(57)【要約】【課題】繰り返し精度（駆動速度の再現性）及び速度安定性の良好な超音波モータを提供すること。【解決手段】超音波振動子2と、超音波振動子2に固着された複数の駆動子2bと、前記複数の駆動子2bと各々当接している複数の第１相対運動部材5Aと、前記複数の第１相対運動部材5Aに対向している第２相対運動部材5Bと、各々の前記複数の第１相対運動部材5Aと前記第２相対運動部材5Bとに接触して設けられている突起部材5Cとを具備し、前記複数の突起部材5Cは、前記第１相対運動部材5Aの傾きを前記摩擦部材2bの傾きに追従させる形状であり且つ前記複数の駆動子2bの各々に対応する位置に設けられており、前記第１相対運動部材5Aの傾きが前記駆動子2bの傾きに追従した状態で、前記第１部材5Aと前記第２部材5Bとが前記突起部材5Cを介して接着固定されている超音波モータ。【選択図】      図１
2009033791.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得て被駆動部材を駆動する超音波モータにおいて、
圧電素子を有する超音波振動子と、
前記超音波振動子に固着され、前記被駆動部材と当接している複数の摩擦部材と、
前記複数の摩擦部材と各々当接している複数の第１部材と、前記複数の第１部材に対向している第２部材と、各々の前記複数の第１部材と前記第２部材との間でそれらに接触して設けられている複数の接触部材とを有し、前記複数の摩擦部材との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、
を具備し、
前記複数の接触部材は、前記第１部材の傾きを前記摩擦部材の傾きに追従させる形状であり、且つ前記複数の摩擦部材のそれぞれに対応する位置に設けられており、
前記第１部材と前記第２部材とは、前記第１部材の傾きが前記摩擦部材の傾きに追従した状態で、前記接触部材を介して接着固定されていることを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記接触部材は、前記第１部材と一体的に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記接触部材は、前記第２部材と一体的に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記第２部材には前記接触部材と係合する凹部が設けられており、
前記第１部材に設けられた前記接触部材は、前記第２部材に設けられた凹部と係合することを特徴とする請求項２に記載の超音波モータ。
【請求項５】
前記第１部材には前記接触部材と係合する凹部が設けられており、
前記第２部材に設けられた前記接触部材は、前記第１部材に設けられた凹部と係合することを特徴とする請求項３に記載の超音波モータ。
【請求項６】
圧電素子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得て被駆動部材を駆動する超音波モータにおいて、
圧電素子を有する超音波振動子と、
前記超音波振動子に固着され、前記被駆動部材と当接している複数の摩擦部材と、
前記複数の摩擦部材と各々当接している複数の第１部材と、前記複数の第１部材と対向する対向面を有し且つ該対向面のうち前記複数の摩擦部材のそれぞれに対応する位置に凹部を備える第２部材と、各々の前記凹部に収容され且つそれぞれ対向する前記第１部材と接触する複数の接触部材とを有し、前記複数の摩擦部材との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、
を具備し、
前記複数の接触部材は、前記第１部材の傾きを前記摩擦部材の傾きに追従させる形状であり、
前記第１部材と前記第２部材とは、前記第１部材の傾きが前記摩擦部材の傾きに追従した状態で、前記接触部材を介して接着固定されていることを特徴とする超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、圧電素子などの振動子の振動を利用した超音波モータが注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータと比較して、ギアなしで低速高推力が得られる点、保持力が高い点、ストロークが長く、高分解能である点、静粛性に富む点、磁気的ノイズを発生せず、また、磁気的ノイズの影響を受けない点等の利点を有している。
【０００３】
上述の超音波モータにおいては、推力や保持力を発揮させる為に、振動子を被駆動体に押し付ける必要があると同時に、振動子の振動を外部に伝達させないことも必要である。その為、超音波モータにおける振動子を被駆動体に押し付けるさまざまな機構が提案されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、直方体状に形成された弾性体と、前記弾性体の一方の平面に装着されて前記弾性体に複数種類の振動を発生させる電気機械変換素子と、前記弾性体の他方の平面に形成される駆動取出部とを有する振動子と、前記駆動力取出し部を介して前記弾性体に加圧された状態で接触する相対運動部材と、前記駆動力取出部に装着された摩擦部材とを備え、前記摩擦部材は、前記弾性体における前記他方の平面の短辺方向に対して部分的に配置されている振動アクチュエータが開示されている。
【０００５】
この特許文献１に開示された振動アクチュエータによれば、前記摩擦部材の装着位置が、駆動力取出部に発生する楕円運動の振幅が略一定の範囲であるので、駆動力取出部のうちの振幅が略一定である範囲だけが相対運動部材に接触し、接触部の面圧が略一定となる。
【０００６】
これにより、特許文献１に開示された振動アクチュエータによれば、駆動力取出部と相対運動部材との間の滑りが解消又は低減され駆動に伴う滑り音が発生しなくなって静音化が図られるとともに、振動伝達効率が向上して駆動効率が向上する。
【特許文献１】特開平９−３３１６８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、従来より超音波モータにおいては、部品精度、組み立て精度、及び積み重ね精度等に起因して、相対運動部材である被駆動部材（例えば摺動板）の傾きと、摩擦部材（例えば駆動子）の傾きとが一致しない。
【０００８】
従って、摺動板と、該摺動板に接触する複数の駆動子との接触角度に関して、各々の接触面同士に必ず角度的なズレが生じてしまう。
【０００９】
そして、このように摺動板と駆動子との接触状態が良好ではないこと（各々の駆動子における前記摺動板との接触面積のアンバランス）に起因して、次のような問題が生じる。すなわち、摺動板の駆動速度に関して、一方向への駆動速度と他方向への駆動速度とが同一の駆動速度とならない。つまり、当該超音波モータの繰り返し精度（駆動速度の再現性）及び速度安定性が悪化してしまう。
【００１０】
なお、特許文献１に開示されている技術では、このような問題点及びこのような問題点を解決する手段等に関しては、一切開示されていない。
【００１１】
本発明は、前記の事情に鑑みてなされたもので、繰り返し精度（駆動速度の再現性）及び速度安定性の良好な超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記の目的を達成するために、本発明の第１の態様による超音波モータは、圧電素子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得て被駆動部材を駆動する超音波モータにおいて、圧電素子を有する超音波振動子と、前記超音波振動子に固着され、前記被駆動部材と当接している複数の摩擦部材と、前記複数の摩擦部材と各々当接している複数の第１部材と、前記複数の第１部材に対向している第２部材と、各々の前記複数の第１部材と前記第２部材との間でそれらに接触して設けられている複数の接触部材とを有し、前記複数の摩擦部材との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、を具備し、前記複数の接触部材は、前記第１部材の傾きを前記摩擦部材の傾きに追従させる形状であり、且つ前記複数の摩擦部材のそれぞれに対応する位置に設けられており、前記第１部材と前記第２部材とは、前記第１部材の傾きが前記摩擦部材の傾きに追従した状態で、前記接触部材を介して接着固定されていることを特徴とする。
【００１３】
前記の目的を達成するために、本発明の第２の態様による超音波モータは、圧電素子に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得て被駆動部材を駆動する超音波モータにおいて、圧電素子を有する超音波振動子と、前記超音波振動子に固着され、前記被駆動部材と当接している複数の摩擦部材と、前記複数の摩擦部材と各々当接している複数の第１部材と、前記複数の第１部材と対向する対向面を有し且つ該対向面のうち前記複数の摩擦部材のそれぞれに対応する位置に凹部を備える第２部材と、各々の前記凹部に収容され且つそれぞれ対向する前記第１部材と接触する複数の接触部材とを有し、前記複数の摩擦部材との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、を具備し、前記複数の接触部材は、前記第１部材の傾きを前記摩擦部材の傾きに追従させる形状であり、前記第１部材と前記第２部材とは、前記第１部材の傾きが前記摩擦部材の傾きに追従した状態で、前記接触部材を介して接着固定されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、繰り返し精度（駆動速度の再現性）及び速度安定性の良好な超音波モータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態に係る超音波モータについて、図面を参照して説明する。
【００１６】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る超音波モータの構成を示す斜視図である。図２（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る超音波モータの構成を示す正面図である。図２（Ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る超音波モータの構成を示す上面図である。図２（Ｃ）は、図２（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図である。図２（Ｄ）は、後述する駆動子２ｂが大きく傾いた状態時の図２（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図である。
【００１７】
本第１実施形態に係る超音波モータ１は、超音波振動子２と、超音波振動子２に接触させられ且つ超音波振動子２に対して相対的に駆動される被駆動部材５と、被駆動部材５と後述する固定部材７との間に配置される転動部材６と、当該超音波モータ１の筐体であり且つ前記超音波振動子が固定される固定部材７と、超音波振動子２を被駆動部材５に押し付ける為の押圧部材８とを具備する。
【００１８】
前記超音波振動子２は、例えば矩形板状の圧電セラミックスシートの片側面にシート状の内部電極を設けたものを複数枚積層してなる直方体状の圧電素子２ａと、該圧電素子２ａの一側面に接着され且つ前記被駆動部材５に密着させられる２個の摩擦接触子（以下、駆動子と称する）２ｂとを有する。
【００１９】
前記圧電素子２ａは、内部電極に所定のパターンの交番電圧を加えることにより、図３に示す縦振動及び図４に示す２次の屈曲振動が励起される。特に、２次の屈曲振動は、図４に示すように前記圧電素子２ａの長手方向に間隔をあけて、３箇所に振動の定在波の節Ａ１，Ａ２、Ａ３を備える。そして、節Ａ１と節Ａ２との間には当該振動の定在波の腹Ｂ１が形成され、節Ａ２と節Ａ３との間には当該振動の定在波の腹Ｂ２が形成される。
【００２０】
ここで、前記駆動子２ｂは、直方体のブロック状に形成されており、前記圧電素子２ａにおける２次の屈曲振動の腹Ｂ１，Ｂ２に対応する位置に、接着剤等で固定されている。
【００２１】
本第１実施形態に係る超音波モータにおける主な特徴部の一つである前記被駆動部材５は、前記駆動子２ｂと密着している第１相対運動部材５Ａと、前記転動部材６上に載置される第２相対運動部材５Ｂと、前記第１相対運動部材５Ａに設けられた突起部材５Ｃとを有する。
【００２２】
前記突起部材５Ｃは、半球形状に形成され、その球凸部が前記第２相対運動部材５Ｂに接するように前記第１相対運動部材５Ａに設けられている。つまり、前記突起部材５Ｃは、前記第１相対運動部材５Ａの動きを妨げないように、その球凸部において前記第２相対運動部材５Ｂと点接触している。
【００２３】
ここで前記突起部材５Ｃは、前記駆動子２ｂと同数且つ前記駆動子２ｂに対応する位置に、つまり前記駆動子２ｂと一対一で対応するように、前記第１相対運動部材５Ａに設けられている。
【００２４】
前記転動部材６は、球体形状に形成されており、前記固定部材７上に設けられている。上述したように、この転動部材６上に前記第２相対運動部材５Ｂが設置されている。ここで、前記被駆動部材５の移動方向（図２（ａ）において矢印Ａ，Ｂで示す方向）の配置位置は、例えばリテーナ（不図示）等により規制されている。
【００２５】
ところで、上述した構成を採る為に、本第１実施形態に係る超音波モータは、例えば次のように組み付けられる。まず、前記固定部材７上に前記転動部材６が載置され、この転動部材６上に上述した構成の被駆動部材５が載置される。
【００２６】
続いて、この被駆動部材５上に、前記第１相対運動部材５Ａと前記駆動子２ｂとが当接するように前記超音波振動子２が載置される。さらに、前記固定部材７に螺子部材９によって螺子止めされた押圧バネである前記押圧部材８によって、前記超音波振動子２が、固定部材７側に押圧されて固定される（図２（Ｂ）参照）。
【００２７】
その後、次のような工程によって、前記第１相対運動部材５Ａと前記第２相対運動部材５Ｂとが、例えば接着剤等によって接着固定される。
【００２８】
すなわち、上述したように組み付けられると、前記突起部材５Ｃと前記第２相対運動部材５Ｂとの間の接触点の移動によって、各々の第１相対運動部材５Ａは、当該第１相対運動部材５Ａと接触する前記駆動子２ｂの面の傾きに追従して傾く。
【００２９】
従って、各々の駆動子２ｂと接する各々の第１相対運動部材５Ａの面の傾きと、各々の駆動子２ｂにおける各々の第１相対運動部材５Ａとの接触面の傾きとが一致する（図２（Ｄ）参照）。このとき、各々の駆動子２ｂとそれらに対応する各々の第１相対運動部材５Ａとの接触角度は、全て等しい角度となっている。
【００３０】
そして、この状態において図２（Ｄ）に示すように接着剤１１によって、前記第１相対運動部材５Ａと前記第２相対運動部材５Ｂとが接着固定される。つまり、前記第１相対運動部材５Ａと前記第２相対運動部材５Ｂとは、前記突起部材５Ｃを介して一体化される。
【００３１】
上述したような構成により、前記被駆動部材５の駆動時に、図２（Ａ）において矢印Ａによって示す方向への駆動速度と、矢印Ｂによって示す方向への駆動速度とを同一の駆動速度として、前記超音波振動子２及び前記固定部材７に対して相対的に、当該被駆動部材５を駆動させることが可能となる。
【００３２】
以上説明したように、本第１実施形態によれば、繰り返し精度（駆動速度の再現性）及び速度安定性の良好な超音波モータを提供することができる。
【００３３】
より具体的には、本第１実施形態に係る超音波モータにおいては、被駆動部材５を３つの部材すなわち第１相対運動部材５Ａと、第２相対運動部材５Ｂと、突起部材５Ｃとによって構成し、前記突起部材５Ｃを、前記第１相対運動部材５Ａの可動範囲の自由度の高さを確保できるように前記第１相対運動部材５Ａと前記第２運動部材５Ｂとに接触させることで、前記第１相対運動部材５Ａの傾きを前記駆動子２ｂの傾きにならわせることができる。
【００３４】
これにより、前記第１相対運動部材５Ａにおける前記駆動子２ｂと接触する面の傾きを、前記駆動子２ｂにおける前記第１相対運動部材５Ａと接触する面の傾きに一致させ、且つ各々の駆動子２ｂとそれらに対応する各々の第１相対運動部材５Ａとの接触角度を、全て等しい角度とすることができる。
【００３５】
つまり、本第１実施形態に係る超音波モータによれば、各々の駆動子２ｂとそれらに対応する各々の第１相対運動部材５Ａとの接触面積を、それぞれ互いに等しい接触面積とすることができる。
【００３６】
このような状態において、前記第１相対運動部材５Ａと前記第２相対運動部材５Ｂとが接着固定されて一体となっている為、前記第１相対運動部材５Ａと前記第２相対運動部材５Ｂと前記突起部材５Ｃとから成る被駆動部材５の駆動速度は、図２（Ａ）において矢印Ａによって示す方向へ駆動されるときと、矢印Ｂによって示す方向へ駆動されるときとで、同じ速度となる。つまり、当該超音波モータ１の速度安定性が向上する。また、当然ながら、繰り返し精度（駆動速度の再現性）も向上する。
【００３７】
なお、前記駆動子２ｂの数は２個に限られないことは勿論であり、前記駆動子２ｂを３個以上設ける場合には、それと同数の前記突起部材５Ｃを、各々の駆動子２ｂに対応する位置の前記第１相対運動部材５Ａに設ける。
【００３８】
また、前記突起部材５Ｃの形状は半球形状に限られないことは勿論であり、例えば円錐形状や三角錐形状等の形状、つまり前記第２相対運動部材５Ｂとの接触が点接触又は前記第１相対運動部材５Ａの動きの自由度を損ねないような面接触となる形状であれば良い。換言すれば、前記突起部材５Ｃの形状は、前記第１相対運動部材５Ａの動きの自由度を低くするような形状でなければよい。
【００３９】
［第１変形例］
次に前記第１実施形態に係る超音波モータの変形例について説明する。なお、上述した第１実施形態に係る超音波モータと重複する説明は省略し、本変形例に係る超音波モータと前記第１実施形態に係る超音波モータとの相違点に焦点を当てて説明する。
【００４０】
図５（Ａ）は、本変形例に係る超音波モータの構成を示す正面図である。図５（Ｂ）は、（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図である。なお、図５（Ａ），（Ｂ）においては、前記押圧部材８を、押圧ばねから成る押圧部材として簡略化して示している。また、前記固定部材７に関しても、簡略化して示している。
【００４１】
前記第１実施形態に係る超音波モータにおいては前記突起部材５Ｃを前記第１相対運動部材５Ａに設けていた。一方、本変形例に係る超音波モータにおいては、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記突起部材５Ｃを前記第２相対運動部材５Ｂに設ける。
【００４２】
すなわち、前記突起部材５Ｃは、半球形状に形成され、その球凸部が前記第１相対運動部材５Ａに点接触するように前記第２相対運動部材５Ｂに設けられている。
【００４３】
なお、前記突起部材５Ｃは、前記駆動子２ｂと同数及びそれらに対応する位置に、つまり前記駆動子２ｂと一対一で対応するように、前記第２相対運動部材５Ｂに設けられている。
【００４４】
また、前記突起部材５Ｃの形状は、例えば円錐形状や三角錐形状等の形状、つまり前記第１相対運動部材５Ａとの接触が点接触となるような形状であれば、半球形状以外の形状としても勿論良い。
【００４５】
換言すれば、前記突起部材５Ｃの形状は、例えば前記第１相対運動部材５Ａと面接触するような形状、つまり前記第１相対運動部材５Ａの動きの自由度を低くするような形状でなければよい。
【００４６】
以上説明したように、本変形例によれば、前記第１実施形態に係る超音波モータと同様の効果を奏する超音波モータを提供することができる。
【００４７】
[第２実施形態]
次に本発明の第２実施形態に係る超音波モータについて説明する。なお、上述した第１変形例に係る超音波モータと重複する説明は省略し、本第２実施形態に係る超音波モータと前記第１変形例に係る超音波モータとの相違点に焦点を当てて説明する。
【００４８】
図６（Ａ）は、本発明の第２実施形態に係る超音波モータの構成を示す正面図である。図６（Ｂ）は、（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図である。なお、図６（Ａ），（Ｂ）においては、前記押圧部材８を、押圧ばねから成る押圧部材として簡略化して示している。また、前記固定部材７に関しても、簡略化して示している。
【００４９】
すなわち、本第２実施形態においては、前記突起部材５Ｃと係合する凹部５Ｄが、前記第１相対運動部材５Ａに設けられている。この凹部５Ｄは、半球形状を有する前記突起部材５Ｃの球凸の半径よりも大きな半径を備える半球形状の凹部であり、前記突起部材５Ｃと係合する。
【００５０】
このように前記第１相対運動部材５Ａに凹部５Ｄを設けることで、当該超音波モータ１の組み付けがより容易になる。
【００５１】
以上説明したように、本第２実施形態によれば、前記第１変形例に係る超音波モータと同様の効果を奏する上に、組み付け容易性がより向上した超音波モータを提供することができる。
【００５２】
［第２変形例］
次に前記第２実施形態に係る超音波モータの変形例について説明する。なお、上述した第２実施形態に係る超音波モータと重複する説明は省略し、本変形例に係る超音波モータと前記第２実施形態に係る超音波モータとの相違点に焦点を当てて説明する。
【００５３】
図７（Ａ）は、本第２変形例に係る超音波モータの構成を示す正面図である。図７（Ｂ）は、（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図である。なお、図７（Ａ），（Ｂ）においては、前記押圧部材８を、押圧ばねから成る押圧部材として簡略化して示している。また、前記固定部材７に関しても、簡略化して示している。
【００５４】
前記第２実施形態に係る超音波モータにおいては前記突起部材５Ｃを前記第２相対運動部材５Ｂに設け、前記凹部５Ｄを前記第１相対運動部材５Ａに設けていた。一方、本変形例に係る超音波モータにおいては、図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記突起部材５Ｃを前記第１相対運動部材５Ａに設け、前記凹部５Ｄを第２相対運動部材５Ｂに設ける。
【００５５】
以上説明したように、本第２変形例によれば、前記第２実施形態に係る超音波モータと同様の効果を奏する超音波モータを提供することができる。
【００５６】
[第３実施形態]
次に本発明の第３実施形態に係る超音波モータについて説明する。なお、上述した第１変形例に係る超音波モータと重複する説明は省略し、本第３実施形態に係る超音波モータと前記第１変形例に係る超音波モータとの相違点に焦点を当てて説明する。
【００５７】
図８（Ａ）は、本変形例に係る超音波モータの構成を示す正面図である。図８（Ｂ）は、図８（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図である。
【００５８】
前記第１変形例に係る超音波モータでは、第２相対運動部材５Ｂに突起部材５Ｃを設けていた。一方、本第３実施形態に係る超音波モータでは、第２相対運動部材５Ｂに、前記突起部材５Ｃの代わりに凹部５Ｅを設け、且つこの凹部５Ｅに球体形状部材５Ｆを収容する。前記球体形状部材５Ｆは、図８（Ａ），（Ｂ）に示すように前記第１相対運動部材５Ａの動きを妨げないようにして前記第１相対運動部材５Ａと点接触する。
【００５９】
このように前記球体形状部材５Ｆを、前記第１相対運動部材５Ａに対して点接触させて、可動範囲の自由度の高さを確保することで、前記第１相対運動部材５Ａの傾きを前記駆動子２ｂの傾きにならわせる。換言すれば、前記突起部材５Ｃの機能を、前記凹部５Ｅ及び前記球体形状部材５Ｆに担わせる。
【００６０】
なお、前記球体形状部材５Ｆは例えばシリコンゴム等の防振材料から成る。
【００６１】
以上説明したように、本第３実施形態によれば、前記第１変形例に係る超音波モータと同様の効果を奏する上に、防振性の高い超音波モータを提供することができる。
【００６２】
より詳細には、本第３実施形態に係る超音波モータによれば、前記球体形状部材５Ｆによる防振効果によって、駆動時の当該超音波モータ１の発する音を軽減することができる。
【００６３】
なお、前記凹部５Ｅを前記第２相対運動部材５Ｂにではなく、前記第１相対運動部材５Ａに設けても勿論よい。
【００６４】
以上、第１実施形態乃至第３実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で、種々の変形及び応用が可能なことは勿論である。
【００６５】
さらに、上述した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の適当な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る超音波モータの構成を示す斜視図。
【図２】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る超音波モータの構成を示す正面図、（Ｂ）は本発明の第１実施形態に係る超音波モータの構成を示す上面図、（Ｃ）は（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図。（Ｄ）は、駆動子が大きく傾いた状態時の（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図。
【図３】内部電極に所定のパターンの交番電圧を加えることにより圧電素子に励起される縦振動を示す図。
【図４】内部電極に所定のパターンの交番電圧を加えることにより圧電素子に励起される屈曲振動を示す図。
【図５】（Ａ）は、第１変形例に係る超音波モータの構成を示す正面図、（Ｂ）は（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図。
【図６】（Ａ）は、第２実施形態に係る超音波モータの構成を示す正面図、（Ｂ）は（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図。
【図７】（Ａ）は、第２変形例に係る超音波モータの構成を示す正面図、（Ｂ）は（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図。
【図８】（Ａ）は、第３実施形態に係る超音波モータの構成を示す正面図、（Ｂ）は（Ａ）に示すＡ−Ａ線における断面図。
【符号の説明】
【００６７】
１…超音波モータ、  ２…超音波振動子、  ２ａ…圧電素子、  ２ｂ…駆動子、  ５…被駆動部材、  ５Ａ…第１相対運動部材、  ５Ｂ…第２相対運動部材、  ５Ｃ…突起部材、  ５Ｄ…凹部、  ５Ｅ…凹部、  ５Ｆ…球体形状部材、  ６…転動部材、  ７…固定部材、  ８…押圧部材、  ９…螺子部材、  １１…接着剤。
【図１】
2009033791.tif 000003
【図２】
2009033791.tif 000004
【図３】
2009033791.tif 000005
【図４】
2009033791.tif 000006
【図５】
2009033791.tif 000007
【図６】
2009033791.tif 000008
【図７】
2009033791.tif 000009
【図８】
2009033791.tif 000010