(57)【要約】【課題】組み立ての際、及び運転時におけるフィラメント１０１及びカソード１０２のギャップの調節を容易にすることである。【解決手段】フィラメント１０１によってカソード１０２を加熱し、当該カソード１０２から熱電子を放出して、原料ガスをプラズマ化することによりイオンを発生するイオン源１００であって、前記カソード１０２が固定されるイオン源本体２と、前記フィラメント１０１を保持するとともに、前記イオン源本体２に設けられるフィラメント保持体３と、前記フィラメント保持体３及び前記イオン源本体２の間に介在して設けられ、前記カソード１０２及び前記フィラメント１０１の距離を組み立て後に調節可能にする調節する調節機構４と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィラメントによってカソードを加熱し、当該カソードから熱電子を放出して、原料ガスをプラズマ化することによりイオンを発生するイオン源であって、
前記カソードが固定されるイオン源本体と、
前記フィラメントを保持するとともに、前記イオン源本体に設けられるフィラメント保持体と、
前記イオン源本体及び前記フィラメント保持体の間に介在して設けられ、前記フィラメントと前記カソードとの距離を、組み立て後に調節可能にする調節機構と、を備えているイオン源。
【請求項２】
フィラメントによってカソードを加熱し、当該カソードから熱電子を放出して、原料ガスをプラズマ化することによりイオンを発生するイオン源であって、
前記カソードが固定されるイオン源本体と、
前記フィラメントを保持するとともに、前記イオン源本体に設けられるフィラメント保持体と、
前記フィラメント保持体における前記イオン源本体の反対側に設けられ、前記フィラメントと前記カソードとの距離を、組み立て後に調節可能にする調節機構と、を備えているイオン源。
【請求項３】
前記フィラメント及び／又は前記カソードからの熱影響を受ける範囲において、前記フィラメント保持体が前記イオン源本体に対して離間して設けられている請求項１又は２記載のイオン源。
【請求項４】
前記フィラメント保持体が、前記フィラメントを保持するフィラメントホルダと、一端部が前記フィラメントホルダの基端部に絶縁部材を介して接続され、他端部が前記イオン源本体に固定されるホルダ固定部材と、を備え、
前記調節機構が、前記イオン源本体からの前記ホルダ固定部材の位置を調節することにより、前記フィラメントと前記カソードとの距離を調節するものである請求項１、２又は３記載のイオン源。
【請求項５】
前記ホルダ固定部材の前記イオン源本体との当接面と、前記フィラメントの前記カソードとの対向面とが、略同一面上に位置している請求項４記載のイオン源。
【請求項６】
前記調節機構が、前記イオン源本体又は前記固定部材に設けられたモータと、前記モータの回転を減速する減速機構と、前記減速機構及び前記ホルダ固定部材に連結され、前記モータの回転運動を直進運動に変換して、前記ホルダ固定部材を前記イオン源本体に対して進退移動させるねじ機構と、を備えている請求項１、２、３又は４記載のイオン源。
【請求項７】
前記減速機構が、ウォーム歯車を用いたものである請求項６記載のイオン源。
【請求項８】
請求項１乃至７記載のイオン源を用いたイオン注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばイオン注入装置等に用いるイオン源に関し、より詳細には、フィラメントによってカソードを加熱して、当該カソードからプラズマ生成容器内にプラズマ生成用の熱電子を放出し、原料ガスをイオン化するいわゆる傍熱型イオン源に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のイオン源としては、特許文献１に示すように、プラズマ生成容器とは反対側のカソード背面に配置されたフィラメントから出る熱電子を電圧で加速してカソードを加熱し、プラズマ生成容器内に面するカソード前面からプラズマ生成容器内に熱電子を放出して、アーク放電させる構造になっている。
【０００３】
このイオン源において、カソードとフィラメントとの間隔（ギャップ）にはかなりの精度が要求されており、その精度は数ｍｍ±０．０５ｍｍである。
【０００４】
このギャップ調整には、イオン源の組み立て時において、フィラメントセットゲージ（スペーサ）を入れて設定している。具体的には、カソードホルダにより保持されたカソード内面にスペーサを配置し、ガタ、緩みが無い様に、フィラメントを保持するフィラメントホルダ及びカソードホルダをネジで取り付け、フィラメントホルダから外側に突出しているフィラメントを押し込み、フィラメントとカソードとスペーサとに隙間がない状態にする。その後、フィラメントが平行に取り付けられたことを確認後、ネジを外し、カソードホルダを取り外す。そして、スペーサを取り除いて、再度組み立てをする。再度組み立てを行う際には、フィラメントホルダに対してフィラメントの位置がずれないように注意する必要がある。
【０００５】
このように、組み立て作業が複雑であり、組み立てに個人差もあることから、フィラメント及びカソード間の正確なギャップ設定が困難であるという問題がある。
【０００６】
また、フィラメントの曲げ加工は手作業で行うため、フィラメント形状にばらつきが生じてしまい、同じギャップであっても放出電子量は異なるという問題がある。
【０００７】
さらに、ギャップを正確に設定したとしても、フィラメントの足（端子）がフィラメントホルダに固定されているため、長時間運転しているとフィラメントが熱膨張で捩れ、変形してしまい、その結果ギャップが変化してしまう。
【０００８】
その上、フィラメント自身が消耗し、直径が小さくなってしまう結果、ギャップが変化してしまう。
【０００９】
加えて、長時間運転すると、カソードのフィラメント側面（背面）に蒸発による僅かな窪みが生じるため、ギャップが変化してしまう。
【００１０】
以上のように、組み立て時にギャップを正確に調節することが困難である上に、仮に組み立て時において正確にギャップを設定しても、その後の運転によって生じる諸要因によって、そのギャップが変化してしまうという問題がある。
【００１１】
組み立て時、又はその後の運転による諸要因によりギャップが小さくなり、フィラメントがカソードに近づき過ぎれば、熱電子の放出電子量（エミッション）は大きくなり過ぎる。このとき、電流は電源で制御されていることから、電源特性によりフィラメント及びカソード間の電圧（電子衝撃電圧）が低下してしまう。その結果、カソードを加熱するための加熱電力が低下して足らなくなってしまう。そうすると、電流を下げて放出電子量を減少させ、電子衝撃電圧を上げて加熱電力を調整する必要がある。このようにギャップが小さい場合は、電子電流が温度制限領域にあたるので、電力を調整できる条件が存在するが、その制御が複雑になってしまうという問題がある。また、ギャップが小さすぎると、カソードからの熱輻射でフィラメントの消耗が大きくなってしまい、フィラメントの寿命が低下してしまう。また、運転に関してもフィラメントがカソードにより加熱されることになり、エミッション電流が増大してしまうので、エミッション電流制御が不安定になる。
【００１２】
逆にギャップが大きすぎると、運転が電子電流の空間電荷制限領域になるので、フィラメント電流を上げて、電子衝撃電圧を上げても、空間電荷効果により所望の放出電子量が得られない場合が生じる。この場合は、イオン源を分解して再度フィラメントとカソードとのギャップを調整し直す必要がある。これは、イオン注入装置を停止させることになるので、製造ラインでは大きな問題になる。また、上述したように、分解後の組み立てにおいても、その作業が複雑であり、フィラメント及びカソード間の正確なギャップ設定が困難であるという問題もある。
【特許文献１】特許第３７５８６６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかして本発明は、組み立ての際、及び運転時におけるフィラメント及びカソードのギャップの調節を容易にすることをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
すなわち本発明に係るイオン源は、フィラメントによってカソードを加熱し、当該カソードから熱電子を放出して、原料ガスをプラズマ化することによりイオンを発生するイオン源であって、前記カソードが固定されるイオン源本体と、前記フィラメントを保持するとともに、前記イオン源本体に設けられるフィラメント保持体と、前記イオン源本体及び前記フィラメント保持体の間に介在して設けられ、前記フィラメントと前記カソードとの距離を組み立て後に調節可能にする調節機構と、を備えていることを特徴とする。
【００１５】
このようなものであれば、例えば組み立て時にフィラメント及びカソードの距離を正確に設定する必要が無く、イオン源の組み立て後において、フィラメント及びカソードの距離調整を簡単に行うことができる。また、運転時において、運転における諸要因によりフィラメント及びカソードの距離が変化した場合でも、分解する必要なく容易にフィラメント及びカソードの距離を調整することができる。
【００１６】
また、本発明に係るイオン源は、フィラメントによってカソードを加熱し、当該カソードから熱電子を放出して、原料ガスをプラズマ化することによりイオンを発生するイオン源であって、前記カソードが固定されるイオン源本体と、前記フィラメントを保持するとともに、前記イオン源本体に設けられるフィラメント保持体と、前記フィラメント保持体における前記イオン源本体の反対側に設けられ、前記フィラメントと前記カソードとの距離を、組み立て後に調節可能にする調節機構と、を備えていることを特徴とする。
【００１７】
このようなものであれば、上述した発明の効果に加えて、調節機構の配置の自由度が増し、その配置を調節機構の構成に合わせて設定することができる。その結果、調節機構の構成を自由に選択することができるようになり、フィラメントの微調節をし易くすることができる。
【００１８】
また、フィラメント及び／又はカソードからの熱により、フィラメント保持体、イオン源本体及びそれらを固定するためのネジや絶縁碍子などが焼き付いてメンテナンス時の分解を妨げない様にするためには、前記フィラメント及び／又は前記カソードからの熱影響を受ける範囲において、前記フィラメント保持体が前記イオン源本体に対して離間して設けられていることが望ましい。
【００１９】
フィラメント保持体及び調節機構の具体的な実施の態様としては、前記フィラメント保持体が、前記フィラメントを保持するフィラメントホルダと、一端部が当該フィラメントホルダの基端部に絶縁部材を介して接続され、他端部がイオン源本体に固定されるホルダ固定部材と、を備え、前記調節機構が、前記イオン源本体からの前記ホルダ固定部材の位置を調節することにより、前記フィラメントと前記カソードとの距離を調節するものであることが望ましい。
【００２０】
また、前記ホルダ固定部材の前記イオン源本体との当接面と、前記フィラメントの前記カソードとの対向面とが、略同一面上に位置するようにしていることが望ましい。これならば、フィラメントのカソードとの対向面と、カソードのフィラメントとの対向面との平行度の調節が容易にでき、その結果、カソードを効率的に加熱することができる。
【００２１】
前記調節機構が、前記イオン源本体又は前記固定部材に設けられたモータと、前記モータの回転を減速する減速機構と、前記減速機構及び前記ホルダ固定部材に連結され、前記モータの回転運動を直進運動に変換して、前記ホルダ固定部材を前記イオン源本体に対して進退移動させるねじ機構と、を備えていることが望ましい。このようなものであれば、モータの回転数、減速機構の減速比及びねじ機構のピッチにより、フィラメントのカソードに対する距離を所定間隔で調節することができるようになる。
【００２２】
減速機構を簡単かつ小型に実現するためには、前記減速機構が、ウォーム歯車を用いたものであることが望ましい。
【００２３】
上述したイオン源を用いたイオン注入装置であれば、安定したイオンを供給することができるので、イオン注入を精度良く行うことができるようになる。
【発明の効果】
【００２４】
このように構成した本発明によれば、組み立ての際、及び運転時におけるフィラメント及びカソードのギャップの調節を容易にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に、本発明に係るイオン源１００の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、図１は、本実施形態に係るイオン源１００の模式的断面図であり、図２は、調節機構４による調節後のフィラメント１０１の位置を示す部分拡大模式図である。
【００２６】
＜装置構成＞
本実施形態にかかるイオン源１００は、イオン注入装置に用いられ、図１に示すように、フィラメント１０１によってカソード１０２を加熱して当該カソード１０２からアノードを兼ねるプラズマ生成容器２２内に熱電子を放出させ、原料ガスをプラズマ化してイオンを発生するものであり、いわゆる傍熱型イオン源と呼ばれるものである。
【００２７】
具体的にこのものは、前記カソード１０２が固定されるイオン源本体２と、前記フィラメント１０１を保持するとともに、前記イオン源本体２に設けられるフィラメント保持体３と、前記フィラメント保持体３における前記イオン源本体２の反対側に設けられ、前記カソード１０２及び前記フィラメント１０１の距離をイオン源の組み立て後に調節可能にする調節機構４と、を備えている。
【００２８】
以下、各部２〜４について説明する。
【００２９】
イオン源本体２は、イオン源チャンバ（図示しない）に取り付けられるマウントフランジ２１１を有する本体部２１と、当該本体部２１の先端部に設けられたプラズマ生成容器２２と、を備えている。
【００３０】
プラズマ生成容器２２は、例えば直方体形状をなし、その内部には、ガス導入口２２１を通して、プラズマ生成用の所定のガス（蒸気の場合を含む）が導入される。このガスは、所望の元素（例えばホウ素（Ｂ）、リン（Ｐ）、ヒ素（Ａｓ）等のドーパント）を含むガスである。より詳細には、ＢＦ３、ＰＨ３、ＡｓＨ３、Ｂ２Ｈ６等の原料ガスを含むガスである。
【００３１】
また、プラズマ生成容器２２の１つの壁面（長辺壁の１つ）には、イオンビームの引き出し用のイオン射出孔２２２が設けられている。このイオン射出孔２２２は、例えば長辺壁の長手方向に細長いスリット状をなすものである。
【００３２】
さらに、プラズマ生成容器２２の他の１つの壁面（短辺壁の１つ）には、カソード１０２を位置させるためのカソード取付口２２３が設けられている。カソード取付口２２３を有する壁面と対向する壁面の内側には、プラズマ中の電子を反射させる反射電極１０３が電気絶縁物を介して保持されている。
【００３３】
カソード１０２は、例えばタングステン（Ｗ）からなる柱状（より詳細には、円柱状）のものであり、カソードホルダ５によりカソード取付口２２３内に配置される。
【００３４】
カソードホルダ５は、例えばモリブデン（Ｍｏ）から形成されるものであり、内部にカソード１０２を保持する筒状の保持部５１と、イオン源本体２の側面に絶縁部材５３を介して固定される固定部５２とからなる。そして、固定部５２をイオン源本体２に取り付けた状態において、保持部５１は、プラズマ生成容器２２の外部からカソード取付口２２３内に挿入される。
【００３５】
フィラメント保持体３は、フィラメント１０１を保持するフィラメントホルダ３１と、イオン源本体２に固定されるホルダ固定部材３２と、を備えている。
【００３６】
フィラメントホルダ３１は、概略矩形形状をなすものであり、フィラメント１０１に通電するフィラメント導体としての機能を有し、図示しないフィラメント電流導体が接続される。また、フィラメントホルダ３１は、先端部に自身の弾性変形によりフィラメント１０１を狭持するフィラメント狭持部３１１を有している。
【００３７】
固定部材３２は、概略矩形形状をなすものであり、一端部がフィラメントホルダ３１の基端部に絶縁部材３３を介して接続され、他端部がイオン源本体２にモリブデンネジ等により固定されるものである。また、ホルダ固定部材３２の他端部には、イオン源本体２に固定されるための例えば段形状をなす取り付け部３２１が設けられている。取り付け部３２１は、図１に示すように、フィラメント１０１及びカソード１０２からの熱の影響を考慮して、マウントフランジ２１１の外側に配置されている。なお、前記絶縁部材３３としては、例えばセラミック、アルミナ等が挙げられる。
【００３８】
このように構成したフィラメント保持体３において、フィラメント１０１が取り付けられるフィラメントホルダ３１の先端部（フィラメント狭持部３１１）からホルダ固定部材３２のイオン源本体２に固定される取り付け部３２１に至るまで、イオン源本体２及びカソードホルダ５から所定間隔離間して設けられている。つまり、ホルダ固定部材３２の取り付け部３２１は、取り付け部３２１、イオン源本体２及びそれらを固定する固定ねじが、フィラメント１０１及びカソード１０２からの熱影響を受けて焼き付かない領域に設定されている。
【００３９】
また、ホルダ固定部材３２のイオン源本体２との当接面と、フィラメント１０１のカソード１０２との対向面とが、略同一面上に位置している。つまり、フィラメント保持体３がイオン源本体２に取り付けられた状態において、その先端部に取り付けられたフィラメント１０１のカソード側先端面（カソード１０２との対向面）と、フィラメント保持体３のホルダ固定部材３２が取り付けられているイオン源本体２の側面とが略同一面となる。これにより、フィラメント１０１のカソード側先端面と、カソード１０２のフィラメント側端面との平行度の調節が容易にでき、その結果、カソード１０２を効率的に加熱することができる。
【００４０】
調節機構４は、フィラメント１０１の先端面とカソード１０２のフィラメント側端面（背面）との距離をイオン源２の組み立て後に外部から調節可能とするものであり、イオン源本体２に設けられた駆動部であるモータ４１と、当該モータ４１の回転を減速する減速機構４２と、当該減速機構４２及びホルダ固定部材３２に連結され、前記モータ４１の回転運動を直進運動に変換して、前記ホルダ固定部材３２を前記イオン源本体２に対して進退移動させるねじ機構４３と、を備えている。このように、ホルダ固定部材３２をイオン源本体２に対して進退移動させることにより、フィラメント１０１は、ホルダ固定部材３２の取り付け部３２１を回転移動中心として回転移動する。
【００４１】
モータ４１は、イオン源本体２の大気側（つまり、マウントフランジに対して、フィラメント１０１と反対側）において、モータホルダ（図示しない）により固定されている。本実施形態のモータ４１としては、例えば通常のモータやステッピングモータ等を用いることができる。
【００４２】
減速機構４２は、ホルダ固定部材３２に設けられ、前記モータ４１の駆動軸の回転に伴い回転する第１ウォーム歯車４２１と、当該第１ウォーム歯車４２１に噛み合う第１ウォームホイール４２２と、当該第１ウォームホイール４２２と同軸に一体に形成された第２ウォーム歯車４２３と、当該第２ウォーム歯車４２３に噛み合う第２ウォームホイール４２４とからなる２組のウォームギアを備えている。
【００４３】
モータ４１の駆動軸と第１ウォーム歯車４２１とは、伝達ベルト４４により連結されている。また、第１ウォーム歯車４２１、第１ウォームホイール４２２、第２ウォーム歯車４２３及び第２ウォームホイール４２４は、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、ステンレス（ＳＵＳ３０４）、耐熱合金であるハステロイ、インコネル等から形成され、調節機構４を外部から保護する保護カバー６に回転可能に固定されている。なお、保護カバー６は、調節機構４、特に減速機構４２及びねじ機構４３をフィラメント１０１及びカソード１０２からの熱を遮蔽するとともに、金属汚染を防ぐものであり、モリブデン（Ｍｏ）又はステンレス（ＳＵＳ３０４）等の耐熱性材料から形成されている。なお、図１では、保護カバー６とフィラメントホルダ３１との間には、隙間がないように表現されているが、実際には、フィラメントホルダ３１やホルダ固定部材３２のイオン源本体２に対する移動を十分に許容できる程度の隙間が設けられている。
【００４４】
ねじ機構４３は、固定部材３２に設けられた雌ねじ部４３１と、前記第２ウォームホイール４２４の回転軸と同軸に設けられた回転軸の先端部近傍に設けられた雄ねじ部４３２とからなる。
【００４５】
ねじ機構４３のピッチｐとし、減速機構４２における一組のウォームギアの減速比をＮとした場合、モータ４１で第１ウォーム歯車４２１を１回転させるとｐ／Ｎ２の直進運動を伝えることができる。より詳細には、例えば減速比Ｎを３２、雄ねじ部４３２のピッチｐを０．５ｍｍとした場合、大気側で１０２４回転させれば、雄ねじ部４３２を雌ねじ部４３１に対して０．５ｍｍ移動させることができる。そうすると、フィラメント１０１は、ホルダ固定部材３２の取り付け部３２１からねじ機構４３までの距離（Ｌ１）に対するその取り付け部３２１からフィラメント１０１までの距離（Ｌ２）の比（Ｌ２／Ｌ１）と、雄ねじ部４３１の移動距離ｄとの積値（ｄ×Ｌ２／Ｌ１）だけ移動する。例えば、前記比（Ｌ２／Ｌ１）が約２である場合には、雄ねじ部４３１の移動距離（ｄ）の約２倍がフィラメント１０１の移動距離になる。つまり、本実施形態では、モータ４１を５１２回転させるとフィラメント１０１は０．５ｍｍ移動することになり、調節機構４の調節能力は、０．００１ｍｍ／回である。
【００４６】
＜フィラメント１０１及びカソード１０２間の位置調整手順＞
【００４７】
次に、イオン源１００のフィラメント１０１及びカソード１０２間の位置調整手順の例を、組み立て後イオン注入前の位置調節、及びイオン注入時のフィラメント１０１及びカソード１０２間の位置調節について、図２を参照して説明する。なお、図２は、調節機構４を用いてフィラメント１０１及びカソード１０２の距離を、組み立て時の距離よりも小さくした場合を示しており、図２中の点線は、調節前のフィラメントホルダ３１及びフィラメント１０１を示している。
【００４８】
まず、組み立て後、イオン注入前の位置調節の場合、従来同様にスペーサを用いてフィラメント１０１及びカソード１０２間の距離を大体予め決められた所定間隔２ｍｍとなるように組み立てる。このとき、従来のように、フィラメント１０１及びカソード１０２の距離を正確に２ｍｍに調整する必要はない。その後、イオン源１００を作動させて、所定の電圧でのフィラメント１０１の放出電子量を計測し、所定の放出電子量が得られるように、調節機構４によりフィラメント１０１及びカソード１０２間の位置調節を行う（図２参照）。
【００４９】
次に、イオン注入時のフィラメント１０１及びカソード１０２の間の位置調節の場合には、計測している放出電子量が、減少（又は増加）した場合には、まず電子衝撃電圧を制御することにより、放出電子量を調整する。なお、電子衝撃電圧とは、フィラメント１０１及びカソード１０２間の電圧であってフィラメント１０１からカソード１０２に熱電子を衝突させるための電圧である。その後、その電子衝撃電圧によっても放出電子量が調整でき無くなったときには、調節機構４により、フィラメント１０１及びカソード１０２間の距離を調整する（図２参照）。
【００５０】
＜本実施形態の効果＞
このように構成した本実施形態に係るイオン源１００によれば、フィラメント１０１とカソード１０２との距離を調節することができ、例えば組み立て時において、フィラメント１０１及びカソード１０２の距離調整を簡単に行うことができる。また、イオン注入時において、運転における諸要因によりフィラメント１０１及びカソード１０２の距離が変化した場合でも、分解することなく容易にフィラメント１０１及びカソード１０２の距離を調整することができる。さらに、フィラメント１０１とカソード１０２との距離（ギャップ）が大きくなっても無理にフィラメント電流を増加させる必要が無く、常に最適な条件でフィラメント１０１を使用することができるので、フィラメント１０１の寿命を大きく延ばすことができる。
【００５１】
また、フィラメント保持体３及びイオン源本体２は離間して設けられ、フィラメント保持体３は取り付け部３２１のみによってイオン源本体２に固定されているので、焼き付き等メンテナンス作業、具体的にはフィラメント保持体３の分離作業等を阻害する原因を除去し、また、それら部材の熱損傷を防ぐことができる。
【００５２】
＜その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。
【００５３】
例えば、調節機構４の構成に関して言うと、調節機構４は、ウォーム歯車４２１、４２３及びウォームホイール４２２、４２４を用いた減速機構４２を用いたものに限られず、例えば図３に示すように、イオン源本体２及びフィラメント保持体３１との間に介在して設けられ、ホルダ固定部材３２及びイオン源本体２間に挿入されるくさび部材を用いたものであっても良い。
【００５４】
また、前記イオン源１００は、フィラメント１０１、調節機構４及び取り付け部３２１の順番により設けられているが、その他、図４に示すように、フィラメント１０１、取り付け部３１１及び調節機構４の順番で設けるようにしても良い。この場合、取り付け部３２１が、フィラメント１０１及びカソード１０２から熱影響を受けて焼き付かない程度に離れた位置に設けるようにする。
【００５５】
さらに、調節機構４のモータ４１は、大気側に設けず、真空モータ等を用いて真空側に設けるようにしても良い。
【００５６】
その上、フィラメント１０１及びカソード１０２間の位置調節方法に関して言うと、前記実施形態では、電子衝撃電圧による制御の後、調節機構４による物理的調節を行うようにしているが、電子衝撃電圧の制御及び調節機構４による物理的調節を同時に行うようにしても良いし、物理的調節のみを行うようにしても良い。
【００５７】
加えて、前記実施形態のホルダ固定部材３２の取り付け部３２１は、熱影響を考慮してマウントフランジ２１１の外側（大気側）に配置されているが、マウントフランジ２１１の内側（真空側）に配置しても良い。この場合、大気側に配置するよりも、ホルダ固定部材３２の曲げによる疲労度を小さくすることができる。
【００５８】
その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施形態に係るイオン源を示す模式的構成図。
【図２】調節機構による調節後のフィラメントの位置を示す模式図。
【図３】変形実施形態に係る調節機構を示す模式図。
【図４】変形調節機構に係る調節機構を示す模式図。
【符号の説明】
【００６０】
１００・・・イオン源
１０１・・・フィラメント
１０２・・・カソード
２    ・・・イオン源本体
３    ・・・フィラメント保持体
４    ・・・調節機構
３１  ・・・フィラメントホルダ
３２  ・・・ホルダ固定部材
３３  ・・・絶縁部材
４１  ・・・モータ
４２  ・・・減速機構
４３  ・・・ねじ機構
４２１、４２３・・・ウォーム歯車
【図１】
2009099433.tif 000003
【図２】
2009099433.tif 000004
【図３】
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【図４】
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