(57)【要約】【課題】偏心測定機において、被検体の焦点距離や光学面の曲率半径が変わっても装置の光軸を変化させるような光学系の移動を行うことなく、効率的に測定を行うことができるようにする。【解決手段】偏心測定機５０は、被検レンズ５に光を照射する光源部３と、光源部３からの光の光路上で、被検レンズ５を偏心測定の基準軸Ｏ上に位置決めして保持するレンズ保持部４と、レンズ保持部４に保持された被検レンズ５からの光を観察するために、基準軸Ｏに光軸Ｐを一致するように配置され、少なくとも物体側がテレセントリックな観察光学系６と、観察光学系６からの光の基準軸Ｏからのずれ量を求めるためのＣＣＤカメラ７、演算部１１を備える。【選択図】図１
2009097858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子を被検体として偏心を測定する偏心測定機であって、
前記被検体に光を照射する光源部と、
該光源部からの光の光路上で、前記被検体を偏心測定の基準軸上に位置決めして保持する保持部と、
該保持部に保持された前記被検体からの光を観察するために、前記基準軸に光軸を一致するように配置され、少なくとも物体側がテレセントリックな観察光学系と、
該観察光学系から出射される光の前記基準軸からのずれ量を求めるための観察手段とを備えることを特徴とする偏心測定機。
【請求項２】
前記観察光学系が両側テレセントリック光学系であることを特徴とする請求項１に記載の偏心測定機。
【請求項３】
前記観察光学系の光学倍率を切り替えられるようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載の偏心測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子を被検体として偏心を測定する偏心測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズや曲面ミラーなどの光学素子を被検体とする偏心測定機が種々提案されている。
このような偏心測定機として、例えば、特許文献１には、被検レンズに検査光束を入射させ、反射光学系を用いることでこの検査光束が被検レンズを同一光路で透過するようにして被検レンズの透過偏心量を検出するレンズの透過偏心測定装置が記載されている。
また、特許文献２には、載置台に保持された被検レンズに向かって、レンズ面の曲率中心位置に集光する測定光を入射させて、その反射光の傾きを検出することで、偏芯量を測定するレンズ偏芯測定装置が記載されている。
すなわち、特許文献２のレンズ偏芯測定装置は、反射偏心測定方式を採用している。
【特許文献１】特開２００１−２７５８０号公報
【特許文献２】特開２００５−２２１４７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の偏心測定機では、以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、検査光束が同一光路を通って被検レンズを透過させるために、反射光学系のピント調整を行う必要がある。特に、被検レンズの焦点距離が変わると、反射光学系を交換するか、光軸方向に移動してピント調整を行う必要がある。したがって、被検レンズの種々の焦点距離に対応して汎用的な測定を可能にするためには、反射光学系を光軸方向に移動可能に保持する必要がある。
反射光学系の移動範囲は大きいほど偏心測定機の汎用性が増大するが、移動範囲が大きくなるほど、移動の直進性に係る走り精度が悪くなり、例えば、数百ミリメートル程度の移動範囲の場合、移動に伴って発生する装置の光軸ずれは、偏心測定で許容できない大きさとなってしまう。このため、特許文献１では、被検レンズを回転させながら偏心量を測定することで、被検レンズの回転中心軸を基準とした偏心測定を行っている。
また、特許文献２に記載の技術では、被検レンズに向かって、レンズ面の曲率中心位置に集光する測定光を入射させるため、被検レンズのレンズ面の曲率半径が変わると、集光用の集光レンズを交換したり、集光レンズを光軸方向に移動したりする必要がある。このため、汎用的な測定を行うには、特許文献１と同様、集光レンズを光軸方向に移動可能保持する必要があり、やはり装置の光軸がずれる問題が発生するので、被検レンズの回転機構を設けている。
このように、特許文献１、２いずれにおいても、汎用的な測定を行うために何らかの光学系を光軸方向に移動可能に保持する必要があるため装置の光軸が安定せず、被検レンズを回転させて偏心測定を行っている。そのため測定に手間がかかってしまうという問題がある。
また、被検レンズの回転機構を設けるため、装置が複雑となってしまうという問題がある。
光学系を移動するたびに装置の光軸調整を行うことも考えられるが、測定の効率が悪くなってしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、被検体の焦点距離や光学面の曲率半径が変わっても装置の光軸を変化させるような光学系の移動を行うことなく、効率的に測定を行うことができる偏心測定機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、光学素子を被検体として偏心を測定する偏心測定機であって、前記被検体に光を照射する光源部と、該光源部からの光の光路上で、前記被検体を偏心測定の基準軸上に位置決めして保持する保持部と、該保持部に保持された前記被検体からの光を観察するために、前記基準軸に光軸を一致するように配置され、少なくとも物体側がテレセントリックな観察光学系と、該観察光学系から出射される光の前記基準軸からのずれ量を求めるための観察手段とを備える構成とする。
この発明によれば、保持部によって偏心測定の基準軸上に位置決めして保持された被検体に、光源部から光を照射し、被検体からの光を、少なくとも物体側がテレセントリックな観察光学系を通して観察手段によって観察する。
観察光学系は、物体側、すなわち被検体側がテレセントリックなため、被検体の焦点を通過する光束のうち、観察光学系の光軸に平行な光束のみが観察手段に到達する。このため、観察手段上で観察された観察光学系から出射される光の、基準軸からのずれ量を求め、観察光学系の光学倍率から換算することで、一定の基準軸に対する被検体の偏心量を求めることができる。
また、観察光学系は、少なくとも物体側がテレセントリックとなっているため、被検体と観察光学系の距離を任意に設定することができるので、例えば、被検体を変えても、被検体の光軸方向の形状の変化に応じて観察光学系を移動することなく、偏心測定を行うことができる。
【０００６】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の偏心測定機において、前記観察光学系が両側テレセントリック光学系である構成とする。
この発明によれば、観察光学系が両側テレセントリック光学系であるため像側の観察手段との光軸方向の距離を任意に設定することができるので、観察手段の配置が容易となる。
【０００７】
請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の偏心測定機において、前記観察光学系の光学倍率を切り替えられるようにした構成とする。
この発明によれば、観察光学系の光学倍率を切り替えることで、偏心量に応じて適切な光学倍率を選択することができるので、良好な偏心測定を行うことができる。
その際、観察光学系が、少なくとも物体側がテレセントリックなため、少なくとも物体側の光軸方向の位置ずれを無視することができ、切替手段を簡素化することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の偏心測定機によれば、少なくとも物体側がテレセントリックな観察光学系を用いるため、被検体の焦点距離や光学面の曲率半径が変わっても装置（偏心測定機）の光軸を変化させるような光学系の移動を行うことなく、効率的に偏心測定を行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【００１０】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る偏心測定機について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る偏心測定機の概略構成を示す模式的な正面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る偏心測定機の被検体を保持した保持部の軸方向断面図である。なお、図１において、偏心測定機の光軸Ｐに対して、光源部３の光軸および観察光学系６の光軸が一致するようにして調整されている。
【００１１】
本実施形態の偏心測定機５０は、例えば、レンズや曲面ミラーなどの光学素子を被検体として、光学素子の偏心を透過偏心測定によって測定するものである。以下では、光学素子の一例として、例えば両凸レンズからなる被検レンズ５単体を被検体とする場合の例で説明するが、光学素子は、光学素子単体に限定されるものではない。例えば、鏡筒などに組み込まれた光学素子あるいは光学素子群であってもよい。
偏心測定機５０の概略構成は、図１に示すように、光源部３、被検レンズ５を保持するレンズ保持部４（保持部）、観察光学系６、およびＣＣＤカメラ７がこの順に配置され、ＣＣＤカメラ７にケーブル８を介してモニタ９が接続され、ＣＣＤカメラ７、モニタ９にそれぞれケーブル１０、１２を介して演算部１１が電気的に接続されてなるものである。
【００１２】
光源部３は、被検レンズ５に偏心測定用の光を照射するもので、本実施形態では、レーザーダイオードからなる光源１と、光源１からの発散光を平行光束にコリメートするコリメートレンズ２とから構成され、平行光束を出射するようになっている。
【００１３】
レンズ保持部４は、被検レンズ５を光源部３の光軸上の一定位置に保持するものであり、透過偏心測定を行う本実施形態では、レンズ保持部４は、図２に示すように、光源部３の光軸に対して光軸方向に貫通した孔部４ｃの中心軸Ｏが略一致して配置された円筒状部材からなる。
レンズ保持部４の光源部３と反対側の端部には、被検レンズ５の光源部３側のレンズ面であるレンズ面５ｂを少なくとも３箇所で受けて、光軸方向に位置決めする光軸方向保持部４ａと、被検レンズ５のコバ面５ｃを径方向に位置決めする径方向保持部４ｂとが設けられている。
径方向保持部４ｂは、本実施形態では、孔部４ｃの径よりも大きい径であり、被検レンズ５を載せ替えても同心に固定できるチャック機構、例えば、コレットチャックのような機構を採用している。
径方向保持部４ｂの保持中心軸は、孔部４ｃの中心軸Ｏと同軸であり、偏心測定の基準軸Ｏをなしている。
【００１４】
観察光学系６は、レンズ保持部４に保持された被検レンズ５からの光を観察するために、基準軸Ｏと光軸Ｐとが一致するように配置され、少なくとも物体側がテレセントリックな光学系である。本実施形態では、被検レンズ５側に配置された結像レンズ６ａと、結像レンズ６ａのＣＣＤカメラ７側の略焦点位置に開口孔が配置されたピンホール６ｂとからなる片側テレセントリック光学系を採用している。
これにより、結像レンズ６ａに物体側（被検レンズ５側）から入射した光は、光軸Ｐに平行な光束のみが、ピンホール６ｂを通して、像側に出射される。
【００１５】
ピンホール６ｂの孔径は、大きすぎると、光軸Ｐに平行な成分以外の光束が透過して、ＣＣＤカメラ７上でぼけたスポット画像が観察されるので、小さくすることが好ましいが、あまり小さすぎるとスポット画像の光量が小さくなりすぎてしまう。また、あまり小さすぎるとピンホール６ｂでの回折が発生してテレセントリック光学系として機能しなくなってしまう。
このため、本実施形態では、一例として、ピンホール６ｂの孔径ｄをエアリーディスク直径ｄＡの１０倍程度に設定している。
ここで、エアリーディスク直径ｄＡは、結像レンズ６ａの開口数をＮＡ、光源部３の波長をλとして、ｄＡ＝２．４４λ／ＮＡで表される。
【００１６】
ＣＣＤカメラ７は、観察光学系６の透過光のスポット画像を観察するものであり、光軸Ｐ上で、ピンホール６ｂから一定距離だけ離間された位置に撮像面が設置されている。
ＣＣＤカメラ７の映像信号は、ケーブル８を介してモニタ９に拡大表示され、測定者が観察できるようになっている。また、ＣＣＤカメラ７の映像信号は、ケーブル１０を介して演算部１１に送出される。
【００１７】
演算部１１は、ＣＣＤカメラ７からの映像信号に、例えば、ノイズ除去処理などの画像処理を必要に応じて施して、撮像素子の画素ごとの輝度値からなる画像データを取得し、観察されたスポット画像の撮像面における中心位置を算出し、光軸Ｐと撮像面との交点から測った撮像面上の距離および位置を算出し、被検レンズ５の偏心量に換算する演算を行うものである。
そして、これらの演算結果は、映像信号に変換し、ケーブル１２を介してモニタ９に表示できるようになっている。
【００１８】
演算部１１の装置構成としては、専用のハードウェアを用いてもよいが、本実施形態では、ＣＰＵ、メモリ、外部記憶装置、入出力インターフェースなどを備えたコンピュータによって、演算用、制御用のプログラムを実行させることで実現している。
【００１９】
光軸Ｐと基準軸Ｏとを一致させるための位置合わせは、本実施形態では、ＣＣＤカメラ７、観察光学系６および光源部３の位置を固定し、光軸Ｐに対するレンズ保持部４のチルト移動およびシフト移動を行って位置合わせしている。このため、レンズ保持部４は、不図示のチルト移動ステージおよびシフト移動ステージなどの移動機構によって、観察光学系６と光源部３との間で可動に保持されている。
【００２０】
この位置合わせは、偏心測定の開始前に一度だけ行っておけば、偏心測定ごとには行わなくてもよいため、上記装置構成以外にも、適宜の調整治具を併用して行うことができる。
ここでは、観察光学系６の光軸と光源部３の光軸とを一致させた後の、光軸Ｐと基準軸Ｏとの位置合わせの一例について簡単に説明する。
まず、レンズ保持部４のチルト調整を行うため、例えば、レンズ保持部４の光軸方向保持部４ａ上に平行度の高い平行平面板を配置する。そして光源部３を点灯させることにより、平行平面板を直接通過する光束と、平行平面板の上面と下面で順次反射した後に平行平面板を通過する光束とによって、ＣＣＤカメラ７の撮像面上で干渉縞を生成させる。そして、この干渉縞をヌルにするようにレンズ保持部４のチルト調整を行う。
次に、レンズ保持部４のシフト調整を行うため、例えば、レンズ保持部４の光軸方向保持部４ａに偏心のないボールレンズを配置する。そして光源部３を点灯させることによりボールレンズおよび観察光学系６を介して偏心測定を行い、ＣＣＤカメラ７の撮像面上での偏心が０となるように、レンズ保持部４を光軸Ｐに直交する方向に移動して、レンズ保持部４のシフト調整を行う。
【００２１】
次に、偏心測定機５０の動作について、偏心測定の測定原理を中心に説明する。
図３（ａ）は、被検レンズが、正の屈折力を有し焦点距離が短い場合の模式的な概略光路図である。図３（ｂ）は、被検レンズが、正の屈折力を有し焦点距離が長い場合の模式的な概略光路図である。図３（ｃ）は、被検レンズが、負の屈折力を有する場合の模式的な概略光路図である。
【００２２】
図１に示すように、光源部３では、光源１からの発散光がコリメートレンズ２によって平行光束とされ、レンズ保持部４の孔部を透過して、被検レンズ５に照射される。
被検レンズ５を透過する光は、例えば、図３（ａ）に示すように、被検レンズ５が、正の屈折力を有し焦点距離ｆの短いレンズからなる場合、被検レンズ５と観察光学系６との間の光路上の焦点位置Ｓｆに結像され、発散した状態で、結像レンズ６ａに入射する。観察光学系６が片側テレセントリック光学系であるため、焦点位置Ｓｆで実像を結ぶ光のうち、光軸Ｐに平行な光束のみが、結像レンズ６ａを透過後にピンホール６ｂを透過し、ＣＣＤカメラ７の撮像面である観察面Ｉにスポット画像として到達する。なお図中で、符号Ｈは被検レンズ５の主点位置を示す（以下同じ）。
ＣＣＤカメラ７では、映像信号を演算部１１に送出する。
演算部１１では、ＣＣＤカメラ７から送られた映像信号を画像データに変換し、撮像面上で、観察光学系６を透過した光のスポット画像を検出し、光軸Ｐと撮像面との交点を原点として、スポット画像の輝度中心位置の座標と原点からの距離δを求める。
【００２３】
ここで、距離δは、被検レンズ５の透過偏心量εによって決まる被検レンズ５の焦点位置Ｓｆの光軸Ｐに直交する面内でのずれ量と、観察光学系６の光学倍率Ｍとの関係から、次式を満足する。
ε＝ｔａｎ−１｛δ／（ｆ・Ｍ）｝                            ・・・（１）
したがって、距離δを演算部１１によって算出することで、被検レンズ５の透過偏心量εが求められる。また、スポット画像の輝度中心位置の座標から、偏心の方向も求めることができる。
【００２４】
演算部１１は、これらの演算結果の情報を映像信号に変換して、ケーブル１２を介してモニタ９に送出して、演算結果を表示する。
このように、本実施形態のＣＣＤカメラ７、および演算部１１は、観察光学系６から出射される光の基準軸Ｏからのずれ量δを求めるための観察手段を構成している。
【００２５】
また、図３（ｂ）に示すように、被検体が、正の屈折力を有し焦点距離ｆの長いレンズからなる被検レンズ１５である場合を考える。この場合、レンズ保持部４の径方向保持部４ｂは、レンズ径が変わっても、保持中心軸が変わらないようになっているが、光軸方向保持部４ａに保持されるレンズ面１５ｂの曲率半径や、レンズ面１５ｂとレンズ面１５ａとの間のレンズ厚は、一般に被検レンズ５から変化するので主点位置Ｈは光軸方向にずれるものである。
被検レンズ１５を透過する光は、例えば、観察面Ｉの後側に位置する焦点位置Ｓｆに向かって集光される。この場合、結像レンズ６ａには、被検レンズ５とは結像位置が異なる収束光が入射するが、観察光学系６が片側テレセントリック光学系であるため、やはり光軸Ｐに平行な光束のみが、結像レンズ６ａを透過後にピンホール６ｂを透過し、ＣＣＤカメラ７の撮像面である観察面Ｉに到達する。
したがって、図３（ａ）の場合とまったく同様にして、透過偏心量ε、偏心の方向を求めることができる。
【００２６】
また、図３（ｃ）に示すように、被検体が、負の屈折力を有する被検レンズ２５の場合を考える。この場合、レンズ保持部４の径方向保持部４ｂは、レンズ径が変わっても、保持中心軸が変わらないようになっているが、光軸方向保持部４ａに保持される凸面のレンズ面２５ｂの曲率半径や、レンズ面２５ｂと凹面のレンズ面２５ａとの間のレンズ厚は、一般に被検レンズ５から変化するので主点位置Ｈは光軸方向にずれるものである。
被検レンズ２５を透過する光は、光源部３側にある焦点位置Ｓｆから発散する光として、結像レンズ６ａに入射するが、観察光学系６が片側テレセントリック光学系であるため、やはり光軸Ｐに平行な光束のみが、結像レンズ６ａを透過後にピンホール６ｂを透過し、ＣＣＤカメラ７の撮像面である観察面Ｉに到達する。
したがって、図３（ａ）の場合とまったく同様にして、透過偏心量ε、偏心の方向を求めることができる。
【００２７】
このように、本実施形態では、観察光学系６が被検レンズ５側がテレセントリックであるため、結像レンズ６ａと被検レンズ５との間の光軸方向の距離は原理的に偏心測定に関係しないため、従来の偏心測定のように、被検レンズ５の焦点距離に応じて、観察光学系６やＣＣＤカメラ７の位置を移動させる必要がない。
そのため、光軸方向の移動機構を省略することができるので、装置を簡素化することができる。
また、被検レンズ５を代えて測定する場合にも、観察光学系６とレンズ保持部４との位置関係を変更せずに、偏心測定を行うことができる。その結果、観察光学系６を移動機構によって移動させる際に発生する走り誤差などが生じないので、光軸位置の再調整などを行うことなく迅速に偏心測定を行うことができ、複数の被検レンズ５を順次に測定する場合の測定効率を向上することができる。
また、観察光学系６とレンズ保持部４との位置関係を固定して偏心測定することができるので、偏心測定の基準軸Ｏが一定の状態で測定を行うことができる。そのため、例えば、偏心測定の基準軸をレンズ中心軸で代用する場合のように、被検レンズ５を回転させながら偏心測定を行う必要がなく、個々の被検レンズ５に対する測定時間を短縮することができる。また、偏心の方向も容易に測定することができる。
【００２８】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態に係る偏心測定機について説明する。
図４は、本発明の第２の実施形態に係る偏心測定機の概略構成を示す模式的な正面図である。
【００２９】
本実施形態の偏心測定機６０は、図４に示すように、上記第１の実施形態の偏心測定機５０において、観察光学系６を観察光学系１６に代えたものである。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
観察光学系１６は、両側テレセントリック光学系からなる。本実施形態では、一例として、それぞれの間の位置で焦点位置が重なるように物体側から配置された、結像レンズ１６ａ、１６ｃと、それらの共通の焦点位置近傍に開口孔が位置するように配置されたピンホール１６ｂとからなる例で説明する。
なお、観察光学系１６の光軸Ｐは、観察光学系６と同様に、基準軸Ｏ上にあるように調整して配置されている。
【００３０】
偏心測定機６０によれば、光源部３からの平行光束は、被検レンズ５を透過し、観察光学系１６の光軸Ｐに平行な光束のみが、ピンホール１６ｂを透過し、結像レンズ１６ｃで屈折されて光軸Ｐに平行な光束としてＣＣＤカメラ７に向けて出射される。
このため、ＣＣＤカメラ７の撮像面には、光束が垂直に入射する点を除いて、上記第１の実施形態と同様なスポット画像が到達する。このため、やはり、上記第１の実施形態と同様に、偏心測定を行うことができる。
さらに、本実施形態によれば、観察光学系６の光学倍率Ｍは、結像レンズ１６ａ、１６ｂの焦点距離の比で決まり、ＣＣＤカメラ７の撮像面と観察光学系１６との光軸方向の距離には依存しない。したがって、観察光学系１６に対して、ＣＣＤカメラ７の光軸方向の位置が変化しても、偏心測定の測定精度にまったく影響しない。このため、装置の組立、位置調整が容易となる。
【００３１】
［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態に係る偏心測定機について説明する。
図５は、本発明の第３の実施形態に係る偏心測定機の概略構成を示す模式的な正面図である。
【００３２】
本実施形態の偏心測定機７０は、図５に示すように、上記第２の実施形態の偏心測定機６０において、観察光学系１６を観察光学系１７、１８に代えたものである。以下、上記第２の実施形態と異なる点を中心に説明する。
観察光学系１７、１８は、それぞれ両側テレセントリック光学系からなる。例えば、上記第２の実施形態の結像レンズ１６ａに代えて、それぞれ結像レンズ１７ａ、１８ａを備え、また、ピンホール１６ｂに代えて、それぞれピンホール１７ｂ、１８ｂを備え、結像レンズ１６ｃに代えて、それぞれ結像レンズ１７ｃ、１８ｃを備えるような光学系を採用することができる。
観察光学系１７、１８は、それぞれの結像レンズの焦点距離を適宜組み合わせることで、光学倍率Ｍが変えられている。
そして、観察光学系１７、１８は、それぞれ、不図示の可動保持機構によって、基準軸Ｏに向かって進退可能に保持されており、それぞれの光軸は組立時にそれぞれの進出位置で調整を行い、それぞれの基準軸Ｏに一致する位置に進出するように、手動または自動で切り替え動作を行うことができるようになっている。
【００３３】
偏心測定機７０によれば、偏心測定機６０と同様な偏心測定を行うことができ、さらに、被検レンズ５を変えることで偏心量が変化する場合に、観察光学系１７、１８を切り替えて、偏心量に合った光学倍率を選択することができるので、高精度の偏心測定を行うことができる。
この場合、観察光学系１７、１８の光軸方向の位置は、偏心測定の精度に影響しないので、可動保持機構は光軸に直交する方向の位置が高精度に位置決めされていればよい。そのため、このような切替を簡素な機構で行うことができる。
【００３４】
なお、上記の説明では、光源部が平行光源の場合の例で説明したが、このようにすれば、光源部３の光軸を基準軸Ｏに合わせることで、観察光学系６を透過しない光量を低減することができて好ましいが、光源部３の光量に余裕がある場合には、厳密な平行光束を出射するものでなくてもよい。
【００３５】
また、上記の説明では、観察光学系として、結像レンズとピンホールとからなる片側テレセントリック光学系、および２つの結像レンズとその中間に配置されたピンホールとからなる両側テレセントリック光学系を用いた場合の例で説明したが、これらは一例であって、テレセントリック光学系の構成はこれらに限定されない。被検体の偏心量の大きさや観察手段の分解能に応じて、開口径や光学倍率を変えるために種々の構成のテレセントリック光学系を必要に応じて採用することができる。
【００３６】
また、上記の説明では、偏心測定の例として、透過偏心測定を行う場合の例で説明したが、本発明は、容易に反射偏心測定を行う偏心測定機にも適用できる。例えば、ビームスプリッタを被検体と観察光学系の間に配置し、このビームスプリッタを介して、光源部からの光を被検体に観察光学系側から落射照明する構成とすることで、反射偏心測定を行う偏心測定機が得られる。
また、このような反射偏心測定を行う偏心測定機によれば、被検体として、レンズなどの光学素子他に、例えば、曲面ミラーなどの反射型の光学素子の偏心を測定することもできる。
【００３７】
また、上記の説明では、観察手段が、ＣＣＤカメラ７、モニタ９および演算部１１からなり、演算処理によって偏心量を自動的に算出する場合の例で説明したが、例えば、モニタ９上におけるＧＵＩを用いたカーソル操作などを行って、測定者が画像から偏心位置を指定し、演算部１１はカーソル位置を取得して、ずれ量δを算出して偏心量を求めるようにしてもよい。
また、このような観察手段に代えて、観察面Ｉの位置に、透過型または反射型のスクリーンを配置し、スクリーン上の輝点位置を測定者が計測することで、偏心量を求めるようにしてもよい。
【００３８】
また、上記の各実施形態に説明したすべての構成要素は、技術的に可能であれば、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る偏心測定機の概略構成を示す模式的な正面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る偏心測定機の被検体を保持した保持部の軸方向断面図である。
【図３】被検レンズが、それぞれ、正の屈折力を有し焦点距離が短い場合、正の屈折力を有し焦点距離が長い場合、負の屈折力を有する場合の模式的な概略光路図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る偏心測定機の概略構成を示す模式的な正面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る偏心測定機の概略構成を示す模式的な正面図である。
【符号の説明】
【００４０】
３  光源部
４  レンズ保持部（保持部）
５、１５、２５  被検レンズ
６、１６、１７、１８  観察光学系
７  ＣＣＤカメラ
９  モニタ
１１  演算部
Ｏ  基準軸
Ｐ  光軸
５０、６０、７０  偏心測定機
【図１】
2009097858.tif 000003
【図２】
2009097858.tif 000004
【図３】
2009097858.tif 000005
【図４】
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【図５】
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