(57)【要約】【課題】ディスクの検査時間を短くする。【解決手段】サーボエラー信号取得部３４は、所定の回転速度で回転されているディスク２２からのサーボエラー信号を取得する。フィルタ設定部３５は、係数記憶部３６に記憶されている係数を読み出し、サーボエラー信号取得部３４から供給されるサーボエラー信号をフィルタリングする。判断部３７は、フィルタリング後のサーボエラー信号を用いて、ディスク２２に傷などの欠陥がないか否かを判断する。この判断が行われるまで、スピンドルモータ３２の回転速度は、一定に保たれる。本発明はディスクを検査する検査装置に適用できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のディスクを回転させたときに得られるサーボエラー信号をフィルタリングするフィルタリング手段と、
前記フィルタリング手段によりフィルタリングされた前記サーボエラー信号の振幅が、規定の振幅以上でないか否かを判断する判断手段と
を備える検査装置。
【請求項２】
前記フィルタリングは、前記ディスクの第１の回転速度のときに得られる前記サーボエラー信号の第１の振幅が、前記第１の回転速度の２倍の速度である第２の回転速度のときに得られる前記サーボエラー信号の第２の振幅と等しくなるように設定されたフィルタを用いる
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記ディスクは、一定の速度で回転され、
前記フィルタリング手段は、異なる速度で回転させたときに得られるサーボエラー信号の振幅を得るために、前記フィルタリングに用いられるフィルタを、前記異なる速度毎に備え、切り換える
請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記フィルタは、係数で構成され、前記異なる速度毎に異なる係数が用いられることで、フィルタリングが行われる
請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
ディスクの回転を一定の速度のまま維持し、
前記ディスクから得られるサーボエラー信号を取得し、
その回転が維持されている間、取得される前記サーボエラー信号をフィルタリングし、そのフィルタリングのフィルタを切り換え、フィルタリング後のサーボエラー信号の振幅が、規定の振幅以上でないか否かを判断する
ステップを含む検査方法。
【請求項６】
ディスクの欠陥を検査する検査装置に、
前記ディスクの回転を一定の速度のまま維持し、
前記ディスクから得られるサーボエラー信号を取得し、
その回転が維持されている間、取得される前記サーボエラー信号をフィルタリングし、そのフィルタリングのフィルタを切り換え、フィルタリング後のサーボエラー信号の振幅が、規定の振幅以上でないか否かを判断する
ステップを含む処理を実行させるコンピュータが読み取り可能なプログラム。
【請求項７】
ディスクの欠陥を検査する検査装置に、
前記ディスクの回転を一定の速度のまま維持し、
前記ディスクから得られるサーボエラー信号を取得し、
その回転が維持されている間、取得される前記サーボエラー信号をフィルタリングし、そのフィルタリングのフィルタを切り換え、フィルタリング後のサーボエラー信号の振幅が、規定の振幅以上でないか否かを判断する
ステップを含む処理を実行させるコンピュータが読み取り可能なプログラムが記録されている記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は検査装置および方法、プログラム、並びに記録媒体に関し、特に、光ディスクなどの記録媒体の検査を、正確に、かつ、早く行うことができるようにした検査装置および方法、プログラム、並びに記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
４０５ｎｍの青紫レーザダイオード（以下ＢＤと記す）を光源とし、各種ディスクに映像、音楽、文字データ等を大量に記録可能なディスクとして規格化されたものには、例えば、書き換え可能なディスク規格「ＢＤ−ＲＥ」、再生専用ディスク規格「ＢＤ−ＲＯＭ」、追記型ディスク規格「ＢＤ−Ｒ」、ＤＶＤ(Digital Versatile Disc)などがある。これらの光ディスク（以下、単にディスクと記述する）は、製造時に局所的な欠陥が生まれる可能性がある。
【０００３】
局所的な欠陥とは、例えば、表面に傷が付いてしまうとか、１層目と２層目を貼り合わせるときに、その張り合わせ面に気泡が入ってしまうとかである。このような局所的な欠陥を有するディスクを回転させると、その欠陥が外乱となり、局所的に加速度が生じる。このような局所的な加速度により正確に信号を記録できないといったことが生じる可能性があるため、ディスクの製造時に、チェックすることで、不良品を排除するようなことが行われている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記したように、欠陥により局所的な加速度を生じるようなディスクは、ディスクの製造時に検査が行われて、排除される。この検査は、例えば、局所的な加速度によるサーボエラーの取れ残り量(振幅)を取得し、規定値以上の振幅を有するディスクを排除することで行われている。
【０００５】
局所的な加速度は周波数分布を有する。欠陥の種類（傷か、気泡かなど）により異なる回転速度で、異なる周波数が存在する。例えば、倍速の回転速度で、低い方がサーボエラー信号の振幅が大きくなる周波数と、高い方がサーボエラー信号の振幅が大きくなる周波数が存在する。そのため１枚のディスクの検査で、複数の倍速で検査する必要がある。そのような検査は、製造された全ディスクに対して実施する必要がある。
【０００６】
ここで、この検査について、図１のフローチャートを参照して簡便に説明する。ステップＳ１１において、スピンドルの目標速度が設定される。ステップＳ１２において、スピンドルがロックするまで、待機状態とされる。ステップＳ１３において、ＴＥ信号（トラッキングエラー信号）やＦＥ信号（フォーカスエラー信号）などのサーボエラー信号が測定される。ステップＳ１４において、異なる倍速測定があるか否かが判断され、あると判断された場合には、ステップＳ１１に処理が戻され、新たな倍速で、ステップＳ１１以下の処理が繰り返される。
【０００７】
このような処理は、１枚のディスクに対して行われる。すなわち、ディスク１枚毎に、ステップＳ１２におけるスピンドルがロックするまで待機状態にされるという処理が必要とされるため、この待機時間によるロスタイムが生じる。速度が変更される毎に、この待機時間は必要となる。例えば、１枚のディスクに対して、３つの異なる速度が設定されている場合、ステップＳ１２の処理は３回行われることになり、３回分の待機時間が必要となる。
【０００８】
１枚のディスクを検査するときに、その検査過程で倍速を変えると、倍速の数だけスピンドルロックの待ち時間が発生し、検査時間が増大してしまう。また、このような検査は、全ディスクに対して行われる。よって、１枚当たりの検査時間のロスが蓄積され、全ディスクの検査時間に対する待機時間は、膨大なものとなってしまう。よって、１枚当たりの検査時間を短くし、全体の検査時間も短くなるようにすることが望まれていた。
【０００９】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、ディスクの検査時間を短くすることができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面の検査装置は、所定のディスクを回転させたときに得られるサーボエラー信号をフィルタリングするフィルタリング手段と、前記フィルタリング手段によりフィルタリングされた前記サーボエラー信号の振幅が、規定の振幅以上でないか否かを判断する判断手段とを備える。
【００１１】
前記フィルタリングは、前記ディスクの第１の回転速度のときに得られる前記サーボエラー信号の第１の振幅が、前記第１の回転速度の２倍の速度である第２の回転速度のときに得られる前記サーボエラー信号の第２の振幅と等しくなるように設定されたフィルタを用いるようにすることができる。
【００１２】
前記ディスクは、一定の速度で回転され、前記フィルタリング手段は、異なる速度で回転させたときに得られるサーボエラー信号の振幅を得るために、前記フィルタリングに用いられるフィルタを、前記異なる速度毎に備え、切り換える請求項１に記載の検査装置。
【００１３】
前記フィルタは、係数で構成され、前記異なる速度毎に異なる係数が用いられることで、フィルタリングが行われるようにすることができる。
【００１４】
本発明の一側面の検査方法は、ディスクの回転を一定の速度のまま維持し、前記ディスクから得られるサーボエラー信号を取得し、その回転が維持されている間、取得される前記サーボエラー信号をフィルタリングし、そのフィルタリングのフィルタを切り換え、フィルタリング後のサーボエラー信号の振幅が、規定の振幅以上でないか否かを判断するステップを含む。
【００１５】
本発明の一側面のプログラムは、ディスクの欠陥を検査する検査装置に、前記ディスクの回転を一定の速度のまま維持し、前記ディスクから得られるサーボエラー信号を取得し、その回転が維持されている間、取得される前記サーボエラー信号をフィルタリングし、そのフィルタリングのフィルタを切り換え、フィルタリング後のサーボエラー信号の振幅が、規定の振幅以上でないか否かを判断するステップを含む処理を実行させるコンピュータが読み取り可能なプログラム。
【００１６】
本発明の一側面の記録媒体は、ディスクの欠陥を検査する検査装置に、前記ディスクの回転を一定の速度のまま維持し、前記ディスクから得られるサーボエラー信号を取得し、その回転が維持されている間、取得される前記サーボエラー信号をフィルタリングし、そのフィルタリングのフィルタを切り換え、フィルタリング後のサーボエラー信号の振幅が、規定の振幅以上でないか否かを判断するステップを含む処理を実行させるコンピュータが読み取り可能なプログラムが記録されている。
【００１７】
本発明の一側面の検査装置および方法、プログラム、並びに記録媒体においては、ディスクの欠陥を検査するときに、回転が一定に保たれ、サーボエラー信号が取得され、そのサーボエラー信号がフィルタリングされることで、複数の速度で回転させてときと同等のサーボエラー信号が取得される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ディスクの検査時間を短くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２０】
図２は、本発明を適用した検査装置の一実施の形態の構成を示す図である。本発明は、ディスクに欠陥がないか否かを検査する検査装置に適用できる。ディスクとは、例えば、４０５ｎｍの青紫レーザダイオード（以下ＢＤと記す）を光源とし、各種ディスクに映像、音楽、文字データ等を大量に記録可能なディスクとして規格化された、書き換え可能なディスク規格「ＢＤ−ＲＥ」、再生専用ディスク規格「ＢＤ−ＲＯＭ」、追記型ディスク規格「ＢＤ−Ｒ」、ＤＶＤ(Digital Versatile Disc)などである。
【００２１】
検査装置２１は、ディスク２２を検査する装置である。検査装置２１は、ピックアップ３１、スピンドルモータ３２、スピンドル制御部３３、サーボエラー信号取得部３４、フィルタ設定部３５、係数記憶部３６、および判断部３７を含む構成とされる。
【００２２】
ディスク２２は、スピンドルモータ３２により所定の回転速度で回転される。そのスピンドルモータ３２の回転速度の制御を、スピンドル制御部３３は行う。ピックアップ３１は、ディスク２２から信号を読み出す。検査装置２１は、ディスク２２を検査する装置であり、その検査は、サーボエラー信号が用いられて行われる。よって、ピックアップ３１から得られる信号は、サーボエラー信号が得られる信号であればよい。
【００２３】
サーボエラー信号取得部３４は、ピックアップ３１からの信号から、サーボエラー信号を取得する。フィルタ設定部３５は、フィルタを設定し、供給されるサーボエラー信号に対して、設定されたフィルタをかける。フィルタ設定部３５は、係数記憶部３６に記憶されている係数を用いて、フィルタを設定する。判断部３７は、フィルタ設定部３５によりフィルタリングされたサーボエラー信号から、検査対象とされているディスク２２に欠陥があるか否かを判断する。
【００２４】
図２に示した検査装置２１の動作について、図３に示したフローチャートを参照して説明する。図３のフローチャートが実行されるのは、検査装置２１にディスク２２がセットされている状態のときである。また、図３に示したフローチャートは、ディスク２２の測定場所を固定したときの処理である。換言すれば、通常、ディスク２２の１箇所だけにおいて図３に示すフローチャートの処理が行われるのではなく、数カ所において図３に示すフローチャートの処理が繰り返し行われる。
【００２５】
ステップＳ５１において、スピンドル制御部３３は、スピンドルモータ３２の回転速度の目標速度を設定する。目標速度は、ディスク２２の測定位置毎に設定されている。上記したように、ディスク２２の異なる位置で、検査処理が行われるため、検査位置毎に、好ましい回転速度が設定されている。ステップＳ５１において、検査位置に応じた目標速度が設定される。
【００２６】
本発明においては、１箇所の検査位置に対して、１つの回転速度が設定されている。従来、図１を参照して説明したように、１箇所の検査位置に対して、複数の回転速度で検査が行われるため、複数の回転速度が設定されていた。しかしながら、本発明においては、以下のようにフィルタリングの処理を含ませることで、複数の回転速度を設定する必要がなくなる。また、本発明においては、複数の回転速度で検査を行わなくても、複数の回転速度で検査を行うときと、少なくとも同等の結果を得ることができる。
【００２７】
ステップＳ５２において、スピンドル制御部３３の制御のもと、スピンドルモータ３２が目標速度になるまで待機状態とされる。待機状態とは、次のステップ（処理）に移行しないことを意味する。スピンドルモータ３２が目標とする回転速度になると、ステップＳ５３に処理が進められる。
【００２８】
ステップＳ５３において、サーボエラー信号取得部３４は、ピックアップ３１から得られる信号から、サーボエラー信号を取得する。サーボエラー信号は、トラッキングエラー信号（ＴＥ信号）や、フォーカスエラー信号（ＦＥ信号）である。
【００２９】
ステップＳ５４において、異なる倍速測定があるか否かが判断される。ステップＳ５４において、異なる倍速測定があると判断された場合、ステップＳ５５に処理が進められ、サーボフィルタを変更する処理が行われる。サーボフィルタが変更された後、再度、ステップＳ５３に処理が戻され、それ以降の処理が繰り返される。
【００３０】
ここで、ステップＳ５４とステップＳ５５の処理について説明を加える。このステップＳ５４とステップＳ５５の処理は、主に、フィルタ設定部３５で行われるフィルタリングに関する処理である。また、図３のフローチャートには処理として含んでいないが、判断部３７によるディスク２２に欠陥が含まれるか否かの判断も、例えば、ステップＳ５３の後に行われる。この判断の処理についても以下に説明する。
【００３１】
図４に、サーボゲインの周波数応答の一例を示す。図４において、横軸は周波数を示し、縦軸は抑圧ゲインを示す。図４は、所定の周波数に対して、どの程度までサーボエラーを抑圧できるかを示している。すなわち、図４に示したグラフ中、実線より下側にサーボエラーが収まれば抑圧でき、正常にデータを記録再生できるが、実線より上側にサーボエラーがあると、その超えた分は抑圧できず、エラーとして検出されることになる。
【００３２】
図４を参照するに、周波数ｆ’までは、一定の抑圧ゲインＧ’であり、周波数ｆ’を超えると、徐々に抑圧ゲインが低下することがわかる。すなわち、
周波数ｆ’のときの抑圧ゲイン
＞周波数ｆ0のときの抑圧ゲイン
＞周波数２ｆ0のときの抑圧ゲイン
という関係が成り立つ。ここで、周波数２ｆ0は、周波数ｆ0の２倍の周波数であるとする。
【００３３】
図５に、倍速毎に異なる周波数分布を有するディスク加速度に対して、サーボエラー信号の振幅を一定値に抑制するために必要なゲインに関するグラフを示す。図５において、横軸は周波数を示し、縦軸はディスク加速度によるサーボエラー信号の振幅を一定値に抑圧するために必要なゲインを示す。また、グラフ内の実線は、回転速度ＣＬＶ１のときを表し、グラフ内の点線は、回転速度ＣＬＶ２のときを表す。回転速度ＣＬＶ２は、回転速度ＣＬＶ１の２倍の回転速度である。
【００３４】
図５に示したように、回転速度ＣＬＶ１であり、周波数ｆ0のときに、サーボエラー信号の振幅を一定値にするために必要なゲインは、ゲインＧ0である。回転速度ＣＬＶ２であり、周波数２ｆ0のときに、サーボエラー信号の振幅を一定値にするために必要なゲインは、ゲインＧ0である。すなわち、回転速度が２倍になると、２倍の周波数のときに、同じ抑圧ゲインを必要とすることがわかる。
【００３５】
また、回転速度ＣＬＶ１であり、周波数ｆ０のときに、サーボエラー信号の振幅を一定値にするために必要なゲインは、ゲインＧ０であり、回転速度ＣＬＶ１であり、周波数ｆ１のときに、サーボエラー信号の振幅を一定値にするために必要なゲインは、ゲインＧ１である。この周波数ｆ０と周波数ｆ１は、回転速度ＣＬＶ１のときに局所的に加速度がでる周波数である。
【００３６】
同様に、回転速度ＣＬＶ２であり、周波数２ｆ０のときに、サーボエラー信号の振幅を一定値にするために必要なゲインは、ゲインＧ０であり、回転速度ＣＬＶ２であり、周波数２ｆ１のときに、サーボエラー信号の振幅を一定値にするために必要なゲインは、ゲインＧ１である。この周波数２ｆ０と周波数２ｆ１は、回転速度ＣＬＶ２のときに局所的に加速度がでる周波数である。
【００３７】
このように、図５から、回転速度により、局所的な加速度は周波数分布を有することがわかる。また、その周波数は倍速に比例してシフトすることもわかる。また、所定の周波数と、その周波数の倍の周波数における、サーボエラー信号の振幅を一定値に抑圧するために必要なサーボゲインは変わらないこともわかる。
【００３８】
このことから、回転速度（倍速）が上がることにより局所的な角速度の周波数が高域にシフトすると、抑圧ゲインが低いためにサーボエラー信号の振幅が増大することがわかる。このことを、図６と図７を参照してさらに説明する。
【００３９】
図６は、図４と図５のグラフを重ね合わせたグラフである。回転速度ＣＬＶ１のときで、周波数が周波数ｆ0のとき、サーボエラーを抑圧するためには、ゲインＧ0’以下である必要があり（図４のグラフ）、ディスク加速度によるサーボエラー信号の振幅を一定値に抑圧するために必要なゲインは、ゲインＧ0である必要がある（図５のグラフ）。この場合、ゲインＧ0’＜ゲインＧ0である。よって、回転速度ＣＬＶ１のときで、周波数が周波数ｆ0のときには、ディスク２２に欠陥があり、局所的な加速度が生じ、サーボエラーが発生すると、そのサーボエラーを抑圧できないことになる。
【００４０】
このような場合、ゲインＧ0とゲインＧ0’の差分である差分Ｅ１が、サーボエラーとして検出されることになる。
【００４１】
同様に、回転速度ＣＬＶ２のときで、周波数が周波数ｆ0のとき、サーボエラーを抑圧するためには、ゲインＧ0”以下である必要があるが、ディスク加速度によるサーボエラー信号の振幅を一定値に抑圧するために必要なゲインは、ゲインＧ0である必要がある。この場合、ゲインＧ0”＜ゲインＧ0である。よって、回転速度ＣＬＶ２のときで、周波数が周波数ｆ0のときには、ディスク２２に欠陥があり、局所的な加速度が生じ、サーボエラーが発生すると、そのサーボエラーを抑圧できないことになる。
【００４２】
このような場合、ゲインＧ0とゲインＧ0”の差分である差分Ｅ２が、サーボエラーとして検出されることになる。
【００４３】
この差分Ｅ１や差分Ｅ２が、サーボエラー信号の振幅となる。図７Ａに、回転速度ＣＬＶ１のときのサーボエラー信号の振幅を示し、図７Ｂに、回転速度ＣＬＶ２のときのサーボエラー信号の振幅を示す。
【００４４】
図７において、横軸は時刻を示し、縦軸はサーボエラーの大きさを示す。図７Ａを参照するに、回転速度ＣＬＶ１のときのサーボエラー信号の振幅は、その大きさが、振幅Ａ１であり、継続時間が時間Ｔ１である。また、図７Ｂを参照するに、回転速度ＣＬＶ２のときのサーボエラー信号の振幅は、その大きさが、振幅Ａ２であり、継続時間が時間Ｔ２である。
【００４５】
振幅Ａ１と振幅Ａ２を比較すると、振幅Ａ２は、振幅Ａ１よりも大きな値である。例えば、２倍の値になっている。サーボエラー信号の振幅は、上記したように、差分Ｅ１や差分Ｅ２に依存する。いま、差分Ｅ１＜差分Ｅ２なので、回転速度ＣＬＶ２のときのサーボエラー信号の振幅である振幅Ａ２の方が、回転速度ＣＬＶ１のときのサーボエラー信号の振幅である振幅Ａ１よりも大きい値となる。
【００４６】
時間Ｔ１と時間Ｔ２を比較すると、時間Ｔ１は、時間Ｔ２よりも長い時間である。例えば、２倍の時間になっている。このことは、周波数が異なることを意味し、時間が短い時間Ｔ２の方が、時間Ｔ１よりも周波数が高いことを意味する。すなわち、回転速度ＣＬＶ２の方が、回転速度ＣＬＶ１よりも、周波数が高いことを意味する。回転速度ＣＬＶ１のときの周波数が、周波数ｆ0であった場合、回転速度ＣＬＶ２のときの周波数は、周波数２ｆ0となる。
【００４７】
このように、回転速度ＣＬＶ１のときのサーボエラー信号の振幅と、回転速度ＣＬＶ２のときのサーボエラー信号の振幅を比較すると、回転速度ＣＬＶ１のときのサーボエラー信号の振幅は、回転速度ＣＬＶ２のときのサーボエラー信号の振幅よりも時間が長く、振幅が小さいということになる。さらに具体的に換言すれば、周波数が２倍になると、振幅も２倍になる。
【００４８】
回転速度ＣＬＶ１のときに、図７Ａのような周波数を有するサーボエラー信号が取得された場合、ディスク２２に欠陥があり、局所的な加速度が発生していることを示している。また、回転速度ＣＬＶ２のときに、図７Ｂのような周波数を有するサーボエラー信号が取得された場合、ディスク２２に欠陥があり、局所的な加速度が発生していることを示している。
【００４９】
このように、ディスク２２の回転速度を変更することで、ディスク２２に欠陥があった場合、異なる周波数のサーボエラー信号が取得され、欠陥があることがわかる。このことを利用して、ディスク２２の検査が行われる。また、判断部３７は、フィルタ設定部３５からフィルタリングされたサーボエラー信号の振幅に基づいて、このような判断を行う。
【００５０】
ところで、異なる倍速でサーボエラー信号を調べることで、ディスク２２に欠陥があるか否かを検査するようにした場合、図１のフローチャートを参照して説明したように、スピンドルがロックされるまでの待機時間が、異なる倍速に変更する毎に必要となる。このような待機時間を削減するために、本実施の形態においては、速度を変更せずに検査を行えるようにする。速度を変更しないため、速度変更時に必要とされたスピンドルがロックするまでの待機時間をなくすことが可能となる。
【００５１】
速度を変更せずに、あたかも異なる倍速でサーボエラー信号を調べたかのようにするために、フィルタ設定部３５（図２）が、フィルタを変更する。ここで、図８を参照し、フィルタについて説明する。
【００５２】
図８は、図６に示したグラフとほぼ同様なグラフである。図６に示したグラフで、傾斜している部分を、傾斜Ｌ１とする。図８では、図６に示したグラフに、新たに傾斜Ｌ２という点線のラインを追加したグラフとしている。この傾斜Ｌ２は、傾斜Ｌ１と同じ傾きである。
【００５３】
傾斜Ｌ２と周波数ｆ0のときの実線とが交わるところのゲインは、ゲインＧ0”である。ディスク加速度によるサーボエラー信号の振幅を一定値に抑圧するために必要なゲインは、ゲインＧ0である。この場合、ゲインＧ0”＜ゲインＧ0である。このような場合、ゲインＧ0とゲインＧ0”の差分である差分Ｅ1’が、サーボエラーとして検出されることになる。この差分Ｅ１’は、周波数２ｆ0のときの差分Ｅ２と同じ値となる。すなわち、傾斜Ｌ２は、差分Ｅ１’と差分Ｅ２が同じ値となるように設定される。
【００５４】
フィルタとして、傾斜Ｌ１が傾斜Ｌ２となるようなフィルタを設定すれば、差分Ｅ１を、差分Ｅ１’とすることができる。この差分Ｅ１’は、上記したように、サーボエラー信号の振幅と係わる値であり、フィルタを設定することで、図９に示したようなグラフを得ることができる。
【００５５】
図９Ａは、図７Ａと同じグラフであり、フィルタを設定しないで、差分Ｅ１をサーボエラー信号として取り出したときのグラフである。図９Ｂは、図７Ａのときと同じ状況、すなわち、回転速度ＣＬＶ１のときに得られるサーボエラー信号であるが、フィルタを設定し、フィルタリングした後のグラフである。すなわち、図７Ｂは、差分Ｅ１’をサーボエラー信号として取り出したときのグラフとなる。
【００５６】
図９Ｂに示したグラフの時間Ｔ１’は、図９Ａの時間Ｔ１と同じである。すなわち、フィルタリングする前後で、時間は変わらない。よって、周波数に変化はなく、この場合、周波数ｆ0のままである。図９Ｂに示したグラフの振幅Ａ１’は、図９Ａの振幅Ａ１の２倍の大きさとなっている。この振幅Ａ１’は、図７Ｂに示した回転速度ＣＬＶ２のときの振幅Ａ２と同じ大きさである。これは、フィルタリング前は、差分Ｅ1であるが、フィルタリング後は、差分Ｅ１’となり、この差分Ｅ１’は、差分Ｅ１の２倍だからである。
【００５７】
このように、フィルタリングすることで、サーボエラー信号の振幅を、大きくすることが可能である。上記した実施の形態においては、回転速度ＣＬＶ１のときの振幅を、回転速度ＣＬＶ２のときの振幅と同じにすることが可能となる。
【００５８】
フィルタ設定部３５（図２）は、このようなフィルタリングを行うための設定を、ステップＳ５５（図４）において行う。フィルタは、サーボエラー信号に所定の係数を乗算することで実現でき、その係数は、係数記憶部３６に記憶されている。よって、ステップＳ５５におけるサーボフィルタを変更するという処理はフィルタ設定部３５が、倍速にあった係数を、係数記憶部３６から読み出し、フィルタリングするという処理である。また、係数として１を用いれば、実質的にフィルタリングしないフィルタを実現することができる。よって、フィルタリングしないサーボエラー信号の振幅を得たい場合には、係数として１を用いるようにしても良い。
【００５９】
判断部３７は、フィルタリング後の結果、例えば、図９Ｂに示したような結果から、ディスク２２に、欠陥があるか否かを判断する。
【００６０】
このように、任意の周波数ｆでの抑圧ゲインが、２倍の周波数である周波数２ｆでの抑圧ゲインと等しくなるようなフィルタが設定されるようにすることで、上記したように、１倍速（回転速度ＣＬＶ１）のときで、フィルタリングしたときの局所的な加速度の周波数（周波数ｆ0，ｆ1）における抑圧ゲインと、２倍速（回転速度ＣＬＶ２）のときで、フィルタリングしないとき（フィルタリングの係数を１としたとき）の局所的な加速度の周波数（周波数２ｆ0，２ｆ1）における抑圧ゲインを等しくすることができる。
【００６１】
このことにより、回転速度ＣＬＶ２のサーボエラー信号の振幅と、フィルタリングされた回転速度ＣＬＶ１のサーボエラー信号の振幅を等しくすることが可能となる。よって、倍速を変えずに（回転速度を変えずに）、倍速変更時の局所的な加速度によるサーボエラー信号の振幅を測定できるようになる。
【００６２】
このように、異なる倍速でのサーボエラー信号の振幅を測定するときに、スピンドルの回転速度を倍速に変更する代わりに、サーボフィルタを変更することで、倍速変更時のスピンドルロック時間が不要となる。もって、ディスクの検査にかかる時間を短縮することが可能となる。
【００６３】
なお、コンピュータが実行するプログラムは、本明細書で説明する順序に沿って時系列に処理が行われるプログラムであっても良いし、並列に、あるいは呼び出しが行われたとき等の必要なタイミングで処理が行われるプログラムであっても良い。
【００６４】
また、本明細書において、システムとは、複数の装置により構成される装置全体を表すものである。
【００６５】
なお、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】従来のディスクの検査方法の一例について説明するフローチャートである。
【図２】本発明を適用した検査装置の一実施の形態の構成を示す図である。
【図３】図２に示した検査装置の動作について説明するフローチャートである。
【図４】サーボゲインの周波数応答について説明する図である。
【図５】倍速毎の周波数分布について説明するための図である。
【図６】サーボエラー信号について説明するための図である。
【図７】サーボエラー信号について説明するための図である。
【図８】フィルタについて説明するための図である。
【図９】フィルタリングの前後の信号について説明するための図である。
【符号の説明】
【００６７】
２１  検査装置，  ２２  ディスク，  ３１  ピックアップ，  ３２  スピンドルモータ，  ３３  スピンドル制御部，  ３４  サーボエラー信号取得部，  ３５  フィルタ設定部，  ３６  係数記憶部，  ３７判断部
【図１】
2009301604.tif 000003
【図２】
2009301604.tif 000004
【図３】
2009301604.tif 000005
【図４】
2009301604.tif 000006
【図５】
2009301604.tif 000007
【図６】
2009301604.tif 000008
【図７】
2009301604.tif 000009
【図８】
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【図９】
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