(57)【要約】【課題】  エア駆動式のエンドエフェクタにエアを給排気するためのエア配管の取り回しを改善することが可能なパラレルメカニズムを提供する。【解決手段】  エア配管３６は、バキュームパッド１３のエア給排口１３ｂとロッド１０に形成された中空部１０ａのバキュームパッド１３側の端部とを連通する第１エア配管４０と、その内部に中空部１０ａが形成されたロッド１０と、ロッド１０に形成された中空部１０ａの第１アーム７側の端部とエアポンプ５０とを連通する第２エア配管４１とを備えている。よって、バキュームパッド１３とエアポンプ５０とは、第１エア配管４０、第２アーム８を構成するロッド１０の中空部１０ａ、及び第２エア配管４１を通して連通される。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部に取り付けられたアクチュエータにその一端が連結される第１リンクと、前記第１リンクの他端とエア駆動式のエンドエフェクタが取り付けられるブラケットとを連結する中空の第２リンクと、を備えるアームが複数、並列に連結されたパラレルメカニズムにおいて、
前記エンドエフェクタと、前記第２リンクに形成された中空部の前記エンドエフェクタ側の端部と、を連通接続する第１エア配管と、
前記第２リンクに形成された中空部の前記第１リンク側の端部と、エア給排装置と、を連通接続する第２エア配管と、を備えることを特徴とするパラレルメカニズム。
【請求項２】
前記ブラケットには、複数の前記エンドエフェクタが取り付けられており、
前記第１エア配管、及び前記第２エア配管は、複数の前記エンドエフェクタ毎に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のパラレルメカニズム。
【請求項３】
前記第２リンクの中空部に配設される第３エア配管をさらに備え、
前記第１エア配管は、前記第３エア配管の一端と連通され、
前記第２エア配管は、前記第３エア配管の他端と連通されていることを特徴とする請求項１に記載のパラレルメカニズム。
【請求項４】
前記ブラケットには、複数の前記エンドエフェクタが取り付けられており、
前記第１エア配管、前記第２エア配管、及び前記第３エア配管は、複数の前記エンドエフェクタ毎に設けられていることを特徴とする請求項３に記載のパラレルメカニズム。
【請求項５】
ベース部に取り付けられたアクチュエータにその一端が連結される中空の第１リンクと、前記第１リンクの他端とエア駆動式のエンドエフェクタが取り付けられるブラケットとを連結する中空の第２リンクと、を備えるアームが複数、並列に連結されたパラレルメカニズムにおいて、
前記エンドエフェクタと、前記第２リンクに形成された中空部の前記エンドエフェクタ側の端部と、を連通接続する第１エア配管と、
前記第２リンクに形成された中空部の前記第１リンク側の端部と、前記第１リンクに形成された中空部の前記第２リンク側の端部と、を連通接続する第４エア配管と、
前記第１リンクに形成された中空部の前記アクチュエータ側の端部と、エア給排装置と、を連通接続する第５エア配管と、を備えることを特徴とするパラレルメカニズム。
【請求項６】
前記ブラケットには、複数の前記エンドエフェクタが取り付けられており、
前記第１エア配管、前記第４エア配管、及び前記第５エア配管は、複数の前記エンドエフェクタ毎に設けられていることを特徴とする請求項５に記載のパラレルメカニズム。
【請求項７】
前記第２リンクの中空部に配設される第３エア配管と、
前記第１リンクの中空部に配設される第６エア配管と、をさらに備え、
前記第１エア配管は、前記第３エア配管の一端と連通され、
前記第４エア配管は、一端が前記第３エア配管の他端と連通され、他端が前記第６エア配管の一端と連通され、
前記第５エア配管は、前記第６エア配管の他端と連通されていることを特徴とする請求項５に記載のパラレルメカニズム。
【請求項８】
前記ブラケットには、複数の前記エンドエフェクタが取り付けられており、
前記第１エア配管、前記第３エア配管、前記第４エア配管、前記第５エア配管、及び前記第６エア配管は、複数の前記エンドエフェクタ毎に設けられていることを特徴とする請求項７に記載のパラレルメカニズム。
【請求項９】
前記エンドエフェクタは、搬送対象物を真空吸着するバキュームパッドであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のパラレルメカニズム。
【請求項１０】
前記エンドエフェクタは、搬送対象物をエアの圧力で把持するエアチャックであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のパラレルメカニズム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パラレルメカニズムに関し、特に、エア駆動式のエンドエフェクタにエアを給排気するためのエア配管を備えるパラレルメカニズムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、支持基盤であるベース部と、エンドエフェクタが取り付けられるブラケットとが複数のリンクにより並列に結合されたパラレルメカニズムが知られている（例えば、特許文献１参照）。パラレルメカニズムでは、例えば電動モータ等のアクチュエータが並列に配置されるとともに、各電動モータに連結された複数のリンク（アーム）が最終的に一つのエンドエフェクタを操るように構成されている。パラレルメカニズムは、軽量、高出力、高剛性という特徴を有するため、エンドエフェクタを非常に高速で動かすことができる。そのため、パラレルメカニズムのエンドエフェクタには、高速動作可能なエア吸着式のもの等が好適に用いられる。
【０００３】
特許文献１に記載のパラレルメカニズムでは、エンドエフェクタとして吸着キャップ（バキュームパッド）が用いられている。吸着キャップは、該吸着キャップに固定された軸、及び連結リングを介して、チューブ（エア配管）に連通されている。このチューブはバー（リンク）の一つ及び対応アームに固定されるとともに、その上端部が空気バルブに接続されている。空気バルブは、その空気側が真空ポンプに接続され、電気側が制御器に接続されている。
【特許文献１】特開２００１−２７７１６４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１記載のパラレルメカニズムでは、エア配管を取り回す際に、該エア配管を、バー（リンク）の一つ及び対応アームに固定している。しかしながら、高速で駆動されるパラレルメカニズムでは、リンク等に固定されたエア配管及びエア配管を固定するためのブラケット等がリンク機構への負荷となる。また、エア配管が他の部材と干渉することによってパラレルメカニズムの搬送能力が低下するおそれがある。そのため、エア配管の取り回しの改善が望まれていた。
【０００５】
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、エア駆動式のエンドエフェクタにエアを給排気するためのエア配管の取り回しを改善することが可能なパラレルメカニズムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るパラレルメカニズムは、ベース部に取り付けられたアクチュエータにその一端が連結される第１リンクと、第１リンクの他端とエア駆動式のエンドエフェクタが取り付けられるブラケットとを連結する中空の第２リンクとを備えるアームが複数、並列に連結されたパラレルメカニズムにおいて、エンドエフェクタと第２リンクに形成された中空部のエンドエフェクタ側の端部とを連通接続する第１エア配管と、第２リンクに形成された中空部の第１リンク側の端部とエア給排装置とを連通接続する第２エア配管とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係るパラレルメカニズムによれば、エア駆動式のエンドエフェクタとエア給排装置とが、第１エア配管、中空の第２リンク、及び第２エア配管を通して連通される。すなわち、中空の第２リンクをエア配管として利用することにより、従来第２リンクの外側に固定していたエア配管及びブラケットを削減することができる。その結果、エンドエフェクタにエアを給排気するエア配管の取り回しを改善することが可能となる。
【０００８】
本発明に係るパラレルメカニズムでは、ブラケットに複数のエンドエフェクタが取り付けられており、第１エア配管及び第２エア配管が、複数のエンドエフェクタ毎に設けられていることが好ましい。
【０００９】
この場合、複数のエンドエフェクタ毎にエア配管が連通接続されるため、エンドエフェクタに対するエアの給排気を複数のエンドエフェクタ毎に制御することが可能となる。
【００１０】
本発明に係るパラレルメカニズムは、第２リンクの中空部に配設される第３エア配管をさらに備え、第１エア配管が第３エア配管の一端と連通され、第２エア配管が第３エア配管の他端と連通されていることが好ましい。
【００１１】
このようにすれば、第２リンクの中空部に配設された第３エア配管を通して、エアが給排気されるため、第２リンクの内径にかかわらず、第２リンク内を通る際のエアの損失（圧損）を低減することができる。そのため、エアの圧力及び流量を適切にコントロールすることが可能となる。
【００１２】
本発明に係るパラレルメカニズムでは、ブラケットに複数のエンドエフェクタが取り付けられており、第１エア配管、第２エア配管、及び第３エア配管が、複数のエンドエフェクタ毎に設けられていることが好ましい。
【００１３】
この場合、複数のエンドエフェクタ毎にエア配管が連通接続されるため、エンドエフェクタに対するエアの給排気を複数のエンドエフェクタ毎に制御することが可能となる。
【００１４】
本発明に係るパラレルメカニズムは、ベース部に取り付けられたアクチュエータにその一端が連結される中空の第１リンクと、第１リンクの他端とエア駆動式のエンドエフェクタが取り付けられるブラケットとを連結する中空の第２リンクとを備えるアームが複数、並列に連結されたパラレルメカニズムにおいて、エンドエフェクタと第２リンクに形成された中空部のエンドエフェクタ側の端部とを連通接続する第１エア配管と、第２リンクに形成された中空部の第１リンク側の端部と第１リンクに形成された中空部の第２リンク側の端部とを連通接続する第４エア配管と、第１リンクに形成された中空部のアクチュエータ側の端部とエア給排装置とを連通接続する第５エア配管とを備えることを特徴とする。
【００１５】
本発明に係るパラレルメカニズムによれば、エア駆動式のエンドエフェクタとエア給排装置とが、第１エア配管、中空の第２リンク、第４エア配管、中空の第１リンク、及び第５エア配管を通して連通される。すなわち、中空の第２リンク及び第１リンクをエア配管として利用することにより、従来第２リンク及び第１リンクの外側に固定していたエア配管及びブラケットを削減することができる。その結果、エンドエフェクタにエアを給排気するエア配管の取り回しをより改善することが可能となる。
【００１６】
本発明に係るパラレルメカニズムでは、ブラケットに複数のエンドエフェクタが取り付けられており、第１エア配管、第４エア配管、及び第５エア配管が、複数のエンドエフェクタ毎に設けられていることが好ましい。
【００１７】
このようにすれば、複数のエンドエフェクタ毎にエア配管が連通接続されるため、エンドエフェクタに対するエアの給排気を複数のエンドエフェクタ毎に制御することが可能となる。
【００１８】
本発明に係るパラレルメカニズムは、第２リンクの中空部に配設される第３エア配管と、第１リンクの中空部に配設される第６エア配管とをさらに備え、第１エア配管が第３エア配管の一端と連通され、第４エア配管の一端が第３エア配管の他端と連通され、他端が第６エア配管の一端と連通され、第５エア配管が第６エア配管の他端と連通されていることが好ましい。
【００１９】
このようにすれば、第２リンクの中空部に配設された第３エア配管及び第１リンクの中空部に配設された第６エア配管を通して、エアが給排気されるため、第２リンク及び第１リンクの内径にかかわらず、第２リンク内及び第１リンク内を通る際のエアの損失（圧損）を低減することができる。そのため、エアの圧力及び流量を適切にコントロールすることが可能となる。
【００２０】
本発明に係るパラレルメカニズムでは、ブラケットに複数のエンドエフェクタが取り付けられており、第１エア配管、第３エア配管、第４エア配管、第５エア配管、及び第６エア配管が複数のエンドエフェクタ毎に設けられていることが好ましい。
【００２１】
このようにすれば、複数のエンドエフェクタ毎にエア配管が連通接続されるため、エンドエフェクタに対するエアの給排気を複数のエンドエフェクタ毎に制御することが可能となる。
【００２２】
本発明に係るパラレルメカニズムでは、エンドエフェクタとして、搬送対象物を真空吸着するバキュームパッド、又は、搬送対象物をエアの圧力で把持するエアチャックが好適に用いられる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、パラレルメカニズムのアームを構成する中空のリンクをエア配管として利用する構成としたので、エア駆動式のエンドエフェクタにエアを給排気するためのエア配管の取り回しを改善することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図において、同一要素には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００２５】
まず、図１及び図２を併せて用いて、第１実施形態に係るパラレルメカニズムの全体構成について説明する。図１は、第１実施形態に係るパラレルメカニズム１の全体構成を示す斜視図である。また、図２は、図１中の矢印Ａ１方向から見たパラレルメカニズム１を示す図である。
【００２６】
パラレルメカニズム１は、上部にベース部２を有している。パラレルメカニズム１は、ベース部２の下面側に形成された平らな取付面２ａが例えば水平な天井等に固定されることによって支持される。一方、ベース部２の下面側には、３つの支持部材３が設けられている。各支持部材３それぞれには、アクチュエータとしての電動モータ４が支持されている。電動モータ４は、モータ軸の軸線Ｃ２がベース部２の取付面２ａに対して平行（すなわち水平）となるように支持されている。それぞれの支持部材３は、ベース部２の鉛直方向軸線Ｃ１を中心として等しい角度（１２０度）を開けて配置されており、各電動モータ４もまた、ベース部２の鉛直方向軸線Ｃ１を中心として等しい角度（１２０度）を開けて配置される（図２参照）。
【００２７】
各電動モータ４の出力軸には、軸線Ｃ２に対して同軸に略六角柱形状のアーム支持部材５が固定されている。アーム支持部材５は、電動モータ４が駆動されることにより軸線Ｃ２を中心として回転する。なお、各電動モータ４は、モータドライバを含む電子制御装置（図示省略）に接続されており、電動モータ４の出力軸の回転がこの電子制御装置によって制御される。
【００２８】
パラレルメカニズム１は、３本のアーム本体６を有しており、各アーム本体６は、第１アーム７及び第２アーム８を含んで構成される。ここで、第１アーム７は特許請求の範囲に記載の第１リンクに相当し、第２アーム８は特許請求の範囲に記載の第２リンクに相当する。第１アーム７は、例えばカーボンファイバー等で形成された長尺の中空円筒部材である。すなわち、第１アーム７の内部には、軸方向に中空部が形成されている。第１アーム７の基端部は、アーム支持部材５の側面に取り付けられている。第１アーム７は、その軸線が上述した軸線Ｃ２と直交するように固定される。
【００２９】
第１アーム７の遊端部には、第２アーム８の基端部が連結され、第２アーム８が、第１アーム７の遊端部を中心として揺動できるように構成されている。第２アーム８は、一対の長尺のロッド９，１０を含んで構成されており、一対のロッド９，１０は、その長手方向において互いに平行となるように配置されている。ロッド９，１０も、例えばカーボンファイバー等で形成された長尺の中空円筒部材である。すなわち、ロッド９，１０の内部にも、軸方向に中空部が形成されている。ロッド９，１０の基端部は、第１アーム７の遊端部に、一対のボールジョイント１６，１７によって連結されている。なお、ロッド９，１０の基端部における各ボールジョイント１６，１７間を結ぶ軸線Ｃ３が、電動モータ４の軸線Ｃ２に対して平行となるため、第２アーム８は軸線Ｃ３を中心として揺動する。
【００３０】
また、第２アーム８の基端部において一方のロッド９と他方のロッド１０とが連結部材１１で互いに連結されており、第２アーム８の遊端部において一方のロッド９と他方のロッド１０とが連結部材１２で互いに連結されている。連結部材１１、及び連結部材１２は、例えば、付勢部材としての引張コイルバネを有しており、一対のロッド９，１０を互いに引き合う方向に付勢する。なお、連結部材１１と連結部材１２とは、異なる構造であっても構わないが同一構造であることが低コストの観点から好ましい。いずれの連結部材１１，１２も、ロッド９，１０が自身の長手方向に平行な軸線まわりに回転することを防止する機能を有する。
【００３１】
また、パラレルメカニズム１は、エア駆動式のエンドエフェクタ（手先効果器）１３を回動可能に取り付けるためのブラケット１４を有している。エンドエフェクタ１３は、搬送対象物に応じて付け替えが可能であり、例えば、搬送対象物を真空吸着するバキュームパッド、又は、搬送対象物をエアの圧力で把持するエアチャック等が好適に用いられる。なお、本実施形態では、エンドエフェクタ１３として、バキュームパッドを用いた。エンドエフェクタ（以下「バキュームパッド」という）１３には、エアを給排気するためのエア配管３６が接続されている。このエア配管３６の詳細については後述する。ブラケット１４は、略正三角形状をした板状部材である。このブラケット１４は、３本のアーム本体６によって、ブラケット１４のバキュームパッド１３の取付面１４ａ（図１におけるブラケット１４の下面）がベース部２の取付面２ａと平行（すなわち水平）になるように保持される。
【００３２】
ブラケット１４の各辺には取付片１５が形成されている。各取付片１５がそれぞれのアーム本体６の遊端部（第２アーム８を構成する一対のロッド９，１０の遊端部）に連結されることで、ブラケット１４は、各アーム本体６に対して、各アーム本体６の遊端部を中心として揺動する。詳しくは、ブラケット１４の各取付片１５の各端部が、対応するロッド９，１０の遊端部に一対のボールジョイント１８，１９によって連結される。なお、一対のボールジョイント１８，１９を結ぶ軸線Ｃ４（図２参照）も、電動モータ４の軸線Ｃ２に対して平行となる。このため、ブラケット１４は、水平な軸線Ｃ４を中心として各アーム本体６に対して揺動することができる。そして、略正三角形状のブラケット１４のすべての辺において、水平な軸線Ｃ４を中心として揺動できるように、ブラケット１４が３本のアーム本体６によって支持されている。
【００３３】
第１アーム７と第２アーム８との連結部における一対のボールジョイント１６，１７間の距離と、第２アーム８のロッド９，１０とブラケット１４との連結部における一対のボールジョイント１８，１９間の距離とは等しく設定されている。そのため、上述したように、第２アームを構成する一対のロッド９，１０は、その長手方向の全長において互いに平行に配置される。軸線Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４のいずれもが、ベース部２の取付面２ａに平行であるから、第１アーム７、第２アーム８及びブラケット１４がそれぞれ軸線Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を中心にどのように揺動したとしても、ブラケット１４のバキュームパッド１３の取付面１４ａとベース部２の取付面２ａとの平行関係が維持される。
【００３４】
そして、電子制御装置からの指令に応じて、各電動モータ４の出力軸に固定されたアーム支持部材５の回転位置が制御されることで、各第１アーム７の遊端部の位置が制御される。この制御された各第１アーム７の遊端部の位置に、各第２アーム８の遊端部の位置が追従し、その結果、ブラケット１４のバキュームパッド１３の取付面１４ａの位置が決まる。このとき、上述したように、ブラケット１４は、水平姿勢を維持したまま移動する。
【００３５】
また、パラレルメカニズム１は、その中央に鉛直方向に延びる旋回軸ロッド２０と、この旋回軸ロッド２０を回転するための電動モータ２１とを有する。電動モータ２１は、その軸出力を鉛直下方に向けた状態でベース部２に固定されている。旋回軸ロッド２０の一端部は、自在継手（以下「ユニバーサルジョイント」という）２２を介して電動モータ２１の出力軸に連結されている。一方、旋回軸ロッド２０の他端部は、ユニバーサルジョイント２３を介してバキュームパッド１３に接続されている。旋回軸ロッド２０は、ロッド２０ａとシリンダ２０ｂとにより実現され、伸縮自在に構成されている。旋回軸ロッド２０の両端部にユニバーサルジョイント２２，２３が採用されているため、ブラケット１４が３つの電動モータ４の駆動により上下、前後左右の所定の位置に移動したとしても、旋回軸ロッド２０は、その所定位置に追従して移動することができる。なお、電動モータ２１も、上述した電子制御装置に接続されており、電動モータ２１の出力軸の回転がこの電子制御装置により制御されることにより、バキュームパッド１３の回転位置が制御される。
【００３６】
続いて、図３を用いて、バキュームパッド１３にエアを給排気するためのエア配管３６について説明する。図３は、本実施形態に係るパラレルメカニズム１のエア配管３６（以下「第１の配管形態」ともいう）を示す図である。
【００３７】
エア配管３６は、バキュームパッド１３とロッド１０に形成された中空部１０ａのバキュームパッド１３側の端部とを連通する第１エア配管４０と、その内部に中空部１０ａが形成されたロッド１０と、ロッド１０に形成された中空部１０ａの第１アーム７側の端部とエアポンプ５０とを連通する第２エア配管４１とを備えている。
【００３８】
搬送対象物を真空吸着するバキュームパッド１３は、端部がスカート状に拡開しており、その内側に内部空間部１３ａが形成されている。また、バキュームパッド１３には、内部空間部１３ａと連通するエア給排口１３ｂが設けられている。
【００３９】
第１エア配管４０は、一端がバキュームパッド１３のエア給排口１３ｂに接続されている。一方、第１エア配管４０の他端にはジョイント４６が取り付けられており、第１エア配管４０の他端は、このジョイント４６を介してロッド１０に形成された中空部１０ａのバキュームパッド１３側の端部に連通接続されている。ここで、上述したようにロッド１０には軸方向に中空部１０ａが形成されており、その両端には、中空部１０ａの開口部を塞ぐようにボールジョイント１７，１９を構成するロッド３３，３４が接着剤で固定されている。より具体的には、金属性のロッド３３，３４に、ロッド１０の端部が挿入され、ロッド３３，３４の内周面とロッド１０の外周面とが接着剤で接着されて固定されている。ロッド３３，３４の外壁には、半径方向に貫通するねじ孔が切られており、このねじ孔に雄ねじタイプのジョイント４６が螺合されることによって第１エア配管４０がロッド１０の中空部１０ａに連通接続される。なお、第１エア配管４０には、例えば、弾性を有しかつ軽量なゴムチューブ等が好適に用いられる。
【００４０】
ロッド１０に形成された中空部１０ａの第１アーム７側の端部には、ジョイント４７を介して、第２エア配管４１の一端が連通接続されている。ここで、ジョイント４７の接続方法は、上述したジョイント４６の場合と同一又は同様であるので、ここでは説明を省略する。一方、第２エア配管４１の他端は、エアの排気及び給気（又は大気開放）を切替えて行うことができるエアポンプ（エア給排装置）５０に接続されている。すなわち、本配管形態では、バキュームパッド１３とエアポンプ５０とが、第１エア配管４０、第２アーム８を構成するロッド１０の中空部１０ａ、及び第２エア配管４１を通して連通される。
【００４１】
以上の構成において、バキュームパッド１３に形成された内部空間部１３ａのエアをエアポンプ５０で吸引（排気）し、内部空間部１３ａを負圧とすることにより、搬送対象物が吸着保持される。一方、内部空間部１３ａを大気開放するか、又は内部空間部１３ａに圧縮エアを導入（給気）することにより、吸着保持されていた搬送対象物が放される。
【００４２】
本実施形態によれば、バキュームパッド１３とエアポンプ５０とが、第１エア配管４０、第２アーム８を構成するロッド１０の中空部１０ａ、及び第２エア配管４１を通して連通される。すなわち、中空のロッド１０をエア配管として利用することにより、従来ロッド等の外側に固定していたエア配管及びブラケットを削減することができる。その結果、バキュームパッド１３にエアを給排気するエア配管の取り回しを改善することが可能となる。
【００４３】
なお、本実施形態では、ブラケット１４に１つのバキュームパッド１３が取り付けられている場合を例にして説明したが、ブラケット１４に複数のバキュームパッド１３を取り付けるとともに、第１エア配管４０、ロッド１０の中空部１０ａ、及び第２エア配管４１からなるエア配管を複数のバキュームパッド１３毎に接続する構成とすることもできる。この場合には、複数のバキュームパッド１３毎にエア配管が接続されるため、バキュームパッド１３に対するエアの給排気をバキュームパッド１３毎に制御することが可能となる。
【００４４】
（第２実施形態）
続いて、図４を用いて、第２実施形態に係るパラレルメカニズムのエア配管３７（以下「第２の配管形態」ともいう）について説明する。図４は、第２の配管形態を示す図である。
【００４５】
第２の配管形態に係るエア配管３７は、ロッド１０に形成された中空部１０ａを３つの気室５３，５４，５５に区分する一対のキャップ５１，５２と、一対のキャップ５１，５２によって画成された両端部の気室５３，５５を連通する第３エア配管４２とが、中空部１０ａ内に配設されている点で上述した第１の配管形態と異なっている。その他の構成については、上述した第１の配管形態と同一又は同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００４６】
キャップ５１，５２は、弾性材により形成された円柱状のシール部材である。キャップ５１，５２は、その直径が中空部１０ａの内径と同一か又は該内径よりも若干大きく、軸心部に第３エア配管４２を挿通するための孔が形成されている。なお、このキャップ５１，５２の軸心部に形成される孔は、その径が、第３エア配管４２の外径と同一か、又は若干小さくなるように形成される。各キャップ５１，５２は、中空部１０ａの両端部付近にそれぞれ配設され、該中空部１０ａを、ロッド３３の内壁とロッド１０の内周面とキャップ５１の底面とで画成される気室５３、キャップ５１の頂面とロッド１０の内周面とキャップ５２の底面とで画成される気室５４、及び、ロッド３４の内壁とロッド１０の内周面とキャップ５２の頂面とで画成される気室５５に区分する。
【００４７】
第３エア配管４２は、キャップ５１，５２の軸心部に形成された孔に挿通され、中空部１０ａの両端部に画成された気室５３と気室５５とを連通する。第３エア配管４２には、例えば、弾性を有しかつ軽量なゴムチューブ等が好適に用いられる。すなわち、本配管形態では、バキュームパッド１３とエアポンプ５０とが、第１エア配管４０、中空部１０ａ内に配設された第３エア配管４２、及び第２エア配管４１を通して連通される。
【００４８】
以上の構成において、バキュームパッド１３に形成された内部空間部１３ａのエアをエアポンプ５０で吸引（排気）し、内部空間部１３ａを負圧とすることにより、搬送対象物が吸着保持される。一方、内部空間部１３ａを大気開放するか、又は内部空間部１３ａに圧縮エアを導入（給気）することにより、吸着保持されていた搬送対象物が放される。
【００４９】
本実施形態によれば、バキュームパッド１３とエアポンプ５０とが、第１エア配管４０、ロッド１０の中空部１０ａに配設された第３エア配管４２、及び第２エア配管４１を通して連通される。そのため、従来ロッド等の外側に固定していたエア配管及びブラケットを削減することができる。その結果、バキュームパッド１３にエアを給排気するエア配管の取り回しを改善することが可能となる。
【００５０】
また、本実施形態によれば、第２アーム８を構成するロッド１０の中空部１０ａ内に配設された第３エア配管４２を通してエアが給排気されるため、中空部１０ａの内径にかかわらず、中空部１０ａ内を通る際のエアの損失（圧損）を低減することができる。そのため、エアの圧力及び流量を適切にコントロールすることが可能となる。また、第３エア配管４２とキャップ５１，５２との間、及びロッド１０とキャップ５１，５２との間に適切なシーリング処理を行うことで、エア損失の低減効果がさらに高くなる。
【００５１】
なお、本実施形態では、ブラケット１４に１つのバキュームパッド１３が取り付けられている場合を例にして説明したが、ブラケット１４に複数のバキュームパッド１３を取り付けるとともに、第１エア配管４０、第３エア配管４２、及び第２エア配管４１からなるエア配管を複数のバキュームパッド１３毎に接続する構成とすることもできる。この場合には、複数のバキュームパッド１３毎にエア配管が接続されるため、バキュームパッド１３に対するエアの給排気をバキュームパッド１３毎に制御することが可能となる。
【００５２】
（第３実施形態）
続いて、図５を用いて、第３実施形態に係るパラレルメカニズムのエア配管３８（以下「第３の配管形態」ともいう）について説明する。図５は、第３の配管形態を示す図である。
【００５３】
第３の配管形態に係るエア配管３８は、上述した第２エア配管４１に代えて、ロッド１０の中空部１０ａと第１アーム７の中空部７ａの一端とを連通する第４エア配管４３を備えている点、及び、第１アームの中空部７ａの他端とエアポンプ５０とを連通接続する第５エア配管４４を備えている点で上述した第１の配管形態と異なっている。その他の構成については、第１の配管形態と同一又は同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００５４】
第４エア配管４３の両端には、ジョイント４７，４８がそれぞれ取り付けられている。第４エア配管４３の一端は、ジョイント４７を介して、ロッド１０に形成された中空部１０ａの第１アーム７側の端部に連通接続されている。一方、第４エア配管４３の他端は、ジョイント４８を介して、第１アーム７に形成された中空部７ａの第２アーム８側の端部に連通接続されている。なお、各ジョイントの接続方法は第１の配管形態の場合と同一又は同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００５５】
同様にして、第１アーム７に形成された中空部７ａの電動モータ４側の端部には、ジョイント４９を介して、第５エア配管４４の一端が連通接続されている。一方、第５エア配管４４の他端は、エアの排気及び給気（又は大気開放）を切替えて行うことができるエアポンプ５０に接続されている。すなわち、本配管形態では、バキュームパッド１３とエアポンプ５０とが、第１エア配管４０、第２アーム８を構成するロッド１０の中空部１０ａ、第４エア配管４３、第１アーム７の中空部７ａ、及び第５エア配管４４を通して連通される。
【００５６】
以上の構成において、バキュームパッド１３に形成された内部空間部１３ａのエアをエアポンプ５０で吸引（排気）し、内部空間部１３ａを負圧とすることにより、搬送対象物が吸着保持される。一方、内部空間部１３ａを大気開放するか、又は内部空間部１３ａに圧縮エアを導入（給気）することにより、吸着保持されていた搬送対象物が放される。
【００５７】
本実施形態によれば、バキュームパッド１３とエアポンプ５０とが、第１エア配管４０、第２アーム８を構成するロッド１０の中空部１０ａ、第４エア配管４３、第１アーム７の中空部７ａ、及び第５エア配管４４を通して連通される。すなわち、中空のロッド１０及び第１アーム７をエア配管として利用することにより、従来ロッド等の外側に固定していたエア配管及びブラケットをより削減することができる。その結果、バキュームパッド１３にエアを給排気するエア配管の取り回しを改善することが可能となる。
【００５８】
なお、本実施形態では、ブラケット１４に１つのバキュームパッド１３が取り付けられている場合を例にして説明したが、ブラケット１４に複数のバキュームパッド１３を取り付けるとともに、第１エア配管４０、ロッド１０の中空部１０ａ、第４エア配管４３、第１アーム７の中空部７ａ、及び第５エア配管４４からなるエア配管を複数のバキュームパッド１３毎に接続する構成とすることもできる。この場合には、複数のバキュームパッド１３毎にエア配管が接続されるため、バキュームパッド１３に対するエアの給排気をバキュームパッド１３毎に制御することが可能となる。
【００５９】
（第４実施形態）
続いて、図６を用いて、第４実施形態に係るパラレルメカニズムのエア配管３９（以下「第４の配管形態」ともいう）について説明する。図６は、第４の配管形態を示す図である。
【００６０】
第４の配管形態に係るエア配管３９は、第１アーム７に形成された中空部７ａを３つの気室５８，５９，６０に区分する一対のキャップ５６，５７と、一対のキャップ５６，５７によって画成された両端部の気室５８，６０を連通する第６エア配管４５とが、中空部７ａ内に配設されている点で上述した第２の配管形態と異なっている。その他の構成については、第２の配管形態と同一又は同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００６１】
キャップ５６，５７は、弾性材により形成された円柱状のシール部材である。キャップ５６，５７は、その直径が中空部７ａの内径と同一か又は該内径よりも若干大きく、軸心部に第６エア配管４５を挿通すための孔が形成されている。なお、このキャップ５６，５７の軸心部に形成される孔は、その径が、第６エア配管４５の外径と同一か、又は若干小さくなるように形成される。各キャップ５６，５７は、中空部７ａの両端部付近にそれぞれ配設され、該中空部７ａを、第１アーム７の内面とキャップ５６の底面とで画成される気室５８、キャップ５６の頂面と第１アーム７の内面とキャップ５７の底面とで画成される気室５９、及び、第１アーム７の内面とキャップ５７の頂面とで画成される気室６０に区分する。
【００６２】
第６エア配管４５は、キャップ５６，５７の軸心部に形成された孔に挿通され、中空部７ａの両端部に画成された気室５８と気室６０とを連通する。第６エア配管４５には、例えば、弾性を有しかつ軽量なゴムチューブ等が好適に用いられる。すなわち、本配管形態では、バキュームパッド１３とエアポンプ５０とが、第１エア配管４０、中空部１０ａ内に配設された第３エア配管４２、第４エア配管４３、中空部７ａ内に配設された第６エア配管４５、及び第５エア配管４４を通して連通される。
【００６３】
以上の構成において、バキュームパッド１３に形成された内部空間部１３ａのエアをエアポンプ５０で吸引（排気）し、内部空間部１３ａを負圧とすることにより、搬送対象物が吸着保持される。一方、内部空間部１３ａを大気開放するか、又は内部空間部１３ａに圧縮エアを導入（給気）することにより、吸着保持されていた搬送対象物が放される。
【００６４】
本実施形態によれば、バキュームパッド１３とエアポンプ５０とが、第１エア配管４０、ロッド１０の中空部１０ａに配設された第３エア配管４２、第４エア配管４３、第１アーム７の中空部７ａ内に配設された第６エア配管４５、及び第５エア配管４４を通して連通される。そのため、従来ロッド等の外側に固定していたエア配管及びブラケットをより削減することができる。その結果、バキュームパッド１３にエアを給排気するエア配管の取り回しを改善することが可能となる。
【００６５】
また、本実施形態によれば、第２アーム８を構成するロッド１０の中空部１０ａ内に配設された第３エア配管４２、及び第１アーム７の中空部７ａ内に配設された第６エア配管４５を通してエアが給排気されるため、中空部１０ａの内径及び中空部７ａの内径にかかわらず、中空部１０ａ内及び中空部７ａ内を通る際のエアの損失（圧損）を低減することができる。そのため、エアの圧力及び流量を適切にコントロールすることが可能となる。また、第３エア配管４２とキャップ５１，５２との間、ロッド１０とキャップ５１，５２との間、第６エア配管４５とキャップ５６，５７との間、及び、第１アーム７とキャップ５６，５７との間に適切なシーリング処理を行うことにより、圧損低減効果が高まる。
【００６６】
なお、本実施形態では、ブラケット１４に１つのバキュームパッド１３が取り付けられている場合を例にして説明したが、ブラケット１４に複数のバキュームパッド１３を取り付けるとともに、第１エア配管４０、第３エア配管４２、第４エア配管４３、第６エア配管４５、及び第５エア配管４４からなるエア配管を複数のバキュームパッド１３毎に接続する構成とすることもできる。この場合には、複数のバキュームパッド１３毎にエア配管が接続されるため、バキュームパッド１３に対するエアの給排気をバキュームパッド１３毎に制御することが可能となる。
【００６７】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、第２アームを構成するロッド１０をエア配管として利用したが、ロッド１０に代えて又はロッド１０に加えて、ロッド９をエア配管として利用する構成としてもよい。
【００６８】
上記実施形態では、エンドエフェクタとして、搬送対象物を真空吸着するバキュームパッドを用いたが、バキュームパッドに代えて、例えば、搬送対象物をエアの圧力で把持するエアチャック等を用いることもできる。
【００６９】
上記実施形態では、ジョイント４６，４７をロッド１０の中空部１０ａに連通接続する際に、ロッド３３，３４の外壁にねじ孔を切り、このねじ孔にジョイント４６，４７を螺合したが、重なって接着されているロッド３３，３４及びロッド１０双方の外壁を貫通するようにねじ孔を切り、このねじ孔にジョイント４６，４７を螺合する構成としてもよい。
【００７０】
また、図７に示されるように、排気装置６１、給気装置６２をそれぞれエア配管６３、ロッド９、エア配管６５からなるエア配管、及び、エア配管６４、ロッド１０、エア配管６６からなるエア配管によって、バキュームパッド１３（もしくはエアチャック）と接続する構成としてもよい。また、この場合に、排気と給気の配管を排気・給気切替弁６７を介してバキュームパッド１３（もしくはエアチャック）と接続する（図８参照）ことで、搬送対象物の把持と放出の応答性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】第１実施形態に係るパラレルメカニズムの全体構成を示す斜視図である。
【図２】図１中の矢印Ａ１方向から見たパラレルメカニズムを示す図である。
【図３】第１実施形態に係るパラレルメカニズムのエア配管（第１の配管形態）を示す図である。
【図４】第２実施形態に係るパラレルメカニズムのエア配管（第２の配管形態）を示す図である。
【図５】第３実施形態に係るパラレルメカニズムのエア配管（第３の配管形態）を示す図である。
【図６】第４実施形態に係るパラレルメカニズムのエア配管（第４の配管形態）を示す図である。
【図７】エア配管の他の例（配管形態）を示す図である。
【図８】エア配管の他の例（配管形態）を示す図である。
【符号の説明】
【００７２】
１  パラレルメカニズム
２  ベース部
３  支持部材
４，２１  電動モータ
５  アーム支持部材
６  アーム本体
７  第１アーム
８  第２アーム
９，１０  ロッド
１１，１２  連結部材
１３  バキュームパッド
１４  ブラケット
１５  取付片
１６，１７，１８，１９  ボールジョイント
２０  旋回軸ロッド
２２，２３  ユニバーサルジョイント
３３，３４  ロッド
３６，３７，３８，３９  エア配管
４０  第１エア配管
４１  第２エア配管
４２  第３エア配管
４３  第４エア配管
４４  第５エア配管
４５  第６エア配管
４６，４７，４８，４９  ジョイント
５０  エアポンプ
５１，５２，５６，５７  キャップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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