(57)【要約】【課題】ベーンの耐摩耗性の向上に加え、ベーンの加工容易性の低下防止を実現することができる回転式圧縮機を提供する。【解決手段】冷媒を圧縮する回転圧縮機構部を備えた回転式圧縮機において、回転圧縮機構部は、シリンダ室１０ｂを形成するシリンダ１１ｂと、シリンダ室１０ｂ内に回転可能に設けられたローラ１２ｂと、ローラ１２ｂの外周面に接して往復動可能にシリンダ１１ｂに設けられ、ローラ１２ｂと共にシリンダ室１０ｂ内を吸込室Ｈ１と圧縮室Ｈ２とに分離するベーン１３ｂとを具備しており、ベーン１３ｂにおけるローラ１２ｂ側の先端面Ｍ１及びシリンダ１１ｂと摺動する両側面のうちの一側面Ｍ２にアモルファス炭素層を含む被膜２４が形成されており、両側面のうちの他側面Ｍ３には被膜２４が形成されていない。【選択図】図３
2009235969.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒を圧縮する回転圧縮機構部を備えた回転式圧縮機において、
前記回転圧縮機構部は、
シリンダ室を形成するシリンダと、
前記シリンダ室内に回転可能に設けられたローラと、
前記ローラの外周面に接して往復動可能に前記シリンダに設けられ、前記ローラと共に前記シリンダ室内を吸込室と圧縮室とに分離するベーンと、
を具備しており、
前記ベーンにおける前記ローラ側の先端面及び前記シリンダと摺動する両側面のうちの一側面にアモルファス炭素層を含む被膜が形成されており、前記両側面のうちの他側面には前記被膜が形成されていないことを特徴とする回転式圧縮機。
【請求項２】
前記被膜は、前記一側面として前記ベーンの前記吸込室側の側面に形成されていることを特徴とする請求項１記載の回転式圧縮機。
【請求項３】
前記被膜は、互いの側面を対向させて重ね合わされた２枚の前記ベーンに対して前記被膜を積層する被膜形成処理を行うことにより、前記先端面及び前記一側面に形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の回転式圧縮機。
【請求項４】
前記ベーンは、工具鋼製の母材を具備しており、
前記被膜は、
前記母材の表面上に積層され、クロムの単一層からなる第１の層と、
前記第１の層上に積層され、クロムとタングステンカーバイトとの合金層からなる第２の層と、
前記第２の層上に積層され、タングステン及びタングステンカーバイトの少なくとも一方を含有した金属含有アモルファス炭素層からなる第３の層と、
前記第３の層上に積層され、金属を含有せず炭素と水素とを含むアモルファス炭素層からなる第４の層と、
を有しており、
前記第２の層は、クロム含有率が前記第３の層側より前記第１の層側で高く、かつ、タングステンカーバイトの含有率が前記第１の層側より前記第３の層側で高くなるように形成されており、
前記第３の層は、タングステン又はタングステンカーバイトの含有率が前記第４の層側より前記第２の層側が高くなるように形成されていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の回転式圧縮機。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一に記載の回転式圧縮機と、凝縮器と、膨張装置と、蒸発器とを備えることを特徴とする冷凍サイクル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転式圧縮機及び冷凍サイクル装置に関し、特に、冷媒を圧縮する回転圧縮機構部を備えた冷媒圧縮機及び冷凍サイクル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
冷凍サイクル装置は、室内を冷暖房する空気調和機、冷蔵庫、冷凍ショーケースなどの冷凍装置、さらには近年ではヒートポンプ式給湯器にも利用されている。これらの冷凍サイクル装置には、ＨＦＣ系冷媒、その他ＨＣ系、ＣＯ２等の自然冷媒を循環させる冷媒圧縮機（回転式圧縮機）が組み込まれている。
【０００３】
このような冷媒圧縮機の一例としては、下記特許文献１及び下記特許文献２に記載されたものが知られており、密閉ケース内に電動機部及びこの電動機部と回転軸を介して連結された圧縮機構部が収納されている。圧縮機構部にはシリンダが設けられ、シリンダ内に偏心ローラが配置され、シリンダのベーン溝に摺動部材であるベーンが組み込まれ、ベーンの先端部が偏心ローラの周面に弾性的に当接されている。電動機部が駆動されて偏心ローラが回転することにより、ベーンは偏心ローラ及びベーン溝に対して摺動する。このベーンに対しては、ミクロン単位の寸法公差が要求されており、研磨による仕上げ加工（例えば寸法加工等）が行われる。
【０００４】
通常、ベーンはその先端面がスプリングにより偏心ローラに押し付けられており、さらに、密閉ケース内の高圧とシリンダ室内との圧力差により偏心ローラに押し付けられているため摩耗しやすい。加えて、ベーンには、シリンダ室内の吸込室と圧縮室との圧力差により、圧縮室側から吸込室側に向かう力が加わり、ベーンの吸込室側に面する側面はシリンダのベーン溝と強く接触しながら摺動するため摩耗しやすい。
【０００５】
そこで、ベーンの表面には、各部との摺動による磨耗を抑制するため、アモルファス炭素層を含む被膜、あるいは、炭素もしくは炭素を主成分とする保護膜が形成されている。下記特許文献１に記載されたベーンには、アモルファス炭素層が単層又は２層形成され、２層の場合は、下層（ベーンの母材側）が水素含有アモルファス炭素層、上層が金属含有アモルファス炭素層とされている。一方、下記特許文献２に記載されたベーンの全側面には、炭素もしくは炭素を主成分とする保護膜が形成されている。
【特許文献１】特開２００７−３２３６０号公報
【特許文献２】特開平７−１１９６６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述のようにベーンの表面に被膜（保護膜）が施されると、ベーンの耐摩耗性の向上は図れるが、被膜処理後にベーンに対して仕上げ加工（例えば寸法加工等）を行うことが困難となるため、ベーンの加工容易性が低下してしまう。
【０００７】
本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、その目的は、ベーンの耐摩耗性の向上に加え、ベーンの加工容易性の低下防止を実現することができる回転式圧縮機及び冷凍サイクル装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、冷媒を圧縮する回転圧縮機構部を備えた回転式圧縮機において、回転圧縮機構部は、シリンダ室を形成するシリンダと、シリンダ室内に回転可能に設けられたローラと、ローラの外周面に接して往復動可能にシリンダに設けられ、ローラと共にシリンダ室内を吸込室と圧縮室とに分離するベーンとを具備しており、ベーンにおけるローラ側の先端面及びシリンダと摺動する両側面のうちの一側面にアモルファス炭素層を含む被膜が形成されており、両側面のうちの他側面には被膜が形成されていないことである。
【０００９】
本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、冷凍サイクル装置において、第１の特徴に係る回転式圧縮機と、凝縮器と、膨張装置と、蒸発器とを備えることである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ベーンの耐摩耗性の向上に加え、ベーンの加工容易性の低下防止を実現することができる回転式圧縮機及び冷凍サイクル装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。
【００１２】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る冷媒圧縮機を備える冷凍サイクル装置１を示す概略図である。
【００１３】
冷凍サイクル装置１は、密閉型回転式の冷媒圧縮機（回転式圧縮機）２と、凝縮器３と、膨張装置４と、蒸発器５とにより構成されている。また、この冷凍サイクル装置１は、冷媒として、ＨＦＣ冷媒、ＨＣ（炭化水素系）冷媒、または、二酸化炭素冷媒を用いている。冷媒圧縮機２は２シリンダ型であり、密閉ケース２ａを備えている。密閉ケース２ａ内には、電動機部６と回転圧縮機構部７とが収納され、電動機部６と回転圧縮機構部７とは偏心部８ａ、８ｂを有する回転軸８を介して連結されている。
【００１４】
電動機部６は、回転子６ａと固定子６ｂとからなり、インバータで駆動されるブラシレスＤＣ同期モータ、ＡＣモータ、若しくは商用電源で駆動されるモータでも良い。
【００１５】
密閉ケース２ａの底部には、回転圧縮機構部７を潤滑する冷凍機油９が貯留されている。冷凍機油９としては、ポリオールエステル油、エーテル系油、鉱物油、アルキルベンゼン油、ＰＡＧ油の単一油又は混合油が用いられている。
【００１６】
回転圧縮機構部７は、第１の圧縮機構部７ａと第２の圧縮機構部７ｂとからなり、各圧縮機構部７ａ、７ｂは、シリンダ室１０ａ、１０ｂを形成するシリンダ１１ａ、１１ｂを備えている。シリンダ室１０ａ、１０ｂ内には偏心回転(公転)するローラ１２ａ、１２ｂが設けられている。また、シリンダ１１ａ、１１ｂにはローラ１２ａ、１２ｂの外周面に接して往復動し、シリンダ室１０ａ、１０ｂ内を吸込室Ｈ１と圧縮室Ｈ２（図２及び図３参照）とに仕切る摺動部材であるベーン１３ａ、１３ｂ（図１にはベーン１３ｂのみを図示）が配設されている。
【００１７】
ここで、図２は、第２の圧縮機構部７ｂを構成するシリンダ１１ｂとローラ１２ｂとベーン１３ｂとを示す斜視図である。図３は、第２の圧縮機構部７ｂを構成するシリンダ１１ｂとローラ１２ｂとベーン１３ｂとを部分的に拡大して示す平面図である。なお、第１の圧縮機構部７ａは第２の圧縮機構部７ｂと同じ構成であり、この第１の圧縮機構部７ａはシリンダ１１ａとローラ１２ａとベーン１３ａ等により構成されている。
【００１８】
ベーン１３ａ、１３ｂはスプリング等の付勢部材Ｓによりローラ１２ａ、１２ｂの外周面に付勢されている（図３参照）。また、ベーン１３ａ、１３ｂは、密閉ケース２ａ内の高圧とシリンダ室１０ａ、１０ｂ内との圧力差によってもローラ１２ａ、１２ｂの外周面に押し付けられる。したがって、ローラ１２ａ、１２ｂの回転に応じて、ベーン１３ａ、１３ｂの先端面はローラ１２ａ、１２ｂの外周面と摺動し、その両側面はシリンダ１１ａ、１１ｂに形成された溝１４ａ、１４ｂ（図２及び図３に溝１４ｂのみを図示）の側面と摺動する。なお、シリンダ室１０ａ、１０ｂ内の吸込室Ｈ１には、吸込穴Ｋ１が連通しており、圧縮室Ｈ２には、吹出切欠きＫ２が形成されている（図３参照）。
【００１９】
第１の圧縮機構部７ａのシリンダ室１０ａは、蓋部材としての主軸受１５と仕切り板１６とで覆われている。第２の圧縮機構部７ｂのシリンダ室１０ｂは、蓋部材としての副軸受１７と仕切り板１６とで覆われている。主軸受１５と副軸受１７とには、それぞれ吐出孔１８ａ、１８ｂと吐出弁１９ａ、１９ｂとが設けられている。
【００２０】
密閉ケース２ａの上面部には圧縮冷媒ガスを吐出させる吐出管２０が接続され、密閉ケース２ａの側面下部側には、吸込み管２１及びアキュムレータ２２が接続されている。
【００２１】
図４は、ベーン１３ｂを示す断面図である。図５は、ベーン１３ｂの先端部の一部を拡大して示す断面図である。
【００２２】
ベーン１３ｂは、硬度ＨＲＣ６３に調質した高速度工具鋼（ＳＫＨ５１）を母材２３として形成されている。このベーン１３ｂにおけるローラ１２ｂ側の先端面Ｍ１及びシリンダ１１ｂと摺動する両側面Ｍ２、Ｍ３のうちの一側面Ｍ２に被膜２４が設けられており、両側面Ｍ２、Ｍ３のうちの他側面Ｍ３には被膜２４が設けられていない。その一側面Ｍ２は、ベーン１３ｂの吸込室Ｈ１側の側面である。すなわち、ベーン１３ｂは、被膜２４が積層された先端面Ｍ１をローラ１２ｂ側に向け、かつ、被膜２４が積層された一側面Ｍ２を吸込室Ｈ１側に向けてシリンダ１１ｂの溝１４ｂに組み込まれている（図３参照）。
【００２３】
被膜２４は、母材２３の表面（先端面Ｍ１及び一側面Ｍ２のみ）上に順番に、クロム（Ｃｒ）の単一層からなる第１の層２４ａと、クロムとタングステンカーバイト（ＷＣ）との合金層からなる第２の層２４ｂと、タングステン（Ｗ）を含有するアモルファス炭素層からなる第３の層２４ｃと、金属を含有せず炭素と水素とを含むアモルファス炭素層からなる第４の層２４ｄとが積層されて形成されている（図５参照）。なお、第３の層２４ｃは、タングステンに代えてタングステンカーバイトを含有するアモルファス炭素層としてもよく、又は、タングステンとタングステンカーバイトとの双方を含有するアモルファス炭素層としてもよい。
【００２４】
第２の層２４ｂは、クロムの含有率が第３の層２４ｃより第１の層２４ａ側で高く、かつ、タングステンカーバイトの含有率が第１の層２４ａ側より第３の層２４ｃ側で高くなるように形成されている。さらに、第３の層２４ｃは、タングステンの含有率が第４の層２４ｄ側より第２の層２４ｂ側が高くなるように形成されている。
【００２５】
各層２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄの厚さ寸法は、第１の層２４ａが０．２μｍ、第２の層２４ｂが０．３μｍ、第３の層２４ｃが１．２５μｍ、第４の層２４ｄが１．２５μｍであり、全体で３μｍとされている。各層２４ａ〜２４ｄからなる被膜２４の信頼性を考えると、被膜２４は２〜５μｍの厚さが好ましい。
【００２６】
また、被膜２４の表面硬度は、HV(0.025)2500とされている。被膜２４の表面硬度は、磨耗特性に影響するが、HV(0.025)2000未満では、アモルファス炭素層の高硬度材としての効果を発揮できない。一方、HV(0.025)4000より高硬度では、相手材の磨耗を引き起こす場合があり、よって、被膜２４の表面硬度はHV(0.025)2000〜4000が好ましい。
【００２７】
図６は、ベーン１３ｂに対する被膜形成処理を説明するための説明図である。
【００２８】
２枚の母材２３は互いの一側面Ｍ３を対向させて重ね合わされる。この状態の各母材２３に対して被膜２４を積層する被膜形成処理（各層２４ａ〜２４ｄを積層する被膜形成処理）が行われ、その後、２枚の母材２３は引き離される。これにより、被膜２４が先端面Ｍ１及び一側面Ｍ２に形成され、他側面Ｍ３には被膜２４が形成されていないベーン１３ｂが２つ同時に形成される。このように、２枚の母材２３が互いの一側面Ｍ３を対向させて重ね合わされることによって、それらの一側面Ｍ３は互いにマスキングされることになるので、ベーン１３ｂの先端面Ｍ１及び両側面Ｍ２、Ｍ３のうちの一側面Ｍ２だけに被膜２４を形成することができ、さらに、前述のベーン１３ｂを２つ同時に製造することができる。その結果、処理費用の低減を実現することができる。
【００２９】
以上説明したように、本実施の形態に係るベーン１３ａ、１３ｂによれば、ベーン１３ａ、１３ｂにおけるローラ１２ａ、１２ｂ側の先端面Ｍ１及びシリンダ１１ａ、１１ｂと摺動する両側面Ｍ２、Ｍ３のうちの一側面Ｍ２だけにアモルファス炭素層を含む被膜２４が形成されている。これにより、ローラ１２ａ、１２ｂの回転に伴うベーン１３ａ、１３ｂの先端面Ｍ１の摩耗及びベーン１３ａ、１３ｂの往復動に伴うベーン１３ａ、１３ｂの一側面Ｍ２の摩耗が抑止される。加えて、シリンダ１１ａ、１１ｂと摺動する両側面Ｍ２、Ｍ３のうちの他側面Ｍ３には、被膜２４が形成されていないので、その他側面Ｍ３側からベーン１３ａ、１３ｂの加工（例えば寸法加工等の仕上げ加工）を容易に行うことが可能である。このようにしてベーン１３ａ、１３ｂの耐摩耗性を向上させながら、ベーン１３ａ、１３ｂの加工容易性の低下を防止することができる。
【００３０】
特に、ベーン１３ａ、１３ｂには、シリンダ室１０ａ、１０ｂ内の吸込室Ｈ１と圧縮室Ｈ２との圧力差により、圧縮室Ｈ２側から吸込室Ｈ１側に向かう力Ｆ（図３参照）が加わり、ベーン１３ａ、１３ｂの吸込室Ｈ１側に面する側面Ｍ２はシリンダ１１ａ、１１ｂの溝１４ａ、１４ｂと強く接触しながら摺動するため摩耗しやすいが、硬質な被膜２４がベーン１３ａ、１３ｂの吸込室Ｈ１側の一側面Ｍ２に形成されていることから、圧縮差圧に起因するベーン１３ａ、１３ｂの摩耗を確実に低減することが可能になるので、製品の長期信頼性の確保を実現することができる。
【００３１】
また、被膜２４は、高速度工具鋼からなるベーン１３ｂの母材２３の表面上に、第１の層２４ａと第２の層２４ｂと第３の層２４ｃと第４の層２４ｄとを順に形成して構成されており、第１の層２４ａがクロムの単一層であり、第２の層２４ｂがクロムとタングステンカーバイトの合金層であり、第３の層２４ｃがタングステン及びタングステンカーバイトの少なくとも一方を含有した金属含有アモルファス炭素層であり、第４の層２４ｄが金属を含有せず炭素と水素とを含むアモルファス炭素層である。さらに、第２の層２４ｂは、クロム含有率が第３の層２４ｃ側より第１の層２４ａ側で高く、かつ、タングステンカーバイトの含有率が第１の層２４ａ側より第３の層２４ｃ側で高くなるように形成されており、第３の層２４ｃは、タングステン又はタングステンカーバイトの含有率が第４の層２４ｄ側より第２の層２４ｂ側が高くなるように形成されている。
【００３２】
このため、第１の層２４ａは母材２３と密着力に優れたクロム層となり、かつ、第１の層２４ａと第２の層２４ｂとの間、第２の層２４ｂと第３の層２４ｃとの間、及び、第３の層２４ｃと第４の層２４ｄとの間の硬度差が小さくなる。これにより、これらの各層２４ａ〜２４ｄ間の密着性が向上し、ベーン１３ｂからの第４の層（アモルファス炭素層）２４ｄ、及び、第４の層２４ｄを含む被膜２４の剥離の発生を抑制することができる。
【００３３】
通常、ベーンの母材の表面に窒化層を形成し、さらに、その上に中間層とアモルファス炭素層とを形成しているが、それらの窒化層、中間層及びアモルファス炭素層の形成は、それぞれ異なる処理であるため、連続処理するためにはそれに対応した処理炉や処理プログラムが必要であり、製造上の制約があり、コスト高となっている。また、窒化層は、表面に窒素化合物層が存在していると密着力の大幅な低下を招くため、窒化層の表面は拡散層のみとしている。窒化層の表面を拡散層のみとする方法は、窒素化合物層を除去する方法と、窒化処理で窒素化合物層を生成させない方法とがある。窒素化合物を除去する場合は、部品精度の維持が困難であり、加工ロスなどにより歩留まりが低下する原因となる。一方、窒化処理で窒素化合物層を生成させない場合は、窒化によりベーンの母材の表面粗さが悪化するため、アモルファス炭素層の表面粗さも悪化してしまう。
【００３４】
ところが、本実施の形態に係るベーン１３ａ、１３ｂによれば、前述のように窒化層をベーン１３ａ、１３ｂの母材２３に形成する必要がなく、第１の層２４ａ〜第４の層２４ｄの形成と異なる処理である窒化層を形成する工程がないため、安価な構造とすることができる。したがって、ベーン１３ａ、１３ｂにアモルファス炭素層を形成する場合、そのアモルファス炭素層の剥離抑制を安価な構造により行うことができる。加えて、ベーン１３ｂの母材２３に対する窒化処理を行わないため、窒化処理に伴って母材２３の表面粗さが粗くなるということが起こらず、第４の層２４ｄの表面粗さを滑らかにすることができる。
【００３５】
なお、本実施の形態では、ベーン１３ａ、１３ｂの母材２３として高速度工具鋼（ＳＫＨ５１）を使用した場合を例に挙げて説明したが、高速道工具鋼に代えて炭素工具鋼や合金工具鋼を使用してもよい。また、ベーン１３ａ、１３ｂの上下端面（ベーン１３ａ、１３ｂの往復動方向と平行な両端面）及び付勢部材Ｓ側の端面にも被膜２４を形成してもよい。
【００３６】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態に係る冷媒圧縮機の摺動部材であるベーン３０について図７及び図８に基づいて説明する。なお、冷媒圧縮機の基本的な構成は図１に示した第１の実施の形態の冷媒圧縮機２と同じであり、冷媒圧縮機の構成については説明を省略する。
【００３７】
第２の実施の形態のベーン３０は、硬度ＨＲＣ６３に調質した高速度工具鋼（ＳＫＨ５１）を母材２３として形成されている。母材２３の全表面には、白層が生成しない窒化処理により拡散層２５が例えば５０μｍの厚さで形成されている。このベーン３０におけるローラ１２ｂ側の先端面Ｍ１及びシリンダ１１ｂと摺動する両側面Ｍ２、Ｍ３のうちの一側面Ｍ２に被膜２４が設けられており、他側面Ｍ３には被膜２４が設けられていない。その一側面Ｍ２は、ベーン１３ｂの吸込室Ｈ１側の側面である。
【００３８】
被膜２４は、母材２３の拡散層２５上に順番に、クロム（Ｃｒ）の単一層からなる第１の層２４ａと、クロムとタングステンカーバイト（ＷＣ）との合金層からなる第２の層２４ｂと、タングステン（Ｗ）を含有するアモルファス炭素層からなる第３の層２４ｃと、金属を含有せず炭素と水素とを含むアモルファス炭素層からなる第４の層２４ｄとが積層されて形成されている（図８参照）。なお、第３の層２４ｃは、タングステンに代えてタングステンカーバイトを含有するアモルファス炭素層としてもよく、又は、タングステンとタングステンカーバイトとの双方を含有するアモルファス炭素層としてもよい。
【００３９】
第２の層２４ｂは、クロムの含有率が第３の層２４ｃより第１の層２４ａ側で高く、かつ、タングステンカーバイトの含有率が第１の層２４ａ側より第３の層２４ｃ側で高くなるように形成されている。さらに、第３の層２４ｃは、タングステンの含有率が第４の層２４ｄ側より第２の層２４ｂ側が高くなるように形成されている。
【００４０】
各層２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄの厚さ寸法は、第１の層２４ａが０．２μｍ、第２の層２４ｂが０．３μｍ、第３の層２４ｃが１．２５μｍ、第４の層２４ｄが１．２５μｍであり、全体で３μｍとされている。各層２４ａ〜２４ｄからなる被膜２４の信頼性を考えると、被膜２４は２〜５μｍの厚さが好ましい。
【００４１】
また、被膜２４の表面硬度は、HV(0.025)2500とされている。被膜２４の表面硬度は、磨耗特性に影響するが、HV(0.025)2000未満では、アモルファス炭素層の高硬度材としての効果を発揮できない。一方、HV(0.025)4000より高硬度では、相手材の磨耗を引き起こす場合があり、よって、被膜２４の表面硬度はHV(0.025)2000〜4000が好ましい。
【００４２】
このような構成において、本実施の形態に係るベーン３０によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができ、さらに、第１の実施の形態における被膜２４が形成されていない他側面Ｍ３に拡散層２５を形成することによって、シリンダ１１ａ、１１ｂの溝１４ａ、１４ｂの側面に対して摺動するベーン１３ａ、１３ｂの摩耗を低減することが可能になるので、製品の長期信頼性の確保を実現することができる。加えて、拡散層２５を白層のない拡散層とすることによって、相手部品であるシリンダ１１ａ、１１ｂに対する攻撃性が少なくなり、かつ、アモルファス炭素層を含む被膜２４との密着力も良好となるので剥離を防止することができる。
【００４３】
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態に係る冷媒圧縮機の摺動部材であるベーン４０について図９に基づいて説明する。なお、冷媒圧縮機の基本的な構成は図１に示した第１の実施の形態の冷媒圧縮機２と同じであり、冷媒圧縮機の構成については説明を省略し、第１の実施の形態と異なる部分について説明する。
【００４４】
第３の実施の形態のベーン４０では、ベーン４０の先端面Ｍ１上の被膜２４は、圧縮室Ｈ２側の他側面Ｍ３に向かって膜厚が徐々に薄くなるように形成されている。すなわち、先端面Ｍ１上の被膜２４はベーン４０の角部の稜線に向かってテーパ形状となるように形成されている。したがって、ベーン４０の先端面Ｍ１上の被膜２４は、他側面Ｍ３に向かって膜厚が薄くなる方向に徐々に傾斜する傾斜面Ｍａを有している。
【００４５】
このような構成において、本実施の形態に係るベーン４０によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができ、さらに、ベーン４０の先端面Ｍ１に、圧縮室Ｈ２側の他側面Ｍ３に向かって膜厚が徐々に薄くなるように被膜２４を形成することによって、他側面Ｍ３側からベーン１３ａ、１３ｂの仕上げ加工（例えば寸法加工等）を行う場合、図９に示すように、硬質な被膜２４に対する加工を極力少なくすることが可能になるので、加工による被膜２４の剥離や損傷を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る冷媒圧縮機を備える冷凍サイクル装置を示す概略図である。
【図２】冷媒圧縮機の一部を構成するシリンダとローラとベーンとを示す斜視図である。
【図３】冷媒圧縮機の一部を構成するシリンダとローラとベーンとを部分的に拡大して示す平面図である。
【図４】ベーンを示す断面図である。
【図５】図４に示すベーンの先端部の一部を拡大して示す断面図である。
【図６】ベーンに対する被膜形成処理を説明するための説明図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態におけるベーンを示す断面図である。
【図８】図７に示すベーンの先端部の一部を拡大して示す断面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態におけるベーンの先端部を拡大して示す断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１…冷凍サイクル装置、２…回転式圧縮機、３…凝縮器、４…膨張装置、５…蒸発器、７…回転圧縮機構部（圧縮機構部）、１０ａ…シリンダ室、１０ｂ…シリンダ室、１１ａ…シリンダ、１１ｂ…シリンダ、１２ａ…ローラ、１２ｂ…ローラ、１３ａ…ベーン、１３ｂ…ベーン、２４…被膜、２４ａ…第１の層、２４ｂ…第２の層、２４ｃ…第３の層、２４ｄ…第４の層、Ｈ１…吸込室、Ｈ２…圧縮室、Ｍ１…先端面、Ｍ２…一側面、Ｍ３…他側面
【図１】
2009235969.tif 000003
【図２】
2009235969.tif 000004
【図３】
2009235969.tif 000005
【図４】
2009235969.tif 000006
【図５】
2009235969.tif 000007
【図６】
2009235969.tif 000008
【図７】
2009235969.tif 000009
【図８】
2009235969.tif 000010
【図９】
2009235969.tif 000011