(57)【要約】【課題】  大量のレシピデータを分類，整理する場合、比較対象レシピデータの特定及び収集，比較差分検出，差分結果を踏まえて、パラメータ値を修正まで、一連の処理を実行するレシピ比較システムを提供する。【解決手段】  記憶装置と演算装置と入出力装置とを備え、複数の検査装置の検査条件のデータを管理するデータ処理システムであって、記憶装置は、データ比較の基準とするひとつの検査装置のマスタ検査条件データと、比較対象とする他のひとつ以上の検査装置の比較対象検査条件データとを記憶し、入出力装置は、記憶装置に記憶されたマスタ検査条件の名称と比較対象検査条件の名称とを一覧表形式で並べて表示するとともに、マスタ検査条件のひとつ、および比較対象とする検査装置の選択された比較対象検査条件とを、他の検査条件と区別して表示する。【選択図】図１
2009099140.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記憶装置と演算装置と入出力装置とを備え、複数の検査装置の検査条件のデータを管理するデータ処理システムであって、
前記記憶装置は、データ比較の基準とするひとつの検査装置のマスタ検査条件のデータと、比較対象とする他のひとつ以上の検査装置の比較対象検査条件のデータとを記憶し、
前記入出力装置は、前記記憶装置に記憶された前記マスタ検査条件の名称と前記比較対象検査条件の名称とを一覧表形式で並べて表示するとともに、前記マスタ検査条件のひとつ、および比較対象とする検査装置の選択された比較対象検査条件とを、他の検査条件と区別して表示することを特徴とするデータ処理システム。
【請求項２】
請求項１の記載において、前記演算装置は、選択された前記マスタ検査条件のデータと、選択された比較対象検査条件のデータとを比較し、差があるデータを前記入出力装置へ表示させることを特徴とするデータ処理システム。
【請求項３】
請求項２の記載において、前記差があるデータは、前記検査条件のパラメータであることを特徴とするデータ処理システム。
【請求項４】
請求項２の記載において、前記入出力装置は、表示された前記差があるデータと、該データが含まれる検査条件の他のデータとを合わせて表示することを特徴とするデータ処理システム。
【請求項５】
請求項４の記載において、前記差があるデータおよび前記他のデータは、前記検査条件のパラメータであることを特徴とするデータ処理システム。
【請求項６】
請求項４の記載において、前記演算装置は、前記入出力装置に表示された前記検査条件の前記差があるデータが修正されて差がなくなった場合は、前記入出力装置に表示された当該検査条件と他の検査条件との区別表示を取りやめることを特徴とするデータ処理システム。
【請求項７】
請求項１の記載において、前記記憶装置は、前記マスタ検査条件のデータおよび前記比較対象検査条件のデータを検索するレシピ索引テーブルを記憶することを特徴とするデータ処理システム。
【請求項８】
請求項７の記載において、前記レシピ索引テーブル内の前記マスタ検査条件のデータと前記比較対象検査条件のデータとが一致する場合は、前記マスタ検査条件のデータが前記比較対象検査条件のデータで上書き更新され、一致しない場合は、前記比較対象検査条件のデータが新規登録されることを特徴とするデータ処理システム。
【請求項９】
記憶装置と演算装置と入出力装置とを備え、複数の検査装置の検査条件のデータを管理するデータ処理システムであって、
前記演算装置は、複数の検査装置の検査条件について比較対象データの特定及び収集を行い、データの比較を行い、比較の結果得られた差分パラメータと前記入出力装置に表示された操作画面とを関連付けて表示させるとともに、前記入出力装置の画面上で指定された差分パラメータを含む検査条件のパラメータ操作画面をさらに表示させることを特徴とするデータ処理システム。
【請求項１０】
請求項９の記載において、前記検査条件は、１つの測定種別のデータと１つ以上の測定対象のデータとを有する関係決定キーパラメータを上位、設計値と閾値とを有する従属パラメータデータを下位とするツリー構成を備え、前記演算装置による比較は、第１の検査条件の前記関係決定キーパラメータのデータと第２の検査条件の前記関係決定キーパラメータのデータとを比較し、データがすべて一致したときに前記従属パラメータデータの比較を行うことを特徴とするデータ処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体検査装置に関する複数の検査条件データの処理を行うシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の電子デバイスの高機能化，多機能化に伴い、半導体デバイスの製造工場では、製造品種の増加や半導体デバイスの検査工程の複雑化への適切な対処が課題となっている。このため、半導体デバイスの検査装置で使用する検査条件データは複雑化し、またデータ量の増加の一途をたどっている。検査条件は一般にレシピとよばれるため、以下検査条件データをレシピデータとよぶ。レシピデータは、従来、人手による管理が主体となっており、コンピュータを利用した管理化がすすめられているが、まだ十分とはいえない。
【０００３】
効率の良いレシピデータのメンテナンスとは、品種や検査工程ごとに、レシピデータが一元管理され、半導体検査装置ごとの条件を加味した補正がレシピデータに反映されており、さらに、複数のレシピデータの所在とその使用方法が明確になっている状態のことである。
【０００４】
既に運用され、膨大なレシピデータ資産を整然と分類，整理することは、現在のところ自動化できていない。これは、レシピデータがレシピ管理データ，ウェハマップデータ，測定点管理データ，測定点データと複数の種類のデータ構造が有機的に関連し、またデータ構造を構成するパラメータが多数のため、相互の比較分類パターンが無数に存在するためである。
【０００５】
複雑な構造を有するデータの比較方法は、構造化された文書構造の事例で、特許文献１に記載されたような手法が存在する。レシピデータを分類，整理するにあたって、比較対象のレシピデータの特定及び収集，比較差分検出，差分結果を踏まえてのレシピデータの修正までの一連の処理形態を実現することが必要である。この中で、特許文献１に記載された方法を適用する場合、次の点が課題として残る。
【０００６】
一つ目は、比較差分検出の処理手段について、データ構造がその要素の存在が前提条件であるときのみ、比較処理を行えるが、ウェハ上の測定点のように、データインスタンスの有無を加味して一致しているかの比較処理ができない。さらに、ウェハマップデータのような２次元テーブルのデータ構造にも対応できない。
【０００７】
二つ目は、差分結果を対応処理手段と対応することができないことである。対応処理手段とは、差分結果から、対象パラメータのデータ位置や操作画面を関連付け、この機能を利用する手段のことである。
【０００８】
三つ目は、比較対象データの特定及び収集方法については、特許文献１では、言及されていないので、課題として残る。
【０００９】
【特許文献１】特開平８−３２９０７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、レシピ比較処理により、レシピ差分を明確にし、必要なレシピの特定や分類を効率的に行うことを可能とし、レシピ管理の効率向上およびレシピ一元管理に貢献するデータ処理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の実施態様は、記憶装置と演算装置と入出力装置とを備え、複数の検査装置の検査条件のデータを管理するデータ処理システムであって、記憶装置は、データ比較の基準とするひとつの検査装置のマスタ検査条件のデータと、比較対象とする他のひとつ以上の検査装置の比較対象検査条件のデータとを記憶し、入出力装置は、記憶装置に記憶されたマスタ検査条件の名称と比較対象検査条件の名称とを一覧表形式で並べて表示するとともに、マスタ検査条件のひとつ、および比較対象とする検査装置の選択された比較対象検査条件とを、他の検査条件と区別して表示する構成とした。
【００１２】
また、演算装置は、複数の検査装置の検査条件について比較対象データの特定及び収集を行い、データの比較を行い、比較の結果得られた差分パラメータと入出力装置に表示された操作画面とを関連付けて表示させるとともに、入出力装置の画面上で指定された差分パラメータを含む検査条件のパラメータ操作画面をさらに表示させる構成とした。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、レシピ比較処理により、レシピ差分を明確にし、必要なレシピの特定や分類を効率的に行うことが可能となり、レシピ管理の効率向上およびレシピ一元管理に貢献するデータ処理システムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の一実施例を、図面を用いて説明する。本実施例は、半導体デバイスの検査装置用のレシピ比較システムを対象とする。レシピとは、半導体検査装置の検査条件であり、レシピデータとは、検査条件の設定データのことである。レシピ比較システムは、処理実行専用ＰＣと複数の半導体検査装置がネットワーク接続された状態で、レシピデータを半導体検査装置から処理実行専用ＰＣに収集する形態で実行される。以下、処理実行専用ＰＣを、レシピ比較制御装置とよぶことにする。
【００１５】
図１は、レシピ比較処理を実行するシステムの全体構成を示す構成図である。システム全体は、レシピ比較処理を制御するレシピ比較制御装置１０２とＡ検査装置１００，複数の検査装置１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃから構成される。また、これら各デバイスは、有線社内ローカルエリアネットワークＬＡＮまたは、広域エリアネットワークＷＡＮ１０３により、ネットワーク接続されている。
【００１６】
次に、レシピ比較制御装置１０２の内部構成について説明する。レシピ比較制御装置１０２は、入出力装置１１９および演算装置１１８，記憶装置１２０から構成される。これらの装置によって、レシピ比較処理が統括的に実行される。また、半導体検査装置間のレシピデータを比較する処理では、対象レシピデータをレシピ比較制御装置１０２に転送し、収集しながら、比較処理が実行される。図１の点線部は、半導体検査装置からレシピ索引テーブルとレシピデータとをレシピ比較制御装置１０２に転送することを示す。
【００１７】
入出力装置１１９は、レシピ比較対象の半導体検査装置を選択するための装置選択機能１６０および対象レシピ一覧表示レシピ選択機能１６１，レシピ比較結果を表示するレシピデータ差分結果表示機能１６２から構成される。演算装置１１８は、半導体検査装置からレシピ一覧に関するレシピ索引テーブルを取得するレシピ一覧取得部１７０、および半導体検査装置からレシピデータを取得するレシピデータ取得部１７１，レシピ比較制御装置に保有したレシピデータの比較処理を実行するレシピデータ差分検出部１７２から構成される。
【００１８】
尚、レシピ索引テーブルとは、レシピデータの内部構成と装置上の記憶装置格納位置を明記したレシピデータの構成表のことであり、例えば、レシピ管理データ名，ウェハマップデータ名，測定点データ名，管理クラス名，半導体検査装置名，記憶装置格納位置を構成要素としている。
【００１９】
記憶装置１２０は、半導体検査装置から転送によって収集したレシピ索引テーブルとレシピデータを蓄積する。図１では、Ｃレシピ索引テーブル１３６がマスタレシピデータ１３７と複数のレシピデータ１３８ａ，１３８ｂ，１３８ｃを管理している事例を示す。
【００２０】
半導体検査装置側のシステム構成について説明する。Ａ検査装置１００は、入出力装置１１２，制御装置１１１，演算装置１１０，記憶装置１１３から構成される。同様に、Ｂ検査装置１０１ａ，Ｃ検査装置１０１ｂ，Ｄ検査装置１０１ｃと複数の検査装置が接続され、各装置は、Ａ検査装置１００と同一構成となっている。入出力装置１１２は、検査・測定のためのレシピ実行指示入力や検査・測定結果の画像表示などの機能を有する。
【００２１】
制御装置１１１は、入出力装置１１２から指定されたレシピデータに沿って、検査，測定を実行する機能を有する。演算装置１１０は、検査，測定結果から画像分類や照合など、各種演算を実行する機能を有する。記憶装置１１３は、レシピ一覧を管理するＡレシピ
索引テーブル１３０と、Ａ１レシピデータ１３１およびＡ２レシピデータ１３２から構成され、レシピデータを効率良く蓄積し管理する。
【００２２】
図１で示したレシピデータは、更に、複数のデータ要素から構成されている。この事例をＡ検査装置のＡ１レシピデータ１３１で説明する。レシピデータは、レシピ管理データ１５０，ウェハマップデータ１５１，測定点データ１５２から構成される。レシピ管理データ１５０は、ウェハマップデータ名，測定点データ名などのデータ管理用の属性と、レシピ実行のための付帯パラメータとを含んでいる。ウェハマップデータは、ウェハマップ図を表現するデータである。測定点データは、ウェハ上のチップ座標位置情報，測定種別など測定で必要な複数のパラメータを含んでいる。
【００２３】
次に、レシピ比較処理の処理手順について、図１を用いて説明する。処理の起動は、レシピ比較制御装置１０２の入出力装置１１９の装置選択機能１６０から実行され、レシピ比較の対象の装置をオペレータが適宜、選択する。演算装置１１８のレシピ一覧取得部１７０は、選択された半導体検査装置にアクセスして、そこで管理しているレシピ索引テーブルを取得し、レシピ比較制御装置１０２に転送する。図１では、Ａ検査装置１００の記憶装置１１３のＡレシピ索引テーブル１３０をレシピ比較制御装置１０２の記憶装置１２０に転送する事例を示している。さらに、Ｂ検査装置１０１ａの記憶装置１１７のＢレシピ索引テーブル１３３がレシピ比較制御装置１０２の記憶装置１２０に転送される。同様に、Ｃ検査装置１０１ｂ、Ｄ検査装置１０１ｃの索引テーブルも記憶装置１２０に転送さ
れる。転送された複数の索引テーブルは、レシピ比較制御装置１０２の記憶装置１２０のＣレシピ索引テーブル１３６に併合される。Ｃレシピ索引テーブル内に同一のレシピデータが存在する場合は、上書き更新され、存在しない場合は、新規登録される。
【００２４】
レシピ一覧取得部１７０は、まず、Ｃレシピ索引テーブル１３６を読み込み、選択対象となるレシピ一覧表として整形し、入出力装置１１９のレシピ一覧表示レシピ選択機能１６１に表示する。次に、比較したいレシピデータをレシピ一覧表示レシピ選択機能１６１から、複数選択する。
【００２５】
レシピデータ取得部１７１は、選択したレシピデータ情報を元に、Ｃレシピ索引テーブル内を選択したレシピデータ名をキーとして検索し、管理している半導体検査装置名を抽出する。レシピデータ取得部は、検出した半導体検査装置名とレシピデータ名とをキーとして、対象半導体検査装置にアクセスし、対象レシピデータをレシピ比較制御装置の記憶装置１２０に転送する。図１では、選択したレシピデータ名がＡ１レシピデータであり、対応する半導体検査装置がＡ検査装置１００である場合、Ａ検査装置１００にアクセスして、記憶装置１１３で管理されているＡ１レシピデータ１３１をレシピ比較制御装置１０２の記憶装置１２０に転送し、Ａ１レシピデータ１３７として格納する。Ａ１レシピデータは、マスタレシピデータとして、比較するレシピデータの基準となるものである。
【００２６】
次に、マスタレシピデータと比較する複数のレシピデータの取得方法について説明する。図１では、選択されたレシピデータ名がＢ１レシピデータであり、対応する半導体検査装置がＢ検査装置１０１である場合、Ａ１レシピデータと同様に、Ｂ検査装置１０１にアクセスし、記憶装置１１７で管理されているＢ１レシピデータ１３４をレシピ比較制御装置の記憶装置に転送後、Ｂ１レシピデータ１３８ａとして格納される。同様に複数の半導体検査装置にアクセスし、記憶装置１２０にレシピデータ１３８ｃ，１３８ｄを格納する。
【００２７】
レシピデータ取得部１７１の実行後、レシピデータ差分検出部１７２が呼び出される。レシピデータ差分検出部は、転送されたマスタレシピデータ１３７と複数のレシピデータ１３８ａ，１３８ｂ，１３８ｃを相互比較し、その処理結果を入出力装置１１９のレシピデータ差分結果表示機能１６２に出力する。
【００２８】
以上のレシピ比較システムのシステム構成とレシピ比較処理手順によって、本発明は、レシピデータ管理装置の物理的位置を意識せず、ネットワーク等価的にレシピデータの比較処理を実行指示し、レシピデータ間の差分検出が可能となる。
【００２９】
さらに本発明は、半導体検査装置に散在した複数の識別困難なレシピデータに対して、不十分なレシピパラメータの検出や、実績のあるマスタレシピデータに合致しているかの判定が容易に把握できる特徴がある。
【００３０】
続いて、図２から図５までのレシピデータ差分検出部フローについて説明する。レシピデータ差分検出部フローは、図１のレシピ比較制御装置のレシピデータ差分検出部１７２の内部処理アルゴリズムを示している。レシピデータ差分検出部フローは、レシピデータを構成するデータ要素単位に処理が実行される。つまり、レシピデータは、レシピ管理データ，ウェハマップデータ，測定点データから構成されていることから、これら構成要素ごとに、図２から図５までのフローが実行される。
【００３１】
図２は、レシピ管理データの比較検出フローを示すフローチャートである。レシピ管理データは、ウェハマップデータ名，測定点データ名の他に、レシピ全体を制御する複数の付帯パラメータで構成されている。また、これらパラメータは、パラメータ名とこれに対応した複数のパラメータ値との関連付けで管理されている。はじめに、Ａ１レシピデータをマスタレシピデータと定義する（ステップＳ１００１）。次に、マスタレシピデータからレシピ管理データを抽出し、これをマスタレシピ管理データとする（ステップＳ１００２）。次に、図１のＣレシピ索引テーブル１３６に比較対象のレシピデータ名が存在しているかチェックする（ステップＳ１００３）。比較対象レシピデータ名が存在する場合、比較対象のレシピデータからレシピ管理データを抽出し、比較レシピ管理データとする（ステップＳ１００４）。マスタレシピ管理データと比較レシピ管理データは、同数のパラメータを管理しており、これらパラメータを順次取り出し、相互チェックを実施する（ステップＳ１００５）。ここで、パラメータ値が異なる場合、対象パラメータ情報を主記憶装置、例えば、図１のレシピ比較制御装置１０２の演算装置１１８内の一時的に使用される記憶領域に保存し、レシピデータ結果表示機能１６２で表示する（ステップＳ１００６）。最後にＣレシピ索引テーブル１３６内のレシピデータ名に対して、全て比較処理実施済みとなった場合、フローを終了する。
【００３２】
図３は、ウェハマップデータの比較検出フローを示すフローチャートである。ウェハマップデータは、ウェハ内測定有効エリアを定義したＸ方向とＹ方向から成る２次元配列のチップデータから構成されている。チップデータには、測定有効または測定無効を示すフラグ値が設定されている。
【００３３】
はじめに、Ａ１レシピデータをマスタレシピデータと定義する（ステップＳ２００１）。その後、マスタレシピデータからウェハマップデータを抽出し、マスタウェハマップデータとする（ステップＳ２００２）。次に、図１のＣレシピ索引テーブル１３６に比較対象のレシピデータ名が存在しているかチェックする（ステップＳ２００３）。比較対象レシピデータ名が存在する場合、比較対象のレシピデータからウェハマップデータを抽出し、比較ウェハマップデータとする（ステップＳ２００４）。マスタウェハマップデータと比較ウェハマップデータのチップ数，Ｘ方向数，Ｙ方向数が一致している場合、各チップデータの測定有効無効フラグを順次、相互チェックする（Ｓ２００５）。ここで、パラメータ値が異なる場合、対象パラメータ情報を主記憶装置、例えば、図１のレシピ比較制御装置１０２の演算装置１１８内の一時的に使用される記憶領域に保存し、レシピデータ結果表示機能１６２で表示する（ステップＳ２００６）。最後にＣレシピ索引テーブル１３６内のレシピデータ名に対して全て比較処理実施済みとなった場合、フローを終了する。
【００３４】
図４は、測定点データの比較検出フローを示すフローチャートである。測定点データは、ウェハマップデータで指定された測定有効フラグを有したチップデータに関して、検査条件を定義しており、測定有効チップ数分が存在する。そして、各測定点データには、複数の検査条件パラメータを含んでいる。
【００３５】
はじめに、Ａ１レシピデータをマスタレシピデータと定義する（ステップＳ３００１）。その後、マスタレシピデータから測定点データを抽出し、マスタ測定点データとする（ステップＳ３００２）。次に、図１のＣレシピ索引テーブル１３６に比較対象のレシピデータ名が存在しているかチェックする（ステップＳ３００３）。比較対象レシピデータ名が存在する場合、比較対象のレシピデータから測定点データを抽出し、比較測定点データとする（ステップＳ３００４）。測定点データは、複数のデータを有するので、その存在数分、マスタ測定点データと比較測定点データについて、比較処理が実行されたかチェックする（ステップＳ３００５）。測定点数分のチェックが行われた場合、ステップＳ３００３に戻り、次のレシピデータを取得する。一方、測定点数分のチェックが行われていない場合、マスタ測定点データと比較測定点データについて、同一測定点データの有無をチェックする（ステップＳ３００６）。この結果、マスタ測定点データあるいは比較測定点データどちらかに存在する測定点の場合、対象測定点データ情報を主記憶装置、例えば、図１のレシピ比較制御装置１０２の演算装置１１８内の一時的に使用される記憶領域に保存し、レシピデータ結果表示機能１６２で表示する（ステップＳ３００７）。
【００３６】
対象が同一測定点データの場合、マスタ測定点データと比較測定点データの各パラメータについて、順次、相互チェックを行う（ステップＳ３００８）。ここで、パラメータ値が異なる場合、対象パラメータ情報を主記憶装置、例えば、図１のレシピ比較制御装置１０２の演算装置１１８内の一時的に使用される記憶領域に保存し、レシピデータ結果表示機能１６２で表示する（ステップＳ３００９）。対象測定点データについて順次パラメータチェックが行われた後、次の測定点データを取得する（ステップＳ３０１０）。全ての測定点データの比較が行われた後（ステップＳ３００５）、Ｃレシピ索引テーブル１３６内のレシピデータ名に対して全て比較処理実施済みとなった場合（ステップＳ３００３）、フローを終了する。
【００３７】
図４のステップＳ３００８の順次パラメータ比較処理は、測定点データが保有するパラメータの数が多いため、場合によって多数のパラメータ差分を表示する。さらに、測定点データが多くなれば、パラメータ差分数も飛躍的に増加する。このため、ユーザがパラメータ差分の確認や解析に時間がかかる問題が新たに発生する。そこで、測定点データのパラメータ差分検出フローを改良することにより、パラメータ差分の表示数を減らすことができる。
【００３８】
測定点のパラメータは、測定条件を決定する関係決定キーパラメータと、関係決定キー列が固定されるとこれに付随して決定される従属パラメータに分類される。この基本構成例を式（１）以下に示す。
【００３９】
（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）→（Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）                  …式（１）
Ｓ１からＳ３は、関係決定キーパラメータを表しており、（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）は関係キーパラメータ列と定義する。一方、Ｃ１からＣ４は、従属パラメータを示しており、各従属パラメータは、関係キーパラメータ列に対して、一意的に決定され、（Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）は、従属パラメータ列と定義する。
【００４０】
比較処理は、式（１）をベースに式（２）、式（３）の条件の場合、式（４）で実行される。
【００４１】
（Ｓａ１，Ｓａ２，Ｓａ３）→（Ｃ１ａ，Ｃ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａ）    …式（２）
（Ｓｂ１，Ｓｂ２，Ｓａ３）→（Ｃ１ｂ，Ｃ２ｂ，Ｃ３ｂ，Ｃ４ｂ）    …式（３）
（Ｓａ１＝Ｓｂ１）∧（Ｓａ２＝Ｓｂ２）∧（Ｓａ３＝Ｓｂ３）⇒  
Ｃｏｍｐ（Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ）∨Ｃｏｍｐ（Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ）∨Ｃｏｍｐ（Ｃ３ａ，        Ｃ３ｂ）                                                      …式（４）
ここで、Ｃｏｍｐ（Ｘ，Ｙ）は、ＸとＹのパラメータ値を比較する関数である。
【００４２】
測定点データａと測定点データｂが式（２），式（３）で表されているとき、関係キーパラメータを順次比較する。これを式（３）のＳａ１からＳａ３とＳｂ１からＳｂ３の各パラメータについて比較する。全ての関係キーパラメータが等しい場合、Ｃ１ａからＣ３ａとＣ１ｂからＣ３ｂの従属パラメータを全て比較する。しかし、関係キーパラメータ列が式（４）を満たさない場合、従属パラメータの比較は、不要となるため、関係キーパラメータの比較処理をキャンセルして、次の測定点データの比較に移り、従属パラメータの比較回数を低減している。
【００４３】
図５は、上記式（１）から（４）の条件を加味した、改良した測定点データの比較検出を示すフローチャートである。図４のステップＳ３００８とＳ３００９をこれに入れ替える。はじめに、マスタ測定点データおよび比較測定点データについて、関係キーパラメータ数が一致しているかチェックする（ステップＳ４００１）。一致していない場合は、処理を終了する。一方、一致している場合は、関係決定キーパラメータ列の関係決定キーパラメータが存在するかどうかを確認し（ステップＳ４００２）、存在する場合は関係決定キーパラメータを順次比較する（ステップＳ４００３）。パラメータ値が同一の場合、次の関係決定キーパラメータを取り出し（ステップＳ４００４）、全ての関係決定キーパラメータが一致している場合、従属パラメータを順次比較する（ステップＳ４００５）。ステップＳ４００３で、関係決定キーパラメータで一致していない値がある場合は、処理を終了し従属パラメータの順次比較は行わない。
【００４４】
従属パラメータ値が異なる場合、対象パラメータ情報を主記憶装置に保存し、レシピデータ結果表示１６２に表示する（ステップＳ４００７）。これらの比較フローの実現例は、図７の説明箇所で詳細に述べる。
【００４５】
以上の通り、図２から図５の一連の処理フローにより、図１のレシピデータ差分検出部１７２が実行される。
【００４６】
次に、マスタレシピデータと複数のレシピデータを比較する事例を操作画面にて説明する。各画面は、図１に示すレシピ比較制御装置１０２の入出力装置１１９のディスプレイに表示され、画面やキーボードを用いた入力も入出力装置１１９で行われる。図６は、マスタレシピデータと比較対象のレシピデータを選択するための実行指示の例を示す画面図である。図６において、マスタレシピ領域部２０１は、比較基準となるマスタレシピデータを選択する領域である。また、比較対象レシピ選択領域部２０２は、比較対象の複数のレシピを選択する領域である。画面２００には、マスタレシピ領域部２０１と比較対象レシピ選択領域部２０２とが並べて表示される。
【００４７】
マスタレシピ領域部２０１の装置リストボックス２０３は、登録されているネットワーク上の半導体検査装置名称およびレシピ比較制御装置名称をリスト表示し、オペレータは必要な装置名称を選択する。マスタレシピリスト２０４は、装置リストボックス２０３で選択された半導体検査装置，レシピ比較制御装置上のレシピ，ウェハマップ，測定点の種類を一覧表示する。装置を選択する方法として、本実施例では、リストボックスから選択される例を示したが、装置の一覧表を表示させて選択する方法，チェックボックスでチェックして選択する方法，オプションボタンを設けて選択する方法をとってもよい。
【００４８】
図６において、オペレータが、マスタレシピリスト２０４に表示された表の複数の行から、レシピＡ１を選択したいときは、ひとつの行をクリック等で選択すると、その行が選択されたことが他の行と区別して表示される。行の選択を示す表示方法として、反転表示する、背景色を変える、フォントの色を変える、フォントを太字にする、フォントを斜体にする、フォントサイズを変える、枠を縁取る、などの方法が考えられる。本実施例では、行がクリックされて選択される例を示したが、例えば、表の左側にチェックボックスを付けて、チェックをすることで、レシピＡ１を選択するようにしてもよい。
【００４９】
マスタレシピリスト２０４で選択できるレシピはひとつとする。したがって、マスタレシピリスト２０４の任意の行を選択した状態で、別の行がクリックされると、元々選択していた行の選択状態が解除され、新たに選択した行が選択状態となる。また、選択行が再度クリックされることで、選択状態が解除される方法をとってもよい。
【００５０】
比較対象レシピ選択領域部２０２は、比較対象の複数のレシピを選択する領域であり、比較対象レシピリスト２０８が表示される。比較対象レシピリスト２０８には、複数の装置リストボックス２０５，２０６，２０７が表示され、登録されているネットワーク上の半導体検査装置名称，レシピ比較制御装置名称をリスト表示する。
【００５１】
オペレータは、比較対象レシピリスト２０８の装置リストボックス２０５，２０６，２０７でレシピを操作したい装置を選択する。ひとつの装置リストボックスで選択できる装置はひとつである。比較対象レシピリスト２０８には、選択された装置のレシピ，ウェハマップ，測定点が、一覧表の形式で表示される。装置を選択する方法として、本実施例では、リストボックスから選択するようになっているが、装置名称を一覧表にしておいて一覧表から選択する、または、チェックボックスでチェックして選択する、または、オプションボタンを付けて選択する、などの方法をとってもよい。
【００５２】
オペレータは、装置ひとつについて所望のレシピをひとつ以上選択することができる。比較対象レシピリスト２０８の行がクリックされると、その行のレシピが選択される。行の選択を示す表示方法として、反転表示する、背景色を変える、フォントの色を変える、フォントを太字にする、フォントを斜体にする、フォントサイズを変える、枠を縁取る、などの方法をとってもよい。また、本実施例では、行がクリックされて選択される例を示したが、チェックボックスで選択されるようにしてもよい。
【００５３】
比較対象レシピリスト２０８は、単一の装置内の複数の行を選択することができる。例えば、装置リストボックス２０５で半導体検査装置，レシピ比較制御装置を選択し、表示された比較対象レシピリスト２０８の中から、複数の行を選択することができる。例えば、キーボードのＳｈｉｆｔキーを押下げながら、任意の２行を選択すると、選択した２行を含めた間の行全てを選択することができる。本実施例では、Ｓｈｉｆｔキーとなっているが、別の任意キーを割り当ててもよい。また、ドラッグアンドドロップで複数行を選択するようにしてもよい。
【００５４】
選択状態の行を再度クリックすることで、選択状態が解除される。また、別の行をクリックすると、元々選択していた行の選択状態が解除され、新たに選択した行が選択状態となる方法をとってもよい。その場合、例えば、キーボードのＣｔｒｌキーを押下げながら、任意の行をクリックすることで複数行が選択できる。本実施例では、Ｃｔｒｌキーとなっているが、別の任意キーを割り当ててもよい。また、複数の半導体検査装置，レシピ比較制御装置内の複数の行を選択して解除することもできる。
【００５５】
図６において、例えば、装置リストボックス２０５，２０６，２０７でそれぞれ別の半導体検査装置，レシピ比較制御装置を選択し、表示された各々の比較対象レシピリスト２０８の中から、所望のレシピを選択することができる。装置リストボックス２０５で選択された検査装置Ａのレシピ，ウェハマップ，測定点の各名称が表示され、レシピＡ４が選択されている。装置リストボックス２０６で選択された検査装置Ｂのレシピ，ウェハマップ，測定点の各名称が表示され、レシピＢ５が選択されている。装置リストボックス２０７で選択された検査装置Ｃのレシピ，ウェハマップ，測定点の各名称が表示され、レシピＡ１とレシピＡ３とレシピＡ４が選択されている。
【００５６】
以上のように、マスタレシピデータと複数のレシピデータを選択後、ＯＫボタン２０９をクリック等で押す。その後、図７に示す、選択したレシピデータの測定点パラメータ比較処理を実行し、その比較結果として、図８が表示される。測定点パラメータ比較処理は、図１のレシピ比較制御装置１０２の演算装置１１８で実行され、比較結果は入出力装置１１９のディスプレイに表示される。
【００５７】
図７は、測定点パラメータ比較フローの実現例を示すデータツリー図である。関係決定キーパラメータ３００は、測定点Ａのツリーを構成するキーとなる項目である。従属パラメータ３０１は、関係決定キーパラメータに付随して決定されるパラメータである。図７では、測定点を構成する項目３０２を、測定種別という項目名３０３と、「Hole_Radial」という属性３０４で表現する。また、同様に全ての項目を、項目名と属性で表現する。
【００５８】
測定点Ａと測定点Ｂとを比較する場合、測定点Ａの関係決定キーパラメータ３００の各項目と、測定点Ｂの関係決定キーパラメータ３０６の各項目を比較し、全ての項目の属性が一致する場合に、従属パラメータの比較を行う。関係決定キーパラメータに違いがある場合、違いのある項目を、差分として抽出し、従属パラメータの比較を行わない。
【００５９】
図７の例では、関係決定キーパラメータが全て一致しており、測定点Ａの従属パラメータ３０１中の項目３０５と、測定点Ｂの従属パラメータ３０７中の項目３０８に違いがあるため、設計値１が差分として抽出される。
【００６０】
図８は、レシピ比較結果を表示する例を示す画面図である。画面４００には、トータル数ウィンドウ４０１，選択レシピ一覧４０２，差分リスト４０３が並べて表示されている。トータル数ウィンドウ４０１は、差分として抽出された箇所の合計数を示す。図の例では、差分リスト４０３に、番号で示されるように、差分があるレシピが４個あったので、トータル数ウィンドウ４０１には「４」が表示されている。選択レシピ一覧４０２は、図７で選択されたレシピデータの一覧を表示する。選択レシピ一覧４０２のマスタレシピの列には、図７のマスタレシピ領域部２０１で選択された装置，レシピ，ウェハマップ，測定点が表示される。また、レシピ１以降のレシピには、図７の比較対象レシピ選択領域部２０２で選択したレシピデータ数分の装置，レシピ，ウェハマップ，測定点が表示される。図では、レシピ１からレシピ５までが表示されている。一方、差分リスト４０３には、トータル数４０１に対応した差分箇所が表示される。
【００６１】
差分リスト４０３は、データ項目に関して、マスタレシピデータと複数のレシピデータを比較して、ひとつでも異なる値を有するレシピデータが存在する場合、１箇所の差分として出力される。差分リスト４０３の各行には、それぞれ、番号，状態，差分，マスタレシピ、および、図７の比較対象レシピ選択領域部２０２で選択したレシピデータを表示する。番号の列には、差分として抽出された順番を表示する。状態の列には、追加，変更，削除のいずれかを表示する。
【００６２】
追加の場合は、マスタレシピデータには存在しないが、比較したレシピデータに測定点データが存在している状態を示す。変更の場合は、測定点データ数は同じであるが、これに付随する要素パラメータに、その差分が内在する状態を示す。削除の場合は、マスタレシピデータに存在する測定点データが、比較したレシピデータに存在しない状態を示す。このように、マスタレシピデータと、比較対象レシピデータの差異を、追加，変更，削除で表示しているが、追加，変更，削除の意味を持たせた記号や文字、または、画像で表示してもよい。
【００６３】
差分リスト４０３の差分の列は、測定点データの要素パラメータ項目を表示する。例えば、番号４の例の差分は、「ＩＤＰ」と「３」にあり、後述する図１０に示すようなパラメータ設定画面で具体的なパラメータの値が確認でき、変更することができる。差分リスト４０３に示す本実施例では、パラメータ項目を階層構造で表現し、四角と横線の図で用いているが、ツリー状の図でもよい。さらに、文章や画像で表現してもよい。マスタレシピの列には、マスタレシピデータのパラメータ値を表示する。値が存在しない場合は、−を表示する。−以外の記号，文字，画像で表現してもよい。また、何も表示しなくてもよい。マスタレシピデータのパラメータ値には下線が表示され、クリックできることを示している。
【００６４】
図９，図１０は、マスタレシピの列のマスタレシピデータのパラメータ値が含まれるマスタレシピの編集用画面図であり、一例として、図８の差分リスト４０３の番号２または３のマスタレシピの列のパラメータ値「Multi Point」または「Maximum」をクリックしたときは図９のような画面が表示され、番号４のマスタレシピの列のパラメータ値「３」をクリックしたときは図１０のような画面が表示される。これらの画面は、図８に重ねて表示させる。それぞれの内容については後述する。本実施例では、パラメータ値が編集画面と関連している場合、すなわちリンクしている場合、マウスによるクリックで対応する画面が表示されるが、ダブルクリックにしたり、マウスで選択状態にした後キー押下げにより表示されたり、選択状態にした後ボタン押下げにより表示されたりしてもよい。また、パラメータ値がリンクしていることを示す表示方法として、パラメータ値に下線が表示される形態にしているが、反転表示，背景色を変える，フォントの色を変える，フォントを太字にする，フォントを斜体にする，フォントサイズを変える，枠を縁取る、などの方法をとってもよい。
【００６５】
図９や図１０に示すリンク先の画面でパラメータ値を編集することにより、マスタレシピデータと、比較対象のレシピデータ間で差異が無くなった場合、差分リスト４０３から、対象の差分箇所が自動的に削除される。あるいは、自動的に行を削除せずに残し、対象行の背景が色づけされるなどの強調表示でもよい。
【００６６】
差分リスト４０３のレシピの列には、マスタレシピデータと、比較対象のレシピのデータとで、差異がある場合にその値を表示する。例えば、図８の差分リスト４０３の番号１については、マスタレシピに対してレシピ２のパラメータ値「２」が異なっている値である。そして、対象位置の背景が色づけされるなどにより、強調表示されている。強調表示の方法としては、反転表示する、背景色を変える、フォントの色を変える、フォントを太字にする、フォントを斜体にする、フォントサイズを変える、枠を縁取る、などの方法をとってもよい。番号４のレシピ２のように、値が存在しない項目は、「−」を表示する。「−」以外の記号，文字，画像で表現してもよい。また、何も表示しなくてもよい。マスタレシピデータと比較対象レシピデータとで差分がない場所は、値が表示されない。
【００６７】
比較対象レシピの列のパラメータ値をクリックして表示される編集画面の例について、以下説明する。図９は、図８の差分リスト４０３の番号２または３のマスタレシピの列のパラメータ値「Multi Point」または「Maximum」をクリックしたときに表示される画面の一例であり、リンク先の測長パラメータの値の設定画面である。ＡＭＰ画面５００には、測長種類として「Width」、対象パターンとして「Ｌｉｎｅ」、測長方法として「Multi Point」、測長値として「Maximum」、測長点数として「１６」が表示されている。マスタレシピデータと比較対象レシピデータとでパラメータ値が異なる場合は、対象入力項目が反転などにより強調表示されている。例えば、測長方法ウィンドウ５０１と測長値ウィンドウ５０２は、マスタレシピデータと比較対象のレシピ１のデータとで、そのパラメータに違いがあるため、反転表示により強調表示されている。強調表示は、背景色を変える、フォントの色を変える、フォントを太字にする、フォントを斜体にする、フォントサイズを変える、枠を縁取る、などの方法をとってもよい。
【００６８】
強調表示された入力項目を編集することにより、マスタレシピデータと、全ての比較対象レシピデータが、同一の値になった場合、強調表示から通常表示に変わる。あるいは、通常表示に変わらずに、反転表示、背景色を変える、フォントの色を変える、フォントを太字にする、フォントを斜体にする、フォントサイズを変える、枠を縁取る、などの方法でもよい。ＯＫボタンを押下げすることにより、編集内容が保存され、図９の画面が閉じる。本実施例では、ＯＫボタンとしているが、メニューから保存、あるいは、編集した時点で自動保存してもよい。
【００６９】
図８の差分リスト４０３の番号４のマスタレシピの列のパラメータ値「３」をクリックしたときは、図１０のような画面が表示される。図８の差分リスト４０３の差分の列には、「ＩＤＰ」と「３」が表示されており、図１０はＩＤＰ画面６００になり、ＩＤＰに関する番号３の行６０１が反転表示される。このＩＤＰ画面は、レシピの測定検査チップ，測定点，検査点，パターン検出に用いる画像情報などの、測定対象の情報を設定する画面である。マスタレシピデータと比較対象レシピデータとで、パラメータ値が異なる箇所は番号３の行６０１なので、反転表示により強調表示されている。この比較の事例において、いずれか片方のみにパラメータ値が存在する場合は、存在する側のパラメータ値が強調表示される。例えば、番号３の行６０１は、マスタレシピデータのみパラメータ値が存在するため、強調表示される。強調表示の方法としては、反転表示の他に、背景色を変える、フォントの色を変える、フォントを太字にする、フォントを斜体にする、フォントサイズを変える、枠を縁取る、などの方法でもよい。強調表示された入力項目を編集することにより、マスタレシピデータと、全ての比較対象レシピデータが、同一の値になった場合、強調表示から通常表示に変わる。あるいは、通常表示に変わらずに、反転表示，背景色を変える、フォントの色を変える、フォントを太字にする、フォントを斜体にする、フォントサイズを変える、枠を縁取る、などの方法でもよい。ＯＫボタンを押下げすることにより、編集内容が保存され、図１０の画面が閉じる。本実施例では、ＯＫボタンとしているが、メニューから保存、あるいは、編集した時点で自動保存してもよい。
【００７０】
以上述べたように、本発明におけるレシピ比較制御装置は、複数の検査装置のレシピについて比較対象データの特定及び収集を行い、データの比較を行い、比較の結果得られた差分パラメータと操作画面とを関連付け、画面上でオペレータが変更したい差分パラメータを指定してパラメータ操作画面を自動起動させる機能を有している。これにより、検査装置のレシピ管理について、効率のよいレシピ一元管理を実現することができる。
【００７１】
レシピ比較制御装置を用いたレシピデータの特定及び収集は、複数の検査装置からレシピデータを転送する通信手段により、検査装置間，レシピ比較制御装置と検査装置間、あるいは、検査装置で保有している複数のレシピ間を対象としている。
【００７２】
レシピ比較制御装置により、レシピ管理テーブル、ウェハマップテーブル、測定点テーブから構成される複数レシピデータを相互比較することにより、差分が検出される。
【００７３】
本発明では、生産実績のある１つのマスタレシピデータと、複数のレシピデータとを比較する１対ｎの比較方式を採用している。
【００７４】
差分の結果を踏まえて行われるレシピデータの修正は、レシピ比較制御装置のディスプレイに表示されたレシピの差分パラメータを選択することにより、対応するデータを表示する操作画面を関連付けて起動することができるので、データの変更が容易となり、オペレータにとって使い勝手のよいレシピ管理システムを得ることができる。
【００７５】
レシピ比較制御装置によるこれら一連の機能により、品種，検査工程ごとに、必要あるいは不要レシピの選定や振り分けができ、検査装置のレシピ管理について、効率のよいレシピ一元管理を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】レシピ比較システムの全体構成を示す構成図。
【図２】レシピ管理データの比較検出フローを示すフローチャート。
【図３】ウェハマップデータの比較検出フローを示すフローチャート。
【図４】測定点データの比較検出フローを示すフローチャート。
【図５】改良した測定点データの比較検出を示すフローチャート。
【図６】マスタレシピデータと比較対象のレシピデータを選択するための実行指示の例を示す画面図。
【図７】測定点パラメータ比較フローの実現例を示すデータツリー図。
【図８】レシピ比較結果を表示する例を示す画面図。
【図９】マスタレシピの列のマスタレシピデータのパラメータ値が含まれるマスタレシピの編集用画面図。
【図１０】マスタレシピの列のマスタレシピデータのパラメータ値が含まれるマスタレシピの編集用画面図。
【符号の説明】
【００７７】
１０２  レシピ比較制御装置
１１８  演算装置
１１９  入出力装置
１２０  記憶装置
１７０  レシピ一覧取得部
１７１  レシピデータ取得部
１７２  レシピデータ差分検出部
２００，４００  画面
２０１  マスタレシピ領域部
２０２  比較対象レシピ選択領域部
２０４  マスタレシピリスト
２０８  比較対象レシピリスト
４０３  差分リスト
５００  ＡＭＰ画面
６００  ＩＤＰ画面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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