(57)【要約】【課題】線膨張係数が互いに一致しないパッケージ本体及び蓋体を採用しても、固体撮像素子の受光面の法線が入射光の光軸からずれるのを低減し、高画質化を図る。【解決手段】開口３ａを有する凹形状のパッケージ本体３は、固体撮像素子２を収容する。所定の透光特性を持つ板状の蓋体４は、パッケージ本体３の開口３ａに重ねられて、その周辺部がパッケージ本体３における開口３ａの周囲部６に接着され、開口３ａを封止する。蓋体４の平面視での形状は、略ｎ角形状（ｎは３以上の整数）であり、蓋体４の全てのｎ個の角部に、平面視で直線状又は円弧状の面取り部４ａが形成される。【選択図】図１
2009016649.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体撮像素子と、
開口を有し前記固体撮像素子を収容した凹形状のパッケージ本体と、
所定の透光特性を持つ板状の蓋体であって、前記パッケージ本体の前記開口に重ねられてその周辺部が前記パッケージ本体における前記開口の周囲部に接着され、前記開口を封止する蓋体と、
を備え、
前記蓋体の平面視での形状は、略ｎ角形状（ｎは３以上の整数）であり、
前記蓋体の全てのｎ個の角部に、平面視で直線状又は円弧状の面取り部が形成されたことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記蓋体の平面視での形状は、略長方形状又は略正方形状であることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記蓋体の前記のｎ個の角部のうちの少なくとも１つの角部において、当該角部を挟む前記蓋体の２辺の延長線が交わる交点から当該２辺のうちの一方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第１の距離、及び、当該交点から当該２辺のうちの他方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第２の距離が、ほぼ同じであって、それらの距離をＡとし、前記蓋体の各辺に沿った縦又は横の寸法のうちのいずれの寸法をもＢとしたとき、０．０１≦Ａ／Ｂ≦０．１６の条件を満たすことを特徴とする請求項２記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記蓋体の寸法は、縦横の一方が３０ミリメートル以上でかつ縦横の他方が４５ミリメートル以上であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記パッケージ本体の前記周囲部の平面視での内周形状は、前記蓋体の平面視の形状と略相似的なｎ角形状であり、
前記パッケージ本体の前記周囲部の平面視での内周形状の全てのｎ個の角部は、平面視で直線状又は円弧状の面取り形状を有していないことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記パッケージ本体の前記周囲部の平面視での内周形状は、前記蓋体の平面視の形状と略相似的な略ｎ角形状であり、
前記パッケージ本体の前記周囲部の平面視での内周形状のｎ個の角部のうちの少なくとも１個の角部は、平面視で直線状又は円弧状の面取り形状を有していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記蓋体の前記のｎ個の角部のうちの少なくとも１つの角部において、当該角部を挟む前記蓋体の２辺の延長線が交わる交点から当該２辺のうちの一方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第１の距離、及び、当該交点から当該２辺のうちの他方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第２の距離が、ほぼ同じであって、それらの距離をＡとし、前記蓋体の前記パッケージ本体の前記周囲部との重なり領域のうち当該２辺のうちの一方の辺に沿った領域の幅及び他方の辺に沿った領域の幅をそれぞれＷ１，Ｗ２としたとき、Ａ＜（Ｗ１＋Ｗ２）の条件を満たすことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記蓋体の前記のｎ個の角部のうちの少なくとも１つの角部において、当該角部を挟む前記蓋体の２辺の延長線が交わる交点から当該２辺のうちの一方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第１の距離をＡ１とし、当該交点から当該２辺のうちの他方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第２の距離をＡ２とし、前記蓋体の前記パッケージ本体の前記周囲部との重なり領域のうち当該２辺のうちの一方の辺に沿った領域の幅及び他方の辺に沿った領域の幅をそれぞれＷ１，Ｗ２としたとき、（Ａ１×Ａ２）／（Ｗ１×Ｗ２）≧０．２５の条件を満たすことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像素子をパッケージ本体内に収容して蓋体で封止してなる固体撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ダイシングされてウエハから一つ一つのチップに分割された半導体素子は、パッケージに収容され封止される。
【０００３】
固体撮像素子をこのようにパッケージングする際、入射光が固体撮像素子に導かれるようにパッケージングされる。すなわち、固体撮像素子は、開口を有する凹形状のパッケージ本体に、光入射側を開口側として収容される。そして、ワイヤボンディング等の処理が施される。次いで、透光性を持つ板状の蓋体がパッケージ本体の開口に重ねられ、蓋体の周辺部がパッケージ本体における前記開口の周囲部に接着剤で接着され、蓋体により前記開口が封止されて、固体撮像装置が完成する。このようにすれば、入射光が固体撮像素子に導かれつつ固体撮像素子の収容空間が気密封止されるので、固体撮像素子は外気にふれることがない。したがって、固体撮像素子は湿気や酸素等の影響を受けることが無いので、固体撮像素子の耐久性が向上する。
【０００４】
近年、このような固体撮像装置において、前記蓋体として、ガラス板に代えて、水晶やニオブ酸リチウムなどの単結晶板からなる光学的ローパスフィルタが使用されている。これにより、固体撮像素子の解像度限界を超える空間周波数成分による偽信号が低減され、高画質化を図ることができる。
【０００５】
しかしながら、このような材料からなる光学的ローパスフィルタは、セラミック等の部材により構成されたパッケージ本体と線膨張係数が一致しない。このため、熱衝撃を受けてもパッケージ本体と蓋体（光学的ローパスフィルタ）との接着部が剥離しないように、十分に大きい接着力を有する接着剤を用いて蓋体をパッケージ本体に強固に接着する。このとき、十分に大きい接着力を有する接着剤を用いれば、その接着剤を厚く塗布しなくても接着強度が高まる。接着剤は一般的に透湿性を有しているので、気密封止の性能を高めるため、接着剤は薄く塗布する。
【０００６】
一方、接着力がさほど大きくない接着剤を用いてその接着剤を薄く塗布する場合、熱衝撃を受けるとパッケージ本体と蓋体（光学的ローパスフィルタ）との接着部が剥離しまうおそれがあり、信頼性が低下してしまう。接着力がさほど高くない接着剤を用いても、その接着剤を厚く塗布すれば、接着強度が高まるので、熱衝撃によって接着部が剥離してしまうおそれを低減させることができる。しかし、この場合は、接着剤を通して湿気が固体撮像素子の収容空間内に侵入し易くなるので、気密封止の性能が低下してしまい、湿気によって固体撮像素子の耐久性が低下してしまう。
【０００７】
そこで、下記特許文献１には、接着力がさほど高くない接着剤を用いても、光学的ローパスフィルタ（蓋体）をパッケージ本体に強固に接着させることができるとともに気密封止の性能が低下しない固体撮像装置が、開示されている。この固体撮像装置では、長方形状の蓋体の四隅においてのみ接着剤を厚く塗布し、その他の領域においては接着剤を薄く塗布する構成を、採用している。この固体撮像装置では、厚い接着剤によって四隅の接着強度が高まる一方、その他の領域の接着剤が薄くなっているので気密封止の性能が低下しない。
【０００８】
蓋体として光学的ローパスフィルタを用いた従来の固体撮像装置では、十分に大きい接着力を有する接着剤を利用する前述した固体撮像装置の場合も、特許文献１に開示された固体撮像装置の場合も、蓋体の形状は四角形状であり、蓋体の４つの角部には、平面視で直線状又は円弧状の面取り部は形成されていない。なお、特許文献１の図４には、四隅（４つの角部）の厚い接着剤の領域は、蓋体に形成された面取り部によって構成してもよい旨が、開示されている。しかし、この面取り部は側面視で直線状の面取り部であり、平面視で直線状又は円弧状の面取り部を蓋体の角部に設けることを開示も示唆もしていない。
【特許文献１】特開２００６−６６７９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明者の研究の結果、蓋体として光学的ローパスフィルタを用いた前述した従来の固体撮像装置では、固体撮像素子のパッケージングに起因して、当該固体撮像装置を組み込んだカメラを製造した後に、僅かながらも、固体撮像素子の受光面の法線が入射光の光軸からずれてしまうことが、判明した。従来は、固体撮像素子のパッケージングに関しては、気密封止性能を確保しつついかに強固に光学的ローパスフィルタをパッケージ本体に固定するかに主眼が置かれており、このようなずれは全く看過されてきた。
【００１０】
このようなずれが、当該固体撮像装置を組み込んでカメラを製造した後に発生すると、撮像した画像にわずかながら歪み等が生じてしまう。そして、このようなずれは、修復が困難である。
【００１１】
このような歪みは僅かではあるが、デジタル一眼レフカメラのユーザーなどのハイレベルのユーザーからの要求は、留まるところを知らない。このようなユーザーは、取り込んだ画像の一部を大きく拡大する等の加工をする。したがって、僅かな画像の歪みさえ、大きな問題となってきている。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、線膨張係数が互いに一致しないパッケージ本体及び蓋体を採用しても、固体撮像素子の受光面の法線が入射光の光軸からずれるのを、低減することができる固体撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者は、研究の結果、固体撮像素子の受光面の法線が入射光の光軸からずれてしまう原因を突き止め、本発明をなすに至った。
【００１４】
すなわち、特許文献１に開示された固体撮像装置などの前述した従来技術では、光学的ローパスフィルタがパッケージ本体に強固に固定されているので、パッケージ本体はローパスフィルタの応力を頑強に受け止める。したがって、わずかであるが、熱衝撃に起因するローパスフィルタの応力によって、パッケージ本体に歪みが生じていたのである。このため、製造時に固体撮像素子の受光面の法線と入射光の光軸とを一致させても、熱衝撃によりパッケージ本体が歪み、それに伴い固体撮像素子も歪む。これによって固体撮像素子の受光面が湾曲し、入射光の光軸は受光面のほぼ全域に渡って受光面の法線からずれてしまったのである。よって、固体撮像素子の受光面が湾曲すると、受光面のほぼ全域は合焦位置からずれてしまい、良好な画像が得られない。
【００１５】
これまでは、固体撮像装置の耐久性を向上させるために、いかに強固に光学的ローパスフィルタをパッケージ本体に固定するかに主眼が置かれていた。しかし、本発明者は、鋭意研究の結果、固体撮像装置の耐久性を向上させるためには、熱衝撃に起因するパッケージ本体の歪みを低減して、固体撮像素子の受光面の法線の入射光光軸からのずれを低減することも肝要であることを、見出した。
【００１６】
本発明は、このような本発明者による新たな知見に基づいてなされたものであり、本発明の第１の態様による固体撮像装置は、固体撮像素子と、開口を有し前記固体撮像素子を収容した凹形状のパッケージ本体と、所定の透光特性を持つ板状の蓋体であって、前記パッケージ本体の前記開口に重ねられてその周辺部が前記パッケージ本体における前記開口の周囲部に接着され、前記開口を封止する蓋体と、を備え、前記蓋体の平面視での形状は、略ｎ角形状（ｎは３以上の整数）であり、前記蓋体の全てのｎ個の角部に、平面視で直線状又は円弧状の面取り部が形成されたものである。
【００１７】
前記第１の態様において、前記蓋体は、例えば、光学的ローパスフィルタであってもよい。また、前記パッケージ本体の前記周囲部は、例えば、セラミックで構成されてもよい。
【００１８】
本発明の第２の態様による固体撮像装置は、前記第１の態様において、前記蓋体の平面視での形状は、略長方形状又は略正方形状であるものである。
【００１９】
本発明の第３の態様による固体撮像装置は、前記第２の態様において、前記蓋体の前記のｎ個の角部のうちの少なくとも１つの角部において、当該角部を挟む前記蓋体の２辺の延長線が交わる交点から当該２辺のうちの一方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第１の距離、及び、当該交点から当該２辺のうちの他方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第２の距離が、ほぼ同じであって、それらの距離をＡとし、前記蓋体の各辺に沿った縦又は横の寸法のうちのいずれの寸法をもＢとしたとき、０．０１≦Ａ／Ｂ≦０．１６の条件を満たすものである。
【００２０】
本発明の第４の態様による固体撮像装置は、前記第１乃至第３のいずれかの態様において、前記蓋体の寸法は、縦横の一方が３０ミリメートル以上でかつ縦横の他方が４５ミリメートル以上であるものである。
【００２１】
本発明の第５の態様による固体撮像装置は、前記第１乃至第４のいずれかの態様において、前記パッケージ本体の前記周囲部の平面視での内周形状は、前記蓋体の平面視の形状と略相似的なｎ角形状であり、前記パッケージ本体の前記周囲部の平面視での内周形状の全てのｎ個の角部は、平面視で直線状又は円弧状の面取り形状を有していないものである。
【００２２】
本発明の第６の態様による固体撮像装置は、前記第１乃至第４のいずれかの態様において、前記パッケージ本体の前記周囲部の平面視での内周形状は、前記蓋体の平面視の形状と略相似的な略ｎ角形状であり、前記パッケージ本体の前記周囲部の平面視での内周形状のｎ個の角部のうちの少なくとも１個の角部は、平面視で直線状又は円弧状の面取り形状を有しているものである。
【００２３】
本発明の第７の態様による固体撮像装置は、前記第１乃至第６のいずれかの態様において、前記蓋体の前記のｎ個の角部のうちの少なくとも１つの角部において、当該角部を挟む前記蓋体の２辺の延長線が交わる交点から当該２辺のうちの一方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第１の距離、及び、当該交点から当該２辺のうちの他方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第２の距離が、ほぼ同じであって、それらの距離をＡとし、前記蓋体の前記パッケージ本体の前記周囲部との重なり領域のうち当該２辺のうちの一方の辺に沿った領域の幅及び他方の辺に沿った領域の幅をそれぞれＷ１，Ｗ２としたとき、Ａ＜（Ｗ１＋Ｗ２）の条件を満たすものである。
【００２４】
本発明の第８の態様による固体撮像装置は、前記第１乃至第７のいずれかの態様において、前記蓋体の前記のｎ個の角部のうちの少なくとも１つの角部において、当該角部を挟む前記蓋体の２辺の延長線が交わる交点から当該２辺のうちの一方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第１の距離をＡ１とし、当該交点から当該２辺のうちの他方の辺の当該角部付近の面取り部開始点までの第２の距離をＡ２とし、前記蓋体の前記パッケージ本体の前記周囲部との重なり領域のうち当該２辺のうちの一方の辺に沿った領域の幅及び他方の辺に沿った領域の幅をそれぞれＷ１，Ｗ２としたとき、（Ａ１×Ａ２）／（Ｗ１×Ｗ２）≧０．２５の条件を満たすものである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、線膨張係数が互いに一致しないパッケージ本体及び蓋体を採用しても、固体撮像素子の受光面の法線が入射光の光軸からずれるのを、低減することができる。このため、高画質な画像を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明による固体撮像装置について、図面を参照して説明する。
【００２７】
［第１の実施の形態］
【００２８】
図１は、本発明の第１の実施の形態による固体撮像装置１を示す概略平面図である。図１では、蓋体４は透けていて、その奥側の要素が見えている。図２は、図１中のＸ−Ｘ’線に沿った概略断面図である。図３は、図１中のＹ−Ｙ’線に沿った概略断面図である。図４は、図１中の上側枠板６を示す平面図である。図５は、図１中の蓋体４を示す平面図である。図６は、図１中のＺ部付近を拡大した拡大図である。図６では、蓋体４は透けていて、上側枠板６の内周６ａが見えている。
【００２９】
本実施の形態による固体撮像装置１は、固体撮像素子２と、開口３ａを有し固体撮像素子２を収容した凹形状のパッケージ本体３と、所定の透光特性を持つ板状の蓋体４と、を備えている。本実施の形態では、蓋体４として、水晶やニオブ酸リチウムなどの単結晶板からなる光学的ローパスフィルタが用いられている。
【００３０】
本実施の形態では、パッケージ本体３は、平面視で長方形状の底板５と、上側枠板６と、底板５と上側枠板６との間に挟まれた下側枠板７とから構成され、これらの間は強固に接着されている。本実施の形態では、上側枠板６が、パッケージ本体３における開口３ａの周囲部となっている。底板５、上側枠板６及び下側枠板７はそれぞれ例えばセラミック板からなるが、パッケージ本体３の材料は必ずしもセラミックに限定されるものではない。また、パッケージ本体３は、必ずしも複数の部材で構成する必要はなく、一体に構成することも可能である。
【００３１】
固体撮像素子２は、光入射側を開口３ａ側（上側）としてパッケージ本体３内に収容され、底板５に固定されている。パッケージ本体３には内部端子８が設けられており、固体撮像素子２と内部端子８とはワイヤ９により電気的に接続されている。内部端子８は、外部端子１０と配線（図示せず）にて電気的に接続されている。これにより、固体撮像素子２は、ワイヤ９、内部端子８及び外部端子１０を介して、外界と電気的に接続されるようになっている。
【００３２】
蓋体４は、パッケージ本体３の開口３ａに重ねられ、蓋体４の周辺部が、パッケージ本体３における開口３ａの周囲部である上側枠板６の上面に接着剤１１で接着されることで、パッケージ本体３の開口３ａが蓋体４により封止されている。接着剤１１は、蓋体４と上側枠板６との重なり領域の全体にムラ無く塗布されている。理解を容易にするため、図１において、接着剤１１を塗布した領域（蓋体４と上側枠板６との重なり領域）には、ハッチングを付している。なお、本実施の形態では、接着剤１１として、十分に大きい接着力のを有するものが用いられ、接着剤１１は比較的薄く塗布されている。パッケージ本体３内には、例えば不活性ガスが封入されている。入射光は、蓋体４（本実施の形態では、光学的ローパスフィルタ）によりフィルタリングされた後、固体撮像素子２に導かれる。
【００３３】
本実施の形態では、蓋体４の平面視での形状は、図１及び図５に示すように略長方形状となっている。もっとも、本発明では、蓋体４の平面視での形状は、略正方形状などの他の略四角形状でもよいし、略ｎ角形状（ｎは３以上の整数）であればよい。
【００３４】
そして、本実施の形態では、図１、図５及び図６に示すように、蓋体４の全ての４個の角部に、平面視で直線状の面取り部４ａが形成されている。本発明では、蓋体４の平面視での形状が略ｎ角形状である場合、蓋体４の全てのｎ個の角部に、平面視で直線状又は円弧状の面取り部を形成すればよい。円弧状の面取り部の例については、後述する。
【００３５】
また、本実施の形態では、図１、図４及び図６に示すように、パッケージ本体３の周囲部である上側枠板６の平面視での内周形状（内周６ａの形状）は、蓋体４の平面視の形状と略相似的な長方形状である。そして、本実施の形態では、この内周６ａの形状の全ての４個の角部は、平面視で直線状又は円弧状の面取り形状を有しておらず、直角をなしている。
【００３６】
本実施の形態では、蓋体４とパッケージ本体３とは、線膨張係数が異なる。このため、熱衝撃を受けると両者３，４間に応力が生ずる。この応力は、特に、蓋体４の角部に集中する。ところが、本実施の形態では、蓋体４の全ての角部に直線状の面取り部４ａが形成されているので、面取り部４ａが形成されいない場合に比べて、熱衝撃による応力の集中が低減される。したがって、熱衝撃によるパッケージ本体３の歪みが低減され、ひいては、熱衝撃による固体撮像素子２の固体撮像素子２の歪みが低減される。このため、固体撮像素子２の受光面の法線の、入射光の光軸からのずれが、低減される。
【００３７】
このことを、図７及び図８を参照して説明する。図７（ａ）は本実施の形態による固体撮像装置１を大幅に簡略化して模式的に示す概略平面図、図７（ｂ）は本実施の形態による固体撮像装置１を大幅に簡略化して模式的に示す概略断面図である。図７（ａ）は図１に対応し、図７（ｂ）は図２に対応している。図８（ａ）は比較例による固体撮像装置１０１を大幅に簡略化して模式的に示す概略平面図、図８（ｂ）はこの固体撮像装置１０１を大幅に簡略化して模式的に示す概略断面図である。図８（ａ）は図７（ａ）に対応し、図８（ｂ）は図７（ｂ）に対応している。図８において、図７中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。図７（ｂ）及び図８（ｂ）はいずれも、当該固体撮像装置が熱衝撃を受けている状態を示している。
【００３８】
比較例による固体撮像装置１０１が本実施の形態による固体撮像装置１と異なる所は、蓋体４の全ての角部に面取り部４ａが形成されていない点のみである。いずれの固体撮像装置１，１０１も、熱衝撃を受けると、蓋体４とパッケージ本体３との間に応力が発生する。このとき、比較例による固体撮像装置１０１では、蓋体４の角部に面取り部４ａが形成されていないため、熱衝撃による応力が蓋体４の角部に集中しその応力が大きくなる。よって、この比較例では、図８（ｂ）に示すように、パッケージ本体３が比較的大きく歪み、それに応じて固体撮像素子２も比較的大きく歪む。したがって、この比較例では、固体撮像素子２の上面の受光面が比較的大きく歪み、これにより、固体撮像素子２の受光面の法線が入射光の光軸から比較的大きくはずれてしまう。これに対し、本実施の形態による固体撮像装置１では、蓋体４の角部に面取り部４ａが形成されているため、熱衝撃による応力が蓋体４の角部に集中しなくなり、熱衝撃による応力が低減される。よって、本実施の形態では、図７（ｂ）に示すように、パッケージ本体３の歪みが低減され、それに応じて固体撮像素子２の歪みも低減される。したがって、本実施の形態では、固体撮像素子２の上面の受光面の歪みが低減され、ひいては、固体撮像素子２の受光面の法線の、入射光の光軸からのずれが低減される。
【００３９】
蓋体４の４個の角部のうちの一部の角部に面取り部４ａを形成しなければ、その角部で熱衝撃による応力が集中する。したがって、この場合も、前述した比較例と同様に、熱衝撃により、固体撮像素子２の受光面の法線が入射光の光軸から比較的大きくずれてしまう。そこで、本実施の形態では、蓋体４の全ての角部に面取り部４ａが形成されている。
【００４０】
ここで、図６を参照して、好ましい寸法の条件等について説明する。図６に示すように、蓋体４の角部において、当該角部を挟む蓋体４の２辺の延長線が交わる交点ｐから当該２辺のうちの一方の辺の当該角部付近の面取り部開始点ｑまでの第１の距離をＡ１とし、当該交点ｐから当該２辺のうちの他方の辺の当該角部付近の面取り部開始点ｒまでの第２の距離をＡ２とし、蓋体４の上側枠板６（パッケージ本体３における開口３ａの周囲部）との重なり領域（接着剤１１による接着領域）のうち当該２辺のうちの一方の辺に沿った領域の幅をＷ１とし、他方の辺に沿った領域の幅をＷ２とする。
【００４１】
熱衝撃による応力をより効果的に分散するには、１つの角部に関してＡ１＝Ａ２であることが好ましい。また、全ての角部に関するＡ１，Ａ２を全て同一にすると、熱衝撃による応力がより均等に応力が分散することになるので、より好ましい。
【００４２】
また、熱衝撃による応力を均一に近づけるため、１つの角部に関してＷ１＝Ｗ２であることが好ましく、いずれの角部に関してもＷ１＝Ｗ２であることがより好ましい。いずれの角部に関してもＷ１＝Ｗ２であることは、蓋体４の上側枠板６（パッケージ本体３における開口３ａの周囲部）との重なり領域のうちの、蓋体４の４辺の各々に沿った領域の幅が、全て同一であることを意味する。
【００４３】
ここで、蓋体４の１つの角部に関してＷ１＝Ｗ２＝ＷであるとともにＡ１＝Ａ２＝Ａとする。この場合、本実施の形態では、上側枠板６の内周６ａの平面視での形状の全ての４個の角部は平面視で直線状又は円弧状の面取り形状を有していないことから、蓋体４の上側枠板６との重なり領域（接着剤１１による接着領域）を開口３ａの全周に渡って配置させるためには、Ａ＜２Ｗの条件を満たさなければならない。この条件を満たさない場合、上側枠板６の内周６ａの平面視での形状の角部付近で、接着剤１１が塗られなくなってしまい、封止性能が低下してしまう。よって、Ａ＜２Ｗの条件を満たすことが好ましい。ここでは、理解を容易にするためにＷ１＝Ｗ２＝Ｗとしたが、Ｗ１＝Ｗ２及びＷ１≠Ｗ２のいずれの場合も、先の説明と同様に蓋体４の上側枠板６との重なり領域（接着剤１１による接着領域）を開口３ａの全周に渡って配置させるためには、Ａ＜（Ｗ１＋Ｗ２）の条件を満たせばよい。よって、Ｗ１＝Ｗ２の場合のみならずＷ１≠Ｗ２の場合も考慮すると、Ａ＜（Ｗ１＋Ｗ２）の条件を満たすことが好ましい。
【００４４】
一方、本実施の形態のように、蓋体４の角部に面取り部４ａを形成しても、熱衝撃による応力が角部に集中することに違いはない。熱衝撃による応力に対して蓋体４を上側枠板６に強固に接着するためには、蓋体４の角部近辺の接着剤１１の塗布領域を広くするべきである。しかし、そのためには、蓋体４の角部の面取り量（すなわち、寸法Ａ１，Ａ２）を少なくせねばならず、そのようにすれば、前述した図８に示す比較例の状態に近づくことになり、蓋体４の角部で応力が集中する度合いが高まる。このように、熱衝撃による応力に対して蓋体４を強固に接着することと、蓋体４の角部で応力が集中する度合いを低減することとは、トレードオフの関係にある。
【００４５】
そこで、図９を用いて、好適な面取り部４ａの寸法を計算により求めた。図９は図６と基本的に同じであるが、角部の領域にハッチングを付している。ここでは、Ｗ１＝Ｗ２＝Ｗとした。図１０は、（Ａ１×Ａ２）／Ｗ２と、角部の正規化された応力との関係を示したグラフである。ここで、角部の応力は、角部の面積（図９中のハッチング部の面積）に比例するものとしている。図１０から理解されるように、角部の応力がおおよそ９０％弱となる（Ａ１×Ａ２）／Ｗ２の値は、０．２５である。角部の応力が９０％以下ならば、蓋体４の角部で応力が集中する度合いを低減して固体撮像素子２の受光面の法線が入射光の光軸からずれるのを低減する効果が、ある程度得られると考えられる。よって、蓋体４の少なくとも１つの角部に関して、（Ａ１×Ａ２）／Ｗ２≧０．２５の条件を満たすことがより好ましい。この条件は、Ａ１＝Ａ２の場合もＡ１≠Ａ２の場合も適用することができる。また、蓋体４の全ての角部に関してこの条件を満たすことがより一層好ましい。
【００４６】
そして、図面には示していないが、Ｗ１≠Ｗ２として、図１０の場合と同様に、（Ａ１×Ａ２）／（Ｗ１×Ｗ２）と、角部の正規化された応力との関係を示したグラフを得たところ、やはり、角部の応力がおおよそ９０％弱となる（Ａ１×Ａ２）／（Ｗ１×Ｗ２）の値は、０．２５であることが判明した。よって、Ｗ１＝Ｗ２及びＷ１≠Ｗ２のいずれの場合も、蓋体４の少なくとも１つの角部に関して、（Ａ１×Ａ２）／（Ｗ１×Ｗ２）≧０．２５の条件を満たすことがより好ましい。
【００４７】
ところで、熱衝撃による応力は、蓋体４のサイズが大きくなるほど大きくなる。また、一眼レフのデジタルスチルカメラでは、良好な画像を得るために大型の固体撮像素子が搭載される。このようなカメラに使用される固体撮像素子の光学的ローパスフィルタは、少なくとも縦３０ミリメートル、横４５ミリメートルであり、本発明は、蓋体４がこのような大型のローパスフィルタである固体撮像装置に適用すると、固体撮像素子２の受光面の法線が入射光の光軸からずれるのを低減する効果が大きい。
【００４８】
さらに、蓋体４の角部において、前述した図６に示すＡ１，Ａ２の値は、０．５ミリメートルより小さいと、固体撮像素子２の受光面の法線が入射光の光軸からずれるのを低減する効果がほとんど期待できない。そして、一眼レフに使用される場合の現状の最大サイズの光学的ローパスフィルタ（３５ｍｍフルサイズの固体撮像素子に対して用いられる光学的ローパスフィルタ）の長辺は、４６ミリメートルである。したがって、蓋体４の長辺に沿った横又は縦の寸法をＢとし、Ａ１＝Ａ２＝Ａとしたとき、Ａ／Ｂは、ほぼ（０．５／４５）より大きいことがより好ましい。また、一眼レフのデジタルスチルカメラに使用される場合の現状の最小サイズのローパスフィルタ（ＡＰＳ−Ｃサイズの固体撮像素子に対して用いられる光学的ローパスフィルタ）の短辺は、２５ミリメートルである。Ｗ１，Ｗ２は設計上２ミリメートルが最大であり、これより、Ａ１＝Ａ２＝ＡとするとＡは最大で４ミリメートルとなる。したがって、蓋体４の短辺に沿った縦又は横の寸法をＢとするとき、Ａ／Ｂは、ほぼ（４／２５）より小さいことがより好ましい。以上を総合すると、蓋体４の少なくとも１つの角部において、Ａ１＝Ａ２＝Ａとし、蓋体４の各辺に沿った縦又は横の寸法のうちのいずれの寸法をもＢとしたとき、０．０１≦Ａ／Ｂ≦０．１６の条件を満たすことがより好ましい。また、蓋体４の全ての角部においてこの条件を満たすことがより一層好ましい。
【００４９】
［第２の実施の形態］
【００５０】
図１１は、本発明の第２の実施の形態による固体撮像装置２１の一部を拡大して示す一部拡大平面図であり、図６に対応している。図１１において、図６中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００５１】
本実施の形態による固体撮像装置２１が前記第１の実施の形態による固体撮像装置１と異なる所は、蓋体４の全ての４つの角部に、平面視で直線状の面取り部４ａに代えて、平面視で円弧状の面取り部４ｂが形成されている点のみである。この面取り部４ｂの曲率半径をＲとすると、Ａ１＝Ａ２＝Ｒとなる。前記第１の実施の形態において種々の好ましい条件について述べたが、それらの条件を満たすことが本実施の形態においても好ましい。それらの条件式を適用する場合、Ａ１＝Ａ２＝Ｒを代入すればよい。
【００５２】
本実施の形態によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。
【００５３】
［第３の実施の形態］
【００５４】
図１２は、本発明の第３の実施の形態による固体撮像装置３１を示す概略平面図であり、図１に対応している。図１３は、図１２中の上側枠板６を示す平面図であり、図４に対応している。図１４は、図１２中のＺ’部付近を拡大した拡大図であり、図６に対応している。図１２乃至図１４において、図１乃至図６中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００５５】
本実施の形態による固体撮像装置３１が前記第１の実施の形態による固体撮像装置１と異なる所は、前記第１の実施の形態では、パッケージ本体３の周囲部である上側枠板６の平面視での内周形状（内周６ａの形状）の全ての４個の角部が、面取り形状を有しておらずに直角をなしているのに対して、本実施の形態では、上側枠板６の平面視での内周６ａの形状の全ての４個の角部が、平面視で直線状の面取り形状６ｂを有している点のみである。
【００５６】
本実施の形態によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。また、本実施の形態によれば、上側枠板６の内周６ａの形状の角部が面取り形状６ｂを有しているので、前記第１の実施の形態に比べて蓋体４の面取り部４ａの寸法Ａ１，Ａ２をより大きくしても、上側枠板６の内周６ａの平面視での形状の角部付近で、接着剤１１が塗られなくなってしまうようなことがなくなり、封止性能を確保し易い。このように、本実施の形態によれば、封止性能を確保しつつ、蓋体４の面取り部４ａの寸法Ａ１，Ａ２をより大きくすることができるので、蓋体４の対角距離を狭めることができ、これにより、熱衝撃による応力をより低減することができる。
【００５７】
なお、本実施の形態のように、上側枠板６の内周６ａの形状の全ての角部が面取り形状６ｂを有することが好ましいが、本発明では、その少なくとも１つの角部に面取り形状６ｂを形成すればよい。
【００５８】
［第４の実施の形態］
【００５９】
図１５は、本発明の第４の実施の形態による固体撮像装置４１の一部を拡大して示す一部拡大平面図であり、図１４に対応している。図１５において、図１４中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００６０】
本実施の形態による固体撮像装置４１が前記第３の実施の形態による固体撮像装置３１と異なる所は、上側枠板６の内周６ａの４つの角部が、平面視で直線状の面取り形状６ｂに代えて、平面視で円弧状の面取り形状６ｃを有してる点のみである。本実施の形態によっても、前記第３の実施の形態と同様の利点が得られる。
【００６１】
なお、前記第３及び第４の実施の形態において、前記第２の実施の形態と同様に、蓋体４の全ての４つの角部に、平面視で直線状の面取り部４ａに代えて、平面視で円弧状の面取り部４ｂを形成してもよい。
【００６２】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるものではない。例えば、本発明では、蓋体４は光学的ローパスフィルタに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施の形態による固体撮像装置を示す概略平面図である。
【図２】図１中のＸ−Ｘ’線に沿った概略断面図である。
【図３】図１中のＹ−Ｙ’線に沿った概略断面図である。
【図４】図１中の上側枠板を示す平面図である。
【図５】図１中の蓋体を示す平面図である。
【図６】図１中のＺ部付近を拡大した拡大図である。
【図７】図１に示す固体撮像装置を大幅に簡略化して模式的に示す図である。
【図８】比較例による固体撮像装置を大幅に簡略化して模式的に示す図である。
【図９】図１中のＺ部付近を拡大し所定領域にハッチングを付した拡大図である。
【図１０】（Ａ１×Ａ２）／Ｗ２と、角部の正規化された応力との関係を示したグラフである。
【図１１】、本発明の第２の実施の形態による固体撮像装置の一部を拡大して示す一部拡大平面図である。
【図１２】本発明の第３の実施の形態による固体撮像装置を示す概略平面図である。
【図１３】図１２中の上側枠板を示す平面図である。
【図１４】図１２中のＺ’部付近を拡大した拡大図である。
【図１５】本発明の第４の実施の形態による固体撮像装置の一部を拡大して示す一部拡大平面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１，２１，３１，４１  固体撮像装置
２  固体撮像素子
３  パッケージ本体
３ａ  開口
４  蓋体
４ａ，４ｂ  面取り部
６  上側枠板（周囲部）
６ａ  内周形状
６ｂ，６ｃ  面取り形状
【図１】
2009016649.tif 000003
【図２】
2009016649.tif 000004
【図３】
2009016649.tif 000005
【図４】
2009016649.tif 000006
【図５】
2009016649.tif 000007
【図６】
2009016649.tif 000008
【図７】
2009016649.tif 000009
【図８】
2009016649.tif 000010
【図９】
2009016649.tif 000011
【図１０】
2009016649.tif 000012
【図１１】
2009016649.tif 000013
【図１２】
2009016649.tif 000014
【図１３】
2009016649.tif 000015
【図１４】
2009016649.tif 000016
【図１５】
2009016649.tif 000017