(57)【要約】【課題】管球部に形成される光学薄膜にクラックが発生するのを抑制することが可能な発光管の製造方法を提供する。【解決手段】管球部３０が形成された発光管２０ａを準備する発光管準備工程と、管球部３０の表面を磨く管球部表面磨き工程と、管球部３０の表面に光学薄膜としての反射防止膜７０を形成する光学薄膜形成工程とをこの順序で含む発光管の製造方法。管球部表面磨き工程においては、先端にバフが配設された小型の研磨具７００を用いて管球部３０の表面を磨くこととしている。【選択図】図３
2009043508.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管球部が形成された発光管を準備する発光管準備工程と、
前記管球部の表面を磨く管球部表面磨き工程と、
前記管球部の表面に光学薄膜を形成する光学薄膜形成工程とをこの順序で含むことを特徴とする発光管の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の発光管の製造方法において、
前記管球部表面磨き工程においては、バフ磨き又はクロス磨きを行うことを特徴とする発光管の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の発光管の製造方法において、
前記管球部表面磨き工程においては、ダイヤモンドパウダーを主成分とする第１研磨剤を用いて前記管球部の表面を磨いた後、酸化セリウムを主成分とする第２研磨剤を用いて前記管球部の表面を磨くことを特徴とする発光管の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の発光管の製造方法において、
前記光学薄膜は、反射防止膜又は反射膜であることを特徴とする発光管の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の発光管の製造方法によって製造された発光管を備えることを特徴とするプロジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光管の製造方法及びプロジェクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プロジェクタに用いる光源装置として、発光管における管球部の表面（外面）に反射防止膜や反射膜のような光学薄膜が形成された光源装置が知られている（例えば、特許文献１及び２参照。）。
【０００３】
このような発光管を製造する方法としては、例えば、石英ガラス管を準備し、管の中央部をガスバーナで加熱して軟化させた後、管内に圧力をかけつつ当該加熱部分を成形金型で挟み込んで管球部を成形加工する方法が知られている（例えば、特許文献３参照。）。この後、管球部の表面に光学薄膜を形成する。
【０００４】
【特許文献１】特開平４−３６８７６８号公報
【特許文献２】国際公開第２００３／３３９５９号
【特許文献３】特開２００４−６３２２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の発光管の製造方法においては、成形加工後の管球部の表面に微小な突起や傷が存在していたり、洗浄で除去しきれなかった微小なゴミなどが残留していたりすると、その部分に形成された光学薄膜にクラックが発生してしまうという問題がある。光学薄膜にクラックが発生すると、その部分から光学薄膜が剥離する可能性があり、光学薄膜の性能が著しく低下する。
【０００６】
なお、このような問題は、成形金型によって管球部を成形加工する発光管の製造方法を実施した場合にのみ生じる問題ではない。上述した成形加工以外の方法で管球部を形成するような発光管の製造方法においても同様に、光学薄膜形成前の管球部の表面に微小な突起や傷が存在していたり、洗浄で除去しきれなかった微小なゴミなどが残留していたりすると、その部分に形成された光学薄膜にクラックが発生してしまう。
【０００７】
そこで、本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、管球部に形成される光学薄膜にクラックが発生するのを抑制することが可能な発光管の製造方法を提供することを目的とする。また、そのような優れた発光管の製造方法によって製造された発光管を備えるプロジェクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の発光管の製造方法においては、管球部が形成された発光管を準備する発光管準備工程と、前記管球部の表面を磨く管球部表面磨き工程と、前記管球部の表面に光学薄膜を形成する光学薄膜形成工程とをこの順序で含むことを特徴とする。
【０００９】
このため、本発明の発光管の製造方法によれば、管球部の表面に光学薄膜を形成する前に管球部の表面を磨くこととしているため、管球部の表面に微小な突起や傷が存在していたり、洗浄で除去しきれなかった微小なゴミなどが残留していたりしていたとしても、管球部の表面を磨くことによって管球部の表面に存在する微小な突起や傷、または微小なゴミなどを取り除くことが可能となる。その結果、管球部に形成される光学薄膜にクラックが発生するのを抑制することが可能となる。
【００１０】
なお、この明細書において「管球部の表面を磨く」とは、必ずしも研磨（鏡面研磨）することのみを意味するわけではなく、管球部の表面に存在する微小な突起や傷、または微小なゴミなどが取り除かれる程度に管球部の表面を磨くことも含めた意味で用いている。
【００１１】
本発明の発光管の製造方法において、前記管球部表面磨き工程においては、バフ磨き又はクロス磨きを行うことが好ましい。
【００１２】
このような方法とすることにより、管球部の表面に存在する微小な突起や傷、または微小なゴミなどを比較的容易に取り除くことが可能となる。
【００１３】
なお、上記のバフ磨き及びクロス磨きの方法としては、管球部の表面に存在する微小な突起や傷、または微小なゴミなどを取り除くことが可能であれば、どのような方法を用いてもよい。例えば、後述する実施形態１のように先端にバフが配設された小型の研磨具を用いて管球部の表面を磨くこととしてもよいし、研磨クロスを用いて管球部の表面を磨くこととしてもよい。
【００１４】
本発明の発光管の製造方法において、前記管球部表面磨き工程においては、ダイヤモンドパウダーを主成分とする第１研磨剤を用いて前記管球部の表面を磨いた後、酸化セリウムを主成分とする第２研磨剤を用いて前記管球部の表面を磨くことが好ましい。
【００１５】
このような方法とすることにより、管球部の表面に存在する微小な突起や傷、または微小なゴミなどを、比較的短時間でかつ確実に取り除くことが可能となる。
【００１６】
本発明の発光管の製造方法においては、前記光学薄膜は、反射防止膜又は反射膜であることが好ましい。
【００１７】
このような方法とすることにより、クラックの発生に起因する反射防止性能の低下又は反射性能の低下を抑制することが可能となる。
【００１８】
本発明のプロジェクタは、本発明の発光管の製造方法によって製造された発光管を備えることを特徴とする。
【００１９】
このため、本発明のプロジェクタは、クラックの発生に起因する光学性能の低下が抑制された優れたプロジェクタとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の発光管の製造方法及びプロジェクタについて、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００２１】
［実施形態１］
まず、実施形態１に係るプロジェクタ１０００の構成について、図１を用いて説明する。
【００２２】
図１は、実施形態１に係るプロジェクタ１０００を説明するために示す図である。図１（ａ）はプロジェクタ１０００の光学系を示す図であり、図１（ｂ）はプロジェクタ１０００の要部を示す図である。
【００２３】
実施形態１に係るプロジェクタ１０００は、図１に示すように、照明装置１００と、照明装置１００からの照明光束を赤色光、緑色光及び青色光の３つの色光に分離して被照明領域に導光する色分離導光光学系２００と、色分離導光光学系２００で分離された３つの色光のそれぞれを画像情報に応じて変調する３つの液晶光変調装置４００Ｒ，４００Ｇ，４００Ｂと、３つの液晶光変調装置４００Ｒ，４００Ｇ，４００Ｂによって変調された色光を合成するクロスダイクロイックプリズム５００と、クロスダイクロイックプリズム５００によって合成された光をスクリーンＳＣＲ等の投写面に投写する投写光学系６００とを備えたプロジェクタである。
【００２４】
照明装置１００は、被照明領域側に照明光束を射出する光源装置１１０と、凹レンズ９０と、凹レンズ９０から射出される照明光束を複数の部分光束に分割するための複数の第１小レンズ１２２を有する第１レンズアレイ１２０と、第１レンズアレイ１２０の複数の第１小レンズ１２２に対応する複数の第２小レンズ１３２を有する第２レンズアレイ１３０と、第２レンズアレイ１３０からの各部分光束を偏光方向の揃った略１種類の直線偏光に変換して射出する偏光変換素子１４０と、偏光変換素子１４０から射出される各部分光束を被照明領域で重畳させるための重畳レンズ１５０とを有する。
【００２５】
光源装置１１０は、リフレクタとしての楕円面リフレクタ１０と、楕円面リフレクタ１０の第１焦点近傍に発光中心を有する発光管２０と、管球部３０の外面に形成された光学薄膜としての反射防止膜７０とを有する。光源装置１１０は、照明光軸１００ａｘを中心軸とする光束を射出する。
【００２６】
発光管２０は、図１（ｂ）に示すように、照明光軸１００ａｘに沿って配置された一対の電極４２，５２を内蔵する管球部３０と、管球部３０の両側に延びる一対の封止部４０，５０と、一対の封止部４０，５０内にそれぞれ封止された一対の金属箔４４，５４と、一対の金属箔４４，５４にそれぞれ電気的に接続された一対のリード線４６，５６とを有する。
【００２７】
なお、発光管２０の構成要素の条件等を例示的に示すと、管球部３０及び封止部４０，５０は、例えば石英ガラス製であり、管球部３０内には、水銀、希ガス及び少量のハロゲンが封入されている。電極４２，５２は、例えばタングステン電極であり、金属箔４４，５４は、例えばモリブデン箔である。リード線４６，５６は、例えばモリブデン又はタングステンから構成されている。
また、発光管２０としては、高輝度発光する種々の発光管を採用でき、例えば高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等を採用できる。
【００２８】
楕円面リフレクタ１０は、発光管２０の封止部（一方の封止部）４０を挿通・固定するための開口部１２と、発光管２０から放射された光を第２焦点位置に向けて反射する反射凹面１４とを有する。楕円面リフレクタ１０は、楕円面リフレクタ１０の開口部１２に充填されたセメントなどの無機系接着剤によって発光管２０の封止部４０に固着されている。
【００２９】
反射凹面１４を構成する基材の材料としては、例えば、結晶化ガラスやアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）などを好適に用いることができる。反射凹面１４の内面には、例えば、酸化チタン（ＴｉＯ２）と酸化シリコン（ＳｉＯ２）との誘電体多層膜からなる可視光反射層が形成されている。
【００３０】
光学薄膜としての反射防止膜７０は、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）と酸化シリコン（ＳｉＯ２）との多層膜で構成されている。管球部３０の外面（表面）に反射防止膜７０が形成されていることにより、管球部３０の外面を通過する際の可視光の反射損を抑制することができ、光利用効率を向上することが可能となる。
【００３１】
なお、発光管２０の製造方法については詳細に後述する。
【００３２】
凹レンズ９０は、図１（ａ）に示すように、楕円面リフレクタ１０の被照明領域側に配置されている。そして、楕円面リフレクタ１０からの光を第１レンズアレイ１２０に向けて射出するように構成されている。
【００３３】
第１レンズアレイ１２０は、凹レンズ９０からの光を複数の部分光束に分割する光束分割光学素子としての機能を有し、複数の第１小レンズ１２２が照明光軸１００ａｘと直交する面内に複数行・複数列のマトリクス状に配列された構成を有する。図示による説明は省略するが、第１小レンズ１２２の外形形状は、後述する液晶パネルの画像形成領域の外形形状に関して相似形である。
【００３４】
第２レンズアレイ１３０は、重畳レンズ１５０とともに、第１レンズアレイ１２０の各第１小レンズ１２２の像を液晶パネルの画像形成領域近傍に結像させる機能を有する。第２レンズアレイ１３０は、第１レンズアレイ１２０と略同様な構成を有し、複数の第２小レンズ１３２が照明光軸１００ａｘに直交する面内に複数行・複数列のマトリクス状に配列された構成を有する。
【００３５】
偏光変換素子１４０は、第１レンズアレイ１２０により分割された各部分光束の偏光方向を、偏光方向の揃った略１種類の直線偏光として射出する偏光変換素子である。
偏光変換素子１４０は、光源装置１１０からの照明光束のうち一方の偏光成分（例えばＰ偏光成分）を有する光を透過し他方の偏光成分（例えばＳ偏光成分）を有する光を照明光軸１００ａｘに垂直な方向に反射する偏光分離層と、偏光分離層で反射された他方の偏光成分を有する光を照明光軸１００ａｘに平行な方向に反射する反射層と、偏光分離層を透過した一方の偏光成分を有する光を他方の偏光成分を有する光に変換する位相差板とを有する。
【００３６】
重畳レンズ１５０は、第１レンズアレイ１２０、第２レンズアレイ１３０及び偏光変換素子１４０を経た複数の部分光束を集光して液晶パネルの画像形成領域近傍に重畳させるための光学素子である。重畳レンズ１５０の光軸と照明装置１００の照明光軸１００ａｘとが略一致するように、重畳レンズ１５０が配置されている。なお、重畳レンズ１５０は、複数のレンズを組み合わせた複合レンズで構成されていてもよい。
【００３７】
色分離光学系２００は、ダイクロイックミラー２１０，２２０と、反射ミラー２３０，２４０，２５０と、入射側レンズ２６０と、リレーレンズ２７０とを有する。色分離光学系２００は、重畳レンズ１５０から射出される照明光束を、赤色光、緑色光及び青色光の３つの色光に分離して、それぞれの色光を照明対象となる３つの液晶光変調装置４００Ｒ，４００Ｇ，４００Ｂに導く機能を有する。
【００３８】
ダイクロイックミラー２１０，２２０は、基板上に所定の波長領域の光束を反射し、他の波長領域の光束を透過する波長選択膜が形成された光学素子である。光路前段に配置されるダイクロイックミラー２１０は、赤色光成分を反射し、その他の色光成分を透過させるミラーである。光路後段に配置されるダイクロイックミラー２２０は、緑色光成分を反射し、青色光成分を透過させるミラーである。
【００３９】
ダイクロイックミラー２１０で反射された赤色光成分は、反射ミラー２３０により曲折され、集光レンズ３００Ｒを介して赤色光用の液晶光変調装置４００Ｒに入射する。集光レンズ３００Ｒは、重畳レンズ１５０からの各部分光束を各主光線に対して略平行な光束に変換するために設けられている。なお、他の集光レンズ３００Ｇ，３００Ｂも、集光レンズ３００Ｒと同様に構成されている。
【００４０】
ダイクロイックミラー２１０を通過した緑色光成分及び青色光成分のうち緑色光成分は、ダイクロイックミラー２２０で反射され、集光レンズ３００Ｇを通過して緑色光用の液晶光変調装置４００Ｇに入射する。一方、青色光成分は、ダイクロイックミラー２２０を透過し、入射側レンズ２６０、入射側の反射ミラー２４０、リレーレンズ２７０、射出側の反射ミラー２５０及び集光レンズ３００Ｂを通過して青色光用の液晶光変調装置４００Ｂに入射する。入射側レンズ２６０、リレーレンズ２７０及び反射ミラー２４０，２５０は、ダイクロイックミラー２２０を透過した青色光成分を液晶光変調装置４００Ｂまで導く機能を有する。
【００４１】
液晶光変調装置４００Ｒ，４００Ｇ，４００Ｂは、画像情報に応じて照明光束を変調するものであり、照明装置１００の照明対象となる。
液晶光変調装置４００Ｒ，４００Ｇ，４００Ｂは、ここでは図示による説明を省略するが、液晶パネルと、液晶パネルの光入射側に配置される入射側偏光板と、液晶パネルの光射出側に配置される射出側偏光板とを有する。
【００４２】
液晶パネルは、一対の透明なガラス基板（対向基板とＴＦＴ基板）に電気光学物質である液晶を密閉封入したものであり、ＴＮ型の液晶パネルである。例えば、ポリシリコンＴＦＴをスイッチング素子として、与えられた画像情報に従って、入射側偏光板から射出される１種類の直線偏光の偏光方向を変調する。
【００４３】
入射側偏光板、液晶パネル及び射出側偏光板によって入射する各色光の光変調が行われる。
【００４４】
クロスダイクロイックプリズム５００は、射出側偏光板から射出された各色光毎に変調された光学像を合成してカラー画像を形成する光学素子である。このクロスダイクロイックプリズム５００は、４つの直角プリズムを貼り合わせた平面視略正方形状をなし、直角プリズム同士を貼り合わせた略Ｘ字状の界面には、誘電体多層膜が形成されている。略Ｘ字状の一方の界面に形成された誘電体多層膜は、青色光を反射するものであり、他方の界面に形成された誘電体多層膜は、赤色光を反射するものである。これらの誘電体多層膜によって青色光及び赤色光は曲折され、緑色光の進行方向と揃えられることにより、３つの色光が合成される。
【００４５】
クロスダイクロイックプリズム５００から射出されたカラー画像は、投写光学系６００によって拡大投写され、スクリーンＳＣＲ上で大画面画像を形成する。
【００４６】
次に、発光管２０を製造するための製造方法（実施形態１に係る発光管の製造方法）について、図２及び図３を用いて説明する。
【００４７】
図２は、実施形態１に係る発光管の製造方法を示すフローチャートである。
図３は、実施形態１に係る発光管の製造方法を説明するために示す図である。図３（ａ）〜図３（ｆ）は各工程を模式的に示す図であって、図３（ａ）は発光管準備工程を示す図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）の符号Ａで示す管球部３０の表面を拡大して示す図であり、図３（ｃ）は管球部表面磨き工程を示す図であり、図３（ｄ）及び図３（ｅ）は管球部表面磨き工程を行った後の管球部３０を示す図であり、図３（ｆ）は光学薄膜形成工程を示す図である。
なお、図３（ｂ）においては、管球部３０の表面に存在する微小な突起Ｐや傷Ｋについては誇張して図示している。
【００４８】
実施形態１に係る発光管の製造方法は、図２に示すように、「発光管準備工程」、「管球部表面磨き工程」、「超音波洗浄工程」及び「光学薄膜形成工程」が順次実施される。以下、これら各工程を順次説明する。
【００４９】
１．発光管準備工程
まず、図３（ａ）に示すように、管球部３０が形成された発光管２０ａを準備する（図２のステップＳ１０）。このときの発光管２０ａは、管球部３０の表面が磨かれる前のものである。このため、管球部３０の表面には、図３（ｂ）に示すように、例えば微小な突起Ｐや傷Ｋ、または洗浄で取り除かれなかった微小なゴミ（図示せず。）などが存在している。
【００５０】
発光管２０ａを製造する方法としては、例えば、石英ガラス管を準備し、管の中央部をガスバーナで加熱して軟化させた後、管内に圧力をかけつつ当該加熱部分を成形金型で挟み込んで管球部を成形加工する方法（例えば、特許文献３参照。）などを用いることができる。
【００５１】
２．管球部表面磨き工程
次に、図３（ｃ）に示すように、先端にバフが配設された小型の研磨具７００を用いて管球部３０の表面を磨く（図２のステップＳ２０）。このとき、ダイヤモンドパウダーを主成分とする第１研磨剤を用いて管球部３０の表面を磨いた後、酸化セリウムを主成分とする第２研磨剤を用いて管球部３０の表面をさらに磨いている。管球部表面磨き工程を行うことによって、管球部の表面に存在する微小な突起や傷、または微小なゴミなどが取り除かれる（図３（ｄ）及び図３（ｅ）参照。）。
【００５２】
なお、この工程における「管球部の表面を磨く」とは、管球部の表面に存在する微小な突起や傷、または微小なゴミなどが取り除かれる程度に管球部の表面を磨くことである。
【００５３】
３．超音波洗浄工程
次に、管球部表面磨き工程を行った後の発光管（管球部の表面に存在する微小な突起や傷、または微小なゴミなどが取り除かれた発光管）を超音波洗浄する（図２のステップＳ３０）。
【００５４】
４．光学薄膜形成工程
そして、管球部３０の表面に光学薄膜としての反射防止膜７０を形成する（図２のステップＳ４０）。
反射防止膜７０を形成する方法としては、蒸着法、ディッピング法、イオンプレーディング法、スパッタ法等の各種方法を用いることができる。例えば、発光管を自公転させながら酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）と酸化シリコン（ＳｉＯ２）とを交互に蒸着させることにより、管球部３０の表面に反射防止膜７０を形成することができる。
【００５５】
以上の工程を実施することにより、発光管２０を製造することができる。
【００５６】
以上の工程を含む実施形態１に係る発光管の製造方法によれば、管球部３０の表面に光学薄膜としての反射防止膜７０を形成する前に管球部３０の表面を磨くこととしているため、管球部３０の表面に微小な突起Ｐや傷Ｋが存在していたり、洗浄で除去しきれなかった微小なゴミなどが残留していたりしていたとしても、管球部３０の表面を磨くことによって管球部３０の表面に存在する微小な突起Ｐや傷Ｋ、または微小なゴミなどを取り除くことが可能となる。その結果、管球部３０に形成される反射防止膜７０にクラックが発生するのを抑制することが可能となる。
【００５７】
実施形態１に係る発光管の製造方法において、管球部表面磨き工程においては、バフ磨きを行うこととしているため、管球部３０の表面に存在する微小な突起Ｐや傷Ｋ、または微小なゴミなどを比較的容易に取り除くことが可能となる。
【００５８】
実施形態１に係る発光管の製造方法において、管球部表面磨き工程においては、ダイヤモンドパウダーを主成分とする第１研磨剤を用いて管球部３０の表面を磨いた後、酸化セリウムを主成分とする第２研磨剤を用いて管球部３０の表面を磨くこととしているため、管球部３０の表面に存在する微小な突起Ｐや傷Ｋ、または微小なゴミなどを、比較的短時間でかつ確実に取り除くことが可能となる。
【００５９】
実施形態１に係る発光管の製造方法においては、光学薄膜は、反射防止膜７０であるため、クラックの発生に起因する反射防止性能の低下を抑制することが可能となる。
【００６０】
実施形態１に係るプロジェクタ１０００は、実施形態１に係る発光管の製造方法によって製造された発光管２０を備えるため、クラックの発生に起因する光学性能（反射防止性能）の低下が抑制された優れたプロジェクタとなる。
【００６１】
［実施形態２］
図４は、実施形態２に係るプロジェクタ１００２を説明するために示す図である。図４（ａ）はプロジェクタ１００２の光学系を示す図であり、図４（ｂ）はプロジェクタ１００２の要部を示す図である。
なお、図４において、図１と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００６２】
実施形態２に係るプロジェクタ１００２は、基本的には実施形態１に係るプロジェクタ１０００とよく似た構成を有するが、光学薄膜として反射膜を備える点で、実施形態１に係るプロジェクタ１０００とは異なる。
【００６３】
光学薄膜としての反射膜７２は、管球部３０から被照明領域側に放射される光を管球部３０に向けて反射するための反射手段であって、例えば、酸化チタン（ＴｉＯ２）と酸化シリコン（ＳｉＯ２）との誘電体多層膜からなる可視光反射層で構成されている。管球部３０の外面（表面）に反射膜７２が形成されていることにより、管球部３０から被照明領域側に放射される光が反射膜７２によって楕円面リフレクタ１０に向けて反射されるため、発光管２０Ｂから被照明領域側に放射され本来有効に利用されていなかった光をも有効に利用することが可能となる。このため、プロジェクタ１００２のさらなる高輝度化を図ることが可能となる。
【００６４】
管球部３０の外面に反射膜７２が形成された発光管２０Ｂを製造するための製造方法（実施形態２に係る発光管の製造方法）は、基本的には実施形態１に係る発光管の製造方法と同じ工程を含んでおり、光学薄膜形成工程において、反射防止膜７０に代えて反射膜７２を形成する点で、実施形態１に係る発光管の製造方法と異なる。
【００６５】
このように、実施形態２に係る発光管の製造方法は、実施形態１に係る発光管の製造方法とは、光学薄膜形成工程において管球部の表面に形成する光学薄膜の種類が異なるが、実施形態１に係る発光管の製造方法の場合と同様に、管球部３０の表面に光学薄膜としての反射膜７２を形成する前に管球部３０の表面を磨くこととしているため、管球部３０の表面に微小な突起や傷が存在していたり、洗浄で除去しきれなかった微小なゴミなどが残留していたりしていたとしても、管球部３０の表面を磨くことによって管球部３０の表面に存在する微小な突起や傷、または微小なゴミなどを取り除くことが可能となる。その結果、管球部３０に形成される反射膜７０にクラックが発生するのを抑制することが可能となる。
【００６６】
実施形態２に係る発光管の製造方法は、光学薄膜形成工程において管球部の表面に形成する光学薄膜の種類が異なる点以外の点では、実施形態１に係る発光管の製造方法と同様の工程を含むため、実施形態１に係る発光管の製造方法が有する効果のうち該当する効果をそのまま有する。
【００６７】
実施形態２に係るプロジェクタ１００２は、実施形態２に係る発光管の製造方法によって製造された発光管２０Ｂを備えるため、クラックの発生に起因する光学性能（反射性能）の低下が抑制された優れたプロジェクタとなる。
【００６８】
以上、本発明の発光管の製造方法及びプロジェクタを上記の各実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００６９】
（１）上記各実施形態においては、光学薄膜が反射防止膜及び反射膜である場合を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の光学薄膜を形成する場合にも適用可能である。
【００７０】
（２）上記各実施形態においては、発光管準備工程で準備する発光管を製造するための方法として、石英ガラス管を準備し、管の中央部をガスバーナで加熱して軟化させた後、管内に圧力をかけつつ当該加熱部分を成形金型で挟み込んで管球部を成形加工する方法を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の方法によって管球部が形成された発光管を準備してもよい。
【００７１】
（３）上記各実施形態においては、管球部表面磨き工程として、先端にバフが配設された小型の研磨具を用いて管球部の表面を磨く場合を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、研磨クロスを用いて管球部の表面を手作業で磨くこととしもよいし、発光管の管球部を回転させる装置に発光管をセットして管球部を回転させた状態で、研磨クロス等で管球部の表面を磨くこととしてもよいし、サンドブラスターを用いて管球部の表面を磨くこととしてもよい。
【００７２】
（４）上記各実施形態においては、管球部表面磨き工程として、ダイヤモンドパウダーを主成分とする第１研磨剤を用いて管球部の表面を磨いた後、酸化セリウムを主成分とする第２研磨剤を用いて管球部の表面をさらに磨く場合を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば１種類の研磨剤のみで管球部の表面を磨くこととしてもよいし、３種類以上の研磨剤で管球部の表面を磨くこととしてもよい。また、研磨剤としては、ダイヤモンドパウダー又は酸化セリウムのほか、例えば、窒化ホウ素、炭化ホウ素、炭化ケイ素、酸化クロム、酸化鉄、コランダム質研磨剤（アルミナ、ジルコニア）などを好適に用いることができる。
【００７３】
（５）上記各実施形態においては、リフレクタとして、楕円面リフレクタを用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、放物面リフレクタも好ましく用いることができる。
【００７４】
（６）上記各実施形態においては、光均一化光学系として、レンズアレイからなるレンズインテグレータ光学系を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、ロッド部材からなるロッドインテグレータ光学系をも好ましく用いることができる。
【００７５】
（７）上記各実施形態に係るプロジェクタ１０００，１００２は透過型のプロジェクタであるが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明は反射型のプロジェクタにも適用することが可能である。ここで、「透過型」とは、透過型の液晶装置等のように光変調手段としての電気光学変調装置が光を透過するタイプであることを意味しており、「反射型」とは、反射型の液晶装置等のように光変調手段としての電気光学変調装置が光を反射するタイプであることを意味している。反射型のプロジェクタにこの発明を適用した場合にも、透過型のプロジェクタと同様の効果を得ることができる。
【００７６】
（８）上記各実施形態においては、３つの液晶光変調装置４００Ｒ，４００Ｇ，４００Ｂを用いたプロジェクタを例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、１つ、２つ又は４つ以上の液晶光変調装置を用いたプロジェクタにも適用可能である。
【００７７】
（９）上記各実施形態においては、電気光学変調装置として液晶光変調装置を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。電気光学変調装置としては、一般に、画像情報に応じて入射光を変調するものであればよく、マイクロミラー型光変調装置などを利用してもよい。マイクロミラー型光変調装置としては、例えば、ＤＭＤ（デジタルマイクロミラーデバイス）（ＴＩ社の商標）を用いることができる。
【００７８】
（１０）本発明は、投写画像を観察する側から投写するフロント投写型プロジェクタに適用する場合にも、投写画像を観察する側とは反対の側から投写するリア投写型プロジェクタに適用する場合にも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】実施形態１に係るプロジェクタ１０００を説明するために示す図。
【図２】実施形態１に係る発光管の製造方法を示すフローチャート。
【図３】実施形態１に係る発光管の製造方法を説明するために示す図。
【図４】実施形態２に係るプロジェクタ１００２を説明するために示す図。
【符号の説明】
【００８０】
１０，１０Ｂ…楕円面リフレクタ、１２，１２Ｂ…開口部、１４，１４Ｂ…反射凹面、２０，２０Ｂ…発光管、２０ａ…（管球部の表面が磨かれる前の）発光管、３０…管球部、４０，５０…封止部、４２，５２…電極、４４，５４…金属箔、４６，５６…リード線、７０…反射防止膜、７２…反射膜、９０…凹レンズ、１００，１０２…照明装置、１００ａｘ，１０２ａｘ…照明光軸、１１０，１１０Ｂ…光源装置、１２０…第１レンズアレイ、１２２…第１小レンズ、１３０…第２レンズアレイ、１３２…第２小レンズ、１４０…偏光変換素子、１５０…重畳レンズ、２００…色分離導光光学系、２１０，２２０…ダイクロイックミラー、２３０，２４０，２５０…反射ミラー、２６０…入射側レンズ、２７０…リレーレンズ、３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂ…集光レンズ、４００Ｒ，４００Ｇ，４００Ｂ…液晶光変調装置、５００…クロスダイクロイックプリズム、６００…投写光学系、７００…研磨具、１０００，１００２…プロジェクタ、Ｋ…微小な傷、Ｐ…微小な突起、ＳＣＲ…スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図３】
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