(57)【要約】【課題】  高精度な視野ずれ検出に基づく、視野ずれ補正が可能な試料像回転方法、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。【解決手段】  上記目的を達成するための一態様として、試料台に載せられた試料の像回転を行う手段を備えた荷電粒子線装置において、試料像回転前の画像の一部をテンプレートとして選択し、当該選択されたテンプレートを用いて、試料回転後の画像内をサーチし、テンプレートを選択した個所と、試料回転後の画像のマッチングした個所との間の距離に基づいて、視野ずれ補正を行う試料像回転方法、及び荷電粒子線装置を提案する。【選択図】図２
2009043567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料台に載せられた試料の像回転を行う試料像回転方法において、前記試料に荷電粒子線を照射して画像を形成し、当該画像の一部を選択してテンプレートを形成し、当該テンプレートを用いて、回転された試料画像内をサーチし、当該テンプレートを選択した個所と、前記試料回転後のマッチングした個所との間の距離に基づいて、視野ずれ補正を行うことを特徴とする試料像回転方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記画像形成，テンプレート形成，テンプレートを用いた試料画像内サーチ，当該サーチに基づく視野ずれ補正を複数回繰り返して、前記試料を所望の回転角に回転させることを特徴とする試料像回転方法。
【請求項３】
請求項１において、
前記試料画像の回転は、前記試料台を回転させることによって行われることを特徴とする試料像回転方法。
【請求項４】
荷電粒子源と、当該荷電粒子源を集束する対物レンズと、試料を載せる試料ステージを備えた荷電粒子線装置において、
前記試料ステージは、前記試料を回転させるための回転機構を有し、当該回転機構は、所望の試料回転角の設定により、前記回転機構を制御する処理装置によって、その回転を制御され、当該処理装置は、前記試料に荷電粒子線を照射して形成される画像の一部を選択してテンプレートを形成し、当該テンプレートを用いて、回転された試料画像内をサーチし、当該テンプレートを選択した個所と、前記試料回転後のマッチングした個所との間の距離に基づいて、視野ずれ補正を行う処理装置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記処理装置は、前記画像形成，テンプレート形成，テンプレートを用いた試料画像内サーチ，当該サーチに基づく視野ずれ補正を複数回繰り返して、前記試料を所望の回転角に回転させることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
走査電子顕微鏡において、電子銃と、電子線と試料に照射する収束レンズと、電子線を偏向する機構と、試料と、試料の焦点を合わせる対物レンズと、走査像を画像データとして取り込む機構と、異なる電子線回転角における２つの試料走査像を一枚目は画像全体でサーチするサーチエリア画像として、もう一つの回転時には、画像の中心を切り取ったテンプレート画像を用いて、該サーチエリア画像と該テンプレート画像を画像処理して、画像移動量と相関値を求める手段を特徴とする走査電子顕微鏡。
【請求項７】
請求項６において、
試料ステージと、異なる試料回転角における２つの試料走査像を一枚目は画像全体でサーチするサーチエリア画像として、もう一つの回転時には、画像の中心を切り取ったテンプレート画像を用いて、該サーチエリア画像と該テンプレート画像を画像処理して、画像移動量と相関値を求める手段を特徴とする走査電子顕微鏡。
【請求項８】
走査電子顕微鏡において、電子銃と、電子線と試料に照射する収束レンズと、電子線を偏向する機構と、試料と、試料の焦点を合わせる対物レンズと、試料ステージと、走査像を画像データとして取り込む機構と、異なる電子線回転角における２つの試料走査像を一枚目は画像全体でサーチするサーチエリア画像として、もう一つの回転時には、回転角によるボケは発生しない領域より小さい領域を切り取ったテンプレート画像を用いて、該サーチエリア画像と該テンプレート画像を画像処理して、画像移動量と相関値を求める手段を特徴とする走査電子顕微鏡。
【請求項９】
走査電子顕微鏡において、電子銃と、電子線と試料に照射する収束レンズと、電子線を偏向する機構と、試料と、試料の焦点を合わせる対物レンズと、走査像を画像データとして取り込む機構と、異なる電子線回転角における２つの試料走査像を一枚目は画像全体でサーチするサーチエリア画像として、もう一つの回転時には、画像の中心を切り取ったテンプレート画像を用いて、該サーチエリア画像と該テンプレート画像を画像処理して、画像移動量と相関値を求める手段と画像と該相関値を記憶する手段を有する走査電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料像回転方法、及び荷電粒子線装置に係り、特に試料像を回転させたときに発生する視野ずれを測定、或いは補正する方法、及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡では、視野を回転させて画像を観察する試料像回転技術が知られている。試料像を回転させる場合、例えば試料ステージを電子線光軸（電子線を偏向しない場合の電子線の理想光軸、以下ｚ軸と称することもある。）方向の回転軸を中心として、試料ステージを回転させる方法や、電磁式の対物レンズの励磁条件を変化させることによって試料像を回転させる方法、或いは走査電子顕微鏡の場合、電子線の走査方向を回転させる、所謂ラスターローテーションと呼ばれる試料像回転技術がある。
【０００３】
なお、対物レンズの励磁電流を変化させることによって、試料像の回転を行ったときに、発生する視野ずれを補正するために、回転前後の試料像間の相関に基づいて移動量を求め、ビームを偏向する偏向コイルまたは、試料ステージの移動補正量を計算する技術が特許文献１に説明されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１１８５３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特に、試料ステージによる像回転を行ったときに、試料ステージの機械的な精度の問題から、観察対象物が観察視野から逃げることがある。また、対物レンズの励磁条件を変化させたときに生ずる視野ずれも考えられる。特許文献１に開示の技術では、そのような視野逃げを効果的に補正することが可能であるが、以下のような解決すべき課題がある。
【０００６】
試料像の回転を行うと、例えばｘ−ｙ方向（ｚ軸方向に垂直な方向）に矩形走査を行う装置の場合、回転前と回転後の画像では、回転前の画像から外れる領域と、回転によって新たに含まれる領域があるため、視野（Field Of View：ＦＯＶ）が一致しない。即ち、視野が全くずれなかったとしても、回転前後の試料像は、回転によって生ずる電子ビームの照射領域の変化により、２つの画像間の一致度は異なるものとなり、高い精度での一致度計測ができないという問題がある。また、回転前後で視野がずれてしまった場合、２つの画像の一致度の乖離はより顕著なものとなり、適正な視野ずれ量の特定に基づく視野ずれ補正が困難になるという問題もあった。
【０００７】
以下に、上記のような問題を解決し、高精度な視野ずれ検出に基づく、視野ずれ補正が可能な試料像回転方法、及び荷電粒子線装置について説明する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための一態様として、試料台に載せられた試料の像回転を行う手段を備えた荷電粒子線装置において、試料像回転前の画像の一部をテンプレートとして選択し、当該選択されたテンプレートを用いて、試料回転後の画像内をサーチし、テンプレートを選択した個所と、試料回転後の画像のマッチングした個所との間の距離に基づいて、視野ずれ補正を行う試料像回転方法、及び荷電粒子線装置を提案する。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような構成によれば、試料像回転によってビームの照射領域が変化したり、試料像回転による視野ずれによって、ビームの照射領域がシフトしたとしても、適正な視野ずれ量計測に基づく、視野ずれ補正を行うことが可能となる。なお、本発明の他の具体的な構成や効果は、発明を実施するための最良の形態の欄にて詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、試料像回転が可能な荷電粒子線装置において、試料像回転時の視野ずれを効果的に補正する技術について、説明する。なお、その際に用いられる具体的な処理手法について、以下に説明する。
【００１１】
（１）位相限定相関で移動量を計算する手段
図１２に示す画像相関の例を用いて、上記した構成を有する操作電子顕微鏡の動作を説明する。走査像１の一部を切り取った画像を走査像としてＭ×Ｎの画素数で記憶装置に登録画像としてｆ１（ｍ，ｎ）として記録する。次に記録モード後に取り込んだ画像を走査像をＭ×Ｎの画素数で記憶装置に参照画像としてｆ２（ｍ，ｎ）として記録する。
【００１２】
但し、どちらも自然画像とし、ｍ＝０，１，２，・・・Ｍ−１，ｎ＝０，１，２，・・・Ｎ−１である。
【００１３】
ｆ１（ｍ，ｎ），ｆ２（ｍ，ｎ）の離散フーリエ画像Ｆ１（ｍ，ｎ），Ｆ２（ｍ，ｎ）はそれぞれ（１），（２）で定義される。
【００１４】
【数１】
2009043567.tif 000003
【００１５】
【数２】
2009043567.tif 000004
【００１６】
但し、ｕ＝０，１，２，・・・Ｍ−１，ｖ＝０，１，２，・・・Ｎ−１
Ａ（ｕ，ｖ），Ｂ（ｕ，ｖ）は振幅スペクトル、θ（ｕ，ｖ），φ（ｕ，ｖ）は位相スペクトル。
【００１７】
位相相関では、２画像間で像の平行移動があった場合には相関のピークの位置が移動量だけずれる。
【００１８】
以下に移動量の導出方法を説明する。
【００１９】
まず、原画像ｆ２（ｍ，ｎ）が、ｘ方向にｒ′だけ移動したとしてｆ４（ｍ，ｎ）＝ｆ２（ｍ＋ｒ′，ｎ）とする。
【００２０】
式（２）を式（３）のように変形する。
【００２１】
【数３】
2009043567.tif 000005
【００２２】
振幅スペクトルＢ（ｕ，ｖ）を定数とすることにより、画像のコントラストに依存しない位相画像となる。ｆ４の位相画像Ｆ′４（ｕ，ｖ）は式（４）となる。
【００２３】
【数４】
2009043567.tif 000006
【００２４】
位相画像Ｆ′１（ｕ，ｖ）にＦ′２（ｕ，ｖ）の複素供役を乗ずることによって合成画像Ｈ１４（ｕ，ｖ）は式（５）となる。
【００２５】
【数５】
2009043567.tif 000007
【００２６】
相関強度画像Ｇ１４（ｒ，ｓ）は、合成画像Ｈ１４（ｕ，ｖ）を逆フーリエ変換することによって式（６）となる。
【００２７】
【数６】
2009043567.tif 000008
【００２８】
式（６）より、２つの画像間でＸ方向に位置ずれ量ｒ′が存在する場合、相関強度画像のピークの位置は−ｒ′だけずれる。また、位相成分で相関計算するため、２つの画像で明るさやコントラストに違いがあっても移動量の計算が行える。２つの画像間でＸ方向に位置ずれ量が存在する場合は、相関強度画像の中心よりΔＧ（pixel）の位置にピークが発生する。例えば２つの画像間でＸ方向に２pixelのずれがあると、合成画像は２周期の波になる。これを逆フーリエ変換すると相関強度画像となり、中心から２pixelずれた位置にピークが発生する。このΔＧ（pixel）は検出器の受光面での移動量相当し、ΔＧを試料面上の移動量Δｘに変換する。検出器の受光面の径Ｌ、受光面上での透過電子顕微鏡の倍率Ｍ、検出器の受光面の画素数Ｌｍとすると式（７）に示す。
【００２９】
【数７】
2009043567.tif 000009
【００３０】
Δｘは２つ画像間の試料面上での移動量となる。
【００３１】
（２）一致度を計算する手段
次に画像間移動量や倍率、回転角度の精度について説明する。位相成分のみを用いた相関計算では、数学上位相のみを使用しているため相関強度に現れるピークはδピークとなる。例えば２つの画像間で１.５画素ずれると合成画像は１.５周期の波となる。これを逆フーリエ変換すると、相関強度画像の中心より１.５pixelずれた位置にδピークが立つが、１.５の画素は存在しないので、δピークの値は１pixel目と２pixel目に振り分けられる。ここで一致度が高い画素の重心を取って、この振り分けられた値から真のδピーク位置を計算すると１／１０pixel程度の精度を計算結果が得られる。また、相関強度画像がδピークのため、２つの画像間における類似性の評価を相関強度画像のピークの高さによって行う。画像ｆ１（ｍ，ｎ）、ピークの高さPeak（pixel）とすると一致度（％）を式（８）に示す。
【００３２】
【数８】
2009043567.tif 000010
【００３３】
例えば処理画素数は１２８pixel×１２８pixelでPeakが１６３８４（pixel）の場合は、一致度＝（１６３８４）／（１２８×１２８）×１００＝１００（％）となる。
【００３４】
（３）パターンマッチングを用いた処理
画像のテンプレートマッチングによるテンプレート画像サーチについて以下に一例を示す。
【００３５】
式（９）で示される相関演算をソース画像の指定領域内の全画素に対して行い一致度係数（ｒ）が最大（１.０）になるポイントを移動量として検出する。このとき一致度はｒに１００をかけたものと定義する。
【００３６】
【数９】
2009043567.tif 000011
ｆ：ソース画像
ｇ：テンプレート画像
ｎ：テンプレート領域内有効画素数
（１＜ｎ＜＝６５５３６：２５６×２５６相当）
【００３７】
本方式を用いれば、相関係数算出の計算式自体がデータを正規化しているので明るさの変動やボケに対して一致度が高くなる。
【００３８】
図１６に従来のボケ（デフォーカ）と移動量に関係を示す。図１７に本発明のボケと移動量の関係を示す。これらの結果からも本発明の方式が、ボケに対して認識度が高いことは分かる。
【００３９】
これらの演算は、テンプレート画像の領域と対応するソース画像の一領域に対して行われる。本発明による正規化相関サーチは、セットアップ，トレーニング，サーチの３段階を設定しており、セットアップは、テンプレート画像を入力画像から切り出すことで、トレーニングは、切り出した画像を正規化相関サーチのテンプレート画像として登録する。次にサーチは、トレーニングで登録したテンプレートのサーチを行うこととする。移動量計算は、図１０に示すように移動位置を計算して、図１３に示すようにサブピクセル精度で計算を行う。自動調整は、画像中心で像が移動するので図１１のようにスパイラルでサーチするとサーチ効率が向上する。
【００４０】
（４）ニューラルネットを用いた処理
図８と図９で示すように、圧縮・復元ニューラルネットに関して、入力画像と復元画像との差異を小さくする条件下で行われる。しかし、平滑化画像上では同一濃淡値を持つ画素は複数存在する。したがって、この変換方法は、一意の解を解くために、グリッドの歪みを滑らかにする拘束条件を付加したコスト関数を再急降下法で最小にすることにより実現される。式（１０）にコスト関数を示す。
【００４１】
【数１０】
2009043567.tif 000012
【００４２】
上述の式において、Ｉは再サンプル画像，Ｒは復元画像，（ｄｘi,j,ｄｙi,j）はグリッド（ｉ，ｊ）における移動ベクトルの推定値である。
【００４３】
（５）焦点を自動補正する方法
式（７）で算出したΔＸを式（１１）に入れて、デフォーカス量Δｆを計算する。
【００４４】
【数１１】
2009043567.tif 000013
【００４５】
（６）本発明のステージ補正方法
図１４により、補正するΔＸとΔＹは式（１２）と（１３）により補正することができる。
2009043567.tif 000014
【００４６】
2009043567.tif 000015
【００４７】
【数１２】
2009043567.tif 000016
【００４８】
【数１３】
2009043567.tif 000017
【実施例１】
【００４９】
以下、上述のような演算式を用いた視野ずれ補正の具体例を図面を交えて説明する。まず、本発明の一実施例を、図２のフローチャートに従って述べる。図１は、荷電粒子線装置の１つである走査電子顕微鏡の概略構成図である。なお、以下の説明は、走査電子顕微鏡に関するものであるが、それに限られることはなく、例えばイオンビームを細く絞って走査する集束イオンビーム装置等、他の荷電粒子線装置への適用も可能である。
【００５０】
図１に示すように、図１にて説明する走査電子顕微鏡では、電子銃１から放出される電子ビームを、第１照射レンズコイル２，第２照射レンズコイル３、及び対物レンズ６を経て、試料ステージ７上に載せられた試料に照射する。この際、電子ビームは、第１偏向コイル４，第２偏向コイル５による偏向によって走査される。また、試料ステージ７は図示しない移動機構によって、電子ビームに対し移動可能に支持されている。移動機構は、電子ビーム光軸をｚ方向としたときに、その垂直方向であるｘ−ｙ方向，ｚ方向、及びｚ方向に平行回転軸を持つ回転方向への移動が可能なような駆動機構が設けられている。移動機構は、マイクロプロセッサ１８等のような処理装置によって制御される。
【００５１】
図７は、試料ステージの一例を説明する図である。回転機構３４，Ｘ移動機構３６，Ｙ移動機構３７を備えたステージは、ステージコントローラ３５から供給される信号によって駆動される。
【００５２】
また、電子ビームの照射位置を偏向するためのイメージシフト偏向器が設けられている（図示せず）。なお、イメージシフトは、専用の偏向器を設けるのではなく、第１偏向コイル４，第２偏向コイル５に偏向信号を重畳させて、当該２つのコイルにて走査とイメージシフトを行うようにしても良い。
【００５３】
電子ビームを集束する各レンズは、それぞれの励磁電源８，９，１２に接続されている。また、走査像観察用レンズデータを記憶しているＲＯＭ２９は、そのデータをＤＡＣ１３，１４，１７に出力してレンズ系のデータをアナログ信号に変換する。各ＤＡＣ１３，１４，１７より励磁電源８，９，１２にアナログ信号を出力して各レンズ系のレンズコイル２，３，６に電流を出力させる。
【００５４】
試料に照射された電子線により二次電子が放出され、二次電子検出器３２，３３により、該二次電子を検出する。メモリ３１に画像データが蓄積され、モニタ２２に画像を表示する。次に図５に示すように、試料回転開始角度，終了角度を入力する。
【００５５】
次に本発明の試料ステージを用いて回転を開始する。画像を取り込みテンプレート１として記録する。次にサーチエリアも取り込み記録する。この時、演算装置２０等では、上述の式（６）を用いてステージのＸ，Ｙに補正を行い視野逃げを大まかに補正してもよい。
【００５６】
サーチエリアは、像回転後のテンプレートを用いたサーチの範囲を特定するものである。また、テンプレートは、回転前の画像より小さく設定する。この理由は、回転前の像と回転後の像では共通する視野が限られたものとなるため、回転前後で変化する部分を視野に含めると、テンプレートマッチングの一致度を下げてしまい、高精度な一致度測定が困難になるからである。
【００５７】
また、テンプレート画像は、回転後の画像とのマッチングの一致度を向上させるために、実際の回転角に併せて回転させるようにしても良い。
【００５８】
次に回転を開始する。上述の式（３）（４）を用いて相関計算を行い、一致度とＸ，Ｙの移動量を計算する。この時、式（１）（２）を用いて計算を行ってもよい。次に一致度が７０％以下の場合は、終了する。７０％以上の場合は、ステージＸ，Ｙに移動量を加算して補正を行う。このときイメージシフトを併用しても良いことにする。次に設定された角度になっていない場合は、繰り返し補正を行う。設定角度になった場合は終了する。また、設定角度に到達した後に画像を取り込み上記一致度を図６に示すように画像と一致度を表示並びに記録することもできる。
【実施例２】
【００５９】
以下、本発明の一実施例を、図３のフローチャートに従って述べる。図１に示すように走査像観察用レンズデータをレンズデータを記憶しているＲＯＭ２９から各ＤＡＣ１３，１４，１７に出力してレンズ系のデータをアナログ信号に変換する。各ＤＡＣ１３，１４，１７より励磁電源８，９，１２にアナログ信号を出力して各レンズ系のレンズコイル２，３，６に電流を出力させる。試料に照射された電子線により二次電子が放出され、二次電子検出器３２，３３により、該二次電子を検出する。メモリ３１に画像データが蓄積され、モニタ２２に画像を表示する。次に図５に示すように、試料回転開始角度，終了角度を入力する。
【００６０】
次に本発明の試料ステージを用いて回転を開始する。画像を取り込みテンプレート１として記録する。次にサーチエリアも取り込み記録する。この時、式（６）を用いてステージのＸ，Ｙに補正を行い視野逃げを大まかに補正してもよい。この時、式（１）（２）を用いて計算を行ってもよい。次に回転を開始する。式（３）（４）を用いて相関計算を行い、一致度とＸ，Ｙの移動量を計算する。次に一致度が７０％以下の場合は、ステージの回転角度を戻して一致度が７０％を超えるように繰り返し補正を行う。７０％以上の場合は、ステージＸ，Ｙに移動量を加算して補正を行う。このときイメージシフトを併用しても良いことにする。次に設定された角度になっていない場合は、繰り返し補正を行う。設定角度になった場合は終了する。
【００６１】
また、設定角度に到達した後に画像を取り込み上記一致度を図６に示すように画像と一致度を表示並びに記録することもできる。
【実施例３】
【００６２】
以下、本発明の一実施例を、図４のフローチャートに従って述べる。図１に示すように走査像観察用レンズデータを記憶しているＲＯＭ２９から各ＤＡＣ１３，１４，１７に出力してレンズ系のデータをアナログ信号に変換する。各ＤＡＣ１３，１４，１７より励磁電源８，９，１２にアナログ信号を出力して各レンズ系のレンズコイル２，３，６に電流を出力させる。試料に照射された電子線により二次電子が放出され、二次電子検出器３２，３３により、該二次電子を検出する。メモリ３１に画像データが蓄積され、モニタ２２に画像を表示する。次に図５に示すように、試料回転開始角度，終了角度を入力する。
【００６３】
次に本発明の試料ステージを用いて回転を開始する。画像を取り込みテンプレート１として記録する。次にサーチエリアも取り込み記録する。次に式（３）（４）を用いて相関計算を行い、一致度の計算する。この時、式（１）（２）を用いて計算を行ってもよい。
【００６４】
一致度が７０％以下の場合は、視野として補正できないので終了する。一致度が７０％以上の場合は、回転を開始する。図１５より本発明の相関計算では、１０度以下でないと像回転時の移動量計算の精度が低下する。このため、回転角が１０度以上の場合は、ステージの回転角度を戻して再度サーチエリアを取り込み相関計算を行う。回転角度が１０度以下の場合は、式（３）（４）を用いて相関計算を行い、一致度とＸ，Ｙの移動量の計算する。この時、式（１）（２）を用いて計算を行ってもよい。
【００６５】
次に、式（６）を用いてステージのＸ，Ｙに補正を行い視野逃げを大まかに補正してもよい。次に一致度が７０％以下の場合は、終了する。
【００６６】
７０％以上の場合は、ステージＸ，Ｙに移動量を加算して補正を行う。このときイメージシフトを併用しても良いことにする。次に設定された角度になっていない場合は、繰り返し補正を行う。設定角度になった場合は終了する。また、設定角度に到達した後に画像を取り込み上記一致度を図６に示すように画像と一致度を表示並びに記録することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】走査電子顕微鏡の概略構成図。
【図２】像回転プロセスを説明するフローチャート（その１）。
【図３】像回転プロセスを説明するフローチャート（その２）。
【図４】像回転プロセスを説明するフローチャート（その３）。
【図５】試料回転角を設定する入力画面。
【図６】走査電子顕微鏡画像にマッチングの一致度を重畳して表示する例を説明する図。
【図７】試料ステージの概略構成図。
【図８】ニューラルネットの概念図。
【図９】テンプレート登録画面の一例を説明する図。
【図１０】画像間の移動量計測の一例を説明する図。
【図１１】スパイラル状に視野探索を行う例を説明する図。
【図１２】位相相関処理の概念図。
【図１３】画像間の一致度計算法の一例を説明する図。
【図１４】ステージ補正の概念図を説明する図。
【図１５】回転角と一致度の関係を説明する図。
【図１６】移動量と一致度の関係を説明する図。
【図１７】移動量と一致度の関係を説明する図（従来例）。
【符号の説明】
【００６８】
１  電子銃
２  第１照射レンズコイル
３  第２照射レンズコイル
４  第１偏向コイル
５  第２偏向コイル
６  対物レンズコイル
７  試料ステージ
８〜１２  励磁電源
１３〜１７  ＤＡＣ
１８  マイクロプロセッサ
１９  記憶装置
２０  演算装置
２１  ＣＲＴコントローラ
２２  モニタ
２３，２４  Ｉ／Ｆ
２５  倍率切替用ロータリーエンコーダ
２６  入力用ロータリーエンコーダ
２７  キーボード
２８  ＲＡＭ
２９  ＲＯＭ
３０  マウス
３１  メモリ
３２，３３  二次電子検出器
３４  回転機構
３５  ステージコントローラ
３６  Ｘ移動機構
３７  Ｙ移動機構
【図１】
2009043567.tif 000018
【図２】
2009043567.tif 000019
【図３】
2009043567.tif 000020
【図４】
2009043567.tif 000021
【図５】
2009043567.tif 000022
【図６】
2009043567.tif 000023
【図７】
2009043567.tif 000024
【図８】
2009043567.tif 000025
【図９】
2009043567.tif 000026
【図１０】
2009043567.tif 000027
【図１１】
2009043567.tif 000028
【図１２】
2009043567.tif 000029
【図１３】
2009043567.tif 000030
【図１４】
2009043567.tif 000031
【図１５】
2009043567.tif 000032
【図１６】
2009043567.tif 000033
【図１７】
2009043567.tif 000034