(57)【要約】【課題】液体の噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口ごとのばらつきが低減した液体噴射ヘッドの製造方法を得ること。【解決手段】加圧加熱によってノズルプレート３４が膨張した状態で、ノズルプレート３４１に形成されたノズル開口３５１の位置と、樹脂フィルム接着材３２１Ｂに形成されたノズル開口３５１に対応した孔３２１の位置が合い、加熱圧着できる。温度が低下してノズルプレート３４，３４１が収縮してもノズルプレート３４，３４１と樹脂フィルム接着材３２Ｂ，３２１Ｂとは加熱圧着されているのでノズル開口３５，３５１と孔３２０，３２１との位置はずれない。したがって、インクの流路が確保され、インクの噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口３５ごとのばらつきが低減した記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属プレートを積層して形成した流路ユニットを備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路ユニットを形成するための開口部が形成された前記金属プレートと、
前記開口部に対応する孔が形成された樹脂フィルム接着材とを加熱圧着する圧着工程を含み、
前記圧着工程前に、前記樹脂フルム接着材を、前記孔の位置が前記加熱圧着時の金属プレートの開口部の位置に合うように補正して形成する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記開口部は列状に形成され、
前記樹脂フィルム接着材における前記補正前の長さと前記補正後の長さの比率が、前記孔の列方向と、前記孔の列方向に直交する方向で異なる
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記樹脂フィルム接着材はポリオレフィンを含み、
前記金属プレートは、ステンレス鋼を含む
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記圧着工程の加熱温度が、１４５℃〜１６５℃である
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記圧着工程前の前記金属プレートの前記開口部の列方向に直交する方向の長さＸに対し、前記補正後の前記樹脂フィルム接着材の前記孔の列方向に直交する方向の長さＸ１は長さＸの０．０４％〜０．０８％長く、
前記圧着工程前の前記金属プレートの前記開口部の列方向の長さＹに対し、前記補正後の前記樹脂フィルム接着材の前記孔の列方向の長さＹ１は長さＹの０．１０％〜０．１４％長い、
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層構造の液体流路を備えた液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドがある。
インクジェット式記録ヘッドでは、例えば、ノズルプレートに形成されたノズル開口から圧電振動子の振動を利用してインクを噴射するものがある。圧電振動子を備えたアクチュエータからノズル開口までのインクの流路であるノズル連通口を、流路形成板を積層して形成されたものが知られている。
ノズルプレート、流路形成板としてのインク貯留室形成板および供給口形成板とアクチュエータとは、フィルム接着材を用いて接着されている（例えば、特許文献１参照）。
また、流路形成板には、積層された際にノズル連通口となる開口部が形成されている（例えば、特許文献２参照）。また、流路形成板には、ステンレス板等が用いられる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２２４４２４号公報（５頁、図３）
【特許文献２】特開２００３−６２９９１号公報（６項、図１０および図１１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
各流路形成板およびアクチュエータの接着は、流路形成板等とフィルム接着材を合わせ、熱と圧力をかけることによって行う。このとき、流路形成板等に形成されたノズル連通口となる開口部が接着剤によって塞がれないように、フィルム接着材には、接着の際にノズル連通口となる開口部に応じた孔を形成する。
流路形成板にステンレス板等の金属プレートを用いると、熱と圧力を加えることによって金属プレートが膨張する。このとき、流路形成板に形成された開口部とフィルム接着材に形成された孔の位置がずれ、開口部と孔の位置がずれたまま圧着されてしまい、ノズル連通口が塞がったり、ノズル連通口の流路抵抗がノズル開口ごとに異なったりする。そのため、インクの噴射ができない等の噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度がノズル開口ごとに異なってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
金属プレートを積層して形成した流路ユニットを備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記流路ユニットを形成するための開口部が形成された前記金属プレートと、前記開口部に対応する孔が形成された樹脂フィルム接着材とを加熱圧着する圧着工程を含み、前記圧着工程前に、前記樹脂フルム接着材を、前記孔の位置が前記加熱圧着時の金属プレートの開口部の位置に合うように補正して形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【０００７】
この適用例によれば、加圧加熱によって金属プレートが膨張した状態で、金属プレートに形成された開口部の位置と、樹脂フィルム接着材に形成された開口部に対応した孔の位置が合い、加熱圧着される。温度が低下して金属プレートが収縮しても金属プレートと樹脂フィルム接着材とは加熱圧着されているので開口部と孔との位置はずれない。したがって、液体の流路が確保され、液体の噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口ごとのばらつきが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【０００８】
［適用例２］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記開口部は列状に形成され、前記樹脂フィルム接着材における前記補正前の長さと前記補正後の長さの比率が、前記孔の列方向と、前記列方向に直交する方向で異なることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、金属プレートの熱膨張による長さの変化は、開口部が列状に形成されているため、列方向と列方向に直交する方向で異なるが、樹脂フィルム接着材も金属プレートの開口部の列方向および列方向に直交する方向の長さの変化にあわせて補正する。したがって、金属プレートが膨張したときに、開口部と樹脂フィルム接着材に形成した孔との位置がより正確に合い、液体の流路がより確保され、液体の噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口ごとのばらつきがより低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【０００９】
［適用例３］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記樹脂フィルム接着材はポリオレフィンを含み、前記金属プレートは、ステンレス鋼を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、ポリオレフィンが熱によって融解し、温度の低下とともに固化するので、ステンレス鋼を含んだ金属プレートとの熱膨張に差があっても、金属プレートの膨張、収縮に追随する。したがって、開口部と孔との位置がずれず、液体の流路が確保され、液体の噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口ごとのばらつきが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１０】
［適用例４］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧着工程の加熱温度が、１４５℃〜１６５℃であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、１４５℃以上であれば、ポリオレフィンが融解し、接着力が得られ、１６５℃以下であれば、金属プレートの熱膨張が必要以上に抑えられ、開口部と孔との位置ずれが抑えられる。
【００１１】
［適用例５］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧着工程前の前記金属プレートの前記開口部の列方向に直交する方向の長さＸに対し、前記補正後の前記樹脂フィルム接着材の前記孔の列方向に直交する方向の長さＸ１は長さＸの０．０４％〜０．０８％長く、前記圧着工程前の前記金属プレートの前記開口部の列方向の長さＹに対し、前記補正後の前記樹脂フィルム接着材の前記孔の列方向の長さＹ１は長さＹの０．１０％〜０．１４％長い、ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、ポリオレフィンを含む樹脂フィルム接着材を、ステンレスを含む金属プレートの開口部の列方向および列方向と直交する方向に、上述の数値内で補正して形成することにより、開口部を列で形成したことによる金属プレートの膨張の異方性に対応できる。したがって、開口部と孔との位置がずれず、液体の流路が確保され、液体の噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口ごとのばらつきが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、実施形態にかかる記録ヘッド１の分解斜視図を示している。
以下の説明は、液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという）に搭載される、４種類のインクが噴射可能なインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッド１という）を例に挙げて行う。
【００１３】
図１において、記録ヘッド１は、図示しないインクカートリッジ内に貯留されたインクを記録ヘッド１内部に導入するインク供給針２が複数配設されている供給針ユニット３と、アクチュエータ２０および流路ユニット３０から成るヘッドユニット４０とを、ヘッドケース５０に備えている。
また、記録ヘッド１において、ヘッドケース５０の先端側（供給針ユニット３の接合面とは反対側）には、ヘッドユニット４０を保護するための金属製のカバー６０が取り付けられるようになっている。
【００１４】
供給針ユニット３は、インク供給針２がヘッド主走査方向（ノズル列に対して直交する方向）に横並びに配設された合成樹脂製の部材である。この供給針ユニット３に配設されるインク供給針２の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。
また、この先端部には導入孔が複数穿設されており、これらの導入孔を通じてインクカートリッジ内のインクがヘッド内に導入される。そして、４種類のインクに対応して、供給針ユニット３には、合計４本のインク供給針２が先端を上方に突出した姿勢で配設されている。
【００１５】
ヘッドケース５０は、供給針ユニット３や配線基板４が取り付けられるベース部５１と、このベース部５１の底部から下方に向けて延出し、開口面にヘッドユニット４０が取り付けられる中空箱体状のケース部５２とにより構成される部材である。
実施形態においては、このヘッドケース５０と供給針ユニット３は、例えば、変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）樹脂等の合成樹脂によって作製されている。そして、ヘッドケース５０のベース部５１には、ヘッドユニット４０側にインクを供給する収束流路（図示せず）の上部開口５３が、供給針ユニット３の各インク供給針２に対応した位置にそれぞれ開設されている。また、ベース部５１には、配線基板４を配設するための基板配設部５４が形成されている。
【００１６】
配線基板４は、コネクタ５を備えており、このコネクタ５には、プリンタ本体側からのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線ケーブル（図示せず）が装着されるようになっている。また、配線基板４には、接続用端子６が形成されており、この接続用端子６には、ＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等のフィルム状のフレキシブルケーブル７が電気的に接続されている。そして、この配線基板４は、プリンタ本体側からの駆動信号をＦＦＣを通じて受けるとともに、この駆動信号をフレキシブルケーブル７を介してアクチュエータ２０に供給するようになっている。
【００１７】
図２は、ヘッドユニット４０の分解斜視図である。
ヘッドユニット４０は、２個のアクチュエータ２０と流路ユニット３０とを備えている。アクチュエータ２０と流路ユニット３０とは、アクチュエータ用フィルム接着材２５によって接着されている。
なお、アクチュエータ２０の個数は、噴射するインクの種類の数によって、例えば１個または３個以上でもよい。
【００１８】
流路ユニット３０は、流路形成板としての供給口プレート３１、樹脂フィルム接着材３２Ａ、リザーバプレート３３、樹脂フィルム接着材３２Ｂ、ノズルプレート３４とを備え、この順で積層されている。
供給口プレート３１、リザーバプレート３３は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ４３０等）等の金属製の板材をプレス加工またはエッチングすることで作製されている。
【００１９】
ノズルプレート３４には、ドット形成密度に応じたピッチで複数の開口部であるノズル開口３５が列状に開設されており、実施形態においては、このノズル開口３５の列（ノズル列）が、ヘッド主走査方向に複数条（４列）並設されている。そして、このノズルプレート３４は、流路ユニット３０において、アクチュエータ２０の接合面側とは反対側に配置されている。樹脂フィルム接着材３２Ａ，３２Ｂにもノズル開口３５に対応して、孔３２０が形成されている。
ノズルプレート３４も、流路ユニット３０を構成する部材の１つであり、供給口プレート３１、リザーバプレート３３と同様の材料、方法で作製されている。
図１で示した金属製のカバー６０は、ノズルプレート３４を保護するだけでなく、接地電位に調整する役割もある。
【００２０】
図３は、図１に示したヘッドユニット４０のＡ−Ａ部分断面図である。
図１に示すヘッドユニット４０は、２つのアクチュエータ２０と流路ユニット３０とを重ね合わせた状態で一体化して構成されている。２つのアクチュエータ２０は、ヘッド主走査方向に並べて配置されている。
図３では、１つのアクチュエータ２０を含む部分の部分断面図を示している。
【００２１】
アクチュエータ２０は、圧力変動によりノズル開口３５を介して内部の液体を噴射する圧力室２１をヘッド主走査方向に２つ備えている。また、この圧力室２１に対応して配設され、駆動端子２２を介して供給される駆動信号により変形して圧力室２１内の液体に圧力変動を生じさせる圧電振動子２００をヘッド主走査方向に２つ備えている。さらに、圧力室２１と圧電振動子２００はノズル列方向のノズルに対応して設けられている。したがって、アクチュエータ２０は、ノズル列に沿ってノズル列方向に細長い形状を有し、１つのアクチュエータ２０で２列のノズル列からの液体の噴射を行う。
【００２２】
アクチュエータ２０は、圧力室２１となる開口部を開設した圧力室プレート２３、圧電振動子２００が複数横並びに実装されるとともに、圧力室２１の一部を区画する振動子プレート２４と、供給側連通口２６０およびノズル連通口３７となる開口部２６１を形成した連通口プレート２６とを積層して構成されている。これらの圧力室プレート２３、振動子プレート２４および連通口プレート２６は、アルミナや酸化ジルコニウム等のセラミックスで作製されており、焼成によって一体化されている。
【００２３】
圧力室２１は、ノズル列とは直交する方向に細長い空部となっており、ノズル開口３５に対応して複数形成されている。そして、各圧力室２１の一端側は、供給側連通口２６０およびインク供給口３６を通じてリザーバ３８に連通している。また、供給側連通口２６０とは反対側の圧力室２１の他端側は、ノズル連通口３７を通じてノズル開口３５に連通している。この圧力室２１の連通口プレート２６の反対側は、振動子プレート２４によって区画されている。
【００２４】
実施形態において、圧電振動子２００は、圧力発生素子の一種として機能する圧電振動子２００に付与された電界に応じて撓み振動を行う、いわゆる撓みモードの圧電振動子である。
圧電振動子２００は、駆動電極２１０と共通電極２２０と圧電体層２３０とを備えている。圧電体層２３０は、駆動電極２１０と共通電極２２０とに挟まれている。
圧電振動子２００は、圧力室２１とは反対側の振動子プレート２４の表面に、圧力室２１を覆い隠す状態に形成されている。すなわち、各圧電振動子２００は、各圧力室２１に対応してノズル列方向に列設されている。ここで、圧電振動子列の端部に位置するものは、インク滴の噴射に関与しない。つまり、駆動信号が供給されず駆動しないダミー振動子となっている。
なお、圧電振動子２００は、共通電極２２０と上下２枚の駆動電極２１０との間に２枚の圧電体層を、それぞれ挟んだいわゆるダブルチップス方式のものでももちろんかまわない。
【００２５】
駆動端子２２は、圧電振動子２００の駆動電極２１０に電気的に接続されている。また、共通電極２２０は、図示しない共通幹電極を介して共通接地端子に電気的に接続されている。ここで、駆動端子２２は、２つの圧電振動子２００の列と列の間の領域に、２列分の圧電振動子２００に対応して、形成されることになる。
【００２６】
流路ユニット３０は、オリフィスとして機能するインク供給口３６およびノズル連通口３７の一部となる供給口プレート用開口部３１０が形成された供給口プレート３１と、インク供給針２側からのインクが供給されるリザーバ３８（共通液体室）およびノズル連通口３７の一部となるリザーバプレート用開口部３３０が形成されたリザーバプレート３３と、ノズルプレート３４とから構成されている。
【００２７】
そして、流路ユニット３０は、リザーバプレート３３の一方の面にノズルプレート３４を、他方の面に供給口プレート３１をそれぞれ配置し、これらの部材の間を樹脂フィルム接着材３２Ａ、樹脂フィルム接着材３２Ｂによって接合して構成されている。この流路ユニット３０は、リザーバ３８からノズル開口３５に至るまでのインク流路であるノズル連通口３７を形成している。
【００２８】
アクチュエータ２０と流路ユニット３０とは、アクチュエータ用フィルム接着材２５によって接着されている。アクチュエータ用フィルム接着材２５には、供給口プレート用開口部３１０に応じて、孔２５０が複数形成されている。
樹脂フィルム接着材３２Ａ，３２Ｂにも、それぞれリザーバプレート用開口部３３０およびノズル開口３５に応じて樹脂フィルム接着材の孔３２０が複数形成されている。
【００２９】
以下に、記録ヘッド１の製造方法について、ヘッドユニット４０の製造工程を中心に詳しく説明する。
図１において、記録ヘッド１は、ヘッドユニット４０と合成樹脂成形された供給針ユニット３およびヘッドケース５０とを組み立てることによって得られる。
ヘッドケース５０の基板配設部５４に配線基板４を組み込み、コネクタ５およびフレキシブルケーブル７を取り付ける。
カバー６０によって、ヘッドユニット４０の外縁を覆い、ネジ等によってヘッドケース５０にカバー６０を押し付けながら固定することにより、ヘッドユニット４０は、ヘッドケース５０に固定される。
【００３０】
図４に、ヘッドユニット４０の製造工程を示すフロー図を簡単に示した。
ヘッドユニット４０の製造工程は圧着工程である仮圧着工程と本圧着工程とを含んでいる。
仮圧着工程は、リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程と供給口プレート仮圧着工程とを含む。本圧着工程は、アクチュエータ本圧着工程とヘッドユニット本圧着工程を含む。
【００３１】
図５に、仮圧着工程および本圧着工程を表す概略断面図を示した。
図５（ａ）は、リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程を表す概略断面図である。
図５（ｂ）は、供給口プレート仮圧着工程を表す概略断面図である。
図５（ｃ）は、アクチュエータ本圧着工程を表す概略断面図である。
図５（ｄ）は、ヘッドユニット本圧着工程を表す概略断面図である。
【００３２】
図５（ａ）において、仮圧着工程は、リザーバプレート３３、ノズルプレート３４および供給口プレート３１のそれぞれに樹脂フィルム接着材３２Ａおよび３２Ｂを仮圧着する工程である。後の工程は、後述する。
【００３３】
図６および図７でノズルプレート３４を例に仮圧着工程を詳しく説明する。
図６（ａ）は、仮圧着前のノズルプレート３４の概略平面図を、図６（ｂ）は、仮圧着前の樹脂フィルム接着材３２１Ｂの概略平面図を示している。
【００３４】
図６（ａ）および（ｂ）において、ノズルプレート３４の大きさと、仮圧着前の樹脂フィルム接着材３２１Ｂの大きさは、異なるように補正されて形成されている。例えば、ノズルプレート３４の長さＸに対し、仮圧着前の樹脂フィルム接着材３２１Ｂの長さＸ１を０．０６％大きく、ノズルプレート３４の長さＹに対し、仮圧着前の樹脂フィルム接着材３２１Ｂの長さＹ１を０．１２％大きく形成する。ノズルプレート３４の長さＹ方向は、開口部であるノズル開口３５の列方向である。
ここで、実施形態において、仮圧着工程前のノズルプレート３４のノズル開口３５の列方向に直交する方向の長さＸに対し、補正後の樹脂フィルム接着材３２１Ｂの孔３２１の列方向に直交する方向の長さＸ１は長さＸの０．０４％〜０．０８％長いのが好ましい。また、仮圧着工程前のノズルプレート３４のノズル開口３５の列方向の長さＹに対し、補正後の前記樹脂フィルム接着材３２１Ｂの孔３２１の列方向の長さＹ１は長さＹの０．１０％〜０．１４％長いのが好ましい。
この範囲内の補正であれば、仮圧着後に、ノズル開口３５と孔３２０との位置がずれて樹脂フィルム接着材３２Ｂがノズル開口３５にかかることを低減できる。
【００３５】
圧着は、ヒータ１００と台４００との間に挟んで温度と圧力を加えることによって行う。
図７には、仮圧着工程の様子を詳しく示した。
図７（ａ）は、ヒータ１００を押し付ける前の状態を示す概略断面図である。
図７（ｂ）は、ヒータ１００を押し付けたときの状態を示す概略断面図である。
図７（ｃ）は、ヒータ１００を離した後の状態を示す概略断面図である。
【００３６】
図７（ａ）において、ヒータ１００を押し付ける前の状態では、仮圧着前の樹脂フィルム接着材３２１Ｂに形成された接着材用の孔３２１の位置を、ノズルプレート３４に形成されたノズル開口３５の位置の外側に位置するように補正してずらしている。
図７（ｂ）において、ヒータ１００をノズルプレート３４に押し付けると、ノズルプレート３４は、熱によって膨張しノズルプレート３４１の大きさになる。この時点で、ノズルプレート３４１に形成されたノズル開口３５１の位置と、仮圧着前の樹脂フィルム接着材３２１Ｂに形成された接着材用の孔３２１の位置は一致する。この状態で、ノズルプレート３４１と樹脂フィルム接着材３２１Ｂは仮圧着される。例えば、仮圧着は、１５５℃の温度で、２．５ｋｇｆの圧力を２秒加えることによって行う。
仮圧着の温度は、樹脂フィルム接着材３２１Ｂにポリオレフィンを用いた場合、１４５℃〜１６５℃が好ましい。１４５℃〜１６５℃であれば、ポリオレフィンが流動性を有し接着力を発揮する。
仮圧着の条件は、ノズルプレート３４の材質および樹脂フィルム接着材３２１Ｂの材質によって変えることができる。
【００３７】
図７（ｃ）において、ヒータ１００を離すと、仮圧着されたノズルプレート３４１と樹脂フィルム接着材３２１Ｂの温度が下がる。ここで、ノズルプレート３４１と樹脂フィルム接着材３２１Ｂとは仮圧着されているため、同じ比率で収縮し、ノズル開口３５１と接着材用の孔３２１の位置が合ったまま、ノズルプレート３４と樹脂フィルム接着材３２Ｂの大きさになる。したがって、ノズル開口３５１はもとのノズル開口３５に戻り、接着材用の孔３２１はノズル開口３５に応じた孔３２０になる。
【００３８】
樹脂フィルム接着材３２Ａ，３２Ｂは、ポリエチレンテレフタレートのフィルム７０に設けられており、仮圧着後にポリエチレンテレフタレートのフィルム７０は剥離する。
なお、ノズルプレート３４の長さＸに対する仮圧着前の樹脂フィルム接着材３２１Ｂの長さＸ１およびノズルプレート３４の長さＹに対する仮圧着前の樹脂フィルム接着材３２１Ｂの長さＹ１は、ノズルプレート３４の熱膨張率、樹脂フィルム接着材３２Ｂの熱膨張率、仮圧着の条件を考慮し、決めることことができる。
【００３９】
図５（ｂ）において、供給口プレート仮圧着工程では、図３に示したノズル連通口３７を形成する供給口プレート用開口部３１０に応じて形成されたアクチュエータ用フィルム接着材２５の圧着前の孔２５１との位置を合わせて仮圧着する。仮圧着の条件は、リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程と同様である。
アクチュエータ用フィルム接着材２５および樹脂フィルム接着材３２Ａ，３２Ｂとしては、例えば、ポリオレフィン系、エポキシ系のフィルム接着材を用いることができる。
【００４０】
図５（ｃ）において、アクチュエータ本圧着工程では、供給口プレート仮圧着工程で得られたアクチュエータ用フィルム接着材２５が仮圧着された供給口プレート３１とアクチュエータ２０とを本圧着する。
台４１０には、アクチュエータ２０の位置に応じて、凸部４１１が２か所設けられており、効率的に圧力が加えられるようになっている。
【００４１】
図５（ｄ）において、ヘッドユニット本圧着工程では、樹脂フィルム接着材３２Ａが仮圧着されたリザーバプレート３３と、樹脂フィルム接着材３２Ｂが仮圧着されたノズルプレート３４と、本圧着されたアクチュエータ２０と供給口プレート３１とを重ね合わせ、本圧着する。
樹脂フィルム接着材３２Ａは、供給口プレート３１とリザーバプレート３３との間、樹脂フィルム接着材３２Ｂは、リザーバプレート３３とノズルプレート３４との間に来るように重ね合わせる。
【００４２】
重ね合わせの際には、ノズル開口３５、供給口プレート用開口部３１０、リザーバプレート用開口部３３０、孔２５１、樹脂フィルム接着材用の孔３２１がノズル連通口３７を形成するように重ね合わせる。
本圧着は、２４０℃の温度で、０．４ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を１５秒加えることによって行う。
以上の工程により、ヘッドユニット４０および記録ヘッド１が得られる。
【００４３】
このような実施形態によれば、以下の効果がある。
（１）加圧加熱によってノズルプレート３４が膨張した状態で、ノズルプレート３４１に形成されたノズル開口３５１の位置と、樹脂フィルム接着材３２１Ｂに形成されたノズル開口３５１に対応した孔３２１の位置が合い、加熱圧着できる。温度が低下してノズルプレート３４，３４１が収縮してもノズルプレート３４，３４１と樹脂フィルム接着材３２Ｂ，３２１Ｂとは加熱圧着されているのでノズル開口３５，３５１と孔３２０，３２１との位置はずれない。したがって、インクの流路が確保され、インクの噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口３５ごとのばらつきが低減した記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４４】
（２）ノズルプレート３４の熱膨張による長さの変化は、ノズル開口３５が列状に形成されているため、列方向と列方向に直交する方向で異なるが、樹脂フィルム接着材３２１Ｂもノズルプレート３４のノズル開口３５の列方向および列方向に直交する方向の長さの変化にあわせて補正する。したがって、ノズルプレート３４が膨張したときに、ノズル開口３５１と樹脂フィルム接着材３２１Ｂに形成した孔３２１との位置がより正確に合い、液体の流路がより確保され、液体の噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口３５ごとのばらつきがより低減した記録ヘッド１の製造方法が得られる。
【００４５】
（３）樹脂フィルム接着材３２Ａ，３２Ｂのポリオレフィンが熱によって融解し温度の低下とともに固化するので、ステンレス鋼を含んだノズルプレート３４との熱膨張に差があっても、ノズルプレート３４の膨張、収縮に追随できる。したがって、ノズル開口３５，３５１と孔３２０，３２１との位置がずれず、インクの流路が確保され、インクの噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口３５ごとのばらつきが低減した記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４６】
（４）１４５℃以上であれば、ポリオレフィンが融解し、接着力が得られ、１６５℃以下であれば、ノズルプレート３４の熱膨張が必要以上に抑えられ、ノズル開口３５，３５１と孔３２０，３２１との位置ずれが抑えられる。
【００４７】
（５）ポリオレフィンを含む樹脂フィルム接着材３２Ａ，３２Ｂを、ステンレスを含むノズルプレート３４のノズル開口３５の列方向および列方向と直交する方向に、上述の数値内で形成することにより、ノズル開口３５を列で形成したことによるノズルプレート３４の膨張の異方性に対応できる。したがって、ノズル開口３５と孔３２０との位置がずれず、インクの流路が確保され、インクの噴射不良や、噴射されるインクの噴射量および噴射速度のノズル開口３５ごとのばらつきが低減した記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４８】
なお、上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
例えば、金属プレートは、ステンレス鋼でなくてもよく、金属プレートの熱膨張率とフィルム接着材の熱膨張率が異なる場合に、本実施形態の製造方法が適用できる。
また、流路ユニット３０は、リザーバプレート３３、ノズルプレート３４、供給口プレート３１に他のプレートを加えて構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施形態にかかる記録ヘッドの分解斜視図。
【図２】ヘッドユニットの分解斜視図。
【図３】ヘッドユニットの図１におけるＡ−Ａ部分断面図。
【図４】ヘッドユニットの製造工程を示すフロー図。
【図５】（ａ）は、リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程を表す概略断面図、（ｂ）は、供給口プレート仮圧着工程を表す概略断面図、（ｃ）は、アクチュエータ本圧着工程を表す概略断面図、（ｄ）は、ヘッドユニット本圧着工程を表す概略断面図。
【図６】（ａ）は、ノズルプレートの概略平面図、（ｂ）は、仮圧着前のフィルム接着材の概略平面図。
【図７】（ａ）は、ヒータを押し付ける前の状態を示す概略断面図、（ｂ）は、ヒータを押し付けたときの状態を示す概略断面図、（ｃ）は、ヒータを離した後の状態を示す概略断面図。
【符号の説明】
【００５０】
１…液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド、３１…金属プレートとしての供給口プレート、３２Ａ，３２Ｂ…樹脂フィルム接着材、３３…金属プレートとしてのリザーバプレート、３４…金属プレートとしてのノズルプレート、３５…開口部としてのノズル開口、２５０…孔、３１０…供給口プレート用開口部、３２０…フィルム接着材の孔、３２１…補正された（加熱前の）樹脂フィルム接着材の孔、３２１Ｂ…補正された（加熱前の）樹脂フィルム接着材、３３０…リザーバプレート用開口部、３４１…加熱時のノズルプレート、３５１…加熱時のノズルプレートのノズル開口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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