(57)【要約】【課題】着弾位置精度に優れた流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供すること。【解決手段】流体を保持する流体保持部を有する第１基板と、前記第１基板との間にギャップ部材を介するように接着部材によって前記第１基板に貼り合わされると共に、前記流体保持部に接続され前記流体を対象物へ向けて噴射する複数のノズル孔が一方向に配列された第２基板とを備え、前記ノズル孔の位置及び角度のうち少なくとも一方は、前記対象物上で前記流体が前記一方向にほぼ等間隔に着弾されるように、前記第２基板の形状に基づいて設定されている。【選択図】図４
2009248524.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を保持する流体保持部を有する第１基板と、
前記第１基板との間にギャップ部材を介するように接着部材によって前記第１基板に貼り合わされると共に、前記流体保持部に接続され前記流体を対象物へ向けて噴射する複数のノズル孔が一方向に配列された第２基板と
を備え、
前記ノズル孔の位置及び角度のうち少なくとも一方は、前記対象物上で前記流体が前記一方向にほぼ等ピッチで着弾されるように、前記第２基板の形状に基づいて設定されている
ことを特徴とする流体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記ギャップ部材は、前記一方向にほぼ等ピッチで配置される領域に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の流体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記接着部材は、前記一方向にほぼ等ピッチで配置されている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の流体噴射ヘッド。
【請求項４】
複数の前記ノズル孔は、前記一方向にほぼ等間隔で配置されていると共に、前記対象物に対してほぼ直交する方向に形成されている
ことを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の流体噴射ヘッド。
【請求項５】
複数の前記ノズル孔のうち前記ギャップ部材に平面視で重なる位置及び前記接着部材に平面視で重なる位置に設けられたノズル孔は、前記対象物に対してほぼ直交する方向に形成されており、
複数の前記ノズル孔のうち前記ギャップ部材と前記接着部材との間の領域に設けられたノズルは、前記対象物に対して傾いた方向に形成されている
ことを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の流体噴射ヘッド。
【請求項６】
媒体に流体を噴射する流体噴射ヘッドを備える流体噴射装置であって、
前記流体噴射ヘッドとして、請求項１から請求項５のうちいずれか一項に記載の流体噴射ヘッドを用いることを特徴とする流体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体噴射ヘッド及び流体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体を噴射する流体噴射装置として、例えばインクジェット式記録装置などが知られている。インクジェット式記録装置は、媒体に文字や画像等を記録する装置であり、記録ヘッドのノズル基板に設けられた複数のノズル孔から当該媒体にインクを噴射する構成になっている。各ノズル孔はリザーバと呼ばれるインク保持部に接続されており、当該リザーバに保持されたインクがノズル孔から噴射されるようになっている。
【０００３】
リザーバは例えばリザーバ基板に形成されている。また、ノズル孔はノズル基板に形成されている。ノズル基板は、リザーバとノズル孔とが接続されるように、例えば熱溶着フィルムなどの溶着部材を介してリザーバ基板に貼り合わされている。従来、この熱溶着の際、熱によって溶着部材が必要以上に潰れてしまわないように、２枚の基板の間にギャップ材を介して貼り合わせるようにしていた（例えば、特許文献１参照。）。  
【特許文献１】特開平９−３９２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、熱溶着フィルムは溶着後に冷却されることで収縮する。この収縮によってノズル基板が変形し、ノズル孔が傾いてしまう場合がある。ノズル孔が傾いてしまうと当該ノズル孔から噴射されるインクが所期の位置に対してずれた位置に着弾してしまい、インクの着弾精度が低下してしまう。
【０００５】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、着弾位置精度に優れた流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る流体噴射ヘッドは、流体を保持する流体保持部を有する第１基板と、前記第１基板との間にギャップ部材を介するように接着部材によって前記第１基板に貼り合わされると共に、前記流体保持部に接続され前記流体を対象物へ向けて噴射する複数のノズル孔が一方向に配列された第２基板とを備え、前記ノズル孔の位置及び角度のうち少なくとも一方は、前記対象物上で前記流体が前記一方向にほぼ等ピッチで着弾されるように、前記第２基板の形状に基づいて設定されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、流体を保持する流体保持部を有する第１基板と、この第１基板との間にギャップ部材を介するように接着部材によって当該第１基板に貼り合わされると共に流体保持部に接続され流体を対象物へ向けて噴射する複数のノズル孔が一方向に配列された第２基板とを備えた状態において、ノズル孔の位置及び角度のうち少なくとも一方は、対象物上で流体が一方向にほぼ等ピッチで着弾されるように、第２基板の形状に基づいて設定されていることとしたので、第２基板が変形する場合であっても着弾位置のズレを回避することができる。これにより、所期の着弾位置精度を備えた流体噴射ヘッドを得ることができる。
【０００８】
上記の流体噴射ヘッドは、前記ギャップ部材は、前記一方向にほぼ等ピッチで配置される領域に設けられていることを特徴とする。  
本発明によれば、ギャップ部材が一方向にほぼ等ピッチで配置される領域に設けられていることとしたので、第２基板の一方向における変形を規則的に発生させることができる。これにより、ノズル孔の位置、角度の設定が容易になる。
【０００９】
上記の流体噴射ヘッドは、前記接着部材は、前記一方向にほぼ等ピッチで配置されていることを特徴とする。  
本発明によれば、接着部材が一方向にほぼ等ピッチで配置されていることとしたので、第２基板の一方向における変形を規則的に発生させることができる。これにより、ノズル孔の位置、角度の設定が容易になる。
【００１０】
上記の流体噴射ヘッドは、複数の前記ノズル孔は、前記一方向にほぼ等間隔で配置されていると共に、前記対象物に対してほぼ直交する方向に形成されていることを特徴とする。  
本発明によれば、複数のノズル孔が一方向にほぼ等間隔で配置されていると共に、対象物に対してほぼ直交する方向に形成されていることとしたので、第２基板が変形している場合であっても、流体は対象物上にほぼ等間隔に着弾されることになる。
【００１１】
上記の流体噴射ヘッドは、複数の前記ノズル孔のうち前記ギャップ部材に平面視で重なる位置及び前記接着部材に平面視で重なる位置に設けられたノズル孔は、前記対象物に対してほぼ直交する方向に形成されており、複数の前記ノズル孔のうち前記ギャップ部材と前記接着部材との間の領域に設けられたノズルは、前記対象物に対して傾いた方向に形成されていることを特徴とする。  
ノズル基板のうち接着部材の収縮によって特に大きく変形する部分は、接着部材とギャップ部材との間の部分である。これに対して、本発明によれば、複数のノズル孔のうちギャップ部材に平面視で重なる位置及び接着部材に平面視で重なる位置に設けられたノズル孔は、対象物に対してほぼ直交する方向に形成されており、複数のノズル孔のうちギャップ部材と接着部材との間の領域に設けられたノズルは、対象物に対して傾いた方向に形成されていることとしたので、ノズル基板のうち変形の大きい部分に設けられるノズル孔が傾けた方向に形成されることになる。このため、従来の構成に対して必要最小限の設定の変更によって効率的に着弾位置の精度を向上させることができる。
【００１２】
本発明に係る流体噴射装置は、媒体に流体を噴射する流体噴射ヘッドを備える流体噴射装置であって、前記流体噴射ヘッドとして、上記の流体噴射ヘッドを用いることを特徴とする。  
本発明によれば、媒体に流体を噴射する流体噴射ヘッドを備える流体噴射装置であって、流体噴射ヘッドとして、上記の流体噴射ヘッドを用いることとしたので、着弾位置の精度に優れた高品質の流体噴射装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。本実施形態では、本発明に係る液体噴射装置として、インクジェット式プリンタ（以下、プリンタ１という）を例示する。
【００１４】
図１は、本実施形態に係るプリンタ１の概略構成を示す一部分解図である。  
プリンタ１は、プリンタ本体５と、サブタンク２及び記録ヘッド３を搭載したキャリッジ４とを有している。
【００１５】
プリンタ本体５には、キャリッジ４を往復移動させるキャリッジ移動機構１６と、本実施形態における特徴的構成要素であり記録ヘッド３の各ノズルから増粘したインクＬを吸引するクリーニング動作等に用いられるキャッピング機構１５と、インク供給チューブ１４を介して記録ヘッド３に供給するインクＬを貯留したインクカートリッジ６とが設けられている。このプリンタ本体５には、記録紙を搬送する不図示の紙送り機構が設けられており、この紙送り機構は紙送りモータやこの紙送りモータによって回転駆動される紙送りローラ（いずれ不図示）等から構成され、記録紙を記録（印字・印刷）動作に連動させてプラテン１３の上に順次送り出すようになっている。
【００１６】
キャリッジ移動機構１６は、プリンタ本体５の幅方向に架設されたガイド軸８と、パルスモータ９と、パルスモータ９の回転軸に接続されてこのパルスモータ９によって回転駆動される駆動プーリー１０と、駆動プーリー１０とはプリンタ本体５の幅方向の反対側に設けられた遊転プーリー１１と、駆動プーリー１０と遊転プーリー１１との間に掛け渡されてキャリッジ４に接続されたタイミングベルト１２を有しており、パルスモータ９を駆動することによってキャリッジ４がガイド軸８に沿って主走査方向に往復移動するようになっている。
【００１７】
キャッピング機構１５は、プリンタ本体５内のホームポジションに配置されている。このホームポジションは、キャリッジ４の移動範囲内のうち記録領域よりも外側の端部領域であって電源オフ時や長時間に亘って記録（液体噴射処理）が行われなかった場合にキャリッジ４が位置する場所に設定されている。
【００１８】
図２は記録ヘッド３の構成を説明する断面図である。  
記録ヘッド３は、導入針ユニット２０、流路ユニット３０及びアクチュエータユニット４０を備えている。インクカートリッジ６内のインクＬは導入針ユニット２０によって記録ヘッド３に導入され、導入されたインクＬが流路ユニット３０を介してアクチュエータユニット４０に流通され、アクチュエータユニット４０においてインクＬに圧力が加えられ、流路ユニット３０からインクＬが噴射されるようになっている。
【００１９】
導入針ユニット２０は、インク導入針２１、インク導入管２２及びフィルタ２３を有している。  
インク導入針２１は、針先端２１ａが上記のサブタンク２及びインク供給チューブ１４を介してインクカートリッジ６に接続されており、針先端２１ａからインクカートリッジ６に貯留されたインクＬが供給されるようになっている。インク導入針２１の拡幅端２１ｂはインク導入管２２に接続されている。
【００２０】
インク導入管２２は、拡幅端２２ａがインク導入針２１の拡幅端２１ｂに接続されており、流路端２２ｂが流路ユニット３０に接続されている。  
フィルタ２３は、インク導入針２１の拡幅端２１ｂとインク導入管２２の拡幅端２２ａとの間に介挿されている。インク導入針２１、インク導入管２２の内部はフィルタ２３を介して連通された状態になっている。
【００２１】
流路ユニット３０は、供給基板３１、リザーバ基板３２及びノズル基板３３を有している。これらの供給基板３１、リザーバ基板３２及びノズル基板３３は、例えばステンレスなどの鋼材によって構成されている。  
供給基板３１は、導入針ユニット２０及びアクチュエータユニット４０が固定された基板である。この供給基板３１は開口部３１ａ、開口部３１ｂ及び開口部３１ｃを有している。各開口部３１ａ、３１ｂ及び３１ｃは、それぞれ供給基板３１を貫通するように設けられている。
【００２２】
開口部３１ａは、導入針ユニット２０のインク導入管２２に接続されている。開口部３１ａの内部はインク導入管２２の管内部に連通されている。  
開口部３１ｂ及び開口部３１ｃは、それぞれ複数設けられており、アクチュエータユニット４０に接続されている。開口部３１ｂはアクチュエータユニット４０のインクＬの入口側に相当し、開口部３１ｃはアクチュエータユニット４０のインクＬの出口側に相当する。
【００２３】
リザーバ基板３２は、供給基板３１とノズル基板３３との間に設けられた基板であり、供給基板３１に対して接着層３７を介して貼り付けられている。リザーバ基板３２は、開口部３２ａ及び開口部３２ｂを有している。開口部３２ａは平面視で供給基板３１に設けられた開口部３１ａ及び３１ｂを含む領域に設けられている。開口部３２ｂは、供給基板３１に設けられた開口部３１ｃに平面視で重なる領域に設けられている。したがって、開口部３２ａの内部と開口部３１ａの内部と開口部３１ｂの内部とが連通された状態になっており、開口部３２ｃの内部と開口部３１ｃの内部とが連通された状態になっている。
【００２４】
ノズル基板３３は、内面３３ｂが熱溶着フィルム５１を介してリザーバ基板３２に貼り付けられた基板であり、外面３３ａがインクＬの噴射面を構成している。また、ノズル基板３３とリザーバ基板３２との間には、熱溶着フィルム５１の潰れ量を一定にするためにスペーサ部材５０が設けられている。ノズル基板３３は、開口部３３ｃを有している。開口部３３ｃは、供給基板３１の開口部３１ｃ及びリザーバ基板３２の開口部３２ｂに平面視で含まれる領域に設けられている。開口部３３ｃの内部は外部に連通された状態になっている。
【００２５】
アクチュエータユニット４０のインクＬの出口側、開口部３１ｃ、開口部３２ｂ及び開口部３３ｃは外部に連通された状態になっている。アクチュエータユニット４０の出口側から供給されるインクＬは開口部３３ｃを介して外部に噴射されるようになっている。このように、開口部３３ｃはノズル３４を構成している。
【００２６】
供給基板３１の内面３１ｄ、リザーバ基板３２の開口部３２ａ及びノズル基板３３の内面３３ｂで囲まれた空間には、インク導入ユニット２０から導入されたインクＬが保持されるようになっている。このように、当該空間はリザーバ３５を構成しており、開口部３２ａの壁面、内面３１ｄ及び内面３３ｂはリザーバ３５の壁部７０を構成している。また、供給基板３１の開口部３１ｂは、リザーバ３５からアクチュエータユニット４０へインクＬを供給するインク供給口３６を構成している。
【００２７】
アクチュエータユニット４０は、圧力室基板４１、振動板４２、アクチュエータ４３、フレキシブルケーブル４４を有している。  
圧力室基板４１は、接着層４６を介して流路ユニット３０の供給基板３１に貼り付けられた基板であり、開口部４１ａ、開口部４１ｂ及び開口部４１ｃを有している。
【００２８】
開口部４１ａは、平面視で供給基板３１の開口部３１ｂ及び開口部３１ｃを含む領域に設けられている。開口部４１ａは、圧力室基板４１の厚さ方向（図中上下方向）の途中までの深さで設けられている。
【００２９】
開口部４１ｂは、平面視で供給基板３１の開口部３１ｂを含む領域に設けられており、開口部４１ａの内部に設けられている。開口部４１ｃは供給基板３１の開口部３１ｃに平面視で重なる位置に設けられており、開口部４１ａの内部に設けられている。開口部４１ａと開口部４１ｂとが連通された状態になっており、開口部４１ａと開口部４１ｃとが連通された状態になっている。
【００３０】
開口部４１ａは圧力室４５を構成している。圧力室４５は、開口部４１ｃ及びインク供給口３４を介してリザーバ３５に接続されており、開口部４１ｃ、開口部３１ｃ及び開口部３２ｂを介してノズル孔３６に接続されている。
【００３１】
振動板４２は、例えばステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板４２は、アクチュエータ４３の変形に応じて弾性フィルムが弾性変形するようになっている。アクチュエータ４３は、フレキシブルケーブル４４からの駆動信号によって変形するようになっている。
【００３２】
この記録ヘッド３において、フレキシブルケーブル４４を通じて駆動信号がアクチュエータ４３に供給され、アクチュエータ４３が変形し、振動板４２が圧力室４５に近接する方向或いは離隔する方向に移動するようになっている。この動作によって圧力室４５の容積が変化し、圧力室４５内のインクＬに圧力変動が生じ、この圧力変動によってノズル孔３６からインク滴Ｄが吐出されるようになっている。
【００３３】
図３は、リザーバ基板３２とノズル基板３３との間の構成を示す図である。  
同図に示すように、リザーバ基板３２とノズル基板３３との間には、ギャップ部材５０及び熱溶着フィルム５１が両基板によって挟持されている。ギャップ部材５０は、等ピッチｔ２に配置された領域Ｗ内に１つ又は複数配置されている。当該ピッチｔ２としては、例えば１．０ｍｍ〜１．３ｍｍ程度に設定することができる。
【００３４】
熱溶着フィルム５１は、例えばギャップ部材５０の設けられる領域Ｗの間に等ピッチｔ３で設けられている。当該ピッチｔ３としては、例えば４ｍｍ〜８ｍｍ程度に設定することができる。熱溶着フィルム５１は加熱によって溶解し、冷却によって固化する性質を有する材料からなる。
【００３５】
このような熱圧着フィルム５１は、一般的に冷却されて固化する際に収縮する。本実施形態における熱溶着フィルム５１においても同様に冷却時に収縮した状態になっている。熱溶着フィルム５１によって溶着されたノズル基板３３は、当該溶着された部分（溶着部分）３３ｄが熱圧着フィルム５１の冷却時の収縮によって図中上側に引っ張られて湾曲した状態になっている。一方、ギャップ部材５０の配置された部分（スペーサ部分）３３ｅでは、当該ギャップ部材５０によってギャップが確保された状態になっている。このため、ノズル基板３３の図中左右方向に沿って見た場合、図中上下方向に波打った状態になっている。
【００３６】
ノズル孔３６は、このように設けられたノズル基板３３の図中左右方向に複数配列されている。ノズル基板３３の溶着部分３３ｄに設けられたノズル孔３６及びスペーサ部分３３ｅの図中左右方向の中央部に設けられたノズル孔３６については、記録用紙Ｐに対して垂直になるように設けられている。また、これら記録用紙Ｐに対し垂直配置されたノズル孔３６の間の中間部分３３ｆに設けられたノズル孔３６については、図中左右いずれかに傾くように設けられている。これらノズル孔３６の位置及び傾きの角度については、記録用紙Ｐに着弾されるインク滴Ｄの位置が図中左右方向に等ピッチｔ１になるように、当該ノズル孔３６が設けられているノズル基板３３の位置の形状に応じて設定されている。
【００３７】
以下、ノズル孔３６の位置、角度の設定の手順の一例を説明する。  
記録ヘッド３の形成に当たっては、図４に示すように、ノズル基板３３にノズル孔３６を予め形成した状態でリザーバ基板３２に貼り付ける。図５に示すように、貼り付けの後、熱溶着フィルム５１を冷却させる際にノズル基板３３の溶着部分３３ｄ及びその近傍が変形するため、ノズル孔３６の位置及び傾きの角度については、当該変形を考慮に入れた上で設定する必要がある。
【００３８】
ノズル基板３３の変形については、例えばノズル基板３３の貼り付けによる変形前の形状と変形後の形状とを予め実験やシミュレーションなどによって求めておき、変形前におけるノズル基板３３上の位置座標と変形後のノズル基板３３の位置座標との対応を求めておく。
【００３９】
また、予め図４に示すような等ピッチのインク滴Ｄの上記位置を実験やシミュレーションなどによって求めておき、求めたインク滴Ｄの位置に基づいて変形後のノズル基板３３についてのノズル孔３６の位置及び傾きの角度を設定する。当該設定後、実験若しくはシミュレーションで求めた変形前後のノズル４３の位置座標の対応関係に基づいて、変形前のノズル４３のうちどの位置にどの角度でノズル孔３６を形成するかを設定する。
【００４０】
本実施形態の例では、図６に示すように、変形前のノズル基板３３に対して、ノズル基板３３の基板面に垂直方向に、等ピッチで、ノズル孔３６ａを形成した場合を基準としている。上記インク滴Ｄの位置に基づいて設定したノズル孔３６の位置が、基準とするノズル孔３６ａの位置に対してずれている場合、当該ノズル孔３６の位置のみを基準位置（ノズル孔３６ａの位置）に対してずらすように設定している。
【００４１】
変形前のノズル基板３３に等間隔でノズル孔３６ａを配置した場合（図６）、ノズル基板３３の溶着部分３３ｄとスペーサ部分３３ｅとの間の中間部分３３ｆに配置されたノズル孔３６の位置は、図３の破線で示す位置３６ａに配置されることになる。これに対して、本実施形態では、図３及び図６に示すように、インク滴Ｄを均一間隔で噴射するため、当該インク滴Ｄの位置に基づいて当該上記破線で示す位置３６ａに対してノズル孔３６の位置をずらして配置することとしている。この場合、位置をずらして配置したノズル孔３６については、記録用紙Ｐに対して斜方からインク滴Ｄを噴射することになる。
【００４２】
このように、本実施形態によれば、噴射の対象物である記録用紙Ｐ上でインク滴Ｄが一方向に等間隔ｔ１で着弾されるように、ノズル基板３３の形状に基づいてノズル孔３６の位置が設定されていることとしたので、ノズル基板３３が変形する場合であっても着弾位置のズレを回避することができる。これにより、所期の着弾位置精度を備えた記録ヘッド３を得ることができる。
【００４３】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。  
上記実施形態では、ノズル孔３６の位置を破線で示す位置３６ａに対してずらすように配置する例を説明したが、これに限られることは無く、例えば図７に示すように、記録用紙Ｐに対して全てのノズル孔３６からインク滴Ｄが垂直方向に噴射されるようにノズル孔３６の位置を設定する構成としても構わない。
【００４４】
この場合、ノズル基板３３の変形後のノズル孔３６が記録用紙Ｐに対して垂直方向に形成されている必要があるため、ノズル基板３３の変形する部分に配置されるノズル孔３６については、図７に示すように、上記実施形態における破線で示す位置３６ａに対して傾けた状態でノズル孔３６を形成するようにする必要がある。
【００４５】
当該角度については、上記実施形態と同様、予め実験やシミュレーションなどによって求めたノズル基板３３の変形前後の位置座標の対応関係に基づいて設定することができる。
【００４６】
また、上記実施形態では、流体噴射装置をインクジェット式記録装置に具体化したが、これに限られることは無く、インク以外の他の液体（液体以外にも、機能材料の粒子が分散されている液状体、ジェルのような流状体を含む）や液体以外の流体（流体として流して噴射できる固体など）を噴射したり吐出したりする流体噴射装置に具体化することもできる。例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射する液状体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置、ジェルを噴射する流状体噴射装置、トナーなどの粉体を例とする固体を噴射する粉体噴射式記録装置であってもよい。そして、これらのうちいずれか一種の噴射装置に本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態に係るプリンタの概略構成図。
【図２】記録ヘッドの構成を示す断面図。
【図３】リザーバ基板及びノズル基板の構成を示す断面図。
【図４】記録ヘッドの製造過程の一部を示す工程図。
【図５】同、工程図。
【図６】リザーバ基板及びノズル基板の構成を示す断面図。
【図７】リザーバ基板及びノズル基板の他の構成を示す断面図。
【符号の説明】
【００４８】
１…プリンタ（流体噴射装置）  ３…記録ヘッド（流体噴射ヘッド）  ３２…リザーバ基板（第１基板）  ３３…ノズル基板（第２基板）  ３６…ノズル孔  ５０…スペーサ部材  ５１…熱溶着フィルム（接着部材）  Ｌ…インク（流体）  Ｄ…インク滴（流体）
【図１】
2009248524.tif 000003
【図２】
2009248524.tif 000004
【図３】
2009248524.tif 000005
【図４】
2009248524.tif 000006
【図５】
2009248524.tif 000007
【図６】
2009248524.tif 000008
【図７】
2009248524.tif 000009