(57)【要約】【課題】例えば搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容する荷の入出庫が行われる保管庫において、効率良く荷を出入庫する。【解決手段】保管庫（１０）は、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷（３）を出し入れ可能な出入口が、複数段の各々に且つ軌道（１）に沿って一列に並ぶように、軌道に沿った一側面に設けられている本体部と、本体部内に、複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、荷を夫々収容又は載置可能であると共に相互間で荷を水平移動可能に夫々構成されている複数の載置部（２１）と、本体部の外側において出入口に隣接する位置に夫々配置された複数の入出庫ポート（１１）と、複数段の各々において、出入口に隣接する一の載置部と入出庫ポートとの間で出入口を介して荷を水平移動可能な外内移動手段（１２）とを備える。【選択図】図１
2009173414.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に沿って走行し、荷を搬送可能であると共に前記荷を昇降可能である搬送車との間で、前記荷の出入庫が行われる保管庫であって、
内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段の各々に且つ前記軌道側から平面的に見ると前記軌道に沿って一列又は一筋に並ぶように、前記軌道に沿った一側面に設けられている本体部と、
該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能であると共に相互間で前記荷を水平移動可能に夫々構成されている複数の載置部と、
前記本体部の外側において前記出入口に隣接する位置に夫々配置された複数の入出庫ポートと、
前記複数段の各々において、前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と前記入出庫ポートとの間で前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段と
を備えることを特徴とする保管庫。
【請求項２】
軌道に沿って走行し、荷を搬送可能であると共に前記荷を昇降可能である搬送車との間で、前記荷の出入庫が行われる保管庫であって、
内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段の各々に且つ前記軌道側から平面的に見ると前記軌道に沿って一列又は一筋に並ぶように、前記軌道に沿った一側面に設けられている本体部と、
該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能な複数の載置部と、
前記本体部内で、前記複数段の各々における前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能な内部移動手段と、
前記本体部の外側において前記出入口に隣接する位置に夫々配置された複数の入出庫ポートと、
前記複数段の各々において、前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と前記入出庫ポートとの間で前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段と
を備えることを特徴とする保管庫。
【請求項３】
前記本体部には、前記出入口の高さが前記軌道に沿って前記複数段の各段の高さに応じて段階的に単調増加又は単調減少するように、前記出入口が夫々設けられており、
前記複数の入出庫ポートは、前記出入口の高さに応じて階段状に設けられている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の保管庫。
【請求項４】
前記複数の載置部は少なくとも部分的に、前記荷を水平移動させるコンベアを有することを特徴とする請求項１に記載の保管庫。
【請求項５】
前記複数の載置部は少なくとも部分的に、前記コンベアを水平面内で回転可能な回転機構を更に有することを特徴とする請求項４に記載の保管庫。
【請求項６】
前記内部移動手段は、少なくとも部分的に前記載置部毎に分断されており、前記荷を水平移動させるコンベアを有することを特徴とする請求項２に記載の保管庫。
【請求項７】
前記内部移動手段は、前記複数の載置部の少なくとも一部について、前記コンベアにおける前記載置部毎に分断された部分を水平面内で回転可能な回転機構を更に有することを特徴とする請求項６に記載の保管庫。
【請求項８】
前記複数の載置部は少なくとも部分的に
前記荷をその底面から支持可能な載置面と、
前記載置面を水平面内で回転可能な回転機構と
を備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の保管庫。
【請求項９】
軌道に沿って走行し、荷を搬送可能であると共に前記荷を昇降可能である搬送車との間で、前記荷の出入庫が夫々行われる複数の保管庫要素が鉛直方向に積み重ねられてなる保管庫であって、
前記複数の保管庫要素は夫々、
前記軌道側から平面的に見ると前記軌道に沿って一列又は一筋に並ぶ位置に、前記荷を出し入れ可能な出入口が設けられた平板状本体部と、
該平板状本体部内において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能であると共に相互間で前記荷を水平移動可能に夫々構成されている複数の載置部と、
前記平板状本体部の外側において前記出入口に隣接する位置に配置された入出庫ポートと、
前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と前記入出庫ポートとの間で前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段と
を備えることを特徴とする保管庫。
【請求項１０】
軌道に沿って走行し、荷を搬送可能であると共に前記荷を昇降可能である搬送車との間で、前記荷の出入庫が夫々行われる複数の保管庫要素が鉛直方向に積み重ねられてなる保管庫であって、
前記複数の保管庫要素は夫々、
前記軌道側から平面的に見ると前記軌道に沿って一列又は一筋に並ぶ位置に、前記荷を出し入れ可能な出入口が設けられた平板状本体部と、
該平板状本体部内において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能である複数の載置部と、
前記平板状本体部内で、前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能な内部移動手段と、
前記平板状本体部の外側において前記出入口に隣接する位置に配置された入出庫ポートと、
前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と前記入出庫ポートとの間で前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段と
を備えることを特徴とする保管庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばビークル等の搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）等の荷の入出庫が行われる保管庫の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の保管庫は、例えば複数の棚、並びに搬入ポート及び搬出ポートを備え、これら搬入ポート及び搬出ポートを介して、複数の棚に載置される或いは載置されているカセットの出入庫を行う（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０４９４５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１の保管庫によれば、搬入ポートや搬出ポート等の入出庫ポートが２つしか備えられておらず、搬送効率が低いという技術的課題がある。
【０００５】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、効率良くカセット等の荷を出入庫することを可能ならしめる保管庫を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１保管庫は上記課題を解決するために、軌道に沿って走行し、荷を搬送可能であると共に前記荷を昇降可能である搬送車との間で、前記荷の出入庫が行われる保管庫であって、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段の各々に且つ前記軌道側から平面的に見ると前記軌道に沿って一列又は一筋に並ぶように、前記軌道に沿った一側面に設けられている本体部と、該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能であると共に相互間で前記荷を水平移動可能に夫々構成されている複数の載置部と、前記本体部の外側において前記出入口に隣接する位置に夫々配置された複数の入出庫ポートと、前記複数段の各々において、前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と前記入出庫ポートとの間で前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段とを備える。
【０００７】
本発明の第１保管庫によれば、当該保管庫において、例えばビークル等の搬送車との間で、例えばＦＯＵＰ等の荷の出入庫が行われる。該搬送車は、例えばホイスト機構等の昇降手段を有し、荷を昇降可能である。該昇降手段は、例えばグリッパ等の保持手段を備える。搬送車は、軌道に沿って走行し、該保持手段により保持された荷を、昇降手段により昇降させることで、例えば半導体素子製造用の製造装置やストッカ等へ搬送する。
【０００８】
本発明の第１保管庫は特に、例えば比較的背の低い製造装置等の処理装置の上方に配置される。但し、該処理装置と軌道との間には、当該保管庫に対応する（即ち、当該保管庫を配置するための）空間が必要である。本発明は、例えば処理装置の上方で、本来利用されない空間を有効利用可能な保管庫でもある。
【０００９】
本発明の第１保管庫は、本体部と、複数の載置部と、複数の入出庫ポートと、外内移動手段とを備える。本体部は、内部が複数段に分断されている。ここで「複数段」は、例えば該内部の高さ、実際には、上述の処理装置の上方の空間における上下方向の長さに対応しており、「複数段」の間隔は、例えば荷の高さよりも大きく設定されている。該複数段の各々には、荷を出し入れ可能な出入口が、軌道に沿った一側面に設けられている。該出入口は、具体的には、例えば当該保管庫の上方に敷設された軌道側から平面的に見ると、軌道に沿って一列又は一筋に並ぶように設けられている。ここで「軌道に沿って一列又は一筋に並ぶように」は、例えば各段における出入口が、軌道に平行して設けられると共に、鉛直方向で夫々重ならないことを示す。本体部の外側において、出入口に隣接する位置には、複数の入出庫ポートが夫々配置されている。
【００１０】
複数の載置部は、各段において、例えば軌道に平行な水平一方向と、軌道に直交する水平一方向との二方向に広がる範囲に配列されている。各載置部は、荷を収容又は載置可能であると共に、相互間で荷を水平移動可能に構成されている。ここで「水平移動可能」とするための手段として、各載置部は、例えば複数のローラからなるローラコンベアや、ベルトコンベア等を備える。
【００１１】
外内移動手段は、各段において、複数の載置部のうち出入口に隣接する一の載置部と、入出庫ポートとの間で出入口を介して荷を水平移動可能である。ここで「水平移動可能」とするための手段として、外内移動手段は、例えば搬送車から荷が移載される移載面を回動させる機構、スライドさせる機構、荷を該移載面と一の載置部との間で移載可能なロボットアーム、又は載置部と同じ若しくは異なるコンベア等を備える。
【００１２】
このような本発明の第１保管庫において、入庫時には、例えば荷が搬送車から一の入出庫ポートへ移載（入庫）される。この後、外内移動手段により、荷が該入出庫ポートから、同段における一の載置部へ移載される。すると、該一の載置部から、同段における所望の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。出庫時には、例えば出庫すべき荷が所望の載置部から、同段における一の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。すると、外内移動手段により、荷が該一の載置部から同段における入出庫ポートへ移載される。この後、荷が該入出庫ポートから搬送車へ移載（出庫）される。このような出入庫動作は、一時期に、一の入出庫ポート及びこれに対応する一の段のみで実行されるものではなく、複数の入出庫ポート及びこれらに対応する複数段でも並行して実行可能である。尚、複数段は分断されているので、保管庫内では、同一段における複数の載置部間で、荷の移動が行われることになる。
【００１３】
以上のように、複数段の各々に入出庫ポートを配置して、入出庫ポートの数を増加させると共に、複数段の各々で保管庫内搬送を独立して行うので、複数の搬送車との間で複数の荷を同時に出入庫することができる。また、相互間で荷を水平移動可能な複数の載置部を構成することで、保管庫内搬送の搬送時間を短縮することができる。これらの出入庫動作の並行、及び保管庫内搬送時間の短縮により、荷の出入庫効率を向上させることができる。加えて、段数を調整することで、軌道下の空きスペースの高さに合わせた保管庫を構築することも可能となり、実践上大変有利である。
【００１４】
本発明の第２保管庫は上記課題を解決するために、軌道に沿って走行し、荷を搬送可能であると共に前記荷を昇降可能である搬送車との間で、前記荷の出入庫が行われる保管庫であって、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段の各々に且つ前記軌道側から平面的に見ると前記軌道に沿って一列又は一筋に並ぶように、前記軌道に沿った一側面に設けられている本体部と、該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能な複数の載置部と、前記本体部内で、前記複数段の各々における前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能な内部移動手段と、前記本体部の外側において前記出入口に隣接する位置に夫々配置された複数の入出庫ポートと、前記複数段の各々において、前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と前記入出庫ポートとの間で前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段とを備える。
【００１５】
本発明の第２保管庫は、本発明の第１保管庫と同様に、本体部と、複数の入出庫ポートと、外内移動手段とを備えるが、第１保管庫の場合と機能が一部異なる複数の載置部と、更に内部移動手段とを備える。
【００１６】
本発明の第２保管庫における複数の載置部は、各段において、例えば軌道に平行な水平一方向と、軌道に直交する水平一方向との二方向に広がる範囲に配列されている。各載置部は、単に荷を収容又は載置可能である。
【００１７】
内部移動手段は、各段における複数の載置部間で荷を水平移動可能である。内部移動手段は、具体的には、例えば荷を載置部に代わってその底側から支持する支持部と、該支持部を水平移動させるロボットアーム等の移動機構とを備える。或いは、ローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベア機構により、載置部間で荷を移動する機構を備えてもよい。内部移動手段は、例えばこれらの機構により、複数の載置部間で支持部を水平移動させることで、荷を水平移動可能である。
【００１８】
このような本発明の第２保管庫において、入庫時には、例えば荷が搬送車から一の入出庫ポートへ移載（入庫）される。この後、外内移動手段により、荷が該入出庫ポートから、同段における一の載置部へ移載される。すると、内部移動手段により、該一の載置部から、同段における所望の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。出庫時には、例えば内部移動手段により、出庫すべき荷が所望の載置部から、同段における一の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。すると、外内移動手段により、荷が該一の載置部から同段における入出庫ポートへ移載される。この後、荷が該入出庫ポートから搬送車へ移載（出庫）される。このような出入庫動作は、一時期に、一の入出庫ポート及びこれに対応する一の段のみで実行されるものではなく、複数の入出庫ポート及びこれらに対応する複数段でも並行して実行可能である。
【００１９】
以上のように、複数段の各々に入出庫ポートを配置して、入出庫ポートの数を増加させると共に、複数段の各々で保管庫内搬送を独立して行うので、複数の搬送車との間で複数の荷を同時に出入庫することができる。よって、荷の出入庫効率を向上させることができる。
【００２０】
本発明の第１保管庫及び第２保管庫の一態様では、前記本体部には、前記出入口の高さが前記軌道に沿って前記複数段の各段の高さに応じて段階的に単調増加又は単調減少するように、前記出入口が夫々設けられており、前記複数の入出庫ポートは、前記出入口の高さに応じて階段状に設けられている。
【００２１】
この態様によれば、例えば出入口が軌道に沿った一側面側から見て四角形である場合に、「出入口の高さ」は、例えば当該保管庫の接地面から、該四角形の下辺までの高さとする。この場合、出入口の高さは、軌道に沿って段階的に単調増加又は単調減少する。但し「段階的に」は、各段の高さに対応している。このような出入口の高さに対応して、複数の入出庫ポートが階段状に設けられている。これにより、当該保管庫における複数の入出庫ポートとの間で出入庫が行われる搬送車は、昇降手段により、荷を軌道に沿って単調上昇又は単調下降させるので、荷の出入庫に伴う昇降動作に無駄が生じない。従って、荷の出入庫効率をより向上させることができる。
【００２２】
本発明の第１保管庫の他の態様では、前記複数の載置部は少なくとも部分的に、前記荷を水平移動させるコンベアを有する。
【００２３】
この態様によれば、各載置部は少なくとも部分的に、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベアを有する。コンベアは、具体的には、各載置部において、例えば荷が収容又は載置される載置面の一部を構成している。コンベアは、例えば複数のローラや、輪状の搬送帯を前後の車輪に取り付けた回動機構等を有し、これら複数のローラや回動機構等が回動する方向（以下、「回動方向」と言う）へ荷を水平移動させる。例えばこのようなコンベアを有する複数の載置部のうち、一の載置部及び二の載置部が回動方向に隣り合って配置される場合に、一の載置部におけるコンベアが回動されると、その回動方向へ一の載置部上の荷が移動される。移動された荷は、二の載置部上に収容又は載置される。このように各載置部を構成することで、各段において、複数の荷を同時に移動可能であり、保管庫内搬送の搬送時間を短縮することができる。尚、複数の載置部間には、例えば荷の長さに満たない溝が在ってもいいし、一切無くてもよい。
【００２４】
この態様では、前記複数の載置部は少なくとも部分的に、前記コンベアを水平面内で回転可能な回転機構を更に有してもよい。
【００２５】
このように構成すれば、各載置部は少なくとも部分的に、回転機構を有する。回転機構は、例えばターンテーブル等を有し、コンベアを水平面内で９０度回転可能である。例えばこのような回転機構を有する複数の載置部のうち、一の載置部が本体部内部の四隅のうちの一隅に配置され、二の載置部が一の載置部に隣接する端部に配置される場合に、一の載置部におけるコンベアが水平面内で９０度回転されるのに伴って、一の載置部上の荷が水平面内で９０度回転され、該荷の移動方向が二の載置部側へ向けられる。この後、該コンベアが水平面内で回動され、その回動方向へ一の載置上の荷が移動される。移動された荷は、二の載置部上に収容又は載置される。このように各載置部を構成することで、荷を各段における四隅や端部へ収容又は載置可能であると共に、最短経路で所定の載置部へ移動可能である。これにより、本体部内部に最大限の荷を収容又は載置することができると共に、収容又は載置された荷を最短時間で保管庫内搬送することができる。
【００２６】
本発明の第２保管庫の他の態様では、前記内部移動手段は、少なくとも部分的に前記載置部毎に分断されており、前記荷を水平移動させるコンベアを有する。
【００２７】
この態様によれば、内部移動手段は、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベアを有する。コンベアは、少なくとも部分的に載置部毎に分断されている。該分断されたコンベア部分の各々は、例えば複数のローラや、輪状の搬送帯を前後の車輪に取り付けた回動機構等を有する。内部移動手段は、例えばコンベア部分毎の制御を行って、複数のローラや回動機構等が回動する方向（以下、「回動方向」と言う）へ荷を水平移動させる。例えばコンベアのうち、一の載置部に一のコンベア部分が対応し、一の載置部に隣接する二の載置部に二のコンベア部分が対応している場合に、一のコンベア部分が回動されると、その回動方向へ一の載置部上の荷が移動される。移動された荷は、二の載置部上に収容又は載置される。更に、二の載置部上の荷を移動させるには、二のコンベア部分が回動される。このようなコンベアにより、各段において、複数の荷を同時に移動可能であり、保管庫内搬送の搬送時間を短縮することができる。尚、分断されたコンベア部分間には、例えば荷の長さに満たない溝が在ってもいいし、一切無くてもよい。
【００２８】
この態様では、前記内部移動手段は、前記複数の載置部の少なくとも一部について、前記コンベアにおける前記載置部毎に分断された部分を水平面内で回転可能な回転機構を更に有してもよい。
【００２９】
このように構成すれば、内部移動手段は、複数の載置部の少なくとも一部について、回転機構を有する。回転機構は、例えばターンテーブル等を有し、分断されたコンベア部分を水平面内で９０度回転可能である。例えばこのような回転機構を有する一のコンベア部分が、本体部内部の四隅のうちの一隅に配置された一の載置部に対応し、一の載置部に隣接する端部に配置される二の載置部に二のコンベア部分が対応している場合に、一のコンベア部分が水平面内で９０度回転されるのに伴って、一の載置部上の荷が水平面内で９０度回転され、該荷の移動方向が二の載置部側へ向けられる。この後、一のコンベア部分が水平面内で回動され、その回動方向へ一の載置上の荷が移動される。移動された荷は、二の載置部上に収容又は載置される。このようなコンベアにより、荷を各段における四隅や端部へ収容又は載置可能であると共に、最短経路で所定の載置部へ移動可能である。これにより、本体部内部に最大限の荷を収容又は載置することができると共に、収容又は載置された荷を最短時間で保管庫内搬送することができる。
【００３０】
本発明の第１又は第２保管庫の他の態様では、前記複数の載置部は少なくとも部分的に前記荷をその底面から支持可能な載置面と、前記載置面を水平面内で回転可能な回転機構とを備える。
【００３１】
この態様によれば、各載置部は少なくとも部分的に、載置面と、回転機構とを備える。ここで「載置面」は、例えば複数のローラや、輪状の搬送帯を前後の車輪に取り付けた回動機構等から構成され、荷をその底面から支持可能である。「回転機構」は、例えばターンテーブル等であり、載置面を水平面内で回転可能である。これにより、荷を各段における四隅や端部へ収容又は載置するので、本体部内部に最大限の荷を収容又は載置することができる。
【００３２】
本発明の第３保管庫は上記課題を解決するために、軌道に沿って走行し、荷を搬送可能であると共に前記荷を昇降可能である搬送車との間で、前記荷の出入庫が夫々行われる複数の保管庫要素が鉛直方向に積み重ねられてなる保管庫であって、前記複数の保管庫要素は夫々、前記軌道側から平面的に見ると前記軌道に沿って一列又は一筋に並ぶ位置に、前記荷を出し入れ可能な出入口が設けられた平板状本体部と、該平板状本体部内において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能であると共に相互間で前記荷を水平移動可能に夫々構成されている複数の載置部と、前記平板状本体部の外側において前記出入口に隣接する位置に配置された入出庫ポートと、前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と前記入出庫ポートとの間で前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段とを備える。
【００３３】
本発明の第３保管庫によれば、上述した本発明に係る第１保管庫の各段に対応する保管庫要素を、鉛直方向に積み重ねることで、上述した本発明に係る第１保管庫を構築することが可能となる。この際特に、複数の保管庫要素を積み重ねる総数を調整することで、軌道下の空きスペースの高さに合わせた保管庫を構築でき、実践上大変有利である。
【００３４】
本発明の第４保管庫は上記課題を解決するために、軌道に沿って走行し、荷を搬送可能であると共に前記荷を昇降可能である搬送車との間で、前記荷の出入庫が夫々行われる複数の保管庫要素が鉛直方向に積み重ねられてなる保管庫であって、前記複数の保管庫要素は夫々、前記軌道側から平面的に見ると前記軌道に沿って一列又は一筋に並ぶ位置に、前記荷を出し入れ可能な出入口が設けられた平板状本体部と、該平板状本体部内において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能である複数の載置部と、前記平板状本体部内で、前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能な内部移動手段と、前記平板状本体部の外側において前記出入口に隣接する位置に配置された入出庫ポートと、前記複数の載置部のうち前記出入口に隣接する一の載置部と前記入出庫ポートとの間で前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段とを備える。
【００３５】
本発明の第４保管庫によれば、上述した本発明に係る第２保管庫の各段に対応する保管庫要素を、鉛直方向に積み重ねることで、上述した本発明に係る第２保管庫を構築することが可能となる。この際特に、複数の保管庫要素を積み重ねる総数を調整することで、軌道下の空きスペースの高さに合わせた保管庫を構築でき、実践上大変有利である。
【００３６】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３８】
先ず、実施形態に係る搬送装置の構成について図１から図３を参照して説明する。ここに図１は、実施形態に係る保管庫を備える搬送装置の外観を示す斜視図であり、図２は、図１の保管庫の正面を図式的に示す正面図であり、図３は、図１の保管庫を上面側から視た上面図を示す。
【００３９】
図１において、搬送装置１００は、搬送車２とストッカ１０との間でＦＯＵＰ３の出入庫を行う。搬送車２は、リニアモータにより駆動されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）（天井走行車）であり、軌道１に沿って走行し、ＦＯＵＰ３をストッカ１０へ搬送する。搬送車２は、ホイスト機構２ａを有し、ＦＯＵＰ３を保持可能であると共に、保持しているＦＯＵＰ３を昇降可能である。
【００４０】
ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「荷」の一例として、内部に、不図示の各種基板を複数収納可能である。ＦＯＵＰ３は、上面に、ホイスト機構２ａにより保持される鍔部４を有し、底面に、後述の位置決めピン１１ａに係合される不図示の凹部を有する。
【００４１】
ストッカ１０は、本体部１０ａと、保管庫内搬送部２０と、入出庫ポート１１と、スライド機構１２とを備える。
【００４２】
本体部１０ａは、４つの段Ｆ１〜Ｆ４に同等に分断されており、各段において、軌道１に沿った側面（即ち、図１における前面）に開口Ｈ１を設けている。図２において、各開口Ｈ１は、本発明に係る「出入口」の一例として、ＦＯＵＰ３を本体部１０ａの外内に出し入れ可能なサイズに形成されている。４つの開口Ｈ１の高さは、同一である４つの段Ｆ１〜Ｆ４の高さに対応して、段階的に低くなっている。図３において、４つの開口Ｈ１は、軌道１（即ち、図３における一点鎖線Ｇ１）に沿って一列に並んでいる。
【００４３】
図２に示すように、４つの入出庫ポート１１は、開口Ｈ１の高さに対応して、階段状に設けられている。図３に示すように、４つの入出庫ポート１１は、本体部１０ａの外側において、４つの開口Ｈ１に隣接する位置に夫々配置されている。各入出庫ポート１１は、中央部に、搬送車２からＦＯＵＰ３が移載される移載面１３を設定している。移載面１３には、位置決めピン１１ａが取り付けられている。位置決めピン１１ａは、出入庫されるＦＯＵＰ３の凹部に係合される。
【００４４】
保管庫内搬送部２０は、本体部１０ａ内に、複数の載置部２１を備えており、複数の載置部２１を総括的に制御して、各段Ｆ１〜Ｆ４において、複数のＦＯＵＰ３を搬送する。
【００４５】
図３において、スライド機構１２は、本発明に係る「外内移動手段」の一例として、各段Ｆ１〜Ｆ４における、入出庫ポート１１と、開口Ｈ１に隣接する第１載置部２１ａとの間で、ＦＯＵＰ３を水平移動する。第１載置部２１ａは、本発明に係る「一の載置部」の一例であり、各段Ｆ１〜Ｆ４における複数の載置部２１のうちの一つである。
【００４６】
スライド機構１２は、不図示の２つのローラと、アクチュエータと、輪状の回動帯とを有する。２つのローラを取り巻くように取り付けられた輪状の回動帯の一部は、移載面１３として機能する。具体的には、ＦＯＵＰ３を入出庫ポート１１から第１載置部２１ａへ移動させる場合に、アクチュエータは、２つのローラを所定角度右回転させる。この回動に伴って、回動帯が所定距離右回動されると、移載面１３として機能する回動帯部分が、開口Ｈ１側の溝（即ち、図３における矢印Ｄ２が示す箇所）に順に引き込まれ、入出庫ポート１１の下方へ配置される。これにより、移載面１３（即ち、入出庫ポート１１）上のＦＯＵＰ３が開口Ｈ１を介して第１載置部２１ａへ水平移動され、第１載置部２１ａに収容又は載置される。また、ＦＯＵＰ３を第１載置部２１ａから入出庫ポート１１へ移動させる場合に、アクチュエータは、第１載置部２１ａからのＦＯＵＰ３の移動に併せて、２つのローラを所定角度左回転させる。この回動に伴って、回動帯が所定距離左回動されると、移載面１３として機能する回動帯部分が、開口Ｈ１側の溝（即ち、図３における矢印Ｄ２が示す箇所）から順に引き出され、入出庫ポート１１の上面中央部へ配置される。これにより、第１載置部２１ａからのＦＯＵＰ３が開口Ｈ１を介して移載面１３（即ち、入出庫ポート１１）へ水平移動され、入出庫ポート１１に載置される。この載置状態として、ＦＯＵＰ３の凹部が移載面１３の位置決めピン１１ａに係合されている。
【００４７】
次に、保管庫内搬送部２０の構成について図４及び図５を参照して詳しく説明する。図４は、実施形態に係る複数の載置部の配列を示す断面図であり、図５は、図４の複数の載置部の回転後の状態を示す断面図である。図４及び図５は、具体的には、図２におけるＡ１−Ａ１断面に相当しており、ストッカ１０の最上段Ｆ１に配列される８つの載置部２１を示している。
【００４８】
図４において、保管庫内搬送部２０は、複数の載置部２１により、ＦＯＵＰ３を搬送方向Ｄ３へ水平移動させることで、各階Ｆ１〜Ｆ４において独立して保管庫内搬送を行う。載置部２１は、各階Ｆ１〜Ｆ４において、水平二方向（即ち、図４における左右方向及び上下方向）に広がるように、８つ配列されている。８つの載置部２１は、本体部１０ａ内の四隅に配置されている、第１載置部２１ａを含む４つの回転載置部２１ａ〜２１ｄと、これら回転載置部２１ａ〜２１ｄより他の４つの無回転載置部２１ｅ〜２１ｈとから構成される。
【００４９】
８つの載置部２１の各々は、ローラ２３と、不図示のアクチュエータとを有し、８つの載置部２１間でＦＯＵＰ３を水平移動させる。ローラ２３は、本発明に係る「コンベア」の一例であり、アクチュエータにより回転される。各ローラ２３の上面は、ＦＯＵＰ３が収容又は載置される載置面として機能する。ＦＯＵＰ３の水平移動について、具体的には、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｆに収容又は載置されている場合に、載置部２１ｆにおけるローラ２３が右回転されると、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｆの右隣りの載置部２１ｃへ水平移動される。但し、この際に、載置部２１ｃは、図４に示した状態にある。また、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｆに収容又は載置されている場合に、載置部２１ｆにおけるローラ２３が左回転されると、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｆの左隣りの載置部２１ｅへ水平移動される。尚、各載置部２１は、ローラ２３の回転によるローラコンベア式移動を行うが、その他に、ベルト等の回動によるベルトコンベア式移動を行ってもよい。
【００５０】
４つの回転載置部２１ａ〜２１ｄの各々は更に、ターンテーブル２４と、不図示のアクチュエータとを有し、ＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢を９０度回転させる。ターンテーブル２４は、本発明に係る「回転機構」の一例として、ローラ２３の下方に配置されており、ローラ２３における不図示の軸受けに接続されている。ターンテーブル２４は、アクチュエータにより水平面内で９０度回転され、ローラ２３を水平面内で９０度回転させる。ＦＯＵＰ３の回転について、具体的には、図４の状態にある４つの回転載置部２１ａ〜２１ｄにおいて、ターンテーブル２４が９０度右回転されると、図５に示すように、ローラ２３が一体となって９０度右回転される。この回転により、回転載置部２１ａ〜２１ｄに収容又は載置されているＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢が９０度右回転される。また、ターンテーブル２４が９０度左回転されると、図５に示すように、ローラ２３が一体となって９０度左回転される。この回転により、回転載置部２１ａ〜２１ｄに収容又は載置されているＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢が９０度左回転される。
（保管庫の出入庫動作）
【００５１】
次に、本実施形態に係る保管庫の出入庫動作ついて引き続き図１及び図４を参照して説明する。
【００５２】
図１において、先ず、ＦＯＵＰ３を保持している搬送車２が所定の走行方向（例えば、図１における左方から右方）へ走行され、入庫対象である最上段Ｆ１における入出庫ポート１１に対応する位置で停止される。すると、ホイスト機構２ａにより、保持しているＦＯＵＰ３が下降され、入出庫ポート１１における移載面１３に移載（即ち、入庫）される。この際、位置決めピン１１ａがＦＯＵＰ３の凹部に係合される。
【００５３】
ＦＯＵＰ３が入庫されると、スライド機構１２により、移載面１３が回動され、移載面１３上のＦＯＵＰ３が開口Ｈ１を介して第１載置部２１ａに載置される。この後、保管庫内搬送部２０により、第１載置部２１ａ上のＦＯＵＰ３が、所望の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。
【００５４】
図４において、第１載置部２１ａから最も遠い載置部である回転載置部２１ｃを、所望の載置部とする。この場合、保管庫内搬送部２０により、ＦＯＵＰ３の収納又は載置状況等に基づいて、第１載置部２１ａから回転載置部２１ｃまでの搬送経路が設定される。設定された搬送経路が、第１載置部２１ａから、回転載置部２１ｂ、無回転載置部２１ｅ及び無回転載置部２１ｆを介して回転載置部２１ｃに達する経路である場合に、これらの載置部２１ａ，２１ｂ，２１ｅ，２１ｆの各々におけるローラ２３が、回転載置部２１ｃから遠い順に回転される。但し、回転載置部２１ｂ及び回転載置部２１ｃの各々において、第１載置部２１ａ又は無回転載置部２１ｆからＦＯＵＰ３が移動されるよりも前に、ＦＯＵＰ３の移動方向と、ローラ２３の回転方向とが一致するように、ターンテーブル２４によりローラ２３が一体に水平面内で９０度回転される。更に、回転載置部２１ｂにおけるローラ２３が回転されるよりも前に、ＦＯＵＰ３における移動方向の前面が、搬送経路の下流にある無回転載置部２１ｅ側へ向けられるように、ターンテーブル２４によりローラ２３が一体に水平面内で９０度回転され、ＦＯＵＰ３の姿勢が水平面内で９０度回転される。これにより、入庫されたＦＯＵＰ３が所望の載置部２１ｃへ移動され、所望の載置部２１ｃに所定姿勢で収納又は載置される。
【００５５】
この後、所望の載置部２１ｃ上のＦＯＵＰ３を出庫するには、先ず入庫時と同様にして、保管庫内搬送部２０により、ＦＯＵＰ３の収納又は載置状況等に基づいて、回転載置部２１ｃから第１載置部２１ａまでの搬送経路が設定される。設定された搬送経路が、回転載置部２１ｃから、回転載置部２１ｄ、無回転載置部２１ｇ及び無回転載置部２１ｈを介して第１載置部２１ａに達する経路である場合に、これらの載置部２１ｃ，２１ｄ，２１ｇ，２１ｈの各々におけるローラ２３が、第１載置部２１ａから遠い順に回転される。但し、回転載置部２１ｄ及び第１載置部２１ａの各々において、回転載置部２１ｃ又は無回転載置部２１ｈからＦＯＵＰ３が移動されるよりも前に、ＦＯＵＰ３の移動方向と、ローラ２３の回転方向とが一致するように、ターンテーブル２４によりローラ２３が一体に９０度回転される。更に、回転載置部２１ｄ及び第１載置部２１ａの各々におけるローラ２３が回転されるよりも前に、ＦＯＵＰ３における移動方向の前面が、搬送経路の下流にある無回転載置部２１ｇ又は入出庫ポート１１側へ向けられるように、ターンテーブル２４によりローラ２３が一体に９０度回転され、ＦＯＵＰ３の姿勢が９０度回転される。これにより、入庫されたＦＯＵＰ３が第１載置部２１ａへ移動され、第１載置部２１ａに所定姿勢で収納又は載置される。
【００５６】
この後、第１載置部２１ａにおけるローラ２３が入出庫ポート１１側へ回転され、第１載置面２１ａ上のＦＯＵＰ３が入出庫ポート１１における移載面１３に移動される。この際、第１載置部２１ａにおけるローラ２３の回転に同期して、スライド機構１２により移載面１３が回動され、第１載置部２１ａからのＦＯＵＰ３の凹部が位置決めピン１１ａに係合される。移載面１３上のＦＯＵＰ３は、入出庫ポート１１に対応する位置に停止された搬送車２のホイスト機構２ａにより保持された後に上昇される。これにより、ＦＯＵＰ３がストッカ１０から搬送車２へ移載（即ち、出庫）される。
【００５７】
このように、本実施形態のストッカ１０によれば、複数段Ｆ１〜Ｆ４の各々に入出庫ポート１１を配置して、入出庫ポート１１の数を増加させると共に、複数段Ｆ１〜Ｆ４の各々で保管庫内搬送を独立して行うので、複数の搬送車２との間で複数のＦＯＵＰ３を同時に出入庫することができる。また、相互間でＦＯＵＰ３を水平移動可能な複数の載置部２１を構成することで、保管庫内搬送の搬送時間を短縮することができる。これらの出入庫動作の並行、及び保管庫内搬送時間の短縮により、ＦＯＵＰ３の出入庫効率を向上させることができる。
【００５８】
尚、本実施形態では、四隅に配置されている４つの回転載置部２１ａ〜２１ｄが、ターンテーブル２４を備えるが、８つの全ての載置部２１がターンテーブル２４を備えてもよい。
【００５９】
図６は、保管庫内搬送部１２０が備える複数の載置部１２１の配列を示す断面図である。図６において、保管庫内搬送部１２０は、ターンテーブル１２４を有する８つの載置部１２１を備える。図４に示される無回転載置部２１ｅ〜２１ｈが１方向へのみＦＯＵＰ３を移動するのに対し、これら無回転載置部２１ｅ〜２１ｈに対応する載置部１２１ｅ〜１２１ｈは、ターンテーブル１２４による回転の前後で２方向へＦＯＵＰ３を移動することができる。保管庫内搬送部１２０は、例えば開口Ｈ２に隣接する第１載置部１２１ａから所望の載置部１２１ｇへＦＯＵＰ３を移動する。この際、第１載置部１２１ａと所望の載置部１２１ｇとの間にある載置部１２１ｈに、既に他のＦＯＵＰ３が載置されている場合に、最短の搬送経路として、矢印Ｄ４が示す搬送経路を設定する。設定された搬送経路は、第１載置部１２１ａから、載置部１２１ｂ、載置部１２１ｅ及び載置部１２１ｆを介して所望の載置部１２１ｇに達する経路であり、保管庫内搬送の搬送時間をより短縮することができる。
【００６０】
尚、本実施形態では、複数の載置部２１の各々が同じ面積を有しており、１つの載置部２１に１つのＦＯＵＰ３を収納又は載置可能であるが、複数の回転載置部２１ａ〜２１ｄの間に配置されている複数の無回転載置部２１ｅ〜２１ｈのうちの少なくとも２つを併せて、該面積が増大された１つの載置部を構成してもよい。
【００６１】
図７は、保管庫内搬送部２２０が備える複数の載置部２２１の配列を示す断面図である。図７において、保管庫内搬送部２２０は、８つのローラ２２３を有する２つの載置部２２１ｅ，２２１ｆを備える。図４に示される無回転載置部２１ｅ〜２１ｈが１つのＦＯＵＰ３を収容又は載置するのに対し、これら無回転載置部２１ｅ〜２１ｈに対応する載置部２２１ｅ，２２１ｆは、最大３つのＦＯＵＰ３を収容又は載置することができる。保管庫内搬送部２２０は、例えば第１載置部２２１ａから所望の載置部２２１ｃへＦＯＵＰ３を移動する。この場合に、最短の搬送経路として、矢印Ｄ５が示す搬送経路を設定する。設定された搬送経路は、第１載置部２２１ａから、載置部２２１ｂ及び載置部２２１ｅを介して所望の載置部２２１ｃに達する経路である。ＦＯＵＰ３が載置部２２１ｅを移動する際には、載置部２２１ｅにおける８つのローラ２２３が高速回転され、図４に示される２つの無回転載置部２１ｅ，２１ｆを移動するときよりも移動時間が短縮される。これにより、保管庫内搬送の搬送時間をより短縮することができると共に、本体部２１０ａ内に、より多くのＦＯＵＰ３を収容又は載置することができる。
【００６２】
尚、本実施形態では、外内移動手段としてスライド機構１２を備えるが、スライド機構１２の代わりに、第１載置部２１ａと入出庫ポート１１との間を移動する機構を備えてもよい。
【００６３】
図８は、ストッカ３１０が備える移載機構３３０を示す断面図である。図８において、ストッカ３１０は、第１載置部３２１ａと入出庫ポート１１との間を移動する移載機構３３０を備える。移載機構３３０は、支持板３３１と、不図示の、鉛直移動部と、水平移動部とを有する。支持板３３１は、ＦＯＵＰ３をその底側から支持すると共に、鉛直移動部及び水平移動部により、第１載置部３２１と入出庫ポート１１との間で開口Ｈ４を介して移動される。第１載置部３２１ａに移動された支持板３３１は、図８において点線で示される。第１載置部３２１ａにおける複数のローラ３２３ａは、移動された支持板３３１に接しないように配置されており、その配置及び形態は、他の載置部３２１ｂ〜３２１ｈにおける複数のローラ３２３のものと異なる。また、入出庫ポート１１に移動された支持板３３１は、搬送車２からＦＯＵＰ３が移載される移載面に対応する位置（即ち、図８における実線で示される）にある。移載機構３３０は、支持板３３１を鉛直方向及び水平方向へ移動させることで、図４に示されるスライド機構１２と同様に、第１載置部３２１ａと入出庫ポート１１との間で開口Ｈ４を介してＦＯＵＰ３を水平移動することができる。
【００６４】
尚、本実施形態では、複数の載置部２１が相互間でＦＯＵＰ３を水平移動可能に構成されるが、ＦＯＵＰ３を収容又は載置する複数の載置部とは別に、複数の載置部間でＦＯＵＰ３を水平移動させる内部移動機構を備えてもよい。
【００６５】
図９は、保管庫内搬送部４２０が備える複数の載置部４２１及び内部移動機構４３０を示す断面図である。図９において、載置部４２１は、図４に示される複数の載置部２１と同様に、水平二方向（即ち、図９における左右方向及び上下方向）に広がるように配列された８つの載置部４２１ａ〜４２１ｈから構成されるが、図４の各載置部２１がローラ２３を有するのと異なり、８つの載置部４２１ａ〜４２１ｈの各々は、ＦＯＵＰ３を収容又は載置する棚４２２を有する。この棚４２２は、ＦＯＵＰ３の両端を支持するように、２つの棚部分４２２ａから構成される。
【００６６】
内部移動機構４３０は、本発明に係る「内部移動手段」の一例として、例えば支持板４３１と、支持板スライド部４３２と、移動部４３３と、移動レール４３４とを有し、複数の載置部４２１間でＦＯＵＰ３を持ち上げることで、複数の載置部４２１間でのＦＯＵＰ３の水平移動を可能とする。支持板４３１は、各載置部４２１ａ〜４２１ｈにおける２つ棚部分４２２ａ間に配置可能なサイズに形成されており、水平移動する際に、棚４２２の代わりに、ＦＯＵＰ３（詳細には、ＦＯＵＰ３の中央部）をその底側から支持する。支持板スライド部４３２は、支持板４３１を水平一方向（即ち、図９における上下方向）にスライド可能であり、例えば載置部４２１ｂに配置されている支持板４３１（即ち、図９において実線で示される）を、該載置部４２１ｂの水平一方向（即ち、図９における下方向）に配置されている第１載置部４２１ａへスライド（水平移動）させ、第１載置部４２１ａに配置する（即ち、図９における二点鎖線で示される支持板４３１）。このような支持板スライド部４３２は、移動部４３３の上面に固定されている。移動部４３３は、支持板スライド部４３２のスライド方向と直交する水平一方向（即ち、図９における左右方向）に延びる移動レール４３４に沿って移動することで、支持板スライド部４３２を水平移動させる。この水平移動の際に、移動部４３４は、支持板スライド部４３２を昇降させる。具体的には、例えばいずれかの載置部４２１に収容又は載置されているＦＯＵＰ３を移動する際に、移動部４３４は、支持板４３１の高さが棚４２２よりも高くなるように、支持板スライド部４３２を上昇させる。この上昇により、載置部４２１の代わりに、支持板４３１でＦＯＵＰ３を支持する。また、支持板４３１で支持しているＦＯＵＰ３をいずれかの載置部４２１に収納又は載置する際に、移動部４３４は、支持板４３１の高さが棚４２２よりも低くなるように、支持板スライド部４３２を下降させる。この下降により、支持板４３１が支持しているＦＯＵＰ３をいずれかの載置部４２１へ移載する。
【００６７】
このように、支持板スライド部４３３及び移動部４３４により、支持板４３１が複数の載置部４２１ａ〜４２１ｈ間で水平移動されることで、ＦＯＵＰ３が複数の載置部４２１ａ〜４２１ｈ間で水平移動される。従って、内部移動機構４３０により、本実施形態と同様に、保管庫内搬送の搬送時間を短縮することができる。尚、第１載置部４２１ａと入出庫ポート１１との間でＦＯＵＰ３を水平移動する手段として、ＦＯＵＰ３の上面を保持して移載するロボットアーム等の機構がある。
【００６８】
尚、本実施形態では、例えば図１に示すように、ストッカ１０における上から１段目（即ち、段Ｆ１）の入出庫ポート１１が、軌道１の最も上流にあり、下から１段目（即ち、段Ｆ４）の入出庫ポート１１が、軌道１の最も下流にある。このように、入出庫ポート１１が軌道１に沿って階段状に設けられることで、例えば搬送車２により、ＦＯＵＰ３を１段目の入出庫ポート１１へ移載し、該移載により空荷になった搬送車２により２段目又は２段目よりも下段の入出庫ポート１１からＦＯＵＰ３を取り上げるようにする等、より上段（又は下段）の入出庫ポート１１へＦＯＵＰ３を降ろすと共に、その降ろした状態（即ち、空荷の状態）で、降ろした段より下段（又は、より下段で降ろした場合に、降ろした段より上段）の入出庫ポート１１でＦＯＵＰ３を取り上げる。このような搬送及び運行制御を行えば、限られた搬送車２を利用しての効率的な出入庫が可能となる。
【００６９】
加えて、図１０に示すように、ストッカ１０の各段を相互から独立したストッカ要素１０ｅとして予め構築しておき、これらを所望段数だけ積み重ねて、ストッカ１０を構築することも可能である。ここにストッカ要素１０ｅは、本発明に係る「保管庫要素」の一例である。より具体的には、図１０（ａ）のように、例えば軌道１とその下方に配置される製造装置１０１との間のスペースの高さＬ１が相対的に広い場合には、ストッカ要素１０ｅ（即ち、図１０（ａ）において点線で示される）を４段重ねることで、図１に示したのと同様の４段のストッカ１０を構築できる。或いは、図１０（ｂ）のように、例えば軌道１とその下方に配置される製造装置５０１との間のスペースの高さＬ２が相対的に狭い場合には、ストッカ要素１０ｅ（即ち、図１０（ｂ）において点線で示される）を２段重ねることで、２段の、即ち比較的薄型のストッカ１０を構築できる。いずれの場合にも、ストッカ要素１０ｅを大量生産しておけば、任意の高さのスペースに合った高さのストッカ１０を簡単に構築できるので、実践上大変有利である。
【００７０】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う保管庫もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】実施形態に係る保管庫を備える搬送装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１の保管庫の正面を図式的に示す正面図である。
【図３】図１の保管庫を上面側から視た上面図である。
【図４】実施形態に係る複数の載置部の配列を示す断面図である。
【図５】図４の複数の載置部の回転後の状態を示す断面図である。
【図６】図４の複数の載置部の変形例を示す断面図である。
【図７】図４の複数の載置部の変形例を示す断面図である。
【図８】図４の外内移動手段の変形例を示す断面図である。
【図９】本発明に係る内部移動手段の一例を示す断面図である。
【図１０】本発明に係る複数の保管庫要素からなる保管庫の外観を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７２】
１…軌道、２…搬送車、３…ＦＯＵＰ、１０…ストッカ、１１…入出庫ポート、２１…載置部、１００…搬送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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