(57)【要約】【課題】ケースの収容空部内に振動子ユニットを位置精度良く収容することができる液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】収容空部２３を区画する内壁面のうちの少なくとも一面に、振動子ユニット１５の収容空部における配置位置の基準となる基準部（第１当接突部４７ａ）と、収容空部内に収容された振動子ユニットの固定板１３を基準部側に付勢する付勢手段（板ゲージ４６）とを設け、収容空部内に振動子ユニットを収容し、付勢手段による付勢力により固定板を基準部に当接させることで、収容空部における振動子ユニットの配置位置を規定した。【選択図】図７
2009083368.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電振動子及びこれらの圧電振動子を支持する固定板を有する振動子ユニットと、該振動子ユニットを収容するための収容空部を有するケースとを備え、前記収容空部を区画する内壁面のうちの少なくとも一面に、前記振動子ユニットの収容空部における配置位置の基準となる基準部を設けた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記収容空部内に前記振動子ユニットを収容し、付勢手段による付勢力により前記固定板を前記基準部に当接させることで、収容空部における振動子ユニットの配置位置を規定し、
振動子ユニットの配置位置を規定した状態で、前記圧電振動子と前記振動板とを接着固定し、前記固定板と前記ケースとを接着固定することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
複数の圧電振動子及びこれらの圧電振動子を支持する固定板を有する振動子ユニットと、該振動子ユニットを収容するための収容空部を有するケースとを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記収容空部を区画する内壁面のうちの少なくとも一面に、前記振動子ユニットの収容空部における配置位置の基準となる基準部と、前記収容空部内に収容された前記振動子ユニットの固定板を前記基準部側に付勢する付勢手段とを設け、
前記収容空部内に前記振動子ユニットを収容し、前記付勢手段による付勢力により前記固定板を前記基準部に当接させることで、収容空部における振動子ユニットの配置位置を規定し、
振動子ユニットの配置位置を規定した状態で、前記圧電振動子と前記振動板とを接着固定し、前記固定板と前記ケースとを接着固定したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記基準部を、前記収容空部の内壁面から突出した当接突部により構成し、同一面に揃えられた各当接突部の先端面を前記振動子ユニットの配置位置の基準となる基準面とし、前記付勢手段の付勢力よって前記振動子ユニットの固定板を前記基準面に当接させたことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記付勢手段を、板ゲージにより構成したことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記付勢手段を、板バネにより構成したことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記付勢手段を、前記収容空部において前記当接突部が設けられた壁面に対向する壁面に突設されたリブにより構成したことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクなどの液体（機能液体）を噴射させるのに好適な液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射ヘッドに関し、特に、複数の圧電振動子及びこれらの圧電振動子を支持する固定板を有する振動子ユニットと、該振動子ユニットを収容するための収容空部を有するケースとを備えた液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドと称する。）には、圧電振動子群を固定板に接合した振動子ユニットと、この振動子ユニットを収納可能な収容空部を形成した樹脂製のケースと、このケース先端部に接合される流路ユニットとを備えた構成を採るものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、各圧電振動子の自由端部は、収容空部の先端側開口を通じてケースの外部に露出しており、先端面が振動板の島部（ダイヤフラム部）に接合されている。そして、この自由端部の伸縮によって振動板を変形させることで圧力室の容積を可変する。また、この振動子ユニットの固定板は、ステンレス鋼によって作製されており、ケースの収容空部の内壁面に接着によって接合されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−０５３９７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記構成の記録ヘッドでは、振動子ユニットをケースの収容空部に収容する際にスムーズに挿入できるように、収容空部を区画する内壁面と振動子ユニットとの間にクリアランスが形成されるように設計されている。このクリアランスは、組立の作業性を確保するためには、例えば十数μｍ程度の寸法が必要となる。
【０００６】
しかしながら、組立て後は上記のクリアランスがあるために、その分、収容空部内における振動子ユニットの位置精度を確保することが困難である問題があった。そして、圧電振動子の自由端部が島部に対して位置ずれしてしまうと、インクの噴射特性に悪影響を及ぼす虞があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ケースの収容空部内に振動子ユニットを位置精度良く収容することができる液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数の圧電振動子及びこれらの圧電振動子を支持する固定板を有する振動子ユニットと、該振動子ユニットを収容するための収容空部を有するケースとを備え、前記収容空部を区画する内壁面のうちの少なくとも一面に、前記振動子ユニットの収容空部における配置位置の基準となる基準部を設けた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記収容空部内に前記振動子ユニットを収容し、付勢手段による付勢力により前記固定板を前記基準部に当接させることで、収容空部における振動子ユニットの配置位置を規定し、
振動子ユニットの配置位置を規定した状態で、前記圧電振動子と前記振動板とを接着固定し、前記固定板と前記ケースとを接着固定することを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、収容空部内に振動子ユニットを収容し、付勢手段による付勢力により固定板を基準部に当接させることで、収容空部における振動子ユニットの配置位置を規定するので、組立て作業に必要なクリアランスを確保しつつも振動子ユニットを収容空部内に位置精度良く収容・固定することができる。これにより、圧電振動子の先端部分のダイヤフラム部に対する位置ずれを防止することができ、その結果、歩留りを向上させることが可能となる。
【００１０】
また、本発明は、複数の圧電振動子及びこれらの圧電振動子を支持する固定板を有する振動子ユニットと、該振動子ユニットを収容するための収容空部を有するケースとを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記収容空部を区画する内壁面のうちの少なくとも一面に、前記振動子ユニットの収容空部における配置位置の基準となる基準部と、前記収容空部内に収容された前記振動子ユニットの固定板を前記基準部側に付勢する付勢手段とを設け、
前記収容空部内に前記振動子ユニットを収容し、前記付勢手段による付勢力により前記固定板を前記基準部に当接させることで、収容空部における振動子ユニットの配置位置を規定し、
振動子ユニットの配置位置を規定した状態で、前記圧電振動子と前記振動板とを接着固定し、前記固定板と前記ケースとを接着固定したことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、収容空部を区画する内壁面のうちの少なくとも一面に、振動子ユニットの収容空部における配置位置の基準となる基準部と、収容空部内に収容された振動子ユニットの固定板を基準部側に付勢する付勢手段とを設け、収容空部内に振動子ユニットを収容し、付勢手段による付勢力により固定板を基準部に当接させることで、収容空部における振動子ユニットの配置位置を規定するので、振動子ユニットを収容空部内に位置精度良く収容・固定することができ、これにより、圧電振動子の先端部分のダイヤフラム部に対する位置ずれを防止することができる。その結果、圧電振動子の位置ずれによる液体の噴射特性の低下を抑制することが可能となる。
【００１２】
上記構成において、前記基準部を、前記収容空部の内壁面から突出した当接突部により構成し、同一面に揃えられた各当接突部の先端面を前記振動子ユニットの配置位置の基準となる基準面とし、前記付勢手段の付勢力よって前記振動子ユニットの固定板を前記基準面に当接させる構成を採用することが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、基準部を、収容空部の内壁面から突出した当接突部により構成し、同一面に揃えられた各当接突部の先端面を振動子ユニットの配置位置の基準となる基準面としたので、収容空部の内壁の一面全体を基準面とするよりも点接触に近い状態で振動子ユニットの配置位置を規定することができる。これにより、位置精度をより高めることが可能となる。
【００１４】
なお、上記構成において、前記付勢手段を板ゲージにより構成することができる。
また、付勢手段を板バネにより構成することもできる。
【００１５】
さらに、付勢手段としては、前記収容空部において前記当接突部が設けられた壁面に対向する壁面に突設されたリブにより構成することも可能である。
【００１６】
この構成によれば、付勢手段としてのリブをケースと一体的に形成することができるので、付勢手段を別途用意する必要がなく、また、付勢手段を収容空部に収容する作業を省略することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録ヘッド（記録ヘッド）を例に挙げて行う。
【００１８】
図１は記録ヘッド１１の斜視図、図２は記録ヘッド１１の分解斜視図である。
例示した記録ヘッド１１は、複数の圧電振動子２０を列設してなる圧電振動子群１２及び固定板１３をユニット化した振動子ユニット１５と、この振動子ユニット１５を収納可能なケース１６と、ケース１６の先端面に接合される流路ユニット１７とを備える。
【００１９】
まず、振動子ユニット１５について説明する。図４に示すように、圧電振動子群１２を構成する圧電振動子２０は、縦方向に細長い櫛歯状に形成されており、例えば５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅に切り分けられている。そして、縦方向（素子長手方向）に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子として構成されている。各圧電振動子２０は、固定端部２１を固定板１３上に接合することにより、自由端部２２を固定板１３の先端縁よりも外側に突出させている。即ち、圧電振動子２０は、所謂片持ち梁の状態で固定板１３上に支持されている。また、固定端部２１は固定板１３の長さよりも短い長さに設けられ、固定板１３の前側部分（先端側部分）に接合されている。なお、各圧電振動子２０における自由端部２２の先端は、それぞれ流路ユニット１７の島部２４（ダイヤフラム部）に接合される（図３及び図５参照）。
【００２０】
振動子ユニット１５の圧電振動子２０に駆動信号を印加するためのフレキシブルケーブル１４は、固定板１３とは反対側となる固定端部２１の側面で圧電振動子２０と電気的に接続されている。また、各圧電振動子２０を支持する固定板１３は、圧電振動子２０からの反力を受け止め得る剛性を備えた板状部材によって構成される。本実施形態では、厚さが１ｍｍ程度のステンレス鋼板によって作製されている。
【００２１】
次に、流路ユニット１７について説明する。図２及び図３に示すように、流路ユニット１７は、ノズルプレート２５、流路形成基板２６、及び振動板２７から構成され、ノズルプレート２５を流路形成基板２６の一方の表面に、振動板２７をノズルプレート２５とは反対側となる流路形成基板２６の他方の表面にそれぞれ配置して積層し、接着等により一体化することで構成されている。
【００２２】
ノズルプレート２５は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口２８を列状に開設した薄手のステンレス鋼製プレートである。本実施形態では、例えば、１８０個のノズル開口２８を列状に開設し、これらのノズル開口２８によってノズル列を構成している。そして、このノズル列を横並びに２列設けている。
【００２３】
流路形成基板２６は、共通インク室３１、インク供給口３２、及び圧力室３３からなるインク流路が形成された板状部材である。具体的には、この流路形成基板２６は、各ノズル開口２８に対応させて圧力室３３となる空部を隔壁で区画した状態で複数形成すると共に、インク供給口３２および共通インク室３１となる空部を形成した板状の部材である。そして、本実施形態の流路形成基板２６は、シリコンウェハーをエッチング処理することで作製されている。
【００２４】
上記の圧力室３３は、ノズル開口２８の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成され、インク供給口３２は、圧力室３３と共通インク室３１との間を連通する流路幅の狭い狭窄部として形成されている。また、共通インク室３１は、インクカートリッジ（図示せず）に貯留されたインクを各圧力室３３に供給するための室であり、インク供給口３２を通じて対応する各圧力室３３に連通している。
【００２５】
振動板２７は、ステンレス鋼等の金属製の支持板３４上にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂フィルム３５をラミネート加工した二重構造の複合板材であり、圧力室３３の一方の開口面を封止するダイヤフラム部として機能すると共に、共通インク室３１の一方の開口面を封止するコンプライアンス部としても機能する。そして、図５に示すように、ダイヤフラム部として機能する部分、すなわち圧力室３３に対応した部分の支持板３４にエッチング加工を施し、当該部分を環状に除去して圧電振動子２０の自由端部２２の先端を接合するための島部２４を形成している。この島部２４は、圧力室３３の平面形状と同様に、ノズル開口２８の列設方向と直交する方向に細長いブロック状であり、この島部２４の周りの樹脂フィルム３５が弾性体膜として機能する。また、コンプライアンス部として機能する部分、すなわち共通インク室３１に対応する部分については、支持板３４の部分をエッチング加工で除去して樹脂フィルム３５だけにしている。
【００２６】
次に、ケース１６について説明する。
図６はケース１６の断面図、図７はケース１６の上面図、図８は図７におけるＡ−Ａ断面図、図９は図７におけるＢ−Ｂ断面図である。
ケース１６は、ブロック状のケース本体４０と、このケース本体４０の基端部から側方に延出されたフランジ部４１とから概略構成された樹脂製の部材である。ケース１６を構成する樹脂としては、成型性が良く高い寸法精度が得られ、必要な剛性も得られるという観点から熱硬化性樹脂が好適に用いられる。
【００２７】
ケース本体４０には、振動子ユニット１５を収容可能な収容空部２３が形成されている。この収容空部２３は、流路ユニット１７側となるケース本体４０の先端面（即ち、ケース１６の下面）から、この先端面とは反対側の基端面（上面）に亘って一連に形成してある。つまり、収容空部２３は、先端側開口から基端側開口に亘ってケース１６の高さ方向を貫通する貫通開口部として形成されている。そして、この収容空部２３は、振動子ユニット１５毎に設けられる。例えば、本実施形態の記録ヘッド１１は、２列のノズル列を有し、各ノズル列に１つの振動子ユニット１５が設けられているので、収容空部２３を２つ横並びに設けている。
【００２８】
この収容空部２３は、圧電振動子群１２のみが挿入される第１収容空部４２と、圧電振動子群１２、固定板１３、及びフレキシブルケーブル１４が挿入される第２収容空部４３とからなる一連の空部である。第１収容空部４２は、圧電素子列設方向に長尺な矩形状の開口を有し、ケース１６の先端面から、それよりもやや基端面寄りの第２収容空部４３まで形成されている。そして、第１収容空部４２の開口長さ（長辺方向の長さ）は、圧電振動子群１２における振動子列設方向の長さよりも少し長く設定されており、開口幅（短辺方向の長さ）は、圧電振動子２０の厚さの２倍程度に設定されている。
【００２９】
第２収容空部４３は、ケース１６の先端面よりも少し基端面側の位置から基端面まで第１収容空部４２と連通する状態で一連に形成されている。即ち、この第２収容空部４３の底面は、ケース１６の先端面からほぼ圧電振動子２０の自由長（自由端部２２の長さ）だけ基端面側の位置に設けられている。そして、第２収容空部４３の開口長さは、固定板１３の幅（振動子列設方向の寸法）よりも僅かに長く設定され、第１収容空部４２の開口長さよりも少し長い。また、第２収容空部４３の開口幅（振動子列設方向に直行する方向または固定板厚さ方向の寸法）は、固定板１３の厚さよりも十分広く設定されており、例えば、固定板１３の厚さの２倍〜３倍程度となっている。
【００３０】
この第２収容空部４３の底部、即ち、第１収容空部４２との境界部分には、収容空部２３における振動子ユニット１５の縦方向の位置を規定するための第１着座段部４４が設けられている。即ち、振動子ユニット１５を収容空部２３に収容する際に、この第１着座段部４４に固定板１３の先端面が当接することにより、振動子ユニット１５の縦方向の位置が規定されるようになっている。また、この第１着座段部４４よりもケース１６の基端面側の位置であって、固定板１３の背面側となる部分には、後述する板ゲージ４６を着座させるための第２着座段部４５が形成されている。つまり、第２収容空部４３の底部は２段の階段状になっている。
【００３１】
第１収容空部４２において、振動子ユニット１５の圧電振動子群１２側となる内壁面（以下、第１内壁面４３ａ）には、これに対向する面（以下、第２内壁面４３ｂ）側に向けて縦長なリブ状の第１当接突部４７ａ（本発明における当接突部（基準部）に相当）が突設されている。この第１当接突部４７ａは、第２収容空部４３の底部からケース１６の基端面までに渡ってケース１６の高さ方向に沿って形成されている。本実施形態においては、図７に示すように、第１内壁面４３ａにおける両端から少しだけ中央寄りにずれた位置にそれぞれ１つずつ合計２つ設けられている。これらの第１当接突部４７ａの位置は、固定板１３の圧電素子群接合面であって圧電素子群１２の両側部分に対応する位置となっている。また、これらの第１当接突部４７ａの先端面（固定板当接面）は、収容空部２３内における振動子ユニット１５の配置位置（固定板厚さ方向の配置位置）の基準となる基準面４８となっており、これらの基準面４８は同一面上に揃えられている。また、図８に示すように、第１当接突部４７ａの上端部分はテーパーＴｐが付けられており、振動子ユニット１５を収容空部２３側に円滑に案内できるようになっている。
なお、本実施形態では、振動子ユニット１５の振動子列設方向の配置位置については、収容空部２３の内壁面のうち、固定板１３の一側面に対向する内壁面（以下、第３内壁面４３ｃ）と、この第３内壁面４３ｃに対向する第４内壁面４３ｄとによって規定される。
【００３２】
一方、第２内壁面４３ｂにおける第１当接突部４７ａに対向する位置には、第１内壁面４３ａ側に向けて第２当接突部４７ｂが突設されている。この第２当接突部４７ｂも第１当接突部４７ａと同様に、第２収容空部４３の底部からケース１６の基端面までに渡ってケース１６の高さ方向に沿って形成された縦長なリブ状部材であり、第１当接突部４７ａに対応して合計２つ設けられている。これらの第２当接突部４７ｂは、振動子ユニット１５を収容空部２３における大まかな配置位置に案内するための案内リブとして機能する。これらの第２当接突部４７ｂの先端面４９は同一面上に揃えられており、固定板１３の背面が摺動可能な案内面として機能する。
【００３３】
ここで図７に示すように、上記構成の記録ヘッド１では、第１当接突部４７ａの基準面４８から第２当接突部４７ｂの先端面４９までの距離Ｄを固定板１３の厚さＴよりも大きく設定することで、振動子ユニット１５を収容空部２３に収容する際にスムーズに挿入できるように、当接突部４７ａ，４７ｂと固定板１３との間にクリアランスＣが形成されるように設計されている。このクリアランスＣは、振動子ユニット１５の挿入作業性を確保するべく、例えば、十数μｍ程度の寸法が必要となる。このため、何ら対策をしない場合には、このクリアランスＣの範囲内で振動子ユニット１５が固定板１３の厚さ方向に動いてしまい、収容空部２３内での配置位置に誤差が生じることがある。
【００３４】
このため、本発明に係る記録ヘッド１では、収容空部２３内に収容された振動子ユニット１５の固定板１３を第１当接突部４７ａ側に付勢する付勢手段を用いることで、上記問題を解決している。
図６、７、及び９に示すように、本実施形態においては、上記の付勢手段として板ゲージ４６（板状スペーサ）を用いている。この板ゲージ４６は、直方体形状のブロック部材で構成されており、例えば、ステンレス鋼などの金属で作製している。この板ゲージ４６の縦方向の寸法は、第２着座段部４５からケース１６の基端面までの寸法よりも若干小さめ（例えば、３／４程度）に設定され、横方向の寸法は、第２当接突部４７ｂ間の距離よりも小さく（例えば、１／３程度に）設定されている。
【００３５】
また、板ゲージ４６の厚さは、第２当接突部４７ｂの突出長さＬと上記クリアランスＣとの合計の長さと同程度か極く僅かに大きく設計されている。この板ゲージ４６の厚さは、要は、収納空部２３に収容された圧電振動子１５の固定板１３と第２内壁面４３ｂとの隙間に差し込まれたときに、振動子ユニット１５を第１当接突部４７ａ側（図７，９において矢印の方向）に付勢して、固定板１３を基準面４８に当接した状態を維持することが可能な寸法に設定される。なお、振動子ユニット１５に付与される付勢力については、板ゲージ４６自体の付勢力の他、この板ゲージ４６によって押圧されることによる固定板１３の弾性変形に起因する付勢力も含まれる。
【００３６】
上記構成の記録ヘッド１において、ケース１６の収容空部２３に振動子ユニット１５を取り付けるには、まず、圧電振動子２０の自由端部２２の先端面に接着剤を薄く塗布する。接着剤を塗布したならば、固定板１３を治具によって保持し、自由端部２２を先頭にした姿勢で振動子ユニット１５を収容空部２３の基端側開口から挿入する。そして、固定板１３の先端面を第１着座段部４４に着座させることにより、振動子ユニット１５の縦方向の位置を規定する。
【００３７】
次に、固定板１３と第２内壁面４３ｂとの間の隙間に板ゲージ４６を差し込むことにより、固定板１３を第１当接突部４７ａの基準面４８に当接させて、振動子ユニット１５の固定板厚さ方向（振動子列設方向に直行する方向）の位置を規定する。また、収容空部２３の内壁面のうち、固定板１３の一側面に対向する内壁面（以下、第３内壁面４３ｃ）と、この第３内壁面４３ｃに対向する第４内壁面４３ｄとによって、振動子ユニット１５の振動子列設方向の配置位置が規定される。これにより、圧電振動子２０の自由端部２２の先端が、対応する島部２４の表面に当接した状態で精度良く位置決めされる。
【００３８】
上記の位置決め状態で、ケース１６の基端面側から流動性を有する接着剤を注入し、毛細管現象を利用することにより、例えば、第１着座段部４４から第２着座段部４５に至るまでの壁面と固定板１３との間を接着剤で満たす。そして、自由端部２２の先端の接着剤、及び、ケース１６の内壁面と固定板１３との間の接着剤を硬化させる。例えば、所定温度まで加熱した状態で適当な時間放置する。これにより、振動子ユニット１５が位置決めされた状態で固定板１３とケース内壁とが接着されると共に、自由端部２２の先端が島部２４に接着される。
【００３９】
このように、本発明に係る記録ヘッド１では、収容空部２３内に振動子ユニット１５を収容し、付勢手段（板ゲージ４６）による付勢力により固定板１３を基準部（第１当接突部４７ａ）に当接させることで、収容空部２３における振動子ユニット１５の配置位置を規定するので、組立て作業に必要なクリアランスＣを確保しつつも振動子ユニット１５を収容空部２３内に位置精度良く収容・固定することができる。これにより、圧電振動子２０の自由端部２２の先端の島部２４に対する位置ずれを防止することができ、歩留りを向上させることが可能となる。その結果、島部２４に対する自由端部２２の先端の位置ずれによるインクの噴射特性の低下を抑制することが可能となる。
【００４０】
また、本実施形態においては、基準部を、収容空部２３の内壁面から突出した少なくとも２つ以上の第１当接突部４７ａにより構成し、同一面に揃えられた各第１当接突部４７ａの先端面を振動子ユニット１５の配置位置の基準となる基準面４８としたので、収容空部２３の内壁の一面全体を基準面とするよりも点接触に近い状態で振動子ユニット１５の位置を規定することができる。これにより、位置精度をより高めることが可能となる。
さらに、本実施形態においては、付勢手段として板ゲージ４６を用いたので、板ゲージ４６の面で固定板１３を押圧することにより、振動子ユニット１５の配置位置をより確実に規定することが可能となる。
【００４１】
ところで、本発明は、上記した第１実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００４２】
上記第１実施形態においては、付勢手段として板ゲージ４６を例示したが、これには限られず、振動子ユニット１５を第１当接突部４７ａ側に付勢可能なものであれば任意の構成の付勢手段を用いることができる。
例えば、図１０に示す第２実施形態のように、板バネ５１を用いても良い。この板バネ５１は、薄手の金属板を断面略く字状に屈曲して形成されており、屈曲側が第２内壁面４３ｂ側となる姿勢で固定板１３の背面に取り付けられている。この板バネ５１は、板ゲージ４６と比較して弾性による変形量を大きくすることができるので、寸法管理をラフにすることができるという利点がある。
【００４３】
また、付勢手段に関しては、図１１に示す第３実施形態のように、収容空部２３における第２内壁面４３ｂから第１内壁面４３ａ側に向けて突設されたリブ５２により構成することも可能である。このリブ５２の突出長は、板ゲージ４６の厚さと同様、第２当接突部４７ｂの突出長さＬとクリアランスＣとの合計の長さと同程度か極く僅かに大きく設計されている。また、その上部は下り傾斜したテーパー形状の挿入ガイドとなっており、振動子ユニット１５の挿入容易性を確保している。この構成によれば、リブ５２をケース１６と一体的に形成することができるので、付勢手段を別途用意する必要がなく、また、付勢手段を収容空部２３に収容する作業を省略することができる。
【００４４】
また、上記第１実施形態においては、第１当接突部４７ａを本発明における基準部（当接突部）とし、その先端面を基準面４８とした構成を例示したが、これには限られず、第２当接突部４７ｂを基準部（当接突部）とし、その先端面４９を基準面とすると共に、付勢手段の付勢力によって固定板１３の背面側を第２当接突部４７ｂに当接させる構成を採用することも可能である。
【００４５】
さらに、上記各実施形態においては、収容空部２３における振動子ユニット１５の固定板厚さ方向の位置決めについて説明したが、例えば、図１２に示す第４実施形態のように、収容空部２３における振動子ユニット１５の圧電素子列設方向の位置決めについても、本発明を適用することができる。
この第４実施形態では、第２収容空部４３の圧電素子列設方向の寸法を固定板１３の幅方向の寸法よりも十分大きく設定し、固定板１３の一側面（図１２においては左側面）に対向する内壁面（第３内壁面４３ｃ）が、本発明における基準部として機能するようになっている。そして、この第３内壁面４３ｃに対向する第４内壁面４３ｄと、固定板１３の他側面（図１２においては右側面）との間の隙間に付勢部材（例えば、板バネ５４）を設けることで、この付勢部材の付勢力で固定板１３の一側面を第３内壁面４３ｃに当接させて、振動子ユニット１５の圧電素子列設方向の位置を規定している。これにより、圧電振動子２０の自由端部２２の先端の島部２４に対する圧電素子列設方向の位置ずれを防止することができる。
【００４６】
なお、以上では、液体噴射ヘッドとして、上記記録ヘッド１１を例に挙げて説明したが、本発明は、他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】記録ヘッドの斜視図である。
【図２】記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】記録ヘッドの要部断面図である
【図４】振動子ユニットの斜視図である。
【図５】圧電振動子と島部の接続部を拡大して示した斜視図である。
【図６】ケースの断面図である。
【図７】ケースの上面図である。
【図８】図７におけるＡ−Ａ断面図である。
【図９】図７におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図１０】第２実施形態の構成を説明するケースの断面図である。
【図１１】第３実施形態の構成を説明するケースの断面図である。
【図１２】第４実施形態の構成を説明するケースの断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１１…記録ヘッド，１３…固定板，１５…振動子ユニット，１６…ケース，２０…圧電振動子，２２…自由端部，２３…収容空部，２４…島部，４２…第１収容空部，４３…第２収容空部，４４…第１着座部，４５…第２着座部，４６…板ゲージ，４７…当接突部，４８…基準面，４９…先端面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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