(57)【要約】【課題】水晶片を水晶ウエハから確実に切り離すことが可能な水晶片の製造方法を提供する。【解決手段】レーザー照射時に水晶ウエハ２上に配置するマスク４の裏面側に水晶片１と当接する突起部７を設ける。突起部７が水晶片１に当接すると、水晶片１は自身が切断される方向に付勢された状態となり、それによって水晶片１と水晶ウエハ２との連結部３には、連結部３を折り曲げるような応力（曲げ応力）が印加され、その状態でマスク４の開口部４ａを通して連結部３にレーザー５を照射すると、連結部３の表層付近に生じたクラック８が曲げ応力によって瞬時に拡大して連結部３が切断され、水晶片１が水晶ウエハ２から切り離される。連結部３に印加された曲げ応力によって連結部３におけるクラック８の拡大が促進されるため、レーザー５の出力が低い場合であっても連結部３を確実に切断することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶片と水晶ウエハとの連結部にレーザーを照射して切断し、水晶片を水晶ウエハから切り離す水晶片の製造方法であって、
水晶片と水晶ウエハとの連結部に曲げ応力を印加した状態で当該連結部にレーザーを照射して切断することを特徴とする水晶片の製造方法。
【請求項２】
前記水晶ウエハ上にレーザー遮断用のマスクを配置し、当該マスクに設けた突起部を前記水晶片に当接させることで前記連結部に曲げ応力を印加することを特徴とする請求項１に記載の水晶片の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶片の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶ウエハを加工することで水晶片の外形を切出し、その切出された構造体を１つの水晶片として水晶ウエハから切り離す方法として、構造体（水晶片）が水晶ウエハに一体的に連結された部位（連結部）にレーザーを照射して切断する方法が知られている。（例えば、特許文献１参照）
【０００３】
図２は、従来技術による水晶片の製造方法を示す平面図で、（ａ）水晶ウエハから水晶片の外形を切出した状態、（ｂ）水晶ウエハ上にマスクを配置した状態、図３は、図２の要部断面図で、（ａ）水晶片と水晶ウエハとの連結部にレーザーを照射した状態、（ｂ）水晶片が水晶ウエハから切り離された状態、図４は、水晶ウエハから切り離された水晶片を示す平面図である。図２（ａ）に示すように水晶片１の外形が切出された水晶ウエハ２から水晶片１を切り離す際には、図２（ｂ）に示すように水晶片１が水晶ウエハ２に一体的に連結された部位（連結部）３に対向する位置に開口部４ａを有するレーザー遮断用のマスク（メタルマスク）４を水晶ウエハ２上に配置したうえで、図３（ａ）に示すようにマスク４の開口部４ａに向けてその開口幅よりもスポット径の大きいレーザー（炭酸ガスレーザー等）５を照射し、連結部３にクラックを生じさせることで図３（ｂ）に示すように連結部３を切断して水晶片１を水晶ウエハ２から切り離す。尚、水晶ウエハ２から切り離された図４に示す如き水晶片１は、水晶ウエハ２から切り離された直後に、水晶ウエハ２の裏面側に設置された受け治具６の凹部６ａ内に落ち込む。
【特許文献１】特開２００３−２９０９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
レーザーを用いて水晶片を水晶ウエハから切り離す際、レーザーの出力が高過ぎると水晶片本体にクラック等が生じて水晶片の振動特性に影響を及ぼす虞があるため、レーザーの出力は水晶片本体にクラックを生じさせないようにある程度低く設定されるが、そのようにレーザーの出力が低く抑えられているがために、場合によっては逆にレーザーの出力が不足して水晶片の切断が十分に行えず、水晶片が水晶ウエハから完全に切り離されないという問題があった。
【０００５】
本発明は、以上の問題点に鑑みて成されたものであり、水晶片を水晶ウエハから確実に切り離すことが可能な水晶片の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
水晶片と水晶ウエハとの連結部にレーザーを照射して切断し、水晶片を水晶ウエハから切り離す水晶片の製造方法であって、水晶片と水晶ウエハとの連結部に曲げ応力を印加した状態で当該連結部にレーザーを照射して切断する水晶片の製造方法とする。
【０００７】
前記水晶ウエハ上にレーザー遮断用のマスクを配置し、当該マスクに設けた突起部を前記水晶片に当接させることで前記連結部に曲げ応力を印加する水晶片の製造方法とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、水晶片を水晶ウエハから切り離す際、水晶片を切断する方向に付勢して水晶片と水晶ウエハとの連結部に曲げ応力を作用させることで、連結部における切断クラックの拡大が促進されるため、レーザーの出力が低いような場合であっても水晶片を水晶ウエハから確実に切り離すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明による水晶片の製造方法を示す要部断面図で、（ａ）水晶片と水晶ウエハとの連結部にレーザーを照射した状態、（ｂ）連結部に生じたクラックが拡大した状態、（ｃ）水晶片が水晶ウエハから切り離された状態である。本発明において水晶片１を水晶ウエハ２から切り離す際には、まず、前述の図２に示したように水晶ウエハ２上にレーザー遮断用のマスク（メタルマスク）４を配置したうえで、図１（ａ）に示すようにマスク４の開口部４ａに向けてレーザー５を照射する。
【００１０】
ここで、マスク４の水晶ウエハ２と対向する側（裏面側）には、図１（ａ）に示すように切断しようとする水晶片１に対向する位置に突起部７が設けられており、その突起部７が水晶ウエハ２上にマスク４を配置した時点で水晶片１の主面片側に局所的に当接し、それによって水晶片１は自身が切断される方向、即ちレーザー５が照射される方向に付勢され、水晶ウエハ２との連結部３を支点として下方に向けて撓んだ状態となっている。
【００１１】
マスク４に設けられた突起部７は、例えば平面視矩形状を成す板状部材で、マスク４に一体的に形成されるか、金属等の別部材をマスク４に取り付けることにより形成されており、水晶片１が音叉型水晶片である場合には、音叉を構成する二つの枝部の先端付近にそれぞれ当接するように二つ配置される。
【００１２】
尚、突起部７を当接させる位置や突起部７の数、突出量、形状、材質等は任意であり、水晶片１の形状や水晶片１に印加する付勢力の大きさ、付勢する方向等に応じて適宜選択されるもので、例えば、突起部７が当接することで水晶片１の表面に傷が付く虞がある場合には、突起部７が水晶片１に当接する部位に丸みを持たせたり、適度に軟性乃至は弾性を有する材質や形状（バネ形状等）を選択することが可能である。
【００１３】
以上のように水晶片１にマスク４の突起部７が当接した状態において、水晶片１と水晶ウエハ２との連結部３には、水晶片１を突起部７が当接した側とは反対側（下方）に折り曲げようとする応力（曲げ応力）が印加されており、その状態で連結部３にレーザー５が照射されると、連結部３の表層付近に生じたクラック８が図１（ｂ）に示すように印加された曲げ応力によって下方に向けて瞬時に拡大し、図１（ｃ）に示すように連結部３が完全に切断されて水晶片１が水晶ウエハ２から切り離され、受け治具６の凹部６ａ内に落ち込む。
【００１４】
本発明の要旨は、水晶片を切断する方向に付勢することで水晶片と水晶ウエハとの連結部が切断され易い状態を作り出すことであり、その具体的な手段としては、以上説明したようにマスクに付勢用の突起部を設けることに限定されるものではなく、水晶片を好適に付勢することができるのであれば、マスクとは別の治具を用いて水晶片を付勢する等、その他の手段を用いても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明による水晶片の製造方法を示す要部断面図で、（ａ）水晶片と水晶ウエハとの連結部にレーザーを照射した状態、（ｂ）連結部に生じたクラックが拡大した状態、（ｃ）水晶片が水晶ウエハから切り離された状態
【図２】従来技術による水晶片の製造方法を示す平面図で、（ａ）水晶ウエハから水晶片の外形を切出した状態、（ｂ）水晶ウエハ上にマスクを配置した状態
【図３】図２の要部断面図で、（ａ）水晶片と水晶ウエハとの連結部にレーザーを照射した状態、（ｂ）水晶片が水晶ウエハから切り離された状態
【図４】水晶ウエハから切り離された水晶片を示す平面図
【符号の説明】
【００１６】
１    水晶片
２    水晶ウエハ
３    連結部
４    マスク
４ａ  開口部
５    レーザー
６    受け治具
６ａ  凹部
７    突起部
８    クラック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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