(57)【要約】【課題】安全かつ簡易な構成の半導体搬送装置のメンテナンスにおいて行うロボット遠隔教示作業のインターロック系統切替機構を備えた半導体搬送装置を提供する。【解決手段】点検調整用の開口部１０と、この開口部１０を蔽う開閉自在のカバー２と、このカバー２が開状態のときインターロック３が作動し、装置の駆動を停止させるインターロック回路３と、を備えた搬送用ロボットによって半導体試料を搬送する半導体搬送装置１であって、さらに、カバー２が開状態のときに、操作できるキースイッチ４を有し、キースイッチ４は、ノーマルモードＮとメンテナンスモードＭを選択することができ、ノーマルモードＮは、インターロック３を有効とし、メンテナンスモードＭは、インターロック３を無効にするとともに、さらに搬送ロボットの搬送位置を調整する遠隔教示用のティーチングペンダント５の使用を有効とさせる構成とした。【選択図】図２
2009190103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
点検調整用の開口部と、この開口部を蔽う開閉自在のカバーと、このカバーが開状態のときインターロックが作動し、装置の駆動を停止させるインターロック回路と、を備えた搬送用ロボットによって半導体試料を搬送する半導体搬送装置であって、
さらに、前記カバーが開状態のときに、操作できるキースイッチを有し、
前記キースイッチは、ノーマルモードとメンテナンスモードを選択することができ、
前記ノーマルモードは、前記インターロックを有効とし、
前記メンテナンスモードは、前記インターロックを無効にするとともに、さらに前記搬送ロボットの搬送位置を調整する遠隔教示用のティーチングペンダントの使用を有効とすることを特徴とする半導体搬送装置。
【請求項２】
前記キースイッチは、鍵穴を有し、別体のキーをこの鍵穴に挿入して回転させることによって前記ノーマルモードと前記メンテナンスモードとを切替えて選択することができ、
前記キーは、前記ノーマルモードが選択されているときに鍵穴から抜挿自在であり、
前記カバーは、前記キーが鍵穴から抜出されているときに開閉自在であることを特徴とする請求項１に記載の半導体搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体搬送装置に関する。詳しくは、半導体搬送装置のメンテナンスにおいて行うロボット遠隔教示作業のインターロック系統切替機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体搬送装置は、半導体検査装置に半導体試料であるウェハを搬入する装置である。ウェハを検査する時間を短縮するには、位置的な誤差をより少なくして、ウェハを半導体検査装置へ搬入することが好ましい。こうすることによって、半導体検査装置内においてウェハの位置を補正する時間が短縮され、検査時間の短縮につながる。
【０００３】
ウェハ半導体搬送装置は、前記のように高い位置精度でもってウェハを半導体検査装置に搬入するように構成されているが、ウェハの形状、サイズに対応した搬入作業に関わる位置補正が必要であり、また経時による誤差が蓄積された際には、位置精度を回復させるために、メンテナンス作業において位置補正を行う必要がある。
【０００４】
一方、半導体搬送装置のメンテナンス作業は、安全を期すため、半導体搬送装置のカバー等を開いた際にインターロックスイッチが作動し、駆動関連の電源を遮断する構成となっている（例えば、特許文献１もしくは特許文献２）。
【０００５】
前記した位置補正作業では、通常、ウェハを搬送するロボット（半導体搬送装置の構成）に、ウェハおよびこれを搬送する経路・位置を教示する遠隔教示が必要となる。この遠隔教示作業を行うためには、カバー等を開いた状態で、駆動部、詳しくは遠隔教示端末装置であるティーチングペンダントを作動させる必要がある。しかし、前記したように、カバー等を開いた際にインターロックスイッチが作動し、駆動関連の電源を遮断する構成となっているため、メンテナンス時にはインターロックスイッチの作動を無効等にする機能が必要となっていた（例えば、特許文献１もしくは特許文献２）。
【特許文献１】特開２０００−１６４４８０号公報
【特許文献２】特開２０００−６４６７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、インターロックスイッチを適宜無効にできるように新たなスイッチを設けたとしても、メンテナンス終了時にインターロックスイッチの機能回復作業が漏れるおそれがあり、安全性の低下につながるおそれがあった（例えば、特許文献１の構成）。また、キースイッチを設け、このキースイッチによって、インターロックスイッチを無効化した状態からでも、再度カバーを閉じることでインターロックスイッチの機能を自動的に回復させる装置も考案されているが（例えば、特許文献２）、半導体半装置の一部機能（電子システム制御盤等）を対象としており、安全性の低下につながるおそれがあった。
【０００７】
本発明は、安全かつ簡易な構成の半導体搬送装置のメンテナンスにおいて行うロボット遠隔教示作業のインターロック系統切替機構を備えた半導体搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するため、本発明は、点検調整用の開口部と、この開口部を蔽う開閉自在のカバーと、このカバーが開状態のときインターロックが作動し、装置の駆動を停止させるインターロック回路と、を備えた搬送用ロボットによって半導体試料を搬送する半導体搬送装置であって、さらに、前記カバーが開状態のときに、操作できるキースイッチを有し、前記キースイッチは、ノーマルモードとメンテナンスモードを選択することができ、前記ノーマルモードは、前記インターロックを有効とし、前記メンテナンスモードは、前記インターロックを無効にするとともに、さらに前記搬送ロボットの搬送位置を調整する遠隔教示用のティーチングペンダントの使用を有効とすることを特徴としている。
【０００９】
前記構成によれば、本発明に係る半導体搬送装置は、キースイッチでメンテナンスモードに切替えることによって、カバーのインターロックを無効にし、ティーチングペンダントのインターロックを有効にし、一方、キースイッチで通常作動モード（ノーマルモード）に切替えることによってカバーのインターロックを有効にし、ティーチングペンダントのインターロックを無効にすることができる。
【発明の効果】
【００１０】
このような半導体搬送装置によれば、簡単な構成であって、半導体搬送装置の通常の作動時に必要なインターロックとメンテナンス時に必要な搬送ロボット遠隔教示用のティーチングペンダントのインターロックとを、容易な操作で確実に切替えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。図１は本実施形態に係る半導体搬送装置の構成を表す斜視図であり、図２は半導体搬送装置に備えられたインターロック回路の系統図である。
本実施形態に係る半導体搬送装置１は、半導体試料であるウェハを検査する半導体検査装置にウェハを搬送する機能を有するものであり、内部にウェハ搬送用ロボット（図示せず）や、ウェハを載置するロードポート（図示せず）等を備えている。なお、図１の半導体搬送装置は、一例であり、大きいサイズのものでは、後記するように装置内部に人が入り、作業ができるものもある。
【００１２】
半導体搬送装置１は、背面に搬出口２０が開口形成された本体部１３と、制御機器や駆動装置等が収挿された収挿部１４とから構成されている。
半導体検査装置に搬送されるウェハは、極めて高い清浄環境が要求されていることから、通常、箱状のＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ  図示せず）に梱入されている。ウェハは、このような状態で搬入口（図示せず）から半導体搬送装置１内へ搬送される。
【００１３】
そして、半導体搬送装置１に備えられたウェハ搬送用ロボットが、ＦＯＵＰからウェハを取り出し、適切な搬送位置にウェハを載置する。その後、適切な搬送位置を保持しながら、搬出口２０から、半導体検査装置（図示せず）に搬出される。かかる機能を具現するため、本体部１３には、ウェハを搬送するコンベア（図示せず）や、搬送位置を誤差なく搬送させるための搬送用ロボット（図示せず）等の駆動部（図示せず）が備えられている。
【００１４】
収挿部１４には、図１に示すように前面と後面に開閉自在なカバー２，２が配設されている。半導体搬送装置１の内部には、前記したウェハ搬送用ロボット等の機器が配設されているおり、カバー２，２は、作業者の安全を図るため設けられている。
【００１５】
図１に示すように、前面側のカバー２は、半導体搬送装置１の側縁に設けられたヒンジ等を回転軸として、手前側に水平に回転するように開閉する（矢印Ａ参照）。カバー２を開くと、半導体搬送装置１の内部には、二つのカバーインターロックスイッチ３（３ａ，３ｂ）と、キースイッチ４が配設されている。一方のインターロックスイッチ３ａとキースイッチ４は、半導体搬送装置１の前面の開口部１０の角部に装着されたブロック１１に並んで備えられ、他方のインターロックスイッチ３ｂは、開口部１０の下部に設けられたパネル１２に備えられている。後面側のカバー２も前記のような構成としている。
【００１６】
メンテナンス作業時には、作業者は、カバー２を開け、開口部１０から半導体搬送装置１の内部に入り、もしくは手を入れ、本体部１３に配設された機器（図示せず）を取外したり、交換する。このとき、作業安全をはかるため、カバー２を開くことによって、カバーインターロックスイッチ３が作動し、半導体搬送装置１の駆動部の電源が遮断され、駆動部は停止する。そして、作業者は、駆動部停止を確認後、半導体搬送装置１の主電源をＯＦＦにし、作業中に誤って主電源がＯＮとならないように、電源部７（図２参照）は南京錠等でロックアウトされている。
【００１７】
ウェハの搬送に係る本体部１３に配設された機器が取り外された場合は、再取付後ウェハの搬送位置がずれるおそれがあるため、搬送用ロボットの搬送位置を教示する必要がある。この教示方法として、遠隔教示端末装置であるティーチングペンダント５を使用する。具体的には、ティーチングペンダント５を携えた作業者が、開口部１０から半導体搬送装置１の内部に侵入し、搬送用ロボットとウェハの搬送位置との相対的位置を確認しながら誤差を是正するように搬送用ロボットを教示している。確認作業においては、カバー２が開き、開口部１０が開口した状態で、搬送用ロボットを駆動させる必要がある。
【００１８】
次に、前記した内容と多少重複するが、本実施形態に係る半導体搬送装置１の搬送用ロボットの教示作業を含むメンテナンス作業の流れを図１および図２を参照して説明する。
最初に、作業者は、カバー２を開く。カバー２を開くことによって、ブロック１１とパネル１２に配設されたインターロックスイッチ３が、カバー２の押圧から開放され、作動する。インターロックスイッチ３の作動により、駆動部が停止する。作業者は、駆動部の停止を確認した後、半導体搬送装置１の主電源をＯＦＦにし、電源部７を南京錠等でロックアウトする。
【００１９】
次に、具体的なメンテナンス作業に入り、機器等の取外し、交換を行う。なお、機器等の取外し、交換等を行わず、ウェハの搬送位置の補正が必要でない場合は、カバー２を閉じ、作業は終了する。この場合は、従来技術と同様な作業となる。
【００２０】
ウェハの搬送位置の補正が必要な場合は、キースイッチ４を作動させる。キースイッチ４は、図２に示すように、通常の作動を行うノーマルモードＮからメンテナンスモードＭに切替えるスイッチである。キースイッチ４には、鍵穴４３（図１参照）が形成されており、ここにキー（図示せず）を差込み、回転させることで、モードの切替えを行っている。
【００２１】
メンテナンスモードＭに回路系統が切替えられると、モード切替リレー６が作動し、リレーの接点は、Ｎ１からＭ１へ切替えられる。この切替えによって、インターロックスイッチ３は無効化され、電源Ｖｃｃと接続され、ティーチングペンダント５は有効となり、作動できる状態となる。ここで、ＧＮＤは接地（グラウンド）である。
【００２２】
この状態において、作業者は、半導体搬送装置１の内部に入り、ティーチングペンダント５を使って、搬送用ロボットの教示作業を行う。教示作業が終了したら、キースイッチ４によって、メンテナンスモードＭからノーマルモードＮに切替える。ノーマルモードＮに切替えることで、半導体搬送装置１のインターロック系統は、インターロックスイッチ３が有効となり、ティーチングペンダント５は無効となる。
【００２３】
本実施形態は、キースイッチ４の切替えという簡易な構成を採用することにより、確実にメンテナンスモードとノーマルモードとの切替えを具現できる。例えば、メンテナンス終了時に、ノーマルモードＮの状態で、ティーチングペンダント５を誤って作動させたとしても、無効となっており、ティーチングペンダント５は作動しない。
【００２４】
また、このようなキースイッチ４を備えることにより、ティーチングペンダント５をコネクタ等を介して半導体搬送装置１に接続して使用する構成にすれば、１台のティーチングペンダント５によって、複数台の半導体搬送装置１の搬送ロボットの教示作業を実施することも可能となる。
【００２５】
［第２実施形態］
次に、本発明に係る半導体搬送装置の第２実施形態について説明する。本実施形態における半導体搬送装置において、前記した第１実施形態（図１等参照）と同一構成の部分は、同一の符号を付して重複する説明は省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。図３は、本実施形態に係る半導体搬送装置１００のカバー２を開いた状態の側面の一部を示した斜視図である。
【００２６】
ここで、カバー２は、キースイッチ４０の鍵穴４３にキー４１を挿入した状態では、鍵穴４３から突出したキー４１の高さＨがあるため、閉じることはできない。そして、キー４１は、ノーマルモードＮ（図２参照）のときにのみ、抜き差しできるようにしている。
【００２７】
かかる構成によって、キースイッチ４０によってメンテナンスモードＭ（図２参照）の解除を忘れた場合であっても、カバー２は、キー４１に当接し、カバー２を閉じることはできないため、予防安全を図ることができる。なお、図３では、開口部１０に備えられたブロックを２つとし、一つは、インターロックスイッチ３ｃ用のブロック３０と、他は、キースイッチ４０用のブロック４２として、別体としているが、第１実施形態のようにインターロックスイッチとキースイッチとが一つのブロックを共有する構成としても問題ない。
【００２８】
以上、本発明について好適な実施形態を説明した。本発明は、図面に記載したものに限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で設計変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施形態に係る半導体搬送装置の構成を表す斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る半導体搬送装置に備えられたインターロック回路の系統図である。
【図３】第２実施形態に係る半導体搬送装置のカバーを開いた状態の側面の一部を示した斜視図である。
【符号の説明】
【００３０】
１      半導体搬送装置（第１実施形態）
２      カバー
３，３０  インターロックスイッチ
４，４０  キースイッチ
５      ティーチングペンダント
６      モード切替リレー
７      電源部
１０    開口部
１１，４１  ブロック
１２    パネル
１３    本体部
１４    収挿部
２０    搬入部
４２    キー
４３    鍵穴
１００  半導体搬送装置（第２実施形態）
Ｎ      ノーマルモード
Ｍ      メンテナンスモード
【図１】
2009190103.tif 000003
【図２】
2009190103.tif 000004
【図３】
2009190103.tif 000005