(57)【要約】【課題】溶接欠陥の像をより確実に抽出することができる。【解決手段】溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部とを備える欠陥抽出装置が提供される。また、上記抽出部は、マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下の領域を画像の当該領域の輝度とし、当該マスク画像上の対応領域の輝度が当該基準輝度を超える領域を当該基準輝度を超える予め定められた輝度として抽出画像を生成してもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、
前記画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、
前記マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を前記画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部と、
を備える欠陥抽出装置。
【請求項２】
前記抽出部は、前記マスク画像上の対応領域の輝度が前記基準輝度以下の領域を前記画像の当該領域の輝度とし、前記マスク画像上の対応領域の輝度が前記基準輝度を超える領域を前記基準輝度を超える予め定められた輝度として前記抽出画像を生成する請求項１に記載の欠陥抽出装置。
【請求項３】
前記抽出部は、前記画像および前記マスク画像の激烈和（Ｄｒａｓｔｉｃ  Ｓｕｍ）をとって前記抽出画像を生成する請求項２に記載の欠陥抽出装置。
【請求項４】
前記マスク画像生成部は、
前記画像のノイズを除去する第１のノイズ除去部と、
ノイズが除去された前記画像のヒストグラムを平滑化する平滑化部と、
を有する請求項２または３に記載の欠陥抽出装置。
【請求項５】
前記マスク画像生成部は、前記平滑化部が出力する画像のノイズを除去する第２のノイズ除去部を更に有する請求項４に記載の欠陥抽出装置。
【請求項６】
前記第１のノイズ除去部および前記第２のノイズ除去部は、画像のノイズを除去するメディアンフィルタを含む請求項５に記載の欠陥抽出装置。
【請求項７】
前記抽出画像における前記画像から抽出した領域を膨張させる膨張処理部を更に備える請求項３に記載の欠陥抽出装置。
【請求項８】
前記膨張処理部は、前記抽出画像における前記画像から抽出した領域以外の部分を収縮させる収縮フィルタ（Ｅｒｏｄｅ  Ｆｉｌｔｅｒ）を有する請求項７に記載の欠陥抽出装置。
【請求項９】
溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、
前記画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、
前記マスク画像における輝度が基準輝度以上である領域を前記画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部と、
を備える欠陥抽出装置。
【請求項１０】
コンピュータを、溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置として機能させるプログラムであって、
前記コンピュータを、
前記画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、
前記マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を前記画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部と
して機能させるプログラム。
【請求項１１】
コンピュータを、溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置として機能させるプログラムであって、
前記コンピュータを、
前記画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、
前記マスク画像における輝度が基準輝度以上である領域を前記画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部と
して機能させるプログラム。
【請求項１２】
溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する方法であって、
前記画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成段階と、
前記マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を前記画像から抽出して抽出画像を生成する抽出段階と、
を備える方法。
【請求項１３】
溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する方法であって、
前記画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成段階と、
前記マスク画像における輝度が基準輝度以上である領域を前記画像から抽出して抽出画像を生成する抽出段階と、
を備える方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、欠陥抽出装置、方法、プログラムに関する。本発明は、特に、鋼板の溶接部等に存在する溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置、コンピュータを当該欠陥抽出装置として機能させるプログラム、および、当該溶接欠陥を抽出する方法、に関する。
【背景技術】
【０００２】
鋼板の突合せ溶接部のＸ線透過画像から溶接欠陥の欠陥像を抽出する方法が提案されている（例えば非特許文献１を参照）。この方法は、Ｘ線透過画像における欠陥像が存在する領域を特定し、当該領域に対して、様々な形状のパターンを順次当てはめていくことにより、最も欠陥像として適当なパターンを選定する手法である。また、欠陥像の取り得る形状の探索には遺伝アルゴリズム（ＧＡ）が適用される。
【非特許文献１】日本機械学会論文集、２０００年４月号（第６６巻６４４号）Ｃ編、ｐ．１３８０−１３８７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記非特許文献１の方法では、欠陥像が存在する領域を特定するために複雑な処理を必要とする。また、領域を特定するときに本来抽出されるべき欠陥像を除外してしまう場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部とを備える欠陥抽出装置が提供される。
【０００５】
また、本発明の第２の形態によれば、溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像における輝度が基準輝度以上である領域を画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部とを備える欠陥抽出装置が提供される。
【０００６】
また、本発明の第３の形態によれば、コンピュータを、溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置として機能させるプログラムであって、コンピュータを、画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部として機能させるプログラムが提供される。
【０００７】
また、本発明の第４の形態によれば、コンピュータを、溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置として機能させるプログラムであって、コンピュータを、画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像における輝度が基準輝度以上である領域を画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部として機能させるプログラムが提供される。
【０００８】
また、本発明の第５の形態によれば、溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する方法であって、画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成段階と、マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を画像から抽出して抽出画像を生成する抽出段階とを備える方法が提供される。
【０００９】
また、本発明の第６の形態によれば、溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する方法であって、画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成段階と、マスク画像における輝度が基準輝度以上である領域を画像から抽出して抽出画像を生成する抽出段階とを備える方法が提供される。
【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１２】
図１は、欠陥抽出装置１００の概略を示す機能ブロック図である。欠陥抽出装置１００は、例えば鋼板の溶接箇所等の被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する装置であり、被検査物の画像における溶接欠陥の部分を強調する画像フィルタとして機能する。本例において、被検査物の画像は、例えば二枚の鋼板を突合せて溶接した溶接部を通常の照明光を用いてＣＣＤカメラで撮影した画像であってよく、当該溶接部にＸ線を照射してＸ線フィルムに投影することにより得られる透過画像であってもよい。以下において、被検査物の画像を「検査対象画像」と称する。
【００１３】
欠陥抽出装置１００は、マスク画像生成部１１０と、抽出部１２０と、膨張処理部１３０とを備える。マスク画像生成部１１０は、検査対象画像を入力し、当該検査対象画像からマスク画像を生成して抽出部１２０へと出力する。抽出部１２０は、マスク画像生成部１１０において生成されたマスク画像および検査対象画像を入力する。そして、抽出部１２０は、入力するマスク画像により検査対象画像をマスクして、当該検査対象画像から溶接欠陥に対応する領域を抽出した抽出画像を生成し、膨張処理部１３０へと出力する。膨張処理部１３０は、抽出部１２０からの抽出画像における検査対象画像から抽出した領域を膨張させる。
【００１４】
本例において、抽出部１２０が入力する検査対象画像は、マスク画像生成部１１０が入力する検査対象画像と同じ画像であってよい。また、抽出部１２０は、検査対象画像とマスク画像との激烈和（Ｄｒａｓｔｉｃ  Ｓｕｍ）をとることにより、抽出画像を生成してもよい。
【００１５】
ここで、上記激烈和は、検査対象画像とマスク画像の対応する各画素の組について、両方の輝度が最小でない場合は出力画像における対応する画素の輝度を最大とし、一方の輝度が最小である場合は、出力画像における対応する画素の輝度を他方の画素の輝度とする。これにより、抽出部１２０において生成される抽出画像において、マスク画像における輝度が基準輝度以下である領域に対応する検査対象画像の領域が抽出される。よって、抽出部１２０において、検査対象画像における溶接欠陥の部分が抽出された抽出画像が生成される。
【００１６】
また、本例において、膨張処理部１３０は、抽出部１２０からの抽出画像における検査対象画像から抽出した領域以外の部分を収縮させる収縮フィルタ（Ｅｒｏｄｅ  Ｆｉｌｔｅｒ）を有してよい。この収縮フィルタは、例えば入力画像について、輝度がより高い部分を収縮させ、輝度がより低い部分を膨張させてよく、より具体的には、抽出画像における予め定められた基準輝度よりも大きい画素（対象画素）の各々について、当該抽出画素に隣接する画素のうち、当該基準輝度よりも小さい輝度の画素の数が予め定められた数よりも多い場合に、当該対象画素の輝度を最小（例えば黒色）としてよい。
【００１７】
図２は、マスク画像生成部１１０の構成を示す機能ブロック図である。マスク画像生成部１１０は、入力部１１１、第１ノイズフィルタ１１２、平滑化部１１３、および第２ノイズフィルタ１１４を有する。
【００１８】
入力部１１１は、検査対象画像を入力して、第１ノイズフィルタ１１２へと出力する。第１ノイズフィルタ１１２は、検査対象画像のノイズを除去する第１のノイズ除去部の一例であり、例えばメディアンフィルタ（Ｍｅｄｉａｎ  ｆｉｌｔｅｒ）であってよい。第１ノイズフィルタ１１２は、入力部１１１からの検査対象画像における各画素の輝度を、当該画素を含む予め定められた範囲内の画素の輝度の中央値とすることにより、検査対象画像中のノイズに起因する輝度のばらつきを低下させて、平滑化部１１３へと出力する。なお、上記予め定められた範囲は、例えば対象画素の周辺ｎ×ｎ画素の範囲等であってよい。
【００１９】
平滑化部１１３は、例えばヒストグラム平滑化（Ｅｑｕａｌｉｚｅ  Ｈｉｓｔｇｒａｍ）フィルタであり、第１ノイズフィルタ１１２からの検査対象画像のヒストグラムを平滑化して第２ノイズフィルタ１１４へと出力する。本例において、平滑化部１１３は、検査対象画像を、各画素の輝度の分布が階調毎に均一に、またはより均一化するように各画素の輝度をより分散した検査対象画像に変換する。
【００２０】
第２ノイズフィルタ１１４は、平滑化部１１３が出力する検査対象画像のノイズを除去する第２ノイズフィルタ１１４の一例であり、例えば第１ノイズフィルタ１１２と同様のメディアンフィルタ（Ｍｅｄｉａｎ  ｆｉｌｔｅｒ）であってよい。第２ノイズフィルタ１１４は、平滑化部１１３からの検査対象画像中のノイズに起因する輝度のばらつきを低下させて、抽出部１２０へと出力する。
【００２１】
このように、第１ノイズフィルタ１１２、平滑化部１１３、および第２ノイズフィルタ１１４を有するマスク画像生成部１１０を抽出部１２０の前段に設けることにより、検査対象画像における溶接欠陥以外のノイズ成分を除去した検査対象画像を抽出部１２０へ入力することができる。ゆえに、抽出部１２０において、検査対象画像における溶接欠陥の部分がより正確に抽出された抽出画像を生成することができる。
【００２２】
図３は、欠陥抽出装置１００の動作の各段階を示すフローチャートである。また、図４〜図９は、当該各段階における検査対象画像、マスク画像、または抽出画像の一例である。以下において、本実施形態の欠陥抽出装置１００が検査対象画像から抽出画像を生成するまでの各段階の処理フローを説明する。
【００２３】
先ず、マスク画像生成部１１０の入力部１１１は、検査対象画像を入力する（ステップＳ１００）。図４は、入力部１１１が入力する検査対象画像の一例である。
【００２４】
次に、第１ノイズフィルタ１１２は、入力部１１１が入力した検査対象画像のノイズを除去する（ステップＳ１１０）。図５は、第１ノイズフィルタ１１２においてノイズが除去された検査対象画像の一例である。
【００２５】
そして、平滑化部１１３は、第１ノイズフィルタ１１２においてノイズが除去された検査対象画像のヒストグラムを平滑化する（ステップＳ１２０）。図６は、平滑化部１１３においてヒストグラムが平滑化された検査対象画像の一例である。
【００２６】
そして、第２ノイズフィルタ１１４は、平滑化部１１３においてヒストグラムが平滑化された検査対象画像のノイズを除去してマスク画像を生成する（ステップＳ１３０）。図７は、マスク画像の一例である。
【００２７】
そして、抽出部１２０は、マスク画像生成部１１０において生成されたマスク画像と、検査対象画像とを入力する（ステップＳ１４０）。そして、抽出部１２０は、マスク画像により検査対象画像をマスクして、当該検査対象画像から溶接欠陥に対応する領域を抽出した抽出画像を生成する（ステップＳ１５０）。図８は、抽出画像の一例である。
【００２８】
そして、膨張処理部１３０は、抽出画像における検査対象画像から抽出した領域を膨張させる（ステップＳ１６０）。図９は、膨張処理部１３０において検査対象画像から抽出した領域が膨張された抽出画像の一例である。
【００２９】
以上に示したように、欠陥抽出装置１００は、検査対象画像に基づいて、被検査物表面の微小な凹凸等により生じる検査対象画像の輝度むら等の影響を受けずに、溶接欠陥の像をより確実に抽出することができる。また、欠陥抽出装置１００は、検査対象画像全体に対して画像処理を行うことにより抽出画像を生成するので、溶接欠陥の形状によらず適切に溶接欠陥部分を抽出することができる。更に、欠陥抽出装置１００は、検査対象画像からノイズを除去してヒストグラムを平滑化したマスク画像により当該検査対象画像をマスクすることにより抽出画像を生成するので、複雑な処理を行うことなく溶接欠陥を抽出した抽出画像を生成することができる。
【００３０】
なお、欠陥抽出装置１００において、マスク画像生成部１１０の第１ノイズフィルタ１１２、第２ノイズフィルタ１１４、および、膨張処理部１３０は、検査対象画像の画質、あるいは、検査対象画像から抽出したい抽出画像の画質等に応じて省かれてもよい。
【００３１】
また、本例の欠陥抽出装置１００は、溶接欠陥の部分が周辺部と比べてより輝度の低い検査対象画像から抽出画像を生成するための構成を有する。これに対し、検査対象画像の明暗が逆である場合、すなわち、溶接欠陥の部分が周辺部と比べてより輝度の高い検査対象画像から抽出画像を生成する場合は、欠陥抽出装置１００において、膨張処理部１３０は、収縮フィルタに替えて膨張フィルタ（Ｄｉｌａｔｅ  Ｆｉｌｔｅｒ）を有することが好ましい。
【００３２】
また、この場合、抽出部１２０は、検査対象画像とマスク画像の対応する各画素の組について、例えば激烈積をとることにより、両方の輝度が最大でない場合は出力画像における対応する画素の輝度を最小とし、一方の輝度が最大である場合は、出力画像における対応する画素の輝度を他方の画素の輝度とすることが好ましい。これにより、抽出部１２０において生成される抽出画像において、マスク画像における輝度が基準輝度以上である領域に対応する検査対象画像の領域が抽出される。
【００３３】
図１０は、本実施形態に係る欠陥抽出装置１００のハードウェア構成の一例を示す。本実施形態に係る欠陥抽出装置１００は、ホストコントローラ２０８２により相互に接続されるＣＰＵ２０００、ＲＡＭ２０２０、グラフィックコントローラ２０７５、及び表示装置２０８０を有するＣＰＵ周辺部と、入出力コントローラ２０８４によりホストコントローラ２０８２に接続される通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を有する入出力部と、入出力コントローラ２０８４に接続されるＲＯＭ２０１０、フレキシブルディスクドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０を有するレガシー入出力部とを備える。
【００３４】
ホストコントローラ２０８２は、ＲＡＭ２０２０と、高い転送レートでＲＡＭ２０２０をアクセスするＣＰＵ２０００及びグラフィックコントローラ２０７５とを接続する。ＣＰＵ２０００は、ＲＯＭ２０１０及びＲＡＭ２０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィックコントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等がＲＡＭ２０２０内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置２０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィックコントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。
【００３５】
入出力コントローラ２０８４は、ホストコントローラ２０８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を接続する。通信インターフェイス２０３０は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ２０４０は、欠陥抽出装置１００内のＣＰＵ２０００が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０は、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。
【００３６】
また、入出力コントローラ２０８４には、ＲＯＭ２０１０と、フレキシブルディスクドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＲＯＭ２０１０は、欠陥抽出装置１００が起動時に実行するブート・プログラム、及び／又は、欠陥抽出装置１００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスクドライブ２０５０は、フレキシブルディスク２０９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。入出力チップ２０７０は、フレキシブルディスクドライブ２０５０を入出力コントローラ２０８４へと接続すると共に、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を入出力コントローラ２０８４へと接続する。
【００３７】
ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、ＲＡＭ２０２０を介して欠陥抽出装置１００内のハードディスクドライブ２０４０にインストールされ、ＣＰＵ２０００において実行される。
【００３８】
コンピュータにインストールされ、コンピュータを、溶接箇所を含む検査対象画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置１００として機能させるプログラムは、検査対象画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成モジュールと、当該マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を当該検査対象画像から抽出して抽出画像を生成する抽出モジュールとを備える。これらのプログラム又はモジュールは、ＣＰＵ２０００等に働きかけて、コンピュータを、溶接箇所を含む検査対象画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置１００として機能させる。
【００３９】
これらのプログラムに記述された情報処理は、コンピュータに読み込まれることにより、ソフトウェアと上述した各種のハードウェア資源とが協働した具体的手段である、検査対象画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、当該マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を当該検査対象画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部として機能する。そして、これらの具体的手段によって、本実施形態における欠陥抽出装置１００の使用目的に応じた情報の演算又は加工を実現することにより、使用目的に応じた特有の表示システムが構築される。
【００４０】
一例として、欠陥抽出装置１００と外部の装置等との間で通信を行う場合には、ＣＰＵ２０００は、ＲＡＭ２０２０上にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理内容に基づいて、通信インターフェイス２０３０に対して通信処理を指示する。通信インターフェイス２０３０は、ＣＰＵ２０００の制御を受けて、ＲＡＭ２０２０、ハードディスクドライブ２０４０、フレキシブルディスク２０９０、又はＣＤ−ＲＯＭ２０９５等の記憶装置上に設けた送信バッファ領域等に記憶された送信データを読み出してネットワークへと送信し、もしくは、ネットワークから受信した受信データを記憶装置上に設けた受信バッファ領域等へと書き込む。このように、通信インターフェイス２０３０は、ＤＭＡ（ダイレクト・メモリ・アクセス）方式により記憶装置との間で送受信データを転送してもよく、これに代えて、ＣＰＵ２０００が転送元の記憶装置又は通信インターフェイス２０３０からデータを読み出し、転送先の通信インターフェイス２０３０又は記憶装置へとデータを書き込むことにより送受信データを転送してもよい。
【００４１】
また、ＣＰＵ２０００は、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０（ＣＤ−ＲＯＭ２０９５）、フレキシブルディスクドライブ２０５０（フレキシブルディスク２０９０）等の外部記憶装置に格納されたファイルまたはデータベース等の中から、全部または必要な部分をＤＭＡ転送等によりＲＡＭ２０２０へと読み込ませ、ＲＡＭ２０２０上のデータに対して各種の処理を行う。そして、ＣＰＵ２０００は、処理を終えたデータを、ＤＭＡ転送等により外部記憶装置へと書き戻す。このような処理において、ＲＡＭ２０２０は、外部記憶装置の内容を一時的に保持するものとみなせるから、本実施形態においてはＲＡＭ２０２０および外部記憶装置等をメモリ、記憶部、または記憶装置等と総称する。本実施形態における各種のプログラム、データ、テーブル、データベース等の各種の情報は、このような記憶装置上に格納されて、情報処理の対象となる。なお、ＣＰＵ２０００は、ＲＡＭ２０２０の一部をキャッシュメモリに保持し、キャッシュメモリ上で読み書きを行うこともできる。このような形態においても、キャッシュメモリはＲＡＭ２０２０の機能の一部を担うから、本実施形態においては、区別して示す場合を除き、キャッシュメモリもＲＡＭ２０２０、メモリ、及び／又は記憶装置に含まれるものとする。
【００４２】
また、ＣＰＵ２０００は、ＲＡＭ２０２０から読み出したデータに対して、プログラムの命令列により指定された、本実施形態中に記載した各種の演算、情報の加工、条件判断、情報の検索・置換等を含む各種の処理を行い、ＲＡＭ２０２０へと書き戻す。例えば、ＣＰＵ２０００は、条件判断を行う場合においては、本実施形態において示した各種の変数が、他の変数または定数と比較して、大きい、小さい、以上、以下、等しい等の条件を満たすかどうかを判断し、条件が成立した場合（又は不成立であった場合）に、異なる命令列へと分岐し、またはサブルーチンを呼び出す。
【００４３】
また、ＣＰＵ２０００は、記憶装置内のファイルまたはデータベース等に格納された情報を検索することができる。例えば、第１属性の属性値に対し第２属性の属性値がそれぞれ対応付けられた複数のエントリが記憶装置に格納されている場合において、ＣＰＵ２０００は、記憶装置に格納されている複数のエントリの中から第１属性の属性値が指定された条件と一致するエントリを検索し、そのエントリに格納されている第２属性の属性値を読み出すことにより、所定の条件を満たす第１属性に対応付けられた第２属性の属性値を得ることができる。
【００４４】
以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記録媒体に格納されてもよい。記録媒体としては、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５の他に、ＤＶＤ及び／またはＣＤ等の光学記録媒体、ＭＯ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワーク及び／またはインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムを欠陥抽出装置１００に提供してもよい。
【００４５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】欠陥抽出装置１００の概略を示す機能ブロック図である。
【図２】マスク画像生成部１１０の構成を示す機能ブロック図である。
【図３】欠陥抽出装置１００の動作の各段階を示すフローチャートである。
【図４】入力部１１１が入力する検査対象画像の一例である。
【図５】第１ノイズフィルタ１１２においてノイズが除去された検査対象画像の一例である。
【図６】平滑化部１１３においてヒストグラムが平滑化された検査対象画像の一例である。
【図７】マスク画像の一例である。
【図８】抽出画像の一例である。
【図９】膨張処理部１３０において検査対象画像から抽出した領域が膨張された抽出画像の一例である。
【図１０】本実施形態に係る欠陥抽出装置１００のハードウェア構成の一例を示す。
【符号の説明】
【００４７】
１００  欠陥抽出装置
１１０  マスク画像生成部
１１１  入力部
１１２  第１ノイズフィルタ
１１３  平滑化部
１１４  第２ノイズフィルタ
１２０  抽出部
１３０  膨張処理部
２０００  ＣＰＵ
２０１０  ＲＯＭ
２０２０  ＲＡＭ
２０３０  通信インターフェイス
２０４０  ハードディスクドライブ
２０５０  フレキシブルディスクドライブ
２０６０  ＣＤ−ＲＯＭドライブ
２０７０  入出力チップ
２０７５  グラフィックコントローラ
２０８０  表示装置
２０８２  ホストコントローラ
２０８４  入出力コントローラ
２０９０  フレキシブルディスク
２０９５  ＣＤ−ＲＯＭ
【図１】
2009250809.tif 000003
【図２】
2009250809.tif 000004
【図３】
2009250809.tif 000005
【図１０】
2009250809.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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