(57)【要約】【課題】低ヤング率で高弾性変形能を有する金属製の定量ポンプ用ダイヤフラムを提供する。【解決手段】所定の弾性変形によって流体を搬送可能な定量ポンプ用ダイヤフラムであって、３０〜６０質量％のＶａ族（バナジウム族）元素と、残部が実質的にチタンとからなり、引張試験で真に永久歪みが０．２％に到達したときの応力として定義される引張弾性限強度が７００ＭＰａ以上であり、加える応力が０から該引張弾性限強度までの範囲にある弾性変形域内で、該引張試験により得られた応力−歪み線図上の接線の傾きが応力の増加に伴って減少する特性を示し、該応力−歪み線図上の接線の傾きから求まるヤング率の代表値として、該引張弾性限強度の１／２に相当する応力位置での接線の傾きから求めた平均ヤング率が７５ＧＰａ以下である高弾性変形能を有するチタン合金により形成される。【選択図】図５
2009221901.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の弾性変形によって流体を搬送可能な定量ポンプ用ダイヤフラムであって、
３０〜６０質量％のＶａ族（バナジウム族）元素と、残部が実質的にチタンとからなり、
引張試験で真に永久歪みが０．２％に到達したときの応力として定義される引張弾性限強度が７００ＭＰａ以上であり、加える応力が０から該引張弾性限強度までの範囲にある弾性変形域内で、該引張試験により得られた応力−歪み線図上の接線の傾きが応力の増加に伴って減少する特性を示し、
該応力−歪み線図上の接線の傾きから求まるヤング率の代表値として、該引張弾性限強度の１／２に相当する応力位置での接線の傾きから求めた平均ヤング率が７５ＧＰａ以下である高弾性変形能を有するチタン合金により形成されることを特徴とする定量ポンプ用ダイヤフラム。
【請求項２】
円形状に形成されるとともに、その厚さをｔとし、その直径をＤとしたとき、０．０００３≦ｔ／Ｄ≦０．０２である請求項１に記載の定量ポンプ用ダイヤフラム。
【請求項３】
その外縁部の厚さがその中央部の厚さよりも厚くされている請求項１または２に記載の定量ポンプ用ダイヤフラム。
【請求項４】
その外縁部の厚さが、その中央部の厚さの３倍以上とされている請求項１〜３のいずれか１項に記載の定量ポンプ用ダイヤフラム。
【請求項５】
その外縁部が、前記チタン合金または金属チタンで円環状に構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の定量ポンプ用ダイヤフラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、定量ポンプに用いられるものであって、所定の圧力によって弾性変形することにより、所定の流体を搬送する金属製のダイヤフラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば定量ポンプ（往復動ポンプ）として、ポンプヘッドと、ダイヤフラムと、このダイヤフラムに設けられたピストン部と、ピストン部を駆動する駆動源とを備え、駆動源によって、ピストン部を駆動するとともに、ダイヤフラムを周期的に往復動させることにより、所定の流体（例えば気体や液体）を搬送するものがある（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
このようなポンプにおいて、例えば、搬送される流体が次亜塩素酸アルカリ水溶液等のように酸化性物質を含むような液体である場合、ダイヤフラムには、耐食性を考慮して、合成樹脂製のものが用いられる場合が多い。
【特許文献１】特開２００６−２０７５３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、従来の樹脂製のダイヤフラムの他に、強度、耐久性、加工性が良いという観点から、金属製のダイヤフラムが用いられる場合もある。
【０００５】
しかしながら、ダイヤフラムを金属製とした場合には、樹脂製のダイヤフラムに比して、弾性変形し難くなるため、樹脂製のダイヤフラムと同量の吐出量のポンプを構成するには、この金属製のダイヤフラムが大型化してしまい、これに伴ってポンプも大型化してしまうという問題があった。
【０００６】
したがって、金属製のダイヤフラムを用いたポンプを小型化するには、このダイヤフラムのヤング率を低下させ、弾性変形能を向上させる必要があった。
【０００７】
そこで、本発明は、低ヤング率で高弾性変形能を有する金属製の定量ポンプ用ダイヤフラムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記の課題を解決するために以下の技術的手段を講じた。
【０００９】
すなわち、本発明は、所定の弾性変形によって流体を搬送可能な定量ポンプ用ダイヤフラムであって、３０〜６０質量％のＶａ族（バナジウム族）元素と、残部が実質的にチタンとからなり、引張試験で真に永久歪みが０．２％に到達したときの応力として定義される引張弾性限強度が７００ＭＰａ以上であり、加える応力が０から該引張弾性限強度までの範囲にある弾性変形域内で、該引張試験により得られた応力−歪み線図上の接線の傾きが応力の増加に伴って減少する特性を示し、該応力−歪み線図上の接線の傾きから求まるヤング率の代表値として、該引張弾性限強度の１／２に相当する応力位置での接線の傾きから求めた平均ヤング率が７５ＧＰａ以下である高弾性変形能を有するチタン合金により形成されることを特徴とする。
【００１０】
このような本発明に係る定量ポンプ用ダイヤフラムは、弾性変形域内で応力−歪み線図上の接線の傾きが応力の増加に伴って減少するという従来に全くない新規な特性を示し、引張弾性強度が７００ＭＰａ以上という高弾性強度で、平均ヤング率が７５ＧＰａ以下という低ヤング率である、高弾性変形能のチタン合金により形成されている。これにより、ダイヤフラムは、その大きさを極端に大きくすることなく、所望の弾性変形を実現できるようになる。
【００１１】
また、本発明に係る定量ポンプ用ダイヤフラムは、チタン合金を、チタンと適量のＶａ族元素との組み合わせで構成することにより、従来になく低ヤング率で高弾性変形能かつ高強度を得られたものである。ここで、Ｖａ族元素を３０〜６０質量％としたのは、３０質量％未満では十分な平均ヤング率の低下を図れず、一方、６０質量％を超えると十分な弾性変形能や引張強度が得られず、チタン合金の密度が上昇して、比強度の低下を招くからである。また、６０質量％を越えると、材料偏析が生じ易くなり、材料の均質性が損われて、強度のみならず靱性や延性の低下も招き易くなるからである。
【００１２】
なお、本発明において、「チタン合金」とは、Ｔｉを含有する合金を意味し、Ｔｉの含有量を特定するものではない。また、「引張弾性限強度」とは、試験片への荷重の負荷と除荷とを徐々に繰り返して行う引張試験において、永久伸び（歪み）が０．２％に到達したときの負荷していた応力をいう。この点、前記引張試験において、試験片の最終的な破断直前の荷重を、その試験片の平行部における試験前の断面積で除して求められる引張強度とは異なる。
【００１３】
また、「平均ヤング率」とは、厳密な意味でのヤング率の「平均」を指すものではなく、本発明で使用したチタン合金を代表するヤング率という意味である。具体的には、前記引張試験により得られた応力（荷重）−歪み（伸び）線図において、引張弾性限強度の１／２に相当する応力位置での曲線の傾き（接線の傾き）を、平均ヤング率とした。なお、本明細書中で「低ヤング率」とは、前記平均ヤング率が、従来の一般的なヤング率に対して小さいことを意味し、「高強度」とは、前記引張弾性限強度または前記引張強度が大きいことを意味する。
【００１４】
また、本発明に係る定量ポンプ用ダイヤフラムは、円形状に形成されるとともに、その厚さをｔとし、その直径をＤとしたとき、０．０００３≦ｔ／Ｄ≦０．０２である構成を採用できる。
【００１５】
かかる構成によれば、定量ポンプ用ダイヤフラムは、所望の弾性変形によって、搬送流体を適当に搬送できるようになる。なお、このダイヤフラムは、直径に対して厚さが薄過ぎると（ｔ／Ｄが０．０００３よりも小さくなると）、耐圧性が低下することになり、好ましくない。また、直径に対して厚さが厚過ぎると（ｔ／Ｄが０．０２よりも大きくなると）、ダイヤフラムの弾性変形能が低下して、十分な吐出量を確保できなくなり、好ましくない。
【００１６】
また、本発明に係る定量ポンプ用ダイヤフラムは、その外縁部の厚さがその中央部の厚さよりも厚くされている構成を採用できる。
【００１７】
かかる構成によれば、ダイヤフラムは、定量ポンプ（往復動ポンプ）に取り付けられるときに、例えば、厚さの厚い外縁部を挟持するようにすれば、中央部の弾性変形能を損なうことなく、定量ポンプ（往復動ポンプ）に対して、この厚肉部を確実かつ強固に固定できるようになり、そのシール性も飛躍的に向上するものになる。
【００１８】
また、本発明に係る定量ポンプ用ダイヤフラムは、その外縁部の厚さが、その中央部の厚さの３倍以上とされている構成を採用できる。
【００１９】
かかる構成によれば、ダイヤフラムは、定量ポンプ（往復動ポンプ）に取り付けられるときに、例えば、厚さの厚い外縁部を挟持するようにすれば、中央部の弾性変形能を損なうことなく、定量ポンプ（往復動ポンプ）に対して、この厚肉部を確実かつ強固に固定できるようになり、そのシール性も飛躍的に向上したものになる。
【００２０】
また、本発明に係る定量ポンプ用ダイヤフラムは、その外縁部が、前記チタン合金または金属チタンで円環状に構成されている構成を採用できる。
【００２１】
かかる構成によれば、ダイヤフラムの外縁部が前記チタン合金または金属チタンで構成されることで、その外縁部の物理的特性（例えば熱膨張率等）をその中央部と同じかまたはそれに近くすることができ、これにより、耐久性等が良く、しかもその製造が容易となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、低ヤング率で高弾性変形能を有する金属製のダイヤフラムを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明に係るダイヤフラムを用いた一例をして定量ポンプ（往復動ポンプ）の概略断面図を示している。
【００２４】
図１に示すように、定量ポンプ（往復動ポンプ）は、２つのダイヤフラム１，１を周期的に弾性変形させることにより、所定の往復動をさせて流体を搬送するものである。この定量ポンプ（往復動ポンプ）は、各ダイヤフラム１，１を内部に有する左右２つの流体搬送部１０，１０と、前記ダイヤフラム１，１を駆動させるべく適切なタイミングで作動油を流体搬送部１０，１０に供給する駆動力供給部４０と、回転運動を生ずる電動モータとこの電動モータの回転力を駆動力供給部４０に伝達するためのギヤ等を有する駆動部（図示略）とを備えている。
【００２５】
各流体搬送部１０，１０は、駆動力供給部４０からの作動油をダイヤフラム１，１に供給するための左右の作動油供給部３１，３１と、これら作動油供給部３１，３１の間に設けられたポンプヘッド３２と、作動油供給部３１，３１内の作動油に混入したガスを外部に排出するガス排出機構２０を備える。各流体搬送部１０，１０は、ポンプヘッド３２と左右の作動油供給部３１，３１とを用いて各ダイヤフラム１，１を挟持することにより構成されている。
【００２６】
そして、この作動油供給部３１とポンプヘッド３２とを用いて、ダイヤフラム１を内部に備えたダイヤフラム駆動室２が構成されている。また、各作動油供給部３１，３１内には、ダイヤフラム１，１に連接された弁体３，３およびこれに対応した弁座４，４を備えた作動油制限室５が設けられている。
【００２７】
さらに、ポンプヘッド３２には、搬送流体を流入させるために機能する流入側逆止弁３３および搬送流体を流出させるために機能する流出側逆止弁３４が設けられており、搬送流体は、その流入経路３３ａおよび流入側逆止弁３３を通じてダイヤフラム駆動室２の流体搬送室２ａに流入し、流出側逆止弁３４およびその流出経路３４ａを通じて所定の搬送経路に流出するようになっている。
【００２８】
ダイヤフラム駆動室２においては、駆動部からの駆動力を、駆動力供給部４０を介してダイヤフラム１，１が受け、この駆動力に基づいてダイヤフラム１，１が往復動すべく構成されている。具体的には、駆動力供給部４０と作動油供給部３１，３１とが作動油配管部３５，３５を介して連通され、作動油配管部３５，３５および作動油供給部３１，３１内は作動油で満たされており、後述する駆動力供給部４０のピストン部４３，４４の往復動が、作動油配管部３５，３５および作動油供給部３１，３１内の作動油を介して、ダイヤフラム１，１に伝達されることとなる。
【００２９】
各作動油制限室５，５内の弁体３，３は、弁体支持部６，６にコイルスプリング等の付勢手段７，７を介して取り付けられるとともに、作動油制限室５，５とダイヤフラム駆動室２，２との間を連絡するシャフト８，８に固着されている。
【００３０】
各シャフト８，８の一方端部は、ダイヤフラム１，１の作動油制限室５，５側の面に接するとともに、付勢手段７，７および弁体３，３を介してダイヤフラム１，１側に付勢されるようになっている。
【００３１】
作動油制限室５，５とダイヤフラム駆動室２，２との間には、シャフト８，８を支持するシャフト支持部９，９が設けられており、各シャフト支持部９，９には、作動油制限室５，５からダイヤフラム駆動室２，２に作動油を流通させるための貫通孔が形成されている。同様に、弁体支持部６についても、作動油を流通させるための貫通孔が形成されている。
【００３２】
上記構成の作動油制限室５，５によって、作動油配管部３５，３５を介して作動油供給部３１，３１に流入した作動油によってダイヤフラム１，１が弾性変形して所定の往復動をしたときに、このダイヤフラム１，１とともに弁体３も往復動することとなる。作動油制限室５，５に必要以上の圧力が作用した場合には、この弁体３が移動して、弁座４に当接するようになっている。
【００３３】
これによって、作動油制限室５，５は、ダイヤフラム１，１に過大な圧力が加わらないようにして、ダイヤフラム１，１の破損を防止できるようになっている。なお、作動油制限室５，５と駆動力供給部４０との間には、リリーフ機構３７，３７が設けられており、作動油制限室５，５に必要以上の圧力が作用した場合には、このリリーフ機構３７，３７によって所定量の作動油を排出して圧力を適正な状態で維持できるようになっている。
【００３４】
この定量ポンプ（往復動ポンプ）は、ダイヤフラム駆動室２，２および作動油制限室５，５が形成されているため、作動油中に空気等のガスが混入した場合には、各室２，５の最上部にガスが溜まりやすい。そこで、ダイヤフラム駆動室２，２および作動油制限室５，５内のガスを適切に排出させるために、前記ガス排出機構２０が定量ポンプ（往復動ポンプ）に設けられている。ガス排出機構２０は、作動油制限室５に設けられた第１ガス排出経路２１と、ダイヤフラム駆動室２に設けられた第２ガス排出経路２２と、これらのガス排出経路２１、２２を通じて排出されるガスおよび作動油の流量を調整する流量調整部２５を備える。
【００３５】
第１ガス排出経路２１は、その一方端部が作動油制限室５内における弁座４よりも作動油配管部３５側の上方位置に設けられ、第１ガス排出経路２２は、その一方端部が、ダイヤフラム駆動室２内におけるダイヤフラム１と弁座４との間の上方位置に設けられている。
【００３６】
そして、それぞれの排出経路２１，２２の他方端部は、流量調整部２５と作動油供給部３１との間に形成された連通部２４に連通すべく近接して設けられている。さらに、第１ガス排出経路２１と、第２ガス排出経路２２上には、それぞれ逆流防止のためのボール体２３，２３（逆流防止体）が設けられている。
【００３７】
流量調整部２５は、逆流防止のためのボール体２８と、このボール体２８のリフト量（可動可能領域）を調整する調節バルブ２７を有する。調整バルブ２７は、その内部にバルブ内排出経路を有している。そして、この調整バルブ２７の外周部には流量調整部２５に対して螺合すべく雄ねじ部が形成されており、ボール体２８のリフト量は、この調整バルブ２７のねじ込み量にて調整されている。流量調整部２５は、調整バルブ２７によってボール体２８のリフト量を調整することにより、この流量調整部２５を流通するガスおよび作動油の流量を調整できるようになっている。
【００３８】
また、流量調整部２５，２５は、流体排出配管部３６を介して駆動力供給部４０の作動油貯留部（ケーシング５０内）に接続されている。また、流量調整部２５における調整バルブ２７の上部には、この調整バルブ２７を覆うと共に、調整バルブ２７の調整の際に着脱可能（あるいは開閉可能）な保護カバー２９が設けられている。
【００３９】
上記構成のガス排出機構２０では、調整バルブ２７を操作して、ボール体２８を所定のリフト量にて移動可能な状態にすることにより、ダイヤフラム駆動室２および作動油制限室５に混入したガスが、第１ガス排出経路２１、第２ガス排出経路２２を通じて、各ボール体２３、２３、２８を押し上げ、調整バルブ２７のバルブ内排出経路を通じて外部に排出されるようになっている。また、このガスの排出とともに溢流した作動油は、流体排出配管部３６を通じて駆動力供給部４０に回収されるようになっている。
【００４０】
駆動力供給部４０は、駆動部のギヤから駆動力を受ける駆動力伝達軸４１と、この駆動力伝達軸４１に取り付けられた偏心カム４２と、この偏心カム４２の動きに応じて往復動するピストン部（第１ピストン部４３および第２ピストン部４４）と、第１ピストン部４３内のベアリング４７の内輪で支持された第１回動軸４５と、第２ピストン部４４内のベアリング４８の内輪で支持された第２回動軸４６と、第２ピストン部４４内にて第１ピストン部４３と第２ピストン部４４とを適切に付勢して、各ピストン部４３，４４内に設けられている各回動軸４５，４６を偏心カム４２に接触させるべく機能する調整手段たる位置規制付勢手段４９と、これらの各要素を内包しているケーシング部５０等とを用いて構成されている。そして、以上のような要素を有する駆動力供給部４０においては、ケーシング部５０内壁とピストン部４３，４４との間の密閉空間に、作動油が充填されている。
【００４１】
駆動力供給部４０は、第２ピストン部４４が中空状に形成されている。すなわち、第２ピストン部４４は、その内部に、駆動力伝達軸４１、偏心カム４２、第１ピストン部４３、ベアリング４８、および位置規制付勢手段４９等が包含可能であるべく形成されている。
【００４２】
そして、第２ピストン部４４の内壁部（内面部）と第１ピストン部４３の外壁部（外面部）との間には、位置規制付勢手段４９が挟持されている。すなわち、この位置規制付勢手段４９によって、第１ピストン部４３および第２ピストン部４４が偏心カム４２の位置する方向に付勢されることとなる。換言すれば、この位置規制付勢手段４９によって、第１ピストン部４３内の第１回動軸４５と、第２ピストン部４４内の第２回動軸４５とが、常に偏心カム４２の外周面に接すべく、適切に付勢されることとなる。
【００４３】
なお、この駆動力供給部４０は、第１ピストン部４３、第２ピストン部４４に対応して、ガス排出機構２０から流体排出配管部３６を通じてこの駆動力供給部４０に作動油が回収されることによる駆動力の低下を防止するために、補助プランジャ機構６０，６０、作動油供給弁７０，７０を備えている。
【００４４】
本実施形態にかかる定量ポンプ（往復動ポンプ）は、通常運転時においては、次のように機能する。この定量ポンプ（往復動ポンプ）は、まず、駆動部の電動モータを回転させて、この回転力を、ギヤを介して駆動力伝達軸４１に伝える。
【００４５】
次に、この駆動力伝達軸４１によって偏心カム４２を回転させ、この偏心カム４２の回転によって、第１および第２ピストン部４３，４４を往復動させる。ここでは、上述した構成に基づいて、第１ピストン部４３と第２ピストン部４４とが一体的に、一つの偏心カム４２によって往復動する。そして、このピストン部４３，４４の往復動によって作動油に対して所定の力および方向の圧力が作用し、その作動油が、配管部３５，３５に送排出されることとなる。
【００４６】
次に、配管部３５，３５を介して流通する作動油の圧力に基づいて、ダイヤフラム１，１が適切なタイミングで往復動し、このダイヤフラム１，１の動きによって、流入側逆止弁３３および流出側逆止弁３４が作動して、所望の液体が搬送されることとなる。
【００４７】
通常運転時において、本実施形態にかかる定量ポンプ（往復動ポンプ）は、各構成要素が以上のように機能して、ダイヤフラム１，１の往復動を繰り返し行わせることによって、所望流体を定量的に搬送させることが可能となる。なお、この定量ポンプ（往復動ポンプ）は、２つのダイヤフラム１，１の往復動を異ならせることにより、流体を無脈動で搬送できるようになっている。
【００４８】
上記の定量ポンプ（往復動ポンプ）に用いられるダイヤフラム１，１は、図２に示すように、平面視円形の薄膜状とされている。本実施形態では、ダイヤフラム１，１は、直径約１００ｍｍ、厚さが約０．１ｍｍで一定のものが用いられている。
【００４９】
また、ダイヤフラムは、図３の変形例に示すように、その外縁部の厚さがその中央部（図示略）の厚さよりも厚く形成される構成を採用できる。この変形例では、厚肉とされた外縁部（以下「厚肉部」という）１ｂが平面視で円環状に構成されており、その厚肉部１ｂの環の内側に、所定の弾性変形によって搬送流体を搬送する膜部１ａが形成されている。この変形例では、膜部１ａと厚肉部１ｂが後述する同じチタン合金によって一体に構成されている。
【００５０】
なお、この変形例に係るダイヤフラム１は、膜部１ａの厚さおよび厚肉部１ｂの厚さが一定とされており、しかも厚肉部１ｂの厚さが、その中央部（膜部１ａの中央部）の厚さの３倍以上とされていることが望ましい。このようにすることで、ダイヤフラム１は、例えば、厚肉に構成された厚肉部（外縁部）１ｂを前記ポンプヘッド３２と作動油供給部３１，３１とで挟持したときに、この厚肉部１ｂが厚さ方向に対して弾性変形（収縮）することにより、強固かつ確実に固定されることになり、これによってシール性が良いものとなる。さらに、ダイヤフラム１は、膜部１ａと厚肉部１ｂとを同じチタン合金によって形成することにより、耐久性、耐食性が良く、しかも製造コストを低減できるようになる。
【００５１】
また、上記のように、この変形例に係るダイヤフラム１は、その中央部の厚さ（膜部１ａの中央部の厚さ）をｔとし、その直径をＤとしたときに、０．０００３≦ｔ／Ｄ≦０．０２となっていることが望ましく、また、０．００１≦ｔ／Ｄ≦０．０２とされるのがより望ましく、さらに０．００２≦ｔ／Ｄ≦０．０１５とされるのが最も望ましい。ｔ／Ｄが０．０００３よりも小さい場合には、耐圧性が低下することになり、好ましくない。また、ｔ／Ｄが０．０２よりも大きくなると、ダイヤフラム１の弾性変形能が低下して、十分な吐出量を確保できなくなり、好ましくない。
【００５２】
また、ダイヤフラムは、図４の変形例に示すように、膜部１ａと、この膜部１ａよりも厚さの厚い厚肉部材１ｂを予め別体に用意し、これらを溶接等の手段によって固着することによって、膜部１ａの外縁部１ｂを厚肉（厚肉部）に形成することも可能である。この変形例では、膜部１ａは、図３の変形例と同じように所定のチタン合金（後述する）によって構成され、厚肉部１ｂは、例えば金属チタン（Ｔｉ）によって構成されている。この変形例では、円環状に構成された２つの厚肉部１ｂ，１ｂによって、膜部１ａの外周を挟むようにするとともに、各厚肉部１ｂ，１ｂを膜部１ａに固着されている。
【００５３】
このように、チタン合金製の膜部１ａと金属チタン製の厚肉部１ｂとを別体とするとともに、厚肉部１ｂを溶接等の手段によって膜部１ａに固定することにより、ダイヤフラム１は、その外縁部が金属チタンで構成されることになり、この外縁部の物理的特性（例えば熱膨張率等）をその中央部（膜部１ａ）に近くすることができ、これにより、耐久性等の良いものになる。
【００５４】
上記の各ダイヤフラム１，１は、低ヤング率で高弾性変形能を有するチタン合金により形成されている。以下、このチタン合金について説明する。
【００５５】
ダイヤフラムに用いられるチタン合金に関する平均ヤング率と引張弾性限強度とについて、以下に図５、図６を用いて説明する。図５は、チタン合金の応力−伸び（歪み）線図を模式的に示した図であり、図６は、従来のチタン合金（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ合金）の応力−伸び（歪み）線図を模式的に示した図である。
【００５６】
図６に示すように、従来の金属材料では、先ず、引張応力の増加に比例して伸びが直線的に増加する（Ａ’−Ａ間）。そして、その直線の傾きによって従来の金属材料のヤング率は求められる。換言すれば、そのヤング率は、引張応力（公称応力）をそれと比例関係にある歪み（公称歪み）で除した値となる。このように応力と伸び（歪み）とが比例関係にある直線域（Ａ’−Ａ間）では、変形が弾性的であり、例えば、応力を除荷すれば、試験片の変形である伸びは０に戻る。しかし、さらにその直線域を超えて引張応力を加えると、従来の金属材料は塑性変形を始め、応力を除荷しても、試験片の伸びは０に戻らず、永久伸びを生じる。
【００５７】
通常、永久伸びが０．２％となる応力σｐを０．２％耐力と称している（ＪＩＳ Ｚ ２２４１）。この０．２％耐力は、応力−伸び（歪み）線図上で、弾性変形域の直線（Ａ’−Ａ：立ち上がり部の接線）を０．２％伸び（歪み）分だけ平行移動した直線（Ｂ’−Ｂ）と応力−伸び（歪み）曲線との交点（位置Ｂ）における応力でもある。従来の金属材料の場合、通常、「伸びが０．２％程度を超えると、永久伸びになる」という経験則に基づき、０．２％耐力≒引張弾性限強度と考えられている。逆に、この０．２％耐力内であれば、応力と歪みとの関係は概ね直線的または弾性的であると考えられる。
【００５８】
ところが、図５の応力−伸び（歪み）線図からも解るように、このような従来の概念は、チタン合金には当てはまらない。理由は定かではないが、チタン合金の場合、弾性変形域において応力−伸び（歪み）線図が直線とはならず、上に凸な曲線（Ａ’−Ｂ）となり、除荷すると同曲線Ａ−Ａ’に沿って伸びが０に戻ったり、Ｂ−Ｂ’に沿って永久伸びを生じたりする。このように、チタン合金では、弾性変形域（Ａ’−Ａ）ですら、応力と伸び（歪み）とが直線的な関係になく、応力が増加すれば、急激に伸び（歪み）が増加する。また、除荷した場合も同様であり、応力と伸び（歪み）とが直線的な関係になく、応力が減少すれば、急激に伸び（歪み）が減少する。このような特徴がチタン合金の高弾性変形能として発現していると思われる。
【００５９】
ところで、チタン合金の場合、図５からも解るように、応力が増加するほど応力−伸び（歪み）線図上の接線の傾きが減少している。このように、弾性変形域において、応力と伸び（歪み）とが直線的に変化しないため、従来の方法でチタン合金のヤング率を定義することは適切ではない。また、チタン合金の場合、応力と伸び（歪み）とが直線的に変化しないため、従来と同様の方法で０．２％耐力（σｐ’）≒引張弾性限強度と評価することも適切ではない。つまり、従来の方法により求まる０．２％耐力では、本来の引張弾性限強度よりも著しく小さい値となってしまい、もはや、０．２％耐力≒引張弾性限強度と考えることはできない。
【００６０】
そこで、本来の定義に戻って、チタン合金の引張弾性限強度（σｅ）を前述したように求めることとし（図５中のＢの位置）、また、チタン合金のヤング率として、前述の平均ヤング率を導入することとした。なお、図５および図６中、σｔは引張強度であり、εｅはチタン合金の引張弾性限強度（σｅ）における伸び（歪み）であり、εｐは従来の金属材料の０．２％耐力（σｐ）における伸び（歪み）である。
【００６１】
チタン合金は、全体を１００質量％とした場合に、ジルコニウム（Ｚｒ）とハフニウム（Ｈｆ）とスカンジウム（Ｓｃ）とからなる金属元素群中の１種以上の元素を合計で２０質量％以下含むと、好適である。ジルコニウムとハフニウムとは、チタン合金の低ヤング率化と高強度化に有効である。また、これらの元素は、チタンと同族（ＩＶａ族）元素であり、全率固溶型の中性的元素であるため、Ｖａ族元素によるチタン合金の低ヤング率化を妨げることもない。また、スカンジウムは、チタンに固溶した場合、Ｖａ族元素と共にチタン原子間の結合エネルギーを特異的に低下させ、ヤング率をさらに低下させる有効な元素である。
【００６２】
それらの元素が合計で２０質量％を越えると、材料偏析による強度、靱性の低下やコスト上昇を招くため、好ましくない。ヤング率、強度、靱性等のバランスを図る上で、それらの元素を合計で、１質量％以上、さらには、５〜１５質量％とすると、より好ましい。また、これらの元素は、Ｖａ族元素と作用上、共通する部分が多いため、所定の範囲内で、Ｖａ族元素と置換することもできる。つまり、チタン合金は、合計で２０質量％以下のジルコニウム（Ｚｒ）とハフニウム（Ｈｆ）とスカンジウム（Ｓｃ）とからなる金属元素群中の１種以上の元素と、該金属元素群中の１種以上の元素との合計が３０〜６０質量％となるＶａ族（バナジウム族）元素と、残部が実質的にチタンとからなり、平均ヤング率が７５ＧＰａ以下で引張弾性限強度が７００ＭＰａ以上であると、好適である。
【００６３】
また、チタン合金は、合計で２０質量％以下のジルコニウム（Ｚｒ）とハフニウム（Ｈｆ）とスカンジウム（Ｓｃ）とからなる金属元素群中の１種以上の元素と、該金属元素群中の１種以上の元素との合計が３０〜６０質量％となるＶａ族（バナジウム族）元素と、残部が実質的にチタンとからなる焼結合金であると、好適である。ジルコニウム等を合計で２０質量％以下としたのは、前述したとおりである。また、同様に、それらの元素を合計で１質量％以上、さらには、５〜１５質量％とすると、より好ましい。
【００６４】
チタン合金は、クロム（Ｃｒ）とモリブデン（Ｍｏ）とマンガン（Ｍｎ）と鉄（Ｆｅ）とコバルト（Ｃｏ）とニッケル（Ｎｉ）とからなる金属元素群中の１種類以上の元素を含むと、好適である。より具体的には、全体を１００質量％とした場合に、前記クロムと前記モリブデンとはそれぞれ２０質量％以下であり、前記マンガンと前記鉄と前記コバルトと前記ニッケルとはそれぞれ１０質量％以下であると、好適である。
【００６５】
クロムとモリブデンとは、チタン合金の強度と熱間鍛造性とを向上させる上で有効な元素である。熱間鍛造性が向上すると、チタン合金の生産性や歩留まりの向上が図れる。ここで、クロムやモリブデンが、２０質量％を越えると、材料偏析が生じ易くなり、均質な材料を得ることが困難となる。それらの元素を１質量％以上とすると、固溶強化による強度等の向上を図る上で好ましく、さらに、３〜１５質量％とすると、より好ましい。
【００６６】
マンガン、鉄、コバルト、ニッケルは、モリブデン等と同様、チタン合金の強度と熱間鍛造性を向上させる上で有効な元素である。従って、モリブデン、クロム等の代わりに、またはモリブデン、クロム等と共にそれらの元素を含有させても良い。但し、それらの元素が１０質量％を越えると、チタンとの間で金属間化合物を形成し、延性が低下してしまうため、好ましくない。それらの元素を１質量％以上とすると、固溶強化による強度等の向上を図る上で好ましく、さらに、２〜７質量％とすると、より好ましい。
【００６７】
チタン合金が焼結チタン合金である場合、前記金属元素群に錫を加えると、好適である。すなわち、焼結チタン合金は、クロム（Ｃｒ）とモリブデン（Ｍｏ）とマンガン（Ｍｎ）と鉄（Ｆｅ）とコバルト（Ｃｏ）とニッケル（Ｎｉ）と錫（Ｓｎ）とからなる金属元素群中の１種類以上の元素を含むと好適である。具体的には、全体を１００質量％とした場合に、前記クロムと前記モリブデンとはそれぞれ２０質量％以下であり、前記マンガンと前記鉄と前記コバルトと前記ニッケルと前記錫とはそれぞれ１０質量％以下であると、より好適である。
【００６８】
錫はα安定化元素であり、チタン合金の強度を向上させる上で有効な元素である。従って、１０質量％以下の錫を、モリブデン等の元素と共に含有させても良い。錫が１０質量％を越えると、チタン合金の延性が低下して加工性の低下を招く。錫を１質量％以上、さらには、２〜８質量％とすると、低ヤング率化と共に高強度化を図る上で、より好ましい。なお、モリブデン等の元素については、前述と同様である。
【００６９】
チタン合金は、アルミニウム（Ａｌ）を含むと好適である。具体的には、前記アルミニウムが、全体を１００質量％とした場合に０．３〜５質量％であると、一層好適である。アルミニウムは、チタン合金の強度を向上させる上で有効な元素である。従って、０．３〜５質量％のアルミニウムを、モリブデンや鉄等の代りに、またはそれらの元素と共に含有させても良い。アルミニウムが０．３質量％未満では固溶強化作用が不十分で、十分な強度の向上が図れない。また、５質量％を越えると、チタン合金の延性を低下させる。アルミニウムを０．５〜３質量％とすると、安定した強度の向上を図る上で、より好ましい。なお、アルミニウムを錫と共に添加すると、チタン合金の靱性を低下させることなく、強度を向上させることができるため、より好ましい。
【００７０】
チタン合金は、全体を１００質量％とした場合に、０．０８〜０．６質量％の酸素（Ｏ）を含むと、好適である。また、全体を１００質量％とした場合に、０．０５〜１．０質量％の炭素（Ｃ）を含むと、好適である。また、全体を１００質量％とした場合に、０．０５〜０．８質量％の窒素（Ｎ）を含むと、好適である。まとめると、全体を１００質量％とした場合に、０．０８〜０．６質量％の酸素（Ｏ）と０．０５〜１．０質量％の炭素（Ｃ）と０．０５〜０．８質量％の窒素（Ｎ）とからなる元素群中の１種類以上の元素を含むと、好適である。
【００７１】
酸素、炭素および窒素は、いずれも侵入型の固溶強化元素であり、チタン合金のα相を安定にし、強度を向上させる上で有効な元素である。酸素が０．０８質量％未満、炭素または窒素が０．０５質量％未満では、チタン合金の強度向上が十分ではない。また、酸素が０．６質量％を超え、炭素が１．０質量％を超え、または窒素が０．８質量％を超えると、チタン合金の脆化を招き好ましくない。酸素を０．１質量％以上、さらには０．１５〜０．４５質量％とすると、チタン合金の強度と延性とのバランスにおいて、より好ましい。同様に、炭素を０．１〜０．８質量％、窒素を０．１〜０．６質量％とすると、その強度と延性とのバランスにおいて、より好ましい。
【００７２】
チタン合金は、全体を１００質量％とした場合に、０．０１〜１．０質量％のホウ素（Ｂ）を含むと、好適である。ホウ素は、チタン合金の機械的な材料特性と熱間加工性とを向上させる上で有効な元素である。ホウ素は、チタン合金に殆ど固溶せず、そのほぼ全量がチタン化合物粒子（ＴｉＢ粒子等）として析出する。この析出粒子が、チタン合金の結晶粒成長を著しく抑制して、チタン合金の組織を微細に維持するからである。ホウ素が０．０１質量％未満では、その効果が十分ではなく、１．０質量％を超えると、高剛性の析出粒子が増えることにより、チタン合金の全体的なヤング率の上昇と冷間加工性の低下を招いてしまうからである。
【００７３】
なお、０．０１質量％のホウ素を添加した場合、ＴｉＢ粒子で換算すると、０．０５５体積％となり、一方、１質量％のホウ素を添加した場合は、ＴｉＢ粒子で換算すると、５．５体積％となる。従って、言換えると、チタン合金は、ホウ化チタン粒子が０．０５５体積％から５．５体積％の範囲にあると好ましい。ところで、上述の各組成元素は、所定の範囲内で、任意に組合わせることができる。具体的には、前記Ｚｒ、Ｈｆ、Ｓｃ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｓｎ、Ａｌ、Ｏ、Ｃ、Ｎ、Ｂを、前記範囲内で、適宜選択的に組み合わせて、チタン合金とすることもできる。もっとも、このことは、チタン合金の趣旨を逸脱しない範囲内で、さらに別の元素を配合することを排除するものではない。
【００７４】
冷間加工組織とは、チタン合金を冷間加工したときに得られる組織である。「冷間」とは、チタン合金の再結晶温度（再結晶を起す最低の温度）よりも十分低温であることを意味する。再結晶温度は、組成により変化するが、概ね６００℃程度であり、チタン合金は、通常、常温〜３００℃の範囲で冷間加工されると良い。
【００７５】
また、Ｘ％以上の冷間加工組織とは、次式により定義される冷間加工率がＸ％以上の場合にできる冷間加工組織をいう。
【００７６】
冷間加工率 Ｘ＝（Ｓ0−Ｓ）／Ｓ0 ×１００（％）
（Ｓ0：冷間加工前の断面積、Ｓ：冷間加工後の断面積）
【００７７】
このような冷間加工によってチタン合金内に加工歪みが付与される。この加工歪みが、原子レベルでのミクロ的な構造変化を構成組織内にもたらし、チタン合金のヤング率の低減に寄与すると考えられる。また、その冷間加工による原子レベルでのミクロ的な構造変化に伴う弾性歪みの蓄積が、チタン合金の強度の向上に寄与していると考えられる。
【００７８】
具体的には、１０％以上の冷間加工組織を有し、平均ヤング率が７０ＧＰａ以下で引張弾性限強度が７５０ＭＰａ以上であると、好適である。冷間加工を付与することにより、チタン合金の低ヤング率化と高弾性変形能化と高強度化とをより進行させることができる。さらに、チタン合金は、５０％以上の前記冷間加工組織を有し、平均ヤング率が６５ＧＰａ以下で引張弾性限強度が８００ＭＰａ以上であると、好適である。さらに、チタン合金が、７０％以上の前記冷間加工組織を有し、平均ヤング率が６０ＧＰａ以下で引張弾性限強度が８５０ＭＰａ以上であると、一層好適である。さらに、チタン合金は、９０％以上の前記冷間加工組織を有し、平均ヤング率が５５ＧＰａ以下で引張弾性限強度が９００ＭＰａ以上であると、格別に好適である。
【００７９】
チタン合金は、冷間加工率を９９％以上とすることもでき、詳細は定かではないものの、従来のチタン合金とは明らかに異なるものである。従来の冷間加工性に優れるチタン合金（例えば、Ｔｉ−２２Ｖ−４Ａｌ：通常ＤＡＴ５１等）と比較しても、チタン合金の冷間加工率は、まさに驚異的な値である。このように、チタン合金は、極めて冷間加工性に優れ、しかも冷間加工によりその材料物性や機械的特性が一層改善される傾向にあるため、低ヤング率で高弾性変形能および高強度が求められる、各種の冷間加工成形品に最適な材料である。
【００８０】
焼結合金は、原料粉末を焼結させて得られる合金である。チタン合金が焼結チタン合金である場合、低ヤング率、高弾性変形能、高強度および優れた冷間加工性を発揮する。例えば、その焼結チタン合金は、平均ヤング率が７５ＧＰａ以下で引張弾性限強度が７００ＭＰａ以上となり得る。さらに、焼結チタン合金は、その組織中の空孔量を調整して、ヤング率、強度、密度等を調整することができる。例えば、その焼結合金が３０体積％以下の空孔を含むと、好適である。空孔を３０体積％以下とすることにより、同一合金組成であっても、その平均ヤング率を大幅に低下させることが可能となるからである。
【００８１】
一方、その焼結合金は、熱間加工により空孔が５体積％以下に緻密化された組織であると、新たな特長が付与され、好適である。すなわち、焼結合金を熱間加工により緻密化すると、低ヤング率や、高弾性変形能、高強度に加え、チタン合金に優れた冷間加工性を持たせることができる。そして、空孔を１体積％以下に減少させると、より好適である。なお、熱間加工とは、再結晶温度以上での塑性加工を意味し、例えば、熱間鍛造、熱間圧延、熱間スエージ、ＨＩＰ等がある。
【００８２】
また、空孔とは、焼結合金内に残留する空隙を意味し、相対密度で評価される。相対密度とは、真密度ρ0（残留空孔０％の場合）で焼結体の密度ρを割った値の百分率（ρ／ρ0 ）×１００（％）で表され、空孔の体積％は次式で表される。
空孔の体積％＝｛１−（ρ／ρ0）｝×１００ （％）
例えば、金属粉末をＣＩＰ成形（冷間静水圧成形）する場合、その静水圧（例えば、２〜４ｔｏｎ／ｃｍ2）を調整することで容易に空孔の体積量を調整できる。空孔の大きさは、特に、限定されるものではないが、例えば、その平均径が５０μｍ以下であると、焼結合金の均一性が保持され、強度低下も抑えられ、チタン合金は適度の延性をもつ。ここで、平均径とは、２次元画像処理で測定された空孔を断面積の等価な円に置換して算出した、その円の平均径を意味する。
【００８３】
焼結法の場合に必要となる原料粉末は、少なくともチタンとＶａ族元素とを含んでいる。もっとも、それらは多種多様な形態をとり得る。例えば、原料粉末が、さらに、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｓｃ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｓｎ、Ａｌ、Ｏ、Ｃ、Ｎ、Ｂを含んでも良い。具体的には、例えば、原料粉末が、全体を１００質量％とした場合に、ジルコニウム（Ｚｒ）とハフニウム（Ｈｆ）とスカンジウム（Ｓｃ）とからなる金属元素群中の１種以上の元素を合計で２０質量％以下含むと、好適である。
【００８４】
そして、その製造方法は、チタンと、合計で２０質量％以下のジルコニウム（Ｚｒ）とハフニウム（Ｈｆ）とスカンジウム（Ｓｃ）とからなる金属元素群中の１種以上の元素と、該金属元素群中の１種以上の元素との合計が３０〜６０質量％となるＶａ族（バナジウム族）元素とを含む少なくとも二種以上の原料粉末を混合する混合工程と、該混合工程により得られた混合粉末を所定形状の成形体に成形する成形工程と、該成形工程で得られた成形体を１２００〜１４００℃でかつ２〜１６時間の条件下で加熱して焼結させる焼結工程と、からなると好適である。
【００８５】
また、この製造方法は、チタンと、合計で２０質量％以下のジルコニウム（Ｚｒ）とハフニウム（Ｈｆ）とスカンジウム（Ｓｃ）とからなる金属元素群中の１種以上の元素と、該金属元素群中の１種以上の元素との合計が３０〜６０質量％となるＶａ族（バナジウム族）元素とを少なくとも含む原料粉末を所定形状の容器に充填する充填工程と、該充填工程後に熱間静水圧法（ＨＩＰ法）を用いて該容器中の該原料粉末を９００〜１３００℃かつ１〜１０時間の条件下で焼結させる焼結工程とからなると、好適である。原料粉末が、さらに、クロム、マンガン、コバルト、ニッケル、モリブデン、鉄、錫、アルミニウム、酵素、炭素、窒素およびホウ素の少なくとも一種以上の元素を含むと、好適である。
【００８６】
この製造方法が、混合工程を伴う場合には、原料粉末が、純金属粉末および／または合金粉末の２種以上からなると、好適である。具体的な使用粉末として、例えばスポンジ粉末、水素化脱水素粉末、水素化粉末、アトマイズ粉末などを使用できる。粉末の粒子形状や粒径（粒径分布）などは、特に限定されるものではなく、市販の粉末をそのまま用いることができる。もっとも、使用粉末は、コストや焼結体の緻密性の観点から、平均粒径が１００μｍ以下であると、好ましい。さらに、粉末の粒径が４５μｍ（＃３２５）以下であれば、より緻密な焼結体を得やすい。
【００８７】
この製造方法が、ＨＩＰ法を用いる場合には、原料粉末が、チタンと少なくともＶａ族元素とを含む合金粉末からなると、好適である。この合金粉末は、チタン合金の組成を備えた粉末であり、例えば、ガスアトマイズ法や、ＲＥＰ法（回転電極法）、ＰＲＥＰ法（プラズマ回転電極法）、あるいは溶解法により製造されたインゴットを水素化した後粉砕する方法、さらにはＭＡ法（機械的合金化法）等により、製造される。
【００８８】
混合工程は、原料粉末を混合する工程である。それらの混合には、Ｖ型混合機、ボールミル及び振動ミル、高エネルギーボールミル（例えば、アトライター）等を使用できる。
【００８９】
成形工程は、混合工程で得られた混合粉末を所定形状の成形体に成形する工程である。成形体の形状は、製品の最終的な形状でも良いし、焼結工程後にさらに加工を施す場合はビレット形状等でもよい。成形工程には、例えば、金型成形、ＣＩＰ成形（冷間静水圧プレス成形）、ＲＩＰ成形（ゴム静水圧プレス成形）等を用いることができる。
【００９０】
充填工程は、チタンと少なくともＶａ族元素とを含む、前述の原料粉末を所定形状の容器に充填する工程であり、熱間静水圧法（ＨＩＰ法）を用いるために必要となる。原料粉末を充填する容器の内側形状は、所望の製品形状に対応している。また、容器は、例えば、金属製でも、セラミック製でも、ガラス製でもよい。また、真空脱気して、原料粉末を容器に充填、封入するとよい。
【００９１】
焼結工程は、前記成形工程で得られた成形体を加熱して焼結させ焼結体を得る工程、または、前記充填工程後に熱間静水圧法（ＨＩＰ）を用いて前記容器中の該粉末を加圧固化させる工程である。成形体を焼結させる場合は、真空又は不活性ガスの雰囲気でなされることが好ましい。また、焼結温度は、該合金の融点以下で、しかも成分元素が十分に拡散する温度域で行われることが好ましく、例えば、その温度範囲は１２００℃〜１４００℃である。また、その焼結時間は２〜１６時間であることが好ましい。従って、チタン合金の緻密化と生産性の効率化を図る上で、１２００℃〜１４００℃かつ２〜１６時間の条件で焼結工程を行うと良い。
【００９２】
ＨＩＰ法による場合、拡散が容易で粉末の変形抵抗が小さく、しかも、前記容器と反応しにくい温度領域で行われることが好ましい。例えば、その温度範囲は９００℃〜１３００℃である。また、成形圧力は、充填粉末が十分にクリープ変形できる圧力であることが好ましく、例えば、その圧力範囲は５０〜２００ＭＰａ（５００〜２０００気圧）である。ＨＩＰの処理時間は、粉末が十分にクリープ変形して緻密化し、かつ、合金成分が粉末間で拡散できる時間が好ましく、例えば、その時間は１時間〜１０時間である。
【００９３】
熱間加工を行うことにより、焼結合金の空孔等を低減して組織を緻密化させることができる。従って、この製造方法は、さらに、前記焼結工程後に得られた焼結体を熱間加工して該焼結体の組織を緻密化させる熱間加工工程を有すると、好適である。この熱間加工は、概略的な製品の形状を形成するために行っても良い。
【００９４】
この製造方法により得られたチタン合金は、冷間加工性に優れるため、得られた焼結体を冷間加工して種々の製品を製造することができる。従って、この製造方法は、さらに、前記焼結工程後に得られた焼結体を冷間加工して素材または製品に成形する冷間加工工程を有すると、好適である。そして、前記熱間加工により粗加工を行った後、冷間加工により仕上加工を行っても良い。
【００９５】
以上説明したチタン合金によって形成されたダイヤフラム１，１によれば、上記のようなチタン合金で形成されることにより、低ヤング率で高弾性変形能を有するものとなり、これによって、その大きさを極端に大きくすることなく所望の弾性変形を実現できる。したがって、このダイヤフラム１，１を用いて構成された定量ポンプ（往復動ポンプ）は、その大きさを可及的に小さく構成できるようになり、この点で特に有用なものになる。同様に、このダイヤフラム１，１を用いた機器を可及的に小型化できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の実施形態に係る定量ポンプ（往復動ポンプ）の概略断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るダイヤフラムを示し、（ａ）は、その平面図、（ｂ）は、その側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るダイヤフラムの他の変形例を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るダイヤフラムの他の変形例を示す断面図である。
【図５】ダイヤフラムに用いられるチタン合金の応力−伸び（歪み）線図を模式的に示した図である。
【図６】従来のチタン合金の応力−伸び（歪み）線図を模式的に示した図である。
【符号の説明】
【００９７】
１…ダイヤフラム、１ａ…膜部、１ｂ…厚肉部、２…ダイヤフラム駆動室、３…弁体、４…弁座、５…作動油制限室、６…弁体支持部、７…付勢手段、８…シャフト、９…シャフト支持部、１０…流体搬送部、２０…ガス排出機構、２１…第１ガス排出経路、２２…第２ガス排出経路、２３…ボール体、２４…連通部、２５…流量調整部、２６…規制部、２７…調整バルブ、２８…ボール体、２９…保護カバー、３１…作動油供給部、３２…ポンプヘッド、３３…流入側逆止弁、３４…流出側逆止弁、３５…作動油配管部、３７…リリーフ機構、４０…駆動力供給部、４１…駆動力伝達軸、４２…偏心カム、４３…第１ピストン部、４４…第２ピストン部、４５…第１回動軸、４６…第２回動軸、４７…ベアリング、４８…ベアリング、４９…位置規制付勢手段、５０…ケーシング、６０…補助プランジャ機構、７０…作動油供給弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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