(57)【要約】【課題】小型、低背化で加速度感度の優れた加速度検知装置を得る。【解決手段】加速度検知装置は、固定側支持片、可動側支持片、前記固定側支持片と前記可動側支持片とによって両端部を夫々支持された二本の平行な駆動腕、及び前記二本の駆動腕の間に平行に配置され且つ前記固定側支持片により基端部を片持ち支持された短尺な検出腕と、を備え、前記固定側支持片及び前記可動側支持片の夫々の両側端縁の対向する位置に夫々くびれ部を備えた輪郭振動体と、前記二本の駆動腕には、両端固定の屈曲振動が励振される励振電極と、前記検出腕には、該検出腕に一端固定の屈曲振動が生じたときに該屈曲振動により励起される電荷をピックアップする電極と、を備えている。【選択図】図１
2009250784.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定側支持片、可動側支持片、前記固定側支持片と前記可動側支持片とによって両端部
を夫々支持された二本の平行な駆動腕、及び前記二本の駆動腕の間に平行に配置され且つ
前記固定側支持片により基端部を片持ち支持された短尺な検出腕と、を備え、前記固定側
支持片及び前記可動側支持片の夫々の両側端縁の対向する位置に夫々くびれ部を備えた輪
郭振動体と、
前記二本の駆動腕に形成された励振電極と、
前記検出腕に形成されて該検出腕に発生した電荷をピックアップする電極と、
を備えていることを特徴とする加速度検知装置。
【請求項２】
対向する前記くびれ部間に相当する前記固定側支持片の部位に貫通穴を形成したことを
特徴とする請求項１に記載の加速度検知装置。
【請求項３】
前記貫通穴は、固定側支持片側を底辺とし、前記検出腕の基部側を頂部とする二等辺三
角形であることを特徴とする請求項１、又は２に記載の加速度検知装置。
【請求項４】
前記貫通穴は、矩形、楕円形、或いは長円形であることを特徴とする請求項１、又は２
に記載の加速度検知装置。
【請求項５】
前記二本の平行な振動腕が音叉型振動子を構成し、該音叉型振動子の共振周波数と前記
検出腕野狂信周波数とが異なることを特徴とする請求項１に記載の加速度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加速度検知装置に関し、特に、小型、低背化に適した加速度検知装置に関す
るものである。
【背景技術】
【０００２】
加速度センサは、従来から自動車、航空機、ロッケット、更には各種プラントの異常振
動監視装置等まで広い用途に用いられている。民生機器用加速度センサとしては、加速度
検知機構を半導体プロセス技術により作製したＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Sys
tems）センサが良く知られている。
特許文献１には、加速度検出素子が開示されている。図７（ａ）は、従来の加速度検出
素子８１の平面図であり、この加速度検出素子８１は、基部８２、基部８２の一端縁から
並行して突出する一対の駆動振動部８３、８４、および検出振動部８５を備えている。駆
動振動部８３、８４、検出振動部８５は共に細長い屈曲振動アームである。一方の駆動振
動部８３の上下面には、一対の溝８６ａ、８６ｂ（図示せず）が形成されており、溝８６
ａ、８６ｂの内壁には、駆動振動部８３を、図７（ｂ）の矢印Ａのように励振するための
電極８８が設けられている。また一方の駆動振動部８３は帯状の本体の先端側に幅広部９
６が設けられている。
【０００３】
他方の駆動振動部８４は帯状且つ平板状を呈している。駆動振動部８４の表面には、駆
動振動部８４を図７（ｂ）の矢印Ａのように励振するための電極８７が設けられている。
また、帯状且つ平板状の検出振動部８５の上下面には夫々一対の溝８９ａ、８９ｂ（図示
せず）が形成されており、溝８９ａ、８９ｂの内部および側壁面上には、検出振動部８５
の矢印Ｃ方向への振動を検出可能な電極９０が設けられている。
加速度検出素子８１は、図７（ｂ）に示すように、各駆動振動部８３と８４とが矢印Ａ
のように屈曲振動するが、互いに逆相になるように設定されている。そして、各駆動振動
部８３、８４の自励振時の周波数を共に等しくする。このため中央の検出振動部５の振幅
が、加速度非印加時にはゼロとなる。
加速度検出素子１に、図７（ｂ）に示すように矢印Ｂ方向への加速度が印加されると、
各駆動振動部８３、８４にはＸ軸方向へ力が加わるので、Ｘ軸方向へと向かって延び、各
駆動振動部８３、８４の振動周波数がいずれも上昇する。駆動振動部８３の先端には、質
量の大きい幅広部９６が設けられているので、駆動振動部８３の周波数変化（増分）は、
駆動振動部８４の周波数変化（増分）より大きくなる。この結果、各駆動振動部における
各モーメントｍα（ｍ；質量、α；加速度）が互いに異なってくるので、検出振動部８５
には、図７（ｂ）に矢印Ｃで示すように、Ｙ軸方向への屈曲振動が発生する。この屈曲振
動Ｃの振幅は、加速度Ｂの大きさに対して単調増加し、振幅は検出振動部５の検出電極か
らの出力にほぼ比例するので、加速度Ｂを求めることができると開示されている。
【特許文献１】特開２００６−６４３９７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示の加速度検出素子は、振動系のバランスを崩す手段と
して、一方の駆動振動部の質量を大きくすることに依存しているので、形状的に小型化と
感度改善とを両立させることが難しいという問題があった。
また、特許文献１に開示の加速度検出素子は、振動系のバランスを崩す加速度軸は１軸
方向（図７のＸ軸方向）だけではなく、例えば駆動振動部と直交する方向への加速度を印
加しても、その加速度を検出してしまうという他軸感度の問題があった。
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、高感度であり、小型、低背化
した加速度検知装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本発明に係る加速度検知装置は、固定側支持片、可動側支持片、前記固定
側支持片と前記可動側支持片とによって両端部を夫々支持された二本の平行な駆動腕、及
び前記二本の駆動腕の間に平行に配置され且つ前記固定側支持片により基端部を片持ち支
持された短尺な検出腕と、を備え、前記固定側支持片及び前記可動側支持片の夫々の両側
端縁の対向する位置に夫々くびれ部を備えた輪郭振動体と、前記二本の駆動腕に形成され
た励振電極と、前記検出腕に形成されて該検出腕に発生した電荷をピックアップする電極
と、を備えていることを特徴とする。
【０００７】
以上のように加速度検知装置を構成すると、構造が単純であるのでフォトリソグラフィ
技術とエッチング手法を用いることにより容易に製作でき、しかも極めて小型、低背化し
た加速度検知装置を作れるという利点がある。また、２つの駆動腕を互いに逆相で振動さ
せるので、検出感度が向上するという効果と、加速度検出軸以外の他軸の加速度が印加さ
れる場合には、２つの駆動腕の周波数変化は同じ方向の変化量であり、振動系の釣り合い
（バランス）が崩されにくいので、他軸感度を抑えやすいという効果もある。
【０００８】
［適用例２］また加速度検知装置は、適用例１において、対向する前記くびれ部間に相
当する前記固定側支持片の部位に貫通穴を形成したことを特徴とする。
【０００９】
以上のように加速度検知装置を構成すると、貫通穴を設けることで振動系の釣り合い（
バランス）が崩れ易くなり、加速度に対する感度が高くなるという効果がある。
【００１０】
［適用例３］また加速度検知装置は、適用例１、又は２において、前記貫通穴が固定側
支持片側を底辺とし、前記検出腕側の基部側を頂部とする二等辺三角形であることを特徴
とする。
【００１１】
以上のように加速度検知装置を構成すると、二等辺三角形状の貫通穴を設けることで、
振動系の釣り合い（バランス）は二等辺三角形状の頂部近傍で取れているが、２つの駆動
腕の共振周波数が少しでも異なると歪が検出腕に伝わるので、加速度感度が高くなるとい
う効果がある。
【００１２】
［適用例４］また加速度検知装置は、適用例１、又は２において、前記貫通穴が矩形、
楕円形、或いは長円形であることを特徴とする。
【００１３】
以上のように加速度検知装置を構成すると、貫通穴を設けることで加速度感度は高くな
るが、形状によって耐衝撃性、加速度感度が異なるので、測定すべき加速度により形状を
適宜選択できる利点がある。
【００１４】
［請求項５］また、加速度検知装置は、適用例１において、前記二本の平行な振動腕が
音叉型振動子を構成し、該音叉型振動子の共振周波数と前記検出腕の共振周波数とが異な
ることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る第１
の実施の形態の加速度検知装置１の構成を示す概略図であり、（ａ）は、平面図、（ｂ）
は側面図である。加速度検知装置１は、圧電基板としての輪郭振動体１ａと、輪郭振動体
１ａ上に形成した電極１ｂと、を備えている。
輪郭振動体１ａは、固定側支持片１０と、固定側支持片１０と離間配置された可動側支
持片１５と、固定側支持片１０と可動側支持片１５との間に配置された第１及び第２の駆
動腕２０、２１と、検出腕２５と、を備えている。
固定側支持片１０は、固定部１１と、基部１２とを備えており、基部１２はその両端縁
に対向配置されたくびれ部１３ａ、１３ｂを備えている。
可動側支持片１５は、可動部１６と、基部１７とを備えており、基部１７はその両端縁
に対向配置されたくびれ部１８ａ、１８ｂを備えている。
【００１６】
第１及び第２の駆動腕２０、２１は、夫々の両端部を固定側支持片１０の基部１２と、
可動側支持片１５の基部１７とにより支持されると共に、同一平面上に互いに平行に保持
された構成であり、これにより音叉型振動子を構成している。
検出腕２５は、該検出腕２５の一端（基端部）を固定側支持片１０の基部１２であって
、第１及び第２の駆動腕２０、２１間の中央位置にこれらと平行に片持ち支持され、第１
及び第２の駆動腕２０、２１より短尺である。
固定側支持片１０と、第１及び第２の駆動腕２０、２１と、検出腕２５と、可動側支持
片１５と、からなる輪郭振動体１ａは、例えば薄い平板上の水晶基板にフォトリソグラフ
ィ技術とエッチング手法とを用いて、所望の形状を形成することで得られる。
なお、くびれ部１８ａ、１８ｂの形状としては、第１及び第２の駆動腕２０、２１によ
る振動漏れを防ぐ形状であればよく、図１では半円形としている。
【００１７】
図２（ａ）は、輪郭振動体１ａに形成した電極１ｂの平面図、（ｂ）は夫々の部位にお
ける電極断面図であり、ある瞬間に発生する各電極の電荷の符号を示している。
輪郭振動体１ａの第１及び第２の駆動腕２０、２１上には、夫々図２に示すような励振
電極３０（３０ａ〜３０ｄ）〜３２（３２ａ〜３２ｄ）、及び励振電極３４（３４ａ〜３
４ｄ）〜３６（３６ａ〜３６ｄ）が、輪郭振動体１ａの長手方向に沿って配設され、第１
及び第２の駆動腕２０、２１に、両端固定の屈曲振動が励振されるように構成されている
。また、検出腕２５には検出腕２５に一端固定の屈曲振動が生じたときに、該屈曲振動に
より励起される電荷をピックアップする電極３８（３８ａ〜３８ｄ）が配設されている。
【００１８】
第１の駆動腕２０上には、一方の基部１２の端辺より他方の基部１７の端辺に向かって
、励振電極３０（３０ａ〜０ｄ）、３１（３１ａ〜３１ｄ）、３２（３２ａ〜３２ｄ）が
配設され、各電極３０ａ〜３２ｄは、駆動腕２０上に設けたリード電極（配線電極）によ
り接続されている。リード電極による接続方法は、図２（ｂ）の第１の駆動腕２０に示す
電荷の符号を基に、正（＋）符号同士、負（−）同士を接続するようにして、２端子構成
とする。この２端子に交流電圧を印加すると両端固定の屈曲振動が励振される。
第２の駆動腕２１上には、励振電極３４（３４ａ〜３４ｄ）、３５（３５ａ〜３５ｄ）
、３６（３６ａ〜３６ｄ）が配設され、各電極３４ａ〜３６ｄは駆動腕２１上に設けたリ
ード電極により接続されている。リード電極による接続方法は、図２（ｂ）の第２の駆動
腕２１に示す電荷の符号を基に、正（＋）符号同士、負（−）同士を接続するようにして
、２端子構成とする。この２端子に交流電圧を印加すると一端固定の屈曲振動が励振され
る。
なお、第１及び第２の駆動腕２０、２１から伸びるリード電極は、正（＋）符号同士、
負（−）同士を接続して、固定部１１上に設けた端子電極３９ａ、３９ｂに接続される。
また、検出腕２５上には電極３８（３８ａ〜３８ｄ）が配設され、各電極３８ａ〜３８
ｄは検出腕２５上に設けたリード電極により接続されている。リード電極による接続方法
は、図２（ｂ）の検出腕２５に示す電荷の符号により、正（＋）符号同士、負（−）同士
を接続し、固定部１１に設けた端子電極（図示せず）に接続し、２端子構成とする。検出
腕１２に一端固定の屈曲振動が励起され、該屈曲振動により励起される電荷をピックアッ
プするように、電極３８ａ〜３８ｄを配設する。
【００１９】
次に、加速度検知装置１に対して図１に示ように幅方向（Ｙ軸方向）への加速度αが印
加される場合を考える。加速度αが印加される前は、第１及び第２の駆動腕２０、２１の
励振電極から伸びるリード電極は、図示しない発振回路に夫々接続され、共に同じ周波数
ｆ０で発振（自励振）している。第１の駆動腕２０の電極３０ａ〜３２ｄと、第２の駆動
腕２１の電極３４ａ〜３６ｄとは、夫々の対応する電極に異符号の電圧が加わるように配
線されているので、第１の駆動腕２０の屈曲振動と、第２の駆動腕２１の屈曲振動とは逆
相となる。つまり、第１の駆動腕２０がその中央部を最大変位として−Ｙ軸方向に振れる
とき、第２の駆動腕２１はその中央部を最大変位として＋Ｙ軸方向に振れるように構成さ
れている。
このように同じ周波数で、且つ互いに逆相で振動することで、基部１２に広がる振動に
よる歪は、検出腕２５の幅中央から長手方向に伸びる中心線に対して対称に分布し、振動
系、つまり第１及び第２の駆動腕２０、２１、検出腕２５、基部１２を含む領域は、振動
の釣り合い（バランス）がとれるので、検出腕２５に振動が励起されない。
【００２０】
加速度αが加速度検出軸方向（図１では＋Ｙ軸方向）に印加されると、該加速度αによ
り−Ｚ軸方向に慣性力が働く。この慣性力により加速度検知装置１の可動部１６を重り部
とし、第１及び第２の駆動腕２０、２１は、夫々基部１２寄りの端部を支点として−Ｙ軸
方向に撓む（屈曲する）。つまり、第１の駆動腕２０には圧縮応力が作用し、第１の駆動
腕２０の共振周波数は減少する。一方、第２の駆動腕２１には伸長応力（引張り応力）が
作用し、第２の駆動腕２１の共振周波数は増加する。
逆に加速度αが−Ｙ軸方向に印加されると、該加速度αにより＋Ｙ軸方向に慣性力が働
く。この慣性力により第１の駆動腕２０には伸長応力（引張り応力）が作用し、第１の駆
動腕２０の共振周波数は増加する。一方、第２の駆動腕２１には圧縮応力が作用し、第２
の駆動腕２１の共振周波数は減少する。
第１及び第２の駆動腕２０、２１の共振周波数が互いに異なる結果、基部１２において
第１の駆動腕２０の振動による歪分布と、第２の駆動腕２１の振動による歪分布とは、検
出腕２５の中心線に対して対称性が崩れることになる。つまり、振動系の歪の釣り合い（
バランス）が崩れるので、この歪が基部１２を介して検出腕１２にも広がり、一端固定の
屈曲振動が励起されることになる。この一端固定の屈曲振動の振幅は、印加される加速度
の大きさに対して単調増加し、検出腕２５に励起される電荷は屈曲振動の振幅に比例する
。従って、電極にピックアップされる電荷量により印加された加速度の大きさを求めるこ
とができる。
【００２１】
加速度αの印加により第１及び第２の駆動腕２０、２１に加わる応力は、互いに逆の応
力、つまり、一方の駆動腕に圧縮応力が加わると、他方の駆動腕には伸長応力が加わる。
その結果、第１及び第２の駆動腕２０、２１の共振周波数は、互いに逆の変化、つまり、
一方の駆動腕の共振周波数が減少し、他方の駆動腕の共振周波数は増加する。
加速度αが印加される前の共振周波数ｆ０に対し、加速度αが＋Ｙ軸向に印加されると
、第１の駆動腕２０の共振周波数はｆ０−Δｆ、第２の駆動腕２１の共振周波数はｆ０＋
Δｆとなる。加速度αが−Ｙ軸向に印加されると、第１の駆動腕２０の共振周波数はｆ０
＋Δｆ、第２の駆動腕２１の共振周波数はｆ０−Δｆとなる。
加速度αの印加により駆動腕２０、２１の共振周波数が以上のように変化する結果、基
部１２に広がる振動による歪は、検出腕２５の幅中央から長手方向に伸びる中心線に対し
て対称性が崩れる。この崩れた歪が基部１２を介して検出腕１２に広がり、一端固定の屈
曲振動が励起されることになる。
【００２２】
試作した加速度検知装置の第１及び第２の駆動腕２０、２１を自励振させ、該駆動腕に
幅方向の加速度αを印加すると、検出腕２５に一端固定の屈曲振動が励起されることが、
オシロスコープを用いて確認することができた。しかも、検出腕２５に励起される一端固
定の屈曲振動の位相は、第１の駆動腕２０（又は、第２の駆動腕２１）の位相に対し、加
速度αの方向により９０°進む場合と、９０°遅れる場合とに分かれることが確認できた
。
検出腕２５に励起される一端固定の屈曲振動の振幅は、印加される加速度の大きさに対
して単調増加し、検出腕２５に励起される電荷は屈曲振動の振幅に比例するので、電荷量
により印加された加速度の大きさが分かる。その上、検出腕２５に励起される屈曲振動の
位相を測定することにより、加速度の印加方向が判別される。
以上のように加速度検知装置を構成すると、構造が単純であるのでフォトリソグラフィ
技術とエッチング手法を用いることにより容易に製作でき、しかも極めて小型、低背化し
た加速度検知装置を作れるという利点がある。また、２つの駆動腕を互いに逆相で振動さ
せるので、検出感度が向上するという効果と、加速度検出軸以外の他軸の加速度が印加さ
れる場合には、２つの駆動腕の周波数変化は同じ方向の変化量であり、振動系の釣り合い
（バランス）が崩されにくいので、他軸感度を抑えやすいという効果もある。
【００２３】
図３は、第２の実施例の加速度検知装置２の構成を示す概略平面図である。図１に示す
第１の実施例の加速度検知装置１と同一の部材には同じ符号を付して説明する。第１の実
施例の加速度検知装置１と異なる点は、加速度検知装置１の２箇所のくびれ部１３ａ、１
３ｂ間に位置する固定側支持片の部位に貫通穴１４を形成し、該貫通穴１４が固定側支持
片側を底辺とし、検出腕２５の基端部側を頂部とする二等辺三角形の形状をしているとこ
ろである。加速度検知装置２ではくびれ部は少し変形して、切り出しナイフの刃先のよう
なくびれ部１３’ａ、１３’ｂとなる。
第１及び第２の駆動腕２０、２１には、第１の実施例の加速度検知装置１に設けた励振
電極３０（３０ａ〜３０ｄ）〜３２（３２ａ〜３２ｄ）及び励振電極３４（３４ａ〜３４
ｄ）〜３６（３６ａ〜３６ｄ）と同様な電極が配設され、各電極３０ａ〜３６ｄは、駆動
腕２０、２１上に設けたリード電極（配線電極）により接続されている。リード電極によ
る接続方法は、図２（ｂ）と同様であり、２端子に交流電圧を印加すると、第１及び第２
の駆動腕２０、２１には両端固定の互いに逆相の屈曲振動が励振される。
【００２４】
また、加速度検知装置２の検出腕２５には、第１の実施例の加速度検知装置１に設けた
電極３８（３８ａ〜３８ｄ）と同様な電極が配設され、各電極３８ａ〜３８ｄは検出腕２
５上に設けたリード電極により接続され、その接続方法も加速度検知装置１と同様である
。検出腕１２に一端固定の屈曲振動が励起され、該屈曲振動により励起される電荷をピッ
クアップするように電極３８ａ〜３８ｄを配設し、接続してある。
第２の実施例の加速度検知装置２に加速度検出軸方向（図３ではＹ軸方向）の加速度を
印加すると、互いに逆相で振動（自励振）している第１及び第２の駆動腕２０、２１に、
互いに逆の応力が加わるために、振動系のバランスが崩れ、検出腕２５に一端固定の屈曲
振動が励起され、加速度の大きさ、と方向とを測定することができるのは、第１の実施例
で説明した通りである。
第２の加速度検知装置２の特徴は、固定側支持片１０の基部１２に三角形状の貫通孔１
４を形成したので、加速度検出感度が高められた点である。
【００２５】
図４は、第３の実施例の加速度検知装置３の構成を示す概略平面図である。第１の実施
例の加速度検知装置１と異なる点は、固定側支持片１０の基部１２に貫通穴１４’を形成
し、該貫通穴１４’は、矩形、楕円形、或いは長円形（図４は長円形の貫通穴）である点
である。
第１及び第２の駆動腕２０、２１、検出腕２５に形成する電極は、加速度検知装置１の
第１及び第２の駆動腕２０、２１、検出腕２５に形成した電極と同様であり、第１及び第
２の駆動腕２０、２１に励振される振動姿態も両端固定の屈曲振動で、且つ逆相で振動す
る。検出腕２５に励起される振動モードは、一端固定の屈曲振動であり、加速度検知装置
１の検出腕と同様である。
第３の加速度検知装置３の特徴は、固定側支持片１０の基部１２に長円形状の貫通孔１
４を形成したので、加速度検出感度が高められた点である。
図５は、第４の実施例の加速度検知装置４の構成を示す概略平面図である。第２の実施
例の加速度検知装置２と異なる点は、検出腕２５の端部を貫通穴１４の底辺まで延在して
基部１２と一体化したところである。その結果、貫通穴１４は直角三角形の２つの貫通穴
１４ａ、１４ｂとなっている。
【００２６】
図６は、第５の実施例の加速度検知装置５の構成を示す概略平面図である。図４に示し
た第３の実施例の加速度検知装置３と異なる点は、検出腕２５の端部を貫通穴１４’の底
辺まで延在して基部１２と一体化したところである。その結果、貫通穴１４’は長方形状
の２つの貫通穴１４’ａ、１４’ｂとなる。
以上のように加速度検知装置を構成すると、貫通穴を設けることで振動系の釣り合い（
バランス）が崩れ易くなり、加速度に対する感度が高くなるという効果がある。
しかも、貫通穴を二等辺三角形状とすることで、振動系の釣り合い（バランス）は二等
辺三角形状の頂部近傍で取れているが、２つの駆動腕の共振周波数が少しでも異なると歪
が検出腕に伝わるので、加速度感度が高くなるという効果がある。
また、矩形、楕円形、或いは長円形の貫通穴を設けることで、加速度感度は高くなるが
、形状によって耐衝撃性、加速度感度が異なるので、測定すべき加速度により形状を適宜
選択できる利点がある。
水晶基板を用いて加速度検知装置の構成を説明してきたが、水晶結晶以外に圧電材料と
してはランガサイト、タンタル酸リチーム、ニオブ酸リチーム、四硼酸リチーム等ある。
また、第１、第２及び第３の駆動腕の断面形状は矩形状のみではなく、励振効率を上げ
るために、音叉振動子で用いられているＨ字形状としてもよい。
また、輪郭振動体を金属材料、ガラス材等で形成し、圧電セラミック材を貼り付けて、
加速度検知装置を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】（ａ）は第１実施例の加速度検知装置の構成を示す概略平面図、（ｂ）は側面図。
【図２】（ａ）は第１実施例の加速度検知装置に施した電極の平面図、（ｂ）は各部位の電極断面図。
【図３】第２実施例の加速度検知装置の構成を示す概略平面図。
【図４】第３実施例の加速度検知装置の構成を示す概略平面図。
【図５】第４実施例の加速度検知装置の構成を示す概略平面図。
【図６】第５実施例の加速度検知装置の構成を示す概略平面図。
【図７】（ａ）は従来の加速度検出素子の構成を示す平面図、（ｂ）は加速度を印加したときの振動姿態。
【符号の説明】
【００２８】
１、２、３、４、５…加速度検知装置、１ａ、２ａ、３ａ、４ａ、５ａ…輪郭振動体、
１ｂ、２ｂ、３ｂ、４ｂ、５ｂ…電極、１０…固定側支持片、１１…固定部、１２、１７
…基部、１３ａ、１３ｂ、１３’ａ、１３’ｂ、１８ａ、１８ｂ…くびれ部、１４、１４
’、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ…貫通穴、１５…可動側支持片、１６…可動部、２
０…第１の駆動腕、２１…第２の駆動腕、２５…検出腕、３０ａ〜３２ｄ、３４ａ〜３６
ｄ、３８ａ〜３８ｄ…電極、３９ａ、３９ｂ…端子電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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