(57)【要約】【課題】モータ軸の移動量に対して長さが短く、且つ、安価に製造することができると共に、極めて簡便に使用することができるリニアアクチュエータを提供する。【解決手段】外筒の内部に固定され、軸方向に配列された複数個の中空コイルと、中空コイルの更に内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネットが固定されたモータ軸とからなり、複数個の中空コイルを選択的に励磁することによって、マグネットが固定されたモータ軸を軸方向に移動するリニアアクチュエータにおいて、軸方向に配列された複数個の中空コイルと、軸方向に配列された複数個のマグネットが固定されたモータ軸とを有するモータ部と、モータ軸に平行に配置され、両側をスライドベアリングによって支持されたガイド軸を有するガイド部と、ガイド軸とモータ軸との端部を連結する連結部材とを有し、ガイド部に、ガイド軸の移動量を検出する移動量検出装置を配置したことによって達成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外筒の内部に固定され、軸方向に配列された複数個の中空コイルと、この中空コイルの更に内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネットが固定されたモータ軸とからなり、前記複数個の中空コイルを選択的に励磁することによって、前記マグネットが固定されたモータ軸を軸方向に移動するリニアアクチュエータにおいて、
前記軸方向に配列された複数個の中空コイルと、前記軸方向に配列された複数個のマグネットが固定されたモータ軸とを有するモータ部と、
前記モータ軸に平行に配置され、両側をスライドベアリングによって支持されたガイド軸を有するガイド部と、
このガイド軸と前記モータ軸との端部を連結する連結部材とを有し、
前記ガイド部に、前記ガイド軸の移動量を検出する移動量検出装置を配置したことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記ガイド軸が単一の軸であり、前記スライドベアリングの少なくとも１個がボールスプラインであることを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記ガイド軸が相互に平行に配置された２本の軸であり、前記スライドベアリングが循環式又は有限ストロークの軸方向移動用ころがり軸受、或いは軸方向移動用すべり軸受であることを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記中空コイルの外周に通気孔が設けられていて、この通気孔に空気を通して前記モータ部を冷却することを特徴とする請求項１乃至３のうちのいずれかの項に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項５】
前記通気孔の少なくとも一方の端部にファンが設けられており、このファンで通気孔に空気を通して強制冷却することを特徴とする請求項４に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項６】
前記移動量検出装置が、透明板に目盛の刻印されたスケールと、このスケールを挟んで配置された読取装置とからなることを特徴とする請求項１乃至５のうちのいずれかの項に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項７】
前記移動量検出装置のスケールが前記ガイド軸に、前記読取装置が本体に取り付けられていることを特徴とする請求項６に記載のリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外筒の内部に固定され、軸方向に配列された複数個の中空コイルと、この中空コイルの更に内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネットが固定されたモータ軸とからなり、前記複数個の中空コイルを選択的に励磁することによって、前記マグネットが固定されたモータ軸を軸方向に移動するリニアアクチュエータに関するものであり、特に、小型で移動量が大きく、且つ高精度に移動することができるリニアアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
外筒の内部に固定され、軸方向に配列された複数個の中空コイルと、この中空コイルの更に内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネットが固定されたモータ軸とからなり、前記複数個の中空コイルを選択的に励磁することによって、前記マグネットが固定されたモータ軸を軸方向に移動するリニアアクチュエータは、単に電源を備えるのみでモータ軸を軸方向に移動させることができるので、簡便な直動駆動装置として使用することができる。更に、リニアアクチュエータは、移動量検出装置を設けることによってモータ軸の位置も制御可能となるので、より高い移動制御の可能な直動駆動装置としても使用することができる。
【０００３】
従って、リニアアクチュエータは、他の直動駆動装置、例えば油圧シリンダやエアシリンダでは動力源として必須な油圧装置や空圧装置が不要であり、単に電源を備えるのみで油圧シリンダやエアシリンダと同様に軸方向に移動することができるので、他に油圧シリンダやエアシリンダを使用しないために油圧装置や空圧装置を有していない小型の装置でも、好適に使用することができる。そして、移動量検出装置を設けることによって、モータ軸の位置も制御可能なので、油圧シリンダやエアシリンダのようにストッパで位置決めするのみではなく、任意の位置に停止させることも可能である。
【０００４】
しかしながら、従来技術のリニアアクチュエータは、図８に従来技術のリニアアクチュエータ５０の１例を断面図として示すように、軸方向に配列された複数個の中空コイル５１が固定された外筒５２の内部に、軸方向に配列された複数個のマグネット５３が固定されたモータ軸５４が挿通されているのみの構造であって、外筒５２の中空コイル５１とモータ軸５４との間にはかなり大きな隙間があり、外筒５２とモータ軸５４とは完全に分離できる構造となっているものであった。
【０００５】
このため、直動駆動装置として使用するときには、例えば、図９に従来技術のリニアアクチュエータを使用した移動装置の１例を示すように、モータ軸５４を１対の支持部材５５で支持し、このモータ軸５４に外嵌する外筒５２で被移動体５６を移動する場合においては、被移動体５６は、モータ軸５４に平行に配置された１対の案内レール５７、５７によって支持し、この案内レール５７で支持された被移動体５６に外筒５２を固定して、外筒５２で被移動体５６を移動させる必要があった。従って、案内レール５７などの精度が高く高価な部品を使用する必要があり、部品点数も必然的に多くなり、組み立ての際にも、外筒５２とモータ軸５４が相互に接触しないように高い精度で組み立てなければならず、高価なものとならざるを得なかった。
【０００６】
この欠点を解消するために、本出願人は、図１０に示すように、簡便に使用できるように構成したリニアアクチュエータ６０を開発した。このリニアアクチュエータ６０は、軸方向に配列された複数個の中空コイル６１が固定された外筒６２を有しており、この中空コイル６１の内部に、軸方向に配列された複数個のマグネット６３をアウタースリーブ６４で保持したモータ軸６５が挿通されており、モータ軸６５は、両側をスライドベアリング６６とボールスプライン６７で回転不能に支持されている。そして、モータ軸６５の後端（図１０では右側）に移動量検出装置６８が配置されているものであって、特許文献１として出願されている。
【０００７】
このリニアアクチュエータ６０は、モータ軸６５がボールスプライン６７で回転不能に支持されているので回転することはなく、移動量検出装置６８で位置を検出して制御することができるので、精度良く進退することが可能であり、且つ、案内レールなどの案内機構が全て不要となって安価に使用することができ、更に、電源のみが必要であって、油圧装置や空圧装置は不要なので、油圧シリンダやエアシリンダに代えて極めて簡便に使用することができるものである。
【０００８】
しかしながら、このリニアアクチュエータ６０は、モータ軸６５の駆動機構とモータ軸６５の軸方向の位置を検出する移動量検出装置６８とを直列に配置したものであって、モータ軸６５の移動量に比較するとリニアアクチュエータ６０の長さが長く、全体としての省スペース化に益することができない結果となることが生じていた。
【０００９】
また、モータ軸６５をボールスプライン６７で回転不能に支持するためには、モータ軸６５の外側を包むアウタースリーブ６４は、充分な強度と耐磨耗性を必要とするが、一方では、中空コイル６１とマグネット６３との間に形成される磁気回路のためには、アウタースリーブ６４は非磁性体でなければならないため、アウタースリーブ６４の材質は極めて限定的なものになり、加工も困難であって安価に製造することのできない材質を使用せざるをえないことになっていた。
【００１０】
【特許文献１】特願２００６−３２８２０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、このような従来技術の問題点を解消して、モータ軸の移動量に対してリニアアクチュエータの長さが短く、全体としての省スペース化に益することができ、且つ、特殊な材質を使用することなく安価に製造することができると共に、電源のみが必要であって、油圧装置や空圧装置は不要であり、油圧シリンダやエアシリンダに代えて極めて簡便に使用することができるリニアアクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明は、外筒の内部に固定され、軸方向に配列された複数個の中空コイルと、この中空コイルの更に内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネットが固定されたモータ軸とからなり、前記複数個の中空コイルを選択的に励磁することによって、前記マグネットが固定されたモータ軸を軸方向に移動するリニアアクチュエータにおいて、前記軸方向に配列された複数個の中空コイルと、前記軸方向に配列された複数個のマグネットが固定されたモータ軸とを有するモータ部と、前記モータ軸に平行に配置され、両側をスライドベアリングによって支持されたガイド軸を有するガイド部と、このガイド軸と前記モータ軸との端部を連結する連結部材とを有し、前記ガイド部に、前記ガイド軸の移動量を検出する移動量検出装置を配置したことを特徴とするリニアアクチュエータを提供するものである。
【００１３】
ここで、前記ガイド軸が単一の軸であり、前記スライドベアリングの少なくとも１個がボールスプラインであることが望ましく、或いは、前記ガイド軸が相互に平行に配置された２本の軸であり、前記スライドベアリングが循環式又は有限ストロークの軸方向移動用ころがり軸受、或いは軸方向移動用すべり軸受であることが望ましい。
【００１４】
また、前記中空コイルの外周に通気孔が設けられていて、この通気孔に空気を通して前記モータ部を冷却することが望ましく、更に、前記通気孔の少なくとも一方の端部にファンが設けられており、このファンで通気孔に空気を通して強制冷却することが望ましい。そして、前記移動量検出装置が、透明板に目盛の刻印されたスケールと、このスケールを挟んで配置された読取装置とからなることが望ましく、更に、前記移動量検出装置のスケールが前記ガイド軸に、前記読取装置が本体に取り付けられていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のリニアアクチュエータは、このように構成されているので、モータ軸の移動量に対してリニアアクチュエータの長さが短く、全体としての省スペース化に益することができ、且つ、特殊な材質を使用することなく安価に製造することができると共に、電源のみが必要であって、油圧装置や空圧装置は不要であり、油圧シリンダやエアシリンダに代えて極めて簡便に使用することができるリニアアクチュエータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を、実施形態を示す図面に基づいて説明する。図１は本発明の第１の実施例のリニアアクチュエータを示す断面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３は図２の変形例を示す図１のＡ−Ａ線断面図である。
【００１７】
図１に示すように、本発明の第１の実施例のリニアアクチュエータ１は、外装部材である本体２に保持された外筒３の内部に固定され、軸方向に配列された複数個の中空コイル４と、この中空コイル４の更に内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネット５が固定されたモータ軸６とからなっており、この複数個の中空コイル４を選択的に励磁することによって、マグネット５が固定されたモータ軸６を軸方向に移動するものである。
【００１８】
そして、この実施例のリニアアクチュエータ１は、軸方向に配列された複数個の中空コイル４と、軸方向に配列された複数個のマグネット５が固定されたモータ軸６とを有するモータ部９と、モータ軸６に平行に配置され、両側をスライドベアリング１０によって支持されたガイド軸１１を有するガイド部１２と、このガイド軸１１とモータ軸６との端部を連結する連結部材１３とを有している。
【００１９】
モータ軸６は、中空コイル４の内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネット５がスペーサ７を介してアウタースリーブ８に挿入されて一体となったものであって、中空コイル４の内径とアウタースリーブ８の外径との間に、後述するように、わずかな隙間が設けられている。アウタースリーブ８は、中空コイル４の内径との間にわずかな隙間があるので、中空コイル４に接触しながら移動することはなく、従って、磨耗も生じないので、強度や耐磨耗性は必要なく、単に非磁性体であれば、どのような材質にしても支障はない。
【００２０】
従って、このアウタースリーブ８は、プラスチックのフィルムからなるチューブなどでも良く、中空コイル４の内径とアウタースリーブ８の外径との間に、中空コイル４とマグネット５が直接接触することがない程度に、充分に大きな隙間を設けても支障のないときや、中空コイル４とマグネット５が直接接触しても支障のないときには、アウタースリーブ８を省略することもできる。
【００２１】
また、モータ軸６は、中空コイル４とマグネット５との間に形成される磁気回路に影響を与えないように、マグネット５を除く部分は非磁性体とし、任意の非磁性体から適宜選択して使用することができる。例えば、強度や剛性が必要なときには、ステンレススチールや青銅などの棒やパイプが望ましく、軽量化することが必要なときには、アルミニウムや、場合によってはプラスチックの採用が望ましい。
【００２２】
この実施例では、ガイド軸１１は、図１に示すように単一の軸であって、両端を支持するスライドベアリング１０の少なくとも１個、例えば、左側のスライドベアリングをボールスプライン１０ａとすることによって、ガイド軸１１を回転することなく軸方向に移動可能に支持している。このため、連結部材１３でガイド軸１１に端部を連結されたモータ軸６は、その中心線が横方向に移動することはなく、軸方向のみに移動可能となる。
【００２３】
このスライドベアリング１０は、ボールスプライン１０ａを両端部に設けても支障はないが、ガイド軸１１の回り止めとしては片側にあれば充分であり、２個以上にすると、両方のボールスプラインにおいて、ガイド軸１１のスプライン溝との位置を一致させるように取付角度を調整しなければならないので、片側のみにすることが望ましい。また、このボールスプライン１０ａは、ガイド軸１１の移動ストロークを大きくするために、循環式のボールスプラインを採用することが望ましい。
【００２４】
スライドベアリング１０は、すべり軸受及びころがり軸受のいずれであっても良いが、循環式又は有限ストロークの軸方向移動用ころがり軸受、或いは軸方向移動用すべり軸受とすることが望ましい。そして、すべり軸受の場合には、注油することなく低い摩擦抵抗で移動できるように、含油軸受、例えば焼結含油軸受やプラスチック軸受、例えばナイロンやポリカーボネ−ト等の低摩擦係数のプラスチック軸受とすることが望ましい。
【００２５】
この回転不能に支持されたガイド軸１１とモータ軸６とは、両端部に設けられた連結部材１３で連結されており、複数個の中空コイル４を選択的に励磁することによって、マグネット５が固定されたモータ軸６が軸方向に移動し、連結部材１３で連結されたガイド軸１１も軸方向に移動することができる。
【００２６】
更に、この実施例では、モータ軸６とガイド軸１１との間に移動量検出装置１４が配置されている。移動量検出装置１４は、図２及び図３に示すように、ガイド軸１１に固定されたスケール１５と、本体２に固定された光源１６と受光素子１７からなる読取装置１８とを有するものであって、モータ軸６が移動すると連結部材１３によって連結されたガイド軸１１が移動して、このガイド軸１１に固定されたスケール１５を本体２に固定された読取装置１８で読み取ってモータ軸６の軸方向の現在位置を検出し、モータ軸６の移動量を検出するものである。
【００２７】
この実施例の移動量検出装置１４は、このようにして、モータ軸６の軸方向の現在位置を検出して、モータ軸６を正確な位置に停止し、或いはモータ軸６の移動を制御するものであり、高い精度でモータ軸６の移動を制御できると共に、移動量検出装置１４が内蔵されているので、従来技術のように被移動体に移動ストロークを検出する移動量検出装置を設ける必要がなくなり、省スペース化することができる。また、この移動量検出装置１４は、ここに例示した形式の移動量検出装置に限定されるものではなく、任意の移動量検出装置を採用できることは勿論である。
【００２８】
図２に示す実施例では、円環状の中空コイル４の内側に円柱状のモータ軸６が挿通する構成となっているが、図３に示す変形例のように、角状の中空コイル４として、これに角状のモータ軸６を挿通させても良い。この実施例では、中空コイル４が右側の開いた形状となっているが、これを閉じた形状として、角状のモータ軸６を周囲から包み込む形状とすることが可能であることは勿論である。
【００２９】
以上に説明したように、本実施例のリニアアクチュエータ１は、軸方向に配列された複数個の中空コイル４と、軸方向に配列された複数個のマグネット５が固定されたモータ軸６とを有するモータ部９と、モータ軸６に平行に配置され、両側をスライドベアリング１０によって支持されたガイド軸１１を有するガイド部１２と、このガイド軸１１とモータ軸６との端部を連結する連結部材１３とを有し、ガイド軸１１に、モータ軸６の移動量を検出する移動量検出装置１４を配置したので、モータ軸の移動量に対してリニアアクチュエータの長さが短く、全体としての省スペース化に益することができ、特殊な材質を使用することなく安価に製造することができると共に、電源のみが必要であって、油圧装置や空圧装置は不要であり、油圧シリンダやエアシリンダに代えて極めて簡便に使用することができるリニアアクチュエータを提供することができる。
【００３０】
図４は本発明の第２の実施例のリニアアクチュエータを示す断面図、図５は平面図、図６は下面図、図７は図４のＢ−Ｂ線断面図である。この実施例のリニアアクチュエータ２０は、第１の実施例のリニアアクチュエータ１とほぼ同様の構成を有するもので、図に示すように、外装部材である本体２１に保持された外筒２２の内部に固定され、軸方向に配列された複数個の中空コイル２３と、この中空コイル２３の更に内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネット２４が固定されたモータ軸２５とからなり、この複数個の中空コイル２３を選択的に励磁することによって、マグネット２４が固定されたモータ軸２５を軸方向に移動するものである。
【００３１】
そして、第２の実施例のリニアアクチュエータ２０は、軸方向に配列された複数個の中空コイル２３と、軸方向に配列された複数個のマグネット２４が固定されたモータ軸２５とを有するモータ部２６と、モータ軸２５に平行に配置され、両端をスライドベアリング（図示しない）によって支持されたガイド軸２７を有するガイド部２８と、このガイド軸２７とモータ軸２５との端部を連結する連結部材２９とを有している。
【００３２】
モータ軸２５は、中空コイル２３の内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネット２４がスペーサ３０を介してアウタースリーブ３１に挿入されて一体となったものであって、中空コイル２３の内径とアウタースリーブ３１の外径との間に、後述するように、わずかな隙間が設けられている。アウタースリーブ３１は、中空コイル２３の内径との間にわずかな隙間があるので、中空コイル２３に接触しながら移動することはなく、従って、磨耗も生じないので、強度や耐磨耗性は必要なく、単に非磁性体であれば、どのような材質にしても支障はない。
【００３３】
従って、このアウタースリーブ３１は、プラスチックのフィルムからなるチューブなどでも良く、中空コイル２３の内径とアウタースリーブ３１の外径との間に、中空コイル２３とマグネット２４が直接接触することがない程度に、充分に大きな隙間を設けても支障のないときや、中空コイル２３とマグネット２４が直接接触しても支障のないときには、アウタースリーブ３１を省略することもできる。
【００３４】
また、モータ軸２５は、中空コイル２３とマグネット２４との間に形成される磁気回路に影響を与えないように、マグネット２４を除く部分は非磁性体とし、任意の非磁性体から適宜選択して使用することができる。例えば、強度や剛性が必要なときには、ステンレススチールや青銅などの棒やパイプが望ましく、軽量化することは必要なときには、アルミニウムや、場合によってはプラスチックの採用が望ましい。
【００３５】
この実施例では、ガイド軸２７は、図７に示すように、相互に平行に配置された２本の軸を採用している。このため、連結部材２９で２本のガイド軸２７を相互に連結すると、回転することなく軸方向のみに移動可能に支持されることになり、連結部材２９で連結されたモータ軸２５も軸方向のみに移動可能となる。従って、ガイド軸２７の両端を支持するスライドベアリング（図示しない）は、ボールスプラインを使用する必要はなく、循環式又は有限ストロークの軸方向移動用ころがり軸受、或いは軸方向移動用すべり軸受であることが望ましい。
【００３６】
また、このスライドベアリング（図示しない）は、すべり軸受及びころがり軸受のいずれであっても良いが、循環式又は有限ストロークの軸方向移動用ころがり軸受、或いは軸方向移動用すべり軸受とすることが望ましい。そして、すべり軸受の場合には、注油することなく低い摩擦抵抗で移動できるように、含油軸受、例えば焼結含油軸受やプラスチック軸受、例えばナイロンやポリカーボネ−ト等の低摩擦係数のプラスチック軸受とすることが望ましい。
【００３７】
本実施例のリニアアクチュエータ２０では、モータ部２６が過度に発熱することを防止するために、中空コイル２３の外周に冷却空気を通す構造となっている。即ち、本実施例の中空コイル２３は、外側を図７に示す断面形状の外筒２２で保持されており、この外筒２２の軸方向に沿って通気孔２２ａを形成することによって、本体２１と外筒２２との間に冷却空気を通して、中空コイル２３の外周を冷却するように構成されている。
【００３８】
本体２１の上面には、図５に示すように、通気孔２２ａの端部に給気用のファン３２と排気用のファン３３とが配置されており、ファン３２、３３で通気孔２２ａに冷却用の空気を通して、モータ部２６を強制冷却するように構成されている。これらのファン３２、３３は、必ずしも双方が必要なものではなく、給気用又は排気用のファンのいずれか一方でも充分であることが多く、縦姿勢で使用するときには、ファンをなくして自然通風による冷却とすることもできる。
【００３９】
この実施例では、前述したように、２本のガイド軸２７とモータ軸２５とは両端部に設けられた連結部材２９で連結されており、複数個の中空コイル２３を選択的に励磁することによって、マグネット２４が固定されたモータ軸２５が軸方向に移動し、連結部材２９で連結されたガイド軸２７も軸方向に移動することができる。
【００４０】
そして、ガイド部２８を構成する２本のガイド軸２７の間に、ガイド軸２７の移動量を検出する移動量検出装置３４が配置されている。この移動量検出装置３４は、図６及び図７に示すように、本体２１に固定された読取装置３６とガイド軸２７に固定されたスケール３５とからなるものであって、透明板に目盛が刻印され、ガイド軸２７に固定されたスケール３５の両側に、スケール３５を挟んで本体２１にそれぞれ固定された光源３７と受光素子３８とからなる読取装置３６が配置されている。
【００４１】
モータ軸２５が移動すると連結部材２９によって連結されたガイド軸２７が移動し、このガイド軸２７に固定されたスケール３５の目盛を、本体２１に固定された読取装置３６で読み取ってモータ軸２５の軸方向の現在位置を検出し、モータ軸２５の移動量を検出するものである。
【００４２】
この実施例の移動量検出装置３４は、このようにして、モータ軸２５の軸方向の現在位置を検出して、モータ軸２５を正確な位置に停止し、或いはモータ軸２５の移動を制御するものであり、高い精度でモータ軸２５の移動を制御できると共に、移動量検出装置３４が内蔵されているので、従来技術のように、被移動体に移動を検出する移動量検出装置を設ける必要がなくなり、省スペース化することができる。この移動量検出装置３４は、ここに例示した形式の移動量検出装置に限定されるものではなく、任意の移動量検出装置を採用できることは勿論である。
【００４３】
以上に説明したように、本実施例のリニアアクチュエータ２０は、軸方向に配列された複数個の中空コイル２３と、軸方向に配列された複数個のマグネット２４が固定されたモータ軸２５とを有するモータ部２６と、モータ軸２５に平行に配置され、両側をスライドベアリング（図示しない）によって支持された２本のガイド軸２７を有するガイド部２８と、このガイド軸２７とモータ軸２５との端部を連結する連結部材２９とを有し、ガイド部２８に、ガイド軸２７の移動量を検出する移動量検出装置３４を配置したので、モータ軸の移動量に対してリニアアクチュエータの長さが短く、全体としての省スペース化に益することができ、特殊な材質を使用することなく安価に製造することができると共に、電源のみが必要であって、油圧装置や空圧装置は不要であり、油圧シリンダやエアシリンダに代えて極めて簡便に使用することができるリニアアクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１の実施例のリニアアクチュエータを示す断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図２の他の実施態様を示す図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明の第２の実施例のリニアアクチュエータを示す断面図である。
【図５】本発明の第２の実施例のリニアアクチュエータを示す平面図である。
【図６】本発明の第２の実施例のリニアアクチュエータを示す下面図である。
【図７】図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】従来技術のリニアアクチュエータの１例を示す断面図である。
【図９】このリニアアクチュエータを使用した移動装置の１例を示す斜視図である。
【図１０】本出願人が開発した、簡便に使用できるように構成した従来技術のリニアアクチュエータの断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１，２０  リニアアクチュエータ
２，２１  本体
３，２２  外筒
２２ａ  通気孔
４，２３  中空コイル
５，２４  マグネット
６，２５  モータ軸
７，３０  スペーサ
８，３１  アウタースリーブ
９，２６  モータ部
１０  スライドベアリング
１０ａ  ボールスプライン
１１，２７  ガイド軸
１２，２８  ガイド部
１３，２９  連結部材
１４，３４  移動量検出装置
１５，３５  スケール
１８，３６  読取装置
３２，３３  ファン
１６，３７  光源
１７，３８  受光素子
【図１】
2009171708.tif 000003
【図２】
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【図３】
2009171708.tif 000005
【図４】
2009171708.tif 000006
【図５】
2009171708.tif 000007
【図６】
2009171708.tif 000008
【図７】
2009171708.tif 000009
【図８】
2009171708.tif 000010
【図９】
2009171708.tif 000011
【図１０】
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