(57)【要約】【課題】製造の際のエネルギーの消費を削減することで、高品質な画像表示を行うＰＤＰを低コストに製造することを可能とするＰＤＰの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】プラズマディスプイレイパネルの構成物の前駆体材料層を形成したガラス基板２２を、支持台２３に載せた状態で熱処理装置本体２６に投入・搬送させながら加熱することで前駆体材料を焼成し、焼成後、ガラス基板２２と支持台２３とを分離し、ガラス基板２２の方はリターンコンベア２９内を搬送させながら冷却手段３０を用いて室温近傍にまで強制冷却し、支持台２３の方は、支持台コンベア３２内を搬送させながら自然放冷により室温近傍にまで自然冷却するプラズマディスプレイパネルの製造方法である。【選択図】図２
2009037831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理装置本体と、切り離し装置と、リターンコンベアと、支持台コンベアと、熱処理装置本体の出口と切り離し装置の入り口とを繋ぐリフターと、を備えた熱処理装置を用い、
プラズマディスプイレイパネルの構成物の前駆体材料層を形成したガラス基板を、支持台に載せた状態で熱処理装置本体に投入し、熱処理装置内を搬送することで前駆体材料を焼成し、
熱処理装置から出てきた前記ガラス基板と前記支持台とを、前記リフターを用いて前記切り離し装置入り口に搬送した後、前記切り離し装置に投入し、
前記切り離し装置において、前記ガラス基板と前記支持台とを分離し、ガラス基板の方はリターンコンベアに投入してリターンコンベア内を搬送し、支持台の方は、支持台コンベアに投入して支持台コンベア内を搬送し、
ガラス基板は、リターンコンベア内を搬送させながら冷却手段を用いて室温近傍にまで冷却し、
支持台は、支持台コンベア内を搬送させながら自然放冷により室温近傍にまで冷却する、
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
支持台コンベア内での支持台の搬送速度は、リターンコンベア内でのガラス基板の搬送速度に対し、１／５〜１／２の速度であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰとも記す）は、対向配置した前面パネルと背面パネルとの周縁部を封着部材によって封着した構造であって、前面パネルと背面パネルとの間に形成された放電空間には、ネオン、キセノンなどの放電ガスが封入されている。
【０００３】
前面パネルは、ガラス基板の片面にストライプ状に形成された走査電極と維持電極とからなる複数の表示電極対と、これらの表示電極対を覆う誘電体層および保護層とを備えている。
【０００４】
表示電極対はそれぞれ、透明電極とその透明電極上に形成した金属材料からなる補助電極とによって構成されている。
【０００５】
背面パネルは、もう一方のガラス基板の片面に、表示電極対と交差する方向にストライプ状に形成された複数のデータ電極と、これらのデータ電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をデータ電極毎に区画する隔壁と、隔壁と隔壁との間に順次設けられた赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層と、を備えている。
【０００６】
表示電極対とデータ電極とは交差していて、その交差部が放電セルになる。これら放電セルはマトリクス状に配列され、表示電極対の方向に並ぶ赤色、緑色、青色の３個の放電セル一組がカラー表示のための一画素を構成する。
【０００７】
ＰＤＰは順次、走査電極とデータ電極間、および走査電極と維持電極間に所定の電圧を印加してガス放電を発生させ、そのガス放電で生じる紫外線で蛍光体層を励起し発光させることによりカラー画像を表示している。
【０００８】
ここで、前面パネルおよび背面パネルはそれぞれ以下のように作製される。すなわち、前面ガラス基板上には表示電極対、誘電体層などの構成物となる前駆体材料を、また、背面ガラス基板上にはデータ電極、下地誘電体層、隔壁、蛍光体層などの構成物となる前駆体材料を、それぞれ塗布し、必要に応じてフォトリソグラフィ法やサンドブラスト法などにより所定の形状・パターンとした前駆体材料層を形成し、その後、それを焼成・固化することにより、それぞれのガラス基板上に該構造物を形成する、というものである。
【０００９】
ここで、上記焼成・固化する工程においては、従来、前面ガラス基板、背面ガラス基板それぞれのガラス基板を支持台（セッター）上に載せ、支持台とともに熱処理装置に投入し、熱処理装置内のローラーにより搬送させながら５００℃〜６００℃程度にまで加熱することで前駆体材料層の焼成を行っている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−９３３１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ここで上記熱処理装置においては、ガラス基板（前面ガラス基板、背面ガラス基板）は、５００℃〜６００℃程度にまで加熱がなされることから、熱処理装置からガラス基板を取出して次工程へ渡す際には、ガラス基板を常温近傍にまで冷却することが必要となる。
【００１１】
しかしながら、従来、ガラス基板は支持台上に載置した状態で冷却されており、これは、本来、ガラス基板上への構成物の形成に際して、できる限り簡略化したい冷却工程において、支持台まで冷却するということであり、エネルギー浪費の原因となってしまっていた。
【００１２】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、製造の際のエネルギーの消費を削減することで、高品質な画像表示を行うＰＤＰを低コストに製造することを可能とするＰＤＰの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この課題を解決するために本発明のＰＤＰの製造方法は、熱処理装置本体と、切り離し装置と、リターンコンベアと、支持台コンベアと、熱処理装置本体の出口と切り離し装置の入り口とを繋ぐリフターと、を備えた熱処理装置を用い、プラズマディスプイレイパネルの構成物の前駆体材料層を形成したガラス基板を、支持台に載せた状態で熱処理装置本体に投入し、熱処理装置内を搬送することで前駆体材料を焼成し、熱処理装置から出てきた前記ガラス基板と前記支持台とを、前記リフターを用いて前記切り離し装置入り口に搬送した後、前記切り離し装置に投入し、前記切り離し装置において、前記ガラス基板と前記支持台とを分離し、ガラス基板の方はリターンコンベアに投入してリターンコンベア内を搬送し、支持台の方は、支持台コンベアに投入して支持台コンベア内を搬送し、ガラス基板は、リターンコンベア内を搬送させながら冷却手段を用いて室温近傍にまで冷却し、支持台は、支持台コンベア内を搬送させながら自然放冷により室温近傍にまで冷却する、ことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、製造の際のエネルギーの消費を削減することで、高品質な画像表示を行うＰＤＰを低コストに製造することを可能とするＰＤＰの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態によるＰＤＰについて図面を用いて説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法によって製造される交流面放電型ＰＤＰの概略構成の一例を示す断面斜視図である。図１に示すように、ＰＤＰ１の前面パネル２は、前面ガラス基板３、走査電極４と維持電極５とからなる複数の表示電極対６と、表示電極対６間に設けられた遮光層７と、表示電極対６と遮光層（ブラックストライプ）７とを覆う誘電体層８と、誘電体層８上に形成されたＭｇＯなどによる保護層９とを備えている。なお表示電極対６は、例えば、透明電極（図示せず）とその透明電極上に形成した金属材料により形成される補助電極（図示せず）とによって構成されている。
【００１７】
一方、背面パネル１０は、背面ガラス基板１１の片面に、表示電極対６と交差するように形成された複数のデータ電極１２と、これらのデータ電極１２を覆う下地誘電体層１３と、放電空間１４をデータ電極１２毎に区画する隔壁１５と、隔壁１５と隔壁１５との間に順次設けられた、赤色、緑色、青色それぞれに発光する蛍光体層１６と、を備えている。
【００１８】
そして前面パネル２と背面パネル１０とは、表示電極対６とデータ電極１２とが交差するように対向配置され、その周辺部をガラスフリットなど封着部材（図示せず）によって気密封着される。封着されたＰＤＰ１内部の放電空間１４には、例えば、ネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）などの放電ガスが４００Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｒｒ（５３ｋＰａ〜６７ｋＰａ）程度の圧力で封入されている。
【００１９】
ここで、表示電極対６とデータ電極１２との交差部が放電セルとなり、赤色、緑色、青色の３色の放電セル一組がカラー表示のための一画素を構成する。
【００２０】
そして、走査電極４とデータ電極１２間、および走査電極４と維持電極５間に所定の電圧を順次印加してガス放電を発生させ、そのガス放電で生じる紫外線で蛍光体層１６を励起し発光させることによりカラー画像を表示する。
【００２１】
次に、上述したＰＤＰの製造方法の一例について説明する。
【００２２】
まず、前面ガラス基板３の一主面上に、走査電極４および維持電極５と遮光層７とを形成する。走査電極４と維持電極５は、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）や酸化スズ（ＳｎＯ2）などからなる透明電極と、前駆体材料として銀ペーストを用いて形成した金属バス電極とによって構成されている。これらの電極は、フォトリソグラフィ法などを用いてパターニングして形成される。銀ペーストによる前駆体材料層は、所定の温度で焼成・固化されることで金属バス電極となる。
【００２３】
また、遮光層７は、前駆体材料として黒色顔料を含むペーストを用い、スクリーン印刷法を用いてパターニングする方法や、ガラス基板の全面に形成した後にフォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などにより前駆体材料層を形成し、それを焼成・固化することにより形成される。
【００２４】
次に、走査電極４、維持電極５および遮光層７を覆う誘電体層８を形成する。誘電体層８は、前駆体材料として誘電体ペーストを用い、ダイコート法などにより前面ガラス基板３上に塗布することで前駆体材料層を形成し、所定の時間放置することにより表面のレベリングをした後、焼成・固化することにより形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料、バインダおよび溶剤を含む塗料である。
【００２５】
次に、誘電体層８上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層９を例えば真空蒸着法により形成する。
【００２６】
以上の工程により、前面ガラス基板３上に所定の構成物である、走査電極４、維持電極５、遮光層７、誘電体層８、保護層９、が形成された前面パネル２が完成する。
【００２７】
一方、背面パネル１０は以下のようにして形成される。まず、背面ガラス基板１１の一主面上に、銀ペーストを前駆体材料として、スクリーン印刷法を用いてパターニングする方法や、全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などにより前駆体材料層を形成し、それを所定の温度で焼成・固化することによりデータ電極１２を形成する。
【００２８】
次に、背面ガラス基板１１のデータ電極１２が形成された面上に、誘電体ペーストを前駆体材料として、ダイコート法などによりデータ電極１２を覆うように塗布することで前駆体材料層を形成し、これを焼成・固化することで下地誘電体層１３を形成する。ここで、誘電体ペーストは、ガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだ塗料である。
【００２９】
次に、下地誘電体層１３上に、前駆体材料として、隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布し、それを所定の形状にパターニングすることにより、前駆体材料層を形成し、その後、焼成・固化することにより隔壁１５を形成する。ここで上記パターニングの方法としては、フォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いることができる。
【００３０】
次に、隣接する隔壁１５間の下地誘電体層１３上および隔壁１５側面に、前駆体材料として蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布することで前駆体材料層を形成し、その後、焼成・固化することにより蛍光体層１６を形成する。
【００３１】
以上の工程により、背面ガラス基板１１上に所定の構成物である、データ電極１２、下地誘電体層１３、隔壁１５、蛍光体層１６、が形成された背面パネル１０が完成する。
【００３２】
上述のようにして作製した、所定の構成物を備えた前面パネル２と背面パネル１０とを、走査電極４および維持電極がデータ電極１２と交差するように対向配置し、その周囲をガラスフリットで封着し、放電空間１４にネオン、キセノンなどを含む放電ガスを封入することによりＰＤＰ１が完成する。
【００３３】
以上のように、ＰＤＰの製造工程においては、前面ガラス基板３上の金属バス電極（図示せず）、遮光層７、誘電体層８、および背面ガラス基板１１上のデータ電極１２、下地誘電体層１３、隔壁１５、蛍光体層１６は、それぞれの構成物の前駆体材料を前面ガラス基板３または背面ガラス基板１１の上に塗布し、必要に応じて所定のパターンに形成することで前駆体材料層を形成し、その後、焼成・固化することにより作製される。
【００３４】
ここで、上記焼成・固化のための焼成工程は、構成物毎に５００℃〜６００℃で行われ、上述した構成の場合には、前面パネル２の場合には２回、背面パネル１０の場合には４回の焼成工程が行われることになる。
【００３５】
次に、上記焼成工程を行う際に用いる、本発明のＰＤＰの熱処理装置について説明する。
【００３６】
図２は、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの熱処理装置の概略構成を模式的に断面で示す図であり、図２（ａ）は熱処理装置２１の側面からの断面図、図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＡ−Ａ矢視断面図、図２（ｃ）は図２（ａ）におけるＢ−Ｂ矢視断面図である。
【００３７】
熱処理装置２１は、熱処理装置本体２６と、リターンコンベア２９と、リターンコンベア２９の入り口部に設置された切り離し装置３１と、熱処理装置本体２６と切り離し装置３１との間を昇降可能に構成したリフター２８と、支持台コンベア３２と、を備えたものである。
【００３８】
また、熱処理装置本体２６の入口とリターンコンベア２９の出口とは、ローダ／アンローダー２５によって繋がれており、ガラス基板２２はここで支持台２３上に設置され熱処理装置本体２６へ投入される。
【００３９】
熱処理装置２１は、搬送方向に並べた複数のローラー２４を備え、このローラー２４上をガラス基板２２を載置した支持台２３が搬送される。
【００４０】
ここで、ガラス基板２２は、所定の構造物を形成するための、構成物の前駆体材料を塗布し、必要に応じて所定のパターンとした前駆体材料層が形成された前面ガラス基板３または背面ガラス基板１１である。
【００４１】
次に、上述したような焼成装置２１を用いた焼成工程について説明する。
【００４２】
ガラス基板２２及び支持台２３は、熱処理装置本体２６内上部に設けられた加熱ヒーター２７で加熱され熱処理、すなわち、前駆体材料層の焼成が行われる。そしてその後、ガラス基板２２及び支持台２３は、リフター２８により切り離し装置３１に搬送され、ここでガラス基板２２と支持台２３とは何らかの手段、例えばローラー２４の間から突出する突き出し手段３４などのような機構により切り離し（分離）される。
【００４３】
そして、分離されたガラス基板２２の方はリターンコンベア２９に投入され、リターンコンベア２９内を搬送され、分離された支持台２３の方は、支持台コンベア３２内を搬送される。
【００４４】
ここでガラス基板２２は、リターンコンベア２９内で冷却手段３０を用いて室温近傍にまで冷却される。また、支持台２３は支持台コンベア３２内をリターンコンベア２９内のガラス基板２２に比べ、１／５〜１／２程度の速度で搬送され、その間、自然放冷により室温近傍にまで冷却される。ここで支持台２３の搬送速度をガラス基板２２の搬送速度より遅くすることで、この支持台コンベア３２は支持台２３のストック機能も兼ねている。
【００４５】
ローダ／アンローダー２５はリターンコンベア２９の出口から排出されたガラス基板２２を取り出して次工程に送るとともに、支持台コンベア３２から排出された支持台２３をリターンコンベア２９に戻す横搬送装置３３から支持台２３を受け取り、受け取った支持台２３上に再びガラス基板２２を載置し、熱処理装置本体２６内に投入する。
【００４６】
以上の、熱処理装置内での加熱工程後の冷却工程においては、支持台は、強制冷却されるガラス基板とは分離され（切り離され）て自然冷却されること、および強制冷却されるガラス基板にとっては、支持台が分離されるので熱容量が小さくなり冷めやすくなること、等から、エネルギーの消費を削減することが可能となる。
【００４７】
本願発明者らは、上述した構成の熱処理装置を用いることにより、従来の製造工程に比べ、約３０％、使用エネルギー量を削減できることを確認した。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上述べてきたように本発明は、製造の際のエネルギーの消費を削減することで、高品質な画像表示を行うＰＤＰを低コストに製造する上で有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法によって製造される交流面放電型ＰＤＰの概略構成の一例を示す断面斜視図
【図２】本発明の一実施の形態によるＰＤＰの熱処理装置の概略構成を模式的に断面で示す図
【符号の説明】
【００５０】
１  ＰＤＰ
２  前面パネル
３  前面ガラス基板
４  走査電極
５  維持電極
６  表示電極対
７  遮光層
８  誘電体層
９  保護層
１０  背面パネル
１１  背面ガラス基板
１２  データ電極
１３  下地誘電体層
１４  放電空間
１５  隔壁
１６  蛍光体層
２１  熱処理装置
２２  ガラス基板（前面ガラス基板、背面ガラス基板）
２３  支持台
２４  ローラー
２５  ローダ／アンローダー
２６  熱処理装置本体
２７  ヒーター
２８  リフター
２９  リターンコンベア
３０  冷却手段
３１  切り離し装置
３２  支持台コンベア
３３  横搬送装置
３４  突き出し手段
【図１】
2009037831.tif 000003
【図２】
2009037831.tif 000004