(57)【要約】【課題】光モニタ用に分離した光ファイバの破損を防止する。【解決手段】光源装置本体３からバンドル光ファイバ２を通じて出力された光の一部を、前記バンドル光ファイバ２の光ファイバ束７０から分離したモニタ用光ファイバ束７２を介して光量センサユニット５０に戻し、前記光量センサユニット５０の検出値に基づいて、前記光源装置本体３の光量を制御する光源装置１において、前記バンドル光ファイバ２の入射取付具６０が、前記入射取付具６０側に位置した先端部の近傍に前記光量センサユニット５０を有したモニタ用ファイバ収容箱６２を一体に備え、前記バンドル光ファイバ２の光ファイバ束７０から分離したモニタ用光ファイバ束７２が、前記モニタ用ファイバ収容箱６２内の先端側で前記光ファイバ束７０から分離し、前記モニタ用ファイバ収容箱６２の後端側で反転し、前記光量センサユニット５０に接続される構成とした。【選択図】図１
2009206049.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源装置本体からバンドル光ファイバを通じて出力された光の一部を、前記バンドル光ファイバの光ファイバ束から分離したモニタ用の光ファイバを介して光量センサに戻し、前記光量センサの検出値に基づいて、前記光源装置本体の光量を制御する光源装置において、
前記バンドル光ファイバの入射取付具が、前記入射取付具側に位置した先端部の近傍に前記光量センサを有したモニタ用ファイバ収容箱を一体に備え、
前記バンドル光ファイバの光ファイバ束から分離したモニタ用の光ファイバが、前記モニタ用ファイバ収容箱内の先端側で前記光ファイバ束から分離し、前記モニタ用ファイバ収容箱の後端側で反転し、前記光量センサに接続されていることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記光量センサが前記バンドル光ファイバの光ファイバ束と略平行に延出し、前記光ファイバ束から分離したモニタ用の光ファイバが、前記モニタ用ファイバ収容箱内で略Ｕ字状に湾曲延在して前記光量センサに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記光量センサが前記バンドル光ファイバの光ファイバ束と略直交して延出し、前記光ファイバ束から分離したモニタ用の光ファイバが、前記モニタ用ファイバ収容箱内で略Ｓ字状に湾曲延在して前記光量センサに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項４】
複数の光ファイバの素線を束ねた光ファイバ束の一端に、光源装置本体の光出射口に着脱自在に接続可能な入射取付具を設け、当該光源装置本体から前記入射取付具内の光ファイバ束に出力された光を導光するバンドル光ファイバにおいて、
前記光ファイバ束から分離されたモニタ用の光ファイバを接続する光量センサを有し、
前記入射取付具が、前記入射取付具側に位置した先端部の近傍に前記光量センサを有したモニタ用ファイバ収容箱を一体に備え、
前記モニタ用ファイバ収容箱内の先端側で前記光ファイバ束から前記モニタ用の光ファイバが分離され、前記モニタ用ファイバ収容箱の後端側で反転し、前記光量センサに接続されていることを特徴とするバンドル光ファイバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源装置、及び、この光源装置が出力する光を所望の箇所まで導光するためのバンドル光ファイバに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フィードバック制御により出力光量を一定に維持する光源装置が知られている。この種の光源装置においては、複数本の光ファイバの素線を束ねたバンドル光ファイバを光源装置本体に装着し、このバンドル光ファイバを介して光源装置本体から出力された光を所望の箇所まで導光可能に構成されている。バンドル光ファイバにおいては、光ファイバの束から一部の光ファイバを分離して、これら分離した光ファイバにより光モニタ用の導光線が構成されており、この導光線を光源装置本体に設けた光量モニタ用の光量センサに接続可能に構成されている。そして、光源装置は、光量センサでの受光量に基づいて出力光量を検出し、光量のフィードバック制御を行っている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開昭６３−２２１３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の光源装置は、光源装置本体に導光線を接続するに際し、当該導光線の線路中に過度な力が加わる等して、導光線を構成する光ファイバに亀裂等の破損が生じる場合がある。この場合、導光線の破損によって伝搬光量が減少し、光量センサでの受光量が減少するため正確な光量検出ができない、という問題がある。特に、出力光量をフィードバック制御する上記光源装置においては、実際よりも小さな受光量に基づいて出力光量のフィードバック制御が行われてしまうため、出力光量が目標値よりも大きくなり過ぎることになる。
【０００４】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、光モニタ用に分離した光ファイバの破損を防止可能な光源装置、及びバンドル光ファイバを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、光源装置本体からバンドル光ファイバを通じて出力された光の一部を、前記バンドル光ファイバの光ファイバ束から分離したモニタ用の光ファイバを介して光量センサに戻し、前記光量センサの検出値に基づいて、前記光源装置本体の光量を制御する光源装置において、前記バンドル光ファイバの入射取付具が、前記入射取付具側に位置した先端部の近傍に前記光量センサを有したモニタ用ファイバ収容箱を一体に備え、前記バンドル光ファイバの光ファイバ束から分離したモニタ用の光ファイバが、前記モニタ用ファイバ収容箱内の先端側で前記光ファイバ束から分離し、前記モニタ用ファイバ収容箱の後端側で反転し、前記光量センサに接続されていることを特徴とする。
【０００６】
また本発明は、上記光源装置において、前記光量センサが前記バンドル光ファイバの光ファイバ束と略平行に延出し、前記光ファイバ束から分離したモニタ用の光ファイバが、前記モニタ用ファイバ収容箱内で略Ｕ字状に湾曲延在して前記光量センサに接続されていることを特徴とする。
【０００７】
また本発明は、上記光源装置において、前記光量センサが前記バンドル光ファイバの光ファイバ束と略直交して延出し、前記光ファイバ束から分離したモニタ用の光ファイバが、前記モニタ用ファイバ収容箱内で略Ｓ字状に湾曲延在して前記光量センサに接続されていることを特徴とする。
【０００８】
また上記目的を達成するために、本発明は、複数の光ファイバの素線を束ねた光ファイバ束の一端に、光源装置本体の光出射口に着脱自在に接続可能な入射取付具を設け、当該光源装置本体から前記入射取付具内の光ファイバ束に出力された光を導光するバンドル光ファイバにおいて、前記光ファイバ束から分離されたモニタ用の光ファイバを接続する光量センサを有し、前記入射取付具が、前記入射取付具側に位置した先端部の近傍に前記光量センサを有したモニタ用ファイバ収容箱を一体に備え、前記モニタ用ファイバ収容箱内の先端側で前記光ファイバ束から前記モニタ用の光ファイバが分離され、前記モニタ用ファイバ収容箱の後端側で反転し、前記光量センサに接続されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、バンドル光ファイバの入射取付具が、この入射取付具側に位置した先端部の近傍に光量センサを有したモニタ用ファイバ収容箱を一体に備え、バンドル光ファイバの光ファイバ束から分離したモニタ用の光ファイバが、モニタ用ファイバ収容箱内の先端側で光ファイバ束から分離し、モニタ用ファイバ収容箱の後端側で反転し、光量センサに接続されている。
これにより、モニタ用の光ファイバがモニタ用ファイバ収容箱内に収められるため、分離されたモニタ用の光ファイバに過度な力が加えられる事がなく破損が防止される。
【００１０】
これに加え、モニタ用の光ファイバは、モニタ用ファイバ収容箱内の先端側、すなわち、入射取付具側に位置した先端側で光ファイバ束から分離し、そのままモニタ用ファイバ収容箱の後端側に向けて延び、この後端側で反転して再び先端側の光量センサに向けて延びて当該光量センサに接続される構成としている。
この構成により、モニタ用の光ファイバの長さとして、モニタ用ファイバ収容箱の先端から後端にかけた往路分の長さ以上を確保可能であり、加工する時に把持する等のための十分な長さをモニタ用の光ファイバに持たせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は本実施形態に係る光源装置１の全体構成を示す模式図であり、図２は光源装置１の光源装置本体３の斜視図である。
光源装置１は、例えば検査対象物（被照射物）の表面を撮像して画像処理により製品検査を行う際に、光ファイバの素線が多数束ねられてなるバンドル光ファイバ２を介して検査対象物に照明光を照射するために用いられるものである。具体的には、光源装置１は、光源装置本体３と、この光源装置本体３に着脱自在に接続された上記バンドル光ファイバ２とを備えている。
【００１２】
図１に示すように、光源装置本体３は、その装置筐体３Ａ（図２参照）に、放電ランプ４と、放電ランプ４の放射光を集光する楕円反射鏡６と、放電ランプ４の発光を制御する安定器８と、紫外線・赤外線カットフィルタ１０と、光量調整部１２と、光出射口１４とを収容して構成されている。なお、この他にも、光源装置本体３には、図２に示すように、装置筐体３Ａの正面に設けられた電源ボタン１６や各種状態表示用のランプ群１８等を備えている。
【００１３】
図１に示す放電ランプ４は、水銀ランプ及びメタルハライドランプなどのショートアーク型のランプであり、楕円反射鏡６の第一焦点Ｆ１に配置され、これら放電ランプ４及び楕円反射鏡６により光源装置１の光源が構成されている。この放電ランプ４の放射光は楕円反射鏡６の第二焦点Ｆ２で集束し、本実施形態では、この第二焦点Ｆ２が装置筐体３Ａ内に配置され、この第二焦点Ｆ２に光出射口１４の光入射端面３０ｉｎが配置されている。
【００１４】
光出射口１４は、第二焦点Ｆ２で集束する光の光量分布パターンを均一にしつつ、光源装置本体３の外部に導くものであり、導光ロッド３０及び導光ロッドホルダー３２を有して構成されている。
導光ロッド３０は、ガラス体で形成された断面が正六角形の柱状体であり、一端部が光入射端面３０ｉｎ、他端部が光出射端面３０ｏｕｔとされている。この導光ロッド３０は、その中心軸を楕円反射鏡６の光軸と同軸に配されると共に、上記第二焦点Ｆ２が光入射端面３０ｉｎの中心、或いは、この導光ロッド３０の中心軸上に位置するように配されて、楕円反射鏡６が集光する光が導光ロッド３０の光入射端面３０ｉｎから入射するように構成されている。
また、導光ロッド３０の光出射端面３０ｏｕｔは、装置筐体３Ａの正面から外部に突出した状態で導光ロッドホルダー３２に保持される。また、この導光ロッドホルダー３２は、図２に示すように、バンドル光ファイバ２の接続口３４を構成する。すなわち、この接続口３４にバンドル光ファイバ２の先端部の入射取付具６０を接続することで、当該バンドル光ファイバ２の先端部が導光ロッド３０の光出射端面３０ｏｕｔに対向配置され、光出射端面３０ｏｕｔから出力する光がバンドル光ファイバ２の先端部に入射取付具６０から入射される。
【００１５】
上記導光ロッド３０は、ロッドインテグレータで形成されているので、光源からの光束の光量分布パターンの変化に起因する照射光量変化があっても、この光量分布パターンが均一化されて光出射端面３０ｏｕｔから出射され、バンドル光ファイバ２により検査対象物（被照射物）まで導かれ照明光として照射される。
したがって、導光ロッド３０に入射される光がガウシアン分布のような光量分布を有していても、出射される光の光量分布を均一化することができ、均一の光量分布を有する照明光が要求される場合に、別途、光を均一化する光学系を設ける必要がない。
【００１６】
次いで図１に示す紫外線・赤外線カットフィルタ１０は、楕円反射鏡６から第二焦点Ｆ２に至る光路上に配置され、放電ランプ４が放射する光から紫外線成分及び赤外線成分をカットする。
光量調整部１２は、光源装置本体３の出力光量をフィードバック制御するものであり、調光板２０と、この調光板２０を回転駆動するステップモータ２２と、このステップモータ２２の回転駆動量を制御するコントローラ２４とを備えている。
調光板２０は、楕円反射鏡６から第二焦点Ｆ２に至る光路上に配置され、その板面には、光の照射位置によって光透過量を可変する形状の開口が形成されている。さらに、この開口は、光透過量が調光板２０の回転量に比例するように形成されている。
コントローラ２４は、出力光量が一定に維持されるように調光板２０を回転させて出力光量を可変するフィードバック制御を実行するものである。
【００１７】
より具体的には、図１に示すように、バンドル光ファイバ２には、バンドル光ファイバ２への入射光量を検出する光量センサユニット５０が設けられている。この光量センサユニット５０からは電気信号ケーブル４０が引き出され、装置筐体３Ａの正面に設けられた信号入力端子４２に接続されている。そして、上記コントローラ２４は、光量センサユニット５０から電気信号ケーブル４０を介して入力された光量の検出値を出力光量に換算し、出力光量が所定の指示値に維持されるように出力光量を制御する。なお、出力光量の指示値は、図示せぬ操作子の操作によってコントローラ２４に入力される。
【００１８】
このように、光量センサユニット５０をバンドル光ファイバ２に設け、この光量センサユニット５０の検出信号を、光ファイバよりも力に対する耐久性が高い電気信号ケーブル４０を用いて光源装置本体３に入力する構成としているため、バンドル光ファイバ２の引き回しに伴って、このバンドル光ファイバ２に設けた出力光量検出のためのケーブルが破損や断線することが無い。
【００１９】
次いで、光量センサユニット５０を備えたバンドル光ファイバ２の構成について、より詳細に説明する。
図３はバンドル光ファイバ２の構成を示す図であり、図３（Ａ）は入射取付具６０からみた図、図３（Ｂ）は平面図、図３（Ｃ）は断面図である。
バンドル光ファイバ２は、多数（例えば約１２万本）の光ファイバの素線を束ねたものであり、先端部には円筒状の上記入射取付具６０が設けられており、図３（Ａ）に示すように、入射取付具６０の内部には光ファイバ束７０の端部が嵌め込まれている。すなわち、入射取付具６０が光源装置本体３の接続口３４に装着されると、入射取付具６０に嵌め込まれた光ファイバ束７０の端部が導光ロッド３０の光出射端面３０ｏｕｔに対向して配置され、この光出射端面３０ｏｕｔから出力する光が光ファイバ束７０に入射される。
【００２０】
本実施形態では、入射取付具６０の近傍に上記光量センサユニット５０を有したモニタ用ファイバ収容箱６２をこの入射取付具６０に一体的に設けた構成としている。
より具体的には、図３に示すように、モニタ用ファイバ収容箱６２は、光ファイバ束７０の貫通方向に長い略直方体形状に形成されており、その正面６２Ａには上記入射取付具６０が一体的に設けられ、正面６２Ａに対向する背面６２Ｂから光ファイバ束７０が保護材７４に被覆されて引き出されている。
入射取付具６０は、モニタ用ファイバ収容箱６２の正面６２Ａにおいて、中心よりも下端側（底面６４側）に寄せて配置されており、図３（Ｃ）に示すように、モニタ用ファイバ収容箱６２の中では、光ファイバ束７０がモニタ用ファイバ収容箱６２の底面６４に沿って延在することになる。また、モニタ用ファイバ収容箱６２の上面６２Ｃには上記光量センサユニット５０が配置されている。
【００２１】
モニタ用ファイバ収容箱６２の内部では、入射取付具６０が設けられた先端側（正面６２Ａ）で、出力光量を検出するための数本（例えば６０本）のモニタ用光ファイバ束７２が光ファイバ束７０から分離され、光量センサユニット５０のファイバ接続部５５に接続されている。このモニタ用光ファイバ束７２は、光ファイバ束７０の断面内における光量分布の偏りの影響を防止するために、当該断面内において拡散した位置の光ファイバを適宜に分離して構成されている。
このようにして光量センサユニット５０によってバンドル光ファイバ２に入力された光が受光される。このとき光量センサユニット５０では、バンドル光ファイバ２の光ファイバ束７０に対するモニタ用光ファイバ束７２の比率を、光源装置本体３の出力光量に乗じた分の光量が検出される。
【００２２】
図３（Ｃ）に示すように、モニタ用ファイバ収容箱６２の内部では、その先端側で分離されたモニタ用光ファイバ束７２が略Ｓ字状に湾曲延在している。具体的には、モニタ用光ファイバ束７２は、光ファイバ束７０からの分離点から、モニタ用ファイバ収容箱６２の後端側（背面６２Ｂ）に向けて延びた後、この後端側でＵ字を描いて湾曲して、先端側に配置された光量センサユニット５０の下側に向けて延び、そこから、ほぼ真上に立ちあがって光量センサユニット５０に接続されている。
この光量センサユニット５０のファイバ接続部５５は、光ファイバ束７０と略直交してモニタ用ファイバ収容箱６２の中に延出している。これにより、モニタ用光ファイバ束７２の延在方向と、光量センサユニット５０のファイバ接続部５５の延出方向とが一致し、接続箇所に余分なストレスを与えることなく、モニタ用光ファイバ束７２を光量センサユニット５０に接続することができる。
【００２３】
このとき、図３（Ｃ）に示すように、モニタ用ファイバ収容箱６２の内部でモニタ用光ファイバ束７２がＳ字状に湾曲延在する際に、モニタ用ファイバ収容箱６２の底面６４、背内面６７及び天面６６の３面の各々に、点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及びＰ４で当接する状態で収容されている。これにより、接着剤等でモニタ用光ファイバ束７２を固定せずとも、モニタ用ファイバ収容箱６２内でのモニタ用光ファイバ束７２のぐらつきや変位が防止され、ぐらつきや変位によってモニタ用光ファイバ束７２に余分な力が加わることが無い。
【００２４】
次いで、上記光量センサユニット５０について説明する。
上記光量センサユニット５０は、モニタ用ファイバ収容箱６２に取り付けられたセンサ取付ベース８０と、このセンサ取付ベース８０に着脱自在に設けられた光量センサユニット本体８１とを備え、光量センサユニット本体８１に故障や劣化等が生じた場合には、バンドル光ファイバ２から光量センサユニット本体８１のみを交換可能としている。
図４は光量センサユニット本体８１の構成を示す断面図である。
光量センサユニット本体８１は、光量センサ５１と、この光量センサ５１が設けられた基板５２とを有し、さらに、上記モニタ用光ファイバ束７２の端部が接続される接続口５３を光量センサ５１の受光面５１Ａの対向位置に配置し、この接続口５３と光量センサ５１の受光面５１Ａとの間を繋ぐ管体５４を有する接続部８３を備えている。
そして、この接続部８３の管体５４を、上記モニタ用ファイバ収容箱６２側のセンサ取付ベース８０の取付コネクタ８２に挿入することで、光量センサユニット本体８１がセンサ取付ベース８０に装着される。これにより、光量センサユニット本体８１の接続部８３の接続口５３が、センサ取付ベース８０のファイバ接続部５５に接続されているモニタ用光ファイバ束７２の端部に対向して配置される。
【００２５】
接続部８３の管体５４の内部には、接続口５３から光量センサ５１の受光面５１Ａに至る経路中に拡散板５６とスリット板５７とが管内を閉塞するように配置されている。
拡散板５６は、入射光を拡散して出力するものであり、モニタ用光ファイバ束７２の各光ファイバから個々に出力された光を混合する。これにより、バンドル光ファイバ２の断面内で光量分布に偏りが生じていたとしても、それらを混合した光が検出されることとなり、光量分布の偏りによる測定誤差を打ち消すことができる。
スリット板５７は、光量センサ５１の受光面５１Ａの対向位置にスリット開口５７Ａを有し、当該光量センサ５１に入射する光量を減じるものである。これにより、光源装置本体３の出力光量が大きくなった場合でも、光量センサ５１の検出値が検出限界に達し飽和することが防止される。
スリット板５７と光量センサ５１との間にはスペーサ５８が設けられ、スリット開口５７Ａによって絞られた光が光量センサ５１の受光面５１Ａの略全面に拡がるように、スペーサ５８によってスリット板５７と光量センサ５１との間が離間されている。
【００２６】
この光量センサユニット本体８１は、貫通孔を有したケース体５９を有し、この貫通孔に接続部８３の管体５４を嵌込み接続口５３を突出させた状態で固定し、このケース体５９を、管体５４の先端部が基板５２上の光量センサ５１に位置するように、当該基板５２にねじ止めしてユニット化され、このユニットが上記モニタ用ファイバ収容箱６２のセンサ取付ベース８０に装着されている。
【００２７】
以上説明したように、本実施形態によれば、バンドル光ファイバ２がモニタ用ファイバ収容箱６２を備え、このモニタ用ファイバ収容箱６２にモニタ用光ファイバ束７２が収められるため、このモニタ用光ファイバ束７２に過度な力が加えられる事がなく破損が防止される。
これに加え、モニタ用光ファイバ束７２は、モニタ用ファイバ収容箱６２内の先端側（入射取付具６０側）で分離して後端側に向けて延在した後、この後端側で反転して再び先端側の光量センサユニット５０に向けて延在して接続される構成であるため、モニタ用光ファイバ束７２の長さとして、モニタ用ファイバ収容箱６２の先端側から後端側にかけた往路分の長さ以上が確保されることになる。これにより、モニタ用光ファイバ束７２の端部（光量センサユニット５０に接続する端部）を加工する時に要する作業用な長さを十分に確保しつつ、このような長さのモニタ用光ファイバ束７２を約半分以下の長さのモニタ用ファイバ収容箱６２にコンパクトに収められる。
【００２８】
さらに、光ファイバ束７０を予めモニタ用ファイバ収容箱６２の底面６４側に配置しているため、この光ファイバ束７０から分離させたモニタ用光ファイバ束７２を底面６４側から天面６６側に向けて湾曲させる際の曲率を大きくとることが可能となり、この湾曲箇所に加わるストレスを低減させることができる。
【００２９】
なお、上述した実施の形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形および応用が可能である。
【００３０】
（１）上述した実施形態では、モニタ用ファイバ収容箱６２の上面６２Ｃに、光量センサユニット５０を配置した構成とした。これに限らず、図５（Ａ）〜図５（Ｃ）に示すように、モニタ用ファイバ収容箱６２の側面６２Ｄの入射取付具６０近傍に、光量センサユニット５０を配置して、バンドル光ファイバ２を構成しても良い。
【００３１】
（２）上述した実施形態では、モニタ用ファイバ収容箱６２内に、モニタ用光ファイバ束７２を略Ｓ字状に湾曲延在させた。これに限らず、図６（Ａ）〜図６（Ｃ）に示すように、モニタ用ファイバ収容箱６２の正面６２Ａに、光量センサユニット５０を配置し、ファイバ接続部５５を光ファイバ束７０と略平行に延出させた構成においては、モニタ用ファイバ収容箱６２内に、モニタ用光ファイバ束７２を略Ｕ字状に湾曲延在させた構成としても良い。
【００３２】
さらに詳述すると、図６（Ｃ）に示すように、モニタ用ファイバ収容箱６２の内部では、その先端側で分離されたモニタ用光ファイバ束７２は、モニタ用ファイバ収容箱６２の後端側（背面６２Ｂ）に向けて延びた後、この後端側で略Ｕ字状に湾曲して、天面６６に沿って再び先端側（正面６２Ａ）に延びて、天面６６側に配置された光量センサユニット５０に接続されている。このとき、ファイバ接続部５５が光ファイバ束７０と略平行に延出されているため、モニタ用光ファイバ束７２を、モニタ用ファイバ収容箱６２の後端側で略Ｕ字状に湾曲延在させることで、モニタ用光ファイバ束７２の延在方向とファイバ接続部５５の延出方向とが一致し、接続箇所に余分なストレスを与えることなく、モニタ用光ファイバ束７２を光量センサユニット５０に接続することができる。
【００３３】
また、図６（Ｃ）に示すように、モニタ用ファイバ収容箱６２の内部には、光ファイバ束７０から分離したモニタ用光ファイバ束７２を、モニタ用ファイバ収容箱６２の底面６４、背内面６７及び天面６６の３面の各々と点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３で当接させた状態で収容している。これにより、接着剤等でモニタ用光ファイバ束７２を固定せずとも、モニタ用ファイバ収容箱６２内でのモニタ用光ファイバ束７２のぐらつきや変位が防止され、ぐらつきや変位によってモニタ用光ファイバ束７２に余分な力が加わることが無い。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態に係る光源装置の全体構成を示す模式図である。
【図２】光源装置本体の斜視図である。
【図３】バンドル光ファイバの構成を示す図であり、（Ａ）は入射取付具からみた図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）は断面図である。
【図４】光量センサユニットの構成を示す断面図である。
【図５】バンドル光ファイバの変形例を示す図であり、（Ａ）は入射取付具からみた図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）は断面図である。
【図６】バンドル光ファイバの他の変形例を示す図であり、（Ａ）は入射取付具からみた図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）は断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  光源装置
２  バンドル光ファイバ
３  光源装置本体
４  放電ランプ
６  楕円反射鏡
１２  光量調整部
１４  光出射口
３０  導光ロッド
３０ｉｎ  光入射端面
３０ｏｕｔ  光出射端面
３４  接続口
４０  電気信号ケーブル
５０  光量センサユニット
５１  光量センサ
５３  接続口
５５  ファイバ接続部
５６  拡散板
５７  スリット板
６０  入射取付具
６２  モニタ用ファイバ収容箱
７０  光ファイバ束
７２  モニタ用光ファイバ束
８０  センサ取付ベース
８１  光量センサユニット本体
【図１】
2009206049.tif 000003
【図２】
2009206049.tif 000004
【図３】
2009206049.tif 000005
【図４】
2009206049.tif 000006
【図５】
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【図６】
2009206049.tif 000008