(57)【要約】【課題】測定精度の向上を図った流速測定装置を提供する。【解決手段】マイクロヒータ３３が、ガスの流路Ｓに配置されている。ＤＳＰ７が、サイン波信号のデジタル値を出力する。サイン波信号のデジタル値はＤＡＣ８でアナログ値に変換されてａｍｐ９で増幅された後、マイクロヒータ３３に供給される。ＤＳＰ７が、サーモパイル３５から出力される温度信号をフーリエ変換して基本周波数のパワーを検出し、検出されたパワーが所定範囲内になるようにマイクロヒータ３３に対して出力するサイン波信号のゲインＧを調整する。ＤＳＰ７は、温度信号をフーリエ変換して基本周波数の位相を検出して、その位相から流量を求める。【選択図】図２
2009156665.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定対象の流体の流路上に配置したヒータと、周期的に電圧が変化する駆動信号を前記ヒータに供給する駆動手段と、前記流路における流体の流れ方向に前記ヒータから間隔をおいて配置された前記ヒータから放出される熱を検出してその温度に応じた温度信号を出力する温度センサと、前記温度信号をフーリエ変換して前記温度信号の位相を検出する位相検出手段と、前記位相検出手段により検出された位相に基づいて前記流体の流速を測定する流速測定手段と、を有する流速測定装置において、
前記温度信号をフーリエ変換して前記温度信号のパワーを検出するパワー検出手段と、
前記検出されたパワーが所定範囲内になるように、前記駆動信号又は前記温度信号のゲインを調整するゲイン調整手段と、
を有することを特徴とする流速測定装置。
【請求項２】
前記ゲイン調整手段が、前記パワー検出手段により検出された前記パワーと前記所定範囲とを比較して、前記パワーが前記所定範囲よりも小さければ前記ゲインを大きくし、前記パワーが前記所定範囲よりも大きければ前記ゲインを小さくするように、設定されていることを特徴とする請求項１に記載の流速測定装置。
【請求項３】
前記駆動手段が、前記駆動信号のデジタル値を出力する演算装置と、前記駆動信号のデジタル値をデジタル／アナログ変換して前記ヒータに供給するデジタル／アナログ変換手段と、を有していて、そして、
前記ゲイン調整手段が、前記駆動信号のデジタル値に乗じるゲインを調整するように設定されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の流速測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流速測定装置に係り、特に、ガス等の流体の流速を測定する流速測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流路を流れる例えばガスなどの流体の流速を検出する技術として、流路上に配置したヒータを所定周波数で電圧が変化する駆動信号により通電駆動し、このヒータから流路における流体の流れ方向に間隔をおいて配置した温度センサが、ヒータから放出される熱の伝播速度に応じて出力する温度信号と、ヒータの通電駆動に用いる駆動信号との位相差を求める方法が知られている（例えば特許文献１）。
【０００３】
上述した位相差を求める手段として、コリオリ式流量計で行われているように、温度信号をＦＦＴ（Fast Fourier transform：高速フーリエ変換）して、温度信号の基本周波数（所定周波数）の位相を求めることが考えられる。
【０００４】
次に、上述した位相差に基づいて流速を測定する流速測定装置の特性について説明する。図８は、ガスの流速に対するヒータの温度を示すグラフである。同図に示すように、流速が速くなると、ヒータは冷やされて温度が下がる。図９は、ガスの流速に対する温度センサへの熱伝導率を示すグラフである。同図に示すように、ガスの流速が速くなるとガス温は温度センサに伝わりやすくなる。上記図８及び図９から明らかなように、ガスの速度に対する温度センサの温度は、図１０に示すように、流速の遅い時と、流速の速い時と、で低くなる。
【０００５】
図１１は、ガスの速度に対する温度センサから出力する温度信号（サイン波）の振幅を示す。図１０に示す理由により、温度センサから出力する温度信号の振幅は、速度の遅い時と、速い時と、で小さくなる。このため、速度の遅い時、速度の速い時に出力される温度信号の振幅に合わせて、この温度センサのアンプのゲインを調整すると、流速が中間の時では、温度センサのアンプの出力が飽和してしまう。そこで、従来では、流速が中間の時に出力される温度信号に合わせて、温度センサのアンプのゲインを調整していた。
【０００６】
図１２は、ガス圧に対するガスの分子量を示すグラフである。同図に示すように、ガス圧が高くなるとガスの分子量が多くなる。ガス圧が高くなると、ガスの分子量が増え、熱容量が上がり、ヒータにより加熱されるガスの温度が下がる。このため、ガス圧に対するヒータにより加熱されるガスの温度は、図１３に示すようになる。図１３に示す理由により、図１４に示すように、温度センサからの温度信号の振幅は、ガス圧の低い時に大きく、ガス圧の高い時に小さい。このため、ガス圧の高い時に出力される温度信号の振幅に合わせて、この温度センサのアンプのゲインを調整すると、ガス圧の低い時では、温度センサのアンプの出力が飽和してしまう。そこで、従来では、ガス圧の低い時に出力される温度信号に合わせて、温度センサのアンプのゲインを調整していた。
【０００７】
しかしながら、上述したように流速が中間の時やガス圧が低い時に出力される温度信号の振幅に合わせて温度センサのアンプのゲインを調整すると、上述したＦＦＴにより位相差を求める流速測定装置では、流速の速い時、低い時、ガス圧の高い時に、流速測定の精度が悪くなる、という問題点があった。
【特許文献１】特開平５−２６４５６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、上記のような問題点に着目し、測定精度の向上を図った流速測定装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、上述した流速の速い時、低い時、ガス圧の高い時、流速測定の精度が悪くなる原因を鋭意探求したところ、下記に示すことが分かった。図１５は、ノイズの振幅に対する、上記流速測定装置が１００回温度信号のＦＦＴを行って求めた基本周波数の位相（以下測定位相）の３σ（標準偏差）、を示すグラフである。図１６は、Ｓ／Ｎ比に対する、上記流速測定装置が１００回求めた測定位相の３σ、を示すグラフである。また、図１７は、ノイズの振幅に対する、流速測定装置が１００回求めた測定位相の平均値、を示すグラフである。これら図１５〜図１７から明らかなように、ＦＦＴによって求められた測定位相はノイズの影響を受け、Ｓ／Ｎ比が悪くなると、測定位相の精度が悪くなることが分かった。そして、流速の中間やガス圧の低い時の温度信号の出力に合わせて温度センサのアンプのゲインを調整すると、流速の速い時、低い時、ガス圧の高い時に、温度センサのアンプの出力が小さくなってしまうため、Ｓ／Ｎ比が悪化し、これにより流速測定の精度が悪くなることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の発明は、被測定対象の流体の流路上に配置したヒータと、周期的に電圧が変化する駆動信号を前記ヒータに供給する駆動手段と、前記流路における流体の流れ方向に前記ヒータから間隔をおいて配置された前記ヒータから放出される熱を検出してその温度に応じた温度信号を出力する温度センサと、前記温度信号をフーリエ変換して前記温度信号の位相を検出する位相検出手段と、前記位相検出手段により検出された位相に基づいて前記流体の流速を測定する流速測定手段と、を有する流速測定装置において、前記温度信号をフーリエ変換して前記温度信号のパワーを検出するパワー検出手段と、前記検出されたパワーが所定範囲内になるように、前記駆動信号又は前記温度信号のゲインを調整するゲイン調整手段と、を有することを特徴とする流速測定装置に存する。
【００１１】
請求項２記載の発明は、前記ゲイン調整手段が、前記パワー検出手段により検出された前記パワーと前記所定範囲とを比較して、前記パワーが前記所定範囲よりも小さければ前記ゲインを大きくし、前記パワーが前記所定範囲よりも大きければ前記ゲインを小さくするように、設定されていることを特徴とする請求項１に記載の流速測定装置に存する。
【００１２】
請求項３記載の発明は、前記駆動手段が、前記駆動信号のデジタル値を出力する演算装置と、前記駆動信号のデジタル値をデジタル／アナログ変換して前記ヒータに供給するデジタル／アナログ変換手段と、を有していて、そして、前記ゲイン調整手段が、前記駆動信号のデジタル値に乗じるゲインを調整するように設定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の流速測定装置に存する。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように請求項１記載の発明によれば、パワー検出手段が、温度信号をフーリエ変換して温度信号のパワーを検出し、ゲイン調整手段が、検出されたパワーが所定範囲になるように、駆動信号又は温度信号のゲインを調整するので、温度信号を常に大きくして温度信号のＳ／Ｎ比を常に最善にすることができる。このため、ノイズによる位相検出手段により検出された位相のバラツキと誤差を抑えることができ、検出精度の向上を図ることができる。
【００１４】
請求項２記載の発明によれば、ゲイン調整手段がパワー検出手段により検出されたパワーと所定範囲とを比較してゲインを調整するため、簡単にパワーを所定範囲に保つことができる。
【００１５】
請求項３記載の発明によれば、ゲイン調整手段が、駆動信号のデジタル値のゲインを調整するように設定されているので、ソフト的にゲインを調整することができ、ゲインを調整するために特別なハードウエアを必要とすることがなく、コストダウンを図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の流速測定装置を図面に基づいて説明する。まず、本発明による流速測定装置を組み込んだ流量測定装置に用いられるフローセンサの概略構成について、図１を参照して説明する。図１中引用符号３で示すフローセンサは、例えば特開平９−２５７８２１号公報において図１を参照して説明されているような、Ｓｉ基板３１上にヒータとしてのマイクロヒータ３３及び温度センサとしてのサーモパイル３５を形成して構成されたものである。上記サーモパイル３５は、流体としてのガスの流路Ｓにおけるガスの流れ方向にマイクロヒータ３３から間隔をおいて配置されている。
【００１７】
このフローセンサ３では、マイクロヒータ３３に後述するサイン波信号を供給して通電駆動することでマイクロヒータ３３が熱を放出する。マイクロヒータ３３から伝達された熱の温度に応じた起電力が温度信号としてサーモパイル３５に発生する。この温度信号は、サーモパイル３５から流路Ｓを流れるガスの流量に応じた値となる。
【００１８】
図２中引用符号１で示す流量測定装置は、前記フローセンサ３と、ＯＰアンプ（以下ａｍｐ）５と、アナログ／デジタル変換器（以下ＡＤＣ）６と、演算装置としてのデジタルシグナルプロセッサ（以下ＤＳＰ）７と、デジタル／アナログ変換手段としてのデジタル／アナログ変換器（以下ＤＡＣ）８と、ａｍｐ９と、を有している。ａｍｐ５は、サーモパイル３５から出力される温度信号を増幅してＡＤＣ６に対して出力する。ＡＤＣ６は、ａｍｐ５で増幅された温度信号をアナログ／デジタル変換してＤＳＰ７に対して出力する。
【００１９】
ＤＳＰ７は、周知のＲＡＭ、ＲＯＭ、ＣＰＵなどを備えたコンピュータであって、流量測定装置１全体の制御を司る。ＤＳＰ７は、所定周波数で電圧が変化するサイン波信号（駆動信号）のデジタル値をＤＡＣ８に供給する処理などを行う。ＤＡＣ８は、ＤＳＰ７から出力されたデジタル値のサイン波信号をデジタル／アナログ変換してａｍｐ９に対して出力する。ａｍｐ９は、ＤＡＣ８から出力されるアナログのサイン波信号を増幅してマイクロヒータ３３に対して供給する。以上のことから、ＤＳＰ７、ＤＡＣ８及びａｍｐ９は、請求項中の駆動手段に相当することが明らかである。
【００２０】
上述した構成の流量測定装置１の動作について図３を参照して以下説明する。図３は、図１に示す流量測定装置１を構成するＤＳＰ７の処理手順を示すフローチャートである。まず、ＤＳＰ７は、電源の投入に応じて動作を開始する。その最初のステップＳ１において、ＤＳＰ７は、図示しないＲＯＭ内に格納された所定周波数の基本サイン波信号を読み込む（ステップＳ１）。次に、ＤＳＰ７は、図示しないＲＡＭ内に格納されたゲインＧを読み込む（ステップＳ２）。
【００２１】
その後、ＤＳＰ７は、下記の式（１）に示すように、ステップＳ１で読み込んだ基本サイン波信号ＳＩＮ（２×π×ｋ／Ｎ）（π：円周率、ｋ：サンプリング回数、Ｎ：サインデータ総数）にステップＳ２で読み込んだゲインＧを乗算すると共にオフセットＶOFFSETを加算したサイン波信号ＶMHを、ＤＡＣ８に対して出力する（ステップＳ３）。
ＶMH＝Ｇ×ＳＩＮ（２×π×ｋ／Ｎ）＋ＶOFFSET  …（１）
【００２２】
これにより、ＤＡＣ８でアナログ電圧に変換されたサイン波信号ＶMHが、ａｍｐ９で増幅された後、フローセンサ３のマイクロヒータ３３に出力される。上述したようにオフセットＶOFFSETを加算することにより、マイクロヒータ３３に加算されるサイン波信号ＶMHは、図４（Ａ）に示すように、その振幅の全幅に亘って正電位となる。即ち、サイン波信号ＶMHの最大値ＶMHmax、最小値ＶMHminの両者共に正電位となる。そして、サーモパイル３５が出力する温度信号の波形は、流路Ｓを流れるガスの流速が速ければ速いほど、位相が進んでサイン波信号ＶMHに対する位相の遅れが縮小する。即ち、フローセンサ３のサーモパイル３５からは、図４（Ｂ）に示すように、サイン波信号ＶMHと同一周波数でガス速度に応じた位相Δφずらしたサイン波が温度信号ＶTHとして出力される。サーモパイル３５から出力された温度信号はａｍｐ５で増幅された後、ＡＤＣ６によりデジタル値に変換されてＤＳＰ７に出力される。
【００２３】
そして、ＤＳＰ７は、上述したガス速度に応じた温度信号を読み込む（ステップＳ４）。次に、ＤＳＰ７は、下記の式（２）を用いて温度信号をＦＦＴする（ステップＳ５）。
【００２４】
【数１】
2009156665.tif 000003
【００２５】
次に、ＤＳＰ７は、パワー検出手段として働き、上述したＦＦＴにより求めたＸk（ｒｅａｌ）とＸk（ｉｍａｇ）とを下記の式（３）に代入して、温度信号の基本周波数（＝所定周波数）でのパワーＰＷを検出するパワー検出処理を行う（ステップＳ６）。
【００２６】
【数２】
2009156665.tif 000004
【００２７】
そして、ＤＳＰ７は、ステップＳ６で求めたパワーＰＷが閾値Ａmin未満であり（ステップＳ７でＹ）、かつ、ゲインＧがその設定範囲の最大値ＭＡＸ未満であれば（ステップＳ８でＹ）、ゲインＧをインクリメントして（ステップＳ９）、ステップＳ２に戻る。そして、ＤＳＰ７は、ステップＳ２〜Ｓ９の動作を、ゲインＧが最大値ＭＡＸに達するか（ステップＳ８でＮ）、又は、パワーＰＷが閾値Ａmin以上になるまで（ステップＳ７でＮ）繰り返す。
【００２８】
これに対して、ＤＳＰ７は、ステップＳ６で求めたパワーＰＷが閾値Ａmaxより大きく（ステップＳ１０でＹ）、かつ、ゲインＧがその設定範囲の最小値ＭＩＮより大きければ（ステップＳ１１でＹ）、ゲインＧをデクリメントして（ステップＳ１２）、ステップＳ２に戻る。そして、ＤＳＰ７は、ステップＳ２〜Ｓ７、Ｓ１０〜Ｓ１２の動作を、ゲインＧが最小値ＭＩＮに達するか（ステップＳ１０でＮ）、又は、パワーＰＷが閾値Ａmax以下になるまで（ステップＳ７でＹ）繰り返す。
【００２９】
また、ＤＳＰ７は、ステップＳ６で求めたパワーＰＷが閾値Ａmin以上閾値Ａmaxの範囲内であるか（ステップＳ７でＮ、かつ、ステップＳ１０でＮ）、ゲインＧが最大値ＭＡＸ、最小値ＭＩＮの何れかに達している場合（ステップＳ８でＮ、又は、ステップＳ１１でＮ）、位相検出手段として働き、ＦＦＴにより求めたＸk（ｒｅａｌ）とＸk（ｉｍａｇ）とを下記の式（４）に代入して、温度信号の基本周波数（＝所定周波数）での位相φkを検出する位相検出処理を行う（ステップＳ１３）。
【００３０】
【数３】
2009156665.tif 000005
【００３１】
次に、ＤＳＰ７は、流速測定手段として働き、サイン波信号ＶMHとステップＳ１３で求めた温度信号の位相φkとの差Δφからガスの流速を求めて、求めた流速に流路Ｓの断面積を乗じてガスの流量を求める流量測定処理を行った後（ステップＳ１４）、ステップＳ２に戻る。以上のことから明らかなように、ＤＳＰ７はステップＳ５〜Ｓ１２でゲイン調整手段として働くことが分かる。
【００３２】
上述した流量測定装置１によれば、ＤＳＰ７が、温度信号をフーリエ変換して基本周波数（＝所定周波数）のパワーＰＷを検出して、検出されたパワーＰＷが所定範囲（閾値Ａmin以上閾値Ａmax以下）になるように、サイン波信号ＶMHのゲインＧを調整する。なお、所定範囲は、例えば温度信号のパワーＰＷがＤＳＰ７の処理範囲で最大付近になるように設定されている。これにより、Ｓ／Ｎ比の信号成分ＳであるパワーＰＷをＤＳＰ７がオーバーフローを起こさない範囲で最大にできるため、常に温度信号のＳ／Ｎ比を常に最善にすることができる。このため、ノイズによる位相検出処理により検出された位相のバラツキと誤差を抑えることができ、検出精度の向上を図ることができる。
【００３３】
また、上述した流量測定装置１によれば、ＤＳＰ７が検出されたパワーＰＷと所定範囲（閾値Ａmin以上閾値Ａmax以下）とを比較してゲインＧを調整するため、簡単にパワーを所定範囲（閾値Ａmin以上閾値Ａmax以下）に保つことができる。
【００３４】
また、上述した流量測定装置１によれば、ＤＳＰ７が、温度信号をＦＦＴしてこの結果から温度信号の位相φkを求めて、そして、求めた位相φkに基づいて流量を検出している。これにより、ソフト的に温度信号の位相を求めることができ、温度信号の位相φkを求めるために特別なハードウエアを必要とすることがなく、コストダウンを図ることができる。
【００３５】
また、上述した流量測定装置１によれば、ＤＳＰ７が、サイン波信号ＶMHのデジタル値のゲインＧを調整するように設定されているので、ソフト的にゲインＧを調整することができ、ゲインＧを調整するために特別なハードウエアを必要とすることがなく、コストダウンを図ることができる。
【００３６】
なお、上述した実施形態によれば、サーモパイル３５から出力する温度信号のパワーＰＷ（振幅）を、サイン波信号ＶMHのデジタル値のゲインＧを調整してコントロールしていたが、本発明はこれに限ったものではない。例えば、ＤＡＣ８から出力されるアナログのサイン波信号ＶMHのゲインＧを調整することも考えられる。この場合、例えば、図５に示すように、ＤＡＣ８とａｍｐ９との間にデジタルポテンショメータ１０を挿入する。そして、ＤＳＰ７によってパワーＰＷと所定範囲（閾値Ａmin以上閾値Ａmax以下）との比較に基づいてデジタルポテンショメータ１０の抵抗値を調整することにより、サイン波信号ＶMHのゲインＧを調整する。図５に示す例はアナログのサイン波信号ＶMHのゲインＧを調整する方法の一例に過ぎず、本発明はこれに限ったものではなく、抵抗値を変更する手段としてはデジタルポテンショメータ１０でなくてもかまわない。
【００３７】
また、上述した実施形態によれば、サーモパイル３５から出力する温度信号のパワーＰＷをサイン波信号ＶMHのゲインＧを調整してコントロールしていたが、本発明はこれに限ったものではない。例えば、サーモパイル３５から出力する温度信号のゲインＧを調整することにより、温度信号の振幅をコントロールすることも考えられる。この場合、例えば、図６に示すように、ａｍｐ５の−入力端と出力との間にデジタルポテンショメータ１１を挿入する。そして、ＤＳＰ７によってパワーＰＷと所定範囲（閾値Ａmin以上閾値Ａmax以下）との比較に基づいてデジタルポテンショメータ１１の抵抗値を調整することにより、ａｍｐ５の増幅率を調整して温度信号のゲインＧを調整する。
【００３８】
また、例えば、図７に示すように、ａｍｐ５の代わりに計装アンプ１２を用いて、この計装アンプ１２のゲイン設定用固定抵抗の入力ピン間にデジタルポテンショメータ１３を挿入する。そして、ＤＳＰ７によってパワーＰＷと所定範囲（閾値Ａmin以上閾値Ａmax以下）との比較に基づいてデジタルポテンショメータ１３の抵抗値を調整することにより、計装アンプ１２のゲインＧを調整して温度信号のゲインＧを調整する。上述した図６及び図７に示す例は、サーモパイル３５から出力する温度信号のゲインＧを調整するための一例に過ぎず、本発明はこれに限ったものではない。
【００３９】
また、上述した実施形態では、サイン波信号ＶMHと温度信号との位相差に基づいて流量を測定していたが、本発明はこれに限ったものではない。例えば、ＤＳＰ７にサイン波信号ＶMHと温度信号の位相差が一定になるようにサイン波信号ＶMHの周波数を調整する調整機能が備わっていれば、サイン波信号ＶMHの周波数に基づいて流量を測定することも考えられる。
【００４０】
また、上述した実施形態では、振幅の全幅に亘って正電位となるサイン波信号ＶMHをマイクロヒータ３３に対して出力していたが、本発明はこれに限ったものではない。例えば、振幅の全幅に亘って負電位となる、即ち、最大値ＶMHmax、最小値ＶMHminの両者共に負電位となるサイン波信号ＶMHをマイクロヒータ３３に対して出力することも考えられる。
【００４１】
また、前述した実施形態は本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の流速測定装置を組み込んだ流量測定装置を構成するフローセンサの概略構成を示す説明図である。
【図２】本発明の流速測定装置を組み込んだ流量測定装置の一実施の形態を示すブロック図である。
【図３】図１に示す流量測定装置を構成するＤＳＰの処理手順を示すフローチャートである。
【図４】（Ａ）マイクロヒータに供給されるサイン波信号のタイムチャートであり、（Ｂ）はサーモパイルから出力される温度信号のタイムチャートである。
【図５】他の実施形態における流量測定装置の一部を示す回路図である。
【図６】他の実施形態における流量測定装置の一部を示す回路図である。
【図７】他の実施形態における流量測定装置の一部を示す回路図である。
【図８】流速に対するヒータ温度を示すグラフである。
【図９】流速に対する温度センサへの熱伝導率を示すグラフである。
【図１０】流速に対する温度センサの温度を示すグラフである。
【図１１】流速に対する温度信号の振幅を示すグラフである。
【図１２】ガス圧に対するガスの分子量を示すグラフである。
【図１３】ガス圧に対するマイクロヒータにより加熱されるガスの温度を示すグラフである。
【図１４】ガス圧に対する温度信号の振幅を示すグラフである。
【図１５】ノイズの振幅に対する測定位相の３σを示すグラフである。
【図１６】Ｓ／Ｎ比に対する測定位相の３σを示すグラフである。
【図１７】ノイズの振幅に対する測定位相の平均値を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４３】
７    ＤＳＰ（駆動手段、位相検出手段、流速測定手段、パワー検出手段、ゲイン調整手段、演算装置）
８    ＤＡＣ（デジタル／アナログ変換手段）
３３  マイクロヒータ（ヒータ）
３５  サーモパイル（温度センサ）
【図１】
2009156665.tif 000006
【図２】
2009156665.tif 000007
【図３】
2009156665.tif 000008
【図４】
2009156665.tif 000009
【図５】
2009156665.tif 000010
【図６】
2009156665.tif 000011
【図７】
2009156665.tif 000012
【図８】
2009156665.tif 000013
【図９】
2009156665.tif 000014
【図１０】
2009156665.tif 000015
【図１１】
2009156665.tif 000016
【図１２】
2009156665.tif 000017
【図１３】
2009156665.tif 000018
【図１４】
2009156665.tif 000019
【図１５】
2009156665.tif 000020
【図１６】
2009156665.tif 000021
【図１７】
2009156665.tif 000022