(57)【要約】【課題】接続配管に漏れが生じた場合、圧力流体源が故障した場合にも、ロッドを中間停止位置に精度良く位置付けることが可能な３位置停止シリンダを提供する。【解決手段】第１シリンダ室１ａを摺動する第１プッシャー４と、第２シリンダ室１ｂを摺動するピストン２と、第３シリンダ室１ｃを摺動する第２プッシャー５と、第１プッシャー４をピストン２側へ付勢する第１プッシャー付勢手段６と、第２プッシャー５をピストン２側へ付勢する第２プッシャー付勢手段７と、ピストン２に結合されシリンダ本体１の内部から外部へ延出するロッド３と、を備え、シリンダ本体１には、第２シリンダ室１ｂに個別に通じる二つの流通孔１ｄ，１ｅが配設されており、第２シリンダ室１ｂにおいてピストン２の両側に充填された圧力流体を排出する切換操作をすることにより、ロッド３を中間停止位置に停止させるシリンダ。【選択図】図１
2009019681.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内径が各々異なる第１シリンダ室（１ａ）、第２シリンダ室（１ｂ）、第３シリンダ室（１ｃ）を有するシリンダ本体（１）と、
前記第１シリンダ室（１ａ）を摺動する第１プッシャー（４）と、前記第２シリンダ室（１ｂ）を摺動するピストン（２）と、前記第３シリンダ室（１ｃ）を摺動する第２プッシャー（５）と、前記第１プッシャー（４）を前記ピストン（２）側へ付勢する第１プッシャー付勢手段（６）と、前記第２プッシャー（５）を前記ピストン（２）側へ付勢する第２プッシャー付勢手段（７）と、前記ピストン（２）に結合され前記シリンダ本体（１）の内部から外部へ延出するロッド（３）と、を備え、
前記各シリンダ室（１ａ，１ｂ，１ｃ）は、前記第１シリンダ室（１ａ）、前記第２シリンダ室（１ｂ）、前記第３シリンダ室（１ｃ）の順に相互に隣接かつ開口して、一つの中空室を形成するようにシリンダ本体（１）に配設されており、
前記第２シリンダ室（１ｂ）の内径（Ｄ２）は、前記第１シリンダ室（１ａ）の内径（Ｄ１）または前記第３シリンダ室（１ｃ）の内径（Ｄ３）のいずれよりも小さく、
前記シリンダ本体（１）には、前記第２シリンダ室（１ｂ）に個別に通じる二つの流通孔（１ｄ，１ｅ）が配設されており、
前記二つの流通孔（１ｄ，１ｅ）と接続している切換弁（９）の切換操作により前記ロッド（３）を、左側停止位置、中間停止位置、右側停止位置の三つの停止位置に停止させ、
前記第２シリンダ室（１ｂ）において前記ピストン（２）の両側に充填された圧力流体を排出する前記切換操作をすることにより、前記ロッド（３）を前記中間停止位置に停止させることを特徴とする３位置停止シリンダ（１０）。
【請求項２】
前記ピストン（２）は、その軸方向中間部（２ａ）の外径が最大となり、その両側端部（２ｂ，２ｃ）の外径が前記中間部（２ａ）の外径より小さくなるよう形成されており、前記中間部（２ａ）にシール手段（８）が配設されていることを特徴とする請求項１に記載の３位置停止シリンダ（１０）。
【請求項３】
前記第１シリンダ室（１ａ）と前記第２シリンダ室（１ｂ）との境界には第１環状肩部（１ｉ）が形成されており、前記第２シリンダ室（１ｂ）と前記第３シリンダ室（１ｃ）との境界には第２環状肩部（１ｊ）が形成されており、前記ピストン（２）の軸方向長さ（Ｌ２）は前記第２シリンダ室（１ｂ）の軸方向長さ（Ｌ１）に対してわずかに短く設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の３位置停止シリンダ（１０）。
【請求項４】
前記左側停止位置において、前記第１プッシャー（４）は、前記第１シリンダ室（１ａ）を構成する左側壁（１ｆ）と当接しており、前記第２プッシャー（５）は、前記第２環状肩部（１ｊ）と当接しており、
前記中間停止位置において、前記第１プッシャー（４）は、前記第１環状肩部（１ｉ）と当接しており、前記第２プッシャー（５）は、前記第２環状肩部（１ｊ）と当接しており、
前記右側停止位置において、前記第１プッシャー（４）は、前記第１環状肩部（１ｉ）と当接しており、前記第２プッシャー（５）は、前記第３シリンダ室（１ｃ）を構成する右側壁（１ｇ）と当接している、ことを特徴とする請求項３に記載の３位置停止シリンダ（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロッドを左側停止位置、中間停止位置、右側停止位置の三つの停止位置に停止させることが可能な３位置停止シリンダに関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、特許文献１に記載の３位置停止シリンダ装置を示すもので、このシリンダ装置２０Ａは、３位置停止シリンダ２１Ａを、単一の３位置プレッシャセンタ形切換弁２２を介して共通の圧力流体源２３に接続することにより、構成されている。
【０００３】
３位置停止シリンダ２１Ａは、両端がヘッド側端壁２５ａとロッド側端壁２５ｂとで塞がれた中空のシリンダ本体２５と、シリンダ本体２５の内部に軸方向に摺動自在に配設されたピストン２６と、このピストン２６の一端側からロッド側端壁２５ｂをシールしながら貫通して外部に延出するピストンロッド２７と、上記ピストン２６の両側に形成されたヘッド側圧力室２８ａ及びロッド側圧力室２８ｂと、これらの圧力室２８ａ，２８ｂに個別に通じる二つのポート２９ａ，２９ｂとを有している。ピストン２６は、ヘッド側の受圧面２６ａの受圧面積Ｈとロッド側の受圧面２６ｂの受圧面積Ｒが異なっていて、ヘッド側の受圧面積Ｈがロッド側の受圧面積Ｒより大きく形成されている。
【０００４】
上記シリンダ本体２５の内部のピストン２６よりもロッド側端壁２５ｂ寄りの位置には、このピストン２６をストローク端から中間停止位置まで押し戻すための手段と中間停止位置に停止させるための手段とを兼ねるプッシャー３３が設けられると共に、このプッシャー３３を中間停止位置まで変位させるためのスプリング（付勢手段）３４ａが設けられている。上記プッシャー３３は、中空のスリーブ状をしていて、ロッド側圧力室２８ｂと隣接する位置に形成された環状のガイド部３５によって外周面を支持されることにより、シリンダ本体２５の軸方向にピストン２６とは独立して移動自在となっており、その内部をピストンロッド２７が貫通している。このプッシャー３３の先端部は上記ロッド側圧力室２８ｂ内に突出し、後端部はばね室３６内に位置し、この後端部に、スプリング３４ａが当接している。また、該プッシャー３３の後端部には、前進端の位置でガイド部３５に係止するストッパ３３ａが設けられている。
【０００５】
上記スプリング３４ａの弾発力Ｆと、ピストン２６のヘッド側及びロッド側の受圧面２６ａ，２６ｂに作用する流体圧作用力ＨＰ，ＲＰとは、（Ｈ−Ｒ）Ｐ＜Ｆ＜ＨＰとなるように関係付けられている。
【０００６】
上記切換弁２２は、両側の第１切換位置及び第２切換位置と、中間の第３切換位置とを有していて、上記第１及び第２の切換位置では上記シリンダ２１Ａのヘッド側圧力室２８ａとロッド側圧力室２８ｂとを圧力流体源２３に選択的に接続し、中間の第３切換位置では、上記両圧力室２８ａ，２８ｂを同時に圧力流体源２３に接続するものである。
【０００７】
上記構成を有するシリンダ装置２０Ａにおいて、図４に示すように、切換弁２２を左側の第１切換位置に切り換えて、３位置停止シリンダ２１Ａのヘッド側圧力室２８ａを大気に開放すると共に、ロッド側圧力室２８ｂに圧力流体を供給すると、ピストン２６及びピストンロッド２７はヘッド側のストローク端（右側停止位置）まで後退する。このとき上記プッシャー３３は、スプリング３４ａに押されて前進し、先端がロッド側圧力室２８ｂ内に突出しかつ後端のストッパ３３ａが上記ガイド部３５に係止する前進端の位置を占めている。
【０００８】
上述の状態から、図５に示すように、上記切換弁２２を右側の第２切換位置に切り換えて、ロッド側圧力室２８ｂを大気に開放すると共に、ヘッド側圧力室２８ａに圧力流体を供給すると、上記ピストン２６及びピストンロッド２７はロッド側のストローク端（左側停止位置）まで前進する。このとき上記プッシャー３３は、上記ピストン２６に押されて後退し、スプリング３４ａを圧縮している。
【０００９】
この状態で、図６に示すように、上記切換弁２２を中間の第３切換位置に切り換えて、ロッド側圧力室２８ｂとヘッド側圧力室２８ａの両方に同圧の圧力流体を同時に供給すると、上記ピストン２６のロッド側受圧面２６ｂに作用する流体圧作用力ＲＰと、プッシャー３３を押圧するスプリング３４ａの弾発力Ｆとの合成力が、ヘッド側受圧面２６ａに作用する流体圧作用力ＨＰより大きいため、上記ピストン２６及びプッシャー３３はヘッド側に向けて移動する。そして、中間停止位置まで移動すると、プッシャー３３のストッパ３３ａがガイド部３５に係止することによって該プッシャー３３がその位置に停止するため、このプッシャー３３による作用力Ｆがピストン２６に加わらなくなり、このピストン２６には、両側の受圧面２６ａ，２６ｂに作用する流体圧作用力ＨＰとＲＰとが加わるようになる。このためピストン２６は、受圧面積差に基づく流体圧作用力の差によってロッド側に押され、上記プッシャー３３に押し付けられた状態でその位置に停止する。このときプッシャー３３は、上記ピストン２６を中間停止位置に停止させるための手段として機能することになる。
【００１０】
かくして特許文献１に記載の技術によれば、ピストン２６の両面の受圧面積差とプッシャー３３の押圧力とを利用した機構によって、ピストンロッド２７を３位置に停止させることができる。
【００１１】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、中間停止位置において、（Ｈ−Ｒ）Ｐ＜Ｆ＜ＨＰとなるように関係付けられている受圧面積Ｈ，Ｒおよび弾発力Ｆとの微妙な圧力バランスで、ピストンが停止している。このため、圧力室２８ａ，２８ｂに通じる二つのポート２９ａ，２９ｂに接続されている配管に漏れが生じた場合、圧力源が故障した場合あるいはピストンロッドに予期しない外力（例えば振動）が掛かった場合、ピストンは、中間停止位置に精度良く位置付けられず、本来の中間停止位置より左方または右方へ移動する。これは、精密加工作業に用いる３位置停止シリンダにとり無視できない欠点である。
【００１２】
【特許文献１】特開２００３−２８７００５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、接続配管に漏れが生じた場合、圧力流体源が故障した場合あるいはピストンロッドに予期しない外力（例えば振動）が掛かった場合にも、ロッドを中間停止位置に精度良く位置付けることが可能な３位置停止シリンダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載の３位置停止シリンダを提供する。
請求項１に記載の発明によれば、３位置停止シリンダ１０は、
第１シリンダ室１ａを摺動する第１プッシャー４と、第２シリンダ室１ｂを摺動するピストン２と、第３シリンダ室１ｃを摺動する第２プッシャー５と、第１プッシャー４をピストン２側へ付勢する第１プッシャー付勢手段６と、第２プッシャー５をピストン２側へ付勢する第２プッシャー付勢手段７と、ピストン２に結合されシリンダ本体１の内部から外部へ延出するロッド３と、を備え、
シリンダ本体１には、第２シリンダ室１ｂに個別に通じる二つの流通孔１ｄ，１ｅが配設されており、
第２シリンダ室１ｂにおいてピストン２の両側に充填された圧力流体を排出する切換操作をすることにより、ロッド３を中間停止位置に停止させることを特徴とする。
【００１５】
第１シリンダ室１ａを摺動する第１プッシャー４と、第２シリンダ室１ｂを摺動するピストン２と、第３シリンダ室１ｃを摺動する第２プッシャー５と、第１プッシャー４をピストン２側へ付勢する第１プッシャー付勢手段６と、第２プッシャー５をピストン２側へ付勢する第２プッシャー付勢手段７との構成により、ピストン２に圧力流体による圧力が掛からないときには、ピストン２は、ストッパ機能を有する二つのプッシャー４，５に挟まれて中間位置に精度良く保持される。
【００１６】
さらに、第２シリンダ室１ｂにおいてピストン２の両側に充填された圧力流体を排出する切換操作をすることにより、ロッド３を中間停止位置に停止させる。これにより、ピストン２に圧力が掛からなくなり、ピストン２は上記のように中間位置に保持される。また、中間停止位置では、第２シリンダ室１ｂにおいてピストン２の両側に充填された圧力流体を排出するため、接続配管に漏れが生じた場合あるいは圧力流体源２３が故障した場合にも、ピストン２の停止位置は、何らその影響を受けず、ピストン２は二つのプッシャー４，５に挟まれて中間位置に精度良く保持されることとなる。さらに、付勢手段６，７の取付け荷重よりも小さい予期せぬ外力がロッドに掛かっても、ロッドが中間停止位置から移動することは無い。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、３位置停止シリンダ１０は、ピストン２は、その軸方向中間部２ａの外径が最大となり、その両側端部２ｂ，２ｃの外径が中間部２ａの外径より小さくなるよう形成されており、中間部２ａにシール手段８が配設されていることを特徴とする。
単純な構造により、ピストン２の両側に独立した圧力室１ｂ１，１ｂ２を配設することが可能となり、独立した左右の圧力室１ｂ１，１ｂ２に圧力流体を選択的に供給、排出することによりピストン２を左方停止位置、中間停止位置または右方停止位置へ移動することが可能となる。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、３位置停止シリンダ１０は、第１シリンダ室１ａと第２シリンダ室１ｂとの境界には第１環状肩部１ｉが形成されており、第２シリンダ室１ｂと第３シリンダ室１ｃとの境界には第２環状肩部１ｊが形成されており、ピストン２の軸方向長さＬ２は第２シリンダ室の軸方向長さＬ１に対してわずかに短く設定されていることを特徴とする。
【００１９】
第１プッシャー４と第２プッシャー５との間にピストン２を挟み込む、単純な構造により、中間停止位置を設定することが可能となる。
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、３位置停止シリンダ１０は、左側停止位置において、第１プッシャー４は、第１シリンダ室１ａを構成する左側壁１ｆと当接しており、第２プッシャー５は、第２環状肩部１ｊと当接しており、
中間停止位置において、第１プッシャー４は、第１環状肩部１ｉと当接しており、第２プッシャー５は、第２環状肩部１ｊと当接しており、
右側停止位置において、第１プッシャー４は、第１環状肩部１ｉと当接しており、第２プッシャー５は、第３シリンダ室１ｃを構成する右側壁１ｇと当接している、ことを特徴とする。
【００２１】
中間停止位置からの左行程は、第１プッシャー４が第１環状肩部１ｉから左側壁部１ｆまで移動する距離であり、中間停止位置からの右行程は、第２プッシャー５が第２環状肩部１ｊから右側壁部１ｇまで移動する距離である。これにより、中間停止位置からの左行程および右行程を単純な構造で正確に設定することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明に係る３位置停止シリンダの中間停止位置における断面図である。図２は、本発明に係る３位置停止シリンダの左側停止位置における断面図である。図３は、本発明に係る３位置停止シリンダの右側停止位置における断面図である。
【００２３】
図１に示すように、本発明は、３位置停止シリンダ１０を、単一の３位置エキゾーストセンタ形切換弁９を介して共通の圧力流体源２３に接続することにより、構成されている。圧力流体は、エア、オイルその他の圧力を発生させることが可能ないかなる流体も使用可能である。
【００２４】
３位置停止シリンダ１０は、内径が各々異なる第１シリンダ室、第２シリンダ室、第３シリンダ室を有し両端が左側壁と右側壁で塞がれた中空のシリンダ本体１と、第１シリンダ室を摺動する第１プッシャーと、第２シリンダ室を摺動するピストンと、第３シリンダ室を摺動する第２プッシャーと、第１プッシャーをピストン側へ付勢する第１プッシャー付勢手段（スプリング）と、第２プッシャーをピストン側へ付勢する第２プッシャー付勢手段（スプリング）と、ピストンに結合されシリンダ本体内部から外部へ延出するロッドと、を備えている。ロッドは、ピストン２の左端側からシリンダ本体１の左側壁１ｆをシールしながら貫通して外部に延出している。また、１１はシール部材である。
【００２５】
ピストン２よりも左側には、ピストン２を左側停止位置から中間停止位置まで押し戻すための手段と中間停止位置に停止させるための手段とを兼ねる第１プッシャー４が設けられると共に、第１プッシャー４を中間停止位置まで変位させるための付勢手段である第１スプリング６が設けられている。第１プッシャー４は、中空のスリーブ状をしていて、第１シリンダ室１ａの内周面によりその外周面を支持されている。そして、第１プッシャー４は、シリンダ本体１の軸方向にピストン２とは独立して移動自在となっており、その内部を第１プッシャー中央穴４ｂを通過してロッド３が貫通している。
【００２６】
ピストン２よりも右側には、ピストン２を右側停止位置から中間停止位置まで押し戻すための手段と中間停止位置に停止させるための手段とを兼ねる第２プッシャー５が設けられると共に、第２プッシャー５を中間停止位置まで変位させるための付勢手段である第２スプリング７が設けられている。第２プッシャー５は、中空のスリーブ状をしていて、第３シリンダ室１ｃの内周面によりその外周面を支持されている。そして、第２プッシャー５は、シリンダ本体１の軸方向にピストン２とは独立して移動自在となっている。
【００２７】
そして、各シリンダ室は、第１シリンダ室、第２シリンダ室、第３シリンダ室の順に相互に隣接かつ開口して、一つの中空室を形成してシリンダ本体に配設されている。第２シリンダ室の内径Ｄ２（図３参照）は、第１シリンダ室の内径Ｄ１または第３シリンダ室の内径Ｄ３のいずれよりも小さく形成されている。本実施形態では、第１シリンダ室の内径Ｄ１と第３シリンダ室の内径Ｄ３とは同一径であるが、もちろん相違する内径としても良い。
【００２８】
シリンダ本体１において、第１シリンダ室１ａと第２シリンダ室１ｂとの境界には第１環状肩部１ｉが形成されており、第２シリンダ室１ｂと第３シリンダ室１ｃとの境界には第２環状肩部１ｊが形成されており、ピストン２の軸方向長さＬ２（図２参照）は、第２シリンダ室１ｂの軸方向長さＬ１に対してわずかに（例えば０.０１ｍｍ）短く設定されている。この設定により、中間停止位置において、第１プッシャー４が第１環状肩部１ｉと当接し、第２プッシャー５が第２環状肩部１ｊと当接して、両プッシャー４，５が、ストッパ機能を果たして、ピストン２を挟み込むことが可能となる。
【００２９】
すなわち、第１プッシャーと第２プッシャーとが確定した位置でピストン２を、左スプリング６および右スプリング７を介して両側から挟み込むことが可能となり、ピストン２をほぼ完全に固定して位置付けることが実現できる。そして、左スプリング６および右スプリング７の取付け荷重を大きくすることにより、ロッド３に対して予定しない外力（例えば振動）が掛かったときにも、ロッドの正規位置からの変位が生じにくくなる。
【００３０】
一方、中間停止位置からの左行程（以下、単に「左行程」と言う）は、第１プッシャー４が第１環状肩部１ｉから左側壁部１ｆまで移動する距離であり、中間停止位置からの右行程（以下、単に「右行程」と言う）は、第２プッシャー５が第２環状肩部１ｊから右側壁部１ｇまで移動する距離である。そして、ピストン長さＬ２の上記設定により、中間停止位置において、第１プッシャー４および第２プッシャー５が必然的に各環状肩部１ｉ，１ｊと当接することとなり、第１プッシャー４および第２プッシャー５の軸方向位置が確定されるため、左行程および右行程も確実に設定される。
【００３１】
また、ピストン２は、円柱形状をしており、第２シリンダ室１ｂの内周面によりその外周面を支持されている。ピストン２は、その軸方向中間部２ａの外径が最大となり、その両側端部２ｂ，２ｃの外径が中間部の外径より小さくなるよう形成されており、中間部にシール８が配設されている。この構成により、第２シリンダ室１ｂがピストン２の軸方向中間部２ａにより左側第２シリンダ室１ｂ１と右側第２シリンダ室１ｂ２に分断される。一方、シリンダ本体１には、第２シリンダ室１ｂに個別に通じる二つの流通孔１ｄ，１ｅが配設されている。そして、左側第２シリンダ室１ｂ１は、左側流通孔１ｄを介して切換弁９と個別に接続し、右側第２シリンダ室１ｂ２は、右側流通孔１ｅを介して切換弁９と個別に接続する。
【００３２】
そして、本シリンダ装置１０は、二つの流通孔１ｄ，１ｅと接続している切換弁９の切換操作によりロッド３を、左側停止位置、中間停止位置、右側停止位置の三つの停止位置に停止させる構成となっている。
【００３３】
上記切換弁９は、両側の第１切換位置及び第２切換位置と、中間の第３切換位置とを有していて、上記第１及び第２の切換位置では左側第２シリンダ室１ｂ１と右側第２シリンダ室１ｂ２とを圧力流体源２３に選択的に接続し、中間の第３切換位置では、上記両シリンダ室１ｂ１，１ｂ２を同時に大気に開放するものである。
【００３４】
（右側停止位置）
上記構成を有するシリンダ装置１０において、図３に示すように、切換弁９を左側の第１切換位置に切り換えて、右側第２シリンダ室１ｂ２を大気に開放すると共に、左側第２シリンダ室１ｂ１に圧力流体を供給すると、ピストン２、ロッド３および第２プッシャー５は右側壁１ｇまで移動する。第２プッシャー５がシリンダ本体１の右側壁１ｇと当接することにより、ピストン２及びロッド３は圧力流体により第２プッシャー５に押し付けられた状態で停止する。この停止位置が右側停止位置となる。この右側停止位置において、第１プッシャー４は、シリンダ本体１の第１環状肩部１ｉ（図２参照）と当接しており、第２プッシャー５は、第３シリンダ室１ｃを構成する右側壁１ｇと当接している。このとき第２スプリング７は、圧縮された状態となっている。
【００３５】
（左側停止位置）
上述の状態から、図２に示すように、切換弁９を右側の第２切換位置に切り換えて、左側第２シリンダ室１ｂ１を大気に開放すると共に、右側第２シリンダ室１ｂ２に圧力流体を供給すると、ピストン２及びロッド３は圧力流体の圧力を受けて左方へ移動する。そして、ピストン２の左端面２ｂ（図３参照）が第１プッシャー４の押圧面４ａに当接すると、第１プッシャー４もピストン２及びロッド３とともに、第１スプリング６を圧縮しながら、さらに左方へ移動する。第１プッシャー４がシリンダ本体１の左側壁１ｆと当接することにより、ピストン２及びロッド３は圧力流体により第１プッシャー４に押し付けられた状態で停止する。この停止位置が左側停止位置となる。この左側停止位置において、第１プッシャーは、第１シリンダ室１ａを構成する左側壁１ｆと当接しており、第２プッシャー５は、第２環状肩部１ｊと当接している。第２プッシャー５は、ピストン２からの押圧が無くなり、第２スプリング７により押し戻されるためである。
【００３６】
（中間停止位置）
この状態で、図１に示すように、切換弁９を中間の第３切換位置に切り換えて、左側第２シリンダ室１ｂ１と右側第２シリンダ室１ｂ２の両方に充填されている同圧の圧力流体を同時に大気側へ排出すると、ピストン２に掛かる圧力が無くなるため、ピストン２及び第１プッシャー４は第１スプリング６の弾発力により右側へ移動する。そして、第１プッシャー４が、第１環状肩部１ｉまで移動して当接すると、第１プッシャー４はその位置で停止する。一方、ピストン２は慣性力のためさらに微少に右側へ移動して第２プッシャー５の押圧面５ａに当接することによってピストン２がその位置に停止する。このとき第２プッシャー５は、ピストン２を中間停止位置に停止させるためのストッパ手段として機能することになる。中間停止位置において、第１プッシャー４は、第１環状肩部１ｉと当接しており、第２プッシャー５は、第２環状肩部１ｊ（図３参照）と当接している。
【００３７】
ロッド３を３つの位置に切り換える順番は、シリンダ装置１０の用途によって自由に決めることができる。
【００３８】
以上により、接続配管に漏れが生じた場合、圧力流体源が故障した場合あるいはピストンロッドに予期しない外力（例えば振動）が掛かった場合にも、ロッドを中間停止位置に精度良く位置付けることが可能な３位置停止シリンダを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係る３位置停止シリンダの中間停止位置における断面図である。
【図２】本発明に係る３位置停止シリンダの左側停止位置における断面図である。
【図３】本発明に係る３位置停止シリンダの右側停止位置における断面図である。
【図４】従来技術の３位置停止シリンダの右側停止位置における断面図である。
【図５】従来技術の３位置停止シリンダの左側停止位置における断面図である。
【図６】従来技術の３位置停止シリンダの中間停止位置における断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１    シリンダ本体
９    切換弁
１０    ３位置停止シリンダ
２０Ａ    従来の３位置停止シリンダ
【図１】
2009019681.tif 000003
【図２】
2009019681.tif 000004
【図３】
2009019681.tif 000005
【図４】
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【図５】
2009019681.tif 000007
【図６】
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