(57)【要約】【課題】長尺のフィルム材から、連続的に、光学性能のバラツキが少なく安定して、グリッド偏光フィルムを製造することができる方法を提供する。【解決手段】  表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルムの該凹凸面に金属層を形成し、次いで金属層にエッチング液を接触させる工程と、リンス液で洗浄する工程、リンス液を除去する工程を検査工程を含む湿式エッチングを、複数回繰り返し、金属層の一部を所望量除去することを含む、グリッド偏光フィルムの製造方法。【選択図】図３
2009069242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルムの該凹凸面に金属層を形成し、
次いで複数段の湿式エッチングによって金属層の一部を除去することを含む、グリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項２】
各段の湿式エッチングは、金属層にエッチング液を接触させる工程と、リンス液で洗浄する工程、およびリンス液を除去する工程を少なくとも含む、請求項１に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項３】
各段の湿式エッチングは、さらに検査工程を含む、請求項２に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項４】
検査工程は、光反射率と光透過率を測定することを含む、請求項３に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項５】
検査工程は、直線偏光を使用して、光反射率と光透過率を測定することを含む、請求項３に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項６】
金属層にエッチング液を接触させる前に、金属層の表面改質処理を行う、請求項２〜５のいずれか一項に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項７】
表面改質処理が、プラズマ処理、コロナ放電処理、ＵＶ照射処理および有機溶剤処理からなる群から選ばれる少なくとも一つの処理である、請求項６に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項８】
金属層にエッチング液を接触させる工程を、ディップ法、スプレー法およびコーティング法からなる群から選ばれる少なくとも一つの方法で行う、請求項２〜７のいずれか一項に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項９】
リンス液を除去する工程を、エアーブロー法で行う、請求項２〜８のいずれか一項に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項１０】
表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルムが、長尺のものである、請求項１〜９のいずれか一項に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の製造方法によって得られたグリッド偏光フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリッド偏光フィルムの製造方法に関する。さらに詳細には、長尺のフィルム材から、連続的に、光学性能のバラツキが少なく安定して、グリッド偏光フィルムを製造することができる方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
グリッド偏光フィルムの製造方法として、特許文献１に、表面に０．０１μｍ〜１００μｍピッチの微細凹凸格子を有する被延伸部材を、前記凹凸格子の長手方向と略直交する方向の前記被延伸部材の幅を自由にした状態で前記長手方向と略平行な方向に一軸延伸する工程と、前記一軸延伸された延伸部材の前記微細凹凸格子上に金属層を形成する工程と、偏光板本体を前記延伸部材に押圧し、前記偏光板本体を前記延伸部材から外して前記偏光板本体上に前記微細凹凸格子に対応するピッチの金属線を形成する工程と、を具備することを特徴とするワイヤグリッド偏光板の製造方法が提案されている。そして、微細凹凸格子上に金属層を形成した後に、前記微細凹凸格子の側面に被着した前記金属層を部分的に除去することが開示されている。この金属層を部分的に除去する手段として湿式エッチングが例示されている。
【特許文献１】特開２００６−２０１５４０号公報
【０００３】
グリッド偏光フィルムに形成される金属層はナノオーダーの細線であるので、湿式エッチングにおける、エッチング液の濃度、温度、エッチング液と金属が接触する時間を厳密に管理し、エッチング速度を精密に制御しないと、金属層のサイズが不均一となったり、金属層の欠落が生じたりする。そのため、所望の光学特性を有するグリッド偏光フィルム、特に長尺フィルム材からグリッド偏光フィルムを連続的に安定して製造することは困難であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本発明の目的は、長尺のフィルム材から、連続的に、光学性能のバラツキが少なく安定して、グリッド偏光フィルムを製造することができる方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者は、前記目的を達成するために鋭意検討した結果、表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルムの該凹凸面に金属層を形成し、次いで複数段の湿式エッチングによって金属層の一部を除去することによって、長尺のフィルム材から、連続的に、光学性能のバラツキが少なく安定して、グリッド偏光フィルムを製造できることを見出した。本発明はこの知見に基づいてさらに検討し、完成したものである。
【０００６】
すなわち、本発明は、以下の態様を含む。
（１）  表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルムの該凹凸面に金属層を形成し、次いで複数段の湿式エッチングによって金属層の一部を除去することを含む、グリッド偏光フィルムの製造方法。
（２）  各段の湿式エッチングは、金属層にエッチング液を接触させる工程と、リンス液で洗浄する工程、およびリンス液を除去する工程を少なくとも含む、（１）に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
（３）  各段の湿式エッチングは、さらに検査工程を含む、（２）に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
（４）  検査工程は、光反射率と光透過率を測定することを含む、（３）に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
（５）  光反射率と光透過率の測定で、直線偏光を使用する、（４）に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
【０００７】
（６）  金属層にエッチング液を接触させる前に、金属層の表面改質処理を行う、（２）〜（５）のいずれか一項に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
（７）  表面改質処理が、プラズマ処理、コロナ放電処理、ＵＶ（紫外線）照射処理および有機溶剤処理からなる群から選ばれる少なくとも一つの処理である、（６）に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
（８）  金属層にエッチング液を接触させる工程を、ディップ法、スプレー法およびコーティング法からなる群から選ばれる少なくとも一つの方法で行う、（２）〜（７）のいずれか一項に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
（９）  リンス液を除去する工程を、エアーブロー法で行う、（２）〜（８）のいずれか一項に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
（１０）  表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルムが、長尺のものである、（１）〜（９）のいずれか一項に記載のグリッド偏光フィルムの製造方法。
（１１）  前記（１）〜（１０）のいずれか一項に記載の製造方法によって得られたグリッド偏光フィルム。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の製造方法によれば、長尺のフィルム材から、連続的に、光学性能のバラツキが少なく安定して、グリッド偏光フィルムを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明のグリッド偏光フィルムの製造方法は、表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルムの該凹凸面に金属層を形成し、次いで複数段の湿式エッチングによって金属層の一部を除去することを含む、ものである。
【００１０】
本発明に用いられる表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルムは、透明樹脂フィルムの表面に可視光線の波長よりも短いピッチ間隔の凸条によって格子が形成されているものである。
透明樹脂フィルムを構成する樹脂は、加工性の観点からガラス転移温度が６０〜２００℃であることが好ましく、１００〜１８０℃であることがより好ましい。なお、ガラス転移温度は示差走査熱量分析（ＤＳＣ）により測定することができる。
【００１１】
透明樹脂としては、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアクリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、二酢酸セルロース、三酢酸セルロース、脂環式オレフィンポリマーなどが挙げられる。これらのうち、コストの観点から、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリアクリレート樹脂が好適である。
【００１２】
前記透明樹脂は、顔料や染料のごとき着色剤、蛍光増白剤、分散剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、耐電防止剤、酸化防止剤、滑剤、溶剤などの配合剤が適宜配合されたものであってもよい。
本発明に用いられる透明樹脂フィルムは、たとえば、前記透明樹脂を公知の方法で成形することによって得られる。成形法としては、キャスト成形法、押出成形法、インフレーション成形法などが挙げられる。
【００１３】
透明樹脂フィルムの平均厚さは、取り扱い性の観点から通常５μｍ〜１０ｍｍ、好ましくは２０〜５００μｍである。透明樹脂フィルムは、波長４００〜７００ｎｍの可視光線領域の光の透過率が８０％以上であるものが好ましい。
【００１４】
本発明に用いられるグリッド偏光フィルムを製造するにあたって、透明樹脂フィルムとして長尺状のものが好ましく用いられる。長尺とは、幅に対し少なくとも５倍程度以上の長さを有するものを言い、好ましくは１０倍もしくはそれ以上の長さを有するものを言い、具体的にはロール状に巻回されて保管または運搬される程度の長さを有するものを言う。
長尺状の透明樹脂フィルムの幅は、好ましくは５００ｍｍ以上、より好ましくは１０００ｍｍ以上である。透明樹脂フィルムは、その製造工程の途中において、任意に、その幅方向の両端を切り落とす（トリミング）ことがある。この場合、前記透明樹脂フィルムの幅は、両端を切り落とした後の寸法とすることができる。
【００１５】
透明樹脂フィルムの表面に有する微細な凹凸格子形状は、可視光線の波長よりも短いピッチ間隔の凸条によって格子に形成されたものである。
凸条は、細長く直線状に延びる畝状のものである。該凸条が互いに離間した状態で略平行に複数並ぶことによって格子を形成する。凸条の垂直断面形状は特に限定されないが、矩形、台形、菱形、山形などが挙げられる。
【００１６】
凸条の高さＨは、好ましくは５〜３０００ｎｍ、より好ましくは２０〜１０００ｎｍ、特に好ましくは５０〜３００ｎｍである。
凸条間に形成される溝の間隔は、好ましくは２００ｎｍ以下、好ましくは２０〜１００ｎｍである。
凸条の幅は、好ましくは２５〜３００ｎｍであり、凸条（稜線）の長さが好ましくは８００ｎｍ以上である。
また、凸条の中心間距離（ピッチ）は、好ましくは２０〜５００ｎｍ、より好ましくは３０〜３００ｎｍである。
凸条のアスペクト比（凸条の高さ／凸条の幅）は、好ましくは０．１〜５．０、より好ましくは０．４〜３．０、特に好ましくは０．８〜２．０である。
【００１７】
偏光分離性能などの光学特性を考慮すると、凸条が略平行に周期的に（同一ピッチで）並んだものが好ましい。なお、本発明において、略平行とは、平行方向から±５°の範囲内にあることをいう。
【００１８】
本発明の製造方法では、表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルムの該凹凸面に金属層を形成する。
金属層に用いる材料としては、導電性のものが好ましく、具体的には、アルミニウム、インジウム、マグネシウム、ロジウム、スズ等の金属が挙げられる。
金属層は、前記材料を物理蒸着（ＰＶＤ法）することによって形成することができる。ＰＶＤ法は、蒸着材料を蒸発・イオン化し、被膜を形成させる方法である。具体的には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング（イオンめっき）法、イオンビームデポジション法等の中から適宜選択することができる。これらのうち真空蒸着法が好適である。真空蒸着法は、真空にした容器の中で、蒸着材料を加熱し気化もしくは昇華して、離れた位置に置かれた基材の表面に付着させ、薄膜を形成する方法である。蒸着材料、基材の種類により、抵抗加熱、電子ビーム、高周波誘導、レーザーなどの方法で加熱される。
【００１９】
ＰＶＤ法により金属層を形成させた場合、前記凸条の頂及び／又は前記凸条間に形成される溝の底に金属層が形成される（図１、図２参照）。
凸条の長手方向に垂直な断面における、凸条の頂に形成された金属層Ａの形状は、特に制限されず、通常は矩形、台形、円形、山形などである。金属層Ａの厚さは、特に制限されないが、通常２０〜５００ｎｍ、好ましくは３０〜３００ｎｍ、より好ましくは４０〜２００ｎｍである。金属層Ａの幅および長さは、通常、凸条の頂面の形状にしたがってほぼ決まる。
【００２０】
凸条の長手方向に垂直な断面における、凸条間に形成される溝の底に形成された金属層Ｂの形状は、特に制限されず、通常は矩形、台形、円形、山形などである。金属層Ｂの厚さは、通常２０〜５００ｎｍ、好ましくは３０〜３００ｎｍである。金属層Ｂの幅および長さは、通常、溝の底面の形状にしたがってほぼ決まる。
【００２１】
凹凸面に形成された金属層の一部は、複数段の湿式エッチングによって除去される。除去される金属層の一部とは、凸条の側壁に形成された部分、凸条の頂の幅からはみ出し部分などである。
【００２２】
各段の湿式エッチングは、金属層にエッチング液を接触させる工程と、リンス液で洗浄する工程、およびリンス液を除去する工程を少なくとも含む。さらに検査工程を含むことが好ましい。
【００２３】
第一段目の湿式エッチングにおいて、金属層にエッチング液を接触させる工程の前に、除去されないようにしたい部分の金属層の上にマスク層を設けてもよい。マスク層には通常無機酸化物膜が用いられる。このマスク層によって金属層の厚さの減少を少なくして金属層の幅を狭くすることができる。
【００２４】
マスキング用の無機酸化物は、後述の湿式エッチングに耐えるものであれば特に限定されず、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素または窒化酸化ケイ素などの化合物が挙げられる。これらの中では特に酸化ケイ素が好ましい。積層される無機酸化物膜の厚さは、特に制限されないが、通常１〜１００ｎｍ、好ましくは２〜５０ｎｍ、より好ましくは３〜２０ｎｍである。無機酸化物膜はＰＶＤ法によって形成できる。
【００２５】
第一段目の湿式エッチングにおいて、金属層にエッチング液を接触させる工程の前に、略平行に並んだ凸条に直交する方向に延伸することができる。この延伸によって凸条の中心間距離が広がり、金属層Ａ間の間隔が広がり、結果として光線透過率が高くなる。また溝の底面に形成されていた金属層Ｂの端が、延伸によって、凸条の基部から離れ、隙間ができる。後述する湿式エッチング液がこの隙間に入り込み、金属層Ｂの両端を優先的に除去し、中央よりも両端を薄くすることができる。
【００２６】
延伸方法は特に限定されないが、凸条に直交する方向の延伸倍率を好ましくは１．０５〜５倍、より好ましくは１．１〜３倍、凸条に平行な方向の延伸倍率を好ましくは０．９〜１．１倍、より好ましくは０．９５〜１．０５倍にすると好ましい。このような延伸を行うために、テンター延伸機による連続的な横一軸延伸が好適である。
【００２７】
各段の湿式エッチングにおいて、好ましくは第一段目の湿式エッチングにおいて、金属層にエッチング液を接触させる工程の前に、金属層の表面改質処理を行うことが好ましい。表面改質処理としては、プラズマ処理、コロナ放電処理、ＵＶ照射処理および有機溶剤処理からなる群から選ばれる少なくとも一つの処理が好適なものとして挙げられる。金属層の表面改質処理を行うことによって、光学性能のバラツキが少なくなる。
【００２８】
湿式エッチングに用いられるエッチング液は、透明樹脂フィルムを腐食等させずに金属層の一部を除去できる液であれば良く、マスク層（無機酸化物膜）、金属層、透明樹脂フィルムの材質に応じて適宜選択される。エッチング液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属化合物を含有する溶液；硫酸、燐酸、硝酸、酢酸、フッ化水素、塩酸などを含有する溶液；過硫酸アンモニウム、過酸化水素、フッ化アンモニウム等やそれらの混合液からなる溶液などが挙げられる。また、エッチング液には界面活性剤などの添加剤が添加されていても良い。
【００２９】
金属層にエッチング液を接触させる方法は、特に制限されないが、ディップ法、スプレー法およびコーティング法からなる群から選ばれる少なくとも一つの方法が好ましい。また、必要に応じてエッチング工程に超音波を使用しても良い。
【００３０】
湿式エッチングに用いられるリンス液は、エッチング液を金属層に接触させたときに発生する残渣を取り除く液である。残渣が残ると金属層の表面が荒れ、光学性能に影響を及ぼすことがある。また、残渣が透明樹脂フィルムの好ましく無い場所に付着することがある。
リンス液としては、水（純水）、界面活性剤を含有する溶液、希薄酸、希薄アルカリ、アルコールなどが挙げられる。
リンス液で金属層を洗浄する方法は、金属層に接触したエッチング液およびエッチング残渣を取り除くことができる方法であれば、特に制限されない。
【００３１】
リンス液で洗浄した後、リンス液を除去する。リンス液の除去方法は特に制限されないが、エアーブローによる方法が好ましい。また、使用するエアーは、必要に応じて加温されていても良い。
【００３２】
本発明においては、金属層の一部を除去するために、上記湿式エッチングを複数回行う。金属層の一部を除去することを、１回だけの湿式エッチングで行うと、既に述べたように、金属層のサイズが不均一となったり、金属層の欠落が生じたりする。
従って、各段の湿式エッチングは、除去されなければならない除去総量よりも、少ない除去量になるように、エッチング液の濃度および温度、エッチング液と金属が接触する時間を調整する。また、湿式エッチングにおける検査工程で得られたデータに基いて、各段の湿式エッチングにおけるエッチング液の濃度および温度、エッチング液と金属が接触する時間を調整することができる。
【００３３】
各段の湿式エッチングにおける、エッチング液の濃度は、好ましくは１０重量％〜９０重量％の範囲内、より好ましくは３０重量％〜６０重量％の範囲内で、エッチングするときの温度は、好ましくは１０℃〜１００℃の範囲内、より好ましくは２０℃〜８０℃の範囲内で、エッチング液の供給量は、好ましくは０．００５ｍ3／ｍｉｎ〜１．０ｍ3／ｍｉｎの範囲内、より好ましくは０．０１ｍ3／ｍｉｎ〜０．１ｍ3/ｍｉｎの範囲内で、エッチング液と金属が接触する時間は、好ましくは１０秒間〜２００秒間の範囲内、より好ましくは３０秒間〜１００秒間の範囲内で調整する。
【００３４】
検査工程では、湿式エッチングされた金属層のグリッド偏光分離特性を検査する。グリッド偏光特性の検査では、可視光線領域の波長を有する光（非偏光）を検査対象フィルムに入射し、光の波長に対する光反射率と光透過率を求める。光反射率および光透過率が所定の値に近くなるほど、偏光分離特性が優れていることになる。
また、より正確に偏光分離特性を求めるために、直線偏光の偏光面を格子の長手方向に平行になるように可視光線領域の波長を有する直線偏光を検査対象フィルムに入射し、光反射率と光透過率を求め、次いで直線偏光の偏光面を格子の長手方向に直角になるように可視光線領域の波長を有する直線偏光を検査対象フィルムに入射し、偏光の波長に対する光反射率と光透過率を求める。
【００３５】
直線偏光を格子に直交させた場合の光透過率は湿式エッチングが進むほど高くなる。一方、直線偏光を格子に平行にした場合の光反射率は湿式エッチングが進むほど低くなる。好ましいグリッド偏光フィルムは直線偏光を格子に直交させた場合の光透過率および直線偏光を格子に平行にした場合の光反射率がともに高いことが望ましい。従って、本発明においては、各段の湿式エッチング後の光透過率と光反射率を検査工程で測定し、その測定データを用いて、各段の湿式エッチングにおける条件を、好ましい光透過率と光反射率になるようにフィードフォワード制御またはフィードバック制御によって調整することが好ましい。
なお、液晶表示装置などの赤色、緑色および青色の光を使用する装置では、赤色、緑色および青色の光を含む波長域で、上記のような光反射率と光透過率を示すことが好ましい。
【００３６】
本発明の製造方法によって得られたグリッド偏光フィルムには、金属層を形成した側の面に直接または他の層を介して保護層を積層させてもよい。
保護層は、その材質によって特に制限されないが、透明材料からなるものが好ましい。透明材料としては、ガラス、無機酸化物、無機窒化物、多孔質物質、透明樹脂などが挙げられる。これらのうち、特に透明樹脂からなるものが好ましい。透明樹脂は、前述の透明樹脂フィルムを構成するものとして示したものから適宜選択して用いることができる。
保護層の平均厚さは、取り扱い性の観点から通常５μｍ〜１ｍｍ、好ましくは２０〜２００μｍである。保護層は、波長４００〜７００ｎｍの可視光線領域の光の透過率が８０％以上であるものが好ましい。
【００３７】
また、保護層は、波長５５０ｎｍで測定したレターデーションＲｅが、５０ｎｍ以下であることが好ましく、２０ｎｍ以下であることがより好ましい。また、面内の任意２点のレターデーションＲｅの差（レターデーションむら）は、好ましくは１０ｎｍ以下であり、より好ましくは５ｎｍ以下である。レターデーションＲｅが大きく、またレターデーションむらが大きいと、液晶表示装置に用いた場合に表示面の明るさにバラツキが生じやすくなる。
【００３８】
保護層を積層させるために接着剤（粘着剤を含む）を用いることができる。接着剤からなる層（接着層）の平均厚さは、通常０．０１μｍ〜３０μｍ、好ましくは０．１μｍ〜１５μｍである。保護層を接着剤で貼り付ける場合には、金属層間の空間に接着剤が入り込まないようにし、金属層間の空間に空気が残るようにすることが偏光分離性能を高める点で好ましい。
【００３９】
図３は、本発明の製造方法に用いられる連続式湿式エッチング装置の一例を示す概念図である。
本装置では、金属層を形成されたフィルムが捲回されたロール２からフィルムを繰り出し、連続式湿式エッチング装置の第一湿式エッチング処理ゾーンＺ１、第二湿式エッチング処理ゾーンＺ２、および第三湿式エッチング処理ゾーンＺ３を通過させ、次いで保護層Ｐを貼付し、ロール３に巻き取られる。
【００４０】
第一湿式エッチング処理ゾーンＺ１およびＺ２は、エッチング液を金属層に接触させる工程Ｅ１およびＥ２、リンス液で洗浄する工程Ｒ１およびＲ２、リンス液を除去する工程Ｄ１およびＤ２、並びに、検査工程Ｔ１およびＴ２を行う領域に分かれている。第三湿式エッチング処理ゾーンＺ３は、エッチング液を金属層に接触させる工程Ｅ３、リンス液で洗浄する工程Ｒ３、並びにリンス液を除去する工程Ｄ３を行う領域に分かれている。そして、各ゾーンの各領域を金属層を形成されたフィルムが順次通過し、それぞれの処理がフィルムに施させるようになっている。
【００４１】
図３では、湿式エッチング処理ゾーンが３つあるが、本発明では湿式エッチング処理ゾーンが２つ以上あればその数に限定はない。また装置として湿式エッチング処理ゾーンを３以上有していても、検査工程で検出したデータによって、次段以降の湿式エッチングを要しない場合には次段の湿式エッチング処理ゾーンにおける各領域での処理を行わないように（単に通過するだけに）することもできる。
【００４２】
図３に示した装置は一例に過ぎないので、例えば、湿式エッチング処理ゾーンが１つの装置に、フィルムを複数回通過させることによって、本発明の製造方法を行うことができる。
【実施例】
【００４３】
以下に実施例、比較例を挙げて、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００４４】
実施例１
８ｍｍ×８ｍｍ×６０ｍｍのＳＵＳ製シャンクにろう付けされた寸法０．２ｍｍ×１ｍｍ×１ｍｍの直方体単結晶ダイヤモンドの０．２ｍｍ×１ｍｍの面に、集束イオンビーム加工装置ＳＭＩ３０５０（セイコーインスツルメンツ社製）を用いてアルゴンイオンビームによる集束イオンビーム加工を行い、長さ１ｍｍの辺に平行な幅９０ｎｍ、深さ９０ｎｍの矩形の溝をピッチ１８０ｎｍで彫り込み、切削工具を作製した。
【００４５】
直径２００ｍｍで長さ１５０ｍｍのステンレス鋼ＳＵＳ４３０製円筒の曲面全面に、厚さ１００μｍのニッケル−リン無電解メッキを施した。次いで、先に作製した切削工具と、精密円筒研削盤Ｓ３０−１（スチューダ社製）を用いて、ニッケル−リン無電解メッキ面に切削加工し、円筒の円周端面に平行な幅９０ｎｍで高さ９０ｎｍの断面矩形凸条がピッチ１８０ｎｍで円筒の曲面全面に形成された転写ロールを得た。なお、集束イオンビーム加工による切削工具の作製と、ニッケル−リン無電解メッキ面の切削加工は、振動制御システム（昭和サイエンス社製）により０．５Ｈｚ以上の振動の変位が１０μｍ以下に管理された、温度２０．０±０．２℃の恒温低振動室内で行った。
【００４６】
直径７０ｍｍのゴム製ロールからなるニップロール（表面温度１００℃）及び上記転写ロール（表面温度１６０℃）の間に、厚さ１００μｍの脂環式オレフィンポリマーフィルム（ＺＦ−１４、オプテス社製）を、フィルムの搬送テンション０．１ｋｇｆ／ｍｍ2、ニップ圧０．５ｋｇｆ／ｍｍの条件で、通過させ、フィルム表面に転写ロール表面の形状を転写した。得られた転写フィルムはロール状に巻き取った。
得られた転写フィルムは、その表面に、流れ方向に平行で、幅９０ｎｍ、高さ９０ｎｍの凸条がピッチ１８０ｎｍで格子に形成されていることが、電解放出形走査電子顕微鏡Ｓ−４７００（日立製作所社製）によって観察された。
【００４７】
前記の転写フィルムの凹凸面側に真空蒸着装置を用いアルミニウムを成膜した。得られたアルミニウム蒸着フィルムはロール状に巻き取った。
アルミニウム蒸着フィルムは、凹凸面上に厚さ１２０ｎｍのアルミニウム層が形成されているものであることが、透過電子顕微鏡Ｈ−７５００（日立製作所社製）によって観察された。なお、前記透過電子顕微鏡による断面観察用試料は、集束イオンビーム加工観察装置ＦＢ−２１００（日立製作所社製）のマイクロサンプリング装置を使用して作成した。
【００４８】
次いで、図３に示す連続式湿式エッチング装置に、上記アルミニウム蒸着フィルムを５ｍ／ｍｉｎで通過させ、湿式エッチングした。
各湿式エッチング処理ゾーンＺ１、Ｚ２およびＺ３では、硝酸１０．０重量％、リン酸６５．０重量％、酢酸１０．０重量％、及び残部が水からなる組成（酸成分相当濃度：８５．０重量％）のエッチング液に３０秒間接触させる工程Ｅ１、Ｅ２およびＥ３；純水（リンス液）によって洗浄する工程Ｒ１、Ｒ２およびＲ３；ならびにエアーブロワーによる乾燥空気の送風でリンス液を除去する工程Ｄ１、Ｄ２およびＤ３を行った。
湿式エッチング処理ゾーンＺ１およびＺ２では、光源にハロゲンランプ、検出器に輝度計（商品名：ＢＭ-７Ａ  トプコン社製）を用いた検査工程Ｔ１およびＴ２を行った。
【００４９】
該検査工程では、下記のようにしてデータを測定した。ハロゲン光源に偏光板を重ねて直線偏光とし、光源の偏光方向をフィルムの透過軸方向に平行にして正面透過光、反射光の光強度を測定した。
【００５０】
検査工程Ｔ１およびＴ２で得られたデータは、次段の湿式エッチング処理ゾーンＺ２およびＺ３にそれぞれフィードフォワードして、エッチング工程Ｅ２およびＥ３におけるエッチング液の噴射量や温度等をオンライン制御した。なお、エッチング液の噴射量は、スプレー圧力で０．５ｋｇ／ｃｍ2〜３．０ｋｇ／ｃｍ2の範囲内で、エッチング液の温度は、２５℃〜６０℃の範囲内で調節した。
【００５１】
湿式エッチング処理ゾーンＺ３から出てきたグリッド偏光フィルムのアルミニウム層側に、トリアセチルセルロースからなる保護フィルムＰを、ウレタン系接着剤からなる接着層を介して積層し、この積層フィルムを加圧ローラーのニップに供給し圧着して貼り合せた。得られた保護層付きグリッド偏光フィルムはロール状に巻き取った。
【００５２】
保護層付きグリッド偏光フィルムの長手方向に１００ｍ間隔で所定の大きさに２０点切り出し、その部分の偏光透過率および偏光反射率を下記に示した方法で測定し、平均値とばらつきを求めた。
グリッド偏光フィルムに直線偏光を偏光面がグリッド偏光子の透過軸に平行となるように入射し、分光光度計Ｖ−５７０（日本分光社製）を用いて、波長４５０ｎｍ、５５０ｎｍおよび６５０ｎｍにおける透過率（偏光透過率）を測定した。
グリッド偏光フィルムに直線偏光を偏光面がグリッド偏光子の透過軸に直角となるように入射角５度で入射し、分光光度計Ｖ−５７０を用いて、波長４５０ｎｍ、５５０ｎｍおよび６５０ｎｍにおける反射率（偏光反射率）を測定した。
【００５３】
なお、この測定による偏光透過率及び偏光反射率が大きいほど、グリッド偏光フィルムの偏光分離性能は優れていることになる。各波長におけるばらつき（偏光透過率または偏光反射率の最大値−最小値の差）が５％以下の時は○、５〜１０％のときは△、１０％以上のときは×とした。評価結果を表１に示した。
【００５４】
実施例２
イソボルニルアクリレート８６．６重量部、ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート９．６重量部および光重合開始剤（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、イルガキュアー１８４）３．８重量部からなる塗布液を、コロナ放電による表面処理を施した厚さ１００μｍのシクロオレフィンポリマーフィルム（ＺＦ−１４、オプテス社製）面に５μｍの厚さで塗布し、該塗布面に実施例１で作成した転写ロールを接触させ、該接触している状態においてフィルム側から紫外線を照射し塗布膜を硬化させて、転写ロール面の形状を塗布膜に転写した。
得られた転写フィルムは、その表面に、流れ方向に平行で、幅９０ｎｍ、高さ９０ｎｍの凸条がピッチ１８０ｎｍで格子に形成されていることが、電解放出形走査電子顕微鏡Ｓ−４７００（日立製作所社製）によって観察された。
【００５５】
前記の転写フィルムの凹凸面側に真空蒸着装置を用いアルミニウムを成膜した。得られたアルミニウム蒸着フィルムはロール状に巻き取った。
アルミニウム蒸着フィルムは、凹凸パターン上に厚さ１２０ｎｍのアルミニウム層が形成されているものであることが、透過電子顕微鏡Ｈ−７５００（日立製作所社製）によって観察された。断面観察用試料は実施例１と同じ方法で作成した。
【００５６】
このアルミニウム蒸着フィルムを実施例１と同様に湿式エッチング処理し、保護フィルムを貼りあわせて、保護層付きグリッド偏光フィルムを得た。保護層付きグリッド偏光フィルムを実施例１同様に評価した。その結果を表１に示した。
【００５７】
実施例３
実施例１の湿式エッチングを行う前に、アルミニウム蒸着フィルムのアルミニウム成膜面側をコロナ放電によって表面改質した以外は、実施例１と同様にして、保護層付きグリッド偏光フィルムを得た。保護層付きグリッド偏光フィルムを実施例１同様に評価した。その結果を表１に示した。
【００５８】
比較例１
実施例１と同様にして得られたアルミニウム蒸着フィルムを下記の方法で湿式エッチングした以外は実施例１と同様にして、保護層付きグリッド偏光フィルムを得た。保護層付きグリッド偏光フィルムを実施例１同様に評価した。その結果を表１に示した。
【００５９】
比較例１の湿式エッチングでは、湿式エッチング処理ゾーンが一つの連続式湿式エッチング装置を用い、この装置にフィルムを２ｍ／ｍｉｎで１回だけ通過させた。
該装置の湿式エッチング処理ゾーンでは、硝酸１５重量％、リン酸６５重量％、酢酸１０  重量％、及び残部が水からなる組成（酸成分相当濃度：９０重量％）で、温度４０℃のエッチング液に９０秒間、噴射量（スプレー圧力）２．０ｋｇ／ｃｍ2で接触させる工程Ｅ；純水（リンス液）によって洗浄する工程Ｒ；ならびにエアーブロワーによる乾燥空気の送風でリンス液を除去する工程Ｄを行った。
【００６０】
【表１】
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【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明グリッド偏光フィルムの一実施態様の断面を示す概念図である。
【図２】図１のグリッド偏光フィルムの斜視を示す概念図である。
【図３】湿式エッチングを連続的に行うための装置の概念図である。
【符号の説明】
【００６２】
３１０：表面に微細な凹凸格子形状を有するフィルム
３１１：金属層Ａ
３１１’：金属層Ｂ
３１２：金属層間の空間
２：金属層を形成した後のフィルムが捲回されたロール
３：エッチング後、保護層を貼付したフィルムが捲回されたロール
Ｐ：保護フィルム
Ｚ１：第一湿式エッチング処理ゾーン
Ｚ２：第二湿式エッチング処理ゾーン
Ｚ３：第三湿式エッチング処理ゾーン
Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３：エッチング液を金属層に接触させる工程
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３：リンス液で洗浄する工程
Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３：リンス液を除去する工程
Ｔ１、Ｔ２：検査工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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