(57)【要約】【課題】蒸発源群の配置によって、材料放出口の温度制御を容易に行えるようにして、安定した成膜ができるようにすること。【解決手段】蒸着装置１は、蒸発材料の設定温度が異なる３つ以上の材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃを一列に配列された蒸発源群７を複数備え、複数の蒸発源群は、各蒸発源群の隣り合う材料放出口８ｃ（８ａ）の設定温度が同じ設定温度であるように配設され、蒸発源群と被蒸着部材との少なくとも一方が他方に対して移動可能になっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発材料の設定温度が異なる３つ以上の材料放出口を一列に配列された蒸発源群を複数備え、
前記複数の蒸発源群は、各蒸発源群の隣り合う材料放出口の設定温度が同じ設定温度であるように配設され、
前記蒸発源群と被蒸着部材との少なくとも一方が他方に対して移動可能である、
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記各蒸発源群の隣同士の材料放出口は、同じ材質の蒸発材料を放出する、
ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記複数の蒸発源群は、前記移動可能な方向に対して直交する方向に配列されている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記複数の蒸発源群は、前記移動可能な方向に複数列配設されている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記複数の蒸発源群は、前記移動可能な方向に対して斜めに配列されている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記材料放出口は、直線状に配列されている、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被蒸着部材に蒸着材を蒸着させる蒸着装置に関する。
【０００２】
真空蒸着による成膜では、複数の材料を同時に蒸発させる多元共蒸着や、膜厚分布を少なくするために複数の蒸発源が用いられている。例えば、有機ＥＬ素子の製作においても、膜質向上のための多元共蒸着と蒸着面積の増加に対応した複数の蒸発源による成膜が行なわれている。
【０００３】
多元共蒸着時には蒸発する各材料がより均一に混合されるよう各材料の放出口を互いに近づける必要がある。しかし、各材料はそれぞれ蒸発温度が異なることが多い。このため、放出口を近づけ過ぎるとその設定温度が異なることによる熱干渉のため蒸発温度の制御が困難になる。さらに、各材料の蒸発温度差が大きい場合には、放出口を近づけ過ぎると他方の材料分解温度を超えることがあり、低温側の材料が分解してしまうことがある。
【０００４】
また、複数の蒸発源を配置する際には、より均一な膜厚分布を実現するため、その配置に制約があることは好ましくない。場合によっては蒸発源を接近させる必要があり、その際には同じく温度制御が困難であり、材料の分解が発生することがあった。
【０００５】
このような問題に対処ため、材料の異なる放出口を同心円状に配置して、放出口間に断熱材を設けることで、各材料をより均一に混合し、放出口間の温度影響を少なくした蒸着装置がある（特許文献１）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３３６５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来の蒸着装置は、一方の材料誘導管や放出口の内部に他方の材料誘導管や放出口を設ける必要があり、使用する材料が３種類以上の場合は、例示されている２種類の場合よりもさらに構造が複雑になり、製作コスト、保守コストが増加するおそれがある。
【０００８】
本発明は、蒸発源群の配置によって、材料放出口の温度制御を容易に行えるようにして、安定した成膜ができる蒸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の蒸着装置は、蒸発材料の設定温度が異なる３つ以上の材料放出口を一列に配列された蒸発源群を複数備え、前記複数の蒸発源群は、前記各蒸発源群の隣り合う材料放出口の設定温度が同じ設定温度であるように配設され、前記蒸発源群と被蒸着部材との少なくとも一方が他方に対して移動可能である、ことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の蒸着装置は、複数の蒸発源群が、各蒸発源群の隣り合う材料放出口の設定温度が同じ設定温度であるように配設されているので、材料放出口相互間の熱干渉を低減して、材料放出口の温度制御を容易に行うことができる。
【００１１】
また、本発明の蒸着装置は、材料放出口相互の熱影響による低温側材料の分解を抑制することができて、蒸発源の配置の自由度を高めることができる。さらに、本発明の蒸着装置は、材料の選定範囲を広くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態の蒸着装置を図面に基づいて説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００１３】
図１は、本発明の実施形態に係る蒸着装置の概略構成図である。図１に示すように、蒸着装置１は、成膜チャンバ２を備えている。成膜チャンバ２は、不図示の真空排気装置が接続されて内部が成膜に適した圧力に保持されている。成膜チャンバ２には、投入部３と排出部４とが設けられており、それぞれ前工程及び後工程と連結されている。この成膜チャンバ２は、不図示の搬送装置を備えている。基板５は、その搬送装置に支持されて、図中矢印Ａ方向に、投入部３、成膜チャンバ２、排出部４の順に搬送されるようになっている。成膜チャンバ２の底部には、蒸発源群７が配置されている。蒸発源群７は、抵抗加熱などにより加熱されて、膜材料（蒸発材料）を蒸発させるようになっている。蒸発した膜材料は、被蒸着部材としての基板５の表面に蒸着材として付着する。膜材料の蒸発量の制御は、材料毎に適宜配設された蒸発量測定装置６により各材料の蒸発量を測定し、その結果をもとに蒸発源群７の抵抗加熱の温度を制御することにより行われる。なお、本実施形態の蒸着装置１は、基板５を移動させるようになっているが、基板５と蒸発源群７との少なくとも一方が他方に対して移動できるようになっていればよい。
【００１４】
図２は、図１に示す蒸着装置の平面図であり、蒸発源群７の配置を示す図である。蒸着装置１は、設定温度が異なる３つの材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃを備えた蒸発源群７を３群備えている（複数備えている）。材料放出口は３つに限定されない。３つ以上なら幾つでもよい。また、蒸発源群７は、３群に限定されない。複数なら幾つでもよい。
【００１５】
３つの材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃは基板５が移動する矢印Ａ方向（移動可能な方向）に対して直交する方向に一直線状に配列されて、それぞれ材質の異なる材料が放出されるようになっている。３つの蒸発源群７は、基板５が移動する方向に対して直交する方向に配列されて、各蒸発源群の隣り合う材料放出口８ｃ（８ａ）の設定温度が同じ設定温度であるように配設されている。
【００１６】
ここで、材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃの設定温度Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃの関係は、Ｔａ＞Ｔｂ＞Ｔｃを満たしている。材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃは、それぞれ加熱用ヒータを内包し、蒸発量測定装置６の結果に応じて放出口の温度が制御されるようになっている。
【００１７】
上記のように蒸発源群を配置することにより、隣接する蒸発源群の材料放出口８ｃ（８ａ）同士の温度差が縮まるため、熱干渉を防止して、各放出口の温度制御を容易にすることができる。また、材料放出口間の温度差が大きい場合にでも、低温側材料の分解を防止することもできる。
【００１８】
図３は、蒸発源群の他の配列を示している。
【００１９】
ここで蒸発源群７は、温度が異なる３種の材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃを備える蒸発源群が６群備えている。
【００２０】
各蒸発源群７の３つの材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃは基板５が移動する方向に一直線状に配列されて、それぞれ材質の異なる材料が放出されるようになっている。６つの蒸発源群７は、基板５が移動する方向に対して平行に３列に配列（複数列配設）されて、隣り合う各蒸発源群で隣り合う材料放出口の設定温度が同じ設定温度であるように配設されている。
【００２１】
なお、隣り合う各蒸発源群で隣り合う材料放出口には、基板５が移動する方向で隣り合う各蒸発源群で隣り合う材料放出口と、基板５が移動する方向に対して直交する方向で隣り合う各蒸発源群で隣り合う材料放出口とがある。基板５が移動する方向で隣り合う各蒸発源群で隣り合う材料放出口には、符号８ｃで示す材料放出口がある。基板５が移動する方向に対して直交する方向で隣り合う各蒸発源群で隣り合う材料放出口には、符号８ａ，８ｂ，８ｃで示す材料放出口がある。
【００２２】
このような配列においても、材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃの設定温度Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃの関係は、Ｔａ＞Ｔｂ＞Ｔｃを満たしている。
【００２３】
蒸発源群を図３に示すように配置することにより、隣り合う蒸発源群の隣同士の材料放出口の温度差が縮まるため、熱干渉を防止し各放出口の温度制御を容易にすることができる。また、材料放出口間の温度差が大きい場合にも低温側材料の分解を防止することができる。
【００２４】
図４は、蒸発源群のさらに他の配列を示している。
【００２５】
ここで蒸発源群７は、温度が異なる３種の材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃを備える蒸発源群が４群備わり、隣り合う蒸発源群間で隣同士の材料放出口８ａの温度が等しくなるよう放射状に配置されている。
【００２６】
すなわち、各蒸発減群７の３つの材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃは基板５が移動する矢印Ａ方向に対して斜め一直線状に配列されて、それぞれ材質の異なる材料が放出されるようになっている。４つの蒸発源群７は、基板５が移動する矢印Ａ方向に対して斜めに配列されている。
【００２７】
図４に示す配列においても、材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃの設定温度Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃの関係は、Ｔａ＞Ｔｂ＞Ｔｃを満たしている。
【００２８】
このように蒸発源群を配置することにより、隣り合う蒸発源群の隣同士の材料放出口８ａの温度差が縮まるため、熱干渉を防止し各放出口の温度制御を容易にすることができる。また、材料放出口間の温度差が大きい場合にも低温側材料の分解を防止することができる。
【００２９】
なお、材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃは、一直線状に配列されているが、波を打つように配列されていてもよい。すなわち、材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃは、円状に配設されることなく、一列に配列されていればよい。また、蒸発源群も、一直線状に配列されているが、波を打つように配列されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態に係る蒸着装置の概略構成図である。
【図２】図１に示す蒸着装置の平面図であり、蒸発源群の配置を示す図である。
【図３】図２とは異なる、蒸発源群の他の配列を示す図である。
【図４】図２とは異なる、蒸発源群のさらに他の配列を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
Ａ      基板の移動方向を示す矢印
１      蒸着装置
２      成膜チャンバ
３      投入部
４      排出部
５      基板（被蒸着部材）
６      蒸発量測定装置
７      蒸発源群
８ａ    材料放出口
８ｂ    材料放出口
８ｃ    材料放出口
【図１】
2009120888.tif 000003
【図２】
2009120888.tif 000004
【図３】
2009120888.tif 000005
【図４】
2009120888.tif 000006