(57)【要約】【課題】電極の表面に導電性接着剤が流れ込むことによる、圧電層及び振動板の変形量の低下を抑制する。【解決手段】圧電層４２の上面には、複数の圧力室１０に対応して複数の個別電極５２が形成されている。個別電極５２は、圧力室１０の長手方向の長手方向とする略長方形の平面形状を有しており、対応する圧力室１０の略中央部と対向するように配置されている。また、圧電層４２の上面の、個別電極５２の長手方向に関するノズル１５側の端部に隣接する、圧電層４２の上面の圧力室１０と対向しない部分には、ハンダを介してＦＰＣと接続されるとともに、個別電極５２の長手方向に関する接続端子側の端部と繋がった接続端子５３が形成されている。また、個別電極５２には、その長手方向に関する接続端子５３と繋がった一端部からこの一端部と反対側の他端部まで、個別電極５２の長手方向に互いに平行に等間隔に延びた３本のスリット５４が形成されている。【選択図】図３
2009083180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室を含む、液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、
前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えており、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室を覆う振動板と、
前記振動板の前記圧力室と反対側の面に設けられた圧電層と、
前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、前記圧力室と対向する領域に設けられた電極と、
前記圧電層の前記圧力室と反対側の面において、前記電極と導通する状態で設けられるものであって、前記電極に駆動電圧を付与するための配線と導電性接着剤を介して接続される接続端子とを備えており、
前記電極には、スリットが形成されていることを特徴とする液体移送装置。
【請求項２】
前記接続端子が、前記電極の一端部に繋がっており、
前記スリットが、前記電極の前記一端部から、前記一端部と反対側の他端部まで延びていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
【請求項３】
前記スリットが複数形成されており、これら複数のスリットが、互いに平行に延びているとともに、等間隔に配列されていることを特徴とする請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項４】
前記複数のスリットが、互いに同じ幅を有していることを特徴とする請求項３に記載の液体移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を移送する液体移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいては、圧電層上面のインク室（圧力室）に対向する部分に配置された個別電極の端部に接続電極（接続端子）が接続されている。接続電極は、濡れ性の劣る金属材料からなる個別電極に接続された下地層と、下地層の上面の周縁部を除いた領域に形成された電極取出層とを有している。そして、電極取出層と給電端子とをハンダ（導電性接着剤）により接続したときに、ハンダが濡れ性の低い下地層で止まり、個別電極の表面にハンダが流れ込むのが防止されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３１１９８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のインクジェット記録ヘッドでは、ハンダの量が多い場合など、ハンダが電極取出層から下地層に流れ込むのを防止しきれないときには、ハンダが個別電極の表面に流れ込んでしまう。
【０００５】
本発明の目的は、導電性接着剤が接続端子から電極の表面に流れ込んだとしても、電極の表面に流れ込んだ導電性接着剤により圧電層及び振動板の変形量の低下を極力抑えることが可能な液体移送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体移送装置は、圧力室を含む、液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えており、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆う振動板と、前記振動板の前記圧力室と反対側の面に設けられた圧電層と、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、前記圧力室と対向する領域に設けられた電極と、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面において、前記電極と導通する状態で設けられるものであって、前記電極に駆動電圧を付与するための配線と導電性接着剤を介して接続される接続端子とを備えており、前記電極には、スリットが形成されている（請求項１）。
【０００７】
導電性接着剤により接続端子と配線部材とを接続すると、導電性接着剤が接続端子から電極の表面に流れ込み、電極の表面に流れ込んだ導電性接着剤により、圧電層の変形が拘束されて、圧電層及び振動板の変形量が低下し、液体移送流路における液体の移送特性が変動してしまう虞がある。しかしながら、本発明によると、電極にスリットが形成されているため、接続端子から電極に流れ出した導電性接着剤は、電極のスリットが形成されていない部分にのみ流れ込み、スリットが形成された部分には流れ込まない。その結果、電極の表面に導電性接着剤が流れ込んだとしても、導電性接着剤は、電極のスリットによって互いに隔てられた複数の領域に別れて流れ込み、これら複数の領域に流れ込んだ導電性接着剤同士が互いに離隔して固化することになるため、スリットが形成されていない場合に比べて、圧電層の変形が拘束されにくく、圧電層及び振動板の変形量の低下が抑制されるものと考えられる。なお、導電性接着剤とは、例えばハンダのような、導電性を有し、液状で塗布され、周囲の温度や光の照射などによって固化するもののことである。
【０００８】
また、本発明の液体移送装置においては、前記接続端子が、前記電極の一端部に繋がっており、前記スリットが、前記電極の前記一端部から、前記一端部と反対側の他端部まで延びていることが好ましい（請求項２）。
【０００９】
これによると、接続端子が電極の一端部に接続されているとともに、スリットが接続端子と繋がった電極の一端部から一端部と反対側の他端部にまで延びているため、接続端子から電極に流れ込んだ導電性接着剤は、電極の上記一端部から上記他端部に向かって流れ、電極の全域に均一に広がる。これにより、導電性接着剤が電極に部分的に集中して付着することがなく、導電性接着剤によって圧電層及び振動板の変形量が低下してしまうのを確実に抑制することができる。
【００１０】
このとき、前記スリットが複数形成されており、これら複数のスリットが、互いに平行に延びているとともに、等間隔に配列されていることが好ましい（請求項３）。これによると、電極に複数のスリットが形成され、これら複数のスリットが互いに平行に等間隔に配列されているため、接続端子から電極に流れ出た導電性接着剤は確実に電極の全域に均一に広がる。したがって、導電性接着剤によって圧電層及び振動板の変形量が低下してしまうのをさらに確実に抑制することができる。
【００１１】
さらに、このとき、前記複数のスリットが、互いに同じ幅を有していることが好ましい（請求項４）。これによると、複数のスリットを互いに同じ幅とすることにより、圧電層及び振動板の変形量が低下してしまうのを効果的に抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００１３】
図１は、本実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（液体移送装置）、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、図１の左右方向（走査方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３はキャリッジ２の下面に取り付けられており、後述するノズル１５（図２参照）からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを図１の手前方向（紙送り方向）に搬送する。そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３のノズル１５（図２参照）からインクを吐出することによって記録用紙Ｐに印刷を行う。
【００１４】
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２は図１のインクジェットヘッド３の平面図である。図３は図２の部分拡大図である。図４は図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。図５は図３のＶ−Ｖ線断面図である。
【００１５】
図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド３は、後述するマニホールド流路１１、圧力室１０、ノズル１５を含むインク流路（液体移送流路）が形成された流路ユニット３１と、流路ユニット３１の上面に配置された圧電アクチュエータ３２とを備えている。
【００１６】
流路ユニット３１は、上から順に、キャビティプレート２１、ベースプレート２２、マニホールドプレート２３及びノズルプレート２４の４枚のプレートが互いに積層されることによって構成されている。これら４枚のプレート２１〜２４のうち、ノズルプレート２４を除く３枚のプレート２１〜２３は、ステンレスなどの金属材料からなり、ノズルプレート２４は、ポリイミド等の合成樹脂からなる。あるいは、ノズルプレート２４も他の３枚のプレート２１〜２３と同様、金属材料によって構成されていてもよい。
【００１７】
キャビティプレート２１には、複数の圧力室１０が形成されている。圧力室１０は、走査方向（図２の左右方向）を長手方向とする略楕円の平面形状を有している。複数の圧力室１０は、紙送り方向（図２の上下方向）に配列されることによって圧力室列を構成しており、このような圧力室列が走査方向に沿って２列に配列されている。ベースプレート２２には、平面視で圧力室１０の走査方向の両端部に重なる位置に、それぞれ貫通孔１２、１３が設けられている。
【００１８】
マニホールドプレート２３には、マニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、平面視で、図２左側の圧力室列を構成する圧力室１０の略左半分、及び、図２の右側の圧力室列を構成する圧力室１０の略右半分に、それぞれ重なるように紙送り方向に２列に延びているとともに、これら２列に延びた部分同士が図２における下端部において互いに連通している。マニホールド流路１１には、後述する振動板４９の、平面視でマニホールド流路１１の下端部に重なる部分に形成されたインク供給口９からインクが供給される。また、マニホールドプレート２３には、平面視で貫通孔１３に重なる位置に貫通孔１４が形成されている。
【００１９】
ノズルプレート１５には、平面視で貫通孔１４に重なる位置に、ノズル１５が形成されている。そして、流路ユニット３１においては、マニホールド流路１１は貫通孔１２を介して圧力室１０に連通しており、圧力室１０は貫通孔１３、１４を介してノズル１５に連通している。このように、流路ユニット３１には、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を経てノズル１５に至る個別インク流路が複数形成されている。
【００２０】
圧電アクチュエータ３２は、振動板４０、圧電層４１、４２、共通電極５１及び複数の個別電極５２を備えている。振動板４０は、ステンレスなどからなる板状体であり、キャビティプレート２１の上面に複数の圧力室１０を覆うように配置されており、キャビティプレート２１に接合されている。
【００２１】
圧電層４１、４２は、それぞれ、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であり、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。圧電層４１、４２は、互いに積層されて、振動板４０の上面（圧力室１０と反対側の面）に、平面視で複数の圧力室１０と重なる領域にまたがって連続的に形成されている。また、圧電層４２は、予めその厚み方向に分極されている。
【００２２】
共通電極５１は、圧電層５０と圧電層５１との間に、平面視で複数の圧力室１０と重なる領域にまたがって連続的に形成されている。複数の個別電極５２は、圧電層５１の上面（圧力室１０と反対側の面）に複数の圧力室１０に対応して設けられている。個別電極５２は、平面視で、圧力室１０よりも面積が小さい、走査方向を長手方向とする略長方形状であり、複数の圧力室１０の略中央部に重なる位置に配置されている。
【００２３】
また、個別電極５２の長手方向に関するノズル１５側の端部は平面視で圧力室１０と重ならない部分（圧力室１０から外れた領域）まで延びており、その先端部が接続端子５３となっている。すなわち、接続端子５３は、圧電層４２の上面の圧力室１０から外れた領域に個別電極５２と導通する状態で設けられており、個別電極５２の長手方向に関するノズル１５側の端に接続されている。そして、接続端子５３にはフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）６５がハンダ６０（導電性接着剤）を介して接続されている。ＦＰＣ６５は図示しないドライバＩＣに接続されており、個別電極５２には、ドライバＩＣからＦＰＣ６５を介して駆動電圧が付与される。
【００２４】
さらに、個別電極５２には、３本のスリット５４が形成されている。３本のスリット５４は、それぞれ、同じ幅を有しているとともに、個別電極５２の接続端子５３及びその近傍の部分を除いた領域において、個別電極５２の長手方向に平行に（個別電極５２の接続端子５３と繋がった一端部から、一端部と反対側の他端部まで）延びており、一本が個別電極５２の短手方向に関する略中央部、他の２本が、個別電極の短手方向に関して対称となるように配置されされている。すなわち、これら３本のスリット５４は、互いに平行に等間隔に配置されている。
【００２５】
ここで、個別電極５２、接続端子５３及びスリット５４は、スクリーン印刷により圧電層４２の上面に一度に形成する、あるいは、圧電層４２の上面にスクリーン印刷によりスリット５４が形成されていない個別電極５２及び接続端子５３を形成した後、レーザ加工などによってスリット５４を形成することなどによって、容易に形成することができる。
【００２６】
次に、圧電アクチュエータ３２の駆動方法について説明する。圧電アクチュエータ３２においては、複数の個別電極５２は、予めグランド電位に保持されており、この状態で個別電極５２に駆動電圧が付与されると、駆動電圧が付与された個別電極５２の共通電極４８との間に電位差が生じ、圧電層４２のこの個別電極５２と共通電極４８とに挟まれた部分には厚み方向の電界が発生する。この電界の向きは圧電層５１の分極方向と一致しているので、圧電層５１のこの部分は、分極方向と直交する水平方向に収縮する。この圧電層５１の収縮に伴って、圧電層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０に対向する部分が、圧力室１０側に凸となるように変形し、この変形により圧力室１０の容積が低下する。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が増加し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
【００２７】
ここで、前述したように、接続端子５３とＦＰＣ６５とをハンダ６０によって接続すると、ハンダ６０は、接続端子５３から個別電極５２の表面に流れ込む。そして、個別電極５２の表面にハンダ６０が流れ込んで固化すると、上述したように圧電アクチュエータ３２を駆動させたときに、個別電極５２に流れ込んだハンダ６０により圧電層４１、４２の変形が拘束されるため、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量が低下し、その結果、ノズル１５からのインクの吐出特性（液体移送流路における液体の移送特性）が変動してしまう虞がある。
【００２８】
しかしながら、本実施の形態においては、個別電極５２にスリット５４が形成されているため、ハンダ６０が接続端子５３から個別電極５２の表面に流れ込んだとしても、ハンダ６０は、個別電極５２のスリット５４が形成されていない部分にのみ流れ込み、スリット５４が形成されている部分には流れ込まない。したがって、ハンダ６０は、スリット５４によって互いに隔てられた４つの領域５２ａに別れて流れ込み、これら４つの領域５２ａに流れ込んだハンダ６０同士は互いに離隔して固化することとなる。これにより、スリット５４が形成されていない場合に比べて、圧電層４１、４２の変形が拘束されにくくなり、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下が抑制されると考えられる。その結果、ノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまうのを防止することができると考えられる。
【００２９】
さらに、３本のスリット５４は、個別電極５２の長手方向に関する接続端子５３と繋がった一端部から、この一端部と反対側の他端部まで、個別電極５２の長手方向に互いに平行に等間隔に延びているため、個別電極５２の表面に流れ込んだハンダ６０は個別電極５２の表面を上記一端部から上記他端部に向かって流れ、個別電極５２の表面の全域に均一に広がる。このため、ハンダ６０が個別電極５２の一部分に集中して付着してしまうことがなく、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量が低下してしまうのを確実に防止することができる。
【００３０】
次に、個別電極５２にスリット５４が形成されていることで、個別電極５２に流れ込んだハンダ６０による圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下が抑制されていることを示す解析結果について説明する。図６は解析モデルを示す図であり、（ａ）がスリット５４を１本形成した場合、（ｂ）がスリット５４を２本形成した場合、（ｃ）がスリット５４を３本形成した場合の解析モデルをそれぞれ示している。図７、図８は図６の解析モデルを用いて解析を行った解析結果を示す図である。
【００３１】
解析モデルは、図６に示すように、図５と同様の断面における、圧力室１０、振動板４０、圧電層４１、４２、共通電極５１及び個別電極５２をモデル化したものである。図６の解析モデルにおいては、圧力室１０の幅Ｗｃを３６０μｍ、振動板４０の厚みＤｓを２０μｍ、圧電層４１、４２の厚みＤｐを２０μｍ、個別電極５２の上面に付着したハンダ６０の厚みＤｈを１０μｍとし、紙送り方向（図６の左右方向）に隣接する圧力室１０の間の距離Wｎを５０８μｍとしている。なお、共通電極５１及び個別電極５２の厚みは０としている。
【００３２】
そして、図６に示す解析モデルにおいて、個別電極５２の幅Ｗｅ、スリット５４の数、スリット５４の幅Ｗｓ（Ｗｓｃ、Ｗｓｓ）を変更して、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率を解析している。なお、個別電極５２にスリット５４を形成する場合には、個別電極５２の短手方向に関して対称となるようにスリット５４を配置している。また、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率は、以下に説明する各場合の、図６の断面に示す圧力室１０の面積の低下量と、個別電極５２にハンダ６０が付着していない場合の、図６の断面に示す圧力室１０の面積の低下量とを比較することによって算出している。
【００３３】
図７の解析結果は、（ｉ）個別電極５２にスリット５４を形成せず（Ｗｓ＝０）、個別電極５２の幅Ｗｅを変化させた場合（電極幅を変化）、（ｉｉ）一定の幅（Ｗｅ＝２５２μｍ）を有する個別電極５２の短手方向に関する略中央部に１本だけスリット５４を形成しそのスリット５４の幅Ｗｓを変化させた場合（スリットの幅を変化）、（ｉｉｉ）一定の幅（Ｗｅ＝２５２μｍ）を有する個別電極５２に形成する、１０μｍの幅を有するスリット５４の数を変化させた場合（スリットの数を変化）の、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率を示している。また、図７の横軸の電極幅とは、上記（ｉ）の場合には、個別電極５２の幅Ｗｅを示しており、上記（ｉｉ）、（ｉｉｉ）の場合には、個別電極５２の幅のうち、スリット５４が形成されていない部分の長さを示している。
【００３４】
図７の解析結果から、上記（ｉ）の場合には、個別電極５２の幅Ｗｅを小さくするにつれて、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率が大きくなっていくことが分かる。
【００３５】
これに対して、上記（ｉｉ）の場合には、個別電極５２にスリット５４を形成することにより、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率が小さくなり、さらに、スリット５４の幅Ｗｓを大きくするにつれて、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率が小さくなっていくことが分かる。
【００３６】
さらに、上記（ｉｉｉ）の場合には、個別電極５２にスリット５４を形成することにより、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率が小さくなり、さらに、個別電極５２に形成するスリット５４の数を増加させるにつれて、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率が小さくなる。そして、変形の低下率の減少量は、上記（ｉｉ）の場合よりも大きくなっている。
【００３７】
以上の解析結果から、個別電極５２にスリット５４を形成することにより、個別電極５２の表面にハンダ６０が流れ込んだときの圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下が抑制されることが分かる。さらに、個別電極５２にスリット５４が形成されている場合には、スリット５４の幅を広げるよりも、スリット５４の数が多くするほうが、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下の抑制効果が高いことが分かる。
【００３８】
図８の解析結果は、図６（ｃ）に示すように、個別電極５２に３本のスリット５４を形成し、これら３本のスリット５４のうち、中央に配置されたスリット５４の幅Ｗｓｃ、及び、このスリット５４の両側に配置された２本のスリット５４の幅Ｗｓｓを表１のように変更したときの、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率を示している。なお、この解析においては、表１に示すように、３本のスリットの幅の合計が３０μｍとなるように、スリット５４の幅Ｗｓｃ、Ｗｓｓを変更している。
【００３９】
【表１】
2009083180.tif 000003
【００４０】
図８の解析結果より、中央のスリット５４の幅Ｗｓｃ及び両サイドの２本のスリット５４の幅Ｗｓｓがともに１０μｍの場合（３本のスリット５４の幅が同じ場合）に、他の場合（中央のスリット５４と両サイドの２本のスリット５４とで幅が異なる場合）よりも圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率が最も小さくなっている。この結果から、個別電極５２に複数のスリット５４を形成する場合には、各スリット５４の幅を均等にした方が、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下の抑制効果が高いことが分かる。
【００４１】
以上に説明した実施の形態によると、ハンダ６０により接続端子５３とＦＰＣ６５とを接続すると、ハンダ６０が個別電極５２の表面に流れ込むが、個別電極５２に３本のスリット５４が形成されているため、個別電極５２の表面に流れ込んだハンダ６０は、個別電極５２のスリット５４により隔てられた４つの領域５２ａに別れて流れ、これら４つの領域５２ａに流れ込んだハンダ６０同士は互いに離隔して固化することとなる。したがってスリット５４が形成されていない場合には、ハンダ６０が個別電極５２上の広い領域に行き亘って固化し、圧電層４１、４２を広い領域に亘って拘束していたものが、スリット５４が形成されることによって拘束領域が複数の狭い領域に分断される。これにより、スリット５４が形成されていない場合に比べて、ハンダ６０による拘束力は低下すると考えられるため、圧電層４１、４２の変形が拘束されにくくなり、個別電極５２に駆動電位を付与したときの圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下が抑制されると考えられる。その結果、ノズル１５からのインクの吐出特性の変動を抑制することができると考えられる。
【００４２】
また、３本のスリット５４が個別電極５２の接続端子５３と繋がった長手方向に関する一端部から、この一端部と反対側の他端部まで延びているので、接続端子５３から個別電極５２の表面に流れ込んだハンダ６０は、個別電極５２の上記一端部から上記他端部に向かって流れ、個別電極５２の全域に均一に広がる。これにより、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下を確実に抑制することができる。
【００４３】
さらに、３本のスリット５４が互いに平行に等間隔に延びているとともに、３本のスリット５４が同じ幅を有しているので、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下を効果的に抑制することができる。
【００４４】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００４５】
個別電極の配置は、実施の形態のものには限られない。例えば、一変形例では、図９、図１０に示すように、個別電極７２が、圧電層４２の上面の圧力室１０の周縁部のうち、圧力室１０の長手方向に関するノズル１５と反対側の端部を除いた部分と対向する部分に形成されている。そして、個別電極７２の圧力室１０の短手方向の両端部に重なる部分には、それぞれ、走査方向に延びた（接続端子５３と繋がった一端部からこの一端部と反対側の他端部に向かって延びた）スリット７４が３本ずつ形成されている（変形例１）。
【００４６】
個別電極７２が圧力室１０の周縁部と対向するように配置されている場合には、個別電極７２は予めグランド電位に保持されており、個別電極７２に駆動電位が付与されると、圧電層４１、４２の圧力室１０の周縁部に対向する部分が水平方向に収縮する。このとき、圧電層４１、４２及び振動板４０の、個別電極７２の紙送り方向に関する両端部と対向する部分は、隣接する圧力室１０の間の壁に固定されているため、圧電層４２が収縮したときに、振動板４０及び圧電層４１のこの部分は圧力室１０の短手方向外側に向かって引っ張られることになる。したがって、圧電層４１、４２及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分は全体として圧力室１０と反対側に凸となるように変形する。これにより、圧力室１０の容積が増加し、圧力室１０内のインクの圧力が低下するため、マニホールド流路１１から圧力室１０にインクが流れ込む。そして、個別電極７２をグランド電位に戻すと、圧電層４２及び振動板４０の変形が元に戻ることにより、圧力室１０の容積が増加する。これにより圧力室１０内の圧力が増加し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
【００４７】
この場合でも、接続端子５３から個別電極７２に流れ込んだハンダ６０は、個別電極７２のスリット７４により互いに隔てられた複数の領域７２ａに別れて流れ込み、これら複数の領域７２ａに流れ込んだハンダ６０同士は互いに離隔することとなるため、個別電極７２の表面に流れ込んだハンダ６０による、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下が抑制される。
【００４８】
図１１は、変形例１の場合の図６と同様の解析モデルを示す図であり、図１２がその解析結果を示す図である。なお、この解析モデルは、図６の解析モデルの個別電極５２を個別電極７２に置き換えたものであり、個別電極７２の幅Ｗｆ、スリット７４の幅Ｗｔ以外の幅、厚さは図６に示す解析モデルと同じである。
【００４９】
図１２の解析結果は、（ｉ）個別電極７２にスリット７４を形成せず（Ｗｔ＝０）、個別電極７２の幅Ｗｆを変化させた場合（電極幅を変化）、（ｉｉ）一定の幅（Ｗｆ＝１２６μｍ）を有する個別電極７２に形成する、幅Ｗｔ＝１０μｍのスリット７４の数を変化させた場合（スリットの数を変化）の、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率を示している。また、図１２の横軸の電極幅とは、上記（ｉ）の場合には、個別電極７２の幅Ｗｆを示しており、上記（ｉｉ）の場合には、個別電極７２の幅のうち、スリット７４が形成されていない部分の長さを示している。
【００５０】
図１２の解析結果から、上記（ｉ）の場合には、個別電極７２にスリット７４を形成せずに、個別電極７２の幅Ｗｆを小さくしていくと、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率が小さくなっていくことが分かる。また、上記（ｉｉ）の場合には、個別電極７２に形成するスリット７４の数を増加させるにつれて、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率が小さくなっていくことが分かる。つまり、個別電極７２の幅Ｗｆを小さくした場合、及び、個別電極７２に形成するスリット７４の数を増加させた場合のいずれの場合にも、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形の低下率が小さくなっていくことが分かる。
【００５１】
しかしながら、上記２つの解析結果を比較することにより、個別電極７２の幅を小さくした場合よりも、個別電極７２にスリット７４を形成しその数を増加させた場合のほうが、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下の抑制効果が大きいことが分かる。
【００５２】
以上の解析結果から、個別電極７２にスリット７４を形成することにより、個別電極７
２の表面にハンダ６０が流れ込んだときの圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下が効果的に抑制されることが分かる。
【００５３】
また、以上の説明では、接続端子が個別電極の一端部に繋がっており、スリットは、個別電極の接続端子と繋がった一端部からこの一端部と反対側の他端部まで延びていたが、これには限られない。例えば、別の一変形例では、図１３に示すように、個別電極５２に、個別電極５２の短手方向に互いに平行に延び、等間隔に配置された複数のスリット８４が形成されている（変形例２）。
【００５４】
この場合でも、接続端子５３から個別電極５２の表面に流れ込んだハンダ６０は、個別電極５２のスリット８４によって互いに隔てられた複数の領域５２ｂに別れて流れ込み、これら複数の領域に流れ込んだハンダ６０同士は互いに離隔することとなるため、個別電極５２の表面にハンダ６０が流れ込むことによる、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下が抑制される。
【００５５】
また、以上の説明では、複数のスリットが、それぞれ同じ幅を有し、互いに平行に等間隔に配置されていたが、複数のスリットの幅が互いに異なっていてもよく、複数のスリットが互いに平行に延びていなくてもよく、複数のスリットの間隔が等間隔でなくてもよい。
【００５６】
また、本実施の形態では、接続端子は圧電層４２の圧力室１０と対向しない部分に設けられていたが、これには限られない。例えば、別の一変形例では、図１４に示すように、個別電極９２のノズル１５側の端部は、圧力室１０の長手方向の端部と重なる部分までしか延びておらず、その先端が接続端子９３となっている（変形例３）。
【００５７】
この場合には、接続端子９３が圧力室１０と対向するように配置されているため、ハンダ６０により接続端子９３とＦＰＣ６５とを接続したときに、接続端子９３に付着したハンダ６０により圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量が低下してしまうことも考えられる。しかしながら、圧電アクチュエータにおいては、圧電層４１、４２及び振動板４０は、圧力室１０の長手方向に関する略中央部と対向する部分が最も大きく変形し、圧力室１０の長手方向に関する両端部と対向する部分はそれほど大きくは変形しない。したがって、ハンダ６０が接点９３の表面に付着することによって、ノズル１５からのインクの吐出特性に与える影響は、ハンダ６０が個別電極５２の略中央部に付着している場合と比較して小さなものとなる。
【００５８】
また、本実施の形態においては、接続端子５３とＦＰＣ６５とをハンダ６０によって接続したが、これには限られず、例えば、金属粒子を含む熱硬化性接着剤や光硬化性接着剤など、ハンダ６０以外の導電性接着剤によって接続端子５３とＦＰＣ６５とが接続されていてもよい。この場合には、接続端子５３の上面に液状の導電性接着剤を塗布した後に、ＦＰＣ６５を配置してから、加熱する（周囲の温度を変化させる）、あるいは、光を照射することなどによって導電性接着剤を固化させて接続端子５３とＦＰＣ６５とを接続する。
【００５９】
この場合も、液状の導電性接着剤を接続端子５３の上面に塗布したときに、導電性接着剤が接続端子５３から個別電極５２の表面に流れ込む虞があるが、導電性接着剤が個別電極５２の表面に流れ込んだとしても、導電性接着剤は、個別電極５２のスリット５４によって互いに隔てられた複数の領域５２ａに流れ込み、これら複数の領域５２ａに流れ込んだ導電性接着剤同士は互いに離隔することとなるため、圧電層４１、４２及び振動板４０の変形量の低下が抑制される。
【００６０】
また、本実施の形態においては、振動板４０が複数の圧力室１０を覆っており、振動板４０の上面に、圧電層４１、４２が配置されていたが、これには限られない。例えば、別の一変形例では、図１５に示すように、振動板４０が設けられておらず、圧電層４１が複数の圧力室１０を覆っている（変形例４）。なお、この場合には、圧電層４１が本発明に係る振動板に相当する。
【００６１】
さらに、別の一変形例では、図１６に示すように、圧電層４１及び共通電極５１が設けられておらず、振動板４０の上面に圧電層４２が配置されている。また、金属などの導電性材料からなる振動板４０が常にグランド電位に保持されており、共通電極を兼ねている（変形例５）。
【００６２】
以上の説明では、本発明をノズル１５からインクを吐出するインクジェットヘッドに適用した例について説明したが、これには限られず、本発明を、圧力室１０内のインク以外の液体に圧力を付与することによって液体移送流路内の液体を移送する液体移送装置に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明における実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】本実施の形態のインクジェットヘッドの解析モデルを示す図であり、（ａ）がスリットを１本形成した場合、（ｂ）がスリットを２本形成した場合、（ｃ）がスリットを３本形成した場合の解析モデルを示している。
【図７】図６の解析モデルにより解析を行った、電極の幅を変更した場合、及び、電極にスリットを形成した場合の、圧電層及び振動板の変形の低下率を示す図である。
【図８】図６の解析モデルにより解析を行った、複数のスリットの幅と圧電層及び振動板の変形の低下率との関係を示す図である。
【図９】変形例１の図３相当の図である。
【図１０】変形例１の図５相当の図である。
【図１１】変形例１の図６相当の図である。
【図１２】図１１の解析モデルにより解析を行った、電極の幅を変更した場合、及び、電極にスリットを形成した場合の、圧電層及び振動板の変形の低下率を示す図である。
【図１３】変形例２の図３相当の図である。
【図１４】変形例３の図３相当の図である。
【図１５】変形例４の図５相当の図である。
【図１６】変形例５の図５相当の図である。
【符号の説明】
【００６４】
３  インクジェットヘッド
１０  圧力室
１１  マニホールド流路
１５  ノズル
３１  流路ユニット
３２  圧電アクチュエータ
４０  振動板
４１、４２  圧電層
５２  個別電極
５３  接続端子
５４  スリット
６０  ハンダ
７２  個別電極
７３  接続端子
７４  スリット
８４  スリット
９３  接続端子
【図１】
2009083180.tif 000004
【図２】
2009083180.tif 000005
【図３】
2009083180.tif 000006
【図４】
2009083180.tif 000007
【図５】
2009083180.tif 000008
【図６】
2009083180.tif 000009
【図７】
2009083180.tif 000010
【図８】
2009083180.tif 000011
【図９】
2009083180.tif 000012
【図１０】
2009083180.tif 000013
【図１１】
2009083180.tif 000014
【図１２】
2009083180.tif 000015
【図１３】
2009083180.tif 000016
【図１４】
2009083180.tif 000017
【図１５】
2009083180.tif 000018
【図１６】
2009083180.tif 000019