(57)【要約】【課題】プローブを高精度で位置決めすることができ、且つ測定作業を効率よく実施することができる内部構造測定装置を提供することを課題とする。【解決手段】内部構造測定装置は、プローブ及び一対のカメラを備えたロボットと、測定部位の３次元座標を記憶する記憶手段と、一対のカメラで得た画像を解析し座標に基づく測定部位の予想存在位置と現実存在位置とのずれを解消する補正値を求めると共にプローブ信号を受け部材の内部構造の評価を行う画像処理手段と、補正値によりロボット動作を補正する動作制御手段とを有する。【効果】記憶手段と動作制御手段は、測定部位の３次元座標から焦点までのずれ量を検出させ（ＳＴ０４）、ずれ量がゼロかどうかを確認させ（ＳＴ０５）、ずれ量を補正させ（ＳＴ０６）、一定距離プローブを移動させる（ＳＴ０７）。よってプローブを高精度で位置決めすることができ、且つ測定作業を効率よく実施することができる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定部材の内部構造測定装置において、
この内部構造測定装置は、前記被測定部材に接触させることにより測定部位の磁束密度の変化を検出するプローブと光軸が交わるように配置された少なくとも一対のカメラとを備えたロボットと、
前記測定部位の３次元座標をあらかじめ記憶する記憶手段と、
前記一対のカメラから得られる出力画像を解析して、前記測定部位の３次元座標に基づく測定部位の予想存在位置と現実の測定部位の存在位置とのずれを解消する補正値を算出すると共に前記プローブからの出力信号を受けて前記被測定部材の内部構造の評価を行う画像処理手段と、
前記補正値に基づいて前記ロボットの動作を補正する動作制御手段とを有することを特徴とする内部構造測定装置。
【請求項２】
前記プローブ及び前記一対のカメラは、同一のブラケットに取り付けられ、このブラケットが前記ロボットに装着されていることを特徴とする請求項１記載の内部構造測定装置。
【請求項３】
前記測定部位は、スポット溶接された鋼板表面に形成されたくぼみであることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の内部構造測定装置。
【請求項４】
前記プローブの信号出力部及び前記一対のカメラの信号出力部から前記画像処理手段までを繋ぐ信号伝達経路の一部は、無線方式にしたことを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３記載の内部構造測定装置。
【請求項５】
前記一対のカメラの近傍に、発光手段を設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の内部構造測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定部材の内部構造を測定する内部構造測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定部材の内部構造を測定する装置として磁気センサ内蔵型のプローブを備えた内部構造測定装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００６−３００８７９公報（図２）
【０００３】
特許文献１を次図に基づいて説明する。
図８は従来の技術の基本原理を説明する図であり、（ａ）において、プローブ１００は、内部構造測定装置に用いられる磁気センサ内蔵型プローブである。また、プローブ１００は、重ね合わせた２枚の鋼板１０１、１０２をスポット溶接した後の鋼板１０１の表面に置かれくぼみ１０３の位置を確認する窓１０４を備えている角パイプ状のベース部１０５と、このベース部１０５の上面１０６でばね１０７を介して支持されベース部１０５の上端部に上下方向に移動自在に嵌められていると共に下端部１０８に励磁部及び磁気センサを備えている角柱状のセンサ部１０９と、このセンサ部１０９の上部に取り付けられベース部１０５の上端鍔１１１に接触する下端鍔１１２を下端に備えているカバー部１１３と、からなる。
【０００４】
先ず作業者は、窓１０４からくぼみ１０３の位置を目１１４で見て、プローブ１００を位置決めする。次に、カバー部１１３を白抜き矢印（１）のように下げることでセンサ部１０９も白抜き矢印（２）のように下がるので、センサ部１０９の下端１１５が鋼板１０１の表面に接触する。これにより、センサ部１０９の励磁部によって鋼板１０１が磁化され、磁化された鋼板１０１の磁束密度の変化をセンサ部１０９の磁気センサで検出することができる。この検出信号をデータ処理することでナゲット１１６の径を求めることができる。
【０００５】
しかし、特許文献１のプローブ１００の位置決めは、作業者の目視により決定されるため、測定対象が車体のようにくぼみ１０３を大量に有するものである場合には、くぼみ１０３に対してプローブ１００を所定の位置に置けないことがある。具体的には、（ｂ）に示すようにくぼみ１０３の中心線１１７からプローブ１００の中心軸１１８がＬ１だけずれることがある。
【０００６】
上記のようにプローブ１００がくぼみ１０３からずれた位置に置かれた状態でナゲット１１６の径を求めると、適当な測定結果が得られないので測定をやり直す必要がある。このような測定のやり直しは、適当な測定結果が得られるまで実施されるので、作業効率を低下させる虞がある。
【０００７】
そのため、プローブを高精度で位置決めすることができ、且つ測定作業を効率よく実施することができる内部構造測定装置の開発が求められる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、プローブを高精度で位置決めすることができ、且つ測定作業を効率よく実施することができる内部構造測定装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に係る発明では、被測定部材の内部構造測定装置において、この内部構造測定装置は、前記被測定部材に接触させることにより測定部位の磁束密度の変化を検出するプローブと光軸が交わるように配置された少なくとも一対のカメラとを備えたロボットと、前記測定部位の３次元座標をあらかじめ記憶する記憶手段と、前記一対のカメラから得られる出力画像を解析して、前記測定部位の３次元座標に基づく測定部位の予想存在位置と現実の測定部位の存在位置とのずれを解消する補正値を算出すると共に前記プローブからの出力信号を受けて前記被測定部材の内部構造の評価を行う画像処理手段と、前記補正値に基づいて前記ロボットの動作を補正する動作制御手段とを有することを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る発明では、プローブ及び一対のカメラは、同一のブラケットに取り付けられ、このブラケットがロボットに装着されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項３に係る発明では、測定部位は、スポット溶接された鋼板表面に形成されたくぼみであることを特徴とする。
【００１２】
請求項４に係る発明では、プローブの信号出力部及び一対のカメラの信号出力部から画像処理手段までを繋ぐ信号伝達経路の一部は、無線方式にしたことを特徴とする。
【００１３】
請求項５に係る発明は、一対のカメラの近傍に、発光手段を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に係る発明では、内部構造測定装置は、画像処理手段で算出された補正値に基づいて動作制御手段でロボットを動作させるので、測定部位の３次元座標に基づく測定部位の予想存在位置と現実の測定部位の存在位置を示す測定部位に対する一対のカメラの焦点とにずれが生じた場合でもずれを解消することができる。測定部位の予想存在位置の３次元座標と一対のカメラの焦点が合致した後は、一対のカメラの焦点からプローブの中心軸までの距離分だけプローブを移動させれば、測定部位の３次元座標に対するプローブの位置決めが完了する。このように、測定部位の３次元座標から一対のカメラの焦点までのずれを解消した後にプローブの位置決めを実施するので、プローブを高精度に測定部位に位置決めすることができる。
【００１５】
また、プローブを高精度に位置決めすることができれば、測定では適当な測定結果を得ることができるため、測定をやり直す必要がない。すなわち、測定作業を効率よく実施することができる。請求項１によれば、プローブを高精度で位置決めすることができ、且つ測定作業を効率よく実施することができる内部構造測定装置を提供することができる。
【００１６】
請求項２に係る発明では、プローブ及び一対のカメラは、同一のブラケットに取り付けられ、このブラケットがロボットに装着されているので、プローブと一対のカメラの相対距離を正確に保つことができる。そのため、プローブの位置決め精度を向上させることができる。また、プローブと一対のカメラの相対距離を変更したい場合、相対距離の調整を容易に実施することができる。
【００１７】
請求項３に係る発明では、測定部位は、スポット溶接された鋼板表面に形成されたくぼみであるので、ナゲット径を測定することができる。これにより、スポット溶接の品質を向上させることができる。
【００１８】
請求項４に係る発明では、プローブの信号出力部及び一対のカメラの信号出力部から画像処理手段までを繋ぐ信号伝達経路の一部は、無線方式にした。例えばプローブにケーブルが接続されていると、ロボットを動作させたときに誤って被測定部材にケーブルを接触させてしまうことがある。被測定部材にケーブルが接触すると、ケーブルは損傷するので、プローブから画像処理手段への信号伝達が滞る虞がある。この点、本発明ではプローブの信号出力部及び一対のカメラの信号出力部から画像処理手段までを繋ぐ信号伝達経路の一部を無線方式にしたので、プローブ及び一対のカメラから画像処理手段への信号伝達の安定化を実現することができる。
【００１９】
請求項５に係る発明は、一対のカメラの近傍に、発光手段を設けたので、一対のカメラから得られる出力画像がより鮮明になる。そのため、より正確な測定部位の３次元座標を算出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明を実施するための最良の形態を添付図に基づいて以下に説明する。なお、図面は符号の向きに見るものとする。また、以下では被測定部材の内部構造は、重ね合わせた２枚の鋼板をスポット溶接することにより鋼板間に形成されるナゲットを例にして説明する。
【００２１】
図１は本発明に係る内部構造測定装置の構成図であり、内部構造測定装置１０は、床１１に設けられているロボット１２と、このロボット１２のアーム１３の先端に取り付けられているブラケット２０（詳細後述）と、このブラケット２０の中央に取り付けられているプローブ３０（詳細後述）と、ブラケット２０の両端に取り付けられている一対のカメラ４０、５０（詳細後述）と、ロボット１２とプローブ３０と一対のカメラ４０、５０とに接続されている制御部７０（詳細後述）と、で構成される。
【００２２】
制御部７０は、一対のカメラ４０、５０にケーブル７３、７３を介して接続され一対のカメラ４０、５０から得られる出力画像を解析して、測定部位の３次元座標に基づく測定部位の予想存在位置と現実の測定部位の存在位置とのずれを解消する補正値を算出する例えば画像処理手段としてのパーソナルコンピュータ（以下、パソコンと記す。）７４と、測定部位の３次元座標をあらかじめ記憶する例えば記憶手段としてのメモリ９６とロボット１２にケーブル７１を介して接続され補正値に基づいてロボット１２の動作を補正する例えば動作制御手段としてのコントローラ９７とを備えているコントロールユニット７２と、プローブ３０に無線７５を介して接続されプローブ３０からの無線信号を受け取る無線インターフェース７６と、この無線インターフェース７６に接続されスポット溶接によって重ね合わせた２枚の鋼板間に形成されるナゲットの径を計算すると共にナゲット径の評価を行う例えばもう一つの画像処理手段としてのパソコン７７と、からなる。
【００２３】
なお、画像処理手段はパソコン７４とパソコン７７とで構成したが、１台のパソコンに集約してもよい。
また、画像処理手段はパソコンを適用したが、この他にデータの演算、記憶、表示等ができる機器であれば適用できるため、機器がパソコンに限定されるものではない。
【００２４】
加えて、プローブ３０の信号出力部及び一対のカメラ４０、５０の信号出力部から画像処理手段までを繋ぐ信号伝達経路の一部は、無線方式にしたことを特徴とする。具体的には、プローブ３０の信号出力部とパソコン７７との間を無線７５で繋いだ。プローブ３０にケーブルが接続されていると、ロボット１２を動作させたときに誤って被測定部材にケーブルを接触させてしまうことがある。被測定部材にケーブルが接触すると、ケーブルは損傷するので、プローブ３０からパソコン７７への信号伝達が滞る虞がある。この点、本発明ではプローブ３０からパソコン７７までを繋ぐ信号伝達経路の一部を無線方式にしたので、プローブ３０からパソコン７７への信号伝達の安定化を実現することができる。
【００２５】
なお、実施例では信号伝達経路の無線方式を無線７５に適用したが、ケーブル７３、７３に無線方式を適用してもよい。
【００２６】
７８はティーチング用操作盤、７９は車体、８１は台車、８２はレール、８３は台車側爪部材、８４はコンベヤ、８５はコンベヤ側爪部材である。
【００２７】
図２は図１の２部拡大図であり、一対のカメラ４０、５０は、車体（図１の符号７９）の鋼板表面８６に向かって２方向から見ることで２つの光軸８７、８８の先端が交わるように光軸８７と光軸８８とがＶ字をなし、このＶ字の谷が焦点８９になるようにブラケット２０の両端に取り付けられている。また、一対のカメラ４０、５０の高さＨ１は、ロボット（図１の符号１２）のティーチング時に作業者が画像処理機器（図１の符号７４）のディスプレイ（図１の符号９１）で鋼板表面８６を見て決定する高さである。
【００２８】
さらに、カメラ５０は、ブラケット２０の右側に取付台５１を介して取り付けられているＣＣＤカメラ５２と、このＣＣＤカメラ５２の先端に取り付けられているレンズ５３と、このレンズ５３の中間部を覆うように取付台５１に取り付けられている例えば発光手段としてのＬＥＤ照明５４と、ＣＣＤカメラ５２の後端に取り付けられているチューブ継手５５と、このチューブ継手５５に接続されケーブル（図１の符号７３）を保護するチューブ５６と、で構成される。
【００２９】
したがって、一対のカメラ４０、５０の近傍に、発光手段としてのＬＥＤ照明５４を設けたことを特徴とする。そのため、一対のカメラ４０、５０から得られる出力画像がより鮮明になるので、より正確な測定部位の３次元座標を算出することができる。
【００３０】
なお、発光手段はＬＥＤ照明５４に限らず、半導体レーザ照明であってもよい。
【００３１】
５７はロボットのアーム側フランジ、５８はブラケット側フランジ、５９はボルト、６１はねじ、６２はボルトである。なお、カメラ４０の構成は、カメラ５０と同様であるため、カメラ４０の構成の説明は省略する。
【００３２】
図３は図２の３矢視図であり、プローブ３０は、鋼板表面８６に接触させることにより鋼板の測定部位の磁束密度の変化を検出するものであり、ブラケット２０の先端にガイド部材３１を介してアーム１３の軸方向に移動自在に取り付けられている。また、プローブ３０の先端部３２とガイド部材３１との間には、アーム１３の軸方向に沿って衝撃緩衝部材３３、３３が設けられている（衝撃緩衝部材３３は全部で４個取り付けられている。図２参照）。そして、衝撃緩衝部材３３は、例えばショックアブソーバ３４とばねとしての圧縮コイルばね３５とで構成されている。３６はボルト、３７はケーブルである。
【００３３】
なお、衝撃緩衝部材３３に用いられるばねは、圧縮コイルばねで説明したが、この他に板ばねや空気ばねを適用することができるため、一般のばねを適用することは差し支えない。
【００３４】
前述の構成に加えて、カメラ５０は、焦点８９がプローブ３０の中心軸３８から一定の距離Ｗ１離れて、ブラケット２０に支持部材３９を介して取り付けられている。
【００３５】
図４は本発明のブラケットの斜視図であり、プローブ３０及び一対のカメラ４０、５０は、同一のブラケット２０に取り付けられ、このブラケット２０がロボット（図１の符号１２）のアーム１３の先端に装着されていることを特徴とする。
【００３６】
プローブ３０と一対のカメラ４０、５０の相対距離（図３の符号Ｗ１）を正確に保つことができるため、プローブ３０の位置決め精度を向上させることができる。また、プローブ３０と一対のカメラ４０、５０の相対距離を変更したい場合、相対距離の調整を容易に実施することができる。
【００３７】
以上の構成からなる内部構造測定装置１０の作用を次に説明する。具体的には、一対のカメラの焦点合わせ及びプローブの中心軸の位置決めについて説明する。
【００３８】
図５は測定部位の３次元座標に一対のカメラの焦点を合致させるまでの作用図であり、（ａ）の被測定部材は、搬送中の車体水平部の鋼板の断面を示す。プローブ３０と一対のカメラ４０、５０を車体（図１の符号７９）の鋼板表面８６に臨ませ、一対のカメラ４０、５０が鋼板表面８６のくぼみ９２を見ている。
【００３９】
（ｂ）は（ａ）のくぼみ９２を３次元で示した図であり、図右斜め下に向かっている軸をｘ軸、右斜め上に向かっている軸をｙ軸、上に向かっている軸をｚ軸とする。また、点９３はｘｙｚ座標の原点であると共に測定部位の３次元座標としてのくぼみ９２の中心点である。このくぼみ９２の中心点９３に一対のカメラ４０、５０の焦点を合致させるように、ティーチングでロボット（図１の符号１２）に中心点９３の３次元座標をあらかじめ記憶させておく。
【００４０】
しかしながら、現実に一対のカメラ４０、５０でくぼみ９２を撮影してみると、一対のカメラ４０、５０の焦点８９はくぼみ９２が搬送中の車体上にあるので、原点で且つくぼみ９２の中心点である点９３から、ｘ軸方向にｘ１だけ離れ、ｙ軸方向にｙ１だけ離れ、ｚ軸方向にｚ１だけ離れている。すなわち、あらかじめ予想されたくぼみ９２の位置を原点とした場合、一対のカメラ４０、５０の焦点８９は、原点である点９３から座標（−ｘ１、ｙ１、ｚ１）だけずれている。
【００４１】
焦点８９を現実のくぼみ９２の中心点９３に合致させるために、（ｃ）に示すように、一対のカメラ４０、５０を矢印（１）、（１）のように移動させる。すなわち、一対のカメラ４０、５０で見たリアルタイムの画像データとあらかじめロボットにティーチングで記憶させた測定部位の３次元座標とを比較し、ずれ量を算出し、そのずれ量の補正をロボットに実施させる。
【００４２】
その結果、（ｄ）に示すように、くぼみ９２の中心点９３に焦点８９が合致した。すなわち、一対のカメラによる測定部位の３次元座標への焦点合わせが完了した。
【００４３】
図６はプローブを測定部位に接触させるまでの作用図であり、（ａ）はプローブと一対のカメラの平面図である。前述したとおり焦点合わせが完了したので、プローブ３０を矢印（２）のように一定の距離Ｗ１だけ移動させる。
【００４４】
（ｂ）に示すように、くぼみ９２の中心点にプローブ３０の中心軸が合致した。すなわち、測定部位の３次元座標へのプローブの位置決めが完了した。
【００４５】
（ｃ）に示すように、プローブ３０を鋼板表面８６に向けて矢印（３）のように前進させる。プローブ３０を鋼板表面８６に接触させることで、スポット溶接後のくぼみ９２の内部に形成されたナゲット９４の径を測定することができる。
【００４６】
ここで、測定部位は、スポット溶接された鋼板表面に形成されたくぼみ９２であることを特徴とする。そのため、ナゲット径を測定することができる。これにより、スポット溶接の品質を向上させることができる。
次に、制御部７０の指令に基づいた内部構造測定装置の作用を説明する。
【００４７】
図７は本発明に係る内部構造測定装置のフロー図であり、ＳＴ０１において、ロボットのティーチングが済みであるか否かを確認し、ＹＥＳならＳＴ０３に進み、ＮＯならＳＴ０２に進む。
ＳＴ０２において、ロボットのティーチングを実施する。
【００４８】
ＳＴ０３において、測定部位の予想存在位置の３次元座標が一対のカメラで得られる出力画像の中心になるように、一対のカメラを測定部位に移動させる。具体的には、図５（ａ）に示すように、一対のカメラ４０、５０を車体（図１の符号７９）の鋼板表面８６に臨ませる。
【００４９】
ＳＴ０４において、測定部位の３次元座標から焦点までのずれ量を検出する。具体的には、図５（ｂ）に示すように、測定部位の３次元座標としてのくぼみ９２の中心点で且つ原点である点９３に対する焦点８９の座標（ｘ、ｙ、ｚ）を算出する。
【００５０】
ＳＴ０５において、測定部位の３次元座標から焦点までのずれ量がゼロであるか否かを確認し、ＹＥＳならＳＴ０７に進み、ＮＯならＳＴ０６に進む。
【００５１】
ＳＴ０６において、測定部位の３次元座標から焦点までのずれ量を補正する。具体的には、焦点をくぼみの中心点に合致させるために、図５（ｃ）に示すように、一対のカメラ４０、５０を矢印（１）、（１）のように移動させる。
【００５２】
ＳＴ０７において、一定の距離だけプローブを移動させる。具体的には、図６（ａ）に示すように、プローブ３０を矢印（２）のように一定の距離Ｗ１だけ移動させる。
【００５３】
ＳＴ０８において、プローブを前進させる。具体的には、図６（ｃ）に示すように、プローブ３０を鋼板表面８６に向けて矢印（３）のように前進させる。
【００５４】
ＳＴ０９において、測定部位の磁束密度の変化を検出する。
ＳＴ１０において、ナゲット径の評価を行う。具体的には、図１に示すパソコン７７のディスプレイ（図１の符号９５）にナゲット径を表示する。
【００５５】
以上から図１において、内部構造測定装置１０は、被測定部材に接触させることにより測定部位の磁束密度の変化を検出するプローブ３０と光軸が交わるように配置された少なくとも一対のカメラ４０、５０とを備えたロボット１２と、測定部位の３次元座標をあらかじめ記憶する記憶手段としてのメモリ９６と、一対のカメラ４０、５０から得られる出力画像を解析して、測定部位の３次元座標に基づく測定部位の予想存在位置と現実の測定部位の存在位置とのずれを解消する補正値を算出すると共にプローブ３０からの出力信号を受けて被測定部材の内部構造の評価を行う画像処理手段としてのパソコン７４及びパソコン７７と、補正値に基づいてロボット１２の動作を補正する動作制御手段としてのコントローラ９７とを有することを特徴とする。
【００５６】
パソコン７４で算出された補正値に基づいてコントローラ９７でロボット１２を動作させるので、測定部位の３次元座標に基づく測定部位の予想存在位置と現実の測定部位の存在位置を示す測定部位に対する一対のカメラ４０、５０の焦点とにずれが生じた場合でもずれを解消することができる。測定部位の予想存在位置の３次元座標と一対のカメラ４０、５０の焦点が合致した後は、一対のカメラ４０、５０の焦点からプローブ３０の中心軸までの距離分だけプローブ３０を移動させれば、測定部位の３次元座標に対するプローブ３０の位置決めが完了する。このように、測定部位の３次元座標から一対のカメラ４０、５０の焦点までのずれを解消した後にプローブ３０の位置決めを実施するので、プローブ３０を高精度に測定部位に位置決めすることができる。
【００５７】
また、プローブ３０を高精度に位置決めすることができれば、測定では適当な測定結果を得ることができるため、測定をやり直す必要がない。すなわち、測定作業を効率よく実施することができる。よって、プローブ３０を高精度で位置決めすることができ、且つ測定作業を効率よく実施することができる内部構造測定装置１０を提供することができる。
【００５８】
尚、本発明に係る被測定部材の内部構造は、実施の形態では重ね合わせた２枚の鋼板をスポット溶接することにより鋼板間に形成されるナゲットに適用したが、この他に溶接金属中に生成される内部欠陥にも適用可能であり、一般の溶接欠陥に適用することは差し支えない。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明の内部構造測定装置は、２枚の鋼板をスポット溶接することにより鋼板間に形成されるナゲット径の測定に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る内部構造測定装置の構成図である。
【図２】図１の２部拡大図である。
【図３】図２の３矢視図である。
【図４】本発明のブラケットの斜視図である。
【図５】測定部位の３次元座標に一対のカメラの焦点を合致させるまでの作用図である。
【図６】プローブを測定部位に接触させるまでの作用図である。
【図７】本発明に係る内部構造測定装置のフロー図である。
【図８】従来の技術の基本原理を説明する図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０…内部構造測定装置、１２…ロボット、２０…ブラケット、３０…プローブ、３８…中心軸、４０、５０…カメラ、５４…ＬＥＤ照明（発光手段）、７０…制御部、７２…コントロールユニット、７３…ケーブル、７４、７７…パーソナルコンピュータ（画像処理手段）、７５…無線、７６…無線インターフェース、８６…鋼板表面、８７、８８…光軸、８９…焦点、９２…くぼみ、９３…中心点、９４…ナゲット、９６…メモリ（記憶手段）、９７…コントローラ（動作制御手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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