(57)【要約】【課題】水分による磁気記録媒体の腐食を防止することができる磁気ディスク装置及び磁気ディスク装置の管理システムを提供すること。【解決手段】磁気ディスク装置の内部と外部の温度を温度センサで測定し、磁気ディスク装置内部を加熱する加熱手段により、磁気ディスク装置内部の温度を外部の温度よりも５℃以上高く保つ。これにより、磁気記録媒体表面の吸着水の量が減少し、磁気記録媒体の磁性層が吸着水によって腐食されるのを防止できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体内部と外部との温度差を検出し、該温度差が所定値以上になるように前記筐体内部の温度を維持する制御部を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記筐体内部の温度を前記筐体外部の温度よりも５℃以上高く保つことを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記筐体を外部から覆うシート状の抵抗発熱体を制御することにより、前記筐体内部の温度を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ディスク装置。
【請求項４】
前記制御部は、スピンドルモータの回転数を制御することにより前記筐体内部の温度を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ディスク装置。
【請求項５】
筐体内部の温度を測定する内部温度センサと、
前記筐体の外部の温度を測定する外部温度センサと、
前記内部温度センサ及び前記外部温度センサの出力に応じて前記筐体内部の温度を制御する制御部とを備え、
前記制御部は前記筐体内の温度を前記筐体外の温度よりも高く維持することを特徴とする磁気ディスク装置の管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置及び磁気ディスク装置の管理システムに関し、特に環境の変化による劣化を防止する機能を備えた磁気ディスク装置及び磁気ディスク装置の管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置は、優れた記録容量や書き換え特性を有することから、パソコンやサーバ等の情報機器に広く搭載されている。
【０００３】
この磁気ディスク装置において、磁気記録媒体が高速で回転すると、磁気記録媒体の回転によって生じる空気流によって磁気ヘッドが僅かに浮上し、この状態で磁気記録媒体に対し情報の書き込み又は読み出しを行う。ところが、磁気ディスク装置内に水蒸気（水分）が多量に存在すると、温度変化等により水蒸気が結露して磁気記録媒体上に水滴が付着し、磁気ヘッドの安定した浮上が妨げられ、最悪の場合には磁気ディスク装置が破損するおそれがある。また、磁気記録媒体は、腐食されやすい磁性層の上に保護層としてＤＬＣ（Diamond Like Carbon）膜が形成されているが、水滴が付着するとＤＬＣ膜の欠陥部分等を介して浸透した水分により磁性層が腐食され、表面に析出物を生ずるおそれがある。
【０００４】
この磁気ディスク装置内の水蒸気（水分）量の増大を防止する技術として、磁気ディスク装置を密封して窒素などの不活性ガスを内部に封入する技術がある。
【０００５】
また、磁気ディスク装置内の水蒸気（水分）を除去するために、磁気ディスク装置の内部や通気口部分にシリカゲルや活性炭等の吸着材を設ける技術がある。
【０００６】
また、磁気ディスク装置内への水蒸気の流入を防止するために、通気口（フィルタ）の流路を長くして水蒸気の拡散距離を大きくとることで水蒸気の流入を抑制する技術がある。
【０００７】
さらに、磁気ディスク装置内に入ってしまった水蒸気を除去する技術として、磁気ディスク装置内に除湿装置を設ける技術（例えば特許文献１乃至３等）がある。
【０００８】
特許文献１には、磁気ディスク装置の通気口部分に冷却部を設け、筐体外部からの水蒸気を局所的に冷却された冷却部で結露させて流入する空気を脱水することにより、筐体内への水分の流入を防止する技術が記載されている。
【０００９】
特許文献２には、磁気ディスク装置の筐体の内壁面に外気温に応じて冷えやすい調湿板を設けて筐体内の水分を調湿板の表面で結露させるとともに、筐体内の温度が高温となったときに開口する調湿口を設け、湿った空気を外部に放出させて結露を防止する技術が記載されている。
【００１０】
特許文献３には、磁気ディスク装置の筐体内と筐体外にそれぞれ配置された一対の温度センサと、除湿装置とを設け、筐体内部と筐体外部の温度差に応じて結露を防止すべく除湿機を作動させる技術が記載されている。
【特許文献１】特開２００６−２０９８９８号公報
【特許文献２】特開２００２−１０９８５５号公報
【特許文献３】特開２００１−１９４０２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本願発明者が研究を行った結果、結露を起こさない状態であっても、磁気記録媒体の表面に吸着された水（吸着水）が多量に存在する場合には、ＤＬＣ膜の欠陥部分等から磁性層側に水が浸透して磁性層を腐食させてしまい、顕微鏡で観察できるサイズ（数１００ｎｍ程度）の析出物を生成してしまうことが判明した。このような巨大なサイズの析出物は、磁気ヘッドの浮上高さが１０ｎｍ程度といった近年の磁気ディスク装置の動作に致命的な不具合をもたらす。これに対し、上述の技術を用いる場合には以下のような問題点がある。
【００１２】
まず、磁気ディスク装置を密閉すると共に不活性ガスを充填する技術によれば、大気からの水分の浸入は確実に防止される。しかし、この方法では内部の温度変化等（磁気ディスク装置は最大で７０℃程度まで温度が上昇する）により内部の圧力が変化し、その結果磁気ヘッドと磁気記録媒体との摩擦係数等が変化して磁気ヘッドの安定な動作が困難になってしまう。特に、磁気記録媒体の高速回転が要求される大容量の磁気ディスク装置は、この方法で実現するのは困難であり、現実的ではない。
【００１３】
また、磁気ディスク装置内部や通気口部分に吸着剤を設ける方法では、長期間の使用により吸着剤の吸着能力が飽和してしまい、環境の変化によっては、逆に磁気ディスク装置内に吸着剤の水分が放出されるおそれがある。
【００１４】
また、通気口（フィルタ）の流路を長くして水蒸気の拡散距離を大きくする技術では、磁気ディスク装置内部に入ってしまった水分や、磁気ディスク装置内から放出された水分を排出することが困難であり、長期間使用した場合には水分が内部にこもってしまうおそれがある。
【００１５】
また、特許文献１乃至３等に記載された技術は、磁気ディスク装置内の湿度を減少させて結露を防止するものであるが、磁気記録媒体の表面の吸着水の量を制御するには不十分である。
【００１６】
本発明の目的は、磁気ディスク装置に収容された磁気記録媒体の表面の水分による腐食を防止することができ、信頼性に優れた磁気ディスク装置及び磁気ディスク装置の管理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の一観点によれば、筐体内部と外部との温度差を検出し、該温度差が所定値以上になるように前記筐体内部の温度を維持する制御部を有することを特徴とする磁気ディスク装置が提供される。
【００１８】
上記観点において、前記制御部は、前記筐体内部の温度を前記筐体外部の温度よりも５℃以上高く保つように構成すると好適である。
【００１９】
また、上記観点において、前記制御部は、前記筐体を外部から覆うシート状の抵抗発熱体を制御することにより、前記筐体内部の温度を制御する構成とすることができる。
【００２０】
また、上記観点において、前記制御部は、スピンドルモータの回転数を制御することにより前記筐体内部の温度を制御する構成とすることができる。
【００２１】
また、本発明の別の一観点によれば、筐体内部の温度を測定する内部温度センサと、前記筐体の外部の温度を測定する外部温度センサと、前記内部温度センサ及び前記外部温度センサの出力に応じて前記筐体内部の温度を制御する制御部とを備え、前記制御部は前記筐体内の温度を前記筐体外の温度よりも高く維持することを特徴とする磁気ディスク装置の管理システムが提供される。
【００２２】
上記の磁気ディスク装置又は磁気ディスク装置の管理システムによれば、磁気ディスク装置の筐体内部の温度が筐体外部の温度よりも高く保たれているため、磁気ディスク装置が読み取り又は書き込み動作を休止しているときであっても磁気記録媒体の表面の吸着水量を従来よりも少なくすることができる。これにより、吸着水による磁気記録媒体の磁性層の腐食を防止することができ、長期間使用しても劣化することなく信頼性に優れた磁気ディスク装置を提供できる。
【００２３】
また、筐体内部の温度を外部の温度よりも５℃以上高く保つことにより、後述するように磁気記録媒体の表面の吸着水量を１．５桁程度下げることができるため、磁気記録媒体の腐食を効果的に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の実施形態の説明に先立って、本願発明者の行った検討事項について説明する。
本願発明者は、相対湿度に着目して、一定の気温の下で磁気記録媒体の表面に吸着される水（吸着水）が相対湿度によってどのような変化を示すか調べた。ここに、図１は、室温（約２５℃）における清浄な表面を有する磁気記録媒体の吸着水量と相対湿度の関係を示すグラフである。本願発明者の行った実験結果によれば、図１に示すように、清浄な表面を有する磁気記録媒体に対しては、相対湿度６０％を境に表面の吸着水量が急激に増加することが判明した。また、表面の吸着水量が急激に増加する湿度は、磁気記録媒体表面の状態によって変化し、特にパーティクル等が存在する汚染された表面を有する磁気記録媒体に対しては、吸着水量が急増する相対湿度が低くなる傾向がみられた。
【００２５】
ここで相対湿度とは、ある温度での雰囲気中の水蒸気圧を、その雰囲気の温度における飽和水蒸気圧で割ったものである。この飽和水蒸気圧は温度が上昇すると増加する。したがって、磁気ディスク装置において読み取り又は書き込み動作が頻繁に行われて内部の雰囲気温度（気温）が上昇している場合には、外部の相対湿度が一定であっても磁気ディスク装置内の相対湿度は低下する。また、磁気ディスク装置が動作を休止している状態では、内部の気温が外部の気温と同程度まで低下し、磁気ディスク装置の内部の相対湿度が上昇する。
【００２６】
そこで、本願発明者は磁気ディスク装置の内部と外部との温度差にも注目して、これと磁気記録媒体表面の吸着水量との関係を調査した。実験結果の一例を図２に示す。ここに、図２は磁気ディスク装置の内部の気温Ｔ1及び外部の気温Ｔ2の温度差（Ｔ1−Ｔ2）と磁気記録媒体表面の吸着水量（相対値）との関係を示すグラフである。図２の測定は、恒温恒湿槽により湿度６０％の下で磁気ディスク装置内部と外部の温度を約４０〜５０℃の範囲で変化させた場合の測定結果である。また、図２において、表面吸着水量は内部の気温と外部の気温との温度差が０℃のときの吸着水量を１とした相対値を示す。尚、以下の説明において、温度差とは内部の気温（雰囲気温度）Ｔ1（℃）と外部の気温Ｔ2（℃）との差（Ｔ1−Ｔ2）を意味し、温度差（℃）が正の値の場合には、内部の気温Ｔ1（℃）の方が外部の気温Ｔ2（℃）よりも高いことを意味するものとする。
【００２７】
図２に示すように、磁気ディスク装置の内部と外部とに温度差を設けることにより磁気記録媒体の表面吸着水量が変化する。すなわち、内部と外部の気温差が＋５℃までの範囲で磁気記録媒体表面の吸着水量が急激に変化し、温度差が＋５℃以上の範囲では表面吸着水の量の変化は比較的少ない変化を示した。特に、磁気ディスク装置内の温度を外部の気温よりも５℃程度高くすると表面吸着水量が１．５桁程度低下することが明らかとなった。したがって、磁気記録媒体表面の吸着水量を少なく保つ観点からは、磁気ディスク装置の内部と外部との温度差を制御することが重要である。本願発明者は、かかる知見に基づき以下に示す本発明の諸形態の着想を得た。
【００２８】
以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して説明する。
【００２９】
（第１実施形態）
図３は、本発明の第１実施形態に係わる磁気ディスク装置の筐体内部の構成を示す上面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係わる磁気ディスク装置の加熱部材及び制御ブロックを示す模式図である。
【００３０】
第１実施形態に係わる磁気ディスク装置１０は、図３に示すように、筐体１７の内部に円盤状の磁気記録媒体１１と、その磁気記録媒体１１に対し情報の書き込み又は読み取りを行う磁気ヘッド１４と、その磁気ヘッド１４を支持するアーム１５と、アーム１５を駆動するボイスコイルモータ１６と、制御装置１９等が搭載された制御基板２３と、筐体１７の内部の雰囲気の温度を測定する内部温度センサ２０とを有している。また、磁気ディスク装置１０には、図４に示すように、筐体１７の外部に、磁気ディスク装置１０の加熱手段としてのカバーヒータ１８と、磁気ディスク装置１０の周囲の気温を測定する外部温度センサ２１とが設けられている。以下、各部の構成についてさらに説明する。
【００３１】
磁気記録媒体１１は、図３に示すように、中心部で軸１２によって支持され、図示しないスピンドルモータによって軸１２の周りを回転するように構成されている。この磁気記録媒体１１は、円盤状の基板の上に磁化方向の変化で情報を記録する磁性層が形成され、その上には保護層としてのＤＬＣ膜が例えば１００ｎｍ程度の厚さに形成されている。さらに、ＤＬＣ膜の表面上には潤滑剤が塗布されている。
【００３２】
アーム１５は、ボイスコイルモータ１６によって駆動され、磁気ヘッド１４は、磁気記録媒体１１の上をその半径方向に相対移動して、磁気記録媒体１１上の所定のトラックにアクセスすることができる。
【００３３】
制御基板２３の上には、各種電子部品や制御装置１９が搭載されている。制御装置１９は、ボイスコイルモータ１６、スピンドルモータ（図示せず）及び磁気ヘッド１４と接続され、これらの機構部の動作を制御するとともに、磁気ヘッド１４の読み取り信号（及び書き込み信号）の処理等を行う。また、制御装置１９は後述する内部温度センサ２０、外部温度センサ２１及びカバーヒータ１８と接続され、磁気ディスク装置１０の内部と外部との温度差を後述する方法で制御する。
【００３４】
また、筐体１７には外部の機器と制御基板２３とを接続するための接続端子（図示せず）が設けられている。
【００３５】
筐体１７は、例えば、アルミニウムやステンレス等の金属製ケースを用いることができる。筐体１７の所定の部分には、図示しない通気口が設けられており、筐体１７の内部と外部との間で気体（空気）の流入、流出を行うことができる。これにより筐体１７内部は外部とほぼ同じ圧力に保たれる。この通気口には、外部からの有害ガスや粉塵（微粒子）等の流入を阻止するためのフィルタが設けられている。このフィルタは、水蒸気を比較的素早く通過させて筐体内部の水分を流出させることができる。
【００３６】
カバーヒータ１８は、一例として図４に斜線部として示すように、筐体１７の周囲を覆うように配置されたシート状の抵抗発熱体として構成される。この抵抗発熱体には銅合金や、導電性ポリマー、導電性セラミックスを用いることができる。
【００３７】
内部温度センサ２０は、内部の雰囲気の温度を正確に測定する観点から筐体１７の内側の表面から離れた位置に取り付けることが好ましく、例えば、図３に示すように制御基板２３の上に設けることができる。内部温度センサ２０（及び外部温度センサ２１）は市販の温度センサＩＣ等を用いることができる。
【００３８】
外部温度センサ２１は、筐体１７の外部に配置される。筐体１７が金属製の場合には、熱伝導性がよいため、筐体１７の外側の温度は、内部の温度とほぼ同じとなる。したがって、外部温度センサ２１は、正確な外部の気温測定を行うため、例えば断熱材などを介して筐体１７に取り付けるなど、筐体１７の表面から離れた位置に配置することが好ましい。尚、外部温度センサ２１の配置部位は、磁気ディスク装置１０を搭載する各種情報機器側としてもよい。例えば、外部温度センサ２１をパーソナルコンピュータのマザーボード等の上に配置することができる。この場合には、制御装置１９と外部温度センサ２１とを接続端子に取り付けられた配線部材（図示せず）を介して接続すればよい。
【００３９】
次に、図５を参照しつつ、本発明の第１実施形態に係わる磁気ディスク装置１０の動作について説明する。図５は、本発明の第１実施形態に係わる磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【００４０】
磁気ディスク装置１０の制御装置１９は、図５に示すように、内部温度センサ２０及び外部温度センサ２１の出力により内部の気温Ｔ1及び外部の気温Ｔ2を検出する（ステップＳ１０）。
【００４１】
次に、内部と外部の温度差（Ｔ1−Ｔ2）が＋５℃以上か否かを判断し（ステップＳ２０）、温度差が＋５℃以上の場合にはステップＳ４０に移行し、カバーヒータ１８に電力が供給されている場合には、その電力供給を停止する。一方、温度差が＋５℃未満の場合には、ステップＳ３０に移行してカバーヒータ１８に電力を供給する。これにより、温度差が小さい場合にはカバーヒータ１８によって磁気ディスク装置１０を加熱して、内部の気温Ｔ1を上昇させる。
【００４２】
以後、ステップＳ１０〜Ｓ４０の動作を一定の時間ごとに繰り返すことにより、磁気ディスク装置１０内部の気温Ｔ1を常に外部の気温Ｔ2よりも＋５℃以上高く保つことができ、磁気記録媒体１１の表面の吸着水量の増大を抑制することができる。
【００４３】
尚、本実施形態は上述の例に限定されず、例えばステップＳ３０において、カバーヒータ１８に供給する電力の大きさを内部の気温Ｔ1と外部の気温Ｔ2の温度差に応じて変化させる構成としてもよい。
【００４４】
（第２実施形態）
以下、図６乃至図８を参照しつつ、本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態は、第１実施形態のカバーヒータ１８に代えて、磁気ディスク装置内部の加熱をスピンドルモータ１３の駆動で行うものである。
【００４５】
図６は、本発明の第２実施形態に係わる磁気ディスク装置を示すブロック図である。
【００４６】
第２実施形態に係わる磁気ディスク装置３０は、カバーヒータ１８がない点を除いて第１実施形態とほぼ同様の構成である。磁気ディスク装置３０はその筐体１７の内部に、図６に示すように、磁気記録媒体１１を軸１２周りに回転させるスピンドルモータ１３が設けられている。尚、磁気ヘッド１４、アーム１５、ボイスコイルモータ１６、制御基板２３、内部温度センサ２０、及び外部温度センサ２１の構成は第１実施形態と同様である。
【００４７】
制御装置２９は、制御基板２３の上に搭載されており、内部温度センサ２０及び外部温度センサ２１と接続されている。また、制御装置２９は、磁気ヘッド１４、スピンドルモータ１５、及びボイスコイルモータ１６と接続され、磁気ディスク装置３０の機構部の動作を制御すると共に磁気ヘッド１４の読み取り及び書き込み信号の処理をする。
【００４８】
次に、図７を参照しつつ、本実施形態の磁気ディスク装置３０の筐体１７内部の温度制御方法について説明する。ここに、図７は磁気ディスク装置のスピンドルモータの回転数（rpm）と内部の気温Ｔ1との関係の一例を示すグラフである。
【００４９】
図７に一例として示すように、磁気ディスク装置内部の気温Ｔ1はスピンドルモータの回転数（rpm）に応じた値をとり、スピンドルモータの回転数が高いほど、内部の気温Ｔ1が高くなる。本実施形態の磁気ディスク装置３０は、図７に示す関係を基に磁気ディスク装置３０内部の気温の制御を行うことができる。
【００５０】
すなわち、磁気ディスク装置３０の個別の機体毎に又は磁気ディスク装置３０の機種毎に、図７のようなスピンドルモータの回転数（rpm）と内部の気温Ｔ1との関係を示すデータの測定を行い、このデータを制御装置２９の記憶部（図示せず）に格納しておく。そして、内部と外部の温度差（Ｔ1−Ｔ2）が所定値（＋５℃）未満の場合には、外部の気温Ｔ2よりも所定値（＋５℃）だけ高い温度を内部の気温Ｔ1の目標値とし、この目標値に対応するスピンドルモータ１３の回転数を制御装置の記憶部に格納されたデータに基づいて決定し、その回転数でスピンドルモータ１３を駆動する。これにより、磁気ディスク装置３０内部の気温Ｔ1を目標値まで上昇させることができる。
【００５１】
以下、図８を参照しつつ第２実施形態に係わる磁気ディスク装置３０の具体的な動作について説明する。図８は、本発明の第２実施形態に係わる磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【００５２】
まず、制御装置２９は、内部温度センサ２０及び外部温度センサ２１の出力から内部の気温Ｔ1及び外部の気温Ｔ2を検出する（ステップＳ１１０）。
【００５３】
次に、制御装置２９は、内部と外部との温度差が＋５℃以上であるか否かを判断する（ステップＳ１２０）。この温度差が＋５℃以上である場合にはステップＳ１５０に移行してスピンドルモータ１３に既に加熱のための回転制御信号が出力されていた場合には、この回転制御信号の出力を停止する。
【００５４】
一方、温度差が＋５℃未満の場合には、上述のように、外部の気温Ｔ2よりも５℃高い気温を内部の気温Ｔ1の目標値として、この目標値に対応するスピンドルモータ１３の回転数を設定する（ステップＳ１３０）。次に、制御装置２９はスピンドルモータ１３に回転制御信号を出力して、ステップＳ１３０で設定された回転数となるようにスピンドルモータ１３を回転させる（ステップＳ１４０）。このスピンドルモータ１３の回転動作により磁気ディスク装置３０内部の気温Ｔ1が目標値まで上昇する。尚、加熱のためのスピンドルモータ１３の回転動作のときは、磁気ヘッド１４及びアーム１５を休止時の位置に退避させておくことが好ましい。
【００５５】
以後、ステップＳ１１０〜ステップＳ１５０に示される動作を一定の時間ごとに繰り返すことにより、磁気ディスク装置３０の内部の気温Ｔ1を外部の気温Ｔ2よりも常に＋５℃以上高く保つことができ、磁気記録媒体１１の表面の吸着水量の増大を抑制することができる。また、本実施形態によれば、加熱手段を別途設ける必要が無いため、第１実施形態に比べて装置構成が簡単となり、磁気ディスク装置３０のコスト上昇を抑制できる。
【００５６】
（その他の実施形態）
尚、本発明の技術思想は上記の諸形態に限定されるものではなく、以下のように構成する形態も含まれる。
【００５７】
すなわち、第１実施形態及び第２実施形態では磁気ディスク装置内の気温の制御を磁気ディスク装置内に設けられた制御装置１９又は制御装置２９を用いて行っていたが、磁気ディスク装置の管理システムとして、磁気ディスク装置内の気温制御を磁気ディスク装置を搭載する各種情報機器の側で行うように構成してもよい。この場合には、磁気ディスク装置の内部には内部温度センサ２０を設けるだけで良く、磁気ディスク装置側の構成を更に簡略なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】図１は、室温（約２５℃）における清浄な表面を有する磁気記録媒体の吸着水量と相対湿度との関係を示すグラフである。
【図２】図２は、磁気ディスク装置の内部の気温Ｔ1及び外部の気温Ｔ2の温度差（Ｔ1−Ｔ2）と磁気記録媒体表面の吸着水量（相対値）との関係を示すグラフである。
【図３】図３は、本発明の第１実施形態に係わる磁気ディスク装置の筐体内部の構成を示す上面図である。
【図４】図４は、本発明の第１実施形態に係わる磁気ディスク装置の加熱部材及び制御ブロックを示す模式図である。
【図５】図５は、本発明の第１実施形態に係わる磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【図６】図６は、本発明の第２実施形態に係わる磁気ディスク装置を示すブロック図である。
【図７】図７は、磁気ディスク装置のスピンドルモータの回転数（rpm）と筐体内の気温Ｔ1との関係の一例を示すグラフである。
【図８】図８は、本発明の第２実施形態に係わる磁気ディスク装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５９】
１０、３０…磁気ディスク装置、１１…磁気記録媒体、１２…軸、１３…スピンドルモータ、１４…磁気ヘッド、１５…アーム、１６…ボイスコイルモータ、１７…筐体、１８…カバーヒータ、１９、２９…制御装置、２０…内部温度センサ、２１…外部温度センサ、２２…接続端子、２３…制御基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2009110588.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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