(57)【要約】【課題】試料気体による固体吸着剤の分解を抑制することによって、気中の微量有機物を精度よく分析することを可能にする。【解決手段】オゾンを含む気中から試料気体を吸引し、吸引した試料気体中の有機物を多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３で捕集する。吸引した試料気体はバッファ部５でオゾン濃度を低下させた後に固体吸着剤３に導入し、この状態で試料気体中の有機物を固体吸着剤３で捕集する。この後、固体吸着剤３で捕集した有機物を分析する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オゾンを含む気中から試料気体を吸引し、前記吸引した試料気体中の有機物を多孔質ポリマーからなる固体吸着剤で捕集する工程と、前記固体吸着剤で捕集した前記有機物を分析する工程とを具備する気中有機物の分析方法であって、
前記試料気体中のオゾン濃度を低下させた後に、前記固体吸着剤で前記試料気体中の有機物を捕集することを特徴とする気中有機物の分析方法。
【請求項２】
請求項１記載の気中有機物の分析方法において、
オゾンの分解を促進するように前記試料気体を加熱して、前記試料気体中のオゾン濃度を低下させることを特徴とする気中有機物の分析方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の気中有機物の分析方法において、
前記試料気体をオゾン分解用固体触媒と接触させ、前記試料気体中のオゾン濃度を低下させることを特徴とする気中有機物の分析方法。
【請求項４】
オゾンを含む気中から吸引された試料気体中のオゾン濃度を低下させるバッファ部と、
前記バッファ部から前記試料気体が導入される多孔質ポリマーからなる固体吸着剤を備え、前記固体吸着剤で前記試料気体中の有機物を捕集する捕集部と、
前記固体吸着剤で捕集した前記有機物を分析する分析部と
を具備することを特徴とする気中有機物の分析装置。
【請求項５】
請求項４記載の気中有機物の分析装置において、
前記バッファ部は前記試料気体を加熱してオゾンの分解を促進する加熱機構およびオゾン分解用固体触媒の少なくとも一方を備えることを特徴とする気中有機物の分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は気中有機物の分析方法と分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置や膜厚測定装置等の光を使った装置を備える半導体製造装置や半導体検査装置においては、装置内雰囲気中に微量の有機物、特にシロキサン等の有機物が存在すると光学系に曇りが生じ、照度が低下するという問題がある。そこで、装置内雰囲気中の微量有機物を制御する必要が生じる。さらに、微量有機物を制御する上で、装置内雰囲気中の微量有機物を精度よく分析することが求められている。
【０００３】
大気中に存在する有機物の分析には、一般的に多孔質ポリマー等からなる固体吸着剤を用いて有機物を捕集し、捕集した有機物をガスクロマトグラフィー等で分析する方法が用いられている。具体的には、固体吸着剤を充填した捕集管を直接あるいはチューブ等を介してポンプと接続する。ポンプを作動させて捕集管に大気を所定流量で所定時間吸引し、所定体積の大気（試料気体）中の有機物を固体吸着剤で捕集する（特許文献１参照）。この後、捕集管ごと加熱して固体吸着剤に吸着された有機物を脱離させる。脱離させた有機物をガスクロマトグラフィー質量分析装置等に導入し、有機物濃度を分析する。
【０００４】
上述したような有機物の捕集方法を半導体製造装置等の装置内雰囲気中の微量有機物の捕集に適用し、捕集した有機物をガスクロマトグラフィー等で分析した場合、分析結果に固体吸着剤の分解物に起因すると考えられるピークが出現する場合がある。このような場合、固体吸着剤の分解物ピークに妨害されて、測定対象となるシロキサン等の有機物のピークに基づく分析を正確に行なうことができないという問題が生じる。気中有機物の捕集は活性炭系の吸着剤を用いて実施することも可能であり、この場合には分解物ピークは生じない。しかし、活性炭系の吸着剤は吸着効率が低いため、多孔質ポリマー等からなる固体吸着剤を用いた場合のように気中有機物を感度よく分析することはできない。
【特許文献１】特開２０００−０８８７１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、試料気体による固体吸着剤の分解を抑制することによって、気中の微量有機物を精度よく分析することを可能にした気中有機物の分析方法と分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る気中有機物の分析方法は、オゾンを含む気中から試料気体を吸引し、前記吸引した試料気体中の有機物を多孔質ポリマーからなる固体吸着剤で捕集する工程と、前記固体吸着剤で捕集した前記有機物を分析する工程とを具備する気中有機物の分析方法であって、前記試料気体中のオゾン濃度を低下させた後に、前記固体吸着剤で前記試料気体中の有機物を捕集することを特徴としている。
【０００７】
本発明の別の態様に係る気中有機物の分析装置は、オゾンを含む気中から吸引された試料気体中のオゾン濃度を低下させるバッファ部と、前記バッファ部から前記試料気体が導入される多孔質ポリマーからなる固体吸着剤を備え、前記固体吸着剤で前記試料気体中の有機物を捕集する捕集部と、前記固体吸着剤で捕集した前記有機物を分析する分析部とを具備することを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の態様に係る気中有機物の分析方法および分析装置によれば、試料気体中のオゾンによる固体吸着剤の分解を抑制することができる。従って、固体吸着剤で捕集した微量有機物を精度よく分析することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施形態の気中有機物の分析装置に適用される気中有機物の捕集装置の概略構成を示す図である。図１に示す気中有機物の捕集装置１は、気中から試料気体を吸引する吸引ポンプ２と、吸引ポンプ２で吸引された試料気体が導入される固体吸着剤３が充填された捕集管４と、捕集管４の前段に配置されたバッファ部５とを具備している。
【００１０】
この実施形態の気中有機物の捕集装置１は、試料気体中に存在するオゾンに基づく不都合を解消するものである。すなわち、試料気体中にオゾンが存在していると、多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３がオゾンで分解される。固体吸着剤３の分解物ピークは測定対象となる有機物ピークの分析を妨害する要因となる。このように、気中有機物の捕集装置１は多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３がオゾンで分解されることを見出したことに基づいて実現されたものであり、オゾンによる固体吸着剤３の分解を抑制し、測定対象となる有機物の分析を精度よく実施することを可能にするものである。従って、気中有機物の捕集装置１はオゾンを含む気中から吸引された試料気体中の有機物の捕集に用いられる。
【００１１】
第１の実施形態による気中有機物の分析装置は、図１に示す気中有機物の捕集装置１と、固体吸着剤３から脱離させた有機物を分析する分析部（図示せず）とから構成される。図示を省略した分析部としては、各種公知のガスクロマトグラフィー、ガスクロマトグラフィー質量分析計等の分析装置を適用することができる。これら分析装置の構成は公知であり、分析部として用いる分析装置自体には各種公知の構成を適用することが可能であるため、ここでは分析部の構成の説明は省略する。
【００１２】
図１に示す気中有機物の捕集装置１において、吸引ポンプ２はチューブ６を介して、もしくは直接捕集管４と接続される。捕集管４には多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３が充填されており、気中有機物の捕集部として機能する。固体吸着剤３を構成する多孔質ポリマーとしては、例えばポリエチレンオキサイドが挙げられる。ポリエチレンオキサイドは気中から各種の有機物（有機化合物）を捕集する吸着剤（テナックス管（商品名、クロムパック社製）等）として用いられている。ポリエチレンオキサイドはオゾンで分解されやすいことから、実施形態の固体吸着剤３として有効である。
【００１３】
ただし、固体吸着剤３を構成する多孔質ポリマーはポリエチレンオキサイドに限定されるものではなく、一般的に吸着剤として用いられている多孔質ポリエーテル、多孔質ポリスチレン、多孔質ポリエステル、多孔質ポリビニルアルコール等であってもよい。これらも分解程度が異なるとしても、オゾンで分解されるおそれがある。固体吸着剤３で捕集する有機物は特に限定されるものではなく、測定対象に応じて気中に存在する揮発性の有機物（有機化合物）が捕集される。固体吸着剤３で捕集する有機物の代表例としては、シロキサンや有機シラン等の有機ケイ素化合物が挙げられる。
【００１４】
捕集装置１で試料気体を吸引する測定雰囲気は特に限定されるものではなく、オゾンを含む大気であればよい。露光装置や膜厚測定装置等の光照射部を有する装置を備える半導体製造装置や半導体検査装置では、装置内雰囲気としての大気中の酸素が光により解離してオゾンが生成している場合が多い。このため、捕集装置１は光照射部を備える半導体製造装置や半導体検査装置の装置内雰囲気から試料気体を吸引して有機物を捕集する場合に好適に用いられる。さらに、大気中のオゾン濃度が０．１ｐｐｍ程度以上になると、多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３の分解が生じやすくなることから、そのような濃度のオゾンを含む雰囲気に対しても捕集装置１は有効である。
【００１５】
固体吸着剤３が充填された捕集管４の前段にはバッファ部５が接続されている。バッファ部５は試料気体を所定時間滞留させることが可能とされている。バッファ部５の気体導入口５ａには測定対象となる気中に配置される吸引管（図示せず）が接続され、気体排出口５ｂは捕集管４の気体吸引側に接続される。吸引ポンプ２を作動させると、分析を要する気中（オゾンを含む気中）から試料気体が一旦バッファ部５内に吸引される。
【００１６】
吸引された試料気体はバッファ部５内に所定時間滞留し、この間に試料気体中のオゾン濃度を低下させる。試料気体中のオゾン濃度は、バッファ部５内に滞留する間に固体吸着剤３に悪影響（多孔質ポリマーの分解）を及ぼさない濃度まで低下させる。このようなオゾン濃度を低下させた試料気体が捕集管４内に導入される。試料気体を捕集管４内に導入する際のオゾン濃度は、固体吸着剤３の種類等によっても異なるが、具体的には１０ｐｐｂ以下とすることが好ましい。試料気体中のオゾン濃度を１０ｐｐｂ以下とすることによって、固体吸着剤３の分解を安定して抑制することが可能となる。
【００１７】
試料気体中のオゾンはバッファ部５内に十分に滞留させることで分解させることができるものの、オゾンの分解を促進するために、バッファ部５で試料気体を加熱することが好ましい。すなわち、バッファ部５は試料気体を加熱してオゾンの分解を促進する加熱機構を有することが好ましい。試料気体中に存在するオゾンは加熱により分解が促進されるため、加熱温度や加熱時間（滞留時間）に基づいてオゾン濃度を所定濃度まで低下させることができる。バッファ部５は試料気体の滞留時間を長くするような配管構造（蛇菅構造やスパイラル構造）を有していることが好ましい。
【００１８】
具体的には、試料気体中のオゾン濃度（初期濃度）に基づいて、加熱機構による加熱温度とバッファ部５内の配管構造等に基づく滞留時間（加熱時間）とを調整し、試料気体のオゾン濃度を所定の濃度まで低下させる。オゾン濃度を所定濃度まで低下させるための加熱条件は、オゾンの初期濃度、バッファ部５の配管構造や加熱構造等にも依存するため、捕集装置１の具体的な装置構成等に応じて適宜設定することが好ましい。図２および図３に試料気体の加熱条件（加熱温度×加熱時間）とオゾン濃度との関係の一例を示す。
【００１９】
図２に示す条件においては、オゾンの初期濃度を１０ｐｐｍとしている。このようなオゾン濃度を２桁低下させるためには、例えば２００℃で約３０秒間加熱したり、１００℃で約３００秒間（５分間）加熱すればよい。また、１０ｐｐｍのオゾン濃度を２桁低下させる場合、室温では約２０分間程度滞留させてもよい。図３に示す条件においては、オゾンの初期濃度を０．１ｐｐｍとしている。このようなオゾン濃度を１０ｐｐｂ以下に低下させるためには、例えば１００℃で１２００秒間（２０分間）以上加熱したり、２００℃で１２０秒間（２分間）以上加熱すればよい。ただし、図２および図３はあくまでも加熱条件の一例であり、実際には試料条件や装置条件等に応じて設定するものとする。
【００２０】
上述したように、固体吸着剤３が充填された捕集管４にはバッファ部５内を滞留する間にオゾン濃度を低下させた試料気体が導入される。試料気体が捕集管４内を通過することによって、試料気体中の有機物は固体吸着剤３に吸着・捕集される。有機物を吸着した固体吸着剤３は例えば捕集管４ごと加熱され、固体吸着剤３から有機物を脱離させる。固体吸着剤３から脱離した有機物はガスクロマトグラフィー等の分析装置（分析部）に送られて分析される。有機物の分析は定性および定量のいずれであってもよい。有機物の脱離は加熱脱着に限らず、分析装置の種類によっては溶媒抽出等を適用してもよい。
【００２１】
図４に第１の実施形態の捕集装置１を用いて露光装置の装置内雰囲気中の有機物を捕集し、捕集した有機物をガスクロマトグラフィー質量分析計で分析した結果を示す。固体吸着剤３としてはテナックス管（商品名、クロムパック社製）を用いた。露光装置の装置内雰囲気のオゾン濃度（初期濃度）は０．１ｐｐｍであった。バッファ部５で滞留させた後の試料気体のオゾン濃度は１０ｐｐｂ以下であった。図４はオゾン濃度が１０ｐｐｂ以下の試料気体のガスクロマトグラフィー質量分析によるトータルイオンチャートである。
【００２２】
図４のイオンチャートにおいて、＃８のピークがシロキサンピークである。シロキサンピークの分析を妨害するような不純物ピークは認められず、シロキサンの定量分析を高精度に実施することが可能であることが分かる。これに対し、図５にバッファ部を適用しない以外は実施形態と同様にして装置内雰囲気のシロキサン濃度を測定した結果を示す。図５では図４と同様にシロキサンピーク（＃８）が認められるものの、それ以外に不純物ピークも出現している。これは固体吸着剤の分解ピークである。図５では吸着剤分解ピークに妨害されて、シロキサンピークの分析を正確に行なうことができない。
【００２３】
このように、試料気体を多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３に導入する前に、バッファ部５で試料気体中のオゾン濃度を低下させることで、試料気体中のオゾンによる固体吸着剤３の分解、さらには固体吸着剤３の分解ピークの出現を抑制することができる。従って、測定対象であるシロキサン等の有機物を高精度に分析することが可能となる。多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３に悪影響を及ぼす物質がオゾンであることは、図４と図５とがオゾン濃度が異なる以外は同一条件での分析結果であることから明らかである。
【００２４】
なお、図６および図７は活性炭系の吸着剤を用いて捕集したシロキサンの分析結果（ガスクロマトグラフィー質量分析によるトータルイオンチャート）であり、図６は試料気体がオゾンを含む場合、図７は実施形態と同様に試料気体中のオゾン濃度を低下させた場合である。いずれの場合にも吸着剤分解ピークは出現していないものの、測定対象であるシロキサンのピーク（＃８）自体も小さい。このように、活性炭系の吸着剤はシロキサン等の有機物の吸着効率が低いため、多孔質ポリマーからなる固体吸着剤を用いた場合のように気中有機物を感度よく分析することはできない。
【００２５】
上述した実施形態において、図１に示す捕集装置１は構造的にバッファ部５内の大気も捕集管４内に導入される。このような点に対しては、例えばバッファ部５内を予め窒素ガス等の不活性ガスでパージ（窒素パージ等）しておくことによって、バッファ部５内に残留する大気による分析精度の低下を抑制することができる。さらに、捕集装置１の構造でバッファ部５内に残留する大気の影響を排除することも可能である。そのような気中有機物の捕集装置１の装置構成について、図８を参照して述べる。
【００２６】
図８は図１に示す気中有機物の捕集装置１の変形例である。図８に示す捕集装置１において、吸引ポンプ２は吸引配管７に接続されている。吸引配管７は第１および第２の三方バルブ８、９を有し、さらにバルブ１０を介してバッファ部５の気体排出口５ｂと接続されている。バッファ部５の気体導入口５ａはバルブ１１を介して吸引管１２と接続されている。吸引配管７に介在された第１および第２の三方バルブ８、９は、それぞれ捕集用配管１３と接続されている。捕集用配管１３の途中には、多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３が充填された捕集管４が設置されている。
【００２７】
捕集管４の試料吸引口は吸引配管７の上流側（バッファ部５側）に位置する第１の三方バルブ８に接続されている。捕集管４の試料排出口は吸引配管７の下流側（吸引ポンプ２側）に位置する第２の三方バルブ９に接続されている。このように、捕集装置１はバッファ部５を介して気中から試料気体を吸引する吸引ラインＡと吸引した試料気体から有機物を捕集する捕集ラインＢとを有しており、吸引ラインＡと捕集ラインＢとは三方バルブ８、９により切り替えることが可能とされている。
【００２８】
バッファ部５の内部配管は試料気体の加熱効率を高めるように蛇菅構造を有している。さらに、バッファ部５はその内部に滞留する試料気体を加熱する加熱機構（ヒータ等）１４を備えている。バッファ部５は加熱機構１４を備える加熱部のみで構成してもよいが、加熱状態の試料気体を直接捕集管４に導入すると有機物の捕集効率や捕集精度等が低下する場合がある。このような場合には、図９に示すように加熱機構１４を備える加熱部１５と冷却部１６とを有するバッファ部５を適用することが好ましい。なお、冷却部は図１に示した捕集装置１に対しても有効である。
【００２９】
冷却部１６は加熱部１５内の加熱用配管の出口側に接続されている。言い換えると、捕集装置１の捕集ラインＢ側において、加熱部１５と捕集管４との間には冷却部１６が設置されている。加熱部１５と冷却部１６との間には中間バルブ１７が介在されている。このような加熱部１５と冷却部１６とによって、バッファ部５が構成されている。加熱された試料気体は冷却部１６内を滞留させることで室温付近まで冷却され、その後に捕集管４内に導入される。冷却部１６は配管中の滞留時間に基づいて自然放熱する構造に限らず、試料気体を強制的に冷却する空冷機構や水冷機構等の冷却機構を有していてもよい。
【００３０】
図８に示す捕集装置１では、まず三方バルブ８、９の捕集ラインＢ側を閉じ、吸引ラインＡのみを開放する。バッファ部５は入口バルブ１１を閉じ、出口バルブ１０を開放（図９では中間バルブ１７も開放）する。この状態で吸引ポンプ２を作動させ、バッファ部５内を所定の減圧状態まで吸引する。次いで、測定雰囲気中に吸引管１２を配置しつつ、バッファ部５の出口バルブ１０（図９では中間バルブ１７）を閉じ、入口バルブ１１を開けて、バッファ部５内に試料気体を吸引する。バッファ部５（図９では加熱部１５）内が大気圧になり、所定体積の試料気体の吸引が終了した時点で入口バルブ１１を閉じる。
【００３１】
次に、試料気体中のオゾン濃度に応じて、試料気体をバッファ部５（図９では加熱部１５）内で加熱してオゾンを分解する。この間にバッファ部５の出口バルブ１０（図９では中間バルブ１７）から吸引ポンプ２までの吸引ラインＡを、図示を省略した大気開放バルブを開けて大気圧にしておく。なお、大気開放バルブは有機物除去フィルタを有し、大気開放した際に試料気体以外の有機物が混入することを防止している。試料気体の加熱条件は前述した通りであり、試料気体のオゾン濃度（初期濃度）、捕集管４に導入する際のオゾンの設定濃度、バッファ部５の配管構造や加熱構造等に応じて適宜に設定する。
【００３２】
試料気体のオゾン低減化処理が終了した後、三方バルブ８、９を捕集ラインＢ側に切り替えると共に、バッファ部５の出口バルブ１０を開放する。この状態で吸引ポンプ２を作動させ、バッファ部５内の試料気体を捕集管４内に導入し、試料気体中の有機物を固体吸着剤３で吸着させて捕集する。この際、バッファ部５の入口バルブ１１も同時に開放するが、そのままでは所定体積以上の気体中の有機物を捕集してしまうおそれがある。そこで、バッファ部５内に窒素ガスやクリーンエアーを吸引量に合せて導入する。あるいは、バッファ部５の入口バルブ１１の手前に有機物除去フィルタを配置するだけでもよい。
【００３３】
図９に示す捕集装置１においては、試料気体のオゾン低減化処理が終了した後、三方バルブ８、９を捕集ラインＢに切り替えると共に、バッファ部５の中間バルブ１７と出口バルブ１０を開放する。この状態で吸引ポンプ２を作動させ、試料気体が冷却部１６を滞留する間に室温まで冷却させた後、試料気体を捕集管４内に導入する。試料気体中の有機物は固体吸着剤３で吸着・捕集される。なお、冷却部１６の適用に代えて、加熱処理後に加熱部１５を放置して試料気体を自然冷却するようにしてもよい。
【００３４】
有機物を吸着した固体吸着剤３は例えば捕集管４ごと加熱され、固体吸着剤３から有機物を脱離させる。固体吸着剤３から脱離した有機物はガスクロマトグラフィー等の分析装置（分析部）に送られて分析される。図８および図９に示す捕集装置１においても、試料気体を多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３に導入する前に、バッファ部５で試料気体中のオゾン濃度を低下させている。これによって、試料気体中のオゾンによる固体吸着剤３の分解を抑制することができ、測定対象である有機物を高精度に分析することが可能となる。さらに、図８および図９では吸引ラインＡと捕集ラインＢとの切り替えを可能としているため、捕集管４に所定体積の試料気体のみを導入することができる。
【００３５】
次に、第２の実施形態について図１０を参照して説明する。第２の実施形態の気中有機物の分析装置は第１の実施形態と同様に、図１０に示す気中有機物の捕集装置２１と、ガスクロマトグラフィー、ガスクロマトグラフィー質量分析計等による分析部（図示せず）とから構成される。図１０に示す気中有機物の捕集装置２１は、バッファ部２２としてオゾン分解用固体触媒２３を有している。オゾン分解用固体触媒２３は、捕集管４内に固体吸着剤３の前段として挿入されている。なお、固体吸着剤３の種類や測定雰囲気、また試料気体のオゾン濃度等は第１の実施形態と同様である。
【００３６】
オゾン分解用固体触媒２３は捕集管４内にオゾン分解フィルタとして配置される。オゾン分解用固体触媒２３としては、酸化マンガン、酸化チタン、白金等が用いられる。オゾン分解用固体触媒２３を使用したバッファ部２２では、吸引する試料気体（大気）との反応時間（吸引速度）を制御して、試料気体中のオゾンを効率的に分解する。オゾン分解用固体触媒２３は捕集管４内への配置に限らず、捕集管４とは別に設けたバッファ部内に配置してもよい。さらに、オゾン分解用固体触媒２３は第１の実施形態のバッファ部５と併用してもよい。すなわち、第１の実施形態のバッファ部５とオゾン分解用固体触媒２３を有する捕集管４とを接続してもよい。これによって、オゾンの分解効率が向上する。
【００３７】
図１０に示す気中有機物の捕集装置２１において、吸引ポンプ２を作動させて吸引した試料気体はまずオゾン分解フィルタとしてのオゾン分解用固体触媒２３中を通過し、その際にオゾン濃度が所定の濃度以下まで低下する。そして、オゾン濃度を低下させた試料気体が固体吸着剤３に導入され、試料気体中の有機物が固体吸着剤３に吸着・捕集される。有機物を吸着した固体吸着剤３は捕集管４ごと加熱され、固体吸着剤３から有機物を脱離させる。この際、オゾン分解用固体触媒２３も同時に加熱することによって、オゾン分解用固体触媒２３に吸着された有機物も脱離させることができる。固体吸着剤３から脱離した有機物はガスクロマトグラフィー等の分析装置（分析部）に送られて分析される。
【００３８】
第２の実施形態の気中有機物の捕集装置２１によれば、試料気体を多孔質ポリマーからなる固体吸着剤３に導入する前に、オゾン分解用固体触媒２３と接触させて試料気体中のオゾン濃度を低下させている。これによって、試料気体中のオゾンによる固体吸着剤３の分解、さらには固体吸着剤３の分解ピークの出現を抑制することができる。従って、測定対象であるシロキサン等の有機物を高精度に分析することが可能となる。上述したように、第１の実施形態と第２の実施形態とは組合せることができ、その場合には試料気体中に存在するオゾンの分解効率等をより一層高めることが可能となる。
【００３９】
なお、本発明の気中有機物の分析方法および分析装置は上記した実施形態に限定されるものではなく、各種オゾンを含む気中から多孔質ポリマーからなる固体吸着剤を用いて有機物を捕集し、捕集した有機物を分析する場合に適用することができる。本発明の気中有機物の分析装置の具体的な構造は、本発明の基本構成を満足するものであれば種々に変形が可能である。さらに、実施形態は本発明の技術的思想の範囲内で拡張または変更することができ、拡張、変更した実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１の実施形態による気中有機物の分析装置に適用される気中有機物の捕集装置の概略構成を示す図である。
【図２】オゾンの初期濃度が１０ｐｐｍの場合の加熱条件（加熱温度×加熱時間）とオゾン濃度との関係の一例を示す図である。
【図３】オゾンの初期濃度が０．１ｐｐｍの場合の加熱条件（加熱温度×加熱時間）とオゾン濃度との関係の一例を示す図である。
【図４】本発明の実施例による試料気体中の有機物のガスクロマトグラフィー分析結果を示す図である。
【図５】第１の比較例としての試料気体中の有機物のガスクロマトグラフィー分析結果を示す図である。
【図６】第２の比較例としての試料気体中の有機物のガスクロマトグラフィー分析結果を示す図である。
【図７】第３の比較例としての試料気体中の有機物のガスクロマトグラフィー分析結果を示す図である。
【図８】図１に示す気中有機物の捕集装置の変形例を示す図である。
【図９】図１に示す気中有機物の捕集装置の他の変形例を示す図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態による気中有機物の分析装置に適用される気中有機物の捕集装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１，２１…気中有機物の捕集装置、２…吸引ポンプ、３…多孔質ポリマーからなる固体吸着剤、４…捕集管、５，２２…バッファ部、１４…加熱機構、１５…加熱部、１６…冷却部、２３…オゾン分解用固体触媒。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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