(57)【要約】【課題】  ３層以上の記録層を有する多層光記録媒体においては、不用光による層間クロストーク量の定量的測定方法がなかった。【解決手段】  ３層以上の記録層を有する多層光記録媒体の再生信号の測定方法であって、特定の第１の記録層の記録領域に第１の周波数で記録されている信号と、当該記録層との関係で、層間クロストークを発生する恐れのある第２の記録層の記録領域に第１の周波数と異なる第２の周波数で記録されている信号と、について、第１の記録層の記録領域に記録されている信号を再生し、第１の周波数と第２の周波数のそれぞれで記録された信号を分離し、第１の周波数の信号振幅と第２の周波数の信号振幅における最大値と、を判別し、第１の周波数の信号振幅と第２の周波数の信号振幅における最大値と、の信号振幅比を演算して、第１の記録層の記録領域から再生する信号の有する層間クロストーク量を測定する。【効果】  不用光による層間クロストーク量の定量的測定が出来る。【選択図】  図１
2009043320.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３層以上の記録層を有する多層光記録媒体の再生信号の測定方法であって、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で記録されている信号と、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、前記第１の周波数と異なる第２の周波数で記録されている信号について、
前記ｎ番目の記録層の記録領域に記録されている信号を再生する工程と、
前記再生信号から、前記第１の周波数と前記第２の周波数のそれぞれで記録された信号を分離する工程と、
前記第１の周波数の信号振幅と、前記第２の周波数の信号振幅における最大値と、を判別する工程と、
前記第１の周波数の信号振幅と、前記第２の周波数の信号振幅における最大値と、の信号振幅比を演算する工程と、
を有することを特徴とする再生信号の測定方法。
【請求項２】
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数で信号を記録する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数と異なる前記第２の周波数で信号を記録する工程と、
を前記信号を再生する工程の前にさらに有することを特徴とする請求項１記載の再生信号の測定方法。
【請求項３】
前記第１の周波数で、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層に、かつ
前記第１の周波数と異なる前記第２の周波数で、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層に、
あらかじめ信号が記録されていることを特徴とする請求項１記載の再生信号の測定方法。
【請求項４】
前記最大値を判別する工程を、同一記録層内のいずれかの方向に、５００μｍ以上の連続する領域において実行することを特徴とする請求項１記載の再生信号の測定方法。
【請求項５】
３層以上の記録層を有する多層光記録媒体の再生信号の測定方法であって、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で記録されている信号を再生する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、信号が記録されていない状況で、前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅１を検出する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、信号が記録されている状況で、前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅２を検出する工程と、
前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号から、前記第１の周波数と前記第２の周波数のそれぞれで記録された信号を分離する工程と、
前記信号振幅１と前記信号振幅２の最大値とを判別する工程と、
前記信号振幅１と前記信号振幅２の最大値との信号振幅比を演算する工程と、
を有することを特徴とする再生信号の測定方法。
【請求項６】
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で信号を記録する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数と異なる第２の周波数で信号を記録する工程と、
を前記信号を再生する工程の前にさらに有することを特徴とする請求項５記載の再生信号の測定方法。
【請求項７】
前記第１の周波数で、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層に、
前記第１の周波数と異なる前記第２の周波数で、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層に、
あらかじめ信号が記録されていることを特徴とする請求項５記載の再生信号の測定方法。
【請求項８】
前記最大値を判別する工程を、同一記録層内のいずれかの方向に、５００μｍ以上の連続する領域において実行することを特徴とする請求項５記載の再生信号の測定方法。
【請求項９】
３層以上の記録層を有する多層光記録媒体であって、光を照射する際の光の入射側とは反対側から、
ｎ番目の記録層の記録領域とｎ＋２番目の記録層の記録領域とでは周波数が異なって、同一記録層内の記録領域では一定周波数である信号と、
前記ｎ番目の記録層の記録領域からの信号の再生時に再生される、前記ｎ＋２番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅の最大値を測定するための測定パターンと前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号における信号振幅を測定するための測定パターンと、
を記録していることを特徴とする多層光記録媒体。
【請求項１０】
前記記録領域が、前記記録層の面内のいずれかの方向に５００μｍ以上連続的に形成されていることを特徴とする請求項９記載の多層光記録媒体。
【請求項１１】
前記ｎ＋２番目の記録層では、１トラックおきに信号が記録されていることを特徴とする請求項９記載の多層光記録媒体。
【請求項１２】
前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号における信号振幅と前記ｎ＋２番目の記録層の記録領域からの再生信号における信号振幅との比が、０．０３以下であることを特徴とする請求項９記載の多層光記録媒体。
【請求項１３】
前記記録領域の信号が、あらかじめ記録されていることを特徴とする請求項９記載の多層光記録媒体。
【請求項１４】
前記パターンが、新たに記録された情報であることを特徴とする請求項９記載の多層光記録媒体。
【請求項１５】
多層光記録媒体に光を照射する光学系を有する光学手段と、
前記光学手段により照射された光の反射光を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された反射光を処理する信号処理手段と、
前記信号処理手段により処理された信号を演算する演算処理手段と、
を有する信号再生装置であって、
前記信号処理手段が、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で記録されている信号と、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、前記第１の周波数と異なる第２の周波数で記録されている信号について、
前記ｎ番目の記録層の記録領域に記録されている信号を再生する工程と、
前記再生信号から、前記第１の周波数と前記第２の周波数のそれぞれで記録された信号を分離する工程と、
前記第１の周波数の信号振幅と、前記第２の周波数の信号振幅における最大値と、を判別する工程と、
を備え、
前記演算処理手段が、
前記第１の周波数の信号振幅と、前記第２の周波数の信号振幅における最大値と、の信号振幅比を演算する工程、
を備えることを特徴とする信号再生装置。
【請求項１６】
多層光記録媒体に光を照射する光学系を有する光学手段と、
前記光学手段により照射された光の反射光を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された反射光を処理する信号処理手段と、
前記信号処理手段により処理された信号を演算する演算処理手段と、
を有する信号再生装置であって、
前記信号処理手段が、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で記録されている信号を再生する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、信号が記録されていない状況で、前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅１を検出する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、信号が記録されている状況で、前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅２を検出する工程と、
前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号から、前記第１の周波数と前記第２の周波数のそれぞれで記録された信号を分離する工程と、
前記第２の周波数の信号振幅１と信号振幅２の最大値とを判別する工程と、
を備え、
前記演算処理手段が、
前記信号振幅１と前記信号振幅２の最大値との信号振幅比を演算する工程、
を備えることを特徴とする信号再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の記録層を有する光記録媒体の層間クロストークを考慮した、光記録媒体の再生信号の測定方法、それを実現する信号再生装置及び複数の記録層を有する光記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、光記録媒体の中でも、従来から知られている多層光ディスクの断面構造であり各記録層の情報を選択的に記録再生する原理を模式的に示したものである。本従来例では、記録媒体は合計６つの情報が記録された層（以下記録層と呼ぶ）からなり、光ディスクへの光照射の際の光入射とは反対側、すなわち図中下側より、第１の記録層101、第２の記録層102、第３の記録層103、第４の記録層104、第５の記録層105、第６の記録層106を備えている。この記録層を６つ有する６層媒体を用いて、例えば、第３の記録層103上の記録情報にアクセスするためには、光記録再生装置の対物レンズの位置を制御し、光スポット107の位置を第３の記録層103上に位置づける。その際、対物レンズによって絞り込まれる途中の収束光108は、半透明の第６の記録層106、第５の記録層105、第４の記録層104を透過し、この第６、第５、第４の記録層上では、収束光108の光束径は、第３の記録層上での光スポット107の直径と比べて十分に大きく、このため、半透明の第６、第５、第４の記録層106、105、104上の記録情報を分解して再生することができない。また半透明の第６、５、４の記録層106、105、104上では光束径が大きいため、単位面積あたりの光強度が相対的に小さくなり、記録時に第６、第５、４の記録層106、105、104の情報を破壊する心配はない。このようにして第６、第５、第４の記録層の影響を受けずに、照射光の入射側から遠い奥にある第３の記録層の情報記録再生を実現している。この他の記録層への情報記録再生も同様に対物レンズの位置を制御することによって行う。このように、他の層への影響なく、複数の記録層を有する光記録媒体上で記録再生を行う条件に関しては、特許文献１に詳細が記載されている。
【０００３】
しかしながら、前述したような多層光ディスクの再生方法では、照射光の入射側から見た目的の記録層の手前（以下手前は同様の趣旨）の記録層による光の減衰の効果は考慮に入れているが、記録再生の目的とする記録層よりも手前の記録層での光の多重反射、という現象によって生じる影響を考慮していない。この多重反射光が情報記録再生において問題となる様子を、図４を用いて説明する。記録再生の目的とする記録層を第ｎ層としたとき、図に示したように光スポット107が第ｎ層上に形成されるように収束光からなる入射光108を照射する。この時、目的とする記録層の一つ手前の第ｎ＋１層で反射した光は不要光402となり、第ｎ＋２層の裏面に到達して、第ｎ＋２層の裏面で反射した不要光402が再び第ｎ＋１層で反射されて、第ｎ層の反射光とほぼ同一経路をたどって、あたかも第ｎ層の反射光として検出されると、大きな層間クロストークを生じさせることになる。以下、本明細書中でクロストークとは、層間クロストークのことを指す。このような不要光が検出されることは大きな問題であることが非特許文献１、２にて指摘されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平5-101398号公報
【非特許文献１】Japanese Journal of Applied Physics,  Vol. 43, No. 7B, 2004, pp. 4983-4986
【非特許文献２】Ushiyama et.al. Tech. Digest of ODS2006, WDPDP3.
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述したように、多層光記録媒体の設計では、不要光スポットによる層間クロストークが問題となっている。なぜなら、第一に、不要光は第ｎ＋２層上で収束し、不要光スポットとなるため、第ｎ＋２層上の情報が光学的に分解できてしまい、不要光の影響は通常の光記録再生信号の帯域と重なり分離できない。第二に、不要光である戻り光は、第ｎ層の反射光とほぼ同一経路をたどって、あたかも第ｎ層の反射光として検出されるため、検出器上でも、本来の第ｎ層の反射光と光が完全に重なってしまう。第三に、検出器上で光が分離できないことは、不要光による層間クロストーク量の定量的な測定を困難にする要因でもある。このため、これまで簡便で効果的な不用光による層間クロストーク量の定量的測定方法がなかった。
【０００６】
本発明では、上述した問題点に基づいて、多層光記録媒体の記録層が３層以上である場合に生じる層間クロストークの影響を簡便にまた定量的に測定する方法を提供すること、あるいは、同様に記録層が３層以上である場合に生じる層間クロストークの影響を簡便にまた定量的に知ることのできる多層光記録媒体を提供することを課題とした。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するための手段として、本発明の測定方法を実現するために以下の手段を用いた。
（1）  ３層以上の記録層を有する多層光記録媒体の再生信号の測定方法であって、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で記録されている信号と、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、前記第１の周波数と異なる第２の周波数で記録されている信号について、
前記ｎ番目の記録層の記録領域に記録されている信号を再生する工程と、
前記再生信号から、前記第１の周波数と前記第２の周波数のそれぞれで記録された信号を分離する工程と、
前記第１の周波数の信号振幅と、前記第２の周波数の信号振幅における最大値と、を判別する工程と、
前記第１の周波数の信号振幅と、前記第２の周波数の信号振幅における最大値と、の信号振幅比を演算する工程と、
を有することを特徴とした。
【０００８】
これにより、３層以上の記録層を有する多層光記録媒体にて発生する不要光スポットによる層間クロストークを定量的に評価することが可能となる。
（２）  前記（１）記載の再生信号の測定方法において、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数で信号を記録する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数と異なる前記第２の周波数で信号を記録する工程と、
を前記信号を再生する工程の前にさらに有することを特徴とした。
【０００９】
これにより、（１）に記載の不要光スポットによる層間クロストークの定量的評価を記録型多層光記録媒体に適用することが可能となる。
（３）  前記（１）記載の再生信号の測定方法において、  前記第１の周波数で、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層に、かつ
前記第１の周波数と異なる前記第２の周波数で、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層に、
あらかじめ信号が記録されていることを特徴とした。
【００１０】
これにより、（１）に記載の不要光スポットによる層間クロストークの定量的評価をＲＯＭ型多層光記録媒体に適用することが可能となる。
（４）  前記（１）記載の再生信号の測定方法において、  
前記最大値を判別する工程を、同一記録層内のいずれかの方向に、５００μｍ以上の連続する領域において実行することを特徴とした。  
これにより、層間クロストーク測定誤差を小さくできる。
（５）  前記（１）記載の再生信号の測定方法において、  
３層以上の記録層を有する多層光記録媒体の再生信号の測定方法であって、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で記録されている信号を再生する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、信号が記録されていない状況で、前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅１を検出する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、信号が記録されている状況で、前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅２を検出する工程と、
前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号から、前記第１の周波数と前記第２の周波数のそれぞれで記録された信号を分離する工程と、
前記信号振幅１と前記信号振幅２の最大値とを判別する工程と、
前記信号振幅１と前記信号振幅２の最大値との信号振幅比を演算する工程と、
を有することを特徴とした。
【００１１】
これにより、３層以上の記録層を有する多層光記録媒体にて発生する不要光スポットによる層間クロストークを定量的に評価することが可能となる。
（６）  前記（５）記載の再生信号の測定方法において、  
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で信号を記録する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数と異なる第２の周波数で信号を記録する工程と、
を前記信号を再生する工程の前にさらに有することを特徴とする請求項５記載の再生信号の測定方法。
【００１２】
これにより、（５）に記載の不要光スポットによる層間クロストークの定量的評価を記録型多層光記録媒体に適用することが可能となる。
（７）  前記（５）記載の再生信号の測定方法において、  
前記第１の周波数で、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層に、
前記第１の周波数と異なる前記第２の周波数で、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層に、
あらかじめ信号が記録されていることを特徴とする請求項５記載の再生信号の測定方法。
【００１３】
これにより、（５）に記載の不要光スポットによる層間クロストークの定量的評価をＲＯＭ型多層光記録媒体に適用することが可能となる。
（８）    前記（５）記載の再生信号の測定方法において、  
前記最大値を判別する工程を、同一記録層内のいずれかの方向に、５００μｍ以上の連続する領域において実行することを特徴とした。
【００１４】
これにより、層間クロストーク測定誤差を小さくできる。
（９）３層以上の記録層を有する多層光記録媒体であって、光を照射する際の光の入射側とは反対側から、  ｎ番目の記録層の記録領域とｎ＋２番目の記録層の記録領域とでは周波数が異なって、同一記録層内の記録領域では一定周波数である信号と、
前記ｎ番目の記録層の記録領域からの信号の再生時に再生される、前記ｎ＋２番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅の最大値を測定するための測定パターンと前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号における信号振幅を測定するため測定パターンと、
を記録していることを特徴とする多層光記録媒体。
【００１５】
これにより、３層以上の記録層を有する多層光記録媒体にて発生する不要光スポットによる層間クロストークを定量的に評価することが可能な多層光記録媒体を得ることが出来る。
（１０）  前記（９）記載の多層光記録媒体において、  
前記記録領域が、前記記録層の面内のいずれかの方向に５００μｍ以上連続的に形成されていることを特徴とする。
【００１６】
これにより、層間クロストーク測定誤差を小さくできる。
（１１）    前記（９）記載の多層光記録媒体において、  
前記ｎ＋２番目の記録層では、１トラックおきに信号が記録されていることを特徴とする。
【００１７】
不要光スポットによる層間クロストークを簡便かつ定量的に測定できることがわかる。
（１２）    前記（９）記載の多層光記録媒体において、前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号における信号振幅と前記ｎ＋２番目の記録層の記録領域からの再生信号における信号振幅との比が、０．０３以下であることを特徴とする。
【００１８】
これにより、層間クロストークが小さく、良好な記録再生特性を持つ多層光記録媒体を得る。
（１３）    前記（９）記載の多層光記録媒体において、前記記録領域の信号が、あらかじめ記録されていることを特徴とする。
【００１９】
これにより、３層以上の記録層を有するＲＯＭ型多層光記録媒体にて発生する不要光スポットによる層間クロストークを定量的に評価することが可能な多層光記録媒体を得ることが出来る。
（１４）    前記（９）記載の多層光記録媒体において、前記パターンが、新たに記録された情報であることを特徴とする。
【００２０】
これにより、３層以上の記録層を有する記録型多層光記録媒体にて発生する不要光スポットによる層間クロストークを定量的に評価することが可能な多層光記録媒体を得ることが出来る。
（１５）      多層光記録媒体に光を照射する光学系を有する光学手段と、
前記光学手段により照射された光の反射光を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された反射光を処理する信号処理手段と、
前記信号処理手段により処理された信号を演算する演算処理手段と、
を有する信号再生装置であって、
前記信号処理手段が、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で記録されている信号と、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、前記第１の周波数と異なる第２の周波数で記録されている信号について、
前記ｎ番目の記録層の記録領域に記録されている信号を再生する工程と、
前記再生信号から、前記第１の周波数と前記第２の周波数のそれぞれで記録された信号を分離する工程と、
前記第１の周波数の信号振幅と、前記第２の周波数の信号振幅における最大値と、を判別する工程と、
を備え、
前記演算処理手段が、
前記第１の周波数の信号振幅と、前記第２の周波数の信号振幅における最大値と、の信号振幅比を演算する工程、
を備えることを特徴とする。
【００２１】
これにより、上記層間クロストーク評価を行うことが出来るようになる。クロストーク評価を行うことにより、クロストークが小さく良好な記録再生特性をもつ媒体のみを選別出来る。
（１６）    前記（１５）記載の信号再生装置において、  
多層光記録媒体に光を照射する光学系を有する光学手段と、
前記光学手段により照射された光の反射光を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された反射光を処理する信号処理手段と、
前記信号処理手段により処理された信号を演算する演算処理手段と、
を有する信号再生装置であって、
前記信号処理手段が、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、第１の周波数で記録されている信号を再生する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、信号が記録されていない状況で、前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅１を検出する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層であり前記ｎ番目の記録層の記録領域と面内上で重なっている記録領域に、信号が記録されている状況で、前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号の信号振幅２を検出する工程と、
前記ｎ番目の記録層の記録領域からの再生信号から、前記第１の周波数と前記第２の周波数のそれぞれで記録された信号を分離する工程と、
前記第２の周波数の信号振幅１と信号振幅２の最大値とを判別する工程と、
を備え、
前記演算処理手段が、
前記信号振幅１と前記信号振幅２の最大値との信号振幅比を演算する工程、
を備えることを特徴とする。
【００２２】
これにより、上記層間クロストーク評価を行うことが出来るようになる。クロストーク評価を行うことにより、クロストークが小さく良好な記録再生特性をもつ媒体のみを選別出来る。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、多数の記録層を有する多層光記録媒体の不要光スポットによる層間クロストークを簡便かつ定量的に測定できる方法、媒体が得られる。また本発明によれば、上記層間クロストーク評価を行うことにより、クロストークが小さく良好な記録再生特性をもつ媒体のみを選別して提供することが出来る。さらに、本発明によれば、多数の記録層を有する多層光記録媒体の不要光スポットによる層間クロストークを簡便かつ定量的に測定できる装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
（実施例１）
図２は、本発明の一つの実施例として記録媒体の断面構造を模式的に示したものである。ここでは６層の記録層を持つ記録媒体を例に挙げている。光を照射する際の光の入射側と反対側より、基板119、第１の記録層101、第２の記録層102、第３の記録層103、第４の記録層104、第５の記録層105、第６の記録層106を備えている。各々の記録層間の層間隔110、111、112、113、114は約１０μｍである。その上に約５０μｍのカバー層109が形成される。入射面側から収束光108が照射され、記録層上に光スポット107が形成される。各記録層は一般的には、反射膜115、保護膜116、記録膜117、保護膜118から形成されるが、このほかの構成でも良い。すなわち、これ以外の膜を含んでも良いし、例えば保護膜がなくても良い。また、ここでは異なる記録層でも同じ膜構成である例を示したが、記録層ごとに膜構成が異なっていても良いし、各膜の材料や膜厚が異なっていても良い。
【００２５】
今、第３の記録層を第ｎ層としたとき、この層には第１の周波数ｆ１を持つ信号が得られるマーク列201が記録されており、第ｎ＋２層にあたる第５の記録層には、第２の周波数ｆ２を持つ信号が得られるマーク列202が記録されている。マーク列など特定の周波数をもつ信号を発生するためのものを本実施例では層間クロストーク測定パターンと呼ぶ。本実施例では、これら第１の周波数ｆ１の信号と第２の周波数ｆ２の信号とを用いて、不要光スポットによる層間クロストークを定量化する。ここでは、第３の記録層を再生した際に第５の記録層に生じる不要光スポットによる層間クロストークを測定する例を示すが、他の記録層でも同様に測定できる。当該記録層の再生信号と層間クロストークの周波数特性とを図５に示した。第３の記録層（第ｎ層）を再生した際、図５（ａ）に示されるように、当該記録層の再生信号と層間クロストーク信号の両信号は周波数が異なるため、分離することが可能である。
【００２６】
こうして得られた当該記録層の再生信号波形の信号振幅（ｂ）と層間クロストーク信号振幅の最大値（ｃ）とを検出し、これらの比を演算する。ここで層間クロストーク信号について、その最大値を検出する理由は主に次の２点である。まず一つ目は、実際の多層光記録媒体のトラック位置が、図６に示されるように各記録層では少しずつ中心がずれている。ｎ層の記録層のトラックは、基板外周601とほぼ等距離離れているが、例えばｎ＋２番目の記録層の中心605は、ｎ番目の記録層の中心604に対して図中右上にずれており、このためｎ番目の記録層のトラック602とｎ＋２番目の記録層のトラック603は、完全に重なるわけではない。このため、図７に示すように、トラックは少し傾いて重なるような位置関係になる。つまり、ｎ番目の記録層を再生している場合、光スポットはｎ番目の記録層のトラック703に沿って移動するため、ｎ＋２番目の記録層のトラック701は斜めに横切ることになる。すなわち、スポットと信号を発生するマーク列702とが重なっている場合は、クロストーク信号強度が強くなるが、ずれている場合は、クロストーク信号強度が弱くなるといった、信号レベルにバラツキが生じるためである。
【００２７】
さらに、実際の多層光記録媒体では、層間の厚さは均一ではなく図８に示すように、ミクロ的には膜厚ムラが生じている。平均的な層間の部分803、層間が平均値より大きい部分802、層間が平均値より小さい部分801が生じる。層間が第３の記録層と第４の記録層との層間112と、第４の記録層と第５の記録層との層間113との膜厚の厚さムラは、製造方式にもよるが、かなり均一に作成しても±約１μｍである。ミクロ的な層間の膜厚は、平均値±約１μｍの値をとる。光の干渉条件により、再生光の波長が約４００ｎｍ、層間に用いた材料の屈折率が約１．５〜２．０の場合、厚さ約０．１μｍの範囲で干渉が大きくなる条件が発生する。屈折率１．５５の場合は０．１３μｍである。つまり、厚さムラの範囲内のいずれかの場所で、隣り合う記録層間の間隔が等しくなる条件、不要光スポットによる層間クロストークが最大になる条件が現れることを示している。逆にそれ以外の条件では、不要光スポットによる層間クロストークは最大値より低くなる。ここでは、層間112と113とが同じ材料、すなわち同じ屈折率を持つ材料のため、層間の厚さとして考えているが、光の干渉条件が層間クロストークを決めるため、それぞれ層間材料の屈折率が異なる場合は、屈折率を考慮した光路長が等しい場合に層間クロストークが最大になる。
【００２８】
次のようにして、記録層が６層ある光記録媒体の不要光スポットによる層間クロストークを測定した。ここでは、レーザ波長４０５ｎｍ、レンズのＮＡ０．８５の光学系を持つ記録再生装置を用い、線速度５ｍ／ｓで再生を行ったとき、各記録層への層間クロストーク測定用信号の周波数は、第１の記録層が１．５ＭＨｚ、第２の記録層が１．３ＭＨｚ、第３の記録層が１．１ＭＨｚ、第４の記録層が０．９ＭＨｚ、第５の記録層が０．７ＭＨｚ、第６の記録層が０．５ＭＨｚであった。つまり、第１の記録層を再生する場合の、第３の記録層による層間クロストーク測定を行う場合、ｆ１は１．１ＭＨｚ、ｆ２は０．７ＭＨｚ、となる。これらの周波数は、カットオフ周波数より低い周波数、すなわち光スポットで信号を再生できる周波数であれば、レーザ波長、レンズのＮＡが上記と異なる場合に、線速度が異なっていても、同様に層間クロストークの測定が可能である。本実施例では、第１の記録層から第６の記録層まで、すべての記録層にある層間クロストーク信号の周波数を変えてあるが、ｎ層とｎ＋２層の周波数が異なっていれば、同じ周波数を持つ組合せが生じてもかまわない。各周波数は、ウインドウ幅の逆数以上異なっていることが好ましい。またデータ用信号の周波数と同じでも層間クロストークの測定は可能だが、データ用信号の周波数と異なっている方が、データ領域の近くに層間クロストーク測定領域を設けても正確に層間クロストークを測定することができ、フォーマットの効率化を図れるため、好ましい。
【００２９】
層間クロストークの測定結果を表１に纏めた。再生層は再生中の記録層、ＣＴ層はクロストークを生じている記録層のことを指す。再生層のＣレベルは、再生中の記録層に記録された層間クロストークの測定用信号の信号レベルＣ１を、ＣＴ層のＣレベルは、クロストークを生じている記録層に記録された層間クロストーク測定用信号の信号レベルの最大値Ｃ２を指す。層間クロストークの信号レベル差ΔＣは、両者の差（Ｃ２−Ｃ１）から求めることができる。信号振幅から求める場合は、再生中の記録層に記録された層間クロストーク測定用信号の振幅Ｍ１と、クロストークを生じている記録層に記録された層間クロストーク測定用信号における振幅の最大値Ｍ２の比（Ｍ２／Ｍ１）として求める。
表１
再生層        ＣＴ層       再生層のＣレベル  ＣＴ層のＣレベル    層間クロストーク
第１の記録層  第３の記録層     −２０ｄＢｍ   −４５ｄＢｍ        −２５ｄＢ
第１の記録層  第５の記録層     −２０ｄＢｍ   −５０ｄＢｍ        −３０ｄＢ
第２の記録層  第４の記録層     −２０ｄＢｍ   −４４ｄＢｍ        −２４ｄＢ
第２の記録層  第６の記録層     −２０ｄＢｍ   −４９ｄＢｍ        −２９ｄＢ
第３の記録層  第５の記録層     −２０ｄＢｍ   −４８ｄＢｍ        −２８ｄＢ
第４の記録層  第６の記録層     −１９ｄＢｍ   −４９ｄＢｍ        −３０ｄＢ
以上より、各記録層における不要光スポットによる層間クロストークを測定することができた。また、第１の記録層や第２の記録層のように、２種類以上の不要光スポットが存在する場合は、どの層からの影響が大きいかについても定量化できることがわかる。
【００３０】
図９に、測定範囲と層間クロストーク測定誤差の測定結果を示した。測定領域が狭いと、測定範囲内に層間クロストークが最大になる領域が入らない場合があって、測定誤差が大きくなる。実用的なレベルに測定誤差が小さくなるのは、測定範囲を０．５ｍｍ以上にした場合であった。これは、例えば線速度５ｍ／ｓで再生を行っている場合、測定範囲を０．１ｍｓ以上のレンジにする必要があることを示している。このように、測定範囲を０．５ｍｍ（５００μｍ）以上にした場合、測定誤差を小さくできる。
より良好な３％以下の測定誤差を得るには、測定範囲を０．７ｍｍ以上にすることが好ましい。本実施例では、周方向に連続した測定範囲を設けている。周方向に連続した測定範囲を設けた場合は、測定時間を短時間にする効果がある。しかし、これ以外に周方向に角度を持った測定範囲であってもよい。つまり、複数トラックにわたった連続した領域を測定してもよい。
【００３１】
図１０に、層間クロストーク比と再生特性の標準的な測定指標である再生ジッタとの関係を示した。層間クロストーク比は、層間クロストーク信号振幅最大値を当該層の再生信号振幅で割った値と定義した。これより、層間クロストークが大きくなるほど再生ジッタが悪くなり、信号品質が劣化することがわかる。再生限界は再生ジッタが１０％のレベルであるため、良好な記録再生特性を得るには、層間クロストーク比が０．０３以下にする必要がある。さらに良好な記録特性であるジッタ７％を得るには、層間クロストーク比が０．０２以下であることがより好ましい。
【００３２】
信号振幅の変わりに、各周波数におけるキャリアレベルで測定しても同様である。この場合、層間クロストークはキャリアの差で示され、層間クロストーク信号キャリアレベルの最大値から当該層の再生信号のキャリアレベルを引いた値に定義される。層間クロストーク比０．０３に相当する値は、−３０ｄＢである。
【００３３】
層間クロストーク信号を良好な媒体かどうかの検査に用いる場合は、使用予定の記録層全てにおいて良好なクロストークの値を示している必要がある。例えば、表１に示したクロストーク値を持つ媒体は、第１の記録層に対する第５の記録層からのクロストーク、第４の記録層に対する第６の記録層からのクロストークは良好な記録再生特性を得られるレベルだが、その他の組合せではクロストークが大きすぎるため、媒体としては、良好な媒体と判断できない。ただし各層へのアクセスができる場合は、全ての層ではなく、良好な状態の層のみを使用すること、この例では第４の記録層のみ使用すること、は可能である。
【００３４】
また、本実施例では記録型多層媒体のため、層間クロストーク測定の前に、層間クロストーク測定用の記録領域を設けることが必要となる。つまり、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数（ｆ１）で信号を記録する工程と、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数と異なる前記第２の周波数（ｆ２）で信号を記録する工程と、を前記信号再生の工程の前にさらに有する。記録マーク列の形成は、記録膜の相変化や穴あけ、反応などレーザ照射による熱や光で変化をさせ行う。
【００３５】
これにより、不要光スポットによる層間クロストークの定量的評価を記録型多層光記録媒体に適用することが可能となる。
【００３６】
なお、本実施例に記載していない装置の構成、再生方法等は実施例２〜５と同様にした。
（実施例２）
実施例２では、本発明の一つの実施例としての不要光スポットによる層間クロストークを測定する方法を説明する。図１１に測定のフローを示した。記録型の多層光記録媒体を測定装置にセットし、最初に光の入射側からｎ番目の層にフォーカスし、第１の周波数で記録を行う（ステップ１１０１、図中ではステップはＳと略する）。次にｎ＋２番目の層にフォーカスし、第１の周波数と異なる第２の周波数で記録を行う（ステップ１１０２）。さらに、ｎ番目の層を再生し（ステップ１１０３）、前記再生信号から、第１の周波数の信号と第２の周波数の信号とを分離する（ステップ１１０４）。最後に、第１の周波数の信号振幅と第２の周波数における信号振幅の最大値を判別し（ステップ１１０５）、両信号振幅比を演算し（ステップ１１０６）層間クロストーク比が得られる。ここで、ステップ１１０１とステップ１１０２の順序は逆でも良い。また、ＲＯＭ型の多層光記録媒体の場合は、予め、第１の周波数、第２の周波数が媒体に形成されておいる。
【００３７】
測定には、図１２の記録媒体１の内周部に層間クロストーク測定信号記録領域1205を設けておく。これら記録領域内または近傍に、層間クロストーク測定用の記録信号の記録条件が記録されていることが好ましい。これにより、間違いなく層間クロストーク測定ができるようになる。記録条件とは、記録周波数、記録トラック本数、トラックレイアウト、記録パワー等、層間クロストーク測定用パターンを形成するための条件である。本実施例では、記録領域より内周側のリードインエリアにこれらの条件が記載されており、この条件を読み出した後、記録を行った。ここでは、第１の周波数で記録した領域1203と第２の周波数で記録した領域1204とが平面上で重なっている必要がある。ここでは内周部に形成したが、外周部でもよいし、データ領域の中に形成しても良い。第１の周波数記録エリア1203と第２の周波数記録エリア1204は、ミクロ的にみると偏芯が生じ、完全に重なることが少ない。一部に第1の周波数エリアに第２の周波数エリアが重っていない領域1206が出来る。
【００３８】
また、これら記録エリアは、必ずしも基板外周1201やクランプエリア1202から等距離に形成されている必要はない。両エリアが重なる場所があり、同時に第１の周波数と第２の周波数が再生できることが必要である。リードイン部の近くに形成されていると、測定がすばやく行え、より好ましい。このように層によって異なる信号を記録しておくことで、信号周波数の違いからどの層の影響による信号であるかを容易に分離することができる。周波数の分離には、バンドパスフィルターやスペクトラムアナライザなどの周波数分離手段を用いるか、または、図１３に示したような専用の測定回路を用いると、より効率的である。
【００３９】
図１３は、再生信号演算手段313から得られた再生信号から層間クロストーク比の測定結果1306を得る部分の専用回路である。ここでは、この回路を、図３の装置の信号処理部302に組込んだ例を示す。得られた再生信号とウォブルなどのクロック信号を検出するクロック検出手段322bから得られたクロックとが周波数分離回路1301に送られ、周波数分離により、層間クロストーク成分と当該層の信号成分とに分けられる。層間クロストーク成分は信号レベル検出回路1302にてレベル検出され、最大信号レベル検出回路1303にて、ある一定時間における信号の最大値を検出し、演算回路1305にデータが送られる。当該層の信号成分は、信号レベル検出回路1304にてレベル検出され、信号レベル演算回路1305にデータが送られる。この２つの信号レベルを用いて演算を行い、層間クロストーク量の測定結果1306を得ることができる。これら層間クロストーク比を求める演算処理等を行う回路は、信号処理部302の回路ではなく、演算処理手段313に拡張して組み込んでもよい。
【００４０】
実施例１として記載した本発明の一つ目の実施例及び本実施例では、単一周波数の信号を記録する半径領域を設けたが、第ｎ層への記録信号はＤＣ信号でも良い。このようなマーク列以外にも特定の周波数をもつ信号を発生するためのものも本実施例では層間クロストーク測定パターンと呼ぶ。図１４に、ＤＣ信号を記録した例を示した。このように、第ｎ層を再生している場合、第ｎ＋２層のトラックは記録トラックと未記録トラックを斜めに交互に横切ることになるため、ＤＣ信号からも周波数特性が得られることになる。これを用いて、層間クロストーク比を求めてもよい。
【００４１】
このように本発明により、多数の記録層を有する多層光記録媒体において、不要光スポットによる層間クロストークを簡便かつ定量的に測定できることがわかる。
【００４２】
なお、本実施例に記載していない媒体構成、装置の構成、再生方法等は実施例１、３〜５と同様にした。
（実施例３）
図１５を用いて、本発明の第１の実施例と同様にして、５層以上の記録層を持つ記録媒体における不要光スポットによる層間クロストークにすいて説明する。記録再生の目的層を第ｎ層としたとき、図に示したように光スポット107が第ｎ層上に形成されるように収束光からなる入射光108を照射する。この時、目的層の２つ手前の第ｎ＋２層で反射した光は不要光402となり、第ｎ＋４層の裏面に到達し、第ｎ＋４層の裏面で反射した不要光402が再び、第ｎ＋２層で反射されて第ｎ＋４層の反射光とほぼ同一経路をたどって光ピック側に戻り大きな層間クロストークを生じさせることになる。このように、不要光は、２層分光入射側にある層だけでなく、偶数層分光入射側にある層に形成される。
【００４３】
従って、５層以上の媒体では、第ｎ層には、第ｎ＋２層の不要光と第ｎ＋４層の不要光による層間クロストークが生じる。このため、５層以上の媒体では、層間クロストーク測定信号の周波数は、第ｎ＋４層、第ｎ＋２層、第ｎ層への記録周波数を変える必要がある。さらに層数が増えても同様である。
【００４４】
なお、本実施例に記載していない媒体構成、装置の構成、再生方法等は実施例１〜２、４〜５と同様にした。
（実施例４）
次に、各種光ディスクを、図３に示した記録再生装置により再生測定する例を示す。ヘッド303の一部であるレーザ光源334（本実施例では波長約４０５ｎｍ）から出射された光はコリメータレンズ331を通してほぼ平行な光ビームへとコリメートされる。再生時のレーザ強度などの情報は、記録再生装置のメモリ329にも記録されており、制御回路（マイクロプロセッサ）327から得られた、レーザ強度やタイミングなどの情報を元に、レーザ光がレーザドライバ328により制御される。レーザドライバコリメートされた光ビームはビームスプリッタ336を透過し収差補正素子337及び対物レンズ330を通して光ディスク301上に収束光108として照射され、スポット107を形成する。ディスクからの反射光は、ビームスプリッタ336やホログラム素子339などを通して、検出レンズ332及び333によりサーボ用検出器351及び信号検出器352へと導かれる。各検出器からの信号は加算・減算処理されトラッキング誤差信号やフォーカス誤差信号などのサーボ信号となりサーボ回路379に入力される。サーボ回路は得られたトラッキング誤差信号やフォーカス誤差信号をもとに、対物レンズアクチュエータ378や光ヘッド303全体の位置を制御し、光スポット107の位置を目的の記録・再生領域に位置づける。検出器352の加算信号は信号処理部302へ入力される。入力信号は信号処理回路325によってフィルタ処理、周波数等化処理後、デジタル化処理される。ディスク上にグルーブ（溝部）のウォブルなどの形で形成されているアドレス情報は分割検出器352からの差動信号として検出され、信号処理部302中のウォブル検出回路322へと入力される。ウォブル検出回路322は、ウォブル信号と同期したクロックを生成し、ウォブル波形を弁別する働きを持つ。ウォブル検出回路322により検出されたウォブル信号はアドレス検出回路323によってデジタル情報に変換され、その後、復号回路326によってエラー訂正などの処理を行ってアドレス情報として検出される。検出されたアドレス情報をもとに、記録再生処理の開始タイミング信号などが生成されユーザデータの復調回路324が制御される。同時にアドレス情報は制御回路（マイクロプロセッサ）327にも送られ、アクセスなどに用いられる。本図内のこの他の機構は、演算処理手段313、ホログラム素子339、回転制御及び自動位置制御手段376、モータ377、上位装置（ホスト）399である。
【００４５】
以上、実施例では、測定用信号が記録されているタイプの記録型媒体について主に示したが、ピット等で記録マークが形成されているＲＯＭ型や、測定信号を追記するタイプの記録型、書き換え型媒体についても、またこれらの測定方法についても同様である。例えば、信号を記録して再生することを示している部分において、多層光記録媒体がＲＯＭ型であれば、あらかじめ信号が記録されているので、信号を記録する工程は不要である。
【００４６】
なお、本実施例は、ジッタ測定について記載したが、図３に示す記録または／及び再生装置を用いて、本願発明の媒体に情報を記録または再生する方法も、本願発明の一実施例である。
【００４７】
なお、本実施例に記載していない媒体構成、装置の構成、再生方法等は実施例１〜３、５と同様にした。
（実施例５）
実施例５では、多層光記録媒体がＲＯＭ型の場合について述べる。
本実施例ではＲＯＭ型多層媒体のため、予め媒体作製時に、層間クロストーク測定用の記録領域を設けることが必要となる。つまり、前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数（ｆ１）で信号を記録する工程と、
前記多層光記録媒体に光を照射する際の光の入射側とは反対側からｎ＋２番目の記録層の記録領域に、前記第１の周波数と異なる前記第２の周波数（ｆ２）で信号を記録する工程と、
を前記信号を再生する工程の前にさらに有する。ここでの記録信号は、インジェクションなどの大量生産に適した方法で凹凸ピット等で形成されていると廉価で好ましいが、記録膜材料を相変化や反応、穴あけなど、消去できない不可逆な変化を生じさせて形成しいてもよい。
【００４８】
これにより、不要光スポットによる層間クロストークの定量的評価をＲＯＭ型多層光記録媒体に適用することが可能となる。
【００４９】
なお、本実施例に記載していない媒体の層構成、装置の構成、再生方法等は実施例１〜４と同様にした。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】従来の多層記録媒体の断面構造と各層に独立して記録再生を行う原理図。
【図２】本発明の多層記録媒体の構造と各層に信号が記録された状態を示した図。
【図３】多層記録再生装置の例を示す図。
【図４】従来の多層記録媒体の問題点を説明する図。
【図５】本発明の光情報記録媒体上に記録された層間クロストーク測定用信号の１実施例、(a)周波数特性（ｂ）当該層の再生信号（ｃ）層間クロストーク信号を示す図。
【図６】多層光記録媒体の各層におけるトラックの関係を示す図。
【図７】本発明の光情報記録媒体上に記録された層間クロストーク測定用信号と再生トラックの位置関係を示す図。
【図８】多層光記録媒体の各層間の膜厚ムラを示す図。
【図９】測定範囲と層間クロストーク測定値のばらつきの関係を示す図。
【図１０】層間クロストーク比と再生ジッタの関係を示す図。
【図１１】不要光スポットによる層間クロストークを測定のフローを示す図。
【図１２】本発明の記録媒体における層間クロストーク測定信号記録領域を示した例を示す図。
【図１３】不要光スポットによる層間クロストーク測定用回路を示す図。
【図１４】本発明の記録媒体における層間クロストーク測定パターンにＤＣ信号を用いた例を示す図。
【図１５】５層以上の多層記録媒体の問題点を説明する図。
【符号の説明】
【００５１】
101、102、103、104、105、106：記録層、107：光スポット、108：収束光、109：カバー層、110、111、112、113、114：層間隔、115：反射膜、116：保護膜、117：記録膜、118：保護膜、119：基板、201、202：マーク列、301：光ディスク、302：信号処理部、303：光ヘッド、313：演算処理手段、322：ウォブル検出回路、322b：クロック検出回路、323：アドレス検出回路、324：復調回路、325：信号処理回路、326：復号回路、327：制御回路（マイクロプロセッサ）、328：レーザドライバ、329：メモリ、330：対物レンズ、331：コリメータレンズ、332、333：検出レンズ、334：レーザ光源、336：ビームスプリッタ、337：収差補正素子、339：ホログラム素子、351：サーボ用検出器、352：信号検出器、376：回転制御及び自動位置制御手段、377：モータ、378：対物レンズアクチュエータ、379：サーボ回路信号、399：ホスト、601：基板外周、602：ｎ番目の記録層のトラック中心、603：ｎ＋２番目の記録層のトラック中心、604：ｎ番目の記録層のトラック中心、605：ｎ＋２番目の記録層のトラック中心、701：ｎ＋２番目の記録層のトラック、702：ｎ＋２番目の記録層のトラック上の信号を発生するマーク列、703：ｎ番目の記録層のトラック、
801：層間が平均値より小さい部分、802：層間が平均値より大きい部分、803：平均的な層間の部分、
1201：基板外周、1202：クランプエリア、1203：第１の周波数で記録した領域、1204：第２の周波数で記録した領域、1205：層間クロストーク測定信号記録領域、1206：第1の周波数エリアに第２の周波数エリアが重っていない領域、1301：周波数分離回路、1302：信号レベル検出回路、1303：最大信号レベル検出回路、1304：信号レベル検出回路、1305：信号レベル演算回路、1306：測定結果。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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