(57)【要約】【課題】小型で、低コストで、実用性に優れた液浸タイプの吸光度測定用プローブを提案する。【解決手段】光を照射する照射用の光ファイバ１と、照射用の光ファイバ１の端面に対向配置され液体試料８内に照射され、透過した光を反射させるミラー２と、ミラー２で反射した光を受光する受光用の光ファイバ３とを有する吸光度測定用プローブであって、照射用の光ファイバ１の端面と、受光用の光ファイバ３の端面は同一平面４ａ内に設けられている。また、光ファイバ１、３の端面が設けられた平面４ａとミラー２との間に屈折率分布型ロッドレンズ５が配置されている。光ファイバ１、３の端面が設けられた平面４ａ及びミラー２の反射面２ａはそれぞれ屈折率分布型ロッドレンズ５の対向する焦点面と重なるように位置決めされている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を伝搬して液体試料に照射する照射用の光ファイバと、前記照射用の光ファイバの端面に対向配置され、前記液体試料を透過した光を反射させる光反射材と、前記光反射材で反射した光を受光する受光用の光ファイバと、を有する吸光度測定用プローブにおいて、
前記照射用の光ファイバの端面と、前記受光用の光ファイバの端面は同一平面内に設けられており、
前記光ファイバの端面が設けられた平面と前記光反射材との間にレンズを配置し、
前記光ファイバの端面が設けられた平面及び前記光反射材の光反射面がそれぞれ前記レンズの対向する焦点面と重なるように位置決めされていることを特徴とする吸光度測定用プローブ。
【請求項２】
前記レンズと前記光反射材との間に試料挿入セルが設けられていることを特徴とする請求項１記載の吸光度測定用プローブ。
【請求項３】
前記レンズは、屈折率分布型ロッドレンズであることを特徴とする請求項１又は２記載の吸光度測定用プローブ。
【請求項４】
前記試料挿入セル内を透過する光の光路軸と、前記レンズの光路軸とが直角に交わるように、前記試料挿入セルの設置位置を変更し、前記光路軸の交点に、前記２つの光路軸に対してそれぞれ４５度の傾斜角を有する光反射面を設けたことを特徴とする請求項２記載の吸光度測定用プローブ。
【請求項５】
測定光の光源と、
前記光源から出射された測定光を液体試料に照射して透過光を受光するプローブと、
前記プローブで受光した透過光の強度に基づいて試料の吸光度を求める吸光度算出手段とを有する吸光光度計において、
前記プローブとして請求項１乃至４のいずれか１項に記載の吸光度測定用プローブを適用したことを特徴とする吸光光度計。
【請求項６】
前記光源を点滅させる点滅手段と、前記点滅手段の点滅周波数と同期した透過光信号を取り出す信号取り出し手段と、を有することを特徴とする請求項５記載の吸光光度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸光度測定用プローブ及び吸光光度計に関し、特に、液浸タイプで、且つ小型の吸光度測定用プローブ及び吸光光度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、溶液中の物質濃度を測定する方法として吸光度測定法が適用されている。吸光度測定法は、通常、測定用試料を測定対象物中から取り出してオフラインで測定するか、又は測定用のサブラインを引いて測定用試料をインラインとは別の場所で測定することが行われている。
【０００３】
しかしながら、このような測定方法では、現実に測定したい現場における試料の実際の濃度を測定していることにはならず、試料の取り出し又は引き込みの際に、試料を他の場所に移すことによる影響を受ける虞があり、またリアルタイムで測定結果が得られないとい問題もある。
【０００４】
製品生産ラインにおいては、特に、リアルタイムに対象となる試料の濃度が求められる場合があり、かかる場合は、インラインで試料濃度が測定される。インラインで試料濃度を測定する際、測定用セルを試料の流れの中に挿入することが必須となるが、測定用セルが大きい場合には、試料の流れを乱すことがあり、正確な測定結果を得ることができない。従って、インラインで試料濃度を求める場合は、適用する測定用プローブ（セル）は小型であることが重要となる。また、測定用プローブの挿入場所が狭い場合もあり得ることから、この点からも測定用プローブはできるだけ小型であることが好ましい。
【０００５】
ところで、測定用プローブを小型化するためには、光源を外部に設置することが有効である。また、流体中の試料濃度を流路内で測定する必要があることから、測定光の導入手段として、光ファイバを用いることが適当と考えられる。空間光では到達光量が安定しないのに対し、光ファイバを用いれば、設置等における取り扱いが容易となる上、測定光がファイバ内に閉じ込められることから、光ファイバをどのように曲げても光が伝播されるという利点がある。
【０００６】
測定光の導入手段として光ファイバを用いた吸光度測定用プローブに関する従来技術を開示する文献として、例えば特許文献１が挙げられる。
【０００７】
図６は、従来の吸光度測定用プローブを示す説明図である。
【０００８】
図６において、この吸光度測定用プローブは、液浸タイプのプローブであり、透明の材料からなる上部プローブ本体６０及び下部プローブ本体６１と、その間に形成された空洞部６２と、これらの外部を覆う補強材６３とから主として構成されている。
【０００９】
上部プローブ本体６０には、その長さ方向に沿って、それぞれ先端部が対応する凸レンズ６４、６５に当接するように配置された２本の光ファイバ６６及び６７が配置されている。下部プローブ本体６１には、光ファイバ６６及び６７の先端部に配置された凸レンズ６４、６５に空洞部６２を介して対向する位置に反射用の内部空隙６８及び６９が設けられている。内部空隙６８及び６９は、例えば真空であり、プローブ本体の長手方向に対して、例えば４５度傾斜した反射面を有する。
【００１０】
このような吸光度測定用プローブは、被測定試料である、例えば半導体エッチング槽のエッチング液に浸漬され、例えば図示省略した分光測定装置から一方の光ファイバ６６を介して測定光が導入される。測定光は、光ファイバ６６の先端部の凸レンズ６４で集光された後、矢印に沿って空洞部６２内を満たす試料を透過して内部空隙６８、６９に至り、その後、再度空洞部６２の試料を透過し、凸レンズ６５及び光ファイバ６７を経て図示省略した分光装置に送られる。試料を透過した透過光を受光した分光装置では、測定光及び透過光に基づいて、エッチング液中の目的成分濃度が検出される。
【特許文献１】特開２００６−０２３２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記従来の吸光度測定用プローブは、光学パーツ数が多い上、各光学パーツを調芯する必要があることから、装置全体が大きくなり、コストが嵩むという問題がある。
【００１２】
本発明の目的は、小型で、低コストで、しかも実用性に優れた液浸タイプの吸光度測定用プローブ及びこのプローブを適用した吸光光度計を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、請求項１記載の吸光度測定用プローブは、光を伝搬して液体試料に照射する照射用の光ファイバと、前記照射用の光ファイバの端面に対向配置され、前記液体試料を透過した光を反射させる光反射材と、前記光反射材で反射した光を受光する受光用の光ファイバと、を有する吸光度測定用プローブにおいて、前記照射用の光ファイバの端面と、前記受光用の光ファイバの端面は同一平面内に設けられており、前記光ファイバの端面が設けられた平面と前記光反射材との間にレンズを配置し、前記光ファイバの端面が設けられた平面及び前記光反射材の光反射面がそれぞれ前記レンズの対向する焦点面と重なるように位置決めされていることを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載の吸光度測定用プローブは、請求項１記載の吸光度測定用プローブにおいて、前記レンズと前記光反射材との間に試料挿入セルが設けられていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の吸光度測定用プローブは、請求項１又は２記載の吸光度測定用プローブにおいて、前記レンズは、屈折率分布型ロッドレンズであることを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載の吸光度測定用プローブは、請求項２記載の吸光度測定用プローブにおいて、前記試料挿入セル内を透過する光の光路軸と、前記レンズの光路軸とが直角に交わるように、前記試料挿入セルの設置位置を変更し、前記光路軸の交点に、前記２つの光路軸に対してそれぞれ４５度の傾斜角を有する光反射面を設けたことを特徴とする。
【００１７】
上記目的を達成するため、請求項５記載の吸光光度計は、測定光の光源と、前記光源から出射された測定光を液体試料に照射して透過光を受光するプローブと、前記プローブで受光した透過光の強度に基づいて試料の吸光度を求める吸光度算出手段とを有する吸光光度計において、前記プローブとして請求項１乃至４のいずれか１項に記載の吸光度測定用プローブを適用したことを特徴とする。
【００１８】
請求項６記載の吸光光度計は、請求項５記載の吸光光度計において、前記光源を点滅させる点滅手段と、前記点滅手段の点滅周波数と同期した信号を取り出す信号取り出し手段と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１に係る吸光度測定用プローブによれば、照射用の光ファイバの端面と、受光用の光ファイバの端面が同一平面内に設けられており、光ファイバの端面が設けられた平面と光反射材との間にレンズを配置し、光ファイバの端面が設けられた平面及び光反射材の光反射面がそれぞれ前記レンズの対向する焦点面と重なるように位置決めされているので、従来技術に比べて構成部品点数が少なく、各パーツの調芯が容易となり、プローブの小型化及び低コスト化を実現することができる。
【００２０】
請求項２に係る吸光度測定用プローブによれば、レンズと光反射材との間に試料挿入セルが設けられているので、試料を透過した透過光を直ちに反射させて受光用光ファイバに導入させることができ、感度が良好となる。
【００２１】
請求項３に係る吸光度測定用プローブによれば、レンズとして屈折率分布型ロッドレンズを採用したので、レンズの設置及び調芯が容易となる。
【００２２】
請求項４に係る吸光度測定用プローブによれば、試料挿入セル内を透過する光の光路軸と、レンズの光路軸とが直角に交わるように、前記試料挿入セルの設置位置を変更し、前記２つの光路軸の交点に、２つの光路軸に対してそれぞれ４５度の傾斜角を有する光反射面を設けたので、液体試料が細いパイプ内を流通する場合や、プローブ設置用の空間の大きさが制限される場合にも十分に対応することができる。
【００２３】
請求項５に係る吸光光度計によれば、吸光度測定用のプローブとして請求項１乃至４のいずれか１項に記載の吸光度測定用プローブを適用したので、吸光光度計全体の小型化が可能となり、且つ低コスト化を実現することができる。
【００２４】
請求項６に係る吸光光度計によれば、吸光光度計が光源を点滅させる点滅手段と、点滅手段の点滅周波数と同期した透過光信号を取り出す信号取り出し手段とを有するので、S／N比を大きくして測定感度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら詳述する。
【００２６】
図１は、本発明の実施の形態に係る吸光度測定用プローブの概略構成を示す断面図である。
【００２７】
図１において、この吸光度測定用プローブ１０は、光を伝搬して液体試料に照射する照射用の光ファイバ１と、照射用の光ファイバ１の端面に対向配置され、試料挿入セル６内の液体試料８を透過した光を反射させる光反射材としてのミラー２と、ミラー２で反射し、再び液体試料８を透過した透過光を受光する受光用の光ファイバ３とから主として構成されている。
【００２８】
照射用の光ファイバ１及び受光用の光ファイバ３としては、例えばコア径０．２ｍｍ、クラッド径０．２３ｍｍの光ファイバが適用される。コア径が大きいほど感度は向上するが、コア径が大きすぎると曲げにくくなる等、取り回しが困難になる。コア径０．２ｍｍの光ファイバは、ファイバ入射光量が多く、必要な感度を確保することができ、且つその取り扱いも良好である。
【００２９】
照射用の光ファイバ１と、受光用の光ファイバ３とは、例えばその端部近傍が平行になるようにキャピラリ４で保護されており、照射用の光ファイバ１の端面と、受光用の光ファイバ３の端面は、同一平面４ａ内に設けられている。キャピラリ４としては、例えば耐薬品性等を考慮してガラス製のチューブ、例えば品番ＹＧ５０８−２１０＊８．０（日本電気硝子社製）が適用される。なお、用途によっては金属、プラスチック製等、他の材質のものを適用することもできる。
【００３０】
ミラー２は、吸光度測定波長を高効率で反射するものであることが好ましく、例えば誘電多層膜ミラー、銀膜ミラー等が使用される。ミラー２は、例えば後述する試料挿入セル６の一面に固定される。固定方法としては、吸光度測定用プローブ１０の小型化を図る上で、接着剤による貼り付けが好ましい。また、ミラー２に耐薬品性の透明カバーを装着させて耐薬品性を確保してもよい。
【００３１】
照射用の光ファイバ１の端面と、受光用の光ファイバ３の端面が設けられた平面（以下、「ファイバ端面」という）４ａと、ミラー２の反射面２ａとの間に屈折率分布型ロッドレンズ５が配置されている。屈折率分布型ロッドレンズ５としては、例えばセルフォックレンズ（ＳＥＬＦＯＣＲマイクロレンズ：Ｗ３０  ０．１２ピッチ（日本板硝子社製））が使用される。セルフォックレンズは、設置及び調芯が容易である。
【００３２】
ファイバ端面４ａ及びミラー反射面２ａはそれぞれ屈折率分布型ロッドレンズ５の対向する焦点面と重なるように位置決めされ、屈折率分布型ロッドレンズ５とキャピラリ４の外表面は、補強材７で支持されている。
【００３３】
屈折率分布型ロッドレンズ５とミラー２との間には、試料挿入セル６が配置されており、試料挿入セル６は、液体試料８が流通する断面長方形の筒状の空間部を備えている。断面長方形型としたのは、設置の容易性等を考慮したものである。試料挿入セル６における筒状空間の光路に平行な長さである測定長は、長いほど検出感度が高くなる。試料挿入セル６の構成部材としては、耐薬品性を考慮して、例えばガラスが用いられる。
【００３４】
このような構成の吸光度測定用プローブ１０において、屈折率分布型ロッドレンズ５の焦点距離をはじめとして各構成部材には、その性能に個体差がある。従って、固体差を吸収するため、各構成部材相互の位置決めを行う。
【００３５】
位置決めは、例えば以下のように行われる。すなわち、例えば試料挿入セル６の一面にミラー２を貼着した後、これを屈折率分布型ロッドレンズ５に対して固定し、その後、キャピラリ４のファイバ端面４ａを屈折率分布型ロッドレンズ５に対して、Ｘ、Ｙ又はＺ方向に微動させることによって調芯し、照射用の光ファイバ１から照射した光が受光用の光ファイバ３に最も損失なく入射する位置を見つけ、その位置に固定する。
【００３６】
このとき、ファイバ端面４ａと、ミラー２の光反射面２ａが、屈折率分布型ロッドレンズ５の対向する焦点面とそれぞれ重なるように位置決めすることによって、照射用の光ファイバ１から照射された光が最も損失なく受光用の光ファイバ３に入射するようになる。
【００３７】
屈折率分布型ロッドレンズ５、試料挿入セル６、ミラー２に対する照射用の光ファイバ１及び受光用の光ファイバ３の位置決めは、試料挿入セル６に被測定試料の溶媒を充填した状態で行う。例えば、空気中と溶液中では、光の屈折率が異なるので、実際の測定状態に合わせた調芯を行うためである。
【００３８】
調芯後の各構成部材の固定は、例えば低融点ガラスをはじめとする接着剤を使用して行う。試料溶液が例えば有機溶媒であり、接着剤が溶け出す虞がある場合は、接着剤の使用に代えて別途作製した固定用冶具を用いて固定することもできる。また、吸光度測定用プローブ全体を覆う保護冶具を作製し、この保護治具で被覆することによって吸光度測定用プローブの耐薬品性を向上させることもできる。
【００３９】
このような構成の吸光度測定用プローブ１０は、例えば吸光光度計の一部として組み込まれ、吸光光度計システムを構成する。
【００４０】
図２は、本実施の形態に係る吸光光度計システムの概略構成を示すブロック図である。
【００４１】
図２において、この吸光光度計システムは、図１の吸光度測定用プローブ１０を構成部材として含むものであり、測定光を出射する光源１１と、光源１１に光ファイバ１を介して接続され、光源１１から出射された測定光を伝搬して液体試料８に照射し、液体試料８を透過した透過光を受光する吸光度測定用プローブ１０と、吸光度測定用プローブ１０に光ファイバ３を介して接続され、透過光量を検出する検出器１２と、検出器１２に接続され、検出した透過光量及び光源１１からの参照信号１４に基づいて試料の吸光度及び目的成分濃度を求めるロックイン回路１３とから主として構成されている。
【００４２】
光源１１は、吸光度測定波長の光を出力するものであれば、特に限定されず、例えば、レーザ、ＬＥＤ等が好適に使用される。レーザ光は、高感度を得るうえで好適であるが、発振波長が吸光度測定波長に適応することが使用条件となる。一方、ＬＥＤ光を使用する場合は発振波長領域が広いので、フィルタ等を用いて特定の波長領域の光のみが利用される。フィルタは、例えば光源としてのＬＥＤと光ファイバ１の間に設置される。
【００４３】
このような構成の吸光光度計システムにおいて、液体試料８、例えばエッチング液内の目的成分の測定は、以下のように行われる。
【００４４】
すなわち、吸光度測定用プローブ１０の先端部の試料挿入セル６を試料溶液８としてのエッチング溶液中に挿入して試料挿入セル６内にエッチング液を流通させる。この状態で、光源１１から測定光として、所定波長のＬＥＤ光を出射させる。光源１１から出射した測定光は、吸光度測定用プローブ１０の照射用の光ファイバ１を伝搬した後、光ファイバ１の端部から屈折率分布型ロッドレンズ５を介して試料挿入セル６内を流通するエッチング液内に照射される。
【００４５】
照射された測定光は、液体試料８であるエッチング液を透過した後、試料挿入セル６の一面に貼着されたミラー２の反射面２ａで反射し、再びエッチング液及び屈折率分布型ロッドレンズ５を透過して受光用光ファイバ３に受光される。受光用の光ファイバ３で受光された透過光は、検出器１２に至り、ここで、透過光量が検出される。次いで、ロックイン回路１３において、透過光量と光源１１から送られてくる参照信号とに基づいて試料の吸光度が求められ、求めた吸光度に基づいて、エッチング液内の目的成分濃度が決定される。
【００４６】
本実施の形態によれば、吸光度測定用プローブ１０の構成部材点数が従来技術に比べて少ないので、プローブ全体の小型化を図ることができるうえ、コストの低減を図ることができる。また、光軸調整が非常に容易となると共に、試料液中での光学系のずれが発生しにくくなり、測定の再現性が向上する。また、液体試料８の流れを乱すことがなく、狭い場所にも設置することができるので、リアルタイムで液体試料８中の目的成分の濃度を測定することができる。
【００４７】
本実施の形態において、液体試料８としてエッチング液を用いた場合について説明したが、被測定試料は、エッチング液に限定されるものではなく、他の液体試料であってもよい。また、目的成分は溶媒に溶けていることが条件ではなく、溶媒中に均一部に分散していれば測定可能である。
【００４８】
本実施の形態に係る吸光度測定用プローブ１０は、生産設備においてオンラインで使用する場合の外、オフライン装置で用いることも可能である。また、試料溶液（例えば廃液槽中）の場所ごとの物質濃度の変化等を求めることに利用することもできる。
【００４９】
本実施の形態において、吸光度測定用プローブ１０の構成材料としては、プラスチックではなく、ガラスを用いることが好ましい。これによって、水溶液中の目的成分だけでなく、酸・アルカリ・有機溶媒等に溶解又は分散した目的成分の濃度測定が可能となる。
【００５０】
本実施の形態において、レンズとして屈折率分布型ロッドレンズを用いたが、レンズの種類は、特に限定されるものではなく、屈折率分布型ロッドレンズ以外のレンズ、例えば、ドラムレンズ、ボールレンズ等凸レンズならばどれでも用いることもできる。
【００５１】
本実施の形態において、光源１１を点滅させ、液体試料８を透過した透過光量を、点滅と同期して測定し、この透過光量に基づいて吸光度及び目的成分濃度を測定することもできる。これによってＳ／Ｎ比が大きくなり、明るい場所であっても外乱光の影響を低減して検出感度を向上させることができる。光源１１の点滅手段としては、例えばＬＥＤ等を変調回路を用いて直接ＯＮ、ＯＦＦする場合の他、出射した光をチョッパー等によって変調する場合等が挙げられ。また、光源の点滅に対応して透過光信号を取り出す信号取り出し手段としてはロックイン回路以外にはＦＦＴ（高速フーリエ変換手段）等が挙げられる。
【００５２】
次に、本実施の形態の変形例について、図面を参照しながら説明する。
【００５３】
図３は、本実施の形態に係る吸光度測定用プローブの変形例を示す図である。
【００５４】
図３において、この吸光度測定用プローブ２０が、図１の吸光度測定用プローブ１０と異なるところは、試料挿入セル２６を透過する測定光及び透過光の光路軸が、屈折率分布型ロッドレンズ２５の光路軸に対して９０度傾斜するように試料挿入セル２６の設置位置をずらし、光路軸の交点に、屈折率分布型ロッドレンズ２５の光路軸及び試料挿入セル内の光路軸に対してそれぞれ４５度の傾斜角を形成する光反射面を有するプリズム２９を配置した点である。なお、プリズム２９の代わりに同様の効果を奏するミラーを配置してもよい。
【００５５】
図３において、キャピラリ２４で保護された照射用の光ファイバ２１から照射され、屈折率分布型ロッドレンズ２５を透過した測定光は、プリズム２９の光反射面で反射してその伝搬方向を９０度傾斜させ、試料挿入セル２６内を矢印３０に沿って流通する液体試料２８を透過し、ミラー２２の反射面２２ａで反射する。反射面２２ａで反射した透過光は、再び液体試料２８を透過し、プリズム２９の光反射面で反射して屈折率分布型ロッドレンズ２５に入射し、その後、受光用の光ファイバ２３に受光される。
【００５６】
この吸光度測定用プローブ２０においても、図１の吸光度測定用プローブ１０と同様に液体試料中の目的成分に対応する吸光度を測定することができ、同様の用途に使用される。本変形例に係る吸光度測定用プローブ２０は、液体試料２８が細いパイプ内を流路する場合や、プローブ設置用の空間広さが制限される場合に、特に有効である。
【００５７】
次に、本実施の形態に係る吸光光度計システムの変形例について図面を参照しながら説明する。
【００５８】
図４は、複数の波長領域における吸光度を一度に測定することができる多波長対応型の吸光光度計システムの概略構成を示す図である。
【００５９】
図４の吸光光度計システムが、図２の吸光光度計システムと異なるところは、光源として異なる波長の測定光を発射する２つの光源４１及び４３を設け、この２つの光源４１及び４３を合分波器４４を介して接続した点である。
【００６０】
図５は、図４における合分波器４４の構成を示す断面図である。
【００６１】
図５において、この合分派器４４は、円柱状の屈折率分布型ロッドレンズ５１、５３と、屈折率分布型ロッドレンズ５１、５３の間に介在する合分波フィルタ５２とを備え、ロッドレンズ５１の合分波フィルタ５２と隣接する面と反対の面には、それぞれの端部がキャピラリ５４ａで保護された光ファイバ４５、３１がそれぞれ入出力端４５ａ、３１ａにおいて接続され、屈折率分布型ロッドレンズ５３の合分波フィルタ５２と隣接する面と反対の面には、端部がキャピラリ５４ｂで保護された光ファイバ４６が入出力端４６ａにおいて接続されている。また、屈折率分布型ロッドレンズ５１、５３、合分波フィルタ５２、及びキャピラリ５４ａ、５４ｂを一体的に覆うようにカバー５７が配設されている。
【００６２】
合分波フィルタ５２は、固有のカットオフ波長より小さい波長（例えば４８０ｎｍ以下）の光を反射し、且つ該固有のカットオフ波長より大きい波長（例えば４９０ｎｍ以上）の光を透過する、いわゆるロングパスフィルタである。なお、合分波フィルタ５２は、例えば、４９０ｎｍ〜６００ｎｍの間の波長の光を透過するバンドパスフィルタであってもよい。
【００６３】
図４及び図５において、光源４１から出射された、例えば波長４７０ｎｍの測定光は、光ファイバ４５を伝搬して合分派器４４の屈折率分布型ロッドレンズ５１に入射し、この屈折率分布型ロッドレンズ５１内をビーム光が拡大する光ビームとなって合分波フィルタ５２に入射し、ここで反射して光ファイバ３１に入射する。
【００６４】
一方、光源４３から出射された、例えば波長５００ｎｍの測定光は、光ファイバ４６内を伝搬して合分波器４４のもう１つの屈折率分布型ロッドレンズ５３に入射し、この屈折率分布型ロッドレンズ５３内をビーム径が拡大する光ビームとなって合分波フィルタ５２に入射し、この合分波フィルタ５２を透過した後、光ビームとなって光ファイバ３１に入射し、波長４７０ｎｍの測定光と合波する。
【００６５】
合分波器４４で合波された２つの測定光は、光ファイバ３１内を伝搬し、吸光度測定用プローブ４０から液体試料３８に照射され、以下、上記実施の形態と同様に各波長の測定光に対応する試料透過光を受光用の光ファイバ３３で受光し、検出器４２で透過光量を検出し、透過光量と光源４１及び４３から送信される参照信号に基づいて吸光度及び目的成分濃度が求められる。
【００６６】
本変形例によれば、２つの光源４１及び４３から出射された波長の異なる２つの測定光を１本の光ファイバ３１を経て同時に液体試料３８に照射することができるので、２つの目的成分濃度を同時に測定することができる。
【００６７】
本実施の形態において、一方の測定光を試料に吸収されない波長光とし、これをレファランスとして用いることによって、測定精度を高めるという運用を行うこともできる。この時、例えば光源４１と４３の点滅周波数を変え、ＦＦＴ（高速フーリエ変換手段）にて処理すると同時に透過光量を測定するか、時間的に発光タイミングを分けるようにすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の形態に係る吸光度測定用プローブの概略構成を示す断面図である。
【図２】本実施の形態に係る吸光光度計システムの概略構成を示すブロック図である。
【図３】本実施の形態に係る吸光度測定用プローブの変形例を示す図である。
【図４】複数の波長領域における吸光度を一度に測定することができる多波長対応型の吸光光度計システムの概略構成を示す図である。
【図５】図４における合分波器の構成を示す断面図である。
【図６】従来の吸光度測定用プローブを示す説明図である。
【符号の説明】
【００６９】
１    照射用の光ファイバ
２    ミラー
３    受光用の光ファイバ
４    キャピラリ
５    屈折率分布型ロッドレンズ（セルフォックレンズ）
６    試料挿入セル
７    補強材
８    液体試料
１１  光源
１２  検出器
１３  ロックイン回路
２９  プリズム
４４  合分波器
５１  屈折率分布型ロッドレンズ（セルフォックレンズ）
５２  合分波フィルタ
５３  屈折率分布型ロッドレンズ（セルフォックレンズ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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