(57)【要約】  【課題】  ノズル孔の内壁に繋がる撥水層に形成された孔の内壁の撥水性がよいとともに、撥水層に形成された孔の開口径がノズル孔の開口径と同等以上である液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法、液体吐出ヘッド用ノズルプレートおよび液体吐出ヘッドを提供する。  【解決手段】  ノズル孔が貫通したプレートに撥水層を形成する際に、ノズル孔直上に光硬化により樹脂を形成した後、撥水性樹脂の粒子を含有するメッキ層を形成し、前記メッキ層の形成された前記プレートから硬化した前記脂膜を除去し、硬化した前記脂膜を除去した前記プレートの前記メッキ層をエッチングし、前記メッキ層がエッチングされた前記プレートの前記メッキ層に熱を与えて前記メッキ層表面に露出する前記撥水性樹脂の粒子を軟化させることにより行ない、液体吐出ヘッド用ノズルプレートを製造する。  【選択図】図２
2009179030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレートの主面間を貫通するノズル孔を形成する工程Ａと、前記ノズル孔の一方の主面側の一部に充填するように前記プレートの一方の主面に光硬化性樹脂を供給して、光硬化性樹脂膜を形成する工程Ｂと、前記プレートの他方の主面側から光を照射し、前記ノズル孔に充填された前記光硬化性樹脂膜を含む前記光硬化性樹脂膜の一部を硬化させる工程Ｃと、前記プレートから未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｄと、未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの一方の主面に、撥水性樹脂の粒子を含有するメッキ層を形成する工程Ｅと、前記メッキ層の形成された前記プレートから硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｆと、硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの前記メッキ層をエッチングする工程Ｇと、前記メッキ層がエッチングされた前記プレートの前記メッキ層に熱を与えて前記メッキ層表面に露出する前記撥水性樹脂の粒子を軟化させる工程Ｈとを含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法。
【請求項２】
プレートの主面間を貫通するノズル孔を形成する工程Ａと、前記ノズル孔の一方の主面側の一部に充填するように前記プレートの一方の主面に光硬化性樹脂を供給して、光硬化性樹脂膜を形成する工程Ｂと、前記プレートの他方の主面側から光を照射し、前記光硬化性樹脂膜の一部を硬化させる工程Ｃと、前記プレートから未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｄと、未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの一方の主面に、撥水性樹脂の粒子を含有するメッキ層を形成する工程Ｅと、硬化した前記光硬化性樹脂膜のある前記プレートの前記メッキ層をエッチングする工程Ｉと、前記メッキ層がエッチングされた前記プレートから硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｊと、硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの前記メッキ層に熱を与えて前記メッキ層表面に露出する前記撥水性樹脂の粒子を軟化させる工程Ｋとを含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法。
【請求項３】
前記工程Ｃで、前記ノズル孔近傍における前記光硬化性樹脂膜の硬化範囲を、プレートに接する側よりプレートに接しない側で広くすることを特徴とする請求項１または２記載の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法。
【請求項４】
前記工程Ｅで、前記メッキ層の前記プレート側領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率を、前記メッキ層の表面側領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率より高くすることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法。
【請求項５】
前記工程Ｅで、前記メッキ層の前記ノズル孔直上の領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率を、その外側の領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率より高くすることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法。
【請求項６】
ノズル孔を備えたプレートと、該プレートの一方の主面に形成された、表面に撥水性樹脂膜が形成されており、前記ノズル孔に繋がった孔を備えた撥水層と、を有する液体吐出ヘッド用ノズルプレートであって、前記孔は、形状が前記ノズル孔の形状に相似であり、かつ前記ノズル孔と同等の大きさか、または大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド用ノズルプレート。
【請求項７】
前記孔は、前記ノズル孔と反対側の開口径が前記ノズル孔側の開口径より大きいことを特徴とする請求項６記載の液体吐出ヘッド用ノズルプレート。
【請求項８】
前記ノズル孔が前記プレートの一方の主面から他方の主面に向かって漸次大きくなっていることを特徴する請求項６または７記載の液体吐出ヘッド用ノズルプレート。
【請求項９】
請求項６から８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用ノズルプレートと、前記液体吐出ヘッド用ノズルプレートの前記ノズル孔と繋がる液体加圧室と、該液体加圧室内の液体を加圧する加圧手段とを含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル孔周囲に撥水層を有し、安定したインクの吐出状態を維持できる液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法、および液体吐出ヘッド用ノズルプレート、ならびにそれを用いた液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの普及やマルチメディアの発達に伴って、情報を記録媒体に出力する記録装置として、インクジェット方式の液体吐出装置を用いた記録装置の利用が急速に拡大している。
【０００３】
かかるインクジェット方式の記録装置には、インクジェットヘッドが搭載されている。この種のインクジェットヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段を備えられており、その加圧手段によりインク流路内のインクが加圧され、インク吐出孔よりインク滴が吐出される。そして、加圧手段としてヒータを備え、ヒータによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧するサーマル方式と、加圧手段として圧電素子を備え、インクを充填するインク流路の一部の壁を圧電素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧する圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
インク流路からのインクの加圧に対して、安定してインク滴を吐出させるためには、インク吐出孔であるノズル孔内に、インクのメニスカスが安定的に保持されている状態にしておくことが必要である。そこで、メニスカスがノズル孔の外に出てしまわないように、またノズル孔周囲に付着したインクと干渉しないように、ノズル孔付近には撥水性の撥水膜が形成される。
【０００５】
このようなノズル孔付近に撥水膜の形成されたインクジェット用ノズルプレートを製造する方法として、図８に示す次のような方法が提案されている（例えば、特許文献１。）。（ａ）ノズル孔８０２を備えたプレート８０１を準備する。（ｂ）プレート８０１のおもて面を感光性樹脂８０３で被覆する。（ｃ）プレート８０１の裏面より露光し、感光性樹脂８０３の一部を硬化する。（ｄ）未硬化の感光性樹脂８０３を取り除き、ノズル孔８０２が硬化した感光性樹脂８０３−１でふさがれた状態にする。（ｅ）プレート８０１のおもて面に撥水膜８０４を形成する。（ｆ）硬化した感光性樹脂８０３−１を取り除くことにより、表面に撥水膜８０４の形成されたノズルプレートを得ることができる。  また、図９に示す次のような方法も提案されている（例えば、特許文献２。）。（ａ）ノズル孔９０２を備えたプレート９０１を準備する。（ｂ）プレート９０１の裏面からノズル孔９０２の途中まで樹脂９０７を充填する。（ｃ）プレートの９０１表面に撥水膜９０４を形成する。（ｄ）樹脂９０７を取り除く。
【０００６】
これらの撥水膜８０４あるいは撥水膜９０４は、撥水性の樹脂を塗布したり、撥水性樹脂の粒子を含むメッキ層を形成し、その撥水性樹脂の粒子を軟化させて形成したりする。
【特許文献１】特開２００６−２８９８６３号公報
【特許文献２】特開平７−１２５２２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法では、撥水性樹脂の粒子を含むメッキ層を形成し、前記撥水性樹脂の粒子を軟化させて撥水膜８０４を形成する場合、ノズル孔８０２に繋がる撥水膜８０４の孔の内壁の撥水性が十分でないという問題があった。
【０００８】
図６は、図８（ｅ）の撥水膜形成工程において、上述の撥水膜、すなわち、撥水性樹脂４０６の粒子と金属層４０５とを含むメッキ層４０４を形成した状態の断面模式図である。メッキ層４０４のプレート４０１に対向する表面４０４ａには、撥水性樹脂４０６の粒子が露出した状態になっている。これに対して、ノズル孔４０２に繋がるメッキ層４０４の孔の内壁４０４ｂでは、硬化した感光性樹脂４０３−１があるため、撥水性樹脂４０６の粒子はメッキ層４０４の表面にはほとんど露出しない。このような撥水性樹脂４０６の粒子を含むメッキ層４０４は、後の工程で加熱し、撥水性樹脂４０６の粒子を軟化させ、メッキ層４０４を撥水性樹脂膜で覆うようにする。
【０００９】
しかし、前述のようにノズル孔４０２に繋がるメッキ層４０４の孔の内壁４０４ｂには、撥水性樹脂４０６の粒子の露出が少ないため、加熱しても軟化する撥水性樹脂４０６の粒子に含まれる撥水性樹脂４０６の量が足りず、撥水性樹脂膜が十分形成できなかった。
【００１０】
また、特許文献２の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法では、メニスカスが形成されるノズル孔９０２内部の撥水膜９０４の端部から、液体が吐出される方向に向かって、撥水膜９０４の厚みの分だけノズル径が小さくなっているため、液体の吐出が阻害され、液体吐出特性が不安定になるおそれがあった。特に、図７に示したような、ノズル孔５０２の内壁がノズルプレート５０１の主面に対して垂直でない部分に撥水膜５０４の端部がある場合、撥水膜５０４の端部の形成位置により、ノズル孔５０２の中のメニスカスの形成される部分の直径ｒが変わるため、液体吐出特性の変動が大きくなってしまうことがあった。
【００１１】
したがって、本発明は、ノズル孔の内壁に繋がる撥水層の孔の内壁の撥水性がよく、撥水層の孔の開口径がノズル孔の開口径と同等以上である液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法、および液体吐出ヘッド用ノズルプレート、ならびにそれを用いた液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法は、プレートの主面間を貫通するノズル孔を形成する工程Ａと、前記ノズル孔の一方の主面側の一部に充填するように前記プレートの一方の主面に光硬化性樹脂を供給して、光硬化性樹脂膜を形成する工程Ｂと、前記プレートの他方の主面側から光を照射し、前記ノズル孔に充填された前記光硬化性樹脂膜を含む前記光硬化性樹脂膜の一部を硬化させる工程Ｃと、前記プレートから未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｄと、未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの一方の主面に、撥水性樹脂の粒子を含有するメッキ層を形成する工程Ｅと、前記メッキ層の形成された前記プレートから硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｆと、硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの前記メッキ層をエッチングする工程Ｇと、前記メッキ層がエッチングされた前記プレートの前記メッキ層に熱を与えて前記メッキ層表面に露出する前記撥水性樹脂の粒子を軟化させる工程Ｈとを含むことを特徴とする。
【００１３】
本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法は、プレートの主面間を貫通するノズル孔を形成する工程Ａと、前記ノズル孔の一方の主面側の一部に充填するように前記プレートの一方の主面に光硬化性樹脂を供給して、光硬化性樹脂膜を形成する工程Ｂと、前記プレートの他方の主面側から光を照射し、前記光硬化性樹脂膜の一部を硬化させる工程Ｃと、前記プレートから未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｄと、未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの一方の主面に、撥水性樹脂の粒子を含有するメッキ層を形成する工程Ｅと、硬化した前記光硬化性樹脂膜のある前記プレートの前記メッキ層をエッチングする工程Ｉと、前記メッキ層がエッチングされた前記プレートから硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｊと、硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの前記メッキ層に熱を与えて前記メッキ層表面に露出する前記撥水性樹脂の粒子を軟化させる工程Ｋとを含むことを特徴とする。
【００１４】
また、前記工程Ｃで、前記ノズル孔近傍における前記光硬化性樹脂膜の硬化範囲を、プレートに接する側よりプレートに接しない側で広くすることが好ましい。
【００１５】
また、前記工程Ｅで、前記メッキ層の前記プレート側領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率を、前記メッキ層の表面側領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率より高くすることが好ましい。
【００１６】
また、前記工程Ｅで、前記メッキ層の前記ノズル孔直上の領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率を、その外側の領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率より高くすることが好ましい。
【００１７】
本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートは、ノズル孔を備えたプレートと、該プレートの一方の主面に形成された、表面に撥水性樹脂膜が形成されており、前記ノズル孔に繋がった孔を備えた撥水層と、を有する液体吐出ヘッド用ノズルプレートであって、前記孔は、形状が前記ノズル孔の形状に相似であり、かつ前記ノズル孔と同等の大きさか、または大きいことを特徴とする。
【００１８】
また、前記孔は、前記ノズル孔と反対側の開口径が前記ノズル孔側の開口径より大きいことが好ましい。
【００１９】
また、前記ノズル孔が前記プレートの一方の主面から他方の主面に向かって漸次大きくなっていることが好ましい。
【００２０】
本発明の液体吐出ヘッドは、前記液体吐出ヘッド用ノズルプレートと、前記ノズルプレートの前記ノズル孔と繋がる液体加圧室と、該液体加圧室内の液体を加圧する加圧手段とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法によれば、プレートの主面間を貫通するノズル孔を形成する工程Ａと、前記ノズル孔の一方の主面側の一部に充填するように前記プレートの一方の主面に光硬化性樹脂を供給して、光硬化性樹脂膜を形成する工程Ｂと、前記プレートの他方の主面側から光を照射し、前記ノズル孔に充填された前記光硬化性樹脂膜を含む前記光硬化性樹脂膜の一部を硬化させる工程Ｃと、前記プレートから未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｄと、未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの一方の主面に、撥水性樹脂の粒子を含有するメッキ層を形成する工程Ｅと、前記メッキ層の形成された前記プレートから硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｆと、硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの前記メッキ層をエッチングする工程Ｇと、前記メッキ層がエッチングされた前記プレートの前記メッキ層に熱を与えて前記メッキ層表面に露出する前記撥水性樹脂の粒子を軟化させる工程Ｈとを含むことにより、工程Ｇの後で、ノズル孔の内壁に繋がるメッキ層の孔の内壁にも、撥水性樹脂が露出し、工程Ｈにおける加熱により、ノズル孔の内壁に繋がるメッキ層の孔の内壁にも十分撥水性樹脂膜が形成される。また、ノズル孔の内壁に繋がる撥水層の開口径は、ノズル孔の開口径と同等以上になるため、液体吐出特性に悪影響を与えにくい。
【００２２】
本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法によれば、プレートの主面間を貫通するノズル孔を形成する工程Ａと、前記ノズル孔の一方の主面側の一部に充填するように前記プレートの一方の主面に光硬化性樹脂を供給して、光硬化性樹脂膜を形成する工程Ｂと、前記プレートの他方の主面側から光を照射し、前記光硬化性樹脂膜の一部を硬化させる工程Ｃと、前記プレートから未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｄと、未硬化の前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの一方の主面に、撥水性樹脂の粒子を含有するメッキ層を形成する工程Ｅと、硬化した前記光硬化性樹脂膜のある前記プレートの前記メッキ層をエッチングする工程Ｉと、前記メッキ層がエッチングされた前記プレートから硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去する工程Ｊと、硬化した前記光硬化性樹脂膜を除去した前記プレートの前記メッキ層に熱を与えて前記メッキ層表面に露出する前記撥水性樹脂の粒子を軟化させる工程Ｋとを含むことにより、工程Ｉの後で、ノズル孔の内壁に繋がるメッキ層の孔の内壁にも、撥水性樹脂が露出し、工程Ｋにおける加熱により、ノズル孔の内壁に繋がるメッキ層の孔の内壁にも十分に撥水性樹脂膜が形成される。また、ノズル孔の内壁に繋がる撥水層の開口径は、ノズル孔の開口径と同等以上になるため、液体の吐出特性に悪影響を与えにくい。
【００２３】
また、前記工程Ｃで、前記ノズル孔近傍における前記光硬化性樹脂膜の硬化範囲を、プレートに接する側よりプレートに接しない側で広くした場合、プレートの主面の撥水層とノズル孔内壁に繋がる撥水層の成す角度が鈍角になる、もしくはなめらかに繋がるようになるため、液体がノズル孔端の撥水層より離れる際のばらつきが少なくなり、液体の吐出特性のばらつきを少なくできる。
【００２４】
また、前記工程Ｅで、前記メッキ層の前記プレート側領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率を、前記メッキ層の表面側領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率より高くした場合、工程Ｇまたは工程Ｉの後で、ノズル孔の内壁に繋がるメッキ層の孔の内壁、特にメニスカスの形成されるノズル孔内のメッキ層の端部に撥水性樹脂の粒子がより露出し、より確実に撥水性樹脂が形成できる。
【００２５】
また、前記工程Ｅで、前記メッキ層の前記ノズル孔直上の領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率を、その外側の領域に含まれる前記撥水性樹脂の含有率より高くした場合、工程Ｇの後で、ノズル孔の内壁に繋がるメッキ層の孔の内壁、特にメニスカスの形成されるノズル孔内のメッキ層の端部に撥水性樹脂の粒子がより露出し、より確実に撥水性樹脂が形成できる。
【００２６】
本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートによれば、ノズル孔を備えたプレートと、該プレートの一方の主面に形成された、表面に撥水性樹脂膜が形成されており、前記ノズル孔に繋がった孔を備えた撥水層と、を有する液体吐出ヘッド用ノズルプレートであって、前記孔は、形状が前記ノズル孔の形状に相似であり、かつ前記ノズル孔と同等の大きさか、または大きいことにより、メニスカスが形成される部分より先にノズル孔の孔径が小さくなる部分がないため、その影響による液体の吐出特性のばらつきが抑制できる。
【００２７】
また、前記孔は、前記ノズル孔と反対側の開口径が前記ノズル孔側の開口径より大きい場合、液体がノズル孔端の撥水層より離れる際のばらつきが少なくなり、液体の吐出特性のばらつきを少なくできる。
【００２８】
また、前記ノズル孔が前記プレートの一方の主面から他方の主面に向かって漸次大きくなっている場合、孔形状（ノズルプレートの主面に垂直な方向から見たノズル孔の開口形状）のばらつきが少なくなくなり、液体吐出特性のばらつきを少なくできる。
【００２９】
本発明の液体吐出ヘッドによれば、前記液体吐出ヘッド用ノズルプレートと、前記ノズルプレートの前記ノズル孔と繋がる液体加圧室と、該液体加圧室内の液体を加圧する加圧手段とを含むことにより、メニスカスが形成される部分より先のノズル孔の影響による液体吐出特性のばらつきが抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３１】
図１（ａ）は、本実施形態の液体吐出ヘッドの部分縦断面図であり、図１（ｂ）は、上面図である。図１（ｃ）は、本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートのノズル孔付近の部分断面図である。
【００３２】
本実施形態では、液体吐出ヘッド１は、流路部材４と圧電アクチュエータ２１とが積層されて構成されている。
【００３３】
流路部材４には、複数の液体加圧室３と複数の液体加圧室３にそれぞれ繋がった複数のノズル孔２がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に配置されている。流路部材４は、ノズル孔２が複数形成された液体吐出ヘッド用ノズルプレート４ａ（以下単にノズルプレートということがある）と複数の液体流路５が形成されたプレート４ｂ〜４ｉが積層されており、液体流路５の一部が液体加圧室３となっている。流路部材４には、圧電アクチュエータ２１が複数の液体加圧室３を覆うように積層されている。圧電アクチュエータ２１の内部には、共通電極２３ａが設けられ、圧電アクチュエータ２１の流路部材４と接合している面と反対の面は液体加圧室３と対応して、複数の駆動電極２３ｂが設けられている。駆動電極２３ｂは１００個／ｃｍ２以上設けることが可能である。圧電アクチュエータ２１には、駆動電極２３ｂと共通電極２３ａに挟まれた圧電セラミック層２１ｂと流路部材４と接合している圧電セラミック層２１ａが含まれる。圧電セラミック層２１ａは振動板として働く。
【００３４】
駆動電極２３ｂからは接続電極２３ｃがその直下に液体加圧室３のない位置まで引き出されている。
【００３５】
各液体加圧室３の直上の圧電セラミック層２１ａ、共通電極２３ａ、圧電セラミック層２１ｂおよび駆動電極２３ｂは全体で変位素子１１となっており、変位素子１１は液体加圧手段である。
【００３６】
このような液体吐出ヘッド１では、外部回路（図示せず）からの駆動電圧を、接続電極２３ｃを介して駆動電極２３ｂに加えることにより、圧電アクチュエータ２１内の変位素子１１がこの駆動電圧により変位し、液体加圧室３の液体が加圧され、ノズル孔２より液滴が吐出される。
【００３７】
液体加圧室３のマトリクス状の配置は、図示した千鳥状の配置以外に、格子状の配置など、他の２次元的かつ規則的なものでもよい。千鳥状の配置では、各液体加圧室３間の距離を大きくできるので、クロストークを減らすために好ましい。
【００３８】
ノズルプレート４ａは複数のノズル孔２を備えたプレート７の一方の主面に撥水層８が形成されている。撥水層８には複数のノズル孔２にそれぞれ繋がる孔９が開いている。撥水層８のおもて面およびノズル２に繋がる撥水層に形成された孔９の壁面には撥水性樹脂膜１０が形成されている。撥水性樹脂膜１０の膜厚は１００〜３００ｎｍである。
【００３９】
ノズル孔２の大きさは１８〜２４μｍが適正な液滴量と液滴の吐出速度を得る上で好ましく、プレート７の厚みは２０〜７０μｍであるのが好ましい。２０μｍ以下であると製造工程などで壊れやすいため、ノズルプレート４ａ自体の取り扱いが困難であるとともに、ノズル孔２内での圧力伝播がばらつき、液滴の吐出方向の直進性が得られ難いからである。また、７０μｍ以上であると逆にノズル２内壁面での抵抗が大きくなり、吐出速度が低下してしまうおそれがあるからである。
【００４０】
撥水層８の厚みは、０．５〜３μｍであるのが好ましい。０．５μｍ以下であると、メッキ層中の撥水性樹脂の密度を安定して形成することが困難であり、３μｍ以上つけたとしても撥水膜の特性はあまり変わらないため、メッキ厚くするのに無駄につけてしまうことになる。また、厚みが厚いことによってメッキで形成する撥水層８に応力が残り、ノズルプレート４ａに反りが発生してしまう。
【００４１】
このような液体吐出ヘッド１では、ノズル孔２の内部に液体と空気（外部の気体）との界面（メニスカス）が形成されており、このメニスカスの端部は、圧力が加わっていない状態では、ノズル孔２内のプレート７と撥水層８の境界に位置している。変位素子１１により、液体加圧室３の液体が加圧されると、メニスカスは、液体吐出ヘッド１の外側に膨らみ、やがてちぎれて液滴として飛翔し、紙などの記録媒体に着弾し、記録を残すことができる。この際、撥水層８の撥水性が十分でないと、液体が撥水層８から剥がれ難くなるため、液体吐出特性が変わってしまう。液体吐出特性とは、具体的には液滴の飛翔方向や飛翔速度のことである。液体吐出特性が変わると、記録媒体に対する液滴の着弾位置にズレが生じるため、記録の精度が十分でなくなる可能性がある。
【００４２】
また、撥水層８の撥水性が十分であっても、ノズル孔２の微細な形状の差異でも液体吐出特性は変わる。例えば、メニスカスが形成されるノズル孔２の孔の大きさ、撥水層８の形状、主面から見たノズル孔２の孔形状などである。撥水層８の形状は、メニスカスからちきれて飛翔する液滴に与える影響を少なくするため、撥水層８に形成されたノズル孔２から繋がる孔９の形状（ノズルプレート４ａの主面に垂直な方向から見た形状）は、メニスカスが形成されるノズル孔２内のプレート７と撥水層８の境界のノズル孔２の形状と相似でかつ同等の大きさ、またはさらに大きいことが望ましい。相似な形状であることにより、液滴が孔９の特定の方向から力を受け難くなる。大きさが同等、またはさらに大きいことにより、狭くなるような孔と違い液滴が余分な力を受け難くなる。
【００４３】
例えば、ノズル孔２および孔９の形状が円の場合、孔９のノズル孔２側の直径ｒ１およびノズル孔２と反対側の直径ｒ２が、メニスカスが形成されるノズル孔２内のプレート７と撥水層８の境界のノズル孔２の直径ｒＮと同じかそれよりも大きいことが好ましい。
【００４４】
さらに、メニスカスからちきれて飛翔する液滴に与える影響を少なくするため、撥水層８に形成された孔９は、ノズル孔２側の開口径よりノズル孔２と反対側の開口径が大きい方が好ましい。例えば、ノズル孔２および孔９の形状が円の場合、ノズル孔２と反対側の直径ｒ２が、孔９のノズル孔２側の直径ｒ１より大きいことがより好ましい。また、撥水層８の孔９と撥水層８のおもて面の間は、角があるよりも、なめらかな曲線で繋がっていた方が好ましい。
【００４５】
またさらに、ノズル孔２をパンチンクなどで形成する場合には、ノズル孔２の開口径は、打ち抜き金型が入る方の主面から他方の主面に向かって漸次小さくなっていく方が、ノズル孔２のプレート７の主面に垂直な方向から見たノズル孔の形状にばらつきを小さくできる。例えば、ノズル孔２の設計形状が円の場合は、より真円に近い形状になり、孔形状に起因する液体吐出特性のばらつきを低くすることができる。
【００４６】
以上、液体吐出ヘッドおよびノズルプレートについて説明したが、本発明の液体吐出ヘッドおよびノズルプレートは上述の実施形態に限定されるものではない。特に、液体吐出ヘッドについては、液体加圧室は、金属をプレス成形したもの、樹脂を射出成形したものなどでも良い。加圧手段についても同様で、他の圧電方式やヒータの発熱により液体を面沸騰させ、生じた気泡により液滴を吐出するサーマル方式によるものでもよい。
【００４７】
次に、ノズルプレートの製造方法について説明する。図２（ａ）〜（ｇ）は、本発明の一実施例である製造工程の各工程のプレートの部分断面図であり、工程は、図２（ａ）から図２（ｇ）の順で進む。
【００４８】
まず、プレート１０１を準備する。プレート１０１の原料としては、例えばステンレス板、アルミニウム板、モリブデン板などの金属材料、シリコン等の半導体材料またはアルミナや炭化珪素等のセラミックス材料等が挙げられ、特に、導電性を有し、かつ安価で精密加工のできる金属材料を用いることが好ましい。例えばＦｅとＣｒとを主成分とする合金、ＦｅとＮｉとを主成分とする合金、ＷＣとＴｉＣとを主成分とする合金からなる群より選ばれる少なくとも１種によって形成されていることが望ましい。特に、インクを吐出する用途では、インクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましく、ＦｅとＣｒ系とを主成分とする合金がより好ましい。
【００４９】
なお、以下の工程の説明において、最終的に撥水層が形成され、液体吐出ヘッドに組み込まれた際に、液体吐出ヘッドの外部に面する主面をおもて面、その反対の主面を裏面と称する。
【００５０】
まず、工程Ａとしてプレート１０１の主面間を貫通するノズル孔１０２を形成する。図２（ａ）は、工程Ａを終えたプレート１０１である。ノズル孔１０２の形成は、金型による打ち抜き、エッチング、ドリル加工等の方法で行なうことができる。コストを安くできる点では、金型による打ち抜きが好ましい形成方法である。金型による打ち抜きをする場合においては、ノズル孔１０２のプレート１０１の主面に垂直な方向から見た形状を安定した形状で形成するために、ノズル孔１０２が金型の入る側の主面からその反対の主面に向かって漸次小さくなっていく形状に打ち抜くのが好ましい。また、形状を安定させるため、打ち抜きを終わった後、打ち抜かれた側の凸になった部分を研磨して平坦にすることが好ましい。
【００５１】
次に、工程Ｂとしてノズル孔１０２の一方の主面側の一部に充填するように前記プレートの一方の主面に光硬化性樹脂を供給して、光硬化性樹脂膜１０３を形成する。図２（ｂ）は、工程Ｂを終えたプレート１０１である。図２（ｂ）では、フィルム状の光硬化性樹脂膜１０３をプレート１０１のおもて面に貼り付け、光硬化性樹脂膜１０３を加熱するとともに加圧し、軟化した光硬化性樹脂膜１０３の一部をノズル孔１０２の一方の主面側の一部に充填した。ノズル孔１０２内への充填は裏面に達するまで行なわない方が好ましい。そうすることにより、後述するメッキ工程でマスキングしやすくなるとともに、硬化後に光硬化性樹脂膜１０３を取り除きやすくなる。また、光硬化性樹脂膜１０３の形成は、加熱して粘度の下がった樹脂を塗布して行なってもよく、溶剤を混合した光硬化性樹脂膜１０３を塗布し、乾燥して行なってもよい。
【００５２】
光硬化性樹脂膜１０３の供給は裏面側から行なっても良い。その際は、光硬化性樹脂膜１０３はおもて面に達するまで充填する。光硬化性樹脂膜１０３の供給は、おもて面の光硬化性樹脂膜１０３の量や形状が安定するため、おもて面から行なうのが良い。
【００５３】
次に、工程Ｃとしてプレート１０１の裏面側から光を照射し、光硬化性樹脂膜１０３の一部を硬化させる。図２（ｃ）は、工程Ｃ中のプレート１０１である。照射された光によりノズル孔１０２内の光硬化樹脂膜１０３およびノズル孔１０２の直上の光硬化樹脂１０３が硬化する。このとき硬化する光硬化樹脂膜１０３は、ノズル孔１０２のおもて面と同じ形状である。このとき硬化する時間を長くすることにより、ノズル孔１０２の近傍の光硬化性樹脂膜１０３の硬化範囲を、プレート１０１に接する側よりプレート１０１に接しない側で広くすることもできる。このようにすると。メッキ膜１０４に形成された孔のノズル孔１０２と反対側の開口径をノズル孔１０２側の開口径より大きくできるため、好ましい。
【００５４】
次に、工程Ｄとしてプレート１０１から光硬化性樹脂膜１０３のうち未硬化の部分を除去する現像処理を行なう。図２（ｄ）は、工程Ｄを終えたプレート１０１である。未硬化の光硬化性樹脂膜が取り除かれ、硬化した光硬化性樹脂膜１０３−１がノズル孔１０２内およびノズル孔１０２の直上にノズル孔１０２のおもて面と同じ形状で柱状に残る。現像処理は、未硬化の光硬化性樹脂を溶かす現像液で行なう。現像液は、例えばアルカリ水溶液などである。現像処理は、プレート１０１に現像液を吹き付けたり、現像液を満たした槽にプレート１０１を浸漬したりして行なう。
【００５５】
次に、工程Ｅとしてプレート１０１のおもて面に、撥水性樹脂１０６の粒子を含有するメッキ層１０４を形成する。図２（ｅ）は、工程Ｅを終えたプレート１０１であり、図３（ａ）は、図２（ｅ）のＡ部を拡大した部分断面図である。図３（ａ）では硬化した光硬化樹脂１０３−１は省略してある。メッキ層１０４は金属１０５と撥水性樹脂１０６の粒子を含有している。金属１０５は例えばニッケルなどであり、撥水性樹脂１０６はフッ素系高分子樹脂、例えば、ポリテトラフルオロエチレンなどである。このようなメッキ層１０４は、例えば、金属１０５をメッキするメッキ槽中に撥水性樹脂１０６の粒子を分散し、金属１０５が析出する間に撥水性樹脂１０６の粒子が金属１０５の間に付くようして形成される。メッキの際には、プレートの裏面などメッキ層１０４を形成しない部分にはマスキングをしても良い。
【００５６】
なお、メッキ層を形成する際に、図４に示すように、メッキ層２０４のプレート１０１側領域の撥水性樹脂２０６の含有率を、メッキ層１０４のおもて面側領域の撥水性樹脂２０６の含有率より高くしても良い。図４ではメッキ層２０４のうち表面側のメッキ層２０４ｅに対してメッキ層２０４ｄの撥水性樹脂２０６の含有率が高くなっている。このようなメッキ層２０４は、例えば、メッキ層２０４をメッキする間に、メッキ槽中に分散させる撥水性樹脂２０６の粒子の量を変えたり、メッキ条件を変更し、単位時間当たりのメッキ層２０４の形成量を変えたりすることで形成できる。このようなメッキ層２０４では、ノズル孔１０２の内壁に繋がるメッキ層の孔の内壁２０４ｂ、特にメニスカスが形成されるノズル孔１０２内のメッキ層２０４の端部に撥水性樹脂２０６の粒子がより露出し、より確実に撥水性樹脂が形成できる。
【００５７】
また、メッキ層を形成する際に、図５に示すように、ノズル孔１０２直上領域のメッキ層３０４中における撥水性樹脂３０６の含有率を、その外側の領域における撥水性樹脂３０６の含有率より高くしても良い。図５ではメッキ層３０４のうちノズル孔１０２周囲のメッキ層３０４ｆの撥水性樹脂３０６の含有率が、その外側のメッキ層３０４ｇの撥水性樹脂３０６の含有率より高くなっている。このようなメッキ層３０４は、例えば、メッキ槽中のメッキ液の循環する速度を遅くすることにより、硬化した光硬化樹脂１０３−１の周囲に撥水性樹脂３０６の粒子を滞留させることにより形成できる。このようなメッキ層３０４では、ノズル孔１０２の内壁に繋がるメッキ層の孔３０４ｂの内壁に撥水性樹脂３０６の粒子がより露出し、より確実に撥水性樹脂が形成できる。
【００５８】
次に、工程Ｆとしてメッキ層１０４の形成されたプレート１０１から硬化した光硬化性樹脂膜１０３−１を除去する。図２（ｆ）は、工程Ｆを終えたプレート１０１である。除去は、プレート１０１を剥離液に浸漬したり、プレート１０１に剥離液を塗布したりすることで行なう。剥離液は、硬化した光硬化性樹脂膜１０３−１の表面を溶かし、硬化した光硬化性樹脂膜１０３−１とプレート１０１との間に入って、硬化した光硬化性樹脂膜１０３−１を取り除く。剥離液は、光硬化性樹脂膜１０３の種類に対応したもの、例えば水酸化ナトリウム溶液が用いられる。
【００５９】
次に、工程Ｇとしてプレート１０１のメッキ層１０４をエッチングする。図２（ｇ）は、工程Ｇを終えたプレート１０１であり、図３（ｂ）は、図２（ｇ）のＢ部を拡大した部分断面図である。エッチングは、プレート１０１をエッチング液に浸漬したりすることで行なう。エッチング液は、メッキ層１０４中の金属１０５をエッチングし、撥水性樹脂１０６の粒子をメッキ層１０４の表面に露出させる。特にノズル孔１０２に繋がるメッキ層１０４に形成された孔の内壁面１０４ｂは、メッキ層１０４を形成する際に、硬化した光硬化性樹脂膜１０３−１に接していたため、露出した撥水性樹脂１０６の粒子が少ない状態になっているが、エッチングを行なうことにより、メッキ層１０４のおもて面１０４ａと同程度に撥水性樹脂１０６の粒子が露出させることができる。エッチング液は金属１０５の種類に応じたもの、例えばニッケルに対して硝酸等の酸溶液が用いられる。
【００６０】
また、エッチング量を大きくするなどエッチング条件を調整し、メッキ層１０４のおもて面１０４ａとノズル孔１０２に繋がるメッキ層１０４に形成された孔の内壁面１０４ｂとの境界１０４ｃは角が取れ、ノズル孔１０２に繋がるメッキ層１０４に形成された孔はノズル孔１０２側の開口径より、ノズル孔１０２と反対側の開口径が大きくできる。このような形状にすることにより、液体吐出ヘッドに用いた時に液体がノズル孔１０２端の撥水層１０４−１より離れる際のばらつきが少なくなり、液体の吐出特性のばらつきを少なくできる。
【００６１】
次に、工程Ｈとしてエッチングされたプレート１０１のメッキ層１０４に熱を与えてメッキ層１０４のおもて面１０４ａおよびノズル１０２に繋がるメッキ層１０４に形成された孔の壁面１０４ｂに露出する撥水性樹脂１０６を軟化させる。撥水性樹脂１０６は軟化し、メッキ層１０４の表面に濡れ広がり、撥水性樹脂１０６の撥水性樹脂膜が形成される。このようにしてメッキ層１０４は、表面（おもて面およびノズル１０２に繋がる撥水層に形成された孔の壁面）に撥水性樹脂１０６の撥水性樹脂膜が形成された撥水層となる。
【００６２】
なお、工程Ｆと工程Ｇは順序を逆にして行なっても良い。すなわち、工程Ｅの後で、工程Ｉとしてエッチング工程を行ない、その後工程Ｊとして硬化した感光性樹脂膜１０３−１を除去する工程を行ない、さらに、工程Ｋとして撥水性樹脂１０６を軟化させる工程を行なっても良い。各工程の条件は、上述の同工程と同じでよい。エッチング工程では、エッチング液はメッキ層１０４と硬化した感光性樹脂膜１０３−１の間に入り込み、エッチングが行なわれる。
【００６３】
以上のようにして作成された液体吐出ヘッド用ノズルプレートを用いた液体吐出ヘッドは、例えば以下のようにして作製する。ここでは図１（ａ）に示した液体吐出ヘッドを作製する例を示す。
【００６４】
ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミックスと有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極２３ａとなる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を挿入する。
【００６５】
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後有機金ペーストを用いて焼成体表面に駆動電極２３ｂを印刷して焼成した後、Ａｇペーストを用いて接続電極２３ｃを印刷し、焼成することにより、圧電アクチュエータ２１を作製する。
【００６６】
次に、流路部材４は、圧延法等により得られプレート４ａ〜４ｉを積層して作製する。プレート４ａは上述の製造方法により作製されたノズルプレートであり、プレート４ｂ〜４ｉは、液体加圧室３および液体流路５が形成されるように、エッチングにより所定の形状に加工される。
【００６７】
これらプレート４ａ〜４ｉは、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。
【００６８】
圧電アクチュエータ２１と流路部材４とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ２１や流路部材４への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ２１と流路部材４とを加熱接合することができる。
【００６９】
この後必要に応じて圧電アクチュエータ上２１と外部回路とを電気的に接続するために、接続電極２３ｃにフレキシブルフラットケーブルなどを接合し、液体吐出ヘッド得る。
【実施例】
【００７０】
図１（ａ）〜（ｃ）に示した液体吐出ヘッドを作製した。すなわち、平均粒径が０．５μｍのＰｂＺｒＴｉＯ３系粉末を、バインダおよび有機溶剤とともに混合して圧電材料のスラリーを調合し、しかる後に、得られたスラリーを用いてロールコータ法で厚み３０μｍのグリーンシートを作製した。
【００７１】
一方、Ａｇ−Ｐｄ粉末を、混合比が質量比でＡｇ：Ｐｄ＝７：３となるように配合し、有機粘結剤と溶媒とを所定量混合して導電性ペーストを調製した。
【００７２】
次に、この導電性ペーストを塗布したグリーンシートと電極ペーストを塗布していないグリーンシートとを積層し、熱を加えて圧着して母体積層体を形成し、この母体積層体を切断して積層体を形成し、酸素雰囲気中、１０００℃で２時間保持して焼成を行なって、圧電アクチュエータ本体を形成した。
【００７３】
次に、この圧電アクチュエータ本体の一方の表面にＡｕを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷して７５０℃で焼付けを行なって駆動電極２３ｂを形成した。
【００７４】
さらに、Ａｇを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷して６００℃で焼付けを行なって外部回路との電気的に接続される接続電極２３ｂを形成し、圧電アクチュエータ２１を完成させた。
【００７５】
次に、Ｆｅ−Ｃｒ系の合金を圧延法により厚さ３０μｍにし、所定寸法に打ち抜いてプレート１０１を作製し、裏面から金型による打ち抜きを行ない複数のノズル孔１０２を形成した。ノズル孔１０２の形状は、裏面側が直径２０μｍ、おもて面側が直径４０μｍの円形とし、その間の内壁は、それらを直線でむすんだものにした。おもて面側は、打ち抜き後研磨して平坦化した。
【００７６】
次に、フィルム状の光硬化性樹脂膜１０３をプレート１０１のおもて面に貼り付け、光硬化性樹脂膜１０３に熱を加えるとともに加圧し、軟化した光硬化性樹脂膜１０３の一部をノズル孔１０２の一部に充填した。
【００７７】
次に、プレート１０１の裏面側から光を照射し、ノズル孔１０２内の光硬化樹脂１０３およびノズル孔１０２の直上のノズル孔１０２のおもて面と同じ断面形状で柱状の光硬化樹脂１０３を硬化させた。
【００７８】
次に、アルカリ水溶液をプレート１０１に吹き付け光硬化性樹脂膜１０３のうちで未硬化の部分を除去し、現像した。
【００７９】
次に、プレート１０１の裏面がメッキされないようにマスキングした上で、撥水性樹脂であるポリテトラフルオロエチレンの平均粒径０．２μｍの粒子を分散した、ニッケルを析出させるメッキ液に入れ、プレート１０１のおもて面に金属１０５とポリテトラフルオロエチレンの粒子を含有している厚さ１μｍのメッキ層１０４を形成した。
【００８０】
次に、プレート１０１を剥離液である２％の水酸化ナトリウム溶液に入れ、硬化した光硬化性樹脂膜１０３−１を除去した。
【００８１】
次に、プレート１０１のメッキ層１０４を２％の硝酸溶液でエッチングした。
【００８２】
次に、プレート１０１のオーブンに入れ、３５０℃、３０分加熱し、撥水性樹脂であるポリテトラフルオロエチレンを軟化させてメッキ層１０４のおもて面に、ポリテトラフルオロエチレンの撥水性樹脂膜を形成して、ノズルプレート４ａを得た。
【００８３】
次に、Ｆｅ−Ｃｒ系の合金を圧延法によりプレート状にし、液体加圧室３および液体流路５が形成できるようエッチングにより所定形状に加工し、プレート４ｂ〜４ｉを作製した。プレート４ａ〜４ｉを、エポキシ樹脂で接合して流路部材４を作製し、さらにエポキシ系接着剤で圧電アクチュエータ２１を接合し、液体吐出ヘッドを作製した（液体吐出ヘッドＮｏ．１）。
【００８４】
また、メッキ層の形成途中でメッキを行なうメッキ槽を変えて、図４に示したようにメッキ層のプレート側の撥水性樹脂の含有率を、メッキ層の表面側の撥水性樹脂の含有率より高くしたノズルプレートを用いて液体吐出ヘッドを作製した（液体吐出ヘッドＮｏ．２）。
【００８５】
また、メッキを行なうメッキ槽におけるメッキ液の攪拌条件を変え、メッキ液の循環速度を低くし、図５に示したように前記ノズル孔周囲のメッキ層中における前記撥水性樹脂の粒子の含有率を、その外側における前記撥水性樹脂の粒子の含有率より高くしたノズルプレートを用いて液体吐出ヘッドを作製した（液体吐出ヘッドＮｏ．３）。
【００８６】
また、エッチング量を大きくし、図３（ｂ）に示したように、ノズル孔と反対側の開口径が、孔のノズル孔側の開口径より大きくしたノズルプレートを用いて液体吐出ヘッドを作製した（液体吐出ヘッドＮｏ．４）。
【００８７】
また、エッチング工程を行なっていないノズルプレートを用いて液体吐出ヘッドを作製した（液体吐出ヘッドＮｏ．５）。
【００８８】
各ノズルプレートの撥水膜の厚さを、オージェ電子分光分析を用いて測定した。この際、膜厚は、表面に膜状に分布しているフッ素の分布の厚さを膜厚とした。
【００８９】
各ノズルプレートの撥水層に形成されたノズル孔に繋がる孔の内壁の撥水膜の厚さは次の通りであった。液体吐出ヘッドＮｏ．１では１００ｎｍ、液体吐出ヘッドＮｏ２ではノズル孔側では１５０ｎｍ、ノズル孔と反対側では１００ｎｍ、液体吐出ヘッドＮｏ．３では１５０ｎｍ、液体吐出ヘッドＮｏ．４では１００ｎｍ、液体吐出ヘッドＮｏ．５では５０ｎｍであった。
【００９０】
各ノズルプレートの主面の撥水膜の厚さは、いずれのノズルプレートでも１００ｎｍであった。ただし、液体吐出ヘッドＮｏ．３ではノズル孔の近傍は１５０ｎｍであり、ノズル孔の間では１００ｎｍであった。
【００９１】
本発明のノズルプレートを用いた液体吐出ヘッドＮｏ．１〜４は、ノズル孔毎のばらつきの少ない良好な吐出特性を示した。特に、液体吐出ヘッドＮｏ．４は、ばらつきが少なくなった。
【００９２】
また、液体吐出ヘッドＮｏ．２ノズル孔の撥水性樹脂膜は、図４の２０４ｅ部よりも２０４ｄ部の方が厚く形成されており、ノズルプレートの製造条件がばらついたり、液体吐出ヘッドを使用する際に撥水層の劣化が生じたりした際にも、撥水性樹脂膜の撥水性が保たれると考えられる。
【００９３】
また、液体吐出ヘッドＮｏ．３ノズル孔の撥水性樹脂膜は、図５の３０４ｂ部よりも３０４ａ部の方が厚く形成されており、ノズルプレートの製造条件がばらついたり、液体吐出ヘッドを使用する際に撥水性樹脂膜の劣化が生じたりした際にも、撥水層の撥水性が保たれると考えられる。
【００９４】
これに対して本発明のノズルプレートを用いていない液体吐出ヘッドＮｏ．５は、吐出がばらつくノズル孔があり、撥水性樹脂膜の形成が不十分であった。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】（ａ）本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態の部分縦断面図である。（ｂ）同液体吐出ヘッドの上面図である。（ｃ）本発明のノズルプレートのノズル孔付近の部分拡大断面図である。
【図２】本発明のノズルプレートの製造方法の一実施形態を示す各工程での部分縦断面図である。
【図３】図２（ｇ）のエッチング工程の詳細を示すノズルプレートの部分縦断面図である。
【図４】本発明のノズルプレートの製造方法の他の実施形態におけるメッキ工程後のノズルプレートの部分縦断面図である。
【図５】本発明のノズルプレートの製造方法の他の実施形態におけるメッキ工程後のノズルプレートの部分縦断面図である。
【図６】参考例のノズルプレートの製造方法におけるメッキ工程後のノズルプレートの部分縦断面図である。
【図７】別の参考例のノズルプレートの製造方法におけるメッキ工程後のノズルプレートの部分縦断面図である。
【図８】従来のノズルプレートの製造方法を示す各工程でのノズルプレートの部分縦断面図である。
【図９】従来の他のノズルプレートの製造方法を示す各工程でのノズルプレートの部分縦断面図である。
【符号の説明】
【００９６】
１・・・液体吐出ヘッド
２・・・ノズル孔
３・・・インク加圧室
４・・・流路部材
４ａ・・・液体吐出ヘッド用ノズルプレート
４ｂ〜４ｉ・・・プレート
５・・・液体流路
７・・・プレート
８・・・撥水層（メッキ層）
９・・・孔
１０・・・撥水性樹脂膜
１１・・・インク加圧手段
２１・・・圧電アクチュエータ
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層（圧電体層）
２３ａ・・・共通電極
２３ｂ・・・駆動電極
２３ｃ・・・接続電極
１０１・・・プレート
１０２・・・ノズル孔
１０３・・・感光性樹脂膜
１０３−１・・・硬化した感光性樹脂膜
１０４、２０４、３０４・・・メッキ層
１０４ａ、２０４ａ、３０４ａ・・・プレートおもて面側のメッキ層表面
１０４ｂ、２０４ｂ、３０４ｂ・・・ノズル孔に繋がるメッキ層に形成された孔の内壁面
１０４ｃ・・・プレートおもて面側のメッキ層表面とノズル孔に繋がるメッキ層に形成された孔の内壁面との境界
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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