(57)【要約】【課題】容易に工作機械による表面の加工状態を観察することができる表面観察装置を提供する。【解決手段】表面観察装置１は、シュラウド１１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド１１は、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置される。ＳＥＭユニット１３は、シュラウド１１上に配置される。このように、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上において、試料Ｓ１を治具Ｊ１に取り付けた状態で試料Ｓ１及び治具Ｊ１をシュラウド１１の内部に収めることによって、試料Ｓ１を治具Ｊ１から取り外すことなく、試料Ｓ１の表面の加工状態をシュラウド１１の上面に配置されたＳＥＭを用いて観察することが可能となる。【選択図】図１
2009238458.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象物及び該観察対象物を工作機械に取り付けるための治具を内包可能な内部空間を有し、上面が一部開口された筐体と、
前記筐体の上側に位置する走査型電子顕微鏡を内包するユニットと、
前記内部空間および前記ユニット内を真空にするための真空形成用開口部と、
前記筐体を高さ方向に伸縮可能とする高さ調整手段と、
を備えたことを特徴とする表面観察装置。
【請求項２】
前記工作機械の付属テーブル上に補助ステージが設けられ、
前記補助ステージ上に前記工作機械と前記筐体が載置されていること、
を特徴とする請求項１に記載の表面観察装置。
【請求項３】
前記筐体は、
上下２つの部材から構成され、上方部材の側面と下方部材の側面が当接し嵌合しており、前記高さ調節手段により前記上方部材が高さ方向に移動し得ること、
を特徴とする請求項１又は２に記載の表面観察装置。
【請求項４】
前記高さ調整手段の前記筐体上下動調整機構は、前記下方部材に固定されており、かつ、前記補助ステージに固定されていないことを特徴とする請求項３に記載の表面観察装置。
【請求項５】
前記筐体は、ベローズフランジを用いて構成されていること、
を特徴とする請求項１又は２に記載の表面観察装置。
【請求項６】
前記ベローズフランジは、円筒形状、かつ、蛇腹構造から成り、前記蛇腹構造により高さ方向に伸縮可能であること、
を特徴とする請求項５に記載の表面観察装置。
【請求項７】
前記高さ調整手段の前記筐体上下動調整機構は、前記ベローズフランジの下方固定部材に固定されており、かつ、前記補助ステージに固定されていないことを特徴とする請求項５又は６に記載の表面観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面観察装置に関するものであり、特に、工作機械による表面の加工状態を観察するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の表面観察装置としては以下のものがある。
（１）試料を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察する場合、ＳＥＭの試料ステージに載せることが可能な寸法に試料を切断した上で、これをＳＥＭの真空容器内にある試料ステージに載せて観察する表面観察装置がある。
（２）また、大判試料上にシュラウドを配置し、シュラウド上に超小型の小指タイプの走査型電子顕微鏡を設けることによって、大判試料の表面を観察する表面観察装置がある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１８８８２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述の表面観察装置には、以下のような改善すべき点がある。前者の表面観察装置については、切断できない試料については観察できない。また、工作機械による表面の加工状態を観察する場合、観察のために工作機械の治具から観察対象物を取り外すと、再加工のために治具に取り付け直し、加工のために新たに位置決め作業を行う等、煩雑作業が必要となる。
【０００５】
後者の場合、小指タイプの走査型顕微鏡を用いるため、表面観察装置はある程度は小型化されているが、試料が小さく、当該表面観察装置を配置できないこともある。また、試料において観察したい場所の加工形状によっては、当該表面観察装置を配置できないこともある。
【０００６】
このような状況に鑑み、本発明は、容易に工作機械による表面の加工状態を観察することができる表面観察装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る表面観察装置は、観察対象物及び観察対象物に対する加工処理を行うために、当該観察対象物を工作機械に取り付けるための治具を内包可能な内部空間を有し上面が一部開口された筐体と、筐体の上側に位置する走査型電子顕微鏡を内包するユニットと、内部空間およびユニット内を真空にするための真空形成用開口と、筐体を高さ方向に伸縮可能とする高さ調整手段とを備えることを特徴とする。
これにより、観察対象物を治具に取り付けたまま、走査型顕微鏡を用いて当該観察対象物を観察することができる。
【０００８】
（２）本発明に係る表面観察装置において、工作機械の付属テーブル上に補助ステージが設けられ、当該補助ステージ上に工作機械と筐体が載置されていることを特徴とする。
これにより、工作機械のテーブル上に治具を取り付けたまま、また、観察対象物を治具に取り付けたまま、工作機械のテーブル上で、走査型顕微鏡を用いて当該観察対象物を観察することができる。
【０００９】
（３）本発明に係る表面観察装置において、筐体は上下２つの部材から構成され、上方部材の側面と下方部材の側面が当接し嵌合しており、前記高さ調節手段により前記上方部材が高さ方向に移動し得ることを特徴とする。
これにより、治具の大きさ、観察対象物の大きさにかかわらず、走査型顕微鏡を用いて観察対象物を観察することができる。
ここで、上方部材および下方部材は、望ましくは円筒形状を呈する。
【００１０】
（４）また、本発明に係る表面観察装置において、上記の高さ調整手段の筐体上下動調整機構は、下方部材に固定されており、かつ、補助ステージに固定されていないことを特徴とする。
かかる特徴により、補助ステージ上で横移動が可能となり、走査型顕微鏡の観察対象物の観察の利便性が向上する。
【００１１】
（５）本発明に係る表面観察装置において、筐体はベローズフランジを用いて構成されている。ここで、ベローズフランジは、円筒形状、かつ、蛇腹構造から成り、この蛇腹構造により高さ方向に伸縮可能とされることが好ましい態様である。
また、高さ調整手段の筐体上下動調整機構は、このベローズフランジの下方固定部材に固定されており、かつ、補助ステージに固定されていないことを特徴とする。かかる特徴により、補助ステージ上で横移動が可能となり、走査型顕微鏡の観察対象物の観察の利便性が向上する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、容易に工作機械上で、すなわちオンマシン上で、表面加工状態を観察できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明していく。
【実施例１】
【００１４】
第一  表面観察装置１の構成
本実施例に係る表面観察装置１の構成を図１に基づき説明する。表面観察装置１は、シュラウド１１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド１１は、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置される。ＳＥＭユニット１３は、シュラウド１１上に配置される。
このように、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上において、試料Ｓ１を治具Ｊ１に取り付けた状態で試料Ｓ１及び治具Ｊ１をシュラウド１１の内部に収めることによって、試料Ｓ１を治具Ｊ１から取り外すことなく、試料Ｓ１の表面の加工状態をシュラウド１１の上面に配置されたＳＥＭを用いて観察することが可能となる。
【００１５】
第二  シュラウド１１の構成
シュラウド１１は、筐体１１１、ＳＥＭ用開口１１５、真空排気ホース接続口１１７、及び、真空シール１１９により構成されている。
筐体１１１は、上面部Ｐ１及び側面部Ｐ３を有しており、上面部Ｐ１及び側面部Ｐ３によって形成される試料Ｓ１及び治具Ｊ１を収納するための内部空間を有している。なお、側面部Ｐ３は円筒形状を有している。側面部Ｐ３の上縁部は、上面部Ｐ１によって閉じられており、一方、下縁部は、開放されている。
ＳＥＭ用開口１１５は、シュラウド１１の上面部Ｐ１に形成されている。シュラウド１１の上部に配置されたＳＥＭユニット１３のＳＥＭは、ＳＥＭ用開口１１５を介して、試料Ｓ１の表面の画像を取得する。
【００１６】
真空排気ホース接続口１１７は、シュラウド１１の内部の空気を排気する際に使用する真空ホース（図示せず）を接続するための開口である。真空ホースの一端は、さらに、真空排気装置に接続される。真空排気装置は、シュラウド１１の内部を真空に排気するための装置である。真空排気装置を駆動することによって、シュラウド１１の内部を、例えば、１０−４〜１０−６Ｔｏｒｒ程度にまで排気し、当該内部を真空状態とする。なお、真空ホースは、肉厚のホース、あるいは、金属性の蛇腹のホースにより形成されている。
【００１７】
真空シール１１９は、シュラウド１１を工作機械Ｍ１のテーブルＴ１に載置し、真空排気ホース接続口１１７に接続した真空ホースからシュラウド１１の内部の空気を排気し、当該内部を真空としたときに、テーブルＴ１と密着し、シュラウド１１内部を真空に保持する。なお、真空シールとしては、Ｏリング等の真空シール材を用いる。また、実際に、Ｏリングを使用する際には、シュラウド１１内部の真空を保持するために、Ｏリングにシリコングリスを塗布する等の補助的な処理を施す。
【００１８】
第三  ＳＥＭユニット１３の構成
ＳＥＭユニット１３は、鏡筒１３１、検出器（図示せず）、表示装置（図示せず）等を有するＳＥＭ、鏡筒１３１等を保持するＳＥＭ保持部１３３、ＳＥＭ保持部１３３をシュラウド１１の上面部１１１に固定するための固定部１３５、コネクタ接続用開口１３７、及びＳＥＭ用真空排気ホース接続口１３９を有している。
ＳＥＭは、電子線ビームを試料Ｓ１の表面に照射しつつ、偏向系で平面走査するものである。鏡筒１３１は、電子線ビームを発生し、集束、結像して細く絞った電子線ビームを生成する。検出器は、試料Ｓ１の表面に電子線ビームが照射された結果、試料Ｓ１から放出された２次電子、反射された反射電子、放出された光等を検出する。制御装置は、検出器によって検出された信号に基づき画像を生成する。表示装置は、制御装置によって生成された画像を表示するとともに、ＳＥＭ使用時の各種のインターフェスを表示する。
【００１９】
ＳＥＭ保持部１３３は、ＳＥＭの鏡筒１３１を保持する。
固定部１３５は、ＳＥＭ保持部１３３をシュラウド１１の筐体１１１の上面部Ｐ１に固定する。なお、ＳＥＭ保持部１３３をシュラウド１１の筐体１１１の上面部Ｐ１に固定する際には、ボルト等を用いている。
コネクタ接続用開口１３７は、ＳＥＭ保持部１３３に設けられる開口である。コネクタ接続用開口１３７は、鏡筒１３１、検出器等へ電源を供給するための電力線、検出した信号を取り出すなどのための信号線等をＳＥＭ保持部１３３の内部へ導くためのものである。
ＳＥＭ用真空排気ホース接続口１３９は、主に、ＳＥＭユニット１３内の空気を排気し、ＳＥＭユニット１３に存在する内部空間を真空とする。
【実施例２】
【００２０】
第一  表面観察装置２の構成
本実施例に係る表面観察装置２の構成を図２に基づき説明する。前述の実施例１における表面観察装置１においては、シュラウド１１は固定的な形状を有していた。本実施例における表面観察装置２は、シュラウド２１の形状を変化させることができる。このように、シュラウド２１の形状を変化させることによって、試料Ｓ１や治具Ｊ１の大きさに影響されることなく、ＳＥＭ画像を取得することが可能となる。
なお、以下の説明においては、実施例１と同様の構成については、同じ番号を付しており、その説明を省略する。
【００２１】
表面観察装置２は、シュラウド２１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド２１は、実施例１と同様に、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置される。
【００２２】
第二  シュラウド２１の構成
シュラウド２１は、上側筐体２１１、下側筐体２１３、補助ステージ２１５、筐体上下動調節機構２１７、ＳＥＭ用開口１１５、真空排気ホース接続口１１７、及び、真空シール１１９を有している。
上側筐体２１１は、上面部Ｐ２１及び側面部Ｐ２３によって形成される円筒形状を有しており、側面部Ｐ２３の上縁部は、上面部Ｐ２１によって閉じられており、一方、下縁部は、開放されている。下側筐体２１３は、実施例１における筐体１１１の側面部Ｐ３とほぼ同様の円筒形状を有している。
【００２３】
上側筐体２１１と下側筐体２１３とを嵌合させることによって、試料Ｓ１及び治具Ｊ１を収納するための内部空間が形成される。上側筐体２１１の側面部Ｐ２３は、内部空間の機密性を保つためにシール部２１９を有している。
また、上側筐体２１１は、側面部Ｐ２３にフランジ部Ｆ２１を有しており、当該フランジ部Ｆ２１は、筐体上下動調整機構２１７の上下位置調整ネジＣ２１７が貫通できる位置調整用孔Ａ２１を有している。なお、位置調整用孔Ａ２１は円孔形状を有しており、その直径は、ワッシャーＷ２１７の直径よりも小さい。
下側筐体２１３には、真空排気ホース接続口１１７、及び、真空シール１１９が形成されている。
【００２４】
筐体上下動調整機構２１７は、上下位置調整ネジＣ２１７、上下位置調整ナットＮ２１７、ワッシャーＷ２１７、及び固定ナットＣ２１９により構成されている。上下位置調整ネジＣ２１７は、補助ステージ２１５に形成されているネジ部Ｎ２１５にねじ込まれ、固定ナットＣ２１９によって、補助ステージ２１５に対してほぼ垂直に固定される。上下位置調整ナットＮ２１７は、上下位置調整ネジＣ２１７に螺入され、上側筐体２１１を固定しようとする位置に合わせて配置される。ワッシャーＷ２１７は、上下動調整ナットＮ２１７上に配置され、上側筐体２１１を所定の位置に固定することを補助する。
以上より、上下位置調整ナットＮ２１７の位置を調整することによって、上側筐体２１１の上下位置を容易に調整することができる。これにより、試料Ｓ１、治具Ｊ１の大きさにかかわらず、最適なＳＥＭ画像を得ることができる位置にＳＥＭユニット１３を容易に配置することができる。
補助ステージ２１５は、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に配置され、工作機械Ｍ１で用いる固定治具Ｊ２１及びボルトＢ２１を用いて、テーブルＴ１上に固定する。また、補助ステージ２１５には、治具Ｊ１を固定することが可能である。
【実施例３】
【００２５】
第一  表面観察装置２の構成
本実施例に係る表面観察装置３の構成を図３に基づき説明する。前述の実施例２における表面観察装置２においては、シュラウド２１の形状を変化させることによって、試料Ｓ１や治具Ｊ１の大きさに影響されることなく、ＳＥＭ画像を取得することが可能としていた。本実施例における表面観察装置３は、ＳＥＭ画像の取得位置を移動させることができる。
なお、以下の説明においては、実施例１、実施例２と同様の構成については、同じ番号を付しており、その説明を省略する。
表面観察装置３は、シュラウド３１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド３１は、実施例２と同様に、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に配置された補助ステージ２１５の上に載置される。
【００２６】
第二  シュラウド３１の構成
シュラウド３１は、下側筐体３１３、補助ステージ３１５、上側筐体２１１、筐体上下動調節機構２１７、ＳＥＭ用開口１１５、真空排気ホース接続口１１７、及び、真空シール１１９を有している。
下側筐体３１３は、側面部にフランジ部Ｆ２３を有している。また、フランジ部Ｆ３１は、筐体上下動調整機構２１７の上下位置調整ネジＣ２１７をねじ込み、固定するためのネジ部Ｎ３１３を有している。
このように、筐体上下動調整機構２１７の上下位置調整ネジＣ２１７を下側筐体３１３に固定することによって、下側筐体３１３の移動に合わせて、上側筐体２１１及び筐体上下位置調整機構２１７を移動させることが可能となる。つまり、ＳＥＭ画像の取得位置を移動させることが可能となる。
【実施例４】
【００２７】
第一  表面観察装置４の構成
本実施例に係る表面観察装置４の構成を図４に基づき説明する。前述の実施例２における表面観察装置２においては、シュラウド２１を上側筐体２１１及び下側筐体２１３により構成し、上側筐体２１１と下側筐体２１３とを嵌合させ、両者の嵌合位置を調整することによって、シュラウド２１の形状を変化させることを可能としていた。本実施例における表面化札装置４は、シュラウド４１の形状を伸縮可能なベローズフランジを用いて変化させることによって、試料Ｓ１や治具Ｊ１の大きさに影響されることなく、ＳＥＭ画像を取得することができる。
なお、以下の説明においては、実施例１〜３と同様の構成については、同じ番号を付しており、その説明を省略する。
【００２８】
表面観察装置４は、シュラウド４１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド４１は、実施例１と同様に、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置される。
なお、ＳＥＭユニット１３には、ＳＥＭ用真空排気ホース接続口１３９が複数設けられている。このため、シュラウド４１の構成上、シュラウド４１には真空排気ホース接続口１３９を設けることができないことによる内部空間を真空にする能力の不足を補完している。
【００２９】
第二  シュラウド４１の構成
シュラウド４１は、上環部４１１、下環部４１３、中間部４１５、補助ステージ２１５、筐体上下動調節機構２１７、ＳＥＭ用開口１１５、及び、真空シール１１９を有している。
上環部４１１は、円環構造を有しており、所定の位置に筐体上下動調整機構２１７の上下位置調整ネジＣ２１７が貫通できる位置調整用孔Ａ４１を有している。なお、位置調整用孔Ａ４１の直径は、ワッシャーＷ２１７の直径よりも小さくなるように構成されている。
下環部４１３は、円環構造を有しており、所定の位置に筐体上下動調整機構２１７の上下位置調整ネジＣ２１７をねじ込み、固定するためのネジ部Ｎ４１３を有している。また、下環部４１３は、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１と接する面に真空シール１１９を有している。
中間部４１３は、円筒形状、かつ、蛇腹構造を有するベローズフランジにより構成されている。ベローズフランジは蛇腹構造を有しているため、上下の伸縮を容易に行うことができる。
【００３０】
本実施例においては、上環部４１１、下環部４１３、及び中間部４１３によって、試料Ｓ１及び治具Ｊ１を収納するための内部空間が形成される。また、中間部４１３に、伸縮性のあるベローズフランジを用いているため、内部空間の形状変化、特に上下への伸縮による形状変化を容易に行うことができる。
なお、ベローズフランジは、通常の溶接技術によって、上環部４１１及び下環部４１３に溶接、固定されて、内部空間の機密性を保持している。
［他の実施例］
【００３１】
１  シュラウドの形状
前述の実施例１〜実施例４においては、シュラウド１１〜シュラウド４１の形状は、円筒形状としたが、内部空間を形成できるものであれば、例示のものに限定されない。例えば、角柱形状であってもよい。
【００３２】
２  真空排気ホース接続口１１７、ＳＥＭ用真空排気ホース接続口１３９
前述の実施例１〜実施例３においては、真空排気ホース接続口１１７をシュラウド側に、ＳＥＭ用真空排気ホース接続口１３９をＳＥＭユニット１３に設けることとしたが、いずれか一方に設けるようにしてもよい。また、真空排気ホース接続口１１７、ＳＥＭ用真空排気ホース接続口１３９の配置数についても、例示のものに限定されない。
さらに、前述の実施例４においては、ＳＥＭ用真空排気ホース接続１３９をＳＥＭユニット１３に複数設けることとしたが、ＳＥＭユニット１３及び筐体４１の内部空間を真空にすることができるものであれば、例示の配置数に限定されない。
【００３３】
３  補助ステージ２１５、３１５
前述の実施例２〜実施例４においては、補助ステージ２１５、３１５を用いることとしたが、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に直接筐体２１〜４１を配置することができるのであれば、補助ステージ２１５、３１５を用いる必要は必ずしもない。
【００３４】
４  筐体上下動調整機構２１７
前述の実施例１〜実施例４においては、筐体上下動調整機構２１７として、上下位置調整ネジＣ２１７、上下位置調整ナットＮ２１７、ワッシャーＷ２１７を用いるものを例示したが、筐体の内部空間を変化させることができるものであれば、例示のものに限定されない。
【００３５】
５  ベローズフランジ
前述の実施例４においては、筐体４１の中間部４１３をベローズフランジを用いて形成するとしたが、内部空間を形成でき、内部空間を真空状態としたときであっても必要な内部空間を確保でき、また、伸縮性を有するものであれば、例示のものに限定されない。例えば、所定の機密性、耐圧性を有する特殊繊維であってもよい。
【００３６】
６  筐体１１〜４１、ＳＥＭユニット１３
前述の実施例１〜実施例４にお家は、筐体１１〜４１及びＳＥＭユニット１３を別体として構成したが、一体として構成するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明に係る表面観察装置は、工作機械によって加工された工作対象物の表面状態を観察することに用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係る表面観察装置１の構成を示す図である。
【図２】本発明に係る表面観察装置２の構成を示す図である。
【図３】本発明に係る表面観察装置２で上方に移動した様子を示す図である。
【図４】本発明に係る表面観察装置３の構成を示す図である。
【図５】本発明に係る表面観察装置３で上方に移動した様子を示す図である。
【図６】本発明に係る表面観察装置３で左に横移動した様子を示す図である。
【図７】本発明に係る表面観察装置４の構成を示す図である。
【図８】本発明に係る表面観察装置４で上方に移動した様子を示す図である。
【図９】本発明に係る表面観察装置４で左に横移動した様子を示す図である。
【符号の説明】
【００３９】
１        表面観察装置
１１&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;       シュラウド
１１１    筐体
１１５    ＳＥＭ用開口
１１７    真空排気ホース接続口
１１９    真空シール
１３&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;       ＳＥＭユニット
１３１    鏡筒
１３３    ＳＥＭ保持部
１３５    固定部
１３７    コネクタ接続用開口
１３９    ＳＥＭ用真空排気ホース接続口
Ｍ１&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;       工作機械
Ｔ１&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;       テーブル
Ｓ１&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;       試料
Ｊ１&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;       治具
２         表面観察装置
２１&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;       シュラウド
２１１    上側筐体
Ｐ２１    上面部
Ｐ２３    側面部
Ｆ２１    フランジ部
２１３    下側筐体
２１５    補助ステージ
Ｎ２１５  ネジ部
Ｊ２１    固定ジグ
Ｂ２１    ボルト
２１７    筐体上下動調節機構
Ｃ２１７  上下位置動調整ネジ
Ｎ２１７  上下位置調整ナット
Ｗ２１７  ワッシャー
Ｃ２１９  固定ナット
２１９    シール部
３         表面検査装置
３１      シュラウド
３１３    下側筐体
Ｆ３１    フランジ部
Ｎ３１３  ネジ部
３１５    補助ステージ
４         表面検査装置
４１      シュラウド
４１１    上環部
Ａ４１    位置調整用孔
４１３    下環部
３１&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;&middot;       シュラウド
４１５    中間部
Ｎ４１３  ネジ部
【図１】
2009238458.tif 000003
【図２】
2009238458.tif 000004
【図３】
2009238458.tif 000005
【図４】
2009238458.tif 000006
【図５】
2009238458.tif 000007
【図６】
2009238458.tif 000008
【図７】
2009238458.tif 000009
【図８】
2009238458.tif 000010
【図９】
2009238458.tif 000011