(57)【要約】【課題】ダイヤフラム式圧縮機において積層して用いられる金属製のダイヤフラムの耐久性の向上を図る。【解決手段】ダイヤフラムユニット３０は、加圧室２１Ｃの側の第１ダイヤフラム３２と、ポンプ室２２Ｃの側の第２ダイヤフラム３４と、その間の中間ダイヤフラム３６とを密着して積層して備える。各ダイヤフラムは、プレス成形して得られた金属製のダイヤフラムであり、中間ダイヤフラム３６は、ダイヤフラムセンター回りに円弧状の軌跡で貫通形成された円弧貫通孔３７を等ピッチで３箇所に備え、それぞれの円弧貫通孔３７からはダイヤフラム外周縁まで延びる切欠３８を有する。ダイヤフラム間に介在する過剰な潤滑剤は、ダイヤフラム湾曲に伴い押し出されて円弧貫通孔３７に入り込む。【選択図】図２
2009097415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧室とポンプ室とを金属製のダイヤフラムにて液密に区画したダイヤフラム式圧縮機であって、
前記加圧室側の第１ダイヤフラムと、前記ポンプ室側の第２ダイヤフラムと、前記第１と第２のダイヤフラムとの間の１以上の中間ダイヤフラムとを密着して積層し、各ダイヤフラムの密着領域に当該密着領域に介在する潤滑剤の入り込みが可能な逃げ部を有する
ダイヤフラム式圧縮機。
【請求項２】
前記逃げ部は、前記中間ダイヤフラムに形成されている請求項１に記載のダイヤフラム式圧縮機。
【請求項３】
前記逃げ部は、前記中間ダイヤフラムを貫通する溝である請求項２に記載のダイヤフラム式圧縮機。
【請求項４】
前記逃げ部は、前記密着領域においてダイヤフラム中心回りに等分に形成されている請求項１ないし請求項３いずれかに記載のダイヤフラム式圧縮機。
【請求項５】
前記等分に形成された逃げ部は、円弧状とされている請求項４に記載のダイヤフラム式圧縮機。
【請求項６】
前記円弧状のそれぞれの逃げ部からダイヤフラム外周縁まで延びる放射状の逃げ部を有する請求項５に記載のダイヤフラム式圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧室とポンプ室とを金属製のダイヤフラムにて液密に区画したダイヤフラム式圧縮機に関する。
【背景技術】
【０００２】
こうしたダイヤフラム式圧縮機は、積層されたそれぞれのダイヤフラムを金属製とすることで高圧での湾曲の繰り返しに支障を来さないようにして、高圧圧縮を可能としている。この場合、ダイヤフラムは、積層状態のまま湾曲を繰り返すことから、隣り合うダイヤフラムでは摩擦が生じてダイヤフラムの摩耗が起きることが予想される。こうした点を解消するため、ダイヤフラム間に潤滑剤を介在させることが提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特表２００７−５１５５８４号公報（段落００４３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ダイヤフラム間に介在させた潤滑剤はダイヤフラム湾曲の際の摩擦低減をもたらすものの、次のような問題点が指摘されるに至った。潤滑剤は、ダイヤフラムの表面に塗布する等の手法でダイヤフラム間に介在することになる。こうして塗布等された潤滑剤が仮に偏在すると、他の箇所よりも潤滑剤が過剰に存在する箇所の潤滑剤は、ダイヤフラム間に過剰なままで挟まれた状態となり行き場がない。よって、潤滑剤が過剰に存在する箇所では、過剰に存在する潤滑剤により、ダイヤフラムの繰り返し湾曲に伴って局所的な変形が起きて、応力が集中しやすい。こうした応力集中はダイヤフラムの疲労を早めるので、耐久性の低下を招きやすい。従って、ダイヤフラム間への潤滑剤介在に際しては、ダイヤフラムの密着領域に潤滑剤をまんべんなくしかも均一に塗布等することが不可欠なため、厳格な工程管理を必要とし煩雑であった。
【０００５】
本発明は、上記した課題を踏まえ、金属製のダイヤフラムの耐久性向上をもたらす簡便な手法を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した目的の少なくとも一部を達成するために、本発明では、以下の構成を採用した。
【０００７】
[適用：ダイヤフラム式圧縮機]
加圧室とポンプ室とを金属製のダイヤフラムにて液密に区画したダイヤフラム式圧縮機であって、
前記加圧室側の第１ダイヤフラムと、前記ポンプ室側の第２ダイヤフラムと、前記第１と第２のダイヤフラムとの間の１以上の中間ダイヤフラムとを密着して積層し、各ダイヤフラムの密着領域に当該密着領域に介在する潤滑剤の入り込みが可能な逃げ部を有する
ことを要旨とする。
【０００８】
上記構成のダイヤフラム式圧縮機にあっても、積層されたダイヤフラムは、それぞれのダイヤフラム間に介在する潤滑剤にて摩擦を抑えつつ、加圧室側およびポンプ室側に向けて繰り返し湾曲する。こうしたダイヤフラムの湾曲の繰り返しの間において、ダイヤフラム間に介在する潤滑剤は、ダイヤフラムの密着領域の逃げ部に向けて押し出されるようになる。このため、仮に潤滑剤が偏在していたとしても、潤滑剤の過剰存在箇所の潤滑剤は、当該箇所周辺を経てやがてはダイヤフラムの密着領域の逃げ部に入り込み、ダイヤフラムの密着領域での潤滑剤の偏在は解消もしくは抑制される。よって、上記構成のダイヤフラム式圧縮機によれば、ダイヤフラム間において潤滑剤が過剰に存在することに起因する不具合、即ち局所的な変形に基づく応力集中を抑制できるので、金属製のダイヤフラムの耐久性を高めることができる。しかも、こうした耐久性向上を図るに際しては、ダイヤフラムの密着領域に潤滑剤の逃げ部を有するようにすれば足りるので、潤滑剤塗布等に際しての厳格な工程管理が不要となり簡便である。
【０００９】
上記したダイヤフラム式圧縮機は、次のような態様とすることができる。例えば、ダイヤフラムの密着領域における潤滑剤の逃げ部を、加圧室側の第１ダイヤフラムとポンプ室側の第２ダイヤフラムとの間の中間ダイヤフラムに形成するようにできる。こうすれば、これらダイヤフラムを潤滑剤を塗布等した上で積層するだけで、ダイヤフラムの密着領域に潤滑剤の逃げ部が用意できるので簡便である。しかも、加圧室側の第１ダイヤフラムとポンプ室側の第２ダイヤフラムとを備える既存のダイヤフラム式圧縮機において、上記の逃げ部を有する中間ダイヤフラムを組み込めばいいことから、簡単な改造或いは部品交換により、既存圧縮機におけるダイヤフラムの耐久性を高めることができる。
【００１０】
この場合、中間ダイヤフラムを貫通する溝を潤滑剤の逃げ部とすれば、プレス等の量産性の高い手法で中間ダイヤフラムに逃げ部を形成できるので、工程およびその管理の簡略化、低コスト化を図ることができる。
【００１１】
また、ダイヤフラムの密着領域に潤滑剤の逃げ部を形成するに当たっては、この逃げ部を密着領域においてダイヤフラム中心回りに等分に形成することができる。こうすれば、加圧室側およびポンプ室側に向けた積層済みのダイヤフラムの湾曲をダイヤフラム中心回りに均等にできるので、耐久性の向上に寄与できる。このように逃げ部をダイヤフラム中心回りに等分とするに際しては、逃げ部を円弧状とすることが簡便である。更に、円弧状のそれぞれの逃げ部からダイヤフラム外周縁まで延びる放射状の逃げ部を設ければ、次のような利点がある。
【００１２】
ダイヤフラムに亀裂や割れが生じるとポンプ室或いは加圧室のリークを招くことから、通常、ダイヤフラムの外縁ではリークの発生有無を圧力検出を介して判定している。潤滑剤の円弧状のそれぞれの逃げ部はダイヤフラム外周縁まで延びる放射状の逃げ部と繋がっていることから、ダイヤフラムの亀裂や割れが起きたと仮定すると、この亀裂や割れによる圧力異常はこの放射状の逃げ部を経てダイヤフラム外縁に速やかに伝わる。よって、ダイヤフラムの亀裂や割れに起因する圧力異常を速やかに検知できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。図１は本発明の実施例としてのダイヤフラム式圧縮機１０の全体構成を概略的に示す説明図、図２はダイヤフラム式圧縮機１０が有するダイヤフラムユニット３０の全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。
【００１４】
図示するように、ダイヤフラム式圧縮機１０は、圧縮機本体２０にダイヤフラムユニット３０を組み込んで備え、水素源４０から供給された水素ガスを、ダイヤフラムユニット３０の湾曲の繰り返しにて５０ＭＰａ程度の高圧に圧縮した上で水素タンク５０に貯留する。ダイヤフラム式圧縮機１０は、こうしたガス圧縮のための圧縮源として、作動液（作動オイル）の圧送を行う作動液圧送機６０を有する他、作動液圧送機６０を始めとする各機器の駆動制御を行う制御装置７０を有する。
【００１５】
圧縮機本体２０は、加圧室側本体パーツ２１を有する加圧室側本体パーツ２１とポンプ室２２Ｃを有するポンプ室側本体パーツ２２とでダイヤフラムユニット３０を周縁にて挟持し、ダイヤフラムユニット３０の周囲において、加圧室側・ポンプ室側の両本体パーツをボルト２４Ｂとナット２４Ｎにて等ピッチで締め付け固定している。加圧室側本体パーツ２１は、加圧室２１Ｃのセンターに設けた作動液ポート２１Ｈを経て作動液の供給・排出を受ける。作動液圧送機６０は、作動液を貯留するシリンダ６２とピストン６３をピストン駆動機６４とを備え、シリンダ６２にガス圧縮規定圧力（５０ＭＰａ）を超える高圧で作動液を貯留した上で、ピストン駆動機６４によりピストン６３を往復動させて、加圧室２１Ｃへの作動液の高圧圧送と、加圧室２１Ｃからの作動液の強制排出を行う。これにより、ダイヤフラムユニット３０は、加圧室２１Ｃとポンプ室２２Ｃにおいて湾曲を繰り返し、ポンプ室２２Ｃの流体（本実施例では水素ガス）を規定の圧力（５０ＭＰａ）まで圧縮する。この場合、加圧室側・ポンプ室側の両本体パーツの液密を確保するため、両パーツの接合箇所にはゴム製のシール部材２５が装着されている。また、ポンプ室側本体パーツ２２とダイヤフラムユニット３０との間には、ポンプ室側本体パーツ２２が有するポンプ室２２Ｃの液密を確保するため、金属製のシール部材２６が装着されている。こうしたシール部材による液密確保により、ダイヤフラムユニット３０は、加圧室２１Ｃとポンプ室２２Ｃとを液密に区画することになる。
【００１６】
ポンプ室側本体パーツ２２のポンプ室２２Ｃは、加圧室２１Ｃと非対称の形状とされ、このポンプ室２２Ｃには、水素源４０から流路開閉バルブ４１と流入側逆止弁４２とガス流入ポート２２ＨＩＮを経て水素ガスが流入する。そして、このポンプ室２２Ｃに流入したい水素ガスは、ダイヤフラムユニット３０の湾曲を経て圧縮された後、ポンプ室２２Ｃのセンターに位置するガス流出ポート２２ＨＯＵＴから排出され、流出側逆止弁４３と流路開閉バルブ４４を経て水素タンク５０に送り込まれて当該タンクにて高圧下で貯留される。
【００１７】
また、ダイヤフラム式圧縮機１０は、ダイヤフラムユニット３０に発生した亀裂や割れを検知するため、ダイヤフラムユニット３０をその外周縁に沿って取り囲む中空の検知室２７を備える。そして、ダイヤフラム式圧縮機１０の制御装置７０は、センサ装着ポート２８に装着した圧力センサ２９にて検知室２７の圧力推移を監視しつつ、作動液圧送機６０におけるピストン駆動機６４の駆動制御を経た加圧室２１Ｃへの高圧作動液の供給・排出と、この供給・排出に伴う流路開閉バルブ４１や流路開閉バルブ４４の開閉制御を行う。
【００１８】
上記したガス圧縮を担うダイヤフラムユニット３０は、図１と図２に示すように、加圧室２１Ｃの側の第１ダイヤフラム３２と、ポンプ室２２Ｃの側の第２ダイヤフラム３４と、その間の中間ダイヤフラム３６とを密着して積層して備える。各ダイヤフラムは、共にバネ鋼板をプレス成形して得られた金属製のダイヤフラムであり、第１ダイヤフラム３２と第２ダイヤフラム３４は、円形形状の板体である。中間ダイヤフラム３６は、上記両ダイヤフラムと同一形状の板体であって、ダイヤフラムセンター回りに円弧状の軌跡で貫通形成された円弧貫通孔３７を等ピッチで３箇所に備え、それぞれの円弧貫通孔３７からはダイヤフラム外周縁まで延びる切欠３８を有する。切欠３８は、ダイヤフラムセンターから放射状に等ピッチで形成されている。
【００１９】
上記の３枚のダイヤフラムを用いてダイヤフラムユニット３０とするに当たっては、各ダイヤフラムの密着領域、具体的には中間ダイヤフラム３６に対向する第１ダイヤフラム３２の全面と中間ダイヤフラム３６に対向する第２ダイヤフラム３４の全面に図示しない潤滑剤（グリース）の塗布機器を経て潤滑剤が塗布され、その後、各ダイヤフラムの密着・積層を経てダイヤフラムユニット３０が得られる。このダイヤフラムユニット３０は、既述したように加圧室側本体パーツ２１とポンプ室側本体パーツ２２に挟持されて加圧室２１Ｃとポンプ室２２Ｃを区画する。
【００２０】
このダイヤフラムユニット３０を有するダイヤフラム式圧縮機１０は、作動液圧送機６０から加圧室２１Ｃへの高圧作動液の供給・排出を経て、ダイヤフラムユニット３０をポンプ室２２Ｃの側に凸或いは加圧室２１Ｃの側に凸となるよう繰り返し湾曲させ、このダイヤフラム湾曲により水素ガスを上記の規定圧力に圧縮して水素タンク５０に貯留させる。本実施例のダイヤフラムユニット３０は、第１ダイヤフラム３２と中間ダイヤフラム３６との間および第２ダイヤフラム３４と中間ダイヤフラム３６との間に介在する潤滑剤により摩擦が抑えられた状況下で、既述したように繰り返し湾曲する。第１ダイヤフラム３２と中間ダイヤフラム３６との間に介在する潤滑剤および第２ダイヤフラム３４と中間ダイヤフラム３６との間に介在する潤滑剤は、既述したダイヤフラムユニット３０の湾曲の繰り返しの間において、中間ダイヤフラム３６に形成した円弧貫通孔３７に向けて押し出されるようになる。
【００２１】
このため、仮に潤滑剤塗布が第１ダイヤフラム３２や第２ダイヤフラム３４の全面において均一になされたかったため、塗布面における適宜な箇所に潤滑剤が過剰に偏在していたとしても、潤滑剤の過剰存在箇所の潤滑剤は、ダイヤフラムユニット３０の湾曲の繰り返しに伴う押出を受けて中間ダイヤフラム３６の円弧貫通孔３７に入り込む。よって、第１ダイヤフラム３２と中間ダイヤフラム３６との密着領域および第２ダイヤフラム３４と中間ダイヤフラム３６との密着領域での潤滑剤の偏在はダイヤフラムユニット３０の湾曲の繰り返しに伴って解消される。この結果、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１０によれば、ダイヤフラムユニット３０を構成するダイヤフラム間において潤滑剤が過剰に存在することに起因する不具合、即ち局所的な変形に基づく応力集中を抑制できるので、ダイヤフラムユニット３０自体は勿論のこと、当該ユニットを構成する個々の金属製のダイヤフラムの耐久性を高めることができる。
【００２２】
こうしたダイヤフラムの耐久性向上を図るに際して、本実施例では第１ダイヤフラム３２と第２ダイヤフラム３４との間の中間ダイヤフラム３６に円弧状の円弧貫通孔３７を形成（打ち抜き形成）したに過ぎない。このため、第１ダイヤフラム３２の全面および中間ダイヤフラム３６の全面での潤滑剤塗布等に際しては、厳格な工程管理が不要となるために工程管理を簡便化でき好ましい。また、円弧貫通孔３７を形成した中間ダイヤフラム３６に潤滑剤塗布済みの第１ダイヤフラム３２と第２ダイヤフラム３４とを積層するだけで足りるので、高い耐久性を有するダイヤフラムユニット３０を簡単に得ることができる。加えて、円形形状の板体のダイヤフラムを積層しただけの既存のダイヤフラム式圧縮機におけるダイヤフラムユニットを、本実施例のダイヤフラムユニット３０に交換するという簡単な手法により、既存圧縮機におけるダイヤフラムの耐久性を高めることができる。
【００２３】
しかも、潤滑剤の偏在を解消するために中間ダイヤフラム３６に円弧状の円弧貫通孔３７を形成すればよいので、円弧貫通孔３７を有する中間ダイヤフラム３６を量産性の高いプレスにて容易に製造できる。よって、工程設定のみならず工程管理の簡略化と、これに伴う低コスト化を達成できる。
【００２４】
また、本実施例では、中間ダイヤフラム３６において円弧状の円弧貫通孔３７を等ピッチでダイヤフラム中心回りに形成したので、ポンプ室２２Ｃの側に凸或いは加圧室２１Ｃの側に凸となるダイヤフラムユニット３０の湾曲はダイヤフラム中心回りに均等となる。よって、中間ダイヤフラム３６に円弧貫通孔３７を設けたとしても、ダイヤフラムユニット３０の耐久性を向上できる。
【００２５】
加えて、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１０では、円弧貫通孔３７から放射状にダイヤフラム外周縁まで延びる切欠３８を形成した上で、ダイヤフラムユニット３０の外周縁に検知室２７を設けた。そして、この検知室２７の圧力を圧力センサ２９を介して監視しているので、次のような利点がある。
【００２６】
ダイヤフラムユニット３０を構成する第１ダイヤフラム３２や第２ダイヤフラム３４の亀裂や割れは、加圧室２１Ｃやポンプ室２２Ｃのリークを招くので、このリークにより作動液やガスは、第１ダイヤフラム３２と第２ダイヤフラム３４が密着している中間ダイヤフラム３６との密着領域に入り込んだ後にダイヤフラム外周の検知室２７に達する。本実施例では、ダイヤフラムの密着領域に円弧貫通孔３７を形成した上で当該貫通孔から切欠３８を延ばして検知室２７に達するようにしていることから、上記したリークによる検知室２７の圧力異常は速やかに圧力センサ２９にて検知できる。このため、この圧力異常を検知する制御装置７０により、速やかに作動液圧送機６０の駆動停止や、流路開閉バルブ４１および流路開閉バルブ４４の閉弁制御を行うことができ、これにより異常発生時の装置緊急停止や速やかな異常報知等を行うことができる。
【００２７】
また、本実施例のダイヤフラム式圧縮機１０では、ポンプ室２２Ｃと加圧室２１Ｃとを図１に示すように非対称とし、加圧室２１Ｃの方の凹程度を大きくした。よって、次の利点がある。ダイヤフラムユニット３０の湾曲は、作動液圧送機６０の側から加圧室２１Ｃへの高圧作動液の供給・排出に伴って起き、作動液の供給量と排出量は同じとされている。このため、ポンプ室２２Ｃの側に凸となるダイヤフラムユニット３０の湾曲程度と加圧室２１Ｃの側に凸となるダイヤフラムユニット３０の湾曲程度は同じである。本実施例では、ポンプ室２２Ｃの側にダイヤフラムユニット３０が凸となるよう湾曲する際には、ダイヤフラムユニット３０は、その第２ダイヤフラム３４をポンプ室２２Ｃの壁面に近接するようにし、こうした湾曲を起こすよう作動液圧送機６０からの高圧作動液の供給量・排出量を定めた。そうすると、本実施例では、ポンプ室２２Ｃと非対称で凹の程度が大きな加圧室２１Ｃの側にダイヤフラムユニット３０が凸となるよう湾曲しても、ダイヤフラムユニット３０における第１ダイヤフラム３２は加圧室２１Ｃの壁面と離れた状態にまでしか湾曲しない。よって、加圧室２１Ｃの壁面へのダイヤフラムユニット３０のいわゆる貼り付きが起きないようにできるので、作動液圧送機６０からの作動液圧力がガス圧縮の規定圧力（５０ＭＰａ）より高いことと相まって、ダイヤフラムユニット３０を円滑に繰り返し湾曲できる。
【００２８】
次に、ダイヤフラムユニット３０の変形例について説明する。図３はダイヤフラムユニット３０に用いる第１変形例の中間ダイヤフラム３６Ａを斜視とその左右からの矢視にて示す説明図、図４は第２変形例の中間ダイヤフラム３６Ｂを斜視とその左右からの矢視にて示す説明図である。
【００２９】
上記した中間ダイヤフラム３６では円弧状の円弧貫通孔３７を有する形態としたが、図３と図４に示す中間ダイヤフラム３６Ａおよび中間ダイヤフラム３６Ｂは、ダイヤフラム表裏面に円弧状の軌跡で有底に形成された円弧溝３７Ａと当該溝からダイヤフラム外周縁まで放射状に延びた有底の切欠溝３８Ａを有する点に特徴がある。そして、図３の中間ダイヤフラム３６Ａは、ダイヤフラム表裏面において、円弧溝３７Ａおよび切欠溝３８Ａを同一位相で形成して備え、図４の中間ダイヤフラム３６Ｂは、ダイヤフラム表裏面において、円弧溝３７Ａおよび切欠溝３８Ａを異なる位相で形成して備える。つまり、中間ダイヤフラム３６Ｂでは、ダイヤフラム表面の円弧溝３７Ａおよび切欠溝３８Ａに対して、ダイヤフラム裏面では、円弧溝３７Ａの円弧軌跡の半分に相当する分だけ位相をずらして円弧溝３７Ａおよび切欠溝３８Ａが形成されている。上記した円弧溝３７Ａおよび切欠溝３８Ａを表裏面に有する中間ダイヤフラム３６Ａ、３６Ｂを用いたダイヤフラムユニット３０によっても、円弧溝３７Ａへの潤滑剤の入り込みにより既述した効果を奏することができる。
【００３０】
図５はまた別の変形例のダイヤフラムユニット３０Ａの全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。このダイヤフラムユニット３０Ａは、ダイヤフラムユニット３０と同様の第１ダイヤフラム３２と第２ダイヤフラム３４を備え、この両ダイヤフラムの間の中間ダイヤフラム３６Ｃを薄肉化された３枚の板体から形成した点に特徴がある。つまり、中間ダイヤフラム３６Ｃは、図示するように薄肉の円形状の板体であるセンターダイヤフラム３６Ｃ１の表裏面に、薄肉の端面ダイヤフラム３６Ｃ２を密着・積層して構成され、端面ダイヤフラム３６Ｃ２は、中間ダイヤフラム３６と同様に、円弧貫通孔３７と切欠３８を有する。なお、センターダイヤフラム３６Ｃ１の表裏面への端面ダイヤフラム３６Ｃ２の密着・積層に際しては、潤滑剤が塗布等によりダイヤフラム間に介在するようにされる。この中間ダイヤフラム３６Ｃを用いた中間ダイヤフラム３６Ａにあっても、図３や図４に示したような中間ダイヤフラム３６Ａ、３６Ｂとできることから、潤滑剤の入り込みにより既述した効果を奏することができる。
【００３１】
図６は他の変形例のダイヤフラムユニット３０Ｂの全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。このダイヤフラムユニット３０Ｂは、ダイヤフラムユニット３０と同様の第１ダイヤフラム３２と第２ダイヤフラム３４を備え、この両ダイヤフラムの間の中間ダイヤフラム３６Ｄは、円弧貫通孔３７のみを有する。この中間ダイヤフラム３６Ｄを用いた中間ダイヤフラム３６Ｂにあっても、中間ダイヤフラム３６Ｄが有する円弧貫通孔３７への潤滑剤の入り込みを起こすので、既述した効果（耐久性向上）を奏することができる。
【００３２】
図７は他の変形例のダイヤフラムユニット３０Ｃの全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。このダイヤフラムユニット３０Ｃは、ダイヤフラムユニット３０と同様の第１ダイヤフラム３２と第２ダイヤフラム３４を備え、この両ダイヤフラムの間の中間ダイヤフラム３６Ｅは、中間ダイヤフラム３６と同様の円弧貫通孔３７と切欠３８とを有するほか、円弧貫通孔３７の内側に円弧状の軌跡で形成された中央側円弧貫通孔３９を等分割して有する。この中間ダイヤフラム３６Ｅを用いた中間ダイヤフラム３６Ｃにあっても、円弧貫通孔３７への潤滑剤の入り込みにより既述した効果を奏することができる。そして、中央側円弧貫通孔３９を備える分だけ、潤滑剤の入り込み機会と入り込み箇所が増えることから、潤滑剤の偏在をより速やかに解消できる。
【００３３】
図８はまた他の変形例のダイヤフラムユニット３０Ｄの全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。このダイヤフラムユニット３０Ｄは、ダイヤフラムユニット３０と同様の第１ダイヤフラム３２と第２ダイヤフラム３４を備え、この両ダイヤフラムの間の中間ダイヤフラム３６Ｆは、ダイヤフラム中心から放射状の延びる軌跡で貫通形成された放射状貫通孔３７Ｂをダイヤフラム中心回りに等分に備える。この中間ダイヤフラム３６Ｆを用いた中間ダイヤフラム３６Ｄにあっても、中間ダイヤフラム３６Ｆが有する放射状貫通孔３７Ｂへの潤滑剤の入り込みを起こすので、既述した効果（耐久性向上）を奏することができる。
【００３４】
図９はダイヤフラムユニット３０の耐久性向上を図るための他の手法を説明するための説明図である。図示するように、この変形例のダイヤフラム式圧縮機１０Ａは、ポンプ室２２Ｃにガスを流入させるためのガス流入ポート２２ＨＩＮを、ポンプ室センターのガス流出ポート２２ＨＯＵＴを中心とする同心円上に等間隔で配置して備える。こうすれば、これらガス流入ポート２２ＨＩＮからポンプ室２２Ｃへのガス流入に伴い、ポンプ室２２Ｃにおける圧力不均等を起こしにくい。よって、ポンプ室２２Ｃの側に凸となるダイヤフラムユニット３０の湾曲は、圧力がほぼ均等となった状態でのポンプ室２２Ｃの側への湾曲となる。このため、ダイヤフラムユニット３０を支障なく繰り返し湾曲できるので、耐久性向上の上から好ましい。この場合、ガス流入ポート２２ＨＩＮをポンプ室センターのガス流出ポート２２ＨＯＵＴを中心とする同心円上に等間隔で配置する構成は、円弧貫通孔３７を有する中間ダイヤフラム３６を組み込んだダイヤフラムユニット３０とは別個に、適用することもできる。
【００３５】
以上、本発明の実施の形態を実施例にて説明したが、本発明は上記した実施例や変形例の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様にて実施することが可能である。例えば、円弧貫通孔３７を３等分割した円弧軌跡で形成したが、２等分割、４等分割した円弧軌跡とすることもできる。円弧溝３７Ａについても同様である。また、中間ダイヤフラム３６に対向する第１ダイヤフラム３２と中間ダイヤフラム３６の面に、円弧溝３７Ａや切欠溝３８Ａを形成し、中間ダイヤフラム３６を単なる板体とすることもできる。
【００３６】
また、ダイヤフラムユニット３０を構成するダイヤフラムについては４枚以上とすることができ、この場合には、第１ダイヤフラム３２と第２ダイヤフラム３４の間の中間ダイヤフラム３６や中間ダイヤフラム３６Ａ等の枚数を増やせばよい。
【００３７】
また、上記の実施例では、ダイヤフラムユニット３０を加圧室２１Ｃへの作動液の供給・排出で湾曲させる構成としたが、ダイヤフラムユニット３０にピストンを直接固定して、当該ピストンにてダイヤフラムユニット３０を湾曲させる構成に適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施例としてのダイヤフラム式圧縮機１０の全体構成を概略的に示す説明図である。
【図２】ダイヤフラム式圧縮機１０が有するダイヤフラムユニット３０の全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。
【図３】ダイヤフラムユニット３０に用いる第１変形例の中間ダイヤフラム３６Ａを斜視とその左右からの矢視にて示す説明図である。
【図４】第２変形例の中間ダイヤフラム３６Ｂを斜視とその左右からの矢視にて示す説明図である。
【図５】また別の変形例のダイヤフラムユニット３０Ａの全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。
【図６】他の変形例のダイヤフラムユニット３０Ｂの全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。
【図７】他の変形例のダイヤフラムユニット３０Ｃの全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。
【図８】また他の変形例のダイヤフラムユニット３０Ｄの全体像とそのパーツを斜視にて示す説明図である。
【図９】ダイヤフラムユニット３０の耐久性向上を図るための他の手法を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０、１０Ａ…ダイヤフラム式圧縮機
２０…圧縮機本体
２１…加圧室側本体パーツ
２１Ｃ…加圧室
２１Ｈ…作動液ポート
２２…ポンプ室側本体パーツ
２２ＨＩＮ…ガス流入ポート
２２ＨＯＵＴ…ガス流出ポート
２２Ｃ…ポンプ室
２４Ｂ…ボルト
２４Ｎ…ナット
２５…シール部材
２６…シール部材
２７…検知室
２８…センサ装着ポート
２９…圧力センサ
３０、３０Ａ〜３０Ｄ…ダイヤフラムユニット
３２…第１ダイヤフラム
３４…第２ダイヤフラム
３６、３６Ａ〜３６Ｆ…中間ダイヤフラム
３６Ｃ１…センターダイヤフラム
３６Ｃ２…端面ダイヤフラム
３７…円弧貫通孔
３７Ａ…円弧溝
３７Ｂ…放射状貫通孔
３８…切欠
３８Ａ…切欠溝
３９…中央側円弧貫通孔
４０…水素源
４１…流路開閉バルブ
４２…流入側逆止弁
４３…流出側逆止弁
４４…流路開閉バルブ
５０…水素タンク
６０…作動液圧送機
６２…シリンダ
６３…ピストン
６４…ピストン駆動機
７０…制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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