(57)【要約】【課題】シュムーパラメータの作成を少ない操作で容易に行うことを可能とするシュムーパラメータ設定装置およびシュムーパラメータ設定方法を提供する。【解決手段】アイテム名文字列２４がシュムーパラメータ設定エリア２１にドロップされると、指定受付手段１２は、ドラッグしてきたアイテム名文字列２４に対応するアイテムの指定を受け付け、パラメータ抽出手段１３は、デバッガのドラッグ位置から判別する当該アイテムの補助情報（ピン番号・チャネル番号/タイミングセット番号/エッジ）を、テストプログラムの記述内容に基づいて判別する。設定手段１４は、アイテム名文字列２４に対応するアイテムと、デバッガのドラッグ位置から判別されたアイテムの補助情報とを、シュムーパラメータとしてシュムーパラメータ設定エリア２１に自動設定する。【選択図】図１
2009250908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストプログラム内で定義されたアイテムの設定値をスイープさせながら行う試験のシュムーパラメータを設定するシュムーパラメータ設定装置において、
前記テストプログラムの内容を画面上に表示させる表示手段と、
前記表示手段により前記画面上に表示された前記テストプログラム内の表示要素に対する指定を、前記画面への操作に従って受け付ける指定受付手段と、
前記指定受付手段を介して指定された前記表示要素が示すシュムーパラメータを、前記テストプログラムの記述内容に基づいて導き出すパラメータ導出手段と、
前記パラメータ導出手段により導き出された前記シュムーパラメータをシュムーの実行条件として設定する設定手段と、
を備えることを特徴とするシュムーパラメータ設定装置。
【請求項２】
前記表示要素はテストプログラム内で定義されたアイテムを示すことを特徴とする請求項１に記載のシュムーパラメータ設定装置。
【請求項３】
前記表示要素が示す前記シュムーパラメータは、当該アイテムの補助情報である、ピン番号、チャンネル番号、タイミングセット番号またはエッジを示すパラメータであることを特徴とする請求項２に記載のシュムーパラメータ設定装置。
【請求項４】
前記表示要素が示す前記シュムーパラメータは、当該アイテムのスイープ範囲に関するパラメータであることを特徴とする請求項２に記載のシュムーパラメータ設定装置。
【請求項５】
テストプログラム内で定義されたアイテムの設定値をスイープさせながら行う試験のシュムーパラメータを設定するシュムーパラメータ設定方法において、
前記テストプログラムの内容を画面上に表示させるステップと、
前記表示させるステップにより前記画面上に表示された前記テストプログラム内の表示要素に対する指定を、前記画面への操作に従って受け付けるステップと、
前記指定を受け付けるステップを介して指定された前記表示要素が示すシュムーパラメータを、前記テストプログラムの記述内容に基づいて導き出すステップと、
前記シュムーパラメータを導き出すステップにより導き出された前記シュムーパラメータをシュムーの実行条件として設定するステップと、
を備えることを特徴とするシュムーパラメータ設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テストプログラム内で定義されたアイテムの設定値をスイープさせながら行う試験のシュムーパラメータを設定するシュムーパラメータ設定装置およびシュムーパラメータ設定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置におけるデバイスの試験方法として、テストプログラム内で定義しているアイテムの設定値を段階的に変化（スイープ）させながら試験するシュムーと呼ばれる方法がある。シュムーを実行するためのツールとしては、シュムーの実行条件（シュムーパラメータ）を設定するとともに、シュムーパラメータに従った試験を実行し、さらにシュムーの実行結果のプロット（シュムープロット）を表示し解析を行うGUIツール（シュムーツール）がある。
【特許文献１】特開平７−２１８２９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
シュムーツールを用いてシュムーパラメータを設定する際には、シュムーパラメータ設定エリアに、シュムーの対象とするアイテムとアイテムの補助情報（ピン番号・チャネル番号／タイミングセット番号／エッジ）、スイープ範囲（開始値／終了値／刻み値）をそれぞれ手作業で入力している。この設定操作を、Ｘ軸／Ｙ軸及び、各軸に対して最大256個まで設定できる連動パラメータに対して行う。
【０００４】
このように、従来のシュムーツールでは、シュムーパラメータの各項目を全て手入力により行っていたため、パラメータ数が増えるほど、シュムーパラメータ作成に工数がかかり、シュムーパラメータの設定に長時間を要するとともにデバッグ効率が悪いという問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、シュムーパラメータの作成を少ない操作で容易に行うことを可能とするシュムーパラメータ設定装置およびシュムーパラメータ設定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシュムーパラメータ設定装置は、テストプログラム内で定義されたアイテムの設定値をスイープさせながら行う試験のシュムーパラメータを設定するシュムーパラメータ設定装置において、前記テストプログラムの内容を画面上に表示させる表示手段と、前記表示手段により前記画面上に表示された前記テストプログラム内の表示要素に対する指定を、前記画面への操作に従って受け付ける指定受付手段と、前記指定受付手段を介して指定された前記表示要素が示すシュムーパラメータを、前記テストプログラムの記述内容に基づいて導き出すパラメータ導出手段と、前記パラメータ導出手段により導き出された前記シュムーパラメータをシュムーの実行条件として設定する設定手段と、を備えることを特徴とする。
このシュムーパラメータ設定装置によれば、テストプログラム内の表示要素に対する指定を受け付け、この表示要素が示すシュムーパラメータをシュムーの実行条件として設定するので、シュムーパラメータの作成を少ない操作で容易に行うことができる。
【０００７】
前記表示要素はテストプログラム内で定義されたアイテムを示してもよい。
【０００８】
前記表示要素が示す前記シュムーパラメータは、当該アイテムの補助情報である、ピン番号、チャンネル番号、タイミングセット番号またはエッジを示すパラメータであってもよい。
【０００９】
前記表示要素が示す前記シュムーパラメータは、当該アイテムのスイープ範囲に関するパラメータであってもよい。
【００１０】
本発明のシュムーパラメータ設定方法は、テストプログラム内で定義されたアイテムの設定値をスイープさせながら行う試験のシュムーパラメータを設定するシュムーパラメータ設定方法において、前記テストプログラムの内容を画面上に表示させるステップと、前記表示させるステップにより前記画面上に表示された前記テストプログラム内の表示要素に対する指定を、前記画面への操作に従って受け付けるステップと、前記指定を受け付けるステップを介して指定された前記表示要素が示すシュムーパラメータを、前記テストプログラムの記述内容に基づいて導き出すステップと、前記シュムーパラメータを導き出すステップにより導き出された前記シュムーパラメータをシュムーの実行条件として設定するステップと、を備えることを特徴とする。
このシュムーパラメータ設定方法によれば、テストプログラム内の表示要素に対する指定を受け付け、この表示要素が示すシュムーパラメータをシュムーの実行条件として設定するので、シュムーパラメータの作成を少ない操作で容易に行うことができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のシュムーパラメータ設定装置によれば、テストプログラム内の表示要素に対する指定を受け付け、この表示要素が示すシュムーパラメータをシュムーの実行条件として設定するので、シュムーパラメータの作成を少ない操作で容易に行うことができる。
【００１２】
本発明のシュムーパラメータ設定方法によれば、テストプログラム内の表示要素に対する指定を受け付け、この表示要素が示すシュムーパラメータをシュムーの実行条件として設定するので、シュムーパラメータの作成を少ない操作で容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図１〜図３を参照して、本発明によるシュムーパラメータ設定装置の一実施形態について説明する。
【００１４】
図１は、本実施形態のシュムーパラメータ設定装置の構成を示すブロック図である。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態のシュムーパラメータ設定装置は、テストプログラムの内容をモニタ２の画面上に表示させる表示手段１１と、表示手段１１により表示された上記テストプログラム内の表示要素に対する指定を、モニタ２の画面への操作に従って受け付ける指定受付手段１２と、指定受付手段１２を介して指定された表示要素が示すシュムーパラメータを、上記テストプログラムの記述内容に基づいて導き出すパラメータ導出手段１３と、パラメータ導出手段１３により導き出された上記特定のシュムーパラメータをシュムーの実行条件として設定する設定手段１４と、を備える。
【００１６】
次に、本実施形態のシュムーパラメータ設定装置における動作について説明する。
【００１７】
図２は、シュムーツールによる表示画面を示す図であり、この画面には、シュムーの実行結果のプロット（シュムープロット）およびパラメータ設定エリアが表示されている。
【００１８】
図２に示すように、パラメータ設定エリア２１にシュムーパラメータを入力し、入力されたシュムーパラメータに従って試験を行うと、２つのアイテムをそれぞれスイープしながら試験した試験結果が、領域２２にパス／フェイルの範囲として２次元表示される。
【００１９】
図３は、パラメータ設定エリア２１にシュムーパラメータを入力する際の表示画面を示す図である。図３において、表示画面２３は、テストプログラムを作成、編集、デバッグするためのGUIツール（デバッガ）により表示される。このツールにより読み込まれているテストプログラムの内容が、表示手段１１（図１）により表示画面２３内に表示されている。
【００２０】
本実施形態のシュムーパラメータ設定装置では、テストプログラム上のアイテム名文字列２４をシュムーツールによる表示画面内のシュムーパラメータ設定エリア２１にマウスによりドラッグ＆ドロップ操作をするだけで、シュムーパラメータを設定可能としている。
【００２１】
アイテム名文字列２４がシュムーパラメータ設定エリア２１にドロップされると、指定受付手段１２（図１）は、ドラッグしてきたアイテム名文字列２４に対応するアイテムの指定を受け付ける。次に、パラメータ抽出手段１３（図１）は、デバッガのドラッグ位置から判別する当該アイテムの補助情報（ピン番号・チャネル番号/タイミングセット番号/エッジ）を、テストプログラムの記述内容に基づいて判別する。さらに、設定手段１４（図１）は、ドラッグしてきたアイテム名文字列２４に対応するアイテムと、デバッガのドラッグ位置から判別されたアイテムの補助情報（ピン番号・チャネル番号/タイミングセット番号/エッジ）とを、シュムーパラメータとしてシュムーパラメータ設定エリア２１に自動設定する。
【００２２】
また、シュムーパラメータの１つであるアイテムのスイープ範囲（開始値/終了値/刻み値）は、次のように設定される。
【００２３】
アイテム名文字列２４がシュムーパラメータ設定エリア２１にドロップされると、パラメータ抽出手段１３（図１）は、テストプログラム内の該当箇所に記述している当該アイテムについてのアイテム設定値を基準値（スイープの中間値、最大値、最小値など）として自動的、ないし半自動的に（例えば、基準値設定方法の選択操作に従って）設定する。また、オフセット値は、シュムーツールにより表示されるデフォルトスイープオフセットダイアログ２５（図３）への入力操作で設定できる。オフセット値を入力すると、刻み値は、例えば以下のように自動設定される。
【００２４】
刻み値 ＝ ( 終了オフセット - 開始オフセット ) / 20
【００２５】
このように、パラメータ抽出手段１３は、テストプログラムの記述内容に基づいてアイテムの補助情報や基準値を判定しており、単に、ドラッグしてきた文字列のみ基づく判定を行うものではない。例えば、同一のアイテム名文字列であっても、テストプログラム内における位置に応じて、アイテム名文字列に対応する補助情報や基準値が異なる場合もある。
【００２６】
以上のように、本実施形態ではシュムーツールとデバッガの連携機能により、シュムーパラメータをテストプログラムの記述に基づいて自動的に作成するため、シュムーパラメータの作成工数が減少し、作業効率が向上する。また、シュムーに関する知識が無くても、容易にシュムーパラメータを作成し、シュムーを実行させることが可能となる。
【００２７】
上記実施形態では、テストプログラムの内容を表示させる表示手段１１の機能を、デバッガに持たせているが、表示手段１１の構成はこれに限定されない。また、シュムーパラメータを設定する際の操作は、マウスによりドラッグ＆ドロップ操作に限定されない。
【００２８】
本発明の適用範囲は上記実施形態に限定されることはない。本発明は、テストプログラム内で定義されたアイテムの設定値をスイープさせながら行う試験のシュムーパラメータを設定するシュムーパラメータ設定装置およびシュムーパラメータ設定方法に対し、広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】一実施形態のシュムーパラメータ設定装置の構成を示すブロック図。
【図２】シュムーツールによる表示画面を示す図。
【図３】シュムーパラメータを入力する際の表示画面を示す図。
【符号の説明】
【００３０】
１１    表示手段
１２    指定受付手段
１３    パラメータ導出手段
１４    設定手段
【図１】
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【図２】
2009250908.tif 000004
【図３】
2009250908.tif 000005