(57)【要約】【課題】圧力発生室毎に複数のノズル開口を開設しても液体の吐出性を向上させることが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッド用ノズルプレート、パンチ、及び、金属板材の製造方法を提供する。【解決手段】圧力室１７それぞれには、複数のノズル開口１０，１０を配し、各圧力室１７におけるノズル開口１０，１０同士を、ノズルプレート１３の板厚Ｄの範囲内で形成した区画壁２７により区画し、区画壁２７の圧力室１７側の頂部２８ａをノズルプレート１３の圧力室１７側表面１３ａより低く位置させると共に、区画壁２７の圧力室１７側の頂部２８ａから区画壁２７の壁面に続く面を、圧力室７に向かって湾曲した曲面２８によって構成することで、圧力室１７側からノズル開口１０，１０内を通過する際のインクの流路抵抗を緩和させる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口を複数個列設したノズル列を複数並べて形成したノズル形成部材と、
前記ノズル開口に連通するように設けられた圧力発生室を形成した流路形成基板と、
前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子と、を備え、
圧力変動によって前記ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドであって、
前記圧力発生室それぞれには、複数のノズル開口を配し、各圧力発生室におけるノズル開口同士を、前記ノズル形成部材の板厚の範囲内で形成した区画壁により区画し、
前記区画壁の圧力発生室側端部を、前記ノズル形成部材の圧力発生室側表面より低く位置させると共に、区画壁の前記圧力発生室側の端部から区画壁の壁面に続く面を、当該圧力発生室に向かって湾曲した曲面によって構成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記ノズル形成部材をインバー型合金製のプレートから構成したことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ノズル開口を、前記圧力発生室側からその反対側の吐出面側に向かって徐々に細くなるテーパ部と、当該テーパ部の吐出面側と連なる筒状のストレート部と、により構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
一方の面から他方の面に向かって貫通したノズル開口が複数形成され、
圧力変動によって複数のノズル開口から液滴を同時に吐出させる液体噴射ヘッド用ノズルプレートであって、
同時に吐出するノズル開口同士をノズルプレートの板厚の範囲内で形成した区画壁により区画し、
前記区画壁のノズルプレートの一方の面側の端部を、ノズルプレートの一方の面より低く位置させると共に、区画壁の前記一方の面側の端部から区隔壁の壁面に続く面を、当該一方の面に向かって湾曲した曲面によって構成したことを特徴とする液体噴射ヘッド用ノズルプレート。
【請求項５】
金属板材に孔を開設するパンチであって、
パンチ本体の先端に形成されて前記金属板材内に打ち込まれる複数の打ち込み部と、当該打ち込み部の間に設けられ、表面が曲面で構成されて当該打ち込み部同士を繋げた連結部と、を備え、
前記金属板材に開設される孔同士の間に前記連結部の曲面形状を転写することを特徴とするパンチ。
【請求項６】
前記打ち込み部は、先端に向かって徐々に細くなるテーパ部と、該テーパ部の先端に形成された筒状のストレート部と、を備えたことを特徴とする請求項５に記載のパンチ。
【請求項７】
パンチを用いて金属板材に孔を開設する金属板材の製造方法であって、
前記パンチは、パンチ本体の先端に形成されて前記金属板材内に打ち込まれる複数の打ち込み部と、当該打ち込み部の間に設けられ、表面が曲面で構成されて当該打ち込み部同士を繋げた連結部と、を備え、
前記パンチを前記金属板材に打ち込むことで、前記連結部の曲面形状を前記金属板材に転写することを特徴とする金属板材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッド用ノズルプレート、パンチ、及び、金属板材の製造方法に係り、特に、微細な貫通孔を開設した液体噴射ヘッド用ノズルプレートを作製するのに適したものである。
【背景技術】
【０００２】
圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（プリンタ）等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
【０００３】
例えば、上記の記録ヘッドは、中空状の圧力発生室を封止する弾性板に圧力発生素子を接合し、圧力発生素子を該圧力発生素子の長手方向に振動させることで、圧力発生室に圧力変動を与え、圧力発生室と連通したノズル開口から圧力発生室内の液体を吐出させている。
【０００４】
このようなノズル開口は、例えば、記録ヘッドをプリンタに用いる場合には、吐出対象物としての記録紙への諧調性を上げるために、圧力発生室毎に複数設けられていることがあり、圧力発生室に圧力変動を与えることで、この圧力発生室に連通したノズル開口から複数同時に液滴を吐出させるように構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３０５９４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、液体噴射ヘッドの小型化や吐出性能を向上させるために、ノズル開口を開設したノズルプレートを薄くすることが望まれている。しかしながら、その反面、薄過ぎるとノズルプレートのハンドリング（取り扱い）が難しくなってしまう虞があった。また、ノズルプレートの厚みを増したり、或いは、ハンドリングを抑制しない程度の厚みのノズルプレートに微細なノズル開口を開設したとしても、圧力発生室毎に複数のノズル開口を単に開設しただけでは、液体を吐出させる際の流路抵抗が大きくなってしまい、これに起因して吐出特性が劣化する虞があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧力発生室毎に複数のノズル開口を開設しても液体の吐出性を向上させることが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッド用ノズルプレート、パンチ、及び、金属板材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、ノズル開口を複数個列設したノズル列を複数並べて形成したノズル形成部材と、
前記ノズル開口に連通するように設けられた圧力発生室を形成した流路形成基板と、
前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子と、を備え、
圧力変動によって前記ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドであって、
前記圧力発生室それぞれには、複数のノズル開口を配し、各圧力発生室におけるノズル開口同士を、前記ノズル形成部材の板厚の範囲内で形成した区画壁により区画し、
前記区画壁の圧力発生室側端部を、前記ノズル形成部材の圧力発生室側表面より低く位置させると共に、区画壁の前記圧力発生室側の端部から区画壁の壁面に続く面を、当該圧力発生室に向かって湾曲した曲面によって構成したことを特徴とする。
なお、圧力発生室に向かって湾曲した曲面とは、突出する先端が圧力発生室に向かった状態で形成されている曲面を意味する。
【０００９】
上記構成によれば、圧力発生室それぞれには、複数のノズル開口を配し、各圧力発生室におけるノズル開口同士を、ノズル形成部材の板厚の範囲内で形成した区画壁により区画し、区画壁の圧力発生室側表面を、ノズル形成部材の圧力発生室側表面より低く位置させると共に、区画壁の圧力発生室側の端部から区画壁の壁面に続く面を、圧力発生室に向かって湾曲した曲面によって構成したので、ノズル開口を１つの圧力発生室に対して複数開設したとしても、圧力発生室側からノズル開口内を通過する際の液体の流路抵抗を緩和させることができ、小径によるイナータンスの増加を抑制して、安定した周波数で液体を吐出させることができる。この結果、複数のノズル開口それぞれから安定的に液体を吐出させることができ、液体の吐出性を向上させることができる。
【００１０】
上記構成において、前記ノズル形成部材をインバー型合金製のプレートから構成することが望ましい。
【００１１】
上記構成によれば、ノズル形成部材の線膨張係数を、流路形成基板の線膨張係数に対して揃えることで、ノズル形成部材と流路形成基板とを接合する際に、熱硬化性樹脂等を用いて加熱接合した後に室温に戻ったとしても、部材同士の剥離や破損を防止と共に、ノズル形成部材の反りの発生を抑制することができる。
【００１２】
上記構成において、前記ノズル開口を、前記圧力発生室側からその反対側の吐出面側に向かって徐々に細くなるテーパ部と、当該テーパ部の吐出面側と連なる筒状のストレート部と、により構成することが望ましい。
【００１３】
上記構成によれば、ノズル開口を、圧力発生室側からその反対側の吐出面側に向かって徐々に細くなるテーパ部と、テーパ部の吐出面側と連なる筒状のストレート部と、により構成したので、圧力発生室側からの液体がノズル開口内を効率良く通過でき、液体の吐出性をより向上させることができる。
【００１４】
また、本発明の液体噴射ヘッド用ノズルプレートは、一方の面から他方の面に向かって貫通したノズル開口が複数形成され、
圧力変動によって複数のノズル開口から液滴を同時に吐出させる液体噴射ヘッド用ノズルプレートであって、
同時に吐出するノズル開口同士をノズルプレートの板厚の範囲内で形成した区画壁により区画し、
前記区画壁のノズルプレートの一方の面側の端部を、ノズルプレートの一方の面より低く位置させると共に、区画壁の前記一方の面側の端部から区隔壁の壁面に続く面を、当該一方の面に向かって湾曲した曲面によって構成したことを特徴とする。
【００１５】
上記構成によれば、一方の面から他方の面に向かってノズル開口内を通過する際の液体の流路抵抗を緩和させることができ、小径によるイナータンスの増加を抑制して、安定した周波数で液体を吐出させることができる。
【００１６】
また、本発明のパンチは、金属板材に孔を開設するパンチであって、
パンチ本体の先端に形成されて前記金属板材内に打ち込まれる複数の打ち込み部と、当該打ち込み部の間に設けられ、表面が曲面で構成されて当該打ち込み部同士を繋げた連結部と、を備え、
前記金属板材に開設される孔同士の間に前記連結部の曲面形状を転写することを特徴とする。
【００１７】
上記構成によれば、パンチ本体の先端に形成されて金属板材内に打ち込まれる複数の打ち込み部と、打ち込み部の間に設けられ、表面が曲面で構成されて打ち込み部同士を繋げた連結部と、を備え、金属板材に開設される孔同士の間に連結部の曲面形状を転写するので、ノズル開口を１つの圧力発生室に対して複数開設したとしても、金属板材の厚みのうち、パンチによって開設される孔の間の厚みのみを薄くすることができると共に、孔同士をパンチ打ち込み方向の反対側に向かって湾曲した曲面によって繋げることができる。
【００１８】
上記構成において、前記打ち込み部は、先端に向かって徐々に細くなるテーパ部と、該テーパ部の先端に形成された筒状のストレート部と、を備えることが望ましい。
【００１９】
上記構成によれば、打ち込み部は、先端に向かって徐々に細くなるテーパ部と、テーパ部の先端に形成された筒状のストレート部と、を備えるので、金属板材へのパンチの打ち込みを容易に行うことができる。
【００２０】
また、本発明の金属板材の製造方法は、パンチを用いて金属板材に孔を開設する金属板材の製造方法であって、
前記パンチは、パンチ本体の先端に形成されて前記金属板材内に打ち込まれる複数の打ち込み部と、当該打ち込み部の間に設けられ、表面が曲面で構成されて当該打ち込み部同士を繋げた連結部と、を備え、
前記パンチを前記金属板材に打ち込むことで、前記連結部の曲面形状を前記金属板材に転写することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明において被加工材である金属板材として、インクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッドの一種。以下、単に記録ヘッド１という。）に用いられるノズルプレート（本発明におけるノズル形成部材に相当。）を例示する。
【００２２】
まず、記録ヘッド１の構成について説明する。
図１は、記録ヘッド１の構成を説明する要部の断面図である。この記録ヘッド１は、インク導入針２、フィルタ３、及び導入針ユニット４等からなるフィルタアッセンブリ５と、ヘッドケース６、その内部に収納した振動子ユニット７、及び、流路ユニット８等からなるヘッドユニット９とを備えて概略構成されている。そして、記録ヘッド１の内部には、液体供給源の一種であるインクカートリッジから流路ユニット８のノズル開口１０に至るまでの一連のインク流路（液体流路の一種）が形成されている。
【００２３】
流路ユニット８は、図２に示すように、振動板１１、流路形成基板１２、及びノズルプレート１３を順次積層した状態でケースヘッド６の先端面に接合されている。
【００２４】
振動板１１は、流路形成基板１２とヘッドケース６との間に配置される板材であり、ステンレス鋼等の金属製の支持板２１上に弾性フィルム２２をラミネート加工した二重構造の複合板である。この振動板１１の圧力室１７に対応する部分には、エッチングなどによって支持板２１を環状に除去することで、圧電振動子１８（本発明における圧力発生素子に相当）の自由端の先端面を接合するための島部１９が形成されており、この部分はダイヤフラム部として機能する。即ち、この振動板１１は、圧電振動子１８の作動に応じて島部１９の周囲の弾性フィルム２２が弾性変形するように構成されている。また、この振動板１１は、流路形成基板１２の共通インク室１５の開口面を封止してコンプライアンス部２０としても機能する。このコンプライアンス部２０に相当する部分についてはダイヤフラム部と同様にエッチングなどにより支持板２１を除去して弾性フィルム２２だけにしている。
【００２５】
流路形成基板１２は、ノズルプレート１３と振動板１１との間に配置される部材であり、共通液体室の一種である共通インク室１５、インク供給口１６、圧力室１７（本発明における圧力発生室に相当）等のインク流路となる空部が区画形成されている。流路形成基板１２は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製される。そして、前記した空部は、ノズルプレート１３及び振動板１１によりそれぞれ開口面が封止される。
【００２６】
流路ユニット８の底部に配置されるノズルプレート１３は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば、７２０ｄｐｉ）で複数のノズル開口１０を列状に開設した薄い金属板である。本実施形態のノズルプレート１３は、ステンレス鋼製の板材（本発明の金属板材に相当）によって作製され、ノズル開口１０の列（ノズル列）が記録ヘッド１の走査方向に複数並べて設けられている。そして、１つのノズル列は、例えば、７２０個のノズル開口１０によって構成されている。このノズルプレート１３の作製方法については、後で詳説する。
【００２７】
なお、ノズルプレート１３は、例えば、厚みが３０〜１００μｍ程度で、４２Ａｌｌｏｙなどの前述した流路形成基板１２と略線膨張係数の等しいインバー型合金から作製しても良く、この場合はニッケル含有量を変化させることで、線膨張係数が流路形成基板１２に近づくように設定されている。これにより、流路形成基板１２とノズルプレート１３とを、熱硬化性樹脂等を用いて２００℃〜３００℃で加熱して接合した後に室温に戻るときに、ノズルプレート１３が反ることを防止され、ノズルプレート１３が流路形成基板１２から剥離することを抑制される。
【００２８】
ノズル開口１０は、図３に示すように、ノズルプレート１３を板厚方向に貫通した孔であって、テーパ部２４と、ストレート部２５と、により構成されている。テーパ部２４は、ノズルプレート１３の圧力室１７側の表面１３ａからその反対側の表面（以下、インク吐出面１３ｂという）に向かって徐々に細くなるように形成されている。ストレート部２５は、一方の端部がテーパ部２４の吐出面１３ｂ側の端部と連なり、他方の端部が吐出面１３ｂに至る筒状に形成されている。
【００２９】
このようなノズル開口１０は、圧力室１７毎に複数（本実施形態では、１つの圧力室に対してノズル開口が２つ）が位置付けられるように配されている。各圧力室１７におけるノズル開口１０，１０同士は、ノズルプレート１３の厚みの範囲内にノズル開口の軸方向と平行にするように形成された区画壁２７によって隔てられている。また、この区画壁２７の圧力室１７側の端部から区画壁２７の壁面に続く面は、圧力室１７に向かって湾曲（膨出）した曲面２８によって構成されており、その頂部２８ａは、ノズルプレート１３の圧力室１７側表面（表面３１ａ）よりも低くなるように形成されている。即ち、曲面２８がそれぞれのノズル開口１０，１０同士を連続的な曲線で繋いでおり、区画壁２７の板厚方向の厚み（図３中に符号ｔで示す）は、ノズルプレート１３の厚み（図３中に符号Ｄで示す）より薄くなるように形成されている。このため、区画壁２７は、圧力室１７からノズル開口１０，１０内を通過する際のインクの流路抵抗を、従来の（ストレートな）ノズル開口に比べて、低く抑えることができる。
【００３０】
前記した構成からなる記録ヘッド１は、圧電振動子１８の作動により圧力室１７内に圧力変動を与えると、インクカートリッジからインク流路を介して圧力室１７内に導入したインクをノズル開口１０，１０からインク滴として吐出することができ、このインク滴を記録媒体である記録紙等に着弾することにより画像等を記録することができる。
【００３１】
次に、本発明に係るパンチ３６を備えたプレス装置３０のパンチ塑性加工によりノズルプレート１３を作製する方法を、図４〜図６に基づいて説明する。図４は、プレス装置３０の構成を説明する要部断面図である。
プレス装置３０は、ノズルプレート１３の材料である金属板（板材）３１を載せるダイ３２と、ラム（図示せず）の下面に取り付けるベース３３と、このベース３３の下にスプリングやエラストマ等の弾性材３４を介してベース３３に対して上下動可能な状態で設けた押圧盤３５と、ベース３３に基端を固定して下向きに設けられたパンチ３６と、から概略構成している。
【００３２】
金属板３１は、例えば、厚みが３０〜１００μｍ程度で、４２Ａｌｌｏｙなどの前述した流路形成基板１２と線膨張係数が略等しいインバー型合金からなり、ニッケル含有量を変化させることで、線膨張係数が流路形成基板１２に近づくように設定されている。これにより、流路形成基板１２と金属板３１とを、熱硬化性樹脂等を用いて２００℃〜３００℃で加熱して接合した後に室温に戻るときに、ノズルプレート１３が反ることを防止され、ノズルプレート１３が流路形成基板１２から剥離することを抑制される。
【００３３】
ダイ３２は、金属板３１に形成しようとする孔（パンチ孔）４０（図６参照）の径よりも大きいパンチ挿入孔４１を開設しており、雄型のパンチ３６に対する雌型として機能する。押圧盤３５は、パンチ３６の径よりも大きい貫通ガイド孔４２が形成されており、その貫通ガイド孔４２内に、パンチ３６の途中から先端までの部分を挿通させる。
【００３４】
パンチ３６は、図４及び５に示すように、ベース３３（基端）側のパンチ本体４５と、その先端側に配された複数（図５中では２つ）の打ち込み部４６と、これらの打ち込み部４６同士の間に設けられた連結部４７と、を備えている。パンチ本体４５は、外径が２０〜３０μｍで、パンチ３６の打ち込み方向（図５中に矢印Ｋで示す）に沿った円柱形に形成されている。打ち込み部４６は、パンチ本体４５の先端側の端部に配されたテーパ部４８と、その先端側に配される筒状のストレート部４９と、を備えている。テーパ部４８は、矢印Ｋ（先端側）に向かうに従って徐々に外径が細くなった略円錐形に形成されている。ストレート部４９は、その先端面が平坦になるように形成されている。連結部４７は、パンチ３６の先端側の表面が矢印Ｋの反対方向に向って湾曲した曲面５０で形成されており、この曲面５０によって打ち込み部４６同士を繋げている（連結している）。なお、パンチ３６は、金属板３１への打ち込み深さを、曲面５０形状を転写する位置に設定されている。
【００３５】
そして、前記した構成からなるプレス装置３０を使用してパンチング加工（工程）を行う場合について説明する。なお、ダイ３２はプレス装置３０の図示しないボルスタ等の支持盤上に固定され、ベース３３はラムの下面に固定され、ダイ３２とベース３３（パンチ３６）との相対位置やパンチ３６の下死点調整などの型調整はすべて終了していることとする。
【００３６】
まず、ダイ３２の上に４２Ａｌｌｏｙなどの金属板３１を所定位置に載せ、図４に示すように、パンチ３６に設けられた一対の打ち込み部４６の（ストレート部４９の）先端が金属板３１に向かった状態でベース３３を下降させる。すると、押圧盤３５の下面が、金属板３１の表面に当接して、その後、弾性材３４の付勢力に抗しながらベース３３をさらに下方に押し下げると、押圧盤３５の貫通ガイド孔４２に案内されて、パンチ３６の打ち込み部４６がストレート部４９から順にテーパ部４８に至るまで（金属板３１の板厚Ｄの途中まで）金属板３１に押し込まれ、これにより金属板３１に図６に示すような一対の孔４０，４０が形成される。
【００３７】
この際に、パンチ３６の進入により金属板３１の肉が主として裏面３１ｂ側に押し退けられて、パンチ３６のテーパ部４８及びストレート部４９の形状が金属板３１に転写され、孔４０にはパンチ３６の外形よりも僅かに大きいテーパ部２４及びストレート部２５が形成される。また、パンチ３６の連結部４７の曲面５０によって孔４０の間の肉が押し退けられて、孔４０，４０の間に矢印Ｋの反対方向に向かって湾曲した曲面２８によって構成された区画壁２７が形成される。そのため、曲面２８の頂部２８ａは、金属板３１の板厚Ｄの範囲内に位置付けられている。即ち、区画壁２７の表面が金属板３１の表面３１ａ（本発明における一方の面に相当）よりも低くなるように形成され、区画壁２７の矢印Ｋ方向の厚みｔは、金属板３１の板厚Ｄよりも薄くなっている。このように、裏面３１ｂ（本発明における他方の面に相当）側に金属板３１の肉を押し退けることによって、裏面３１ｂに隆出部（図示せず）を形成する。
【００３８】
こうして、金属板３１には、パンチ３６の外形と同形の孔４０が形成される。なお、図６における金属板３１に形成される孔４０は、後述する研磨工程によって隆出部を除去することで、金属板３１の一方の面３１ａから他方の面３１ｂに至るまで貫通した状態となっている。
【００３９】
なお、パンチ３６が下死点まで下降して金属板３１にロート状の孔４０を形成すると、その後は上昇に転じる。そして、ラムの上昇に伴ってベース３３が上昇すると、弾性材３４の復元により押圧盤３５がベース３３よりも少し遅れて上昇を開始し、金属板３１の表面３１ａから離隔して上死点まで上昇する。これで打ち抜きの一工程を終了する。
【００４０】
そして、次の工程のために金属板３１をフィーダーにより所定のピッチだけ移動する。この移動が終了したならば、前記したパンチング工程を再度繰り返すことにより金属板３１に次の孔４０を所定のピッチで開設することができ、これらの操作を繰り返すと、金属板３１に孔４０を所定のピッチで順次開設することができる。
【００４１】
パンチング工程が終了したならば、金属板３１をプレス装置３０から外して、次の隆出部除去工程を行う研磨装置（図示せず）に搬送する。この隆出部除去工程ではパンチング工程で金属板３１の裏面３１ｂに隆出した隆出部を研磨して除去することで、図６に示すように、孔４０を貫通させてノズル開口１０にすると共に、金属板３１の厚さを所定の厚さ（板厚Ｄ）になるように研磨する。こうして、ノズル開口１０が開設されたノズルプレート１３が作製される。
【００４２】
このように、上記記録ヘッド１では、圧力室１７それぞれには、一対（複数）のノズル開口１０を配し、各圧力室１７におけるノズル開口１０，１０同士を、ノズルプレート１３の板厚Ｄの範囲内で形成した区画壁２７により区画し、区画壁２７の矢印Ｋに沿った厚みｔを板厚Ｄよりも薄くすると共に、区画壁２７の圧力室１７側の頂部２８ａから区画壁の壁面に続く面を、圧力室１７に向かって湾曲した曲面２８によって構成したので、微細なノズル開口１０を１つの圧力発生室１７に対して複数開設したとしても、圧力室１７側からノズル開口１０内を通過する際のインクの流路抵抗を緩和させることができ、小径によるイナータンスの増加を抑制して、安定した周波数でインクをノズル開口１０，１０から吐出させることができる。この結果、複数の微細なノズル開口１０それぞれから安定的にインクを吐出させることができ、インクの吐出性を向上させることができる。
【００４３】
また、ノズル開口１０を、ノズルプレート１３の圧力室１７側の表面１３ａから吐出面１３ｂ側に向かって徐々に細くなるテーパ部２４と、テーパ部２４の吐出面１３ｂ側と連なる筒状のストレート部２５と、により構成したので、圧力室１７側からのインクがノズル開口１０内を効率良く通過でき、インクの吐出性をより向上させることができる。
【００４４】
また、上記パンチ３６では、パンチ本体４５の先端に形成されて金属板３１内に打ち込まれる一対の打ち込み部４６と、打ち込み部４６の間に設けられ、表面が曲面５０で構成されて打ち込み部４６同士を繋げた連結部４７と、を備え、金属板３１に開設される孔４０同士の間に連結部４７の曲面５０形状を転写するので、金属板３１の厚みＤのうち、パンチ３６によって開設される孔４０の間の厚みｔを薄くすることができると共に、孔４０同士を矢印Ｋの反対側に向かって湾曲した曲面２８によって繋げることができる。また、打ち込み部４６が複数設けられているので、金属板３１に多数の孔４０を同時に開設することができる。
【００４５】
また、打ち込み部４６は、先端に向かって徐々に細くなるテーパ部４８と、テーパ部４８の先端に形成された筒状のストレート部４９と、を備えるので、金属板３１へのパンチ３６の打ち込みを容易に行うことができる。
【００４６】
次に、パンチング工程の他の実施形態について説明する。
図７は、他の実施形態にかかるパンチング工程の説明図であり、（ａ）はパンチの斜視図、（ｂ）は金属板に開設された１つ目の孔の断面図であり、（ｃ）はその平面図、（ｄ）は金属板に開設された２つ目の孔の断面図であり、（ｅ）はその平面図である。この実施形態におけるパンチ３６´は、パンチ本体４５の先端側に打ち込み部４６が１つだけ設けられている。そして、この打ち込み部４６は、前述した実施形態と同様のストレート部４９及びテーパ部４８を備えている。
【００４７】
まず、このパンチ３６´を金属板３１に打ち込んで、図７（ｂ）及び（ｃ）に示すように、打ち込み部４６の形状を転写して、１つ目の孔４０ａを開設する。そして、フィーダーにより金属板３１に開設する孔４０ａ，４０ｂ同士が重なるピッチ（パンチ３６´の直径よりも短い距離）だけ移動した後に、パンチ３６´を金属板３１に打ち込んで、図７（ｄ）及び（ｅ）に示すように、打ち込み部４６の形状を転写して、２つ目の孔４０ｂを開設する。この際に、孔４０ａ，４０ｂ同士の間には、区画壁２７が形成されるが、１つ目の孔４０ａを開設したことにより、孔４０ｂを開設する際に区画壁２７の矢印Ｋの反対側表面で金属板３１の肉の流れ（移動）が発生し、矢印Ｋの反対方向に湾曲した曲面２８が形成される。即ち、パンチ３６´が、ストレート部４９及びテーパ部４８を有し、金属板３１に複数回打ち込む（２穴加工する）ことで、前述した連結部４７と同様な機能となり、金属板３１に曲面２８を形成する。
【００４８】
以上は、液体噴射装置の一種であるプリンタに装着される記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射装置に装着した記録ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレーやＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極を形成する電極製造装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図２】流路ユニットの構成を説明する分解斜視図である。
【図３】ノズルプレートに形成されたノズル開口の構成を説明する断面図である。
【図４】プレス装置の構成を説明する要部断面図である。
【図５】パンチの説明図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は（ａ）中のｃ−ｃ線断面図である。
【図６】金属板材に形成された孔の説明図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は（ａ）中のｃ−ｃ線断面図である。
【図７】他の実施形態にかかるパンチング工程の説明図である。
【符号の説明】
【００５０】
１…記録ヘッド、１０…ノズル開口、１２…流路形成基板、１３…ノズルプレート、１７…圧力室、１８…圧電振動子、２４…テーパ部、２５…ストレート部、２７…区画壁、２８…曲面、２８ａ…頂部、３０…プレス装置、３１…金属板、３１ａ…表面、３１ｂ…裏面、３６…パンチ、４０…孔、４５…パンチ本体、４６…打ち込み部、４７…連結部、４８…テーパ部、４９…ストレート部、５０…曲面、Ｄ…板厚
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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