(57)【要約】【課題】カセット内のウエハの状態を迅速に知ることができるウエハ搬送システム、および、ウエハ収納カセットを提供する。【解決手段】複数のウエハを収納するカセットに読み出し書き込み可能なメモリを備えた無線タグを設け、カセットをウエハ搬送装置へ設置したときに、カセット内のウエハの有無を検出するセンサに電源が供給されて、無線タグにウエハの有無の情報が書き込まれ、ウエハ搬送装置に設けられた読み取り装置で、無線タグのメモリに記憶されたウエハに関する情報を読み出し、当該ウエハを搬送アームでカセットから取り出す構成とした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスが形成されるウエハを製造検査装置へ搬送するウエハ搬送装置を有するウエハ搬送システムであって、
前記ウエハを複数収納するカセットをウエハ搬送装置へ設置したときに、前記カセットに設けられた読み出し書き込み可能なメモリを備えた無線タグに記憶された前記カセットの棚段ごとの前記ウエハの有無に関する情報を読み出す読み出し装置と、
前記ウエハの有無に関する情報に基づいて、前記カセットから前記ウエハを取り出す搬送アームとを備えたことを特徴とするウエハ搬送システム。
【請求項２】
請求項１の記載において、前記カセット内の前記棚段ごとに前記ウエハの有無を検出するセンサと、該検出されたウエハの有無の情報を前記無線タグへ書き込む制御装置とに電源を供給することを特徴とするウエハ搬送システム。
【請求項３】
請求項２の記載において、前記カセット内の前記棚段のすべてについて前記ウエハの有無を検出した場合は、前記電源の供給を遮断することを特徴とするウエハ搬送システム。
【請求項４】
ウエハを載置する棚段ごとに設けられた前記ウエハの有無を検出するセンサと、
該センサから送られた前記棚段ごとの前記ウエハの有無の情報を記憶する無線タグと、
該センサから送られた前記棚段ごとの前記ウエハの有無の情報を、前記無線タグへ書き込む制御回路と、
前記センサおよび前記制御回路へ電源を供給するスイッチとを備えたことを特徴とするウエハ収納カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスの製造装置や検査装置に接続して、半導体デバイスが形成されるウエハを製造装置や検査装置へ搬送するウエハ搬送システム、および、ウエハ収納カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスは円盤形状のウエハに微細加工を施すことによって製造される。このウエハは、複数枚がカセットと呼ばれる運搬用容器の中に収納され、カセットの内部と外部とが遮断されて、ウエハの汚れが防止される。ウエハに加工を施す製造装置や、仕上がりを検査する検査装置にウエハを搬送する場合、製造装置や検査装置にウエハ搬送装置が接続され、ウエハが外気に触れないようにして、カセットからウエハが取り出される。カセットには複数枚のウエハが横向きに並んでおり、搬送アームによってウエハが１枚ずつ搬送される。加工や検査が終了したウエハは、搬送アームによって、カセット内へ搬送され、収容される。このとき、加工検査済みウエハや、未処理ウエハが、カセットのどの位置にあるのかを知ることが必要である。ウエハ搬送装置にカセットを検出するセンサを設け、カセット内のウエハの位置を認識する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。しかし、ひとつのセンサで複数枚のウエハの位置を検出するので、ウエハの枚数が多い場合には検出に時間がかかるという問題があった。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１６５５４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、カセット内のウエハの状態を迅速に知ることができるウエハ搬送システム、および、ウエハ収納カセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の実施態様は、複数のウエハを収納するカセットに読み出し書き込み可能なメモリを備えた無線タグを設け、カセットをウエハ搬送装置へ設置したときに、ウエハ搬送装置に設けられた読み取り装置により、無線タグのメモリに書き込まれたウエハの有無の情報を読み取り、当該ウエハを搬送アームでカセットから取り出す構成としたものである。
【０００６】
また、カセット内のウエハが載せられる棚段ごとにウエハの有無を検出するセンサを設け、カセットが搬送装置へ設置されるとセンサへ電源が供給されてウエハの有無を検知し、センサから制御回路を介して無線タグへウエハの有無の情報が書き込まれる構成としたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、カセット内のウエハの状態を迅速に知ることができるウエハ搬送システム、および、ウエハ収納カセットを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を用いて、本発明の一実施例を説明する。図１は、半導体デバイスの製造検査装置を含むシステムの一部の斜視図である。半導体デバイスの製造検査装置１のウエハが搬送される側に、ウエハ搬送装置２が接続され、その側面に、ウエハを収納するカセット４を設置するロードポート３ａ，３ｂ，３ｃが設けられている。ウエハ搬送装置２にカセット４が設置されると、カセット４のボックスドアが開き、収納されたウエハがウエハ搬送装置２の搬送ロボット５の搬送アーム６によって、１枚ずつ製造検査装置１の内部へ搬送される。カセット４の内部からウエハ搬送装置２を経て製造検査装置１までの空間は、外気から遮断されており、ウエハへの異物等の付着を防ぐようになっている。
【０００９】
図２は、ウエハを収納するカセットの側面断面図であり、フロント・オープニング・タイプのカセットを示す。ボックスドア４１は、カセット４がウエハ搬送装置へ設置されることで機械的に開閉され、ウエハ搬送装置の図１に示した搬送アーム６によって、ウエハが搬送される。カセット４には、ウエハを横向きに載せるための棚段４２が複数個設けられ、各棚段４２に１枚ずつウエハが載せられる。カセット４の各棚段４２の一部に、センサ４３が設けられ、電源が供給されたときに各棚段４２ごとにウエハの有無を検出する。カセット４には、載置スイッチ４６が設けられ、カセット４がウエハ搬送装置へ設置されたときに、各センサ４３および制御回路４４へ電源が供給される。各センサ４３は制御回路４４に接続され、ウエハの有無の情報が送られる。カセット４には、無線タグ４５が設けられ、制御回路４４からウエハの有無の情報などの書き込む情報が送られる。無線タグには、ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）を用いることができる。載置スイッチ４６は、ウエハ搬送装置のキネマティック・カップリング・ピンに対応する位置に配置され、カセット４がウエハ搬送装置の正常な位置に置かれた時だけ押し込まれ、電源が供給されるようになっている。
【００１０】
図３は、本実施例におけるウエハの収納状態を無線タグへ書き込む処理の流れを示すフロー図である。カセット４がウエハ搬送装置へ設置されて載置スイッチ４６が押し込まれると（ステップ３０１）、無線タグ書き込み用の制御回路４４に電源が供給され（ステップ３０２）、センサ４３にも電源が供給されて、カセット４内のウエハの収納状態を、センサ４３から読み取る（ステップ３０３）。読み取った情報が、制御回路４４によって、無線タグ４５に書き込まれる（ステップ３０４）。全てのセンサ４３について、無線タグ４５への書き込みが終了したら、電源が遮断される（ステップ３０５）。ステップ３０１で、カセット４がウエハ搬送装置へ正常に設置されていない場合は、載置スイッチ４６が押し込まれずに手順が終了し、そのエラー情報をウエハ搬送装置が表示するようにする。無線タグ４５に書き込まれた情報は、ウエハ搬送装置によって読み出され、カセット４内のウエハが存在する棚段４２からウエハが取り出される。
【００１１】
ウエハ搬送装置側に無線タグを読み書きする装置を設置して、無線タグに書き込まれたカセット内のウエハの収納状態を読み取るので、ステップ３０４のウエハの収納状態の書き込みが終了したら、ステップ３０５で、無線タグに情報を書き込む制御回路の電源を遮断することにより、ウエハ搬送装置側に設置された無線タグを読み書きする装置との電波干渉を防ぐことができる。
【００１２】
本実施例では、カセット４の棚段４２ごとにウエハの有無を検出するセンサ４３を設けたが、このセンサ４３を省略し、カセット４にウエハを収納するときに、ウエハを収納する装置からカセット４の無線タグ４５に対して、ウエハの有無の情報を書き込むようにしてもよい。また、ウエハ搬送装置がウエハをカセットへ収納するときには、ウエハの搬送アームに収納位置を指示するので、収納した棚段の位置や番号などの情報をウエハ搬送装置からカセットの無線タグへ書き込むようにすると、次の製造検査工程の装置で、ウエハの有無を読み出すことができる。
【００１３】
以上述べたように、本発明によれば、カセット内に収納された複数のウエハの棚段ごとの有無が無線タグに書き込まれるので、ウエハを搬送するウエハ搬送装置で無線タグの情報を読み取ることにより、迅速にウエハの取り出しが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】半導体デバイスの製造検査装置を含むシステムの一部の斜視図。
【図２】ウエハを収納するカセットの側面断面図。
【図３】ウエハの収納状態を無線タグへ書き込む処理の流れを示すフロー図。
【符号の説明】
【００１５】
２…ウエハ搬送装置、４…カセット、４１…ボックスドア、４２…棚段、４３…センサ、４４…制御回路、４５…無線タグ、４６…載置スイッチ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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