(57)【要約】【課題】圧力室中のインクの動きに合致した静電アクチュエータの構造を提案する。【解決手段】ノズル８を有したノズル基板４と、底面が静電力で変形可能な横長形状の振動板１２に形成されている圧力室１３を有し、圧力室１３の長手方向の一端側がノズル基板４のノズル８に連通し、長手方向の他端側が吐出液を貯えるリザーバ１４に連通したキャビティ基板２と、個別電極１８を有し、該個別電極１８が振動板１２に隙間を介して対向配置された電極基板３とを備え、振動板１２と個別電極１８との隙間は、圧力室１３の長手方向の中間部と両端部とのそれぞれの間において、それぞれの間の中心部に行くに従って順次広くなっている液滴吐出ヘッド。【選択図】図２
2009083171.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを有したノズル基板と、
底面が静電力で変形可能な横長形状の振動板に形成されている圧力室を有し、前記圧力室の長手方向の一端側が前記ノズル基板の前記ノズルに連通し、前記長手方向の他端側が吐出液を貯えるリザーバに連通したキャビティ基板と、
個別電極を有し、前記個別電極が前記振動板に隙間を介して対向配置された電極基板とを備え、
前記振動板と前記個別電極との隙間は、前記圧力室の長手方向の中間部と両端部とのそれぞれの間において、それぞれの間の中心部に行くに従って順次広くなっていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記隙間のうち、前記圧力室内の吐出液のイナータンスが前記圧力室の前記ノズル連通側と前記リザーバ連通側とで等しくなる位置に対応する部分の隙間幅、及び前記圧力室の長手方向の両端部分の隙間幅を最も狭くしていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記隙間のうち、前記圧力室の長手方向の中間部分の隙間幅、及び前記圧力室の長手方向の両端部分の隙間幅を最も狭くしていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記圧力室の長手方向の中間部と前記ノズル連通側の前記長手方向端部との間における前記隙間の最大距離を、前記中間部と前記リザーバ連通側の前記長手方向端部との間における前記隙間の最大距離より大きくしていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記電極基板の個別電極が前記隙間に対応して階段状に段差を有して形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記個別電極の階段状の隣り合う段差は、前記圧力室の長手方向の中間部と両端部とのそれぞれの間において、それぞれの間の中心部に行くに従って小さくなっていることを特徴とする請求項５記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかに記載の液滴吐出ヘッドを液滴吐出部に備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッドなどの液滴吐出ヘッド、及びその液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電駆動方式のインクジェットヘッドでは、一般的にガラス等からなる電極基板に複数の溝を形成し、その溝内部にそれぞれ独立した個別電極（後述する振動板に対向した電極のため対向電極ともいう）を形成して、該個別電極をインク圧力室底面を構成する振動板と隙間を介して対峙させている。そして、振動板と個別電極間に電圧を印加して静電力を発生させて、振動板を個別電極側に吸引して撓ませ、それによる振動板の変形による圧力変化を利用してインクをノズルから吐出させる。
【０００３】
上記のような平行平板型の静電アクチュエータを適用したインクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタにおいては、効率的な駆動を実現し、低電圧でインク滴の体積を大きくすることが求められている。そのため従来より、静電アクチュエータを構成する振動板と個別電極との隙間を非平行に構成することによって、より低電圧でより大きな振動板の変位を得るための工夫が提案されてきた。
【０００４】
例えば、振動板の幅（短辺）方向に、個別電極に対応した駆動電極を階段状に構成したものが開示されている（例えば、特許文献１）。また、振動板の長さ（長辺）方向に、個別電極を階段状に構成し、ノズル部直下を一番浅くしたものが開示されている（例えば、特許文献２）。また、振動板の幅方向で、振動板の中央部が最も浅くなるようにしたものも開示されている（例えば、特許文献３）。さらに、振動板の長さ方向で、振動板の中央部が最も深くなり、且つ段差部分での振動板の挙動が連続的になるように構成されたものも開示されている（例えば、特許文献４）。
【特許文献１】特開平１１−２９１４８２号公報
【特許文献２】特開２０００−３１８１５５号公報
【特許文献３】特開２００１−２８７３５９号公報
【特許文献４】特開２００６−２８９９４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
振動板をより効率的に駆動し高速化するためには、インクの挙動に合わせて振動板を駆動することが必要となる。しかしながら、上述の従来例に示された技術では、静電アクチュエータを構成しているインク圧力室底面の振動板の挙動と、駆動対象となるインク圧力室中のインクの挙動を一致させることが難しい構造となっている。すなわち、従来のインクジェットヘッドでは、静電アクチュエータの挙動を効率的に行うために、インク圧力室中のインクの動きに合わせて、振動板を駆動させるためのアクチュエータの構造的な提案はなされていなかった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、液滴吐出用の静電アクチュエータを構成する圧力室底面の振動板を対向する電極に吸引する際、圧力室中のインクの動きに適合する静電アクチュエータの新たな構造を提案し、加えて振動板を高速に駆動できる静電アクチュエータを有した液滴吐出ヘッド、及びそれを備えた液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液滴吐出ヘッドは、ノズルを有したノズル基板と、底面が静電力で変形可能な横長形状の振動板に形成されている圧力室を有し、圧力室の長手方向の一端側がノズル基板のノズルに連通し、その長手方向の他端側が吐出液を貯えるリザーバに連通したキャビティ基板と、個別電極を有し、個別電極が振動板に隙間を介して対向配置された電極基板とを備え、振動板と個別電極との隙間は、圧力室の長手方向の中間部と両端部とのそれぞれの間において、それぞれの間の中心部に行くに従って順次広くなっているものである。
この構成により、振動板をノズル連通側とリザーバ連通側の双方から同時に個別電極に当接させて、それらの両側から吐出液を圧力室内へ同時に素早く吸引できる。その結果、圧力室内の吐出液の動きに合わせて振動板を素早く個別電極側へ吸引し、振動板を効率的かつ高速に駆動できる。  
また、振動板を個別電極に当接する際の負荷を小さくして、振動板を素早く個別電極に吸引することができるので、駆動電圧を低電圧化したり、応答性を損なうことなく、ノズルからの吐出液量を増やして、ヘッドの吐出能力の向上や動作の高速化が図れる。
【０００８】
また、上記液滴吐出ヘッドは、個別電極と振動板との隙間のうち、圧力室内の吐出液のイナータンスが圧力室のノズル連通側とリザーバ連通側とで等しくなる位置に対応する部分の隙間幅、及び圧力室の長手方向の両端部分の隙間幅を最も狭くしているものである。
このようにすることで、圧力室中のインクの挙動と振動板の変化とが合致するため、最も効率的に振動板を個別電極側に吸引できる。
なお、横長溝状の圧力室が長手方向の左右でほぼ対称である場合には、圧力室の長手方向の中間部分の隙間幅、及び圧力室の長手方向の両端部分の隙間幅を最も狭くするのが好ましい。
【０００９】
また、圧力室の長手方向の中間部とノズル連通側の長手方向端部との間における隙間の最大距離は、該中間部とリザーバ連通側の長手方向端部との間における隙間の最大距離より大きくしていることが好ましい。これは、圧力室のノズル側での振動板の変形量が大きく取れるようにしておくことで、ノズル部分のインクのメニスカスの引き込みに合わせた駆動制御が行い易くなるからである。
【００１０】
また、電極基板の個別電極が隙間に対応して階段状に段差を有して形成されているのが好ましい。電極基板の個別電極形成用溝をエッチングの繰り返しによって階段状に形成することは容易であり、その溝表面に電極材料を成膜するだけで、静電アクチェータを構成する電極基板が容易に形成できるからである。また、その電極基板をキャビティ基板と接合するだけで所定間隔の隙間を構成できるという効果も奏する。
なお、個別電極の階段状の隣り合う段差は、圧力室の長手方向の中間部と両端部とのそれぞれの間において、それぞれの間の中心部に行くに従って順次小さくなっていることが好ましい。これによれば、圧力室の長手方向の中間部及び両端部からそれらの間の中心部へ向かって、振動板が連続的になめらかに当接できるため、ノズルから吐出する吐出液量の制御が容易になるからである。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置は、その液滴吐出部に上記いずれかの液滴吐出ヘッドを備えたものであり、従って、上記液滴吐出ヘッドに関して述べた効果を奏することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
実施の形態１
図１は、本発明の実施形態１に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを示す分解斜視図、図２は図１のインクジェットヘッドの圧力室長手方向に沿う縦断面図である。この例のインクジェットヘッド１は、キャビティ基板２、電極基板３及びノズル基板４が積層されて構成されている。
【００１３】
ノズル基板４はシリコン等からなり、例えば円筒状の第１のノズル孔６と、第１のノズル孔６と連通し、第１のノズル孔６よりも径の大きい円筒状の第２のノズル孔７を有するノズル８が複数形成されている。第１のノズル孔６は、インク吐出面（キャビティ基板２との接合面の反対面）に開口するように形成されており、第２のノズル孔７は、キャビティ基板２との接合面に開口するように形成されている。
【００１４】
キャビティ基板２は、例えば単結晶シリコンからなり、圧力室１３（インクを吐出させる作用を果たすためインク圧力室またはインク吐出室ともいう）となる横長溝状の凹部が複数形成されている。圧力室１３を構成する壁面の１つである底壁は、上記凹部に対応した横長形状（通常は長方形）であり、静電力で変形可能な可撓性を有する振動板１２として形成されている。キャビティ基板２には、各圧力室１３にインクを供給するためのリザーバ１４となる１つの凹部が形成されている。そして、圧力室１３の長手方向の一端側がノズル基板４のノズル８に連通し、長手方向の他端側には吐出用のインクを貯えているリザーバ１４に連通するオリフィス１５が形成されている。そして、リザーバ１４にはそこへインクを供給するインク供給口１７Ａが形成されている。
【００１５】
キャビティ基板２の電極基板３が接合される側の面には、酸化シリコンや酸化アルミニウム等からなる絶縁膜（図示せず）が形成されている。この絶縁膜は、インクジェットヘッド１の駆動時の絶縁破壊やショートを防止するためのものである。またキャビティ基板２のノズル基板４が接合される側の面には、酸化シリコン等からなる耐液滴保護膜（図示せず）が形成されている。この耐液滴保護膜は、圧力室１３やリザーバ１４の内部の吐出液によりキャビティ基板２がエッチングされるのを防止するためのものである。
【００１６】
電極基板３は、例えばホウ珪酸ガラスからなり、横長形状の複数の電極形成用溝１９内にそれぞれ独立した電極である個別電極１８が形成されている。電極基板３は、その個別電極１８をキャビティ基板２の振動板１２と隙間２０を介して対向させた状態で、キャビティ基板２と接合されている。この振動板１２と個別電極１８とが、インクジェットヘッド１の静電アクチュエータを構成している。
振動板１２と個別電極１８との隙間２０は、図２に示すように、圧力室１３の長手方向の中間部とその両端部との間において、該中間部と各端部とのそれぞれの間の中心部に行くに従って広くなっている。
【００１７】
電極基板３にはさらに、キャビティ基板２のインク供給口１７Ａに連通するインク供給口１７Ｂが形成されている。このインク供給口１７Ｂは、リザーバ１４に吐出液であるインクを外部から供給するために設けられている。また、キャビティ基板２と電極基板３との間に形成される隙間２０は、そこに水蒸気等が浸入するのを防止するために封止材２２によって封止されている。
【００１８】
次に、インクジェットヘッド１の動作について説明する。図２に示すように、キャビティ基板２の共通電極端子２１と個別電極１８の電極端子部１８Ａには駆動回路２５が接続されている。駆動回路２５によりキャビティ基板２の振動板１２と個別電極１８との間にパルス電圧が印加されると、それらの間に静電力（クーロン力）が発生し、図３に示すように、振動板１２が個別電極１８側に吸引されて変形し、その大部分が個別電極１８に当接する。振動板１２の個別電極１８への当接は、それらの間の隙間２０の狭い、振動板１２の長手方向の両端部と中間部から起こり始めて、その隙間２０の広い振動板１２の長手方向の両端部と中間部との間の中心部に向かって順次進んで行き、最後にその隙間２０の最も広い上記中心部が当接する。振動板１２のこのような連続的な変形に応じて、ノズル８部分やリザーバ１４に溜まっていた吐出液が圧力室１３に流れ込む。そして、キャビティ基板２と個別電極１８間の印加電圧が取り除かれると、吸引力がなくなるため振動板１２が元の状態に戻る。この振動板１２の戻りの態様は、振動板１２が個別電極１８に当接する場合とは逆に、上記中心部から振動板１２の長手方向の両端部及び中間部に向かって順次進んで行く。これによって圧力室１３内部の圧力が高くなって、ノズル８からインクが吐出される。
【００１９】
振動板１２と個別電極１８間に発生する静電力は、振動板１２と個別電極１８との距離（隙間２０に対応）の２乗に反比例して大きくなる。そのため、図３に示おいて、振動板１２は隙間２０の狭い部分の個別電極１８２，１８７，１９２から個別電極１８に順次当接して行き、最後に隙間２０の最も広い中心部分の個別電極１８４，１９０に当接する。その際、圧力室１３内のインクは、振動板１２の動作に従い、図３に示す矢印の方向にそれぞれ移動する。
このインクジェットヘッド１では、圧力室１３の長手方向の中間部及び両端部（ノズル８連通側とリザーバ１４連通側）の隙間２０の幅が最も狭く、そこから上記中間部と上記両端部との間の中心部に向かって、隙間２０の幅が広くなる構成となっている。そのため、圧力室１３内のインクは振動板１２の個別電極１８への当接による圧力室１３の拡大により、ノズル８側とリザーバ１４側から中央に向かって移動すると共に、圧力室１３中央部分のインクもそれぞれノズル８側とリザーバ１４側に向かって移動する。その後、振動板１２と個別電極１８の電位を同電位にして、それらの部分の電荷を放電すると、振動板１２は隙間２０の最も幅広の部分から幅狭の部分への順番で個別電極１８から順次離脱する。これにより、圧力室１３内のインクは図中の矢印とは逆方向に移動して振動し、その圧力変動によりノズル８からインクの吐出が行われる。インク吐出後、圧力室１３内のインクは、残留振動が減衰しながら、メニスカスの復元力により、オリフィス１５を介してリザーバ１４からインクが供給されて静定する。
【００２０】
図４は上述のインクジェトヘッド１における圧力室１３内のインクの挙動について説明するための図であり、インク流路のパラメータ、特に質量成分であるイナータンスの説明に関する図である。圧力室１３におけるイナータンスは、圧力室１３内の流路断面積、流路長さ、及びインクの密度により決まる。ここでは、圧力室１３を、（１）ノズル８連通側〜個別電極１８の最深部１８４に対応する部分、（２）個別電極１８の最深部１８４に対応する部分〜圧力室１３の長手方向の中間部、（３）圧力室１３の長手方向の中間部〜個別電極１８の最深部１９０に対応する部分、及び（４）個別電極１８の最深部１９０に対応する部分〜リザーバ１４連通側、の４つの部分に分割して考える。
【００２１】
吸引力による振動板１２の変化に従い、これら各部分のインクは、おのおの図３で示される矢印方向に動き、その時の流体としてのインクの動的な抵抗（加速度）は、それぞれの部分のイナータンスM1、M2、M3、M4によって決まる。
インク吐出に最も寄与する圧力室１３のノズル８側でのインクの振動は、M１と、それ以外のイナータンスにより決まる。この時、振動板１２と個別電極１８から構成される静電アクチュエータに負荷として寄与するイナータンスMn1は、以下の式で示される。
Mn1＝｛1/M1+1/（M2+M3+M4）｝-1
電極基板３の電極形成用溝１９は、各イナータンスが、M＝M1＝M2＝M3＝M4となるように、その深さを決めて設定されているので、結局、Mn1は以下の値となる。
Mn1＝3/4・M
【００２２】
一方、圧力室１３の長手方向の隙間２０の幅を一定にした従来の構成の場合には、イナータンスMnは、以下の式で示される。
Mn＝｛1/（M1+M2）+1/（M3+M4）｝-1
従来の例においても、2M＝M1+M2＝M3+M4となるように、同一の圧力室１３に対する振動板１２と個別電極１８との間の隙間２０に関して、最深部の位置を決めて設定することができ、その場合のMnは以下の値となる。
Mn＝M
ただし、この時の圧力室１３内でのインクの主な流れは、イナータンスがM1+M2のノズル８連通側と、M3+M4のリザーバ１４連通側（オリフィス１５側）との２つとなる。
【００２３】
すなわち、本実施形態の静電アクチュエータに負荷として寄与するイナータンスMn1は、従来の値Mnに対して、
Mn1=3/4・Mn
となる。従って、従来の例に示されるような流路全体を一度に駆動する形式の静電アクチュエータよりも、本発明のように、圧力室１３底面の振動板１２と個別電極１８とで形成される隙間２０を、圧力室１３の長手方向の中間部を中心にその左側と右側でそれぞれ階段状の段差を有するように形成することで、振動板１２を利用してのインク駆動がより小さな動的負荷で可能となり、同一のインク容積（排除体積）であれば、より速い駆動やより低電圧での駆動が可能となることがわかる。
【００２４】
また、上記インクジェットヘッド１は、インクの駆動の動的負荷が小さいため、振動板１２の吸引時のメニスカスの引き込みの応答性が高まり、同一の駆動電圧や時間であれば、振動板１２のより大きな変位や、圧力室１３内でより大きなインクの振動振幅を生じさせることができ、結果としてノズル８からのインクの吐出量の制御が可能となる。インク吐出量の制御は、駆動の高い応答性により、充電の速度を制御して行う。例えば、急速な充電により高速に振動板１２を吸引して微小なインクを吐出し、緩やかな充電により振動板１２を緩やかに吸引して多量のインク吐出が可能となる。
【００２５】
このように、上記インクジェットヘッド１によれば、振動板１２が個別電極１８に当接する際の負荷を小さくして、振動板１２を素早く個別電極１８に吸引することができるので、駆動電圧を低電圧化したり、応答性を損なうことなくインク吐出量を増やして、ヘッドの吐出能力を向上できる。その結果、これを利用した印刷装置の高速化や高性能化が図れる。しかも、これらの駆動を実現するための余計な配線や複雑な制御を必要とせず容易に実現できる。
【００２６】
ところで、個別電極１８の階段状の隣り合う段差は、圧力室１３の長手方向の中間部と両端部とのそれぞれの間において、それぞれの間の中心部に行くに従って順次小さくなっていることが好ましい。このようにすることで、圧力室１３の長手方向の中間部及び両端部からそれらの間の中心部へ向かって、振動板１２が連続的になめらかに当接できるようになり、従ってインクの挙動及び吐出に関する制御がより容易になるからである。
【００２７】
また、圧力室１３の長手方向の中間部とノズル８連通側の長手方向端部との間の隙間２０の最大距離を、上記中間部とリザーバ１４連通側の長手方向端部との間の隙間２０の最大距離より大きくしていることが好ましい。このようにして、圧力室１３のノズル８側での振動板１２の変形量が大きく取れるようにしておくことで、ノズル８部分のインクのメニスカスの引き込みに合わせた駆動制御が行い易くなるからである。
【００２８】
なお、図５に示すように、電極基板３の電極形成用溝１９を、これまでの例のように階段状ではなく、連続的な傾斜面に形成しそこに一様な厚さの個別電極１８を形成した場合には、吸引力による振動板１２の変化がより滑らかに行われるため、インクの挙動や吐出量をさらに制御し易くすることができる。
【００２９】
次に、実施の形態１に示したインクジェットヘッド１の製造方法に一例を図６〜図９に基づいて簡単に説明しておく。なお、以下の説明では、これまで用いてきた符号をつけて各部材及び各要素を説明する。
図７は電極基板３の製造工程の一例を示すフローチャートである。電極基板３は、ホウ珪酸ガラス等のガラス基板（これも符号３で表す）に、ウェットエッチングに対する保護膜となるクロムをスパッタで成膜する（Ｓ１）。次に、フォトリソなどを利用して電極形成用溝１９が形成できるようにパターニングし、所定部位のクロムを除去する（Ｓ２）。その後、ガラス基板３をウェットエッチングして、クロムの除去部分に電極形成用溝１９を形成する（Ｓ３）。このＳ２〜Ｓ３の工程では、図６の（ａ）〜（ｇ）に示したように、ガラス基板３上のクロム３１の所定部位３２の除去と、電極形成用溝１９のエッチングをそれぞれ複数回繰り返すことで、階段状に多段となった電極形成用溝１９を形成する事ができる。
なお、図６では、図２に示した電極形成用溝１９の一部だけしか示していないが、電極形成用溝１９は、圧力室１３の長手方向の中間部と両端部とのそれぞれの間に対応する部分において、同時進行による加工により形成することができる。
【００３０】
続いて、クロムを剥離して除去した後（Ｓ４）、電極形成用溝１９が形成された側のガラス基板３の表面全体に、後に個別電極となるＩＴＯをスパッタで成膜する（Ｓ５）。さらに、ガラス基板３のＩＴＯをパターニングして、電極形成用溝１９内の個別電極１８（リード部や電極端子部を含む）だけを残して、残りのＩＴＯを除去する（Ｓ６）。最後に、インク供給口１７Ｂとなるガラス穴加工を行い（Ｓ７）、電極基板３が完成する（Ｓ８）。
なお、図５で示したインクジェットヘッドの電極基板は、Ｓ２〜Ｓ３の工程で、図６の（ａ）〜（ｇ）に示したような、クロム３１の所定部位３２の除去と、電極形成用溝１９のエッチングをそれぞれ多数繰り返すことで、段差を有してはいるが曲面に近似した凹形状の電極形成用溝１９を形成する事ができる。
【００３１】
図８はキャビティ基板２の製造工程の一例を示すフローチャートである。まず、シリコン基板（これも符号２で表す）の片側面に、ボロンをドープするボロン拡散処理を行う（Ｓ１１）。続いて、そのシリコン基板２を熱処理してその両面にＳｉＯ2 の熱酸化膜を形成する（Ｓ１２）。この熱酸化膜はシリコン基板２をエッチングする際のハードマスクとなるものである。続いて、熱酸化膜をパターニングして、圧力室１３、リザーバ１４などとなる部分の熱酸化膜を除去する（Ｓ１３）。その後、シリコン基板２をＫＯＨ液でエッチングして、圧力室１３、リザーバ１４などとなる凹部を形成する（Ｓ１４）。この場合、ボロンがドープされた部分では、ボロンドープ層がエッチングストップ層として作用しＫＯＨ液によるエッチングが停止する。したがってそのボロンドープ層が圧力室１３の底壁、すなわち振動板１２となる。最後に、シリコン基板２上に残っている熱酸化膜を一旦除去した後、再度、熱酸化膜（又はＴＥＯＳ酸化膜）をシリコン基板２の両面に形成する（Ｓ１５）。その酸化膜は、圧力室１３及びリザーバ１４側ではインク保護膜として作用し、その反対側面では絶縁膜として作用する。これらにより、インクの流路を構成するキャビティが形成されたキャビティ基板２が完成する（Ｓ１６）。
【００３２】
図９はインクジェットヘッドの組立工程の一例を示すフローチャートである。図７のようにして製作した電極基板３と、図８のようにして製作したキャビティ基板２とを陽極接合等により積層する（Ｓ２１）。そして、それらの積層により形成された個別電極１８と振動板１２との間の隙間２０を封止材２２で封止する（Ｓ２２）。その後、キャビティ基板２にノズル基板４を接着接合する（Ｓ２３）。さらに、シリコンのウェハ単位で製造されてきたキャビティ基板２、電極基板３及びノズル基板４からなる積層基板を所定の単位毎に切断する（Ｓ２４）。その後、電極基板３の電極端子部１８Ａ及びキャビティ基板２の共通電極端子２１に、ケーブル付き端子（ＦＰＣ）を装着することで（Ｓ２５）、インクジェットヘッド１の基本形が完成する（Ｓ２６）。
なお、図７のようにして形成した電極基板３に、キャビティ形成前のシリコン基板２を陽極接合してから、図８に準じてシリコン基板２にキャビティを形成する加工を施し、そのキャビティ基板２と電極基板３との積層体に、ノズル基板４を接合するようにしてインクジェットヘッド１を製造しても良い。
【００３３】
実施の形態２
図１０は本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド１を備えた実施形態２に係るインクジェットプリンタを示したものある。既に説明したように、インクジェットヘッド１は駆動電圧を低くして液滴の吐出量を十分にできるため、それを利用したプリンタ１００も、低消費電力でインク吐出量を多くできる。また、振動板１２の駆動速度も早くなっているため、印字速度も速い。従って、プリンタ１００は印刷性能に優れたものとなっている。
なお、本発明の液滴吐出ヘッドは、インクを吐出させる以外にも、各種の液体または溶液、例えば、カラーフィルタのフィルタ材を含んだ溶液、有機ＥＬ表示装置の発光材を含んだ溶液、電気配線材料を含んだ溶液、生体液体等、各種液滴の吐出装置としても利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッドを示す分解斜視図。
【図２】図１のインクジェットヘッドの圧力室長手方向に沿う縦断面図。
【図３】インクジェットヘッドの動作を説明する図２に対応する図。
【図４】インクジェットヘッドの圧力室のイナータンスの説明に関する図。
【図５】実施形態１に係るインクジェットヘッドの変形例を示す図２に対応する図。
【図６】電極基板の電極形成用溝の製造工程の説明図。
【図７】電極基板の製造工程の一例を示すフローチャート。
【図８】キャビティ基板の製造工程の一例を示すフローチャート。
【図９】インクジェットヘッドの組立工程の一例を示すフローチャート。
【図１０】本発明の実施形態２に係るインクジェットプリンタを示す斜視図。
【符号の説明】
【００３５】
１  インクジェットヘッド、２  キャビティ基板、３  電極基板、４  ノズル基板、６  第１のノズル孔、７  第２のノズル孔、８  ノズル、１２  振動板、１３  圧力室、１４  リザーバ、１５  オリフィス、１７Ａ，１７Ｂ  インク供給口、１８  個別電極、１８Ａ  電極端子部、１９  電極形成用溝、２０  隙間、２１  共通電極端子、２２  封止材、２５  駆動回路、１００  プリンタ、１８１〜１９３  各段差部の個別電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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