(57)【要約】【課題】カバーを開けることなく発振周波数を容易に設定でき、桁上がりや桁下がりを生じた場合でも円滑に調整できる超音波発振装置を提供する。【解決手段】超音波発振器は、フラッシュメモリに保存した周波数チャンネル及び周波数に基づいて発振回路の周波数を制御する。操作パネル３１は、チャンネル表示部３２及び周波数／出力表示部３３を備えると共に、アップキー４２、ダウンキー４３、セットキー４４を備える。通常の動作モードにおいて、特定キーを操作して周波数設定モードに移行する。周波数設定モードでは、フラッシュメモリに保持されている周波数チャンネル及び周波数を読出してチャンネル表示部３２、周波数／出力表示部３３に表示し、アップキー４２及びダウンキー４３により所望のチャンネル及び周波数に設定し、セットキー４４の操作でフラッシュメモリに保存する。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波の周波数で発振する発振回路と、設定された周波数値を保存するメモリを備え、該メモリに保存された周波数値に基づいて前記発振回路の発振周波数を制御する制御部と、前記メモリから読み出される周波数値数を表示する表示部及び周波数設定モードを指定するモード設定キー、周波数設定キー、セットキーを備えた操作パネルとを具備し、
前記制御部は、前記モード設定キーにより周波数設定モードが指定された際に前記メモリに保存されている周波数値を読出して前記表示部に表示する手段と、前記周波数設定キーの操作に基づいて前記表示部に表示されている周波数値を変更する手段と、前記セットキーが操作された際に上記表示部に表示されている周波数値を前記メモリに保存する手段とを備えたことを特徴とする超音波発振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波洗浄装置に使用される超音波発振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体デバイス用基板のシリコン・ウエハや化合物半導体ウエハ等の洗浄に超音波洗浄装置が使用されている（例えば、特許文献１参照。）。上記超音波洗浄装置は、例えば５００ｋＨｚ〜１．５ＭＨｚの高周波数で発振する超音波発振装置を備えている。
【０００３】
上記超音波洗浄装置に使用される従来の超音波発振装置は、一般に図８に示すように構成されている。
【０００４】
図８において、１１は超音波発振器で、発振回路基板１２及び制御基板１３を備えている。上記発振回路基板１２には、超音波の周波数で発振する発振回路１４及びこの発振回路１４の発振周波数を設定するための４個のロータリスイッチ、すなわち、図９に詳細を示すように１００ｋＨｚの位、１０ｋＨｚの位、１ｋＨｚの位、０．１ｋＨｚの位を設定するためのロータリスイッチ１５ａ〜１５ｄが設けられる。このロータリスイッチ１５ａ〜１５ｄは、操作者によって手動設定される。
【０００５】
また、上記発振回路基板１２には、発振回路１４の動作を制御する制御部１６が設けられる。
【０００６】
そして、上記発振回路１４には、超音波振動子１７が外部接続される。この超音波振動子１７は、発振回路１４から出力される所定周波数の発振信号に従って振動し、超音波を発生する。
【０００７】
上記発振回路１４は、図１０に示すようにＰＬＬ（Phase-locked loop）周波数シンセサイザー１８及びＰＬＬ回路１９を備え、ロータリスイッチ１５ａ〜１５ｄの設定値（１０進信号）がＰＬＬ周波数シンセサイザー１８に入力される。
【０００８】
ＰＬＬ周波数シンセサイザー１８は、ロータリスイッチ１５ａ〜１５ｄの設定値とＰＬＬ回路１９から出力される周波数信号を比較し、一致していなければ電圧制御信号によりＰＬＬ回路１９の発振周波数を修正し、正確な値を出力するように動作する。
【特許文献１】特開平９−２４３４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記のように従来の超音波発振器１１は、操作者が４個のロータリスイッチ１５ａ〜１５ｄを手動操作して発振周波数を所望の値に設定している。上記ロータリスイッチ１５ａ〜１５ｄは、発振回路基板１２上に設けられているため、発振周波数を設定する毎に超音波発振器１１のカバーを開ける必要がある。このカバーは、複数個所例えば７個所程度のビス留めにより固定されているので、開閉操作が面倒である。また、ロータリスイッチ１５ａ〜１５ｄは、ドライバ等の工具により回転させて調整しなければならないので、発振周波数の設定に際しては調整用の工具が必要となる。
【００１０】
更に従来の超音波発振器１１では、発振周波数の各桁、すなわち１００ｋＨｚ、１０ｋＨｚ、１ｋＨｚ、０．１ｋＨｚの各桁毎にロータリスイッチ１５ａ〜１５ｄを設けて周波数調整を行っているので、調整時に桁上がりや桁下がりが生じると、再度他の桁の値を調整しなければならず、調整操作を円滑に行うことができないという問題がある。
【００１１】
本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、カバーを開けることなく発振周波数を容易に設定でき、桁上がりや桁下がりを生じた場合でも円滑に調整することができる超音波発振装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る超音波発振装置は、超音波の周波数で発振する発振回路と、設定された周波数値を保存するメモリを備え、該メモリに保存された周波数値に基づいて前記発振回路の発振周波数を制御する制御部と、前記メモリから読み出される周波数値数を表示する表示部及び周波数設定モードを指定するモード設定キー、周波数設定キー、セットキーを備えた操作パネルとを具備し、
前記制御部は、前記モード設定キーにより周波数設定モードが指定された際に前記メモリに保存されている周波数値を読出して前記表示部に表示する手段と、前記周波数設定キーの操作に基づいて前記表示部に表示されている周波数値を変更する手段と、前記セットキーが操作された際に、上記表示部に表示されている周波数値を前記メモリに保存する手段とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、操作パネルに設けたキーの操作によって発振周波数を設定することができるので、発振周波数の設定時に機器のカバーを開ける必要がなく、また、調整用の工具を用いることなく、きわめて容易に且つ迅速に設定操作を行うことができる。また、周波数設定キーの操作によって発振周波数を調整しているので、調整時に桁上がりや桁下がりを生じた場合でも、円滑に調整操作を行うことができ、短時間で調整を完了することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
【００１５】
図１は本発明の一実施形態に係る超音波発振装置の概略構成図、図２は同超音波発振装置の発振回路及び制御回路の構成を示すブロック図である。
【００１６】
図１において、２１は超音波発振器で、発振回路基板に設けられる発振回路２２及び制御基板に設けられる制御部２３を備えている。上記発振回路２２は、例えば７３０ｋＨｚ、９７５ｋＨｚ、１．５ＭＨｚ、２ＭＨｚの発振周波数を選択して設定できるようになっている。また、上記制御部２３には、発振周波数等を設定するための入力部２４、周波数チャンネル及び発振周波数等を表示する表示部２５が接続される。上記入力部２４及び表示部２５は、詳細を後述するように操作パネル上に設けられる。
【００１７】
また、上記発振回路２２には、超音波振動子２６が外部接続される。この超音波振動子２６は、発振回路２２から出力される発振信号に従って振動し、超音波を発生する。
【００１８】
上記発振回路２２及び制御部２３は、例えば図２に示すように構成される。発振回路２２は、分周回路２２１及びＰＬＬ回路２２２からなり、分周回路２２１には制御部２３により設定された値（１６進入力）及びＰＬＬ回路２２２から出力される発振周波数信号が入力される。分周回路２２１は、制御部２３により設定された信号に対応した基準周波数と発振周波数信号を分周した補正周波数の信号をＰＬＬ回路２２２に出力する。ＰＬＬ回路２２２は、分周回路２２１から与えられる基準周波数と補正周波数を比較し、一致していなければ出力周波数を修正し、正確な周波数を出力するように動作する。
【００１９】
また、制御部２３は、全体を統括して制御するＣＰＵ２３１、このＣＰＵ２３１で動作させる各種プログラムを格納するＲＯＭ２３２、作業中のデータを一時的に記憶するＲＡＭ２３３、設定された基準周波数を保存するフラッシュメモリ２３４により構成される。このフラッシュメモリ２３４には、設定された周波数チャンネル及びその周波数チャンネルにおける基準周波数が保存される。ＣＰＵ２３１は、フラッシュメモリ２３４に保存されている周波数チャンネル及び基準周波数を読出し、基準周波数を発振回路２２へ出力する。
【００２０】
上記のように構成された制御部２３は、例えば４つの周波数チャンネルＣＨ１〜ＣＨ４を選択して設定できるようになっている。この場合、各周波数チャンネルＣＨ１〜ＣＨ４は、例えば図３に示すように
ＣＨ１：７３０ｋＨｚ±３０ｋＨｚを０．１ｋＨｚのステップで設定、
ＣＨ２：９７５ｋＨｚ±２５ｋＨｚを０．１ｋＨｚのステップで設定、
ＣＨ３：１．５ＭＨｚ±０．２ＭＨｚを１ｋＨｚのステップで設定、
ＣＨ４：２ＭＨｚ±０．３ＭＨｚを１ｋＨｚのステップで設定、
できるようになっている。
【００２１】
そして、上記入力部２４及び表示部２５は、図４に示すように操作パネル３１上に設けられる。上記操作パネル３１には、上方部位に表示部２５を構成するチャンネル表示部３２及び周波数／出力表示部３３が設けられる。チャンネル表示部３２は、ＬＥＤを用いた７セグメント電極によって２桁の数値が表示可能となっており、この場合の例では［０１］〜［０４］の４つの周波数チャンネルが選択されて表示される。周波数／出力表示部３３は、ＬＥＤを用いた７セグメント電極によって４桁の数値が表示可能となっており、周波数設定モードでは設定周波数が表示され、通常動作モードでは発振出力（Ｗ）が表示される。
【００２２】
また、操作パネル３１には、周波数／出力表示部３３の右側にアラーム表示用ＬＥＤ３４及び出力表示用ＬＥＤ３５が設けられる。
【００２３】
また、操作パネル３１には、上記チャンネル表示部３２及び周波数／出力表示部３３の下方に周波数設定部４０が設けられる。この周波数設定部４０は、例えば発振周波数信号の出力レベル等を設定するためのモードキー（MODE）４１、出力レベルや周波数チャンネル、設定周波数等をアップするアップキー４２、出力レベルや周波数チャンネル、設定周波数等をダウンするダウンキー４３、設定した周波数チャンネル及び設定周波数をフラッシュメモリ２３４にセットするセットキー（SET）４４等を備えている。
【００２４】
更に、操作パネル３１には、スタートキー（START）５１、ロックキー（LOCK）５２、リモートキー（REMOTE）５３が設けられると共に、各キーの操作状態を示すＬＥＤ５１ａ、５２ａ、５３ａがそれぞれ対応して設けられる。
【００２５】
上記操作パネル３１は、通常の動作モードにおいて、セットキー４４及びロックキー５２を２秒以上同時に押し続けることにより、周波数設定モードに遷移する。この場合、セットキー４４及びロックキー５２以外のキーが押されていたり、セットキー４４、ロックキー５２のどちらかが操作途中で離されると周波数設定モードへは移行しない。
【００２６】
上記ロックキー５２は、単独で操作した場合、押して離したときにロック（Lock）モードとなり、ロックキー５２以外のキーは機能しなくなる。ロックモードにおいて、ロックキー５２を押して離すと通常の動作モードに戻る。 
上記周波数設定モードに移行するために使用するキーは、使用頻度が低く、また間違って押しても現在の状態に大きく影響しないキーを使用することが望ましい。このため本実施形態では、周波数設定モードに移行するためのキーとして、セットキー４４及びロックキー５２を組み合わせて使用している。
【００２７】
次に上記のように構成された超音波発振装置における発振周波数の設定動作について、図５及び図６に示すフローチャートを参照して説明する。上記図５及び図６に示すフローチャートは、制御部２３におけるＣＰＵ２３１の処理動作を示している。
【００２８】
発振回路２２の発振周波数を設定する場合は、周波数設定モードを指定する。この周波数設定モードへの遷移は、上記したように通常の動作モードにおいて、操作パネル３１上のセットキー４４及びロックキー５２を同時に２秒以上押すことで実行される。
【００２９】
制御部２３のＣＰＵ２３１は、図５のフローチャートに示すようにセットキー４４及びロックキー５２が同時に２秒以上押下されたかどうかを常にチェックしており（ステップＡ１）、上記２つのキーが同時に２秒以上押下されなければ、そのまま待機している。
【００３０】
ＣＰＵ２３１は、上記ステップＡ１でセットキー４４及びロックキー５２が同時に２秒以上押下されると、周波数設定モードとなり、フラッシュメモリ２３４に保存されている周波数チャンネル及び周波数値をＲＡＭ２３３読み込み（ステップＡ２）、図４に示すように操作パネル３１上のチャンネル表示部３２に周波数チャンネルを表示すると共に、周波数／出力表示部３３に周波数値を表示する（ステップＡ３）。図４はフラッシュメモリ２３４から周波数チャンネル［０１］、周波数値［７３０．０］ｋＨｚがＲＡＭ２３３に読み出されて、チャンネル表示部３２及び周波数／出力表示部３３にそれぞれ表示された状態を示している。
【００３１】
上記チャンネル表示部３２に表示された周波数チャンネルを変更する場合は、アップキー４２あるいはダウンキー４３を押下し、所望の周波数チャンネルがチャンネル表示部３２に表示された状態でセットキー４４を押下する。
【００３２】
ＣＰＵ２３１は、チャンネル表示部３２に周波数チャンネルを表示した後、ステップＡ４でアップキー４２が押下されたかどうかを判定すると共に、ステップＡ５でダウンキー４３が押下されたかどうかを判定している。上記ステップＡ４、Ａ５でアップキー４２及びダウンキー４３の何れも押下されていないと判定された場合には、ステップＡ６でセットキー４４が押下されたかどうかを判定し、セットキー４４が押下されていなければステップＡ４に戻って次のキー操作に備える。
【００３３】
上記ステップＡ４でアップキー４２が押下されたと判定された場合、ＣＰＵ２３１はＲＡＭ２３３に保持している周波数チャンネルを「＋１」し（ステップＡ７）、その周波数チャンネルがチャンネル最大値（ＭＡＸ＝４）より大きくなったかどうかを判定し（ステップＡ８）、大きくなければ、すなわちチャンネル最大値（ＭＡＸ＝４）以下であれば上記周波数チャンネルの値をチャンネル表示部３２に表示し（ステップＡ９）、ステップＡ４に戻る。上記ステップＡ９では、選択された周波数チャンネルに対応する周波数をＲＡＭ２３３に書き込んで周波数／出力表示部３３に表示する。
【００３４】
上記ステップＡ８で周波数チャンネルがチャンネル最大値（ＭＡＸ＝４）より大きくなったと判定された場合、すなわち、ＲＡＭ２３３に保持されている周波数チャンネルをステップＡ７で「＋１」した結果、その値がチャンネル最大値（ＭＡＸ＝４）より大きい値「５」になった場合には、ＲＡＭ２３３に保持している周波数チャンネルをチャンネル最小値（ＭＩＮ＝１）に設定し（ステップＡ１０）、その周波数チャンネル「１」をチャンネル表示部３２に表示する（ステップＡ９）。
【００３５】
また、上記ステップＡ５でダウンキー４３が押下されたと判定された場合、ＣＰＵ２３１はＲＡＭ２３３に保持している周波数チャンネルを「−１」し（ステップＡ１１）、その周波数チャンネルがチャンネル最小値（ＭＩＮ＝１）より小さくなったかどうかを判定し（ステップＡ１２）、小さくなければ上記周波数チャンネルの値をチャンネル表示部３２に表示し（ステップＡ９）、ステップＡ４に戻る。
【００３６】
上記ステップＡ１２で周波数チャンネルがチャンネル最小値（ＭＩＮ＝１）より小さくなったと判定された場合、すなわち、ＲＡＭ２３３に保持されている周波数チャンネルをステップＡ１１で「−１」した結果、その値がチャンネル最小値（ＭＩＮ＝１）より小さい値「０」になった場合には、ＲＡＭ２３３に保持している周波数チャンネルをチャンネル最大値（ＭＡＸ＝４）に設定し（ステップＡ１３）、その周波数チャンネル「４」をチャンネル表示部３２に表示する（ステップＡ９）。
【００３７】
上記のようにアップキー４２あるいはダウンキー４３を押下することにより、図７（ａ）に示すように周波数チャンネルが順次「＋１」あるいは「−１」されてチャンネル表示部３２にサイクリックに表示される。このとき選択された周波数チャンネルに対応する発振周波数が周波数／出力表示部３３に表示される。
【００３８】
上記アップキー４２あるいはダウンキー４３の操作により所望の周波数チャンネルが選択された後、セットキー４４が押下されると、ステップＡ６からステップＡ１４に進んでＲＡＭ２３３に保持されている周波数チャンネルをフラッシュメモリ２３４に書き込み、周波数チャンネルの設定処理を終了する。
【００３９】
上記周波数チャンネルの設定処理を終了すると、図６のフローチャートに示す周波数設定処理に移行する。この周波数設定処理では、アップキー４２、ダウンキー４３の操作によって周波数のアップ処理及びダウン処理が行われる。
【００４０】
ＣＰＵ２３１は、図５のステップＡ１４の処理を終了すると、図６のステップＡ１５に進んでアップキー４２が押下されたかどうかを判定し、アップキー４２が押下されていなければステップＡ１６でダウンキー４３が押下されたかどうかを判定する。上記ステップＡ１５、Ａ１６でアップキー４２及びダウンキー４３の何れも押下されていないと判定された場合には、ステップＡ１７でセットキー４４が押下されたかどうかを判定し、セットキー４４が押下されていなければステップＡ１５に戻って次のキー操作に備える。
【００４１】
上記ステップＡ１５でアップキー４２が押下されたと判定された場合、ＣＰＵ２３１はＲＡＭ２３３に保持している周波数が１ＭＨｚより小さいかどうかを判定し（ステップＡ１８）、１ＭＨｚより小さければＲＡＭ２３３に保持されている周波数に「０．１ｋＨｚ」を加算する（ステップＡ１９）。すなわち、上記周波数チャンネルの設定処理で、周波数チャンネルＣＨ１あるいはＣＨ２が選択された場合、その周波数帯は「７３０ｋＨｚ」あるいは「９７５ｋＨｚ」であって１ＭＨｚより小さいので、ステップＡ１９に進んで「周波数＋０．１ｋＨｚ」の処理を行う。
【００４２】
また、ステップＡ１８でＲＡＭ２３３に保持されている周波数が１ＭＨｚより小さくないと判定された場合は、ＲＡＭ２３３に保持されている周波数に「１ｋＨｚ」を加算する（ステップＡ２０）。すなわち、周波数チャンネルの設定処理で、周波数チャンネルＣＨ３あるいはＣＨ４が選択された場合、その周波数帯は「１．５ＭＨｚ」あるいは「２ＭＨｚ」であり、１ＭＨｚより大きいので、ステップＡ２０に進んで「周波数＋１ｋＨｚ」の処理を行う。
【００４３】
上記ステップＡ１９あるいはステップＡ２０の処理を終了した後、ＲＡＭ２３３に保持されている設定チャンネルの周波数が周波数最大値（ＭＡＸ）より大きくなったかどうかを判定する（ステップＡ２１）。上記各周波数チャンネルＣＨ１〜ＣＨ４の周波数最大値は、図３で示したように
ＣＨ１の周波数最大値＝７６０ｋＨｚ
ＣＨ２の周波数最大値＝９９９．９ＭＨｚ
ＣＨ３の周波数最大値＝１．７ＭＨｚ
ＣＨ４の周波数最大値＝２．３ＭＨｚ
である。
【００４４】
上記ステップＡ２１で、ＲＡＭ２３３に保持されている設定チャンネルの周波数が周波数最大値より大きくないと判定された場合は、その周波数を周波数／出力表示部３３に表示し（ステップＡ２２）、ステップＡ１５に戻る。
【００４５】
また、上記ステップＡ２１で設定周波数が周波数最大値より大きいと判定された場合は、ＲＡＭ２３３に保持されている周波数を周波数最小値に設定する（ステップＡ２３）。
【００４６】
上記各周波数チャンネルＣＨ１〜ＣＨ４の周波数最小値は、図３で示したように
ＣＨ１の周波数最小値＝７００ｋＨｚ
ＣＨ２の周波数最小値＝９５０ＭＨｚ
ＣＨ３の周波数最小値＝１．３ＭＨｚ
ＣＨ４の周波数最小値＝１．７ＭＨｚ
である。
【００４７】
そして、上記ステップＡ２３で設定した周波数最小値を周波数／出力表示部３３に表示し（ステップＡ２２）、ステップＡ１５に戻る。
【００４８】
また、上記ステップＡ１５でアップキー４２が押下されていないと判定された場合は、ステップＡ１６に進んでダウンキー４３が押下されかどうかを判定する。このステップＡ１６でダウンキー４３が押下されたと判定された場合は、ＣＰＵ２３１はＲＡＭ２３３に保持している周波数が１ＭＨｚより小さいかどうかを判定し（ステップＡ２４）、１ＭＨｚより小さければ、すなわち周波数チャンネルＣＨ１あるいはＣＨ２が選択されて周波数が１ＭＨｚより小さい場合には、ＲＡＭ２３３に保持されている周波数から「０．１ｋＨｚ」を減算する（ステップＡ２５）。
【００４９】
また、ステップＡ２４でＲＡＭ２３３に保持されている周波数が１ＭＨｚより小さくないと判定された場合、すなわち周波数チャンネルＣＨ３あるいはＣＨ４が選択されて周波数が１ＭＨｚより大きい場合には、ＲＡＭ２３３に保持されている周波数から「１ｋＨｚ」を減算する（ステップＡ２６）。
【００５０】
上記ステップＡ２５あるいはステップＡ２６の処理を終了した後、ＲＡＭ２３３に保持されている設定チャンネルの周波数が周波数最小値（ＭＩＮ）より小さくなったかどうかを判定する（ステップＡ２７）。
【００５１】
上記ステップＡ２７で、ＲＡＭ２３３に保持されている設定チャンネルの周波数が周波数最大値より小さくないと判定された場合は、その周波数を周波数／出力表示部３３に表示し（ステップＡ２２）、ステップＡ１５に戻る。
【００５２】
また、上記ステップＡ２７で設定周波数が周波数最小値より小さいと判定された場合は、ＲＡＭ２３３に保持されている周波数を周波数最大値（ＭＡＸ）に設定する（ステップＡ２８）。
【００５３】
そして、上記ステップＡ２８で設定した周波数最大値を周波数／出力表示部３３に表示し（ステップＡ２２）、ステップＡ１５に戻る。
【００５４】
上記のように周波数設定処理において、アップキー４２あるいはダウンキー４３を押下することにより、図７（ｂ）に示すように設定周波数が「０．１ｋＨｚ」あるいは「１ｋＨｚ」のステップで順次加算あるいは減算されて周波数／出力表示部３３にサイクリックに表示される。図７（ｂ）は、周波数チャンネルとしてＣＨ１が選択され、周波数「７３０．０ｋＨｚ」を中心として「０．１ｋＨｚ」のステップで順次加算あるいは減算されて周波数／出力表示部３３に表示される場合を例として示している。
【００５５】
そして、上記アップキー４２あるいはダウンキー４３の操作により周波数が所望の値に設定された後、セットキー４４が押下されると、ステップＡ１７からステップＡ２９に進んでＲＡＭ２３３に保持されている設定周波数をフラッシュメモリ２３４へ書き込み、周波数設定処理を終了する。
【００５６】
上記のようにしてアップキー４２あるいはダウンキー４３の操作により周波数チャンネル及び周波数を所望の値に設定し、セットキー４４を操作することで、設定した周波数チャンネル及び設定周波数がフラッシュメモリ２３４にセットされる。その後、ＣＰＵ２３１は、上記フラッシュメモリ２３４にセットされた周波数チャンネル及び設定周波数に基づいて発振回路２２の発振周波数を制御する。
【００５７】
上記実施形態によれば、操作パネル３１上に設けたキーの操作によって周波数チャンネル及び周波数を設定することができるので、発振周波数の設定時に機器のカバーを開ける必要がなく、また、調整用の工具を用いることなく、きわめて容易に、且つ迅速に設定操作を行うことができる。
【００５８】
また、アップキー４２及びダウンキー４３によって発振周波数を調整しているので、調整時に桁上がりや桁下がりを生じた場合でも、円滑に調整操作を行うことができ、短時間で調整を完了することができる。
【００５９】
なお、上記実施形態では、セットキー４４及びロックキー５２を２秒以上同時に押し続けることで周波数設定モードに移行する場合について説明したが、その他のキーの組み合わせによって周波数設定モードに移行するようにしても良い。
【００６０】
また、上記実施形態では、周波数を設定する際、０．１ｋＨｚあるいは１ｋＨｚの単位で周波数を調整する場合について示したが、各桁毎に周波数を設定するようにしても良い。例えば周波数設定モードに移行した場合に、周波数／出力表示部３３に「００００」を表示して１番左の桁（最上位桁）を点滅させ、アップキー４２、ダウンキー４３で「０」〜「９」を選択してセットキー４４で決定し、右の桁に移動して同様の設定を行い、４桁とも終了した時点でフラッシュメモリ２３４にセットする。
【００６１】
また、上記実施形態において、間違って周波数設定モードに移行してしまった場合を考慮し、暗証番号を入力しないと周波数を変更できないようにしても良い。この場合には、例えばアップキー４２及びダウンキー４３の操作により設定した周波数をフラッシュメモリ２３４にセットする際に暗証番号の正否を判定し、間違っていればエラー表示を行い、一致していれば設定した周波数をフラッシュメモリ２３４にセットする。上記のように暗証番号を使用することにより、誤操作に伴う周波数変更を確実に防止することができる。
【００６２】
また、上記実施形態において、超音波発振器２１がメンテナンス用コネクタの接続機構及びメンテナンス用コネクタの接続の有無を判定する判定機能を備えている場合には、周波数設定モードに移行した際にメンテナンス用コネクタの接続の有無を判定し、メンテナンス用コネクタが接続された場合に周波数の設定処理を開始するようにしても良い。
【００６３】
また、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の一実施形態に係る超音波発振装置の概略構成図である。
【図２】同実施形態における発振回路及び制御回路の構成を示すブロック図である。
【図３】同実施形態における周波数チャンネルと周波数帯との関係を示す図である。
【図４】同実施形態における操作パネルの構成を示す正面図である。
【図５】同実施形態における周波数チャンネルの設定動作を示すフローチャートである。
【図６】同実施形態における発振周波数の設定動作を示すフローチャートである。
【図７】同実施形態における周波数チャンネル及び周波数設定時の表示内容の変化状態を示す図である。
【図８】従来の超音波発振装置の概略構成図である。
【図９】図８に示す超音波発振装置において、発振回路基板上に設けられるロータリスイッチの配置状態を示す斜視図である。
【図１０】従来の超音波発振装置における発振回路の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００６５】
２１…超音波発振器、２２…発振回路、２３…制御部、２４…入力部、２５…表示部、２６…超音波振動子、３１…操作パネル、３２…チャンネル表示部、３３…周波数／出力表示部、３４…アラーム表示用ＬＥＤ、３５…出力表示用ＬＥＤ、４０…周波数設定部、４１…モードキー、４２…アップキー、４３…ダウンキー、４４…セットキー（SET）、５１…スタートキー（START）、５１ａ、５２ａ、５３ａ…操作状態表示用ＬＥＤ、５２…ロックキー（LOCK）、５３…リモートキー（REMOTE）、２２１…分周回路、２２２…ＰＬＬ回路、２３１…ＣＰＵ、２３２…ＲＯＭ、２３３…ＲＡＭ、２３４…フラッシュメモリ。
【図１】
2009226382.tif 000003
【図２】
2009226382.tif 000004
【図３】
2009226382.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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