(57)【要約】【課題】温調装置としての温調能力を確保しながら、ムダなエネルギー消費を合理的な手法で避けることができる温調装置を提供する。【解決手段】送風機の能力を可変制御する制御手段を備えるとともに、温調対象流体の温度を検出して、温調制御の精度を検出する温調制御精度検出手段Ｍ１と、検出される温調制御精度に基づいて、送風機における循環能力低下の許容度を判定する温調制御精度判定手段Ｍ４を備え、温調制御精度判定手段Ｍ４により、循環能力の低下が許容されると判断した場合に、循環手段の循環能力を低下させる。【選択図】図２
2009236452.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温調対象空間との間で、前記空間内の温調対象流体が循環する循環路を形成可能に構成されるとともに、前記温調対象流体を循環させる送風機と、前記温調対象流体を冷却する冷却手段と加熱する加熱手段とを備えた温調装置であって、
前記送風機の循環能力を可変制御する制御手段を備えるとともに、
前記温調対象流体の温度を検出して、温調制御の精度を検出する温調制御精度検出手段と、前記温調制御精度検出手段により検出される温調制御精度に基づいて、前記送風機における循環能力低下の許容度を判定する温調制御精度判定手段を備え、
前記温調制御精度判定手段により、循環能力の低下が許容されると判断した場合に、循環手段の循環能力を低下させる循環能力設定手段を備えた温調装置。
【請求項２】
前記温調制御精度が、前記温調対象空間内に設定される温度検出位置における温調対象流体の温度の時間領域における変動分、及び前記温調対象空間内に設定される温度検出位置における温調対象流体の温度の空間領域における変動分のいずれか一方もしくはそれらの両方である請求項１記載の温調装置。
【請求項３】
前記冷却手段が、冷凍サイクル内を循環する冷媒との熱交換により前記温調対象流体を冷却する構成で、前記冷凍サイクル内を流れる冷媒の低圧側圧力を検出する冷凍機低圧側圧力検出手段と、前記冷凍機低圧側圧力検出手段により検出される冷凍機低圧側圧力に基づいて、前記送風機における循環能力低下の許容度を判定する冷凍機低圧側圧力判定手段を備え、
前記循環能力設定手段が、前記冷凍機低圧側圧力判定手段により、循環能力の低下が許容されると判断した場合に、前記循環手段の循環能力を低下させる請求項１又は２記載の温調装置。
【請求項４】
温調対象流体の吹出し口における温調対象流体の温度と、温調対象流体の吸込み口における温調対象流体の温度との差である吹出吸込温度差を検出する吹出吸込温度差検出手段と、前記吹出吸込温度差検出手段により検出される吹出吸込温度差に基づいて、前記送風機における循環能力低下の許容度を判定する吹出吸込温度差判定手段を備え、前記循環能力設定手段が、前記吹出吸込温度差判定手段により、循環能力の低下が許容されると判断した場合に、前記循環手段の循環能力を低下させる請求項１〜３の何れか一項記載の温調装置。
【請求項５】
前記循環能力低下の許容度を判定するに、低下が許容できる低下許容基準と、変更しない維持基準と、上昇が必要とされる上昇基準とに基づいて判定する請求項１〜４の何れか一項記載の温調装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温調対象空間との間で、空間内の温調対象流体が循環する循環路を形成可能に構成されるとともに、温調対象流体を循環させる送風機と、温調対象流体を冷却する冷却手段と加熱する加熱手段とを備えた温調装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム等の空気を精密に温度調整するための精密温調装置は、内部に送風機を備えて構成されており、この送風機が働くことにより、温調対象空間から、その空間内の流体（空気）を吸込み口に吸込み、温調後、吹出し口より温調対象空間に戻すように構成されている。従って、温調対象空間と精密温調装置との間に、温調対象流体の循環路が形成される。そして、精密温調装置は、その循環路の一部となる装置内部に、温調対象空気を冷却するための冷却手段（例えば、冷凍サイクルに備えられる蒸発器）と、加熱するための加熱手段（加熱用の電気ヒータ、冷凍サイクル内の圧縮後、凝縮前の冷媒により温調対象空気を加熱する熱交換器等）を備え、両者が適切に働くことにより、温調対象空気を、目標温度に対して所定の精度で温調できる（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２４００７０ 号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、この種の精密温調装置では温度制御精度を確保するために、予め設計された風量にて連続運転を行う。従って、通常、送風機は一定の能力で運転され、循環路に温調対象流体を循環させる。結果、その消費電力量は一定となっていた。また、装置の設置環境や負荷は様々であるため、設計で予定される風量は、最も厳しい条件にも対応できるものとされていた。結果、機器能力的にはオーバースペックとなっている場合が殆どである。よって、従来の精密温調装置は、その運転に際してムダなエネルギーを消費していた。
【０００５】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、温調装置としての温調精度を従来通り確保しながら、ムダなエネルギー消費を合理的に避けることができる温調装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明に係る、温調対象空間との間で、前記空間内の温調対象流体が循環する循環路を形成可能に構成されるとともに、前記温調対象流体を循環させる送風機と、前記温調対象流体を冷却する冷却手段と加熱する加熱手段とを備えた温調装置の特徴構成は、
前記送風機の循環能力を可変制御する制御手段を備えるとともに、
前記温調対象流体の温度を検出して、温調制御の精度を検出する温調制御精度検出手段と、前記温調制御精度検出手段により検出される温調制御精度に基づいて、前記送風機における循環能力低下の許容度を判定する温調制御精度判定手段を備え、
前記温調制御精度判定手段により、循環能力の低下が許容されると判断した場合に、循環手段の循環能力を低下させる循環能力設定手段を備えたことにある。
【０００７】
この温調装置では、循環手段である送風機の循環能力（風量）が可変とされるため、この送風機を任意の能力で働かせることができる。従って、この送風機を一定能力ではなく、この能力より低い能力で運転することで、消費エネルギーの低下を図ることができる。
ここで、本願にあっては、装置に、温調制御精度検出手段、温調制御精度判定手段及び循環能力設定手段を備える。そして、温調制御精度検出手段により検出される温調制御精度が、温調制御精度判定手段により循環能力低下を許容できる程度であると判定された場合に、循環能力設定手段により、循環能力を低下設定する。
このように行える理由は、温調制御精度が高い場合は、例えばクリーンルーム内の温度が目標温度と差がなく、その温度のばらつきも少ないことを意味するが、この状況にあっては、クリーンルームの熱的環境に変化が少なく、熱的負荷も低くなっているため、送風機の能力を下げたとしても、ある程度の温調制御精度を出せることを示している。そこで、このような場合は、送風機の能力（風量）を低下させ、熱的環境条件、負荷条件に適合する（オーバースペックでない）運転状態とすることで、省エネを図ることができる。
また、循環する風量を低下できるため、循環路に設けられるフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ等）の寿命を長くすることができる。
【０００８】
さて、上記の構成において、前記温調制御精度としては、これを、前記温調対象空間内に設定される温度検出位置における温調対象流体の温度の時間領域における変動分とすることもできるし、前記温調対象空間内に設定される温度検出位置における温調対象流体の温度の空間領域における変動分とすることができる。さらに、これらの両方であってもよい。
時間領域における変動分とすると、時間領域における変動を良好に抑えて、省エネを図ることができる。空間領域における変動分とすると、空間領域における変動を良好に抑えて、省エネを図ることができる。さらに、時間領域及び空間領域における変動分とすると、それらの両方における変動を良好に抑えて、省エネを図ることができる。
【０００９】
これまで説明してきた温調装置にあっては、温調制御精度にのみ着目するものとしたが、温調装置の良好な運転を考えた場合、冷却手段における凍結の問題にも配慮する必要がある。即ち、循環能力（送風機の風量）を過度に低下させると、冷却手段において凍結の問題が発生する可能性があるためである。
【００１０】
そこで、この点に関する配慮として、これまで説明してきた温調装置において、
前記冷却手段が、冷凍サイクル内を循環する冷媒との熱交換により前記温調対象流体を冷却する構成を採用している場合に、前記冷凍サイクル内を流れる冷媒の低圧側圧力を検出する冷凍機低圧側圧力検出手段と、前記冷凍機低圧側圧力検出手段により検出される冷凍機低圧側圧力に基づいて、前記送風機における循環能力低下の許容度を判定する冷凍機低圧側圧力判定手段を備え、
前記循環能力設定手段が、前記冷凍機低圧側圧力判定手段により、循環能力の低下が許容されると判断した場合に、前記循環手段の循環能力を低下させる構成とするのが好ましい。
【００１１】
この構成では、装置に、冷凍機低圧側圧力検出手段、冷凍機低圧側圧力判定手段及び循環能力設定手段が備えられる。そして、冷凍機低圧側圧力検出手段により検出される冷凍機低圧側圧力が、冷凍機低圧側圧力判定手段により循環能力低下を許容できる程度であると判定された場合に、循環能力設定手段により、循環能力を低下設定するものとする。
このように行える理由は、冷凍機低圧側圧力が高い場合は、冷熱が温調対象流体に適切に移動されており、安定した状態でシステムは運転されていることを意味する。そこで、送風機の能力を下げたとしても、冷却手段側で凍結を避けることができる。結果、このような場合は、凍結を避けながら、送風機の能力（風量）を低下させ、熱的環境条件、負荷条件に適合する（オーバースペックでない）運転状態とすることで、省エネを図ることができる。
【００１２】
さらに、温調対象流体の吹出し口における温調対象流体の温度と、温調対象流体の吸込み口における温調対象流体の温度との差である吹出吸込温度差を検出する吹出吸込温度差検出手段と、前記吹出吸込温度差検出手段により検出される吹出吸込温度差に基づいて、前記送風機における循環能力低下の許容度を判定する吹出吸込温度差判定手段を備え、前記循環能力設定手段が、前記吹出吸込温度差判定手段により、循環能力の低下が許容されると判断した場合に、前記循環手段の循環能力を低下させる構成を採用することが好ましい。
【００１３】
この構成では、装置に、吹出吸込温度差検出手段、吹出吸込温度差判定手段及び循環能力設定手段が備えられる。そして、吹出吸込温度差検出手段により検出される吹出吸込温度差が、吹出吸込温度差判定手段により循環能力低下を許容できる程度であると判定された場合に、循環能力設定手段により、循環能力を低下設定するものとする。
このように行える理由は、吹出吸込温度差が低い場合は、温調に過度の熱（温熱・冷熱を含む）が必要とされることなく、安定した状態でシステムが運転されていることを意味する。従って、送風機の能力を下げたとしても、温調に与える影響は少ないことを示している。そこで、このような場合は、送風機の能力（風量）を低下させ、熱的環境条件、負荷条件に適合する（オーバースペックでない）運転状態とすることで、省エネを図ることができる。
【００１４】
これまで説明してきた構成において、前記循環能力低下の許容度を判定するに、低下が許容できる低下許容基準と、変更しない維持基準と、上昇が必要とされる上昇基準とに基づいて判定することが好ましい。
このようにしておくと、循環能力の低下（送風機から発生する風量の低下）の判定に加えて、能力維持、能力アップの判定をも行って、これら３方向において、熱的環境条件、負荷条件に適合する（オーバースペックでない）運転を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
上記の目的を達成するための、本発明の温調装置の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
図１は、温調対象空間としてのクリーンルーム２に対して、本願に係る温調装置（具体的には精密温調装置１）を設備した状態を示している。
精密温調装置１は、内部に送風機３を備え、クリーンルーム２内の空気を吸込み口４から吸込み、温調後、吹出し口５より吹出して、クリーンルーム２内に戻すように構成されている。従って、温調対象空間２と精密温調装置１との間には、温調対象流体の循環路が形成される。さらに、精密温調装置１は、装置内部に、循環路を流れる空気を冷却するための蒸発器６（冷却手段の一例）と、加熱するための電気ヒータ７，８（加熱手段の一例）とを備えて構成されており、吸込み後の空気を一旦、目標設定温度より所定温度だけ低い温度まで冷却した後、加熱することで、空気を目標設定温度に精密温調できるように構成されている。ここで、蒸発器６は、冷媒が圧縮機、凝縮器、膨張弁及び当該蒸発器を循環する冷凍サイクルＳに備えられるものであり、当該蒸発器６において冷熱を空気に与えることで、その冷却を行う。
【００１６】
以上が、クリーンルーム２内の空気を温調するための循環路に沿った概略構成の説明であるが、精密温調装置１では、クリーンルーム２内の空気の温度を目標設定温度とするために、蒸発器入口の温度を検出し、この温度を目標設定温度より加熱手段７，８による加熱分だけ低減した温度に冷却するように蒸発器６での冷却量を制御するように構成されている。更に、加熱手段７、８出口の温度を検出し、これら温度を、それぞれ概略目標設定温度（但し、加熱手段７の出口温度は、加熱手段８の出口温度より僅かに低い温度となる）とすべく、加熱手段７，８、それぞれによる加熱量を制御するように構成されている。
【００１７】
本願では、精密温調装置１は、運転初期には送風機３の能力を最大で運転し、所定時間経過後、以下に詳述する条件を満たす場合に能力を段階的に低下し、逆の条件となった場合に能力を上昇する省エネ運転を実行する。そこで、本願にあっては、送風機３はインバータ９を介してその回転数が制御されるように構成されている。このインバータ９へは、後に示すように制御手段としてのコントローラ１０から、送風機３の回転数に対する指令が入力されるように構成されている。
【００１８】
また、上記の送風機３の制御に使用する制御データを得るために、以下の３つの検出系統が設けられている。そして、これら検出系統から検出された検出情報はすべて、コントローラ１０へ送られ、必要な処理がなされる。
【００１９】
１  温調制御精度検出
温調制御精度は、クリーンルーム２内の特定位置に温度検出点１１を設定し、この特定位置の温度を経時的に検出するように構成されている。そして、コントローラ１０内に設けられている温調制御精度検出手段Ｍ１により、例えば、特定期間の温度の変動分である温度の最大値及び最小値の差として温調制御精度を検出する。この場合は、温調制御精度が時間領域での精度となる。
上記のように時間領域での精度とするのみならず、クリーンルーム２内の複数の特定位置１１ａ，１１ｂ，１１ｃ（１１）に温度検出点を設定し、これら複数の特定位置の温度を検出することで、例えば、複数位置における温度の変動分である、複数の特定位置１１ａ，１１ｂ，１１ｃ（１１）間における温度の最大値及び最小値の差として温調制御精度を検出する構成としてもよい。この場合は、温調制御精度を空間領域での精度として検出することとなる。さらに、温調制御精度としては、時間・空間の両方での精度として検出することもできる。
【００２０】
２  吹出吸込温度差検出
吹出吸込温度差は、精密温調装置１の吹出し口５における温度と吸込み口４における温度とを検出するものとし、コントローラ１０内に設けられている吹出吸込温度差検出手段Ｍ２により、それらの差を検出する。
【００２１】
３  冷凍機低圧側圧力検出
冷凍機低圧側圧力は、冷凍サイクルＳを流れる冷媒の低圧側圧力を検出するものとし、コントローラ１０内に設けられている冷凍機低圧側圧力検出手段Ｍ３により、冷凍サイクルＳの負荷によって変化する最低圧力を低圧側圧力として検出する。
【００２２】
以上が、本願に係る精密温調装置１における温調機構の概要と、本願にいう省エネ運転を実行するために必要となる情報の検出系統の説明であるが、以下、送風機出力を最大として実行する初期運転と、省エネ運転を実行するコントローラ１０内の構成に関して、図２を参照しながら説明する。
【００２３】
図２に示すように、コントローラ内は、主要な制御部１２として、初期運転制御部１２ａと省エネ運転制御部１２ｂとを備えて構成されている。
初期運転制御部
初期運転制御部１２ａは、精密温調装置１の運転が開始された初期段階で、送風機３の能力を最大として所定時間連続するための制御部である。従って、コントローラ１０からインバータ９に送風機３の能力を最大能力で運転する運転指令が、予め設定されている時間出力される。
【００２４】
省エネ運転制御部
省エネ運転制御部１２ｂは、上記の初期運転を終了した後に働く運転制御部であり、図２に示すように運転状態監視部１３ａと風量設定部１３ｂとから構成されている。
【００２５】
運転状態監視部１３ａは、先に説明した３つの検出手段Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３の結果に基づいて、夫々、送風機５の能力低下が可能かどうかの許容度を判定出力するように構成されている。
【００２６】
１  温調制御精度
先に説明した温調制御精度検出手段Ｍ１により検出される温調制御精度に基づいて、送風機３における循環能力低下（送風能力の低下）の許容度を判定する温調制御精度判定手段Ｍ４が設けられている。
この温調制御精度判定手段Ｍ４は、図３（ａ）に示すように、能力低下に関して、低下が許容できる低下許容基準（図中ＯＫと記載）と、変更しない維持基準（図中Ｋｅｅｐと記載）と、上昇が必要とされる上昇基準（図中ｃａｕｔｉｏｎと記載）及び送風機３の能力を最大まで上昇させることが必要とされる最大上昇基準（図中ＮＧと記載）、４分割された所定の精度範囲が予め求められており、検出手段Ｍ１の検出結果がどの範囲に属するかにしたがって、上記許容度の判定ができるように構成されている。
【００２７】
具体的には、目標設定温度を中心０とする上下均等配分された領域として、低下許容基準（中心振り分け±０．２℃）と、維持基準（許容基準の上下側±０．１℃）と、上昇基準（維持基準の上下側±０．１℃）及び最大上昇基準（上昇基準の上下側±０．１℃）といった形態で決定されている。
【００２８】
２  吹出吸込温度差
先に説明した吹出吸込温度差検出手段Ｍ２により検出される吹出吸込温度差に基づいて、送風機３における循環能力低下（送風能力の低下）の許容度を判定する吹出吸込温度差判定手段Ｍ５が設けられている。
この吹出吸込温度差判定手段Ｍ５は、図３（ｂ）に示すように、能力低下に関して、低下が許容できる低下許容基準（図中ＯＫと記載）と、変更しない維持基準（図中Ｋｅｅｐと記載）と、上昇が必要とされる上昇基準（図中ｃａｕｔｉｏｎと記載）及び送風機３の能力を最大まで上昇させることが必要とされる最大上昇基準（図中ＮＧと記載）、４分割された所定の精度範囲が予め求められており、検出手段Ｍ２の検出結果がどの範囲に属するかにしたがって、上記許容度の判定ができるように構成されている。
【００２９】
具体的には、温度差無しからプラス側に位置される領域として、低下許容基準、維持基準及び上昇基準が、０〜５℃の範囲で均等分けして設定されており、最大上昇基準はそれ以上の領域といった形態で決定されている。
【００３０】
３  冷凍機低圧側圧力
先に説明した冷凍機低圧側圧力検出手段Ｍ３により検出される冷凍機低圧側圧力に基づいて、送風機３における循環能力低下（送風能力の低下）の許容度を判定する冷凍機低圧側圧力判定手段Ｍ６が設けられている。
この冷凍機低圧側圧力判定手段Ｍ６は、図３（ｃ）に示すように、能力低下に関して、低下が許容できる低下許容基準（図中ＯＫと記載）と、変更しない維持基準（図中Ｋｅｅｐと記載）と、上昇が必要とされる上昇基準（図中ｃａｕｔｉｏｎと記載）及び送風機３の能力を最大まで上昇させることが必要とされる最大上昇基準（図中ＮＧと記載）、４分割された所定の精度範囲が予め求められており、検出手段Ｍ３の検出結果がどの範囲に属するかにしたがって、上記許容度の判定ができるように構成されている。
【００３１】
具体的には、低下許容基準（０．４Ｐａ以上）と、維持基準（０．４〜０．３Ｐａ）と、上昇基準（０．３〜０．２Ｐａ）及び最大上昇基準（０．２Ｐａ以下）といった形態で決定されている。
【００３２】
従って、この運転状態監視部１３ａからは、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力について、上記の４つの基準に基づいた判断結果が、「ＯＫ」「Ｋｅｅｐ」「ｃａｕｔｉｏｎ」「ＮＧ」として出力され、風量設定部１３ｂに送られる。
【００３３】
図２に示すように、風量設定部１３ｂには、送風機３の能力低下に関する判定を実行する手段として、不良条件判定手段Ｍ７、ステップダウン条件判定手段Ｍ８、キープ条件判定手段Ｍ９及びステップアップ条件判定手段Ｍ１０が備えられるとともに、送風機３の能力を設定する手段（循環能力設定手段）として、風量Ｍａｘ設定手段Ｍ１１、風量ステップダウン設定手段Ｍ１２及び風量ステップアップ設定手段Ｍ１３が備えられている。
【００３４】
不良条件判定手段Ｍ７は、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力のそれぞれについて、いずれかの許容度に関する判定が「ＮＧ」である場合に、風量Ｍａｘ設定手段Ｍ１１を働かせて、現状の送風機の能力設定について、能力を最大（風量を最大）とする設定運転指令を出力するように構成されている。
【００３５】
ステップダウン条件判定手段Ｍ８は、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力について、いずれもの許容度に関する判定が「ＯＫ」である場合に、風量ステップダウン設定手段Ｍ１２を働かせて、現状の送風機３の能力設定について、能力を単位ステップ、ステップダウンする設定運転指令を出力するように構成されている。
【００３６】
キープ条件判定手段Ｍ９は、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力について、いずれかの許容度に関する判定が「Ｋｅｅｐ」である場合に、現状の送風機の能力設定について、そのまま能力をキープする。即ち、能力を変更する設定運転指令を出力することはない。
【００３７】
ステップアップ条件判定手段Ｍ１０は、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力について、いずれかの許容度に関する判定が「ｃａｕｔｉｏｎ」である場合に、風量ステップアップ設定手段Ｍ１３を働かせて、現状の送風機３の能力設定について、能力を単位ステップ、ステップアップする設定運転指令を出力するように構成されている。
【００３８】
以上が、本願に係る温調装置の構成であるが、以下、図４に基づいて、装置の運転に間関して説明する。
温調装置の運転開始に伴って、初期運転制御部１２ａは送風機３の能力を最大として所定時間連続する（＃１、＃２）。
上記所定時間が経過した後は、本願にいう省エネ運転に入る。この運転状態では、所定の時間サイクルで、以下の制御が繰り返され、運転を停止するまで、この省エネ運転状態が維持される。
各時間サイクルで、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力が、それぞれ対応する検出手段Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３により検出され（＃３−１、＃３−２、＃３−３）、それぞれ対応する判定手段Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６により、それらの検出結果に基づいて能力低下の許容度が判定される（＃４−１、＃４−２、＃４−３）。
【００３９】
引き続いて、不良条件判定手段Ｍ７が、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力のそれぞれについて、いずれかの許容度に関する判定が「ＮＧ」である場合に、風量設定不良と判定し（＃５：ｙｅｓ）、風量Ｍａｘ設定手段Ｍ１１を働かせて、現状の送風機の能力設定について、能力を最大（風量を最大）とする設定運転指令を出力する（＃６）。
【００４０】
上記不良と判定されない場合（＃５：ｎｏ）は、ステップダウン条件判定手段Ｍ８が、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力について、いずれもの許容度に関する判定が「ＯＫ」である場合に、風量ステップダウン条件を満たすと判定し（＃７：ｙｅｓ）、風量ステップダウン設定手段Ｍ１２を働かせて、現状の送風機の能力設定について、能力を単位ステップ、ステップダウンする設定運転指令を出力する（＃８）。
【００４１】
上記条件を満たさない場合（＃７：ｎｏ）は、キープ条件判定手段Ｍ９が、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力について、いずれかの許容度に関する判定が「Ｋｅｅｐ」である場合に、風量キープ条件を満たすと判定し（＃９：ｙｅｓ）、現状の送風機の能力設定について、能力をそのままキープする。
【００４２】
上記条件を満たさない場合（＃９：ｎｏ）は、ステップアップ条件判定手段Ｍ１３が、温調制御精度、吹出吸込温度差及び冷凍機低圧側圧力について、いずれかの許容度に関する判定が「ｃａｕｔｉｏｎ」である場合に、風量ステップアップ条件を満たすと判定し（＃１０：ｙｅｓ）、風量ステップアップ設定手段を働かせて、現状の送風機の能力設定について、能力を単位ステップ、ステップアップする設定運転指令を出力する（＃１１）。上記条件を満たさない場合（＃９：ｎｏ）は、そのままとされる。
【００４３】
以上の構成を採用することにより、初期運転に引き続いて、送風機の能力を低下させた状態で運転する省エネ運転を、温調装置としての温調能力を確保しながら、実行できるようになった。
【００４４】
〔別実施形態〕
（１）  上記の実施形態にあっては、加熱手段として電気ヒータを採用する例を示したが、所謂、冷媒リヒートコイルを備え、冷凍サイクルに備えられる圧縮機から吐出される凝縮前の冷媒が保有する温熱により温調対象流体を加熱するものとしてもよい。
（２）  さらに、上記の実施形態にあっては、冷却手段の下流側に一対の加熱手段を配設して、吸込み口から吸い込んだ温調対象流体を一旦冷却した後、加熱して温調対象空間へ戻すものとしたが、冷却、加熱の順は、その順を問うものではない。さらに、冷却と加熱が対となっていればよく、冷却手段（蒸発器）に対して単一の電気ヒータ、あるいは単一の冷媒リヒートコイルを備えておいてもよい。
（３）  上記の実施形態にあっては、温調制御精度、吹出吸込温度差、冷凍機低圧側圧力の全てに基づいて、省エネ運転を実行する例に関して説明したが、送風機の風量に下限を設けておき、省エネ運転を温調制御精度のみに基づいて実行するようにしても良いし、温調制御精度と冷凍機低圧側圧力との両方のみに基づいて省エネ運転を実行するようにしてもよい。
（４）  上記の実施形態にあっては、温調制御精度、吹出吸込温度差、冷凍機低圧側圧力の判定を、「ＯＫ」「Ｋｅｅｐ」「ｃａｕｔｉｏｎ」「ＮＧ」の４段に分けで判定評価する例を示したが、省エネ運転時に、送風機の能力を減少若しくは増加させるという趣旨からは、「ＯＫ」「ｃａｕｔｉｏｎ」のみで評価するように構成してもよい。さらに、省エネ方向にのみ運転状態を制御しようとする場合は、「ＯＫ」のみの判定基準を設け、この基準を厳しく設定しておけば、省エネ運転への移行が緩慢になるとはいえ、送風機を一定能力で運転し続けるのに比べて、省エネを図ることができる。
（５）  上記の実施形態にあっては、温調制御精度、吹出吸込温度差、冷凍機低圧側圧力の判定に使用する基準をマップの状態で保持する例を示したが、例えば、閾値群を定めた数表として保持してもよい。
（６）  上記の実施形態では、温調対象空間と温調装置との間に循環路を形成し、吸込み口から吸い込まれた流体の全てを温調対象空間に戻す構成を説明したが、例えば、温調装置に外部の空気等を吸い込む機構を設けておき、循環流の一部を外部に放出するとともに、吸い込んだ外部の空気を温調対象空間内に導くものとしてもよい。即ち、少なくとも一部の温調対象空間の流体が、温調装置に吸い込まれ、温調後、温調対象空間にもどされればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
温調装置としての温調能力を確保しながら、ムダなエネルギー消費を合理的な手法で避けることができる温調装置を提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本願に係る精密温調装置の使用状態を示す説明図
【図２】送風機の運転制御に係る機能部位を示す機能説明図
【図３】送風機における送風量低下の判断基準を示すマップの例
【図４】初期運転及び省エネ運転の処理フローを示す図
【符号の説明】
【００４７】
１：精密温調装置（温調装置）
２：クリーンルーム（温調対象空間）
３：送風機（循環手段）
４：吸込み口
５：吹出し口
６：蒸発器（冷却手段）
７：電気ヒータ（加熱手段）
８：電気ヒータ（加熱手段）
１０：コントローラ（制御手段）
１１：特定位置
Ｍ１：温調制御精度検出手段
Ｍ２：吹出吸込温度差検出手段
Ｍ３：冷凍機低圧側圧力検出手段
Ｍ４：温調制御精度判定手段
Ｍ５：吹出吸込温度差判定手段
Ｍ６：冷凍機低圧側圧力判定手段
Ｍ１２：風量ステップダウン設定手段（循環能力設定手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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