(57)【要約】      （修正有）【課題】平面板のチャタリング（異常振動）やクリーナヘッドの吸込口（１）への貼り付きに拠る一時停止等を無くして、飛散微細ダストの捕集効率を低下させない安定した稼働が可能なエアクリーナ装置を提供する。【解決手段】傾斜噴出口１８を有する新エアクリーナヘッド１７に、その下部にバキュームヘッド２０を配置した構成として、この間を傾斜噴出口１８の加圧エアの流れ方向に、平面板１６を走行させて、バキューム室（２）に有する各々複数の吸込口（２）２２から吸引する吸込風量をバキュームヘッド１７に設置した風量調整弁（２）で適切に調整する事で、平面板１６の初期や終期に発生し易いチャタリング（異常振動）や吸込口（１）１１への平面板１６の貼り付きに拠る一時停止を排除して、生産ラインの稼働率の低下を防止して、安定した生産工程の維持に寄与出来る。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
新エアクリーナヘッド１７は、加圧エアの傾斜噴出口１８を有するプレッシャ室７と、その前後に各々設けられた２箇所の吸込口（１）１１を有するバキューム室（（１）８から構成されるが、平面板１６のチャタリング（異常振動）を防止する為に、又、貼り付きに拠る一時停止を防止する為に、新規に平面板１６の下部に受けローラ２３と複数の吸込口（２）２２を有するバキューム室（２）２１及び、吸込風量を調整する風量調整弁（２）２４を有するバキュームヘッド２０を設置した構成からなるエアクリーナ装置。
【請求項２】
請求項１の構成に設定した新エアクリーナヘッド１７に平面板１６を走行させる方向は、傾斜噴出口１８からの噴出流の方向に合わせる事で、チャタリング（異常振動）や貼り付きに拠る一時停止を防止する効果が顕著になるエアクリーナ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、最近のデジタル電子機器及び半導体部品の小型化、微細化、高度化の開発・発展に伴い、益々空気中の微細ダストの存在やその付着が、製品の品質や保留り、更には、製造工程の安定化や寿命迄にも、大きな影響を与える事で、それらの付着微細ダスト１４を除去するエアクリーナ装置の稼動トラブルを防止する方法に関するものである。【０００２】  特に、それらデジタル電子機器の中で、ウエハや基板そして電子部品及び液晶ガラス（以下、平面板１６と呼称）等の表面上の付着微細ダスト１４の剥離やその飛散微細ダスト１５の捕集を安定させ、向上させる方法として、エアクリーナ装置におけるクリーナヘッド下部の平面板１６のチャタリング（異常振動）と貼り付きに拠る一時停止等の防止方法、及び走行方向に関するものである。
【背景技術】
【０００３】  従来から利用されている半導体製造装置におけるプッシュ・プル式エアクリーナ装置は図１に表示する様な構成で成り立っている。その構成は、クリーナヘッド１とプレッシャ及び、バキュームのエア源であるブロワ２、クリーナヘッド１の供給加圧エアを浄化するＨＥＰＡフィルタ３、各クリーナヘッドから吸引された微細ダストを捕集するプレフィルタ４、風量（圧力）を調整する風量調整バルブ５、及び、これらを接続するホース・パイプ６、等である。【０００４】  この方式は、クローズループ（閉回路）方式であり、１台のブロワ２に加圧エアの供給・噴出と微細ダストを吸引するバキューム機能を有したエア循環方式である為、クリーンルーム等への設置においても、室内のエアバランスを崩すことなく、設備コストも安価な利点がある。【０００５】  ブロワ２の昇圧時には、エアの圧縮熱でエア温度が上昇するので、温度影響を受け易い平面板１６や部品・材料等に対しては、留意する必要がある。【０００６】  次に従来のエアクリーナヘッド１の断面形状を図２に表示する。その断面形状は、プレッシャ室７とその噴出口１０、両側にバキュウーム室（１）８とその吸込口（１）１１を有して、平滑平面なダスト捕集面９からなる。【０００７】  エアの流れは、図３に表示する様に、搬送ローラ２５上を走行中の平面板１６の表面上に、クリーンな加圧エアをプレッシャ室７から噴出口１０を経由して、上部から噴き付け、付着微細ダスト１４に衝撃力を与えることで、飛散させて、噴出口１０の両端に設けた吸込口（１）１１から飛散微細ダスト１５を吸引捕集するシステムになっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】  従来のエアクリーナ装置において、搬送ローラ２５上を走行して来る平面板１６が噴出口１０の真下に来ると、図３で表示する様に、噴出した加圧エアは、上部から付着微細ダスト１４に衝撃力を与えて、付着面から剥離させ、そして浮遊させて、吸引口（１）１１迄移動して、飛散微細ダスト１５を、吸引するシステムになっている。【０００９】  又、図４で表示する様に、平面板１６の先端が、噴出口１０の真下に来ると、加圧エアが平面板１６の下側に廻り込み、エアバランスの乱れに因り、チャタリング（異常振動）や、平面板１６が吸込口（１）１１に貼り付いてしまう現象が発生して、生産ラインを一時的に停止させるトラブルを起こし、解消が必要になる。【００１０】  更には、平面板１６の先端が、噴出口１０の真下の位置に来ると、加圧エアの噴出流が平面板１６の先端部の前進を遮る為に、この場合にも生産ラインを一時的に停止させるトラブルを起こし、解消が必要になる。【００１１】  このチャタリング（異常振動）と吸込口（１）１１への貼り付きに拠る一時停止等の発生は、図５に表示する様に、平面板１６の最後端が、噴出口１０の真下を通過する時にも存在して、同様の現象が発生し、トラブルの解消が必要になる。【００１２】  最近は、平面板１６の厚さが０．５ｍｍ前後と益々薄くなる傾向が顕著になり、このチャタリング（異常振動）や貼り付きに拠る一時停止等のトラブルの発生が多くなってきている。【００１３】  そこで、平面板１６のチャタリング（異動振動）や貼り付きに拠る一時停止等を無くして、飛散微細ダスト１５の捕集効率を低下させない、安定した稼動率が、要望されている。
【課題を解決する為の手段】
【００１４】  本発明は、図６に表示する様に、従来のエアクリーナヘッド１に替えて、傾斜噴出口１８を有する新クリーナヘッド１７を採用して、対象となる平面板１６の下部に、バキュームヘッド２０を配置した構成からなる。
【００１５】  バキュームヘッド２０は、平面板１６の走行方向に複数の吸込口（２）２２を有するバキューム室（２）２１と平面板１６を支持する受けローラ２３を有する構造を有し、更に、バキューム室（２）の適切な位置に吸込風量を調整する風量調整弁（２）２４を設けた構造からなる。
【００１６】  チャタリング（異常振動）の最大の原因は、対象となる平面板１６の厚さが益々薄くなり、自重も軽くなってきている為に、エアの流れの影響を受け易くなる。
特に、新クリーナヘッド１７のダスト捕集面９と平面板１６の間隔は２ｍｍと狭く、加圧エアの流れと吸込口（１）の吸込流のエアバランスが乱れ易く、先端部の挿入時や端末部の搬出時に、顕著に発生する。
【００１７】  そして、次に多いトラブルは新エアクリーナヘッド１７の吸込口（１）の吸込エア流に平面板１６が貼り付いて、生産ラインが一時停止してしまう事である。
本発明は、これらのトラブルを解消することを最大のポイントと考えて、その解決策に焦点を当てたものである。
【００１８】  そこで、図６で表示する様に、新エアクリーナヘッド１７の吸込口（１）１１側に平面板１６が吸込まれ、貼り付いて一時停止する事とチャタリング（異常振動）を防止する為に、平面板１６の下部側にバキュームヘッド２０を設ける事で、著しく改善が出来ると判明した。
【００１９】  その場合、バキュームヘッド２０のバキューム室（２）２１内に設けられた風量調整弁（２）２４で、平面板１６の持上がりを防ぐ為に、下側から引張る吸込風量を適切に調整する事で、平面板１６の上下のエアバランスが調整され、そこに適切な上下のエアバランス比率が存在する事も見出した。
【００２０】  これは、ダスト捕集面９と平面板１６の間隔が１〜２ｍｍと極めて狭い為に、前後に位置する吸込口（１）１１の吸込風量の影響を敏感に受け易い。  特に、平面板１６が薄く、軽量化すればする程、吸込口（１）１１に吸込まれ易く、エアバランスの乱れに拠る貼り付き状態が発生する。
【００２１】  亦、平面板１６をこの噴出流部に走行させる場合は、噴出流の流れ方向に走行する様にすれば、追い風となり、よりチャタリング（異常振動）や貼り付きに拠る一時停止等の発生を抑止する事も判明した。
【発明の効果】
【００２２】  本発明に拠る効果の一つ目は、平面板１６の新エアクリーナヘッド１７のチャタリング（異常振動）や吸込口（１）１１に貼り付きに拠る一時停止等の発生が著しく激減する事である。
【００２３】  亦、平面板１６を傾斜噴出口１８の流れ方向に挿入して走行する事で、より流れがスムーズになり、前述のチャタリング（異常振動）や貼り付きに拠る一時停止等の発生率の減少に貢献している事である。
【００２４】  効果の二つ目は、平面板１６の上下のエアバランスが改善することで、付着微細ダスト１４の剥離効率や飛散微細ダスト１５の捕集効率の各々の向上にも効果があり、品質の維持と生産ラインの稼働率の向上と安定に貢献出来る事である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】  発明を実施するための最良の形態は、図６に示す様に、傾斜噴出口１８を有する新エアクリーナヘッド１７と、この下部に設置したバキュームヘッド２０の間を対象となる平面板１６を傾斜噴出口１８の流れ方向に合わせ、挿入走行させる事が、チャタリング（異常振動）と吸込口（１）１１への貼り付きに拠る一時停止等を防止し、激減させる最良形態である事を見出した。【００２６】  バキュームヘッド２０には、バキューム室（２）２１に複数の吸込口（２）２２を有し、受けローラ２３と風量調整弁（２）２４を設けた構造にして、平面板１６の上下のエアバランスを調整する事で、平面板１６が最適に、スムーズに走行出来るポイントを把握して、生産ラインの安定した稼動に貢献する。
【実施例】
【００２７】  そこで、適切な諸寸法を決定すべく、実験装置を作成して、実験を行なって、その実験結果を検証する。
実験用新エアクリーナ装置のクリーナヘッドは、図１１に表示する様に、傾斜噴出口１８の傾斜角度θを６０°にして、バキュームヘッド２０の有無の実験装置（Ａ）、（Ｂ）と図２に表示する様な従来装置の３種類に、ライン速度νを変えて、下記２項目の評価実験を実施した。【００２８】１．評価項目
（１）基材（平面板１６）のチャタリングの有無（目視）
（２）基板（平面板１６）の吸込口（１）１１への貼り付き状態有無（目視）【００２９】２．テスト条件
（１）基材（平面板１６）：ＰＥＴフィルム
（２）噴出エア圧力      ：１５ｋｐａ
（３）基材とギャップ    ：Ｈ１＝約１〜２．５ｍｍ
（４）ライン速度        ：２０ｍ／ｍｉｎと３０ｍ／ｍｉｎ
（５）基材の走行回数    ：各１００回【００３０】３．実験装置の種類
（１）実験装置（Ａ）：噴出口溝幅：Ｗ１＝１．０ｍｍ，噴出口角度：θ＝６０°
：プレッシャ室角度：θ＝６０°
：吸込口溝幅：Ｗ２＝３．０ｍｍ，吸込口溝幅：Ｗ３＝１．５ｍｍ
：バキュームヘッド有，（吸込口溝幅：Ｗ４＝３．０ｍｍ）
（２）実験装置（Ｂ）：噴出口溝幅：Ｗ１＝１．０ｍｍ，噴出口角度：θ＝６０°
：プレッシャ室角度：θ＝６０°
：吸込口溝幅：Ｗ２＝３．０ｍｍ，吸込口溝幅：Ｗ３＝１．５ｍｍ
：バキュームヘッド無
（３）実験装置（Ｃ）：噴出口幅：Ｗ１＝１．０ｍｍ，噴出口角度：θ＝９０°
：プレッシャ室角度：θ＝９０°
：吸込口溝幅：Ｗ２＝Ｗ３＝３．０ｍｍ，
：バキュームヘッド無
※  各実験装置の寸法記号は、図１１で表示する。
※  亦、実験装置（Ｃ）は、従来装置を示す。
【実験結果】
【００３１】
【表１】
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【００３２】
【表２】
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【００３３】  実験結果から本発明装置は、従来装置に比べて、チャタリング（異常振動）も貼り付きに拠る一時停止が皆無となり、当所の目的を充分に達成出来るものと判断する。
バキュームヘッド２０の存在は、その効果は著しく、製造工程の安定化と稼動効率の向上に、更には、コストダウンにも貢献出来る。
【産業上の利用可能性】
【００３４】  産業上の利用可能性は、まず第一に、半導体の基板や付加価値の高いフィルムやガラス板や薄い板状物等の表面上に付着した微細ダストのクリーニング装置に最適と考えられる。
中でも、液晶テレビやプラズマテレビ等の益々の大型化に伴う設備投資の拡大化により、これらの平面板１６としての大きな寸法に、益々０．５ｍｍ前後の薄いガラス板への需要の拡大が予想される。【００３５】  本発明の新エアクリーナ装置は、平面板１６としてのガラス板の幅が、２〜３ｍになっても、加圧エアが均一に噴出する方法を考慮すれば、容易に対応が可能になる。
現在では、ガラス板の幅が、１．５ｍ位までは、稼動中であり、今後の大型化に利用される可能性は、大きいと予測出来る。【００３６】  その他の分野としては、印画紙や高級画紙、或いは、医薬品やナノテク製品・部材等への適用も視野にはいる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】  プッシュプル式エアクリーナ装置の構成説明図
【図２】  従来のエアクリーナヘッドの断面図
【図３】  従来のエアクリーナヘッドのダスト捕集面のエアの流れ説明図
【図４】  従来のエアクリーナヘッドの初期対象平面板へのエアの流れ説明図
【図５】  従来のエアクリーナヘッドの終期対象平面板へのエアの流れ説明図
【図６】  本発明のエアクリーナヘッド（傾斜噴出口）とバキュームヘッドの断面図
【図７】  本発明のエアクリーナヘッドのダスト捕集面のエアの流れ説明図
【図８】  本発明のエアクリーナヘッドの初期対象平面板へのエアの流れ説明図
【図９】  従来のエアクリーナヘッドの噴出口からのエアの流れ説明図
【図１０】  本発明のエアクリーナヘッドの傾斜噴出口からのエアの流れ説明図
【図１１】  本発明のエアクリーナヘッド（傾斜噴出口）とバキュームヘッドの寸法記号説明図
【符号の説明】
【００３８】  １    エアクリーナヘッド
２    ブロワ
３    ＨＥＰＡ  フィルタ
４    プレ  フィルタ
５    風量調整バルブ
６    ホース・パイプ
７    プレッシャ室
８    バキューム室（１）
９    ダスト捕集面
１０    噴出口
１１    吸込口（１）
１２    エアの流れ
１３    渦流
１４    付着微細ダスト
１５    飛散微細ダスト
１６    平面板
１７    新エアクリーナヘッド
１８    傾斜噴出口
１９    風量調整弁（１）
２０    バキュームヘッド
２１    バキューム室（２）
２２    吸込口（２）
２３    受けローラ
２４    風量調整弁（２）
２５    搬送ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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