(57)【要約】【課題】駆動回路の放熱を効率よく行って、駆動回路の耐久性を向上することができると共に液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口３４に連通する圧力発生室２１と、該圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段４０とを具備するヘッド本体１０と、該ヘッド本体１０の前記圧力発生手段４０に電気的に接続されて当該圧力発生手段４０を駆動する駆動回路６０が実装されたフレキシブルプリント基板５０と、前記ヘッド本体１０を保持すると共に前記フレキシブルプリント基板５０が内包される外装部材１１とを具備し、前記フレキシブルプリント基板５０の前記駆動回路６０を、前記外装部材１１の内面に熱伝導可能に接続する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備するヘッド本体と、該ヘッド本体の前記圧力発生手段に電気的に接続されて当該圧力発生手段を駆動する駆動回路が実装されたフレキシブルプリント基板と、前記ヘッド本体を保持すると共に前記フレキシブルプリント基板が内包される外装部材とを具備し、
前記フレキシブルプリント基板の前記駆動回路が、前記外装部材の内面に熱伝導可能に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記外装部材は、前記駆動回路が熱伝導可能に接続された結合領域が他の領域に比べて放熱性の高い部材からなることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記外装部材が、前記フレキシブルプリント基板が接続される回路基板が設けられたヘッドケースであることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記ヘッドケースが、中空箱形状を有し、前記フレキシブルプリント基板が、前記ヘッドケース内の壁面に沿って屈曲されて設けられており、前記駆動回路と前記ヘッドケースの壁面とが熱伝導可能に接続されていることを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記圧力発生手段が、撓み振動モードの圧電素子であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記駆動回路と前記外装部材とが、電熱フィラーを有する接着剤を介して接着されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子のたわみ変形を用いたものが実用化されている。
【０００３】
また、圧電素子を駆動するための駆動信号を入力する駆動回路は、フレキシブルプリント基板に実装され、このフレキシブルプリント基板を介して圧電素子に電気的に接続されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１３１８８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、フレキシブルプリント基板に実装される駆動回路は、当該駆動回路自体でしか放熱できないため、放熱能力が限られており、回路損失が放熱能力を超える場合には、駆動回路が熱により破壊されてしまうと共に、放熱性を確保するには放熱面積が必要となるため、駆動回路の小型化を行うことができないという問題がある。
【０００６】
このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、駆動回路の放熱を効率よく行って、駆動回路の耐久性を向上することができると共に液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備するヘッド本体と、該ヘッド本体の前記圧力発生手段に電気的に接続されて当該圧力発生手段を駆動する駆動回路が実装されたフレキシブルプリント基板と、前記ヘッド本体を保持すると共に前記フレキシブルプリント基板が内包される外装部材とを具備し、前記フレキシブルプリント基板の前記駆動回路が、前記外装部材の内面に熱伝導可能に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、駆動回路の熱を外装部材を介して大気中に放熱することができるため、駆動回路の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路を大型化する必要がなく、小型化してコストを低減することができる。また、駆動回路の発熱による低寿命化を防止して耐久性を向上することができると共に、液体噴射特性及び連続吐出性能を向上することができる。
【０００９】
ここで、前記外装部材は、前記駆動回路が熱伝導可能に接続された結合領域が他の領域に比べて放熱性の高い部材からなることが好ましい。これによれば、結合領域によってさらに駆動回路の放熱性を向上することができると共に、結合領域のみを比較的放熱性の高い材料で形成することで、外装部材が重くなり高速移動や移動に用いるモータ等に負担がかかるのを防止することができる。また、放熱性の高い材料は導電性を有する場合が多く、筐体との接地を施すことで、静電気等の発生も防止できる。
【００１０】
また、前記外装部材が、前記フレキシブルプリント基板が接続される回路基板が設けられたヘッドケースであることが好ましい。これによれば、駆動回路が熱伝導可能に接続される外装部材としてヘッドケースを用いることで、新たな部材が不要となり、コストを低減することができる。
【００１１】
また、前記ヘッドケースが、中空箱形状を有し、前記フレキシブルプリント基板が、前記ヘッドケース内の壁面に沿って屈曲されて設けられており、前記駆動回路と前記ヘッドケースの壁面とが熱伝導可能に接続されていることが好ましい。これによれば、駆動回路とヘッドケースの壁面とを容易に且つ確実に熱伝導可能に接続することができる。
【００１２】
また、前記圧力発生手段が、撓み振動モードの圧電素子であることが好ましい。これによれば、撓み振動モードの圧電素子に接続されたフレキシブルプリント基板の駆動回路の熱を効率よく放熱することができる。
【００１３】
また、前記駆動回路と前記外装部材とが、電熱フィラーを有する接着剤を介して接着されていることが好ましい。これによれば、液体噴射ヘッドの移動時などに駆動回路と外装部材との間に隙間が生じて熱伝導が断絶するのを防止して、駆動回路の熱を外装部材によって確実に放熱することができる。
【００１４】
さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、信頼性を向上すると共に低コスト化した液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′断面図及びＢ−Ｂ′断面図である。
【００１６】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩは、インクを吐出するヘッド本体１０と、ヘッド本体１０の圧力発生手段に電気的に接続されて圧力発生手段に駆動信号を供給するフレキシブルプリント基板５０と、ヘッド本体１０のインク吐出面とは反対側に設けられてインクジェット式記録ヘッドＩの外装部材であるヘッドケース１１とを具備する。
【００１７】
まず、本実施形態のヘッド本体１０について説明する。図３（ｂ）に示すように、ヘッド本体１０は、アクチュエータユニット２０と、アクチュエータユニット２０が固定される１つの流路ユニット３０と、アクチュエータユニット２０に接続されるフレキシブルプリント基板５０とで構成されている。
【００１８】
アクチュエータユニット２０は、圧電素子４０を具備するアクチュエータ装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００１９】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設された列が２列形成されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００２０】
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するリザーバとを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００２１】
そして、圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本実施形態では、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、圧電素子４０の列も２列設けられている。
【００２２】
ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４３と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４４と、各圧電体層４４上に設けられた上電極膜４５とで構成されている。圧電体層４４は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４３は、並設された圧電体層４４に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜４３を各圧電体層４４毎に設けるようにしてもよい。このような圧電素子４０は、厚さ方向に撓み変形する、いわゆる撓み振動モードの圧電素子４０である。
【００２３】
なお、アクチュエータユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。
【００２４】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエータユニット２０の圧力発生室底板２４に接合されるインク供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるリザーバ３２が形成されるリザーバ形成基板３３と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２５】
インク供給口形成基板３１は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にリザーバ３２と圧力発生室２１とを接続するインク供給口３７を穿設して構成され、また、各リザーバ３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給するインク導入口３８が設けられている。
【００２６】
リザーバ形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するリザーバ３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。
【００２７】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。例えば、本実施形態では、流路ユニット３０には、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、ノズルプレート３５にも、ノズル開口３４の列が２列形成されている。また、このノズルプレート３５は、リザーバ形成基板３３の流路形成基板２２の反対面に接合されてリザーバ３２の一方面を封止している。
【００２８】
このような流路ユニット３０は、これらインク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５を、接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。なお、本実施形態では、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５をステンレス鋼によって形成しているが、例えば、セラミックスを用いて形成し、アクチュエータユニット２０と同様に流路ユニット３０を一体的に形成することもできる。
【００２９】
そして、このような流路ユニット３０とアクチュエータユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００３０】
また、図２及び図３に示すように、各圧電素子４０の長手方向一端部の圧力発生室２１の周壁に相対向する領域には、上電極膜４５に接続された金（Ａｕ）等からなる個別接続端子４６が設けられている。この個別接続端子４６は圧電素子４０毎に設けられている。また、図２に示すように、並設された圧電素子４０の列間の圧電素子４０の列の両端外側には、下電極膜４３に接続された金（Ａｕ）からなる共通接続端子４７が設けられている。そして、圧電素子４０の各上電極膜４５及び下電極膜４３に設けられた個別接続端子４６及び共通接続端子４７には、フレキシブルプリント基板５０に設けられた配線層５１が電気的に接続されており、このフレキシブルプリント基板５０を介して駆動回路６０からの駆動信号が各圧電素子４０に供給される。
【００３１】
フレキシブルプリント基板５０は、２列の圧電素子４０に亘って１つ設けられた、例えば、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）などからなる。詳しくは、フレキシブルプリント基板５０は、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅薄等で所定のパターンの配線層５１を形成し、配線層５１の圧電素子４０と接続される端子部以外の領域をレジスト等の絶縁材料５３で覆ったものである。
【００３２】
また、フレキシブルプリント基板５０は、一端側圧電素子４０に接続され、他端側が印刷信号等が入力される外部配線が接続される回路基板７０に接続されている。回路基板７０は、外部配線が接続されるコネクタが設けられていると共に、圧電素子４０を動作する動作回路が実装されたものである。
【００３３】
さらにフレキシブルプリント基板５０の配線層５１には、圧電素子４０を駆動するための駆動回路６０が実装されている。駆動回路６０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）などが挙げられる。このような駆動回路６０は、フレキシブルプリント基板５０の配線層５１に、例えば、フリップ実装で搭載されている。なお、駆動回路６０のフレキシブルプリント基板５０上への実装は、例えば、金（Ａｕ）−金（Ａｕ）接続、金（Ａｕ）−錫（Ｓｎ）接続などの金属接続や、ＡＣＦ（異方性導電ペースト）、ＡＣＰ（異方性導電膜）、半田バンプ接続などを用いることができる。
【００３４】
一方、このようなヘッド本体１０には、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩの外装部材であるヘッドケース１１が設けられている。
【００３５】
ヘッドケース１１は、フレキシブルプリント基板５０が接続される回路基板７０が保持されたベース部１２と、ベース部１２の底面側に設けられた中空の箱形状を有するケース部１３とを具備する。
【００３６】
ケース部１３は、底面にヘッド本体１０が接合されると共に、ヘッド本体１０の圧電素子４０を露出する開口部１４が設けられている。本実施形態では、ケース部１３の底面には、ヘッド本体１０の流路ユニット３０のノズルプレート３５とは反対側の面が接着剤等を介して接合されている。そして、ケース部１３内には、圧電素子４０に電気的に接続されたフレキシブルプリント基板５０が内包されている。
【００３７】
また、ヘッドケース１１には、液体を貯留する液体貯留手段であるインクカートリッジやインクタンクに接続されたチューブ部材等が接続されて、ケース部１３の底面に保持されたヘッド本体１０にインクを供給する液体供給路１５が設けられている。
【００３８】
ベース部１２は、ケース部１３に一体的に形成されて、ケース部１３の側面よりも外側に突出するように設けられており、この突出した領域に回路基板７０が保持されている。なお、ベース部１２は回路基板７０を縦方向に保持する構成で設計される場合もある。
【００３９】
そして、ケース部１３内に内包されたフレキシブルプリント基板５０は、ケース部１３の壁面に沿って屈曲され、ベース部１２の回路基板７０に電気的に接続されている。
【００４０】
このようなフレキシブルプリント基板５０は、駆動回路６０が設けられた面が、ヘッドケース１１の内壁面に相対向するように配置されており、この駆動回路６０は、ヘッドケース１１の内面に熱伝導可能に接続、すなわち熱結合されている。本実施形態では、ヘッドケース１１のケース部１３の壁面である側面側に駆動回路６０を熱結合するようにした。ここで、駆動回路６０とヘッドケース１１とが熱結合（熱伝導可能に接続）された状態とは、両者が互いに接触した状態又は両者が互いに接着剤等を介して接合された状態のことを言う。すなわち、駆動回路６０とヘッドケース１１とが互いに接触していても、また、接着剤等で接合されていてもよい。
【００４１】
なお、駆動回路６０とヘッドケース１１の壁面とを接触させる際には、例えば、駆動回路６０をヘッドケース１１の内壁面側に向かって付勢するばねやゴム等の付勢手段や、クリップなどの固定手段によって接触した状態が解除されないようにすればよい。また、駆動回路６０とヘッドケース１１の内面とを接着剤を介して接合する際には、接着剤として比較的に熱伝導率の高い材料を用いるのが好ましい。熱伝導率の高い接着剤としては、例えば、シリコーン材料からなる電熱フィラーが混練された接着剤等が挙げられる。本実施形態では、図３に示すように、駆動回路６０とヘッドケース１１とを接着剤１６を介して接合するようにした。これにより、インクジェット式記録ヘッドＩがキャリッジに搭載されて主走査方向に移動した際に、キャリッジの移動などにより駆動回路６０とヘッドケース１１との間に隙間が生じて熱結合が解除されるのを確実に防止している。
【００４２】
このようにインクジェット式記録ヘッドＩの外装部材であるヘッドケース１１と駆動回路６０とを熱結合させることによって、駆動回路６０の熱を駆動回路６０の表面からだけではなく、ヘッドケース１１を介して空気中に放熱することができる。すなわち、ヘッドケース１１は、インクジェット式記録ヘッドＩの外装部材であるため、外気に触れて駆動回路６０の熱を放熱することができる。したがって、駆動回路６０の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路６０の放熱性を高めるために駆動回路６０を大型化する必要がなく、駆動回路６０を放熱能力に合わせて小型化することができる。ちなみに、駆動回路６０の発熱を抑制するためには、駆動回路６０の内部抵抗を低減する必要があるため、駆動回路６０内のトランジスタの大きさを確保する必要があったが、駆動回路６０をヘッドケース１１に熱結合させることにより、駆動回路６０内のトランジスタの大きさを確保する必要がない。したがって、駆動回路６０の内部抵抗を低減する必要がなく、放熱能力に合わせて小型化することができると共にコストを低減することができる。
【００４３】
また、駆動回路６０をヘッドケース１１に熱結合させることで、駆動回路６０の発熱を抑制することができ、駆動回路６０に与える電流を大きくしてインク吐出特性を向上することができると共に、インクの連続吐出性能を向上することができる。すなわち、駆動回路６０は、電流を大きくすることで発熱も大きくなると共に、連続吐出させることで放熱時間が短くなるため、電流や連続吐出性能が制限されてしまうが、ヘッドケース１１によって駆動回路６０の熱を放熱することにより、駆動回路６０を流れる電流を大きくすることができると共に連続吐出を短い間隔で長時間行わせることができる。
【００４４】
なお、ヘッドケース１１は、例えば、変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）樹脂等の合成樹脂材料で形成されている。また、本実施形態では、ヘッドケース１１の駆動回路６０が熱結合された結合領域１７は、他の領域に比べて熱伝導率の高い材料、例えば、銅、鉄、アルミニウム、ステンレス等の金属材料で形成した。このように、ヘッドケース１１の駆動回路６０が熱結合された結合領域１７を熱伝導率の高い材料で形成することにより、駆動回路６０の熱をさらに効率よく放熱することができる。
【００４５】
なお、本実施形態では、ヘッドケース１１の駆動回路６０が熱結合された結合領域１７のみを熱伝導率の高い材料で形成するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドケース１１全体が合成樹脂であってもよく、また、ヘッドケース１１全体が熱伝導率の高い金属等の材料であってもよい。ちなみに、樹脂材料の熱伝導率は０．１Ｗ／ｍ℃程度であり、空気の熱伝導率０．０２Ｗ／ｍ℃に比べて高いため、全体が樹脂材料からなるヘッドケース１１であっても駆動回路６０からの熱を効率よく放熱することができる。また、ヘッドケース１１全体を金属等の熱伝導率の高い材料で形成すると、高コストになってしまうと共に、インクジェット式記録ヘッドＩが重くなり、キャリッジによる移動を高速に行うことができないと共にキャリッジを動かすモータ等に負担がかかってしまう。これに対して、ヘッドケース１１の一部の結合領域１７のみを金属等の比較的熱伝導率の高い材料で形成することで、コストを低減することができると共にヘッドケースが重くなるのを防止することができるというさらなる効果を奏する。
【００４６】
また、実質的に圧電素子４０を保持する部材（流路形成基板２２等）ではなく、圧電素子４０を保持する部材とは異なる部材であるヘッドケース１１に駆動回路６０を熱結合させることで、圧電素子４０の駆動時の熱がヘッドケース１１を介して駆動回路６０に伝達することがない。したがって、ヘッドケース１１によって駆動回路６０の放熱のみを効率よく行うことができる。
【００４７】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、フレキシブルプリント基板５０の駆動回路６０がヘッドケース１１の内壁面に相対向するように設け、駆動回路６０とヘッドケース１１の内壁面とを熱伝導可能に接続するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、フレキシブルプリント基板５０は、配線や実装面の違いにより、駆動回路６０がベースフィルム５２のヘッドケース１１の内壁面とは反対側の面に実装されるようにしてもよい。このような場合には、ベースフィルム５２の駆動回路６０が実装された領域をヘッドケース１１の内壁面に熱伝導可能に接続することで、駆動回路６０をヘッドケース１１の内面に実質的に熱伝導可能に接続していることになる。
【００４８】
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４９】
図４に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５０】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５１】
なお、上述した実施形態１においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００５３】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  II  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  ヘッド本体、  １１  ヘッドケース（外装部材）、  ２０  アクチュエータユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室低板、  ３０  流路ユニット、  ３１  インク供給口形成基板、  ３２  リザーバ、  ３３  リザーバ形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ４０  圧電素子、  ４３  下電極膜、  ４４  圧電体層、  ４５  上電極膜、  ４６  個別接続端子、  ４７  共通接続端子、  ５０  配線基板、  ５１  配線層、  ５２  ベースフィルム、  ５３  絶縁材料、  ６０  駆動回路、  ７０  回路基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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