(57)【要約】【課題】ロール巻きされた積層フィルムの欠陥を精度よく検出する。【解決手段】原反ロールから積層フィルムを繰出して保護フィルムを剥離する保護フィルム除去過程と、保護フィルムが剥離されたフィルム本体の表面における欠陥の有無を検査する第１検査過程と、検査後の積層フィルムからセパレータを剥離するセパレータ除去過程と、セパレータが剥離除去されたフィルム本体を縦方向に向かうフィルム走行径路に導きながら縦向き姿勢のフィルム本体における欠陥の有無を検査して検出データを記憶格納する第２検査過程と、検査の済んだフィルム本体の裏面および表面のそれぞれにセパレータおよび保護フィルムを貼り付けるセパレータ貼付け過程および保護フィルム貼付け過程と、保護フィルムおよびセパレータが貼り付けられた検査済みの積層フィルムをロール巻きするフィルム回収過程とを備える。【選択図】図６
2009069142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール巻きされた積層フィルムの欠陥を検査する積層フィルムの欠陥検査方法であって、
フィルム本体の表面に保護フィルムと裏側粘着面にセパレータとが貼り合わされた積層フィルムを原反ロールから繰出す積層フィルム繰出し過程と、
繰出された前記積層フィルムを所定の径路に導きつつ、積層フィルムから前記セパレータを剥離するまでにおいて、少なくとも剥離時点でセパレータ剥離面を下向きにするセパレータ剥離過程と、
前記セパレータ剥離面を下向きにして搬送しつつ欠陥の有無を検査し、その検査情報を記憶手段に格納する検査過程と、
検査の済んだ前記フィルム本体のセパレータの剥離面を下向きにしたまま、当該剥離面にセパレータを貼り合わせるセパレータ貼合わせ過程と、
前記フィルム本体の裏面にセパレータを貼り合わせてなる検査済みの積層フィルムをロール巻きして検査済み原反ロールを形成する積層フィルム回収過程と、
を備えたことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の積層フィルムの欠陥検査方法において、
さらに、積層フィルムから前記保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離過程と、
保護フィルムが剥離された積層フィルムを所定のフィルム走行径路に導きながらフィルム本体の表面における欠陥の有無を検査するとともに、その検査情報を記憶手段に格納する検査過程と、
検査の済んだ前記フィルム本体の表面に保護フィルムを貼り合わせる保護フィルム貼合わせ過程とを備え、
積層フィルム回収過程は、前記フィルム本体の表面に保護フィルムおよび裏面にセパレータを貼り合わせてなる検査済みの積層フィルムをロール巻きして検査済み原反ロールを形成する
ことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査方法。
【請求項３】
請求項２に記載の積層フィルムの欠陥検査方法において、
前記フィルム本体から保護フィルムを剥離して検査した後に、フィルム本体の裏面からセパレータを剥離して検査し、
検査の済んだ前記フィルム本体の表面および裏面に保護フィルムおよびセパレータを貼り合わせた後に、積層フィルムをロール巻きして検査済み原反ロールを形成する
ことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査方法。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の積層フィルムの欠陥検査方法において、
前記保護フィルムの剥離されたフィルム本体の検査過程を経た後、フィルム本体の欠陥検出部位にマークを付すマーキング過程を備えた
ことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査方法。
【請求項５】
請求項２ないし請求項３のいずれかに記載の積層フィルムの欠陥検査方法において、
前記セパレータ貼合わせ過程および保護フィルム貼合わせ過程の少なくともいずれかの後、検査済み積層フィルムにおける表面あるいは裏面の適所に、検出された欠陥部位の位置データを付すデータ記録過程を備えた
ことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査方法。
【請求項６】
請求項２ないし請求項５のいずれかに記載の積層フィルムの欠陥検査方法において、
少なくとも前記第２検査過程をクリーンルーム内で行う
ことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査方法。
【請求項７】
請求項６に記載の積層フィルムの欠陥検査方法において、
縦向き姿勢で走行する前記フィルム本体に対してフィルム表面側を気流の上手側としてクリーンルームを掃気すること
を特徴とする積層フィルムの欠陥検査方法。
【請求項８】
ロール巻きされた積層フィルムの欠陥を検査する積層フィルムの欠陥検査装置であって、
フィルム本体の表面に保護フィルムと裏側粘着面にセパレータとが貼り合わされた積層フィルムを供給する積層フィルム供給手段と、
前記積層フィルム供給手段から繰出された積層フィルムを所定の径路に導きながら、積層フィルムから前記セパレータを剥離するセパレータ剥離手段と、
少なくとも前記セパレータの剥離時点でセパレータ剥離面を下向きにし、その状態を維持して搬送しつつ欠陥の有無を検査する検査手段と、
前記検査結果の情報を記憶する記憶手段と、
セパレータをフィルム本体の裏面に繰出すセパレータ供給手段と、
検査の済んだ前記フィルム本体のセパレータの剥離面を下向きにしたまま、セパレータ供給手段から繰出されるセパレータを当該剥離面に貼り合わせるセパレータ貼合わせ手段と、
前記フィルム本体の裏面にセパレータを貼り合わせてなる検査済みの積層フィルムをロール巻きする積層フィルム回収手段と、
を備えたことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査装置。
【請求項９】
請求項８に記載の積層フィルムの欠陥検査方法において、
積層フィルムから前記保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離手段と、
保護フィルムが剥離された積層フィルムを所定のフィルム走行径路に導きながらフィルム本体の表面における欠陥の有無を検査する検査手段と、
前記検査結果の情報を記憶する記憶手段と、
保護フィルムをフィルム本体の表面に繰出す保護フィルム供給手段と、
保護フィルム供給手段から繰出された保護フィルムを検査の済んだ前記フィルム本体の表面に貼り合わせる保護フィルム貼合わせ手段と、
を備えたことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の積層フィルムの欠陥検査装置において、
前記保護フィルムの剥離後の検査結果に基づいて、フィルム本体の欠陥検出部位にマークを付すマーキング手段を備えた
ことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査装置。
【請求項１１】
請求項９または請求項１０に記載の積層フィルムの欠陥検査装置において、
前記セパレータ貼合わせ、または、保護フィルム貼合わせの少なくともいずれかの後、検査済み積層フィルムの表面、または、裏面の適所に検出された欠陥部位の位置データを付すデータ記録手段を備えた
ことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査装置。
【請求項１２】
請求項９ないし請求項１１のいずれかに記載の積層フィルムの欠陥検査装置において、
少なくともセパレータ剥離後の検査手段をクリーンルームに配備した
ことを特徴とする積層フィルムの欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイの偏光板やガラス基板などに用いる積層フィルムの汚損や損傷などの欠陥を検査する積層フィルムの欠陥検査方法およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイの製造工程においては、帯状の機能フィルム（位相差フィルム）に、薄い枚葉のフィルム（偏光板）を貼り合せて積層光学フィルムを製作する工程が用いられている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００７−７６１０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
帯状の機能フィルムに貼り合わされる枚葉のフィルム（偏光板）は、フィルム本体の裏側粘着面にセパレータを貼り合わせ、表面に保護フィルムを貼り合わせた積層フィルムとして形成されたものである。この長尺の積層フィルムをロール巻きした原反ロールが打抜き裁断工程に供給され、所定の寸法の枚葉フィルムに打抜き裁断される。
【０００４】
ロール巻きされた積層フィルムのフィルム本体には、その表面または内部に微細なゴミが付着したり、光学的ひずみを発生させる異物をかみ込んだ打痕状にひねったような特種形状欠陥（以下、適宜「クニック」という）が残存したり、フィルム表面処理にムラが発生していることがある。これらの欠陥を含まないように打抜き裁断して枚葉のフィルムを得ることが必要となる。そこで、積層フィルムの汚損や損傷などの欠陥を反射式あるいは透過式の光学手段で検査し、欠陥の発生位置を認識しておくことが重要となる。
【０００５】
この場合、積層フィルムは表裏にそれぞれ保護フィルムとセパレータを貼り合せているために、保護フィルムやセパレータが有する光学特性（複屈折など）による透過障害や表面の乱反射によって欠陥の見落としや誤認などが発生し、精度よく検出することができないといった問題がある。
【０００６】
また、保護フィルムやセパレータに傷などが存在する場合、当該傷をフィルム本体の傷として誤認してしまうといった問題もある。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ロール巻きされた積層フィルムにおける欠陥を精度よく検査することができる積層フィルムの欠陥検査方法およびその装置を提供することを主たる目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、ロール巻きされた積層フィルムの欠陥を検査する積層フィルムの欠陥検査方法であって、
フィルム本体の表面に保護フィルムと裏側粘着面にセパレータとが貼り合わされた積層フィルムを原反ロールから繰出す積層フィルム繰出し過程と、
繰出された前記積層フィルムを所定の径路に導きつつ、積層フィルムから前記セパレータを剥離するまでにおいて、少なくとも剥離時点でセパレータ剥離面を下向きにするセパレータ剥離過程と、
前記セパレータ剥離面を下向きにして搬送しつつ欠陥の有無を検査し、その検査情報を記憶手段に格納する検査過程と、
検査の済んだ前記フィルム本体のセパレータの剥離面を下向きにしたまま、当該剥離面にセパレータを貼り合わせるセパレータ貼合わせ過程と、
前記フィルム本体の裏面にセパレータを貼り合わせてなる検査済みの積層フィルムをロール巻きして検査済み原反ロールを形成する積層フィルム回収過程と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
（作用・効果）  この方法によれば、原反ロールから繰出された積層フィルムの裏側粘着面からセパレータが剥離され、粘着面が露出された状態のフィルム本体が裏面を下向きにして案内される。この過程で微細な異物の付着やクニックなどの欠陥があるか否かが適宜に光学手段で検査される。検出された欠陥発生位置などの検査情報は、記憶手段に格納される。ここで、フィルム本体が下向きとは、粘着面が上向きにならない状態を意味する。したがって、垂直姿勢でフィルム本体を搬送することも含む。
【００１０】
この場合、万一、検査処理空間で埃が落下してきても、裏面が下向きであるフィルム本体の粘着面に、埃が付着するのを抑制することができる。
【００１１】
その後、検査の済んだフィルム本体の裏面にセパレータが貼り合わせられて元通りの積層フィルムに復元され、この積層フィルムがロール巻き回収されて検査済み原反ロールが形成される。
【００１２】
ここで、セパレータ剥離面の露出時間を短くすれば当該剥離面への埃の付着を回避できる。しかしながら、フィルムには埃以外の異物の付着、あるいは、クニックなどが存在し、これらを精度良く認識するには異なる検査方式、例えば、透過方式、反射方式など複数種類の検査工程を経る必要がある。それ故に、セパレータ剥離面の露出時間が必然的に長くなる。したがって、この方法は、上述のように複数の検査工程を必要とする場合において有効に機能する。
【００１３】
なお、検査過程で得られた検査情報を記憶媒体や通信手段のホストコンピュータなどに記憶しておくことにより、以降の処理工程や打抜き加工工程において欠陥発生部位を回避する情報として利用することができる。
【００１４】
第２の発明は、第１の発明において、
さらに、積層フィルムから前記保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離過程と、
保護フィルムが剥離された積層フィルムを所定のフィルム走行径路に導きながらフィルム本体の表面における欠陥の有無を検査するとともに、その検査情報を記憶手段に格納する検査過程と、
検査の済んだ前記フィルム本体の表面に保護フィルムを貼り合わせる保護フィルム貼合わせ過程とを備え、
積層フィルム回収過程は、前記フィルム本体の表面に保護フィルムおよび裏面にセパレータを貼り合わせてなる検査済みの積層フィルムをロール巻きして検査済み原反ロールを形成することを特徴とする。
【００１５】
（作用・効果）  この方法によれば、原反ロールから繰出された積層フィルムから保護フィルムが剥離されてフィルム本体の表面が露出される。このフィルム本体の露出された表面に欠陥があるか否かが適宜光学手段で検査され、検出された欠陥の発生位置などの検査情報が記憶手段に格納される。
【００１６】
なお、当該検査過程で得られた検査情報を記憶媒体や通信手段のホストコンピュータなどに記憶しておくことにより、以降の処理工程や打抜き加工工程において欠陥発生部位を回避する情報として利用することができる。
【００１７】
第３の発明は、第２の発明において、
前記フィルム本体から保護フィルムを剥離して検査した後に、フィルム本体の裏面からセパレータを剥離して検査し、
検査の済んだ前記フィルム本体の表面および裏面に保護フィルムおよびセパレータを貼り合わせた後に、積層フィルムをロール巻きして検査済み原反ロールを形成することを特徴とする。
【００１８】
（作用・効果）  この方法によれば、フィルムの粘着面の露出時間を短くできる。したがって、粘着面への埃の付着をより効果的に抑制することができる。
【００１９】
第４の発明は、第２または第３の発明において、
前記保護フィルムの剥離されたフィルム本体の検査過程を経た後、フィルム本体の欠陥検出部位にマークを付すマーキング過程を備えたことを特徴とすることを特徴とする。
【００２０】
（作用・効果）  この方法によれば、フィルム本体における欠陥発生部位を容易に視認することが可能となり、以降の工程においての目視検査などが容易となる。
【００２１】
第５の発明は、第２ないし第３のいずれか一つの発明において、
前記セパレータ貼合わせ過程および保護フィルム貼合わせ過程の少なくともいずれかの後、検査済み積層フィルムにおける表面あるいは裏面の適所に、検出された欠陥部位の位置データを付すデータ記録過程を備えたことを特徴とする。
【００２２】
（作用・効果）  この方法によれば、検査処理の済んだ原反ロールごとに検査データが記録されることになり、以降の工程において適宜リーダを用いて原反ロールごとの検査データを読み取ることで、欠陥発生部位の使用を回避した処理を好適に行うことができる。
【００２３】
第６の発明は、第２ないし第５のいずれか一つの発明において、
少なくとも前記第２検査過程をクリーンルーム内で行うことを特徴とする。
【００２４】
（作用・効果）  この方法によれば、保護フィルムおよびセパレータが剥離されて表裏の露出した状態のフィルム本体を清浄な状態で的確に検査することができる。換言すれば、保護フィルムなどが有する光学特性を除去した状態で精度よく検査することができる。
【００２５】
第７の発明は、第６の発明において、
縦向き姿勢で走行する前記フィルム本体に対してフィルム表面側を気流の上手側としてクリーンルームを掃気することを特徴とする。
【００２６】
（作用・効果）  この方法によれば、万一、掃気気流の埃が存在したとしても、フィルム本体における裏側粘着面に接触するおそれがなくなり、検査中の汚損を未然に回避することができる。
【００２７】
第８の発明は、ロール巻きされた積層フィルムの欠陥を検査する積層フィルムの欠陥検査装置であって、
フィルム本体の表面に保護フィルムと裏側粘着面にセパレータとが貼り合わされた積層フィルムを供給する積層フィルム供給手段と、
前記積層フィルム供給手段から繰出された積層フィルムを所定の径路に導きながら、積層フィルムから前記セパレータを剥離するセパレータ剥離手段と、
少なくとも前記セパレータの剥離時点でセパレータ剥離面を下向きにし、その状態を維持して搬送しつつ欠陥の有無を検査する検査手段と、
前記検査結果の情報を記憶する記憶手段と、
セパレータをフィルム本体の裏面に繰出すセパレータ供給手段と、
検査の済んだ前記フィルム本体のセパレータの剥離面を下向きにしたまま、セパレータ供給手段から繰出されるセパレータを当該剥離面に貼り合わせるセパレータ貼合わせ手段と、
前記フィルム本体の裏面にセパレータを貼り合わせてなる検査済みの積層フィルムをロール巻きする積層フィルム回収手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２８】
（作用・効果）  この構成によれば、上記第１の発明を好適に実施することができる。
【００２９】
なお、上記構成において、積層フィルムから前記保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離手段と、
保護フィルムが剥離された積層フィルムを所定のフィルム走行径路に導きながらフィルム本体の表面における欠陥の有無を検査する検査手段と、
前記検査結果の情報を記憶する記憶手段と、
保護フィルムをフィルム本体の表面に繰出す保護フィルム供給手段と、
保護フィルム供給手段から繰出された保護フィルムを検査の済んだ前記フィルム本体の表面に貼り合わせる保護フィルム貼合わせ手段と、を備えることが好ましい。
【００３０】
この構成によれば、フィルム本体から剥離した保護フィルムとセパレータが有する光学特性を除去した状態で欠陥が検出される。したがって、欠陥の検出精度の向上を図ることができる。
【００３１】
また、上記構成によれば、以下の構成を備えてもよい。
【００３２】
例えば、上記装置は、保護フィルムの剥離後の検査結果に基づいて、フィルム本体の欠陥検出部位にマークを付すマーキング手段や（請求項１０）、前記セパレータ貼合わせ、または、保護フィルム貼合わせ少なくともいずれかの後、検査済み積層フィルムの表面、または、裏面の適所に検出された欠陥部位の位置データを付すデータ記録手段（請求項１１）を備える。
【００３３】
この構成によれば、フィルム本体における欠陥発生部位を容易に視認することが可能となる。また、以降の工程において適宜リーダを用いて原反ロールごとの検査データを読み取ることができる。したがって、以降の工程において、欠陥発生部位の使用を回避した処理を好適に行うことができる。
【発明の効果】
【００３４】
以上のように本発明の積層フィルムの欠陥検査方法およびその装置によると、ロール巻きされた積層フィルムにおける欠陥を精度よく検査することができ、検査によって得られた情報に基づいて、後工程で欠陥発生のない部位を使用することが容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、図面を参照して本発明の一実施例説明する。
【００３６】
図１に、本発明方法を実施する欠陥検査装置の全体が示され、また、図２〜図４に、欠陥検査装置の各部が拡大されて示されている。この欠陥検査装置には、図１の右側から順に保護フィルム回収部１、第１検査部２、積層フィルム供給部３、セパレータ回収部４、第２検査部５、セパレータ貼合わせ部６、セパレータ供給部７、マーキング処理部８、保護フィルム貼合わせ部９、データ記録処理部１０、積層フィルム回収部１１、保護フィルム供給部１２、保護フィルム耳部回収部１３、および、保護フィルム用セパレータ回収部１４がこの順に縦列配置されるとともに、保護フィルム回収部１以外の各部が、強制掃気されるクリーンルーム１５の内部に配置されている。
【００３７】
なお、第１検査部２は本発明の保護フィルム剥離後の検査手段に、積層フィルム供給部３は積層フィルム供給手段に、第２検査部５はセパレータ剥離後の検査手段に、セパレータ貼合わせ部６はセパレータ貼合わせ手段に、セパレータ供給部７はセパレータ供給手段に、マーキング処理部８は、マーキング手段に、保護フィルム貼合わせ部９は保護フィルム貼合わせ手段に、データ記録処理部１０はデータ記録手段に、積層フィルム回収部１１は積層フィルム回収手段に、保護フィルム供給部１２は保護フィルム供給手段にそれぞれ相当する。
【００３８】
上記欠陥検査装置を用いて行われる積層フィルム検査過程を図６に示すフローチャートに基づいて説明する。
【００３９】
〔積層フィルム繰出し過程〕
【００４０】
図２に示すように、積層フィルム供給部３には受け台２１とコンベア２２とが配備されており、架台２３に支架され搬入されてきた原反ロールＲはコンベア２２によって受け台２１上の所定位置に移載セットされる。受け台２１上の原反ロールＲから積層フィルムＦが繰出され、所定の走行経路を介して第１検査部２に導かれる。積層フィルムＦは、図５に示すように、偏光フィルムからなるフィルム本体ｆの表面に保護フィルムｐが貼り合わせられるとともに、フィルム本体ｆの裏側粘着面にセパレータｓが貼り合わされた３枚合わせの積層構造となっている。
【００４１】
〔保護フィルム除去過程〕
【００４２】
図２に戻り、積層フィルムＦは、保護フィルムｐが下向きとなる姿勢で第１検査部２の下部に導かれ、床面近くに配備された剥離ローラ２４を介して保護フィルムｐが剥離除去される。剥離された保護フィルムｐは保護フィルム回収部１に導かれて巻取り装置２５でロール巻き回収される。なお、巻取り回収された保護フィルムｐは搬出コンベア２６に移載されて搬出される。
【００４３】
〔第１検査過程〕
【００４４】
保護フィルムｐが剥離除去されてセパレータｓのみが貼り合わされた２層構造の積層フィルムＦ(1)は、ＣＣＤカメラ２８で監視される。この過程で、フィルム本体ｆにおける露出した表面の反射防止コーティングなどの表面処理の状態、および、異物付着の有無、などの検査が行われ、その検査データがフィルム本体ｆにおける走行方向での位置データとともに記憶格納される。
【００４５】
なお、第１検査部２には、作業者がフィルム走行経路を監視することのできる作業空間Ｍが設けられており、必要に応じて目視検査を行うことが可能となっている。
【００４６】
〔セパレータ除去過程〕
【００４７】
保護フィルムｐを除去されて第１検査部２での検査を終えた積層フィルムＦ(1)は、積層フィルム供給部３およびセパレータ回収部４の上方を超えて、図３に示す第２検査部５に送り込まれる。第２検査部５の上部には剥離ローラ２９が配備されており、導入された積層フィルムＦ(1)からセパレータｓが剥離され、剥離されたセパレータｓは、図２に示すセパレータ回収部４に導かれて巻取り装置３０でロール巻き回収される。なお、巻取り回収されたセパレータｓは搬出コンベア３１に移載されて搬出される。
【００４８】
〔第２検査過程〕
【００４９】
セパレータｓが剥離除去されて表裏が露出されたフィルム本体ｆは、剥離と同時に縦向き径路ｃに沿って下方に導かれる。この経路ｃにおいて、縦向き姿勢のフィルム本体ｆに対して光透過式（あるいは反射式）の監視装置３２が作用して、フィルム本体ｆに発生した光学的ひずみを発生させる異物をかみ込んだ打痕状にひねったような特種形状欠陥であるクニックや異物の付着などの欠陥検査が行われる。例えば、光透過式の監視装置では、異物や糸屑、クニックや輝点などの欠陥検査がされ、反射式の監視装置では、粘着物異物の付着や粘着層に含まれる気泡によって発生する凹凸などの欠陥検査がされる。これら複数種類の検査データがフィルム本体ｆにおける走行方向での位置データとともに記憶格納される。
【００５０】
〔セパレータ貼合わせ過程〕
【００５１】
第２検査部５での検査を終えたフィルム本体ｆは直ちにセパレータ貼合わせ部６に導かれる。供給されてきた新たなセパレータｓ’は、左右一対のニップローラＮ１と搬送ローラの間に搬送され狭持されながらフィルム本体ｆの裏側粘着面に貼り合わされる。このセパレータｓ’は、セパレータ供給部７に装填されたセパレータ原反ロールＳＲから繰り出されたものが使用される。なお、セパレータ原反ロールＳＲは搬入コンベア３３に移載されて搬入される。
【００５２】
すなわち、フィルム本体ｆからセパレータｓが剥離されてから新たなセパレータｓ’が貼り合わされるまで、粘着面が上向きになることがない。
【００５３】
〔マーキング過程〕
【００５４】
検査済みフィルム本体ｆにセパレータｓ’だけを貼り合わせた２層構造の積層フィルムＦ(2)はセパレータ供給部７の上部を通過して後方に送られ、マーキング処理部８に導かれる。マーキング処理部８に導入された積層フィルムＦ(2)は、垂直姿勢で下方に走行案内され、マーキング装置３４によるマーク付設処理がなされる。
【００５５】
マーキング装置３４は、例えばインクジェット式あるいはプロット式のものが使用され、記憶格納された検査データに基づいて、欠陥部位を指し示すマークがセパレータｓ’の外面に付設される。このとき、欠陥の種類に応じて色分けしてマークすることも可能である。
【００５６】
〔保護フィルム貼合わせ過程〕
【００５７】
図３に示すように、マーキング処理の済んだ積層フィルムＦ(2)は保護フィルム貼合わせ部９に導かれ、図４に示す保護フィルム供給部１２から供給されてきた新たな保護フィルムｐ’が積層フィルムＦ(2)のフィルム本体ｆの表面に貼り付けられる。
【００５８】
保護フィルム供給部１２には、セパレータ付き保護フィルムspをロール巻きした保護フィルム原反ロールＰＲが架台３５を介して支架されている。保護フィルム原反ロールＰＲから繰出されたセパレータ付き保護フィルムspはスリッタ３６によってフィルム両端辺（以下、適宜「耳部」という）が切断され、セパレータ付き保護フィルムspの両端耳部sp’が案内ローラ３７を介して反転案内され、保護フィルム耳部回収部１３の巻取り装置３８で巻取り回収される。
【００５９】
図４に示すように、両端耳部sp’が切り落とされて所定の幅に調整されたセパレータ付き保護フィルムspは、保護フィルム供給部１２、積層フィルム回収部１１、および、データ記録処理部１０を越えて図３に示す保護フィルム貼合わせ部９に送られ、保護フィルム貼合わせ部９の上部に配備された剥離ローラ３９を介してセパレータstが反転剥離される。このセパレータstが剥離除去された直後の保護フィルムｐ’が、下方から供給されてきた積層フィルムＦ(2)のフィルム本体ｆの表面にニップローラＮ２によって貼り合わせられる。なお、図４に示すように、両端耳部sp’が切り落とされたセパレータ付き保護フィルムspは、転写ローラ群を備えた除塵装置４６に挿通され、セパレータ付き保護フィルムsp切断端に付着残留した切断屑が転写除去される。
【００６０】
図４に示すように、剥離されたセパレータstは、データ記録処理部１０、積層フィルム回収部１１、保護フィルム供給部１２、保護フィルム耳部回収部１３の上方を通って保護フィルム用セパレータ回収部１４に送られ、巻取り装置４０でロール巻き回収される。なお、巻取り回収されたセパレータstは搬出コンベア４１に移載されて搬出される。
【００６１】
〔データ記録過程〕
【００６２】
新たに保護フィルムｐ’とセパレータｓ’が表裏に貼り付けられて元の３層貼合わせ構造となった検査済みの積層フィルムＦ’は、データ記録処理部１０に導かれる。上記検査によって検知された欠陥の発生位置が座標データに変換され、これが二次元コード化されて積層フィルムＦ’に記録装置４２で記録される。記録装置４２は、例えば、フィルム走行方向の所定ピッチ（例えば５００ｍｍ）ごとにデータ（二次元コード）をレーザー焼き付けによって記録するものである。積層フィルムＦ’が幅方向に３分割されて使用される場合には、分割幅内の検査データが幅方向３箇所にそれぞれ記録される。なお、レーザー焼付け処理に伴い塵埃が発生するので、記録装置４２には、除塵機能が備えられている。
【００６３】
図４では、積層フィルムＦ’の表面を記録面としており、表面側に位置する保護フィルムｐ’にデータを焼付け記録する形態となっているが、必要に応じて、図４中の仮想線で示す径路ｄで積層フィルムＦ’を案内することで、積層フィルムＦ’の裏面を記録面とする形態とすることもできる。この場合は、裏面側に位置するセパレータｓ’にデータを焼付け記録することになる。
【００６４】
〔積層フィルム回収過程〕
【００６５】
検査およびデータ記録処理の済んだ積層フィルムＦ’は、積層フィルム回収部１１に導かれ、受け台４３上にセットされた架台４４上にロール状に巻取り回収され、巻き取られた検査済み原反ロールＲ’は架台４４ごとコンベア４５に移載されて装置外に搬出される。このコンベア４５は積層フィルム回収部１１と保護フィルム供給部１２の間に配備されており、保護フィルム原反ロールＰＲの搬入にも利用される。
【００６６】
なお、図１に示すように、当該装置を収めたクリーンルーム１５は、天井部の適所に配備された送風部から室内清浄空気を送り込んで、床面近くの適所に配備された排風部から排出することで室内を掃気するよう構成されている。特に、フィルム本体ｆが表裏とも露出される第２検査部５においては、縦向き姿勢で走行するフィルム本体ｆの表面側が掃気気流の上手側となるように設定することで、異物が気流に乗って流動してもフィルム本体ｆの裏側粘着面に回り込んで付着することが回避されている。
【００６７】
各処理部の適所には、第１検査部２のように作業者の出入りが可能な作業空間が設けられており、人手によるフィルム装填操作や各種のメンテナンスを行うことができるよう構成されている。
【００６８】
以上のように、積層フィルムＦから光学特性を有する保護フィルムｐおよびセパレータｓを剥離し、透過式および反射式の各監視装置で欠陥部位を検査することにより、複屈折の影響などで検出できなかった異物の付着やクニックなどの欠陥を精度よく検出することができる。
【００６９】
また、粘着層を有する積層フィルムＦ(1)の裏面からセパレータを剥離して検査するとき、剥離と同時に粘着面が上向きにならない状態、例えば縦向き姿勢でフィルム本体ｆを搬送することにより、フィルム本体ｆへの埃の付着が抑制される。特に、非粘着面側から清浄空気を送り込むことにより、埃などの異物の付着をより一層に抑えることができる。
【００７０】
さらに、フィルム本体ｆの粘着面に貼合わされる新たなセパレータｓ’は、貼合わせ部位に到達するまで貼合わせ面が下向きで搬送されるので、当該面への埃の付着が抑制される。すなわち、フィルム本体ｆとセパレータｓ’の界面への埃の巻き込みが抑制される。
【００７１】
本発明は上述した実施例のものに限らず、次のように変形実施することもできる。
【００７２】
（１）上記実施例では、各原反ロールＲ’ごとに検査データの記録処理を施しているが、検査データを適宜デバイスに記憶格納して、以降の処理装置における制御装置に伝達し、各原反ロールＲ’の固体識別に基づいて該当する検査データを読み出して利用することも可能である。
【００７３】
（２）記録装置４２としては、レーザー焼付け式のものに限らず、種々の印刷方式のものを利用することができる。
【００７４】
（３）上記実施例において、積層フィルムＦから保護フィルムｐを剥離することなく、セパレータｓのみを剥離する構成であってもよい。したがって、上記実施例装置の第１検査部２において、剥離ローラ２４に保護フィルムｐを巻きかけて剥離しないように予め設定することにより、当該構成を実現できる。換言すれば、セパレータｓのみを剥離して検査したフィルム本体ｆに対し、各種マーキングも施した後にロール状に巻取り回収する。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】欠陥検査装置の全体側面図である。
【図２】欠陥検査装置の前端側の一部分を示す側面図である。
【図３】欠陥検査装置の中間部分を示す側面図である。
【図４】欠陥検査装置の後端側の一部分を示す側面図である。
【図５】積層フィルムの一部を示す斜視図である。
【図６】検査過程を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００７６】
１５  …  クリーンルーム
ｆ  …  フィルム本体
Ｆ  …  積層フィルム（検査前）
Ｆ’…  積層フィルム（検査済み）
ｐ  …  保護フィルム
ｐ’…  保護フィルム
ｓ  …  セパレータ
ｓ’…  セパレータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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