(57)【要約】【課題】起動開始時における慣性力センサの破壊を防止する。【解決手段】慣性力センサ１０は、駆動信号Ｓｄｒが供給されて自励振動し自励振動に対応する振動信号Ｓｏｓｃを出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。駆動回路１１は、振動信号Ｓｏｓｃに基づいて駆動信号Ｓｄｒｖを制御する。検出回路１２は、センサ信号Ｓ１０に基づいて慣性力を検出する。制御回路１４は、駆動回路１１を起動させる際、駆動回路１１の動作パラメータを設定し、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了した後に駆動回路１１を起動させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号が供給されて自励振動し前記自励振動に対応する振動信号を出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号を出力する慣性力センサと、前記慣性力センサからの振動信号に基づいて前記駆動信号を制御する駆動回路とを備える慣性力センサ装置の起動を制御する方法であって、
起動開始時に前記駆動回路の動作パラメータを設定するステップ（ａ）と、
前記駆動回路の動作パラメータの設定が完了した後または同時に前記駆動回路を起動させるステップ（ｂ）とを備える
ことを特徴とする慣性力センサ装置の起動制御方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記慣性力センサ装置は、前記振動信号を周波数基準とする動作クロックに同期して動作し前記慣性力センサからのセンサ信号に基づいて前記慣性力を検出する検出回路をさらに備え、
前記起動制御方法は、
前記駆動回路の動作が安定した後または同時に前記検出回路を起動させるステップ（ｃ）をさらに備える
ことを特徴とする慣性力センサ装置の起動制御方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記ステップ（ｂ）では、前記駆動回路の動作パラメータの設定が開始されてから予め定められた設定待ち時間が経過した後または同時に前記駆動回路を起動させ、
前記設定待ち時間は、前記駆動回路の動作パラメータの設定が完了するために要する時間に相当する
ことを特徴とする慣性力センサ装置の起動制御方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記ステップ（ｃ）では、前記設定待ち時間の経過後に予め定められた安定化時間が経過した後または同時に前記検出回路を起動させ、
前記安定化時間は、前記駆動回路の動作が安定するまでに要する時間に相当する
ことを特徴とする慣性力センサ装置の起動制御方法。
【請求項５】
駆動信号が供給されて自励振動し前記自励振動に対応する振動信号を出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号を出力する慣性力センサと、
前記慣性力センサからの振動信号に基づいて前記駆動信号を制御する駆動回路と、
起動開始時に前記駆動回路の動作パラメータを設定し前記駆動回路の動作パラメータの設定が完了した後または同時に前記駆動回路を起動させる制御回路とを備える
ことを特徴とする慣性力センサ装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記制御回路は、
前記駆動回路の動作パラメータを設定するパラメータ制御部と、
前記パラメータ制御部による動作パラメータの設定開始に応答して経過時間の計時を開始するカウンタと、
前記カウンタによって計時された経過時間に基づいて前記駆動回路を起動させる起動制御部とを含む
ことを特徴とする慣性力センサ装置。
【請求項７】
請求項５において、
前記振動信号を周波数基準とする動作クロックに同期して動作し、前記慣性力センサからのセンサ信号に基づいて前記慣性力を検出する検出回路をさらに備え、
前記制御回路は、前記駆動回路の動作が安定した後または同時に前記検出回路を起動させる
ことを特徴とする慣性力センサ装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記制御回路は、
前記駆動回路の動作パラメータを設定するパラメータ制御部と、
前記パラメータ制御部による動作パラメータの設定開始に応答して経過時間の計時を開始するカウンタと、
前記カウンタによって計時された経過時間に基づいて前記駆動回路および前記検出回路のそれぞれを起動させる起動制御部とを含む
ことを特徴とする慣性力センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、外部から与えられた慣性力を検知する慣性力センサを備える慣性力センサ装置に関し、さらに詳しくは、慣性力センサ装置の起動制御に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、慣性力（例えば、角速度や加速度など）を検出可能な慣性力センサ装置は、デジタルカメラの手ぶれ検出，移動体（航空機，自動車，ロボット，船舶など）の姿勢制御，ミサイルや宇宙船の誘導などの多種多様な技術分野において利用されている。
【０００３】
一般的に、慣性力センサ装置は、駆動信号が供給されて自励振動しその自励振動に対応する振動信号を出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号を出力する慣性力センサ（例えば、振動音叉型角速度センサ）と、振動信号に基づいて駆動信号を制御する駆動回路と、センサ信号に基づいて物理量センサが検知した物理量を検出する検出回路とを備える。このような慣性力センサでは、慣性力センサが慣性力を精度良く検知するために、駆動回路によって慣性力センサの自励振動を安定させることが重要である。
【０００４】
そこで、特開２００２−１７４５２０号公報（特許文献１）に開示された角速度センサ装置は、電源電圧の変化や周囲温度の変化などの影響を受けない安定性の高い駆動回路（発振回路）を備えている。また、この駆動回路は、ＡＧＣ回路の他にゲインが調整可能である起動補償回路を備えており、起動期間（電源投入後から慣性力センサの自励振動が安定するまでの期間）では起動補償回路のゲインを大きくし起動期間後の安定期間では起動補償回路のゲインを小さくすることにより、起動期間を短縮している。
【特許文献１】特開２００２−１７４５２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の慣性力センサでは、起動開始（例えば、電源投入）と同時に駆動回路が起動するので、駆動回路のゲインは不安定な状態にある。そのため、駆動回路のゲインが大きい場合、駆動回路から慣性力センサに供給される駆動信号の振幅増加の速度が速くなる。また、慣性力センサの応答速度（駆動信号の振幅増加に伴う振動信号の振幅増加の速度）が速い場合も、駆動信号の振幅増加の速度が速くなる。このように、駆動信号の振幅増加の速度が速い場合、駆動信号の振幅が過大になり、その結果、慣性力センサが破壊されてしまうおそれがあった。
【０００６】
そこで、この発明は、駆動回路の起動タイミングを制御することにより、起動開始時における慣性力センサの破壊を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の１つの局面に従うと、慣性力センサ装置の起動制御方法は、駆動信号が供給されて自励振動し上記自励振動に対応する振動信号を出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号を出力する慣性力センサと上記慣性力センサからの振動信号に基づいて上記駆動信号を制御する駆動回路とを備える慣性力センサ装置の起動を制御する方法であって、起動開始時に上記駆動回路の動作パラメータを設定するステップ（ａ）と、上記駆動回路の動作パラメータの設定が完了した後または同時に上記駆動回路を起動させるステップ（ｂ）とを備える。
【０００８】
上記起動制御方法では、駆動信号の振幅が過大にならないようにすることができ、その結果、起動開始時における慣性力センサの破壊を防止することができる。
【０００９】
好ましくは、上記慣性力センサ装置は、上記振動信号を周波数基準とする動作クロックに同期して動作し上記慣性力センサからのセンサ信号に基づいて上記慣性力を検出する検出回路をさらに備える。上記起動制御方法は、上記駆動回路の動作が安定した後または同時に上記検出回路を起動させるステップ（ｃ）をさらに備える。
【００１０】
上記起動制御方法では、検出回路は、安定した動作クロックに同期して動作することができる。これにより、検出回路の誤動作を防止することができる。
【００１１】
好ましくは、上記ステップ（ｂ）では、上記駆動回路の動作パラメータの設定が開始されてから予め定められた設定待ち時間が経過した後または同時に上記駆動回路を起動させ、上記設定待ち時間は、上記駆動回路の動作パラメータの設定が完了するために要する時間に相当する。
【００１２】
上記起動制御方法では、予め定められた設定待ち時間の経過に基づいて駆動回路の動作パラメータの設定完了を検出することができる。
【００１３】
好ましくは、上記ステップ（ｃ）では、上記設定待ち時間の経過後に予め定められた安定化時間が経過した後または同時に上記検出回路を起動させ、上記安定化時間は、上記駆動回路の動作が安定するまでに要する時間に相当する。
【００１４】
上記起動制御方法では、予め定められた安定化時間の経過に基づいて駆動回路の動作が安定したことを検出することができる。
【００１５】
この発明のもう１つの局面に従うと、慣性力センサ装置は、駆動信号が供給されて自励振動し上記自励振動に対応する振動信号を出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号を出力する慣性力センサと、上記慣性力センサからの振動信号に基づいて上記駆動信号を制御する駆動回路と、起動開始時に上記駆動回路の動作パラメータを設定し上記駆動回路の動作パラメータの設定が完了した後または同時に上記駆動回路を起動させる制御回路とを備える。
【００１６】
上記慣性力センサ装置では、駆動信号の振幅が過大にならないようにすることができ、その結果、起動開始時における慣性力センサの破壊を防止することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、起動開始時における慣性力センサの破壊を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一または相当部分には同一の符号を付しその説明は繰り返さない。
【００１９】
（実施形態１）
図１は、この発明の実施形態１による慣性力センサ装置の構成を示す。慣性力センサ装置は、慣性力センサ１０と、駆動回路１１と、検出回路１２と、メモリ１３と、制御回路１４とを備える。
【００２０】
〔慣性力センサ〕
慣性力センサ１０（ここでは、振動音叉型角速度センサ）は、駆動信号Ｓｄｒｖが駆動回路１１から供給され自励振動しその自励振動に対応する振動信号Ｓｏｓｃを出力する。また、慣性力センサ１０は、外部から与えられた慣性力（例えば、回転角速度など）に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。センサ信号Ｓ１０の周波数は、駆動信号Ｓｄｒｖの周波数に対応する。例えば、センサ信号Ｓ１０の中心周波数は、駆動信号Ｓｄｒｖの周波数に相当する。
【００２１】
慣性力センサ１０は、音叉本体１０ａと、駆動用圧電素子Ｐｄｒｖと、振動検出用圧電素子Ｐｏｓｃと、角速度検出用圧電素子ＰＤａ，ＰＤｂとを有する。音叉本体１０ａは、それぞれが中央部で直角にねじられた一対の音叉片（駆動用・検出用）と、音叉片の各々の一端を連結する連結部と、回転軸となるように連結部に設けられた支持ピンとを有する。駆動用圧電素子Ｐｄｒｖは、駆動回路１１からの駆動信号Ｓｄｒｖの周波数および振幅に応じて駆動用の音叉片を振動させる。これにより、駆動用の音叉片と検出用の音叉片とが互いに共振する。この音叉振動によって、振動検出用圧電素子Ｐｏｓｃには、電荷が発生する（すなわち、振動信号Ｓｏｓｃが発生する）。また、回転角速度が発生すると、角速度検出用圧電素子ＰＤａ，ＰＤｂには、回転角速度（コリオリ力）に応じた電荷が発生する（すなわち、センサ信号Ｓ１０が発生する）。
【００２２】
〔駆動回路〕
駆動回路１１は、駆動信号Ｓｄｒｖを慣性力センサ１０に供給する。また、駆動回路１１は、慣性力センサ１０からの振動信号Ｓｏｓｃに応じて駆動信号Ｓｄｒｖの周波数および振幅を調整する。駆動回路１１は、モニタアンプ１１１と、自動利得制御増幅器（ＡＧＣ）１１２と、駆動アンプ１１３とを含む。
【００２３】
モニタアンプ１１１は、慣性力センサ１０からの振動信号Ｓｏｓｃを電圧に変換し、自動利得制御増幅器１１２は、駆動アンプ１１３に供給される電圧が一定値になるように、自己の増幅利得を変化させる。駆動アンプ１１３は、自動利得制御増幅器１１２の出力に応じて駆動信号Ｓｄｒｖの周波数および振幅を制御する。このように、振動信号Ｓｏｓｃに応じて駆動信号Ｓｄｒｖが調整されることにより、慣性力センサ１０の最大振動振幅および振動周波数が一定に保たれる。
【００２４】
〔検出回路〕
検出回路１２は、慣性力センサ１０からのセンサ信号Ｓ１０に基づいて慣性力を検出する。検出回路１２は、入力アンプ１１４と、同期検波回路１１５と、ローパスフィルタ１１６と、出力アンプ１１７とを含む。
【００２５】
入力アンプ１１４は、慣性力センサ１０からのセンサ信号Ｓ１０を電圧に変換し、アナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１１５は、慣性力センサ１０からの振動信号Ｓｏｓｃを用いて入力アンプ１１４からのアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから慣性力信号（慣性力センサ１０によって検知された慣性力に対応する信号）を検波する。ローパスフィルタ１１６は、ノイズ除去等のために同期検波回路１１５によって検波された慣性力信号のうち低周波数成分のみを通過させる。出力アンプ１１７は、ローパスフィルタ１１６によって処理された慣性力信号を増幅し、アナログ検出信号Ｓｐｈｙとして出力する。
【００２６】
〔メモリ〕
メモリ１３は、駆動回路１１の動作パラメータについてのパラメータ情報（例えば、自動利得制御増幅器１１２のゲインや駆動アンプ１１３のゲイン等についての情報）と、検出回路１２の動作パラメータについてのパラメータ情報（例えば、入力アンプ１１４のオフセット電圧やゲイン，ローパスフィルタ１１６の次数，出力アンプ１１７のオフセット電圧やゲイン等についての情報）を格納する。
【００２７】
〔制御回路〕
制御回路１４は、駆動回路１１および検出回路１２のそれぞれの動作パラメータの設定や起動制御を実行する。制御回路１４は、パラメータ制御部１０１と、カウンタ１０２と、起動制御部１０３とを含む。
【００２８】
パラメータ制御部１０１は、外部の発振回路（図示せず）からの動作クロックＣＬＫに同期して動作し、外部からの起動開始信号ＳＴＲ（例えば、電源が投入されたことを通知するための信号）に応答してメモリ１３に格納された駆動回路１１および検出回路１２のそれぞれのパラメータ情報を読み出し、読み出したパラメータ情報に基づいて設定制御信号ＳＥＴ１，ＳＥＴ２をそれぞれ出力して駆動回路１１および検出回路１２のそれぞれの動作パラメータを設定する。
【００２９】
カウンタ１０２は、外部の発振回路（図示せず）からの動作クロックＣＬＫに同期して動作し、外部からの起動開始信号ＳＴＲに応答してカウントアップを開始する。すなわち、カウンタ１０２は、パラメータ制御部１０１による動作パラメータの設定が開始してからの経過時間を計時する。
【００３０】
起動制御部１０３は、カウンタ１０２のカウント値ＣＮＴ（すなわち、カウンタ１０２によって計時された経過時間）に基づいて、起動制御信号ＥＮ１，ＥＮ２をそれぞれ出力して駆動回路１１および検出回路１２をそれぞれ起動させる。例えば、起動制御部１０３は、カウンタ１０２のカウント値ＣＮＴが予め定められた第１所定値に到達すると、駆動回路１１および検出回路１２をそれぞれ起動させる。カウンタ１０２がカウントを開始してからカウント値ＣＮＴが第１所定値に到達するまでの時間は、設定待ち時間（駆動回路１１の動作パラメータの設定に要する時間）に相当する。
【００３１】
〔起動制御〕
次に、図２を参照しつつ、図１に示した制御回路による起動制御について説明する。なお、ここでは、第１所定値は“９”であるものとする。
【００３２】
起動開始信号ＳＴＲが供給されると、パラメータ制御部１０１は、動作クロックＣＬＫに同期してメモリ１３から駆動回路１１および検出回路１２のそれぞれのパラメータ情報を読み出すとともに、設定制御信号ＳＥＴ１，ＳＥＴ２を用いて駆動回路１１および検出回路１２の動作パラメータを設定する。また、カウンタ１０２は、カウント値ＣＮＴのインクリメントを開始する。
【００３３】
次に、設定待ち時間が経過すると、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了する。一方、カウンタ１０２のカウント値ＣＮＴは、第１所定値“９”に到達する。起動制御部１０３は、起動制御信号ＥＮ１，ＥＮ２を出力して駆動回路１１および検出回路１２を起動させる。これにより、駆動回路１１は、駆動信号Ｓｄｒｖの出力を開始し、慣性力センサ１０は、駆動信号Ｓｄｒｖに応答して自励振動を開始する。その結果、振動信号Ｓｏｓｃの振幅が徐々に増加する。また、検出回路１２の駆動状態は、停止状態から検出可能状態（慣性力を検出できる状態）に遷移する。
【００３４】
以上のように、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了した後に駆動回路１１を起動させることにより、駆動信号Ｓｄｒｖの振幅が過大にならないようにすることができ、その結果、起動開始時における慣性力センサ１０の破壊を防止することができる。
【００３５】
なお、駆動回路１１の起動は、駆動回路１１の動作パラメータの設定完了と同時でなくても良い。
【００３６】
（実施形態２）
この発明の実施形態２による慣性力センサ装置は、図１に示した検出回路１２に代えて図３の検出回路２２を備える。その他の構成は、図１と同様である。図３に示した検出回路２２は、振動信号Ｓｏｓｃを周波数基準とする動作クロックＣＫａに同期して動作する。検出回路２２は、波形整形回路２０１と、逓倍回路２０２と、入力アンプ２０３と、アナログ／デジタル変換器２０４と、検波信号生成器２０５と、乗算器２０６と、デジタルフィルタ２０７とを含む。メモリ１３は、検出回路２２の動作パラメータについてのパラメータ情報（例えば、入力アンプ２０３のオフセット電圧やゲイン，デジタルフィルタ２０７のタップ係数などについての情報）を格納する。
【００３７】
波形整形回路２０１は、振動信号Ｓｏｓｃを方形波に変換し、基準クロックＣＫｒｅｆとして出力する。例えば、波形整形回路２０１は、コンパレータやインバータによって構成される。
【００３８】
逓倍回路２０２は、波形整形回路２０１からの基準クロックＣＫｒｅｆを逓倍し、基準クロックＣＫｒｅｆの周波数よりも高い周波数を有する動作クロックＣＫａを生成する。例えば、逓倍回路２０２はＰＬＬ（Phase Locked Loop）によって構成される。
【００３９】
入力アンプ２０３は、慣性力センサ１０からのセンサ信号Ｓ１０を電圧に変換し、アナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。アナログ／デジタル変換器２０４は、逓倍回路２０２からの動作クロックＣＫａに同期してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃをサンプリングし、サンプリングしたアナログ値（振幅値）をデジタル値に変換する。これにより、アナログセンサ信号Ｓｓｎｃは、複数のデジタル値によって構成されたデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換される。
【００４０】
検波信号生成器２０５は、逓倍回路２０２からの動作クロックＣＫａに同期して動作し、波形整形回路２０１からの基準クロックＣＫｒｅｆの遷移エッジ（ここでは、立ち上がりエッジ）に応答して正弦波信号に対応するデジタル検波信号Ｄｄｅｔを生成する。デジタル検波信号Ｄｄｅｔは、複数の正弦波データによって構成される。複数の正弦波データは、それぞれ、所定クロック（例えば、動作クロックＣＫａ）に同期して所定周波数の正弦波信号（例えば、駆動信号Ｓｄｒｖ）をサンプリングすることによって得られる複数のアナログ値（振幅値）に対応する（図４参照）。例えば、複数の正弦波データは、正弦関数で表現される理想的な振幅値を示す。
【００４１】
乗算器２０６は、アナログ／デジタル変換器２０４によって得られたデジタル信号Ｄｓｎｃに検波信号生成器２０５によって生成されたデジタル検波信号Ｄｄｅｔを乗算する。これにより、慣性力信号が検波される。
【００４２】
デジタルフィルタ２０７は、逓倍回路２０２からの動作クロックＣＫａに同期して動作し、ノイズ除去等のために乗算器２０６によって検波された慣性力信号のうち低周波数成分のみをデジタル検出信号Ｄｐｈｙとして通過させる。例えば、デジタルフィルタ２０７は、ＩＩＲ（Infinite Impulse Response）型デジタルフィルタや、ＦＩＲ（Finite Impulse Response）型デジタルフィルタである。
【００４３】
〔検出回路による検波処理〕
ここで、図４を参照しつつ、図３に示した検出回路２２による検波処理について説明する。波形整形回路２０１は、駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換し、逓倍回路２０２は、基準クロックＣＫｒｅｆに基づいて動作クロックＣＫａを生成する。アナログ／デジタル変換器２０４は、動作クロックＣＫａに同期してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃをデジタル値Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２，・・・・に変換する。検波信号生成器２０５は、基準クロックＣＫｒｅｆの遷移エッジに応答して正弦波データＤ０，Ｄ１，Ｄ２・・・を順番に出力する。乗算器２０６は、アナログ／デジタル変換器２０４からのデジタル値Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２，・・・・に検波信号生成器２０５からの正弦波データＤ０，Ｄ１，Ｄ２，・・・・を乗算する。
【００４４】
〔起動制御〕
また、この実施形態の慣性力センサ装置は、駆動回路１１の動作が安定した後に検出回路２２を起動させる。例えば、起動制御部１０３は、カウンタ１０２のカウント値ＣＮＴが予め定められた第１所定値に到達すると駆動回路１１を起動させ、カウンタ１０２のカウント値ＣＮＴが予め定められた第２所定値（第１所定値よりも大きい値）に到達すると検出回路２２を起動させる。カウンタ１０２のカウント値ＣＮＴが第１所定値から第２所定値に到達するまでの時間は、安定化時間（駆動回路１１の動作が安定するために要する時間）に相当する。
【００４５】
次に、図５を参照しつつ、この実施形態の慣性力センサ装置における起動制御について説明する。なお、ここでは、第２所定値は“１５”であるものとする。
【００４６】
起動開始信号ＳＴＲが供給されると、パラメータ制御部１０１は、駆動回路１１および検出回路２２のそれぞれのパラメータ情報に基づいて、駆動回路１１および検出回路２２の動作パラメータを設定する。また、カウンタ１０２は、カウント値ＣＮＴのインクリメントを開始する。
【００４７】
次に、設定待ち時間が経過すると、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了する。一方、カウンタ１０２のカウント値ＣＮＴは、第１所定値“９”に到達する。起動制御部１０３は、起動制御信号ＥＮ１を出力して駆動回路１１を起動させる。これにより、駆動回路１１は、駆動信号Ｓｄｒｖの出力を開始する。その結果、振動信号Ｓｏｓｃの振幅が徐々に増加する。
【００４８】
次に、安定化時間が経過すると、振動信号Ｓｏｓｃの振幅は所定値に収束して安定する（すなわち、駆動回路１１の動作が安定する）。これにより、基準クロックＣＫｒｅｆが不安定状態から安定状態になるので、基準クロックＣＫｒｅｆを周波数基準とする動作クロックＣＫａも安定状態になる。一方、カウンタ１０２のカウント値ＣＮＴは、第２所定値“１５”に到達する。起動制御部１０３は、起動制御信号ＥＮ２を出力して検出回路２２を起動させる。これにより、検出回路２２の駆動状態は、停止状態から検出可能状態に遷移する。
【００４９】
以上のように、駆動回路１１の動作が安定した後に検出回路２２を起動させることにより、検出回路２２は、安定した動作クロックＣＫａに同期して動作することができる。これにより、検出回路２２の誤動作を防止することができる。
【００５０】
なお、検出回路２２の起動は、駆動回路１１の動作の安定と同時でなくても良い。また、図２のように、設定待ち時間の経過後に検出回路２２を起動させても良い。
【００５１】
（その他の実施形態）
なお、以上の各実施形態における慣性力センサ１０は、音叉型に限らず、円柱型，正三角柱型，正四角柱型，リング型や、その他の形状であっても良い。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
この発明は、起動開始時における慣性力センサの破壊を防止することができるので、移動体，携帯電話，デジタルカメラ，ゲーム機などに用いられる慣性力センサ装置（例えば、音叉型角速度センサ装置など）として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】この発明の実施形態１による慣性力センサ装置の構成を示すブロック図。
【図２】図１に示した慣性力センサ装置による起動制御について説明するためのタイミングチャート。
【図３】この発明の実施形態２による慣性力センサ装置の構成を示すブロック図。
【図４】図３に示した検出回路による処理について説明するためのタイミングチャート。
【図５】図３に示した慣性力センサ装置による起動制御について説明するためのタイミングチャート。
【符号の説明】
【００５４】
１０    慣性力センサ
１１    駆動回路
１２，２２    検出回路
１３    メモリ
１４    制御回路
１０１    パラメータ制御部
１０２    カウンタ
１０３    起動制御部
１１１    モニタアンプ
１１２    自動利得制御増幅器
１１３    駆動アンプ
１１４    入力アンプ
１１５    同期検波回路
１１６    ローパスフィルタ
１１７    出力アンプ
２０１    波形整形回路
２０２    逓倍回路
２０３    入力アンプ
２０４    アナログ／デジタル変換器
２０５    デジタル信号生成器
２０６    乗算器
２０７    デジタルフィルタ
【図１】
2009264974.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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