(57)【要約】【課題】簡単で低コストな構成により、揺動体が駆動される領域における雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減し、揺動体のブレを抑制することが可能となる揺動体装置、光偏向器及び画像形成装置を提供する。【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持され、前記ねじり軸回りに少なくとも１つの固有振動モードを有する可動部を備え、可動部を固有振動モードで駆動可能に構成した揺動体装置であって、  前記可動部が駆動される領域における雰囲気を昇温する昇温手段を有し、該昇温手段による昇温によって該雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減することが可能に構成されている。【選択図】            図１
2009069392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持され、前記ねじり軸回りに少なくとも１つの固有振動モードを有する可動部を備え、可動部を固有振動モードで駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動部が駆動される領域における雰囲気を昇温する昇温手段を有し、該昇温手段による昇温によって該雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減することが可能に構成されていることを特徴とする揺動体装置。
【請求項２】
前記昇温手段の動作を制御する制御回路と、
前記可動部が所定の角度間を走査する所要時間を検出する走査時間検出手段と、を有し、
前記制御回路によって、前記走査時間検出手段により検出された前記所要時間のばらつきが、目標値以内となるように前記昇温手段の動作の制御が可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の揺動体装置。
【請求項３】
前記昇温手段の動作を制御する制御回路と、
前記雰囲気の温度を検出する温度検出手段と、を有し、
前記制御回路によって、前記温度検出手段により検出された温度が目標温度以上となるように、前記昇温手段の動作の制御が可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の揺動体装置。
【請求項４】
前記目標温度は、３５℃以上であることを特徴とする請求項３に記載の揺動体装置。
【請求項５】
前記昇温手段は、電流を通電し発熱する発熱抵抗体によって構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の揺動体装置。
【請求項６】
前記昇温手段は、外部熱源と前記雰囲気を熱的に接続する高熱伝導体によって構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の揺動体装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の揺動体装置と、
該揺動体装置における前記可動部に設けられた光偏向素子と、
を有することを特徴とする光偏向器。
【請求項８】
光源と、感光体と、請求項７に記載の光偏向器と、を有し、
前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射することを特徴とする画像形成装置。
【請求項９】
前記光偏向器からの光がレンズを介して前記感光体上に入射する構成を備え、
前記光偏向器とレンズとの間に、前記雰囲気の流れを妨げる障壁を有することを特徴とする請求項８に記載の画像形成装置。
【請求項１０】
前記障壁が、断熱壁で構成されていることを特徴とする請求項９に記載の画像形成装置。
【請求項１１】
光源と、感光体と、請求項６に記載の揺動体装置を用いて構成された光偏向器と、を有し、
前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射させ画像を形成する画像形成装置であって、
前記外部熱源として、前記画像を形成するに際して記録媒体に転写された画像を定着させる定着器で発生する熱が利用可能に構成されていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１２】
光源と、感光体と、請求項２に記載の揺動体装置を用いて構成された光偏向器と、を有し、
前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射させ画像を形成する画像形成装置であって、
前記走査時間検出手段により検出された前記所要時間のばらつきが目標値以内となったときに、画像の形成が開始可能に構成されていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１３】
光源と、感光体と、請求項３に記載の揺動体装置を用いて構成された光偏向器と、を有し、
前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射させ画像を形成する画像形成装置であって、
前記温度検出手段によって検出された温度が目標温度以上となったときに、画像の形成が開始可能に構成されていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動体装置、揺動体装置によって構成される光偏向器及び画像形成装置に関する。
例えば、光の偏向走査によって画像を投影するプロジェクションディスプレイ、電子写真プロセスを有するレーザービームプリンタ、デジタル複写機等の画像形成装置に好適に利用可能な揺動体装置を用いた光偏向器を実現することができる技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体プロセスによってウエハから製造される微小機械部材はマイクロメータオーダの加工が可能であり、これらを用いて様々な微小機能素子が実現されている。
例えば、このような技術によって形成される可動部（揺動体）をねじり振動し、該可動部（揺動体）の共振現象を利用したアクチュエータ（揺動体装置）として、種々の提案がなされている（例えば、特許文献１参照）。
特に、このような可動部（揺動体）の上に光偏向素子である反射面を配置し、該可動部（揺動体）の共振現象を利用して光走査を行う光偏向器は、従来のポリゴンミラー等の回転多面鏡を使用した光走査光学系に比べ、次のような利点を有している。
すなわち、光偏向器を小型化することが可能であること、半導体プロセスによって製造されるシリコン単結晶からなる光偏向器は理論上金属疲労が無く耐久性にも優れていること、消費電力が少ないこと、等の特徴がある。
特に、上記可動部（揺動体）のねじり振動の固有振動モードの周波数付近で駆動することにより、更に低消費電力とすることができる。
【特許文献１】米国特許７，０５０，２１１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記した共振現象を利用した揺動体装置による光偏光器の課題の一つとして、揺動時における揺動体のブレがあり、このような光偏光器を用いた画像形成装置において画質の劣化を生じる原因となっている。
揺動体のブレは、駆動手段により揺動体が駆動される領域における雰囲気からの非定常な抗力の影響を受けることに起因している。
すなわち、揺動体を構成する可動板の周囲における空気の存在により、揺動体の駆動時において、その空気抵抗による気流の乱れ等の影響によって、揺動状態が不安定となる。
このような揺動体のブレに対処するため、揺動体を真空（又は低圧）封止する等の方法を採ることもできるが、このような方法では製造工程が複雑になり、コスト高となる。
【０００４】
本発明は、上記課題に鑑み、簡単で低コストな構成により、揺動体が駆動される領域における雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減し、揺動体のブレを抑制することが可能となる揺動体装置の提供を目的とするものである。
また、このような揺動体装置によって構成される光偏向器及び画像形成装置の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、つぎのように構成した揺動体装置、揺動体装置によって構成される光偏向器及び画像形成装置を提供するものである。
本発明の揺動体装置は、支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持され、前記ねじり軸回りに少なくとも１つの固有振動モードを有する可動部を備え、可動部を固有振動モードで駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動部が駆動される領域における雰囲気を昇温する昇温手段を有し、該昇温手段による昇温によって該雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減することが可能に構成されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記昇温手段の動作を制御する制御回路と、前記可動部が所定の角度間を走査する所要時間を検出する走査時間検出手段と、を有し、
前記制御回路によって、前記走査時間検出手段により検出された前記所要時間のばらつきが、目標値以内となるように前記昇温手段の動作の制御が可能に構成されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記昇温手段の動作を制御する制御回路と、前記雰囲気の温度を検出する温度検出手段と、を有し、
前記制御回路によって、前記温度検出手段により検出された温度が目標温度以上となるように、前記昇温手段の動作の制御が可能に構成されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記目標温度が、３５℃以上であることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記昇温手段が、電流を通電し発熱する発熱抵抗体によって構成されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記昇温手段が、外部熱源と前記雰囲気を熱的に接続する高熱伝導体によって構成されていることを特徴とする。
また、本発明の光偏向器は、上記したいずれかに記載の揺動体装置と、該揺動体装置における前記可動部に設けられた光偏向素子と、を有することを特徴とする。
また、本発明の画像形成装置は、光源と、感光体と、上記した光偏向器と、を有し、
前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射することを特徴とする。
また、本発明の画像形成装置は、前記光偏向器からの光がレンズを介して前記感光体上に入射する構成を備え、
前記光偏向器とレンズとの間に、前記雰囲気の流れを妨げる障壁を有することを特徴とする。
また、本発明の画像形成装置は、前記障壁が、断熱壁で構成されていることを特徴とする。
また、本発明の画像形成装置は、光源と、感光体と、外部熱源と前記雰囲気を熱的に接続する高熱伝導体によって構成されている揺動体装置を用いた光偏向器と、を有し、
前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射させ画像を形成する画像形成装置であって、
前記外部熱源として、前記画像を形成するに際して記録媒体に転写された画像を定着させる定着器で発生する熱が利用可能に構成されていることを特徴とする。
また、本発明の画像形成装置は、光源と、感光体と、前記走査時間検出手段により検出された前記所要時間のばらつきが、目標値以内となるように前記昇温手段の動作の制御が可能に構成されている揺動体装置を用いて構成された光偏向器と、を有し、
前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射させ画像を形成する画像形成装置であって、
前記走査時間検出手段により検出された前記所要時間のばらつきが目標値以内となったときに、画像の形成が開始可能に構成されていることを特徴とする。
また、本発明の画像形成装置は、光源と、感光体と、前記温度検出手段によって検出された温度が目標温度以上となるように、前記昇温手段の動作の制御が可能に構成されている揺動体装置を用いて構成された光偏向器と、を有し、
前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射させ画像を形成する画像形成装置であって、
前記温度検出手段によって検出された温度が目標温度以上となったときに、画像の形成が開始可能に構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、簡単で低コストな構成により、揺動体が駆動される領域における雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減することが可能となる  揺動体装置を実現することができる。
また、このような揺動体装置によって構成される光偏向器及び画像形成装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
つぎに、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
［実施形態１］
本発明の実施形態１として、本発明の揺動体装置を用いて構成した光偏向器の構成例について説明する。
図１に、本発明の実施形態における光偏向器の構成例について説明する図を示す。
図２は、本実施形態における揺動体装置の構成を示す図であり、図２（ａ）はその上面図、図２（ｂ）は揺動体装置の可動部を説明するための図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
図１において、１は固定部、２は支持基板、３は支持部、４は反射面、６は可動部、１０１は光源（レーザ光源）、１０２は制御回路、１０３は昇温手段、１０４は駆動手段である。
【０００８】
本実施形態において、固定部に固定された支持基板に対し、ねじりバネによる支持部によってねじり軸まわりにねじり振動可能（揺動可能）に支持され、該ねじり軸回りに少なくとも１つの固有振動モードを有する可動部６を備えた揺動体装置が構成されている。
この可動部６は、駆動手段によって前記固有振動モードで駆動可能に構成されている。
そして、本実施形態においては、この揺動体装置の可動部６に光偏向素子としての反射面４を設けて、光偏向器が構成されている。
更に、この光偏向器に光源１０１と感光体を備えさせ、光源１０１からの光を偏向し、感光体上に入射するようにして画像形成装置として用いることも可能とされている。
【０００９】
ここで、更に、本実施形態の揺動体装置について説明すると、この揺動体装置は、図２（ａ）に示すように、支持基板２に可動部６が２本で１対の支持部３で支持された構造となっている。
両端の支持基板２は、固定部１に固定され、２本で１対の支持部３は可動部６をＣ軸（つまり、ねじり軸）を中心に弾性的に、ねじり振動自在に支持するものである。
そして、ねじり軸Ｃまわりにねじり振動の固有振動モードを有する。
その周波数ｆは良く知られているように、つぎの（式１）で表される。
ｆ＝１／（２・π）・√（２・Ｋ／Ｉ）        （式１）
ここで、Ｋは１つの支持部３のねじり軸Ｃまわりのねじりバネ定数、Ｉは可動部６のねじり軸Ｃまわりの慣性モーメントを示している。
そして、図１に示すように、駆動手段１０４は、可動部６をこの固有振動モードの周波数ｆにほぼ一致した周波数で駆動する。そのため、省電力な駆動を実現できる。
【００１０】
つぎに、可動板の周囲の空気による空気抵抗、すなわち雰囲気からの抗力について説明する。
図２（ｂ）に示す図２（ａ）のＡ−Ａ線における断面は、特に可動部６のみを取り出し、静止時の位置と駆動領域で最大変位角となる位置を示している。
可動部６は、駆動に際して図２（ｂ）の破線の領域の雰囲気１７をかき乱すこととなる。その際、可動部６は雰囲気１７から抗力を受ける。
そして、上記  （式１）のＩが小さい光偏向器を構成した場合、駆動によって可動部６が押しのける雰囲気からの抗力の影響は相対的に大きくなる。
雰囲気からの抗力は、平均的な定常成分と非定常成分を有している。
この、非定常成分は、可動部６の駆動位置と速度によりばらつきを有しながら様々な値をとるため、固有振動モード付近で駆動している可動部６のブレを生じ、このような揺動体装置によって構成された光偏向器の走査安定性を低下させてしまうこととなる。
【００１１】
本実施形態において、揺動体装置の可動部６は、図１に示すように昇温手段１０３により、雰囲気１７の温度を昇温することが可能に構成されている。
そして、前記可動部が駆動される領域における雰囲気を、前記昇温手段１０３による昇温よって該雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減した状態で可動部６を駆動することが可能となる。
したがって、このような揺動体装置による光偏向器の走査安定性を向上することが可能となる。
そして、上記本実施形態の構成によれば、昇温した雰囲気１７中を駆動することで走査安定性が得られるため、可動部６の形状によらず走査安定性を向上することが可能となる。
特に、可動部６の反射面積が大きくても走査安定性が向上させられるため、このような光偏向器によ画像形成装置を構成することにより、安定で高解像な画像を形成することが可能となる。
更に、式１のＩを小さくしても走査安定性を低減できるため、ねじりバネの剛性を低く設定できる。そのため、バネを小型にできるばかりでなく、破断しにくいバネとすることができる。
【００１２】
つぎに、本実施の形態の光偏向器を用いて構成した画像形成装置における走査安定性について説明する。
図１１に、雰囲気１７の温度と走査時間のばらつき（すなわち走査安定性）の関係を表すグラフを示す。
【００１３】
画像形成装置における画質に重要な影響を及ぼす走査安定性は、以下に説明するように走査時間のばらつきを小さくすることにより達成可能となる。
図１の光源１０１からの光は、反射面４に入射し、所定の周波数・振幅で、走査される。
その際、走査時間検出手段により、毎走査の走査時間を計測することができる。走査時間検出手段は、例えば、後述するように、光受光素子を走査領域の両端に設置し、それぞれの光受光素子を走査光が横切るタイミングを検出することで達成できる。
その際、図１１に示すように、走査時間のばらつきは、雰囲気を高温にするほど、走査時間のばらつきが小さく走査が安定する。
特に、温度３５℃以上にすれば、安定な走査に保つことが可能となる。
また、温度６０℃以上となると、光偏向器が設置される周辺の光学部品の位置決め精度に好ましくない影響を及ぼす。したがって、温度６０℃以下が望ましい。
ここで、このような昇温手段は、電流を通電し発熱する発熱抵抗体によって構成することができる。
また、外部熱源と前記雰囲気を熱的に接続する高熱伝導体によって構成することもできる。
【００１４】
図１に示した制御回路１０２は、昇温手段１０３の動作を制御する制御回路として構成されている。
本実施形態においては、上記した可動部６が所定の角度間を走査する所要時間を検出する走査時間検出手段が構成される。
そして、上記した制御回路１０２によって、走査時間検出手段により測定された走査時間のばらつきが目標値以内になるまで、昇温手段１０３の動作を制御して、雰囲気１７を昇温するように構成されている。
このように制御回路１０２により昇温手段１０３を制御することにより、環境温度が変化しても走査時間のばらつきを低減することができる。
そして、走査時間のばらつきを目標値とすることにより、温度測定を行わないで、昇温手段を制御することが可能となる。雰囲気１７は図２（ｂ）の破線で示すように、可動部６の駆動領域である。
そのため、この微小な領域の雰囲気の温度を測定するための温度測定素子を設置する必要がなく、昇温の影響を瞬時に検出することが可能となる。
したがって、簡単で低コストな構成により、昇温手段を制御することで、可動部の駆動領域における雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減し、可動部のブレを抑制して走査安定性を向上することが可能となる。
【００１５】
［実施形態２］
本発明の実施形態２として、本発明の揺動体装置を用いて構成した実施形態１とは異なる形態の光偏向器の構成例について説明する。
図３に、本発明の実施形態における光偏向器の構成例について説明する図を示す。
図３には図１に示す実施形態１と同じ構成に同一の符号が付されているので、共通する部分の説明は省略する。
図３において、１０５は温度検出手段である。
図３に示す本実施形態では、図１に示す実施形態１とは異なり、前記雰囲気の温度を検出する温度検出手段１０５を有している。そして、この温度検出手段１０５が雰囲気１７の温度を測定する。
制御回路１０２は、この温度が目標温度以上となるように、昇温手段１０３の動作を制御するように構成されており、これにより環境温度が変化しても走査安定を向上させることが可能に構成されている。
本実施形態においては、このような温度検出手段１０５を構成することにより、雰囲気１７の温度を直接測定することができ、温度の調整を正確に行うことが可能となる。
特に、走査安定性は高温になれば向上するが、高温環境で光偏向器の周辺の光学部品へ影響が大きい場合は、有効な形態となる。
【００１６】
［実施形態３］
本発明の実施形態３として、本発明の揺動体装置による光偏向器を用いて構成した画像形成装置の構成例について説明する。
図４に、本発明の実施形態における実施形態１の光偏向器を用いた画像形成装置による画像形成を説明するためのフローチャートを示す。
図５に、本発明の実施形態における実施形態２の光偏向器を用いた画像形成装置による画像形成を説明するためのフローチャートを示す。
ます、図４に示す形態について説明すると、工程１００２において、図１に示す制御回路１０２が昇温手段１０３を作動して、雰囲気１７の加熱を開始する。
その後、工程１００３で、駆動部６を駆動手段１０４により駆動し、光走査を開始する。
そして、工程１００４で、走査時間検出手段により、走査時間のばらつきを測定する。
制御回路１０２は、この工程で、走査時間のばらつきが目標値以内であるか判断する。
目標値以内でなければ、昇温手段１０３による加熱を継続する。目標値以内であれば、画像形成準備完了とし、画像形成を開始する。
このように、図４に示す形態による画像形成装置においては、前記走査時間検出手段により検出された前記所要時間のばらつきが目標値以内となったときに、画像の形成が開始可能に構成することができる。
【００１７】
つぎに、図５に示す形態について説明すると、この形態は工程１０１０を構成した点で、図４に示したものとは異なっている。
図５に示す形態では、工程１０１０で、温度検出手段１０５により、雰囲気１７の温度を測定する。
制御回路１０２は、この工程で、温度が目標値以内でなれば、昇温手段１０３による加熱を継続する。
目標値以内であれば、画像形成準備完了とし、画像形成を開始する。
このように、図５に示す形態による画像形成装置においては、前記温度検出手段によって検出された温度が目標温度以上となったときに、画像の形成が開始可能に構成することができる。
【００１８】
以上のように、図４、図５で説明した本実施形態の画像形成装置によれば、環境温度が変動しても、安定して良好な画像を形成することが可能となる。
【実施例】
【００１９】
以下に、本発明の実施例について説明する。
［実施例１］
実施例１では、実施形態２の構成を適用した光偏向器について説明する。
図６に、本実施例の光偏向器について説明する図を示す。
図７に、本実施例の光偏向器の駆動手段を説明する断面図を示す。
図７（ａ）は図６のＡ−Ａ断面図であり、図７（ｂ）は図６のＢ−Ｂ断面図である。
図６及び図７において、図３に示す実施形態２と同じ機能を有する構成には同じ符号が付されているから、重複する部分の説明については省略する。
【００２０】
本実施例の光偏向器は、可動部６のサイズが、幅（長手方向）３ｍｍ、長さ１ｍｍである。
また、反射面４として、アルミを蒸着している。支持基板２、支持部３、可動部６は、シリコンウエハをドライエッチングすることで一体的に形成されており、図７（ｂ）に示すように、厚さはほぼ均一で３００μｍである。
そして、支持部３のねじり方向への固有振動モードを有しており、周波数は２．４ｋＨｚとなるように設計されている。
【００２１】
また、本実施例の光偏向器は、駆動手段として、図７（ａ）に示すように、コイル５とコア８を備えている。
そして、可動部６は、反射面４の反対側に永久磁石７を有している。
永久磁石７は図７（ａ）に示す向きに、磁極を有するように着磁されている。コイル５に交流電流を通電することにより、図７（ａ）Ｈ方向とその反対向きの交流磁場を発生する。
この磁場を固有振動モード付近の周波数とすることにより、永久磁石７に発生したトルクが、可動部６を駆動することができる。
【００２２】
一方、コイル５、コア８はベース１１に設置される。ベース１１は、振動部分を固定している固定部１とは直接接していない。
また、ベース１１は熱伝導性の良好なアルミで形成されている。
そして、ベース１１には、昇温手段として、発熱抵抗体９と温度検出手段として、サーミスタ１０が設置されている。
また、発熱抵抗体９に通電することにより、ベース１１全体の温度が上昇する。その後、ベース１１全体が図７（ｂ）に示すように、その真上に設置されている可動部６周辺の雰囲気を昇温することができる。
そして、ベース１１の温度をサーミスタ１０により測定する。ベース１１は、可動部６に近接しておかれているため、周辺の雰囲気とほぼ同じ温度であるか、関係を有しているため、雰囲気の温度を検出することが可能である。
【００２３】
以上のように、本実施例によれば、可動部６の周辺の雰囲気を昇温することで、走査安定性を向上することが可能となる。
昇温手段として、発熱抵抗体を用いることで、雰囲気の昇温を小型な構成で行うことができる。
特に、本実施例のように可動部６に近接して設置すれば、走査安定向上に必要な領域の雰囲気のみを効果的に加熱できるため、省電力、高速に昇温することが可能である。
【００２４】
［実施例２］
実施例２では、実施形態１の光偏向器を適用して構成した画像形成装置について説明する。
図８に、本実施例の画像形成装置について説明する図を示す。
図９は、図８の破線で囲まれた部分を詳細に説明するための上面図であり、図１０はその断面図である。
これらの図において、図１に示す実施形態１と同じ機能を有する構成には同じ符号が付されているから、重複する部分の説明については省略する。
【００２５】
本実施例において、光偏向器５００は、実施形態１と同じ構成の光偏向器であり、図示しない光源から入射された光は、光偏向器５００で偏向走査される。
その後、この光偏向器からの光がレンズ５３０を介し、更に折り返しミラー５０１を経て、感光体５４０へ入射する。
感光体５４０は、帯電器５０２、現像器５０３を有しており、一般的な電子写真プロセスにより、静電潜像を形成し、現像器５０３で形成されたトナー像を記録媒体５０６へ転写する。
その後、定着器５０５により、画像を定着する。
図８に示すように、光学箱５０８に光偏向器５００、レンズ５３０、折り返しミラー５０１が位置決めして設置されている。
そして、前記光偏向器とレンズとの間に、前記雰囲気の流れを妨げる透明障壁１２が設置されている。
【００２６】
また、本実施例においては、図９、図１０に示すように、透明障壁１２は、実施例１の光偏向器の周囲を円筒形に覆う形態が採られている。
そして、透明障壁１２は、光を透過する樹脂で形成されている。
特に、図１０（ａ）に示すように、図９のＡ−Ａ線の断面方向には、光偏向器を覆う形に形成され、図１０（ｂ）に示すように、図９のＢ−Ｂ線の断面方向には、一部分しか覆わないように構成されている。
【００２７】
ここで、図１０（ａ）（ｂ）には、Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３の矢印で、可動部６によって生じる雰囲気の流れを示している。
可動部６の駆動によって、光偏向器の光偏向方向へのＪ１、Ｊ２の気流が発生する。透明障壁１２は、この気流が、レンズ５３０方向へ流れるのを防いでいる。
一方、図１０（ｂ）のＪ３矢印のように、可動部６の駆動により、流入する気流が存在する。透明障壁１２は、この流入を妨げないように構成されている。
【００２８】
本実施例によれば、透明障壁により、発熱抵抗体９で昇温された雰囲気がレンズ５３０方向へ流れるのを防ぎ、レンズ５３０が昇温するのを防ぐことができる。そのため、この透明障壁は断熱壁で構成することが、より効果的である。
これにより、温度上昇による光学特性の変化や、位置ずれを低減することが可能となる。更に、透明障壁１２により、密閉構造を用いないで、可動部６の周辺の雰囲気を長く昇温手段の周囲に留まらせることが可能となる。
したがって、省電力で可動部６の周辺の雰囲気を昇温することが可能となり、効果的に走査安定性を向上することができる。
そして、周辺の雰囲気のみを加熱することになるため、光学箱５０８全体の雰囲気を昇温することを防ぐことができるため、光学箱５０８内の他の光学部品への位置ずれや光学特性変化などを防ぐことが可能となる。
【００２９】
［実施例３］
実施例３では、実施例２とは異なる形態の画像形成装置について説明する。
図１２に、本実施例の画像形成装置を説明する図を示す。
図１２（ａ）は、本実施例の画像形成装置の構成を説明する図である。
本実施例において、図１２（ａ）には、図８に示す実施例２と同じ機能を有する構成には同じ符号が付されているから、重複する部分の説明については省略する。
【００３０】
本実施例において、図１２（ａ）に示す光偏向器５０４は、図１に示す実施形態１と同じ構成の光偏向器である。
この光偏向器は、制御回路１０２によって走査時間のばらつきが目標値以内になるように制御する際に用いられる走査時間検出手段が、光受光素子を走査領域の両端に配置して構成されている。
感光体５４０の画像形成領域の外側の両端に図示しない光受光素子が設けられており、一方の光受光素子を横切るタイミングを基準として、画像形成を行うことができる。
そして、その基準から、もう一方の光受光素子に走査光が達する時間を計測し、走査時間のばらつきを計測することが可能となる。
図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の光偏向器５０４の振動部分の上面図である。
【００３１】
本実施例では、図１２（ａ）に示した定着器５０５と図１２（ｂ）に示したベース１１は、高熱伝導体５０７によって熱的に接続されている。
したがって、定着器５０５で発生した熱が、ベース１１を昇温し、そして、可動部６周辺の雰囲気を昇温することができる。
高熱伝導体５０７には、例えば、アルミ・銅・グラファイトなどの高熱伝導係数を有する物質を含んだ材料や、ヒートパイプ等を用いることができる。
このように、画像形成装置内の外部の熱源と熱的に接続することで、雰囲気を昇温することにより、特別に昇温手段を設けることなく、走査安定性を向上することが可能となる。
そのため、安価で良好な画質の画像形成装置とすることができる。
また、外部熱源としては、上記のような画像を形成するに際して記録媒体に転写された画像を定着させる定着器で発生する熱を利用可能とした構成に限られるものではない。
画像形成装置内の他の要素で構成してもよく、例えば、感光体を加熱し温度調節する画像形成装置では、感光体の加熱手段を外部熱源とすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施形態１における光偏向器の構成例について説明する図である。
【図２】本実施形態１における揺動体装置の構成を示す図であり、図２（ａ）はその上面図、図２（ｂ）は揺動体装置の可動部を説明するための図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の実施形態２における光偏向器の構成例について説明する図である。
【図４】本発明の実施形態３における画像形成装置による画像形成を説明するためのフローチャートである。
【図５】本発明の実施形態３における画像形成装置による画像形成を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の実施例１における光偏向器を説明する図である。
【図７】本実施例の光偏向器の駆動手段を説明する断面図であり、図７（ａ）は図６のＡ−Ａ断面図であり、図７（ｂ）は図６のＢ−Ｂ断面図である。
【図８】本発明の実施例２における画像形成装置について説明する図である。
【図９】図８の破線で囲まれた部分を詳細に説明するための上面図である。
【図１０】図８の破線で囲まれた部分を詳細に説明するための断面図であり、図１０（ａ）は光偏向器と透明障壁を説明するための図９のＡ−Ａ断面図、図１０（ｂ）は図９のＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】本発明の実施形態１における光偏向器の雰囲気温度と走査時間ばらつきの関係を説明するグラフである。
【図１２】本発明の実施例３における画像形成装置について説明する図であり、図１２（ａ）は画像形成装置を説明する概念図、図１２（ｂ）は光偏向器の振動部分を説明する上面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１：固定部
２：支持基板
３：支持部
４：反射面
５：コイル
６：可動部
７：永久磁石
８：コア
９：発熱抵抗体
１０：サーミスタ
１１：ベース
１２：透明障壁
１７：可動領域の雰囲気
１０１：光源（レーザ光源）
１０２：制御回路
１０３：昇温手段
１０４：駆動手段
１０５：温度検出手段
５００：光偏向器
５０１：折り返しミラー
５０２：帯電器
５０３：現像器
５０４：光偏向器
５０５：定着器
５０６：記録媒体
５０７：高熱伝導体
５０８：光学箱
５４０：感光体
５３０：レンズ
１００１〜１０１２：駆動シーケンスの工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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