(57)【要約】【課題】冷凍機の冷却性能を長期間にわたって安定化させることが可能な磁気回路を提供する。【解決手段】作動流体を圧縮する圧縮機１０と作動流体を膨張させて冷凍作用を生じさせるコールドヘッド２０とを備えた冷凍機１の磁気回路４０であって、円筒形状のヨーク部４１と、ヨーク部４１の内周面に配置され中心軸Ｘ１方向に延在する磁石部４２と、磁石部４２をヨーク部４１と挟持するスリーブ４３と、中心軸Ｘ１方向と平行に往復動するコイル４４と、磁石部４２の中心軸Ｘ１方向の動作を制動する抜け止め部材４５とを備えている。磁気回路４０では、磁石部４２の一端が段差部４１ａに、他端が抜け止め部材４５に当接され、この抜け止め部材４５がヨーク部４１の一端にネジ４６によって固定されている。これにより、接着剤を使わずに磁石部４２をヨーク部４１に固定させることができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピストンを動作させて作動流体を圧縮する圧縮部と、前記圧縮部で圧縮された前記作動流体が流入されると共に前記作動流体を膨張させて冷凍作用を生じさせる冷凍部とを備えた冷凍機における磁気回路であって、
前記圧縮部および前記冷凍部の少なくとも一方の内部に固定して配置される筒状のヨーク部と、
前記ヨーク部の内周面および外周面のいずれか１つの周面に密接して配置されると共に、前記ヨーク部の軸方向に延在し且つ断面がリング形状を有する磁石部と、
前記磁石部の表面である周面に密接して配置され、前記磁石部を前記ヨークと共に挟持する筒状のスリーブと、
前記スリーブの表面である周面に沿って前記軸方向に往復動するコイルと、
前記磁石部の前記軸方向における動作を制動する抜け止め部材と、
を備えたことを特徴とする磁気回路。
【請求項２】
前記磁石部の一端が前記ヨークの前記周面に設けられた段差部に当接されると共に前記磁石部の他端が前記抜け止め部材に当接され、前記抜け止め部材は、前記段差部とは前記軸方向における反対側に位置する前記ヨーク部の一端に固定部材によって固定されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気回路。
【請求項３】
前記スリーブと前記抜け止め部材とが一体形成されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気回路。
【請求項４】
前記抜け止め部材はリング形状を有しており、
前記抜け止め部材には、前記磁石部との当接箇所にガス抜き孔が形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の磁気回路。
【請求項５】
前記固定部材はネジであって、
前記抜け止め部材は、前記ヨーク部の一端にネジ止めされていることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の磁気回路。
【請求項６】
前記抜け止め部材及び前記ヨーク部の少なくとも一方には、ネジ止め用のネジ孔内の残留ガスを排出させるためのガス抜き孔が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気回路。
【請求項７】
前記ヨーク部の内側に同軸状に配置されると共に前記コイルの進入口と反対側に形成された連結部によって前記ヨーク部と端部同士が連結される筒状のシリンダ部を備え、
前記磁石部は前記ヨーク部の前記内周面に密接して配置されており、前記磁石部の前記表面に配置された前記スリーブの内周面と前記シリンダ部の外周面とによって前記コイルが往復動する空間を画定し、
前記スリーブの前記連結部側の一端には、前記シリンダの外周面まで突出する突部が形成されていることを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項に記載の磁気回路。
【請求項８】
前記連結部には、裏面まで貫通する貫通孔が形成されており、
前記スリーブの前記突部は、前記貫通孔に対応した箇所に切欠部を有することを特徴とする請求項７に記載の磁気回路。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の磁気回路を有し、前記磁気回路によって前記コイルと同軸状に配置された前記ピストンを前記軸方向に移動させて前記作動流体を圧縮する前記圧縮部と、
前記圧縮部で圧縮された前記作動流体が前記圧縮部から流入されると共に前記作動流体を膨張させて冷凍作用を生じさせる前記冷凍部とを備えた冷凍機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極低温を生じさせるための冷凍機における磁気回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
極低温を生じさせるための冷凍機として、スターリング冷凍機（例えば特許文献１）がある。このスターリング冷凍機は、作動流体を圧縮する圧縮機と、圧縮された作動流体が流入された後にこの作動流体を膨張させて冷凍作用を生じさせるコールドヘッドと、これらを繋ぐ案内流路とを備えている。圧縮機は、中心軸Ｘに沿って往復動可能な一対のピストンと、この一対のピストンを収容する固定シリンダとを備えている。
【０００３】
このような冷凍機には、図６に示すように、固定シリンダ部６０の外周に配置された円筒形状のヨーク部６１と、ヨーク部６１の内周面Ｓ（特許文献１ではヨーク部の外周面）に接着剤Ｇによって接着固定される断面リング状の磁石部６２と、磁石部６２の内周面に沿って中心軸Ｘと平行な方向に往復動するコイル６３とを含む磁気回路６４が設けられている。そして、この磁気回路６４に通電することによりコイル６３が移動し、コイル６３に連結されたピストン６５を中心軸Ｘに沿って往復動させ、作動流体の圧縮を行なっている。このような磁気回路は、例えばヘリウムガスといった作動流体中に配置されている。
【特許文献１】特開平０９−０８９４００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の冷凍機における磁気回路では、磁石部はヨーク部に対して接着剤で接着されていた。このため、磁気回路の接着剤に元々含まれている揮発性成分及び接着作業時の混入エアー等が時間の経過と共に徐々にアウトガスとして噴出し、流体流路又はピストン摺動面等に付着固化し、冷凍機の作動に影響を与えてしまうおそれがあった。その結果、冷却性能の低下を招いてしまうおそれがあった。
【０００５】
本発明は、上記した事情に鑑みて為されたものであり、冷凍機の冷凍性能を長期間にわたって安定化させることが可能な磁気回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る磁気回路は、ピストンを動作させて作動流体を圧縮する圧縮部と、圧縮部で圧縮された作動流体が流入されると共に作動流体を膨張させて冷凍作用を生じさせる冷凍部とを備えた冷凍機における磁気回路である。この磁気回路は、圧縮部および冷凍部の少なくとも一方の内部に固定して配置される筒状のヨーク部と、ヨーク部の内周面および外周面のいずれか１つの周面に密接して配置されると共に、ヨーク部の軸方向に延在し且つ断面がリング形状を有する磁石部と、磁石部の表面である周面に密接して配置され、磁石部をヨークと共に挟持する筒状のスリーブと、スリーブの表面である周面に沿って軸方向に往復動するコイルと、磁石部の軸方向における動作を制動する抜け止め部材とを備えたことを特徴としている。
【０００７】
この磁気回路では、磁石部がヨーク部に接着剤で接着固定されているのではなく、抜け止め部材によって磁石部の動作が制動されている。これにより、接着剤を起因とするアウドガスを防止するようにしている。この結果、冷凍機の冷却性能を長期間にわたって安定化させることができる。なお、ここで、「断面がリング刑状」を有する磁石部とは、断面がリング状である１つの磁石だけではなく、断面が円弧状に形成された複数の磁石によって全体として略リング状の断面を形成することができる磁石部を含み、磁気回路が所定の性能を満たすかぎりは円弧状の磁石の一部が欠けていてもよい。
【０００８】
また、磁石部の一端がヨークの周面に設けられた段差部に当接されると共に磁石部の他端が抜け止め部材に当接され、抜け止め部材は、段差部とは軸方向における反対側に位置するヨーク部の一端に固定部材によって固定されていることが好ましい。これにより、ヨーク部と抜け止め部材とを固定部材で固定するといった簡易な固定手段で、磁石部をヨーク部に固定させることができる。
【０００９】
また、スリーブと抜け止め部材とが一体形成されていることが好ましい。これにより、部品点数をそれほど増加させずに、磁石部をヨーク部に固定させることができる。
【００１０】
抜け止め部材はリング形状を有しており、抜け止め部材には、磁石部との当接箇所にガス抜き孔が形成されていることが好ましい。これにより、磁石部とスリーブとの間などに残留するガスを磁気回路の製造時点において容易に排出させることができ、このような残留ガスによる冷凍能力の劣化を防止することができる。この結果、冷凍機の冷却性能を更に長期間にわたって安定化させることができる。
【００１１】
固定部材はネジであって、抜け止め部材は、ヨーク部の一端にネジ止めされていることが好ましい。この場合、簡易な構成で抜け止め部をヨーク部に固定させて、磁石部をヨーク部に固定させることができる。
【００１２】
抜け止め部材及びヨーク部の少なくとも一方には、ネジ止め用のネジ孔内の残留ガスを排出させるためのガス抜き孔が形成されていることが好ましい。これにより、ネジで抜け止め部をヨーク部に固定させる際に必要とされるネジ孔の残留ガスを磁気回路の製造時点において容易に排出させることができ、ネジ孔の残留ガスによる冷凍能力の劣化を防止することができる。この結果、冷凍機の冷却性能を一層長期間にわたって安定化させることができる。
【００１３】
本発明に係る磁気回路は、ヨーク部の内側に同軸状に配置されると共にコイルの進入口と反対側に形成された連結部によってヨーク部と端部同士が連結される筒状のシリンダ部を備え、磁石部はヨーク部の内周面に密接して配置されており、磁石部の表面に配置されたスリーブの内周面とシリンダ部の外周面とによってコイルが往復動する空間を画定し、スリーブの連結部側の一端には、シリンダの外周面まで突出する突部が形成されていることが好ましい。このようにすれば、コイルの挿入スペースを所定値以上に容易に保つことができる。この結果、コイルの挿脱を長期間にわたって安定的に行わせることができる。
【００１４】
連結部には、裏面まで貫通する貫通孔が形成されており、スリーブの突部は、貫通孔に対応した箇所に切欠部を有することが更に好ましい。このようにすれば、コイルが挿入されることによって圧縮されたガスが容易に外部に排出されるため、コイルの動作を更に安定化させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、冷凍機の冷却性能を長期間にわたって安定化させることが可能な磁気回路を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１７】
図１は、本実施形態に係る冷凍機の全体構成を示す断面図である。この冷凍機１は、スターリングサイクルを利用したスターリング冷凍機であり、圧縮機（圧縮部）１０と、コールドヘッド（冷凍部）２０と、これらを接続する案内流路３０とを備えている。
【００１８】
図１に示すように、圧縮機１０は、第１及び第２のピストン１１，１２でヘリウムガスといった作動流体を圧縮させるものであり、圧縮機１０で圧縮された作動流体は案内流路３０を通ってコールドヘッド２０へ送られる。この圧縮機１０は、基準となる中心軸Ｘ１方向に沿って延びる第１のピストン１１と、中心軸Ｘ１方向に沿って延び第１のピストン１１と対向して設けられる第２のピストン１２と、第１のピストン１１を収容して第１の圧縮空間Ｓ１を形成する第１のシリンダ部１３と、第２のピストン１２を収容して第２の圧縮空間Ｓ２を形成する第２のシリンダ部１４と、第１のピストン１１を中心軸Ｘ１方向に沿って往復動させるための磁気回路４０と、第２のピストン１２を中心軸Ｘ１方向に沿って往復動させるための磁気回路５０とを備えている。
【００１９】
コールドヘッド２０は、作動ロッド２１を介して第１及び第２のディスプレーサ２２，２３を第１及び第２のシリンダ部２４，２５内で往復動させて圧縮された作動流体を膨張させることにより冷凍作用を生じさせる多段式のコールドヘッドである。このコールドヘッド２０は、第１のディスプレーサ２２と第２のディスプレーサ２３とを中心軸Ｘ２方向に往復動させる作動ロッド２１と、作動ロッド２１に連結されると共に中心軸Ｘ２方向に沿って延びる第１のディスプレーサ２２と、第１のディスプレーサ２２に連結されると共に中心軸Ｘ２方向に沿って延びる第２のディスプレーサ２３と、第１のディスプレーサ２２を収容して第１の膨張空間Ｓ３を形成する第１のシリンダ部２４と、第２のディスプレーサ２３を収容して第２の膨張空間Ｓ４を形成する第２のシリンダ部２５と、作動ロッド２１を中心軸Ｘ２方向に駆動させるための磁気回路２６を有する駆動部２７と、駆動部２７と対をなし、駆動部２７による振動を磁気回路２８による駆動で抑制させる振動抑制部２９とを備えている。
【００２０】
このような構成を有する冷凍機１では、磁気回路４０を駆動させることにより、第１のピストン１１が作動流体を圧縮する方向である中央側に移動し、圧縮機１０の圧縮空間Ｓ１内の作動流体を圧縮させる。同様に磁気回路５０を駆動させることにより、第２のピストン１２を中央側に移動し、圧縮機１０の圧縮空間Ｓ２内で作動流体を圧縮させる。圧縮空間Ｓ１，Ｓ２で圧縮された作動流体は所定のタイミングで案内流路３０を介してコールドヘッド２０の膨張空間Ｓ３，Ｓ４に送られる。そして、膨張空間Ｓ３，Ｓ４が膨張するように、第１及び第２のディスプレーサ２２，２３を駆動部２７側に作動ロッド２１で駆動させる。膨張空間Ｓ３，Ｓ４における作動流体の膨張により、コールドヘッド２０で冷凍作用が生じる。その後、膨張した作動流体は、案内流路３０を介して、圧縮機１０に戻される。
【００２１】
ここで、第１及び第２のピストン１１，１２を所定量移動させる磁気回路４０，５０について図２〜図５に基づいて説明する。図２は、本実施形態に係る磁気回路の断面図であり、図３は、図２におけるIII-III線断面図であり、図４は、図２におけるIV-IV線断面図であり、図５は、図２における概略側面図である。なお、磁気回路４０，５０は、所定濃度のヘリウムガス中に配置されている。
【００２２】
磁気回路４０は、図２〜図５に示すように、円筒形状を有するヨーク部４１と、ヨーク部４１の内周面に密接して配置される断面円弧状の複数の磁石４２ａ，・・・からなる断面リング形状の磁石部４２と、ヨーク部４１の内周面に対して磁石部４２を径方向に挟持させる円筒形状のスリーブ４３と、中心軸Ｘ１と平行な方向にスリーブ４３の内周面に沿って往復動するコイル４４と、磁石部４２の中心軸Ｘ１方向の動作を制動するリング状の抜け止め部材４５と、抜け止め部材４５をヨーク部４１の一端に固定させるネジ（固定部）４６，４６，４６とを備えている。本実施形態では、スリーブ４３と抜け止め部材４５とは一体形成されており、スリーブ一体型抜け止め部材４７を構成している。なお、ヨーク部４１と磁石部４２とスリーブ一体型抜け止め部材４７とコイル４４とは、中心軸Ｘ１を中心として同軸状になるように配置される。
【００２３】
ヨーク部４１は、円筒形状を有し、磁石部４２の端面の一部を係止させるための段差部４１ａがその内周面に形成されている。段差部４１ａと中心軸Ｘ１方向における反対側に位置するヨーク部４１の一端には、ネジ４６をネジ止めするためのネジ孔４１ｂ，４１ｂ，４１ｂが周方向に均等間隔となるよう１２０°間隔で３箇所形成されている。また、ネジ孔４１ｂ内の残留ガスを抜き出すためのガス抜き孔４１ｃが、ヨーク部４１の外周面からネジ孔４１ｂにかけて形成されている。このような構成を有するヨーク部４１は、その他端が連結部４８によって第１のシリンダ部１３と連結されて一体化され、本体部４９を形成している。この一体化された本体部４９は、圧延鋼材（ＳＳ材）やセメンジュールなどから構成される。
【００２４】
なお、本体部４９を構成するヨーク部４１に磁石部４２を挟持させるスリーブ４３の内周面と、本体部４９を構成する第１のシリンダ部１３の外周面との間には空間Ｓ５が形成されている。空間Ｓ５には、図２に示すようにコイル４４が中心軸Ｘ１と平行な方向に往復動可能な状態で進入できるようになっている。そして、連結部４８には、図２及び図４に示すように、空間Ｓ５から連なる貫通孔４８ａ，・・・が形成されており、コイル４４が空間Ｓ５内に進入してきた際に、進入方向前方で圧縮されるガスが外部に排出される。
【００２５】
磁石部４２を構成する複数の磁石４２ａ，・・・は、それぞれの断面は円弧状であって、中心軸Ｘ１方向に延在した円弧片から構成されており、全体でリング状を形成するようになっている。このような形状を有する各磁石４２ａは、その表面全体が窒化チタンコーティングされており、磁石４２ａの内部に含有されている粒子やガスが外部に放出されにくくなっている。このような磁石４２ａ，・・・は、その連結部４８側の一端がヨーク部４１の内周面に設けられた段差部４１ａに端面の一部が引っかかるように当接させられている。一方、磁石４２ａ，・・・の他端は、抜け止め部材４５の裏面に、端面全体が当接させられている。その結果、磁石部４２を構成する各磁石４２ａ，・・・は、段差部４１ａと抜け止め部材４５とによって挟持されており、中心軸Ｘ１方向の移動が制動される。また、磁石部４２を構成する各磁石４２ａ，・・・は、ヨーク部４１とスリーブ４３とによっても挟持されており、磁石部４２は、中心軸Ｘ１の中心に向かう径方向の移動が制動される。このような２つの方向における制動により、磁石部４２は、ヨーク部４１と略一体となるようにヨーク部４１に固定される。
【００２６】
スリーブ４３と抜け止め部材４５とからなるスリーブ一体型抜け止め部材４７は、全体がステンレスから構成されている。抜け止め部材４５には、図５に示すように、周方向に均等間隔となるよう１２０°間隔で３箇所のネジ４６用の貫通孔４５ａ，４５ａ，４５ａが形成されている。ネジ４６は、この貫通孔４５ａを通してヨーク部４１の端面に形成されたネジ孔４１ｂにネジ止めされている。また、抜け止め部材４５には、磁石部４２が当接する裏面の箇所まで貫通する複数のガス抜き孔４５ｂ，・・・が形成されている。更に、図２に示すように、抜け止め部材４５には、ネジ用の貫通孔４５ａに対して側面から貫通するガス抜き孔４５ｃ，４５ｃ，４５ｃが形成されている。
【００２７】
スリーブ４３の連結部４８側の一端には、第１のシリンダ部１３の外周面まで内側に突出する突部４３ａが形成されている。そして、突部４３ａには、図３に示すように、貫通孔４８ａに対応する箇所に切欠部４３ｂがそれぞれ形成されており、内周側が一部切欠き状である断面略リング形状を有している。コイル４４は、円筒形状の本体部に導線を巻きつけて形成したものであり、図１に示した第１のピストン１１に同軸状に連結されている。そして、このコイル４４が空間Ｓ５内をスリーブ４３の内周面に沿って中心軸Ｘ１と平行な方向に往復動すると、連結された第１のピストン１１が第１のシリンダ部１３内を往復動するようになっており、作動流体の圧縮が行なわれる。このようにして、磁気回路４０は構成される。なお、磁気回路５０は、磁気回路４０と同様の構成を有する。
【００２８】
次に、上記した磁気回路４０，５０の製造方法について説明する。
【００２９】
まず、ヨーク部４１と第１のシリンダ部１３と連結部４８とからなる本体部４９を用意する。続いて、この本体部４９の開口端（コイル４４の進入口）から、複数の磁石４２ａ，・・・をヨーク部４１の内周面に沿って挿入し、各磁石４２ａ，・・・の一端を段差部４１ａに当接させる。次に、本体部４９の開口端から、スリーブ４３と抜け止め部材４５とが一体となったスリーブ一体型抜け止め部材４７を挿入して、磁石４２ａの径方向の動作を制動させると共に中心軸Ｘ１方向の動作も制動させる。スリーブ一体型抜け止め部材４７を挿入した後には、ヨーク部４１のネジ孔４１ｂと抜け止め部材４５の貫通孔４５ａとの位置あわせを行い、ネジ４６で両者を固定する。この固定により、磁石４２ａ，・・・からなる磁石部４２は、ヨーク部４１に固定される。そして、スリーブ４３の内周面と第１のシリンダ部１３の外周面とで画定される空間Ｓ５に、中心軸Ｘ１と平行な方向へ往復動可能な状態でコイル４４を設置する。これにより、磁気回路４０が製造される。なお、磁気回路５０の製造方法も同様である。この後、磁気回路４０，５０を圧縮機１０の所定の位置に配置して、圧縮機１０の内部を真空引きして残留ガス等を排出させ、所定濃度のヘリウムガスを充填する。
【００３０】
以上詳述したように、本実施形態に係る磁気回路４０，５０では、磁石部４２とヨーク部４１とが接着剤による接着固定ではなく、ヨーク部４１と抜け止め部材４５とをネジ４６で固定することにより、磁石部４２をヨーク部４１に固定させている。これにより、接着剤を起因とするアウドガスの発生を防止するようにしている。この結果、冷凍機１の冷却性能を長期間にわたって安定化させることができる。
【００３１】
また、ヨーク部４１及び抜け止め部材４５には、ネジ止め用のネジ孔４１ｂと貫通孔４５ａ内の残留ガスを排出させるためのガス抜き孔４１ｃ，４５ｃが形成されている。更に、抜け止め部材４５には、磁石部４２との当接箇所に、残留ガスを排出させるためのガス抜き孔４５ｂも形成されている。これにより、ネジ孔４１ｂ，４５ａ内の残留ガスや磁石部４２とスリーブ４３との間の残留ガスなどを磁気回路４０，５０の製造時点において容易に排出させることができる。この結果、これらの残留ガスによるアウトガスの発生を更に防止するようにしている。
【００３２】
また、各磁石４２ａ，・・・は、窒化チタンコーティングを施されている。これにより、磁石４２ａ内部に存在する粒子やガスが外部に放出されにくくなっている。その結果、アウトガスの発生を一層防止するようにしている。
【００３３】
また、連結部４８には、空間Ｓ５から連なる貫通孔４８ａが形成されている。これにより、コイル４４が挿入されることによって圧縮されたガスが容易に外部に排出されるため、コイル４４の動作を安定化させることができる。また、スリーブ４３の連結部４８側の一端には、第１のシリンダ部１３の外周面まで内側に突出する突部４３ａが形成されている。これにより、コイル４４の挿入スペースを常に所定値以上に保つことができ、コイルの動作を長期間にわたって更に安定化させることができる
【００３４】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されることなく、種々の変更が可能である。例えば、上記実施形態では、スリーブ４３と抜け止め部材４５とを一体とした構成としたが、スリーブと抜け止め部材とを別部材として構成するようにしてもよい。この場合は、抜け止め部材を非磁性のＳＵＳ材などから構成し、スリーブを圧延鋼材（ＳＳ材）などから構成することが好ましい。また、上記実施形態では、ヨーク部４１の内周面に磁石部４２を設ける構成としたが、ヨーク部を第１のシリンダの外周に周接させ、このヨーク部の外側にコイルが同軸状に配置される型式の磁気回路においては、ヨーク部の外周面に磁石部を設けた構成としてもよい。
【００３５】
また、上記実施形態では、完全なリング状となるように磁石４２ａ，・・・を設けたが、所定の性能を有する限りにおいては、一部の磁石がかけていてもよい。また、上記実施形態では、抜け止め部材４５がリング状から形成されていたが、個々の磁石４２ａの中心軸Ｘ１方向の移動を制動できるものであれば、形状は特に限定されない。更に、上記実施形態で説明した磁気回路４０，５０の構成を、コールドヘッド２０の磁気回路に適用させてもよく、また、ＧＭ冷凍機又はＪＴ圧縮機などといったスターリング冷凍機以外の冷凍機に用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】圧縮機とコールドヘッドとからなる冷凍機の構成を模式的に示す概略図である。
【図２】実施形態に係る磁気回路の断面図である。
【図３】図２におけるIII-III線断面図である。
【図４】図２におけるIV-IV線断面図である。
【図５】図２における概略側面図である。
【図６】従来の磁気回路の断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１…冷凍機、１０…圧縮機（圧縮部）、１１…第１のピストン、１２…第２のピストン、１３…第１のシリンダ、１４…第２のシリンダ、２０…コールドヘッド（冷凍部）、２６，２８，４０，５０…磁気回路、４１…ヨーク部、４１ａ…段差部、４１ｃ，４５ｂ，４５ｃ…ガス抜き孔、４２…磁石部、４２ａ…磁石、４３…スリーブ、４３ａ…突部、４３ｂ…切欠部、４４…コイル、４５…抜け止め部材、４６…ネジ（固定部材）、４７…スリーブ一体型抜け止め部材、４８…連結部、４８ａ…貫通孔、Ｓ１，Ｓ２…圧縮空間、Ｓ３，Ｓ４…膨張空間、Ｓ５…空間、中心軸…Ｘ１，Ｘ２。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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