(57)【要約】【課題】被検査対象に応じた撮影方法の選択を可能とし、もって検査時間を短縮することができる放射線検査装置、それを用いる放射線検査方法およびそれを制御する放射線検査プログラムを提供する。【解決手段】本放射線検査装置１０は、所定の立体角の範囲に放射線を出力する放射線出力手段（放射線発生器）１１と、被検査対象を移動させる被検査対象平面移動手段（Ｘ−Ｙステージ）１２と、被検査対象の放射線透過画像を取得する放射線透過画像取得手段（放射線取得機構）１３と、を備え、放射線透過画像取得手段は、透過放射線を検出する放射線検出器、この放射線検出器を回転移動させる検出器回転移動部および直線移動させる検出器直線移動部を具備し、検出器回転移動部による放射線検出器の回転移動および検出器直線移動部による放射線検出器の直線移動のそれぞれによって被検査対象の三次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得可能である。【選択図】図１
2009236490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定的に配置されかつ所定の立体角の範囲に放射線を出力する放射線出力源を備える放射線出力手段と、
上記放射線出力手段の上方に設けられかつ被検査対象を載置して上記放射線の出力範囲内で該被検査対象を平面的に移動させる被検査対象平面移動手段と、
上記被検査対象平面移動手段の上方に設けられかつ上記被検査対象の放射線透過画像を取得する放射線透過画像取得手段と、を備え、
上記放射線透過画像取得手段は、上記被検査対象を透過した透過放射線を検出する放射線検出器、上記放射線出力源の焦点を通りかつ該被検査対象の移動平面に対して垂直な直線を回転軸として該放射線検出器を上記放射線の出力範囲内で回転移動させる検出器回転移動部、該放射線検出器を該被検査対象の移動平面に平行な直線に沿って直線移動させる検出器直線移動部、を具備し、
上記放射線透過画像は、上記検出器回転移動部による上記放射線検出器の回転移動および上記検出器直線移動部による該放射線検出器の直線移動のそれぞれによって取得可能な上記被検査対象の３次元再構成画像生成用の放射線透過画像であることを特徴とする放射線検査装置。
【請求項２】
上記放射線透過画像取得手段は、上記被検査対象の移動平面に対して垂直でありかつ上記放射線検出器を通る直線を回転軸として上記放射線検出器を自転回転させる検出器自転回転部をさらに備え、
上記放射線透過画像は、上記検出器回転移動部による上記放射線検出器の回転移動および上記検出器自転回転部による該放射線検出器の自転回転ならびに上記検出器直線移動部による該放射線検出器の直線移動のそれぞれによってさらに取得可能な上記被検査対象のラミノグラフィ方式断層画像生成用の放射線透過画像である請求項１記載の放射線検査装置。
【請求項３】
上記放射線透過画像取得手段は、取得する上記放射線透過画像を上記被検査対象に応じて直接的または間接的な設定により選択可能である請求項１または２記載の放射線検査装置。
【請求項４】
上記放射線検出器は、面状に並列配置された複数のラインセンサである請求項１乃至３のいずれかに記載の放射線検査装置。
【請求項５】
請求項１記載の放射線検査装置を用いる放射線検査方法であって、
固定的に配置された放射線出力源から所定の立体角の範囲に放射線を出力する放射線出力工程と、
上記放射線の出力範囲内で被検査対象を平面的に移動させる被検査対象平面移動工程と、
上記放射線出力源の焦点を通りかつ上記被検査対象の移動平面に対して垂直な直線を回転軸として放射線検出器を上記放射線の出力範囲内で回転移動させる検出器回転移動、または、該放射線検出器を該被検査対象の移動平面に平行な直線に沿って直線移動させる検出器直線移動を実行して該被検査対象の３次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得する放射線透過画像取得工程と、を備えることを特徴とする放射線検査方法。
【請求項６】
上記放射線透過画像取得工程は、
上記検出器回転移動、もしくは、上記検出器直線移動を実行して上記３次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得する、または、
上記検出器回転移動とともに上記被検査対象の移動平面に対して垂直でありかつ上記放射線検出器を通る直線を回転軸として該放射線検出器を自転回転させる検出器自転回転、もしくは、上記検出器直線移動を実行して該被検査対象のラミノグラフィ方式断層画像生成用の放射線透過画像を取得する請求項５記載の放射線検査方法。
【請求項７】
上記放射線透過画像取得工程は、取得する上記放射線透過画像を上記被検査対象に応じて直接的または間接的な設定により選択可能である請求項５または６記載の放射線検査方法。
【請求項８】
上記放射線検出器は、面状に並列配置された複数のラインセンサであり、
上記放射線画像取得工程は、上記複数のラインセンサにより透過放射線を検出し、該複数のラインセンサから並列に出力される該透過放射線データを上記放射線透過画像として取得する請求項５乃至７のいずれかに記載の放射線検査方法。
【請求項９】
請求項１記載の放射線検査装置を制御する放射線検査プログラムであって、
固定的に配置された放射線出力源から所定の立体角の範囲に放射線を出力する放射線出力機能と、
上記放射線の出力範囲内で被検査対象を平面的に移動させる被検査対象平面移動機能と、
上記放射線出力源の焦点を通りかつ上記被検査対象の移動平面に対して垂直な直線を回転軸として放射線検出器を上記放射線の出力範囲内で回転移動させる検出器回転移動または該放射線検出器を該被検査対象の移動平面に平行な直線に沿って直線移動させる検出器直線移動を実行して該被検査対象の３次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得する放射線透過画像取得機能と、をコンピュータに実現させることを特徴とする放射線検査プログラム。
【請求項１０】
上記放射線透過画像取得機能は、
上記検出器回転移動、もしくは、上記検出器直線移動を実行して上記３次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得する、または
上記検出器回転移動とともに上記被検査対象の移動平面に対して垂直でありかつ上記放射線検出器を通る直線を回転軸として該放射線検出器を自転回転させる検出器自転回転、もしくは、上記検出器直線移動を実行して該被検査対象のラミノグラフィ方式断層画像生成用の放射線透過画像を取得する請求項９記載の放射線検査プログラム。
【請求項１１】
上記放射線透過画像取得機能は、取得する上記放射線透過画像を上記被検査対象に応じて直接的または間接的な設定により選択可能である請求項９または１０記載の放射線検査プログラム。
【請求項１２】
上記放射線検出器は、面状に並列配置された複数のラインセンサであり、
上記放射線画像取得機能は、上記複数のラインセンサにより透過放射線を検出し、該複数のラインセンサから並列に出力される該透過放射線データを上記放射線透過画像として取得する請求項９乃至１１のいずれかに記載の放射線検査プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線の透過画像を再構成した３次元画像により印刷回路基板や電子部品などを検査する放射線検査装置、それを用いる放射線検査方法およびそれを制御する放射線検査プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ線等の放射線を照射して撮影した複数の透過画像を再構成して３次元画像を生成し、これに基づいた検査を行うことが知られている（例えば、特許文献１参照）。
上記特許文献１には、固定したＸ線発生器に対してその上部に検査試料を載置したテーブルとＸ線検出器とを配置し、上記Ｘ線発生器を中心として上記検査試料とＸ線検出器とを同期させて回転してＸ線検出器により検査試料の複数の透過画像を撮影するとともに、撮影した画像を再構成することにより３次元画像を生成することが開示されている。
しかし、上記特許文献１では、多層基板の各層の回路パターンなどを精細に観測する場合において、３６０度の回転ピッチを細かく設定し多数の透過画像を撮影することが必要となる。この場合に、上記のテーブルを回転させる方式がＸ−Ｙの２軸の直動アクチュエータからなる直線移動の組み合わせからなるため、検査試料を細かいピッチ（角度）で回転させるのに長いタクト時間が必要になり、そのため、１枚の基板を検査するための全検査時間が非常に長くなるといった問題があった。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１６２３３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたもので、タクト時間の掛かる回転式の撮影に対して、タクト時間の短い直線式の撮影も行えるようにして、被検査対象に応じた撮影方法の選択を可能とし、もって検査時間を短縮することができる放射線検査装置、それを用いる放射線検査方法およびそれを制御する放射線検査プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下の通りである。
１．固定的に配置されかつ所定の立体角の範囲に放射線を出力する放射線出力源を備える放射線出力手段と、
上記放射線出力手段の上方に設けられかつ被検査対象を載置して上記放射線の出力範囲内で該被検査対象を平面的に移動させる被検査対象平面移動手段と、
上記被検査対象平面移動手段の上方に設けられかつ上記被検査対象の放射線透過画像を取得する放射線透過画像取得手段と、を備え、
上記放射線透過画像取得手段は、上記被検査対象を透過した透過放射線を検出する放射線検出器、上記放射線出力源の焦点を通りかつ該被検査対象の移動平面に対して垂直な直線を回転軸として該放射線検出器を上記放射線の出力範囲内で回転移動させる検出器回転移動部、該放射線検出器を該被検査対象の移動平面に平行な直線に沿って直線移動させる検出器直線移動部、を具備し、
上記放射線透過画像は、上記検出器回転移動部による上記放射線検出器の回転移動および上記検出器直線移動部による該放射線検出器の直線移動のそれぞれによって取得可能な上記被検査対象の３次元再構成画像生成用の放射線透過画像であることを特徴とする放射線検査装置。
２．上記１．において、上記放射線透過画像取得手段は、上記被検査対象の移動平面に対して垂直でありかつ上記放射線検出器を通る直線を回転軸として上記放射線検出器を自転回転させる検出器自転回転部をさらに備え、
上記放射線透過画像は、上記検出器回転移動部による上記放射線検出器の回転移動および上記検出器自転回転部による該放射線検出器の自転回転ならびに上記検出器直線移動部による該放射線検出器の直線移動のそれぞれによってさらに取得可能な上記被検査対象のラミノグラフィ方式断層画像生成用の放射線透過画像であることを特徴とする。
３．上記１．または２．において、上記放射線透過画像取得手段は、取得する上記放射線透過画像を上記被検査対象に応じて直接的または間接的な設定により選択可能であることを特徴とする。
４．上記１．〜３．において、上記放射線検出器は、面状に並列配置された複数のラインセンサであることを特徴とする。
５．上記１．記載の放射線検査装置を用いる放射線検査方法であって、
固定的に配置された放射線出力源から所定の立体角の範囲に放射線を出力する放射線出力工程と、
上記放射線の出力範囲内で被検査対象を平面的に移動させる被検査対象平面移動工程と、
上記放射線出力源の焦点を通りかつ上記被検査対象の移動平面に対して垂直な直線を回転軸として放射線検出器を上記放射線の出力範囲内で回転移動させる検出器回転移動、または、該放射線検出器を該被検査対象の移動平面に平行な直線に沿って直線移動させる検出器直線移動を実行して該被検査対象の３次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得する放射線透過画像取得工程と、を備えることを特徴とする放射線検査方法。
６．上記５．において、上記放射線透過画像取得工程は、
上記検出器回転移動、もしくは、上記検出器直線移動を実行して上記３次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得する、または、
上記検出器回転移動とともに上記被検査対象の移動平面に対して垂直でありかつ上記放射線検出器を通る直線を回転軸として該放射線検出器を自転回転させる検出器自転回転、もしくは、上記検出器直線移動を実行して該被検査対象のラミノグラフィ方式断層画像生成用の放射線透過画像を取得することを特徴とする。
７．上記５．または６．において、上記放射線透過画像取得工程は、取得する上記放射線透過画像を上記被検査対象に応じて直接的または間接的な設定により選択可能であることを特徴とする。
８．上記５．〜７．において、上記放射線検出器は、面状に並列配置された複数のラインセンサであり、
上記放射線画像取得工程は、上記複数のラインセンサにより透過放射線を検出し、該複数のラインセンサから並列に出力される該透過放射線データを上記放射線透過画像として取得することを特徴とする。
９．上記１．記載の放射線検査装置を制御する放射線検査プログラムであって、
固定的に配置された放射線出力源から所定の立体角の範囲に放射線を出力する放射線出力機能と、
上記放射線の出力範囲内で被検査対象を平面的に移動させる被検査対象平面移動機能と、
上記放射線出力源の焦点を通りかつ上記被検査対象の移動平面に対して垂直な直線を回転軸として放射線検出器を上記放射線の出力範囲内で回転移動させる検出器回転移動または該放射線検出器を該被検査対象の移動平面に平行な直線に沿って直線移動させる検出器直線移動を実行して該被検査対象の３次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得する放射線透過画像取得機能と、をコンピュータに実現させることを特徴とする放射線検査プログラム。
１０．上記９．において、上記放射線透過画像取得機能は、
上記検出器回転移動、もしくは、上記検出器直線移動を実行して上記３次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得する、または
上記検出器回転移動とともに上記被検査対象の移動平面に対して垂直でありかつ上記放射線検出器を通る直線を回転軸として該放射線検出器を自転回転させる検出器自転回転、もしくは、上記検出器直線移動を実行して該被検査対象のラミノグラフィ方式断層画像生成用の放射線透過画像を取得することを特徴とする。
１１．上記９．または１０．において、上記放射線透過画像取得機能は、取得する上記放射線透過画像を上記被検査対象に応じて直接的または間接的な設定により選択可能であることを特徴とする。
１２．上記９．〜１１．において、上記放射線検出器は、面状に並列配置された複数のラインセンサであり、
上記放射線画像取得機能は、上記複数のラインセンサにより透過放射線を検出し、該複数のラインセンサから並列に出力される該透過放射線データを上記放射線透過画像として取得することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の放射線検査装置によると、所定平面上で被検査対象を移動できるように構成し、当該被検査対象を透過した透過放射線を放射線検出器によって取得するにあたり、放射線発生器の焦点を通る直線を回転軸として上記放射線検出器を回転させる検出器回転移動部と、上記所定平面に平行な直線に沿って放射線検出器を直線移動させる検出器直線移動部と、を具備する放射線透過画像取得手段を備えるようにしている。これにより、上記放射線透過画像取得手段は、検出器回転移動部により上記回転軸を中心とした回転軌道上で放射線検出器を回転移動させることが可能であるので、放射線検出器の回転移動と被検査対象の移動とを同期させて異なる回転角における放射線透過画像を取得、すなわち、回転式ＣＴ用画像を取得することにより、被検査対象の３次元再構成画像を生成し、それに基づいた被検査対象の解析を実施することができる。また、上記放射線透過画像取得手段は、検出器直線移動部により放射線検出器を直線的に移動させることが可能であるので、放射線検出器の直線移動と被検査対象の移動とを同期させて異なる角度における放射線透過画像を取得、すなわち、直線式ＣＴ用画像を取得することにより、被検査対象の３次元再構成画像を生成し、それに基づいた被検査対象の解析を実施することができる。
【０００７】
また、回転式ＣＴは、直線式ＣＴと比較して、被検査対象のより精細な３次元構造を示す情報を取得することが可能である。そして、直線式ＣＴは、回転式ＣＴと比較して、解析を行うために必要な放射線透過画像の撮影やデータ処理の負荷が小さく、短時間で解析を行うことができる。本発明の放射線検査装置によれば、一つの装置にて回転式ＣＴによる解析と直線式ＣＴによる解析との双方を実施することが可能である。従って、詳細な解析が必要な被検査対象であれば回転式ＣＴを実施し、詳細な解析を実施しなくても検査をすることができる被検査対象であれば直線式ＣＴを実施することで、必要以上に時間をかけることによって実装された部品に放射線によるダメージを与えることなく、必要十分な検査を行うことが可能である。
【０００８】
すなわち、回転式ＣＴのみを備える検査装置であれば、被検査対象を詳細に解析することが可能であるものの、簡易な検査によって十分に良否検査を実施可能な被検査対象について検査する際に必要以上の時間がかかってしまう。一方、直線式ＣＴのみを備える検査装置であれば、被検査対象を詳細に解析することができない。しかし、本発明の放射線検査装置によれば、被検査対象に必要とされる解析の程度に応じて回転式ＣＴと直線式ＣＴとを適宜選択することができるので、無駄な検査時間の発生を抑え、高速に検査を実施することができる。
【０００９】
また、上記放射線透過画像取得手段が、被検査対象の移動平面に対して垂直でありかつ上記放射線検出器を通る直線を回転軸として上記放射線検出器を自転回転させる検出器自転回転部をさらに備える場合は、放射線検出器を回転移動させるとともに自転回転させ、被検査対象の移動と同期させて異なる角度における放射線透過画像を取得、すなわち、回転式ラミノグラフィ方式用透過画像を取得することにより、被検査対象のラミノグラフィ方式断層画像を生成し、それに基づいた被検査対象の解析を実施することができる。さらに、放射線検出器の直線移動と被検査対象の移動とを同期させて異なる角度における放射線透過画像を取得、すなわち、直線式ラミノグラフィ方式用透過画像を取得することにより、被検査対象のラミノグラフィ方式断層画像を生成し、それに基づいた被検査対象の解析を実施することができる。
【００１０】
また、ラミノグラフィ（断層撮影）方式による解析は、ＣＴ方式による解析と比較して、解析を行うために必要な放射線透過画像の撮影やデータ処理の負荷がより小さく、さらに、直線式ラミノグラフィは、回転式ラミノグラフィ方式と比較して、解析を行うために必要な放射線透過画像の撮影やデータ処理の負荷がより小さく、短時間で解析を行うことができる。
【００１１】
すなわち、本発明の放射線検査装置によれば、任意な方向から撮影した放射線透過画像による解析の他に、一つの装置にて回転式および直線式の各ＣＴ方式（以下、ＣＴと呼ぶ。）により生成した３次元断層画像による解析ならびに回転式および直線式の各ラミノグラフィ方式（以下、ラミノグラフィと呼ぶ。）により生成した断層画像による解析の４種類の解析を実施することが可能である。従って、被検査対象に必要とされる解析の程度に応じて、回転式ＣＴ、直線式ＣＴ、回転式ラミノグラフィおよび直線式ラミノグラフィのいずれかを適宜選択することができるので、無駄な検査時間の発生をさらに抑え、より高速に検査を実施することができる。
【００１２】
また、上記放射線透過画像取得手段が、取得する上記放射線透過画像を上記被検査対象に応じて直接的または間接的な設定により選択可能である場合は、予めどの解析方法を用いるかを被検査対象ごとに設定しておくことにより、この設定に従って取得する放射線透過画像をコンピュータ等により間接的に選択する、または、オペレータにより、取得する放射線透過画像をその都度入力手段等により直接的に選択することによって、被検査対象に応じた最適な解析方法を選択して実施することができる。
【００１３】
また、上記放射線検出器が、面状に並列配置された複数のラインセンサである場合は、撮影したデータを各ラインセンサから並列出力することによりデータ転送時間を大幅に短縮し、検査時間をより短くすることができる。
【００１４】
以上は、本発明が装置として実現される場合について説明したが、かかる装置を実現する方法やプログラム、当該プログラムを記録した媒体としても発明は実現可能である。また、以上のような放射線検査装置は単独で実現される場合もあるし、ある方法に適用され、あるいは同方法が他の機器に組み込まれた状態で利用されることもあるなど、上記に示す放射線検査装置および放射線検査方法に限らず、各種の態様を含むものである。従って、本発明思想は、プログラム、ソフトウェアであったり、ハードウェアであったりするなど、適宜、変更可能である。
発明の思想の具現化例として上記装置を制御するためのソフトウェアとなる場合には、かかるプログラム、ソフトウェア、あるいはソフトウェアを記録した記録媒体上においても存在し、利用される。
【００１５】
また、プログラム、ソフトウェアの記録媒体は、磁気記録媒体であってもよいし光磁気記録媒体であってもよいし、今後開発されるいかなる記録媒体においても全く同様に考えることができる。一次複製品、二次複製品などの複製段階についても同等である。その他、供給装置として通信回線を利用して行う場合でも本発明が利用されていることにはかわりない。さらに、一部がソフトウェアであって、一部がハードウェアで実現されている場合においても発明の思想において全く異なるものではなく、一部を記録媒体上に記憶しておいて必要に応じて適宜読み込まれるような形態であってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
ここでは、下記の順序に従って本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明において如何様にも適用できる。
（１）本実施形態の構成：
（２）放射線検査処理：
（３）他の実施形態：
【００１７】
（１）本実施形態の構成：
図１は本発明の１実施形態である放射線検査装置１０の概略ブロック図である。同図１に示すように、放射線検査装置１０は、放射線発生器（本発明にかかる放射線出力手段として例示する。）１１とＸ−Ｙステージ（本発明にかかる被検査対象平面移動手段として例示する。）１２と放射線取得機構（本発明にかかる放射線透過画像取得手段として例示する。）１３と搬送装置１４とを備えており、各部をＣＰＵ２５によって制御する。すなわち、放射線検査装置１０はＣＰＵ２５を含む制御系として放射線制御機構２１とステージ制御機構２２と画像取得機構２３と搬送機構２４とＣＰＵ２５と入力部２６と出力部２７とメモリ２８とを備えている。この構成において、ＣＰＵ２５は、メモリ２８に記録された図示しないプログラムを実行し、各部を制御し、また所定の演算処理を実施することができる。
【００１８】
メモリ２８はデータを蓄積可能な記憶媒体であり、予め検査対象データ２８ａと撮像条件データ２８ｂとが記録されている。検査対象データ２８ａは、被検査対象の位置およびその被検査対象を検査する際に実施すべき解析（本実施形態においては回転式ＣＴまたは直線式ＣＴ）を示すデータである。本実施形態においては、基板上に配設されたバンプやリード等を示すデータであり、被検査対象ごとに基板上の位置と実施すべき解析とが対応付けられている。
【００１９】
撮像条件データ２８ｂは、放射線発生器１１にて放射線を発生させる際の条件を示すデータであり、放射線管に対する印加電圧、照射時間、撮像倍率等を含む。メモリ２８には、ＣＰＵ２５の処理過程で生成される各種データを記憶することが可能である。例えば、透過放射線の強度に対応した放射線画像データ２８ｃを記憶することができる。なお、メモリ２８はデータを蓄積可能であればよく、ＲＡＭやＨＤＤ等種々の記憶媒体を採用可能である。
【００２０】
放射線制御機構２１は、上記撮像条件データ２８ｂを参照し、放射線発生器１１をＺ軸方向に駆動して撮像倍率を変更すると共に、放射線発生器１１を制御して所定の放射線を発生させることができる。放射線発生器１１は、図示しない上昇／下降機構を介してＺ軸方向に移動可能であり、また、放射線の出力位置である焦点Ｆから出力側のほぼ全方位、すなわち、立体角２πの範囲に放射線を出力する。なお、本実施形態では、放射線発生器１１より出力される放射線としてＸ線を採用しているが、利用できる放射線としてはＸ線に限られず、γ線等、被検査対象を透過する種々の放射線を採用可能である。
ステージ制御機構２２はＸ−Ｙステージ１２と接続されており、上記検査対象データ２８ａに基づいて同Ｘ−Ｙステージ１２を制御する。
【００２１】
搬送機構２４は、搬送装置１４を制御して基板１２ａをＸ−Ｙステージ１２に搬入する。すなわち、搬送装置１４によって一方向に基板１２ａを搬送し、Ｘ−Ｙステージ１２において基板１２ａ上の被検査対象を検査し、搬送装置１４にて検査後の基板１２ａを搬出する処理を連続的に実施できるように構成されている。
【００２２】
画像取得機構２３は放射線取得機構１３に接続されており、放射線取得機構１３に設けられた放射線検出器１３ａ（図２参照）が出力する検出値によって被検査対象の放射線透過画像を取得する。取得した放射線透過画像は、放射線画像データ２８ｃとしてメモリ２８に記憶される。なお、放射線検出器１３ａとしては、被検査対象を透過した透過放射線を検出し、透過放射線の強度を検出することができれば良く、種々の構成を採用することができる。本実施形態における放射線検出器１３ａは、２次元的に分布したセンサを備え、撮影したデータをシリアル出力するフラットパネルセンサを採用しており、検出した透過放射線から放射線の２次元分布を示す放射線画像データ２８ｃを生成することができる。
【００２３】
本実施形態において、放射線取得機構１３は、所定の回転軸から半径ｒの範囲を回転させることで放射線検出器１３ａを当該回転軸周りの回転軌道上で回転移動させる検出器回転移動部１３ｂと、Ｘ−Ｙステージ１２により基板１２ａが移動する平面に対して平行な方向に直線移動させる検出器直線移動部１３ｃとを備えており、画像取得機構２３が検出器回転移動部１３ｂおよび検出器直線移動部１３ｃに対して制御信号を出力することにより、放射線検出器１３ａの位置を制御することができる。
【００２４】
図２は、当該放射線取得機構１３の構造をＹ軸方向に沿った方向から眺めた状態を示す模式図であり、放射線発生器１１およびＸ−Ｙステージ１２の上方に位置する検出器回転移動部１３ｂと検出器直線移動部１３ｃとを模式的に示している。検出器回転移動部１３ｂは円柱状の部位を備えており、この円柱の軸ＡはＸ−Ｙステージ１２による被検査対象の移動平面であるＸ−Ｙ平面に対して垂直である。また、軸Ａは放射線発生器１１の焦点を通る直線である。検出器回転移動部１３ｂは、図示しない動力源等によって、前記軸Ａを回転軸とし、当該軸Ａから半径ｒの範囲を回転させる機構である。この検出器回転移動部１３ｂは、放射線検出器１３ａを回転軸に対して常に同じ方向を向く状態で回転させることができればよく、ボールベアリング等による回転機構によって放射線検出器を回転させるなど、種々の構成を採用可能である。
【００２５】
一方、検出器直線移動部１３ｃは、Ｘ−Ｙ平面に対して平行に配置された直線上の部材を備えており、放射線検出器１３ａは当該直線状の部材に取り付けられている。
また、放射線検出器１３ａは図示しない動力源等によって当該直線状の部材に保持された状態で移動することができる。従って、検出器回転移動部１３ｂが軸Ａを回転軸として回転すると、放射線検出器１３ａは軸Ａを中心とした半径Ｒの円周（回転軌道）上を回転する。
【００２６】
さらに、放射線検出器１３ａは、その回転した任意の位置において、検出器直線移動部１３ｃにより直線移動をすることができる。従って、放射線検出器１３ａは、被検査対象のＸ−Ｙステージ１２によるＸ方向の直線移動および／またはＹ方向の直線移動に同期させた直線移動をすることができ、さらに、半導体のリードなど被検査対象の形状の対称性が低い被検査対象等の場合には、放射線検出器１３ａを直線移動させる方向として好ましい方向を被検査対象ごとに設定することもできる。
【００２７】
また、被検査対象を所定の角度範囲から観察するために放射線検出器１３ａを上記回転軌道上で回転させるための時間と直線移動を行うための時間とでは一般に後者の方が短く、回転を行う検査と比較して高速に検査を実施することができる。さらに、本実施形態においては、検出器直線移動部１３ｃによって放射線検出器１３ａを移動させることにより、上記回転軌道の半径を増減することが可能であり、必要な検査の精度、時間に応じて適宜半径を調整することが可能である。
【００２８】
ここで、検出器直線移動部１３ｃは、放射線検出器１３ａを直線的に移動させることができればよい。すなわち、被検査対象の透過放射線が放射線検出器１３ａに到達するように直線的に移動させることができればよい。なお、放射線検出器１３ａの移動方向は、被検査対象が移動する所定平面に対して平行な直線に沿った方向であればよく、ボールねじなど、種々の機構によって放射線検出器を移動させる構成を採用可能である。
【００２９】
出力部２７は上記放射線透過画像等を表示するディスプレイであり、入力部２６は利用者の入力を受け付ける操作入力機器である。すなわち、利用者は入力部２６を介して種々の入力を実行可能であるし、ＣＰＵ２５の処理によって得られる種々の演算結果や放射線透過画像、被検査対象の良否判定結果等を出力部２７に表示することができる。
【００３０】
ＣＰＵ２５は、メモリ２８に蓄積された各種制御プログラムに従って所定の演算処理を実行可能であり、被検査対象の検査を行うために、図１に示す搬送制御部２５ａと放射線制御部２５ｂとステージ制御部２５ｃと画像取得部２５ｄと回転移動制御部２５ｅと直線移動制御部２５ｆと良否判定部２５ｇとによる演算を実行する。搬送制御部２５ａは、搬送機構２４を制御して、適切なタイミングで基板をＸ−Ｙステージ１２に供給し、また、適切なタイミングで搬送装置１４を駆動して検査済みの基板をＸ−Ｙステージ１２から取り除く。
【００３１】
放射線制御部２５ｂは、上記撮像条件データ２８ｂを取得し、上記放射線制御機構２１を制御して所定の放射線を放射線発生器１１から出力させる。ステージ制御部２５ｃは、上記検査対象データ２８ａを取得し、被検査対象を放射線発生器１１の焦点と放射線検出器１３ａの視野中心とを結ぶ直線上に配置するための制御信号をステージ制御機構２２に供給する。この結果、ステージ制御機構２２は、被検査対象が放射線検出器１３ａの視野中心に含まれるようにＸ−Ｙステージ１２を移動させる。
【００３２】
画像取得部２５ｄは、画像取得機構２３に指示を行い、放射線検出器１３ａが出力する放射線画像データ２８ｃを取得する。回転移動制御部２５ｅは検査対象データ２８ａを参照し、被検査対象に対して回転式ＣＴによる解析が設定されているときに検出器回転移動部１３ｂを制御して放射線検出器１３ａを回転させる。直線移動制御部２５ｆは検査対象データ２８ａを参照し、被検査対象に対して直線式ＣＴによる解析が設定されているときに検出器直線移動部１３ｃを制御して放射線検出器１３ａを直線移動させる。
【００３３】
良否判定部２５ｇは、回転式ＣＴまたは直線式ＣＴの放射線透過画像により生成した３次元再構成画像を任意にスライスした断層画像による解析を行って被検査対象の良否を判定する。すなわち、各ＣＴによる解析を実施する際には、取得した放射線透過画像データ２８ｃに基づいて再構成演算を行い、当該再構成演算によって求めた３次元再構成画像に基づいて被検査対象が良品であるか否かを判定する。なお、各解析において良否を判定するための条件は予め設定されている。
【００３４】
なお、以上の構成は、工場内の検査ラインなど、連続的に検査を行う放射線検査装置に適用することが好ましい。すなわち、検査ラインにおいてライン上を搬送される製品において被検査対象が複数個存在する場合、全ての被検査対象において詳細な解析が必要とされることはまれである。また、複数種類の製品がライン上を搬送される場合、各製品における被検査対象にて必要とされる解析の程度は異なることが多い。従って、このような製品において、必要な検査精度に応じて回転式ＣＴと直線式ＣＴとを切り替えて検査を行うことで、１種類の検査のみが実施できる検査装置と比較して必要な検査を高速に実施することが可能になる。
【００３５】
（２）放射線検査処理：
本実施形態においては、上述の構成において図３〜５に示すフローチャートに従って被検査対象の良否判定を行う。本実施形態においては、予め撮像条件データ２８ｃによって放射線発生器１１の撮像条件が設定された状態において多数の基板を搬送装置１４によって搬送し、逐次Ｘ−Ｙステージ１２上で基板上の被検査対象を検査する。このため、検査に際しては、図３に示すように、まずステップＳ１００にて搬送制御部２５ａが搬送機構２４に指示を出し、搬送装置１４によって被検査対象基板をＸ−Ｙステージ１２上に搬送する。そして、変数ｑを"１"に初期化する（ステップＳ１０５）。この変数ｑは最大値をＱとする整数であり、Ｑは予め設定されている基板１２ａ上の検査位置の数（被検査対象の数）である。
【００３６】
次に、ＣＰＵ２５は検査対象データ２８ａを参照し、現在の被検査対象に対して実施すべき解析が回転式ＣＴによる解析と直線式ＣＴによる解析とのいずれであるのかを判別する（ステップＳ１１０）。回転式ＣＴであると判別された場合には、ステップＳ１１５へ移行し、図４に示す回転式ＣＴ検査処理を、直線式ＣＴであると判別された場合には、ステップＳ１２０へ移行し、図５に示す直線式ＣＴ検査処理をそれぞれ実行する。
ステップＳ１１０において、現在の被検査対象に対して実施すべき解析が回転式ＣＴであると判別されたときには、図４に示す回転式ＣＴ検査処理に移行し、最初に、回転軌道上の異なる回転角度で放射線透過画像を取得するため、変数ｎを"１"に初期化する（ステップＳ２００）。
【００３７】
続いて、Ｘ−Ｙステージ１２を駆動して、予め設定されたｎ番目の撮影位置に被検査対象を配置させる（ステップＳ２０５）。すなわち、ステージ制御部２５ｃは検査対象データ２８ａを参照して基板上での被検査対象の位置を特定し、当該被検査対象が回転後の放射線検出器１３ａの視野中心と放射線発生器１１の焦点とを結ぶ直線上に位置するようにステージ制御機構２２に指示を行う。この結果、ステージ制御機構２２はＸ−Ｙステージ１２を移動させ、被検査対象を放射線検出器１３ａの視野中心に配置する。次いで、回転移動制御部２５ｅは画像取得機構２３に指示を行い、検出器回転移動部１３ｂを駆動して予め決められたｎ番目の撮影位置に放射線検出器１３ａを回転移動させる（ステップＳ２１０）。
【００３８】
本実施形態においては、回転角θｎをθｎ＝（ｎ／Ｎ）×３６０°と定義しており、θ＝０°の位置は予め決めてある。また、上記変数ｎは最大値をＮとする整数である。従って、放射線検出器１３ａは３６０°／Ｎずつ回転することになる。Ｎは、放射線透過画像を撮影する回転位置の数であり、要求される検査速度と検査精度、アーチファクトの程度および被検査対象の外形（軸対称性）から決定すればよい。高精度な検査を実施する場合には、例えば、Ｎ＝１２０（撮影回数１２０）等を採用して撮影回数を多くすることも可能であり、また、より少ない撮影回数（例えば、Ｎ＝１２，撮影回数１２）で放射線透過画像を取得し、補間演算によって擬似的に放射線透過画像の枚数を増加する構成を採用することも可能である。
【００３９】
図６は、理解を容易とするため、撮影回数Ｎ＝４の場合における放射線検出器１３ａの位置を示す模式図である。同図６においては、Ｚ軸に垂直な方向に沿って検出器回転移動部１３ｂを下から眺めた状態を示しており、各回転角における放射線検出器１３ａの位置を一点鎖線によって示している。なお、同図４においては、回転軸ＡからＹ軸と平行かつ逆向きに延ばした直線に対する反時計回り方向の角度を放射線検出器１３ａの回転角θｎとして定義している。また、放射線検出器１３ａにおける一つの長辺の脇には検出器の向きを示す三角形の目印を記してあり、図６に示すように放射線検出器１３ａが矢印に示す回転軌道上を回転すると、検出器の長辺を指す前記三角形の頂点が常に回転軸Ａの方向を向きながら放射線検出器１３ａが回転する。
【００４０】
ステップＳ２０５およびステップＳ２１０にて被検査対象を撮影位置に配置し、放射線検出器１３ａを撮影位置に回転移動させたら、放射線制御部２５ｂおよび画像取得部２５ｄの制御により、放射線検出器１３ａにて回転角θｎの放射線透過画像Ｐθｎを撮影する（ステップＳ２１５）。すなわち、放射線制御部２５ｂは、上記撮像条件データ２８ｂを取得し、当該撮像条件データ２８ｂに示される条件で放射線を出力するように放射線制御機構２１に対して指示を行う。この結果、放射線発生器１１が立体角２πの範囲で放射線を出力するので、画像取得部２５ｄは放射線検出器１３ａが検出した放射線透過画像を取得する。撮影した画像は、放射線画像データ２８ｃとしてメモリ２８に記録される。
【００４１】
ステップＳ２１５にて回転角θｎの放射線透過画像Ｐθｎを撮影すると、変数ｎが最大値Ｎに達しているか否かを判別し（ステップＳ２２０）、最大値Ｎに達していると判別されなければ変数ｎをインクリメントして（ステップＳ２２５）、ステップＳ２０５以降の処理を繰り返す。ステップＳ２２０にて変数ｎが最大値Ｎに達していると判別されたときには、必要な回数の撮影が終了しているので、以降の処理にて良否判定を行う。このため、本実施形態においては、良否判定部２５ｇが放射線透過画像Ｐθ１〜ＰθＮを用いて３次元画像の再構成演算を行う（ステップＳ２３０）。
【００４２】
すなわち、以上の処理においては図６に示すように放射線検出器１３ａが予め決められた位置を回転移動するので、放射線検出器１３ａの検出面の各位置と放射線発生器１１の焦点との位置関係は既定されている。そこで、両者の関係を把握した上でフィルタ補正逆投影法、逐次近似法等により再構成演算を行う。再構成演算が終了すると、良否判定部２５ｇは、予め決められた基準に基づいて再構成演算結果（３次元再構成画像）から任意断層面の画像を取得して被検査対象の良否を判定し（ステップＳ２３５）、図３の処理フローへ戻る。
【００４３】
一方、ステップＳ１１０にて、現在の被検査対象に対して実施すべき解析が直線式ＣＴであると判別されたときには、図５に示す直線式ＣＴ検査処理に移行し、最初に、Ｘ−Ｙステージ１２および検出器直線移動部１３ｃをそれぞれ駆動して、被検査対象および放射線検出器１３ａを予め設定された初期位置に配置させる（ステップＳ３００）。すなわち、回転移動制御部２５ｅおよび直線移動制御部２５ｆが画像取得機構２３に指示を行い検出器回転移動部１３ｂおよび検出器直線移動部１３ｃをそれぞれ駆動させて放射線検出器１３ａを撮影の初期位置に配置するとともに、ステージ制御部２５ｃがステージ制御機構２２に指示を行いＸ−Ｙステージ１２を駆動して被検査対象を撮影の初期位置に配置する。
【００４４】
続いて、変数ｍを"１"に初期化する（ステップＳ３０５）。この変数ｍは最大値をＭとする整数であり、Ｍは予め設定されている被検査対象および放射線検出器１３ａをそれぞれ直線移動させながら取得する放射線透過画像の撮影回数である。
次いで、被検査対象および放射線検出器１３ａそれぞれの直線移動を開始する（ステップＳ３１０）。すなわち、直線移動制御部２５ｆが画像取得機構２３に指示を行って検出器直線移動部１３ｃを駆動して放射線検出器１３ａを直線移動させるとともに、ステージ制御部２５ｃがステージ制御機構２２に指示を行ってＸ−Ｙステージ１２を駆動して被検査対象を直線移動させる。
【００４５】
このとき、被検査対象および放射線検出器１３ａは、不等速にてそれぞれ同期直線移動する。これは、本実施形態の直線式ＣＴにおいて放射線透過画像の連続的な撮影をする場合、各撮影のタクト時間を一定間隔（例えば、約０．１４３秒等）とし、各撮影位置間の距離を同期直線移動する被検査対象と放射線検出器１３ａとの距離に応じて不等間隔としているためである。但し、同期直線移動による連続撮影の方法はこの方法に限られず、被検査対象の特定部位の解像度を高める等のために、不等タクト時間および不等距離にて連続撮影する、または、駆動制御の簡略化等のために、一定タクト時間および一定距離にて連続撮影する等、種々の方法を採用可能である。また、例えば、不等間隔の層間ピッチを有する多層基板の各層間を撮影する場合には、その各層間のピッチに応じた不等距離による連続撮影の方法を採用することもできる。
また、本実施形態では、この直線移動方向を、駆動制御の簡略化のために、Ｘ−Ｙステージ１２のＸ方向またはＹ方向のみの駆動により直線移動可能な方向としているが、これに限定されず、Ｘ方向およびＹ方向の各駆動を組み合わせて直線移動する方向であってもよい。
【００４６】
ステップＳ３１０にて被検査対象および放射線検出器１３ａがそれぞれ同期直線移動を開始すると、画像取得部２５ｄは画像取得機構２３に指示を行って、放射線透過画像の連続的な取得を開始し、各撮影位置において、放射線透過画像Ｐｌｍを撮影する（ステップＳ３１５）。すなわち、放射線制御部２５ｂは、上記撮像条件データ２８ｂを取得し、当該撮像条件データ２８ｂに示される条件において放射線を出力するように放射線制御機構２１に対して指示を行う。この結果、放射線発生器１１が立体角２πの範囲で放射線を出力するので、画像取得部２５ｄは放射線検出器１３ａにより放射線を検出し、放射線透過画像を取得する。取得した画像は、放射線画像データ２８ｃとしてメモリ２８に記録される。
【００４７】
図７は、放射線検出器１３ａの移動方向がＸ軸と平行な場合の放射線検出器１３ａの移動方向を示す模式図である。同図７においても、Ｚ軸に垂直な方向に沿って検出器回転移動部１３ｂを下から眺めた状態を示している。放射線検出器１３ａは、図７に示すＸ軸と平行な左右の矢印方向へ直線移動し、所定の各位置において放射線透過画像を撮影する。
【００４８】
ステップＳ３１５にて撮影位置ｍの放射線透過画像Ｐｌｍを撮影すると、変数ｍが最大値Ｍに達しているか否かを判別し（ステップＳ３２０）、最大値Ｍに達していると判別されなければ変数ｍをインクリメントして（ステップＳ３２５）、ステップＳ３１５以降の処理を繰り返す。ステップＳ３２０にて変数ｍが最大値Ｍに達していると判別されたときには、今度は、最初に撮影を行った直線移動方向と直交する方向の撮影を行う設定がなされているか否かを判別する（ステップＳ３３０）。すなわち、本実施形態における直線式ＣＴ検査処理では、１方向のみの直線移動撮影による画像から生成された３次元再構成画像よりも詳細な３次元再構成画像が必要な場合等において、予め異なる方向からの直線移動撮影をさらに実行する設定をし、より詳細な３次元再構成画像を生成できるように、さらなる画像を取得するようにしている。この場合、最初に撮影を行った直線移動方向がＸ軸と平行である場合には、図７に示すＹ軸方向の撮影を行う。
【００４９】
但し、このような追加画像データを取得するための直線移動撮影方向は、本実施形態のような直交方向に限られず、３０°、４５°または６０°方向等、被検査対象の形状、配設方向、周囲の配設状態等により適宜選択すればよい。また、これらのような最初の直線移動撮影方向に交差する方向に限られず、被検査対象の位置を直交方向にオフセットした状態において、最初の直線移動撮影方向に平行な方向としてもよい。さらに、このような追加画像データを取得するための直線移動撮影は、１回のみならず、２回以上行うようにしてもよい。
【００５０】
ステップＳ３３０にて、直交方向の撮影を行う設定がなされていると判別されたときには、上述と略同様に、最初に、Ｘ−Ｙステージ１２および検出器直線移動部１３ｃをそれぞれ駆動して、被検査対象および放射線検出器１３ａを予め設定された初期位置に配置させる（ステップＳ３３５）。
続いて、変数ｋを"１"に初期化する（ステップＳ３４０）。この変数ｋは最大値をＫとする整数であり、Ｋは予め設定されている上記撮影における移動方向と直交する方向において被検査対象および放射線検出器１３ａをそれぞれ直線移動させながら取得する放射線透過画像の撮影回数である。次いで、被検査対象および放射線検出器１３ａそれぞれの直線移動を開始する（ステップＳ３４５）。このとき、上述の撮影と同様に、被検査対象および放射線検出器１３ａは、不等速にてそれぞれ同期直線移動する。
【００５１】
ステップＳ３４５にて被検査対象および放射線検出器１３ａがそれぞれ同期直線移動を開始すると、画像取得部２５ｄは画像取得機構２３に指示を行って、放射線透過画像の連続的な取得を開始し、各撮影位置において、放射線透過画像Ｐｌｋを取得する（ステップＳ３５０）。取得した画像は、放射線画像データ２８ｃとしてメモリ２８に記録される。
【００５２】
次いで、撮影位置ｋの放射線透過画像Ｐｌｋを撮影すると、変数ｋが最大値Ｋに達しているか否かを判別し（ステップＳ３５５）、最大値Ｋに達していると判別されなければ変数ｋをインクリメントして（ステップＳ３６０）、ステップＳ３５０以降の処理を繰り返す。ステップＳ３５５にて変数ｋが最大値Ｋに達していると判別されたときには、必要な回数の撮影が終了しているので、以降の処理にて良否判定を行う。
【００５３】
ステップＳ３５５にて、変数ｋが最大値Ｋに達していると判別されたときには、良否判定部２５ｇが放射線透過画像Ｐｌ１〜ＰｌＭおよびＰｌ１〜ＰｌＫを用いて３次元画像の再構成演算を行う（ステップＳ３６５）。
一方、ステップＳ３３０にて、直交方向の撮影を行う設定がなされていないと判別されたときには、良否判定部２５ｇが放射線透過画像Ｐｌ１〜ＰｌＭのみを用いて３次元画像の再構成演算を行う（ステップＳ３７０）。
【００５４】
すなわち、以上の処理においては、図７に示すように、放射線検出器１３ａのＸ方向および／またはＹ方向の直線移動において、予め決められた位置にて放射線透過画像を撮影するので、放射線検出器１３ａの検出面の各位置と放射線発生器１１の焦点との位置関係は既定されている。そこで、両者の関係を把握した上で再構成演算を行う。この再構成演算は、上述の回転式ＣＴ検査処理の場合と同様に、３次元再構成画像を生成しうる限り特に限定されない。
再構成演算が終了すると、良否判定部２５ｇは、予め決められた基準に基づいて再構成演算結果から被検査対象の良否を判定し（ステップＳ３７５）、図３の処理フローへ戻る。
【００５５】
ステップＳ２３５またはステップＳ３７５において良否判定を実施すると、図３のステップＳ１２５において変数ｑが最大値Ｑに達しているか否かを判別し、最大値Ｑに達していると判別されなければ変数ｎをインクリメントして（ステップＳ１３０）、ステップＳ１１０以降の処理を繰り返す。ステップＳ１２５にて変数ｑが最大値Ｑに達していると判別されたときには、予め設定されている基板上のすべての検査位置についての検査が終了しているので、さらに次の基板について検査を行うため、ステップＳ１００に戻って放射線検査処理を繰り返す。
【００５６】
以上の処理によれば、被検査対象に応じて回転式ＣＴによる解析と直線式ＣＴによる解析とのいずれかから適切な解析を選択して検査を実施することができる。すなわち、被検査対象によって必要とされる検査の精度に応じて、時間がかかるが詳細な解析を実施することができる回転式ＣＴによる解析と、比較的短時間で実施可能な直線式ＣＴによる解析と、のいずれかを選択することが可能である。従って、詳細な検査が不要な被検査対象について過大に時間を費やして検査することはなく、高速に検査を行うことができる。
【００５７】
（３）他の実施形態：
上記実施形態では、回転式ＣＴによる解析と直線式ＣＴによる解析とを簡易な構成によって実施できる形態を例示したが、これに限定されず、例えば、上述の実施形態の構成に加えて、放射線検出器１３ａを自転回転させる構成を採用し、単層または複層の直線式ラミノグラフィによる解析および回転式ラミノグラフィによる解析を、それぞれさらに実施可能な構成としても良い。
【００５８】
図８は、放射線検出器１３ａを回転軌道上で回転させ、また直線移動させ、さらに自転回転させることが可能な構成をＹ軸方向から眺めた状態で示す模式図であり、上述の図１，図２と同様の構成をこれらの図と同じ符号にて示している。本実施形態では、上述の実施形態と同様に放射線発生器１１、Ｘ−Ｙステージ１２、検出器回転移動部１３ｂを備えている。ただし、放射線検出器１３ａは検出器自転回転部１３ｄを介して検出器直線移動部１３ｃに取り付けられており、当該放射線検出器１３ａは軸Ｂを回転軸として回転可能である。
このような構成においては、上述の図３に示す処理フローのステップＳ１１０において、回転式ＣＴによる解析と直線式ＣＴによる解析と回転式ラミノグラフィによる解析と直線式ラミノグラフィによる解析とを選択して実施することができる。
【００５９】
回転式ラミノグラフィによる解析は、図９に示す処理フローに従って実施される。現在の被検査対象に対して実施すべき解析が回転式ラミノグラフィであると判別されたときには、最初に、Ｘ−Ｙステージ１２、検出器回転移動部１３ｂおよび検出器直線移動部１３ｃをそれぞれ駆動して、被検査対象および放射線検出器１３ａを予め設定された初期位置に配置させる（ステップＳ４００）。すなわち、回転移動制御部２５ｅおよび直線移動制御部２５ｆが画像取得機構２３に指示を行い検出器回転移動部１３ｂおよび検出器直線移動部１３ｃをそれぞれ駆動させて放射線検出器１３ａを撮影の初期位置に配置するとともに、ステージ制御部２５ｃがステージ制御機構２２に指示を行いＸ−Ｙステージ１２を駆動して被検査対象を撮影の初期位置に配置する。さらに、検出器自転回転部１３ｄを駆動して、予め設定された方向に放射線検出器１３ａを自転回転させる。
【００６０】
次に、被検査対象および放射線検出器１３ａをそれぞれ回転移動させながら放射線透過画像を取得するため、放射線検出器１３ａによる露光を開始し（ステップＳ４０５）、さらに、被検査対象を回転移動させるとともに、それに同期するように、放射線検出器１３ａを回転移動および自転回転させる（ステップＳ４１０）。すなわち、回転移動制御部２５ｅは、画像取得機構２３に指示を行い、検出器回転移動部１３ｂを駆動して予め決められた速度で放射線検出器１３ａを回転移動させ、さらに、検出器自転回転部１３ｄが常にＹ軸に対して一定の方向を向くように自転回転を制御する。このとき、ステージ制御部２５ｃは検査対象データ２８ａを参照して基板上での被検査対象の位置を特定し、回転移動および自転回転する当該被検査対象を透過する透過放射線が放射線検出器１３ａの検出面の特定の位置に到達するようにステージ制御機構２２に指示を行う。この結果、ステージ制御機構２２はＸ−Ｙステージ１２を移動させ、被検査対象が放射線検出器１３ａの視野中心に位置するように同期を行う。
【００６１】
以上の回転移動および自転回転を所定の間実行すると、露光を停止する（ステップＳ４１５）。すなわち、検出器回転移動部１３ｂが画像取得機構２３に指示を行って放射線検出器１３ａを停止させ、ステージ制御部２５ｃがステージ制御機構２２に指示を行って被検査対象を停止させ、画像取得部２５ｄが画像取得機構２３に指示を行って放射線透過画像の取得を停止する。以上の処理において画像取得部２５ｄは、画像取得機構２３から逐次転送される放射線透過画像を蓄積し続け、露光が終了した時点での画像を放射線透過画像として取得する（ステップＳ４２０）。取得した画像は、放射線画像データ２８ｃとしてメモリ２８に記録される。
【００６２】
図１０は、上述の図６と同様に、Ｚ軸に垂直な方向に沿って検出器回転移動部１３ｂを下から眺めた状態を示しており、異なる回転角における放射線検出器１３ａの位置を一点鎖線によって示している。回転式ラミノグラフィによる解析を実施する際には、放射線検出器１３ａを回転軌道上で回転させながら図１０に示す矢印Ｃ方向に自転回転を実施し、放射線検出器１３ａが常にＹ軸に対して一定の方向を向くように回転を制御する。なお、図１０において、矢印Ｃ方向への自転回転を行わない場合、図６と同様に、放射線検出器１３ａ’のような向きとなる。
【００６３】
すなわち、本実施形態におけるＸ−Ｙステージ１２では、被検査対象をＸ−Ｙ平面内で平行移動させるのみであるので、被検査対象の位置が変動してもＹ軸に対する向きは一定である。そこで、放射線検出器１３ａを回転軌道上で回転させるとともに自転回転を実施し、放射線検出器１３ａが常にＹ軸に対して一定の方向を向くようにする。この結果、被検査対象の像は放射線検出器１３ａの検出面上で一定の方向を向き、一定の大きさとなるので、放射線検出器１３ａの回転とともに露光を続けることで回転式ラミノグラフィによる解析を実施可能な放射線透過画像を取得することができる。
【００６４】
以上のようにして放射線検出器１３ａを回転移動させるとともに自転回転させて放射線透過画像を取得したら、良否判定部２５ｇは、予め決められた基準に基づいて放射線透過画像に含まれる被検査対象の良否を特定する（ステップＳ４２５）。
【００６５】
直線式ラミノグラフィによる解析は、図１１に示す処理フローに従って実施される。現在の被検査対象に対して実施すべき解析が直線式ラミノグラフィであると判別されたときには、最初に、Ｘ−Ｙステージ１２、検出器回転移動部１３ｂおよび検出器直線移動部１３ｃをそれぞれ駆動して、被検査対象および放射線検出器１３ａを予め設定された初期位置に配置させる（ステップＳ５００）。すなわち、回転移動制御部２５ｅおよび直線移動制御部２５ｆが画像取得機構２３に指示を行い検出器回転移動部１３ｂおよび検出器直線移動部１３ｃをそれぞれ駆動させて放射線検出器１３ａを撮影の初期位置に配置するとともに、ステージ制御部２５ｃがステージ制御機構２２に指示を行いＸ−Ｙステージ１２を駆動して被検査対象を撮影の初期位置に配置する。
【００６６】
次に、被検査対象および放射線検出器１３ａをそれぞれ直線移動させながら放射線透過画像を取得するため、放射線検出器１３ａによる露光を開始し（ステップＳ５０５）、さらに、放射線検出器１３ａと被検査対象とを同期させて直線移動させる（ステップＳ５１０）。すなわち、直線移動制御部２５ｆは、画像取得機構２３に指示を行い、検出器直線移動部１３ｃを駆動して予め決められた速度で放射線検出器１３ａを直線移動させる。このとき、ステージ制御部２５ｃは検査対象データ２８ａを参照して基板上での被検査対象の位置を特定し、直線移動する当該被検査対象を透過する透過放射線が放射線検出器１３ａの検出面の特定の位置に到達するようにステージ制御機構２２に指示を行う。この結果、ステージ制御機構２２はＸ−Ｙステージ１２を移動させ、被検査対象が放射線検出器１３ａの視野中心に位置するように同期を行う。
【００６７】
以上の直線移動を所定の間実行すると、露光を停止する（ステップＳ５１５）。すなわち、検出器直線移動部１３ｃが画像取得機構２３に指示を行って放射線検出器１３ａを停止させ、ステージ制御部２５ｃがステージ制御機構２２に指示を行って被検査対象を停止させ、画像取得部２５ｄが画像取得機構２３に指示を行って放射線透過画像の取得を停止する。以上の処理において画像取得部２５ｄは、画像取得機構２３から逐次転送される放射線透過画像を蓄積し続け、露光が終了した時点での画像を放射線透過画像として取得する（ステップＳ５２０）。取得した画像は、放射線画像データ２８ｃとしてメモリ２８に記録される。
以上のようにして放射線検出器１３ａを直線移動させて放射線透過画像を取得したら、良否判定部２５ｇは、放射線透過画像から蓄積された情報量の大きい被検査対象を抽出し予め決められた基準に基づいて被検査対象の良否を特定する（ステップＳ５２５）。
【００６８】
このように、本実施形態においては、放射線検出器１３ａの自転回転を制御するモジュールを備えるとともに、他の構成は図１に示す構成と同様の構成で実現可能である。ただし、回転式ＣＴによる解析を実施する際に、前記検出器自転回転部１３ｄによる自転回転は行わない。この結果、回転式ＣＴによる解析を実施する際の回転は、上記図６に示す回転と同様の回転となる。
【００６９】
以上のように、放射線検出器１３ａを回転軌道上で回転移動させ、また直線移動させ、さらに自転回転させる構成において、回転式または直線式ＣＴによる各解析と回転式または直線式ラミノグラフィによる各解析とを適宜選択することができる。従って、詳細な検査が不要な被検査対象について過大に時間を費やして検査することはなく、さらに高速に検査を行うことができる。
なお、上記実施形態におけるラミノグラフィ方式用透過画像の撮影では、被検査対象および放射線検出器１３ａの位置制御を実行しながら長時間露光を行って撮影したが、所定の各位置においてそれぞれ短時間露光による撮影を行うようにしてもよい。このようにして撮影した各短時間露光画像を重ね合わせることによっても、ラミノグラフィ方式断層画像を生成することができる。
【００７０】
なお、本発明においては、上述のいずれの実施形態にも限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更した実施形態とすることができる。
【００７１】
また、上述の実施形態においては、放射線検出器１３ａとして、撮影したデータをシリアル出力するフラットパネルセンサを提案したが、これに限定されず、例えば、より高速な検査を必要とする場合には、多数のラインセンサを面状に並列配置した放射線検出器１３ａとし、撮影したデータを各ラインセンサから並列出力するようにして撮影時間を短縮するようにしてもよい。すなわち、被検査対象を透過した透過放射線を放射線検出器にて検出し、透過放射線の強度を検出することができれば良く、種々の構成を採用することが可能である。
【００７２】
また、上述の実施形態においては、被検査対象を平面移動させる手段として、Ｘ−Ｙステージ１２を採用したが、放射線の照射範囲内の所定平面上で被検査対象を移動させることができる限り、この手段は特に限定されない。
【００７３】
また、上述の実施形態においては、放射線検出器１３ａを検出器回転移動部１３ｂにより回転移動させて３６０°方向の放射線透過画像を撮影するようにしたが、これに限定されず、検出器回転移動部１３ｂに換えて、検出器直線移動部１３ｃの直線移動方向に直交する方向にさらに直線移動させる手段を用いるようにしてもよい。このように、放射線検出器１３ａをＸ方向およびＹ方向に自在に平面移動可能な構成にすることにより、例えば、放射線検出器１３ａを多角形の軌跡上を直線移動させて、被検査対象の３６０°方向の放射線透過画像を撮影することができる。また、このＸ−Ｙ軸により、検出器自転回転部１３ｄを備えた放射線検出器１３ａを回転移動させることも可能である。
【００７４】
また、上述の実施形態においては、放射線検査装置１０は、工場内の検査ラインなどにおいて連続的に検査を行うインライン用の放射線検査装置として例示されているが、これに限定されず、試作基板単体の解析あるいは基板の抜き取り検査を行うためのオフライン用の放射線検査装置として用いてもよい。
【００７５】
また、上述の実施形態においては、被検査対象ごとに回転式ＣＴ、直線式ＣＴ、回転式ラミノグラフィ、直線式ラミノグラフィのいずれかにて解析することを、被検査対象に応じて、予め設定するようにしたが、これに限定されず、例えば、被検査対象ごとにどの解析を実施するのかをその都度設定する入力ボタン等のインタフェースを設け、オペレータによって直接的に選択させる構成等を採用してもよい。
【００７６】
また、上述の実施形態においては、被検査対象ごとに回転式ＣＴ、直線式ＣＴ、回転式ラミノグラフィ、直線式ラミノグラフィのいずれか１つの解析方法を実行するようにしたが、これに限定されず、例えば、１つの被検査対象について２以上の解析方法を実施するようにしてもよい。すなわち、簡易な検査で十分な被検査対象に対しては、特定の位置（例えば、放射線発生器１１の直上）に配置した放射線検出器１３ａにて被検査対象を撮影した放射線透過画像や直線式や回転式のラミノグラフィによって簡易な解析を最初に実施して、その良否判定結果に応じて、さらに詳細な解析を実施するようにしてもよい。
【００７７】
また、検出器回転移動部１３ｂは、円形以外にも種々の形状を採用可能であり、矩形や十字形あるいは直線形の部材を回転させる構成であってもよい。さらに、放射線検出器１３ａまたは放射線取得機構１３自体をＺ軸方向に駆動させる上昇／下降機構を設けるようにしてもよい。これにより放射線検出器１３ａに対する過度な放射線照射を防止でき、かつ、被検査対象に応じた最適な撮像条件（放射線管に対する印加電圧、照射時間、撮像倍率等）による撮影が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本実施形態にかかる放射線検査装置の概略ブロック図である。
【図２】放射線取得機構の構造を示す模式図である。
【図３】放射線検査処理のフローチャートである。
【図４】回転式ＣＴ検査処理のフローチャートである。
【図５】直線式ＣＴ検査処理のフローチャートである。
【図６】放射線検出器の位置を示す模式図である。
【図７】放射線検出器の位置を示す模式図である。
【図８】放射線取得機構の構造を示す模式図である。
【図９】回転式ラミノグラフィ検査処理のフローチャートである。
【図１０】放射線検出器の位置および向きを示す模式図である。
【図１１】直線式ラミノグラフィ検査処理のフローチャートである。
【符号の説明】
【００７９】
１０；放射線検査装置、１１；放射線発生器、１２；Ｘ−Ｙステージ、１３；放射線取得機構、１３ａ；放射線検出器、１３ｂ；検出器回転移動部、１３ｃ；検出器直線移動部、１４；搬送装置、２１；放射線制御機構、２２；ステージ制御機構、２３；画像取得機構、２４；搬送機構、２５；ＣＰＵ、２５ａ；搬送制御部、２５ｂ、放射線制御部、２５ｃ、ステージ制御部、２５ｄ；画像取得部、２５ｅ；回転移動制御部、２５ｆ；直線移動制御部、２５ｇ；良否判定部、２６；入力部、２７；出力部、２８；メモリ、２８ａ；検査対象データ、２８ｂ；撮像条件データ、２８ｃ；放射線画像データ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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