(57)【要約】【課題】粒子同士の静電分散が生じることによって測定効率が低下することを防ぐことが可能な帯電量分布測定装置を提供する。【解決手段】複数の粒子の帯電量分布を測定する測定管６０と、測定管６０に複数の粒子を送り込む導入管５０と、を備え、複数の粒子を保持する粒子保持担体１０から導入管５０へ向かって形成される空気流によって複数の粒子を導入管５０へ供給して、粒子の帯電量分布を測定する帯電量分布測定装置において、粒子保持担体１０と導入管５０との間には、導入菅５０と同心的に複数の電極４０が配置され、複数の電極４０に交流電圧を印加することで、粒子保持担体１０と導入管５０との間に多重極交流電界が形成される。【選択図】図１
2009036628.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の粒子の帯電量分布を測定する測定部と、
前記測定部に複数の粒子を送り込む導入管と、
を備え、
装置本体外部に設けられ、複数の粒子を保持する粒子保持担体から前記導入管へ向かって形成される空気流によって複数の粒子を前記導入管へ供給して、粒子の帯電量分布を測定する帯電量分布測定装置において、
前記粒子保持担体と前記導入管との間には、
前記導入菅と同心的に複数の電極が配置され、
該複数の電極に交流電圧を印加することで、前記粒子保持担体と前記導入管との間に多重極交流電界が形成されることを特徴とする帯電量分布測定装置。
【請求項２】
前記粒子保持担体から前記導入管に向かって形成される空気流は、
前記粒子保持担体の表面に空気を噴出して前記粒子保持担体から粒子を剥離させるエアブロアによって形成されるとともに、該空気流が多重極交流電界下で減速されて前記導入菅へ入ることを特徴とする請求項１に記載の帯電量分布測定装置。
【請求項３】
前記粒子保持担体と前記導入管の間には、
前記導入管と同心的に管状部材が設けられ、
前記管状部材の一方の端部が前記導入管の先端側に接続され、
前記管状部材の他方の端部が前記粒子保持担体に対向するとともに、
前記管状部材に接続される排気装置を駆動することで、前記粒子保持担体から前記導入管に向かう空気流が形成されることを特徴とする請求項１に記載の帯電量分布測定装置。
【請求項４】
前記複数の電極は、
前記管状部材よりも内側に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の帯電量分布測定装置。
【請求項５】
前記複数の電極は、
前記導入管の先端を含む領域に前記多重極交流電界を形成するとともに、
前記導入管の内側は、静電遮蔽されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の帯電量分布測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の粒子の帯電量分布を測定する帯電量分布測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の粒子の帯電量分布を測定する帯電量分布測定装置として、複数の粒子が保持される粒子保持担体から、複数の粒子を導入管を通じて装置本体の測定部に送り込み、測定部において複数の粒子の帯電量分布を測定する装置が知られている。このような装置としては、例えば特許文献１、特許文献２に開示される装置が知られている。
【０００３】
また、このような装置において、複数の粒子を粒子保持担体から導入管へ供給する際には、粒子保持担体から導入管内へ向かう空気流を形成し、該空気流を利用して粒子保持担体から導入管へ粒子を送り込む構成が知られている。
【０００４】
図３は、従来例に係る帯電量分布測定装置において、粒子保持担体１から導入管５へ複数の粒子を供給する際の模式図を示すものである。
【０００５】
図３に示す装置においては、粒子保持担体１に保持される複数の粒子に対して、エアブロア３から噴出する空気流を衝突させて粒子保持担体１から粒子２を剥離させた上で、剥離させた粒子２を導入管５へ供給する構成である。
【０００６】
また、図４に示すように、導入管５の先端にノズル７を形成し、導入管５の先端側をノズル７を介して吸引管９に接続し、ノズル７と吸引管９とで形成される間隙に排気ポンプ８を接続させる装置も知られている。
【０００７】
この構成によると、排気ポンプ８を駆動させて吸引管９内部に、粒子保持担体１から導入管５へ向かう空気流を形成することで、粒子保持担体１から複数の粒子を直接吸引して導入管５に供給することが可能である。
【０００８】
【特許文献１】特開昭５７−７９９５８号公報
【特許文献２】特開昭６３−１１８６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら上記従来例に係る粒子の帯電量分布測定装置においては、以下に示す問題を生じる。
【００１０】
図３に示すエアブロア３を用いる粒子の供給方法では、エアブロア３から噴出する空気流が高速のまま導入管５に入ると、測定管６内の気流を乱すことになり、その結果、正確な測定結果を得ることが困難になる。
【００１１】
この解決策として、エアブロア３からは測定管６内の気流を乱さないために間欠で空気を噴出するものとし、さらに粒子保持担体１と導入管５の間には、エアブロア３が噴出した空気流の流速が十分に減速するように所定の間隔を設けるものとした。
【００１２】
しかしながら、粒子保持担体１と導入菅５の間隔を複数の粒子が通過する間に、粒子同士が及ぼす静電気力によって粒子が静電分散してしまう。なお、静電分散の際にそれぞれの粒子が受ける力は次式（数１）で表される。
【００１３】
【数１】
2009036628.tif 000003
【００１４】
上記（数１）に示す数式において、Ｆａ：粒子が静電気力によって受ける力（Ｎ）、ｎ：粒子の数密度（１／ｍ３）、ｑ：静電気力を受ける粒子の帯電量、とする。また、ｑａｖｅ：周りの粒子の平均帯電量、ｒ：静電気力を受ける粒子の中心軸からの距離（ｍ）、ε：周囲の気体の誘電率（Ｆ／ｍ）とする。
【００１５】
（数１）に示す力が働いて粒子が静電分散すると、導入管５の先端付近における粒子密度が小さくなり、導入管５に供給される粒子の数が減少する。よって、帯電量分布測定装置の測定効率が低下してしまう。
【００１６】
一方、図４に示す直接吸引によって複数の粒子を導入管５へ供給する供給方法では、粒子保持担体１に保持される複数の粒子を直接吸引管９の中へ吸引するため、吸引管９の入り口付近での粒子密度が非常に高くなる。
【００１７】
その結果、吸引管９の入り口からノズル７の先端までの距離を短く設定しても、静電分散が生じて導入管５の先端付近における粒子密度が小さくなり、導入管５に供給される粒子の数が減少する。よって、帯電量分布測定装置の測定効率が低下してしまう。
【００１８】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、粒子同士の静電分散が生じることによって測定効率が低下することを防ぐことが可能な帯電量分布測定装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を達成するために本発明にあっては、複数の粒子の帯電量分布を測定する測定部と、前記測定部に複数の粒子を送り込む導入管と、を備え、装置本体外部に設けられ、複数の粒子を保持する粒子保持担体から前記導入管へ向かって形成される空気流によって複数の粒子を前記導入管へ供給して、粒子の帯電量分布を測定する帯電量分布測定装置において、前記粒子保持担体と前記導入管との間には、前記導入菅と同心的に複数の電極が配置され、該複数の電極に交流電圧を印加することで、前記粒子保持担体と前記導入管との間に多重極交流電界が形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように本発明によれば、粒子同士の静電分散が生じることによって測定効率が低下することを防ぐことが可能な帯電量分布測定装置を提供することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を、実施の形態に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００２２】
（第１の実施の形態）
図１を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る帯電量分布測定装置の構成について説明する。図１は、第１の実施の形態に係る帯電量分布測定装置の概略構成を示すものである。
【００２３】
［帯電量分布測定装置の構成］
本実施の形態においては、チャージスペクトログラフィ法（特開昭５７−７９９５８号公報参照）を用いて、複数の粒子の帯電量分布を測定するものである。以下、チャージスペクトログラフィ法を用いた本実施の形態に係る帯電量分布測定装置の構成について説明する。
【００２４】
図１に示すように、本実施の形態に係る帯電量分布測定装置は、導入管５０から送り込まれた複数の粒子の帯電量分布を測定する測定管６０（測定部）と、測定管６０の下方に接続された排気装置１６と、を備える。
【００２５】
また、測定管６０の上方の側面には測定管６０内に空気を取り入れる吸気口１４が設けられる。この構成によると、排気装置１６を起動することで、吸気口１４から整流フィルタ１８を通して排気装置１６へ向かう一様な空気流を測定管６０内に形成することが可能になる。本実施の形態では、排気装置１６の出力を調整して測定管６０内の一様な空気流を０．５ｍ／ｓｅｃとする。
【００２６】
さらに測定管６０を挟むように電極１２Ａ、１２Ｂが設けられており、それぞれの電極が電源１３に電気的に接続されている。この構成によって、測定管６０の内部には図１中矢印Ａの方向に平行電界が形成される。
【００２７】
粒子の帯電量分布を測定する際には、まず複数の粒子を保持する粒子保持担体１０（装置本体外部に配置）から導入菅５０へ複数の粒子を供給する。そして導入管５０から測定管６０内に複数の粒子を送り込み、測定管６０内に送り込まれた粒子が、測定管６０内に形成される平行電界から力を受けて偏向されつつ、排気装置１６によって生じる空気流によって捕集体１５の上へ搬送される。
【００２８】
ここで、測定管６０内に送り込まれる粒子２の偏向量は、それぞれの粒子２の比電荷（ｅ／ｍ）に比例し、比電荷が大きい粒子ほど偏向量が大きくなる。よって、捕集体１５に捕集された粒子２の偏向量を測定することで、複数の粒子の比電荷分布を得ることが可能になる。そして、比電荷分布から、粒子の帯電量分布を算出することが可能になる。
【００２９】
また本実施の形態においては、エアブロア３０を用いて粒子保持担体１０から導入管５０に複数の粒子を供給する構成とした。
【００３０】
エアブロア３０を用いる粒子の供給方法は、エアブロア３０から噴出する空気流を粒子保持担体１０に保持される粒子に衝突させ、粒子保持担体１０から粒子を剥離して粒子２０を導入菅５０へ供給する構成である。
【００３１】
さらに粒子保持担体１０は回転するので、エアブロア３０から所定の方向へ空気流を噴出し続けると、粒子保持担体１０上の複数の粒子を順次導入管５０へ供給することが可能になる。
【００３２】
［測定方法］
上記のように構成される本実施の形態に係る帯電量分布測定装置を用いて、複数の粒子の帯電量分布を測定する方法について説明する。
【００３３】
本実施の形態に係る帯電量分布測定装置の測定対象として、電子写真装置に用いられるトナー粒子を用いるものとする。なお、粒子の平均帯電量は３．５（ｆｃ）で、平均粒径は７（μｍ）とする。そして、これらの粒子が粒子保持担体１０の表面上に数密度３×１０１０（１／ｍ２）で付着する。
【００３４】
そして、粒子保持担体１０の方向を向いた内径０．５（ｍｍ）のノズルを有するエアブロア３０を粒子保持担体１０近傍に配置する（図１）。
【００３５】
そしてエアブロア３０から噴出する空気流が粒子保持担体１０上の粒子に衝突し、約１５（ｃｍ）下方に配置される導入管５０に複数の粒子が供給されるようにエアブロア３０の角度が調節される。なお、導入管５０は内径が１６（ｍｍ）で、導電性プラスチックによって構成され、その表面に金属めっき処理がされているものとする。
【００３６】
粒子保持担体１０から導入管５０へ粒子を供給する際は、エアブロア３０を噴出圧力０．６（ｋｇｆ／ｃｍ２）、噴出時間０．５秒程度で間欠動作させる。これによって生じた空気流が粒子保持担体１０上の粒子に衝突し、粒子保持担体１０上のトナー粒子２０を粒子保持担体１０から剥離させる。
【００３７】
そして粒子保持担体１０から剥離したトナー粒子２０は導入管５０へ供給される。なお、このときの粒子の数密度は５×１０９（１／ｍ３）である。また、粒子保持担体１０と導入菅５０の間で粒子同士が互いに及ぼす力は、例えば導入管５０の中心軸から径方向に８（ｍｍ）離れた位置で１５（ｐＮ）である。
【００３８】
［四重極交流電界の作用］
本実施の形態では、粒子の静電分散を抑止するために粒子保持担体１０と導入管５０の間に、導入管５０と同心的に略等間隔に４本の電極を配置した。また、この配置において向かい合う１組の電極の間隔を２０（ｍｍ）とした。
【００３９】
そして向かい合う１組の電極を同電位として、計２組の電極の間に振幅３０００（ｖ）で周波数２００（Ｈｚ）の交流電圧を印加した。４本の電極をこのように配置し交流電圧を印加することで、導入管５０と同心的に四重極交流電界が生じる。
【００４０】
そして四重極交流電界が生じることによって、例えば導入管５０の中心軸から径方向に８（ｍｍ）離れた位置では、それぞれの粒子に対して中心軸方向に向かう力１５（ｐＮ）が生じることがわかった。
【００４１】
すなわち、導入管５０の中心軸から８（ｍｍ）離れた位置において粒子に対しては、粒子が静電分散する方向に１５（ｐＮ）の力と、粒子が中心軸に向かう方向に１５（ｐＮ）の力が働くので、静電分散を生じさせる力を打ち消すことができる。以下、四重極交流電界を発生させることで静電分散を抑止できるプロセスについて説明する。
【００４２】
上記のように４本の電極を配置して交流電圧を印加することで四重極交流電界を発生させた状態において、導入管５０の中心軸と直交する平面内に投射した粒子（注目する粒子）の運動を考える。また、注目する粒子以外の粒子は固定されているものとする。この時の粒子の運動方程式は、次式（数２）で表される。
【００４３】
【数２】
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【００４４】
（数２）に示す運動方程式において、ｍ：粒子の質量（ｋｇ）、ｔ：時間（ｓｅｃ）、（ｘ、ｙ）：粒子のｘ−ｙ座標（ｍ）、ｖ：印加電圧（ｖ）、Ｒ：四重極電極の向かい合う電極間の距離（ｍ）、ω：角周波数（１／ｓｅｃ）、とする。また、η：空気の粘性係数（Ｐａ  ｓｅｃ）、Ｄ：力を受ける粒子の直径（ｍ）、ｎ：粒子の数密度（１／ｍ３）、ｑ：力を受ける粒子（注目する粒子）の帯電量、ｑａｖｅ：粒子の平均帯電量、とする。また、ｒ：力を受ける粒子（注目する粒子）の中心軸からの距離（ｍ）、ε：周囲気体の誘電率（Ｆ／ｍ）、とする。
【００４５】
（数２）に示す運動方程式において、右辺の第１項は四重極交流電界から受ける力であり、第２項は空気抵抗、第３項は静電分散による力を表す。（数２）に示す運動方程式は、非線形微分方程式であるので解析的に解くことができない。しかしながら、第１項と第２項の効果は非特許文献１（電機学会雑誌９０巻５号８６１ページ（１９７０））において考察されている。
【００４６】
すなわち、定常状態において四重極交流電界から粒子が平均的に受ける力は、次式（数３）のように表される。
【００４７】
【数３】
2009036628.tif 000005
【００４８】
（数３）において、Ｆｂ：粒子が四重極交流電界から平均的に受ける力（Ｎ）である。また、この力の大きさは中心軸からの距離（ｒ）に比例し、その向きは中心軸に向かう向きである。一方で（数２）の右辺第３項は、粒子を静電分散させる力を表し、その大きさが中心軸からの距離（ｒ）に比例する。
【００４９】
すなわち、これら２つの力（粒子が四重極交流電界から平均的に受ける力と、粒子を静電分散させる力）が釣り合うように四重極交流電界を設定すると、粒子の静電分散を抑止することが可能になる。
【００５０】
そして、粒子保持担体１０から導入管５０の間で粒子の静電分散が抑止されると、導入管５０の先端付近での粒子密度を高い状態に保つことが可能になるので、導入管５０に送り込まれる粒子の数が増大する。よって装置本体の測定効率を向上させることが可能になる。
【００５１】
なお、本実施の形態に係る帯電量分布測定装置においては、四重極交流電界を形成する４本の電極が導入管５０の先端部分を含む領域を囲む構成とした（図１）。また、四重極交流電界を形成する４本の電極の長さは３０（ｃｍ）程度とした。
【００５２】
この構成によれば、導入管５０の先端部分においても確実に四重極交流電界を形成させ
ることが可能になる。すなわち、粒子が粒子保持担体１０から剥離して導入管５０に供給されるまで、四重極交流電界が形成される領域外へ出ることがない。よって確実に静電分散を抑止することが可能になる。
【００５３】
また、四重極交流電界を形成する４本の電極の長さを３０（ｃｍ）程度にすることで、エアブロア３０から噴出された高速の空気流を、四重極交流電界下を通過する間に測定管内に形成された一様な空気流の速度まで減速することが可能になる。
【００５４】
これは、大気圧における空気粘性によって、高速の空気流が減速されることによる。すなわち、本実施の形態の構成によれば、四重極交流電界を形成する４本の電極の長さを調整することで、エアブロアの高速空気流を十分に減速させ、極力帯電量分布の測定に影響を与えないような構成とした。
【００５５】
しかし、四重極交流電界を導入管５０の先端部分の内側にまで形成した場合は、導入管５０内に供給された粒子が、四重極交流電界の振幅のために導入管５０の内壁に衝突する恐れがある。その結果、正確な帯電量測定分布を得られない可能性がある。
【００５６】
そこで本実施の形態に係る帯電量分布測定装置においては、導入管５０の内側に四重極交流電界が生じないように、導入管５０を導電性プラスチックにして、その外面を金属めっきすることで静電遮蔽する構成とした。
【００５７】
この構成によると、導入管５０の内側には四重極交流電界が生じることがないので、四重極交流電界の振幅のために粒子が導入管５０の内壁に衝突することを防ぐことができる。
【００５８】
また、この他にも導入管５０を導電性プラスチックにより形成することの利点は挙げられる。
【００５９】
例えば導入管５０を金属で形成した場合は、帯電した粒子に対して大きな鏡像電荷が金属壁に生じる。このために、帯電した粒子が金属壁に強く引き付けられて付着してしまう。また、導入管５０を絶縁物にした場合は、導入管自体が気流との摩擦で帯電してしまうので、帯電した粒子が付着してしまう。
【００６０】
これらの現象に鑑みて、本実施の形態では帯電した粒子が導入菅の内壁に付着することを防ぐために、導入管５０を導電性プラスチックによって形成し、さらにその外面を金属めっきとする構成とした。よって正確な帯電量測定分布を得ることができる。
【００６１】
（第２の実施の形態）
図２を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る帯電量分布測定装置の構成について説明する。図２は、第２の実施の形態に係る帯電量分布測定装置の概略構成を示すものである。
【００６２】
［帯電量分布測定装置の構成］
本実施の形態においては、導入管５０の先端にノズル７０を形成し、さらに導入管５０の先端側を吸引管９０（管状部材）の一方の端部に接続する構成とした。また、吸引管９０の他方の端部は粒子保持担体１０に対向させる構成とした。また、吸引管９０に排気装置（排気ポンプ）８０を取り付けた。本実施の形態では、排気装置８０を駆動することで、粒子保持担体１０が保持する粒子を吸引管９０から直接吸引して導入管５０へ供給する構成である。
【００６３】
導入管５０に供給された粒子の帯電量分布の測定法に関しては上記第１の実施の形態と同様にチャージスペクトログラフィ法を用いるものであるので、その説明に関して省略する。ここでは直接吸引によって粒子を導入管５０へ供給する構成についてのみ説明を行う。
【００６４】
本実施の形態に係る帯電量分布測定装置の構成によると、排気装置８０を駆動させることで、粒子保持担体１０から吸引管９０を通過して排気装置８０または導入管５０へ流れる高速の空気流を形成することが可能になる。
【００６５】
そして、この高速の空気流によって、粒子保持担体１０に保持される複数の粒子を吸引管９０から導入菅５０に供給することが可能になる。なお、吸引管９０から吸引される高速の空気流は、ノズル７０の先端において、ノズル７０に流入する空気流と、排気装置８０から排出される空気流に分離される。
【００６６】
そして、ノズル７０に流入した空気流は、ノズル７０の管径が大きくなるにつれ減速し、測定管６０内に到達する時には、測定管６０内に形成される空気流と略等速となる。よって測定管６０内の空気流を乱すことがない。
【００６７】
［測定方法］
上記のように構成される本実施の形態に係る帯電量分布測定装置を用いて、粒子の帯電量分布を測定する方法について説明する。
【００６８】
本実施の形態に係る帯電量分布測定装置の測定対象としては、第１の実施の形態と同様に、電子写真装置に用いられるトナー粒子を用いるものとする。なお、粒子の平均帯電量は３．５（ｆｃ）で、平均粒径は７（μｍ）とする。そして、これらの粒子が粒子保持担体１の表面上に、数密度３×１０１０（１／ｍ２）で付着している。
【００６９】
そして本実施の形態では、ノズル７０、吸引管９０ともに、導入管５０と同心的に設け、吸引管９０の内径を８（ｍｍ）、吸引管９０の先端と粒子保持担体１０の間隙を０．５（ｍｍ）程度とした。
【００７０】
このような構成で導入管５０へ粒子を供給する際は、まず排気ポンプ８０を、その排気量が１５（ｌ／ｍｉｎ）となるように駆動させる。すると粒子保持担体１０から吸引管９０を通過して排気ポンプ８０または導入管５０へ流れる高速の空気流が形成される。
【００７１】
そして、その空気流により粒子保持担体１０の表面上に付着していた複数の粒子が剥離して吸引管９０に吸引される。このとき、吸引管９０を通過する空気の流速は６（ｍ／ｓｅｃ）程度である。
【００７２】
そして、形成される空気流によって、２×１０−４（ｍ２／ｓｅｃ）の割合で粒子保持担体１０に付着する粒子を直接吸引する。この構成によれば、定常状態において吸引管９０内の粒子密度は３×１０１０（１／ｍ３）となる。
【００７３】
一方で定常状態において、例えば中心軸から径方向に３（ｍｍ）離れた位置にある粒子に対しては、粒子が静電分散する方向に６０（ｐＮ）の力が働く。
【００７４】
本実施の形態に係る帯電量分布測定装置においては、吸引管９０内に導入管５０と同心的にかつ等間隔に４本の電極を設けた。
【００７５】
また、四重極交流電界を形成する４本の電極は、吸引管９０の先端より４ｍｍ内側に配
置して、導入管５０の先端部分を含む領域を囲む構成とした（図２）。また、導入管５０は導電性プラスチックにして、その外面を金属めっきすることで静電遮蔽する構成とした。なお、この配置において互いに向かい合う１組の電極の間隔を６（ｍｍ）とした。
【００７６】
さらに互いに向かい合う１組の電極を同電位として、計２組の電極の間に振幅２０００（ｖ）で周波数１５００（Ｈｚ）の交流電圧を印加する。４本の電極をこのように配置し交流電圧を印加することで、導入管５０と同心的に四重極交流電界が生じる。
【００７７】
その結果、導入管５０の中心軸から径方向に３（ｍｍ）離れた位置では、それぞれの粒子に対して中心軸方向に向かう力７４（ｐＮ）が生じる。
【００７８】
つまり、導入管５０の中心軸から３（ｍｍ）離れた位置においては、粒子が静電分散する方向に６０（ｐＮ）の力が働いていた。これに対し、四重極交流電界から粒子に対して中心軸に向かう方向に７４（ｐＮ）の力が働くことで、粒子の静電分散を抑止することが可能になる。なお、四重極交流電界を発生させることで静電分散を抑止できるプロセス（数式等）については、上記第１の実施の形態と異なるものではないので説明は省略する。
【００７９】
以上より、本実施の形態によれば、粒子の静電分散を引き起こす力が打ち消されて、導入管５０の先端付近での粒子密度を高くすることが可能になる。また、導入管５０の内側には四重極交流電界が生じることがないので、四重極交流電界の振幅のために粒子が導入管５０の内壁に衝突することを防ぐことができる。
【００８０】
その結果、導入管５０に供給される粒子数が増加し、装置本体の測定効率を向上させることが可能になる。また、粒子保持担体から粒子を吸引するときに、粒子が電極に付着することがない。
【００８１】
（その他の実施の形態）
上記第１の実施の形態、第２の実施の形態においては、チャージスペクトログラフィ法によって粒子の帯電量分布を測定する構成であった。
【００８２】
しかしながら、本発明における測定方法はこれに限られるものではなく、イースパート法（特開昭６３−１１８６３４号公報参照）によって粒子の帯電量分布を測定する構成であってもよい。
【００８３】
イースパート法を用いる帯電量分布測定装置は、チャージスペクトログラフィ法において粒子の偏向量を測定する代わりに、偏向した粒子の速度をレーザドップラ速度計で計測することで、粒子の比電荷分布を得る構成である。
【００８４】
すなわち、粒子の偏向速度は比電荷に比例するため、この性質を利用することで複数の粒子の比電荷分布を得ることが可能になる。そして、複数の粒子のそれぞれの質量（ｋｇ）が略同一である場合は、測定される比電荷分布を複数の粒子の帯電量分布とみなすことが出来る。
【００８５】
さらに上記第１の実施の形態、第２の実施の形態においては、多重極交流電界として四重極交流電界を形成する場合について説明を行ったが、四重極交流電界以外の多重極交流電界（例えば六重極交流電界など）を形成する構成であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】第１の実施の形態に係る帯電量分布測定装置の概略構成図
【図２】第２の実施の形態に係る帯電量分布測定装置の概略構成図
【図３】従来例に係る帯電量分布測定装置の概略構成図（エアブロアを用いる場合）
【図４】従来例に係る帯電量分布測定装置の概略構成図（直接吸引を行う場合）
【符号の説明】
【００８７】
１０    粒子保持担体
１２Ａ（平行電界を発生させる）電極
１２Ｂ（平行電界を発生させる）電極
１３  （平行電界を発生させるための）電源
１５    捕集体
１６    排気装置
２０    粒子
３０    エアブロア
４０    （四重極交流電界を発生させるための）電極
５０    導入管
６０    測定管（測定部）
７０    ノズル
８０    排気装置
９０    吸引管（管状部材）
【図１】
2009036628.tif 000006
【図２】
2009036628.tif 000007
【図３】
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【図４】
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