(57)【要約】【課題】パーティクルの発生を極力ゼロにすることが可能であるとともに、温度を一定に維持することが可能で、更に磁場の外乱を防止可能なクリーンチャンバーを提供すること。【解決手段】半導体及び液晶製造装置用のクリーンチャンバーにおいて、複数のＬＥＤ６を備えたＬＥＤ照明ユニット４を前記クリーンチャンバー内の側壁２０２に装着するとともに、前記側壁２０２に形成した通線スリーブ１３内に挿通させたリード線１４を介して前記ＬＥＤ６に電源を供給可能としたことを特徴としており、これにより、照明手段の交換が不要であることによりパーティクルの発生を極力ゼロにすることが可能であり、発熱量が少ないために温度を一定に維持することが可能で、更に、磁場の発生が少ないために磁場の外乱を防止することが可能なクリーンチャンバーとすることが可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体及び液晶製造装置用のクリーンチャンバーにおいて、複数のＬＥＤ（６）を備えたＬＥＤ照明ユニット（４）を、前記クリーンチャンバー（１）内の側壁（２０２）に装着したことを特徴とするクリーンチャンバー。
【請求項２】
半導体及び液晶製造装置用のクリーンチャンバーにおいて、複数のＬＥＤ（６）を備えたＬＥＤ照明ユニット（４）を、前記クリーンチャンバー（１）内の側壁（２０２）に装着するとともに、前記側壁（２０２）に形成した通線スリーブ（１３）内に挿通させたリード線（１４）を介して前記ＬＥＤ（６）に電源を供給可能とした、ことを特徴とするクリーンチャンバー。
【請求項３】
前記ＬＥＤユニット（４）は、フレーム（５）と、該フレーム（５）の内周側に配設された、複数のＬＥＤ（６）を装着した取付基板（７）と、前記フレーム（５）の内周側における前記取付基板（７）の正面側に配設した透明板（８）と、を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のクリーンチャンバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶等の製造装置用クリーンチャンバーに係り、より詳しくは、内部照明としてＬＥＤ照明を用いたクリーンチャンバーに関する。
【背景技術】
【０００２】
周知の通り、半導体や液晶等は多数の工程を経て製造されるが、各工程はそれぞれ、塵埃等の混入が無いクリーンな恒温室としてのクリーンチャンバー内で進められる。
【０００３】
ここで、前記クリーンチャンバーには、半導体等の製造を有効に行うことを可能にするために、多数の条件が求められる。例えば、クリーンチャンバー内にパーティクルが存在すると半導体や液晶の製造工程上の歩留まりが悪くなるために、クリーンチャンバー内はパーティクルが極力ゼロに近いことが要求される。
【０００４】
また、半導体や液晶の材料は温度変化により伸縮して歩留まりが悪くなるため、クリーンチャンバー内は温度が一定であること、いわゆる恒温化が要求されている。
【０００５】
更に、半導体や液晶の製造工程には電子ビームを用いた製造工程があり、この電子ビーム自体をコントロールするのが磁場コントロールであるが、このとき、磁場の外乱が入るとコントロールが不可能になり、または正しく動作しなくなるため、このような磁場の外乱を遮断するために、クリーンチャンバーの壁には特殊な金属（例えばパーマロイ）を用いる必要がある。
【０００６】
ところで、クリーンチャンバー内には、装置の立ち上げやメンテナンス等のために必ず照明が必要となるが、従来はこの照明として蛍光灯を用いていた。即ち、図６は従来のクリーンチャンバー３１の内部を説明するための図であり、２点鎖線で示した部分がクリーンチャンバーのボディーである。即ち、一般的にクリーンチャンバー３１は、床、天井、前後側壁、及び左右側壁で構成されるチャンバーボディー３２を有しており、このチャンバーボディー３２の内部の上方部分にはフィルター３３が配設され、このフィルター３３の上方から下方に向けてエアーが流れる構成としている。そして、前記フィルター３３を構成するフィルターフレーム３３０１に照明手段としての蛍光灯３４が装着されている。
【０００７】
ここで、図７は前記フィルター３３の下面を示した図であり、このフィルター３３は、略格子状としたフィルターフレーム３３０１を有している。そして、このフィルターフレーム３３０１で囲まれた空間にはフィルター本体３３０２が配設されており、このフィルター本体３３０２を通過しつつ、フィルター３３の上方から下方側へ、具体的には図６において矢印で示す方向へエアーが流れる構成としている。
【０００８】
そして、従来のクリーンチャンバー３１では、図７に示すように、前記フィルターフレーム３３０１の下面に照明手段としての蛍光灯３４を装着しており、これにより、上方からクリーンチャンバー３１内を照らすこととしている。
【０００９】
このように、従来のクリーンチャンバー３１では、照明手段として蛍光灯３４を用いているために、前述のクリーンチャンバーに要求される条件を完全に充足することが困難であった。
【００１０】
即ち、蛍光灯では熱が放出されるために、一定温度を維持したいクリーンチャンバーにとって熱負荷となり、これにより温度コントロールを邪魔してしまっていた。
【００１１】
また、蛍光灯には当然のことであるが寿命があり定期的な交換作業が必要となるところ、この蛍光灯の交換作業によってパーティクルが発生するために、これにより、パーティクルを極力ゼロにするという条件を満たすことができず、これが歩留まりを悪くする原因になってしまうとともに、蛍光灯の取り付けが難しく危険を伴うという問題点もある。
【００１２】
更に、周知のように蛍光灯には安定器があるが、この安定器が磁場を発するために、これによって、クリーンチャンバー内の磁場のコントロールが不可能になってしまう事態が考えられる。そして、従来はこのような問題点を解決する方法は提供されていなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
そこで、本発明は、パーティクルの発生を極力ゼロにすることが可能であるとともに、温度を一定に維持することが可能で、更に磁場の外乱を防止可能なクリーンチャンバーを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のクリーンチャンバーは、半導体及び液晶製造装置用のクリーンチャンバーにおいて、複数のＬＥＤを備えたＬＥＤ照明ユニットを前記クリーンチャンバー内の側壁に装着したことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のクリーンチャンバーでは、照明手段としてＬＥＤを用いているところ、ＬＥＤは周知のように発熱量が少ないために、これによりクリーンチャンバー内の温度を一定に維持することが可能である。
【００１６】
また、ＬＥＤは寿命が半永久的でありメンテナンスフリーであるために、交換作業が必要なく、それによりパーティクルの発生を抑えられるとともに、取り付け作業も容易で省スペース化が可能で危険性を無くすることができる。
【００１７】
更に、ＬＥＤの場合には、蛍光灯と比較すると磁場の発生が１／１０であるために、これにより、磁場の外乱によりクリーンチャンバー内の磁場のコントロールが不可能になってしまう事態を防止することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明のクリーンチャンバーでは、複数のＬＥＤを備えたＬＥＤ照明ユニットを用いて、このＬＥＤ照明ユニットを、クリーンチャンバー内の側壁に装着して構成されている。
【００１９】
そして、クリーンチャンバーの側壁には通線スリーブを形成するとともに、この通線スリーブ内にリード線を挿通させ、このリード線を介して、前記ＬＥＤに電源を供給可能としている。
【００２０】
ここで、前記ＬＥＤユニットは、四角形状としたフレームと、このフレームの内周側に配設された、複数のＬＥＤを装着した取付基板と、前記フレームの内周側における前記取付基板の正面側に配設した、透光性の透明板とで構成し、前記フレームをクリーンチャンバーの内壁に埋め込みつつ取付けるとよい。
【実施例１】
【００２１】
本発明のクリーンチャンバーの実施例について図面を参照して説明すると、図１は、本実施例のクリーンチャンバーの内部の一部を示す図であり、図において１が本実施例のクリーンチャンバーである。
【００２２】
そして、本実施例のクリーンチャンバー１は、一般的なクリーンチャンバーと同様に、床２０１、前後及び左右側壁２０２、及び天井２０３とで構成されており、天井近傍には、図示しないフィルター本体を備えたフィルターフレーム３が配設され、このフィルターフレーム３の上方から下方に向けてエアーが流れる構成としている。なお、図においては理解を容易にするために正面側の側壁を省略している。
【００２３】
次に、図において４はＬＥＤ照明ユニットである。即ち、本実施例のクリーンチャンバー１では、前記側壁のそれぞれにＬＥＤ照明ユニット４を装着しており、このＬＥＤ照明ユニット４をクリーンチャンバー１内の照明としている。
【００２４】
ここで、図２は前記ＬＥＤ照明ユニット２の正面図、図３は前記ＬＥＤ照明ユニット２の背面図、図４は図２におけるＡ−Ａ線断面図であり、本実施例において前記ＬＥＤ照明ユニット４は、略四角形状としたアルミニウム製のフレーム５を有している。
【００２５】
そして、このフレーム５は、断面形状を略コ字状にするとともに、開口を内周側に向けており、これにより、内周側の全周に亘り挿入溝５０１が形成されている。
【００２６】
次に、前記フレーム５の内周側には、多数のＬＥＤ６が装着された取付基板が配設されている。即ち、図において７が取付基板であり、本実施例においてこの取付基板７は、その周縁部が前記挿入溝５０１内に挿装可能な寸法形状としており、その表面には多数のＬＥＤ６が、反取付基板側へ向けて装着されている。
【００２７】
そして、この取付基板７は、ビス等により前記フレーム５に固着され、これにより、前記フレーム５の内周側に装着されている。
【００２８】
なお、本実施例において前記ＬＥＤ６は、白色ＬＥＤと黄色ＬＥＤの２色のＬＥＤを用いており、これらを交互に配設している。
【００２９】
次に、図４において８は透明板である。即ち、本実施例におけるＬＥＤ照明ユニット４では、前記フレーム５内において、前記取付基板７の正面側にアクリル製の透明板８を配設しており、この透明板８により、ＬＥＤ６の光をやわらげることとしている。
【００３０】
なお、図において、前記フレーム５の正面側の周縁部全域には、外周側に向けて鍔５０２を張り出しており、これにより、ＬＥＤ照明ユニット４をクリーンチャンバー１の側壁に容易に埋め込むことを可能としている。
【００３１】
また、図１において９は、ＬＥＤ６の明るさを調整するための調整つまみ、１０はＬＥＤ６の色を切り換えるための切替スイッチ、そして、１１がメインスイッチである。
【００３２】
次に、このように構成される前記ＬＥＤ照明ユニット４の取り付け構造について説明すると、図５は、前記ＬＥＤ照明ユニット４を装着した状態の側壁２０２のいずれかを示す縦断側面図であり、一部を省略して描いている。そして、図５において、本実施例のクリーンチャンバー１では、側壁２０２の任意の箇所に、クリーンチャンバー１内側に開口とした通線ボックス１２を形成するとともに、この通線ボックス１２に通じる通線スリーブ１３を側壁２０２に形成している。そして、通線ボックス１２内に前記ＬＥＤ照明ユニット２を挿装するとともに、通線スリーブ１３を介して外部から通線ボックス１２内にリード線１４を導入し、このリード線１４を、取付基板７を介して前記ＬＥＤ照明ユニット４における複数のＬＥＤ６に接続している。
【００３３】
また、このとき、前記通線ボックス１２の外形寸法を前記フレーム５の外形寸法と面一程度にし、これにより、フレーム５を通線ボックス１２内に挿装した際に、鍔５０２が、通線ボックス１２の周囲の壁面に当接可能としている。そして、フレーム５を通線ボックス１２内に挿装した状態で、壁面に当接している鍔５０２をビス等で側壁２０２に固着し、これによりＬＥＤ照明ユニット４を側壁２０２に装着している。
【００３４】
次に、このように構成される本実施例のクリーンチャンバー１の作用について説明すると、本実施例のクリーンチャンバー１では、クリーンチャンバー１を構成する前後及び左右の側壁の任意の箇所に前述の方法でＬＥＤ照明ユニット４を装着しているため、ＬＥＤ照明ユニット４のスイッチ１１をオンにすることで、ＬＥＤ６の光によりクリーンチャンバー１内を照らすことができる。
【００３５】
そしてこのとき、ＬＥＤを用いており発熱量が少ないために、これによりクリーンチャンバー内の温度を一定に維持することが可能である。
【００３６】
また、ＬＥＤは寿命が半永久的でありメンテナンスフリーであるために、交換作業も不要で、交換作業に伴うパーティクルの発生を抑えられるとともに、取り付け作業も容易で省スペース化が可能で危険性を無くすることができる。
【００３７】
更に、ＬＥＤは、蛍光灯と比較すると磁場の発生が１／１０であるために、これにより、磁場の外乱によりクリーンチャンバー内の磁場のコントロールが不可能になってしまう事態を防止することが可能である。
【００３８】
このように、本実施例のクリーンチャンバー１では、照明手段としてＬＥＤを用いているために、パーティクルの発生を極力ゼロにすることが可能であるとともに、温度を一定に維持することが可能で、更に、磁場の外乱を防止可能なクリーンチャンバーとすることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明のクリーンチャンバーでは、ＬＥＤを照明手段として用いることにより、クリーンチャンバーに求められる条件を充足することを可能にしているために、半導体や液晶製造装置用のクリーンチャンバーに限らず、すべての恒温室に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明のクリーンチャンバーの実施例を説明するための図である。
【図２】本発明のクリーンチャンバーの実施例におけるＬＥＤ明ユニットの正面図である。
【図３】本発明のクリーンチャンバーの実施例におけるＬＥＤ照明ユニットの背面図である。
【図４】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図５】本発明のクリーンチャンバーの実施例におけるＬＥＤ照明ユニットの取り付け構造を説明するための図である。
【図６】従来のクリーンチャンバーを説明するための図である。
【図７】従来のクリーンチャンバーの照明を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４１】
１    クリーンチャンバー
２０１    クリーンチャンバーの床
２０２    クリーンチャンバーの側壁
２０３    クリーンチャンバーの天井
３    フィルター
４    ＬＥＤ照明ユニット
５    フレーム
５０１    フレームの挿入溝
５０２    フレームの鍔
６    ＬＥＤ
７    取付基板
８    透明板
９    調整つまみ
１０    切替スイッチ
１１    メインスイッチ
１２    通線ボックス
１３    通線スリーブ
１４    リード線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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