(57)【要約】【課題】蓋体の施錠に支障を来たすおそれがなく、基板を汚染させるパーティクル等の発生を防止できる基板収納容器を提供する。【解決手段】２枚の半導体ウェーハを収納する背の低い容器本体の開口した正面部を開閉する蓋体２０に施錠機構４０を設けたタイプで、施錠機構４０は、蓋体２０の内部両側に支持されて蓋体２０の左右内外方向にスライド可能なリンクプレート４１と、蓋体２０の側壁の溝孔２３付近に出没可能に軸支されるとともに、リンクプレート４１の先端部に回転可能に連結され、蓋体２０の溝孔２３から突出して容器本体の正面部内の係止溝に干渉可能な係止爪４７と、係止爪４７を蓋体２０の溝孔２３から突出させるコイルバネ４９と、蓋体２０の外部から操作される操作孔４５とを備え、容器本体の係止溝に干渉する各係止爪４７の干渉部分にローラ４８を軸支させる。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
三枚以下の基板を収納する背の低い容器本体の略横長に開口した正面部を開閉する蓋体に、容器本体の正面部を閉じた蓋体を施錠する施錠機構を設けた基板収納容器であって、
施錠機構は、蓋体の内部に支持されて蓋体の左右内外方向にスライド可能なスライド体と、蓋体の側壁の貫通孔付近に出没可能に支持されるとともに、スライド体の先端部に回転可能に連結され、蓋体の貫通孔から突出して容器本体の正面部内両側の係止溝に干渉可能な係止爪と、スライド体を蓋体の左右外方向にスライドさせて係止爪を蓋体の貫通孔から突出させるバネと、スライド体の末端部側に設けられて蓋体表面の外部から操作される操作孔とを含み、容器本体の係止溝に干渉する係止爪の干渉部分にローラを回転可能に支持させ、
容器本体の正面部から蓋体を取り外す場合に、操作孔を操作してスライド体を蓋体の左右内方向にスライドさせ、突出した係止爪を蓋体の貫通孔内に退没させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
蓋体の内部に、スライド体を蓋体の左右内外方向に挟んで案内するガイドを形成した請求項１記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる少数枚の基板を収納する基板収納容器に関し、特に施錠機構の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩメーカ等で半導体ウェーハを短時間で加工処理する際に使用される基板収納容器は、図示しないが、３枚以下の半導体ウェーハを収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面部を着脱自在に開閉する蓋体と、容器本体の正面部に嵌合した蓋体を施錠する施錠機構とを備えて構成されている（特許文献１参照）。
施錠機構は、例えば蓋体内に複数の回転体が回転可能に軸支され、各回転体が回転してその周縁部から突出した複数の係止爪が蓋体の周壁から露出し、各係止爪が容器本体の正面部内周に係止することにより、蓋体を施錠するよう機能する。
【特許文献１】特開２００６−１００７１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、施錠機構により容器本体の正面部に嵌合した蓋体を強固に施錠することができるものの、容器本体から蓋体を取り外す場合でないにもかかわらず、回転体が自由回転して係止爪が容器本体の正面部内周から外れ、蓋体の施錠に支障を来たすおそれが考えられる。また、回転体の係止爪が容器本体の正面部内周に直接係止するので、この直接係止に伴い、係止爪と容器本体の正面部内周とが擦れ、半導体ウェーハを汚染させるパーティクルの発生を招くおそれも考えられる。
【０００４】
本発明は上記に鑑みなされたもので、蓋体の施錠に支障を来たすおそれがなく、基板を汚染させるパーティクル等の発生を防ぐことのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明においては上記課題を解決するため、三枚以下の基板を収納する背の低い容器本体の略横長に開口した正面部を開閉する蓋体に、容器本体の正面部を閉じた蓋体を施錠する施錠機構を設けたものであって、
施錠機構は、蓋体の内部に支持されて蓋体の左右内外方向にスライド可能なスライド体と、蓋体の側壁の貫通孔付近に出没可能に支持されるとともに、スライド体の先端部に回転可能に連結され、蓋体の貫通孔から突出して容器本体の正面部内両側の係止溝に干渉可能な係止爪と、スライド体を蓋体の左右外方向にスライドさせて係止爪を蓋体の貫通孔から突出させるバネと、スライド体の末端部側に設けられて蓋体表面の外部から操作される操作孔とを含み、容器本体の係止溝に干渉する係止爪の干渉部分にローラを回転可能に支持させ、
容器本体の正面部から蓋体を取り外す場合に、操作孔を操作してスライド体を蓋体の左右内方向にスライドさせ、突出した係止爪を蓋体の貫通孔内に退没させるようにしたことを特徴としている。
【０００６】
なお、容器本体の背面壁と両側壁のうち少なくとも背面壁にリブフランジを成形し、このリブフランジを容器本体の金型からの脱型時に突出しピンに外側から略対向させることができる。
また、蓋体の内部に、スライド体を蓋体の左右内外方向に挟んで案内するガイドを形成することができる。
【０００７】
また、蓋体に、容器本体との間に介在する弾性変形可能なガスケットを取り付け、このガスケットを、蓋体に取り付けられる取付部と、この取付部に形成されて容器本体の開口した正面部内に接触する接触部とから形成し、これら取付部と接触部のうち少なくとも接触部には、ダイヤモンドライクカーボンをコーティングすることができる。
さらに、スライド体にスライド可能に嵌められる筒体と、スライド体に回転可能に連結されて蓋体に支持され、蓋体の左右内外方向に回転するアームとを含み、スライド体の先端部側と筒体との間にバネを介在して筒体をアームに接触させても良い。
【０００８】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも１、２、３、１１、２５、２６枚の各種ガラス基板、カバーガラス、半導体ウェーハ（口径２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍ等）、フォトマスク等が含まれる。容器本体は、透明、不透明、半透明等を特に問うものではないが、口径３００ｍｍの半導体ウェーハを２５、２６枚収納する基板収納容器よりも背が低くされる。例えば、口径３００ｍｍの半導体ウェーハからなる基板を２枚収納する場合には、６ｃｍ以下の高さとされる。
【０００９】
蓋体は、透明、不透明、半透明等を特に問うものではない。容器本体と蓋体との間には、気密性を確保するガスケットが介在されるが、このガスケットは、エンドレスの線条でも良いし、そうでなくても良い。また、施錠機構の回転という用語には、回動や揺動等が含まれる。バネとローラとは、単数複数を特に問うものではない。バネは、コイルバネでも良いし、板バネ等でも良い。さらに、スライド体の末端部側には、末端部と最末端部のいずれもが含まれる。
【００１０】
本発明によれば、容器本体の開口した正面部を蓋体により閉じる場合には、容器本体の正面部内に蓋体を嵌め入れ、容器本体の正面部内の係止溝に蓋体の溝孔を対向させれば良い。すると、バネによりスライド体が蓋体の左右外方向にスライドして係止爪を回転させ、この係止爪が蓋体側壁の貫通孔から突出してローラを容器本体の係止溝に嵌め入れ、このローラの嵌め入れにより、容器本体の正面部が蓋体により閉じられ、施錠される。
【００１１】
これに対し、容器本体の正面部から蓋体を取り外す場合には、スライド体の操作孔に治具等を蓋体の外部から挿入し、スライド体を蓋体の左右内方向にスライドさせれば良い。すると、スライド体がバネを圧縮しながら蓋体の左右内方向にスライドし、係止爪が回転してその露出したローラを蓋体の貫通孔内に退没させ、この係止爪の退没により、容器本体の係止溝からローラが外れて容器本体から蓋体を取り外すことが可能になる。
上記のように容器本体から蓋体を取り外さない場合や施錠機構に負荷が作用しない場合には、容器本体の係止溝に突出する係止爪がバネにより干渉して容器本体の正面部を蓋体により閉じるので、容器本体から蓋体の外れることが少ない。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、蓋体の施錠に支障を来たすおそれがなく、しかも、基板を汚染させるパーティクル等の発生を防ぐことができるという効果がある。
また、蓋体の内部に、スライド体を蓋体の左右内外方向に挟んで案内するガイドを形成すれば、スライド体が傾いてスライドしたり、位置ずれ等することが少なく、容器本体に対する蓋体の施錠の適正化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明に係る基板収納容器の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１９に示すように、２枚の半導体ウェーハＷを収納する容器本体１の開口した正面部を開閉する蓋体２０に、容器本体１の正面部に嵌合した蓋体２０を施錠する施錠機構４０を配設したタイプであって、施錠機構４０を、蓋体２０の左右内外方向にスライド可能な一対のリンクプレート４１と、蓋体２０の側壁の溝孔２３から突出して容器本体１の正面部内両側の係止溝１４に干渉可能な一対の係止爪４７と、各リンクプレート４１を蓋体２０の左右外方向にスライドさせて係止爪４７を蓋体２０の溝孔２３から突出させる一対のコイルバネ４９と、蓋体２０の外部から操作される一対の操作孔４５とから形成するようにしている。
【００１４】
各半導体ウェーハＷは、図８に示すように、例えば薄く丸い口径３００ｍｍのシリコンタイプからなり、周縁部に位置合わせや識別用のオリフラあるいは平面略半円形のノッチが選択的に形成される。
【００１５】
容器本体１は、図１ないし図１０に示すように、成形用の金型に所定の樹脂を含む成形材料が射出されることにより、２枚以下の半導体ウェーハＷを整列収納する背の低い（例えば６ｃｍ以下）フロントオープンボックスタイプに射出成形され、開口した横長の正面部に同形の蓋体２０がエンドレスのガスケット２８を介し着脱自在に嵌合される。金型は、図示しない射出成形用のタイプが使用され、射出成形機に装着される。この金型には図４や図７に示すように、型開きと共に突き出る往復動可能な複数の突出しピン２が突き出し板に固定された状態で内蔵される。
【００１６】
容器本体１の成形材料の所定の樹脂としては、例えば力学的性質、耐熱性、寸法安定性等に優れるポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート等があげられる。これらの樹脂には、必要に応じ、カーボン、カーボン繊維、金属繊維、カーボンナノチューブ、帯電防止剤、難燃剤等が適宜添加される。
【００１７】
容器本体１の内部、具体的には相対向する両側壁の内面には図８や図１０に示すように、半導体ウェーハＷを水平に支持する左右一対のティース３が対設され、この一対のティース３が上下方向に間隔をおいて配列される。各ティース３は、容器本体１の前後方向に細長い板に成形され、容器本体１の背面壁寄りの末端部が先細りとされる。また、容器本体１の外周面には図１、図２、図５ないし図９に示すように、容器本体１の機械的強度や剛性を高めるリブフランジ４が成形され、背面壁側のリブフランジ４が容器本体１の脱型時に突出しピン２に対向する。
【００１８】
リブフランジ４は、容器本体１の背面壁と両側壁とに外側から一体成形され、変形した平面略Ｕ字形を呈する。背面壁のリブフランジ４は、例えば細長い肉厚の板形に形成され、両側部５が容器本体１の背面壁両側部の略中央に水平に位置しており、中央部７が容器本体１の背面壁中央部の下方に位置する。また、背面壁のリブフランジ４の両側部５は、容器本体１の正面部が下方に傾かないよう金属製のバランスウェイト６が下方からそれぞれ後付けで螺着され、容器本体１の金型からの脱型時に複数の突出しピン２に外側から対向するよう機能する。
【００１９】
背面壁のリブフランジ４の中央部７は、略Ｗ字形に屈曲形成されて凹部を形成し、この凹部の開口が下方に向いて容器本体１の加工装置に対する位置決め部８として機能する。また、各側壁のリブフランジ４は、例えば細長い肉厚の板形に形成され、前部９が各側壁前部の下方に位置しており、前部以外の残部１０が各側壁の前部以外の残部の略中央に水平に位置して背面壁のリブフランジ４と一体化する。各側壁のリブフランジ４の前部は、略逆Ｖ字形に屈曲して凹部を形成し、この凹部の開口が下方に向いて容器本体１の加工装置に対する位置決め部８として機能する。
【００２０】
容器本体１の天井の略中心部には図１、図４ないし図９に示すように、平面略Ｙ字形を呈する複数の被取付リブ１１が立設され、この複数の被取付リブ１１上には、図示しない搬送機構に把持される平面略三角形あるいは多角形の吊持フランジ１２が螺子等の締結具を介し着脱自在に後から螺着される。
【００２１】
容器本体１の開口した正面部は、図３、図６、図８に示すように、外方向に広がるよう屈曲形成されてリムフランジ１３を形成し、このリムフランジ１３の内部両側には、蓋体２０施錠用の係止溝１４がそれぞれ上下方向に切り欠かれる。リムフランジ１３の左右に張り出した両側部には、複数の識別孔１５がそれぞれ上下に並べて丸く穿孔され、この複数の識別孔１５に図示しない識別ピンが選択的に挿入され、かつ図示しない加工装置の検出手段（例えば、光電センサ、フォトセンサ、タッチセンサ等）に検出されることにより、半導体ウェーハＷの有無や枚数、基板収納容器のタイプ等が加工装置に識別される。
【００２２】
蓋体２０は、図３、図６、図１１、図１２、図１６、図１７に示すように、容器本体１の開口したリムフランジ１３に着脱自在に嵌合する横長の筐体２１と、この筐体２１の開口した正面部に螺着されて被覆する表面カバー３２とを備えて透明に構成される。筐体２１は、その内部両側に施錠機構４０用の複数の保持リブ２２がそれぞれ一体的に突出形成され、周壁の両側部には、容器本体１の係止溝１４に対応する施錠機構４０用の溝孔２３がそれぞれ切り欠かれており、各溝孔２３の内周縁付近には、施錠機構４０用の支持リブ２４が一体的に突出形成される。
【００２３】
筐体２１の裏面中央部には図１２に示すように、横長の取付穴２５が凹み形成され、この取付穴２５には、複数の半導体ウェーハＷの前部周縁を弾性片により弾発的に保持するフロントリテーナ２６が装着される。
【００２４】
筐体２１の裏面周縁部には図１２に示すように、横長で枠形の取付溝２７が切り欠かれ、この取付溝２７には、容器本体１との間に介在する弾性のガスケット２８が嵌合される。このガスケット２８は、図１３ないし図１５に示すように、例えば耐熱性、耐候性、難燃性、耐寒性、圧縮特性に優れるシリコーンゴム、フッ素ゴム、あるいはダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣともいう）３１をコーティング可能な各種の熱可塑性エラストマー（例えば、オレフィン系等）等を成形材料として弾性変形可能な横長の枠形に成形される。
【００２５】
ガスケット２８は、蓋体２０の取付溝２７に嵌合するエンドレスで枠形の取付部２９と、この取付部２９に一体形成されて容器本体１の開口したリムフランジ１３内に圧接して変形する接触部３０とを備え、この接触部３０の全面に、高平滑性、耐磨耗性、耐腐食性、低摩擦係数、高ガスバリヤ性に優れる硬質のダイヤモンドライクカーボン３１がバッチ処理等によりコーティングされており、このダイヤモンドライクカーボン３１がリムフランジ１３の内周縁に接触する。
【００２６】
ガスケット２８は、図１５に示すように、断面形が略Ｕ字形に形成されてその両自由端部の厚さと長さとが相違し、この両自由端部の内側自由端部よりも外側自由端部が長く伸長される。このガスケット２８の両自由端部は、薄肉の内側自由端部が容易に変形するよう斜めにカットされて蓋体２０の取付溝２７内に密嵌し、厚肉の外側自由端部の端面が断面略三角形に尖って接触部３０とされており、この接触部３０以外の残部が取付部２９とされる。
【００２７】
ダイヤモンドライクカーボン３１は、炭素を含有したガスがプラズマ中で原子状に分解されることにより非晶質の硬質膜に形成され、緻密なアモルファス構造により表面が滑らかで結晶粒界があるという特徴を有しており、ガスケット２８の柔軟性や追従性を維持する観点から１０〜１００ｎｍ程度の厚さにコーティングされる。
【００２８】
表面カバー３２は、図３、図６、図１６、図１７に示すように、横長に形成され、両側部には、施錠機構４０用の操作口３３がそれぞれ横長に穿孔されており、各操作口３３の裏面側周縁部には、施錠機構４０用の一対のガイド片３４が筐体２１の内方向に向け一体形成される。
【００２９】
施錠機構４０は、図１１や図１２、図１８、図１９に示すように、蓋体２０の筐体２１の内部両側に支持されて左右内外方向にスライド可能な一対のリンクプレート４１と、筐体２１の各溝孔２３に出没可能に軸支されてリンクプレート４１の先端部に連結され、容器本体１の係止溝１４に嵌合して干渉する揺動可能な一対の係止爪４７と、各リンクプレート４１に嵌入されて容器本体１の係止溝１４に係止爪４７を干渉させる一対のコイルバネ４９とを備えて構成される。
【００３０】
各リンクプレート４１は、図１１や図１８に示すように、例えば先端部が二股に分かれた略Ｙ字形の板に形成され、棒形の中央部にはコイルバネ４９用のカラー４２がスライド可能に嵌入されており、末端部４３と最末端部４４とが表面カバー３２の一対のガイド片３４にスライド可能に挟持されるとともに、最末端部４４には、表面カバー３２の操作口３３に対応する丸い操作孔４５が穿孔される。
【００３１】
リンクプレート４１の末端部４３には、筒形を呈したカラー４２のスライドや脱落を規制する略Ｕ字形のリンクアーム４６がピンを介し左右内外方向に揺動可能に嵌入軸支され、このリンクアーム４６が筐体２１の保持リブ２２にピンを介し左右内外方向に揺動可能に軸支される。
【００３２】
各係止爪４７は、図１１や図１９に示すように、変形した略Ｖ字形に屈曲形成され、屈曲部が筐体２１の支持リブ２４にピンを介し揺動可能に軸支される。この係止爪４７は、その一端部がリンクプレート４１の二股の先端部間にピンを介し揺動可能に軸支され、二股に分岐した他端部の間には、容器本体１の係止溝１４内に摺接する複数のローラ４８がピンを介し回転可能に支持される。各ローラ４８は、例えば容器本体１と同様の材料等を使用して筒形に成形される。
【００３３】
各コイルバネ４９は、図１１に示すように、リンクプレート４１の中央部に嵌通されてリンクプレート４１の幅広の先端部側とカラー４２との間に介在し、カラー４２をリンクアーム４６に圧接するとともに、筐体２１の溝孔２３から係止爪４７の他端部、すなわち複数のローラ４８を外部に突出させる。
【００３４】
上記構成において、半導体ウェーハＷを収納した容器本体１の開口したリムフランジ１３を蓋体２０により閉じる場合には、容器本体１のリムフランジ１３内に蓋体２０を押圧して嵌合し、容器本体１のリムフランジ１３の内周縁にガスケット２８の接触部３０をダイヤモンドライクカーボン３１を介して圧接・変形させ、容器本体１の各係止溝１４に蓋体２０の溝孔２３を対向させれば良い。
【００３５】
すると、圧縮されていた各コイルバネ４９の復元作用によりリンクプレート４１が保持リブ２２、ガイド片３４、リンクアーム４６に案内されつつ蓋体２０の左右外方向に水平にスライドして係止爪４７を蓋体２０の表裏方向に揺動させ、この係止爪４７の他端部が蓋体２０の溝孔２３から外部に弧を描きながら突出して回転可能な複数のローラ４８を容器本体１の係止溝１４に嵌入し、この複数のローラ４８の嵌入により、容器本体１のリムフランジ１３が蓋体２０により強固に閉じられ、かつ気密性や密閉性が確保される。
【００３６】
このように施錠機構４０に負荷が作用しない場合には、容器本体１の各係止溝１４に揺動突出した係止爪４７のローラ４８が転がり接触可能に嵌入し、容器本体１のリムフランジ１３が蓋体２０により覆われることとなる。
【００３７】
これに対し、半導体ウェーハＷを収納した容器本体１のリムフランジ１３から施錠状態の蓋体２０を取り外す場合には、各リンクプレート４１の操作孔４５に図示しない専用の治具を蓋体２０の操作口３３を介し外部から挿入し、各リンクプレート４１を蓋体２０の左右内方向にスライドさせれば良い。
【００３８】
すると、各リンクプレート４１がコイルバネ４９を圧縮しながら蓋体２０の左右内方向に水平にスライドし、係止爪４７が弧を描きながら揺動してその露出した他端部、すなわち複数のローラ４８を蓋体２０の溝孔２３内に退没させ、この係止爪４７の他端部の退没により、容器本体１の係止溝１４から複数のローラ４８が外れて容器本体１から蓋体２０を取り外すことが可能になる。
【００３９】
上記構成によれば、容器本体１から蓋体２０を取り外さない施錠機構４０の非操作時には、容器本体１の係止溝１４に係止爪４７がコイルバネ４９により絶えず嵌入して容器本体１のリムフランジ１３を蓋体２０により強固に閉じるので、容器本体１から蓋体２０が外れることが全くなく、蓋体２０の施錠に支障を来たすおそれがない。また、容器本体１の係止溝１４に係止爪４７が直接嵌入するのではなく、容器本体１の係止溝１４に係止爪４７の回転可能な複数のローラ４８が嵌入して摺接するので、摩擦係数が小さく、容器本体１と係止爪４７とが擦れ、半導体ウェーハＷを汚染させるパーティクルの発生を招くおそれがない。
【００４０】
また、容器本体１に対するガスケット２８の接触部３０に、高平滑性や耐磨耗性のダイヤモンドライクカーボン３１がコーティングされるので、例えガスケット２８が長時間容器本体１と蓋体２０との間に介在したとしても、容器本体１内にガスケット２８が貼り付き、蓋体２０の開放に支障を来たすことが全くない。また、ガスケット２８の硬度を高く変更する必要がないので、ガスケット２８の追従性を確保して気密性や密閉性を向上させることができる。
【００４１】
また、金型の突出しピン２に容器本体１のリブフランジ４の両側部が外側から対向して障害物となり、背面壁の強度を高めて補強機能を発揮するので、例え突出しピン２が突き出されて大きな負荷が作用しても、容器本体１の背面側が突出しピン２により突き破られることがなく、これにより製造時の容器本体１の損傷をきわめて有効に防止することが可能になる。
【００４２】
また、金型から容器本体１を脱型する際の抜き角度を大きく変更する必要がないので、半導体ウェーハＷの出し入れに支障を来たすこともない。さらに、背面壁のリブフランジ４と位置決め部８とを別々に形成するのではなく、背面壁のリブフランジ４の中央部７に位置決め部８を一体形成するので、構成の簡易化が大いに期待できる。
【００４３】
なお、本発明に係る基板収納容器は、上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、容器本体１の背面壁の中央部上方に、半導体ウェーハＷを視認する覗き窓をインサート成形法や二色成形法等により形成しても良い。また、容器本体１やそのリブフランジ４に、ＦＲＩＤシステムのＲＦタグを取り付けて自動の移動体識別システムに資するようにしても良い。
【００４４】
また、リブフランジ４に複数の位置決め部８を形成するのではなく、容器本体１の平坦な底面の前部両側と後部中央とに加工装置に対する位置決め部８をそれぞれ形成しても良い。また、背面壁のリブフランジ４の中央部を略Ｗ字形ではなく、略Ｖ字形に屈曲形成して凹部とすることもできる。また、特に支障が生じなければ、各側壁のリブフランジ４を省略することもできる。
【００４５】
また、ガスケット２８の接触部３０のみにダイヤモンドライクカーボン３１をコーティングしたが、特に限定されるものではなく、ガスケット２８の取付部２９と接触部３０とにダイヤモンドライクカーボン３１をそれぞれコーティングしても良い。さらに、ガスケット２８の接触部３０にダイヤモンドライクカーボン３１を単にコーティングしても良いが、特に問題がなければ、ガスケット２８の接触部３０にダイヤモンドライクカーボン３１を部分的にコーティングしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す平面説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す底面説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す背面説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す側面説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す背面説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す正面説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す側面説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す断面側面説明図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体と施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。
【図１２】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の裏面を模式的に示す斜視説明図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるガスケットを模式的に示す正面説明図である。
【図１４】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるガスケットを模式的に示す側面説明図である。
【図１５】図１３のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線断面図である。
【図１６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の表面カバーを模式的に示す斜視説明図である。
【図１７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における表面カバーの裏面を模式的に示す斜視説明図である。
【図１８】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構のスライドプレートを模式的に示す斜視説明図である。
【図１９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における施錠機構の係止爪を模式的に示す斜視説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１        容器本体
４        リブフランジ
１３      リムフランジ（開口した正面部）
１４      係止溝
２０      蓋体
２１      筐体
２２      保持リブ
２３      溝孔（貫通孔）
２４      支持リブ
３２      表面プレート
３３      操作口
３４      ガイド片（ガイド）
４０      施錠機構
４１      リンクプレート（スライド体）
４２      カラー
４３      末端部
４４      最末端部
４５      操作孔
４６      リンクアーム
４７      係止爪
４８      ローラ
４９      コイルバネ（バネ）
Ｗ        半導体ウェーハ（基板）
【図１】
2009021371.tif 000003
【図２】
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【図３】
2009021371.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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