(57)【要約】【課題】  スラリーの粘度を上げることなく潤滑性に優れたスラリーが得られる水溶性切削液及びそれを含有する砥粒スラリーを提供する。【課題を解決するための手段】  １分子中に１〜８個の活性水素原子を有する炭素数２４以下の化合物（ａ）に、テトラヒドロフラン及び炭素数２〜３のアルキレンオキサイドを付加して得られる共重合ポリエーテル（Ａ）を含有してなる水溶性切削液並びに該水溶性切削液及び体積平均粒径１〜５０μｍの砥粒を含んでなる砥粒スラリーであって、水溶性切削液と砥粒の重量比が１：０．５〜１：２である砥粒スラリーである。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
１分子中に１〜８個の活性水素原子を有する炭素数２４以下の化合物（ａ）に、テトラヒドロフラン及び炭素数２〜３のアルキレンオキサイドを付加して得られる共重合ポリエーテル（Ａ）を含有してなる水溶性切削液。
【請求項２】
共重合ポリエーテル（Ａ）の含有量が、水溶性切削液の重量に基づいて、０．１〜５０重量％である請求項１記載の水溶性切削液。
【請求項３】
前記化合物（ａ）が、水及び／又は活性水素原子を１〜３個有する炭素数１〜１２の化合物である請求項１又は２記載の水溶性切削液。
【請求項４】
更に水を含有する請求項１〜３のいずれか記載の水溶性切削液。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか記載の水溶性切削液及び体積平均粒径１〜５０μｍの砥粒を含んでなる砥粒スラリーであって、水溶性切削液と砥粒の重量比が１：０．５〜１：２である砥粒スラリー。
【請求項６】
ワイヤーソーを用いてシリコンインゴットをスライシング加工する際に使用される砥粒スラリーである請求項５記載の砥粒スラリー。
【請求項７】
請求項６記載の砥粒スラリーを連続的に供給しながら、ワイヤーソーを用いてシリコンインゴットのスライシングを行うスライシング工程を含むシリコンウエハーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は水溶性切削液に関する。
【背景技術】
【０００２】
水溶性切削液としては、例えば、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、低分子量ポリエチレングリコール及びこれらの混合物が提案されている（特許文献−１参照）。また水を含むものとしては、多価アルコール（プロピレングリコール等）と芳香族多価カルボン酸塩（イソフタル酸トリエタノールアミン塩等）とアルキレングリコールのアルキレンオキサイド付加物｛エチレングリコールのエチレンオキサイド付加物（分子量１,０００）等｝及び水からなる組成物が提案されている（特許文献−２参照）。
【０００３】
しかしながら、特許文献−１に記載の切削液では、例えばシリコンインゴットのスライシング加工の際のワイヤーソー用水溶性切削液として使用した場合に、スラリー粘度が高すぎるため、薄いウエハの切断や切断速度を大きくすることができない等の問題がある。また、特許文献−２に記載の切削液は、潤滑性が不足するためウエハの表面性状が不十分であるという問題等がある。
【特許文献−１】特開平１０−１３０６３５号公報
【特許文献−２】特開２００６−９６９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、スラリーの粘度を上げることなく潤滑性に優れたスラリーが得られる水溶性切削液及びそれを含有する砥粒スラリーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記問題を解決すべく鋭意検討した結果、特定の共重合ポリエーテルを使用した水溶性切削液を用いることで、スラリーの粘度を上げることなく潤滑性に優れたスラリーが得られることを見いだし、本発明に到達した。
すなわち、本発明は１分子中に１〜８個の活性水素原子を有する炭素数２４以下の化合物（ａ）に、テトラヒドロフラン及び炭素数２〜３のアルキレンオキサイドを付加して得られる共重合ポリエーテル（Ａ）を含有してなる水溶性切削液；該水溶性切削液及び体積平均粒径１〜５０μｍの砥粒を含んでなる砥粒スラリーであって、水溶性切削液と砥粒の重量比が１：０．５〜１：２である砥粒スラリー；並びに、該砥粒スラリーを連続的に供給しながら、ワイヤーソーを用いてシリコンインゴットのスライシングを行うスライシング工程を含むシリコンウエハーの製造方法；である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の水溶性切削液は潤滑性に優れている。また、本発明の水溶性切削液を含む砥粒スラリーは低粘度である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明における１分子中に１〜８個の活性水素原子を有する炭素数２４以下の化合物（ａ）［以下において、単に化合物（ａ）又は（ａ）と表記する場合がある］としては、水、炭素数１〜２４のアルコール、炭素数６〜２４のフェノール類、アンモニア、ヒドラジン、炭素数１〜２４のアミン、炭素数２〜２４のカルボン酸及び炭素数１〜２４のチオール等が挙げられる。
【０００８】
炭素数１〜２４のアルコールとしては、炭素数１〜２４の１価のアルコール（メタノール、エタノール、ブタノール及びオクタノール等）；炭素数２〜２４の２価のアルコール［エチレングリコール、プロピレングリコール、１，２−ブタンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、３−メチルペンタンジオール、ジエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、１，４−ビス（ヒドロキシメチル）シクロヘキサン、１，４−ビス（ヒドロキシエチル）ベンゼン及び２，２−ビス（４，４’−ヒドロキシシクロヘキシル）プロパン等］；炭素数３〜２４の３価のアルコール（グリセリン及びトリメチロールプロパン等）；炭素数５〜２４の４〜８価のアルコール（ペンタエリスリトール、ジグリセリン、α−メチルグルコシド、ソルビトール、キシリット、マンニット、ジペンタエリスリトール、グルコース、フルクトース及びショ糖等）等が挙げられる。
【０００９】
炭素数６〜２４のフェノール類としては、炭素数６〜２４の１価のフェノール化合物（フェノール及びクレゾール等）；炭素数６〜１２の２〜３価のフェノール化合物（ピロガロ―ル、カテコール及びヒドロキノン等）；炭素数１３〜２４のビスフェノール化合物（ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ及びビスフェノールＳ等）等が挙げられる。
【００１０】
炭素数１〜２４のアミンとしては、炭素数１〜２４のモノアミン、炭素数２〜２４のポリ（２〜６）アミン、炭素数２〜２４のアルカノールアミン及び炭素数２〜２４のその他のアミン等が挙げられる。
【００１１】
炭素数１〜２４のモノアミンとしては、メチルアミン、エチルアミン、ブチルアミン、ヘキシルアミン、オレイルアミン及びアニリン等が挙げられる。
炭素数２〜２４のポリ（２〜６）アミンとしては、炭素数２〜２４の脂肪族ポリアミン（エチレンジアミン、トリメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン及びジエチレントリアミン等）、炭素数４〜２４の複素環式ポリアミン（ピペラジン及びＮ−アミノエチルピペラジン等）、炭素数６〜２４の脂環式ポリアミン（ジシクロヘキシルメタンジアミン及びイソホロンジアミン等）及び炭素数７〜２４の芳香族ポリアミン（フェニレンジアミン、トリレンジアミン、ジエチルトリレンジアミン、キシリレンジアミン、ジフェニルメタンジアミン、ジフェニルエーテルジアミン及びポリフェニルメタンポリアミン等）等が挙げられる。
【００１２】
炭素数２〜２４のアルカノールアミンとしては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン及びトリイソプロパノールアミン等が挙げられる。
炭素数２〜２４のその他のアミンとしては、後述の炭素数２〜２４のカルボン酸の内の炭素数が２〜２２のジカルボン酸と過剰の前記炭素数２〜２４のポリ（２〜６）アミンの内の炭素数が２〜２２のものとの縮合により得られるポリアミドポリアミン（重合度２〜１２）、炭素数２〜２４のヒドラジン系化合物［モノアルキル（炭素数２〜２４）ヒドラジン等］、炭素数２〜２４のジヒドラジッド系化合物（コハク酸ジヒドラジッド、アジピン酸ジヒドラジッド、イソフタル酸ジヒドラジッド及びテレフタル酸ジヒドラジッド等）及び炭素数２〜２４のグアニジン系化合物（ブチルグアニジン及び１−シアノグアニジン等）等が挙げられる。
【００１３】
炭素数２〜２４のカルボン酸としては、炭素数２〜２４の脂肪族モノカルボン酸（酢酸及びプロピオン酸等）；炭素数７〜２４の芳香族モノカルボン酸（安息香酸等）；炭素数２〜２４の脂肪族ポリカルボン酸（シュウ酸、マロン酸、コハク酸及びアジピン酸等）；炭素数８〜２４の芳香族ポリ（２〜３）カルボン酸（フタル酸、テレフタル酸及びトリメリット酸等）；アクリル酸の（共）重合物等のポリカルボン酸重合体（官能基数２〜８）等が挙げられる。
【００１４】
炭素数１〜２４のチオールとしては、炭素数１〜２４の１価のチオール（メタンチオール、エタンチオール及びブタンチオール等）並びに炭素数２〜２４の２〜８価の多価チオール（エチレンジチオール、プロピレンジチオール、１，３−ブチレンジチオール、１，４−ブタンジチオール、１、６−ヘキサンジチオール及び３−メチルペンタンジチオール等）等が挙げられる。
【００１５】
化合物（ａ）の内、得られる水溶性切削液の潤滑性と砥粒スラリーの低粘度化の観点から好ましいのは、水及び活性水素原子を１〜３個有する炭素数１〜１２の化合物、更に好ましいのは、水、炭素数１〜１２の１〜３価のアルコール、炭素数６〜１２の１価フェノール化合物及び炭素数６〜１２の２〜３価のフェノール化合物、特に好ましいのは水、炭素数１〜８の１〜２価のアルコール及び炭素数６〜１２の１価のフェノール化合物、最も好ましいのはメタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール及びジエチレングリコールである。
化合物（ａ）は単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００１６】
化合物（ａ）にテトラヒドロフラン及び炭素数２〜３のアルキレンオキサイドを付加して得られる共重合ポリエーテル（Ａ）［以下において、単に共重合ポリエーテル（Ａ）と表記する場合がある］に使用されるテトラヒドロフラン（以下、ＴＨＦと略す。）は、ＴＨＦの製造時の副生物としてのメチル置換された化合物を少量含有していてもよいが、好ましくは置換されていないＴＨＦである。
【００１７】
炭素数２〜３のアルキレンオキサイド（以下、ＡＯと略す。）としては、エチレンオキサイド（以下ＥＯと略す。）及び１，２−プロピレンオキサイド（以下ＰＯと略す。）が挙げられる。ＡＯは１種のみを用いてもよく、２種のＡＯを併用してもよい。
【００１８】
共重合ポリエーテル（Ａ）において、ＴＨＦとＡＯとの共重合様式は特に限定されず、ブロック及びランダムのいずれでもよく、得られる水溶性切削液の潤滑性と砥粒スラリーの低粘度化の観点から好ましくはランダムである。
【００１９】
化合物（ａ）とＴＨＦとＡＯのモル比［化合物（ａ）／ＴＨＦ／ＡＯ］は、水溶性切削液の潤滑性及び砥粒スラリーの低粘度化の観点から、好ましくは１／（０．４〜１００）／（５〜２００）であり、例えば、化合物（ａ）が１価のアルコールの場合は、１／（１５〜１００）／（５〜３０）であり、エチレングリコール又はプロピレングリコールの場合は１／（０．４〜２０）／（５〜２００）であり、１，４−ブチレングリコールの場合は１／（０．５〜１０）／（５〜３０）であることが好ましい。
【００２０】
共重合ポリエーテル（Ａ）の数平均分子量は、（Ａ）を用いた水溶性切削液及びスラリーの低粘度化の観点から、３００〜１３，０００が好ましく、更に好ましくは４００〜５，０００である。数平均分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ法、標準物質：ポリエチレングリコール）で測定することができる。
【００２１】
共重合ポリエーテル（Ａ）は水溶性であることが好ましく、水に対し任意の割合で相溶することが更に好ましい。本発明において水溶性とは、２０℃で水１００重量部に対し溶質３０重量部以上が完全に溶解することを言う。
【００２２】
共重合ポリエーテル（Ａ）の具体例としては、例えば、メタノール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体（メタノールへのＴＨＦとＥＯのランダム付加物、ブロック付加物及びランダムとブロックの併用の付加物のいずれをも表す。以下も同様）、メタノール−ＴＨＦ−ＰＯ共重合体、メタノール−ＴＨＦ−ＰＯ−ＥＯ共重合体、エタノール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、エタノール−ＴＨＦ−ＰＯ共重合体、ブタノール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、オクタノール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、エチレングリコール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、エチレングリコール−ＴＨＦ−ＰＯ共重合体、エチレングリコール−ＴＨＦ−ＰＯ−ＥＯ共重合体、ジエチレングリコール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、ジエチレングリコール−ＴＨＦ−ＰＯ共重合体、プロピレングリコール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、プロピレングリコール−ＴＨＦ−ＥＯ−ＰＯ共重合体、１，４−ブタンジオール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、１，６−ヘキサンジオール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、グリセリン−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、トリメチロールプロパン−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、ペンタエリスリトール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、ソルビトール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、ジペンタエリスリトール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、ショ糖−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、フェノール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、ヒドロキノン−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、ビスフェノールＡ−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、ポリブタジエンポリオール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、ポリビニルアルコール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、炭素数１〜２０のアルキルアミン−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、エチレンジアミン−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、酢酸−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、安息香酸−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、アジピン酸−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、テレフタル酸−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、エチレンジチオール−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体、燐酸−ＴＨＦ−ＥＯ共重合体等が挙げられる。
【００２３】
共重合ポリエーテル（Ａ）は、公知の方法（特開２００４−１８２９７０号公報に記載の方法等）等で製造でき、例えば、化合物（ａ）に、ＴＨＦ及びＡＯを、ホウ素、アルミニウム、スズ、アンチモン、鉄、リン、亜鉛、チタン、ジルコニウム及びベリリウムからなる群から選ばれる１種以上の元素を含む酸性触媒の存在下に開環共重合した後、アルカリ金属水酸化物及び／又はアルカリ土類金属水酸化物で中和し、更に合成珪酸塩、ハイドロタルサイト類、酸化マグネシウムアルミニウム、活性白土、活性炭、活性アルミナ、合成ゼオライト及びイオン交換樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種の吸着剤と混合接触させた後、吸着剤を濾過することにより製造できる。
【００２４】
本発明の水溶性切削液中の共重合ポリエーテル（Ａ）の含有量（重量％）は、水溶性切削液の重量に基づいて、好ましくは０．１〜５０であり、更に好ましくは０．２〜４０、特に好ましくは０．５〜３０、最も好ましくは１〜２０である。
【００２５】
本発明の水溶性切削液には、必要により公知の水溶性ポリエーテル（Ｂ）、粘度調整剤（Ｃ）、防錆剤（Ｄ）、ｐＨ調整剤（Ｅ）及び水（Ｆ）からなる群から選ばれる１種以上を含んでいてもよい。
【００２６】
公知の水溶性ポリエーテル（Ｂ）としては、前記共重合ポリエーテル（Ａ）以外の水溶性のポリエーテルであれば特に限定されず、例えば特開２００４−１０７６２０号公報等に記載の１〜８価のアルコールのＥＯ及び／又はＰＯ付加物等が挙げられる。前記（Ｂ）の含有量（重量％）は性能に悪影響を及ぼさない範囲であれば特に限定されるものではないが、水溶性切削液の重量に基づいて、好ましくは９９．９％以下、更に好ましくは９９％以下である。また、前記（Ｂ）／共重合ポリエーテル（Ａ）の重量比率は４〜１００が好ましい。
【００２７】
粘度調整剤（Ｃ）としては、炭素数１〜８の１〜４価のアルコール等が挙げられる。炭素数１〜８の１〜４価のアルコールとしては前記化合物（ａ）として例示した化合物の内の炭素数１〜８の１〜４価のアルコールが挙げられ、エチレングリコール及びプロピレングリコールが好ましい。粘度調整剤（Ｃ）の含有量は、水溶性切削液の重量に基づいて、好ましくは８０％以下、更に好ましくは７０％以下である。
【００２８】
防錆剤（Ｄ）としては、公知の防錆剤、例えば、脂肪族アミンのＡＯ付加物が挙げられ、好ましいのはトリエタノールアミン又はエチレンジアミンのＰＯ２〜８モル付加物及びジエチレントリアミンのＰＯ３〜８モル付加物等である。防錆剤（Ｄ）の含有量は、水溶性切削液の重量に基づいて、好ましくは３％以下、更に好ましくは１％以下である。
【００２９】
ｐＨ調整剤（Ｅ）としては、燐酸及び硼酸等の無機酸；酢酸、クエン酸、蓚酸及び乳酸等のカルボン酸；水酸化ナトリウム及び水酸化カリウム等のアルカリ金属の水酸化物等が挙げられる。ｐＨ調整剤（Ｅ）は、水溶性切削液を用いて加工した被加工物を洗浄する際に、洗浄液が強酸又は強アルカリ性を示さないように（好ましくは、洗浄液を１重量％の水溶液とした際のｐＨが５〜９）添加されるものである。ｐＨ調整剤（Ｅ）を使用する場合のその含有量は、水溶性切削液の重量に基づいて、好ましくは０．１〜５％、更に好ましくは０．２〜３％である。
【００３０】
本発明の水溶性切削液は、作業時の引火の危険性を少なくすることを目的として必要により水（Ｆ）を含んでいてもよい。水（Ｆ）の含有量は性能に悪影響を及ぼさない範囲であれば特に限定されるものではないが、水（Ｆ）を使用する場合のその含有量は、水溶性切削液の重量に基づいて、好ましくは５〜５０％、更に好ましくは１０〜３０％である。
【００３１】
本発明の水溶性切削液は、共重合ポリエーテル（Ａ）と必要によりその他の成分をあらかじめ混合したものであっても、以下に述べるスラリー配合時等に個々に加えたものであってもよい。混合方法は特に限定されず、例えば常温で通常の方法で撹拌することにより得ることができる。
【００３２】
本発明の水溶性切削液は、種々加工に用いる水溶性切削液として使用できるが、シリコンやアルミニウム等をスライシング加工する際に好適に使用でき、シリコンインゴットのスライシング加工用に特に好適に用いることができる。
【００３３】
本発明の砥粒スラリーは、本発明の水溶性切削液及び体積平均粒径１〜５０μｍの砥粒とを含む砥粒スラリーであって、水溶性切削液と砥粒の重量比が１：０．５〜１：２である砥粒スラリーである。砥粒としては、体積平均粒径が１〜５０μｍの、炭化珪素、アルミナ及びダイヤモンド等が使用できる。水溶性切削液と砥粒との重量比は、低粘度化の観点から、通常１：０．５〜１：２、好ましくは１：０．８〜１：１．２である。上記砥粒スラリーは、砥粒が分散されたスラリーとして、スライシングする際に用いられ、ワイヤーソーを用いてスライシング加工する際に使用されることが好ましい。
【００３４】
砥粒スラリーが適用できる被加工物としては、シリコン、アルミニウム、ガラス、セラミック、合成石英、水晶及びサファイア等が挙げられるが、特に、シリコンインゴットをスライシングする際に用いるのが好適である。
【００３５】
本発明のシリコンウエハーの製造方法は、前記の砥粒スラリーを連続的に供給しながら、ワイヤーソーを用いてシリコンインゴットのスライシングを行うスライシング工程を含むシリコンウエハーの製造方法である。シリコンウエハーはシリコンインゴットから上記ワイヤーソーを用いてウエハーを切り出した後、表面を更に粒径１０μｍ程度の酸化アルミ又は酸化ジルコン砥粒を用いて研削することで平坦化する工程及び粒径１μｍ以下の酸化ケイ素砥粒を用いて研磨する工程を経て両面が平坦で凹凸の少ないシリコンウエハーが得られる。その後、電気回路を表面に形成することで電子材料である集積回路として利用される。また、上記ワイヤーソーを用いてウエハーを切り出した後、リンやホウ素を拡散させ半導体とした後、電極をつけ、電子材料である太陽電池セルとして利用される。
【００３６】
［実施例］
以下、実施例及び製造例により本発明を更に説明するが、本発明はこれに限定されない。以下において、部及び％はそれぞれ重量部及び重量％を示す。
【００３７】
＜製造例１＞
ガラス製オートクレーブにエチレングリコール１８６部（３モル）、ＴＨＦ３，３８４部（４７モル）及びＢＦ3・ＴＨＦ２７．５部を仕込み、３０℃に温調した。耐圧滴下ロートからＥＯ２，０６８部（４７モル）を３０〜５０℃で７時間かけて滴下した。その後、５０℃で３時間熟成した後、７５℃で３０ｍｍＨｇ以下の減圧とし、未反応の微量のＴＨＦを留去した後、２５℃に冷却した。吸着処理剤（協和化学工業社製：キョーワード６００）６３部を仕込み、２５℃で１時間攪拌した後、濾過し、エチレングリコールのＴＨＦ（１５．７モル）／ＥＯ（１５．７モル）ランダム共重合ポリエーテル（Ａ１）５，６３８部を得た。ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ法。標準物質：ポリエチレングリコール）で測定した数平均分子量は２，１００であった。
【００３８】
＜製造例２〜１３＞
原料の種類と仕込み量を表１記載のように変更したこと以外、製造例１と同様にして、製造例２〜１３の共重合ポリエーテル（Ａ２）〜（Ａ１３）を得た。製造例１と同様に測定した共重合ポリエーテル（Ａ２）〜（Ａ１３）の数平均分子量の測定結果を表１に示す。
【００３９】
【表１】
2009097004.tif 000002
【００４０】
＜実施例１＞
製造例１で得た共重合ポリエーテル（Ａ１）１０部、ポリエチレングリコール（数平均分子量２００）８９．８部及びトリエタノールアミン０．２部を混合し、若干量の乳酸でｐＨ（１％水溶液）を６．０に調整し、水溶性切削液（１）を得た。得られた水溶性切削液（１）５０部と炭化珪素砥粒（体積平均粒径１４μｍ：信濃電気精錬製ＧＰ＃−８００）５０部を混合し、実施例１のスラリー（１）を得た。
【００４１】
実施例２〜９
共重合ポリエーテル（Ａ１）の仕込み量及びポリエチレングリコール（数平均分子量２００）の仕込み量を表２のように代えたこと以外は実施例１と同様にして水溶性切削液（２）〜（９）及びスラリー（２）〜（９）を得た。
【００４２】
実施例１０〜２１
共重合ポリエーテルの種類を表２のように代えたこと以外は実施例１と同様にして水溶性切削液（１０）〜（２１）及びスラリー（１０）〜（２１）を得た。
【００４３】
実施例２２
ポリエチレングリコール（数平均分子量２００）８９．８部及びトリエタノールアミン０．２部をプロピレングリコール７０部、水２０部及びクエン酸１部に代え、更に乳酸を水酸化ナトリウムに代える以外は実施例１と同様にして水溶性切削液（２２）及びスラリー（２２）を得た。
【００４４】
＜比較例１＞
ポリエチレングリコール（数平均分子量２００）自身を比較用の水溶性切削液とした。また、この比較用の水溶性切削液を用いて実施例１と同様にして比較用のスラリーを得た。
【００４５】
＜比較例２＞
プロピレングリコール８０部及び水２０部を混合し比較用の水溶性切削液とした。また、この比較用の水溶性切削液を用いて実施例１と同様にして比較用のスラリーを得た。
【００４６】
上記の実施例１〜２２及び比較例１〜２で得られた水溶性切削液の潤滑性を曽田式振子型油性試験機でベアリングピンと鋼球との間の摩擦係数を測定する方法で測定した（測定温度２５℃）。結果を表２に示す。また、上記の実施例１〜２２及び比較例１〜２で得られたスラリーの粘度を２５℃でＢ型粘度計を使用して測定した。結果を表２に示す。
【００４７】
【表２】
2009097004.tif 000003
【００４８】
この結果から、本発明の水溶性切削液は摩擦係数が低いので潤滑性に優れており、それを含む砥粒スラリーを用いてスライシングされたウエハは優れた表面性状を示す。また、本発明の水溶性切削液を用いて作成したスラリーは低粘度であり、従来の砥粒スラリーと同レベルの粘度であることが判る。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の水溶性切削液を使用してスライシングされたウエハは水で簡単に洗浄できることから、作業環境に悪影響を及ぼさないものであり、本発明の水溶性切削液はシリコンのみならず、アルミニウム、ガラス、セラミック、合成石英、水晶及びサファイア等のスライシングに有用である。