(57)【要約】【課題】カラーフィルタ基板の光透過欠陥部に遮光部を、もしくは異物等の高さのある欠陥をレーザーリペアで除去して遮光部を形成するカラーフィルタ欠陥の修正方法及びカラーフィルタ基板を提供することを目的とする。【解決手段】カラーフィルタ基板１００の検査工程で異物等の高さのある欠陥６１を特定し、レーザーリペアで除去して、ピンホール状の光透過部６２を形成した後、前記ピンホール状の光透過部に修正用インクを埋め込み、硬化することにより、高さのある欠陥に光を遮光するための遮光部６３を設けることにより、良品レベルのカラーフィルタ基板１００ｂを得ることができる。【選択図】図２
2009036804.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上にブラックマトリクス、着色フィルタ、透明電極等を形成してなるカラーフィルタ基板の光透過欠陥部を修正するカラーフィルタ欠陥の修正方法であって、
前記カラーフィルタ基板の検査工程で発見された色抜け等の光が透過するピンホール状の光透過欠陥部に修正用インクを埋め込み、硬化することにより、前記ピンホール状の光透過欠陥部に光を遮光するための遮光部を設けることを特徴とするカラーフィルタ欠陥の修正方法。
【請求項２】
透明基板上にブラックマトリクス、着色フィルタ、透明電極等を形成してなるカラーフィルタ基板の検査工程で発見された異物等の高さのある欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥の修正方法であって、
前記カラーフィルタ基板の検査工程で発見された異物等の高さのある欠陥部をレーザー光を照射して除去して、ピンホール状の光透過部を形成した後、前記ピンホール状の光透過部に修正用インクを埋め込み、硬化することにより、前記高さのある欠陥に光を遮光するための遮光部を設けることを特徴とするカラーフィルタ欠陥の修正方法。
【請求項３】
前記修正用インクが、少なくとも４０〜６０重量％の樹脂バインダーと、１５〜３０重量％の黒色顔料と、０．１〜１０重量％の溶剤と、２〜５重量％の分散剤と、で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ欠陥の修正方法。
【請求項４】
前記修正用インクが、少なくとも４０〜６０重量％の樹脂バインダーと、１５〜３０重量％の黒色顔料と、０．１〜１０重量％の溶剤と、２〜５重量％の分散剤と、２〜５重量％の重合開始剤と、で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ欠陥の修正方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載のカラーフィルタ欠陥の修正方法を用いて作製したことを特徴とするカラーフィルタ基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ基板に発生したピンホール状の光透過部に修正用インクを埋め込み、硬化することにより、光を遮光するための遮光部を設けるカラーフィルタ欠陥の修正方法及びカラーフィルタ基板に関し、特に、ピンホール状の光透過欠陥部、もしくはピンホール状の光透過部に修正用インクを用いて遮光部を設けるカラーフィルタ欠陥の修正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大型カラーテレビ、ノートパソコン、携帯用電子機器の増加に伴い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要の増加はめざましいものがある。
これらカラー液晶ディスプレイに使用されるＬＣＤ用カラーフィルタは、パターン精度、分光特性、欠陥レベルに対しても高度のものが要求されている。
【０００３】
ＬＣＤ用カラーフィルタに対する表示品位の要求が厳しくなっている。特に、カラー液晶ディスプレイの使用環境が暗い場所であったり、カラー液晶ディスプレイのバックライトの光量をあげて、明度とコントラストを上げる取り組み等により、光を透過してしまう光透過欠陥（白欠陥とも言う）が以前より見え易くなってきている。
一方、光を通さない黒欠陥は、光源等によることなく、規格は従来のままであった。
【０００４】
カラー液晶ディスプレイパネルに用いられるＬＣＤ用カラーフィルタは、ガラス基板等の透明基板上に、ブラックマトリックス、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタ等からなる着色フィルタ、スペーサー等がフォトマスクを用いたパターン露光、現像等のパターニング処理を行うフォトリソグラフィープロセスを経て形成されるのが一般的で、カラーフィルタの品質検査は、各工程途中に行われる工程検査とカラーフィルタ工程が終了して行われる最終検査とがある。
【０００５】
透明基板上に、ブラックマトリックス、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタ等からなる着色フィルタ形成後の工程検査で発見される赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタ起因の異物、色抜け等の欠陥は、レーザーで除去した後、同色の修正インクを用いて色修正を実施している。
【０００６】
また、透明電極形成後の高さ規格を超える異物欠陥は、テープ研磨により処理を行って救済することができる。
しかし、透明電極形成後以降に発生した異物欠陥、もしくは、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタ等からなる着色フィルタ形成後の工程検査で見逃した欠陥については、修正せずに不良扱いとしていた。
【０００７】
カラーフィルタの透明電極上の異物欠陥に対しては、照射範囲を指定してレーザーで除去する方法がある。これは、レーザーで照射した範囲の透明電極が除去されるため、透明電極ピンホールと同様な状況になる。
【０００８】
ブラックマトリックス、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタ等からなる着色フィルタ形成後に発見される異物、色が薄くなっている部分や着色フィルタが部分的に形成されていない部分（白ピンホール）に対しては、レーザーで所定の範囲を除去して、インキを塗布、乾燥して修正を行う方法が提案されている（例えば、特許文献1参照）。
これは、ワーク上の欠陥を特定し、前記欠陥をレーザーで除去して欠陥除去部を形成し、前記欠陥除去部に針部材にて微量な修正液を塗布、乾燥して欠陥を修正するというもので
ある。
上記欠陥の修正方法は、ワーク基板上の欠陥を特定し、修正液が先端に付着した針部材をワーク基板の欠陥の特定された位置にできるだけ衝撃を与えないように接触させることにより、修正液を塗布して欠陥を修正し、一定の間隔で針部材を洗浄することにより、塗布対象部を傷つけることなく、極めて微少な修正液の塗布を微調整なしに容易に行なうことができ、作業効率が向上する、としている。
【０００９】
また、ブラックマトリックス、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタ等からなる着色フィルタ形成後の赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタに色抜けが見つかった場合は、色抜け部分に同色のインクを塗布、乾燥して、良品とする修正方法がある。
【００１０】
上記欠陥の修正方法は、透明電極形成前の修正方法としては有効であるが、透明電極形成後の赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタに発見された色抜け等の欠陥は、色抜け等の欠陥部の透明電極を除去した後同色のインクで埋めて、更に透明電極を形成する必要がある。
ここで、透明電極形成後に発見される修正のできない、規定サイズ以上の赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタの色抜け等の欠陥は、不良品として処理されるという問題を有している。
【特許文献１】特開２００１−１６６１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、透明基板上にブラックマトリクス、着色フィルタ、透明電極等を形成してなるカラーフィルタ基板の光透過欠陥部に遮光部を、もしくは異物等の高さのある欠陥をレーザーリペアで除去して遮光部を形成することにより、良品レベルのカラーフィルタを得るためのカラーフィルタ欠陥の修正方法及びカラーフィルタ基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、透明基板上にブラックマトリクス、着色フィルタ、透明電極等を形成してなるカラーフィルタ基板の光透過欠陥部を修正するカラーフィルタ欠陥の修正方法であって、
前記カラーフィルタ基板の検査工程で発見された色抜け等の光が透過するピンホール状の光透過欠陥部に修正用インクを埋め込み、硬化することにより、前記ピンホール状の光透過欠陥部に光を遮光するための遮光部を設けることを特徴とするカラーフィルタ欠陥の修正方法としたものである。
【００１３】
また、請求項２においては、透明基板上にブラックマトリクス、着色フィルタ、透明電極等を形成してなるカラーフィルタ基板の検査工程で発見された異物等の高さのある欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥の修正方法であって、
前記カラーフィルタ基板の検査工程で発見された異物等の高さのある欠陥ぶをレーザーを照射して除去して、ピンホール状の光透過部を形成した後、前記ピンホール状の光透過部に修正用インクを埋め込み、硬化することにより、前記高さのある欠陥に光を遮光するための遮光部を設けることを特徴とするカラーフィルタ欠陥の修正方法としたものである。
【００１４】
また、請求項３においては、前記修正用インクが、少なくとも４０〜６０重量％の樹脂バインダーと、１５〜３０重量％の黒色顔料と、０．１〜１０重量％の溶剤と、２〜５重量％の分散材と、で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ欠陥の修正方法としたものである。
【００１５】
また、請求項４においては、前記修正用インクが、少なくとも４０〜６０重量％の樹脂バインダーと、１５〜３０重量％の黒色顔料と、０．１〜１０重量％の溶剤と、２〜５重量％の分散剤と、２〜５重量％の重合開始剤と、で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ欠陥の修正方法としたものである。
【００１６】
さらにまた、請求項５においては、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のカラーフィルタ欠陥の修正方法を用いて作製したことを特徴とするカラーフィルタ基板としたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法は、欠陥の種類（透過欠陥（白ピンホール）、または、異物等の高さのある欠陥）に対して、光を遮光するための遮光部を設けることにより、修正個所の透過率を正常部分より低くしたカラーフィルタを作製することができる。
このことから、本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法を用いて作製したカラーフィルタ基板を液晶パネル化した際の液晶パネル点灯時の輝点不良を抑えることができる。
また、従来の修正装置を用いて、複雑なプロセスを経ることなく、透明電極形成後のカラーフィルタ基板の欠陥修正を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図１（ａ）〜（ｃ）は、請求項1に係る本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法の一実施例を、図２（ａ）〜（ｄ）は、請求項２に係る本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法の一実施例を、図３（ａ）及び（ｂ）は、本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法を用いて作製した本発明のカラーフィルタ基板の一実施例を、それぞれ示す模式構成図である。
本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法に用いるカラーフィルタ基板１００は、ガラス等からなる透明基板１１上にブラックマトリクス２１と、赤色フィルタ３１Ｒと、緑色フィルタ３２Ｇと、青色フィルタ３３と、透明電極４１と、が順次形成されたもので、必要に応じて配向制御突起及びスペーサーを形成することもできるが、ここでは配向制御突起及びスペーサー形成工程は省略してある。
【００１９】
本発明の本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法について説明する。
請求項１に係る本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法は、カラーフィルタ基板の検査工程で発見された色抜け等の光が透過するピンホール状の光透過欠陥部に修正用インクを埋め込み、硬化することにより、前記ピンホール状の光透過欠陥部に光を遮光するための遮光部を設けるものである。
【００２０】
まず、ガラス等からなる透明基板１１上にブラックマトリクス２１と、赤色フィルタ３１Ｒと、緑色フィルタ３２Ｇと、青色フィルタ３３Ｂと、透明電極４１と、が順次形成されたカラーフィルタ基板１００を作製する（図１（ａ）参照）。
【００２１】
次に、目視検査またはカラーフィルタ基板を透過した光を画像処理する等の検査方法により、カラーフィルタ基板１００を検査することにより、カラーフィルタ基板１００に生じた光透過欠陥部５１を検出する（図１（ｂ）参照）。
ここでは、赤色フィルタ３１Ｒにピンホール状の光透過欠陥部５１が検出されたとする。
【００２２】
次に、ピンホール状の光透過欠陥部５１に後記する修正インクをディスペンサー等で注入、塗布する。
ここで、修正インクとして、加熱硬化タイプの修正インクを使用した場合は、インクの注
入、塗布後に基板を所定の温度で加熱することで、インクを乾燥、硬化して遮光部５２を形成する。
また、修正インクとして、紫外線硬化タイプの修正インクを使用した場合は、注入、塗布されたインクに紫外線を照射して硬化し、遮光部５２を形成する。
以上の工程で、ピンホール状の光透過欠陥部５１が遮光部５２にて修正されたカラーフィルタ基板１００ａを得ることができる（図１（ｃ）参照）。
上記遮光部５２の光透過率は、各色の着色フィルタの透過率と同等か、それ以下が好ましい。
さらに、ＣＶＤ法等により遮光部５２上、もしくは遮光部５２周辺にスポット状に導電膜（特に、図示せず）を形成して導電性を付与することが好ましい。
【００２３】
ここで、上記修正された遮光部５２は黒点となるため、遮光部５２のサイズは、各カラーフィルタ基板で設定された黒点不良規格を超えることはできない。
一般的に、輝点不良のサイズは、黒点不良のサイズより小さく設定されている。
というのも、液晶パネルのバックライトが明るい状態では、輝点不良が黒点不良に比べて人間の目に見えやすい、という事実による。
このことから、カラーフィルタ基板１００の検査でピンホール状の光透過欠陥部５１を抽出する際、光透過欠陥部５１のサイズ判定には、充分な注意が必要である。
【００２４】
請求項２に係る本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法は、カラーフィルタ基板の検査工程で発見された異物等の高さのある欠陥部をレーザー光を照射して除去して、光が透過するピンホール状の光透過部を形成した後、前記ピンホール状の光透過部に修正用インクを埋め込み、硬化することにより、前記高さのある欠陥に光を遮光するための遮光部を設けるものである。
【００２５】
まず、ガラス等からなる透明基板１１上にブラックマトリクス２１と、赤色フィルタ３１Ｒと、緑色フィルタ３２Ｇと、青色フィルタ３３Ｂと、透明電極４１と、が順次形成されたカラーフィルタ基板１００を作製する（図２（ａ）参照）。
【００２６】
次に、目視検査又は機械的触針画像抽出処理検査等によりカラーフィルタ基板１００を検査することにより、カラーフィルタ基板１００に生じた異物等の高さのある欠陥６１を検出する（図２（ｂ）参照）。
ここでは、赤色フィルタ３１Ｒに高さのある欠陥６１が検出されたとする。
【００２７】
次に、異物等の高さのある欠陥６１と赤色フィルタ３１Ｒの一部をレーザー光を照射して除去し、光が透過するピンホール状の光透過欠陥部６２を形成する（図２（ｃ）参照）。
【００２８】
次に、ピンホール状の光透過欠陥部６２に後記する修正インクをディスペンサー等で注入、塗布する。
ここで、修正インクとして、加熱硬化タイプの修正インクを使用した場合は、インクの注入、塗布後に所定の温度で加熱することで、インクを乾燥、硬化して遮光部６３を形成する。
また、修正インクとして、紫外線硬化タイプの修正インクを使用した場合は、インクの注入、塗布後に紫外線を照射して硬化し、遮光部６３を形成する。
以上の工程で、異物等の高さのある欠陥６１が遮光部６３にて修正されたカラーフィルタ基板１００ｂを得ることができる（図２（ｄ）参照）。
上記遮光部６３の光透過率は、各色の着色フィルタの透過率と同等か、それ以下が好ましい。
さらに、ＣＶＤ法等により遮光部６３上にスポット状に導電膜（特に、図示せず）を形成
して導電性を付与することが好ましい。
【００２９】
ここで、上記異物等の高さのある欠陥６１、ピンホール状の光透過部６２及び遮光部６３の各サイズは、修正された遮光部６３が黒点となるため、各カラーフィルタ基板で設定された黒点不良規格を超えることはできない。
一般的に、輝点不良のサイズは、黒点不良のサイズより小さく設定されている。
というのも、液晶パネルのバックライトが明るい状態で、輝点不良が黒点不良に比べて人間の目に見えやすい、という事実による。
このことから、カラーフィルタ基板１００の検査で異物等の高さのある欠陥６１を検出する際、異物等の高さのある欠陥６１のサイズ判定には、充分な注意が必要である。
【００３０】
請求項３に係る本発明の修正インクは、少なくとも４０〜６０重量％の樹脂バインダーと、１５〜３０重量％の黒色顔料と、０．１〜１０重量％の溶剤と、２〜５重量％の分散剤と、で構成されており、修正インクを光透過欠陥部に注入、塗布した後加熱硬化して遮光部を形成するのに使用される。
樹脂バインダーは、光透過欠陥部に修正インクを接着、固定する役目を有するもので、アクリル系、エポキシ系、ポリエステル系の樹脂が使用でき、特にアクリル系樹脂が好適である。
樹脂バインダーの含有量は、４０〜６０重量％の範囲で適宜設定することができる。
【００３１】
黒色顔料としては、アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンツイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリノン系等の有機顔料の他に、カーボンブラック等の無機顔料等も使用可能である。
黒色顔料の含有量は、遮光部の光学濃度設定により、１５〜３０重量％の範囲で適宜設定することができる。
【００３２】
溶剤は、光透過欠陥部に修正インクを注入、塗布する際の修正インクの均一な注入、塗布を可能とすると共に、黒色顔料を均一に分散させる機能を有するものである。
溶剤としては、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等の有機溶剤を挙げることができる。
溶剤の含有量は、修正インクの粘度設定により、０．１〜１０重量％の範囲で適宜設定することができる。
【００３３】
分散剤は、上記黒色顔料を樹脂バインダー中に均一に分散させるためのもので、リノレン酸ナトリウム、オレイン酸ナトリウム等が使用できる。
分散剤の含有量は、２〜５重量％の範囲で適宜設定することができる。
【００３４】
請求項４に係る本発明の修正インクは、少なくとも４０〜６０重量％の樹脂バインダーと、１５〜３０重量％の黒色顔料と、０．１〜１０重量％の溶剤と、２〜５重量％の分散剤と、２〜５重量％の重合開始剤と、で構成されており、修正インクを光透過欠陥部に注入、塗布した後紫外線照射して硬化し、遮光部を形成するのに使用される。
樹脂バインダーは、光透過欠陥部に修正インクを接着、固定する役目を有するもので、アクリル系、エポキシ系、ポリエステル系の樹脂が使用でき、特にアクリル系樹脂が好適である。
樹脂バインダーの含有量は、４０〜６０重量％の範囲で適宜設定することができる。
【００３５】
黒色顔料としては、アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンツイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリノン系等の有機顔料の他に、カーボンブラック等の無機顔料等も使用可能である。
黒色顔料の含有量は、遮光部の光学濃度により、１５〜３０重量％の範囲で適宜設定することができる。
【００３６】
溶剤は、光透過欠陥部に修正インクを注入、塗布する際の修正インクの均一な注入、塗布を可能とすると共に、黒色顔料を均一に分散させる機能を有するものである。
溶剤としては、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等の有機溶剤を挙げることができる。
溶剤の含有量は、修正インクの粘度により、０．１〜１０重量％の範囲で適宜設定することができる。
【００３７】
分散剤は、上記黒色顔料を樹脂バインダー中に均一に分散させるためのもので、リノレン酸ナトリウム、オレイン酸ナトリウム等が使用できる。
分散剤の含有量は、２〜５重量％の範囲で適宜設定することができる。
【００３８】
重合開始剤は、紫外線照射によるバインダー樹脂の重合反応を促進させるもので、重合開始剤としては、アセトフェノン系光重合開始剤、スルホニウム有機ホウ素錯体、オキソスルホニウム有機ホウ素錯体、オキシムエステル系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサンソン系化合物、トリアジン系化合物、ホスフィン系化合物、キノン系化合物、カルバゾール系化合物、イミダゾール系化合物、チタノセン系化合物等を挙げることができる。
重合開始剤の含有量は、２〜５重量％の範囲で適宜設定することができる。
【００３９】
請求５に係る本発明のカラーフィルタ基板は、上記本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法を用いて作製したものである（図３（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００４０】
以下実施例にて本発明を詳細に説明する。
【実施例１】
【００４１】
まず、ガラス基板からなる透明基板１１上にアクリル系の感光性樹脂にカーボンブラックを分散した黒色の感光性樹脂溶液をスピンナー等にて塗布して黒色感光性樹脂層を形成し、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス２１を形成した。
【００４２】
次に、ブラックマトリクス２１が形成された透明基板１１上にアクリル系の感光性樹脂に赤色顔料（例えば、ジアントラキノン系顔料）を分散した赤色感光性樹脂溶液をスピンナー等にて塗布して、赤色感光性樹脂層を形成し、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、赤色フィルタ３１Ｒを形成した。
【００４３】
次に、ブラックマトリクス２１及び赤色フィルタ３１Ｒが形成された透明基板１１上にアクリル系の感光性樹脂に緑色顔料（例えば、フタロシアニングリーン系顔料）を分散した緑色感光性樹脂溶液をスピンナー等にて塗布して緑色感光性樹脂層を形成し、所定のフ
ォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、緑色フィルタ３２Ｇを形成した。
【００４４】
次に、ブラックマトリクス２１、赤色フィルタ３１Ｒ及び緑色フィルタ３２Ｇが形成された透明基板１１上にアクリル系の感光性樹脂に青色顔料（例えば、フタロシアニンブルー系顔料）を分散した青色感光性樹脂溶液をスピンナー等にて塗布して青色感光性樹脂層を形成し、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、青色フィルタ３３Ｂを形成した。
【００４５】
次に、酸化インジウム錫系の合金ターゲットをスパッタリングして、透明基板１１上のブラックマトリクス２１、赤色フィルタ３１Ｒ、緑色フィルタ３２Ｇ及び青色フィルタ３３Ｂ上に透明電極４１を形成し、ガラス基板からなる透明基板１１上にブラックマトリクス２１、赤色フィルタ３１Ｒ、緑色フィルタ３２Ｇ、青色フィルタ３３Ｂ及び透明電極４１が形成されたカラーフィルタ基板１００を作製した（図１（ａ）参照）。
【００４６】
次に、カラーフィルタ基板１００を検査した結果、カラーフィルタ基板１００の赤色フィルタ３１Ｒに３０μｍφサイズのピンホール状の光透過欠陥部５１が発見された（図１（ｂ）参照）。
【００４７】
次に、ピンホール状の光透過欠陥部５１に下記に示す修正インクＡをディスペンサーで注入、塗布し、温度１８０℃で硬化して遮光部５２を形成した。
さらに、ＣＶＤ法により遮光部５２上周辺にスポット状に導電膜（特に、図示せず）を形成して導電性を付与し、ピンホール状の光透過欠陥部５１が遮光部５２にて修正された良品レベルのカラーフィルタ基板１００ａを得ることができた（図１（ｃ）参照）。
【００４８】
修正インクＡ
樹脂バインダー：ポリエチレングリコールジアクリレート・・・・・６５重量％
黒色顔料：カーボンブラック・・・・・・・・・・・・・・・・・・２０重量％
溶剤：シクロヘキサノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１０重量％
分散剤：リノレン酸ナトリウム・・・・・・・・・・・・・・・・・  ５重量％
【実施例２】
【００４９】
実施例１と同様な工程で、ガラス基板からなる透明基板１１上にブラックマトリクス２１、赤色フィルタ３１Ｒ、緑色フィルタ３２Ｇ、青色フィルタ３３Ｂ及び透明電極４１が形成されたカラーフィルタ基板１００を作製した（図１（ａ）参照）。
【００５０】
次に、カラーフィルタ基板１００を検査し、カラーフィルタ基板１００の赤色フィルタ３１Ｒに３０μｍφサイズのピンホール状の光透過欠陥部５１が発見された（図１（ｂ）参照）。
【００５１】
次に、ピンホール状の光透過欠陥部５１に下記に示す修正インクＢをディスペンサーで注入、塗布し、紫外線を照射して硬化し、遮光部５２を形成した。
さらに、ＣＶＤ法により遮光部５２上周辺にスポット状に導電膜（特に、図示せず）を形成して導電性を付与し、ピンホール状の光透過欠陥部５１が遮光部５２にて修正された良品レベルのカラーフィルタ基板１００ａを得ることができた（図１（ｃ）参照）。
【００５２】
修正インクＢ
樹脂バインダー：ポリエチレングリコールジアクリレート・・・・・６５重量％
黒色顔料：カーボンブラック・・・・・・・・・・・・・・・・・・２０重量％
溶剤：シクロヘキサノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・  ５重量％
分散剤：リノレン酸ナトリウム・・・・・・・・・・・・・・・・・  ５重量％
重合開始剤：アミノアルキルフェノン・・・・・・・・・・・・・・  ５重量％
【実施例３】
【００５３】
実施例１と同様な工程で、ガラス基板からなる透明基板１１上にブラックマトリクス２１、赤色フィルタ３１Ｒ、緑色フィルタ３２Ｇ、青色フィルタ３３Ｂ及び透明電極４１が形成されたカラーフィルタ基板１００を作製した（図２（ａ）参照）。
【００５４】
次に、カラーフィルタ基板１００を検査した結果、カラーフィルタ基板１００の赤色フィルタ３１Ｒ上に３０μｍφサイズの高さのある欠陥６１が発見された（図２（ｂ）参照）。
【００５５】
次に、高さのある欠陥６１と赤色フィルタ３１Ｒの一部をレーザー光を照射して除去し、ピンホール状の光透過部６２を形成した（図２（ｃ）参照）。
【００５６】
次に、ピンホール状の光透過部６２に上記修正インクＡをディスペンサーで注入、塗布し、温度１８０℃で硬化して遮光部６３を形成した。
さらに、ＣＶＤ法により遮光部６３上周辺にスポット状に導電膜（特に、図示せず）を形成して導電性を付与し、高さのある欠陥６１が遮光部６３にて修正された良品レベルのカラーフィルタ基板１００ｂを得ることができた（図２（ｄ）参照）。
【実施例４】
【００５７】
実施例１と同様な工程で、ガラス基板からなる透明基板１１上にブラックマトリクス２１、赤色フィルタ３１Ｒ、緑色フィルタ３２Ｇ、青色フィルタ３３Ｂ及び透明電極４１が形成されたカラーフィルタ基板１００を作製した（図２（ａ）参照）。
【００５８】
次に、カラーフィルタ基板１００を検査した結果、カラーフィルタ基板１００の赤色フィルタ３１Ｒ上に高さのある３０μｍφサイズの欠陥６１が発見された（図２（ｂ）参照）。
【００５９】
次に、高さのある欠陥６１と赤色フィルタ３１Ｒの一部をレーザー光を照射して除去し、ピンホール状の光透過部６２を形成した（図２（ｃ）参照）。
【００６０】
次に、ピンホール状の光透過部６２に上記修正インクＢをディスペンサーで注入、塗布し、紫外線を照射して硬化し、遮光部６３を形成した。
さらに、ＣＶＤ法により遮光部６３上周辺にスポット状に導電膜（特に、図示せず）を形成して導電性を付与し、高さのある欠陥６１が遮光部６３にて修正された良品レベルのカラーフィルタ基板１００ｂを得ることができた（図２（ｄ）参照）。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は、請求項１に係る本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法の一実施例を示す模式構成断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、請求項２に係る本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法の一実施例を示す模式構成断面図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、本発明のカラーフィルタ欠陥の修正方法を用いて作製されたカラーフィルタ基板の一実施例を示す模式構成断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１１……透明基板
２１……ブラックマトリクス
３１Ｒ……赤色フィルタ
３２Ｇ……緑色フィルタ
３３Ｂ……青色フィルタ
４１……透明電極
５１……ピンホール状の光透過欠陥部
５２、６３……遮光部
６１……高さのある欠陥
６２……ピンホール状の光透過部
【図１】
2009036804.tif 000003
【図２】
2009036804.tif 000004
【図３】
2009036804.tif 000005