(57)【要約】【課題】  圧電振動片又は圧電デバイス内の電子素子が静電気の放電反応により損傷されることを回避するために、放電が起きにくい圧電振動片又は圧電デバイスを提供する。【解決手段】  第１及び第２基部電極が形成されている基部と、基部から突出する第１振動腕部及び第２振動腕部と、  第１及び第２振動腕部に形成されている第１及び第２励振電極と、  第１基部電極と第１励振電極とを曲線状に形成された電極で接続する第１接続電極部と、  第２基部電極と第２励振電極とを曲線状に形成された電極で接続する第２接続電極部と、  を備える。【選択図】図１
2009152989.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１及び第２基部電極が形成されている基部と、
前記基部から突出する第１振動腕部及び第２振動腕部と、
前記第１及び第２振動腕部に形成されている第１及び第２励振電極と、
前記第１基部電極と前記第１励振電極とを曲線状に形成された電極で接続する第１接続電極部と、
前記第２基部電極と前記第２励振電極とを曲線状に形成された電極で接続する第２接続電極部と、
を備えることを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記第１基部電極の直線の辺又は前記第１励振電極の直線の辺と、前記第１接続電極部の曲線状の辺とが合致する点において、第１接続電極部の曲線状の辺の接線方向が、前記直線の辺の方向と一致することを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記第１基部電極と前記第２基部電極とが向かい合う辺が、曲線状に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記第１接続電極部の一辺は一定の曲率で形成され、他の一辺も異なる一定の曲率で形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記第１接続電極部の一辺と前記第１基部電極の一辺とが同じ曲率で形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項の圧電振動片と、
前記圧電振動片を収容するパッケージと、
前記パッケージを封止する封止部と
を備える圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片と、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスとの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動片を使った圧電デバイスが、時計やコンピュータ、携帯電話などのクロック源、又は角速度測定用として広く採用されている。近年、圧電部品の集積度が上がり、それに伴い圧電デバイスの小型化が一段と要求されてきている。圧電デバイスの小型化は、静電気耐性を弱めることにもなってきている。小型化された圧電振動片として、例えば、特許文献１に、音叉型圧電振動片が開示されている。
【０００３】
圧電デバイスは、人体に蓄えられた静電気によってデバイスが破壊しないようにしなければならない。このため、ＥＳＤ試験は、ＨＢＭ( ヒューマン・ボディ・モデル )試験が行われる。また、圧電デバイスの組み立て装置などに溜まった静電気によって圧電デバイスが破壊しないように、ＭＭ( マシーン・モデル)試験が行われている。最近は、さらなる圧電振動片又は圧電デバイスの小型化から、デバイス固有の容量に帯電した電荷が電位ポテンシャルの異なる導体に接近もしくは接触する時に急速な電荷移動が起こることが問題となっており、ＣＤＭ( チャージド・デバイス・モデル ) 試験も行われている。
【０００４】
圧電振動片を使った圧電デバイスのＥＳＤ耐圧は５００Ｖ程度であり、他の圧電部品と比べて低い値を示している。このため、圧電振動片又は圧電デバイスのＥＳＤ耐圧を向上させることが要求されている。特に圧電振動片又は圧電デバイスの小型化に伴い、細い電極パターンにおいて、静電気放電でパターンが破壊されることが多い。
【０００５】
図７は、特許文献１に示されるような音叉型圧電振動片１２０の一例であり、音叉型圧電振動片１２０は、例えば共振周波数が３２．７６８ｋＨの小型の振動子等があり、最終的には、例えば時計等の精密機器に組み込まれて使用されることになる。
この音叉型圧電振動片１２０は、外部より電流が印加されると左右の腕部１２１が振動するようになっている。具体的には、図７に示す腕部１２１の溝１３１に溝電極１２３ｄ及び溝電極１２５ｄが形成される。一方、これら溝１３１が設けられていない両側面に側面電極１２３ｃ及び側面電極１２５ｃが形成される。そして、電流が印加されると溝電極１２３ｄ及び溝電極１２５ｄと側面電極１２３ｃ及び側面電極１２５ｃとの間に電界が生じ、腕部１２１が振動するようになっている。
【０００６】
音叉型圧電振動片１２０の基部１２９には、基部電極１２３ａ、１２５ａが形成されており、外部から基部電極１２３ａ、１２５ａに電流が供給される。基部電極１２３ａ、１２５ａから、溝電極１２３ｄ及び溝電極１２５ｄと側面電極１２３ｃ及び側面電極１２５ｃへ電流を供給するため、接続電極１２３ｂ，１２５ｂが形成される。
隣り合う接続電極１２３ｂと接続電極１２５ｂとの幅は、非常に狭く、例えば０．０１ｍｍから０．０３ｍｍ程度しかないため、放電による短絡が生じやすい。特に円で囲まれた領域ＤＣにて、放電による短絡が生じている。
【特許文献１】特開２００２−２６１５７５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
圧電振動片の静電荷は、放電突起を通して雰囲気中の粒子を介して静電気放電反応を起こす。このため、領域ＤＣに放電による短絡が発生しやすい理由は、接続電極１２３ｂ又は接続電極１２５ｂの一部に９０度の角部が存在していることが考えられる。
【０００８】
本発明の目的は、圧電振動片又は圧電デバイス内の電子素子が静電気の放電反応により損傷されることを回避するために、放電が起きにくい圧電振動片又は圧電デバイスを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の観点の圧電振動片は、第１及び第２基部電極が形成されている基部と、前記基部から突出する第１振動腕部及び第２振動腕部と、第１及び第２振動腕部に形成されている第１及び第２励振電極と、第１基部電極と第１励振電極とを曲線状に形成された電極で接続する第１接続電極部と、第２基部電極と第２励振電極とを曲線状に形成された電極で接続する第２接続電極部と、を備える。
第１の観点の構成によれば、第１接続電極部及び第２接続電極部が、曲線状に形成されている。このため第１接続電極部及び第２接続電極部に角部が存在しないため、隣り合う第１接続電極部と第２接続電極部との間で放電が発生しにくくなる。従来は、図７（ａ）に示すように、角部が生じていたため放電が生じる割合が多かった。つまり、本発明は、断線や短絡が生じることを少なくすることができる。
【００１０】
第２の観点による圧電振動片は、第１基部電極の直線の辺又は第１励振電極の直線の辺と、第１接続電極部の曲線状の辺とが合致する点において、第１接続電極部の曲線状の辺の接線方向が、直線の辺の方向と一致する。
第２の観点の構成によれば、電極のうち直線状の辺と第１接続電極部の曲線状の辺とが接する点において、その曲線の接線方向が直線の辺の方向と一致する。このため、直線状の辺から曲線へスムーズに移行できるので、直線状の辺と第１接続電極部の曲線状の辺との接点で角部が発生しない。
【００１１】
第３の観点による圧電振動片は、第１基部電極と第２基部電極とが向かい合う辺が、曲線状に形成されている。
第３の観点による圧電振動片は、基部電極の向かい合う辺で角部が存在するような場合には、そので放電が起きてしまう場合がある。しかし、基部電極が曲線で構成されていれば、放電が発生する確立が低くなる。
【００１２】
第４の観点による圧電電極片は、第１接続電極部の一辺は一定の曲率で形成され、他の一辺も異なる一定の曲率で形成されている。
第４の観点による圧電振動片に、曲線の電極パターンを設計する際に、簡易に設計することができる。
【００１３】
第５の観点による圧電電極片は、第１接続電極部の一辺と前記第１基部電極の一辺とが同じ曲率で形成されている。
第５の観点の圧電電極片は、基部に表れる基部電極の一辺及び接続電極の一辺がすべてが同じ曲率であるため、所定の曲線と曲線とが接する箇所が角部を形成するようなことがない。
【００１４】
第６の観点による圧電デバイスは、第１の観点ないし第５の観点のいずれかの圧電振動片と、圧電振動片を収容するパッケージと、パッケージを封止する封止部と、を備える。
第６の観点の構成によれば、放電が生じることが少ない圧電振動片を使って、圧電デバイスを構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
＜音叉型水晶振動片２０の構成＞
図１（ａ）は、音叉型水晶振動片２０の全体構成を示した図であり、(ｂ)は、（ａ）の側面図である。また、図２は、図１（ａ）のＣ２―Ｃ２断面図である。
音叉型水晶振動片２０の母材は、Ｚカットに加工された水晶単結晶ウエハ１０で形成されている。小型で必要な性能を得るために、図１（ａ）に示すように、音叉型水晶振動片２０は、基部２９と、この基部２９から図１において上方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕２１を備えている。
【００１６】
音叉型水晶振動片２０は、例えば３２．７６８ＫＨｚで信号を発信する振動片で、極めて小型の振動片となっており、全体の長さが２．１ｍｍ程度、幅０．５ｍｍ程度である。音叉型水晶振動片２０の振動腕２１の表裏面には、溝部３１が形成されている。一本の振動腕２１の表面に２つの溝部３１が形成されており、振動腕２１の裏面側にも同様に２つの溝部３１が形成されている。つまり、一対の振動腕２１には４箇所の溝部３１が形成される。溝部３１の深さは、水晶単結晶ウエハ１０の厚さの約３５〜４５％である。溝部３１は、ＣＩ値の上昇を抑えるために設けられている。
【００１７】
音叉型水晶振動片２０の大きさは次のとおりである。
音叉型水晶振動片２０の基部２９の縦方向の長さＬ２は、例えば０．５８ｍｍないし０．６４ｍｍに形成されている。一方、この基部２９から突出して配置されている振動腕２１、振動腕２２の縦方向の長さＬ１は約１．４５ｍｍないし１．６５ｍｍに形成されている。従って、この振動腕２１に対する基部２９の長さは、約４０パーセントとなっている。振動腕２１の腕幅Ｗ３は、０．０８ないし０．１２ｍｍ程度である。また、溝部３１の幅は、振動腕２１の腕幅Ｗ３の約８０パーセントで０．０７ｍｍから０．１ｍｍ程度である。音叉型水晶振動片２０の厚さＤ１は、０．０８ｍｍないし０．１２ｍｍ程度である。これは水晶単結晶ウエハの厚さと同等である。
【００１８】
基部２９は、振動腕２１側の基部２９は、Ｘ方向の長さ（幅）がＷ１であり、振動腕２１の反対側の基部は、Ｘ方向の長さ（幅）が、幅Ｗ１よりも広い幅Ｗ２である。幅Ｗ１は幅Ｗ２の約７５パーセントから９０パーセントである。例えば、幅Ｗ１は０．４２ｍｍに幅Ｗ２は０．５０ｍｍに形成されている。このため、振動腕２１の振動により、溝部３１から漏れてきた漏れ振動は、基部２９の連結部２８側に伝わり難くなる。
また、基部２９には、２箇所の連結部２８が形成されている。２箇所の連結部２８は、この水晶単結晶ウエハから音叉型水晶振動片２０を切り取る際に残る部材であり、露光工程及び水晶エッチング工程後には、一枚の水晶単結晶ウエハに数千個の音叉型水晶振動片２０が連結されている。
【００１９】
音叉型水晶振動片２０の基部２９は、その全体が略板状に形成されている。振動腕２１に対する基部２９の長さは、約３６％となっている。音叉型水晶振動片２０の基部２９には、連結部２８が２箇所設けられている。連結部２８は、水晶単結晶ウエハ１０から、図１に示す音叉形状をフォトリソグラフィ及びウェットエッチングで形成する際に、水晶単結晶ウエハ１０と音叉型水晶振動片２０とを連結する部分である。
【００２０】
＜電極パターン＞
音叉型水晶振動片２０の振動腕２１及び基部２９には、第１電極パターン２３と第２電極パターン２５とが形成されている。第１電極パターン２３と第２電極パターン２５とはともに、１５０オングストローム〜５０００オングストロームのクロム（Ｃｒ）層の上に１００オングストローム〜５０００オングストロームの金（Ａｕ）層が形成された構成になっている。すなわち、第一層と第二層とを合わせると、２５０オングストローム〜１００００オングストロームの電極パターンの厚さになる。また、クロム（Ｃｒ）層の代わりに、タングステン（Ｗ）層、ニッケル（Ｎｉ）層、ニッケルタングステン層又はチタン（Ｔｉ）層を使用してもよく、また金（Ａｕ）層の代わりに、銀（Ａｇ）層を使用してもよい。また、一層からなる場合もあり、このときは、例えばアルミ（Ａｌ）層、銅（Ｃｕ）層又はケイ素（Ｓｉ）層が用いられる。
【００２１】
音叉型水晶振動片２０の基部２９には、図１（ａ）に示すように、第１基部電極２３ａと第２基部電極２５ａとが形成され、振動腕２１の溝部３１には、第１溝電極２３ｄ，第２溝電極２５ｄがそれぞれ形成される。また、図２に示すように、図１（ａ）の左右の振動腕２１の両側面には、第２側面電極２５ｃ及び第１側面電極２３ｃがそれぞれ形成されている。
【００２２】
この第１側面電極２３ｃ及び第２側面電極２５ｃは、第１接続電極２３ｂ及び第２接続電極２５ｂを介して第１基部電極２３ａ、第２基部電極２５ａに接続されている。図１（ａ）で示すように、第１基部電極２３ａ及び第２基部電極２５ａ、並びに第１接続電極２３ｂ及び第２接続電極２５ｂは、角部が無い電極形状になっている。このため、第１基部電極２３ａ及び第１接続電極２３ｂと、第２基部電極２５ａ及び第２接続電極２５ｂとの間で放電が発生しにくくなっている。
【００２３】
＜その他の電極パターン＞
図３（ａ）は、接続電極と側面電極及び溝電極との接続箇所が一致する電極パターンを示しており、（ｂ）は、基部電極及び接続電極が一定の曲線で構成されている電極パターンを示している。
【００２４】
図３（ａ）の下側の領域ＬＣにおいて、基部電極２３−２ａと基部電極２５−２ａとが向かい合う辺は、連結部２８の一辺につながっている。（ａ）に描かれた連結部２８は、電極パターンが直線状の辺を有している。曲線の端における接線が電極パターンの直線状の辺と合致するように電極パターン２３−２ａ及び電極パターン２５−２ａが形成されている。つまり、直線状の辺と曲線の辺と接する点において、曲線の接線方向が直線の方向と一致するため、箇所においても角部が存在せず、放電が発生しにくくなる。
【００２５】
また、図３（ａ）の上側の領域ＬＣにおいて、接続電極２３−２ｂ及び接続電極２５−２ｂは、第１側面電極２３ｃ及び第２側面電極２５ｃ、並びに第１溝電極２３ｄ及び第２溝電極２５ｄに接続する。この際に、第１側面電極２３ｃ及び第２側面電極２５ｃ、並びに第１溝電極２３ｄ及び第２溝電極２５ｄは、振動腕２１に直線状に形成されている。このため、直線状の辺と曲線の辺とが一致し、放電が発生しにくくなる。
【００２６】
図３（ｂ）は、基部電極２３−３ａと基部電極２５−３ａとが向かい合う辺は、接続電極２３−３ｂ及び接続電極２５−３ｂの部分も含めて、中心から一定の曲率の辺で形成されている。また、接続電極２３−２ｂ及び接続電極２５−２ｂも中心から一定の曲率の辺で形成されている。接続電極２３−２ｂの振動腕２１側の辺は曲率Ｒ１で、接続電極２３−２ｂの基部２９側の辺は曲率Ｒ２で形成されている。一定曲率であるため、放電が発生しにくい。接続電極２５−２ｂの振動腕２１側の辺は曲率Ｒ３で、接続電極２５−２ｂの基部２９側及び基部電極２５−３ａの辺は曲率Ｒ４で形成されている。もう一方の接続電極２３−２ｂの基部２９側及び基部電極２３−３ａの辺は曲率Ｒ５で形成されている。すべての辺が一定曲率であるため、設計しやすく且つ放電が発生しにくい。
【００２７】
図示しないが、二次関数又は三次関数で描かれた辺からなる曲線で電極パターン２３又は、電極パターン２５が形成されていてもよい。例えば、サイクロイド曲線、カージオイド曲線又はアステロイド曲線などであってもよい。
【００２８】
図４は、静電耐圧試験結果（ＨＢＭ）を示した図であり、縦軸が不良頻度（％）であり、横軸が耐圧電圧（Ｖ）を示している。鎖線が図７に示すように直行する直線のみでできた電極パターンを有している音叉型圧電振動片１２０の試験結果である。一方、実線が図１に示すように曲線のみで接続電極が形成された音叉型圧電振動片２０の試験結果である。
図４の試験結果からわかるように、本発明の音叉型圧電振動片２０は、約１７００Ｖまで不良が発生しない。また、１７００Ｖ以上の静電電圧において、本発明の音叉型圧電振動片２０の不良頻度は、音叉型圧電振動片１２０の不良頻度よりも低い。
【００２９】
＜圧電振動デバイスの製造工程＞
図５は、本実施形態のパッケージ音叉型振動子５０の製造の全工程を示したフローチャートである。
＜＜圧電振動片の外形形成及び振動腕の溝部形成の工程＞＞
ステップＳ１１２では、水晶単結晶ウエハ１０の全面に、耐蝕膜をスパッタリングもしくは蒸着などの手法により形成する。すなわち、圧電材料としての水晶単結晶ウエハ１０を使用する場合に、金（Ａｕ）や銀（Ａｇ）等を直接成膜することは困難なため、下地としてクロム（Ｃｒ）やチタン（Ｔｉ）等を使用する。つまり、この実施形態では、耐蝕膜としてクロム層の上に金層を重ねた金属膜を使用する。例えば、クロム層の厚みは５００オングストローム、金層の厚みも５００オングストローム程度とする。
【００３０】
ステップＳ１１４では、クロム層及び金層が形成された水晶単結晶ウエハ１０に、フォトレジスト層を全面にスピンコートなどの手法で均一に塗布する。フォトレジスト層としては、例えば、ノボラック樹脂によるポジフォトレジストを使用できる。
【００３１】
次に、ステップＳ１１６では、露光装置を用いて、不図示のフォトマスクに描かれた音叉型水晶振動片２０の外形パターンをフォトレジスト層が塗布された水晶単結晶ウエハ１０を露光する。ステップＳ１１６では、両面露光装置を使って３６５ｎｍのｉ線の露光光を用いて水晶単結晶ウエハ１０の両面にフォトマスクに描かれた音叉型水晶振動片２０のパターンを露光する。
【００３２】
ステップＳ１１８では、水晶単結晶ウエハ１０のフォトレジスト層を現像して、感光したフォトレジスト層を除去する。さらに、フォトレジスト層から露出した金層を例えば、ヨウ素とヨウ化カリウムの水溶液を用いて、金層をエッチングする。次いで、金層が除去されて露出したクロム層を、例えば硝酸第２セリウムアンモニウムと酢酸との水溶液でエッチングする。水溶液の濃度、温度及び水溶液に浸している時間を調整して余分な箇所が侵食されないようにする。これで耐蝕膜を除去することができる。
【００３３】
ステップＳ１２０では、溝部３１を形成するためのフォトレジスト層を全面にスピンコート又はスプレー塗布などの手法で均一に塗布する。
ステップＳ１２２では、溝部３１に対応したフォトマスクを用意して、溝部３１をフォトレジスト層が塗布された水晶単結晶ウエハ１０を露光する。溝部３１は音叉型水晶振動片２０の両面に形成する必要があるため、露光光を用いて音叉型水晶振動片２０の両面を露光する。両面露光装置を使って音叉型水晶振動片２０の両面を一度に露光することもでき、また、片面露光装置を使って音叉型水晶振動片２０の片面を露光し、音叉型水晶振動片２０を裏返して他方の片面を露光することもできる。
ステップＳ１２４では、フォトレジスト層を現像後、感光したフォトレジストを除去する。残るフォトレジストは溝部３１と対応したフォトレジストになる。フォトレジスト層から露出した金層はここではエッチングせず、ステップＳ１２８でエッチングする。
【００３４】
ステップＳ１２６では、フッ酸溶液をエッチング液として、フォトレジスト層及び耐蝕膜から露出した水晶材料を、音叉型水晶振動片２０の外形になるようにウェットエッチングを行う。このウェットエッチングは、フッ酸溶液の濃度や種類、温度等により時間が変化するが、約６時間ないし約１５時間かかる。
次いで、ステップＳ１２８では、溝部３１のエッチングを行う。すなわち、溝部３１と対応した露出した金層を例えば、ヨウ素とヨウ化カリウムの水溶液でエッチングする。
【００３５】
続いて、ステップＳ１３０で、フッ酸溶液をエッチング液として、耐蝕膜から露出した水晶材料を、溝部３１の外形になるようにウェットエッチングを行う。溝部３１が貫通孔にならないように途中でエッチングを終了するハーフエッチングを行う。これらの工程を経て、音叉型水晶振動片２０に溝部３１が正確な位置に形成される。
ステップＳ１３２では、不要となったフォトレジスト層と耐蝕膜を除去する
【００３６】
＜＜電極の形成の工程＞＞
ステップＳ１３４では、音叉型水晶振動片２０を純水で洗浄し、音叉型水晶振動片２０の全面に駆動電極としての励振電極などを形成するための金属膜を蒸着又はスパッタリング等の手法により形成する。
ステップＳ１３６では、スプレーを使って全面にフォトレジストを塗布する。溝部３１又は角部などが形成されているため、溝部３１などにも均一にフォトレジストが塗布されるようにする。
【００３７】
ステップＳ１３８では、電極パターン２３及び電極パターン２５に対応した不図示のフォトマスクを用意して、電極パターンをフォトレジスト層が塗布された水晶単結晶ウエハ１０を露光する。電極パターン２３及び電極パターン２５には音叉型水晶振動片２０の両面に形成する必要がある。電極パターンに対応したフォトマスクは、図１（ａ）又は図３に示した電極パターンのように、電極パターンの辺が曲線状に形成されている。
【００３８】
ステップＳ１４０では、フォトレジスト層を現像後、感光したフォトレジストを除去する。残るフォトレジストは電極パターンと対応したフォトレジストになる。次いで、電極となる金属膜のエッチングを行う。すなわち、電極パターンと対応したフォトレジスト層から露出した金層を例えば、ヨウ素とヨウ化カリウムの水溶液でエッチングし、次にクロム層を例えば硝酸第２セリウムアンモニウムと酢酸との水溶液でエッチングする。
続いて、ステップＳ１４２でフォトレジストを除去する。これらの工程を経て、音叉型水晶振動片２０に励振電極などが正確な位置及び電極幅で形成される。
【００３９】
＜パッケージング＞
＜＜音叉型水晶振動子の構成＞＞
図６（ａ）は、本実施形態に係るセラミック製のパッケージ音叉型水晶振動子５０を示す断面図である。このセラミック製のパッケージ音叉型振動子５０は、上述の複数の実施形態の音叉型水晶振動片２０を使用している。音叉型水晶振動片２０はパッケージ５１に導電接着剤３１によって実装される。その後、蓋体５６と封止材５８とがシーム溶接などで固定されることで、音叉型水晶振動片２０がパッケージ５１内に封止される。
【００４０】
＜＜音叉水晶発振器の構成＞＞
図９（ｂ）は、音叉水晶発振器６０を示す図である。この音叉水晶発振器６０は、上述のセラミック製のパッケージ音叉型振動子５０と多くの部分で構成が共通している。従って、セラミック製のパッケージ音叉型振動子５０と音叉型水晶振動片２０の構成、作用等については、同一符号を付する等して、その説明を省略する。
【００４１】
図９（ｂ）に示す音叉型水晶発振器６０は、図９（ａ）に示すセラミック製のパッケージ音叉振動子５０の音叉型水晶振動片２０の下方で、ベース部５１ａの上に集積回路６１を配置したものである。すなわち、音叉水晶発振器６０では、その内部に配置された、音叉型水晶振動片２０が振動すると、その振動は、集積回路６１に入力され、その後、所定の周波数信号を取り出すことで、発振器として機能することになる。このような集積回路６１がパッケージ５１に実装され、引き続き音叉型水晶振動片２０がパッケージ５１に導電接着剤３１によって実装される。
【００４２】
＜＜シリンダータイプ音叉水晶発振器の構成＞＞
図９（ｃ）は、シリンダータイプ音叉振動子７０を示す概略図である。このシリンダータイプ音叉振動子７０は、上述の音叉型水晶振動片２０を使用している。シリンダータイプ音叉振動子７０は、その内部に音叉型水晶振動片２０を収容するための金属製のキャップ７５を有している。このキャップ７５は、ステム７３に対して圧入され、その内部が真空状態に保持されるようになっている。また、キャップ７５に収容された音叉型水晶振動片２０を保持するためのリード７１が２本配置されている。リード７１と音叉型水晶振動片２０とは導電接着剤３１で導電接合される。この音叉型水晶振動片２０は、電極部から一定の電流が与えられると振動するようになっている。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
各実施形態において、音叉型水晶振動片２０は、振動腕２１及び振動腕２２を形成しているが、これに限らず、振動腕は３本でも、４本以上でもよい。また、水晶単結晶ウエハを使った実施形態で説明してきたが、水晶以外にもタンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。角加速度を検出するジャイロにも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）は、本発明の音叉型水晶振動片２０の平面図であり、（ｂ）はその側面図である。
【図２】図１（ａ）に示したＣ２―Ｃ２の断面図である。
【図３】（ａ）は、第２の電極パターン２３−２，２５−２であり、（ｂ）は、第３の電極パターン２３−３，２５−３である。
【図４】静電耐圧試験の結果を示した図である。
【図５】圧電振動片、及び電極パターンの工程のフローチャートである。
【図６】パッケージされた圧電デバイスの態様を示す図である。
【図７】従来の音叉型水晶振動片１２０を示す、正面図及び側面図である。
【符号の説明】
【００４５】
２０  …  音叉型水晶振動片
２１，２２  …  振動腕
２３，２５  …  電極、  ２３a，２５ａ  …  基部電極、  ２３ｂ，２５ｂ  …  接続電極、  ２３ｃ，２５ｃ  …  側面電極、  ２３ｄ，２５ｄ  …  表面電極
２８  …  連結部
２９  …  基部
５０  …  パッケージ音叉型振動子
５１  …  パッケージ
６０  …  音叉型水晶振動子
７０  …  シリンダータイプ音叉振動子
１２０  …  従来の音叉型水晶振動片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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