(57)【要約】【課題】経年変化等に起因して振り分け装置への物品の到達タイミングに変動が生じた場合であっても、振り分け装置が不良品を確実に振り分けることが可能なＸ線検査装置を得る。【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検出部（フォトセンサ１５又はＸ線検出部８）が物品１２を検出してから、Ｘ線検査装置１の後段の処理装置が処理動作を開始するまでの、時間間隔の設定値が記憶されたメモリ２２と、実動作時において、検出部が物品１２を検出してから、物品１２が後段の処理装置に到達するまでの、所要時間を測定する測定部３０と、測定部３０による測定の結果に基づいて、メモリ２２に記憶されている設定値を補正する補正部３１とを備える。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である物品にＸ線を照射し、前記物品を透過してきたＸ線を検出することにより、前記物品に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、
Ｘ線照射部と、
Ｘ線検出部と、
前記物品が前記Ｘ線照射部と前記Ｘ線検出部との間のＸ線照射領域を通過するように、前記物品を搬送する搬送部と、
前記物品が搬送経路上の所定の位置に到達したことを検出する検出部と、
前記検出部が前記物品を検出してから、前記Ｘ線検査装置の後段の処理装置が処理動作を開始するまでの、時間間隔の設定値が記憶された記憶部と、
実動作時において、前記検出部が前記物品を検出してから、前記物品が前記後段の処理装置に到達するまでの、所要時間を測定する測定部と、
前記測定部による測定の結果に基づいて、前記記憶部に記憶されている前記設定値を補正する補正部と
を備える、Ｘ線検査装置。
【請求項２】
前記所定の位置は、前記Ｘ線照射領域であり、
前記検出部は、前記Ｘ線検出部による検出の結果に基づいて、前記物品が前記所定の位置に到達したことを検出する、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
物品搬入口及び物品搬出口が設けられ、前記Ｘ線照射部及び前記Ｘ線検出部が内部に配設された筐体と、
前記物品搬入口付近及び前記物品搬出口付近の前記筐体の内部に配設され、Ｘ線が前記筐体の外部に漏洩することを防止するための遮蔽カーテンと
をさらに備え、
前記検出部は、前記物品搬入口付近の前記筐体の外部に配設されている、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１に、従来のＸ線検査装置の一例が開示されている。筐体の内部に、Ｘ線源とＸ線ラインセンサとが配設されている。筐体には、物品を筐体内部に搬入するための搬入口と、物品を筐体外部に搬出するための搬出口とが設けられている。また、筐体の内部には、ベルトコンベアが配設されている。ベルトコンベアの両端部は、搬入口及び搬出口から筐体外部に突出している。搬入口付近及び搬出口付近の筐体内部には、Ｘ線が筐体外部に漏洩することを防止するための遮蔽カーテンが、それぞれ配設されている。遮蔽カーテンは、搬入口及び搬出口を内側から完全に覆っている。そのため、物品は、搬入口側の遮蔽カーテンを押し上げて搬入口から筐体内部に搬入され、また、搬出口側の遮蔽カーテンを押し上げて搬出口から筐体外部に搬出される。
【０００３】
Ｘ線検査装置の後段（物品搬送経路の下流側）には、振り分け装置が配設されている。従来の振り分け装置の一例は、下記特許文献２に開示されている。Ｘ線検査装置による検査によって物品の異常（物品への異物の混入、又は物品の割れ欠け等）が発見されると、その物品は、振り分け装置によって通常の物品搬送経路から排除される。振り分け装置は、アームの回動動作やエアー噴射等の振り分け動作によって、良品と不良品とを振り分ける。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２４７９６０号公報
【特許文献２】特開２００４−２３０３７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
Ｘ線検査装置によって物品の異常が検出されてから、振り分け装置が振り分け動作を開始するまでの時間間隔は、物品の種類やベルトコンベアの駆動速度等に応じて、予め所定の固定値に設定されている。また、不良品の振り分け漏れを防止するために、Ｘ線検査装置から排出された不良品が振り分け装置に到達する予定のタイミングよりも早めの時点から（つまり時間マージンを大きく設定して）、振り分け装置に振り分け動作を開始させる場合もある。
【０００６】
しかし、検査後の物品を筐体外部に搬出する際、物品は遮蔽カーテンを押し上げる必要がある。従って、物品と遮蔽カーテンとの接触抵抗によって物品の搬送が妨げられる場合があり、この場合は、振り分け装置への物品の到達が遅れるため、振り分け装置によって不良品を適切に振り分けることができない可能性がある。しかも、経年変化によって遮蔽カーテンの材質が硬化等した場合は、物品と遮蔽カーテンとの接触抵抗が増大するため、振り分け装置への物品の到達はさらに遅延する。
【０００７】
さらに、処理能力向上の要求によってベルトコンベアの駆動速度が上げられると、物品とベルトコンベアとの間に滑りが生じやすくなる。この滑りも、振り分け装置への物品の到達を遅延させる要因となる。また、ベルトコンベアの駆動速度が高速化されると、振り分け動作を開始させるにあたって大きな時間マージンを設定できなくなるため、振り分け装置が振り分け漏れを生じる可能性が高くなる。
【０００８】
このように従来のＸ線検査装置によると、Ｘ線検査装置が異常を検出してから振り分け装置が振り分け動作を開始するまでの時間間隔が、予め固定値に設定されている。そのため、実際の動作において振り分け装置への物品の到達が予定のタイミングよりも遅延すると、振り分け装置が不良品の振り分け漏れを起こす事態が生じ得るという問題がある。
【０００９】
本発明はかかる問題を解決するために成されたものであり、経年変化等に起因して振り分け装置への物品の到達タイミングに変動が生じた場合であっても、振り分け装置が不良品を確実に振り分けることが可能なＸ線検査装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明に係るＸ線検査装置は、検査対象である物品にＸ線を照射し、前記物品を透過してきたＸ線を検出することにより、前記物品に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、Ｘ線照射部と、Ｘ線検出部と、前記物品が前記Ｘ線照射部と前記Ｘ線検出部との間のＸ線照射領域を通過するように、前記物品を搬送する搬送部と、前記物品が搬送経路上の所定の位置に到達したことを検出する検出部と、前記検出部が前記物品を検出してから、前記Ｘ線検査装置の後段の処理装置が処理動作を開始するまでの、時間間隔の設定値が記憶された記憶部と、実動作時において、前記検出部が前記物品を検出してから、前記物品が前記後段の処理装置に到達するまでの、所要時間を測定する測定部と、前記測定部による測定の結果に基づいて、前記記憶部に記憶されている前記設定値を補正する補正部とを備えるものである。
【００１１】
第２の発明に係るＸ線検査装置は、第１の発明に係るＸ線検査装置において特に、前記所定の位置は、前記Ｘ線照射領域であり、前記検出部は、前記Ｘ線検出部による検出の結果に基づいて、前記物品が前記所定の位置に到達したことを検出することを特徴とするものである。
【００１２】
第３の発明に係るＸ線検査装置は、第１の発明に係るＸ線検査装置において特に、物品搬入口及び物品搬出口が設けられ、前記Ｘ線照射部及び前記Ｘ線検出部が内部に配設された筐体と、前記物品搬入口付近及び前記物品搬出口付近の前記筐体の内部に配設され、Ｘ線が前記筐体の外部に漏洩することを防止するための遮蔽カーテンとをさらに備え、前記検出部は、前記物品搬入口付近の前記筐体の外部に配設されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
第１〜第３の発明に係るＸ線検査装置によれば、測定部は、検出部が物品を検出してから物品が後段の処理装置に到達するまでの、実際の所要時間を計測する。そして、補正部は、検出部が物品を検出してから後段の処理装置が処理動作を開始するまでの時間間隔の設定値を、測定部による測定の結果に基づいて補正する。従って、経年変化等に起因してＸ線検査装置から後段の処理装置への物品の到達タイミングに変動が生じた場合であっても、その変動は補正部によって適切に補正されるため、後段の処理装置は、Ｘ線検査装置から送られてくる物品に対して、目的の処理動作を確実に実行することが可能となる。
【００１４】
特に第２の発明に係るＸ線検査装置によれば、物品が搬送経路上の所定の位置に到達したことを検出するための検出部と、物品を透過してきたＸ線を検出するためのＸ線検出部とを兼用できるため、これらの検出部が別個に配設されている場合と比較すると、部品点数を削減でき、コストの低減を図ることができる。
【００１５】
特に第３の発明に係るＸ線検査装置によれば、検出部は、物品搬入口付近の筐体の外部、つまり、物品搬入口側の遮蔽カーテンよりも上流側に配設されている。遮蔽カーテンと物品との接触抵抗は、搬送部による物品の搬送を遅延させる要因となり得るが、第３の発明に係るＸ線検査装置によれば、検出部が物品搬入口側の遮蔽カーテンよりも上流側に配設されているため、物品搬出口側の遮蔽カーテンによる影響のみならず、物品搬入口側の遮蔽カーテンによる影響をも考慮して、補正部による補正を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、異なる図面において同一の符号を付した要素は、同一又は相応する要素を示すものとする。
【００１７】
図１は、本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置１の全体構成を模式的に示す正面図である。図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、上部筐体２、シールドボックス３、及び下部筐体４を備えている。上部筐体２には、タッチパネル機能付きのモニタ、つまり表示・入力部５が設けられている。
【００１８】
シールドボックス３は、Ｘ線が外部に漏洩することを防止する機能を有する。シールドボックス３内には、Ｘ線照射部７とＸ線検出部８とが配設されている。Ｘ線照射部７は、検査対象物である食品等の物品１２に対してＸ線を照射する。Ｘ線検出部８は、Ｘ線照射部７から照射されて物品１２を透過してきたＸ線を検出する。物品１２内に異物が混入していると、その異物の混入箇所において、Ｘ線検出部８が検出するＸ線の強度が極端に低下する。これにより、異物の大きさや混入箇所を特定することができる。また、Ｘ線検出部８の上方に物品１２が差し掛かると、物品１２が存在しない場合と比較して、Ｘ線検出部８が検出するＸ線の強度が低下する。従って、Ｘ線の強度が低下したことにより、Ｘ線検出部８は、物品１２がＸ線検出部８の上方（図２に示すＸ線照射領域１００）に到達したことを検出することができる。
【００１９】
また、シールドボックス３内には、ベルトコンベア６が配設されている。ベルトコンベア６は、物品１２がＸ線照射部７とＸ線検出部８との間のＸ線照射領域１００（図２参照）を通過するように、物品１２を搬送する。ベルトコンベア６の上流端部（即ち物品搬入口１７付近のシールドボックス３の外部）には、Ｘ線検査装置１の上流の処理装置からＸ線検査装置１に物品１２が供給されたことを検知するためのフォトセンサ１５が設けられている。つまり、フォトセンサ１５は、物品１２がベルトコンベア６の上流端に到達したことを検出することができる。シールドボックス３には、ベルトコンベア６の上流端近傍に物品搬入口１７が、下流端近傍に物品搬出口１８が、それぞれ設けられている。物品搬入口１７及び物品搬出口１８から外部へのＸ線の漏洩を防止すべく、シールドボックス３内には遮蔽カーテン１３，１４が配設されている。遮蔽カーテン１３は物品搬入口１７付近に設けられており、遮蔽カーテン１４は物品搬出口１８付近に設けられている。
【００２０】
下部筐体４内には、Ｘ線検査装置１の動作制御やデータ処理を行うためのコンピュータ９が配設されている。
【００２１】
ベルトコンベア６の上流側には、物品１２を上流の処理装置からＸ線検査装置１に搬入するためのベルトコンベア１０が設けられている。ベルトコンベア６の下流側には、検査後の物品１２をＸ線検査装置１から搬出するためのベルトコンベア１１が設けられている。図１では図示を省略しているが、ベルトコンベア１１には、例えば、Ｘ線検査装置１による検査結果に基づいて良品と不良品とを振り分けるための任意の振分機構２０（図４参照）が配設されている。ベルトコンベア１１の上流端部には、Ｘ線検査装置１から振分機構２０に物品１２が供給されたことを検知するためのフォトセンサ１６が設けられている。
【００２２】
図２は、図１に示したシールドボックス３の内部構成を示す斜視図である。ベルトコンベア６の上方には、Ｘ線照射部７としてのＸ線照射器（以下「Ｘ線照射器７」とも称す）が配設されている。ベルトコンベア６の下方には、Ｘ線検出部８としてのＸ線ラインセンサ（以下「Ｘ線ラインセンサ８」とも称す）が配設されている。Ｘ線ラインセンサ８は、直線状に並設された複数のＸ線検出素子８ａを備えている。複数のＸ線検出素子８ａは、ベルトコンベア６の短辺方向、即ち、ベルトコンベア６による物品１２の搬送方向に垂直な方向に沿って並設されている。図２においてＸ線照射領域１００として示すように、Ｘ線照射器７は、Ｘ線ラインセンサ８に向かって、扇形状にＸ線を照射する。
【００２３】
図３は、シールドボックス３のうち、物品搬出口１８付近を模式的に示す斜視図である。遮蔽カーテン１４には縦方向に複数の切り込みが形成されており、ベルトコンベア６上に載置された物品１２は、遮蔽カーテン１４の裾を押し上げながら前方に進行する。図１に示した物品搬入口１７側の遮蔽カーテン１３も同様に、複数の切り込みが形成されており、ベルトコンベア６上に載置された物品１２は、遮蔽カーテン１３の裾を押し上げながら前方に進行する。
【００２４】
図４は、Ｘ線検査装置１の機能構成を示すブロック図である。コンピュータ９は、ＣＰＵ２１と、ＣＰＵ２１によって参照可能な、ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ２２とを備えている。コンピュータ９には、Ｘ線照射器７、Ｘ線ラインセンサ８、表示・入力部５、フォトセンサ１５，１６、及び振分機構２０が接続されている。
【００２５】
図５は、図１に示したシールドボックス３の内部構成を示す正面図である。Ｘ線検査装置１による検査によって物品１２に異物が混入していることが判明した場合、その不良品である物品１２は、振分機構２０によって、良品の物品搬送経路から振り分けられる。振分機構２０は、アームの回動動作又はエアー噴射等の任意の振分動作によって、不良品を振り分ける。Ｘ線検査装置１では、振分機構２０が振分動作を開始するタイミングが予め規定されて、メモリ２２に登録されている。振分動作開始タイミングは、物品１２の種類やユーザによって設定されたベルトコンベア６の速度等に応じて、複数の値がメモリ２２に登録されている。
【００２６】
具体的に、Ｘ線検査装置１では、物品１２が不良品である場合、フォトセンサ１５が物品１２を検出した時点から所定時間経過後に、振分機構２０が振分動作を開始する。図５を参照して、時間Ｔ１は、フォトセンサ１５が物品１２を検出した時点から、フォトセンサ１６が物品１２を検出した時点までの時間であり、時間Ｔ３は、フォトセンサ１６が物品１２を検出した時点から、振分機構２０が振分動作を開始する時点までの時間である。Ｘ線検査装置１では、振分動作開始タイミングとして、「Ｔ１＋Ｔ３」なる時間が、メモリ２２に登録されている。ここで、時間Ｔ１は、フォトセンサ１５からフォトセンサ１６までの距離と、ベルトコンベア６の駆動速度とに基づいて算出された値である。
【００２７】
従って、Ｘ線検査装置１は、フォトセンサ１５が物品１２を検出した時点（時点Ｔ０とする）を記憶しておき、物品１２が不良品であることが判明した場合には、時点Ｔ０に「Ｔ１＋Ｔ３」を加えた時点から振分動作が開始されるよう、振分機構２０に対して制御信号を送出する。
【００２８】
図６は、フォトセンサ１５からフォトセンサ１６までの物品１２の到達時間（横軸）と、各到達時間に対応する物品１２の個数（縦軸）との関係を示すグラフである。横軸の到達時間は、フォトセンサ１５が物品１２を検出した時点と、フォトセンサ１６が物品１２を検出した時点との差として、図４に示したＣＰＵ２１が演算によって求めることができる。破線の特性Ｋ１は、Ｘ線検査装置１の使用期間が短い段階での実測結果であり、実線のＫ２は、使用期間が長い段階での実測結果である。特性Ｋ１は、時間Ｔ１Ａを中心として、分散が比較的小さい正規分布を成している。Ｘ線検査装置１の使用期間が長くなると、中心時間Ｔ１Ｂは中心時間Ｔ１Ａよりも大きくなり、正規分布の分散も大きくなっている。時間の経過に伴って中心時間Ｔ１Ａが大きくなる原因の一つとしては、経年変化に起因する遮蔽カーテン１３，１４の材質の硬化が考えられる。つまり、遮蔽カーテン１３，１４の材質が硬化すると、物品１２と遮蔽カーテン１３，１４との接触抵抗が大きくなり、物品１２の進行が妨げられるため、フォトセンサ１６への到達が遅れるのである。また、処理能力向上の要求によってベルトコンベア６の駆動速度が上げられると、物品１２とベルトコンベア６との間に滑りが生じやすくなる。この滑りも、フォトセンサ１６への物品１２の到達を遅延させる要因となる。
【００２９】
実際の動作において振分機構２０への物品１２の到達が予定のタイミング（Ｔ１＋Ｔ３）よりも遅延すると、振分機構２０が不良品の振り分け漏れを起こす事態が生じ得る。そこで、本実施の形態に係るＸ線検査装置１では、以下に述べる補正処理を定期的（例えば１ヶ月毎）に実施する。
【００３０】
図７は、振分動作開始タイミングの補正処理に関連するブロック図である。測定部３０、補正部３１、及び制御部３２は、図４に示したコンピュータ９の機能として実現される。ここでは、物品１２に関する振分動作開始タイミングの初期設定値として、「Ｔ１Ａ＋Ｔ３」なる時間がメモリ２２に登録されているものとする。
【００３１】
測定部３０は、実動作時において、フォトセンサ１５が物品１２を検出した時点から、物品１２が振分機構２０（フォトセンサ１６）に到達する時点までの、所要時間を測定する。具体的に、測定部３０は、物品１２を検出した時点をフォトセンサ１５，１６からそれぞれ入力し、両時点の差を算出することにより、上記所要時間を求める。測定誤差を抑制すべく、複数個の物品１２に関して同様の測定を行い、それらの平均値として所要時間を求めるのが望ましい。ここでは、求められた所要時間がＴ１Ｂであったものとする。
【００３２】
補正部３１は、測定部３０による測定の結果に基づいて、メモリ２２に記憶されている振分動作開始タイミングの設定値を補正する。具体的に、補正部３１は、メモリ２２に記憶されている「Ｔ１Ａ＋Ｔ３」なる設定値を、「Ｔ１Ｂ＋Ｔ３」なる設定値に補正し、補正後の設定値をメモリ２２に登録する。
【００３３】
以後、Ｘ線検査装置１の制御部３２は、フォトセンサ１５が物品１２を検出した時点（時点Ｔ０とする）を記憶しておき、物品１２が不良品であることが判明した場合には、時点Ｔ０に「Ｔ１Ｂ＋Ｔ３」を加えた時点から振分動作が開始されるよう、振分機構２０に対して制御信号を送出する。
【００３４】
このように本実施の形態に係るＸ線検査装置１によれば、測定部３０は、フォトセンサ１５が物品１２を検出してから物品１２が振分機構２０に到達するまでの、実際の所要時間を計測する。そして、補正部３１は、フォトセンサ１５が物品１２を検出してから振分機構２０が振分動作を開始するまでの時間間隔の設定値を、測定部３０による測定の結果に基づいて補正する。従って、経年変化等に起因してＸ線検査装置１から振分機構２０への物品１２の到達タイミングに変動が生じた場合であっても、その変動は補正部３１によって適切に補正されるため、振分機構２０は、Ｘ線検査装置１から送られてくる物品１２に対して、振分動作を確実に実行することが可能となる。
【００３５】
また、フォトセンサ１５は、物品搬入口１７付近のシールドボックス３の外部、つまり、物品搬入口１７側の遮蔽カーテン１３よりも上流側に配設されている。遮蔽カーテン１３と物品１２との接触抵抗は、ベルトコンベア６による物品１２の搬送を遅延させる要因となり得るが、フォトセンサ１５が物品搬入口１７側の遮蔽カーテン１３よりも上流側に配設されているため、本実施の形態に係るＸ線検査装置１によれば、物品搬出口１８側の遮蔽カーテン１４による影響のみならず、物品搬入口１７側の遮蔽カーテン１３による影響をも考慮して、補正部３１による補正を行うことが可能となる。
【００３６】
なお、以上の説明では、Ｘ線検査装置１の後段の処理装置が振分装置（振分機構２０）である場合の例について説明したが、後段の処理装置は、振分装置以外の処理装置であっても良い。例えば、後段の処理装置は、異物検査が完了済みである旨の表示を物品１２に印字するための印字装置等であっても良い。この場合、メモリ２２には、フォトセンサ１５が物品１２を検出してから印字装置が印字動作を開始するまでの時間間隔の設定値が、予め記憶されている。そして、実動作時において、測定部３０は、フォトセンサ１５が物品１２を検出してから物品１２が印字装置に到達するまでの所要時間を測定し、補正部３１は、測定部３０による測定の結果に基づいて、メモリ２２に記憶されている設定値を補正する。
【００３７】
＜変形例＞
以上の説明では、フォトセンサ１５が物品１２を検出した時点、つまり物品１２がベルトコンベア６の上流端に到達した時点を起点として、振分機構２０による振分動作の開始タイミングが設定される例について述べた。これに限らず、物品１２がＸ線照射領域１００（図２参照）に到達した時点を起点として、振分動作開始タイミングを設定しても良い。上記の通り、Ｘ線検出部８の上方に物品１２が差し掛かると、物品１２が存在しない場合と比較して、Ｘ線検出部８が検出するＸ線の強度が低下する。従って、Ｘ線の強度が低下したことにより、Ｘ線検出部８は、物品１２がＸ線照射領域１００に到達したことを検出することができる。この場合、メモリ２２には、Ｘ線検出部８が物品１２を検出してから振分機構２０が振分動作を開始するまでの時間間隔の設定値（図５に示す「Ｔ２＋Ｔ３」）が、予め記憶されている。そして、実動作時において、測定部３０は、Ｘ線検出部８が物品１２を検出してから物品１２が振分機構２０に到達するまでの所要時間を測定し、補正部３１は、測定部３０による測定の結果に基づいて、メモリ２２に記憶されている設定値を補正する。
【００３８】
この変形例に係るＸ線検査装置によれば、物品１２が搬送経路上の所定の位置に到達したことを検出するための検出部と、物品１２を透過してきたＸ線を検出するためのＸ線検出部８とを兼用できるため、これらの検出部が別個に配設されている場合と比較すると、部品点数を削減でき、コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の全体構成を模式的に示す正面図である。
【図２】図１に示したシールドボックスの内部構成を示す斜視図である。
【図３】シールドボックスのうち、物品搬出口付近を模式的に示す斜視図である。
【図４】Ｘ線検査装置の機能構成を示すブロック図である。
【図５】図１に示したシールドボックスの内部構成を示す正面図である。
【図６】フォトセンサ間の物品の到達時間と、各到達時間に対応する物品の個数との関係を示すグラフである。
【図７】振分動作開始タイミングの補正処理に関連するブロック図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  Ｘ線検査装置
３  シールドボックス
６  ベルトコンベア
７  Ｘ線照射部
８  Ｘ線検出部
１２  物品
１３，１４  遮蔽カーテン
１５，１６  フォトセンサ
１７  物品搬入口
１８  物品搬出口
２０  振分機構
２２  メモリ
３０  測定部
３１  補正部
１００  Ｘ線照射領域
【図１】
2009180553.tif 000003
【図２】
2009180553.tif 000004
【図３】
2009180553.tif 000005
【図４】
2009180553.tif 000006
【図５】
2009180553.tif 000007
【図６】
2009180553.tif 000008
【図７】
2009180553.tif 000009