００５２】
＜カラーフィルタとその製造方法＞
まず、本実施形態に係るカラーフィルタとその製造方法について、図６〜図８を参照して説明する。図６はカラーフィルタを示す概略平面図、図７はカラーフィルタの製造方法を示すフローチャート、図８（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。
【００５３】
図６に示すように、本実施形態に係るカラーフィルタ１０は、透明な基材であるガラス基板１の表面に複数の膜形成領域２をマトリクス状に区画する隔壁部４を有している。各膜形成領域２には、３色（Ｒ；赤，Ｇ；緑，Ｂ；青）の着色層３が形成されている。各着色層３Ｒ，３Ｇ，３Ｂは、同色の着色層３同士が直線的に配置されている。すなわち、カラーフィルタ１０は、ストライプ方式の着色層３を備えている。
【００５４】
図７に示すように、本実施形態のカラーフィルタ１０の製造方法は、ガラス基板１に隔壁部４を形成する工程（ステップＳ１）と、隔壁部４が形成されたガラス基板１の表面を処理する工程（ステップＳ２）とを備えている。そして、表面処理されたガラス基板１に機能性材料としての着色材料を含む３色の液状体を吐出する工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥して固化し着色層３を形成する工程（ステップＳ４）とを備えている。さらに、形成された隔壁部４と着色層３とを覆うように平坦化層を形成する工程（ステップＳ５）と、平坦化層上に透明電極を形成する工程（ステップＳ６）とを備えている。
【００５５】
図７のステップＳ１は、隔壁部形成工程である。ステップＳ１では、図８（ａ）に示すように、まず、ガラス基板１の表面に、膜形成領域２を区画するように第１隔壁部４ａを形成する。形成方法としては、真空蒸着法やスパッタ法により、ＣｒやＡｌなどの金属膜または金属化合物の膜をガラス基板１の表面に遮光性を有するように成膜する。そしてフォトリソグラフィ法により、感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布して膜形成領域２が開口するように露光・現像・エッチングする。続いてフォトリソグラフィ法により、感光性の隔壁部形成材料をおよそ２μｍの厚みで塗布して露光・現像し、第２隔壁部４ｂを第１隔壁部４ａ上に形成する。隔壁部４は、第１隔壁部４ａと第２隔壁部４ｂとからなる所謂二層バンク構造となっている。なお、隔壁部４は、これに限らず、遮光性を有する感光性の隔壁部形成材料を用いて形成した第２隔壁部４ｂのみの一層構造としてもよい。そして、ステップＳ２へ進む。
【００５６】
図７のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域２に着弾して濡れ拡がるように、ガラス基板１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部４ｂに着弾したとしても膜形成領域２内に収まるように、第２隔壁部４ｂの少なくとも頭頂部を撥液処理する。
【００５７】
表面処理方法としては、隔壁部４が形成されたガラス基板１に対して、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域２が親液処理され、その後感光性樹脂からなる第２隔壁部４ｂの表面（壁面を含む）が撥液処理される。なお、第２隔壁部４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。そして、ステップＳ３へ進む。
【００５８】
図７のステップＳ３は、液状体の吐出工程である。ステップＳ３では、図８（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１００のステージ１０４に表面処理されたガラス基板１を載置する。そして、ステージ１０４に載置されたガラス基板１と液滴吐出ヘッド２０との主走査に同期して、着色材料を含む液状体が充填された液滴吐出ヘッド２０の複数のノズル２２から液滴Ｄを膜形成領域２に吐出する。膜形成領域２に吐出される液状体の総量は、後の乾燥工程（ステップＳ４）で所定の膜厚が得られるように、予め液滴Ｄの吐出数や配置などが設定された吐出データに基づいて、制御装置１０８の処理部１２２から適正な制御信号がヘッド駆動部１２４に送られて制御される。詳しい液状体の吐出方法は後述する。そして、ステップＳ４へ進む。
【００５９】
図７のステップＳ４は、乾燥工程である。ステップＳ４では、図８（ｃ）に示すように、液滴吐出装置１００に備えられたヒータ１１１によってガラス基板１が加熱され、吐出された液状体から溶媒成分が蒸発して固化し、着色材料からなる着色層３が形成される。そして、ステップＳ５へ進む。
【００６０】
図７のステップＳ５は、平坦化層形成工程である。ステップＳ５では、図８（ｅ）に示すように、着色層３と第２隔壁部４ｂとを覆うように平坦化層６を形成する。形成方法としては、スピンコート法、ロールコート法などによりアクリル系樹脂をコーティングして乾燥させる方法が挙げられる。また、感光性アクリル樹脂をコーティングしてから紫外光を照射して硬化させる方法も採用することができる。膜厚は、およそ１００ｎｍである。なお、着色層３が形成されたガラス基板１の表面が比較的に平坦ならば、平坦化層形成工程を省いてもよい。そして、ステップＳ６へ進む。
【００６１】
図７のステップＳ６は、透明電極形成工程である。ステップＳ６では、図８（ｆ）に示すように、平坦化層６の上にＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などからなる透明電極７を成膜する。成膜方法としては、ＩＴＯなどの導電材料をターゲットとして真空中で蒸着あるいはスパッタする方法が挙げられる。膜厚は、およそ１０ｎｍである。形成された透明電極７は、カラーフィルタ１０が用いられる電気光学装置によって適宜必要な形状（パターン）に加工される。なお、平坦化層６は、透明電極７の表面を平坦化する目的で形成するので、電気光学装置の構成によって、透明電極７を設けない場合には、当然ながら不要となる。
【００６２】
本実施形態では、まずＲ（赤）の着色材料を含む液状体を膜形成領域２に吐出して乾燥させることにより着色層３Ｒを形成し、続いてＧ（緑）、Ｂ（青）の順に異なる着色材料を含む液状体を順次吐出して乾燥することにより、図８（ｄ）に示すように３色の着色層３Ｒ，３Ｇ，３Ｂを形成した。なお、これに限定されず、例えば、ステップＳ３の液状体の吐出工程で異なる着色材料を含む３色の液状体をそれぞれ異なる液滴吐出ヘッド２０に充填し、各液滴吐出ヘッド２０をヘッドユニット１０１に装備して、各液滴吐出ヘッド２０から所望の膜形成領域２に液状体を吐出する。そして、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置にガラス基板１をセットして減圧乾燥する方法を用いてもよい。
【００６３】
＜液状体の吐出方法＞
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について図９〜図１５を参照して、詳しく説明する。図９は、液状体の吐出方法を示すフローチャートである。
【００６４】
図９に示すように、本実施形態の液状体の吐出方法は、ノズル２２ごとの液滴Ｄの吐出量を求める重量測定工程（ステップＳ１１）と、得られた吐出量の情報を基に、ねらいの吐出量を設定する吐出量設定工程（ステップＳ１２）と、同じく得られた吐出量の情報を基に、ノズル列２２ａ，２２ｂを吐出量が異なる複数のノズルグループに区分するノズルグループ化工程（ステップＳ１３）とを備えている。また、膜形成領域２に液滴Ｄをドットとして配置するビットマップデータを生成する配置情報生成工程（ステップＳ１４）と、膜形成領域２ごとに付与される液状体の量は所定の範囲内か否か判断する工程（ステップＳ１５）と、生成された配置情報に基づいて膜形成領域２に液状体を吐出する液状体吐出工程（ステップＳ１６）とを備えている。
【００６５】
図９のステップＳ１１は、重量測定工程である。ステップＳ１１では、ノズル２２ごとに吐出される液滴Ｄの吐出量を求める。具体的には、数千から数万発の液滴Ｄをノズル２２ごとに吐出して、吐出された液状体の重量を電子天秤などの計測機器を用いて計測する。得られた液状体の重量を吐出発数で除することにより、１発当たりの液滴Ｄの吐出量を算出して求める。このような重量測定は、ノズル列２２ａ，２２ｂごと、液滴吐出ヘッド２０ごと、そして、カラーフィルタ１０のように少なくとも３色の液状体を用いる場合には、異なる色の液状体ごとに行われる。これにより、異なる色の液状体が充填される液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂごとに、吐出量のグラフを入手する。そして、ステップＳ１２へ進む。
【００６６】
図９のステップＳ１２は、吐出量設定工程である。ステップＳ１２では、ステップＳ１１で得られた吐出量の情報（グラフ）を基に、ねらいの吐出量を設定する。具体的には、カラーフィルタ１０（図６参照）のように少なくとも３色の着色層３を有する場合、所望の光学特性を得るためには、異なる色の着色層３ごとに膜厚が設定される。３色の着色層３がほぼ同じ膜厚となることもあるが、そのうち少なくとも１色の膜厚が異なることもある。膜形成領域２に付与される液状体の総量によって、乾燥後の膜厚が変わるので、異なる色の液状体が付与される膜形成領域２ごとに、液状体の総量が設定される。したがって、ノズル２２から吐出される１発の液滴Ｄの吐出量から、膜形成領域２に液滴Ｄをおよそ何発吐出すればよいかが分る。言い換えれば、主走査における膜形成領域２ごとの液滴Ｄの総吐出数を一定としたときには、１発（１吐出）あたりのねらいの吐出量が判明する。なお、当然ながら膜形成領域２の面積に応じて、液状体の総量と、ねらいの吐出量および吐出数が設定される。
【００６７】
本実施形態では、３色の着色層３の膜厚をほぼ一定とし、膜形成領域２に付与される液状体の総量をほぼ一定にすることを前提に、以降の説明を展開する。それゆえ、ステップＳ１２では、ねらいの吐出量となるように、図４に示した駆動電圧パルスの駆動電圧Ｖｈや波形形状を設定した。これにより、図５に示したＩｗアーチが得られる。なお、吐出量設定工程は、既知のＩｗアーチの情報から想定して予め実施し、その後に、重量測定工程を実施してもよい。これにより、駆動電圧Ｖｈや波形形状の設定が適正か否かを判断できる。そして、ステップＳ１３へ進む。
【００６８】
図９のステップＳ１３は、ノズルグループ化工程である。ステップＳ１３では、ステップＳ１１で得られた吐出量の情報（グラフ）を基に、各ノズル列２２ａ，２２ｂの１８０個のノズル２２を吐出量が異なる複数（ｎ個）のノズルグループに区分する。具体的には、図５に示したＩｗアーチの情報から、図１０に示すような３つのノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に区分した。すなわち、ノズルグループＮ１は、ねらいの吐出量（設定値）に対する変動幅が±１．０％以内のノズル２２であり、１２０個のノズル２２がこれに含まれる。ノズルグループＮ２は、上記変動幅が１．０〜２．０％以内のノズル２２であり、４０個のノズル２２がこれに含まれる。ノズルグループＮ３は、上記変動幅が２．０〜３．０％以内のノズル２２であり、２０個のノズル２２が含まれる。Ｉｗアーチから分かるとおり、各ノズル列２２ａ，２２ｂにおいて、両端の１０個ずつ、合計２０個のノズル２２がノズルグループＮ３に含まれている。両端から１１〜３０番目の合計４０個のノズル２２がノズルグループＮ２に含まれている。図１０の表においてはノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３ごとにノズル数を便宜上示しているが、実際には、それぞれのノズル番号が対応づけられている。これにより、各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３おける吐出量の代表値を得ることができる。例えば、ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３ごとの変動幅の中心値、または実際の吐出量の平均値、あるいは中央値を代表値として扱うことができる。本実施形態の説明上では、変動幅の中心値を用いる。ねらいの吐出量を１とすれば、ノズルグループＮ１の代表値は「１」、ノズルグループＮ２の代表値は「１．０１５」、ノズルグループＮ３の代表値は「１．０２５」となる。そして、ステップＳ１４へ進む。
【００６９】
図９のステップＳ１４は、配置情報生成工程である。ステップＳ１４では、膜形成領域２ごとの液滴Ｄの配置をビットマップデータとして生成する。具体的には、複数回の主走査に分けて液滴Ｄを膜形成領域２に配置し、各主走査において、膜形成領域２に掛かるノズル２２の組み合わせを変えるような副走査を組み合わせることを基本とする。これにより、後述する液状体吐出工程（ステップＳ１６）において、複数（３つ）のノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に含まれるノズル２２のうち少なくとも１つを選択して、液滴Ｄを吐出し、各ノズル列２２ａ，２２ｂにおける吐出量のバラツキを分散させて、必要量の液状体を精度よく付与することを実現する。このような液滴Ｄの配置情報は、主走査ごとに生成する。詳しくは、後述する実施例と関連するので、ここでは詳細説明を省略する。そして、ステップＳ１５へ進む。
【００７０】
図９のステップＳ１５は、膜形成領域２ごとに付与される液状体の量は所定の範囲内か否か判断する工程、言い換えれば、配置情報の検証工程である。ステップＳ１５では、ステップＳ１４で生成された配置情報と、各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３の代表値とを用いて、膜形成領域２に付与される液状体の総量を算出する。配置情報には、膜形成領域２にどのノズル２２を用いて何発の液滴Ｄを配置したかの情報が含まれているので、当該ノズル２２が含まれるノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３の代表値を用いれば、上記総量を算出することが可能である。算出結果を必要量と比較すれば、それが所定の範囲内か否か判断できる。所定の範囲内ならば、次のステップＳ１６へ進み、所定の範囲外ならば、再びステップＳ１４に戻って、配置情報を修正する。すなわち、主走査と副走査の構成を見直す。
【００７１】
図９のステップＳ１６は、液状体吐出工程である。ステップＳ１６では、検証された配置情報に基づいて、膜形成領域２に液状体を吐出する。基本的には、カラーフィルタ１０の製造方法において説明したステップＳ３に相当するが、以降、実施例１〜３に基づいて説明する。
【００７２】
図１１（ａ）〜（ｃ）は、基本的な液滴Ｄの配置の一例を示す概略平面図である。本実施形態では、膜形成領域２のストライプ方向がノズル列方向と合致するように、液滴吐出ヘッド２０とワークＷとしてのガラス基板１とを相対配置して、主走査している。膜形成領域２の大きさおよび形状は、設計事項であるが、図１１（ａ）〜（ｂ）では、矩形状の膜形成領域２のＸ方向の長さをおよそ４００μｍとし、Ｙ方向の長さをおよそ１５０μｍとした例を示している。これによれば、前述したように実質的なノズルピッチＰ2（ノズル間隔）がおよそ７０μｍであるため、主走査において５つ乃至６つのノズル２２が膜形成領域２に掛かる。図５に示したＩｗアーチによれば、ノズル列２２ａ，２２ｂの両端側に位置するノズル２２を主に用いて液滴Ｄを吐出すると、当然ながら、付与される液状体の総量が前述した所定の範囲（±１．０％）に収まらない。一方で、液滴Ｄの吐出量の変動がねらいの吐出量に対して±１．０％以内となるノズルグループＮ１だけを用いて、吐出を行うのは描画幅が狭くなり非効率である。そこで、基本的な液滴Ｄの配置としては、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ２，Ｎ３（ノズル列２２ａ，２２ｂの両端側のノズルグループ）が主走査において掛かるワークＷ（ガラス基板１）上の領域では、各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に含まれるノズル２２をほぼ均等に使用して、液滴Ｄを配置するように副走査と主走査とを組み合わせる。
【００７３】
まず、図１１（ａ）に示すように、各ノズル列２２ａ，２２ｂのノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に含まれる合計５つのノズル２２からそれぞれ５滴の液滴Ｄを吐出する。実際には、各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３と膜形成領域２との相対的な位置関係から、各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に含まれるノズル２２が膜形成領域２に掛かるように液滴吐出ヘッド２０をＸ方向に移動させる副走査と、当該ノズル２２から液滴Ｄを５発吐出する主走査とを組み合わせている。続いて、図１１（ｂ）に示すように、同様な副走査と主走査とを組み合わせて、先に吐出された液滴Ｄの間に次の液滴Ｄを、膜形成領域２に掛かる合計６つのノズル２２から、それぞれ５滴ずつ吐出する。さらに、図１１（ｃ）に示すように、隙間を埋めるように、同様な副走査と主走査とを組み合わせて、膜形成領域２に掛かる合計５つのノズル２２からそれぞれ５滴ずつ吐出する。これにより、膜形成領域２に合計８０発（個）の液滴Ｄがほぼ均等に配置（吐出）される。主走査における使用ノズル数は、合計１６個であり、ノズルグループＮ１が５個、ノズルグループＮ２が６個、ノズルグループＮ３が５個となっている。総吐出数は８０発であり、８０発の液滴Ｄを各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に分けると、ノズルグループＮ１が２５発、ノズルグループＮ２が３０発、ノズルグループＮ３が２５発、となっている。副走査と主走査とを繰り返すことにより、ほぼ万遍なく各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３を用いている。このような液滴Ｄの配置に基づいて、付与される液状体の総量を算出すると、ねらいの吐出量を「１」とし、ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３の代表値を用いれば、上記総量は、８１．０７５となる。すなわち、基準となる必要量８０（以下、基準値と呼ぶ）に対して、約１．３％多い値となる。
【００７４】
カラーフィルタ１０の製造において、膜形成領域２ごとに付与される液状体の総量のムラが±１．０％を越えると色ムラとして認識し易くなることが分った。そこで、付与される液状体の総量のムラを±１．０％以内（所定の範囲内）に収められる実施例を以下に説明する。
【００７５】
（実施例１）
図１２（ａ）〜（ｃ）は、実施例１の液滴の配置を示す概略平面図である。まず、図１２（ａ）に示すように、各ノズル列２２ａ，２２ｂの各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に含まれる合計６つのノズル２２からそれぞれ５滴の液滴Ｄを吐出する。続いて、図１２（ｂ）に示すように、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ３に含まれるノズル２２が膜形成領域２に掛からないように副走査して、膜形成領域２に掛かるノズルグループＮ２に含まれる１つのノズル２２と、ノズルグループＮ１に含まれる４つのノズル２２とから、先に吐出された液滴Ｄの間に次の液滴Ｄを、それぞれ５滴ずつ吐出する。さらに、図１２（ｃ）に示すように、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ２に含まれるノズル２２が膜形成領域２に掛からないように副走査して、隙間を埋めるように、ノズルグループＮ１に含まれる５つのノズル２２からそれぞれ５滴ずつ吐出する。
【００７６】
同様にして膜形成領域２に付与される液状体の総量を算出すると、ノズルグループＮ１が５５発、ノズルグループＮ２が１５発、ノズルグループＮ３が１０発、となっているので、８０．４７５となる。基準値に対して、約０．６％増となり、＋１．０％以内となった。主走査における使用ノズル数は１６個であり、すべてのノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３の合計の使用率を１００％とすると、ノズルグループＮ１の使用率が１２個／１６個すなわち７５％、ノズルグループＮ２の使用率が３個／１６個すなわち１８．７５％、ノズルグループＮ３の使用率が２個／１６個すなわち１２．５％となる。
【００７７】
また、基本的な液滴Ｄの配置の考え方を基に、膜形成領域２に付与される液状体の総量の所定の範囲（バラツキの範囲）を±１．０％以内に収めようとすると、吐出量が異なる各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３の代表値からその使用率の配分を推し量ることもできる。例えば、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ２，Ｎ３のうち、ノズルグループＮ２では、１％（所定の範囲ｃ％）／１．５％（代表値ｘ％）／ｎ（ノズルグループの数）の割合は、２２．２％となる。同様に、ノズルグループＮ３では、１％（所定の範囲ｃ％）／２．５％（代表値ｘ％）／ｎ（ノズルグループの数）の割合は、１３．３％となる。実施例１の液状体の吐出方法では、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ２，Ｎ３の使用率は、いずれもこの割合を下回っている。
【００７８】
このように実施例１の液状体の吐出方法は、主走査において膜形成領域２に掛かる複数のノズル２２のうち、液滴Ｄの吐出量がねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ２，Ｎ３の使用率を、ねらいの吐出量に近い他のノズルグループＮ１に比べて低下させる副走査を組み合わせた。
【００７９】
さらには、当該ノズルグループＮ２，Ｎ３の使用率を低下させた分を、他のノズルグループＮ１の使用率を上昇させることにより、補完した。これにより、膜形成領域２に付与される液状体の総量を基準値に対して、所定の範囲（±１．０％）内とすることができた。
【００８０】
（実施例２）
図１３は、実施例２の液滴の配置を示す概略平面図である。実施例２の液状体の吐出方法は、図１１（ａ）〜（ｃ）に示した基本的な液滴Ｄの配置に対して、図１１（ｃ）における液滴Ｄの吐出の仕方を変えたものである。図１３に示すように、ねらいの吐出量から乖離したノズル列２２ａのノズルグループＮ３のノズル２２が膜形成領域２に掛からないように副走査して、ノズル列２２ｂのノズルグループＮ３のノズル２２から４滴の液滴を吐出し、他のノズルグループＮ１，Ｎ２に含まれる４つのノズル２２からそれぞれ５滴の液滴Ｄを吐出する。各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３の使用率は、図１１（ａ）〜（ｃ）に示した内容と変わらない。総吐出数は、８０発から７９発に減少させている。
【００８１】
同様にして付与される液状体の総量を算出すると、ノズルグループＮ１が２５発、ノズルグループＮ２が３０発、ノズルグループＮ３が２４発、となっているので、８０．０５となる。基準値に対して、約０．１％増となり、＋１．０％以内となった。すなわち、実施例２の液状体の吐出方法は、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ３から吐出される液滴Ｄの吐出数を、ねらいの吐出量に近い他のノズルグループＮ１，Ｎ２に比べて低下させる主走査を組み合わせた。これにより、基本的な液滴Ｄの配置に対して、上記総量が調整され、より精度が向上した。このようにねらいの吐出量から乖離したノズル２２の吐出数を調整する方法は、総吐出数が多い場合には、該当ノズル２２の吐出数を減らすことにより調整可能である。しかし、総吐出数が少ない場合は、１発減らすだけで、膜形成領域２に付与される液状体の総量が、所定の範囲を外れてしまうという課題を有している。次に説明する実施例３は、このような課題を解決できる。
【００８２】
（実施例３）
図１４（ａ）〜（ｃ）および図１５（ｄ）〜（ｅ）は、実施例３の液滴の配置を示す概略平面図である。詳しくは、実施例１と実施例２の吐出方法を組み合わせたものである。まず、図１４（ａ）に示すように、各ノズル列２２ａ，２２ｂの各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に含まれる合計６つのノズル２２から液滴Ｄを吐出する。ただし、ノズルグループＮ３に含まれるノズル２２から吐出される液滴Ｄの吐出数が、他のノズルグループＮ１，Ｎ２の吐出数に対して低下している。具体的には、ノズル列２２ｂのノズルグループＮ３に含まれるノズル２２から３滴の液滴Ｄを吐出する。他のノズル２２からはそれぞれ５滴の液滴Ｄを吐出する。続いて、図１４（ｂ）に示すように、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ３に含まれるノズル２２が膜形成領域２に掛からないように副走査して、膜形成領域２に掛かるノズル列２２ｂのノズルグループＮ２に含まれる１つのノズル２２と、ノズルグループＮ１に含まれる３つのノズル２２とから、先に吐出された液滴Ｄの間に次の液滴Ｄを、それぞれ５滴ずつ吐出する。ノズル列２２ａのノズルグループＮ２に含まれるノズル２２からは、液滴Ｄを吐出しない。すなわち、当該ノズル２２を不吐出とした。さらに、図１４（ｃ）に示すように、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ２に含まれるノズル２２が膜形成領域２に掛からないように副走査して、隙間を埋めるように、ノズルグループＮ１に含まれる５つのノズル２２からそれぞれ５滴ずつ吐出する。そして、図１５（ｄ）および（ｅ）に示すように、残った隙間にノズルグループＮ１のノズル２２が掛かるように副走査して、合計の吐出数が８０発となるように、不足分の液滴Ｄを吐出する。
【００８３】
同様にして付与される液状体の総量を算出すると、ノズルグループＮ１が５７発、ノズルグループＮ２が１５発、ノズルグループＮ３が８発、となっているので、８０．４２５となる。基準値に対して、約０．５％増となり、＋１．０％以内となった。また、使用ノズル数は１７個であり、ノズルグループＮ１の使用率が１２個／１７個すなわち７０．６％、ノズルグループＮ２の使用率が３個／１７個すなわち１７．６％、ノズルグループＮ３の使用率が２個／１７個すなわち１１．８％となっている。さらに、使用率を吐出数に置き換えて見ると、ノズルグループＮ１の吐出数が５７／８０すなわち７１．２５％、ノズルグループＮ２の吐出数が１５／８０すなわち１８．７５％、ノズルグループＮ３の吐出数が８／８０すなわち１０％となっている。
【００８４】
このような実施例３の液状体の吐出方法は、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ２，Ｎ３の使用率を、ねらいの吐出量に近い他のノズルグループＮ１に比べて低下させる副走査と、ねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ２，Ｎ３から吐出される液滴Ｄの吐出数を、ねらいの吐出量に近い他のノズルグループＮ１に比べて低下させる主走査とを組み合わせた。これにより、膜形成領域２に付与される液状体の総量が所定の範囲（±１．０％）内に入り、基本的な液滴Ｄの配置に対して、精度が向上した。
【００８５】
主走査によって膜形成領域２に掛かるノズル２２の数は、膜形成領域２のサイズおよび配置ピッチなどによって変化する。したがって、カラーフィルタ１０の製造方法においては、実施例３の液状体の吐出方法のように、各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３の使用率を制御する副走査と、各ノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３の吐出数を制御する主走査とを組み合わせることが、実施例１または実施例２の液状体の吐出方法に比べて、膜形成領域２に付与される液状体の総量を制御する自由度が高い。
【００８６】
上記実施例１〜実施例３の液状体の吐出方法によれば、膜形成領域２に付与される液状体の総量を基準値に対して所定の範囲に収めることができる。また、ノズル列２２ａ，２２ｂの両端側に位置するねらいの吐出量から乖離したノズルグループＮ２，Ｎ３の使用率または吐出数、あるいはその双方がノズルグループＮ１に比べて低下するので、液滴吐出ヘッド２０をＸ方向に改行動作して主走査したときに発生する所謂改行ムラを低減することができる。
このような液状体の吐出方法を用いて、カラーフィルタ１０を製造すれば、所望の光学特性を有する着色層３を備えたカラーフィルタ１０を製造することができる。
また、複数のノズル２２（各ノズル列２２ａ，２２ｂ）を液滴Ｄの吐出量が異なる複数（３つ）のノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に区分するので、ノズル２２ごとの吐出量を考慮する場合に比べて、主走査ごとの配置情報を効率的に生成することができる。
【００８７】
上記実施例１〜実施例３の液状体の吐出方法では、各ノズル列２２ａ，２２ｂを液滴Ｄの吐出量が異なる３つのノズルグループＮ１，Ｎ２，Ｎ３に区分したが、これに限定されない。実施例１〜実施例３と同様に、ノズル２２ごとの吐出量の情報に基づいて、ねらいの吐出量から乖離するノズル２２の使用率または吐出数、あるいは使用率と吐出数の双方をねらいの吐出量に近い他のノズル２２に比べて低下させるように制御してもよい。
【００８８】
＜液晶表示装置＞
上記実施例１〜実施例３の液状体の吐出方法を適用して製造されたカラーフィルタを用いた液晶表示装置について説明する。図１６は、液晶表示装置の構成を示す概略分解斜視図である。
【００８９】
図１６に示すように、液晶表示装置２００は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）透過型の液晶表示パネル２２０と、液晶表示パネル２２０を照明する照明装置２１６とを備えている。液晶表示パネル２２０は、カラーフィルタ２０５を有する対向基板２０１と、画素電極２１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子２１１を有する素子基板２０８と、一対の基板２０１，２０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル２２０の外面側となる一対の基板２０１，２０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板２１４と下偏光板２１５とが配設される。
【００９０】
対向基板２０１は、透明なガラスなどの材料からなり、液晶を挟む表面側に隔壁部２０４によってマトリクス状に区画された複数の膜形成領域Ａに、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）、３色のフィルタエレメントとしての着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂが形成されている。隔壁部２０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク２０２と、下層バンク２０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク２０３とにより構成されている。また、隔壁部２０４と着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂとを覆う平坦化層２０６と、平坦化層２０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極２０７とを備えている。対向基板２０１のカラーフィルタ２０５は、上記実施形態の液状体の吐出方法（実施例１〜実施例３のいずれか１つの実施例）を適用したカラーフィルタ１０の製造方法を用いて製造されている。
【００９１】
素子基板２０８は、同じく透明なガラスなどの材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜２０９を介してマトリクス状に形成された画素電極２１０と、画素電極２１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子２１１とを有している。ＴＦＴ素子２１１の３端子のうち、画素電極２１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極２１０を囲むように格子状に配設された走査線２１２とデータ線２１３とに接続されている。
【００９２】
照明装置２１６は、例えば光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管などを用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル２２０に向かって射出することができる導光板や拡散板、反射板などの構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【００９３】
本実施形態の液晶表示装置２００は、上記実施形態のカラーフィルタ１０の製造方法を用いて製造されたカラーフィルタ２０５を有する対向基板２０１を備えているので、色ムラなどの表示不具合の少ない高い表示品質を有する。
【００９４】
なお、液晶表示パネル２２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子２１１に限らずＴＦＤ（Thin  Film  Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタ２０５を備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上下偏光板２１４，２１５は、視角依存性を改善する目的などで用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。
【００９５】
＜有機ＥＬ表示装置および有機ＥＬ素子の製造方法＞
上記実施例１〜実施例３の液状体の吐出方法を適用して製造された他のデバイスの例として、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子を用いた有機ＥＬ表示装置について説明する。図１７は、有機ＥＬ表示装置の構成を示す概略断面図である。
【００９６】
図１７に示すように、有機ＥＬ表示装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。素子基板６０１は、基板上に回路素子部６０２を備えている。発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれ膜形成領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に射出するものである。
【００９７】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略してもよい。
【００９８】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、各発光層形成領域Ａを区画する隔壁部６１８と、各発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また、複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。隔壁部６１８は、下層バンク６１８ａと発光層形成領域Ａを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、発光層形成領域Ａの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ2などの無機絶縁材料により形成されている。
【００９９】
素子基板６０１は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗなどからなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などからなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１７ではこれらの図示を省略している。
【０１００】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、上層バンク６１８ｂと発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を射出させることができる。
【０１０１】
有機ＥＬ表示装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ表示装置６００において、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法は、上記実施形態の液状体の吐出方法（実施例１〜実施例３のいずれか１つの実施例）を用いて発光層Ｌｕを形成している。したがって、有機ＥＬ表示装置６００は、液状体の吐出ムラに起因する発光ムラ、輝度ムラなどの表示不具合が低減され、高い表示品質を有している。
【０１０２】
上記実施形態の他にも、様々な変形を加えることができる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１０３】
（変形例１）上記実施形態の液状体の吐出方法において、液滴吐出ヘッド２０の各ノズル列２２ａ，２２ｂの吐出特性は、図５に示したＩｗアーチに限定されない。図１８は、他のノズル列の吐出特性を示すグラフである。例えば、図１８に示すように、ＩｗアーチがＷ字形状をしている場合や、Ｉｗアーチを１次近似したときに傾きを有している場合は、各ノズル列２２ａ，２２ｂにおいてねらいの吐出量（所定の範囲を有する）から外れるノズル２２が大半を占めることがある。このような場合には、重量測定によって求められたノズル２２ごとの吐出量から、その平均値Ａｖを求める。そして、ねらいの吐出量を平均値Ａｖに置き換え、各ノズル列２２ａ，２２ｂについて、平均値Ａｖに対して所定の範囲（±ｃ％）内にあるノズル２２を含むノズルグループと、当該所定の範囲（±ｃ％）から外れる、すなわち、平均値から乖離するノズル２２を含む異なる吐出量の複数のノズルグループとに区分する。このようなノズルグループに基づいて、実施例１〜実施例３の液状体の吐出方法を適用すれば、膜形成領域２に付与される液状体の総量を基準値に対して所定の範囲（±ｃ％）に近づけることができる。
【０１０４】
また、主走査において使用されるすべてのノズルグループの使用率の合計を１００％としたときに、平均値から吐出量がｘ％乖離した当該ノズルグループの使用率が、ｃ／ｘ／ｎ（ノズルグループの数）以下の割合となるように副走査を行う。これにより、主走査におけるノズルグループごとの使用率を制御して、膜形成領域２に付与される液状体の総量を基準値に対して±ｃ％の所定の範囲に収めることができる。
あるいは、主走査において使用されるすべてのノズルグループの吐出数の合計を１００％としたときに、平均値Ａｖから吐出量がｘ％乖離した当該ノズルグループの吐出数が、ｃ／ｘ／ｎ以下の割合となるように主走査を行う。これにより、主走査におけるノズルグループごとの液滴Ｄの吐出数を制御して、膜形成領域２に付与される液状体の総量を基準値に対して±ｃ％の所定の範囲に収めることができる。さらには、当該ノズルグループの使用率が、ｃ／ｘ／ｎ以下の割合となる副走査と、当該ノズルグループの吐出数が、ｃ／ｘ／ｎ以下の割合となる主走査とを組み合わせてもよい。
【０１０５】
（変形例２）上記実施形態の液状体の吐出方法において、圧電素子２９に印加される複数の駆動電圧パルスは、同一の形状、大きさであることに限定されない。例えば、複数の駆動電圧パルスにおいて、駆動電圧Ｖｈを異ならせてもよい。そして、異なる駆動電圧Ｖｈが設定された駆動電圧パルスの選択的印加により、ノズル２２ごとに吐出される液滴Ｄの吐出量を調整してもよい。したがって、図５や図１８に示したＩｗアーチをよりフラットにすることができる。すなわち、より精度よく必要量の液状体を膜形成領域２に付与することができる。
【０１０６】
（変形例３）上記実施形態のカラーフィルタ１０の製造方法において、３色の着色層３Ｒ，３Ｇ，３Ｂの配置は、ストライプ方式に限定されない。斜め方向に同色の着色層３が配列するモザイク方式、三角形の頂点にあたる位置に各色の着色層３が配置されるデルタ方式であっても、上記液状体の吐出方法を適用することができる。また、着色層３は３色に限定されず、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色を加えた多色でもよい。
【０１０７】
（変形例４）上記実施形態の発光素子部６０３の製造方法において、３色の発光層Ｌｕを形成することに限定されない。例えば、白色や赤色など単色の構成としてもよい。これによれば、単色の有機ＥＬ素子を備えた照明装置や感光装置を提供することができる。
【０１０８】
（変形例５）上記実施形態の液状体の吐出方法を適用可能なデバイスの製造方法は、カラーフィルタ１０の製造方法や発光素子部６０３の製造方法に限定されない。例えば、カラーフィルタ１０における平坦化層６の形成方法、基板上の膜形成領域に導電材料を含む液状体を吐出して、所定のパターンを有する配線を形成する金属配線の製造方法、基板上の膜形成領域に配向膜形成材料を含む液状体を吐出して、所定のパターンを有する配向膜を形成する配向膜の製造方法などにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）および（ｂ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図。
【図３】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図４】液滴の吐出に係る制御信号を示すタイミングチャート。
【図５】ノズル列の吐出特性を示すグラフ。
【図６】カラーフィルタを示す概略平面図。
【図７】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図８】（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図９】液状体の吐出方法を示すフローチャート。
【図１０】ノズルグループを示す表。
【図１１】基本的な液滴の配置の一例を示す概略平面図。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は実施例１の液滴の配置を示す概略平面図。
【図１３】実施例２の液滴の配置を示す概略平面図。
【図１４】（ａ）〜（ｃ）は実施例３の液滴の配置を示す概略平面図。
【図１５】（ｄ）〜（ｅ）は実施例３の液滴の配置を示す概略平面図。
【図１６】液晶表示装置の構成を示す概略分解斜視図。
【図１７】有機ＥＬ表示装置の構成を示す概略断面図。
【図１８】他のノズル列の吐出特性を示すグラフ。
【符号の説明】
【０１１０】
１…ワークとしてのガラス基板、２…膜形成領域、３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ…着色層、１０…カラーフィルタ、２２…ノズル、２０５…カラーフィルタ、２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂ…着色層、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…膜形成領域または膜形成領域としての発光層形成領域、Ｌｕ…発光層、Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３…ノズルグループ、Ｗ…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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