(57)【要約】【課題】作業者の熟練や長時間の段取りを必要とすることなく、回転軸に対する被加工物の偏芯調整を高精度に行う。【解決手段】主軸スピンドルの吸着面６に偏芯方向に可動に吸着保持された被加工物１の円筒部１１に対して、偏芯調整装置３の作用部４に測定子８ａが露出するように検出部８を内蔵させ、測定子８ａで円筒部１１の偏芯量を測定しつつ、作用部４で円筒部１１を押圧することで被加工物１の主軸スピンドルに対する偏芯が解消する芯出しを行うようにした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に交差する方向に可動に被加工物が吸着保持された主軸を回転させた状態で前記被加工物の外周部に調整手段を当接させて偏芯調整を行う偏芯調整装置であって、
前記調整手段の内部に、前記被加工物の前記回転軸に対する偏芯量を測定する偏芯量測定器の検出部を装着したことを特徴とする偏芯調整装置。
【請求項２】
請求項１に記載の偏芯調整装置において、
前記被加工物の外周に当接する前記調整手段の押し出し作用部は前記回転軸に対する押し出し方向に対し垂直な平面であり、
前記検出部は、当該検出部の測定子が前記回転軸と同じ高さとなる位置に、前記測定子の作動方向が前記押し出し方向に対して平行の向きになる姿勢で前記調整手段に取り付けられ、
前記測定子の先端部と前記調整手段の前記押し出し作用部とが同じ突き出し位置のとき、前記測定子の変位が測定範囲に含まれるように前記偏芯量測定器の前記測定範囲が設定されていることを特徴とする偏芯調整装置。
【請求項３】
請求項２に記載の偏芯調整装置において、
前記検出部を前記調整手段に螺合させ、前記検出部を回動させることで当該検出部の前記押し出し方向における突き出し位置を調整可能したことを特徴とする偏芯調整装置。
【請求項４】
回転軸に交差する方向に可動に被加工物が吸着保持された主軸を回転させるステップと、
前記被加工物の前記回転軸に対する偏芯量を測定する偏芯量測定器の検出部を備えた調整手段を当該被加工物に当接させるステップと、
前記調整手段と前記被加工物の外周部が接触した後に、前記検出部から得られる前記偏芯量の最大値と最小値の差の半分だけ、前記被加工物を押圧する方向に前記調整手段を移動させるステップと、
を含むことを特徴とする偏芯調整方法。
【請求項５】
請求項４に記載の偏芯調整方法において、
前記被加工物は真空吸引によって前記主軸に固定され、前記調整手段が前記被加工物に当接される偏芯調整の間は前記主軸に対する前記被加工物の可動方向の静摩擦力が０．０１Ｎ以上で２０Ｎ以下になるように真空吸着力を下げ、前記偏芯調整の終了後は前記真空吸着力を所望の回転加工に適した真空吸着力に戻して、前記被加工物の前記回転加工を行うことを特徴とする偏芯調整方法。
【請求項６】
請求項４に記載の偏芯調整方法において、
前記偏芯調整後に、前記調整手段を前記被加工物から離間させた状態で、前記検出部にて前記被加工物の偏芯量を測定することを特徴とする偏芯調整方法。
【請求項７】
回転軸に交差する方向に可動に被加工物が吸着保持される主軸と、
前記主軸とともに回転する前記被加工物に当接する加工工具と、
前記主軸とともに回転する前記被加工物の外周部に当接する調整手段に当該被加工物の前記回転軸に対する偏芯量を測定する偏芯量測定器の検出部を具備した偏芯調整装置と、
を含むことを特徴とする回転加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は偏芯調整装置および偏芯調整方法ならびに回転加工装置に関し、たとえば、回転加工される被加工物の偏芯調整技術に適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転軸対称のレンズ、プリズムなどの光学部品や当該光学部品の成形に用いられる金型は、高精度な形状はもとより、回転対称軸が上記光学部品の光軸に対して、偏芯誤差が所定の許容値以下になるように、高精度に一致している必要がある。
【０００３】
このような高い精度の光学部品の回転加工においては、加工装置の回転軸の中心に対して、光軸となる被加工物の中心軸との偏芯誤差が精度規格値以下となるように、被加工物を偏芯調整して、把持させる必要がある。
【０００４】
このような要求に対応する芯出し技術として、特許文献１に開示された技術が知られている。すなわち、回転駆動される主軸に取り付けたマグネットチャックに吸着されたワークに、一つの支点の回りで回動自在な支持板上に支持された二つ作用部を当接させ、支持板の支点がマグネットチャックの回転中心へ向かって移動する時に、二つの作用部がワークの外周に当接して位置偏倚したワークに対応して揺動しながらワークの位置ずれを矯正し、ワークの中心をマグネットチャックの回転中心に合わせる芯出しを行うものである。
【０００５】
しかしながら、上述の特許文献１の芯出し方法では、ワークの偏芯量を測定する測定器の検出部が、ワークに接する作用部とは別体となるため、調整の都度、前記測定器の検出部を個別に設置する必要があり、作業の段取りの所要時間が長くなり、加工全体のリードタイムが長くなるという技術的課題があった。
【０００６】
また、２箇所の作用部が支持板上で揺動しながらワークを押圧するため、作用部の調整方向とワークの移動方向のベクトルが一致せず、ワークに与えるべき偏芯調整量と作用部の移動量とが異なり、この両者の値の関係に習熟させるために作業者の熟練や教育が必要となっていた。
【０００７】
更に、支点の回りで回動する支持板は、回転自在にするために支点軸にクリアランスを設けている。よって、支持板に搭載された二つの作用部を、このクリアランス以下の精度で移動させることは困難であり、二つの作用部のワークに対する当接による偏芯調整、特にサブマイクロメートル以下の精度での偏芯調整は困難となっていた。
【特許文献１】特開２００７−２４５２４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、作業者の熟練や長時間の段取りを必要とすることなく、回転軸に対する被加工物の偏芯調整を高精度に行うことが可能な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の観点は、回転軸に交差する方向に可動に被加工物が吸着保持された主軸を回転させた状態で前記被加工物の外周部に調整手段を当接させて偏芯調整を行う偏芯調整装置であって、
前記調整手段の内部に、前記被加工物の前記回転軸に対する偏芯量を測定する偏芯量測定器の検出部を装着した偏芯調整装置を提供する。
【００１０】
本発明の第２の観点は、回転軸に交差する方向に可動に被加工物が吸着保持された主軸を回転させるステップと、
前記被加工物の前記回転軸に対する偏芯量を測定する偏芯量測定器の検出部を備えた調整手段を当該被加工物に当接させるステップと、
前記調整手段と前記被加工物の外周部が接触した後に、前記検出部から得られる前記偏芯量の最大値と最小値の差の半分だけ、前記被加工物を押圧する方向に前記調整手段を移動させるステップと、
を含む偏芯調整方法を提供する。
【００１１】
本発明の第３の観点は、回転軸に交差する方向に可動に被加工物が吸着保持される主軸と、
前記主軸とともに回転する前記被加工物に当接する加工工具と、
前記主軸とともに回転する前記被加工物の外周部に当接する調整手段に当該被加工物の前記回転軸に対する偏芯量を測定する偏芯量測定器の検出部を具備した偏芯調整装置と、
を含む回転加工装置を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、作業者の熟練や長時間の段取りを必要とすることなく、回転軸に対する被加工物の偏芯調整を高精度に行うことが可能な技術を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
［実施の形態１］
図１は、本発明の一実施の形態である偏芯調整装置の構成および作用の一例を示す側面図であり、図２は、本実施の形態の偏芯調整装置の構成の一例を示す略断面図、図３は、本実施の形態の偏芯調整装置の構成の一例を示す正面図、図４は、本実施の形態の偏芯調整装置の作用の一例を示す線図、図５は、本実施の形態の偏芯調整装置の作用の一例を示すフローチャートである。
【００１４】
また、図６は、本実施の形態の偏芯調整装置を備えた回転加工装置の構成の一例を示す側面図である。
［構成］
まず、図６を参照して、本実施の形態の回転加工装置５の全体構成の一例を説明する。
【００１５】
図６には、一例として、回転軸対称の被加工物１を加工するための機械加工装置としての回転加工装置５が例示されている。
本実施の形態の回転加工装置５のベース５ａの上には、被加工物１を把持して加工するため、ＡＣサーボモータ等の回転装置を空気静圧軸受け、油静圧軸受けや転がり軸受けのいずれかで支持され、主軸回転軸Ａに対し高精度に軸回転をする主軸スピンドル２（主軸）が備え付けられている。
【００１６】
回転加工装置５の主軸スピンドル２の内部は中空の吸引孔２ａになっており、主軸スピンドル２の先端の吸着面６の中央には、吸引孔２ａに直結する複数の吸着穴６ａが設けられている。
【００１７】
回転加工装置５の主軸スピンドル２の吸着面６の反対側から真空ポンプ２ｂ等の真空吸引装置により真空吸引を行い、吸引孔２ａを通じ吸着面６に密着した被加工物１を吸着穴６ａで真空吸着可能になっている。また、真空ポンプ２ｂには、空圧レギュレータ２ｃが設けられており、この空圧レギュレータ２ｃの圧力調整機能によって吸着穴６ａから被加工物１に作用する真空吸引力を変化させることができる。
【００１８】
回転加工装置５のベース５ａには、刃物台５ｂが載置され、この刃物台５ｂには、たとえば、切削工具、研削工具、研磨工具等の加工工具５ｃが搭載されている。
そして、主軸スピンドル２に保持されて回転する被加工物１に、加工工具５ｃを当接させることにより、切削、研削、研磨等の任意の回転機械加工が行われる。
【００１９】
この場合、ベース５ａの上には、さらに、主軸スピンドル２に上述のように吸着保持された被加工物１の主軸回転軸Ａに対する偏芯を補正する芯出しを行うための偏芯調整装置３（調整手段）が設けられている。
【００２０】
偏芯調整装置３および刃物台５ｂは、少なくともＸ軸方向（押し出し方向）とＺ軸方向の２軸方向に移動できる送り機構としてのスライド機構５ｄを介してベース５ａに搭載されている。
【００２１】
Ｚ軸方向は、図６の紙面の左右方向で主軸スピンドル２の主軸回転軸Ａの方向である。また、Ｘ軸方向は、図６の紙面に垂直で、Ｚ軸方向に直交する方向であり、偏芯調整装置３の主軸スピンドル２に対する相対的な変位方向（押し出し方向）である。
【００２２】
この場合、偏芯調整装置３の変位方向であるＸ軸方向は少なくとも０．１μｍ以下の精度で移動制御できるようにしている。
図２は、上述の偏芯調整装置３の構成例を示している。ここで、偏芯調整装置３の被加工物１の円筒部１１を押して偏芯調整をする端面である作用部４（押し出し作用部）は、主軸スピンドル２の主軸回転軸Ａに対し平行で、Ｘ軸およびＺ軸方向を含む平面に対し垂直な方向の平面となっている。
【００２３】
また、偏芯調整装置３は、偏芯調整時に掛かる力に対し、作用部４のたわみ量が０．１μｍ以下となるような剛性構造となっており、且つ剛体材料で構成されている。
また、作用部４の表面には、研磨等で面粗さを向上させるとともに、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングなどを施すことで、すべり性と剛性を高めた表面処理が行われている。
【００２４】
本実施の形態の場合、偏芯調整装置３には、偏芯量を測定する偏芯量測定器７の検出部８が内蔵されている。この検出部８としては、たとえば、電気マイクロメータ等で直動式のものを使用する。
【００２５】
検出部８は、ケーブル７ａを介して偏芯量測定器７に接続され、検出部８の先端部に設けられた測定子８ａの軸方向（Ｘ軸方向）の変位量が、電気信号として偏芯量測定器７に入力され、偏芯量測定器７のメータ部７ｂに数値や波形として可視化して表示される。
【００２６】
すなわち、偏芯調整装置３には、主軸回転軸Ａと同じ高さ、主軸回転軸Ａと作用部４の平面と垂直な方向に測定できる位置にキリ穴１０を設け、このキリ穴１０に検出部８を挿入し、検出部８の測定子８ａが作用部４におけるキリ穴１０の開口部に露出する構成となっている。
【００２７】
この検出部８の検出方向（この場合、Ｘ軸方向）におけるキリ穴１０に対する装着位置は、偏芯調整装置３の作用部４の平面と検出部８の測定子８ａの先端部９とが同じ突き出し高さになった時、偏芯量測定器７の測定範囲内で、且つ最も細かいレンジの表示範囲の中心となるような位置に設定されている。そして、この設定位置の状態で、キリ穴１０と検出部８とを接着１０ａを介して接着固定する。
【００２８】
もしくは、偏芯調整装置３の外面からキリ穴１０の側面に向けて螺子穴を設け、そのねじ穴にイモ螺子（全長に螺子山が形成され、螺子穴に埋め込み可能な螺子）を通し、イモ螺子により検出部８を固定する構成でもよい。
［作用］
以下に発明の実施の形態１の作用を具体的に説明するが、これらは本発明を限定するものではない。
【００２９】
本実施の形態１の作用を図１、図３、図４、図５等を参照して説明する。
図５には、被加工物１を回転加工装置５に把持させた後、加工前に偏芯調整を行う順序が例示されており、この図５に沿って説明を行う。
【００３０】
初めに、回転加工装置５の主軸スピンドル２の主軸回転軸Ａに対し、吸着面６のシフト方向（Ｘ軸方向）の偏芯誤差が規格以下の精度になるように偏芯調整を予め行い主軸スピンドル２に固定する。
【００３１】
この状態で吸着面６に対して切削加工もしくは研削加工を行い、吸着面６を高い平面度と、主軸回転軸Ａに対する高い垂直度を持つ状態にしておく（ステップＳ２０１）。
次に、被加工物１を吸着面６に真空吸着で保持させる。このとき、被加工物１の吸着面６に接する底面は高い平面度としておく（ステップＳ２０２）。
【００３２】
その後、たとえば、コンプレッサーで圧縮された圧縮空気を真空ポンプ２ｂと吸引孔２ａとの吸引経路の途中にある空圧レギュレータ２ｃに印加することで空気圧を下げる。これにより、真空ポンプ２ｂから吸引孔２ａに作用する真空圧が下がり、吸着面６における被加工物１の真空吸着力が、たとえば、吸着面６の平面方向に動き得る程度に低下する。
【００３３】
すなわち、被加工物１が吸着面６にて吸着中に、被加工物１の円筒部１１をＸ軸方向に押したときに被加工物１が移動し始める力、すなわち静摩擦力が、たとえば０．０１Ｎ以上で２０．０Ｎ以下の間になるように、空圧レギュレータ２ｃを介して、吸着穴６ａによる被加工物１の吸着力を設定する（低下させる）（ステップＳ２０３）。
【００３４】
次に、偏芯調整装置３の作用部４が被加工物１の基準となる円筒部１１に当接する位置まで、スライド機構５ｄでＺ軸方向に移動させる。その後、主軸スピンドル２を、たとえば、１〜３００ｒｐｍの範囲で回転させる。Ｘ軸方向のスライドで被加工物１の円筒部１１と偏芯調整装置３の作用部４とが接触する方向に移動させ、回転している被加工物１の円筒部１１の最大偏芯している部と偏芯調整装置３の作用部４とが接触する位置まで移動させる。
【００３５】
このときの円筒部１１と作用部４の接触は、検出部８の高さを主軸回転軸Ａと同じ高さにさせ、検出部８の向きを押し出し方向と平行にし、更に検出部８の測定子８ａの先端部９と作用部４の平面部の高さが一致したときに偏芯量測定器７の表示を中心にしているので、図４に示すように、円筒部１１の主軸回転軸Ａに対する偏芯量は、被加工物１の円筒部１１と作用部４とが接触する前は正弦波形状の数値で表示する。
【００３６】
円筒部１１と作用部４とが接触した後は、円筒部１１の主軸回転軸Ａに対する偏芯量を表す線図は、正弦波形状からある高い部分以上は固定された数値で表示する。このある正弦波からある値以上で固定された数値は、上記円筒部１１と作用部４とが接触していることを表している。このとき、偏芯量測定器７の表示した数値の最大と最小の差が主軸回転軸Ａに対する被加工物１の円筒部１１の偏芯量ΔＣとなる（ステップＳ２０４）。
【００３７】
被加工物１の円筒部１１と作用部４とが接触したときの偏芯量ΔＣを測定し、この偏芯量ΔＣの半分の量だけＸ軸方向に偏芯調整装置３を移動させ、被加工物１の円筒部１１を偏芯調整行う。こうして偏芯調整装置３をＸ軸方向に移動させ、偏芯調整をした後、偏芯量測定器７で偏芯量ΔＣを測定し、被加工物１の偏芯規格内に入っているかを確認する。規格内に入っていなければ、そのときの偏芯量の半分量をＸ軸スライドで更に移動させる（ステップＳ２０５）。
【００３８】
ステップＳ２０５で偏芯規格内であれば、偏芯調整装置３を押し出し方向と反対方向、すなわち被加工物１の円筒部１１から離れる方向に移動させ、円筒部１１と接触しない状態にする。このときの作用部４を円筒部１１から離間させるための偏芯調整装置３の移動量は、偏芯量測定器７の表示が正弦波形状を示すまでとする。そのときの偏芯量ΔＣ（観察される正弦波の最大振幅）を偏芯量測定器７にて測定し、偏芯規格値に入っていることを確認する（ステップＳ２０６）。
【００３９】
そして、偏芯規格値に入っていることを確認できなければ（ステップＳ２０７）、ステップＳ２０５に戻る。
また、ステップＳ２０７で偏芯規格値に入っていることを確認できれば、偏芯調整を終了し、この状態で、空圧レギュレータ２ｃを最大の圧力に戻し、真空吸着力も最大に戻るため、加工工具５ｃによる加工中に被加工物１が動かないようにする（ステップＳ２０８）。
【００４０】
この状態で、主軸スピンドル２とともに回転する被加工物１の加工工具５ｃによる切削、研削、研磨等の機械加工を行う。
［効果］
上述の実施の形態１によれば、主軸スピンドル２に対する被加工物１の真空吸着力を低下させることで被加工物１がスムーズに移動できるようになり、高剛性を持った偏芯調整装置３の高精度のＸ軸方向の移動で被加工物１の円筒部１１を押圧することで、被加工物１の円筒部１１の主軸回転軸Ａに対する偏芯誤差を高精度に調整できる。
【００４１】
また、偏芯量ΔＣを測定する偏芯量測定器７の検出部８が偏芯調整装置３に内蔵されているため、偏芯調整を行うたびに、偏芯量測定器７の検出部８の設置の段取りの所要時間を省くことができる。
【００４２】
また、被加工物１の円筒部１１と偏芯調整装置３の作用部４との接触と偏芯調整に必要な移動量を偏芯量測定器７の表示から簡単に把握することができ、偏芯調整も上記偏芯量ΔＣの半分だけ偏芯調整装置３を移動させれば良いので、作業者の熟練や教育は不要である。
【００４３】
すなわち、作業者の熟練や長時間の段取りを必要とすることなく、主軸回転軸Ａに対する被加工物１の偏芯調整を高精度に行うことが可能となる。
この結果、芯出し作業を含めた被加工物１の加工所要時間（リードタイム）の増加を防ぎ、回転加工装置５の稼働率の向上を図ることができる。
【００４４】
［実施の形態２］
［構成］
図７は、本発明の他の実施の形態である偏芯調整装置の構成例を示す断面図である。
【００４５】
この実施の形態２の場合、検出部８を偏芯調整装置３に螺着することで装置位置を可変にした点が上述の実施の形態１と異なっている。なお、上述の実施の形態１と共通な構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
【００４６】
すなわち、上述の実施の形態１では、キリ穴１０に検出部８を挿して接着１０ａを介して所定の位置に固定する例を示したが、この実施の形態２の場合には、キリ穴１０の一部に螺子穴１２を設ける。そして、検出部８の外周部に前記螺子穴１２と螺合する螺子リング１３を接着等で固定する。これにより、検出部８は、偏芯調整装置３のキリ穴１０に対して回動可能に螺着され、検出部８の回動量によって、検出部８の測定子８ａの作用部４に対する突き出し量を簡便かつ可変に設定可能としている。
【００４７】
［作用］
本実施の形態２の作用を、図７を参照して説明する。
検出部８の計測方向（この場合、Ｘ軸方向）の位置決めをする際には、検出部８を回動させると、当該検出部８に固定された螺子リング１３も回転するので、回転数と螺子ピッチの量だけキリ穴１０の軸方向に動く。よって、検出部８の検出方向の突き出し位置の調整を可変に設定できる。
【００４８】
［効果］
本実施の形態２によれば、上述の実施の形態１の効果に加えて、検出部８の検出方向の突き出し位置調整が、検出部８を回動させるだけで容易にでき、段取りの所要時間をさらに短縮することができる、という効果が得られる。
【００４９】
以上説明したように、上述の各実施の形態によれば、回転加工装置５の主軸スピンドル２に対して、回転軸対称形状を有する被加工物１を保持させる際に、主軸スピンドル２の主軸回転軸Ａに対する偏芯誤差を高精度に調整でき、加工リードタイムの増加を防ぎ、回転加工装置５の稼働率の向上を図ることができる。
【００５０】
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、主軸に被加工物を可動に吸着保持させる手段としては、真空吸着に限らず、磁力が可変な電磁石等を用いてもよい。
［付記１］
主軸に被加工物を吸着する機構を設け、主軸回転させた状態で上記被加工物の円筒部を調整装置にて押し出しをして偏芯調整をする被加工物の偏芯調整装置において、
上記調整装置内部に被加工物の主軸回転軸に対する偏芯量を測定する偏芯量測定器の検出部を取り付けたことを特徴とする被加工物の偏芯調整装置。
［付記２］
付記１に記載する被加工物の偏芯調整装置において、
上記調整装置の押し出し作用点は主軸回転軸と押し出し方向に対し垂直な平面であり、
上記偏芯量測定器の検出部の高さ方向の取り付け位置は主軸回転軸と同じ高さ位置に取り付けてあり、
更に上記偏芯量測定器の検出部は押し出し方向に対して平行の向きになるように検出部の位置に取り付け、
且つ上記偏芯量測定器の検出部の測定子先端部と上記調整装置の平面部とが同じ突き出し位置のとき、上記偏芯量測定器の測定範囲内になるように検出部の位置に取り付けることを特徴とする被加工物の偏芯調整装置。
［付記３］
付記２に記載する被加工物の偏芯調整装置において、
上記偏芯量測定器の検出部の外周部に雄螺子を設け、上記調整装置の上記検出部が内蔵される部分に雌螺子を設けることで、検出部を回すことで検出部の押し出し方向に突き出し位置の調整ができることを特徴とする被加工物の偏芯調整装置。
［付記４］
付記１に記載する偏芯調整装置を用いる被加工物の偏芯調整方法において、
上記調整装置を移動スライドにて押し出し移動させ、上記調整装置の作用部と被加工物の円筒部の一部が接触した後の移動量は上記偏芯量測定器の示す最大値と最小値の差の半分とし、その移動量を上記移動スライドにて押し出し移動させることで、偏芯調整が終了することを特徴とする被加工物の偏芯調整方法。
［付記５］
付記４に記載する被加工物の偏芯調整方法において、
吸着する機構は真空吸引とし、偏芯調整中は上記被加工物の押し出し方向の静摩擦力が２０Ｎ以下になるように真空吸着力を下げ、偏芯調整終了後は真空吸着力を加工に適した真空吸着力の状態に戻し、被加工物の加工を行うことを特徴とする被加工物の偏芯調整方法。
［付記６］
付記４に記載する被加工物の偏芯調整方法において、
上記偏芯調整後に上記調整装置を押し出しと反対方向に逃がし、被加工物と調整装置とが離れた状態で、偏芯調整装置にて被加工物の偏芯量を測定することを特徴とする被加工物の偏芯調整方法。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施の形態である偏芯調整装置の構成および作用の一例を示す側面図である。
【図２】本発明の一実施の形態である偏芯調整装置の構成の一例を示す略断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態である偏芯調整装置の構成の一例を示す正面図である。
【図４】本発明の一実施の形態である偏芯調整装置の作用の一例を示す線図である。
【図５】本発明の一実施の形態である偏芯調整装置の作用の一例を示すフローチャートである。
【図６】本発明の一実施の形態である偏芯調整装置を備えた回転加工装置の構成の一例を示す側面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態である偏芯調整装置の構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  被加工物
２  主軸スピンドル
２ａ  吸引孔
２ｂ  真空ポンプ
２ｃ  空圧レギュレータ
３  偏芯調整装置
４  作用部
５  回転加工装置
５ａ  ベース
５ｂ  刃物台
５ｃ  加工工具
５ｄ  スライド機構
６  吸着面
６ａ  吸着穴
７  偏芯量測定器
７ａ  ケーブル
７ｂ  メータ部
８  検出部
８ａ  測定子
９  先端部
１０  キリ穴
１０ａ  接着
１１  円筒部
１２  螺子穴
１３  螺子リング
Ａ  主軸回転軸
ΔＣ  偏芯量
【図５】
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【図１】
2009166175.tif 000004
【図２】
2009166175.tif 000005
【図３】
2009166175.tif 000006
【図４】
2009166175.tif 000007
【図６】
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【図７】
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