(57)【要約】【課題】加熱加圧処理工程における加熱・加圧媒体の使用量を削減し、製造時間の短縮を可能とし、高い信頼性を有して回転電機用コイルを製造することができる回転電機用コイルの製造方法、およびこの回転電機用コイルの製造方法で製造された回転電機用コイルを提供することを目的とする。【解決手段】回転電機用コイルの製造方法は、熱硬化性樹脂を含浸させたマイカテープ１２を導体束１１に巻回して電気的に絶縁被覆し、成形用冶具１４を絶縁被覆された導体束１１に取り付け、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の形状に相似形状の内部空間２１を有する真空・加圧タンク２０内に配置し、真空・加圧タンク２０内を真空にする。続いて、真空・加圧タンク２０内に加熱媒体を圧入し、マイカテープ１２に含浸された熱硬化性樹脂を硬化させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
未硬化あるいは半硬化の熱硬化性樹脂を含むマイカテープを複数の被覆線から構成される導体束に巻回する巻回工程と、
成形のための成形用冶具を前記マイカテープが巻回された導体束に取り付ける成形用冶具取付工程と、
前記成形用冶具が取り付けられた導体束を、前記成形用冶具が取り付けられた導体束の形状に相似形状の内部空間を有する真空・加圧タンク内に配置し、前記真空・加圧タンク内を真空にする真空処理工程と、
前記真空処理工程後、前記真空・加圧タンク内に加熱媒体を圧入し、前記マイカテープに含まれた熱硬化性樹脂を硬化させる熱硬化処理工程と、
前記熱硬化性樹脂が硬化した後、前記真空・加圧タンク内から前記加熱媒体を排出する加熱媒体排出工程と
を具備することを特徴とする回転電機用コイルの製造方法。
【請求項２】
未硬化あるいは半硬化の熱硬化性樹脂を含むマイカテープを複数の被覆線から構成される導体束に巻回する巻回工程と、
成形のための成形用冶具を前記マイカテープが巻回された導体束に取り付ける成形用冶具取付工程と、
前記成形用冶具が取り付けられた導体束を、柔軟性を有する袋状の真空用バッグ内に収容する収容工程と、
前記真空用バッグ内に収容された導体束を、前記成形用冶具が取り付けられた導体束の形状に相似形状の内部空間を有する真空・加圧タンク内に配置し、前記真空用バッグ内を真空にする真空処理工程と、
前記真空処理工程後、前記真空・加圧タンク内に加熱媒体を圧入し、前記マイカテープに含まれた熱硬化性樹脂を硬化させる熱硬化処理工程と、
前記熱硬化性樹脂が硬化した後、前記真空・加圧タンク内から前記加熱媒体を排出する加熱媒体排出工程と
を具備することを特徴とする回転電機用コイルの製造方法。
【請求項３】
前記熱硬化処理工程において、前記真空・加圧タンク内に加熱媒体を圧入後、前記真空・加圧タンク内を加圧する加圧工程をさらに具備したことを特徴とする請求項１または２記載の回転電機用コイルの製造方法。
【請求項４】
前記熱硬化処理工程において、前記導体束に通電して前記導体束を加熱することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の回転電機用コイルの製造方法。
【請求項５】
前記真空・加圧タンクが非導電性の非磁性体で構成され、前記熱硬化処理工程において、前記導体束を高周波により加熱することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の回転電機用コイルの製造方法。
【請求項６】
前記真空・加圧タンクが、分割された複数の構成部を締結して構成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の回転電機用コイルの製造方法。
【請求項７】
前記分割された各構成部によって形成される内部空間が、各構成部ごとに仕切られていることを特徴とする請求項６記載の回転電機用コイルの製造方法。
【請求項８】
前記加熱媒体が、瀝青からなることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の回転電機用コイルの製造方法。
【請求項９】
前記加熱媒体が、常温および大気圧の環境下で揮発性を有する物質からなることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の回転電機用コイルの製造方法。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項記載の回転電機用コイルの製造方法によって製造されたことを特徴とする回転電機用コイル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導体と、この導体の外周に複数層巻回して絶縁層を形成するマイカテープとを具備する回転電機用コイルの製造方法に係り、特に、真空処理の後、加熱および加圧処理を施して回転電機用コイルを製造する回転電機用コイルの製造方法、およびこの回転電機用コイルの製造方法で製造された回転電機用コイルに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、高電圧電動機などの回転電機に用いられる絶縁コイルは、機器の運転中に、電圧、電圧に起因する放電、ジュール熱、渦電流損、磁気損失等による熱、および高温や電磁振動等に起因する振動等の様々な劣化要因および特殊環境の作用を受ける。これらの劣化に対する耐久性および特殊環境下における信頼性を確保するため、回転電機コイルの絶縁には、マイカと、エポキシ樹脂に代表される熱硬化性の高分子有機樹脂とが主構成材料として広く使用されている。
【０００３】
回転電機コイルの絶縁方式は、製造方法によって含浸絶縁方式とレジンリッチ絶縁方式とに大きく分類される。含浸絶縁方式では、集成マイカ箔あるいはフレークマイカ箔と、ガラスクロスあるいは高分子フィルムとを極少量の有機樹脂で構成される接着剤で貼り合わせた、いわゆるドライマイカテープを導体束に巻回し、含浸樹脂をテープ間およびマイカ箔層内に含浸させて硬化させる。この含浸絶縁方式は、含浸、硬化のタイミングにより、さらに、含浸、硬化後にコイルを鉄心に収めるコイル単体含浸絶縁方式と、含浸前にコイルを鉄心に収め、その後含浸、硬化させる全含浸方式とにさらに分類される。
【０００４】
一方、レジンリッチ絶縁方式では、接着剤量をドライマイカテープの接着剤量に比べて増量し、かつマイカテープ自身が単独で硬化するように硬化剤、硬化触媒、硬化促進材を含むプリプレグ状（未硬化、半硬化）の、いわゆるレジンリッチマイカテープを導体束に巻回し、マイカテープ中の未硬化の熱硬化性樹脂を加熱および加圧処理して硬化させる。この加熱および加圧処理として、大きく分けて２種類の加熱加圧方法がある。一方の加熱加圧方法は、加熱および加圧を熱プレス装置によって行い、加熱した金型を油圧等で加圧する熱プレス法である。他方の加熱加圧方法は、真空・加圧タンク内に、導体束にマイカテープを巻回したコイルを配置して真空引きし、その後例えば溶融したアスファルト等の熱媒をタンク内に移送してコイルを加熱、さらにタンク内を加圧して、マイカテープ中の熱硬化性樹脂を加熱加圧処理する液圧法である（例えば、特許文献１。）。
【０００５】
これらの加熱加圧方法では、マイカテープ中の未反応の熱硬化性樹脂を加熱溶融させてマイカテープ間の間隙に浸透させつつ、その熱硬化性樹脂を加熱硬化させる点では同じであるが、真空処理を施すか否かの違いがある。また、これらの加熱加圧方法では、加熱および加圧に要する時間が大きく異なることから、液圧法に比較して熱プレス法で使用するマイカテープ中の熱硬化性樹脂は、短時間で硬化する樹脂を採用することが多い。
【０００６】
上記したように、回転電機用コイルの製造方法には様々な種類があり、各回転電機メーカあるいはコイル専業メーカでは、種々の事情に応じて製造方法を定めている。また、一つのメーカで複数の製造方法を使い分けしている例もある。
【０００７】
近年、経済が急激に発展して電力供給が逼迫している中国やインドでは、原子力や水力発電所に比較して、建設期間の短い火力発電所の需要が高まっている。そのため、低価格で高い信頼性を有し、短期間で製品を納品することが重要になってきている。回転電機用コイルである発電機用コイルについても例外ではなく、製造工期の短縮、および資源枯渇の観点から少ない材料で製造する方法が求められている。
【特許文献１】特開平１０−５８５４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記した従来の液圧方式では、所定数のコイルが製造されるまでコイルを蓄積し、その所定数のコイルをまとめて、大型の真空・加圧タンクを使用して一度に加熱加圧処理する、いわゆるバッチ処理を行っていた。そのため、加熱加圧処理工程の前で製造工程の流れが停滞し製造効率が低下して、製造時間の短縮の妨げとなる場合があった。また、従来の液圧方式では、大型のタンクを用いてアスファルトに代表される加熱・加圧媒体を大量に使用するため、資源消費の観点からは望ましくなかった。
【０００９】
一方、熱プレス方式では、１つの熱プレス装置で１つあるいは複数のコイルを処理するため、ライン等による流れ工程による製造が可能であるが、コイル全体を金型で成形する方法では、金型の製作に時間がかかる等の問題があった。また、複数の熱プレス装置を使用する場合には、加熱加圧工程における製造効率は高まるが、高価な金型を複数用意する必要があり、製造コストが上昇することや金型の製作に時間がかかる等の問題を有していた。また、コイルの直線部分のみを熱プレス装置で成形する場合には、上記した問題点は大幅に改善されるが、コイルの直線部分とそれ以外の部分とで、製造上の性能差を生じることがあり、信頼性に欠ける場合もあった。
【００１０】
そこで本発明では、このような課題を解決するためになされたもので、加熱加圧処理工程における加熱・加圧媒体の使用量を削減し、製造時間の短縮を可能とし、高い信頼性を有して回転電機用コイルを製造することができる回転電機用コイルの製造方法、およびこの回転電機用コイルの製造方法で製造された回転電機用コイルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、未硬化あるいは半硬化の熱硬化性樹脂を含むマイカテープを複数の被覆線から構成される導体束に巻回する巻回工程と、成形のための成形用冶具を前記マイカテープが巻回された導体束に取り付ける成形用冶具取付工程と、前記成形用冶具が取り付けられた導体束を、前記成形用冶具が取り付けられた導体束の形状に相似形状の内部空間を有する真空・加圧タンク内に配置し、前記真空・加圧タンク内を真空にする真空処理工程と、前記真空処理工程後、前記真空・加圧タンク内に加熱媒体を圧入し、前記マイカテープに含まれた熱硬化性樹脂を硬化させる熱硬化処理工程と、前記熱硬化性樹脂が硬化した後、前記真空・加圧タンク内から前記加熱媒体を排出する加熱媒体排出工程とを具備することを特徴とする回転電機用コイルの製造方法が提供される。
【００１２】
また、本発明の一態様によれば、未硬化あるいは半硬化の熱硬化性樹脂を含むマイカテープを複数の被覆線から構成される導体束に巻回する巻回工程と、成形のための成形用冶具を前記マイカテープが巻回された導体束に取り付ける成形用冶具取付工程と、前記成形用冶具が取り付けられた導体束を、柔軟性を有する袋状の真空用バッグ内に収容する収容工程と、前記真空用バッグ内に収容された導体束を、前記成形用冶具が取り付けられた導体束の形状に相似形状の内部空間を有する真空・加圧タンク内に配置し、前記真空用バッグ内を真空にする真空処理工程と、前記真空処理工程後、前記真空・加圧タンク内に加熱媒体を圧入し、前記マイカテープに含まれた熱硬化性樹脂を硬化させる熱硬化処理工程と、前記熱硬化性樹脂が硬化した後、前記真空・加圧タンク内から前記加熱媒体を排出する加熱媒体排出工程とを具備することを特徴とする回転電機用コイルの製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の回転電機用コイルの製造方法によれば、加熱加圧処理工程における加熱・加圧媒体の使用量を削減し、製造時間の短縮を可能とし、高い信頼性を有して回転電機用コイルを製造することができる。また、本発明の回転電機用コイルの製造方法によって製造された回転電機用コイルは、各回転電機用コイル間で均質である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１５】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法を説明するための図であり、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の断面を示す図である。図２は、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１が真空・加圧タンク２０内に配置された状態における真空・加圧タンク２０の断面を示す図である。図３は、回転電機用コイルの製造工程を説明するためのフローチャートである。
【００１６】
図１に示すように、電気絶縁材で被覆された複数の銅線１０からなる導体束１１の周囲は、レジンリッチ絶縁用のマイカテープ１２によって複数層巻回され、コイル絶縁層が形成されている。このマイカテープ１２によるコイル絶縁層の周囲には、テフロン（登録商標）テープ１３が巻回されている。また、テフロンテープ１３の周囲には、成形のための成形用冶具１４が取り付けられている。このテフロンテープ１３は、マイカテープ１２間に後述する加熱媒体が浸透することを防止し、さらに成形用冶具１４との離型を容易にするための離型剤としても機能している。ここで、成形用冶具１４は、成形用冶具１４の周囲に熱収縮性の熱収縮テープ１５を巻回し、加熱してその熱収縮テープ１５を収縮させることによって、テフロンテープ１３の周囲に固定されている。なお、真空・加圧タンク２０において、加熱および加圧処理を施した後には、熱収縮テープ１５、成形用冶具１４およびテフロンテープ１３は除去される。
【００１７】
マイカテープ１２は、集成マイカペーパやフレークマイカシートと、補強材とを貼り合わせ、集成マイカペーパやフレークマイカシートに未硬化あるいは半硬化の熱硬化性樹脂を含ませた絶縁部材である。集成マイカの材質は、硬質無焼成集成マイカおよび硬質焼成集成マイカのいずれであってもよい。これら集成マイカの機械強度、耐熱性、含浸性等を向上させるために、アラミッドのような芳香族ポリアミドのフィブリッド（単繊維）を集成マイカに混合して抄造したり、ガラス短繊維を集成マイカに混合して抄造したものを使用してもよい。また、フレークマイカ材は、機械貼り、手貼りのいずれでも可能である。補強材としては、集成マイカペーパやフレークマイカシートを補強できるものであって、電気絶縁性のものであれば特に制限なく適用することができ、例えば、ガラスクロス、高分子フィルム（ポリエステルフィルムやポリイミドフィルム等）、ポリエステル不織布等の絶縁性シート材を使用することができる。また、熱硬化性樹脂としては、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノキシ樹脂、熱硬化型ポリイミド樹脂等が適用可能である。また、これらの熱硬化性樹脂を単独で、または２種以上を混合して使用してもよい。これらの熱硬化性樹脂のうち、特に絶縁性、機械的特性、耐熱性等の観点からエポキシ樹脂を使用することが好ましい。
【００１８】
成形用冶具１４は、コイルを所定の形状に成形するための冶具であり、例えば、鉄、ステンレス鋼などの金属、ＦＲＰ（Fiber Reinforced Plastic）などの樹脂からなる板部材で構成される。なお、成形用冶具１４は、経済性や環境負荷低減の観点から、繰り返し使用できる材料で形成されることが好ましい。また、この成形用冶具１４を固定する熱収縮テープ１５は、熱媒と接触することから、真空・加圧タンク２０内に供給される加熱媒体の温度以上の耐熱温度を有する材料で構成される。具体的には、熱収縮テープ１５は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、フッ素樹脂（ＦＥＰ）などで形成される。
【００１９】
次に、真空・加圧タンク２０の構成について、図２を参照して説明する。
【００２０】
図２に示すように、真空・加圧タンク２０は、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の形状に相似形状の内部空間２１を有し、分割された複数の構成部２０ａ、２０ｂ、２０ｃをフランジ部で締結して構成されている。この真空・加圧タンク２０において、内部空間２１に、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を配置して密閉する。このように真空・加圧タンク２０を分割された複数の構成部２０ａ、２０ｂ、２０ｃで構成することで、様々な形状、寸法のコイルを製造するときでも、コイルの形状や寸法に応じて、分割された構成部を組み合わせることにより真空・加圧タンク２０を構成することができる。そのため、各構成部を繰返し使用することができるので、資源消費を節約することができるとともに、製造コストを抑えることができる。また、真空・加圧タンク２０は、加熱媒体の温度より耐熱温度が高く、真空・加圧タンク２０内を加圧した際の圧力よりも高い圧力に耐えられる構成であればよく、例えば鋼等で構成される。
【００２１】
また、真空・加圧タンク２０には、真空・加圧タンク２０内を真空引きするための真空引き用配管２２と、加熱媒体を真空・加圧タンク２０内に導入する加熱媒体導入用配管２３と、加熱媒体を真空・加圧タンク２０から排出する加熱媒体排出用配管２４とを備えている。また、必要に応じて、真空・加圧タンク２０内を加圧するための加圧用配管２５を備えてもよい。なお、加熱媒体導入用配管２３から導入される加熱媒体の供給圧力によって、真空・加圧タンク２０内を設定すべき圧力にすることができる場合には、加圧用配管２５を備える必要はない。また、各配管には、真空・加圧タンク２０との連通を遮断するための遮断弁２２ａ、２３ａ、２４ａ、２５ａが備えられている。なお、真空・加圧タンク２０内に導入された加熱媒体の温度を維持するためのヒータ等の加熱手段を真空・加圧タンク２０内に備えてもよい。
【００２２】
真空・加圧タンク２０における内部空間２１は、上記したように、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の形状に相似形状となるように形成され、真空・加圧タンク２０の内壁と、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５との間の距離は、１〜５ｃｍであることが好ましい。この範囲が好ましいのは、双方間の距離が１ｃｍよりも短い場合には、熱容量の問題で加熱時間が長くなり、５ｃｍよりも長い場合には、加熱媒体の使用量が増加するからである。なお、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１は、支持部材（図示しない）などによって支持されることで、内部空間２１の上記範囲に配置される。
【００２３】
加熱媒体導入用配管２３を介して真空・加圧タンク２０内に供給される加熱媒体は、マイカテープ１２が含浸する熱硬化性樹脂を加熱して硬化させるために用いられる。この加熱媒体としては、例えば、熱硬化性樹脂の硬化温度１２０〜１６０℃に加熱された、瀝青や常温かつ大気圧下で揮発性を有する揮発物質等が用いられる。瀝青のうち、特に入手性の観点から、天然アスファルト、コールタール、石油アスファルト、ピッチ等を用いることが好ましい。また、揮発物質としては、例えば不活性液体等が用いられ、不活性液体のうち、特に熱的化学的に安定であり、電気的絶縁性に優れたフッ素系不活性液体（例えば、フロリナート；３Ｍ社製）を用いることが好ましい。ここで、この揮発物質を用いることで、例えば、マイカテープ１２等に加熱媒体が付着しても、常温かつ大気圧下で揮発性を有するので、加熱媒体の除去に溶剤等を使用する必要がない。さらに、加熱媒体の除去工程を省略できるので、製造工程の短縮を図ることができる。
【００２４】
また、真空・加圧タンク２０内を加圧するための加圧用配管２５が備えられた場合、真空・加圧タンク２０内を加圧する媒体として、例えば、Ｎ２などの不活性ガスが用いられる。
【００２５】
なお、真空・加圧タンク２０を構成する分割された複数の各構成部２０ａ、２０ｂ、２０ｃに、各構成部２０ａ、２０ｂ、２０ｃとの間を仕切り、それぞれ独立した内部空間２１を形成するための仕切り部材を設けてもよい。この場合、各構成部２０ａ、２０ｂ、２０ｃに、真空引き用配管２２、加熱媒体導入用配管２３、加熱媒体排出用配管２４、さらに必要に応じて加圧用配管２５が備えられる。このように真空・加圧タンク２０を構成することで、各構成部２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、すなわちコイルの各部位に応じて、加熱媒体の温度や各構成部２０ａ、２０ｂ、２０ｃ内の圧力などを調整することができる。
【００２６】
次に、コイルの製造工程について図１〜図３を参照して説明する。
【００２７】
まず、電気絶縁材で被覆された複数の銅線１０からなる導体束１１の周囲にレジンリッチ絶縁用のマイカテープ１２を複数回巻回し、コイル絶縁層を形成する（図３のステップＳ４０）。
【００２８】
続いて、このマイカテープ１２によるコイル絶縁層の周囲に、テフロンテープ１３を巻回し、テフロンテープ１３の周囲に成形用冶具１４を取り付け、この成形用冶具１４の周囲に熱収縮性の熱収縮テープ１５を巻回して成形用冶具１４を固定し、図１に示す状態の断面形状の導体束１１を得る（図３のステップＳ４１）。
【００２９】
続いて、図２に示すように、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を、真空・加圧タンク２０の内部空間２１に、真空・加圧タンク２０の内壁と、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５との間の距離が上記した所定の範囲となるように配置する。配置後、真空引き用配管２２を介して真空引きし、真空・加圧タンク２０内を真空（例えば、絶対圧力で０．１３３ｋＰａ程度）にする（図３のステップＳ４２）。真空・加圧タンク２０内を真空とすることで、マイカテープ１２の揮発分や、マイカテープ１２や成形用冶具１４に付着している水分等が除去される。
【００３０】
続いて、真空引き用配管２２の遮断弁２２ａを閉めた後、加熱媒体導入用配管２３の遮断弁２３ａを開き、真空の状態の真空・加圧タンク２０内に加熱媒体を導入する。真空・加圧タンク２０内に導入された加熱媒体は、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１が配置された内部空間２１内に充填され、さらに加圧導入されることで、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１に全体に亘って均等な圧力を負荷する。そして、導体束１１の周囲に巻回されたマイカテープ１２は、加熱媒体により加熱され、マイカテープ１２に含有される熱硬化性樹脂が硬化する（図３のステップＳ４３）。ここで、加熱媒体によって熱硬化処理を施す時間は、熱硬化性樹脂の硬化特性に基づいて設定される。なお、真空・加圧タンク２０内が所定の圧力に達した時点で、加熱媒体導入用配管２３の遮断弁２３ａを閉じる。
【００３１】
なお、上記した熱硬化処理工程において、導体束１１に通電して導体束１１を加熱してもよい。また、真空・加圧タンク２０を、例えばＦＲＰなどの非導電性の非磁性体で構成する場合には、例えば、交流電源に接続されたコイル内に真空・加圧タンク２０を配置し、高周波誘導加熱により導体束１１を加熱してもよい。このように、通電加熱や高周波誘導加熱によって導体束１１を加熱することで、マイカテープ１２に含有される熱硬化性樹脂は、導体束１１の近傍より硬化を開始する。そのため、熱硬化性樹脂の硬化収縮による導体束１１とマイカテープ１２との剥離を抑制することができ、コイルの品質およびコイル製造における信頼性を向上させることができる。
【００３２】
上記した熱硬化処理を所定時間施した後、真空・加圧タンク２０内の圧力を大気開放し、加熱媒体排出用配管２４の遮断弁２４ａを開き、真空・加圧タンク２０から加熱媒体を排出する（図３のステップＳ４４）。加熱媒体が排出された後、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を真空・加圧タンク２０から取り出し、熱収縮テープ１５、成形用冶具１４、テフロンテープ１３および付着した加熱媒体を除去し、コイル、すなわち回転電機用コイルを得る。
【００３３】
上記したように、第１の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法によれば、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の形状に相似形状の内部空間２１を有する真空・加圧タンク２０を用いることで、加熱媒体の使用量を削減することができる。また、真空・加圧タンク２０の内壁と、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５との間を所定の距離に設定することによっても、加熱媒体の使用量を削減することができる。また、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を真空・加圧タンク２０内に配置した際、余剰の内部空間２１が制限されているので、真空処理工程における真空引きをする時間、熱硬化処理工程における加熱媒体を導入する時間を削減し、製造時間を短縮することができる。さらに、熱硬化処理をコイル全体に同時に行うことができるので、例えば熱プレス法などに比べて、コイルの品質の均質化を図ることができる。
【００３４】
また、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の形状に相似形状の内部空間２１を有する真空・加圧タンク２０を用いて、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１に対して、各処理を行うことができるので、例えば従来の液圧法のように、成形用冶具１４が取り付けられた多数の導体束１１をまとめて処理する、いわゆるバッチ処理とは異なり、ライン等による流れ工程による製造が可能となる。
【００３５】
また、第１の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法によって製造された回転電機用コイルによれば、導体束１１とマイカテープ１２との剥離や、マイカテープ１２内における気泡や欠陥の発生が抑制され、良好なコイル性能を有する。
【００３６】
（第２の実施の形態）
図４は、本発明の第２の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法を説明するための図であり、真空用バック５０内に収容された、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１が、真空・加圧タンク２０内に配置された状態における真空・加圧タンク２０の断面を示す図である。図５は、回転電機用コイルの製造工程を説明するためのフローチャートである。なお、第１の実施の形態と同一の構成部分には同一の符号を付して、重複する説明を省略または簡略する。また、第２の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法では、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を真空用バック５０に収容して処理を行うこと以外は、本発明の第１の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法と同じであるので、その異なる構成について主に説明する。
【００３７】
図４に示すように、真空・加圧タンク２０は、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の形状に相似形状の内部空間２１を有し、分割された複数の構成部２０ａ、２０ｂ、２０ｃをフランジ部で締結して構成されている。この真空・加圧タンク２０において、内部空間２１に、真空用バック５０内に密閉して収容された、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を配置して密閉する。このように真空・加圧タンク２０を分割された複数の構成部２０ａ、２０ｂ、２０ｃで構成することで、様々な形状、寸法のコイルを製造するときでも、コイルの形状や寸法に応じて、分割された構成部を組み合わせることにより真空・加圧タンク２０を構成することができる。そのため、各構成部を繰返し使用することができるので、資源消費を節約することができるとともに、製造コストを抑えることができる。また、真空・加圧タンク２０は、加熱媒体の温度より耐熱温度が高く、真空・加圧タンク２０内を加圧した際の圧力よりも高い圧力に耐えられる構成であればよく、例えば鋼等で構成される。
【００３８】
また、真空・加圧タンク２０には、真空用バック５０内を真空引きするための真空引き用配管２２と、真空・加圧タンク２０内における真空用バック５０と真空・加圧タンク２０との間に加熱媒体を導入する加熱媒体導入用配管２３と、加熱媒体を真空用バック５０と真空・加圧タンク２０との間から排出する加熱媒体排出用配管２４とを備えている。また、必要に応じて、真空・加圧タンク２０内を加圧するための加圧用配管２５を備えてもよい。なお、加熱媒体導入用配管２３から導入される加熱媒体の供給圧力によって、真空・加圧タンク２０内を設定すべき圧力にすることができる場合には、加圧用配管２５を備える必要はない。また、各配管には、真空・加圧タンク２０との連通を遮断するための遮断弁２２ａ、２３ａ、２４ａ、２５ａが備えられている。なお、真空・加圧タンク２０内に導入された加熱媒体の温度を維持するためのヒータ等の加熱手段を真空・加圧タンク２０内に備えてもよい。
【００３９】
真空・加圧タンク２０における内部空間２１は、上記したように、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の形状に相似形状となるように形成され、真空・加圧タンク２０の内壁と、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５との間の距離は、１〜５ｃｍであることが好ましい。この範囲が好ましいのは、双方間の距離が１ｃｍよりも短い場合には、熱容量の問題で加熱時間が長くなり、５ｃｍよりも長い場合には、加熱媒体の使用量が増加するからである。なお、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１は、支持部材（図示しない）などによって支持されることで、内部空間２１の上記範囲に配置される。
【００４０】
真空用バック５０は、柔軟性を有する袋状の密閉バックであり、シリコーンゴムなどで構成される。具体的には、例えば、ガラスクロスで補強されたゴム材料などで構成される。また、真空用バック５０は、加熱媒体と接触するため、加熱媒体の温度以上の耐熱性を有している。なお、真空用バック５０の厚さは、１〜２ｍｍ程度である。
【００４１】
次に、コイルの製造工程について図４および図５を参照して説明する。
【００４２】
まず、電気絶縁材で被覆された複数の銅線１０からなる導体束１１の周囲にレジンリッチ絶縁用のマイカテープ１２を複数回巻回し、コイル絶縁層を形成する（図５のステップＳ６０）。
【００４３】
続いて、このマイカテープ１２によるコイル絶縁層の周囲に、テフロンテープ１３を巻回し、テフロンテープ１３の周囲に成形用冶具１４を取り付け、この成形用冶具１４の周囲に熱収縮性の熱収縮テープ１５を巻回して成形用冶具１４を固定し、図１に示す状態の断面形状の導体束１１を得る（図５のステップＳ６１）。
【００４４】
続いて、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を真空用バック５０内に収容し、密閉する（図５のステップＳ６２）。
【００４５】
続いて、図４に示すように、真空用バック５０内に収容された、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を、真空・加圧タンク２０の内部空間２１に、真空・加圧タンク２０の内壁と、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５との間の距離が上記した所定の範囲となるように配置する。配置後、真空引き用配管２２を介して真空引きし、真空用バック５０内を真空（例えば、絶対圧力で０．１３３ｋＰａ程度）にする（図５のステップＳ６３）。真空用バック５０内を真空とすることで、柔軟性を有する真空用バック５０は、導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５に密着する。また、真空用バック５０内を真空とすることで、マイカテープ１２の揮発分や、マイカテープ１２や成形用冶具１４に付着している水分等が除去される。
【００４６】
続いて、真空引き用配管２２の遮断弁２２ａを閉めた後、加熱媒体導入用配管２３の遮断弁２３ａを開き、真空用バック５０と真空・加圧タンク２０との間の内部空間２１に加熱媒体を導入する。真空用バック５０と真空・加圧タンク２０との間に導入された加熱媒体は、内部空間２１内に充填され、さらに加圧導入されることで、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１に、真空用バック５０を介して全体に亘って均等な圧力を負荷する。そして、導体束１１の周囲に巻回されたマイカテープ１２は、加熱媒体により加熱され、マイカテープ１２に含有される熱硬化性樹脂が硬化する（図５のステップＳ６４）。ここで、加熱媒体によって熱硬化処理を施す時間は、熱硬化性樹脂の硬化特性に基づいて設定される。なお、真空・加圧タンク２０内が所定の圧力に達した時点で、加熱媒体導入用配管２３の遮断弁２３ａを閉じる。
【００４７】
なお、上記した熱硬化処理工程において、導体束１１に通電して導体束１１を加熱してもよい。また、真空・加圧タンク２０を、例えばＦＲＰなどの非導電性の非磁性体で構成する場合には、例えば、交流電源に接続されたコイル内に真空・加圧タンク２０を配置し、高周波誘導加熱により導体束１１を加熱してもよい。このように、通電加熱や高周波誘導加熱によって導体束１１を加熱することで、マイカテープ１２に含有される熱硬化性樹脂は、導体束１１の近傍より硬化を開始する。そのため、熱硬化性樹脂の硬化収縮による導体束１１とマイカテープ１２との剥離を抑制することができ、コイルの品質およびコイル製造における信頼性を向上させることができる。
【００４８】
上記した熱硬化処理を所定時間施した後、真空・加圧タンク２０内の圧力を大気開放し、加熱媒体排出用配管２４の遮断弁２４ａを開き、真空用バック５０と真空・加圧タンク２０との間から加熱媒体を排出する（図５のステップＳ６５）。加熱媒体が排出された後、真空用バック５０内に収容された、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を、真空・加圧タンク２０から取り出し、真空用バック５０、熱収縮テープ１５、成形用冶具１４およびテフロンテープ１３を除去し、コイル、すなわち回転電機用コイルを得る。
【００４９】
上記したように、第２の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法によれば、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の形状に相似形状の内部空間２１を有する真空・加圧タンク２０を用いることで、加熱媒体の使用量を削減することができる。また、真空・加圧タンク２０の内壁と、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５との間を所定の距離に設定することによっても、加熱媒体の使用量を削減することができる。また、真空処理工程では、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を真空・加圧タンク２０内に配置した際における余剰の内部空間２１よりも小さな空間である、真空用バック５０内の空間を真空にすればよいので、真空引きをする時間さらに削減し、製造時間を短縮することができる。さらに、熱硬化処理をコイル全体に同時に行うことができるので、例えば熱プレス法などに比べて、コイルの品質の均質化を図ることができる。
【００５０】
また、加熱媒体は、真空用バック５０を介して、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１と接するので、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１が直接加熱媒体に接触することはなく、加熱媒体の除去工程を省略できる。これによって、製造工程の短縮を図ることができる。
【００５１】
また、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の形状に相似形状の内部空間２１を有する真空・加圧タンク２０を用いて、真空用バック５０内に収容された、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１に対して、各処理を行うことができるので、例えば従来の液圧法のように、成形用冶具１４が取り付けられた多数の導体束１１をまとめて処理する、いわゆるバッチ処理とは異なり、ライン等による流れ工程による製造が可能となる。
【００５２】
また、第２の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法によって製造された回転電機用コイルによれば、導体束１１とマイカテープ１２との剥離や、マイカテープ１２内における気泡や欠陥の発生が抑制され、良好なコイル性能を有する。
【００５３】
また、図６は、真空用バック５０を複数に分割された構成部品から構成したときの真空用バック５０の断面を示す図である。図６に示すように、前述した柔軟性を有する袋状のバックを複数に分割し、各分割部分（５０ａ〜５０e）に接続用のフランジ６０を備え、フランジ６０を介して接続することで真空用バック５０を構成してもよい。この構成とすることで、真空用バック５０内に収容される導体束１１の形状や大きさに対応して真空用バック５０を構成することができる。
【００５４】
次に、本発明に係る回転電機用コイルの製造方法によって製造された回転電機用コイルが、従来の液圧法によって製造された回転電機用コイルと同等のコイル性能を有することを、実施例１〜実施例３および比較例１に基づいて説明する。なお、実施例１〜実施例３および比較例１で使用した回転電機用コイルの製造工程において、前述した絶縁被覆工程および成形用冶具取付工程は同じなので、実施例１でのみこれらの工程について説明する。
【００５５】
（実施例１）
実施例１で使用した回転電機用コイルは、次のように製造された。ここで、製造した回転電機用コイルは、第１の実施の形態における回転電機用コイルの製造方法と同様であるため、図１および図２を参照して説明する。
【００５６】
まず、ガラス−テトロン繊維で巻回し加熱溶着して被覆された複数の銅線１０からなる導体束１１の周囲を、フェノールノボラック系エポキシ樹脂を含んだ硬質焼成集成マイカテープからなるマイカテープ１２によって１／２重ねで１０回巻回し、コイル絶縁層を形成した。
【００５７】
続いて、このマイカテープ１２によるコイル絶縁層の周囲に、テフロンテープ１３を３ｍｍ重ねで１回巻回した。そして、テフロンテープ１３の周囲に、ＳＳ鋼材からなる厚さが２．３ｍｍの板状の成形用冶具１４を取り付けた。さらに、この成形用冶具１４の周囲に、ＰＥＴ材からなる熱収縮性の熱収縮テープ１５を１／２重ねで４回巻回して、成形用冶具１４を固定した。
【００５８】
続いて、図２に示すように、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を、真空・加圧タンク２０の内部空間２１に、真空・加圧タンク２０の内壁と、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５との間の距離が５０ｍｍになるように配置した。配置後、真空引き用配管２２を介して真空引きし、真空・加圧タンク２０内を絶対圧力で０．１３３ｋＰａとした。
【００５９】
続いて、真空引き用配管２２の遮断弁２２ａを閉めた後、加熱媒体導入用配管２３の遮断弁２３ａを開き、真空の状態の真空・加圧タンク２０内に、アスファルトからなる温度が１６０℃の加熱媒体を導入した。加熱媒体を導入後、加圧用配管２５から加圧媒体として窒素ガスを供給し、真空・加圧タンク２０内を５００ｋＰａ（Ｇ）まで加圧し、マイカテープ１２が含む熱硬化性樹脂を硬化させた。
【００６０】
上記した熱硬化処理を２０時間施した後、真空・加圧タンク２０内の圧力を大気開放し、加熱媒体排出用配管２４の遮断弁２４ａを開き、真空・加圧タンク２０から加熱媒体を排出した。加熱媒体が排出された後、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を真空・加圧タンク２０から取り出し、熱収縮テープ１５、成形用冶具１４、テフロンテープ１３および付着した加熱媒体を除去し、回転電機用コイルを得た。
【００６１】
上記した工程で作製された回転電機用コイルを用いて、誘電正接の電圧特性を、高圧自動ｔａｎδ測定システム（ＤＡＣ−５００５、総研電気製）を用いてガード電極を取り付けて測定した。そして、回転電機用コイルにおける絶縁層であるマイカテープ１２内の気泡や欠陥を表す誘電正接の差分を算出した。ここで、差分とは、定格電圧をＥとした場合に、実際のコイル運転電圧（Ｅ／√３）時の誘電正接から、定格電圧の０．２倍の時の誘電正接を引いた値である。計測の結果、誘電正接の差分は、０．１％であった。
【００６２】
（実施例２）
実施例２で使用した回転電機用コイルは、次のように製造された。ここで、製造した回転電機用コイルは、第２の実施の形態における回転電機用コイルの製造方法と同様であるため、図４を参照して説明する。
【００６３】
成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を、繊維強化シリコーンゴムからなる真空用バック５０内に収容し、密閉した。
【００６４】
図４に示すように、真空用バック５０内に収容された、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を、真空・加圧タンク２０の内部空間２１に、真空・加圧タンク２０の内壁と、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５との間の距離が５０ｍｍになるように配置した。配置後、真空引き用配管２２を介して真空引きし、真空用バック５０内を絶対圧力で０．１３３ｋＰａとした。
【００６５】
続いて、真空引き用配管２２の遮断弁２２ａを閉めた後、加熱媒体導入用配管２３の遮断弁２３ａを開き、真空用バック５０と真空・加圧タンク２０との間の内部空間２１に、アスファルトからなる温度が１６０℃の加熱媒体を導入した。加熱媒体を導入後、加圧用配管２５から加圧媒体として窒素ガスを供給し、真空・加圧タンク２０内を５００ｋＰａ（Ｇ）まで加圧し、マイカテープ１２が含む熱硬化性樹脂を硬化させた。
【００６６】
上記した熱硬化処理を２０時間施した後、真空・加圧タンク２０内の圧力を大気開放し、加熱媒体排出用配管２４の遮断弁２４ａを開き、真空用バック５０と真空・加圧タンク２０との間から加熱媒体を排出した。加熱媒体が排出された後、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を真空・加圧タンク２０から取り出し、真空用バック５０、熱収縮テープ１５、成形用冶具１４およびテフロンテープ１３を除去し、回転電機用コイルを得た。
【００６７】
上記した工程で作製された回転電機用コイルを用いて、実施例１と同じ方法で誘電正接の電圧特性を測定した。そして、回転電機用コイルにおける絶縁層であるマイカテープ１２内の気泡や欠陥を表す誘電正接の差分を算出した。計測の結果、誘電正接の差分は、０．０８％であった。
【００６８】
（実施例３）
実施例３で使用した回転電機用コイルは、次のように製造された。ここで、製造した回転電機用コイルは、第２の実施の形態における回転電機用コイルの製造方法と同様であるため、図４を参照して説明する。
【００６９】
成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を、繊維強化シリコーンゴムからなる真空用バック５０内に収容し、密閉した。
【００７０】
図４に示すように、真空用バック５０内に収容された、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を、真空・加圧タンク２０の内部空間２１に、真空・加圧タンク２０の内壁と、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１の最も外側に構成される熱収縮テープ１５との間の距離が５０ｍｍになるように配置した。配置後、真空引き用配管２２を介して真空引きし、真空用バック５０内を絶対圧力で０．１３３ｋＰａとした。
【００７１】
続いて、真空引き用配管２２の遮断弁２２ａを閉めた後、加熱媒体導入用配管２３の遮断弁２３ａを開き、真空用バック５０と真空・加圧タンク２０との間の内部空間２１に、アスファルトからなる温度が１６０℃の加熱媒体を導入した。加熱媒体を導入後、加圧用配管２５から加圧媒体として窒素ガスを供給し、真空・加圧タンク２０内を５００ｋＰａ（Ｇ）まで加圧し、さらに３０〜５０Ｖの電圧を印加して通電し導体束１１を加熱し、マイカテープ１２が含む熱硬化性樹脂を硬化させた。
【００７２】
上記した熱硬化処理を２０時間施した後、真空・加圧タンク２０内の圧力を大気開放し、加熱媒体排出用配管２４の遮断弁２４ａを開き、真空用バック５０と真空・加圧タンク２０との間から加熱媒体を排出した。加熱媒体が排出された後、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を真空・加圧タンク２０から取り出し、真空用バック５０、熱収縮テープ１５、成形用冶具１４およびテフロンテープ１３を除去し、回転電機用コイルを得た。
【００７３】
上記した工程で作製された回転電機用コイルを用いて、実施例１と同じ方法で誘電正接の電圧特性を測定した。そして、回転電機用コイルにおける絶縁層であるマイカテープ１２内の気泡や欠陥を表す誘電正接の差分を算出した。計測の結果、誘電正接の差分は、０．１１％であった。
【００７４】
（比較例１）
比較例１で使用した回転電機用コイルは、大型の真空・加圧タンクを用いて製造する従来の液圧法によって次のように製造された。図７は、従来の液圧法による回転電機用コイルの製造方法を説明するための図であり、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１が真空・加圧タンク７０内に配置された状態における真空・加圧タンク７０の断面を示す図である。
【００７５】
図７に示すように、真空・加圧タンク７０は、内部に加熱媒体を収容する受け槽７１を備え、この受け槽７１には、加熱媒体を受け槽７１内に導入する加熱媒体導入用配管７２と、加熱媒体を受け槽７１から排出する加熱媒体排出用配管７３とが、それぞれ真空・加圧タンク７０を貫通して備えられている。また、真空・加圧タンク７０には、真空・加圧タンク７０内を真空引きするための真空引き用配管７４と、真空・加圧タンク７０内を加圧するための加圧用配管７５が備えられている。各配管には、受け槽７１または真空・加圧タンク７０との連通を遮断するための遮断弁７２ａ、７３ａ、７４ａ、７５ａが備えられている。
【００７６】
本比較例１では、受け槽７１に、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を４０本収容し、真空・加圧タンク７０内に密閉した。
【００７７】
続いて、真空引き用配管７４を介して真空引きし、真空・加圧タンク７０内を絶対圧力で０．１３３ｋＰａとした。
【００７８】
続いて、真空引き用配管７４の遮断弁７４ａを閉めた後、加熱媒体導入用配管７２の遮断弁７２ａを開き、真空の状態の受け槽７１内に、ポリエチレンからなる温度が１６０℃の加熱媒体を導入した。加熱媒体を導入後、加圧用配管７５から加圧媒体として窒素ガスを供給し、真空・加圧タンク７０内を５００ｋＰａ（Ｇ）まで加圧し、マイカテープ１２が含浸する熱硬化性樹脂を硬化させた。
【００７９】
上記した熱硬化処理を２０時間施した後、真空・加圧タンク７０内の圧力を大気開放し、加熱媒体排出用配管７３の遮断弁７３ａを開き、受け槽７１から加熱媒体を排出した。加熱媒体が排出された後、成形用冶具１４が取り付けられた導体束１１を真空・加圧タンク７０内から取り出し、熱収縮テープ１５、成形用冶具１４、テフロンテープ１３および付着した加熱媒体を除去し、回転電機用コイルを得た。
【００８０】
上記した工程で作製された回転電機用コイルを用いて、実施例１と同じ方法で誘電正接の電圧特性を測定した。そして、回転電機用コイルにおける絶縁層であるマイカテープ１２内の気泡や欠陥を表す誘電正接の差分を算出した。計測の結果、誘電正接の差分は、０．０８％であった。
【００８１】
（実施例１〜実施例３、比較例１のまとめ）
表１に、実施例１〜実施例３および比較例１における誘電正接の差分を示す。
【００８２】
【表１】
2009268274.tif 000003
【００８３】
表１に示すように、実施例１〜実施例３および比較例１における誘電正接の差分は、ほぼ同等の値を示すことがわかった。これにより、加熱媒体の使用量が削減でき、製造時間を短縮可能な、本発明に係る回転電機用コイルの製造方法によって回転電機用コイルを製造した場合においても、従来の液圧法によって製造された回転電機用コイルと同等のコイル性能を有することがわかった。
【００８４】
なお、実施段階では本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化することができる。さらに、上記実施形態に示される複数の構成要素を適宜に組み合わせたり、また実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除する等、種々の変形が可能である。本発明の実施形態は本発明の技術的思想の範囲内で拡張もしくは変更することができ、この拡張、変更した実施形態も本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の第１の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法を説明するための図であり、成形用冶具が取り付けられた導体束の断面を示す図。
【図２】成形用冶具が取り付けられた導体束が真空・加圧タンク内に配置された状態における真空・加圧タンクの断面を示す図。
【図３】本発明の第１の実施の形態の回転電機用コイルの製造工程を説明するためのフローチャート。
【図４】本発明の第２の実施の形態の回転電機用コイルの製造方法を説明するための図であり、真空用バック内に収容された、成形用冶具が取り付けられた導体束が、真空・加圧タンク内に配置された状態における真空・加圧タンクの断面を示す図。
【図５】本発明の第２の実施の形態の回転電機用コイルの製造工程を説明するためのフローチャート。
【図６】真空用バックを複数に分割された構成部品から構成したときの真空用バックの断面を示す図。
【図７】従来の液圧法による回転電機用コイルの製造方法を説明するための図であり、成形用冶具が取り付けられた導体束が真空・加圧タンク内に配置された状態における真空・加圧タンクの断面を示す図。
【符号の説明】
【００８６】
１０…銅線、１１…導体束、１２…マイカテープ、１３…テフロンテープ、１４…成形用冶具、１５…熱収縮テープ、２０…真空・加圧タンク、２０ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａ，２５ａ…構成部、２１…内部空間、２２…真空引き用配管、２３…加熱媒体導入用配管、２４…加熱媒体排出用配管、２５…加圧用配管。
【図１】
2009268274.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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