(57)【要約】【課題】真空チャンバ２のような減圧容器と、真空ポンプ３のように加振源となる機器との間の配管経路４に介設される防振継手１において、簡単な構造で低コストでありながら減圧時でも振動の伝達を十分に抑制可能なものとする。【解決手段】一対のベース板１０，１１の間に金属ベローズ１３と空気ばね１４とを内外同心状に配設する。ベース板１０，１１の間隔が設定値になるよう、レベリングバルブ１８によって空気ばね１４に高圧空気を供給又は排出する。防振継手１は真空チャンバ２の床部２０の下側に取り付け、この防振継手１と一体的に構成した吊設具によって真空ポンプ３を吊り下げる。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
防振対象物の収容される減圧容器と、加振源となる機器との間の配管経路に設けられて振動の伝達を抑制する防振継手であって、
前記配管経路の一部を構成する金属ベローズと、
前記金属ベローズ両端のフランジ間に力を加えるように設けられた空気圧アクチュエータと、
前記金属ベローズ内が減圧されるとき、その両端フランジ間に発生する収縮力に抗して両者の間隔を維持するように、前記空気圧アクチュエータに対し空気の給排を行う機械式の給排手段と、
を備えることを特徴とする防振継手。
【請求項２】
空気圧アクチュエータが負圧アクチュエータであり、
吸排機構は、減圧容器内を減圧するのと同じ負圧源によって空気圧アクチュエータから排気するものである、請求項１に記載の防振継手。
【請求項３】
空気圧アクチュエータがダイヤフラム式の空気ばねからなり、ダイヤフラムの付着するピストンの周面には、圧力室側の端面に近づくほど外形の拡大する傾斜面が形成されている、請求項１又は２のいずれかに記載の防振継手。
【請求項４】
空気圧アクチュエータは、環状の圧力室を有し、それが金属ベローズと略同心状に配置されている、請求項１〜３のいずれか１つに記載の防振継手。
【請求項５】
金属ベローズの外周に減衰材が巻き付けられている、請求項１〜４のいずれか１つに記載の防振継手。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば精密機器等の防振対象物が収容される減圧容器の配管経路に設けられ、気密性を保ちつつ振動の伝達を抑制する防振継手に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば半導体関連の製造装置や試験装置、或いは電子顕微鏡のような精密機器を真空チャンバのような高度の減圧環境下で使用することがあり、その場合に加振源となる真空ポンプからの振動の伝達を抑えるために、該真空ポンプと真空チャンバとの間の配管経路に金属ベローズを備えた防振継手を設けることが行われている。
【０００３】
例えば特許文献１に開示される防振継手（防振ダンパ）は、真空ポンプの作動によって金属ベローズ内が減圧されるときに、その両端のフランジ間に発生する収縮力に対抗して両者の間隔を維持するために、即ち、真空力を相殺するために、金属ベローズ内にステンレスの撚り線を用いたワイヤを突っ張るように配置している。
【０００４】
一方、特許文献２のものは、前記特許文献１のワイヤに代えて、真空力を相殺するためにコイルばね（第１の弾性体）を設けるとともに、このコイルばねを介しての振動伝達を抑えるために、負の剛性を持つばね機構からなる除振機構をさらに設けている。この除振機構としては、例えば座屈形状の弾性構造体からなる受動型除振機構が用いられ、コイルばねのばね力が真空力と釣り合う位置の近傍において、ばね定数を実効的に殆どゼロまで小さくさせる。
【０００５】
また、前記除振機構として、金属ベローズのフランジの変位を検出する変位センサと、空気圧を高応答に制御可能な空気静圧アクチュエータと、このアクチュエータを前記変位センサからの信号に応じて制御する振動抑制制御器と、を備えた所謂能動型のものも開示されている。
【特許文献１】実用新案登録第３０９２６９９号公報
【特許文献２】特許第３６５７８３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら前者の従来例（特許文献１）のものでは、真空力を相殺するために金属製ワイヤを突っ張るように設けていることから、このワイヤを介しての振動の伝達が大きくなりやすいと考えられる。
【０００７】
一方で後者の従来例（特許文献２）の場合は、真空力を相殺するためのコイルばね等の他に受動型若しくは能動型の除振機構を設けていることから、構造が複雑になってしまいコスト高になるきらいがある。また、受動型の除振機構では、所要の性能を得るための調整に手間が掛かる虞れがあり、能動型の除振機構では、変位センサや電子制御器が必要なことから、高コスト化の問題が大きい。
【０００８】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、減圧容器と加振源との間の配管経路に介設される金属ベローズを備えた防振継手において、簡単な構造で低コストでありながら、減圧に伴う金属ベローズの収縮を抑えながら、振動の伝達も十分に抑制できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明では、減圧時に金属ベローズ両端のフランジ間に発生する収縮力に対抗するように空気圧アクチュエータを設け、これに機械式の給排手段によって所要の圧力を付与するようにした。
【００１０】
具体的に、請求項１に係る発明は、防振対象物の収容される減圧容器と加振源となる機器との間の配管経路に設けられて、振動の伝達を抑制する防振継手を対象として、その配管経路の一部を構成する金属ベローズと、該金属ベローズ両端のフランジ間に力を加えるように設けられた空気圧アクチュエータと、前記金属ベローズ内が減圧されるとき、その両端フランジ間に発生する収縮力に抗して両者の間隔を維持するように、前記空気圧アクチュエータに対し空気の給排を行う機械式の給排手段と、を備える構成とする。
【００１１】
前記の構成では、防振対象物の収容される減圧容器と例えば真空ポンプのような機器との間の配管経路に防振継手が設けられていて、その機器の発生する振動が防振継手における金属ベローズの伸縮によって吸収されるようになる。
【００１２】
また、その金属ベローズ内の通路が減圧されて、両端のフランジ間に収縮力が発生すると、これに応じて作動する機械式の吸排機構によって空気圧アクチュエータに対する空気の供給乃至排出が行われ、当該アクチュエータが発生する力によって両フランジ同士の間隔が維持されるようになる。
【００１３】
例えばコンプレッサ等の空気圧源からの高圧空気によって作動する空気圧アクチュエータを用いれば、それが発生する押圧力によって、互いに近づこうとする両フランジ同士を押し退けて、それらの間隔を維持することができる。この場合、空気圧アクチュエータは所謂空気ばねとなるが、そのばね定数は一般にコイルばね等に比べて低く、振動の伝達を抑制する上で有利になる。
【００１４】
特に、空気圧アクチュエータをダイヤフラム式の空気ばねとすれば、ベローズ式のものに比べてばね定数を低くしやすい。また、ダイヤフラムの付着するピストンの形状に工夫をすれば（一例として、円筒状ピストンの周面に圧力室側の端面に近づくほど外径の拡大するテーパ面を形成する等すれば）、必要な力を確保しつつ、ばね定数はさらに低下させることもできる。
【００１５】
一方、前記空気圧アクチュエータとして負圧によって作動するものを用いることもでき、こうすれば別途、空気圧源を準備しなくても、例えば真空ポンプのように減圧容器内を減圧するための機器を負圧源として、空気圧アクチュエータから排気することもできるから、コストのさらなる低減が可能になる。
【００１６】
尚、前記負圧アクチュエータに減圧容器内と同じ大きさの負圧を作用させる場合には、負圧室（圧力室）の有効面積を適切に設定することで、金属ベローズの収縮力を確実にキャンセルできる。或いは、より大きな負圧を作用させるのであれば、相対的に有効面積を小さくすることもでき、コンパクト化に有利になる。
【００１７】
また、空気圧アクチュエータの圧力室は環状に形成し、それを金属ベローズと略同心状に配置するのがよい。こうすれば、防振継手のコンパクト化に有利になる。さらに、金属ベローズの外周に減衰材を巻き付けて、減衰を付与するようにすれば、振動の伝達を抑制する上で有利になる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明に係る防振継手によると、減圧容器と加振源との間の配管経路に介設した金属ベローズによって振動の伝達を抑制しながら、空気圧アクチュエータによって減圧時の金属ベローズの収縮（潰れ）を阻止し、その両端フランジ同士の間隔を適切に維持することができる。空気圧アクチュエータの作動に機械式の給排手段を用いれば、簡単な構造でコスト高を招くことがなく、調整に手間が掛かることもない。
【００１９】
空気圧アクチュエータとして所謂空気ばねを用いた場合、そのばね定数を低くして振動の伝達を十分に抑制することが可能になる。また、負圧式のアクチュエータを用いれば、別途、空気圧源を備える必要がなく、コストのさらなる低減が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００２１】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る防振継手１の使用の一態様を示し、この防振継手１は、真空チャンバ２（減圧容器）と真空ポンプ３（加振源となる機器）との間の配管経路４に介設されて、真空ポンプ３からの振動の伝達を抑制する。真空チャンバ２の床部２０（以下、単に床部２０ともいう）は、４本の支柱５ａ，５ａ，…とそれらを繋ぐ梁５ｂ，５ｂ，…とからなる架台５上に載置されており、その上に、例えば電子顕微鏡等のように振動を嫌う精密機器（防振対象物）が設置される。
【００２２】
図の例では床部２０の下側に、取り付け用の中間板２１を介して防振継手１が取り付けられ、そこから下方に延びる配管部材４０の下端が真空ポンプ３に接続されている。すなわち、防振継手１は、上下一対の矩形状のベース板１０，１１を有し、それらの中間に、配管経路４の一部を構成する金属ベローズ１３と、その周囲を囲んで略同心状に設けられた空気ばね１４と、を備えている。金属ベローズ１３の上端は、上ベース板１０の下面に接続され、該上ベース板１０の他、前記中間板２１や床部２０を貫通する通路によって真空チャンバ２内に連通している。
【００２３】
一方、金属ベローズ１３の下端は下ベース板１１の上面に接続され、該下ベース板１１の貫通穴１１ａ（図２を参照）によって管部材４０内の通路に連通している。そして、真空ポンプ３が作動すると、管部材４０及び金属ベローズ１３を介して真空チャンバ２の内部から空気が排出され、所要の真空度まで減圧される。
【００２４】
また、この実施形態では、防振継手１と一体的に真空ポンプ３の吊設具が設けられている。すなわち、まず、防振継手１の上ベース板１０の４隅からそれぞれ下方に延びるようにガイドピン１５，１５，…が設けられ、その下側部が各々、下ベース板１１の４隅に設けられたガイド穴１１ｂ，１１ｂ，…（図２を参照）に遊嵌状態で挿入されている。図の例では、各ガイドピン１５はボルトの軸部によって構成され、その下端のボルト頭部が、下ベース板１１の下方への変位を制限するストッパとして機能するようになっている。
【００２５】
そして、前記のように上ベース板１０に対して上下に変位可能とされている下ベース板１１の４隅に、各ガイド穴１１ｂ，１１ｂ，…に隣接する部位からそれぞれ下方に延びるように４本のロッド１６，１６，…が設けられ、その下側の部位には上下に位置調整可能に真空ポンプ３の載置台１７が取り付けられている。こうして載置台１７上の真空ポンプ３は、防振継手１を介して真空チャンバ２の床部２０に吊り下げられている。
【００２６】
防振継手１の構造については、図１の左側から見た部分断面図である図２により詳しく示すように、まず、金属ベローズ１３の上端が接続される上ベース板１０の略中央には、上下の貫通穴１０ａが形成され、この貫通穴１０ａに対応して中間板２１とその上の床部２０とにもそれぞれ貫通穴２１ａ，２０ａが形成されている。そして、金属ベローズ１３の上端フランジ１３ａが前記上ベース板１０の貫通穴１０ａの周縁部に重ね合わされて締結されている一方、下端フランジ１３ｂは下ベース板１１の貫通穴１１ａの周縁部に重ね合わされて締結されている。
【００２７】
金属ベローズ１３は、この例ではステンレス製の薄板材を打ち抜いた円環状のコアを重ね合わせて、上下に隣接するものの外周縁及び内周縁を交互に溶接してなる溶接ベローズであり、成形ベローズに比べて剛性が低くなることから、振動の伝達抑制に優れている。また、金属ベローズ１３は、コアの表面を精密に研磨し且つ洗浄することにより異物の放出が殆どなくなり、その内部が高真空まで減圧されてもアウトガスの問題を生じない。
【００２８】
前記金属ベローズ１３の全周を取り囲んで、上下両ベース板１０，１１の間にゴム製ベローズ１４ａが架設されている。このベローズ１４ａは、内側の金属ベローズ１３との間に円環状の空気室１４ｂ（圧力室）を区画する１段の提灯型のものであり、金属ベローズ１３内が減圧されるときに、その両端フランジ１３ａ，ｂ間に発生する収縮力に対抗する押圧力を発生する空気ばね１４（空気圧アクチュエータ）である。
【００２９】
そうしてゴム製ベローズ１４ａと金属ベローズ１３との間に円環状の空気室１４ｂを形成して、空気ばね１４を金属ベローズ１３と同心状に配置することで、防振継手１を比較的コンパクトに構成することができる。
【００３０】
そして、前記空気室１４ｂには、下ベース板１１に形成された給排ポート１１ｃの一端が開口し、その他端は下ベース板１１の側部に開口していて、そこに接続された空気圧給排管１９（図１にのみ示す）によって、レベリングバルブ１８（機械式の給排手段）から高圧空気の供給を受け、また、レベリングバルブ１８を介して大気中に空気を放出するようになっている。
【００３１】
レベリングバルブ１８は、詳細は図示しないが、比例切換弁からなる従来周知構造のものであり、上下に回動可能なアーム１８ａを有し、このアーム１８ａの上下動に応じて、図外のコンプレッサ等の空気圧源からの高圧空気を空気ばね１４の空気室１４ｂに供給する給気位置と、その空気室１４ｂから排気する排気位置とに切換わるようになっている。アーム１８ａの先端には上下に伸びるようにロッド１８ｂが取り付けられ、その下端を覆う防振ゴムのキャップが下ベース板１１側のブラケット１８ｃに接触している。
【００３２】
そして、上下のベース板１０，１１同士の間隔が予め設定した値よりも小さくなって、アーム１８ａが上方に回動すると、レベリングバルブ１８は給気位置になって高圧空気を空気ばね１４に供給する。反対にベース板１０，１１同士の間隔が設定値よりも大きくなって、アーム１８ａが下方に回動すれば、レベリングバルブ１８は排気位置になって空気ばね１４から排気する。尚、ベース板１０，１１同士の間隔が略設定値になっていれば、レベリングバルブ１８は中立位置になって給気も排気も行わない。
【００３３】
つまり、この実施形態の防振継手１においては、空気ばね１４が、レベリングバルブ１８からの空気圧の給排を受けて、上下のベース板１０，１１同士の間隔を設定値に維持するように作動する。この設定値とは、下ベース板１１の下面と、ガイドピン１５であるボルトの頭部との間隔が所定の大きさになって、真空ポンプ３の振動により下ベース板１１が上下に最大振幅で振動しても両者が接触しないとともに、勿論、上下ベース板１０，１１同士の間でも不用な接触が生じないような値とされている。
【００３４】
したがって、この実施形態１に係る防振継手１を真空チャンバ１と真空ポンプ３との間の配管経路４に介設すれば、その真空ポンプ３の作動に伴う振動は、まず、金属ベローズ１３の伸縮によって吸収されるようになり、その金属ベローズ１３のばね定数が低いことから、基本的に高い防振性能が得られる。
【００３５】
また、真空ポンプ３の作動によって真空チャンバ２内が減圧されるときには、金属ベローズ１３内も減圧されて、その両端フランジ間１３ａ，１３ｂに収縮力が発生することになるが、これに応じてレベリングバルブ１８が作動し、空気ばね１４に適切な空気圧が供給されることにより、互いに近づこうとする上下のベース板１０，１１同士を押し退けて、それらの間隔を設定値に維持することができる。
【００３６】
そうして上下のベース板１０，１１同士の間隔が設定値に維持されることで、真空ポンプ３の振動により下ベース板１１が最大振幅状態となっても、これが上ベース板１０側の部材に接触して振動が直接的に伝達されることはない。また、空気ばね１４のばね定数は十分に低くすることができるので、これによる振動の伝達も十分に抑制できる。
【００３７】
図３は、この実施形態の防振継手１による振動伝達の抑制効果を実測した試験データを示し、縦軸は、真空チャンバ２の床部２０に配設した加速度センサにより検出される振動加速度で、横軸はその周波数を示す。同図に実線のグラフで示すように、空気ばね１４を作動させると、それを作動させないとき（破線のグラフ）に比べて加速度が小さくなっており、振動の伝達を抑制できることが分かる。
【００３８】
さらに、この実施形態では、防振継手１と一体的に設けられた吊設具によって真空ポンプ３が真空チャンバ２の床部２０の下方に吊り下げられているので、その真空ポンプ３の振動は実質、架台５の設置されている床面にも伝わらないようになり、余計な床振動の発生をも防止できる。
【００３９】
（実施形態２）
図４は、本発明の実施形態２に係る防振継手６を示し、この防振継手６は、上述した実施形態１のものと同様に、上下のベース板１０，１１の間隔を維持するための空気ばね６０を備えるもので、この空気ばね６０として所謂ダイヤフラム式のものを用いている。尚、それ以外の防振継手６の構造は、実施形態１のものと同じなので、同一部材には同一符号を付してその説明は省略する。
【００４０】
そして、この実施形態２の防振継手６において空気ばね６０は、図示のように、金属ベローズ１３の上端フランジ１３ａの外周に近接して、上ベース板１０の下面から下方に垂下する円環状の上周壁部６１と、この上周壁部６１の外周から外方に所定間隔を空けて、下ベース板１１の上面から上方に延びる円環状の下周壁部６２と、この下周壁部６２の上端から上周壁部６１の下端に架け渡され、それらの間を気密に閉塞して空気室６３を区画する円環状のゴム製ダイヤフラム６４と、を備えている。
【００４１】
前記上周壁部６１は、上端面が上ベース板１０の下面に接合されて締結され、その上ベース板１０とともに空気室６３に臨むピストンとして機能する。一方、下周壁部６２は、下端面が下ベース板１１の上面に接合されて締結され、その下ベース板１１とともに空気室６３を囲むケースとして機能する。ダイヤフラム６４は、内周部が上周壁部６１の下端面に接着されて、締付けリング６５により挟持される一方、外周部は下周壁部６２の上端面に接着されて、締付けリング６６により挟持されている。
【００４２】
また、図の例では、上周壁部６１の外周面に環状の窪み６１ａが形成されていて、その下側の周面は、下側に向かって外径の拡大するテーパ面とされている。このテーパ面には、図示のようにダイヤフラム６４の内外中央部における内周寄りの部分が付着して、空気室６３の圧力が作用することになり、このことで、ばね定数を低下させることができる。
【００４３】
したがって、この実施形態２の防振継手６によると、まず、空気ばね６０をダイヤフラム式のものとしたことで、ベローズ式のものに比べてばね定数を低く設定しやすい上に、空気ばね６０のピストンとして機能する上周壁部６１の形状に工夫をして、そのばね定数をさらに低下させることができるので、振動伝達の抑制に有利なものである。
【００４４】
（実施形態３）
図５は、本発明の実施形態３に係る防振継手７を示し、この防振継手７は、上述した実施形態１、２のものとは異なり、上下のベース板１０，１１同士の間隔を維持するために所謂負圧アクチュエータ７０を備えたものである。但し、その点を除いて防振継手７の構造は実施形態１、２のものと概ね同じなので、同一部材には同一符号を付してその説明は省略する。
【００４５】
そして、この実施形態３の防振継手７では、図示のように、上下のベース板１０の外周から下方に垂下する連結板７１，７１，…が設けられ、これらの連結板７１，７１，…がそれぞれ下ベース板１１よりも下方に延びて、その下端部が環状の副ベース板７２の外周に締結されている。この副ベース板７２は、下ベース板１１の下方に所定の間隔（図の例では上下のベース板１０，１１と略同じ間隔）を空けて配置され、その下ベース板１１との間に配設された２つの金属ベローズ７３，７４とともに、円環状の負圧室７５を有する負圧アクチュエータ７０を構成している。
【００４６】
すなわち、前記負圧室７５に臨んで開口するように、副ベース板７２には負圧導入ポート７２ａが形成され、外部に開口するそのポート７２ａの他端には、配管経路４の管部材４０から負圧を導入するためのホース部材７６が接続されている。また、負圧室７５に臨む下ベース板１１の下面の面積、即ち、負圧アクチュエータ７０の負圧室７５の有効面積は、この負圧室７５に管部材４０からの負圧が導入されて、真空チャンバ２内と同じ大きさの負圧が作用するときに、負圧アクチュエータ７０が金属ベローズ１３の収縮力と同じだけの引張力を発生するように設定されている。
【００４７】
したがって、この実施形態３の防振継手７によると、真空チャンバ２内を減圧するための真空ポンプ３を利用して、負圧アクチュエータ７０の負圧室７５から排気することができるので、前記実施形態１、２のように空気ばね１４、６０のための空気圧源を別途、準備する必要がなく、コストのさらなる低減が可能になる。
【００４８】
しかも、前記のように負圧室７５の有効面積を適切に設定することで、減圧時の金属ベローズ１３の収縮を確実に阻止できる。また、仮に真空チャンバ２内の真空度が低い場合には、それよりも大きな負圧を管部材４０とは別に真空ポンプ３から負圧室７５に導くようにしてもよい。この場合、負圧室７５の有効面積は相対的に小さくすることができるので、コンパクト化に有利になる。
【００４９】
尚、そうして負圧を調整するのであれば、そのための圧力調整回路を含めて、ホース部材７６が、金属ベローズ１３内が減圧されるとき、その両端フランジ１３ａ，１３ｂ間に発生する収縮力に抗して両者の間隔を維持するように、負圧アクチュエータ７０から排気する機械式の給排手段を構成する。よって、実施形態３においてレベリングバルブ１８は不用になる。
【００５０】
（他の実施形態）
本発明に係る防振継手の構成は上述した実施形態１〜３に限定されず、その他の種々の構成をも包含する。例えば実施形態１では、空気ばね１４のベローズ１４ａをゴム製の１段のものとしているが、これは２段又は３段のものとしてもよく、或いは金属ベローズを用いることもできる。
【００５１】
また、実施形態３では、同心状の２つの金属ベローズ７３，７４によって、負圧アクチュエータ７０の円環状負圧室７５を形成しているが、これに限らず、ゴム製ベローズを用いることもできる。また、負圧アクチュエータ７０のレイアウトは図示のものに限定されず、それの発生する引張力が金属ベローズ１３の収縮力に対向するように位置付ければよい。
【００５２】
また、前記各実施形態では、いずれも、防振継手１，６，７と一体的に設けた吊設具によって真空ポンプ３を吊り下げるようにしているが、これに限らず真空ポンプ３は、ロッド１６及び載置台１７なしで配管部材４０に直接、懸架させることもできるし、或いは、床面に設置することもできる。さらに、配管経路４の構成、レイアウトも各実施形態のものに限定されず、例えば配管経路４は横向きであってもよいし、屈曲していてもよい。
【００５３】
さらにまた、図示は省略するが、前記各実施形態において金属ベローズ１３の外周に防振ゴム等の減衰材を巻き付けて、減衰を付与するようにすれば、金属ベローズ１３の共振を抑えることができ、振動の伝達を抑制する上でさらに有利になる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
以上の如く本発明に係る防振継手は、簡単な構造で低コストでありながら、振動の伝達を十分に抑制できるものであり、特に真空チャンバのように減圧容器内が高度の減圧状態となるものに適している。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施形態に係る防振継手の一使用態様を示す構成図である。
【図２】実施形態１の防振継手の構造を示す部分断面図である。
【図３】同防振継手による振動伝達の抑制効果を示すグラフ図である。
【図４】実施形態２に係る図２相当図である。
【図５】実施形態３に係る図２相当図である。
【符号の説明】
【００５６】
１      防振継手
２      真空チャンバ（減圧容器）
３      真空ポンプ（加振源となる機器）
４      配管経路
１０    上ベース板
１１    下ベース板
１３    金属ベローズ
１３ａ、１３ｂ    フランジ
１４    ベローズ式空気ばね（空気圧アクチュエータ）
１４ｂ  空気室（圧力室）
１８    レベリングバルブ（機械式給排手段）
６      ダイヤフラム式空気ばね（空気圧アクチュエータ）
６３    空気室（圧力室）
７      負圧アクチュエータ（空気圧アクチュエータ）
７１    上周壁部（ピストン）
７１ａ  テーパ面（傾斜面）
７３    負圧室（圧力室）
７４    ダイヤフラム
７６    ホース部材（機械式給排手段）
【図１】
2009097673.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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