(57)【要約】      （修正有）【課題】排水処理可能な湿式除害装置を提供するとともに、排水を有効に利用する湿式除害方法を提供する。【解決手段】有害ガスＧが供給される吸気部３と、該吸気部の上部に設けられ、シャワー室７を有する湿式排気処理部６と、該シャワー室に連続する排気部９と、前記吸気部の下部に設けられた循環水槽１７と、前記循環水槽の水を前記シャワー室に供給する循環ポンプ２５と、を備えている湿式除害装置において、前記循環水槽の水を浄化するための第２水処理部と再利用水部２３を設けるとともに、該再利用水部２３の水を再利用水補給ポンプ３０により前記シャワー室に供給する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有害ガスが供給される吸気部と、該吸気部の上部に設けられ、シャワー室を有する湿式排気処理部と、該シャワー室に連続する排気部と、前記吸気部の下部に設けられた循環水槽と、前記循環水槽の水を前記シャワー室に供給する循環水供給手段と、を備えている湿式除害装置において、
前記循環水槽の水を浄化するための水処理手段を備えていることを特徴とする湿式除害装置。
【請求項２】
前記水処理手段は、前記循環水槽に連設したオーバーフロー式浄化槽であることを特徴とする請求項１記載の湿式除害装置。
【請求項３】
前記水処理手段は、浄化された水を貯留する再利用水部を備えていることを特徴とする請求項２記載の湿式除害装置。
【請求項４】
前記再利用水部は、再利用水供給手段を介して前記シャワー室に連結されていることを特徴とする請求項３記載の湿式除害装置。
【請求項５】
前記水処理手段は、前記吸気部と循環水槽との間に配設された第1水処理部と、前記循環水槽の側部に連設された第2水処理部とから構成されていることを特徴とする請求項1記載の湿式除害装置。
【請求項６】
吸気部に供給された有害ガスを、シャワー室を備えた湿式排気処理部を通して除害するとともに、前記湿式排気処理部から落下する水を前記吸気部の下部に設けた循環水槽に貯留し、前記循環水槽の水を循環水供給手段を介して前記シャワー室に供給する湿式除害方法において、
前記循環水槽に連続する水処理手段を設け、該水処理手段で処理された再利用水を前記シャワー室に供給することを特徴とする湿式除害方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体製造装置や液晶製造装置等から排出される有害ガスを除害、回収するための除害方法及びその装置に関するものであり、更に述べると、除害に用いた排水を処理できる、湿式除害方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造ラインや液晶製造ラインから排出されるガスには、ＳｉＯ２やＷＯ３等の微細な粉体等の有害物が含まれていて、大変危険である。
そこで、従来、前記ガスを除害手段、例えば、充填方式やフィルタ方式等により除害した後に、大気開放している。(例えば、特許文献１、参照)。
【０００３】
前記充填方式は、充填物の表面に形成された水膜と、ガスの慣性衝突、微細粒子の拡散付着によってダストの捕集を行う方法であり、また、フィルタ方式は、加圧した水を供給して、ガスの洗浄を行う方法である。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１７２３０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
除害に用いられた排水は、有害物を含んでいるので、そのまま廃棄処分することはできない。そこで、従来、その排水を所定場所（例えば、タンク）に集め、纏めて排水処理を行っている。しかし、このような排水処理方式は、設備費や処理費などが嵩むので、経済的に不利である。また、排水処理した水は廃棄されているので、資源の再利用上、問題がある。
【０００６】
この発明は、上記事情に鑑み、排水処理可能な湿式除害装置を提供することを目的とする。他の目的は、排水を有効に利用することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、有害ガスが供給される吸気部と、該吸気部の上部に設けられ、シャワー室を有する湿式排気処理部と、該シャワー室に連続する排気部と、前記吸気部の下部に設けられた循環水槽と、前記循環水槽の水を前記シャワー室に供給する循環水供給手段と、を備えている湿式除害装置において、  前記循環水槽の水を浄化するための水処理手段を備えていることを特徴とする。
【０００８】
この発明の前記水処理手段は、前記循環水槽に連設したオーバーフロー式浄化槽であることを特徴とする。この発明の前記水処理手段は、浄化された水を貯留する再利用水部を備えていることを特徴とする。
【０００９】
この発明の前記再利用水部は、再利用水供給手段を介して前記シャワー室に連結されていることを特徴とする。この発明の前記水処理手段は、前記吸気部と循環水槽との間に配設された第1水処理部と、前記循環水槽の側部に連設された第2水処理部とから構成されていることを特徴とする。
【００１０】
この発明は、吸気部に供給された有害ガスを、シャワー室を備えた湿式排気処理部を通して除害するとともに、前記湿式排気処理部から落下する水を前記吸気部の下部に設けた循環水槽に貯留し、前記循環水槽の水を循環水供給手段を介して前記シャワー室に供給する湿式除害方法において、前記循環水槽に連続する水処理手段を設け、該水処理手段で処理された再利用水を前記シャワー室に供給することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
この発明は、循環水槽の水を浄化するための水処理手段を備えているので、排水は浄化され、きれいな状態となる。そのため、従来例と異なり、排水を所定の場所(タンク)に集めて纏めて水処理する必要はない。
【００１２】
この発明の水処理手段は、再利用水部を備えているので、ここに貯留された浄化水は、
再利用水供給手段を介して湿式排気処理部のシャワー室に供給することができる。そのため、シャワー室には、循環水槽からの循環水と、再利用水部からの再利用水とが供給されるので、循環水槽17内の水は、前記両水が混合した混合水となる。この混合水は、前記再利用水を使用せず、循環水だけを使用した場合の水よりも、きれいで汚染度が低く、PH値も高くなる。そのため、シャワー室に噴射される水は、比較的きれいな状態なので、効率よく除害を行うことができる。
又、従来例に比べ、循環水槽の汚染濃度が高くならないので、水道水等の新水の使用量を少なくすることができる。
【００１３】
水処理手段は、第１水処理部と第２水処理部とから構成されているので、湿式排気処理部から落下する水は、第１水処理部で処理された後、循環水槽内に流入する。そのため、該循環水槽内の汚染濃度を低くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この発明の第1実施の形態を図１により説明する。
水を用いて除害する除害装置（ここでは、「湿式除害装置」という）１は、吸気口３aを有する吸気部（「吸気室」ともいう）３を備えている。この吸気口３ａは、図示しない半導体製造装置等の排気管に接続されている。
【００１５】
前記吸気部３の上部には、湿式排気処理部６が設けられている。この湿式排気処理部６は、シャワー室７と、該シャワー室７と前記吸気部３とを仕切る充填材５と、から構成され、前記シャワー室７には複数のシャワー部７ａが配設されている。前記シャワー室７の上部には、水切り部１０を介して排気室９が設けられている。この排気室９は、排気管１１を介して排気ファン１３に連通している。
【００１６】
前記吸気室３の下部には、第１水処理部１５を介して循環水槽１７が設けられている。この第１水処理部１５には、木炭等の浄化材が設けられている。前記循環水槽１７の側部には、水を浄化する水処理手段である、第２水処理部１９が連設されている。この第２水処理部１９は、例えば、オーバーフロー式浄化槽であり、仕切板に仕切られた、複数の浄化室２１を備えているが、各浄化室２１に、木炭等の浄化材を配設して良い。
【００１７】
前記第２水処理部１９の側部には、再利用水部２３が連設され、この再利用水部２３には、浄化処理された、きれいな水が収容されている。この再利用水部２３には、水位が所定レベルを超えたときに排水するオーバーフロー２７と、水道水等の新水を外部から供給する新水補給部２９が設けられている。
【００１８】
前記循環水槽１７は、循環水供給手段である、循環ポンプ２５を介してシャワー室７のシャワー部７ａに連通している。また、前記再利用水部２３は、再利用水供給手段である、再利用水補給ポンプ３０を介して前記シャワー室７のシャワー部７ａに連通している。
【００１９】
次に、本実施の形態の作動について説明する。
湿式除害装置１の制御スイッチ（図示省略）をオンにすると、排気ファン１３が駆動し、吸気口３ａから有害ガスＧが吸気室３内に吸引される。この有害ガスＧは、吸気部3内を上昇し、充填材５を通ってシャワー室７に入り、シャワー部７ａのシャワー水と接触した後、水切り部１０を通り、水分が取り除かれる。このようにして除害された清浄ガスＧ１は、排気室９、排気管１１を介して器外に排気される。
【００２０】
前記湿式排気処理部６のシャワー室７の水は、充填材５内を通り抜け、吸気室３内を上昇する有害ガスＧと接触しながら落下し、第１水処理部１５で第１回目の水処理を受けた後、循環水槽１７内に落下する。
この第１水処理部１５での水処理は、排水が通り抜けるのに時間がかかり過ぎないようにするために、比較的簡単に行われる。
【００２１】
循環水槽１７内の水ｗは、所定量を超えるとオーバーフローして第２水処理部１９に入り、浄化されながら進行し、再利用水部２３に到達する。このとき、再利用水部２３内の水は、水道水等の新水、又は、これに近い程度まで浄化されているが、この浄化の程度は、必要に応じて適宜選択される。
【００２２】
循環水槽１７内の水ｗ１は、循環ポンプ２５によりシャワー室７のシャワー部７ａに供給され、シャワー室７内に噴射され、又、再利用水部２３の水ｗ２は、再利用水補給ポンプ３０によりシャワー室７のシャワー部７ａに供給され、シャワー室７内に噴射される。
【００２３】
従って、シャワー室７には、循環水槽１７からの循環水ｗ１と、再利用水部２３からの再利用水ｗ２とが供給されるので、循環水槽17内の水は、前記両水ｗ１、ｗ２が混合した混合水となる。この混合水は、前記再利用水ｗ２を使用せず、循環水ｗ１だけを使用した場合の水よりも、きれいで汚染度が低く、PH値も高くなる。そのため、シャワー室７に噴射される水は、比較的きれいな状態なので、効率よく除害を行うことができる。
又、従来例に比べ、循環水槽１７の汚染濃度が高くならないので、水道水等の新水の使用量を少なくすることができる。
【００２４】
運転途中に、循環水槽１７の水位が設計値より低下した場合には、新水補給部２９から水道水等の新水を注入し、再利用水部２３の水位を設計レベルに維持するが、この新水の補給は、循環水槽１７に行うようにしても良い。
【００２５】
この発明の実施の形態は、前記に限定されるものではなく、例えば、次のようにしても良い。
（１）前記再利用水部２３の水は、浄化された水なので、器外の他の機器、例えば、洗浄装置に利用することができる。
【００２６】
（２）水処理手段の第２水処理部として、オーバーフロー式浄化槽を用いたが、その他の公知の水処理手段を利用しても良い。
（３）水処理手段として、第１水処理部と第2水処理部とを用いたが、第１水処理部を省略してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１実施の形態を示す正面断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１    湿式除害装置
３    吸気部
５    充填材
７    シャワー室
１５  第１水処理部
１７  循環水槽
１９  第２水処理部
２３  再利用水部
Ｇ    有害ガス
Ｇ１  清浄ガス
ｗ１  循環水
ｗ２  再利用水
【図１】
2009248018.tif 000003