(57)【要約】【課題】      複雑な構造とすることなく、欠陥画素のアドレスを容易にかつ正確に求めることができるようにすることにある。【解決手段】  表示用パネルの処理方法は、表示用パネルの目視点灯検査により見付けられた欠陥画素が属する前記表示用パネルの少なくとも４つの被撮影領域の少なくとも1つであってそれぞれが表示用パネルのＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁を含む少なくとも４つの被撮影領域の少なくとも１つを撮影可能の箇所に撮影装置を移動させ、移動された箇所においてこれに対応する被撮影領域を撮影装置で撮影し、該撮影装置の出力信号を画像処理して該撮影装置による画像内のＸ及びＹ方向における端縁から欠陥画素までの座標値を求める。【選択図】図１
2009169340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示用パネルの目視点灯検査により見付けられた欠陥画素が属する前記表示用パネルの少なくとも４つの被撮影領域の少なくとも1つであってそれぞれが表示用パネルのＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁を含む少なくとも４つの被撮影領域の少なくとも１つを撮影可能の箇所に撮影装置を移動させ、移動された箇所においてこれに対応する被撮影領域を前記撮影装置で撮影し、該撮影装置の出力信号を画像処理して該撮影装置による画像内の前記Ｘ方向における端縁及び前記Ｙ方向における端縁から欠陥画素までの座標値を求めることを含む、表示用パネルの処理方法。
【請求項２】
それぞれが表示用パネルのＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁を含む少なくとも４つの被撮影領域に前記表示用パネルを分割して撮影すべく撮影装置を複数箇所に移動させ、移動された各箇所において対応する被撮影領域を前記撮影装置で撮影し、該撮影装置の出力信号を画像処理して該撮影装置による画像内の前記Ｘ方向における端縁及び前記Ｙ方向における端縁から欠陥画素までの座標値を求めることを含む、表示用パネルの処理方法。
【請求項３】
表示用パネルの欠陥画素を目視点灯検査により見付け、見付けられた欠陥画素が、前記表示用パネルの少なくとも４つの被撮影領域であってそれぞれが表示用パネルのＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁を含む少なくとも４つの被撮影領域のいずれに属するかを確認し、前記欠陥画素が属する撮影領域を撮影可能の箇所に撮影装置を移動させ、移動された箇所においてこれに対応する被撮影領域を前記撮影装置で撮影し、該撮影装置の出力信号を画像処理して該撮影装置による画像内の前記Ｘ方向における端縁及び前記Ｙ方向における端縁から欠陥画素までの座標値を求めることを含む、表示用パネルの処理方法。
【請求項４】
筐体と、表示用パネルを受けるべく前記筐体に配置されたパネル受け装置と、該パネル受け装置に受けられたパネルをこれに垂直のＺ方向から撮影する撮影装置と、該撮影装置が支持されたＸＹ装置であって前記筐体に支持されて前記撮影装置が前記パネルと平行の面内でＸ方向及びＹ方向に移動することを許すＸＹ装置と、前記Ｘ方向に間隔をおいた少なくとも２つのＸ規制装置であってそれぞれが前記Ｘ方向における前記撮影装置の位置を解除可能に規制するＸ規制装置と、前記Ｙ方向に間隔をおいた少なくとも２つのＹ規制装置であってそれぞれが前記Ｙ方向における前記撮影装置の位置を解除可能に規制するＹ規制装置とを含み、
前記撮影装置は、前記Ｘ規制装置及び前記Ｙ規制装置により規制された位置において前記パネルの少なくとも一部を撮影することができる、表示用パネルの処理装置。
【請求項５】
前記Ｘ規制装置及び前記Ｙ規制装置のそれぞれは、前記パネルの複数の被撮影領域であって隣り合う被撮影領域が重畳する部分を含む複数の被撮影領域に分けて撮影する位置に前記撮影装置を規制する、請求項４に記載の処理装置。
【請求項６】
前記複数の被撮影領域は、さらに、それぞれが前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向における前記パネルの端縁を含む少なくとも４つの被撮影領域を含む、請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
各Ｘ規制装置は、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置のいずれか一方に配置されたプランジャであって半球状の先端部を有する係止部材及び前記先端部を前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に向けて変位させる力を前記係止部材に作用させるばね部材を有するプランジャと、少なくとも前記撮影装置が前記Ｘ方向への移動されたとき、前記係止部材の先端部を離脱可能に受け入れる、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に設けられた凹所とを備え、
各Ｙ規制装置は、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置のいずれか一方に配置されたプランジャであって半球状の先端部を有する係止部材及び前記先端部を前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に向けて変位させる力を前記係止部材に作用させるばね部材を有するプランジャと、少なくとも前記撮影装置が前記Ｙ方向へ移動されたとき、前記係止部材の先端部を離脱可能に受け入れる、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に設けられた凹所とを備える、請求項４から６のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項８】
前記Ｘ規制装置の少なくとも１つは、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置のいずれか一方に配置されたプランジャであって半球状の先端部を有する係止部材及び前記先端部を前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に向けて変位させる力を前記係止部材に作用させるばね部材を有するプランジャと、少なくとも前記撮影装置が前記Ｘ方向へ移動されたとき、前記係止部材の先端部を離脱可能に受け入れる、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に設けられた凹所とを備え、
前記Ｘ規制装置の他の１つは、前記撮影装置が前記Ｘ規制装置の少なくとも１つを経て前記Ｘ方向にさらに変位することを阻止するストッパを備え、
前記Ｙ規制装置の少なくとも１つは、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置のいずれか一方に配置されたプランジャであって半球状の先端部を有する係止部材及び前記先端部を前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に向けて変位させる力を前記係止部材に作用させるばね部材を有するプランジャと、少なくとも前記撮影装置が前記Ｙ方向へ移動されたとき、前記係止部材の先端部を離脱可能に受け入れるべく前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に設けられた凹所とを備え、
前記Ｙ規制装置の他の１つは、前記撮影装置が前記Ｙ規制装置の少なくとも１つを経て前記Ｙ方向にさらに変位することを阻止するストッパを備える、請求項４から６のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項９】
前記ＸＹ装置は、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向のいずれか一方に間隔をおいて前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向の他方へ伸びる一対のガイドであって前記筐体に支持された一対のガイドと、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向の他方へ移動可能に前記一対のガイドに受けられたスライダとを備える、請求項４から６のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項１０】
前記撮影装置は、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向の一方へ移動可能に前記スライダに受けられた支持台と、前記パネルを前記Ｚ方向から撮影すべく前記支持台に取り付けられたセンサーとを備える、請求項９に記載の処理装置。
【請求項１１】
さらに、前記パネル受け装置に受けられたパネルを間にして前記Ｘ規制装置又は前記Ｙ規制装置から前記Ｙ方向又は前記Ｘ方向に間隔をおいた少なくとも２つの第２のＸ規制装置又は第２のＹ規制装置を含み、前記少なくとも２つの第２のＸ規制装置又は第２のＹ規制装置は、前記Ｘ方向又は前記Ｙ方向に間隔をおいている、請求項４から６のいずれか１項に記載の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネルの少なくとも欠陥画素のアドレスを求めることができる処理方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような表示用パネルは、一般に、そのパネルにその背面から光を照射すると共に表示画素に通電して、パネルを点灯させ、各表示画素が正常に点灯されたか否かを確認する点灯検査をされる。
【０００３】
そのような点灯検査には、パネルの点灯状態を作業者の肉眼により確認する目視点灯検査と、パネルの点灯状態をビデオカメラにより撮影し、その出力信号を用いる画像処理をすることにより確認する自動点灯検査とがある。
【０００４】
いずれの点灯検査においても、欠陥画素の存在が確認されると、その欠陥画素は場合によってはリペア装置において修理される。この修理の際には、欠陥画素をそのアドレスで特定しなければならないことから、欠陥画素のアドレスを知る必要がある。
【０００５】
特に、目視点灯検査により欠陥画素の存在を確認したパネルの場合は、欠陥画素のアドレスを知ることができないから、欠陥画素の修理を行う前に、欠陥画素のアドレスを求めなければならない。
【０００６】
上記のように欠陥画素のアドレスを求めることは、目視点灯検査装置のみならず、自動点灯検査装置、リペア装置等の他の処理装置においても同様に要求されている。
【０００７】
しかし、近年のパネルは、その大型化、画像の細密化等にともなって、表示画素数が従来に比べて非常に多いことから、単一のビデオカメラにより一回で撮影して欠陥画素のアドレスを特定することが難しい。
【０００８】
上記のことから、１つのパネルを単一のビデオカメラにより複数回に分けて撮影し、得られた画像信号を処理することにより欠陥画素を特定する処理技術が提案されている（特許文献１）。
【０００９】
他の処理技術の１つとして、それぞれがアドレス特定用のマークを有する複数のマーカーをパネル受け装置に配置しておき、１つのパネルを一方向に整列された少なくとも３つのビデオカメラで分割して撮影して、欠陥画素のアドレスを特定するものがある（特許文献２）。
【００１０】
【特許文献１】特開平６−１６１３７８号公報
【特許文献２】特開２００７−２９８７８７号公報
【００１１】
しかし、上記特許文献１の処理技術では、１つのパネルを単一のビデオカメラで複数回に分けて撮影し、得られた画像信号を処理するにすぎないから、欠陥画素は容易に特定することはできるが、欠陥画素のアドレスは特定することができない。
【００１２】
上記特許文献２の処理技術においては、パネルの端縁からのマーカーの座標位置が既知であること又は画像処理により容易に及び正確に求めることができることから、１つのマーカーのマークを隣り合うビデオカメラで共通に撮影して、各被撮影領域内の欠陥画素がパネルの端縁又は撮影視野内のマークから何番目の画素に相当するかを確認することにより、各被撮影領域内の欠陥画素のアドレスを求めている。
【００１３】
すなわち、両端部に位置する２つのビデオカメラではパネルの端縁とそれに最も近いマークとを視野内すなわち被撮影領域内に入れて撮影して、その被撮影領域内の欠陥画素がパネルの端縁から何番目の画素（アドレス）に相当するかを確認することにより、欠陥画素のアドレスを求めている。
【００１４】
これに対し、中間に位置するビデオカメラでは、パネルの端縁を被撮影領域内に入れることができないことから、マークを被撮影領域内に入れて撮影して、被撮影領域内の欠陥画素がマークから何番目の画素に相当するかを確認し、得られた画素番号（アドレス）に端部に位置するビデオカメラの被撮影領域内のマークのパネルの端縁からの画素番号（アドレス）を加算することにより、欠陥画素のアドレスを求めている。
【００１５】
しかし、上記特許文献２の処理技術では、欠陥画素のアドレスを容易にかつ正確に求めることはできるが、複数のマーカーに加え、複数のビデオカメラを必要とするから、処理装置の構造が複雑になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明の目的は、複雑な構造とすることなく、欠陥画素のアドレスを容易にかつ正確に求めることができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明に係る処理方法は、表示用パネルの目視点灯検査により見付けられた欠陥画素が属する前記表示用パネルの少なくとも４つの被撮影領域の少なくとも1つであってそれぞれが表示用パネルのＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁を含む少なくとも４つの被撮影領域の少なくとも１つを撮影可能の箇所に撮影装置を移動させ、移動された箇所においてこれに対応する被撮影領域を前記撮影装置で撮影し、該撮影装置の出力信号を画像処理して該撮影装置による画像内の前記Ｘ方向における端縁及び前記Ｙ方向における端縁から欠陥画素までの座標値を求めることを含む。
【００１８】
本発明に係る他の処理方法は、それぞれが表示用パネルのＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁を含む少なくとも４つの被撮影領域に前記表示用パネルを分割して撮影すべく撮影装置を複数箇所に移動させ、移動された各箇所において対応する被撮影領域を前記撮影装置で撮影し、該撮影装置の出力信号を画像処理して該撮影装置による画像内の前記Ｘ方向における端縁及び前記Ｙ方向における端縁から欠陥画素までの座標値を求めることを含む。
【００１９】
本発明に係るさらに他の処理方法は、表示用パネルの欠陥画素を目視点灯検査により見付け、見付けられた欠陥画素が、前記表示用パネルの少なくとも４つの被撮影領域であってそれぞれが表示用パネルのＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁を含む少なくとも４つの被撮影領域のいずれに属するかを確認し、前記欠陥画素が属する撮影領域を撮影可能の箇所に撮影装置を移動させ、移動された箇所においてこれに対応する被撮影領域を前記撮影装置で撮影し、該撮影装置の出力信号を画像処理して該撮影装置による画像内の前記Ｘ方向における端縁及び前記Ｙ方向における端縁から欠陥画素までの座標値を求めることを含む。
【００２０】
本発明に係る処理装置は、筐体と、表示用パネルを受けるべく前記筐体に配置されたパネル受け装置と、該パネル受け装置に受けられたパネルをこれに垂直のＺ方向から撮影する撮影装置と、該撮影装置が支持されたＸＹ装置であって前記筐体に支持されて前記撮影装置が前記パネルと平行の面内でＸ方向及びＹ方向に移動することを許すＸＹ装置と、前記Ｘ方向に間隔をおいた少なくとも２つのＸ規制装置であってそれぞれが前記Ｘ方向における前記撮影装置の位置を解除可能に規制するＸ規制装置と、前記Ｙ方向に間隔をおいた少なくとも２つのＹ規制装置であってそれぞれが前記Ｙ方向における前記撮影装置の位置を解除可能に規制するＹ規制装置とを含む。前記撮影装置は、前記Ｘ規制装置及び前記Ｙ規制装置により規制された位置において前記パネルの少なくとも一部を撮影することができる。
【００２１】
前記Ｘ規制装置及び前記Ｙ規制装置のそれぞれは、前記パネルの複数の被撮影領域であって隣り合う被撮影領域が重畳する部分を含む複数の被撮影領域に分けて撮影する位置に前記撮影装置を規制してもよい。
【００２２】
前記複数の被撮影領域は、さらに、それぞれが前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向における前記パネルの端縁を含む少なくとも４つの被撮影領域を含むことができる。
【００２３】
各Ｘ規制装置は、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置のいずれか一方に配置されたプランジャであって半球状の先端部を有する係止部材及び前記先端部を前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に向けて変位させる力を前記係止部材に作用させるばね部材を有するプランジャと、少なくとも前記撮影装置が前記Ｘ方向への移動されたとき、前記係止部材の先端部を離脱可能に受け入れる、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に設けられた凹所とを備えることができる。
【００２４】
上記と同様に、各Ｙ規制装置は、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置のいずれか一方に配置されたプランジャであって半球状の先端部を有する係止部材及び前記先端部を前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に向けて変位させる力を前記係止部材に作用させるばね部材を有するプランジャと、少なくとも前記撮影装置が前記Ｙ方向へ移動されたとき、前記係止部材の先端部を離脱可能に受け入れる、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に設けられた凹所とを備えることができる。
【００２５】
上記の代わりに、前記Ｘ規制装置の少なくとも１つは、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置のいずれか一方に配置されたプランジャであって半球状の先端部を有する係止部材及び前記先端部を前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に向けて変位させる力を前記係止部材に作用させるばね部材を有するプランジャと、少なくとも前記撮影装置が前記Ｘ方向へ移動されたとき、前記係止部材の先端部を離脱可能に受け入れる、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に設けられた凹所とを備えることができ、また前記Ｘ規制装置の他の１つは、前記撮影装置が前記Ｘ規制装置の少なくとも１つを経て前記Ｘ方向にさらに変位することを阻止するストッパを備え留ことができる。
【００２６】
上記と同様に、前記Ｙ規制装置の少なくとも１つは、前記ＸＹ装置及び前記撮影装置のいずれか一方に配置されたプランジャであって半球状の先端部を有する係止部材及び前記先端部を前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に向けて変位させる力を前記係止部材に作用させるばね部材を有するプランジャと、少なくとも前記撮影装置が前記Ｙ方向へ移動されたとき、前記係止部材の先端部を離脱可能に受け入れるべく前記ＸＹ装置及び前記撮影装置の他方に設けられた凹所とを備えることができ、また前記Ｙ規制装置の他の１つは、前記撮影装置が前記Ｙ規制装置の少なくとも１つを経て前記Ｙ方向にさらに変位することを阻止するストッパを備えることができる。
【００２７】
前記ＸＹ装置は、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向のいずれか一方に間隔をおいて前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向の他方へ伸びる一対のガイドであって前記筐体に支持された一対のガイドと、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向の他方へ移動可能に前記一対のガイドに受けられたスライダとを備えることができる。
【００２８】
前記撮影装置は、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向の一方へ移動可能に前記スライダに受けられた支持台と、前記パネルを前記Ｚ方向から撮影すべく前記支持台に取り付けられたセンサーとを備えることができる。
【００２９】
本発明に係る処理装置は、さらに、前記パネル受け装置に受けられたパネルを間にして前記Ｘ規制装置又は前記Ｙ規制装置から前記Ｙ方向又は前記Ｘ方向に間隔をおいた少なくとも２つの第２のＸ規制装置又は第２のＹ規制装置を含むことができ留。この場合、前記少なくとも２つの第２のＸ規制装置又は第２のＹ規制装置は、前記Ｘ方向又は前記Ｙ方向に間隔をおいていてもよい。
【発明の効果】
【００３０】
撮影装置は、目視点灯検査により見付けられた欠陥画素が属する被撮影領域を撮影可能の箇所に移動され、その箇所でその被撮影領域を撮影する。欠陥画素のアドレスは、パネルのＸ方向又はＹ方向における端縁から欠陥画素までの座標値(例えば、画素数)により特定することができる。
【００３１】
上記の結果、本発明によれば、複数のビデオカメラを用いることなく（すなわち、装置の構造を複雑にすることなく）、及び欠陥画素が属する少なくとも１つの被撮影領域を撮影装置で撮影することにより得られた画像信号を処理するだけで、欠陥画素のアドレスを容易にかつ正確に求めることができる。
【００３２】
本発明に係る処理装置において、撮影装置は、Ｘ規制装置及びＹ規制装置により規制された位置に変位されてその位置に維持された状態でパネルを撮影する。このため、撮影装置は、自動点灯検査の場合、表示用パネルを少なくとも４つの被撮影領域に分割して撮影することが可能である。
【００３３】
また、本発明に係る処理装置において、Ｘ規制装置及びＹ規制装置により規制されるＸ方向及びＹ方向における撮影装置の位置（アドレス）は、予め決定することができる。このため、欠陥画素のアドレスは、パネルのＸ方向又はＹ方向における端縁から欠陥画素までの座標値(例えば、画素数)により特定することができる。これの代わりに、Ｘ規制装置及びＹ規制装置により規制されるＸ方向及びＹ方向における撮影装置の位置の座標値と、そのような撮影装置の位置から欠陥画素までの座標値(例えば、画素数)との和により特定してもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
［用語について］
【００３５】
本発明においては、図１において、パネル受け装置に受けられたパネルに垂直の方向をＺ方向（又は、上下方向）といい、そのパネルと平行な面内においてコンピュータの側が左となりかつプローブ装置の側が右となる方向をＸ方向（又は、左右方向）といい、そのパネルと平行な面内においてセンサーの側が上となりかつこれと反対の側が下となる方向をＹ方向（又は、前後方向）という。
【００３６】
しかし、それらの方向は、パネルを処理装置に配置する姿勢、すなわち処理装置に配置されたパネルの姿勢により異なる。したがって、上記の方向は、実際の処理装置に応じて、Ｘ方向及びＹ方向が、水平面、水平面に対し傾斜する傾斜面、及び水平面に垂直の垂直面のいずれかの面内となるように決定してもよいし、それらの面の組み合わせの面内となるように決定してもよい。
【００３７】
以下の実施例においては、Ｙ方向が水平面に対し傾斜した状態にパネルがパネル受け装置に受けられるものとして説明する。
【００３８】
［処理装置の実施例］
【００３９】
図１〜図４を参照するに、処理装置１０は、表示用パネル１２を作業者の目視による点灯検査をし、欠陥画素が見付けられたとき、ビデオカメラのようなセンサーに得た画像信号をコンピュータで処理して欠陥画素を特定し、その欠陥画素のアドレスを求める点灯処理装置として用いられる。
【００４０】
表示用パネル１２は、矩形の形状を有しており、また矩形の辺のいくつかに対応する縁部の各々に複数の電極を備える。図示の例では、表示用パネル１２は、液晶を封入した液晶表示パネルであり、また隣り合う２つの縁部の各々に複数の電極を対応する縁部の長手方向に間隔をおいて有している。
【００４１】
パネル１２は、液晶を２つのガラス板の間に封入している。下側のガラス基板は、薄膜トランジスタを上側のガラス基板の側の面（上面）に設けており、その同じ面の隣り合う２つの縁部に複数の電極を配置している。上側のガラス基板は、下側ガラス基板の側と反対側の面（上面）を表示面としており、また下側ガラス基板より電極の配置被撮影領域の分だけ小さくして、下側のガラス基板に配置された電極を上方に露出させている。
【００４２】
処理装置１０は、筐体２０と、表示用パネル１２を受けるように筐体２０に配置されたパネル受け装置２２と、パネル受け装置２２に受けられたパネル１２を前記した電気回路に接続するプローブ装置２４と、筐体２０に支持されたＸＹ装置２６と、パネル１２をこれに垂直のＺ方向から撮影するようにＸＹ装置２６に支持された撮影装置２８と、Ｘ方向に間隔をおいた複数のＸ規制装置３０と、Ｙ方向に間隔をおいた複数のＹ規制装置３２と、撮影装置２８で得た画像信号を処理するコンピュータ３４とを含む。
【００４３】
筐体２０は、複数の長尺部材と、これらに組み付けられた複数の板部材とにより、直方体状の箱の形状を有する。筐体２０の前面上半部は、上部側ほど後退する傾斜面３６とされている。傾斜面３６には、パネル１２より大きい矩形の開口（図示せず）が形成されている。筐体２０には、複数の設置具３８が下面に配置されている。
【００４４】
パネル受け装置２２は、パネル１２を受けるチャックトップ４０と、チャックトップ４０をＸ，Ｙ，Ｚの３方向へ移動させると共に、受けたパネル１２に垂直のＺ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるθの駆動機構４２とを含む。
【００４５】
チャックトップ４０は、筐体２０の前記した開口に整列された四角筒状の形状を有しており、またパネルを開放可能に真空的に吸着する吸着溝を上面に有している。チャックトップ４０内には、パネル１２を背後から照明するバックライトユニットが収容されている。
【００４６】
駆動機構４２は、パネル１２と平行な面内でＸ方向及びＹ方向に二次元的に移動させると共に、パネル１２に垂直のＺ方向へ移動させ、さらにパネル１２に垂直のＺ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる既知の駆動機構を用いている。
【００４７】
上記のようなチャックトップ４０及び駆動機構は従来から知られている。パネル受け装置２２は、パネル１２をこれが傾斜した状態に受けるように、駆動機構４２において筐体２０に支持されている。
【００４８】
プローブ装置２４は、筐体２０の前記した矩形の開口の周りに同軸的に配置されかつ４つの辺を有する枠状をした矩形のベース板４４と、ベース板４４の４つの辺のそれぞれに配置された板状のプローブベース４６と、隣り合う２つの辺に位置されたプローブベース４６のそれぞれにプローブベース４６の長手方向に間隔をおいて配置された複数のプローブブロック４８とを含む。
【００４９】
ベース板４４は、これの各辺が筐体２０の前記した矩形の開口の辺に対応されて対応する辺の延在方向へ伸びるように、筐体２０に取り付けられている。
【００５０】
各プローブベース４６は、幅寸法が小さい長い板の形を有しており、その長手方向がベース板４４の対応する辺の延在方向へ伸びる状態に、ベース板４４に取り付けられている。
【００５１】
各プローブブロック４８は、複数のプローブ５０を樹脂材料のような電気絶縁材料で製作されたブロック５２に一方向へ間隔をおいて配置した公知のものである。各プローブブロック４８は、プローブ５０の配列方向が対応するプローブベース４６の長手方向となりかつ各プローブ５０の針先がパネル１２の電極に当接可能となるように、ブロック５２においてプローブベース４６に取り付けられている。
【００５２】
図示の例では、隣り合う２つのプローブベース４６の一方に７つのプローブブロック４８が取り付けられており、他方に４つのプローブブロック４８が取り付けられている。各ローブベース４６と、これに配置されたプローブブロック４８とは、プローブユニットを形成している。
【００５３】
プローブ装置２４は、また、チャックトップ４０に受けられたパネル１２に設けられたアライメントマーク（図示せす）を撮影する複数のＣＣＤカメラ５４を含む。図示の例では、Ｙ方向に間隔をおいた２つのカメラ５４が同じプローブベース４６に取り付けられている。
【００５４】
カメラ５４の出力信号は、コンピュータ３４において処理されてそのパネル１２とプローブ装置２４との間の座標の位置のずれを求めることに用いられる。求められた位置ずれは、これを修正すべくチャックトップ４０を駆動機構４２により変位させることに用いられる。
【００５５】
ＸＹ装置２６は、チャックトップ４０に受けられたパネル１２を間にしてＹ方向に間隔をおいてＸ方向へ伸びるように筐体２０に配置された一対のガイド５６と、Ｙ方向へ移動可能に一対のガイド５６に受けられたスライダ５８とを含む。
【００５６】
両ガイド５６は、それらが平行となるように筐体２０に支持されている。スライダ５８は、Ｘ方向に長い長尺部材とされており、また小さい振動では移動不能であるが、手動操作によりＹ方向に移動可能に両ガイド５６に結合されている。
【００５７】
撮影装置２８は、Ｘ方向へ移動可能にスライダ５８に受けられた移動台すなわち支持台６０と、パネル１２をＺ方向から撮影するように支持台６０に取り付けられたセンサー６２と、支持台６０を手動操作により、スライダ５８に対しＸ方向及びＸ方向へ移動させると共に、ガイド５６に対しスライダ５８と共にＹ方向へ移動させるハンドル６４とを含む。
【００５８】
支持台６０も、また、小さい振動では移動不能であるが、手動操作によりＸ方向へ移動可能に、スライダ５８に結合されている。
【００５９】
図示の例では、センサー６２として、ＣＣＤカメラのようなエリアセンサを備えたビデオカメラが用いられている。しかし、多数のセンサー素子を一方向に少なくとも一列に配置したラインセンサと該ラインセンサをセンサー素子の配列方向と直交する方向に移動させる移動機構とを備えたカメラ装置をセンサー６２として用いてもよい。
【００６０】
センサー６２はコンピュータ３４により制御される。センサー６２の出力信号（画像信号）は、コンピュータ３４において、欠陥画素を特定する処理とその欠陥画素のアドレスを求める処理とに用いられる。
【００６１】
図示の例では、Ｘ方向に間隔をおいた２つのＸ規制装置３０と、Ｙ方向に間隔をおいた３つのＹ規制装置３２とが備えられている。
【００６２】
各規制装置３０又は３２は、図５に示すように、ＸＹ装置２６の一方のガイド５６又はスライダ５８に配置されたプランジャ６５と、プランジャ６５に対向するようにＸＹ装置２６のスライダ５８又は撮影装置２８の支持台６０に設けられた凹所６６とを含む。
【００６３】
プランジャ６５は、ＸＹ装置２６にＸ方向又はＹ方向に伸びる状態に取り付けられた筒状部材６８と、筒状部材６８にＸ方向又はＹ方向へ移動可能に配置された係止部材７０と、筒状部材６８内に配置されて係止部材７０の半球状の先端部７０ａをスライダ５８又は支持台６０に向けて変位させる力を係止部材７０に作用させるばね部材７２とを有する。
【００６４】
筒状部材６８は、一端が開放されかつ他端が閉鎖された有底の筒状部材であり、開放された一端がスライダ５８又は支持台６０に向けられた状態にＸＹ装置２６に配置されている。係止部材７０は、先端部７０ａが筒状部材６８の一端から突出可能に筒状部材６８に配置されている。図示の例では、ばね部材７２は、圧縮コイルばねであり、筒状部材６８内にあってこれの中空部の奥底と係止部材７０との間に圧縮された状態で配置されている。
【００６５】
図示の例では、係止部材７０は、一端に先端部７０ａを有する軸部と、該軸部の他端部（ばね部材７２の側の部位）に外向きに形成されたフランジ部７０ｂとを有するピンを用いている。したがって、図示の例では、プランジャ６５はピンプランジャである。しかし、プランジャ６５として、球体を係止部材として用いたいわゆるボールプランジャを用いてもよい。
【００６６】
プランジャ６５は、常時は、係止部材７０の先端７０ａをばね部材７２によりＸＹ装置２６のスライダ５８の側又は撮影装置２８の支持台６０の側に向けて押圧されている。
【００６７】
上記の結果、係止部材７０の先端７０ａは、撮影装置２８の支持台６０が手動により、単独で又はＸＹ装置２６のスライダ５８と共にＸ方向又はＹ方向に移動されると、凹所６６に離脱可能に受け入れられ、同方向にさらに移動されるか又は逆方向へ移動されると凹所６６から離脱される。
【００６８】
係止部材７０の先端７０ａが凹所６６に受け入れられているとき、撮影装置２８は、パネル１２を複数の被撮影領域に分けて撮影する位置に規制される。それらの被撮影領域は、隣り合う被撮影領域が重畳する部分を含むと共に、各被撮影領域がパネル１２のＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁を含むように、区分される。
【００６９】
図示の例では、パネル１２は、それぞれがＸ方向及びＹ方向における端縁を含む４つの被撮影領域に分けて撮影することができる。それらの被撮影領域は、図６に示すように、左上の被撮影領域、左下の被撮影領域、右上の被撮影領域、及び右下の被撮影領域を含む。
【００７０】
ＸＹ装置２６の一方のガイド５６に配置された３つのプランジャ６５のうち、Ｙ方向における一端に位置するプランジャ６５は、チャックトップ４０に対するパネル１２の受け渡し時に、撮影装置２８が受け渡し作業の妨げにならない位置に撮影装置２８を退避させる待機位置用のものである。
【００７１】
チャックトップ４０に対するパネル１２の受け渡しは、手動で行ってもよいし、搬送装置やロボットのような自動受け渡し装置（図示せず）により行ってもよい。
【００７２】
ＸＹ装置２６のスライダ５８に配置された２つのプランジャ６５と、ＸＹ装置２６の一方のガイド５６に配置された残りの２つのプランジャ６５とは、撮影装置２８をこれがパネル１２の所定の被撮影領域を撮影する位置に解除可能に維持するために用いられる。
【００７３】
上記のことから、ＸＹ装置２６の一方のガイド５６は待機位置を表す「待機」なる文字７４をＹ方向における一端に位置するプランジャ６５の付近に有していると共に、上の被撮影領域及び下の被撮影領域の検査の時に用いることをそれぞれ表す「上」及び「下」なる文字７６及び７８を残りの２つのプランジャ６６及び６６の付近に有している。
【００７４】
同様に、ＸＹ装置２６のスライダ５８は、左の被撮影領域又は右の被撮影領域の検査の時に用いることをそれぞれ表す「左」及び「右」なる文字８０及び８２を２つのプランジャ６６及び６６の付近に有している。
【００７５】
コンピュータ３４は、センサー６２がパネル１２の所定の被撮影領域を撮影するようにセンサー６２を制御し、センサー６２からの出力信号（画像信号）を処理して欠陥画素の有無と欠陥画素のアドレスとを求める。
【００７６】
図６は、ＸＹ装置２６のスライダ５８が一方のガイド５６の文字７４に示す位置から文字７６に示す位置に移動されかつ支持台６０がスライダ５８の文字８０に示す位置に移動されたときのパネル１２に対するセンサー６２の被撮影領域９０を示す。
【００７７】
上記状態に至る過程において、文字７４に示す位置に設けられたプランジャ６５の係止部材７０の先端部７０ａがスライダ５８に設けられた凹所６６から離脱され、文字７６に示す位置に設けられたプランジャ６５の係止部材７０の先端部７０ａがスライダ５８に設けられた凹所６６に受け入れられる。
【００７８】
図７は、支持台６０がスライダ５８の文字８０に示す位置に移動された状態において、ＸＹ装置２６のスライダ５８が一方のガイド５６の文字７４又は７６に示す位置から文字７８に示す位置に移動されたときのパネル１２に対するセンサー６２の被撮影領域９２を示す。
【００７９】
上記状態に至る過程において、文字７４又は７６に示す位置に設けられたプランジャ６５の係止部材７０の先端部７０ａがスライダ５８に設けられた凹所６６から離脱され、文字７８に示す位置に設けられたプランジャ６５の係止部材７０の先端部７０ａがスライダ５８に設けられた凹所６６に受け入れられる。
【００８０】
図８は、ＸＹ装置２６のスライダ５８が一方のガイド５６の文字７６に示す位置に移動された状態において、支持台６０がスライダ５８の文字８０に示す位置から支持台６０がスライダ５８の文字８２に示す位置に移動されたときのパネル１２に対するセンサー６２の被撮影領域９４を示す。
【００８１】
上記状態に至る過程において、文字８０に示す位置に設けられたプランジャ６５の係止部材７０の先端部７０ａが支持台６０に設けられた凹所６６から離脱され、文字８２に示す位置に設けられたプランジャ６５の係止部材７０の先端部７０ａが支持台６０に設けられた凹所６６に受け入れられる。
【００８２】
図９は、ＸＹ装置２６のスライダ５８が一方のガイド５６の文字７８に示す位置移動された状態において、支持台６０がスライダ５８の文字８０に示す位置から支持台６０がスライダ５８の文字８２に示す位置に移動されたときのパネル１２に対するセンサー６２の被撮影領域９６を示す。
【００８３】
上記状態に至る過程において、文字８０に示す位置に設けられたプランジャ６５の係止部材７０の先端部７０ａが支持台６０に設けられた凹所６６から離脱され、文字８２に示す位置に設けられたプランジャ６５の係止部材７０の先端部７０ａが支持台６０に設けられた凹所６６に受け入れられる。
【００８４】
センサー６２が図６，７，８及び９のいずれの位置に移動されても、センサー６２の被撮影領域９０，９２，９４及び９６は、いずれも、隣り合う被撮影領域と重畳する部分を含むと共に、パネル１２のＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁を含む。
【００８５】
［処理装置１０を用いる目視点灯検査による処理方法の実施例］
【００８６】
先ず、チャックトップ４０に受けられたパネルが点灯されて、作業者の目視による欠陥画素の有無の検査が行われる。欠陥画素の有無の検査は、周りの画素と大きく異なる輝度を有する画素を欠陥画素とし、周りの画素とほぼ同じ輝度を有する画素を正常画素とすることにより行われる。
【００８７】
欠陥画素が存在しないと、そのパネルは良品としてチャックトップ４０から取り除かれて所定のトレイに移され、その代わりに新たな未検査のパネルがチャックトップ４０に移される。これらの作業は、先に述べたように手動操作により行ってもよいし、自動受け渡し装置により行ってもよい。
【００８８】
次いで、欠陥画素が存在すると、その欠陥画素が図６，７，８及び９に示す被撮影領域９０，９２，９４及び９６のいずれに存在するかが作業者により確認される。
【００８９】
次いで、欠陥画素が存在する被撮影領域を撮影可能の箇所に撮影装置２８が移動され、移動された箇所においてこれに対応する被撮影領域がセンサー６２により撮影される。
【００９０】
次いで、コンピュータ３４において、撮影装置２８の出力信号が画像処理されて、センサー６２による画像内の欠陥画素の特定がされると共に、Ｘ方向における端縁及びＹ方向における端縁から欠陥画素までの座標値が特定される。
【００９１】
欠陥画素の特定は、周りの画素と大きく異なる輝度を有する画素を欠陥画素とすることにより、行われる。欠陥画素のアドレスは、その欠陥画素を含む被撮影領域内のＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁から欠陥画素までの座標値すなわちアドレス（例えば、画素数）をコンピュータ３４において求めることにより行われる。
【００９２】
目視点灯検査の場合、作業者が「欠陥画素有り」と確認しても、コンピュータ３４においては「欠陥画素なし」と判定することがある。この場合、コンピュータ３４は、「欠陥画素なし」を表す文字や絵等をコンピュータ３４の表示部に目視可能に表示して、その旨を作業者に案内する。
【００９３】
図１０に、被撮影領域９０内における欠陥画素９８をコンピュータ３４により特定する方法の一実施例を示す。
【００９４】
欠陥画素９８は、被撮影領域９０内のＸ方向における端縁とＹ方向における端縁との交差部１００を原点とするＸＹ座標を用い、その原点から欠陥画素９８までのＸ及びＹの座標値Ｘ１及びＹ１として求めることができる。
【００９５】
他の被撮影領域９２，９４及び９６内に存在する欠陥画素のアドレスも、上記欠陥画素９８のアドレスと同様に求めることができる。
【００９６】
上記のように欠陥画素を特定し、その欠陥画素のアドレスを求めると、欠陥画素が属する少なくとも１つの被撮影領域を単一のセンサーで撮影して、得られた画像信号を処理するだけで、欠陥画素のアドレスを、容易、正確及び迅速に求めることができる。
【００９７】
［処理装置１０を用いる自動点灯検査による処理方法の実施例］
【００９８】
先ず、ハンドル６４が作業者により操作されて、センサー６２が、図６，７，８及び９に示す被撮影領域９０，９２，９４及び９６を撮影する箇所に移動される。移動順番は、図６，７，８及び９に示す箇所の順番であってもよいし、他の順番であってもよい。
【００９９】
次いで、センサー２が作動されて、移動された各箇所において対応する被撮影領域９０，９２，９４又は９６を撮影する。
【０１００】
次いで、センサー６２の出力信号（画像信号）が、コンピュータ３４に供給され、コンピュータ３４において画像処理をされる。このとき、被撮影領域内に存在する欠陥画素の特定がコンピュータ３４において被撮影領域毎に行われる。
【０１０１】
欠陥画素の特定は、輝度が周りと異なる画素が存在するか否かをコンピュータ３４により行い、存在する場合にその画素を欠陥画素と特定することにより行うことができる。
【０１０２】
欠陥画素が存在すると、各被撮影領域内のＸ方向における端縁及びＹ方向における端縁から欠陥画素までの座標値すなわちアドレス（例えば、画素数）がコンピュータ３４において求められる。
【０１０３】
欠陥画素と、そのアドレスとは、上記した目視点灯検査による処理方法の実施例と同様に特定することができる。
【０１０４】
上記のようにパネル１２をセンサー６２により少なくとも４つの被撮影領域９０，９２，９４及び９６に分割して撮影すると、複数のビデオカメラを用いることなく、すなわち装置の構造を複雑にすることなく、欠陥画素とそのアドレスとを、容易に、正確、及び迅速に特定することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０５】
Ｘ規制装置３０及びＹ規制装置３２により規制されるＸ方向及びＹ方向における撮影装置２８（特に、センサー６２）の位置は、予め決定することができる。そのような場合、欠陥画素のアドレスは、予め決定された撮影装置２８の位置から欠陥画素までの座標値(例えば、画素数)との和により特定してもよい。
【０１０６】
４を超える被撮影領域にパネル１２を分割して撮影してもよい。この場合、被撮影領域の分割数が４を超えることに起因して、パネル１２のＸ方向及びＹ方向における端縁を含まない被撮影領域が存在する場合がある。その被撮影領域内の欠陥画素のアドレスは、Ｘ規制装置３０及びＹ規制装置３２により予め決定された撮影装置２８の位置の座標値と、撮影装置２８の位置から欠陥画素までの座標値(例えば、画素数)との和により特定してもよい。
【０１０７】
処理装置１０の実施例においては、複数のプランジャ６５をＸＹ装置２６に設け、少なくとも１つの凹所６６を撮影装置２８に設けている。しかし、複数の凹所６６をＸＹ装置２６に設け、少なくとも１つのプランジャ６５を撮影装置２８に設けてもよい。
【０１０８】
また、図３に示すように、文字７８及び８２に示す近傍に設けられたプランジャ６５及び凹所６６の代わりに、スライダ７８及び移動台６０に当接してそれらのさらなる移動を阻止するストッパ１００を設けてもよい。
【０１０９】
本発明は、自動点灯検査装置のみなならず、目視点灯検査装置、リペア装置等の他の処理装置にも適用することができる。
【０１１０】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲の趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明の係る処理装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】図１に示す処理装置の左側面図である。
【図３】図１に示す処理装置の表示用パネルの近傍を示す図であって撮影装置を待機位置に移動させた状態を示す図である。
【図４】図１に示す処理装置の表示用パネルの近傍を示す図であって撮影装置を待機位置から移動させた状態を示す図である。
【図５】位置規制装置の一実施例を示す断面図である。
【図６】センサーによるパネルの第１の被撮影領域を示す断面図である。
【図７】センサーによるパネルの第２の被撮影領域を示す断面図である。
【図８】センサーによるパネルの第３の被撮影領域を示す断面図である。
【図９】センサーによるパネルの第４被撮影領域を示す断面図である。
【図１０】欠陥画素のアドレスを求める手法を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１０  処理装置
２０  筐体
２２  パネル受け装置
２４  プローブ装置
２６  ＸＹ装置
２８  撮影装置
３０  Ｘ規制装置
３２  Ｙ規制装置
３４  コンピュータ
４０  チャックトップ
４２  駆動機構
４４  ベース板
４６  プローブベース
４８  プローブブロック
５０  プローブ
５２  ブロック
５６  ガイド
５８  スライダ
６０  支持台
６２  センサー
６４  ハンドル
６５  プランジャ
６８  筒状部材
７０  係止部材
７０ａ  係止部材の先端部
７２  ばね部材
９０，９２，９４，９６  被撮影領域
９８  欠陥画素
１００  ＸＹ座標の原点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009169340.tif 000009
【図８】
2009169340.tif 000010
【図９】
2009169340.tif 000011
【図１０】
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