(57)【要約】【課題】パンチとその前後のテープ搬送機構との位置がずれていても、ＴＣＰテープ上の正確な位置に穴があけられるパンチユニットを提供する。【解決手段】テープの両端にスプロケットホールを備えたＴＣＰテープを走行させ、ＴＣＰテープの走行経路中にデバイスと接続することにより各デバイスを試験装置で試験するＴＣＰ用ハンドラにおいて、ＴＣＰをＴＣＰテープの一方の面から打ち抜き可能なパンチ装置と、ＴＣＰテープを挟んでパンチ装置と反対側に、ＴＣＰテープの他方の面に対して接離方向に移動可能に設けられ、他方の面を支持可能な支持装置と、ＴＣＰテープの走行中には支持装置を他方の面に対して離間するように移動し、打ち抜き動作の際には支持装置を他方の面に対して近接させるように移動する移動装置と、ＴＣＰテープのスプロケットホールが係合できる大きさの位置決めピンを移動装置上に設けたことである。【選択図】  図１
2009264755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムにデバイスを貼付したＴＣＰが複数連接され、テープの両端に等間隔のスプロケットホールを備えたＴＣＰテープを走行させ、前記ＴＣＰテープの走行経路中に前記デバイスと接続することにより各デバイスを試験装置で試験するＴＣＰ用ハンドラにおいて、  前記走行経路中に設けられ、前記ＴＣＰを前記ＴＣＰテープの一方の面から打ち抜き可能なパンチ装置と、  前記ＴＣＰテープを挟んで前記パンチ装置と反対側に、前記ＴＣＰテープの他方の面に対して接離方向に移動可能に設けられ、前記他方の面を支持可能な支持装置と、  前記ＴＣＰテープの走行中には前記支持装置を前記他方の面に対して離間するように移動し、前記打ち抜き動作の際には前記支持装置を前記他方の面に対して近接させるように移動する移動装置と、
前記ＴＣＰテープが走行する位置であって、前記ＴＣＰテープのスプロケットホールが係合できる大きさの位置決めピンを前記支持装置上に設けたこと
を特徴とするＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項２】
前記移動装置は、前記パンチ装置を前記ＴＣＰテープに対して接離方向に移動可能に支持し、前記支持装置を前記ＴＣＰテープの他方の面に近接させて前記位置決めピンに前記ＴＣＰテープのスプロケットホールを係合させた後、前記パンチ装置を前記ＴＣＰテープの一方の面に接近させることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰ用ハンドラ。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＣＰ用ハンドラに関し、詳しくはＴＣＰ用ハンドラの分類用パンチユニットに関するもので、パンチとその前後のテープ機構との位置がずれていても、ＴＣＰテープ上の正確な位置に穴があけられるパンチユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術において、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）は、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）技術を用いることによりフィルム上に半導体チップ（デバイス）を実装している。実際には、デバイスがプリント基板に搭載される前の搬送段階では、複数のＴＣＰが連接されたテープ状となっている。このようなテープ形態のＴＣＰ（以下、「ＴＣＰテープ」と称する）におけるデバイスは、専用のＴＣＰ用ハンドラによってデバイスの良否の選別がされる。
【０００３】
このＴＣＰ用ハンドラは、ＴＣＰテープが巻かれている供給リールと、ＴＣＰテープを巻き取ることによって走行させる収容リールと、試験装置による試験結果に基づいて、ＴＣＰフィルムに試験結果に関する情報を含む所定のマーク穴を形成するマークパンチ部と、試験結果に基づいて不良と判断されたＴＣＰのデバイスを打ち抜くリジェクトパンチ部とを備えている。試験装置のうち、プローブカードはＴＣＰテープの走行経路中に設けられる。ＴＣＰのテストパッドにプローバを接触させて、デバイスを試験する。
【０００４】
図９にＴＣＰ用ハンドラの全体図を示す。
図９において、ＴＣＰ測定システムＳは、ＴＣＰテープ１１を走行させるＴＣＰ用ハンドラ１００と、ＴＣＰテープ１１の走行経路中に設けられ、ＴＣＰテープ１１のデバイスと接続することによりデバイスを試験する試験装置２００とを備えている。
【０００５】
ＴＣＰテープ１１は、図３に示すように、フィルムにデバイス（半導体チップ）１２を貼付したＴＣＰが複数連接されたものである。そして、テープの両端には等間隔でスプロケットホール１３を設けた構造となっている。
【０００６】
ＴＣＰ用ハンドラ１００は、ＴＣＰテープ１１を装着する供給リール１４Ａと、供給リール１４Ａに装着されているＴＣＰテープ１１を巻き取る収容リール１４Ｂとを備えている。  収容リール１４Ｂは、試験装置２００によって電気試験或いは分類識別されたＴＣＰテープ１１を巻き取る。  供給リール１４Ａ及び収容リール１４Ｂのそれぞれには、ＴＣＰテープ１１を一定方向に排出或いは取り込むための傾斜ガイド１５、１６が設けられている。  又、供給リール１４Ａと収容リール１４Ｂとの間におけるＴＣＰテープ１１の走行経路中には、スプロケット１７Ａ、プーリ１８Ａ、ガイド１９Ａ、テンションプーリ２１Ａ、スプロケット２２Ａ、スプロケット２２Ｂ、テンションプーリ２１Ｂ、ガイド１９Ｂ、プーリ１８Ｂ、スプロケット１７Ｂが設けられている。  そして、これらスプロケット、プーリ、ガイド、テンションプーリ、及び収容リールによって、ＴＣＰテープ１１を所定の速度・張力で走行させるＴＣＰ用ハンドラ１００が構成されている。ここで、各スプロケットが制御されて回転することによりＴＣＰテープ１１が移送されるが、ＴＣＰテープ１１は、これらスプロケット２２Ａ、２２Ｂによって間欠送りされる。
【０００７】
試験装置２００は、プローブカード２５と、アタッチメントユニット２６と、テストヘッド２７とを備えている。    プッシャ２８、２９がＴＣＰテープ１１を押下することによりＴＣＰのテストパッドと測定ピンとが接触導通する。試験装置２００の試験結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。デバイスを試験する際、ＴＣＰテープ１１を間欠送り可能なＴＣＰ用ハンドラ１００はＴＣＰのデバイスと試験装置２００とを位置合わせしつつＴＣＰテープ１１の走行を停止する。この位置合わせは、カメラ２３によるＴＣＰの撮像結果に基づいて行われる。  つまり、カメラ２３によるＴＣＰ画像の撮像結果は画像処理装置２４に出力され、画像処理装置２４は、カメラ２３による画像データに基づいて画像処理し、処理結果を制御装置ＣＯＮＴに出力する。制御装置ＣＯＮＴは画像処理装置２４の処理結果に基づいて、ＴＣＰのデバイスと試験装置２００の測定ピンとが位置合わせされるように試験時のＴＣＰを位置制御する。
【０００８】
ＴＣＰテープ１１の走行経路のうち測定部の下流側には、ＴＣＰのフィルムに対してマーク穴を形成可能なマークパンチ部３１と、ＴＣＰのデバイスをＴＣＰテープ１１から打ち抜き可能なリジェクトパンチ部（パンチ装置）３２とが設けられている。
【０００９】
マークパンチ部３１は、試験装置２００の試験結果に基づいてＴＣＰのフィルムにマーク穴を打ち抜く。リジェクトパンチ部３２は試験装置２００の試験結果に基づいて不良と判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。
【００１０】
供給リール１４Ａの走行経路下流側には検出器群３３が配置されている。検出器群３３は、リーダテープ及び被試験ＴＣＰの有無を感知する。検出器群３３の検出結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。制御装置ＣＯＮＴは、カメラ３４Ａで検出されたＴＣＰが測定部に移動したとき、検出結果に基づいてＴＣＰの試験の可否を試験装置２００に指示する。  検出器群３３も、ＴＣＰテープ１１の有無を感知する。また、測定部の上流側及び下流側のそれぞれにはＴＣＰテープ１１の画像を撮像可能なカメラ３４Ａ、３４Ｂが設けられている。これらカメラ３４Ａ、３４Ｂの撮像信号は画像処理装置２４に出力され、この画像処理結果によって、走行するテープがリーダテープか被試験ＴＣＰかの確認や、デバイスの有無の確認及びＴＣＰの試験の可否の判断、或いはパンチ穴を検出する。
【００１１】
リジェクトパンチ部（パンチ装置）３２は、図７及び図８に示すように、ＴＣＰ用ハンドラ１００の走行経路中に設けられ、ＴＣＰをＴＣＰテープ１１の上面から打ち抜き可能なパンチ（パンチ装置）３５を有するパンチ駆動部（パンチ装置、移動装置）３６と、ＴＣＰテープ１１を挟んでパンチ３５と反対側に、ＴＣＰテープ１１の下面に対して接離方向に移動可能に設けられ、ＴＣＰテープ１１の下面を支持可能なダイス（支持装置）３７とを備えている。  ここで、ＴＣＰテープ１１はパンチ３５とダイス３７との間を紙面手前方向（＋Ｘ方向）に走行する。
【００１２】
パンチ駆動部３６は、ベース３８と、ベース３８の上部に固定されたシリンダ本体３９と、ベース３８の下部に配置され、シリンダ本体３９に対して所定ストロークで出入り可能なロッド４１と、ベース３８の下部に設けられたパンチ３５とを有している。  シリンダ本体３９とロッド４１とによってエアシリンダが構成されており、ロッド４１はシリンダ本体３９に対して軸方向（図中、上下方向）に移動する。  パンチ駆動部３６のベース３８は、貫通穴部４２を有しており、この貫通穴部４２を介して、基台部４３に鉛直方向に延びて設けられたスライドガイド部４４に上下方向に摺動可能に支持されている。このとき、シリンダ本体３９はその軸方向を上下方向としてベース３８に固定されているため、ベース３８に固定されているシリンダ本体３９は、スライドガイド部４４によって軸方向に移動可能に支持されている。  更に、ベース３８に取り付けられているパンチ３５は、ベース３８の上下方向の移動に伴って上下方向に移動可能、即ち、ＴＣＰテープ１１の上面に対して接離方向に移動可能となっている。
【００１３】
ダイス３７は、連結部材４５を介してパンチガイド部４６と一体に固定されている。パンチガイド部４６はパンチ３５を案内するガイド穴部４７を有しており、パンチ３５はベース３８の移動に伴ってガイド穴部４７の内部を案内されつつ上下方向に移動可能となっている。
【００１４】
また、連結部材４５は貫通穴部４８を有しており、この貫通穴部４８を介して、基台部４３に鉛直方向に延びて設けられたスライドガイド部４４に上下方向に摺動可能に支持されている。そして、ダイス３７と連結部材４５とパンチガイド部４６とは一体に固定されているため、これらダイス３７と連結部材４５とパンチガイド部４６とは一体でスライドガイド部４４に対して上下方向に摺動し、ダイス３７はＴＣＰテープ１１の上面に対して接離方向に移動する。
【００１５】
パンチガイド部４６の上面はロッド４１に固定されている。従って、ロッド４１の移動によってパンチガイド部４６は上下方向に移動する。そして、パンチガイド部４６とダイス３７とは連結部材４５を介して一体に固定されているため、ロッド４１の移動によってダイス３７も上下方向にスライドガイド部４４に案内されつつ移動する。
【００１６】
スライドガイド部４４の途中には、パンチガイド部４６の上方への移動を規制するストッパ部材４９が設けられている。そして、パンチガイド部４６はロッド４１に固定されているため、ストッパ部材４９がパンチガイド部４６の上方への移動を規制することによって、ロッド４１のシリンダ本体３９に対する最も出た位置から挿入方向への移動を所定高さ位置で規制するようになっている。
【００１７】
また、シリンダ本体３９と固定されているベース４１とストッパ部材４９との間には、ベース３８とストッパ部材４９が離間する方向に付勢力を有しているばね（付勢部材）５１が設けられている。このばね５１の付勢力によって、ベース３８は下方に落下しない。
【００１８】
次に、上述した構成を備えるＴＣＰ用ハンドラのリジェクトパンチ部３２によって、試験装置２００で不良と判断されたＴＣＰを打ち抜く動作について図１０乃至図１２を参照しながら説明する。
ＴＣＰ用ハンドラによってＴＣＰテープ１１が間欠送りされ、停止した状態で試験装置２００がＴＣＰを試験する。試験結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。
【００１９】
試験装置２００によって試験されたＴＣＰがリジェクトパンチ部３２に移送される。尚、このとき（ＴＣＰテープが走行時で打ち抜き動作前）、図１０に示すように、エアシリンダのロッド４１はシリンダ本体３９から最も出た状態（下方に出た状態）となっており、ロッド４１にパンチガイド部４６及び連結部材４５を介して接続されているダイス３７も下方に移動された状態となっている。従って、ダイス３７とＴＣＰテープ１１の下面とは離間している。
【００２０】
試験装置２００によって不良と判断されたＴＣＰがリジェクトパンチ部３２に移送されたら、ＴＣＰ用ハンドラは制御装置ＣＯＮＴの制御のもとで、ＴＣＰテープ１１の走行を停止する。そして、リジェクトパンチ部３２は制御装置ＣＯＮＴの制御のもとで、打ち抜き動作を開始する。先ず、図１１に示すように、エアシリンダのロッド４１が上昇する。ロッド４１が所定距離Ｌ１上方に移動すると、ダイス３７がＴＣＰテープ１１の下面に接触し支持するとともに、パンチガイド部４６とストッパ部材４９が当たる。このとき、所定距離Ｌ１はロッド４１のストロークＬより小さい。ストッパ部材４９とパンチガイド部４６とが当たることにより、ダイス３７が高さ方向所定位置に設定される。ここで、ダイス３７がＴＣＰテープ１１の下面と近接するように設定されている。即ち、ストッパ部材４９が、ロッド４１のシリンダ本体３９に対する最も出た位置から挿入方向（図中、上方向）への移動を所定位置（ダイス３７がＴＣＰテープ１１の下面と近接する位置）で規制する。
【００２１】
次いで、ロッド４１の上方への移動、即ち、ダイス３７の上方への移動がストッパ部材４９によって規制されたら、図１２に示すように、エアシリンダのストロークＬのうち、ストッパ部材４９によってロッド４１の移動が規制された後の残りのストロークＬ２（＝Ｌ−Ｌ１）だけ、シリンダ本体３９がスライドガイド部４４に支持されながらばね５１の付勢力にうち勝って下方に移動する。すると、シリンダ本体３９に接続しているベース３８及びパンチ３５も下方に移動する。下降したパンチ３５は、ＴＣＰテープ１１の上面に接近し、ＴＣＰを打ち抜く。
【００２２】
このように、シリンダ本体３９及びロッド４１、スライドガイド部４４、ベース３８、パンチガイド部４６、連結部材４５、ストッパ部材４９によって、ＴＣＰテープ１１の走行中にはダイス（支持装置）３７をＴＣＰテープ１１の下面から離間し、パンチ３５による打ち抜き動作の際には、ダイス３７をＴＣＰテープ１１の下面と近接させて支持するように移動する移動装置が構成されている。
【００２３】
打ち抜き動作が終了したら、ロッド４１が下降し、これに伴ってダイス３７が下降するとともにパンチ３５が上昇し、元の待機位置まで戻る。
【００２４】
以上説明したように、ＴＣＰのデバイスを打ち抜く際、下面をダイス３７で支持することにより、ＴＣＰテープ１１はパンチ３５の下降に伴う反りを生じない。従って、打ち抜かれるべきＴＣＰに隣接する他のＴＣＰに対してＴＣＰテープ１１の反りに起因する力が作用しない。従って、不良ＴＣＰを打ち抜く際の力が良品ＴＣＰに悪影響を及ぼすことを防止できる。又、ＴＣＰテープ１１の走行中には、ダイス３７はＴＣＰテープ１１から離間しているので、ＴＣＰテープ１１に実装されているＴＣＰとダイス３７との干渉を発生させず、安定した走行を実現できる。
【００２５】
ダイス３７やパンチ３５のＴＣＰテープ１１に対する接離方向の移動動作やパンチ３５の打ち抜き動作は、試験装置２００の試験結果に基づいて制御されるので、試験結果に基づいて不良なＴＣＰを確実にリジェクトできる。
【００２６】
ダイス３７やパンチ３５のＴＣＰテープ１１に対する接離方向の移動動作やパンチ３５の打ち抜き動作においては、ＴＣＰ用ハンドラはＴＣＰテープ１１の走行を停止するので、ＴＣＰテープ１１に実装されている良品のＴＣＰはダイス３７から衝撃を受けず、又、不良なＴＣＰは安定して支持されてから打ち抜かれる。
【００２７】
ＴＣＰテープ１１に対して下方からダイス３７を接触させた後、上方からパンチ３５がＴＣＰテープ１１に接近することにより、パンチ３５の打ち抜き動作時においてＴＣＰテープ１１をダイス３７によって確実に支持できる。従って、打ち抜き動作は安定する。
【００２８】
又、ＴＣＰテープ１１に対するダイス３７の接近動作とパンチ３５の接近動作とを一つのシリンダで兼ねるので装置構成をシンプル且つコンパクト化できる。
【００２９】
シリンダ本体３９に固定されたベース３８とストッパ部材４９との間にばね５１を設けたことにより、非打ち抜き動作時においてベース３８は落下せず、打ち抜き動作時において、一つのシリンダによってダイス３７をＴＣＰテープ１１に接近させてからパンチ３５をＴＣＰテープ１１に接近できる。
【特許文献１】特開２００３−１０７１２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３０】
しかしながら、従来技術で説明したパンチユニットは、パンチによる位置ずれは無くなるが、パンチ前後のテープ搬送機構とパンチとの取り付けの位置ずれによる、パンチ穴の位置ずれが発生してしまうという問題がある。
従って、パンチとその前後のテープ搬送機構との位置がずれていても、ＴＣＰテープ上の正確な位置に穴があけられるパンチユニットに解決しなければならない課題を有する。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
上記課題を解決するために、本願発明のＴＣＰ用ハンドラは、次に示す構成にしたことである。
【００３２】
（１）ＴＣＰ用ハンドラは、フィルムにデバイスを貼付したＴＣＰが複数連接され、テープの両端に等間隔のスプロケットホールを備えたＴＣＰテープを走行させ、前記ＴＣＰテープの走行経路中に前記デバイスと接続することにより各デバイスを試験装置で試験するＴＣＰ用ハンドラにおいて、  前記走行経路中に設けられ、前記ＴＣＰを前記ＴＣＰテープの一方の面から打ち抜き可能なパンチ装置と、  前記ＴＣＰテープを挟んで前記パンチ装置と反対側に、前記ＴＣＰテープの他方の面に対して接離方向に移動可能に設けられ、前記他方の面を支持可能な支持装置と、  前記ＴＣＰテープの走行中には前記支持装置を前記他方の面に対して離間するように移動し、前記打ち抜き動作の際には前記支持装置を前記他方の面に対して近接させるように移動する移動装置と、
前記ＴＣＰテープが走行する位置であって、前記ＴＣＰテープのスプロケットホールが係合できる大きさの位置決めピンを前記支持装置上に設けたことである。
（２）前記移動装置は、前記パンチ装置を前記ＴＣＰテープに対して接離方向に移動可能に支持し、前記支持装置を前記ＴＣＰテープの他方の面に近接させて前記位置決めピンに前記ＴＣＰテープのスプロケットホールを係合させた後、前記パンチ装置を前記ＴＣＰテープの一方の面に接近させることを特徴とする（１）に記載のＴＣＰ用ハンドラ。  
【発明の効果】
【００３３】
本発明においては、シリンダのロッドが縮むと、先ず、支持装置（ダイス）がＴＣＰテープに接するまで上昇する。このとき、ダイスはストッパに当たり止る。更に、シリンダのロッドが縮むと、ばねが縮み、シリンダとパンチが下降する。そして、パンチはＴＣＰテープに穴を開け、支持装置（ダイス）にもぐりこむ。
このような動作を行うとき、支持装置（ダイス）上には位置決めピンが設置されていて、支持装置（ダイス）の上昇動作のときに、ＴＣＰテープのスプロケットホールに位置決めピンが入り込み、ＴＣＰテープの位置決めを行うようにする。
このように、上昇する支持装置（ダイス）部分に位置決めピンを設置することにより、支持装置（ダイス）がＴＣＰテープに接する位置まで上昇した時点で、ＴＣＰテープは位置決めピンによりパンチに対して位置決めされるため、パンチとその前後のテープ搬送機構との位置がずれていても、ＴＣＰテープ上の正確な位置にパンチを打つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
次に、本願発明に係るＴＣＰ用ハンドラの実施例について図面を参照して説明する。尚、従来技術で説明したものと同じものには同一符号を付与して説明する。
【００３５】
本願発明のＴＣＰ用ハンドラは、従来技術で説明したＴＣＰ用ハンドラと略同じ構成であり、相違するのは支持装置（ダイス）上に位置決めピンを設置し、支持装置（ダイス）の上昇動作のときに、ＴＣＰテープのスプロケットホールが位置決めピンに入り込み、ＴＣＰテープの位置決めを行う機能を備えたことである。
【００３６】
図１及び図２は本願発明のＴＣＰ用ハンドラの特徴的な部分であるリジェクトパンチ部（パンチ装置）の概略構成図である。ここで、図１及び図２のリジェクトパンチ部は、図９に示したＴＣＰ用ハンドラ（ＴＣＰ測定システム）において説明したリジェクトパンチ部３２に設置されるものであり、以下の説明において、図１に示した構成部分と同一又は同等の構成部分については、その説明を簡略若しくは省略する。
【００３７】
図１及び図２において、リジェクトパンチ部（パンチ装置）３２は、ＴＣＰ用ハンドラの走行経路中に設けられ、ＴＣＰをＴＣＰテープ１１の上面から打ち抜き可能なパンチ（パンチ装置）３５を有するパンチ駆動部（パンチ装置、移動装置）３６と、ＴＣＰテープ１１を挟んでパンチ３５と反対側に、ＴＣＰテープ１１の下面に対して接離方向に移動可能に設けられ、ＴＣＰテープ１１の下面を支持可能なダイス（支持装置）３７とを備えている。  ここで、ＴＣＰテープ１１はパンチ３５とダイス３７との間を紙面手前方向（＋Ｘ方向）に走行する。
【００３８】
パンチ駆動部３６は、ベース３８と、ベース３８の上部に固定されたシリンダ本体３９と、ベース３８の下部に配置され、シリンダ本体３９に対して所定ストロークで出入り可能なロッド４１と、ベース３８の下部に設けられたパンチ３５とを有している。  シリンダ本体３９とロッド４１とによってエアシリンダが構成されており、ロッド４１はシリンダ本体３９に対して軸方向（図中、上下方向）に移動する。  パンチ駆動部３６のベース３８は、貫通穴部４２を有しており、この貫通穴部４２を介して、基台部４５に鉛直方向に延びて設けられたスライドガイド部４４に上下方向に摺動可能に支持されている。このとき、シリンダ本体３９はその軸方向を上下方向としてベース３８に固定されているため、ベース３８に固定されているシリンダ本体３９は、スライドガイド部４４によって軸方向に移動可能に支持されている。  更に、ベース３８に取り付けられているパンチ３５は、ベース３８の上下方向の移動に伴って上下方向に移動可能、即ち、ＴＣＰテープ１１の上面に対して接離方向に移動可能となっている。
【００３９】
ダイス３７は、連結部材４５を介してパンチガイド部４６と一体に固定されている。パンチガイド部４６はパンチ３５を案内するガイド穴部４７を有しており、パンチ３５はベース３８の移動に伴ってガイド穴部４７の内部を案内されつつ上下方向に移動可能となっている。
又、ダイス３７の上面でＴＣＰテープ１１の下面から支持する位置にＴＣＰテープ１１のスプロケットホール１３に係合する位置決めピン４０を備えた構成になっている。
【００４０】
また、連結部材４５は貫通穴部４８を有しており、この貫通穴部４８を介して、基台部４３に鉛直方向に延びて設けられたスライドガイド部４４に上下方向に摺動可能に支持されている。そして、ダイス３７と連結部材４５とパンチガイド部４６とは一体に固定されているため、これらダイス３７と連結部材４５とパンチガイド部４６とは一体でスライドガイド部４４に対して上下方向に摺動し、ダイス３７はＴＣＰテープ１１の上面に対して接離方向に移動する。
【００４１】
パンチガイド部４６の上面はロッド４１に固定されている。従って、ロッド４１の移動によってパンチガイド部４６は上下方向に移動する。そして、パンチガイド部４６とダイス３７とは連結部材４５を介して一体に固定されているため、ロッド４１の移動によってダイス３７も上下方向にスライドガイド部４４に案内されつつ移動する。
【００４２】
スライドガイド部４４の途中には、パンチガイド部４６の上方への移動を規制するストッパ部材４９が設けられている。そして、パンチガイド部４６はロッド４１に固定されているため、ストッパ部材４９がパンチガイド部４６の上方への移動を規制することによって、ロッド４１のシリンダ本体３９に対する最も出た位置から挿入方向への移動を所定高さ位置で規制するようになっている。
【００４３】
また、シリンダ本体３９と固定されているベース３８とストッパ部材４９との間には、ベース３８とストッパ部材４９が離間する方向に付勢力を有しているばね（付勢部材）５１が設けられている。このばね５１の付勢力によって、ベース３８は下方に落下しない。
【００４４】
次に、上述した構成を備えるＴＣＰ用ハンドラのリジェクトパンチ部３２によって、試験装置２００で不良と判断されたＴＣＰを打ち抜く動作について図４乃至図６を参照しながら説明する。ＴＣＰ用ハンドラ１００によってＴＣＰテープ１１が間欠送りされ、停止した状態で試験装置２００がＴＣＰを試験する。試験結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。
【００４５】
試験装置２００によって試験されたＴＣＰがリジェクトパンチ部３２に移送される。尚、このとき（ＴＣＰテープ１１が走行時で打ち抜き動作前）、図４に示すように、エアシリンダのロッド４１はシリンダ本体３９から最も出た状態（下方に出た状態）となっており、ロッド４１にパンチガイド部４６及び連結部材４５を介して接続されているダイス３７も下方に移動された状態となっている。従って、ダイス３７とＴＣＰテープ１１の下面とは離間している。
【００４６】
試験装置２００によって不良と判断されたＴＣＰがリジェクトパンチ部３２に移送されたら、ＴＣＰ用ハンドラ１００は制御装置ＣＯＮＴの制御のもとで、ＴＣＰテープ１１の走行を停止する。そして、リジェクトパンチ部３２は制御装置ＣＯＮＴの制御のもとで、打ち抜き動作を開始する。先ず、図５に示すように、エアシリンダのロッド４１が上昇する。ロッド４１が所定距離Ｌ１上方に移動すると、ダイス３７の上面に設けてある位置決めピン４０にＴＣＰテープ１１のスプロケットホール１３が入り込み、ダイス３７がＴＣＰテープ１１の下面に接触し支持するとともに、パンチガイド部４６とストッパ部材４９が当たる。このとき、所定距離Ｌ１はロッドのストロークＬより小さい。ストッパ部材４９とパンチガイド部４６とが当たることにより、ダイス３７が高さ方向所定位置に設定される。ここで、ダイス３７がＴＣＰテープ１１の下面と近接するように設定され、位置決めピン４０にスプロケットホール１３が係合してＴＣＰテープ１１を所定位置に位置決めする。即ち、ストッパ部材４９が、ロッド４１のシリンダ本体に対する最も出た位置から挿入方向（図中、上方向）への移動を所定位置（ダイス３７がＴＣＰテープ１１の下面と近接する位置）で規制する。
【００４７】
次いで、ロッド４１の上方への移動、即ち、ダイス３７の上方への移動がストッパ部材４９によって規制されたら、図６に示すように、エアシリンダのストロークＬのうち、ストッパ部材４９によってロッド４１の移動が規制された後の残りのストロークＬ２（＝Ｌ−Ｌ１）だけ、シリンダ本体３９がスライドガイド部４４に支持されながらばね５１の付勢力にうち勝って下方に移動する。すると、シリンダ本体３９に接続しているベース３８及びパンチ３５も下方に移動する。下降したパンチ３５は、位置決めピン４０にスプロケットホール１３が係合して位置決めされているＴＣＰテープ１１の上面に接近し、ＴＣＰを打ち抜く。
【００４８】
このように、シリンダ本体３９及びロッド４１、スライドガイド部４４、ベース３８、パンチガイド部４６、連結部材４５、ストッパ部材４９によって、ＴＣＰテープ１１の走行中にはダイス（支持装置）３７をＴＣＰテープ１１の下面から離間し、パンチ３５による打ち抜き動作の際には、ダイス３７をＴＣＰテープの下面と近接させ、位置決めピン４０にＴＣＰテープ１１のスプロケットホール１３を係合させて位置決めしてダイス３７で支持するように移動する移動装置が構成されている。
【００４９】
打ち抜き動作が終了したら、ロッド４１が下降し、これに伴ってダイス３７が下降して位置決めピン４０に係合しているスプロケットホール１３も外れるとともにパンチ３５が上昇し、元の待機位置まで戻る。
【００５０】
以上説明したように、シリンダ本体３９のロッド４１が縮むと、先ず、支持装置（ダイス）３７がＴＣＰテープ１１に接するまで上昇する。このとき、ダイス３７はストッパ部材４９に当たり止る。更に、シリンダ本体３９のロッド４１が縮むと、ばね５１が縮み、シリンダ本体３９とパンチ３５が下降する。そして、パンチ３５はＴＣＰテープ１１に穴を開け、支持装置（ダイス）３７にもぐりこむ。
このような動作を行うとき、支持装置（ダイス）３７上には位置決めピン４０が設置されていて、支持装置（ダイス）３７の上昇動作のときに、ＴＣＰテープ１１のスプロケットホール１３に位置決めピン４０が入り込み、ＴＣＰテープ１１の位置決めを行うようにする。
このように、上昇する支持装置（ダイス）３７部分に位置決めピン４０を設置することにより、支持装置（ダイス）３７がＴＣＰテープ１１に接する位置まで上昇した時点で、ＴＣＰテープ１１は位置決めピン４０によりパンチ３５に対して位置決めされるため、パンチ３５とその前後のテープ搬送機構との位置がずれていても、ＴＣＰテープ１１上の正確な位置にパンチ３５を打つことができる。
【００５１】
更に、ＴＣＰのデバイスを打ち抜く際、下面をダイス３７で支持する際にＴＣＰテープ１１のスプロケットホール１３に位置決めピン４０を係合させて位置決めすることにより、ＴＣＰテープ１１上の正確な位置決めをして且つＴＣＰテープ１１の下面を支持することで、ＴＣＰテープ１１はパンチ３５の下降に伴う反りを生じない。従って、打ち抜かれるべきＴＣＰに隣接する他のＴＣＰに対してＴＣＰテープ１１の反りに起因する力が作用しない。従って、不良ＴＣＰを打ち抜く際の力が良品ＴＣＰに悪影響を及ぼすことを防止できる。又、ＴＣＰテープ１１の走行中には、ダイス３７はＴＣＰテープ１１から離間しているので、ＴＣＰテープ１１に実装されているＴＣＰとダイス３７との干渉を発生させず、安定した走行を実現できる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
シリンダ本体３９のロッド４１が縮むと、先ず、支持装置（ダイス）３７がＴＣＰテープ１１に接するまで上昇し、ダイス３７はストッパ部材４９に当たり止る。更に、シリンダ本体３９のロッド４１が縮むと、ばね５１が縮み、シリンダ本体３９とパンチ３５が下降し、パンチ３５はＴＣＰテープ１１に穴を開け、支持装置（ダイス）３７にもぐりこむ。
このような動作を行うとき、支持装置（ダイス）３７上には位置決めピン４０が設置されていて、支持装置（ダイス）３７の上昇動作のときに、ＴＣＰテープ１１のスプロケットホール１３に位置決めピン４０が入り込み、ＴＣＰテープ１１の位置決めを行うようにする。
このように、上昇する支持装置（ダイス）３７部分に位置決めピン４０を設置することにより、支持装置（ダイス）３７がＴＣＰテープ１１に接する位置まで上昇した時点で、ＴＣＰテープ１１は位置決めピン４０によりパンチ３５に対して位置決めされるため、パンチ３５とその前後のテープ搬送機構との位置がずれていても、ＴＣＰテープ１１上の正確な位置にパンチ３５を打つことができるＴＣＰ用ハンドラを提供する。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本願発明のＴＣＰ用ハンドラの一部分であるリジェクトパンチ部の構成を示した説明図である。
【図２】同、リジェクトパンチ部を正面からみた説明図である。
【図３】同、ＴＣＰテープの説明図である。
【図４】同、リジェクトパンチ部の初期動作を示した説明図である。
【図５】同、リジェクトパンチ部のダイスが上昇した動作を示した説明図である。
【図６】同、リジェクトパンチ部のパンチがＴＣＰテープのデバイスを打ち抜く様子を示した説明図である。
【図７】従来技術におけるＴＣＰ用ハンドラの一部分であるリジェクトパンチ部の構成を示した説明図である。
【図８】同、リジェクトパンチ部を正面からみた説明図である。
【図９】ＴＣＰ用ハンドラの構成を略示的に示した説明図である。
【図１０】従来技術におけるリジェクトパンチ部の初期動作を示した説明図である。
【図１１】従来技術におけるリジェクトパンチ部のダイスが上昇した動作を示した説明図である。
【図１２】従来技術におけるリジェクトパンチ部のパンチがＴＣＰテープのデバイスを打ち抜く様子を示した説明図である。
【符号の説明】
【００５４】
１１      ＴＣＰテープ
１２      デバイス
１３      スプロケットホール
１４Ａ    供給リール
１４Ｂ    収容リール
１５      傾斜ガイド
１６      傾斜ガイド
１７Ａ    スプロケット
１７Ｂ    スプロケット
１８Ａ    プーリ
１８Ｂ    プーリ
１９Ａ    ガイド
１９Ｂ    ガイド
２１Ａ    テンションプーリ
２１Ｂ    テンションプーリ
２２Ａ    スプロケット
２２Ｂ    スプロケット
２３      カメラ
２４      画像処理装置
２５      プローブカード
２６      アタッチメントユニット
２７      テストヘッド
２８      プッシャ
２９      プッシャ
３１      マークパンチ部
３２      リジェクトパンチ部
３３      検出器群
３４Ａ    カメラ
３４Ｂ    カメラ
３５      パンチ（パンチ装置）
３６      パンチ駆動部
３７      ダイス（支持装置）
３８      ベース
３９      シリンダ本体
４０      位置決めピン
４１      ロッド
４２      貫通穴部
４３      基台部
４４      スライドガイド部
４５      連結部材
４６      パンチガイド部
４７      ガイド穴部
４８      貫通穴部
４９      ストッパ部材
５１      ばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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