(57)【要約】【課題】機構が簡単で、搬送精度が良く安定した搬送機構を有する小型の処理装置を提供することにある。【解決手段】電子デバイスやその基板類を搬送し処理するための処理カゴ３０と、電子デバイスやその基板類を処理する複数の処理槽２０−１〜３と、処理カゴ３０がセットされる入力部と、複数の処理槽２０−１〜３と、処理カゴ３０が取り出される出力部とに配置され、処理カゴ３０を上下に移動させる上下移動部４０−１〜５と、処理カゴ３０を保持し、水平方向に移動するための保持部５０と、保持部５０に保持された処理カゴ３０を、水平方向に移動する水平移動部６０とを有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイスやその基板類を処理する処理装置であって、
前記電子デバイスやその基板類を搬送して処理するための処理カゴと、
前記電子デバイスやその基板類を処理する複数の処理槽と、
前記処理カゴがセットされる入力部と、前記複数の処理槽と、前記処理カゴが取り出される出力部とに配置され、前記処理カゴを上下に移動させる上下移動部と、
前記処理カゴを保持し、水平方向に移動するための保持部と、
前記保持部に保持された前記処理カゴを、水平方向に移動する水平移動部とを有し、
前記上下移動部は、前記処理カゴがセットされる受け台と、該受け台に設置されたチェーンと、該チェーンを駆動して前記受け台を上下に移動させるモータと、前記受け台をガイドする支柱とを具備し、
前記保持部は、前記処理カゴを保持する保持アームと、該保持アームにより前記処理カゴを挟み込んで保持させるエアシリンダとを具備し、
前記水平移動部は、前記保持部を水平方向に移動させるボールネジと、該ボールネジを回転させるモータと、前記保持部の水平移動をガイドするＬＭガイドとを具備することを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記受け台は、処理カゴ傾斜機構を具備し、前記複数の処理槽において、上方向に移動中は、前記処理カゴを所定の角度に傾斜させることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記複数の処理槽は、超音波部を具備し、前記電子デバイスやその基板類を超音波処理することを特徴とする請求項１又は２に記載の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスやその基板類を処理する処理装置に係り、詳しくは、機構が簡単で、搬送精度が良く、安定した搬送機構を有する処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、従来の電子デバイスやその基板類を処理する処理装置を示す処理装置構成図である。図３において、処理装置２００は、筐体１０、処理槽２０−１〜２０−３、処理カゴ３０、及び、搬送ロボット６０を有している。搬送ロボット６０は、被洗浄物が処理カゴ３０に入れられ、搬送フック６５にセットされると、処理槽２０−１の位置まで移動し、搬送フック６５を降下させる。処理カゴ３０は、処理槽２０−１中の所定の位置にセットされ、処理が施される。
【０００３】
処理槽２０−１での処理が終了すると、搬送ロボット６０は搬送フック６５を処理槽２０−２への搬送位置まで処理カゴ３０を上昇させる。処理カゴ３０が搬送位置まで上昇すると、搬送ロボット６０は処理槽２０−２へと移動し、所定の処理が同様に行われる。この処理装置２００は、搬送ロボット６０に所定の処理情報を入力することで連続して処理を実施できる特徴があるが、搬送ロボット６０が大型化し、搬送経路のスペースも広くなり、装置全体が大形化し、フックによる搬送のため処理カゴが不安定となる問題があった。
【０００４】
図４は、他の従来の電子デバイスやその基板類を処理する処理装置を示す処理装置構成図である。図４において、処理装置３００は、筐体１０、処理槽２０−１〜２０−３、処理カゴ３０、処理カゴ移動治具７０、ガイドレール７２、及び、処理カゴ上下動部７４−１〜７４−３を有している。処理カゴ移動治具７０は、被洗浄物が処理カゴ３０に入れられガイドレール７２にセットされると、処理カゴ３０を処理槽２０−１の位置まで移動させる。処理カゴ上下動部７４−１はこれを検知し、上下動フック７５により処理カゴ３０を処理槽２０−１へと降下させる。このときガイドレール７２は、処理カゴ３０の通過を妨げないよう両側へ開く。処理カゴ３０は、処理槽２０−１中の所定の位置にセットされ、処理が施される。
【０００５】
処理槽２０−１での処理が終了すると、処理カゴ上下動部７４−１は、上下動フック７５を処理槽２０−２への搬送位置まで処理カゴ３０を上昇させる。処理カゴ３０が搬送位置まで上昇すると、処理カゴ移動治具７０は、処理カゴ３０を処理槽２０−２へと移動させ、所定の処理が同様に行われる。この処理装置３００は、搬送機構が簡単で小型化できる特徴があるが、処理カゴ３０を処理槽２０−１〜２０−３へと順次移動させる場合、処理カゴ移動治具７０の搬送精度が悪く、処理カゴ上下動部７４−１〜７４−３との処理カゴ３０の受け渡し位置が安定せず、上下動作がフックによっているため処理カゴが不安定となる問題があった。
【０００６】
特許文献１には、超音波振動子を固定した洗浄槽を、被洗浄物の搬送ラインに沿って複数列に、且つ搬送ラインと直交する方向に夫々複数個設け、夫々搬送ラインに直交する方向に移動自在に設置し、洗浄槽の上端外周に断面コ字形をした漏れ防止部材を設けた、搬送フックを装着した搬送チェーンの各搬送工程における下降位置を一定にし、一部に洗浄篭を引掛ける搬送フックを傾斜状に移動させるフック移動棒を回動させるフック用モータを設置し、洗浄槽内に洗浄篭を支持して昇降する篭受台を設け、搬送ラインと直交する洗浄槽を移動スピードがサインカーブ的速度になるように制御する超音波洗浄装置について記載されている。
【特許文献１】特開平７−１０８２３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、機構が簡単で、搬送精度が良く安定した搬送機構を有する小型の処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の処理装置は、電子デバイスやその基板類を処理する処理装置であって、
前記電子デバイスやその基板類を搬送し処理するための処理カゴと、
前記電子デバイスやその基板類を処理する複数の処理槽と、
前記処理カゴがセットされる入力部と、前記複数の処理槽と、前記処理カゴが取り出される出力部とに配置され、前記処理カゴを上下に移動させる上下移動部と、
前記処理カゴを保持し、水平方向に移動するための保持部と、
前記保持部に保持された前記処理カゴを、水平方向に移動する水平移動部とを有し、
前記上下移動部は、前記処理カゴがセットされる受け台と、該受け台に設置されたチェーンと、該チェーンを駆動して前記受け台を上下に移動させるモータと、前記受け台をガイドする支柱とを具備し、
前記保持部は、前記処理カゴを保持する保持アームと、該保持アームにより前記処理カゴを挟み込んで保持させるエアシリンダとを具備し、
前記水平移動部は、前記保持部に設置されたボールネジと、該ボールネジを回転させて前記保持部を水平方向に移動させるモータとを具備することを特徴とする。
【０００９】
本発明の処理装置の前記受け台は、処理カゴ傾斜機構を具備し、前記複数の処理槽において、上方向に移動中は、前記処理カゴを所定の角度に傾斜させることを特徴とする。
【００１０】
本発明の処理装置の前記複数の処理槽は、超音波部を具備し、前記電子デバイスやその基板類を超音波処理することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、簡単で、搬送精度が良く、且つ、処理カゴを安定して移動できる搬送機構が可能となるため、この搬送機構による小型で処理能力の高い処理装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明による処理装置を入力部側からみた構成図である。図２は、本発明による処理装置を後側からみた構成図である。図１において、処理装置１００は、筐体１０、処理槽２０−１〜３、処理カゴ３０、上下移動部４０−１〜５、保持部５０、及び水平移動部６０を有している。処理槽２０−１〜３は、図２に示されるように配置され、その後側に上下移動部４０−１〜３がそれぞれ対応して配置され、且つ、入力部側に上下移動部４０−４、出力部側に上下移動部４０−５が配置されている。
【００１３】
上下移動部４０は、処理カゴ３０がセットされる受け台４２と、受け台４２に設置されたチェーン４４と、チェーン４４を駆動して受け台４２を上下に移動させるモータ４６と、受け台４２をガイドする支柱４８とを具備している。保持部５０は、処理カゴ３０を保持する保持アーム５２と、保持アーム５２により処理カゴ３０を挟み込んで保持させるエアシリンダ５４とを具備している。水平移動部６０は、保持部５０を水平方向に移動させるボールネジ６２と、ボールネジ６２を回転させるモータ６４と、保持部５０の水平移動をガイドするＬＭガイド６６とを具備している。
【００１４】
図１、２において、入力部側の上下移動部４０−４の受け台４２に処理カゴ３０がセットされると、モータ４６はチェーン４４を駆動して、受け台４２を水平方向の移動位置まで上昇させる。処理カゴ３０が水平方向の移動位置まで上昇すると、保持部５０のエアシリンダ５４は、保持アーム５２を駆動し、処理カゴ３０を挟み込んで保持させる。保持アーム５２が処理カゴ３０を保持すると、水平移動部６０のモータ６４はボールネジ６２を回転させ、保持部５０をＬＭガイド６６に沿って水平方向に移動させる。
【００１５】
保持部５０が、処理槽２０−１の位置まで来ると、保持部５０のエアシリンダ５４は、保持アーム５２を駆動し、処理カゴ３０を開放する。このとき、処理槽２０−１の後側の上下移動部４０−１のモータ４６は、チェーン４４を駆動して、受け台４２を受け取り位置まで上昇させ、処理カゴ３０を受け取る。引き続き上下移動部４０−１は、受け台４２を降下させ、処理カゴ３０を処理槽２０−１の所定の位置にセットする。処理カゴ３０が処理槽２０−１の所定の位置にセットされると処理が開始される。
【００１６】
処理が終了すると、上下移動部４０−１のモータ４６は、再びチェーン４４を駆動して、受け台４２を受け取り位置まで上昇させ、保持部５０に処理カゴ３０を渡す。保持部５０が処理カゴ３０を受け取ると、水平移動部６０は再び水平方向に移動を開始し、保持部５０を処理槽２０−２の位置まで移動させ、処理槽２０−１と同様の処理に入る。
【００１７】
このようにして処理槽２０−３までの処理が終了すると、保持部５０は処理カゴ３０を出力部側の上下移動部４０−５に渡す。上下移動部４０−５の受け台４２が処理カゴ３０を受け取ると、上下移動部４０−１のモータ４６は、チェーン４４を駆動して、受け台４２を取り出し位置まで降下させて、全処理工程を終了する。
【００１８】
処理槽２０−１〜３の後側に配置された上下移動部４０−１〜３の受け台４２は、処理カゴ傾斜機構を具備しても良い。これにより上方向に移動中に処理カゴ３０を所定の角度に傾斜させて、処理液を容易に排出することができる。処理槽２０−１〜３は、超音波部を具備しても良い。これにより電子デバイスやその基板類に超音波を印加することで、より効率の良い処理が可能となる。
【００１９】
以上説明したように本発明によれば、簡単で、搬送精度が良く、且つ、処理カゴを安定して移動できる搬送機構が可能となるため、この搬送機構による小型で処理能力の高い処理装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明による処理装置を入力部側からみた構成図。
【図２】本発明による処理装置を後側からみた構成図。
【図３】従来の処理装置を示す処理装置構成図。
【図４】従来の他の処理装置を示す処理装置構成図。
【符号の説明】
【００２１】
１０  筐体
２０−１、２、３  処理槽
３０  処理カゴ
４０−１〜５  上下移動部
４２  受け台
４４  チェーン
４６  モータ
５０  保持部
５２  保持アーム
５４  エアシリンダ
６０  水平移動部
６２  ボールネジ
６４  モータ
６６  ＬＭガイド
１００  処理装置
【図１】
2009166975.tif 000003
【図２】
2009166975.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009166975.tif 000006