(57)【要約】【課題】チャンバー内の温度と制御目標との偏差が大きい場合でも、チャンバー内の機器に悪影響を及ぼさない温調装置を構成する。【解決手段】チャンバーＲから取り込んだ空気を冷却部Ｃ、第１加熱部Ｄ、第２加熱部Ｅに順次送った後にチャンバーＲに戻す温調系を構成する。冷却部Ｃでは、冷媒を圧縮機１２で圧縮し、この冷媒を凝縮器１４、電子膨張弁１５、蒸発器１６に順次送るように構成されると共に、圧縮機１２が可変出力型に構成されている。チャンバーＲ内目標値ＳＰ３から吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２を減じた値を冷却負荷として取得し、この冷却負荷に対応して圧縮機１２の出力を調節する主制御ユニットＨＲ３を備えた。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発を行う冷凍サイクルによってチャンバーから取り込んだ空気を冷却する冷却手段と、冷却手段で冷却された空気を加熱して前記チャンバーに供給する加熱手段とを備えている温調装置であって、
前記冷媒の圧縮を行う圧縮機に可変出力型のものが用いられ、
前記加熱手段が、前記冷却手段で圧縮された冷媒の一部で前記冷却手段から送り出された空気の加熱を行う第１加熱部と、この第１加熱部から送り出された空気を加熱して前記チャンバーに供給する第２加熱部とを備えて構成され、
前記チャンバーの冷却負荷が予め設定された値未満であることを判定した場合に、設定された周期毎に冷却負荷に対応した出力で前記圧縮機を作動させる調整出力モードで制御を行う制御手段を備えている温調装置。
【請求項２】
前記制御手段が、前記チャンバーの冷却負荷を判定する負荷判定部を備えると共に、この負荷判定部で前記冷却負荷が設定値未満であることを判定した場合に前記調整出力モードでの制御を行う調整出力制御部を備えている請求項１記載の温調装置。
【請求項３】
前記チャンバーの内部温度を計測するチャンバー温センサと、前記第２加熱部から送り出される空気温を計測する吹出部温センサとを備えると共に、前記負荷判定部は、前記チャンバー温センサの計測値から前記吹出部温センサの計測値を減ずる演算により前記冷却負荷を求める請求項２記載の温調装置。
【請求項４】
前記第１加熱部から送り出される空気の温度を計測する送風部温センサを備えると共に、前記負荷判定部は、前記送風部温センサの計測値から、送風部温センサの計測部位の目標温度値を減ずる演算により前記冷却負荷を求める請求項２記載の温調装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発を行う冷凍サイクルによってチャンバーから取り込んだ空気を冷却する冷却手段と、冷却手段で冷却された空気を加熱して前記チャンバーに供給する加熱手段とを備えている温調装置に関し、詳しくは、クリーンルームの温度制御のように高精度の温度制御を必要とする技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような温調装置として特許文献１と特許文献２が存在する。特許文献１には、冷媒が、圧縮機１４、凝縮器１５、電子膨張弁１７及び蒸発器１９を循環する冷凍サイクルを備えた精密温湿度制御装置が示されている。この特許文献１では、外気ＯＡを冷却する蒸発器１９の吹出側に再加熱器２０を設置しており、再加熱器２０では圧縮機１４からでたホットガスの一部で、蒸発器１９で冷却された空気を再加熱すると共に、その再加熱された空気を加湿器２１で加湿して温湿度制御された空調空気ＳＡとする。この制御時には、設定温度と空調空気ＳＡの温度に基づいて三方比例制御弁１６の分流比を制御する吹出温度制御部４０と、設定湿度と空調空気ＳＡの湿度から加湿器２１での加湿量を制御する吹出湿度制御部４１と、その加湿器２１への制御出力と予め最小の加湿量となるように加湿出力設定値ＳＰ６とが入力され、これに基づいてインバータ装置２７の運転周波数、電子膨張弁１７の開度、凝縮器１５への冷却水量を制御する制御出力を作り出すための加湿出力制御部４５とを備えることで消費電力を低減している。
【０００３】
また、特許文献２には、特許文献１と共通する構成に加えて補助電気ヒータ５０を備えた精密温度制御が示されている。補助電気ヒータ５０は、蒸発器１９に空気を取り込む方向での上流側に配置され、外気温度と設定温度との偏差が大きい場合には、この補助電気ヒータ５０によって空気を加熱することにより、補助電気ヒータ５０と再加熱器２０とで加熱が行われ、外気温度と設定温度との偏差が大きく異なる状況でも良好に精密温度制御を行えるものにしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３０２０８８号公報  （段落番号〔００１８〕〜〔００４０〕、図３）
【特許文献２】特開２００４−１７００４４号公報（図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
チャンバー内の温度を調節する制御では、温度センサで計測したチャンバー内の温度と、目標温度値との偏差を小さくするようにチャンバーに供給する空気の温度が制御される。このような単純な制御では、例えば、常温にあるチャンバーの温調を開始した直後のように、偏差が大きい状況では、特許文献２に記載されるように２段階の制御によって空気温を設定するものでも、温調時にはチャンバー内の温度変化が大きく、チャンバー内の機器に歪みを招くことも考えられ改善の余地がある。
【０００６】
しかしながら、目標温度値に達するまでに時間を掛けすぎるものではチャンバー内の機器に歪みを招かないものの、時間が無駄に消費され、しかもエネルギーの無駄な消費に繋がることも考えられ改善の余地がある。
【０００７】
本発明の目的は、チャンバー内の温度と目標温度値との偏差が大きい場合でも、チャンバー内の機器に悪影響を及ぼすことが少ない温調装置を構成する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の特徴は、冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発を行う冷凍サイクルによってチャンバーから取り込んだ空気を冷却する冷却手段と、冷却手段で冷却された空気を加熱して前記チャンバーに供給する加熱手段とを備えている温調装置であって、
前記冷媒の圧縮を行う圧縮機に可変出力型のものが用いられ、前記加熱手段が前記冷却手段で圧縮された冷媒の一部で前記冷却手段から送り出された空気の加熱を行う第１加熱部と、この第１加熱部から送り出された空気を加熱して前記チャンバーに供給する第２加熱部とを備えて構成され、前記チャンバーの冷却負荷が予め設定された値未満であることを判定した場合に、設定された周期毎に冷却負荷に対応した出力で前記圧縮機を作動させる調整出力モードで制御を行う制御手段を備えている点にある。
【０００９】
この構成によると、チャンバーから取り込んだ空気を冷却手段によって冷却し、第１加熱部で加熱した後に、第２加熱部で加熱することにより空気温を精密に制御できる。また、チャンバー内の温度とチャンバーの目標温度との差が比較的大きい場合でも、チャンバーの冷却負荷が予め設定された値未満である場合には、設定された周期毎に冷却負荷に対応した出力で圧縮機を作動させる調整出力モードでの制御が行われるので、エネルギーを無駄に消費することなく、急激な温度変化を抑制できる。その結果、チャンバー内の温度と目標温度値との偏差が大きい場合でも、チャンバー内の機器に悪影響を及ぼすことが少なく、省エネルギーの面でも優れた温調装置が合理的に構成された。
【００１０】
本発明は、前記制御手段が、前記チャンバーの冷却負荷を判定する負荷判定部を備えると共に、この負荷判定部で前記冷却負荷が設定値未満であることを判定した場合に調整出力モードでの制御を行う調整出力制御部を備えても良い。これによると、冷却負荷が設定値未満である場合に調整出力モードで圧縮機を作動させるため、冷却負荷に対応した温調制御を行える。
【００１１】
本発明は、前記チャンバーの内部温度を計測するチャンバー温センサと、前記第２加熱部から送り出される空気温を計測する吹出部温センサとを備えると共に、前記負荷判定部は、前記チャンバー温センサの計測値から前記吹出部温センサの計測値を減ずる演算により前記冷却負荷を求めても良い。これによると、２種類の温度センサの計測値の偏差に基づいて負荷を判定できる。
【００１２】
本発明は、前記第１加熱部から送り出される空気の温度を計測する送風部温センサを備えると共に、前記負荷判定部は、前記送風部温センサの計測値から、送風部温センサの計測部位の目標温度値を減ずる演算により前記冷却負荷を求めても良い。これによると、温度センサの計測値と、その温度センサの計測部位の目標温度値との差から負荷を判定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔温調装置の基本構成〕
図１、図２に示すように、恒温に維持されるべきクリーンルームで成るチャンバーＲを備えた施設の内部に、チャンバーＲの空気を吸引して温度調節を行った後にチャンバーＲに供給することにより空気を循環させてチャンバーＲの温度を目標とする温度（チャンバー内目標値・例えば、２３℃）に制御する温調装置が構成されている。
【００１４】
前記チャンバーＲの内部には、精密な温度管理を必要とする半導体製造ライン等を構成する機器Ｂが設置されている。チャンバーＲの側壁１は温度管理のために断熱性の優れた壁材で形成され、天井壁２は空気循環のために空気の通過を許すメッシュやスリットを有した構造の壁材が使用され、平滑な床面３が形成されている。複数の側壁１の１つには温調制御系に空気を送り出す吸気開口１Ａが形成されている。尚、このチャンバーＲから空気を排出するための経路を床面３より下部に形成しても良く、この場合、床面３には空気が流通する多数の開口が形成される。
【００１５】
温調装置は、吸気開口１Ａから導入空間５を介して吸引した空気を冷却手段としての冷却部Ｃで冷却した後に第１加熱部Ｄで加熱すると共に、この第１加熱部Ｄで加熱された空気をダクト６でファン７に送る。次に、このファン７から送り出された空気を第２加熱部Ｅで加熱し、送風路８によってチャンバーＲの上部空間９に供給し、エアーフィルタ１０によって塵埃を除去し、チャンバーＲの天井壁２からチャンバーＲ内に供給するように空気の循環系が形成されている。
【００１６】
この温調装置では、前記吸気開口１Ａに送り出される空気の温度（チャンバーＲの内部温度）を計測するチャンバー温センサＴＳ３と、前記ファン７から送り出される空気の温度を計測する送風部温センサＴＳ１と、天井壁２からチャンバー内に供給される空気の温度を計測する吹出部温センサＴＳ２とを備えている。これらのセンサはサーミスタ等、空気温を電気信号として取得するものが使用されている。
【００１７】
また、温調装置は、チャンバー温センサＴＳ３及び吹出部位温センサＴＳ２の計測値に基づいて冷却部Ｃを制御する主制御ユニットＨＲ３と、送風部温センサＴＳ１の計測値に基づいて第１加熱部Ｄを制御する第１制御ユニットＨＲ１と、吹出部温センサＴＳ２の計測値に基づいて第２加熱部Ｅを制御する第２制御ユニットＨＲ２とを備えている。
【００１８】
主制御ユニットＨＲ３、第１制御ユニットＨＲ１、第２制御ユニットＨＲ２は独立して制御対象に制御信号を出力して温調制御を行う機能を有するものであるが、夫々とも相互に情報のアクセスを行う信号系が形成されている。そして、主制御ユニットＨＲ３にセットされているプログラムの情報を第１制御ユニットＨＲ１と第２制御ユニットＨＲ２とに与えることで温調制御が行われる。この温調制御により、チャンバーＲの内部温度を温調目標値を基準にして±０．１℃で範囲内に収める高い精度の温度管理を実現する。
【００１９】
〔温調系〕
冷却部Ｃは冷媒によって空気を冷却する冷凍サイクルを備えている。つまり、圧縮機１２で圧縮された冷媒は主流路Ｌｍに沿って配置された凝縮器１４、電子膨張弁１５、冷却部Ｃを構成する蒸発器１６に送られ、この後、圧縮機１２に戻すように冷凍サイクルが構成されている。また、主流路Ｌｍは圧縮器１２の下流側で分岐流路Ｌｂに分流され、分流された冷媒は第１加熱部Ｄを構成する再加熱器１７に送られ、電子膨張弁１３を経由し電子膨張弁１５の下流側で主流路Ｌｍに戻される分流系を備えている。尚、図１においては、電子膨張弁１３、凝縮器１４、電子膨張弁１５を冷媒処理ユニットＦとして示している。
【００２０】
圧縮機１２は、冷媒を圧縮するポンプとして機能するものであり、この圧縮機１２を駆動する電動モータＭとして三相モータが使用されている。主制御ユニットＨＲ３は電動モータＭに供給される電力の周波数と電圧とを設定するインバータ制御によって圧縮機１２の出力を無段階に調節する。このインバータ制御では周波数と電圧とを可変とするＶＶＶＦ（ variable voltage , variable frequencyの略語）型の制御が用いられている。尚、電動モータＭとして単相誘導モータを用いても良く、インバータ制御として周波数のみ可変にするものや、電圧だけを可変にするものでも良い。
【００２１】
電子膨張弁１３は、液化した冷媒の膨張を許す機能を有するものであり、電磁弁等のアクチュエータの作動によって分岐流路Ｌｂを流れる冷媒の流量を調節可能に構成されている。
【００２２】
冷却部Ｃは、蒸発器１６において空気との接触面積を拡大する多数のフィンを備えた構造を有している。第１加熱部Ｄは、前述したように主流路Ｌｍに送られる冷媒の潜熱を空気に与えるように再加熱器１７において空気との接触面積を拡大する多数のフィンを備えた構造を有している。尚、冷却部Ｃは一般的な構成を示したものであり、冷却機能を有するものであれば、これ以外の構成のものを用いても良い。
【００２３】
ファン７は、電動モータで駆動されるシロッコファンが用いられている。第２加熱部Ｅは通電により発熱する電気ヒータ１８を備えている。
【００２４】
主制御ユニットＨＲ３は冷却負荷を判定する負荷判定部２１と、冷却負荷に基づいて圧縮機１２の出力を調整する調整出力制御部２２と、インバータ制御を実現するインバータ制御部２３とを備えている。尚、負荷判定部２１は演算を行うものであるためソフトウエアで構成され、調整出力制御部２２も出力モードを設定するだけであるためソフトウエアで構成されるが、インバータ制御部２３は、電動モータＭをインバータ制御するためのモータ制御回路と、電子膨張弁１５を制御する弁制御回路とを備えている。この温調制御については後述する。
【００２５】
第１制御ユニットＨＲ１は、送風部温センサＴＳ１の計測値に基づいて第１加熱部Ｄの温度制御を行うために、電子膨張弁１３を制御する弁制御回路（図示せず）を備えると共に、この第１加熱部Ｄの制御を実現するソフトウエアを備えている。
【００２６】
第２制御ユニットＨＲ２は、吹出部温センサＴＳ２の計測値に基づいて第２加熱部Ｅの温度制御を行うために、第２加熱部Ｅの電気ヒータ１８に供給する電力を制御する電力制御回路（図示せず）を備えると共に、この第２加熱部Ｅの制御を実現するソフトウエアを備えている。
【００２７】
本実施例では、主制御ユニットＨＲ３、第１制御ユニットＨＲ１、第２制御ユニットＨＲ２夫々を併せて温調制御を実現する制御手段が構成されている。
【００２８】
〔制御形態〕
この温調装置では、チャンバーＲの冷却負荷が予め設定された値未満であることを判定した場合に、設定された周期毎に冷却負荷に対応した出力で前記圧縮機１２を作動させる調整出力モードで制御を行う。その制御の一例を図３のフローチャートのように示すことが可能である。また、このフローチャートと明細書中に用いる符号類の対応関係を図４に一覧化して示している。
【００２９】
制御開始時にイニシャライズにおいて目標値をセットし、圧縮機１２を１００％の出力で駆動して温調を開始する（＃１０１、＃１０２ステップ）。
【００３０】
イニシャライズでは、吹出部温センサＴＳ２の計測部位の吹出部目標値ＳＰ２がセットされる。
【００３１】
圧縮機１２を１００％の出力で作動させる際には、前記調整出力制御部２２が全出力モードを設定するものとなり、インバータ制御部２３が、この１００％の出力を実現する制御信号を出力し、電動モータＭが最大出力で圧縮機１２を駆動する。
【００３２】
このように圧縮機１２を１００％の出力で駆動する際には吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２を取得し、この吹出部温センサＴＳ２の計測部位の吹出部目標値ＳＰ２と比較される。比較の結果、計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とが平衡する状態に達すると、次の処理に移行する（＃１０３ステップ）。
【００３３】
尚、計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とが平衡するとの意味は、温度が完全に一致する状況を指すものではなく、吹出部目標値ＳＰ２を基準にして高温側と低温側とに設定された温度領域に計測値ＰＶ２が含まれる状態を指す。
【００３４】
次のステップでは、吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２を取得し、この計測値ＰＶ２をチャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３から減じた値が基準値Ａ℃未満となるまで、この温調制御を維持する（＃１０４、＃１０５ステップ）。
【００３５】
また、＃１０５ステップにおいて、計測値ＰＶ３から計測値ＰＶ２を減じた値が基準値Ａ℃未満に達していると、インバータ制御により圧縮機１２の出力をＸ％減じて温調制御を継続し、更に、Ｔ時間が経過した時点で吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２を取得し、吹出部目標値ＳＰ２と比較する。
【００３６】
この比較の結果、計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とが平衡状態にあり、且つ、計測値ＰＶ３から計測値ＰＶ２を減じた値が基準値Ａ℃未満である場合には、再び、圧縮機１２の出力をＸ％減じて温調制御を継続する（＃１０６〜＃１１０ステップ）。
【００３７】
チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３から吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２を減じた値が冷却負荷に対応するものであり、この冷却負荷は前記負荷判定部２１が取得して基準値Ａ℃と比較する処理が行われる。また、圧縮機１２の出力をＸ％減じて温調制御を行う制御形態が調整出力モードであり、このモードは前記調整出力制御部２２で設定され、インバータ制御部２３が、この出力を実現する制御信号を出力する。
【００３８】
この制御ではＴ時間として６０分程度が設定され、Ｘ％として１０％が設定されているが、Ｔ時間、Ｘ％はこれ以外の値であっても良い。温調制御において高精度の温調を実現するためにＴ時間を６０分より短い時間に設定し、圧縮機１２の出力の低減率を１０％未満の値に設定しても良い。
【００３９】
これとは逆に、計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とが平衡状態にない、あるいは計測値ＰＶ３から計測値ＰＶ２を減じた値が基準値Ａ℃を超える場合には、再び、圧縮機１２の出力をＹ％増大して温調制御を継続する（＃１０９、＃１１０、＃１１１ステップ、＃１０７ステップ）。このＹ％として５％が設定されている。前述と同様に高精度の温調を実現するために、この５％の増大率を５％未満の値に設定しても良い。
【００４０】
この制御では、温調制御を行う際に、計測値ＰＶ３から計測値ＰＶ２を減ずる演算によって温度差を求めることにより、Ｔ時間あたりの温度変化を求めている。このように求めた温度変化が基準値Ａ℃未満である場合には緩速で温度変化が行われているので、Ｔ時間のインターバルで圧縮機１２の出力をＸ％減ずることにより、圧縮機１２の出力を徐々に減じて圧縮機１２の無駄な駆動を抑制する。また、温度変化が基準値Ａ℃を超える場合には、急速な温度変化であるので、圧縮機１２の出力をＹ％増大させることにより、急速な温度変化を回避しているのである。
【００４１】
この制御において＃１０７ステップで時間経過の後に、圧縮機１２の出力を設定する処理が、本発明の調整出力モードでの制御に対応する。
【００４２】
このフローチャートには示していないが、温調制御が実行される際には、送風部温センサＴＳ１の計測部位の送風部目標値ＳＰ１が設定されると共に、送風部温センサＴＳ１の計測値ＰＶ１と送風部目標値ＳＰ１とが平衡する制御が実行される。
【００４３】
〔制御の別実施形態〕
温調装置では、前述と同様に調整出力モードで制御を行う制御の別実施形態を図５のフローチャートのように示すことが可能である。また、このフローチャートと明細書中に用いる符号類の対応関係を図６に一覧化して示している
【００４４】
つまり、制御開始時にイニシャライズにおいて目標値をセットし、圧縮機１２を１００％の出力で駆動して温調を開始する（＃２０１、＃２０２ステップ）。
【００４５】
イニシャライズでは、吹出部温センサＴＳ２の計測部位の吹出部目標値ＳＰ２がセットされる。
【００４６】
圧縮機１２を１００％の出力で作動させる際には、前記調整出力制御部２２が全出力モードを設定するものとなり、インバータ制御部２３が、この１００％の出力を実現する制御信号を出力し、電動モータＭが最大出力で圧縮機１２を駆動する。
【００４７】
このように圧縮機１２を１００％の出力で駆動する際には吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２を取得し、この吹出部温センサＴＳ２の計測部位の吹出部目標値ＳＰ２と比較される。比較の結果、計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とが平衡する状態に達すると、次の制御に移行する（＃２０３ステップ）。
【００４８】
尚、計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とが平衡するとの意味は、温度が完全に一致する状況を指すものではなく、吹出部目標値ＳＰ２を基準にして高温側と低温側とに設定された温度領域に計測値ＰＶ２が含まれる状態を指す。
【００４９】
次のステップでは、送風部温センサＴＳ１の計測値ＰＶ１を取得し、この計測値ＰＶ１を送風部温センサＴＳ１の計測部位の送風部目標値ＳＰ１から減じた値が基準値Ａ℃未満となるまで、この温調制御を維持する（＃２０４、＃２０５ステップ）。
【００５０】
また、＃２０５ステップにおいて、送風部目標値ＳＰ１を送風部温センサＴＳ１の計測値ＰＶ１から減じた値が基準値Ａ℃未満に達すると、インバータ制御により圧縮機１２の出力をＸ％減じて温調制御を継続し、更に、Ｔ時間が経過した時点で吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２を取得し、吹出目標値ＳＰ２と比較する。
【００５１】
この比較の結果、計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とが平衡状態であり、且つ、計測値ＰＶ１から送風部目標値ＳＰ１を減じた値が基準値Ａ℃未満である場合には、再び、圧縮機１２の出力をＸ％減じて温調制御を継続する（＃２０６〜＃２１０ステップ）。
【００５２】
送風部温センサＴＳ１の計測値ＰＶ１から送風部目標値ＳＰ１を減じた値が冷却負荷に対応するものであり、この冷却負荷は前記負荷判定部２１が取得して基準値Ａ℃と比較する処理が行われる。また、圧縮機１２の出力をＸ％減じて温調制御を行う制御形態が調整出力モードであり、このモードは前記調整出力制御部２２で設定され、インバータ制御部２３が、この出力を実現する制御信号を出力する。
【００５３】
この制御ではＴ時間として６０分程度が設定され、Ｘ％として１０％が設定されているが、Ｔ時間、Ｘ％はこれ以外の値であっても良い。温調制御において高精度の温調を実現するためにＴ時間を６０分より短い時間に設定し、圧縮機１２の出力の低減率を１０％未満の値に設定しても良い。
【００５４】
これとは逆に、計測値ＰＶ２と吹出部目標値ＳＰ２とが平衡状態にない、あるいは計測値ＰＶ１から送風部目標値ＳＰ１から減じた値が基準値Ａ℃を超える場合には、再び、圧縮機１２の出力をＹ％増大して温調制御を継続する（＃２０９、＃２１０、＃２１１ステップ、＃２０７ステップ）。このＹ％として５％が設定されている。前述と同様に高精度の温調を実現するために、この５％の増大率を５％未満の値に設定しても良い。
【００５５】
この制御では、温調制御を行う際に、計測値ＰＶ１から送風部目標値ＳＰ１から減ずる演算によって温度差を求めることによりＴ時間あたりの温度変化を求めている。このように求めた温度変化が基準値Ａ℃未満である場合には緩速で温度変化が行われているので、Ｔ時間のインターバルで圧縮機１２の出力をＸ％減ずることにより、圧縮機１２の出力を徐々に減じて圧縮機１２の無駄な駆動を抑制する。また、温度変化が基準値Ａ℃を超える場合には、急速な温度変化であるので、圧縮機１２の出力をＹ％増大させることにより、急速な温度変化を回避している。
【００５６】
この制御において＃２０７ステップで時間経過の後に、圧縮機１２の出力を設定する処理が、本発明の調整出力モードでの制御に対応する。
【００５７】
〔実施例効果〕
チャンバーＲの空気温度が外部の空気温度と等しい状態からチャンバーＲの温調を行う場合のように、チャンバー温センサＴＳ３の計測値ＰＶ３と、チャンバーＲ内目標値ＳＰ３（チャンバーＲの目標温度）との偏差が大きい状況から温調制御を行う際には、吹出部温センサＴＳ２の計測値と、この吹出部温センサＴＳ２の計測部位の送風部目標値ＳＰ１が平衡するまで圧縮機１２を１００％の出力で駆動することにより、送風路８、上部空間９、エアーフィルタ１０を含む空気供給経路の温度を目標とする温度に設定し、この後の温調制御において、この空気供給系の熱容量の作用を排除できる。
【００５８】
次に、設定された時間間隔毎に、チャンバー内目標値ＳＰ３から吹出部温センサＴＳ２の計測値ＰＶ２を減じた値、あるいは、送風部温センサＴＳ１の計測値ＰＶ１から送風部目標値ＳＰ１を減じた値に基づいて圧縮機１２の出力を設定することにより、冷却負荷に応じた出力を設定して、エネルギーを無駄に消費せず、急激な温度変化を抑制しながらチャンバーＲの温調を実現するのである。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】チャンバーと温調装置とを模式的に示す図
【図２】冷凍サイクルと制御構成とを示す図
【図３】温調制御のフローチャート
【図４】制御に使用される符号類を一覧化して示した図
【図５】別実施形態の温調制御のフローチャート
【図６】別実施形態の制御に使用される符号類を一覧化して示した図
【符号の説明】
【００６０】
１２          圧縮機
２１          負荷判定部
２２          調整出力制御部
Ｃ            冷却手段（冷却部）
Ｄ            第１加熱部
Ｅ            第２加熱部
Ｒ            チャンバー
Ｍ            電動モータ
ＨＲ３        制御手段（主制御ユニットＨＲ３）
ＴＳ１        送風部温センサ
ＴＳ２        吹出部温センサ
ＴＳ３        チャンバー温センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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