(57)【要約】      （修正有）【課題】位置決め時には、剥離が容易で、優れた位置決め精度を得ることができ、位置決め後には、フィルムを確実に固定することができる、接続信頼性の高い光導波路フィルムおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】算術平均表面粗さが０．１〜２．０μｍの凹凸構造の表面を有する型板７を用意し、型板７の表面に、粘着剤組成物１３を塗布し、粘着剤組成物１３を硬化させて、周波数１Ｈｚのねじりモードの動的粘弾性測定から得られる２５℃の貯蔵弾性率が１０〜１００ＭＰａの粘着剤層３を形成する一方、アンダークラッド層４およびオーバークラッド層６と、これらに被覆されるコア層５を備えるフィルム２を用意する。そして、アンダークラッド層４と、粘着剤層３の上面とを貼着する。【選択図】図２
2009036923.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クラッド層および前記クラッド層に被覆されるコア層を備えるフィルムと、
前記フィルムの少なくとも片面に形成され、算術平均表面粗さが０．１〜２．０μｍの凹凸構造を表面に有し、周波数１Ｈｚのねじりモードの動的粘弾性測定から得られる２５℃の貯蔵弾性率が１０〜１００ＭＰａの粘着剤層と
を備えていることを特徴とする、光導波路フィルム。
【請求項２】
算術平均表面粗さが０．１〜２．０μｍの凹凸構造の表面を有する型板を用意する工程と、
前記型板の表面に、粘着剤組成物を塗布する工程と、
前記粘着剤組成物を硬化させて、周波数１Ｈｚのねじりモードの動的粘弾性測定から得られる２５℃の貯蔵弾性率が１０〜１００ＭＰａの粘着剤層を形成する工程と、
クラッド層および前記クラッド層に被覆されるコア層を備えるフィルムを用意する工程と、
前記クラッド層と、前記型板と接触する前記粘着剤層の表面と反対側の表面とを貼着する工程と
を備えていることを特徴とする、光導波路フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路フィルムおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、光基板の上に設けられる複数の光学素子間を、光導波路フィルムによって光学的に接続することが知られている。このような光導波路フィルムは、光基板に配置する時に、正確な光路を確保すべく、光基板に対する精密な位置決めが必要とされる。
このような光導波路フィルムとして、例えば、複数の光配線層からなり、シリコン基板の上に硬化型接着剤層を介して形成される光配線フィルムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この提案では、まず、液状の硬化型接着剤層（未硬化）を光配線フィルムに塗工し、次いで、液状の硬化型接着剤層を介して光配線フィルムをシリコン基板に対して位置決めして、その後、硬化により所望の接着力を有する硬化型接着剤層を形成するとともに、光配線フィルムをシリコン基板に固定している。
【特許文献１】特開２００２−１１６３３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、特許文献１では、光配線フィルムのシリコン基板への固定において、液状の硬化型接着剤層が流動して、光配線フィルムと光学素子との接続部分に至り、それが光配線層の光路を妨害するおそれがある。
一方、予め高い接着力を有するシート状の接着剤層を用いれば、接着剤層が流動しにくいため、光路を妨害するおそれがないものの、接着剤層の初期接着力が高いため、接着剤層を光基板に接触させると、すぐに光導波路フィルムが光基板に固定される。そのため、位置決めにおいて、光導波路フィルムの光基板に対する配置を調整することが困難である。その結果、光導波路フィルムの光基板に対する精度のよい位置決めが困難である。
【０００４】
本発明の目的は、位置決め時には、剥離が容易で、優れた位置決め精度を得ることができ、位置決め後には、フィルムを確実に固定することができる、接続信頼性の高い光導波路フィルムおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の光導波路フィルムは、クラッド層および前記クラッド層に被覆されるコア層を備えるフィルムと、前記フィルムの少なくとも片面に形成され、算術平均表面粗さが０．１〜２．０μｍの凹凸構造を表面に有し、周波数１Ｈｚのねじりモードの動的粘弾性測定から得られる２５℃の貯蔵弾性率が１０〜１００ＭＰａの粘着剤層とを備えていることを特徴としている。
【０００６】
また、本発明の光導波路フィルムの製造方法は、算術平均表面粗さが０．１〜２．０μｍの凹凸構造の表面を有する型板を用意する工程と、前記型板の表面に、粘着剤組成物を塗布する工程と、前記粘着剤組成物を硬化させて、周波数１Ｈｚのねじりモードの動的粘弾性測定から得られる２５℃の貯蔵弾性率が１０〜１００ＭＰａの粘着剤層を形成する工程と、クラッド層および前記クラッド層に被覆されるコア層を備えるフィルムを用意する工程と、前記クラッド層と、前記型板と接触する前記粘着剤層の表面と反対側の表面とを貼着する工程とを備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の光導波路フィルムによれば、光導波路フィルムは、被着体への初期接着においては、粘着剤層における特定の表面粗さの凹凸構造の表面を被着体と接触させるので、初期接着力を低減させることができる。そのため、位置決め時における剥離を容易にして、優れた位置決め精度を得ることができる。
また、粘着剤層は特定の貯蔵弾性率を有するので、被着体への初期接着後の接着においては、十分な接着力を確保でき、フィルムを被着体に確実に固定させることができる。
【０００８】
さらにまた、粘着剤層は特定の貯蔵弾性率を有するので、被着体への初期接着における粘着剤層の流動が抑制されて、粘着剤層によるコア層の光路の妨害を防止することができる。
そのため、位置決め時においては、フィルムの被着体に対する接着および剥離を繰り返して、フィルムの被着体に対する配置を調整しながら優れた位置決め精度で位置決めできる一方、位置決め後においては、フィルムを被着体に確実に固定することができ、さらには、優れた接続信頼性を確保することができる。
【０００９】
また、本発明の光導波路フィルムの製造方法は、特定の表面粗さの凹凸構造の表面を有する型板を用意する工程と、型板の表面に、粘着剤組成物を塗布する工程と、粘着剤組成物を硬化させて、特定の貯蔵弾性率の粘着剤層を形成する工程とを備える。そのため、この方法は、型板の表面が有する特定の表面粗さの凹凸構造を、型板の表面に塗布された粘着剤組成物から形成される粘着剤層の表面に転写するので、特定の表面粗さの凹凸構造の表面を有する粘着剤層を正確かつ簡便に形成することができる。
【００１０】
また、この方法は、クラッド層と、型板と接触する粘着剤層の表面と反対側の表面とを貼着する工程を備えているので、クラッド層と粘着剤層との接触面積を十分確保して、クラッド層と粘着剤層とを確実に接着させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、本発明の光導波路フィルムの一実施形態の幅方向（長手方向に直交する方向）に沿う断面図、図２は、図１に示す光導波路フィルムの製造方法を示す工程図、図３は、図１に示す光導波路フィルムのフィルムの製造方法を示す工程図、図４は、図１に示す光導波路フィルムを光基板に固定する方法を説明するための断面図である。
図１において、この光導波路フィルム１は、長手方向に延びる平帯状に形成されており、フィルム２と、粘着剤層３とを備えている。
【００１２】
フィルム２は、光導波路であって、光導波路フィルム１の外形形状に対応するように形成されている。また、フィルム２は、クラッド層としてのアンダークラッド層４およびオーバークラッド層６と、アンダークラッド層４およびオーバークラッド層６に被覆されるコア層５とを備えている。より具体的には、フィルム２は、アンダークラッド層４と、アンダークラッド層４の上に形成されるコア層５と、アンダークラッド層４の上に、コア層５を被覆するように形成されるオーバークラッド層６とを備えている。
【００１３】
コア層５は、アンダークラッド層４の上面において複数（３つ）設けられ、長手方向に延び、幅方向において互いに間隔を隔てて並列配置されている。また、コア層５の長手方向両端部は、複数の光学素子と光学的に接続されるための接続部分とされている。各コア層５は、断面視略矩形状に形成されている。
粘着剤層３は、フィルム２の片面、より具体的には、アンダークラッド層４の下面に設けられている。
【００１４】
粘着剤層３は、その表面、すなわち、粘着剤層３の下面が、凹凸構造に形成され、より具体的には、算術平均表面粗さが０．１〜２．０μｍの凹凸構造に形成されている。また、粘着剤層３の下面の算術平均表面粗さは、好ましくは、０．１〜０．５μｍ、さらに好ましくは、０．１５〜０．３μｍである。算術平均表面粗さは、レーザー顕微鏡を用いた表面観察から得られる表面粗さの算術平均Ｒａとして求められる。また、この算術平均粗さは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４に準拠して求められる。
【００１５】
また、粘着剤層は、２５℃の貯蔵弾性率が、１０〜１００ＭＰａであり、好ましくは、１０〜７０ＭＰａ、さらに好ましくは、１０〜３０ＭＰａである。２５℃の貯蔵弾性率は、周波数１Ｈｚのねじりモードにて温度−２０℃から２００℃まで５℃／ｍｉｎで昇温させた動的粘弾性測定から得られる２５℃のねじり貯蔵弾性率Ｇ’として求められる。
一方、粘着剤層３の裏面、より具体的には、粘着剤層３の上面（アンダークラッド層４の下面に接触する面）は、平坦状に形成されている。
【００１６】
また、この光導波路フィルム１は、図１の仮想線で示すように、必要により、粘着剤層３の表面（下面）を被覆する型板７（後述）を備えている。
次に、この光導波路フィルムの製造方法について、図２を参照して説明する。
まず、この方法では、図２（ａ）に示すように、型板７を用意する。
型板７を形成する材料としては、例えば、シリコン、ガラスなどのセラミック材料、例えば、銅、アルミニウム、ステンレス、鉄合金などの金属材料、例えば、ポリイミド、ガラス−エポキシ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの樹脂材料が挙げられる。好ましくは、凹凸構造への加工の容易性の観点から、樹脂材料が挙げられ、さらに好ましくは、ＰＥＴが挙げられる。
【００１７】
また、型板７の表面、より具体的には、型板７の上面（次に塗布される粘着組成物１３と接触する面）は、算術平均表面粗さが０．１〜２．０μｍの凹凸構造に形成されている。型板７の上面の算術平均表面粗さの好適な範囲は、上記した粘着剤層３の下面の好適な範囲と同様である。また、算術平均表面粗さは、上記と同様にして求められる。
型板７の表面の凹凸構造は、エンボス加工など公知の方法により形成することができる。
【００１８】
型板７の厚みは、例えば、１０〜５０００μｍ、好ましくは、１０〜１５００μｍである。
次いで、この方法では、図２（ｂ）で示すように、型板７の表面に、粘着剤組成物１３を塗布する。
粘着剤組成物１３は、実質的に溶媒を含まず、次に述べる硬化によって粘着剤層３を形成する粘着剤組成物であって、例えば、アクリル系粘着剤組成物が挙げられる。そのようなアクリル系粘着剤組成物は、例えば、モノマー成分またはその部分重合物と、開始剤とを含有している。
【００１９】
モノマー成分は、主として、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有し、その他として、反応性官能基を有する反応性官能基含有ビニルモノマーおよび上記モノマー（（メタ）アクリル酸アルキルエステルおよび反応性官能基含有ビニルモノマー）と共重合可能な共重合性ビニルモノマーを含有している。
（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、メタクリル酸アルキルエステルおよび／またはアクリル酸アルキルエステルであって、例えば、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓｅｃ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ネオペンチル、（メタ）アクリル酸イソペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸へプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルへキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル（（メタ）アクリル酸ステアリル）、（メタ）アクリル酸イソオクタデシル（（メタ）アクリル酸イソステアリル）などの（メタ）アクリル酸アルキル（炭素数４〜１８の直鎖または分岐アルキル）エステルなどが挙げられる。これら（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、単独使用または２種以上併用することができる。
【００２０】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルの配合割合は、モノマー成分１００重量部に対して、例えば、５０〜９９．５重量部である。
反応性官能基含有ビニルモノマーとしては、例えば、カルボキシル基含有ビニルモノマーが挙げられ、このようなカルボキシル基含有ビニルモノマーとして、例えば、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸、クロトン酸、ケイ皮酸などの不飽和カルボン酸、例えば、無水フマル酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸などの不飽和ジカルボン酸無水物、例えば、イタコン酸モノメチル、イタコン酸モノブチル、２−アクリロイルオキシエチルフタル酸などの不飽和ジカルボン酸モノエステル、例えば、２−メタクリロイルオキシエチルトリメリット酸、２−メタクリロイルオキシエチルピロメリット酸などの不飽和トリカルボン酸モノエステル、例えば、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレートなどのカルボキシアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００２１】
また、反応性官能基含有ビニルモノマーとしては、上記したカルボキシル基含有ビニルモノマーの他に、例えば、（メタ）アクリル酸グリシジル、（メタ）アクリル酸メチルグリシジルなどのエポキシ基含有ビニルモノマー、例えば、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、アクリル酸２−ヒドロキシブチルなどの１価のヒドロキシル基含有ビニルモノマー、例えば、（メタ）アクリル酸エチレングリコール、（メタ）アクリル酸プロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシプロピレングリコールなどの２価のヒドロキシル基含有ビニルモノマー、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ビニルカルボン酸アミドなどのアミド基含有ビニルモノマー、例えば、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチルなどのアミノ基含有ビニルモノマー、例えば、アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノ基含有ビニルモノマー、例えば、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド系のイミド基含有ビニルモノマー、例えば、Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系のイミド基ビニル含有モノマー、例えば、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系のイミド基含有ビニルモノマー、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有ビニルモノマー、例えば、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートなどのイソシアネート基含有ビニルモノマーなどが挙げられる。
【００２２】
これら反応性官能基含有ビニルモノマーのうち、好ましくは、カルボキシル基含有ビニルモノマーが挙げられる。
反応性官能基含有ビニルモノマーの配合割合は、モノマー成分１００重量部に対して、例えば、０．５〜１５重量部である。
共重合性ビニルモノマーとしては、例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのビニルエステル類、例えば、エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系モノマー、例えば、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロペンチル、（メタ）アクリル酸ボルニル、（メタ）アクリル酸イソボルニルなどの（メタ）アクリル酸脂環式炭化水素エステル、例えば、（メタ）アクリル酸フェニルなどの（メタ）アクリル酸アリールエステル、例えば、スチレン、ビニルトルエンなどの芳香族系ビニルモノマー、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピルなどの（メタ）アクリル酸アルキル（炭素数１〜３の直鎖または分岐アルキル）エステル、例えば、（メタ）アクリロイルモルホリン、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチルなどの窒素原子含有ビニルモノマー、例えば、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチルなどのアルコキシ基含有ビニルモノマー、例えば、ビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー、例えば、塩化ビニルなどのハロゲン原子含有モノマー、例えば、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−（１−メチルビニル）ピロリドン、Ｎ−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルピペリドン、Ｎ−ビニルピリミジン、Ｎ−ビニルピペラジン、Ｎ−ビニルピラジン、Ｎ−ビニルピロール、Ｎ−ビニルイミダゾール、Ｎ−ビニルオキサゾール、Ｎ−ビニルモルホリン、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルなどのビニル基含有複素環化合物、例えば、ハロゲン原子を含有するアクリル酸エステル系モノマーなどが挙げられる。
【００２３】
また、共重合性ビニルモノマーとして、多官能性モノマーが挙げられる。
多官能性モノマーとしては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１,６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどの（モノまたはポリ）アルキレンポリオールポリ（メタ）アクリレートや、ジビニルベンゼンなどが挙げられる。また、多官能性モノマーとして、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレートなども挙げられる。
【００２４】
これら共重合モノマーのうち、好ましくは、多官能性モノマーが挙げられる。
これら共重合性ビニルモノマーは、単独使用または２種以上併用することができる。共重合性ビニルモノマーの配合割合は、モノマー成分１００重量部に対して、例えば、４９重量部以下である。
モノマー成分の部分重合物は、モノマー成分を開始剤の存在下で部分的に重合（予備重合）して得られる、未反応のモノマー成分とポリマー成分との混合物である。部分重合物の重合率は、例えば、２〜４０重量％、好ましくは、５〜２０重量％である。なお、部分重合物の重合率は、部分重合物約０．５ｇを精秤し、これを１３０℃で２時間乾燥した後の重量を精秤して重量減少量（揮発分（未反応モノマー重量））を求め、得られた数値を以下の式に代入して算出することができる。
【００２５】
部分重合物の重合率（％）＝〔１−（重量減少量）／（乾燥前の部分重合物の重量）〕×１００
開始剤としては、例えば、光重合開始剤、熱重合開始剤などが挙げられる。好ましくは、硬化の容易性の観点から、光重合開始剤が挙げられる。
光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オンなどのベンゾインエーテル、例えば、アニソールメチルエーテルなどの置換ベンゾインエーテル、例えば、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトンなどの置換アセトフェノン、例えば、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノンなどの置換アルファーケトール、例えば、２−ナフタレンスルフォニルクロライドなどの芳香族スルフォニルクロライド、例えば、１−フェニル−１，１−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）−オキシムなどの光活性オキシムなどが挙げられる。好ましくは、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトンが挙げられる。
【００２６】
光重合開始剤は、通常、一般の市販品が用いられ、例えば、イルガキュアシリーズ（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）が挙げられ、より具体的には、イルガキュア６５１（２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン）、イルガキュア１８４（１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトン）などが挙げられる。
これら開始剤は、単独使用または２種以上併用することができる。開始剤の配合割合は、モノマー成分１００重量部に対して、例えば、０．０１〜５重量部、好ましくは、０．１〜３重量部である。
【００２７】
粘着剤組成物１３は、上記したモノマー成分と開始剤とを配合して混合することにより、得ることができる。
また、粘着剤組成物１３には、例えば、粘度調整剤、必要により、架橋剤、剥離調整剤、可塑剤、軟化剤、充填剤、着色剤（顔料、染料など）、老化防止剤など、粘着剤組成物に通常添加される添加剤を、適宜の割合で、添加することができる。
【００２８】
粘度調整剤として、例えば、スチレン系ブロックポリマーなどが挙げられる。
粘着剤組成物１３を塗布するには、例えば、キャスティング、スピンコートなどの塗布法が用いられる。
このようにして塗布される粘着剤組成物１３の厚みは、次に形成される粘着剤層３の厚みによって適宜選択されるが、例えば、１０μｍ以上、好ましくは２０μｍ以上、通常、４００μｍ以下である。
【００２９】
次いで、この方法では、図２（ｃ）に示すように、粘着剤組成物１３を硬化させて、粘着剤層３を形成する。
粘着剤組成物１３を硬化させるには、例えば、粘着剤組成物１３が開始剤として光重合開始剤を含有していれば、粘着剤組成物１３を光照射し、また、例えば、粘着剤組成物１３が開始剤として熱重合開始剤を含有していれば、粘着剤組成物１３を加熱する。好ましくは、粘着剤組成物１３を光（紫外線）照射する。
【００３０】
紫外線照射では、例えば、波長３００〜４００ｎｍにおける照度が１〜２００ｍＷ／ｃｍ2である紫外線を、線量４００〜４０００ｍＪ／ｃｍ2で照射する。
また、紫外線照射では、図２（ｂ）の仮想線で示すように、塗布された粘着剤組成物１３の表面（上面）に、必要により、ＰＥＴなどの合成樹脂などからなる離型フィルム８を積層して、粘着剤組成物１３から酸素を遮断する。離型フィルム８の表面（下面）には、粘着剤層３からの剥離性を高めるため、必要に応じて、シリコーン処理などの剥離処理がなされている。
【００３１】
これにより粘着剤組成物１３を硬化させて、上記した２５℃の貯蔵弾性率が１０〜１００ＭＰａの粘着剤層３を形成する。
このようにして形成される粘着剤層３は、その厚みが、例えば、１０μｍ以上、好ましくは２０μｍ以上、通常、４００μｍ以下である。
次いで、この方法では、図３（ｅ）に示すように、アンダークラッド層４、コア層５およびオーバークラッド層６を備えるフィルム２を用意する。
【００３２】
フィルム２を用意するには、図３（ａ）に示すように、まず、基材１２を用意する。基材１２は、板状をなし、この基材１２を形成する材料としては、上記した型板７の材料と同様の材料が挙げられる。好ましくは、後述する除去の容易性の観点から、金属材料が挙げられる。基材１２の厚みは、例えば、１０〜５０００μｍ、好ましくは、１０〜１５００μｍである。
【００３３】
次いで、この方法では、図３（ｂ）に示すように、基材１２の上に、アンダークラッド層４を形成する。
アンダークラッド層４を形成する材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、またはこれらのフッ素化樹脂や重水素化樹脂、さらには、フルオレン誘導体樹脂などの樹脂材料が挙げられる。これら樹脂材料は、好ましくは、感光剤を配合して、感光性樹脂として用いられる。好ましくは、感光性ポリイミド樹脂（原料としては、感光性ポリアミック酸樹脂や感光性フッ素化ポリアミック酸樹脂）および感光性フルオレン誘導体樹脂（原料としては、感光性フルオレン誘導体）が挙げられる。
【００３４】
アンダークラッド層４を、基材１２の上に形成するには、例えば、上記した樹脂のワニス（樹脂溶液）を調製して、そのワニスを基材１２の上に、例えば、キャスティング、スピンコートなどによって塗布した後、乾燥し、必要により加熱する。なお、感光性樹脂が用いられる場合には、ワニスの塗布および乾燥後に、フォトマスクを介して露光し、必要により、露光後加熱した後、現像し、次いで、加熱する。
【００３５】
このようにして形成されるアンダークラッド層４の厚みは、例えば、５〜１００μｍである。
次いで、この方法では、図３（ｃ）に示すように、コア層５を、アンダークラッド層４の上に形成する。
コア層５を形成する材料としては、アンダークラッド層４の樹脂材料よりも、屈折率が高くなる樹脂材料が挙げられる。このような樹脂材料としては、例えば、上記と同様の樹脂材料が挙げられる。
【００３６】
コア層５を形成するには、例えば、上記した樹脂のワニス（樹脂溶液）を調製して、そのワニスを、アンダークラッド層４の表面に塗布した後、乾燥し、必要により硬化させる。また、感光性樹脂が用いられる場合には、ワニスの塗布および乾燥後に、フォトマスクを介して露光し、必要により、露光後加熱した後、現像し、次いで、加熱する。
このようにして形成されるコア層５の厚みは、例えば、５〜１００μｍであり、幅は、例えば、５〜１００μｍである。
【００３７】
次いで、この方法では、図３（ｄ）に示すように、オーバークラッド層６を、アンダークラッド層４の上に、コア層５を被覆するように形成する。
オーバークラッド層６を形成する材料としては、上記したアンダークラッド層４と同様の樹脂材料が挙げられる。なお、アンダークラッド層４とオーバークラッド層６とは、同一の樹脂材料から形成してもよく、また、異なる樹脂材料から形成することもできる。
【００３８】
オーバークラッド層６を、アンダークラッド層４の上に形成するには、例えば、上記した樹脂のワニス（樹脂溶液）を調製して、そのワニスをコア層５を含むアンダークラッド層４の上に、例えば、キャスティング、スピンコートなどによって塗布した後、乾燥し、必要により加熱する。なお、感光性樹脂が用いられる場合には、ワニスの塗布および乾燥後に、フォトマスクを介して露光し、必要により、露光後加熱した後、現像し、次いで、加熱する。
【００３９】
このようにして形成されるオーバークラッド層６の厚みは、例えば、５〜１００μｍである。
その後、この方法では、図３（ｅ）に示すように、基材１２を除去する。基材１２の除去として、例えば、エッチング、剥離などが用いられる。
このようにして、アンダークラッド層４、コア層５およびオーバークラッド層６を備えるフィルム２を用意することができる。
【００４０】
次いで、この方法では、図２（ｄ）に示すように、アンダークラッド層４と、粘着剤層３の平坦な表面（型板７と接触する表面と反対側の表面）とを貼着する。
より具体的には、フィルム２のアンダークラッド層４の下面と、粘着剤層３の上面（粘着剤層３の平坦な表面）とを貼り合わせる。
これにより、光導波路フィルム１を得ることができる。
【００４１】
また、この光導波路フィルム１において、後の実施例で詳述する粘着剤層３の初期接着力は、例えば、０．５Ｎ／ｃｍ以下、好ましくは、０．２Ｎ／ｃｍ以下、通常、０．１Ｎ／ｃｍ以上であり、粘着剤層３の圧着後接着力は、例えば、１Ｎ／ｃｍ以上、好ましくは、１．１Ｎ／ｃｍ以上、通常、３Ｎ／ｃｍ以下である。
次に、光導波路フィルム１を光基板９に固定する方法について、図４を参照して説明する。
【００４２】
まず、図４（ａ）に示すように、得られた光導波路フィルム１において、型板７（図２（ｄ）参照）を粘着剤層３から引き剥がす。これにより、凹凸構造を有する粘着剤層３の下面が露出する。
その後、図４（ｂ）に示すように、光導波路フィルム１を、光学素子（図示せず）を備える光基板９に固定させる。
【００４３】
そして、光導波路フィルム１の光基板９への固定では、まず、光導波路フィルム１を光基板９に対して上方から光学素子と隣接するように位置決めしながら、一旦、粘着剤層３の下面を、光基板９の上面と接触（初期接着）させる。
次いで、コア層５の接続部分と光学素子の接続部分とが光学的に接続されるように、光導波路フィルム１が光基板９に対して位置決めされていれば、そのまま光導波路フィルム１を下方に圧着させて、光導波路フィルム１を光基板９に固定させる。
【００４４】
一方、光導波路フィルム１が光基板９に対して位置決めされていなければ、光導波路フィルム１を上方に引き上げて、粘着剤層３を光基板９から引き剥がし、光導波路フィルム１を光基板９に対して位置決め（位置修正）しながら、粘着剤層３の下面を光基板９の上面と接触させる。その後、コア層５の接続部分と光学素子の接続部分とが光学的に接続されるように、光導波路フィルム１が光基板９に対して位置決めされていれば、光導波路フィルム１を光基板９に固定させる。なお、光導波路フィルム１が光基板９に対して位置決めされていなければ、上記した剥離および接着を繰り返す。
【００４５】
そして、上記した光導波路フィルム１の製造方法は、型板７の上面が有する特定の表面粗さの凹凸構造を、型板７の上面に塗布された粘着剤組成物１３から形成される粘着剤層３の下面に転写するので、特定の表面粗さの凹凸構造の下面を有する粘着剤層３を正確かつ簡便に形成することができる。
また、光導波路フィルム１の製造方法は、アンダークラッド層４と粘着剤層３との接触面積を十分確保して、アンダークラッド層４と粘着剤層３とを確実に接着させることができる。
【００４６】
そして、この方法により得られる光導波路フィルム１は、光基板９への初期接着においては、粘着剤層３における特定の表面粗さの凹凸構造の下面を光基板９と接触させるので、初期接着力を低減させることができる。そのため、位置決め時における剥離を容易にして、優れた位置決め精度を得ることができる。
また、粘着剤層３は特定の貯蔵弾性率を有するので、光基板９への初期接着後の接着（圧着）においては、粘着剤層３における特定の表面粗さの凹凸構造の下面を光基板９と圧着させて、十分な接着力を確保でき、フィルム２を光基板９に確実に固定させることができる。
【００４７】
さらにまた、粘着剤層３は特定の貯蔵弾性率を有するので、光基板９への初期接着における粘着剤層３の流動が抑制されて、粘着剤層３によるコア層５の接続部分と光学素子の接続部分との間の光路の妨害を防止することができる。
そのため、位置決め時においては、フィルム２の光基板９に対する接着および剥離を繰り返して、フィルム２の光基板９に対する配置を調整しながら優れた位置決め精度で位置決めできる一方、位置決め後においては、フィルム２を光基板９に確実に固定することができ、さらには、優れた接続信頼性を確保することができる。
【００４８】
なお、上記した説明では、粘着剤層３をアンダークラッド層４の下面のみに設けたが、例えば、粘着剤層３を、アンダークラッド層４の下面に加え、さらに、オーバークラッド層６の上面に設けることもできる。
【実施例】
【００４９】
以下に実施例および比較例を挙げて、本発明をより具体的に説明する。ただし、本発明は、以下の実施例および比較例に何ら制限されるものではない。なお、以下の説明において、「部」および「％」は、特に明記のない限り、重量基準である。
実施例１
（粘着剤組成物の調製）
冷却管、窒素導入管、温度計および攪拌機を備えた４つ口フラスコに、アクリル酸イソステアリル７５部、アクリル酸１２部、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート０．１部、イルガキュア６５１（光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）０．２部、イルガキュア１８４（光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）０．２部、および、スチレン系ブロックポリマーＳＥＢＳ（粘度調整剤、住友化学社製）２５部を加えて混合し、粘着剤組成物を調製した。
【００５０】
（粘着剤層の形成）
上面を凹凸構造に加工処理（サンドマット処理）したＰＥＴフィルム（ＥＭＢＬＥＴ  ＳＭ−３８、厚み３８μｍ、大きさ２００×３００ｍｍ、ユニチカ社製）を用意し（図２（ａ）参照）、次いで、このＰＥＴフィルムの上面に、粘着剤組成物を、硬化後の厚みが４０μｍとなるように塗布した（図２（ｂ）参照）。その後、その粘着剤組成物と、下面をシリコーン処理（剥離処理）した厚み３５μｍのＰＥＴからなる離型フィルムとを、粘着剤組成物と離型フィルムの下面とが接触するように貼着し、粘着剤組成物から酸素を遮断した（図２（ｂ）仮想線を参照。）。
【００５１】
次いで、離型フィルムの上側から、ブラックライト（東芝社製）にて照度３．６ｍＷ／ｃｍ2で紫外線（波長３１５〜４００ｎｍ）を５分間照射して、粘着剤組成物を硬化させて、ＰＥＴフィルムと離型フィルムとで挟まれる粘着剤層を形成した（図２（ｃ）参照）。
（フィルムの作製）
まず、厚み２５μｍのステンレス基材（大きさ２００×３００ｍｍ）を用意した（図３（ａ）参照）。次いで、表１の処方に従ってフルオレン誘導体ワニスＡを調製した。次いで、このフルオレン誘導体ワニスＡを、ステンレス基材の表面に塗布し、１００℃で１５分間加熱することにより、乾燥した。その後、フォトマスクを介して露光して、次いで、現像した後、１００℃で２０分間、加熱して硬化させることにより、ステンレス基材の上に、アンダークラッド層を形成した（図３（ｂ）参照）。アンダークラッド層の波長６３３ｎｍにおける屈折率は１．５８５であった。また、アンダークラッド層の厚みは２０μｍであった。
【００５２】
また、表１の処方に従ってフルオレン誘導体ワニスＢを調製した。次いで、このフルオレン誘導体ワニスＢを、アンダークラッド層の表面に塗布し、１００℃で３０分間加熱することにより、乾燥した。その後、フォトマスクを介して露光し、次いで、１００℃で６０分間露光後加熱した後、現像した。その後、１００℃で１０分間、加熱して硬化させることにより、アンダークラッド層の上に、コア層を形成した。このコア層の波長６３３ｎｍにおける屈折率は１．６１５であった。また、コア層の厚みは５μｍ、幅は５μｍであった。
【００５３】
次いで、フルオレン誘導体ワニスＡを、コア層を含むアンダークラッド層の表面に塗布し、１００℃で１５分間加熱することにより、乾燥した。その後、フォトマスクを介して露光し、次いで、現像した。その後、１００℃で２０分間、加熱して硬化させることにより、アンダークラッド層の上に、コア層を被覆するように、オーバークラッド層を形成した（図３（ｄ）参照）。このオーバークラッド層の波長６３３ｎｍにおける屈折率は１．５８５であった。また、アンダークラッド層の厚みは２０μｍであった。
【００５４】
その後、ステンレス基材をエッチングにより除去した（図３（ｅ）参照）。
これにより、アンダークラッド層、コア層およびオーバークラッド層を備えるフィルムを用意した。
【００５５】
【表１】
2009036923.tif 000003
【００５６】
（光導波路フィルムの作製）
まず、離型フィルムを粘着剤層から引き剥がし、その後、フィルムのアンダークラッド層の下面と、粘着剤層の上面とを貼り合わせた（図２（ｄ）参照）。
これにより、フィルムと粘着剤層とを備える光導波路フィルムを作製した。
実施例２
実施例１の粘着剤層の形成において、粘着剤組成物を、硬化後の厚みが７０μｍとなるように塗布した以外は、実施例１と同様にして粘着剤層を形成し、続いて、光導波路フィルムを作製した。
【００５７】
実施例３
実施例１の粘着剤層の形成において、粘着剤組成物を、硬化後の厚みが１２０μｍとなるように塗布した以外は、実施例１と同様にして粘着剤層を形成し、続いて、光導波路フィルムを作製した。
実施例４
（粘着剤組成物の調製）
冷却管、窒素導入管、温度計および攪拌機を備えた４つ口フラスコに、アクリル酸２−エチルヘキシル４５部、アクリル酸１０部、アクリル酸イソボルニル４５部、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート０．１部、イルガキュア６５１（光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）０．０５部、および、イルガキュア１８４（光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）０．０５部を加えて混合した。その後、窒素を導入しながら、紫外線照射して予備重合させることにより、部分重合物（モノマーシロップ）からなる粘着剤組成物を調製した。なお、部分重合物の重合率は、８％であった。
【００５８】
（粘着剤層の形成および光導波路フィルムの作製）
上記により調製した粘着剤組成物を用いた以外は、実施例１と同様にして粘着剤層（厚み４０μｍ）を形成し、続いて、光導波路フィルムを作製した。
実施例５
実施例４の粘着剤組成物の調製において、アクリル酸１０部に代えて、アクリル酸１５部を用いた以外は、実施例５と同様にして、部分重合物を含む粘着剤組成物を調製し、続いて、粘着剤層（厚み４０μｍ）を形成し、次いで、光導波路フィルムを作製した。なお、部分重合物の重合率は、８％であった。
【００５９】
比較例１
実施例１の粘着剤層の形成において、凹凸構造に加工処理したＰＥＴフィルムに代えて、通常のＰＥＴフィルム（凹凸構造に加工処理していないＰＥＴフィルム）を用いた以外は、実施例１と同様にして粘着剤層を形成し、続いて、光導波路フィルムを作製した。
比較例２
実施例４の粘着剤層の形成において、凹凸構造に加工処理したＰＥＴフィルムに代えて、通常のＰＥＴフィルム（凹凸構造に加工処理していないＰＥＴフィルム）を用いた以外は、実施例４と同様にして粘着剤層を形成し、続いて、光導波路フィルムを作製した。
【００６０】
比較例３
実施例５の粘着剤層の形成において、凹凸構造に加工処理したＰＥＴフィルムに代えて、通常のＰＥＴフィルム（凹凸構造に加工処理していないＰＥＴフィルム）を用いた以外は、実施例５と同様にして粘着剤層を形成し、続いて、光導波路フィルムを作製した。
比較例４
（ポリマー溶液の調製）
冷却管、窒素導入管、温度計および攪拌機を備えた４つ口フラスコに、アクリル酸ブチル１００部、アクリル酸１部、アクリル酸４−ヒドロキシブチル０．３部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．１部および酢酸エチル２００部を加えて、緩やかに攪拌しながら、１時間窒素ガスを導入した。その後、窒素ガスを導入しながら、フラスコ内の液温を５５〜６０℃に保って、１０時間重合させて、ポリマー溶液を調製した。
【００６１】
（粘着剤溶液の調製）
ポリマー溶液の固形分１００部に対してトリレンジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体（コロネートＬ、日本ポリウレタン社製）１部を添加して、攪拌しながら混合して、粘着剤溶液を調製した。
（粘着剤層の形成）
上面を凹凸構造に加工処理（サンドマット処理）したＰＥＴフィルム（ＥＭＢＬＥＴ  ＳＭ−３８、厚み３８μｍ、ユニチカ社製）を用意し（図２（ａ）参照）、次いで、このＰＥＴフィルムの上面に、粘着剤溶液を、乾燥後の厚みが４０μｍとなるように塗布した（図２（ｂ）参照）。
【００６２】
次いで、粘着剤溶液の上側から、ブラックライト（東芝社製）にて照度３．６ｍＷ／ｃｍ2で紫外線（波長３１５〜４００ｎｍ）を５分間照射した後、１３０℃の乾燥機に３分間投入して、残存モノマーを揮発させることにより、粘着剤層を形成した（図２（ｃ）参照）。
（光導波路フィルムの作製）
フィルムのアンダークラッド層の下面と、粘着剤層の上面とを貼り合わせた（図３（ｄ）参照）。
【００６３】
これにより、フィルムと粘着剤層とを備える光導波路フィルムを作製した。
（評価）
１）貯蔵弾性率（Ｇ’）
各実施例および各比較例において形成した粘着剤層について、動的粘弾性測定装置（ＡＲＥＳ、ティー・エイ・インスツルメント社製）を用いて、周波数１Ｈｚのねじりモードにて温度−２０℃から２００℃まで５℃／ｍｉｎで昇温させて、２５℃における貯蔵弾性率を算出した。その結果を表２に示す。
２）算術平均表面粗さ（Ｒａ）
凹凸構造に加工処理したＰＥＴフィルムの上面と、各実施例および各比較例により形成した粘着剤層の下面とについて、レーザー顕微鏡（１ＬＭ２１Ｈ、Ｌａｓｅｒｔｅｃ社製）を用いた表面観察から、算術平均表面粗さＲａを算出した。なお、算術平均表面粗さＲａは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４に従って、算出した。
【００６４】
凹凸構造に加工処理したＰＥＴフィルムの上面の算術平均表面粗さＲａは、０．１８μｍであった。また、各実施例および各比較例により形成した粘着剤層の下面の算術平均表面粗さＲａを表２に示す。
また、実施例１の粘着剤層の下面のレーザー顕微鏡による表面観察の画像処理図を図５および図６に示す。図５は粘着剤層の下面の背面図であり、図６は粘着剤層の下面の斜視図である。
３）初期接着力
得られた光導波路フィルムの粘着剤層を、シリコンからなる光基板に、圧力１ｋＰａで接触させたときの接着力を初期接着力として算出した。その結果を表２に示す。
４）圧着後接着力（９０°ピール試験）
得られた光導波路フィルムの粘着剤層を、シリコンからなる光基板に、圧力４００ｋＰａ、温度１３０℃のロールにて貼り合わせた。その後、２３℃で３０分間放置し、光導波路フィルムの一端を５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で光基板の表面に対して９０度の方向に剥離して、その抵抗力を測定した（９０°ピール試験）。９０°ピール試験において、光導波路フィルムの一端から１０ｍｍ剥離するまで測定せず、１０ｍｍを超過してから測定を開始して、最低の抵抗力を圧着後接着力として算出した。その結果を表２に示す。
【００６５】
【表２】
2009036923.tif 000004
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】図１は、本発明の光導波路フィルムの一実施形態の幅方向に沿う断面図である。
【図２】図１に示す光導波路フィルムの製造方法を示す工程図であって、（ａ）は、型板を用意する工程、（ｂ）は、型板の表面に、粘着剤組成物を塗布する工程、（ｃ）は、粘着剤組成物を硬化させて、粘着剤層を形成する工程、（ｄ）は、アンダークラッド層と、粘着剤層の上面とを貼着する工程を示す。
【図３】図１に示す光導波路フィルムのフィルムの製造方法を示す工程図であって、（ａ）は、基材を用意する工程、（ｂ）は、基材の上に、アンダークラッド層を形成する工程、（ｃ）は、コア層を、アンダークラッド層の上に形成する工程、（ｄ）は、オーバークラッド層を、アンダークラッド層の上に、コア層を被覆するように形成する工程、（ｅ）は、基材を除去する工程を示す。
【図４】図１に示す光導波路フィルムを光基板に固定する方法を説明するための断面図であって、（ａ）は、型板を粘着剤層から引き剥がす工程、（ｂ）は、光導波路フィルムを光基板に固定させる工程を示す。
【図５】粘着剤層（実施例１）の下面のレーザー顕微鏡の表面観察の画像処理図（背面図）である。
【図６】粘着剤層（実施例１）の下面のレーザー顕微鏡の表面観察の画像処理図（斜視図）である。
【符号の説明】
【００６７】
１      光導波路フィルム
２      フィルム
３      粘着剤層
４      アンダークラッド層
５      コア層
６      オーバークラッド層
７      型板
１３    粘着剤組成物
【図１】
2009036923.tif 000005
【図２】
2009036923.tif 000006
【図３】
2009036923.tif 000007
【図４】
2009036923.tif 000008
【図５】
2009036923.tif 000009
【図６】
2009036923.tif 000010