(57)【要約】【課題】装置域ではサイドフローを形成して清浄度悪化を防止しつつ、熱上昇を利用して効率よく排気すること。【解決手段】清浄に維持すべき装置が設置される装置域１１と、通路域１２とを有するクリーンルーム１の空調設備において、クリーンルーム１の側壁面に配設され、装置域１１に清浄な空気を吹き出す吹出口１３と、クリーンルーム１の天井面のうちで通路域１２上の位置に配設され、通路域１２の空気を吸い込む吸込口１４と、通路域１２上の吸込口１４の周囲にて天井面から垂下し、装置域１１にサイドフローの清浄空気を通過させて吸込口１４へ導くアイリッド１８を備えた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
清浄に維持すべき装置が設置される装置域と、通路域とを有するクリーンルームの空調設備において、
前記クリーンルームの側壁面に配設され、前記装置域に清浄な空気を吹き出す吹出口と、
前記クリーンルームの天井面のうちで前記通路域上の位置に配設され、前記通路域の空気を吸い込む吸込口と、
前記通路域上の前記吸込口の周囲にて前記天井面から垂下し、前記装置域にサイドフローの清浄空気を通過させて前記吸込口へ導くアイリッドと、
を備えたことを特徴とするクリーンルームの空調設備。
【請求項２】
前記クリーンルームの前記装置域を前記通路域の往来方向に沿って分割した複数の分割エリアのそれぞれに配置され、前記各分割エリアの空気の温度を計測する温度計と、
前記吹出口から吹き出される空気の風向を前記通路域の往来方向に沿って変更する風向板と、
前記温度計によって計測される温度に基づいて、前記複数の分割エリアを高温度エリアと低温度エリアとに分類し、前記風向板を制御して前記低温度エリアの前記吹出口からの気流を前記高温度エリアに向ける制御手段と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの空調設備。
【請求項３】
前記吹出口から吹き出される空気の温度を計測する第１の温度計と、
前記クリーンルーム内の空気の温度を計測する第２の温度計と、
前記吹出口から吹き出される空気の風向を上下に変更する風向板と、
前記第１の温度計の計測温度と前記第２の温度計の計測温度との差分に応じて前記風向板の上下方向の向きを変更する制御手段と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの空調設備。
【請求項４】
前記クリーンルームの前記装置域を前記通路域の往来方向に沿って分割した複数の分割エリアのそれぞれに配置され、前記各分割エリアの空気の温度を計測する温度計と、
前記複数の分割エリアにそれぞれ対応する複数の前記吸込口に設けられ、前記吸込口の開口面積を変化させるスライド扉と、
前記温度計によって計測される温度に基づいて、前記スライド扉を制御して前記吸込口の開口面積を調整する制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの空調設備。
【請求項５】
前記制御手段は、前記複数の分割エリアを高温度エリアと低温度エリアとに分類し、前記低温度エリアに対応する前記吸込口の開口面積を前記高温度エリアに対応する前記吸込口の開口面積よりも小さくすることを特徴とする請求項４に記載のクリーンルームの空調設備。
【請求項６】
清浄に維持すべき装置が設置される装置域と、通路域とを有するクリーンルームの空調方法において、
前記クリーンルームの側壁面に吹出口を配設し、前記クリーンルームの天井面のうちで前記通路域上の位置に吸込口を配設するとともに、前記通路域上の前記吸込口の周囲にて前記天井面から垂下したアイリッドを配設し、
前記装置域にて前記吹出口から吹き出した清浄空気を、前記通路域にて前記アイリッドを介して前記吸込口で吸い込むことにより、前記装置域にサイドフローの清浄空気を通過させることを特徴とするクリーンルームの空調方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産装置により発熱が生じる半導体やディスプレイ等の工場のクリーンルームの空調設備および空調方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のクリーンルームの空調設備の一例を図９に示す。図９において、従来のクリーンルーム９１の空調設備は、クリーンルーム９１の天井に設置したファンフィルタユニット９２（以後「ＦＦＵ」と称する）と、クリーンルーム９１の側壁面下側に設置され、クリーンルーム９１内の熱および塵埃を含んだ空気をクリーンルーム９１から吸い込む吸込口９３と、吸込口９３に吸い込まれた空気を冷却するドライコイル９４と、ドライコイル９４を通過した空気を天井裏に戻すレタンスペース９５と、天井裏で空気を混合する天井チャンバ９６を含んで構成されている。ＦＦＵ９２によってクリーンルーム９１の天井から吹出した空気は、クリーンルーム９１内の生産装置２等から発せられた熱を拡散、混合しながら、クリーンルーム９１の側壁面下側に設置された吸込口９３によって吸い込まれ、ドライコイル９４で冷却され、レタンスペース９５を通って天井裏に戻り、ＦＦＵ９２によって再度天井から吹き出される。
【０００３】
また、特許文献１には、空調にかかるランニングコストを低減することを目的として、クリーンルームの各エリアごとに、クリーンユニット（冷却コイルに送風機およびフィルタを組み合わせたユニットである）と、クリーンルーム内の温度を計測する温度計とを配置し、クリーンルーム内の装置発熱に因って変動するクリーンルームの各エリアごとの温度に応じて、各エリアごとにクリーンユニットの冷却コイルに流れる冷水流量を制御する構成が開示されている。
【特許文献１】特公平０８−０２７０４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、図９に示した従来のクリーンルームの空調設備では、塵埃の除去を主眼としており、熱処理の効率を考慮したものではなかった。
【０００５】
また、特許文献１に記載の構成は、熱処理の効率を考慮したものではあるが、クリーンルームの天井からの下降気流によって、クリーンルーム内の装置からの発熱を混合、拡散して熱処理するので、熱処理の効率が悪かった。
【０００６】
熱負荷のある一般室を空調する方式として、熱上昇流を利用して温度境界層を形成する置換空調が考えられている。置換空調は、床下に吹出口および床下チャンバを配置し、天井に吸込口および天井チャンバを配置し、さらに天井チャンバと床下チャンバとをつなぐ空調機を設ける。空調機で処理された低温空気は、床下チャンバを通って床下の吹出口から室内に吹出し、熱処理しながら天井の吸込口から吸い込まれて、天井チャンバを通って再度空調機に戻る。
【０００７】
しかし、熱上昇流を効果的に利用した置換空調をクリーンルームに適用した場合、クリーンルーム全体に上昇気流が生じるので、装置域の清浄度悪化が懸念される。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、装置域ではサイドフローを形成して清浄度悪化を防止しつつ、熱上昇を利用して効率よく排気することができるクリーンルームの空調設備および空調方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、清浄に維持すべき装置が設置される装置域と、通路域とを有するクリーンルームの空調設備において、前記クリーンルームの側壁面に配設され、前記装置域に清浄な空気を吹き出す吹出口と、前記クリーンルームの天井面のうちで前記通路域上の位置に配設され、前記通路域の空気を吸い込む吸込口と、前記通路域上の前記吸込口の周囲にて前記天井面から垂下し、前記装置域にサイドフローの清浄空気を通過させて前記吸込口へ導くアイリッドとを備えたことを特徴とするクリーンルームの空調設備を提供する。
【００１０】
この発明によれば、通路域の吸込口およびアイリッドにより、吹出口から吹き出された清浄空気が装置域ではサイドフローを形成して装置域内の清浄度を維持するとともに、通路域では熱上昇を利用して吸込口から効率よく排気されることになる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記クリーンルームの前記装置域を前記通路域の往来方向に沿って分割した複数の分割エリアのそれぞれに配置され、前記各分割エリアの空気の温度を計測する温度計と、前記吹出口から吹き出される空気の風向を前記通路域の往来方向に沿って変更する風向板と、前記温度計によって計測される温度に基づいて、前記複数の分割エリアを高温度エリアと低温度エリアとに分類し、前記風向板を制御して前記低温度エリアの前記吹出口からの気流を前記高温度エリアに向ける制御手段とをさらに備えたことを特徴とするクリーンルームの空調設備を提供する。
【００１２】
この発明によれば、クリーンルーム内での温度分布に応じて、低温度エリアの吹出口からの気流が高温度エリアに向けられるので、高温度エリアの装置の発熱を効率よく奪ってクリーンルーム内の温度分布を効率よく解消することができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記吹出口から吹き出される空気の温度を計測する第１の温度計と、前記クリーンルーム内の空気の温度を計測する第２の温度計と、前記吹出口から吹き出される空気の風向を上下に変更する風向板と、前記第１の温度計の計測温度と前記第２の温度計の計測温度との差分に応じて前記風向板の上下方向の向きを変更する制御手段とをさらに備えたことを特徴とするクリーンルームの空調設備を提供する。
【００１４】
この発明によれば、吹出口から吹き出される空気の温度がクリーンルーム内の温度と比較して極めて低いときでも、吹出口からの気流を装置に到達させるとともに装置域を通過させる制御が可能となり、高温度エリアの装置の発熱を効率よく奪ってクリーンルーム内の温度分布を効率よく解消することができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記クリーンルームの前記装置域を前記通路域の往来方向に沿って分割した複数の分割エリアのそれぞれに配置され、前記各分割エリアの空気の温度を計測する温度計と、前記複数の分割エリアにそれぞれ対応する複数の前記吸込口に設けられ、前記吸込口の開口面積を変化させるスライド扉と、前記温度計によって計測される温度に基づいて、前記スライド扉を制御して前記吸込口の開口面積を調整する制御手段とを備えたことを特徴とするクリーンルームの空調設備を提供する。
【００１６】
この発明によれば、クリーンルーム内での温度分布に応じて、高温度エリアの空気を選択的に吸い込む制御が可能となり、高温度エリアの装置の発熱を効率よく奪ってクリーンルーム内の温度分布を効率よく解消することができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記制御手段は、前記複数の分割エリアを高温度エリアと低温度エリアとに分類し、前記低温度エリアに対応する前記吸込口の開口面積を前記高温度エリアに対応する前記吸込口の開口面積よりも小さくすることを特徴とするクリーンルームの空調設備を提供する。
【００１８】
請求項６に記載の発明は、清浄に維持すべき装置が設置される装置域と、通路域とを有するクリーンルームの空調方法において、前記クリーンルームの側壁面に吹出口を配設し、前記クリーンルームの天井面のうちで前記通路域上の位置に吸込口を配設するとともに、前記通路域上の前記吸込口の周囲にて前記天井面から垂下したアイリッドを配設し、前記装置域にて前記吹出口から吹き出した清浄空気を、前記通路域にて前記アイリッドを介して前記吸込口で吸い込むことにより、前記装置域にサイドフローの清浄空気を通過させることを特徴とするクリーンルームの空調方法を提供する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、装置域ではサイドフローを形成して清浄度悪化を防止しつつ、熱上昇を利用して効率よく排気することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面に従って、本発明の実施形態について、詳細に説明する。
【００２１】
図１は、第１実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルーム１の断面図である。また、図１のクリーンルーム１の模式的な平面図を図２に示す。図２では、図示の便宜上、図１に記載した空調設備の構成要素の一部を記載している。
【００２２】
図１において、クリーンルーム１は、主に生産装置２が設置される装置域１１と、主に人や物が往来する通路域１２とに分割されている。生産装置２は清浄に維持すべきものなので、装置域１１は生産装置２が設置されない通路域１２よりもさらに高い清浄度が要求されている。
【００２３】
クリーンルーム１の側壁面下側には、装置域１１に清浄な空気を吹き出す吹出口１３が配設されている。吹出口１３は、具体的には、クリーンルーム１の側壁面のうちで装置域１１を挟んで通路域１２の空間と対向する位置に配設されている。吹出口１３から吹き出された空気が生産装置２から発せられた熱を効率良く奪うように、吹出口１３からの気流が生産装置２の少なくとも側面および上面を流れるように吹出口１３が配設されている。吹出口１３は、図２に矢印Ｐで示す通路域１２の往来方向（以下「通路方向」と称する）に沿って、複数設けられている。なお、各吹出口１３には、図示省略のフィルタが設けられている。
【００２４】
クリーンルーム１の天井面には、通路域１２の空気を吸い込む吸込口１４が配設されている。吸込口１４は、具体的には、クリーンルーム１の天井面のうちで通路域１２上の位置に配設されている。本例では、吸込口１４も、吹出口１３と同様に、通路方向Ｐに沿って複数設けられている。
【００２５】
クリーンルーム１の天井裏には、吸込口１４から吹出口１３へ戻る空気が通過する空間であるレタンスペース１５と、クリーンルーム１内およびレタンスペース１５内の空気を循環させるファン１６とが設けられている。
【００２６】
吹出口１３の背面（吹出口１３のレタンスペース１５側の面である）には、レタンスペース１５を通って吹出口１３へ戻る空気（吹出口１３から吹き出させる空気である）を冷却する冷却コイル１７が配設されている。
【００２７】
また、通路域１２上の吸込口１４の周囲には、クリーンルーム１の天井面から垂下した垂下材としてのアイリッド１８が配設されている。アイリッド１８により、装置域１１にてサイドフローが形成されるともに、通路域１２の空気が吸込口１４へ導かれ、吸込口１４が低位置にあるのと同様な効果が得られる。
【００２８】
本例では、吹出口１３の下端を生産装置２の上端よりも低くし、且つ、吹出口１３の上端を生産装置２の上端面と同じ高さにしてある。吹出口１３の上端を生産装置２の上端面よりも高くしても、また低くしてもよい。
【００２９】
アイリッド１８の下端は、吹出口１３の上端および生産装置２の上面のうちでいずれか高い方よりも高い。アイリッド１８の下端と吹出口１３の上端（および生産装置２の上面）との高低差は、例えば１ｍ以下であり、装置域１１でサイドフローが形成される。
【００３０】
以上のような空調設備が設けられたクリーンルーム１では、ファン１６によって吸込口１４からレタンスペース１５および冷却コイル１７を通って吹出口１３に戻された空気は、冷却された清浄な空気として吹出口１３から吹き出される。吹出口１３から吹き出された空気は、装置域１１を介して通路域１２に向けて流れ、アイリッド１８の下端から吸込口１４へと導かれる。これにより、吹出口１３から吹き出された空気は、装置域１１では上昇することが防止されてサイドフロー３０を形成したまま通過するとともに、装置域１１を通過するうちに生産装置２の表面の熱を奪うことで温度が上昇し、通路域１２ではアイリッド１８を介して上昇し吸込口１４に吸い込まれる。
【００３１】
以上説明したように、本実施形態のクリーンルーム１の空調設備は、高い清浄度を必要とする装置域１１ではサイドフローの形成により清浄度悪化を防止しつつ、装置域１１ほどには高い清浄度を必要としない通路域１２では熱上昇を利用して効率よく排気できる。
【００３２】
図３は、第２実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの断面図である。また、図３のクリーンルームの模式的な平面図を図４に示す。なお、図１および図２に示した第１実施形態の空調設備の構成要素と同じ構成要素は、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。
【００３３】
図４に示すように、クリーンルーム１の装置域１１を通路方向Ｐに沿って分割した複数の分割エリア４１（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、・・・）のそれぞれに、吹出口１３が配設されている。本例では、クリーンルーム１の側壁面において、１つの分割エリア４１に対して１つの吹出口１３が設けられている。
【００３４】
風向板２３は、各吹出口１３ごとに、吹出口１３の正面（吹出口１３のクリーンルーム１側である）に配設されており、吹出口１３から吹き出される空気の風向を通路方向Ｐに沿って変更する。すなわち、各分割エリア４１ごとに、風向板２３の左右方向（パン）の角度が変化する。
【００３５】
温度計２２（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、・・・）は、複数の分割エリア４１のそれぞれに配置され、各分割エリア４１ごとの空気の温度を計測する。本例では、装置域１１と通路域１２との境界近傍に、温度計２２を配置してある。
【００３６】
コンピュータ１０は、吹出口１３、吸込口１４、温度計２２などの位置が予め入力されており、温度計２２で計測された温度（以下「クリーンルーム温度」と称する）を収集し、その温度に基づいて、複数の分割エリア４１を高温度分割エリアと低温度分割エリアとに分類し、風向板２３の向きを通路方向Ｐに沿って変更する。具体的には、計測されたクリーンルーム温度が規定温度（閾値）を超えた分割エリア４１に対して風向を向けるように、風向板２３の左右方向（パン）の角度を図示省略のモータ等によって動かす。
【００３７】
風向を向けるエリアの決定方法は予め規定しておき、例えば、ある分割エリア４１ｂにおいて温度計２２ｂで計測したクリーンルーム１の温度が規定温度より高いとき、その分割エリア４１ｂと隣り合う２つの分割エリア４１ａ、４１ｃの温度を比較し、低い温度の分割エリア（例えば４１ｃ）に空気を吹き出す吹出口１３の風向板２３のみ傾けて、温度が規定温度を超えた分割エリア４１ｂに向けて空気を吹き出すように変更する。これにより、発熱が大きい分割エリアに対し選択的に低温空気が流れ、熱処理が効率良く行われることになる。
【００３８】
図５は、第３実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの断面図である。また、図５のクリーンルームの模式的な平面図を図６に示す。なお、図１および図２に示した第１実施形態の空調設備の構成要素と同じ構成要素は、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。
【００３９】
図６に示すように、クリーンルーム１の装置域１１を通路方向Ｐに沿って分割した各分割エリア４１（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、・・・）ごとに、吹出口１３が配設されている。本例では、クリーンルーム１の側壁面において、１つの分割エリア４１に対して１つの吹出口１３が設けられている。
【００４０】
風向板２４は、各吹出口１３ごとに、吹出口１３の正面（吹出口１３のクリーンルーム１側である）に配設されており、吹出口１３から吹き出される空気の風向を上下に変更する。本例では、各分割エリア４１ごとに、風向板２４の上下方向（チルト）の角度が変化する。
【００４１】
第１の温度計２１（２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、・・・）は、複数の吹出口１３のそれぞれの近傍に配置され、各吹出口１３ごとに吹出口１３から吹き出される空気の温度を計測する。本例では、吹出口１３の正面側（クリーンルーム１側である）に、第１の温度計２１を配置してある。
【００４２】
第２の温度計２２（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、・・・）は、クリーンルーム１の装置域１１を通路方向Ｐに沿って分割した複数の分割エリア４１のそれぞれに配置され、各分割エリア４１ごとの空気の温度を計測する。本例では、装置域１１と通路域１２との境界近傍に、第２の温度計２２を配置してある。
【００４３】
コンピュータ１０は、吹出口１３、吸込口１４、温度計２１、２２などの位置が予め入力されており、第１の温度計２１で計測された温度（以下「吹出し温度」と称する）と第２の温度計２２によって計測された温度（以下「クリーンルーム温度」と称する）とを収集し、吹出し温度とクリーンルーム温度との差分に応じて、風向板２４を制御して、風向板２４の上下方向（チルト）の角度を機械的に変更する。
【００４４】
例えば、第１の温度計２１で計測した吹出し温度が第２の温度計２２で計測したクリーンルーム温度よりも低く、且つ、吹出し温度とクリーンルーム温度との差分が閾値（例えば８℃）よりも大きいとき、吹出口１３から吹き出された空気がクリーンルーム１内の空気との温度差に因り沈み込むことが懸念されるので、風向板２４の上下方向の角度を変更して、水平方向よりも上向きであってアイリッド１８の下端よりも下に向けて吹き出すように制御する。
【００４５】
図７は、第４実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの断面図である。また、図７のクリーンルームの模式的な平面図を図８に示す。なお、図１および図２に示した第１実施形態の空調設備の構成要素と同じ構成要素は、同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、ここではその説明を省略する。
【００４６】
図８に示すように、クリーンルーム１の装置域１１を通路方向Ｐに沿って分割した複数の分割エリア４１（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、・・・）のそれぞれに、吹出口１３が配設されている。本例では、クリーンルーム１の側壁面において、１つの分割エリア４１に対して１つの吹出口１３が設けられている。
【００４７】
温度計２２（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、・・・）は、複数の分割エリア４１のそれぞれに配置され、各分割エリア４１ごとの空気の温度を計測する。本例では、装置域１１と通路域１２との境界近傍に、温度計２２を配置してある。
【００４８】
複数の吸込口１４は、通路方向Ｐにそって、複数の分割エリア４１のそれぞれに対応して配置されている。
【００４９】
各吸込口１４には、吸込口１４の開口面積を機械的に変化させるスライド扉２５が配設されている。
【００５０】
コンピュータ１０は、吹出口１３、吸込口１４、温度計２２などの位置が予め入力されており、温度計２２で計測された温度（クリーンルーム温度）を収集し、その温度に基づいて、複数の分割エリア４１を高温度分割エリアと低温度分割エリアとに分類し、スライド扉２５をスライド制御して吸込口１４の開口面積を調整する。これにより各分割エリア４１ごとの循環風量を変更できる。
【００５１】
例えば、全ての吸込口１４を同一の開口面積に調整した状態で、温度計２２で計測されたクリーンルーム１内の空気の温度に高低差の分布がある場合、複数の分割エリア４１を低温エリアと高温エリアとに分類し、低温エリアに対応する吸込口１４をそのスライド扉２５によって閉じて吸込口１４の開口面積を小さくする一方で、高温エリアに対応する吸込口１４はスライド扉２５を動かさないで開口面積を維持する。これにより、生産装置の発熱が大きい分割エリア４１を通過した空気が選択的に吸い込まれるので、温度の高い空気の拡散が少なくなり、効率良く熱処理が行われることになる。
【００５２】
なお、第２実施形態、第３実施形態および第４実施形態を適宜組み合わせて本発明を実施してよいことは、もちろんである。
【００５３】
例えば、図３および図４に示した第２実施形態と図７および図８に示した第４実施形態とを組み合わせ、コンピュータ１０によって、クリーンルーム温度に基づいて、風向板２３の左右方向（パン）の角度変更を行うとともに、吸込口１４の開口面積の調整とを行ってもよい。
【００５４】
また、例えば、図５および図６に示した第３実施形態と図７および図８に示した第４実施形態とを組み合わせ、コンピュータ１０によって、吹出し温度とクリーンルーム温度との温度差に基づいて風向板２３の上下方向（チルト）の角度変更を行うとともに、クリーンルーム温度に基づいて吸込口１４の開口面積の調整を行ってもよい。
【００５５】
また、図３および図４に示した第２実施形態と図５および図６に示した第３実施形態とを組み合わせて、左右方向（パン）の角度変更と上下方向（チルト）の角度変更とが可能な風向板を用い、コンピュータ１０によって、上下および左右の両方向において風向板を制御するようにしてもよい。
【００５６】
また、第１実施形態、第２実施形態および第３実施形態の全てを組み合わせた構成で本発明を実施してもよい。
【００５７】
本発明は、本明細書において説明した例や図面に図示された例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の設計変更や改良を行ってよいのはもちろんである。
【００５８】
例えば、構成要素（吹出口１３、吸込口１４、アイリッド１８、風向板２３、２４、温度計２１、２２など）の形状、数および位置関係は、適宜変更して実施してよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】第１実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの断面図
【図２】第１実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの平面図
【図３】第２実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの断面図
【図４】第２実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの平面図
【図５】第３実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの断面図
【図６】第３実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの平面図
【図７】第４実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの断面図
【図８】第４実施形態に係る空調設備の一例が設けられたクリーンルームの平面図
【図９】従来の空調設備の一例が設けられたクリーンルームの断面図
【符号の説明】
【００６０】
１…クリーンルーム、２…生産装置、１１…装置域、１２…通路域、１３…吹出口、１４…吸込口、１５…レタンスペース、１６…ファン、１７…冷却コイル、１８…アイリッド、２１…温度計、２２…温度計、２３、２４…風向板、２５…スライド扉
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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