(57)【要約】【課題】ＯＶＤ法によりガラス微粒子堆積体を製造する際のプロセス時間の短縮と、ガラス原料ガスの消費量の節約とを実現する。【解決手段】ガス流量制御機構１４とバーナー１９との間に分岐接続された原料ガス排気路２５ａには、パージガスにより内圧を調整する排気圧調整機構４１を設け、バーナー１９への原料ガス１３の供給を一時的に停止する時には、原料ガス供給路１６ｂにおける原料ガス１３の流量を徐々にゼロに近づけるよう調整する一方、排気圧調整機構４１により原料ガス排気路２５ａ内の圧力をバーナー１９側の圧力に略一致させ、ガス流量制御機構１４側の原料ガス供給路１６ｂに残留している原料ガス１３を滞留、若しくは微量流し続けることにより、バーナー１９側からのガスの逆流を防止する。【選択図】図１
2009102207.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応容器内に設けられてガラス原料ガスを出発ガラスロッドに吹き付けるバーナーと、ガス流量制御機構を備えて前記バーナーにガラス原料ガスを供給する原料ガス供給路と、前記反応容器に接続されて前記反応容器内雰囲気を負圧吸引により外部に排気する容器側排気路と、前記原料ガス排気路の接続先を前記バーナーから切り替え可能に前記原料ガス供給路に分岐接続された原料ガス排気路と、を備え、
前記バーナーから吹き付ける前記ガラス原料ガスの火炎加水分解反応により生成したガラス微粒子を前記出発ガラスロッドの外周に堆積させることでガラス微粒子堆積体を製造する一方、前記ガラス微粒子の堆積終了時には、前記原料ガス供給路の接続先を前記バーナーから原料ガス排気路に切り替えて、前記原料ガス供給路に残留しているガラス原料ガスを前記原料ガス排気路に負圧吸引して排気するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記原料ガス排気路には、パージガスの供給により原料ガス排気路内の圧力を調整する排気圧調整機構を設け、
前記出発ガラスロッドへの前記ガラス微粒子の堆積調整のために、前記バーナーへの前記ガラス原料ガスの供給を一時的に停止するときには、前記原料ガス供給路のガス流量制御機構で原料ガスの流量を徐々にゼロに近づけるよう調整する一方、
前記排気圧調整機構により前記原料ガス排気路内の圧力を前記バーナー側の圧力に略一致させ、前記原料ガス流路を前記原料ガス排気路側に切り替えると共に、前記原料ガス排気路の分岐接続部より上流の前記原料ガス供給路に残留しているガラス原料ガスを滞留、若しくは微量流し続けることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項２】
反応容器内に設けられてガラス原料ガスを出発ガラスロッドに吹き付けるバーナーと、ガス流量制御機構を備えて前記バーナーにガラス原料ガスを供給する原料ガス供給路と、前記反応容器に接続されて前記反応容器内雰囲気を負圧吸引により外部に排気する容器側排気路と、前記原料ガス排気路の接続先を前記バーナーから切り替え可能に前記原料ガス供給路に分岐接続された原料ガス排気路と、を備え、
前記バーナーから吹き付ける前記ガラス原料ガスの火炎加水分解反応により生成したガラス微粒子を前記出発ガラスロッドの外周に堆積させることでガラス微粒子堆積体を製造する一方、前記ガラス微粒子の堆積終了時には、前記原料ガス供給路の接続先を前記バーナーから原料ガス排気路に切り替えて、前記原料ガス供給路に残留しているガラス原料ガスを前記原料ガス排気路に負圧吸引して排気するガラス微粒子堆積体の製造装置であって、
前記バーナー側の圧力を検知する第１の圧力検知手段と、前記原料ガス排気路内の圧力を検知する第２の圧力検知手段と、前記原料ガス排気路にパージガスを供給して前記原料ガス排気路内の圧力を調整する排気圧調整機構とを備え、
前記出発ガラスロッドへの前記ガラス微粒子の堆積調整のために、前記バーナーへのガラス原料ガスの供給を一時的に停止するときには、前記原料ガス供給路の前記ガス流量制御機構で原料ガスの流量を徐々にゼロに近づけるよう調整する一方、
前記第１及び第２の圧力検知手段に基づいて、前記排気圧調整機構により前記原料ガス排気路内の圧力を前記バーナー側の圧力に略一致させ、前記原料ガス流路を前記原料ガス排気路側に切り替えると共に、前記原料ガス供給路に残留しているガラス原料ガスを滞留、若しくは微量流し続けることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、出発ガラスロッドに火炎加水分解反応によりガラス微粒子を堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバ等の円柱状ガラス母材の製造方法として、ＯＶＤ法（外付け気相蒸着法、以降ＯＶＤ法と称す）が知られている。この方法は、例えば、反応容器内で出発ガラスロッドを軸方向に往復移動させるとともに回転させながらその外周に、ＳｉＣｌ4やＧｅＣｌ4などのガラス原料ガスを、Ｈ2などの燃料ガスとＯ2などの助然ガスとともにバーナーから吹き付け、火炎加水分解反応によりガラス微粒子を生成して堆積させ、ガラス微粒子堆積体を作製する。
この後、ガラス微粒子堆積体は、焼結炉等により脱水加熱処理されて透明ガラス化される。
【０００３】
これまで、上記のＯＶＤ法に好適なガラス微粒子堆積体の製造装置として、図２に示す製造装置が開発されている。
ここに示したガラス微粒子堆積体の製造装置１００は本願出願人が下記特許文献１に開示したものである。
この製造装置１００では、原料貯留部１１に貯留されているガラス原料ガス１３はガス流量制御機構１４を備えた原料ガス供給路１６ａ，１６ｂ，１６ｃから反応容器１８内のバーナー１９に供給して、バーナー１９から吹き付けるガラス原料ガス１３の火炎加水分解反応により生成したガラス微粒子を、反応容器１８内に支持された出発ガラスロッド２１の外周に堆積させることでガラス微粒子堆積体を製造する。
【０００４】
出発ガラスロッド２１は、ＯＶＤ法による製造が可能なように、反応容器１８内に、中心軸方向に往復移動可能に、且つ中心軸周りに回転可能に支持されている。
【０００５】
この製造装置１００では、出発ガラスロッド２１の外周にガラス微粒子を堆積させる一方で、前記火炎加水分解反応により反応容器１８内に発生した腐食性ガスは反応容器１８内の浮遊ガラス微粒子と共に、反応容器１８に接続された容器側排気路２３に負圧吸引して排気する。
容器側排気路２３には、流路を開閉する流路開閉バルブ２４が装備されていて、該流路開閉バルブ２４の制御により、反応容器１８からの排気量を調整することができる。
【０００６】
更に、この製造装置１００では、ガス流量制御機構１４とバーナー１９との間で原料ガス供給路１６ｂに原料ガス排気路２５ａが分岐接続され、この原料ガス排気路２５ａはその下流に連なる原料ガス排気路２５ｂを経て、下流側で容器側排気路２３と兼用の吸引排気手段２７に接続されている。また、ガス流量制御機構１４の上流側の原料ガス供給路１６ａには、パージガスを導入するパージガス供給路２９が分岐接続されている。パージガスとしては、例えば、窒素ガス等の不活性ガスが使われる。
【０００７】
原料ガス供給路１６ｂと原料ガス排気路２５ａの分岐接続部には、各流路を開閉する流路開閉バルブ３１，３２によって構成される流路切り替え機構３６が装備されている。また、原料ガス供給路１６ａとパージガス供給路２９との分岐接続部には、各流路を開閉する流路開閉バルブ３３，３４によって構成される流路切り替え機構３７が装備されている。
【０００８】
ガス流量制御機構１４の下流の分岐接続部に装備された流路切り替え機構３６は、各流路開閉バルブ３１，３２の開閉制御により、原料ガス供給路１６ｂとの接続を、バーナー１９又は原料ガス排気路２５ａに切り替える。
ガス流量制御機構１４の上流の分岐接続部に装備された流路切り替え機構３７は、各流路開閉バルブ３３，３４の開閉制御により、ガス流量制御機構１４への接続を、原料貯留部１１またはパージガス供給路２９に切り替える。
【０００９】
この製造装置１００では、ガラス微粒子の堆積終了時には、ガス流量制御機構１４の下流側で、原料ガス供給路１６ｂの接続先をバーナー１９から、原料ガス排気路２５ａに切り替えると共に、ガス流量制御機構１４の上流側で原料ガス供給路１６ｂの接続先を原料貯留部１１からパージガス供給路２９に切り替えて、ガス流量制御機構１４の上流の原料ガス供給路１６ｂにパージガスを導入し、原料ガス排気路２５ａの分岐接続部よりも上流の原料ガス供給路１６ｂに残留しているガラス原料ガス１３をパージガスと一緒に原料ガス排気路２５ａに排気する。
【００１０】
更に、この製造装置１００では、ＯＶＤ法を実施した際、出発ガラスロッド２１上のガラス微粒子の堆積層の両端部に到達して、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給をガス流量制御機構１４で徐々にゼロに近づけるよう調整するときには、ガラス原料ガス１３の供給をゼロとする時点またはその近傍で、ガラス微粒子の堆積終了時と同様に、ガス流量制御機構１４の下流側で原料ガス供給路１６ｂの接続先をバーナー１９から原料ガス排気路２５ａに切り替えると共に、ガス流量制御機構１４の上流側で原料ガス供給路１６ｂの接続先を原料貯留部１１からパージガス供給路２９側に切り替えして、パージガス圧によってガス流量制御機構１４側をバーナー１９側よりも高圧（陽圧）に維持することにより、バーナー１９側からの腐食性ガス等の逆流を防止するようにしている。
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−２１２５５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところが、上記のように、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を一時的にゼロに近づける際に、ガス流量制御機構１４にパージガスを導入すると、ガス流量制御機構１４内では、ガラス原料ガス１３とパージガスが混合状態になってしまうため、次にバーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を開始する際には、ガス流量制御機構１４内の混合ガスを原料ガス排気路２５ａに排出してガス流量制御機構１４内がガラス原料ガス１３で満たされるまで、置換処理を実施しなければならず、プロセス時間が長くなって、ガラス微粒子堆積体の製造効率が低下するという問題が生じた。
また、原料供給と停止を頻繁に繰り返す系の場合、ガラス原料ガスとバージガスとの混合ガスの排気処理により、ガラス原料ガス１３の消費量が嵩むという問題も生じた。
【００１３】
本発明の目的は上記課題を解消することに係り、例えばＯＶＤ法によりガラス微粒子堆積体を製造する際のプロセス時間を短縮することができ、更に、ガラス原料ガスの消費量を節約することもできるガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
（１）上記した課題を解決するために、本発明によるガラス微粒子堆積体の製造方法は、反応容器内に設けられてガラス原料ガスを出発ガラスロッドに吹き付けるバーナーと、ガス流量制御機構を備えて前記バーナーにガラス原料ガスを供給する原料ガス供給路と、前記反応容器に接続されて前記反応容器内雰囲気を負圧吸引により外部に排気する容器側排気路と、前記原料ガス排気路の接続先を前記バーナーから切り替え可能に前記原料ガス供給路に分岐接続された原料ガス排気路と、を備え、
前記バーナーから吹き付ける前記ガラス原料ガスの火炎加水分解反応により生成したガラス微粒子を前記出発ガラスロッドの外周に堆積させることでガラス微粒子堆積体を製造する一方、前記ガラス微粒子の堆積終了時には、前記原料ガス供給路の接続先を前記バーナーから原料ガス排気路に切り替えて、前記原料ガス供給路に残留しているガラス原料ガスを前記原料ガス排気路に負圧吸引して排気するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記原料ガス排気路には、パージガスの供給により原料ガス排気路内の圧力を調整する排気圧調整機構を設け、
前記出発ガラスロッドへの前記ガラス微粒子の堆積調整のために、前記バーナーへの前記ガラス原料ガスの供給を一時的に停止するときには、前記原料ガス供給路のガス流量制御機構で原料ガスの流量を徐々にゼロに近づけるよう調整する一方、
前記排気圧調整機構により前記原料ガス排気路内の圧力を前記バーナー側の圧力に略一致させ、前記原料ガス流路を前記原料ガス排気路側に切り替えると共に、前記原料ガス排気路の分岐接続部より上流の前記原料ガス供給路に残留しているガラス原料ガスを滞留、若しくは微量流し続けることを特徴とする。
【００１５】
（２）また、上記した課題を解決するために、本発明によるガラス微粒子堆積体の製造装置は、反応容器内に設けられてガラス原料ガスを出発ガラスロッドに吹き付けるバーナーと、ガス流量制御機構を備えて前記バーナーにガラス原料ガスを供給する原料ガス供給路と、前記反応容器に接続されて前記反応容器内雰囲気を負圧吸引により外部に排気する容器側排気路と、前記原料ガス排気路の接続先を前記バーナーから切り替え可能に前記原料ガス供給路に分岐接続された原料ガス排気路と、を備え、
前記バーナーから吹き付ける前記ガラス原料ガスの火炎加水分解反応により生成したガラス微粒子を前記出発ガラスロッドの外周に堆積させることでガラス微粒子堆積体を製造する一方、前記ガラス微粒子の堆積終了時には、前記原料ガス供給路の接続先を前記バーナーから原料ガス排気路に切り替えて、前記原料ガス供給路に残留しているガラス原料ガスを前記原料ガス排気路に負圧吸引して排気するガラス微粒子堆積体の製造装置であって、
前記バーナー側の圧力を検知する第１の圧力検知手段と、前記原料ガス排気路内の圧力を検知する第２の圧力検知手段と、前記原料ガス排気路にパージガスを供給して前記原料ガス排気路内の圧力を調整する排気圧調整機構とを備え、
前記出発ガラスロッドへの前記ガラス微粒子の堆積調整のために、前記バーナーへのガラス原料ガスの供給を一時的に停止するときには、前記原料ガス供給路の前記ガス流量制御機構で原料ガスの流量を徐々にゼロに近づけるよう調整する一方、
前記第１及び第２の圧力検知手段に基づいて、前記排気圧調整機構により前記原料ガス排気路内の圧力を前記バーナー側の圧力に略一致させ、前記原料ガス流路を前記原料ガス排気路側に切り替えると共に、前記原料ガス供給路に残留しているガラス原料ガスを滞留、若しくは微量流し続けることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によるガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置では、例えばＯＶＤ法によるガラス微粒子堆積体の製造工程において、出発ガラスロッドへのガラス微粒子の堆積調整のために、火炎加水分解反応によりガラス微粒子を生成するバーナーへのガラス原料ガスの供給を一時的にゼロに近づける際には、排気圧調整機構により原料ガス排気路内の圧力を、バーナー側の圧力に略一致させ、前記原料ガス流路を前記原料ガス排気路側に切り替えると共に、原料ガス排気路の分岐接続部より上流の原料ガス供給路に残留しているガラス原料ガスを滞留、若しくは微量流し続ける。
これにより、原料ガス排気路の分岐接続部より上流の原料ガス供給路は、バーナー側よりも圧力が高い状態に維持されるため、バーナーの上流の原料ガス供給路にパージガスの導入を行わずとも、バーナー側からのガスの逆流を防止できる。
【００１７】
そして、バーナーの上流の原料ガス供給路にパージガスの導入を行っておらず、ガス流量制御機構を含む原料ガス供給路上には、供給停止前と同じ濃度のガラス原料ガスが残留しているため、バーナーへのガラス原料ガスの供給を再開する際には、原料ガス供給路内を正規の濃度のガラス原料ガスに置換するプロセスが不要で、バーナーへのガラス原料ガスの供給を速やかに再開することができる。従って、プロセス時間の短縮を図ることができる。
【００１８】
また、バーナーへのガラス原料ガスの供給を一時的に停止した後、再開する際に、原料ガス供給路内を正規の濃度のガラス原料ガスに置換するプロセスが不要になるため、原料供給と停止を頻繁に繰り返す系の場合、ガラス原料ガスとパージガスとの混合ガスの排気処分の頻度を低減して、ガラス原料ガスの消費量を節約することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置の好適な実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法を実現する製造装置の一実施の形態の概略構成を示すブロック図である。
【００２０】
図１に示したガラス微粒子堆積体の製造装置１では、原料貯留部１１に貯留されているガラス原料ガス１３はガス流量制御機構１４を備えた原料ガス供給路１６ａ，１６ｂ，１６ｃから反応容器１８内のバーナー１９に供給して、バーナー１９から吹き付けるガラス原料ガス１３の火炎加水分解反応により生成したガラス微粒子を、反応容器１８内に支持された出発ガラスロッド２１の外周に堆積させることでガラス微粒子堆積体を製造する。
【００２１】
ガス流量制御機構１４は、原料ガス供給路１６ａの開度を調整して、該原料ガス供給路１６ａから原料ガス供給路１６ｂに流れるガラス原料ガス１３の流量を調整する。該ガス流量制御機構１４における流路の開度調整は、バーナー１９に供給すべきガラス原料ガス１３の流量値に基づいて、不図示の制御装置により、自動制御される。
【００２２】
具体的には、ガス流量制御機構１４は、例えば、ＯＶＤ法によるガラス微粒子堆積体の製造工程で、出発ガラスロッド２１上のガラス微粒子の堆積層の両端部に到達して、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を徐々にゼロに近づけるよう調整するときには、反応容器１８内での出発ガラスロッド２１の端部の移動に連動して、徐々に流路開度を絞って、ガラス原料ガス１３の供給を徐々にゼロに近づけるよう調整する。
【００２３】
出発ガラスロッド２１は、ＯＶＤ法による製造が可能なように、反応容器１８内に、中心軸方向に往復移動可能に、且つ中心軸周りに回転可能に支持されている。
【００２４】
この製造装置１では、出発ガラスロッド２１の外周にガラス微粒子を堆積させる一方で、前記火炎加水分解反応により反応容器１８内に発生した腐食性ガスは反応容器１８内の浮遊ガラス微粒子と共に、反応容器１８に接続された容器側排気路２３に負圧吸引して排気する。
容器側排気路２３には、流路を開閉する流路開閉バルブ２４が装備されていて、該流路開閉バルブ２４の制御により、反応容器１８からの排気量を調整することができる。
【００２５】
更に、この製造装置１では、ガス流量制御機構１４とバーナー１９との間で原料ガス供給路１６ｂに原料ガス排気路２５ａが分岐接続され、この原料ガス排気路２５ａはその下流に直列に連なる原料ガス排気路２５ｂ，２５ｃを経て、下流側で容器側排気路２３と兼用の吸引排気手段２７に接続されている。また、ガス流量制御機構１４の上流側の原料ガス供給路１６ｂには、パージガスを導入するパージガス供給路２９が分岐接続されている。パージガスとしては、例えば、窒素ガス等の不活性ガスが使われる。
【００２６】
原料ガス供給路１６ｂと原料ガス排気路２５ａとの分岐接続部には、各流路を開閉する流路開閉バルブ３１，３２によって構成される流路切り替え機構３６が装備されている。また、原料ガス供給路１６ａとパージガス供給路２９との分岐接続部には、各流路を開閉する流路開閉バルブ３３，３４によって構成される流路切り替え機構３７が装備されている。
【００２７】
ガス流量制御機構１４の下流の分岐接続部に装備された流路切り替え機構３６は、各流路開閉バルブ３１，３２の開閉制御により、原料ガス供給路１６ｂとの接続を、バーナー１９又は原料ガス排気路２５ａに切り替える。
ガス流量制御機構１４の上流の分岐接続部に装備された流路切り替え機構３７は、各流路開閉バルブ３３，３４の開閉制御により、ガス流量制御機構１４への接続を、原料貯留部１１またはパージガス供給路２９に切り替える。
但し、本実施の形態の場合、流路開閉バルブ３４は設備保全用の意味で装備しており、本発明では流路開閉バルブ３４は使用しない。
【００２８】
この製造装置１では、ガラス微粒子の堆積終了時には、ガス流量制御機構１４の下流側に配置した流路切り替え機構３６によって、原料ガス供給路１６ｂの接続先をバーナー１９から、原料ガス排気路２５ａに切り替えると共に、ガス流量制御機構１４の上流側に配置した流路切り替え機構３７によって、原料ガス供給路１６ａの接続先を原料貯留部１１からパージガス供給路２９に切り替えて、ガス流量制御機構１４の上流の原料ガス供給路１６ｂにパージガスを導入し、原料ガス排気路２５ａの分岐接続部よりも上流の原料ガス供給路１６ｂに残留しているガラス原料ガス１３をパージガスと一緒に原料ガス排気路２５ａに負圧吸引して排気する。
【００２９】
本実施の形態の場合、原料ガス供給路１６ｂの分岐接続部よりも下流のバーナー１９側の圧力を検知する第１の圧力検知手段Ｐ１と、原料ガス排気路２５ａの下流に連通した原料ガス排気路２５ｂ内の圧力を検知する第２の圧力検知手段Ｐ２と、原料ガス排気路２５ａの分岐接続部とガス流量制御機構１４との間の原料ガス供給路１６ｂ内の圧力を検知する第３の圧力検知手段Ｐ３と、パージガス供給路２９から原料ガス排気路２５ｂにパージガスを供給して原料ガス排気路２５ａ，２５ｂ内の圧力を調整する排気圧調整機構４１と、第２の圧力検知手段Ｐ２の装備位置よりも下流の原料ガス排気路２５ｂ上に装備されて該原料ガス排気路２５ｂ内のガス流量を制御することで排気圧調整機構４１による圧力調整を補助する補助調整機構４２とを備えている。
【００３０】
第１の圧力検知手段Ｐ１及び第２の圧力検知手段Ｐ２及び第３の圧力検知手段Ｐ３は、いずれも、所謂圧力計である。
第１の圧力検知手段Ｐ１は、本実施の形態の場合、反応容器１８内に装備されていて、バーナー１９側の圧力として、反応容器１８内の圧力を検知する。
第１の圧力検知手段Ｐ１と取付位置としては、上記の他に、バーナー１９と流路開閉バルブ３１との間の流路を選択することも可能である。
【００３１】
第２の圧力検知手段Ｐ２は、本実施の形態の場合、原料ガス排気路２５ａ，２５ｂ間で該流路を開閉する流路開閉バルブ３２と、その下流に配置された補助調整機構４２との間の流路に装備されている。
【００３２】
排気圧調整機構４１は、パージガス供給路２９と原料ガス排気路２５ｂとを連通させた流路４４に装備されていて、該流路４４の開度を調整して、該流路４４内を流れるパージガスの流量を調整する。該排気圧調整機構４１における流路の開度調整は、原料ガス排気路２５ａ，２５ｂ，２５ｃによる排気処理が適正に維持されるように、前述の各圧力検知手段Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３の検出値を監視する不図示の制御装置により、自動制御される。
【００３３】
具体的には、排気圧調整機構４１は、例えば、ＯＶＤ法によるガラス微粒子堆積体の製造工程で、出発ガラスロッド２１上のガラス微粒子の堆積層の両端部に到達して、出発ガラスロッド２１へのガラス微粒子の堆積調整のために、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を徐々にゼロに近づけるよう調整するとき、あるいは、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を一時的に停止するときには、第３の圧力検知手段Ｐ３の検出値ｐ３と第２の圧力検知手段Ｐ２の検出値ｐ２との間に、ｐ３≧ｐ２の関係が維持されるように、且つ、第１の圧力検知手段Ｐ１の検出値ｐ１と第２の圧力検知手段Ｐ２の検出値ｐ２との間にｐ１≒ｐ２若しくはｐ２＞ｐ１の関係が維持されるように、原料ガス排気路２５ａ，２５ｂ，２５ｃへのパージガスの導入量を制御する。
【００３４】
前記排気圧調整機構４１の例としては、ＭＦＣや、一般的な流量調整弁を使用することができる。
【００３５】
補助調整機構４２は、原料ガス排気路２５ｃの下流に合流する容器側排気路２３による排気性能が損なわれないように、原料ガス排気路２５ｃの下流の圧力を容器側排気路２３よりも小さく修正するもので、例えば、ＭＦＣでも良いし、流路に一定の圧損を付与する簡単な構造のものでよい。
【００３６】
以上の製造装置１では、例えば、ＯＶＤ法によるガラス微粒子堆積体の製造工程で、出発ガラスロッド２１上のガラス微粒子の堆積層の両端部に到達して、出発ガラスロッド２１へのガラス微粒子の堆積調整のために、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を徐々にゼロに近づけるよう調整するとき、あるいは、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を一時的に停止するときには、原料ガス供給路１６ｂのガス流量制御機構１４でガラス原料ガス１３の流量を徐々にゼロに近づけるよう調整する一方、第１及び第２の圧力検知手段Ｐ１，Ｐ２の検出値が略一致するように、排気圧調整機構４１により原料ガス排気路２５ｂへのパージガスの導入量を調整して、原料ガス排気路２５ａの分岐接続部より上流の原料ガス供給路１６ｂに残留しているガラス原料ガス１３を滞留、若しくは微量流に調整する。
このガラス原料ガス１３の滞留、若しくは微量流に調整することにより、ガス流量制御機構１４側をバーナー１９側よりも高圧（陽圧）に維持することにより、バーナー１９側からの腐食性ガス等の逆流を防止する。
【００３７】
以上に説明したガラス微粒子堆積体の製造装置１では、例えばＯＶＤ法によるガラス微粒子堆積体の製造工程において、出発ガラスロッド２１へのガラス微粒子の堆積調整のために、火炎加水分解反応によりガラス微粒子を生成するバーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を一時的にゼロ又はゼロに近づける際には、排気圧調整機構４１により原料ガス排気路２５ａ内の圧力を、バーナー１９側の圧力に略一致させ、前記原料ガス流路を前記原料ガス排気路側に切り替えると共に、原料ガス排気路２５ａの分岐接続部より上流の原料ガス供給路１６ｂに残留しているガラス原料ガス１３を滞留、若しくは微量流し続ける。
これにより、原料ガス排気路２５ａの分岐接続部より上流の原料ガス供給路１６ｂは、バーナー１９側よりも圧力が高い状態に維持されるため、バーナー１９の上流の原料ガス供給路１６ｂにパージガスの導入を行わずとも、バーナー１９側からのガスの逆流を防止できる。
【００３８】
そして、バーナー１９の上流の原料ガス供給路１６ｂ，１６ｃにパージガスの導入を行っておらず、ガス流量制御機構１４を含む原料ガス供給路１６ｂ上には、供給停止前と同じ濃度のガラス原料ガス１３が残留しているため、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を再開する際には、原料ガス供給路１６ｂ内を正規の濃度のガラス原料ガス１３に置換するプロセスが不要で、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を速やかに再開することができる。従って、プロセス時間の短縮を図ることができる。
【００３９】
また、バーナー１９へのガラス原料ガス１３の供給を一時的に停止した後、再開する際に、原料ガス供給路１６ｂ，１６ｃ内を正規の濃度のガラス原料ガス１３に置換するプロセスが不要になるため、原料供給と停止を頻繁に繰り返す系の場合、ガラス原料ガス１３とパージガスとの混合ガスの排気処分の頻度を低減して、ガラス原料ガス１３の消費量を節約することもできる。
【００４０】
なお、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置は、上記のように、ＯＶＤ法によるガラス微粒子堆積体の製造工程において極めて有用である。しかし、ＯＶＤ法以外の製造方法でガラス微粒子堆積体を製造する場合でも、ガラス微粒子を生成するバーナーへのガラス原料ガスの供給を一時的にゼロ又はゼロに近づける工程を含む場合には、同様の作用・効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法を実現する製造装置の一実施の形態の概略構成を示すブロック図である。
【図２】従来のガラス微粒子堆積体の製造装置の概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  ガラス微粒子堆積体の製造装置
１１  原料貯留部
１３  ガラス原料ガス
１４  ガス流量制御機構
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ  原料ガス供給路
１８  反応容器
１９  バーナー
２１  出発ガラスロッド
２３  容器側排気路
２４  流路開閉バルブ
２５ａ，２５ｂ，２５ｃ  原料ガス排気路
２７  吸引排気手段
２９  パージガス供給路
３１〜３４  流路開閉バルブ
３６  流路切り替え機構
３７  流路切り替え機構
４１  排気圧調整機構
４２  補助調整機構
Ｐ１  第１の圧力検知手段
Ｐ２  第２の圧力検知手段
Ｐ３  第３の圧力検知手段
【図１】
2009102207.tif 000003
【図２】
2009102207.tif 000004