(57)【要約】【課題】既知の設計情報を基に無駄な走査を防止して検査対象とするエリアを走査できる技術の提供である。【解決手段】投影範囲算出手段３１はプリント板内ではんだ印刷された測定領域をＸ軸―Ｙ軸の座標で表したレイアウトを受けて、測定領域をＸ軸に投影したときのＸ軸投影範囲と、Ｙ軸に投影したときのＹ軸投影範囲を算出し、走査範囲決定手段３２ａがＸ軸投影範囲と所定距離［Ｌ―δ］とから、全測定領域を測定するための主走査回数及び各主走査回のＸ軸方向の主走査位置を決定し、かつ、各主走査回におけるＹ軸方向の主走査範囲をＹ軸投影範囲から決定する。そして、走査制御部２５ａは、決定された主走査位置を基に副走査機構制御し、決定されたＹ軸方向の主走査範囲を基に主走査機構を制御する構成とした。【選択図】    図１
2009036658.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
はんだ領域を含むプリント板の表面をＸ軸方向の長さＬに亘って光を照射して該表面からの反射光を受けるラインセンサ（２）と、前記プリント板と該ラインセンサとを相対的に前記Ｘ軸と略直交するＹ軸方向と平行に前記主走査させる主走査機構（１１）と、前記Ｘ軸方向側に次の主走査位置を前記長さＬに基く所定距離［Ｌ―δ］（ただし、０≦δ≪Ｌ）づつ主走査毎に変更させる副走査を行う副走査機構（３）と、を備え、該ラインセンサの出力を基に前記プリント板のはんだ状態を検査するプリント板検査装置において、
前記プリント板について、予め１つもしくは複数の前記はんだ領域を含む測定領域を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸でなるＸ―Ｙ座標系で表した基板設計情報を受けて、該測定領域を前記Ｘ軸に投影したときのＸ軸投影範囲と、前記Ｙ軸に投影したときのＹ軸投影範囲を算出する投影範囲算出部（３１）と、
該Ｘ軸投影範囲、該Ｙ軸投影範囲及び前記所定距離［Ｌ―δ］を基に、全測定領域について前記ラインセンサを走査させるための前記Ｘ―Ｙ座標系上での走査ルートを決定する走査ルート決定手段（３２）と
決定された走査ルートにしたがって前記主走査機構及び副走査機構を制御する走査制御部（２５ａ）と、を備えたプリント板検査装置。
【請求項２】
前記走査ルート決定手段は、
前記Ｘ軸投影範囲と所定距離［Ｌ―δ］とから、前記全測定領域を測定するための主走査回数及び各主走査回の前記Ｘ軸方向の主走査位置を決定し、かつ、各主走査回におけるＹ軸方向の主走査範囲を前記Ｙ軸投影範囲から決定する主走査範囲決定手段（３２ａ）を備え、
前記各主走査回における、前記Ｘ軸方向の主走査位置及び前記Ｙ軸方向の主走査範囲を基に、前記走査ルートを決定することを特徴とする請求項１に記載のプリント板検査装置。
【請求項３】
はんだ領域を含むプリント板の表面をＸ軸方向の長さＬに亘って光を照射して該表面からの反射光を受けるラインセンサ（２）と、前記プリント板と該ラインセンサとを相対的に前記Ｘ軸と略直交するＹ軸方向と平行に前記主走査させる主走査機構（１１）と、前記Ｘ軸方向側に次の主走査位置を前記長さＬに基く所定距離［Ｌ―δ］（ただし、０≦δ≪Ｌ）づつ主走査毎に変更させる副走査を行う副走査機構（３）と、を備えたプリント板検査装置の走査方法において、
検査前に、
検査対象とされる前記プリント板について、予め１つもしくは複数の前記はんだ領域を含む測定領域を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸でなるＸ―Ｙ座標系で表した基板設計情報を受ける段階と、
該基板設計情報を基に測定領域を前記Ｘ軸に投影したときのＸ軸投影範囲と、前記Ｙ軸に投影したときのＹ軸投影範囲を算出する投影範囲算出段階と、
該Ｘ軸投影範囲と前記所定距離［Ｌ―δ］とから、全測定領域を測定するための主走査回数及び各主走査回の前記Ｘ軸方向の主走査位置を決定し、かつ、各主走査回におけるＹ軸方向の主走査範囲を前記Ｙ軸投影範囲から決定する主走査範囲決定段階と、
記各主走査回における、前記Ｘ軸方向の主走査位置及び前記Ｙ軸方向の主走査範囲を基に、全測定領域について前記ラインセンサを走査させるための前記Ｘ―Ｙ座標系上での走査ルートを決定し、記憶する走査ルート決定段階と、を備え、
検査時に、前記走査ルートを基に前記副走査機構及び主走査機構を制御して、検査を実行することを特徴とするプリント板検査装置の走査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物であるプリント板の所望の測定範囲、特に印刷されたはんだ面の形状をセンサで走査して検査するプリント板検査装置に関する。走査は、測定範囲をセンサにより主走査の終了位置まで主走査し、副走査により次の主走査の開始位置へセンサの位置を変更し、次の開始位置から主走査を開始する手順で行われるが、そのときはんだの有無に関わらずプリント板のほぼ全面を測定範囲として走査していたが、例えば、設計上はんだ箇所が予測されるエリアを選択し、そのエリアだけを走査することにより、実効的に測定したい測定範囲だけ走査することにより、測定する時間、そして検査する時間の短縮を図る技術に係る。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、印刷はんだ検査装置としては、プリント板の表面をレーザ光等で照射し、プリント板の表面からの反射光を受光するセンサを有し、そのセンサにより測定（三角測量）した結果として得られた測定値、例えば、プリント板上の印刷はんだ箇所の変位（高さを含む）或いは輝度（プリント板から反射した光の量、受光量（光の強さ）を含む。）の測定値を基に、判定の基準となる基準データと比較して判定している（特許文献１、２）。
【０００３】
このような検査装置（方法）においては、一般に、プリント板を一定方向から搬送させて所定の検査位置で停止させて、そこで、センサ又は／及びプリント板をＸステージ及びＹステージ（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の各方向への移動台と移動手段）を用いて走査して（相対的な走査を行って）測定するが、走査方向には、主走査と主走査に直交する方向へ走査する副走査があり、主走査のときに測定を行い、副走査は、センサを現在の主走査位置から次の主走査を行うべき位置へずらす為に行われ、そのずらす範囲は、主走査のときセンサによって検出できる副走査方向の検出幅に相当する。その様子を示すのが図７である。図７は、プリント板の上から、主走査と副走査の軌跡を模擬的に示す図である。図７で、隣り合う主走査間の距離Ｌ（ほぼ１回の副走査距離）は、センサが主走査方向と直交する方向へのセンシングできる範囲で決定される。
【０００４】
なお、走査とは、センサと被測定物であるプリント板との相対的な位置の移動を行って、被測定物の表面の測定範囲におけるセンサによる測定位置を変更することを言い、ここでは、主走査時に、実際の測定を行っている。走査、つまり相対的な位置移動にあたっては、センサ又は被測定物の一方だけの、或いは双方の移動のいずれでも可能である。特許文献１，２では、主走査を被測定物側を移動させて行い、副走査をセンサ側に移動させることで行っている。
【０００５】
従来は、プリント基のほぼ全面にわたって図７に示すような矩形状の走査を繰り返して行われていた。
【０００６】
【特許文献１】特許３５９２５９４号公報
【特許文献２】特許３５３７３８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般に、プリント板検査装置として生産ラインにおいて取り扱うプリント板の枚数は相当の数になり、時間的な効率が要求される。つまり、プリント板検査装置としては、測定の速度を早くして、或いは測定に係る時間を減らして、効率よく稼働させることが常に求められる課題とされている。
【０００８】
しかしながら上記の従来技術では、はんだの無い領域も走査することになるので、無駄な時間が生じる。特に、一般にセンサを走査するには機械的な移動が伴うので、時間が係る。
【０００９】
本発明の目的は、上記従来技術の欠点を改良するものであって、プリント板のはんだエリア（はんだの個々の範囲、もしくはそれらが近接しているときは、それらの集合）は、設計上、予め知られているので、設計情報を基に無駄な走査を防止して検査対象とするエリアを走査できる技術の提供である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、はんだ領域を含むプリント板をＸ軸方向の長さＬに亘って光を照射して該表面からの反射光を受けるラインセンサ（２）と、前記プリント板と該ラインセンサとを相対的に前記Ｘ軸と直交するＹ軸方向と平行に前記主走査させる主走査機構（１１）と、前記Ｘ軸方向側に次の主走査位置を前記長さＬに基く所定距離［Ｌ―δ］（ただし、０≦δ≪Ｌ）づつ主走査毎に変更させる副走査を行う副走査機構（３）と、を備え、該ラインセンサの出力を基に前記プリント板のはんだ状態を検査するプリント板検査装置において、前記プリント板について、予め１つもしくは複数の前記はんだ領域を含む測定領域を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸でなるＸ―Ｙ座標系で表した基板設計情報を受けて、該測定領域を前記Ｘ軸に投影したときのＸ軸投影範囲と、前記Ｙ軸に投影したときのＹ軸投影範囲を算出する投影範囲算出部（３１）と、該Ｘ軸投影範囲、該Ｙ軸投影範囲及び前記所定距離［Ｌ―δ］を基に、全測定領域について前記ラインセンサを走査させるための前記Ｘ―Ｙ座標系上での走査ルートを決定する走査ルート決定手段（３２）と、決定された走査ルートにしたがって前記主走査機構及び副走査機構を制御する走査制御部（２５ａ）と、を備えた。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記走査ルート決定手段は、前記Ｘ軸投影範囲と所定距離［Ｌ―δ］とから、前記全測定領域を測定するための主走査回数及び各主走査回の前記Ｘ軸方向の主走査位置を決定し、かつ、各主走査回におけるＹ軸方向の主走査範囲を前記Ｙ軸投影範囲から決定する主走査範囲決定手段（３２ａ）を備え、前記各主走査回における、前記Ｘ軸方向の主走査位置及び前記Ｙ軸方向の主走査範囲を基に、前記走査ルートを決定する構成とした。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、はんだ領域を含むプリント板をＸ軸方向の長さＬに亘って光を照射して該表面からの反射光を受けるラインセンサ（２）と、前記プリント板と該ラインセンサとを相対的に前記Ｘ軸と直交するＹ軸方向と平行に前記主走査させる主走査機構（１１）と、前記Ｘ軸方向側に次の主走査位置を前記長さＬに基く所定距離［Ｌ―δ］（ただし、０≦δ≪Ｌ）づつ主走査毎に変更させる副走査を行う副走査機構（３）と、を備えたプリント板検査装置の走査方法において、検査前に、検査対象とされる前記プリント板について、予め１つもしくは複数の前記はんだ領域を含む測定領域を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸でなるＸ―Ｙ座標系で表した基板設計情報を受ける段階と、該基板設計情報を基に測定領域を前記Ｘ軸に投影したときのＸ軸投影範囲と、前記Ｙ軸に投影したときのＹ軸投影範囲を算出する投影範囲算出段階と、該Ｘ軸投影範囲と前記所定距離［Ｌ―δ］とから、全測定領域を測定するための主走査回数及び各主走査回の前記Ｘ軸方向の主走査位置を決定し、かつ、各主走査回におけるＹ軸方向の主走査範囲を前記Ｙ軸投影範囲から決定する主走査範囲決定段階と、記各主走査回における、前記Ｘ軸方向の主走査位置及び前記Ｙ軸方向の主走査範囲を基に、全測定領域について前記ラインセンサを走査させるための前記Ｘ―Ｙ座標系上での走査ルートを決定し、記憶する走査ルート決定段階と、を備え、検査時に、前記走査ルートを基に前記副走査機構及び主走査機構を制御して、検査を実行する構成とした。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、プリント板の設計されたときのはんだ領域を示す基板設計情報を基に、その測定範囲を算出し、ラインセンサによる主走査方向と直交する方向へのセンシングの幅Ｌを基準に主走査の位置と走査範囲を決定しておいて、検査時に、決定された走査範囲を主走査することにより、所望の測定範囲だけ走査する構成なので、例えば、同じプリント板であってもはんだ領域でない領域を無駄に走査することなく、必要なところだけ走査できるので、測定時間の短縮ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施形態を図１〜図６を用いて説明する。図１は、本実施形態の構成を示す機能ブロック図である。図２は、プリント板のはんだ領域をＸ座標及びＹ座標へ投影し、走査範囲を求める手順を説明するための図である。図３は、図２の走査範囲を基にした走査手順を説明するための図である。図４は、図３の走査手順の変形例を示す図である。図５は、走査機構の副走査機構の例を示す図である。図６は、走査機構の主走査機構の例を示す図である。図５、図６は、従来から使用されてきた技術である。
【００１５】
図１は、本発明の実施形態の機能構成を示す図である。図１の走査機構部は従来技術とほぼ同じ構造であり、図５及び図６を基に簡単に後記する。図１で図５及び図６における符号と一致する符号の要部は同一機能を示す。ただし、図１の走査機構部１における主走査機構１１及び副走査機構３は、図５，６の主走査、副走査に係る中心的要部を代表して模擬的に表したものである。説明上、図１では副走査機構３とラインセンサ２が分かれているが図５、６では、副走査機構はラインセンサ２を搭載し移動させる機構になっている。又、図１では、クランパ９と主走査機構１１とが分かれて記載されているが、図５、６ではクランパ９を搭載する搬送手段を主走査機構１１が移動させて主走査する機構になっている。
【００１６】
［走査機構］
走査機構は、プリント板ｗとラインセンサ２との相対的位置（又は距離、方向）を順次移動、或いは変更して、ラインセンサ２がプリント板ｗの測定範囲の全般に亘って測定できるようにする。走査は、被測定物とセンサの相対的移動であるから、何れか一方を移動できれば良い。ここでは一例として、図５及び図６に示す技術を用いる。走査には、具体的な動作としては測定位置を変更するための「移動」が伴うので「移動」で説明しても良いが、以下は、用語として「走査」を用いて説明する。
【００１７】
先ず図５及び図６を基に、走査機構について説明する。図５において、走査機構部１は、大きくはラインセンサ２、副走査機構３、及び未検査のプリント板ｗを順次搬送する搬送装置４と、で構成されている。主走査機構１１は、この例では搬送装置内に含まれている。
【００１８】
プリント板ｗは、いわば被測定物であり、表面にクリームはんだが印刷された検査対象のプリント板である。このプリント板ｗの表面の一部又は全部が測定範囲となりうる。以下の説明では、プリント板ｗの全部が測定範囲として説明する。
【００１９】
ラインセンサ２は、この例では、測定範囲にあるプリント板ｗの表面を三角測量を行ってその変位を測定するセンサである。そのためプリント板ｗをレーザ光で照射するレーザ光源とプリント板ｗから反射してくる反射光を検出する変位検出器とを備えている。
【００２０】
副走査機構３は、ラインセンサ２を支持する支持体３ａをＸ軸モータ３ｂの駆動により、レール３ｃを介してＸ方向に移動させる。つまりＸ方向に副走査させる。
【００２１】
搬送装置４は、図５及び図６に示すように、２本の搬送ベルト５，５がプリント板ｗの搬送方向に沿うようにして円筒状の一対のプーリ６，６で巻回されている。一方のプーリ６には、搬送モータ７が設けられており、搬送ベルト５，５を回転させて未検査のプリント板ｗをＸ正方向に搬送させる。２本の搬送ベルト５，５間の所定の位置には高さ方向（Ｚ方向）に上下動自在なストッパ８が設けられており、搬送されてくる未検査のプリント板ｗを停止させる。また、２本の搬送ベルト５，５間のストッパ８近傍にはＺ方向に上下動自在なクランパ９が設けられており、クランパ９は、ラインセンサ２により検査されるときは搬送ベルト５，５に替わってプリント板ｗを載置するとともに、搬送方向に直交するＹ方向に移動自在な突き当て板１０，１０により、プリント板ｗを挟持する。
【００２２】
搬送装置４には、主走査機構１１が設けられている。主走査機構１１は、搬送装置４を支持体１１ａで支持してＹ軸モータ１１ｂの駆動により、レール１１ｃを介して搬送装置４自身を搬送方向と直交する方向のＹ方向に移動させる。つまり主走査させる。
【００２３】
［走査の機能・構成］
図１で測定制御手段２５は、走査制御部２５ａを有して、走査機構部１を制御して走査させて測定させるとともに、そのときのラインセンサ２からの出力を基に主走査した位置における変位量を測定値として、測定値記憶手段２６へ送り記憶させる。なお、ラインセンサ２は、光学的センサ（後述）を用い、測定範囲の測定個所における高さ方向の変位を検出できる。併せて、測定個所からの光量を検出することもできる（別に設けても良い）。
【００２４】
ラインセンサ２は、主走査方向（例えば、Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に距離Ｌに亘って複数のセンサが配列しており、その配列方向に高速にレーザ光をスキャンしてほぼ同時に距離Ｌに亘ってプリント板ｗ（或いはそのはんだ領域）の変位を測定する構成を有する。したがって、１回の主走査で幅Ｌの範囲に亘って変位を測定することができる（したがって、距離Ｌは、主走査幅に相当する。）。１回の主走査を終えると、Ｘ方向に幅［Ｌ―δ］（ただし、０≦δ≪Ｌ）だけ主走査位置をずらして主走査する。距離δは、隣合う主走査同士でダブって測定する範囲である。これは念のため測定漏れがないようにするためである。
【００２５】
走査制御部２５ａは、設計情報記憶手段３０、投影範囲算出手段３１、走査ルート決定手段３２及び制御手順記憶手段３３からの情報を基に走査機構部１を制御する。以下、設計情報記憶手段３０、投影範囲算出手段３１、走査ルート決定手段３２、制御手順記憶手段３３、及び走査制御手段２５ａの順で説明する。
【００２６】
設計情報記憶手段３０は、基板設計情報として、主として、基板情報、基準データ及びレイアウト（情報）を記憶している。基板情報は、検査対象とするプリント板ｗを特定する識別情報や検査条件等を含む書誌的な情報を記憶していて、それらをユーザインタフェース２９で一覧表示させて検査開始にあたって選択できるようにしてある。基準データは、判定手段２８がプリント板ｗのはんだ箇所（位置）毎にはんだ状態の良否を判定するとき基準となる設計上のデータである。したがって、基準データは、データ生成手段２７が測定値を基に作り出すデータの種類と同じであり、例えば、はんだ箇所の高さ、面積、体積等を示すデータである。
【００２７】
レイアウト（情報）は、プリント板ｗを設計したときのはんだ箇所の位置及び範囲を示す情報、及びプリント板状の基準となる位置を示すマークの位置と範囲を示す情報が含まれている。以下、はんだ箇所（或いは、はんだ領域）及びマークは、２次元、Ｘ−Ｙ座表系で位置と範囲が特定できるように表されている。なお、最小単位のはんだ箇所もその位置と範囲で表される。したがって、はんだ箇所の位置範囲が連続する一固まりに形成されると、はんだ領域を形成することになる。
なお、以下の説明に用いられる「測定領域」には、はんだ箇所（或いは、はんだ領域）、及びプリント板ｗ上のはんだ箇所の座標位置の相対的な基準となる位置を示すマークの領域の双方が含まれている。
【００２８】
投影範囲算出手段３１は、上記の設計情報記憶手段３０から検査対象とするプリント板ｗについて、プリント板ｗ内で１つもしくは複数の、はんだ箇所及びプリント板ｗの基準位置を示すマーク等の測定対象をＸ軸―Ｙ軸でなる座標で表したレイアウト（基板設計情報）を受けて、測定対象の領域をＸ軸上に投影したときのＸ軸投影範囲と、Ｙ軸上に投影したときのＹ軸投影範囲を算出する。
【００２９】
図３にプリント板ｗについてレイアウトを基に投影したときの模擬的なＸ軸投影範囲、及びＹ軸投影範囲を示す図である。実際は、レイアウトが座標の数値情報であり、投影範囲算出手段３１は算出処理して投影範囲を求める。図２は説明上の図である。
【００３０】
図２において、マーク１は上記の基準位置を示すマークであり、一般的には少なくとも両端に２つある。エリア１，２，３は、それぞれはんだ領域を模擬的に表す。
投影範囲算出手段３１は、Ｘ軸投影範囲としては、一次的には、ｘ１−ｘ２、ｘ３−ｘ５、ｘ４−ｘ６、ｘ７−ｘ８、ｘ９−ｘ１０で示される範囲を求め、次に重なった部分を含めて二次的に、ｘ１−ｘ２、ｘ３−ｘ６、ｘ７−ｘ８、ｘ９−ｘ１０なる領域を求める。Ｙ軸投影範囲としては、一次的に、ｙ１−ｙ２、ｙ３−ｙ４、ｙ５−ｙ７、ｙ６−ｙ８、ｙ９−ｙ１０（但し、図２では、ｙ８＝Ｙ９）を求める。
【００３１】
走査範囲決定手段３２ａは、先ず、主走査位置（併せて走査回数）を決定する。主走査をＹ軸方向にするとすれば、Ｘ軸投影範囲を基準に決定する。また、一度の主走査で行えるＸ軸方向の主走査範囲は、ラインセンサ２のセンシング長であって、主走査幅である距離Ｌで決定され、隣り合う主走査間では距離δ（ただし、０≦δ≪Ｌ）だけ余裕を見て重ねて主走査されるもとのとして、次の（１）又は（２）の方法で決定する。
（１）走査範囲決定手段３２ａは、Ｘ軸に沿って予め全範囲についてｋ回の主走査を行うとして、図２に示すように、１回目の主走査のＸ軸上の位置Ｍ１＝０〜Ｌ、２回目の位置Ｍ２＝［Ｌ―δ］〜［Ｌ−δ］＋Ｌ、ｋ回目の位置Ｍｋ＝［Ｌ−δ］×（ｋ−１）〜［Ｌ−δ］×（ｋ−１）＋Ｌを割り振っておき、この割り振った主走査位置Ｍ１〜Ｍｋのいずれに或いはそれに跨って上記のＸ軸投影範囲のｘ１−ｘ２、ｘ３−ｘ６、ｘ７−ｘ８、ｘ９−ｘ１０があるかどうかを決定する。これからすると、全てのＸ軸投影範囲を満足するための主走査の位置は、Ｍ１，Ｍ２、Ｍ３、Ｍｋ−２，Ｍｋ−１、Ｍｋが必要になり、回数では、計６回になる。
（２）上記のＸ軸投影範囲のｘ１−ｘ２、ｘ３−ｘ６、ｘ７−ｘ８、ｘ９−ｘ１０を距離Ｌ及び距離δを基に主走査位置に割り振る。つまり、上記（１）では、図２のＸ軸の投影のない部分（空区間）についても、主走査しないにもかかわらず予め主走査回数を割り振っていたが、ここではその空区間を無視して、Ｘ軸投影範囲のｘ７−ｘ８、ｘ９−ｘ１０については、位置Ｘ７をスタート位置として割り振る。つまり、Ｘ軸投影範囲ｘ１−ｘ２、ｘ３−ｘ６位置が０位置をスタート位置として割り振られたと同様に割り振る。
【００３２】
次に、走査範囲決定手段３２ａは、決定された主走査位置に応じて、Ｙ軸投影範囲ｙ１−ｙ２、ｙ２−ｙ３、ｙ４−ｙ６、ｘ５−ｙ７、ｙ７−ｙ８をカバーすべくそれぞれの主走査回のＹ軸方向の走査範囲を決定する。図２からして、主走査Ｍ１に属する位置ｘ２において範囲ｙ１−ｙ２が必要であるが、同じく主走査Ｍ１に属する位置ｘ３では範囲ｙ３―ｙ４が必要である。したがって、主走査Ｍ１では、主走査範囲Ｓ１＝ｙ１〜ｙ４までの走査が必要である。主走査Ｍ２では、同様に範囲ｙ３−ｙ４，及び範囲ｙ６−ｙ８の主走査範囲Ｓ２が必要である。この場合は主走査範囲Ｓ２＝ｙ３−ｙ８としても良い。主走査Ｍ３の場合は、主走査範囲Ｓ３＝ｙ６−ｙ８が必要である。主走査Ｍｋ−２，及びＭｋ−１のそれぞれは、主走査範囲Ｓｋ−２＝Ｓｋ−１＝ｙ５〜ｙ７が必要である。主走査Ｍｋでは、主走査範囲Ｓｋ＝ｙ９〜ｙ１０が必要である。上記のように図２を基にｙ軸方向の主走査範囲の決定の仕方について理解できるよう説明したが、実際は、図の表記とは関係なく走査範囲決定手段３２ａがレイアウトを基に論理的に決定する。例えば、走査範囲決定手段３２ａがレイアウト状のデータをサーチして、主走査Ｍ１（Ｘ軸座標位置＝０〜Ｌ）に属する、測定箇所のエリアがあるかどうかを調べる。マーク１、エリア１が在ることを確認する。そして主走査Ｍ１の範囲内にマーク１及びエリア１のＸ軸への投影範囲があるかどうかを調べる。そして、Ｘ軸への投影範囲（Ｘ１−Ｘ２、Ｘ３−Ｌ）があるから、それのＹ軸への投影範囲を調べ、それを（ｙ１−ｙ２，ｙ３−ｙ４、但し、ｙ２とｙ３が近い場合、ｙ１−ｙ４としても良い。）を主走査Ｍ１の主走査範囲とするように決定する。
【００３３】
図１で走査ルート決定手段３２は、走査範囲決定手段３２ａで決定されたＸ軸方向の主走査位置と、各主走査位置でのＹ軸方向の主走査範囲を示す位置情報を基に短距離に、つまり短時間に走査できる走査ルートを決定する。図３は、その走査ルートの一例を示す図である。図３で、Ｒ１，Ｒ２、Ｒ３，Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６が走査のルートと方向を示し、Ｒ１２，Ｒ２３，Ｒ３４、Ｒ４５、Ｒ５６が主走査間における位置の変更を行う副走査のルートと方向を示す。このうち、Ｒ１２，Ｒ３４、Ｒ５６は、主走査機構１１と副走査機構３の同時に移動動作行うことにより斜めに移動している。Ｒ２３，Ｒ４５は、主走査機構１１による移動はなく、副走査機構３の動作のみで移動できる。なお、Ｒ１２，Ｒ２３，Ｒ３４、Ｒ４５、Ｒ５６を図３のように斜めの移動でなく、図４のように直角な移動させても良い。つまり図３のＲ１２に対して、図３のＲ１２ａ及びＲ１２ｂのように直角に移動させる。この場合は、主走査機構１１と副走査機構３は同時ではなく、シリアルな動作を行う。
【００３４】
制御手順記憶手段３３は、走査ルート決定手段３２が決定した走査ルートの順Ｒ１，Ｒ１２、Ｒ２、Ｒ２３、Ｒ３、Ｒ３４、Ｒ４、Ｒ４５、Ｒ５，Ｒ５６、Ｒ６の順に各ルートのスタート座標位置、及び終了座標を、プリント板ｗのＩＤと共に記憶しておく。
【００３５】
測定制御手段２５の走査制御部２５ａでは、制御手順記憶手段３３からの走査対象とするプリント板ｗの走査ルートの手順（ルート順）とその詳細座標位置を基に、走査機構１の主走査機構１１と副走査機構３をシーケンシャルに制御する情報、つまり、各ルートにおける速度、加速度、移動方向、移動時間（移動距離）等を生成して、その生成したシーケンシャル制御情報を基に制御する。
【００３６】
［検査装置］
次に図１を基にプリント板検査装置全般について説明する。
【００３７】
図１において測定制御手段２５は、上記したように、設計情報記憶手段３０からプリント板ｗ表面上の測定範囲（はんだ領域及びマーク）を示すレイアウトを受けて、ラインセンサ２をプリント板ｗに対して相対的に測定範囲を走査させ、高さ方向の変位を含む測定値を取得する。ラインセンサ２は、三角測量によるレーザ変位計の例であって、プリント板ｗに対して移動機構部５によって相対的に走査されながら、レーザを照射可能なレーザ光源と、プリント板ｗからの反射光を受光する受光手段からなり、測定範囲、例えば、はんだが印刷されたはんだ箇所の変位、つまり印刷はんだ箇所の高さ（Ｚ軸方向）をその印刷はんだ箇所の位置と対応づけて測定し、デジタルデータに変換して測定値記憶手段２６に記憶させる。
【００３８】
データ生成手段２７は、記憶手段２６から測定値を受けて、フィルタ、はんだブリッジやはんだパターンエッジ等の繊細パターンを識別する感度を示す数々の所定の画像パラメータ値を基に、測定値を各印刷はんだ箇所の印刷はんだ量を表す判定用データに加工処理する。また、データ生成手段２７は、その判定用データとして印刷はんだ箇所における高さ、面積及び／又は体積等生成するための演算を行う手段等を有している。この判定用データとして、印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となるデータであって、その種類としてはそれぞれのはんだ箇所の高さ、面積、体積、欠損（存在すべきはんだ量が無い状態の検出）、位置ズレ、ブリッジ、及び高さムラ等を出力する。なお、プリント板ｗの良否を判定するには上記の判定用データの全てを必要とするとは限らないが、高さ、面積、体積、欠損、位置ズレ、ブリッジ、高さムラの内、少なくともいずれか１つは不可欠である。
【００３９】
なお、データ生成手段２７は、はんだ状態を面積や体積に換算して評価するためのものであり、単純に高さだけで評価する場合は、無くてもよい。ただし、この場合、後記する基準データは、高さについての基準データであり、判定手段２８は、はんだ状態の高さについて、良否判定を行うことになる。
【００４０】
判定手段２８は、はんだ箇所毎に、測定値から生成された判定用データと、予め設計情報記憶手段３０に記憶されている同一はんだ箇所の基準データとを比較し、良否判定を行う。
【００４１】
表示制御手段２９ｂは、判定手段２８による判定結果を、判定したはんだ箇所を介して設計情報記憶手段３０に記憶されているレイアウト（プリント板ｗの配置、寸法、はんだ位置）に対応付けて表示手段２９ｃへ表示させる。例えば、レイアウトにおける測定範囲のどの箇所が不良（ＮＧ）と判定された箇所を視覚的に明示できる。
【００４２】
設計情報記憶手段３０は、上記判定用データと同じ種類の設計値、つまり、はんだ箇所の高さ、面積、体積、欠損、位置ズレ、ブリッジ、高さムラについての設計値を基準データとして記憶している。さらに、設計情報記憶手段３０は、検査対象とするプリント板ｗの種類毎にレイアウト（プリント板ｗの配置図、寸法、はんだ位置等）を記憶し、検査開始のときは、プリント板ｗの種類リストを表示手段２９ｃに表示し、操作手段２９ａで選択可能にされている。
【００４３】
ユーザインタフェース２９は、表示制御手段２９ｂ、表示手段２９ｃ及び、操作手段２９ａで構成されるが、その主要動作について上記した通りである。
【００４４】
上記構成における、投影範囲算出手段３１、走査ルート決定手段３２、測定制御手段２５、走査制御部２５ａ、データ生成手段２７、判定手段２８、表示制御手段２９ｂは、ＣＰＵ及びそのＣＰＵに上記説明の機能を動作させるためのプログラムを記憶したメモリ（ＲＯＭ）、及び上記機能動作過程でデータを貯えるメモリ（ＲＡＭ）等で構成される。設計情報記憶手段３０、制御手順記憶手段３３及び測定値記憶手段２６はメモリで構成され、ＣＰＵで管理される。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施形態の機能構成を示す図である。
【図２】プリント板上の測定範囲を設計基準情報としてのレイアウトからＸ軸及びＹ軸への投影、及び走査範囲を説明するための図である。
【図３】走査範囲を走査する手順を説明するための図である。
【図４】走査範囲の走査手順の他の例を説明するための図である。
【図５】走査機構の副走査機構の例を示す図である。
【図６】走査機構の主走査機構の例を示す図である。
【図７】従来の走査手順を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  走査機構部、２  ラインセンサ、３  副走査機構、３ａ  支持体、
３ｂ  Ｘ軸モータ、３ｃ  レール、４  搬送装置、５  搬送ベルト、６  プーリ、
７  搬送モータ、８  ストッパ、９  クランパ、１０  突き当て板、１１  主走査機構、
１１ａ  支持体、１１ｂ  Ｙ軸モータ、１１ｃ  レール、２５  測定制御手段、
２５ａ  走査制御部、２６  測定値記憶手段、２７  データ生成手段、２８  判定手段、
２９  ユーザインタフェース、２９ａ  操作手段、２９ｂ  表示制御手段、
２９ｃ  表示手段、３０  設計情報記憶手段、３１  投影範囲算出手段、
３２  走査ルート決定手段、３２ａ  走査範囲決定手段、３３  制御手順記憶手段、
ｗ  プリント板
【図１】
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【図５】
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【図６】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図７】
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