(57)【要約】【課題】ロットの分割または統合が行なわれても、ウエハ本体とそのウエハの情報の所在が異なるような事態に陥るのを避けるようにすることが可能なウエハ管理システムを提供する。【解決手段】収納ユニットは、半導体製造ライン上を搬送される複数個のウエハを収納する。ウエハ認識ＩＣタグ５は、収納されたウエハごとに対応して設けられる。ウエハ認識ＩＣタグ５は、収納ユニット３に直接または間接的に装着可能である。ウエハ認識ＩＣタグ５は、対応のウエハの識別情報を記憶し、記憶している識別情報を表示する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造ライン上を搬送されるウエハを管理するウエハ管理システムであって、
複数個のウエハを収納した収納ユニットと、
前記収納されたウエハごとに対応して設けられるウエハ情報記憶媒体とを備え、
前記ウエハ情報記憶媒体は、前記収納ユニットに直接または間接的に装着可能であり、
前記ウエハ情報記憶媒体は、
対応のウエハの識別情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶されている情報を表示する表示部とを備える、ウエハ管理システム。
【請求項２】
前記記憶部は、前記ウエハの製造パラメータを表わす情報を記憶する、請求項１記載のウエハ管理システム。
【請求項３】
前記ウエハ情報記憶媒体は、さらに、
ユーザの操作に従って、前記表示部に表示する項目を切替えるスイッチを備える、請求項１記載のウエハ管理システム。
【請求項４】
前記ウエハ情報記憶媒体は、さらに、
前記記憶部に記憶する情報を無線で受信するための通信部を備える、請求項１記載のウエハ管理システム。
【請求項５】
前記ウエハ管理システムは、さらに、
前記収納ユニットに装着可能なロット情報記憶媒体を備え、
前記ロット情報記憶媒体は、前記収納ユニットに収納されているウエハが属するロットの情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶されている情報を表示する表示部とを備え、
前記ウエハ情報記憶媒体は、前記ロット情報記憶媒体の予め定められた箇所に装着可能である、請求項１記載のウエハ管理システム。
【請求項６】
前記ロット情報記憶媒体は、さらに、
前記ロットの情報、および前記ウエハの識別情報を受信する通信部と、
出力端子と、
前記受信したウエハの識別情報を前記出力端子を介して前記ウエハ情報記憶媒体へ出力する出力部とを備え、
前記ウエハ情報記憶媒体は、さらに、
入力端子と、
前記入力端子から前記ウエハの識別情報を受けて、前記記憶部に書込む入力部とを備え、
前記ウエハ情報記憶媒体の前記入力端子と、前記ロット情報記憶媒体の前記出力端子とが接触する形で、前記ウエハ情報記憶媒体が前記ロット情報記憶媒体の予め定められた箇所に装着可能である、請求項５記載のウエハ管理システム。
【請求項７】
半導体製造ライン上を搬送されるウエハを管理するウエハ管理システムであって、
複数個のウエハを収納した収納ユニットと、
前記収納ユニットに直接または間接的に装着されるウエハ認識プレートと、
前記ウエハ認識プレートには、対応のウエハの識別情報が直接または間接的に印字される、ウエハ管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ管理システムに関し、特に半導体の製造ライン上を搬送されるウエハを管理するためのウエハ管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造ラインでは、複数個のウエハが１個の収納ユニットに収納されて、ロットとして製造ラインを流れていく。収納ユニットには、ロット情報カードと呼ばれるＩＣ(Integrated Circuit)カードが装着されている。このＩＣカードは、ロットに関する情報を表示するための液晶ディスプレイを有し、製造ラインの作業員は、この液晶ディスプレイの表示内容に従って、収納ユニットの搬送、ウエハの積み替えなどの作業を行なうことができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、製造ラインの作業員は、作業を進める上で、収納ユニット内に何枚のウエハが格納されているか、あるいは、どのようなウエハが格納されているかを知りたい場合がある。そのための一つの方法として、ロット情報カードにウエハの情報を記憶し、液晶ディスプレイを用いて、それらの情報を表示することが考えられる。
【０００４】
しかしながら、１つの収納ユニット内にどのウエハが収納されるかは、固定で決まっているものとは限らず、変更が生じる場合がある。すなわち、製造工程の作業効率のため、あるウエハを別の収納ユニットへ移す（ロットの分割）場合や、別の収納ユニット内のウエハを取り込む（ロットの統合）場合がある。
【０００５】
これらロットの分割や統合が行なわれた場合に、ロット情報カードにウエハの情報を記憶させる方法では、ロット情報カードの所在場所、つまりウエハの情報が所在する場所と、ウエハ本体が所在する場所とに食い違いが生じ、それにより、作業ミスが発生することがある。
【０００６】
それゆえに、本発明の目的は、ロットの分割または統合が行なわれても、ウエハ本体とそのウエハの情報の所在が異なるような事態に陥るのを避けるようにすることが可能なウエハ管理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施例によれば、半導体製造ライン上を搬送されるウエハを管理するウエハ管理システムに関する。収納ユニットは、複数個のウエハを収納する。ウエハ情報記憶媒体は、収納されたウエハごとに対応して設けられ、収納ユニットに直接または間接的に装着可能である。ウエハ情報記憶媒体は、対応のウエハの識別情報を記憶する記憶部と、記憶部に記憶されている情報を表示する表示部とを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ロットの分割または統合が行なわれても、ウエハ本体とそのウエハの情報の所在が異なるような事態に陥るのを避けるようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明に係る実施の形態について図面を参照して説明する。
［第１の実施形態］
図１は、本発明の実施形態のウエハ認識ＩＣタグの取り付け例を表わす図である。
【００１０】
図１を参照して、ウエハ収納ユニット３のケースの内部に、カセット２が装着されており、カセット２の内部に複数枚のウエハ１（たとえば、２４枚）が収納される。ウエハ収納ユニット３は、たとえば、一辺が２０〜３０ｃｍの立方体であり、ウエハ１の大きさは、たとえば８インチである。ウエハ収納ユニット３には、同一の製造ロットに属するウエハ１が格納される。
【００１１】
ロット情報カード４は、カセット２内のウエハが属するロットのロットＩＤの表示などを行なうためのものである。ロット情報カード４は、カセット２の前面に、たとえば磁気などによって装着されている。ロット情報カード４の前面および後面は、たとえば、縦１５ｃｍ×横１０ｃｍの長方形である。
【００１２】
ウエハ認識ＩＣタグ５は、カセット２内のウエハ１に対応して設けられ、対応のウエハ１のＩＤなどを表示するためのものである。ウエハ認識ＩＣタグ５は、ロット情報カード４に装着される。つまり、ウエハ認識ＩＣタグ５は、収納ユニット３に間接的に装着される。ウエハ認識ＩＣタグ５の前面および後面は、たとえば縦１ｃｍ×横２ｃｍの長方形である。
【００１３】
製造ライン上のウエハ収納ユニット３と、製造ラインを管理する図示しない生産管理装置とは、別々の場所にあり、生産管理装置の操作は専任のオペレータによって行われるが、ウエハの統合や分割などの作業は、製造ラインの作業員によって行われる。
【００１４】
図２は、第１の実施形態のウエハ管理システムのシステム構成図である。
図２を参照して、このウエハ管理システムは、１台の生産管理装置６と、それぞれが１つのロットに対応する複数のロット情報カード４と、それぞれが１つのウエハに対応する複数のウエハ認識ＩＣタグ５ａ〜５ｘからなる。生産管理装置６とロット情報カード４との間、および生産管理装置６とウエハ認識ＩＣタグ５ａ〜５ｘとの間は、それぞれ電波無線によって情報の伝送が行なわれる。
【００１５】
図３は、生産管理装置の機能ブロック図である。
図３を参照して、生産管理装置６は、制御部６１と、記憶部６２と、操作入力部６３と、通信部６４とを備える。
【００１６】
操作入力部６１は、具体的には、マウスおよびキーボードなどであり、オペレータからの入力を受け付ける。
【００１７】
通信部６４は、ロット情報カード４およびウエハ認識ＩＣタグ５との間で無線で情報のやりとりを行なう。具体的には、通信部６４は、記憶部６２からロットＩＤ、工程名、担当者名、工程を行なう装置名、工程の注釈、ロットの製造パラメータ、次工程の行き先を表わす情報を読み出して、ロット情報カード４へ送信する。また、通信部６４は、必要に応じて、送信したこれらの情報をロット情報カード４から受信する。
【００１８】
また、通信部６４は、ウエハＩＤ、ウエハの製造パラメータ（つまり、工程の処理時間、処理内容などの製造条件）、ウエハ処理状況を表わす情報をウエハ認識ＩＣタグ５へ送信する。また、通信部６４は、必要に応じて、送信したこれらの情報をウエハ認識ＩＣタグ５から受信する。
【００１９】
記憶部６２は、ウエハの生産管理のための各種の情報を記憶する。
制御部６１は、この生産管理装置１の処理を制御するとともに、図示しない、ウエハの製造工程を担う装置を制御する。
【００２０】
図４は、第１の実施形態のロット情報カードの機能ブロック図である。
図４を参照して、ロット情報カード４は、制御部４１と、記憶部４２と、通信部４３と、スイッチ４４と、液晶ディスプレイ４５とを備える。
【００２１】
制御部４１は、全体の処理の制御を行なう。
通信部４３は、生産管理装置６から、ロットＩＤ、工程名、担当者名、工程を行なう装置名、工程の注釈、ロットの製造パラメータ、次工程の行き先を表わす情報を受信して、記憶部４２に書込む。また、通信部４３は、必要に応じて、記憶部４２に記憶されているこれらの情報を読み出して、生産管理装置６へ送信する。
【００２２】
記憶部４２は、受信したロットＩＤ、工程名、担当者名、工程を行なう装置名、工程の注釈、ロットの製造パラメータ、次工程の行き先を表わす情報を記憶する。
【００２３】
液晶ディスプレイ４５は、記憶部４２に記憶されているロットＩＤ、工程名、担当者名、工程を行なう装置名、工程の注釈、ロットの製造パラメータ、次工程の行き先を表わす情報を表示する。液晶ディスプレイ４５は、全角で１０文字×５行の表示エリアを有する。製造ラインの作業員がスイッチ４４を操作することによって、液晶ディスプレイ４５に表示される項目が切替えられる。
【００２４】
図５は、第１の実施形態のウエハ認識ＩＣタグの機能ブロック図である。
図５を参照して、ウエハ認識ＩＣタグ５は、制御部５１と、記憶部５２と、通信部５３と、スイッチ５４と、液晶ディスプレイ５５とを備える。
【００２５】
制御部５１は、全体の処理の制御を行なう。
通信部５３は、生産管理装置６から、ウエハＩＤ、ウエハの製造パラメータ、ウエハ処理状況を表わす情報を受信して、記憶部５２に書込む。また、通信部５３は、必要に応じて、記憶部５２に記憶されているこれらの情報を読み出して、生産管理装置６へ送信する。
【００２６】
記憶部５２は、受信したウエハＩＤ、ウエハの製造パラメータ、ウエハ処理状況を表わす情報を記憶する。
【００２７】
液晶ディスプレイ５５は、記憶部５２に記憶されているウエハＩＤ、ウエハの製造パラメータ、ウエハ処理状況を表わす情報を表示する。製造ラインの作業員がスイッチ５４を操作することによって、液晶ディスプレイ５５に表示される項目が切替えられる。
【００２８】
図６は、ロット情報カードの外観の例を表わす図である。
図６を参照して、ロット情報カード４の前面の上部には、液晶ディスプレイ４５が配置される。液晶ディスプレイ４５には、図に示すように、ロットＩＤ（この例では００４３）、工程名（この例では第４工程）、担当者（この例ではＡ）、装置名（この例では第８装置）が表示される。
【００２９】
液晶ディスプレイ４５の下方向には、ウエハ認識ＩＣタグ５ａ〜５ｘを嵌め込んで装着するための凹部４６ａ〜４６ｘが、カセット２に装着可能なウエハ１の個数分だけ設けられている。ウエハ認識ＩＣタグ５ａ〜５ｘがどの凹部に嵌めこまれるかは、予め定められている。
【００３０】
たとえば、カセット２内の最も下に挿入されているウエハ１に対応するウエハ認識ＩＣタグ５ａは、ロット情報カード４の最上部の最左部の凹部４６ａに嵌めこまれる。また、カセット２内の下から４番目に挿入されているウエハ１に対応するウエハ認識ＩＣタグ５ｄは、ロット情報カード４の最上部の最右部の凹部４６ｄに嵌めこまれる。
【００３１】
このように、ウエハ認識ＩＣタグ５の装着する位置が決まっているので、製造ラインの作業者は、目的のウエハ認識ＩＣタグ５がロット情報カード４の対応する箇所に装着されているかどうかを見るだけで、収納ユニット３内に目的のウエハがあるかどうかがわかる。
【００３２】
さらに、ロット情報カード４の前面の下部には、液晶ディスプレイ４５の表示項目を切替えるためのスイッチ４４が配置されている。
【００３３】
製造ラインの作業者は、あるロットの収納ユニット３（移動元）からあるウエハ１を取り出して、別のロットの収納ユニット３（移動先）に移す場合には、そのウエハ１に対応するウエハ認識ＩＣタグ５も、移動元にあるロット情報カード４から取り外して、移動先にあるロット情報カード４の対応する場所の凹部に嵌め込む。このように、製造ラインの作業者が、ウエハ１を移動させる場合には、ウエハ認識ＩＣタグ５も一緒に移動させるようにすることによって、ウエハ本体とウエハ情報の所在を一致させることができる。
【００３４】
図７（ａ）〜（ｃ）は、ウエハ認識ＩＣタグの外観の例を表わす図である。
図７を参照して、ウエハ認識ＩＣタグ５の前面の中央部には、液晶ディスプレイ５５が配置される。さらに、ウエハ認識ＩＣタグ５の前面の右上部には、液晶ディスプレイ５５の表示項目を切替えるためのスイッチ５４が配置される。
【００３５】
図７（ａ）に示すように、液晶ディスプレイ５５にウエハＩＤ（この例では、＃００２４）を表示することによって、製造ラインの作業者は、このウエハ認識ＩＣタグ５が装着されているロット、つまり収納ユニット３には、ウエハＩＤが＃００２４のウエハ１が格納されていることがわかる。
【００３６】
製造ラインの作業者が、スイッチ５４を操作すると、図７（ｂ）に示すように、液晶ディスプレイ５５には、ウエハ処理状況（この例では、第４工程中）が表示される。これによって、製造ラインの作業者は、ウエハＩＤが＃００２４のウエハ１が第４工程の処理中であることがわかる。
【００３７】
その後、ウエハＩＤ＃００２４の第４工程の処理が終了すると、液晶ディスプレイ５５の画面が図７（ｃ）に示すように変化する。これによって、製造ラインの作業者は、ウエハＩＤが＃００２４のウエハ１が第４工程の処理を終了したことがわかる。
【００３８】
以上のように、第１の実施形態のウエハ管理システムによれば、ウエハごとにウエハ認識ＩＣタグを備えるものとし、ウエハ本体とウエハ認識ＩＣタグとを同時に移動させることで、これらの所在が異なるようなことが起こらないようにすることができる。また、ウエハ認識ＩＣタグが、ウエハＩＤ、ウエハの処理状況、ウエハの製造パラメータを表示するので、製造ラインの作業員に必要な情報を知らせることができる。
【００３９】
また、生産管理装置とウエハ認識ＩＣタグとの間の情報の伝送は、ロット情報カードを経由することなく、直接無線で行なわれるので、確実かつ短時間に必要な情報が伝送できる。
【００４０】
また、無線通信として電波を用いることで、ウエハ本体を格納しかつウエハ認識ＩＣタグを取り付けた収納ユニットがなんらかの理由で、製造ライン以外の場所に持ち出されたりした場合でも、その所在を知ることができる場合がある。たとえば、通信可能であれば、その収納ユニットは、アンテナの周りに存在することがわかる。
【００４１】
また、ウエハ認識ＩＣタグに、対応のウエハの工程処理の状況を表示することができるようにしたので、製造装置の故障でウエハ処理が中断したような場合に、どのウエハまで処理が終了したのかを知ることもできる。
【００４２】
［第２の実施形態］
第１の実施形態では、生産管理装置６は、ロット情報カード４とウエハ認識ＩＣタグ５の両方との間で情報の伝送を行なうことしたが、このような構成に代えて、生産管理装置６は、ロット情報カード４との間だけで情報の伝送を行ない、ロット情報カード４とウエハ認識ＩＣタグ５との間でも情報の伝送が行なわれる構成を用いてもよい。
【００４３】
図８は、第２の実施形態のウエハ管理システムのシステム構成図である。
図８を参照して、このウエハ管理システム７は、１台の生産管理装置７と、それぞれが１つのロットに対応する複数のロット情報カード８と、それぞれが１つのウエハに対応する複数のウエハ認識ＩＣタグ９ａ〜９ｅからなる。生産管理装置７とロット情報カード８との間は、光無線によって情報の伝送が行われる。ロット情報カード８と、ウエハ認識ＩＣタグ９ａ〜９ｘとの間は、電気的な端子を介して情報の伝送が行われる。
【００４４】
次に、図８の第２の実施形態のロット情報カード８が、図４の第１の実施形態のロット情報カード４と相違する点と、図８のウエハ認識ＩＣタグ９が、図５の第１の実施形態のウエハ認識ＩＣタグ５と相違する点について説明する。
【００４５】
図９は、第２の実施形態のロット情報カードの機能ブロック図である。図１０は、第２の実施形態のウエハ認識ＩＣタグの機能ブロック図である。
【００４６】
図９のロット情報カード８の通信部８３は、生産管理装置７から、ロットＩＤ、工程名、担当者名、工程を行なう装置名、工程の注釈、ロットの製造パラメータ、次工程の行き先を表わす情報だけでなく、ウエハＩＤ、ウエハの製造パラメータ、ウエハ処理状況を表わす情報をも受信して、記憶部８２に記憶する。
【００４７】
図９のロット情報カード８は、電気的な入出力端子（接点）８９と、端子８９を介して情報の入出力を行なうためのデータ読出し／書込み部８１を含む。データ読出し／書込み部８１は、記憶部８２に記憶されている情報を端子８９を介して出力し、端子８９から受けた情報を記憶部８２に記憶する。
【００４８】
また、図１０のウエハ認識ＩＣタグ９は、電気的な入出力端子（接点）９９と、端子９９を介して情報の入出力を行なうためのデータ読出し／書込み部９１を含む。データ読出し／書込み部９１は、記憶部５２に記憶されている情報を端子９９を介して出力し、端子９９から受けた情報を記憶部５２に記憶する。
【００４９】
端子８９と端子９９とが接触された状態のときに、ロット情報カード８の端子８９からウエハ認識ＩＣタグ９の端子９９へ、ウエハＩＤ、ウエハの製造パラメータ、ウエハ処理状況を表わす情報が伝送される。
【００５０】
以上のように、第２の実施形態のウエハ管理システムによれば、ウエハ認識ＩＣタグが無線通信機能を備えない場合でも、ロット情報カードからウエハ認識ＩＣタグに接触式で情報を送ることができるので、第１の実施形態と同様の機能を実現できる。
【００５１】
［第３の実施形態］
第１の実施形態では、ウエハごとに電気的な装置であるウエハ認識ＩＣタグを用いたが、このようなものではなく、単に、ウエハが収納ユニットに存在するかどうかを識別するためだけであれば、単にプレートを用いてもよい。
【００５２】
図１１は、ウエハ認識プレートの例を表わす図である。
ウエハ認識プレート９５は、たとえば、プラスチックまたはマグネットでできており、第１の実施形態で説明したように、ロット情報カード４の凹部に嵌め込むことが可能である。
【００５３】
ウエハ認識プレート９５は、前面にウエハＩＤ（この場合、＃００２４）が印字されたテープ９６が貼付されている。これにより、製造ラインの作業者は、このウエハ認識プレート９５が装着されているロット、つまり収納ユニット３には、ウエハＩＤが＃００２４のウエハ１が格納されていることがわかる。
【００５４】
製造ラインの作業者は、第１の実施形態と同様に、あるロットの収納ユニット３（移動元）からあるウエハ１を取り出して、別のロットの収納ユニット３（移動先）に移す場合には、そのウエハ１に対応するウエハ認識プレート９５も、移動元にあるロット情報カード４から取り外して、移動先にあるロット情報カード４の対応する場所の凹部に嵌め込む。
【００５５】
以上のように、第３の実施形態のウエハ管理システムによれば、電子装置であるタグではなく、単なるプレートを用いることによって、簡易な構成で、ウエハ本体とウエハ情報の所在を一致させるようにすることができる。
【００５６】
（変形例）
本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、たとえば以下のような変形例を含む。
【００５７】
（１）  通信部
本発明の第１の実施形態では、無線通信として電波無線を例にして説明したが、これに限定するものではない。たとえば、光無線を用いたものでもよい。逆に、本発明の第２の実施形態では、無線通信として光無線を例にして説明したが、電波無線であってもよい。
【００５８】
（２）  ウエハ認識ＩＣタグ、またはウエハ認識プレートの取り付け
本発明の実施形態では、ウエハ認識ＩＣタグおよびウエハ認識プレートをロット情報カードの凹部に嵌め込みことしたが、これに限定するものではない。凹部に嵌め込むのではなく、ロット情報カードの平坦な箇所に磁気で装着するものとしてもよい。
【００５９】
（３）  ロット情報管理カード以外のカードに装着
第１の実施形態のように、ウエハ認識ＩＣタグが生産管理装置と直接通信する場合や、第３の実施形態のように、ウエハ認識プレートが他の装置と通信しない場合には、ウエハ認識ＩＣタグおよびウエハ認識プレートを、ロット情報カードとは別の場所に装着するようにしてもよい。
【００６０】
図１２は、ウエハ認識ＩＣタグの取り付けの例を表わす図である。
図１２を参照して、ウエハ認識ＩＣタグ１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃは、カセットの表面に磁気によってランダムな位置に装着される。他のウエハ認識ＩＣタグも、同様にしてカセットの表面に磁気によって装着されている。つまり、図１２では、ウエハ認識ＩＣタグが、収納ユニット直接的に装着されている。
【００６１】
（４）  ウエハ認識ＩＣタグおよびウエハ認識プレートの配置
本発明の実施形態では、ウエハ認識ＩＣタグおよびウエハ認識プレートは、ロット情報カードのどの凹部に嵌め込むかは、予め定められているものとしたが、これに限定するものではない。たとえば、製造ラインの作業者が、ウエハ本体の位置とウエハＩＤとの対応関係を熟知している場合には、ウエハ認識ＩＣタグおよびウエハ認識プレートを、ロット情報カードの凹部の任意の位置に嵌め込むこととしてもよい。
【００６２】
（５）  ＬＥＤ
本発明の実施形態では、ウエハ認識ＩＣタグが、ウエハＩＤなどを表示するための液晶ディスプレイを備えることとしたが、これに限定するものではない。ウエハ認識ＩＣタグがＬＥＤを備えるとともに、ウエハ認識ＩＣタグに第３の実施形態のようにウエハＩＤを印字したテープを貼付しておき、対応のウエハの処理中にＬＥＤ(Laser Emitting Diode)を発光させることとしてもよい。
【００６３】
（６）  製造パラメータ
ウエハ認識ＩＣタグに記億された製造パラメータは、液晶ディスプレイで表示するだけでなく、それに代えて、またはそれとともに、製造ラインの装置に出力して、その装置でウエハの処理を行なうときに、利用されるものとしてもよい。
【００６４】
また、このようにウエハ認識ＩＣタグを製造パラメータの情報をウエハ本体とともに移動させるためのものとして用いることとしてもよい。そして、このような用途に用いる場合には、表示するための装置である液晶ディスプレイやＬＥＤを設けないこととしてもよい。この場合、ウエハＩＤについては、第３の実施形態のように、ウエハ認識ＩＣタグにウエハＩＤを印字したテープを貼付しておけばよい。
【００６５】
（７）  無線通信
本発明の実施形態では、無線通信が行なわれるが、混信が起こらないように、送信元および送信先を示す情報を伝送すべき情報に付加した上で、伝送するものとしてもよい。あるいは、混信が起こらないように、重複しない周波数を割り当てるものとしてもよい。
【００６６】
（８）  ウエハＩＤの印字
本発明の実施形態では、ウエハＩＤをウエハ認識プレートに間接的に印字し、変形例（６）では、ウエハＩＤをウエハ認識ＩＣタグに間接的に印字した。つまり、ウエハＩＤを印字したテープをウエハ認識プレートおよびウエハ認識ＩＣタグに貼付したが、これに限定するものではない。たとえば、ウエハ認識ＩＣタグおよびウエハ認識プレートにウエハＩＤを直接印字してもよい。また、ウエハＩＤは、文字ではなく、バーコードであってもよい。
【００６７】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施形態のウエハ認識ＩＣタグの取り付け例を表わす図である。
【図２】第１の実施形態のウエハ管理システムのシステム構成図である。
【図３】生産管理装置の機能ブロック図である。
【図４】第１の実施形態のロット情報カードの機能ブロック図である。
【図５】第１の実施形態のウエハ認識ＩＣタグの機能ブロック図である。
【図６】ロット情報カードの外観の例を表わす図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、ウエハ認識ＩＣタグの外観の例を表わす図である。
【図８】第２の実施形態のウエハ管理システムのシステム構成図である。
【図９】第２の実施形態のロット情報カードの機能ブロック図である。
【図１０】第２の実施形態のウエハ認識ＩＣタグの機能ブロック図である。
【図１１】ウエハ認識プレートの例を表わす図である。
【図１２】ウエハ認識ＩＣタグの取り付けの例を表わす図である。
【符号の説明】
【００６９】
１  ウエハ、２  カセット、３  収納ユニット、４，８  ロット情報カード、５，５ａ〜５ｘ，９，９ａ〜９ｘ  ウエハ認識ＩＣタグ、６，７  生産管理装置、４１，５１，６１  制御部、４２，５２，６２，８２  記憶部、６３  操作入力部、４３，５３，６４，８３  通信部、４４，５４  スイッチ、４５，５５  液晶ディスプレイ、４６ａ〜４６ｘ  凹部、８１，９１  データ読出し／書込み部、８９，９９  端子（接点）、９５  ウエハ認識プレート、９６  テープ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009130045.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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