(57)【要約】【課題】第１の開口部と第２の開口部とを連通する分離帯が熱膨張したときに浮き上がるのを抑制する。【解決手段】電気配線基板１３０の分離帯１３０ａには、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５を連通する間隙１３０ｂが設けられ、封止剤１２１によって間隙１３０ｂが連結された状態で固定されて、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とが分離されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出部を有する記録素子と、
前記記録素子の前記吐出部を露出させる第１の開口部と、前記第１の開口部に隣接して設けられた第２の開口部と、前記第１の開口部と前記第２の開口部とを分離する分離手段と、前記第２の開口部の内側で前記記録素子の電極部と電気的に接続される電気接続手段とを有し、前記記録素子に電気信号を送るための電気配線基板と、
前記電気配線基板及び前記記録素子を支持する支持部材と、
前記第１の開口部の内側に配置された前記記録素子の外周部、前記電極部及び前記電気接続手段を覆う封止剤と、を備え、
前記分離手段には、前記第１の開口部と前記第２の開口部を連通する間隙が設けられ、前記封止剤によって前記間隙が連結された状態で固定されて、前記第１の開口部と前記第２の開口部とが分離されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記分離手段は、前記電気配線基板に一体に形成された分離帯であり、
前記分離帯の長手方向の中央には、前記間隙が、前記分離帯の短手方向に延ばされて形成されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記分離帯は、前記間隙の各端部が互いに重ね合わされた状態で固定されている、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
液体を吐出する吐出部を有する記録素子と、
前記記録素子の前記吐出部を露出させる第１の開口部と、前記第１の開口部に隣接して設けられた第２の開口部と、前記第１の開口部と前記第２の開口部とを分離する分離手段と、前記第２の開口部の内側で前記記録素子が有する電極部と電気的に接続される電気接続手段とを有し、前記記録素子に電気信号を送るための電気配線基板と、
前記電気配線基板及び前記記録素子を支持する支持部材と、
前記記録素子の外周部、電極部及び前記電気接続手段を覆う封止剤と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記封止剤を硬化させることによって、前記第１の開口部と前記第２の開口部とを連通して前記分離帯に設けられた間隙が連結された状態で固定し、前記第１の開口部と前記第２の開口部とを分離する工程を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記分離手段は、前記電気配線基板に一体に形成された分離帯であり、
前記分離帯の長手方向の中央には、前記間隙が短手方向に延ばされて形成されている、請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記工程では、前記分離帯における前記間隙の各端部を互いに重ね合わせた状態で固定する、請求項５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被記録材にインク等の液体を吐出して記録を行う記録装置に搭載される液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタ等の液体吐出方式の記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録や、様々な記録メディアに対する記録が可能であるとともに、記録時における騒音がほとんど発生しないという特徴を有する。このため、液体吐出方式の記録装置は、例えばプリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機等の記録装置として広く採用されている。
【０００３】
図６は、従来の液体吐出ヘッドの主要部を示す図であって、図６（ａ）が吐出面を示す斜視図、図６（ｂ）が図６（ａ）の裏側を示す斜視図である。
【０００４】
図６（ａ）に示すように、液体吐出ヘッドである記録ヘッド１００は、発熱抵抗体としての電気熱変換体によってインクを加熱し、膜沸騰の作用によってインク滴を吐出させる記録素子基板１１０を有している。また、記録ヘッド１００は、記録素子基板１１０に装置本体（不図示）からの駆動信号等を印加する電気配線基板１３０を有している。
【０００５】
電気配線基板１３０は、一般的にベースフィルム１３７の材料がポリイミドによって形成され、配線１３９を形成する配線層が銅箔で構成されている。電気配線基板１３０は、記録素子基板１１０の吐出部である吐出口列１１１を有するノズルプレート１１２を外部に露出させる第１の開口部１３４と、記録素子基板１１０との電気接続部に設けられた第２の開口部１３５とを有している。
【０００６】
これら第１の開口部１３４と第２の開口部１３５は、電気接続部の長手方向と平行に延ばされた分離手段としての分離帯１３０ａによって分離されている。そして、記録ヘッド１００は、インクタンク（不図示）から記録素子基板１１０にインクを供給するためのインク流路を形成する支持部材１５０を有して構成されている。インクタンクに接続される支持部材１５０は、図６（ｂ）に示すように、接続部にフィルタ１５４及びシールゴム１５５を備えており、インクタンクから記録素子基板１１０へインクを導く流路が形成されている。
【０００７】
また、図７の分解斜視図に示すように、流路の出口をなすインク供給口（不図示）に対応して、記録素子基板１１０のインク供給口（不図示）が、接着剤１５１によって接続される。記録素子基板１１０は、記録素子基板１１０を組み込むための開口部１３３を有する電気配線基板１３０に電気的に接続されている（特許文献２参照）。
【０００８】
具体的には、支持部材１５０に接着固定された記録素子基板１１０の電極部１１３と、電気配線基板１３０のインナーリード１３２とを接続可能な位置に位置決めする。そして、電気配線基板１３０を支持部材１５０に対して熱硬化型の接着剤１５２を用いて、加熱ブロックによって圧着を行うことで接着固定する。そのとき、電気配線基板１３０が有する分離帯１３０ａは、記録素子基板１１０上に配置されるため、接着固定されない。電気配線基板１３０が支持部材１５０に接着固定された後、インナーリード１３２は、記録素子基板１１０が有する電極部１１３に電気的に接続される。
【０００９】
また、電気配線基板１３０は、電気配線基板１３０に対して記録装置本体からの駆動信号等が入力される外部信号入力端子１３１が設けられた部分が、支持部材１５０の側面に接着剤１５３によって接着固定される。そして、記録素子基板１１０の側面の周囲、及びインナーリード１３２による電気接続部に封止剤１２１を流し込み、電気配線基板１３０の加熱接着温度とほぼ同等温度による熱キュアを行うことで封止剤１２１を硬化させる。これによって、封止剤１２１は電気接続部をインクによる腐食や外力から保護する。
【特許文献１】特開２００７−０５５２２１号公報
【特許文献２】特開平１０−０００７７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
記録品位や記録速度の向上を図るために記録素子基板を大型化した場合、電気配線基板の開口が拡大し、分離帯の長さが延びることになる。そして、従来技術では、このような電気配線基板を支持部材に加熱接着した場合に、接着固定されたはずの記録素子基板が支持部材から剥がれる現象が生じる。このため、大型化された記録素子基板を採用する構成では、電気配線基板の加熱接着温度を低温化する必要があった。
【００１１】
なお、この現象は、電気配線基板を支持部材に短時間で加熱接着するために、支持部材及び、支持部材に接着固定された記録素子基板が急激に昇温し、熱膨張を生じることに起因する。この現象は、支持部材と記録素子基板のそれぞれの線膨張係数の差が、支持部材と記録素子基板とを固定する接着剤に応力として加わることで発生する。
【００１２】
従来は、電気配線基板を支持部材に接着するときの接着温度と、電気配線基板の接着工程の後工程で行われる記録素子基板の側面と電気配線基板との接続部を保護する封止剤の加熱硬化温度との関係がほぼ同等であった。これに対して、電気配線基板を支持部材に接着するための接着温度を低温化したことで、電気配線基板の接着温度よりも、封止剤の加熱硬化温度の方が高温になってしまった。
【００１３】
そのため、図８（ａ），（ｂ）に示すように、電気配線基板が有する分離帯１３０ａは、支持部材に接着固定されていないので、封止剤の硬化時に湾曲状に浮き上がるという新たな現象が生じた。さらに、浮き上がった分離帯１３０ａの裏面側の隙間に封止剤が流れ込んで加熱硬化することで、図９（ａ），（ｂ）に示すように、分離帯１３０ａは、湾曲状に浮き上がった状態で固定され、湾曲された形状が保持されてしまう。
【００１４】
この一方で、液体吐出方式の記録装置では、記録ヘッドと記録紙等の被記録材との間に、互いに接触しないように、例えば２ｍｍ程度の間隔が確保されている。しかし、上述したように、分離帯の長さが伸びて、浮き上がる量が大きくなることによって、分離帯と記録紙等の被記録材との間の距離が更に縮まるので、分離帯と被記録材が接触する可能性が高まってしまう。記録動作時に分離帯と被記録材とが接触した場合には、当然ながら記録品位の劣化、被記録材の損失、さらには電気配線基板の損傷、記録ヘッドの故障等の発生が懸念される。
【００１５】
この対策として、分離帯１３０ａを形成する材料を線膨張係数が比較的低い材料に変更することで、分離帯の浮き上がり現象を抑制することが可能になる。しかしながら、液体吐出ヘッドの場合には、液体であるインクと電気配線基板との接触を考慮すると、耐薬品性の観点から、分離帯を形成する材料の選定が制約されてしまう。また仮に、分離帯の材料として、線膨張係数が比較的低く、耐薬品性を有する適当な材料があった場合でも、たいていは従来の材料よりも高価であり、液体吐出ヘッドの製造コストの増加を招いてしまう不都合がある。
【００１６】
そこで、本発明は、上述した課題を解決し、電気配線基板の分離帯の浮き上がりを抑制することで、電気配線基板の構造を改善し、生産性及び画像性能を向上させることができる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述した目的を達成するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出部を有する記録素子と、
記録素子の吐出部を露出させる第１の開口部と、第１の開口部に隣接して設けられた第２の開口部と、第１の開口部と第２の開口部とを分離する分離手段と、第２の開口部の内側で記録素子の電極部と電気的に接続される電気接続手段とを有し、記録素子に電気信号を送るための電気配線基板と、
電気配線基板及び記録素子を支持する支持部材と、
第１の開口部の内側に配置された記録素子の外周部、電極部及び電気接続手段を覆う封止剤と、を備える。そして、分離手段には、第１の開口部と第２の開口部を連通する間隙が設けられ、封止剤によって間隙が連結された状態で固定されて、第１の開口部と第２の開口部とが分離されている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、第１の開口部と第２の開口部とを連通する間隙が設けられた分離手段を備えることで、分離手段が熱膨張したときであっても、間隙が熱膨張による伸び量を吸収することで分離手段が浮き上がるのを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の具体的な実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２０】
図１（ａ），（ｂ）に、液体吐出ヘッドとしての、実施形態の記録ヘッドの斜視図を示す。図２に、記録ヘッドの分解斜視図を示す。記録ヘッド１００は、電気信号に応じてインクに膜沸騰を生じさせるための電気熱変換体を有する記録素子基板１１０を用いて記録を行う、バブルジェット方式のサイドシューター型の記録ヘッドである。
【００２１】
図１（ａ），（ｂ）及び図２に示すように、記録ヘッド１００は、液体としてのインクを吐出する吐出部としての吐出口列１１１を有する記録素子として単数又は複数の記録素子基板１１０を備えている。この記録素子基板１１０は、電気熱変換体としてのヒータ（不図示）と、図４に示すように吐出口列１１１が形成されたノズルプレート１１２とを有している。
【００２２】
また、記録ヘッド１００は、記録素子基板１１０に電気信号を送るための電気配線基板１３０を備えている。この電気配線基板１３０は、記録素子基板１１０と電気的に接続される電気接続部が封止部１２０によって覆われている。
【００２３】
また、記録ヘッド１００は、記録素子基板１１０及び電気配線基板１３０が固定されて支持される支持部材１５０を備えている。支持部材１５０には、電気配線基板１３０に対して位置決めされた記録素子基板１１０が固定されて支持されている。
【００２４】
また、電気配線基板１３０は、記録素子基板１１０のノズルプレート１１２を外部に露出させる第１の開口部１３４と、記録素子基板１１０との電気接続部に配置され第１の開口部１３４に隣接して設けられた第２の開口部１３５とを有している。第１の開口部１３４はいわゆるデバイスホールであり、第２の開口部１３５は電気接続のための補助用開口部である。
【００２５】
さらに、電気配線基板１３０には、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５との間に、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とを分離する分離手段としての分離帯１３０ａが、電気接続部の長手方向と平行に延ばされて一体に形成されている。この分離帯１３０ａの長手方向の中央部には、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とを連通させるスリット状の間隙１３０ｂが設けられている。
【００２６】
間隙１３０ｂを有する分離帯１３０ａは、支持部材１５０に接着固定された記録素子基板１１０、記録素子基板１１０、電気配線基板１３０の電気接続部を覆うように充填される封止剤１２１の加熱硬化による膨張によって長手方向に伸びる。分離帯１３０ａが長手方向に伸びることに伴って間隙１３０ｂが狭まり、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とを連通させる間隙１３０ｂが繋がった状態となり、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とを完全に分離する分離帯１３０ａとなる。さらに、封止剤１２１の硬化収縮を利用することで、分離帯１３０ａが浮き上がらない形態となる。
【００２７】
また、電気配線基板１３０は、図３（ｂ）に示すように、記録素子基板１１０の電極部１１３と電気的に接続される電気接続手段としての複数のインナーリード１３２を有している。
【００２８】
以下、本実施形態の記録ヘッドの構成について、更に詳細に説明する。
【００２９】
電気配線基板１３０の一端部側には、外部配線（不図示）と電気的に接続される外部信号入力端子１３１が設けられている。また、電気配線基板１３０は、他端部側に、記録素子基板１１０のノズルプレート１１２を露出させる第１の開口部１３４と、この第１の開口部１３４を挟んで対向する位置に第１の開口部１３４に隣接して配置された一対の第２の開口部１３５と、を有している。また、電気配線基板１３０には、第１の開口部１３４の内側に配置された記録素子基板１１０の外周部、記録素子基板１１０と電気配線基板１３０を電気的に接続する電気接続部、及びインナーリード１３２を覆って保護する封止剤１２１が設けられている。そして、電気配線基板１３０は、第１の開口部１３４と各第２の開口部１３５との間が、各分離帯１３０ａによってそれぞれ分離されている。
【００３０】
記録素子基板１１０は、中央に長穴状のインク供給口が設けられたシリコン基板によって構成されている。このシリコン基板上には、複数の発熱抵抗体からなる電気熱変換体が、インク供給口の短手方向の両側に、インク供給口の長手方向に沿ってほぼ等間隔で配列されている。このような発熱抵抗体が形成されたシリコン基板はヒーターボードと呼ばれている。記録素子基板１１０を構成するヒーターボードの主面には、発熱抵抗体に電力を供給するための配線が設けられ、記録素子基板１１０の両端に設けられた電極部１１３と結線されて、電気的に接続されている。
【００３１】
そして、このようなヒーターボード上には、保護膜が形成されると共に、吐出口列１１１を有するノズルプレート１１２が形成されることで、記録素子基板１１０が完成する。発熱抵抗体は、記録装置本体からの駆動信号によって、インクを加熱し、膜沸騰の作用によってインク滴を吐出させるノズルプレート１１２の表面が撥水処理されている。ノズルプレート１１２には、厚みが例えば２５μｍから７５μｍまでの多様なものがある。図１に示すような複数の記録素子基板１１０が搭載される記録ヘッド１００の場合には、ノズルプレート１１２の厚みが異なる記録素子基板１１０が用いられる場合もある。
【００３２】
電気配線基板１３０は、被記録材を記録ヘッド１００に対向するように搬送する搬送機構が設けられた記録装置本体から、外部信号入力端子１３１を経て供給される駆動信号を電気接続手段としてのインナーリード１３２によって記録素子基板１１０に伝える。電気配線基板１３０には、例えば、ポリイミド材質を基材としたＴＡＢ(Tape Automated Bonding)テープが用いられる。
【００３３】
図４に示すように、電気配線基板１３０は、ベースフィルム１３７を構成するポリイミドに配線１３９用の接着剤１３８を介して、インナーリード１３２に接続する配線１３９が積層された積層構造をなしている。電気配線基板１３０における各材料の厚みは、一般的に、例えば、ベースフィルム１３７が５０μｍ程度、接着剤１３８は２０μｍ程度、配線１３９が２５μｍ程度に形成されている。
【００３４】
ノズルプレート１１２を露出させる第１の開口部１３４と、記録素子基板１１０の電極部１１３とインナーリード１３２とが電気的に接続された電気接続部を露出させる第２の開口部１３５は、電気配線基板１３０のベースフィルム１３７に形成されている。電気配線基板１３０の一部である分離帯１３０ａも、ベースフィルム１３７と同様の材料によって構成されている。分離帯１３０ａの幅Ｌ２は、広いほど対応する記録素子基板１１０のサイズも大きくなってしまうため、できるだけ狭い方が望ましい。
【００３５】
したがって、分離帯１３０ａの寸法は、第１及び第２の開口部１３４、１３５の打ち抜き加工を行う金型の加工精度や、ベースフィルム１３７の材料となる剛性を考慮し、例えば、幅Ｌ２が０．３５ｍｍにされている。また、分離帯１３０ａからインナーリード１３２の先端までの距離Ｌ３も、ＴＡＢテープの加工精度を考慮し、かつ、できるだけ狭くするために、距離Ｌ３が０．１ｍｍに設定されている。また、図３（ａ），（ｂ）及び図５（ａ）から（ｃ）に示すように、分離帯１３０ａが有する開口幅Ｌ４については、分離帯１３０ａの長さ、封止剤１２１の加熱温度の設定、分離帯１３０ａを形成する材料が有する線膨張係数によって決定される。
【００３６】
例えば本実施形態におけるベースフィルム１３７の材料には、ＴＡＢテープとして一般的とされるポリイミドが採用されている。なお、ポリイミドの線膨張係数は、１２×１０-6とする。また、分離帯１３０ａが形成される第１の開口部１３４の幅Ｌ６（＝分離帯１３０ａの長さ）が１２ｍｍに設定されている。なお、第１の開口部１３４の開口幅と分離帯１３０ａの長さは等しく、分離帯１３０ａは支持部材１５０に接着固定されていない。そして、封止剤１２１の加熱硬化温度は１５０℃に設定される。したがって、以上に述べた線膨張係数、分離帯１３０ａの長さ、加熱温度との関係から、下記の計算式を用いて熱膨張による延び量（たわみ量）が算出される。
【００３７】
（ポリイミドの線膨張係数）×（分離帯の長さ）×（加熱圧着時の温度−環境温度）
＝（１２×１０-6）×１２ｍｍ×（１５０℃−２５℃）＝１８μｍ。
【００３８】
したがって、本実施形態における分離帯１３０ａに設けられる間隙１３０ｂの開口幅Ｌ４が１８μｍである構成が、封止剤１２１の加熱時に第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とを分離するための最大値（幅）にされた構成となる。また、図５（ｃ）に示すように、分離帯１３０ａの間隙１３０ｂ側の端部が重なり合う構成にするのであれば、間隙１３０ｂの開口幅Ｌ４を１μｍから１７μｍの範囲内で適当に設定すれば良い。
【００３９】
図２及び図４に示すように、記録素子基板１１０は、接着剤１５１によって支持部材１５０に固定され、電気配線基板１３０は、接着剤１５２、１５３によって支持部材１５０に固定される。支持部材１５０には、インクタンク（不図示）から記録素子基板１１０にインクを供給するためのインク流路（不図示）が形成されている。また、支持部材１５０には、支持部材１５０の上面に配置されるインクタンクと接続するために、フィルタ及びシールゴムを有しており、記録素子基板１１０は、凹部１５７に接着されて固定され、組み込まれる。支持部材１５０に設けられたインク流路（不図示）に記録素子基板１１０のインク供給口（不図示）が対応するように位置決めした後に、記録素子基板１１０が接着剤１５１によって固定される。
【００４０】
図３（ｂ）に示すように、記録素子基板１１０は、ノズルプレート１１２の主面が電気配線基板１３０の第１の開口部１３４に位置決めされ、第２の開口部１３５の内側に突出するインナーリード１３２が記録素子基板１１０の電極部１１３の上に位置決めされる。そして、電気配線基板１３０のインナーリード１３２が電極部１１３に接続可能な位置に、電気配線基板１３０の主要部は接着剤１５２によって支持部材１５０に接着される。電気配線基板１３０を支持部材１５０に接着して固定した後、図３（ｂ）に示すように、記録素子基板１１０の電極部１１３に設けられたバンプ１１４と、電気配線基板１３０が有するインナーリード１３２とがＴＡＢ実装技術によって電気的に接続される。
【００４１】
そして、電気配線基板１３０の第１の開口部１３４の端部から、記録素子基板１１０の側面周囲、及び記録素子基板１１０が有する電極部１１３と、電気配線基板１３０の有するインナーリード１３２との電気接続部に、液状の封止剤１２１を充填する。封止剤１２１は、直接塗布することができない電気接続部の裏側、及び分離帯１３０ａの裏面まで十分に充填させる必要がある。このため、封止剤１２１としては、初期の粘度が比較的低く、流動性が良好なものが用いられる。また、充填された封止剤１２１を硬化する際に、電気配線基板１３０が有する分離帯１３０ａに設けられた間隙１３０ｂを狭めて連結させ、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とを完全に分離した状態にする必要がある。したがって、電気配線基板１３０に設けられた分離帯１３０ａの間隙１３０ｂが確実につながった状態で保持される温度設定（上述した１５０℃に設定）において硬化が可能な封止剤を選定して用いる必要である。１５０℃で硬化する封止剤としては、例えばサンユレック社製：ＮＲ２００Ｃ等が挙げられる。
【００４２】
そして、本実施形態では、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、分離帯１３０ａが有する間隙１３０ｂの加熱前の幅Ｌ４に対して、分離帯１３０ａの長手方向における間隙１３０ｂ側の各端部のそれぞれの熱膨張量（伸び量）をＬ５-ａ、Ｌ５-ｂとする。そして、Ｌ４＜Ｌ５-ａ＋Ｌ５-ｂの関係を満たすように分離帯１３０ａを熱で長手方向に対して伸ばし、分離帯１３０ａの間隙１３０ｂ側の各端部が互いに重なる状態で封止剤１２１を硬化させる。例えば、分離帯１３０ａの間隙１３０ｂの幅Ｌ４を１０μｍとし、温度１５０℃の環境で放置する。その場合、分離帯１３０ａの長手方向の総長さ１８μｍに対して、短手方向の幅が１０μにされた間隙１３０ｂが設けられたため、分離帯１３０ａの各端部の重なり量が８μｍとなる。
【００４３】
これにより、封止剤１２１が硬化した後の状態で、分離帯１３０ａには間隙１３０ｂが存在せずに、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とが完全に分離された状態になる。また、分離帯１３０ａの裏面に流れ込んだ封止剤１２１が熱硬化時の硬化収縮によって、間隙１３０ｂの端部が互いに重なり合った分離帯１３０ａを記録素子基板１１０側へ引っ張る力が働く。これによって、本発明の目的である分離帯１３０ａの浮き上がり現象を抑制することが可能になる。その結果、記録ヘッドと記録紙等の被記録材との接触のおそれが抑制され、接触による記録品位の劣化、被記録材の損失、さらには電気配線基板１３０の損傷、記録ヘッドの故障を防ぐことができる。
【００４４】
上述したように、本実施形態によれば、第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とを連通する間隙１３０ｂを有する分離帯１３０ａが熱膨張したときに、間隙１３０ｂが熱膨張による伸び量を吸収することで分離帯１３０ａの浮き上がりを抑制することができる。また、本実施形態では、熱膨張による分離帯１３０ａの伸びによって間隙１３０ｂを狭めて連結させることで第１の開口部１３４と第２の開口部１３５とが完全に分離されて、従来の記録ヘッドと同様の構造が得られる。
【００４５】
したがって、本実施形態は、記録品位の向上を目的とした、色数の増加による記録素子基板や、第１の開口部の大型化に伴う、分離帯の長さが延長される構成に対しても、分離帯の浮き上がり現象を抑制することが可能になる。すなわち、本実施形態は、電気配線基板の構造を改善し、生産性及び画像性能を向上させることができる。
【００４６】
なお、本発明の液体吐出ヘッドは、一般的なプリント装置の他に、複写機、通信システムを有するファクシミリや、プリント部を有するワードプロセッサ等の記録装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用の記録装置に用いられて好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】実施形態の記録ヘッドを示す図であって、（ａ）が記録ヘッドの主要部を示す斜視図、（ｂ）が（ａ）における方形で囲んだ部分Ｃ１を拡大して示す斜視図である。
【図２】実施形態の記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】実施形態の記録ヘッドを封止剤で封止する前の状態を示す図であって、（ａ）が斜視図、（ｂ）が（ａ）において円形で囲んだ部分Ｃ２を拡大して示す部分斜視図である。
【図４】実施形態の記録ヘッドを示す、図１（ｂ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図５】封止剤の硬化時における電気配線基板の分離帯の動きを示す図であって、（ａ）が電気配線基板の加熱前の状態を示し、（ｂ）が加熱時の初期状態を示し、（ｃ）が加熱後の状態を示す断面図である。
【図６】従来の記録ヘッドを示す図であって、（ａ）が記録ヘッドの主要部を示す斜視図、（ｂ）が（ａ）における支持部材の反対側を示す斜視図である。
【図７】従来の記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図８】従来の記録ヘッドにおける、電気配線基板による分離帯の封止剤の硬化時の動きを示す図であって、（ａ）が電気配線基板の加熱前の状態を示す断面図、（ｂ）が加熱時の状態を示す断面図である。
【図９】従来の記録ヘッドを封止剤の加熱硬化後の状態を示す図であって、（ａ）が斜視図、（ｂ）が（ａ）における円形で囲んだ部分Ｃ３を拡大して示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４８】
１００  記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
１１０  記録素子基板（記録素子）
１１１  吐出口列
１１２  ノズルプレート（吐出部）
１１３  電極部
１２０  封止部
１２１  封止剤
１３０  電気配線基板
１３０ａ  分離帯（分離手段）
１３０ｂ  間隙
１３２  インナーリード（電気接続手段）
１３４  第１の開口部
１３５  第２の開口部
１５０  支持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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