(57)【要約】【課題】フィルム状の弁体を用いながらも耐久性や作業性を向上させる。【解決手段】環状の枠体８１の片面にフィルム状の弁体８２を張設して弁ユニット８０を構成する。流入路６３を有する上流側バルブプレート６０の下流側の底面６２ａに、流入路６３を弁体８２で塞ぐ状態にして弁ユニット８０を配置し、上流側バルブプレート６０と下流側バルブプレート７０とにより弁ユニット８０を挟んで支持する。上流側バルブプレート６０の底面６２ａの流入路６３の周囲を、弁体８２が密着する弁座面６２ｂとし、弁座面６２ｂの周囲に、枠体８１をくぐって枠体８１の外部に連通する連通溝６４を形成する。流入路６３から空気が流入すると、弁体８２が下流側バルブプレート７０方向に膨出するように撓んで開状態となる。空気は連通溝６４を通って枠体８１の外側の外側空間５２に出て、さらに排出口７１から下流側に流出する。【選択図】図２
2009156454.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が一方向に通過する流入路が穿設されているベース部材と、
このベース部材の一面側である弁配設面に配設され、前記流入路を流体の圧力に応じて開閉するように作動する弁ユニットとを具備する逆止弁であって、
前記弁配設面の前記流入路の開口周囲には、弁座面が形成され、
前記弁ユニットは、前記弁座面に密着したり、弁座面から離間したりすることが可能なフィルム状の弁体と、この弁体が張設される枠体とを備えており、
さらに、前記弁配設面には、前記弁座面から前記枠体を横断して該枠体の外部側に連通する連通溝が形成されており、
前記弁体が前記弁座面に密着したときには、該弁体によって前記流入路が閉塞され、
前記弁体が前記弁座面から離間したときには、前記連通溝を介して前記流入路と前記枠体の外部側とが連通することを特徴とする逆止弁。
【請求項２】
前記弁配設面には前記連通溝が複数形成されており、これら複数の連通溝が、前記流入路を中心として放射状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の逆止弁。
【請求項３】
前記弁配設面に、前記枠体を所定位置に位置決めするガイド手段が配設されることを特徴とする請求項１または２に記載の逆止弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気や液体等の流体を流通させる流路に設けられ、流体の一方向のみに流通させて逆方向への流通は阻止する逆止弁に関する。本発明の逆止弁は、薄板状のダイヤフラムを撓み振動させて流体を圧送するマイクロポンプ等のポンプに組み込まれて好適な逆止弁である。
【背景技術】
【０００２】
比較的少量の流体を高い精度で定量的に圧送するマイクロポンプが提供されている。この種のポンプとしては、ダイヤフラムポンプが知られている（特許文献１等）。ダイヤフラムポンプは、ポンプ室を形成する壁部の一部がダイヤフラムと呼ばれる可撓性を有する薄板状の振動体で構成され、このダイヤフラムを圧電素子等の駆動手段で撓み振動させることにより、ポンプ室内に吸入した流体をポンプ室外に吐出するものである。
【０００３】
この種のダイヤフラムポンプは、上記ダイヤフラムとともにポンプ室を形成する筐体を備えており、この筐体には、ポンプ室内に流体を吸入する吸入路と、ポンプ室外に流体を排出する排出路とが形成されている。そしてこれら流路には、逆止弁がそれぞれ設けられている。逆止弁としては、上記特許文献１に示されるような、弾性を有するフィルム状の弁体が広く適用されている。
【０００４】
フィルム状の弁体は、所望方向に流れる流体の流動圧を受けて変形することにより流路が開き、流体が逆流する圧力を受けると流路を塞ぐように自然的に動作するもので、種々の態様が提供されている。図７（ａ）〜（ｃ）は、いずれも筐体１００に形成された流路の開口１０１を開閉するフィルム状の弁体の態様を示している。（ａ）は、短冊状のフィルム１１０の一端を筐体１００に固定した片持ち梁構造であって、図中、開口１０１の下方から流体が流れ出てくると開口１０１を塞ぐフィルム１１０の他端が揺動して開口１０１が開き、一方、上方から開口１０１に向けて流体が逆流しようとすると、その流動圧を受けるフィルム１１０が開口１０１の周囲に密着して開口１０１が塞がれ、流体の流れが阻止されるようになっている。
【０００５】
図７（ｂ）は、開口１０１を覆って配設した図７（ａ）のフィルム１１０の両端を筐体１００に固定した両持ち梁構造を示しており、フィルム１１０は開口１０１の下方から流体が流れ出てくると撓んで開口１０１が開くようになっている。また、図７（ｃ）のフィルム１２０は四隅が筐体１００に固定され、フィルム１２０は開口１０１の下方から流体が流れてくると撓んで開口１０１が開くようになっている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１０６４６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
フィルム状の弁体は、薄く軽量であることから、流体の流れに応じた開閉作用が瞬時になされるとともに、確実に開閉が行われるといった利点を有する。ところが図７に示したように、フィルム状の弁体は流体の流動圧を受けて繰り返し撓むことにより、流体が回り込んで接触する縁の部分の耐久性に問題があった。特に、図７（ｂ），（ｃ）に示したものの場合には、両端や四隅が固定されているので、固定されていない縁の部分が引っ張り応力を受け、裂けやすい。また、一般にフィルム状の弁体は取り扱いにくく、しかも折れや皺ができやすいため、組み付け時の作業性に難点があった。
【０００８】
よって本発明は、フィルム状の弁体を用いながらも耐久性や作業性の向上が図られる逆止弁を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、流体が一方向に通過する流入路が穿設されているベース部材と、このベース部材の一面側である弁配設面に配設され、流入路を流体の圧力に応じて開閉するように作動する弁ユニットとを具備する逆止弁であって、弁配設面の流入路の開口周囲には、弁座面が形成され、弁ユニットは、弁座面に密着したり、弁座面から離間したりすることが可能なフィルム状の弁体と、この弁体が張設される枠体とを備えており、さらに、弁配設面には、弁座面から枠体を横断して該枠体の外部側に連通する連通溝が形成されており、弁体が弁座面に密着したときには、該弁体によって流入路が閉塞され、弁体が弁座面から離間したときには、連通溝を介して流入路と枠体の外部側とが連通することを特徴としている。
【００１０】
本発明の逆止弁は、流体の流路中に、ベース部材が、弁ユニットを流入路の下流側に配した状態で、該流路を塞ぐようにして配設される。通常、弁ユニットのフィルム状の弁体は弁座面に密着し、流入路を塞いで閉状態となっている。ここで、ベース部材の上流側の流路から流入路に流体が流入すると、弁体が下流側に膨出するように撓み、弁体は弁座面から離間して開状態となる。この開状態になると、弁座面から弁体が離間している空間を介して流入路と連通溝が連通し、すなわち、流入路と枠体の外部側とが連通溝を介して連通する。したがって流入路に流入した流体は、弁座面から弁体が離間している空間を通って連通溝に入り、連通溝を通って枠体の外部側に至り、ベース部材の下流側の空間に流れ出る。また、ベース部材の下流側の流体が逆流しようとすると、その流体が弁体を上流側に押し、その結果、弁体は弁座面に密着して流入路が塞がれ、閉状態になる。
【００１１】
本発明の逆止弁によれば、流入路を開閉するように撓む弁体は、枠体に張設されており、この枠体によって補強がなされている。そして弁体が撓んで変形する際、縁の部分が流体によって引っ張り応力を受けることがない。また、弁体は全域にわたって均等に撓む。このため、縁の部分が裂けるといった損傷は発生せず、弁体がフィルム状であるにもかかわらず、耐久性の向上が図られる。また、弁体の縁の部分がばたつくことがないので、開閉動作が円滑、かつ確実に行われる。さらに、フィルム状の弁体が枠体に張設されて弁ユニットとして構成されるので、弁体に折れや皺はできにくく、枠体は剛性を有するものを用いることができる。これらの結果、組み付け時の作業性の向上が図られる。
【００１２】
本発明では、上記連通溝が弁配設面に複数形成されており、これら複数の連通溝が流入路を中心として放射状に形成されている形態を含む。また、本発明では、弁配設面に弁ユニットを所定の位置に適確に配設する観点から、その弁配設面に枠体を所定位置に位置決めするガイド手段が配設されることを好ましい形態とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の逆止弁によれば、フィルム状の弁体を枠体に張設して弁ユニットを構成したので、弁体がフィルム状でありながらも、耐久性や作業性の向上が図られるといった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係る逆止弁がダイヤフラムポンプに適用された例を説明する。
［１］ダイヤフラムポンプの構成
図１は一実施形態に係る空気圧送用のダイヤフラムポンプ１の断面図である。このポンプ１は、円盤状のダイヤフラム１０と、ダイヤフラム１０の周縁部を挟んで該ダイヤフラム１０を振動可能に支持する円盤状のハウジング２０および環状のカバー３０と、ダイヤフラム１０を駆動して撓み振動させる圧電素子４０とを備えている。
【００１５】
ハウジング２０は、外形が円形状の底板部２１を有している。この底板部２１の図中上面の周縁には、環状の外周壁部２２が形成されており、この外周壁部２２の内側の凹所がポンプ室凹所２３となっている。ポンプ室凹所２３はダイヤフラム１０で覆われ、ポンプ室２として構成される。
【００１６】
底板部２１には、下方に突出する一対の接続管部２４Ａ，２４Ｂが形成されている。２つの接続管部２４Ａ，２４Ｂは、一方（図１で左側）が吸入側、他方（図１で右側）が吐出側であり、吸入側接続管部２４Ａには吸入流路２５ａが形成され、吐出側接続管部２４Ｂには吐出流路２５ｂが形成されている。そして、吸入流路２５ａの先端開口が吸入口２６ａ、吐出流路２５ｂの先端開口が吐出口２６ｂとなっている。吸入側接続管部２４Ａには空気導入用のチューブが接続され、吐出側接続管部２４Ｂには空気導出用のチューブが接続される（いずれも図示略）。
【００１７】
底板部２１の上面の、吸入側接続管部２４Ａに対応する箇所には、円形状の吸入側弁収容凹所２７ａが形成されており、吸入流路２５ａは、吸入側弁収容凹所２７ａに開口している。そしてこの開口を塞ぐようにして、吸入側弁収容凹所２７ａの底面に、円盤状の吸入側逆止弁５０Ａが固定されている。
【００１８】
一方、底板部２１の上面の、吐出側接続管部２４Ｂに対応する箇所には、吐出側弁収容凹所２７ｂが形成されている。この吐出側弁収容凹所２７ｂは、吸入側弁収容凹所２７ａと同様の寸法／形状であるが、吸入側弁収容凹所２７ａよりも深いところ（下方寄り）に形成されている。底板部２１の上面の、吐出側弁収容凹所２７ｂの周囲には、円形状の段差凹所２８が形成されている。この段差凹所２８には、円盤状の蓋板２９が嵌合され、固着されている。蓋板２９の中心には、ポンプ室凹所２３と吐出側弁収容凹所２７ｂとを連通する吐出孔２９ａが形成されている。蓋板２９の上面は、底板部２１の上面と同一平面になっている。そして、蓋板２９の下面に、吐出孔２９ａを塞ぐようにして、円盤状の吐出側逆止弁５０Ｂが、吐出側弁収容凹所２７ｂに収容された状態で固定されている。
【００１９】
吸入側逆止弁５０Ａは、吸入流路２５ａからポンプ室２内への空気の流入は許容するが、その逆流は阻止し、一方、吐出側逆止弁５０Ｂは、ポンプ室２から吐出流路２５ｂへの空気の流入は許容するが、その逆流は阻止するように作用する。吸入側および吐出側の各逆止弁５０Ａ，５０Ｂは構成が同一である。これら本発明に係る逆止弁５０Ａ，５０Ｂの構成および動作については、後で詳述する。
【００２０】
カバー３０は、外径がハウジング２０の外径と同等で、内径がポンプ室凹所２３の内径よりも同等かやや大きい寸法であり、ハウジング２０の外周壁部２２の上面に接合されている。外周壁部２２への接合面であるカバー３０の下面の内周側には、内周面に開放する環状の溝３１が形成されている。この溝３１は、ダイヤフラム１０の厚さ寸法とほぼ同等の深さを有している。そしてこの溝３１に、ダイヤフラム１０の周縁部が嵌め込まれている。カバー３０は、ハウジング２０の外周壁部２２の上面に同心状に合わせられ、ハウジング２０との間にダイヤフラム１０を挟み込んだ状態で、ハウジング２０に接合されている。ハウジング２０へのカバー３０の接合は、接着剤による接着や、カバー３０とハウジング２０とに貫通させたボルトによる締結などによってなされている。
【００２１】
ダイヤフラム１０は、弾性を有する金属薄板等を材料として円盤状に形成されたものである。ダイヤフラム１０の片面（上面）には、カバー３０の内径よりも径が小さい円盤状の圧電素子４０が同心状に配され、かつ、接着等の手段によって固着されている。圧電素子４０が固着されたダイヤフラム１０は、上記のようにカバー３０の溝３１に嵌合されてカバー３０とハウジング２０に挟み込まれて支持されている。ダイヤフラム１０は、ポンプ室凹所２３を覆ってハウジング２０に気密的に固定されており、ポンプ室凹所２３が、ハウジング２０とダイヤフラム１０とによって囲まれたポンプ室２となっている。
【００２２】
［２］ダイヤフラムポンプの動作
以上が本実施形態に係るダイヤフラムポンプ１の構成であり、次に、このポンプ１の動作を説明する。
【００２３】
圧電素子４０には、交流信号等の駆動信号が付与される。圧電素子４０に駆動信号が付与されると、圧電素子４０は径方向に収縮振動し、その振動でダイヤフラム１０は圧電素子４０と一体的に上下方向に撓み振動する。
【００２４】
ダイヤフラム１０が上方（ハウジング２０とは反対方向）に撓むと、ポンプ室２の容積が増大してポンプ室２内が負圧になる。すると、この圧力を受けて吸入側逆止弁５０Ａが開く。吸入側逆止弁５０Ａが開くと、空気が吸入口２６ａから吸入流路２５ａに入り、開状態の吸入側逆止弁５０Ａを通過して吸入側弁収容凹所２７ａを経てポンプ室２内に吸入される。一方、吐出側逆止弁５０Ｂは、圧力を受けて閉状態が保持され、空気は吐出口２６ｂから吸入されない。
【００２５】
次に、ダイヤフラム１０が下方（ハウジング２０方向）に撓むと、ポンプ室２の容積が減少してポンプ室２内が正圧になる。すると、その圧力を受けて吐出側逆止弁５０Ｂが開く。吐出側逆止弁５０Ｂが開くと、空気は開状態の吐出側逆止弁５０Ｂを通過して吐出側弁収容凹所２７ｂ、吐出流路２５ｂを経て吐出口２６ｂから吐出される。一方、吸入側逆止弁５０Ａは、圧力を受けて閉状態が保持され、ポンプ室２内の空気は吸入口２６ａから吐出されない。
【００２６】
以上の吸入／吐出の動作が繰り返されることによってポンプ作用が連続的に生じ、吸入口２６ａよりポンプ室２内に吸入された空気が吐出口２３ｂから圧送される。
【００２７】
［３］逆止弁
次に、図２〜図５を参照して本発明に係る吸入側および吐出側の逆止弁５０Ａ，５０Ｂを説明する。上記のようにこれら逆止弁５０Ａ，５０Ｂは同一構成であり、したがって吸入側、吐出側と区別する必要がない場合には、符号を５０とする。図２は逆止弁５０の断面図、図３は図２のIII矢視図である。逆止弁５０は、図２に示すように、上流側バルブプレート６０と、下流側バルブプレート７０とを備えている。これらプレート６０，７０は外形が同一の円盤状であり、同心状に接合されている。上流側バルブプレート６０の図２において下面（下流側バルブプレート７０への対向面）の周縁には環状の肉厚部６１が形成されており、これによって肉厚部６１の内側には、円形状の浅い凹所６２が形成されている。上流側バルブプレート６０の中心には、流入路６３が貫通形成されている。
【００２８】
凹所６２の底面６２ａの中心には、円盤状を呈する弁ユニット８０が同心状に配設され、固定されている。この弁ユニット８０は、図４に示すように、環状の枠体８１と、この枠体８１の片側に張設されたフィルム状の弁体８２とから構成されている。枠体８１は比較的剛性を有するものであって、例えば厚さ１０μｍ程度の断面矩形状のステンレス製リングが好適に用いられる。弁体８２は、例えば厚さ２μｍ程度のＰＥＴフィルムを円形状にカットしたものが好適に用いられる。弁体８２の径は枠体８１の外径とほぼ同等であり、縁の部分全周が、枠体８１の片側の面に接着等の手段で気密的に接合されている。そしてこの弁ユニット８０は、弁体８２側が上流側バルブプレート６０の凹所６２の底面６２ａに合わせられ、弁体８２の、枠体８１への接合部に対応する縁の部分が、接着等の手段によって底面６２ａに固着されることにより、この底面６２ａに固定されている。
【００２９】
弁ユニット８０の厚さ（枠体８１＋弁体８２の厚さ）は凹所６２の深さと同等であり、弁ユニット８０は、上下のバルブプレート６０，７０に挟まれた状態で逆止弁５０内に収容されている。下流側バルブプレート７０が上流側バルブプレート６０に接合されることにより、弁ユニット８０の枠体８１の内側の空間が内側空間５１として区画され、また、凹所６２における枠体８１の外側部分が外側空間５２として区画されている。なお、弁ユニット８０は、凹所６２の底面６２ａに特に接着されず、上下のバルブプレート７０，８０により押圧され、挟み込まれた状態に支持されてもよい。
【００３０】
弁ユニット８０は凹所６２の底面６２ａの中心に同心状に配設され、これによって弁ユニット８０の弁体８２は、通常、図２（ａ）に示すように底面６２ａに密着している。これによって上流側バルブプレート６０の流入路６３は弁体８２によって閉塞される。底面６２ａの、弁体８２が密着する領域が弁座面６２ｂとされている。
【００３１】
流入路６３から空気が流入してくると、その流動圧を受けた弁体８２が、図２（ｂ）に示すように下流側バルブプレート７０側に膨出するように撓む。凹所６２の底面６２ａには、弁座面６２ｂから外側空間５２にわたる複数の直線状の連通溝６４が枠体８１を横断するようにして形成されている。この場合の連通溝６４は４つであって、流入路６３を中心として放射状に形成されている。
【００３２】
下流側バルブプレート７０には、外側空間５２を外部に連通させる複数の排出口７１と、内側空間５１を外部に連通させる複数の背圧口７２とが形成されている。図３に示すように、排出口７１および背圧口７２は、いずれも比較的小さな円形状の孔である。排出口７１は、下流側バルブプレート７０の周方向に等間隔をおいて配されている。また、背圧口７２は下流側バルブプレート７０の中心に１つが形成され、その周囲に等間隔をおいて複数が配されている。
【００３３】
以上が逆止弁５０の構成であり、この逆止弁５０は、流体の流路中を塞ぐようにして、流体の上流側に上流側バルブプレート６０を配し、かつ、下流側に下流側バルブプレート７０を配して設置される。図１に示したダイヤフラムポンプ１には、吸入側逆止弁５０Ａとして吸入側弁収容凹所２７ａに、また、吐出側逆止弁５０Ｂとして吐出側弁収容凹所２７ｂに、それぞれ収容される。
【００３４】
吸入側逆止弁５０Ａは、吸入側弁収容凹所２７ａの底面に、流入路６３が吸入流路２５ａに通じる状態にされて、上流側バルブプレート６０が固着される。また、吐出側逆止弁５０Ｂは、蓋板２９の下面に、流入路６３が吐出孔２９ａに通じる状態にされて、上流側バルブプレート６０が固着される。上記のように、ポンプ室２の容量が増大するようにダイヤフラム１０が撓んでポンプ室２に空気が吸入されるときには、吸入側逆止弁５０Ａは開状態となり、吐出側逆止弁５０Ｂは閉状態となる。そして、ポンプ室２の容量が減少するようにダイヤフラム１０が撓んでポンプ室２から空気が吐出されるときには、吐出側逆止弁５０Ｂは開状態となり、吸入側逆止弁５０Ａは閉状態となる。以下に、逆止弁５０の開閉動作について説明する。
【００３５】
通常、逆止弁５０は、図２（ａ）および図５（ａ）に示すように、弁体８２が弁座面６２ｂに密着した閉状態となっている。この状態から、空気が流入路６３から弁体８２に向かって入り込むと、逆止弁５０は開状態となる。空気が流入路６３から弁体８２に向かって入り込む状況は、吸入側逆止弁５０Ａにおいては吸入口２６ａから空気がポンプ室２に向かって流入しようとするときに起こり、吐出側逆止弁５０Ｂにおいてはポンプ室２内の空気が蓋板２９の吐出孔２９ａから吐出流路２５ｂに向かって流出しようとするときに起こる。
【００３６】
流入路６３に空気が流入すると、弁体８２が下流側バルブプレート７０に向かって膨出するように撓んで弁座面６２ｂから離間し、これをもって逆止弁５０は開状態となる。このとき、流入路６３から入り込んだ空気は、弁座面６２ｂと弁体８２との間にできる空間から連通溝６４に入って連通溝６４を外側方向に流れていき、枠体８１をくぐって外側空間５２に至る。図５（ｂ）はその状態を示し、図中破線矢印は空気の流れを示している。そして空気は、図２（ｂ）に示すように、外側空間５２から排出口７１を抜けて下流側の空間に排出される。下流側の空間は、吸入側逆止弁５０Ａにおいてはポンプ室２に面する吸入側弁収容凹所２７ａであり、吐出側逆止弁５０Ｂにおいては吐出流路２５ｂに通じる吐出側弁収容凹所２７ｂである。
【００３７】
次に、上記のように逆止弁５０が開状態になる空気の流れが反転して逆流しようとすると、逆止弁５０はその流れを阻止する閉状態となる。空気が逆流しようとする状況は、吸入側逆止弁５０Ａにおいてはポンプ室２から吸入側逆止弁５０Ａに向かって空気が流れるときに起こり、吐出側逆止弁５０Ｂにおいては吐出口２６ｂから空気がポンプ室２に向かって流入するときに起こる。
【００３８】
そのように空気が逆流しようとすると、その圧力を下流側バルブプレート７０が受け、空気は背圧口７２から内側空間５１に入り込む。すると、弁体８２はその空気に押され弁座面６２ｂに密着する。これによって流入路６３が塞がれ、閉状態になる。空気は排出口７１から外側空間５２を経て連通溝６４にも入るが、弁体８２が弁座面６２ｂに密着しているため、空気の流れは弁体８２で阻止され、連通溝６４までしか入り込まない。
【００３９】
以上よりなる本実施形態の逆止弁５０によれば、流入路６３を開閉するように撓む弁体８２は枠体８１に張設され、縁の部分が枠体８１に固着されている。したがって、弁体８２は枠体８１によって補強がなされている。そして弁体８２が撓んで変形する際、縁の部分が空気の流れを受けることによって引っ張り応力を受けることがない。また、弁体８２は全域にわたって均等に撓む。これらの結果、弁体８２の縁の部分が裂けるといった損傷は発生せず、弁体８２はフィルム状であるにもかかわらず高い耐久性を発揮する。
【００４０】
また、弁体８２の縁の部分がばたつくことがないので、開閉動作が円滑、かつ確実に行われる。本実施形態の弁体８２は、特にダイヤフラム１０が高い周波数で撓み振動し（例えば２０ｋＨｚ前後で共振する場合など）、それに追従するために弁体８２を薄く軽量としたり、高い耐久性が要求されたりする場合に好適である。さらに、フィルム状の弁体８２が枠体８１に張設されて弁ユニット８０として構成されるので、弁体８２に折れや皺はできにくくい。そのため、組み付け時の作業性の向上が図られるといった利点もある。
【００４１】
上記実施形態の逆止弁５０においては、弁ユニット８０を上流側バルブプレート６０の凹所６２の底面６２ａに対し適確に同心状に位置決めするために、ガイド手段が設けられていると好ましい。図６はそのような構成の例を示しており、（ａ）に示す弁ユニット８０の枠体８１には、一対のガイド片９１が一体に形成されている。これらガイド片９１は、枠体８１と同一厚さの長板状のもので、枠体８１の外周面の互いに１８０°離れた位置から径方向外方に延びている。ガイド片９１の先端部は円形状で、その中心にピン孔９２ａ，９２ｂが形成されている。一方のピン孔９２ａは円形状で、他方のピン孔９２ｂは径方向に延びる長孔である。この弁ユニット８０の場合には、底面６２ａに突設したピン６５ａ，６５ｂにガイド片９１のピン孔９２ａ，９２ｂをそれぞれ嵌合させることにより、底面６２ａに位置決めされる。
【００４２】
また、図６（ｂ）には、環状の板材からなるガイド部材９５が示されている。このガイド部材９５は、凹所６２内にぴったり嵌合する外径を有する環状部９６を有している。この環状部９６の内側には、径方向内方に延びる複数（この場合４つ）のガイド片９７が一体に形成されている。これらガイド片９７の先端は、枠体８１の外周面に当接するように凹状に湾曲形成されている。このガイド部材９５は、凹所６２内に嵌合され、底面６２ａに接着等の手段で固着される。そして弁ユニット８０は、ガイド片９７の内側に枠体８１を嵌合させることにより、底面６２ａに位置決めされる。
【００４３】
上記実施形態の逆止弁５０では、弁ユニット８０の枠体８１は円形の環状であるが、矩形状であってもよい。また、連通溝６４は直線状であって複数が放射状に配設されているが、平行に並んだ状態に配設されてもよい。
【００４４】
また、上記実施形態の逆止弁５０においては、下流側バルブプレート７０を省略した構成とすることもできる。さらに、上流側バルブプレート６０を、ハウジング２０や蓋板２９で代用させることもできる。すなわち、吸入側逆止弁５０Ａを構成する場合には、吸入側弁収容凹所２７ａの底面が上流側バルブプレート６０の底面６２ａに相当し、吸入側弁収容凹所２７ａの底面に、吸入流路２５ａの開口を覆って弁ユニット８０を直接固着させる。弁体８２ｂによって塞がれる吸入流路２５ａの開口の周囲が、弁座面６２ｂとなる。
【００４５】
一方、吐出側逆止弁５０Ｂを構成する場合には、蓋板２９の下面が上流側バルブプレート６０の底面６２ａに相当し、蓋板２９の下面に、吐出孔２９ａを覆って弁ユニット８０を直接固着させる。弁体８２によって塞がれる吐出孔２９ａの開口の周囲が、弁座面６２ｂとなる。いずれの場合も、弁ユニット８０が固着される面には、弁座面から枠体８１の外部側に、連通溝６４に相当する連通溝が形成される。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態に係る逆止弁が装着されたダイヤフラムポンプの断面図である。
【図２】一実施形態に係る逆止弁の断面図であって、（ａ）は閉状態、（ｂ）は開状態を示す。
【図３】図２のIII矢視図である。
【図４】逆止弁を構成する弁ユニットの（ａ）分解斜視図、（ｂ）組み立て後の斜視図である。
【図５】弁ユニットの弁体の動作を示す斜視図であって、（ａ）は閉状態、（ｂ）は開状態を示す。
【図６】（ａ），（ｂ）はいずれも弁ユニットを位置決めするガイド手段の例を示す平面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）はいずれも従来の逆止弁の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１…ダイヤフラムポンプ、２…ポンプ室、１０…ダイヤフラム、２０…ハウジング、
４０…圧電素子、５０…逆止弁、６０…上流側バルブプレート（ベース部材）、
６２ａ…底面（弁配設面）、６２ｂ…弁座面、６３…流入路、６４…連通溝、
８０…弁ユニット、８１…枠体、８２…弁体、９１…ガイド片（ガイド手段）、
９５…ガイド部材（ガイド手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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