(57)【要約】【課題】板状部材の出し入れを安定して行うとともに、板状部材の出し入れの際も温度制御に対する外乱の少ない板状部材の温度制御装置を提供する。【解決手段】大型ガラス基板２４を支持すると共に、当該大型ガラス基板２４の上下面に沿う流体流を形成して温度を制御する上下に分離可能な流体通路３Ａ〜３Ｃと、前記大型ガラス基板２４の搬入出時に前記流体通路３Ａ〜３Ｃを上下に分離して搬入出路を形成する上部側開閉機構３１ａ，３１ｂ及び下部側開閉機構３２ａ，３２ｂとを有し、前記上部側開閉機構３１ａ，３１ｂ及び下部側開閉機構３２ａ，３２ｂで前記流体通路を上下に分離して搬入出路を形成した状態でも前記流体流の形成を継続するようにした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を支持する支持機構と、
前記支持機構に搬入出される前記板状部材に対して、搬入出方向と交差する方向から温調された流体を供給する流体供給機構と、
前記支持機構に支持された前記板状部材の上面に沿って形成される流体通路構成部材と、
前記板状部材の搬入出時に、前記流体通路構成部材に搬入出路を形成するように前記支持機構と前記流体通路構成部材との少なくとも一方を上下方向に移動させる流体通路開閉機構とを有し、
前記流体供給機構は、前記板状部材の搬入出時にも前記流体通路構成部材に温調された前記流体を供給する
ことを特徴とする板状部材の温度制御装置。
【請求項２】
前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬入出時に、前記板状部材を前記支持機構に押し付ける流体流が形成されるように前記流体通路構成部材を移動させることを特徴とする請求項１項に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項３】
前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬入が完了したとき、前記流体通路構成部材を前記流体流の下流側から先に下降させることを特徴とする請求項２に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項４】
前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬出を開始する際に、前記流体通路構成部材を前記流体流の上流側から先に上昇させることを特徴とする請求項２に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項５】
板状部材を支持する支持機構と、
前記支持機構に搬入出される前記板状部材に対して、搬入出方向と交差する方向から温調された流体を供給する流体供給機構と、
前記支持機構に支持された前記板状部材の上面に沿って形成される上部分割体および前記支持機構に支持された前記板状部材の下面に沿って形成される下部分割体からなる流体通路構成部材と、
前記板状部材の搬入出時に、搬入出路を形成する流体通路開閉機構とを有し、
前記流体供給機構は、前記板状部材の搬入出時にも前記流体通路構成部材に温調された前記流体を供給し、
前記流体通路開閉機構は、前記搬入出路を形成するとき、前記支持機構、前記上部分割体、前記下部分割体のうち少なくとも一つを上下方向に移動させる
ことを特徴とする板状部材の温度制御装置。
【請求項６】
前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬入出時に、前記板状部材を前記支持機構に押し付ける流体流が形成されるように前記流体通路構成部材を移動させることを特徴とする請求項５項に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項７】
前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬入が完了したとき、前記下部分割体を前記流体流の上流側から先に上昇させることを特徴とする請求項６に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項８】
前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬出を開始する際に、前記下部分割体を前記流体流の下流側から先に下降させることを特徴とする請求項６に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項９】
前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬入が完了したとき、前記上部分割体を前記流体流の下流側から先に下降させ、前記下部分割体を前記流体流の上流側から先に上昇させる
ことを特徴とする請求項６に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項１０】
前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬出を開始する際に、前記上部分割体を前記流体流の上流側から先に上昇させ、前記下部分割体を前記流体流の下流側から先に下降させることを特徴とする請求項６に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項１１】
前記流体通路構成部材は、流体通路の前記板状部材の上面に対向する面を、前記流体の上流側から下流側に向かって下り勾配に形成することを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項１２】
前記支持機構は、前記板状部材を、前記流体の上流側から下流側に向かって上り勾配に設置することを特徴とする請求項１乃至１１の何れか１項に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項１３】
前記流体を前記板状部材の上面側に誘導させる風向板を、前記流体供給機構と前記板状部材との間に設けることを特徴とする請求項１乃至１２の何れか１項に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項１４】
前記板状部材の上流側の端面に対向して当該端面への前記流体の吹付けを防止する整流板を設けることを特徴とする請求項１乃至１３の何れか１項に記載の板状部材の温度制御装置。
【請求項１５】
板状部材の温度調整に必要な時間をタクトタイムで除算して算出した段数の流体通路を備えることを特徴とする請求項１乃至１４の何れか１項に記載の板状部材の温度制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は大型ガラス基板等の板状部材の温度制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、対象物を温度制御する装置は多々提案されている。例えば半導体製造のプロセスにおいては基板を加熱／冷却する工程があり、特にガラス基板のような大型板状部材の温度制御を扱う際には多くの課題がある。すなわち、大型板状部材は、大きな形状ゆえに、取り回しが難しく、不用意な加熱／冷却による基板の反りや破損等の問題が発生したり、装置の大型化や、下流側処理工程への安定した周期での供給の確保や、温度制御の精度維持が困難である等の問題が発生したりする。これらの諸問題の解決は、歩留まりの向上、製造コストの改善等に直結する。
【０００３】
例えば、下記特許文献１には大型ガラス基板の冷却方法およびその装置が開示されている。この冷却装置は、ガラス基板を複数収納する上下方向に複数組の機構を設け、各機構を構成する金属プレートに形成した支持ピンでガラス基板を支持し、支持したガラス基板の中央位置の下面側に拡散吐出式ノズルを固定し、この拡散吐出式ノズルに配管を介してエアーを供給するようにした中央空冷方式の冷却装置が記載されている。この冷却装置では、冷却エアーを基板中央部から吹き付けるので、一定時間毎に次工程にガラス基板を供給でき、両側(片側)冷却に比べてガラス基板の破損を防げるとしている。
【特許文献１】特開２００２−２５５５７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の大型ガラス基板の冷却方法及び装置には、具体的なガラス基板の搬送方法が示されておらず、また複数のガラス基板の取り出しタイミングとタクトタイムとに関する相関関係が示されていないので、複数のガラス基板を管理し、基板搬出タクトを効果的に短縮できないという未解決の課題があった。
さらに、ガラス基板を支持ピンに載置して保持し、ガラス基板の中央下部より空気を拡散吐出する方法なので、ガラス基板を安定して保持する点にも未解決の課題があった。
また、ガラス基板の長手方向が幅方向に対して顕著な長さを有するとき、中央下部より拡散吐出する方法では、長手方向の端部における温度制御時間が短手方向に比較して長く掛かると言う別の未解決の課題もある。
【０００５】
上記未解決の課題を解決するために、板状部材の長手方向の端部に、その面に対して平行に温度制御用の空気を流して温度を制御する方法を検討した。この方法は、制御の応答性を高めるために所定の流速を確保する必要があるが、送風機の小型化、省電力化のために、できるだけ少ない空気で流速を確保するためには、板状部材が置かれ温度制御用の空気が通る空気通路の高さは低くしておく必要がある。一方、出し入れ時には、搬送ロボットのアームを入れたり、板状部材を拾い上げて取り出したり、入れてから所定の位置にセットするためのクリアランスが必要なために、この空気通路の高さを広げる必要がある。
【０００６】
また、空気通路内の流速は、板状部材が安定的に流れに対して平行に支持され固定されているときには、前述の所定の流速を確保することができるが、出し入れ時に搬送ロボットで移動する際には、大型ガラス基板が撓んだり斜めに支持されたりして不安定になったときに風圧を受けて飛ばされることを防止するために、流速は下げておく必要がある。しかしながら、これを実現しようとして、大型ガラス基板の出し入れのたびにファン出力を変えたり、バイパスラインへその空気を逃がしたり、通路抵抗を増すための絞り機構を作動させて送風流量を増減したりすると、装置の構成が複雑化したり、温度制御用空気の温度制御の外乱になって噴出し空気温度が不安定になったりするという新たな課題が生じる。
そこで、本発明は、板状部材に沿って流体を流す場合に、板状部材の出し入れを安定して行うとともに、板状部材の出し入れの際も温度制御に対する外乱の少ない板状部材の温度制御装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１に係る板状部材の温度制御装置は、板状部材を支持する支持機構と、前記支持機構に搬入出される前記板状部材に対して、搬入出方向と交差する方向から温調された流体を供給する流体供給機構と、前記支持機構に支持された前記板状部材の上面に沿って形成される流体通路構成部材と、前記板状部材の搬入出時に、前記流体通路構成部材に搬入出路を形成するように前記支持機構と前記流体通路構成部材との少なくとも一方を上下方向に移動させる流体通路開閉機構とを有し、前記流体供給機構は、前記板状部材の搬入出時にも前記流体通路構成部材に温調された前記流体を供給することを特徴としている。
この請求項１に係る発明では、搬送ロボット等で板状部材を流体通路から出し入れする際のクリアランスの確保することができるとともに、板状部材の搬入出時にも温調された流体を供給し続けることにより、複雑な流体制御手段を必要としない。
【０００８】
また、請求項２に係る板状部材の温度制御装置は、請求項１に係る発明において、前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬入出時に、前記板状部材を前記支持機構に押し付ける流体流が形成されるように前記流体通路構成部材を移動させることを特徴としている。
この請求項２に係る発明では、板状部材を流体通路内に搬入出時に、支持機構からの板状部材の浮き上がりを防止して、安定した支持状態を継続することができる。
【０００９】
また、請求項３に係る板状部材の温度制御装置は、請求項２に係る発明において、前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬入が完了したとき、前記流体通路構成部材を前記流体流の下流側から先に下降させることを特徴としている。
この請求項３に係る発明では、板状部材の搬入完了時に板状部材を支持機構に押し付ける流体流を形成することができ、支持機構での板状部材の安定支持を継続することができる。
【００１０】
また、請求項４に係る板状部材の温度制御装置は、請求項２に係る発明において、前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬出を開始する際に、前記流体通路構成部材を前記流体流の上流側から先に上昇させることを特徴としている。
この請求項４に係る発明では、板状部材の搬出を開始する際に、板状部材を支持機構に押し付ける流体流を形成することができ、支持機構での板状部材の安定支持を継続することができる。
【００１１】
また、請求項５に係る板状部材の温度制御装置は、板状部材を支持する支持機構と、前記支持機構に搬入出される前記板状部材に対して、搬入出方向と交差する方向から温調された流体を供給する流体供給機構と、前記支持機構に支持された前記板状部材の上面に沿って形成される上部分割体および前記支持機構に支持された前記板状部材の下面に沿って形成される下部分割体からなる流体通路構成部材と、前記板状部材の搬入出時に、搬入出路を形成する流体通路開閉機構とを有し、前記流体供給機構は、前記板状部材の搬入出時にも前記流体通路構成部材に温調された前記流体を供給し、前記流体通路開閉機構は、前記搬入出路を形成するとき、前記支持機構、前記上部分割体、前記下部分割体のうち少なくとも一つを上下方向に移動させることを特徴としている。
この請求項５に係る発明では、搬送ロボット等で板状部材を流体通路から出し入れする際のクリアランスの確保することができるとともに、板状部材の搬入出時にも温調された流体を供給し続けることにより、複雑な流体制御手段を必要としない。
【００１２】
また、請求項６に係る板状部材の温度制御装置は、請求項５に係る発明において、前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬入出時に、前記板状部材を前記支持機構に押し付ける流体流が形成されるように前記流体通路構成部材を移動させることを特徴としている。
この請求項６に係る発明では、流体通路構成部材を移動させる際に、板状部材を支持機構に押し付ける流体を形成するので、支持機構での板状部材の安定支持を継続することができる。
【００１３】
さらに、請求項７に係る板状部材の温度制御装置は、請求項６に係る発明において、前記板状部材の搬入が完了したとき、前記下部分割体を前記流体流の上流側から先に上昇させることを特徴としている。
この請求項７に係る発明では、板状部材の搬入完了時に、板状部材を支持機構に押し付ける流体流を形成することができ、支持機構での板状部材の安定支持を継続することができる。
【００１４】
また、請求項８に係る板状部材の温度制御装置は、請求項６に係る発明において、前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬出を開始する際に、前記下部分割体を前記流体流の下流側から先に下降させることを特徴としている。
この請求項８に係る発明では、板状部材の搬出を開始する際に、板状部材を支持機構に押し付ける流体流を形成することができ、支持機構での板状部材の安定支持を継続することができる。
【００１５】
また、請求項９に係る板状部材の温度制御装置は、請求項６に係る発明において、前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬入が完了したとき、前記上部分割体を前記流体流の下流側から先に下降させ、前記下部分割体を前記流体流の上流側から先に上昇させる
ことを特徴としている。
この請求項９に係る発明では、板状部材の搬入完了時に、板状部材を支持機構に押し付ける流体流を形成することができ、支持機構での板状部材の安定支持を継続することができる。
【００１６】
また、本発明の請求項１０に係る板状部材の温度制御装置は、請求項６に係る発明において、前記流体通路開閉機構は、前記板状部材の搬出を開始する際に、前記上部分割体を前記流体流の上流側から先に上昇させ、前記下部分割体を前記流体流の下流側から先に下降させることを特徴としている。
この請求項１０に係る発明では、板状部材の搬出開始時に、板状部材を支持機構に押し付ける流体流を形成することができ、支持機構での板状部材の安定支持を継続することができる。
【００１７】
また、本発明の請求項１１に係る板状部材の温度制御装置は、請求項１乃至１０の何れか１つに係る発明において、前記流体通路構成部材は、流体通路の前記板状部材の上面に対向する面を、前記流体の上流側から下流側に向かって下り勾配に形成することを特徴としている。
この請求項１１に係る発明でも、板状部材を支持機構に押し付ける流体流を形成することができ、支持機構での板状部材の安定支持を継続することができる。
【００１８】
また、本発明の請求項１２に係る板状部材の温度制御装置は、請求項１乃至１１の何れか１つに係る発明において、前記支持機構は、前記板状部材を、前記流体の上流側から下流側に向かって上り勾配に設置することを特徴としている。
この請求項１２に係る発明でも、板状部材を支持機構に押し付ける流体流を形成することができ、支持機構での板状部材の安定支持を継続することができる。
【００１９】
また、本発明の請求項１３に係る板状部材の温度制御装置は、請求項１乃至１２の何れか１つに係る発明において、前記流体流を前記板状部材の上面側に誘導させる風向板を、前記流体供給機構と前記板状部材との間に設けることを特徴としている。
この請求項１３に係る発明では、流体供給機構から供給される流体を風向板で板状部材の上面側に誘導するので、板状部材の浮き上がりを防止しながら支持機構で安定支持することができるとともに、同じ流体流供給能力の場合において、板状部材を両面冷却するときに比べ、片面冷却するときの方が強い流体流を得ることになり、板状部材の温調性能効率を向上させることができる。
【００２０】
さらに、請求項１４に係る板状部材の温度制御装置は、請求項１乃至１３の何れか１つに係る発明において、前記板状部材の上流側の端面に対向して当該端面への前記流体の吹付けを防止する整流板を配設したことを特徴としている。
この請求項１４に係る発明では、整流板によって流体が板状部材の端面に吹付けることを防止するので、板状部材の端面に吹き付ける風力の強さに起因する板状部材の微細な振動等を軽減して安定保持することができる。
【００２１】
また、請求項１５に係る板状部材の温度制御装置は、請求項１乃至１４の何れか１つに係る発明において、板状部材の温度調整に必要な時間をタクトタイムで除算して算出した段数の流体通路を備えたことを特徴としている。
この請求項１５に係る発明では、タクトタイムに合わせて温度制御を終了した板状部材を順次搬出することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、板状部材を流体通路に搬入出する際に、流体通路での流体流を確保したままで、搬入出路を確保することができ、例えば搬送ロボットで板状部材を流体通路に対して搬入出を安定して行うことができるとともに、板状部材の搬入出時にも温調された流体を供給し続けることにより、複雑な流体制御手段を必要とせず、この分構成を簡易化することができる。
【００２３】
また、本発明によれば、板状部材を流体通路に対して搬入出する際に、板状部材を支持機構に押し付ける流体流を形成することにより、流体通路が拡縮する際の流量変化等によって、板状部材の支持が不安定になる場合でも、流体圧によって板状部材が浮いたり吹き飛ばされたりすることのない安定した運転が実現できる。
また、本発明によれば、板状部材と流体通路とを相対的に傾斜させることにより、板状部材の温度を制御するために流速の速い流体が板状部材表面を通過している場合にも、板状部材を支持機構に押さえつける力が働くことによって、流体圧によって板状部材が浮いたり吹き飛ばされたりすることのない板状部材の温度制御装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態に係る温度制御装置を図面に基づいて説明する。
図１は本発明に係る板状部材の温度制御装置の概略構成を示す斜視図、図２は図１（ａ）の縦断面方向の模式図、図３は図２のＡ−Ａ線断面図である。
図１において、温度制御装置１は、例えば上下方向に３段に形成された流体供給口２Ａ、２Ｂ及び２Ｃを有し温調された流体を常時一定流量供給する流体供給部２と、この流体供給部２の各流体供給口２Ａ、２Ｂ及び２Ｃに一端が接続された流体通路３Ａ、３Ｂ及び３Ｃと、この流体通路３Ａ、３Ｂ及び３Ｃの他端に接続された流体回収口４Ａ、４Ｂ及び４Ｃを有する流体回収部４と、この流体回収部４に内蔵された冷却コイル５を介して前記流体供給部２に流体を還流させる還流ダクト６とを備えている。
【００２５】
ここで、流体供給部２は、図２に示すように、上下３段の流体供給口２Ａ、２Ｂ及び２Ｃに対応して流体供給室１１Ａ、１１Ｂ及び１１Ｃが設けられている。これら流体供給室１１Ａ、１１Ｂ及び１１Ｃの夫々は還流ダクト６に連通されている。流体供給室１１Ａ、１１Ｂ及び１１Ｃの夫々は、冷却コイル５で所定温度に冷却された流体としての空気を吸引して流体供給口２Ａ、２Ｂ及び２Ｃに常時所定風量で供給する３段に設けられたファン１２Ａ，１２Ｂ及び１２Ｃと、これらファン１２Ａ、１２Ｂ及び１２Ｃの下流側に配設されたフィルタ１３Ａ、１３Ｂ及び１３Ｃとを備えている。
【００２６】
流体通路３Ａ、３Ｂ及び３Ｃの夫々は、図２、図３及び図５に示すように、上下方向にそれぞれ移動可能に構成された流体通路構成部材としての上部分割体２１及び下部分割体２２を有する。上部分割体２１は、図２に示すように、上面板部２１ａと、この上面板部２１ａの長手方向の両端即ち流体供給部２側の端部及び流体回収部４側の端部に夫々上方に延長して回動可能に連結されたフランジ部２１ｂ及び２１ｃと、図３に示すように、上面板部２１ａの前後端部に夫々下方に延長して形成された側面板部２１ｄ及び２１ｅとから構成されている。
【００２７】
また、下部分割体２２は、図２及び図５に示すように、下面板部２２ａと、この下面板部２２ａの長手方向両端即ち流体供給部２側の端部及び流体回収部４側の端部に夫々下方に延長して回動可能に連結されたフランジ部２２ｂ及び２２ｃと、図３に示すように、下面板部２２ａの前後端部に夫々上方に延長して形成された側面板部２２ｄ及び２２ｅとから構成されている。
これら上部分割体２１及び下部分割体２２は両者が合体している非分離状態では、図３に示すように、上部分割体２１の側面板部２１ｄ及び２１ｅの内側に下部分割体２２の側面板部２２ｄ及び２２ｅが接触して上部分割体２１及び下部分割体２２で閉じた扁平管路が構成される。
【００２８】
そして、図２、図３及び図５に示すように、流体通路３の外側となる下部分割体２２の下側の固定部に固定され固定板部２３ａと、この固定板部２３ａに所定間隔を保って植立され下部分割体２２の下面板部２２ａを貫通して上部分割体２１の上面板部２１ａ及び下部分割体２２の下面板部２２ａの上下方向の中央部まで延長する支持棒部２３ｂとを備えた支持機構２３が設けられている。この支持機構２３の支持棒部２３ｂの先端に板状部材としての長手方向（流体が流れる方向）の長さが例えば３ｍ程度の大型ガラス基板２４がその長手方向を空気の通流方向として載置される。
【００２９】
また、上部分割体２１は、図５で特に明らかなように、その長手方向の両端に回動可能に連結されたフランジ部２１ｂ及び２１ｃの上端側が夫々流体通路開閉機構３０Ａ〜Ｃを構成する上部側開閉機構３１ａ及び３１ｂによって上下方向に移動可能に支持されている。同様に、下部分割体２２は、その長手方向の両端に回動可能に連結されたフランジ部２２ｂ及び２２ｃの下端が夫々流体通路開閉機構３０Ａ〜Ｃを構成する下部側開閉機構３２ａ及び３２ｂによって上下方向に移動可能に支持されている。
【００３０】
これら上部側開閉機構３１ａ及び３１ｂと下部側開閉機構３２ａ及び３２ｂとの夫々は、例えばフランジ部２１ｂ及び２１ｃとフランジ部２２ｂ及び２２ｃとの夫々先端部にボールナット３３が固定され、このボールナット３３に電動モータ３４に連結されたボールネジ３５が螺合された構成を有する。したがって、例えば電動モータ３４を正転駆動することにより、フランジ部２１ｂ及び２１ｃとフランジ部２２ｂ及び２２ｃとが上昇し、逆に電動モータを逆転駆動することにより、フランジ部２１ｂ及び２１ｃとフランジ部２２ｂ及び２２ｃとが下降する。
【００３１】
そして、各流体通路３Ａ、３Ｂ及び３Ｃの上部側開閉機構３１ａ及び３１ｂと下部側開閉機構３２ａ及び３２ｂとが図６に示すように制御装置４０によって駆動制御される。この制御装置４０では、搬入ロボット４１及び搬出ロボット４２についても搬入指令及び搬出指令を出力する。
そして、制御装置４０では、図７のタイムチャートに示すように、流体通路３Ａ、３Ｂ及び３Ｃでの大型ガラス基板２４の搬入出制御を行う。この搬入出制御は、今時点ｔ１で各流体通路３Ａ、３Ｂ及び３Ｃで大型ガラス基板２４を冷却空気で冷却中であるものとし、温度制御装置１の下流側の大型ガラス処理工程でのタクトタイムＴｔに合わせて流体通路３Ａ、３Ｂ及び３Ｃの順で大型ガラス基板２４の搬出、搬入を制御する。
【００３２】
すなわち、先ず、時点ｔ２及びｔ３間で流体通路３Ａに収容されている大型ガラス基板２４の搬出するための流体通路３Ａを分離状態とする搬出準備処理を行い、次いで時点ｔ３で搬出ロボット４２に対して流体通路３Ａに対する大型ガラス基板２４の搬出指令を出力して、時点ｔ３及びｔ４間で搬出ロボット４２によって、大型ガラス基板２４の搬出を行う。
【００３３】
次いで、時点ｔ４で、搬入ロボット４１に対して流体通路３Ａに大型ガラス基板２４の搬入指令を出力して、時点ｔ４及びｔ５間で搬入ロボット４１によって流体通路３Ａの支持機構２３の支持棒部２３ｂ上に大型ガラス基板２４を搬入して支持する。
次いで、時点ｔ５及びｔ６間で分離状態の上部分割体２１及び下部分割体２２を非分離状態に復帰させる冷却準備処理を行う。
【００３４】
その後、時点ｔ２から所定のタクトタイムＴｔが経過した時点ｔ７と時点ｔ８との間で、流体通路３Ｂに対して、上記流体通路３Ａと同様の搬出準備処理を行い、時点ｔ８で搬出ロボット４２に対して搬出指令を出力して時点ｔ８及びｔ９間で流体通路３Ｂから大型ガラス基板２４の搬出を行い、時点ｔ９で搬入ロボット４１に対して搬入指令を出力して時点ｔ９及びｔ１０間で流体通路３Ｂへの大型ガラス基板２４の搬入を行い、その後時点ｔ１０及びｔ１１間で冷却準備処理を行う。
【００３５】
同様に、時点ｔ７から所定のタクトタイムＴｔが経過した時点ｔ１２と時点ｔ１３との間で、流体通路３Ｃに対して、上記流体通路３Ａ及び３Ｂと同様の搬出準備処理を行い、時点ｔ１３で搬出ロボット４２に対して搬出指令を出力して時点ｔ１３及びｔ１４間で流体通路３Ｂから大型ガラス基板２４の搬出を行い、時点ｔ１４で搬入ロボット４１に対して搬入指令を出力して時点ｔ１４及びｔ１５間で流体通路３Ｂへの大型ガラス基板２４の搬入を行い、その後時点ｔ１５及びｔ１６間で冷却準備処理を行う。
【００３６】
その後、時点ｔ１２からタクトタイムＴｔが経過した後の時点ｔ１７で前述したように流体通路３Ａに対する大型ガラス基板２４の搬出及び搬入処理に戻り、以後上記処理を繰り返す。
ここで、何れか１つの流体通路３ｉ（ｉ＝Ａ，Ｂ，Ｃ）における搬出準備処理は、図３に示す上部分割体２１及び下部分割体２２の非分離状態から上部分割体２１を上昇させると共に下部分割体２２を下降させて図４の分離状態に復帰させるのであるが、上部分割体２１については図８（ａ）に示すように、先ず、上部側開閉機構３１ａの電動モータ３４を正転駆動して上部分割体２１の上流側端部を大型ガラス基板２４から離れる方向に上昇させ、次いで、上部側開閉機構３１ｂの電動モータ３４を正転駆動して同様に上部分割体２１の下流側端部を大型ガラス基板から離れる方向に上昇させる。
【００３７】
これと同時に又は遅れて、下部分割体２２について図８（ａ）に示すように、下部側開閉機構３２ｂの電動モータ３４を逆転駆動して下部分割体２２の下流側端部を支持された大型ガラス基板２４から離れる方向に下降させ、次いで、下部側開閉機構３２ａの電動モータ３４を逆転駆動して同様に下部分割体２２の下流側端部を大型ガラス基板２４から離れる方向に下降させて、図４に示すように、上部分割体２１の側面板部２１ｄ及び２１ｅと下部分割体２２の側面板部２２ｄ及び２２ｅとが支持機構２３の支持棒部２３ｂの上端の支持平面に対して所定距離離間して搬入口２５及び搬出口２６を開口する分離状態となる。
【００３８】
このように、大型ガラス基板２４を支持機構２３の支持棒部２３ｂ上に戴置した状態で、上部分割体２１については上流側を先に上昇させ、下部分割体２２については下流側を先に下降させることにより、図８（ａ）に示すように上部分割体２１及び下部分割体２２が大型ガラス基板２４に対して下流に向かって下り勾配の傾斜状態とすることができる。このため、流体通路３ｉ内を通流する流体によって大型ガラス基板２４を支持機構２３の支持棒部２３ｂの上面に押し付ける押し付け力を作用させることができ、大型ガラス基板２４が支持棒部２３ｂの上面からずれたり、巻き上げられたりすることを確実に防止することができる。
【００３９】
また、冷却準備処理は、大型ガラス基板２４を保持した搬入ロボットの支持アームを搬入口２５を通じて流体通路３ｉ内に挿入して、大型ガラス基板２４の支持機構２３の支持棒部２３ｂ上の所定位置への載置が完了した後に実行される。すなわち、上部分割体２１及び下部分割体２２の分離状態から上部分割体２１を下降させると共に下部分割体２２を上昇させて図３の非分離状態に復帰させるのであるが、上部分割体２１については図８（ｂ）に示すように、先ず、上部側開閉機構３１ｂの電動モータ３４を逆転駆動して上部分割体２１の下流側端部を搬入された大型ガラス基板２４に接近する定位置まで下降させ、次いで、上部側開閉機構３１ａの電動モータ３４を逆転駆動して同様に上部分割体２１の上流側端部を大型ガラス基板に接近する定位置まで下降させる。
【００４０】
これと同時に又は遅れて、下部分割体２２について図８（ｂ）に示すように、下部側開閉機構３２ａの電動モータ３４を正転駆動して下部分割体２２の上流側端部を搬入された大型ガラス基板２４に接近する定位置まで上昇させ、次いで、下部側開閉機構３２ｂの電動モータ３４を正転駆動して同様に下部分割体２２の下流側端部を大型ガラス基板２４に接近する定位置まで上昇させて、図３に示すように、上部分割体２１の側面板部２１ｄ及び２１ｅが下部分割体２２の側面板部２２ｄ及び２２ｅと接触して内部に大型ガラス基板２４を収納して閉じた扁平管路を形成する。
【００４１】
このように、大型ガラス基板２４を支持機構２３の支持棒部２３ｂ上に戴置した状態で、上部分割体２１については下流側を先に下降させ、下部分割体２２については上流側を先に上昇させることにより、図８（ｂ）に示すように上部分割体２１及び下部分割体２２が大型ガラス基板２４に対して下流に向かって下り勾配の傾斜状態とすることができる。このため、流体通路３ｉ内を通流する流体によって大型ガラス基板２４を支持機構２３の支持棒部２３ｂの上面に押し付ける押し付け力を作用させることができ、大型ガラス基板２４が支持棒部２３ｂの上面からずれたり、巻き上げられたりすることを確実に防止することができる。
【００４２】
次に、上記実施形態の動作を説明する。
先ず、温度制御装置１で冷却した大型ガラス基板２４を供給する下流側の処理装置のタクトタイムＴｔに応じて温度制御装置１の流体通路３Ａ〜３Ｃの段数が決定される。すなわら、大型ガラス基板２４の温度制御に必要な時間がＡ秒であるとすると、必要な段数はＡ／Ｔｔの値の小数点以下を切り上げた値になる。つまり、温度制御に必要な時間がＡ＝１３０秒で、タクトタイムがＴｔ＝５０秒であるあるものとすると、必要な段数は１３０／５０＝２．６であるので、本実施形態のように３段となる。
【００４３】
今、図１及び図２に示すように、各流体通路３Ａ〜３Ｃ内に支持機構２３の支持棒部２３ｂの先端に大型ガラス基板２４がその長手方向を温調された空気の通流方向として支持されて温度制御中であるものとする。この温度制御状態では、流体通路３Ａ〜３Ｃの上部分割体２１の上面板部２１ａと下部分割体２２の下面板部２２ａとの間隔が狭められている。
【００４４】
この状態で、流体供給部２のファン１２Ａ〜１２Ｃから流体回収部４の冷却コイル５で所定温度に冷却された空気がフィルタ１３Ａ〜１３Ｃを介して流体供給口２Ａ〜２Ｃから流体通路３Ａ〜３Ｃに送給される。このとき、流体通路３Ａ〜３Ｃでは、流体供給口２Ａ〜２Ｃから供給される冷却空気が上部分割体２１の上面板部２１ａ及び下部分割体２２の下面板部２２ａ間の中間位置に支持された大型ガラス基板２４の上下面に沿って所定の流速で流れて流体回収部４に回収され、冷却コイル５で所定温度に冷却されて還流ダクト６を介して流体供給部２の各流体供給室１１Ａ〜１１Ｃに還流される。
【００４５】
このように、大型ガラス基板２４を温度制御する際に、大型ガラス基板２４の上下面に沿って空気を通流させることにより、大型ガラス基板２４の長手方向の長さが長い場合であっても、均一に温度制御することができる。
また、各流体通路３Ａ〜３Ｃ内で大型ガラス基板２４が所定温度に温度制御されている状態で、例えば流体通路３Ａでの大型ガラス基板２４の温度制御時間が終了すると、この流体通路３Ａから大型ガラス基板２４を搬出ロボット４２で搬出した後に、搬入ロボットで新たな大型ガラス基板２４を搬入する。
【００４６】
この場合の大型ガラス基板２４の流体通路３Ａからの搬出は、前述したように、先ず、搬出準備処理で、図８（ａ）に示すように、上部側開閉機構３１ａの電動モータ３４を正転駆動して上部分割体２１の上流側端部を上昇させ、この上昇が完了してから又はその前に上部側開閉機構３１ｂの電動モータ３４を正転駆動して上部分割体２１の下流側端部を上昇させる。これと同時又は遅れて下部分割体２２の下部側開閉機構３２ｂの電動モータ３４を逆転駆動して下部分割体２２の下流側端部を下降させ、この下降が完了してから又はその前に下部側開閉機構３２ａの電動モータ３４を逆転駆動して下部分割体２２の上流側端部を下降させる。これによって、上部分割体２１及び下部分割体２２が図４に示すように所定距離離間して搬入口２５及び搬出口２６が形成される。
【００４７】
このとき、上部分割体２１を上昇させる際に、先ず、上流側端部から上昇させ、下部分割体２２を下降させる際に、先ず、下流側端部から下降させることにより、図８（ａ）に示すように、支持機構２３に支持されている大型ガラス基板２４に対して流体通路３Ａを下流に向かって下り勾配に傾斜させることができる。すなわち、上流側から下流に行くに従い上部分割体２１の上面板部２１ａと大型ガラス基板２４との距離を徐々に小さくし、逆に下部分割体２２の下面板部２２ａと大型ガラス基板２４との距離を上流側から下流側に行くに従い徐々に大きくなる。
【００４８】
このため、流体供給部２の流体供給口２Ａから供給される流体の流速が速い上部分割体２１及び下部分割体２２の相対移動開始時に、大型ガラス基板２４を支持機構２３の支持棒部２３ｂへ押し付ける押し付け力を作用させることができ、大型ガラス基板２４がずれたり、巻き上げられたりすることなく、安定して支持機構２３の支持棒部２３ｂ上に支持される。
【００４９】
その後、上部分割体２１の下流側が上昇されると共に、下部分割体２２の上流側が下降されることにより、図４に示すように、上部分割体２１及び下部分割体２２間に搬入口２５及び搬出口２６が形成される。この状態では、流体通路３Ａの断面積が大きくなっており、流体供給部２から供給される空気の流速が大型ガラス基板２４の搬入出に影響を与えない程度に減少される。
この状態で、図９に示すように、図示しない搬出ロボットによって、矢視Ｂ方向に大型ガラス基板２４が搬出され、この搬出が完了すると図示しない搬入ロボットによって、矢視Ａ方向に大型ガラス基板２４が搬入されて支持機構２３の支持棒部２３ｂの先端に載置される。
【００５０】
この大型ガラス基板２４の載置が完了すると、冷却準備処理が行われて、図８（ｂ）に示すように、上部側開閉機構３１ｂによって上部分割体２１の下流側端部が先に下降されると共に、下部側開閉機構３２ａによって下部分割体２２の上流側端部が先に上昇されて、前述した搬出準備処理と同様に大型ガラス基板２４に対して流体通路３Ａが下流に向かって下り勾配に傾斜する。このため、流体供給部２の流体供給口２Ａから供給される流体によって、大型ガラス基板２４を支持棒部２３ｂ側に押し付ける押し付け力が作用することにより、流体通路３Ａの断面積を狭めて空気の流速が速くなる場合に、大型ガラス基板２４を安定支持することができる。
【００５１】
そして、流体通路３Ａの上部分割体２１及び下部分割体２２が図３に示す非分離状態に復帰することにより、新たな大型ガラス基板２４の温度制御を開始する。
その後、所定のタクトタイムＴｔが経過すると、流体通路３Ｂから温度制御を完了した大型ガラス基板２４が搬出された後、新たな大型ガラス基板２４が搬入されて、この新たな大型ガラス基板２４の温度制御処理が開始される。さらに、次のタクトタイムＴｔが経過すると、流体通路３Ｃから温度制御を完了した大型ガラス基板２４が搬出された後、新たな大型ガラス基板２４が搬入されて、この新たな大型ガラス基板２４の温度制御処理が開始される。さらにまた、次のタクトタイムＴｔが経過すると、前述したように流体通路３Ａから大型ガラス基板２４が搬出される状態に戻る。以上の温度制御サイクルが繰り返されることにより、所定のタクトタイムＴｔ毎に温度制御を完了した大型ガラス基板２４を下流の処理工程に搬出することができる。
【００５２】
また、流体通路３Ａ〜３Ｃには流体供給部２から大型ガラス基板２４の温度制御状態であるか搬出準備処理状態、搬出状態、搬入状態及び冷却準備状態の何れの状態であるかにかかわらず、一定流量の流体を供給しているので、状態に応じて流量制御する必要がなく、複雑な流量制御手段を省略して簡易な構成とすることができる。
なお、流体供給部２の流体供給口２Ａ〜２Ｃと、流体通路３Ａ〜３Ｃを構成する上部分割体２１のフランジ部２１ｂ及び２１ｃ並びに下部分割体２２のフランジ部２２ｂ及び２２ｃとの間には図１０で拡大図示するように、フレキシブル継手部５０で連結して、フランジ部２２ｂと流体供給口２Ａとの摺接部において空気漏れを抑制することが好ましい。
【００５３】
また、大型ガラス基板２４の長手方向の端面に流体が吹き付けることにより、風力の強さに起因する大型ガラス基板２４の微細な振動等が生じる場合があるが、この場合には図１１に示すように、大型ガラス基板２４の長手方向の上流側端面に対向させて下流側に向かって厚みが徐々に増加する楔状の整流板５１を配設し、この整流板５１によって流体供給口２Ａ〜２Ｃから供給される空気が大型ガラス基板２４の上流側端面に直接吹き付けることを抑制して、風力の強さに起因する大型ガラス基板２４の微細な振動等を減少させることが好ましい。この整流板５１の厚さは、大型ガラス基板２４とほぼ同じであり、設置位置は流体の風速と大型ガラス基板２４の大きさによるが、大型ガラス基板２４の凡そ１０ｍｍ〜５０ｍｍ手前とし、上部分割体２１又は下部分割体２２の側内面に固定にするかフィルタ１３Ａ〜１３Ｃに固定する。
【００５４】
また、上記実施形態においては、流体通路３Ａ〜３Ｃを構成する上部分割体２１の側面板部２１ｄ及び２１ｅと下部分割体２２の側面板部２２ｄ及び２２ｅとが等しい高さである場合について説明したが、これに限定されるものではなく、大型ガラス基板２４の搬入及び搬出を行なう搬入ロボット及び搬出ロボットによる大型ガラス基板２４の搬入出に必要とする空間が支持機構２３に大型ガラス基板２４を載置した状態でその上面側に比較して下面側の必要空間が少なくて済む場合には、図１２（ａ）及び（ｂ）に示すように、上部分割体２１の側面板部２１ｄ及び２１ｅの高さを高くし、逆に下部分割体２２の側面板部２１ｄ及び２１ｅの高さを低くするようにしてもよく、同時に分離時における下部分割体２１の下降量も図１２（ｂ）に示すように少なくするようにしてもよい。なお、大型ガラス基板２４を搬入出するロボットが必要とする空間が支持機構２３に大型ガラス基板２４を載置した状態でその下面側に比較して上面側の必要空間が少なくて済む場合には上部分割体２１の側面板部２１ｄ及び２１ｅの高さを低くし、下部分割体２２の側面板部２２ｄ及び２２ｅの高さを高くすればよい。
【００５５】
また、上記実施形態においては、流体通路３Ａ〜３Ｃを形成する上部分割体２１及び下部分割体２２の双方が大型ガラス基板２４から離間する方向に移動される場合について説明したが、これに限定されるものではなく、上部分割体２１のみ又は下部分割体２２のみを上下方向に移動可能に上部側開閉機構３１ａ及び３１ｂで前述した図８（ａ）及び（ｂ）に示すように制御するようにしてもよい。
【００５６】
また、上記実施形態においては、流体通路３Ａ〜３Ｃの上部分割体２１及び下部分割体２２を分離した状態で、搬入口２５及び搬出口２６が開口している場合について説明したが、これに限定されるものではなく、図１３（ａ）〜（ｃ）に示すように、上部分割体２１の側面板部２１ｄ及び２１ｅを上面板部２１ａに対して回動可能に支持すると共に、その高さを、分離状態での搬入口２５及び搬出口２６を覆う高さに設定することにより、分離状態でも閉じた管路を形成することにより、冷却空気の外部への流出を抑制するようにしてもよい。この場合、大型ガラス基板２４の搬入時には図１３（ｂ）に示すように側面板部２１ｄを半時計方向に回動させて搬入口２５を形成し、大型ガラス基板２４の搬出時には図１３（ｃ）に示すように、側面板部２１ｅを時計方向に回動させて搬出口２６を形成するようにすればよい。さらには、図１４（ａ）〜（ｃ）に示すように、上部分割体２１の側面板部２１ｄ及び２１ｅを回動可能とする場合に代えて、上部分割体２１の上面板部２１ａの前後両端に一端を固定した蛇腹部２１ｆ及び２１ｇを適用し、この蛇腹部２１ｆ及び２１ｇの下端部を下部分割体２２の下面板部２２ａの両端に着脱可能に装着するようにしてもよい。この場合でも、搬入口２５を形成する場合には、図１４（ｂ）に示すように、蛇腹部２１ｆの下端を下部分割体２２の下面板部２２ａの前端から取り外し、搬出口２６を形成する場合には図１４（ｃ）に示すように、蛇腹部２１ｇの下端を下部分割体２２の下面板部２２ａの後端から取り外すようにすればよい。
【００５７】
また、上記実施形態においては、大型ガラス基板２４を搬入出する際に、上部分割体２２自体を下流に向かって下り勾配に傾斜させる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、上部分割体２２の上面板部２２ａに下流に向かって下り勾配に傾斜可能な回動板部を形成し、この回動板部を回動させて大型ガラス基板２４を支持機構１１に押し付ける流体流を形成するようにしてもよい。
【００５８】
また、上記実施形態においては、流体通路３Ａ〜３Ｃにおいて、通流する空気によって大型ガラス基板２４を支持機構２３の支持棒部２３ｂの先端に押し付ける押し付け力与えるために、上部側開閉機構３１ａ及び３１ｂと下部側開閉機構３２ａ及び３２ｂとによって流体通路３Ａ〜３Ｃの上部分割体２１及び下部分割体２２を傾斜させる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、図１５に示すように、予め、大型ガラス基板２４を支持機構２３で水平状態に支持し、流体通路３Ａ〜３Ｃと流体供給部２及び流体回収部４とを上流側に比較して下流側が下がる、下流に向かって下り勾配に傾斜させて配置するようにしても上記実施形態と同様の作用効果を得ることかできる。この場合、上部分割体２１及び下部分割体２２を共に傾斜させる場合に代えて、図１６に示すように、上部分割体２１のみを下流に向かって下り勾配に傾斜させるようにしてもよい。
【００５９】
逆に、図１７に示すように、支持機構２３の支持棒部２３ｂの高さを上流側から下流側に行くに従い徐々に高くして大型ガラス基板２４を流体通路３Ａ〜３Ｃに対して下流上がりに傾斜支持するようにしても、通流する流体によって大型ガラス基板２４を支持棒部２３ｂに対して押し付ける押し付け力を作用させることができ、大型ガラス基板２４を安定支持することができる。
【００６０】
同様に、図１８に示すように、流体通路３Ａ〜３Ｃ内の大型ガラス基板２４の上流側端面に対向する位置に風量調整板５３を配設して、大型ガラス基板２４の下側の風量に対して上側の風量を増加させて、大型ガラス基板２４の上面側の圧力を下面側の圧力に比較して増加させることにより、大型ガラス基板２４を支持機構２３の支持棒部２３ｂの先端に押し付けるようにしてもよい。
【００６１】
さらには、図１９に示すように、下部分割体２２の下面板部２２ａにおける流体供給部２側の端部から上り勾配で大型ガラス基板２４の端部近傍まで延長する風向板５５を設け、この風向板５５によって、流体供給部２から供給される冷却空気を主に大型ガラス基板２４の上面側に供給するようにしてもよい。この場合には、大型ガラス基板２４の上面側の圧力が下面側の圧力よりも高くなることにより、大型ガラス基板２４を支持機構２３の支持棒部２３ｂの上面側に押し付けことになり、支持機構２３での安定支持を確保することができる。また、大型ガラス基板２４の上面側を主に冷却空気で冷却する片面冷却状態となるので、板状部材を両面冷却するときに比べ、片面冷却するときの方が強い流体流を得ることになり、大型ガラス基板２４の温調性能効率を向上させることができた。
【００６２】
また、上記各実施形態においては、搬入口２５及び搬出口２６を形成するため、流体通路３Ａ乃至３Ｃを構成する流体通路構成部材としての上部分割体２１及び下部分割体２２の少なくとも一方を上下方向に移動する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、図２０に示すように、大型ガラス基板２４を支持する支持機構２３自体を上下方向に移動させて搬入口２５及び搬出口２６を形成するようにしてもよい。すなわち、図２０では、流体通路３Ａ〜３Ｃを構成する上部分割体２１を流体供給部２及び流体回収部４に固定するとともに、支持機構２３に下部分割体２２を一体に固定し、この下部分割体２２に支持棒部２３ｂを固定する。そして、下部分割体２２をガイド部材６１で上下動可能に支持するとともに、例えば下部分割体２２の中央部と固定部との間に例えば油圧シリンダ、空気圧シリンダ、流体圧ジャッキ、電動ジャッキ等の上下移動機構６２を配設する。このとき、上部分割体２１及び下部分割体２２の側面板部は例えば、前述した図１２に示すように構成し、流体供給部２の流体供給口２Ａ〜２Ｃ及び流体回収部４の流体回収口４Ａ〜４Ｃは図２０に示すように流体通路３Ａ〜３Ｃと略等しい大きさに設定する。
【００６３】
したがって、上下移動機構６２によって、下部分割体２２及び支持棒部２３ｂで支持された大型ガラス基板２４を、例えば図２０で実線図示のように下部分割体２２が上部分割体２１と協働して流体通路３Ａ〜３Ｃを形成する上部冷却位置と、図２０で一点鎖線図示の大型ガラス基板２４が上部冷却位置での下部分割体２２の近傍位置又はそれより下側となる搬入出位置との間で移動させる。
【００６４】
このように支持機構２３を上下に移動させる構成とすることにより、支持機構２３に支持された大型ガラス基板２４の搬入出を流体供給部２から供給される冷却空気流の影響を受けない位置で搬入出することが可能となる。しかも、搬入出位置としたときに、大型ガラス基板２４を上部冷却位置としたときの下部分割体２２の位置と略等しい位置とすることにより、大型ガラス基板２４を実際に搬入出するまでの間で、大型ガラス基板２４によって流体通路の一部を構成することができ、冷却空気が外部に流出することを抑制することができる。この場合でも、大型ガラス基板２４を下流側に向かって上り勾配に支持することにより、大型ガラス基板２４を支持棒部２３ｂに押し付ける流体流を形成することが好ましい。また、流体供給口２Ａ〜２Ｃは支持機構２３の下部分割体２２が退避位置にある状態で、下部分割体２２に対向する位置まで開口させ、これに応じて下部分割体２２の端面に開口を閉塞するフランジ部を形成するようにすればよい。
【００６５】
また、上記実施形態においては、温度制御装置１の流体通路が３段である場合について説明したが、これに限定されるものではなく、タクトタイムＴｔと温度制御に必要とする時間Ａに基づいて所定段数に設定することができ、タクトタイムＴｔを考慮しない場合には任意の段数に設定することができる。
また、上記実施形態においては、支持機構２３の支持棒部２３ｂを下部分割体２２の下面板部２２ａを貫通して流体通路３Ａ〜３Ｃ内に延長させた場合について説明したが、これに限定されるものではなく、上部分割体２１の上部側に固定板部２３ａを配設し、中空の支持棒部２３ｂを上部分割体２１の上面板部２１ａを貫通して流体通路３Ａ〜３Ｃ内に延長させるようにしてもよく、この場合には、支持棒部２３ｂの先端に真空吸着等の吸着保持部を形成して大型ガラス基板２４を吸着保持するようにしてもよい。
【００６６】
また、上記実施形態においては、流体通路開閉機構３０の上部側開閉機構３１ａ，３１ｂ及び下部側開閉機構３２ａ，３２ｂをボールねじと電動モータとで構成する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、ねじ軸とこれに螺合するナットとねじ軸に連結した電動モータとで構成したり、リニアモータを適用したり等、任意の構成とすることができ、要は上部分割体２１及び下部分割体２２を上下方向に相対移動可能に構成されていればよい。
【００６７】
また、上記実施形態においては、流体通路３Ａ〜３Ｃに対する大型ガラス基板２４の搬入口２５と搬出口２６とが異なる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、搬入口と搬出口とを同一として、大型ガラス基板２４の搬入及び搬出を同一方向から行なうようにしてもよい。また、搬入出方向としても、流体通路３Ａ〜３Ｃの長手方向と直交する方向に限定されるものではなく、流体通路３Ａ〜３Ｃの長手方向と交差する方向から大型ガラス基板２４を水平方向に搬入出したり、水平方向に対してある程度の傾斜角を持たせて搬入出するようにしてもよい。
【００６８】
また、上記実施形態においては、流体供給部２から供給する流体として空気を適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、温度制御用の任意の気体や液体を適用することができ、温調流体としては冷却流体に限らず加熱流体を適用して加熱処理することができる。
また、上記実施形態においては、板状部材として大型ガラス基板を適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、温度制御対象となる他の任意の板状部材を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明に係る板状部材の温度制御装置の斜視図である。
【図２】図１の縦断面方向の模式図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】上部分割体及び下部分割体の分離状態を示す図３と同様の断面図である。
【図５】図２の１段分の流体通路を拡大して示す断面図である。
【図６】制御装置を示すブロック図である。
【図７】制御装置で実行する温度制御処理方法を示すタイムチャートである。
【図８】上部分割体及び下部分割体の移動順序を示す説明図であって、（ａ）は大型ガラス基板の搬出準備処理時の移動順序を、（ｂ）は大型ガラス基板の冷却準備処理時の移動順序を夫々示す。
【図９】大型ガラス基板の搬入出状態を示す図１と同様の斜視図である。
【図１０】流体通路と流体供給部及び流体回収部との接続状態を拡大して示す断面図である。
【図１１】本発明の他の変形例を示す断面図である。
【図１２】流体通路の他の変形例を示す断面図であって、（ａ）は非分離状態を、（ｂ）は分離状態を夫々示す。
【図１３】流体通路の他の変形例を示す断面図であって、（ａ）は非分離状態を、（ｂ）は分離状態での大型ガラス基板の搬入状態を、（ｃ）は分離状態での大型ガラス基板の搬出状態を夫々示す。
【図１４】流体通路の他の変形例を示す断面図であって、（ａ）は非分離状態を、（ｂ）は分離状態での大型ガラス基板の搬入状態を、（ｃ）は分離状態での大型ガラス基板の搬出状態を夫々示す。
【図１５】流体通路の他の変形例を示す断面図である。
【図１６】流体通路の他の変形例を示す断面図である。
【図１７】流体通路の他の変形例を示す断面図である。
【図１８】流体通路の他の変形例を示す断面図である。
【図１９】流体通路の他の変形例を示す断面図である。
【図２０】支持機構を上下動させる変形例を示す図５と同様の断面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１…温度制御装置、２…流体供給部、２Ａ〜２Ｃ…流体供給口、３Ａ〜３Ｃ…流体通路、４…流体回収部、４Ａ〜４Ｃ…流体回収口、５…冷却コイル、６…還流ダクト、１１Ａ〜１１Ｃ…流体供給室、１２Ａ〜１２Ｃ…ファン、１３Ａ〜１３Ｃ…フィルタ、２１…上部分割体、２１ａ…上面板部、２１ｂ，２１ｃ…フランジ部、２１ｄ，２１ｅ…側面板部、２１ｆ，２１ｇ…蛇腹部、２２…下部分割体、２２ａ…下面板部、２２ｂ，２２ｃ…フランジ部、２２ｄ，２２ｅ…側面板部、２３…支持機構、２３ａ…固定板部、２３ｂ…支持棒部、２４…大型ガラス基板、２５…搬入口、２６…搬出口、３０Ａ〜Ｃ…流体通路開閉機構、３１ａ，３１ｂ…上部側開閉機構、３２ａ，３２ｂ…下部側開閉機構、３３…ボールナット、３４…電動モータ、３５…ボールネジ、４０…制御装置、４１…搬入ロボット、４２…搬出ロボット、５０…フレキシブル継手部、５１…整流板、５３…風量調整板、５５…風向板、６１…ガイド機構、６２…上下移動機構
【図１】
2009298608.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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