(57)【要約】【課題】試料の部分透視画像どうしを接合して全体透視画像を構築するに当たり、凹凸の存在する試料等であっても、従来に比して接合部分での像の繋がりをより良好なものとすることのできるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】互いに隣接する部分透視画像を接合する際、双方の部分透視画像について、相互に接合すべき辺の近傍領域の画素の輝度情報に基づいて、例えばその領域の輝度の平均値よりも明るい画素群等、当該領域の画素のうちの一部の画素の輝度情報を用いて、当該辺に沿った輝度情報の分布が双方の部分透視画像において互いに最も類似する箇所を、相互に接合すべき箇所と決定して接合することにより、凹凸の存在する試料等においては例えば試料厚さの薄い部分の像を主眼とした接合を実現し、全体透視画像上における像の接合の違和感をなくすことを可能とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置されたＸ線発生装置とＸ線検出器との間に、透視すべき試料を搭載するための試料ステージが設けられているとともに、その試料ステージと、上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器の対とを、当該Ｘ線発生装置とＸ線検出器とを結ぶＸ線光軸方向を含む互いに直交する３軸方向に相対的に移動させる移動機構を備え、上記Ｘ線発生装置の出力を用いて試料のＸ線透視像を表示器に表示するＸ線検査装置において、
上記移動機構の駆動により上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器の対と試料ステージとをＸ線光軸に直交する平面上で設定された量ずつ自動的に移動させつつ試料の部分透視画像を撮影する部分透視画像撮影手段と、その各部分透視画像を接合して試料の全体透視画像を構築する全体透視画像合成手段を備えるとともに、
上記全体透視画像合成手段は、互いに隣接する部分透視画像の接合時に、双方の部分透視画像について、相互に接合すべき辺の近傍領域の画素の輝度情報に基づいて当該領域の画素のうち一部の画素のみの輝度情報を用いて、当該辺に沿った輝度情報の分布が双方の部分透視画像において互いに最も類似する箇所を、相互に接合すべき箇所と決定することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
上記全体透視画像合成手段で上記境界位置の判定に供する画素として、互いに隣接する部分透視画像どうしの接合すべき辺の近傍の領域の各画素の輝度の平均値もしくはあらかじめ設定されている値をしきい値とし、そのしきい値よりも大きな輝度の画素、もしくは、上記しきい値よりも小さな輝度の画素のいずれかを選択的に用いるための選択手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
上記全体透視画像合成手段による各部分透視画像の接合箇所の決定に、各部分画像の接合すべき辺の近傍で当該辺に沿った複数の画素列についての輝度のラインプロファイルを用い、互いに接合すべき部分透視画像のラインプロファイルどうしを比較して、互いに最も類似したラインプロファイルの位置で接合するように構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
上記ラインプロファイルに用いる輝度を、該当の画素列に近接する複数の画素列の輝度の平均値とすることを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種工業製品等の内部欠陥などの有無をＸ線を用いて透視検査やＣＴ検査を行うためのＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば回路基板などの各種工業製品等の透視検査を行うためのＸ線検査装置においては、一般に、Ｘ線発生装置に対向してＸ線検出器を配置し、これらの間に、透視対象物である試料を搭載するための試料ステージを設けた構成を採る。また、この種のＸ線検査装置においては、通常、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の対と試料ステージとを、Ｘ線光軸（Ｘ線発生装置とＸ線検出器とを結ぶ線）の方向を含む互いに直交する３軸方向に相対的に移動させる移動機構を備え、その移動機構を駆動して試料ステージをＸ線光軸方向に相対移動させることにより透視倍率を変化させることができ、また、Ｘ線光軸に直交する平面上で移動させることによって、透視視野を変化させることができるようになっている。更にＸ線発生装置とＸ線検出器の対と、試料ステージとの相対的な角度を変化させる機能を追加した構成も採用されている。
【０００３】
このようなＸ線検査装置を用いて、試料の透視検査を行うに当たり、例えば透視倍率を最小に設定しても試料がＸ線検出器の視野内に収まらない場合、図１２に例示するように、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の対と試料ステージとを、Ｘ線光軸に直交する平面上で互いに直交する２軸方向に１画面相当分ずつ相対的に移動させて試料の部分透視画像１〜４を個別に撮影し、その各部分透視画像１〜４を繋ぎ合わせることによって、試料の全体透視画像を構築することが行われる。
【０００４】
以上のような全体透視画像を構築して、表示器の画面内に収まるように適当に縮小して表示することにより、その全体透視画像の表示を見ながら試料上で注目すべき部位が視野中心にくるように試料ステージを移動させる等により、注目部位の拡大透視像などを速やかに得ることが可能となるなどの利点がある。
【０００５】
このような部分透視画像の撮影に当たり、前もって試料の境界に対応する２軸方向（ｘ，ｙ軸方向とする）への走査範囲を入力しておくことにより、試料ステージをＸ線発生装置とＸ線検出器の対に対して自動的にｘ，ｙ軸方向に順次１画面相当分ずつ相対移動させて部分透視画像を撮影していき、これらの部分透視画像の端辺どうしを接合して全体透視画像を構築する技術が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
しかしながら、この提案技術によれば、試料ステージの位置決め精度等に起因して、部分透視画像どうしの接合部分において試料像にずれが生じることが多い。この問題を解決するためには、試料ステージを移動させる移動機構等の精度を高くすればいいのであるが、その場合には機構のコストが上昇するばかりでなく、厳密な調整が必要となり、その調整作業が困難となるなどの新たな問題が生じる。
【０００７】
そこで、本発明者は、既に、互いに隣接する部分透視画像について、接合すべき辺の近傍の画素の輝度情報を用いて、これらの辺に沿う方向への試料透視像の境界位置を判定し、その境界位置が双方の部分透視画像で一致するように、双方の部分透視画像の当該辺に直交する方向への接合位置を決定する手法を提案している（例えば特許文献２参照）。この手法に基づく具体的な動作例を挙げると、部分透視画像の撮影時に、互いに隣接する部分透視画像に一部重複する領域を生じさせ、これらの部分透視画像の相互に接合すべき辺に関し、その辺に沿った複数の画素列についての輝度のラインプロファイルを求め、双方の部分透視画像において互いに一致するラインプロファイルが得られる画素列の位置を接合位置と判定する。
【０００８】
このような手法により、試料ステージの移動機構の位置決め精度等を高精度化したり、厳密な調整を行うことなく、常に試料透視像のずれのない全体透視画像を得ることができる。
【特許文献１】特開２０００−９７８８１号公報
【特許文献２】特開２００５−２２１４５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上記した特許文献２の技術を用いることにより、各部分透視画像が自動的に接合されてずれのない全体透視画像が得られるのであるが、図９に斜視図を例示するように、試料に凹凸がある場合等においては、部分透視画像どうしをずれなく接合することができないという問題がある。
【００１０】
すなわち、凹凸のある試料のＸ線透視に際して、図１０に示すように、Ｘ線発生装置Ｓの焦点からコーン状に照射されるＸ線が透視対象物である試料Ｗを透過してＸ線検出器Ｉに入射して透視像を結ぶとき、試料Ｗの凸部Ｑの上面と、当該凸部Ｑが載っている平面Ｐの透視拡大率が相違し、また、Ｘ線ビームは平行ではなくコーン状であることから、前記した特許文献２の技術では、隣接する部分透視画像の互いに接合すべき辺において、全ての部分で完全に一致する接合箇所を見出すことはできない。
【００１１】
その例を述べると、図９に示した試料について、図１１（Ａ）に上面図で示すように一部が重複した領域Ａ，Ｂを撮影して、同図（Ｂ）に示すような部分透視画像Ａ，Ｂを得て、これらの各部分透視画像Ａ，Ｂにおいて互いに重複する領域内で相互に接合すべき箇所を見出すべく、前記した特許文献２の技術に基づき、重複領域内で接合すべき辺に沿った複数の画素列について、各画素列を構成する全ての画素の輝度のラインプロファイルを作成し、部分透視画像Ａ，Ｂの各画素列どうしの一致度を評価し、最も一致度の高い画素列どうしで各部分透視画像Ａ，Ｂを接合すると、得られる全体透視画像は同図（Ｃ）に示す通りとなり、試料の厚い箇所（凸部の存在する箇所）と、薄い箇所（凸部の存在しない箇所）のいずれの像でもうまく接合されない場合がある。このような凹凸のある試料については、凸部もしくは凹部のいずれかで像が一致する接合手法が望まれる。
【００１２】
しかしながら、特許文献２の技術では、互いに接合すべき辺について、該当の辺に沿った全ての輝度情報を参照して互いに一致もしくは最も類似した箇所を接続箇所として一意的に決めてしまうため、選択的に接続箇所をコントロールすることができないという問題がある。
【００１３】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、凹凸の存在する試料等であっても、部分透視画像どうしが従来に比してよりよく繋がった全体透視画像を得ることのできるＸ線検査装置の提供をその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置は、互いに対向配置されたＸ線発生装置とＸ線検出器との間に、透視すべき試料を搭載するための試料ステージが設けられているとともに、その試料ステージと、上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器の対とを、当該Ｘ線発生装置とＸ線検出器とを結ぶＸ線光軸方向を含む互いに直交する３軸方向に相対的に移動させる移動機構を備え、上記Ｘ線発生装置の出力を用いて試料のＸ線透視像を表示器に表示するＸ線検査装置において、上記移動機構の駆動により上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器の対と試料ステージとをＸ線光軸に直交する平面上で設定された量ずつ自動的に移動させつつ試料の部分透視画像を撮影する部分透視画像撮影手段と、その各部分透視画像を接合して試料の全体透視画像を構築する全体透視画像合成手段を備えるとともに、その全体透視画像合成手段は、互いに隣接する部分透視画像の接合時に、双方の部分透視画像について、相互に接合すべき辺の近傍領域の画素の輝度情報に基づいて当該領域の画素のうち一部の画素のみの輝度情報を用いて、当該辺に沿った輝度情報の分布が双方の部分透視画像において互いに最も類似する箇所を、相互に接合すべき箇所と決定することによって特徴づけられる（請求項１）。
【００１５】
ここで、本発明においては、上記全体透視画像合成手段で上記境界位置の判定に供する画素として、互いに隣接する部分透視画像どうしの接合すべき辺の近傍の領域の各画素の輝度の平均値もしくはあらかじめ設定されている値をしきい値とし、そのしきい値よりも大きな輝度の画素、もしくは、上記しきい値よりも小さな輝度の画素のいずれかを選択的に用いるための選択手段を備えている構成（請求項２）を好適に採用することができる。  
【００１６】
また、本発明においては、上記全体透視画像合成手段による各部分透視画像の接合箇所の決定に、各部分画像の接合すべき辺の近傍で当該辺に沿った複数の画素列についての輝度のラインプロファイルを用い、互いに接合すべき部分透視画像のラインプロファイルどうしを比較して、互いに最も類似したラインプロファイルの位置で接合するように構成すること（請求項３）ができる。
【００１７】
更に、本発明においては、上記ラインプロファイルに用いる輝度を、該当の画素列に近接する複数の画素列の輝度の平均値とする構成（請求項４）を採用することもできる。
【００１８】
本発明は、隣接する部分透視画像の互いに接合すべき辺の全ての輝度情報を用いるのではなく、その一部のみを用いて両者の接合位置を自動的に探索することで、凹凸の存在する試料等について、不要な輝度情報を用いずに、例えば凹部領域のみ、あるいは凸部領域のみの輝度情報を用いて接合位置を決定することを可能とし、課題を解決するものである。
【００１９】
そして、請求項２に係る発明のように、部分透視画像の接合すべき辺の近傍の領域の各画素の輝度の平均値、あるいはあらかじめ設定されている値（固定値）をしきい値とし、そのしきい値よりも大きな輝度の画素、もしくは同しきい値よりも小さな輝度の画素のいずれかを選択手段により選択して接合箇所の決定に供するように構成することで、図９および図１０に例示したような凹凸の存在する試料について、例えば試料Ｗの凸部Ｑの透視像を形成する画素群のみを用いて接合箇所を決定するか、その凸部Ｑが載っている平面Ｐを形成する画素群のみを用いて接合箇所を決定するかをオペレータが選択することができ、試料の形状や材質、あるいは目的に応じて最適な全体透視画像を得ることができる。
【００２０】
本発明において、部分透視画像の辺の近傍の一部の画素の輝度情報を用いて、接合すべき部分透視画像どうしで辺に沿った輝度情報の分布が最も類似している箇所、つまり一致度が最も高い箇所を見出す手法については特に限定されるものではないが、請求項３に係る発明のように、辺に沿った複数の画素列のそれぞれについての輝度のラインプロファイルを用い、これらを部分透視画像どうしで比較する方法、あるいは請求項４に係る発明のように、ラインプロファイルを画素列単体の輝度によるものに代えて、該当の画素列に近接する複数の画素列の輝度の平均値を用いる手法を例として挙げることができる。このような手法により、比較的簡単な演算のもとに双方の部分透視画像の接合すべき箇所を決定することができる。
【００２１】
ただし、本発明における接合箇所の決定の手法としては、このようなラインプロファイルを用いて比較する方法のほか、辺に沿って複数に分割した局所的なヒストグラムどうしを比較する方法、相互相関関数を用いて比較する方法、あるいは最小自乗法を用いて比較する方法等を採用することもできる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、部分透視画像における接合すべき辺の近傍の輝度情報に基づいて、その一部の輝度情報のみを用いて接合箇所を決定するので、凹凸が存在する等、試料の厚みや材質が一様でない試料等について、構築された全体透視画像における接合箇所の像の繋がりが、接合すべき辺の近傍の全ての輝度情報を用いて接合箇所を決定する従来の技術に比して、より違和感の少ない良好なものとなる。
【００２３】
特に、請求項２に係る発明のように、接合すべき辺の近傍領域の画素の輝度の平均値または固定値をしきい値として、そのしきい値よりも大きな輝度を持つ画素、もしくは同しきい値よりも小さな輝度を持つ画素のいずれかを選択して接合箇所の決定に供するように構成すれば、例えば凹凸の存在する試料について、凸部を主眼にした接合か、凹部を主眼にした接合のいずれかを随意に選択でき、試料の形状や構造と検査目的に応じて最適な全体透視画像を構築することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態の構成図で、装置構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００２５】
Ｘ線発生装置１はそのＸ線光軸Ｌを鉛直上方に向けた状態で配置されており、このＸ線発生装置１に対向してＸ線検出器２が設けられている。Ｘ線発生装置１はコーン状のＸ線ビームを発生し、Ｘ線検出器２は２次元のＸ線検出器である。
【００２６】
Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の間には、透視対象物である試料Ｗを搭載するための試料ステージ３が配置されている。この試料ステージ３は、ステージ移動機構４の駆動により、Ｘ線光軸Ｌの方向（ｚ方向）と、そのｚ方向に直交する水平面上で互いに直交するｘ，ｙ方向の合計３軸方向に独立的に移動可能となっている。また、Ｘ線検出器２は検出器移動機構５によってｚ方向に移動可能となっている。
【００２７】
Ｘ線検出器２の各画素出力は画像データ取り込み回路１０を介して表示制御部１１に取り込まれ、表示器１２に試料ＷのＸ線透視像としてライブ表示される。また、この画像データ取り込み回路１０を介して取り込んだＸ線検出器２の画素出力は、後述する部分透視画像の自動撮影時には、部分透視画像記憶部１３に記憶される。この部分透視画像記憶部１３に記憶された各部分透視画像は、後述する全体透視画像合成部１４に取り込まれて相互に接続されて全体透視画像が構築され、表示制御部１１を介して表示器１２に表示される。
【００２８】
上記した画像データ取り込み回路１０、表示制御部１１、部分透視画像記憶部１３および全体透視画像合成部１４は制御部１５の制御下に置かれている。また、この制御部１５は、軸制御部１６を通じて前記したステージ移動機構４および検出器移動機構５に対して駆動制御信号を供給する。そして、この制御部１５には、ジョイスティックやマウス、キーボード等からなる操作部１７が接続され、この操作部１７の操作により、制御部１５から軸制御部１６を通じてステージ移動機構４および検出器移動機構５に対して駆動制御信号が供給され、試料ステージ３およびＸ線検出器２を随意に移動させることができる。また、部分透視画像の自動撮影時においては、後述するように制御部１５から自動的に軸制御部１６を通じて試料ステージ３に対して駆動制御信号が供給される。
【００２９】
ここで、上記した制御部１５や表示制御部１１、部分透視画像記憶部１３、全体透視画像合成部１４等は、実際にはコンピュータとその周辺機器によって構成され、インストールされているプログラムに従って動作するのであるが、図１および以上の説明では、説明の簡素化のために、プログラムに基づく機能に対応するブロックで示している。
【００３０】
この実施の形態における最大の特徴は、以下に示す部分透視画像自動撮影・合成プログラムを有している点である。このプログラムの内容について、以下、図２に示すフローチャートを参照しつつ説明する。
【００３１】
試料ステージ３に試料Ｗを載せた状態で、ステージ移動機構４もしくは検出器移動機構５を駆動して透視倍率を定め、試料ステージ３を初期位置に位置決めした後、部分透視画像自動撮影・合成プログラムをスタートさせる。このプログラムにおいては、まず、透視倍率に基づいて、１画面相当分の試料ステージ３のｘ方向およびｙ方向の移動量ＸおよびＹを算出し、その１画面相当分の移動量Ｘ，Ｙよりもあらかじめ設定された量だけ少ない量ずつ試料ステージ３をｘ方向およびｙ方向に順次移動させながら、各位置でＸ線透視像を取り込み、部分透視画像記憶部１に記憶していく。
【００３２】
前記した図９に示した試料を例にとると、以上の部分透視画像の撮影により、図３（Ａ）に上面図で示す試料Ｗ中の破線で示す領域が、同図（Ｂ）に示すような部分透視画像Ａとして撮影される。また、その部分透視画像Ａに対してｘ方向に隣接して、一点鎖線で示す領域が、同図（Ｃ）に示すような部分透視画像Ｂとして撮影される。これらの部分透視画像Ａ，Ｂには、互いに接合すべき辺に沿って重複する領域が生じる。
【００３３】
このようにして互いに隣接する２つの部分透視画像を撮影した後、これらの各部分透視画像を接合する動作を実行する。この接合に際しては、互いに隣接する部分透視画像において相互に接合すべき辺のラインプロファイルを作成し、以下に示すように接合箇所を決定する。
【００３４】
すなわち、上記した部分透視画像ＡとＢを例にとって説明すると、まず、図４に示すように、部分透視画像Ａにおいて、部分透視画像Ｂに隣接する辺の端縁のｙ方向への画素列についての輝度のラインプロファイルを作成する。
【００３５】
次に、図５に示すように、得られたラインプロファイルの輝度の平均値を算出し、プロファイル上でこの平均値を上回る箇所、つまり平均値よりも明るい画素群を有効画素群ととして、その箇所のプロファイルのみを記憶するとともに、併せてその有効画素群とされたｙ方向座標値を記憶する。
【００３６】
次に、部分透視画像Ｂについて、図６に示すように、部分透視画像Ａと隣接する辺に沿った端縁の画素列の輝度のラインプロファイルを求め、このうち、有効画素群とされたｙ方向座標値に対応する箇所のみのプロファイルを抽出し、上記した部分透視画像Ａの有効画素群のプロファイルと比較し、一致度に係る情報を得る。この比較の方法としては、例えば有効画素群中のｙ方向座標が一致する画素どうしの差分をとり、全ての有効画素についての差分を累積する等の手法を採用することができる。
【００３７】
次に、部分透視画像Ｂの上記の辺で端縁の画素列に隣接する画素列についても同様のラインプロファイルを求め、有効画素群とされたｙ方向座標値に対応する箇所のプロファイルを抽出し、部分透視画像Ａの有効画素群のプロファイルと比較し、上記と同じ手法により一致度に係る情報を得る。このような動作を、部分透視画像Ｂにおいて部分透視画像Ａと接合すべき辺の近傍の、あらかじめ設定されている複数の画素列について実行した後、図７に示すように、最も一致度の高い、換言すれば最も差異の少ないプロファイルが得られた画素列を接合箇所とし、その箇所において部分透視画像Ａの端縁に対して接合する。  
【００３８】
その後、次の部分透視画像を撮影し、上記と同様の手法によって隣接する部分透視画像どうしを接合する。このような動作を繰り返し、やがて試料Ｗの全ての領域をカバーして、試料の全体透視画像が得られた時点でプログラムを終了する。
【００３９】
以上のようにして得られた試料の全体透視画像は、接合すべき辺の近傍の画素の輝度の平均値よりも大きな輝度を持つ画素のみのラインプロファイルを比較して接合箇所を決定したものであるが故に、凹凸の存在する試料や、材質の異なる部位の存在する試料であっても、凸部やＸ線吸収率の大きな部位の像の影響を受けることがなく、前記した図９に例示した試料の場合には、図８に例示するように、凸部Ｑの影響を受けずに平面Ｐでの像が正確に繋がった全体透視画像が得られる。
【００４０】
ここで、以上の実施の形態においては、部分透視画像ＡとＢとで相互に比較すべきラインプロファイルとして、ｙ方向に沿った１本の画素列における輝度情報を用いたが、複数の画素列におけるｘ方向座標の一致した画素の各輝度を平均化したものを用いてもよく、この場合、画像上でのノイズの影響を低減させることができる。
【００４１】
また、以上の実施の形態においては、ラインプロファイルの比較に供すべき有効画素群として、該当の辺の近傍の輝度の平均値をしきい値として用い、その平均輝度よりも明るい輝度の画素群を有効画素群とした例を示したが、平均輝度よりも暗い輝度の画素群を有効画素群として採用してもよく、その場合、例えば局所的な凹部の存在する試料や、Ｘ線吸収率の高い材質からなる部材が多く、その部分の検査を主眼とする検査等に有効である。
【００４２】
更に、有効画素群を抽出するためのしきい値は、上記のような輝度の平均値とするほか、あらかじめ設定した固定値や、他の統計データに基づく値とすることもできる。平均値等をしきい値として採用することにより、接合すべき複数の辺のそれぞれの近傍のＸ線透視画像の明るさに追随してしきい値が自動的に変化し、相対的に明るい箇所ないしは暗い箇所のいずれかを常に主眼とした比較を行うことが可能となるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の形態の構成図で、装置構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】本発明の実施の形態における部分透視画像自動撮影・合成プログラムの内容を示すフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態における部分透視画像自動撮影・合成プログラムで得られる部分透視画像の例の説明図である。
【図４】図３に示す部分透視画像Ａに関してのラインプロファイルの例を示す図である。
【図５】図４のラインプロファイルから有効画素群を抽出する手法の説明図である。
【図６】図３に示す部分透視画像Ｂに関してのラインプロファイルの例を示す図である。
【図７】部分透視画像Ｂにおいて、部分透視画像Ａで求めたプロファイルと最も一致度の高いプロファイルが得られる位置の説明図である。
【図８】本発明の実施の形態により得られる全体透視画像の例を示す図である。
【図９】凹凸の存在する試料の例を示す斜視図である。
【図１０】図９のような試料の部分透視画像どうしを接合したときに像がずれる理由の説明図である。
【図１１】図９の試料の部分透視画像を従来の技術により接合して全体透視画像を得たときに像がずれる例の説明図である。
【図１２】試料の部分透視画像を接合して全体透視画像を得る手法の説明図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  Ｘ線発生装置
２  Ｘ線検出器
３  試料ステージ
４  ステージ移動機構
５  検出器移動機構
１０  画像データ取り込み回路
１１  表示制御部
１２  表示器
１３  部分透視画像記憶部
１４  全体透視画像合成部
１５  制御部
１６  軸制御部
１７  操作部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009222661.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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