(57)【要約】【課題】可動分離膜を用いて吐出液と発泡液を分離した液体吐出ヘッドにおいて、外部の循環機構などに接続することなく、発泡液を液体吐出ヘッド内で強制的に循環させることが可能な液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドには、吐出液を吐出する複数のノズルに吐出液を供給する第１流路Ｃ１と、可動分離膜７を介して第１流路Ｃ１と液密に分割された第２流路Ｃ２と、第２流路Ｃ２の中に設けられた複数の発熱体２が設けられている。発熱体２が熱エネルギを発することにより、第２流路Ｃ２の発泡室Ｃ２３内には気泡が発生し、その気泡の圧力によって生じる可動分離膜７の変位によって吐出口から液滴が吐出される。第２流路Ｃ２２には、ポンプ１６が設けられ、このポンプ１６によって第２流路Ｃ２内の発泡液が循環する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出液を吐出する複数のノズルと、
前記ノズルに前記吐出液を供給する第１流路と、
前記第１流路と可動分離膜を介して液密に分割された第２流路と、
前記第２流路の中に設けられた複数の発熱体と、を備え、
前記発熱体から発する熱エネルギによって前記発泡室の中の発泡液に気泡を発生させ、前記気泡の圧力によって生じる前記可動分離膜の変位によって前記吐出口から液滴を吐出させるようにした液体吐出ヘッドにおいて、
前記第２流路内に前記発泡液を循環させるポンプを設けたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記ポンプは、下部基板と、その下部基板に対して外周部が固定され液体の吸引口及び排出口を有する上部基板と、前記上部基板の表面に形成された下部電極と、下部電極の表面に固定された圧電体と、圧電体の表面に形成された複数の上部電極とを備え、前記各上部電極に所定の電圧を順次印加することによって、前記下部基板と前記上部基板との間に前記発泡液を含む領域を形成しつつ、該領域を前記吸引口から排出口へと移動させるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記ポンプは、前記発泡液を吸引する吸引口と、前記発泡液を送出する送出口とを備え、吸引口は複数の発熱体からなる発熱体列の一方の端部の近傍に位置し、送出口は前記発熱体列の他方の端部の近傍に位置し、前記第２流路内に前記送出口から吸引口に至る液流を発生させることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第２流路内には、複数の前記ポンプが設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第２流路には、前記発熱体が設けられている第１発泡液室と、該第１発泡液室から分割された第２発泡液室とが形成され、前記第１発泡液室と前記第２発泡液室とは前記複数のポンプによって連通し、前記ポンプの駆動によって第１発泡液室と第２発泡液室との間で発泡液を循環させることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１発泡液室と前記第２発泡液室は、第１ポンプと第２ポンプとによって連通し、前記第１ポンプの送出口は、前記第１発泡液室に配された前記複数の発熱体からなる発熱体列の一方の端部の近傍に連通すると共に、吸引口は前記第２発泡液室に連通し、前記第２ポンプの吸引口は、前記発熱体列の他方の端部の近傍に連通すると共に、吸引口は前記第２発泡液室に連通することを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱エネルギ等による気泡の発生によって液体を吐出する液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関し、特に、発泡用液体と吐出用の液体を完全に分離する可動分離膜を有し、発泡液の発泡圧力による可動分離膜の変位を利用して吐出液を吐出させるものである。
【背景技術】
【０００２】
熱エネルギを与えることでインクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態変化を生じさせ、その状態変化に伴う作用力によって吐出口からインクを吐出し、画像形成を行なうインクジェット記録方式が知られている。このインクジェット記録方式では、特許文献１及び特許文献２に示すように、一端にインクを吐出するための吐出口が形成されたインク流路と、インク流路内のインクを加熱するための発熱体としての電気熱変換体（ヒータ）とが一般的に設けられている。
【０００３】
上記のインクジェット記録方式によれば、品位の高い画像を高速、低騒音で記録することができると共に、インクを吐出するための吐出口を高密度に配置することができるため、小型の装置で高解像度の記録画像が可能になる。さらに複数色のインクを用いることでカラー画像の形成も容易に行うことができるといった多くの優れた利点を有している。このため、インクジェット記録方式は、近年、プリンター、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に採用されており、さらに、捺染装置等の産業用システムにまで広く利用されるようになってきている。
【０００４】
その一方で、従来のヒータを用いた吐出方式を採る記録装置にあっては、ヒータがインクに接した状態で加熱を繰り返すため、ヒータの表面にインクの色材などが堆積する、いわゆるコゲという現象が発生することがある。このコゲが発生した場合、ヒータからインクへの加熱が十分に行われず、インク吐出が適正に行われなくなるという問題が生じる。また、吐出すべき液体が熱によって劣化しやすい液体の場合、あるいは十分に発泡が得られにくい液体の場合には、前述のようにヒータによってインク内に気泡を形成する方法では、良好な吐出が行われない場合もある。
【０００５】
このような問題に対して、特許文献３には、記録媒体へ吐出する吐出液と気泡を発生させる発泡液とを可動分離膜を介して分離し、発泡液をヒータにより発泡させて可動分離膜を変形させ、その変形により吐出液を吐出する構成が提案されている。この特許文献３に開示の構成では、可動分離膜が各ノズルの一部に設けられているものとなっているため、その製造工程が複雑化するという問題がある。
【０００６】
これに対し、特許文献４には、記録ヘッド全体を大きな膜によって、ヒータ側と吐出口側とに分離し、吐出口側には吐出液を、ヒータ側には発泡液をそれぞれ供給することによって製造工程を簡略化する構成が開示されている。具体的には、図１３に示すように、可動分離膜２０を支持する支持部材２１に、可動分離膜１２０の可動領域となる部位に凹部１２２を形成し、その基板１００の表面全体を覆うよう大きな可動分離膜１２０を形成し、これにより発泡液の流路１２２を形成している。これによれば、可動分離膜１２０の形成工程が簡略化されると共に、支持部材１２１に支持されていない可動領域において可動分離膜１２０を撓ませた状態に形成することができ、発泡エネルギを効率よくインクに伝達することが可能になる。また、基板１００には発泡液の供給孔１２３と排出孔１２４とが形成され、それらが基板外に設けた循環経路に連結されている。循環経路内にはポンプが設けられ、そのポンプの駆動力により発泡液を循環させて発泡液の冷却を行い、ヒータ１３０による発泡液の劣化を軽減させるようになっている。
【０００７】
【特許文献１】特公昭６１−５９９１１号公報
【特許文献２】特公昭６１−５９９１４号公報
【特許文献３】特開昭５５−８１１７２号公報
【特許文献４】特開２０００−０００９７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献４に開示の液体吐出ヘッドは、発泡液を循環させるために、基板に供給孔１２３及び排出口１２４などの貫通孔を開ける工程が必要となり、その分製造工程が複雑化するという問題がある。さらに、外部に設けた循環流路およびポンプによって発泡液を循環させる構成採るため、液体吐出ヘッドの小型化及び微細化が困難になるという問題も生じている。
【０００９】
本発明は、可動分離膜を用いて吐出液と発泡液を分離した液体吐出ヘッドにおいて、外部の循環機構などに接続することなく、発泡液を液体吐出ヘッド内で強制的に循環させることが可能な液体吐出ヘッドの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液体吐出ヘッドは、吐出液を吐出する複数のノズルと、前記ノズルに前記吐出液を供給する第１流路と、前記第１流路と可動分離膜を介して液密に分割された第２流路と、前記第２流路の中に設けられた複数の発熱体と、を備え、前記発熱体から発する熱エネルギによって前記発泡室内の発泡液に気泡を発生させ、前記気泡の圧力によって生じる前記可動分離膜の変位によって前記吐出口から液滴を吐出させるようにした液体吐出ヘッドにおいて、前記第２流路内に前記発泡液を循環させるポンプを設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、外部の循環機構などを用いることなく発泡液を液体吐出ヘッド内で強制的に循環させることができる。このため、液体吐出ヘッドの小型化及び微細化を実現することが容易になり、また、液体吐出ヘッドの基板に貫通孔を形成する必要もなくなり、製造工程を簡略化することが可能になり、コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第１の実施形態を詳細に説明する。なお、本実施形態では、液体吐出ヘッドとして、インクジェット記録記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドと称す）を例に採り説明する。
【００１３】
図１は、本実施形態の液体吐出ヘッドＨ１を示す分解斜視図である。図において、１０はセラミック製のベースプレートである。このベースプレート１０には、シリコン基板によって形成されたヒータボード（吐出用基板）１１と、その左右両側部および上面部を覆う天板１２と、ヒータボード１１に設けられた後述のヒータに電気エネルギを供給する配線基板１３とが配置されている。ヒータボード１１のヒータに接続される端子と、配線基板１３状の端子とは、ワイヤボンディングを介して電気的に接続されている。
【００１４】
ヒータ２には、通電のためのアルミニウム等の電極（図示せず）が接続されている。この電極の一方は、ワイヤボンディングを介して配線基板１３の端子に接続されており、配線基板の端子にはヒータの通電を制御するためのスイッチングトランジスタ（図示せず）が接続されている。スイッチングトランジスタは、制御用のゲート素子等の回路からなるＩＣによってその駆動を制御され、記録装置からの信号に応じてヒータ２への通電・遮断を制御する。
【００１５】
図２は記録ヘッドＨ１における内部構造を示す一部切欠斜視図、図３は図２のＡ−Ａ線断面図である。  
図２及び図３に示すように、ヒータボード１１には、チッ化タンタル等の抵抗体からなる複数の発熱体（ヒータ）２が一定の間隔を介して配置されている。また、ヒータボード１１の表面１１ａには、第２流路壁６、可動分離膜７、第１流路壁５及び天板１２が順次重ねて設けられている。可動分離膜７は、第２流路壁６と第１流路壁５との間に挟持されている。この分離膜の材料としては耐熱性があり、耐油、耐溶剤、耐薬品性に優れた弾性を有するものが適している。例えば、蒸着より薄膜成膜性が良いもので、パラキシレンなどが挙げられる。パラキシレンは、気相蒸着重合法により薄膜形成が可能であり、シリコン材料との密着性に優れ、弾性も有している。
【００１６】
第２流路壁６は、ヒータボードの周縁部に沿って形成される枠状の外枠部６ａと、各ヒータ２の間に設けられた仕切り部６ｂと、台座部６ｃとを有しており、外枠部６ａと仕切り部６ｂと台座部６ｃとは同一の高さを有している。そして、この第２流路壁６と可動分離膜７とによって、発泡液を流動させる第２流路Ｃ２が形成され、さらに第２流路Ｃ２内には、仕切り部６ｂによって画成された発泡領域Ｃ２３が形成されている。
【００１７】
また、第１流路壁５は、第２流路壁６の外部壁６ａに対向する外枠部（図示せず）と、これと同一の高さを有する複数のノズル形成部５ｂとを有している。第１流路壁５の表面（図において上面）には、底面にドライシート１２ａを有する天板１２が密接している。この天板１２と、第１流路壁５と、可動分離膜７とによって、吐出液であるインクを流動させる第１流路Ｃ１が形成されている。また、この第１流路Ｃ１には、第１流路壁５によって、一端に形成される開口部がインクの吐出口Ｃ１１ａとなるインク流路Ｃ１１が複数形成されている。以下、このインク流路をノズルとも言う。各ノズルＣ１１は、第２流路内Ｃ２に形成された発泡領域Ｃ２３に対応しており、各発泡領域Ｃ２３における可動分離膜７が図３に示すようにノズル内に膨出し得るようになっている。なお、第１流路Ｃ１には、図外のインク供給源（例えば、インクタンク）からインクが供給される。第１流路Ｃ１に供給されたインクは各ノズルＣ１１内にその毛管力によって吸引され、ノズルの先端部に形成される開口部（吐出口）Ｃ１１ａに、インク滴の吐出に適したメニスカスが形成される。
【００１８】
上記のように、記録ヘッドＨ１は、第１流路ＣＨ１と第２流路Ｃ２とは、可動分離膜７によって液密状態に分割されており、発泡液と記録液とが混合するのを防止することができるようになっている。
【００１９】
ここで、記録液としては、所定の色材を含んだインクの他に、インクの発色性、耐候性などを向上させるために記録媒体に付与される記録品質向上液などがある。また、発泡液は、ヒータ５の発する熱によって安定した気泡が形成可能な発泡特性を有しており、インクのように色材を含まず、ヒータ２に堆積物を形成しない組成となっている。
【００２０】
次に上記の液体吐出ヘッドＨ１の第２流路Ｃ２に配置したポンプおよびそのポンプによる発泡液の流れを、図４の平面模式図を用いて説明する。  
図４に示すように、前述の第２流路Ｃ２は、第２流路壁６の外枠部６ａ内に形成されており、この第２流路Ｃ２内にはポンプ１６が収納されている。このポンプ１６は、その両端に発泡液を吸引する吸引口１６ａと、吸引した液体を送出する送出口１６ｂとを有する。このポンプの構成および作用については後に詳述するが、第２流路Ｃ２内に充填されている発泡液は、このポンプ１６の作用によって、第２流路Ｃ２内を図中の矢印に示すように循環する。すなわち、ポンプ１６の送出口１６ｂから送出された発泡液は、主として各発泡領域Ｃ２３の両側部の流動領域Ｃ２１，Ｃ２２を流動した後、ポンプ１６の吸引口１６ａから吸引されて送出口１６ｂへ送られ、再び第２流路Ｃ２へと送出される。こうした循環を行うことにより、ヒータ駆動時に発生する気泡によって気泡発生領域から押し出された発泡液の熱は放出され、その温度は低下する。
【００２１】
このように本実施形態によれば、気泡発生領域Ｃ２３やその近傍に存在する発泡液がヒータによって繰り返し加熱されたり、高温の発泡液が気泡発生領域内あるいはその近傍に滞留したりするのを回避することができる。このため、気泡発生領域Ｃ２３に供給する発泡液を適温に保つことが可能となり、ヒータ２による発泡およびこれに伴うインク吐出の適正化を図ることができる。
【００２２】
ここで、図５（ａ）〜（ｂ）に基づき、本実施形態に使用するポンプ１６の構成及び作用をより詳細に説明する。  
本実施形態におけるポンプ１６には、ヒータボード１１によって構成される下部基板２５と、その上に設けられる上部基板２４とが設けられている。この上部基板２４は絶縁体であるガラス基板となっている。上部基板２４は、その外周環状領域において下部基板２４に陽極接合により固着され、その両端部には凹状の吸引口及１６ａ及び送出口１６ｂが形成されている。そして、吸引口１６ａと送出口１６ｂの間には、図７に示すように、発泡液を、左方向から右方向へ搬送するためのポンプ室としての領域１６ｃ（図７参照）が形成される。
【００２３】
このポンプ室１６ｃと対応するように上部基板２４の上面には下部電極２３の外周部が固定され、その下部電極２３の上面には圧電体２２が固定されている。さらに圧電体２２の上面には、一定の間隔を設けて短冊状をなす複数の上部電極２１ａ〜２１ｆが固着されており、各上部電極２１ａ〜２１ｆは、流体の搬送方向と直交する方向に延長されている。また、上部電極２１ａ〜２１ｆ及び下部電極２３は、図６に示すように制御装置３０に電気的に接続されている。
【００２４】
次に、本実施形態のポンプ１６の動作について説明する。  
まず、図８（ａ）〜（ｃ）の模式図を参照して、上記圧電体２２を構成する圧電素子ＰＺの動作原理を説明する。ここでは、圧電素子ＰＺとして、（−）の面にマイナスの電圧を印加して分極処理を施したものを考える。この圧電素子ＰＺに図８（ｂ）に示すような方向の電圧を印加すると、圧電素子ＰＺは円柱の高さ方向に伸び、かつ半径方向に縮むように変形する。また、図８（ｃ）に示すような方向の電圧を印加すると、圧電素子ＰＺは円柱の高さ方向に縮み、かつ半径方向に伸びるように変形する。
【００２５】
次に、上記のような動作原理の圧電体２２を備えた実際のポンプ１６の駆動方法および動作を説明する。
【００２６】
上部電極２１ａ〜２１ｆには、図９に示すように段階的かつ周期的に変化する正負の電圧が印加される。そして、この電圧を印加した際のポンプの駆動状態を図１０（ａ）〜（ｉ）に示す。  
動作スイッチ３１を投入する前の初期状態においては、ポンプ１６の上部電極２１ａ〜２１ｆには電圧が印加されていないため、圧電体２２は変形せず、図５（ｂ）に示す状態に保たれる。すなわち、ポンプ１６は停止状態にある。これに対し、ポンプ駆動時には、動作スイッチ３１を投入し、各上部電極２１ａ〜２１ｆと下部電極２５との間に、時間差をもって図８（ｂ），（ｃ）に示したような順方向及び逆方向の電圧を順次印加させる。これにより、図１０（ａ）〜（ｉ）の状態が連続的に現出され、本実施形態のポンプ１６のポンプ作用が発揮される。すなわち、逆方向の電圧を印加された上部電極２４の位置に相当する上部基板の部位のみが、印加された電圧の高さに応じた高さで図７に示すように下側基板２５から浮き上がり、上部基板との間に液体が収納される領域１６ｃが形成される。従って、上部電極２１ａ〜２１ｆに対し図９（ａ）〜（ｍ）に示すような電圧が印加されると、上部基板２４と下部基板２５との間に形成される領域１６ｃが、図１０（ａ）〜（ｉ）に示すように吸引口１６ａから送出口１６ｂへ向けて移動して行く。その結果、吸引口１６ａから流入した液体は、前記領域１６ｃと共に送出口１６ａへと移動して行き、送出口１６ａから送出され、上述の発泡液の循環が行われる。
【００２７】
ところで、上記構成を有するポンプ１６は、縦幅１．５ｍｍ、横幅２６ｍｍ、高さ（厚さ）０．０４ｍｍの寸法を有している。一方、本実施形態における液体吐出ヘッドは、６１６個の吐出口が６００ｄｐｉ相当の密度で形成されており、その第２流路の寸法は、縦幅１．６ｍｍ、横幅２６．１８ｍｍ、高さ０．０４ｍｍとなっている。従って、上述の構成を有するポンプ１６は、第２流路Ｃ２に十分に収納することができる。
【００２８】
このように本実施形態では、第２流路Ｃ２内に収納したポンプ１６で発泡液を循環させる構成をとるため、外部に発泡液を導出させて循環させる場合に比べ、記録ヘッド全体を小型化でき、コストの低減および発泡液の少量化を実現することができる。
【００２９】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を図１１を参照しつつ説明する。  
上記第１の実施形態では、発泡液を循環させるために単一のポンプ１６を第２流路Ｃ２内に設けた場合を示したが、第２流路Ｃ２の寸法形状によっては、複数のポンプを設けることも可能である。この第２の実施形態における液体吐出ヘッドＨ２では、第２流路Ｃ２に２個のポンプ２６，２７を設け、これらのポンプ２６，２７によって各発泡領域内Ｃ２３内に発泡液を供給するようになっている。すなわち、第２流路Ｃ２を形成する外枠部６ａの相対向する２面に沿ってそれぞれ第１ポンプ２６、第２ポンプ２７が配置されており、各ポンプ２６と２７の間には、外枠部６ａ及び仕切り部６ｂと同一の高さを有する分割壁６ｃが設けられている。この分割壁６ｃによって第２流路Ｃ２は、複数の発泡領域Ｃ２３が形成される第１発泡液室ＣＲ１と、第２発泡液室ＣＲ２とに分割される。なお、いずれの液室にも発泡液が充填される。両ポンプ２６，２７自体の構成、作用は、図８ないし図１０に示したポンプと同様である。
【００３０】
第１ポンプ２６の一端に形成される吸引口２６ａは、第２発泡液室ＣＲ２内に位置し、第１ポンプ２６の他端に形成される送出口２６ｂは、第１発泡液室ＣＲ１に連通している。また、第２ポンプ２７の一端に形成される吸引口２７ａは第１発泡液室ＣＲ１に連通し、送出口２７ｂは第２発泡液室ＣＲ２に連通している。また、第１ポンプ２６の送出口２６ｂは複数のヒータ（発熱体）からなるヒータ列（発熱体列）の中の一方の端部近傍に位置しており、第２ポンプ２７の吸引口２７ａは同ヒータ列の中の他方の端部近傍に位置している。
【００３１】
上記構成の第２の実施形態では、第２発泡液室ＣＲ２内の発泡液が、第１ポンプ２６の吸引口２６ａから吸引された後、送出口２６ｂから第１発泡液室ＣＲ１内の一端部側、すなわちヒータ列の一端部側に送出される。また、第１発泡液室ＣＲ１内の発泡液は矢印に示すように、第２ポンプ２７の吸引口２７ａから吸引され、送出口２７ｂから第２発泡液室ＣＲ２内へと送出される。その結果、第２流路Ｃ２内の発泡液は、矢印に示すように第２発泡液室ＣＲ２と第１発泡液室ＣＲ１との間で循環する。この際、第１発泡液室ＣＲ１内では、各発泡領域Ｃ２３の両側に沿って発泡液の液流が形成される。このため、ヒータ２によって加熱され、気泡の発生によって発泡領域Ｃ２３から押し出された発泡液は、発泡領域Ｃ２３の両側に形成される液流によって下流側へと押し流され、第２ポンプ２７内を通過して第２発泡液室ＣＲ２へと送られる。その後、発泡液は第２発泡液室ＣＲ２内を流動した後、第１ポンプ２６内を通過して再び第１発泡液室ＣＲ１へと送られ、その一部が各発泡領域Ｃ２３へと供給される。
【００３２】
上記構成を有するポンプ１６は、１．５ｍｍ、横幅１０ｍｍ、高さ（厚さ）０．０４ｍｍの寸法を有している。一方、本実施形態における液体吐出ヘッドは、６１６個の吐出口が６００ｄｐｉ相当の密度で形成されており、その第２流路の寸法は、縦幅１．６ｍｍ、横幅２６．１８ｍｍ、高さ０．０４ｍｍとなっている。従って、上述の構成を有するポンプ１６は、第２流路Ｃ２に十分に収納することができる。
【００３３】
このように、この第２の実施形態においても、第２流路Ｃ２内に２個のポンプを収納した構成となっているため、記録ヘッドの小型化、低コスト化、及び発泡液の少量化を実現することができる。また、この第２の実施形態では、加熱された発泡液が、第１ポンプ２６、第２発泡室ＣＲ２、及び第２ポンプ２７を通過する構成となっているため、加熱された発泡液をより効率的に放熱することが可能となる。従って、常に良好な温度状態で発泡を行うことが可能となり、液滴を適正に吐出することが可能になる。
【００３４】
なお、上記各実施形態では、発泡液を第２流路Ｃ２内で循環させるポンプとして、図８ないし図１０に示すような構成のポンプを用いた例を示したが、第２流路内に収納可能なポンプであれば他のポンプを用いることも可能である。
【００３５】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について図１２を参照しつつ説明する。
【００３６】
上記第１および第２の実施形態では、第２流路内にポンプを収納したが、第１流路と第２流路が液密に分割され、かつ第１流路における吐出液の供給に影響を与えない範囲でポンプの厚さを厚くすることも可能である。例えば、圧電体２２を厚くする、もしくは積層構造とすることも可能であり、これによれば、電圧印加時の圧電体の変化量を大きくすることができ、ポンプ能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態における液体吐出ヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】図１に示した液体吐出ヘッド（記録ヘッド）の内部構造を示す一部切欠斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの第２流路内の構成を示す模式図である。
【図５】本実施形態に使用するポンプの構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】本発明の実施形態に使用するポンプの電気的構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の実施形態に使用するポンプに電圧を印加した時の変形状態を示す断面図である。
【図８】圧電素子の基本動作を示す図である。
【図９】図５に示すポンプの各上部電極に供給される電圧を示すタイミングチャートである。
【図１０】図５に示すポンプにおける流体の動きを示す断面図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの第２の流路内の構成を示す模式図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドの構成を示す断面図である。
【図１３】従来の液体吐出ヘッドの構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
２  ヒータ
５  第１流路壁
５ａ  外枠部
５ｂ  ノズル形成部
６  第２流路壁
６ａ  外枠部
６ｂ  仕切り部
７  可動分離膜
１０  ベースプレート
１１  ヒータボード
１２  流路形成部材
１３  配線基板
１６  ポンプ
Ｃ１  第１流路
Ｃ２  第２流路
Ｃ１１  ノズル
Ｃ１１ａ  吐出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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