(57)【要約】【課題】不良品が流出する可能性を低減する。【解決手段】搬送制御部３２は、パターン検査装置６で不良品と判定されたピースを顕微鏡２４で撮影できる位置までＴＡＢテープ１０を搬送する。第１のベリファイ実行部３４は、パターン検査装置６で不良品と判定されたピースの顕微鏡画像と検査装置画像を並行表示させ、検査員による良否判定結果を第１のベリファイの結果として記憶部３１に格納する。搬送制御部３２は、第１のベリファイで良品と判定されたピースを顕微鏡２４で撮影できる位置までＴＡＢテープ１０を搬送する。第２のベリファイ実行部３５は、第１のベリファイで良品と判定されたピースの顕微鏡画像と検査装置画像を並行表示させ、検査員による良否判定結果を第２のベリファイの結果として記憶部３１に格納する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査ワークの各ピースをカメラで撮影して検査するパターン検査装置の検査結果を利用して、パターン検査の終了後に検査の妥当性を検証するベリファイを行うオフラインベリファイ装置において、
前記パターン検査装置の検査結果およびこのパターン検査装置で撮影された不良品ピースの欠陥個所を含む検査装置画像とを記憶する記憶手段と、
前記検査ワークのピースの拡大画像を撮影する顕微鏡と、
前記パターン検査装置で不良品と判定されたピースを前記顕微鏡で撮影できる位置まで前記検査ワークを搬送する第１の搬送手段と、
前記パターン検査装置で不良品と判定されたピースの顕微鏡画像とこれに対応するピースの検査装置画像とを並行表示させ、これらの画像を比較した検査員による良否判定結果を第１のベリファイの結果として前記記憶手段に格納する第１のベリファイ実行手段と、
前記第１のベリファイで良品と判定されたピースを前記顕微鏡で撮影できる位置まで前記検査ワークを搬送する第２の搬送手段と、
前記第１のベリファイで良品と判定されたピースの顕微鏡画像とこれに対応するピースの検査装置画像とを並行表示させ、これらの画像を比較した検査員による良否判定結果を第２のベリファイの結果として前記記憶手段に格納する第２のベリファイ実行手段とを備えることを特徴とするオフラインベリファイ装置。
【請求項２】
請求項１記載のオフラインベリファイ装置において、
前記検査ワークは、ＴＡＢテープであることを特徴とするオフラインベリファイ装置。
【請求項３】
請求項２記載のオフラインベリファイ装置において、
さらに、前記第１のベリファイ又は前記第２のベリファイで不良品と判定されたピースにマーキングを施すパンチング装置を備えることを特徴とするオフラインベリファイ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢテープ等の検査ワークの各ピースをカメラで撮影して検査するパターン検査装置の検査結果を利用して、パターン検査の終了後に検査の妥当性を検証するベリファイを行うオフラインベリファイ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＩＣ、ＬＳＩの多ピン化要求に適した実装技術として、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）が知られている。ＴＡＢ法は、ポリイミド製のテープキャリア（ＴＡＢテープ）上に形成された銅箔パターンをＩＣチップの電極に接合して外部リードとする。銅箔パターンは、テープキャリアに銅箔を接着剤で貼り付け、これをエッチングすることによって形成される。
【０００３】
このＴＡＢテープに形成されたパターンを検査するために、発明者は、ＴＡＢテープ上のパターンをカメラで撮像して自動的に検査するパターン検査装置を提案した（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。このようなパターン検査装置では、カメラで撮像したパターンをハードウェアによって一次検査し、この検査の妥当性を検証するベリファイを行うようにしていた。このベリファイの工程では、一次検査で検出された欠陥を含む所定の小領域だけソフトウェアによって詳細に二次検査するようにしていた。
【０００４】
しかしながら、一次検査でパターンの欠陥が見つかる度にベリファイを行っていたのではタクトタイム（パターン検査の実行速度）が低下する。特に、ＴＡＢテープに形成されたパターンが微細になる程、性能的に問題ない場合でも欠陥として検出してしまう過検出が頻繁に発生し、タクトタイムが低下すると共に、歩留りも低下する。このため、ベリファイを伴わない一次検査だけを実行することでタクトタイムを短縮させることが重要となってきている。ただし、完全にベリファイを省くことはできないので、顕微鏡を備えたオフラインベリファイ装置をパターン検査装置とＬＡＮで接続し、パターン検査装置のパターン検査結果を利用して、パターン検査後にオフラインベリファイを行う手法が主流になってきている。
【０００５】
オフラインベリファイにおいては、パターン検査装置で画像処理した欠陥ピース画像と顕微鏡で撮影した欠陥ピース画像（ライブ画像）とを同一表示器に並行表示させて、この両画像を人の目で目視確認して、良品、不良品を判断する。つまり、機械的に実行されたパターン検査により不良品と判定されたものを再度人の目で見て不良品であるか、良品であるかを再判定する。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−３１２２４２号公報
【特許文献２】特開２００４−１６３３４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、オフラインベリファイの手法では、人為的ミスの発生が防止できず、不良品が次工程に流出してしまう可能性があった。例えば、オフラインベリファイにおいて、良品と判定されるピースがある程度連続すると、人間の習性として、不良品が出現したときにも安易に良品と判断してしまうことがある。通常、オフラインベリファイの工程では、不良品と判定したピースにパンチングによってマーキングして、ＴＡＢテープを次工程に送るようになっている。したがって、不良品と判定すべきピースを良品と判定してしまうと、不良品を含んだＴＡＢテープが次工程に流れてしまい、不良品を次工程に送ってしまうことになる。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、不良品が流出する可能性を大幅に低減することができるオフラインベリファイ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、検査ワークの各ピースをカメラで撮影して検査するパターン検査装置の検査結果を利用して、前記パターン検査装置による検査の妥当性を検証するベリファイを行うオフラインベリファイ装置において、前記パターン検査装置の検査結果およびこのパターン検査装置で撮影された不良品ピースの欠陥個所を含む検査装置画像とを記憶する記憶手段と、前記検査ワークのピースの拡大画像を撮影する顕微鏡と、前記パターン検査装置で不良品と判定されたピースを前記顕微鏡で撮影できる位置まで前記検査ワークを搬送する第１の搬送手段と、前記パターン検査装置で不良品と判定されたピースの顕微鏡画像とこれに対応するピースの検査装置画像とを並行表示させ、これらの画像を比較した検査員による良否判定結果を第１のベリファイの結果として前記記憶手段に格納する第１のベリファイ実行手段と、前記第１のベリファイで良品と判定されたピースを前記顕微鏡で撮影できる位置まで前記検査ワークを搬送する第２の搬送手段と、前記第１のベリファイで良品と判定されたピースの顕微鏡画像とこれに対応するピースの検査装置画像とを並行表示させ、これらの画像を比較した検査員による良否判定結果を第２のベリファイの結果として前記記憶手段に格納する第２のベリファイ実行手段とを備えるものである。
また、本発明のオフラインベリファイ装置の１構成例において、前記検査ワークは、ＴＡＢテープである。
また、本発明のオフラインベリファイ装置の１構成例は、さらに、前記第１のベリファイ又は前記第２のベリファイで不良品と判定されたピースにマーキングを施すパンチング装置を備えるものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、パターン検査装置による検査ワークの検査の妥当性を検証する第１のベリファイの後に、この第１のベリファイで良品と判定されたピースについてのみ第１のベリファイの判定の妥当性を再検証する第２のベリファイを行うことにより、不良品ピースが次工程に流出する可能性を大幅に低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態に係るオフラインベリファイ装置の構成を示すブロック図である。
オフラインベリファイ装置１は、パターン検査装置６で検査されたＴＡＢテープ１０が装着されるテープ搬送装置２と、パターン検査装置６によるＴＡＢテープ１０の検査の妥当性を検証する判定装置３と、検査員が判定装置３に対して指示を与えるためのマウスやキーボード等の入力装置４と、判定装置３が検査員に対して情報を提示するための表示装置５とから構成される。
【００１２】
テープ搬送装置２の送り出し側の駆動軸２０には、パターン検査装置６で検査済みのＴＡＢテープ１０が巻かれた送り出しリール２１が装着される。このＴＡＢテープ１０は、巻き取り側の駆動軸２２に装着された巻き取りリール２３によって巻き取られる。
【００１３】
図２はＴＡＢテープ１０の平面図である。ＴＡＢテープ１０には、幅方向（図２上下方向）の両端部に移送用のスプロケット孔１１，１２が並設され、長手方向（図２左右方向）に沿ってＩＣ１個分に相当するピース１３が連続して配置されている。各ピース１３には、銅箔パターン１４と、ＩＣを装着するためのデバイスホール１５が形成されている。
顕微鏡２４は、ＴＡＢテープ１０のピース１３の拡大画像を撮影する。パンチング装置２５は、判定装置３で不良品と判定されたピース１３にパンチングによってマーキングを施す。
【００１４】
判定装置３は、パターン検査装置６とＬＡＮ（Local Area Network）を介して通信を行う通信部３０と、パターン検査装置６の検査結果および判定装置３の処理結果を記憶する記憶部３１と、テープ搬送装置２を制御する搬送制御部３２と、顕微鏡２４で撮影された画像を取り込む顕微鏡画像入力部３３と、パターン検査装置６によるＴＡＢテープ１０の検査の妥当性を検証する第１のベリファイを行うときのオフラインベリファイ装置１の動作を制御する第１のベリファイ制御部３４と、第１のベリファイ制御部３４で良品と判定されたピース１３についてのみ判定の妥当性を再検証する第２のベリファイを行うときのオフラインベリファイ装置１の動作を制御する第２のベリファイ制御部３５と、入力装置４からの入力を受ける入力受付部３６と、表示装置５に情報を表示させる表示制御部３７とを有する。
搬送制御部３２とテープ搬送装置２とは、第１の搬送手段および第２の搬送手段を構成している。
【００１５】
以下、オフラインベリファイ装置１の動作についてより詳細に説明する。図３はオフラインベリファイ装置１の動作を示すフローチャートである。
まず、判定装置３の通信部３０は、パターン検査装置６からＴＡＢテープ１０の検査結果データを受信して記憶部３１に格納する（図３ステップＳ１）。この検査結果データには、ＴＡＢテープ１０のピース１３毎の検査結果（良品／不良品）と、パターン検査装置６のカメラで撮影された不良品ピース１３の欠陥個所を含む検査装置画像のデータとが含まれる。なお、パターン検査装置６による一次検査の方法については、例えば特許文献１に開示されている。
【００１６】
図４は表示装置５に表示される第１のベリファイ画面５０を示す図である。図４において、５００は顕微鏡画像表示領域、５０１は検査装置画像表示領域、５０２は「ＳＴＡＲＴ」ボタン、５０３「ＯＫ」ボタン、５０４は「ＮＧ」ボタン、５０５は「ＵＰ」ボタン、５０６は「ＤＯＷＮ」ボタン、５０７は「ＲＥＳＴＡＲＴ」ボタンである。
【００１７】
検査員は、パターン検査装置６で検査済みのＴＡＢテープ１０が巻かれた送り出しリール２１をテープ搬送装置２の送り出し側の駆動軸２０に装着し、入力装置４を操作して第１のベリファイ画面５０上で「ＳＴＡＲＴ」ボタン５０２をクリックする。これにより、第１のベリファイが開始される（ステップＳ２）。
【００１８】
判定装置３の搬送制御部３２は、図示しない送り出し側の駆動モータと搬送機構により駆動軸２０を回転させてＴＡＢテープ１０を送り出しリール２１から繰り出すと共に、図示しない巻き取り側の駆動モータにより駆動軸２２を回転させてＴＡＢテープ１０を巻き取りリール２３に巻き取る。こうして、ＴＡＢテープ１０が走行する（ステップＳ３）。搬送制御部３２は、記憶部３１の検査結果データに基づいて、パターン検査装置６で不良品と判定された最初の不良品ピース１３の位置までＴＡＢテープ１０を走行させ、この不良品ピース１３を顕微鏡２４で撮影できる位置でＴＡＢテープ１０の走行を停止させる（ステップＳ４）。
【００１９】
顕微鏡２４は、「ＳＴＡＲＴ」ボタン５０２のクリックによる第１のベリファイの開始後、撮影を開始する。判定装置３の顕微鏡画像入力部３３は、ステップＳ４でＴＡＢテープ１０の走行が停止したとき、顕微鏡２４が撮影した顕微鏡画像をデジタル化して取り込む（ステップＳ５）。前述のとおり、ＴＡＢテープ１０は不良品ピース１３を顕微鏡２４で撮影できる位置で停止するので、このときの顕微鏡画像には不良品ピース１３が写っていることになる。
第１のベリファイ制御部３４は、ステップＳ５で顕微鏡画像入力部３３が取り込んだ不良品ピース１３の顕微鏡画像データを表示制御部３７に渡すと共に、これに対応する不良品ピース１３の検査装置画像データを記憶部３１から読み出して表示制御部３７に渡す。表示制御部３７は、顕微鏡画像と検査装置画像とを表示装置５に並行表示させる（ステップＳ６）。図４の例では、第１のベリファイ画面５０の顕微鏡画像表示領域５００に顕微鏡画像が表示され、検査装置画像表示領域５０１に検査装置画像が表示される。
【００２０】
検査員は、パターン検査装置６で不良品と判定された不良品ピース１３の顕微鏡画像と検査装置画像とを比較し、不良品と判断した場合は入力装置４を操作して第１のベリファイ画面５０上で「ＮＧ」ボタン５０４をクリックし、良品と判断した場合は「ＯＫ」ボタン５０３をクリックする。こうして、パターン検査装置６によるピース１３の検査の妥当性が検証される（ステップＳ７）。第１のベリファイ制御部３４は、この第１のベリファイの判定結果を記憶部３１に格納する。
【００２１】
次に、搬送制御部３２は、検査員が入力装置４を操作して第１のベリファイ画面５０上で「ＵＰ」ボタン５０５をクリックしたとき、第１のベリファイを行っていない不良品ピース１３がＴＡＢテープ１０に残っている場合は（ステップＳ８においてＹＥＳ）、検査結果データに基づき、次の不良品ピース１３の位置までＴＡＢテープ１０を走行させる（ステップＳ３，Ｓ４）。
【００２２】
そして、上記と同様に、顕微鏡画像の取り込み（ステップＳ５）と、顕微鏡画像と検査装置画像の並行表示（ステップＳ６）と、第１のベリファイ（ステップＳ７）とが行われる。このようにして、パターン検査装置６で不良品と判定された全ての不良品ピース１３の第１のベリファイが終了するまで、ステップＳ３〜Ｓ８の処理が不良品ピース１３毎に行われる。
【００２３】
なお、検査員が第１のベリファイ画面５０上で「ＤＯＷＮ」ボタン５０６をクリックすると、ＴＡＢテープ１０が逆走して、１つ前の不良品ピース１３に戻すことができる。
また、搬送制御部３２は、第１のベリファイで不良品と判定された不良品ピース１３がパンチング装置２５の真下に来たとき、パンチング装置２５を動作させて不良品ピース１３にマーキングを施す。
【００２４】
次に、第１のベリファイで良品と判定されたピース１３についてのみ判定の妥当性を再検証する第２のベリファイを行う。第２のベリファイは、検査員が入力装置４を操作して第１のベリファイ画面５０上で「ＲＥＳＴＡＲＴ」ボタン５０７をクリックすると、開始される（ステップＳ９）。図５は第２のベリファイ開始後に表示装置５に表示される第２のベリファイ画面５１を示す図である。図５において、５０８は顕微鏡画像表示領域、５０９は検査装置画像表示領域、５１０は判定結果表示領域である。
【００２５】
搬送制御部３２は、巻き取り側の駆動モータにより駆動軸２２を逆転させてＴＡＢテープ１０を巻き取りリール２３から繰り出すと共に、送り出し側の駆動モータにより駆動軸２０を逆転させてＴＡＢテープ１０を送り出しリール２１に巻き取ることにより、ＴＡＢテープ１０を逆走させる（ステップＳ１０）。搬送制御部３２は、ステップＳ７の第１のベリファイで良品と判定された最後のピース１３を顕微鏡２４で撮影できる位置でＴＡＢテープ１０の走行を停止させる（ステップＳ１１）。
【００２６】
顕微鏡２４は、「ＲＥＳＴＡＲＴ」ボタン５０７のクリックによる第２のベリファイの開始後、撮影を開始する。顕微鏡画像入力部３３は、ステップＳ１１でＴＡＢテープ１０の走行が停止したとき、顕微鏡２４が撮影した顕微鏡画像をデジタル化して取り込む（ステップＳ１２）。このときの顕微鏡画像には、良品と判定されたピース１３が写っていることになる。ただし、このとき顕微鏡２４の撮影条件は変更せず、ステップＳ５と同じにする。その理由は、第２のベリファイの目的が不良品ピースと判断されたピースを良品ピースとして拾い上げることではなく、あくまでも不良品ピースが次工程に流出することを防止することにあるからである。
【００２７】
第２のベリファイ制御部３５は、ステップＳ１２で顕微鏡画像入力部３３が取り込んだピース１３の顕微鏡画像データを表示制御部３７に渡すと共に、これに対応するピース１３の検査装置画像データを記憶部３１から読み出して表示制御部３７に渡す。表示制御部３７は、顕微鏡画像と検査装置画像とを表示装置５に並行表示させる（ステップＳ１３）。図５の例では、第２のベリファイ画面５１の顕微鏡画像表示領域５０８に顕微鏡画像が表示され、検査装置画像表示領域５０９に検査装置画像が表示され、判定結果表示領域５１０に第１のベリファイの判定結果が表示される。
【００２８】
検査員は、ピース１３の顕微鏡画像と検査装置画像とを比較し、不良品と判断した場合は入力装置４を操作して第２のベリファイ画面５１上で「ＮＧ」ボタン５０４をクリックし、良品と判断した場合は「ＯＫ」ボタン５０３をクリックする。こうして、第１のベリファイの判定の妥当性が再検証される（ステップＳ１４）。第２のベリファイ制御部３５は、この第２のベリファイの判定結果を記憶部３１に格納すると共に、第１のベリファイで良品とされていたピース１３が不良品と判定された場合は、該当する判定結果表示領域５１０の表示を「ＯＫ」から「ＮＧ」に変更する。
【００２９】
次に、搬送制御部３２は、検査員が入力装置４を操作して第２のベリファイ画面５１上で「ＵＰ」ボタン５０５をクリックしたとき、第１のベリファイで良品と判定されたピース１３がＴＡＢテープ１０に残っている場合は（ステップＳ１５においてＹＥＳ）、第１のベリファイで良品と判定された次のピース１３の位置までＴＡＢテープ１０を走行させる（ステップＳ１６，Ｓ１１）。
【００３０】
そして、上記と同様に、顕微鏡画像の取り込み（ステップＳ１２）と、顕微鏡画像と検査装置画像の並行表示（ステップＳ１４）と、第２のベリファイ（ステップＳ１４）とが行われる。このようにして、第１のベリファイで良品と判定された全てのピース１３の第２のベリファイが終了するまで、ステップＳ１１〜Ｓ１６の処理がピース１３毎に行われる。
【００３１】
なお、検査員が第２のベリファイ画面５１上で「ＤＯＷＮ」ボタン５０６をクリックすると、ＴＡＢテープ１０が逆走して、第２のベリファイで良品と判定された１つ前のピース１３に戻すことができる。
また、搬送制御部３２は、第２のベリファイで不良品と判定された不良品ピース１３がパンチング装置２５の真下に来たとき、パンチング装置２５を動作させて不良品ピース１３にマーキングを施す。ただし、第２のベリファイでは、第１のベリファイの正方向（図１の例では左から右方向）の走行に対して逆方向（図１の例では右から左方向）にＴＡＢテープ１０を走行させて、送り出しリール２１に巻き取っているため、第２のベリファイで不良品と判定されたときには、不良品ピース１３はパンチング装置２５を通り越していることになる。そこで、搬送制御部３２は、ピース１３が第２のベリファイで不良品と判定された場合には、この不良品ピース１３がパンチング装置２５の真下に来るようにＴＡＢテープ１０を正方向にいったん走行させ、不良品ピース１３にマーキングを施した後に、ステップＳ１６の処理により、第１のベリファイで良品と判定された次のピース１３の位置までＴＡＢテープ１０を逆走させる。
第２のベリファイの終了後、送り出しリール２１に巻き取られたＴＡＢテープ１０はテープ搬送装置２から取り外されて、次工程へ送られる。
【００３２】
以上のように、本実施の形態では、パターン検査装置６によるＴＡＢテープ１０の検査の妥当性を検証する第１のベリファイの後に、この第１のベリファイで良品と判定されたピースについてのみ第１のベリファイの判定の妥当性を再検証する第２のベリファイを行うことにより、不良品ピースが次工程に流出する可能性を大幅に低減することができる。
【００３３】
なお、本実施の形態の判定装置３は、ＣＰＵ、記憶装置および外部とのインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このコンピュータを動作させるオフラインベリファイプログラムは、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、メモリカードなどの記録媒体に記録された状態で提供される。ＣＰＵは、記録媒体から読み込んだプログラムを記憶装置に書き込み、プログラムに従って本実施の形態で説明した処理を実行する。
また、本実施の形態では、検査ワークの例としてＴＡＢテープを例に挙げて説明しているが、これに限るものではない。本発明は他の検査ワークにも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、例えばＴＡＢテープのパターン検査に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態に係るオフラインベリファイ装置の構成を示すブロック図である。
【図２】ＴＡＢテープの平面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るオフラインベリファイ装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】本発明の実施の形態において表示装置に表示される第１のベリファイ画面を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態において表示装置に表示される第２のベリファイ画面を示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
１…オフラインベリファイ装置、２…テープ搬送装置、３…判定装置、４…入力装置、５…表示装置、１０…ＴＡＢテープ、１１，１２…スプロケット孔、１３…ピース、１４…銅箔パターン、１５…デバイスホール、２０，２２…駆動軸、２１…送り出しリール、２３…巻き取りリール、２４…顕微鏡、２５…パンチング装置、３０…通信部、３１…記憶部、３２…搬送制御部、３３…顕微鏡画像入力部、３４…第１のベリファイ制御部、３５…第２のベリファイ制御部、３６…入力受付部、３７…表示制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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