(57)【要約】【課題】プローブカードとＴＡＢの位置合わせの粗調整、微調整をＸＹステージ側のみで行うことにより調整の容易化を図ったＴＡＢ用オートハンドラを提供する。【解決手段】ＴＡＢの上方に上下動自在に設けられ、前記ＴＡＢを上方から押圧して前記プローブに接触させるプッシャと、  前記ＴＡＢの下方に設けられ、前記プッシャの押圧により前記ＴＡＢが前記測定部に接触するアタッチメントテーブルを備えたＴＡＢ用オートハンドラにおいて、  前記、ＴＡＢと前記プローブの位置合わせに用いるＸＹＺ方向とθ方向への駆動機構を前記プッシャ側に設けた。【選択図】      図１
2009069130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＡＢを測定部に搬送し、前記測定部においてＴＡＢをプローブに接触させるＴＡＢ用オートハンドラであって、
前記ＴＡＢの上方に上下動自在に設けられ、前記ＴＡＢを上方から押圧して前記プローブに接触させるプッシャと、
前記ＴＡＢの下方に設けられ、前記プッシャの押圧により前記ＴＡＢが前記測定部に接触するアタッチメントテーブルを備えたＴＡＢ用オートハンドラにおいて、
前記、ＴＡＢと前記プローブの位置合わせに用いるＸＹＺ方向とθ方向への駆動機構を前記プッシャ側に設けたことを特徴とするＴＡＢ用オートハンドラ。
【請求項２】
前記測定部の両側に設けられ前記ＴＡＢを搬送する一対の第１搬送手段と、この第１搬送手段の外側に設けられ、前記第１搬送手段との間で前記ＴＡＢに弛緩を与えて搬送する一対の第２搬送手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載のＴＡＢ用オートハンドラ。
【請求項３】
前記第１、第２搬送手段はスプロケットであって、該スプロケットの外周の一点で前記ＴＡＢを挟持して回転するローラを備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のＴＡＢ用オートハンドラ。
【請求項４】
前記第１、第２搬送手段は同期して回転することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＴＡＢ用オートハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状のフィルムキャリアに実装されたＩＣチップをＩＣテスタと接続させてＩＣチップの電気的特性を測定して分類するＴＡＢ（ＴａｐｅＡｕｔｏｍａｔｅｄＢｏｎｄｉｎｇ：テープ自動ボンディング）用オートハンドラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＴＡＢ用オートハンドラは、リールに巻かれたＴＡＢ（ＩＣチップが実装されたフィルムキャリア）を自動的に測定部まで逐次搬送し、測定部上に配置され昇降するプッシャによりＴＡＢを下方に押圧することによってＴＡＢをプローブに接触させてテストし、測定結果にもとづいて所定の判別を行うものである。
【０００３】
図２はタブ用オートハンドラの全体構成を示す要部正面図である。図２において、ＴＡＢ用オートハンドラはＴＡＢ２が巻かれ測定部にＴＡＢ２を供給する供給リール１１、測定部からのＴＡＢ２を巻き取り収容する収容リール１２、同期して回転しＴＡＢ２を測定位置に送り出すスプロケット１３、１４、スプロケット１３、１４間に配置されＴＡＢ２をプローブ７１に接触させるプッシャ１０２、アイドルプーリ１５〜１８、スプロケット１９、２０等により構成されている。
【０００４】
図３は、ＴＡＢ２の構成を示す断面図で、ＩＣチップ２ａ、ＩＣチップ２ａを搭載するフィルムキャリア２ｂ、ＩＣチップ２ａと導通するテストパッド２ｃ等を備えている。
【０００５】
図２に戻り、供給リール１１のＴＡＢ２はアイドルプーリ１５を介してスプロケット１９に案内される。スプロケット１９は、供給リール１１が送り出すＴＡＢ２をプッシャ１０２側に走行させる。アイドルプーリ１６は回転中心を固定し、スプロケット１９とスプロケット１３間に介在して配置され、スプロケット１９により送り出されたＴＡＢ２を測定部１００に案内する。
【０００６】
プローブカード７はプッシャ１０２と対向する形で装置に保持されており、プローブカード７は図示しないＩＣテスタのテストヘッドにアタッチメントユニット７２を介して機械的または電気的に分離可能に接続され、ＩＣテスタでＴＡＢ２は測定される。プッシャ１０２はプッシャ装置により上下駆動するように構成されている。ＴＡＢ２は、プッシャ１０２の下方でかつプローブ７１の上方に設けられたクランプ部との間を走行し、プッシャ装置によりプローブ７１に接触される前に、プッシャ１０２の下面とクランプ部４とでＴＡＢ２を幅方向の両縁部で挟持されている。
【０００７】
スプロケット１３、１４は、測定位置におけるプッシャ１０２の両翼に配置され、同期回転してＴＡＢ２を１ピッチ分走行させる。また、スプロケット１３、１４をそれぞれ回転制御させることで、スプロケット１３、１４により走行するＴＡＢ２を長手方向に移動させる。スプロケット１３、１４によりＴＡＢ２を測定位置に移動するとともに、ＴＡＢ２に長手方向のテンションをかけてＴＡＢ２の屈曲や波打ち（特にＴＡＢ２の長手方向の屈曲や波打ち）を防止している。
【０００８】
アイドルプーリ１７は回転中心を固定し、スプロケット２０とスプロケット１４間に介在して配置され、スプロケット１４から送り出されたＴＡＢ２をスプロケット２０側に案内する。スプロケット２０は収容リール１２側にＴＡＢ２を走行させ、アイドルプーリ１８はスプロケット２０により送られたＴＡＢ２を収容リール１２側に送り出して収容リール１２に巻き上げさせる。
【０００９】
上記構成によりＴＡＢ２は、スプロケット１３、１４が同期して回転することでＴＡＢ２の１ピッチ分送られ、供給リール１１からスプロケット１９、スプロケット１３、測定部１００、スプロケット１４、スプロケット２０、収容リール１２の順に移動する。
【００１０】
上記ＴＡＢ用オートハンドラは、ＴＡＢ２を供給リール１１から収容リール１２に巻き取る。また、図３の断面図に示すように、ＴＡＢ２は、プッシャ１０２とプッシャ１０２の下方に設けられたクランプ部４との間を走行する。図３における測定部１００のクランプ部１０３は、ＴＡＢ２の幅方向の端部をプッシャ１０２とで挟んで保持する。
【００１１】
プッシャ１０２が下降することで、クランプ１０３とともにＴＡＢ２を挟んで保持し、プッシャ１０２とクランプ部１０３とでＴＡＢ２を保持した状態で更に下降してプローブカード７のプローブ７１にＴＡＢ２のテストパッド２ｃを接触させる。これによりＴＡＢ２のＩＣチップ２ａの電気的特性が測定される。
【００１２】
図４は従来のＴＡＢ用オートハンドラの初期位置合わせに使用されるＸＹステージ１０４（プッシャ１０２を搭載）とプローブ７１を搭載したアタッチメントユニット７２の駆動方向を示す概略正面図である。図４に示すようにＸＹステージはＸＹＺ方向に駆動され、アタッチメントユニット７２はＸＹおよびθ方向に駆動される。
【００１３】
このようなオートハンドラに関する先行技術としては下記の特許文献が知られている。
【００１４】
【特許文献１】特開平１０−１８５９９６号公報
【特許文献２】特開２００２−１０７４１０号公報
【特許文献３】特開２００６−３１７２４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ところで、上述のような従来のＴＡＢ用オートハンドラでは、プローブカードとＴＡＢの初期位置決めにおいて、まず、アタッチメントユニット７２でＸＹの粗調整をおこない、θの微調整を手動で行った後、再度微調整をコンタクトプッシャを搭載したＸＹステージ１０４で行うという手順を踏んでいた。
【００１６】
しかしながら、上記従来技術においては、次のような問題点があった。
１）ＸＹの調整機構が上下２箇所あり、経済的に無駄である。
２）θを調節する機能は手動で行っており、調整が難しい。
３）ＴＡＢ搬送ラインが拘束されており、ＴＡＢをθ方向に曲げることができない。
【００１７】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたもので、
１）ＸＹおよびθ方向の調整機構をＸＹステージに集約するとともにθ方向の調整をモータによって駆動する。
２）プローブカードとＴＡＢの位置合わせの粗調整、微調整をＸＹステージ側のみで行うことにより調整の容易化を図る。
ことを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
このような課題を達成するための本発明の渦流量計の構成は、請求項１においては、
ＴＡＢを測定部に搬送し、前記測定部においてＴＡＢをプローブに接触させるＴＡＢ用オートハンドラであって、
前記ＴＡＢの上方に上下動自在に設けられ、前記ＴＡＢを上方から押圧して前記プローブに接触させるプッシャと、
前記ＴＡＢの下方に設けられ、前記プッシャの押圧により前記ＴＡＢが前記測定部に接触するアタッチメントテーブルを備えたＴＡＢ用オートハンドラにおいて、
前記、ＴＡＢと前記プローブの位置合わせに用いるＸＹＺ方向とθ方向への駆動機構を前記プッシャ側に設けたことを特徴とする。
【００１９】
請求項２においては、請求項１に記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、
前記測定部の両側に設けられ前記ＴＡＢを搬送する一対の第１搬送手段と、この第１搬送手段の外側に設けられ、前記第１搬送手段との間で前記ＴＡＢに弛緩を与えて搬送する一対の第２搬送手段を備えたことを特徴とする。
【００２０】
請求項３においては、請求項１または２に記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、
前記第１、第２搬送手段はスプロケットであって、該スプロケットの外周の一点で前記ＴＡＢを挟持して回転するローラを備えたことを特徴とする。
【００２１】
請求項４においては、請求項１乃至３のいずれかに記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、
前記第１、第２搬送手段は同期して回転することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したことから明らかなように本発明によれば、次のような効果がある。
請求項１においては、ＴＡＢと前記プローブの位置合わせに用いるＸＹＺ方向とθ方向への駆動機構を前記プッシャ側に設けたので、ＸＹθの調整機構が統合され、経済的に有利である。
【００２３】
請求項２においては、請求項１に記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、
前記測定部の両側に設けられ前記ＴＡＢを搬送する一対の第１搬送手段と、この第１搬送手段の外側に設けられ、前記第１搬送手段との間で前記ＴＡＢに弛緩を与えて搬送する一対の第２搬送手段を備えているので、θ方向への回動が無理なくできる。
【００２４】
請求項３においては、請求項１または２に記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、
前記第１、第２搬送手段はスプロケットであって、該スプロケットの外周の一点で前記ＴＡＢを挟持して回転するローラを備えているので、確実にＴＡＢの搬送を行うことができる。
【００２５】
請求項４においては、請求項１乃至３のいずれかに記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、
前記第１、第２搬送手段は同期して回転するので、確実にＴＡＢの搬送を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は本発明の実施形態の一例を示すＴＡＢ用オートハンドラの要部正面図である。
図１において、図４に示す従来例と同一要素には同一符号を付している。
本実施例においては、ＴＡＢ２とプローブ７１の位置合わせに用いるＸＹＺ方向とθ方向への駆動機構をプッシャ１０２ａ側に設け、従来、アタッチメントユニット７２側に設けていたＸＹθの駆動手段を除去している。
【００２７】
図ではＸＹＺとθ方向への駆動機構は省略するが、いずれもモータによって駆動される。そして、従来、測定部の両側に設けていた一対のスプロケット１３，１４を第１搬送手段とし、この搬送手段の外側に所定の間隔を保持してスプロケット３０，３１で構成される一対の第２搬送手段を設けている。
【００２８】
また、第１，第２搬送手段を構成する各スプロケット（１３，１４，３０，３１）の外周には外周の一点でＴＡＢ２を挟持し、回転中心を固定されて回転するローラ２２が設けられており、第１搬送手段と第２搬送手段の間に位置するＴＡＢ２にはそれぞれ弛緩部Ａが形成されている。
【００２９】
上述の構成において、第１，第２搬送手段を構成する各スプロケットを同期して回転させることでＴＡＢ２の１ピッチ分が送られ、ＴＡＢ２は第１搬送手段の間では所定のテンションを保って搬送され、第１搬送手段と第２搬送手段の間では弛緩部Ａを保持したまま搬送される。
【００３０】
上述の構成によれば、第１搬送手段と第２搬送手段の間に弛緩部Ａを設けているので、θ方向の位置合わせを簡単に行うことができる。また、本発明ではＸＹＺおよびθ方向の駆動をモータにより行うので、ボタン操作のみで容易に位置合わせを行うことができる。
【００３１】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明のＴＡＢ用オートハンドラの全体構成を示す要部正面図である。
【図２】タブ用オートハンドラの全体構成を示す要部正面図である。
【図３】従来のＴＡＢ用オートハンドラの全体構成を示す要部正面図である。。
【図４】ＴＡＢの構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
２      ＴＡＢ
４，１０３  クランプ部
７      プローブカード
１１    供給リール
１２    収容リール
１３，１４  スプロケット（第１搬送手段）
１５，１６，１７，１８    アイドルプーリ
１９，２０  スプロケット
２２    ローラ
３０，３１  スプロケット（第２搬送手段）
７１    プローブ
７２    アタッチメントユニット
１００  測定部
１０２  コンタクトプッシャ（プッシャ）
１０４  ＸＹステージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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