(57)【要約】【課題】細長状に形成される検査用の端子の短手方向の幅が非常に狭い場合であっても、検査対象の適切な検査を行うことが可能な検査冶具を提供すること。【解決手段】長手方向と短手方向とを有する細長状の端子が形成される検査対象５０の検査を行うための検査治具１は、検査対象５０に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体２と、先端側支持体２に対して隙間を介して配置され、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して端子の長手方向にほぼ沿って傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成される後端側支持体３と、先端側挿通孔に挿通される先端側部分および後端側挿通孔に挿通される後端側部分を有するプローブ５とを備えている。プローブ５の先端側部分は、後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向に傾斜する側にずれた位置に配置されている。【選択図】図２
2009036532.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向と短手方向とを有する細長状の端子が形成される検査対象の検査を行うための検査治具であって、
上記検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体と、
上記先端側支持体に対して所定の隙間を介して配置され、上記先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して上記長手方向にほぼ沿って傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成される後端側支持体と、
上記端子に接触する先端が上記検査対象側において出没可能となるように上記先端側挿通孔に挿通される先端側部分および上記後端側挿通孔に挿通される後端側部分を有するプローブとを備え、
上記プローブの上記先端側部分は、上記後端側部分に対して上記後端側挿通孔のプローブ案内方向に傾斜する側にずれた位置に配置されていることを特徴とする検査冶具。
【請求項２】
前記長手方向が異なる複数の前記端子のそれぞれに接触する複数の前記プローブを備え、複数の前記プローブの前記後端側部分は、それぞれの前記プローブが接触する前記端子の前記長手方向にほぼ沿って傾斜する前記後端側挿通孔に挿通されていることを特徴とする請求項１記載の検査冶具。
【請求項３】
長手方向と短手方向とを有する細長状の端子が形成される検査対象の検査を行うための検査治具であって、
上記検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体と、
上記先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して、上記長手方向と上記先端側挿通孔のプローブ案内方向とによって形成される平面にほぼ沿って傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成され、上記先端側支持体に対して所定の隙間を介して配置される後端側支持体と、
上記端子に接触する先端、上記先端側挿通孔に挿通される先端側部分および上記後端側挿通孔に挿通される後端側部分を有するプローブとを備え、
上記先端が上記端子に接触したときに、上記先端は上記先端側支持体に向かって押し込まれるとともに、上記プローブは上記先端側支持体と上記後端側支持体との間で撓むことを特徴とする検査冶具。
【請求項４】
請求項１から３いずれかに記載の検査冶具と、前記プローブの前記後端側部分に当接する電極に導電接続される電気的検査手段とを備えることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板や電子部品等の電気的検査に用いられる検査冶具およびこの検査冶具を備える検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、回路基板の配線パターンやＩＣ等の集積回路の短絡、断線等の異常を発見するための電気的検査には、検査対象に形成される検査用の端子に導電接触する複数のプローブを備える検査冶具が使用されている。この種の検査冶具として、複数のプローブの先端側部分を支持する先端側支持体と、先端側支持体の後方に隙間を介して配置され複数のプローブの後端側部分を支持する後端側支持体と、後端側支持体の後方に配置されプローブの後端側部分に当接する電極とを備える検査冶具が本出願人によって提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の検査冶具では、先端側支持体に、検査対象と対向する対向面に直交する方向に先端側挿通孔が形成され、後端側支持体に、先端側挿通孔の形成方向に対して傾斜する方向に後端側挿通孔が形成されている。また、後端側挿通孔は、この後端側挿通孔に挿通されたプローブの先端側が先端側挿通孔に向かうように、先端側挿通孔に対して傾斜している。
【０００４】
この検査冶具では、複数のプローブの先端が検査対象に当接したときに、先端側支持板と後端側支持板との隙間に配置されるプローブの中間部分が屈曲する。また、プローブの中間部分が屈曲することで、検査対象に対して全てのプローブが適度な接触圧で同時に接触する。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３３８０６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、検査対象に形成される検査用の端子は、多種多様化している。たとえば、検査対象には、長方形状のような細長い端子も形成されている。また、近年、検査対象となる回路基板の配線パターンの複雑化や集積回路の高集積化等に伴って、細長い端子の短手方向の幅が非常に狭くなってきている。たとえば、短手方向の幅が２０μｍ〜３０μｍといった非常に狭い幅の端子が検査対象に形成されることがある。
【０００７】
ここで、端子の短手方向の幅が非常に狭い検査対象の検査を特許文献１に記載の検査冶具を用いて行った場合、検査対象の適切な検査が困難になるおそれが生じることが本願発明者の検討により明らかになった。
【０００８】
そこで、本発明の課題は、細長状に形成される検査用の端子の短手方向の幅が非常に狭い場合であっても、検査対象の適切な検査を行うことが可能な検査冶具およびこの検査冶具を備える検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明は、長手方向と短手方向とを有する細長状の端子が形成される検査対象の検査を行うための検査治具であって、検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体と、先端側支持体に対して所定の隙間を介して配置され、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して長手方向にほぼ沿って傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成される後端側支持体と、端子に接触する先端が検査対象側において出没可能となるように先端側挿通孔に挿通される先端側部分および後端側挿通孔に挿通される後端側部分を有するプローブとを備え、プローブの先端側部分は、後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向に傾斜する側にずれた位置に配置されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の検査冶具では、検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体に対して所定の隙間を介して配置される後端側支持体には、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して細長状の端子の長手方向にほぼ沿って傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成されている。また、プローブの先端側部分は、後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向に傾斜する側にずれた位置に配置されている。
【００１１】
そのため、プローブの先端が検査対象側において出没可能となるように先端側挿通孔がプローブの径よりも大きく形成される場合であっても、プローブの先端が端子に接触して、先端側支持板と後端側支持板との隙間に配置されるプローブの中間部分が屈曲すると、プローブの先端側部分は、先端側挿通孔内で細長状の端子の長手方向にほぼ沿って動く。すなわち、本発明では、プローブの先端が端子に接触して、先端側支持板と後端側支持板との隙間に配置されるプローブの中間部分が屈曲したときには、端子に接触するプローブの先端は、端子のほぼ長手方向に沿ってずれ、端子の短手方向に沿ってずれることはあまりない。その結果、本発明では、細長状に形成される検査用の端子の短手方向の幅が非常に狭い場合であっても、プローブの先端を検査対象の端子に確実に接触させることが可能となり、検査対象の適切な検査を行うことが可能になる。
【００１２】
本発明において、検査冶具は、長手方向が異なる複数の端子のそれぞれに接触する複数のプローブを備え、複数のプローブの後端側部分は、それぞれのプローブが接触する端子の長手方向にほぼ沿って傾斜する後端側挿通孔に挿通されていることが好ましい。このように構成すると、検査対象に長手方向が異なる複数の端子が形成される場合であっても、プローブの先端を検査対象の端子に確実に接触させて、検査対象の適切な検査を行うことが可能になる。
【００１３】
また、上記の課題を解決するため、本発明は、長手方向と短手方向とを有する細長状の端子が形成される検査対象の検査を行うための検査治具であって、検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体と、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して、長手方向と先端側挿通孔のプローブ案内方向とによって形成される平面にほぼ沿って傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成され、先端側支持体に対して所定の隙間を介して配置される後端側支持体と、端子に接触する先端、先端側挿通孔に挿通される先端側部分および後端側挿通孔に挿通される後端側部分を有するプローブとを備え、先端が端子に接触したときに、先端は先端側支持体に向かって押し込まれるとともに、プローブは先端側支持体と後端側支持体との間で撓むことを特徴とする。
【００１４】
本発明の検査冶具では、検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体に対して所定の隙間を介して配置される後端側支持体には、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して、細長状の端子の長手方向と先端側挿通孔のプローブ案内方向とによって形成される平面にほぼ沿って傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成されている。そのため、プローブの先端が端子に接触したときに、その先端が先端側支持体に向かって押し込まれるように先端側挿通孔がプローブの径よりも大きく形成される場合であっても、プローブの先端が端子に接触して、先端側支持板と後端側支持板との間でプローブが撓むと、プローブの先端は、端子のほぼ長手方向に沿ってずれ、端子の短手方向に沿ってずれることはあまりない。その結果、本発明では、細長状に形成される検査用の端子の短手方向の幅が非常に狭い場合であっても、プローブの先端を検査対象の端子に確実に接触させることが可能となり、検査対象の適切な検査を行うことが可能になる。
【００１５】
本発明の検査治具は、プローブの後端側部分に当接する電極に導電接続される電気的検査手段を備える検査装置に用いることができる。この検査装置では、細長状に形成される検査用の端子の短手方向の幅が非常に狭い場合であっても、プローブの先端を検査対象の端子に確実に接触させて、検査対象の適切な検査を行うことが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明の検査冶具および検査装置では、細長状に形成される検査用の端子の短手方向の幅が非常に狭い場合であっても、検査対象の適切な検査を行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
（検査冶具の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる検査冶具１の平面図である。図２は、図１に示す検査冶具１の側面図である。図３は、図１に示す検査冶具１で検査が行われる検査対象５０を示す平面図である。図４は、図３のＥ部を拡大して示す拡大図である。図５は、図１に示す先端側支持体２の断面構造を示す拡大断面図である。図６は、図１に示す後端側支持体３の断面構造を示す拡大断面図である。
【００１９】
なお、以下の説明では、図１の左右方向をＸ方向、図１の上下方向をＹ方向、図１の紙面垂直方向をＺ方向とする。また、Ｙ方向とＺ方向とから形成される平面をＹＺ平面、Ｚ方向とＸ方向とから形成される平面をＺＸ平面とする。
【００２０】
本形態の検査冶具１は、後述のように、プリント配線基板や半導体集積回路等の検査対象５０の電気的検査を行う検査装置３０に搭載されて使用される（図７参照）。また、本形態の検査治具１は、図３、図４に示すように、長手方向と短手方向とを有する細長状の検査用の端子６０が形成された検査対象５０の検査を行うための治具である。
【００２１】
検査対象５０は、全体として扁平な直方体状（矩形の板状）に形成されている。この検査対象５０には、上述のように、長手方向と短手方向とを有する細長状の検査用の端子６０が複数形成されている。具体的には、図３、図４に示すように、Ｘ方向に所定間隔で一列に並ぶ複数の端子６０からなる２つの第１端子群６０ＡがＹ方向に所定の間隔をあけた状態で形成され、Ｙ方向に所定間隔で一列に並ぶ複数の端子６０からなる２つの第２端子群６０ＢがＸ方向に所定の間隔をあけた状態で形成されるように、検査対象５０に複数の端子６０が形成されている。すなわち、検査対象５０には、検査対象５０の４辺に沿って一列の直線状に配置される複数の端子６０が形成されている。
【００２２】
本形態では、第１端子群６０Ａを構成する端子６０は、Ｘ方向を短手方向としＹ方向を長手方向とする細長い長方形状に形成されている。また、第２端子群６０Ｂを構成する端子６０は、Ｙ方向を短手方向としＸ方向を長手方向とする細長い長方形状に形成されている。すなわち、検査対象５０には、長手方向が異なる複数の端子６０が形成されている。なお、端子６０の長手方向の幅Ｗ１（図４参照）はたとえば、２〜３ｍｍであり、端子６０の短手方向の幅Ｗ２（図４参照）はたとえば、２０〜３０μｍである。
【００２３】
検査冶具１は、図１、図２に示すように、先端側支持体２と、先端側支持体２に対して所定の隙間を介して配置される後端側支持体３とを備えている。
【００２４】
先端側支持体２および後端側支持体３はそれぞれ扁平な直方体状（矩形の板状）に形成されている。また、先端側支持体２と後端側支持体３とは、それらの表面が相互に平行になるように配置されている。具体的には、先端側支持体２の４隅に配置される４本の支持柱４によって、先端側支持体２と後端側支持体３とは連結固定されている。
【００２５】
先端側支持体２および後端側支持体３には複数のプローブ５が挿通されている。具体的には、図１、図２に示すように、Ｘ方向に所定間隔で一列に並ぶ複数のプローブ５からなる２つの第１プローブ群５ＡがＹ方向に所定の間隔をあけた状態で形成され、Ｙ方向に所定間隔で一列に並ぶ複数のプローブ５からなる２つの第２プローブ群５ＢがＸ方向に所定の間隔をあけた状態で形成されるように、先端側支持体２および後端側支持体３には複数のプローブ５が挿通されている。
【００２６】
また、図２に示すように、第２プローブ群５Ｂを構成する複数のプローブ５は、先端側支持体２から後端側支持体３へ向かうにしたがってＸ方向外側に広がるように、先端側支持体２および後端側支持体３に挿通されている。また、第１プローブ群５Ａを構成する複数のプローブ５は、先端側支持体２から後端側支持体３へ向かうにしたがってＹ方向外側に広がるように、先端側支持体２および後端側支持体３に挿通されている。
【００２７】
具体的には、第２プローブ群５Ｂを構成する複数のプローブ５は、Ｘ方向（より具体的にはＺＸ平面）にほぼ沿って傾斜し、第１プローブ群５Ａを構成する複数のプローブ５は、Ｙ方向（より具体的にはＹＺ平面）に沿って傾斜するように先端側支持体２および後端側支持体３に挿通されている。また、本形態では、検査対象５０の検査時に、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５は、第１端子群６０Ａを構成する端子６０に接触し、第２プローブ群５Ｂを構成するプローブ５は、第２端子群６０Ｂを構成する端子６０に接触する。すなわち、先端側支持体２と後端側支持体３との間では、接触する端子６０の長手方向に沿ってプローブ５が傾斜している。
【００２８】
また、プローブ５の先端５ｅは、図５に示すように、先端側支持体２の表面上に僅かに突出している。たとえば、先端５ｅは、先端側支持体２の表面から１００μｍ〜２００μｍ突出している。なお、先端側支持体２の表面からの先端５ｅの突出量は、２００μｍを超えても良いし、１００μｍ未満（たとえば、５０μｍ）であっても良い。
【００２９】
後端側支持体３の後方には電極支持体６が取り付けられている。電極支持体６には、図２に示すように、プローブ５（具体的には、後端側部分５ｄ）に導電接触する複数の電極７が固定されている。
【００３０】
プローブ５は、タングステン、ハイス鋼（ＳＫＨ）、ベリリウム銅（Ｂｅ−Ｃｕ）等の金属その他の導電体で形成されるとともに、屈曲可能な弾性を有するワイヤ状に形成されている。本形態のプローブ５は、上記のような導電体で構成される導電ワイヤ５ａと、この導電ワイヤ５ａの外周面を覆う絶縁被覆５ｂとを備えている。絶縁被覆５ｂは、合成樹脂等の絶縁体で形成されている。なお、絶縁被覆５ｂは、導電ワイヤ５ａの表面に絶縁塗装を施すことによって形成される絶縁被膜であっても良い。
【００３１】
図５、図６に示すように、プローブ５の先端側部分５ｃおよび後端側部分５ｄでは、導電ワイヤ５ａが露出した状態となっている。また、プローブ５の先端５ｅや後端５ｆは、図示のように球面状に形成されている。
【００３２】
先端側支持体２は、検査対象５０が配置される側（図示上側）から順に複数（本形態では３枚）の支持板１０、１１、１２が積層されて構成されている。これらの支持板１０〜１２はボルト等の固定手段によって互いに固定されている。図５に示すように、各支持板１０、１１、１２にはそれぞれ貫通孔１０ａ、１１ａ、１２ａが形成されている。これらの貫通孔１０ａ、１１ａ、１２ａによって、プローブ５の先端側部分５ｃが挿通される１つの先端側挿通孔１３が構成されている。
【００３３】
先端側挿通孔１３は、検査対象５０に向くプローブ案内方向を有している。具体的には、先端側挿通孔１３は、先端側支持体２の検査対象５０に対向する対向面（図示上側の表面）２ａに直交するプローブ５の案内方向を有している。すなわち、先端側挿通孔１３は、対向面２ａに直交する方向（Ｚ方向）に形成されている。そのため、検査対象５０の端子６０に対してほぼ垂直にプローブ５の先端５ｅを接触させることができる。
【００３４】
この先端側挿通孔１３は、検査冶具１が有するプローブ５の数だけ形成されている。具体的には、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５が第１端子群６０Ａを構成する端子６０に接触し、第２プローブ群５Ｂを構成するプローブ５が第２端子群６０Ｂを構成する端子６０に接触するように、先端側挿通孔１３が形成されている。
【００３５】
３つの貫通孔１０ａ、１１ａ、１２ａは同心状に形成されている。具体的には、貫通孔１０ａは、小径孔１０ｂと小径孔１０ｂより大径の大径孔１０ｃとから構成され、貫通孔１２ａは、小径孔１２ｂと小径孔１２ｂより大径の大径孔１２ｃとから構成されている。また、小径孔１０ｂと小径孔１２ｂとは、導電ワイヤ５ａの外径よりも若干大きく、かつ、絶縁被覆５ｂの部分のプローブ５の外径よりも若干小さな内径で形成されている。また、貫通孔１１ａの内径は、小径孔１０ｂの内径および小径孔１２ｂの内径よりも大きくなっている。
【００３６】
プローブ５の先端側の絶縁被覆５ｂの端縁５ｇは、図５に示すように、先端側挿通孔１３の小径孔１２ｂよりも後方に配置されている。また、上述のように、小径孔１２ｂは、絶縁被覆５ｂの部分のプローブ５の外径よりも若干小さな内径で形成されている。そのため、絶縁被覆５ｂの端縁５ｇは、小径孔１２ｂの開ロ縁１２ｄに当接可能となっている。すなわち、端縁５ｇと開ロ縁１２ｄとは、プローブ５が検査対象側に抜け落ちることを防止するための抜け止め部となっている。
【００３７】
後端側支持体３は、先端側支持体２側から順に複数（本形態では３枚）の支持板１５、１６、１７が積層されて構成されている。これらの支持板１５〜１７はボルト等の固定手段によって互いに固定されている。図６に示すように、各支持板１５〜１７にはそれぞれ貫通孔１５ａ、１６ａ、１７ａが形成されている。これらの貫通孔１５ａ〜１７ａによって、プローブ５の後端側部分５ｄが挿通される１つの後端側挿通孔２０が構成されている。この後端側挿通孔２０は、検査冶具１が有するプローブ５の数だけ形成されている。
【００３８】
後端側挿通孔２０は、先端側挿通孔１３のプローブ案内方向（すなわち、対向面２ａの直交方向）に対して傾斜したプローブ案内方向Ｖを有している。すなわち、３つの貫通孔１５ａ〜１７ａは、それぞれの中心が少しずつずれた状態で形成されており、後端側挿通孔２０の全体が対向面２ａの直交方向に対して傾斜している。たとえば、図６に示すように、貫通孔１５ａ〜１７ａの順でその中心が図示右方向に少しずつずれた状態で、５つの貫通孔１５ａ〜１７ａが形成されている。すなわち、プローブ案内方向Ｖは、後端側支持体３の表面と直交する法線ｎに対して図６の反時計方向に角度θだけ傾斜している。
【００３９】
貫通孔１５ａは、小径孔１５ｂと小径孔１５ｂより大径の大径孔１５ｃとから構成されている。同様に、貫通孔１６ａは、小径孔１６ｂと大径孔１６ｃとから構成され、貫通孔１７ａは、小径孔１７ｂと大径孔１７ｃとから構成されている。小径孔１７ｂは、導電ワイヤ５ａの外径よりも若干大きく、かつ、絶縁被覆５ｂの部分のプローブ５の外径よりも若干小さな内径で形成され、小径孔１５ｂ、１６ｂは、絶縁被膜５ｂが形成された部分のプローブ５の外径よりも若干大きな内径で形成されている。
【００４０】
上述のように、本形態では、接触する端子６０の長手方向に沿ってプローブ５が傾斜している。すなわち、本形態では、ある後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖは、その後端側挿通孔２０に挿通されるプローブ５が接触する端子６０の長手方向にほぼ沿うように、先端側挿通孔１３のプローブ案内方向に対して傾斜している。具体的には、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５が挿通される後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖは、Ｙ方向（より具体的にはＹＺ平面）にほぼ沿って、かつ、支持板１５から支持板１７に向かうにしたがってＹ方向外側に広がるように傾斜する方向であり、第２プローブ群５Ｂを構成するプローブ５が挿通される後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖは、Ｘ方向（より具体的にはＺＸ平面）にほぼ沿って、かつ、支持板１５から支持板１７に向かうにしたがってＸ方向外側に広がるように傾斜する方向である。
【００４１】
また、各プローブ５では、先端側挿通孔１３に挿通された先端側部分５ｃが後端側挿通孔２０に挿通された後端側部分５ｄよりも後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖの傾斜方向にずれた位置に配置されている。すなわち、あるプローブ５の先端側部分５ｃが挿通される先端側挿通孔１３の後端側の開口位置（すなわち、支持板１２の貫通孔１２ａの開ロ位置）は、図６に示すように、そのプローブ５の後端側部分５ｄが挿通される後端側挿通孔２０から見て、後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖの傾斜側に配置されている。
【００４２】
プローブ５の後端５ｆは、上述のように球面状に形成されている。そのため、傾斜するプローブ案内方向Ｖを有する後端側挿通孔２０に沿ってプローブ５の後端側部分５ｄが傾斜しても、後端５ｆと電極７の表面の導電接触状態には影響を及ぼさない。
【００４３】
電極支持体６は、図２に示すように、複数の電極７を埋設した支持板２２、２３と、電極７に導電接続される配線２４を保持する支持板２５とが積層されて構成されている。配線２４は後述する検査装置３０の制御部３１に接続される。また、電極支持体６は後端側支持体３に対してボルト等の固定手段によって着脱可能に固定されている。
【００４４】
以上のように構成された検査冶具１は、以下のように組み立てられる。すなわち、まず、支持柱４によって先端側支持体２と後端側支持体３とを連結固定する。
【００４５】
その後、複数のプローブ５を先端側支持体２と後端側支持体３とに挿通する。具体的には、支持板１７が取り外された状態の後端側支持体３の後方から、先端側の絶縁被覆５ｂの端縁５ｇが小径孔１２ｂの開ロ縁１２ｄに当接するまで、プローブ５を差し込む。すなわち、プローブ５の先端部分５ｅが、後端側挿通孔２０、先端側支持体２と後端側支持体３との間の空間および先端側挿通孔１３を順次通過するように、プローブ５を差し込む。その後、支持板１７を固定する。
【００４６】
その後、電極支持体６を後端側支持体３に固定して、検査冶具１が完成する。
【００４７】
（検査装置の構成）
図７は、図１に示す検査冶具１を搭載した検査装置３０を示す概略構成図である。
【００４８】
本形態の検査冶具１は、図７に示すように、検査対象５０の電気的検査（具体的には、断線や短絡等の検査）を行う検査装置３０に搭載されて使用される。この検査装置３０は、検査対象５０の導通状態を判定する検査回路を含む電気的検査手段としての制御部３１と、制御部３１に接続される駆動部３２と、駆動部３２によって駆動される検査機構３３とを備えている。
【００４９】
検査機構３３は、検査冶具１が取り付けられる第１支持盤３４と、第１支持盤３４に対向配置される第２支持盤３５と、第１支持盤３４と第２支持盤３５とを相対的に接離可能に移動させる移動機構３６とを備えている。移動機構３６は、ボールネジ機構や油圧機構等によって構成され、駆動部３２によって駆動される。
【００５０】
第１支持盤３４に取付固定された検査冶具１の電極７は、配線２４およびこの配線２４に接続される配線３７を介して制御部３１に導電接続されている。また、第２支持盤３５上には検査対象５０が位置決めされた状態で載置固定される。具体的には、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５が第１端子群６０Ａを構成する端子６０に接触し、第２プローブ群５Ｂを構成するプローブ５が第２端子群６０Ｂを構成する端子６０に接触するように、第２支持盤３５上に検査対象５０が固定される。
【００５１】
この状態で、制御部３１の制御信号によって駆動部３２が移動機構３６を駆動し、第１支持盤３４が第２支持盤３５に向けて接近し、所定圧力で検査冶具１を検査対象５０に押し付ける。検査冶具１を検査対象５０に押し付けると、検査冶具１の各プローブ５は、検査対象５０の端子６０に接触し、先端側支持体２に向かって押し込まれる。また、各プローブ５は端子６０に導通する。この状態で、制御部３１が配線３７を介して検査冶具１に対して所定の信号を供給したり、検査冶具１で検出した電位等を受け取ったりすることで、検査対象５０の電気的試験が行われる。
【００５２】
（検査対象の検査時のプローブの動き）
図８は、図７に示す検査装置３０で検査対象５０を検査するときのプローブ５の動きを説明するための図であり、（Ａ）はプローブ５の先端５ｅが端子６０に接触する前の状態を端子６０の短手方向から示し、（Ｂ）はプローブ５の先端５ｅが端子６０に接触している状態を端子６０の短手方向から示し、（Ｃ）はプローブ５の先端５ｅが端子６０に接触している状態を端子６０の長手方向（すなわち、（Ｂ）のＦ−Ｆ方向）から示す。なお、図８では、絶縁被覆５ｂの図示を省略している。
【００５３】
本形態の検査冶具１では、先端側支持体２と後端側支持体３との間にあるプローブ５の中間部分は、後端側挿通孔２０に沿って後端側部分５ｄが傾斜した方向に傾斜して伸び、そのまま先端側挿通孔１３に挿通された状態となる。そのため、検査対象５０の検査時に、プローブ５の先端５ｅが端子６０に接触して先端側支持体２に向かって押し込まれると、傾斜姿勢にあったプローブ５の中間部分は撓む（屈曲する）。
【００５４】
この屈曲時のプローブ５の中間部分の撓み方向は、プローブ５の傾斜方向（すなわち、そのプローブ５が挿通される後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖ）に応じた方向となる。具体的には、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５はＹＺ平面にほぼ沿って撓み、第２プローブ群５Ｂを構成するプローブ５はＺＸ平面にほぼ沿って撓む。
【００５５】
そのため、プローブ５の先端５ｅが端子６０に接触すると、図８（Ｂ）に示すように、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５の先端側部分５ｃは、先端側挿通孔１３内で第１端子群６０Ａを構成する端子６０の長手方向（より具体的には、ＹＺ平面）にほぼ沿って動き、第２プローブ群５Ｂを構成するプローブ５の先端側部分５ｃは、先端側挿通孔１３内で第２端子群６０Ｂを構成する端子６０の長手方向（より具体的には、ＺＸ平面）にほぼ沿って動く。すなわち、このときには、図８（Ｃ）に示すように、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５の先端側部分５ｃは、先端側挿通孔１３内で第１端子群６０Ａを構成する端子６０の短手方向にはほとんど動かず、第２プローブ群５Ｂを構成するプローブ５の先端側部分５ｃは、先端側挿通孔１３内で第２端子群６０Ｂを構成する端子６０の短手方向にはほとんど動かない。
【００５６】
したがって、プローブ５の先端５ｅが端子６０に接触すると、図８（Ｂ）に示すように、先端５ｅは、小径孔１２ｂの図示下端を支点として、端子６０のほぼ長手方向に沿ってずれる。一方、先端５ｅが端子６０に接触しても、図８（Ｃ）に示すように、先端５ｅは、端子６０の短手方向に沿ってずれることはほとんどない。
【００５７】
（本形態の効果）
以上説明したように、本形態では、後端側支持体３に、先端側挿通孔１３のプローブ案内方向に対して端子６０の長手方向（より具体的には、先端側挿通孔１３のプローブ案内方向（Ｚ方向）と端子６０の長手方向とから形成されるＹＺ平面あるいはＺＸ平面）にほぼ沿って傾斜するプローブ案内方向Ｖを有する後端側挿通孔２０が形成されている。また、プローブ５の先端側部分５ｃは、後端側部分５ｄに対して後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖに傾斜する側にずれた位置に配置されている。
【００５８】
そのため、プローブ５の先端５ｅが検査対象５０側において出没可能となるように（すなわち、先端５ｅが先端側支持体２に向かって押し込まれるように）先端側挿通孔１３がプローブ５の径（具体的には、導電ワイヤ５ａの径）より大きく形成される場合であっても、上述のように、先端５ｅが端子６０に接触して、先端側支持板２と後端側支持板３との隙間に配置されるプローブ５の中間部分が屈曲したときには、端子６０に接触する先端５ｅは、端子６０のほぼ長手方向に沿ってずれ、端子６０の短手方向に沿ってずれることはあまりない。
【００５９】
その結果、本形態では、端子６０の短手方向の幅Ｗ２がたとえば、２０〜３０μｍと非常に狭い場合であっても、検査対象５０の検査時に、プローブ５の先端５ｅを端子６０に確実に接触させることができ、検査対象５０の適切な検査を行うことができる。
【００６０】
特に本形態では、長手方向が異なる第１端子群６０Ａを構成する端子６０および第２端子群６０Ｂを構成する端子６０に接触するプローブ５の後端側部分５ｄのそれぞれは、プローブ５のそれぞれが接触する端子６０の長手方向にほぼ沿って傾斜する後端側挿通孔２０に挿通されている。そのため、検査対象５０に長手方向が異なる複数の端子６０が形成される場合であっても、プローブ５の先端５ｅを端子６０に確実に接触させて、検査対象５０の適切な検査を行うことができる。
【００６１】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形可能である。
【００６２】
上述した形態では、検査対象５０に、検査対象５０の４辺に沿って一列の直線状に配置される複数の端子６０が形成されている。この他にもたとえば、図９の示すように、検査対象５０の４辺に沿って二列（あるいは二列以上の複数列）の直線状に配置される複数の端子６０が検査対象５０に形成されても良い。また、図１０に示すように、検査対象５０の１辺に沿って一列（あるいは複数列）の直線状に配置される複数の端子６０が検査対象５０に形成されても良い。さらに、検査対象５０の２辺あるいは３辺に沿って一列あるいは複数列の直線状に配置される複数の端子６０が検査対象５０に形成されても良い。また、検査対象５０の４辺の少なくともいずれかの辺に沿うように略円弧状に配置される複数の端子６０が検査対象５０に形成されても良い。さらに、検査対象５０は、矩形の板状に形成されていなくても良く、また、検査対象５０には、任意の配列パターンで端子６０が形成されても良い。
【００６３】
なお、これらの場合には、複数のプローブ５の後端側部分５ｄは、それぞれのプローブ５が接触する端子６０の長手方向に沿ってほぼ傾斜する後端側挿通孔２０に挿通される。
【００６４】
上述した形態では、細長い長方形状に形成された端子６０が検査対象５０に形成されている。この他にもたとえば、図１１（Ａ）に示すように、幅の広い幅広部６１ａと幅広部６１ａよりも幅の狭い幅狭部６１ｂを有する細長状の端子６１が検査対象５０に形成されても良い。また、図１１（Ｂ）に示すように、陸上競技用のトラック形状のような細長状の端子６２が検査対象５０に形成されても良いし、図１１（Ｃ）に示すように、楕円形状の端子６３が検査対象５０に形成されても良い。
【００６５】
また、上述した形態では、Ｘ方向あるいはＹ方向が端子６０の長手方向、短手方向となっているが、Ｘ方向あるいはＹ方向に対して傾斜する方向が端子６０の長手方向、短手方向となっても良い。
【００６６】
上述した形態では、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５は、先端側支持体２から後端側支持体３へ向かうにしたがってＹ方向外側に広がるように、先端側支持体２および後端側支持体３に挿通されている。この他にもたとえば、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５は、先端側支持体２から後端側支持体３へ向かうにしたがってＹ方向内側に狭まるように、先端側支持体２および後端側支持体３に挿通されても良い。
【００６７】
また、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５であって、Ｘ方向で互いに隣接する一方のプローブ５が先端側支持体２から後端側支持体３へ向かうにしたがってＹ方向外側に広がるように、先端側支持体２および後端側支持体３に挿通され、Ｘ方向で互いに隣接する他方のプローブ５が先端側支持体２から後端側支持体３へ向かうにしたがってＹ方向内側に狭まるように、先端側支持体２および後端側支持体３に挿通されても良い。すなわち、第１プローブ群５Ａを構成するプローブ５の後端５ｆが千鳥配列されるように、プローブ５が先端側支持体２および後端側支持体３に挿通されても良い。
【００６８】
同様に、第２プローブ群５Ｂを構成するプローブ５は、先端側支持体２から後端側支持体３へ向かうにしたがってＸ方向内側に狭まるように、先端側支持体２および後端側支持体３に挿通されても良いし、第２プローブ群５Ｂを構成するプローブ５の後端５ｆが千鳥配列されるように、プローブ５が先端側支持体２および後端側支持体３に挿通されても良い。
【００６９】
上述した形態では、３枚の支持板１０〜１２によって先端側支持体２が構成されている。この他にもたとえば、２枚以下あるいは４枚以上の支持板で先端側支持体２が構成されても良い。同様に、上述した形態では、３枚の支持板１５〜１７によって後端側支持体３が構成されているが、２枚以下あるいは４枚以上の支持板で後端側支持体３が構成されても良い。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の実施の形態にかかる検査冶具の平面図である。
【図２】図１に示す検査冶具の側面図である。
【図３】図１に示す検査冶具で検査が行われる検査対象を示す平面図である。
【図４】図３のＥ部を拡大して示す拡大図である。
【図５】図１に示す先端側支持体の断面構造を示す拡大断面図である。
【図６】図１に示す後端側支持体の断面構造を示す拡大断面図である。
【図７】図１に示す検査冶具を搭載した検査装置を示す概略構成図である。
【図８】図７に示す検査装置で検査対象を検査するときのプローブの動きを説明するための図であり、（Ａ）はプローブの先端が端子に接触する前の状態を端子の短手方向から示し、（Ｂ）はプローブの先端が端子に接触している状態を端子の短手方向から示し、（Ｃ）はプローブの先端が端子に接触している状態を端子の長手方向から示す。
【図９】本発明の他の実施の形態にかかる検査対象の端子の配列を示す図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態にかかる検査対象の端子の配列を示す図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態にかかる端子の形状を示す図である。
【符号の説明】
【００７１】
１  検査冶具
２  先端側支持体
３  後端側支持体
５  プローブ
５ｃ  先端側部分
５ｄ  後端側部分
５ｅ  先端
７  電極
１３  先端側挿通孔
２０  後端側挿通孔
３０  検査装置
３１  制御部（電気的検査手段）
５０  検査対象
６０、６１、６２、６３  端子
Ｖ  プローブ案内方向
【図１】
2009036532.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2009036532.tif 000008
【図７】
2009036532.tif 000009
【図８】
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【図９】
2009036532.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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