(57)【要約】【課題】発熱素子と冷却器とを均等に挟圧することができる発熱素子の冷却装置を提供する。【解決手段】外部に発熱素子２の主面に接触する受熱面１３が形成され、内部に冷媒が流通する冷媒流路１２が形成され、前記受熱面に対して垂直方向に積層された複数の冷却器１１と、前記冷却器を前記積層方向に挟圧する挟圧手段２０，２１と、を備えた発熱素子の冷却装置１において、前記冷却器に前記積層方向の変形を許容する変形部１５を形成し、前記変形部の前記積層方向の中心軸１６と前記挟圧手段の中心軸２４とを一致して設けた。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部に発熱素子の主面に接触する受熱面が形成され、内部に冷媒が流通する冷媒流路が形成され、前記受熱面に対して垂直方向に積層された複数の冷却器と、
前記冷却器を前記積層方向に挟圧する挟圧手段と、を備えた発熱素子の冷却装置において、
前記冷却器に前記積層方向の変形を許容する変形部を形成し、前記変形部の前記積層方向の中心と前記挟圧手段の中心とを一致して設けたことを特徴とする発熱素子の冷却装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発熱素子の冷却装置において、
前記変形部は、隣接する冷却器の冷媒流路を接続する開口部を含む隆起部からなり、前記挟圧手段を前記開口部に挿通させたことを特徴とする発熱素子の冷却装置。
【請求項３】
請求項１に記載の発熱素子の冷却装置において、
前記変形部は、隣接する冷却器の冷媒流路を接続する開口部の間に設けられた、当該開口部の間を密封する環状シール部材からなることを特徴とする発熱素子の冷却装置。
【請求項４】
請求項３に記載の発熱素子の冷却装置において、
前記冷却器の前記開口部の周囲に、前記環状シール部材の位置を規制する突起部を形成したことを特徴とする発熱素子の冷却装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の発熱素子の冷却装置において、
前記挟圧手段は、ボルトおよび当該ボルトに螺合するナットを有し、挟圧板を介して前記冷却器を挟圧することを特徴とする発熱素子の冷却装置。
【請求項６】
請求項３に記載の発熱素子の冷却装置において、
前記挟圧手段は、前記開口部間の冷媒流路を連通させる流路が形成された中空ボルトと、当該中空ボルトに螺合するナットを有することを特徴とする発熱素子の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発熱素子の冷却装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の扁平冷媒管（冷却器）の間に発熱素子を挟み、スルーボルトにより挟圧することでヘッダ部を変形させ、これにより扁平冷媒管および発熱素子の積層方向の長さと、両ヘッダ部の積層方向の長さとの公差を吸収するように構成した発熱素子の冷却装置が提案されている（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２１４６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の冷却装置では、スルーボルトによる挟圧の際に挟圧板に反りが生じるため、発熱素子と扁平冷媒管とを均一に接触させることができず、これにより放熱経路の熱抵抗のバラツキが大きくなるといった問題がある。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、発熱素子と冷却器とを均一に接触させることができる発熱素子の冷却装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、冷却器に形成した変形部の積層方向の中心と、挟圧手段の中心とを一致させることによって上記課題を解決する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、冷却器に形成した変形部の積層方向の中心と、挟圧手段の中心とが一致しているので、変形時の応力は変形部に均等に作用する。これにより、発熱素子と冷却器とを均一に接触させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【０００９】
本実施形態に係る冷却装置１は、スイッチング素子やダイオードを含む両面冷却型半導体モジュールを冷却するための冷却装置であり、このような半導体モジュールは、たとえばハイブリッド車や燃料電池車等の電動車両用駆動モーターへの電力供給を制御するインバータ装置に用いることができる。
【００１０】
本例の冷却対象物である両面冷却型半導体モジュールは、三相インバータブリッジ回路を個別に構成するＩＧＢＴなどのトランジスタやダイオードからなる半導体チップと、この半導体チップの両主面にそれぞれはんだ付けされた一対の銅電極端子とを有し、銅電極端子および制御信号入出力端子を除き、樹脂モールドされて平板状に形成されている。この種の半導体モジュールは駆動により発熱をともなうことから、本例の冷却装置１により除熱する必要がある。
【００１１】
なお、本例の冷却装置１の冷却対象物は両面冷却型半導体モジュールに何ら限定されることはなく、他の発熱素子を冷却することも可能である。また、両主面に露出した電極端子が非絶縁型である半導体モジュールの場合には、絶縁層を半導体モジュールと後述する冷却器１０との間に挿入することで、半導体モジュールと冷却器１０とを電気的に絶縁することができる。この場合の絶縁層としては、シリコーンゴム等を基材とした絶縁シートや、窒化アルミニウムや窒化珪素等のセラミックス板を用いることができる。
【００１２】
ここでは、このような両面冷却型半導体を含めた冷却対象を発熱素子２と称して、以下の各実施形態を説明する。
【００１３】
《第１実施形態》
図１は第１実施形態に係る発熱素子の冷却装置１を示す側面図、図２は同冷却装置１の右端を拡大して示す断面図、図３は図２のIII-III線に沿う端面図である。
【００１４】
本例の冷却装置１は、２つの冷却器１０と、４つのスルーボルト２０と、４つの袋ナット２１と、２つの挟圧板３０，３１を備える。スルーボルト２０および袋ナット２１が本発明の挟圧手段に相当する。
【００１５】
冷却器１０は冷却器本体１１を有し、当該冷却器本体１１は、矩形のアルミニウム製薄板を椀状にプレス成形したのち、内部にコルゲートフィンをろう付け接合して挟みつつ２枚の当該プレス成形品１１Ａ，１１Ｂを突合わせし、全周をろう付けなどにより接合したものである。
【００１６】
この２枚のプレス成形品１１Ａ，１１Ｂにより内部に形成される扁平状の空間が冷媒流路１２となり、外部の平坦状の主面が発熱素子２に接触して受熱する受熱面１３となる。なお、受熱面１３の形状は平坦状にのみ限定されず、発熱素子２の主面との接触面積が極力大きくなるように適宜変更することができる。
【００１７】
図１に示すように、本例の冷却装置１は、一つの発熱素子２を２つの冷却器１０の間に挿入し、下側の冷却器１０の左端に接続された冷媒入口４０から冷媒を導入するとともに、上側の冷却器１０の右端に接続された冷媒出口４１から冷媒を導出することで、発熱素子２からの熱を、受熱面１３を介して冷媒に放熱する。
【００１８】
このため、図２及び図３に示すように、上側の冷却器１０の下側のプレス成形品１１Ａと、下側の冷却器１０の上側のプレス成形品１１Ａの両端に、長円形状の開口部１４がそれぞれ形成されている。そして、上下２つの冷却器１０の対面する２つの開口部１４は互いに連通し、その周囲はろう付けなどにより接合されることにより冷媒流路１２のシール性が確保されている。
【００１９】
上下２つの冷却器１０の対面する開口部１４には、互いの方向に向かって隆起する隆起部１５が全周にわたって同一高さで形成されている。本例の開口部１４は長円形に形成されているので隆起部１５も同芯の長円形とされている。
【００２０】
対面する２つの隆起部１５を合わせた高さは、発熱素子２の厚さより大きく形成されており、そのぶんだけ圧縮変形が可能となっている。冷却器本体１１はアルミニウム製薄板から構成されているので、後述するスルーボルト２０および袋ナット２１により挟圧板３０，３１を介して２つの冷却器１０を挟圧すると、対面する２つの隆起部１５が圧縮変形し、発熱素子２の主面が冷却器１０の受熱面１３に接触することになる。本例の隆起部１５が本発明の変形部に相当する。
【００２１】
なお、図２および図３には冷却器１０の右半分のみを示したが、左半分もこれと対称形状に形成されている。したがって、図１に示す下側の冷却器１０の左端に接続された冷媒入口４０から導入された冷媒の一部は、そのまま下側の冷却器１０の冷媒流路１２を右方向へ流れ、上下２つの冷却器１０の右側に形成された開口部１４を通過して上側の冷却器１０に至り、冷媒出口４１から導出される。
【００２２】
一方、冷媒入口４０から導入された冷媒の残余は、上下２つの冷却器１０の左側に形成された開口部１４を通過して上側の冷却器１０に至り、当該上側の冷却器１０の冷媒流路１２を右方向へ流れて、そのまま冷媒出口４１から導出される。
【００２３】
なお、冷媒出口４１と冷媒入口４０とは、図示しないポンプおよびラジエータを含む冷却水循環装置に接続され、冷媒出口４１から導出された冷媒は、冷却水循環装置にて冷却されたのち、再び冷媒入口４０に導入されるようになっている。
【００２４】
上側の冷却器１０の上側のプレス成形品１１Ｂと、下側の冷却器１０の下側のプレス成形品１１Ｂの四隅には、４つのスルーボルト２０がそれぞれ挿通する丸孔１６が形成されている。この丸孔１６はスルーボルト２０が挿通できる大きさであればよい。
【００２５】
上側の冷却器１０の上部と下側の冷却器１０の下部には、剛性を有するアルミニウム製板材からなる挟圧板３０，３１が設けられている。これらの挟圧板３０，３１は、４つの丸孔１６の周囲においてそれぞれの冷却器１０にろう付けにより接合されている。
【００２６】
挟圧板３０，３１の四隅には、スルーボルト２０が挿通する丸孔３２，３３が形成されている。そして、上側の挟圧板３０とスルーボルト２０との間にシールワッシャ２２が介装され、下側の挟圧板３１と袋ナット２１との間にもシールワッシャ２３が介装されている。上述したように、冷却器１０と挟圧板３０，３１とは丸孔１６の周囲でろう付けされ、さらに挟圧板３０とスルーボルト２０と間および挟圧板３１と袋ナット２１との間にはそれぞれシールワッシャ２２，２３が介装されているので、これらによって２つの冷却器１０の冷媒流路１２のシール性が確保されることになる。
【００２７】
スルーボルト２０は、挟圧板３０，３１の四隅であって、冷却器１０の開口部１４を貫通する位置において袋ナット２１に締結される。すなわち本例の冷却装置１にあっては、スルーボルト２０および袋ナット２１の締め付け位置の中心Ａ１と、隆起部１５の中心Ａ２とを一致させている。
【００２８】
ここで、本例における隆起部１５の中心Ａ２とは、当該隆起部１５の構造上、隆起部１５が均等に圧縮変形するための作用点となる位置を意味する。図３に示すような長円形の隆起部１５を２つの作用点で圧縮変形させる場合には、Ｘ軸方向については長円の中心線上であって、Ｙ軸方向については長円の中心から等しい位置が、隆起部１５の中心となる。したがって、同図に示すスルーボルト２０の中心Ａ１は、長円のＹ軸方向の中心から等しい位置であれば、必ず隆起部１５の中心Ａ２に一致することになる。
【００２９】
ちなみに、本例では開口部１４を長円形状に形成したので、隆起部１５も当該開口部１４を包囲する長円形状としたが、円形の開口部１４を冷却器１０の四隅などに形成することもできる。円形の開口部１４を冷却器１０の四隅に形成する場合は、隆起部１５もこれを包囲する同芯の円形とすることが好ましく、この場合、スルーボルト２０の中心Ａ１を円形の隆起部１５の中心Ａ２に一致させることが望ましい。
【００３０】
また、開口部１４の開口面積は冷媒の流量、ひいては冷却装置１の冷却能力に影響することから、円形の開口部１４を冷却器１０の両端のそれぞれにＹ軸方向に沿って３つ以上形成し、一定量以上の冷媒流量を確保することもできる。この場合には、円形の開口部１４をＹ軸方向中心から等配位置に形成し、それぞれの開口部１４を包囲するように同芯の隆起部１５を形成する。そして、両端に位置する２つの隆起部１５の中心とスルーボルト２０の中心とを一致させることが望ましい。
【００３１】
冷却装置１に発熱素子２をセットするに際しては、冷媒入口４０と冷媒出口４１がろう付けなどにより接合された２つの冷却器１０のそれぞれに、挟圧板３０，３１を接合したのち、２つの冷却器１０の受熱面１３の間に発熱素子２を挿入する。スルーボルト２０および袋ナット２１により冷却器１０を挟圧する前の状態では、対面する２つの隆起部１５の間隔（受熱面１３の間隔に相当する）は、発熱素子２の厚さより大きく形成されているので、発熱素子２を容易に挿入することができる。
【００３２】
そして、冷却器１０の四隅について、シールワッシャ２２を介装しつつスルーボルト２０を丸孔３２，１６、開口部１４，１４および丸孔１６，３３に順次挿通し、さらにシールワッシャ２３を介装して袋ナット２１に締め付ける。
【００３３】
このスルーボルト２０と袋ナット２１とを締め付ける際、本例ではスルーボルト２０の中心Ａ１を隆起部１５の中心Ａ２に一致させているため、発熱素子２が冷却器１０の受熱部１３と接触するまでは、隆起部１５を均等に圧縮変形させることができる。したがって、上述した特許文献１に記載された従来の冷却装置のようにスルーボルトが変形部の外側にある構造に比べて、挟圧板３０，３１の反りが少なくなり、発熱素子２を均等に挟圧することができる。その結果、発熱素子２と冷却器１０の受熱面１３とが均一に接触し、接触熱抵抗のばらつきを小さくすることができる。
【００３４】
また、本例ではスルーボルト２０の中心Ａ１を隆起部１５の中心Ａ２に一致させているが、隆起部１５と開口部１４とは同芯であるため、２つの冷却器１０が接合される開口部１４には、スルーボルト４から均等な挟圧力が働く。したがって、冷却器１０の開口部１４に加わる応力のばらつきが小さくなり、ろう付け部に過大な応力が加わってクラック等が生じるのを防止することができる。すなわち、開口部１４の接合信頼性を向上させることができる。
【００３５】
なお、上述した実施形態では２つの冷却器１０をスルーボルト２０と袋ナット２１で挟圧するにあたり２つの挟圧板３０，３１を用いたが、この挟圧板３０，３１を省略することもできる。挟圧板３０，３１を省略した場合でも、スルーボルト２０の中心Ａ１を隆起部１５の中心Ａ２に一致させれば、スルーボルト３０の締め付けによる冷却器１０自体の反りが少なくなり。発熱素子２を均等に挟圧することができる。
【００３６】
また、スルーボルト２０および袋ナット２１を冷却器１０の四隅に設けたが、四隅以外の位置に設けることもできる。また、袋ナット２１に代えて単なるナットを用いることもできる。
【００３７】
さらに、図１に示す冷却装置１は２つの冷却器１０により１つの発熱素子２を冷却するように構成したが、図４に示すように複数の発熱素子２を冷却することもできる。
【００３８】
図４は上述した実施形態に係る冷却装置１の変形例を示す側面図であり、５つの冷却器１０を積層し、各冷却器１０の受熱面１３の間に４つの発熱素子２を挿入した変形例である。本例の場合、積層された冷却器１０Ａ〜１０Ｅのうち上下両端の冷却器１０Ａ，１０Ｅは図２に示す冷却器１０のそれぞれと同じ構造である。これに対し、冷却器１０Ｂ〜１０Ｄは、２つのプレス成形品１１Ａ，１１Ｂの両方に開口部１４および隆起部１５が形成された形状となる。すなわち、同一形状のプレス成形品１１Ａ，１１Ｂを突合わせした冷却器１０Ｂ〜１０Ｄとされている。これ以外は図１に示す実施形態と同じである。
【００３９】
《第２実施形態》
図５は第２実施形態に係る発熱素子の冷却装置１の右端を示す断面図、図６は図５に示す環状シール部材を示す斜視図、図７は図５のVII-VII線に沿う端面図である。
【００４０】
上述した第１実施形態では各冷却器１０に隆起部１５を形成しこれを変形部としたが、本例の冷却装置１は、隆起部１５に代えて環状シール部材１７を２つの冷却器１０の間に設けている。
【００４１】
すなわち、図５に示すように、上側の冷却器１０の下側のプレス成形品１１Ａには円形の開口部１４が形成され、下側の冷却器１０の上側のプレス成形品１１Ａにも円形の開口部１４が形成されている。また、上側の冷却器１０の下側のプレス成形品１１Ａの外面には環状シール部材１７より僅かに大径であって開口部１４と同芯の突起部１８が形成され、下側の冷却器１０の上側のプレス成形品１１Ａの外面にも環状シール部材１７より僅かに大径であって開口部１４と同芯の突起部１８が形成されている。この突起部１８は、連続した環状の突起部とすることができ、あるいは非連続的な環状の突起部とすることもできる。
【００４２】
そして、２つの突起部１８に保持されることで位置決めされ、また横つぶれすることなく積層方向に圧縮変形するように、環状シール部材１７が２つの冷却器１０の間に介装されている。すなわちこれにより、環状シール部材１７は開口部１４と同芯となっている。この環状シール部材１７は、発熱素子２の厚さより厚く形成され、弾性を有するゴム材料またはエラストマ樹脂などで構成されて冷却器１０の積層方向に対して圧縮変形することができる。また、２つの冷却器１０の冷媒流路１２を接続する通路として機能するとともに、２つの開口部１４間をシールする機能をも有する。
【００４３】
スルーボルト２０は、上述した第１実施形態と同様に冷却器１０の四隅であって、開口部１４を貫通する位置において雌ねじ２４に締結される。すなわち本例の冷却装置１にあっては、スルーボルト２０および袋ナット２１の締め付け位置の中心Ａ１と、変形部である環状シール部材１７の中心Ａ２とを一致させている。
【００４４】
なお、本例では、上述した第１実施形態の袋ナット２１に代えて、下側の冷却器１０の下側のプレス成形品１１Ｂが一部肉厚に形成され、ここにスルーボルト２０が締め付けられる雌ねじ２４が形成されている。
【００４５】
ただし、第１実施形態と同様に袋ナット２１を用いることができ、また袋ナットに代えて通常のナットを用いることもできる。また、本例では挟圧板３０，３１を省略したが、第１実施形態と同様に２つの挟圧板３０，３１を用いて冷却器１０を挟圧することもできる。
【００４６】
本例の冷却装置１を組み立てる場合は、２つの冷却器１０のうち、図５において下側の冷却器１０の上に環状シール部材１７および発熱素子２を載せ、上側の冷却器１０を環状シール部材１７および発熱素子２の上に載せたのち、シールワッシャ２２を介装したスルーボルト２０を雌ねじ２４に締め付ける。
【００４７】
このスルーボルト２０を雌ねじ２４に締め付ける際、本例ではスルーボルト２０の中心Ａ１と環状シール部材１７の中心Ａ２とを一致させているため、発熱素子２が冷却器１０の受熱部１３と接触するまでは、環状シール部材１７を均等に圧縮変形させることができる。したがって、上述した特許文献１に記載された従来の冷却装置のように、スルーボルトが変形部の外側にある構造に比べて、冷却器１０の反りが少なくなり、発熱素子２を均等に挟圧することができる。その結果、発熱素子２と冷却器１０の受熱面１３とが均一に接触し、接触熱抵抗のばらつきを小さくすることができる。このとき、突起部１８が環状シール部材１７の横つぶれを抑制するので、環状シール部材１７は、積層方向に沿って適切に圧縮変形することができる。
【００４８】
また、本例の冷却装置１は、一対の冷却器１０をろう付け等で接合することに代えて、一対の冷却器１０と環状シール部材１７と発熱素子２を積層配置した後に、スルーボルト２０により一括して締め付ける構造であるため、従来の冷却装置や上述した第１実施形態の冷却装置１に比べて組立て性が向上する。
【００４９】
なお、図５に示す冷却装置１は２つの冷却器１０により１つの発熱素子２を冷却するように構成したが、図４に示すように複数の発熱素子２を冷却することもできる。
【００５０】
《第３実施形態》
図８は第３実施形態に係る発熱素子の冷却装置１における変形部を示す断面図、図９は中空ボルト１９を示す斜視図、図１０は図８のX-X線に沿う端面図である。
【００５１】
上述した第２実施形態では変形部として環状シール部材１７を採用し、挟圧手段としてスルーボルト２０および袋ナット２１を採用したが、本例では、第２実施形態のスルーボルト２０に代えて中空ボルト１９を採用し、第２実施形態の環状シール部材１７に相当する２つの環状シール部材１９５を２つの冷却器１０の間に設けている。
【００５２】
本例の中空ボルト１９は、図９に示すように鋼材からなる中空パイプであって、側壁上端と下端のそれぞれに雄ねじ１９２が形成され、中央に鍔部１９３が形成されている。上端の雄ねじ１９２は、図８に示すようにシールワッシャ２２を介して袋ナット２５に締め付けられ、下端の雄ねじ１９２は、下側の冷却器１０に形成された雌ねじ２４に締め付けられている。
【００５３】
また、上側の冷却器１０の下側のプレス成形品１１Ａには中空ボルト１９より僅かに大径の円形開口部１４が形成され、下側の冷却器１０の上側のプレス成形品１１Ａにも中空ボルト１９より僅かに大径の円形開口部１４が形成されている。そして、中空ボルト１９の鍔部１９３と２つの冷却器１０との間にそれぞれ環状シール部材１９５を介装することで、積層方向の圧縮変形が許容されるとともに、冷媒流路１２のシール性が確保されている。なお、２つの環状シール部材１９５と鍔部１９３の厚さの総計は発熱素子２の厚さより厚く形成され、このぶんだけ圧縮変形が可能となっている。環状シール部材１９５は、第２実施形態の環状シール部材１７と同様に弾性を有するゴム材料やエラストマ樹脂により構成することができる。
【００５４】
中空ボルト１９には、冷却器１０の冷媒流路１２に相当する側壁の位置に、複数の通孔１９１が形成され、この通孔１９１に冷媒が流れ込むことで中空ボルト１９の内部が冷媒の流路１９４となり、２つの冷却器１０の冷媒流路１２が連通することになる。
【００５５】
本例の冷却装置１を組み立てる場合は、２つの冷却器１０のうち、図８において下側の冷却器１０の上に発熱素子２を載せ、環状シール部材１９５を装着した中空ボルト１９の下端の雄ねじ１９２を下側の冷却器１０の雌ねじ２４に締め付ける。次いで、中空ボルト１９が貫通するように上側の冷却器１０を発熱素子２の上面に被せ、最後にシールワッシャ２２を介装し、中空ボルト１９の上端の雄ねじ１９２を袋ナット２５に締め付ける。
【００５６】
この中空ボルト１９の上端の雄ねじ１９２に袋ナット２５を締め付ける際、本例では中空ボルト１９の中心Ａ１と環状シール部材１９５の中心Ａ２とを一致させているため、発熱素子２が冷却器１０の受熱面１３と接触するまでは、環状シール部材１９５を均等に圧縮変形させることができる。したがって、上述した特許文献１に記載された従来の冷却装置のように、スルーボルトが変形部の外側にある構造に比べて、冷却器１０の反りが少なくなり、発熱素子２を均等に挟圧することができる。その結果、発熱素子２と冷却器１０の受熱面１３とが均一に接触し、接触熱抵抗のばらつきを小さくすることができる。
【００５７】
また、本例の冷却装置１は、一対の冷却器１０をろう付け等で接合することに代えて、下側の冷却器１０と中空ボルト１９を固定したのち、発熱素子２を下側の冷却器１０の上に配置し、その上に上側の冷却器１０を中空ボルト１９が貫通するように載せたのちに袋ナット２５で固定する構造であるため、従来の冷却装置や上述した第１実施形態の冷却装置に比べて組立て性が向上する。
【００５８】
なお本例では、２つの環状シール部材１９５に加わるトルクを個別に管理可能なように、中空ボルト１９の中央に鍔部１９３を形成している。しかし、この鍔部１９３を省略して、２つの環状シール部材１９５を一体化させた環状シール部材１９５を使用することもでき、この場合も熱抵抗ばらつきの低減効果や、組立て性の向上効果を享受することができる。
【００５９】
また、図８に示す冷却装置１は２つの冷却器１０により１つの発熱素子２を冷却するように構成したが、図４に示すように複数の発熱素子２を冷却することもできる。
【００６０】
さらに本例では、下側の冷却器１０の下側のプレス成形品１１Ｂが一部肉厚に形成され、ここに中空ボルト１９の下端の雄ねじ１９２が締め付けられる雌ねじ２４が形成されているが、第１実施形態と同様に袋ナット２１を用いることができ、また袋ナットに代えてナットを用いることもできる。
【００６１】
また本例では、挟圧板３０，３１を省略したが、第１実施形態と同様に２つの挟圧板３０，３１を用いて冷却器１０を挟圧することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施形態に係る発熱素子の冷却装置を示す側面図である。
【図２】図１に示す実施形態に係る変形部を示す断面図である。
【図３】図１に示す実施形態に係る変形部を示す、図２のIII-III線に沿う端面図である。
【図４】図１に示す実施形態に係る発熱素子の冷却装置の変形例を示す側面図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る発熱素子の冷却装置における変形部を示す断面図である。
【図６】図５に示す環状シール部材を示す斜視図である。
【図７】図５に示す実施形態に係る変形部を示す、同図のVII-VII線に沿う端面図である。
【図８】本発明のさらに他の実施形態に係る発熱素子の冷却装置における変形部を示す断面図である。
【図９】図８に示す中空ボルトを示す斜視図である。
【図１０】図８に示す実施形態に係る変形部を示す、同図のX-X線に沿う端面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１…冷却装置
１０…冷却器
１１…冷却器本体
１１Ａ，１１Ｂ…プレス成形品
１２…冷媒流路
１３…受熱面
１４…開口部
１５…隆起部（変形部）
１６…丸孔
１７，１９５…環状シール部材
１８…環状突起部
１９…中空ボルト
１９１…通孔
１９３…鍔部
１９４…流路
２０…スルーボルト（挟圧手段）
２１…袋ナット（挟圧手段）
４０…冷媒入口
４１…冷媒出口
２…両面冷却型半導体モジュール（発熱素子）
【図１】
2009212137.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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