(57)【要約】【課題】半導体チップとパッケージ基板の熱膨張係数の差に起因するバンプ電極のダメージを軽減し、接続信頼性の向上が可能な半導体装置を提供する。【解決手段】本発明の半導体装置は、パッケージ基板１１と、パッケージ基板１１の一方の面に搭載された半導体チップ１０と、パッケージ基板１１の他方の面に形成され、配線構造を介して半導体チップ１０と電気的に接続される複数のバンプ電極１２と、パッケージ基板１１の一方の面のうち、半導体チップ１０のコーナー部に近接する所定領域に搭載されるダミーチップ２０を備えて構成される。ダミーチップ２０は、熱膨張係数が半導体チップ１０と同一又は近似する材料を用いて形成されるので、半導体チップ１０のコーナー部の応力集中に起因するダメージが軽減され、接続信頼性が向上する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージ基板と、
前記パッケージ基板の一方の面に搭載される半導体チップと、
前記パッケージ基板の他方の面に形成され、配線構造を介して前記半導体チップと電気的に接続される複数のバンプ電極と、
前記パッケージ基板の前記一方の面のうち、前記半導体チップのコーナー部に近接する所定領域に搭載されるダミーチップと、
を備え、前記ダミーチップは、熱膨張係数が前記半導体チップと同一又は近似する材料を用いて形成されることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記ダミーチップは、前記半導体チップと略同一の厚さに形成されることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記半導体チップの４つの前記コーナー部に近接する４つの領域に搭載される４つの前記ダミーチップを備えることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記ダミーチップは、矩形の隣接する２辺が前記パッケージ基板の矩形の隣接する２辺と重なるように配置されることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記ダミーチップの各々に隣接する領域に搭載される他の前記ダミーチップをさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記半導体チップの矩形の対向する２辺に沿う２つの領域に搭載される２つの前記ダミーチップを備えることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記ダミーチップには、前記半導体チップのパッドを前記バンプ電極に接続するための配線構造の一部が形成されることを特徴とする請求項６に記載の半導体装置。
【請求項８】
配線構造が形成されたパッケージ基板と、所定の電子回路が構成された半導体チップを含む半導体装置の製造方法であって、
前記パッケージ基板の一方の面において、中央領域に半導体チップを搭載するとともに、当該半導体チップのコーナー部に近接する所定領域に、前記半導体チップと熱膨張係数が同一又は近似する材料を用いて形成されたダミーチップを搭載し、前記半導体チップの他方の面において、前記配線構造を介して前記半導体チップと接続される複数のバンプ電極を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記パッケージ基板に対応する複数の製品形成領域が配置された配線母基板に前記半導体チップ及び前記ダミーチップをそれぞれ搭載し、前記複数のバンプ電極を形成した後に各々の前記製品形成領域の間のダイシングラインに沿って前記配線母基板を切断して各々の前記パッケージ基板を分離することを特徴とする請求項８に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記複数の製品形成領域に跨って配置される前記ダミーチップが、前記配線母基板とともに前記ダイシングラインに沿って切断されることを特徴とする請求項９に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッケージ基板に搭載された半導体チップを備える半導体装置に関し、特に、パッケージ基板の裏面に形成されたバンプ電極の接続信頼性を高める構造を有する半導体装置とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体チップが搭載されたパッケージ基板の裏面に多数のバンプ電極を形成した半導体装置が用いられている。この種の半導体装置においては、パッケージ基板のバンプ電極のうち、特に半導体チップ外延の近辺に位置するバンプ電極の破断が問題となる。一般に、半導体チップはパッケージ基板やレジンと比べると熱膨張係数に差があるため、その境界部に加わる応力に起因して、一部のバンプ電極がダメージを受けやすい。特に、半導体チップのコーナー部の近辺では、半導体チップがある部分と半導体チップがない部分における熱膨張係数の差が大きいため、半導体チップのコーナー部に近接する領域でバンプ電極が受けるダメージは、他のバンプ電極に比べて大きくなる。従って、半導体装置の実装信頼性を向上させるため、半導体チップのコーナー部近辺におけるバンプ電極のダメージを軽減する方策が望まれる。
【０００３】
半導体装置におけるバンプ電極の接続強度を高めるため、従来から種々の手法が提案されている。例えば、誘電体基板のコーナー部に大きなサイズのバンプ電極を形成して接続強度を高める手法（例えば、特許文献１参照）や、基板に配置されるバンプ電極の外周縁の輪郭を曲線状として各バンプ電極への応力が一様になるようにする手法（例えば、特許文献２参照）や、パッケージ基板において同心円状にバンプ電極を配置して、特定のバンプ電極の応力集中による破断を防止する手法（例えば、特許文献３参照）などが提案されている。
【特許文献１】特開２００１−２１０７４９号公報
【特許文献２】特開平９−１６２５３１号公報
【特許文献３】特開平１１−３０７５６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の手法によれば、バンプ電極への応力集中による破断を防止する効果は限定的なものであり、バンプ電極の接続信頼性を高めるには不十分であった。すなわち、上記従来の手法では、パッケージ基板のコーナー部を含む周辺部でバンプ電極の応力集中を軽減するものであるが、実際にはバンプ電極への応力集中に起因する破断は、パッケージ基板のコーナー部ではなく主に半導体チップのコーナー部直下のバンプ電極で生じやすいことが判明した。
【０００５】
図１０及び図１１を参照して上記の接続信頼性に関する問題点を説明する。図１０に示すように、パッケージ基板１００の裏面には、マトリクス状に配置された複数のバンプ電極１０１が形成され、その反対側の面に搭載される半導体チップ１０２の外形が重なる位置を点線にて示している。図１０に示す複数のバンプ電極１０１のうち、半導体チップ１０２のコーナー部の直下に配置される４つのバンプ電極１０１ａは、特に応力に起因する破断を生じやすい。図１１は、パッケージ基板１００を含む半導体装置の温度変動による挙動を模式的に表した図である。パッケージ基板１００の表面の中央領域に搭載された半導体チップ１０２は、ワイヤ１０３、パッケージ基板１００の配線構造（不図示）、ランド１０４の順に経由してバンプ電極１０１と電気的に接続される。
【０００６】
半導体チップ１０２は、パッケージ基板１００や上部のレジン１０５と比べて、熱膨張係数が小さい。よって、図１１において、半導体チップ１０２が配置される領域Ｒ１は、温度変動に対して膨張しずらい。これに対し、半導体チップ１０２が配置されない周辺の領域Ｒ２は、温度変動に対して相対的に膨張しやすい。従って、温度変動時に領域Ｒ１と領域Ｒ２における膨張と収縮に起因する応力が発生し、図１１（Ａ）に示すように上部に凹状に変形する場合と、図１１（Ｂ）に示すように上部に凸状に変形する場合が生じる。このとき、領域Ｒ１と領域Ｒ２の境界の直下に形成されたバンプ電極１０１ａは、パッケージ基板１００の膨張と収縮の基点となるため、応力の影響をまともに受けることになる。よって、特に半導体チップ１０２のコーナー部の直下では、応力によるバンプ電極１０１ａの破断が生じやすい。
【０００７】
上記従来の手法は、半導体チップ１０２の有無に着目したものではないので、半導体チップ１０２のコーナー部の直下では、バンプ電極１０１ａの受けるダメージが大きく破断の可能性が高くなることは避けられない。また、上記従来の手法では、パッケージ基板１００の周辺部等で、バンプ電極１０１が配置されない領域を設けるものであるため、バンプ電極１０１の配置密度の面で不利になる。半導体装置の多ピン化及び狭ピッチ化の要望が強くなっているので、多数のバンプ電極１０１の高密度配置を損なうことがない対策を導入することが課題となっている。
【０００８】
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、半導体チップとパッケージ基板の熱膨張係数の差による応力に起因するバンプ電極のダメージを軽減し、接続信頼性を向上させることが可能な半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の半導体装置は、パッケージ基板と、前記パッケージ基板の一方の面に搭載される半導体チップと、前記パッケージ基板の他方の面に形成され、配線構造を介して前記半導体チップと電気的に接続される複数のバンプ電極と、前記パッケージ基板の前記一方の面のうち、前記半導体チップのコーナー部に近接する所定領域に搭載されるダミーチップとを備えて構成され、前記ダミーチップは、熱膨張係数が前記半導体チップと同一又は近似する材料を用いて形成される。
【００１０】
本発明に係る半導体装置によれば、パッケージ基板には半導体チップが搭載されるとともに、そのコーナー部に近接する領域にダミーチップが搭載される。よって、通常は半導体チップのコーナー部に加わる応力は、その近傍に熱膨張率の差が小さいダミーチップが設けられたことにより緩和されるので、直下のバンプ電極へのダメージが軽減される。従って、バンプ電極の破断等を防止しパッケージ基板の接続信頼性を向上させることができる。
【００１１】
本発明において、前記ダミーチップを、前記半導体チップと略同一の厚さに形成してもよい。
【００１２】
本発明において、前記半導体チップの４つの前記コーナー部に近接する４つの領域に搭載される４つの前記ダミーチップを設けてもよい。この場合、前記ダミーチップを、矩形の隣接する２辺が前記パッケージ基板の矩形の隣接する２辺と重なるように配置してもよい。また、前記ダミーチップの各々に隣接する領域に搭載される他の前記ダミーチップをさらに設けてもよい。
【００１３】
本発明において、前記半導体チップの矩形の対向する２辺に沿う２つの領域に搭載される２つの前記ダミーチップを設けてもよい。この場合、前記ダミーチップに、前記半導体チップのパッドを前記バンプ電極に接続するための配線構造の一部を形成してもよい。
【００１４】
上記課題を解決するために、本発明の半導体装置の製造方法は、配線構造が形成されたパッケージ基板と、所定の電子回路が構成された半導体チップを含む半導体装置の製造方法であって、前記パッケージ基板の一方の面において、中央領域に半導体チップを搭載するとともに、当該半導体チップのコーナー部に近接する所定領域に、前記半導体チップと熱膨張係数が同一又は近似する材料を用いて形成されたダミーチップを搭載し、前記半導体チップの他方の面において、前記配線構造を介して前記半導体チップと接続される複数のバンプ電極を形成するものである。
【００１５】
本発明の製造方法において、前記パッケージ基板に対応する複数の製品形成領域が配置された配線母基板に前記半導体チップ及び前記ダミーチップをそれぞれ搭載し、前記複数のバンプ電極を形成した後に各々の前記製品形成領域の間のダイシングラインに沿って前記配線母基板を切断して各々の前記パッケージ基板を分離してもよい。この場合、前記複数の製品形成領域に跨って配置される前記ダミーチップを、前記配線母基板とともに前記ダイシングラインに沿って切断してもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、パッケージ基板の一方の面に半導体チップとダミーチップを搭載し、パッケージ基板の他方の面に複数のバンプ電極を形成し、半導体チップとダミーチップの熱膨張係数の差を十分に小さくしたので、半導体チップのコーナー部にダミーチップが近接する領域では、熱膨張率の差により生じる応力が緩和される。よって、その直下のバンプ電極は、応力によるダメージを受けにくくなり、破断を防止することができるので、パッケージ基板の接続信頼性が向上する。また、ダミーチップを搭載したとしても複数のバンプ電極の配置に影響を与えないので、半導体装置の多ピン化、狭ピッチ化を損なうことなく高密度にバンプ電極を配置可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の最良の実施形態について図面を参照しながら説明する。以下では、本発明を適用した半導体装置に関する５つの実施形態を順次説明する。
【００１８】
［第１実施形態］
第１実施形態の半導体装置について、図１〜図４を参照して説明する。第１実施形態の半導体装置の構造に関し、図１は平面図を示し、図２は図１のＡ−Ａ’断面図を示している。第１実施形態の半導体装置は、所定の電子回路が構成される半導体チップ１０をパッケージ基板１１の表面の中央領域に搭載した構造を有する。パッケージ基板１１は、半導体チップ１０のサイズより大きい矩形であり、パッケージ基板１１の表面の周辺領域のうち、半導体チップ１０の周囲の４つのコーナー部に近接する位置に、半導体チップ１０よりサイズが小さい４つのダミーチップ２０が搭載されている。これらダミーチップ２０の役割については後述する。パッケージ基板１１の裏面には、外部基板と接続するための複数のバンプ電極１２がマトリクス状の配置で形成されている。
【００１９】
半導体チップ１０の表面には多数のパッド（不図示）が設けられ、それぞれがワイヤ１３により、パッケージ基板１１の表面に設けられた接続パッド１４に接続されている。図２に示すように、各々の接続パッド１４は、パッケージ基板１１の内部に形成された配線１５を経由して、パッケージ基板１１の裏面に設けられたランド１６に接続される。各々のランド１６は、ボール状に形成されたバンプ電極１２と接合される。半導体チップ１０及びダミーチップ２０がそれぞれ接着剤１７によりパッケージ基板１１に固着された状態で、全体が絶縁性のレジン１８により封止される。
【００２０】
パッケージ基板１１は、例えばガラスエポキシを用いて形成され、比較的大きな熱膨張係数を有する。一方、半導体チップ１０は、シリコン基板から形成され、パッケージ基板１１に比べると熱膨張係数が小さい。仮に、半導体チップ１０の周囲にダミーチップ２０が配置されない状態では、パッケージ基板１１と半導体チップ１０の熱膨張係数の差により応力が発生し、半導体チップ１０のコーナー部直下のバンプ電極１２の破断が生じやすくなる。このようなバンプ電極１２の破断への対策として、第１実施形態では、パッケージ基板１１の表面の周辺領域において、半導体チップ１０の各コーナー部に近接する領域にダミーチップ２０を配置する構成を採用している。
【００２１】
ダミーチップ２０は、半導体チップ１０と同様の熱膨張係数を持たせるため、シリコン基板により形成することが望ましい。あるいは、半導体チップ１０の熱膨張係数と差が少ない他の基材を用いてダミーチップ２０を形成してもよい。また、ダミーチップ２０の厚さは、半導体チップ１０の厚さと略同一に形成することが望ましい。第１実施形態においては、半導体チップ１０のコーナー部に近接してダミーチップ２０が配置されるので、この部分では熱膨張係数の差により発生する応力が低減される。従って、半導体チップ１０のコーナー部直下のバンプ電極１２へのダメージを軽減することができ、パッケージ基板１１の接続信頼性が向上する。
【００２２】
次に、図３及び図４を参照して、第１実施形態の半導体装置の製造方法を説明する。図３は、半導体装置の製造時の断面状態を示す図であり、図４は、半導体装置の製造手順を示す工程フロー図（ステップＳ１〜Ｓ６）である。まず、複数のパッケージ基板１１となる配線母基板３０を準備する（ステップＳ１）。図３に示すように、配線母基板３０は、ガラスエポキシ基材からなる配線基板であり、複数の製品形成領域３０ａを含んでいる。配線母基板３０においては、複数の製品形成領域３０ａがマトリクス状に配置され、それぞれの製品形成領域３０ａの間にダイシングラインＤＬが設定され、配線母基板３０をダイシングラインＤＬに沿って切断することにより図１のパッケージ基板１１が分離される。各々の製品形成領域３０ａは、図１と同様の構造を有し、半導体チップ１０を搭載する表面側には複数の接続パッド１４が形成され、複数のバンプ電極１２を接合する裏面側にはマトリクス状に配置された複数のランド１６が形成されている。配線母基板３０の内部には、接続パッド１４及び対応するランド１６の間を電気的に接続するための配線１５が形成されている。
【００２３】
次に、配線母基板３０に対するダイボンディング工程が実行される（ステップＳ２）。図３（Ａ）に示すように、各々の製品形成領域３０ａの中央部に半導体チップ１０が搭載される。半導体チップ１０は、ダイボンディング装置（不図示）を用いて、例えば絶縁性の接着剤１７を介して製品形成領域３０ａに固着される。
【００２４】
次に、製品形成領域３０ａにおいて、半導体チップ１０のコーナー部に近接する領域（図１参照）にダミーチップ２０が搭載される。ダミーチップ２０は、上述の接着剤１７を介して製品形成部３０ａに固着される。上述したように、ダミーチップ２０としては、半導体チップ１０と同等の厚さで、かつ半導体チップ１０と熱膨張係数が同じシリコン基板、あるいは半導体チップ１０との熱膨張係数の差が少ない基材が用いられる。
【００２５】
次に、配線母基板３０に対するワイヤボンディング工程が実行される（ステップＳ３）。図３（Ｂ）に示すように、半導体チップ１０上の各パッドと、製品形成領域３０ａ上の対応する接続パッド１４とを、例えばＡｕからなる導電性のワイヤ１３により結線する。ワイヤ１３によるワイヤボンディングは、ワイヤボンディング装置（不図示）を用いて行われる。具体的には、溶融され先端にボールが形成された状態のワイヤ１３を半導体チップ１０のパッドに超音波熱圧着し、その後、所定のループ形状を描きながら後端を接続パッド１４に超音波熱圧着により接続することによりワイヤボンディングが行われる。これにより、各々の半導体チップ１０の全てのパッドと製品形成領域３０ａの所定の接続パッド１４がワイヤ１３により結線される。
【００２６】
次に、上記ワイヤボンディング工程が完了した配線母基板３０に対するモールド工程が実行される（ステップＳ４）。モールド工程は、トランスファモールド装置（不図示）を用いて行われる。具体的には、トランスファモールド装置の上型と下型により配線母基板３０を型閉めした状態で、溶融された封止樹脂を充填する。そして、封止樹脂が充填された配線母基板３０をキュアすることにより、封止樹脂が熱硬化する。封止樹脂としては、例えば、熱硬化性のエポキシ樹脂が用いられる。図３（Ｃ）に示すように、複数の製品形成領域３０ａを一括的に覆うレジン１８からなる封止部を形成する一括モールドが行われる。一括モールドを採用することにより、封止部を効率的に形成することができる。
【００２７】
次に、封止部（レジン１８）が形成された配線母基板３０に対するボールマウント工程が実行される（ステップＳ５）。ボールマウント工程においては、図３（Ｄ）に示すように、配線母基板３０の裏面側のランド１６上に、外部端子としてのバンプ電極１２の位置に半田バンプが搭載される。ボールマウント工程では、例えばボールマウンター（不図示）のマウントツールにより半田バンプを真空吸着し、フラックスを介して半田バンプが配線基板のランド１６に載置される。その後、配線母基板３０をリフローすることにより、図３（Ｄ）に示すように、半田バンプが各バンプ電極１２として各ランド１６に接合される。
【００２８】
次に、バンプ電極１２が形成された配線母基板３０に対する基板ダイシング工程が実行される（ステップＳ６）。基板ダイシング工程では、図３（Ｅ）に示すように、レジン１８の表面がダイシングテープ３１に貼着固定される。そして、高速回転のダイシングブレード（不図示）を用いて、配線母基板３０のダイシングラインＤＬを回転研削することで、各々の製品形成領域３０ａが切断、分離される。その後、ダイシングテープ３１から製品形成領域３０ａをそれぞれピックアップすることにより、図１の半導体装置が完成する。
【００２９】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態の半導体装置について、図５及び図６を参照して説明する。第２実施形態の半導体装置の構造に関し、図５は平面図を示し、図６は図５のＡ−Ａ’断面図を示している。第２実施形態の半導体装置において、半導体チップ１０とパッケージ基板１１を含む基本的構造は、第１実施形態と同様である。一方、第２実施形態では、半導体チップ１０の周囲の４つのコーナー部に近接する領域に、第１実施形態のダミーチップ２０とは異なる形状の４つのダミーチップ２１が配置されている。
【００３０】
第２実施形態のダミーチップ２１は、図１のダミーチップ２０より大きいサイズの矩形に形成される。すなわち、図５に示すように、各々のダミーチップ２１は、その２辺がパッケージ基板１１の２辺と重なる位置に配置されている。また、図６に示すように、ダミーチップ２１は、接着剤１７を介して、その側面がパッケージ基板１１の側面に重なるように搭載されている。この場合、図４の基板ダイシング工程（ステップＳ６）において、複数の製品形成領域３０ａを跨ってダミーチップ２１が配置された状態で、配線母基板３０がダミーチップ２１とともにダイシングラインＤＬに沿って一体的に切断される。
【００３１】
このように、ダミーチップ２１のサイズを拡張することにより、ダミーチップ２１周辺直下でより多くのバンプ電極１２のダメージを軽減することができ、接続信頼性が向上する。また、配線母基板３０に搭載されるダミーチップ２１の個数を削減できるので、製造効率の向上を図ることができる。さらに、半導体チップ１０に隣接配置されるダミーチップ２１は、図６に示すようにパッケージ基板１１の側方に露出する構成であるため、放熱性の向上にも寄与する。
【００３２】
［第３実施形態］
次に、第３実施形態の半導体装置について、図７を参照して説明する。図７は、第３実施形態の半導体装置の平面図を示している。第３実施形態の半導体装置において、半導体チップ１０とパッケージ基板１１を含む基本的構造は、第１実施形態と同様である。一方、第３実施形態では、半導体チップ１０の４つのコーナー部に近接して、２つの隣接するコーナー部の両方に近接する２領域に、２つのダミーチップ２２が配置されている。なお、第３実施形態の半導体装置の断面構造は、図２と同様に表すことができる。
【００３３】
第３実施形態のダミーチップ２２は、パッケージ基板１１の矩形の対向する２辺に沿って配置される。よって、それぞれのダミーチップ２２は、図１と同様の長さの短辺と、パッケージ基板１１に近い長さの長辺に囲まれた矩形に形成される。そのため、ダミーチップ２２が配置される側においては、半導体チップ１０のパッドとパッケージ基板１１の接続パッド１４を接続するワイヤ１３が設けられていない。
【００３４】
このように、半導体チップ１０の各辺の両側で、２つのコーナー部に近接する領域にダミーチップ２２を配置することにより、ダミーチップ２２に沿う直下で多くのバンプ電極１２のダメージを軽減することができ、接続信頼性が向上する。また、第１実施形態のダミーチップ２０に比べ、第３実施形態のダミーチップ２２の個数を削減することができるので、製造効率の向上を図ることができる。
【００３５】
［第４実施形態］
次に、第４実施形態の半導体装置について、図８を参照して説明する。図８は、第４実施形態の半導体装置の平面図を示している。第４実施形態の半導体装置において、半導体チップ１０、パッケージ基板１１、ダミーチップ２３含む基本的構造は、第３実施形態と同様であり、図７のダミーチップ２２と同様の形状の２つのダミーチップ２３が配置される。一方、第３実施形態では、ダミーチップ２３に複数の配線２３ａと複数のパッド２３ｂを設けた点が特徴である。
【００３６】
第４実施形態のダミーチップ２３において、内部に形成された各々の配線２３ａは、両端がそれぞれパッド２３ｂに接続される。そして、各配線２３ａに対し、一方のパッド２３ｂがワイヤ１３ａを介して半導体チップ１０のパッドに接続され、他方のパッド２３ｂがワイヤ１３ａを介してパッケージ基板１１上の接続パッド１４に接続されている。このような構成により、半導体チップ１０のパッドは、ワイヤ１３ａ、パッド２３ｂ、配線２３ａ、パッド２３ｂ、ワイヤ１３ａの順に経由して接続パッド１４に接続することができる。従って、第４実施形態においては、第３実施形態と同様のバンプ電極１２のダメージを軽減する効果に加えて、ダミーチップ２３を搭載した状態で半導体チップ１０の再配線が可能となるので、外部端子の端子数を十分に確保することができる。
【００３７】
［第５実施形態］
次に、第５実施形態の半導体装置について、図９を参照して説明する。図９は、第５実施形態の半導体装置の平面図を示している。第５実施形態の半導体装置において、半導体チップ１０とパッケージ基板１１を含む基本的構造は、第１実施形態と同様である。一方、第５実施形態では、半導体チップ１０の周囲のコーナー部に近接する領域に、それぞれ３個のダミーチップ２０、２０ａ、２０ｂを配置した点が特徴である。このうち、ダミーチップ２０については、第１実施形態の場合と同様の配置と形状であるが（図１）、さらにダミーチップ２０の両側に隣接する２つのダミーチップ２０ａ、２０ｂを追加したものである。
【００３８】
第５実施形態の構成においては、パッケージ基板１１の表面の周辺領域に全部で１２個のダミーチップ２０、２０ａ、２０ｂが搭載されることになる。これにより、半導体チップ１０の４つのコーナー部の近辺で、ダミーチップ２０、２０ａ、２０ｂの直下に、より多くのバンプ電極１２が配置されるので、広い範囲にわたってバンプ電極１２が受けるダメージを軽減して接続信頼性を向上することができる。
【００３９】
以上、第１〜第５実施形態に基づき本発明を説明したが、上記各実施形態の構成に限られず、本発明を多様な構成に対して広く適用することができる。例えば、複数のバンプ電極１２が形成されたパッケージ基板１１としては、ＢＧＡ（Ball Grid Array）、ＰＧＡ（Pin Grid Array）等のマトリクス状の端子配列を有する多様なパッケージ方式に対して適用可能である。また、パッケージ基板１１に１つの半導体チップ１０が搭載されるシングルチップ品に限らず、複数の半導体チップ１０をパッケージ基板１１上に積層したチップスタック品に対しても、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１実施形態の半導体装置の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’断面図である。
【図３】第１実施形態の半導体装置の製造時の断面状態を示す図である。
【図４】第１実施形態の半導体装置の製造手順を示す工程フロー図である。
【図５】第２実施形態の半導体装置の平面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ’断面図である。
【図７】第３実施形態の半導体装置の平面図である。
【図８】第４実施形態の半導体装置の平面図である。
【図９】第５実施形態の半導体装置の平面図である。
【図１０】従来の半導体装置の接続信頼性に関する問題点を説明する平面図である。
【図１１】従来の半導体装置の温度変動による挙動を模式的に表した図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０…半導体チップ
１１…パッケージ基板
１２…バンプ電極
１３…ワイヤ
１４…接続パッド
１５…配線
１６…ランド
１７…接着剤
１８…レジン
２０、２０ａ、２０ｂ、２１、２２、２３…ダミーチップ
２３ａ…配線
２３ｂ…パッド
３０…配線母基板
３０ａ…製品形成領域
３１…ダイシングテープ
ＤＬ…ダイシングライン
【図１】
2009212315.tif 000003
【図２】
2009212315.tif 000004
【図３】
2009212315.tif 000005
【図４】
2009212315.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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