(57)【要約】【課題】搬送装置において、被搬送物と被搬送物を把持するグリップ部との互いの位置を調整可能とする。【解決手段】搬送装置は、軌道（１００）に沿って走行する走行部（２１０）と、走行部の下側に取り付けられており、鉛直方向に交わる表面を有する基準板（２５１）と、基準板に対向配置されると共に、表面に沿って回転可能なように基準板の下側に取り付けられた回転板（２５２）と、回転板に設けられており、被搬送物を把持するグリップ部と、回転板を前記基準板に対して回転させることで、グリップ部及び被搬送物間の位置調整を行う調整手段（２５５、２５７、２５８）とを備える。【選択図】図４
2009018877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に沿って走行する走行部と、
該走行部の下側に取り付けられており、鉛直方向に交わる表面を有する基準板と、
該基準板に対向配置されると共に、前記表面に沿って回転可能なように前記基準板の下側に取り付けられた回転板と、
該回転板に設けられており、被搬送物を把持するグリップ部と、
前記回転板を前記基準板に対して回転させることで、前記グリップ部及び前記被搬送物間の位置調整を行う調整手段と
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記走行部の下側に取り付けられた懸垂式の本体部と、
該本体部及び前記基準板間を結ぶと共に少なくとも一端において巻き取り及び巻き出し可能なベルトと
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記基準板は、前記走行部に、前記鉛直方向に沿って昇降可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記基準板は、前記走行部の側方に移動可能であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記調整手段は、前記基準板に接続された第１ネジ及び前記回転板に接続された第２ネジと、該第１及び第２ネジを夫々連結するナットとを含んでおり、前記ナットを回転させることによって前記位置調整を行うことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等を搬送する搬送装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送装置として、天井に敷設された軌道上を走行して被搬送物を搬送する懸垂式のものがある（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transfer）。このような搬送装置においては、移載を行う際に被搬送物を確実に把持するために、設置された被搬送物と被搬送物を把持するグリップ部との位置調整が行われる。
【０００３】
例えば特許文献１では、被搬送物を把持する昇降部や、その昇降を制御する昇降駆動部等を水平面内で回転させて位置調整を行うという技術が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２８２３０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１によれば、水平面内での回転による位置調整については言及されているものの、その具体的構成は示されておらず、どのように回転動作を実現するのか不明確である。
【０００６】
更に、昇降部全体を回転させるような構成では、装置が複雑化してしまうおそれがあるという技術的問題点がある。
【０００７】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、被搬送物と被搬送物を把持するグリップ部との互いの位置を調整可能である搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の搬送装置は上記課題を解決するために、軌道に沿って走行する走行部と、該走行部の下側に取り付けられており、鉛直方向に交わる表面を有する基準板と、該基準板に対向配置されると共に、前記表面に沿って回転可能なように前記基準板の下側に取り付けられた回転板と、該回転板に設けられており、被搬送物を把持するグリップ部と、前記回転板を前記基準板に対して回転させることで、前記グリップ部及び前記被搬送物間の位置調整を行う調整手段とを備える。
【０００９】
本発明に係る搬送装置によれば、その動作時に、先ず走行部が軌道に沿って走行することで、装置全体が設置された被搬送物を移載可能な位置に移動される。走行部の下側には、鉛直方向に交わる表面を有する基準板、及び基準板に対向配置されると共に、表面に沿って回転可能なように基準板の下側に取り付けられた回転板が設けられている。基準板は、例えば走行部の下側に取り付けられた懸垂式の本体部からベルトで釣り下げられる形で設けられている。また、回転板には被搬送物を把持するグリップ部が設けられており、グリップ部が被搬送物を把持した状態で走行部が軌道を走行することにより、被搬送物の搬送が行われる。
【００１０】
ここで特に、グリップ部が被搬送物を確実に把持するためには、グリップ部と被搬送物との互いの位置が整合している方がよい。この際、回転板の回転方向（以下、適宜「θ方向」と称する）においては、特に高い精度が求められることがあり、微少なズレであっても、グリップ部が被搬送物を把持できないという事態が発生してしまうおそれがある。
【００１１】
しかるに本発明では特に、調整手段が備えられており、回転板を基準板に対して回転させることで、グリップ部及び被搬送物間のθ方向に係る位置調整を行うことができる。即ち、グリップ部が設けられている回転板を基準板に対して回転させることによって、グリップ部のθ方向に係る位置を変化させ、グリップ部と被搬送物とのズレを無くす或いは減少させることが可能となる。
【００１２】
尚、上述したような位置調整は、例えば予め実験的に装置を作動させて、グリップ部と被搬送物とのズレを測定した上で、把持する動作に先立って（例えば搬送に先立って行われる調整の段階で）行われる。また、実際に被搬送物を把持する直前に、自動的に位置調整が行われるようにすることも可能である。このような、位置調整の動作は手動で行われてもよいし、モータ等に接続することにより電動で行われてもよい。
【００１３】
以上説明したように、本発明に係る搬送装置によれば、調整手段によってグリップ部及び被搬送物間のθ方向に係る位置調整を行うことが可能であるため、グリップ部によって、より確実に被搬送物を把持することができる。従って、搬送装置は、より好適に被搬送物を搬送することが可能となる。
【００１４】
本発明の搬送装置の一態様では、前記走行部の下側に取り付けられた懸垂式の本体部と、該本体部及び前記基準板間を結ぶと共に少なくとも一端において巻き取り及び巻き出し可能なベルトとを更に備える。
【００１５】
この態様によれば、走行部の下側には懸垂式の本体部が取り付けられている。そして、上述した本体部及び基準板間には、夫々を結ぶベルトが備えられており、少なくとも一端において巻き取り及び巻き出しを行うことで、例えば本体部から離れた位置に設置された被搬送物を搬送することができる。
【００１６】
本態様では特に、上述したように基準板がベルトによって本体部と結ばれているため、例えばベルトの巻き出しを行った際に、本体部に対する基準板のθ方向に係る位置が変化してしまうおそれがある。即ち、グリップ部と被搬送物との互いの位置にθ方向のズレが生じてしまうおそれがある。また、搬送装置を新規に製造ラインに設置する作業では、搬送装置の個体差や設置ラインへの組込み時の組立て誤差などが生じてしまうおそれがある。
【００１７】
しかるに本態様では特に、調整手段によって、回転板を基準板に対して回転させることで、グリップ部のθ方向に係る位置を変化させることができる。このため、本体部に対する組立時の調整や、基準板の位置が変化してしまった場合でも、グリップ部と被搬送物とのズレを無くす或いは減少させることが可能である。従って、グリップ部は確実に被搬送物を把持することができ、より確実に被搬送物を搬送することが可能となる。
【００１８】
本発明の搬送装置の他の態様では、前記基準板は、前記走行部に、前記鉛直方向に沿って昇降可能に取り付けられている。
【００１９】
この態様によれば、基準板は、走行部に、鉛直方向に沿って昇降可能に取り付けられており、例えばベルトの巻き取りや巻き出しにより昇降することによって、走行部と高さの異なる位置に設置された被搬送物をグリップ部において把持することが可能である。尚、ここでの「昇降」とは、典型的には鉛直方向における上下移動であるが、厳密な鉛直方向を意味するものではなく、斜め下方や斜め上方への移動であってもよい。
【００２０】
本態様では特に、基準板が昇降する際に、走行部に対する基準板のθ方向に係る位置が変化してしまうおそれがある。即ち、グリップ部と被搬送物との互いの位置にθ方向のズレが生じてしまうおそれがある。
【００２１】
しかるに本態様では特に、調整手段によって、回転板を基準板に対して回転させることで、グリップ部のθ方向に係る位置を変化させることができる。このため、走行部に対する基準板の位置が変化してしまった場合でも、グリップ部と被搬送物とのズレを無くす或いは減少させることが可能である。従って、グリップ部は確実に被搬送物を把持することができ、より確実に被搬送物を搬送することが可能となる。
【００２２】
本発明の搬送装置の他の態様では、前記基準板は、前記走行部の側方に移動可能である。
【００２３】
この態様によれば、基準板は、走行部の側方に移動可能であり、例えば側方への移動によって、軌道から側方に外れた位置にある被搬送物を移載（以下、適宜「横移載」と称する）することが可能である。例えば、走行部の下側に取り付けられた懸垂式の本体部の一部又は該本体部に設けられた移動部が、側方に移動されることで、これからベルトで釣り下げられた基準板が側方に移動される。尚、ここでの「側方」とは、典型的には水平方向であるが、厳密な水平方向を意味するものではなく、軌道から側方に外れる限り、斜め下方や斜め上方への移動であってもよい。
【００２４】
本態様では特に、基準板が走行部の側方に移動する際に、走行部に対する基準板のθ方向に係る位置が変化してしまうおそれがある。即ち、グリップ部と被搬送物との互いの位置にθ方向のズレが生じてしまうおそれがある。
【００２５】
しかるに本態様では特に、調整手段によって、回転板を基準板に対して回転させることで、グリップ部のθ方向に係る位置を変化させることができる。このため、走行部に対する基準板の位置が変化してしまった場合でも、グリップ部と被搬送物とのズレを無くす或いは減少させることが可能である。従って、グリップ部は確実に被搬送物を把持することができ、より確実に被搬送物を搬送することが可能となる。
【００２６】
本発明の搬送装置の他の態様では、前記調整手段は、前記基準板に接続された第１ネジ及び前記回転板に接続された第２ネジと、該第１及び第２ネジを夫々連結するナットとを含んでおり、前記ナットを回転させることによって前記位置調整を行う。
【００２７】
この態様によれば、基準板には第１ネジが接続されており、回転板には第２ネジが接続されている。また、第１及び第２ネジは夫々、ナットによって互いに連結されている。
【００２８】
ここで本態様では特に、上述したナットを回転させることにより、グリップ部及び被搬送物間の位置調整を行うことが可能である。即ち、ナットを回転させて第１及び第２ネジを夫々締める或いは緩めることで、回転板を基準板に対して回転させることが可能である。より具体的には例えば、第１及び第２ネジは夫々、その軸が、回転板の回転軸に対して接線となる方向に大なり小なり沿うように配置されており、ナットが回転されると、ナットで連結された第１及び第２ネジにおける該接線となる方向に沿った合計長が伸縮される。これにより、回転板は、ナットを介して第１及び第２ネジで連結された基準板に対して、θ方向の位置調整がなされる。
【００２９】
このように構成することで、より単純な構成で位置調整を行うことが可能である。また、ナットの回転量に対して、回転板の回転量は比較的小さくなるため、微調整をより容易に行うことが可能である。尚、回転板の回転量は、対になって回転する第１及び第２ネジの回転回数によって調節することが可能である。
【００３０】
以上説明したように、本態様に係る搬送装置によれば、単純な構成で、より容易にグリップ部及び被搬送物間の位置調整を行うことが可能である。
【００３１】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。尚、本実施形態では、天井に敷設された軌道を走行することで、半導体の基板等を搬送する懸垂式の搬送装置を例にとり説明する。
【００３３】
先ず、本実施形態に係る搬送装置の構成について図１を参照して説明する。ここに図１は、搬送装置の全体構成を示す側面図である。
【００３４】
図１において、本実施形態に係る搬送装置は、走行ローラ２１５を有する走行部２１０と、その下側に取り付けられた懸垂式の本体部２２０と、移動板２３０と、昇降ベルト２４０と、昇降部２５０とを備えて構成されている。
【００３５】
走行部２１０は、例えば軌道１００の内側に図示しないリニアモータ用永久磁石を配施し、走行部２１０に図示しないリニアモータ１次側コイルを設置することでリニアモータを構成し、リニアモータの推進原理で走行ローラ２１５を回転させて軌道１００内を走行する。或いは、図示しないモータ等によって走行ローラ２１５を回転させることによって走行することもできる。
【００３６】
本体部２２０は、走行部２１０に釣り下がる形で取り付けられており、その内部に移動板２３０、昇降ベルト２４０及び昇降部２５０を収納可能である。
【００３７】
移動板２３０は、本体部２２０に取り付けらており、軌道に対して側方（即ち、図の左右方向）に移動可能とされている。即ち、移動板２３０が移動することで、横移載が可能とされる。
【００３８】
昇降ベルト２４０は、本発明の「ベルト」の一例であり、巻き出し及び巻き取りを行うことで、昇降部２５０を本体部２２０に対して昇降させる。
【００３９】
昇降部２５０は、本発明の「基準板」及び「回転板」、並びに「グリップ部」を含んで構成されている。昇降部２５０の構成については後に詳述する。
【００４０】
次に、本実施形態に係る搬送装置の移載に係る動作について図１に加えて、図２及び図３を参照して説明する。ここに図２は、移載を行う際の搬送装置を示す斜視図であり、図３は、横移載を行う際の搬送装置を示す斜視図である。
【００４１】
図２において、本実施形態に係る搬送装置の動作時には、先ず走行部２１０が軌道１００内を走行することで、本体部２２０が荷台４００の上に設置された本発明の「被搬送物」の一例であるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）３００の真上に移動する（即ち、図におけるＸ方向の位置が調整される）。続いて、昇降ベルト２４０の巻き出しが行われることで、昇降部２５０がＦＯＵＰ３００の高さに下降する（即ち、図におけるＺ方向の位置が調整される）。そして、昇降部２５０の下面に設けられたグリップ部がＦＯＵＰ３００を把持することで、ＦＯＵＰ３００の移載が行われる。
【００４２】
ＦＯＵＰ３００が把持されると、昇降ベルト２４０の巻き取りが行われることで、昇降部２５０及び把持されたＦＯＵＰ３００が上昇する。そして、ＦＯＵＰ３００が本体２２０内に収容された状態で、再び走行部２１０が走行することで、ＦＯＵＰ３００の搬送が行われる。
【００４３】
図３において、ＦＯＵＰ３００の設置されている場所が軌道１００の真下でない場合は、図２において説明した動作の他に、移動板２３０が図におけるＹ方向に移動されることによって位置調整が行われる。
【００４４】
上述したように、ＦＯＵＰ３００を移載する場合には、図におけるＸ、Ｙ及びＺ方向において、グリップ部及びＦＯＵＰ３００間の位置調整が行われる。しかしながら、昇降部２５０には、昇降ベルト２４０の巻き出し及び巻き取りによる昇降の際や、移動板２３０の移動の際等に、θ方向（即ち、Ｚ軸を回転軸とする回転方向）にもズレが生じるおそれがある。よって、グリップ部がＦＯＵＰ３００を確実に把持するためには、θ方向の位置調整も行われた方がよい。このため、本実施形態においては、以下に詳述する構成によって、θ方向に係る位置を調整する。
【００４５】
先ず、本実施形態に係る搬送装置の昇降部２５０の詳細な構成について、図４を参照して説明する。ここに図４は、昇降部の詳細な構成を示す斜視図である。
【００４６】
図４において、昇降部２５０は、基準板２５１と、回転板２５２と、連結部２５３と、基準板接続部２５４と、第１ネジ２５５と、回転板接続部２５６と、第２ネジ２５７と、ナット２５８とを備えて構成されている。
【００４７】
基準板２５１は、４本の昇降ベルト２４０によって、移動板２３０（図３参照）と結ばれている。
【００４８】
回転板２５２は、基準板２５１の下面に対向して設けられており、連結部２５３によって基準板２５１と連結されている。回転板２５２は、連結部２５３を回転軸として、基準板２５１に対し、θ方向に回転することが可能である。尚、回転板２５２の下面には、グリップ部（図示せず）が設けられている。
【００４９】
第１ネジ２５５は右ネジであり、基準板２５１に固定された基準板接続部２５４によって基準板２５１と接続されている。第２ネジ２５７は左ネジであり、回転板２５２に固定された回転板接続部２５６によって回転板２５２と接続されている。尚、第１ネジ２５５及び第２ネジ２５７は、互いにナット２５８によって接続されている。これら第１ネジ２５５及び第２ネジ２５７は、互いにナット２５８は、回転板２５２上で平面的に見て、連結軸２５３を中心に回転する回転板２５２の接線方向に沿って配置されており、第１ネジ２５５及び第２ネジ２５７並びにナット２５８における該接線方向の合計長は、ナット２５８が回転されることで次に詳述するように伸縮される。
【００５０】
次に、本実施形態に係る搬送装置の昇降部２５０の動作について、引き続き図４を参照して説明する。
【００５１】
図４において、ナット２５８を矢印Ｐの方向に回転させると、第１ネジ２５５及び第２ネジ２５７は共に締まる。このため、基準板接続部２５４及び回転板接続部２５６は互いに引付けられ、回転板２５２は連結部２５３を軸として、図におけるθ１方向へと回転する。
【００５２】
また、ナット２５８を矢印Ｐとは反対の方向に回転させると、第１ネジ２５５及び第２ネジ２５７は共に緩まる。この場合、基準板接続部２５４及び回転板接続部２５６は互いに遠ざけられ、回転板２５２は連結部２５３を軸として、図におけるθ２方向へと回転する。
【００５３】
上述したように、本実施形態では、ナット２５８を回転させることにより、回転板２５２が基準板２５１に対して回転させられる。よって、回転板２５２の下面に設けられたグリップ部及びＦＯＵＰ３００間のθ方向に係る位置調整を行うことが可能となる。これにより、例えば製造ライン立ち上げ時の搬送装置の回転板のθ方向に係る位置調整を容易に実施することができる。
【００５４】
尚、上述したようなナット２５８の回転は、例えば手動によって行われるが、電動で行われるようにしてもよい。以下に、図５を参照して電動でナット２５８を回転させる場合の構成及び動作を説明する。ここに図５は、昇降部の変形例を示す斜視図である。
【００５５】
図５において、ナット２５８には調整ベルト５００が取り付けられている。調整ベルト５００は、ナット２５８の反対側において、例えば図示しないモータ等に接続される。そして、モータ等によってベルトが回転されることによってナット２５８が回転し、上述したθ方向の位置調整が行われる。
【００５６】
尚、調整ベルト５００に代えて、例えばギア等が取り付けられることによって、ナット２５８が電動で回転されるように構成してもよい。
【００５７】
以上説明したように、本実施形態では、グリップ部及びＦＯＵＰ３００間のθ方向に係る位置を調整できるため、図２や図３に示すような移載を行う際に、確実にＦＯＵＰ３００を把持することが可能である。従って、より好適にＦＯＵＰ３００の搬送を行うことが可能である。
【００５８】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】搬送装置の全体構成を示す側面図である。
【図２】移載を行う際の搬送装置を示す斜視図である。
【図３】横移載を行う際の搬送装置を示す斜視図である。
【図４】昇降部の詳細な構成を示す斜視図である。
【図５】昇降部の変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６０】
１００…軌道、２１０…走行部、２１５…走行ローラ、２２０…本体部、２３０…移動板、２４０…昇降ベルト、２５０…昇降部、２５１…基準板、２５２…回転板、２５３…連結部、２５４…基準板接続部、２５５…第１ネジ、２５６…回転板接続部、２５７…第２ネジ、２５８…ナット、３００…ＦＯＵＰ、４００…荷台、５００…調整ベルト
【図１】
2009018877.tif 000003
【図２】
2009018877.tif 000004
【図３】
2009018877.tif 000005
【図４】
2009018877.tif 000006
【図５】
2009018877.tif 000007