(57)【要約】【課題】吐出口におけるインクの吐出性能を確保しつつ、吐出口面を高精度に形成することができるインクジェット記録ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録ヘッドを提供すること。【解決手段】基板から切り出されたノズルチップ部１０３には、吐出口１１２を閉塞する延長部分１１６が形成されており、その延長部分１１６を研磨することによって、吐出口１１２が開口される。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口からインクを吐出可能なノズルチップを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記吐出口を閉塞する研磨予定部分が存在するように、前記ノズルチップを基板に形成する形成工程と、
前記基板を切断することにより、前記研磨予定部分が存在したままの前記ノズルチップを前記基板から切り出す切断工程と、
前記基板から切り出された前記ノズルチップの前記研磨予定部分を研磨して、前記吐出口を開口させる研磨工程と、
を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記研磨工程によって、前記吐出口が形成される吐出口面の位置まで前記研磨予定部分が研磨されたときに、前記吐出口が開口することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記研磨工程によって、前記吐出口が形成される吐出口面の位置の手前まで前記研磨予定部分が研磨されたときに、前記吐出口が開口することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記形成工程は、前記基板上の前記ノズルチップに流体流路を形成する工程を含み、
前記流体流路は、前記研磨予定部分によって少なくとも一部分が閉塞され、かつ前記研磨工程による前記研磨予定部分の研磨の進行に伴って開口の程度が変化する開口部を有し、
前記研磨工程は、当該研磨工程の進行状況を確認するために、前記流体流路内に導入した加圧流体の圧力または流量の少なくとも一方の変化を検出する工程を含む
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記流体流路は、前記吐出口に連通するインク流路であることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記流体流路は、前記吐出口に連通するインク流路とは別の流路であり、
前記流体流路の前記開口部は、前記研磨工程による前記研磨予定部分の研磨の進行に伴って、開口の程度が大きくなる
ことを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記流体流路の前記開口部は、前記研磨工程による前記研磨予定部分の研磨の進行に伴って、開口の程度が段階的に大きくなる
ことを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記形成工程は、前記基板上に少なくとも２つの前記ノズルチップを形成し、
前記２つのノズルチップは、それぞれの前記吐出口が向かい合い、かつそれぞれの前記研磨予定部分が一体となるように形成され、
前記切断工程は、前記２つのノズルチップの前記研磨予定部分を分断する工程を含む
ことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記形成工程は、前記基板上に形成したノズル壁の上面に天板を接合することにより、前記吐出口に連通するインク流路を形成し、
前記研磨予定部分は、前記ノズル壁と同一材料により形成される
ことを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
インクを吐出口な吐出口を閉塞する研磨予定部分を研磨することによって、前記吐出口が開口されるインクジェット記録ヘッドであって、
前記吐出口が形成される吐出口面上に開口する一端部と、加圧流体を導入可能な他端部と、を有する流体流路を備え、
前記流体流路は、前記一端部の開口の程度に応じて、当該流体流路内に導入した前記加圧流体の圧力または流量の少なくとも一方を変化させることが可能である
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出口からインクを吐出可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、低騒音、低ランニングコストであって、装置の小型化および記録画像のカラー化も容易である。このような観点から、インクジェット記録装置は、プリンタ、複写機、ファクシミリ等の機能を有する記録装置、あるいはコンピュータやワードプロセッサ等を含む複合型電子機器やワークステーションなどの出力機器として、広く用いられている。
【０００３】
また、記録情報に基づいて、紙、布、プラスチックシート、ＯＨＰ用シート等の種々の記録媒体に画像を記録するインクジェット記録装置も普及している。特に、産業用のインクジェット記録装置においては、記録に用いられる記録媒体が多種多様であり、これらの記録媒体の材質に対する要求も様々である。近年では、これらの要求に対応する開発が進み、通常の記録媒体としての紙や樹脂薄板などの他に、布、皮革、不織布、更には、金属等をも記録媒体として用いる記録装置も使用されるようになっている。
【０００４】
インクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドには、吐出口からインクを吐出するためのエネルギーを発生する種々の吐出エネルギー発生素子として、電気熱変換素子（ヒータ）やピエゾ素子などが用いられている。特に、吐出エネルギー発生素子として電気熱変換素子を用いる記録ヘッドは、高密度のマルチノズル化を比較的容易に実現して、高解像度かつ高画質の画像の高速記録を可能とする。この記録ヘッドは、吐出口に連通するインク流路内に電気熱変換素子が備えられており、その電気熱変換素子は、記録信号に応じた電力が供給されることにより発熱する。その発熱によってインク流路内のインクを発泡させ、その発泡エネルギーを利用して吐出口からインクを吐出することができる。
【０００５】
インクジェット記録ヘッドの吐出口および吐出エネルギー発生素子を含む部分はチップ状に構成されており、そのチップ（ヘッドチップ）は、半導体プロセスにより１つの基板上に複数形成されてから、１つずつ切り出される。１つのヘッドチップにおける複数の吐出口は、同一の平面（吐出口面）上に列状に形成されている。
【０００６】
従来、複数のヘッドチップが形成された１つの基板から、ヘッドチップを１つずつ切り出す際には、特許文献１に記載されているように、それぞれのヘッドチップにおける吐出口面に沿うように基板が切断される。したがって、その切断と同時に、それぞれのヘッドチップにおける吐出口が開口することになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ヘッドチップを切り出す際の基板の切断工程においては、切断装置の切断歯のうねりなどの影響によって、切断後の吐出口面が不均一になるおそれがある。その場合には、研磨工程によって、切断後の吐出口面を研磨する必要がある。
【０００８】
特許文献１に記載されているように、基板の切断と同時に吐出口が開口した場合には、切断工程において切りくずなどの異物が吐出口内に入り込むおそれがある。また切断工程後の研磨工程においては、研磨カスや研磨材などの異物が吐出口内に入り込むおそれがある。このように吐出口内に異物が入り込んだ場合には、吐出口からインクの吐出性能が損なわれるおそれがある。
【０００９】
また研磨工程においては、例えば、先の切断工程によって切断された切断面と、吐出エネルギー発生素子としての電気熱変換素子と、の間の距離を測定し、その測定結果に応じて研磨作業時間を設定する必要がある。また、そのような測定を研磨作業中に実施することは困難であり、研磨工程の終了後に、その測定を実施して仕上がりを確認する必要がある。近年、バーコードや写真等を高速記録可能なインクジェット記録装置が求められており、そのためには、複数の吐出口からのインクの吐出状況を精度よく一定とする必要がある。例えば、吐出エネルギー発生素子としての電気熱変換素子を用いる場合には、その電気熱変換素子と吐出口面との間の距離の精度よく一定に設定する必要がある。また、吐出口面をより平滑に形成して、その面精度をより高くすることが必要となる。
【００１０】
また研磨工程において、記録ヘッドの長さなどに応じて研磨部材に掛かる負荷や抵抗が異なるため、研磨量を研磨作業時間に応じて設定する場合には、記録ヘッドの長さなどに対応する異なる条件に基づいて、その研磨作業時間を細かく設定する必要がある。その研磨作業時間が若干でもずれた場合には、吐出口面の形成位置や面精度にバラツキが生じるおそれがある。
【００１１】
本発明の目的は、吐出口におけるインクの吐出性能を確保しつつ、吐出口面を高精度に形成することができるインクジェット記録ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、吐出口からインクを吐出可能なノズルチップを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記吐出口を閉塞する研磨予定部分が存在するように、前記ノズルチップを基板に形成する形成工程と、前記基板を切断することにより、前記研磨予定部分が存在したままの前記ノズルチップを前記基板から切り出す切断工程と、前記基板から切り出された前記ノズルチップの前記研磨予定部分を研磨して、前記吐出口を開口させる研磨工程と、を含むことを特徴とする。
【００１３】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出口な吐出口を閉塞する研磨予定部分を研磨することによって、前記吐出口が開口されるインクジェット記録ヘッドであって、前記吐出口が形成される吐出口面上に開口する一端部と、加圧流体を導入可能な他端部と、を有する流体流路を備え、前記流体流路は、前記一端部の開口の程度に応じて、当該流体流路内に導入した前記加圧流体の圧力または流量の少なくとも一方を変化させることが可能であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、インクを吐出口な吐出口を閉塞する研磨予定部分を研磨することによって、吐出口を開口させるため、その研磨の前の切断工程において研磨予定部分を切断したとしても吐出口は開口しない。したがって、切断工程時に吐出口内に一部が侵入する事態を回避して、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造することができる。
【００１５】
また、研磨予定部分によって開口部の少なくとも一部が閉塞される流体流路を備えて、その開口部の開口の程度に応じて、その流体流路内の加圧流体の圧力または流量の少なくとも一方を変化させることにより、研磨予定部分の研磨状況を確認することができる。したがって、切断装置や研磨装置の能力に左右されることなく、研磨量を正確に制御して、吐出口が形成される吐出口面を高精度に形成することができる。この結果、個々の記録ヘッドの性能のばらつきを小さく抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の実施形態であるインクジェット記録ヘッド１０１の斜視図である。
【００１７】
本例の記録ヘッド１０１は、ヘッドユニットとしてユニット化されており、記録ヘッドの制御部１０２と、ノズルチップ部１０３と、インク供給部１０４と、ベースプレート１０５と、接続部品１０６と、を含む。ノズルチップ部１０３には、後述するように複数のノズルが配列されており、ノズルのピッチは記録解像度に応じて設定されている。インク供給部１０４は、ノズルチップ部１０３内にインクを供給する部位であり、ノズル内に生じた気泡を移動させる機能もある。インク供給部１０４には、記録装置本体のインク供給系と接続可能な供給口２０９，２１０が備えられている。これらの供給口２０９，２１０に、記録装置本体のインク供給系からポンプによってインクが導入されることにより、ノズルチップ部１０３にインクが供給される。また、供給口２０９からノズルチップ部１０３内に供給されたインクは、供給口２１０から記録装置本体のインク供給系に戻すことができ、これにより、ノズルチップ部１０３を通してインクを循環させることができる。そのインクの循環経路中において、インク中に残留する気泡を除去することができる。
【００１８】
ベースプレート１０５は、ノズルチップ部１０３を固定・保持するための部材であり、ノズルチップ部１０３から発生する熱を逃がす役割も担っている。接続部品１０６は、記録ヘッド１０１を記録装置本体に搭載するための部品である。
【００１９】
図２は、記録ヘッド１０１におけるノズルチップ部１０３の一部切欠きの拡大斜視図である。
【００２０】
ノズルチップ部１０３には、複数のノズル壁１０８が形成されたベース１１５と、それらのノズル壁１０８の上面に接合される天板１０９と、が備えられている。ベース１１５と天板１０９との間には、ノズル壁１０８によって仕切られた複数のインク流路１０７が形成されている。インク流路１０７内には、共通液室を形成するインク供給路１１０からインクが供給される。インク流路１０７内には電気熱変換素子（ヒータ）１１１が備えられており、そのヒータ１１１は、制御部１０２から駆動信号が供給されることにより発熱する。このヒータ１１１の発熱によってインク流路１０７内のインクを発泡させることにより、その発泡エネルギーを利用して、インク流路１０７の開口部（吐出口）１１２からインクを吐出することができる。複数のインク流路１０７のそれぞれに対応する吐出口１１２は、吐出口面１１３上に形成されている。インク流路１０７、吐出口１１２、およびヒータ１１１を含む部分は、以下、「ノズル」ともいう。
【００２１】
インク流路１０７の内部には、金属もしくは樹脂により形成された可動体１１４が備えられている。この可動体１１４の先端部分は櫛歯状に形成されており、それらの先端部分がインク流路１０７内に位置するように、可動体１１４の基端部分がインク供給路１１０内に固定されている。その可動体１１４の基端部分には、複数の穴１１４Ａが形成されている。ヒータ１１１の上方に位置する可動体１１４の自由端部は、ヒータ１１１の発熱によってインクが発泡した際に上方に押し上げられる。これにより可動体１１４は、インク中の気泡の成長方向を吐出口１１２の方向に規制して、効率よくインクを吐出することができる。また、インク流路１０７内に生じる微細な気泡もインクと共に吐出口から排出することもできる。これにより、インク流路１０７内に微細な気泡が残存した場合の悪影響、つまりインクの不吐出が生じたり、インクの吐出方向がずれたりすることによる記録画像への悪影響を回避することができる。
【００２２】
図３は、ノズル壁１０８が形成されたベース１１５の平面図であり、可動体１１４の図示は省略されている。
【００２３】
このようなノズルチップ部１０３は、図４のように、半導体プロセスにより１つのベース（基板）１１５上に複数形成されてから、１つずつ切り出される。図４においては、ノズルチップ部１０３内のノズル部分を実線によって現している。本例の場合、２つのノズルチップ部１０３は、それらの吐出口同士が向かい合うように形成されており、それらのノズルチップ部１０３のベース１１５は共通化され、また、それらの天板１０９も共通化されている。それらのノズルチップ部１０３は、切断ラインＬ０に沿って切断装置の切断歯（不図示）により切断されることによって、互いに切り離される。Ｗ０は、その切断歯による切断幅である。切断後のノズルチップ部１０３は、後述するように、吐出口面１１３が形成される研磨ラインＬ１まで研磨される。Ｗ１は、切り出される前の２つのノズルチップ部１０３における研磨ラインＬ１同士の間の幅であり、切断幅Ｗ０よりも大きい。ベース１１５と天板１０９との間における幅Ｗ１の範囲は、ノズル壁１０８と同一材料によって、ノズル壁１０８の延長部分（研磨予定部分）１１６が形成されている。そのため、この延長部分１１６によって開口部は閉塞されている。
【００２４】
したがって、図５Ａのように、ノズルチップ部１０３を切断ラインＬ０に沿って切り出したときには、延長部分１１６によって吐出口は閉塞されたままであり、その吐出口は形成されない。したがって、このような切断工程においては、切りくずなどの異物が吐出口内に入り込むおそれは全くない。
【００２５】
本例の場合は、２つのノズルチップ部１０３が図４中の上下対称的に形成されている。つまり、それぞれの吐出口が向かい合い、かつそれぞれの延長部分１１６が一体となるように形成されている。したがって、切断工程においては、それら２つのノズルチップ部１０３の延長部分１１６が分断されることになる。
【００２６】
その後、図５Ｂのように、ノズルチップ部１０３を研磨ラインＬ１まで研磨することにより、延長部分１１６が取り除かれて吐出口１１２が形成される。つまり、吐出口面１１３が形成されて、吐出口１１２が開口することになる。先の切断工程において、切断装置の切断歯のうねりなどの影響によって切断面が不均一になった場合にも、このような研磨工程により、均一な吐出口面１１３を形成して、吐出口１１２を適確に形成することができる。
【００２７】
ノズルチップ部１０３の研磨工程中においては、インク流路１０７内に、空気または水などの流体の圧力を掛けて、吐出口１１２が開口したときに、その流体の流れが生じて、その圧力が変化するようにする。したがって、その流体の流れを流量センサによって検出したり、その圧力の変化を圧力センサによって検出することにより、吐出口１１２が形成された時点を検知して、研磨作業の終了時期を最適に設定することができる。この結果、研磨量を最適に制御して、吐出口１１２を適確に形成することができる。また、研磨工程中にインク流路１０７内に流体の正圧を掛けることにより、吐出口１１２が開口したときに、その流体が吐出口１１２から外部に放出されるため、吐出口１１２内への研磨カスや研磨材などの異物の入り込みを防止することができる。
【００２８】
図６は、研磨工程において使用可能な研磨機の一例を説明するための斜視図、図７は、図６中のＶＩＩ部分の拡大図である。
【００２９】
ノズルチップ部１０３は治具４０１に固定され、その治具４０１は、ノズルチップ部１０３を研磨シート４０６に押し付けるように、シリンダー４０２によって矢印Ａ１方向に押圧される。研磨シート４０６の一端および他端は、それぞれ巻き取りローラ４０７および４０８に巻き付けられており、その研磨シート４０６の中間部分は、図中の上下方向に位置調整可能なバックアップローラ４０４に掛け渡されている。バックアップローラ４０４の両側には、研磨シート４０６に所定の張力を付与するためのテンションローラ４０５が備えられている。巻き取りローラ４０７および４０８の一方が研磨シート４０６を巻き取り、かつ他方が研磨シート４０６を繰り出すことにより、研磨シート４０６は、２つのテンションローラ４０５の間において、図中上下の矢印Ｂ方向に往復移動する。このような研磨シート４０６の往復移動に連動して、スライドユニット４０３が治具４０１を左右の矢印Ｃ方向に往復移動させる。このような動作を伴って、研磨シート４０６は、規則的な軌道を描きながらノズルチップ部１０３を研磨する。そしてノズルチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されて、研磨の終了が検出されたときに、シリンダー４０２が矢印Ａ２方向に後退して、研磨動作を終了する。
【００３０】
（第２の実施形態）
図８から図１０は、本発明の第２の実施形態を説明するための図である。
【００３１】
図８は、ノズル壁１０８が形成されたベース１１５の平面図であり、可動体１１４の図示は省略されている。本例のヘッドチップ部１０３には、インク流路１０７とは別の流体流路２０７が形成されている。その流体流路２０７は、ベース１１５と天板１０９との間に形成されており、その一端は、吐出口面１１３に開口している。２０７Ａは、吐出口面１１３における流体流路２０７の開口部である。流体流路２０７の他端は、空気や水などの流体の供給経路（不図示）に接続可能である。本例の場合、流体流路２０７は、複数の吐出口１１２の配列方向（ノズル列方向）におけるヘッドチップ部１０３の両端部の少なくとも一方に形成されている。また、ヘッドチップ部１０３における流体流路２０７の形成位置には、ノズル壁１０８およびインク流路１０７が形成されていない。
【００３２】
本実施形態においては、図８のように、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されたときに、流体流路２０７の開口部２０７Ａが吐出口面１１３に形成される。研磨される前のヘッドチップ部１０３には、図９のように、ノズル壁１０８と同一材料によってノズル壁１０８の延長部分１１６が形成されており、その延長部分１１６によって流体流路２０７の開口部２０７Ａが閉塞されている。そして図１０のように、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されたときに、流体流路２０７の開口部２０７Ａが形成される。このような研磨作業中においては、流体（空気や水など）の所定圧力を流体流路２０７内に掛けておく。したがって、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されたときに、流体流路２０７内の流体が開口部２０７Ａから放出されて、その流体流路２０７内の圧力が変化する。これにより、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されたことを検知することができる。
【００３３】
本例においては、ヘッドチップ部１０３の研磨ラインＬ１まで研磨される前に、つまり吐出口面の位置の手前まで延長部分１１６が研磨されたときに、吐出口１１２が開口する。ヘッドチップ部１０３の研磨作業中において、流体流路２０７の開口部２０７Ａよりも先に吐出口１１２が開口するように、その吐出口１１２の位置を設定してもよい。また、ヘッドチップ部１０３の研磨作業の前の切断作業において、吐出口１１２が開口するように、その吐出口１１２の位置を設定してもよい。また、ヘッドチップ部１０３の研磨作業中において、流体流路２０７の開口部２０７Ａと同時に吐出口１１２が開口するように、その吐出口１１２の位置を設定してもよい。
【００３４】
いずれにしても、流体流路２０７の開口部２０７Ａの設定位置に応じて、ヘッドチップ部１０３の研磨作業の終了時期を検知することができる。
【００３５】
（第３の実施形態）
図１１および図１２は、本発明の第３の実施形態を説明するための図である。
【００３６】
本実施形態においては、図１１のように、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨される前から、流体流路２０７は既に開口している。そして、図１２のように、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されたときに、その流体流路２０７の開口面積が増大する。すなわち、流体流路２０７には、比較的小さい断面積Ｓ０の高抵抗部２０７Ｂと、比較的大きい断面積Ｄ１の低抵抗部２０７Ｃと、が形成されており、それらの部分２０７Ｂ，２０７Ｃの境界が研磨ラインＬ１上に位置する。したがって、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されるまでは、流体流路２０７の開口面積が比較的小さい面積Ｓ０となり、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されたときは、その開口面積が比較的大きい面積Ｓ１となる。本例の場合は、ノズル列方向（図中の左右方向）における流体流路２０７の幅に応じて、断面積Ｓ０，Ｓ１が異なる大きさに設定されている。
【００３７】
ヘッドチップ部１０３の研磨作業中においては、流体（空気や水など）の所定圧力を流体流路２０７内に掛けておく。したがって、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されたときに、流体流路２０７の開口面積がＳ０からＳ１に増大して、その流体流路２０７内の圧力および流体の流量が変化する。その圧力または流量の変化を検出することにより、ヘッドチップ部１０３が研磨ラインＬ１まで研磨されたことを検知することができる。
【００３８】
本例においては、ヘッドチップ部１０３の研磨ラインＬ１まで研磨される前に、吐出口１１２が開口する。ヘッドチップ部１０３の研磨作業中において、流体流路２０７よりも先に吐出口１１２が開口するように、その吐出口１１２の位置を設定してもよい。また、ヘッドチップ部１０３の研磨作業の前の切断作業において、吐出口１１２が開口するように、その吐出口１１２の位置を設定してもよい。また、ヘッドチップ部１０３の研磨作業中において、流体流路２０７の開口面積がＳ０からＳ１に増大するときに吐出口１１２が開口するように、その吐出口１１２の位置を研磨ラインＬ１上に設定してもよい。
【００３９】
いずれにしても、流体流路２０７の開口面積の変化に基づいて、その流体流路２０７内の圧力および流体の流量が変化することを利用して、ヘッドチップ部１０３の研磨作業の終了時期を検知することができる。
【００４０】
また、流体流路２０７内の圧力は、その開口部から流体を放出する正圧のみならず、その開口部から空気などを導入する負圧であってもよく、いずれの場合にも流体流路２０７内の圧力の変化に基づいて、研磨作業の終了時期を検知することができる。また、流体流路２０７内の流体の流量の変化を検出する場合には、その流体が流れる方向は、流体流路２０７から開口部に向かって放出する方向のみならず、その開口部から空気などを流体流路２０７内に導入する方向であってもよい。また、ヘッドチップ部１０３の研磨の進行に伴って、流体流路２０７の開口面積が連続的または複数の段階的に変化するように、流体流路２０７の断面形状を連続的または複数の段階的に変化する形状としてもよい。これらの場合には、流体流路２０７内の圧力または流体の流量が変化に基づいて、研磨作業の進行状況を把握することもできる。
【００４１】
（他の実施形態）
本発明は、吐出口からインクを吐出可能なノズルチップを含む種々のインクジェット記録ヘッドの製造方法として広く適用することができる。例えば、その記録ヘッドは、いわゆるシリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置に用いられる記録ヘッド、または、いわゆるフルラインタイプのインクジェット記録装置に用いられる長尺の記録ヘッドであってもよい。
【００４２】
また、基板にノズルチップを形成する形成工程は、吐出口を閉塞する研磨予定部分が存在するように、ノズルチップを形成することができればよく、その基板上におけるノズルチップの形成数や形成形態は任意である。すなわち、基板上におけるノズルチップの形成数は１つ以上であればよく、また、複数のノズルチップの形成形態は、図４のように対称的に向かい合う形態のみに特定されず任意である。
【００４３】
また、基板を切断する切断工程は、少なくとも研磨予定部分を存在させたまま、ノズルチップを基板から切り出すことができればよく、また研磨予定部分を研磨する研磨工程は、吐出口を開口させるように研磨予定部分を研磨することができればよい。
【００４４】
また、ノズルチップに形成する流体流路は、吐出口面上に開口する一端部と、加圧流体を導入可能な他端部と、を有して、一端部の開口の程度に応じて、流体流路内に導入した加圧流体の圧力または流量の少なくとも一方を変化させることが可能であればよい。基板上のノズルチップに形成された流体流路は、研磨予定部分によって少なくとも一部分が閉塞され、かつ研磨予定部分の研磨の進行に伴って開口の程度が変化する開口部を有していればよい。研磨工程においては、流体流路内に導入した加圧流体の圧力または流量の少なくとも一方の変化を検出することにより、研磨の進行状況を確認することができる。
【００４５】
また流体流路は、吐出口に連通するインク流路であってもよく、あるいは、そのインク流路とは別の流路であってもよい。また流体流路の開口部は、研磨工程による研磨予定部分の研磨の進行に伴って、開口の程度が段階的または連続的に大きくなる形態であってもよい。
【００４６】
また、吐出口が形成される吐出口面は、インクの吐出方向に対して直交する平面とする他、インクの記録媒体に向かって吐出されたインクの着弾精度を考慮して、インクの吐出方向に対して斜めに傾斜する平面としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１の実施形態における記録ヘッドの斜視図である。
【図２】図１におけるノズルチップ部の一部切欠きの拡大斜視図である。
【図３】図２のノズルチップ部の要部の概略平面図である。
【図４】図２のノズルチップ部の切断作業前における要部の概略平面図である。
【図５】（ａ）は、図２のノズルチップ部の切断作業後における要部の概略平面図、（ｂ）は、そのノズルチップ部の研磨作業後における要部の概略平面図である。
【図６】ノズルチップ部を研磨するための研磨機の一例の説明するための概略斜視図である。
【図７】図６のＶＩＩ部分の拡大斜視図である。
【図８】本発明の第２の実施形態におけるノズルチップ部の要部の概略平面図である。
【図９】図８のノズルチップ部の研磨作業前における要部の斜視図である。
【図１０】図８のノズルチップ部の研磨作業後における要部の斜視図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態におけるノズルチップ部の研磨作業前の要部の概略平面図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態におけるノズルチップ部の研磨作業後の要部の概略平面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０１    記録ヘッド
１０３    ノズルチップ部
１０７    インク流路
１０８    ノズル壁
１０９    天板
１１１    電気熱変換素子（ヒータ）
１１２    吐出口
１１３    吐出口面
１１５    ベース（基板）
１１６    延長部分（研磨予定部分）
２０７    流体流路
２０７Ａ    開口部
２０７Ｂ    高抵抗部
２０７Ｃ    低抵抗部
Ｌ０    切断ライン
Ｌ１    研磨ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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