(57)【要約】【課題】多様な形状の複合型光学素子を高精度に成形することが可能な成形技術を提供する。【解決手段】保持ヤトイ８に載置されたガラス基材７に光硬化型樹脂４を供給して金型６により成形する成形装置２０において、ガラス基材７の姿勢を検出するスポット検出光学系１４と、ガラス基材７の姿勢を調整する姿勢調整機構９と、スポット検出光学系１４から得られたガラス基材７の光軸のズレを補正するように姿勢調整機構９を介して保持ヤトイ８上のガラス基材７の姿勢を調整する制御演算部３０を備え、ガラス基材７の表面７ａおよび裏面７ｂ等の光学面の中心と、金型６の成形面６ａの軸とが一致する状態で光硬化型樹脂４の成形を行うことで、ガラス基材７および光硬化型樹脂４からなる樹脂層の光軸を一致させて、高精度な複合型光学素子を得る。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基材の表面に供給されたエネルギー硬化型樹脂に成形型から所望の形状を転写して複合型光学素子を得る成形装置であって、
前記ガラス基材が載置される基材保持手段と、
前記基材保持手段に載置された前記ガラス基材の姿勢を検出する姿勢検出手段と、
前記ガラス基材の前記姿勢に応じて前記基材保持手段の姿勢を調整する姿勢調整手段と、
を含むことを特徴とする成形装置。
【請求項２】
請求項１記載の成形装置において、
前記姿勢検出手段は、
前記基材保持手段を回転させるための回転機構と、
前記回転機構の回転角を検出するためのエンコーダーと、
前記回転機構の回転軸に沿って前記ガラス基材に光を照射し、前記ガラス基材の２つの被検面の各々からの反射光のスポットの軌跡を検出するスポット検出手段と、を含み、
前記姿勢調整手段は、
前記スポットの前記軌跡に基づいて前記ガラス基材の前記姿勢の調整量を決定する演算部と、
前記調整量に応じて前記基材保持手段の姿勢を変化させるＸＹテーブルおよびチルトテーブルと、を含む、
ことを特徴とする成形装置。
【請求項３】
ガラス基材の表面に供給されたエネルギー硬化型樹脂に成形型から所望の形状を転写して複合型光学素子を得る成形方法であって、
前記ガラス基材の姿勢を検出する第１ステップと、
前記ガラス基材の前記姿勢を調整する第２ステップと、
前記ガラス基材に前記エネルギー硬化型樹脂を供給する第３ステップと、
前記エネルギー硬化型樹脂に前記成形型を接触させる第４ステップと、
を含むことを特徴とする成形方法。
【請求項４】
請求項３記載の成形方法において、
前記第１ステップでは、回転する前記ガラス基材を経由する光の光路変化に基づいて、当該ガラス基材の前記姿勢を検出することを特徴とする成形方法。
【請求項５】
請求項３記載の成形方法において、
前記第１ステップでは、前記ガラス基材を回転させ、前記ガラス基材の回転軸に沿って前記ガラス基材の表面および裏面の曲率中心に光を照射し、前記表面および前記裏面の各々からの反射光のスポットの軌跡を検出するとともに、前記スポットの軌跡上の各点に対応する前記ガラス基材の回転角を検出し、前記表面および前記裏面の各々の前記反射光のスポットの軌跡と、前記ガラス基材の前記回転角とに基づいて、前記表面および裏面の前記曲率中心の前記回転軸に対する位置と傾きを前記姿勢として求めることを特徴とする成形方法。
【請求項６】
請求項５記載の成形方法において、
前記第２ステップでは、前記第１ステップで得られた前記ガラス基材の前記表面および裏面の前記曲率中心の前記回転軸に対する位置および傾きから、前記ガラス基材の光軸の前記回転軸に対する位置と傾きを求め、前記ガラス基材の前記光軸を前記回転軸と一致させることを特徴とする成形方法。
【請求項７】
ガラス基材の表面に供給されたエネルギー硬化型樹脂に成形型から所望の形状を転写して複合型光学素子を得る成形装置を制御する成形プログラムであって、
前記ガラス基材の姿勢を検出する第１ステップと、
前記ガラス基材の前記姿勢を調整する第２ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする成形プログラム。
【請求項８】
請求項７記載の成形プログラムにおいて、
前記第１ステップでは、回転する前記ガラス基材の回転軸に沿って前記ガラス基材の表面および裏面の曲率中心に照射された光の前記表面および前記裏面の各々からの反射光のスポットの軌跡と、前記スポットの前記軌跡上の各点に対応する前記ガラス基材の回転角とに基づいて、前記表面および裏面の前記曲率中心の前記回転軸に対する位置と傾きを前記姿勢として求める処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とする成形プログラム。
【請求項９】
請求項７記載の成形プログラムにおいて、
前記第２ステップでは、前記第１ステップで得られた前記ガラス基材の前記表面および裏面の前記曲率中心の前記回転軸に対する位置および傾きから、前記ガラス基材の光軸の前記回転軸に対する位置と傾きを求め、前記ガラス基材の前記光軸を前記回転軸と一致させる処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とする成形プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形技術に関し、たとえば、ガラス基材および当該ガラス基材に被着された樹脂層からなる複合型光学素子の成形等に適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、所望の光学的形状を有する金型とガラス基材の間に、樹脂を介在させて硬化させることにより、ガラス基材と樹脂層からなる光学部品を形成する、いわゆる複合型光学素子の成形装置として、特許文献１に開示される技術が知られている。
【０００３】
すなわち、この特許文献１の技術では、筒体の上端部にテーパ面が形成されたベル部を内部に有する胴型に対して、当該胴型と嵌合し、その先端に同じくベル部を有するベルホルダーを対向させ、この胴型内のベル部に、必要量の光硬化型樹脂が吐出供給されたガラス基材を載置し、ベルホルダーのベル部とで、ガラス基材を挟み込んで、いわゆるベルクランプ方式で心出し動作を行い、ガラス基材の光学芯をベル部の軸方向に一致させた後、金型をガラス基材上の光硬化型樹脂に接触させて押し広げることで金型の形状を光硬化型樹脂に転写し、光エネルギーを与えて硬化させた後、金型から樹脂層を離型させて複合型光学素子を得るものである。
【０００４】
しかしながら、上述の従来技術では、以下のような技術的課題があった。
すなわち、上述のようなベルクランプ方式による芯出しでは、ガラス基材の両光学面の曲率とベル部の径により求められるＺ係数の数値によって、芯出しの精度が変化してしまい、成形加工が可能なガラス基材の曲率が限定されるという技術的課題があった。
【０００５】
さらに、例えば、ガラス基材が両面非球面レンズのような場合には、ベルクランプ方式による芯出しでは、ベル部と接触する非球面の面形状の影響を受けてしまい、芯出しが正確にできないという技術的課題があった。
【０００６】
複合型光学素子は、カメラ等の光学系においてレンズ枚数の削減や、光学性能向上などを目的とする用途に用いられている。したがって、複合型光学素子は用途目的により、様々な光学面の形状を具備しなくてはならない。
【０００７】
しかし、上述の従来技術では、ガラス基材の光学面の曲率が限られた範囲の複合型光学素子しか成形できないため、光学性能の向上やレンズ枚数の削減などの目的を満たすことができなかった。
【特許文献１】特開平３−２０８６１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、多様な形状の複合型光学素子を高精度に成形することが可能な成形技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の観点は、ガラス基材の表面に供給されたエネルギー硬化型樹脂に成形型から所望の形状を転写して複合型光学素子を得る成形装置であって、
前記ガラス基材が載置される基材保持手段と、
前記基材保持手段に載置された前記ガラス基材の姿勢を検出する姿勢検出手段と、
前記ガラス基材の前記姿勢に応じて前記基材保持手段の姿勢を調整する姿勢調整手段と、
を含む成形装置を提供する。
【００１０】
本発明の第２の観点は、ガラス基材の表面に供給されたエネルギー硬化型樹脂に成形型から所望の形状を転写して複合型光学素子を得る成形方法であって、
前記ガラス基材の姿勢を検出する第１ステップと、
前記ガラス基材の前記姿勢を調整する第２ステップと、
前記ガラス基材に前記エネルギー硬化型樹脂を供給する第３ステップと、
前記エネルギー硬化型樹脂に前記成形型を接触させる第４ステップと、
を含む成形方法を提供する。
【００１１】
本発明の第３の観点は、ガラス基材の表面に供給されたエネルギー硬化型樹脂に成形型から所望の形状を転写して複合型光学素子を得る成形装置を制御する制御プログラムであって、
前記ガラス基材の姿勢を検出する第１ステップと、
前記ガラス基材の前記姿勢を調整する第２ステップと、
をコンピュータに実行させる成形プログラムを提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、多様な形状の複合型光学素子を高精度に成形することが可能な成形技術を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本実施の形態の一態様は、ガラス基材の表面にエネルギー硬化型樹脂を吐出し、金型によりエネルギー硬化型樹脂に所望形状を転写する複合型光学素子の成形装置において、ガラス基材を吸着保持するためのガラス基材保持機構と、ガラス基材保持機構を回転させるための回転機構と、回転機構により回転されているガラス基材の回転機構の回転軸に沿って光を照射し、ガラス基材の２つの被検面の各々からの反射光のスポットの軌跡を検出するスポット検出手段と、スポット検出手段により求められた結果に基づきガラス基材の姿勢を調整するための姿勢調整機構を設けた構成を開示する。
【００１４】
本態様では、ガラス基材の曲率を測定し、ガラス基材の姿勢を調整することで、ガラス基材の形状や曲率に制限されることなく、高精度にガラス基材の心出しを行なうことができる。
【００１５】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施の形態である成形方法を実施する成形装置の構成の一例を示す略側断面図であり、図２は、本実施の形態の成形方法および成形装置の作用の一例を示すフローチャートである。
【００１６】
まず、図１を参照して、本実施の形態の成形装置２０の構成を説明する。
なお、図１の紙面内の上下方向がＺ軸方向であり、左右方向がＸ軸方向であり、紙面に垂直な方向がＹ軸方向である。
【００１７】
Ｌ字状の架台ベース１の側面部には、Ｚ軸駆動機構２が配置されている。
Ｚ軸駆動機構２は、モーター２１と、ガイドレール２２と、ボールネジ２３で構成され、さらに、ガイドレール２２の上にはテーブル２４が配置されている。このＺ軸駆動機構２の構成を用いることで、テーブル２４を上下に駆動することができる。
【００１８】
さらに、テーブル２４上には、金型保持機構３が配置されており、金型保持機構３を介して金型６が成形面６ａを下向きにした姿勢で取り付けられている。このような構成にすることで、金型６も上下動させることができる。
【００１９】
架台ベース１の下方には、Ｚ軸方向に貫通する中空構造の回転機構１０が配置されている。
金型６は成形面６ａの中心軸６ｂが、回転機構１０の回転軸１９と一致するように取り付けられている。
【００２０】
さらに、回転機構１０の下面には、エンコーダー１１と、プーリー１２が接続されている。
この回転機構１０とともに回転するエンコーダー１１により、回転機構１０の回転角を求めることが可能になっている。
【００２１】
回転機構１０の右側面には、モーター１８が配設されている。さらに、モーター１８の下部には、プーリー１７が接続されている。
回転機構１０のプーリー１２と、モーター１８のプーリー１７との間にはベルト１６が架設されている。
【００２２】
このプーリー１７およびベルト１６の回転伝達機構により、モーター１８の回転が回転機構１０に伝達される構成となっている。
さらに、回転機構１０の上面には、ガラス基材７を吸着保持するための保持ヤトイ８（基材保持手段）が配置されている。
【００２３】
本実施の形態の場合、この保持ヤトイ８は円筒形状を有しており、その上端面にてガラス基材７の裏面７ｂを保持するように構成されている。また、保持ヤトイ８の上端面は、保持ヤトイ８の中心軸に直交する平坦面で構成されている。
【００２４】
保持ヤトイ８は、上端面と円筒の内周面の境界である円形のエッジからなる内側の接触部と、上端面と円筒の外周面の境界である円形のエッジからなる外側の接触部を有している。保持ヤトイ８の内側の接触部と外側の接触部との円形接触部の中心軸は、回転機構１０の回転軸１９の軸上に位置している。
【００２５】
さらに、保持ヤトイ８の下部には、姿勢調整機構９（姿勢調整手段）が配置されている。
この姿勢調整機構９は、本実施の形態の場合、一例としてＸＹステージ９ａと、チルトステージ９ｂで構成されている。
【００２６】
ＸＹステージ９ａは回転軸１９に直交する平面（Ｘ−Ｙ平面）内で保持ヤトイ８を変位させる動作を行う。また、チルトステージ９ｂは、保持ヤトイ８を、Ｚ軸方向の回転軸１９に対して傾動させる動作を行う。
【００２７】
これらのＸＹステージ９ａおよびチルトステージ９ｂは、図示を省略したモーターにより駆動する構成をとっている。また、これらの姿勢調整機構９を構成するＸＹステージ９ａおよびチルトステージ９ｂの中心部には、回転軸１９の方向に貫通する貫通穴が開設されており、この貫通穴の中心部を、後述の光４１および反射光４２が通過するように構成されている。
【００２８】
さらに、架台ベース１の下部には、支柱２５を介してベース１３が取り付けられている。
このベース１３には、スポット検出光学系１４と、ＵＶ照射光学系１５（姿勢検出手段）が、光軸方向をＺ軸方向に上向きにした姿勢で配置されている。
【００２９】
また、スポット検出光学系１４とＵＶ照射光学系１５を切り替えるための切り替え機構２６が配置されている。
スポット検出光学系１４は、光源１４ａ、レンズ１４ｂ、ビームスプリッタ１４ｃ、結像レンズ１４ｄ、結像レンズ１４ｅ、レンズ１４ｆを備えている。
【００３０】
そして、このスポット検出光学系１４では、光源１４ａから発せられた光４１をレンズ１４ｂにより平行光束にして、ビームスプリッタ１４ｃにより、９０度上方向に折り曲げ、ガラス基材７の下面方向へと照射されるように導く。
【００３１】
ビームスプリッタ１４ｃを通過した光４１は、結像レンズ１４ｄ、結像レンズ１４ｅにより収束される。この結像レンズ１４ｄ、結像レンズ１４ｅは、Ｚ方向に駆動可能に構成されており、これにより、光源１４ａからの光４１を所望の位置に集光させることが可能になっている。
【００３２】
さらに、ガラス基材７の被検面（この場合、表面７ａおよび裏面７ｂ）より反射された反射光４２は、ビームスプリッタ１４ｃを透過し、レンズ１４ｆにより撮像素子１４ｇ上に集光される。この撮像素子１４ｇ上に集光した反射光４２のスポットを検出し、ガラス基材７の姿勢情報を取得する。
【００３３】
このスポット検出光学系１４、およびエンコーダー１１は、制御演算部３０（姿勢調整手段）と接続され、ガラス基材７の姿勢情報が制御演算部３０に入力される構成となっている。
【００３４】
また、この制御演算部３０は、姿勢調整機構９に接続されており、制御演算部３０によって姿勢調整機構９が制御されるようになっている。
本実施の形態の場合、制御演算部３０は、たとえばマイクロコンピュータ等の情報処理装置で構成され、成形プログラム３１が実装されている。
【００３５】
この成形プログラム３１は、制御演算部３０によって実行されることで、成形装置２０の全体を制御するとともに、さらに、たとえば、スポット検出光学系１４および回転機構１０のエンコーダー１１から得られる情報に基づいて、後述のガラス基材７の曲率中心位置検出処理、ガラス基材７の光軸演算処理、ガラス基材７の姿勢調整量演算処理、を実現する機能を備えている。
【００３６】
さらに、成形プログラム３１は、ガラス基材７の姿勢調整量に基づいて、姿勢調整機構９を制御することにより、ガラス基材７の姿勢調整処理を実現する機能を備えている。
なお、本実施の形態において、ガラス基材７の曲率中心とは、表面７ａおよび裏面７ｂの各々で構成される光学機能面と光軸の交点、すなわち光学機能面の中心を意味する。
【００３７】
ＵＶ照射光学系１５は、光硬化型樹脂４の光硬化特性に応じた所望の波長の紫外線（ＵＶ光）を出射するＵＶ光源１５ａに接続されている。
そして、ＵＶ照射光学系１５は、切り替え機構２６により、スポット検出光学系１４と切り替えられたときに、回転機構１０の回転軸１０ａの軸上を通る位置に位置決めされ、ＵＶ光源１５ａから供給されるＵＶ光を、回転軸１０ａの軸上を通る光路で上方に出射されるように導く。
【００３８】
架台ベース１の上には、吐出手段５が配置されており、光硬化型樹脂４等のエネルギー硬化型樹脂が充填されているシリンジ５ａを与圧して、ガラス基材７の表面７ａにエネルギー硬化型樹脂の一種である光硬化型樹脂４を吐出する動作を行う。
【００３９】
次に、図２のフローチャート等を参照して、本実施の形態の成形装置２０における成形方法の作用を説明する。
以下の制御演算部３０の動作は、上述の成形プログラム３１を実行することによって実現される。
【００４０】
まず、保持ヤトイ８の上にガラス基材７の裏面７ｂが接触するように吸着保持させる（ステップ１０１）。
次に、制御演算部３０は、スポット検出光学系１４を、回転機構１０の直下の位置に、切り替え機構２６を用いて移動させる（ステップ１０２）。
【００４１】
制御演算部３０は、スポット検出光学系１４を制御して、ガラス基材７の裏面７ｂの曲率中心に光４１を収束させ、ガラス基材７の裏面７ｂからの反射光４２を撮像素子１４ｇにて検出する。その状態で、回転機構１０を作動させてガラス基材７を回転させることで、反射光４２の撮像素子１４ｇに結像するスポットの軌跡を得る。また、この撮像素子１４ｇ上のスポットの軌跡に応じた回転角をエンコーダー１１により得る。
【００４２】
制御演算部３０は、このスポット検出光学系１４からの反射光４２のスポットの軌跡と、エンコーダー１１からの回転角の情報を受信し、回転軸１９に対するガラス基材７の裏面７ｂの曲率中心の位置ズレの量と位置ズレの方向を求める（ステップ１０３）。
【００４３】
また、同様に、制御演算部３０は、ガラス基材７の表面７ａの曲率中心に光４１を収束させ、ガラス基材７の表面７ａからの反射光４２のスポットの軌跡と、エンコーダー１１からの回転角の情報により、回転軸１９に対するガラス基材７の表面７ａの曲率中心の位置ズレの量と位置ズレの方向を求める（ステップ１０４）。
【００４４】
ステップ１０３およびステップ１０４により求めたガラス基材７の表面７ａと裏面７ｂの曲率中心の位置ズレの量と、位置ズレの方向に基づき、制御演算部３０では、ガラス基材７の光軸の回転軸１９に対する傾きと方向を演算する（ステップ１０５）（第１ステップ）。
【００４５】
さらに、このステップ１０５の演算結果に基づき、制御演算部３０では、ガラス基材７の姿勢を調整するための調整量を算出する。この調整量は、ガラス基材７の光軸の回転軸１９に対する位置ズレおよび傾きを打ち消す姿勢調整機構９の制御量である（ステップ１０６）。
【００４６】
制御演算部３０は、このステップ１０６で得られた調整量を姿勢調整機構９に送り、姿勢調整機構９によりガラス基材７の姿勢を調整する（ステップ１０７）（第２ステップ）。
【００４７】
このように、ガラス基材７の姿勢を調整することにより、ガラス基材７の光軸と回転機構１０の回転軸１９を一致させる。すなわち、回転軸１９（すなわち金型６の成形面６ａの中心軸６ｂ）に対するガラス基材７の光軸の偏心および傾きを０にすることができる。
【００４８】
ガラス基材７の位置調整が完了した後、ガラス基材７の表面７ａに吐出手段５を用いて、必要量の光硬化型樹脂４を吐出する（ステップ１０８）（第３ステップ）。
その後、金型６をＺ軸駆動機構２を用い下降させ、成形面６ａをガラス基材７の表面７ａに吐出した光硬化型樹脂４に接触させる。そして、さらに、金型６を下降させ、成形面６ａとガラス基材７の表面７ａとの間の光硬化型樹脂４が所望の樹脂厚になる位置で停止させる（ステップ１０９）（第４ステップ）。
【００４９】
この状態で、切り替え機構２６によりスポット検出光学系１４からＵＶ照射光学系１５に切り替えを行い、ＵＶ照射光学系１５を回転機構１０の直下に移動させる（ステップ１１０）。
【００５０】
そして、ＵＶ照射光学系１５から出射されるＵＶ光を、ガラス基材７の裏面７ｂの側から照射し、所望の形状および樹脂厚に成形されている表面７ａの光硬化型樹脂４に照射して光硬化型樹脂４を硬化させる（ステップ１１１）。
【００５１】
樹脂を硬化させた後、金型６からガラス基材７と光硬化型樹脂４の密着体を離型することで、ガラス基材７および光硬化型樹脂４の樹脂層から成る複合型光学素子を成形することができる（ステップ１１２）。
【００５２】
なお、最初のステップ１０１におけるガラス基材７の保持ヤトイ８に対する載置動作、および最後のステップ１１２における金型６の離型動作は、制御演算部３０の制御の下に自動的に実行してもよいし、手動で実行してもよい。
【００５３】
以上説明したように、本実施の形態の成形装置２０によれば、ＵＶ照射光学系１５を成形装置２０に搭載することにより、保持ヤトイ８に載置されたガラス基材７の光軸の位置や傾き等の姿勢を求めることができ、また、ガラス基材７の姿勢を調整する姿勢調整機構９を用いて、保持ヤトイ８に載置された状態のガラス基材７の光軸（姿勢）を、金型６の成形面６ａの中心軸６ｂ（回転軸１９）に一致させるように調整することで、金型６の成形面６ａで成形された光硬化型樹脂４からなる樹脂層の光軸の、ガラス基材７の光軸に対する偏心や傾きの全くない、高精度な複合型光学素子を成形することができる。
【００５４】
また、ガラス基材７が載置される保持ヤトイ８の載置面は平坦であるため、いかなる形状の裏面７ｂを有するガラス基材７でも載置して姿勢の調整が可能であり、ベルクランプ方式のように、ガラス基材７の載置面となる裏面７ｂ等の形状に制約がない。
【００５５】
すなわち、本実施の形態の成形装置２０によれば、多様な形状の複合型光学素子を高精度に成形することが可能となる。
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
［付記１］
ガラス基材の表面にエネルギー硬化型樹脂を吐出し、金型によりエネルギー硬化型樹脂に所望形状を転写する複合型光学素子の成形装置において、
ガラス基材を吸着保持するための基材保持機構と、
基材保持機構を回転させるための回転機構と、
回転機構の回転角を検出するためのエンコーダーと、
回転機構の回転軸に沿ってガラス基材に光を照射し、ガラス基材の２つの被検面の各々からの反射光のスポットの軌跡を検出するスポット検出手段と、
スポット検出手段からの情報を演算し、調整量を求める演算手段と、
演算手段により求められた調整量に基づきガラス基材の姿勢を調整するための姿勢調整機構と、
を含むことを特徴とする複合型光学素子の成形装置。
［付記２］
ガラス基材の表面にエネルギー硬化型樹脂を吐出し、金型によりエネルギー硬化型樹脂に所望形状を転写する複合型光学素子の成形方法において、
ガラス基材を基材保持機構に吸着保持させた状態で、回転機構によりガラス基材を回転させ、そのガラス基材の回転軸に沿ってガラス基材の表裏面の曲率中心に光を照射し、ガラス基材のそれぞれの表裏面からそれぞれの反射光のスポットの軌跡を検出するとともに、スポットの軌跡上の各点に対応するガラス基材の回転角を検出し、ガラス基材の表裏面の各々の反射光スポットの軌跡と、ガラス基材の回転角とに基づいて、ガラス基材の表裏面の曲率中心の回転軸に対する位置と傾きを求める工程と、
前記工程のガラス基材の表裏面の曲率中心の回転軸に対する位置と傾きからガラス基材の光軸の回転軸に対する位置と傾きを求め、調整量を算出し、その調整量に基づき、ガラス基材の姿勢を調整し、ガラス基材の光軸を回転軸上と一致させる工程と、
ガラス基材に光硬化型樹脂を吐出する工程と、
ガラス基材上に吐出された光硬化型樹脂に金型の形状を転写させる工程と、
金型の形状を転写した後に、光硬化型樹脂を硬化させる工程と、
金型から光硬化型樹脂とガラス基材の密着体を離型する工程と、
を含むことを特徴とした複合型光学素子の成形方法。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施の形態である成形方法を実施する成形装置の構成の一例を示す略側断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態である成形方法および成形装置の作用の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５７】
１  架台ベース
２  Ｚ軸駆動機構
３  金型保持機構
４  光硬化型樹脂
５  吐出手段
５ａ  シリンジ
６  金型
６ａ  成形面
６ｂ  中心軸
７  ガラス基材
７ａ  表面
７ｂ  裏面
８  保持ヤトイ
９  姿勢調整機構
９ａ  ＸＹステージ
９ｂ  チルトステージ
１０  回転機構
１０ａ  回転軸
１１  エンコーダー
１２  プーリー
１３  ベース
１４  スポット検出光学系
１４ａ  光源
１４ｂ  レンズ
１４ｃ  ビームスプリッタ
１４ｄ  結像レンズ
１４ｅ  結像レンズ
１４ｆ  レンズ
１４ｇ  撮像素子
１５  ＵＶ照射光学系
１５ａ  ＵＶ光源
１６  ベルト
１７  プーリー
１８  モーター
１９  回転軸
２０  成形装置
２１  モーター
２２  ガイドレール
２３  ボールネジ
２４  テーブル
２５  支柱
２６  切り替え機構
３０  制御演算部
３１  成形プログラム
４１  光
４２  反射光
【図２】
2009119744.tif 000003
【図１】
2009119744.tif 000004