(57)【要約】【課題】パルスモータが通常有している原点センサを利用して簡便に脱調を検出できるパルスモータの制御装置などを提供する。【解決手段】原点センサ付きのパルスモータ２の制御装置２５であって、まず、パルスモータ２の回転位置において現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔまでの間で原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置Ｐｉとし、現在位置Ｐｓから中間目標位置Ｐｉに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与えて実際に到達した位置を脱調検出位置Ｐｄとする。そして、その脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出するか否かを調べ、脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出しない場合には、パルスモータ２が脱調したと判断し、脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出した場合には、中間目標位置Ｐｉから最終目的位置Ｐｔに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
原点センサ付きのパルスモータの制御装置であって、
前記パルスモータの回転位置において現在位置から最終目的位置までの間で前記原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置とし、前記現在位置から前記中間目標位置に到達するだけのパルスを前記パルスモータに与えて実際に到達した位置を脱調検出位置とし、
その脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出するか否かを調べ、
前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出しない場合には、前記パルスモータが脱調したと判断し、
前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出した場合には、前記中間目標位置から前記最終目的位置に到達するだけのパルスを前記パルスモータに与える制御装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出しない場合には、前記パルスモータが脱調したと判断し、さらに、前記パルスモータの回転位置を所定の初期位置に戻し、その初期位置を新たな現在位置として、前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出するか否かを調べるまでの制御動作を繰り返す制御装置。
【請求項３】
原点センサ付きのパルスモータを駆動源とする可動機構と、
前記パルスモータを制御するための請求項１または２に記載の制御装置とを備えた蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】
原点センサ付きのパルスモータの制御をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記パルスモータの回転位置において現在位置から最終目的位置までの間で前記原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置とし、前記現在位置から前記中間目標位置に到達するだけのパルスを前記パルスモータに与えて実際に到達した位置を脱調検出位置とする第１ステップと、
前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出するか否かを調べる第２ステップと、
前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出しない場合に、前記パルスモータが脱調したと判断する第３ステップと、
前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出した場合に、前記中間目標位置から前記最終目的位置に到達するだけのパルスを前記パルスモータに与える第４ステップとをコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項５】
請求項４において、
前記第３ステップの次に、前記パルスモータの回転位置を所定の初期位置に戻し、その初期位置を新たな現在位置として、前記第１ステップに戻る第５ステップを設けたプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原点センサ付きのパルスモータの制御装置およびそれを備えた蛍光Ｘ線分析装置ならびに原点センサ付きのパルスモータの制御用プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、種々の可動機構において駆動源としてパルスモータ（ステッピングモータ）が広く用いられている（例えば、特許文献１、２参照）。パルスモータの回転軸には、通常、１回転中の基準となる位置である原点を検出する原点センサ（ＯＲＧセンサ）が実装されており、パルスモータを原点に復帰させる際などに利用される。
【０００３】
パルスモータを現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔまで回転させる場合の従来の制御の一例を図５に示す。下側は、縦軸を回転速度、横軸を回転位置として、パルスモータの回転速度の変化を示している。上側は、縦軸を原点センサによる原点検出電圧、横軸を下側と共通の回転位置として、原点検出信号の有無を示しており、検出電圧ありのＯＮで検出、検出電圧なしのＯＦＦで非検出である。横軸であるパルスモータの回転位置は、１回転でもとに戻る角度位置を直線状に延ばして表示したもので、パルスモータに与えられるパルス数に対応する。パルスモータ１回転は、この例では１０００パルスに対応し、横軸方向の長さｃで表される。
【０００４】
現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔに到達するのに必要なパルス数は既知であるので、それだけのパルスをパルスモータに与える。図５の下側の回転速度の変化に示したように、等速で駆動する領域の前後に、加速領域と減速領域があり、減速領域の最後で停止して最終目的位置Ｐｔに到達するはずである。
【特許文献１】特開２００４−１７７３０２号公報
【特許文献２】特開２００７−１２９８１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、加速領域において可動機構の摺動部がなめらかに動作しなかったような場合、パルスを送ってもパルスモータが回転できず、その結果、最終目的位置Ｐｔに到達する前に停止することがある。これがいわゆる脱調（同期外れ、step out）である。パルスモータの回転位置を常時監視しないオープンループ制御では、脱調したことを検出できないため、そのまま可動機構が組み込まれた装置全体の動作が続行されてしまい、様々な弊害を引き起こす。
【０００６】
この問題を回避するために、パルスモータにエンコーダを取り付けてパルスモータの回転位置を常時監視すること、すなわちクローズドループ制御を行うことが考えられるが、これでは、装置全体の複雑化、コストアップを招来してしまう。
【０００７】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、パルスモータが通常有している原点センサを利用して簡便に脱調を検出できるパルスモータの制御装置およびそれを備えた蛍光Ｘ線分析装置、ならびに同様に簡便に脱調を検出できるパルスモータの制御用プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明の第１構成の制御装置は、原点センサ付きのパルスモータの制御装置であって、まず、前記パルスモータの回転位置において現在位置から最終目的位置までの間で前記原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置とし、前記現在位置から前記中間目標位置に到達するだけのパルスを前記パルスモータに与えて実際に到達した位置を脱調検出位置とする。そして、その脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出するか否かを調べる。そしてさらに、前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出しない場合には、前記パルスモータが脱調したと判断し、前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出した場合には、前記中間目標位置から前記最終目的位置に到達するだけのパルスを前記パルスモータに与える。
【０００９】
第１構成のパルスモータの制御装置では、エンコーダなどを新たに用いることなく、パルスモータが通常有している原点センサを利用する。具体的には、原点センサが原点を検出すべき位置であって最終目的位置の直前である中間目標位置を目指してパルスモータを一旦駆動し、実際に到達した脱調検出位置において原点を検出できるか否かによって脱調を検出する。したがって、パルスモータを含む装置全体の複雑化、コストアップを招来することなく、簡便にパルスモータの脱調を検出することができる。
【００１０】
第１構成の制御装置において、前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出しない場合には、前記パルスモータが脱調したと判断し、さらに、前記パルスモータの回転位置を所定の初期位置に戻し、その初期位置を新たな現在位置として、前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出するか否かを調べるまでの制御動作を繰り返してもよい。
【００１１】
本発明の第２構成の蛍光Ｘ線分析装置は、原点センサ付きのパルスモータを駆動源とする可動機構と、前記パルスモータを制御するための前記第１構成の制御装置とを備えている。第２構成の蛍光Ｘ線分析装置によっても、パルスモータを含む蛍光Ｘ線分析装置全体の複雑化、コストアップを招来することなく、簡便にパルスモータの脱調を検出することができる。
【００１２】
本発明の第３構成は、原点センサ付きのパルスモータの制御をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、以下の各ステップをコンピュータに実行させる。まず、前記パルスモータの回転位置において現在位置から最終目的位置までの間で前記原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置とし、前記現在位置から前記中間目標位置に到達するだけのパルスを前記パルスモータに与えて実際に到達した位置を脱調検出位置とする第１ステップ。次に、前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出するか否かを調べる第２ステップ。さらに、前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出しない場合に、前記パルスモータが脱調したと判断する第３ステップと、前記脱調検出位置で前記原点センサが原点を検出した場合に、前記中間目標位置から前記最終目的位置に到達するだけのパルスを前記パルスモータに与える第４ステップ。第３構成のプログラムによっても第１構成の制御装置と同様の作用効果が得られる。
【００１３】
第３構成のプログラムにおいて、前記第３ステップの次に、前記パルスモータの回転位置を所定の初期位置に戻し、その初期位置を新たな現在位置として、前記第１ステップに戻る第５ステップを設けてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の第１実施形態であるパルスモータの制御装置、それを備えた第２実施形態である蛍光Ｘ線分析装置、第１実施形態の制御装置が有するコンピュータに制御を実行させるための、第３実施形態であるプログラムについて、図にしたがって説明する。
【００１５】
まず、第２実施形態である蛍光Ｘ線分析装置について説明する。図３に示すように、この装置は、波長分散型で走査型の蛍光Ｘ線分析装置であって、パルスモータ２を駆動源とする可動機構１を複数備え、パルスモータ２の回転を位置制御用ＩＣ４で制御することにより、試料１４に１次Ｘ線１３を照射して発生する蛍光Ｘ線などの２次Ｘ線１５の強度を測定する。
【００１６】
複数の可動機構１とは、試料交換機構６におけるＸ移動機構１ＡおよびＹ移動機構１Ｂ、試料位置決め機構７におけるｒ位置決め機構１Ｃおよびθ位置決め機構１Ｄ、１次フィルタ交換機構１Ｅ、ダイアフラム交換機構１Ｆ、発散スリット交換機構１Ｇ、ならびに、分光素子と検出器との連動機構８におけるθ軸駆動機構１Ｈおよび２θ軸駆動機構１Ｉの９つである。各可動機構１Ａ，１Ｂ…の具体的構成については様々に構成できるので、模式的に図示している。各可動機構１Ａ，１Ｂ…は、駆動源として１つずつパルスモータ２Ａ，２Ｂ…を有している。
【００１７】
試料交換機構６におけるＸ移動機構１ＡおよびＹ移動機構１Ｂは、例えば、縦横（Ｙ方向およびＸ方向）に多数配置された試料（図示せず）のうち、所望の１つを１次Ｘ線１３が照射される分析位置（図３の試料１４の位置）へ搬送するために、試料（または試料を保持する試料ホルダ）を把持するチャックを所望の試料の直上までパルスモータ２Ｂ，２Ａの回転により移動させる縦移動台および横移動台である。試料位置決め機構７におけるｒ位置決め機構１Ｃおよびθ位置決め機構１Ｄは、試料１４における所望の部位が測定されるように試料１４をパルスモータ２Ｃ，２Ｄの回転により位置決めするもので、例えば、ｒθテーブルにおけるｒ方向の駆動手段およびθ方向（後述する分光素子１８への入射角θとは無関係である）の駆動手段である。
【００１８】
１次フィルタ交換機構１Ｅは、例えば、材質または厚みが相異なる複数の１次フィルタを周方向に配置した円板をパルスモータ２Ｅで回転させて、Ｘ線管１１と試料１４との間のＸ線光路に位置する１次フィルタ１２を選択するものである。これに限らず、複数の１次フィルタを直線状に配置した長板をボールねじやベルトを介してパルスモータ２Ｅで長手方向に進退させて、１次フィルタ１２を選択してもよい。ダイアフラム交換機構１Ｆは、例えば、孔径が相異なる複数の視野制限用ダイアフラム（試料表面において検出器が見込む面積を決めるもの）を周方向に配置した円板をパルスモータ２Ｆで回転させて、試料１４と発散スリット１７との間のＸ線光路に位置するダイアフラム１６を選択するものである。発散スリット交換機構１Ｇは、例えば、分解能が相異なる複数の発散スリットを周方向に配置した円板をパルスモータ２Ｇで回転させて、ダイアフラム１６と分光素子１８との間のＸ線光路に位置する発散スリット１７を選択するものである。
【００１９】
分光素子と検出器との連動機構８は、検出器２１（前部に受光スリット２０を有している）に入射する２次Ｘ線１９の波長が変化するように分光素子１８と検出器２１とを連動させる、いわゆるゴニオメータである。すなわち、２次Ｘ線１５がある入射角θで分光素子１８へ入射すると、その２次Ｘ線１５の延長線２２と分光素子１８で分光（回折）された２次Ｘ線１９は入射角θの２倍の分光角２θをなすが、連動機構８は、分光角２θを変化させて分光される２次Ｘ線１９の波長を変化させつつ、その分光された２次Ｘ線１９が検出器２１に入射し続けるように、分光素子１８を、その受光面の中心を通る紙面に垂直な軸心Ｏを中心に回転させ、その回転角の２倍だけ、検出器２１を、軸心Ｏを中心に円２３に沿って回転させる。
【００２０】
より具体的には、軸心Ｏが分光素子１８の受光面を通るように分光素子１８が取り付けられるθ軸を、連動機構８のθ軸駆動機構１Ｈで回転させ、θ軸と軸心Ｏが共通で検出器２１が取り付けられる２θ軸を、θ軸の回転角の２倍だけ連動機構８の２θ軸駆動機構１Ｉで回転させる。θ軸駆動機構１Ｈ、２θ軸駆動機構１Ｉは、それぞれパルスモータ２Ｈ，２Ｉで駆動する。
【００２１】
以上の可動機構１Ａ，１Ｂ…のパルスモータ２Ａ，２Ｂ…の回転を、ドライバ基板９に実装された各パルスモータ専用のドライバ３Ａ，３Ｂ…を経由して、位置制御用ＩＣ４で制御することにより、所望の試料１４を選択し、その試料１４の所望の部位を位置決めし、Ｘ線管１１から発生したＸ線を適切な１次フィルタ１２に通過させて１次Ｘ線１３とし、その１次Ｘ線１３を試料１４に照射して発生する２次Ｘ線１５を適切なダイアフラム１６および発散スリット１７に通過させ、２次Ｘ線１５の波長を分光素子１８で走査して強度を検出器２１で測定する。その部位の測定が終了すれば、他の所望の部位を測定し、その試料１４の測定が終了すれば、他の所望の試料に交換し、以上の作業を繰り返す。
【００２２】
ここで、位置制御用ＩＣ４は、各パルスモータ２Ａ，２Ｂ…専用に、パルスモータ２と同じ数だけ、つまり９つ設けてもよいが、この第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置のように、位置制御用ＩＣをパルスモータに動的に割り当てる制御手段を備えることにより、位置制御用ＩＣの数をパルスモータの数よりも少なくしてもよい。つまり、試料１４の交換からその試料１４の測定終了までの１工程において、すべてのパルスモータ２が動作（回転）し続けるわけではないので、同時に動作するパルスモータ２の最大数と同じ数だけ位置制御用ＩＣ４を備え、各位置制御用ＩＣ４Ａ，４Ｂ…が制御するパルスモータ２を固定せずに、動作すべきパルスモータ２に対して、そのとき使用されていない位置制御用ＩＣ４を制御手段５で適宜割り当てて制御することができる。制御手段５は、回路素子であるＭＰＵ（Micro Processing Unit ）およびそれを機能させるソフト（プログラム）で構成される。
【００２３】
制御手段５は、位置制御用ＩＣの動的割り当てのために以下のような処理を行う。まず、位置制御用ＩＣ４を資源として扱って排他処理を行い、割り当てた位置制御用ＩＣ４を解放するまで他に割り当てられないようにする。次に、割り当てた位置制御用ＩＣ４に、制御すべきパルスモータ２の初期パラメータ（そのパルスモータ２を有する可動機構１に応じた自起動速度、加減速条件、最高速度など）を設定する。そして、その初期パラメータにしたがって、可動機構１が所定の状態（位置）まで駆動するように、パルスモータ２を制御して動作させる。個々の制御を終了する際には、その制御での割り当て関係を解消し、使用していた位置制御用ＩＣ４を次回の割り当ての候補として解放する。その際、制御していたパルスモータ２の回転位置（パルスモータ２で駆動した結果の可動機構１の状態、位置）は記憶しておくので、パルスモータ２に位置制御用ＩＣ４を割り当てるたびに、そのパルスモータ２を有する可動機構１を初期化する（所定の機械的な初期状態に戻す）必要はない。
【００２４】
この実施形態の装置では、同時に動作するパルスモータ２の最大数は、試料１４のある部位を測定中の、１次フィルタ交換機構１Ｅのパルスモータ２Ｅ、ダイアフラム交換機構１Ｆのパルスモータ２Ｆ、θ軸駆動機構１Ｈのパルスモータ２Ｈ、２θ軸駆動機構１Ｉのパルスモータ２Ｉの５つであるが、前述したように連動機構８におけるθ軸と２θ軸は回転角が１：２の関係であるので、パルスモータ２Ｈとパルスモータ２Ｉは、共通する入力パルスで連動させることができ、つまり、単一の位置制御用ＩＣ４で制御できる。したがって、位置制御用ＩＣ４をさらに１つ減らして、４つの位置制御用ＩＣ４Ａ〜４ＤをＩＯボード（基板）１０に実装すれば足りる。なお、共通する入力パルスで連動するのであれば、３つ以上のパルスモータに対しても、単一の位置制御用ＩＣを割り当てることができる。
【００２５】
ところで、第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置のパルスモータ２は、いずれも原点センサ付きであり、上述の制御手段５、位置制御用ＩＣ４およびドライバ３が、これらのパルスモータ２を制御するための制御装置２５を構成しており、原点センサからの原点検出信号（原点検出電圧）は、制御装置２５に届くように構成されている。この原点センサ付きのパルスモータの制御装置２５は、それ自体が本発明の第１実施形態であり、図５と同様に描いた図１にしたがって説明すると、まず、パルスモータ２の回転位置において現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔまでの間で原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置Ｐｉとし、現在位置Ｐｓから中間目標位置Ｐｉに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与えて実際に到達した位置を脱調検出位置Ｐｄとする。
【００２６】
そして、その脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出するか否かを調べる。そしてさらに、脱調検出位置Ｐｄが例えば図１中Ｐｄ１で示す位置で原点センサが原点を検出しない場合には、パルスモータ２が脱調したと判断し、脱調検出位置Ｐｄが図１中Ｐｄ２で示す位置、すなわち中間目標位置Ｐｉに一致する位置で原点センサが原点を検出した場合には、中間目標位置Ｐｉから最終目的位置Ｐｔに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与える。より詳細な動作については、プログラムの説明として次述する。
【００２７】
この制御装置２５に含まれる制御手段５は、前述したように、回路素子であるＭＰＵすなわちコンピュータと、そのコンピュータに原点センサ付きのパルスモータ２の制御を実行させるためのプログラムで構成されるが、このプログラムは、それ自体が本発明の第３実施形態であり、図２のフローチャートに示すように、以下のステップＳ１〜Ｓ４をコンピュータに実行させる。
【００２８】
まず、第１ステップＳ１で、中間目標位置Ｐｉを目指してパルスモータ２を駆動する。具体的には、図１に示すように、パルスモータ２の回転位置において現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔまでの間で原点センサが原点を検出すべき位置のうち最後の位置を中間目標位置Ｐｉとし、現在位置Ｐｓから中間目標位置Ｐｉに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与えて実際に到達した位置を脱調検出位置Ｐｄとする。
【００２９】
前述したように現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔに到達するのに必要なパルス数は既知であり、現在位置Ｐｓと原点センサが原点を検出すべき位置との位置関係も既知であるので、現在位置Ｐｓから中間目標位置Ｐｉに到達するのに必要なパルス数も既知となり、後述する第４ステップＳ４での中間目標位置Ｐｉから最終目的位置Ｐｔに到達するのに必要なパルス数も既知となる。なお、原点センサが原点を検出すべき位置は、図１の上側において検出電圧ありのＯＮの部分が横向きの短い線分で表されるように、わずかながら幅をもっている。また、現在位置Ｐｓから最終目的位置Ｐｔまでの間に原点センサが原点を検出すべき位置が１つも存在しない場合には、本発明は適用できないことになるが、そのような粗い制御が設定されることは実際にはほとんどない。
【００３０】
図２における次の第２ステップＳ２では、脱調検出位置Ｐｄで原点センサが原点を検出するか否かを調べる。第２ステップＳ２で原点センサが原点を検出しない場合には、つまり脱調検出位置Ｐｄが例えば図１中Ｐｄ１で示す位置で原点センサが原点を検出しない場合には、図２の第３ステップＳ３へ進み、パルスモータ２が脱調したと判断して、その旨を表示手段（図示せず）に表示させる。このようなエラー表示に代えてまたはエラー表示と併せて音声による警報などを発してもよい。第３ステップＳ３よりも後の処置は、操作者に委ねられる。
【００３１】
一方、第２ステップＳ２で原点センサが原点を検出した場合には、つまり脱調検出位置Ｐｄが図１中Ｐｄ２で示す位置、すなわち中間目標位置Ｐｉに一致する位置で原点センサが原点を検出した場合には、図２の第４ステップＳ４へ進み、最終目的位置Ｐｔを目指してパルスモータ２を駆動する。具体的には、図１に示す中間目標位置Ｐｉから最終目的位置Ｐｔに到達するだけのパルスをパルスモータ２に与える。第４ステップＳ４での駆動は、第１ステップＳ１での駆動で脱調が起こらなかった場合の直後の駆動であるので、第４ステップＳ４での駆動で脱調が起こることはほとんどなく、ほぼ確実に最終目的位置Ｐｔに到達する。
【００３２】
以上のように図２のフローチャートを用いて第３実施形態のプログラムを説明したが、その変形例として、図４のフローチャートに示すように、以下のステップＳ１〜Ｓ５をコンピュータに実行させるプログラムも考えられる。
【００３３】
この変形例のプログラムについては、第３ステップＳ３の次に第５ステップＳ５を設けた点以外は、図２で示したプログラムと同じであるので、異なる点のみを説明する。図２で示したプログラムでは、第３ステップＳ３よりも後の処置は、操作者に委ねられたところ、図４に示す変形例のプログラムでは、第５ステップＳ５に進み、パルスモータ２を初期化駆動する。具体的には、パルスモータ２の回転位置を所定の初期位置に戻し、その初期位置を新たな現在位置Ｐｓとする。そして、第１ステップＳ１に戻る。つまり、第３ステップＳ３の後、第５ステップＳ５を経て、再度、第１ステップＳ１、第２ステップＳ２をコンピュータに実行させる。ここで、パルスモータ２の所定の初期位置とは、前述したようにパルスモータ２を有する可動機構１が初期化されて所定の機械的な初期状態に戻る回転位置であり、リミットセンサなどを用いて検出される。なお、無限ループに陥ることを回避するために、第１ステップＳ１および第２ステップＳ２の繰り返し回数をあらかじめ設定しておき、所定回数繰り返したら、第３ステップＳ３の後に制御を停止して、その後の処置を操作者に委ねるようにしてもよい。また、第３ステップＳ３で脱調したと判断した場合のその旨の表示や警報は、その後第４ステップＳ４に進んだ場合には、解除される。
【００３４】
以上のように、第３実施形態のプログラム、そのプログラムを含む第１実施形態の制御装置、その制御装置を備えた第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置では、エンコーダなどを新たに用いることなく、パルスモータ２が通常有している原点センサを利用する。具体的には、原点センサが原点を検出すべき位置であって最終目的位置Ｐｔの直前である中間目標位置Ｐｉを目指してパルスモータ２を一旦駆動し、実際に到達した脱調検出位置Ｐｄにおいて原点を検出できるか否かによって脱調を検出する。したがって、パルスモータ２を含む装置全体、例えば第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置全体の複雑化、コストアップを招来することなく、簡便にパルスモータ２の脱調を検出することができる。
【００３５】
なお、第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置において、第３実施形態のプログラムによって制御されるパルスモータ２は、いずれの可動機構１が有するパルスモータ２でもよく、複数のパルスモータ２の一部でも全部でもよい。駆動源としてパルスモータを有する可動機構についても、第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置では可動機構１Ａ〜１Ｉを例示したが、本発明の蛍光Ｘ線分析装置ではこれらに限定されない。また、第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置として、波長分散型で走査型の蛍光Ｘ線分析装置であって、試料１４に下方から１次Ｘ線１３を照射する下面照射型の装置を例示したが、本発明の蛍光Ｘ線分析装置はこれに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】パルスモータを現在位置から最終目的位置まで回転させる場合の本発明による制御の一例を示す図である。
【図２】本発明によるプログラムのフローチャートの一例である。
【図３】本発明の第２実施形態である蛍光Ｘ線分析装置を示す概略図である。
【図４】本発明によるプログラムのフローチャートの別の例である。
【図５】パルスモータを現在位置から最終目的位置まで回転させる場合の従来の制御の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  可動機構
２  原点センサ付きのパルスモータ
２５  制御装置
Ｐｄ  脱調検出位置
Ｐｉ  中間目標位置
Ｐｓ  現在位置
Ｐｔ  最終目的位置
【図１】
2009033822.tif 000003
【図２】
2009033822.tif 000004
【図３】
2009033822.tif 000005
【図４】
2009033822.tif 000006
【図５】
2009033822.tif 000007