(57)【要約】【課題】駆動回路の放熱を効率よく行って、駆動回路の小型化及び低コスト化を図ると共に、駆動回路の耐久性を向上して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口３４と、該ノズル開口３４に連通する圧力発生室２１が設けられた流路ユニット３０と、該流路ユニット３０に接合されて前記圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段４０と、前記圧力発生手段４０に電気的に接続されると共に当該圧力発生手段４０を駆動する駆動回路６０が実装されたフレキシブルプリント基板５０とを具備し、前記駆動回路６０を、前記流路ユニット３０を構成する構成部材３５に接続する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口と、該ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路ユニットと、該流路ユニットに接合されて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力発生手段に電気的に接続されると共に当該圧力発生手段を駆動する駆動回路が実装されたフレキシブルプリント基板とを具備し、
前記駆動回路が、前記流路ユニットを構成する構成部材に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記流路ユニットが、前記ノズル開口が並設されたノズルプレートを前記構成部材として具備すると共に、前記駆動回路が前記ノズルプレートの液体が噴射される液体噴射面とは反対側の面に接続されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記駆動回路と前記構成部材とが、電熱フィラーを有する接着剤を介して接合されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特にインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子のたわみ変形を用いたものが実用化されている。
【０００３】
また、圧電素子を駆動するための駆動信号を入力する駆動回路は、フレキシブルプリント基板に実装され、このフレキシブルプリント基板を介して圧電素子に電気的に接続されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３２０８８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、フレキシブルプリント基板に実装される駆動回路は、当該駆動回路自体でしか放熱できないため、放熱能力が限られており、回路損失が放熱能力を超える場合には駆動回路が熱により破壊されてしまうと共に、放熱性を確保するには放熱面積が必要となるため、駆動回路の小型化を行うことができないという問題がある。
【０００６】
このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、駆動回路の放熱を効率よく行って、駆動回路の小型化及び低コスト化を図ると共に、駆動回路の耐久性を向上して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口と、該ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路ユニットと、該流路ユニットに接合されて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力発生手段に電気的に接続されると共に当該圧力発生手段を駆動する駆動回路が実装されたフレキシブルプリント基板とを具備し、前記駆動回路が、前記流路ユニットを構成する構成部材に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【０００９】
かかる態様では、駆動回路を流路ユニットを構成する構成部材に接続することで、駆動回路の熱を構成部材を介して大気中に放熱することができるため、駆動回路の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路を大型化する必要がなく、小型化してコストを低減することができる。また、駆動回路の発熱による低寿命化を防止して耐久性を向上することができると共に、液体噴射特性及び連続吐出性能を向上することができる。
【００１０】
ここで、前記流路ユニットが、前記ノズル開口が並設されたノズルプレートを前記構成部材として具備すると共に、前記駆動回路が前記ノズルプレートの液体が噴射される液体噴射面とは反対側の面に接続されていることが好ましい。これによれば、ノズルプレートのみに駆動回路が接続される領域を設ければよいため、コストを低減することができると共に、ノズルプレートのような外部に露出された部材を用いることで、大気への放熱性を向上することができる。
【００１１】
また、前記駆動回路と前記構成部材とが、電熱フィラーを有する接着剤を介して接合されていることが好ましい。これによれば、液体噴射ヘッドの移動時などに駆動回路と外装部材との間に隙間が生じて熱伝導が断絶するのを防止して、駆動回路の熱を外装部材によって確実に放熱することができる。
【００１２】
さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
【００１３】
かかる態様では、信頼性を向上すると共に低コスト化した液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′断面図及びＢ−Ｂ′断面図である。
【００１５】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエータユニット２０と、アクチュエータユニット２０が固定される１つの流路ユニット３０と、アクチュエータユニット２０に接続されるフレキシブルプリント基板５０とで構成されている。
【００１６】
アクチュエータユニット２０は、圧電素子４０を具備するアクチュエータ装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００１７】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設された列が２列形成されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００１８】
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するリザーバとを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００１９】
そして、圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本実施形態では、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、圧電素子４０の列も２列設けられている。
【００２０】
ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４３と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４４と、各圧電体層４４上に設けられた上電極膜４５とで構成されている。圧電体層４４は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４３は、並設された圧電体層４４に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜４３を各圧電体層４４毎に設けるようにしてもよい。
【００２１】
なお、アクチュエータユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。
【００２２】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエータユニット２０の圧力発生室底板２４に接合されるインク供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるリザーバ３２が形成されるリザーバ形成基板３３と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。すなわち、本実施形態では、流路ユニット３０を構成する構成部材として、インク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５が挙げられる。
【００２３】
インク供給口形成基板３１は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にリザーバ３２と圧力発生室２１とを接続するインク供給口３７を穿設して構成され、また、各リザーバ３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給するインク導入口３８が設けられている。
【００２４】
リザーバ形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するリザーバ３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。
【００２５】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。例えば、本実施形態では、流路ユニット３０には、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、ノズルプレート３５にも、ノズル開口３４の列が２列形成されている。また、このノズルプレート３５は、リザーバ形成基板３３の流路形成基板２２の反対面に接合されてリザーバ３２の一方面を封止している。
【００２６】
さらに、ノズルプレート３５は、詳しくは後述するフレキシブルプリント基板５０が延設された方向、本実施形態では、インク導入口３８とは反対側に向かってインク供給口形成基板３１よりも外側に突出する大きさを有する。
【００２７】
そして、このノズルプレート３５のインク供給口形成基板３１よりも突出した領域には、ノズル開口３４から液体が噴射される液体噴射面とは反対側の面に詳しくは後述するフレキシブルプリント基板５０の駆動回路６０が接続されて、駆動回路６０の熱がノズルプレート３５に熱伝導可能となっている。
【００２８】
このような流路ユニット３０は、これらインク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５を、接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。なお、本実施形態では、ノズルプレート３５は、アルミニウム、銅、鉄及びステンレス鋼などの金属材料で形成するのが好ましい。これは、詳しくは後述するが、ノズルプレート３５に駆動回路６０が熱伝導可能に接続されるため、ノズルプレート３５として熱伝導率の高い材料で形成することで、駆動回路６０の熱をノズルプレート３５を介して放熱する際の放熱性を高めることができるからである。勿論、ノズルプレート３５は、金属以外の材料、例えば、アクチュエータユニット２０と同様にセラミックスを用いることもできる。また、リザーバ形成基板３３は、ノズルプレート３５に接合されているため、ノズルプレート３５と線膨張係数が同等の材料で形成するのが好ましい。これにより、ノズルプレート３５とリザーバ形成基板３３とが加熱された際に、線膨張係数の違いによる反りを防止できる。また、ノズルプレート３５とリザーバ形成基板３３とを、セラミックスを用いて形成する際には、例えば、アクチュエータユニット２０と同様に流路ユニット３０を一体的に形成することもできる。
そして、このような流路ユニット３０とアクチュエータユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００２９】
また、図２及び図３に示すように、各圧電素子４０の長手方向一端部の圧力発生室２１の周壁に相対向する領域には、上電極膜４５に接続された金（Ａｕ）等からなる個別接続端子４６が設けられている。この個別接続端子４６は圧電素子４０毎に設けられている。また、図２に示すように、並設された圧電素子４０の列間の圧電素子４０の列の両端外側には、下電極膜４３に接続された金（Ａｕ）からなる共通接続端子４７が設けられている。そして、圧電素子４０の各上電極膜４５及び下電極膜４３に設けられた個別接続端子４６及び共通接続端子４７には、フレキシブルプリント基板５０に設けられた配線層５１が電気的に接続されており、このフレキシブルプリント基板５０を介して駆動回路６０からの駆動信号が各圧電素子４０に供給される。
【００３０】
フレキシブルプリント基板５０は、２列の圧電素子４０に亘って１つ設けられた、例えば、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）などからなる。詳しくは、フレキシブルプリント基板５０は、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅薄等で所定のパターンの配線層５１を形成し、配線層５１の圧電素子４０と接続される端子部以外の領域をレジスト等の絶縁材料５３で覆ったものである。
【００３１】
また、フレキシブルプリント基板５０は、一端側が圧電素子４０に接続され、他端側がインク導入口３８とは反対側に延設されて、延設された端部が印刷信号等が入力される回路基板７０に接続されている。なお、回路基板７０には、外部配線が接続されるコネクタ７１が設けられている。
【００３２】
さらにフレキシブルプリント基板５０の配線層５１には、圧電素子４０を駆動するための駆動回路６０が実装されている。駆動回路６０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）などが挙げられる。このような駆動回路６０は、フレキシブルプリント基板５０の配線層５１に、例えば、フリップ実装で搭載されている。なお、駆動回路６０のフレキシブルプリント基板５０上への実装は、例えば、金（Ａｕ）−金（Ａｕ）接続、金（Ａｕ）−錫（Ｓｎ）接続などの金属接続や、ＡＣＦ（異方性導電ペースト）、ＡＣＰ（異方性導電膜）、半田バンプ接続などを用いることができる。
【００３３】
そして、このような駆動回路６０は、フレキシブルプリント基板５０にノズルプレート３５のインク導入口３８とは反対側に突出した領域で相対向するように実装されており、駆動回路６０とノズルプレート３５とは接続されることで駆動回路６０の熱がノズルプレート３５に熱伝導可能となっている。すなわち、駆動回路６０とノズルプレート３５とは、熱伝導可能に接続（熱結合）されている。ここで、駆動回路６０とノズルプレート３５とが熱伝導可能に接続（熱結合）された状態とは、両者が互いに接触した状態又は両者が互いに接着剤等を介して接合された状態のことを言う。すなわち、駆動回路６０とノズルプレート３５とが互いに接触していても、また、接着剤等で接合されていてもよい。
【００３４】
なお、駆動回路６０とノズルプレート３５とを接触させる際には、例えば、駆動回路６０をノズルプレート３５側に向かって付勢するばねやゴム等の付勢手段や、クリップなどの固定手段によって接触した状態が解除されないようにしてもよい。また、駆動回路６０とノズルプレート３５とを接着剤を介して接合する際には、接着剤として比較的に熱伝導率の高い材料を用いるのが好ましい。熱伝導率の高い接着剤としては、例えば、シリコーン材料からなる電熱フィラーが混練された接着剤等が挙げられる。本実施形態では、図３に示すように、駆動回路６０とノズルプレート３５とを電熱フィラーが混練りされた接着剤６１を介して接合するようにした。これにより、インクジェット式記録ヘッド１０がキャリッジに搭載されて主走査方向に移動した際に、キャリッジの移動などにより駆動回路６０とノズルプレート３５との間に隙間が生じて熱結合が解除されるのを確実に防止している。
【００３５】
このように、ノズルプレート３５に駆動回路６０を熱伝導可能に接続させることで、駆動回路６０の熱を駆動回路６０の表面からだけではなく、ノズルプレート３５を介して空気中に放熱することができる。また、駆動回路６０を圧力発生室２１等の液体流路が形成された流路ユニット３０の構成部材に熱伝導可能に接続することで、液体流路を流れるインクによって駆動回路６０を冷却（放熱）させることができる。したがって、駆動回路６０の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路６０の放熱性を高めるために大型化する必要がなく、小型化することができる。ちなみに、駆動回路６０の発熱を抑制するためには、駆動回路６０の内部抵抗を低減する必要があるため、駆動回路６０内のトランジスタの大きさを確保する必要があったが、駆動回路６０をノズルプレート３５に熱伝導可能に接続することで、ノズルプレート３５によって駆動回路６０の発熱を放熱することができるため、トランジスタの大きさを確保する必要がない。したがって、駆動回路６０の内部抵抗を低減する必要がなく、駆動回路６０を小型化することができると共にコストを低減することができる。
【００３６】
また、駆動回路６０をノズルプレート３５に熱伝導可能に接続することで、駆動回路６０の発熱を抑制することができ、駆動回路６０に与える電流を大きくしてインク吐出特性を向上することができると共に、インクの連続吐出性能を向上することができる。すなわち、駆動回路６０は、電流を大きくすることで発熱が大きくなると共に、連続吐出させることで放熱時間が短くなるため、駆動回路６０を流れる電流やインクの連続吐出性能が制限されてしまうが、ノズルプレート３５によって駆動回路６０の熱を放熱することにより、駆動回路６０を流れる電流を大きくすることができると共にインクの連続吐出を短い間隔で長時間行わせることができる。
【００３７】
また、本実施形態では、駆動回路６０をノズルプレート３５に熱伝導可能に接続するようにしたため、ノズルプレート３５のみに駆動回路６０が熱伝導可能に接続される領域を延設すればよく、コストを低減することができる。また、ノズルプレート３５のような外部に露出された部材に駆動回路６０を接続することで、大気への放熱性を向上することができる。
【００３８】
さらに、流路ユニット３０を構成する構成部材、本実施形態では、ノズルプレート３５を駆動回路６０に熱伝導可能に接続することによって、ノズルプレート３５を加熱することができる。これにより、ノズル開口３４から吐出されるインクを加熱して、インクの粘度を下げることができる。したがって、インクジェット式記録ヘッド１０から高粘度インクを吐出させることができる。すなわち、駆動回路６０の熱でノズルプレート３５を介して高粘度インクを加熱することで、高粘度インクの粘度を低くすることができ、通常の粘度と同様の吐出特性で吐出させることができる。また、圧電素子４０のインク粘度に伴う駆動条件として設定する温度範囲において、低温側の設定、例えば、０℃〜４０℃の温度範囲の場合には、０℃側の温度を高くすることができる。これにより、駆動条件の制限を広げて、所望の吐出特性でインクを吐出することができ、高品質の印刷を実現できる。
【００３９】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態１を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、流路ユニット３０を構成する構成部材として、インク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５を例示し、このうちノズルプレート３５に駆動回路６０を熱伝導可能に接続したが、特にこれに限定されず、例えば、流路ユニット３０を構成する他の構成部材、例えば、インク供給口形成基板３１又はリザーバ形成基板３３等に駆動回路６０を熱伝導可能に接続するようにしてもよい。また、上述した実施形態１では、流路ユニット３０を構成する構成部材として、インク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、流路ユニット３０の構成部材として、アクチュエータユニット２０の液体流路が形成された構成部材、すなわち、流路形成基板２２及び圧力発生室底板２４を含めるようにしてもよい。したがって、駆動回路６０が熱伝導可能に接続される構成部材として、流路形成基板２２又は圧力発生室底板２４を用いるようにしてもよい。すなわち、特許請求の範囲で言う流路ユニットを構成する構成部材とは、圧力発生手段（実施形態１の圧電素子４０）が設けられて、内部に圧力発生手段によって圧力変化が生じされる圧力発生室を含む液体流路が形成されて一体化された流路ユニットを構成する部材のことを言う。
【００４０】
また、上述した実施形態１では、フレキシブルプリント基板５０の流路ユニット３０側に駆動回路６０を実装し、駆動回路６０と流路ユニット３０を構成する構成部材（ノズルプレート３５）とを接着剤６１を介して熱伝導可能に接続するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、図４に示すように、フレキシブルプリント基板５０の流路ユニット３０とは反対側の面に駆動回路６０を実装した場合であっても、駆動回路６０と流路ユニット３０の構成部材とを接着剤６１を介して熱伝導可能に接続すれば、上述した実施形態１と同様の効果を奏することができる。すなわち、図４に示すように、実際には、駆動回路６０はベースフィルム５２等を介して流路ユニット３０の構成部材であるノズルプレート３５と接着剤６１を介して接続されるが、駆動回路６０の熱は、ベースフィルム５２等及び接着剤６１を介してノズルプレート３５に熱伝導されるため、駆動回路６０は実質的に流路ユニット３０の構成部材と熱伝導可能に接続されていることになる。
【００４１】
さらに、上述した実施形態１では、ノズルプレート３５をインク導入口３８とは反対側に延設し、この延設された領域に駆動回路６０を接着剤６１を介して熱伝導可能に接続するようにしたが、流路ユニット３０の構成部材の駆動回路６０が熱伝導可能に接続される領域や駆動回路６０の実装する位置等は特にこれに限定されず、例えば、流路ユニット３０の構成部材をインク導入口３８が設けられた方向とは交差する方向の一部を延設し、この延設した領域に駆動回路６０を実装するようにしてもよい。
【００４２】
さらに、上述した実施形態１では、厚膜型の圧電素子を用いた圧力発生手段を例示したが、特にこれに限定されず、圧力発生手段としては、例えば、下電極、圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィ法により順次積層する薄膜型の圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子などを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエータなどを使用することができる。
【００４３】
また、これらのインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４４】
図５に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４５】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４６】
なお、上述した実施形態１においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００４８】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  アクチュエータユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室低板、  ３０  流路ユニット、  ３１  インク供給口形成基板、  ３２  リザーバ、  ３３  リザーバ形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ４０  圧電素子、  ４３  下電極膜、  ４４  圧電体層、  ４５  上電極膜、  ４６  個別接続端子、  ４７  共通接続端子、  ５０  フレキシブルプリント基板、  ５１  配線層、  ５２  ベースフィルム、  ５３  絶縁材料、  ６０  駆動回路、  ６１  接着剤、  ７０  回路基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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