(57)【要約】【課題】高い耐候性を有するアンテナコアを提供すること。【解決手段】磁性部材と、磁性部材を封止するフィルムまたはチューブとを含み、フィルムまたはチューブのＪＩＳ  Ｋ７１２６に規定される水蒸気透過度が３．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下であることを有する特徴とするアンテナコア。【選択図】図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性部材と、前記磁性部材を封止するフィルムまたはチューブとを含み、前記フィルムまたは前記チューブのＪＩＳ  Ｋ７１２６に規定される水蒸気透過度が３．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下であることを特徴とするアンテナコア。
【請求項２】
前記磁性部材は非晶質金属薄帯と樹脂との積層体であることを特徴とする、請求項１に記載のアンテナコア。
【請求項３】
前記非晶質金属薄帯は、鉄（Ｆｅ）を含むことを特徴とする、請求項２に記載のアンテナコア。
【請求項４】
前記磁性部材は、非晶質金属粉末とバインダーとを含むことを特徴とする、請求項１に記載のアンテナコア。
【請求項５】
前記非晶質金属粉末は、非晶質金属、または非晶質金属とナノ結晶金属からなることを特徴とする請求項４に記載のアンテナコア。
【請求項６】
前記非晶質金属は、鉄（Ｆｅ）を含むことを特徴とする、請求項５に記載のアンテナコア。
【請求項７】
前記磁性部材は珪素鋼板と樹脂との積層体であることを特徴とする、請求項１に記載のアンテナコア。
【請求項８】
前記磁性部材は０．４Ｔ以上の最大磁束密度を有することを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のアンテナコア。
【請求項９】
前記磁性部材は細長形状であることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載のアンテナコア。
【請求項１０】
前記磁性部材は湾曲した細長形状であることを特徴とする、請求項９に記載のアンテナコア。
【請求項１１】
前記磁性部材は、矩形の封筒状の前記フィルム、または前記チューブに収容されていることを特徴とする、請求項９または１０に記載のアンテナコア。
【請求項１２】
矩形の封筒状の前記フィルムは、前記磁性部材を挟んで２つ折りされ、３辺を密着された１枚のフィルムからなることを特徴とする、請求項１１に記載のアンテナコア。
【請求項１３】
矩形の封筒状の前記フィルムは、前記磁性部材を挟んで重ねられ、４辺を密着された、２枚のフィルムからなることを特徴とする、請求項９または１０に記載のアンテナコア。
【請求項１４】
前記フィルムが前記磁性部材に巻回され、前記フィルムの巻回方向の始端に終端が重ね合わされて前記フィルムの筒状体が形成され、前記重ね合わせ部が相互に密着され、前記フィルムの筒状体の前記磁性部材の両端がそれぞれ密着されていることを特徴とする、請求項９または１０に記載のアンテナコア。
【請求項１５】
前記チューブは前記磁性部材を内包し、前記チューブの両端は密着されていることを特徴とする、請求項９または１０に記載のアンテナコア。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載のアンテナコアと、前記アンテナコアに巻回された導線とを備えることを特徴とする、アンテナ。
【請求項１７】
前記アンテナが車載用アンテナであることを特徴とする、請求項１６に記載のアンテナ。
【請求項１８】
前記アンテナが車載用キーレスエントリーシステム用のアンテナであることを特徴とする、請求項１６に記載のアンテナ。
【請求項１９】
請求項１６に記載のアンテナを用いたことを特徴とする、車載用キーレスエントリーシステム。
【請求項２０】
磁性部材をフィルムまたはチューブで封止する工程を含み、前記フィルムまたは前記チューブのＪＩＳ  Ｋ７１２６に規定される水蒸気透過度が３．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下であることを有する特徴とするアンテナコアの製造方法。
【請求項２１】
前記磁性部材は細長形状であることを特徴とする、請求項２０に記載のアンテナコアの製造方法。
【請求項２２】
磁性部材をフィルムで封止する前記工程は、１枚の前記フィルムを２つ折りにし、２辺を密着して開口部を有する矩形の封筒状にする工程と、矩形の封筒状の前記フィルムに前記磁性部材を収容する工程と、前記開口部を密着する工程とを含むことを特徴とする、請求項２１に記載のアンテナコアの製造方法。
【請求項２３】
磁性部材をフィルムで封止する前記工程は、２枚の前記フィルムを重ね、３辺を密着して開口部を有する矩形の封筒状にする工程と、矩形の封筒状の前記フィルムに前記磁性部材を収容する工程と、前記開口部を密着する工程とを含むことを特徴とする、請求項２１に記載のアンテナコアの製造方法。
【請求項２４】
磁性部材をフィルムで封止する前記工程は、１枚の前記フィルムを前記磁性部材に巻回して、前記フィルムの巻回方向の始端に終端を重ね合わせて前記フィルムの筒状体を形成する工程と、前記フィルムの重ね合わせ部を密着する工程と、前記フィルムの筒状体の前記磁性部材の両端を密着する工程とを含むことを特徴とする、請求項２１に記載のアンテナコアの製造方法。
【請求項２５】
磁性部材をチューブで封止する前記工程は、開口部を有する前記チューブに前記磁性部材を収容する工程と、前記開口部を密着する工程とを含むことを特徴とする、請求項２１に記載のアンテナコアの製造方法。
【請求項２６】
磁性部材をフィルムまたはチューブで封止する前記工程は、減圧下で行われることを特徴とする、請求項２０〜２５のいずれか１項に記載のアンテナコアの製造方法。
【請求項２７】
請求項２０〜２６のいずれか１項に記載のアンテナコアの製造方法により得られたアンテナコア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アンテナコア、これを用いたアンテナ、およびこれらの製造方法に関する。より詳細には、自動車、二輪車、住宅用ドアに搭載されるアンテナおよびキーレスエントリーシステムに好適に使用されるアンテナコアに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、キーレスエントリーシステム（以下、ＫＬＥＳと記す）や、特開平５−１２６６６６号公報（特許文献１）に開示されるタイヤ空気圧モニタリングシステム（以下、ＴＰＭＳと記す）等のように、外部との情報のやりとりを行う車載システムが開発され、普及している。こうしたシステムの多くには、３０〜３００ｋＨｚの長波帯の電波が利用され、このような周波数領域に感度特性を有するアンテナが使用されている。
【０００３】
これらのアンテナの設置箇所としては、ＫＬＥＳ用のアンテナにおいてはドアハンドル内やドアミラー内であり、ＴＰＭＳ用のアンテナにおいてはタイヤハウジングの近傍である。また、自動車の居住空間を大きくするためや意匠性から、アンテナ部品については一層の小型化が要求される。一般に、アンテナ部品の小型化は、アンテナ特性とトレードオフの関係にあり、アンテナコアを小型化するとアンテナの送受信特性は低下する。従って、小型化してもシステムの性能を低下させないためにはアンテナ特性を向上させる必要がある。
【０００４】
こうした市場の要求に対して、特開２００１−３４５６１５号公報（特許文献２）には、フェライトコアを樹脂製のケースに収めてポッティングを施したドアハンドル内蔵アンテナが開示されている。また特開平１１−４２９７７号公報（特許文献３）や、特開２００６−２７０６２３号公報（特許文献４）には、ドアミラーの筐体内に設置するアンテナが開示されている。また、小型化に対応可能な車載用アンテナコイルとしては、特開２００５−２２９５７７号公報（特許文献５）に開示されるものがある。
【０００５】
さらに小型化・薄型化を目的とした非晶質金属部材を用いるアンテナとしては、特開２０００−４８１５２号公報（特許文献６）に保護用プラスチックフィルムでラミネート加工されたデータキャリア用アンテナが記載されている。
【０００６】
特開２００３−２８３２３１号公報（特許文献７）には、樹脂ポッティング材またはホットメルト材でモールドされた自動車用のアンテナコアが記載されている。特許文献７では、コア部およびコイル部を型内にセットした後、型にポッティング材またはホットメルト材を注入してモールドして、耐衝撃性に優れたアンテナを製造する方法が記載されている。
【特許文献１】特開平５−１２６６６６号公報
【特許文献２】特開２００１−３４５６１５号公報
【特許文献３】特開平１１−４２９７７号公報
【特許文献４】特開２００６−２７０６２３号公報
【特許文献５】特開２００５−２２９５７７号公報
【特許文献６】特開２０００−４８１５２号公報
【特許文献７】特開２００３−２８３２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
例えば、アンテナを車載用として用いた場合、その設置場所は、風雨や塩水等に曝される車体外部に隣接し、外部環境から完全には遮断されにくい箇所である。
アンテナコアをこのような車載用途に用いた場合、使用しているうちに、アンテナ特性が経時的に低下することが本発明者の検討により明らかになった。この原因についてさらに解析を進めた結果、使用時におけるアンテナコアの吸湿が原因となってアンテナ特性が低下することが明らかになった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、かかる新規な知見に基づいてなされたものであり、磁性部材と、前記磁性部材を封止するフィルムまたはチューブとを含み、前記フィルムまたは前記チューブのＪＩＳ  Ｋ７１２６に規定される水蒸気透過度が３．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下であることを有する特徴とするアンテナコアを提供するものである。
【０００９】
従来、エポキシ樹脂からなるポッティング材を用いて封止する方法が知られていた。この方法では、アンテナコアが外界から遮断される構造となる。しかしながら、本発明者の検討によれば、このような封止方法を採用しても充分な防湿効果が得られないことが確認されている。その原因としては、アンテナコアに直接樹脂を塗布して、硬化する方法では、樹脂が硬化する際、樹脂の収縮応力がアンテナコアにかかったり、樹脂の膨張係数とアンテナコアの線膨張係数の差による応力が樹脂とアンテナコアとの界面に発生し、アンテナコアと樹脂との間に隙間が生じるためであると考えられる。
【００１０】
これに対し本発明は、アンテナコアを特定の性状を有するフィルムまたはチューブにより封止する方式を採用する。
本発明で用いられるフィルムまたはチューブは、水蒸気透過度が所定の値以下のものとなっている。すなわち、本発明は、フィルムまたはチューブの吸湿性を示す尺度として水蒸気透過度を採用するとともに、この値を３．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下とすることで耐候性が改善されるとの知見を得て、完成に至ったものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、高い耐候性を有するアンテナコアが実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図面を参照しつつ、本発明によるアンテナコアの好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１３】
本発明によるアンテナコアは、磁性部材が、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に規定される水蒸気透過度が３．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下のフィルムまたはチューブで封止されている構成を有する。本明細書中において、「封止されている」とは、磁性部材全体が、フィルムまたはチューブにより、外部との接触が実質的にないように覆われていることをいう。
【００１４】
本発明のアンテナコアに用いられるフィルムまたはチューブは、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に規定される水蒸気透過度が３．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下である。本発明者らによると、ＪＡＳＯ  Ｍ６０９法を適用しても磁性部材に錆を発生させないためには、フィルムまたはチューブの水蒸気透過度が３．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下であることが好ましい。水蒸気透過度は３．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下であれば防錆効果が得られるが、より十分な防錆効果を得るためには、２．０ｇ／ｍ２・２４ｈｒｓ・ＭＰａ以下であることがより好ましい。またこのフィルムまたはチューブは、融着可能であることが好ましい。
フィルムが用いられる場合、その厚みは、用いられるフィルムの材料により異なるが、好ましくは１０μｍ〜１００μｍであり、より好ましくは２０μｍ〜８０μｍである。フィルムが厚くなれば、水蒸気透過度は低くなるものの、折り畳み、曲げ等の加工が困難となる。従って、本発明で用いられるフィルムは、低い水蒸気透過度を有するとともに、優れた耐折性、耐曲性等を有し、加工性に優れていることが好ましい。
【００１５】
このようなフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムにシリカを蒸着した、三菱樹脂株式会社製の製品名「テックバリア」（登録商標）（例えば、「ＴＣＢ−Ｈ」（フィルム厚７０μｍ）、「ＴＣＢ−ＬＱ」（フィルム厚６０μｍ）、「ＴＣＢ−ＶＸ」（フィルム厚６８μｍ））；ポリプロピレン延伸フィルムにポリ塩化ビニリデンをコーティングした、東セロ株式会社製の製品名「Ｖ−ＯＰ（タイプＯＬＤ（Ｍ）＃３０）」（フィルム厚２６μｍ）、「Ｖ−ＯＰ（タイプＯＬＤ＃２０）」（フィルム厚２０μｍ）；ＰＥＴフィルムにアルミナを蒸着した、凸版印刷株式会社製の製品名「ＧＸフィルム」（例えば、「ＧＸ１２  ＣＰＰ５０」（フィルム厚６０μｍ））；および大日本印刷株式会社製の製品名「ＩＢフィルム（型番：ＩＢ−ＰＥＴ−ＰＸＢ）」（フィルム厚４５μｍ）、ＰＥＴフィルムにシリカをＣＶＤコーティングした大日本印刷株式会社製の製品名「ＩＢフィルム（型番：ＩＢ−ＰＥＴ−ＸＢ）」（フィルム厚４０μｍ）等が挙げられる。
中でも、東セロ株式会社製の「Ｖ−ＯＰ」、および大日本印刷株式会社製の「ＩＢフィルム（型番：ＩＢ−ＰＥＴ−ＸＢ）」が、耐折性に優れ、折り曲げ部における水蒸気透過度の上昇が生じ難く、高い防錆効果が維持されるため、好ましい。
【００１６】
チューブが用いられる場合、その厚みは、用いられるチューブの材料により異なるが、好ましくは１０μｍ〜１００μｍであり、より好ましくは２０μｍ〜８０μｍである。本発明で用いられるチューブは、樹脂を押し出し成形により筒状に成形し、これに、シリカ、アルミナ等の無機被膜をＣＶＤなどの方法によりコーティングすることにより得られる。チューブに用いられる樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリデンなどが挙げられる。これらの樹脂は、単独で用いてもよいし、２種以上の樹脂を積層した形態としてもよい。
【００１７】
本発明の磁性部材としては、単一の板状の非晶質金属薄板、非晶質金属薄帯の積層体、非晶質金属薄帯と樹脂との積層体、非晶質金属粉末とバインダーとを含む成形体、単一の珪素鋼板、珪素鋼板の積層体、または珪素鋼板と樹脂との積層体を用いることができる。本明細書中において、非晶質金属粉末とは、非晶質金属からなる金属粉末、または非晶質金属とナノ結晶金属からなる金属粉末を意味する。単一の板状の非晶質金属薄板には樹脂が塗布されていてもよい。
【００１８】
磁性部材は、０．４Ｔ以上の最大磁束密度を有することが好ましい。磁性部材の最大磁束密度は０．４Ｔ以上であれば特に限定されないが、１．０Ｔ以上がより好ましい。
【００１９】
本発明で用いる非晶質金属としては、Ｆｅ系の非晶質金属、Ｃｏ系の非晶質金属が挙げられるが、これらに限定されない。中でも、Ｆｅ系の非晶質金属は、最大磁束密度が大きいため、好ましい。例としては、Ｆｅ−Ｂ―Ｓｉ系、Ｆｅ−Ｂ系、Ｆｅ−Ｐ−Ｃ系などのＦｅ−半金属系非晶質金属、およびＦｅ−Ｚｒ系、Ｆｅ−Ｈｆ系、Ｆｅ−Ｔｉ系などのＦｅ−遷移金属系非晶質金属がある。Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ系非晶質金属としては、Ｆｅ７８Ｓｉ９Ｂ１３（原子％）、Ｆｅ７８Ｓｉ１０Ｂ１２（原子％）、Ｆｅ８１Ｓｉ１３．５Ｂ３．５Ｃ２（原子％）、Ｆｅ７７Ｓｉ５Ｂ１６Ｃｒ２（原子％）、Ｆｅ６６Ｃｏ１８Ｓｉ１Ｂ１５（原子％）、Ｆｅ７４Ｎｉ４Ｓｉ２Ｂ１７Ｍｏ３（原子％）などが挙げられる。中でもＦｅ７８Ｓｉ９Ｂ１３（原子％）、Ｆｅ７７Ｓｉ５Ｂ１６Ｃｒ２（原子％）が、好ましく用いられる。特にＦｅ７８Ｓｉ９Ｂ１３（原子％）を用いるのが好ましい。
【００２０】
ナノ結晶金属を含む非晶質金属としては、一般式（Ｆｅ１−ｘ−ｙＣｏｘＮｉｙ）１００−ａ−ｂ−ｃＳｉａＢｂＭｃで表される合金が挙げられ、ここで式中、ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｙ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｃ、Ｐ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｓｂから選ばれる１種類以上の元素であり、ｘ、ｙは原子比を表し、０≦ｘ≦１．０、０≦ｙ≦０．５、０≦ｘ＋ｙ≦１．０であり、ａ、ｂ、ｃは原子％を表し、０≦ａ≦２４、1≦ｂ≦３０、０≦ｃ≦３０である。
【００２１】
本発明で用いられるナノ結晶金属と非晶質金属からなる非晶質金属粉末は、上記の非晶質合金を結晶化温度以上で熱処理し、粒径が１００ｎｍ以下のナノ結晶粒組織を非晶質相の中に析出させることにより得られる。ナノ結晶金属の粒径は、粉末Ｘ線回折の半値幅からＳｃｈｅｒｒｅｒの式を用いて算出できる。
本発明に用いられる非晶質金属粉末は、厚み５μｍ以下、粒径０．５μｍ〜１００μｍの扁平状の形状を有していることが好ましいが、回転楕円体形、球形、針形、不定形であってもよい。
【００２２】
このような磁性部材に用いられる非晶質金属薄帯としては、例えば、日立金属株式会社の商品名「ＭＥＴＧＬＡＳ」（登録商標）の型番２６０５ＴＣＡ、２６０５ＳＣ、２６０５Ｓ３Ａ、２６０５ＳＡ１、および同社製の飽和磁束密度１．６４Ｔを有する２６０５ＨＢ１が挙げられる。
【００２３】
積層体に用いられる非晶質金属薄帯は、単一で用いても、または２種以上の異なる金属の薄帯を用いてもよい。
【００２４】
非晶質金属薄帯は、通常、溶融した金属を急冷ロールに吹き付け、急冷して得ることができる。
【００２５】
非晶質金属薄帯と樹脂との積層体は、非晶質金属薄帯に樹脂を塗布し、これらを所望の厚さになるように積層し、その後加熱による一体化処理を行うことにより得られる。
【００２６】
積層体に用いられる樹脂としては、熱可塑性耐熱樹脂、非熱可塑性耐熱樹脂、熱硬化性耐熱樹脂が挙げられる。中でも、非晶質金属薄帯の磁気特性を向上させるための熱処理温度での熱分解がなく、金属薄帯の積層接着に好適な、熱可塑性耐熱樹脂が好ましい。
このような熱可塑性耐熱樹脂としては、ポリイミド樹脂、珪素含有樹脂、ケトン樹脂、ポリアミド樹脂、液晶ポリマー、ニトリル樹脂、チオエーテル樹脂、ポリエステル樹脂、アクリレート樹脂、サルホン樹脂、アミドイミド樹脂が挙げられる。中でも、ポリイミド樹脂、サルホン樹脂、アミドイミド樹脂が好ましい。
【００２７】
また本発明において、上記樹脂の前駆体を非晶質金属薄帯に塗布した後、熱処理を行い、この前駆体を樹脂化することもできる。
【００２８】
次に、非晶質金属薄帯と樹脂との積層体の製造方法について説明する。
耐熱性樹脂は、非晶質金属薄帯の片面または両面の少なくとも一部に付与される。付与方法としては、粉末状の耐熱性樹脂を非晶質金属薄帯に静電吸着する方法、溶媒に溶解した溶液状またはペースト状の耐熱性樹脂を、コータを用いて非晶質金属薄帯に塗工する方法が用いられる。使用できるコータとしては、例えば、グラビアコータ、ロールコータ、エアドクタコータ、ブレードコータ、ナイフコータ、ロッドコータ、キスコータ、ビードコータ、キャストコータが挙げられる。塗工方法としては、例えば、ロールスクリーン法、浸漬コート法、スロットオリフィスコータ法、スプレーコーティング法、スピンコーティング法、電着コーティング法、スパッタリング法等の物理的蒸着法、およびＣＶＤ等の気相法が挙げられる。
【００２９】
次いで、樹脂が塗工された複数の非晶質金属薄帯を、所望の厚さまで積層する。非晶質金属薄帯を所望のアンテナコアの形状に切断する工程は、積層する前であっても後であってもよい。
【００３０】
アンテナコアの所望の形状よりも大きな金属薄帯を積層した後に切断加工すると、積層物の切断された端面において、金属薄帯間の電気的な導通が増加するため鉄損が増大することがある。そのため、所望の形状よりも大きな積層物を作製した後に、所望の大きさに切断する場合は、積層物の切断面の電気的導通を遮断する処理を加えることが望ましい。
【００３１】
金属薄帯をアンテナコアの所望の形状に切り出した後に、所望の厚さまで積層する場合は、上記のような切断面の電気的導通は増加しにくいため、上記のような電気的導通を遮断する処理を加える必要性は低い。
【００３２】
金属薄帯の切断には、ダイサー切断加工、レーザー切断加工、放電ワイヤー加工、打抜き加工、シャーリング加工、スリット加工、フォトエッチング加工等の方法を用いることができる。
【００３３】
金属薄帯を切断した後に積層する場合、広幅の金属薄帯をスリット加工により細幅のリボンとした後にシャーリング加工または打抜き加工により所望の形状に加工する方法が、低コストであるため好ましい。
一方、積層した後に所望の形状に切断する場合、ダイサー切断加工、レーザー切断加工、放電ワイヤー加工またはエッチング加工等の方法を用いることが好ましい。エッチング加工は、非晶質金属薄帯のみの選択的エッチングと、耐熱性樹脂のみの選択的エッチングとを組み合わせることで、複雑な形状の積層体を低コストで加工することが可能であるため好ましい。
【００３４】
次いで、耐熱性樹脂が塗工され積層された非晶質金属薄帯は、熱プレス、熱ロール、高周波溶着等により、用いられる非晶質金属および耐熱性樹脂に適切な温度および圧力で加熱、加圧されて一体化される。
一体化処理で用いられる温度は、用いられる耐熱性樹脂のガラス転位温度以上であり、樹脂が軟化または流動化する温度近傍である。圧力は、非晶質金属薄帯と耐熱性樹脂との間の不要な空隙を消失せしめる範囲とすることが好ましい。非晶質金属薄帯と耐熱性樹脂との間の不要な空隙が消失することで、占積率が上がり、得られる積層体の最大磁束密度が向上するので、アンテナ特性が向上する。さらに不要な空隙が消失することで、腐食性物質が積層体の内部に侵入しにくくなるため、耐腐食性が向上する。このような圧力範囲として、約１〜５０ＭＰａの範囲が用いられる。
【００３５】
上記の一体化処理で得られた積層体に、さらに、磁気特性を向上させるために加圧加熱処理を行ってもよい。
この加圧加熱処理の条件は、用いられる非晶質金属薄帯の種類と目的とする磁気特性により異なるが、通常は、大気中または不活性ガス雰囲気下もしくは真空下で行われる。良好な磁気特性を発現させる温度範囲は、概ね３００〜５００℃の範囲であり、好ましくは３５０〜４５０℃である。好ましい加圧条件は、０．００１ＭＰａ以上０．２ＭＰａ以下、さらに好ましくは０．００２ＭＰａ以上０．１ＭＰａ以下である。
【００３６】
このような条件での加圧加熱処理が積層体の磁気特性を大きく向上させるメカニズムは必ずしも明らかではないが、０．２ＭＰａ以下の低い圧力で高温に曝すことで、積層一体化処理の際に非晶質金属薄帯と耐熱性樹脂のそれぞれに蓄積された応力が緩和されることによると考えられる。特に、非晶質金属薄帯間の電気的導通が大幅に低減され、励振磁場の周波数の二乗に比例する過電流損失が大幅に低減することで、鉄損が大幅に低減されると考えられる。
【００３７】
得られた積層体は、フィルムまたはチューブで封止する前に、その表面にリン酸亜鉛膜またはリン酸鉄膜でコーティングしてもよい。これにより、フィルムまたはチューブによる封止前および封止中の、積層体の発錆を抑制することができるとともに、取り扱いが容易となり、製造歩留まりを向上させることができる。
【００３８】
本発明の磁性部材は、非晶質金属粉末とバインダーとを含む成形体であってもよい。上で説明したように、この非晶質金属粉末は、非晶質金属、または非晶質金属とナノ結晶金属とを含み得る。この成形体は、非晶質金属粉末を樹脂などのバインダーを用いて所定の形状に成形したものである。
【００３９】
このような非晶質金属粉末とバインダーとを含む成形体において、バインダーに対する非晶質金属粉末の充填率は、好ましくは５５重量％〜９５重量％、より好ましくは６０重量％〜９５重量％である。充填率が５５重量％より低い場合、得られる磁性部材の磁気性能が低く、十分なアンテナ特性が得られない。一方、充填率が９５重量％より高い場合、バインダーの充填量が少ないため、得られるアンテナコアの強度が低下する。このため、アンテナコアの落下強度が低下し、工程内での歩留まりが悪くなる等の問題が生じる。
【００４０】
バインダーとしては樹脂を用いることができる。この樹脂は、非晶質金属粉末を高充填率で充填した際に、この非晶質金属粉末を結着することができるものであれば、特に制限されず、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等が挙げられる。
【００４１】
熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられる。
熱可塑性樹脂としては、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ナイロン樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリサルホン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリ乳酸樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等が挙げられる。
これらの樹脂の中でも、成形後の寸法安定性に優れることから、熱硬化性樹脂であればエポキシ樹脂およびフェノール樹脂が好ましく、熱可塑性樹脂であればポリエーテルサルホン樹脂が好ましい。
【００４２】
これらの樹脂は、単一で用いても、２種以上の異なる樹脂の混合物として用いてもよい。
【００４３】
非晶質金属粉末としては、上で例示した非晶質金属を用いることができる。非晶質金属粉末は、カップリング剤等で表面処理されていてもよい。
【００４４】
次に、非晶質金属粉末とバインダーとを含む成形体の製造方法について説明する。
まず、非晶質金属粉末は、バインダーとして用いられる樹脂の粉末と十分均一となるように混合される。この混合は、当該分野で公知の混合機、ミキサー等を使用して行うことができる。この混合物には、例えば、ハロゲン化物等の難燃剤、硬化促進剤、または離型剤を必要に応じて添加してもよい。
【００４５】
次いで、この混合粉末を、圧縮成形機、射出成形機またはトランスファー成形機等を用いて所定の形状の金型内で成形して、成形体を得る。成形条件は、用いる樹脂もしくは非晶質金属、または非晶質金属の充填率等により異なるが、通常の熱硬化性樹脂を用いる場合、成形温度は、好ましくは５０℃〜３００℃の範囲であり、より好ましくは１００℃〜２００℃の範囲であり、成形圧力は、好ましくは０．１ＭＰａ〜３００ＭＰａの範囲であり、より好ましくは１ＭＰａ〜１００ＭＰａの範囲である。硬化時間は、好ましくは５秒〜２時間の範囲であり、より好ましくは３０秒〜１０分間の範囲である。
【００４６】
得られた成形体に、アニール処理を施しても良い。アニール処理は、金型内で行ってもよいし、金型から取り出して行ってもよい。連続した成形が可能となり、生産性を向上させることができることから、金型から取り出してアニールを行うことが好ましい。
【００４７】
本発明の磁性部材は、珪素鋼板と樹脂との積層体であってもよい。用いられる樹脂、およびこの積層体の作製方法は、上記の非晶質金属薄帯と樹脂との積層体と同様のものを使用することができる。
【００４８】
珪素鋼板としては、従来から公知の珪素鋼板を使用できる。例としては、珪素含有量が珪素鋼板全量の１〜１０重量％、好ましくは２〜７重量％、さらに好ましくは６．５重量％のものが挙げられるが、これらに限定されない。この珪素鋼板は、一方向性珪素鋼板、無方向性珪素鋼板などのいずれであってもよいが、一方向性珪素鋼板が好ましい。珪素鋼板の板厚は、特に限定されないが、通常５０〜５００μｍ、好ましくは５０〜２５０μｍ、さらに好ましくは５０〜１００μｍのものが使用される。この珪素鋼板は、磁性部材としての性能を向上させるために、公知の熱処理を施してもよい。磁性部材として、珪素鋼板の積層体、または珪素鋼板と樹脂との積層体が用いられる場合、この熱処理は、積層工程の前に実施しても、その後に実施しても良い。
【００４９】
本発明で用いられ得る、市販の珪素鋼板としては、ＪＦＥスチール株式会社製の６．５％珪素鋼板（商標：ＪＦＥスーパーコア（ＪＮＥＸコア、ＪＮＨＦコア））などが挙げられる。これらは、最大磁束密度が大きく、また１００ｋＨｚ帯域でも磁性損失が小さく、磁歪定数も小さいため、小型、高出力、低騒音の送信用アンテナとして使用するのに好適である。
また、磁性部材には、上記の珪素鋼板と同様の組成を有する磁性金属粉末を用いることができる。
【００５０】
（第一の実施形態）
次いで、上記のようにして得られた磁性部材をフィルムで封止する方法について説明する。
図１〜５は、本発明の一実施形態における封止方法を示す図である。本実施形態の封止方法は、１枚のフィルム１を２つ折りにし、２辺を密着して開口部１２を有する矩形の封筒状にする工程と、矩形の封筒状のフィルム１に磁性部材１３を収容する工程と、開口部１２を密着する工程とを含む。
【００５１】
本実施形態では、まず、シャーリング２を用いてフィルム１を定尺に切断する（図１）。次いで、図２で示されるように、定尺のフィルム１を折り曲げる。次いで、図３で示される２辺の密着部１１をヒートシールして封筒状にする。この時、１辺は密着せず、開口部１２として残す。次いで、図４に示されるように、この封筒状のフィルム１の内部に、開口部１２を通して磁性部材１３を挿入し、その後、図５（ｂ）に示されるように、開口部１２をヒートシールし、フィルムの３辺全てを密着して、封止を完了する。開口部１２をヒートシールする工程は、得られるアンテナコアの内部に空洞が生じないようにするために、雰囲気全体を減圧下で行うか、または図５（ａ）に示されるように、減圧脱気用パイプ１４を挿入して、封筒状のフィルム１の内部を減圧した状態で行うことが好ましい。ヒートシール工程は、市販のヒートシーラーを用いて行うことができる。
【００５２】
フィルムのヒートシール部の幅は、好ましくは４ｍｍ以上３０ｍｍ以下であり、より好ましくは５ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。ヒートシール部の幅が４ｍｍ未満であると、ヒートシール部の接着が十分ではなく、外部から水分が侵入する可能性があり、良好な耐候性が得られなくなる。ヒートシール部の幅が３０ｍｍより広い場合、得られるアンテナコアを小型化する観点から不都合である。
【００５３】
ヒートシール操作は、フィルムの一辺に対して一度のみ実施してもよいし、位置をずらして複数回実施してもよい。
１枚のフィルムを２つ折りにして用いる本実施形態において、湾曲した細長形状の磁性部材を用いる場合、封止されたアンテナコアを小型にする観点から、湾曲した細長形状の磁性部材に、フィルムの折り曲げ部とヒートシール部とを磁性部材の湾曲形状に合わせて湾曲させてヒートシールした後に、余剰のフィルムをカットしてもよい。
【００５４】
（第二の実施形態）
次いで、本発明の別の実施形態における封止方法を、図６〜図９を用いて説明する。本実施形態の封止方法は、２枚のフィルム１を重ね、３辺を密着して開口部１２を有する矩形の封筒状にする工程と、矩形の封筒状のフィルム１に磁性部材１３を収容する工程と、開口部１２を密着する工程とを含む。
【００５５】
本実施形態では、まず、図６に示されるように、シャーリング２を用いてフィルム１を定尺に切断し、２枚のフィルム１を得る。次いで、図７（ａ）に示されるように、得られた２枚のフィルム１を重ね、図７（ｂ）に示されるように、フィルム１の３辺の密着部１１をヒートシールして、封筒状にする。この時、１辺は密着せず、開口部１２として残す。次いで、図８に示されるように、この封筒状のフィルム１の内部に、開口部１２を通して磁性部材１３を挿入し、その後、図９（ｂ）に示されるように、開口部１２をヒートシールして、フィルム１の４辺全てを密着して、封止を完了する。開口部１２をヒートシールする工程は、減圧下で行うか、または図９（ａ）に示されるように、減圧脱気用パイプ１４を用いて、減圧した状態で行うことができる。
【００５６】
上記２つの実施形態においては、矩形のフィルムを封筒状にして用いたが、磁性部材を収容できる形状であればこの形状に限定されない。また上記実施形態においては細長形状の磁性部材を用いたが、アンテナとして使用できる形状であれば、この形状に限定されず、例えば、湾曲した細長形状とすることができる。
【００５７】
２枚のフィルムを重ねて用いる本実施形態において、湾曲した細長形状の磁性部材を用いる場合、矩形の封筒状のフィルムに、湾曲した細長形状の磁性部材を挿入した後、開口部をヒートシールして封止し、その後余剰のフィルムを磁性部材の形状に合わせて折り畳むことができる。あるいは、予め磁性部材の形状に合わせてカットした２枚のフィルムを用いて、これら２枚のフィルムの間に磁性部材を配置した後に、ヒートシールを行い封止してもよい。
【００５８】
（第三の実施形態）
次いで、本発明のさらに別の実施形態における封止方法を、図１０〜図１３を用いて説明する。本実施形態の封止方法は、１枚のフィルム１を磁性部材１３に巻回して、フィルム１の巻回方向の始端に終端を重ね合わせてフィルム１の筒状体を形成する工程と、フィルム１の重ね合わせ部を密着する工程と、フィルム１の筒状体の磁性部材１３の両端を密着する工程とを含む。
【００５９】
本実施形態では、まず、図１０（ａ）に示されるように、フィルム１の一端に磁性部材１３を載せ、図１０（ｂ）に示されるように、磁性部材１３の一面とフィルム１の密着部１５とをヒートシールする。次いで、図１１に示されるように、磁性部材１３にフィルム１を巻回する。ここで、図１１（ａ）は、図１０（ｂ）におけるフィルム１と磁性部材１３とが密着された巻回前の状態を示す。図１１（ｂ）〜（ｄ）は、磁性部材１３の長手軸方向に対して垂直の断面を図示した概略図である。図１１（ｂ）および図１１（ｃ）に示されるように、磁性部材１３の周りに１回フィルム１を巻き、さらに図１１（ｄ）に示されるように、フィルム１の巻回方向（矢印）の始端に終端を重ね合わせて、重ね合わせ部１６を形成する。次いで、図１２（ａ）に示されるように、余剰のフィルム１をシャーリング２を用いて切断して、図１２（ｂ）および図１２（ｃ）に示されるフィルム１の筒状体に収容された状態の磁性部材１３を得る。次いで、重ね合わせ部１６を密着するとともに、両端部をヒートシールして封止を完了する。
【００６０】
このとき、磁性部材１３が存在しない両端部は、磁性部材１３が介在する部分に比べ面圧が低くなり、熱が伝わり難くなるため、両端部もしっかりとヒートシールされるよう、ラバーヒーターを用いたヒートシーラーを用いる等の工夫とともに、ヒートシール条件も調整する必要がある。また、フィルム１の重ね合わせ部１６を先にヒートシールした後、シャーリング２を用いてフィルム１を切断し、その後両端部をヒートシールしてもよい。
ヒートシール後のアンテナコアを図１３に示す。図１３は、図１２（ｃ）のアンテナコアを上面から見た図である。図１３において、重ね合わせ部１６の密着部と両端部の密着部は、密着部１１として表される。
【００６１】
本実施形態では、フィルムを磁性部材に巻回した後にフィルムを切断したが、予め定尺に切断したフィルムを用いて磁性部材を巻回してもよい。また本実施形態では、矩形のフィルムで細長形状の磁性部材を巻回したが、フィルムで磁性部材を巻回できる形状であればこれらに限定されない。
【００６２】
（第四の実施形態）
次いで、磁性部材をチューブで封止する方法について説明する。
図１４は、本発明の一実施形態における封止方法を示す図である。本実施形態の封止方法は、開口部を有するチューブ３に磁性部材１３を収容する工程と、開口部を密着する工程とを含む。
【００６３】
本実施形態では、まず、図１４に示されるように、シャーリング等で適切な長さに切断されたチューブ３内に磁性部材１３を挿入する。次いで、チューブ３の両端部１７をヒートシールして封止する。両端部１７をヒートシールする工程は、雰囲気全体を減圧下で行うか、上の実施形態と同様に、減圧脱気用パイプ（図示せず）をチューブ３に挿入して、チューブ３の内部を減圧した状態で行うことが好ましい。
本実施形態では、所定の長さに切断したチューブを用いたが、磁性部材をチューブに挿入した後に、このチューブを定尺に切断してもよい。チューブを用いることで、湾曲した細長形状の磁性部材を用いた場合でも、好適に封止することができる。
【００６４】
本発明のアンテナコアは、導線を巻回してアンテナとして使用できる。
例えば、銅を主成分とする導線の周囲に絶縁加工を施した被覆導線を、アンテナコアに巻回することにより、アンテナを作製することが可能である。巻回する被覆導線としては、当該分野で公知の種々のものを用いることができるが、熱融着性の被覆導線が、巻回加工時の工数を削減することができるため、好ましい。
【００６５】
上記のアンテナは、車載用アンテナとして使用できる。また上記のアンテナは、例えば、車載用キーレスエントリーシステムに用いることができる。
【００６６】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することができる。
【実施例】
【００６７】
（実施例１）
非晶質金属薄帯として、日立金属株式会社社製の商品名「ＭＥＴＧＬＡＳ」（登録商標）、型番：２６０５ＴＣＡを用いた。これは、幅約２１３ｍｍ、厚み約２５μｍであり、Ｆｅ７８Ｓｉ９Ｂ１３（原子％）の組成を有する非晶質金属薄帯である。この薄帯の片面全体にＥ型粘度計で測定すると約０．３Ｐａ・ｓの粘度を有するポリアミド酸のジメチルアセトアミド溶液を、グラビアコータを用いて均一に塗布した。次いで、溶媒のジメチルアセトアミドを１４０℃で乾燥して除去し、その後、２６０℃で加熱することによりポリアミド酸を硬化して、この非晶質金属薄帯の片面に約３μｍの厚さのポリイミド膜をコーティングした。
【００６８】
ここで用いたポリアミド酸は、イミド化後に下記式１のポリイミド基本構造単位を形成するものである。溶媒には、ジメチルアセトアミドを用いた。このポリアミド酸は、３，３'−ジアミノジフェニルエーテルと３，３'，４，４'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物との１：０．９８の混合物を、ジメチルアセトアミド溶媒中で室温にて縮重合して得られたものである。ここで得られるポリイミド樹脂は、熱可塑性ポリイミド樹脂である。
【００６９】
【化１】
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【００７０】
このポリイミド膜をコーティングした非晶質金属薄帯を、シャーリングにより、１０６ｍｍ×１０６ｍｍの矩形状に切断し、これらを１８枚重ねて、熱プレス機を用いて、大気中、温度２６０℃で、圧力５ＭＰａを３０分間印加し、積層一体化した。作製した積層体の厚さは、０．５ｍｍであり、占積率は９０％であった。次にダイサー加工機により、１０６ｍｍ×１０６ｍｍ×０．５ｍｍの積層体から、５０ｍｍ×４．０ｍｍ×０．５ｍｍの矩形状の積層体にカットした。さらに、端面を６００番の紙鑢で研磨し、端面での磁性金属薄帯間の電気的導通を減らした。さらに磁気特性を発現するため、熱プレス機を用いて、大気中、温度３６５℃で、圧力０．００４ＭＰａを２時間印加した。
【００７１】
樹脂フィルムは、東セロ製のＰＶＤＣコーティングフィルム、Ｖ−ＯＰ（タイプＯＬＤ（Ｍ）＃３０、水蒸気透過度１．８ｇ／ｍ２・ｄ）（フィルムａ）を、７０ｍｍ×３０ｍｍの形状にカットし、図２に示されるようにフィルムを折り曲げた。さらに、図３に示されるように、幅１０ｍｍで、２辺をヒートシールし封筒状にした。さらに図４に示されるように、先の工程で作製した、非晶質金属薄帯積層体からなる磁性部材（５０ｍｍ×４．０ｍｍ×０.５ｍｍ×６枚）を封筒状のフィルムに挿入した。最後に、図５に示されるように、封筒内の空気を真空ポンプで脱気し、ヒートシールして、密閉した。これらのヒートシールには、富士インパルス株式会社製卓上型・手動脱気シーラーＶ−３００を用いて、ヒートシール部に皺、空気溜まりなどが発生しないように行った。また封筒内の空気を脱気する際には、真空ポンプにより、真空脱気し密封した。
【００７２】
さらに、アンテナとしての性能を評価するために、上で得られた、フィルムで封止した非晶質金属薄帯の積層体に、φ０．４ｍｍのポリウレタン被覆銅線を３０ターン巻回して、アンテナを作製した。
鉄損、透磁率、最大磁束密度を評価するために、ポリイミド膜をコーティングした非晶質金属薄帯を、外径４０ｍｍ、内径２５ｍｍの円環形に金型プレス打ち抜きし、これらを１８枚積層してリング状の積層体を作製し、上記と同様の積層一体化プロセスを行って、外径４０ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚さ０．５ｍｍのトロイダルコアを作製した。
次に、以下項目について評価した。
【００７３】
（特性評価）
このアンテナのアンテナ特性を評価するため、ヒューレットパカード社製、インピーダンスアナライザＨＰ４１９４Ａを用いて、励振電圧レベル０．５Ｖｒｍｓにて１２０ｋＨｚで、このアンテナのインダクタンスを測定し、Ｌ値とＱ値を測定した。
トロイダルコアの最大磁束密度（Ｂｓ値）は、理研電子製ＢＨカーブトレーサにより測定した。その結果、Ｂｓ値は１．４Ｔであった。
【００７４】
防錆性能については、プレッシャークッカー試験を実施した。圧力容器内に、アンテナサンプルをセットし、温度１１０℃、圧力１．４気圧の飽和水蒸気圧下に１時間暴露した。暴露後、容器から取出し、大気圧、室温２３℃の環境下に１２時間放置して、発錆の有無を目視観察した。結果を表１に示す。
【００７５】
（実施例２）
封止する方法を図６〜９に示される方法とする以外は全て、実施例１と同様に試験片を作製し、同様の評価を行った。結果を表１に示す。
【００７６】
（実施例３）
用いる樹脂フィルムを、大日本印刷株式会社製ＩＢ−ＰＥＴ−ＸＢフィルム（フィルムｂ）を用いること以外は全て、実施例１と同様に試験片を作製し、同様の評価を行った。結果を表１に示す。
【００７７】
（実施例４）
用いる樹脂フィルムを、凸版印刷株式会社製ＧＸ１２フィルム（フィルムｃ）を用いること以外は全て、実施例１と同様に試験片を作製し、同様の評価を行った。結果を表１に示す。
【００７８】
（実施例５）
非晶質金属粉末として、日立金属株式会社製の磁性粉末（商品名「ファインメット（登録商標）ＦＰ−ＦＴ−５Ｍ」、非晶質金属粉末ｂ）を用いた。これは、ナノ結晶金属を含むＦｅＣｕＮｂＳｉＣｒＢ系の非晶質金属である。樹脂として、日本化薬株式会社製のエポキシ樹脂（商品名「ＥＯＣＮ−１０２Ｓ」）を用いた。この樹脂１００重量部に、三井化学株式会社製の硬化剤（商品名「ミレックス（登録商標）ＸＣＬ−４Ｌ」）６１重量部、および硬化剤として、サンアプロ株式会社製の商品名「３５０２Ｔ」５重量部を添加し、ミキサーで粉砕し混合した。得られた混合粉末に、非晶質金属粉末を、この混合粉末の重量に対して９０重量％となるように加え、ミキサーで十分に混合した。得られた混合物を５０ｍｍ×４ｍｍの金型に、成形後の厚みが３.０ｍｍになるように充填し、温度１５０℃、圧力５０ＭＰａで加熱・加圧し、５分後に金型を開放して、この成形体を取り出した。その後、この成形体を１８０℃のオーブン中で２時間アニールし、次いで室温まで冷却した。得られた成形体を、実施例１と同様の方法を用いて樹脂フィルムで封止して、アンテナコアを得た。
【００７９】
実施例１と同様にしてアンテナコアを作製し、評価を行った。また、外径４０ｍｍ、内径２５ｍｍの金型に、上記の混合物を成形後の厚みが０．５ｍｍになるように充填し、上記と同様の成形工程を行って、トロイダルコアを作製した。このトロイダルコアの最大磁束密度を実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
（実施例６）
珪素鋼板として、ＪＦＥスチール株式会社製の６．５％珪素鋼板（商品名「ＪＮＥＸコア（０５ＪＮＥＸ２５００）」、厚さ５０μｍ、珪素鋼板ｃ）を用いた。これは、珪素含有率が６.５％の無方向性ケイ素鋼板である。実施例１と同様にポリイミド膜をコーティングした珪素鋼板を、シャーリングにより、１０６ｍｍ×１０６ｍｍの矩形状に切断し、これらを５６枚重ねて、熱プレス機を用いて、大気中、温度２６０℃で、圧力５ＭＰａを３０分間印加し、積層一体化した。作製した積層体の厚さは、３ｍｍであり、占積率は９５％であった。以上の工程以外は全て、実施例１と同様に試験片を作製し、同様の評価を行った。結果を表１に示す。
【００８０】
実施例１と同様にしてアンテナコアを作製し、評価を行った。また、外径４０ｍｍ、内径２５ｍｍの金型に、上記の混合物を成形後の厚みが０．５ｍｍになるように充填し、上記と同様の成形工程を行って、トロイダルコアを作製した。このトロイダルコアの最大磁束密度を実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
【００８１】
（比較例１）
樹脂フィルムを、カウパック株式会社製のＮＨＰフィルム（厚さ８５μｍ：厚さ１５μｍのナイロンと厚さ７０μｍのポリエチレンとの押し出しラミネートフィルム、フィルムｄ）を用いること以外は全て、実施例１と同様に試験片を作製し、同様の評価を行った。結果を表１に示す。
【００８２】
（比較例２）
防錆方法を、エポキシ樹脂を厚さ１００μｍに塗装すること以外は全て、実施例１と同様に試験片を作製し、同様の評価を行った。結果を表１に示す。
【００８３】
表１において、封止方法ＴｙｐｅＡは、図１〜図５で示される方法を表し、封止方法ＴｙｐｅＢは、図６〜図９で示される方法を表す。また、表１において、用いた樹脂フィルムの水蒸気透過度（ｇ／ｍ２・ｄ）（ＪＩＳ  Ｋ７１２９）を、併せて示す。
実施例１〜４および比較例１〜２において、非晶質金属薄帯は、日立金属株式会社製の商品名「ＭＥＴＧＬＡＳ」（登録商標）、型番：２６０５ＴＣＡ（非晶質金属薄帯ａ）を用いた。
【００８４】
【表１】
2009110998.tif 000004
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】磁性部材の封止方法の第１の実施形態を示す概略図である。
【図２】磁性部材の封止方法の第１の実施形態を示す概略図である。
【図３】磁性部材の封止方法の第１の実施形態を示す概略図である。
【図４】磁性部材の封止方法の第１の実施形態を示す概略図である。
【図５】磁性部材の封止方法の第１の実施形態を示す概略図である。
【図６】磁性部材の封止方法の第２の実施形態を示す概略図である。
【図７】磁性部材の封止方法の第２の実施形態を示す概略図である。
【図８】磁性部材の封止方法の第２の実施形態を示す概略図である。
【図９】磁性部材の封止方法の第２の実施形態を示す概略図である。
【図１０】磁性部材の封止方法の第３の実施形態を示す概略図である。
【図１１】磁性部材の封止方法の第３の実施形態を示す概略図である。
【図１２】磁性部材の封止方法の第３の実施形態を示す概略図である。
【図１３】磁性部材の封止方法の第３の実施形態を示す概略図である。
【図１４】磁性部材の封止方法の第４の実施形態を示す概略図である。
【符号の説明】
【００８６】
１  フィルム
２  シャーリング
３  チューブ
１１  密着部
１２  開口部
１３  磁性部材
１４  減圧脱気用パイプ
１５  密着部
１６  重ね合わせ部
１７  端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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