(57)【要約】【課題】軸受部に磁性体粉が入り込むのを防いで、滑らかな摺動性と耐久性を確保できる信頼性の高いリニアモータを提供する。【解決手段】平板型リニアモータ１Ａの軸受ハウジング１８を非磁性体で構成し、ハウジング本体２０の他端部に、所定距離の空間部２５を空けて配置される第１、第２先端側垂設部２６ａ，２６ｂを設け、空間部２５にスクレーパ２７を磁石保護カバー７と摺動するように配置し、ハウジング本体２０に孔２８を形成した。軸受ハウジング１８が非磁性体であり、軸受２４の磁化を防止する。スクレーパ２７が磁性体粉を磁石保護カバー７から分離して、磁性体粉が軸受２４側に進むことを阻止する。分離された磁性体粉は、孔２８を通って外部に排出される。スクレーパ２７が磁性体粉の軸受２４側への入り込みを防止することにより、滑らかな摺動性と耐久性が確保され、信頼性の高い安定した摺動を実現できる。【選択図】図３
2009060730.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状に相対移動可能に配置され選択的に固定子、可動子とされ得る第１、第２部材を有するリニアモータであり、前記第１部材には、前記第１、第２部材の相対移動方向に相当するリニアモータ移動方向に沿って複数個の永久磁石が備えられ、前記第２部材には、前記リニアモータ移動方向に沿うように配置される複数の巻線部を含む電機子が備えられ、前記巻線部への通電により前記永久磁石と協働して前記第１、第２部材の相対移動に対する推力を発生して前記第１部材及び又は第２部材を直線運動させるリニアモータにおいて、
前記第２部材には、前記電機子に対して前記リニアモータ移動方向に離間して、少なくとも二つの非磁性体からなる軸受ハウジングを設け、
該両軸受ハウジングの前記第１部材との対面側には、前記第１部材と摺動する軸受部材を設けたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアモータにおいて、前記軸受部材は非磁性体で構成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
請求項１又２に記載のリニアモータにおいて、前記軸受ハウジングの前記軸受部材に比して前記電機子から離れた部分に相当する対軸受部材ハウジング外側部に、前記第１部材と摺動し、磁性体粉の前記軸受部材への移動を阻止するスクレーパを脱着自在に設けたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
請求項３に記載のリニアモータにおいて、前記対軸受部材ハウジング外側部の前記スクレーパに比して前記電機子から離れた部分に相当する対スクレーパハウジング外側部における前記第１部材に対する対面部に一端部が開口し、前記軸受ハウジングの前記第１部材と反対側の面部に相当する対第１部材ハウジング反対面部に他端部が開口する孔を設けたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項５】
請求項４に記載のリニアモータにおいて、前記対第１部材ハウジング反対面部の前記孔の開口部近傍に、第２の永久磁石を設けたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項６】
請求項４に記載のリニアモータにおいて、前記対第１部材ハウジング反対面部の前記孔の開口部近傍に、電流供給を受け得るように第２の巻線部を設けたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記第１、第２部材は、前記第２部材が前記第１部材の外側となり、前記第１部材の外周面が円形をなし、前記第２部材の内周面が円形をなすことを特徴とするリニアモータ。
【請求項８】
請求項１から６のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記第１、第２部材は、前記第１部材が前記第２部材の外側となり、前記第２部材の外周面が円形をなし、前記第１部材の内周面が円形をなすことを特徴とするリニアモータ。
【請求項９】
請求項７又は８に記載のリニアモータにおいて、前記第１部材は可動子とされ、前記第２部材は固定子とされることを特徴とするリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機や自動車、搬送装置など各種産業分野で用いられるリニアモータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のリニアモータの一例として、特許文献１に示されるリニアモータがある。特許文献１に示されるリニアモータは、コイル間にグリス溜めを設け、コイルと磁石表面間の隙間に潤滑剤を封入し、軸受部に潤滑剤を供給する構造とし、摺動部の潤滑性を高め耐久性を向上させている。
【特許文献１】特開２００４−１２４９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上述した従来技術では、コイルに電流を流した場合、軸受部の周囲が磁化して磁性体粉が付着し、可動子の移動の際の摺動時に、前記付着した磁性体粉がシール部や軸受部と可動子表面間に入り込み、摺動抵抗が増大し耐久性が低下したり、最悪の場合は軸受部が固着する場合があった。これはリニアモータ内部で磁性体粉が発生したり、もしくはリニアモータ内部に磁性体粉が侵入した場合も同様であり、一度摺動面に入った磁性体粉を除去することは困難であった。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、軸受部に磁性体粉が入り込むのを防いで、滑らかな摺動性と耐久性を確保できる信頼性の高いリニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の発明は、直線状に相対移動可能に配置され選択的に固定子、可動子とされ得る第１、第２部材を有するリニアモータであり、前記第１部材には、前記第１、第２部材の相対移動方向に相当するリニアモータ移動方向に沿って複数個の永久磁石が備えられ、前記第２部材には、前記リニアモータ移動方向に沿うように配置される複数の巻線部を含む電機子が備えられ、前記巻線部への通電により前記永久磁石と協働して前記第１、第２部材の相対移動に対する推力を発生して前記第１部材及び又は第２部材を直線運動させるリニアモータにおいて、前記第２部材には、前記電機子に対して前記リニアモータ移動方向に離間して、少なくとも二つの非磁性体からなる軸受ハウジングを設け、該両軸受ハウジングの前記第１部材との対面側には、前記第１部材と摺動する軸受部材を設けたことを特徴とする。
請求項２記載の発明は、請求項１に記載のリニアモータにおいて、前記軸受部材は非磁性体で構成されていることを特徴とする。
【０００６】
請求項３記載の発明は、請求項１又２に記載のリニアモータにおいて、前記軸受ハウジングの前記軸受部材に比して前記電機子から離れた部分に相当する対軸受部材ハウジング外側部に、前記第１部材と摺動し、磁性体粉の前記軸受部材への移動を阻止するスクレーパを脱着自在に設けたことを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項３に記載のリニアモータにおいて、前記対軸受部材ハウジング外側部の前記スクレーパに比して前記電機子から離れた部分に相当する対スクレーパハウジング外側部における前記第１部材に対する対面部に一端部が開口し、前記軸受ハウジングの前記第１部材と反対側の面部に相当する対第１部材ハウジング反対面部に他端部が開口する孔を設けたことを特徴とする。
【０００７】
請求項５記載の発明は、請求項４に記載のリニアモータにおいて、前記対第１部材ハウジング反対面部の前記孔の開口部近傍に、第２の永久磁石を設けたことを特徴とする。
請求項６記載の発明は、請求項４に記載のリニアモータにおいて、前記対第１部材ハウジング反対面部の前記孔の開口部近傍に、電流供給を受け得るように第２の巻線部を設けたことを特徴とする。
請求項７記載の発明は、請求項１から６のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記第１、第２部材は、前記第２部材が前記第１部材の外側となり、前記第１部材の外周面が円形をなし、前記第２部材の内周面が円形をなすことを特徴とする。
【０００８】
請求項８記載の発明は、請求項１から６のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記第１、第２部材は、前記第１部材が前記第２部材の外側となり、前記第２部材の外周面が円形をなし、前記第１部材の内周面が円形をなすことを特徴とする。
請求項９記載の発明は、請求項７又は８に記載のリニアモータにおいて、前記第１部材は可動子とされ、前記第２部材は固定子とされることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１、７、８、９に記載の発明によれば、軸受ハウジングを非磁性体で構成しており、軸受の磁化を防止し、軸受部材への磁性体粉の付着、入り込みを防止できる。
請求項２に記載の発明によれば、軸受部材が非磁性体で構成されており、軸受部材への磁性体粉の付着、入り込み防止を効率良く果すことができる。
【００１０】
請求項３に記載の発明によれば、磁性体粉の軸受部材への移動を阻止するスクレーパが脱着自在であるので、スクレーパにより移動の阻止された磁性体粉を、スクレーパを取り外すことにより排除することができ、保守性が向上する。
請求項４に記載の発明によれば、スクレーパで移動の阻止された磁性体粉について孔を通して外部に排出できる。
請求項５、６に記載の発明によれば、孔から通して排出された磁性体粉が第２の永久磁石又は第２の巻線部に吸着される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の第１実施形態を図１及び図２に基づいて説明する。
図１及び図２において、平板型の三相リニア同期モータ（以下、平板型リニアモータという。）１は、電機子２を備える固定子（第２部材）３と、固定子３に対して直線状に（図１左右方向に）相対移動可能に配置され、かつ永久磁石４を備える可動子（第１部材）５と、を有している。
【００１２】
可動子５は、図１左右方向に延びる略板状のヨーク部材６と、ヨーク部材６の表面（図１上側）に図１左右方向に所定間隔で貼付された複数個の前記永久磁石４と、永久磁石４の表面を覆うようにしてヨーク部材６に貼付された非磁性体でできた磁石保護カバー７と、から大略構成されている。
永久磁石４としては、ネオジウム磁石やフェライト磁石等が用いられている。
永久磁石４、ヨーク部材６、磁石保護カバー７の固定には、例えばエポキシ系樹脂の接着剤や、接着強度に優れる構造用接着剤等を用いている。なお、永久磁石は熱減磁するので、永久磁石４の固定には常温放置による硬化、もしくは70℃程度で熱硬化する接着剤を用いている。
【００１３】
固定子３に備えられる電機子２は、板状の磁性体からなるコア１６と、コア１６の一面側（図１下側）に保持されるＵ相、Ｖ相、Ｗ相コイル（巻線部）１７Ｕ，１７Ｖ，１７Ｗと、を含んで構成されている。コア１６は、圧紛磁心や積層された電磁鋼板、磁性体片より切削加工等によって作製されている。Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相コイル１７Ｕ，１７Ｖ，１７Ｗは、この順で、図１左から右方向に配置されている。Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相コイル１７Ｕ，１７Ｖ，１７Ｗへの通電により前記永久磁石４と協働して可動子５の固定子３に対する推力を発生して可動子５を直線運動させるようになっている。
【００１４】
コア１６（ひいては電機子２）の両端には、アルミニウムやSUS304等の非磁性体からなる軸受ハウジング１８がボルト１９により固定されている。軸受ハウジング１８は、可動子５に対面して配置される板状のハウジング本体２０と、ハウジング本体２０の一端部から垂設されてボルト１９によりコア１６に固定されるハウジング支持部２１と、ハウジング本体２０の他端部からハウジング支持部２１と反対方向に垂設された先端側垂設部２２と、から大略構成されている。
【００１５】
ハウジング本体２０の可動子５に対面する側には、可動子５と摺動する軸受２４（軸受部材）が、コア１６と先端側垂設部２２との間に収まるようにして設けられている。軸受２４は、銅裏金タイプの摺動面テフロン(登録商標)加工や樹脂製のソリッド品を加工して用いられ非磁性体で構成されている。また、軸受２４は、先端側垂設部２２により、図２右方向の移動が規制されている。
【００１６】
上述したように構成した平板型リニアモータ１では、軸受ハウジング１８を非磁性にしたことにより、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相コイル１７Ｕ，１７Ｖ，１７Ｗに電流が流れた場合に生じる磁場の変化を遮断し、軸受ハウジング１８及び軸受２４の磁化を防止する。その結果、軸受２４に磁性体粉が吸着されるのを防止し、滑らかな摺動性と耐久性を確保して、信頼性の高い安定した摺動を実現できる。
このように滑らかな摺動性と耐久性を確保して、信頼性の高い安定した摺動を実現できるので、これに伴い平板型リニアモータ１の使用環境が広いものになる。
【００１７】
次に、本発明の第２実施形態を、図３に基づき、図１及び図２を参照して説明する。
第２実施形態に係る平板型リニアモータ１Ａは、図１、図２に示す平板型リニアモータ１Ａに比して、平板型リニアモータ１Ａの軸受ハウジング１８が有する先端側垂設部２２を廃止し、図３に示すように、ハウジング本体２０の他端部に、所定距離の空間部２５を空けて配置される第１、第２先端側垂設部２６ａ，２６ｂを設けたこと、前記空間部２５に、ゴム、樹脂、又は金属からなる楔形状のスクレーパ２７を磁石保護カバー７と摺動するように配置したこと、ハウジング本体２０に孔２８を形成したことが主に異なっている。スクレーパ２７は、ハウジング本体２０側に配置されるスクレーパ本体２９と、スクレーパ本体２９に対して湾曲するように連接され磁石保護カバー７側に配置されるリップ部３０と、からなっている。スクレーパ２７は、接着等によりハウジング本体２０に固定されており、保守時に分解して取替え可能となっている。
【００１８】
ハウジング本体２０に形成される孔２８は、一端部がハウジング本体２０の空間部２５が形成された部分におけるスクレーパ本体２９に比して電機子２から離れる側の部分（対スクレーパハウジング外側部）に開口し、他端部がハウジング本体２０の可動子５と反対側の面部である対可動子ハウジング反対面部３２（対第１部材ハウジング反対面部）に開口している。
【００１９】
上述したように構成した平板型リニアモータ１Ａでは、可動子５（磁石保護カバー７）に付着された磁性体粉が可動子５の移動に伴ない、仮に空間部２５に達しても、スクレーパ２７が磁性体粉を磁石保護カバー７から分離して、磁性体粉が軸受２４側に進むことを阻止する。そして、磁石保護カバー７から分離された磁性体粉は、孔２８を通って外部に排出される。
上述したように、スクレーパ２７が磁性体粉を磁石保護カバー７から分離して、磁性体粉の軸受２４側への入り込み（噛み込み）を阻止することにより、滑らかな摺動性と耐久性が確保され、信頼性の高い安定した摺動を実現できる。さらに、磁石保護カバー７から分離された磁性体粉は、外部に排出されるので、空間部２５に不要に保持されるようなことがなくなる。
上述したように滑らかな摺動性と耐久性を確保して、信頼性の高い安定した摺動を実現できるので、これに伴い平板型リニアモータ１の使用環境が広いものになる。
【００２０】
第２実施形態に係る平板型リニアモータ１Ａでは、孔２８を設けた場合を例にしたが、これに代えて、孔２８を廃止するように構成してもよい。この場合にも、スクレーパ２７を設けており、スクレーパ２７が磁性体粉を磁石保護カバー７から分離して、磁性体粉の軸受２４側への進行ひいては軸受２４への入り込みを阻止する。
このため、上記第２実施形態と同様に、滑らかな摺動性と耐久性を確保して、信頼性の高い安定した摺動を実現できるので、これに伴い平板型リニアモータの使用環境が広いものになる。
【００２１】
次に、本発明の第３実施形態を、図４に基づき、図１〜図３を参照して説明する。
第３実施形態に係る平板型リニアモータ１Ｂは、図３に示すリニアモータ１Ａに比して、対可動子ハウジング反対面部３２における孔２８の開口部の近傍に永久磁石（以下、磁性体粉吸着用磁石。第２の磁石に相当する。）３４を配置し、磁性体粉吸着用磁石３４が磁性体粉の収集、保持を行うことが主に異なっている。
この第３実施形態に係る平板型リニアモータ１Ｂでは、スクレーパ２７で磁石保護カバー７から磁性体粉が分離され、この分離により、軸受２４への磁性体粉の噛み込みを防止し、摺動性と耐久性を確保して、信頼性の高い安定した摺動を実現できる。そして、これに伴い平板型リニアモータ１Ｂの使用環境が広いものになる。
【００２２】
スクレーパ２７で分離された磁性体粉は孔２８を通って対可動子ハウジング反対面部３２側に排出されて磁性体粉吸着用磁石３４に吸着される。この磁性体粉吸着用磁石３４に吸着された磁性体粉は、当該平板型リニアモータ１Ｂの保守時に除去される。磁性体粉吸着用磁石３４を設けていない場合には、孔２８を通って対可動子ハウジング反対面部３２側に排出された磁性体粉が散乱することが起こり得るが、この第３実施形態では、このような磁性体粉の散乱を防止できると共に、散乱に伴なって危惧される散乱された磁性体粉の可動子５側への再付着を抑制することができる。
【００２３】
第３実施形態において、図５に示すように、磁性体粉吸着用磁石に代えて電流が供給されるコイル（磁性体粉吸着用コイル）３５を設けて平板型リニアモータ１Ｃを構成してもよい（第４実施形態）。
この第４実施形態では、磁性体粉吸着用コイル３５に電流を流すことにより磁性体粉吸着用コイル３５が図４の磁性体粉吸着用磁石３４と同様に機能して、磁性体粉の収集及び保持を行い、第３実施形態と同様な効果を奏する。
【００２４】
次に、第５実施形態に係るリニアモータ平板型リニアモータ１Ｄを、図６に基づき、図４を参照して説明する。
第５実施形態に係る平板型リニアモータ１Ｄは、図４に示すリニアモータ１Ｂ（第３実施形態）に比して、軸受２４とコア１６との間に永久磁石（以下、軸受コア間磁石３７という。）を設けたことが主に異なっている。
【００２５】
第５実施形態に係る平板型リニアモータ１Ｄによれば、軸受コア間磁石３７を設けているので、仮に平板型リニアモータ１Ｄ内部（両軸受２４間の領域）で磁性体粉（便宜上、内部発生磁性体粉という。）が発生したり、両軸受２４間の領域でかつ可動子５と固定子３の間（例えば図１紙面手前側又は向こう側）を通って外部から平板型リニアモータ１Ｄ内部（両軸受２４間の領域）に磁性体粉が侵入して（侵入した侵入磁性体粉を、便宜上、侵入磁性体粉という。）も、軸受コア間磁石３７が内部発生磁性体粉及び侵入磁性体粉を収集、保持する。このため、内部発生磁性体粉及び侵入磁性体粉の軸受２４への噛み込みが抑制され、磁性体粉の軸受２４への噛み込みによる軸受２４の損傷を回避できる。
また、図４に示した第３実施形態と同様に、スクレーパ２７、孔２８及び磁性体粉吸着用磁石３４を備えており、摺動性と耐久性を確保して、信頼性の高い安定した摺動を実現する、磁性体粉の散乱を防止し、磁性体粉の可動子５側への再付着を抑制する、等のように上述した第３実施形態と同等の作用、効果も奏する。
【００２６】
次に、第６実施形態に係る平板型リニアモータ１Ｅを、図７に基づき、図６（リニアモータ１Ｄ）を参照して説明する。
第６実施形態に係る平板型リニアモータ１Ｅは、磁性体粉吸着用磁石３４に代えて、電流供給を受け得る磁性体粉吸着用コイル３５を設けたこと、軸受コア間磁石３７に代えて、電流供給を受け得る軸受・コア間コイル３８を設けたことが主に異なっている。この第６実施形態に係る平板型リニアモータ１Ｅでは、磁性体粉吸着用コイル３５及び軸受・コア間コイル３８が電流の供給を受けることにより、第５実施形態（平板型リニアモータ１Ｄ）の磁性体粉吸着用磁石３４及び軸受コア間磁石３７と同様に機能して、第５実施形態と同様の作用、効果を奏することになる。
【００２７】
第１〜６実施形態では、第１部材が可動子５で、第２部材が固定子３である場合を例にしたが、第１部材が固定子で、第２部材が可動子であるように構成してもよい。
また、第１〜６実施形態では、可動子５が永久磁石４を備え、固定子３が電機子２を備える場合を例にしたが、可動子が電機子を備え、固定子が永久磁石を備えるように構成してもよい。
第１〜６実施形態では、軸受２４が非磁性体で構成された場合を例にした、本発明はこれに限らず、磁性体で構成してもよい。
【００２８】
次に、第７実施形態に係るリニアモータ１Ｆを、図８に基づいて説明する。
第７実施形態に係るリニアモータ１Ｆは、円筒型とされている。
図８において、リニアモータ（以下、円筒型リニアモータという。）１Ｆは、略筒状の固定子（以下、筒状固定子３Ａという。）と筒状固定子３Ａ内に挿通されて筒状固定子３Ａに対して図８左右方向に相対移動可能とされた略軸状の可動子５（以下、軸状可動子５Ａという。）と、を備えている。筒状固定子３Ａには電機子２Ａが備えられ、軸状可動子５Ａには環状の永久磁石４（以下、環状永久磁石４Ａという。）が備えられている。
【００２９】
軸状可動子５Ａは、図８左右方向に延びる略軸状のヨーク部材６（以下、軸状ヨーク部材６Ａという。）と、軸状ヨーク部材６Ａの外周面部に図８左右方向に所定間隔を空けて貼付された複数個の前記環状永久磁石４Ａと、環状永久磁石４Ａを覆ってこれを保護するように軸状ヨーク部材６Ａに外装された筒状磁石保護カバー７Ａとを備えている。
筒状固定子３Ａに備えられる電機子２Ａは、圧紛磁心や積層された電磁鋼板、磁性体片より切削加工等によって作られた筒状のコア（以下、筒状コア１６Ａという。）と、筒状コア１６Ａの内周面に保持されるＵ相、Ｖ相、Ｗ相コイル１７Ｕ，１７Ｖ，１７Ｗと、からなっている。この実施形態ではＵ相、Ｖ相、Ｗ相コイル１７Ｕ，１７Ｖ，１７Ｗの内側に軸状可動子５Ａが挿通されるようになっている。また、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相コイル１７Ｕ，１７Ｖ，１７Ｗは２組設けられている。
【００３０】
筒状コア１６Ａ（ひいては電機子２）の両端には、アルミニウムやSUS304等の非磁性体からなる筒状軸受ハウジング４０がボルト１９Ａにより固定されている。筒状軸受ハウジング４０は、軸状可動子５Ａに対面して配置される筒状の筒状ハウジング本体４１と、筒状ハウジング本体４１の一端部から径方向外方に延びボルト１９Ａにより筒状コア１６Ａに固定される円環状ハウジング支持部４２と、筒状ハウジング本体４１の他端部から径方向内方に延び、図８左右方向に所定の距離を空けて配置される第１、第２フランジ４３，４４と、から大略構成され、第１、第２フランジ４３，４４間には環状空間４５が形成されている。
【００３１】
筒状ハウジング本体４１の軸状可動子５Ａに対面する側には、軸状可動子５Ａと摺動する軸受２４Ａ（軸受部材）が、筒状コア１６Ａと第１フランジ４３との間に収まるようにして設けられている。軸受２４Ａは、銅裏金タイプの摺動面テフロン(登録商標)加工や樹脂製のソリッド品を加工して用いられ非磁性体で構成されている。また、図８左側の軸受２４Ａは、第１フランジ４３により、図８左方向の移動が規制され、図８右側の軸受２４Ａは、第１フランジ４３により、図８右方向の移動が規制されている。
【００３２】
第１、第２フランジ４３，４４間の環状空間４５に、ゴム、樹脂、又は金属からなる環状で断面略楔形状のスクレーパ（以下、環状スクレーパ２７Ａという。）が筒状磁石保護カバー７Ａと摺動するように配置されている。
環状スクレーパ２７Ａは、筒状ハウジング本体４１側に配置される環状スクレーパ本体２９Ａと、環状スクレーパ本体２９Ａに対して図８左右方向に湾曲するように連接され先端側が筒状磁石保護カバー７Ａに摺動する環状リップ部３０Ａと、からなっている。環状スクレーパ２７Ａは、接着や図示しない固定リング等により筒状ハウジング本体４１に固定されており、保守時に分解して取替え可能となっている。
【００３３】
筒状ハウジング本体４１には、孔２８Ａが形成されている。孔２８Ａは周方向に所定間隔で複数個設けられている。孔２８Ａの一端部は、筒状ハウジング本体４１の環状空間４５が形成された部分における環状スクレーパ本体２９Ａに比して電機子２から離れる側（図８右側）の部分（対スクレーパハウジング外側部）に開口し、他端部が筒状ハウジング本体４１の軸状可動子５と反対側の面部である筒状ハウジング本体外周面部５０（対第１部材ハウジング反対面部）に開口している。
筒状ハウジング本体外周面部５０における孔２８Ａの開口部の近傍には永久磁石（以下、磁性体粉吸着用磁石３４Ａという。）が配置されている。
【００３４】
この第７実施形態に係る円筒型リニアモータ１Ｆでは、環状スクレーパ２７Ａ、孔２８Ａ及び磁性体粉吸着用磁石３４Ａを備えており、上記平板型リニアモータ１Ａ〜１Ｅの場合と同様にして、（i）摺動性と耐久性を確保して、信頼性の高い安定した摺動を実現する、（ii）磁性体粉の散乱を防止し、磁性体粉の軸状可動子５Ａ側への再付着を抑制する、等のように上述した上記平板リニアモータ１Ａ〜１Ｅと同等の作用、効果を奏する。
【００３５】
第７実施形態において、環状スクレーパ２７Ａ、孔２８Ａ及び磁性体粉吸着用磁石３４Ａを廃止するようにしてもよい。
このように構成する場合、筒状軸受ハウジング４０が非磁性体であることから、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相コイル１７Ｕ，１７Ｖ，１７Ｗに電流を流した場合における軸受２４Ａの磁化が抑制されることになり、これに伴い磁性体粉が軸受２４Ａに入り込むことが防止される。このため、滑らかな摺動性及び耐久性が確保される。
また、第７実施形態において、孔２８Ａ及び磁性体粉吸着用磁石３４Ａを廃止するようにしてもよい。このように構成する場合、上述したように非磁性体からなる筒状軸受ハウジング４０により、磁性体粉の軸受２４への入り込みが防止されることに加えて、環状スクレーパ２７Ａが、筒状磁石保護カバー７Ａに付着された磁性体粉を当該筒状磁石保護カバー７Ａから分離する。この場合、磁性体粉の軸受２４への入り込み防止ひいては滑らかな摺動性及び耐久性の確保について、非磁性体からなる筒状軸受ハウジング４０によって行う場合〔環状スクレーパ２７Ａ、孔２８Ａ及び磁性体粉吸着用磁石３４Ａを廃止した場合〕に比して、より適切に果すことができる。
【００３６】
また、第７実施形態において、磁性体粉吸着用磁石３４Ａを廃止するようにしてもよい。このように構成する場合、環状スクレーパ２７Ａにより筒状磁石保護カバー７Ａから分離された磁性体粉が孔２８Ａを通して装置外部に排出され、この分、孔２８Ａ及び磁性体粉吸着用磁石３４Ａを廃止した場合に比して、軸受２４への磁性体粉の入り込みの機会を少なくできる。
また、第７実施形態において、磁性体粉吸着用磁石３４Ａに代えて、電流供給を受け得るようにしたコイル（図示省略。第２の巻線部）を設けてもよい。
このように構成した場合、前記コイル（第２の巻線部）に電流を流すことより、このコイルが第７実施形態の磁性体粉吸着用磁石３４Ａと同等の機能を発揮し、第７実施形態と同等の機能を発揮することになる。
【００３７】
第７実施形態では、第１部材が軸状可動子５Ａ（可動子）で、第２部材が筒状固定子３Ａ（固定子）である場合を例にしたが、第１部材が固定子で、第２部材が可動子であるように構成してもよい。
また、第７実施形態では、軸状可動子５Ａ（可動子）が永久磁石４を備え、筒状固定子３Ａ（固定子）が電機子２を備える場合を例にしたが、軸状可動子５Ａが電機子を備え、筒状固定子３Ａが永久磁石を備えるように構成してもよい。
また、第７実施形態では、軸受２４Ａが非磁性体で構成された場合を例にした、本発明はこれに限らず、軸受２４Ａを磁性体で構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る平板型リニアモータを模式的に示す断面図である。
【図２】図１の要部を拡大して示す断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る平板型リニアモータを示す断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る平板型リニアモータを示す断面図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係る平板型リニアモータを示す断面図である。
【図６】本発明の第５実施形態に係る平板型リニアモータを示す断面図である。
【図７】本発明の第６実施形態に係る平板型リニアモータを示す断面図である。
【図８】本発明の第７実施形態に係る円筒型リニアモータを模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ…平板型リニアモータ、１Ｆ…円筒型リニアモータ、２，２Ａ…電機子、３…固定子、３Ａ…筒状固定子、４…永久磁石、４Ａ…環状永久磁石、５…可動子、５Ａ…軸状可動子、１７Ｕ，１７Ｖ，１７Ｗ…Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相コイル（巻線部）、２４、２４Ａ…軸受（軸受部材）、２７…スクレーパ、２７Ａ…環状スクレーパ、２８、２８Ａ…孔、３２…対可動子ハウジング反対面部（対第１部材ハウジング反対面部）、３４…磁性体粉吸着用磁石（第２の永久磁石）、５０…筒状ハウジング本体外周面部（対第１部材ハウジング反対面部）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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