(57)【要約】【課題】正確な測定結果を確保しつつ、メンテナンスの負担を軽減することが可能なレーザ式ガス分析計の取付構造を提供する。【解決手段】レーザ式ガス分析計の取付構造は、被測定ガスが流れる密閉されたガス流路３０に、該ガス流路３０を水平方向に挟むように２つのセンサユニットを取り付けるレーザ式ガス分析計の取付構造である。センサユニットに含まれるパージ管１５上に、それぞれ、ウィンドウ１４に向かう液体を堰き止めるためのフランジ部を形成する。【選択図】図３
2009270917.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定ガスが流れる密閉されたガス流路に、該ガス流路を水平方向に挟むように第１センサユニットと第２センサユニットとを取り付けるレーザ式ガス分析計の取付構造であって、
前記第１センサユニットは、前記ガス流路に向けてレーザ光を投光する投光部と、前記投光部に対して前記ガス流路側に位置し、前記投光部からの前記レーザ光を透過させる第１窓部と、前記第１窓部と前記ガス流路との間に位置する第１レーザ光通路と、前記第１レーザ光通路における前記第１窓部の近傍に設けられ、前記第１レーザ光通路に向けてパージガスを噴出する第１パージガス供給部とを含み、
前記第２センサユニットは、前記投光部から投光された前記レーザ光を受光する受光部と、前記受光部に対して前記ガス流路側に位置し、前記受光部に向かう前記レーザ光を透過させる第２窓部と、前記第２窓部と前記ガス流路との間に位置する第２レーザ光通路と、前記第２レーザ光通路における前記第２窓部の近傍に設けられ、前記第２レーザ光通路に向けてパージガスを噴出する第２パージガス供給部とを含み、
前記第１レーザ光通路上および前記第２レーザ光通路上に、それぞれ、前記第１窓部側および前記第２窓部側に向かう液体を堰き止める堰止部が形成されている、レーザ式ガス分析計の取付構造。
【請求項２】
前記第１レーザ光通路および前記第２レーザ光通路は、パイプ部およびフランジ部をそれぞれ有し、
前記堰止部は、前記フランジ部を前記パイプ部の内径側に突出させることにより形成される、請求項１に記載のレーザ式ガス分析計の取付構造。
【請求項３】
前記パイプ部の前記フランジ部側の端部を拡径した、請求項２に記載のレーザ式ガス分析計の取付構造。
【請求項４】
前記第１レーザ光通路および前記第２レーザ光通路は、２つの管状部材をそれぞれ有し、
前記堰止部は、前記２つの管状部材の内径を互いに異ならせることにより形成される、請求項１に記載のレーザ式ガス分析計の取付構造。
【請求項５】
前記堰止部に対して前記ガス流路側に、前記堰止部により堰き止められた前記液体を前記ガス流路に排出する排出部をさらに備えた、請求項１から請求項４のいずれかに記載のレーザ式ガス分析計の取付構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ式ガス分析計の取付構造に関し、特に、測定ガス中の測定対象物の濃度などを検知するレーザ式ガス分析計の取付構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定ガスにレーザ光を照射して測定ガス中の測定対象物の濃度を検知するレーザ式ガス分析計が従来から知られている。
【０００３】
たとえば、特開２０００−１９１０９号公報（特許文献１）には、光源として半導体レーザを使用し、測定ガスの吸収スペクトルを測定し、そのスペクトルから測定ガス中の測定対象物を同定したり、存在比、濃度を分析する方法が記載されている。
【特許文献１】特開２０００−１９１０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなレーザ式ガス分析計は、たとえば、測定ガスが流れるガス流路に、該ガス流路を水平方向に挟むように２つのセンサユニットを取り付けることにより構成される。レーザ光を投光する投光部、およびレーザ光を受光する受光部と、測定ガスが流れるガス流路との間には、上記投光部および受光部を保護するための窓部が設けられる。さらに、窓部とガス流路との間には、結露や付着物の付着による窓部の汚れを抑制するために、パージガスが供給される。
【０００５】
上記のように、ガス流路を水平方向に挟むように２つのセンサユニットを取り付けることにより、結露水や測定ガスに含まれる油などの液体が、パージガスが流れるパージ管の先端側から窓部に向かって流れ込むことが抑制される。
【０００６】
このように、２つのセンサユニットを水平方向に並ぶように設けようとしても、設置現場における誤差を吸収しながら投光部と受光部との光軸を合わせようとすると、完全に水平な状態でセンサユニットを設置できない場合がほとんどである。ただし、このような場合も、パージ管は完全に水平でないとしても略水平に取り付られていることから、パージ管への液体の流入は抑制されると考えられてきた。
【０００７】
しかしながら、現実には、当初想定した時期よりも早い段階で、異物や水分が窓部に付着するという事態が発生していた。パージガスに異物や水分は含まれておらず、何故異物や水分が窓部に付着するのかが不明であった。これに対し、本願発明者らの検討により、略水平に取り付けられたパージ管であっても、結露水や油の流入が生じており、これがパージガスの噴出により霧状になって窓部に付着していることが明らかとなった。
【０００８】
上記のような付着物により、レーザ光の正常な投光動作および受光動作が妨げられ、測定の結果に影響することが懸念される。したがって、窓部に付着物が付着しやすいレーザ分析計では、正確な測定を行なうために、窓部の付着物を除去するメンテナンスの頻度を高くする必要があった。
【０００９】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、正確な測定結果を確保しつつ、メンテナンスの負担を軽減することが可能なレーザ式ガス分析計の取付構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るレーザ式ガス分析計の取付構造は、測定ガスが流れる密閉されたガス流路に、該ガス流路を水平方向に挟むように第１センサユニットと第２センサユニットとを取り付けるレーザ式ガス分析計の取付構造である。
【００１１】
なお、ここで言う「水平方向」は、完全な水平方向に限定されず、若干の傾斜角度（たとえば、２°以下程度）を有する略水平方向を含む概念である。
【００１２】
上記取付構造において、第１センサユニットは、ガス流路に向けてレーザ光を投光する投光部と、投光部に対してガス流路側に位置し、投光部からのレーザ光を透過させる第１窓部と、第１窓部とガス流路との間に位置する第１レーザ光通路と、第１レーザ光通路における第１窓部の近傍に設けられ、第１レーザ光通路に向けてパージガスを噴出する第１パージガス供給部とを含む。また、第２センサユニットは、投光部から投光されたレーザ光を受光する受光部と、受光部に対してガス流路側に位置し、受光部に向かうレーザ光を透過させる第２窓部と、第２窓部とガス流路との間に位置する第２レーザ光通路と、第２レーザ光通路における第２窓部の近傍に設けられ、第２レーザ光通路に向けてパージガスを噴出する第２パージガス供給部とを含む。そして、第１レーザ光通路上および第２レーザ光通路上に、それぞれ、第１窓部側および第２窓部側に向かう液体を堰き止める堰止部が形成されている。
【００１３】
上記構成によれば、第１窓部側および第２窓部側に向かう液体を堰き止める堰止部を形成することにより、第１レーザ光通路および第２レーザ光通路に液体が流入した場合にも、第１窓部および第２窓部の近傍に上記液体が到達することを抑制できる。この結果、第１窓部および第２窓部の汚れを抑制することができるので、正確な測定結果を確保しつつ、メンテナンスの負担を軽減することができる。
【００１４】
１つの局面では、上記レーザ式ガス分析計の取付構造において、第１レーザ光通路および第２レーザ光通路は、パイプ部およびフランジ部をそれぞれ有し、堰止部は、フランジ部をパイプ部の内径側に突出させることにより形成される。このようにすることで、レーザ光通路と堰止部とを一部材で構成することができる。
【００１５】
ここで、好ましくは、パイプ部のフランジ部側の端部を拡径する。このようにすることで、堰止部の前面に凹部を形成することができるので、堰止部による液体の堰き止め効果を高めることができる。
【００１６】
他の局面では、上記レーザ式ガス分析計の取付構造において、第１レーザ光通路および第２レーザ光通路は、２つの管状部材をそれぞれ有し、堰止部は、２つの管状部材の内径を互いに異ならせることにより形成される。このようにすることで、２つの管状部材の内径差を利用して、堰止部を簡単に形成することができる。
【００１７】
好ましくは、上記レーザ式ガス分析計の取付構造は、堰止部に対してガス流路側に、堰止部により堰き止められた液体をガス流路に排出する排出部をさらに備える。このようにすることで、第１レーザ光通路および第２レーザ光通路に流入して堰止部に達した液体をガス流路に戻すことができるので、当該液体が第１窓部および第２窓部に到達することを、さらに確実に抑制することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、レーザ式ガス分析計の取付構造において、正確な測定結果を確保しつつ、メンテナンスの負担を軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。
【００２０】
なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の構成を適宜組合わせることは、当初から予定されている。
【００２１】
本実施の形態に係るレーザ式ガス分析計の用途は様々である。具体例を挙げれば、たとえば、ゴミ焼却設備などの炉内のＯ2濃度を測定することにより、燃焼プロセスの制御を行なうことが可能である。また、他の具体例としては、たとえば、石油プラントなどにおいて可燃性ガス中のＯ2濃度を測定することにより、安全監視を行なうことが可能である。さらに他の具体例としては、たとえば、火力発電所などにおいて脱硝設備の下流側でのＮＨ3濃度を測定することにより、ＮＨ3の投入量制御を行なうことができる。さらには、ＣＯ濃度測定による安全監視や、塩素ガス中のＨ2Ｏ濃度測定や、排ガス中のＮＨ3濃度測定にも利用することができる。以下では、化学プラントなどにおいてプロセスガス成分の測定を行なう例について説明する。
【００２２】
図１は、本実施の形態に係るレーザ式ガス分析計の取付構造を含むレーザ式ガス分析計の系統図である。なお、図１中の「ＰT」はフォトトランジスタを示し、「Ｅ／Ｏ」は電気／光コンバータを示す。
【００２３】
図１を参照して、本実施の形態に係るレーザ式ガス分析計は、サンプルポイントにおける測定ガス（プロセスガス）の濃度測定を行なう分析計である。レーザ式ガス分析計は、セントラルユニット１００と、ケーブル２００と、測定部３００とを含む。
【００２４】
セントラルユニット１００は、ダイオードレーザ１１０と、オプティカルカップラ１２０と、参照セル１３０と、信号処理部１４０と、ＣＰＵ１５０とを含む。ケーブル２００は、３本のケーブル２１０，２２０，２３０を含む。測定部３００は、３つの測定部３１０（チャンネル１），３２０（チャンネル２），３３０（チャンネル３）を含む。
【００２５】
次に、図１に示すレーザ式ガス分析計の動作原理について説明する。測定ガスであるプロセスガスに含まれるＯ2，ＣＯ，ＣＯ2，ＨＦ，ＮＨ3，ＨＣｌ，Ｈ2Ｏなどの分子は、近赤外領域のレーザ光を吸収する特性を有しており、プロセスガスに向けて投光されたレーザ光の吸収強度から、プロセスガスに含まれる特定の分子の濃度を検知することが可能である。この吸収帯（波長）は、各分子ごとに異なるため、測定したい分子の吸収波長に合わせたレーザ光を投光することにより、他の分子の干渉を受けることなく特定の成分のガス濃度を測定することができる。
【００２６】
セントラルユニット１００に内蔵されたダイオードレーザ１１０で生成された近赤外波長のレーザ光は、オプティカルカップラ１２０およびケーブル２１０，２２０，２３０を経由して測定部３１０，３２０，３３０にそれぞれ達し、投光センサからプロセスガス中に照射され、受光センサであるフォトトランジスタにおいて電気信号として検出される。ここで検出された電気信号は、再び光信号に変換され、ケーブル２１０，２２０，２３０を経由してセントラルユニット１００の信号処理部１４０に伝送される。信号処理部１４０において、照射されたレーザ光と受光されたレーザ光とを比較することで、プロセスガス中の特定成分の濃度を測定することができる。ＣＰＵ１５０は、信号処理部１４０における信号処理を制御する。
【００２７】
なお、セントラルユニット１００は、プロセスガスを封入した参照セル１３０を内蔵しており、参照セル１３０を用いて常時自動校正が行なわれる。参照セル１３０を通過したレーザ光は、フォトトランジスタにおいて電気信号として検出され、ここで検出された電気信号も、信号処理部１４０に伝送される。ＣＰＵ１５０は、参照セル１３０から伝送された信号に基づいてレーザ制御部１６０を制御することにより、上記自動校正を行なう。
【００２８】
次に、図２を用いて、本実施の形態に係るレーザ式ガス分析計の取付構造の構成を説明する。
【００２９】
図２を参照して、レーザ式ガス分析計は、第１センサユニット１０および第２センサユニット２０によってガス流路３０を水平方向に挟持するような取付構造を有する。セントラルユニット１００で生成されたレーザ光は、第１センサユニット１０から第２センサユニット２０に向けて投光される。このとき、レーザ光は、ガス流路３０内を流れるプロセスガス中を通過する。これにより、プロセスガス中の特定成分の濃度が測定される。
【００３０】
上記測定を行なうためには、第１センサユニット１０から投光されたレーザ光を第２センサユニット２０で受光するために、第１センサユニット１０のセンサ光軸と、第２センサユニット２０のセンサ光軸とを合わせる必要がある。上述したように、本実施の形態に係るレーザ式ガス分析計は、第１センサユニット１０および第２センサユニット２０を水平方向に並べることを前提としているが、第１センサユニット１０および第２センサユニット２０のセンサ光軸を互いに合わせるために、若干の角度調整が必要であるため、「水平」と言っても、若干の傾き（たとえば、傾斜角度２°以下程度）が生じる。
【００３１】
次に、図３，図４を用いて、本実施の形態に係るレーザ式ガス分析計の取付構造に含まれる第１および第２センサユニット１０，２０の内部構造について説明する。
【００３２】
図３を参照して、第１センサユニット１０は、筐体１１と、投光部１２と、レンズ１３と、ウィンドウ１４と、パージ管１５と、パージガス供給口１６と、圧力フランジ１７とを含む。
【００３３】
筐体１１は、投光部１２を収納している。筐体１１は、フランジ部１１Ａを有しており、圧力フランジ１７を介して筐体１１のフランジ部１１Ａとガス流路３０のフランジ部３０Ａとを結合することにより、第１センサユニット１０がガス流路３０に取り付けられる。
【００３４】
投光部１２は、ガス流路３０に向けてレーザ光を投光する。レンズ１３およびウィンドウ１４は、上記レーザ光を透過させる。ウィンドウ１４は、投光部１２を保護するために、投光部１２をガス流路３０から隔離するように設けられた部材である。
【００３５】
ウィンドウ１４を通過したレーザ光は、パージ管１５内を通ってガス流路３０内に達する。パージガス供給口１６からパージ管１５内に向けて、パージガスが噴出されている。これにより、ウィンドウ１４にプロセスガスが接触することを抑制し、ウィンドウ１４の汚れを抑制することができる。また、パージ管１５を設けることにより、第１センサユニット１０の近傍においてプロセスガスの乱流が発生し、プロセスガスがウィンドウ１４に接触しやすくなることを抑制することができる。ウィンドウ１４の汚れは、正確な分析を阻害する。これに対し、上記のように、ウィンドウ１４の汚れを抑制することにより、正確な分析を行なうことができる。なお、パージ管１５の径は、パージガスの流速を確保するため、レーザ光の透過経路を妨げない範囲で、できるだけ小さくすることが好ましい。
【００３６】
図４を参照して、第２センサユニット２０は、概ね、第１センサユニット１０と同様の構造を有する。すなわち、第２センサユニット２０は、筐体２１と、受光部２２と、レンズ２３と、ウィンドウ２４と、パージ管２５と、パージガス供給口２６と、圧力フランジ２７とを含む。
【００３７】
筐体２１は、受光部２２を収納している。筐体２１は、フランジ部２１Ａを有しており、圧力フランジ２７を介して筐体２１のフランジ部２１Ａとガス流路３０のフランジ部３０Ａとを結合することにより、第２センサユニット２０がガス流路３０に取り付けられる。
【００３８】
受光部２２は、投光部１２から投光され、ガス流路３０を通過したレーザ光を受光する。レンズ２３およびウィンドウ２４は、上記レーザ光を透過させる。ウィンドウ２４は、受光部２２を保護するために、受光部２２をガス流路３０から隔離するように設けられた部材である。
【００３９】
第２センサユニット２０においても、第１センサユニット１０と同様に、パージガス供給口２６からパージ管２５内に向けて、パージガスを噴出することにより、ウィンドウ２４にプロセスガスが接触することを抑制し、ウィンドウ２４の汚れを抑制している。
【００４０】
上述のように、正確なガス分析を行なうためには、投光部１２および受光部２２の光軸合わせる角度調整が必要があるため、第１センサユニット１０および第２センサユニット２０は、若干の傾斜角度をもってガス流路３０に取り付けられている。したがって、ガス流路内を流れる油分や水分がパージ管１５，２５内に流入し、ウィンドウ１４，２４に向かって流れる場合がある。上記液体がウィンドウ１４，２４の近傍に達すると、パージガス供給口１６，２６から噴出されたパージガスにより該液体は霧状になり、ウィンドウ１４，２４に付着しやすくなる。上記液体がウィンドウ１４，２４に付着すると、ウィンドウ１４，２４が汚れて正確な分析が妨げられることが懸念される。
【００４１】
これに対し、本実施の形態に係るセンサユニットでは、ウィンドウ１４，２４への上記液体の付着を防止する構造をパージ管１５，２５に設けている。その詳細について、以下に説明する。
【００４２】
図５は、図３，図４に示すセンサユニットに含まれるパージ管の構造について説明する図である。なお、図５では、第１センサユニット１０に含まれるパージ管１５を示しているが、第２センサユニット２０に含まれるパージ管２５についても同様である。
【００４３】
図５を参照して、パージ管１５は、パイプ部１５Ａと、フランジ部１５Ｂとを含む。パイプ部１５Ａは、先端側（ガス流路３０側）に位置する小径部１５Ａ１と、根元側（フランジ部１５Ｂ側）に位置する大径部１５Ａ２とを有する。フランジ部１５Ｂは、大径部１５Ａ２の内径側に突出する突出部１５Ｂ１を有している。これにより、小径部１５Ａ１とフランジ部１５Ｂとの間に、凹部１５Ｃが形成される。この凹部１５Ｃの底面にドレン孔１５Ｄが設けられている。
【００４４】
上記のような構造とすることで、パージ管１５内に流入した液体は、凹部１５Ｃに流れ込み、ドレン孔１５Ｄからガス流路３０に戻される。すなわち、パージ管１５に流入した液体は、フランジ部１５Ｂの突出部１５Ｂ１により堰き止められる。したがって、上記液体が、ウィンドウ１４に付着することが抑制され、ウィンドウ１４が汚れることを抑制することができる。したがって、第１センサユニット１０を分解してウィンドウ１４を清掃するというメンテナンスの頻度を低減することができる。
【００４５】
なお、図５のパージ管１５における大径部１５Ａ２は必ずしも設けられる必要はなく、小径部１５Ａ１のみでパイプ部１５Ａを構成してもよい。この場合は、フランジ部１５Ｂの突出部１５Ｂ１を、小径部１５Ａ１の内径側に突出するように形成する。また、ドレン孔１５Ｄも、必ずしも形成されなくてもよい。
【００４６】
なお、フランジ部１５Ｂの突出部１５Ｂ１は、パージ管１５の全周にわたって形成されてもよいし、パージ管１５の下半分にのみ半円状に形成されてもよい。
【００４７】
また、パージ管１５内にプロセスガスが流入すると、測定誤差が生じる原因となるため、上記のようなドレン孔１５Ｄを設ける場合、ドレン孔１５Ｄを介してパージ管内にプロセスガスが吸引されることを抑制する必要がある。一般的な使用条件下においては、ドレン孔１５Ｄ（たとえばφ６程度）からパージ管１５内にプロセスガスを吸引することは考え難いが、たとえば高ダスト環境下などパージガスの流量を大幅に増大させる必要がある条件下においては、パージ管１５内のパージガスの流速が大きくなり、プロセスガスが吸引されやすくなる。このため、使用条件に応じて、六角ビスでドレン孔１５Ｄを閉止できるように、ドレン孔１５Ｄにネジ加工（たとえばＭ６程度）を施しておくことが好ましい。なお、ドレン孔１５Ｄを閉止する手段は、上記のネジ加工に限定されるものではなく、たとえば、キャップやゴム栓などによってドレン孔１５Ｄを閉止してもよい。
【００４８】
次に、図６〜図８を用いて、第１および第２センサユニット１０，２０の内部構造の変形例について説明する。なお、図８では、第１センサユニット１０に含まれるパージ管１５を示しているが、第２センサユニット２０に含まれるパージ管２５についても同様である。
【００４９】
図６〜図８を参照して、本変形例は、２つのパイプ１５Ｅ，１５Ｆによってパージ管１５を構成し、同様に、２つのパイプ２５Ｅ，２５Ｆによってパージ管２５を構成することを特徴とする。そして、図８に示すように、パージ管１５において、２つのパイプ１５Ｅ，１５Ｆの内径を異ならせることにより段差部１５Ｇを形成し、この段差部１５Ｇにより、パージ管１５に流入した液体を堰き止めている。
【００５０】
図９は、図８に示すパージ管１５の変形例を示す断面図である。図９を参照して、本変形例では、段差部１５Ｇに代えてテーパ部１５Ｈを形成している。このような構造によっても、パージ管１５に流入した液体を堰き止めることが可能である。
【００５１】
本実施の形態に係るレーザ式ガス分析計の取付構造によれば、上述のように、ウィンドウ１４，２４側に向かう液体を堰き止めるフランジ部１５Ｂ（図５）、段差部１５Ｇ（図８）、またはテーパ部１５Ｈ（図９）を形成することにより、パージ管１５，２５に液体が流入した場合にも、ウィンドウ１４，２４の近傍に上記液体が到達することを抑制できる。この結果、ウィンドウ１４，２４の汚れを抑制することができるので、正確な測定結果を確保しつつ、メンテナンスの負担を軽減することができる。
【００５２】
上述した内容について要約すると、以下のようになる。すなわち、本実施の形態に係るレーザ式ガス分析計の取付構造は、測定ガスが流れる密閉されたガス流路３０に、該ガス流路３０を水平方向に挟むように第１センサユニット１０と第２センサユニット２０とを取り付けるレーザ式ガス分析計の取付構造であって、第１センサユニット１０は、ガス流路３０に向けてレーザ光を投光する投光部１２と、投光部１２に対してガス流路３０側に位置し、投光部１２からのレーザ光を透過させる「第１窓部」としてのウィンドウ１４と、ウィンドウ１４とガス流路３０との間に位置する「第１レーザ光通路」としてのパージ管１５と、パージ管１５におけるウィンドウ１４の近傍に設けられ、パージ管１５に向けてパージガスを噴出する「第１パージガス供給部」としてのパージガス供給口１６とを含む。また、第２センサユニット２０は、投光部１２から投光されたレーザ光を受光する受光部２２と、受光部２２に対してガス流路３０側に位置し、受光部２２に向かうレーザ光を透過させる「第２窓部」としてのウィンドウ２４と、ウィンドウ２４とガス流路３０との間に位置する「第２レーザ光通路」としてのパージ管２５と、パージ管２５におけるウィンドウ２４の近傍に設けられ、パージ管２５に向けてパージガスを噴出する「第２パージガス供給部」としてのパージガス供給口２６とを含む。そして、パージ管１５，２５上に、それぞれ、ウィンドウ１４，２４側に向かう液体を堰き止める「堰止部」としてのフランジ部１５Ｂ（図５）、段差部１５Ｇ（図８）、またはテーパ部１５Ｈ（図９）が形成されている。
【００５３】
図５の例では、パージ管１５は、パイプ部１５Ａおよびフランジ部１５Ｂを有し、「堰止部」は、フランジ部１５Ｂをパイプ部１５Ａの内径側に突出させることにより形成されている。また、図５の例では、パイプ部１５Ａのフランジ部１５Ｂ側の端部を拡径することにより、フランジ部１５Ｂの前面に凹部１５Ｃを形成している。さらに、図５の例では、フランジ部１５Ｂに対してガス流路３０側に、フランジ部１５Ｂにより堰き止められた液体をガス流路３０に排出する「排出部」としてのドレン孔１５Ｄを設けている。
【００５４】
図８，図９の例では、パージ管１５は、２つの「管状部材」であるパイプ１５Ｅ，１５Ｆを有し、「堰止部」は、パイプ１５Ｅ，１５Ｆの内径を互いに異ならせる（より具体的には、パイプ１５Ｅの内径をパイプ１５Ｆの内径よりも小さくする）ことにより形成される。
【００５５】
なお、本実施の形態の変形例として、たとえば、パージ管をホーン状に形成することで、結露水などの液体を流入させにくくしたり、パージ管を加熱して、結露の発生を防止するとともにパージ管へのダストの付着を防止することが考えられる。さらには、パージ管へのダスト付着を防止する目的で、パージ管にライニング加工またはバフ加工を施すことも考えられる。
【００５６】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の１つの実施の形態に係るレーザ式ガス分析計の取付構造を含むレーザ式ガス分析計の系統図である。
【図２】本発明の１つの実施の形態に係るレーザ式ガス分析計の取付構造の構成を概略的に示す図である。
【図３】図２に示すレーザ式ガス分析計の取付構造に含まれる第１センサユニットの取付部分を示す断面図である。
【図４】図２に示すレーザ式ガス分析計の取付構造に含まれる第２センサユニットの取付部分を示す断面図である。
【図５】図３に示す第１センサユニットに含まれるパージ管を示す断面図である。
【図６】図２に示すレーザ式ガス分析計の取付構造に含まれる第１センサユニットの変形例の取付部分を示す断面図である。
【図７】図２に示すレーザ式ガス分析計の取付構造に含まれる第２センサユニットの変形例の取付部分を示す断面図である。
【図８】図６に示す第１センサユニットに含まれるパージ管を示す断面図である。
【図９】図８に示すパージ管の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  第１センサユニット、１１  筐体、１１Ａ  フランジ部、１２  投光部、１３  レンズ、１４  ウィンドウ、１５  パージ管、１５Ａ  パイプ部、１５Ａ１  小径部、１５Ａ２  大径部、１５Ｂ  フランジ部、１５Ｂ１  突出部、１５Ｃ  凹部、１５Ｄ  ドレン孔、１５Ｅ，１５Ｆ  パイプ、１５Ｇ  段差部、１５Ｈ  テーパ部、１６  パージガス供給口、１７  圧力フランジ、２０  第２センサユニット、２１  筐体、２１Ａ  フランジ部、２２  受光部、２３  レンズ、２４  ウィンドウ、２５  パージ管、２６  パージガス供給口、２７  圧力フランジ、３０  ガス流路、３０Ａ  フランジ部、１００  セントラルユニット、１１０  ダイオードレーザ、１２０  オプティカルカップラ、１３０  参照セル、１４０  信号処理部、１５０  ＣＰＵ、２００，２１０，２２０，２３０  ケーブル、３００，３１０，３２０，３３０  測定部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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