(57)【要約】【課題】部品点数を少なくし、装置の長大化・大型化を抑制でき、短波長域を含む広い波長域で透過スペクトルが急峻で狭帯域な特性を発揮し得る多段構造のリオフィルタと同等の波長可変フィルタを実現する。【解決手段】波長フィルタ３１は、一定の厚さを有する平板状の石英からなる光変調部３３とその一端に接続した水晶振動子３４とからなるＰＥＭ素子３２を備える。ＰＥＭ素子の上側主面の上方には、透明ガラス板４３に支持された第１〜第４偏光子３７〜４０と上側４１，４２が設けられ、下側主面の下方には、支持板４５に支持された下側反射ミラー４４が設けられる。光変調部への入射光は、第１〜第４偏光子と上側及び下側反射ミラーとの間で多重反射しながら光変調部を透過して出射する。光路に沿って隣接する２つの偏光子間の位相差は、２ｎ−１×２π、（ｎ：１〜３）に設定する。【選択図】図１
2009265195.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面と第２主面との間に配置した平板状の光変調部と前記光変調部の一端に接続された圧電振動子とを有する光弾性偏光（ＰＥＭ）素子と、前記第１主面及び第２主面に設けられた複数の偏光子と反射ミラーとを備え、
前記光変調部に入射した光が、該光変調部の内部を前記偏光子と前記反射ミラーとの間で前記主面の法線方向に関して一定の角度をもって多重反射して透過し、前記光変調部から出射することを特徴とする波長可変フィルタ。
【請求項２】
前記光変調部の内部を透過する前記光の光路に沿って隣接する２つの前記偏光子間の位相差Γｉが、前記光路を透過する光の波長に対してΓｉ＝２ｉ−１×２π、（但し、ｉ＝１〜ｎ、ｎ：２以上の整数）の関係を満足することを特徴とする請求項１記載の波長可変フィルタ。
【請求項３】
前記光変調部の内部を透過する前記光の光路に沿って隣接する２つの前記偏光子間の少なくとも１つの位相差Γｊが、前記光路を透過する光の波長に対してΓｊ＝２ｊ−１×２π−π、（但し、ｊ＝１〜ｍ、ｍ：自然数）の関係を満足することを特徴とする請求項２記載の波長可変フィルタ。
【請求項４】
前記光変調部の内部を透過する前記光の光路に沿って隣接する２つの前記偏光子が平行ニコル又はクロスニコルの関係に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の波長可変フィルタ。
【請求項５】
前記光変調部への前記光の入射口と出射口とが互いに異なる前記主面に設けられることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の波長可変フィルタ。
【請求項６】
前記光変調部への前記光の入射口と出射口とが一方の前記主面に設けられることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の波長可変フィルタ。
【請求項７】
前記偏光子がワイヤグリッド偏光子であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか記載の波長可変フィルタ。
【請求項８】
前記偏光子がワイヤグリッド偏光子であり、かつ全ての前記偏光子が一方の前記主面に設けられ、前記光の出射口が他方の前記主面に設けられることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか記載の波長可変フィルタ。
【請求項９】
前記光変調部の端面に設けられた垂直反射ミラーを更に有し、前記光変調部の内部を透過する前記光が前記垂直反射ミラーにより反射されて逆向きに進行することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか記載の波長可変フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透過する光の波長を特定の値及び／又は範囲に固定して又は可変的に制御するための波長可変フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、所望の波長領域の光を透過するために様々なバンドパスフィルタが使用されている。例えば、複屈折板を用いて狭帯域の光のみを透過させるバンドパスフィルタとしてリオフィルタが知られている（例えば、特許文献１〜３を参照）。図１２は、リオフィルタの基本的構成を示している。同図に示すように、リオフィルタ１は、透過軸の平行な偏光子２ａ〜２ｄの間にそれぞれ複屈折板３ａ〜３ｃを、それらの結晶光学軸３a1〜３c1が前記偏光子の透過軸２a1〜２d1と４５°をなすように配置する。複屈折板３ａ〜３ｃには、方解石や水晶等の一軸性結晶が用いられ、その厚さｄi
は２ｉ−１ｄ（ｉ＝１〜３）となるように構成される。特許文献１では、リオフィルタが、背面に反射鏡を配設した液晶表示パネルにおいてＲＧＢの三原色の色純度を高くするために、該液晶表示パネルの表面に積層されている。このリオフィルタを構成するプラスチックフィルムは、液晶表示パネルの背面側から反射される光の透過スペクトルのピークがＲＧＢに対応するように、その光学位相差を決定する。
【０００３】
上記リオフィルタは、使用する複屈折板によって透過スペクトルが特定の波長に固定される。そこで、複屈折板に代えて液晶セルを２枚の偏光子の間に挟んだ波長可変型オプティカル・バンドパスフィルタが知られている（例えば、特許文献２，３を参照）。このバンドパスフィルタの構成を図１３に示す。同図において、バンドパスフィルタ１１は、偏光子１２ａ〜１２ｄに挟まれた液晶セル１３ａ〜１３ｃへの印加電圧を適当に設定することにより、透過スペクトル波長を変化させる。特に図１３のバンドパスフィルタは、透過軸１２a1、１２b1を直交させて配置した所謂クロスニコルの偏光子１２ａ、１２ｂ間の液晶セル１３ａと、透過軸１２b1〜１２d1を平行に配置した所謂平行ニコルの偏光子１２ｂ〜１２ｄで挟んだ２枚の液晶セル１３ｂ、１３ｃとを組み合わせることにより、可視領域に残る２つの単色光のうち一方を除去するように構成されている。
【０００４】
更に、図１３と同様の構成において、偏光子の間に液晶セルと位相差フィルムとからなる複合層を挟んだ波長可変フィルタが知られている（例えば、特許文献４を参照）。この波長可変フィルタの構成を図１４に示す。同図において、波長可変フィルタ２１は、偏光子２２ａ〜２２ｄに挟まれた各液晶セル２３ａ〜２３ｃにそれぞれ位相差フィルム２４ａ〜２４ｃが重ねて配置されている。この位相差フィルムによって、液晶セルのセル厚を必要最小限に抑え、それによるリタデーション値の減少を補充し、液晶の応答性低下を回避しつつ、狭半値幅の透過率ピークを発生させる。また、液晶セルのセル厚を透過順にｄ、２ｄ、１．５ｄに設定することにより、１つの電圧印加装置を共有して全液晶セルに同じ制御電圧を印加し、透過スペクトルの波長を調整することができる。
【０００５】
また、入射光の位相を周期的に変調する光学素子として、光弾性変調（ＰＥＭ：Photoelastic Modulator）素子が知られている。ＰＥＭ素子は、石英等の等方性媒質からなる光変調部の一端に水晶等の圧電振動子を貼り付け、かつ他端を機械的にストッパに当接させて構成される（例えば、特許文献５を参照）。光変調部は、該光変調部の共振周波数で水晶振動子を励振すると、弾性歪みを生じて光の屈折率が所定の方向に変化する。これにより、透過光は、その偏光状態が直線偏光と楕円偏光との間で周期的に変調され、常光と異常光との位相差が一定の周波数で変化する。一般にＰＥＭ素子は、エリプソメータ等において薄膜や試料を測定する偏光変調分光に使用されている（例えば、特許文献６，７を参照）。
【０００６】
【特許文献１】特許第３０００６６９号公報
【特許文献２】特許第３１０２０１２号公報
【特許文献３】特開２０００−２６７１２７号公報
【特許文献４】特開２００５−１１５２０８号公報
【特許文献５】特開２０００−２８４４１号公報
【特許文献６】特開平５−１９６５０２号公報
【特許文献７】特開平７−１３４０６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、液晶セルは、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜等での反射により透過光量に損失を生じることに加えて、特に紫外域〜青色の短波長域の光を吸収する性質がある。そのため、上述したように液晶セルを用いた波長可変フィルタは、短波長域での透過率が大幅に低下するという問題がある。
【０００８】
更に、複数の液晶セルへの印加電圧を精密に制御するためには、液晶セル毎に独立した駆動制御回路が必要で、装置全体の構成及び制御が複雑になるという問題を生じる。しかも、液晶セルは、耐熱性が低く、透過波面収差が大きい等の問題がある。また、液晶セルは、その屈折率の印加電圧に対する応答が遅いため、印加電圧を連続的に変化させて透過波長を連続的に変化させることは、実用的に困難な場合がある。
【０００９】
また、リオフィルタ及び上述した従来の波長可変フィルタは、２つの偏光子及びその間に挟まれた複屈折板又は液晶セル等の位相子を１ブロックとして、これを光路に沿って直列に配置して多段に構成する。そのため、透過スペクトルをより急峻にして狭帯域な透過特性が得られる反面、部品点数が多くなり、フィルタ全体を長大化・大型化させるという問題がある。特に多段構造の可変波長フィルタは、光学的厚さ及び他の仕様の異なる複数の液晶セルが必要になるので、コストが増加する。
【００１０】
更に従来の波長フィルタは、偏光子として位相差フィルムのような吸収型偏光子を使用するので、光学的損失が大きい。これに対し、ワイヤグリット偏光子やフォトニック結晶偏光子、輝度向上フィルム等の反射型偏光子は、一般に低損失かつ広帯域な光学特性を有し、耐熱性に優れた特徴を有する。しかしながら、従来の各光学要素を光路に沿って直列に配置した多段構成の波長フィルタに反射型偏光子を用いると、不要な反射光が生じて迷光となるので、良好な光学特性を得られない。
【００１１】
本願発明者らは、上述したように専らエリプソメータ等の偏光変調分光において位相差を測定するために使用されているＰＥＭ素子に着目した。そして、上述した従来の問題点に鑑み、ＰＥＭ素子を利用した波長フィルタについて様々な検討を加えた結果、本発明を案出するに至ったものである。
【００１２】
そこで本発明の目的は、部品点数をできる限り少なくしかつ装置全体の長大化・大型化を抑制しつつ、多段構造のリオフィルタと同等に、透過スペクトルが急峻で狭帯域特性を発揮し得ると共に、ＰＥＭ素子を利用することにより、紫外域〜青色の短波長域を含む広い波長域の光について、より簡単かつ高精度に透過波長を可変制御し得る波長可変フィルタを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、上記目的を達成するために、第１主面と第２主面との間に配置した平板状の光変調部と該光変調部の一端に接続された圧電振動子とを有するＰＥＭ素子と、第１主面及び第２主面に設けられた複数の偏光子と反射ミラーとを備え、光変調部に入射した光が、該光変調部の内部を偏光子と反射ミラーとの間で前記主面の法線方向に関して一定の角度をもって多重反射して透過し、光変調部から出射する波長可変フィルタが提供される。
【００１４】
ＰＥＭ素子の光変調部の内部を多重反射しながら透過する光の光路に沿って隣接する２つの偏光子間の位相差は、該２つの偏光子間の光路長によって決定され、該位相差に対応して透過スペクトルのピーク波長が設定される。そして、ＰＥＭ素子は、上述したように石英等の透明な等方性物質の一端に貼り付けた水晶等の圧電振動子を所定の電圧で励振させることにより、該石英に応力を付与して光弾性現象による光学的異方性を誘起させ、それにより複屈折性を生じさせて、透過光に位相差を与える。この位相差は、圧電振動子の発振周波数で周期的に変化するが、前記石英の厚さによってかつ／又は圧電振動子の印加電圧を変えることによって制御できる。従って、従来のリオフィルタと同様の構造において、透過スペクトル波長を自在に変化させ得る波長可変フィルタが実現される。
【００１５】
また、共通した１つの光変調部の主面に設ける偏光子の数を増やすことによって、多段構造のリオフィルタと同等の構成が得られるから、部品点数を少なくしかつ装置全体の長大化・大型化を抑制することができる。特に、部品点数が従来よりも格段に減少することによって、製造過程や使用済の廃棄品が及ぼす環境への影響が少なくなるという側面からも、極めて有利である。
【００１６】
しかも、ＰＥＭ素子は印加電圧の変化に対して応答特性が良いので、透過波長域を高速でかつ安定して変化させることができる。更に、ＰＥＭ素子の前記透明な等方性物質からなる光変調部は、特に石英のような光吸収が極めて少ない材料を選択することによって、液晶セルを用いた従来の波長可変フィルタと異なり、紫外域〜青色の短波長域を含む広い波長域の光について十分な位相変調量及び高い透過率が得られる。また、ＰＥＭ素子は、位相変調量が大きいので、波長可変フィルタの設計自由度を大きくすることができる。
【００１７】
或る実施例では、ＰＥＭ素子の光変調部の内部を透過する光の光路に沿って隣接する２つの偏光子間の位相差Γｉが、該光路を透過する光の波長に対してΓｉ＝２ｉ−１×２π、（但し、ｉ＝１〜ｎ、ｎ：２以上の整数）の関係を満足することにより、常に２πの整数倍となるので、従来のリオフィルタと同様の可変バンドパスフィルタとしての透過特性が得られる。
【００１８】
ここで更に、ＰＥＭ素子の光変調部の内部を透過する光の光路に沿って隣接する２つの偏光子間の少なくとも１つの位相差Γｊが、光路を透過する光の波長に対してΓｊ＝２ｊ−１×２π−π、（但し、ｊ＝１〜ｍ、ｍ：自然数）の関係を満足することにより、可変波長域を拡大することができる。
【００１９】
更に別の実施例では、ＰＥＭ素子の光変調部の内部を透過する光の光路に沿って隣接する２つの偏光子が平行ニコル又はクロスニコルの関係に配置されていることにより、従来のリオフィルタと同様の可変バンドパスフィルタとしての透過特性が得られる。
【００２０】
或る実施例では、光の入射口と出射口とが互いに異なる主面に設けられることにより、入射光と出射光とをインライン配置することができる。別の実施例では、ＰＥＭ素子の光変調部への光の入射口と出射口とが一方の主面に設けられることにより、入射光と出射光とを対向配置することができる。
【００２１】
或る実施例では、前記主面に設けられた偏光子がワイヤグリッド偏光子であると、該偏光子に入射する光をその偏光方向によって選択的に反射できるので、別個の反射手段を追加する必要がなく、部品点数をより少なくできると共に、ｐ偏光及びｓ偏光のいずれについても高い透過率を発揮するので、高い光利用効率を得ることができる。
【００２２】
別の実施例では、ワイヤグリッド偏光子である全ての偏光子が一方の主面に設けられ、光の出射口が他方の主面に設けられることにより、各偏光子から外部に透過する不要光を所望の出射光から確実に排除することができる。
【００２３】
また、或る実施例では、ＰＥＭ素子の光変調部の端面に設けられた垂直反射ミラーを更に有し、ＰＥＭ素子の光変調部の内部を透過する光が垂直反射ミラーにより反射されて逆向きに進行することにより、フィルタ全体を短くして小型化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に、添付図面を参照しつつ、本発明による波長可変フィルタの好適な実施例を詳細に説明する。尚、各図において、類似の構成要素には同一又は類似の参照符号を付して表すことにする。
【００２５】
図１（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明による波長フィルタの第１実施例の構成を概略的に示している。本実施例の波長フィルタ３１は、一定の光学的厚さと該厚さに対する十分な長さとを有する位相子を備える。前記位相子はＰＥＭ素子３２からなり、厚さ一定の平板状の石英からなる光変調部３３と、その一端に接着された水晶振動子３４とを有する。前記光変調部は、石英以外にＣａＦ２ 、Ｇｅ等の様々な公知の透明な等方性物質で形成される。前記水晶振動子は、水晶以外にチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電セラミックスを用いた様々な公知の圧電振動子に置き換えることができる。
【００２６】
前記ＰＥＭ素子は、光変調部３３の他端が図示しないストッパに当接して変位しないように固定される。水晶振動子３４は、対向する両面に形成された１対の電極３５，３５を有し、前記各電極は電源３６に接続されている。水晶振動子３４は、前記電源から所定の電圧を印加すると、前記ストッパへの向きに沿って図１（Ａ）に矢印で示す方向に伸縮するように所定の周波数で励振する。光変調部３３は、水晶振動子３４の振動によって前記ストッパとの間で弾性変形することにより歪みを生じ、光の屈折率が所定の方向に周期的に変化する。従って、前記光変調部を透過する光は、その偏光状態が直線偏光と楕円偏光との間で周期的に変調され、常光と異常光との位相差が一定の周波数で変化する。電源３６からの印加電圧は、前記各水晶振動子の振動を同期させるように制御する。
【００２７】
本実施例では、光変調部３３の上側主面の一方の端部（図中左側）３３ａ側を光の入射口とし、かつ他方の端部（図中右側）３３ｂ側を光の出射口とし、該光変調部の内部を光が図中左から右へ進行するようにする。前記光変調部の上方には、第１〜第４偏光子３７〜４０と上側反射ミラー４１，４２とが配設される。前記第１〜第４偏光子及び上側反射ミラーは、前記光変調部の上側主面から僅かに離隔して配置した透明ガラス板４３上に支持される。前記光の進行方向に沿って、第１及び第２偏光子３７，３８が連続して配置され、次に上側反射ミラー４１を挟んで第３偏光子３９と、更に上側反射ミラー４２を挟んで第４偏光子４０とが配置される。前記光変調部の下方には、その下側主面から離隔してかつその全長さ範囲に亘って、下側反射ミラー４４が設けられる。下側反射ミラー４４も、前記光変調部の下側主面から僅かに離隔して配置した支持板４３上に支持される。
【００２８】
第１〜第４偏光子３７〜４０は、ワイヤグリッド偏光子からなる。ワイヤグリッド偏光子は、透明基板の表面に金属細線を周期的に透過波長よりも短い一定の周期で格子状に配列され、格子の周期方向と垂直な振動成分の光を反射し、かつ平行な振動成分の光を透過させるという特性を有する。本実施例では、波長フィルタ３１への入射光Ｌ1と前記光変調部上面の法線とを含む平面（図１（Ｂ）の紙面）に対して垂直な直線偏光をｓ偏光として図中黒丸点●で、平行な直線偏光をｐ偏光として図中短い両端矢印で表す。前記第１〜第４偏光子は、その格子をＰＥＭ素子３２の振動方向Ｑに対して４５°の方向に配向する。前記各偏光子の格子の向きは、図１（Ａ）の平面図において多数の平行な細線で表す。
【００２９】
前記各偏光子は、入射光をその偏光方向によって透過又は反射するように分光するものであれば、ワイヤグリッド偏光子以外の様々な公知の偏光子を用いることができる。このような偏光子として、例えばフォトニック結晶偏光子、樹脂材料からなる輝度向上フィルム等がある。前記各反射ミラーは、例えばＡｌ，Ａｇ，Ａｕ等の金属膜を前記ガラス板又は支持板の表面に蒸着等の方法で付着させることにより形成される。また、前記反射ミラーは、誘電体多層膜を積層することにより形成され、所望の直線偏光成分のみを選択的に反射して、他の直線偏光成分を反射しないように構成し、反射による損失をより少なくすることができる。
【００３０】
波長フィルタ３１への入射光Ｌ1は、前記光入射口から光変調部３３を透過し、下側反射ミラー４４により該光変調部の主面の法線方向に関して所定の角度θをもって反射される。反射光は第１偏光子３７に入射し、ｓ偏光成分とｐ偏光成分とに分光される。ｓ偏光成分は第１偏光子３７を透過して、不要光として外部に出射する。ｐ偏光成分は、前記第１偏光子により前記光変調部主面の法線方向に関して同じ反射角度θをもって反射され、光変調部３３の内部を多重反射しながら透過する。隣接する２つの前記偏光子同士は、前記ワイヤグリッド偏光子の格子の周期方向を上述したように配向したことにより、それぞれ透過軸を互いに平行にした平行ニコルの関係に配置されている。
【００３１】
第１偏光子３７から反射したｐ偏光は、光変調部３３を透過し、その間にｓ偏光に変換され、下側反射ミラー４４により反射されて再び前記光変調部を透過し、その間に再びｐ偏光に変換され、第２偏光子３８に入射して反射する。次に、前記第２偏光子から反射したｐ偏光は、前記下側反射ミラーと上側反射ミラー４１とにより３度反射されて、前記光変調部を２度往復透過し、第３偏光子３９に入射して反射する。その間に前記光変調部を往復透過する毎に、ｐ偏光はｓ偏光に、更にｓ偏光からｐ偏光に、２度繰り返して変換される。第３偏光子３９から反射したｐ偏光は、下側反射ミラー４４と上側反射ミラー４２とにより７度反射されて、前記光変調部を４度往復透過し、第４偏光子４０に入射して反射する。その間に光変調部３３を往復透過する毎に、同様にｐ偏光はｓ偏光に、更にｓ偏光からｐ偏光に、４度繰り返して変換される。最後に、第４偏光子４０から反射したｐ偏光は、再び下側反射ミラー４４に反射されて前記光変調部を一度往復透過し、その間にｐ偏光からｓ偏光に変換され、更にｓ偏光からｐ偏光に戻されて、前記光出射口から外部に出射する。
【００３２】
光変調部３３は、その上側及び下側主面間を光が一度透過する間に１８０°の位相差が与えられるように構成される。従って、前記各偏光子は、前記光変調部内部を進行する光路に沿って隣接する２つの偏光子間、即ち第１偏光子３７と第２偏光子３８間、該第２偏光子と第３偏光子３９間、及び該第３偏光子と第４偏光子４０間の位相差が、順に３６０°、７２０°、１４４０°に、即ち２ｎ−１×２π、（ｎ：１〜３）となるように配置される。このように隣接する２つの前記偏光子間の位相差が常に２πの整数倍となるので、波長可変フィルタ３１は、従来のリオフィルタと同様のバンドパスフィルタとしての透過特性が得られる。
【００３３】
別の実施例では、光変調部３３の前記上側及び下側主面間を光が一度透過する間に与えられる位相差を９０°に設定することができる。その場合、隣接する前記各２つの偏光子間で、前記光変調部を透過する光の反射回数を２倍にして、所望の位相差が得られるようにする。これにより、波長可変フィルタ３１は、同様に隣接する２つの前記偏光子間の位相差を常に２πの整数倍に設定して、従来のリオフィルタと同様のバンドパスフィルタとしての透過特性を得ることができる。
【００３４】
本実施例の波長可変フィルタ３１は、水晶振動子３４への印加電圧を変えてその共振周波数を変化させることにより、ＰＥＭ素子３２を透過する光の波長が変化するので、透過スペクトル波長を自在に変化させることができる。但し、光変調部３３は、水晶振動子３４の共振周波数に対応して振動するので、該光変調部を透過する光は、常光と異常光との位相差が一定の周波数で変化し、それに対応して透過スペクトルのピークの波長が周期的に変化することになる。
【００３５】
また、本実施例の波長可変フィルタ３１は、このように光変調部３３が共通化され、前記光路に沿って配置される偏光子の数に拘わらず、１つだけで済むので、部品点数を大幅に少なくし、かつ装置全体の長大化・大型化を抑制することができる。また、配置する偏光子の数を増やすことによって、より多段構成の波長可変フィルタが得られる。更に、光変調部３３を構成する石英等の材料は、紫外域〜青色の短波長域でも高い透過率を発揮する。従って、短波長域を含む広い波長域の光について、透過波長を可変制御し得る波長可変フィルタが実現される。
【００３６】
図２（Ａ）〜（Ｄ）は、波長可変フィルタ３１の波長特性、即ち透過スペクトルのピークの透過率をシミュレーションした結果を示している。図２（Ａ）〜（Ｄ）は、それぞれ光変調部３３を透過して出射する光の光路に沿って図１（Ｂ）に示す各位置Ｐ１〜Ｐ４における光の波長に関する透過率の変化を示している。ここで、λ０は特定波長即ち入射光の波長であり、λは各位置Ｐ１〜Ｐ４における透過光又は出射光の波長である。同図において、実線は、前記ＰＥＭ素子への印加電圧が０である場合の透過率であり、これを中心として破線で示すように左右に一定の周波数でシフトする。
【００３７】
入射後に、第１偏光子３７から反射した後の前記光路の位置Ｐ１では、光の透過率は全波長範囲において５０％一定である（図２（Ａ））。第２偏光子３８から反射した後の前記光路の位置Ｐ２は、最初に隣接する前記偏光子間の透過特性を示し、前記特定波長の整数倍となる波長でピークを有する（図２（Ｂ））。次に隣接する前記偏光子間の透過特性は、前記特定波長の１／２波長の整数倍の波長でピークを有するから、第３偏光子３９から反射した後の前記光路の位置Ｐ３では、これと図２（Ｂ）とを重ね合わせた透過特性を示す（図２（Ｃ））。最後に隣接する前記偏光子間の透過特性は、前記特定波長の１／４波長の整数倍の波長でピークを有するから、光変調部３３から出射した位置Ｐ４では、更にこれを図２（Ｃ）に重ね合わせた透過特性を示す（図２（Ｄ））。このように隣接する前記偏光子間の各透過スペクトルのピークは、前記特定波長の整数倍の波長で全て重なるから、波長フィルタ３１は、図２（Ｄ）に示すように、前記特定波長の整数倍で急峻なピークを有する透過特性が得られる。
【００３８】
図３（Ａ）〜（Ｃ）は、第１実施例の変形例の構成を概略的に示している。本実施例の波長可変フィルタ３１１は、光の入射口及び出射口が、光変調部３３の下側主面の一方の端部（図中左側）側と、他方の端部（図中右側）側とに設けられる点において、第１実施例と異なる。そのため、下側反射ミラー４４１は、前記光の入射口及び出射口の部分を空けて下側複屈折板３４下面に設けられる。他の構成は、図１の波長フィルタ３１と同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００３９】
波長可変フィルタ３１１への入射光Ｌ1は、前記光入射口から光変調部３３を透過して第１偏光子３５に入射し、ｓ偏光成分とｐ偏光成分とに分光される。ｓ偏光成分は第１偏光子３７を透過して、不要光として外部に出射する。ｐ偏光成分は、前記第１偏光子により前記位相板主面の法線方向に関して同じ反射角度θをもって反射され、図１の実施例について説明したように光変調部３３内部を多重反射しながら透過して、最後の第４偏光子４０に入射する。前記第４偏光子から反射したｐ偏光は、前記光変調部を透過し、下側の前記光出射口から外部に出射する。
【００４０】
本実施例では、前記光の出射口が、前記第１〜第４偏光子とは反対側に設けられる。従って、出射光Ｌ2は、前記各偏光子から外部に出射する不要光から完全に分離され、その混入を確実に防止することができる。
【００４１】
図４（Ａ）〜（Ｃ）は、第１実施例の別の変形例の構成を概略的に示している。本実施例の波長可変フィルタ３１２は、光の出射口が光変調部３３の下側主面の他方の端部（図中右側）付近に設けられる点において、第１実施例と異なる。下側反射ミラー４４２は、前記光の出射口の部分を空けて設けられる。他の構成は、図１の波長フィルタ３１と同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００４２】
波長可変フィルタ３１２への入射光Ｌ1は、図１の実施例と同様に、上側複屈折板３３上面の前記光入射口から光変調部３３を透過し、第１偏光子３７によりｓ偏光成分とｐ偏光成分とに分光される。ｓ偏光成分は第１偏光子３７を透過して、不要光として外部に出射し、ｐ偏光成分は、前記第１偏光子により反射されて前記光変調部の内部を多重反射しながら透過し、最後の第４偏光子４０に入射する。前記第４偏光子から反射したｐ偏光は、前記光変調部を透過し、下側の前記光出射口から外部に出射する。
【００４３】
本実施例も、前記光の出射口が、前記第１〜第４偏光子とは反対に設けられる。従って、出射光Ｌ2は、前記各偏光子から外部に出射する不要光から完全に分離され、その混入を確実に防止することができる。
【００４４】
図５（Ａ）〜（Ｃ）は、第１実施例の更に別の変形例の構成を概略的に示している。本実施例の波長可変フィルタ３１３は、光の入射口が光変調部３３の下面即ち下側複屈折板３４の下面の一方の端部（図中左側）側に設けられる点において、第１実施例と異なる。そのため、下側反射ミラー４４３は、前記光の入射口の部分を空けて設けられる。他の構成は、図１の波長フィルタ３１と同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００４５】
波長可変フィルタ３１３への入射光Ｌ1は、下側の前記光入射口から光変調部３３を透過し、第１偏光子３７によりｓ偏光成分とｐ偏光成分とに分光される。ｓ偏光成分は第１偏光子３７を透過して、不要光として外部に出射し、ｐ偏光成分は、前記第１偏光子により反射されて前記光変調部内部を多重反射しながら透過し、最後の第４偏光子４０に入射する。前記第４偏光子から反射したｐ偏光は、下側反射ミラー４４３により反射されて前記光変調部を往復透過し、上側の前記光出射口から外部に出射する。
【００４６】
図６（Ａ）〜（Ｃ）は、第１実施例の更に別の変形例の構成を概略的に示している。本実施例の波長可変フィルタ３１４は、図５の変形例において、光変調部３３の上方に配置される第４偏光子４０１が、ワイヤグリット偏光子の格子の周期方向を図１の第４偏光子４０のそれと直交する向きに配向した点において、第１実施例と異なる。
【００４７】
波長可変フィルタ３１４への入射光Ｌ1は、下側の前記光入射口から光変調部３３を透過し、第１偏光子３７に入射してｓ偏光成分とｐ偏光成分とに分光される。ｓ偏光成分は第１偏光子３７を透過して、不要光として外部に出射し、ｐ偏光成分は、前記第１偏光子により反射されて前記光変調部の内部を多重反射しながら透過する。下側反射ミラー４４３に反射されて最後の第４偏光子４０１に入射したｐ偏光は、そのまま第４偏光子を透過して外部に出射する。他の構成は、図１の波長フィルタ３１と同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００４８】
図７（Ａ）〜（Ｃ）は、第１実施例の更に別の変形例の構成を概略的に示している。本実施例の波長可変フィルタ３１５は、第１〜第４偏光子３７〜４０及び上側反射ミラー４１，４２が、透明ガラス板ではなく、水晶等の光学結晶材料からなる固定位相板４６上に支持されている点において、第１実施例と異なる。固定位相板４６は、その光学軸４６ａが、光変調部３３を透過する光の進行方向と直交する向きに配向されている。
【００４９】
これにより、本実施例の波長可変フィルタ３１５は、ＰＥＭ素子３２への印加電圧が０で水晶振動子３４が励振していない状態において光変調部３３を透過する光の透過スペクトルが、固定位相板４６の位相差によって０以外の値に設定される。従って、ＰＥＭ素子を用いた波長可変フィルタ３１５の透過特性から０点を排除することができる。
【００５０】
図８（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明による波長フィルタの第２実施例の構成を概略的に示している。本実施例の波長フィルタ５１は、ワイヤグリッド偏光子からなる追加の偏光子５２を光変調部３３の下側に有する点において、第１実施例と異なる。追加偏光子５２は、下側反射ミラー４４を支持する透明ガラス板からなる支持板４５上に、前記光路に沿って第１偏光子３７の直ぐ上流側に配置される。追加偏光子５２は、ワイヤグリッド偏光子の格子の周期方向が図１の前記第１偏光子のそれと直交する向きに配向されている。従って、追加偏光子５２と第１偏光子３７とは、クロスニコルの関係に配置される。他の構成は、図１の波長フィルタ３１と同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００５１】
波長フィルタ５１への入射光Ｌ1は、上側の前記光入射口から光変調部３３を透過し、追加偏光子５２に入射してｓ偏光成分とｐ偏光成分とに分光される。ｐ偏光成分は前記追加偏光子及び支持板４５を透過して、不要光として外部に出射する。ｓ偏光成分は、前記追加偏光子により反射されて前記光変調部の内部を多重反射しながら透過する。
【００５２】
追加偏光子５２から反射したｓ偏光は、光変調部３３を透過し、その間にｐ偏光に変換され、第１偏光子３７に入射して反射する。第１偏光子３７から反射したｐ偏光は、光変調部３３を透過し、その間にｓ偏光に変換され、下側反射ミラー４４により反射されて再び前記光変調部を透過し、その間に再びｐ偏光に変換され、第２偏光子３７に入射して反射する。次に、前記第１偏光子から反射したｐ偏光は、前記下側反射ミラーと上側反射ミラー４１とにより３度反射されて、前記光変調部を２度往復透過し、第３偏光子３９に入射して反射する。その間に前記光変調部を往復透過する毎に、ｐ偏光はｓ偏光に、更にｓ偏光からｐ偏光に、２度繰り返して変換される。前記第３偏光子から反射したｐ偏光は、前記下側反射ミラーと上側反射ミラー４２とにより７度反射されて、前記光変調部を４度往復透過し、第４偏光子４０に入射して反射する。その間に前記光変調部を往復透過する毎に、同様にｐ偏光はｓ偏光に、更にｓ偏光からｐ偏光に、４度繰り返して変換される。最後に、前記第４偏光子から反射したｐ偏光は、再び下側反射ミラー４４に反射されて前記光変調部を一度往復透過し、その間にｐ偏光からｓ偏光に変換され、更にｓ偏光からｐ偏光に戻されて、前記光出射口から外部に出射する。
【００５３】
上述したように、光変調部３３は、その上側及び下側主面間を光が一度透過する間に１８０°の位相差が与えられる。従って、前記光変調部の内部を進行する光路に沿って最初に隣接する２つの偏光子５２，３５間の位相差は１８０°である。この後段に続いて隣接する各２つの偏光子３７，３８間、３８，３９間、及び３９，４０間の位相差は、順に３６０°、７２０°、１４４０°に、即ち２ｎ−１×２π、（ｎ：１〜３）となるように配置される。
【００５４】
このように隣接する偏光子間の位相差が２πの整数倍となる波長可変フィルタ５１において、その１つの位相差を１８０°とすることにより、従来のリオフィルタと同様のバンドパスフィルタとしての透過特性が得られ、かつ可変波長域を拡大して広帯域化することができる。別の実施例では、追加偏光子を２つ以上に増やし、かつ各追加偏光子とそれに隣接する前記偏光子間の位相差Γｊが、前記光路を透過する光の波長に対してΓｊ＝２ｊ−１×２π−π、（但し、ｊ＝１〜ｍ、ｍ：自然数）の関係を満足することにより、πの奇数倍となるように構成して、可変波長域をより拡大することができる。
【００５５】
別の実施例では、追加偏光子５２を第４偏光子４０の後段に配置することができる。この場合、第４偏光子４０と追加偏光子５２とはクロスニコルの関係に配置され、それらの間の位相差は１８０°である。従って、同様に従来のリオフィルタと同様のバンドパスフィルタとしての透過特性が得られ、可変波長域を拡大して広帯域化することができる。
【００５６】
図９（Ａ）〜（Ｅ）は、波長可変フィルタ５１の波長特性、即ち透過スペクトルのピークの透過率をシミュレーションした結果を示している。図９（Ａ）〜（Ｅ）は、それぞれ光変調部３３を透過して出射する光の光路に沿って図８に示す各位置Ｐ１〜Ｐ５における光の波長に関する透過率の変化を示している。ここで、λ０は特定波長即ち入射光の波長であり、λは各位置Ｐ１〜Ｐ５における透過光又は出射光の波長である。同図において、実線は、前記ＰＥＭ素子への印加電圧が０である場合の透過率であり、これを中心として破線で示すように左右に一定の周波数でシフトする。
【００５７】
入射後に、追加偏光子５２を透過した後の前記光路の位置Ｐ１では、光の透過率は全波長範囲において５０％一定である（図９（Ａ））。第１偏光子３７から反射した後の前記光路の位置Ｐ２では、最初に隣接する前記偏光子間の透過特性を示し、前記特定波長の整数倍となる波長でピークを有する（図９（Ｂ））。次に隣接する前記偏光子間の透過特性は、前記特定波長の１／２波長の整数倍の波長でピークを有するから、第２偏光子３８から反射した後の前記光路の位置Ｐ３では、これと図９（Ｂ）とを重ね合わせた透過特性を示す（図９（Ｃ））。更に次に隣接する前記偏光子間の透過特性は、前記特定波長の１／４波長の整数倍の波長でピークを有するから、第３偏光子３９から反射した後の前記光路の位置Ｐ４では、これを図９（Ｃ）に重ね合わせた透過特性を示す（図９（Ｄ））。最後に隣接する前記偏光子間の透過特性は、前記特定波長の１／８波長の整数倍の波長でピークを有するから、光変調部３３から出射した後の位置Ｐ５では、これを図９（Ｄ）に重ね合わせた透過特性を示す（図９（Ｅ））。このように隣接する前記偏光子間の各透過スペクトルのピークは、前記特定波長の整数倍の波長で全て重なるので、波長可変フィルタ５１は、図９（Ｅ）に示すように、前記特定波長の整数倍で急峻なピークを有する透過特性が得られる。
【００５８】
図１０（Ａ）〜（Ｃ）は、第２実施例の変形例の構成を概略的に示している。本実施例の波長可変フィルタ５１１は、追加偏光子５２１が光変調部３３の下方に前記光路に沿って第２偏光子３６の直ぐ下流側に配置されている点において、第１実施例と異なる。追加偏光子５２１は、ワイヤグリッド偏光子の格子の周期方向が図１の前記第１偏光子のそれと直交する向きに配向されている。従って、第２偏光子３８と追加偏光子５２１とは、クロスニコルの関係に配置され、それらの間の位相差は１８０°である。追加偏光子５２１の下流側の第３，第４偏光子３９１，４０１は、該追加偏光子と平行ニコルの関係に配置されるように、ワイヤグリッド偏光子の格子の周期方向が図１の前記第３，第４偏光子のそれと直交する向きに配向される。
【００５９】
波長可変フィルタ５１１への入射光Ｌ1は、上側の前記光入射口から光変調部３３を透過し、下側反射ミラー４４により反射されて第１偏光子３７に入射し、ｓ偏光成分とｐ偏光成分とに分光される。ｓ偏光成分は第１偏光子３７を透過し、不要光として外部に出射する。ｐ偏光成分は、前記第１偏光子により前記位相板主面の法線方向に関して同じ反射角度θをもって反射され、光変調部３３の内部を多重反射しながら透過する。
【００６０】
第１偏光子３７から反射したｐ偏光は、光変調部３３を透過し、その間にｓ偏光に変換され、下側反射ミラー４４により反射されて再び前記光変調部を透過し、その間にｐ偏光に変換され、第２偏光子３８に入射して反射する。次に、前記第１偏光子から反射したｐ偏光は、光変調部３３を透過し、その間にｓ偏光に変換され、追加偏光子５２１に入射する。追加偏光子５２１は、ｓ偏光を反射し、それ以外の光を透過して、不要光として外部に出射する。
【００６１】
追加偏光子５２１から反射したｓ偏光は、上側反射ミラー４１と下側反射ミラー４４とにより３度反射されて、前記光変調部を２度往復透過し、第３偏光子３９１に入射して反射する。その間に前記光変調部を往復透過する毎に、ｓ偏光はｐ偏光に、更にｐ偏光からｓ偏光に、２度繰り返して変換される。前記第３偏光子から反射したｓ偏光は、前記上側反射ミラーと下側反射ミラー４４とにより７度反射されて、前記光変調部を４度往復透過し、第４偏光子４０１に入射する。その間に前記光変調部を往復透過する毎に、同様にｓ偏光はｐ偏光に、更にｐ偏光からｓ偏光に、４度繰り返して変換される。第４偏光子４０１は、ｓ偏光を反射し、それ以外の光を透過して、不要光として外部に出射する。第４偏光子４０１から反射したｓ偏光は、前記光変調部を透過し、その間にｐ偏光に変換されて、前記光出射口から外部に出射する。
【００６２】
本実施例においても、隣接する偏光子間の位相差が２πの整数倍となる波長可変フィルタ５１１において、その１つの位相差を１８０°とすることにより、従来のリオフィルタと同様のバンドパスフィルタとしての透過特性が得られ、かつ可変波長域を拡大して広帯域化することができる。更に別の実施例では、追加偏光子を２つ以上に増やし、かつ各追加偏光子とそれに隣接する前記偏光子間の位相差Γｊが、前記光路を透過する光の波長に対してΓｊ＝２ｊ−１×２π−π、（但し、ｊ＝１〜ｍ、ｍ：自然数）の関係を満足することにより、πの奇数倍となるように構成して、可変波長域をより拡大することができる。
【００６３】
図１１（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明による波長フィルタの第３実施例の構成を概略的に示している。本実施例の波長可変フィルタ６１は、ＰＥＭ素子６２の長さが上記各実施例よりも短い。ＰＥＭ素子６２は、上記各実施例と同様に、厚さ一定の平板状の石英からなる光変調部６３と、その一端に接着された水晶振動子６４とを有する。
【００６４】
前記ＰＥＭ素子は、光変調部６３の他端が図示しないストッパに当接して変位しないように固定される。水晶振動子３４は、所定の電圧を印加すると、前記ストッパへの向きに沿って図１１（Ａ）に矢印で示す方向に伸縮するように所定の周波数で励振する。光変調部６３は、水晶振動子６４の振動により光の屈折率が周期的に変化するので、該光変調部を透過する光は、その偏光状態が直線偏光と楕円偏光との間で周期的に変調され、常光と異常光との位相差が一定の周波数で変化する。
【００６５】
本実施例では、光変調部６３の下方及び上方の一方の端部（図中左側）側を光の入射口及び出射口とする。前記光変調部の上方には、第１〜第４偏光子６５〜６８と上側反射ミラー６９とが、該光変調部の上側主面から僅かに離隔して配置した透明ガラス板７０上に設けられる。前記光の進行方向に沿って、第１、第４及び第２偏光子６５，６８，６６が連続して配置され、次に上側反射ミラー６９を挟んで第３偏光子３７が配置される。光変調部６３の下方には、その下側主面から離隔して、前記光出射口の部分を空けて他の部分の全長さ範囲に亘って、下側反射ミラー７０が設けられる。下側反射ミラー７１も、前記光変調部の下側主面から僅かに離隔して配置した支持板７２上に支持される。更に本実施例は、光変調部６３の前記光入射口とは反対側の端面に垂直反射ミラー７３が設けられている。第１〜第４偏光子６５〜６８は、ワイヤグリッド偏光子からなる。前記第１〜第４偏光子は、ワイヤグリッド偏光子の格子をＰＥＭ素子６２の振動方向に対して４５°の方向に配向する。
【００６６】
波長フィルタ６１への入射光Ｌ1は、下方の前記光入射口から光変調部６３を透過して第１偏光子６５に入射し、ｓ偏光成分とｐ偏光成分とに分光される。ｓ偏光成分は第１偏光子６５を透過し、不要光として外部に出射する。ｐ偏光成分は、前記第１偏光子により前記光変調部の主面の法線方向に関して同じ反射角度θをもって反射され、後述するように光変調部６３内部を多重反射しながら透過する。
【００６７】
第１偏光子６５から反射したｐ偏光は、光変調部６３を透過し、その間にｓ偏光に変換され、下側反射ミラー７１により反射されて再び前記光変調部を透過し、その間に再びｐ偏光に変換され、第２偏光子６６に入射して反射する。次に、前記第２偏光子から反射したｐ偏光は、前記下側反射ミラーと上側反射ミラー６９とにより３度反射されて、前記光変調部を２度往復透過し、第３偏光子６７に入射して反射する。その間に前記光変調部を往復透過する毎に、ｐ偏光はｓ偏光に、更にｓ偏光からｐ偏光に、２度繰り返して変換される。前記第３偏光子から反射したｐ偏光は、前記下側反射ミラーと垂直反射ミラー７３と上側反射ミラー６９とにより８度反射されて、前記光変調部を４度往復透過し、第４偏光子６８に入射して反射する。その間に前記光変調部を往復透過する毎に、同様にｐ偏光はｓ偏光に、更にｓ偏光からｐ偏光に、４度繰り返して変換される。最後に、前記第４偏光子から反射したｐ偏光は、再び下側反射ミラー７１に反射されて前記光変調部を一度往復透過し、その間にｐ偏光からｓ偏光に変換されかつｓ偏光からｐ偏光に戻されて、前記光出射口から外部に出射する。
【００６８】
光変調部６３は、その上側及び下側主面間を光が一度透過する間に１８０°の位相差が与えられるように構成される。従って、前記各偏光子は、前記光変調部内部を進行する光路に沿って隣接する２つの前記偏光子間の位相差が、順に３６０°、７２０°、１４４０°に、即ち２ｎ−１×２π、（ｎ：１〜３）となるように配置される。このように２つの前記偏光子間の位相差が常に２πの整数倍となるので、波長可変フィルタ６１は、従来のリオフィルタと同様のバンドパスフィルタとしての透過特性が得られる。更に、本実施例は、光変調部６３を透過する光が前記端面で折り返されて双方向に進行するので、上記各実施例よりも更に部品点数を大幅に少なくでき、かつ特に装置の長さ寸法を小型化することができる。
【００６９】
別の実施例では、光変調部６３の前記上側及び下側主面間を光が一度透過する間に与えられる位相差を９０°に設定することができる。その場合、隣接する前記各２つの偏光子間で、前記光変調部を透過する光の反射回数を２倍にして、所望の位相差が得られるようにする。これにより、波長可変フィルタ６１は、同様に２つの前記偏光子間の位相差を常に２πの整数倍に設定して、従来のリオフィルタと同様のバンドパスフィルタとしての透過特性を得ることができる。
【００７０】
また、別の実施例において、波長可変フィルタ６１は、第２実施例の追加偏光子を備えることができる。これにより、同様に、可変波長域を広帯域化することができる。
【００７１】
本発明は、上記実施例に限定されるものでなく、その技術的範囲内で様々な変形又は変更を加えて実施することができる。例えば、各偏光子及び反射ミラーは、光変調部に関して上記各実施例以外の様々な位置に配置することができる。更に、前記偏光子及び反射ミラーの数を増やして、より多段の波長可変フィルタを構成することができる。また、各偏光子は、入射端及び出射端を除いて、吸収型偏光板と反射ミラーとを組み合わせて構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】（Ａ）図は、本発明による波長可変フィルタの第１実施例を概略的に示す平面図、（Ｂ）図は光の進行方向に沿って示す側面図、（Ｃ）図は入射側の端面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｄ）図はそれぞれ第１実施例の透過特性を示す線図。
【図３】（Ａ）図は、第１実施例の変形例を概略的に示す平面図、（Ｂ）図は光の進行方向に沿って示す側面図、（Ｃ）図は入射側の端面図。
【図４】（Ａ）図は、第１実施例の別の変形例を概略的に示す平面図、（Ｂ）図は光の進行方向に沿って示す側面図、（Ｃ）図は入射側の端面図。
【図５】（Ａ）図は、第１実施例の更に別の変形例を概略的に示す平面図、（Ｂ）図は光の進行方向に沿って示す側面図、（Ｃ）図は入射側の端面図。
【図６】（Ａ）図は、第１実施例の更に別の変形例を概略的に示す平面図、（Ｂ）図は光の進行方向に沿って示す側面図、（Ｃ）図は入射側の端面図。
【図７】（Ａ）図は、第１実施例の更に別の変形例を概略的に示す平面図、（Ｂ）図は光の進行方向に沿って示す側面図、（Ｃ）図は入射側の端面図。
【図８】（Ａ）図は、本発明による波長可変フィルタの第２実施例を概略的に示す平面図、（Ｂ）図はその光の進行方向に沿って示す側面図、（Ｃ）図はその入射側の端面図。
【図９】（Ａ）〜（Ｅ）図はそれぞれ第２実施例の透過特性を示す線図。
【図１０】（Ａ）図は、第２実施例の変形例を概略的に示す平面図、（Ｂ）図は光の進行方向に沿って示す側面図、（Ｃ）図は入射側の端面図。
【図１１】（Ａ）図は、本発明による波長可変フィルタの第３実施例を概略的に示す平面図、（Ｂ）図はその光の進行方向に沿って示す側面図、（Ｃ）図はその入射側の端面図。
【図１２】リオフィルタの基本的構成を示す図。
【図１３】液晶セルを用いた従来例の構成図。
【図１４】液晶セルを用いた別の従来例の構成図。
【符号の説明】
【００７３】
１…リオフィルタ、２ａ〜２ｄ，１２ａ〜１２ｄ，２２ａ〜２２ｄ，３５〜３８，３７１，３８１，５２，５２１，６５〜６８…偏光子、２a1〜２d1，１２a1〜１２d11…透過軸、３ａ〜３ｃ…複屈折板、３a1〜３c1…光学軸、４…光軸、１１…バンドパスフィルタ、１３ａ〜１３ｃ，２３ａ〜２３ｃ…液晶セル、２１，３１，３１１〜３１５，５１，５１１，６１…波長可変フィルタ、２４ａ〜２４ｃ…位相差フィルム、３２，６２…ＰＥＭ素子、３３，３４，６３，６４…光変調部、３４，６４…水晶振動子、３７〜４０，３９１，６５〜６８…偏光子、４１，４２，４４，６９，７１，７３…反射ミラー、４３，７０…透明ガラス板、４５，７２…支持板。
【図１】
2009265195.tif 000003
【図２】
2009265195.tif 000004
【図３】
2009265195.tif 000005
【図４】
2009265195.tif 000006
【図５】
2009265195.tif 000007
【図６】
2009265195.tif 000008
【図７】
2009265195.tif 000009
【図８】
2009265195.tif 000010
【図９】
2009265195.tif 000011
【図１０】
2009265195.tif 000012
【図１１】
2009265195.tif 000013
【図１２】
2009265195.tif 000014
【図１３】
2009265195.tif 000015
【図１４】
2009265195.tif 000016