(57)【要約】【課題】検出器が振動しても検出感度が変更せず、しかも、空間電荷による収集率の向上を図り安定した検出感度を確保できる放射線検出器を提供する。【解決手段】放射線検出器は、陰極１を兼ね内部にガスが封入された容器１０と、この容器１０内部に軸方向に設けられた陽極を備えた放射線検出器において、陽極は、前記容器１０内部に軸方向に配置されたセラミックス（絶縁物又は半導体）３の外表面に少なくとも１ヶ所設けた導電材料であるメタライズ陽極２ａであることを特徴とする放射線検出器。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極を兼ね内部にガスが封入された容器と、この容器内部に軸方向に設けられた陽極とを備えた放射線検出器において、
前記陽極は、前記容器内部に軸方向に配置された絶縁物又は半導体の外表面に少なくとも１ヶ所設けた導電材料であることを特徴とする放射線検出器。
【請求項２】
前記導電材料は、金属をメタライズして形成されるメタライズ電極からなることを特徴とする請求項１記載の放射線検出器。
【請求項３】
前記メタライズ電極が２系統の電圧を印加できる構成とし、この１系統を陽極として用い他の系統をゲート電極として用いることを特徴とする請求項２記載の放射線検出器。
【請求項４】
前記メタライズ電極にそれぞれ異なる電圧を印加できる構成とし、それぞれの信号が独立に計数できることを特徴とする請求項２記載の放射線検出器。
【請求項５】
前記絶縁物又は半導体を前記陰極の外表面のうち前記メタライズ電極が配置されていない少なくとも一部に凹状の切り欠き部を形成することを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の放射線検出器。
【請求項６】
前記メタライズ電極は前記絶縁物又は半導体の外表面の一部に形成された凹状の切り欠き部へ延伸して形成されてなることを特徴とする請求項５記載の放射線検出器。
【請求項７】
前記導電材料は、金属ワイヤーであることを特徴とする請求項１記載の放射線検出器。
【請求項８】
陰極を兼ね内部にガスが封入された容器と、この容器内部に軸方向に設けられた陽極を備えた放射線検出器において、
前記容器内部に前記陰極方向に突起した少なくとも１ヶ所の突起部を有する金属棒を配置し、この金属棒が前記陽極として使用されてなることを特徴とする放射線検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線により電離したガスの電子、イオンを電極に収集することにより放射線計数を行う放射線検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の放射線検出器は、ガスを封入した容器内に陰極と陽極を持ち、その間に電圧を印加し、放射線により電離したガスの電子、イオンを電極に収集することにより放射線計数を行っている。この陰極は容器と兼ねることも可能である。
【０００３】
陰極・陽極間にかかる電圧により、放射線によるガス電離信号が増幅されない範囲の電圧・電極構成を持つものを電離箱方式といわれ、陽極周辺に高い電場をかけて電子がなだれを起こし信号を増幅させる電圧・電極構成を持つものを比例係数方式といわれている。
【０００４】
図６は、従来の比例計数方式の放射線検出器の概略構成を透視して示す斜視図である。
【０００５】
本図に示すように、容器１０を兼ねた円筒状の陰極１の中心に、細い５０μｍ程度の陽極ワイヤー２が張られている。この陽極ワイヤー２は、端部において絶縁構造を有するセラミック等から作製された板材を介して容器１０に固定されている。この陽極ワイヤー２は、ワイヤー近傍で電界が集中するように細径のものを用いている。また、この容器１０内は密閉されており、例えば、アルゴン（Ａｒ）電離ガスに多少の有機ガスを添加したガスが封入されている。この容器１０内において放射線が電離ガスを電離し、陰極・陽極間にかかる電界により移動する。特に、電子が陽極近傍で電子なだれを起こして、放射線は大きなパルス信号として計数される。
【０００６】
Ｘ線、γ線のように容器１０を透過し、かつガスを電離する放射線については、陰極１として用いられる容器１０にはステンレス鋼が使用されている。この放射線のエネルギーによって電離ガスの種類を変えて検出している。すなわち、低エネルギーのＸ線に対しては、吸収係数の大きい原子番号の大きなガスを用いると効果的である。
【０００７】
一方、中性子はガスを電離しないため、電離ガスに中性子と核反応を起こして荷電粒子を発生するヘリウム（Ｈｅ３）や３フッ化ボロン（ＢＦ３）等のガスを用いるものや、陰極１として用いられる容器１０内にボロン１０（Ｂ１０）やウラン２３５（Ｕ２３５）等を塗布し、そこで荷電粒子に変換して同様の電離作用により検出する構成のものがある。
【０００８】
上述の構成の放射線検出器として、陽極ワイヤー２の温度による伸び縮みを吸収するためにバネで張力を保持している比例計数管が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
また、中性子用検出器として、容器１０を兼ねた陰極１と陽極ワイヤー２の間に中性子有感物質を有する円筒形の中間電極から構成され、陽極付近で電子なだれを起こす比例計数管が知られている（例えば、特許文献２参照）。さらに、複数の陽極を容器内に設置した構成としている比例計数管が知られている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平０７−１６９４３８号公報
【特許文献２】特開２００２−１８１９４８号公報
【特許文献３】特開２００２−１４１７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
この種の放射線検出器は、ガスを封入した容器内に陰極と陽極を持ち、その間に電圧を印加し、放射線により電離したガス、イオンを電極に収集することにより放射線計数を行っている。特に、陽極周辺に高い電場をかけて電子がなだれを起こし信号を増幅させる電圧・電極構成を持つ放射線検出器は比例係数方式といわれている。
【００１１】
しかし、この比例係数方式の放射線検出器においては、陽極が細い金属ワイヤーで作製されるために、検出器が振動したときにワイヤーが共振して電界が乱れて感度が変動したり、ワイヤー自身が切断してしまう点に課題があった。
【００１２】
また、従来の比例係数方式の陽極ワイヤー２においては、１本の陽極ワイヤー２の付近に容器１０内で発生した全電子が収集される。このために、陽極近傍で発生する電子なだれによる陽イオンは、電子より易動度が遅いため陽極ワイヤー２の付近で滞留し、電子の移動を妨げるという課題があった。この対策として、陽極ワイヤー２を複数本設置することによりこの現象を緩和している。
【００１３】
しかし、この放射線検出器のサイズを大きくせずに陽極を複数配置するには、陽極ワイヤー２間の距離を小さくしてかつ距離を維持しなければ電界が乱れて安定した検出感度を確保できないという課題があった。すなわち、空間電荷による計数効率悪化を改善するために、陽極ワイヤー２を複数本設置して、陽極ワイヤー２の間の距離を小さくする必要があり、この結果として、振動や共振等による電界の乱れが発生し、安定して検出できないという課題があった。
【００１４】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、検出器が振動しても検出感度が変動せず、しかも、空間電荷による収集率の向上を図り安定した検出感度を確保できる放射線検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明は、陰極を兼ね内部にガスが封入された容器と、この容器内部に軸方向に設けられた陽極とを備えた放射線検出器において、前記陽極は、前記容器内部に軸方向に配置された絶縁物又は半導体の外表面に少なくとも１ヶ所設けた導電材料であることを特徴とするものである。
【００１６】
また、上記目的を達成するため、本発明は、陰極を兼ね内部にガスが封入された容器と、この容器内部に軸方向に設けられた陽極を備えた放射線検出器において、前記容器内部に前記陰極方向に突起した少なくとも１ヶ所の突起部を有する金属棒を配置し、この金属棒が前記陽極として使用されてなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の放射線検出器によれば、検出器が振動しても安定した検出感度を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る放射線検出器の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、同一又は類似の部分には共通の符号を付すことにより、重複説明を省略する。
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の構成を示す説明図で、（ａ）はそれを切断して示す正面図、（ｂ）は透視して示す斜視図、（ｃ）はその金属金具及びその周辺部の構造を示す断面図である。
【００２０】
まず、放射線検出器の一例として、Ｘ線源を用いた比例計数方式の放射線検出器の構成について、図１を用いて説明する。
【００２１】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ガスを封入した陰極及び陽極を備えた放射線検出器において、絶縁物又は半導体の外表面に導電材料を設ける一例として、絶縁物又は半導体の外表面の少なくとも１ヶ所以上にわたり金属をメタライズし、この金属の部分が陽極として使用されている。
【００２２】
メタライズ（Ｍｅｔａｌｌｉｚｉｎｇ）とは、半導体基板から電流・電気信号を取り出すために、基板表面にアルミニウムや銅等の金属の薄膜を成長させ、配線を形成することである。薄膜の形成手法として、ＰＶＤ(Ｐｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：物理蒸着法)やＣＶＤ(Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学蒸着法)等が用いられる。
【００２３】
すなわち、容器１０を兼ねた陰極１内において、一例として、絶縁機能を有する棒状のセラミックス３の外表面に、１００μｍ以下の幅でメタライズしたメタライズ陽極２ａが容器１０の中心軸に設けられて構成されている。
【００２４】
原子炉計装用として使用される中性子検出器においては、陰極１に、ボロン１０（Ｂ１０）やウラン２３５（Ｕ２３５）等の中性子有感材をコーティングし、電離ガスはアルゴン（Ａｒ）等の不活性ガスに二酸化炭素（ＣＯ２）やメタン（ＣＨ４）等の有機ガスが添加されているものを用いる。また、この中性子有感材は陰極にコーティングするのではなく、ガスに含ませてもよく、電離ガスにヘリウム（Ｈｅ３）や３フッ化ボロン（ＢＦ３）等を用いてもよい。Ｘ線やγ線を検出する場合は、アルゴン（Ａｒ）、ネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）等に二酸化炭素（ＣＯ２）やメタン（ＣＨ４）等の有機ガスが添加されているものを用いる。
【００２５】
上記セラミックス３は棒状に限らず、細いメタライズ電極部を持つ板状セラミックスでもよい。また、高放射線場や温度変化が小さい環境であれば、セラミックスでなくても絶縁機能を持つテフロン（登録商標）等の樹脂系を用いることもできる。絶縁物上のチャージアップを防ぐために、表面に電気抵抗の高い膜を形成したり、絶縁物の代わりに半導体を用いることもできる。また、電極の金属材料と絶縁材又は半導体は、熱膨張率が近似しているものを用いる。
【００２６】
次に、図１（ｃ）に示すように、このセラミックス３とメタライズ陽極２ａの保持方法として、例えば、バネを用いて熱膨張による伸縮分を吸収する構造を採用する。ここでは、電圧を印加する側の端部をバネ４入りの金属金具５で保持し、メタライズ陽極２ａとの電気的接触もバネ４を介して接続する構成とする。メタライズ陽極２ａへの電圧印加のために、陰極１を兼ねる容器１０と絶縁破壊を発生させないように絶縁物９を介して支持する構成とする。また、容器１０は、ガスを封入して密閉を保つ構造とする。
【００２７】
このように構成された本実施の形態において、セラミックス３と容器１０とをロウ付けし、容器１０から絶縁された金属金具５を介してメタライズ陽極２ａに電圧を印加している。また、真空用導入端子等を用いて密閉を保持した状態で、電圧を印加することもできる。また、メタライズ陽極２ａの両端のうち電圧を印加しない側は、メタライズ陽極２ａを陰極である容器１０に固定したバネ入りの金属金具５との絶縁距離が確保できるまでの部分とし、上述のような金属金具５を用いて保持する構成としている。
【００２８】
本実施の形態によれば、絶縁物又は半導体に少なくとも１ヶ所以上において金属を細密にメタライズしてこの金属部分をメタライズ陽極２ａとして用いることにより、陽極の振動や共振を抑えることができ、検出器が振動しても検出感度が変更せず、しかも、電界集中効果を維持して安定した検出感度を確保することができる。
【００２９】
図２は、本発明の第２の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の構成を示す説明図で、（ａ）はそれを切断して示す正面図、（ｂ）は透視して示す斜視図、（ｃ）はその金属金具及びその周辺部の構造を示す断面図である。本図は、図１の放射線検出器のメタライズ陽極２ａの代りにワイヤー陽極２ｂを設けたものであり、図１と同一又は類似の部分には共通の符号を付すことにより、重複説明を省略する。
【００３０】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、ガスを封入し陰極及び陽極を備えた放射線検出器において、絶縁物又は半導体の外表面の少なくとも１ヶ所以上にわたり金属ワイヤーを配置し、この金属ワイヤーがワイヤー陽極２ｂとして使用されている。すなわち、容器１０を兼ねた陰極１内において、一例として、絶縁機能を有する棒状のセラミックス３の外表面に、１００μｍ以下の直径のワイヤーにテンションをかけて作製したワイヤー陽極２ｂが容器１０の中心軸に沿って配置されている。
【００３１】
この陰極１は、原子炉計装用の中性子検出器としては、ボロン１０やウラン２３５等の中性子有感材をコーティングし、電離ガスはアルゴン等の不活性ガスに二酸化炭素やメタン等の有機ガスが添加されているものが用いられる。また、この中性子有感材は、陰極にコーティングする代りにガスに含ませてもよく、電離ガスにＨｅ３やＢＦ３等を用いてもよい。Ｘ線やγ線を検出するときは、アルゴン、ネオン、キセノン等に二酸化炭素やメタン等の有機ガスが添加されているものを用いる。
【００３２】
上記セラミックス３は棒状に限定されず、細いワイヤーを沿わせた電極部を持つ板状セラミックスでもよい。高放射線場や温度変化が小さい環境であれば、セラミックスの代わりに絶縁機能を持つテフロン（登録商標）等の樹脂系を用いることもできる。絶縁物のチャージアップを防止するために、表面に電気抵抗の高い膜を設けたり、絶縁物の代わりに半導体を用いることもできる。また、電極の金属材料と絶縁材又は半導体とは熱膨張率が近いものを用いる。
【００３３】
次に、図２（ｃ）に示すように、セラミックス３とワイヤー陽極２ｂとは、例えば、バネ４を用いて、熱膨張による伸縮分を吸収しながら保持される。ここでは、セラミックス３の外表面の一部に切り欠き３ａを設け、この切り欠き３ａにワイヤー陽極２ｂを敷設して固定する構成が採用されている。固定方法としては、例えば、金属キャップにボンディングする等の方法がある。また、このセラミックスの切り欠き３ａの長さは、金属金具５との絶縁距離を考慮して決定される。
【００３４】
このように構成された本実施の形態において、セラミックス３と容器１０とをロウ付けし、容器１０から絶縁された金属金具５を介してワイヤー陽極２ｂに電圧を印加している。
【００３５】
本実施の形態によれば、絶縁物又は半導体の外表面の少なくとも１ヶ所以上にわたり金属ワイヤーを張って配置し、この金属ワイヤーをワイヤー陽極２ｂとして用いることにより、陽極の振動や共振を抑えることができ、検出器が振動しても検出感度が変動せず、しかも、電界集中効果を維持して安定した検出感度を確保することができる。
【００３６】
図３は、本発明の第３の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の構成を示す説明図で、（ａ）はそれを切断して示す正面図、（ｂ）は透視して示す斜視図である。本図は、図１の放射線検出器のメタライズ陽極２ａの代りに金属陽極６を設けたものであり、図１と同一又は類似の部分には共通の符号を付すことにより、重複説明を省略する。
【００３７】
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、ガスを封入し陰極及び陽極を備えた放射線検出器において、陰極方向に突起した突起部として、１ヶ所以上の突起又はナイフエッジを有する太い棒状の金属陽極６を配置し、この金属棒が陽極として使用されている。すなわち、陰極１を兼ねた容器１０内の中心軸において、一例として、先端が１００μｍ以下の突起部６ａを持つ棒状の金属陽極６を設けて構成されている。この金属陽極６は、棒状に限定されず突起部を持つ板状金属でもよい。
【００３８】
この金属陽極６は、絶縁破壊を起こさない距離を絶縁物で確保して容器１０に保持される。例えば、図１に示すように、電圧を印加しない側には、セラミックス等の絶縁物９を金属陽極６と金属金具５との間に設け、又は金属金具５と陰極１との間に設ける構成としている。
【００３９】
この陰極１は、原子炉計装用の中性子検出器としては、ボロン１０やウラン２３５等の中性子有感材をコーティングし、電離ガスはアルゴン等の不活性ガスに二酸化炭素やメタン等の有機ガスが添加されているものが用いられる。
【００４０】
本実施の形態によれば、太い棒状の金属陽極６を用いることにより、陽極の振動や共振を抑えることができ、検出器が振動しても検出感度が変動せず、しかも、電界集中効果を維持して安定した検出感度を確保することができる。
【００４１】
図４は、本発明の第４の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の陽極の構成を示す断面図である。本図は、図１の放射線検出器のメタライズ陽極２ａの代りにメタライズ電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄを設けたものであり、図１と同一又は類似の部分には共通の符号を付すことにより、重複説明を省略する。
【００４２】
図４に示すように、ガスを封入し陰極及び陽極を備えた放射線検出器において、絶縁物の外表面上に複数の電極を配置し、この電極が陽極として使用されている。すなわち、容器１０を兼ねた陰極１内において、一例として、棒状のセラミックス３の外表面上に複数のメタライズされたメタライズ電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄが配置されて構成されている。
【００４３】
このように構成された本実施の形態において、電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄに同じ電圧をかけ、すべて陽極として使用している。このセラミックス３の外表面上に複数本の陽極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄを設けることにより、陽極間の一定距離を確保でき、振動に対する電界のゆがみを抑制することが可能となる。
【００４４】
また、陽極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄを複数設けることにより、収集される電子が各陽極に分散されるために、陽極近傍で発生する陽イオンが各陽極に分散し、空間電荷効果による収集率悪化を改善することが可能となる。
【００４５】
また、陰極面に対してセラミックス３で遮蔽される領域がなくなるため、セラミックス３に当たる電子を低減し、セラミックス３のチャージアップを低減することが可能となる。
【００４６】
さらに、メタライズ電極７ａ〜ｄについては陰極に対して「＋」の電圧を印加して陽極として用い、メタライズ電極８ａ〜ｄについては陽極に対して「−」の電圧をかけゲート電極として機能させることも可能である。陽極としてのメタライズ電極７ａ〜ｄの付近にゲート電極としてのメタライズ電極８ａ〜ｄを設置することにより、陽極近傍で発生する陽イオンをゲート電極としてのメタライズ電極８ａ〜ｄに移動させて分散し、空間電荷効果による収集率悪化を改善することが可能となる。さらに、ゲートとしてのメタライズ電極８ａ〜ｄの電界を変えることにより、増幅率を調整することも可能である。
【００４７】
さらに、メタライズ電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄに、それぞれ独立で電界をかけられる構成とすることも可能である。このように、それぞれの機能を陽極にもゲート電極にも持たせるように構成することも可能である。
【００４８】
このように構成することにより、陽極におけるの電子集中度をコントロールできると共に、各電極から独立に信号を読み出すことが可能になるために、どの方向で発生した放射線信号かを判別することが可能となる。かくして、放射線による信号の発生方向の情報を得ることが可能となる。
【００４９】
また、これらのメタライズ電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄは、セラミックス３の外表面にテンションをかけて中心軸に沿ってワイヤーを配置することにより構成することも可能である。
【００５０】
また、これらメタライズ電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄは、セラミックス３は棒状に限らず、細いメタライズ電極部を持つ板状セラミックスでもよい。高放射線場や温度変化が小さい環境であれば、セラミックスでなくても絶縁機能を持つテフロン（登録商標）等の樹脂系を用いることもできる。なお、電極の金属材料と絶縁材とは熱膨張率が近いものを用いる。
【００５１】
本実施の形態によれば、セラミックス３の外表面上に複数本のメタライズ電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄを設けることにより、陽極の振動や共振を抑えることができ、検出器が振動しても検出感度が変動せず、しかも、電界集中効果を維持して安定した検出感度を確保することができる。さらに、小型で安定な電界が得られ、セラミックスのチャージアップを低減し、計数効率を向上させることが可能となり、かつ電界集中効果を維持でき、比例係数方式における放射線検出が可能となる。
【００５２】
また、複数の陽極金属部に異なる電圧をかけることが可能な構成とすることにより、陽極近傍で発生する陽イオンをゲート電極に移動させて分散し、空間電荷効果による収集率悪化を改善することが可能となる。
【００５３】
図５は、本発明の第５の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の陽極の構成を示す説明図で、（ａ）はその断面図、（ｂ）はその一部を拡大して示す断面図、（ｃ）はその変形例の一部を拡大して示す断面図である。本図は、図４の放射線検出器のセラミックス３の代りにセラミックス３１を設けたものであり、図１と同一又は類似の部分には共通の符号を付すことにより、重複説明を省略する。
【００５４】
図５（ａ）、（ｂ）に示すように、ガスを封入し陰極及び陽極を備えた放射線検出器において、絶縁物又は半導体の外表面上に複数の電極を配置し、この電極が陽極として使用されている。容器１０を兼ねた陰極１内において、一例として、棒状のセラミックス３１の外表面上に複数のメタライズされたメタライズ電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄが配置されて構成されている。さらに、このメタライズ電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄが配置されていないセラミックス３１に対して凹状の切り欠き部１１が形成されて構成されている。
【００５５】
すなわち、棒状セラミックスにおいて、電極部分以外のセラミックスを凹状に加工したセラミックス３１と、複数のメタライズされた電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄから構成されている。この電極７ａ〜ｄ、８ａ〜ｄは、同じ電界をかけることも、異なる電界をかけることも可能である。また、この凹状の切り欠き部１１はクサビ状だけでなく、振動や保持に対してセラミックスの強度が保てる形状であれば円弧や四角の凹形状に加工することも可能である。
【００５６】
本実施の形態によれば、電極部分以外のセラミックス３１の外表面に切り欠き部１１を設けることにより、電極間の絶縁物又は半導体の沿面距離を延長でき耐電圧を上昇でき、それぞれの電極部にかけられる電圧差を大きくすることができる。このために、耐電圧が上がり、それぞれの電極部にかけられる電圧差を大きくすることができ、計測条件に余裕を持たせることが可能となる。
【００５７】
すなわち、電極部分以外のセラミックスの外表面に切り欠き部１１を設けることにより、小型で安定な電界が得られ、セラミックスのチャージアップを低減し、計数効率を向上させることが可能となる。かくして、陽極の振動や共振を抑制し、なおかつ電界集中効果を維持して比例係数方式における放射線検出を可能としている。
【００５８】
また、図５（ｃ）に示すように、電極７、８のメタライズ部分を、凹状の切り欠き部１１へ延伸させて形成することにより、セラミックス３１に衝突する電子を減少させ、セラミックス３１のチャージアップを防止すると共に、計数率を向上させることができる。
【００５９】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は、上述したような各実施の形態に何ら限定されるものではなく、各実施の形態の構成を組み合わせて、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第１の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の構成を示す説明図で、（ａ）はそれを切断して示す正面図、（ｂ）は透視して示す斜視図、（ｃ）はその金属金具及びその周辺部の構造を示す断面図。
【図２】本発明の第２の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の構成を示す説明図で、（ａ）はそれを切断して示す正面図、（ｂ）は透視して示す斜視図、（ｃ）はその金属金具及びその周辺部の構造を示す断面図。
【図３】本発明の第３の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の構成を示す説明図で、（ａ）はそれを切断して示す正面図、（ｂ）は透視して示す斜視図。
【図４】本発明の第４の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の陽極の構成を示す断面図。
【図５】本発明の第５の実施の形態の比例計数方式の放射線検出器の陽極の構成を示す説明図で、（ａ）はその断面図、（ｂ）はその一部を拡大して示す断面図、（ｃ）はその変形例の一部を拡大して示す断面図。
【図６】従来の比例計数方式の放射線検出器の概略構成を透視して示す斜視図。
【符号の説明】
【００６１】
１…陰極、２…陽極ワイヤー、２ａ…メタライズ陽極、２ｂ…ワイヤー陽極、３…セラミックス、３ａ…切り欠き、４…バネ、５…金属金具、６…金属陽極、６ａ…突起部、７，７ａ〜ｄ…メタライズ電極、８，８ａ〜ｄ…メタライズ電極、９…絶縁物、１０…容器、１１…切り欠き部、３１…セラミックス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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