(57)【要約】  【課題】  複数の方向からの振動にそれぞれ対応して発電を可能にした小形・軽量・安価な発電装置を提供する。  【解決手段】  発電装置４００は、シート基材を断面略コの字状に曲げて水平部７４０と,二つの立設部７２６を形成し、さらに立設部７２６の端部を折り曲げて錘(折り畳み部７１７)を形成し、さらに前記水平部７４０の所定長さを略90度ねじって垂直部７４５を備えた後、前記シート基材の両面に圧電体膜と電極を順次、積層してなる圧電体シートを形成する。その後、前記垂直部７４５の略中央部を両側より固定支持部７６０により挟持した構成。水平部７４０は略鉛直方向の振動で、垂直部７４５は略水平で前後方向の振動で、立設部７２６は略水平で左右方向の振動で発電できる。【選択図】  図７
2009261075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート基材の一部を折り畳んで錘を形成するとともに,前記シート基材のなくとも一方の主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートの略中央部を保持したことを特徴とする発電装置。
【請求項２】
シート基材を略コの字状に折り曲げて水平部と立設部とを形成するとともに, 前記立設部の一部をそれぞれ折り畳んで錘を形成し、さらに、前記水平部と立設部の各主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートにおいて、前記水平部の略中央部を保持することにより略鉛直方向の振動と,略水平方向の振動とで発電を可能にしたことを特徴とする発電装置。
【請求項３】
シート基材の略中央部所定長さを略90度捩じって形成した垂直部と、 シート基材の一部を折り畳んで形成した錘と、前記垂直部とシート基材の各主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートにおいて、前記垂直部の略中央部を保持することにより略鉛直方向の振動と,略水平で前後方向の振動とで発電を可能にしたことを特徴とする発電装置。
【請求項４】
シート基材を略コの字状に折り曲げて設けた水平部及び二つの立設部と、前記水平部の略中央部所定長さを略90度捩じって設けた前記水平部に略垂直な垂直部と、前記二つの立設部の一部をそれぞれ折り畳んで設けた錘と、前記水平部及び二つの立設部と垂直部の各主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートにおいて、前記垂直部の略中央部を保持することにより略鉛直方向の振動と,略水平で前後方向の振動と, 略水平で左右方向の振動とで発電を可能にしたことを特徴とする発電装置。
【請求項５】
シート基材を略Ｚ字状に折り曲げて設けた水平部及び立ち上がり部,立ち下がり部と、前記水平部の略中央部所定長さを略90度捩じって設けた前記水平部に略垂直な垂直部と、前記立ち上がり部及び立ち下がり部の一部をそれぞれ折り畳んで設けた錘と、前記水平部,立ち上がり部及び立ち下がり部と垂直部の各主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートにおいて、前記垂直部の略中央部を保持することにより略鉛直方向の振動と,略水平で前後方向の振動と, 略水平で左右方向の振動とで発電を可能にしたことを特徴とする発電装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の発電装置を所定間隔毎に複数配列したことを特徴とする発電装置。
【請求項７】
シート基材に配設する厚さ１μｍ〜数μｍの圧電体膜を１０層以上の多層膜で形成したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の発電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電体シートの中央部を保持(固定支持)し、複数の異なる方向からの振動にそれぞれ対応して発電を可能にした発電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧電式発電装置としては、片持ち梁の構造を用いたものや、円形バイモルフなどが用いられている。例えば、片持ち固定支持した圧電体を励振し、自由振動させて発電を行うものとして特開平０７−０４９３８８号公報が提案されている。
【特許文献１】特開平０７−０４９３８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１においては、一方向のみの振動たとえば略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動により発電するもので、発電効率が悪く、発電装置の小形・軽量化にも限界があった。
【０００４】
本発明は、一つの発電装置で複数の方向たとえば略水平で左右方向（Ｘ軸方向）の振動、略水平で前後方向（Ｙ軸方向）の振動、略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動等にそれぞれ対応して発電を可能にし、発電効率を向上させた発電装置を提供することを目的とする。また、発電装置の小形・軽量化を目的とする。さらに、圧電体シートを励振する錘を別途用意し取り付けることなく、錘を簡単に備えることを目的とする。さらに、発電装置をプレス加工で安価に量産可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明にかかる第一の発電装置は、シート基材の一部を折り畳んで錘を形成するとともに, シート基材の少なくとも一方の主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートの略中央部を保持（固定支持）したことを特徴としたもので、これにより圧電体シートを励振する錘を別途用意し取り付ける必要がない。チタンなどの金属薄板からなるシート基材はプレス加工により低価格で量産できる。
【０００６】
さらに本発明にかかる第二の発電装置は、シート基材を略コの字状に折り曲げて水平部と立設部とを形成するとともに, 前記立設部の一部をそれぞれ折り畳んで錘を形成し、さらに、前記水平部と立設部の各主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートにおいて、前記水平部の略中央部を保持（固定支持）することにより略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動と,略水平方向の振動とで発電を可能にしたことを特徴としたもので、これにより２方向の振動にそれぞれ対応して発電でき発電効率の向上を図れる。チタンなどの金属薄板からなるシート基材はプレス加工により安価に量産できる。また、複数の異なる方向の振動により発電できるので装置を小形・軽量化できる。
【０００７】
さらに本発明にかかる第三の発電装置は、シート基材の略中央部所定長さを略90度捩じって形成した垂直部と、 シート基材の一部を折り畳んで形成した錘と、前記垂直部とシート基材の各主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートにおいて、前記垂直部の略中央部を保持（固定支持）することにより略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動と,略水平で前後方向の振動（Ｙ軸方向）とで発電を可能にしたことを特徴としたもので、これにより２方向の振動にそれぞれ対応して発電でき発電効率の向上を図れる。チタンなどの金属薄板からなるシート基材はプレス加工により安価に量産できる。また、複数の異なる方向の振動により発電できるので装置を小形・軽量化できる。
【０００８】
さらに本発明にかかる第四の発電装置は、シート基材を略コの字状に折り曲げて設けた水平部及び二つの立設部と、 前記水平部の略中央部所定長さを略90度捩じって設けた前記水平部に略垂直な垂直部と、前記二つの立設部の一部をそれぞれ折り畳んで設けた錘と、前記水平部及び二つの立設部と垂直部の各主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートにおいて、前記垂直部の略中央部を保持（固定支持）することにより略鉛直方向の振動（Ｚ軸方向）と,略水平で前後方向の振動（Ｙ軸方向）と, 略水平で左右方向の振動（Ｘ軸方向）とで発電を可能にしたことを特徴としたもので、これにより３方向の振動にそれぞれ対応して発電でき発電効率の向上を図れる。チタンなどの金属薄板からなるシート基材はプレス加工により錘や立設部を安価に量産できる。また、複数の異なる方向の振動により発電できるので装置を小形・軽量化できる。
【０００９】
さらに本発明にかかる第五の発電装置は、シート基材を略Ｚ字状に折り曲げて設けた水平部,立ち上がり部及び立ち下がり部と、前記水平部の略中央部所定長さを略90度捩じって設けた前記水平部に略垂直な垂直部と、前記立ち上がり部及び立ち下がり部の一部をそれぞれ折り畳んで設けた錘と、前記水平部,立ち上がり部及び立ち下がり部と垂直部の各主面に圧電体膜と電極とを順次、積層してなる圧電体シートにおいて、前記垂直部の略中央部を保持（固定支持）することにより略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動と,略水平で前後方向の振動（Ｙ軸方向）と, 略水平で左右方向の振動（Ｘ軸方向）とで発電を可能にしたことを特徴としたもので、これにより３方向の振動にそれぞれ対応して発電でき発電効率の向上を図れる。ステンレス鋼などの金属薄板からなるシート基材はプレス加工により容易に安価に量産できる。また、複数の異なる方向の振動により発電できるので装置を小形・軽量化できる。
【００１０】
さらに本発明にかかる第六の発電装置は、前記各発電装置のいずれか１つを所定間隔毎に複数配列したことを特徴としたもので、複数の発電装置を一つにまとめることにより出力の大きな発電装置をコンパクトに構成できる。
【００１１】
さらに本発明にかかる前記各発電装置において、シート基材に配設する厚さ１μｍ〜数μｍの圧電体膜を１０層以上、好適には１０層〜２０層の多層膜で構成したことを特徴としたもので、圧電体シートが反らず、シート基材と圧電体膜とが剥離しない。
【発明の効果】
【００１２】
上記構成により本発明の発電装置は、略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動、略水平で前後方向（Ｙ軸方向）の振動、 略水平で左右方向（Ｘ軸方向）の振動など少なくとも一つの方向の振動、または複数の異なる方向の振動にそれぞれ対応して発電でき発電効率の向上を図れる。圧電体を励振する錘を別途用意し付属する必要がない。シート基材をチタンやステンレス鋼などの金属薄板で構成した場合、プレス加工により安価に量産できる。また、複数の方向の振動により発電できるので装置を小形・軽量化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
発本明にかかる発電装置は上述の通りである。圧電体膜を配設するシート基材は厚さ１００μｍ程度の金属薄板で構成するのが好ましい。例えば、ばね鋼板、リン青銅板、ニッケル板、チタン板、ステンレス鋼板などから選んだ一つとするのが好ましい。金属部材で構成することにより圧電体膜から電気エネルギーを取り出す電極を兼ねられる。また、プレス加工によりシート基材の曲げ加工、外形打ち抜き加工、垂直部のねじり加工などを容易に行え、発電装置を安価に量産できる。なお、圧電体膜とシート基材の間に白金などの良導体を厚さ０．０５μｍ〜０．２μｍ程度に介在させてもよい。
【００１４】
前記シート基材の片面または両面に配設する圧電体は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(ＰＺＴ)などのチタンを含有する複合酸化物などとするのが好ましい。圧電体の膜厚は１μｍ〜数μｍに配設するのが好ましい。圧電体の配設手段としては、化学溶液法、スパッタリング法、イオンプレーテイング法、ＣＶＤ法、水熱合成法など任意の手段を選べばよい。圧電体として薄膜を積層する場合、１０層以上、好適には１０層〜２０層で所望の１μｍ〜数μｍ厚さに構成するのが好ましい。薄膜を積層することにより圧電体シートの湾曲を防止できる。
【００１５】
図１１は、圧電体薄膜を多層に備えた片持梁発電の一例を示す。0.1ｍｍ厚さのチタン金属シートにＰＺＴ薄膜を２０層重ねて合計厚さ約１．３μｍの圧電体膜を備えた圧電体シートを作成し、これにより片持梁を構成した。前記片持梁を100ヘルツ程度で振動させた場合の出力波形図を図１１に示す。波形図の下欄側に実験条件と固有振動数計算式を示した。前記実験条件の場合、固有振動数の計算値は約85ヘルツとなる。
【００１６】
圧電体膜に積層配設するもう一方の電気エネルギー取り出し用電極としては金、白金、アルミニウム、銅、ニッケルなどの金属部材から選んだ一つ,またはその組み合わせとし、電極厚さは０．０５μｍ〜０．５μｍ程度とするのが好ましい。
【００１７】
圧電体シートの平板端部、立設部の端部、立上がり部の端部、立下り部の端部等に設ける励振用の錘は、シートの一部を内側に谷折りまたは山折りして、またはシートの一部を重ね折りなどして容易に構成できる。なお、本発明の発電装置に加える振動数は生活上発生しやすい数十ヘルツ〜数百ヘルツの範囲とするのが好ましい。また、圧電体シートの外形は矩形に限るものでなく任意の形状としてよい。例えば、シート状での形状を菱形、長円、楕円、円盤型などとしてもよい。
【実施例１】
【００１８】
以下、本発明の一実施例における発電装置を図面とともに説明する。図１は本発明の一実施例における発電装置を構成する圧電体シートの模式平面図、図２は図１を切断線Ｓ―Ｓで切断した要部拡大断面図、図３は図１の略中央部を保持してなる発電装置の模式正面図を示す。
【００１９】
図１〜図３において、本発明の発電装置１００は、チタン製シート基材１０の両端約５ｍｍをそれぞれ内側に谷折りして錘(折り畳み部１７)を形成する。次ぎに、化学溶液法により前記シート基材の両面にチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体膜２０を配設した。次いで圧電体膜２０に重ねて電気エネルギー取り出し用の金電極３０を積層し、圧電体シート１５を構成した。
【００２０】
その後、前記錘(折り畳み部１７)を備えた圧電体シート１５の略中央部を両側より固定支持部６０により挟持（固定支持）して発電装置１００を完成させた。前記チタン製シート基材１０はたとえば幅を約２０mm、厚さを約１００μｍとした。圧電体膜はチタン酸ジルコン酸鉛を２０層積み重ねて厚さ約１．３μｍに構成した。中央部を固定支持した圧電体シート１５の全長を約４０mm、錘を構成する折り返し長さは約５mm程度、金電極３０の厚さは約０．０５μｍとした。
【００２１】
上記構成により圧電体シートを励振する錘を別途用意し取り付ける必要がない。シート基材をチタン金属で構成しているのでプレス加工による曲げ、打ち抜き加工等を容易に安価に量産できる。
【００２２】
なお、圧電体シートの形状は矩形状に限るものでなく任意の形状としてよい。例えば、円盤型圧電体シートの中心部から放射状にスリットを等角度毎に配設し、分断してできた略扇形部の各端部をそれぞれ折り畳んで錘を形成する構成としてもよい(図示せず)。前記円盤型圧電体シートは圧電体シートの配設面積を大きくでき発電出力が増す。
【実施例２】
【００２３】
図４は本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図を示す。この場合の発電装置２００においても圧電体シートは基本的に実施例１の場合と同様に構成した。
【００２４】
シート基材を断面略コの字状に曲げて水平部２５と,二つの立設部２６を形成し、立設部２６の両端約５ｍｍをそれぞれ内側に谷折りして錘(折り畳み部１７)を形成する。次ぎに化学溶液法により前記シート基材の両面にチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体膜を配設した。次いで、前記圧電体膜に重ねて電気エネルギー取り出し用の金電極を積層し、圧電体シートを構成した。その後、前記水平部２５の略中央部を固定支持部４６０により挟持し固定支持した。中央部を固定支持した圧電体シートの全長を約８０mmとした。内訳は、水平部２５の長さを約４０mm、立設部２６の長さをそれぞれ約２０mmとした。
【００２５】
上記構成により水平部２５は略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動により発電でき, 立設部２６は略水平で左右方向（Ｘ軸方向）の振動により発電できる。２方向の振動にそれぞれ対応して発電でき発電効率の向上を図れる。また、発電装置を小形・軽量化でき各種携帯端末機器の電源として利用できる。
【００２６】
なお、電気エネルギー取り出し用の電極は図１の構成の他に、水平部２５と,二つの立設部２６とで個別に独立した電極をそれぞれ配設した構成としてよい(図示せず)。また、圧電体シートの形状は矩形状に限るものでなく任意の形状としてよい。例えば、円盤型圧電体シートとし、該円盤型の中心部から放射状にスリットを等角度毎に配設し、分断してできた略扇形部をそれぞれ鈎型に曲げるとともに端部をそれぞれ折り畳んで錘を形成する構成としてもよい(図示せず)。断面略コの字状の円盤型圧電体シートは、略鉛直方向（Ｚ軸方向）はもとより、略水平で３６０度いずれの方向の振動にも対応して発電可能となる。さらに、圧電体シートの配設面積を大きくでき発電出力が増す。
【実施例３】
【００２７】
図５は圧電体シート５０の略中央部所定長さをねじって垂直部を形成する過程の模式平面図及び模式正面図、図６は本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図を示す。この場合の発電装置３００においても圧電体シート５０は基本的に実施例１の場合の圧電体シート１５と同様に構成した。
【００２８】
シート基材の略中央部の所定長さを略９０度捩じって前記シート基材に略垂直な垂直部４５を配設した。次いで、シート基材の両端をそれぞれ約５mm程度谷折りして折り畳み部５１７を形成し錘とした。これにより垂直部４５とその両側に水平部４０を備えたシート基材が形成される。なお、前記垂直部４５を形成する際、ねじりを容易にするためスリット３５を４箇所配設してなる。次ぎに化学溶液法により前記シート基材の両面にチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体膜を配設した。さらに、前記圧電体膜に重ねて電気エネルギー取り出し用の金電極を積層し、圧電体シート５５を構成した。
【００２９】
その後、前記垂直部４５の略中央部を両側より固定支持部６６０で挟持（固定支持）して発電装置３００が構成される。前記チタン製シート基材はたとえば幅を約２０mm、厚さを約１００μｍ、チタン酸ジルコン酸鉛を２０層積み重ねて厚さ約１．３μｍの圧電体膜を構成した。金電極３０の厚さは約０．０５μｍとした。圧電体シート５５の全長を約８０mmとした。内訳は垂直部４５の長さを４０ｍｍ、水平部４０の長さをそれぞれ２０ｍｍとした。
【００３０】
上記構成により水平部４０は略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動により発電でき, 垂直部４５は略水平で前後方向（Ｙ軸方向）の振動により発電できる。これにより二方向の振動にそれぞれ対応して発電でき発電効率の向上を図れる。また、発電装置を小形・軽量化できる。シート基材をチタン金属で構成しているのでプレス加工による曲げ、ねじり、打ち抜き加工等を可能にし、シート基材を安価に量産できる。
【００３１】
なお、電気エネルギー取り出し用の電極は図１の構成の他に、図１０の圧電体シート８０に示すごとくスリット３５を区切りとして個別に独立した電極３１，３２，３３を配設した構成としてよいことは自明である。
【実施例４】
【００３２】
図７は本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図を示す。この場合の発電装置４００においても圧電体シートは基本的に実施例３の場合と同様に構成した。
シート基材を略コの字状に曲げて水平部７４０と,二つの立設部７２６を形成し、さらに立設部７２６の端部をそれぞれ折り曲げて錘(折り畳み部７１７)を形成し、さらに前記水平部７４０の所定長さを略90度ねじって垂直部７４５を配設した。次ぎに、化学溶液法により前記シート基材の両面にチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体膜を配設した。さらに、前記圧電体膜に重ねて電気エネルギー取り出し用の金電極を積層し、圧電体シートを構成した。その後、前記垂直部７４５の略中央部を両側より固定支持部７６０により挟持（固定支持）して発電装置４００が構成される。
【００３３】
前記チタン製シート基材はたとえば幅を約２０mm、厚さを約１００μｍ、チタン酸ジルコン酸鉛を２０層積み重ねて厚さ約１．３μｍの圧電体膜を構成した。金電極３０の厚さは約０．０５μｍとした。固定支持部７６０で挟持した圧電体シート５６の全長を約１２０mmとした。内訳は、垂直部７４５の長さを約４０mm、水平部７４０の長さをそれぞれ約２０mm、立設部７２６の長さをそれぞれ約２０mmとした。
【００３４】
上記構成により水平部７４０は略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動により発電でき, 垂直部７４５は略水平で前後方向（Ｙ軸方向）の振動により発電でき、立設部７２６は略水平で左右方向（Ｘ軸方向）の振動で発電できる。これにより三方向の振動にそれぞれ対応して発電でき発電効率の向上を図れる。また、発電装置を小形・軽量化でき各種携帯端末機器の電源として利用できる。
【実施例５】
【００３５】
図８は本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図を示す。この場合の発電装置５００においても圧電体シートは基本的に実施例３の場合と同様に構成した。
シート基材を略Ｚ字状に曲げて水平部８４０と立上がり部８２６、立下がり部８２７とを形成し、さらに立上がり部８２６、立下がり部８２７の端部をそれぞれ折り曲げて錘(折り畳み部８１７)を形成し、さらに前記水平部８４０の所定幅を略90度ねじって前記水平部８４０に略垂直な垂直部８４５を配設した。
【００３６】
次ぎに、化学溶液法により前記シート基材の両面にチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体膜を配設した。さらに、前記圧電体膜に重ね電気エネルギー取り出し用の金電極を積層し、圧電体シートを構成した。その後、前記垂直部８４５の略中央部を両側より固定支持部８６０により挟持（固定支持）して発電装置５００が構成される。
【００３７】
前記チタン製シート基材はたとえば幅を約２０mm、厚さを約１００μｍ、チタン酸ジルコン酸鉛を２０層積み重ねて厚さ約１．３μｍの圧電体膜を構成した。金電極３０の厚さは約０．０５μｍとした。固定支持部８６０で挟持した圧電体シート５７の全長を約１２０mmとした。内訳は、垂直部８４５の長さを約４０mm、水平部８４０の長さをそれぞれ約２０mm、立上がり部８２６、立下がり部８２７の長さをそれぞれ約２０mmとした。
【００３８】
上記構成により水平部８４０は略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動により発電でき, 垂直部８４５は略水平で前後方向（Ｙ軸方向）の振動により発電でき、立上がり部８２６及び立下がり部８２７は略水平で左右方向（Ｘ軸方向）の振動とで発電できる。これにより３方向の振動にそれぞれ対応して発電でき発電効率の向上を図れる。また、発電装置を小形・軽量化でき各種携帯端末機器の電源として利用できる。
【実施例６】
【００３９】
図９は本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図を示す。この場合の発電装置６００は、前記実施例１〜５のいずれか一つに記載した発電装置を所定間隔毎に複数配列してなる。図９では実施例４で説明した発電装置４００を固定支持部９６０により鉛直方向に３段、所定間隔毎に挟持した例を示す。なお、発電装置４００の配列方向は鉛直方向の他に水平方向など任意の方向としてよい。
【００４０】
上記構成により発電装置６００は、略鉛直方向（Ｚ軸方向）の振動、略水平で前後方向（Ｙ軸方向）の振動、略水平で左右方向（Ｘ軸方向）の振動とで発電できる。これにより３方向の振動にそれぞれ対応して発電できる。また、複数の発電装置をコンパクトに集積することで発電効率の向上と大きな発電出力を得られる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明にかかる発電装置は小形・軽量に構成でき、各種携帯用機器の電源などに利用できる。また、発電装置の他に振動センサとしても利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施例における発電装置を構成する圧電体シートの模式平面図
【図２】図１を切断線Ｓ―Ｓで切断した要部拡大断面図
【図３】図１の略中央部を保持してなる発電装置の模式正面図
【図４】本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図
【図５】圧電体シートの略中央部所定長さをねじって垂直部を形成する過程の模式平面図及び模式正面図
【図６】本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図
【図７】本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図
【図８】本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図
【図９】本発明のもう一つの実施例における発電装置の模式正面図
【図１０】本発明の発電装置を構成するもう一つの圧電体シートの模式平面図
【図１１】ＰＺＴ薄膜を２０層で合計厚さ1.3μｍに積層した片持梁の出力波形図
【符号の説明】
【００４３】
１０  シート基材
１７、４１７、５１７、７１７、８１７  折り畳み部(錘)
２０  圧電体膜
３０、３１、３２、３３  電極
３５  スリット
２５、４０、７４０、８４０  水平部
２６、７２６  立設部
４５、７４５、８４５  垂直部
１５、５０、５５、５６、５７、８０  圧電体シート
６０、４６０、６６０、７６０、８６０、９６０  固定支持部
１００、２００、３００、４００、５００、６００  発電装置
８２６  立上がり部
８２７  立下がり部
【図１】
2009261075.tif 000003
【図２】
2009261075.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2009261075.tif 000008
【図７】
2009261075.tif 000009
【図８】
2009261075.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2009261075.tif 000012
【図１１】
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