(57)【要約】【課題】スムーズに損傷を受けずに取付壁部の貫孔から引き抜きができて、寿命の長い盲栓を提供することを目的とする。【解決手段】取付壁部７の貫孔８への挿入筒部11は、肉厚寸法Ｔが均一なラッパ形である。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形の貫孔（８）を有する取付壁部（７）の一面（９）側から他面（10）側まで挿通して、該他面（10）側の貫孔開口端角部（13）に係止する挿入筒部（11）を有する弾性ゴム製の盲栓に於て、
上記挿入筒部（11）は、縦断面形状が、肉厚寸法（Ｔ）の均一なラッパ形であることを特徴とする盲栓。
【請求項２】
円形の貫孔（８）を有する取付壁部（７）の一面（９）側から他面（10）側まで挿通して、該他面（10）側の貫孔開口端角部（13）に係止する挿入筒部（11）を有する弾性ゴム製の盲栓に於て、
人の指にて押し込みと引き抜きを行うための膨出状摘み部（12）を備え、該摘み部（12）の端面（14）から突出状に連設された上記挿入筒部（11）は、縦断面形状が、肉厚寸法（Ｔ）の均一なラッパ形であって、取付状態で、上記摘み部（12）の端面（14）が上記一面（９）に圧接すると共に、上記ラッパ形の上記挿入筒部（11）の外周面が上記貫孔開口端角部（13）に弾発的に圧接して係止するように構成されたことを特徴とする盲栓。
【請求項３】
上記ラッパ形の上記挿入筒部（11）の先端面（18）は、上記貫孔（８）への挿入の際の誘導を行う円錐面形状に形成され、かつ、上記挿入筒部（11）の有底孔（21）は上記摘み部（12）の端面（14）よりも基端側へ深く凹設されている請求項２記載の盲栓。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、（ゴム製の密封用の）盲栓に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造に際して、半導体ウエハの搬送のためにウエハ搬送容器が使用されている（例えば、特許文献１，２参照）。
このウエハ搬送容器の内部を繰り返し洗浄せねばならないが、洗浄時に、搬送容器の包囲壁内に取着されているフィルタに、洗浄液が接触しないように、ゴム製の盲栓が、フィルタに通じる孔に、容器内側から、密封状に取り付けられ、洗浄の後は、取り外していた。
そして、従来のゴム製の盲栓としては、図11〜図14に示すような形状のものが使用されている。
【特許文献１】特開平７−２５４６３６号公報
【特許文献２】特開２００５−３１１１２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来から使用されている図11〜図14に例示したゴム製の盲栓31は、人の指にて押し込みと引き抜きを行うための膨出状摘み部32を基端側に有し、摘み部32の端面33から、挿入筒部34が突出状に設けられていた。
円形の貫孔35を有する取付壁部36の一面37から他面38へ、上記挿入筒部34を、図12から図13のように、挿入して密封を行うのに、この盲栓31が用いられる。
【０００４】
ところで、挿入筒部34は、先端の抜け防止部（係止部）39と、シール部（首部）40とから成り、先端面34ａから有底孔部41が軸心に沿って形成され、抜け防止部39とシール部（首部）40は、横断面円環状である。
【０００５】
図13に於ける図外下方位置にフィルタが設けられ、同図上方がウエハ搬送容器の内部を示し、貫孔35の内周面に、首部40が密接して、密封作用をなして、（下方の図外の）フィルタに、洗浄液が入り込むことを防止する。
【０００６】
ところで、挿入筒部34の先端側の抜け防止部（係止部）39は、縦断面が倒立状略三角形（略台形）であって、軸心42と直交状の断付面（顎面）43を有し、この断付面43が、図13に示す装着状態で、取付壁部36の他面38に圧接して抜け止め作用（係止作用）をなす。
【０００７】
図13に示すように、貫孔35への挿入（押し込み）と、引き抜きとを、繰り返すと、符号Ｚにて示すように、亀裂が発生し易いという問題がある。
即ち、倒立略三角状（台形状）の抜け防止部（係止部）39の断付面43が、取付壁部36の他面38に強く引っ掛かって、断付面43と首部40の直角隅部44に応力集中が生じて、この直角隅部44から、亀裂Ｚが発生し易い。
【０００８】
さらに、図14に示すように、製造時のプレス成形の際、金型45から矢印Ｙ方向へ（成形品としての）盲栓31を引き出す（取り出す）ときに、断付面43が引っ掛かり易く、抜け防止部39に欠け・損傷が発生する虞もあった。
【０００９】
そこで、本発明は、上述のような亀裂Ｚ（図13）の発生を防止し、製造時の抜け防止部の欠け（不良品発生）を防止して、スムーズに金型から取り出しができ、しかも、取付壁部の貫孔へスムーズに挿入（押し込み）及び引き抜きが可能な、密封性能も十分な盲栓を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そこで、本発明は、円形の貫孔を有する取付壁部の一面側から他面側まで挿通して、該他面側の貫孔開口端角部に係止する挿入筒部を有する弾性ゴム製の盲栓に於て、上記挿入筒部は、縦断面形状が、肉厚寸法の均一なラッパ形である。
【００１１】
また、人の指にて押し込みと引き抜きを行うための膨出状摘み部を備え、該摘み部の端面から突出状に連設された上記挿入筒部は、縦断面形状が、肉厚寸法の均一なラッパ形であって、取付状態で、上記摘み部の端面が上記一面に圧接すると共に、上記ラッパ形の上記挿入筒部の外周面が上記貫孔開口端角部に弾発的に圧接して係止するように構成されている。
【００１２】
また、上記ラッパ形の上記挿入筒部の先端面は、上記貫孔への挿入の際の誘導を行う円錐面形状に形成され、かつ、上記挿入筒部の有底孔は上記摘み部の端面よりも基端側へ深く凹設されている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る盲栓は、取付壁部の貫孔（フィルタケーシングの貫孔）へ押し込みと引き抜きを多数回繰り返しても、亀裂や破損を生じにくく、かつ、プレス成形時（製造時）の欠け等の不良の発生がなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図示の実施の形態に基づき本発明を詳説する。
図１〜図９は本発明の実施の一形態を示し、まず、図１は用途の一例を断面図にて示す。即ち、１はウエハ搬送容器であり、容器本体２と密封自在な開閉蓋３とを備え、その容器本体２の一部に孔部４が貫設され、これにフィルタ５と、これを保持するフィルタ保持ケーシング６が、嵌着されている。
【００１５】
Ａが、このケーシング６に容器内部Ｃから取着された本発明に係る盲栓であり、この盲栓Ａは、全体がゴム製であって、ケーシング６の取付壁部７の円形の貫孔８に着脱自在に取着される。
詳しくは、図１〜図７に示すように、円形の貫孔８が（板状の）取付壁部７に、その一面９側から他面10側まで貫設されている。
【００１６】
この盲栓Ａは、図４の矢印Ｄのように、取付壁部７の一面９側から他面10側まで挿通される挿入筒部11と、人の指にて前記貫孔８への押し込みと引き抜きを行うための膨出状摘み部12とを、一体に有する。
挿入筒部11は、取付壁部７の他面10側の貫孔開口端角部13に、係止する（この点は、図11〜図13で説明した従来の挿入筒部34と同様である）。
【００１７】
しかし、摘み部12の端面14から突出状に連設された挿入筒部11は、その縦断面形状（軸心15を含む断面の形状）が、肉厚寸法Ｔの均一なラッパ形であって、取付状態（装着状態）で、図５に示すように、摘み部12の端面14が一面９に圧接すると共に、（先端へ開口状の）ラッパ形の挿入筒部11の外周面が、貫孔８の開口端角部13に弾発的に圧接して係止する。
【００１８】
上記ラッパ形（朝顔形）の挿入筒部11は、従来例の図12と同様に、抜け防止部（係止部）19とシール部（首部）20とを有するが、（図12の断付面43が無く）抜け防止部19の外周面が先端拡径状のテーパ平滑面17に形成されている。このテーパ平滑面17（抜け防止部19の外周面）の軸心15と成す角度（ラッパ型開口角度）をθ2 とすれば、15°≦θ2 ≦80°とするのが好ましく、さらに、30°≦θ2 ≦  60°とするのがより望ましい。また、挿入筒部11の先端面18は、貫孔８への挿入の際の誘導を行う所定頂角θ1 の円錐面形状に形成されている。この頂角θ1 としては、20°〜90°が好ましく、特に、30°〜90°がより好ましい。
【００１９】
また、挿入筒部11の有底孔21は、摘み部12の上記端面14よりも基端側へ深く凹設され、挿入筒部11の挿入の際（図４参照）、及び、引き抜きの際（図６，図７参照）、さらには、金型22からの取り出しの際（図９，図10参照）の弾性的縮径変形を容易として、スムーズな挿入・引き抜き・取り出しに寄与している。
この有底孔21の縦断面形状は、先端側略円錐台部と、内部（基端）側の小径円柱部から、成っている。
【００２０】
上述のように均一肉厚寸法Ｔで15°≦θ2 ≦80°（さらに好ましくは、30°≦θ2 ≦  60°）の開口角度のラッパ形（朝顔形）に挿入筒部11を形成し、かつ、20°≦θ1 ≦90°（さらに好ましくは、30°≦θ1 ≦90°）の頂角θ1 の円錐面形状に先端面18を形成したので、図４の矢印Ｄ方向に、摘み部12を指にて押し込んでゆけば、スムーズに弾性的に縮形しつつ、図５の装着（取付）状態とできる。逆に、図６に示すように、摘み部12の外周縁を指で引っ掛けて矢印Ｅ方向へ引き抜く力を与えると、テーパ平滑面17（図７参照）が円滑に開口端角部13に摺接して、挿入筒部11が縮径弾性変形しつつ矢印Ｆのように、盲栓Ａ全体が貫孔８から引き抜かれる。
【００２１】
このように押し込みの際、及び、引き抜きの際に、挿入筒部11は（局部的に大きな外力を受けずに）ゆるやかに弾性変形するので、集中応力部が存在せず、亀裂等の損傷を受けることなく、繰り返して盲栓Ａを取り付けたり取り外したりしても、寿命が長いという利点があり、かつ、（押し込み作業は勿論のこと）引き抜き作業もスムーズに容易に行い得る。
【００２２】
次に、図８〜図10は、盲栓Ａの製造方法の一例を示し、プレス成形時に金型22から欠け等の損傷を受けることなくスムーズに取り出せることを示している。
具体的には、上型23と中型24と下型25とから成る金型22によって、ゴム材料を加圧加硫する圧縮成形に於て、図８から図９（図10）と、成形の後に金型23, 24, 25を分離していって、矢印Ｇのように、成形品（盲栓Ａ）を取り出す際も、図10中に実線から２点鎖線に示す如く、極めてスムーズに挿入筒部11が（弾性的に縮径変形して）取り出される。引っ掛かる部分も無く、スムーズに取り出されて、欠け等の発生もない。
【００２３】
本発明は、上述のように、挿入筒部11は、縦断面形状が、肉厚寸法Ｔの均一なラッパ形であるので、成形（製造）時の金型からの取り出しもスムーズであって、欠け等の損傷を防止でき、図13に示した従来の亀裂Ｚ等の発生も有効防止できて、半導体ウエハ搬送用容器に使用して、繰り返し繰り返しして、押し込み（取着）と引き抜き（離脱）を行っても、優れた耐久性を発揮できる。
【００２４】
また、人の指にて押し込みと引き抜きを行うための膨出状摘み部12を備え、該摘み部12の端面14から突出状に連設された上記挿入筒部11は、縦断面形状が、肉厚寸法Ｔの均一なラッパ形であって、取付状態で、上記摘み部12の端面14が上記一面９に圧接すると共に、上記ラッパ形の上記挿入筒部11の外周面が上記貫孔開口端角部13に弾発的に圧接して係止するように構成されているので、取付壁部７の寸法にばらつきがあっても、寸法誤差を十分に吸収して、常時安定して優れた密封性能を発揮する。そして、貫孔８からの引き抜きの際には、スムーズに縮径変形して、図13に示したような亀裂Ｚの発生を防止できて、優れた耐久性を発揮する。また、製造時の成形品（本物品）の取り出しもスムーズで欠け等を生じない。
【００２５】
また、上記ラッパ形の上記挿入筒部11の先端面18は、上記貫孔８への挿入の際の誘導を行う円錐面形状に形成され、かつ、上記挿入筒部11の有底孔21は上記摘み部12の端面14よりも基端側へ深く凹設されているので、貫孔８への挿入がスムーズで指の押圧力にて容易に行い得ると共に、挿入筒部11が弾性縮径変形しやすく、一層スムーズに貫孔８への挿入、及び、引き抜きが可能となる。
【００２６】
なお、上記頂角θ1 が前記不等式の下限値未満であると挿入筒部11が過大に（軸心15方向へ）長くなってしまう。逆に、上限値を越すと貫孔８に指の押圧力にてスムーズに挿入できなくなる。また、上記開口角度θ2 が前記不等式の下限値未満であると、開口端角部13との係止力（引き抜け抵抗力）が過小となり、不意に抜け出る虞があり、逆に、上限値を越すと、引き抜きが困難となり、亀裂等を発生する虞もある。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の用途の一例を示す全体断面正面図である。
【図２】本発明の実施の一形態を示す自由状態の断面図である。
【図３】要部拡大断面図である。
【図４】挿入時を説明する要部拡大断面図である。
【図５】装着状態を示す断面図である。
【図６】引き抜き時を説明する断面図である。
【図７】要部拡大断面図である。
【図８】製造方法説明用断面図である。
【図９】製造方法説明用断面図である。
【図１０】説明用要部拡大断面図である。
【図１１】従来例の断面図である。
【図１２】従来例の使用状態を示す拡大断面図である。
【図１３】従来例の装着状態と問題点を示す要部拡大断面図である。
【図１４】従来例の金型から取り出す状態を示す要部拡大断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
７  取付壁部
８  貫孔
９  一面
10  他面
11  挿入筒部
12  摘み部
13  開口端角部
14  端面
18  先端面
21  有底孔
Ｔ  肉厚寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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