(57)【要約】【課題】スティクションを有効に回避する高周波スイッチを構成する。【解決手段】３枚の電極を配列させ、内側の１枚に貫通孔を設け、外側の２枚を静電力で駆動可能とし、静電力駆動された一方の外側電極と内側電極との間のギャップ内の気体圧力上昇を他方の外側電極に伝達することで、他方の外側電極をスティクションから解放する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極のうち外側２枚の電極が可動となるよう、前記外側２枚の電極が弾性的に懸架されるとともに、隣接する２つの面がそれぞれ相対向するように配列された３枚の電極と、
前記外側２枚の電極にはさまれるように内側に配された電極に設けられた貫通孔と、
前記貫通孔および前記３枚の電極間に充填された気体と、
前記３枚の電極に電位を与える電圧供給部とで構成され、
前記３枚の電極の相対する電極間距離を電位差による静電気力で変化させることで、前記３枚の電極を入出力端子として電気信号の開閉を行うスイッチ機能を発現するスイッチ。
【請求項２】
請求項１に記載のスイッチであって、
前記貫通孔は、等距離間隔、または等角度間隔で配列された複数個の貫通孔を具備してなるスイッチ。
【請求項３】
請求項２に記載のスイッチであって、
前記電極のうち外側に位置する電極が、前記電極のうち内側に位置する電極に設けられた貫通孔とは対面しない位置に貫通孔を具備したスイッチ。
【請求項４】
請求項１に記載のスイッチであって、
前記電極のうち外側に位置する電極が椀状の曲面形状を有するスイッチ。
【請求項５】
請求項４に記載のスイッチであって、
前記電極のうち外側に位置する電極が、スリットを具備したスイッチ。
【請求項６】
請求項１に記載のスイッチであって、
前記外側の電極は可撓性部材で形成されることでばね力を発現するスイッチ。
【請求項７】
請求項１に記載のスイッチであって、
前記外側の電極は可撓性部材で構成されたばねによって懸架されたスイッチ。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載のスイッチであって、
前記スイッチ機能は前記電極のうちの少なくとも２つの電極間の電気的結合により発現するスイッチ。
【請求項９】
請求項８に記載のスイッチであって、
前記スイッチ機能は前記電極のうちの外側に位置する電極の一方と、内側に位置する電極との間の電気的結合により発現するスイッチ。
【請求項１０】
請求項８に記載のスイッチであって、
前記スイッチ機能は前記電極のうちの外側に位置する電極間の電気的結合で発現するスイッチ。
【請求項１１】
請求項８乃至１０のいずれかに記載のスイッチであって、
前記スイッチ機能は前記電極間の容量結合により発現するスイッチ。
【請求項１２】
請求項８乃至１０のいずれかに記載のスイッチであって、
前記スイッチ機能は前記電極間のオーミック結合により発現するスイッチ。
【請求項１３】
請求項１に記載のスイッチであって、
前記電圧供給部は、
外側の電極と内側の電極が接触している状態で、他方の外側の電圧に電圧を印加し、他方の外側の電極が内側の電極に接触する程度の静電力を生起するように、他方の外側の電圧に所定の電圧を印加し、
他方の外側の電極が内側の電極に接触する際の電極間に存在する気体を圧縮し、前記貫通孔を介して圧縮された気体が前記外側の電極を引き離す方向に力を与えるように構成されたスイッチ。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれかに記載のスイッチを用いた高周波スイッチ。
【請求項１５】
請求項１４記載の高周波スイッチを搭載した無線端末。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスイッチ及びこれを用いた無線端末に係り、メカニカルスイッチ、特に高周波用スイッチであって、高密度に集積化された電気回路内において、高性能のスイッチ回路を実現するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のスイッチについて図８および図９を参照して説明する。図８はＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて基板１０１上に作製された一般的なスイッチ構造を示す図である。シリコンまたは金属等からなる一端を基板１０１上に固定された片持ち梁は、基板１０１上の駆動電極１０２からの静電力を受けてたわみ、上部電極１０４と下部電極１０３とを閉じる。この接触面は抵抗結合を行う。１０１Ｓは基板表面を覆う絶縁膜である。また図９は容量結合型のスイッチであり、梁自身で構成された上部電極１０４と駆動用を兼ねた下部電極（駆動用電極）１０３間のＤＣ電圧印加により、両者が絶縁層１０６を介して接触する。スイッチ開閉時の容量変化を適切に設けることにより、高周波用のスイッチとして利用可能な構造である。なお、スイッチの構造は片持ち梁以外に、両持ち梁やメンブレン構造でもよい。
【０００３】
これらＭＥＭＳスイッチでは、スティクションと呼ばれる現象が課題とされる。この現象は、図８、及び図９のスイッチ構造でスイッチが閉じたときの接触面に結合力が生じ、静電力を切り離しても梁のばね性の復元力ではスイッチを開くことが不可能になる現象である。この接触面に働く結合力としてファンデルワールス力や水分子の付着力などが提案されている。
【０００４】
キャピラリフォースに打ち勝つために梁のばね力を強める方法があるが、ばね力を強めると、静電力でスイッチを閉じる際に必要な電圧が高くなる。一般的に数十〜数百ボルトの高電圧発生源を必要とする。
【０００５】
このスティクション回避法として、図１０のようなシーソー型も考えられている。梁で構成された上部電極１０４Ｓの長さ中心部は支持柱１０７によって基板１０１上に弾性支持されており、この中心部を支点に梁の一方を基板方向に静電力で引き寄せた際にスティクションを生じても、支点と反対側の梁を基板１０１側に引き寄せることでスティクションを強制的に解除する方法である。この構成によると図１０（ｂ）の矢印の信号伝達方向と、図１０（ｃ）の信号伝達方向の２方向を切り替えられる単極双投（ＳＰＤＴ：Single Pole Double Throw）スイッチを構成している。ただし、この構造でも、支点を中心にはねあがった梁は図１０（ａ）におけるギャップをｇとすると、図１０（ｂ）に示したように支点を中心にはねあがった梁を静電力で基板側に引き込むには、ギャップ２ｇ離れた距離に静電力を作用させなければならないので、高電圧およびその高電圧発生源を必要とする。
【０００６】
別のスティクション回避法として、図１１のように基板に対して中空の３層電極構造も考えられている。下部電極１０３、上部電極１０４は固定されていて、中間電極が駆動電極１０２として可撓性を有する梁やメンブレンで構成されている。図１１の中間電極は片持ち梁である場合の例である。この構成でも図１０（ｂ）（ｃ）に示した２方向切替のＳＰＤＴ構成と同様のスイッチとなっている。中間層電極の片持ち梁が下部電極１０３もしくは上部電極１０４に接触してスティクションしても、他方の電極で引き戻すことができるが、図１０に示したシーソ−型のスイッチと同様、２ｇ分遠のいた中間層を静電力で引き込むには高電圧が必要となることから、そのための高電圧発生源を必要とする。なお、ＳＰＤＴ構成を目的としてはいないが、３層電極構造のスイッチ構成は、非特許文献１に開示されている。
【０００７】
【特許文献１】国際公開第02/073673 A1号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述したように、図１０のシーソー構造または図１１の３層構造でＳＰＤＴスイッチを構成することで、スティクションを回避することができるが、高電圧およびその高電圧発生源が必要となる。
本発明は、前記実情に鑑みてなされたもので、高電圧およびその高電圧発生源を必要とせず、スティクションを有効に回避することの可能なスイッチを構成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明者は種々の実験を重ねた結果、静電力が可動電極を動作させる際にきわめて大きな空気の反発力が作用することに注目し、この反発力を有効に利用してスティクション状態から復帰可能な簡易なスイッチ構造を提供するものである。
本発明のスイッチは、電極のうち外側２枚の電極が可動となるよう、前記外側２枚の電極が弾性的に懸架されるとともに、隣接する２つの面が相対するように配列された３枚の電極と、前記外側２枚の電極にはさまれるように内側に配された電極に設けられた貫通孔と、前記貫通孔および前記３枚の電極間に充填される気体と、前記３枚の電極に電位を与える電圧供給部とで構成され、前記３枚の電極のうち２枚の相対距離を電位差による静電気力で変化させることで、前記３枚の電極を入出力端子として電気信号の開閉を行うスイッチ機能を発現することを特徴とする。
この構成によれば、外側の電極が静電力で駆動され、内側の電極に接触する過程で、前記気体が圧縮されて、圧力が増大する。この圧力が、前記貫通孔を介して、他方の外側の電極を内側の電極から離れる方向に力を及ぼす。このため、他方の外側の電極はスティクションから解放される。
【００１０】
また本発明のスイッチは、等距離間隔、または等角度間隔で配列された複数個の貫通孔を具備してなるものを含む。
この構成によれば、内側の電極に接触している外側の電極に貫通孔を通して気体の圧力を一様に印加することができるので、接触していた外側の電極を内側の電極との接触状態から一様に解放し、該外側の電極を懸架するばね力で内側の電極から離れる方向に移動させることができる、すなわち高速にスティクション状態から離脱可能となり、スイッチ動作の高速化がなされる。
【００１１】
また本発明のスイッチは、前記電極のうち外側に位置する電極が、前記電極のうち内側に位置する電極に設けられた貫通孔とは対面しない位置に貫通孔を具備したものを含む。
この構成によれば、外側の電極の貫通孔により外側の電極の移動速度が高速化されるとともに、内側の電極の貫通孔の介する空気の圧力伝達も確保することができる。
【００１２】
また本発明のスイッチは、前記電極のうち外側に位置する電極が椀状の曲面形状を有するものを含む。
この構成によれば、気体の圧力損失を低減し、圧力を有効に内側の電極内の貫通孔を介して他方の外側の電極に作用させることができる。
【００１３】
また本発明のスイッチは、前記電極のうち外側に位置する２枚の電極が、スリットを具備したものを含む。
この構成によれば、外側の電極と内側の電極の接触時の接触面積の確保をより確実とし、両電極間の静電容量または、両者間の導電率を確保し、スイッチとしての電気信号伝達性を損なわない。
【００１４】
また本発明のスイッチは、前記外側の電極は可撓性部材で形成されることでばね力を発現するものを含む。
この構成によれば、前記ばね力は、前記外側２枚の電極の可撓性により発現されるもの、すなわち前記外側２枚の電極自体がばねで構成されることで、製造も容易でかつ構造も簡単で、高速応答性に優れた電気機械スイッチを提供することが可能となる。
また本発明のスイッチは、前記外側の電極が可撓性部材で構成されたばねによって懸架されたものを含む。
この構成によれば、前記ばね力は、前記外側２枚の電極を支持する支持部材の可撓性により発現されるもので、電極は導電性や接触性に優れた材料で構成し、支持部材はばね性に優れた構成とすることで、信頼性の高いスイッチを提供することが可能となる。
【００１５】
また本発明のスイッチは、前記スイッチ機能が前記電極のうちの少なくとも２つの電極間の電気的結合により発現するものを含む。
【００１６】
また本発明のスイッチは、前記スイッチ機能は前記電極のうちの外側に位置する電極の一方と、内側に位置する電極との間の電気的結合により発現するものを含む。
【００１７】
また本発明のスイッチは、前記スイッチ機能は前記電極のうちの外側に位置する電極間の電気的結合で発現するものを含む。
【００１８】
また本発明のスイッチは、前記スイッチ機能は前記電極間の容量結合により発現するものを含む。この構成によれば、外側の電極と内側の電極が静電容量を形成する、容量結合型スイッチを構成することからスイッチ自体に周波数選択性、すなわちフィルタ特性を持たせることができ、不要周波数帯域をスイッチ自体で減衰させることができるという効果を奏功する。
【００１９】
また本発明のスイッチは、前記スイッチ機能は前記電極間のオーミック結合により発現するものを含む。この構成によれば、外側の電極と内側の電極との接触によりオーミック結合を行う、抵抗結合型スイッチを構成することから、ＤＣ領域から広い周波数帯域に渡って一様に低損失な信号伝達と、高いアイソレーションの信号遮断を切り替えることができるという効果を奏功する。
【００２０】
また本発明のスイッチは、前記電圧供給部が、外側の電極と内側の電極が接触している状態で、他方の外側の電圧に電圧を印加し、他方の外側の電極が内側の電極に接触する程度の静電力を生起するように、他方の外側の電圧に所定の電圧を印加し、他方の外側の電極が内側の電極に接触する際の電極間に存在する気体を圧縮し、前記貫通孔を介して圧縮された気体が前記外側の電極を引き離す方向に力を与えるように構成されたものを含む。
【００２１】
また、本発明のスイッチは、高周波スイッチを含む。
また、本発明のスイッチは、高周波スイッチを搭載した無線端末を含む。
イッチは、高周波スイッチを搭載した無線端末を含む。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のスイッチの構成によれば、スティクションの回避が可能で高信頼性を有するスイッチおよびそれを用いた無線端末を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
（実施の形態１）
図１（ａ）は、本発明の実施の形態１におけるスイッチの構成の説明図である。本発明のスイッチは、電極のうち外側２枚の電極すなわち外側電極１ａ、１ｂが可動となるよう、前記外側電極１ａ、１ｂ２枚の電極が弾性的に懸架され、隣接する２つの面が相対するように配列された３枚の電極１ａ、１ｂ、２と、前記外側２枚の電極にはさまれるように内側に配された電極すなわち内側電極２に設けられた貫通孔３と、前記貫通孔３および前記３枚の電極間に充填される気体と、前記３枚の電極１ａ、１ｂ、２に電位を与える電圧供給部７とで構成され、前記３枚の電極１ａ、１ｂ、２のうち２枚の相対距離を電位差による静電気力で変化させることで、前記３枚の電極１ａ、１ｂ、２を入出力端子として電気信号の開閉を行うスイッチ機能を発現することを特徴とする。
【００２４】
ここでは、外側電極１ａ、１ｂと内側電極２がそれぞれの面が対向するように配列されている。外側電極１ａ、１ｂはばね３により懸架されている。図では外側電極１ａ、１ｂは円形であり、その周囲３方向にばね３によって懸架されている。
【００２５】
内側電極２には貫通孔３が設けられている。本実施の形態では内側電極は円形であり、貫通孔は中心に１個、他３個が等ピッチ円周上に配列されている。外側電極１ａ、１ｂおよび内側電極２の間は気体が満たされている。また外側電極１ａ，１ｂおよび内側電極２にはそれぞれに信号線５が接続され、端子６を介して信号の入出力が行われる。電圧供給部７は信号線５に直流電位を与える機能を有する。信号線５が高周波信号である場合は、電圧供給部７は抵抗やインダクタなどの高インピーダンス素子を介した電源が一般的であり、信号線５を流れる高周波信号が電源供給部７に漏洩することなく外側電極１ａ，１ｂ、内側電極２の電位を制御することができる。
【００２６】
なお、ばね３に導電性を持たせて信号線５を兼用する構成でもよい。
【００２７】
図１（ｂ）は外側電極１ａと内側電極２の間に電位差を与え、静電力を発生させ、両者を接触させた状態を示す図である。図示はしていないが、外側電極１、内側電極２の接触面の少なくとも一方には絶縁膜を形成しており、接触しても電気的短絡は生じない状態としている。外側電極１ａ、内側電極２間の静電容量が増加するので、両者電極間を高周波信号が流れやすくなり、スイッチ動作を発現する。
【００２８】
図１（ｂ）の状態で外側電極１ａと内側電極２の間の電位差を解除しても外側電極１ａがばね３の復元力で接触状態から離脱できないスティクション状態になることがある。スティクションは接触面に働く結合力としてファンデルワールス力や水分子の付着力に起因すると考えられている。
【００２９】
図１（ｂ）の状態で内側電極２と外側電極１ｂの間に電位差を与え、外側電極１ｂを静電力で内側電極２に接触動作させる。その過程で内側電極２と外側電極１ｂの間の気体が圧縮され、圧縮された気体は内側電極２の貫通孔４を介して外側電極１ａに圧力を伝達し、その圧力によって外側電極１ａは内側電極２との接触状態から離脱することが可能となる。結果図１（ｃ）のように、外側電極１ａは復元状態となり、内側電極２と外側電極１ｂが接触状態となる。従って、内側電極２と外側電極１ｂ間を高周波信号が流れやすくなり、スイッチ動作を発現する。
【００３０】
図２は外側電極１ｂが内側電極２に静電力により引き寄せられ、接触するまでの時間経過を示す図である。図２（ａ）は外側電極１ｂと内側電極２との距離の時間経過を示す。図２（ｂ）は外側電極１ｂの移動速度を、図２（ｃ）は外側電極１ｂの移動により圧縮された期待が貫通孔を介して、他方の外側電極１ａに及ぼす力を示している。図２（ａ）に示すように、外側電極１ｂは静電力により内側電極２側に引き込まれ、特に接触間近になると電極間距離が小さくなることで静電力が増大し、極めて強い静電力を受けて加速される。その結果、図２（ｂ）に示すように外側電極１ｂの速度は漸増する。その結果、図２（ｃ）に示すように、接触間近になると、圧縮された気体の圧力が大きくなった状態で、内側電極２の貫通孔を介して反対側の外側電極１ａに力を及ぼし、その反対側の外側電極１ａは内側電極２との接触状態から解除される。
【００３１】
その結果、図１（ｂ）および（ｃ）に示すように、双方の外側電極１ａ、１ｂが内側電極２に接触する状態を交互に繰り返すことが可能となり、内側電極２上の信号は外側電極１ａ、１ｂのどちらか一方と信号伝達の選択ができるＳＰＤＴ型のスイッチを構成することができる。
【００３２】
あるいは、外側電極１ａ、１ｂのどちらか一方を信号電極とし他方をスティクション防止用の補助電極としたＳＰＳＴ（Single Pole Single Throw）スイッチとしてもよい。例えば外側電極１ａと内側電極２とが接触することで信号伝達を行う場合、信号伝達が終了し、ＯＦＦとする際、外側電極１ｂを駆動し、内側電極２に形成された貫通孔を介して圧縮空気を噴出することでスティクション防止を実現するようにしてもよい。
【００３３】
なお、本実施の形態における電極形状は円としたが、多角形としてもよい。
なお、本実施の形態における内側電極２内の貫通孔４（４ｉ、４ａ、４ｂ、４ｃ）は、電極中心に１個と等角度間隔で３個配置しているが個数が限定されるものではない。また貫通孔は等距離間隔で配列されてもよい。
【００３４】
なお、外側電極に貫通孔を配置してもよい。そのときは図３（ａ）の内側電極の貫通孔に対して、図３（ｂ）のように外側電極の貫通孔が内側電極の貫通孔に対面しないように等角度間隔で３個の貫通孔（４Ａ、４B、４Ｃ）を配置する。外側電極に貫通孔を設けることで、外側電極の駆動に対する気体の粘性抵抗を低減し、外側電極の移動速度を増加させる、すなわちスイッチング速度を速める効果を得ながら、かつ外側電極の貫通孔がない面で外側電極と内側電極の間の気体を圧縮し、その圧力を内側電極の貫通孔を介して他方の外側電極に伝達することが可能となる。また、貫通孔の存在により、電極自体の可撓性を高めることになり、電極間の接触時における密着性が向上し、接触面積の増大をはかることができる。
【００３５】
なお、本実施の形態におけるばね３はその種類を限定されるものではなく、板ばね、うずまきばね、ミアンダばね、コイル状ばね等が使用可能である。
また、本実施の形態におけるスイッチは容量結合型のスイッチとしたが、電極間に形成した絶縁膜を除去し直接電極同士が接触するようにし、オーミック結合によるスイッチを実現するようにしてもよい。
【００３６】
なお、本実施の形態において、外側電極１とばね３は別の構成要素としたが、ばね３の機能を外側電極１の可撓性に持たせてもよい。すなわち外側電極１の全部または一部を、可撓性を有する梁やメンブレンとすることで、外側電極１とばね３を一体化した小型のスイッチ構成を実現することができる。
【００３７】
以下、本発明の実施の形態１のスイッチを具現化例について実施例１として説明する。図４は本発明の実施例１の外側電極を弾性部材で構成した両持ち梁とした場合の構成の説明図である。図４（ａ）は上面図、図４（ｂ）（ｃ）は側面図である。図４（ａ）に示すように外側電極１１は両持ち梁構成としている。図４（ｂ）に示すようにこのスイッチはシリコン基板などの基板１０を基材として形成されたＭＥＭＳデバイスであり、外側電極１１ａ、１１ｂ、および表面に絶縁膜１５を形成された内側電極１２で気体が充満されたギャップを介して３層構造の電極配列構成をとっている。内側電極１２および絶縁膜１５には貫通孔１４が設けられている。図４（ｃ）では外側電極１１ａ、１１ｂの一方である１１ｂが内側電極１２と接触した状態を示している。このように外側電極自体がばね性を持って撓む構成でも、その外側電極の変形に伴う気体の圧縮により、貫通孔１４を介して他方の外側電極１１ａ、１１ｂへの駆動力を作用させることができる。
【００３８】
（実施の形態２）
次に本発明の実施の形態２について説明する。本実施の形態では、実施の形態１と同様の構成であるが、気体の圧力損失を低減するために椀状の外部電極構造を具備したスイッチ構造に関する。
図５は、本発明の実施の形態１のスイッチ構成図１において、外側電極と内側電極の間の気体の圧力損失が低減される構成の説明図である。図５（ａ）の全体構成は実施の形態１を示す図１と同様であるが、外側電極１ａ、１ｂは、図５（ｂ）の側面断面図に示すように、椀状の曲面形状を有している。
【００３９】
図５（ｃ）は、外側電極１ｂが内側電極２に静電力により引き寄せられる過程を示している。外側電極１ｂと内側電極２の間の気体は外側電極の移動により圧縮を受ける。また外側電極１ｂが椀状になっているので気体は外側電極１ｂに捕捉されやすい。すなわち外側電極の周縁から外側にギャップ内の気体が漏洩されにくい構成となっているため、ギャップ間の気体は外側電極１ｂにより圧縮され、その圧力は貫通孔４を介して他方の外側電極１ａに効果的に伝達することができる。
【００４０】
なおこの椀状の外側電極の形状は、外側電極膜の厚み方向に応力勾配を持たせることで形成可能である。もしくは、残留応力の異なる膜を複数層成膜することによっても形成可能である。例えば熱膨張係数の高い材料と低い材料を積層したり、あるいは成膜条件を成膜途中で変化させ残留応力が異なるように成膜した膜を外側電極として用いるようにする。
【００４１】
なお、図５（ｃ）に示すように外側電極１ａを内側電極２に隙間なく接触させるには、図６（ａ）および（ｂ）のように外側電極に放射状にスリットＳを入れても良い。これにより外側電極の椀状曲面形状による気体の捕捉効果を有しながら接触面積を保持することができる、すなわち接触時の外側電極と内側電極間静電容量を劣化させずに高周波信号の伝達を可能とすることができる。
【００４２】
なお、本実施の形態では、直線型のスリット形状を放射状に配置したが、その形状と配置方法は限定されるものではなく、円弧やうずまき状のスリット形状でもよい。
【００４３】
さらにまた前記実施の形態では、外側電極および内側電極そのものを駆動電極、スティクション防止用電極、信号電極として用いたが、信号電極は別途設けるようにしてもよい。
図７は図４の外側電極１１ａおよび１１ｂを片持ち梁構造とし、外側電極の先端が接点を形成し、別途絶縁膜１５上に設けられた信号電極１６、１６’の開閉を行うように構成したものである。図７（ａ）は、上面図、図７（ｂ）は、一状態を示す断面図である。図４で示した動作と同様、内側電極１４および絶縁層１５に設けられた貫通孔１４を介して気体の圧力により外側電極１１ａと１１ｂが相補的な動作を行う。図７（ｂ）では外側電極１１ｂが内側電極１４側に静電力で引き込まれた状態を示している。外側電極１１の先端には、内側電極に向かう面に絶縁層と導電層を有しており、この導電層が離間した信号線１６、１６’に対して接触／非接触状態をなすように動作することで、信号線１６、１６’のＯｎ／Ｏｆｆ動作を実現する。このように外側電極１１および内側電極１２は、図７（ｂ）の接点ａおよび接点ｂを駆動するための機能とスティクションを防止するための機能が付与され、信号線上の信号のＯｎ／Ｏｆｆを行う機能は別途設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明にかかるスイッチは、半導体プロセスで作製可能な微細な可動電極構造体が静電力で駆動される際に、気体を介して別の可動電極を駆動する構造を利用したものであって、スティクションを回避し、信頼性の高いスイッチを実現するものであるため、携帯型無線端末に積載される高密度に集積化された高周波スイッチ回路等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態１におけるスイッチの（ａ）斜視図および（ｂ）横断面動作図および（ｃ）スティクション回避の説明図
【図２】外側電極の（ａ）移動および（ｂ）移動速度および（ｃ）気体が他の外側電極に及ぼす力の説明図
【図３】本発明の実施の形態１において、（ａ）内側電極への貫通孔に対する（ｂ）外側電極への貫通孔の灰地図
【図４】本発明の実施例１のスイッチにおける、外側電極を梁構造とし、ばねと外側電極を兼用した構成の説明図
【図５】本発明の実施の形態２におけるスイッチの（ａ）斜視図および（ｂ）横断面図および（ｃ）スイッチ動作説明図
【図６】本発明の実施の形態２において、外側電極に形成されるスリット形状を示す図
【図７】本発明の実施の形態２のスイッチの変形例を示す図
【図８】従来の抵抗接触型スイッチを示す概略図
【図９】従来の容量接触型スイッチを示す概略図
【図１０】従来のシーソー型スイッチを示す概略図
【図１１】従来の３層電極構造スイッチを示す概略図
【符号の説明】
【００４６】
１ａ、１ｂ  外側電極
２  内側電極
３  ばね
４  貫通孔
５  信号線
６  端子
７  電圧供給部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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