(57)【要約】【課題】各基板領域の間が分割溝によって区画されているセラミックウェハを、当該分割溝にて分断するにあたって、基板の実装面および実装面上の部品への影響を極力抑制しつつ生産性に優れた分割を行う。【解決手段】基板領域１が第１の方向ｘに複数個連結されてなるウェハ１０を、分割用の治具２０に取り付ける。治具２０は、各基板領域１に対応して複数個設けられ個々の基板領域１を第２の方向ｙに隔てられたウェハ１０の端部にて保持する保持部２１と、隣り合う保持部２１同士が第３の方向ｚに相対的に変位可能な状態で当該隣り合う保持部２１同士を連結する連結部２２とを備える。この治具２０をレール３０に沿って第１の方向ｘに搬送し、レール３０の曲がり部３２にて隣り合う保持部２１間にてウェハ１０を反らせ、分割溝２にてウェハ１０を分断する。【選択図】図１
2009141052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
最終的に分断された基板となる基板領域（１）が第１の方向（ｘ）に複数個連結されてなるウェハであって、前記各基板領域（１）の間は当該ウェハの表面に形成された分割溝（２）によって区画されているセラミックよりなるウェハ（１０）を用意し、
前記ウェハ（１０）を前記各分割溝（２）にて分断することにより個々の前記基板領域（１）を個片化して前記基板を製造する基板の製造方法において、
前記ウェハ（１０）を分割用の治具（２０）に取り付けて前記ウェハ（１０）の分割を行う分割工程を備え、
前記治具（２０）として、前記分割溝（２）を挟んで互いに分離した状態で前記各基板領域（１）に対応して複数個設けられ、個々の前記基板領域（１）を前記第１の方向（ｘ）と直交する第２の方向（ｙ）に隔てられた前記ウェハ（１０）の端部にて保持する保持部（２１）と、
前記分割溝（２）を跨ぐように設けられ、隣り合う前記保持部（２１）同士が前記第１の方向（ｘ）および前記第２の方向（ｙ）と直交する第３の方向（ｚ）に相対的に変位可能な状態で当該隣り合う保持部（２１）同士を連結する連結部（２２）とを備えるものを用い、
前記分割工程では、それぞれの前記保持部（２１）にてこれに対応する前記基板領域（１）を保持するように、前記ウェハ（１０）を前記治具（２０）に取り付け、
続いて、前記隣り合う保持部（２１）同士の間で、当該隣り合う保持部（２１）同士を前記第３の方向（ｚ）に相対的に変位させて前記ウェハ（１０）を反らせることにより、前記分割溝（２）にて前記ウェハ（１０）を分断することを特徴とする基板の製造方法。
【請求項２】
前記治具（２０）の前記保持部（２１）は、前記ウェハ（１０）を搬送するレール（３０）に載せられ、前記レール（３０）の形状に合わせて前記レール（３０）上を搬送されるものであり、
前記レール（３０）は、前記第１の方向（ｘ）に沿って延びる直線部（３１）と、この直線部（３１）から前記第３の方向（ｚ）側へ曲がった曲がり部（３２）とが連続している形状を有するものであり、
前記分割工程における前記隣り合う保持部（２１）同士の相対的変位は、前記レール（３０）の前記曲がり部（３２）の形状に合わせて当該隣り合う保持部（２１）同士を相対的に変位させることにより行うことを特徴とする請求項１に記載の基板の製造方法。
【請求項３】
前記治具（２０）には、前記隣り合う保持部（２１）同士の相対的変位の後で当該隣り合う保持部（２１）間の距離を当該相対的変位の前よりも広げ、この広がった距離を保持する距離拡大手段（２４）が備えられていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板の製造方法。
【請求項４】
前記治具（２０）には、隣り合う前記保持部（２１）同士を固定した状態で連結する固定連結部材（２８）が備えられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各基板領域の間が分割溝によって区画されているセラミックウェハを、当該分割溝にて分断する工程を備える基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の一般的な基板の製造方法は、最終的に分断された基板となる基板領域が第１の方向に沿って複数個連結されてなるウェハであって、各基板領域の間が当該ウェハの表面に形成された分割溝によって区画されているセラミックよりなるウェハを用意し、このウェハを各分割溝にて分断することにより個々の基板領域を個片化して基板を製造するものである。
【０００３】
具体的な分割方法として、従来では、基板を治具で挟み込んでへし折る方法（たとえば、特許文献１参照）、基板をローラで挟み込んで分割する方法（たとえば、特許文献２参照）、一対の重層したベルト間に基板を挟み、これらベルトをブレークプーリで屈折させることにより基板を分割する方法（たとえば、特許文献３、特許文献４参照）などが提案されている。
【特許文献１】特開平９−１８０９１５号公報
【特許文献２】特開２０００−１２４１６７号公報
【特許文献３】特開平１０−２９６７００号公報
【特許文献４】特開２００４−２２１３６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の分割方法のうち、基板をへし折る方式では、基板において部品が実装される面である実装面や当該実装面上の部品に治具が接触したり、分割を実施するたびに基板の搬送をとめねばならず、生産性が低いという問題がある。
【０００５】
また、上記したローラで挟み込んで分割する方法では、チップコンデンサ等の分割にはよいが、表面に部品を実装した基板の分割を行う際にはその部品にダメージを与えてしまう問題がある。また、部品があるせいで、基板の分割溝に十分な力を印加できないという問題がある。
【０００６】
また、上記した一対の重層したベルトおよびブレークプーリを用いる方法では、ベルトが基板の実装面に触れてしまうため、部品へのダメージが懸念される。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、各基板領域の間が分割溝によって区画されているセラミックウェハを、当該分割溝にて分断するにあたって、基板の実装面および実装面上の部品への影響を極力抑制しつつ生産性に優れた分割を行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、基板領域（１）が第１の方向（ｘ）に複数個連結されてなるウェハ（１０）を、分割用の治具（２０）に取り付けて分割溝（２）にて分断する分割工程を備え、治具（２０）として、分割溝（２）を挟んで互いに分離した状態で各基板領域（１）に対応して複数個設けられ、個々の基板領域（１）を第１の方向（ｘ）と直交する第２の方向（ｙ）に隔てられたウェハ（１０）の端部にて保持する保持部（２１）と、分割溝（２）を跨ぐように設けられ、隣り合う保持部（２１）同士が第１の方向（ｘ）および第２の方向（ｙ）と直交する第３の方向（ｚ）に相対的に変位可能な状態で当該隣り合う保持部（２１）同士を連結する連結部（２２）とを備えるものを用い、分割工程では、ウェハ（１０）を治具（２０）に取り付けた後、隣り合う保持部（２１）同士の間で、当該隣り合う保持部（２１）同士を第３の方向（ｚ）に相対的に変位させてウェハ（１０）を反らせることにより、分割溝（２）にてウェハ（１０）を分断することを特徴とする。
【０００９】
それによれば、各基板領域（１）はウェハ（１０）の端部で保持されるので、治具（２０）が基板領域（１）の実装面に極力接触することはなく、また、隣り合う保持部（２１）の間でウェハ（１０）を反らせることで、分割溝（２）での分断を順次もしくは一括して行える。そのため、本発明の製造方法によれば、基板の実装面および実装面上の部品への影響を極力抑制しつつ生産性に優れた分割を行うことができる。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明では、治具（２０）の保持部（２１）は、ウェハ（１０）を搬送するレール（３０）に載せられレール（３０）の形状に合わせてレール（３０）上を搬送されるものであり、レール（３０）は、第１の方向（ｘ）に沿って延びる直線部（３１）と、この直線部（３１）から第３の方向（ｚ）側へ曲がった曲がり部（３２）とが連続している形状を有するものであり、分割工程における隣り合う保持部（２１）同士の相対的変位は、レール（３０）の曲がり部（３２）の形状に合わせて当該隣り合う保持部（２１）同士を相対的に変位させることにより行うことを特徴とする。それによれば、ウェハ（１０）を搬送しながら分断することができる。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明では、治具（２０）には、隣り合う保持部（２１）同士の相対的変位の後で当該隣り合う保持部（２１）間の距離を当該相対的変位の前よりも広げ、この広がった距離を保持する距離拡大手段（２４）が備えられていることを特徴としている。それによれば、分断後の隣り合う基板において互いの破断面同士が当たることが抑制される。
【００１２】
また、請求項４に記載の発明では、治具（２０）には、隣り合う保持部（２１）同士を固定した状態で連結する固定連結部材（２８）が備えられていることを特徴とする。
【００１３】
それによれば、固定する保持部（２１）の数を変えることで、実質的にサイズの異なる保持部（２１）を構成できるので、基板領域（１）のサイズが拡大したり、１枚のウェハ（１０）内で基板領域（１）の幅が部分的に異なる場合などに有利である。
【００１４】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００１６】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に基板の製造方法においてウェハ１０の分割工程に用いる分割用の治具２０およびレール３０を示す斜視図である。
【００１７】
図１に示されるウェハ１０は、セラミックよりなるウェハであり、たとえばアルミナなどのセラミックのグリーンシートを焼成してなる。ここで、このウェハ１０は、単層でも多層でもよい。
【００１８】
ここでは、ウェハ１０は四角形板状をなしているが、このウェハ１０は、最終的に分断された基板となる領域である基板領域１が第１の方向ｘに複数個並べられて連結されてなるウェハである。ここで、第１の方向ｘは、四角形板状をなすウェハ１０の１組の対向辺を隔てる方向である。
【００１９】
また、ウェハ１０において各基板領域１の表裏の板面は、半導体素子や抵抗、コンデンサに代表される表面実装部品などの図示しない部品が実装される実装面となっている。そして、各基板領域１は矩形の領域であり、各基板領域１の間は当該ウェハ１０の表面に形成された分割溝２によって区画されている。
【００２０】
ここでは、個々の分割溝２は、ウェハ１０の板面において第１の方向ｘと直交する第２の方向ｙに沿って延びる直線状の溝であり、各分割溝２は、ウェハ１０の第１の方向ｘに沿って平行に複数本設けられている。そして、隣り合う分割溝２の間が基板領域１として構成されている。
【００２１】
ここでは、第２の方向ｙは、四角形板状をなすウェハ１０において上記第１の方向ｘに隔てられた１組の対向辺とは異なるもう１組の対向辺を隔てる方向である。これら分割溝２は、たとえばグリーンシートの状態でプレス加工にて形成したり、グリーンシートの焼成後にレーザ加工などにより形成される。
【００２２】
本実施形態では、このようなウェハ１０を用意し、当該ウェハ１０を各分割溝２にて分断することにより個々の基板領域１を個片化し、個片化された基板領域１としての基板を製造する。次に、このウェハ１０の分割工程について述べる。
【００２３】
ウェハ１０の分割は、ウェハ１０を分割用の治具２０に取り付けて行う。この治具２０としては、ウェハ１０を保持する複数個の保持部２１と、各保持部２１の間を連結する連結部２２とを備えたものを用いる。これら保持部２１および連結部２２は、特に材質を限定するものではないが、金属、セラミック、樹脂などから適宜選択された材料より構成される。
【００２４】
保持部２１は、分割溝２を挟んで互いに分離した状態で各基板領域１に対応して複数個設けられている。つまり、保持部２１は、ウェハ１０において分割される基板領域１の数の分設けられており、ウェハ１０は、当該ウェハ１０に設けられた分割溝２が、連結された保持部２１と保持部２１との間に配置されるように保持されている。
【００２５】
そして、個々の保持部２１は、当該個々の保持部２１に対応する個々の基板領域１を第２の方向ｙに隔てられたウェハ１０の端部にて保持している。ここでは、図１に示されるように、各保持部２１には溝が設けられ、この溝に上記ウェハ１０の端部が挿入されることにより、ウェハ１０の保持がなされている。
【００２６】
連結部２２は、隣り合う保持部２１の間において分割溝２を跨ぐように設けられ、当該隣り合う保持部２１同士を接続している。この連結部２２の接続形態では、隣り合う保持部２１同士が第１の方向ｘおよび第２の方向ｙと直交する第３の方向ｚに相対的に変位可能な状態となっている。
【００２７】
このような接続形態を可能とする連結部２２としては、特に限定するものではないが、棒状をなすものであって、その両端部にて保持部２１に接続されるとともに当該接続部が軸を中心として回動する構成となっているものにできる。また、連結部２２としては、紐や鎖などであってもよい。
【００２８】
このような連結部２２によって隣り合う保持部２１同士を連結することにより、当該隣り合う保持部２１同士の一方に対して他方が、第３の方向ｚすなわちウェハ１０の板面と直交する方向へ相対的に変位することが可能となる。
【００２９】
また、本実施形態では、治具２０は、ウェハ１０を搬送するレール３０に載せられ当該レール３０上を搬送されるものである。ここで、上記したウェハ１０における分割溝２の配列方向である第１の方向ｘが、ウェハ１０の搬送の方向であり、レール３０は当該第１の方向ｘに延びる２本のものである。
【００３０】
具体的には、治具２０の保持部２１がレール３０に載せられており、このレール３０上を保持部２１が滑ることにより、治具２０およびウェハ１０は搬送方向すなわち第１の方向ｘへ搬送されていくようになっている。
【００３１】
そして、図１に示されるように、レール３０は、第１の方向ｘに沿って延びる直線部３１と、この直線部３１から第３の方向ｚ側へ曲がった曲がり部３２とが連続している形状を有する。
【００３２】
本実施形態の分割工程では、このようにそれぞれの保持部２１にて当該各保持部２１に対応する基板領域１を保持するように、ウェハ１０を治具２０に取り付け、さらに、これら治具２０およびウェハ１０をレール３０の上に搭載する。そして、治具２０およびウェハ１０をレール３０に沿って第１の方向ｘに搬送することで分割を行う。
【００３３】
図２は、本実施形態におけるレール３０上の搬送による分割工程を示す工程図である。搬送の際には、図２（ａ）に示されるように治具２０およびウェハ１０をレール３０上の直線部３１に配置する。
【００３４】
次に、図２（ｂ）に示されるように、保持部２１を第１の方向ｘへ進行させると、隣り合う保持部２１の間すなわち分割溝２が、レール３０の曲がり部３２に到達する。すると、このときウェハ１０が反って曲げ応力が作用し、分割溝２が曲がり部３２を通過したときには、ウェハ１０は当該分割溝２に沿って分割される。
【００３５】
このように、本実施形態の分割工程では、治具２０を、レール３０の曲がり部３２上を通過させることによって、レール３０の曲がり部３２の形状に合わせて当該隣り合う保持部２１同士を相対的に変位させる。そして、この変位は、隣り合う保持部２１同士が、ウェハ１０の板面と直交する方向すなわち第３の方向ｚに相対的に変位するものであり、これにより、ウェハ１０が反る。そのため、分割溝２にてウェハ１０がされる。
【００３６】
ところで、本実施形態の上記製造方法によれば、各基板領域１はウェハ１０の第２の方向ｙに沿って隔てられた両端部で保持されるので、治具２０が基板領域１の実装面に極力接触することはない。また、治具２０およびウェハ１０をレール３０上にて搬送していけば、隣り合う保持部２１の間でウェハ１０を反らせて分割溝２での分断を順次行うことができる。
【００３７】
そのため、本実施形態の製造方法によれば、基板の実装面および実装面上の部品への影響を極力抑制しつつ生産性に優れた分割を行うことができる。また、本実施形態では、ウェハ１０を搬送しながら分断することができるため、結果的に、効率的であり生産性向上、コスト低減などが期待される。
【００３８】
また、本実施形態によれば、最終的に分断された基板となる基板領域１が第１の方向ｘに複数個連結されてなり、各基板領域１の間が分割溝２によって区画されているセラミックよりなるウェハ１０を、各分割溝２にて分断する分割用の治具２０として、次のようなものが提供される。
【００３９】
すなわち、治具２０は、分割溝２を挟んで互いに分離した状態で各基板領域１に対応して複数個設けられ、個々の基板領域１を第１の方向ｘとウェハ板面内にて直交する第２の方向ｙに隔てられたウェハ１０の端部にて保持する保持部２１と、分割溝２を跨ぐように設けられ、隣り合う保持部２１同士が第１の方向ｘおよび第２の方向ｙと直交する第３の方向（つまり、ウェハ板面と直交する方向）ｚに相対的に変位可能な状態で当該隣り合う保持部２１同士を連結する連結部２２とを備える。
【００４０】
そして、このような治具２０を用いれば、上記分割工程に述べたように、ウェハ１０に治具２０に取り付け、続いて、隣り合う保持部２１同士の間で、当該隣り合う保持部２１同士を第３の方向ｚに相対的に変位させてウェハ１０を反らせることにより、分割溝２にてウェハ１０を分断することができる。つまり、本実施形態の製造方法に用いて好適な治具２０が提供される。
【００４１】
（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態に係る製造方法の要部を示す図であり、本製造方法における保持部２１の斜視図である。図３に示されるように、複数個の保持部２１のうちで、搬送方向である第１の方向ｘに沿って先頭もしくは最後尾の保持部２１には、位置決め手段２１ａを設けておくとよい。
【００４２】
図３では、保持部２１においてウェハ１０の端部が挿入される溝に突起を設け、この突起を位置決め手段２１ａとして構成する。治具２０に取り付けられたウェハ１０において、上記第１の方向ｘに沿って隔てられた端部が、この位置決め手段２１ａに当たるため、当該ウェハ１０が第１の方向ｘに位置ずれするのを防止できる。
【００４３】
なお、図４は、本実施形態に係る製造方法の要部のもう一つの例を示す図であり、本例の製造方法における保持部２１の斜視図である。位置決め手段２１ａとしては、この図４に示されるように、突起の位置を上記図３とは変更したものでもよい。
【００４４】
また、本実施形態によれば、上記実施形態に示した分割用の治具２０において、保持部２１には、当該保持部２１に保持されているウェハ１０に当たることによりウェハ１０の位置を規定し、その位置ずれを防止するための位置決め手段２１ａが備えられているものが提供される。そして、この治具２０を用いて分割を行う効果は、上記同様である。
【００４５】
（第３実施形態）
図５は、本発明の第３実施形態に係る製造方法の要部を示す図であり、本製造方法における保持部２１の斜視図である。図５に示されるように、上記ウェハ１０の端部を挟んで向かい合う一対の保持部２１は、レール３０上を搬送される際の同期を取るために同期手段２３で互いに固定されてもよい。
【００４６】
なお、このような本実施形態の治具２０およびこれを用いた製造方法は、上記各実施形態と組み合わせて適用することが可能である。
【００４７】
（第４実施形態）
図６は、本発明の第４実施形態に係る製造方法の要部を示す図であり、本製造方法における隣り合う保持部２１の側面図である。図６では上記ウェハは省略してあるが、図６おいて（ａ）は、当該隣り合う保持部２１間にてウェハの分割が行われる前の状態を示し、（ｂ）は分割が行われた後の状態を示す。
【００４８】
なお、図６では、当該２個の保持部２１とこれら２個の保持部２１のさらに両側に位置する図示しない保持部との間も、図６と同様に連結部２２で連結されているが、ここでは、それら連結部は省略してある。
【００４９】
本実施形態では、治具２０には、隣り合う保持部２１同士の相対的変位の後で当該隣り合う保持部２１間の距離を当該相対的変位の前よりも広げ、この広がった距離を保持する距離拡大手段２４が備えられている。
【００５０】
この距離拡大手段２４は、連結部２２の一端と隣り合う保持部２１の一方との接続部の位置をスライドさせるスリット状のスライドレール２４ａと、当該隣り合う保持部２１間の距離が広がった後に連結部２２の一端を固定する逆止部２４ｂと、この逆止部２４ｂを弾性力により制御する弾性部としてのバネ部２４ｃとを備える。
【００５１】
スライドレール２４ａは保持部２１に設けられたスリットであり、連結部２２の一端に設けられた軸が当該スリット内に挿入されることにより、当該連結部２２の一端が当該スリット内を第２の方向ｙに沿ってスライドするようになっている。
【００５２】
逆止部２４ｂは保持部２１に取り付けられており、同じく保持部２１に取り付けられたバネ部２４ｃの弾性力によって第３の方向ｚに移動する。バネ部２４ｃが縮んだ状態のときには、逆止部２４ｂはスライドレール２４ａを露出させる位置にあり（図６（ａ）参照）、バネ部２４ｃが自由長さの状態では、逆止部２４ｂはスライドレール２４ａを覆い隠す位置まで移動するようになっている（図６（ｂ）参照）。
【００５３】
本実施形態の分割工程における距離拡大手段２４の動きを、図６を参照して述べる。図６（ａ）、（ｂ）に示されるように、ウェハ１０が分割されて、隣り合う保持部２１同士が互いに離されるような力を受けると、連結部２２はスライドレール２４ａに沿って移動する。図６（ａ）は分割前の状態であり、この状態における隣り合う保持部２１同士の距離を第１の距離とする。
【００５４】
そして、図６（ｂ）に示されるように、ウェハ１０の分割に伴い、連結部２２が両保持部２１同士を離す方向に移動し、スライドレール２４ａの終端付近に達すると、バネ部２４ｃにより力を受けた逆止部２４ｂがスライドレール２４ａを覆うように移動する。
【００５５】
これにより、連結部２２が再び両保持部２１の間隔を狭める方向に移動するのを防ぐ。そのため、図６（ｂ）では、隣り合う保持部２１同士の距離は上記第１の距離よりも広い第２の距離となり、この第２の距離が保持される。
【００５６】
なお、分割された基板を次の工程へ送り、再び未分割の基板すなわち上記ウェハ１０を搭載する際には、バネ部２４ｃを縮める方向に逆止部２４ｂを押し込む。そうすることで、連結部２２をスライドレール２４ａ内で移動させて両保持部２１の間隔を再び短くする、つまり再び上記第１の距離とする。
【００５７】
このように本実施形態では、隣り合う保持部２１の間隔の可変機構としての距離拡大手段２４を備えているため、ウェハ１０の分断後にて、隣り合う保持部２１を介して隣り合う基板の破断面同士が当たることが抑制される。その結果、基板の欠け、割れなどの防止がなされ、歩留まり向上などが期待される。
【００５８】
なお、上記バネ部２４ｃは、コイルバネであったが、それ以外のバネやゴムなどの弾性部材であってもよい。また、本実施形態は、上記各実施形態と組み合わせて適用可能である。
【００５９】
また、本実施形態によれば、上記各実施形態に示した分割用の治具２０において、隣り合う保持部２１間の距離を第１の距離からそれよりも広い第２の距離へと変え、第２の距離になったときに当該第２の距離を一定に保持する距離拡大手段２４が備えられているものが提供される。そして、この治具２０を用いて分割を行う効果は、上記同様である。
【００６０】
（第５実施形態）
図７は、本発明の第５実施形態に係る製造方法の要部を示す図であり、本製造方法における保持部２１の側面図である。図７に示されるように、保持部２１にはウェハ１０を挟んで固定するためのクランプ手段２５を設けてもよい。
【００６１】
図７において、クランプ手段２５は、ウェハ保持部材２５ａがバネなどよりなる弾性部材２５ｂの弾性力によりピン２５ｃを中心に矢印Ｋ方向へ回転する構造としている。ウェハ保持部材２５ａに加わる弾性力により、ウェハ保持部材２５ａはウェハ１０へ押し付けられ、ウェハ１０を保持する力を生み出す。
【００６２】
図８は、本実施形態に係るクランプ手段２６のもう一つの例を示す図である。この図８に示されるクランプ手段２６も、ウェハ保持部材２６ａを弾性部材２６ｂにてウェハ１０へ押し付け、ウェハ１０を保持する機構である。ここで、図８においては、ウェハ保持部材２６ａはスライドレール２６ｃに沿って、図８中の矢印Ｋ方向へ平行に移動する。
【００６３】
なお、これら図７、図８のそれぞれにおいて、ウェハ保持部材２５ａ、２６ａのウェハに接する端部とは反対側の端部を操作することにより、ウェハ保持部材２５ａ、２６ａの開閉を外部から制御できるようにする。また、本実施形態は、上記各実施形態と組み合わせて適用可能である。
【００６４】
また、本実施形態によれば、上記各実施形態に示した分割用の治具２０において、保持部２１には、ウェハ１０を弾性力で挟んで固定するクランプ手段２５、２６が備えられているものが提供される。そして、この治具２０を用いて分割を行う効果は、上記同様である。
【００６５】
（第６実施形態）
図９は、本発明の第６実施形態に係る製造方法の要部を示す図であり、本製造方法における保持部２１の側面図である。図９に示されるように、保持部２１には、レール３０に沿った搬送を滑らかに行うための車輪２７を備えてもよい。
【００６６】
この場合、図９に示されるように、レール３０の形状は、たとえば鉄道における車輪とレールとの関係を満足するような形状とし、ウェハ１０の搬送時に車輪２７がレール３０から外れるのを防止する。さらに、保持部２１にモータ等の動力を内蔵し、この車輪２７を強制的に回転させる構成としてもよい。なお、本実施形態は、上記各実施形態と組み合わせて適用可能である。
【００６７】
（第７実施形態）
ところで、上記第１実施形態では、治具２０の保持部２１をレール３０に載せ、レール３０の形状に合わせて治具２０およびウェハ１０をレール３０にて搬送しながら、分割を行っていた。
【００６８】
図１０は、本発明の第７実施形態に係る製造方法の要部を示す図であり、本製造方法における分割工程を示す側面図である。本実施形態では、上記第１実施形態と同様の治具２０を用い、この治具２０に上記同様のウェハ１０を取り付けた後、これを図１０に示されるように、曲線部分を有する部材４０に巻き付けることにより、ウェハ１０を分割し、各基板領域１に個片化する。
【００６９】
ここで、図１０に示される部材４０は、ウェハ１０を搬送するものではなく、たとえば固定設置された円柱状のドラムなどである。したがって、この場合、第１の方向ｘは、上記分割溝の配列方向ではあるが、搬送方向ではない。なお、本実施形態の製造方法においても、治具２０の保持部２１は、上記した位置決め手段２１ａや、距離拡大手段２４や、クランプ手段２５、２６を備えるものであってもよい。
【００７０】
（第８実施形態）
図１１は、本発明の第８実施形態に係る製造方法の要部を示す図であり、本実施形態の治具２０およびウェハ１０の斜視図である。
【００７１】
本実施形態では、図１１に示されるように、治具２０には、隣り合う保持部２１同士を固定した状態で連結する固定連結部材２８が備えられている。この固定連結部材２８は、たとえば細長の板状をなすものであり、ネジ結合や嵌合などにより隣り合う保持部２１のそれぞれに接続され、当該両保持部２１同士を一体に固定している。
【００７２】
図１１に示される例では、基板領域１が保持部２１の２個分のサイズになり、上記第１実施形態の基板領域１の２倍のサイズとなっているが、２個の保持部２１を固定して連結することにより、このサイズが拡大した個々の基板領域１を適切に保持できる。
【００７３】
このように、本実施形態によれば、固定する保持部２１の数を変えることで、実質的にサイズの異なる保持部２１を構成できるため、基板領域１のサイズが拡大したり、１枚のウェハ１０内で基板領域１の幅が部分的に異なる場合であっても対応できる。
【００７４】
なお、本実施形態では、連続する３個以上の保持部２１を連結固定してもよい。また、本実施形態の製造方法は、上記各実施形態に組み合わせて適用可能である。
【００７５】
また、本実施形態によれば、上記各実施形態に示した分割用の治具２０において、隣り合う保持部２１同士を固定した状態で連結する固定連結部材２８が備えられているものが提供される。そして、この治具２０を用いて分割を行う効果は、上記同様である。
【００７６】
（第９実施形態）
図１２は、本発明の第９実施形態に係る製造方法の要部を示す図であり、本実施形態におけるレール３０の曲がり部３２近傍を示す斜視図である。本製造方法では、治具２０およびウェハ１０は上記各実施形態と同様のものにできる。本実施形態は、分割工程に用いるレール３０を一部変形したものである。
【００７７】
上述したように、分割溝２は、ウェハ１０の板面にて当該分割溝２の配列方向である第１の方向ｘに沿って配列され、これに直交する第２の方向ｙに沿って延びるものであった（上記図１参照）。
【００７８】
ここで、本実施形態では、搬送用のレール３０における曲がり部３２の位置を、搬送方向ｘと直交する第２の方向ｙに沿ったウェハ１０の両端側において、それぞれずらしている。図１２では、搬送方向ｘに対して、距離ｄだけ曲がり部３２の位置をずらしている。それにより、分割溝２の両端で破断のタイミングがずれる。
【００７９】
つまり、曲がり部３２上にてウェハ１０を反らせたときに、ウェハ１０の第２の方向ｙに隔てられた一方の端部と他方の端部とで、ウェハ１０の屈曲点が第１の方向に沿ってずれた位置に形成される。それにより、分割の際にウェハ１０上を亀裂が進展する方向が一方向に限られるため、安定した分割が実現可能となる。また、本実施形態の製造方法も上記各実施形態に組み合わせて適用可能である。
【００８０】
（他の実施形態）
なお、上記図１、図２において、レール３０は、ウェハ１０の搬送方向ｘに向けて、鉛直下向きすなわち第３の方向ｚに向かって曲がる曲がり部３２を有するものであったが、これは同鉛直上向きでもよい。要するに、レール３０は直線部３１と曲がり部３２とを連続して有していればよい。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の第１実施形態に基板の製造方法において分割工程に用いる分割用の治具およびレールを示す斜視図である。
【図２】レール上の搬送による分割工程を示す工程図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る製造方法の要部を示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る製造方法の要部のもう１つの例を示す図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る製造方法の要部を示す図である。
【図６】本発明の第４実施形態に係る製造方法の要部を示す図である。
【図７】本発明の第５実施形態に係る製造方法の要部を示す図である。
【図８】本発明の第５実施形態に係るクランプ手段のもう１つの例を示す図である。
【図９】本発明の第６実施形態に係る製造方法の要部を示す図である。
【図１０】本発明の第７実施形態に係る製造方法の要部を示す図である。
【図１１】本発明の第８実施形態に係る製造方法の要部を示す図である。
【図１２】本発明の第９実施形態に係る製造方法の要部を示す図である。
【符号の説明】
【００８２】
１…基板領域、２…分割溝、１０…ウェハ、２０…治具、２１…保持部、２１ａ…位置決め手段、２２…連結部、２３…同期手段、２４…距離拡大手段、２５…クランプ手段、２７…車輪、２８…固定連結部材、３０…レール、３１…直線部、３２…曲がり部、ｘ…第１の方向、ｙ…第２の方向、ｚ…第３の方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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