(57)【要約】【課題】  特に、所定の減衰ピーク周波数を簡単且つ適切に得ることが可能なノイズフィルタおよび前記ノイズフィルタを用いた電子回路基板、ならびに減衰ピーク周波数の調整方法を提供することを目的としている。  【解決手段】  Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｍ−Ｐ−Ｃ−Ｂ−Ｓｉで示されてなる扁平状の非晶質磁性合金と絶縁材とが混合されたシート状のノイズフィルタ６は、減衰特性の減衰ピーク周波数にシート幅依存性が付与されている。そして前記シート幅依存性に基づいて、所定の減衰ピーク周波数が得られるようにシート幅が調整されている。【選択図】  図４
2009016535.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性粉末と絶縁材とが混合されたシート状で形成され、前記磁性粉末は、組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金であり、
線路導体に直接、あるいは間接的に重ねられて前記線路導体に流れる電気信号のノイズとなる周波数成分を減衰させる機能を備えており、
減衰特性の減衰ピーク周波数に前記線路導体の長さ方向と直交方向のシート幅依存性を有しており、
前記シート幅依存性に基づいて、所定の減衰ピーク周波数が得られるようにシート幅が調整されていることを特徴とするノイズフィルタ。
【請求項２】
前記シート幅は、２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内で形成される請求項１記載のノイズフィルタ。
【請求項３】
前記減衰特性の減衰ピーク周波数にシート厚依存性を有しており、
前記シート幅依存性及びシート厚依存性に基づいて、所定の減衰ピーク周波数が得られるようにシート幅及びシート厚が調整されている請求項１又は２に記載のノイズフィルタ。
【請求項４】
磁性粉末と絶縁材とが混合されたシート状で形成され、前記磁性粉末は、組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金であり、
線路導体に直接、あるいは間接的に重ねられて前記線路導体に流れる電気信号のノイズとなる周波数成分を減衰させる機能を備えており、
減衰特性の減衰ピーク周波数にシート厚依存性を有しており、
前記シート厚依存性に基づいて、所定の減衰ピーク周波数が得られるようにシート厚が調整されていることを特徴とするノイズフィルタ。
【請求項５】
前記シート厚は、１００μｍ〜２００μｍの範囲内で形成される請求項３又は４に記載のノイズフィルタ。
【請求項６】
基板上に形成された線路導体と、前記線路導体に直接、あるいは間接的に重ね合わされた請求項１ないし５のいずれかに記載のノイズフィルタと、を有することを特徴とする電子回路基板。
【請求項７】
複数の前記ノイズフィルタが、前記線路導体の長さ方向に並設されており、
各ノイズフィルタのシート幅あるいはシート厚の少なくともどちらか一方が夫々異なっている請求項６記載の電子回路基板。
【請求項８】
組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金の磁性粉末と絶縁材とが混合されたシート状のノイズフィルタを、基板上の試験用線路導体に貼り付ける工程、
前記ノイズフィルタの前記試験用線路導体の長さ方向と直交方向のシート幅を変化させて、シート幅が異なる各ノイズフィルタの減衰特性を測定し、各減衰特性の減衰ピーク周波数を求める工程、
上記工程によって得られた減衰ピーク周波数のシート幅依存性に基づいて、前記ノイズフィルタのシート幅を調整することで、前記減衰ピーク周波数を調整する工程、
を有することを特徴とする減衰ピーク周波数の調整方法。
【請求項９】
前記シート幅を、２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内で調整する請求項８記載の減衰ピーク周波数の調整方法。
【請求項１０】
前記ノイズフィルタのシート厚を変化させて、シート厚が異なる各ノイズフィルタの減衰特性を測定し、各減衰特性の減衰ピーク周波数を求める工程、を備え、
減衰ピーク周波数のシート幅依存性、及び、減衰ピーク周波数のシート厚依存性に基づいて、前記ノイズフィルタのシート幅及びシート厚を調整することで、前記減衰ピーク周波数を調整する請求項８又は９に記載の減衰ピーク周波数の調整方法。
【請求項１１】
組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金の磁性粉末と絶縁材とが混合されたシート状のノイズフィルタを、基板上の試験用線路導体に貼り付ける工程、
前記ノイズフィルタのシート厚を変化させて、シート厚が異なる各ノイズフィルタの減衰特性を測定し、各減衰特性の減衰ピーク周波数を求める工程、
上記工程によって得られた減衰ピーク周波数のシート厚依存性に基づいて、前記ノイズフィルタのシート厚を調整することで、前記減衰ピーク周波数を調整する工程、
を有することを特徴とする減衰ピーク周波数の調整方法。
【請求項１２】
前記シート厚を、１００μｍ〜２００μｍの範囲内で調整する請求項１０又は１１に記載の減衰ピーク周波数の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の減衰ピーク周波数を簡単且つ適切に得ることが可能なノイズフィルタおよび前記ノイズフィルタを用いた電子回路基板、ならびに減衰ピーク周波数の調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子回路基板には、線路導体に流れる高周波ノイズとなる周波数成分を減衰させるために、ノイズフィルタが搭載されている。前記ノイズフィルタは、コンデンサや抵抗等により構成されたものであり、フィルタ回路や素子定数等の調整により高周波ノイズを減衰させる周波数がコントロールされている。
【特許文献１】特開２００１−２８４１２９号公報
【特許文献２】特開２０００−２２８５９９号公報
【特許文献３】特開２００３−２４３８７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記した従来のノイズフィルタでは、高周波ノイズを減衰させる周波数のコントロールをフィルタ回路や素子定数等の変更により行わなければならないためコスト高になるといった問題があった。また高周波ノイズを減衰させる周波数のコントロールを行うのに手間がかかり作業性が悪かった。
【０００４】
また上記した従来のノイズフィルタでは大型化するため、電子回路基板の小型化に寄与しなかった。
【０００５】
例えば特許文献１にはシート状のノイズフィルタが設けられている。この文献によれば、磁性粉末としてセンダストを用いているが、センダストの場合、後述する実験結果に示すように、減衰特性の減衰ピーク周波数にシート幅依存性やシート厚依存性が見られず、あるいは減衰特性が全体的になまってしまい減衰量が大きくなるシャープな減衰ピーク周波数を得ることができず、減衰ピーク周波数の調整が困難であった。
【０００６】
また特許文献２は携帯電話等の電子機器から外部へ放出される電磁波を吸収する電磁波吸収体に関する発明であり、線路導体に流れる電子信号のノイズとなる周波数成分の減衰を意図したものではない。また特許文献２ではシート厚がｍｍ単位で非常に厚く電子回路基板の薄型化に寄与しない。さらに特許文献２に記載された発明では、例えば特許文献２の図１に示すようにシート厚を４ｍｍとしたとき、４ＧＨｚ付近で極端に大きな減衰ピークが得られるが、シート厚を変えると、減衰ピークは非常に小さくなってしまい、シート厚を４ｍｍ以外としたときのノイズフィルタとしての性能は劣るものとなる。そもそも特許文献２は、この極端に大きな減衰ピークが得られるシート厚（上記したシート厚４ｍｍ）を求めるもので、シート厚と減衰ピーク周波数との関係に基づき、前記シート厚を調整して、減衰ピーク周波数を調整するものではない。
【０００７】
そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に、所定の減衰ピーク周波数を簡単且つ適切に得ることが可能なノイズフィルタおよび前記ノイズフィルタを用いた電子回路基板、ならびに減衰ピーク周波数の調整方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明におけるノイズフィルタは、
磁性粉末と絶縁材とが混合されたシート状で形成され、前記磁性粉末は、組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金であり、
線路導体に直接、あるいは間接的に重ねられて前記線路導体に流れる電気信号のノイズとなる周波数成分を減衰させる機能を備えており、
減衰特性の減衰ピーク周波数に前記線路導体の長さ方向と直交方向のシート幅依存性を有しており、
前記シート幅依存性に基づいて、所定の減衰ピーク周波数が得られるようにシート幅が調整されていることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明のノイズフィルタによれば、減衰特性の減衰ピーク周波数にシート幅依存性を有しており、このシート幅依存性に基づいて、前記シート幅が調整されることで、所定の減衰ピーク周波数を有するノイズフィルタとなる。
【００１０】
本発明では、前記シート幅は、２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内で形成されることが好ましい。これによりＧＨｚ帯で減衰ピーク周波数を得ることが出来る。
【００１１】
また、前記減衰特性の減衰ピーク周波数にシート厚依存性を有しており、
前記シート幅依存性及びシート厚依存性に基づいて、所定の減衰ピーク周波数が得られるようにシート幅及びシート厚が調整されていることが好ましい。
【００１２】
あるいは本発明におけるノイズフィルタは、
磁性粉末と絶縁材とが混合されたシート状で形成され、前記磁性粉末は、組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金であり、
線路導体に直接、あるいは間接的に重ねられて前記線路導体に流れる電気信号のノイズとなる周波数成分を減衰させる機能を備えており、
減衰特性の減衰ピーク周波数にシート厚依存性を有しており、
前記シート厚依存性に基づいて、所定の減衰ピーク周波数が得られるようにシート厚が調整されていることを特徴とするものである。
【００１３】
本発明のノイズフィルタによれば、減衰特性の減衰ピーク周波数にシート厚依存性を有しており、このシート厚依存性に基づき、前記シート幅が調整されることで、所定の減衰ピーク周波数を有するノイズフィルタとなる。
【００１４】
また本発明では、前記シート厚は、１００μｍ〜２００μｍの範囲内で形成されることが好ましい。これによりＧＨｚ帯で減衰ピーク周波数を得ることが出来る。
【００１５】
また本発明における電子回路基板は、基板上に形成された線路導体と、前記線路導体に直接、あるいは間接的に重ね合わされた上記のいずれかに記載のノイズフィルタと、を有することを特徴とするものである。
【００１６】
本発明の電子回路基板によれば、前記線路導体を流れる電気信号のノイズとなる周波数成分を適切に減衰させることが可能である。
【００１７】
また本発明では、複数の前記ノイズフィルタが、前記線路導体の長さ方向に並設されており、
各ノイズフィルタのシート幅あるいはシート厚の少なくともどちらか一方が夫々異なっている構成であってもよい。
【００１８】
これにより、前記線路導体を流れる電気信号のノイズとなる複数の周波数成分（あるいは広範な高周波帯域でのノイズ成分）を適切に減衰させることが可能である。
【００１９】
本発明における減衰ピーク周波数の調整方法は、
組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金の磁性粉末と絶縁材とが混合されたシート状のノイズフィルタを、基板上の試験用線路導体に貼り付ける工程、
前記ノイズフィルタの前記試験用線路導体の長さ方向と直交方向のシート幅を変化させて、シート幅が異なる各ノイズフィルタの減衰特性を測定し、各減衰特性の減衰ピーク周波数を求める工程、
上記工程によって得られた減衰ピーク周波数のシート幅依存性に基づいて、前記ノイズフィルタのシート幅を調整することで、前記減衰ピーク周波数を調整する工程、
を有することを特徴とするものである。
【００２０】
上記の組成の磁性粉末を備えたノイズフィルタでは、減衰ピーク周波数にシート幅依存性を有しており、減衰ピーク周波数とシート幅との関係に基づいて、シート幅を調整することにより、簡単かつ自由に、減衰ピーク周波数を調整することが可能である。
【００２１】
また本発明では、前記シート幅を、２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内で調整することが好ましい。これによりＧＨｚ帯で減衰ピーク周波数を調整することが可能である。
【００２２】
また本発明では、前記ノイズフィルタのシート厚を変化させて、シート厚が異なる各ノイズフィルタの減衰特性を測定し、各減衰特性の減衰ピーク周波数を求める工程、を備え、
減衰ピーク周波数のシート幅依存性、及び、減衰ピーク周波数のシート厚依存性に基づいて、前記ノイズフィルタのシート幅及びシート厚を調整することで、前記減衰ピーク周波数を調整することが好ましい。
【００２３】
または本発明における減衰ピーク周波数の調整方法は、
組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金の磁性粉末と絶縁材とが混合されたシート状のノイズフィルタを、基板上の試験用線路導体に貼り付ける工程、
前記ノイズフィルタのシート厚を変化させて、シート厚が異なる各ノイズフィルタの減衰特性を測定し、各減衰特性の減衰ピーク周波数を求める工程、
上記工程によって得られた減衰ピーク周波数のシート厚依存性に基づいて、前記ノイズフィルタのシート厚を調整することで、前記減衰ピーク周波数を調整する工程、
を有することを特徴とするものである。
【００２４】
上記の組成の磁性粉末を備えたノイズフィルタでは、減衰ピーク周波数にシート厚依存性を有しており、シート厚と減衰ピーク周波数との関係に基づいて、シート厚を調整することにより、簡単かつ自由に、減衰ピーク周波数を調整することが可能である。
【００２５】
本発明では、前記シート厚を、１００μｍ〜２００μｍの範囲内で調整することが好ましい。これによりＧＨｚ帯で減衰ピーク周波数を調整することが可能である。
【発明の効果】
【００２６】
本発明のノイズフィルタによれば、減衰特性の減衰ピーク周波数にシート幅依存性、あるいはシート厚依存性を有しており、前記の依存性に基づいて、前記シート幅あるいはシート厚が調整されることで、所定の減衰ピーク周波数を有するノイズフィルタとなる。
【００２７】
また本発明の前記ノイズフィルタを用いた回路基板によれば、線路導体を流れる電気信号のノイズとなる周波数成分を適切に減衰させることが可能である。
【００２８】
また上記のように本発明のノイズフィルタでは、減衰ピーク周波数にシート幅依存性あるいはシート厚依存性を有しているから、シート幅あるいはシート厚と減衰ピーク周波数との関係に基づいて、シート幅あるいはシート厚を調整することにより、簡単かつ自由に、減衰ピーク周波数を調整することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
図１は本実施形態における電子回路基板の平面図、図２は図１に示す電子回路基板をＡ−Ａ線から厚さ方向に切断しその切断面を矢印方向から見た断面図である。
【００３０】
図１，図２に示すように電子回路基板１は、基板２と、前記基板２上に搭載された電子部品３，４と前記電子部品３、４間を導通接続する線路導体５とを有して構成される。
【００３１】
図１，図２に示すように前記線路導体５上には本実施形態におけるシート状のノイズフィルタ６が重ねて形成されている。図２に示すように前記ノイズフィルタ６は前記線路導体５上に直接設置されているが、例えば、前記ノイズフィルタ６と前記線路導体５間に下地層が形成され、前記ノイズフィルタ６が前記線路導体５に間接的に重ね合わされる形態でもよい。また前記ノイズフィルタ６が前記基板２の裏面に貼り付けられて、前記基板２を介して前記ノイズフィルタ６と前記線路導体５とが間接的に重ね合わされる形態を除外しない。しかしながら、前記基板２の裏面全面に例えばグランド層がある場合には前記基板２の裏面に前記ノイズフィルタ６を取り付けることはできず、また前記ノイズフィルタ６と前記線路導体５間に基板２を介した構成では、前記ノイズフィルタ６と線路導体５間の距離が離れて前記線路導体５からの高周波ノイズを減衰させる特性が劣化するため、前記ノイズフィルタ６は前記線路導体５が形成されている基板表面側に形成することが好適である。
【００３２】
例えば前記ノイズフィルタ６の平面形状は図１のように矩形状であり、前記線路導体５の延出方向と平行な方向がシート長さＬ、前記線路導体５の延出方向と直交する方向がシート幅Ｗである。図１では、前記ノイズフィルタ６のシート幅Ｗの幅中心にちょうど前記線路導体５が位置するように設置されているが、前記線路導体５の両側に前記ノイズフィルタ５が延出しているように前記ノイズフィルタ５が設置されればよい。また前記ノイズフィルタ６のシート厚Ｈは、ちょうど前記線路導体５上での厚さ寸法である。
【００３３】
前記ノイズフィルタ６は前記線路導体５を流れる電気信号の高周波ノイズとなる所定の周波数成分を減衰（トラップ）させるためのものである。この明細書において高周波帯域とは１０ＭＨｚ以上を指す。
前記ノイズフィルタ６は、磁性粉末と絶縁材とが混合されて構成される。
【００３４】
（磁性粉末の組成について）
前記磁性粉末は、組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ)≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金である。
【００３５】
本実施形態の磁性粉末は、磁性を示すＦｅと、非晶質形成能を有するＰ、Ｃ、Ｂといった半金属元素を具備しているので、非晶質相を主相とするとともに優れた軟磁気特性を示す。
【００３６】
また、元素Ｍ（Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎのうちの１種又は２種以上の元素素）を添加することで耐食性を向上させることができる。
【００３７】
更に前記磁性粉末２は、ΔＴｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結晶化開始温度、Ｔｇはガラス遷移温度を示す。）の式で表される過冷却液体の温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上を示すが、組成によってはΔＴｘが３０Ｋ以上、さらには５０Ｋ以上という顕著な温度間隔を有し、また、軟磁性についても室温で優れた特性を有している。
【００３８】
本実施形態の磁性粉末のＦｅ量（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）は、７０原子％以上８０原子％以下であることが好ましく、７２原子％以上７９原子％以下であることがより好ましく、７３原子％以上７８原子％以下であることが更に好ましい。このようにＦｅ量が高いことで高い飽和磁化を示す。なおＦｅの添加量が８０原子％を越えると、合金の非晶質形成能の程度を示す換算ガラス化温度（Ｔｇ／Ｔｍ）が０．５４未満になり、非晶質形成能が低下するので好ましくない。なお、上記式においてＴｍは磁性粉末の融点を示す。
【００３９】
前記磁性粉末のＣｏ量ａは０〜２０原子％の範囲で可能であり、Ｎｉ量ｂは０〜５原子％の範囲で可能である。Ｃｏはキュリー温度Ｔｃを高めるとともに耐食性を高める効果を有する。しかし、２０原子％を超えるとその分、Ｆｅ量が減り、飽和磁化が１８０×１０−６Ｗｂｍ／Ｋｇ以下になるとともに、ＴｃがＴｇ近傍温度まで上昇し、熱処理し難くなるので望ましくない。Ｎｉは耐食性を向上させる（強磁性元素の中で最も耐食性が高い）が、６原子％以上では飽和磁化が低下する傾向となる。
【００４０】
Ｃ、Ｐ、Ｂ及びＳｉは、非晶質形成能を高める元素であり、Ｆｅと上記元素Ｍにこれらの元素を添加して多元系とすることにより、Ｆｅと上記元素Ｍのみの２元系の場合よりも安定して非晶質相が形成される。
【００４１】
特にＰはＦｅと低温（約１０５０℃）で共晶組成を持つため、組織の全体が非晶質相になるとともに過冷却液体の温度間隔ΔＴｘが発現しやすくなる。また、ＰとＳｉを同時に添加すると、過冷却液体の温度間隔ΔＴｘがより大きくなって非晶質形成能が向上し、非晶質単相の組織を得る際の製造条件を比較的簡易な方向に緩和できる。
【００４２】
Ｐの組成比ｙが上記の範囲であれば、過冷却液体の温度間隔ΔＴｘが発現して合金粉末の非晶質形成能が向上する。
【００４３】
また、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆに代表される元素Ｍは、合金粉末に不動態化酸化皮膜を形成でき、合金粉末の耐食性を向上できる。これらの元素のうち耐食性の向上に最も効果があるものはＣｒである。水アトマイズ法において、合金溶湯が直接水に触れたとき、更には合金粉末の乾燥工程において生じる腐食部分の発生を防ぐことができる（目視レベル）。また、これらの元素は単独添加するか、あるいは２種以上の組み合わせで複合添加しても良く、例えば、Ｍｏ、ＶとＭｏ、ＣｒとＶ、Ｃｒ及びＣｒ、Ｍｏ、Ｖ等の組合せで複合添加しても良い。これらの元素のうち、Ｍｏ，Ｖは耐食性がＣｒより若干劣るものの非晶質形成能が向上するため、必要に応じてこれらの元素を選択する。また、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａのうちから選択される元素の添加量が８原子％を超えると、磁気特性（飽和磁化）が低下してしまう。
【００４４】
上記組成式中の元素Ｍとして採用される元素のうちガラス形成能はＺｒ、Ｈｆが最も高い。Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆは酸化性が強いため、これらの元素が８原子％を超えて添加されていると、大気中で合金粉末原料を溶解すると原料溶解中に溶湯が酸化し、磁気特性（飽和磁化）が低下してしまう。これらの元素も粉末表面の不働態被膜形成に寄与し、耐食性を向上させる。
【００４５】
また、磁性粉末としての耐食性向上効果は、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕのうちから選択される１種又は２種以上の貴金属元素の添加によっても得られ、これら貴金属元素を粉末表面に分散することにより、耐食性が向上する。また、これらの貴金属元素は単独添加あるいは上記のＣｒ等の耐食性向上効果のある元素との組み合わせて複合添加しても良い。上記の貴金属元素はＦｅと混じり合わないため、８原子％を超えて添加されているとガラス形成能が低下し、また、磁気特性（飽和磁化）も低下する。
【００４６】
磁性粉末２に耐食性を持たせるためには、上記元素Ｍの添加量は０．５原子％以上とする必要がある。
【００４７】
前記組成式中のＭは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕより選ばれる１種または２種以上の元素であり、特に、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａのうちの１種または２種以上を用いるのが好ましい。また、Ｓｎにはアニール温度を低くする効果、合金を軟化させる効果、アトマイズにて合金粉滅を形成する際に球形の形状の粉末を得られ易くする効果があり、このような効果を訴求するために必要に応じて添加すると良い。上記Ｍの組成比ｘは、３原子％以下であることが好ましい。
【００４８】
次に、Ｓｉを添加すると熱的安定性が向上するため、０．５原子％以上添加されていることが好ましい。また、Ｓｉの添加量が８原子％を超えると、融点が上昇してしまう。従ってＳｉ量ｔは、０．５原子％以上８原子％以下であることが必要であり、好ましくは２〜８原子％、より好ましくは３原子％以上７原子％以下の添加量である。
【００４９】
このＳｉは本実施形態の磁性粉末において特に重要な元素であり、合金溶湯が水アトマイズ法により水の存在雰囲気で急冷されて非晶質合金化する過程において、磁性粉末２が腐食されることを先の耐食性向上効果を奏する元素に加えてＳｉが防止する。
【００５０】
次に、Ｂ量ｗが１原子％未満では磁性粉末が得られ難く、１２原子％を超えると融点が上昇してしまう。従って、Ｂ量ｗは、１原子％以上１２原子％以下であることが好ましく、２原子％以上１０原子％であることが好ましく、４原子％以上９原子％以下であることがさらに好ましい。
【００５１】
また、Ｃを添加すると熱的安定性が向上するためＣが添加されていることが好ましい。また、Ｃ量ｚが８原子％を超えると、融点が上昇してしまう。従って、Ｃ量ｚは、０原子％を超えて８原子％以下であることが好ましく、０原子％を超えて６原子％以下であることがより好ましく、１原子％以上４原子％以下であることがさらに好ましい。
【００５２】
これらの半金属元素Ｃ、Ｐ、Ｂ及びＳｉの合計の組成比（ｙ＋ｚ＋ｗ＋ｔ）は、１７原子％以上２５原子％以下であることが好ましく、１８原子％以上２５原子％以下とすることが更に好ましい。
【００５３】
半金属元素の合計の組成比が２５原子％を越えると、特にＦｅの組成比が相対的に低下し、飽和磁化が低下するので好ましくない。半金属元素の合計の組成比が１７原子％未満では、非晶質形成能が低下し非晶質相単相組織が得られにくい。
【００５４】
本実施形態の磁性粉末においては、上記の組成に、Ｇｅが４原子％以下含有されていてもよい。
【００５５】
上記のいずれの場合の組成においても、本実施形態においては、過冷却液体の温度間隔ΔＴxは２０Ｋ以上、組成によっては３５Ｋ以上が得られる。
また上記の組成で示される元素の他に不可避的不純物が含まれていても良い。
【００５６】
前記磁性粉末は、扁平状で形成され、各磁性粉末は、膜厚方向に絶縁材を介して層状に分散されている。
【００５７】
本実施形態では、前記絶縁材（バインダー樹脂）は、シリコーン樹脂、ポリプロピレン、塩素化ポリエチレン、ポリエチレン、アクリル樹脂、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、クロロプレン、ポリウレタン、塩化ビニル、飽和ポリエステル、ニトリル樹脂等から選択される。
【００５８】
また上記した絶縁材のほかに、潤滑剤、シランカップリング剤、難燃剤等が添加されていてもよい。潤滑剤は、ステアリン酸塩などである。難燃剤は、リン酸エステル、赤燐、三酸化アンチモン、カーボンブラック等である。
【００５９】
前記磁性粉末の含有量は、全体を１００体積％としたとき、３５体積％〜５５体積％の範囲内であることが好適である。また前記磁性粉末の平均粒径（Ｄ５０）は、２０μｍ〜７０μｍの範囲内であることが好ましい。ここでＤ５０とは、累積５０％粒径（メジアン粒径）である。また平均粒径は、本実施形態の磁性粉末が扁平状のため、長辺と短辺との平均値で求められる。
【００６０】
また扁平状で形成された磁性粉末のアスペクト比（縦横比）は、１０〜８００の範囲内であることが好ましい。これにより、前記磁性粉末どうしの接触を抑制でき、また前記磁性粉末を均一に分散配置できる。前記アスペクト比の上限値は３００であることがより好ましく、最も好ましい上限値は１００である。
【００６１】
本実施形態におけるノイズフィルタ６を前記線路導体５上に重ね合ねることで前記線路導体５を流れる高周波帯域の信号にインピーダンスを付与することができる。なおノイズフィルタ６では、前記インピーダンスを前記ノイズフィルタ６が持つインダクタンス成分、キャパシタンス成分により置き換えることになる。上記した組成の磁性粉末を有するシート状のノイズフィルタ６では、高い誘電率及び透磁率を有しており、インダクタンス成分、キャパシタンス成分を大きくできる。
【００６２】
ここで上記した組成の磁性粉末を有するシート状のノイズフィルタ６には、電気信号に対する減衰特性の減衰ピーク周波数にシート幅依存性及びシート厚依存性が付与されていることがわかっている。
【００６３】
［実験例１：シート幅依存性の実験］
実験では、水アトマイズ法によりＦｅ７０．９ａｔ％Ｃｒ４ａｔ％Ｎｉ３ａｔ％Ｓｉ１．５ａｔ％Ｐ１０．８ａｔ％Ｃ８．８ａｔ％Ｂ１ａｔ％の球状の非晶質磁性粉末を形成し、アトライタによって扁平状にした。なお球状の非晶質磁性粉末の平均粒径は、Ｄ５０で９μｍであった。
【００６４】
続いて、扁平状の非晶質磁性粉末にシリコーン樹脂及びキシレンを混合してスラリーとし、このスラリーをドクターブレード法でポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）の樹脂基板上にシート状にし自然乾燥した。なお前記非晶質磁性粉末は、全体を１００体積％としたとき、３５体積％含有した。
【００６５】
続いて、塗布物を前記樹脂基板とともに熱プレスを行ってシート厚が０．４ｍｍの長方形の磁性シートを得た。
【００６６】
得られた磁性シートを前記樹脂基板から剥がして熱処理を行い、前記樹脂基板からの剥離面側に接着シートを貼り付けた。そして、シート長さＬ：４０ｍｍ×シート幅Ｗ：２０ｍｍ、シート長さＬ：４０ｍｍ×シート幅Ｗ：３０ｍｍ、シート長さＬ：４０ｍｍ×シート幅Ｗ：４０ｍｍ、シート長さＬ：４０ｍｍ×シート幅Ｗ：５０ｍｍの４種類のシート状のノイズフィルタを得た。
【００６７】
４種類のノイズフィルタのうち一つのノイズフィルタを、長さ寸法：７５ｍｍ×幅寸法６０ｍｍの基板上に形成された長さ寸法：７５ｍｍ×幅寸法：３ｍｍのマイクロストリップライン上に貼り付けた。
【００６８】
前記マイクロストリップラインの両端のコネクタにネットワークアナライザの２ポート端子を接続し５０Ωに終端した。
【００６９】
前記線路導体にＧＨｚ帯までの信号を入力して、上記のようにシート幅Ｗが異なる各ノイズフィルタの減衰特性を測定した。
【００７０】
図４に示すように、各ノイズフィルタでは、数ＧＨｚの高周波で減衰量が最も大きくなる減衰ピーク周波数を有し、前記減衰ピーク周波数はシート幅Ｗが異なる各ノイズフィルタにおいて異なっていることがわかった。シート幅Ｗが大きくなるほど前記減衰ピーク周波数は低くなることがわかった。
【００７１】
上記の組成による磁性粉末を有するノイズフィルタでは、シート幅調整によりキャパシタンス成分が変化して、減衰ピーク周波数が変化するものと考えられる。前記シート幅を大きくすることで前記ノイズフィルタのりキャパシタンスが大きくなり、これにより減衰ピーク周波数は低くなると考えられる。
【００７２】
このように、本実施形態のノイズフィルタ６には、減衰特性の減衰ピーク周波数にシート幅依存性が付与されていることがわかった。
【００７３】
一方、図５はセンダストを有する磁性シートを用いて実験した減衰特性の結果である。センダストにはＮＥＣトーキン社製の商品名Ｋ４Ｅを使用した。またシート厚を５００μｍに統一した。そのほかの実験条件は上記実施例と同様にした。
【００７４】
図５に示すように、センダストを用いた場合、シート幅Ｗを変えても減衰ピーク周波数がほとんど変化しなかった。すなわち、センダストを用いた磁性シートには、減衰特性の減衰ピーク周波数にシート幅依存性が無いことがわかった。
【００７５】
［実験例２：シート厚依存性の実験］
上記の実験例１で用いた組成の磁性粉末を用いてシート厚が１００μｍ、１５０μｍ及び２００μｍと異なる３種類のノイズフィルタを得た。各ノイズフィルタのシート幅Ｗは３０ｍｍ、シート長さＬは４０ｍｍに統一した。そして上記の実験例１と同じ実験方法にて減衰特性を測定した。
【００７６】
図６に示すように、各ノイズフィルタでは、数ＧＨｚの高周波で減衰量が最も大きくなる減衰ピーク周波数を有し、前記減衰ピーク周波数はシート厚が異なる各ノイズフィルタにおいて異なっていることがわかった。図５に示すように、シート厚を大きくすると、減衰ピーク周波数は低くなることがわかった。
【００７７】
上記の組成による磁性粉末を有するノイズフィルタでは、シート厚調整により誘電率が変化し、これによりキャパシタンス成分が変化して、減衰ピーク周波数が変化するものと考えられる。前記シート厚を大きくすることで前記ノイズフィルタの誘電率は大きくなりキャパシタンスが大きくなり、これにより減衰ピーク周波数は低くなるものと考えられる。
【００７８】
このように、本実施形態のノイズフィルタ６には、減衰特性の減衰ピーク周波数にシート厚依存性が付与されていることがわかった。
【００７９】
なお図６には、比較例として、ＮＥＣトーキン社製の商品名：Ｒ４Ｎ、ＦＫ１のセンダストを用いて、同じように減衰特性について調べてみた。実験では、比較例でのシート厚を１００μｍとした。そのほかの実験条件は実施例と同じとした。図６に示すように、比較例では、減衰特性が全体的になまっており、ＦＫ１に関しては、減衰ピークでの減衰量が非常に小さく、Ｒ４Ｎに関しては減衰ピークが得られなかった。
【００８０】
よってセンダストを用いた磁性シートには減衰特性の減衰ピーク周波数にシート厚依存性がほとんどないことがわかった。
【００８１】
［実験例３：シート長さ依存性の実験］
上記の実験例１で用いた組成の磁性粉末を用いて、シート長さＬ：５０ｍｍ×シート幅Ｗ：３０ｍｍ、シート長さＬ：４０ｍｍ×シート幅Ｗ：３０ｍｍ、シート長さＬ：３０ｍｍ×シート幅Ｗ：３０ｍｍ、シート長さＬ：２０ｍｍ×シート幅Ｗ：３０ｍｍの４種類のシート状のノイズフィルタを得た。またシート厚を０．５ｍｍに統一した。そして上記の実験例１と同じ実験方法にて減衰特性を測定した。
【００８２】
図７に示すように、各ノイズフィルタでは、減衰ピーク周波数がほとんど変わらなかった。この実験では、各ノイズフィルタのシート長さＬを変えているが、減衰特性の減衰ピークにシート長さ依存性が無いことがわかった。本実施形態の組成の磁性粉末を有するノイズフィルタでは、インダクタンス成分の影響が支配的でないために、前記シート長さＬが変化してもあまり減衰ピーク周波数は変動しないと考えられる。
【００８３】
以上の実験結果から、本実施形態では、シート幅依存性に基づいて、高周波帯域にて所定の減衰ピーク周波数が得られるように図１に示す前記ノイズフィルタ６のシート幅Ｗが調整されている。
【００８４】
例えば実験例１で用いた組成の磁性粉末を用いたノイズフィルタを用いたとき、２．５ＧＨｚにて減衰ピークを得たい場合には図４の実験結果から、シート幅Ｗを約３０ｍｍ、シート長さＬを４０ｍｍ、シート厚さＨを０．４ｍｍに調整すればよい。また２ＧＨｚにて減衰ピークを得たい場合には図４の実験結果から、シート幅Ｗを４５〜４７ｍｍ程度、シート長さＬを４０ｍｍ、シート厚さＨを０．４ｍｍに調整すればよい。このようにシート幅Ｗを調整することで所定の減衰ピーク周波数を有するノイズフィルタを形成できる。
【００８５】
またシート幅Ｗは数十ｍｍ単位であるため、前記シート幅Ｗの調整を簡単に行うことができる。
【００８６】
本実施形態では図４の実験結果からシート幅Ｗを２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内で形成することが可能である。これにより数ＧＨｚ帯（具体的には１〜５ＧＨｚ、好ましくは１〜３ＧＨｚ）で減衰ピーク周波数を得ることが出来る。減衰量もシート幅Ｗが２０ｍｍであると、やや小さいものの、各減衰ピーク周波数にて概ね絶対値で３０（ｄＢ）以上の高い減衰量を得ることができ、高周波ノイズの減衰特性に優れた高性能なノイズフィルタにできる。
【００８７】
また本実施形態では、シート厚依存性に基づいて、高周波帯域にて所定の減衰ピーク周波数が得られるように図２に示す前記ノイズフィルタ６のシート厚Ｈを調整することもできる。
【００８８】
また図６の実験によれば、シート厚Ｈを数百μｍ単位で形成できるため、非常に薄いノイズフィルタ６を形成でき、電子回路基板１の薄型化に貢献できる。
【００８９】
本実施形態では図６の実験結果からシート厚Ｈを１００μｍ〜２００μｍの範囲内で形成することが可能である。これにより数ＧＨｚ帯（具体的には１〜５ＧＨｚ、好ましくは３〜５ＧＨｚ）で減衰ピーク周波数を調整できる。減衰量も各減衰ピーク周波数にて絶対値で３５（ｄＢ）以上の高い減衰量を得ることができ、高周波ノイズの減衰特性に優れた高性能なノイズフィルタにできる。
【００９０】
上記の実験で使用した本実施形態のノイズフィルタは、減衰ピーク周波数にシート幅依存性及びシート厚依存性の双方を備えている。よってシート幅依存性及びシート厚依存性に基づいて、シート幅及びシート厚の双方を調整することで広範な高周波帯域から、適切に必要な減衰ピーク周波数を有するノイズフィルタを得ることができる。
【００９１】
なお本実施形態のノイズフィルタは、減衰ピーク周波数にシート幅依存性あるいはシート厚依存性のどちらか一方のみ備えるものでもよい。
【００９２】
図３は別の実施形態の電子回路基板１０の平面図である。図３において図１と同じ符号が付されている部材は図１と同じ部材を示している。
【００９３】
図３に示す実施形態では前記線路導体５上に２つのノイズフィルタ１１、１２が重ねされている。前記ノイズフィルタ１１、１２は、いずれも上記した組成の磁性粉末を有する磁性シートにて形成されている。
【００９４】
例えば図３では、第１のノイズフィルタ１１と、第２のノイズフィルタ１２のシート厚Ｈは同じであるが、前記第１のノイズフィルタのシート幅Ｗ１と、前記第２のノイズフィルタのシート幅Ｗ２は異なる大きさとなっている。上記したように本実施形態のノイズフィルタは、減衰特性の減衰ピーク周波数にシート幅依存性が付与されているので、前記シート幅Ｗ１，Ｗ２が異なることで前記第１のノイズフィルタ１１と第２のノイズフィルタ１２は異なる減衰ピーク周波数を有している。上記したように、シート幅Ｗが大きいほど減衰ピーク周波数は低くなるので、第１のノイズフィルタ１１のほうが第２のノイズフィルタ１２に比べて減衰ピーク周波数は低くなっている。このように２つの大きさの異なるノイズフィルタ１１，１２を設けることで、２つの減衰ピーク周波数が得られることは以下の実験でも証明されている。
【００９５】
図３では、第１のノイズフィルタ１１と第２のノイズフィルタ１２のシート長さＬ１，Ｌ２が異なっている。ただし上記したようにシート長さＬは減衰ピーク周波数にあまり影響しないため、前記第１のノイズフィルタ１１と第２のノイズフィルタ１２のシート長さＬ１，Ｌ２を同じに設定してもよいし図３のように異なる大きさに設定してもよい。
【００９６】
［実験例４：線路導体上に２つの大きさの異なるノイズフィルタを設けたときの実験］
まず、大きさの異なる個々のノイズフィルタの減衰特性を調べてみた。図８に示すように試験用基板２０を用意した。この試験用基板２０の表面にはマイクロストラップライン（試験用線路導体）２１が設けられている。
【００９７】
前記ストラップライン２１上に第１のノイズフィルタ１１を重ねて設置した。前記第１のノイズフィルタ１１のシート幅Ｗ１は、５０ｍｍ、シート長さＬ１は、２４ｍｍ、シート厚Ｈは４００μｍであった。
【００９８】
なお前記第１のノイズフィルタ１１の組成については、実験例１で使用した磁性シートと同じものを使用している。また、減衰特性実験については、実験例１で説明したのと同様にネットワークアナライザを用いて行った。
【００９９】
図９が第１のノイズフィルタ１１単独での減衰特性を示している。
図９に示すように、減衰ピーク周波数は約２．９５ＧＨｚであった。またこのときの減衰量は絶対値で約５１ｄＢであった。
【０１００】
次に、前記第１のノイズフィルタ１１を前記ストラップライン２１上から除去した後、図１０に示すように前記ストラップライン２１上に第２のノイズフィルタ１２を重ねて設置した。前記第２のノイズフィルタ１１のシート幅Ｗ２は、３７．５ｍｍ、シート長さＬ２は、８ｍｍ、シート厚Ｈは４００μｍであった。そのほかの実験条件は第１のノイズフィルタ１１に対する実験条件と同じである。
【０１０１】
図１１が第２のノイズフィルタ１２単独での減衰特性を示している。図１１に示すように減衰ピーク周波数は約５．７４ＧＨｚであった。またこのときの減衰量は絶対値で約４４ｄＢであった。
【０１０２】
次に、前記ストリップライン２１上に、前記第１のノイズフィルタ１１と第２のノイズフィルタ１２を前記ストリップライン２１の長さ方向に所定距離Ｔ１だけ離して前記ストリップライン２１上に並設した。前記所定距離Ｔ１は２５ｍｍであった。この状態にて減衰特性を調べた。その実験結果が図１３に示されている。
【０１０３】
図１３に示すように減衰特性に２つの減衰ピーク周波数が見られた。ただし、図１３に示す２つの減衰ピーク周波数は、図９の第１のノイズフィルタ１１単独で実験したときの減衰ピーク周波数（図１３の△１との表示部分）より大きく、図１１のように第２のノイズフィルタ１２単独で実験したときの減衰ピーク周波数（図１３の▽２の表示部分）より小さい周波数であることがわかった。これは、図１２のように２つのノイズフィルタ１１，１２を並べて配置することで互いに干渉しあうためと考えられる。
【０１０４】
また図１３に示すように２つの減衰ピーク周波数間の高周波帯域でも減衰量が他の周波数帯域に比べて大きくなった。したがって複数のノイズフィルタを線路導体上に配列することで、広い高周波帯域で高い減衰量が得られ、高周波ノイズの減衰特性に優れた高性能なノイズフィルタ構成にすることが可能である。
【０１０５】
図１２で説明したように、前記第１のノイズフィルタ１１と第２のノイズフィルタ１２は間隔Ｔ１を空けて配置されることが好ましい。前記間隔Ｔ１が０の場合、すなわち前記第１のノイズフィルタ１１と第２のノイズフィルタ１２とを接して並設すると、図１３のように２つの減衰ピーク周波数は得られず、あるいは２つの減衰ピーク周波数が得られても、減衰ピークがかなり接近してほとんど１つの減衰ピークと変わりが無くなり、広い高周波帯域に対応したノイズフィルタ構成にできない。よって前記第１のノイズフィルタ１１と第２のノイズフィルタ１２間には間隔Ｔ１が空けられる。前記間隔Ｔ１は５〜３５ｍｍの範囲内であることが好ましい。
【０１０６】
図３及び上記の実験ではシート幅Ｗが異なる複数のノイズフィルタを配列したが、シート厚Ｈが異なる複数のノイズフィルタを配列した場合でも同様の特性を得ることが可能である。
【０１０７】
また図３において、第１のノイズフィルタ１１と第２のノイズフィルタ１２のシート幅Ｗ１，Ｗ２の大きさは異なっているが、同時に、第１のノイズフィルタ１１と第２のノイズフィルタ１２のシート厚Ｈの大きさも異なっていてもよい。
【０１０８】
図３及び上記の実験では、ノイズフィルタ１１、１２を２つ並設したが３つ以上並設させてもよい。
【０１０９】
（減衰ピーク周波数の調整方法）
まず、組成式が、Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔＣｏａＮｉｂＭｘＰｙＣｚＢｗＳｉｔ（ただし、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｓｎより選ばれる１種または２種以上の元素であり、組成比を示すａ、ｂ、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｔは、０．５原子％≦ｘ≦８原子％、２原子％≦ｙ≦１５原子％、０原子％＜ｚ≦８原子％、１原子％≦ｗ≦１２原子％、０．５原子％≦ｔ≦８原子％、０原子％≦ａ≦２０原子％、０原子％≦ｂ≦５原子％、７０原子％≦（１００−ａ−ｂ−ｘ−ｙ−ｚ−ｗ−ｔ）≦８０原子％を示す。）で示されてなる非晶質磁性合金の磁性粉末と絶縁材とが混合されたシート状のノイズフィルタを形成する。
【０１１０】
上記したように本実施形態のノイズフィルタには減衰特性の減衰ピーク周波数にシート幅依存性及びシート厚依存性が付与されるので、まずシート幅依存性から測定するために、シート幅Ｗが異なる（シート厚Ｈは一定）複数のノイズフィルタを形成する。
【０１１１】
続いて、シート幅Ｗが異なる複数のノイズフィルタのうち１つのノイズフィルタを、試験基板上のマイクロストリップライン（試験用線路導体）上に貼り付ける。
【０１１２】
そして実験例１や実験例４でも説明したように、ネットワークアナライザを取り付け、前記マイクロストリップラインにＧＨｚ帯までの広範な周波数帯域の信号を入力して、前記ノイズフィルタの広範な周波数帯域での減衰特性を測定する。
【０１１３】
上記測定をシート幅Ｗの異なる全てのノイズフィルタに対し行う。上記測定によって、図４に示されるようなシート幅Ｗと減衰ピーク周波数との関係が得られる。減衰ピーク周波数は高周波帯域に現れる。そして、図４に示されるようなシート幅Ｗと減衰ピーク周波数との関係に基づいて、前記ノイズフィルタのシート幅Ｗを調整することで、実際に必要な高周波帯域での前記減衰ピーク周波数を調整する。
【０１１４】
本実施形態では、上記の組成の磁性粉末を備えたノイズフィルタでは、減衰ピーク周波数にシート幅依存性を有しており、シート幅と減衰ピーク周波数との関係に基づいて、シート幅を調整することにより、簡単かつ自由に、高周波帯域での減衰ピーク周波数を調整することが可能である。
【０１１５】
また前記シート幅Ｗを、２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内で調整することにより、ＧＨｚ帯で減衰ピーク周波数を調整することが可能である。またシート幅Ｗは数十ｍｍ単位で調整できるので、簡単かつ適切に前記減衰ピーク周波数の調整が可能である。
【０１１６】
あるいは本実施形態のノイズフィルタのシート厚依存性を測定するために、シート厚Ｈが異なる（シート幅Ｗは一定）複数のノイズフィルタを形成する。
【０１１７】
続いて、シート厚Ｈが異なる複数のノイズフィルタのうち１つのノイズフィルタを、試験基板上のマイクロストリップライン（試験用線路導体）上に貼り付ける。
【０１１８】
そして実験例１や実験例４でも説明したように、ネットワークアナライザを取り付け、前記マイクロストリップラインにＧＨｚ帯までの広範な周波数帯域の信号を入力して、前記ノイズフィルタの広範な周波数帯域の減衰特性を測定する。
【０１１９】
上記測定をシート厚Ｈの異なる全てのノイズフィルタに対して行う。上記測定によって、図６に示されるようなシート厚Ｈと減衰ピーク周波数との関係が得られる。減衰ピーク周波数は高周波帯域に現れる。そして、図６に示されるようなシート厚Ｈと減衰ピーク周波数との関係に基づいて、前記ノイズフィルタのシート厚Ｈを調整することで、実際に必要な高周波帯域での前記減衰ピーク周波数を調整する。
【０１２０】
本実施形態では、上記の組成の磁性粉末を備えたノイズフィルタでは、減衰ピーク周波数にシート厚依存性を有しており、シート厚と減衰ピーク周波数との関係に基づいて、シート厚を調整することにより、簡単かつ自由に、高周波帯域での減衰ピーク周波数を調整することが可能である。
【０１２１】
また前記シート厚を、１００μｍ〜２００μｍの範囲内で調整することによりＧＨｚ帯で減衰ピーク周波数を調整することが可能である。またこのように薄いシート厚で減衰ピーク周波数の調整が可能である。
【０１２２】
また例えば、本実施形態のノイズフィルタを用いて、減衰ピーク周波数に対するシート幅依存性及びシート厚依存性の双方の測定を行い、どちらの依存性もあるとき、シート幅依存性及びシート厚依存性に基づき、シート幅及びシート厚の双方を適切に調整して、必要とされる減衰ピーク周波数を調整することが可能である。なおシート幅依存性及びシート厚依存性があるとき、シート幅及びシート厚のうちどちらをメインとして調整するかについて、シート厚はある所定値に固定し（図４のように例えば０．４ｍｍに固定）、シート幅を変動させて、減衰ピーク周波数を調整することが好適である。シート幅の調整では、数十ｍｍ単位での調整となるから、所定の減衰ピーク周波数に合わせやすく減衰ピーク周波数の調整を簡単かつ適切に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本実施形態における電子回路基板の平面図、
【図２】図１に示す電子回路基板をＡ−Ａ線から厚さ方向に切断しその切断面を矢印方向から見た断面図、
【図３】別の実施形態の電子回路基板の平面図、
【図４】シート幅Ｗが異なる本実施形態の各ノイズフィルタの減衰特性を示すグラフ、
【図５】比較例としてのセンダストを用いたシート幅Ｗが異なる各磁性シートの減衰特性を示すグラフ、
【図６】シート厚Ｈが異なる本実施形態の各ノイズフィルタの減衰特性、及び比較例としてのセンダストを用いたシート厚Ｈが異なる各磁性シートの減衰特性を示すグラフ、
【図７】シート長さＬが異なる本実施形態の各ノイズフィルタの減衰特性を示すグラフ、
【図８】図３に示す第１のノイズフィルタの減衰特性をために前記第１のノイズフィルタを実験用基板に搭載した状態を示す平面図、
【図９】前記第１のノイズフィルタ単独での減衰特性を示すグラフ、
【図１０】図３に示す第１のノイズフィルタとシート幅Ｗが異なる第２のノイズフィルタの減衰特性をために前記第２のノイズフィルタを実験用基板に搭載した状態を示す平面図、
【図１１】前記第２のノイズフィルタ単独での減衰特性を示すグラフ、
【図１２】図３に示す第１のノイズフィルタ及び第２のノイズフィルタを実験用基板に搭載した状態を示す平面図、
【図１３】第１のノイズフィルタおよび第２のノイズフィルタを実験用基板上に搭載した状態での減衰特性を示すグラフ、
【符号の説明】
【０１２４】
１、１０  電子回路基板
２  基板
３、４    電子部品
５  線路導体
６  ノイズフィルタ
１１  第１のノイズフィルタ
１２  第２のノイズフィルタ
２０  試験用基板
２１  マイクロストリップライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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