(57)【要約】【課題】駆動回路の放熱を効率よく行って、駆動回路の小型化及び低コスト化を図ると共に、駆動回路の耐久性を向上して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル開口３４に連通する圧力発生室２１が設けられた流路形成基板２２と、該流路形成基板２２に設けられて前記圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段４０と、該圧力発生手段４０に電気的に接続されて前記圧力発生手段４０を駆動する駆動回路６０が設けられたフレキシブルプリント基板５０とを具備し、前記フレキシブルプリント基板５０の前記駆動回路６０が実装された面とは反対側の面の少なくとも前記駆動回路６０に相対向する領域に放熱層５４を設ける。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、該圧力発生手段に電気的に接続されて前記圧力発生手段を駆動する駆動回路が設けられたフレキシブルプリント基板とを具備し、
前記フレキシブルプリント基板の前記駆動回路が実装された面とは反対側の面には、少なくとも前記駆動回路に相対向する領域に放熱層が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記フレキシブルプリント基板が、ベースフィルムと、該ベースフィルムの一方面に設けられた配線層とで構成され、前記駆動回路が、前記配線層の前記ベースフィルムとは反対側の面に実装され、前記放熱層が、前記ベースフィルムの前記配線層とは反対側の面に設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記フレキシブルプリント基板が、ベースフィルムと、該ベースフィルムの一方面に設けられた配線層と、該配線層上に設けられた絶縁層とで構成され、前記駆動回路がベースフィルムに設けられた貫通孔を介して前記配線層と電気的に接続されていると共に、前記放熱層が、前記絶縁層の前記配線層とは反対側の面に設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記放熱層が、金属からなることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特にインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子のたわみ変形を用いたものが実用化されている。
【０００３】
また、圧電素子を駆動するための駆動信号を入力する駆動回路は、フレキシブルプリント基板に実装され、このフレキシブルプリント基板を介して圧電素子に電気的に接続されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３２０８８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、フレキシブルプリント基板に実装される駆動回路は、当該駆動回路自体でしか放熱できないため、放熱能力が限られており、回路損失が放熱能力を超える場合には駆動回路が熱により破壊されてしまうと共に、放熱性を確保するには放熱面積が必要となるため、駆動回路の小型化を行うことができないという問題がある。
【０００６】
このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、駆動回路の放熱を効率よく行って、駆動回路の小型化及び低コスト化を図ると共に、駆動回路の耐久性を向上して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、該圧力発生手段に電気的に接続されて前記圧力発生手段を駆動する駆動回路が設けられたフレキシブルプリント基板とを具備し、前記フレキシブルプリント基板の前記駆動回路が実装された面とは反対側の面には、少なくとも前記駆動回路に相対向する領域に放熱層が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、駆動回路の熱を放熱層を介して放熱することができるため、駆動回路の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路を大型化する必要がなく、小型化してコストを低減することができる。また、駆動回路の発熱による低寿命化を防止して耐久性を向上することができると共に、液体噴射特性及び連続吐出性能を向上することができる。さらに、放熱層が電磁波シールドとしても機能し、信頼性を向上することができる。
【０００９】
ここで、前記フレキシブルプリント基板が、ベースフィルムと、該ベースフィルムの一方面に設けられた配線層とで構成され、前記駆動回路が、前記配線層の前記ベースフィルムとは反対側の面に実装され、前記放熱層が、前記ベースフィルムの前記配線層とは反対側の面に設けられていることが好ましい。また、前記フレキシブルプリント基板が、ベースフィルムと、該ベースフィルムの一方面に設けられた配線層と、該配線層上に設けられた絶縁層とで構成され、前記駆動回路がベースフィルムに設けられた貫通孔を介して前記配線層と電気的に接続されていると共に、前記放熱層が、前記絶縁層の前記配線層とは反対側の面に設けられていることが好ましい。これによれば、放熱層によって駆動回路の熱を放熱することができる。
【００１０】
また、前記放熱層が、金属からなることが好ましい。これによれば、金属からなる放熱層によって駆動回路の熱を効率よく放熱することができると共に電磁波シールドとしても機能する。
【００１１】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、信頼性を向上すると共に低コスト化することができる液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′断面図及びＢ−Ｂ′断面図である。
【００１３】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエータユニット２０と、アクチュエータユニット２０が固定される１つの流路ユニット３０と、アクチュエータユニット２０に接続されるフレキシブルプリント基板５０とで構成されている。
【００１４】
アクチュエータユニット２０は、圧電素子４０を具備するアクチュエータ装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００１５】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設された列が２列形成されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００１６】
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するリザーバとを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００１７】
そして、圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本実施形態では、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、圧電素子４０の列も２列設けられている。
【００１８】
ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４３と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４４と、各圧電体層４４上に設けられた上電極膜４５とで構成されている。圧電体層４４は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４３は、並設された圧電体層４４に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜４３を各圧電体層４４毎に設けるようにしてもよい。
【００１９】
なお、アクチュエータユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。
【００２０】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエータユニット２０の圧力発生室底板２４に接合されるインク供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるリザーバ３２が形成されるリザーバ形成基板３３と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２１】
インク供給口形成基板３１は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にリザーバ３２と圧力発生室２１とを接続するインク供給口３７を穿設して構成され、また、各リザーバ３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給するインク導入口３８が設けられている。
【００２２】
リザーバ形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するリザーバ３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。
【００２３】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。例えば、本実施形態では、流路ユニット３０には、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、ノズルプレート３５にも、ノズル開口３４の列が２列形成されている。また、このノズルプレート３５は、リザーバ形成基板３３の流路形成基板２２の反対面に接合されてリザーバ３２の一方面を封止している。
【００２４】
このような流路ユニット３０は、これらインク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５を、接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。なお、本実施形態では、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５をステンレス鋼によって形成しているが、例えば、セラミックスを用いて形成し、アクチュエータユニット２０と同様に流路ユニット３０を一体的に形成することもできる。
【００２５】
そして、このような流路ユニット３０とアクチュエータユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００２６】
また、図２及び図３に示すように、各圧電素子４０の長手方向一端部の圧力発生室２１の周壁に相対向する領域には、上電極膜４５に接続された金（Ａｕ）等からなる個別接続端子４６が設けられている。この個別接続端子４６は圧電素子４０毎に設けられている。また、図２に示すように、並設された圧電素子４０の列間の圧電素子４０の列の両端外側には、下電極膜４３に接続された金（Ａｕ）からなる共通接続端子４７が設けられている。そして、圧電素子４０の各上電極膜４５及び下電極膜４３に設けられた個別接続端子４６及び共通接続端子４７には、フレキシブルプリント基板５０に設けられた配線層５１が電気的に接続されており、このフレキシブルプリント基板５０を介して駆動回路６０からの駆動信号が各圧電素子４０に供給される。
【００２７】
フレキシブルプリント基板５０は、２列の圧電素子４０に亘って１つ設けられた、例えば、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）などからなる。詳しくは、フレキシブルプリント基板５０は、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅薄等で所定のパターンの配線層５１を形成し、配線層５１の圧電素子４０と接続される端子部以外の領域をレジスト等の絶縁材料５３で覆ったものである。
【００２８】
また、フレキシブルプリント基板５０は、一端側が圧電素子４０に接続され、他端側が印刷信号等が入力される回路基板７０に接続されている。回路基板７０は、外部配線が接続されるコネクタが設けられている。
【００２９】
さらにフレキシブルプリント基板５０の配線層５１には、圧電素子４０を駆動するための駆動回路６０が実装されている。駆動回路６０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）などが挙げられる。このような駆動回路６０は、フレキシブルプリント基板５０の配線層５１に、例えば、フリップ実装で搭載されている。なお、駆動回路６０のフレキシブルプリント基板５０上への実装は、例えば、金（Ａｕ）−金（Ａｕ）接続、金（Ａｕ）−錫（Ｓｎ）接続などの金属接続や、ＡＣＦ（異方性導電ペースト）、ＡＣＰ（異方性導電膜）、半田バンプ接続などを用いることができる。
【００３０】
さらに、フレキシブルプリント基板５０の駆動回路６０が実装された面とは反対側の駆動回路６０に相対向する領域に放熱層５４が設けられている。本実施形態では、フレキシブルプリント基板５０の配線層５１が設けられた面とは反対側の面に放熱層５４を設けるようにした。このような放熱層５４は、熱伝導率が高い材料、例えば、銅（Ｃｕ）やアルミニウム（Ａｌ）などの金属箔などを用いることができる。また、放熱層５４として、配線層５１と同じ材料、例えば、銅（Ｃｕ）を用いることで、フレキシブルプリント基板５０に配線層５１と放熱層５４とを同時に製造することができ、製造コストを低減することができる。
【００３１】
このような放熱層５４は、駆動回路６０の駆動時の熱を放熱させる。すなわち、駆動回路６０が駆動により加熱された際に、駆動回路６０の熱を駆動回路６０の表面からだけではなく、放熱層５４を介して空気中に放熱することができる。したがって、駆動回路６０の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路６０の放熱性を高めるために大型化する必要がなく、小型化することができる。ちなみに、駆動回路６０の発熱を抑制するためには、駆動回路６０の内部抵抗を低減する必要があるため、駆動回路６０内のトランジスタの大きさを確保する必要があったが、放熱層５４を設け、放熱層５４によって駆動回路６０の発熱を放熱することができるため、トランジスタの大きさを確保する必要がない。したがって、駆動回路６０の内部抵抗を低減する必要がなく、放熱能力に合わせて駆動回路６０を小型化することができると共にコストを低減することができる。
【００３２】
また、放熱層５４を設けることで、駆動回路６０の発熱を抑制することができ、駆動回路６０に与える電流を大きくしてインク吐出特性を向上することができると共に、インクの連続吐出性能を向上することができる。すなわち、駆動回路６０は、電流を大きくすることで発熱も大きくなると共に、連続吐出させることで放熱時間が短くなるため、電流や連続吐出性能が制限されてしまうが、放熱層５４によって駆動回路６０の熱を放熱することにより、駆動回路６０を流れる電流を大きくすることができると共に連続吐出を短い間隔で長時間行わせることができる。
【００３３】
なお、放熱層５４は、少なくとも駆動回路６０に相対向する領域に設ければよいが、駆動回路６０から熱伝導された熱の放熱性を向上するために、比較的広い表面積となるように形成するのが好ましく、ベースフィルム５２の配線層５１が設けられた面とは反対側の全面に亘って設けるのが好適である。ちなみに、配線層５１は、各圧電素子４０毎にパターニングされて断面積が小さく、配線層５１による放熱は少ない。
【００３４】
また、本実施形態では、駆動回路６０のベースフィルム５２とは反対側に放熱層５４を設けるようにしたため、放熱層５４が駆動回路６０の電磁波シールドとしても機能する。したがって、信頼性を向上することができる。なお、放熱層５４を電磁波シールドとして機能させるためには、放熱層５４として導電性材料を用いると共に接地する必要がある。
【００３５】
（実施形態２）
図４は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例である液体噴射ヘッドの要部断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００３６】
図４に示すように、本実施形態のフレキシブルプリント基板５０Ａは、ベースフィルム５２Ａと、ベースフィルム５２Ａの一方面に設けられた配線層５１Ａと、配線層５１Ａ上に設けられた絶縁層５３Ａと、配線層５１Ａに実装された駆動回路６０とを具備する。
【００３７】
ベースフィルム５２Ａは、配線層５１Ａの端部を露出する貫通孔５２ａが設けられており、駆動回路６０は、この貫通孔５２ａを介して配線層５１Ａのベースフィルム５２Ａ側の面に実装されている。
【００３８】
また、絶縁層５３Ａは、配線層５１Ａの上、すなわち、ベースフィルム５２Ａの配線層５１Ａ側の面に亘って設けられている。
【００３９】
さらに、配線層５１Ａの貫通孔５２ａ内に突出して設けられた端部は、駆動回路６０とは反対側の面が保護層５５で保護されている。この保護層５５は、例えば、ポッティング剤などからなる。
【００４０】
また、フレキシブルプリント基板５０Ａには、絶縁層５３Ａ及び保護層５５上に亘って放熱層５４Ａが設けられている。この放熱層５４Ａは、上述した実施形態１と同様に、フレキシブルプリント基板５０Ａの駆動回路６０が実装された面とは反対側の面に設ければよく、少なくとも駆動回路６０に相対向する領域に設ければよい。本実施形態では、放熱層５４Ａをベースフィルム５２Ａの全面に亘って設けることで、放熱層５４Ａの放熱性能を高めるようにしている。
【００４１】
このように、放熱層５４Ａを絶縁層５３Ａ及び保護層５５上に設けたとしても、放熱層５４Ａに駆動回路６０の熱が熱伝導されて、放熱層５４Ａを介して放熱することができ、駆動回路６０の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路６０を大型化する必要がなく、小型化することができる。このように放熱層５４を設けることで、駆動回路６０の発熱を抑制することができ、駆動回路６０に与える電流を大きくしてインク吐出特性を向上することができると共に、インクの連続吐出性能を向上することができる。また、駆動回路６０の内部抵抗を低減する必要がなく、コストを低減することができる。
【００４２】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、厚膜型の圧電素子を用いた圧力発生手段を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、下電極、圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィ法により順次積層する薄膜型の圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子などを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエータなどを使用することができる。
【００４３】
ここで、縦振動型の圧電素子を用いたインクジェット式記録ヘッドの一例を図５に示す。なお、図５は、他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００４４】
図５に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０Ｂは、複数の圧力発生室２１Ａが形成された流路形成基板２２Ａと、各圧力発生室２１Ａに連通する複数のノズル開口３４Ａが穿設されたノズルプレート３５Ａと、流路形成基板２２Ａのノズルプレート３５Ａとは反対側の面に設けられる振動板２３Ａとを具備する流路ユニット３０Ａを有する。さらに、振動板２３Ａ上の各圧力発生室２１Ａに対応する領域に設けられる圧電素子４０Ａを有するアクチュエータユニット２０Ａと、振動板２３Ａ上に固定されてアクチュエータユニット２０Ａが収容される収容部８０Ａを有するケースヘッド８１Ａとを有する。
【００４５】
流路形成基板２２Ａには、複数の圧力発生室２１Ａに連通して共通のインク室となるリザーバ３２Ａが設けられており、リザーバ３２Ａと各圧力発生室２１Ａとは、インク供給口３７Ａを介して連通されている。また、流路形成基板２２Ａには、ノズル開口３４Ａに連通するノズル連通孔２６Ａが設けられている。
【００４６】
また、アクチュエータユニット２０Ａは、圧力発生室２１Ａ内にインク滴を吐出するための圧力を発生させる圧力発生手段である圧電素子４０Ａが固定基板４１Ａに固定されて構成されている。ここで、圧電素子４０Ａは、圧電材料４２ａと電極形成材料４２ｂ，４２ｃとを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材４２Ａを形成し、この圧電素子形成部材４２Ａを各圧力発生室１１に対応して櫛歯状に切り分けることによって各圧電素子４０Ａが形成されている。このような圧電素子４０Ａは、先端が振動板２３Ａ上に当接し、基端部側が固定基板４１Ａに固定されている。そして、圧電素子４０Ａの基端部近傍には、固定基板４１Ａとは反対側の面に、各圧電素子４０Ａを駆動するための信号を供給するフレキシブルプリント基板５０Ｂが接続されている。
【００４７】
ここで、フレキシブルプリント基板５０Ｂは、上述した実施形態１と同様に、ベースフィルム５２Ｂと、ベースフィルム５２Ｂの一方面側に設けられた配線層５１Ｂと、配線層５１Ｂ上を覆う絶縁層５３Ｂと、配線層５１Ｂ上に実装された駆動回路６０とで構成されている。さらにフレキシブルプリント基板５０Ｂのベースフィルム５２Ｂの駆動回路６０が実装された面とは反対側の面には、放熱層５４Ｂが設けられている。
【００４８】
また、フレキシブルプリント基板５０Ｂは、ケースヘッド８１Ａ上に設けられた回路基板７０上に設けられた接続端子７１に接続されている。なお、本実施形態では、フレキシブルプリント基板５０Ｂは、駆動回路６０が固定基板４１Ａに相対向するように配置しているが、配線や実装面の違いにより、駆動回路６０を固定基板４１Ａとは反対側の面に設けるようにしてもよい。
【００４９】
このような構成のインクジェット式記録ヘッド１０Ｂであっても、圧電素子４０Ａに接続されたフレキシブルプリント基板５０Ｂに放熱層５４Ｂを設けることで、上述した実施形態１と同様の効果を奏することができる。
【００５０】
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５１】
図６に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５２】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５３】
なお、上述した実施形態１においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  インクジェット式記録ヘッド、  ２０  アクチュエータユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室低板、  ３０  流路ユニット、  ３１  インク供給口形成基板、  ３２  リザーバ、  ３３  リザーバ形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ４０  圧電素子、  ４３  下電極膜、  ４４  圧電体層、  ４５  上電極膜、  ４６  個別接続端子、  ４７  共通接続端子、  ５０  配線基板、  ５１  配線層、  ５２  ベースフィルム、  ５３  絶縁材料、  ５４  放熱層、  ５５  保護層、  ６０  駆動回路、  ７０  回路基板
【図１】
2009166334.tif 000003
【図２】
2009166334.tif 000004
【図３】
2009166334.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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