(57)【要約】【課題】研磨装置に所望量の水分を含有する研磨材を連続して安定的に供給することができる供給装置を提供する。【解決手段】水分を含有する研磨材１を研磨装置１００に供給する供給装置１０１において、研磨材１を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器２と、容器２の底部にて研磨装置１００に連結する連結部３と、連結部３の内壁内をまたがるように回転軸４が配設され、回転軸４に容器２と連結部３とが閉塞されるように長さの異なる複数の羽根５、６、７、８が配設され、当該複数の羽根５、６、７、８が回転することにより研磨材１を送り出す回転羽根部９と、回転羽根部９を回転駆動させる駆動手段１０とを備える。【選択図】図１
2009166201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水分を含有する研磨材を研磨装置に供給する供給装置において、
上記研磨材を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器と、
上記容器の底部にて上記研磨装置に連結する連結部と、
上記連結部の内壁内をまたがるように回転軸が配設され、上記回転軸に上記容器と上記連結部とが閉塞されるように長さの異なる複数の羽根が配設され、当該複数の羽根が回転することにより上記研磨材を送り出す回転羽根部と、
上記回転羽根部を回転駆動させる駆動手段とを備えたことを特徴とする供給装置。
【請求項２】
水分を含有する研磨材を研磨装置に供給する供給装置において、
上記研磨材を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器と、
上記容器の底部にて上記研磨装置に連結する連結部と、
下端側が上記連結部に上端側が上記容器の上方側に略垂直方向に延在して回転軸が配設され、上記回転軸の下端側にて上記容器と上記連結部とが閉塞されるようにかつ上記回転軸の上方側にスパイラル状に羽根が配設され、当該羽根が回転することにより上記研磨材を送り出すスクリュー部と、
上記スクリュー部を回転駆動される駆動手段とを備えたことを特徴とする供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、水分を含有する研磨材を研磨装置に供給する供給装置に関し、特に、所定量の水分を含有する研磨材を連続して安定的に供給することができるものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の供給装置は、ホッパー形状にて形成された容器とこの容器の下部に接続されたロータリーバルブとを備え、ロータリーバルブが研磨装置に接続されており、研磨装置に所望と成る研磨材を供給していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の供給装置は、容器の下部にロータリーバルブを接続しているため、ロータリーバルブへの研磨材の導入はこの研磨材の自重に頼っていた。このため、水分を含有した研磨材をもちいる場合には、研磨材同士がくっつくなどして容器内においてラットホールが発生し、ロータリーバルブに所望量の研磨材が導入されない場合があるという問題点があった。
【０００４】
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、研磨装置に所望量の水分を含有する研磨材を連続して安定的に供給することができる供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明は、水分を含有する研磨材を研磨装置に供給する供給装置において、
研磨材を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器と、
容器の底部にて研磨装置に連結する連結部と、
連結部の内壁内をまたがるように回転軸が配設され、回転軸に容器と連結部とが閉塞されるように長さの異なる複数の羽根が配設され、当該複数の羽根が回転することにより研磨材を送り出す回転羽根部と、
回転羽根部を回転駆動させる駆動手段とを備えたものである。
【０００６】
また、この発明は、水分を含有する研磨材を研磨装置に供給する供給装置において、
研磨材を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器と、
容器の底部にて研磨装置に連結する連結部と、
下端側が連結部に上端側が容器の上方側に略垂直方向に延在して回転軸が配設され、回転軸の下端側にて容器と連結部とが閉塞されるようにかつ回転軸の上方側にスパイラル状に羽根が配設され、当該羽根が回転することにより研磨材を送り出すスクリュー部と、
スクリュー部を回転駆動される駆動手段とを備えたものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の供給装置は、水分を含有する研磨材を研磨装置に供給する供給装置において、
研磨材を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器と、
容器の底部にて研磨装置に連結する連結部と、
連結部の内壁内をまたがるように回転軸が配設され、回転軸に容器と連結部とが閉塞されるように長さの異なる複数の羽根が配設され、当該複数の羽根が回転することにより研磨材を送り出す回転羽根部と、
回転羽根部を回転駆動させる駆動手段とを備えたので、研磨装置に所定量の水分を含有する研磨材を連続して安定的に供給することができる。
【０００８】
また、この発明の供給装置は、水分を含有する研磨材を研磨装置に供給する供給装置において、
研磨材を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器と、
容器の底部にて研磨装置に連結する連結部と、
下端側が連結部に上端側が容器の上方側に略垂直方向に延在して回転軸が配設され、回転軸の下端側にて容器と連結部とが閉塞されるようにかつ回転軸の上方側にスパイラル状に羽根が配設され、当該羽根が回転することにより研磨材を送り出すスクリュー部と、
スクリュー部を回転駆動される駆動手段とを備えたので、研磨装置に所定量の水分を含有する研磨材を連続して安定的に供給することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
実施の形態１．
以下、本願発明の実施の形態について説明する。図１はこの発明の実施の形態１における供給装置の構成を示す図である。図において、研磨装置１００は、被研磨材に水分を含有する研磨材１を噴射するためのノズル１０２と、このノズル１０２に接続され、研磨材１をノズル１０２に送り出すための圧縮空気１０４を供給する供給管部１０３とにて構成されている。研磨装置１００に研磨材１を供給する供給装置１０１は、所定量の水分が含有された研磨材１を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器２と、この容器２の底部にて研磨装置１００の供給管部１０３に連結する連結部３と、連結部３の内壁内をまたがるように配設された回転軸４、および、回転軸４に容器２と連結部３とが閉塞されるように配設され長さの異なる複数の羽根５、６、７、８から成りこれらが回転することにより研磨材１を研磨装置１００に送り出す回転羽根部９と、回転羽根部９の回転軸４を回転することにより羽根５〜８を回転駆動させる例えばモータにて成る駆動手段１０とにて構成されている。
【００１０】
羽根５、６、７、８は、図１（ｂ）の点線Ａにて示すように、容器２と連結部３とを閉塞されるように形成されているものであるが、必ずしも容器２と連結部３とを完全に閉塞しているものではない。また、羽根５、６、７、８の内、羽根５、８とは略同一の長さにて形成され、図１（ａ）の状態に示すように、羽根５、６、７の上部側は、羽根５、６、７、と羽根の長さが順番に短くなり、羽根８、７、６の下部側は、羽根８、７、６と羽根の長さが順番に短くなるように形成されている。
【００１１】
次に上記のように構成された実施の形態１の供給装置の動作について説明する。まず、容器２の上方の開口から所望量の水分が添加された研磨材１を投入して貯留する。次に、駆動手段１０により回転軸４を回転させ羽根５〜８を回転駆動する。そして、この回転羽根部９の回転によって、所望量の研磨材１が供給管部１０３に連続して供給される。この際、各羽根５、６、７、８の長さが異なることにより、容器２に貯留された研磨材１を効率よく掻き出すここと成る。すなわち、容器２内の研磨材１を掻き崩すようにして所望量の研磨材１を連続して連結部３を介して研磨装置１００の供給管部１０３に供給する。そして、供給管部１０３にて研磨材１と圧縮空気１０４とが混合され、ノズル１０２から被研磨材に噴射される。
【００１２】
上記のように構成された実施の形態１の供給装置は、長さの異なる複数の羽根が配設され、これら複数の羽根が回転することにより研磨材を掻き崩すようにして連続して研磨材を供給しているため、研磨材同士がくっつくなどして容器内においてラットホールが発生することが防止され、連続的にかつ安定的に研磨材を研磨装置に送り出すことができる。このため、研磨装置においては、所望量の研磨材にて連続して被研磨材を研磨することが可能となりより一層良好な研磨状態を確保することができる。
【００１３】
尚、上記実施の形態１において示した容器は、上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成されていれば良く、図１に示した以外の形状、例えば全ての面が傾斜しており上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状であっても良いことは言うまでもない。また、４枚の羽根が配設されている例を示したが、これに限られることはなく、複数の長さの異なる羽根であれば同様の効果を奏することが可能と成る。また、羽根は回転軸の回転方向に対して同一箇所に配設されている例を示したが、これに限られることはなく、回転軸の回転方向に対して互い違いと成るように配設されても良いことは言うまでもない。
【００１４】
実施の形態２．
図２はこの発明の実施の形態２における供給装置の構成を示す図である。図において、上記実施の形態１と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。研磨装置１００に研磨材１を供給する供給装置１１０は、所定量の水分が含有された研磨材１を貯留し上部から下部に向かうほど内径が小さくなる形状にて形成された容器２０と、この容器２０の底部にて研磨装置１００の供給管部１０３に連結する連結部３０と、下端側が連結部３０に上端側が容器２０の上方側に略垂直方向に延在して配設される回転軸１１と、回転軸１１の下端側にて容器２０と連結部３０とが閉塞されるようにかつ回転軸１１の上方側にスパイラル状に配設された羽根４０と、回転軸１１と羽根４０とにて構成され、回転軸１１の回転により羽根４０が回転することにより研磨材１を送り出すスクリュー部９０と、スクリュー部９０の回転軸４０を回転することにより羽根４０を回転駆動させる例えばモータにて成るを駆動手段１１１とにて構成されている。羽根４０は、図２の点線Ｂにて示すように、容器２と連結部３とを閉塞するように形成されているものであるが、容器２０と連結部３０とを完全に閉塞しているものではなく、羽根４０の回転により容器２０と連結部３０とに隙間が生じるものである。
【００１５】
次に上記のように構成された実施の形態２の供給装置の動作について説明する。まず、容器２０の上方の開口から所望量の水分が添加された研磨材１を投入して貯留する。次に、駆動手段１１０により回転軸１１を回転させ羽根４０を回転駆動される。そして、このスクリュー部９０の回転によって、所望量の研磨材１を供給管部１０３に連続して供給される。この際、羽根４０は容器２０内を略垂直方向に延在した回転軸１１に配設されているため、羽根４０の回転により容器２０内の研磨材１が攪拌され、研磨材１同士がくっつくなど現象を低減している。よって、容器２０内の研磨材１を攪拌しながら所望量の研磨材１を連続して連結部３０を介して研磨装置１００の供給管部１０３に供給する。そして、供給管部１０３にて研磨材１と圧縮空気１０４とが混合され、ノズル１０２から被研磨材に噴射される。
【００１６】
上記のように構成された実施の形態２の供給装置は、容器内を略垂直方向に延在した回転軸に配設された羽根が回転することにより連続して研磨材を供給している。また、容器内の研磨材が羽根の回転により攪拌されるため、研磨材同士がくっつくなどして容器内においてラットホールが発生することが防止される。これらのことより、連続的にかつ安定的に研磨材を研磨装置に送り出すことができる。このため、研磨装置においては、所望量の研磨材にて連続して被研磨材を研磨することが可能となりより一層良好な研磨状態を確保することができる。
【００１７】
尚、羽根の形状は上記実施の形態２に示した形状に限られることはなく、回転軸の下端側にて容器と連結部とが閉塞されるようにかつ回転軸の上方側にスパイラル状に配設されていれば他の形状であっても良いことは言うまでもない。
【００１８】
また、上記各実施の形態においては研磨材の供給量について特に示していないが、供給量は駆動手段による回転軸の回転速度を適宜変更することにより所望量の供給量を研磨装置に供給することができることは言うまでもない。よって、供給量を変更したい場合には、駆動手段による回転軸の回転速度を変更すれば容易に対応することが可能と成る。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】この発明の実施の形態１の供給装置の構成を示す図である。
【図２】この発明の実施の形態２の供給装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  研磨材、２，２０  容器、３，３０  連結部、４，４０  回転軸、
５，６，７，８，１１  羽根、９  回転羽根部、１０，１１１  駆動手段、
９０  スクリュー部、１００  研磨装置、１０１，１１０  供給装置。
【図１】
2009166201.tif 000003
【図２】
2009166201.tif 000004