(57)【要約】【課題】ショートギャップ放電で初期放電を誘導して放電開始電圧の上昇を防止し、放電開始後にはショートギャップ放電を抑制してロングギャップ放電でフル放電を誘導して発光効率を向上させることのできるプラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】本発明のプラズマディスプレイパネルは、第１放電ギャップＧ１を形成する維持電極３１及び走査電極３２と、誘電層２１を覆って形成される保護膜１２３とを含み、この保護膜１２３は、第１放電ギャップＧ１の外郭遠方側に対応して形成され、第１二次電子放出係数を有する第１二次電子放出係数部１２３ａと、第１放電ギャップＧ１の外郭近傍側に対応して形成され、第１二次電子放出係数よりも小さい第２二次電子放出係数を有する第２二次電子放出係数部１２３ｂとを含むことを特徴とする。【選択図】図２
2009110921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して離隔配置される第１基板及び第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間に配置されて放電セルを区画する隔壁と、
前記放電セル内に形成される蛍光体層と、
前記第１基板の第１方向に沿って長く形成され、前記第１方向に交差する第２方向に並んで配置されるアドレス電極と、
前記第２基板の前記第２方向に沿って長く形成され、前記第１方向に並んで配置されて第１放電ギャップを形成する第１電極及び第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極とを覆い、前記第２基板に形成される誘電層と、
前記誘電層を覆って形成される保護膜とを含み、
前記保護膜は、
前記第１電極と前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭遠方側に対応して形成され、第１二次電子放出係数を有する第１二次電子放出係数部と、
前記第１放電ギャップの少なくとも一方の側で、前記第１電極と前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側の少なくとも一部に対応して形成され、前記第１二次電子放出係数よりも小さい第２二次電子放出係数を有する第２二次電子放出係数部と
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１放電ギャップの外郭両側で前記第１電極の一部と前記第２電極の一部に対応して形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記第１二次電子放出係数部は前記誘電層上に形成され、前記第２二次電子放出係数部は前記第１二次電子放出係数部上に形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記第１二次電子放出係数部はＭｇＯ保護膜で形成され、前記第２二次電子放出係数部は放電不活性化フィルムで形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記放電不活性化フィルムはＡｌ２Ｏ３及びＴｉＯ２のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１方向の両端が前記第１放電ギャップより大きい第２放電ギャップを前記第１電極と前記第２電極との間に形成することを特徴とする請求項３乃至請求項５のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１電極の一部と前記第２電極の一部に対応して一体に形成されることを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第２放電ギャップと同一な第１幅を有して前記第２方向に沿って長く形成され、前記放電セルの前記第１方向の単位長さだけ前記第１方向に離隔して配置されることを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記第１電極と前記第２電極は、前記第２二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭近傍側でショートギャップ放電部を形成し、
前記第２二次電子放出係数部の外側であり、前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭遠方側でロングギャップ放電部を形成することを特徴とする請求項７または請求項８に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１電極の一部と前記第２電極の一部に対応して分離して複数形成されていることを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記第２二次電子放出係数部は、
前記第１電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側に対応する第１電極側第２二次電子放出係数部と、
前記第１電極側第２二次電子放出係数部と前記第１放電ギャップを介して離隔され、前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側に対応する第２電極側第２二次電子放出係数部と
を含むことを特徴とする請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
前記第１電極側第２二次電子放出係数部と前記第２電極側第２二次電子放出係数部との離隔距離は、前記第１放電ギャップより大きく形成されていることを特徴とする請求項１１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１３】
前記離隔距離は、前記放電セルの中心から前記第１電極側第２二次電子放出係数部に達する第１距離と、前記第１距離と同じであり、前記放電セルの中心から前記第２電極側第２二次電子放出係数部に達する第２距離とを合計したものと同じであることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１４】
前記第１電極側第２二次電子放出係数部は第２幅を有して前記第２方向に沿って長く形成され、前記第２電極側第２二次電子放出係数部は前記第２幅を有して前記第２方向に沿って長く形成されていることを特徴とする請求項１１乃至請求項１３のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１５】
前記第１電極と前記第２電極は、
前記第２二次電子放出係数部の内側にある前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭近傍側でショートギャップ放電部を形成し、
前記第２二次電子放出係数部の外側にある前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭遠方側でロングギャップ放電部を形成することを特徴とする請求項１２乃至請求項１４のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１６】
前記第２二次電子放出係数部は第３幅を有して前記第２方向に沿って形成され、前記第２放電ギャップと同じ第１幅の範囲内に前記第１方向に所定の間隔で並んで複数形成された群であることを特徴とする請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１７】
前記第１電極と前記第２電極は、
前記第２二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭近傍側でショートギャップ放電部を形成し、
前記第２二次電子放出係数部の外側であり、前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭遠方側でロングギャップ放電部を形成することを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１８】
前記第１二次電子放出係数部は少なくとも前記第１電極と前記第２電極に対応した前記誘電層上に形成され、
前記第２二次電子放出係数部は前記第１二次電子放出係数部の間の前記誘電層上に形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１９】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１方向両端で前記第１放電ギャップより大きい第２放電ギャップを前記第１電極と前記第２電極との間に形成することを特徴とする請求項１８に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２０】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側と前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側に対応して一体に形成されることを特徴とする請求項１８または請求項１９に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２１】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第２放電ギャップと同じ第１幅を有して前記第２方向に沿って長く形成されることを特徴とする請求項２０に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２２】
前記第１電極と前記第２電極は、
前記第２二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭近傍側でショートギャップ放電部を形成し、
前記第２二次電子放出係数部の外側であり、前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭遠方側でロングギャップ放電部を形成することを特徴とする請求項２０または請求項２１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２３】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側と、前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側とに対応して分離して複数形成されていることを特徴とする請求項１８または請求項１９に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２４】
前記第２二次電子放出係数部は、
前記第１電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側に対応した第１電極側第２二次電子放出係数部と、
前記第１電極側第２二次電子放出係数部と前記第１放電ギャップを介して離隔され、前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側に対応した第２電極側第２二次電子放出係数部と
を含むことを特徴とする請求項２３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２５】
前記第１電極側第２二次電子放出係数部と前記第２電極側第２二次電子放出係数部との離隔距離は、前記第１放電ギャップより大きく形成されていることを特徴とする請求項２４に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２６】
前記離隔距離は、前記放電セルの中心から前記第１電極側第２二次電子放出係数部に達する第１距離と、前記第１距離と同じであり、前記放電セルの中心から前記第２電極側第２二次電子放出係数部に達する第２距離とを合計したものと同じであることを特徴とする請求項２５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２７】
前記第１電極側第２二次電子放出係数部は第２幅を有して前記第２方向に沿って長く形成され、前記第２電極側第２二次電子放出係数部は前記第２幅を有して前記第２方向に沿って長く形成されていることを特徴とする請求項２４乃至請求項２６のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２８】
前記第１電極と前記第２電極は、
前記第２二次電子放出係数部の内側にある前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭近傍側でショートギャップ放電部を形成し、
前記第２二次電子放出係数部の外側にある前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭遠方側でロングギャップ放電部を形成することを特徴とする請求項２５乃至請求項２７のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２９】
前記第２二次電子放出係数部は第３幅を有して前記第２方向に沿って形成され、前記第２放電ギャップと同一な第１幅の範囲内に前記第１方向に所定の間隔で並んで複数形成された群であることを特徴とする請求項２３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３０】
前記第１電極と前記第２電極は、
前記第２二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭近傍側でショートギャップ放電部を形成し、
前記第２二次電子放出係数部の外側であり、前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭遠方側でロングギャップ放電部を形成することを特徴とする請求項２９に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイパネルに係り、より詳しくはショートギャップ放電で初期放電を誘導して放電開始電圧の上昇を防止し、放電開始後にはショートギャップ放電を抑制してロングギャップ放電でフル放電を誘導して放電効率を向上させるプラズマディスプレイパネルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般にプラズマディスプレイパネルは気体放電を通して得たプラズマから放射される真空紫外線を用いて蛍光体を励起させ、これによって発生した赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の可視光によって映像を実現するディスプレイ素子である。
【０００３】
例えば、交流型プラズマディスプレイパネルは背面基板上にアドレス電極を形成し、このアドレス電極を誘電層で覆っている。隔壁は、誘電層上の各アドレス電極の間に配置されて帯状に形成され、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の蛍光体層は隔壁の内表面に形成されている。
【０００４】
この背面基板に対向する前面基板には、アドレス電極と交差する方向に沿って一対の維持電極と走査電極とで構成された表示電極が形成され、誘電層とＭｇＯ保護膜が表示電極を覆っている。そして、背面基板上のアドレス電極と前面基板上の表示電極対が交差する地点に放電セルが形成される。従って、プラズマディスプレイパネルの内部には数百万個以上の単位放電セルがマトリックス形態に配列されている。
【０００５】
このようなプラズマディスプレイパネルにおいて、維持電極と走査電極を覆う誘電層上に形成されたＭｇＯ保護膜は、放電時に放電セル内に形成されたイオン、電子及び中性子と衝突しながら、二次電子を放出する。このＭｇＯ保護膜は前面基板の面積全体にわたって、一定の二次電子放出係数を有する。
【０００６】
プラズマディスプレイパネルを駆動する場合において、二次電子放出係数が大きいと、放電開始電圧が低くなる長所がある。しかしながら、ＭｇＯ保護膜が維持電極と走査電極との間の全体で同一の高い二次電子放出係数を有すると、維持放電時においてショートギャップ放電とロングギャップ放電が共存することになる。従って、ショートギャップ放電とロングギャップ放電が共存する場合にはロングギャップ放電だけで維持放電を実現する場合と比べて、ショートギャップ放電の分だけ低い発光効率を有することになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、ショートギャップ放電で初期放電を誘導して放電開始電圧の上昇を防止し、放電開始後にはショートギャップ放電を抑制してロングギャップ放電でフル放電を誘導して発光効率を向上させることのできるプラズマディスプレイパネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、互いに対向して離隔配置される第１基板及び第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に配置されて放電セルを区画する隔壁と、前記放電セル内に形成される蛍光体層と、前記第１基板の第１方向に沿って長く形成され、前記第１方向に交差する第２方向に並んで配置されるアドレス電極と、前記第２基板の前記第２方向に沿って長く形成され、前記第１方向に並んで配置されて第１放電ギャップを形成する第１電極及び第２電極と、前記第１電極と前記第２電極とを覆い、前記第２基板に形成される誘電層と、前記誘電層を覆って形成される保護膜とを含み、前記保護膜は、前記第１電極と前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭遠方側に対応して形成され、第１二次電子放出係数を有する第１二次電子放出係数部と、前記第１放電ギャップの少なくとも一方の側で、前記第１電極と前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側の少なくとも一部に対応して形成され、前記第１二次電子放出係数よりも小さい第２二次電子放出係数を有する第２二次電子放出係数部とを含むことを特徴とする。
【０００９】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１放電ギャップの外郭両側で前記第１電極の一部と前記第２電極の一部に対応して形成することができる。
【００１０】
前記第１二次電子放出係数部は前記誘電層上に形成され、前記第２二次電子放出係数部は前記第１二次電子放出係数部上に形成することができる。
【００１１】
前記第１二次電子放出係数部はＭｇＯ保護膜で形成され、前記第２二次電子放出係数部は放電不活性化フィルムで形成できる。前記放電不活性化フィルムはＡｌ２Ｏ３及びＴｉＯ２のうちの少なくとも一つを含むことが可能である。
【００１２】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１方向の両端が前記第１放電ギャップより大きい第２放電ギャップを前記第１電極と前記第２電極との間に形成することができる。
【００１３】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１電極の一部と前記第２電極の一部に対応して一体に形成することができる。
【００１４】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第２放電ギャップと同一な第１幅を有して前記第２方向に沿って長く形成され、前記放電セルの前記第１方向の単位長さだけ前記第１方向に離隔して配置できる。
【００１５】
前記第１電極と前記第２電極は、前記第２二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭近傍側でショートギャップ放電部を形成し、前記第２二次電子放出係数部の外側であり、前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭遠方側でロングギャップ放電部を形成することができる。
【００１６】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１電極の一部と前記第２電極の一部に対応して分離して複数形成することができる。
【００１７】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側に対応する第１電極側第２二次電子放出係数部と、前記第１電極側第２二次電子放出係数部と前記第１放電ギャップを介して離隔され、前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側に対応する第２電極側第２二次電子放出係数部とを含むことができる。
【００１８】
前記第１電極側第２二次電子放出係数部と前記第２電極側第２二次電子放出係数部との離隔距離は、前記第１放電ギャップより大きく形成できる。
【００１９】
前記離隔距離は、前記放電セルの中心から前記第１電極側第２二次電子放出係数部に達する第１距離と、前記第１距離と同じであり、前記放電セルの中心から前記第２電極側第２二次電子放出係数部に達する第２距離とを合計したものと同じであることができる。
【００２０】
前記第１電極側第２二次電子放出係数部は第２幅を有して前記第２方向に沿って長く形成され、前記第２電極側第２二次電子放出係数部は前記第２幅を有して前記第２方向に沿って長く形成できる。
【００２１】
前記第１電極と前記第２電極は、前記第２二次電子放出係数部の内側にある前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭近傍側でショートギャップ放電部を形成し、前記第２二次電子放出係数部の外側にある前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭遠方側でロングギャップ放電部を形成することができる。
【００２２】
前記第２二次電子放出係数部は第３幅を有して前記第２方向に沿って形成され、前記第２放電ギャップと同じ第１幅の範囲内に前記第１方向に所定の間隔で並んで複数形成された群であることが可能である。
【００２３】
前記第１電極と前記第２電極は、前記第２二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭近傍側でショートギャップ放電部を形成し、前記第２二次電子放出係数部の外側であり、前記第１二次電子放出係数部に対応した前記第１放電ギャップの外郭遠方側でロングギャップ放電部を形成することができる。
【００２４】
前記第１二次電子放出係数部は少なくとも前記第１電極と前記第２電極に対応する前記誘電層上に形成され、前記第２二次電子放出係数部は前記第１二次電子放出係数部の間の前記誘電層上に形成することができる。
【００２５】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第２放電ギャップと同じ第１幅を有して前記第２方向に沿って長く形成できる。
【００２６】
前記第２二次電子放出係数部は、前記第１電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側と、前記第２電極の前記第１放電ギャップの外郭近傍側とに対応して分離して複数形成することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明のプラズマディスプレイパネルによれば、初期放電はショートギャップ放電で誘導して放電開始電圧の上昇を防止し、放電開始後のフル放電はロングギャップ放電で誘導することができる。従って、フル放電時にはショートギャップ放電を抑制してロングギャップ放電を誘導するので、発光効率を向上させる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、添付した図面を参照して、本発明の好ましい実施形態について当業者が容易に実施できるように詳細に説明する。しかしながら、本発明は多様に異なる形態で実現できるので、ここで説明する実施形態に限定されるものではない。図面では、本発明を明確に説明するために説明と関係ない部分は省略し、明細書全体を通じて同一又は類似した構成要素については同一な図面符号で示すものとする。
【００２９】
（第１実施例）
図１は本発明の第１実施例に係るプラズマディスプレイパネルを分解して、概略的に示した斜視図であり、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿って切断した断面図である。
【００３０】
これらの図面を参照すると、一実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、予め設定された間隔をおいて互いに対向して配置され、封着された第１基板（以下、“背面基板”という）１０及び第２基板（以下、“前面基板”という）２０と、これらの基板１０、２０の間に配置された隔壁１６とを含んでいる。この隔壁１６は背面基板１０と前面基板２０との間に所定の高さで形成されて多数の放電セル１７を区画している。この放電セル１７は、気体放電で真空紫外線を発生させることができるように放電ガス（例えば、ネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）を含む混合ガス）が充填されており、この真空紫外線を吸収して、可視光を放出する蛍光体層１９を備えている。
【００３１】
このようなプラズマディスプレイパネルでは、気体放電によって画像を実現するために、背面基板１０と前面基板２０との間に各放電セル１７に対応するようにアドレス電極１１と、第１電極（以下、“維持電極”という）３１と、第２電極（以下、“走査電極”という）３２とを備えている。
【００３２】
例えば、アドレス電極１１は背面基板１０の内側表面に第１方向（図面のｙ軸方向）に沿って伸長形成され、ｙ軸方向に隣接した放電セル１７に連続して対応している。また、多数のアドレス電極１１が、ｙ軸方向と交差する第２方向（図面のｘ軸方向）に沿って隣接した放電セル１７に対応するように並んで配置されている。
【００３３】
このアドレス電極１１は、背面基板１０の内側表面を覆うように形成された誘電層１３によって覆われている。この誘電層１３は、放電時に陽イオン又は電子がアドレス電極１１に直接衝突することを防止してアドレス電極１１の損傷を防止し、また壁電荷を形成して蓄積している。このアドレス電極１１は、背面基板１０に配置されており、可視光が前方に照射されることを邪魔しないので、不透明な電極で形成することができる。つまり、アドレス電極１１は優れた通電性を有する金属電極で形成することができる。
【００３４】
次に、隔壁１６は、誘電層１３上に形成されて放電セル１７を区画している。この隔壁１６は、ｙ軸方向に伸張形成された第１隔壁部材（１６ａ）と、ｘ軸方向に伸張形成された第２隔壁部材（１６ｂ）とを含んでおり、放電セル１７をマトリックス構造に形成している。
【００３５】
また、隔壁１６は、ｙ軸方向に伸張形成された第１隔壁部材１６ａだけで形成され、放電セルを帯状構造に形成することも可能である（図示せず）。つまり、この場合、放電セルはｙ軸方向に沿って開放された構造で形成されることになる。
【００３６】
この実施形態では、放電セル１７をマトリックス構造に形成する隔壁１６を例示しており、この状態で第２隔壁部材（１６ｂ）を除去すると、第１隔壁部材（１６ａ）によって、帯状構造の放電セルが形成される。従って、帯状構造の放電セルについては別途図示することを省略する。
【００３７】
放電セル１７のそれぞれに形成された蛍光体層１９は、例えば隔壁１６の側面と、隔壁１６の間に位置する誘電層１３の表面上に蛍光体ペーストを塗布し、これを乾燥及び焼成することによって形成される。
【００３８】
この蛍光体層１９は、ｙ軸方向に沿って形成された放電セル１７に同一色の可視光を発生する蛍光体が形成される。また、蛍光体層１９は、ｘ軸方向に沿って反復的に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の可視光を発生させる蛍光体が放電セル１７に形成されている。
【００３９】
一方、図２及び図３を参照すると、維持電極３１と走査電極３２は、前面基板２０の内側表面に配置され、放電セル１７で気体放電が起こるように各放電セル１７に対応して面放電構造に形成されている。この維持電極３１と走査電極３２は、アドレス電極１１と交差するｘ軸方向に沿って伸張形成されている。
【００４０】
これらの維持電極３１と走査電極３２のそれぞれは、放電を起こす透明電極（３１ａ、３２ａ）と、この透明電極（３１ａ、３２ａ）に電圧信号を印加するバス電極（３１ｂ、３２ｂ）とを含んで形成されている。この透明電極（３１ａ、３２ａ）は、放電セル１７の内部で面放電を起こす部分であって、放電セル１７の開口率確保のために透明な素材（例えば、酸化インジウム錫（ＩＴＯ））で形成されている。バス電極（３１ｂ、３２ｂ）は透明電極（３１ａ、３２ａ）の高い電気抵抗を補償するように通電性に優れた金属素材で形成されている。
【００４１】
透明電極（３１ａ、３２ａ）は、ｙ軸方向に沿って放電セル１７の外郭から中心に向かって幅（Ｗ３１、Ｗ３２）をそれぞれ有しており、互いに面放電構造を形成し、放電セル１７の中心部分で第１放電ギャップ（Ｇ１）を形成する。一方、バス電極（３１ｂ、３２ｂ）は、透明電極（３１ａ、３２ａ）上にそれぞれ配置され、放電セル１７の外郭でｘ軸方向に伸張形成されている。従って、バス電極（３１ｂ、３２ｂ）に電圧信号を印加すると、各バス電極（３１ｂ、３２ｂ）に連結された透明電極（３１ａ、３２ａ）のそれぞれに電圧信号が印加される。
【００４２】
また、透明電極をｘ軸方向に沿って一つに連結して、各放電セルで放電を起こすことができるようにすることも可能である（図示せず）。
【００４３】
再び図１及び図２を参照すると、維持電極３１及び走査電極３２は、アドレス電極１１と互いに対向して交差した状態で、放電セル１７に対応するように形成され、誘電層２１で覆われている。この誘電層２１は、維持電極３１及び走査電極３２を気体放電から保護するとともに、放電時には壁電荷を形成して蓄積する。
【００４４】
また、誘電層２１は保護膜１２３で覆われている。例えば、保護膜１２３は誘電層２１を保護し、二次電子放出係数によって放電時における二次電子の放出量を増加させている。
【００４５】
例えば、プラズマディスプレイパネルの駆動時において、リセット期間では走査電極３２に印加されるリセットパルスによりリセット放電が起こる。このリセット期間に続くアドレッシング期間では走査電極３２に印加されるスキャンパルスとアドレス電極１１に印加されるアドレスパルスとによって、アドレス放電が起こる。その後の維持期間では維持電極３１と走査電極３２に印加される維持パルスによって維持放電が起こる。
【００４６】
ここで、維持電極３１と走査電極３２は維持放電に必要な維持パルスを印加する電極の役割を果たしている。また、走査電極３２はリセットパルス及びスキャンパルスを印加する電極の役割も果たしている。一方、アドレス電極１１はアドレスパルスを印加する電極の役割を果たしている。このような維持電極３１、走査電極３２及びアドレス電極１１は、それぞれに印加される電圧波形によって、その役割が異なるようにできるが、必ずこの役割に限定されるわけではない。
【００４７】
プラズマディスプレイパネルは、アドレス電極１１と走査電極３２との相互作用であるアドレス放電によって点灯する放電セル１７を選択し、維持電極３１と走査電極３２との相互作用である維持放電によって、前記選択された放電セル１７を駆動して画像を実現している。
【００４８】
一方、本実施形態のプラズマディスプレイパネルはショートギャップ放電で初期放電を誘導して放電開始電圧の上昇を防止するとともに、放電開始後のショートギャップ放電を抑制してロングギャップ放電でフル放電を誘導して発光効率を向上させることができるような構成を含んでいる。
【００４９】
例えば、保護膜１２３は２種類の二次電子放出係数を有している。つまり、保護膜１２３は、維持電極３１と走査電極３２における第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭遠方側１３１、１３２に対応した部分で高い二次電子放出係数を有する部分を含んでいる。また、保護膜１２３は、維持電極３１と走査電極３２に対応する部分のうち、第１放電ギャップ（Ｇ１）の片側又は両側であり、第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭近傍側２３１、２３２に対応した部分で相対的に低い二次電子放出係数を有する部分を含んでいる。
【００５０】
具体的に説明すると、保護膜１２３は、第１二次電子放出係数部（１２３ａ）と、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）を含んでいる。ただし、第２二次電子放出係数は第１二次電子放出係数よりも小さい。
【００５１】
ここで、維持電極３１と走査電極３２において、前記外郭近傍側２３１、２３２は一つの放電セル１７内で、第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭に隣接してｘ軸方向に沿った部分を意味しており、外郭遠方側１３１、１３２は第１放電ギャップ（Ｇ１）から遠くて隔壁１６に近い部分を意味する。この外郭近傍側２３１、２３２と外郭遠方側１３１、１３２はｙ軸方向の相対的な位置を意味する。この外郭近傍側２３１、２３２と外郭遠方側１３１、１３２との境界は、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）のｙ軸方向両端によって決定される（図３参照）。
【００５２】
第１二次電子放出係数部（１２３ａ）は、少なくとも第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭遠方側１３１、１３２に対応して形成され、第１二次電子放出係数を有する。第１二次電子放出係数部（１２３ａ）は、維持電極３１と走査電極３２の全体に対応して形成されていてもよいし（図１乃至図６参照）、維持電極３１と走査電極３２における第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭遠方側１３１、１３２にだけ対応して形成されていてもよい（図７乃至図９参照）。
【００５３】
ただし、維持電極３１及び走査電極３２の大部分を第１二次電子放出係数部（１２３ａ）で覆うことにより、高い第１二次電子放出係数によって二次電子の放出量を増加させることができる。図１、図２及び図４を参照すると、第１二次電子放出係数部（１２３ａ）は維持電極３１と走査電極３２の全体を覆っている。
【００５４】
第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は、維持電極３１と走査電極３２に対応する部分のうち、第１放電ギャップ（Ｇ１）の片側又は両側における外郭近傍側２３１、２３２に対応して形成され、第２二次電子放出係数を有する。第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は、第１二次電子放出係数部（１２３ａ）と別途の層で形成することもできるし（図１乃至図６参照）、また同一層で形成することも可能である（図７乃至図９参照）。
【００５５】
維持電極３１と走査電極３２のそれぞれ又は何れか一つでは、第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭近傍側２３１、２３２は第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）で覆われており、低い第２二次電子放出係数によって二次電子の放出量を減少させている。図１、図２及び図４を参照すると、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は、第１放電ギャップ（Ｇ１）と、第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭近傍側２３１、２３２とを一体の構造で覆っている。
【００５６】
維持電極３１と走査電極３２との間では、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）の最外郭に対応した部分によって第２放電ギャップ（Ｇ２）が形成されている。第２放電ギャップ（Ｇ２）は第１放電ギャップ（Ｇ１）より大きい。つまり、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は、維持電極３１と走査電極３２の各外郭近傍側２３１、２３２の間におけるショートギャップ放電を抑制している。
【００５７】
例えば、初期放電時には、低い第２二次電子放出係数にもかかわらず、維持電極３１と走査電極３２は第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭近傍側２３１、２３２の間でショートギャップ放電による低電圧放電を実現させる。次に、放電開始後には、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）がショートギャップ放電の障害物として作用するので、維持電極３１と走査電極３２は第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭遠方側１３１、１３２の間でロングギャップ放電によるフル放電を実現する。つまり、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）はショートギャップ放電を抑制してロングギャップ放電でフル放電を誘導する。従って、維持電極３１と走査電極３２は全体として高い放電効率を実現させることができる。
【００５８】
再び、図１、図２及び図４を参照すると、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は維持電極３１と走査電極３２の一部に対応し、少なくとも第１放電ギャップ（Ｇ１）の外郭近傍側２３１、２３２の両方に対応して形成されている。従って、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は第１放電ギャップ（Ｇ１）を間において、維持電極３１側又は走査電極３２側に偏ることなく、放電セル１７のｙ軸方向の中心でショートギャップ放電を抑制することができる。
【００５９】
第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は維持電極３１と走査電極３２の外郭近傍側２３１、２３２に対応して一体に形成されている。従って、維持電極３１と走査電極３２は第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）のｙ軸方向の両端によって、第２放電ギャップ（Ｇ２）を形成することになる。
【００６０】
第２放電ギャップ（Ｇ２）は第１放電ギャップ（Ｇ１）より大きい。第２放電ギャップ（Ｇ２）は二次電子放出係数によって区切られるので、維持電極３１と走査電極３２の端部によって区切られる第１放電ギャップ（Ｇ１）に比べて、その境界の区分は不明確性を有することになる。
【００６１】
維持電極３１と走査電極３２は、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）に対応する外郭近傍側２３１、２３２によってショートギャップ放電部を形成し、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）の外側であり、第１二次電子放出係数部（１２３ａ）に対応する外郭遠方側１３１、１３２によってロングギャップ放電部を形成する。
【００６２】
図３及び図４を参照すると、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は第２放電ギャップ（Ｇ２）と同一な第１幅（Ｗ１）を有し、ｘ軸方向に沿って長く形成されている。また、プラズマディスプレイパネルの面積全体に渡って形成される第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は、図３に示すように放電セル１７のｙ軸方向の単位長さの分だけｙ軸方向に沿って離隔して配置されている。
【００６３】
第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は、第１放電ギャップ（Ｇ１）のショートギャップ放電を難しくするが、少なくとも初期放電は可能にするだけの二次電子放出係数を有する。第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）の外郭近傍側２３１、２３２に対応する部分は、初期放電後に放電を抑制して、フル放電時には外郭遠方側１３１、１３２のロングギャップ放電を可能にする。
【００６４】
つまり、外郭近傍側２３１、２３２に対応する第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は、フル放電時に外郭近傍側２３１、２３２でショートギャップ放電が発生しないようにする。第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）が形成されていない外郭遠方側１３１、１３２に対応する第１二次電子放出係数部（１２３ａ）の部分は、放電開始後にロングギャップ放電でフル放電を誘導する。つまり、消費電力に対してショートギャップ放電が抑制されてロングギャップ放電が誘導されるので、発光効率を向上させることができる。
【００６５】
第１二次電子放出係数部（１２３ａ）は誘電層２１上に形成され、第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）は第１二次電子放出係数部（１２３ａ）上に形成されている。保護膜１２３の形成工程において、先ず形成される第１二次電子放出係数部（１２３ａ）を加工せずに、別途の工程で第２二次電子放出係数部（１２３ｂ）を形成可能にする。
【００６６】
相対的に、第１二次電子放出係数部１２３ａは第２二次電子放出係数部１２３ｂより大きい二次電子放出係数を有する。例えば、第１二次電子放出係数部１２３ａはＭｇＯ保護膜で形成され、第２二次電子放出係数部１２３ｂは放電不活性化フィルムで形成することができる。この放電不活性化フィルムはＡｌ２Ｏ３又はＴｉＯ２を含むことができる。少なくとも、第１、第２二次電子放出係数部１２３ａ、１２３ｂは、両者の二次電子放出係数の差によって、第２放電ギャップ（Ｇ２）を形成することができる物質を含んでいる。
【００６７】
（第２実施例〜第６実施例）
図５乃至図９は本発明の第２実施例乃至第６実施例を例示したものである。構成及び作用効果において、第２実施例乃至第６実施例は第１実施例と類似または同一である。以下、第１実施例と比較して、類似または同一な部分に対する説明を省略し、第１実施例と異なる部分について説明する。
【００６８】
図５の第２実施例と図６の第３実施例において、第２二次電子放出係数部（２２３ｂ、３２３ｂ）は維持電極３１の一部と走査電極３２の一部に対応し、分離して複数形成されている。
【００６９】
図５を参照すると、第２二次電子放出係数部（２２３ｂ）は維持電極側第２二次電子放出係数部（１２２３ｂ）と、走査電極側第２二次電子放出係数部（２２２３ｂ）とを含んでいる。維持電極側第２二次電子放出係数部（１２２３ｂ）は維持電極３１の外郭近傍側２３１に対応して形成されている。走査電極側第２二次電子放出係数部（２２２３ｂ）は第１放電ギャップ（Ｇ１）を介して維持電極側第２二次電子放出係数部（１２２３ｂ）から離隔し、走査電極３２の外郭近傍側２３２に対応して形成されている。
【００７０】
維持電極側第２二次電子放出係数部（１２２３ｂ）と走査電極側第２二次電子放出係数部（２２２３ｂ）との間の離隔距離（Ｇ３）は、第１放電ギャップ（Ｇ１）より大きく形成されている。
【００７１】
この離隔距離（Ｇ３）は、放電セル１７の中心から維持電極側第２二次電子放出係数部（１２２３ｂ）に達する第１距離（Ｇ１３）と、第１距離（Ｇ１３）と同じであり、放電セル１７の中心から走査電極側第２二次電子放出係数部（２２２３ｂ）に達する第２距離（Ｇ２３）とを合計したものと同じである（Ｇ３＝Ｇ１３＋Ｇ２３）。
【００７２】
維持電極側第２二次電子放出係数部（１２２３ｂ）は第２幅（Ｗ２）を有してｘ軸方向に沿って長く形成され、走査電極側第２二次電子放出係数部（２２２３ｂ）も第２幅（Ｗ２）を有してｘ軸方向に沿って長く形成されている。
【００７３】
維持電極３１と走査電極３２は、第２二次電子放出係数部（２２３ｂ）の内側にある第１二次電子放出係数部（２２３ａ）に対応する外郭近傍側２３１、２３２によってショートギャップ放電部を形成し、第２二次電子放出係数部（２２３ｂ）の外側にある第１二次電子放出係数部（２２３ａ）に対応する外郭遠方側１３１、１３２によってロングギャップ放電部を形成する。
【００７４】
より具体的に見れば、外郭近傍側２３１、２３２によるショートギャップ放電部は、離隔距離（Ｇ３）から第１放電ギャップ（Ｇ１）を除いた部分にあり、第２二次電子放出係数部（２２３ｂ）の内側に露出した第１二次電子放出係数部（２２３ａ）に対応した部分であり、幅（Ｅ１）の端部（２３１Ｅ、２３２Ｅ）によって形成されている。
【００７５】
第１実施例に比べて、第２実施例では維持電極３１及び走査電極３２の端部（２３１Ｅ、２３２Ｅ）は、放電初期時にショートギャップ放電をより低電圧で可能にする反面、フル放電時にはショートギャップ放電を制限する性能が低くなる。
【００７６】
次に、図６を参照すると、第２二次電子放出係数部（３２３ｂ）は、第３幅（Ｗ３）を有してｘ軸方向に沿って形成され、第２放電ギャップ（Ｇ２）と同じ第１幅（Ｗ１）の範囲内にｙ軸方向に所定の間隔（Ｃ１）で並んで複数形成された群として形成されている。
【００７７】
維持電極３１と走査電極３２は、第２二次電子放出係数部（３２３ｂ）に対応した外郭近傍側２３１、２３２によってショートギャップ放電部を形成し、第２二次電子放出係数部（３２３ｂ）の外側にあり、第１二次電子放出係数部（３２３ａ）に対応する外郭遠方側１３１、１３２によって、ロングギャップ放電部を形成する。
【００７８】
より具体的に見れば、外郭近傍側２３１、２３２によるショートギャップ放電部は、外郭近傍側２３１、２３２のうち間隔（Ｃ１）を除いた部分が第２二次電子放出係数部（３２３ｂ）に覆われているので、第１二次電子放出係数部（３２３ａ）が露出した間隔（Ｃ１）に対応する部分（２３１Ｃ、２３２Ｃ）によって形成されている。
【００７９】
第１実施例に比べて、第３実施例では維持電極３１及び走査電極３２の部分（２３１Ｃ、２３２Ｃ）は放電初期時にショートギャップ放電をより低電圧で可能にする反面、フル放電時にはショートギャップ放電を制限する性能が低くなる。
【００８０】
図７の第４実施例から図９の第６実施例において、第２二次電子放出係数部（４２３ｂ、５２３ｂ、６２３ｂ）は、維持電極３１と走査電極３２に対応した誘電層２１上に形成されている。第２二次電子放出係数部（４２３ｂ、５２３ｂ、６２３ｂ）は第１放電ギャップ（Ｇ１）に対応し、第１二次電子放出係数部（４２３ａ、５２３ａ、６２３ａ）の間に形成され、維持電極３１の一端と走査電極３２の一端に対応して誘電層２１上に形成されている。
【００８１】
図７を参照すると、第２二次電子放出係数部（４２３ｂ）は、ｙ軸方向の両端が第１放電ギャップ（Ｇ１）より大きい第２放電ギャップ（Ｇ２）を形成し、維持電極３１と走査電極３２との間に形成されている。
【００８２】
第２二次電子放出係数部（４２３ｂ）は、維持電極３１と走査電極３２の外郭近傍側２３１、２３２に対応して一体に形成されている。従って、維持電極３１と走査電極３２は第２二次電子放出係数部（４２３ｂ）のｙ軸方向の両端によって、第２放電ギャップ（Ｇ２）を形成することになる。
【００８３】
維持電極３１と走査電極３２は、第２二次電子放出係数部（４２３ｂ）に対応する外郭近傍側２３１、２３２によってショートギャップ放電部を形成し、第２二次電子放出係数部（４２３ｂ）の外側にある第１二次電子放出係数部（４２３ａ）に対応する外郭遠方側１３１、１３２によってロングギャップ放電部を形成する。
【００８４】
第２二次電子放出係数部（４２３ｂ）は、第２放電ギャップ（Ｇ２）と同じ第１幅（Ｗ１）を有し、ｘ軸方向に沿って長く形成されている。また、プラズマディスプレイパネルの面積全体に渡って形成された第２二次電子放出係数部（４２３ｂ）のそれぞれは、放電セル１７のｙ軸方向における単位長さの分だけｙ軸方向に沿って離隔して配置されている。また、第２二次電子放出係数部（４２３ｂ）は、ｙ軸方向に沿って第１二次電子放出係数部（４２３ａ）と交互に配置されている。
【００８５】
次に、図８の第５実施例と図９の第６実施例において、第２二次電子放出係数部（５２３ｂ、６２３ｂ）は、維持電極３１の一部と走査電極３２の一部に対応して分離して複数形成されている。
【００８６】
図８を参照すると、第２二次電子放出係数部（５２３ｂ）は維持電極側第２二次電子放出係数部（１５２３ｂ）と、走査電極側第２二次電子放出係数部（２５２３ｂ）とを含んでいる。維持電極側第２二次電子放出係数部（１５２３ｂ）は、維持電極３１の外郭近傍側２３１に対応して形成されている。走査電極側第２二次電子放出係数部（２５２３ｂ）は、第１放電ギャップ（Ｇ１）を介して維持電極側第２二次電子放出係数部（１５２３ｂ）から離隔して走査電極３２の外郭近傍側２３２に対応して形成されている。
【００８７】
維持電極側第２二次電子放出係数部（１５２３ｂ）と走査電極側第２二次電子放出係数部（２５２３ｂ）との間の離隔距離（Ｇ３）は、第１放電ギャップ（Ｇ１）より大きく形成されている。
【００８８】
この離隔距離（Ｇ３）は、放電セル１７の中心から維持電極側第２二次電子放出係数部（１５２３ｂ）に達する第１距離（Ｇ１３）と、第１距離（Ｇ１３）と同じであり、放電セル１７の中心から走査電極側第２二次電子放出係数部（２５２３ｂ）に達する第２距離（Ｇ２３）とを合計したものと同じである（Ｇ３＝Ｇ１３＋Ｇ２３）。
【００８９】
維持電極側第２二次電子放出係数部（１５２３ｂ）は、第２幅（Ｗ２）を有してｘ軸方向に沿って長く形成され、走査電極側第２二次電子放出係数部（２５２３ｂ）も第２幅（Ｗ２）を有してｘ軸方向に沿って長く形成されている。
【００９０】
維持電極３１と走査電極３２は、第２二次電子放出係数部（５２３ｂ）の内側にある第１二次電子放出係数部（５２３ａ）に対応した外郭近傍側２３１、２３２によってショートギャップ放電部を形成し、第２二次電子放出係数部（５２３ｂ）の外側にある第１二次電子放出係数部（５２３ａ）に対応した外郭遠方側１３１、１３２によってロングギャップ放電部を形成する。
【００９１】
より具体的に見れば、外郭近傍側２３１、２３２によるショートギャップ放電部は、離隔距離（Ｇ３）から第１放電ギャップ（Ｇ１）を除いた部分にあり、第２二次電子放出係数部（５２３ｂ）の内側に露出した第１二次電子放出係数部（５２３ａ）に対応した部分であり、幅（Ｅ１）の端部（２３１Ｅ、２３２Ｅ）によって形成されている。
【００９２】
次に、図９を参照すると、第２二次電子放出係数部（６２３ｂ）は、第３幅（Ｗ３）を有してｘ軸方向に沿って形成され、第２放電ギャップ（Ｇ２）と同じ第１幅（Ｗ１）の範囲内にｙ軸方向に所定の間隔（Ｃ１）で並んで複数形成された群として形成されている。
【００９３】
維持電極３１と走査電極３２は、第２二次電子放出係数部（６２３ｂ）に対応した外郭近傍側２３１、２３２によってショートギャップ放電部を形成し、第２二次電子放出係数部（６２３ｂ）の外側にあり、第１二次電子放出係数部（６２３ａ）に対応する外郭遠方側１３１、１３２によって、ロングギャップ放電部を形成する。
【００９４】
より具体的に見れば、外郭近傍側２３１、２３２によるショートギャップ放電部は、外郭近傍側２３１、２３２のうち間隔（Ｃ１）を除いた部分が第２二次電子放出係数部（６２３ｂ）に覆われているので、第１二次電子放出係数部（６２３ａ）が露出した間隔（Ｃ１）に対応する部分（２３１Ｃ、２３２Ｃ）によって形成されている。
【００９５】
以上、説明したように本発明の一実施形態に係るプラズマディスプレイパネルによれば、第１、第２電極を覆う誘電層上の保護膜を二次電子放出係数の異なる第１、第２二次電子放出係数部で形成する。
【００９６】
ここで、第１二次電子放出係数部は相対的に高い二次電子放出係数を有し、第２二次電子放出係数部は相対的に低い二次電子放出係数を有する。
【００９７】
第１二次電子放出係数部は第１、第２電極に対応した部分に形成され、第２二次電子放出係数部は第１、第２電極の間にある第１放電ギャップの外郭近傍側に対応した部分に形成される。
【００９８】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されるものではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明及び添付した図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これもまた本発明の範囲に属することは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】本発明の第１実施例に係るプラズマディスプレイパネルを分解して概略的に示した斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿って切断した断面図である。
【図３】図１における放電セルと電極の配置関係を示した平面図である。
【図４】放電セルのパターンと保護膜のパターンを分解して示した斜視図である。
【図５】本発明の第２実施例に係るプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図６】本発明の第３実施例に係るプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図７】本発明の第４実施例に係るプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図８】本発明の第５実施例に係るプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図９】本発明の第６実施例に係るプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【符号の説明】
【０１００】
１０    第１基板（背面基板）
１１    アドレス電極
１３、２１  誘電層
１６    隔壁
１６ａ  第１隔壁部材
１６ｂ  第２隔壁部材
１７    放電セル
１９    蛍光体層
２０    第２基板（前面基板）
３１    第１電極（維持電極）
３２    第２電極（走査電極）
３１ａ、３２ａ  透明電極
３１ｂ、３２ｂ  バス電極
１２３、２２３、３２３、４２３、５２３、６２３  保護膜
１２３ａ、２２３ａ、３２３ａ、４２３ａ、５２３ａ、６２３ａ  第１二次電子放出係数部
１２３ｂ、２２３ｂ、３２３ｂ、４２３ｂ、５２３ｂ、６２３ｂ  第２二次電子放出係数部
【図１】
2009110921.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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