(57)【要約】【課題】試料を目的温度へと迅速且つ温度分布良く到達し、試料の形状を迅速且つ正確に測定できる簡便な測定方法、保持装置及び形状測定装置を提供すること。【解決手段】干渉計４０を用い試料９０の形状を測定する測定方法は、気密性材料で形成された匡体２１の内部に、低蒸気圧液体２５３が収容される収容部２５を設け、試料９０を、その一部が低蒸気圧液体２５３に浸された状態で、干渉計４０の光源から発射される測定光の光路ＯＰ上に配置し、匡体２１の内部を密閉して減圧し、測定光を光源から、試料９０のうち低蒸気圧液体２５３に浸されていない部分９１へと発射して干渉データを取得し、この干渉データに基づいて試料９０の形状を測定する工程を有する。【選択図】図１
2009270834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉計を用い試料の形状を測定する測定方法であって、
気密性材料で形成された匡体の内部に、低蒸気圧液体が収容される収容手段を設け、
前記試料を、その一部が前記低蒸気圧液体に浸された状態で、前記干渉計の光源から発射される測定光の光路上に配置し、
前記匡体の内部を密閉して減圧し、
前記測定光を前記光源から、前記試料のうち前記低蒸気圧液体に浸されていない部分へと発射して干渉データを取得し、
前記干渉データに基づいて前記試料の形状を測定する工程を有する測定方法。
【請求項２】
前記低蒸気圧液体の温度調節を介して前記試料の温度を変化させる温度調節工程を更に有する請求項１記載の測定方法。
【請求項３】
前記収容手段の一部又は全部には、高い熱伝導率を有する高伝熱性部材が設けられ、
前記測定方法は、前記低蒸気圧液体を前記高伝熱性部材と接触させる工程を更に有する請求項１又は２記載の測定方法。
【請求項４】
前記匡体には、前記測定光を透過する光学窓が設けられており、
前記測定方法は、前記光源を前記匡体の外部に配置し、前記光源から発射した測定光を前記光学窓を通して前記試料へと到達させる工程を更に有する請求項１から３いずれか記載の測定方法。
【請求項５】
前記試料の温度変化に伴う前記試料の形状の変化を測定する請求項１から４いずれか記載の測定方法。
【請求項６】
前記試料の温度変化に伴う形状の変化から前記試料の熱膨張特性の分布を測定する請求項５記載の測定方法。
【請求項７】
干渉計を用い形状が測定される試料を保持する保持装置であって、
気密性材料で形成され且つ内部が密閉可能な匡体と、
前記匡体の内圧を減圧する減圧手段と、
前記匡体の内部に設けられ、低蒸気圧液体が収容される収容手段と、を備え、
前記試料は、その一部が前記低蒸気圧液体に浸された状態で、前記低蒸気圧液体に浸されていない部分へと前記干渉計の光源から発射される測定光の光路上に配置される保持装置。
【請求項８】
前記低蒸気圧液体の温度調節を介して前記試料の温度を変化させる温度調節手段を更に備える請求項７記載の保持装置。
【請求項９】
前記収容手段の一部又は全部には、高い熱伝導率を有する高伝熱性部材が設けられ、
前記高伝熱性部材は前記低蒸気圧液体と接触させられる請求項７又は８記載の保持装置。
【請求項１０】
前記匡体には、前記測定光を透過する光学窓が設けられている請求項７から９いずれか記載の保持装置。
【請求項１１】
請求項７から１０いずれか記載の保持装置と、前記保持装置の光路に測定光を発射する光源を有する干渉計と、この干渉計で得られる干渉データに基づいて前記試料の形状を測定する測定手段と、を備える形状測定装置。
【請求項１２】
前記測定手段は、前記試料の温度変化に伴う前記試料の形状の変化を測定する請求項１１記載の形状測定装置。
【請求項１３】
前記測定手段は、前記試料の温度変化に伴う形状変化から前記試料の熱膨張特性の分布を測定する請求項１２記載の形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の形状を測定する技術に関し、具体的には干渉計を用い試料の形状を測定する測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、試料の形状やその変化を精密に測定するために、干渉計を用いた系が使用されているが、干渉計の光路に存在する空気によるゆらぎ（空気ゆらぎ）が、測定精度の低下の原因になっている。そこで、高い測定精度が要求される場合には、真空チャンバ内に試料及び干渉計が配置された測定装置が使用されている。
【０００３】
しかし、かかる測定装置では、試料雰囲気の熱伝導速度が大気に比べて極めて小さいため、温度ならしに多大な時間を要し、試料の熱分布による測定誤差が生じやすい。
【０００４】
そこで、特許文献１には、真空チャンバに隣接してワークストッカが配置された測定装置が開示されている。この測定装置によれば、試料がワークストッカで予め温度ならしされた後に真空チャンバ内に設置されるので、真空チャンバ内での温度ならしに費やされる時間を短縮できる。
【特許文献１】特開平７−３１８３０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特開２００５−８９２７２号公報に開示される極低膨張ガラスセラミックス等の極低膨張材料は、その用途において高精度の寸法安定性を求められることが多く、材料内での熱膨張特性の均一性が問題となる場合がある。そこでこのような材料の熱膨張特性の分布を非破壊で測定する場合、材料（試料）の温度条件を変化させ、各々の温度条件における材料の形状を高精度に測定し、各々の温度条件の変化による材料の形状変化に基づいてその材料の膨張特性の分布を測定することができる。
【０００６】
しかし、前述した特許文献１に示される測定装置では、複数の温度条件で測定を行う場合、測定の度に試料を真空チャンバ及びワークストッカの間で移送する必要がある。ここで、各測定の際に試料を設置する位置が僅かでも相違すると、形状比較の精度が低下する。また、設置位置を正確に調節するためには、別途の制御装置が必要となり、装置が煩雑化する。
【０００７】
本発明は、以上の実情に鑑みてなされたものであり、試料を目的温度へと迅速且つ温度分布良く到達し、試料の形状を迅速且つ正確に測定できる簡便な測定方法、保持装置及び形状測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、減圧条件下、試料を低蒸気圧液体に浸した状態で測定を行うことで、ゆらぎを抑制しつつ形状を迅速に測定できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は以下のようなものを提供する。
【０００９】
（１）  干渉計を用い試料の形状を測定する測定方法であって、
気密性材料で形成された匡体の内部に、低蒸気圧液体が収容される収容手段を設け、
前記試料を、その一部が前記低蒸気圧液体に浸された状態で、前記干渉計の光源から発射される測定光の光路上に配置し、
前記匡体の内部を密閉して減圧し、
前記測定光を前記光源から、前記試料のうち前記低蒸気圧液体に浸されていない部分へと発射して干渉データを取得し、
前記干渉データに基づいて前記試料の形状を測定する工程を有する測定方法。
【００１０】
（２）  前記低蒸気圧液体の温度調節を介して前記試料の温度を変化させる温度調節工程を更に有する（１）記載の測定方法。
【００１１】
（３）  前記収容手段の一部又は全部には、高い熱伝導率を有する高伝熱性部材が設けられ、
前記測定方法は、前記低蒸気圧液体を前記高伝熱性部材と接触させる工程を更に有する（１）又は（２）記載の測定方法。
【００１２】
（４）  前記匡体には、前記測定光を透過する光学窓が設けられており、
前記測定方法は、前記光源を前記匡体の外部に配置し、前記光源から発射した測定光を前記光学窓を通して前記試料へと到達させる工程を更に有する（１）から（３）いずれか記載の測定方法。
【００１３】
（５）  前記試料の温度変化に伴う前記試料の形状の変化を測定する（１）から（４）いずれか記載の測定方法。
【００１４】
（６）  前記試料の温度変化に伴う形状の変化から前記試料の熱膨張特性の分布を測定する（５）記載の測定方法。
【００１５】
（７）  干渉計を用い形状が測定される試料を保持する保持装置であって、
気密性材料で形成され且つ内部が密閉可能な匡体と、
前記匡体の内圧を減圧する減圧手段と、
前記匡体の内部に設けられ、低蒸気圧液体が収容される収容手段と、を備え、
前記試料は、その一部が前記低蒸気圧液体に浸された状態で、前記低蒸気圧液体に浸されていない部分へと前記干渉計の光源から発射される測定光の光路上に配置される保持装置。
【００１６】
（８）  前記低蒸気圧液体の温度調節を介して前記試料の温度を変化させる温度調節手段を更に備える（７）記載の保持装置。
【００１７】
（９）  前記収容手段の一部又は全部には、高い熱伝導率を有する高伝熱性部材が設けられ、
前記高伝熱性部材は前記低蒸気圧液体と接触させられる（７）又は（８）記載の保持装置。
【００１８】
（１０）  前記匡体には、前記測定光を透過する光学窓が設けられている（７）から（９）いずれか記載の保持装置。
【００１９】
（１１）  （７）から（１０）いずれか記載の保持装置と、前記保持装置の光路に測定光を発射する光源を有する干渉計と、この干渉計で得られる干渉データに基づいて前記試料の形状を測定する測定手段と、を備える形状測定装置。
【００２０】
（１２）  前記測定手段は、前記試料の温度変化に伴う前記試料の形状の変化を測定する（１１）記載の形状測定装置。
【００２１】
（１３）  前記測定手段は、前記試料の温度変化に伴う形状変化から前記試料の熱膨張特性の分布を測定する（１２）記載の形状測定装置。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、匡体内部に設けられた収容手段内の液体に試料を浸したので、液体が熱媒体として作用し、試料を目的温度へと迅速且つ温度分布良く到達できる。そして、液体に浸されていない部分に測定光を発射することで、簡便且つ迅速に測定を行うことができる。
また、液体として低蒸気圧液体を採用したので、匡体の内部が充分に減圧される。これにより、ゆらぎが抑制されるため、形状測定を正確に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１は本発明の一実施形態に係る形状測定装置１０の概略構成図である。形状測定装置１０は、保持装置２０、ベース３０、干渉計４０、及び図示しない測定手段を備える。以下、各構成要素について詳細に説明する。
【００２５】
〔保持装置〕
保持装置２０は、気密性材料で形成された匡体２１を備え、この匡体２１は本体部２１１と、この本体部２１１の開口を塞ぐ蓋部２１３とを有する。蓋部２１３が閉じると匡体２１の内部は密閉され、蓋部２１３が開くと匡体２１の内部の密閉が解除される。気密性材料は、多孔質のような通気性に優れるものでない限り特に限定されず、種々の金属、樹脂等を含んでいてよいが、後述のように匡体２１の内部が減圧された際にも保形できる程度の強度を有する。
【００２６】
形状測定装置１０は、減圧手段としての減圧部２３を更に備え、この減圧部２３は匡体２１の内圧を減圧する。具体的には、減圧部２３は真空ポンプ２３１を有し、この真空ポンプ２３１が連通管２３３を介して匡体２１の内部に連通されている。蓋部２１３が閉じた状態で真空ポンプ２３１が稼動すると、匡体２１内部の気体が真空ポンプ２３１へと吸引され、匡体２１の内圧が低下してゆく（ただし、後述の低蒸気圧液体２５３の蒸気圧を下回ることはない）。なお、匡体２１の内圧は、真空ポンプ２３１を稼動し続けることで維持してもよいが、連通管２３３の途中に閉止弁を設けて、この閉止弁を閉じることで維持してもよい。これにより、真空ポンプ２３１から伝わる微細な振動により測定精度が低下するのを抑制できる。
【００２７】
形状測定装置１０は、収容手段としての収容部２５を更に備え、この収容部２５は、匡体２１の内部に、具体的には匡体２１の底面２１２の上に設けられている。また、収容部２５は低蒸気圧液体２５３を収容し、この低蒸気圧液体２５３には試料９０の一部が浸される。これにより、低蒸気圧液体２５３が熱媒体として作用し、試料９０を目的温度へと迅速且つ温度分布良く到達できる。試料９０のうち低蒸気圧液体２５３に浸される部分は広くなるにつれて試料９０の温度ならしが迅速化されるが、測定光が照射される部分、本実施形態では上面９１が低蒸気圧液体２５３に浸からないよう留意すべきである。
【００２８】
ここで、低蒸気圧液体とは、広義には水よりも蒸気圧の低い液体を指し、液体が気化したときの屈折率の大きさや測定光路の長さ等にもよるが、約０．１ｎｍ以下にゆらぎの誤差を抑制できる点では、常温での蒸気圧が好ましくは１×１０−３Ｐａ以下、より好ましくは１×１０−５Ｐａ以下、最も好ましくは１×１０−６Ｐａ以下の液体である。なお、低蒸気圧液体の蒸気圧は、本発明では低ければ低いほど好ましく、その下限値は特に規定されない。このような低蒸気圧液体２５３の蒸気圧が低いため、減圧条件下では、匡体２１の内部は略真空状態を維持される。これにより、ゆらぎが抑制されるのみならず、試料９０の熱が後述の干渉計４０へと輻射されるため、測定精度が向上する。また、低蒸気圧液体は気体化した際の屈折率が低いこと、熱伝導率が高く比熱が小さいこと、安定で反応性が低く、測定試料や収容部と反応しにくいことが好ましい。このような液体の具体例としては、テトラフェニルテトラメチルトリシロキサン、ペンタフェニルトリメチルトリシロキサン等のシリコン油、ペンタフェニルエーテル、テトラッフェニルエーテル、アルキルジフェニルエーテル等のフェニルエーテル油、パーフロロポリエーテル等のフッ素油が挙げられ、求められる特性をバランス良く備える点でパーフロロポリエーテルが好ましい。
【００２９】
低蒸気圧液体は、測定精度を向上できる点では、気化した気体によるゆらぎが小さい（つまり、気体時の屈折率が低い）ことが好ましく、試料９０の温度を迅速に変化できる点では、比熱が小さく熱伝導率が大きいことが好ましい。
【００３０】
測定の際には、試料９０は、その一部が低蒸気圧液体２５３に浸された状態で、測定光の光路ＯＰ上に配置される。本実施形態では、試料９０は光学窓２１６の下方に配置される。ここで測定光とは、後述のように、干渉計４０の光源４１から、試料９０のうち低蒸気圧液体２５３に浸されていない部分９１へと発射される光である。また、試料９０は、その側面に図示しない温度センサが取り付けられており、この温度センサで検出された温度値は後述の制御装置に送信される。なお本実施形態では、試料の温度分布を測定するため、温度センサが複数個所に取り付けられている。
【００３１】
収容部２５の一部又は全部には、高い熱伝導率を有する高伝熱性部材が設けられていることが好ましい。本実施形態における高伝熱性部材２５１は収容部２５の全部（具体的には側壁及び底部）を構成し、収容部２５に収容された低蒸気圧液体２５３と接触する。また、高伝熱性部材２５１は温度調節手段としての温度調節部２６にも接触しているため、この温度調節部２６からの熱エネルギが効率的に低蒸気圧液体２５３全体へ伝導される。なお、高伝熱性部材は、従来公知の金属等であってよいが、低蒸気圧液体２５３に侵されにくい安定素材で形成されることが好ましい。
【００３２】
温度調節部２６は、低蒸気圧液体２５３の温度調節を介して試料９０の温度を変化させる。低蒸気圧液体２５３の温度調節を行う形式は特に限定されないが、本実施形態では、温度調節部２６が収容部２５の底側に設けられて低蒸気圧液体２５３に直接的に接触しており、熱エネルギが低蒸気圧液体２５３と直接的に授受されるとともに、高伝熱性部材２５１を介して間接的に授受される。なお、温度調節部２６の出力は後述の制御装置によって制御されている。
【００３３】
本実施形態の匡体２１には光学窓２１６が設けられ、この光学窓２１６を測定光が透過可能である。具体的には、光学窓２１６は上壁２１４の略中央に設けられ、その上方に配置された干渉計４０からの測定光を透過して試料９０へと到達させる。
【００３４】
〔ベース〕
ベース３０は、干渉計４０に対する試料９０の位置及び姿勢を変動する。本実施形態では、後述のように位相シフト法を用いるため、ベース３０は試料９０を水平に保持する。ベース３０は後述の制御装置によって駆動制御される。
【００３５】
〔干渉計〕
図２は一実施形態に係る干渉計４０の概略構成図である。ここでは、位相シフト法を用いるためにフィゾー干渉計を説明するが、これに限られずフーリエ変換法（空間キャリア法の１種）を用いてもよい。
【００３６】
干渉計４０は光源４１（例えばＨｅ−Ｎｅレーザ）を備え、この光源４１から発射された光束は発散レンズ４２で発散光となり、ビームスプリッタ４３を透過してコリメータレンズ４４で平行光束となる。この平行光束の一部は基準板４５の参照面４５ａで反射する。平行光束の残りは基準板４５を透過し、試料９０の上面９１で反射し、再び基準板４５を透過し、参照面４５ａで反射した光束と干渉する。干渉した光束は再びコリメータレンズ４４を透過して、ビームスプリッタ４３で反射し、撮像レンズ４７を介して撮像素子４８に照射される。そして、撮像素子４８で干渉縞画像を取得する。ここで、試料９０に向かう光を測定光と称する。なお、図２では上壁２１４及び光学窓２１６を省略しているが、実際には測定光の光路ＯＰ上に光学窓２１６が配置され、この光学窓２１６を測定光及びその反射光が透過する。
【００３７】
〔測定手段〕
測定手段は、干渉計４０で得られる干渉データに基づいて試料９０の形状を測定する。干渉データから形状測定を行う理論は従来周知であるので省略する。測定手段は図示しない制御装置を備えており、この制御装置は、温度調節部２６の出力を調節して試料９０の温度変化を行う温度制御部と、温度センサからの検出値に基づいて測定開始を決定する測定開始部と、ベースを駆動制御する駆動制御部と、を有する。
【００３８】
温度制御部は、基本的には、試料９０の温度を設定値へと変化するべく温度調節部２６の出力を調節し、これにより、試料９０を速やかに設定温度で温度ならしをし、設定温度における試料９０の形状を測定できる。温度制御部は、試料９０の温度が設定値へと所望の速度で変化するように、温度調節部２６の出力を調節する機能も更に有することが好ましい。これにより、測定手段は、試料９０の温度変化に伴う形状の変化を正確に測定することができる。
【００３９】
このとき、駆動制御部がベース３０を駆動制御することで、試料９０の傾きを調整することができ、フーリエ変換法や位相シフト法等を用いて試料９０の形状を測定することができる。
【００４０】
測定開始部は、温度センサからの検出値が設定温度に達するまでは測定を停止し、設定温度に達すると測定を開始する。これにより、設定温度下における試料９０の形状を正確に測定できる。
【００４１】
試料９０の温度は、温度調節部２６に近い側（図１では下側）から順に変化するため、温度変化後の経過時間が短い間、試料９０の温度が不均一になりやすい。そこで、本実施形態における測定開始部は、複数の温度センサからの検出値のバラつきを算出し、このバラつきが許容範囲内に収まると測定を開始する機能を更に有する。これにより、設定温度下における試料９０の形状をより正確に測定できるし、熱膨張特性の分布の精度を格段に向上できる。
【００４２】
［測定方法］
以上の形状測定装置１０を用いた形状測定方法を以下に説明する。
【００４３】
まず、気密性材料で形成された匡体２１の内部に収容部２５を設ける。そして、試料９０をその一部が低蒸気圧液体２５３に浸された状態で、測定光の光路ＯＰ上に配置する。ここで、収容部２５への低蒸気圧液体の供給、及び試料９０の配置の先後は特に限定されない。
【００４４】
続いて、蓋部２１３を閉めて匡体２１の内部を密閉した後、真空ポンプ２３１を稼動して匡体２１の内部を減圧する。これにより、匡体２１の内圧は低下してゆくが、後述の低蒸気圧液体２５３の蒸気圧を下回ることはない。前述のように、低蒸気圧液体２５３の蒸気圧が低いため、匡体２１の内部は略真空状態になる。
【００４５】
ここで、温度調節部２６を所定の出力に設定すると、低蒸気圧液体２５３を熱媒体として、試料９０が迅速に試料を目的温度へと迅速且つ温度分布良く到達できる。本実施形態では、収容部２５の側壁及び底部に設けられた高伝熱性部材２５１を、低蒸気圧液体２５３と接触させる。これにより、低蒸気圧液体２５３が温度調節部２６と直接的に熱エネルギを授受するのみならず、高伝熱性部材２５１を介して間接的にも熱エネルギを授受するため、温度ならしがより迅速になされる。
【００４６】
温度センサの検出値に基づき試料９０の略全体の温度が設定値に達したと判断すると、測定を開始する。即ち、光源４１から光を発射し、試料９０のうち前記低蒸気圧液体に浸されていない部分９１へと測定光を発射する。本実施形態では、匡体の外部に干渉計４０を配置し、測定光が光学窓２１６を通して試料９０へと到達させる。測定光は試料９０の上面９１で反射され、この反射光は、再び光学窓２１６を透過して干渉計４０へと戻る。この間、匡体２１の内部が略真空状態のため、ゆらぎが抑制されている。
【００４７】
上面９１からの反射光は、参照面４５ａで反射した光束と干渉する。干渉した光束は再びコリメータレンズ４４を透過して、ビームスプリッタ４３で反射し、撮像レンズ４７を介して撮像素子４８に照射される。これにより、撮像素子４８で干渉縞画像を取得する。そして、取得した干渉データに基づいて、試料９０の形状を測定する。
【００４８】
以上の測定の後、本実施形態では温度調節部２６の出力を調節し、低蒸気圧液体２５３の温度調節を介して試料９０の温度を次の設定温度へと変化させる。この温度変化も、低蒸気圧液体２５３が熱媒体として作用するため、迅速になされる。この温度変化が終了し、試料の略全体の温度が設定値に達した後、試料９０の形状を再び測定する。この後、必要であればさらに次の設定温度へと試料９０の温度を変化させ、形状の測定を同様に行う。このようにして温度変化に伴う試料９０の形状の変化を測定する。また、試料９０の温度変化に伴う形状の変化から試料９０の熱膨張特性の分布を測定する。
【００４９】
［作用効果］
本実施形態によれば、以下のような作用効果が得られる。
【００５０】
匡体２１内部に設けられた収容部２５内の液体２５３に試料９０を浸したので、液体２５３が熱媒体として作用し、試料９０試料を目的温度へと迅速且つ温度分布良く到達できる。そして、液体２５３に浸されていない部分９１に測定光を発射することで、簡便且つ迅速に測定を行うことができる。
また、液体２５３として低蒸気圧液体を採用したので、匡体２１の内部が充分に減圧される。これにより、ゆらぎが抑制されるため、形状測定を正確に行うことができる。
【００５１】
低蒸気圧液体２５３の温度調節を介して試料９０の温度を変化させることで、温度変化に伴う試料の形状変化を迅速且つ正確に測定できる。また、試料９０の温度変化に伴う形状の変化から試料９０の熱膨張特性の分布も迅速且つ正確に測定することができる。
【００５２】
収容部２５に高伝熱性部材２５１を設けたので、この高伝熱性部材２５１を介して低蒸気圧液体２５３の温度が効率的に変化するので、測定をより迅速且つ正確に行うことができる。
【００５３】
測定光が光学窓２１６を通して試料９０に到達可能のため、干渉計４０を匡体２１の外部に配置することができる。これにより匡体２１を小型化でき、減圧効率が向上するため、測定をより正確に行うことができる。
【００５４】
本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【００５５】
例えば、前記実施形態では、干渉計４０を匡体２１の外部に配置し、光学窓２１６を介して測定光を試料９０に到達させたが、これに限られず、匡体には光学窓を設けず、匡体の内部に干渉計を配置してもよい。この場合、匡体２１外部の空気ゆらぎによる測定精度の低下を抑制できる。
【００５６】
また干渉計として、波長変調位相シフト干渉計を用いる場合、干渉計の参照面を匡体２１の内側、即ち光学窓２１６と試料９０との間に置くことで、光学窓２１６の温度変化に伴う測定誤差や、参照面を匡体２１外に配置した場合における光学窓２１６と参照面との間の空気ゆらぎの影響を回避し、より正確な試料形状の測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施形態に係る形状測定装置の概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る干渉計の概略構成図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  形状測定装置
２０  保持装置
２１  匡体
２１１  本体部
２１６  光学窓
２３  減圧部（減圧手段）
２５  収容部（収容手段）
２５１  高伝熱性部材
２５３  低蒸気圧液体
２６  温度調節部（温度調節手段）
４０  干渉計
４１  光源
９０  試料
９１  上面
【図１】
2009270834.tif 000003
【図２】
2009270834.tif 000004