(57)【要約】【課題】省エネ性を向上させると共に環境負荷を低減できるドライチャンバを提供すること【解決手段】第１チャンバ２を第２チャンバ４で覆い、第１チャンバ２の密閉可能な部分以外を二重構造にする。第１チャンバ２の外側と内側とは連通部６で連通せしめる。そして、第１チャンバ２と第２チャンバ４との間に形成した流路５にドライエアを供給し、第１チャンバ２の内部空間３から排気又は空気の吸引を行うようにする。このようなドライチャンバ１は、第１チャンバ２のうち密閉できない部分から内部空間３へ浸入する空気がドライエアであり、内部空間３の湿度の上昇が抑制されるので、ドライエアの使用量を減らして、省エネ性を向上させると共に環境負荷を低減することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドライチャンバにおいて、
少なくとも密閉可能な部分以外を二重構造にして、前記二重構造にされた部分の外側と内側とを一部で連通せしめ、前記外側と前記内側との間にドライエアを供給し、前記内側から排気又は空気の吸引を行う
ことを特徴とするドライチャンバ。
【請求項２】
請求項１に記載するドライチャンバにおいて、
前記外側と前記内側とを下部で連通させている
ことを特徴とするドライチャンバ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載するドライチャンバにおいて、
前記内側から排気又は空気の吸引を行う配管が前記内側の上部に連通している
ことを特徴とするドライチャンバ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載するドライチャンバにおいて、
前記二重構造にされた内側と外側に、扉を備える開口部を重なる位置に設け、
前記内側の壁面と前記外側の壁面との間を仕切面で接続し、
前記仕切面が、前記開口部の周囲三方を取り囲み、上側を開放させている
ことを特徴とするドライチャンバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドライチャンバに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、燃料電池は、製造現場の湿度が高いと電池構成材料に水分が吸着し、それが電解質やリチウムイオンと反応して電池性能を悪くする。そのため、図９に示すように、燃料電池の製造現場は、乾燥した作業室５０内で全工程を行えるようになっている。作業室５０には、複数のドライチャンバ１０１がコンベア部１００に沿って工程別に配置されている。各ドライチャンバ１０１は、ワークＷに施す作業が自動化されている。
【０００３】
図１０に示すドライチャンバ１０１は、内部空間１０２の図中手前側から奥側へ向かってコンベア部１００が敷設されている。ドライチャンバ１０１は、内部空間１０２の湿度が０．５％以下にされている。尚、本明細書において、湿度０．５％以下とは、絶対湿度（乾燥空気１ｋｇに同伴される水蒸気の質量をいう。以下同じ。）が０．００３１２以下であることをいう。
【０００４】
内部空間１０２の空気は、ワークＷや部品、装置等から水分を奪い、湿度が上昇する。そのため、内部空間１０２の空気は、ドライチャンバ１０１の底部に設けた吸引部１０３から排気管１０４を介して吸引機構１０５に吸引され、露点（空気が飽和状態になるときの温度をいう。以下同じ。）が−３０℃以下になるまで冷却されて含有水分を除去される。また、空気は、吸引装置１０５内で粉塵等を除去され、所定温度に暖められる。このように生成されたドライエアは、吸引装置１０５から戻し配管１０６、フィルタ・ファン・ユニット（ＦＦＵ）１０７を介してドライチャンバ１０１に戻される。ドライチャンバ１０１は、ＦＦＵ１０７によって濾過された空気を供給され、空気のクリーン度を保っている。
【０００５】
尚、ドライチャンバ１０１は、ドライエア供給配管１０８を介して接続するドライエア供給源１０９からも、ドライエアを供給される（例えば特許文献１参照。）。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−１９８２５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のドライチャンバ１０１は、内部空間１０２の低湿分空気が外部へ漏洩しないように、内部空間１０２が負圧にされている。ドライチャンバ１０１は、ワークＷを内部空間１０２へ搬入する場合等に完全に密閉されず、作業室５０の空気が密閉されない部分から内部空間１０２へ侵入していた。作業室５０の空気がドライエアより多く水分を含む場合には、内部空間１０２内の湿度が上昇し、製造された燃料電池の電池性能を低下させる虞がある。
【０００８】
そのため、従来のドライチャンバ１０１を使用する場合には、作業室５０の湿度を０．５％以下にするように作業室５０にドライエアを供給したり、ドライエア供給源１０９からドライチャンバ１０１に供給するドライエアの流量を増加させて内部空間１０２の高湿分空気をドライエアに置換する等して、内部空間１０２の湿度を０．５％以下に維持していた。よって、従来のドライチャンバ１０１は、ドライエアの使用量が多いため、省エネ性が低い上に、環境負荷が大きかった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、省エネ性を向上させると共に環境負荷を低減できるドライチャンバを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るドライチャンバは、次のような構成を有している。
（１）ドライチャンバにおいて、少なくとも密閉可能な部分以外を二重構造にして、前記二重構造にされた部分の外側と内側とを一部で連通せしめ、前記外側と前記内側との間にドライエアを供給し、前記内側から排気又は空気の吸引を行う。
【００１１】
（２）（１）に記載の発明において、前記外側と前記内側とを下部で連通させている。
【００１２】
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、前記内側から排気又は空気の吸引を行う配管が前記内側の上部に連通している。
【００１３】
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明において、前記二重構造にされた内側と外側に、扉を備える開口部を重なる位置に設け、前記内側の壁面と前記外側の壁面との間を仕切面で接続し、前記仕切面が、前記開口部の周囲三方を取り囲み、上側を開放させている。
【発明の効果】
【００１４】
上記構成を有するドライチャンバは、内側に密閉できない部分があり、かつ、内側が負圧であっても、密閉できない部分から内側へは外側と内側との間に供給されたドライエアのみが浸入するので、内側の湿度の上昇が抑制される。このため、本発明のドライチャンバは、内側の湿度を維持するために、例えば、ドライチャンバの外部の湿度を０．５％以下に維持するようにドライチャンバの外部にドライエアを供給したり、二重構造部分の内側にドライエアを多量に供給して高湿分空気をドライエアに置換する必要がない。よって、本発明のドライチャンバによれば、ドライエアの使用量を減らして、ドライエアの生成に必要なエネルギーを削減するので、省エネ性が向上する。また、本発明のドライチャンバによれば、二酸化炭素排出量を減らして、環境負荷を低減できる。
【００１５】
また、ドライエアは、ドライエアより湿度の高い空気より比重が重い。そのため、二重構造にされた部分の外側と内側との間に供給したドライエアは、下部から内側へ浸入し、内側にあるドライエアより湿度の高い空気を押し上げる流れを形成する。よって、本発明のドライチャンバは、加圧装置などを用いなくてもドライエアの流れを形成することができる。
【００１６】
また、本発明のドライチャンバは、内側から排気又は空気の吸引を行う配管を内側の上部に連通させているので、ドライエアより湿度の高い空気を外側のドライエアに混合させて外側のドライエアの湿度を上昇させることがない。
【００１７】
また、本発明のドライチャンバは、二重構造にされた内側と外側に、扉を備える開口部を重なる位置に設け、内側の壁面と外側の壁面との間を仕切面で接続し、仕切面が、開口部の周囲三方を取り囲み、上側を開放させている。ドライエアは、仕切面内を上方から下方へ向かって流れた後、仕切面に塞き止められ、仕切面内の圧力を仕切面の外側の圧力より高くする。この状態で扉を開くと、仕切面内の圧力が高いため、外気がドライチャンバ内に侵入しにくい。また、扉を開いている場合でも、ドライエアが開口部をエアカーテン状に流れて開口部を遮蔽し、外気がドライチャンバ内に侵入しにくい。よって、本発明のドライチャンバによれば、エアカーテン状の流れと開口部付近の局部的な圧力上昇により、内部の湿度変動を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明に係るドライチャンバの一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るドライチャンバ１の使用例を示す。
第１実施形態のドライチャンバ１は、例えば、燃料電池の製造に使用される。ドライチャンバ１は、ワークＷを搬送するコンベア部１０に沿って第１チャンバ２を燃料電池の製造工程別に複数設置し、燃料電池の製造工程全体を作業室５０内で行うようにしている。ドライチャンバ１は、ワークＷを高湿分空気にさらさずに燃料電池を組み上げるために、複数の第１チャンバ２全体を第２チャンバ４で覆って二重構造にし、第１及び第２チャンバ２，４の内部にドライエアを供給している。
【００２０】
図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。
ドライチャンバ１は、少なくとも密閉可能な部分以外を二重構造にして、二重構造にされた部分の外側と内側とを一部で連通せしめ、外側と内側との間にドライエアを供給し、内側から排気又は空気の吸引を行うように構成されている。具体的には以下の通りである。
【００２１】
第１チャンバ２は、内部空間３の図中手前から図中奥側に向かってコンベア部１０が敷設されている。コンベア部１０は、複数の通気孔が設けられ、コンベア部１０の上下空間の通気性を良好にしている。第１チャンバ２の上部には、第１配管７が接続し、内部空間３の上部に第１配管７を連通させている。第１配管７は、第２チャンバ４を貫いて外部に突出し、除湿装置１１に接続されている。第１配管７は、内部空間３の空気を除湿装置１１へ排気する。尚、第１配管７は、内部空間３から空気の吸引を行い、除湿装置１１に出力するものであっても良い。
【００２２】
第１チャンバ２は、第１配管７を内部空間３へ引き込む部分の他、ワークＷに装填する部品を供給するための開口部や、ワークＷを次工程に搬送するコンベア部１０を内部空間３へ引き込む部分、配線を内部空間３へ引き込む部分、ワークＷに部品を装填する装置の駆動部や注油口などを、メンテナンスや作業環境確保等のために塞ぐことができない。つまり、第１チャンバ２は完全に密閉されていない。第１チャンバ２の密閉できない部分を覆うように、第２チャンバ４は第１チャンバ２の外側に設けられている。
【００２３】
第２チャンバ４は、第１チャンバ２より大きい箱状をなす。第２チャンバ４は、第１チャンバ２全体を覆うように配置され、第１チャンバ２の周りに隙間を設けて流路５を形成している。
【００２４】
ドライチャンバ１は、第１チャンバ２の外側（流路５）と内側（内部空間３）とを連通路６を介して連通させている。連通路６は、第１チャンバ２の下部に複数設けられている。
【００２５】
第２チャンバ４の上部には、第２配管８が接続し、流路５の上部を第２配管８に連通させている。第２配管８は、除湿装置１１に接続している。除湿装置１１は、第１配管７を介して排気された空気の湿度を０．５％以下にするために、空気を露点−３０℃以下に冷却して含有水分を除去する。除湿装置１１は、空気に含まれる粉塵等を除去し、空気を所定温度に暖める。そして、除湿装置１１は、ドライエアを第２配管８から流路５へ供給する。
【００２６】
第２配管８は、流路５に均一にドライエアを供給できるように、第２チャンバ４の上部に第１チャンバ２の並び方向に沿って等間隔に複数設けられている。そして、第２チャンバ４は、第１チャンバ２と第２チャンバ４との間に介在する凹凸部分によって生じる乱気流の影響を排除してドライエアの流速を一定にし、乾燥効率を良好にするように、第１チャンバ２との間に隙間を設け、流路５としている。
【００２７】
上記ドライチャンバ１の動作について説明する。
ドライチャンバ１は、各第１チャンバ２の内部空間３の湿度を０．５％以下とすると共に、内部空間３を負圧にしている。ドライチャンバ１は、流路５にドライエアが供給され、第１チャンバ２の外側の湿度を０．５％以下にしている。ドライチャンバ１内では、ワークＷがコンベア部１０によって各第１チャンバ２に順次搬送されて部品を装填され、燃料電池が組み上げられる。
【００２８】
ドライチャンバ１における空気の流れを説明する。
ドライチャンバ１は、除湿装置１１から第２配管８を介して流路５にドライエアが供給されている。ドライエアは、流路５に沿って、第２チャンバ４の上部から下部へ流れる。ドライエアは、ドライエアより多く水分を含む空気より比重が重いため、余分な加圧なしで上部から下部への流れを形成する。
【００２９】
第２チャンバ４の下部へ流れたドライエアは、負圧にされた内部空間３へ連通路６を介して導入される。内部空間３へ導入されたドライエアは、部品をワークＷに装填する装置やコンベア部１０の駆動系やコイルなどの発熱体によって暖められる。また、内部空間３の暖められたドライエアは、ワークＷや部品から水分を奪って湿度を上昇させる。暖まったドライエアや、ドライエアより水分を多く含有する空気は、連通部６から浸入するドライエアより比重が軽いため、内部空間３の上部へ流れて第１配管７から除湿装置１１へ排気される。従って、内部空間３内では、連通部６から第１配管７への流れが、余分な加圧なしで形成される。
【００３０】
除湿装置１１に排気された空気は、水分や粉塵などを除去され、ドライエアとして流路５に戻される。尚、除湿装置１１は、作業室５０から取り込んだ空気等を第１配管７から取得した空気と混合させて除湿し、流路５に供給するドライエアを生成しても良い。
【００３１】
ところで、第１チャンバ２は、粉塵やガスを外部に漏らさないために、内部空間３が負圧にされている。また、第１チャンバ２は、完全に密閉されていない。更に、第１チャンバ２は、第１配管７が接続する部分の周辺が、排気によって局部的に圧力が低くなっている。そのため、第１チャンバ２は、第１配管７の引き込み部分などの密閉されていない部分から内部空間３へ外側の空気が浸入する。
【００３２】
しかし、第１チャンバ２は、密閉されていない部分が第２チャンバ４によって二重構造にされ、流路５を流れるドライエアの層で覆われている。そのため、第１チャンバ２の密閉されていない部分から内部空間３へ浸入する空気は、除湿装置１１によって湿度を０．５％以下に調整されたドライエアである。よって、内部空間３の湿度は、第１チャンバ２の密閉可能な部分以外から浸入した空気によって上昇しない。
【００３３】
また、第１チャンバ２から第１配管７へ排出する空気は、流路５に供給されるドライエアより湿度が高い。第１配管７は、流路５と第２チャンバ４を貫通して外部に引き出されているため、高湿分空気が流路５のドライエアに混合しない。よって、除湿装置１１は、内部空間３の高湿分空気を直接処理することになり、除湿効率が良い。
【００３４】
ここで、第２チャンバ４は、メンテナンス等の関係で、第２配管８を引き込む部分を完全に塞がれていない。しかし、第２チャンバ４は、第１チャンバ２との間に流路５を形成する目的で設けられており、内部を負圧にする必要がない。そこで、第１実施形態では、例えば、流路５の内圧を作業室５０の気圧より若干高くして、第２チャンバ４の密閉できない部分から作業室５０の空気が流路５に侵入しないようにしている。これによれば、流路５を流れるドライエアの湿度が上昇せず、更には内部空間３の湿度の上昇が抑制される。
【００３５】
以上説明したように第１実施形態のドライチャンバ１は、第１チャンバ２に密閉できない部分があり、かつ、第１チャンバ２の内部空間３が負圧であっても、密閉できない部分からはドライエアのみが内部空間３に浸入するので（図２参照）、内部空間３の湿度の上昇が抑制される。そのため、第１実施形態のドライチャンバ１は、第１チャンバ２の内側（内部空間３）の湿度を０．５％以下に維持するために、作業室５０の湿度を０．５％以下に維持するように作業室５０にドライエアを供給したり、二重構造にされた第１チャンバ２の内側（内部空間３）にドライエアを多量に供給して高湿分空気をドライエアに置換する必要がない。よって、第１実施形態のドライチャンバ１によれば、ドライエアの使用量を減らして、ドライエアの生成に必要なエネルギーを削減するので、省エネ性が向上する。また、第１実施形態のドライチャンバ１によれば、二酸化炭素排出量を減らして、環境負荷を低減できる。
【００３６】
しかも、ドライチャンバ１は、エネルギー消費量が減るので、ランニングコストを安価にできる。更には、ドライチャンバ１は、流路５を真空にしないため、第１チャンバ２と比べて第２チャンバ４の気密性を容易に確保でき、装置自体の製造コストが安価である。
【００３７】
また、第１実施形態のドライチャンバ１は、流路５に供給されたドライエアが、第１チャンバ２の下部に設けた連通部６から内部空間３へ浸入し、内部空間３にあるドライエアより湿度の高い空気を押し上げる流れを形成する。よって、第１実施形態のドライチャンバ１は、加圧装置などを用いなくてもドライエアの流れを形成することができる。
【００３８】
また、第１実施形態のドライチャンバ１は、内部空間３から排気を行う第１配管７を第１チャンバ２の上部に接続しているので、ドライエアより湿度の高い空気を流路５のドライエアに混合させて流路５を流れるドライエアの湿度を上昇させることがない。
【００３９】
ところで、例えば、作業室５０に人間Ｈが入室すると、作業室５０の湿度が上昇する。図１０に示す従来技術のように、作業室５０の湿度を０．５％以下に維持しようとすると、少なくとも人間一人あたり９ｍ3／分ずつドライエアを作業室５０に供給しなければならない。
【００４０】
しかし、図２に示す第１実施形態のドライチャンバ１は、第１チャンバ２が第２チャンバ４によって作業室５０の空気と遮断されている。そのため、人間Ｈが作業室５０に入室して作業室５０の湿度が上昇しても、流路５や内部空間３の湿度に影響しない。よって、第１実施形態のドライチャンバ１は、人間Ｈがメンテナンス等のために作業室５０に入室する際にドライエアを作業室５０に供給する必要がなく、図１０に示す従来技術より省エネ性や環境保全性が優れている。また、ドライチャンバ１を使用する製造現場では、作業室５０に入退室可能な人数や時間の制限がなくなり、作業効率が良い。
【００４１】
（第２実施形態）
続いて、本発明の第２実施形態について図面を参照して説明する。図４は、本発明の第２実施形態に係るドライチャンバ２０の上面図である。図３は、図４に示すドライチャンバ２０を扉２１，２２方向から見た正面図である。図５は、図４に示すドライチャンバ２０の側面図である。
第２実施形態のドライチャンバ２０は、第１チャンバ２と第２チャンバ４との間を、第１及び第２チャンバ２，４に形成した開口部２ａ，４ａの周囲三方を取り囲むように仕切面２３で接続している点が、第１実施形態と相違し、その他の点は第１実施形態のドライチャンバ１と共通する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態と共通する構成には第１実施形態で使用した符号を図面に付し、説明を適宜省略する。
【００４２】
ドライチャンバ２０は、点検を行うために、第１及び第２チャンバ２，４に開口部２ａ，４ａが設けられている。開口部２ａ，４ａは、互いに重なる位置に設けられている。開口部４ａは、開口部２ａより大きく形成され、外側の第２チャンバ４から内側の第１チャンバ２へ点検道具などを挿入しやすくして作業性を良くしている。第１及び第２チャンバ２，４は、開口部２ａ，４ａを開閉するための第１扉２１と第２扉２２が回動可能に取り付けられている。
【００４３】
第１及び第２チャンバ２，４の間には、仕切面２３が設けられている。仕切面２３は、一方に開口するコの字型に設けられている。仕切面２３は、開口部２３ａが底部２３ｂより広くされている。仕切面２３は、開口部２３ａを上向きにして、開口部２ａ，４ａの周りを三方から取り囲むように、設けられている。
【００４４】
このようなドライチャンバ２０における第１及び第扉２１，２２付近のドライエアの流れと圧力との関係について説明する。図６は、図４に示すドライチャンバ２０において扉２１，２２を閉状態としている場合のドライエアの流れと圧力との関係を、扉正面側から見て説明する説明図である。
ドライチャンバ２０は、第１及び第２扉２１，２２を閉じた状態で、ワークＷの乾燥を行う。すなわち、ドライチャンバ２０は、流路５が陽圧にされ、内部空間３が負圧にされており、第２配管８から供給されたドライエアが流路５、連通部６を介して内部空間３へ流れ、内部空間３においてワークＷを乾燥させた後、第１配管７から排出される。
【００４５】
このような定常の乾燥動作を行う場合には、図６に示すように、第１及び第２チャンバ２，４の正面側の流路５を流れるドライエアは、仕切面２３の外側では、自重により第２チャンバ４の下部へ向かって流れる。一方、開口部２３ａから仕切面２３の内部へ流れ込んだドライエアは、底部２３ｂに塞き止められる。そのため、仕切面２３の内部、すなわち第１及び第２扉２１，２２を備える開口部２ａ，４ａの周りは、仕切面２３の外側と比べて圧力が局部的に高くなり、陽圧になる。
【００４６】
点検等を行う場合には、図７及び図８に示すように、ドライエアを供給したまま第１及び第２扉２１，２２が開かれ、開口部２ａ，４ａが開放される。仕切面２３は、開口部２ａ，４ａの三方を取り囲むように設けられているため、開口部２ａ，４ａが開放されても、外気が仕切面２３に遮られて、仕切面２３の外側の流路５を流れるドライエアに混入しない。
【００４７】
そして、仕切面２３の内部は、陽圧にされているため、開口部２ａ，４ａが開放された場合に、外気が仕切面２３内のドライエアに遮られて内部空間３へ侵入しにくい。
【００４８】
さらに、点検中に供給されるドライエアは、開口部２ａ，４ａの間をエアカーテン状に流れた後、底部２３ｂに塞き止められて開口部２ａ，４ａから第２チャンバ４の外部と第１チャンバ２の内部空間３へ流れ込む。そのため、開口部２ａ，４ａは、ドライエアによって遮蔽され、外気が内部空間３へ侵入しにくい。特に、仕切面２３は、上方に開口する開口部２３ａが底部２３ｂより広くされ、より多くのドライエアを内部に取り込んで開口部２ａ，４ａの間に流すようになっている。そのため、開口部２ａ，４ａの間をドライエアによってより一層効果的に遮蔽することが可能である。
【００４９】
このような第２実施形態のドライチャンバ２０は、点検時に第１及び第２扉２１，２２を開閉しても、外気が流路５を流れるドライエアに混入したり、開口部２ａ，４ａを介して内部空間３へ侵入する量が少なく、内部空間３内の露点を低下させにくい。
【００５０】
以上説明したように、第２実施形態のドライチャンバ２０は、二重構造にされた内側の第１チャンバ２と外側の第２チャンバ４に、第１及び第２扉２１，２２を備える開口部２ａ，４ａを重なる位置に設け、第１チャンバ２の壁面と第２チャンバ４の壁面との間を仕切面２３で接続し、仕切面２３が、開口部２ａ，４ａの周囲三方を取り囲み、上側を開放させている。ドライエアは、仕切面２３内を上方から下方へ向かって流れた後、仕切面２３の底部２３ｂに塞き止められ、仕切面２３内の圧力を仕切面２３の外側の圧力より高くする。この状態で第１及び第２扉２１，２２を開くと、仕切面２３内の圧力が高いため、外気がドライチャンバ２０内に侵入しにくい。また、第１及び第２扉２１，２２を開いている場合でも、ドライエアが開口部２ａ，４ａをエアカーテン状に流れて開口部２ａ，４ａを遮蔽し、外気がドライチャンバ内に侵入しにくい。よって、第２実施形態のドライチャンバ２０によれば、エアカーテン状の流れと開口部２ａ，４ａ付近の局部的な圧力上昇により、内部の湿度変動を低減することができる。
【００５１】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、上記実施形態では、第１チャンバ２全体を第２チャンバ４で覆ったが、第１チャンバ２の密閉可能な部分以外（例えば、配管７，８や配線、コンベア部１０の引き込み部分や、部品を供給するための開口部、装置の駆動系や注油口など）のみを二重構造にしても良い。この場合、二重構造にした部分毎に、第１チャンバの外側と内側を一部で連通させる連通部を第１チャンバに設けると良い。
例えば、上記実施形態では、ドライチャンバ１を燃料電池の製造工程で使用したが、電極のペーストを乾燥させる装置や、半導体基板を乾燥させる装置など、各種乾燥を要する工程にドライチャンバ１を使用しても良い。
例えば、ドライチャンバ１の第１及び第２配管７，８が接続する部分にＦＦＵ１０７を設けてもよい。
例えば、上記実施形態では、複数の第１チャンバ２を全て覆うように第２チャンバ４を設けたが、各第１チャンバ２に個別に第２チャンバ４を設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るドライチャンバの使用例を示す図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るドライチャンバを扉方向から見た正面図である。
【図４】図４に示すドライチャンバの上面図である。
【図５】図４に示すドライチャンバの側面図である。
【図６】図４に示すドライチャンバにおいて扉を閉状態としている場合の流体の流れと圧力との関係を、扉正面側から見て説明する説明図である。
【図７】図４に示すドライチャンバにおいて扉を開状態としている場合の流体の流れと圧力との関係を、扉正面側から見て説明する説明図である。
【図８】図７に示す流体の流れと圧力との関係を、扉側面側から見て説明する説明図である。
【図９】従来のドライチャンバの使用例を示す図である。
【図１０】図９のＢ−Ｂ断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  ドライチャンバ
２  第１チャンバ
３  内部空間（内側）
４  第２チャンバ
５  流路（外側）
６  連通部
７  第１配管
【図１】
2009222377.tif 000003
【図２】
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【図３】
2009222377.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009222377.tif 000009
【図８】
2009222377.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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