(57)【要約】【課題】清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に好適な収納ケースを提供する。【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、ケース本体５及び蓋体６のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランク１を内部に収納するケースである。ケース本体５及び蓋体６は金属材料で形成され、マスクブランク１の各辺を少なくとも１箇所で支持する支持部材８をケース内部に設け、該支持部材８は樹脂材料で形成され、上記嵌合部に弾性部材７を介在させることにより該弾性部材７より内方では上記嵌合部同士が非接触で嵌め合わされる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、ケース本体及び蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクを内部に収納するマスクブランク収納ケースであって、
前記ケース本体及び前記蓋体は金属材料で形成され、
前記マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する支持手段をケース内部に設け、該支持手段の前記マスクブランクとの接触部は樹脂材料で形成され、
前記ケース本体及び前記蓋体は、前記嵌合部に弾性部材を介在させることにより該弾性部材より内方では前記嵌合部同士が非接触で嵌め合わされることを特徴とするマスクブランク収納ケース。
【請求項２】
前記支持手段は、前記マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材を前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれに設けてなることを特徴とする請求項１記載のマスクブランク収納ケース。
【請求項３】
前記支持手段は、前記マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材を、金属材料で形成されて前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれの内側にはまるように設置されたフレーム体のそれぞれに設けてなることを特徴とする請求項１記載のマスクブランク収納ケース。
【請求項４】
前記支持手段は、前記マスクブランクの少なくとも各端面頂部を支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
【請求項５】
前記マスクブランク収納ケースは、複数枚の前記マスクブランクを縦置きに収納するケースであって、前記マスクブランク挿入時の端面側部を案内する樹脂材料で形成されたガイド部材を備えていることを特徴とする請求項４記載のマスクブランク収納ケース。
【請求項６】
前記樹脂材料は、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状ポリオレフィン、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマー、ポリカーボネート、フッ素系樹脂から選択される１以上の樹脂であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
【請求項７】
前記ケース本体及び前記蓋体は、ステンレス鋼、酸化アルミニウム、アルミニウム合金のいずれかで形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
【請求項８】
前記ケース本体及び／又は前記蓋体は、その外周に保温材が設けられていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケースに、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクを収納することを特徴とするマスクブランクの収納方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の収納方法によりマスクブランクが収納されたことを特徴とするマスクブランク収納体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスの製造に使用されるフォトマスク等の製造に用いられるマスクブランクを収納する収納ケース及びその収納方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の電子デバイス、特に半導体素子や液晶モニター用のカラーフィルター或いはＴＦＴ素子等は、ＩＴ技術の急速な発達に伴い、一層の微細化が要求されている。このような微細加工技術を支える技術の一つが、転写マスクと呼ばれるフォトマスクを用いたリソグラフィー技術である。このリソグラフィー技術においては、露光用光源の電磁波を転写マスクを通じてレジスト膜付きシリコンウエハー等に露光することにより、シリコンウエハー上に微細なパターンを形成している。この転写マスクは通常、透光性基板上に遮光性膜を形成したマスクブランクにリソグラフィー技術を用いて原版となるパターンを形成して製造される。ところで、マスクブランクの表面にパーティクル等の異物があると、形成されるパターンの欠陥の原因となるので、マスクブランクの表面には異物等が付着しないように清浄に保管される必要がある。
【０００３】
このようなマスクブランクを収納保管し運搬するためのケースとしては、従来では例えば下記特許文献１に開示されているようなマスク運搬用ケースが知られている。すなわち、従来のマスクブランクを収納保管するケースは、キャリアなどと呼ばれている内ケースにマスクブランクを数枚乃至数十枚並べて保持させ、このマスクブランクを保持した内ケースを外箱（ケース本体）内に収容し、さらに外箱上に蓋を被せて、マスクブランクを収納する構造となっていた。
【０００４】
図１１乃至図１３は、特許文献１に開示されたものと同様の構造の収納ケースを示すもので、図１１は収納ケースの蓋を示す斜視図、図１２はマスクブランクを中ケースに収納する状態を示す斜視図、図１３は収納ケースのケース本体（外ケース）を示す斜視図である。
この収納ケースは、マスクブランク１を中ケース２に収納し、この中ケース２をケース本体３に収納し、このケース本体３の開口部側に蓋４を被せる構造である。
【０００５】
上記中ケース２は、開口部側（上方）から底面側（下方）に向けて複数の溝２１，２２を一方の互いに対向する内側面に所定間隔をおいて一対をなして形成し、その溝２１，２２の底面側の底部と中ケース底面にはそれぞれ開口窓（図示せず）と開口部２７が設けられ、さらに中ケース底面側には基板支持部２６が形成され、この基板支持部２６でマスクブランク１の下方端面を支持している（図１２）。そして、この中ケース２をケース本体３に収納して固定するための凹面部２８，２９がそれぞれ中ケースの他方の互いに対向する外側面に底面側から開口部側の途中まで形成されている。数枚のマスクブランク１を中ケース２の一対の溝２１，２２に沿って入れると、これらのマスクブランクは所定間隔をおいて互いに平行に林立する。
【０００６】
上記ケース本体３は、上述した中ケース２の凹面部２８，２９と当接するに適合した突出部３１，３２を、互いに対向する内側面に形成し、その突出部３１，３２の底部はケース本体３底面とも接合している（図１３）。また、一方の対向する外側面の開口部側には凸部３３，３４が形成されている。そして、ケース本体３の開口縁３５のやや下方の位置に続く外周面３６と上記凸部３３，３４の凸面とは略同一面に形成されている。
また上記蓋４は、その一方の対向する下方縁４７（ケース本体へ差し込む開口部側の縁であって、図１１では上方へ向いている）の中央から延びた係合片４１，４２に凹部４３，４４を形成している。これにより、蓋４をケース本体３に被せたときに、上記凹部４３，４４が前記ケース本体３の凸部３３，３４とそれぞれ嵌合することで、蓋４とケース本体３とが固定される構造となっている。また、中ケース２の開口部側上端面２５と当接して中ケース２を垂直方向において支持固定するストッパー４５，４６を一方の内側面に互いに対向させて形成している。
【０００７】
【特許文献１】特公平１−３９６５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年の電子デバイスの高性能化に伴って、転写マスクに形成されるパターンも一段と微細化が要求されており、このような微細パターンを形成するためにもマスクブランクの清浄度は極めて高いものでないと許容できなくなってきている。従って、マスクブランクに異物等が付着するのを出来るだけ抑制することにより、特にレジスト膜を有するマスクブランクの保管中は出来るだけ高い清浄度に維持する必要がある。
【０００９】
また、例えば半導体デザインルールD-RAMハーフピッチ３２ｎｍノード以下の微細化パターンを形成するのに有利な化学増幅型レジストは、その反応メカニズム上、化学成分のコンタミによる影響を受けやすい。つまり、僅かな酸やアルカリの雰囲気にさらされることで性能が劣化してしまう性質を持っている。このため、化学増幅型レジスト膜が形成されたマスクブランクの場合は、単にパーティクル等の異物を排除するだけでは足りず、化学成分のコンタミの影響をも排除するため特に清浄な雰囲気で保管する必要がある。ところが、上記従来の収納ケースは、蓋、中ケース及びケース本体のすべてが例えばアクリル樹脂等の樹脂材料で形成されているため、これら樹脂材料からのアウトガス成分による化学増幅型レジストへの悪影響が従来より指摘されていた。この場合、アウトガスの少ない樹脂材料を用いることも考えられるが、収納ケース全体が樹脂材料で形成される以上、アウトガスによる影響をある程度低減することは可能であるとしても、例えばデザインルールD-RAMハーフピッチ３２ｎｍノード以下の微細化パターンを形成するのに支障がないレベルまでアウトガスによる影響を抑制することは困難である。また、従来の樹脂材料の代わりに、アウトガスの問題のない材料を使用することも考えられるが、単にケースの材料を変更しても、マスクブランクの収納ケースとして要求される例えば輸送中の外部衝撃の問題や、収納ケースのたとえば蓋とケース本体との接触による発塵の問題等をも解決する必要があり、樹脂材料に代わる有望なケース材料に関する提案は今までなされなかった。
【００１０】
従って、本発明は、上記従来の問題点を解消し、化学成分のコンタミの影響を受け易くできるだけ清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に特に好適な収納ケース及び収納方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、前記課題を解決するため鋭意検討した結果、ケース材料として従来の樹脂材料の代わりにアウトガスの問題のない金属材料を使用しても、マスクブランクの収納ケースとして要求される輸送中の外部衝撃の問題や、収納ケースの蓋とケース本体との接触による発塵の問題等をも解決することが可能になることを見い出し、本発明を完成するに至ったものである。
【００１２】
すなわち、本発明は以下の構成を有するものである。
（構成１）上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、ケース本体及び蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクを内部に収納するマスクブランク収納ケースであって、前記ケース本体及び前記蓋体は金属材料で形成され、前記マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する支持手段をケース内部に設け、該支持手段の前記マスクブランクとの接触部は樹脂材料で形成され、前記ケース本体及び前記蓋体は、前記嵌合部に弾性部材を介在させることにより該弾性部材より内方では前記嵌合部同士が非接触で嵌め合わされることを特徴とするマスクブランク収納ケース。
【００１３】
（構成２）前記支持手段は、前記マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材を前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれに設けてなることを特徴とする構成１記載のマスクブランク収納ケース。
【００１４】
（構成３）前記支持手段は、前記マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材を、金属材料で形成されて前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれの内側にはまるように設置されたフレーム体のそれぞれに設けてなることを特徴とする構成１記載のマスクブランク収納ケース。
【００１５】
（構成４）前記支持手段は、前記マスクブランクの少なくとも各端面頂部を支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材を備えていることを特徴とする構成１乃至３のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
【００１６】
（構成５）前記マスクブランク収納ケースは、複数枚の前記マスクブランクを縦置きに収納するケースであって、前記マスクブランク挿入時の端面側部を案内する樹脂材料で形成されたガイド部材を備えていることを特徴とする構成４記載のマスクブランク収納ケース。
【００１７】
（構成６）前記樹脂材料は、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状ポリオレフィン、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマー、ポリカーボネート、フッ素系樹脂から選択される１以上の樹脂であることを特徴とする構成１乃至５のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
【００１８】
（構成７）前記ケース本体及び前記蓋体は、ステンレス鋼、酸化アルミニウム、アルミニウム合金のいずれかで形成されていることを特徴とする構成１乃至６のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
【００１９】
（構成８）前記ケース本体及び／又は前記蓋体は、その外周に保温材が設けられていることを特徴とする構成１乃至７のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケース。
【００２０】
（構成９）構成１乃至８のいずれか一項に記載のマスクブランク収納ケースに、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクを収納することを特徴とするマスクブランクの収納方法。
【００２１】
（構成１０）構成９に記載の収納方法によりマスクブランクが収納されたことを特徴とするマスクブランク収納体。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１の発明によれば、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクを収納するマスクブランク収納ケースのケース本体及び蓋体を金属材料で形成することにより、アウトガス発生の問題を解消することができ、またケースの導電性を確保できる。そして、前記マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する支持手段をケース内部に設け、該支持手段の前記マスクブランクとの接触部は樹脂材料で形成したので、収納ケースのケース本体及び蓋体を金属材料で形成しても、輸送中の外部衝撃（例えば振動）を緩和でき、マスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。また、上記支持手段のマスクブランクとの接触部は樹脂材料を使用するも、従来の樹脂製の収納ケースと比べると大幅に樹脂量を減らせるので、保管中の化学増幅型レジスト膜に対するアウトガス成分の影響を無くすことが可能である。さらに、ケース本体及び蓋体は、両者の嵌合部に弾性部材を介在させることにより該弾性部材より内方では嵌合部同士が非接触で嵌め合わされるため、蓋体をケース本体に被せる際、ケース本体との嵌合部に介在する弾性部材を押し付けて、ケース内を密閉状態とすることができると同時に、弾性部材より内方では金属材料で形成された蓋体とケース本体の嵌合部同士の接触による発塵はなく、弾性部材より外方側では蓋体とケース本体の嵌合部同士の接触による発塵があったとしても弾性部材より内方へは入らないので、マスクブランクへの発塵の影響を防止することができる。
【００２３】
また、請求項２の発明によれば、マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材をケース本体及び蓋体のそれぞれに設けているため、上記支持部材によって輸送中の外部衝撃を緩和でき、マスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぎ、また大幅に樹脂量を減らせるので、保管中の化学増幅型レジスト膜に対するアウトガス成分の影響を無くすことが可能である。
【００２４】
また、請求項３の発明によれば、マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材を、金属材料で形成されてケース本体及び蓋体のそれぞれの内側にはまるように設置されたフレーム体のそれぞれに設けているため、上記支持部材が上記フレーム体と協働して輸送中の外部衝撃を効果的に吸収でき、マスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぎ、また大幅に樹脂量を減らせるので、保管中の化学増幅型レジスト膜に対するアウトガス成分の影響を無くすことが可能である。
【００２５】
また、請求項４の発明によれば、支持手段は、マスクブランクの少なくとも各端面頂部を支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材を備えているため、輸送中の外部衝撃に対してもマスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。
【００２６】
また、請求項５の発明によれば、複数枚のマスクブランクを縦置きに収納するケースの場合、マスクブランク挿入時の端面側部を案内する樹脂材料で形成されたガイド部材を備えていることにより、マスクブランクの収納作業をスムースに行える。
【００２７】
また、請求項６の発明によれば、上記樹脂材料として、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状ポリオレフィン、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマー、ポリカーボネート、フッ素系樹脂から選択される１以上の樹脂を用いることにより、本発明では樹脂量を大幅に減らせる上に、さらにこれらのアウトガス発生の少ない樹脂を用いてアウトガスの影響を抑制することができる。
【００２８】
また、請求項７の発明によれば、ケース本体及び蓋体を、ステンレス鋼、酸化アルミニウム、アルミニウム合金のいずれかで形成することにより、収納ケースの軽量化を図ることができる。
【００２９】
また、請求項８の発明によれば、ケース本体及び／又は蓋体の外周に保温材を設けることにより、たとえば輸送中の冷却による基板結露を防止することができる。
【００３０】
また、請求項９の発明によれば、本発明のマスクブランク収納ケースに、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクを収納することにより、保管中の化学増幅型レジスト膜に対するアウトガス成分（化学成分）の影響を無くすことができる。また、輸送中の外部衝撃（例えば振動）によってもマスクブランクをしっかりと固定して発塵を防止することができる。さらに、ケースの気密性が高いため、不安定な外気の進入を抑えることができる。
【００３１】
また、請求項１０の発明によれば、請求項９の収納方法によりマスクブランクが収納されたマスクブランク収納体は、保管中の化学増幅型レジスト膜に対するアウトガス成分（化学成分）の影響が無く、また輸送中の外部衝撃（例えば振動）によってもマスクブランクがしっかりと固定され発塵を防止することができる。さらに、ケースの気密性が高いため、不安定な外気の進入を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
［第１の実施の形態］
図１乃至図４は本発明の収納ケースの第１の実施の形態を示す。図１は、本発明に係る収納ケースの第１の実施の形態を示す斜視図であり、図２は支持部材の斜視図、図３はマスクブランクを収納した状態の収納ケースの断面図であり、図４は上記支持部材の断面図（同図（ａ））及び同図（ａ）の右方から見た側面図（同図（ｂ））である。
【００３３】
本実施の形態に係るマスクブランクの収納ケースは、上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、内部に化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースである。上記ケース本体５及び蓋体６は、その全体的な形状は、従来構造の収納ケースと同様の形状を有しているが、もう少し詳しく説明すると、ケース本体５は、上方が開口した四角形状の箱体５１と、その開口縁に続くやや外方に拡開した側壁部５２と、その上方開口縁に続く水平方向に延設された鍔部５３とが一体的に形成されている。また、蓋体６は、下方が開口した四角形状の箱体６１と、その開口縁に続く水平方向に延設された鍔部６２とが一体的に形成されている。なお、この蓋体６の鍔部６２の先端部分は下方に折れ曲がっている。
【００３４】
本実施形態の収納ケースは、ケース本体５及び蓋体６は金属材料で形成されている。金属材料で形成されることにより、従来の樹脂製の収納ケースのようなアウトガスの問題が生じない。また、マスクブランクの保管中にチャージが溜まると、マスク製造過程において放電破壊を起こし、パターン欠陥となる場合があるので、収納ケースに適度な導電性を付与することができる。金属材料としては特に制約はされないが、例えば、ステンレス鋼、酸化アルミニウム、ジュラルミン等のアルミニウム合金のいずれかで形成することにより、加工性が良好で、かつ収納ケースの軽量化を図ることができる。
【００３５】
本実施の形態の収納ケースは、蓋体６を閉じる際、上記本体ケース５の鍔部５３と蓋体６の鍔部６２とが嵌め合わされるが、蓋体６を閉じた収納ケースの密閉性を高めるために、ケース本体５の開口側の鍔部５３の内方縁に沿って環状の弾性部材７を嵌め込んでいる。弾性部材７としては、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が好ましく、例えば、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマーが挙げられる。蓋体６をケース本体５に被せる際、ケース本体５との嵌合部に介在する弾性部材７を押し付けて、ケース内を密閉状態とすることができる。
【００３６】
このように、ケース本体５及び蓋体６は、両者の嵌合部、つまり本体ケース５の鍔部５３と蓋体６の鍔部６２との間に上記弾性部材７を介在させることにより、少なくとも該弾性部材７より内方では、本体ケース５の鍔部５３と蓋体６の鍔部６２同士が非接触で嵌め合わされるため、ケース内を密閉状態とすることができると同時に、弾性部材７より内方では金属材料で形成された本体ケース５の鍔部５３と蓋体６の鍔部６２同士の接触による発塵はなく、弾性部材７より外方側では蓋体６とケース本体５の嵌合部同士の接触による発塵があったとしても弾性部材７よりケース内方へは入らないので、収納したマスクブランクへの発塵の影響を防止することができる。
【００３７】
また、本発明の収納ケースは、マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する支持手段をケース内部に設けているが、かかる支持手段として、本実施の形態では、マスクブランクの各端面頂部を支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材８をケース本体５及び蓋体６のそれぞれ内側に設けている。
上記支持部材８は、図２に示すように、断面円形で直線状に延在した軸８１と、その軸８１の側面から断面において直交する方向に引き出した複数対の連結部８２，８３と、その連結部８２，８３の先端に断面略円形状に形成した複数対の当接部８４，８５とを備えている。複数対の連結部８２，８３と当接部８４，８５は、収納する複数枚のマスクブランクを適当な間隔で離間するように所定間隔で配列されている。そして、当接部８４，８５には、内側に凹状にくぼませた当接面８６，８７をそれぞれ互いに直交する方向に形成している。
【００３８】
このような支持部材８を２本用意して、ケース本体５の下部所定位置の側壁を内側に凸となるように形成した軸保持部５４にそれぞれ挿入して取り付けられる。なお、上記軸保持部５４はケース本体５の内側の一方の内側面に互いに対向させて４箇所に設けており、上記支持部材８の軸８１を挿入して、その軸８１をその中心軸の回りに回転自在に保持している。また同様に、蓋体６にもその内側の一方の内側面に互いに対向させて軸保持部６３を４箇所に設けており、上記支持部材８を２本用意して、この軸保持部６３にそれぞれ挿入して取り付けられる。
【００３９】
上記支持部材８を構成する樹脂材料としては、特に限定はされないが、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が特に好ましく、例えば、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状ポリオレフィン、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマー、ポリカーボネート、フッ素系樹脂から選択される１以上の樹脂が好ましく挙げられる。
【００４０】
本実施形態の収納ケースは、主表面が正方形状のガラス基板の一主表面上にクロム膜等の薄膜を成膜し、その上に化学増幅型レジスト膜を形成した複数枚のマスクブランク１をケース本体５に収納し、このケース本体５の開口部側に蓋体６を被せる構造である。ケース本体５の上から蓋体６を被せることにより、上記本体ケース５の鍔部５３と蓋体６の鍔部６２とが弾性部材７を介在させて嵌め合わされる。この本体ケース５の鍔部５３と蓋体６の鍔部６２との嵌合部がずれないように固定する固定フック６２を用いてもよい。そして、各支持部材８の当接部８４，８５の当接面８６，８７がマスクブランク１の各頂部において上部端面１０１及び側部端面１０２並びに下部端面１０３及び側部端面１０２にそれぞれ当接し、マスクブランク１を固定状態に支持する（図３参照）。この際、上記各支持部材８の各当接面８６，８７は凹状にくぼませて形成してあるので、マスクブランク１の各端面の側壁面１ｂとこれに連続する面取面１ｃ（あるいはその一部）（図６）を支持している（図４参照）。なお、図４（ａ）中に、１ｂ及び１ｃで示す破線は、上記支持部材８により支持された状態のマスクブランク１の上記側壁面１ｂと面取面１ｃの位置を示している。
なお、本実施の形態では、複数枚のマスクブランクをケース本体５内に縦置きに収納する際、マスクブランクの収納作業をスムースに行えるように、マスクブランク挿入時の端面側部を案内する樹脂材料で形成されたガイド部材１０をケース本体５内側の一方の対向する内側面の所定位置に備えている。かかるガイド部材１０は、ケース本体５の側壁を内側に凸となるように形成した取付部５５に取り付けている。なお、ガイド部材１０は、マスクブランクの側部端面を支持する支持部材の機能を有していてもよい。
【００４１】
本実施形態の収納ケースは、マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する各支持部材８を樹脂材料で形成したので、ケース本体５及び蓋体６を金属材料で形成しても、輸送中の外部衝撃（例えば振動）を緩和でき、マスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。また、上記支持部材８は樹脂材料を使用していても、従来の樹脂製の収納ケースと比べると大幅に樹脂量を減らせるので、保管中の化学増幅型レジスト膜に対するアウトガス成分の影響を著しく抑制することができ、とりわけアウトガス発生の少ない樹脂を用いてアウトガスの影響をほぼ無くすことが可能である。
【００４２】
また、ケース本体５及び／又は蓋体６の外周に保温材、例えば適当な厚みのポリウレタンシートなどを設けるようにしてもよい。これにより、たとえば冬場の輸送中の冷却による基板結露を防止することができる。
【００４３】
本実施形態における上記支持部材８は、マスクブランク１の２つの主表面１ａ，１ａ（図６）の間にある端面を支持しているが、端面のうち、少なくとも側壁面１ｂを支持していることが望ましく、とくに本実施の形態のように、側壁面１ｂと同時に、その主表面１ａとの間のある面取面１ｃ（あるいはその一部）を支持していることがさらに望ましい。
また、上記支持部材８の弾性強度をより一層強化するため、図５に示すように、とくに支持部材８の軸８１と連結部８２，８３の内部に、断面において直交する例えばステンレス等の金属板８８を埋設することも好ましい実施態様である。
本実施の形態では、上記支持部材８によって、マスクブランクの各頂部の２辺を支持するようにしているが、マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持することによりマスクブランクをしっかりと固定できれば、マスクブランクを支持する位置は本実施の形態には限定されない。
【００４４】
［第２の実施の形態］
図７は本発明に係る収納ケースの第２の実施の形態を示す斜視図であり、図８はその嵌合部の構造を示す断面図である。なお、前述の図１に示す第１の実施の形態と同等の箇所には同一の符号を付して説明する。
本実施の形態に係るマスクブランクの収納ケースは、上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、内部に化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクを１枚収納するマスクブランクの収納ケースである。ケース本体５は、上方が開口した四角形状の箱体５１と、その上方開口縁に続く水平方向に延設された鍔部５３とが一体的に形成されている。また、蓋体６は、下方が開口した四角形状の箱体６１と、その開口縁に続く水平方向に延設された鍔部６２とが一体的に形成され、この鍔部６２の先端部分は下方に折れ曲がっている。
本実施形態の収納ケースにおいても、ケース本体５及び蓋体６は金属材料で形成されている。本実施の形態に好ましく用いられる金属材料としては第１の実施の形態で挙げたものと同様である。
【００４５】
そして、上記ケース本体５の鍔部５３には、その略中央の位置に、鍔部５３を１周するように溝部（凹部）５５が設けられている。また、上記蓋体６の鍔部６２の略中央の位置にも、鍔部６２を１周するように溝部（凹部）６４が設けられている。本実施の形態の収納ケースは、蓋体６を閉じる際、上記本体ケース５の鍔部５３と蓋体６の鍔部６２とが嵌め合わされ、両者の嵌合部は固定フック１１（図８）を用いて固定されるが、上記ケース本体５の鍔部５３の溝部５５と、上記蓋体６の鍔部６２の溝部６４との間に環状の弾性部材１７が嵌め込まれ、該弾性部材１７より少なくとも内方では嵌合部同士が非接触で嵌め合わされる（図８参照）。弾性部材１７の材質は、第１の実施形態と同様、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が好ましい。かかる構成により、ケース内を密閉状態とすることができると同時に、弾性部材１７より内方では金属材料で形成された本体ケース５の鍔部５３と蓋体６の鍔部６２同士の接触による発塵はなく、弾性部材１７より外方側では蓋体６とケース本体５の嵌合部同士の接触による発塵があったとしても弾性部材１７よりケース内方へは入らないので、収納したマスクブランクへの発塵の影響を防止することができる。また、ケース本体５の鍔部５３の溝部５５と、蓋体６の鍔部６２の溝部６４との間に弾性部材１７が嵌め込まれることにより位置決めされるため、蓋体６とケース本体５を嵌め合わせる際の嵌合部同士の水平方向での位置ずれを防止することができる。
【００４６】
また、本実施形態の収納ケースにおいては、内部に収納するマスクブランクの支持手段は前述の第１の実施の形態と同様であり、ケース本体５の内側に設けた軸保持部５４と、蓋体６の内側に設けた軸保持部６３のそれぞれに前述の図２に示す支持部材８を取り付ける。
本実施形態の収納ケースにおいても、ケース本体５及び蓋体６を金属材料で形成することにより、アウトガス発生の問題を解消することができ、またケースの導電性を確保できる。そして、マスクブランクの例えば各頂部を支持する支持手段（支持部材）を樹脂材料で形成したので、ケース本体５及び蓋体６を金属材料で形成しても、輸送中の外部衝撃（例えば振動）を吸収でき、マスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。また、上記支持手段に樹脂材料を使用していても、従来の樹脂製の収納ケースと比べると大幅に樹脂量を減らせるので、保管中の化学増幅型レジスト膜に対するアウトガス成分の影響を著しく抑制することができ、とりわけアウトガス発生の少ない樹脂を用いてアウトガスの影響をほぼ無くすことが可能である。
【００４７】
なお、蓋体６とケース本体５を嵌め合わせたときの両者の嵌合部の構造は、ケース本体５と蓋体６との嵌合部に弾性部材を介在させることにより該弾性部材より内方では嵌合部同士が非接触であれば、上記第１の実施の形態および第２の実施の形態には限定される必要はない。例えば、図９の（ａ）に示すように、蓋体６の箱体６１の下方縁が水平方向の鍔部６２よりも下に延在している構成としてもよい。また、同図（ｂ）に示すように、蓋体６の鍔部６２の先端部分が下方に折れ曲がらない構成としてもよい。さらには、同図（ｃ）または（ｄ）に示すように、蓋体６の鍔部６２およびケース本体５の鍔部５３に適当な溝部を設け、該溝部に弾性部材７を嵌め込むような構成としてもよい。
【００４８】
［第３の実施の形態］
図１０は本発明に係る収納ケースの第３の実施の形態を示す斜視図である。本実施の形態の収納ケースは、マスクブランクを１枚収納する１枚ケースのものである。
本実施の形態に係るマスクブランクの収納ケースは、上方が開口したケース本体１２と、該ケース本体１２に被せる蓋体１３とを備えて、内部に化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランク１を１枚収納するマスクブランクの収納ケースである。ケース本体１２は、上方が開口した四角形状の箱体１２１と、その上方開口縁に続く水平方向に延設された鍔部１２２とが一体的に形成されている。また、蓋体１３は、下方が開口した四角形状の箱体１３１と、その下方開口縁に続く水平方向に延設された鍔部１３２とが一体的に形成され、この鍔部１３２の先端部分は下方に折れ曲がっている。
【００４９】
本実施形態の収納ケースにおいても、ケース本体１２及び蓋体１３は金属材料で形成されている。本実施の形態に好ましく用いられる金属材料としては第１の実施の形態で挙げたものと同様である。
本実施の形態の収納ケースは、蓋体１３を閉じる際、上記本体ケース１２の鍔部１２２と蓋体１３の鍔部１３２とが嵌め合わされ、両者の嵌合部は固定フック（図示せず）を用いて固定されるが、蓋体１３を閉じた収納ケースの密閉性を高めるために、ケース本体１２の鍔部１２２の内方縁に沿って、断面略逆Ｌ字状の環状の弾性部材１４を嵌め込んでいる。弾性部材１４の材質としては、第１の実施形態と同様、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が好ましい。
【００５０】
また、本実施の形態では、マスクブランクの支持手段として、マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する樹脂材料で形成された複数の支持部材を、ケース本体及び蓋体のそれぞれの内側にはまるように設置される金属材料で形成されたフレーム体のそれぞれに設けている。すなわち、下部フレーム体１５は、屋根状に骨組みされた金属フレーム体１５１と、該金属フレーム体１５１の上部各コーナーに例えば樹脂をインサート成形して形成された、マスクブランクの各頂部端面を支持する４箇所の支持部材１５２と、上記金属フレーム体１５１の下部各コーナーに例えば樹脂をインサート成形して形成された４箇所のクッション材１５３とからなる。また、上部フレーム体１６は、四角枠状の金属フレーム体１６１と、該金属フレーム体１６１の各コーナーの下方面に例えば樹脂をインサート成形して形成された、マスクブランクの各頂部を上方から支持する４箇所の支持部材１６２とからなる。下部フレーム体１５は、その下方の各コーナーがケース本体１２の底部の各コーナーにはまるように設置される。この場合、下部フレーム体１５の下方の各コーナーには上記クッション材１５３が形成されているため、金属同士の接触による発塵は防止される。また、蓋体１３の内側の一方の対向する内側面には、側壁を内側に凸となるように形成した取付部１３３を所定位置の４箇所に設け、上部フレーム体１６は、各取付部１３３に嵌め込んで取り付けられる。なお、上記金属フレーム体１６１の各取付部１３３との嵌め合わせ部分には樹脂をインサート成形して樹脂被覆層１６３を形成することにより、金属同士の接触による発塵を防止している。
上記支持部材１５２、１６２とクッション材１５３、樹脂被覆層１６３の材質としては、第１の実施形態と同様、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が好ましい。
【００５１】
本実施形態の収納ケースは、内部に下部フレーム体１５が設置され、１枚のマスクブランク１を収納したケース本体１２の上から蓋体１３を被せることにより、上記本体ケース１２の鍔部１２２と蓋体１３の鍔部１３２とが弾性部材１４を介在させて嵌め合わされる。そして、内部に収納されたマスクブランク１は、下部フレーム体１５に設けられた４箇所の支持部材１５２によって各頂部が支持され、上部フレーム体１３に設けられた４箇所の支持部材１６２によって上からも各頂部が支持される。かかる構成においては、上記支持部材が上記各フレーム体と協働して輸送中の外部衝撃が多少大きくても効果的に吸収できるため、マスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。
【００５２】
以上説明した本実施形態の収納ケースにおいても、ケース本体１２及び蓋体１３を金属材料で形成することにより、アウトガス発生の問題を解消することができ、またケースの導電性を確保できる。そして、マスクブランクの各頂部を支持する上記支持部材１５２，１６２を樹脂材料で形成したので、ケース本体１２及び蓋体１３を金属材料で形成しても、輸送中の外部衝撃（例えば振動）を吸収でき、マスクブランクをしっかりと固定して発塵を防ぐことができる。また、上記支持部材は樹脂材料を使用していても、従来の樹脂製の収納ケースと比べると大幅に樹脂量を減らせるので、保管中の化学増幅型レジスト膜に対するアウトガス成分の影響を著しく抑制することができ、とりわけアウトガス発生の少ない樹脂を用いてアウトガスの影響をほぼ無くすことが可能である。さらに、ケース本体１２及び蓋体１３は、両者の嵌合部に弾性部材１４を介在させることにより該弾性部材より内方では嵌合部同士が非接触で嵌め合わされるため、ケース内を密閉状態とすることができると同時に、弾性部材１４より内方では金属材料で形成された本体ケース１２の鍔部１２２と蓋体１３の鍔部１３２同士の接触による発塵はなく、弾性部材１４より外方側では蓋体１２とケース本体１３の嵌合部同士の接触による発塵があったとしても弾性部材１４よりケース内方へは入らないので、収納したマスクブランクへの発塵の影響を防止することができる。
【００５３】
なお、前述の第１の実施の形態及び第２の実施の形態においても、外部衝撃の吸収性をさらに向上させるために、上述の第３の実施の形態で説明したマスクブランクの支持手段として、マスクブランクの各辺を少なくとも１箇所で支持する支持部材を金属材料で形成されたフレーム体に設け、このフレーム体をケース本体及び蓋体のそれぞれの内側に設置する構成を採用することができる。
【００５４】
以下、具体的な実施例により本発明を説明する。
（実施例１）
合成石英基板（６インチ×６インチの大きさ）上にスパッタ法で、表層に反射防止機能を有するクロム膜（遮光膜）を形成し、その上にスピンコート法でポジ型の化学増幅型レジストである電子線描画用レジスト膜を形成してレジスト膜付きマスクブランクを製造した。
このようにして製造した２０枚のマスクブランクを、１ケースに５枚収納し、計４ケースを用意した。収納ケースとして、前述の図１乃至図３に示す第１の実施の形態に係る収納ケースを用いた。なお、蓋体及びケース本体の材質はステンレスを用いた。また、蓋体及びケース本体に取り付けた各支持部材の材質はポリブチレンテレフタレートを用い、弾性部材の材質はポリオレフィンエラストマーを用いた。収納作業はクリーンルーム内で行った。
【００５５】
このマスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）をクリーンルームではない場所で３箇月保管した。そして、保管後の収納ケースから取り出したマスクブランクに所定の電子線描画を行い、続いて所定の現像、エッチングを行って、転写マスクを作製した。形成した遮光膜のパターンのＣＤエラー（設計線幅に対する実測線幅のずれ）はいずれも５ｎｍ以下と小さく、化学増幅型レジストを用いて、高精度の微細パターンを形成できた。
【００５６】
また、上記マスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）の外側に厚み２０ｍｍのポリウレタンシートを捲いて、さらにアルミ蒸着したポリエチレンフィルムで梱包し、４ケースをエアパッキン入りの段ボールにつめて、以下の振動試験を行った。
すなわち、梱包した収納ケースを８時間倉庫で一時保管後、外気の温度が約０℃の下での夜間輸送（自家用車で一般道を１２時間走行）を行った。
【００５７】
そして、振動試験後、クリーンルーム内で収納ケースを開封し、収納ケースからマスクブランクを取り出したところ、基板結露はなかった。そして、欠陥検査装置（レーザーテック社製：Ｍ２３５０）を用いて、マスクブランク主表面上の付着異物による欠陥（９０ｎｍ以上の大きさの欠陥）個数を測定した。なお、評価は、収納ケースに収納する前の欠陥個数を予め上記と同様に測定しておき、これに対する振動試験後の欠陥個数の増加個数で行った。その結果、本実施例では、増加欠陥個数は平均して４個であり、ケース内部に収納されたマスクブランクを輸送、搬送中でもきちっと固定し、発塵を抑えることが可能である。
【００５８】
（実施例２）
本実施例では、実施例１と同様に製造したマスクブランクを収納するケースとして、前述の図８に示す第３の実施の形態に係る収納ケース（１枚ケース）を４ケース用いたこと以外は実施例１と同様にしてマスクブランクの収納を行った。なお、蓋体及びケース本体の材質はステンレスを用いた。また、上部及び下部フレーム体はステンレスフレームとし、これに取り付けた各支持部材及びクッション材の材質はポリブチレンテレフタレートを用い、弾性部材の材質はポリオレフィンエラストマーを用いた。
【００５９】
このマスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）を実施例１と同様に３箇月保管した後、収納ケースから取り出したマスクブランクを用いて、実施例１と同様に転写マスクを作製した。形成した遮光膜のパターンのＣＤエラー（設計線幅に対する実測線幅のずれ）はいずれも５ｎｍ以下と小さく、化学増幅型レジストを用いて、高精度の微細パターンを形成できた。
【００６０】
また、上記マスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）を梱包して、実施例１と同様の振動試験を行った。そして、実施例１と同様に、収納ケースに収納する前の欠陥個数に対する振動試験後の欠陥個数の増加個数を測定した。その結果、本実施例では、増加欠陥個数は平均して３個であり、ケース内部に収納されたマスクブランクを輸送、搬送中でもきちっと固定し、発塵を抑えることが可能である。
【００６１】
（比較例１）
実施例１と同様に製造したマスクブランクを収納するケースとして、前述の図１１乃至図１３に示す従来構造の収納ケースを用いたこと以外は実施例１と同様にしてマスクブランクの収納を行った。なお、収納ケースの蓋及びケース本体の材質は、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）、中ケースの材質はポリプロピレンをそれぞれ用いた。
【００６２】
このマスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）を実施例１と同様に３箇月保管した後、収納ケースから取り出したマスクブランクを用いて、実施例１と同様に転写マスクを作製した。形成した遮光膜のパターンのＣＤエラー（設計線幅に対する実測線幅のずれ）は１２ｎｍと大きかった。これは、従来構造の収納ケースの場合、ケースを形成する樹脂からの何らかのアウトガス成分によって化学増幅型レジストが汚染されたことが原因であると考えられる。
一方、上記マスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）を梱包して、実施例１と同様の振動試験を行った。そして、実施例１と同様に、収納ケースに収納する前の欠陥個数に対する振動試験後の欠陥個数の増加個数を測定した。その結果、本比較例では、増加欠陥個数は平均して４個であり、実施例１，２と概ね同程度であった。
【００６３】
（比較例２）
実施例１と同様に製造したマスクブランクを収納するケースとして、前述の比較例１と同様の従来構造のケースであるが、蓋及びケース本体の材質はいずれもステンレスを用い、中ケースの代わりにマスクブランクをケース本体に直接溝を設けて収納する収納ケースを用いたこと以外は実施例１と同様にしてマスクブランクの収納を行った。
【００６４】
このマスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）を実施例１と同様に３箇月保管した後、収納ケースから取り出したマスクブランクを用いて、実施例１と同様に転写マスクを作製した。形成した遮光膜のパターンのＣＤエラー（設計線幅に対する実測線幅のずれ）はいずれも５ｎｍ以下と小さく、化学増幅型レジストを用いて、高精度の微細パターンを形成できた。
一方、上記マスクブランクを収納した収納ケース（マスクブランク収納体）を梱包して、実施例１と同様の振動試験を行った。そして、実施例１と同様に、収納ケースに収納する前の欠陥個数に対する振動試験後の欠陥個数の増加個数を測定した。その結果、本比較例では、増加欠陥個数は平均して２万個以上であり、最早マスクブランクとして使用できない状態であった。すなわち、従来の樹脂製の収納ケースを単に金属製に代えただけでは、アウトガスの問題は解決できてもマスクブランクの収納ケースとして使用できないことは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明に係る収納ケースの第１の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】支持部材の斜視図である。
【図３】マスクブランクを収納した状態の収納ケースの断面図である。
【図４】上記支持部材の断面図（同図（ａ））及び同図（ａ）の右方から見た側面図（同図（ｂ））である。
【図５】上記支持部材の他の実施態様の断面図（同図（ａ））及び同図（ａ）の右方から見た側面図（同図（ｂ））である。
【図６】マスクブランクの断面図である。
【図７】本発明に係る収納ケースの第２の実施の形態を示す斜視図である。
【図８】第２の実施の形態における蓋体とケース本体を嵌め合わせたときの嵌合部の構造を示す断面図である。
【図９】（ａ）〜（ｄ）はいずれも蓋体とケース本体を嵌め合わせたときの嵌合部の構造を示す断面図である。
【図１０】本発明に係る収納ケースの第３の実施の形態を示す斜視図である。
【図１１】従来構造の収納ケースの蓋を示す斜視図である。
【図１２】マスクブランクを中ケースに収納する状態を示す斜視図である。
【図１３】従来構造の収納ケースのケース本体（外ケース）を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６６】
１  マスクブランク
２  中ケース
３  ケース本体
４  蓋
５  ケース本体
６  蓋体
７，１７  弾性部材
８  支持部材
１０  ガイド部材
１１  固定フック
１２  ケース本体
１３  蓋体
１４  弾性部材
１５  下部フレーム体
１６  上部フレーム体
【図１】
2009179351.tif 000003
【図２】
2009179351.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009179351.tif 000009
【図８】
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【図９】
2009179351.tif 000011
【図１０】
2009179351.tif 000012
【図１１】
2009179351.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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