(57)【要約】【課題】  優れた電気接続性を有するスパイラルコンタクタおよびその製造方法を提供する。【解決手段】  Ｃｕ箔の表面に少なくとも１つの凹部を、スパイラル状接触子２の先端の位置に形成したＣｕ箔を用いることによって形成可能な、渦巻きの中心に先端２ａを有する凸形のスパイラル状接触子２であって、中心を同一として互いに併行して渦巻状に配設された複数のスパイラル状接触子２が先端２ａで合流して一体とし、スパイラル状接触子２の先端２ａの位置に、少なくとも１つの凸部２ｄを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
渦巻きの中心に先端を有する凸形のスパイラル状接触子において、前記中心を同一として互いに併行して渦巻状に配設された複数の前記スパイラル状接触子が先端で合流して一体としたことを特徴とするスパイラルコンタクタ。
【請求項２】
前記スパイラル状接触子の根元を互いに対向した位置に配置して、前記根元から渦巻きの中心に向けて立ち上がり、前記渦巻きの中心で互いに合流する先端を備えたことを特徴とする請求項１に記載のスパイラルコンタクタ。
【請求項３】
前記スパイラル状接触子の先端の位置に、上方へ突起した少なくとも１つの凸部を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスパイラルコンタクタ。
【請求項４】
前記凸部が半球形状であることを特徴とする請求項３に記載のスパイラルコンタクタ。
【請求項５】
前記凸部が四角錐台形状であることを特徴とする請求項３に記載のスパイラルコンタクタ。
【請求項６】
前記凸部が三角錐台形状であることを特徴とする請求項３に記載のスパイラルコンタクタ。
【請求項７】
前記凸部が円錐台形状であることを特徴とする請求項３に記載のスパイラルコンタクタ。
【請求項８】
前記凸部が角錐台形状であることを特徴とする請求項３に記載のスパイラルコンタクタ。
【請求項９】
渦巻きの中心に先端を有する凸形のスパイラル状接触子を備えたスパイラルコンタクタの製造方法において、
Ｃｕ箔を用意し、前記Ｃｕ箔の表面に少なくとも１つの凹部を、前記スパイラル状接触子の先端の位置に形成する第１工程と、
前記Ｃｕ箔の表面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、その上方から前記スパイラル状接触子のパターンを有するフォトマスクを被せ、このフォトマスクの上方から光を照射して露光する第２工程と、
前記フォトマスクのパターンを形成するように前記フォトレジストを現像する第３工程と、
さらに上方から前記Ｃｕ箔の露出面に金属メッキを施し、前記スパイラル状接触子を成形する第４工程と、
前記フォトレジストを除去する第５工程と、
前記Ｃｕ箔の裏面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、穴を開けるためのフォトマスクを被せ、このフォトマスクに光を照射して露光・現像する第６工程と、
アニールフォーミングする第１３工程と、
実装基板上のランドに前記スパイラル状接触子を固着する第１５工程と、
を含むことを特徴とするスパイラルコンタクタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気導電性に優れたスパイラルコンタクタに関し、特に、Ｃｕ箔上に形成した凹部によって、スパイラル状接触子の先端中心及びその近傍に少なくとも１つの突起を有するスパイラルコンタクタ、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図７は、従来のスパイラル状接触子の製造方法の工程図である。図７に示すように、渦巻きの中心に先端を有するスパイラル形状の接触子２２を備えたスパイラルコンタクタ２１の製造方法において、Ｃｕ基板２４を用意し、このＣｕ基板２４上にフォトレジスト２５を塗布する第１工程、その上方からスパイラル形状のパターンを備えたフォトマスク２６を被せ、このフォトマスク２６の上方から光を照射して露光する第２工程と、フォトマスク２６のパターンを形成するようにフォトレジスト２５を現像する第３工程と、さらに上方から金属メッキ２７を施す第４工程と、フォトレジスト２５を除去することによって、スパイラル状接触子２２の渦巻き形状を形成する第５工程と、スパイラル状接触子２２の外周縁の基部２２ｄを覆うように上方から粘着テープ２８を付ける第６工程と、Ｃｕ基板２４をエッチングで除去する第７工程とを含むことによってスパイラル状接触子２２が形成されている。
さらに、この後、スパイラル状接触子２２の渦巻きの中心を下方から凸形工具（図４の凸形工具参照）で押し上げてスパイラル状接触子２２を凸状に成形するとともに加熱及び焼鈍して所望の形状が維持されている。
【０００３】
また、半導体デバイスには格子状またはマトリックス状に配置された多数の球状接続端子が設けられており、球状接続端子の外表面にスパイラル状接触子が螺旋状に巻き付くように接触するため、個々の球状接続端子と個々のスパイラル状接触子との間の電気的接続が確実に行われるようになっている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２―１７５８５９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来、スパイラル状接触子は、半球形状や平坦なランド形状などさまざまな接続端子の形状にも対応可能で、電気的接続特性をさらに向上させなければならないという課題があった。
【０００５】
本発明は、前記課題を解決するために創案されたものであり、さまざまな形状の接続端子にも接続可能であるとともに、スパイラル状接触子が接続端子と接触して、スパイラル状接触子を先端から順に押し下げるときにスパイラル状接触子の先端部に設けられた少なくとも１つの鋭い突起が接続端子とねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことによって、優れた電気接続性を有するスパイラルコンタクタおよびその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る発明のスパイラルコンタクタは、渦巻きの中心に先端を有する凸形のスパイラル状接触子において、前記中心を同一として互いに併行して渦巻状に配設された複数の前記スパイラル状接触子が先端で合流して一体としたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２に係る発明のスパイラルコンタクタは、請求項１に記載のスパイラルコンタクタであって、前記スパイラル状接触子の根元を互いに対向した位置に配置して、前記根元から渦巻きの中心に向けて立ち上がり、前記渦巻きの中心で互いに合流する先端を備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載のスパイラルコンタクタであって、前記スパイラル状接触子の先端の位置に、上方へ突起した少なくとも１つの凸部を備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載のスパイラルコンタクタであって、前記凸部が半球形状であることを特徴とする。
【００１０】
請求項５に係る発明は、請求項３に記載のスパイラルコンタクタであって、前記凸部が四角錐台形状であることを特徴とする。
【００１１】
請求項６に係る発明は、請求項３に記載のスパイラルコンタクタであって、前記凸部が三角錐台形状であることを特徴とする。
【００１２】
請求項７に係る発明は、請求項３に記載のスパイラルコンタクタであって、前記凸部が円錐台形状であることを特徴とする。
【００１３】
請求項８に係る発明は、請求項３に記載のスパイラルコンタクタであって、前記凸部が角錐台形状であることを特徴とする。
【００１４】
請求項９に係る発明のスパイラルコンタクタの製造方法は、渦巻きの中心に先端を有するスパイラル状接触子を備えたスパイラルコンタクタの製造方法であって、Ｃｕ箔を用意し、前記Ｃｕ箔の表面に少なくとも１つの凹部を、前記スパイラル状接触子の先端の位置に形成する第１工程と、前記Ｃｕ箔の表面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、その上方から前記スパイラル状接触子のパターンを有するフォトマスクを被せ、このフォトマスクの上方から光を照射して露光する第２工程と、前記フォトマスクのパターンを形成するように前記フォトレジストを現像する第３工程と、さらに上方から前記Ｃｕ箔の露出面に金属メッキを施し、前記スパイラル状接触子を成形する第４工程と、前記フォトレジストを除去する第５工程と、前記Ｃｕ箔の裏面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、穴を開けるためのフォトマスクを被せ、このフォトマスクに光を照射して露光・現像する第６工程と、アニールフォーミングする第１３工程と、実装基板上のランドに前記スパイラル状接触子を固着する第１５工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る発明によれば、渦巻きの中心に先端を有する凸形のスパイラル状接触子において、中心を同一として互いに併行して渦巻状に配設された複数のスパイラル状接触子が先端で合流して一体としたため、渦巻きの中心が複数の渦巻きによって中心に維持されながら、さらに先端がねじり回動することによって、スパイラル状接触子が接続端子と接触して、スパイラル状接触子が先端から順に押し下げられるときにスパイラル状接触子の先端部に設けられた少なくとも１つの鋭い突起が接続端子に対して、ねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことになり、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
【００１６】
請求項２に係る発明のスパイラルコンタクタは、スパイラル状接触子の根元を互いに対向した位置に配置して、根元から渦巻きの中心に向けて立ち上がり、渦巻きの中心で互いに合流する先端を備えたため、左右から支持された２重巻きの渦巻きによって、渦巻きの中心が維持されながら、さらに先端がねじり回動することによって、スパイラル状接触子が接続端子と接触して、スパイラル状接触子が先端から順に押し下げられるときにスパイラル状接触子の先端部に設けられた少なくとも１つの鋭い突起が接続端子に対して、ねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことになり、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
【００１７】
請求項３に係る発明によれば、スパイラル状接触子の先端の位置に、上方へ突起した少なくとも１つの凸部を備えるため、スパイラル状接触子の先端近傍に突起が形成され、この突起が接続端子と接触してスパイラル状接触子が先端から順に押し下げられるときに、渦巻きの中心が維持されながら、さらに先端がねじり回動することによって、スパイラル状接触子の先端部に設けられた少なくとも１つの鋭い突起が接続端子と接触しながら微小円を描くことになり、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
【００１８】
請求項４〜８の何れか１項に係る発明によれば、半球形状、四角錐台形状、三角錐台形状、円錐台形状、及び角錐台形状の凸部を設けることによって、平坦なランドや、窪んだランドなどにも容易に接続することができ、さまざまな接続端子に容易に接触することができる。さらに、接触する際に、突起が微小回転することによって、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
【００１９】
請求項９に係る発明のスパイラルコンタクタの製造方法によれば、渦巻きの中心に先端を有するスパイラル状接触子を備えたスパイラルコンタクタの製造方法であって、Ｃｕ箔を用意し、前記Ｃｕ箔の表面に少なくとも１つの凹部を、前記スパイラル状接触子の先端の位置に形成する第１工程と、前記Ｃｕ箔の表面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、その上方から前記スパイラル状接触子のパターンを有するフォトマスクを被せ、このフォトマスクの上方から光を照射して露光する第２工程と、前記フォトマスクのパターンを形成するように前記フォトレジストを現像する第３工程と、さらに上方から前記Ｃｕ箔の露出面に金属メッキを施し、前記スパイラル状接触子を成形する第４工程と、前記フォトレジストを除去する第５工程と、前記Ｃｕ箔の裏面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、穴を開けるためのフォトマスクを被せ、このフォトマスクに光を照射して露光・現像する第６工程と、実装基板上のランドに前記スパイラル状接触子を固着する第１０工程と、アニールフォーミングする第１３工程と、実装基板上のランドに前記スパイラル状接触子を固着する第１５工程と、を含むため、Ｃｕ箔の表面に少なくとも１つの凹部を、凸形のスパイラル状接触子の先端の位置に形成することによって、凸形のスパイラル状接触子の先端及びその近傍に突起を形成することができる。この突起が接続端子と接触して凸形のスパイラル状接触子を先端から順に押し下げるときに、凸形のスパイラル状接触子の先端部に設けられた少なくとも１つの鋭い突起が、接続端子と接触しながらねじり回動して微小円を描くことになり、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係るスパイラルコンタクタおよびその製造方法の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態を説明するためのスパイラル状接触子を示し、（ａ）は先端及びその近傍に突起を備えたスパイラル状接触子を示す概略図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ―Ａ線の断面図であり、自然体では凸形状の断面図、（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）（ｇ）（ｈ）（ｉ）（ｊ）は、突起の種類を示す斜視図である。
図１（ａ）（ｂ）に示すように、スパイラル状接触子２は、自然体では凸形状のスパイラル（渦巻き）であるが、渦巻きの中心において先端が一体となった２本の渦巻きが併行に設けられている。その中心に位置する先端には、半球形状の突起が設けられている。渦巻きの幅は、先端２ａから根元２ｂに近づけば近づく程に広くなっており、根元２ｂから先端２ａに向かって渦巻き部２ｃを備えている。なお、幅は、先端２ａから根元２ｂに行くにしたがって、一定でも構わない。厚さも一定としているが、先端から根元に行くにしたがって、次第に厚く変化していても構わない。また、スパイラル状接触子２を形成するコア材はニッケル（Ｎｉ）基材であり、表面にはＡｕメッキが施されている。
【００２１】
この渦巻きの中心に先端２ａを有する凸形のスパイラル状接触子２において、スパイラル状接触子２の根元２ｂ、２ｂを互いに対向した位置に配置して、根元２ｂ、２ｂから渦巻きの中心に向けて立ち上がり、渦巻きの中心で互いに合流する先端２ａを備える。すなわち、先端２ａは、左右から支持された２重の渦巻きによって中心に維持されながら、さらに先端２ａがねじり回動する。そして、スパイラル状接触子２が接続端子（図略）と接触して、スパイラル状接触子２を先端２ａから順に押し下げるときに、スパイラル状接触子２の先端２ａに設けられた少なくとも１つの鋭い突起２ｄが、接続端子に対してねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことになり、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
【００２２】
また、渦巻きを２本併行にして２重渦巻きとして説明したが、３重渦巻きでも、４重渦巻きでも、さらに複数の渦巻きとしても良い。その渦巻きの根元位置と先端位置をそれぞれ均等にずらすことによって製作可能である。
【００２３】
図１の（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）に示すように、突起（凸部２ｄ）の形態を示す斜視図には、先端２ａ近傍に１個の突起を備えている。その形状は半円形状、四角錐台形状、三角錐台形状、及び円錐台形状を示している。なお、突起の形状は、これらに限るものではなく、多角錐台などの角錐台や、四角錐形状、三角錐形状、角錐形状及び円錐形状や、その他類似の形状であっても構わない。
この突起２ｄが接続端子（図略）と接触して、スパイラル状接触子２を先端２ａから順に押し下げるときに、渦巻きの中心が維持されながら、さらに先端２ａがねじり回動することによって、スパイラル状接触子２の先端２ａに設けられた少なくとも１つの鋭い突起２ｄが接続端子と接触しながら微小円を描くことになり、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
【００２４】
また、図１の（ｇ）（ｈ）（ｉ）（ｊ）に示すように、突起（凸部）の形態を示す斜視図には、先端２ａに２個の突起２ｄを備え、その形状は半円形状、四角錐台形状、三角錐台形状、及び円錐台形状であり、スパイラル状接触子２は接続端子と接触する際に、ねじり動作を伴い、微小円の回転をしながら電気的接続を行う。先端２ａ近傍に１個の突起２ｄを備えたものも、また、２個の突起２ｄ、２ｄを備えたものも同様に微小円の回転をしながら電気的に接続する。なお、突起２ｄを先端の回転中心から偏心させなくともねじり動作を伴うことによって回転するが、敢えて、先端の回転中心からわずかに偏心させた１個の突起を設けても良い。
【００２５】
図２は、本発明に係る製造方法の工程図である。図２に示すように、渦巻きの中心に先端を有するスパイラル状接触子を備えたスパイラルコンタクタの製造方法において、第１工程（ａ）は、金属板４を用意し、この金属板４の表面に少なくとも１つの凹部４ａをスパイラル状接触子の先端の位置に形成する。なお、金属板４はＣｕ箔が好適であるので、以下、金属板４はＣｕ箔４と記載する。Ｃｕ箔４の厚みは、箔状であり、例えば、０．０８ｍｍとしたが、これに限定されるものではない。
【００２６】
第２工程（ｂ）は、Ｃｕ箔４の表面にフォトレジスト５を塗布、もしくはドライフィルムを貼付する。その上方からスパイラル状接触子２のパターンを有するフォトマスク６を被せ、このフォトマスク６の上方から光を照射して露光する。
このフォトマスク６の形状は、スパイラル形状接触子２の部分を黒塗りにした模様になっている。また、白黒逆のパターンを用いた方法でも構わない。
第３工程（ｃ）は、フォトマスク６のパターンを形成するようにフォトレジスト５を現像する。
第４工程（ｄ）は、さらに上方からＣｕ箔４の露出面４ｂにＡｕメッキ７ｂ、Ｎｉメッキ７ａから構成される金属メッキ７を施し、スパイラル状接触子２を成形する。ここでの金属メッキ７は、ニッケル合金メッキが好適である。なお、金属メッキは、例えば、ニッケルＮｉ合金メッキを用いたが、これに限定されるものではない。
【００２７】
第５工程（ｅ）は、フォトレジスト５を除去する。
第６工程（ｆ）は、Ｃｕ箔４の裏面にフォトレジスト５を貼付もしくは塗布し、穴を開けるためのフォトマスク１６を被せ、このフォトマスク１６に光を照射して露光・現像する。
第７工程（ｇ）は、Ｃｕ箔４の裏面からＣｕ箔４にエッチングで穴４ｃを開ける。
第８工程（ｈ）は、Ｃｕ箔４の裏面のフォトレジスト５を除去する。
【００２８】
図３は、本発明に係る製造方法の工程図である。図３に示すように、第９工程（ｉ）は、上下反転させたスパイラル状接触子の渦巻きの中心を一方から凸形工具で押し上げて凸形に変形させた状態でアニールフォーミングする。
詳細には、スパイラル状接触子２の下方に凸形工具１２を配置し、スパイラル状接触子２を下方から凸形工具１２で押し上げて凸形に変形させた状態でアニールフォーミングして成形を安定させ、すなわち、凸状に変形したスパイラル状接触子２が加熱及び焼鈍されて凸形状に成形される。このアニールフォーミングは、例えば、２５０℃で加熱し、焼きなまし処理を行い、内部応力を除去する。ここで加熱温度は２５０℃としたが、２５０℃前後を含むものとし、さらにこれに限定されるものではない。
第１０工程（ｊ）は、表面に導電性のランド８ａを有する実装基板８を設け、ランド８ａの上面に導電性のペースト（半田ペースト）９を塗布し、ランド８ａの上面に、スパイラル状接触子２を位置決めする。
【００２９】
第１１工程（ｋ）は、Ｃｕ箔４をエッチングで除去する。
第１２工程（ｌ）は、複数のスパイラル状接触子２、２…からなるスパイラルコンタクタ１に接続端子１１を接触させる。これによって、スパイラル状接触子２の突起２ｄと接続端子１１が接続されるとともに、突起２ｄは接続端子１１の接触面で微小円を描きながら電気的導通が図られる。
【００３０】
図４は、本発明に係る製造方法の工程図である。図４に示すように、第１３工程（ｍ）は、上下反転させたスパイラル状接触子の渦巻きの中心を一方から凸形工具で押し上げて凸形に変形させた状態でアニールフォーミングする。
詳細には、第１３工程（ｍ）〜第１５工程（ｐ）は、前記第９工程〜第１１工程と同様である。
【００３１】
第１６工程（ｑ）は、複数のスパイラル状接触子２、２…からなるスパイラルコンタクタ１に接続端子１１´を接触させる。これによって、スパイラル状接触子２の突起２ｄと接続端子１１´が接続されるとともに、突起２ｄは接続端子１１´の接触面で微小円を描きながら電気的導通が図られる。
このように、さまざまな形状の接続端子に対しても良好な接続が得られる。
【００３２】
図５は、本発明の第２の実施形態を説明するためのスパイラル状接触子を示し、（ａ）はスパイラル状接触子を示す概略図、（ｂ）は（ａ）に示すＢ―Ｂ線の断面図である。第２の実施形態が、第１の実施形態と異なる点は、第２の実施形態では、突起を２個設けた点である。なお、図５において、図１〜図４と同様の構成については同符号を付し、その説明を省略する。
図５（ａ）（ｂ）に示すように、スパイラル状接触子２は、自然体では凸形のスパイラル（渦巻き）であるが、渦巻きの中心において先端２ａが一体となった２本の渦巻きが併行に設けられている。その中心に位置する先端２ａには、円錐台形状の突起２ｄが２個設けられている。渦巻きの幅は、先端２ａから根元２ｂに近づけば近づく程に広くなっており、根元２ｂから先端２ａに向かって渦巻き部２ｃを備えている。なお、幅は、先端２ａから根元２ｂに行くにしたがって、一定でも構わない。厚さも一定としているが、先端２ａから根元２ｂに行くにしたがって、次第に厚く変化していても構わない。また、スパイラル状接触子２を形成するコア材はニッケル（Ｎｉ）基材であり、表面にはＡｕメッキが施されている。
【００３３】
この突起２ｄが接続端子（図３の符号１１参照）と接触して、スパイラル状接触子を先端から順に押し下げるときに、スパイラル状接触子２の先端２ａに設けられた２個の鋭い突起２ｄ、２ｄが接続端子と接触しながらねじり回動動作を伴い微小円を描くことによって、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
【００３４】
図６は、本発明の変形例を説明するためのスパイラル状接触子を示し、（ａ）は先端近傍に突起を備えたスパイラル状接触子を示す概略図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ―Ａ線の断面図であり、自然体で凸形状の断面図である。
図６に示すように、突起（凸部２ｄ）の形態を示す斜視図には、先端２ａ近傍に１個の突起を備えている。
この突起２ｄが接続端子（図３の符号１１参照）と接触して、スパイラル状接触子２を先端２ａから順に押し下げるときに、渦巻きの中心が維持されながら、さらに先端２ａがねじり回動することによって、スパイラル状接触子２の先端２ａに設けられた少なくとも１つの鋭い突起２ｄが接続端子と接触しながら微小円を描くように、突起２ｄを先端２ａの回転中心から偏心させなくても、ねじり動作を伴うことによって回転するが、敢えて、先端２ａの回転中心から微小量δだけ偏心させた１個の突起２ｄを設けても良い。
【００３５】
以上、好ましい実施の形態を説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱することの無い範囲内において適宜変更が可能なものである。例えば、スパイラル状接触子２の先端２ａの位置に少なくとも１つの凸部２ｄを備えたが、先端の突起２ｄは２個に限るものではなく、３個、４個以上なども可能である。また、渦巻きを２本併行にして２重渦巻きとして説明したが、３重渦巻きでも４重渦巻きでも、さらに複数の渦巻きも、その渦巻きの根元位置と先端位置をそれぞれ均等にずらすことによって製作可能である。また、スパイラル状接触子は、自然体で凸形状としたが、自然体で平坦状であっても構わない。また、第１工程の金属板４は銅板（Ｃｕ箔）の他に、例えばＳＵＳ板としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１の実施形態を説明するためのスパイラル状接触子を示し、（ａ）は先端近傍に突起を備えたスパイラル状接触子を示す概略図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ―Ａ線の断面図であり、自然体では平坦状の断面図、（ｃ）は（ａ）に示すＡ―Ａ線の断面図であり、自然体で凸形状の断面図である。（ｄ）（ｅ）（ｆ）（ｇ）（ｈ）（ｉ）（ｊ）（ｋ）は、突起の種類を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る製造方法の工程図である。
【図３】本発明に係る製造方法の工程図である。
【図４】本発明に係る製造方法の工程図である。
【図５】本発明の第２の実施形態を説明するためのスパイラル状接触子を示し、（ａ）は先端近傍に２個の突起を備えたスパイラル状接触子を示す概略図、（ｂ）は（ａ）に示すＢ―Ｂ線の断面図であり、自然体で凸形状の断面図である。
【図６】本発明の変形例を説明するためのスパイラル状接触子を示し、（ａ）はスパイラル状接触子を示す概略図、（ｂ）は（ａ）に示すＣ―Ｃ線の断面図である。
【図７】従来のスパイラル状接触子の製造方法を示す工程図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  スパイラルコンタクタ
２  スパイラル状接触子
２ａ  先端
２ｂ  根元
２ｃ  渦巻き部
２ｄ  突起
４  Ｃｕ箔
５  フォトレジスト
６、１６  フォトマスク
７  金属メッキ
８  実装基板
９  ペースト
１１、１１´  接続端子
１２  凸形工具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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