(57)【要約】【課題】  光学素子の被検面の反射率の測定精度が高い反射率測定装置および反射率測定方法を提供する。【解決手段】  測定光が光検出手段に到達する光路中に、光学素子の被検面を介在させて前記測定光を反射させた場合の第１の光検出強度と、前記被検面を介在させない場合の第２の光検出強度を計測し、前記第１の光検出強度と前記第２の光検出強度との対比により前記被検面の反射率を測定する反射率測定装置であって、前記被検面の曲率による前記反射率の測定値誤差を予め測定することにより前記反射率を補正する。または、前記光路中の前記被検面の位置、前記測定光の前記被検面への入射角度および前記測定光の波長の少なくとも１つによる前記反射率の測定値誤差を予め測定することにより前記反射率を補正する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定光が光検出手段に到達する光路中に、光学素子の被検面を介在させて前記測定光を反射させた場合の第１の光検出強度と、前記被検面を介在させない場合の第２の光検出強度を計測し、
前記第１の光検出強度と前記第２の光検出強度との対比により前記被検面の反射率を測定する反射率測定装置であって、
前記被検面の曲率による前記反射率の測定値誤差を予め測定することにより前記反射率を補正することを特徴とする反射率測定装置。
【請求項２】
光学特性が均一な同一材料から切り出した材料を、同一条件で研磨し洗浄した曲率の異なる前記光学素子である複数のレンズを使用して、前記被検面の曲率による前記反射率の測定値誤差を予め測定することにより前記反射率を補正することを特徴とする請求項１記載の反射率測定装置。
【請求項３】
測定光が光検出手段に到達する光路中に、光学素子の被検面を介在させて前記測定光を反射させた場合の第１の光検出強度と、前記被検面を介在させない場合の第２の光検出強度を計測し、
前記第１の光検出強度と前記第２の光検出強度との対比により前記被検面の反射率を測定する反射率測定装置であって、
前記光路中の前記被検面の位置、前記測定光の前記被検面への入射角度および前記測定光の波長の少なくとも１つによる前記反射率の測定値誤差を予め測定することにより前記反射率を補正することを特徴とする反射率測定装置。
【請求項４】
光学特性が均一な同一材料から切り出した材料を、同一条件で研磨し洗浄した曲率の異なる複数のレンズを使用して、前記被検レンズの位置、測定光の前記被検面への入射角度、測定光の波長の少なくとも１つによる前記反射率の測定値誤差を予め測定することにより前記反射率を補正することを特徴とする請求項３記載の反射率測定装置。
【請求項５】
光学特性が均一な同一材料から切り出した材料を、同一条件で研磨し洗浄した曲率の異なる前記光学素子である複数のレンズを有することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の反射率測定装置。
【請求項６】
前記被検面の曲率、前記被検面の位置、前記測定光の前記被検面への入射角度および前記測定光の波長の少なくとも１つと前記反射率の測定値誤差との関係を見出す工程と、
前記反射率の補正式を導く工程と、
前記被検面を測定する工程と、
前記反射率の補正を行う工程と、を経て前記反射率を補正することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の反射率測定装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の反射率測定装置を用いることを特徴とする反射率測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子の被検面の反射率を測定する反射率測定装置および反射率測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学レンズの測定は、分光エネルギー分布、分光透過率、分光反射率などの測定が行なわれ、これ等の測定は可視領域にて主に行われていた。
図８を参照して、特開２０００−３２１１２６号公報（特許文献１）などで提案されている従来例の分光反射率測定装置を説明する。
この従来例は、光源１１から発せられた光線１１ａは、ミラー１２、１３、回析格子１４、ミラー１５を介して、スリット１６に入射される。
光線１１ａは、スリット１６によって単色光とされ、この単色光は、ミラー１７、セクターミラー１８などにより参照光１８ａと測定光１８ｂに分割され、参照光１８ａは反射ミラー１９によって積分球２８を介し、受光センサーである光電子増倍管２７に導かれる。
一方、測定光１８ｂは反射ミラー２１によって被検レンズ２６を介し、直接又は積分球２４を介して受光センサーである光電子増倍管２３に導かれ、各々の光の光束を比較することにより光のエネルギーの測定が行なわれる。
光電子増倍管２３、積分球２４とセクターミラー１８は、制御駆動部５０により、駆動制御される。
従来例の分光反射率測定装置に使用される受光センサーは、シリコンフォトダイオード、光電子増倍管、ＣＣＤ等が、用途、使用波長、必要精度等によって使い分けられてきた。
【特許文献１】特開２０００−３２１１２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来例の可視領域にて主に行われてきた分光反射率測定装置に対して、紫外領域の光線を利用した分光反射率測定装置が各方面で使用されるようになってきている。
特に、半導体の製造に用いられるステッパー等の光源は、水銀灯のｇ線（λ＝４３５８Å）からｉ線（λ＝３６５０Å）、ガスレーザーのＫｒＦ（λ＝２４８６Å）レーザー、更には、真空紫外領域のＡｒＦ（λ＝１９３４Å）レーザーへと移行してきている。
このため、これらの光源を有するステッパー等の露光装置に使用される光学系を構成するレンズ、及びレンズ表面に形成する反射防止膜、又はミラーの特性等を評価し、開発しなければならない。
この光学系を構成するレンズ、ミラー等を評価し、開発検討するためのツールとして、紫外波長領域で硝材及び光学膜の特性を精度良く計測し、評価する分光反射率測定装置が必要になる。
しかし、これまでの測定評価に用いていた従来例の分光反射率測定装置では、凸凹様々な曲率を有するレンズ又はミラーを、紫外領域で測定するのに対応しておらず、精度良く測定し評価できなかった。
【０００４】
精度の良い測定をするためには、測定光が光検出手段に到達する光路中に、被検面を介在させて測定光を反射させた場合と、被検面を介在させない場合の光検出強度を計測し、その対比が正確に行われなければならない。
しかし、受光器の場所による受光特性が完全に均一であるということは少ない。
シリコンフォトダイオードの場合であれば、光電変換を行う受光面内に、製造プロセス、或いは使用時間による劣化によって、場所による感度ムラが存在する。
また、積分球の場合であれば、積分球内壁塗料の塗布ムラや劣化によって場所による反射率ムラが存在するため、被検レンズを介在させない場合と、被検レンズを光路中に介在させて反射させた光束を受光面内の同一部分で受光しないと正確な対比ができない。
特に、真空紫外域では、光が様々な物質に強い吸収を受け、受光面等の汚染による感度ムラへの影響も顕著であった。
また、凸凹様々な曲率を有する球面を測定する場合、被検レンズに照射される測定光が、被検面の曲率により収束、又は発散され、光路中に被検面を介在させない場合の光束と異なり、受光器の感度ムラと相まって、測定値誤差を生じた。
【０００５】
ここで、図９を参照して、レンズが凸凹様々な曲率を有する球面を測定する場合、レンズの被検面に照射される測定光が、被検面の曲率により収束、発散され、光路中に被検面を介在させない場合の光束と比較して変化する様子を模式的に説明する。
図９(ａ)を参照して、光路中にレンズの被検面が介在しない場合を説明する。
積分球３２と光電子増倍管３１とを有し、分光された単色の測定入射光３３が、所定のＮＡを有する収束光であり、積分球３２の開口部３２ａ付近を焦点位置３３ａとし、積分球３２内に入射される。
積分球３２の内壁面３２ｂで反射された光は、積分球３２の内壁面３２ｂを拡散反射しながら光電子増倍管３１に到達し、測定に供される。
【０００６】
次に、図９(ｂ)は、被検面として負の曲率、即ち凹面を有するレンズ３４を、測定光路中に介在させた場合である。
図９(ａ)に示される光路中にレンズの被検面を介在させない場合と比較して、レンズ３４の被検面３４ａによって反射された測定光３３が収束し、焦点位置３３ａがレンズ３４寄りに変わる。
このため、積分球３２の内壁面３２ｂの照射位置で、図９(ａ)に示される被検面を介在させない場合と比較して光束３３ｂが大きくなる。
【０００７】
次に、図９(ｃ)は、被検面として正の曲率、即ち凸面を有するレンズ３５を、測定光路中に介在させた場合である。
図９(a)に示されるような光路中にレンズの被検面を介在させない場合と比較して、レンズ３５の被検面３５ａによって反射された光が発散し、焦点位置がレンズ３５と反対寄りに変わる。  
このため、積分球３２の内壁面３２ｂの照射位置で、図９(ａ)に示される被検面を介在させない場合と比較して光束３３ｂが小さくなる。
このように、凸凹様々な曲率を有する球面を測定する場合、被検面３４ａ，３５ａに照射される測定光３３が、被検面３４ａ，３５ａの曲率により収束、発散され、光路中に被検面３４ａ，３５ａを介在させない場合の光束と異なり、受光器の感度ムラと相まって、測定値誤差を生じた。
また、受光器に積分球３２を用いる場合、その構造上光を取り込むため、検知器で受光するための開口部３２ａが必要である。
その開口部３２ａの大きさ、積分球３２自体の内径と開口径の面積比、検知器である光電子増倍管３１の受光位置等によっても、入射する測定光３３の収束、発散により、影響の受け方も異なる。
また、被検レンズ３４，３５の曲率の大小・正負によっても誤差の量が異なるという問題があった。
また、測定機によっても、測定光、受光器のムラなどが、それぞれ異なり、誤差の量も測定機毎に異なった。
そこで、本発明は、光学素子の被検面の反射率の測定精度が高い反射率測定装置および反射率測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の反射率測定装置は、測定光が光検出手段に到達する光路中に、光学素子の被検面を介在させて前記測定光を反射させた場合の第１の光検出強度と、前記被検面を介在させない場合の第２の光検出強度を計測し、前記第１の光検出強度と前記第２の光検出強度との対比により前記被検面の反射率を測定する反射率測定装置であって、前記被検面の曲率による前記反射率の測定値誤差を予め測定することにより前記反射率を補正することを特徴とする。
さらに、本発明の反射率測定装置は、測定光が光検出手段に到達する光路中に、光学素子の被検面を介在させて前記測定光を反射させた場合の第１の光検出強度と、前記被検面を介在させない場合の第２の光検出強度を計測し、前記第１の光検出強度と前記第２の光検出強度との対比により前記被検面の反射率を測定する反射率測定装置であって、
前記光路中の前記被検面の位置、前記測定光の前記被検面への入射角度および前記測定光の波長の少なくとも１つによる前記反射率の測定値誤差を予め測定することにより前記反射率を補正することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、光学素子の被検面の反射率の測定精度が高い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
まず、図３を参照して、本発明の実施例１の反射率測定装置について説明する。
本実施例１は、測定光１８ｂが光検出手段である光電子増倍管２３に到達する光路中に、光学素子である被検レンズ２６の被検面４１を介在させて測定光１８ｂを反射させた場合の第１の光検出強度を計測する。
さらに、被検面４１を介在させない場合の第２の光検出強度を計測し、第１の光検出強度と第２の光検出強度との対比により被検面４１の反射率を測定し、被検面４１の曲率による前記反射率の測定値誤差を予め測定することにより反射率を補正する。
光源１１は、真空紫外域から可視域まで連続した波長の光線１１ａを放射する重水素ランプから成る。
分光するための分光器は、第１軸外し方物面ミラー１３、反射型平面回折格子１４、第２軸外し方物面ミラー１５および出口スリット１６から成る。
分光器は、光分散素子として反射型の平面回折格子１４と、２枚の軸外し方物面ミラー１３、１５とから成る所謂ツェルニターナー型のモノクロメーターから成る。
受光センサーである光電子増倍管２７は、積分球２８を介して参照光１８ａを受光する。
光検出手段である受光センサーの光電子増倍管２３は、積分球２４を介して測定光１８ｂを受光する。
光電子増倍管２３、積分球２４とセクターミラー１８は、制御駆動部５０により、駆動制御される。
本実施例１においては、光量と波長分解能の関係から出口スリット１６面上での単位長さ当りの波長差である逆線分散は２ｎｍ／ｍｍとした。
【００１１】
光源１１から出射した光線１１ａは第１平面ミラー１２によって９０°方向を変えられ、第１軸外し方物面ミラー１３によって平行光１１ｂとなり、回折格子１４に入射される。
回折格子１４によって分光された光１１ｃは、第２軸外し方物面ミラー１５によって再び集光され、出口スリット１６面上で結像し、特定波長のみが通過する。
出口スリット１６を通過した光１１ｄは、第３軸外し方物面ミラー１７によって平行光１１ｅとなり、半円形の平面ミラーであるセクターミラー１８を回転させて、参照光１８ａと測定光１８ｂとに時間分割される。
セクターミラー１８が光路上にある時は、９０°方向を変えられて、参照光１８ａが第４軸外し方物面ミラー１９により集光されて積分球２８に入射し、光量をモニターすることで、光量変動分の補正に供される。
ミラー１８が光路上に無い時は、そのまま測定光１８ｂが第５軸外し方物面ミラー２１に入射され、集光されて積分球２４に入射する。
【００１２】
積分球２４は、回転可能に構成され、被検レンズ２６の被検面４１の反射点を回転中心として回転し、光路中に被検面４１を介在させた時に、被検面４１からの反射光が入射する位置に回転する。
そこで、測定光１８ｂが積分球２４に到達する光路中に、被検面４１を介在させて測定光１８ｂを反射させた場合の第１の光検出強度と、被検面４１を介在させない場合の第２の光検出強度を計測し、その対比により被検面４１の反射率を測定する。
積分球２８、２４の内面には、測定域が可視光であれば、一般に、硫酸バリウム等が塗布されるが、本実施例１では、真空紫外波長に発光する特性を有する蛍光体が塗布されている。
検知器であるフォトマルと称される光電子増倍管２７、２３は、積分球２８、２４の開口部２８ａ，２４ａに取り付けられている。
積分球２８，２４に入射した真空紫外光は積分球内壁に塗布された蛍光体を照射し、発光した蛍光光線は積分球２８，２４の内面の蛍光体被膜の表面を拡散反射しながら、検知器である光電子増倍管２７、２３に達して測定に供される。
【００１３】
次に、図１、図３を参照して、本実施例１における反射率測定値の補正の方法について説明する。
本実施例１においては、まず、波長１９３．４ｎｍにおける反射率測定値の補正値を求めることとする。
初めに、光学特性が均一な同一材料から切り出した材料を、同一条件で研磨し洗浄した曲率の異なる光学素子である複数、例えば、６種のレンズを用意する。
各レンズ表面の反射率は、吸収等のロスが無視できるレベルに洗浄されており、材料の屈折率により求められる反射率Ｒ％を基準反射率Ｒｏとするか、各レンズ表面の吸収等によるロスが既知の場合はその分を減算した値を基準反射率Ｒｏとする。
或いは、各レンズの平面研磨面の反射率を実測して、その値を基準反射率Ｒｏとする。
各レンズのサイズは、直径がφ３０、中心厚が１０ｍｍ、片側の面は全て平面に研磨され、もう一方の面が曲率半径２８、５６、１１２の凹面、同じく１１２、５６、２８の凸の球面とした。
【００１４】
次に、上記曲率の異なる６種のレンズを一つずつ取り替えて使用し、通常に被検レンズ２６を測定し、反射率の測定を行う。
本実施例１においては、被検面４１の曲率のみを可変パラメータとする。
しかし、光路中の被検面４１の位置である積分球２４と被検面４１との距離、測定光１８ｂの被検面４１への入射角度、測定光１８ｂの波長などを変化させ、各パラメータによる反射率の測定値誤差を予め測定することにより反射率を補正する場合もある。
これらの少なくとも１つを可変パラメータとすればよい。
この曲率の異なる６種の被検レンズ２６の被検面４１の反射率の測定結果が図１のグラフに示され、横軸を測定光の波長、縦軸を反射率とすると、被検面４１の曲率により反射率の測定値が異なる。
【００１５】
次に、図２のグラフに示されるように、横軸に曲率半径の逆数（１／ｒ）、縦軸を反射率とし、図１のグラフ上の１９３．４ｎｍの各測定値６点をプロットし、最小二乗法等により多項式近似し、近似曲線の関数を求める。
本実施例１では、２次近似し、近次式（１）が求められる。
Ｒａ＝ａ（１／ｒ）＾２＋ｂ（１／ｒ）＋ｃ・・・（１）
Ｒａ：近似値
ｒ：曲率半径  
ａ、ｂ：係数
ｃ：定数（切片）
【００１６】
また、曲率半径ｒの被検面４１を、近似式（１）を求めたのと同じ本実施例１の反射率測定装置を用いて反射率を測定する。
さらに、同じ被検面４１の位置である積分球２４と被検面４１との距離、同じ測定光１８ｂの入射角度、同じ測定光１８ｂの波長で測定した反射率の測定値Ｒｍから反射率の補正値Ｒｃを求める補正式（２）は次式になる。  
Rc＝Rｍ・Ro／Ra＝Rｍ・Ro／（a（1／r）＾2＋ｂ（1／r）＋ｃ）・・・（２）
この補正式（２）により、反射率測定値Ｒｍに、被検面４１の曲率により変化した反射光束と受光器の感度ムラにより、基準反射率Ｒｏに対して、測定値誤差を含んだ反射率比であるＲａの逆数を掛けることで、測定値誤差が補正される。
ここまで、１９３．４ｎｍの測定値及び基準反射率から、補正式（２）により１９３．４ｎｍの反射率補正値を求めてきたが、他波長の補正値を求めたい場合、同様の方法で求めたい波長について近似曲線の関数を求める。
これにより、他波長の反射率補正値を求めることができる。
また、受光器の感度ムラと測定光内の強度分布が波長により変化しないか、無視できる量である場合、他波長の補正値Ｒｃ(λ)を以下の式（３）により求めてもよい。
Ｒｃ(λ)＝Ｒｍ(λ)・Ｒｃ(１９３．４)／Ｒｍ(１９３．４)・・・（３）
この式（３）により、波長毎に近似曲線の関数を求める方法よりも、簡便に反射率の補正値を求めることができる。
【００１７】
本実施例１によれば、反射率の測定値を補正し、受光器の感度ムラと、被検面４１の曲率、光路中の被検面４１の位置、測定光１８ｂの入射角度、測定光１８ｂの波長による測定値誤差を補正し、測定値誤差を低減することができる。
本実施例１の補正を実施した場合、特に、誤差の大きかった曲率半径の小さいレンズで、基準平面より反射率が１％以上も低く測定されていたが、０．１％程度の差となり、大幅に絶対値の精度が向上した。
このため、紫外域の分光反射率測定においても、凸凹様々な曲率を有するレンズを高精度に測定することができ、レンズ、及びレンズ表面に形成する反射防止膜や高反射膜等光学薄膜の高精度な特性評価を可能にする。
【００１８】
以下、図４、図５、図６、図７を参照して本発明の実施例２について説明する。
本実施例２の反射率測定装置の主な構成は、実施例１と同様であるため、相違点のみ説明する。
本実施例２の反射率測定装置は、反射率補正式を求めるための光学素子である誤差量測定レンズ２６ａ、２６ｂを有し、光路中の被検レンズ２６ａ、２６ｂのセット位置に自動でセットできるように構成されている。
本実施例２においても、まず波長１９３．４ｎｍにおける補正値を求めることとする。
誤差量測定レンズ２６ａ、２６ｂは、光学特性が均一な同一材料から切り出した材料を、同一条件で研磨し洗浄した曲率の異なる光学素子である複数、例えば、６種のレンズである。
誤差量測定レンズ２６ａ、２６ｂは、光路中に順次介在させて反射率が測定できるよう可動式のホルダー２５にセットされている。
各レンズ２６ａ、２６ｂの表面の反射率は、吸収等のロスが無視できるレベルに洗浄されており、材料の屈折率により求まる反射率Ｒ％を基準反射率Ｒｏとする。
各レンズ２６ａ、２６ｂのサイズは、直径がφ３０、中心厚が１０ｍｍ、片側の面は全て平面に研磨され、もう一方の面が曲率半径２８、５６、１１２の凹面、曲率半径１１２、５６、２８の凸の球面とした。
【００１９】
次に、図７に示すフロー図の手順に従って、補正された反射率測定値を導く方法について説明する。
まず、第１の工程１０１である「誤差量と変化するパラメータの関係を見出す工程」について説明する。
この第１の工程１０１は、被検面４１ａの曲率、被検面４１ａの位置である積分球２４と被検面４１ａとの距離、測定光１８ｂの被検面４１ａへの入射角度および測定光１８ｂの波長の少なくとも１つと反射率の測定値誤差との関係を見出す工程である。
本実施例２においては、変化するパラメータは、レンズ２６ａの曲率のみとするが、被検面４１ａの位置である積分球２４と被検面４１ａとの距離、測定光１８ｂの被検面４１ａへの入射角度、測定光１８ｂの波長などの場合もある。これらの少なくとも１つを可変パラメータとすればよい。
その場合は、各パラメータを変化させた時の反射率を測定し、誤差量との関係を求める。
本実施例２においては、曲率の異なるレンズ２６ａを、可動式ホルダー２５を駆動させることで、順次光路に介在させて反射率を測定する。
その結果が、図４のグラフに示され、横軸を測定光１８ｂの波長、縦軸を反射率にし、被検面４１ａの曲率により測定値が異なる。
【００２０】
次に、第２の工程１０２である「反射率の補正式を導く工程」について説明する。
図５のグラフに示されるように、横軸を曲率半径の逆数（１／ｒ）、縦軸を反射率にとし、第１工程１０１で得た反射率の結果から、１９３．４ｎｍの各測定値６点をプロットし、最小二乗法等により多項式近似し、その近似曲線の関数を求める。
本実施例２では、２次近似し、近似式（１）が求められる。
Ｒａ＝ａ（１／ｒ）＾２＋ｂ（１／ｒ）＋ｃ・・・（１）
Ｒａ：近似値
ｒ：曲率半径
ａ、ｂ：係数
ｃ：定数（切片）
【００２１】
また、曲率半径ｒの被検面４１ａを、近似式（１）を求めたのと同じ本実施例２の反射率測定装置を用いて反射率を測定する。
さらに、同じ被検面４１ａの位置である積分球２４と被検面４１との距離、同じ測定光１８ｂの入射角度、同じ測定光１８ｂの波長で測定した測定値Ｒｍから補正値Ｒｃを求める補正式（２）となる。  
Rc＝Rｍ・Ro／Ra＝Rｍ・Ro／（a（1／r）＾2＋ｂ（1／r）＋ｃ）・・・（２）
補正式（２）により、反射率測定値Ｒｍに、被検面４１ａの曲率により変化した反射光束と受光器の感度ムラにより、基準反射率Ｒｏに対して、測定値誤差を含んだ反射率比であるＲａの逆数を掛けることで、測定値誤差が補正される。
【００２２】
次に、第３の工程１０３である「被検面を測定する工程」について説明する。
第１工程１０１の誤差量測定レンズ２６ａを、可動式ホルダー２５を駆動させることで光路から退避させる。
これにより、曲率半径ｒが既知の被検面４１ａを、補正式（２）を求めたのと同じ被検面４１ａの位置である積分球２４と被検面４１との距離、同じ測定光１８ｂの入射角度、同じ測定光１８ｂの波長にセットする。
被検面４１ａは、不純物等の付着による吸収ロスが無視できるレベルに洗浄されている。
通常の被検レンズは、誤差量測定レンズ２６ａとは別の可動ホルダー（不図示）にセットされており、ＰＣ等の制御装置からの命令により移動することができるように構成される。
反射率を測定し、その測定値Ｒｍを制御ＰＣに記憶する。
【００２３】
最後に、第４の工程１０４である「反射率を補正する工程」について説明する。
この第４の工程１０４では、第２の工程１０２で求めた補正式（２）に、第３の工程１０３で求めた測定値Ｒｍを代入し、補正値Ｒｃを求め、それらの結果をＰＣ等の制御装置内に記憶し、必要に応じて表示器等に表示させる。
ここまで、１９３．４ｎｍの測定値及び基準反射率から、補正式（２）により１９３．４ｎｍの反射率補正値を求めてきたが、他波長の補正値を求めたい場合、同様の方法で求めたい波長について近似曲線の関数を求めることで、他波長の反射率補正値を求める。
また、受光器の感度ムラと測定光１８ｂ内の強度分布が波長により変化しないか、無視できる量である場合、他波長の補正値Ｒｃ(λ)を以下の式（３）により求めてもよい。
Ｒｃ(λ)＝Ｒｍ(λ)・Ｒｃ(１９３．４)／Ｒｍ(１９３．４)・・・（３）
この式（３）により、波長毎に近似曲線の関数を求める方法よりも、簡便に反射率補正値を求めることができる。
【００２４】
本実施例２によれば、反射率測定値を補正し、受光器の感度ムラと、被検面の曲率、光路中の被検面の位置、入射角度、測定光の波長による光束の収束又は発散に起因する測定値誤差を補正することができ、測定値誤差を低減する。
本実施例２の補正を実施した場合、特に、誤差の大きかった曲率半径の小さいレンズで、基準平面基板より反射率が０．２％以上も低く測定されていたが、０．０５％程度の差となり、大幅に絶対値の精度が向上した。
このため、紫外域の分光反射率測定においても、凸凹様々な曲率を有するレンズを高精度に測定することができ、レンズ、及びレンズ表面に形成する反射防止膜や高反射膜等光学薄膜の高精度な特性評価を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施例1の反射率測定装置の誤差量を求めるためのグラフである。
【図２】本発明の実施例1の反射率測定装置の補正値を求めるためのグラフである。
【図３】本発明の実施例１の反射率測定装置の概略断面図である。
【図４】本発明の実施例２の反射率測定装置の誤差量を求めるためのグラフである。
【図５】本発明の実施例２の反射率測定装置の補正値を求めるためのグラフである。
【図６】本発明の実施例２の反射率測定装置の概略断面図である。
【図７】本発明の実施例２の反射率測定装置の工程を説明するためのフロー図である。
【図８】従来例の反射率測定装置の概略断面図である。
【図９】従来例の反射率測定装置の課題を説明するための概略断面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１１      光源
１２、１３、１５、１７、１９、２１      ミラー
１４        回折格子            １６              スリット
１８        セクターミラー      ２３、２７        光電子増倍管
２４、２８    積分球            ２５              ホルダー
２６、２６ａ    被検レンズ      ４１，４１ａ        被検面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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