(57)【要約】【課題】金属コンタクト層を有するパワー半導体素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明は、基体と、少なくとも１つの接触面とを有するパワー半導体素子であって、この接触面の上に、第１材料の少なくとも１つの第１の薄い金属層が配置されたパワー半導体素子に関する。本発明によれば、第１の層に比べて厚い、第２材料のさらなる金属層が、その材料の加圧焼結接続によって、第１の層の上に配置される。関連の方法は、以下の本質的なステップを含む。ウェハ集合体内に複数のパワー半導体素子を製造するステップと、それぞれのパワー半導体素子の少なくとも１つの接触面の上に、少なくとも１つの第１の薄い金属層を施与するステップと、各パワー半導体素子ごとに、第１の金属層の少なくとも１つの上に、第２材料と溶媒とからなるペースト状の層を配置するステップと、ペースト状の層に圧力を印加するステップと、半導体素子を個別化するステップ。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、少なくとも１つの接触面（２０、２２、２４）とを有するパワー半導体素子（１０）であって、前記接触面（２０、２２、２４）の上に、第１材料（３０、３２、３４）の少なくとも１つの第１の薄い金属層が配置され、前記第１の薄い金属層に比べて厚い、第２材料（４０、４２、４４）のさらなる金属層が、前記第２材料の加圧焼結接続によって配置されているパワー半導体素子（１０）。
【請求項２】
前記第２の金属材料（４０、４２、４４）が、９０％よりも高い貴金属含有率を有する、請求項１に記載のパワー半導体素子。
【請求項３】
前記貴金属が銀である請求項２に記載のパワー半導体素子。
【請求項４】
本質的なステップとして、
・ウェハ集合体内に複数のパワー半導体素子（１０）を製造するステップと、
・それぞれのパワー半導体素子（１０）の少なくとも１つの接触面（２０、２２、２４）の上に、少なくとも１つの第１の薄い金属層（３０、３２、３４）を施与するステップと、
・各パワー半導体素子（１０）ごとに、前記第１の金属層の少なくとも１つの上に、第２材料と溶媒とからなるペースト状の層（４０、４２、４４）を配置するステップと、
・前記ペースト状の層（４０、４２、４４）に圧力印加（６０）するステップと、
・前記半導体素子（１０）を個別化するステップと
を含む、請求項１に記載のパワー半導体素子（１０）を製造する方法。
【請求項５】
前記ペースト状の層（４０、４２、４４）が、スクリーン印刷法によって施与される、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記圧力（６０）が、１つのプレスと２つの成形プラグとによってもたらされ、少なくとも１つの成形プラグが、準静水圧を生み出すシリコン・パッドを上に配置されて形成される、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記圧力（６０）が、外部から圧力を印加されかつ液体または気体で充填される圧力タンク内で生成され、ウェハ集合体内の前記パワー半導体素子（１０）が、前記圧力タンク内に完全に配置されている、請求項４に記載の方法。
【請求項８】
前記圧力印加（６０）の際の最大最終圧力が、少なくとも１５ＭＰａに相当する、請求項４に記載の方法。
【請求項９】
前記圧力印加（６０）中に、前記パワー半導体素子（１０）が、３５０Ｋよりも高い温度に加熱される、請求項４に記載の方法。
【請求項１０】
前記圧力印加（６０）の前に、前記ペースト状の層（４０、４２、４４）の表面、または前記ウェハ集合体全体が、箔（５０）で覆われる、請求項４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、好ましくは単結晶基体と少なくとも１つのｐｎ接合とを有する、少なくとも１つのコンタクト・メタライゼーションのパワー半導体素子に関する。そのようなパワー半導体素子は、例えば、パワー・ダイオード、パワー・トランジスタ、またはパワー・サイリスタ、さらには太陽電池、および抵抗素子である。
【背景技術】
【０００２】
コンタクト・メタライゼーションは、半導体本体の接触面と外部接続要素との導電接続を担う。そのような接続要素は、例えば、ワイヤボンディング接続、はんだ技法によって接続された基板、または加圧接触された結合要素として形成することができる。
【０００３】
従来技術によれば、多数の異なるコンタクト・メタライゼーションが一般的に用いられている。それらの構造は、それぞれ意図されている接触対象によって異なり、例えばワイヤボンディング接続である。ここで、特にパワー半導体素子の分野において、異なる金属の積層から構成される多層コンタクト・メタライゼーションが知られている。この積層の中で、それぞれの層の個々の厚さは同じではなく、ただし数十分の１から数マイクロメートルの範囲内であることが多い。
【０００４】
また、加圧接触された結合要素の使用に関して、結合要素とパワー半導体素子との間に、ミリメートルのオーダーの厚さを有する金属板を配置することも知られている。これらの金属板は、パワー半導体素子、またはそのコンタクト・メタライゼーションの機械的負荷を減少させる働きをする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、接触性質が改善されるようにコンタクト・メタライゼーションの分野でパワー半導体素子を進展させ、かつそのパワー半導体素子を容易な製造で実現可能にする方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題は、本発明によれば、請求項１に記載の特徴を有するパワー半導体素子を、請求項４に記載の方法によって製造することによって解決される。好ましい実施形態は、従属請求項に記載されている。
【０００７】
本発明の出発点は、好ましくは単結晶基体と少なくとも１つのｐｎ接合とを有するパワー半導体素子である。このパワー半導体素子は、半導体本体の領域内に少なくとも１つの接触面を有し、この接触面の上に、第１材料の少なくとも１つの第１の薄い金属層が配置される。これらの第１の金属層の少なくとも１つの上に、第１の層に比べて厚い、第２材料の金属層が配置される。その際、第２の金属材料が、９０％よりも高い貴金属含有率を有すると有利である。その際、この貴金属が銀であると特に有利である。
【０００８】
この配置は、加圧焼結接続によって成される。それに関して、ここで、加圧焼結接続とは、以下に述べる方法によって材料の層が配置されることを意味するものとする。
【０００９】
本発明に係る、そのようなパワー半導体素子を製造するための方法は、以下の本質的なステップを含む。
・ウェハ集合体内に複数のパワー半導体素子を製造するステップ。
・それぞれのパワー半導体素子の少なくとも１つの接触面の上に、少なくとも１つの第１の薄い金属層を施与するステップ。
・各パワー半導体素子ごとに、第１の金属層の少なくとも１つの上に、第２材料と溶媒とからなるペースト状の層を配置するステップ。
・ペースト状の層に圧力を印加するステップ。その際、圧力を印加する前に、ペースト状の層から溶媒の余剰分を除去することが好ましい。
・半導体素子を個別化するステップ。
【００１０】
ここで、ペースト状の層がスクリーン印刷法によって施与されると好ましいことがある。その際、一方で、要求された層厚に関して、所要の位置決め精度を達成することができる。他方で、この方法は低コストで実現可能である。
【００１１】
ペースト状の層に圧力を印加する第１の有利な実施は、１つのプレスと２つの成形プラグ（押出ポンチ）とを用いて行うことができる。その際、さらに、少なくとも１つの成形プラグが、準静水圧を生み出すシリコン・パッド（Silikonkissen）をその上に配置されて形成されると有利である。
【００１２】
ペースト状の層に圧力を印加する第２の有利な実施は、適切な液体または気体で充填される圧力タンクを用いて行うことができる。その際、パワー半導体素子を、ウェハ集合体内で箔、好ましくはテフロン（登録商標）箔によって覆って、圧力タンク内に配置し、次いで、圧力タンク内の流体に外部から圧力を印加することが好ましい。
【００１３】
このパワー半導体素子および製造方法の特に好ましいさらなる構成は、実施形態の各説明において挙げられる。さらに、本発明の解決策を、図１〜３の実施形態に基づいて以下に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１および２は、本発明に係る第１のパワー半導体素子の本発明に係る製造方法の個々のステップを示す。図１に、半導体本体が、後にパワー半導体素子１０の縁部になる部分１２と、この半導体本体において概略的に両方の主面１０２、１０４にある複数の接触面２０、２２、２４と共に示されている。さらに、第１の金属材料３６の第１の薄層の製造が示されている。その際、従来技術によれば、例えば、シャドウマスク３８を用いた蒸着法が用いられ、あるいはまたスパッタリング法が用いられる。長い間知られているこれらの方法によって、マイクロメートルのオーダーでの層厚を有する少なくとも１つの均質な層が堆積される。その際、この層が、それぞれ異なる層厚を有するそれぞれ異なる金属からなる複数の薄い個別の層から堆積されると非常に好ましいことがある。
【００１５】
明示しない次のステップで、好ましくはスクリーン印刷法によって、従来技術による焼結接続から知られているように、ペースト状の層４４（図２）が、第１の層３４の上に配置される。その際、層３４、４４が互いに直接重ねて配置されるか、ペースト状の第２の層４４が第１の層３４をわずかに覆う、あるいはまた完全には覆わないかは、本発明には関係しない。
【００１６】
ペースト状の層４４（図２）自体は、マイクロメートルのオーダーの最大寸法を有する金属フレークと溶媒との形での金属材料の混合物からなる。金属フレークの金属として特に銀が適しているが、別の貴金属、または９０％よりも高い貴金属含有率を有する混合物も適している。
【００１７】
図２は、第１の層に比べて厚い第２の金属層の形成のための、ペースト状の層４４への圧力印加６０を示す。ここで、圧力印加６０の前に施与された箔５０、例えばテフロン（登録商標）箔がさらに示されており、これも好ましい。その際、ウェハ集合体全体を被覆することが好ましい。ただし、いくつかの構成では、それぞれのペースト状の層のみを箔で選択的に覆うことも可能である。
【００１８】
ペースト状の層４４と第１の金属層３４との間の十分に耐久性のある接続を形成するために、圧力印加６０の際に導入される最大最終圧力を少なくとも１５ＭＰａにすると好ましい。
【００１９】
さらに、圧力印加６０に加えて、パワー半導体素子１０または半導体本体を３５０Ｋよりも高い温度に加熱することが有利であることがある。完成した金属層が溶媒を含むべきではないので、これは、ペースト状の層４４からの溶媒の除去のために有利である。
【００２０】
この第２の金属層は、圧力印加６０の後、１０μｍ〜８０μｍの好ましい厚さを有し、また、１μｍ〜２５０μｍの層も製造可能であり、用途によってはそれも適当である。
【００２１】
図３は、本発明に係る第２のパワー半導体素子１０、ここではパワー・サイリスタを示す。このパワー半導体素子１０の半導体本体は、その第１の主面１０２に第１の接触面２０、ここではカソードを有し、その第２の主面１０４に２つのさらなる接触面２２、２４、すなわち制御入力端子であるゲート２２と、アノード２４とを有する。この構造では、これらの接触面が全て、本発明に従ってさらに構築される。
【００２２】
各接触面２０、２２、２４が、第１の金属材料３０、３２、３４からなる第１の層を有し、ここでは、銀からなる最終部分層と、約５μｍの全体の層厚とを有する様々な材料の部分層を有する。この第１材料３０、３２、３４は、加圧焼結法によって配置される層厚５０μｍの第２の金属材料４０、４２、４４、ここでは同様に銀によって覆われる。
【００２３】
そのように形成されたパワー半導体素子１０は、製造が容易であるという利点を有する（図１および図２を参照のこと）。その一方で、そのようなパワー半導体素子１０は、結合要素（図示せず）とパワー半導体素子１０自体との間に０．２ｍｍ〜４ｍｍの範囲の厚さを有するさらなる金属板が配置されることなく、加圧接触構成で使用することができる。この金属板の役割は、厚い第２の金属層４０、４２、４４によって引き受けられる。
【００２４】
本発明に係るパワー半導体素子１０の利点は、さらなる接続技法との組合せに際しても有利である。特にパワー半導体素子１０と基板との焼結接続の製造に関して、パワー半導体素子１０が、接続のために貴金属表面を有することが必要である。さらに、この貴金属表面が、１０μｍを超える層厚を有すると有利である。そのような層は、上述の方法を用いれば、標準の方法、例えば蒸着法またはスパッタリング法による製造に比べてはるかに容易に、かつ低コストで製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る第１のパワー半導体素子の本発明に係る製造方法の１ステップを示す図である。
【図２】本発明に係る第１のパワー半導体素子の本発明に係る製造方法の１ステップを示す図である。
【図３】本発明に係る第２のパワー半導体素子を示す図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０  パワー半導体素子
１２  後に縁部になる部分
２０、２２、２４  接触面
３０、３２、３４、３６  第１の金属材料
３４  第１の層
３８  シャドウマスク
４０、４２、４４  第２の金属材料
４２  第２の層、ペースト状の層
５０  箔
６０  圧力印加
１０２、１０４  主面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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