(57)【要約】 【課題】  端面処理にばらつきがなく、安定した研磨性能の樹脂フィルムを加工する加工装置を提供する。【解決手段】  固定ステージ２にバッキングフィルム５を固定し、押圧プレート３を加熱した状態で、固定ステージ２に固定されたバッキングフィルム５に押圧し、バッキングフィルム５の端面部分を熱破壊してシーリングを行う。押圧プレート３は、プレート移動部４に、所定の傾斜角度に保持されるとともに、バッキングフィルム５の厚み方向に平行な方向に移動させてバッキングフィルム５に押圧される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物である樹脂フィルムを固定する固定ステージと、
加熱された状態で樹脂フィルムに押圧し、樹脂フィルムの端面部分を熱破壊してシーリングを行う押圧プレートと、
押圧プレートを所定の傾斜角度に保持するとともに、樹脂フィルムの厚み方向に平行な方向に押圧プレートを移動させるプレート移動部とを備えることを特徴とする樹脂フィルム加工装置。
【請求項２】
固定ステージとプレート移動部とは、押圧プレートが樹脂フィルムに押圧した状態で、固定ステージのプレート移動部に対向する辺に沿って、相対的に移動可能に構成されることを特徴とする請求項１記載の樹脂フィルム加工装置。
【請求項３】
被加工物である樹脂フィルムを固定する固定ステージと、
加熱された状態で樹脂フィルムに押圧し、樹脂フィルムの端面部分を熱破壊してシーリングを行う押圧プレートと、
押圧プレートを固定ステージ方向に押し付ける押付部とを備え、
押圧プレートは、固定ステージから所定の間隔を空けた位置に下方端部が固定されるとともに固定部分を軸として固定ステージ方向に斜倒するよう構成され、
押付部が押圧プレートを固定ステージ方向に押し付けることで、押圧プレートが傾斜した状態で樹脂フィルムに押圧されることを特徴とする樹脂フィルム加工装置。
【請求項４】
固定ステージと押圧プレートおよび押付部とは、押圧プレートが樹脂フィルムに押圧した状態で、固定ステージの押圧プレートに対向する辺に沿って、相対的に移動可能に構成されることを特徴とする請求項３記載の樹脂フィルム加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂フィルムの端面部分を熱加工処理するための樹脂フィルム加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置用ガラス製造分野における平坦化技術は、液晶表示装置の普及に伴い必要不可欠な技術となっている。そのガラスの平坦化に大きな影響を及ぼすのがガラス研磨工程である。ガラス研磨工程においては液晶画面の大画面化によって新しい研磨品質が要求されている。研磨技術の適用では、ガラスの研磨精度に直接的に作用するバッキングフィルム（被研磨物保持剤）の特性がその工程に大きく作用している。バッキングフィルムは、表層部分に涙滴気泡を有するポリウレタン樹脂により構成されており、ガラス表面の均一な平坦化のためには、バッキングフィルム表面の平坦性と被研磨物への固定能力とが必要となる。最近ではその大型化した被研磨物の固定を行うために、表面の気泡の開口径を微細化し、吸着力をより強化することによりテンプレートを用いないバッキングフィルムの使用を可能としている。
【０００３】
吸着力の強いバッキングフィルムを使用することにより、大型のガラスに対しても研磨時の固定が可能になる。しかし、表面の気泡の開口径を極端に微細化したことにより、今までは端面から浸入しても表面から抜けていたスラリー液などの水分がバッキングフィルム内部に滞留する現象が発生してしまう。この現象は滞留する水分によりフィルム表面を局所的に膨らませることになり、研磨によるガラスの平坦性を悪化させる原因となる。
【０００４】
このような問題を解決するために、研磨に先立ってバッキングフィルムの端面を熱処理することで水分の浸入を防ぐ技術が用いられている。
【０００５】
たとえば、作業者が１８０〜２２０℃の熱源（コテ）をフィルム端面に約３０ｍｍ幅で接触させ、そのまま一定の速度（３５〜４５ｍｍ／ｓｅｃ）でフィルムの端辺に沿って移動させ、涙滴気泡を破壊する。
【０００６】
このような方法では、熱源とフィルムとの接触長さが短く、接触角度および移動速度の制御も難しいため、バッキングフィルムごとに端面処理にばらつきが生じてしまう。端面処理のばらつきにより、研磨性能にもばらつきが生じるため、非常に大きな問題となっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、端面処理にばらつきがなく、安定した研磨性能の樹脂フィルムを加工する加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、被加工物である樹脂フィルムを固定する固定ステージと、
加熱された状態で樹脂フィルムに押圧し、樹脂フィルムの端面部分を熱破壊してシーリングを行う押圧プレートと、
押圧プレートを所定の傾斜角度に保持するとともに、樹脂フィルムの厚み方向に平行な方向に押圧プレートを移動させるプレート移動部とを備えることを特徴とする樹脂フィルム加工装置である。
【０００９】
また本発明は、固定ステージとプレート移動部とは、押圧プレートが樹脂フィルムに押圧した状態で、固定ステージのプレート移動部に対向する辺に沿って、相対的に移動可能に構成されることを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、被加工物である樹脂フィルムを固定する固定ステージと、
加熱された状態で樹脂フィルムに押圧し、樹脂フィルムの端面部分を熱破壊してシーリングを行う押圧プレートと、
押圧プレートを固定ステージ方向に押し付ける押付部とを備え、
押圧プレートは、固定ステージから所定の間隔を空けた位置に下方端部が固定されるとともに固定部分を軸として固定ステージ方向に斜倒するよう構成され、
押付部が押圧プレートを固定ステージ方向に押し付けることで、押圧プレートが傾斜した状態で樹脂フィルムに押圧されることを特徴とする樹脂フィルム加工装置である。
【００１１】
また本発明は、固定ステージと押圧プレートおよび押付部とは、押圧プレートが樹脂フィルムに押圧した状態で、固定ステージの押圧プレートに対向する辺に沿って、相対的に移動可能に構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、固定ステージに被加工物である樹脂フィルムを固定し、押圧プレートを加熱した状態で、固定ステージに固定された樹脂フィルムに押圧し、樹脂フィルムの端面部分を熱破壊してシーリングを行う。
【００１３】
押圧プレートは、プレート移動部に、所定の傾斜角度に保持されるとともに、樹脂フィルムの厚み方向に平行な方向に移動させて樹脂フィルムに押圧される。
【００１４】
これにより、一定の傾斜角度で押圧プレートを樹脂フィルムに接触させることで、端面処理にばらつきがなく、安定した研磨性能の樹脂フィルムを加工することができる。
【００１５】
また本発明によれば、固定ステージとプレート移動部とは、押圧プレートが樹脂フィルムに押圧した状態で、固定ステージのプレート移動部に対向する辺に沿って、相対的に移動可能に構成される。
【００１６】
押圧プレートを樹脂フィルムに接触した状態で移動させることにより被処理部分のシーリング特性をより向上させることができる。
【００１７】
また本発明によれば、固定ステージに被加工物である樹脂フィルムを固定し、押圧プレートを加熱した状態で、固定ステージに固定された樹脂フィルムに押圧し、樹脂フィルムの端面部分を熱破壊してシーリングを行う。
【００１８】
押圧プレートは、固定ステージから所定の間隔を空けた位置に下方端部が固定されるとともに固定部分を軸として固定ステージ方向に斜倒するよう構成され、押付部が押圧プレートを固定ステージ方向に押し付けることで、押圧プレートが傾斜した状態樹脂フィルムに押圧される。
【００１９】
これにより、一定の傾斜角度で押圧プレートを樹脂フィルムに接触させることで、端面処理にばらつきがなく、安定した研磨性能の樹脂フィルムを加工することができる。
【００２０】
また本発明によれば、固定ステージと押圧プレートおよび押付部とは、押圧プレートが樹脂フィルムに押圧した状態で、固定ステージの押圧プレートに対向する辺に沿って、相対的に移動可能に構成される。
【００２１】
押圧プレートを樹脂フィルムに接触した状態で移動させることにより被処理部分のシーリング特性をより向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１，２は、本発明の第１実施形態である加工装置１の構成を示す概略図である。図１は正面図を示し、図２は側面図を示す。また、いずれの図面も端面加工処理前の状態を示している。
【００２３】
加工装置１は、被加工物であるバッキングフィルム５を固定する固定ステージ２と、加熱された状態でバッキングフィルム５に押圧し、バッキングフィルム５の端面部分の涙滴気泡を破壊してシーリングを行う押圧プレート３と、押圧プレート３を所定の傾斜角度に保持するとともに、バッキングフィルム５の厚み方向に平行な方向およびバッキングフィルム５の一辺に平行に沿って押圧プレート３を移動させるプレート移動部４とを含んで構成される。
【００２４】
固定ステージ２は、バッキングフィルム５の主面の一部または全部を支持し、端面の加工時にバッキングフィルム５を固定する固定機構を有している。
【００２５】
バッキングフィルム５の一部を支持する場合は、たとえば、バッキングフィルムの１辺を所定の幅で支持する態様、バッキングフィルム５の２辺を支持するＬ字型の態様、３辺を支持するコの字型の態様、４辺を支持する口の字型の態様などがあり、バッキングフィルム５の大きさや厚みなどに応じて適切な形状としてもよい。
【００２６】
固定ステージ２によるバッキングフィルム５の固定機構は、端面部分を部分的に固定爪などで固定する固定機構や、バッキングフィルム５との接触面において、真空チャックによる固定機構などを適応することが可能であり、本実施形態では、真空チャック固定機構を採用している。
【００２７】
固定テーステージ２には、固定ステージ２のバッキングフィルム５を支持する支持面側に開放し、固定ステージ２を厚み方向に貫く複数の吸着孔２ａが、支持面方向に一様に分布して設けられ、複数の吸着孔２ａは固定テーステージ２の底部で連通されて不図示の真空ポンプに接続されている。
【００２８】
真空チャック固定機構は、一般的なものが使用できる。また、吸着孔２ａは、固定ステージ２の全面に設けるよりも、端面から１５０〜２００ｍｍまでの領域のみに分布させることが好ましい。
【００２９】
押圧プレート３は、縦３０〜１００ｍｍ、横７０〜５００ｍｍの板状部材のいわゆるコテであり、抵抗体などの発熱体をバッキングフィルム５との接触面に一様に設けてもよいし、プレート自体が発熱体からなる構成であってもよい。詳しくは後述するが、押圧プレート３は、バッキングフィルム５に接触した状態で移動させてシーリングする。横寸法が７０ｍｍ未満の場合は、この移動中の処理にばらつきが生じ、１５０ｍｍを越えるとフィルム破損のおそれがある。
【００３０】
バッキングフィルム５との接触面を所定の温度範囲、たとえば１９０〜２１０℃に保持し、接触面内において温度分布にムラがないことが好ましい。
【００３１】
押圧プレート３の材質としては、特に制限はないが、例えばステンレス、鉄などの金属類、またはアルミナなどのセラミックス類が挙げられ、加工処理後のバッキングフィルム５との離型性を向上させるために接触面には、フッ素樹脂加工を施すことが好ましい。
【００３２】
押圧プレート３は、バッキングフィルム５の接触面が、固定ステージ２の一辺に対して平行であって、固定ステージ２の支持面に対して傾斜するように、プレート移動部４に固定される。バッキングフィルム５との接触面は、固定ステージ２の外方に向かうにつれて低くなるように傾斜され、固定ステージ２の支持面を基準（０°）としたときの固定ステージ２の支持面と押圧プレート３の接触面とが成す角度である傾斜角度θは、１５°≦θ≦３５°の範囲内に設定される。傾斜角度θによって、バッキングフィルム５の端面処理されたシール部分の幅が変化し、傾斜角度が大きいほどシール部分の幅は小さくなり、傾斜角度が小さいほどシール部分の幅は大きくなる。
【００３３】
押圧プレート３は、プレート移動部４の上端部分に、傾斜角度を変更可能に固定される。押圧プレート３の接触面に設けられた固定片を、プレート移動部４の上端部分に設けられた切り欠き部で挟持し、固定片と上端部分とを接触面に平行な方向に挿通するねじ部材などで固定する。このように固定することで、押圧プレート３をねじ部材の軸線周りに角変位可能とし、傾斜角度θを調整することができる。
【００３４】
プレート移動部４は、１または複数の棒状部材からなり、バッキングフィルム５の厚み方向に平行な方向、すなわち固定ステージ２の支持面に垂直な方向に摺動可能に構成され、これによって、その上端部に固定した押圧プレート３をバッキングフィルム５に押圧させたり、離反させることができる。
【００３５】
プレート移動部４は、たとえば、ラックアンドピニオン機構によって、摺動可能に設けられる。固定ステージ２の底面部分にピニオンギア４ａが設けられ、棒状部材の固定ステージ２に対向する部分にラック４ｂが設けられ、ピニオンギア４ａを回転させることで、棒状部材を固定ステージ２の支持面に垂直な方向に移動させる。
【００３６】
ピニオンギア４ａは直径が２０〜５０ｍｍ、ラック４ｂは長さ（ストローク）が１００〜３００ｍｍ、それぞれ幅が１０〜３０ｍｍで構成される。
【００３７】
押圧プレート３を所定の温度に加熱した状態で、図２に示すように、プレート移動部４を降下させることで、固定ステージ２の支持面上に固定されたバッキングフィルム５の端面に、押圧プレート３の接触面が押圧されてバッキングフィルム端面がシーリングされる。プレート移動部４が複数の棒状部材からなる場合は、全てのピニオンギア４ａを同時に同じ回転速度で回転させ、押圧プレート３の、バッキングフィルム５に対する押圧力が接触面内でばらつかないようにする必要がある。
【００３８】
押圧プレート３は、バッキングフィルム５に接触した状態で５〜１０秒間静止させ、接触した状態のまま、バッキングフィルム５の辺に沿って押圧プレート３を３〜５ｍｍ／秒の速度で１０ｍｍほど移動させる。このように押圧プレート３を接触した状態で移動させることにより被処理部分のシーリング特性が向上する。
【００３９】
次にプレート移動部４を上昇させて押圧プレート３をバッキングフィルム５から離反させる。押圧プレート３を離反させた状態でプレート移動部４を固定ステージ２の辺に沿った方向に移動させることで、未加工状態の端面の上方に移動させる。
【００４０】
再度プレート移動部４を下降させて未加工状態の端面に、押圧プレート３を接触させて端面加工を行う。これを繰り返すことで全辺にわたって端面加工処理を行う。
【００４１】
なお、押圧プレート３とバッキングフィルム５（固定ステージ２）とは相対的に移動すればよいので、上記のようにプレート移動部４を固定ステージ２の辺に沿った方向に移動させる構成に限らず、プレート移動部４の位置を変えず、バッキングフィルム５を載置した状態の固定ステージ２を移動させるような構成であってもよい。
【００４２】
以上のように、本発明の加工装置１によれば、一定の傾斜角度で押圧プレート３を接触させ、被加工端面に沿って押圧プレート３を移動させることで、端面処理にばらつきがなく、安定した研磨性能のバッキングフィルムを加工することができる。
【００４３】
本発明の加工装置によって加工される被加工物であるバッキングフィルムの材質は、特に限定されるものではないが、研磨時の金属汚染回避、加工の容易性、および作業性を考慮して、例えば、ポリカーボネイト、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、高分子ポリエチレン、結晶化ポリエステル、カーボンファイバーエポキシ、テトロンエポキシ積層板、およびガラスエポキシ積層板等を使用することができる。
【００４４】
次に本発明の第２実施形態について説明する。
図３は、本発明の第２実施形態である加工装置１１の構成を示す概略図である。
【００４５】
加工装置１１は、被加工物であるバッキングフィルム５を固定する固定ステージ１２と、加熱された状態でバッキングフィルム５に押圧し、バッキングフィルム５の端面部分の涙滴気泡を破壊してシーリングを行う押圧プレート１３と、押圧プレート１３をバッキングフィルム５方向に押し付ける押付部１４と、押し付けられた押圧プレート１３を所定の位置で支持するためのプレート支持部１５と、固定ステージ１２、押圧プレート１３、圧プレート１３と、押圧プレート１３をバッキングフィルム５方向に押し付ける、プレート支持部１５を上面に載置し、それぞれを所定の位置に固定するための基台１６とを含んで構成される。
【００４６】
固定ステージ１２は、第１実施形態で示した固定ステージ２と同様の構成を有しているので、詳細な説明は省略する。
【００４７】
第１実施形態の固定ステージ２と異なる構成は、固定ステージ１２がバッキングフィルム５の支持面に平行であって、押圧プレート１３に対して接離する方向に移動可能に構成されていることである。詳細は後述するが、押圧プレート１３の位置は基台１６上で固定されており、固定ステージ１２と押圧プレート１３との距離を変えることで、バッキングフィルム５への接触角度を変える構成となっている。
【００４８】
押圧プレート１３は、縦３０〜１００ｍｍ、横７０〜５００ｍｍの板状部材のいわゆるコテであり、抵抗体などの発熱体をバッキングフィルム５との接触面に一様に設けてもよいし、プレート自体が発熱体からなる構成であってもよい。押圧プレート１３は、バッキングフィルム５に接触した状態で移動させてシーリングする。横寸法が７０ｍｍ未満の場合は、この移動中の処理にばらつきが生じ、５００ｍｍを越えるとフィルム破損のおそれがある。
【００４９】
バッキングフィルム５との接触面を所定の温度範囲、たとえば１９０〜２１０℃に保持し、接触面内において温度分布にムラがないことが好ましい。
【００５０】
押圧プレート１３の材質としては、特に制限はないが、例えばステンレス、鉄などの金属類、またはアルミナなどのセラミックス類などが挙げられ、加工処理後のバッキングフィルム５との離型性を向上させるために接触面には、フッ素樹脂加工を施すことが好ましい。
【００５１】
押圧プレート１３は、その長辺の一方が基台１６上面であって、固定ステージ１２から所定の間隔を空けた位置に固定される。一方の長辺に沿って回転軸が設けられており、押圧プレート１３は、長辺に沿った軸周りに角変位可能に構成されている。
【００５２】
押圧プレート１３を押付部１４が固定ステージ１２に向かって押しつけることにより、押圧プレート１３は回転軸周りに角変位し、傾斜した状態で固定ステージ１２に固定されたバッキングフィルム５に当接する。
【００５３】
このとき、固定ステージ１２を移動させ、押圧プレート１３に近接または離反させる。これにより、固定ステージ１２と押圧プレート１３との距離が変化するので、長辺が基台１６に角変位可能に固定された押圧プレート１３が押し付けられることでバッキングフィルム５への接触角度が変化する。
【００５４】
接触角度は第１実施形態における傾斜角度θと同じで１５°≦θ≦３５°の範囲内となるように、固定ステージ１２を移動させればよい。
【００５５】
押付部１４は、押圧プレート１３を固定ステージ１２に向かって押し付けることが可能であればどのような構成でもかまわない。押圧プレート１３を挟んで固定ステージ１２とは反対側に押付部１４を設け、押圧プレート１３の高さ中央部分を出入り可能な突出片などにより固定ステージ１２に向かって押し付けるような構成であればよい。
【００５６】
単に、押圧プレート１３を挟んで固定ステージ１２とは反対側に押付部１４を設けると、押圧プレート１３から外側に押付部１４を設ける設置面積が大きくなり、加工装置１１全体が大型化してしまう。
【００５７】
本実施形態では、加工装置１１をよりコンパクトに収めるために、押圧プレート１３を挟んで固定ステージ１２とは反対側の押圧プレート１３近傍に、上下動する突出片１４ａを設け、突出片１４ａの先端に当接する斜面を有し、突出片１４ａの上下動に従って水平方向にスライドするスライド片１４ｂを設ける。
【００５８】
このように、本実施形態の押付部１４では、突出片１４ａの上下方向の変位を、スライド片１４ｂによって水平方向の変位に変換し、スライド片１４ｂが水平方向であって、固定ステージ１２に向かう方向に押圧プレート１３を押し出す構造となっている。
【００５９】
スライド片１４ｂの、突出片１４ａ先端に当接する斜面は、固定ステージ１２の押圧プレート１３に対向する辺には平行であり、固定ステージ１２から押圧プレート１３に向かう方向に傾斜している。傾斜角度を小さくして斜面を広く設けることで、スライド片１４ｂの水平方向の変位を大きくすることができ、傾斜角度を大きくして斜面を狭くすることで、スライド片１４ｂの水平方向の変位を小さくすることができる。
【００６０】
上下動する突出片１４ａは、たとえばエアシリンダ、電磁シリンダなどのシリンダを用いて実現可能である。
【００６１】
固定ステージ１２側に斜倒した押圧プレート１３は、プレート支持部１５によって下方から所定の位置に支持される。本実施形態において、プレート支持部１５は、コイルばねによって実現され、固定ステージ１２の、押圧プレート１３に対向する側面に隣接し、上下方向に伸縮するように設けられる。コイルばねの伸縮方向上端部には、押圧プレート１３と接触して支持するための支持片１５ａが設けられ、支持片１５ａは、バッキングフィルム５の表面と同じか高い位置になるようにコイルばねの長さなどは設定される。
【００６２】
図３（ａ）に示すように、押圧プレート１３が固定ステージに対して斜倒したときには、一旦コイルばねからなるプレート支持部１５によって支持された状態で保持される。この状態では、プレート支持部１５によって押圧プレート１３が支持され、バッキングフィルム５には接触しない状態で保持される。
【００６３】
プレート支持部１５によって支持された状態の押圧プレート１３を、押付手段１４によって押し付けると、図３（ｂ）に示すように、コイルばねは押し付け力に対して収縮し、加熱された押圧プレート１３の接触面がバッキングフィルム５に当接し、端面加工が施される。
【００６４】
押圧プレート１３の接触面の温度、押圧プレート１３をバッキングフィルム５に接触させる時間などの加工処理条件は、第１実施形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
【００６５】
次に押付部１４を戻して押し付け力を開放すると、プレート支持部１５のコイルばねの反発力により押圧プレート１３が押し上げられ、バッキングフィルム５から離反される。押圧プレート１３を離反させた状態で押圧プレート１３および押付部１４を固定ステージ２の辺に沿った方向に移動させることで、押圧プレート１３を未加工状態の端面に対向する位置に移動させる。
【００６６】
再度押付部１４により押圧プレート１３を固定ステージ１２方向に押し付け、未加工状態の端面に押圧プレート１３を接触させて端面加工を行う。これを繰り返すことで全辺にわたって端面加工処理を行う。
【００６７】
なお、押圧プレート１３とバッキングフィルム５（固定ステージ１２）とは相対的に移動すればよいので、上記のように押圧プレート１３および押付部１４を固定ステージ２の辺に沿った方向に移動させる構成に限らず、押圧プレート１３および押付部１４の位置を変えず、バッキングフィルム５を載置した状態の固定ステージ１２を移動させるような構成であってもよい。
【００６８】
以上のように、本発明の加工装置１１によれば、一定の接触角度で押圧プレート１３を接触させることで、端面処理にばらつきがなく、安定した研磨性能のバッキングフィルムを加工することができる。
【実施例】
【００６９】
［加工処理断面］
第１実施形態の加工装置１を用いて、バッキングフィルムの端面加工処理を行った。
押圧プレート３の接触面温度を２００℃、傾斜角度を２５°とし、プレート移動部４のピニオンギア４ａ径を４０ｍｍ、ラック４ｂ長さを２００ｍｍとした。
【００７０】
バッキングフィルムは、ポリウレタン樹脂製のものを用いた。
図４は、加工処理後のバッキングフィルムの断面写真である。断面写真からわかるように、端面部分において熱による涙滴気泡の破壊が十分に進んでおり、スラリーが浸入する隙間は埋められていた。また、処理むらも少なく、端面全体にわたって一様な加工処理を施すことが可能であった。
［作業時間］
たて４００ｍｍ×よこ５００ｍｍのサイズのバッキングフィルムの全辺加工処理に要した作業時間を計測した。
【００７１】
比較例としては、加工装置１を使用せず、作業者がコテを手に持って、作業を行った。
作業時間は、１０枚のバッキングフィルムを加工した時の平均作業時間を算出して比較した。比較例では、１枚あたりの平均作業時間は約９２秒間であるのに対し、実施例では、約７６秒間であり、１６秒間（約１７％）の作業時間短縮を達成できた。
【００７２】
［研磨特性］
本発明の加工装置１１で加工したバッキングフィルムと、上記のように手作業で加工したバッキングフィルムを用いて以下の条件で研磨処理を行った。
【００７３】
研磨特性としては、被研磨物の平坦性が所定の範囲から外れるまでに研磨処理することができたガラス基板の枚数（処理可能枚数）を計数した。処理枚数が多いほど安定した研磨特性を有するバッキングフィルムであるといえる。
【００７４】
・研磨条件
被研磨基板：たて４００ｍｍ×よこ５００ｍｍ×厚み１．１ｍｍガラス基板
研磨装置：ＳＰ−８００（スピードファム社製）
研磨パッド：ＭＨ−Ｃ１５Ａパッド（ニッタ・ハース社製）
研磨定盤回転速度：２０ｒｐｍ
キャリア回転速度：６０ｒｐｍ
研磨荷重面圧：１５０ｇ／ｃｍ２
スラリー流量：４．０Ｌ/ｍｉｎ
研磨時間：７分間
【００７５】
処理可能枚数は、１０回の研磨処理における平均処理可能枚数を算出して比較した。比較例では、平均処理可能枚数が約１３２枚であるのに対し、実施例では約１５５枚であり、約２３枚（約１７％）の処理可能枚数増加を達成できた。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第１実施形態である加工装置１の構成を示す概略正面図である。
【図２】本発明の第１実施形態である加工装置１の構成を示す概略側面図である。
【図３】本発明の第２実施形態である加工装置１１の構成を示す概略図である。
【図４】加工処理後のバッキングフィルムの断面写真である。
【符号の説明】
【００７７】
１，１１  加工装置
２，１２  固定ステージ
３，１３  押圧プレート
４  プレート移動部
５  バッキングフィルム
１４  押付部
１５  プレート支持部
【図１】
2009083430.tif 000003
【図２】
2009083430.tif 000004
【図３】
2009083430.tif 000005
【図４】
2009083430.tif 000006