(57)【要約】【課題】感度特性と応答特性とに優れた振動ジャイロセンサを提供する。【解決手段】振動ジャイロセンサ１０は、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂと、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂを駆動するための駆動圧電素子２０Ａ，２０Ｂと、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂを振動させながら振動ジャイロセンサ１０を回転させたときに生じる角速度に応じて励振する検出振動アーム１４Ａ，１４Ｂと、検出振動アーム１４Ａ，１４Ｂの振動を検出するための検出圧電素子３０Ａ，３０Ｂを備える。ここで、検出圧電素子３０Ａ，３０Ｂの検出電極の膜厚は、駆動圧電素子２０Ａ，２０Ｂの駆動電極の膜厚よりも厚くなるように形成されている。これにより、感度特性に関係する駆動振動アーム１４Ａ，１４ＢのＱxを維持しつつ、応答特性に関係する検出振動アーム１５Ａ，１５ＢのＱyのみを低下させることができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動ジャイロ振動子であって、
駆動振動片と、
前記駆動振動片に駆動信号を供給するための駆動電極と、
前記駆動振動片を振動させながら前記振動ジャイロセンサを回転させたときに生じる角速度に応じて励振する検出振動片と、
前記検出振動片の振動を検出するための検出電極と、を備え、
前記検出電極の膜厚は、前記駆動電極の膜厚よりも厚い、振動ジャイロ振動子。
【請求項２】
請求項１に記載の振動ジャイロ振動子であって、
前記検出電極は、複数の導電性薄膜を積層した電極である、振動ジャイロ振動子。
【請求項３】
振動ジャイロセンサであって、
駆動振動片と、
前記駆動振動片に駆動信号を供給するための駆動電極と、
前記駆動振動片を振動させながら前記振動ジャイロセンサを回転させたときに生じる角速度に応じて励振する検出振動片と、
前記検出振動片の振動を検出するための検出電極と、を備え、
前記検出電極の膜厚は、前記駆動電極の膜厚よりも厚い、振動ジャイロセンサ。
【請求項４】
請求項３に記載の振動ジャイロセンサであって、
前記検出電極は、複数の導電性薄膜を積層した電極である、振動ジャイロセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、角速度を検出するための振動ジャイロセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
角速度センサの一つとして、駆動振動子を所定の共振周波数で励振させ、角速度の影響によって生じるコリオリ力を検出振動子で検出することによって角速度を検出する振動ジャイロセンサが広く利用されている。振動ジャイロセンサの構造として、例えば、音叉型ジャイロセンサ（特許文献１）、片持ち梁ジャイロセンサ（特許文献２）、及びＨ型ジャイロセンサ（特許文献３）などが知られている。
【０００３】
ジャイロセンサのセンサ特性を評価する重要な特性として、感度特性（振幅）と応答特性（応答安定性）とがある。振動子の振幅が大きい程、感度特性に優れている。また、振動子が過度状態から安定状態に落ち着く迄の時間が短い程、応答特性に優れている。これらのセンサ特性を振動子のクオリティファクタ（Ｑ値）というパラメータで評価すると、Ｑ値を大きくすれば、感度は大きくなるが、応答特性の悪いセンサ特性となる。一方、Ｑ値を小さくすれば、応答特性は良くなるが、感度の小さいセンサ特性となる。ここで、Ｑ値とは、（振動子が蓄えるエネルギー）／（１周期で振動子に与えるエネルギー）であり、振動子の効率の指標となるパラメータである。振動子の損失が大きくなる程、Ｑ値は小さくなる。
【０００４】
先行技術の中には、駆動振動子の材質と検出振動子の材質とを互いに異なる材質とし、Ｑ値が大きい駆動振動子とＱ値が小さい検出振動子とを組み合わせることで、振動ジャイロセンサを構成するものが知られている（特許文献４）。
【特許文献１】特開２００４−１７７３６７号公報
【特許文献２】特開２００５−２９１８５８号公報
【特許文献３】特開２００４−２４５６０５号公報
【特許文献４】特開２００２−２７７２４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献４に記載の構成では、異質の材質から成る振動子を接合するために、駆動振動子の共振周波数と検出振動子の共振周波数とを精度よく調整することが困難であるという技術的課題に加えて、コリオリ力による微小振動が検出振動子に測定可能な程度の振幅で誘起されるか否かが不明であるという技術的課題が残されている。
【０００６】
そこで、本発明は、上記の問題点に鑑み、感度特性と応答特性とに優れた振動ジャイロセンサを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係わる振動ジャイロセンサは、駆動振動子と、駆動振動子に駆動信号を供給するための駆動電極と、駆動振動子を振動させながら振動ジャイロセンサを回転させたときに生じる角速度に応じて励振する検出振動子と、検出振動子の振動を検出するための検出電極と、を備える。ここで、検出電極の膜厚は、駆動電極の膜厚よりも厚くなるように形成されている。
【０００８】
感度特性に強く関係するのは、駆動振動子のＱxであり、Ｑxが大きい方が振動曲率は増大する。一方、応答特性に関係するのは、検出振動子のＱyであり、Ｑyが小さい方が応答特性は向上する。検出電極の膜厚を駆動電極の膜厚よりも厚く形成することで、検出振動子の振動を効率よく減衰させることが可能となる。例えば、複数の導電性薄膜を積層することにより、検出電極を形成するのが好ましい。これにより、振動ジャイロセンサの感度特性に関係する駆動振動子のＱxを維持しつつ、応答特性に関係する検出振動子のＱyのみを低下させることが可能となるので、感度特性を維持したまま、応答特性を向上させることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、振動ジャイロセンサの感度特性を維持したまま、応答特性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本実施形態では、振動ジャイロセンサのセンサ特性を、力学的な振動モデルにより解析する。解析対象とする振動ジャイロセンサの形状は、一般的に広く使用されている音叉型や片持ち梁などであるが、基本的な考え方は、その他の形状に対しても広く適用可能である。
【００１１】
振動ジャイロセンサの動作を、駆動振動方向とそれに直角な検出振動方向とに分け、結合した二つの振動子としてモデル化する。ここでは、それぞれの振動子を駆動振動子、検出振動子と称する。駆動振動子の変位をｘ、検出振動子の変位をｙとして、それぞれの運転方程式を記述すると、（Ｆ１）式〜（Ｆ２）式が成立する。
ｍｄ2x／ｄｔ2＝−ｋxx−２ｍαxｄx／ｄｔ＋Ｆｅjωt  …（Ｆ１）
ｍｄ2y／ｄｔ2＝−ｋyy−２ｍαyｄy／ｄｔ＋γyxx＋２ｍβcｄx／ｄｔ  …（Ｆ２）
【００１２】
（Ｆ１）式は、駆動振動子の運動方程式を示している。左辺は、駆動振動子の質量×加速度を示している。ｍは、駆動振動子の質量である。右辺は、駆動振動子に印加される力を示している。変位に対する復元力は、微小変位であれば、一般に変位に比例するものとして近似できるので、右辺の第１項では、その比例定数をｋxとしている。また、駆動振動子に損失を与える損失項として、速度に比例する力を考慮し、右辺の第２項では、その比例定数を２ｍαxとしている。右辺の第３項は、振幅Ｆ、角振動数ωの正弦関数的な振動力を表している。
【００１３】
（Ｆ２）式は、検出振動子の運動方程式を示している。左辺は、検出振動子の質量×加速度を示している。ｍは検出振動子の質量である。右辺は、検出振動子に印加される力を示している。右辺の第１項、及び第２項の意味は、（１）式の右辺の第１項、及び第２項と同じ意味である。但し、材料特性や形状によって振動方向による復元力や損失に差異があると考えられるので、駆動振動子のそれとは異なる比例定数ｋy、及び２ｍαyを用いている。第３項は、駆動振動子から検出振動子への機械的結合を示すものとして、駆動振動の変位ｘに比例する力を表現している。γyxｘは、駆動振動子から検出振動子への機械的結合を示している。振動ジャイロセンサでは、回転が加わった場合、その角速度βcと振動子の速度に比例したコリオリ力がその速度に垂直に働く。即ち、検出振動子は、コリオリ力によって駆動される。右辺の第４項では、その力の比例定数を２ｍβcとし、コリオリ力による駆動振動子と検出振動子との結合を表現している。
【００１４】
ここで、駆動振動子のクオリティファクタをＱxとし、検出振動子のクオリティファクタをＱyとすると、（Ｆ３）式〜（Ｆ４）式が成立する。
Ｑx＝ωx／２αx＝１／２ηx＝ｓｑｒ（ｋx／ｍ）／２αx  …（Ｆ３）
Ｑy＝ωy／２αy＝Ｒ／２ηy＝ｓｑｒ（ｋy／ｍ）／２αy  …（Ｆ４）
【００１５】
ここで、ωx及びωyは、それぞれ、摩擦が存在しない場合（αx＝αy＝０）の駆動振動子及び検出振動子の共振周波数である。αx及びαyは、それぞれ、駆動振動子及び検出振動子の速度に比例する損失項の比例係数である。ηx及びηyは、損失項の比例定数をωxで除した損失の大きさを示すパラメータである。Ｒは、駆動振動子と検出振動子の共振周波数がどれだけ異なるかを比率で示した無次元量で、Ｒ=ωy/ωxである。関数ｓｑｒは、引数の平方根を返値とする関数である。
【００１６】
次に、検出振動子の振幅とＱx及びＱyとの関係について考察する。
損失の小さい振動ジャイロセンサを駆動振動子の共振周波数ωxで動作させた場合、検出振動子の振幅をρy、駆動力をＦとして、（Ｆ５）式〜（Ｆ６）式が成立する。
ρy＝ＦＱx／ｍωx2［（Ｒm4＋４ε2）／｛（Ｒ2−１）2＋Ｒ2／Ｑy2｝］1/2  …（Ｆ５）
Ｒm＝（γyx／ｍ）1/2／ωx  …（Ｆ６）
【００１７】
図１はＱyを一定にしてＱxを変化させたときに得られるグラフである。このグラフにおいて、横軸は共振周波数の比Ｒを示し、縦軸は振幅ρyを示している。このグラフに示すように、検出振動子の振幅ρyは、Ｑxの低下とともに小さくなることが分かる。図２はＱxを一定にしてＱyを変化させたときに得られるグラフである。このグラフにおいて、横軸は共振周波数の比Ｒを示し、縦軸は振幅ρyを示している。実線のグラフと破線のグラフは重なっているため、図面上は実線のグラフのみ表示されている。このグラフに示すように、検出振動子の振幅ρyは、Ｑyの低下に殆ど影響されないことが分かる。以上の考察をまとめると、検出振動子の振幅ρyは、駆動振動子のＱxの低下とともに小さくなる一方、検出振動子のＱyには、影響されないことが判明した。
【００１８】
次に、検出振動子の応答特性とＱx及びＱyとの関係について考察する。
検出振動子の応答特性を表す時定数τyは、Ｑxに依存しない（Ｆ７）式のように記述できる。
τy＝１／αy＝１／ωxηy＝２Ｑy／ωy＝Ｒ／ωyηy  …（Ｆ７）
【００１９】
ステップ状の角速度を振動ジャイロセンサに入力し、駆動振動が最大となるタイミングで検出振動を検出した場合の振幅ρyの過度応答を図３乃至図４に示す。図３はＱy＝５３００のときの過度応答を示し、図４はＱy＝１１０のときの過度応答を示している。なお、図３乃至図４において、横軸は時間を示し、縦軸は正規化振幅を示す。これらの図から分かるように、相対的にＱyが一桁小さい図４に示す過度応答の方が図３に示す過度応答よりも、過度的な振動が安定するまでの時間が一桁以上速い。以上の考察をまとめると、検出振動子の応答特性は、Ｑyを小さくする程、向上することが判明した。
【００２０】
さて、以上の分析結果から、振動ジャイロセンサのセンサ特性について、以下の結論を導くことができる。
（１）感度特性に強く関係するのは、駆動振動子のＱxであり、Ｑxが大きい方が振動振幅は増大する。
（２）応答特性に関係するのは、検出振動子のＱyであり、Ｑyが小さい方が応答特性は向上する。
【００２１】
以上の結論は、振動ジャイロセンサの動作を、駆動振動方向とそれに直角な検出振動方向とに分け、結合した二つの振動子としてモデル化し、検出振動子の振幅及び応答特性とＱx及びＱyとの関係について考察するという本発明者の解析手法によって初めて得られたものである。上記の結論を応用すると、振動ジャイロセンサの感度特性に関係する駆動振動子のＱxはそのままにしておき、応答特性に関係する検出振動子のＱyのみを低下させれば、感度を維持したまま、応答特性を向上させることができる。かかるアプローチは、通常の音叉型、片持ち梁型、又はＨ型の振動ジャイロセンサに適用できるだけでなく、原理的には、あらゆる形状ないし構造の振動ジャイロセンサについて適用可能である。勿論、駆動振動子と検出振動子とが共に同質材質から成る振動ジャイロセンサについても適用可能である。
【００２２】
次に、感度特性に関係する駆動振動子のＱxはそのままにして、応答特性に関係する検出振動子のＱyのみを低下させる方法について考察する。
【００２３】
第一の方法として、αyを大きくする方法が考えられる。検出振動子を電気回路にモデル化して考察すると、αyは直流抵抗と電気的に等価であるので、検出振動子の抵抗値を大きくすることにより、αyを大きくできる。例えば、（１）検出振動子の電極幅を駆動振動子の電極幅より狭くする、（２）検出振動子の電極膜厚を検出振動子の電極膜厚よりも薄くする、（３）検出振動子の電極として、相対的に電気抵抗の高い導電性酸化物（例えば、ＲｕＯ2，ＴｒＯ2，ＲｈＯ2，ＴｉＯ，ＬａＯ，ＲｅＯ3，ＳｒＲｉＯ3，Ｓｒ2ＲｕＯ4，ＣａＲｕＯ3，ＬａＴｉＯ3，ＬａＮｉＯ3，Ｌｎ2Ｏ3，ＳｎＯ2，ＺｎＯ）を使用し、駆動振動子の電極として、相対的に電気抵抗の低い金属材質（Ｃｕ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｎｉ，Ａｌ）を使用する方法が考えられる。
【００２４】
αyは速度に比例する制動力の比例係数で損失に対応しているので、周囲の空気（粘性流体）との摩擦などの外部的な要因により変化させることができる。具体的には、（４）検出振動子を扁平形状にし、或いは検出振動子に羽などを取り付けて、検出振動子の空気抵抗を大きくする、（５）検出振動を吸収する材料（例えば、樹脂など）や機構などを検出振動子に取り付ける方法が考えられる。
【００２５】
第二の方法として、ｋyを小さくする方法が考えられる。ｋyは検出振動子の変位に対する復元力の比例係数であり、バネ定数（或いはヤング率）と等価である。具体的には、（６）検出振動子の復元力が弱くなるような結晶方位をとる（ヤング率が小さい結晶方位をとる）、（７）検出振動子の動作が柔らかくなるように、検出振動子の接続根元部に溝や切れ込みなどを入れる方法が考えられる。
【００２６】
第三の方法として、共振周波数の比Ｒを小さくする方法が考えられる。この方法は、結局、第二の方法と同様にｋyを小さくする方法と等価である。但し、駆動振動子と検出振動子とが異なる形状では、検出振動子の質量ｍを大きくすることで、共振周波数の比Ｒを小さくできる。
【００２７】
本実施形態によれば、駆動振動子のＱxと検出振動子のＱyとの役割を明確にし、感度特性に関係する駆動振動子のＱxはそのままにして、応答特性に関係する検出振動子のＱyのみを低下させることにより、感度特性を維持しつつ、応答特性を一層向上させることができる。図２による解析結果からも明らかなように、Ｑyの変化によっても振幅に変動がないことから、できる限りＱyは小さい値が好ましく、具体的には、１００以下が好ましい。なお、駆動振動子のＱxと検出振動子のＱyとの役割を区別せずに、例えば、Ｑx及びＱyを共に大きくすると、感度は大きいものの、応答特性の遅い振動ジャイロセンサとなり、一方、Ｑx及びＱyを共に小さくすると、応答速度は速いものの、感度の小さい振動ジャイロセンサとなってしまう。
【実施例】
【００２８】
以下、各図を参照しながら本発明に係わる実施例について説明する。同一符号の部材は同一の部材を示すものとして、重複する説明を省略する。図面は模式的なものであり、説明の便宜上、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率は、現実の振動ジャイロセンサとは異なる。
【００２９】
図５は本実施例に係わる振動ジャイロセンサ１０の平面図である。
振動ジャイロセンサ１０は、複数の駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂと、複数の検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂを備える。基部１１からは、一対の支持部１２Ａ，１２Ｂが突出している。支持部１２Ａの先端に位置する基部１３Ａからは、支持部１２Ａに直交する方向に駆動振動アーム１４Ａが形成されている。同様に、支持部１２Ｂの先端に位置する基部１３Ｂからは、支持部１２Ｂに直交する方向に駆動振動アーム１４Ｂが形成されている。更に基部１１には、一対の検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂが形成されている。合計２本の駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂ、及び合計２本の検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂは、Ｘ−Ｙ平面内で屈曲振動する。
【００３０】
なお、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂは、上述した力学的な振動モデルにおける「駆動振動子」に相当し、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂは、上述した力学的な振動モデルにおける「検出振動子」に相当する。
【００３１】
駆動振動アーム１４Ａの基部１３Ａに対する接続根元部４０Ａには、駆動振動アーム１４Ａを励振させるための駆動圧電素子２０Ａが形成されている。他方の駆動振動アーム１４Ｂについても同様に、その接続根元部４０Ｂには、駆動振動アーム１４Ｂを励振させるための駆動圧電素子２０Ｂが形成されている。また、検出振動アーム１５Ａの基部１１に対する接続根元部５０Ａには、検出振動アーム１５Ａに励起された検出振動を検出するための検出圧電素子３０Ａが形成されている。他方の検出振動アーム１５Ｂについても同様に、その接続根元部５０Ｂには、検出振動アーム１５Ｂに励起された検出振動を検出するための検出圧電素子３０Ｂが形成されている。振動ジャイロセンサ１０では、駆動圧電素子２０Ａ，２０Ｂに駆動信号（交流信号）を供給して、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂを励振させ、その状態で振動ジャイロセンサ１０を回転させつつ、コリオリ力の作用を通じて検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂに励起された検出振動に対応する信号を検出圧電素子３０Ａ，３０Ｂによって検出することにより、角速度信号出力を得る。
【００３２】
なお、説明の便宜上、それぞれの駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂ、及び検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂには、単一の圧電素子を形成する例を示しているが、圧電素子の配置箇所や個数は任意であり、上述の具体例に限定されるものではない。
【００３３】
図６は図５の６−６線断面矢視図であり、図７は図５の７−７線断面矢視図である。
図６に示すように、検出圧電素子３０Ａは、圧電体３１Ａと、圧電体３１Ａの表面及び裏面のそれぞれに形成された一対の検出電極３２Ａ，３３Ａとから構成される。検出圧電素子３０Ｂの素子構造は、図示していないが、検出圧電素子３０Ａの素子構造と同一である。一方、図７に示すように、駆動圧電素子２０Ａは、圧電体２１Ａと、圧電体２１Ａの表面及び裏面のそれぞれに形成された一対の駆動電極２２Ａ，２３Ａとから構成される。駆動圧電素子２０Ｂの素子構造は、図示していないが、駆動圧電素子２０Ａの素子構造と同一である。ここで、検出電極３２Ａ，３３Ａの膜厚ＤＸは、駆動電極２２Ａ，２３Ａの膜厚ＤＹよりも厚くなるように形成されている。検出電極３２Ａ，３３Ａの膜厚ＤＸを駆動電極２２Ａ，２３Ａの膜厚ＤＹよりも厚くすることで、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂに作用する振動損失量を、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂに作用する振動損失量よりも大きくできる。駆動電極２２Ａ，２３Ａよりも相対的に厚膜形成された検出電極３２Ａ，３３Ａによる振動エネルギー吸収作用により、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの振動運動に損失を与える損失項の比例定数αyが大きくなる。上述の（Ｆ４）式から理解できるように検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂに係わる損失項の比例定数αyを意図的に増大せしめることによって、駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂに係わるクオリティファクタＱxを低下させることなく、検出振動アーム１５Ａに係わるクオリティファクタＱyのみを低下させることができる。
【００３４】
なお、本発明は、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂに作用する振動損失が駆動振動アーム１４Ａ，１４Ｂに作用する振動損失よりも大きくなるようなあらゆる電極構造を含むものである。例えば、（１）複数種類の導電性薄膜を積層することによって、検出電極３２Ａ，３３Ａを形成してもよい。（２）駆動電極２２Ａ，２３Ａの導電性材質よりも硬質な導電性材質によって、検出電極３２Ａ，３３Ａを形成してもよい。（３）検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの先端からその接続根元部５０Ａ，５０Ｂにかけて次第に幅広となるように検出電極３２Ａ，３３Ａを形成してもよい。（４）検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの先端からその接続根元部５０Ａ，５０Ｂにかけて次第に膜厚が厚くなるように検出電極３２Ａ，３３Ａを形成してもよい。（５）検出電極３２Ａ，３３Ａの膜厚、及び駆動電極２２Ａ，２３Ａの膜厚は、必ずしも均一である必要はなく、部分的に膜厚が不均一になるような場合であっても、検出電極３２Ａ，３３Ａの膜厚の平均値が駆動電極２２Ａ，２３Ａの膜厚の平均値より厚ければよい。
【００３５】
ところで、検出電極３２Ａ，３３Ａの膜厚ＤＸを駆動電極２２Ａ，２３Ａの膜厚ＤＹよりも厚く形成することで、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの変位に対する復元力の比例係数ｋyが大きくなる。（Ｆ４）式から理解できるように、比例係数ｋyの増大は、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂに係わるクオリティファクタＱyを低下させるだけでなく、共振周波数ωyをも同時に増大させる結果となる。共振周波数ωyを一定に維持するには、ｋyとｍとの比が一定となるように、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの質量ｍを増大させればよい。
【００３６】
本実施例によれば、検出電極３２Ａ，３３Ａの膜厚ＤＸを駆動電極２２Ａ，２３Ａの膜厚ＤＹよりも厚く形成することで、検出振動アーム１５Ａ，１５Ｂの検出振動を効率よく減衰させることができる。これにより、感度特性に関係する駆動振動アーム１４Ａ，１４ＢのＱxを維持しつつ、応答特性に関係する検出振動アーム１５Ａ，１５ＢのＱyのみを低下させることができるので、感度特性を維持しつつ、応答特性を一層向上させることができる。なお、上述の振動ジャイロセンサ１０の構造は、「駆動振動子」と「検出振動子」とを備える振動ジャイロ振動子にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】検出振動子の感度特性を示すグラフである。
【図２】検出振動子の感度特性を示すグラフである。
【図３】検出振動子の応答特性を示すグラフである。
【図４】検出振動子の応答特性を示すグラフである。
【図５】本実施例に係わる振動ジャイロセンサの平面図である。
【図６】図５の６−６線断面矢視図である。
【図７】図５の７−７線断面矢視図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０…振動ジャイロセンサ  １１，１３Ａ，１３Ｂ…基部  １２Ａ，１２Ｂ…支持部  １４Ａ，１４Ｂ…駆動振動アーム  １５Ａ，１５Ｂ…検出振動アーム  ２０Ａ，２０Ｂ…駆動圧電素子  ２１Ａ，３１Ａ…圧電体  ３２Ａ，３３Ａ…検出電極  ２２Ａ，２３Ａ…駆動電極  ３０Ａ，３０Ｂ…検出圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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