(57)【要約】【課題】  局所クリーン領域を簡単な手段で構成するとともに、様々な形状の局所クリーン領域の形成を容易にする。【解決手段】  局所クリーントンネル２０は、クリーンルーム内に配置され生産設備１３を収容可能である。そして、清浄空気源１１と、この清浄空気源に接続され多数の小孔１２ｂが形成された弾性流路部材１２と、弾性流路部材の小孔から流出した清浄空気が局所クリーントンネルから外部に漏洩するのを防止する樹脂製のカーテン１５とを有する。カーテンの下端部と生産設備が設置される床面との間の距離ｈは調整可能になっている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内に配置され生産設備を収容可能な局所クリーントンネルにおいて、清浄空気源と、この清浄空気源に接続され多数の小孔が形成された弾性流路部材と、弾性流路部材の小孔から流出した清浄空気が局所クリーントンネルから外部に漏洩するのを防止する樹脂製のカーテンとを有し、このカーテンの下端部と生産設備が設置される床面との間の距離を調整可能にするように前記カーテンを構成したことを特徴とする局所クリーントンネル。
【請求項２】
前記弾性流路部材を覆うＲ型ユニットパネルを有し、このＲ型ユニットパネルの下端部と前記カーテンの上端部とを接続してクリーントンネルの外壁面を形成し、前記弾性流路部材を載置し、多数の孔が形成されたパンチング板をこのクリーントンネル内に配置したことを特徴とする請求項１に記載の局所クリーンルーム。
【請求項３】
前記弾性流路部材を多数本半円形状に配置し、隣り合う弾性流路部材をその円筒面部で接続し、端部に位置する弾性流路部材には前記カーテンの上端部を接続し、さらに各弾性流路部材の内周面側に間隔をおいて多数の小孔を形成して前記清浄空気源から生産設備へのダウンフローを形成可能としたことを特徴とする請求項１に記載の局所クリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産ラインが設置されるクリーンルーム内をさらに清浄化するのに用いる局所クリーントンネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
局所クリーン化に関する従来の例が、特許文献１に記載されている。この公報に記載のクリーンルームでは、クリーンルーム内の必要な領域に必要なクリーン度を有する局所的なクリーン化領域を簡便に短時間に構築するために、自走式パーティションユニットを局所クリーン化領域周りに設けている。そのため、クリーンルーム内に、格子状に搬送用レールを設け、この搬送用レールに沿って、自走式ファンフィルタユニット（以下ＦＦＵと称す）を自由に移動させ、クリーンルーム内の任意の領域に、所望のクリーン度が得られる局所クリーン化領域を形成している。
【０００３】
局所クリーン化に関する従来の他の例が、特許文献２に記載されている。この公報に記載の局所クリーン化室では、室内の気圧調整が容易でエアーの送風量を大きく増加させなくてもクリーン環境を保持するために、排気側である床面に開口率を調整できる多数の開口を形成している。
【特許文献１】特開２００６−２９７２号公報
【特許文献２】特開２００４−１６５３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載の局所クリーンルームでは、確かに所望の位置に清浄度の高い領域を短時間に形成することができる。しかしながら、局所クリーンルームを形成するためには、床面にレールを配置しなければならず、また、このレールに沿って自走式ＦＦＵが走行可能なスペースを確保しなければならず、装置が大掛かりになるとともに、クリーンルームを余裕のある大型のものにする必要が生じる。
【０００５】
上記特許文献２に記載のクリーン化室では、いわゆるグレーチング床面の開口比率を変えるので、開口比率を変えるための特殊な手段が必要になるとともに、気流が変化するので、事前にシミュレーション等により気流の変化に対応することが必要となる。
【０００６】
本発明は上記従来技術の不具合に鑑みなされたものであり、その目的は、局所クリーン領域を簡単な手段で構成するとともに、様々な形状の局所クリーン領域の形成を容易にすることにある。本発明の他の目的は、局所クリーン領域の形成のための工事の省力化及び低コスト化を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する本発明の特徴は、クリーンルーム内に配置され生産設備を収容可能な局所クリーントンネルにおいて、清浄空気源と、この清浄空気源に接続され多数の小孔が形成された弾性流路部材と、弾性流路部材の小孔から流出した清浄空気が局所クリーントンネルから外部に漏洩するのを防止する樹脂製のカーテンとを有し、このカーテンの下端部と生産設備が設置される床面との間の距離を調整可能にするようにカーテンを構成したものである。
【０００８】
そしてこの特徴において、弾性流路部材を覆うＲ型ユニットパネルを有し、このＲ型ユニットパネルの下端部とカーテンの上端部とを接続してクリーントンネルの外壁面を形成し、弾性流路部材を載置し多数の孔が形成されたパンチング板をこのクリーントンネル内に配置してもよい。
【０００９】
また上記特徴において、弾性流路部材を多数本半円形状に配置し、隣り合う弾性流路部材をその円筒面部で接続し、端部に位置する弾性流路部材にはカーテンの上端部を接続し、さらに各弾性流路部材の内周面側に間隔をおいて多数の小孔を形成して清浄空気源から生産設備へのダウンフローを形成可能としてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、局所クリーン領域を形成するために、外周部に多数の穴を有するダクトでダウンフローのための流路を形成したので、局所クリーン領域を簡単な手段で構成できる。また、様々な形状の局所クリーン領域を容易に形成することができる。さらに、局所クリーン領域の形成のための工事の省力化及び低コスト化が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明のいくつかの実施例を、図面を用いて説明する。図１は、本発明に係る局所クリーントンネル２０の一実施例の斜視図である。図３に、この図１に示した局所クリーントンネル２０を備えたクリーンルーム１の例を、縦断面図で示す。
【００１２】
クリーンルーム１は２重室構造をしており、半導体等の製造に用いる生産設備１３を収容するための空間３を、内壁２で区画している。空間３の天井は、天井面４で覆われている。天井面４の上面の複数箇所には、間隔をおいてファンフィルタユニット（ＦＦＵ）9が配置されており、空間３外から空間３内へ清浄空気を下向き（Ａ）に供給する。空間３の床面には、スリット状に複数の貫通孔が形成されたグレーチング床６が、配置されている。ＦＦＵ９から空間３にダウンフローとして流入した流れは、グレーチング床６のスリット状孔から空間３外に排気される。
【００１３】
ここで、空間３のグレーチング床６とクリーンルーム１の底面間には、床下チャンバ７が形成されており、クリーンルーム１の側壁と内壁２間にはリターンスペース８が形成されているので、グレーチング床６の溝を通過した空気の流れ（Ｂ）は、リターンスペース８を通って、クリーンルーム１の上部に流れる流れとなる。
【００１４】
クリーンルーム１の外天井面と天井面４との間にも天井チャンバ５が形成されているので、リターンスペース８を通過した空気は、天井チャンバ５を横方向に流れ、再びＦＦＵ９で塵埃を除去されて、清浄空気のダウンフロー（Ａ）として、空間に供給される。以後、空気は循環し続ける。
【００１５】
クリーンルーム１には、生産設備１３が復数台配置されており、各生産設備１３にはそれぞれ所定の清浄度（クリーン度）が設定されている。これら生産設備１３のクリーン度を達成するために、生産設備１３を単体で、または数個の生産設備１３をまとめて、設定された清浄度になるように、クリーントンネル２０内に収容する。図１では、各生産設備１３ごとにクリーントンネル２０を配置している。
【００１６】
クリーントンネル２０は、生産設備１３を覆うように上部が断面半円形をしており、この半円形部１０に長さを調節可能なカーテン１５が接続されている。カーテン１５は、ビニールやナイロン、ポリエチレン等、広く市販されている膜を使用する。上部の半円形部１０は、両側部を覆って密閉かまぼこ状にしたＲ型ユニットパネルか、または、両側部を柔軟な樹脂製膜で覆ったかまぼこ状の樹脂製膜を加圧してドーム型にしている。樹脂製膜としては、カーテン１５同様、ビニールやナイロン、ポリエチレン等、広く市販されている膜を使用する。これらの樹脂製膜を使用すれば、カーテン１５も半円形部１０も安価に構成できる。
【００１７】
ドーム形状のクリーントンネル２０内であって上部には、多数の小孔１４ｂが格子状または千鳥状に配置された矩形のパンチング板１４が配置されている。そしてこのパンチング板１４の上には、樹脂製のスパイラルダクト１２が載置されている。スパイラルダクト１２の円筒面には、多数の小孔１２ｂがほぼ等ピッチで、形成されている。スパイラルダクト１２は、弾力性があり可撓性である連結流路１１ｂを介して、清浄空気を発生する清浄空気源１１に接続されている。
【００１８】
清浄空気源１１はＦＦＵであってもよく、生産装置１３の可動に邪魔にならない位置に配置するのが良い。したがって、必ずしも生産装置１３の近傍に配置する必要はない。清浄空気源１１を生産設備１３から離れて配置しなければならないときなどには、連結流路１１ｂが弾力性があり可撓性であることが有効に作用し、僅かな隙間等でも連結流１１ｂの路配管が容易になる。
【００１９】
カーテン１５はその端部を心棒１６に巻きつけており、このカーテン１５端部の巻き付け角を調整することにより、グレーチング床６とカーテン１５端部との間の距離ｈを調整できる。ここで、距離ｈは次のようにして決定する。クリーントンネル２０の外部の圧力は、天井面４に設けたＦＦＵ９からのダウンフロー（Ａ）に支配される。そこで、クリーントンネル２０内に、外部から塵埃を含む空気が流入しないように、クリーントンネル２０内の圧力を周囲圧力より高くする。一方、クリーントンネル２０に供給する清浄空気の供給源１１は、ＦＦＵ等を使用するので、その出力はおおよそ一定である。そこで、クリーントンネル２０から清浄空気が排出される排出口での抵抗を変化させて、クリーントンネル２０内の圧力を変化させる。
【００２０】
クリーントンネル２０に流入した清浄空気は、カーテン１５端部とグレーチング床６の間の隙間ｈを通ってクリーンルーム内に流出するので、隙間ｈを変化させて、外部の空気がクリーントンネル２０内に絶対に流入しないようにする。この差圧を形成するためには、予め隙間ｈを変化させて実験的に求めるか、シミュレーションにより予測するか、またはクリーントンネル２０内に圧力計や流速計を配置して隙間ｈの変化による圧力や流速の変化を測定するかする。これらいずれかの方法でクリーントンネル２０の圧力や流速を制御して、クリーントンネル２０外からの空気の侵入を防止する。
【００２１】
本発明の他の実施例を、図２を用いて説明する。図２は、クリーントンネル２０の他の実施例の斜視図である。図１に示した実施例では、クリーントンネル２０清浄空気供給部を、Ｒ型ユニットパネル等の半円形部１０とスパイラルダクト１２、パンチング板１４で形成していたが、本実施例では多数のチューブダクト１２ｄを半円形状に接続配置し、端部に位置するチューブダクト１２ｄに、樹脂製膜のカーテン１５を接続している。チューブダクト１２ｄは、樹脂製であれば取扱が容易である。チューブダクト１２ｄでは、軸方向にほぼ等ピッチで小孔１２ｆが形成されている。小孔１２ｆは、半円形部の内径側に形成されており、この小孔１２ｆを通して、生産設備１３へダウンフロー（Ｃ）を供給する。その他の構成は、上記図１に示したクリーントンネル２０と同様である。本実施例によっても、カーテン１５とグレーチング床６との間の距離ｈを調整することにより、生産設備１３への清浄空気の供給を容易にするとともに、クリーントンネル２０外からクリーントンネル２０内に塵埃を含む空気が流入するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る局所クリーントンネルの一実施例の斜視図である。
【図２】本発明に係る局所クリーントンネルの他の実施例の斜視図である。
【図３】局所クリーントンネルを有するクリーンルームの正面断面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１…クリーンルーム、２…内壁、３…空間、４…天井面、５…天井チャンバ、６…グレーチング床、７…床下チャンバ、８…リターンスペース、９…ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）、１０…半円形部、１１…清浄空気源、１１ｂ…連結流路、１２…弾性流路部材（スパイラルダクト）、１２ｂ…小孔、１２ｄ…弾性流路部材（チューブダクト）、１２ｆ…小孔、１３…生産設備、１４…パンチング板、１４ｂ…小孔、１５…カーテン、１６…心棒、２０…局所クリーントンネル。
【図１】
2009270752.tif 000003
【図２】
2009270752.tif 000004
【図３】
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