(57)【要約】【課題】耐曲げ剛性を保持することができるとともに、軽量化を図ることができるワーク吸着テーブルを提供する。【解決手段】斑糲岩よりなる吸着テーブル本体１２の内部に円筒状の貫通孔１３，１４をそれぞれ互いに平行に、かつ縦横に形成する。前記貫通孔１３，１４によって吸着テーブル本体１２の耐曲げ剛性を保持したまま、吸着テーブル本体１２自体を軽量化することができ、吸着テーブル本体１２の運搬及びワークの加工の際の往復動を容易に行うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
石材構造物の本体の内部に空洞部を形成したことを特徴とする石材構造物。
【請求項２】
請求項１において、石材構造物はワーク吸着テーブルであって、その本体の上面に対し、該上面に支持されるワークを吸着するための吸着溝を形成し、該吸着溝に連なる吸引孔及び負圧室を形成したことを特徴とする石材構造物。
【請求項３】
請求項１において、石材構造物は工作機械、塗布装置、検査装置又は測定装置のワーク吸着テーブル、ベッド、支柱及び梁のいずれか一種であることを特徴とする石材構造物。
【請求項４】
請求項２又は３において、前記空洞部は円筒状に形成された複数の貫通孔であることを特徴とする石材構造物。
【請求項５】
請求項４において、前記本体は平盤状に形成され、前記貫通孔は縦横に形成されていることを特徴とする石材構造物。
【請求項６】
請求項５において、前記貫通孔の直径寸法は、石材構造物の本体の厚さ寸法の５０〜８０％に設定され、各貫通孔の配列ピッチは前記直径寸法の１．２〜３．０倍に設定されていることを特徴とする石材構造物。
【請求項７】
請求項２〜６のいずれか一項において、前記吸着溝は、吸引孔によって前記空洞部に連通され、該空洞部に前記負圧室としての機能を付与したことを特徴とする石材構造物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶テレビ、有機ＥＬテレビあるいはプラズマテレビ等の薄型テレビに用いられる表示画面に使用される薄膜シート等のワークを加工する際に該ワークを吸着保持するワーク吸着テーブル、あるいは工作機械、塗布装置、測定装置等に用いられるベッド、コラム、梁等の石材構造物に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型テレビに用いられる薄膜シートは、その表面に例えば感光材料が均一に塗布される。この薄膜層の塗布の厚さ寸法が異なると、テレビ画面としての品質が低下するので、ワーク吸着テーブルの上面に支持された薄膜シートの平面度が適正となるように、ワーク吸着テーブルの上面の平面度を精度よく保持することが要求される。このため、ワーク吸着テーブルの材料として金属系の材料と比較して熱膨張係数の小さい例えば斑糲岩や花崗岩が用いられている。又、ワーク吸着テーブルの上面に吸着溝を形成し、この吸着溝に吸引孔を連通させ、この吸引孔に前記薄膜シートの真空吸引を行うことにより、ワーク吸着テーブルの上面に支持された薄膜シートが波打状態となって局部的に浮き上がり平面度が低下しないようになっている。特許文献１には吸着テーブル本体を石材で形成したワーク吸着テーブルが開示されている。
【特許文献１】特開２００５−７２２７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記従来の石材製のワーク吸着テーブルは、薄型テレビの画面が近年広い面積になるにつれて、薄膜シートの面積も広くなり、このためワーク吸着テーブルの支持面の面積が広くなるとともに厚さ寸法が大きくなって、ワーク吸着テーブル自身が大重量化する。このため、吸着テーブルを運搬するコストを低減することができないという問題があった。又、薄膜シートの加工の際に、吸着テーブルを往復移動する動力源の容量が大きくなるという問題もあった。
【０００４】
上記問題を解消するため、吸着テーブルの下面に対し、軽量化を行うための溝を形成することも行われているが、この溝の形成によって、ワーク吸着テーブルの剛性が低下するので、有効なワーク吸着テーブルの軽量化対策とはいえなかった。
【０００５】
工作機械、塗布装置あるいは測定装置の各種の産業機械に用いられるベッド、コラムあるいは梁等の石材構造物においても、内部に空洞部が形成されていなかったので、軽量化を図ることができないという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記従来の技術に存する問題点を解消して、各種の産業機械に用いられる石材構造物の剛性を保持することができるとともに、軽量化を図ることができる石材構造物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、石材構造物の本体の内部に空洞部を形成したことを要旨とする。
請求項２に記載の発明は、請求項１において、石材構造物はワーク吸着テーブルであって、その本体の上面に対し、該上面に支持されるワークを吸着するための吸着溝を形成し、該吸着溝に連なる吸引孔及び負圧室を形成したことを要旨とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１において、石材構造物は工作機械、塗布装置、検査装置又は測定装置のワーク吸着テーブル、ベッド、支柱及び梁のいずれか一種であることを要旨とする。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項２又は３において、前記空洞部は円筒状に形成された複数の貫通孔であることを要旨とする。
請求項５に記載の発明は、請求項４において、前記本体は平盤状に形成され、前記貫通孔は縦横に形成されていることを要旨とする。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、請求項５において、前記貫通孔の直径寸法は、石材構造物の本体の厚さ寸法の５０〜８０％に設定され、各貫通孔の配列ピッチは前記直径寸法の１．２〜３．０倍に設定されていることを要旨とする。
【００１１】
請求項７に記載の発明は、請求項２〜６のいずれか一項において、前記吸着溝は、吸引孔によって前記空洞部に連通され、該空洞部に前記負圧室としての機能を付与したことを要旨とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、石材構造物の本体の内部に空洞部を形成したので、石材構造物の剛性を保持することができるとともに、軽量化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を具体化したワーク吸着テーブルの一実施形態を図１〜図５にしたがって説明する。
図１に示すように、このワーク吸着テーブル１１を構成する斑糲岩よりなる吸着テーブル本体１２は、平面視正方形状に形成され、一辺の長さＬ寸法が例えば３１０ｃｍ、厚さＴ寸法が１５ｃｍに設定されている。
【００１４】
前記吸着テーブル本体１２には軽量化のための空洞部としての円筒状をなす多数の貫通孔１３が互いに平行に、かつ吸着テーブル本体１２の平行な二つの端面１２ａ，１２ｂの間を貫通するように形成されている。又、前記吸着テーブル本体１２には軽量化のための空洞部としての円筒状をなす多数の貫通孔１４が互いに平行に、かつ吸着テーブル本体１２の残りの平行な二つの端面１２ｃ，１２ｄの間を貫通するように形成されている。
【００１５】
前記貫通孔１３，１４の形成は、図４に示すように円筒状のホルダ１５の先端縁にダイヤモンド製の切削刃１６を複数箇所に取り付けた工具１７が用いられる。図示しないモータの回転支持軸１８に前記工具１７を連結した状態で、工具１７を回転しながら吸着テーブル本体１２の端面からその内部に進入させる。吸着テーブル本体１２の半分まで貫通孔１３，１４を形成した後、反対側の端面から前記工具１７を吸着テーブル本体１２に進入させて貫通孔１３，１４とする。前記ホルダ１５は長さ方向に複数に分割され、順次連結することにより長さ寸法が調節される。
【００１６】
この実施形態では、前記貫通孔１３，１４の本数はそれぞれ１５本に設定されている。又、前記貫通孔１３，１４の直径Ｄ寸法は１０ｃｍに設定されている。前記貫通孔１３，１４の直径Ｄ寸法は、吸着テーブル本体１２の厚さＴ寸法の５０〜８０％の範囲の例えば６７％に設定され、各貫通孔１３，１４の配列ピッチＰは前記貫通孔１３，１４の直径Ｄ寸法の１．２〜３．０倍の範囲の例えば１．５倍に設定されている。前記貫通孔１３，１４が形成されていない前記吸着テーブル本体１２の重量は、４．３  トンであり、前記貫通孔１３，１４を形成した後の前記吸着テーブル本体１２の重量は２．３トンとなり、４６％の軽量化を図るようにしている。前記貫通孔１３，１４の直径Ｄ寸法が吸着テーブル本体１２の厚さＴ寸法の５０％以下では、軽量化の効率が悪く、８０％以上では、吸着テーブル本体１２の剛性の低下が生じ易い。各貫通孔１３，１４の配列ピッチＰが前記貫通孔１３，１４の直径Ｄ寸法の１．２倍以下では、吸着テーブル本体１２の剛性の低下が生じ易く、３．０倍以上では、軽量化の効率が悪くなる。
【００１７】
前記吸着テーブル本体１２の上面１２ｅには、碁盤の目状に吸着溝２１が形成されている。吸着溝２１には図３に示すように下方に指向するように吸引孔２２が所定深さ形成され、該吸引孔２２の下端部には該吸引孔２２の直径寸法よりも大径寸法の負圧室２３が形成されている。この負圧室２３には配管２４を介して真空吸引装置２５が接続されている。
【００１８】
次に、前記のように構成されたワーク吸着テーブル１１の動作について説明する。
前記のように構成されたワーク吸着テーブル１１は、図５に示すように平面から見て、三つの支持台座３１〜３３により三点で安定して支持される。前記各支持台座３１〜３３による支持位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３のうち、支持位置Ｐ１及び支持位置Ｐ２の間隔Ｌ１は、吸着テーブル本体１２の一辺の長さＬの０．５５倍に設定されている。又、支持位置Ｐ１（Ｐ２）と、支持位置Ｐ３との間隔Ｌ２も前記吸着テーブル本体１２の一辺の長さＬ寸法の０．５５倍に設定されている。このように前記各支持台座３１〜３３を配置して吸着テーブル本体１２を支持することにより、吸着テーブル本体１２の自重による撓みを効率的に抑制するようにしている。
【００１９】
前記ワーク吸着テーブル１１の上面に、図３に二点鎖線で示すようにワークとしての薄膜シートＳを支持し、前記真空吸引装置２５を作動して負圧室２３内の圧力を負圧力として、前記吸着溝２１内の圧力を低下させる。これによって吸着テーブル本体１２の上面１２ｅに支持された薄膜シートＳが平面状に吸着され、その平面度が適正に保持される。
【００２０】
前記吸着テーブル本体１２の上面に支持された薄膜シートＳの上面には、図示しないが感光材料の塗布装置によって感光材料が塗布される。
上記実施形態のワーク吸着テーブルによれば、以下のような効果を得ることができる。
【００２１】
（１）上記実施形態では、前記吸着テーブル本体１２に対し複数の貫通孔１３，１４を形成したので、吸着テーブル本体１２自体の重量を大幅に軽減することができる。又、吸着テーブル本体１２の内部に貫通孔１３，１４を形成したので、軽量化のための溝を吸着テーブル本体１２の下面に形成する従来の構成と比較して、吸着テーブル本体１２の耐曲げ剛性を低下させることなく、軽量化を図ることができる。
【００２２】
（２）上記実施形態では、熱膨張係数の小さい斑糲岩を用いたので、吸着テーブル本体１２の熱による反りを抑制することができ、上面１２ｅの平面度を適正に保持することができる。
【００２３】
（３）上記実施形態では、貫通孔１３，１４の直径Ｄ寸法を、吸着テーブル本体１２の厚さＴ寸法の６７％、貫通孔１３，１４の配列ピッチＰを前記直径Ｄ寸法の１．５倍に設定したので、耐曲げ剛性を低下させることなく、吸着テーブル本体１２の軽量化を効率的に実現することができる。
【００２４】
（４）上記実施形態では、円筒状の貫通孔１３，１４を形成したので、工具１７によって、貫通孔１３，１４の形成を容易に行うことができる。
次に、この発明の別の実施形態を図６に基づいて説明する。
【００２５】
この実施形態は、前記ワーク吸着テーブル１１を備え、ワークの表面に感光剤を塗布する塗布装置の一例を示す。
石材構造物としてのベット４１の上面には、同じく石材構造物としての案内レール４２が互いに平行に敷設されている。両案内レール４２には、石材構造物としてのスライダ４３を介して石材構造物としてのコラム４４が立設されている。両コラム４４の上端部には、石材構造物としての梁４５が架橋されている。前記梁４５には前記ワーク吸着テーブル１１に支持された薄膜シートに対し感光剤を塗布する塗布ノズル４６が装着されている。
【００２６】
前記ベット４１には貫通孔１３，１４と同様に貫通孔４１ａ，４１ｂが縦横に形成されている。前記案内レール４２には、その長手方向に貫通孔４２ａが形成されている。さらに、コラム４４にもその長手方向に貫通孔４４ａが形成されている。前記梁４５にもその長手方向に貫通孔４５ａが形成されている。
【００２７】
この実施形態では、ベット４１、案内レール４２、コラム４４及び梁４５をそれぞれ軽量化することができる。前記コラム４４及び梁４５が軽量化されることにより、両部材を案内レール４２に沿って往復動する動力を低減することができる。
【００２８】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・  図７に示すように、前記貫通孔１３，１４と、前記吸着溝２１とを前記吸引孔２２と同様の吸引孔２２により連通するようにしてもよい。この場合には前記貫通孔１３，１４の内部空間を負圧室２３に兼用することができるので、専用の前記負圧室２３を省略することができる。
【００２９】
・  図８（ａ）に示すように、前記貫通孔１３，１４の形状を四角筒状にしたり、同図（ｂ）に示すように台形筒状にしたり、同図（ｃ）に示すように前記貫通孔１３，１４の形成数を上下２段にしたり、あるいはその他の横断面形状の空洞部としての貫通孔又は、非貫通穴を形成したりしてもよい。
【００３０】
・  工作機械、検査装置あるいは測定装置等の各種の産業機械に用いられる石材構造物としてのワーク吸着テーブル１１、ベット４１、案内レール４２、コラム４４及び梁４５等に適用してもよい。
【００３１】
・  図示しないが、前記吸着テーブル本体１２の材料として、花崗岩、セラミックなどの石材を用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】この発明の石材構造物をワーク吸着テーブルに具体化した一実施形態を示す斜視図。
【図２】ワーク吸着テーブルの吸着テーブル本体の部分拡大平断面図。
【図３】吸着テーブル本体の部分拡大横断面図。
【図４】吸着テーブル本体の貫通孔の形成用の工具を示す斜視図。
【図５】吸着テーブル本体の支持状態を説明する略体平面図。
【図６】この発明の別の実施形態を示す塗布装置の斜視図。
【図７】この発明の別の実施形態を示すワーク吸着テーブルの部分横断面図。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、この発明の別の実施形態を示すワーク吸着テーブルの部分横断面図。
【符号の説明】
【００３３】
Ｐ…配列ピッチ、１１…ワーク吸着テーブル、１２ｅ…上面、１３，１４，４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４４ａ，４５ａ…貫通孔、２１…吸着溝、２２…吸引孔、２３…負圧室、４５…梁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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