(57)【要約】【課題】簡易な構成でありながら、より低い電圧でより大きな振動板の変位を得ることができる静電アクチュエータ等を提供する。【解決手段】変形可能で電極となる振動板４と、振動板４に対向して所定のギャップ１０を介して配設された第１対向電極１１と、振動板４の第１対向電極１１と反対側の表面の一部に形成された圧電体膜１０１と、圧電体膜１０１の表面に形成された第２対向電極１０２とを備えたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形可能で電極となる振動板と、
前記振動板に対向して所定のギャップを介して配設された第１対向電極と、
前記振動板の前記第１対向電極と反対側の表面の一部に形成された圧電体膜と、
前記圧電体膜の表面に形成された第２対向電極と
を備えたことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記振動板と前記第１対向電極と前記第２対向電極とにそれぞれ異なる電圧波形を印加する電圧印加手段を備え、前記振動板と前記第２対向電極間の電位差により発生する前記圧電体膜の歪みによる圧力と、前記振動板と前記第１対向電極間の電位差により発生する静電吸引圧力とにより、前記振動板を前記第１対向電極側に撓ませることを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
前記電圧印加手段は、前記振動板を前記第１対向電極側に撓ませて当接させることが可能な電圧を、駆動１回おき、又は定期的に逆電界に入れ替えて印加することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
前記電圧印加手段は、前記振動板と前記第２対向電極間と、前記振動板と前記第１対向電極間の両方にそれぞれ電位差を与える大駆動と、前記振動板と前記第２対向電極間のみに電位差を与える小駆動を行えることを特徴とする請求項２記載の静電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れかに記載の静電アクチュエータと、ノズルと、前記ノズルに連通し前記振動板が一部に形成されている液滴流路とを備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
液体の吐出部に請求項５記載の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド等の駆動機構として用いられている静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、高速印字が可能、記録時の騒音が極めて小さい、インクの自由度が高い、安価な普通紙を使用できる等の多くの利点を有する。近年、インクジェット記録装置の中でも、記録が必要なときにのみインク液滴を吐出する、いわゆるインク・オン・デマンド方式のインクジェット記録装置が主流となっている。このインク・オン・デマンド方式のインクジェット記録装置は、記録に不要なインク液滴の回収を必要としない等の利点がある。
【０００３】
このインク・オン・デマンド方式のインクジェット記録装置には、インク液滴を吐出させる方法として、駆動手段に振動板とそれに対向する対向電極を備えた静電アクチュエータを利用した、いわゆる静電駆動方式のインクジェット記録装置がある。また、駆動手段に圧電素子（ピエゾ素子）を利用した、いわゆる圧電駆動方式のインクジェット記録装置や、発熱素子等を利用した、いわゆるバブルジェット（登録商標）方式のインクジェット記録装置等がある。
【０００４】
静電駆動方式の記録装置のインクジェットヘッドは、振動板と対向電極とを帯電させることにより、振動板を対向電極側に吸引して撓ませ、その後、帯電を停止させて振動板を元の状態に復帰させることでインク吐出圧力を得ている。この際、振動板が対向電極に貼り付かないように、振動板と対向電極との間には、短絡を防止するための絶縁膜が形成されている。
【０００５】
このような静電駆動方式のインクジェットヘッドでは、できるだけ低い電圧で振動板を大きく変位させて、多くの液滴を吐出させることが効率的である。このため、振動板を駆動するための対向電極を、振動板の短辺または長辺方向に沿って階段状に形成することで、比較的低い電圧でより大きな振動板の変位を得る等の発明が従来から提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３１８１５５号公報（第２頁、図２等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のように対向電極を階段状に形成することは、対向電極を形成している電極基板に予め複数の段差を形成すること等が必要となり、その構造も複雑化する。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑み、簡易な構成でありながら、より低い電圧でより大きな振動板の変位を得ることができる静電アクチュエータを提案し、さらに、それを利用した液滴吐出ヘッドや液滴吐出装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る静電アクチュエータは、変形可能で電極となる振動板と、振動板に対向して所定のギャップを介して配設された第１対向電極と、振動板の第１対向電極と反対側の表面の一部に形成された圧電体膜と、圧電体膜の表面に形成された第２対向電極とを備えたものである。
この構成の静電アクチュエータは、振動板と第２対向電極との間に電圧を印加すると、圧電体膜が歪むため、それに伴って（それに起因して）振動板が撓み、振動板と第１対向電極との間のギャップが狭まる。さらに、その狭くなったギャップに静電力が作用して、振動板が第１対向電極側に撓む。静電力はギャップの２乗に反比例するため、ギャップが狭くなった分少ない電圧で振動板を変位させることができる。これにより、従来必要とされた電圧より低い電圧で大きな振動板の変位を得ることが可能となる。
【０００９】
また、本発明に係る静電アクチュエータは、振動板と第１対向電極と第２対向電極とにそれぞれ異なる電圧波形を印加する電圧印加手段を備え、振動板と第２対向電極間の電位差により発生する圧電体膜の歪みによる圧力と、振動板と第１対向電極間の電位差により発生する静電吸引圧力とにより、振動板を第１対向電極側に撓ませるものである。
このように、圧電体膜の歪みによる圧力と、静電吸引圧力との両方により、振動板の変位量を大きくすることが可能となる。
【００１０】
また、本発明に係る静電アクチュエータは、電圧印加手段が、振動板を第１対向電極側に撓ませて当接させることが可能な電圧を、駆動１回おき、又は定期的に逆電界に入れ替えて印加するものである。
これにより、残留電荷の解消と振動板駆動との両方が同時に可能になる。また、残留電荷に起因した静電アクチュエータの駆動特性変化を防止でき、安定的な吐出が可能となる。
【００１１】
また、本発明に係る静電アクチュエータは、電圧印加手段が、振動板と第２対向電極間と、振動板と第１対向電極間の両方にそれぞれ電位差を与える大駆動と、振動板と第２対向電極間のみに電位差を与える小駆動を行えるものである。
このように、大駆動と小駆動とが可能となることで、必要に応じて振動板の変位量を変えることができる。
【００１２】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、上記の何れかに記載の静電アクチュエータと、ノズルと、ノズルに連通し振動板が一部に形成されている液滴流路とを備えたものである。
また、本発明に係る液滴吐出装置は、液体の吐出部に上記の液滴吐出ヘッドを備えたものである。
これらの液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置は、上記静電アクチュエータを備えているため、比較的低い印加電圧で、大きな振動板の変位を生じさせることができ、液滴の吐出量を安定的に多くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
実施の形態１．
以下、本発明の静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドについて説明する。なお、ここでは液滴吐出ヘッドの一例として、ノズル基板の表面に設けられたインクノズルからインク液滴を吐出するフェイス吐出型のインクジェットヘッドについて図１及び図２を参照して説明する。また、本発明は、以下の図に示す構造、形状に限定されるものではなく、基板の端部に設けられたインクノズルからインク液滴を吐出するエッジ吐出型のインクジェットヘッドにも適用できるものである。なお、本発明のインクジェットヘッドは、以下の図１に示す構造、形状に限定されるものではなく、吐出室とリザーバ部が別々の基板に設けられた４枚の基板を積層した４層構造のものにも適用することができる。
【００１４】
図１は、本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。図２は、図１のインクジェットヘッドの断面図である。なお、構成部材を図示し、見やすくするため、図１を含め、以下の図面では各構成部材の大きさの関係が実際のものと異なる場合がある。
【００１５】
実施の形態１のインクジェットヘッドは、主にキャビティ基板１、電極基板２及びノズル基板３が接合されることにより構成されている。キャビティ基板１は、例えば単結晶シリコン基板（以下、単にシリコン基板という）からなり、以下に示す所定の加工が施されている。なお、図１では、キャビティ基板１として（１１０）面方位のシリコン基板を使用している。キャビティ基板１には、シリコン基板を異方性ウェットエッチングすることにより、底壁が振動板４として形成されてインク液滴の吐出室５となる凹部５ａと、各吐出室５に供給すべきインク液滴を溜めるリザーバー６を構成する凹部６ａとが形成されている。また、キャビティ基板１には、共通電極端子７が設けられており、図２に示す駆動回路（電圧印加手段）２３と接続されている。
【００１６】
振動板４は、高濃度のボロン・ドープ層から形成されている。このボロン・ドープ層は、ボロンを高濃度（約５×１０19ａｔｏｍｓ／ｃｍ3以上）にドープして形成されており、例えばアルカリ性水溶液で単結晶シリコンをエッチングしたときに、エッチング速度が極端に遅くなるいわゆるエッチングストップ層となっている。ボロン・ドープ層がエッチングストップ層として機能するため、振動板４の厚み及び吐出室５の容積を高精度で形成することができるようになっている。かかる構成の振動板４は、各吐出室５側の共通電極として機能する。
【００１７】
また、キャビティ基板１の電極基板２側の面全体には、絶縁膜４ａ（図２参照）が形成されている。この絶縁膜４ａは、各吐出室５側の共通電極として機能する振動板４と後述の第１対向電極１１との短絡及び絶縁破壊を防止するためのものである。この絶縁膜４ａは、本例では例えばシリコン酸化膜（ＳｉＯ2 膜）により形成されている。
【００１８】
電極基板２は、例えば厚さが１ｍｍのホウ珪酸ガラスからなり、キャビティ基板１の振動板４側に接合されている。この電極基板２には、振動板４との間にギャップ１０を構成する例えば深さが０．２μｍの電極用凹部１０ａがエッチングにより形成されている。そして、この電極用凹部１０ａの内部には、振動板４に対向して第１対向電極１１が形成されている。第１対向電極１１は、リード部１１ａと、フレキシブル配線基板（図示せず）に接続される端子部１１ｂとを有し、端子部１１ｂで駆動回路２２と接続されている。第１対向電極１１は、酸化錫をドープしたＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ、インジウム錫酸化物）等からなり、例えばスパッタにより厚さ０．１μｍで形成されている。
【００１９】
また、電極基板２には、リザーバー６に液滴を供給するための液体供給口１２が設けられている。また、ギャップ１０は封止材１０ｂによって封止されている。なお、電極基板２は、ホウ珪酸ガラスではなくシリコン基板等で形成してもよい。
【００２０】
ノズル基板３は、例えば単結晶シリコン基板からなり、ノズル基板３の厚さ方向に貫通するノズル２０が形成されている。ノズル２０は、ノズル基板３の下面側が吐出室５に連通し、ノズル基板３の上面側が液滴を吐出するための開口部となっている。このノズル２０は、ノズル基板３の上面側が横断面の面積の小さい第１の孔２０ａからなり、ノズル基板３の下面側が横断面の面積の広い第２の孔２０ｂとなっており、階段状の２段ノズルとなっている。また、ノズル基板３の下面には、吐出室５とリザーバー６を連通するためのオリフィス２１となる凹部２１ａが設けられている。
【００２１】
なお、実際にはノズル基板３の外表面全体にシリコン酸化膜が形成されているが、図１及び図２においてその図示は省略している。また、図１では、ノズル２０及び吐出室５が２列に並んだインクジェットヘッドを示しているが、ノズル２０及び吐出室５が１列に並んだものであってもよい。
【００２２】
また、電極基板２とキャビティ基板１の接合方法は特に問わないが、電極基板２がホウ珪酸ガラスからなり、キャビティ基板１がシリコン基板からなる場合には、絶縁膜（シリコン酸化膜）４ａを介してそれらを陽極接合によって接合すると、高品質に精密接合できる。
【００２３】
本例のインクジェットヘッドでは、更に、振動板４の第１対向電極１１側と反対側の表面の一部に、圧電体の膜１０１（以下、圧電体膜１０１という）が形成されている。この圧電体膜１０１は、強誘電体で構成され、具体的には例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等が使用できる。また、圧電体膜１０１の表面には、第２対向電極１０２が形成されており、駆動回路２２と接続されている。なお、図示しないが、第２対向電極１０２の流路側には液滴による腐食を防ぐため、モールドが施されている。
【００２４】
次に、図１及び図２に示すインクジェットヘッドの動作について説明する。
駆動回路２２により共通電極端子７、第１対向電極１１及び第２対向電極１０２のそれぞれに後述の表１に示すようなパルス電圧を印加すると、静電引力と以下に詳述する圧電体膜１０１の作用とにより振動板４が第１対向電極１１側に撓み、それが圧電体膜１０１を介して第１対向電極１１に当接する。これにより、リザーバー６の内部に溜まっていたインク等の液滴が吐出室５に流れ込む。そして、振動板４と第１対向電極１１との間に印加されていた電圧、及び圧電体膜１０１に印加されていた電圧を解除すると、振動板４が元の位置に戻って吐出室５の内部の圧力が高くなり、ノズル２０からインク等の液滴が吐出する。
【００２５】
ここで、本例のインクジェットヘッドにおいては、振動板４と、振動板４に対向して所定のギャップ１０を介して配設された第１対向電極１１と、圧電体膜１０１と、第２対向電極１０２とを有する静電アクチュエータ１００を備えている。
この静電アクチュエータ１００は、共通電極である振動板４と第１対向電極１１との間に電位差が与えられることにより静電吸引力を発生させ、振動板４を撓ませる構成となっている。そして、本例では更に、圧電体膜１０１を設け、圧電体膜１０１を、共通電極である振動板４と第２対向電極１０２とで挟んだ構成としている。そして、振動板４と第２対向電極１０２との間に電位差を与えることにより、圧電体膜１０１を歪ませ、その歪みにより振動板を変形させるようにしている。かかる構成を採用することにより、圧電体膜１０１がない構成の静電アクチュエータに比べて、低い印加電圧で振動板４を大きく変位させることが可能となっている。以下、静電アクチュエータ１００について更に詳細に説明する。
【００２６】
図３は、本発明の実施の形態１の静電アクチュエータの構成及び作用を示す説明図である。次の表１は、本発明の実施の形態１の静電アクチュエータの駆動方法を示す表である。
【００２７】
【表１】
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【００２８】
表１の（ｂ）の電圧波形は、大ドット（吐出するインク液滴の量が多い）を形成する場合（大駆動）の電圧波形であり、圧電体膜１０１の発生する圧力と、静電力の発生する圧力とが加算されるように電圧波形が選択されている。図３（ａ）の静電アクチュエータ１００において、表１の（ｂ）に示す各電圧波形を、それぞれ第１対向電極１１、振動板（共通電極）４及び第２対向電極１０２に印加すると、振動板４と第２対向電極１０２間の電位差Ｖ0 が１５Ｖ、振動板４と第１対向電極１１間の電位差Ｖ1 が２５Ｖとなる。圧電体膜１０１に印加される電圧Ｖ0により、図３（ｂ）に示すように、圧電体膜１０１が歪んで変形し、その変形に応じて振動板４が撓む。これにより、振動板４と第１対向電極１１との間のギャップ１０が狭まる。なお、圧電体膜１０１は振動板４の全体ではなく一部に設けられているため、振動板４に作用した集中モーメントＭ0 により、振動板４がたわむ。なお、圧電体膜１０１を振動板４の全体に設けた場合には、圧電体膜１０１の端部が、振動板４の固定端部分に位置するため、振動板４がたわまない。
【００２９】
そして、振動板４と第１対向電極１１との間に印加される電圧により、図３（ｃ）に示すように、振動板４と第１対向電極１１との間に静電気力が発生し、その静電力により振動板４が第１対向電極１１側に引きつけられて撓み、圧電体膜１０１を介して第１対向電極１１に接触する。
このように、振動板４が図３の（ａ）→（ｂ）→（ｃ）のように変位することで、振動板４を静電力のみで図３の（ａ）から（ｃ）の状態に変位させる場合に比べて、より低い電圧で振動板４を同量以上変位させることができる。
【００３０】
また、表１の（ｅ）に示す各電圧波形は、小ドット（吐出するインク液滴の量が少ない）を形成する場合（小駆動）の電圧波形であり、振動板４と第２対向電極１０２間のみに電位差を与えるようにしている。この場合、圧電体膜１０１が発生する圧力のみで振動板４を変形させるため、大ドット形成時に比べて振動板４の変形量が小さく、インク量を少なくすることが可能である。
【００３１】
ここで、静電アクチュエータ１００では、振動板４と第１対向電極１１間にパルス電圧を印加した後に振動板４及び第１対向電極１１の絶縁膜４ａに電荷が残留する。この残留電荷は、インク液滴の吐出量やインクスピードの低下等の吐出不良の原因となり、例えば印字濃度や画素ずれ等の印刷品質不良や画素抜け等の信頼性の低下を招く可能性がある。このため、特開平７−２１４７７５号公報と同様な駆動方法により、駆動電圧を印加することにより蓄積された残留電荷を消滅させるようにしている。
すなわち、振動板４を変形させる正駆動（共通電極＝Ｈｉｇｈ、第１対向電極１１＝ＧＮＤ）を行う一方、所定時（例えば、駆動１回おき、又は定期的）に、極性の異なる逆駆動（共通電極＝ＧＮＤ、第１対向電極１１＝Ｈｉｇｈ）（表１の（ｄ）参照）を行うようにしている。
【００３２】
また、非駆動ノズルに対しては、表１の（ａ），（ｃ）に示すように、第１対向電極１１及び第２対向電極１０２側に加える電圧波形を駆動ノズルと変えることにより、共通電極に共通の電圧波形を印加しても非駆動を実現することが可能である。
【００３３】
図４は、大ドット駆動時における、静電アクチュエータ１００の内部に働く各圧力を振動板４の変位毎にグラフ化したデータの一例を示す図である。図４において、横軸は振動板４の変位量ｘ（図３参照）を示し、縦軸は圧力Ｐを示している。ここでは、静電圧力Ｐｓ（図中記号静電圧力）、圧電体膜１０１による圧力Ｐｚ（図中記号ＰＺＴ圧力）、振動板４の復元圧力Ｐｐ（図中記号復元圧力）及び振動板４に作用する圧力（図中記号静電＋ＰＺＴ）を図示している。なお、圧電体膜１０１による圧力は圧電歪みにより発生した集中モーメントＭ0 を圧力に換算することで表現している。また、図４において、グラフ内記号(＋)(−)は、符号を表し(＋)側は振動板４が第１対向電極１１に近づく方向を、(−)側は振動板４が第１対向電極１１から離れる方向をそれぞれ示している。
【００３４】
ここで、静電圧力Ｐｓは、次の（１）式で表される。
【００３５】
【数１】
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【００３６】
静電圧力Ｐｓは、振動板４と第１対向電極１１との間の距離（ｇ−ｘ）に反比例するため、図４に示すように、振動板４が第１対向電極１１に近づいたときに大きな圧力を発生する。
【００３７】
また、圧電体に発生する圧力Ｐｚは、次の（２）式で表される。
Ｐｚ∝Ｍ0 ∝ＥA×ｄ３１×Ｖ0                 ・・・（２）
但し、ＥA：圧電体のヤング率、ｄ３１：圧電体の圧電定数、Ｖ0：圧電体に印加される電圧
【００３８】
圧力Ｐｚは、第２対向電極１０２と振動板４間の電位差のみの影響を受け、振動板４の変形による影響は受けないため、振動板４の変位量とは関係なく一定の値となる。なお、圧電体膜１０１には電極（第２対向電極１０２及び共通電極（振動板４））が密着しているため、外部電源の電位差Ｖ0 がそのまま印加される。
【００３９】
復元圧力Ｐｐは、次の（３）式で表される。
Ｆｐ＝Ｆｐ（ｘ）＝ｘ／Ｃ                      ・・・（３）
ここで、Ｃは定数（材料定数、寸法によって決まる）
ｘは振動板の変位量
【００４０】
本例のアクチュエータ寸法構成において、静電圧力Ｐｓのみで駆動を行う場合は、図４に示すように振動板変位量ｘが０ 〜ｘA の範囲で、
（復元圧力）＞（静電圧力）
となり、復元圧力Ｐｐが静電圧力Ｐｓを上回ってしまい、振動板４を第１対向電極１１に当接させることができない。
すなわち、振動板４は、振動板変位量がｘA となるまで撓んだ後、復元圧力により定常位置に戻ってしまい、振動板４を第１対向電極１１に当接させることができない。
【００４１】
しかし、圧電体膜１０１の発生する圧力も加えることにより、振動板４が変位量０〜ｇに至る全過程で、
（復元圧力）＜（静電圧力）＋（ＰＺＴ圧力）
となり、振動板４を第１対向電極１１に当接させることが可能となる。
【００４２】
すなわち、静電圧力のみの構成で駆動する静電アクチュエータより、本発明の静電アクチュエータ１００の方がギャップ量を深くすることが可能となる。ギャップ量を深くすることが可能となるとインクジェットヘッドの特性としては吐出インク量を増やすことが可能となり良好な印刷が得られる。
【００４３】
このように、本実施の形態１によれば、振動板４の第１対向電極１１と反対側の表面の一部に圧電体膜１０１を設けたことにより、圧電体膜１０１がない場合よりも低い電圧で大きな振動板変位を得ることが可能となる。すなわち、振動板４と第２対向電極１０２との間に電圧を印加すると、圧電体膜１０１が歪むため、それに伴って（それに起因して）振動板４が撓み、振動板４と第１対向電極１１との間のギャップ１０が狭まる。さらに、その狭くなったギャップ１０に静電力が作用して、振動板４が第１対向電極１１側に撓む。静電力はギャップ１０の２乗に反比例するため、ギャップ１０が狭くなった分少ない電圧で振動板４を変位させることができる。これにより、従来必要とされた電圧より低い電圧で大きな振動板４の変位を得ることでき、インク液滴の吐出量を安定的に多くすることができる。
【００４４】
また、振動板４と第１対向電極１１とを当接させることが可能な電圧を１回おき、又は定期的に逆電界に入れ替えて駆動するようにしたので、残留電荷の解消と振動板駆動との両方が同時に可能になる。また、残留電荷に起因した静電アクチュエータの駆動特性変化を防止でき、安定的な吐出が可能となる。
【００４５】
また、振動板４と第２対向電極１０２間の電位差により発生する圧電体膜１０１の歪みによる圧力と、振動板４と第１対向電極１１間の電位差により発生する静電吸引圧力との両方により、振動板４を第１対向電極１１側に撓ませる場合には、振動板４の変形量を大きくすることが可能であり大ドットを形成できる。一方、振動板４と第２対向電極１０２との電位差により発生する圧電体膜１０１の歪みによる圧力のみの場合は、振動板４の変形量を小さくすることが可能であり小ドットを形成できる。このように、本例では、大ドット駆動と小ドット駆動とを行うことができ、ドット変調が可能であるため、写真のような高画質を高速で印刷することが可能である。
【００４６】
実施の形態２．
図５は、実施の形態１で説明したインクジェットヘッドを液滴吐出部に適用した液滴吐出装置であるインクジェットプリンタの斜視図である。
このインクジェットプリンタ２００は、そこに適用されているインクジェットヘッドの作用により、従来利用していた電圧より低い電圧を利用して、より多くの液滴吐出量を得ることができる。従って、ドット抜け等がなく印刷品質が向上する。また、耐久性や吐出安定性にも優れ、さらに小型でしかも駆動耐久性にも優れたものとなる。
【００４７】
なお、実施の形態１に示したインクジェットヘッドは、上記のインクジェットプリンタの他に、その吐出液を代えることで、液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造、有機ＥＬ表示装置の発光部分の形成、生体液体の吐出等にも適用することができる。
また、吐出液受容物は、記録用紙の他、フィルム、織布、不織布等の他のメディアや、ガラス基板、シリコン基板等の各種基板のようなワークであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの分解斜視図。
【図２】図１のインクジェットヘッドの断面図。
【図３】本発明の実施の形態１の静電アクチュエータの構成及び作用説明図。
【図４】大ドット駆動時における、振動板変位毎の各圧力を示す図。
【図５】本発明の実施の形態２に係るインクジェットプリンタの斜視図。
【符号の説明】
【００４９】
１  キャビティ基板、２  電極基板、３  ノズル基板、４  振動板、４ａ  絶縁膜、５  吐出室、５ａ  凹部、６  リザーバー、６ａ  凹部、７  共通電極端子、１０  ギャップ、１０ａ  電極用凹部、１０ｂ  封止材、１１  第１対向電極、１１ａ  リード部、１１ｂ  端子部、１２  液体供給口、２０  ノズル、２０ａ  第１の孔、２０ｂ  第２の孔、２１  オリフィス、２１ａ  凹部、２２  駆動回路、１００  静電アクチュエータ、１０１  圧電体膜、１０２  第２対向電極、２００  インクジェットプリンタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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