(57)【要約】【課題】ショットピーニング処理によって、被処理物の硬度及び強度をともに向上させる。【解決手段】ショットピーニング処理装置１０は、制御回路を具備した制御盤１０２を有する。歯車１４には、少なくとも２回のショットピーニング処理が施される。前記制御回路は、２回目のショットピーニング処理が、１回目のショットピーニング処理時に比して大きな投射エネルギでガラスビーズ２０が投射されるような制御を行う。例えば、２回目のショットピーニング処理に際しては、１回目に比してガラスビーズ２０の投射速度が大きく設定される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱化学処理が施された鋼材に対してメディアを投射することでショットピーニング処理を施すショットピーニング処理方法であって、
前記ショットピーニング処理を２回以上行い、
且つ後段のショットピーニング処理時における投射エネルギを、前段のショットピーニング処理時に比して大きくすることを特徴とするショットピーニング処理方法。
【請求項２】
熱化学処理が施された鋼材に対してメディアを２回以上投射することで複数回のショットピーニング処理を施すショットピーニング処理装置であって、
前記メディアを投射するための投射機構と、
前記メディアを投射する際に投射条件を制御する制御機構と、
を有し、
前記制御機構は、後段のショットピーニング処理時における投射エネルギを、前段のショットピーニング処理時に比して大きくなるように投射条件を制御することを特徴とするショットピーニング処理装置。
【請求項３】
請求項２記載の装置において、前段のショットピーニング処理を行うメディアを投射する投射機構と、後段のショットピーニング処理を行うメディアを投射する投射機構が同一であることを特徴とするショットピーニング処理装置。
【請求項４】
請求項２又は３記載の装置において、前記メディアとしてガラスビーズを用いるウォータジェットピーニング処理装置であることを特徴とするショットピーニング処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱化学処理が施された鋼材に対してメディアを２回以上投射することで複数回のショットピーニング処理を施すショットピーニング処理方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
歯車には、その使用に際して荷重が繰り返し付加される。このため、歯車は、優れた疲労強度を具備することが必要である。
【０００３】
歯車の疲労強度を向上させる手法の１つとして、ショットピーニング処理が挙げられる（例えば、特許文献１、２参照）。すなわち、歯車の表面に鋼球やガラスビーズ等の各種メディアを衝突させ、これにより該歯車に圧縮残留応力を付与する手法である。なお、特許文献３〜５に記載されているように、ショットピーニング処理が歯車のみならずバネ等の強度向上に有効であることは勿論である。
【０００４】
近年では、疲労強度を一層向上させるべく、ショットピーニング処理を２回行う、いわゆる２段階ショットピーニング処理が採用されることもある。この２段階ショットピーニング処理においては、前記特許文献２、３に記載されているように、２段目のショットピーニング処理時のメディアとしては、１段目のショットピーニング処理時に比して平均粒子径ないし直径、換言すれば、質量が小さいものが使用される。又は、特許文献３に記載されるように、２段目のショットピーニング処理時のメディアの投射速度が１段目のショットピーニング処理時に比して小さく設定されることもある。
【０００５】
このように、２段階ショットピーニング処理に際しては、後段のショットピーニング処理時におけるメディアの質量や投射速度を小さくしている。結局、従来技術では、後段における投射エネルギが小さく設定される。投射エネルギが下記の式（１）で表されるため、質量又は投射速度のいずれか一方が小さくなれば、これに伴って投射エネルギが小さくなるからである。
Ｅ＝（１／２）×ｍＶ2  …（１）
ただし、Ｅ：投射エネルギ、ｍ：メディアの質量、Ｖ：メディアの投射速度である。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２４８７６５号公報
【特許文献２】特許第３６１１７８５号公報
【特許文献３】特開平１０−２５１７４８号公報
【特許文献４】特開２０００−３１３９３８号公報
【特許文献５】特許第３４０３９１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年では、歯車等に高強度とともに高硬度を併せ持つことが希求されている。硬度を大きくするためには、投射エネルギを大きくしてショットピーニング処理を行えばよい。しかしながら、この場合、硬度は上昇するものの、表面の凹凸の度合い、換言すれば、いわゆる面粗さが大きくなる。このことに起因して、歯車の強度が低下してしまう。
【０００８】
すなわち、ショットピーニング処理によって部材の強度及び硬度の双方を向上させることは困難である。
【０００９】
本発明は上記した問題を解決するためになされたもので、部材の強度及び硬度の双方を同時に向上させることが可能であり、しかも、そのための装置構成が複雑化することを回避可能なショットピーニング処理方法及びその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するために、本発明は、熱化学処理が施された鋼材に対してメディアを投射することでショットピーニング処理を施すショットピーニング処理方法であって、
前記ショットピーニング処理を２回以上行い、
且つ後段のショットピーニング処理時における投射エネルギを、前段のショットピーニング処理時に比して大きくすることを特徴とする。
【００１１】
硬度を向上させるために大きな投射エネルギでショットピーニング処理を行った場合、被処理物の面粗さが大きくなり、その結果、強度が低下する。また、このショットピーニング処理の後、特許文献２、３に記載されるように、小さな投射エネルギで再度のショットピーニング処理を行っても、面粗さは略同等で維持される。すなわち、依然として低強度のままである。
【００１２】
これに対し、後段の投射エネルギを前段に比して大きくした状態でショットピーニング処理を施した場合、前段のショットピーニング処理による面粗さが小さくなり、しかも、後段のショットピーニング処理を施しても、この面粗さが略維持される。このため、小さな投射エネルギで再度のショットピーニング処理を行う場合に比して、被処理物の硬度が著しく大きくなる。その一方で、大きな投射エネルギで投射が行われたことに伴い、強度も向上する。
【００１３】
すなわち、上記のようにしてショットピーニング処理を行うことにより、強度及び硬度に優れた被処理物を得ることができる。
【００１４】
ここで、後段のショットピーニング処理の際に投射エネルギを大きくするためには、例えば、メディアの投射圧力を前段のショットピーニング処理時に比して大きくすればよい。又は、後段のショットピーニング処理時に使用されるメディアの質量を、前段に比して大きくするようにしてもよい。いずれの場合においても、上記の式（１）に従い、投射エネルギＥが大きくなる。
【００１５】
なお、メディアとしては、例えば、ガラスビーズを用いることができる。この場合、水等の液体を媒体とし、いわゆるウォータジェットピーニングを行うようにしてもよい。
【００１６】
また、本発明は、熱化学処理が施された鋼材に対してメディアを２回以上投射することで複数回のショットピーニング処理を施すショットピーニング処理装置であって、
前記メディアを投射するための投射機構と、
前記メディアを投射する際に投射条件を制御する制御機構と、
を有し、
前記制御機構は、後段のショットピーニング処理時における投射エネルギを、前段のショットピーニング処理時に比して大きくなるように投射条件を制御することを特徴とする。
【００１７】
このような制御を行うことで、投射エネルギを上記のように変更することが可能となる。結局、表面が平滑化されるとともに圧縮残留応力が付与され、このために硬度及び強度に優れる被処理物を容易に得ることが可能なショットピーニング処理装置が構成される。
【００１８】
投射エネルギは、具体的には、前記制御機構が後段のショットピーニング処理の際にメディアの投射圧力を前段のショットピーニング処理時に比して大きくする制御を行うことによって変更される。
【００１９】
又は、制御機構に、後段のショットピーニング処理の際に、前段のショットピーニング処理の際に投射されるメディアよりも質量の大きいメディアを投射する制御を行わせることによっても、投射エネルギを変更することができる。
【００２０】
この場合、前段のショットピーニング処理を行うメディアを投射する投射機構と、後段のショットピーニング処理を行うメディアを投射する投射機構とを同一とすることが好ましい。この場合、メディア毎に別個の投射機構を設ける必要がないので、装置構成を簡素化することができるからである。
【００２１】
さらに、当該ショットピーニング処理装置の好適な例としては、メディアとしてガラスビーズを用いるウォータジェットピーニング処理装置を挙げることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明においては、後段のショットピーニング処理時における投射エネルギを前段のショットピーニング処理時に比して大きくするようにしているので、被処理物の表面の面粗さが小さくなる。これに伴い被処理物の硬度が向上するとともに、該被処理物に、大きな投射エネルギによって大きな圧縮残留応力が付与される。このため、高硬度及び高強度の双方を同時に兼ね備える被処理物を容易に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明に係るショットピーニング処理方法につき、それを実施するショットピーニング処理装置との関係で好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本実施の形態に係るショットピーニング処理装置１０の一部断面正面説明図であり、図２は、前記ショットピーニング処理装置１０の一部断面側面説明図である。
【００２５】
このショットピーニング処理装置１０は、ケーシング１２内のチャンバ１３に配設されて被処理物である歯車１４を位置決め保持する歯車保持機構１６と、液体、例えば、水１８とガラスビーズ２０との噴流２２を前記歯車１４に向かって投射する投射機構２４と、この投射機構２４に前記水１８を圧送する水供給機構２６と、前記投射機構２４に前記ガラスビーズ２０を所定量ずつ送り出すガラスビーズ供給機構２８と、後述するショットピーニング処理時に前記ガラスビーズ２０が前記歯車１４の表面で粉砕することで生成する粉流屑２０ｂ（図３参照）を吸引回収するミスト回収機構２９とを備える。
【００２６】
図１に示すように、歯車保持機構１６は、基台３０上に載置されたＸ軸スライドユニット３１とスピンドルユニット３２とを備える。このＸ軸スライドユニット３１を構成するＸ軸モータ３４にボールねじ３６が連結され、このボールねじ３６に一対のガイドバー３８が平行に配設されるとともに、前記ボールねじ３６と前記ガイドバー３８とを介してスピンドルユニット３２が矢印Ｘ方向に進退可能に支持される。
【００２７】
スピンドルユニット３２は、スピンドルモータ４０に連結されたスピンドル４２を有し、このスピンドル４２の先端に歯車１４が装着される。スピンドルユニット３２の先端側は、ケーシング１２の側部１２ｂに形成された開口部４４からこのケーシング１２内に挿入自在である。
【００２８】
投射機構２４は、図２に示すように、Ｙ軸スライドユニット４６とＺ軸スライドユニット４８とを備える。Ｙ軸スライドユニット４６は、水平方向に指向するＹ軸モータ５０を有し、このＹ軸モータ５０に連結されるボールねじ５２とこのボールねじ５２に平行な一対のガイドバー５４とを介して、Ｚ軸スライドユニット４８が矢印Ｙ方向に進退自在である。このＺ軸スライドユニット４８を構成するＺ軸モータ５６から鉛直下方向に延在するボールねじ５８と、このボールねじ５８に平行な一対のガイドバー６０とを介して、移動体６２が矢印Ｚ方向に進退自在である。
【００２９】
移動体６２から矢印Ｙ方向に延在する一対の支持ロッド６４の先端に、矢印Ｚ方向に指向して管体６６が装着される。管体６６の上部には、水１８の導入をＯＮ・ＯＦＦするための開閉弁６８が設けられるとともに、この管体６６の下部には、前記水１８にガラスビーズ２０を混合するためのミキシングチャンバ７０が連結され、このミキシングチャンバ７０の下部にノズル７２が配設される。
【００３０】
水供給機構２６は、開閉弁６８の入口側に接続される水管路７４を有し、この水管路７４は、ケーシング１２内でスパイラル状に巻かれた後、このケーシング１２の外部に継手７６を介して接続される（図１参照）。この継手７６には、図示しない高圧ポンプが接続されており、この高圧ポンプは、噴流２２を歯車１４に向かって所定の噴射圧力で投射するように設定されている。
【００３１】
ガラスビーズ供給機構２８は、ケーシング１２の上面に取り付け台７８を介して保持されるホッパ８０を備える。前記ガラスビーズ２０は、このホッパ８０に充填されている。換言すれば、ガラスビーズ２０は、取り付け台７８に取り付けられたホッパ８０から供給されて投射される。本実施の形態において、ホッパ８０に充填されているガラスビーズ２０は、その直径が０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍに設定されている。
【００３２】
このホッパ８０の下部には、該ホッパ８０内のガラスビーズ２０の残量を検出するためのロードセル８２が配設される。図１に示すように、ホッパ８０の出口側には、計量バルブ８４、負圧計８６及びレーザ流量計８８が鉛直下方向に指向して連結されている。管路９０は、その一端をレーザ流量計８８に接続され、その他端をケーシング１２内のチャンバ１３に挿入してミキシングチャンバ７０に接続される。
【００３３】
ミスト回収機構２９は、基台３０上に載置された本体部９２を備える。この本体部９２内に収容された負圧発生源（図示せず）に連通して一対のダクト９４、９６が接続され、この一対のダクト９４、９６の先端部は、ケーシング１２の側部１２ｂからチャンバ１３に挿入される。ダクト９４、９６の各々の先端部に形成された第１開口部９４ａ及び第２開口部９６ａは、歯車１４とノズル７２との間で且つ前記歯車１４に近接して開口している（図２参照）。
【００３４】
ケーシング１２の下部側には、下方に指向して縮径する円錐部９８が一体的に設けられており、この円錐部９８の下部開口部の下方には、排液用コンベア１００が配設されている。
【００３５】
以上の構成において、歯車保持機構１６、投射機構２４、水供給機構２６、ガラスビーズ供給機構２８、及びミスト回収機構２９は、制御回路（制御機構）を具備する制御盤１０２に対し、電気的通信手段、光学的通信手段、又はその他の通信手段を介して接続されている。
【００３６】
本実施の形態に係るショットピーニング処理方法は、上記のように構成されるショットピーニング処理装置１０を用い、以下のようにして実施される。
【００３７】
先ず、切削加工により歯切り加工が施された歯車１４には、熱化学処理が施される。なお、熱化学処理としては、ＪＩＳ Ｂ ６９０５に規定されるように、浸炭、窒化、浸硫等の各種表面処理が挙げられる。
【００３８】
上記したような熱化学処理が施された歯車１４は、歯車保持機構１６を構成するスピンドル４２にセットされる。その一方で、投射機構２４を構成するノズル７２が、Ｙ軸スライドユニット４６及びＺ軸スライドユニット４８を介して矢印Ｙ方向及び矢印Ｚ方向に選択的に位置調整され、前記歯車１４に対応して配置される。
【００３９】
次に、スピンドルモータ４０を介してスピンドル４２と一体的に歯車１４が所定方向に回転するとともに、Ｘ軸スライドユニット３１を構成するＸ軸モータ３４を介し、前記歯車１４がこのスピンドルユニット３２と一体的に矢印Ｘ１方向に移動する（図１参照）。
【００４０】
その際、投射機構２４が駆動され、図示しない前記高圧ポンプの作用下に水１８が水管路７４を介して管体６６からミキシングチャンバ７０に圧送される。勿論、前記高圧ポンプの噴出圧力（投射圧力）は、制御盤１０２が具備する前記制御回路によって所定の圧力に制御される。本実施の形態では、前記高圧ポンプで加圧される水１８の投射圧力が１００〜３５０ＭＰａの範囲内となるように設定される。
【００４１】
一方、ガラスビーズ供給機構２８においては、計量バルブ８４が駆動され、ミキシングチャンバ７０に管路９０から所定量のガラスビーズ２０が予め送給されている。このため、ノズル７２から水１８が噴射されると、ミキシングチャンバ７０内に負圧が発生し、管路９０内のガラスビーズ２０がこの水１８と混合して噴流２２となって前記ノズル７２から歯車１４に投射される。
【００４２】
最終的に、図３に示すように、水１８とガラスビーズ２０との噴流２２が指向性を有して歯車１４の歯先１０６、歯面１０８及び歯元１１０の所望の位置に正確に衝突する。その結果、これら歯面１０８及び歯元１１０の表面に圧縮残留応力が付与される。
【００４３】
ここで、ガラスビーズ２０は、前記の衝突に際して粉砕される。これにより生じた粉砕片２０ａは、該ガラスビーズ２０とともに歯車１４に向けて噴射された水１８によって歯車１４（歯面１０８及び歯元１１０）の表面に鋭角に押し付けられる。このため、歯車１４における歯面１０８から歯元１１０にわたって研磨処理が施され、所定の面粗さに加工される。以上のようにして、歯車１４に対する１回目のショットピーニング処理が施される。
【００４４】
所定時間が経過した後、水供給機構２６及びガラスビーズ供給機構２８から水１８、ガラスビーズ２０の供給がそれぞれ停止され、これに伴い、投射機構２４からの噴流２２の投射が停止される。勿論、上記の噴流２２の投射から停止に至るショットピーニング処理装置１０の動作は、制御盤１０２が具備する制御回路の制御作用下に営まれる。
【００４５】
次に、歯車１４に対して２回目のショットピーニング処理が実施される。すなわち、水供給機構２６及びガラスビーズ供給機構２８から水１８、ガラスビーズ２０がそれぞれ再供給され、結局、歯車１４に対し、投射機構２４から噴流２２が投射される。
【００４６】
ここで、前記制御回路は、２回目のショットピーニング処理時における投射エネルギが１回目のショットピーニング処理時に比して大きくなるように制御を行う。具体的には、この場合、噴流２２の投射圧力を大きくするように前記高圧ポンプに指令を発する。
【００４７】
本実施の形態では、１回目及び２回目のショットピーニング処理の双方において、同一のガラスビーズ２０がメディアとして使用される。従って、投射圧力が大きい２回目のショットピーニング処理時では、１回目のショットピーニング処理時に比して噴流２２の投射速度、すなわち、上記の式（１）中のＶが大きくなるので、投射エネルギＥも大きくなる。
【００４８】
なお、２回目のショットピーニング処理に際し、ガラスビーズ２０に比して質量、すなわち、上記の式（１）中のｍが大きなメディアを使用することで投射エネルギＥを大きくするようにしてもよい。このようなメディアの好適な例としては、ガラスビーズ２０よりも大径なガラスビーズを挙げることができる。
【００４９】
この場合、ガラスビーズ供給機構２８と同様の構成の第２ガラスビーズ供給機構を別に設け、この第２ガラスビーズ供給機構から、ガラスビーズ２０よりも大径な前記ガラスビーズを投射機構２４に供給するようにすればよい。勿論、前記制御回路は、１回目のショットピーニング処理時にガラスビーズ供給機構２８を駆動してガラスビーズ２０が投射され、２回目のショットピーニング処理時に前記第２ガラスビーズ供給機構を駆動して大径なガラスビーズが投射されるように制御を行う。
【００５０】
ガラスビーズに代替して別のメディアを使用する場合も同様に、ガラスビーズ供給機構２８とは別のメディア供給機構を設けるとともに、前記制御回路に、２回目のショットピーニング処理時に前記メディア供給機構が駆動されるような制御を行わせればよい。
【００５１】
いずれの場合においても、１回目及び２回目のショットピーニング処理時に投射機構２４を兼用することができる。すなわち、１回目のショットピーニング処理時にガラスビーズ２０を投射するための投射機構２４とは別に、２回目のショットピーニング処理時にメディアを投射するための投射機構を設ける必要は特にない。これにより、ショットピーニング処理装置１０の構成が複雑化することを回避することができる。
【００５２】
勿論、上記式（１）におけるｍとＶを同時に大きくするようにしてもよい。すなわち、ガラスビーズ２０に比して質量が大きなメディアを１回目のショットピーニング処理時に比して大きな投射速度で投射するようにしてもよい。
【００５３】
例えば、直径が０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍの間の所定値であるガラスビーズ２０の質量を１とし、且つ１００〜３５０ＭＰａの間の所定の投射圧力で水１８とともに投射されたガラスビーズ２０の投射速度を１としたとき、質量比２１５．５のガラスビーズ２０を水１８とともに速度比１．６の投射速度で投射することで投射エネルギを約０．０８７Ｎｍとしてショットピーニング処理を１回のみ行った場合、ＪＩＳ Ｂ ０６０１（２００１年）に規定される最大高さは、約８．８μｍである。また、１回目のショットピーニング処理時の投射エネルギを上記と同様に約０．０８７Ｎｍとし、且つ２回目のショットピーニング処理時の投射エネルギを、（ａ）質量比１のガラスビーズ２０を水１８とともに速度比１．９の投射速度で投射することで約０．００１Ｎｍ、（ｂ）質量比１７．５のガラスビーズ２０を水１８とともに速度比１．６の投射速度で投射することで約０．００７Ｎｍ、（ｃ）質量比６３．８のガラスビーズ２０を水１８とともに速度比１．６の投射速度で投射することで約０．０２６Ｎｍのいずれかとした場合、すなわち、特許文献２、３に記載されているように、２回目のショットピーニング処理時の投射エネルギを１回目に比して小さくした場合、前記最大高さは、それぞれ、（ａ）約９．３μｍ、（ｂ）約７．８μｍ、（ｃ）約８．９μｍである。この結果から、１回目のショットピーニング処理時に面粗さが大きくなると、２回目のショットピーニング処理時に平滑化することは困難であることが諒解される。
【００５４】
なお、２回目のショットピーニング処理時における投射エネルギは、ガラスビーズの直径（質量）を小さくしたり、投射圧力を小さくしたり、又はその双方を併用したりすることによって、１回目のショットピーニング処理時における投射エネルギよりも小さくしている。
【００５５】
これに対し、前段のショットピーニング処理時の投射エネルギと後段のショットピーニング処理時の投射エネルギを逆にした場合、すなわち、１回目のショットピーニング処理時の投射エネルギを、（ｄ）質量比１のガラスビーズ２０を水１８とともに速度比１．９の投射速度で投射することで約０．００１Ｎｍ、（ｅ）質量比１７．５のガラスビーズ２０を水１８とともに速度比１．６の投射速度で投射することで約０．００７Ｎｍ、（ｆ）質量比６３．８のガラスビーズ２０を水１８とともに速度比１．６の投射速度で投射することで約０．０２６Ｎｍのいずれかとするとともに、２回目のショットピーニング処理時の投射エネルギを、質量比２１５．５のガラスビーズ２０を水１８とともに速度比１．６の投射速度で投射することで約０．０８７Ｎｍとした場合、前記最大高さは、それぞれ、（ｄ）約６．８μｍ、（ｅ）約６．２μｍ、（ｆ）約７μｍとなる。すなわち、２回目のショットピーニング処理時における投射エネルギを大きくすることにより、面粗さが小さくなり平滑化が容易となる。
【００５６】
この場合、２回目のショットピーニング処理時における投射エネルギは、上記したように、ガラスビーズの径を大きくしたり、投射圧力を大きくしたり、その双方を併用したりすることによって、１回目のショットピーニング処理時における投射エネルギよりも大きくしている。
【００５７】
平滑な歯車１４は、面粗さが大きな歯車よりも優れた硬度を示す。結局、本実施の形態によれば、ショットピーニング処理によって該歯車１４の強度を向上させると同時に、歯車１４の表面を平滑化することで硬度を向上させることができる。
【００５８】
この後、１回以上のショットピーニング処理をさらに行うようにしてもよい。この場合においても、後段のショットピーニング処理を行う際の投射エネルギを前回のショットピーニング処理時に比して順次大きくすればよい。この場合、メディア供給機構を複数個設け、各ホッパ８０に質量が互いに相違するメディアを充填し、質量が小さいものから順に投射するようにすればよい。勿論、メディアの投射順序は、前記制御盤１０２の制御回路の作用下に切り替えられる。
【００５９】
上記したショットピーニング処理に際しては、いずれの回においても、水１８及びガラスビーズ２０の粉砕片２０ａは、ケーシング１２の下部に設けられている円錐部９８から排液用コンベア１００内に排出され、この排液用コンベア１００を介して外部に回収される。しかしながら、ガラスビーズ２０の粉砕に伴って生成した粉砕片２０ａよりも極めて微細な粉流屑２０ｂは、チャンバ１３内で浮遊し易い。
【００６０】
この粉流屑２０ｂは、ミスト回収機構２９によって収集される。すなわち、該ミスト回収機構２９を構成する一対のダクト９４、９６の先端部がチャンバ１３内に挿入され、それぞれの先端部に形成された第１開口部９４ａ及び第２開口部９６ａが、歯車１４とノズル７２との間で前記歯車１４に近接して開口している。このため、ミスト回収機構２９が駆動されて第１開口部９４ａ及び第２開口部９６ａから吸引が行われると、図４に示すように、チャンバ１３内で浮遊する微細な粉流屑２０ｂを含むミストが、第１開口部９４ａ及び第２開口部９６ａからダクト９４、９６を介して確実に吸引される。
【００６１】
このように、ガラスビーズ２０の粉砕によって生成された粉流屑２０ｂは、ミスト回収機構２９により容易且つ確実に回収される。従って、粉流屑２０ｂがスピンドル４２等に付着することが回避され、その結果、該スピンドル４２の回転動作に不具合が発生することも回避される。
【００６２】
なお、上記した実施の形態では、水１８とともにガラスビーズ２０を投射する、いわゆるウォータジェットピーニング処理装置を用いるようにしているが、メディア及び媒体の各々は、水１８、ガラスビーズ２０に特に限定されるものではなく、公知のメディア及び媒体を採用することができる。水１８は、純水であってもよいし、不可避的不純物を含む水であってもよい。また、水１８に代替して各種の水溶液を用いるようにしてもよい。
【００６３】
また、ショットピーニング処理自体も、ウォータジェットピーニング処理に特に限定されるものではなく、公知のショットピーニング処理であればよい。
【００６４】
勿論、ショットピーニング処理が施される被処理物も歯車１４に特に限定されるものではなく、例えばバネ等、他の部材であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本実施の形態に係るショットピーニング処理装置の一部断面正面説明図である。
【図２】図１のショットピーニング処理装置の一部断面側面説明図である。
【図３】歯面にガラスビーズが衝突した際の説明図である。
【図４】ミスト回収機構の動作を説明する一部拡大図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０…ショットピーニング処理装置        １２…ケーシング
１３…チャンバ                          １４…歯車
１６…歯車保持機構                      １８…水
２０…ガラスビーズ                      ２２…噴流
２４…投射機構                          ２６…水供給機構
２８…ガラスビーズ供給機構              ２９…ミスト回収機構
６６…管体                              ７２…ノズル
７４…水管路                            ８０…ホッパ
９０…管路                              ９４、９６…ダクト
１０２…制御盤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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