(57)【要約】【課題】無限に隣接する差動配線の近端遠端クロストークを許容誤差範囲内において実質的に０とする低クロストーク高速高密度差動配線を実現する。【解決手段】配線幅より配線厚さが小さい配線１をペアとする差動配線と、その配線のリファレンスグランド３とを有するスタックドペア差動配線において、隣接する差動配線の間のリファレンスグランド３寄りの位置にグランド配線２が設けられている。好適には、グランド配線２は、隣接する差動配線間の上下のリファレンスグランド３寄りに上下対称に設けられている。配線１の配線厚さは、差動配線の近端クロストークをキャンセル可能に設定され、グランド配線２は、リファレンスグランド３との間の距離が差動配線の遠端クロストークをキャンセル可能に設定されている。【選択図】図１
2009100170.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線幅より配線厚さが小さい配線をペアとする差動配線と、
前記配線のリファレンスグランドとを有するスタックドペア差動配線において、
隣接する前記差動配線の間の前記リファレンスグランド寄りの位置にグランド配線が設けられていることを特徴とする差動配線。
【請求項２】
配線幅より配線厚さが小さい配線をペアとする差動配線と、
前記配線のリファレンスグランドとを有し、
隣接する前記差動配線のペアとなる配線を互いにクロスに配置して成るスタックドペア差動配線において、
隣接する前記差動配線の間の前記リファレンスグランド寄りの位置にグランド配線が設けられていることを特徴とする差動配線。
【請求項３】
前記グランド配線は、隣接する前記差動配線の間の上下の前記リファレンスグランド寄りの位置に上下対称に設けられている請求項１又は２に記載の差動配線。
【請求項４】
前記配線の配線厚さは、前記差動配線の近端クロストークをキャンセル可能に設定され、
前記グランド配線は、前記リファレンスグランドとの間の距離が前記差動配線の遠端クロストークをキャンセル可能に設定されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の差動配線。
【請求項５】
配線幅より配線厚さが小さい配線をペアとする差動配線と、
前記配線のリファレンスグランドとを有するスタックドペア差動配線において、
前記リファレンスグランド領域のうち、隣接する前記差動配線の間の領域が前記リファレンスグランドの他の領域と比べて、前記差動配線寄りの位置に存在することを特徴とする差動配線。
【請求項６】
前記リファレンスグランド領域のうち、隣接する差動配線の間の上下の領域が前記リファレンスグランドの他の領域と比べて、前記差動配線寄りの位置に存在することを特徴とする請求項５記載の差動配線。
【請求項７】
ペアとなる配線から構成される差動配線と、
前記配線のリファレンスグランドとを有するスタックドペア差動配線において、
前記差動配線と交互に配置されるシングルエンド配線を有し、
前記シングルエンド配線は、前記差動配線の中央の高さに位置していることを特徴とする差動配線。
【請求項８】
請求項１から７までのいずれか１項に記載の差動配線を有することを特徴とする配線基板。
【請求項９】
請求項１から７までのいずれか１項に記載の差動配線を有することを特徴とする配線構造。
【請求項１０】
請求項１から７までのいずれか１項に記載の差動配線を用いたことを特徴とする差動伝送路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、差動配線、これを有する配線基板及び配線構造、並びに差動伝送路に係り、特に差動配線の構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
回路の高速化高密度化に伴い、差動線路（差動配線）においてもクロストーク低減の必要性が生じている。差動線路は、２つの線路（配線）をペアとし、送信すべき信号として送信側の回路から両線路に沿ってプラス側とマイナス側とに互いに反転した信号（以下、「差動信号」）を伝送させ、その差動信号を受信側の差動増幅回路で受けることで信号伝送により生じる同相ノイズをキャンセルできるように構成されたものである。
【０００３】
例えば、図１１（ａ）及び（ｂ）に示すようなポート構成を持つ差動線路（「スタックドペア差動配線」とも言う。）の場合を考える。図１１（ａ）及び（ｂ）において、１は差動配線のペアとなる配線（ペア線）、３はリファレンスグランド、１１は絶縁層（層間膜）をそれぞれ示す。この差動線路は、図１１（ｂ）に示すように、隣接する２つの差動線路（差動ポート１〜４）を有し、プラス側（＋）とマイナス側（−）とでそれぞれペアとなる２つの線路（ポート１〜８）１から構成される。この場合、隣接する２つの差動線路間の近端遠端クロストークは、図１８（ａ）及び（ｂ）に示すＳパラメータを用いた表記法で表すと、次のような関係にある。
【０００４】
ＳＤＤ３１＝Ｓ５１−Ｓ７１−Ｓ７３＋Ｓ５３    …（式１）
ＳＤＤ４１＝Ｓ６１−Ｓ８１−Ｓ８３＋Ｓ６３    …（式２）
ここで、ＳＤＤ３１とＳＤＤ４１は、２つの差動線路の内、一方の差動ポート１（ポート１、３）に差動信号を入力したときに、他方の差動ポート３（ポート５、７）に現れる近端クロストークと、他方の差動ポート４（ポート６、８）に現れる遠端クロストークをそれぞれ表す（図１８（ｂ）参照）。また、Ｓ５１〜Ｓ８１とＳ５３〜Ｓ８３は、ポート１とポート３にそれぞれ差動信号を入力したときにポート５〜８に現れる差動信号に対応する（図１８（ａ）参照）。
【０００５】
この差動線路の場合、もし、Ｓ５１とＳ７１が等しい場合、差動線路の対称性から信号Ｓ７３とＳ５３も等しくなるので、上記の式１より、近端クロストークＳＤＤ３１を理論上０にすることができる。同様に、Ｓ６１とＳ８１が等しい場合、差動線路の対称性からＳ８３とＳ６３も等しくなるので、上記の式２より、遠端クロストークＳＤＤ４１を理論上０にすることができる。
【０００６】
高密度高速差動配線の低クロストーク化に関しては、特許文献１に開示される図１２に示すようなダイアゴナル差動線路が提案されている。図１２において、１は差動配線のペアとなる配線（ペア線）、３はリファレンスグランド、１１は絶縁層（層間膜）をそれぞれ示す。これによると、差動線路のペア線１のそれぞれとクロストーク量が同じになるように隣接差動配線の１配線を配置して、クロストークをキャンセルする構成をくりかえし配置することにより低クロストーク高密度高速差動配線が実現されている。また、特許文献１では、図１３に示すようなスタックドペア差動配線も提案されている。図１３において、１は差動配線のペアとなる配線（ペア線）、３はリファレンスグランド、１１は絶縁層（層間膜）をそれぞれ示す。この構成においては、高密度配線を構成できる。
【０００７】
また、特許文献２には、図１４に示すような差動信号伝送用コネクタが開示されている。図１４において、２１、２３はペアを成すコンタクト、２２、２４はコンタクト２１、２３のペアを成す方向に対して横方向に間隔を空けて平行に並設されるペアを成すコンタクト、２５は誘電体、２６、２７は空洞である。図１４の構成によると、図１３の配線構成において、白矢印どうし、黒矢印どうしのキャンセルを実現させるため、距離の小さい部分（空洞）２６、２７の誘電率を下げ、実効的な距離を長くしている。または、距離の大きい部分の誘電率を上げ実効的な距離を短くしている。
【０００８】
また、特許文献３では、図１５に示すような構成も開示されている。これによると、一方の差動配線２８のペアとなる配線３０、３１と、他方の差動配線２８のペアとなる配線２９、３２を互いにクロス配置することにより、黒矢印と白矢印を等距離にし、キャンセルを実現している。
【０００９】
また、図１５の構成と同様であるが、特許文献４では、図１６に示すような有線伝送路の構成も開示されている。図１６に示す有線伝送路は、第１および第２の差動伝送線路を備え、第１の差動伝送線路は２つのストリップライン３４、３５からなり、第２の差動伝送線路は２つのストリップライン３６、３７からなり、ストリップライン３４、３５がストリップライン３６、３７の双方から同じ距離だけ離れた位置に配置されている。この場合、差動伝送線路を構成する配線３４〜３７が正方形でなくても、近端遠端クロストークをキャンセルできる。
【００１０】
さらに、特許文献５には、図１７に示すようなフレキシブル配線板が開示されている。これによると、隣接する２つの差動線路である差動データ線４１、４２と、差動クロック線との配線間にグランド配線４３を設けることで、カップリングを弱めている。
【特許文献１】特開２００５−１０１５８７号公報
【特許文献２】特開２００５−２５１５５２号公報
【特許文献３】特開２００７−６７５９０号公報
【特許文献４】特開２００３−２５８５１０号公報
【特許文献５】特開２００６−４１１９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１の構成（図１２参照）では、図１２に示す黒矢印どうしのクロストークはキャンセルできるが、白矢印どうしのクロストークはキャンセルできない。また、図１３に示すようなスタックドペア差動配線では、高密度配線を構成できるが、白矢印どうし、黒矢印どうしの距離が異なるため、クロストークのキャンセルは行われない。
【００１２】
また、特許文献２の構成（図１４参照）では、近端クロストークは主として容量性であり、遠端クロストークはインダクタンス性であるため、誘電率を変更しただけでは、近端と遠端のクロストークを同時にキャンセルすることはできない。また、差動線路間に誘電率の異なる領域を設ける為、余分に配線間距離を設ける必要があり、高密度化の観点から良くない。
【００１３】
また、特許文献３の構成（図１５参照）では、距離自体が等しいので、配線３０〜３３が正方形の場合、近端遠端クロストークをキャンセルできるものの、正方形でない場合は近端遠端で差がでてしまう。また、更に隣接させて差動配線を形成する場合、キャンセル構成ではなくなってしまうので、距離をあけて隣接差動配線を形成する必要がある。
【００１４】
また、特許文献４の構成（図１６参照）では、更に隣接させて差動配線を形成する場合、キャンセル構成ではなくなってしまうので、距離をあけて隣接差動配線を形成する必要がある。
【００１５】
さらに、特許文献５の構成（図１７参照）では、カップリングを完全に０にはできていないし、近端遠端クロストークを同時に０にはできていない。
【００１６】
本発明の目的は、無限に隣接する差動配線の近端遠端クロストークを許容誤差範囲内において実質的に０とする低クロストーク高速高密度差動配線を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明においては、上記課題を、以下の構成とすることにより解決している。
【００１８】
第１の差動配線は、配線幅より配線厚さが小さい配線をペアとする差動配線と、前記配線のリファレンスグランドとを有するスタックドペア差動配線において、隣接する前記差動配線の間の前記リファレンスグランド寄りの位置にグランド配線が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
第２の差動配線は、配線幅より配線厚さが小さい配線をペアとする差動配線と、前記配線のリファレンスグランドとを有し、隣接する前記差動配線のペアとなる配線を互いにクロスに配置して成るスタックドペア差動配線において、隣接する前記差動配線の間の前記リファレンスグランド寄りの位置にグランド配線が設けられていることを特徴とする。
【００２０】
好適には、前記グランド配線は、隣接する前記差動配線の間の上下の前記リファレンスグランド寄りの位置に上下対称に設けられている。また、前記配線の配線厚さは、前記差動配線の近端クロストークをキャンセル可能に設定され、前記グランド配線は、前記リファレンスグランドとの間の距離が前記差動配線の遠端クロストークをキャンセル可能に設定されている。
【００２１】
第３の差動配線は、配線幅より配線厚さが小さい配線をペアとする差動配線と、前記配線のリファレンスグランドとを有するスタックドペア差動配線において、前記リファレンスグランド領域のうち、隣接する前記差動配線の間の領域が前記リファレンスグランドの他の領域と比べて、前記差動配線寄りの位置に存在することを特徴とする。
【００２２】
好適には、前記リファレンスグランド領域のうち、隣接する差動配線の間の上下の領域が前記リファレンスグランドの他の領域と比べて、前記差動配線寄りの位置に存在する。
【００２３】
第４の差動配線は、ペアとなる配線から構成される差動配線と、前記配線のリファレンスグランドとを有するスタックドペア差動配線において、前記差動配線と交互に配置されるシングルエンド配線を有し、前記シングルエンド配線は、前記差動配線の中央の高さに位置していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、無限に隣接する差動配線の近端遠端クロストークを許容誤差範囲内において実質的に０とする低クロストーク高速高密度差動配線を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、以下では、スタックドペア差動配線について説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、スタックドペア差動配線を有する配線基板及び配線構造、差動伝送路等にも適用可能であり、これらも本発明の範疇にある。
【００２６】
本実施の形態においては、図１３に示すスタックドペア差動配線の配線構成において、近端クロストークを差動配線の配線厚さを変更することによりキャンセルし、グランド配線を設けることで遠端クロストークをキャンセルし、無限に隣接する差動配線の近端遠端クロストークを許容誤差範囲内において実質的に０とする低クロストーク高速高密度差動配線を実現している。
【００２７】
また、他の実施の形態として、図１３に示すスタックドペア差動配線の配線構成において、隣接する差動配線の間にシングルエンド配線を配置することで、無限に隣接する差動配線の近端遠端クロストークを許容誤差範囲内において実質的に０とする低クロストーク高速高密度差動配線を実現している。
【００２８】
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。
【実施例１】
【００２９】
まず、図１〜図８を参照して、本発明の第１の実施例について説明する。
【００３０】
図１に示す本実施例に係る差動配線は、図１３と同様のスタックドペア差動配線の配線構成、すなわちプラス側（＋）とマイナス側（−）とに互いに反転する差動信号を伝送する差動配線のペアを構成し、且つ、厚さ方向（垂直方向）に距離ｄ２離れて配置される幅ｗ（ｍｍ）、厚さｔ（ｍｍ）の配線１を有している。
【００３１】
差動配線のペアとなる配線１は、幅方向（水平方向）に所定間隔（線路間距離）ｄ１で平行に隣接して配置され、これにより隣接する差動配線が構成されている。隣接する差動配線は、誘電率（比誘電率）εｒの絶縁層（層間膜）１１内に配置されている。絶縁層１１は、図中の厚さ方向（垂直方向）の上下にリファレンスグランド３によって挟まれている。リファレンスグランド３と差動配線との間は、所定距離ｄ３（ｍｍ）離れている。
【００３２】
本実施例では、これに加え、差動配線のペアとなる配線１の幅方向の線路間の所定位置（図中の例では中央）において、厚さ方向の上下のリファレンスグランド３寄りの位置にそれぞれグランド配線２が設けられている。このグランド配線２は、リファレンスグランド３との間で所定距離ｄ４（ｍｍ）離れて配置されている。
【００３３】
次に、本実施例の作用効果について、グランド配線がない比較例と対比して説明する。
【００３４】
図２は、比較例の差動配線を示す。この構成は、図１３に示す配線構成と同様のものである。
【００３５】
図３は、図２に示す比較例の構成において、縦軸に典型的な寸法（ｗ＝０．１５ｍｍ、ｔ＝０．０２５ｍｍ、ｄ２＝０．１４ｍｍ、ｄ３＝０．０８６ｍｍ）を適用した場合のＳＤＤ１１、ＳＤＤ２１、ＳＤＤ３１、ＳＤＤ４１、Ｓ６１、Ｓ８１、Ｓ５１、Ｓ７１の値を示し、横軸に隣接する差動配線の線路間距離ｄ１（ｍｍ）を示すグラフである。図３に示すグラフの縦軸の各値は、それぞれ周波数が１０ＧＨｚ（下側）と２０ＧＨｚ（上側）との値を示している。なお、本例では、絶縁層１１の誘電率εｒは、εｒ＝３．７としている。
【００３６】
なお、図１及び図２に示す隣接する差動配線の差動ポートの構成は、前述した図１１（ｂ）と同様であり、そのＳパラメータを用いた表記法については、前述した図１８と同様である。ここで、ＳＤＤ１１とＳＤＤ２１は、隣接する２つの差動線路の内、図１１（ｂ）に示す一方の差動ポート１（ポート１、３）に差動信号を入力したときに、反射されてその差動ポート１に現れる差動信号と、伝送されて他方の差動ポート２（ポート２、４）に現れる差動信号とをそれぞれ表す（図１８（ｂ）参照）。また、ＳＤＤ３１とＳＤＤ４１は、２つの差動線路の内、一方の差動ポート１（ポート１、３）に差動信号を入力したときに、他方の差動ポート３（ポート５、７）に現れる近端クロストークと、他方の差動ポート４（ポート６、８）に現れる遠端クロストークをそれぞれ表す（図１８（ｂ）参照）。さらに、Ｓ５１〜Ｓ８１は、ポート１に差動信号を入力したときにポート５〜８に現れる差動信号に対応する（図１８（ａ）参照）。
【００３７】
図４は、図１に示す本実施例の構成において、図３に示す比較例と同様の寸法を適用した場合の同様のグラフを示す。用いた寸法は、図２のものと同じであるが、２本のグランド配線が追加されている点が相違する。この場合、グランド配線２とリファレンスグランド３との間の距離ｄ４は、ｄ４＝０．１３ｍｍとしている。
【００３８】
図３と図４の比較により、例えばｄ１＝０．２ｍｍのとき、隣接する差動配線の近端クロストークＳＤＤ３１はあまり変化していないが、隣接する差動配線の遠端クロストークＳＤＤ４１はＳ６１とＳ８１が一致することで、より改善されていることが確認された。このとき、ＳＤＤ１１はあまり変化しておらず、追加グランド配線２によるインピーダンス不整合の影響も小さいことが確認された。
【００３９】
図５及び図６は、本実施例の構成において、縦軸にｄ１＝０．２ｍｍで周波数１０ＧＨｚの場合のクロストーク量（ｄＢ）を示し、横軸にグランド配線２とリファレンスグランド層３との距離ｄ４（ｍｍ）をパラメータとして示すグラフである。
【００４０】
図５に示すように、本実施例ではグランド配線２の追加により、Ｓ６１とＳ８１は増加し、Ｓ８１よりもＳ６１の増加の割合の方が大きいことが確認された。これに対し、図６に示すように、Ｓ５１とＳ７１は減少し、両者の減少の割合の差は小さいことが確認された。また、本実施例の構成においては、比較例のようにグランド配線２がない場合、Ｓ６１とＳ８１はＳ６１が小さく、Ｓ５１とＳ７１はＳ５１が大きくなっていることが確認された。そして、図５に示すように、Ｓ６１とＳ８１は、グランド配線２とリファレンスグランド３との距離ｄ４が０．１３ｍｍのときに交差し、その交点ではＳＤＤ４１が０となっていることが確認された。通常の差動配線の配線構成で幅ｗに比して厚さｔが薄い場合、このような大小関係になっていると考えられる。
【００４１】
ここで注目すべき点は、グランド配線２とリファレンスグランド３との距離ｄ４が小さいときに、Ｓ６１とＳ８１とのクロスポイントが存在するため、グランド配線２がない場合とインピーダンスの差が小さく、ＳＤＤ１１の差が小さいことと、グランド２を配置しても元の差動配線は隣接間距離を広げる必要がないこと、及び、グランド配線２により変化するのはＳＤＤ４１のみなので、近端クロストークを別の手段で０にしておけば、両者を０とできることである。また、Ｓ６１がＳ８１より大きい場合、グランド配線２は中央に１本おく必要があり、この場合、隣接差動配線との距離を広げる必要があり高密度化の観点から良くない。配線幅ｗに比して厚さｔが小さい場合が良い。
【００４２】
図７及び図８は、図２に示す配線構成で配線厚さｔを変化させ、近端クロストークを０となるようにした後、図１に示す配線構成のようにグランド配線２を追加した場合の結果を示す。ここで、配線厚さｔを変化させているのは、配線厚さｔはインピーダンスへの影響が他のパラメータに比べ小さいからである。
【００４３】
その結果、配線厚さｔをｔ＝０．０１３ｍｍとした場合、ＳＤＤ３１がほぼ０となることが確認された。この場合、配線幅ｗが厚さｔより大きい長方形となっており、この場合もＳ６１とＳ８１はＳ６１の方が大きくなっている。このときのｄ１は０．２ｍｍである。
【００４４】
この状態で、グランド配線２を追加すると、図７及び図８に示すように、ＳＤＤ３１は変化せず０であり、リファレンスグランド３からの距離ｄ４が０．２３ｍｍのとき、ＳＤＤ４１が０となることが確認された。ＳＤＤ１１の変化は小さい。
【００４５】
以上により、本実施例のグランド配線を設けたスタックドペア差動配線の配線構成により、以下のことが確認された。
【００４６】
１）ＳＤＤ３１とＳＤＤ４１を０とできている。
【００４７】
２）グランド配線２とリファレンスグランド層３との距離ｄ４が小さいときに、クロスポイントが存在するため、グランド配線２がない場合とインピーダンスの差が小さく、ＳＤＤ１１の差が小さい。
【００４８】
３）グランド配線２を配置しても元の差動配線は隣接間距離を広げる必要がないため、高密度を保てる。
【００４９】
４）この構成は、無限に隣接差動配線を増やすことができるため、高密度配線を実現できる。
【００５０】
従って、本実施例によれば、無限に隣接する差動配線の近端遠端クロストークを許容誤差範囲内において実質的に０とする低クロストーク高速高密度差動配線を実現することができる。
【００５１】
なお、本実施例の構成は、図１５の構成において、配線幅ｗより配線厚さｔが小さい場合にも適用できる。すなわち、配線幅ｗより配線厚さｔが小さい２ペアの差動配線をクロスに配置させたスタックドペア差動配線において、隣接する差動配線の間の上下のリファレンスグランド寄りに２本以上のグランド配線が上下対称に設けられる構成においても適用可能である。
【実施例２】
【００５２】
次に、図９を参照して、本発明の第２の実施例について説明する。
【００５３】
図９に示す本実施例に係る差動配線では、図１の構成において、グランド配線を設けず、その代わりにリファレンスグランド３に凸部３ａを設けることにより、第１の実施例と同様に無限に隣接する差動配線の近端遠端クロストークを許容誤差範囲内において実質的に０とする低クロストーク高速高密度差動配線を実現している。
【００５４】
本実施例では、余分な層をなくして、６層基板でなく４層基板で実現している。本実施例に係る差動配線の製造方法としては、リファレンスグランド層とグランド配線との間に層間膜を形成せずに製造する方法や、層間膜にエッチングをしておき、その後、リファレンスグランド層を成膜する方法等が考えられる。
【００５５】
なお、本実施例では、グランド配線の代わりにリファレンスグランド３に凸部３ａを設けているが、本発明はこれに限定されるものではない。要するに、配線幅より配線厚さが小さいスタックドペア差動配線において、リファレンスグランド領域のうち、隣接する差動配線の間の上下の領域がリファレンスグランドの他の領域に比して、差動配線寄りに存在するものであれば、適用可能である。
【実施例３】
【００５６】
次に、図１０を参照して、本発明の第３の実施例について説明する。
【００５７】
図１０に示す本実施例に係る差動配線は、図１３と同様のスタックドペア差動配線の配線構成において、図１のグランド配線や図９のリファレンスグランドの凸部を設けずに、その代わりに隣接する差動配線のペアとなる配線１の幅方向の線路間の位置の中央にシングルエンド配線４を配置している。すなわち、差動配線とシングルエンド配線４とが交互に配置され、シングルエンド配線４が差動配線の中央の高さに位置している。こうすることで、第１及び第２の実施例と同様に、無限に隣接する差動配線の近端遠端クロストークを許容誤差範囲内において実質的に０とする低クロストーク高速高密度差動配線を実現している。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、上記のスタックドペア差動配線のほか、スタックドペア差動配線を用いた差動伝送路、配線基板、及び配線構造等の用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施例に係る差動配線の構成を示す概略断面図である。
【図２】比較例に係る差動配線の構成を示す概略断面図である。
【図３】比較例において、（ａ）はＳＤＤ１１、ＳＤＤ２１、ＳＤＤ４１、Ｓ６１、Ｓ８１と隣接する差動配線の線路間距離との関係を示すグラフ、（ｂ）はＳＤＤ１１、ＳＤＤ２１、ＳＤＤ３１、Ｓ５１、Ｓ７１と隣接する差動配線の線路間距離との関係を示すグラフである。
【図４】第１の実施例において、（ａ）はＳＤＤ１１、ＳＤＤ２１、ＳＤＤ４１、Ｓ６１、Ｓ８１と隣接する差動配線の線路間距離との関係を示すグラフ、（ｂ）はＳＤＤ１１、ＳＤＤ２１、ＳＤＤ３１、Ｓ５１、Ｓ７１と隣接する差動配線の線路間距離との関係を示すグラフである。
【図５】第１の実施例において、ＳＤＤ４１、Ｓ６１、Ｓ８１と、グランド配線とリファレンスグランドとの間の距離との関係を示すグラフある。
【図６】第１の実施例において、ＳＤＤ３１、Ｓ５１、Ｓ７１と、グランド配線とリファレンスグランドとの間の距離との関係を示すグラフある。
【図７】第１の実施例において、配線厚さを変化させて近端クロストークを０にした後にグランド配線を追加したときのＳＤＤ４１、Ｓ６１、Ｓ８１と、グランド配線とリファレンスグランドとの間の距離との関係を示すグラフある。
【図８】第１の実施例において、配線厚さを変化させて近端クロストークを０にした後にグランド配線を追加したときのＳＤＤ３１、Ｓ５１、Ｓ７１と、グランド配線とリファレンスグランドとの間の距離との関係を示すグラフある。
【図９】本発明の第２の実施例に係る差動配線の構成を示す概略断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施例に係る差動配線の構成を示す概略断面図である。
【図１１】（ａ）は、スタックドペア差動配線の構成を示す概略断面図、（ｂ）はそのポート構成を説明する概略斜視図である。
【図１２】特許文献１のダイアゴナル差動線路の構成を示す概略断面図である。
【図１３】特許文献１のスタックドペア差動配線の構成を示す概略断面図である。
【図１４】特許文献２の差動信号伝送用コネクタの構成を示す概略断面図である。
【図１５】特許文献３のクロス配置された差動配線の構成を示す概略斜視図である。
【図１６】特許文献４の有線伝送路の構成を示す概略斜視図である。
【図１７】特許文献５のフレキシブル配線板の構成を示す概略断面図である。
【図１８】スタックドペア差動配線のＳパラメータを用いた表記法を説明する図である。
【符号の説明】
【００６０】
１  差動配線のペアとなる配線
２  グランド配線
３  リファレンスグランド
３ａ  凸部
４  シングルエンド配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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