(57)【要約】 【課題】従来の方法よりもさらに高い純度を有する窒化物の製造方法を提供する。【解決手段】Ｍ１（Ｍ１；アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、スカンジウム、イットリウム、ランタニド系希土類元素から選ばれる１種以上の元素）とＭ２（Ｍ２；珪素、アルミニウムから選ばれる１種以上の元素）と窒素とからなる化合物の製造方法であって、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する化合物を含む材料を、窒素を含む雰囲気中で反応させることを特徴とする窒化物の製造方法を用いることによって、上記課題を解決できる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｍ１（Ｍ１；アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、スカンジウム、イットリウム、ランタニド系希土類元素から選ばれる１種以上の元素）とＭ２（Ｍ２；珪素、アルミニウムから選ばれる１種以上の元素）と窒素とからなる化合物の製造方法であって、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する化合物を含む原料混合物を、減圧状態とした後に窒素を含む雰囲気中で焼成する焼成工程を有することを特徴とする窒化物の製造方法。
【請求項２】
減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する前記化合物が、前記Ｍ１を含有するカルボン酸塩、前記Ｍ２を含有する有機金属化合物、フェノール樹脂から選ばれる１種以上であることを特徴とする請求項１に記載の窒化物の製造方法。
【請求項３】
空隙率が８０％以下とされて前記原料混合物が焼成されることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の窒化物の製造方法。
【請求項４】
前記原料混合物が、フラックスを含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の窒化物の製造方法。
【請求項５】
前記窒素を含む雰囲気が、窒素、アンモニア、シアン化水素から選ばれる一種以上のガスと、水素、アルゴン、メタン、プロパン、ブタン、一酸化炭素から選ばれる一種以上のガスとの混合ガス、または、窒素、アンモニア、シアン化水素から選ばれる一種以上のガスのうちのいずれか一方からなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の窒化物の製造方法。
【請求項６】
前記原料混合物の焼成のための昇温速度が２０℃／分以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の窒化物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックス材料や蛍光体材料等として応用可能な窒化物の製造方法であって、Ｍ１（Ｍ１；アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、スカンジウム、イットリウム、ランタニド系希土類元素から選ばれる１種以上の元素）とＭ２（Ｍ２；珪素、アルミニウムから選ばれる１種以上の元素）と窒素とからなる化合物の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、Ｍ１（Ｍ１；アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、スカンジウム、イットリウム、ランタニド系希土類元素から選ばれる１種以上の元素）とＭ２（Ｍ２；珪素、アルミニウムから選ばれる１種以上の元素）と窒素とからなる化合物が知られている。
【０００３】
上記化合物の例としては、Ｓｒ２Ｓｉ５Ｎ８、Ｂａ２Ｓｉ５Ｎ８（下記特許文献１〜３参照）、ＢａＳｉ７Ｎ１０（下記特許文献１〜３参照）、Ｌａ３Ｓｉ６Ｎ１１（下記特許文献４参照）、Ｅｕ２Ｓｉ５Ｎ８、ＥｕＹｂＳｉ４Ｎ７（下記非特許文献１参照）、（Ｂａ，Ｅｕ）２Ｓｉ５Ｎ８（下記非特許文献２参照）、ＣａＳｉＮ２（下記特許文献４参照）、ＣａＳｉＡｌＮ３（下記特許文献５参照）などがある。
【０００４】
これらの化合物は、セラミックス材料として有用であるばかりでなく、近年は、蛍光体材料としても注目されている。例えば、上記化合物に発光イオンとしてＥｕ２＋やＣｅ３＋を添加した蛍光体は、その高い共有結合性から、動作温度が高くなっても発光強度の低下が小さい等、温度特性に優れ、また、発光イオンに配位する元素が窒素であることから、励起発光波長が長波長側に存し、近紫外、青色ＬＥＤ光源を用いた白色ＬＥＤ用途への適用が進められている。
【０００５】
また、上記窒化物の合成方法として、加熱によってアルカリ土類金属酸化物ＭＯ（但し、Ｍは、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、及びＢａから選ばれる少なくとも一つの元素、Ｏは酸素元素）を生成しうるアルカリ土類金属化合物と、珪素化合物と、炭素とを含む材料を、窒化性ガス雰囲気中で反応させることを特徴とするニトリドシリケート系化合物の製造方法が提案されている（下記特許文献６参照）。
一方、特許文献７には、還元窒化雰囲気中での加熱により、原料中の酸素量を低減し、窒素量を増大させる方法が記載されている。
更に、非特許文献３には、アルカリ土類金属のカルボン酸塩を出発原料とした、窒化物蛍光体の合成方法が開示されている。
【特許文献１】特表２００３−５１５６５５号公報
【特許文献２】特表２００３−５１５６６５号公報
【特許文献３】特開２００２−３２２４７４号公報
【特許文献４】特開２００３−２０３５０４号公報
【特許文献５】特開２００６−００８７２１号公報
【特許文献６】特表２００７−５１１４５２号公報
【特許文献７】特開２００５−３０６６９２号公報
【非特許文献１】Ｈ．Ｈｕｐｐｅｒｔｚ  ａｎｄ  Ｗ．Ｓｃｈｎｉｃｋ．Ａｃｔａ．Ｃｒｙｓｔ．，第５３巻，（１９９７年），１７５１−１７５３頁
【非特許文献２】Ｙ．Ｑ．Ｌｉ，  ｅｔ  ａｌ．，Ｊ．Ａｌｌｏｙｓ．Ｃｏｍｐｄ．，第４１７巻，（２００６年），２７３−２７９頁
【非特許文献３】Ｔ．Ｈｏｒｉｋａｗａ，  ｅｔ  ａｌ．，Ｊ．Ｃｅｒａｍ．Ｓｏｃ．Ｊｐ．，第１１５巻，（２００７年），６２３−６２７頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の窒化物の製造方法では、化学的に不安定であり発火などの危険性も有り得るアルカリ土類金属や希土類金属、又は、入手が困難で極めて高価かつ大気中での取扱いが困難なアルカリ土類金属や希土類の窒化物を、アルカリ土類金属又は希土類の供給源として用いていたために、不純物酸素が多く混入し、例えば蛍光体とした場合は、十分な発光強度が得られない等の性能面の課題に加え、品質が安定しない、生産性が低い、コストが高い等の理由から、工業生産が著しく難しいという課題があった。
【０００７】
また、上記のような課題を解決するための手段として提案された、炭素を用いた還元窒化法では、黒鉛等の炭素を用いるため、均一な混合が難しく、加えて、炭素自体が非酸化性雰囲気中では極めて安定な化合物であることから、酸素や炭素が未反応物として残留しやすい、と言った難点があった。
【０００８】
更に、原料混合物中に炭素を含まず、窒化性ガスであるアンモニアガスや、浸炭性ガスである天然ガス、メタン（ＣＨ４）、プロパン（Ｃ３Ｈ８）、ブタン（Ｃ４Ｈ１０）などの炭化水素や、一酸化炭素（ＣＯ）などの炭素酸化物などを用いた場合は、試料の中心部に未反応酸素が残留しやすく、上記と同様、不純物の少ない窒化物の合成は困難であった。
【０００９】
また、カルボン酸塩等が原料混合物中に含まれる場合でも、適切な合成条件を選択しなければ、目的とする化合物以外に第二相が生成したり、残留酸素や残留炭素量の低減が難しいと言った難点があった。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、従来の方法よりもさらに高い純度を有する窒化物の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、Ｍ１（Ｍ１；アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、スカンジウム、イットリウム、ランタニド系希土類元素から選ばれる１種以上の元素）とＭ２（Ｍ２；珪素、アルミニウムから選ばれる１種以上の元素）と窒素とからなる化合物の製造方法であって、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する化合物を含む材料を、窒素を含む雰囲気中で反応させることにより、酸素や炭素の残留が少ない窒化物の製造が可能であることを見出し、以下に示す本発明を完成させるに至った。
【００１２】
（１）Ｍ１（Ｍ１；アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、スカンジウム、イットリウム、ランタニド系希土類元素から選ばれる１種以上の元素）とＭ２（Ｍ２；珪素、アルミニウムから選ばれる１種以上の元素）と窒素とからなる化合物の製造方法であって、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する化合物を含む原料混合物を、減圧状態とした後に窒素を含む雰囲気中で焼成する焼成工程を有することを特徴とする窒化物の製造方法。
（２）減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する前記化合物が、前記Ｍ１を含有するカルボン酸塩、前記Ｍ２を含有する有機金属化合物、フェノール樹脂から選ばれる１種以上であることを特徴とする（１）に記載の窒化物の製造方法。
（３）空隙率が８０％以下とされて前記原料混合物が焼成されることを特徴とする（１）または（２）のいずれかに記載の窒化物の製造方法。
（４）前記原料混合物が、フラックスを含有することを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の窒化物の製造方法。
（５）前記窒素を含む雰囲気が、窒素、アンモニア、シアン化水素から選ばれる一種以上のガスと、水素、アルゴン、メタン、プロパン、ブタン、一酸化炭素から選ばれる一種以上のガスとの混合ガス、または、窒素、アンモニア、シアン化水素から選ばれる一種以上のガスのうちのいずれか一方からなることを特徴とする（１）〜（４）のいずれかに記載の窒化物の製造方法。
（６）前記原料混合物の焼成のための昇温速度が２０℃／分以下であることを特徴とする（１）〜（５）のいずれかに記載の窒化物の製造方法。
【発明の効果】
【００１３】
上記の構成によれば、従来の方法よりもさらに高い純度を有する窒化物の製造方法を提供することができる
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態である窒化物の製造方法について詳しく説明する。
本発明の実施形態である窒化物の製造方法は、Ｍ１（Ｍ１；アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、スカンジウム、イットリウム、ランタニド系希土類元素から選ばれる１種以上の元素）とＭ２（Ｍ２；珪素、アルミニウムから選ばれる１種以上の元素）と窒素とからなる化合物の製造方法であって、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する化合物を含む原料混合物を、減圧状態とした後に窒素を含む雰囲気中で焼成する焼成工程を有する。
【００１５】
＜原料混合物＞
前記原料混合物は、Ｍ１、Ｍ２を含む混合物であって、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する化合物を含む混合物であることが好ましい。
減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって生成される炭素は著しく反応性に富むので、たとえば、前記原料混合物がＭ１を含有する化合物とＭ２を含有する化合物とからなる場合には、Ｍ１を含有する化合物とＭ２を含有する化合物の反応を促進して、高純度の窒化物の反応を速やかに行うことができる。特に、従来の窒化物の製造方法である黒鉛等の固体の炭素を用いる方法に比較して、反応速度を高めることができるとともに、均一な混合が可能となるので、残留酸素や残留炭素を少なくして、窒化物の純度を向上させることができる。
【００１６】
本発明に於いて、Ｍ１を含有する化合物としては、Ｍ１を含有する炭酸塩、酸化物、水酸化物等が用いられる。また、Ｍ１を含有し、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する前記化合物としては、Ｍ１を含有するギ酸塩、酢酸塩、プロピオン酸塩等が用いられ、Ｍ１を含有するカルボン酸塩が特に好ましい。
【００１７】
さらに、Ｍ２（Ｍ２；珪素、アルミニウムから選ばれる１種以上の元素）を含有する化合物としては、Ｍ２を含有する酸化物、窒化物  ポリシラザン等が用いられる。また、Ｍ２を含有し、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する前記化合物としては、Ｍ２を含有する有機金属化合物、たとえば、ポリシラン、ポリカルボシラン、ポリシラスチレン等が用いられる。
さらにまた、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する前記化合物としては、フェノール樹脂を用いることができる。
【００１８】
これらの化合物は目的に応じて任意の組み合わせを採用することが可能だが、好ましい組み合わせは、Ｍ１を含有するするカルボン酸塩とＭ２の窒化物の組み合わせ、或いはＭ１を含有するするカルボン酸塩とＭ２の窒化物とフェノール樹脂との組み合わせである。
【００１９】
Ｍ１を含有するするカルボン酸塩とＭ２の窒化物の組み合わせに更にフェノール樹脂を添加する場合、フェノール樹脂の添加量は、フェノール樹脂から生成する炭素量がＣ／Ｍ１≦０．５（原子比）となることが好ましい。Ｃ／Ｍ１が０．５を越えると、残留炭素量が増大するので好ましくない。
【００２０】
一方、Ｍ１を含有する化合物が炭酸塩、酸化物、水酸化物から選ばれる１種以上である場合は、Ｍ１を含有する化合物とＭ２の窒化物とフェノール樹脂の組み合わせ、或いは、Ｍ１を含有する化合物とポリシラン、ポリカルボシラン、ポリシラスチレンから選ばれる１種以上と必要に応じてＭ２の窒化物との組み合わせが好ましい。
【００２１】
Ｍ１を含有する炭酸塩、酸化物、水酸化物から選ばれる１種以上と、Ｍ２の窒化物とフェノール樹脂との組み合わせにおいて、フェノール樹脂の添加量は、フェノール樹脂から生成する炭素量が０．５≦Ｃ／Ｍ１≦１．２（原子比）となることが好ましい。Ｃ／Ｍ１が０．５より小さいと残留酸素量が増大し、Ｃ／Ｍ１が１．２を越えると残留炭素量が増大するので好ましくない。
【００２２】
＜種子＞
本発明の実施形態である窒化物の製造方法に於いては、予め合成した目的とする窒化物を、種子として原料混合物中に添加してもよい。このようにすることにより、合成反応が促進され、より不純物相の少ない窒化物を得ることができる。
【００２３】
種子として添加する前記窒化物の添加量は、原料混合物１００質量部に対し、１〜５０質量部の範囲とすることが好ましい。前記窒化物の添加量が１質量部未満の場合には、添加量が少なすぎるので、窒化物の合成反応を促進する効果がほとんど見られない。逆に、前記窒化物の添加量が５０質量部を超える場合には、合成反応に用いられる原料の量が少なくなり、生成する窒化物の量が少なくなり好ましくない。
【００２４】
＜フラックス＞
また、反応物（原料化合物）同士の反応性を高めるために、フラックスを添加して反応させてもよい。フラックスとしては、アルカリ金属化合物（ＬｉＣｌ，ＮａＣ１、ＫＣｌ，ＬｉＦ，ＮａＦ，ＫＦ等）やアルカリ土類金属化合物（ＣａＦ２，ＳｒＦ２，ＢａＦ２，ＣａＣ１２，ＳｒＣｌ２，ＢａＣｌ２等）やハロゲン化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ，ＮＨ４Ｆ等）やハロゲン化アルミニウム（ＡｌＣｌ３，ＡｌＦ３等）などから、適宜選択して用いる。フラックスの添加量は特に限定されないが、通常は、原料混合物に対し、外割で０．１〜５質量％程度である。
【００２５】
＜原料混合物の生成＞
本発明の実施形態である窒化物の製造方法における原料混合物は、ボールミル等を用いた、原料粉末の乾式、湿式混合の他に、溶剤等に溶解した原料を用いて、液相状態を経て、原料混合物とすることもできる。この場合、全ての原料を液相としても良いが、一部の原料を液相とし、他の原料を固相としても差し支えない。
【００２６】
＜空隙率＞
前記原料混合物は、空隙率８０％以下とされて焼成されるのが好ましい。空隙率が８０％以上の状態で焼成された場合には、原料同士の接触が少ないことから、目的とする窒化物の合成に長時間を要したり、残留酸素や残留炭素が増大したりするため好ましくない。
前記原料混合物を収容する容器の材質としては、アルミナ、カルシア、マグネシア、黒鉛或いは窒化硼素などを挙げることができるが、この中では、金属化合物との反応性が低いことから、窒化ホウ素焼結体が好ましい。
また、前記原料混合物は、前記の容器に充填しても良いが、予め金型等で加圧を行い所望の空隙率とした成型体を用いると、合成反応の促進や残留酸素、残留炭素の低減に効果的であるばかりでなく、一度の焼成で合成できる窒化物の量が増えるため経済的でもある。
【００２７】
＜窒化物＞
本発明の実施形態である窒化物の製造方法で合成可能な窒化物としては、ＡＳｉＮ２，Ａ２Ｓｉ５Ｎ８，ＡＳｉ６Ｎ８，ＡＳｉ７Ｎ１０，ＡＡｌＳｉＮ３，Ａ３Ａｌ２Ｎ４，Ａ３ＡｌＮ３，ＡＲＳｉ４Ｎ７，Ｒ３Ｓｉ６Ｎ１１，ＲＳｉ３Ｎ５（Ａ；アルカリ土類金属元素、ＩＩ価のランタニド系希土類元素、Ｒ；Ｓｃ、Ｙ及びＩＩＩ価のランタニド系希土類元素）などを例示することができる。
【００２８】
＜焼成温度＞
本発明の実施形態である窒化物の製造方法において、好ましい焼成温度は１４００〜２２００℃であり、更に好ましい焼成温度は、目的とする窒化物のＭ１／Ｍ２（原子比）が１を超える場合は１４００〜１８００℃であり、Ｍ１／Ｍ２（原子比）が１以下の場合は１５００〜２２００℃である。
【００２９】
＜焼成工程＞
焼成工程は、一次焼成を行った後、再度混合を行った上で、二次焼成を行ってもよい。さらにまた、前記焼成工程を繰り返し、複数回に分けて実施してもよい。このようにすることにより、反応性を一層向上することができ、残留酸素、残留炭素等の不純物を更に低減することができる。
【００３０】
＜雰囲気ガス＞
焼成時に用いる雰囲気ガスは、少なくとも窒素を含有する非酸化性ガスであれば特に限定されるものではない。たとえば、窒素ガスを挙げることができ、さらに、窒素、アンモニア、シアン化水素から選ばれる一種以上のガスと、水素、アルゴン、メタン、プロパン、ブタン、一酸化炭素から選ばれる一種以上のガスとの混合ガス、または、窒素、アンモニア、シアン化水素から選ばれる一種以上のガスなどを挙げることができる。
【００３１】
これらの雰囲気ガスのうち好ましいのは、経済性、安全性の観点から窒素ガス、アンモニアガス、窒素ガスと水素ガスの混合ガス、窒素ガスとアンモニアガスの混合ガスである。窒素ガスと水素ガスの混合ガス或いは窒素ガスとアンモニアガスの混合ガスを用いる場合、水素ガス或いはアンモニアガスの混合割合は、水素ガス、アンモニアガス共にごく微量で目的の窒化物を合成することができるが、１体積％以上とすることが妥当である。一方、窒素ガスと水素ガスの混合ガスを用いる場合の水素ガスの割合の上限は、安全性も考慮すると、５０体積％以下とすることが好ましい。
【００３２】
上記のように、複数回の焼成を行う場合には、使用する雰囲気ガスを各焼成工程において適宜選択することができる。たとえば、焼成次数及び焼成温度が低い場合に、還元効果が大きな雰囲気ガス（例えば、窒素と水素の混合ガス、アンモニアガス等）を使用し、二次焼成以降の焼成次数及び焼成温度が高い場合に窒素ガスを用いれば、高価な焼成設備を用いなくても本発明の実施が可能となり、製造コストを低減することができる。
【００３３】
また、１２００℃以下の低い焼成温度域もしくは昇温過程では焼成炉内を減圧状態とすると、酸素を含む分解ガスを炉外に排気することができるので、残留酸素量の低減に効果的である。特に、Ｍ１を含有するカルボン酸塩を原料混合物に含む場合は、加熱により、酸素を含む分解ガスが多く放出されるため、最終的に合成される窒化物中の酸素量の低減には有効である。
【００３４】
焼成開始時は、一旦減圧状態として、炉内の残留空気を炉外に排気するか、使用する雰囲気ガスを用いて炉内に残留している空気をパージする必要があるが、後者の場合、残留空気の除去には長時間を要するため、減圧状態とする方が好ましい。
【００３５】
雰囲気ガスの好ましい圧力は、焼成温度によって異なるが、高温での窒化物の分解抑制のため、１５００〜１８００℃は５気圧とし、１８００℃以上では９気圧以上とすることが好ましい。
【００３６】
＜昇温速度＞
本発明の実施形態である窒化物の製造方法における昇温速度は２０℃／分以下が好ましい。先に記載したように、本発明の実施形態である窒化物の製造方法では、原料同士を十分に接触させて、窒化物の合成反応を促進させるために、空隙率が８０％以下となるようにしている。このような状況で、２０℃／分を超える昇温速度とすると、酸素を含む分解ガスが急激に発生し、ルツボから試料が突出して炉内に飛散してしまうため好ましくない。特に、Ｍ１を含有するするカルボン酸塩を原料混合物に含む場合には、酸素を含む分解ガスの発生量が多いため、昇温速度は２０℃／分以下とすることが好ましい。
【００３７】
焼成して得られた窒化物が粉体凝集体として固く固着している場合には、ボールミル、ジェットミル等の一般に用いられる粉砕機により粉砕して、粉体としてもよい。  
更に、篩い分け、水簸分級、淘汰管分級等により粒度を調整してもよい。
【００３８】
焼成して得られた窒化物、あるいは粉砕処理を行った後の窒化物の粉末、もしくは粒度を調整した後の窒化物の粉末に対して、さらに、１０００℃以上の温度で熱処理を行っても良い。この熱処理を行うことにより、窒化物に存在する様々な欠陥、たとえば、粉砕時に導入された欠陥などを減少させることができ、窒化物の化学的安定性やその他の諸特性を向上させることができる。
【００３９】
さらに、焼成して得られた窒化物を、水または酸水溶液からなる溶剤で洗浄してもよい。この洗浄工程を行うことにより、蛍光体に含まれるガラス相、第二相、または不純物相の含有量を低減させることができ、窒化物の純度を向上させることができる。前記酸水溶液に用いる酸としては、硫酸、塩酸、硝酸、フッ化水素酸、有機酸の単体またはこれらの混合物を用いることができる。特に、前記酸水溶液に用いる酸として、フッ化水素酸と硫酸の混合物を用いることが好ましい。不純物を除去する効果を大きくすることができるためである。
【００４０】
本発明の実施形態である窒化物の製造方法は、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する化合物を含む原料混合物を、減圧状態とした後に窒素を含む雰囲気中で焼成する焼成工程を有する構成なので、生成する窒化物の残留酸素量を低減することができ、窒化物の純度を向上させることができる。
【００４１】
本発明の実施形態である窒化物の製造方法は、減圧状態もしくは非酸化性雰囲気中での加熱によって少なくとも炭素を生成する前記化合物が、前記Ｍ１を含有するカルボン酸塩、前記Ｍ２を含有する有機金属化合物、フェノール樹脂から選ばれる１種以上である構成なので、加熱により前記化合物から生成された著しく反応性に富む炭素を用いて、高純度の窒化物の反応を速やかに行うことができる。また、均一な混合が可能となり、残留酸素や残留炭素を少なくして、窒化物の純度を向上させることができる。
【００４２】
本発明の実施形態である窒化物の製造方法は、空隙率が８０％以下とされた前記原料混合物を焼成する構成なので、原料同士の接触を十分にして、目的とする窒化物の合成を速やかに行い、残留酸素や残留炭素を減少させることができる。
【００４３】
本発明の実施形態である窒化物の製造方法は、前記原料混合物が、フラックスを含有する構成なので、反応物（原料化合物）同士の反応性を高め、反応速度を高めることができる。
【００４４】
本発明の実施形態である窒化物の製造方法は、前記窒素を含む雰囲気が、窒素ガス、アンモニアガス、シアン化水素から選ばれる一種以上或いは窒素ガス、アンモニアガス、シアン化水素ガスから選ばれる一種以上と水素ガス、アルゴンガス、メタンガス、プロパンガス、ブタンガス、一酸化炭素ガスから選ばれる一種以上との混合ガスからなる構成なので、高純度の窒化物の生成を速やかに行うことができる。また、高価な焼成設備を用いなくても本発明の実施が可能となり、製造コストを低減することができる。
【００４５】
本発明の実施形態である窒化物の製造方法は、前記原料混合物の焼成のための昇温速度が２０℃／分以下である構成なので、酸素を含む分解ガスを急激に発生させて、ルツボから試料を突出させて炉内に飛散させてしまうことなく、高純度の窒化物の生成を速やかに行うことができる。
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。しかし、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。
【実施例】
【００４６】
＜実施例１＞
原料混合物の粉末として、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）は、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を用いて、以下のようにしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
【００４７】
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を１７．８８ｇ、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を８２．１２ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温させ、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．１質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００４８】
＜実施例２＞
成型試料の空隙率を７５％とした以外は実施例１と同様にしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．３質量％、残留炭素量は０．１質量％だった。
【００４９】
＜実施例３＞
成型試料の空隙率を４５％とした以外は実施例１と同様にしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．０５質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００５０】
＜実施例４＞
フラックスとして１質量％のフッ化アルミニウムを、実施例１の原料混合物に対して外割で添加し、焼成温度を１４００℃とした以外は実施例１と同様にしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．１質量％、残留炭素量は０．１質量％だった。
【００５１】
＜実施例５＞
焼成雰囲気を窒素ガスとした以外は実施例１と同様にしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．４質量％、残留炭素量は０．１質量％だった。
【００５２】
＜実施例６＞
昇温速度を２０℃／分とした以外は実施例１と同様にしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
少量の試料はルツボ外に飛散していたが、ルツボ内に残留した生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．３質量％、残留炭素量は０．１質量％だった。尚、重量測定の結果、ルツボ外に飛散した試料は５質量％程度だった。
【００５３】
＜実施例７＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、酢酸カルシウム・１水和物を用いて、以下のようにして、ＣａＳｉＮ２を合成した。
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を２０．９７ｇ、酢酸カルシウム・１水和物を７９．０３ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＣａＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．１質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００５４】
＜実施例８＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、酢酸バリウムを用いて、以下のようにして、ＢａＳｉＮ２を合成した。
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を１５．４７ｇ、酢酸バリウムを８４．５３ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＢａＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．１質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００５５】
＜実施例９＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、酢酸ユーロピウム・３水和物を用いて、以下のようにして、ＥｕＳｉＮ２を合成した。窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を１０．８８ｇ、酢酸ユーロピウム・３水和物を８９．１２ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、電子線マイクロアナライザーを用いて生成相の化学分析を行ったところ、ＥｕＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．１５質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００５６】
＜実施例１０＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、炭酸ストロンチウム粉末、フェノール樹脂を用いて、次にようにして、ＳｒＳｉＮ２を合成した。
まず、炭酸ストロンチウム粉末を７１．５３ｇ、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を２２．６６ｇ、フェノール樹脂を１１．６４ｇ秤取し、アセトンを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．３質量％、残留炭素量は０．２質量％だった。
【００５７】
＜実施例１１＞
原料混合物の粉末として、ジメチルポリシラン、炭酸ストロンチウム粉末を用いて、次にようにして、ＳｒＳｉＮ２を合成した。
まず、ジメチルポリシランを２８．２６ｇ、炭酸ストロンチウム粉末を７１．７４ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．６質量％、残留炭素量は０．４質量％だった。
【００５８】
＜実施例１２＞
原料混合物の粉末として、ペルヒドロポリシラザン、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を用いて、次のようにしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
まず、ペルヒドロポリシラザンを１７．３６ｇ、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を８２．６４ｇ秤取し、キシレンを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーからキシレンを蒸発除去し、ｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．１質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００５９】
＜実施例１３＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を用いて、次のようにして、ＳｒＳｉＮ２を合成した。
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を１７．８６ｇ、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を８２．００ｇ、フェノール樹脂を０．２８ｇ秤取し、アセトンを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．０２質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００６０】
＜実施例１４＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を用いて、次のようにして、Ｓｒ２Ｓｉ５Ｎ８を合成した。
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を３５．２５ｇ、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を６４．７５ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１８００℃まで昇温し、１８００℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、Ｓｒ２Ｓｉ５Ｎ８が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．１質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００６１】
＜実施例１５＞
原料混合物の粉末として、窒化アルミニウム粉末、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を用いて、次のようにして、Ｓｒ３Ａｌ２Ｎ３を合成した。
まず、窒化アルミニウム粉末を１１．２９ｇ、酢酸ストロンチウム・０．５水和物を８８．７１ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１４５０℃まで昇温し、１４５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、Ｓｒ３Ａｌ２Ｎ３が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．２質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００６２】
＜実施例１６＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化アルミニウム粉末、酢酸カルシウム・１水和物を用いて、次のようにして、ＣａＡｌＳｉＮ３を合成した。
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を１７．７２ｇ、窒化アルミニウム粉末を１５．５３ｇ、酢酸カルシウム・１水和物を６６．７５ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
一次焼成で得られた生成物を乳鉢で解砕し、更に９気圧の窒素ガス圧雰囲気下、１８００℃で２時間の焼成を行った。
２次焼成で得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＣａＡｌＳｉＮ３が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．２質量％、残留炭素量は０質量％だった。
【００６３】
＜実施例１７＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化アルミニウム粉末、酢酸カルシウム・１水和物、酢酸ユーロピウム・３水和物を用いて、次のようにして、Ｃａ０．９９Ｅｕ０．０１ＡｌＳｉＮ３を合成した。
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を１７．５８ｇ、窒化アルミニウム粉末を１５．４１ｇ、酢酸カルシウム・１水和物を６５．５７ｇ、酢酸ユーロピウム・３水和物を１．４４ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
一次焼成で得られた生成物を乳鉢で解砕し、更に９気圧の窒素ガス圧雰囲気下、１８００℃で２時間の焼成を行った。
２次焼成で得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、Ｃａ０．９９Ｅｕ０．０１ＡｌＳｉＮ３が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．２５質量％、残留炭素量は０質量％だった。
また、紫外から青色に至る広汎な励起帯を有し、赤色に発光する蛍光体であることが確認された。
【００６４】
＜実施例１８＞
室温で減圧状態とした後、雰囲気ガスを導入し、その後昇温を開始した以外は実施例１と同様にしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．６質量％、残留炭素量は０．１質量％だった。
【００６５】
＜実施例１９＞
成型試料の空隙率が８５％とした以外は実施例１と同様にしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．７質量％、残留炭素量は０．３質量％だった。
【００６６】
＜実施例２０＞
昇温速度を３０℃／分とした以外は実施例１と同様にしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
多量の試料がルツボ外へ飛散していたが、ルツボ内に残留した生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は０．６質量％、残留炭素量は０．３質量％だった。尚、重量測定の結果、ルツボ外に飛散した試料は５０％程度だった。
【００６７】
＜比較例１＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、炭酸ストロンチウム、黒鉛粉末を用いて、次のようにして、ＳｒＳｉＮ２を合成した。
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を２２．６６ｇ、炭酸ストロンチウム粉末を７１．５３ｇ、黒鉛粉末を５．８２ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２と少量のＳｉＣ、及び、少量の黒鉛が生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は７．５質量％、残留炭素量は２．３質量％だった。
【００６８】
＜比較例２＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、炭酸ストロンチウム、黒鉛粉末を用いて、次のようにして、Ｓｒ２Ｓｉ５Ｎ８を合成した。
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を４２．２７ｇ、炭酸ストロンチウム粉末を５３．３８ｇ、黒鉛粉末を４．３４ｇ秤取し、エタノールを用いた湿式ボールミルにより、２時間混合した。
次に、得られたスラリーを蒸発乾固し、乳鉢で解砕した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１８００℃まで昇温し、１８００℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、Ｓｒ２Ｓｉ５Ｎ８と少量のＳｉＣ、及び、少量の黒鉛が生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は５．１質量％、残留炭素量は１．８質量％だった。
【００６９】
＜比較例３＞
原料混合物の粉末として、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３質量％、α型含有率９２％の窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化ストロンチウムを用いて、次のようにして、ＳｒＳｉＮ２を合成した。
まず、窒化ケイ素粉末（Ｓｉ３Ｎ４）を２２．６６ｇ、窒化ストロンチウム粉末を７１．５３ｇ秤取し、乳鉢を用いて１時間混合した後、空隙率６０％となるように金型成型を行った。成型試料はｈＢＮ製容器に配置し、焼成炉に装填した。
焼成雰囲気は、室温から５００℃までを減圧状態とし、５００℃以上は窒素に４体積％の水素を混合させた雰囲気とした。昇温速度５℃／分で１５５０℃まで昇温し、１５５０℃で２時間の保持を行ったのち、室温まで炉冷した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２とＳｒ２ＳｉＯ４の混合物が生成していることが判った。
【００７０】
＜比較例４＞
焼成過程に減圧状態とする工程を設けず、室温から雰囲気ガスを導入した以外は実施例１と同様にしてＳｒＳｉＮ２を合成した。
得られた生成物について、Ｘ線粉末回折装置を用いて生成相の同定を行ったところ、ＳｒＳｉＮ２が単相として生成していることが判った。また、この生成物の残留酸素量は１．７質量％、残留炭素量は０．１質量％だった。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明の製造方法によれば、従来の製造方法に比して高い重度を有する窒化物の合成が可能となる。これらの窒化物は、セラミックス材料として有用であるばかりでなく、特に、蛍光体材料或いは蛍光体合成用原料としても有用であり。今後、本発明が、大いに活用され、産業の発展に大きく寄与することが期待できる。