(57)【要約】【課題】封入される放電ガスの組成が異なる複数種のプラズマディスプレイパネルの製造を容易にする。【解決手段】放電ガス封入工程に用いるプラズマディスプレイの製造装置は、台車と、ワークに連結される配管用のヘッドと、第１真空ポンプと、第１継手と、ヘッドと第１真空ポンプと第１継手とに繋がり且つ分岐点を有した第１管路と、第１管路おける分岐点と第１真空ポンプとの間の流路を開閉する第１バルブと、第１管路おける分岐点と第１継手との間の流路を開閉する第２バルブと、第１継手に連結可能な第２継手と、第２継手に繋がる第２管路と、第２管路に放電ガスを吐出するガスボンベと、第２管路を開閉する第３バルブと、第１継手と第２継手との連結により形成される第２バルブおよび第３バルブの両方に繋がった流路の排気をするための真空排気回路とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネルの放電ガス封着工程に用いる装置であって、
製造途中のプラズマディスプレイパネルであるワークを積載して予め定まった循環経路上を移動する台車と、
前記台車に積載されたワークに連結される配管用のヘッドと、
前記台車に取り付けられた第１真空ポンプと、
前記台車とともに移動するカップリング用の第１継手と、
前記台車に取り付けられ、前記ヘッドと前記第１真空ポンプと前記第１継手とに繋がり、この繋がりのための分岐点を有する第１管路と、
前記第１管路おける分岐点と前記第１真空ポンプとの間の流路を開閉する第１バルブと、
前記第１管路おける分岐点と前記第１継手との間の流路を開閉する第２バルブと、
前記第１継手に連結可能なカップリング用の第２継手と、
前記第２継手に繋がる第２管路と、
前記第２管路に放電ガスを吐出するガスボンベと、
前記第２管路を開閉する第３バルブと、
前記第１継手と前記第２継手との連結により形成される前記第２バルブおよび前記第３バルブの両方に繋がった流路の排気をするための真空排気回路とを備える
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２】
前記第１継手と前記第２継手とが連結されていないときには前記第２バルブおよび前記第３バルブを閉じ、前記第１継手と前記第２継手とが連結されるのに呼応して前記真空排気回路に予め決められた時間の排気を実施させ、前記真空排気回路による排気の終了後に前記第２バルブおよび前記第３バルブを開くための制御を実行するコントローラを備える
請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項３】
前記真空排気回路は、第２真空ポンプと、前記第２真空ポンプおよび前記第２管路の両方に繋がり且つ流路を開閉するバルブが配置された第３管路とから構成される
請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項４】
前記真空排気回路は、前記第１真空ポンプと、前記第１管路おける分岐点と前記ワークとの間の流路を開閉するバルブと、前記第１管路のうちの前記第２バルブから前記第１真空ポンプまでの部分とから構成される
請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項５】
前記第１継手は、前記第２継手を同心位置に案内するテーパ面を有したソケットであり、
前記第２継手は、前記第１継手に係合する先端部を有したプラグである
請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項６】
前記台車と同じ構成の複数の台車を備える
請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイパネルの製造装置、特に放電ガス封入工程に用いる装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルは、前面板と背面板とで挟まれかつ放電ガスが封入された内部空間を有する。前面板および背面板は電極の配列されたガラス基板である。プラズマディスプレイパネルの製造工程は、別個に作製された前面板および背面板の周辺部どうしをシール材によって接合する封着、内部空間から残留ガスを吸引する真空排気、および内部空間に放電ガスを導入するガス封入を含む。真空排気およびガス封入を行うために、背面板の材料としてあらかじめ通気孔が形成されたガラス基板が用いられる。
【０００３】
プラズマディスプレイパネルの量産には、封着と真空排気とガス封入とを連続的に行う装置が適している。この装置は、シール材を溶融させてその後に加熱状態で真空排気をするための全長が数十メートルに及ぶ加熱炉と、処理対象であるワークを積載して連なって移動する複数台の台車とを備える。複数の台車のそれぞれに真空ポンプとともに放電ガスボンベが搭載されており、各台車において一定時間の真空排気と一定圧力のガス封入とが自動的に行われる（特許文献１）。
【０００４】
一般に用いられる放電ガスはネオン（Ｎｅ）に微量のキセノン（Ｘｅ）を混合したペニングガスである。他にも、ヘリウム（Ｈｅ）またはアルゴン（Ａｒ）を含む３成分ガス（Ｎｅ＋Ｘｅ＋Ｈｅ，Ｎｅ＋Ｘｅ＋Ａｒ）、ヘリウムとキセノンの２成分ガス（Ｈｅ＋Ｘｅ）、ヘリウムとアルゴンとキセノンの３成分ガス（Ｈｅ＋Ａｒ＋Ｘｅ）、キセノンに代えてまたはキセノンとともにクリプトン（Ｋｒ）を混合したガスなどが知られている。
【特許文献１】特開平１１−２５８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
多品種のプラズマディスプレイパネルの製造において、従来の装置を使用すると、品種ごとに放電ガスの組成を最適化する手法の実施が困難であった。製造する品種を切り替える都度に、複数の台車のそれぞれに対して放電ガスボンベを交換する作業を実施しなければならず、且つ多数の放電ガスボンベを準備しておかなければならないからである。台車の数が多いほど作業に必要な労力は大きく必要なボンベの数は多い。例えば、３００台の台車を備える装置を４品種の製造に用いる場合、１２００本のボンベが必要である。品種が多くなればさらに多くのボンベを用意しなければならない。各台車に複数種のボンベを積載すれば、ボンベの積み換え作業の負担は軽減される。しかし、それには台車を大型にしなければならない。
【０００６】
品種ごとに放電ガスの組成を切り換える手法を実施すれば、各品種のプラズマディスプレイパネルを安定に駆動し得る範囲内で発光効率をより高くすることができる。放電セルのサイズや適用される駆動波形が異なる品種の間では、駆動電圧の許容範囲である駆動マージンが異なるので、最適な放電ガスの組成は異なる。例えば、Ｎｅ／Ｘｅの混合ガスを封入する場合、駆動マージンの広い品種には発光効率に優れる比較的にＸｅ分圧の高いガスが好ましい。駆動マージンの狭い品種には放電の起こり易さに優れる比較的にＸｅ分圧の低いガスが好ましい。駆動マージンが異なる複数の品種に対して同じ組成の放電ガスを封入する手法は、駆動マージンの狭い品種に適合する組成のガスを使用しなければならないので、駆動マージンの広い品種の発光効率をより高くする上で不利である。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされ、封入される放電ガスの組成が異なる複数種のプラズマディスプレイパネルの放電ガス封入工程に有用な製造装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するプラズマディスプレイパネルの製造装置は、放電ガス封入工程に用いる装置であって、製造途中のプラズマディスプレイパネルであるワークを積載して予め定まった循環経路上を移動する台車と、前記台車に積載されたワークに連結される配管用のヘッドと、前記台車に取り付けられた第１真空ポンプと、前記台車とともに移動するカップリング用の第１継手と、前記台車に取り付けられて前記ヘッドと前記第１真空ポンプと前記第１継手とに繋がり、この繋がりのための分岐点を有する第１管路と、前記第１管路おける分岐点と前記第１真空ポンプとの間の流路を開閉する第１バルブと、前記第１管路おける分岐点と前記第１継手との間の流路を開閉する第２バルブと、前記第１継手に連結可能なカップリング用の第２継手と、前記第２継手に繋がる第２管路と、前記第２管路に放電ガスを吐出するガスボンベと、前記第２管路を開閉する第３バルブと、前記第１継手と前記第２継手との連結により形成される前記第２バルブおよび前記第３バルブの両方に繋がった流路の排気をするための真空排気回路とを備える。
【０００９】
好ましい態様において、前記真空排気回路は、第２真空ポンプと、前記第２真空ポンプおよび前記第２管路の両方に繋がり且つ流路を開閉するバルブが配置された第３管路とから構成される。
【００１０】
他の好ましい態様において、前記真空排気回路は、前記第１真空ポンプと、前記第１管路に含まれ当該第１管路おける分岐点と前記ワークとの間の流路を開閉するバルブと、前記第１管路のうちの前記第２バルブから前記第１真空ポンプまでの部分とから構成される。
【００１１】
他の好ましい態様において、放電ガス封入装置は同じ構成の複数の台車を備える。
【００１２】
ワークを積載する台車と放電ガスが充填されたガスボンベとは、第１継手と第２継手との連結および連結解除により接続し且つ切り離すことができる。ガスボンベを台車に搭載しなくてもよいので、台車への積替え作業をすることなくガスボンベを他のガスボンベに切り換えることができる。
【００１３】
放電ガス封入装置は真空排気回路を備えるので、台車とガスボンベとが切り離されているときに放電ガス封入装置内の管路の一部に混入した目的外ガスおよび放電ガス以外の残留ガスを、台車とガスボンベとを接続した状態において排気し、その後にワークに放電ガスを封入することができる。台車とガスボンベとが切り離されている期間にわたって第２バルブおよび第３バルブは閉じられる。第１継手と第２継手とが連結されるのに呼応して真空排気回路が目的外ガスを排気する。真空排気回路による排気の終了後に第２バルブおよび第３バルブは開かれる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ワークを積載して移動する台車に対してガスボンベの積替えを行うことなく、封入される放電ガスの組成が異なる複数種のプラズマディスプレイパネルを製造することができる。加えて、台車とガスボンベとを接続した状態でガスボンベからワークに至る管路の一部に対して排気を行うことができるので、台車とガスボンベとを切り離したときに当該管路の一部が外気（環境雰囲気）に晒されても、排気後に放電ガスを封入することによりワークへの不要物の混入を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１および図２において本発明の実施形態として例示する放電ガス封入装置１は、封着と真空排気とガス封入とを連続的に行うプラズマディスプレイパネルの製造のための設備である。図１では放電ガス封入装置１を上方から見た全体構成の概要が示され、図２では要部の構成が示されている。
【００１６】
図１において、放電ガス封入装置１は、循環経路を定める環状の軌道４、軌道４に沿って延びる加熱炉５、軌道４に案内されて移動する複数の台車１０、軌道４に隣接する位置に固定配置された放電ガス供給部３０、および当該放電ガス封入装置１を制御するコントローラである制御部６０を備える。加熱炉５は加熱エリア、恒温エリアおよび徐冷エリアをもつ。各台車１０には、加熱炉５の入口に到着する以前に処理対象のワークが積載される。台車１０に積載されたワークが加熱炉５の内部を通過する間に封着および真空排気が行われる。その後、放電ガス供給部３０によるガス封入が行われ、さらにその後にワークの内部空間を完全に密閉する処理が図示しない機構によって行われる。
【００１７】
放電ガス供給部３０は加熱炉５の出口付近に配置されており、台車１０との配管接続のカプラの一部である第２継手としてのプラグ５２を有している。そして、このプラグ５２と連結可能な第１継手としてのソケット５１が各台車１０に直接にまたは配管を介して間接的に取り付けられている。プラグ５２とソケット５１との着脱は容易である。各台車１０はソケット５１とプラグ５２とが対向する位置で停止するよう制御される。台車１０が停止した状態でソケット５１とプラグ５２とが自動または手動で連結され、連結されたソケット５１およびプラグ５２の近傍の管路内に残存する目的外ガスが排気された後に、放電ガスの封入が行われる。
【００１８】
ワークへの放電ガスの封入およびワークの内部空間の密閉が終わると、放電ガス供給部３０から切り離された台車１０はワークの積み替えのための位置へ進む。放電ガスの封入されたワークに代わって新たなワークを積載した台車１０は加熱炉５へ向かう。台車１０を移動させる図示しない駆動系は制御部６０によって制御される。
【００１９】
本例において複数の台車１０の構成は同一である。図２においては代表として１台の台車１０が描かれている。図２を参照して放電ガス封入装置１の要部の構成を詳しく説明する。
【００２０】
図２において、台車１０は加熱炉５の内部を通過する多段構成のワーク支持部１１を有する。図では３段の棚のそれぞれにワーク７０が搭載されている。ワーク７０は重ねられてクリップで仮止めされた前面板および背面板である。これらの板は環状に配置されたシール材を挟んでいる。図ではガラス製のチップ管（排気管とも呼称される）７５の取り付けられる背面板の外面が上向きになるようにワーク７０が配置されているが、配置はこれに限らない。背面板の外面が下向きになる配置でもよい。ワーク支持部１１の各棚にはチップ管７５に配管を接続するためのヘッド（真空ヘッドとも呼称される）１２が取り付けられている。複数のヘッド１２は、加熱炉５の内部と下方とに跨って延びる第１管路２３に繋がっている。
【００２１】
第１管路２３は台車１０に組み付けられた第１真空ポンプ１８および上記ソケット５１に繋がっており、この繋がりのために分岐している。また、第１管路２３には第１バルブ２５および第２バルブ２６が配置されている。第１バルブ２５は当該第１管路２３における分岐点２３０と第１真空ポンプ１８との間の流路を開閉し、第２バルブ２６は分岐点２３０とソケット５１との間の流路を開閉する。
【００２２】
台車１０に放電ガスを送り込むための流体回路である放電ガス供給部３０は、台車１０のソケット５１に連結可能な上述のプラグ５２、プラグ５２に繋がる第２管路３２、第２管路３２に放電ガスを吐出する複数のガスボンベ４１，４２，４３，４４、および真空排気回路４０を備える。第２管路３２には、ガスボンベ４１，４２，４３，４４に個別に対応するバルブ４５，４６，４７，４８、およびプラグ５２の近傍で第２管路３２を開閉する第３バルブ３５が配置されている。第２管路３２にはバルブ３６を介在させて真空ポンプ３７が接続されている。真空排気回路４０は、第２真空ポンプ３９と、バルブ３８の配置された第３管路３３とから構成される。第３管路３３は、第２管路３２におけるプラグ５２と第３バルブ３５との間の部分を第２真空ポンプ３９に繋ぐ。
【００２３】
例示の放電ガス供給部３０では４種の放電ガスの切り換えが可能である。ガスボンベ４１，４２，４３，４４には放電ガスとしてＮｅ／Ｘｅの混合ガスが充填されており、ガスボンベ４１，４２，４３，４４の互いの間でＮｅ／Ｘｅの混合比が異なる。ガスボンベ４１，４２，４３，４４は台車１０に積載されるワーク７０の品種に応じて択一的に選択される。なお、図では４種の放電ガスのそれぞれに２本のガスボンベが対応する。ガスボンベの本数および用意するガスの種類の数を適宜変更してもよい。放電ガスはＮｅ／Ｘｅの混合ガスに限らず、他の２成分ガスまたは３以上の成分を混合したガスでもよい。
【００２４】
このような台車１０および放電ガス供給部３０に備わる流体回路要素は、あらかじめ定められた制御プログラムに従う制御部６０（図１参照）によって制御される。制御部６０は、台車１０の位置や管路内の圧力などを示す各種センサおよび処理時間を計時するタイマから制御に必要な情報を適時に取得する。
【００２５】
ワーク７０が加熱炉５の内部に進入して所定時間が経過すると、シール材が軟化して前面板と背面板との間隙を気密にする。ワーク７０の内部が気密になったと推定される時点の以後に、あらかじめ背面板に形成されている通気孔とそれに繋がるチップ管７５を介して、第１真空ポンプ１８によるワーク７０の内部の真空排気が開始される。排気経路は、チップ管７５からヘッド１２および第１管路２３を経て第１真空ポンプ１８に至る。この真空排気によってワーク７０の内部および第１管路２３の内部に残留する不純物を含むガスは排気される。真空排気において第２バルブ２６は閉じている。
【００２６】
ワーク７０が加熱炉５の徐冷エリアを移動する間にシール材が固まって前面板と背面板との封着が完了する。所定の温度まで冷えたワーク７０が加熱炉５から出ると、真空排気を続けながらガス封入の準備に移行する。
【００２７】
ガス封入に際しては第３バルブ３５およびバルブ３８が閉じられた状態の放電ガス供給部３０のプラグ５２を、台車１０のソケット５１に環境雰囲気下で連結する。連結直前までカプラ５０の近傍のガス流路は外気に晒されていたので、ガス封入に先立ってこのガス流路を清浄する。そのために、制御部６０は真空排気回路４０のバルブ３８を開く。このとき既に第２真空ポンプ３９は作動している。第２真空ポンプ３９によって、台車１０の第２バルブ２６から放電ガス供給部３０の第３バルブ３５までの流路および第３管路３３の一部に残留する目的外ガスが排気される。カプラ５０の近傍のガス流路が十分に真空になる所定時間の排気が終わるとバルブ３８は閉じられる。この排気とガス封入の所要時間にわたって台車１０を停止させても複数の台車１０の順次の移動に支障のないように、台車１０の配列間隔および移動速度が選定される。
【００２８】
ガス封入の開始において、第１バルブ２５は閉じられ、第２バルブ２６および第３バルブ３５は開けられ、ガスボンベ４１，４２，４３，４４のうちの選択された１つに対応するバルブ４５，４６，４７，４８のうちのいずれかが開かれる。例えば、ガスボンベ４１が選択されたとすると、ガスボンベ４１から放電ガスがワーク７０に流れ込む。第１管路２３に備わる圧力計（図示せず）による測定圧力が設定圧力（例えば６７ｋＰａ）に達すると、直ちに第２バルブ２６および第３バルブ３５が閉じられる。この時点で当該台車１０のワーク７０に対する放電ガス封入は終わる。放電ガス封入を終えた台車１０はカプラ５０の自動または手動の連結解除によって放電ガス供給部３０から切り離される。
【００２９】
一方、放電ガス封入を終えた台車１０では、第１管路２３に放電ガスが残留する状態でチップ管７５の封じ切りが行われる。封じ切りによってワーク７０の内部空間が完全に密閉されるとともに第１管路２３も閉空間となる。チップ管７５の封じ切りの時期は、ガス封入の後であればよく、台車１０と放電ガス供給部３０との接続解除の以前でも以後でも同時でもよい。
【００３０】
ガス封入および密閉を終えた台車１０が移動し、代わって未封入の台車１０が放電ガス供給部３０の配置位置で停止すると、この未封入の台車１０のソケット５１にプラグ５２を連結し、上述と同じ手順で放電ガスをワーク７０に封入する。この一連の動作を台車１０の移動に同期させて繰り返す。
【００３１】
放電ガス供給部３０が台車１０に供給する放電ガスの種類を切り換えるときには、切り換え後の最初のガス封入を開始する以前に、放電ガス供給部３０の第２管路３２に残留する放電ガスが真空ポンプ３７によって排気される。排気に際しては、第３バルブ３５が閉じられ且つガスボンベ４１，４２，４３，４４に対応するバルブ４５，４６，４７，４８の全てが閉じられた状態でバルブ３６が開かれる。
【００３２】
以上の実施形態において真空排気回路４０の機能を台車１０が受け持つ変形例がある。この変形例は図３に示される。図３の例において図２の例に対応する要素には図２の例と同じ符号を付してある。
【００３３】
図３において、放電ガス封入装置２は、真空排気回路４０ｂを有した台車１０ｂ、およびカプラ５０を介して台車１０ｂと接続される放電ガス供給部３０ｂを備える。図では１台の台車１０ｂが描かれているが、放電ガス封入装置２は図１の構成と同様に環状の軌道に案内されて移動する複数の台車１０ｂを備える。放電ガス供給部３０ｂは軌道に隣接する位置に固定配置される。
【００３４】
台車１０ｂに備わる真空排気回路４０ｂは、第１真空ポンプ１８と、第１管路２３ｂに配置されたバルブ２７と、第１管路２３ｂのうちの第２バルブ２６から第１真空ポンプ１８までの部分とから構成される。第１管路２３ｂは分岐点２３０をもつ流路であり、ヘッド１２と第１真空ポンプ１８とソケット５１とに繋がる。バルブ２７はヘッド１２と分岐点２３０との間に配置されている。
【００３５】
ワーク７０の内部を清浄にする真空排気では、第２バルブ２６は閉じられ、第１バルブ２５およびバルブ２７は開かれる。この真空排気が終わると、バルブ２７は閉じられ、第１バルブ２５もいったん閉じられる。第２バルブ２６は閉じたままの状態である。
【００３６】
ガス封入のためにカプラ５０が連結されると、台車１０ｂのバルブ２７および放電ガス供給部３０ｂの第３バルブ３５を閉じた状態で、第１バルブ２５および第２バルブ２６が開かれる。これにより、第３バルブ３５から第２バルブ２６までの流路に残留する目的外ガスが第１真空ポンプ１８によって排気され、放電ガスの封入に関わる流路が清浄化される。
【００３７】
カプラ５０およびその近傍を清浄にするための真空排気回路の構成には他の変形もある。それは、ガス種の切り替え時に使用する真空ポンプ３７をカプラ５０の連結時にも使用する構成である。この変形例を採用する場合には、第２管路３２のうちでカプラ５０内の残留ガスが流れる部分を最小限にするように、例えば図３中の位置ｐ１にバルブを設けて、第２管路３２を区画するのが望ましい。
【００３８】
カプラ５０の連結の自動化に関しては、例えば特開平５−１８０３８２号公報に開示された配管の接続装置を利用することができる。カプラ５０のソケット５１の構造を、図４が示すようにプラグ５２の先端を同心位置に案内するテーパ面５１１を有した構造とすれば、台車１０，１０ｂと放電ガス供給部３０，３０ｂとの位置決めの精度が緩和される。ソケット５１にプラグ５２を螺子込んでシール材５１５で気密を得る構造は、単純に押し込むだけの構造と比べて連結の信頼性に優れる。プラグ５２を螺子込むには、プラグ５２が同心位置に案内された後に、プラグ５２とソケット５１とを相対的に回転させればよい。
【００３９】
放電ガス封入装置１，２の無人運転にはカプラ５０の自動連結機構が必要であるが、カプラ５０の連結と解除を作業員が手動で行う構成を採用してもよい。また、放電ガス供給部３０，３０ｂに設けるバルブとしては自動制御の可能なバルブが好ましいが、これらバルブの全部または一部が手動バルブであってもよい。手動バルブの開閉状態を制御部６０に通知するセンサを設けてもよいし、作業者がスイッチ操作を行って手動バルブの開閉状態を制御部６０に通知してもよい。
【００４０】
放電ガス封入装置１，２の構成については種々の変更が可能である。例えば、ヘッド１２とワーク７０との連結にチップ管７５に代えてガラス以外の材質の導入管を用いてもよい。また周知のフリットワッシャによって背面板の通気孔を塞ぐ技術を適用することもできる。軌道４に引き込み軌道を接続して引き込み軌道上でガス封入をしてもよい。放電ガス供給部３０，３０ｂを移動可能に配置することができる。台車１０，１０ｂの台数に限定はない。必ずしも放電ガス供給部３０，３０ｂが組成の異なる放電ガスを収容した複数のガスボンベ４１，４２，４３，４４を備える必要はなく、少なくとも１種類の放電ガスを収容した単一または複数のガスボンベを備えておればよい。放電ガスの種類の切り換えに際してボンベ交換をすればよいからである。複数の台車１０，１０ｂのそれぞれにガスボンベを搭載した場合のボンベ交換に必要な労力と比べて、放電ガス供給部３０，３０ｂのみにおけるボンベ交換に必要な労力は小さい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態に係る封着・排気・放電ガス封入の製造装置を上方から見た全体構成の概要を示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る放電ガス封入装置の構成を示す図である。
【図３】放電ガス封入装置の構成の変形例を示す図である。
【図４】カプラの構造の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１，２    放電ガス封入装置
４    軌道（循環経路）
７０    ワーク
１０，１０ｂ    台車
１２    ヘッド
１８    第１真空ポンプ
５１    ソケット（第１継手）
２３，２３ｂ    第１管路
２３０    分岐点
２５    第１バルブ
２６    第２バルブ
３２    第２管路
５２    プラグ（第２継手）
４１，４２，４３，４４    ガスボンベ
３５    第３バルブ
４０，４０ｂ    真空排気回路
６０    制御部（コントローラ）
３３    第３管路
５１１    テーパ面
５０    カプラ
【図１】
2009238380.tif 000003
【図２】
2009238380.tif 000004
【図３】
2009238380.tif 000005
【図４】
2009238380.tif 000006