(57)【要約】【課題】寿命の長い駆動部に対し寿命の短い噴射部をノズルユニットとして離合自在に構成しても、音響整合性や位置決め精度の高い高周波音響液体ジェット記録装置を提供する。【解決手段】ノズルユニット80は、筐体49と一体的なノズル補強部材81により保持され、筐体49の短手方向の側部に係合凹部83が形成されている。駆動部36上面には、筐体49を装着可能なノズルユニット装着部85が形成され、その側部にはノズルユニットの係合凹部83と摺動自在に係合する係合凸部84が形成されて位置決め手段を構成する。係合凹部83と係合凸部84の幅は、ノズルユニット80の挿入方向に対して先細りのテーパ形状に形成され、ノズルユニット80をノズルユニット装着部85（駆動部36）へ挿入合体させると、ガタのない状態でセットされる。また、上記補強構造により、筐体49のノズル部分が細くて薄い場合でも破損することなく容易に離合操作を行なえる。【選択図】      図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を出射する超音波出射部と、該超音波出射部の超音波出射を駆動制御する制御回路部とが一体に構成された駆動部と、
少なくとも、液体供給部から供給される所望の液体を保持する液体保持室と、該液体保持室の一面に複数の液滴噴射位置を有する噴射開口部を備え、前記駆動部と離合自在に構成されるノズルユニットと、
該ノズルユニットを前記駆動部の超音波伝播下流側に合体させ前記駆動部に密着接合したとき、該駆動部からの超音波出射により前記噴射開口部の任意の噴射位置から前記液体の液滴を噴射させるべく前記ノズルユニットを前記駆動部に位置決めする位置決め手段と、
を備えたことを特徴とする高周波液体ジェット記録装置。
【請求項２】
前記位置決め手段は、前記ノズルユニットと前記駆動部とを接合面に沿って摺動させつつ離合自在に係合させるべく前記ノズルユニットと前記駆動部に互いに設けられた摺動係合部から成り、該摺動係合部は挿入方向に先細りのテーパ形状に形成されている、ことを特徴とする請求項１記載の高周波液体ジェット記録装置。
【請求項３】
前記位置決め手段は、前記ノズルユニットと前記駆動部とを接合面の垂直方向に離合自在に係合させて位置決めさせるべく前記ノズルユニットと前記駆動部に互いに設けられた鋸歯状凹凸嵌合部から成る、ことを特徴とする請求項１記載の高周波液体ジェット記録装置。
【請求項４】
前記液体供給部は、前記ノズルユニットと離合自在に構成され、前記噴射開口部に前記液体を供給する、ことを特徴とする請求項１、２または３記載の高周波液体ジェット記録装置。
【請求項５】
前記ノズルユニットと前記駆動部との密着接合部に介在させて超音波の伝播を整合させる液体整合層を備える、ことを特徴とする請求項１、２、３または４記載の高周波液体ジェット記録装置。
【請求項６】
前記ノズルユニットの新品ユニットに交換用液体整合層を備えると共に、前記新品ユニットを前記駆動部に密着接合したとき、前記密着接合部に介在する液体整合層の新旧を交換する手段を更に備える、ことを特徴とする請求項５記載の高周波液体ジェット記録装置。
【請求項７】
前記超音波出射部は、アレイ状に配置された複数の超音波発信素子を備え、該超音波発信素子により収束超音波を出射する、ことを特徴とする請求項１記載の高周波液体ジェット記録装置。
【請求項８】
前記収束超音波は、前記超音波発信素子ごとに備えられた凹面型音響レンズによる収束超音波である、ことを特徴とする請求項７記載の高周波液体ジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、寿命の長い駆動部と寿命の短い噴射部を離合自在に構成して、寿命の長い駆動部に対し寿命の短い噴射部を交換可能なノズルユニットにした高周波音響液体ジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット方式の画像記録装置（プリンタ）として、駆動部として発熱素子を用いるサーマル式インクジェットプリンタや、駆動部として圧電素子を用いるピエゾ式インクジェットプリンタが広く用いられてきた。
【０００３】
サーマル式インクジェットプリンタは、発熱素子による膜沸騰を利用し、発熱素子の発熱面に発生するバブルの発泡力が、記録ヘッドに内包されて発熱素子面に接触しているインクを押し上げ、記録ヘッドのノズル口にメニスカスを形成しているインク液面よりインク滴を外部の紙面に向けて噴射させて、紙面に所望の画像を記録するものである。
【０００４】
このサーマル式インクジェットプリンタの特徴は、バブルの膨張力が発熱素子面に接触するインク層に伝播させ得ることが必須条件である。すなわち、駆動部である発熱素子とインクは不可分な構成であることがわかる。
【０００５】
また、ピエゾ式インクジェットプリンタは、振動膜としてのダイアフラム層に強力に接着されたピエゾ振動子が振動し、その機械的振動押圧力を薄層のダイアフラム層を介してインク層に伝播させ、そのインク層を、ダイアフラム層に対向して形成されているノズル部より、インク滴として外部の紙面に向けて噴射させて、紙面に所望の画像を記録するものである。
【０００６】
このピエゾ式インクジェットプリンタの特徴も、その駆動素子であるピエゾ振動子はダイアフラム層と密着して接着されていなければならず、インク層もダイアフラム層に直接接していなければ、インク層にダイアフラム層の押圧力が伝達されないから、結果として、インク層と駆動部とは不可分に構成されていることがわかる。
【０００７】
一方、近年に至り、超音波をインク滴噴射の駆動力とするインクジェットプリンタが各種提案されている。例えば、個別の記録ドットごとのノズルやインク流路の隔壁を必要としないスリット型のインク噴射部を有する超音波音響ジェット方式のライン型インクジェットプリンタが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
この方式のインクジェットプリンタは、いわゆるノズルレスの方式であるため、記録ヘッドをシリアル型からラインヘッド化する上で大きな障害となっていた目詰まりの防止と復旧に対して有効であるとされている。
【０００９】
また、例えば、超音波音響の駆動力を、より効率よくインク中に放射できるように、圧電体基板とインク層との間に、インクの音響インピーダンスより大きい音響インピーダンスを有する整合層を設けた構成が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１０】
また、同じくスリット型のインク噴射部を有するものでは、複数の圧電素子の超音波印加タイミングに時間差をつけ、あたかも音響レンズのように主走査方向の所望の位置で超音波を重ね合わせて収束させることによりインク面からインク滴を噴射させる方法が開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【００１１】
この特許文献３の技術は、所望の解像度よりも低解像度なアレイ素子の重ね合わせ収束を利用して所望の解像度を得ることができるため、実装駆動素子数を従来のインクジェット方式のノズル数と同数の駆動素子よりも大幅に削減できるという利点を有している。
【特許文献１】ＵＳ４３０８５４７号公報
【特許文献２】特開平０５−０８４９０８号公報
【特許文献３】特開平１１−０９１０９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、従来のサーマル式やピエゾ式のインクジェットプリンタでは、その記録ヘッドのインク滴を噴射する噴射部であるノズル部のノズル孔は、インクの固結による目詰まりが起こりやすい。
【００１３】
そして、このノズル部の寿命は、発熱素子又は圧電素子からなるヘッド駆動部やこのヘッド駆動部を駆動制御する回路からなる駆動部・制御回路部の寿命に較べると、格段に短い。
【００１４】
したがって、ノズル部のノズル孔にインクの固着などの回復不能な障害が発生した場合、出来れば駆動部・制御回路部からノズル部のみを切り離して廃棄し、新品と交換するのが経済的で好ましいといえる。
【００１５】
ところが、従来のインクジェットヘッドの構造は、インク供給部、ノズル部、インク滴駆動のための発熱素子部または圧電素子部、さらに各素子の駆動回路部が、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）製造技術を活用しても非常に難易度の高い製造法による一体構造であった。
【００１６】
そのため、ノズル部で、インクの固着などの障害が頻繁に発生してノズル部が使用不可となった場合、製造原価の高価な駆動部・制御回路部もノズル部と一体構造のため、障害のあるノズル部だけでなく、駆動部・制御回路部も含めた記録ヘッド全体を廃棄することになり、経済的な損失が大きく、大きな問題となっていた。
【００１７】
上記の一体構造を無視して、仮に、ノズル部だけをその一体構成部より分離させ、交換できるようにしようとすると、従来のサーマル式やピエゾ式のインクジェットプリンタの記録ヘッドの構成では、ノズル部と駆動部との間に在るインク層が空気中に露呈されることとなり、インクの気化凝着、汚染などが生じ、実際にはノズル部のみの交換は不可能な構成であった。
【００１８】
また、サーマル式やピエゾ式とは異なる方式の前述した特許文献１〜３に示される超音波音響方式によるインクジェットプリンタにおいても、上記のノズル部に代わるインク滴噴射部と駆動部・制御回路部とは一体構成であり、噴射部と駆動部・制御回路部とを切り離すことは全く考えられていない。
【００１９】
これは、インク滴の噴射部がスリットであることにも起因すると考えられる。しかし、噴射部がスリットであれば、目詰まりが全く起きないかといえば、スリットといえども副走査方向の開口幅は狭いので、やはり目詰まりは起きると考えなければならない。
【００２０】
いずれにしても、ノズル孔又はスリットを有するインク滴の噴射部（ノズル部も含む、以下同様）は、程度の差こそあれ、インクの固着などの回復不能な障害が発生すると考えられる。
【００２１】
そこで、障害発生やコストメリットを考慮して噴射部と駆動部・制御回路部とを切り離せればよいが、接合の際に数ミクロンレベルの位置決め精度が必要であり、分離構造としてそれ相応の工夫が必要である。また、分離構造とした場合、接合面で音響インピーダンスの不整合が生じて超音波の伝播効率が落ちることが考えられる。従って、上記位置決め精度の他、超音波の減衰の問題もある。
【００２２】
この噴射部の障害発生と記録ヘッド全体を廃棄・交換する問題は、インクジェットプリンタの記録ヘッドが、シリアル型からライン型へと大型化された場合、より大きな問題となり、結果的にインクジェットプリンタの記録ヘッドのライン型化における信頼性の確保が困難となるものであった。
【００２３】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、寿命の長い駆動部と寿命の短い噴射部を離合自在に構成して、寿命の長い駆動部に対し寿命の短い噴射部をノズルユニットとして交換可能にしても、音響整合性や位置決め精度が高い構造の高周波音響液体ジェット記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明の高周波液体ジェット記録装置は、超音波を出射する超音波出射部と、該超音波出射部の超音波出射を駆動制御する制御回路部とが一体に構成された駆動部と、少なくとも、液体供給部から供給される所望の液体を保持する液体保持室と、該液体保持室の一面に複数の液滴噴射位置を有する噴射開口部を備え、上記駆動部と離合自在に構成されるノズルユニットと、該ノズルユニットを上記駆動部の超音波伝播下流側に合体させ上記駆動部に密着接合したとき、該駆動部からの超音波出射により上記噴射開口部の任意の噴射位置から上記液体の液滴を噴射させるべく上記ノズルユニットを上記駆動部に位置決めする位置決め手段と、を備えて構成される。
【００２５】
上記位置決め手段は、例えば、上記ノズルユニットと上記駆動部とを接合面に沿って摺動させつつ離合自在に係合させるべく上記ノズルユニットと上記駆動部に互いに設けられた摺動係合部から成り、該摺動係合部は挿入方向に先細りのテーパ形状に形成されて構成される。
【００２６】
また、上記位置決め手段は、例えば、上記ノズルユニットと上記駆動部とを接合面の垂直方向に離合自在に係合させて位置決めさせるべく上記ノズルユニットと上記駆動部に互いに設けられた鋸歯状凹凸嵌合部から成るように構成することもできる。
【００２７】
また、上記液体供給部は、例えば、上記ノズルユニットと離合自在に構成され、上記噴射開口部に上記液体を供給するように構成される。
【００２８】
また、本発明の高周波液体ジェット記録装置は、上記ノズルユニットと上記駆動部との密着接合部に介在させて超音波の伝播を整合させる液体整合層を備えるよう構成することができる。この液体整合層としては、例えば、水系溶媒やグリセリン系溶媒を好適に用いることができる。
【００２９】
ここで、上記ノズルユニットの新品ユニットに交換用液体整合層を備えると共に、上記新品ユニットを上記駆動部に密着接合したとき、上記密着接合部に介在する液体整合層の新旧を交換する手段を更に備えるよう構成してもよい。
【００３０】
また、上記超音波出射部は、例えば、アレイ状に配置された複数の超音波発信素子を備え、該超音波発信素子により収束超音波を出射するように構成してもよい。
【００３１】
この場合、上記収束超音波は、例えば、上記超音波発信素子ごとに備えられた凹面型音響レンズによる収束超音波であってもよい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、少なくとも寿命の長い駆動部と寿命の短い噴射部を所定の位置決め手段を介して精度良く位置決めすると共に音響整合を考慮しつつ離合自在に構成するので、寿命の長い駆動部に対し寿命の短い噴射部をノズルユニットとして容易に交換可能となり、これにより、経時的な使用費用の廉価な高周波音響液体ジェット記録装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。先ず、本発明に係る高周波音響液体ジェット記録ヘッドの基本構造について説明する。
【００３４】
図１は、高周波音響液体ジェット記録装置のヘッド部の基本構造を示す断面図である。図１に示すように、記録ヘッド１は、圧電体基板２とノズルプレート３が、液室４を挟んで対向配置されている。
【００３５】
液室４には、外部から液体が供給される。液体は、通常のインクジェット装置用のインクでもよいが、本発明で以降説明される高周波音響液体ジェット記録装置は、文字用プリンタではなく、より広い分野の印刷を行うことを目的としている。
【００３６】
例えば薬剤袋、商品包装部材のバーコード等の印刷のほか、電極等の印刷も目的としており、このような電極等の印刷では、インクではなく粘度の高い液体が用いられることになる。
【００３７】
上記のノズルプレート３には、複数のノズル孔５が所定の方向に所定の間隔で形成されている。同図の例では、図の紙面奥行き方向に所定の間隔で一列に並んだノズル孔５の列が、二列形成されている状態を示している。
【００３８】
これに対して、圧電体基板２には、不図示の駆動回路に接続されている個別電極６と共通電極７が、圧電体基板２を表裏から挟んで配置されている。個別電極６は、ノズル孔５と同じ数だけノズル孔５に対向する位置に配置されている。共通電極７は、ノズル孔５の列に対向する位置に、図の紙面奥行き方向に延在して２本配置されている。
【００３９】
不図示の駆動回路からの制御のもとに、個別電極６に駆動電圧が印加されると、駆動電圧が印加された個別電極６に対応する部分の圧電体基板２が高周波振動し、超音波を射出して、液室４内の個別電極６とノズル孔５の間にある液層の上面を押圧し、ノズル孔５から液滴８として外部に噴射させる。
【００４０】
ところで、図１に示した基本構成では、従来型のインクジェットプリンタのヘッド部構成と同様に全てが一体型であるので、ノズル孔５が回復不能な目詰まりを起こしたからといって、噴射部を構成するノズルプレート３のみを交換することはできないが、以下に説明する本発明の高周波音響液体ジェット記録装置では、記録ヘッドの噴射部のみを交換することができる。
【００４１】
（実施形態１）
図２（ａ）〜（ｄ）は、実施形態１における高周波音響液体ジェット記録装置（以下、単に記録装置という）を示す図である。同図（ａ）は記録装置１０の上面図を示し、同図（ｂ）〜（ｄ）は同図（ａ）のＡ−Ａ´断面一部拡大矢視図を示している。
【００４２】
また、同図（ｂ）はノズルユニット１１の断面図を示し、同図（ｃ）は駆動部１２の断面図を示し、同図（ｄ）はノズルユニット１１と駆動部１２が不図示の位置決め手段を介して合体して一体となり、全体が稼動可能状態となった断面図を示している。
【００４３】
同図（ａ）〜（ｄ）に示すように、ノズルユニット１１は、複数のノズル孔１３を一列に形成されているノズル板１４、その下に形成されている液室１５、液室１５の底一面に配設された第１の音響整合層１６、その下の基材Ａ１７、その下面一面に配設された第２の音響整合層１８とで構成されている。
【００４４】
尚、上記のノズル板１４に一列に形成された複数のノズル孔１３は、これに限ることなく、ノズル孔１３の直径と同寸法幅の一直線のスリットであってもよい。
【００４５】
また、基材Ａ１７は、ノズルユニット１１の全体構成を支えて、その形状を保つための板部材であり、材質としては、例えばガラス、アルミニューム、合成樹脂、エボナイト等を用いることができる。
【００４６】
一方、駆動部１２は、基材Ｂ１９、その下面に配設された共通電極２１、酸化亜鉛（ＺｎＯ）の薄層２２、その薄層２２の下面の上記ノズル孔１３の位置に対応する位置に配置された個別電極２３、及び個別電極２３を選択的に駆動する駆動制御部２４を備えている。
【００４７】
更に駆動部１２には、超高周波発生部２５が設けられている。上記の共通電極２１から引き出された配線は直接超高周波発生部２５に接続され、他方、個別電極２３から引き出された配線は、駆動制御部２４を介して超高周波発生部２５に接続されている。超高周波発生部２５は、上記の配線及び駆動制御部２４を介して、共通電極２１と個別電極２３間に超高周波電圧を供給する。
【００４８】
上記の基材Ｂ１９は、駆動部１２の全体構成を支えて、その形状を保つための板部材であり、材質としては、基材Ａ１７と同様に、例えばガラス、アルミニューム、合成樹脂、エボナイト等を用いることができる。
【００４９】
いずれにしても、基材Ｂ１９には、基材Ａ１７と同質（音響インピーダンスが同一）のものを用いるようにするのが、音響エネルギーの損失が無いので得策である。
【００５０】
これらノズルユニット１１と駆動部１２が合体して、同図（ｄ）に示すように、記録ヘッドとして一体となると、全体が稼動可能状態となる。
【００５１】
すなわち、同図（ｄ）に示すように、例えば、駆動制御部２４ｎの駆動スイッチが入って個別電極２３ｎが駆動されると、個別電極２３ｎの配置部分の圧電体であるＺｎＯの薄層２２が超音波を発生する。
【００５２】
発生した超音波は、基材Ｂ１９を伝播し、第２の音響整合層１８を通じて基材Ａ１７に入り込み、さらに第１の音響整合層１６を通じて液室１５内に伝播し、その音響放射圧により微小な液滴２６をノズル孔１３ｎより噴射させる。
【００５３】
このように、駆動部１２とノズルユニット１１を離合自在に構成したことによって、ノズルユニット１１のノズル孔１３に強固な目詰りが発生し、通常のノズルクリーニング機構でも目詰りが回復不可能な場合は、ノズルユニット１１の交換が可能な構成になっているので、高価で超寿命の駆動部を再利用することが可能となって経済性が向上する。
【００５４】
ここで薄層２２の超音波の透過率を調べるために、基材Ａ１７及び基材Ｂ１９の材質を種々に変えて、基材Ａ１７及び基材Ｂ１９の材質の違いによる超音波の透過率を計算すると、その計算結果のグラフは、特には図示しないが、音響整合層（第１の音響整合層１６及び第２の音響整合層１８）の厚さＬが超音波の波長λの半波長「λ×１／２」の整数倍であるとき、音響整合層の材質に係らず、基材Ａ１７から基材Ｂ１９へ超音波が無損失で透過することが判明する。
【００５５】
しかし、音響整合層の音響インピーダンスの値が基板Ａ及び基板Ｂの音響インピーダンスの値から離れるに従い、低損失で透過する音響整合層の厚さが小さくなるため、音響整合層の材質としては、出来るだけ基板Ａ及び基板Ｂの音響インピーダンスに近い音響インピーダンスを有する材料を選択する必要がある。
【００５６】
また、更に条件を変えて計算してみると、音響整合層の厚さが超音波の半波長の整数倍であるときだけでなく、音響整合層の厚さが超音波の１／４波長の奇数倍であるときも、超音波が無損失で透過していることが判明する。
【００５７】
この場合にも、音響整合層の厚さの誤差を補償するために、音響整合層の音響インピーダンスは「√（（基材１の音響インピーダンス）・（基材２の音響インピーダンス））」に近いものを選択するようにする。
【００５８】
また、本例では、音響整合層の材質、特に第２の音響整合層１８の材質には、緩やかな粘着性を持たせて、駆動部１２との合体接合を保持する機能も持たせるようにしているが、後述するように、液体整合層を用いることもできる。
【００５９】
尚、図２では１列のノズル孔１３（一直線のスリットでもよい）のみの、つまり単色用の記録ヘッドを示したが、図２の記録ヘッドを３個又は４個連設してフルカラーの記録ヘッドを作製することもできる。
【００６０】
図３（ａ），（ｂ）はフルカラー記録を行うためにノズルユニットに４色用４列のスリットをもつ記録ヘッドを示す図である。同図（ａ）はノズルユニット２７と駆動部２８が不図示の位置決め手段を介して合体して記録ヘッド２９として一体となった状態を示し、同図（ｂ）は、ノズルユニット２７と駆動部２８が分離した状態を示している。
【００６１】
この記録ヘッド２９は、フルカラーインクジェットプリンタの例を示しており、ノズルユニット２７において使用される液体は、４色のインクである。図３（ａ）に示すノズルユニット２７に設けられている４列のスリットは、例えば、図の左側から右側へ、イエローインク用スリット３１、マゼンタインク用スリット３２、シアンインク用スリット３３、及びブラックインク用スリット３４である。
【００６２】
それぞれの色用のスリットを有するノズルユニットの個々の構成は、図２に示した構成と同様であり、これに対する駆動部の構成も図２に示した構成と同様である。
【００６３】
このように、記録ヘッドがインクジェットプリンタに適用され、更に、フルカラーインクジェットプリンタに適用される場合においても、噴射部と駆動部は離合自在であり、寿命の長い駆動部に対して、寿命の短い噴射部をノズルユニットとして交換自在に構成することができる。
【００６４】
このような噴射部と駆動部の離合自在な構成は、本例において、超音波の透過・伝幡条件として、音響インビーダンス（音速・密度）を整合させることにより、超音波が液体・固体内をスムーズに伝播する特性を利用しているからである。
【００６５】
このようにインクジェットプリンタの構成において、記録ヘッドの噴射部と駆動部を分離型構成とすることにより、記録ヘッドの寿命を決定していたノズル部の、インク目詰まり障害の発生に対して、従来は高価な又は長寿命な駆動部も、ノズル部と一体構成のため廃棄・交換せざるを得なかった経済的に致命的な欠陥を、本方式により、障害のあるノズル部のみをノズルユニットとして分離・交換するだけで、記録ヘッドの再利用が可能となる。
【００６６】
特に、スリットでなくノズル孔を有する構成の高解像度の記録ヘッドや上記のような多色用の記録ヘッドになると、ノズル孔の数が非常に多くなり、それに応じて、ノズル孔の目詰りの確率も高くなる。
【００６７】
また、記録ヘッドの製作コストもそれに応じて高くなる。本発明のように、噴射部であるノズル部のみの交換が出来ることは、高価で超寿命の駆動部を再利用することが可能となるので経済的に非常に有利になる。
【００６８】
また、サーマル型やピエゾ型のインクジェットプリンタでは、ノズル内のインクとアクチュエータの連成系の固有振動数に同期（共振）させてインクを吐出するため、１ドットごとに（ノズル１個ごとに）インク室が必要である。
【００６９】
しかし、超音波の場合は指向性の鋭い高周波超音波を用いることにより、必ずしも１ドットごとにインク室を設ける必要はない。
【００７０】
複数ドットで１つのインク室を共用する、あるいは１つの記録ヘッドで１つのインク室であっても何ら支障はない。これにより、記録ヘッドの微細加工が緩和され、ノズル部が製造し易くなる。
【００７１】
（実施形態２）
上述した例は、ノズルユニットと駆動部が位置決め手段を介して離合自在である構成を示し、ノズルユニットと液体供給部との関係については説明しなかったが、ノズルユニットと液体供給部も、離合自在な構成とすることができる。これを、実施形態２として以下に説明する。
【００７２】
図４（ａ）は、実施形態２における記録装置の断面図、図４（ｂ）は、ノズル孔付き液体室を有するノズルユニットを駆動部から分離した図、図４（ｃ）は各部の構成がわかるように同図（ａ），（ｂ）を分解して示した斜視図である。
【００７３】
同図（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、本例の記録装置３５では、先ず、駆動部３６は、基材３７の上に個別電極３８を形成し、その上にＺｎＯなどから成る圧電体の薄層３９、さらにその上に共通電極４１を形成している。
【００７４】
そして、同図（ａ）に示すように、共通電極４１は配線で接地回路に接続され、個別電極３８は、駆動制御部４４を介して超高周波発生部４５に接続されている。
【００７５】
尚、上記の圧電体の薄層３９の材質は、酸化亜鉛（ＺｎＯ）と限ることなく、例えば、酸化チタン（ＴｉＯ）等であってもよい。
【００７６】
図４（ｃ）の破線で囲んで示す共通電極４１と個別電極３８が交差する位置で共通電極４１と個別電極３８で挟まれている圧電体の薄層３９の部分４６が、圧電活性部４６であり、ここから超音波が出射される。
【００７７】
また、上記の圧電体の薄層３９の両側には、高さ調整部材４２（同図（ｃ）には図示を省略）が配置され、この高さ調整部材４２と圧電体の薄層３９の上に音響整合剤層４３が設けられている。
【００７８】
一方、ノズルユニット４７は、ノズル孔４８の付いた筐体４９から成る液室５０を備え、液室５０の下部には底板５１を備えている。ノズル孔４８は、筐体４９の底板５１と液室５０を介して圧電活性部４６に対向する位置に形成されている。
【００７９】
図４（ｃ）に示すように、ノズル孔４８は、二列に形成されている。これらのノズル孔４８は、その間隔の１／２間隔を、他の列に対して列方向にずらして形成されている。これにより、主走査方向（図４（ｃ）の左斜め下から右斜め上方向）の解像度を２倍にすることができる。
【００８０】
この液室５０の中には、不図示の液タンクから導かれた液が充填される。液室５０は、図４（ｃ）では長手方向両端が開口している如くに示されているが、実際には、一方の端部は筐体４９の端部によって塞がれており、他方の端部に液タンクが離合自在に連結されるようになっている（後述する図１１も参照）。
【００８１】
以上の構造において、圧電活性部４６で発生した超音波は、音響整合剤層４３、底板５１を伝播し、液室５０内に放射される。そして、液表面に到達した音響放射圧により、同図（ａ）に示すように、液表面からノズル孔４８を介して液滴５２を外部に飛翔させる。
【００８２】
ここで、音響整合剤層４３は、基材３７や、液室５０の底板５１の音響インピーダンスを考慮して、これらの音響インピーダンスと近い音響インピーダンスを有する材料が選択される。
【００８３】
また、上記の構造において、図４（ｂ）に示したように、音響整合剤層４３の部分で、ノズルユニット４７と駆動部３６が分離可能となる構造にする。
【００８４】
この場合、音響整合剤層４３の材質には緩やかな粘着性を持たせ、ノズルユニット４７との接合を保持する機能も持たせるようにする。また、後述するように、液体を用いるようにすると一層整合性が向上する。
【００８５】
このように、実施形態２においても、駆動部と噴射部を分離可能な構成にすることによって、強固な目詰まりが発生し、通常のノズルクリーニング機構でも回復不可能な場合はノズル孔付き液室からなるノズルユニット４７を交換可能な構成にする。
【００８６】
尚、上記の音響放射圧をＰＲとすると、その音響放射圧ＰＲは次式で表される。
ＰＲ＝（１＋Ｒ^2）／（ρＣ^2）・（１／Ｔ）∫の0からT｛ｐ(t) ｝^2ｄｔ・・・（１）
ここで、ｐ(t) は液表面における音圧、Ｒは液中から空気中への音圧反射率、?は液密度、Ｃは液中の音速である。
【００８７】
尚、音圧は音源の周波数に比例するが、上記の音響放射圧ＰＲは、上記の式（１）より周波数の２乗に比例していることが分かる。
【００８８】
また、音響波は高周波になるほど直進性が良いことが知られている。よって、より高い高周波の音響波を用いることにより、小さい音源からでも直進性の良い強力な音響放射圧を得ることができる。
【００８９】
したがって、従来例で用いられているような音響レンズを用いない本例の構成であっても、微小な液滴を液面から飛翔させることが可能となる。
【００９０】
ところで、一般に、接触する二種類の物質間で音響インピーダンスの値が桁違いに異なると、その接触界面で超音波は反射されてしまうことは、よく知られている。そして、空気はその音響インピーダンス値が桁違いに小さいことは周知である。
【００９１】
上記実施形態２において、図４（ａ），（ｂ）?に示したように、音響整合剤層４３の部分で、ノズルユニット４７と駆動部３６が不図示の位置決め手段を介して分離可能となっている。そこで、ノズルユニット４７と駆動部３６との接合箇所で空気が入り込んで音響の伝播に不具合を生じさせることがある。この場合、上述したように音響整合剤層４３に液体を用いるようにすればノズルユニット４７と駆動部３６との密着接合がより好ましく得られるが、接合の仕方によっては気泡が入り込む恐れがある。
【００９２】
図５（ａ）、（ｂ）は、そのような不具合を解決する実施形態２の変形例（その１）である。なお、図５（ａ），（ｂ）においては、図４（ａ），（ｂ），（ｃ）と同一の構成又は機能部分には図４（ａ），（ｂ），（ｃ）と同一の番号を付与して示している。
【００９３】
図５（ａ）に示す変形例において、液室５０の底板５１には、ノズル孔４８に対応する位置に、窓５１ａが形成されている。そして、図５（ｂ）に示すようにノズルユニット４７を駆動部３６に合体する際、空気を挟み込むことになるが、本変形例（その１）においては、窓５１ａが形成されているために、この窓５１ａが挟み込んだ空気の逃げ部となる。すなわち、ノズルユニット４７を駆動部３６に合体後、液室５０の中に不図示の液タンクから導かれた液が充填されると、図５（ｂ）に示すように窓５１ａには泡４０が形成されるが、ヘッド駆動時の最初のクリーニングモードにより、泡４０は気泡４０ａとなってノズル孔４８から消え失せる構成である。
【００９４】
さて、以上説明した本実施形態の記録装置３５において、図４（ａ）に示したように、ノズル孔４８から液滴５２が噴射されることになるが、多数回の記録を行なったり、長期間放置した際や、ノズル部クリーニングが不十分であったりすると、このノズル孔４８の周囲に液剤中の不溶成分が析出、堆積してくることは避けられない。すなわち、ノズル孔４８の周囲に付着した液剤が乾燥して液滴汚れが発生する。
【００９５】
図６（ａ）、（ｂ）は、そのような液滴汚れを解決する実施形態２の変形例（その２）である。図６（ａ）に示す変形例において、筐体４９の上面壁４９ａは、複数の積層された部材（４９ａ−１、４９ａ−２、４９ａ−３、・・・）で形成されている。そして、液滴汚れが発生した際には、自動または手動にて、図６（ｂ）の矢印で示すように、積層された部材の最上部の積層部材４９ａ−１を剥離・分離させるものである。これにより、ノズル孔４８の周囲に液滴汚れのない新しい積層部材（この場合４９ａ−２）が現れ、長期に亘り記録品質の維持が図れる。また、ノズルユニット全体の交換寿命を延ばすことが可能となる。なお、本変形例として、ノズル孔４８を有するもので説明したが、スリットの場合にも適用できるのは言うまでもない。
【００９６】
図７（ａ）は比較のため実施形態２の記録装置をその長手方向の断面図で再掲した図であり、同図（ｂ），（ｃ）は実施形態２の更なる変形例（その３）を示す図である。
【００９７】
尚、同図（ｂ）は、同図（ａ）の記録装置３５に対応する変形例の記録装置の断面図を示し、同図（ｃ）は、同図（ｂ）に示す変形例の音響レンズの配置のみ取り出して示す平面図である。
【００９８】
また、図７（ａ）に再掲する実施形態２の記録装置３５は、図４（ａ）を横方向から見た断面図である。また、図７（ａ），（ｂ），（ｃ）には図４（ａ），（ｂ），（ｃ）と同一の構成又は機能部分には図４（ａ），（ｂ），（ｃ）と同一の番号を付与して示している。
【００９９】
ところで、前述した実施形態１及び２では、超高周波の超音波は直進性に優れているため、液滴を方向安定性良くノズル孔から飛翔させるには、図７（ａ）に一点鎖線５３で示すように、圧電活性部４６（図４（ｃ）参照）の中心とノズル孔４８の中心を一致させる必要があった。
【０１００】
そのために、ラインヘッドのように長い記録ヘッドを構成する場合には、特に圧電活性部とノズル孔それぞれの位置精度を正確に管理する必要があり製造に困難を伴うことが予想される。本変形例は、上記のように予想される困難性を予め解消するものである。
【０１０１】
図７（ｂ），（ｃ）に示す変形例において、液室５０の底板５１の上には、ノズル孔５４と圧電活性部４６に対応する位置に、音響レンズ５５が形成されている。但し、この本変形例の場合は、ノズル孔５４と圧電活性部４６を、音響レンズ５５よりも大きく形成し、それぞれの位置合わせ精度の条件を援和している。
【０１０２】
図７（ｂ）は、位置合わせ精度の条件が援和されていることを示すため、位置ずれを強調して示している。
【０１０３】
すなわち、同図（ｂ）に示す例では、音響レンズ５５の中心位置５５ａに対し、ノズル孔５４の中心位置５４ａは右側にやや位置ずれしており、これとは逆に、圧電活性部４６の中心位置４６ａは左側にやや位置ずれしていて、それぞれの中心線が全て一致していない場合の例を図示している。
【０１０４】
圧電活性部４６の大きさは所望の解像度の範囲内で、且つ隣接素子とのクロストークの起きない範囲で大きくする。そして、音響レンズ５５は、圧電活性部４６より小さい形状とする。さらに、ノズル孔５４は、記録ヘッド部の向きに関係なく、液の漏れ出さない範囲で大きくする。
【０１０５】
このようにノズル孔５４を大きくしても、音響レンズ５５による集束超音波で液滴の生成・飛翔を行わせるので、印字性能には影響しない。
【０１０６】
また、各部をこのような構成にするとともに、平面超音波では液滴の生成・飛翔が出来ず、超音波を集束させて液面に照射したときのみ液滴の生成・飛翔が可能になるように超音波出力強度を調整する。
【０１０７】
そうすることにより、音響レンズ５５の位置が圧電活性部４６の範囲内で前後左右に位置ずれが有っても、安定的に液滴を生成・飛翔させることが可能になる。
【０１０８】
本変形例によれば、駆動部と噴射部の位置合わせ精度が緩和され、記録ヘッド部の製造が容易になる。また、液滴の吐出口の構造は、ノズル孔５４である必要はなく、記録ヘッド部の長手方向に延在する一直線のスリットであっても良いことは前述した。
【０１０９】
この場合は、液滴の吐出口であるスリットと、音響レンズや圧電活性部との記録ヘッド部長手方向の位置合わせは不要になる。
【０１１０】
尚、本例のようなノズルユニットと駆動部が着脱方式の場合において、液滴の吐出口のある筐体４９の上面壁は、液室５０に充填される液体の上面を規制するためのものであり、吐出口の開口の大きさが液体のメニスカスによって液漏れしない形状で有りさえすれば、吐出口の形状はノズル孔でもスリットでも良いものである。
【０１１１】
ただし、ノズル孔のほうが、スリットである場合よりも、筐体上面壁の丈夫さを補強することができることはいうまでも無い。
【０１１２】
（実施形態３）
ところで、前述した先行技術の説明の項で、スリット型のインク噴射部を有し、複数の圧電素子の超音波印加タイミングに時間差をつけて主走査方向の所望の位置で超音波を重ね合わせて収束させ、インク滴を噴射させる技術があることを説明した。
【０１１３】
この技術を更にやや詳しく説明すると、収束超音波の形成を円形振動子を使わずに軸方向（Ｘ方向）と副走査方向（Ｙ方向）とでそれぞれ異なる方式を使い、Ｘ方向にアレイ状に配設された振動子に個々に高周波振動させ、その位相をずらすことにより、個々の振動子から発生する個々の超音波の合成波として液面に収束超音波を導くものである。
【０１１４】
これから述べる実施形態３も、上記同様の収束超音波からの液滴飛翔技術を採用する。そして、液滴の吐出口をスリット構造とし、ＸＹ収束制御技術を使うことにより適正な液滴の噴射を達成させている。
【０１１５】
尚、この実施形態３では、カラー記録を行う場合でも、それぞれの色ごとの構成及び処理は同様となるので、単色構造のもので説明する。
【０１１６】
図８（ａ）は、実施形態３におけるノズルユニットの構成を記録媒体と共に示す図であり、同図（ｂ）は、ノズルユニットと駆動部を分離した状態を示す図である。
【０１１７】
同図（ａ）に示すように、本例の記録ヘッド部５６は、記録媒体搬送部５７により吸着されて搬送される記録媒体５８に対向して、所定の距離だけ離間した位置に配置される。
【０１１８】
記録ヘッド部５６は、図の上部より、液滴５９を飛翔させるスリット６１を有する筐体上面壁６２と、この筐体上面壁６２と筐体側底面壁６３により囲繞された液室６４からなるノズルユニット６５を備えている。
【０１１９】
そして、その下部位置に駆動部７０を備えている。駆動部７０は、上部隔壁材６６、側部隔壁材６７、及び下部隔壁材６８で囲繞された超音波伝播液室６９を備え、超音波伝播液室６９には超音波伝播液材７１が充填されている。
【０１２０】
この超音波伝播液室６９のほぼ中央に凹面型の音響レンズ７２が配置され、その下方に超音波発生素子７３が、音響レンズ７２の下部凸状に対向して配置される。超音波発生素子７３は、配線７４及び７５を介してＵＳ（ultrasound）駆動部７６に接続されている。
【０１２１】
超音波発生素子７３には、記録信号に同期して、ＵＳ駆動部７６から超音波パルス７７が印加される。これにより、図８（ａ）に示すように、収束された超音波７８が液室６４の液層に照射され、その音響力で、液滴５９が飛翔する。
【０１２２】
超音波７８の伝達条件で、超音波伝播液材７１が最適化されるためには、種々の項目があるが、重要な項目は音響インピーダンス値（密度・音速）が他部材と同レベルの材質で構成されることである。
【０１２３】
従って、本例では、超音波発生素子７３に対向する音響レンズ７２、超音波伝播液材７１、各隔壁６６、６７、６８、及び液室６４の液体までの音響インピーダンスは、同レベルとなるよう条件選択されている。
【０１２４】
尚、アレイ状に配置された本例の超音波発生素子７３の遅延駆動操作の実施例は、前述した従来例に詳細に記述されている。
【０１２５】
上記の記録ヘッド部５６もまた、図８（ｂ）に示すように、ノズルユニット６５と駆動部７０は、分離可能に構成されている。すなわち、ノズルユニット６５と駆動部７０は、図８（ａ），（ｂ）に示すように離合自在に構成されている。
【０１２６】
そして、図８（ａ），（ｂ）に示すように、それぞれの筐体内部には、外気とは遮断された音響伝播部材７１、液室６４の液体が配設されている。
【０１２７】
このように、記録動作時は、ノズルユニット６５と駆動部７０は、音響伝達条件のもとに密接接合されており、非記録時またはノズルユニット６５の交換を必要とされた時には、その接合箇所を図示しない解除機構を介し、容易に分離解除できるように構成されている。
【０１２８】
そして、図８（ｂ）のように分離されても、汚染又は凝集の危険のある液体及び超音波伝播液材は、筐体内に密封されており、例えばノズル孔やスリット等の吐出口を有するノズルユニット６５のみを交換させることが可能となっている。
【０１２９】
尚、フルカラー記録を行う場合は、４列の各色毎のスリット（またはノズル孔）をもつ記録ヘッドが構成される（図３を参照）。そして、４列の各色毎のスリット（またはノズル孔）に対応する超音波素子群は、カラー記録信号同期で、パルス駆動され、フルカラー記録が実現される。
【０１３０】
（実施形態４）
ところで、上記実施形態１〜３において、離合自在なノズルユニットと駆動部について詳細構成を示し、離合および位置決めのための具体的構成について詳細に説明しなかったが、ノズルユニットと駆動部の離合構成としては、例えばノズルユニットと駆動部とを接合面に沿って摺動させて離合自在な構成とすることができる。これを、実施形態４として以下に説明する。
【０１３１】
図９（ａ）、（ｂ）は、実施形態４における記録装置として、ノズルユニットと駆動部を同時に示す図であり、同図（ａ）は、ノズルユニットを駆動部にセットする時の状態を示す図、同図（ｂ）は、その位置決め構造の要部拡大図である。なお、上記実施形態２で説明した図４（ａ），（ｂ），（ｃ）と同一の構成又は機能部分には図４（ａ），（ｂ），（ｃ）と同一の番号を付与して示している。
【０１３２】
図９（ａ）に示すように、本例のノズルユニット８０は、ノズルユニットの筐体４９を補強するために、筐体４９の両端から液滴噴射方向に立設した前後アーム８１ａ、８１ｂとこれらに連設する上アーム８１ｃとを有するノズル部補強部材８１が一体的に構成されている。また、前アーム８１ａには取っ手８２が形成されている。さらに、筐体４９の短手方向の側部には係合凹部８３が形成されている。
【０１３３】
なお、ノズルユニット８０の上アーム８１ｃの下方と筐体４９の上面との間の空間は、液適記録のための被記録媒体が搬送される空間となる。
【０１３４】
一方、同図（ｂ）に示すように、駆動部３６上面には、ノズルユニット８０の筐体４９を装着可能なノズルユニット装着部８５が形成され、このノズルユニット装着部８５の側部にはノズルユニットの係合凹部８３と摺動自在に係合する係合凸部８４が形成されている。すなわち、上記係合凹部８３と係合凸部８４とで位置決め手段を構成している。また、ノズルユニット装着部８５の奥部には、ノズルユニット８０の液室５０と連結する液剤供給路８６が配設されている。
【０１３５】
なお、これまでの説明では、ノズルユニット孔４８を１〜２列とし、ノズルユニットの液室５０を１つのものとして説明してきた。従って、同図（ｂ）に示した液剤供給路８６からの液剤供給も１つの液室５０へ供給される。しかし、高解像度のためにノズルユニット孔４８を３列以上に構成しても良く、その場合には、ノズルユニットの液室５０を複数段構造にしても良い。
【０１３６】
このような実施形態４の記録装置において、?ノズルユニット８０の係合凹部８３の幅と駆動部３６の係合凸部８４の幅は、ノズルユニット８０の挿入方向に対して先細りのテーパ形状に形成されている（図９（ａ）において、Ａ＞Ｂ）。これにより、ノズルユニット８０をノズルユニット装着部８５（駆動部３６）へ挿入合体させると、ガタのない状態でセット可能である。
また、上記のような補強構造としたことにより、ノズルユニット８０の筐体４９のノズル部分が細くて薄い場合でもノズル部分に触れることがなくなり、破損することなく離合操作を行なえる。従って、ユニット交換が容易に実施できる。
【０１３７】
ところで、本実施の形態においても、図４（ｂ）に示したように、ノズルユニット８０と駆動部３６の分離部分には音響整合剤層を設けている。そして、本例では、グリセリン系溶媒のような液体整合剤を用いるようにする。この場合、液体整合剤としては、本体側のノズルユニット装着部８５（駆動部３６）のユニット接合部に予め供給するようにしている。
【０１３８】
しかし、ユニット交換時や長期の使用につれて液体音響整合層に気泡が入ったり、ゴミなどの不純物が入り込む恐れがある。図１０（ａ）、（ｂ）は、そのような不具合を解決する実施形態４の変形例である。なお、図１０（ａ），（ｂ）において、図９（ａ），（ｂ）と同一の構成又は機能部分には図９（ａ），（ｂ）と同一の番号を付与して示している。
【０１３９】
図１０（ａ）に示す変形例において、ノズルユニット９０は、後アーム８１ｂの上方に開口した収納部９１の内部に下方の排出パイプ９１ａと連結し整合層液９２ａが満たされた整合層液タンク９２を備え、前アーム８１ａの内部に形成された回収部９４には回収パイプ９４ａと連結された整合層液回収袋９５を備えている。
【０１４０】
このような構成のノズルユニット９０を駆動部３６に合体すると、装置本体に設けられた整合層液押し出し棒９６が不図示のレバーにより手動または自動制御されて、図１０（ｂ）に示すように下方に押されて整合層液タンク９２から整合層液９２ａが押し出される。すると、ノズルユニットと駆動部の接合面に予め存在する整合層液を押しやって整合層液回収袋９５に回収されるよう構成されている。
【０１４１】
従って、整合層液が定期的に自動交換されると共に接合面間に入り込んだ気泡やゴミを古い整合層液と一緒に回収して接合面をクリーニングすることができる。なお、排出パイプ９１ａにスポンジ部材のようなクリーナを予めセットしておいて、整合層液９２ａの押し出しと同時にこのクリーナが接合面間を移動するように構成してクリーニングの向上を図るようにしても良い。
【０１４２】
（実施形態５）
ところで、上記実施形態４において、ノズルユニット８０を駆動部３６に位置決めする構成として、ノズルユニット８０を接合面に沿って摺動させつつ離合自在に係合させるようにしたが、ノズルユニットと駆動部とを接合面の垂直方向に離合自在に係合させるようにすることもできる。これを、実施形態５として以下に説明する。
【０１４３】
図１１（ａ）、（ｂ）は、実施形態５における位置決め構造を示し、（ａ）はノズルユニット１００を駆動部に合体する前、（ｂ）はノズルユニットを駆動部に合体した後の状態を示す図である。なお、本例においても、上記図４（ａ），（ｂ），（ｃ）と同一の構成又は機能部分には図４（ａ），（ｂ），（ｃ）と同一の番号を付与して示している。
【０１４４】
図１１（ａ）に示すように、本例のノズルユニット１００は、筐体４９の底板１０１が鋸歯状凹凸形状に構成され、保持部材１０２の両端部方向に位置決めピン１０２ａ、１０２ｂを備えている。また、一端部には接続管１０３を備え、液剤タンク１０４の接続部１０４ａを介して液剤タンク１０４と着脱自在とされる。
【０１４５】
一方、駆動部３６は、基板１０５が突起１０５ａを有して上記底板１０１と対応するように鋸歯状凹凸形状に構成されている。また、両端部方向に位置決め穴１０６ａ、１０６ｂを備える構成である。なお、駆動部３６の構造は基本的に図４で示したものと同様であり、圧電体の薄層３９以外の詳細の図示を省略している。ここで、本例の圧電体の薄層３９の駆動用振動子の配設ピッチは例えば４２．３?ｍとされており、このピッチに合わせて鋸歯状凹凸部の凹部が形成されている。
【０１４６】
すなわち、上記位置決めピン１０２ａ、１０２ｂ、鋸歯状凹凸形状の底板１０１、鋸歯状凹凸形状の基板１０５、突起１０５ａ、不図示の固定手段とで位置決め手段を構成している。
【０１４７】
このような実施形態の記録装置３５において、図１１（ｂ）に示すように、ノズルユニット１００を駆動部３６に合体させると、ノズルユニット１００の位置決めピン１０２ａ、１０２ｂが駆動部３６の位置決め穴１０６ａ、１０６ｂに案内されると同時に、上記底板１０１と基板１０５に形成された鋸歯状凹凸部が互いに嵌合して位置決めされる。その際、突起１０５ａが整合層液９３の厚さを一定に調整する。そして、ノズルユニット１００と駆動部３６とは不図示の固定手段により固定保持される。
【０１４８】
なお、以上の説明において、整合層液９２ａや９３としては、グリセリン系溶媒のような液体を用いるものとしたが、整合層液として磁性流体を用いることもできる。その場合、例えばノズルユニットと駆動部のいずれかの接合面をマグネット層とし整合層液としての磁性流体を磁力で保持するようなことも可能である。それにより、整合層が流動することなく、ノズルユニットと駆動部の離合操作の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【０１４９】
【図１】高周波音響液体ジェット記録装置のヘッド部の基本構造を示す断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は実施形態１における高周波音響液体ジェット記録装置を示す図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は実施形態１においてフルカラー記録を行うためにノズルユニットに４色用４列のスリットをもつ記録ヘッドを示す図である。
【図４】（ａ）は実施形態２における記録装置の断面図、（ｂ）?はノズルユニットを駆動部から分離した図、（ｃ）は各部の構成がわかるように（ａ），（ｂ）を分解して示した斜視図である。
【図５】実施形態２の変形例（その１）を示し、（ａ）はノズルユニットを駆動部に合体する前、（ｂ）はノズルユニットを駆動部に合体した後の状態を示す図である。
【図６】実施形態２の変形例（その２）を示し、（ａ）はノズルユニットの筐体上面壁の液滴汚れを説明する図、（ｂ）は筐体上面壁最上部を剥がし取るところを説明する図である。
【図７】（ａ）は比較のため実施形態２のノズルユニットをその長手方向の断面図で再掲した図、（ｂ），（ｃ）は実施形態２の変形例（その３）を示す図である。
【図８】（ａ）?は実施形態３におけるノズルユニットの構成を記録媒体と共に示す図、（ｂ）はそのノズルユニットと駆動部を分離した状態を示す図である。
【図９】（ａ）は実施形態４におけるノズルユニットを駆動部にセットする時の状態を示す図、（ｂ）は、その位置決め構造の要部拡大図である。
【図１０】（ａ）はノズルユニットに液体整合層を備える実施形態４の変形例を示し、（ｂ）は液体整合層の新旧交換を説明する図である。
【図１１】実施形態５における位置決め構造を示し、（ａ）はノズルユニットを駆動部に合体する前、（ｂ）はノズルユニットを駆動部に合体した後の状態を示す図である。
【符号の説明】
【０１５０】
１      記録ヘッド
２      圧電体基板
３      ノズルプレート
４      液室
５      ノズル孔
６      個別電極
７      共通電極
８      液滴
１０    記録装置
１１    ノズルユニット
１２    駆動部
１３    ノズル孔
１４    ノズル板
１５    液室
１６    第１の音響整合層
１７    基材Ａ
１８    第２の音響整合層
１９    基材Ｂ
２１    共通電極
２２    薄層
２３    個別電極
２４    駆動制御部
２５    超高周波発生部
２６    液滴
２７    ノズルユニット
２８    駆動部
２９    記録ヘッド
３１    イエローインク用スリット
３２    マゼンタインク用スリット
３３    シアンインク用スリット
３４    ブラックインク用スリット
３５    記録装置
３６    駆動部
３７    基材
３８    個別電極
３９    圧電体の薄層
４０    泡
４０ａ  気泡
４１    共通電極
４２    高さ調整部材
４３    音響整合剤層
４４    駆動制御部
４５    超高周波発生部
４６    圧電活性部
４６ａ  圧電活性部中心位置
４７    ノズルユニット
４８    ノズル孔
４９    筐体
４９ａ  上面壁
４９ａ−１、４９ａ−２、４９ａ−３  積層部材
５０    液室
５１    底板
５１ａ  窓
５２    液滴
５２ａ  液滴汚れ
５４    ノズル孔
５４ａ  ノズル孔中心位置
５５    音響レンズ
５５ａ  音響レンズ中心位置
５６    記録ヘッド部
５７    記録媒体搬送部
５８    記録媒体
５９    液滴
６１    スリット
６２    筐体上面壁
６３    筐体側底面壁
６４    液室
６５    ノズルユニット
６６    上部隔壁材
６７    側部隔壁材
６８    下部隔壁材
６９    超音波伝播液室
７０    駆動部
７１    超音波伝播液材
７２    音響レンズ
７３    超音波発生素子
７４、７５  配線
７６    ＵＳ駆動部
７７    超音波パルス
７８    超音波
８０    ノズルユニット
８１    ノズル部補強部材
８１ａ、８１ｂ、８１ｃ  アーム
８２    取っ手
８３    係合凹部
８４    係合凸部
８５    ノズルユニット装着部
８６    液剤供給路
９０    ノズルユニット
９１    収納部
９１ａ  排出パイプ
９２    整合層液タンク
９２ａ  整合層液
９３    整合層液
９４    回収部
９４ａ  回収パイプ
９５    整合層液回収袋
９６    整合層液押出し棒
１００    ノズルユニット
１０１    底板
１０２    保持部材
１０２ａ、１０２ｂ    位置決めピン
１０３    接続管
１０４    液剤タンク
１０４ａ  接続部
１０５    基板
１０５ａ  突起
１０６ａ、１０６ｂ    位置決め穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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