(57)【要約】【課題】炭素繊維強化樹脂複合材を用いて、その利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供する。【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシート４ａを積層した積層板４を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板４の表面に導電被覆層５が形成され、積層板４の加工端面に端面保護層６を形成した搬送用治具１。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の繊維強化プリプレグシートを積層した積層板を加工してなる搬送用治具であって、
前記積層板の表面に、導電被覆層が形成されていることを特徴とする搬送用治具。
【請求項２】
前記導電被覆層が、金属、カーボン及び導電性セラミックスから選ばれる少なくとも一種の粉体又は繊維状の材料を含む樹脂組成物により形成されていることを特徴とする請求項１記載の搬送用治具。
【請求項３】
前記導電被覆層を形成する樹脂組成物が、（Ａ）エポキシ樹脂と、（Ｂ）エポキシ樹脂用硬化剤と、（Ｃ）エラストマーと、を含む樹脂組成物により形成されていることを特徴とする請求項２記載の搬送用治具。
【請求項４】
前記金属が、銀、銅、ニッケル、クロム及びこれら金属の合金から選ばれる少なくとも一種の金属であることを特徴とする請求項２又は３記載の搬送用治具。
【請求項５】
前記金属が、鱗片状であって平均粒子径が０．１〜２ｍｍである金属粉であることを特徴とする請求項４記載の搬送用治具。
【請求項６】
前記搬送用治具の加工端面にエラストマー被覆層を形成することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の搬送用治具。
【請求項７】
前記繊維強化プリプレグシートに使用される繊維が炭素繊維であり、樹脂が熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の搬送用治具。
【請求項８】
前記繊維強化プリプレグシートが、多数の炭素繊維を一方向に配向させ、炭素繊維間に樹脂組成物を含浸し半硬化させた炭素繊維プリプレグシートであることを特徴とする請求項７記載の搬送用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェハや液晶用ガラス基板等の板状の搬送物を移動、積み下ろしする自動搬送装置において、板状物を保持又は板状物を乗せるなどして搬送物と直接接触する部品として取り付けられる搬送用治具に関し、特に、シリコンウェハの搬送に最適な搬送用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェハや液晶ガラス基板等（以下、「基板等」という）を搬送するために、搬送装置が使用されているが、近年、処理効率を上げるために基板等の搬送物のサイズが大きくなってきている。それに伴い、搬送装置用のハンドはそれら搬送物を支えるために、これまで用いられていた金属部材と同等な曲げ剛性を有しながら、軽量で取り扱いやすい炭素繊維強化樹脂複合材（以下、「ＣＦＲＰ」ともいう）が使用されるようになってきた（例えば、特許文献１及び２参照。）。
【０００３】
このような搬送用治具において、基板等は、搬送時に発生する導電性の不純物や異物（以下、「パーティクル」という）が付着すると製品としたときに重大な動作不良を起こす原因となることがあり、このため静電気が発生しにくいこと、耐アウトガス特性、防塵性が重要となる。
【０００４】
これらの点では一般的にＣＦＲＰ部材よりはアルミなどの金属部材やセラミックの方がパーティクルの発生を抑制することができることから適しているが、ＣＦＲＰの使用拡大が期待されるなか、ＣＦＲＰからの炭素繊維脱落や、端面からの炭素繊維の粉落ちがなく、パーティクルの発生を抑制した材料が求められている。
【０００５】
そこで、本発明者らは、繊維基材や無機充填材を実質的に含まない樹脂組成物で搬送用治具の表面を被覆することで搬送用治具からのパーティクル発生を抑制できることを見出し既に特許出願を行なっている（特願２００７−１４９１７４号）。
【特許文献１】特開平８−２８８３６４号公報
【特許文献２】特開平１１−３５４６０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、クリーンルーム内は乾燥している為、表面の樹脂被覆面は非導電性であり、搬送用治具表面に静電気が発生し、パーティクルが付着するという不具合があった。
【０００７】
そこで、本発明は、表面樹脂コートＣＦＲＰを用いてその利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、鋭意検討した結果、金属、カーボン及び導電性セラミックスから選ばれる少なくとも一種の粉体又は繊維状の材料を含み、他の繊維基材や無機充填材を実質的に含まない樹脂組成物で搬送用治具の表面を被覆することで搬送用治具からのパーティクル発生を抑えると共に静電気によるパーティクルの付着を抑えることができることを見出し、本発明を完成させたものである。
【０００９】
すなわち、本発明の搬送用治具は、複数枚の繊維強化プリプレグシートを積層した積層板を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板の表面に、導電被覆層が形成されていることを特徴とするものである。
【００１０】
このように、積層板の表面を、金属、カーボン及び導電性セラミックスから選ばれる少なくとも一種の粉体又は繊維状の材料を含む樹脂組成物で被覆することで、静電気の発生を防ぎ、搬送用治具表面においてパーティクルの付着を抑えることで搬送物の汚染を低減させることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の搬送用治具によれば、その表面が、金属、カーボン又は導電性セラミックスを含んだ樹脂組成物で被覆されており、積層板を構成しているプリプレグに含まれている繊維が脱落することがなく、静電気を発生させないため、パーティクルの発生を抑えることができ、それにより搬送対象物である基板等を搬送用治具により汚染することがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本発明の搬送用治具の平面図であり、図２は図１に示した搬送用治具のＡ−Ａ断面図であり、図３は図１及び図２に示した搬送用治具の積層体の積層構造を示した図である。
【００１４】
ここで、図１及び図２に示したように、本実施形態の搬送用治具１は、搬送物を保持するハンド２と、搬送装置へ固定する固定部３とから構成されるものである。そして、この搬送用治具１は、複数の繊維強化プリプレグシート４ａを積層した積層板４の表面に導電樹脂層５が積層された積層体構造を有し、切断、打ち抜き加工することにより図１の平面形状としたものである。また、この積層板４の加工端面にはエラストマー６が被覆され、積層板の全ての面が樹脂組成物等により覆われて構成されているものである。
【００１５】
ここで用いられる導電樹脂層５は、樹脂組成物により形成されるものであり、ここで用いられる樹脂組成物としては熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれを主成分としたものでも良く、搬送用治具の搬送物と接触する面であることを考慮すれば、より強度が高い熱硬化性樹脂組成物であることが好ましい。なお、ここでいう樹脂組成物は、後述するエラストマーを単独で用いる場合を含まないものである。
【００１６】
ここで熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、変性ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられ、なかでも強度、成形性の観点からエポキシ樹脂が好ましく使用でき、質量平均分子量が７００〜２０００のエポキシ樹脂が特に好ましい。
【００１７】
また、熱硬化性樹脂として、例えばエポキシ樹脂を用いた場合、より具体的には、その樹脂組成物の成分構成は、（Ａ）エポキシ樹脂と、（Ｂ）エポキシ樹脂用硬化剤と、（Ｃ）エラストマーと、（Ｄ）金属、カーボン及び導電性セラミックスから選ばれる少なくとも一種の粉体又は繊維状の材料と、を必須成分とすることが好ましい。
【００１８】
ここで、この樹脂組成物に用いられる（Ｂ）エポキシ樹脂用硬化剤としては、エポキシ樹脂に対して通常用いられているものであれば特に限定されるものではなく、例えば、ジシアンジアミド、芳香族ジアミン等のアミン系硬化剤、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等のフェノール系硬化剤、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸等の酸無水物硬化剤等を用いることができる。また、このとき硬化促進剤を任意で配合することができ、この硬化促進剤としては、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、三フッ化ホウ素アミン錯体、トリフェニルホスフィン等を用いることができる。
【００１９】
そして、（Ｃ）エラストマーとしては、常温でゴム状弾性を有するものであればよく、例えば、ニトリルゴム、アクリルゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンメチルアクリレートアクリロニトリル、ゴム、ブタジエンゴム、カルボキシル含有アクリロニトリルブタジエンゴム、ビニル含有アクリロニトリルブタジエンゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム、ポリビニルブチラール等の合成ゴム、ゴム変性のエポキシ樹脂等のゴム変性高分子化合物、数平均分子量１万以上の高分子エポキシ樹脂等が挙げられる。なかでもニトリルゴムとアクリルゴムが好ましいが、成形性からニトリルゴムが特に好ましい。
【００２０】
この（Ｃ）エラストマー成分の配合量は、熱硬化性樹脂組成物中に２０〜８０質量％の範囲であることが好ましく、２０〜５０質量％であることが特に好ましい。２０質量％未満では樹脂シートを成形する際のハンドリング性が悪く、８０質量％を超えると引っかきにより剥れてしまう恐れがある。
【００２１】
また、搬送用治具１の最外層の導電被覆層として、（Ｄ）成分以外の繊維基材や無機フィラーを含まず、かつ２０〜８０質量％のエラストマー成分を含有する熱硬化性樹脂組成物を形成することで搬送用治具の反りを少なくすることもできる。
【００２２】
また、（Ｄ）金属、カーボン及び導電性セラミックスから選ばれる少なくとも一種の粉体又は繊維状の材料としては、樹脂組成物が静電気により帯電しないように導電性を有する材料を用い、静電気を拡散させ、大気中へリークする作用を有するものであればよく、このとき配合される形状として粉体又は繊維状であることが好ましい。
【００２３】
ここで用いられる金属としては、銀、銅、ニッケル、クロム及びこれらの金属の合金から選ばれる少なくとも一種の金属であることが好ましい。また、導電性セラミックスとしてはチタン酸カリウム、チタン酸ナトリウム、窒化ケイ素などが好ましいものとして挙げられる。
【００２４】
また、金属、カーボン、導電性セラミックスの形状としては粉体又は繊維状の導電性を付与できるものであれば特に限定されるものではなく、粉体としては、球状、棒状、針状、板状、不定形状、鱗片状、紡錘状等の様々な形状のものが挙げられるが、特に鱗片状であることが好ましい。
【００２５】
また、この粉体の平均粒子径は、０．１〜２ｍｍであることが好ましい。そして、繊維状の材料としては、繊維径が０．０１〜０．５ｍｍ、繊維長が１〜１０ｍｍであることが好ましい。ここで、平均粒子径は、レーザー回折法により求めたものである。
【００２６】
このとき、（Ｃ）〜（Ｄ）成分以外の成分の配合割合は、（Ｃ）〜（Ｄ）成分を除いた樹脂組成物中に（Ａ）エポキシ樹脂が６０〜９６質量％、（Ｂ）硬化剤が０．５〜３５質量％、硬化促進剤が０〜５質量％であることが好ましい。また、樹脂組成物全体に対して、（Ｄ）成分を５〜５０質量％含有することが好ましい。
【００２７】
これらの配合成分の他にも、本発明の効果を阻害しない範囲で、適宜必要な添加剤を配合することができる。なお、この導電被覆層５としては、（Ｄ）成分以外の無機フィラーや繊維基材等は実質的に含有することなく構成されるものである。
【００２８】
そして、この樹脂組成物を用いて形成される導電被覆層５は、その厚さが１〜５０μｍであることが好ましい。厚さが１μｍ未満では成形時や使用時の樹脂層の安定性が劣る場合があり、５０μｍを超えると成形時にボイドが残りやすくなってしまう。
【００２９】
そして、積層板４に用いられる繊維強化型プリプレグ４ａは、高剛性の繊維を所望の配向となるように繊維を配置して樹脂組成物に含浸し、この樹脂組成物をＢ−ステージ化するか、このＢ−ステージ化したものを加工して繊維方向を適宜調整することで得ることができる。
【００３０】
ここで用いられる繊維としてはガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ＦＢＯ繊維、全芳香族ポリエステルなどの繊維が織布または不織布が使用できるが、一方向に並べた繊維をそのまま使用しても良い。
【００３１】
さらに、一方向炭素繊維強化型プリプレグを使用することによって、反りの優れた搬送用治具を得ることができる。例えば、市販のＵＤプリプレグ（例えば（株）三菱レイヨンのＣＳテープなど）を使用しても良いし、１方向に並べた炭素繊維を樹脂シートと一体加熱圧着して得たものを用いることもできる。
【００３２】
このとき、搬送用治具の剛性に一番影響があるのは最外層のプリプレグであるため、中間層においては、例えば、炭素繊維織布強化型プリプレグ、外層に一方向炭素繊維強化型プリプレグとするようにしてもよい。
【００３３】
ここで炭素繊維強化型プリプレグ４ａに用いられる炭素繊維としては、通常強化繊維として用いられるものであれば特に限定されずに用いることができるが、例えば、炭素繊維強化型プリプレグの引張弾性率が２３０ＧＰａ以上、好ましくは４００ＧＰａ以上のものであることが好ましい。この炭素繊維としては、例えば、東レ（株）製のトレカ系、東邦テナックス（株）製の炭素繊維等が挙げられる。また、この炭素繊維は、プリプレグ中の質量比率が６０質量％以上であることが好ましく、６５〜７５質量％であることが特に好ましい。
【００３４】
このとき、炭素繊維以外の成分は樹脂成分となるため、樹脂成分は、質量比率が４０質量％以下であることが好ましく、３５〜２５質量％であることが特に好ましい。この比率があまりに低いと、積層した後に表面平滑性が低下するおそれがある。そして、この樹脂成分としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、変性ポリイミド樹脂等の熱硬化型樹脂が挙げられ、なかでもエポキシ樹脂であることが好ましい。
【００３５】
繊維強化型プリプレグ４ａの厚さは、これを複数枚積層して搬送用治具の積層板とするため、１０〜２００μｍであることが好ましく、１００〜１６０μｍであることがより好ましい。
【００３６】
また、加工端面には、端面保護層６が設けられ、積層板４は全ての面が覆われているが、この端面保護層６の材料としては、導電被覆層５と同様の樹脂組成物やエラストマーが挙げられ、ここで用いられる樹脂組成物としては、上記樹脂シートの材料と同様に熱可塑性樹脂組成物及び熱硬化性樹脂組成物を用いることができ、また、エラストマーとしては、上記エポキシ樹脂組成物の構成成分（Ｃ）エラストマーとして説明したものを単独で用いることができる。また、表面の導電被覆層５と同様に熱硬化性樹脂組成物を用いて加工端面を被覆する場合には、特にエラストマーを２０〜８０質量％含有するものを用いることが好ましい。なお、最外層の導電被覆層において、加工端面は表面よりも外力が加わったときにクラック発生や一部が欠けて脱落しやすいため、特に、加工端面の被覆層は、このような不具合の生じにくいエラストマー単独であることが好ましい。
【００３７】
本発明はこのように、最外層に特定の組成である導電被覆層５を形成することで、搬送用治具表面から繊維のパーティクルを発生させることなく使用することができ、静電気によるパーティクルの付着を防ぐことができる。さらに、加工端面にも被覆層として端面保護層６を設けることで、より効果的にパーティクルの発生を防止し、搬送物を汚染させることがない。
【００３８】
本発明の搬送用治具１は、上記説明したような繊維強化型のプリプレグ４ａを複数枚積層した積層板４の表面に樹脂組成物からなる導電被覆層５を形成し、加工端面に樹脂組成物又はエラストマーからなる端面保護層６を形成したものである。
【００３９】
その製造は、繊維強化型プリプレグ４ａを複数枚積層する積層工程と、この積層工程により積層されたプリプレグを離型フィルムを介し、加熱加圧して互いに接着させて積層板とする接着工程と、積層板４の表面に導電被覆層５となる樹脂シートを重ね合わせ加熱加圧して互いに接着させ、導電被覆層５を形成する導電被覆層形成工程と、により行うことができる。
【００４０】
積層板４の接着工程は高精度プレスなどであれば方式は特に限定されるものではない。成形条件は使用する樹脂によりそれぞれ異なるが、例えば、圧力１ＭＰａ、温度１２５℃で５時間成形などの条件とし、均一な条件にて積層、接着し、積層板を形成する。また、樹脂シートを積層板の表面に接着する導電被覆層形成工程は、高精度プレス又は熱ロールなどにより行なうことができる。
【００４１】
また、積層板４の表面に導電被覆層５を形成するには、手塗り、カーテンコーターなどの方法により積層板４の表面に、直接、樹脂組成物を塗布、乾燥させてもよく、また、積層板の製造の際に、導電被覆層５となる樹脂シートも一緒に積層し、一体成形することもできる。
【００４２】
ここで、樹脂シート５ａを用いる場合には、離型フィルムに塗布乾燥して形成することができ、繊維強化型プリプレグ４ａ又は積層板４と重ね合わせるようにすればよい。熱硬化性樹脂とエラストマーを主成分とする樹脂シートの場合には離型フィルムに塗布乾燥後、樹脂とエラストマーをなじませるためにエージング工程を入れることが一般的であるが、本発明では樹脂シートの熟成工程無しで成形一体化することにより表面外観の優れた搬送用治具を得ることもできる。
【００４３】
ここで、離型フィルムは特に限定されるものではなく、成形温度での耐熱性、成形後の離型性、低汚染性などの条件を満たすものであればいずれも使用できる。具体的には、セパニウムフィルム（サン・アルミニウム工業（株）製）、テドラーフィルム（ＤｕＰｏｎｔ製）等が挙げられる。
【００４４】
このようにして得られた積層体に、所定の外径および内穴径で、切断、打ち抜き加工を施し、端面の樹脂バリを除去して搬送用治具が製造できる。このとき、加工端面にさらに端面保護層６を形成するために、エラストマーを塗付乾燥し、硬化させることで、よりパーティクルを発生させることのない搬送用治具１を製造できる。
【００４５】
ここで用いられる加工端面の端面保護層６の形成に用いられる樹脂組成物としては、導電被覆層５に用いられる樹脂組成物が挙げられ、また、エラストマーとしては、導電被覆層５の樹脂組成物における（Ｃ）成分のエラストマーを単独で用いるものが挙げられ、シリコーンゴムを用いることが好ましく、これにより加工端面からの強化繊維である炭素繊維の粉落ちを有効に防ぐことができる。
【００４６】
シリコーンゴムの粘度は、処理する加工面によっても異なるが、非流動性から低粘度流動性タイプまで幅広く使用できる。非流動性や高粘度タイプは、繊維への染み込みが低粘度タイプに比べて遅いが、端面処理における液ダレが無いためコーティングしやすい。また、低粘度流動性タイプは、繊維への染み込みが早く薄くコーティングするのに適している。これらは搬送用治具の製造条件等により適宜選択して使用することができる。
【００４７】
この加工端面における、エラストマーの層の厚さは１〜２０μｍであることが好ましく、３〜１５μｍであることがより好ましい。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明の搬送用治具について、実施例及び比較例に基づいて説明する。
（参考例１）
炭素繊維プリプレグＡの作製
炭素繊維織布（東邦テナックス（株）製、商品名：Ｗ１１０３、一枚当たりの質量は１２５ｇ／ｍ２）にエポキシ樹脂組成物（京セラケミカル（株）製、商品名：ＴＥＹ９７５０Ｓ）を含浸、乾燥し一枚当たり樹脂分４０質量％の炭素繊維プリプレグＡを作製した。
【００４９】
（参考例２）
炭素繊維プリプレグＢ
一方向炭素繊維プリプレグである市販のＵＤシート（（株）三菱レイヨン製、商品名：ＣＳテープ；厚さ１５０μｍ）を炭素繊維プリプレグＢとした。
【００５０】
（参考例３）
表面コート樹脂組成物Ｃの作製
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製、商品名：エピコート１００１；質量平均分子量  ９００）  ７０質量部、ニトリルゴム（ＪＳＲ（株）製、商品名：Ｎ−１７２）  ３０質量部、４，４´−ジアミノジフェニルスルホン  ０．７質量部、三フッ化ホウ素錯体化合物である三フッ化ホウ素モノメチルアミン錯体０．５ｐｈｒ添加しニーダーで混練後、溶剤、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）とメチルセロソルブアセテート（ＭＣＡ）で希釈した。これに鱗片状銅粉（平均粒子径  ５μｍ）を樹脂組成物中に３０質量部混合して樹脂組成物とした。
【００５１】
（参考例４）
表面コート樹脂組成物Ｄの作製
銅粉を配合しないこと以外は参考例３と同様にして樹脂組成物Ｄを作製した。
【００５２】
（実施例１）
参考例１で作製した炭素繊維プリプレグＡを５５０ｍｍ×５５０ｍｍに切断したものを６枚重ね合わせ、１ＭＰａの圧力をかけながら、成形温度の１６０℃まで昇温して、これを６０分間保持し、加熱、加圧成形した。その後、３０分かけて冷却し、積層板を得た。
【００５３】
このようにして得られた厚さ０．８ｍｍの積層板を図１の形状に、切断、打ち抜き加工を施し、さらに積層板の表面及び加工端面に表面コート樹脂組成物Ｃを１０μｍの厚さにコーティングし、搬送用治具を製造した。
【００５４】
（実施例２）
表１の構成で、実施例１と同様の製造工程により搬送用治具を製造した。すなわち、実施例２では炭素繊維プリプレグＢを６枚重ね合わせて成形した積層体を、実施例１の構成と代えて搬送用治具を製造したものである。
【００５５】
（比較例１）
表面層及び加工端面のコーティングを施さずに、実施例１と同様の製造工程により炭素繊維プリプレグＡの積層板のみからなる搬送用治具を作製した。その構成は表１に示した。
【００５６】
（比較例２）
表面コート樹脂組成物Ｃの代わりに樹脂組成物Ｄを用いた以外は実施例１と同様の製造工程により、搬送用治具を作製した。その構成は表１に示した。
【００５７】
（比較例３）
厚さ０．８ｍｍのアルミ基板を使用し、図１の形状に切断、打ち抜き加工を施し、搬送用治具を作製した。その構成は表１に示した。
【００５８】
（試験例）
実施例１〜２及び比較例１〜３で得られた搬送用治具について、成形品外観、反り、表面外観及び端部のパーティクルの有無についてそれぞれ試験を行い、その結果を併せて表１に示した。
【００５９】
【表１】
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【００６０】
＊１  反り：平板状に置いた状態で最大浮き上がりを測定した。
＊２  表面外観：搬送用治具の表面及び端面の状態を観察し、次の基準により評価した。
○…表面及び端面が樹脂に覆われている、△…表面及び端面に繊維が少々露出している、×…表面及び端面に繊維が多数露出している
＊３  端面のパーティクル：コーティング処理後の端面を黒い布で擦った際の布表面の状態を次の基準により評価した。
○…パーティクルがつかない、△…パーティクルが少量つく、×…パーティクルが多量につく
＊４  表面のパーティクル：コーティング処理後の表面のパーティクル付着状況を目視で観察した。
○…パーティクルがない、△…パーティクルが少量あり、×…パーティクルが多量にあり
【００６１】
この結果から、本発明の搬送用治具は、表面外観にプリプレグの炭素繊維の露出がなく、表面のパーティクル付着を効果的の抑制できるため、搬送対象物を搬送用治具に由来して汚染することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の搬送用治具の一例を示した平面図である。
【図２】図１に記載した搬送用治具のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の搬送用治具の積層構造を示した概略図である。
【符号の説明】
【００６３】
１…搬送用治具、２…ハンド、３…固定部、４…積層板、４ａ…繊維強化型プリプレグ、５…導電被覆層、５ａ…樹脂シート、６…端面保護層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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