(57)【要約】 【課題】  回転体内に内蔵可能な圧力センサの駆動用電力を、回転体内で発電して供給する回転体内蔵型圧力センサを提供する。【解決手段】 回転体内に内蔵可能な回転体内蔵型圧力センサ１３に駆動用電力を発電する発電機構部３４と、圧力を検出する圧力検知機構部３５を設けて、圧力情報収集解析装置１１と通信することにより圧力情報を得られる。【選択図】  図１
2009265052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発電機構部と、圧電材料から成るダイヤフラムの主面に伝送型櫛歯電極対が形成された圧力検知機構部と、ＲＦ回路部及びアンテナ、前記圧力検知機構部で検知された圧力情報を一時的に保持するためのメモリ回路部、前記発電機構部にて発生した電圧を直流電圧に整流するための整流回路部、前記圧力検知機構部の前記伝送型櫛歯電極対の伝送位相変化量を周波数変化量に変換するための自励発振回路部、を備えた回転体内に内蔵可能な圧力センサであって、
前記発電機構部で誘起された前記電圧は、前記櫛歯電極間に接続された前記整流回路によって整流され、前記ＲＦ回路部、前記メモリ回路部、前記自励発振回路部の電源として供給され、前記圧力検知機構部は、前記自励発振回路部の帰還部に組み込まれ、前記回転体内部の圧力を受けて前記ダイヤフラムが変形することで前記伝送型櫛歯電極対の伝送位相量特性が変化し、前記伝送位相量特性の変化に応じて前記自励発振回路部の発振周波数が変化し、前記被回転体内部の圧力に応じた前記発振周波数の時間変化情報を一時的に前記メモリ回路部に保存し、前記回転体外部からのトリガ信号に応じて、前記ＲＦ回路、アンテナを介して、前記メモリ回路部に一時的に保存されていた前記発振周波数の時間変化情報を送信する機能を有することを特徴とする回転体内蔵型圧力センサ。
【請求項２】
前記発電機構部は、片持ち梁に櫛歯電極が設けられ、前記発電機構部の片持ち梁が外部振動により強制振動することにより前記櫛歯電極が伸縮して電圧が誘起されることを特徴とする請求項１に記載の回転体内蔵型圧電センサ。
【請求項３】
前記発電機構部は、前記回転体の内壁に接するように配置された圧電フィルムが少なくとも１つ以上設けられ、前記発電機構部の圧電フィルムが加圧され電圧が誘起されることを特徴とする請求項１に記載の回転体内蔵型圧力センサ。
【請求項４】
前記発電機構部は、前記回転体外の永久磁石によって生じる磁界と鎖交するように回転体内にコイルが１つ以上設けられ、前記発電機後部のコイルが磁界を鎖交して電圧が誘起されることを特徴とする請求項１に記載の回転体内蔵型圧力センサ。
【請求項５】
前記発電機構部は、前記回転体に熱電対を少なくとも１つ以上直列に接続してなり、各々の熱電対の熱接点が前記回転体の内壁近傍に設けられており、各々の熱電対の冷接点が前記回転体の中央部に設けられ、前記発電機構部の熱電対が温度差により電圧が誘起されることを特徴とする請求項１に記載の回転体内蔵型圧力センサ。
【請求項６】
前記回転体の内壁に接するように電波吸収体シートを接着固定し、前記熱電対の熱接点を電波吸収体シート内部に設けたことを特徴とする請求項５に記載の回転体内蔵型圧力センサ。
【請求項７】
請求項１〜６いずれかの回転体内蔵型圧力センサを測定対象の回転体内に少なくとも２つ以上配置し、被測定物である前記回転体の外部より前記回転体内蔵型圧力センサを起動させるためのトリガ信号を所定の圧力情報収集解析装置より送信し、該トリガ信号によって起動した所望の位置にある回転体内蔵型圧力センサから返信される圧力情報を前記圧力情報収集解析装置にて逐次収集、解析することで回転体内部の局所的な圧力分布情報が得られることを特徴とする圧力測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転体内の圧力を直接計測し、被測定体である回転体の外部に圧力に関わる情報を無線信号により提供することが可能な回転体内蔵型圧力センサおよび圧力測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転体内蔵型圧力センサの一例として、自動車のタイヤ空気圧を運転者に知らせることが可能なタイヤ空気圧監視装置が、特許文献1に開示されている。図１４は、従来の回転体内蔵型圧力センサの回路構成を示す。このタイヤ空気圧監視装置の送信機１４１は、空気圧センサ１４２、制御回路１４３、無線送信回路１４４、モーションセンサ１４５および各部を駆動させるための電源(電池)１４６を具備している。測定したタイヤ空気圧の信号を高周波に変調して送信アンテナ１４７より無線送信し、受信側で、無線信号(高周波)を復調して、タイヤの空気圧の信号を取り出し、空気圧の正常／異常などの表示を行う。尚、モーションセンサ１４５は、タイヤの回転状態と静止状態を識別し、無線通信の時間間隔を管理し、電源の消費電力を低減するために設けられている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１３７２２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以上のような従来の回転体内蔵型圧力センサおよび圧力測定システムは、電源として電池を用いているため、電池寿命による使用期間の制約を受けており、更には、その電池重量のため被測定体である回転体の運動に影響を与えるといった問題があった。本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、電源として、回転体内で発電して供給しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述した問題点を解決すべくなされたもので、回転体内に内蔵可能な圧力センサの駆動用電源を、回転体内で発電して供給する回転体内蔵型圧力センサを提供するものである。発電機構は、原理上回転体に限らず任意の移動する物体の発電に用いることが可能である。
【０００６】
本発明によれば、発電機構部と、圧電材料から成るダイヤフラムの主面に伝送型櫛歯電極対が形成された圧力検知機構部と、ＲＦ回路部及びアンテナ、前記圧力検知機構部で検知された圧力情報を一時的に保持するためのメモリ回路部、前記発電機構部にて発生した電圧を直流電圧に整流するための整流回路部、前記圧力検知機構部の前記伝送型櫛歯電極対の伝送位相変化量を周波数変化量に変換するための自励発振回路部、を備えた回転体内に内蔵可能な圧力センサであって、前記発電機構部で誘起された前記電圧は、前記櫛歯電極間に接続された前記整流回路によって整流され、前記ＲＦ回路部、前記メモリ回路部、前記自励発振回路部の電源として供給され、前記圧力検知機構部は、前記自励発振回路部の帰還部に組み込まれ、前記回転体内部の圧力を受けて前記ダイヤフラムが変形することで前記伝送型櫛歯電極対の伝送位相量特性が変化し、前記伝送位相量特性の変化に応じて前記自励発振回路部の発振周波数が変化し、前記被回転体内部の圧力に応じた前記発振周波数の時間変化情報を一時的に前記メモリ回路部に保存し、前記回転体外部からのトリガ信号に応じて、前記ＲＦ回路、アンテナを介して、前記メモリ回路部に一時的に保存されていた前記発振周波数の時間変化情報を送信する機能を有する機能を有する回転体内蔵型圧力センサが得られる。
【０００７】
また、本発明によれば、前記発電機構部は、片持ち梁に櫛歯電極が設けられ、前記発電機構部の片持ち梁が外部振動により強制振動することにより前記櫛歯電極が伸縮して電圧が誘起される回転体内蔵型圧力センサが得られる。
【０００８】
更に、本発明によれば、前記発電機構部は、前記回転体の内壁に接するように配置された圧電フィルムが少なくとも１つ以上設けられ、前記発電機構部の圧電フィルムが加圧され電圧が誘起される回転体内蔵型圧力センサが得られる。
【０００９】
加えて、本発明によれば、前記発電機構部は、前記回転体外の永久磁石によって生じる磁界と鎖交するように回転体内にコイルが１つ以上設けられ、前記発電機後部のコイルが磁界を鎖交して電圧が誘起される回転体内蔵型圧力センサが得られる。
【００１０】
尚、本発明によれば、前記発電機構部は、前記回転体に熱電対を少なくとも１つ以上直列に接続してなり、各々の熱電対の熱接点が前記回転体の内壁近傍に設けられており、各々の熱電対の冷接点が前記回転体の中央部に設けられ、前記発電機構部の熱電対が温度差により電圧が誘起される回転体内蔵型圧力センサが得られる。
【００１１】
また、本発明によれば、前記回転体の内壁に接するように電波吸収体シートを接着固定し、前記熱電対の熱接点を電波吸収体シート内部に設けた回転体内蔵型圧力センサが得られる。
【００１２】
また、本発明によれば、回転体内蔵型圧力センサを測定対象の回転体内に少なくとも２つ以上配置し、被測定物である前記回転体の外部より前記回転体内蔵型圧力センサを起動させるためのトリガ信号を所定の圧力情報収集解析装置より送信し、該トリガ信号によって起動した所望の位置にある回転体内蔵型圧力センサから返信される圧力情報を前記圧力情報収集解析装置にて逐次収集、解析することで回転体内部の局所的な圧力分布情報が得られる圧力測定システムが得られる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、電池を必要としない回転体内蔵型圧力センサが得られ、電池による使用期限の制約がなく、電池の交換が困難な場合でも長期間の使用が可能となり、加えて被測定体である回転体の運動に影響を与えることなく精度よく回転体内部の圧力情報を収集、解析することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の回転体内蔵型圧力センサは、駆動用電源としての発電機構部と、圧力を検出する圧力検知機構部を設けて、圧力情報収集解析装置と通信することにより被測定体である回転体内部の圧力情報が得られる。
【００１５】
以下に、本発明の実施の形態を詳述する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における回転体内蔵型圧力センサの構成図を示す。また、図２は、本発明の実施の形態１における圧力情報収集解析装置の時間応答信号の一例を示す。図２（ａ）は、送信される時間応答信号、図２（ｂ）は、受信される時間応答信号。図１中の圧力情報収集解析装置１１から送信されたトリガ信号２１は、一定の無線伝搬範囲内１２における回転体内蔵型圧力センサ１３にて受信され、上述の圧力検知機構によって検知された一定時間の圧力情報信号２２を送受信機が内蔵されている圧力情報収集解析装置１１に対して返信する。たとえば、複数個の回転体内蔵型圧力センサ１３が直径１．５ｍの球状の回転体１４の内壁上に配置することで、回転方向１５において一定の回転速度で回転している状況下での局所的な圧力分布を測定することも可能である。
【００１７】
図３は、本発明の実施の形態１における回転体内蔵型圧力センサの構造図を示す。また、図４は、図３中Ｙ−Ｙ’の本発明の実施の形態１における回転体内蔵型圧力センサの断面図を示す。この回転体内蔵型圧力センサ３０は、圧電材料から成る片持ち梁４９の主面に櫛歯電極４２が形成された発電機構部３４と、該圧電材料から成るダイヤフラム４８の主面に伝送型櫛歯電極対４４，４５が形成された圧力検知機構部３５と、ＲＦ回路部３１、前記圧力検知機構部３５で検知された圧力情報を一時的に保持するためのメモリ回路部３２、前記発電機構部３４にて発生した電圧を直流電圧に整流するための整流回路部３３、前記圧力検知機構部３５で得られる伝送型櫛歯電極対の伝送位相変化量を周波数変化量に変換するための自励発振回路部３６、情報の受け渡しを行う送受信アンテナ３７から構成されている。
【００１８】
図５は、本発明の実施の形態１における櫛歯電極の構成図を示す。図５（ａ）は、発電機構部における櫛歯電極の構成図、図５（ｂ）は、圧力検知機構部における櫛歯電極の構成図を示す。発電機構部３４は、図５（ａ）に示すように、圧電材料から成る片持ち梁４９の構造体上に、櫛歯電極４２が構成されている。圧力検知機構部３５は、図５（ｂ）に示すように、圧電材料から成るダイヤフラム４８上に伝送型櫛歯電極対４４，４５が構成されている。
【００１９】
発電機構部３４は、圧電材料から成る片持ち梁構造体が、非圧電性のシリコン単結晶から成る支持基板４７に固定されており、硝子パッケージ４６の空洞部４１内に納められた構造を成している。この発電機構部３４は、外部振動を受けて前述の片持ち梁構造が強制振動することで、櫛歯電極４２が伸張し、圧電効果により電圧を誘起し、ＲＦ回路部３１、メモリ回路部３２、自励発振回路部３６の駆動源として利用される。例えば、圧電材料としては、３６度回転Ｙ板のタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3)を用い、このＬｉＴａＯ3上に、Ｔｉ／Ａｌ層からなる厚み７０ｎｍ程度の櫛歯電極４２（櫛歯、ギャップ間隔０．３μｍ)が公知のスパッタリング法、フォトリソグラフィ技術により形成される。支持基板４７は、例えば、シリコン基板を用いており、ＬｉＴａＯ3基板と陽極接合あるいは直接接合技術を用いて貼り合わせることが可能である。ここで、ＬｉＴａＯ3から成る振動子が自由に振動できるように、シリコン基板の一部には、ＲＩＥ（反応性イオンエッチング）やウエットエッチング技術を用いて空洞部４１が形成されている。ＬｉＴａＯ3から成る振動子の寸法は、長さ１．５０ｍｍ、幅１．００ｍｍ、厚み０．２５ｍｍとし、その機械的共振周波数が６０ｋＨｚ程度となるように製作する。
【００２０】
圧力検知機構部３５は、圧電材料から成るダイヤフラム４８が、支持基板４７に固定されており、一定圧力に調整された硝子パッケージ４６の空洞部４３に納められている。ここで、圧力検知機構部３５は、発電機構部３４と同一の圧電材料から成っており、ＬｉＴａＯ3から成るダイヤフラムの寸法は、具体的な一例を示すと長さ５００μｍ、幅５００μｍ、厚み３μｍとし、前述の櫛歯電極４２と同一工程で伝送型櫛歯電極対４４，４５が形成されている。次に、被回転体である回転体内部の圧力検知原理について説明する。まず、回転体内蔵型圧力センサ３０に圧力が加わることによって、圧電材料からなるダイヤフラム４８が変形し、伝送型櫛歯電極対４４，４５が伸縮し、伝送位相量が変化する。この圧力検知機構部３５は、後述の自励発振回路部３６の帰還部に組み込まれており、最終的には圧力変動に応じた発振周波数の変化として出力される。
【００２１】
図６は、本発明の実施の形態１における回転体内蔵型圧力センサの回路構成図を示す。後述のＲＦ回路部６２、メモリ回路部６３、自励発振回路部６４、スイッチング回路部６６、整流回路部６８および発電機構部６５、圧力検知機構部６７の電気系統図を示す。メモリ回路部６３は、圧力変動に伴う自励発振回路部６４の出力信号（発振周波数）を一時的に保持する機能を有する。年、月、日単位のように長期的にデータを記録、解析する必要がある場合には、後述の圧力情報収集解析装置のトリガ信号のタイミングによりデータの書き込み、読み出しを定期的に行うことで、メモリ容量によって制限されない継続的な圧力情報収集解析が可能となる。このメモリ回路部６３は、公知の半導体微細加工技術によりシリコン基板上に集積化することが可能である。
【００２２】
ＲＦ回路部６２は、送受信用のアンテナ６１を介して後述の圧力情報収集解析装置のトリガ信号を受信する機能と、前述のメモリ回路部６３で一時保持されていた圧力情報によって変調された電波を送信する機能を有する。メモリ回路部６３と同様に、ＲＦ回路部６２は公知の半導体微細加工技術によりシリコン基板上に集積化することが可能である。また、使用する電波の周波数帯域がＧＨｚ程度と高い場合には、ＳＯＩ（Silicon  on  Insulator）基板やＧａＡｓ基板上に形成したＲＦ回路部６２を、チップ間配線して一体化することが可能である。
【００２３】
自励発振回路部６４は、前述の圧力検知機構部の櫛歯電極対を帰還部に設け、自励発振機構を成している。外部圧力に応じて、櫛歯電極対の伝搬位相量が変化することで、発振周波数が変化する。
【００２４】
本発明の実施の形態１では、発電機構部３４の電極として、公知の半導体技術により片持ち梁４９の片面に、櫛歯電極４２を作製したが、片持ち梁４９の両面に電極を設けバルク振動を利用したモノモルフ構造としても良い。また、発電量が不足し易い環境下においては、発電機構部３４の振動子構造を低周波側に合わせ、大振幅を得やすいようにすると良い。又、必要な場合は発電構造部３４を追加して多数設けることで対応できる。
【００２５】
（実施の形態２）
図７は、本発明の実施の形態２における回転体内蔵型圧力センサの構造図を示す。これは、実施の形態１と同様にトリガ信号の送信機能および回転体内蔵型圧力センサ７３からの返信信号を受信する機能を有する圧力情報収集解析装置７１と、回転方向７６で回転している被測定体である球状の回転体７５の内壁上に配置した複数個の回転体内蔵型圧力センサ７３と、回転体内蔵型圧力センサ７３の一部である発電機構部７４から構成されている。図８は、本発明の実施の形態２における回転体内蔵型圧力センサの図７の発電機構部７４の拡大図である。図７の発電機構部７４は、回転体の内壁部８３に一様に接するように接着固定された圧電フィルム８２と、同圧電フィルムの上下面を挟み込むように設けられた複数個の電極対８１から構成されている。具体的には、圧電フィルムとして、厚みが１ｍｍのフッ化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＦ）膜の上下面に公知の真空蒸着技術よりアルミ電極膜を厚さ０．５μｍ程度形成することができる。アルミ電極膜の１セル当たりの寸法は、２０ｍｍ×２０ｍｍ程度が好適である。具体的には、被測定体である回転体（直径１．５ｍの球）の外周に加わる外力が１Ｎ程度のとき、１セル当たりで誘起される電圧は０．３ｍＶ程度であった。一例として、半径２３ｍｍの球体上に一様に１０個のセルをエポキシ系接着剤にて接着固定し、このセル群から発生した電圧を用いて回転体内蔵型圧力センサを構成する実施の形態１と同様のＲＦ回路部、メモリ回路部、自励発振回路部を駆動し、２．４５ＧＨｚ帯で０．５ｍ程度の無線伝搬距離を確保することができた。      
【００２６】
図９は、本発明の実施の形態２における回転体内蔵型圧力センサの断面図を示す。図９には、実施の形態１の回転体内蔵型圧力センサ１３の発電機構部３４を除く、各部が構成されている。回転体内蔵型圧力センサ９０は、圧電材料から成るダイヤフラム９６が、支持基板９５に固定されており、一定圧力に調整された硝子パッケージ９４の空洞部９１に納められている。ここで、圧力検知機構部３５は、発電機構部３４と同一の圧電材料から成っており、前述の櫛歯電極４２と同一工程で伝送型櫛歯電極対９２，９３が形成されている。次に、被回転体である回転体内部の圧力検知原理について説明する。まず、回転体内蔵型圧力センサ９０に圧力が加わることによって、圧電材料からなるダイヤフラム９６が変形し、伝送型櫛歯電極対９２，９３が伸縮し、伝送位相量が変化する。この圧力検知機構部は、前述の自励発振回路部の帰還部に組み込まれており、最終的には圧力変動に応じた発振周波数として出力される。ＲＦ回路部、メモリ回路部、整流回路部、自励発振回路部、アンテナは実施の形態１と同様に構成されており、発電機構部７４から供給される電力によって、稼動している。
【００２７】
（実施の形態３）
図１０は、本発明の実施の形態３における回転体内蔵型圧力センサの構造図を示す。図１１は、本発明の実施の形態３における回転体内蔵型圧力センサの発電機構部の拡大図を示す。これは、実施の形態１と同様にトリガ信号の送信機能および回転体内蔵型圧力センサ１０３からの返信信号を受信する機能を有する圧力情報収集解析装置１０１と、被測定体である球状の回転体の内壁上に配置した複数個の回転体内蔵型圧力センサ１０３と、回転体内蔵型圧力センサの一部である発電機構部１１３と、外部磁場を発生するための永久磁石１０６から構成されている。発電機構部１１３は、円形状コイルから成っている。永久磁石１０６で発生する磁場方向１１１の磁場１０７が、被測定体である回転体１０４の周辺上に配置された発電機構部１１３に鎖交することで、回転体の回転速度に応じて電圧が誘起される。具体的には、永久磁石１０６として飽和磁場が１Ｔ程度のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石を用い、回転方向１０５で回転速度が２７．８ｍ／ｓの回転体（直径１．５ｍの球）上に直径４００ｍｍの円形コイルを配した場合、回転体の円周部１１２の発電機構部１１３で発生する電圧は、０．１ｍＶ程度であった。同円形コイルのターン数を５０回として、前述の条件で回転させると、回転体内蔵型圧力センサを構成する実施の形態１と同様のＲＦ回路部、メモリ回路部、自励発振回路部を駆動でき、実施の形態２と同程度の無線伝搬範囲１０２を確保することができた。
【００２８】
ここで、永久磁石１０６からの漏れ磁場を低減するため、永久磁石１０６と発電機構部１１３の距離を狭めると共に、永久磁石１０６と発電機構部１１３の空隙にヨークを挿入することが望ましい。
【００２９】
（実施の形態４）
図１２は、本発明の実施の形態４における回転体内蔵型圧力センサの構造図を示す。図１３は、本発明の実施の形態４における回転体内蔵型圧力センサの発電機構部の拡大図を示す。これは、実施の形態１と同様にトリガ信号の送信機能および回転体内蔵型圧力センサ１２３からの返信信号を受信する機能を有する圧力情報収集解析装置１２１と、被測定体である球状の回転体１２４の内壁上に配置した複数個の回転体内蔵型圧力センサ１２３と、回転体内蔵型圧力センサ１２３の一部である発電機構部１２６から構成されている。ゼーベック効果を利用する発電機構部１２６は、回転体１２４の内壁上に直接接続された複数個の熱電対１３２から構成されている。具体的には、２００対の銅−コンスタンタン熱電対を用いた。被測定体である回転体１２４（直径１．５ｍの球）の一部を地面に接するように配置し、回転方向１２５で回転体の回転速度を２７．８ｍ／ｓとした場合に、熱電対の熱接点部１３３は１００℃程度に上昇し、同熱電対の冷接点部１３１は８０℃となり、この条件下で、発電機構部１２６で発生された電圧は、１８０ｍＶが得られた。回転体内蔵型圧力センサを構成する実施の形態１と同様のＲＦ回路部、メモリ回路部、自励発振回路部を駆動することができ、実施の形態２と同程度の無線伝搬範囲１２２を確保することができた。
【００３０】
図１３に示すように、１ｍｍ厚程度の酸化鉄系電波吸収シート１３４を被回転体の周辺上にエポキシ系接着剤で固定すると、回転体の外部に存在する約−７０ｄＢｍの環境電磁波１３５を吸収し、熱電対の熱接点部１３３の温度が上昇し、発生電圧が向上した。改善効果は、温度換算で、２℃程度であった。
【００３１】
以上、本発明の実施の形態を用いて、説明したが、これらの実施の形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更があっても本発明に含まれる。すなわち、当業者であれば、当然なしえるであろう各種変形、修正もまた本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明の回転体内蔵型圧力センサおよび圧力測定システムを用いることにより、電池を必要とせず回転体内部の圧力情報を収集、解析することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態１における回転体内蔵型圧力センサの構成図。
【図２】本発明の実施の形態１における圧力情報収集解析装置の時間応答信号の一例を示す図。図２（ａ）は、送信される時間応答信号、図２（ｂ）は、受信される時間応答信号。
【図３】本発明の実施の形態１における回転体内蔵型圧力センサの構造図。
【図４】本発明の実施の形態１における回転体内蔵型圧力センサの断面図。
【図５】本発明の実施の形態１における櫛歯電極の構成図、図５（ａ）は、発電機構部における櫛歯電極の構成図、図５（ｂ）は、圧力検知機構部における櫛歯電極の構成図。
【図６】本発明の実施の形態１における回転体内蔵型圧力センサの回路構成図。
【図７】本発明の実施の形態２における回転体内蔵型圧力センサの構成図。
【図８】本発明の実施の形態２における回転体内蔵型圧力センサの発電機構部の拡大図。
【図９】本発明の実施の形態２における回転体内蔵型圧力センサの断面図。
【図１０】本発明の実施の形態３における回転体内蔵型圧力センサの構成図。
【図１１】本発明の実施の形態３における回転体内蔵型圧力センサの発電機構部の拡大図。
【図１２】本発明の実施の形態４における回転体内蔵型圧力センサの構成図。
【図１３】本発明の実施の形態４における回転体内蔵型圧力センサの発電機構部の拡大図。
【図１４】従来の回転体内蔵型圧力センサの回路構成図。
【符号の説明】
【００３４】
１１    圧力情報収集解析装置
１２    無線伝搬範囲
１３    回転体内蔵型圧力センサ
１４    回転体
１５    回転方向
２１    トリガ信号
２２    圧力情報信号
３０    回転体内蔵型圧力センサ
３１    ＲＦ回路部
３２    メモリ回路部
３３    整流回路部
３４    発電機構部
３５    圧力検知機構部
３６    自励発振回路部
３７    送受信アンテナ
４１    空洞部
４２    櫛歯電極
４３    空洞部
４４    伝送型櫛歯電極対
４５    伝送型櫛歯電極対
４６    硝子パッケージ
４７    支持基板
４８    ダイヤフラム
４９    片持ち梁
６１    アンテナ
６２    ＲＦ回路部
６３    メモリ回路部
６４    自動発振回路部
６５    発電機構部
６６    スイッチング回路部
６７    圧力検知機構部
６８    整流回路部
７１    圧力情報収集解析装置
７２    無線伝搬範囲
７３    回転体内蔵型圧力センサ
７４    発電機構部
７５    回転体
７６    回転方向
８１    電極対
８２    圧電フィルム
８３    回転体の円壁部
９０    回転体内蔵型圧力センサ
９１    空洞部
９２    伝送型櫛歯電極対
９３    伝送型櫛歯電極対
９４    硝子パッケージ
９５    支持基板
９６    ダイヤフラム
１０１    圧力情報収集解析装置
１０２    無線伝搬範囲
１０３    回転体内蔵型圧力センサ
１０４    回転体
１０５    回転方向
１０６    永久磁石
１０７    磁場
１１１    磁場方向
１１２    回転体の円周部
１１３    発電機構部
１２１    圧力情報収集解析装置
１２２    無線伝搬範囲
１２３    回転体内蔵型圧力センサ
１２４    回転体
１２５    回転方向
１２６    発電機構部
１３１    熱電対の冷接点部
１３２    熱電対
１３３    熱電対の熱接点部
１３４    電波吸収シート
１３５    環境電磁波
１４１    送信機
１４２    空気圧センサ
１４３    制御回路
１４４    無線送信回路
１４５    モーションセンサ
１４６    電源（電池）
１４７    送信アンテナ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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