(57)【要約】【課題】簡単な作業で精度良く設置可能なリニアアクチュエータとその位置調整方法を提供する。【解決手段】電機子２２を有する可動子２０と、可動子２０を貫通して延びるガイド部材１１と永久磁石１５とを有する固定子１０とを備える。ガイド部材１１の両端側は保持台４１、４２によって支持固定されている。可動子２０には、可動子２０の推力方向と平行に延びる導光孔４０を貫設し、上記保持台４１、４２には、ガイド部材１１の延設方向が可動子２０の推力方向に平行で、かつ可動子２０の電機子２２と固定子１０の永久磁石１５との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、可動子２０の導光孔４０と軸心が一致する位置に貫通孔４３、４４を穿設する。導光孔４０を通過したレーザ光５１が、両貫通孔４３、４４を通過するように保持台４１、４２の設置位置を調整する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メインガイドレール（３）と、メインガイドレール（３）上を長手方向に移動自在としたステージ（２）と、ステージ（２）に取り付けられると共に電機子（２２）を有する可動子（２０）と、可動子（２０）を貫通して延びるガイド部材（１１）と永久磁石（１５）とを有する固定子（１０）とを備えたリニアアクチュエータにおいて、上記可動子（２０）には、可動子（２０）の推力方向と平行に延びる導光孔（４０）を貫設したことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
上記ガイド部材（１１）の両端側は保持台（４１）（４２）によって支持固定されており、上記保持台（４１）（４２）には、上記ガイド部材（１１）の延設方向が可動子（２０）の推力方向に平行で、かつ可動子（２０）の電機子（２２）と固定子（１０）の永久磁石（１５）との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、上記可動子（２０）の導光孔（４０）と軸心が一致する位置に貫通孔（４３）（４４）を穿設していることを特徴とする請求項１のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
電機子（２２）を有する可動子（２０）と、可動子（２０）を貫通して延びるガイド部材（１１）と永久磁石（１５）とを有する固定子（１０）とを備え、上記ガイド部材（１１）の両端側は保持台（４１）（４２）によって支持固定されたリニアアクチュエータにおいて、上記可動子（２０）には、可動子（２０）の推力方向と平行に延びる導光孔（４０）を貫設し、上記保持台（４１）（４２）には、上記ガイド部材（１１）の延設方向が可動子（２０）の推力方向に平行で、かつ可動子（２０）の電機子（２２）と固定子（１０）の永久磁石（１５）との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、上記可動子（２０）の導光孔（４０）と軸心が一致する位置に貫通孔（４３）（４４）を穿設していることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
上記保持台（４２）の貫通孔（４４）の開口面側に上記レーザ光（５１）の入射確認用のセンサ（５３）を設けていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかのリニアアクチュエータ。
【請求項５】
メインガイドレール（３）と、メインガイドレール（３）上を長手方向に移動自在としたステージ（２）と、ステージ（２）に取り付けられると共に電機子（２２）を有する可動子（２０）と、可動子（２０）を貫通して延びるガイド部材（１１）と永久磁石（１５）とを有する固定子（１０）とを備えたリニアアクチュエータにおいて、上記可動子（２０）には、可動子（２０）の推力方向と平行に延びる導光孔（４０）を貫設し、メインガイドレールとほぼ平行な光軸を有するレーザ光（５１）が上記導光孔（４０）を通過するようにステージ（２）に対する可動子（２０）の取り付け位置を調整することを特徴とするリニアアクチュエータの位置調整方法。
【請求項６】
上記ガイド部材（１１）の両端側は保持台（４１）（４２）によって支持固定されており、上記保持台（４１）（４２）には、上記ガイド部材（１１）の延設方向が可動子（２０）の推力方向に平行で、かつ可動子（２０）の電機子（２２）と固定子（１０）の永久磁石（１５）との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、上記可動子（２０）の導光孔（４０）と軸心が一致する位置に貫通孔（４３）（４４）を穿設し、上記導光孔（４０）を通過したレーザ光（５１）が、上記両貫通孔（４３）（４４）を通過するように上記保持台（４１）（４２）の設置位置を調整することを特徴とする請求項５のリニアアクチュエータの位置調整方法。
【請求項７】
電機子（２２）を有する可動子（２０）と、可動子（２０）を貫通して延びるガイド部材（１１）と永久磁石（１５）とを有する固定子（１０）とを備え、上記ガイド部材（１１）の両端側は保持台（４１）（４２）によって支持固定されたリニアアクチュエータにおいて、上記可動子（２０）には、可動子（２０）の推力方向と平行に延びる導光孔（４０）を貫設し、上記保持台（４１）（４２）には、上記ガイド部材（１１）の延設方向が可動子（２０）の推力方向に平行で、かつ可動子（２０）の電機子（２２）と固定子（１０）の永久磁石（１５）との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、上記可動子（２０）の導光孔（４０）と軸心が一致する位置に貫通孔（４３）（４４）を穿設し、上記導光孔（４０）を通過したレーザ光（５１）が、上記両貫通孔（４３）（４４）を通過するように上記保持台（４１）（４２）の設置位置を調整することを特徴とするリニアアクチュエータの位置調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、両端が支持されたガイド部材の長手方向に沿って移動するリニアアクチュエータとその位置調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、リニアモータを用いた製品が開発されてきており、このリニアモータとしては、例えば下記に示す特許文献１に記載されたものを挙げることができる。このリニアモータは、電機子巻線を有する固定子と、永久磁石を有する可動子とが相対的に移動可能な構成を有するものである。この場合、固定子は、リング状コアと電機子歯、電機子巻線で磁気回路を構成したものである。
【特許文献１】特開２００６−３２００３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記特許文献１に示すようなリニアモータにおいては、固定子と可動子との相対位置を正確に定める必要がある。特に、上記永久磁石を固定子として利用し、リング状コア側を可動子として利用するリニアモータにおいては、可動子のリング状コアをステージに装着し、このステージをメインガイドレールに移動自在に支持する構造が採用されるが、このような場合には、ステージの移動方向、固定子の推力発生方向、永久磁石の延設方向を正確に一致させる必要が生じる。
【０００４】
このような場合において従来は、例えば、ステージに対して可動子を取り付ける際に、位置決めピンなどを利用することによって位置決め作業を行っていた。しかしこのような機械的な位置決め方法においては、当然のことながら機械加工精度による誤差が生じてしまう。
【０００５】
この発明は上記した従来の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、簡単な作業で精度良く設置可能なリニアアクチュエータとその位置調整方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、請求項１のリニアアクチュエータは、メインガイドレール３と、メインガイドレール３上を長手方向に移動自在としたステージ２と、ステージ２に取り付けられると共に電機子２２を有する可動子２０と、可動子２０を貫通して延びるガイド部材１１と永久磁石１５とを有する固定子１０とを備えたリニアアクチュエータにおいて、上記可動子２０には、可動子２０の推力方向と平行に延びる導光孔４０を貫設したことを特徴とする。
【０００７】
請求項２のリニアアクチュエータは、上記ガイド部材１１の両端側は保持台４１、４２によって支持固定されており、上記保持台４１、４２には、上記ガイド部材１１の延設方向が可動子２０の推力方向に平行で、かつ可動子２０の電機子２２と固定子１０の永久磁石１５との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、上記可動子２０の導光孔４０と軸心が一致する位置に貫通孔４３、４４を穿設していることを特徴とする。
【０００８】
請求項３のリニアアクチュエータは、電機子２２を有する可動子２０と、可動子２０を貫通して延びるガイド部材１１と永久磁石１５とを有する固定子１０とを備え、上記ガイド部材１１の両端側は保持台４１、４２によって支持固定されたリニアアクチュエータにおいて、上記可動子２０には、可動子２０の推力方向と平行に延びる導光孔４０を貫設し、上記保持台４１、４２には、上記ガイド部材１１の延設方向が可動子２０の推力方向に平行で、かつ可動子２０の電機子２２と固定子１０の永久磁石１５との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、上記可動子２０の導光孔４０と軸心が一致する位置に貫通孔４３、４４を穿設していることを特徴とする。
【０００９】
請求項４のリニアアクチュエータは、上記保持台４２の貫通孔４４の開口面側に上記レーザ光５１の入射確認用のセンサ５３を設けていることを特徴とする。
【００１０】
請求項５のリニアアクチュエータに位置調整方法は、メインガイドレール３と、メインガイドレール３上を長手方向に移動自在としたステージ２と、ステージ２に取り付けられると共に電機子２２を有する可動子２０と、可動子２０を貫通して延びるガイド部材１１と永久磁石１５とを有する固定子１０とを備えたリニアアクチュエータにおいて、上記可動子２０には、可動子２０の推力方向と平行に延びる導光孔４０を貫設したリニアアクチュエータにおいて、メインガイドレールとほぼ平行な光軸を有するレーザ光５１が上記導光孔４０を通過するようにステージ２に対する可動子２０の取り付け位置を調整することを特徴とする。
【００１１】
請求項６のリニアアクチュエータに位置調整方法は、上記ガイド部材１１の両端側は保持台４１、４２によって支持固定されており、上記保持台４１、４２には、上記ガイド部材１１の延設方向が可動子２０の推力方向に平行で、かつ可動子２０の電機子２２と固定子１０の永久磁石１５との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、上記可動子２０の導光孔４０と軸心が一致する位置に貫通孔４３、４４を穿設し、上記導光孔４０を通過したレーザ光５１が、上記両貫通孔４３、４４を通過するように上記保持台４１、４２の設置位置を調整することを特徴とする。
【００１２】
請求項７のリニアアクチュエータに位置調整方法は、電機子２２を有する可動子２０と、可動子２０を貫通して延びるガイド部材１１と永久磁石１５とを有する固定子１０とを備え、上記ガイド部材１１の両端側は保持台４１、４２によって支持固定されたリニアアクチュエータにおいて、上記可動子２０には、可動子２０の推力方向と平行に延びる導光孔４０を貫設し、上記保持台４１、４２には、上記ガイド部材１１の延設方向が可動子２０の推力方向に平行で、かつ可動子２０の電機子２２と固定子１０の永久磁石１５との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になったときに、上記可動子２０の導光孔４０と軸心が一致する位置に貫通孔４３、４４を穿設し、上記導光孔４０を通過したレーザ光５１が、上記両貫通孔４３、４４を通過するように上記保持台４１、４２の設置位置を調整することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１のリニアアクチュエータ、及び請求項５のリニアアクチュエータの位置調整方法によれば、メインガイドレールに対して可動子の推力方向を平行にする位置調整作業を容易に、かつ正確に行うことが可能となる。
【００１４】
また、請求項２、請求項３のリニアアクチュエータ、及び請求項６、請求項７のリニアアクチュエータの位置調整方法によれば、ガイド部材の延設方向が可動子の推力方向に平行で、かつ可動子の電機子と固定子の永久磁石との間の空隙が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係とする位置調整作業を容易に、かつ正確に行うことが可能となる。請求項４のリニアアクチュエータによれは、上記各作業を一段と容易に行えるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次にこの発明の具体的な実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。先ず、リニアアクチュエータの構成について図５及び図６により説明する。図５は装置外観の分解斜視図を、図６は装置の断面図をそれぞれ示している。図６において、基盤に固定されているベース１の上面側にステージ２が位置決めされた状態となっている。ベース１には、メインガイドレール３が設置され、また、ステージ２にはメインスライドガイド４が取り付けられている。すなわち、ベース１に、メインガイドレール３及びメインスライドガイド４を介して、ステージ２がＸ方向に移動自在に支持されている。ステージ２の主たる荷重は、この構造によってベース１に支持されることになる。
【００１６】
このアクチュエータは、リニアモータＭの推力によって駆動されるものであって、固定子１０と可動子（電機子）２０とを有している。固定子１０は、水平方向に延びるガイド部材１１を有しているが、この固定子１０はその両端部を保持台４１、４２によって支持固定されている（図１参照）。そして、保持台４１、４２は、それぞれ左右一対の半割体４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂから構成されていて、一対の半割体４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂにてガイド部材１１の両端を挟持固定し、さらに保持台４１、４２が基盤に固定される構成となっている。ガイド部材１１は、上ガイドレール１２、下ガイドレール１３、保持板１４、永久磁石１５で構成される。永久磁石１５は、板状の部材で、上下ガイドレール１２、１３間に配置され、その平面部がガイドレール１２、１３の長手方向に沿うように配置されている。この場合、永久磁石１５は、ガイドレール１２、１３の長手方向に沿って、Ｎ極とＳ極とが交互に相隣接するように配置された構造を有している。この永久磁石１５の上下方向中央部の位置において、永久磁石１５には、保持板１４が取り付けられている。この場合、保持板１４には、永久磁石１５の嵌入し得る四角形の嵌入孔（図示せず）が形成されており、この嵌入孔内に永久磁石１５の各磁極片が嵌入され、保持される。このような構造を採用することにより、保持板１４は、永久磁石１５の長手方向に沿って延びると共に、永久磁石１５の両側から水平方向の両側に突出する態様で取り付けられることになり、図６に示すように、永久磁石１５と保持板１４とは、十字状に直交する状態に配置されている。
【００１７】
被ガイド体としての可動子２０は、図６に示すように、上記ステージ２の裏側下部に垂設されたものであって、ステージ２を駆動する機能を有するものである。そして、この可動子２０は、図５に示すように、その外装ケース２０ａの内部に、電機子巻線２１（図６参照）を有する電機子２２を収納したものである。電機子２２は、図５に示すように、３相分の電機子単位体２２ａ、２２ｂ、２２ｃを移動方向（ガイド部材１１の長手方向）に並設することによって構成されたもので、リング状コアタイプのもので、その電機子歯が所定の間隔を置いて永久磁石１５を挟むように相対向して配置されている。そして、この可動子２０は、上記ガイド部材１１によって、その長手方向（Ｘ方向）には移動自在で、それとは直交する水平方向（Ｙ方向）、及び上下方向（Ｚ方向）には移動を規制された状態でガイドされている。
【００１８】
このガイド機構について詳しく説明する。図５及び図６に示すように、ガイド部材１１の上ガイドレール１２には、上リニアガイド２３がＸ方向に摺動自在に嵌合され、この上リニアガイド２３は、上ガイドホルダ２５を介して、可動子２０に取り付けられている。また、下ガイドレール１３についても同様であり、下ガイドレール１３に摺動自在に嵌合した下リニアガイド２６が、下ガイドホルダ２８を介して、可動子２０に取り付けられている。上記各リニアガイド２３、２６は、複数のガイド要素２３ａ・・、２６ａ・・に分割構成されたものであって、相互に独立したガイド要素２３ａ・・、２６ａ・・が個別に各ガイドホルダ２５、２８に取り付けられている。また、各ガイドホルダ２５、２８は、可動子２０の上下各部に設けた上ホルダ装着部３１、下ホルダ装着部３２に収納され、止ネジ３３によって、可動子２０に固定するようになっている。すなわち、上記各ガイドホルダ２５、２８は、上記止ネジ３３を取り外し、各ガイドホルダ２５、２８を上記各ホルダ装着部３１、３２からＸ方向に引き出すことで、可動子２０から取り外し可能となっているのである。
【００１９】
上記上下リニアガイド２３、２６は、公知のものであって、上下ガイドレール１２、１３に対して、その長手方向（Ｘ方向）には移動自在で、それとは直交する水平方向（Ｙ方向）、及び上下方向（Ｚ方向）には移動を規制された状態でガイドされている。
【００２０】
また、ベース１と可動子２０との間には、位置検出機構３０が配置されている。すなわち、ベース１にはリニアスケール３４が取り付けられ、また、可動子２０には、リニアスケール３４に相対向して、リニアエンコーダ３５が取り付けられている。
【００２１】
上リニアガイド２３は上ガイドホルダ２５に、また下リニアガイド２６は下ガイドホルダ２８に取り付けられており、上記可動子２０には、上下ホルダ装着部３１、３２が形成され、上記各ガイドホルダ２５、２８を、上記ガイドレール１２、１３に沿って移動させることで、各ガイドホルダ２５、２８を可動子２０の上下ホルダ装着部３１、３２に対して着脱可能にしている。このような構成を採用することにより、可動子２０の上下ホルダ装着部３１、３２から各ガイドホルダ２５、２８を引き出すことで、リニアガイド２３、２６を交換することができる。
【００２２】
上記ガイド部材１１は、上ガイドレール１２と下ガイドレール１３とを有し、両ガイドレール間に、永久磁石１５が、ガイドレール１２、１３の長手方向に沿って、相隣接する磁極が互いに異極となるように並設され、また、永久磁石１５の略中央部に、ガイドレール１２、１３の長手方向に沿って延びると共に、水平方向の両側に向けて突出する状態で保持板１４を取り付けて成り、上記被ガイド体２０には電機子２２が取り付けられ、その電機子歯を所定の間隔を置いて永久磁石１５を挟むように相対向させることで、リニアモータＭを構成している。従って、コンパクトにリニアモータＭを構成可能である。しかも、永久磁石１５と保持板１４とを、十字状に直交する状態に配置しているので、ガイド部材１１の剛性が向上し、リニアアクチュエータの位置精度を向上させることができる。
【００２３】
なお、上記の説明において、リニアモータＭは、永久磁石１５を固定子１０、電機子２２を可動子２０としているが、永久磁石１５を可動子、電機子２２を固定子としてモータＭを構成することもある。また、上記では、リニアモータを使用した例を示しているが、場合によっては、サーボモータを用いたボール−スクリュー方式のアクチュエータに対しても適用可能である。また、上ガイドレール１２と下ガイドレール１３との２本のガイドレール１２、１３を用いた例を示しているが、１本のガイドレールを使用し、その上面を上ガイド面１２ａ、下面を下ガイド面１３ａとして機能させても良い。さらに、リニアガイド２３、２６を、ガイド要素２３ａ、２６ａに分割構成した例を示しているが、ガイド要素に分割せず、一体のものとして構成されたリニアガイドを用いることもある。もっとも、上記した通り、分割構成するのが好ましい。
【００２４】
次に、上記リニアアクチュエータを設置する際の位置調整方法について説明する。まず、設置する際に使用する構成について説明する。図１に示すように、可動子（電機子）２０の任意の位置、本実施形態では上部における一端寄りの位置に、両端を貫通する導光孔４０を穿孔する。この導光孔４０は可動子２０の推力発生方向と平行に穿設している。この導光孔４０は、レーザ光源５０からのレーザ光５１を通すためのものである。また、ガイド部材１１の両端を支持固定する保持台４１、４２にも上記レーザ光５１を通過させる貫通孔４３、４４を、可動子２０の導光孔４０と合致する位置にそれぞれ穿孔している。すなわち、可動子２０の推力方向とガイド部材１１（固定子１０）の延びる方向（軸方向）とが一致し、かつ電機子２２と永久磁石１５との間の空隙（ギャップ）３７が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係となった状態において、保持台４１、４２の貫通孔４３、４４と可動子２０の導光孔４０との両者をレーザ光５１が通過させ得るように各孔４０、４３、４４の位置を設定しているのである。
【００２５】
上記リニアアクチュエータの位置調整方法は、大きく分けると、次の３工程から成るものである。
（１）レーザ光５１の光軸をメインガイドレール３上のステージ２（メインスライドガイド４）の移動方向と平行に調整する工程、
（２）レーザ光５１の光軸に可動子２０の推力方向が平行になるように固定子２０のステージ２への取り付け位置を調整する工程、
（３）レーザ光５１の光軸（可動子２０の推力方向）に平行で、電機子２２と永久磁石１５との間の空隙（ギャップ）３７が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になるようにガイド部材１１の配置位置を調整する工程。
【００２６】
まず、上記（１）の工程について説明する。このとき、上記したように、図２に示すように、基盤に配置されたベース１上に、メインガイドレール３が敷設され、可動子２０を下面に配置したステージ２がメインスライドガイド４を介してメインガイドレール３に摺動自在に配置されている。そして、その側方に、レーザ光源５０を、その光軸が、メインガイドレール３の延設方向とほぼ一致するように配置する。そして、ステージ２に、平板状のターゲットを立設すると共に、レーザ光５１をこのターゲットに照射する。このような状態で、ステージ２を移動すると、ターゲットにおけるレーザ光５１の照射位置が上下、左右に移動する。このようにレーザ光５１の照射位置が移動するのは、レーザ光５１の光軸とステージ２の移動方向とが一致していないことによる。そのため、このようなレーザ光５１の照射位置の移動が生じなくなるまで、レーザ光５１の光軸を調整することで、レーザ光の光軸をメインガイドレール３上のステージ２（メインスライドガイド４）の移動方向と平行に調整することができる。
【００２７】
次に行う上記（２）の工程について説明する。この工程においては、上記のように光軸が調整設定されたレーザ光５１の光軸を平行移動させ、今度はレーザ光５１が可動子（電機子）２０に設けてある導光孔４０に照射されるようにする。この場合、上記（１）の工程において、平板状のターゲットの位置を、予め機械設計上の電機子２０の導光孔４０の位置と同じ位置にしておけば、このように光軸を平行移動させる必要性は生じない。なお、レーザ光５１の光軸を平行移動させるのは、公知の３次元移動手段を用いることによって可能である。そして、この状態から、図２に示しているように、導光孔４０の両端をレーザ光５１が貫通するように、固定子２０のステージ２に対する取り付け状態を調整することにより、ステージ２の移動方向と可動子（電機子）２０の推力方向とが平行になるように位置調整が可能となる。レーザ光５１の貫通状態は、目視確認によっても可能であるが、この実施形態では半導体位置検出素子からなるセンサ５３（図１、及び図２参照）を用いて行う。なお、上記導光孔４０は、当然のことながら、推力方向と一致する方向になるように形成しておくものとする。
【００２８】
この後、さらに行う上記工程（３）について説明する。上記（２）の工程の後、図３に示すように、ガイド部材１１の一方の端部を可動子２０の内部の空隙３７（図６参照）に挿入していき、ガイド部材１１の両端を上記のように保持台４１、４２にて支持する。次に、図４に示すように、レーザ光源５０からレーザ光５１を照射し、このレーザ光５１が一方の保持台４１の貫通孔４３、可動子２０の導光孔４０、他方の保持台４２の貫通孔４４に入射し、保持台４１、４２にてレーザ光５１が遮断されていないかを確認する。このレーザ光５１の確認は、上記した通り目視でも良いが、この実施形態では、センサ５３にてレーザ光５１の入射の確認を行っている。そして、レーザ光源５０からのレーザ光５１が、保持台４１の貫通孔４３、可動子２０の導光孔４０、保持台４２の貫通孔４４を通過してセンサ５３にてレーザ光５１が検出されるように保持台４１、４２の位置を調整することで、レーザ光５１の光軸（可動子２０の推力方向）に平行で、電機子２２と永久磁石１５との間の空隙（ギャップ）３７が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になるようにガイド部材１１の配置位置を調整することができる。なお、上記可動子２０の導光孔４０、保持台４１、４２の各貫通孔４３、４４は、永久磁石１５の延設方向が電機子２２の推力方向と一致し、かつ電機子２２と永久磁石１５との間の空隙（ギャップ）３７が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係になるように設定しておくものとする。
【００２９】
上記リニアアクチュエータ、及びリニアアクチュエータの位置調整方法によれば、メインガイドレール３に対して可動子２０の推力方向を平行にする位置調整作業、及びガイド部材１１の延設方向が可動子２０の推力方向に平行で、かつ可動子２０の電機子２２と固定子１０の永久磁石１５との間の空隙３７が磁気吸引力中立位置を保てるような位置関係とする位置調整作業を容易に、かつ正確に行うことが可能となる。従って、新たにリニアアクチュエータを設置するような場合には、その設置作業を容易に、かつ正確に行えることになる。
【００３０】
上記の説明では、（１）〜（３）の全ての工程を実施しているが、機械的精度が良好であるような場合には、上記（１）（２）の工程については、その実施を省略することも可能である。その場合には、レーザ光源５０からのレーザ光５１が、可動子（電機子）２０の導光孔４０を通過するように、レーザ光５１の照射位置及び照射方向を調整しておけばよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】この発明の実施の形態におけるリニアアクチュエータの位置調整方法を示す斜視図である。
【図２】この発明の実施の形態におけるリニアアクチュエータの位置調整方法を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態におけるリニアアクチュエータの位置調整方法を示す図である。
【図４】この発明の実施の形態におけるリニアアクチュエータの位置調整方法を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態におけるリニアアクチュエータの斜視図である。
【図６】この発明の実施の形態におけるリニアアクチュエータの断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
２・・ステージ、３・・メインガイドレール、１０・・固定子、１１・・ガイド部材、１５・・永久磁石、２０・・被ガイド体（可動子）、２２・・電機子、４０・・導光孔、４１、４２・・保持台、４３、４４・・貫通孔、５０・・レーザ光源、５１・・レーザ光、５３・・センサ
【図１】
2009171780.tif 000003
【図２】
2009171780.tif 000004
【図３】
2009171780.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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