(57)【要約】【課題】簡易でかつ小型化が容易な構成で所望の減速比を得ることができる遊星歯車減速機構及びこれを用いた電動アクチュエータを提供する。【解決手段】太陽歯車２と、太陽歯車２の外周に固定して配置され、内歯車５が内周に形成されたケーシング６と、太陽歯車２と内歯車５とに噛み合い太陽歯車２の回転に伴って回転しながらケーシング６内で太陽歯車２の周りを公転する遊星歯車３と、太陽歯車２及び遊星歯車３を回転可能に支持するとともに回転可能にケーシングに軸支されたキャリア４とを備え、遊星歯車３が、太陽歯車２と噛み合う上段歯車部３ａと、上段歯車部３ａと同軸に一体に回転し、内歯車５と噛み合う下段歯車部３ｂとを有する二段歯車で構成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽歯車と、前記太陽歯車の外周に固定して配置され、内歯車が内周に形成されたケーシングと、前記太陽歯車と前記内歯車とに噛み合い前記太陽歯車の回転に伴って回転しながら前記ケーシング内で前記太陽歯車の周りを公転する遊星歯車と、前記太陽歯車及び前記遊星歯車を回転可能に軸支するとともに、回転可能に前記ケーシングに軸支されたキャリアとを備えた遊星歯車減速機構において、
前記遊星歯車は、前記太陽歯車と噛み合う第１歯車部と、前記第１歯車部と同軸に一体に回転し、前記内歯車と噛み合う第２歯車部とを有する二段歯車からなることを特徴とする遊星歯車減速機構。
【請求項２】
太陽歯車と、前記太陽歯車の外周に回転可能に配置され、内歯車が内周に形成されたケーシングと、前記太陽歯車と前記内歯車とに噛み合い前記太陽歯車の回転に伴って回転しながら前記太陽歯車を中心に前記ケーシングを回転させる遊星歯車と、前記太陽歯車及び前記遊星歯車を回転可能に軸支するキャリアとを備えた遊星歯車減速機構において、
前記遊星歯車は、前記太陽歯車と噛み合う第１歯車部と、前記第１歯車部と同軸に一体に回転し、前記内歯車と噛み合う第２歯車部とを有する二段歯車からなることを特徴とする遊星歯車減速機構。
【請求項３】
第２歯車部は、第１歯車部より小径であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の遊星歯車減速機構。
【請求項４】
１つの遊星歯車に対して１又は複数設けられ、前記遊星歯車の第２歯車部と噛み合うと共に、内歯車と噛み合う伝達歯車を備え、
太陽歯車と前記遊星歯車の第１歯車部との噛み合い及び前記遊星歯車の第２歯車部と前記伝達歯車との噛み合いを介して、前記太陽歯車に加わった回転力が内歯車に伝達されることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項記載の遊星歯車減速機構。
【請求項５】
電動モータと、
前記電動モータの回転力を減速する請求項１から請求項４のうちのいずれか１項記載の遊星歯車減速機構と、
前記遊星歯車減速機構により減速された前記電動モータの回転力を操作対象物に伝達する出力軸とを備えた電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電動モータからの回転力を減速させて伝達する遊星歯車減速機構及びこれを用いた電動アクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
バルブやダンパの開度調整に使用される電動アクチュエータでは、モータの回転軸から実際にバルブやダンパを動作させる出力軸までの間に歯車減速機構を設けて、モータの駆動力を減速させながら出力軸に伝達させている。このような歯車減速機構としては、例えば多数の平歯車を多段に組み合わせてモータの回転を減速させるものがある。しかしながら、この構成では、電動アクチュエータのケース内における歯車減速機構が占める空間が大きくなり、電動アクチュエータの小型化が制限される。
【０００３】
電動アクチュエータの小型化を目的とする従来の歯車減速機構としては、例えば特許文献１に開示されるものが提案されている。この特許文献１の歯車減速機構は、太陽歯車、遊星歯車及びギアベースを有する遊星歯車ユニットを、内周部に内歯を形成したケーシング内に多段に積層して収納して構成される。
【０００４】
図５は、従来の歯車減速機構の遊星歯車ユニットを示す図であり、図５（ａ）は遊星歯車ユニットの上面図、図５（ｂ）は図５（ａ）中のＡ−Ａ線での断面図を示している。図示の例では、１つの太陽歯車に対し４つの遊星歯車を配置しており、太陽歯車の歯数が１５、遊星歯車の歯数が２５、内歯車の歯数が６５で、全ての歯車のピッチは同一である。
【０００５】
内歯車１０５を設けたケーシング１０６が固定され、電動モータからの駆動力が太陽歯車１０１を介して入力され、遊星歯車１０３が太陽歯車１０１の周りを公転するのに伴ってギアベース１０４が回転する。この場合、減速比は、（太陽歯車１０１及び内歯車１０５の歯数の和）／太陽歯車１０１の歯数で求められ、図５に示す遊星歯車ユニットの減速比はおよそ５となる。
【０００６】
特許文献１による歯車減速機構では、その公開特許公報の図２に示されているように、遊星歯車と噛み合う内歯車を内周部に設けたケーシング内において、最上段の太陽歯車、遊星歯車及びギアベースを有する最上段の遊星歯車ユニットが最上段に配置され、上段の遊星歯車ユニットの最上段のギアベースと連結して一体に回転する次段の太陽歯車、遊星歯車及びギアベースを有する次段の遊星歯車ユニットが連結され、以下同様に数段の遊星歯車ユニットが順次その下段に積層している。
【０００７】
最上段に配置した太陽歯車を駆動源であるモータで回転させると、ケーシング内の内歯車に噛み合う４つの遊星歯車が回転する。この遊星歯車の回転に伴ってギアベースが回転する。このとき、ギアベースの下側に一体に設けた次段の太陽歯車は、遊星歯車ユニットにより更に太陽歯車の回転を減速させられる。
【０００８】
さらに、太陽歯車が回転すると、これと噛み合う４つの遊星歯車が回転してギアベースがその下側に一体に設けた次段の太陽歯車を回転させる。この動作を遊星歯車ユニットの段数分だけ繰り返すことにより、最終段のギアベースに接続するシャフト（出力軸）に対してモータの回転力が多段に減速されて伝達される。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−３１２５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献１に代表されるような従来の歯車減速機構では、遊星歯車ユニットを出力軸に沿って多段に積層するので、電動アクチュエータ内で遊星歯車ユニットの積層方向に大きく空間を占有する。このため、電動アクチュエータの小型化の障害になるという課題がある。
【００１１】
また、単一の遊星歯車ユニットを複数段に組み合わせて歯車減速機構を構成する場合、各段の遊星歯車にかかる負荷は一様でなく、モータの駆動軸から操作端の出力軸へ向かうにつれて大きくなる。
【００１２】
従って、当該歯車減速機構を作成する場合、遊星歯車ユニットに用いる歯車の厚み、歯車の個数などは、最も負荷が大きくなる最終段（最も操作端の出力軸に近い遊星歯車ユニット）が設計基準とされる。このため、モータ側に近い各段の遊星歯車ユニットでは、負荷が小さいにもかかわらず、過剰な歯車の厚み、及び歯車の数を有することになる。
【００１３】
このような設計上の理由によっても、モータの駆動軸から操作端の出力軸に至る方向の寸法が大きくなり、電動アクチュエータの小型化が制限される。なお、モータ側に近い遊星歯車の数を少なくできるにもかかわらず、最終段の歯車数に合わせるために歯車減速機構全体で歯車数が多くなり、電動アクチュエータ全体の重量増加の要因にもなる。
【００１４】
さらに、特許文献１の構成では、ケーシングにフランジ部を設けておき、電動アクチュエータ内でフランジ部を介してボルトによりケーシングを保持板に固定するので、歯車減速機構のアクチュエータカバー内への組み付けや取り外しが煩わしい。
【００１５】
なお、遊星歯車減速機構の減速比は、基本的に太陽歯車と内歯車との歯数比で決まるため、減速比を大きくする場合、内歯車の径が大きくなってしまう。このため、減速比を大きくするには、特許文献１のように歯車ユニットを多段に重ねることが一般的である。
【００１６】
また、遊星歯車の個数で各歯車への負荷を軽減できるが、減速比を大きくするにつれて遊星歯車数は少なくなる。このため、太陽歯車を中心とする機構の特性上、各歯車間で負荷をバランスできず、太陽歯車への負荷が大きくなってしまう。
【００１７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、簡易でかつ小型化が容易な構成で所望の減速比を得ることができる遊星歯車減速機構及びこれを用いた電動アクチュエータを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
この発明に係る遊星歯車減速機構は、太陽歯車と、太陽歯車の外周に固定して配置され、内歯車が内周に形成されたケーシングと、太陽歯車と内歯車とに噛み合い太陽歯車の回転に伴って回転しながらケーシング内で太陽歯車の周りを公転する遊星歯車と、太陽歯車及び遊星歯車を回転可能に軸支するとともに回転可能にケーシングに軸支されたキャリアとを備えた遊星歯車減速機構において、遊星歯車が、太陽歯車と噛み合う第１歯車部と、第１歯車部と同軸に一体に回転し、内歯車と噛み合う第２歯車部とを有する二段歯車からなるものである。
【００１９】
この発明に係る遊星歯車減速機構は、太陽歯車と、太陽歯車の外周に回転可能に配置され、内歯車が内周に形成されたケーシングと、太陽歯車と内歯車とに噛み合い太陽歯車の回転に伴って回転しながら太陽歯車を中心にケーシングを回転させる遊星歯車と、太陽歯車及び遊星歯車を回転可能に軸支するキャリアとを備えた遊星歯車減速機構において、遊星歯車が、太陽歯車と噛み合う第１歯車部と、第１歯車部と同軸に一体に回転し、内歯車と噛み合う第２歯車部とを有する二段歯車からなるものである。
【００２０】
この発明に係る遊星歯車減速機構は、第２歯車部が、第１歯車部より小径であることを特徴とするものである。
【００２１】
この発明に係る遊星歯車減速機構は、１つの遊星歯車に対して１又は複数設けられ、遊星歯車の第２歯車部と噛み合うと共に、内歯車と噛み合う伝達歯車を備え、太陽歯車と遊星歯車の第１歯車部との噛み合い及び遊星歯車の第２歯車部と伝達歯車との噛み合いを介して、太陽歯車に加わった回転力が内歯車に伝達されるものである。
【００２２】
この発明に係る電動アクチュエータは、電動モータと、電動モータの回転力を減速する上記遊星歯車減速機構と、遊星歯車減速機構により減速された電動モータの回転力を操作対象物に伝達する出力軸とを備えるものである。
【発明の効果】
【００２３】
この発明の遊星歯車減速機構によれば、遊星歯車が、太陽歯車と噛み合う第１歯車部と、第１歯車部と同軸に一体に回転し、内歯車と噛み合う第２歯車部とを有する二段歯車からなるので、遊星歯車減速機構を多段に積層することなく、遊星歯車に平歯車を用いた従来の遊星歯車減速機構一段分と同等の部品点数でより大きな減速比を得ることができるという効果がある。
【００２４】
この発明の遊星歯車減速機構によれば、第２歯車部が第１歯車部より小径であるので、平歯車からなる遊星歯車と比較して同等の大きさで大きな減速比を得ることができるという効果がある。
【００２５】
この発明の遊星歯車減速機構によれば、１つの遊星歯車に対して１又は複数設けられ、前記遊星歯車の第２歯車部と噛み合うと共に、内歯車と噛み合う伝達歯車を備え、太陽歯車と遊星歯車の第１歯車部との噛み合い及び遊星歯車の第２歯車部と伝達歯車との噛み合いを介して、太陽歯車に加わった回転力が内歯車に伝達されるので、遊星歯車が内歯車と直接噛み合う構成と比較して歯車にかかる負荷を効率的に分散することができるという効果がある。
【００２６】
この発明の電動アクチュエータによれば、電動モータと、電動モータの回転力を減速する上記遊星歯車減速機構と、遊星歯車減速機構により減速された電動モータの回転力を操作対象物に伝達する出力軸とを備えるので、コンパクトで減速比の大きな電動アクチュエータを実現することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１による電動アクチュエータを示す図であり、実施の形態１による電動アクチュエータをボールバルブに取り付けた場合における出力軸方向に沿った部分断面図である。また、図２は、図１中の遊星歯車減速機構を示す図であり、図２（ａ）は上面図を示し、図２（ｂ）は図２（ａ）中のＢ−Ｂ線での断面図を示している。なお、上面図では、下段の構成を破線で表して視認できるようにしている。
【００２８】
図１に示すように、実施の形態１による電動アクチュエータは、筐体内に設けた支持板８上に取り付けた電動モータ７と、電動モータ７の回転を減速してボールバルブ（操作対象物）１０の駆動軸１３に伝達する遊星歯車減速機構１とを備える。
【００２９】
遊星歯車減速機構１は、電動モータ７の回転軸９の回転力により回転する太陽歯車２、上下で歯数が異なる二段歯車からなる４つの遊星歯車３、太陽歯車２及び遊星歯車３を回転可能に軸支するキャリア４、遊星歯車３の下段の歯車部と噛み合う内歯車５、及び内歯車５が内周部に形成されたケーシング６を備える。太陽歯車２は、キャリア４の中央に設けた固定軸２ａに回転可能に取り付けられるとともに、かつ電動モータ７の回転軸９と同軸に連結されているので、電動モータ７の回転力により固定軸２ａを中心に回転する。
【００３０】
遊星歯車３は、キャリア４の周縁部に設けた固定軸３ｃに取り付けられ、太陽歯車２を介して伝達された回転力により固定軸３ｃを中心に回転しつつ、固定されたケーシング６の内歯車５と噛み合って太陽歯車２の周りを公転する。また、遊星歯車３は、歯数が多く大径の上段歯車部（第１歯車部）３ａとこの上段歯車部３ａより歯数が少なく小径の下段歯車部（第２歯車部）３ｂとからなる二段歯車であり、上段歯車部３ａと下段歯車部３ｂが同軸に一体に回転する。
【００３１】
図２の例では、上段歯車部３ａの歯数が２５であり、上段歯車部３ａより小径の下段歯車部３ｂの歯数は１２である。なお、各歯車を他の歯数の組み合わせで構成しても構わない。
【００３２】
キャリア４は、太陽歯車２周りの遊星歯車３の公転に伴って回転するようにケーシング６内に設けられる。また、キャリア４には、ケーシング６から軸方向に突出するように出力軸４ａが形成されてケーシング６によって回転可能に軸支されており、キャリア４と一体に出力軸４ａが回転する。ケーシング６は、実施の形態１による電動アクチュエータの筐体内に固定して設けられ、その内周部に遊星歯車３の下段歯車部３ｂと噛み合う内歯車５が形成されている。
【００３３】
ボールバルブ１０は、ハウジング１１と、ハウジング１１内に収容され、流路の開閉を行うボール弁体１２と、ボール弁体１２と一体に取り付けられ、回転動作を制御することによりボール弁体１２を開閉する駆動軸１３とを備える。また、駆動軸１３には、実施の形態１による電動アクチュエータの出力軸４ａに連結されており、出力軸４ａの回転によりボール弁体１２が開閉制御される。
【００３４】
次に動作について説明する。
電動モータ７からの回転力は、回転軸９と一体に回転する太陽歯車２を介して遊星歯車３の上段歯車部３ａに伝達される。遊星歯車３では、上段歯車部３ａが固定軸３ｃを中心に回転し、上段歯車部３ａと一体に下段歯車部３ｂが回転する。下段歯車部３ｂは、内歯車５に噛み合っていることから、ケーシング６内において、遊星歯車３が、太陽歯車２の周りを公転する。つまり、太陽歯車２を中心としてキャリア４が回転する。これにより、キャリア４に形成された出力軸４ａと出力軸４ａに連結されたボールバルブ１０の駆動軸１３とが回転し、ボール弁体１２が回動される。
【００３５】
ここで、遊星歯車３は、大径の上段歯車部３ａと小径の下段歯車部３ｂとからなる二段歯車であるので、遊星歯車３において電動モータ７の回転速度が更に減速されると共に、電動モータ７の回転トルクが出力軸４ａを介してボールバルブ１０の駆動軸１３に伝達される。図２の例では、太陽歯車２の歯数が１５、遊星歯車３の上段歯車部３ａの歯数が２５、下段歯車部３ｂの歯数が１２、内歯車５の歯数が５２であることから、減速比がおよそ９となる。
【００３６】
以上のように、この実施の形態１によれば、太陽歯車２から内歯車５までの電動モータ７の回転トルクを伝達するにあたり、歯数の異なる上段歯車部３ａ及び下段歯車部３ｂからなる二段歯車を遊星歯車３として使用し、太陽歯車２と上段歯車部３ａ、及び内歯車５と下段歯車部３ｂとをそれぞれ噛み合うように構成したので、遊星歯車減速機構１を多段に積層することなく、遊星歯車に平歯車を用いた従来の遊星歯車減速機構一段分と同等の部品点数で、より大きな減速比を得ることができる。これにより、電動アクチュエータ内で遊星歯車減速機構１が占める空間を小さく抑えることができ、電動アクチュエータの小型化を図ることができる。
【００３７】
例えば、図５に示した従来の遊星歯車ユニットでは、太陽歯車の歯数が１５、遊星歯車の歯数が２５、内歯車の歯数が６５の場合、一段で減速比がおよそ５であったが、図２に示す実施の形態１による遊星歯車減速機構１では、上述したように減速比がおよそ９であり、倍近い減速比が得られる。
【００３８】
なお、従来の遊星歯車減速機構は、通常、全ての歯車の噛み合いが同じであるため、全て同じ歯の大きさのものが使用される。これに対し、本発明による遊星歯車減速機構では、遊星歯車３の上段歯車部３ａ及び下段歯車部３ｂを互いに異なる歯の大きさにすることができるため、太陽歯車２と上段歯車部３ａ、下段歯車部３ｂと内歯車５とにおいて、歯の大きさが同じ組み合わせに限定されない。このように、本発明では、従来と比較して設計の自由度を向上させることができる。
【００３９】
実施の形態２．
図３は、この発明の実施の形態２による遊星歯車減速機構を示す図であり、図３（ａ）は上面図を示し、図３（ｂ）は図３（ａ）中のＣ−Ｃ線での断面図を示している。なお、上面図では、下段の構成を破線で表して視認できるようにしている。図３に示すように、実施の形態２による遊星歯車減速機構１Ａは、実施の形態１による遊星歯車減速機構１に比べて、１つの遊星歯車３の下段歯車部３ｂと内歯車５とが２つの伝達歯車１４を介して連結される点が異なる。
【００４０】
遊星歯車減速機構１Ａでは、太陽歯車２は、キャリア４の中央に設けた固定軸２ａに回転可能に取り付けられるとともに、電動モータ７の回転軸９と同軸に連結されており、電動モータ７の回転軸９の回転力により固定軸２ａを中心に回転する。一方、遊星歯車３は、キャリア４の周縁部に設けた固定軸３ｃに取り付けられ、太陽歯車２を介して伝達された回転力により固定軸３ｃを中心に回転しつつ、伝達歯車１４とケーシング６の内歯車５との噛み合いにより太陽歯車２の周りを公転する。また、遊星歯車３は、上記実施の形態１と同様に、歯数が多く大径の上段歯車部（第１歯車部）３ａとこの上段歯車部３ａより歯数が少なく小径の下段歯車部（第２歯車部）３ｂとからなる二段歯車を使用する。
【００４１】
伝達歯車１４は、キャリア４において固定軸３ｃよりさらに径方向外側に設けた固定軸１４ａに取り付けられ、遊星歯車３の下段歯車部３ｂを介して伝達された回転力により固定軸１４ａを中心に回転する。遊星歯車減速機構１Ａでは、１つの遊星歯車３に対して２つの伝達歯車１４が設けられている。このように、複数の伝達歯車１４で遊星歯車３と内歯車５とを間接的に連結することで、下段になるにつれ大きくなる歯車にかかる負荷を効率的に分散させることができる。これにより、高トルクの伝達も可能である。
【００４２】
キャリア４は、太陽歯車２周りの遊星歯車３の公転に伴って回転するようにケーシング６内に設けられる。また、キャリア４には、ケーシング６から軸方向に突出するように出力軸４ａが形成されてケーシング６によって回転可能に軸支されており、キャリア４と一体に出力軸４ａが回転する。ケーシング６は、電動アクチュエータの筐体内に固定して設けられ、その内周部に伝達歯車１４と噛み合う内歯車５が形成されている。
【００４３】
次に動作について説明する。
以降でも、上記実施の形態１と同様に、本実施の形態２による遊星歯車減速機構１Ａを用いた電動アクチュエータをボールバルブに取り付けた場合を例に説明する。
電動モータ７の回転軸９の回転力は、回転軸９と一体に回転する太陽歯車２を介して遊星歯車３の上段歯車部３ａに伝達される。
【００４４】
遊星歯車３では、上段歯車部３ａが固定軸３ｃを中心に回転し、上段歯車部３ａと一体に下段歯車部３ｂが回転する。これにより、下段歯車部３ｂと噛み合う伝達歯車１４が、固定軸１４ａを中心に回転し、伝達歯車１４を介して内歯車５に電動モータ７からの回転力が伝達される。
【００４５】
上述のようにして、ケーシング６内で遊星歯車３及び伝達歯車１４が回転しつつ、太陽歯車２の周りを公転する。つまり、上記実施の形態１と同様に、キャリア４が、太陽歯車２を中心に回転する。このキャリア４の回転に伴い、キャリア４に形成された出力軸４ａと、出力軸４ａに連結されたボールバルブの駆動軸１３とが回転し、ボール弁体１２が回動される。
【００４６】
ここで、遊星歯車３は、大径の上段歯車部３ａと小径の下段歯車部３ｂとからなる二段歯車であるので、遊星歯車３において電動モータの回転速度が更に減速され、電動モータの回転トルクが出力軸４ａを介してボールバルブの駆動軸１３に伝達される。図３の例では、太陽歯車２の歯数が１５、遊星歯車３の上段歯車部３ａの歯数が２５、下段歯車部３ｂの歯数が１２、伝達歯車１４の歯数が１４、内歯車５の歯数が７２であり、減速比はおよそ１０となる。
【００４７】
図４は、実施の形態２による遊星歯車減速機構の他の構成を示す上面図であり、伝達歯車１５の下段の構成を破線で表して視認できるようにしている。図３に示した遊星歯車減速機構１Ａは、１つの遊星歯車３に対して、他の遊星歯車３と噛み合いを持たない伝達歯車１４を２つ設ける構成を示したが、図４に示す遊星歯車減速機構１Ｂでは、太陽歯車２周りに隣り合う双方の遊星歯車３の各下段歯車部３ｂに噛み合う伝達歯車１５を介して回転力が内歯車５に伝達される。
【００４８】
伝達歯車１５は、キャリア４に設けた固定軸１５ａに取り付けられ、隣り合う双方の遊星歯車３の各下段歯車部３ｂを介して伝達された回転力により固定軸１５ａを中心に回転する。このように構成することでも、遊星歯車３に対して伝達歯車１５を設けて複数箇所で内歯車５と噛み合うため、回転トルクの伝達による負荷を分散させることができる。
【００４９】
なお、図４の例での各歯車の歯数は、太陽歯車が３５、上段歯車部３ａが３５、下段歯車部３ｂが１４、伝達歯車１５が３２であり、減速比は図３に示した構成よりも大きく、およそ１２である。
【００５０】
以上のように、この実施の形態２によれば、上下で歯数が異なる二段歯車からなる遊星歯車３と、遊星歯車３の下段歯車部３ｂに伝わった回転力を内歯車５に伝える伝達歯車１４，１５とを備えたので、上記実施の形態１と同様に、サイズの大型化を招くことなく、大きな減速比を得ることができる。また、伝達歯車１４，１５により遊星歯車３に対する負荷が効率的に分散されることから、より高い回転トルクの伝達も可能である。
【００５１】
また、上記実施の形態２において、伝達歯車１４，１５の位置に二段歯車を組み合わせ、遊星歯車減速機構を多段に重ねた構成にしてもよい。この場合、１つのキャリア４上に遊星歯車３及び伝達歯車１４，１５を軸支させることができるので、従来の遊星歯車減速機構のようにギアベース（キャリアに相当）自体を複数段重ねる場合と比較して簡単に製造することができる。
【００５２】
なお、上記実施の形態１及び上記実施の形態２では、キャリア４に出力軸４ａを設け、内歯車５を形成したケーシング６を固定してキャリア４を回転させることで、キャリア４に形成された出力軸４ａを回転させる構成を示したが、内歯車５を形成したケーシング６に出力軸を設け、内歯車５を介したケーシング６の回転に連動してこの当該出力軸を回転させる構成にしても良い。
【００５３】
また、上記実施の形態１及び上記実施の形態２では、電動アクチュエータをボールバルブの開閉制御に用いた例を示したが、出力軸４ａを介して伝達される回転力により動作制御することができる対象物であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】この発明の実施の形態１による電動アクチュエータを示す図である。
【図２】図１中の遊星歯車減速機構を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態２による遊星歯車減速機構を示す図である。
【図４】実施の形態２による遊星歯車減速機構の他の構成を示す上面図である。
【図５】従来の歯車減速機構の遊星歯車ユニットを示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１，１Ａ，１Ｂ  遊星歯車減速機構
２  太陽歯車
２ａ，３ｃ，１４ａ，１５ａ  固定軸
３  遊星歯車
３ａ  上段歯車部（第１歯車部）
３ｂ  下段歯車部（第２歯車部）
４  キャリア
４ａ  出力軸
５  内歯車
６  ケーシング
７  電動モータ
８  支持板
９  回転軸
１０  ボールバルブ（操作対象物）
１１  ハウジング
１２  ボール弁体
１３  駆動軸
１４，１５  伝達歯車
【図１】
2009036365.tif 000003
【図２】
2009036365.tif 000004
【図３】
2009036365.tif 000005
【図４】
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【図５】
2009036365.tif 000007