(57)【要約】【課題】  簡単な構造で内部抵抗の小さい基板検査用治具及びその基板検査用治具に用いられる検査用接触子の提供。【解決手段】  基板検査装置本体と該被検査基板の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、導電性を有する接触子群と、接触子群を保持する接触子保持体と、基板検査装置本体に接続される接続電極体を有し、接触子は導電性の棒状部材と該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、棒状部材に貫通されるコイルばねを有し、接触子保持体は接触子の一端を被検査基板の検査点へ案内する案内孔と、コイルばねを収容するコイルばね収容孔を有し、電極部は一端が開放される導電性の中空部材で形成されてなり、接触子と電極部が接触して使用されるに、コイルばねが該中空部材の外側表面に導通接触するとともに、該接触子の棒状部材の他方の端部が該中空部材の内側に収容されることを特徴とする。【選択図】  図２
2009250660.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と該被検査基板の配線パターンに設けられている複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、
前記基板検査用治具は、
両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が前記検査点に圧接される導電性を有する棒状の接触子を複数備える接触子群と、
前記接触子群を保持する接触子保持体と、
前記接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された電極部を備える、前記基板検査装置本体に接続される接続電極体を有し、
前記接触子は、
導電性の棒状部材と、
前記棒状部材の電極部に接触する他方側に配置される該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、
前記大径部より他方側に導通接続され、前記棒状部材に貫通されるコイルばねを有し、
前記接触子保持体は、
前記接触子の一端を前記被検査基板の検査点へ案内する案内孔と、
前記コイルばねを収容するコイルばね収容孔を有し、
前記コイルばね収容孔の径は、前記棒状部材の径よりも大きく、前記大径部の径よりも小さく形成されている第一孔と、第一孔と連通連結される前記大径部よりも径が大きい第二孔からなり、
前記電極部は、
一端が開放される導電性の中空部材で形成されてなり、
前記接触子と前記電極部が接触して使用されるに、前記コイルばねが該中空部材の外側表面に導通接触するとともに、該接触子の棒状部材の他方の端部が該中空部材の内側に収容されることを特徴とする基板検査治具。
【請求項２】
前記接触子保持体は、
前記接触子の一方端部を前記検査点に案内する前記案内孔が形成される案内板と、
前記接触子の他方端部を前記電極部に案内するとともに前記コイルばねを内部に収容するコイルばね収容孔を形成するコイルばね収容板と、
前記棒状部材の径よりも大きいとともに、前記案内孔と前記収容孔を結ぶ直線状に形成される中間孔を具備する中間板を有する
ことを特徴とする請求項１の基板検査治具。
【請求項３】
前記接触子保持体が前記接続電極体に保持される場合に、前記接触子のコイルばねは押圧されていることを特徴とする請求項２記載の基板検査用治具。
【請求項４】
前記電極部は前記接続電極体の表面から突出して配置されていることを特徴としている
ことを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査用治具。
【請求項５】
被検査物の電気的特性を検査するために、被検査物の電気的特性を算出する検査装置本体の電極部と該検査物に予め設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための電気的接続治具に備えられる接触子であって、
一端が前記検査点に導通接触されるとともに他端が前記検査装置本体と電気的に接続される中空状の電極部が備える中空部に収容される導電性の棒状部材と、
前記他端側に前記棒状部材を貫通保持している導電性のコイルばねと、
前記棒状部材の径よりも大きい径を有するとともに、前記コイルばねより検査点側の位置に配置される大径部を有し、
前記大径部に対し他端側は一端側より短く、コイルばね長より長く、
前記電気的接続治具に前記接触子が装着される場合に、前記他端側の一部が前記中空部内に収容されることを特徴とする接触子。
【請求項６】
前記コイルばねは密巻部と疎巻部からなり、
前記大径部は前記導電性のコイルばねの蜜巻部と前記導電性の棒状部材を接合して形成され、
前記コイルばねの疎巻部の内径は前記棒状部材の外径より大きいことを特徴とする請求項５記載の接触子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査用治具及び検査用接触子に関し、より詳しくは、簡単な構造で内部抵抗の小さい基板検査用治具及びその基板検査用治具に用いられる検査用接触子に関する。
尚、本発明はプリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなどの種々の基板や半導体ウェハなどに形成される電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の検査基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路基板上などに設けられる配線パターンは、その回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器などの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回線配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値を測定して、その良否が判断される。
【０００３】
このような判定検査には、配線パターンの断線及び短絡を検査する検査方法が実施されている。このような断線の検査では、検査対象となる配線パターンの2箇所以上の端点に設けられる検査点に、夫々1つずつ接触子を当接させ、その接触子間に所定レベルの測定用電流を流すことによって、その接触子間の電圧値を測定し、この電圧値と予め定められた閾値を比較することにより良否の判定が行われている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、このような検査に用いられる基板の検査用治具には以下のものが存在する。
特許文献１に記載される基板検査用治具では、針状体（明細書中の符号３）の先端部をガイドするためにリセプタクル支持体（明細書中の符号１）、複数枚の中間ガイド体（明細書中の符号６〜１０）及び先端部ガイド体（明細書中の符号１１）が一体的に積層される治具が開示されている。
また、特許文献２に記載される基板検査用治具では、プランジャー（明細書中の符号１）を保持するために保護ボード（明細書中の符号２）、プランジャーボード（明細書中の符号３）、スプリングボード(明細書中の符号５)及び接点ボード（明細書中の符号６）が積層される治具が開示されている。
また、特許文献３に記載される基板検査用治具では中間絶縁体（明細書中の符号６）に形成された支持孔（明細書中の符号６a）内に針状部（明細書中の符号２a・１２a・１３a）及び針状体（明細書中の符号１８・１９）ないしコイルばね（明細書中の符号５，１４，１６）が収容される治具が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平5-215773
【特許文献２】特許3691368
【特許文献３】特許2532331
【０００６】
しかしながら、特許文献１乃至３に開示されるような接触子の構造では接触子を保持するための部材が複数積層されて形成され、これら積層部材に貫通する孔部が設けられて接触子が収容される構造を有している。このような構造をなしているので、これらの治具の組立には組立工程が困難であった。また、接触子を構成する各部材が直列配置されて構成されているので、各部材が確実に導通接触していなければならない不具合を含んでいた。このため、このような基板検査用治具では、接触性の信頼性が確保できない問題を有していた。
【０００７】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので繊細ピッチにも少ない部品点数で組立を容易にし、接触の信頼性を確保させることができる基板検査用治具及び検査用接触子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の発明は、被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と該被検査基板の配線パターンに設けられている複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、前記基板検査用治具は、両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が前記検査点に圧接される導電性を有する棒状の接触子を複数備える接触子群と、前記接触子群を保持する接触子保持体と、前記接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された電極部を備える、前記基板検査装置本体に接続される接続電極体を有し、前記接触子は、導電性の棒状部材と、前記棒状部材の電極部に接触する他方側に配置される該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、前記大径部より他方側に導通接続され、前記棒状部材に貫通されるコイルばねを有し、前記接触子保持体は、前記接触子の一端を前記被検査基板の検査点へ案内する案内孔と、前記コイルばねを収容するコイルばね収容孔を有し、前記コイルばね収容孔の径は、前記棒状部材の径よりも大きく、前記大径部の径よりも小さく形成されている第一孔と、第一孔と連通連結される前記大径部よりも径が大きい第二孔からなり、前記電極部は、一端が開放される導電性の中空部材で形成されてなり、前記接触子と前記電極部が接触して使用されるに、前記コイルばねが該中空部材の外側表面に導通接触するとともに、該接触子の棒状部材の他方の端部が該中空部材の内側に収容されることを特徴とする基板検査治具を提供する。
請求項２記載の発明は、前記接触子保持体は、前記接触子の一方端部を前記検査点に案内する前記案内孔が形成される案内板と、前記接触子の他方端部を前記電極部に案内するとともに前記コイルばねを内部に収容するコイルばね収容孔を形成するコイルばね収容板と、前記棒状部材の径よりも大きいとともに、前記案内孔と前記収容孔を結ぶ直線状に形成される中間孔を具備する中間板を有することを特徴とする請求項１の基板検査治具を提供する。
請求項３記載の発明は、前記接触子保持体が前記接続電極体に保持される場合に、前記接触子のコイルばねは押圧されていることを特徴とする請求項２記載の基板検査用治具を提供する。
請求項４記載の発明は、前記電極部は前記接続電極体の表面から突出して配置されていることを特徴としていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。
請求項５記載の発明は、被検査物の電気的特性を検査するために、被検査物の電気的特性を算出する検査装置本体の電極部と該検査物に予め設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための電気的接続治具に備えられる接触子であって、一端が前記検査点に導通接触されるとともに他端が前記検査装置本体と電気的に接続される中空状の電極部が備える中空部に収容される導電性の棒状部材と、前記他端側に前記棒状部材を貫通保持している導電性のコイルばねと、前記棒状部材の径よりも大きい径を有するとともに、前記コイルばねより検査点側の位置に配置される大径部を有し、前記大径部に対し他端側は一端側より短く、コイルばね長より長く、前記電気的接続治具に前記接触子が装着される場合に、前記他端側の一部が前記中空部内に収容されることを特徴とする接触子を提供する。
請求項６記載の発明は、前記コイルばねは密巻部と疎巻部からなり、前記大径部は前記導電性のコイルばねの蜜巻部と前記導電性の棒状部材を接合して形成され、前記コイルばねの疎巻部の内径は前記棒状部材の外径より大きいことを特徴とする請求項５記載の接触子を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１又は５記載の発明によれば、コイルばねの直列配置を避けて接続抵抗を低減することができ、接触子と電極部が安定して導通接続されることになる。また、棒状部材の検査点側が長く、傾斜させることで検査点の位置を電極部に比べ小さくすることができ、微小ピッチの検査が容易にできる。
請求項２記載の発明によれば、案内孔と収容孔を結ぶ直線状に形成される中間孔を具備する中間板を備えることにより、接触子を接触子保持体に装着する際に接触子をコイルばね収容孔側から容易に中間孔を経由させて案内孔に挿通させることができ、基板検査用治具の組立てと交換を容易に行うことができる。
請求項３記載の発明によれば、電極部と接触子が安定した導通接触状態になる。特に、コイルばねが電極部へ押圧された状態となり、ばねが圧縮した付勢状態となり、接触抵抗を低減することができる。
請求項４記載の発明によれば、電極部が電極体の表面から突出して配置されているので、接続電極体に接触子保持体を固着する場合にコイルばねと電極部がずれることなく確実に当接する。
請求項５記載の発明によれば、接触子の他端が電極部の中空部に収納されるので接続の信頼性が向上する。
請求項６記載の発明によれば、棒状部材とコイルばねが接合されて接触子の内部接続信頼性がより向上し、コスト低減に寄与する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明に係る基板検査用治具１を使用する場合の全体の概略構成を示している。この図１では、基板検査用治具１は、複数の接触子２、これら接触子２を多針状に保持する接触子保持体３、この接触子保持体３を支持するとともに接触子２と接触して導通となる電極部４１を有する接続電極体４、検出される電気信号を処理する検査信号処理部５、及び電極部４１と検査信号処理部５を接続する電極線４４を示している。
接触子２は、被検査基板に形成される配線パターンの各検査点に接触する端子であり、接触子保持体３は接触子２と電極部４１を電気的に接続する。
本発明は、この基板検査用治具１に関する発明であり、特に、接触子２と接触子２と電気的に接続される接続電極体４に設けられる電極部４１の構造に関する。
尚、図１は概略を示す図であり、接触子２の本数やワイヤーケーブルの本数は特に限定されるものではない。また、図面中で示される接触子２や接続電極部４１は、説明の都合上一本分の構造しか開示しておらず、実際の基板検査用治具１では複数の接触子やその接触子２に対応する複数の電極部４１を有している。
【００１１】
図２は、本発明にかかる基板検査用治具１が組み立てられた際の断面図である。
この接触子２は、一方が基板に設定される検査点（図示せず）に導通接触され、他方が後述する電極部４１と導通接触する導電性を有する棒状に形成されている。この接触子２は、検査点から電極部４１へ、または電極部４１から検査点へ電気信号の伝送を行うことになる。
【００１２】
接触子２は、図２で示す如く、棒状部材２１と大径部２２とコイルばね２３を有してなる。この接触子２が電極部４１と検査点を電気的に接続することになる。
棒状部材２１は棒状に形成される細長の部材であり、特に限定されていないが円柱形状に形成される。
この棒状部材２１の一方端部は図２で示すが如き、湾曲形状や半球状又は尖鋭形状に形成されることが好ましい。このように棒状部材２１の一方端部が上記の如き形状を有するように形成されることで検査点に接触する場合に安定して接触することができる。棒状部材２１の他方端部の形状は特に限定されていないが湾曲形状や半球状が好ましい。
この棒状部材２１には、一方端部の付近から大径部２２まで絶縁被覆されることが好ましい。このように絶縁被覆されることにより、隣接する接触子２同士が短絡することを防止することができる。
【００１３】
この棒状部材２１は、導電性を有する部材（導電物質）で形成されており、例えば、ＳＫ鋼(SKH)、ベリリウム銅（BeCu）をあげることができる。棒状部材２１は、検査点と大径部２２にその両側が圧接された場合に、略撓みが無い程度の強度を有することが好ましい。このような強度を接触子２が有することで、コイルばね２３の付勢により検査点に圧接状態を維持することができ、コイルばね２３の伸縮方向の圧接力を提供することができる。
棒状部材２１の長さや太さは特に限定されるものではなく、その使用に応じて適宜変更することができるとともに、被検査基板に形成される検査点のピッチやの形状と大きさに合わせて適宜設定される。
この棒状部材２１の長さや径の大きさは、特に限定されるものではなく使用者により適宜に設定されるが、例えば、その長さを、３０〜４０ｍｍに形成することができ、また、その径の大きさを、０．２〜０．４ｍｍに形成することができる。
【００１４】
大径部２２は、図２で示す如く、棒状部材２１の所定の箇所に設けられる。この大径部２２は、棒状部材２１の径よりも大きい径を有するように、棒状部材２１の側周縁を覆うように形成されている。この大径部２２は導電性の物質から形成されることが好ましく、大径部２２と棒状部材２１を導通接続されていることが好ましい。
この大径部２２の側面部２２ａは、後述するコイルばね２３の接続面として利用することができる。
この大径部２２の径の大きさは特に限定されていないが、後述するコイルばね２３の外径と同様に形成される。また、大径部２１の長軸方向の長さは、棒状部材２１の長軸方向の長さに応じて適宜調整されるため特に限定されないが、１〜３ｍｍの長さを有するように形成される。
【００１５】
この大径部２２が設けられる場所は、棒状部材２１の電極部４１に接触する側に形成されていることが好ましく、後述する接触子保持体３のコイルばね収容板３５の内部に収容される位置に形成される。この大径部２２が棒状部材２１の径よりも大きい径を有するように形成されることにより、接触子保持体３に接触子２を装着した場合に、この大径部２２により接触子保持体３から抜け出ることを防止することができるとともに、接触子２に後述する初期荷重を掛けて一端側の高さを揃えることができる。
尚、図２で示される大径部２２は棒状部材２１の所定位置の外周を覆うように設けられているが、一体型に形成することもできる。
【００１６】
大径部２２は、図２で示す如く、棒状部材２１の周縁を覆うように配置される中空状の円柱形状に形成される部材を用いることができる。また、この大径部２２は、棒状部材２１をかしめ加工を行い、棒状部材２１の径より大きい平坦部を形成することもできるし、パイプやリング形状の部材を接合することで形成することもできる。
【００１７】
コイルばね２３は棒状部材２１を内部に収容し、棒状部材２１を貫通保持した状態になるように配置される。このコイルばね２３は、棒状部材と導通接触される。
コイルばね２３が設けられる場所は棒状部材２１の大径部２２より電極部４１に接触する側に形成されている。コイルばね２３は、図２で示される如く、棒状部材２１のコイルばね保持部２１ａよりも短く形成されており、棒状部材２１の他方端部がコイルばね２３から延出するように形成されている。
【００１８】
このコイルばね２３は、ピアノ線、ステンレス鋼、ベリリウム銅（BeCu）やタングステン（W）などの導電性を有する部材で形成されており、棒状部材２１のコイルばね保持部２１ａに保持され、大径部２２で係止され導通接触されている。コイルばね２３は棒状部材２１の長軸方向に伸縮することになる。
【００１９】
本発明の接触子２は、上記の如く、棒状部材２１、コイルばね２３と大径部２２を具備してなるが、大径部２２はコイルばね２３を利用して形成することもできる。
大径部２２は、棒状部材２１よりも径が大きく形成され、収容孔３５ａの第一孔３３ａよりも大きく且つ第二孔３４ａより小さく形成されることにより、接触子保持体３から接触子２の抜け防止を行うため、コイルばね２３の一部を利用することもできる。例えば、図３で示される接触子２の一実施形態の断面図では、点線で示される大径部２２が形成されておらず、コイルばね２３の検査点側（上側）を大径部２３として利用することができるように、コイルばね２３の上側を下側よりも密巻に形成している。このようにコイルばね２３の上側に密巻部２３１を形成することにより、棒状部材２１との接合部を形成するとともに、大径部２２と同様の役割である係止部を形成することができる。
【００２０】
図３の実施形態では、コイルばね２３が一端を密巻部２３１として形成し、他端をこの密巻部２３１よりもばねの巻きが粗い粗巻部２３２として形成される。この粗巻部２３２は、巻き線が粗くまた、その内径が密巻部２３１の内径よりも大きく形成されている。このように形成されることにより、コイルばね２３が伸縮する際に、棒状部材２１と摩擦が少なく、容易に行うことができる。
なお、この粗巻部２３２の電極部４１と接触する部分は、電極部４１に対して平行面が形成されるように形成される。
【００２１】
接触子保持体３は、複数の接触子２を保持する。この接触子保持体３は、各接触子２の一端を予め設定される検査点へ案内し、各接触子２の他端を予め設定される電極部４１へ案内する。
この接触子保持体３は、複数の板状部材で形成されていることが好ましい。図２で示される接触子保持体３では、案内板３１、中間板３２、コイルばね収容板３５を有している。
そして、複数の検査点の位置に対し各々に対応する電極部４１の位置は接触子２を傾斜させることで移動することができる。
【００２２】
案内板３１は、接触子２の一端を検査点へ案内するための案内孔３１ａを有している。この案内孔３１ａは、接触子２の棒状部材２１の径よりも僅かに大きく形成されている。このため、接触子２を接触子保持体３に装着した場合には、接触子保持体３の案内板３１の案内孔３１ａから接触子２が突出された状態になる。この場合、複数の接触子２の検査点の最小ピッチは棒状部材２１の外径に依存することになる。
なお、図２で示される案内孔３１ａは、径の相違する二つの孔を連通連結することで形成されているが、複数の相違する径の孔を連通連結することで形成しても、一つの径を有する孔から形成されてもよい。
【００２３】
中間板３２は、接触子２を接触子保持体３に装着する場合、コイルばね収容板３５のコイルばね収容孔３５ａから接触子２を案内孔３１ａへ挿入する場合の挿入を案内する中間孔３２ａを有している。この中間孔３２ａは、中間板３２を貫通するように形成されている。
この中間孔３２ａは、案内孔３１ａより大きい径を有する孔で形成されることが好ましい。
中間板３２は、絶縁被膜なしの接触子２に対して短絡を防止することができる。中間板３２は、複数枚の構成としても有効である。
【００２４】
コイルばね収容板３５は、接触子２の他方端を所定の電極部４１へ案内する。このコイルばね収容板３５は、棒状部材２１の径よりも径が大きく、大径部２３の径よりも径が小さい孔３３ａが形成され、接触子２が係止される。
コイルばね収容板３５は、第一収容板３３と第二収容板３４を有してなる。
第一収容板３３は、棒状部材２１の径よりも大きく大径部２２の径よりも小さく形成されている第一孔３３ａと連通連結される大径部よりも径が大きい第二孔３３ｂが形成される。
第一孔３３ａは、棒状部材２１を中間孔３２ａへ案内するように形成され、棒状部材２１の径よりも大きく、大径部２３の径よりも小さく形成されている。
第二孔３３ｂは、第一孔３３ａに連通連結されるとともに、大径部２３の径よりも大きくまたコイルばね２３の径よりも大きく形成される。
【００２５】
第二収容板３４は、コイルばね孔３４ａを有している。このコイルばね孔３４ａは、第一孔３３ａ及び第二孔３３ｂと同様に、接触子２のコイルばね２３及び大径部２３を内部に収容できる。このコイルばね孔３４ａは、第二孔３３ｂと連通連結される。
第一孔３３ａ、第二孔３３ｂとコイルばね２３が連通連結されてコイルばね収容孔３５ａが形成され、このコイルばね収容孔３５ａが接触子２の他方の端部を電極部４１へ案内する。
なお、第一収容板３３の第二孔３３ｂとコイルばね孔３４aは同じ径を有する孔を形成されていることが好ましい。
【００２６】
接触子保持体３は、案内板３１、中間板３２、第一収容板３３及び第二収容板３４からなるコイルばね収容板３５を有してなるが、接触子保持体３は容易に接触電極体４から脱着自在に形成されている。このように、接触子保持体３が脱着自在に形成されていることにより、接触子２を接触子保持体３に装着する場合には、接触電極体４から接触子保持体３を取り外し、コイルばね収容板３５のコイルばね収容孔３５ａを上側に、且つ案内板３１の案内孔３１ａを下側に配置して、接触子２を一方の端部を下に向けてコイルばね収容孔３５ａから落とし入れることにより、接触子２が接触子保持体３に保持されることになる。
【００２７】
この接触子保持体３が接触子２を保持する場合には、コイルばね収容孔３５ａに接触子２が挿入されるとともに、案内板３１の案内孔３１ａと中間板３２の中間孔３２ａに挿通され固定されることになる。接触子２が装着された接触子保持体３を接続電極体４に固着する場合には、接触子２の他方の端部が電極部４１に導通接続するように接続される。
この接触子保持体３と接続電極部４を固定する場合には、接触子保持体３が接触子２のコイルばね２３が電極部４１と接触子保持体３から押圧されて収縮して付勢状態で保持されることになる。つまり、接触子２は、検査点に接触される前に押圧されて、コイルばね２３が付勢状態の所定の初期荷重で保持されている。
【００２８】
接続電極体４は、各接触子２の他端と導通接続して、基板を検査する基板検査装置（図示せず）に接続される。
この接続電極体４は、電極部４１、電極部保持板４２、電極線保持板４３、電極線４４を有してなる。
電極部４１は、一端が開放される導電性の中空部材で形成される。例えば、図２で示される実施形態では、一端が開放される中空部４１ａを有する円筒部材で形成されている。
【００２９】
この電極部４１は、導電性の円筒部材で形成されており、円筒部材の側表面である外側表面４１ｂ及び、円筒部材の内側である内側表面４１ｃに、導電性の部材が接触すれば、その部材との導通接触が可能となる。
この電極部４１の形状は、特に限定されないが、接触子２の棒状部材２１の形状に沿う形状を有しており、棒状部材２１が円柱形に形成されている場合には、円筒形状に形成される。
このように電極部４１の形状が、接触子２の断面形状に応じて適宜変更されることによって、電極部４１の中空部４１ａに棒状部材２１が収容された場合に、電極部４１の内側表面４１ｃと棒状部材２１の外側表面の一部が導通接触することがある。
図２で示される電極部４１は、コイルばね２３と接触を確実にする為に、電極部保持板４２の表面から突出するように開口して配置されているのが好ましい。
コイルばね２３は棒状部材２１で内側を案内されており、棒状部材２１と電極部４１の外側表面４１ｂとずれることなく確実に当接し導通接触する。
【００３０】
電極部保持板４２は、電極部４１を所定の位置に配置されるように保持する。この電極部保持板４２の大きさや厚みは、特に限定されず、使用により適宜変更することができる。
【００３１】
電極線４４は、電極部４１の他方側に導通接続されるとともに、基板検査装置本体と導通接続されている。この電極線４４を介して、基板検査装置本体へ電気信号が伝送されることになる。この電極線４４と電極部４１は、溶接４５などの手段により導通接続されている。
この電極線４４は、導線（ワイヤー）やリード線を用いることができる。
電極線保持板４３は、電極線４４の径と略同等又は僅かに大きい孔を有しており、この孔に電極線４４を挿通させることにより、電極部４１の他方開口部４１ｂを案内する。
なお、この電極線保持板４３は、電極部４１を支持するように形成することもできる。
【００３２】
電極部４１の中空部４１ａは接触子２の径よりも僅かに大きい径であることが好ましく、接触子２が僅かに傾いても収容が可能である。例えば、図２の実施形態では、右側に配置される接触子２は、接続電極体４に対して略直角になるように配置されており、左側に配置される接触子２は、接続電極体に対して右側の接触子２側に傾斜して配置されている。
なお、左側の接触子２のように傾斜して配置される接触子２は、電極部４１の中空部４１ａに棒状部材２１が収容された場合の傾斜による他方端部と内部表面４１ｃとの間隙から傾斜量を許容することができる。
以上が、本基板検査用治具の構成の説明である。
【００３３】
次に本発明にかかる基板検査用治具の組み立てについて説明する。
基板検査用治具１を組み立てる場合には、まず、接続電極体４に第一収容板３３と第二収容板３４を積設し、コイルばね収容板３５を形成する。
このとき、接続電極体４には複数の電極部４１が設けられており、各電極部４１の位置に応じるように、コイルばね収容孔３５ａが位置決めされて、第一収容板３３と第二収容板３４に夫々形成されるコイルばね収容孔３５ａがコイルばね収容板３５に位置決めされて形成されている。電極部４１の上方には、第二収容板３４のコイルばね孔３４ａが配置されることになる。
【００３４】
第一収容板３３は、第二収容板３４に当接するように積層され、夫々の収容孔も積層されている。コイルばね収容板３５が形成されると、コイルばね収容板３５に対応する中間板３２と案内板３１が、夫々中間孔３２ａと案内孔３１ａの位置を調整して配置される。
このとき、コイルばね収容孔３５ａと中間孔３１ａと案内孔３１ａは、接触子２が通過する一直線上に配置されている。
【００３５】
コイルばね収容板３５、中間板３２と案内板３１が配置されると、接触子２の一方の端部をコイルばね収容孔３５ａから挿入する。このとき、接触子２の一方の端部は、中間孔３２ａを通り、案内孔３１ａを貫通して、接触子保持体３に装着される。
このとき、接触子２は、大径部２２を有しているので、コイルばね収容孔３５ａの第二孔３３ｂは通過しても第一孔３３ａは通過することができず、係止されることになる。
このようにして、接触子２が接触子保持体３に保持されることになる。
【００３６】
接触子２が接触子保持体３に保持されると、接触子保持体３の第二保持板３４と接続電極体４２を当接させる。このとき、コイルばね収容孔３５ａに電極部４１の先端が収容されるように保持される。
接触子保持体３と接続電極体４が固着されると、接触子２のコイルばね２３の端部は電極部４１の外側表面４１ｂに圧接されることになるので、コイルばね２３（接触子２）は、第一収容板３３と電極部４１に圧接されることになり、コイルばね２３が収縮して付勢状態となる。
つまり、接触子２は、付勢状態（初期荷重）で接触子保持体３に保持されることになる。
またこのとき、接触子２の棒状部材２１の他方の端部は、電極部４１の中空部４１aに収納される。
以上が本基板検査用治具１の組み立ての説明である。
尚、本基板検査用治具１が利用される場合には、検査点に接触子２の棒状部材２１の一端が基板に当接されて押圧されることにより、棒状部材２１が圧接されてコイルばね２３が更に収縮することになる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係る基板検査用治具を使用する場合の一実施形態の概略構成を示している。
【図２】本発明にかかる基板検査用治具が組み立てられた際の断面図である。
【図３】本発明にかかる接触子の断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１・・・・基板検査用治具
２・・・・接触子
２１・・・棒状部材
２２・・・大径部
２３・・・コイルばね
３・・・・接触子保持体
３１・・・案内板
３１ａ・・案内孔
３２・・・中間版
３２ａ・・中間孔
３３・・・第一収容板
３３ａ・・第一孔
３３ｂ・・第二孔
３４・・・第二収容板
３４ａ・・コイルばね孔
３５・・・コイルばね収容板
４・・・・接続電極体
４１・・・電極部
４１ａ・・中空部
【図１】
2009250660.tif 000003
【図２】
2009250660.tif 000004
【図３】
2009250660.tif 000005