(57)【要約】【課題】パンチの破損を防止するとともに、異なる寸法の孔を効率的に開設することが可能なプレス装置、及び、フィルタの製造方法を提供する。【解決手段】プレス装置５１は、先端５７に標準寸法に設定した標準切刃部５８が設けられた第１パンチ５４と、先端５７に標準寸法に設定した標準切刃部５８が設けられ、標準切刃部５８よりも根元５９側に標準寸法よりも大きな寸法の大径切刃部６０が設けられた第２パンチ５４´と、を備え、第１パンチ５４の根元５９に、他の部分よりも寸法の大きな拡径部７０を形成し、金属板材５３に対するパンチ５４，５４´の打ち込み深さを変えることで、金属板材５３に標準寸法の孔４７とそれより大きな寸法の孔４９を開設する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に標準寸法に設定した標準切刃部が設けられた第１パンチと、
先端に前記標準寸法に設定した標準切刃部が設けられ、該標準切刃部よりも根元側に標準寸法よりも大きな寸法の大径切刃部が設けられた第２パンチと、を備え、
前記第１パンチの根元に、他の部分よりも寸法の大きな拡径部を形成し、
被加工板材に対する前記パンチの打ち込み深さを変えることで、前記被加工板材に標準寸法の孔とそれより大きな寸法の孔を開設可能としたことを特徴とするプレス装置。
【請求項２】
前記第１パンチを複数本並べて設けた第１パンチ群と、
前記第２パンチを複数本並べて設けた第２パンチ群と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載のプレス装置。
【請求項３】
前記第２パンチ群の両側に前記第１パンチ群を配置したことを特徴とする請求項２に記載のプレス装置。
【請求項４】
被加工板材に対しパンチを複数配列したプレス装置を用いて貫通孔を形成してフィルタを加工するフィルタの製造方法であって、
前記プレス装置は、
前記パンチの先端に標準寸法に設定した標準切刃部が設けられた第１パンチを複数本並べて設けた第１パンチ群と、
前記パンチの先端に前記標準寸法に設定した標準切刃部が設けられ、該標準切刃部よりも根元側に標準寸法のよりも大きな寸法の大径切刃部が設けられた第２パンチを複数本並べて設けた第２パンチ群と、を備え、
前記第１パンチの根元に、他の部分よりも寸法の大きな拡径部を形成し、
前記第２パンチ群の両側に前記第１パンチ群を配置し、
前記被加工板材に対する前記パンチの打ち込み深さを変えることで、前記被加工板材に標準寸法の孔とそれより大きな寸法の孔を開設可能としたことを特徴とするフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プレス装置、及び、フィルタの製造方法に関し、特に、流体を通過させる孔が複数開口された板状のフィルタ等の作製に好適なプレス装置、及び、フィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドの流路内の液体を濾過するためのフィルタは、薄手の金属板（例えば、ステンレス板）に微細径の貫通孔を複数開設して構成されている。金属板に貫通孔を開設する方法としては、エッチングによる方法と、金型を用いたプレス加工（塑性加工）方法などがある。
【０００３】
上記プレス加工の場合、一般的には、開設予定の貫通孔に対応する位置にパンチ穴が設けられたダイ（雌型）上に被加工板材として金属板を載置し、その載置状態で金属板の表面からパンチ（雄型）をダイのパンチ穴に向けて押し込むことで貫通孔を開設していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平０５−１６９１４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来のプレス加工方法でμｍオーダーの微細な貫通孔を形成する場合においては、パンチとダイとの間のクリアランスが小さいので、相対的な位置精度が悪いとパンチがダイに接触して、特にパンチの根元側で破損等が生じる虞があった。また、加工効率を上げるために、複数のパンチをホルダに配置すると、装置が大型化してしまう虞があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、パンチの破損を防止するとともに、異なる寸法の孔を効率的に開設することが可能なプレス装置、及び、フィルタの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明のプレス装置は、先端に標準寸法に設定した標準切刃部が設けられた第１パンチと、
先端に前記標準寸法に設定した標準切刃部が設けられ、該標準切刃部よりも根元側に標準寸法よりも大きな寸法の大径切刃部が設けられた第２パンチと、を備え、
前記第１パンチの根元に、他の部分よりも寸法の大きな拡径部を形成し、
被加工板材に対する前記パンチの打ち込み深さを変えることで、前記被加工板材に標準寸法の孔とそれより大きな寸法の孔を開設可能としたことを特徴とする。
なお、本発明における寸法とは、パンチ及び孔の断面が円形の場合には径（太さ）を、矩形の場合には辺の長さを意味する。即ち、断面形状は円形だけに限定されない。
【０００８】
上記構成によれば、プレス装置は、先端に標準寸法に設定した標準切刃部が設けられた第１パンチと、先端に標準寸法に設定した標準切刃部が設けられるとともに、標準切刃部よりも根元側に標準寸法よりも大きな寸法の大径切刃部が設けられた第２パンチと、を備え、第１パンチの根元に、他の部分よりも寸法の大きな拡径部を形成し、被加工板材に対するパンチの打ち込み深さを変えることで、被加工板材に標準寸法の孔とそれより大きな寸法の孔を開設可能としたので、拡径部によって第１パンチの強度が上がり、パンチの破損を防止することができる。また、同一種類の装置（金型）により、パンチの打ち込み深さを変えることで（パンチを交換せずに）、異なる寸法の孔を効率的に開設することができ、金型を交換する手間を省くことができる。
【０００９】
上記構成において、前記第１パンチを複数本並べて設けた第１パンチ群と、
前記第２パンチを複数本並べて設けた第２パンチ群と、を備えることが望ましい。
【００１０】
上記構成によれば、第１パンチを複数本並べて設けた第１パンチ群と、第２パンチを複数本並べて設けた第２パンチ群と、を備えるので、異なる寸法の孔を一回のプレスで複数開設することができ、効率的に被加工板材に孔を開設することができる。
【００１１】
上記構成において、前記第２パンチ群の両側に前記第１パンチ群を配置することが望ましい。
【００１２】
上記構成によれば、第２パンチ群の両側に第１パンチ群を配置するので、被加工板材に対するパンチの打ち込み深さを変えることで、被加工板材上に孔の単位面積あたりの開口率が低い低開口領域を被加工板材の中央に開設し、その周囲にこれよりも開口率が高い高開口領域を形成することができる。そのため、この被加工板材をフィルタとして用いる際に、異物をトラップするフィルタそのものの機能を損なうことなく、フィルタ全体の強度を保つとともに、流体の圧力損失を軽減させることができる。また、流体の流下にともなってフィルタの上流側に停滞してしまう流体中の気泡を、高開口領域に導くこととなり、気泡の排出性を向上させることができる。
【００１３】
また、本発明のフィルタの製造方法は、被加工板材に対しパンチを複数配列したプレス装置を用いて貫通孔を形成してフィルタを加工するフィルタの製造方法であって、
前記プレス装置は、
前記パンチの先端に標準寸法に設定した標準切刃部が設けられた第１パンチを複数本並べて設けた第１パンチ群と、
前記パンチの先端に前記標準寸法に設定した標準切刃部が設けられ、該標準切刃部よりも根元側に標準寸法よりも大きな寸法の大径切刃部が設けられた第２パンチを複数本並べて設けた第２パンチ群と、を備え、
前記第１パンチの根元に、他の部分よりも寸法の大きな拡径部を形成し、
前記第２パンチ群の両側に前記第１パンチ群を配置し、
前記被加工板材に対する前記パンチの打ち込み深さを変えることで、前記被加工板材に標準寸法の孔とそれより大きな寸法の孔を開設可能としたことを特徴とする。
【００１４】
上記構成によれば、プレス装置は、パンチの先端に標準寸法に設定した標準切刃部が設けられた第１パンチの第１パンチ群と、パンチの先端に前記標準寸法に設定した標準切刃部が設けられ、標準切刃部よりも根元側に標準寸法よりも大きな寸法の大径切刃部が設けられた第２パンチの第２パンチ群と、を備え、第１パンチの根元に、他の部分よりも寸法の大きな拡径部を形成し、第２パンチ群の両側に第１パンチ群を配置し、被加工板材に対する前記パンチの打ち込み深さを変えることで、被加工板材に標準寸法の孔とそれより大きな寸法の孔を開設可能としたので、拡径部によって第１パンチの強度が上がり、パンチの破損を防止することができる。また、同一の被加工板材に異なる寸法の孔を開設する際に、装置（金型）を交換する手間を省くことができ、パンチの打ち込み深さを変えるだけで（パンチを交換せずに）、異なる寸法の孔を効率的に開設することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明における被加工板材として、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッドの一種。以下、単に記録ヘッドという）に用いられるフィルタ３を例示する。
【００１６】
まず、記録ヘッドの構成について説明する。
図１は、本実施形態における記録ヘッド１の構成を説明する要部断面図である。例示した記録ヘッド１は、インク導入針２、フィルタ３、及び、導入針ユニット４等からなるフィルタアセンブリ５と、振動子ユニット７、ヘッドケース８、及び、流路ユニット９等からなるヘッドユニット１０とを備えて概略構成されている。この記録ヘッド１の内部には、液体供給源から後述するノズル開口３５に至るまでの一連のインク流路（液体流路の一種）が形成されている。
【００１７】
インク導入針２（液体導入針）は、例えばエポキシ樹脂等の合成樹脂で成型された中空針状の部材であり、その内部空間は、インクカートリッジやサブタンク（自己封止弁）等の液体貯留部材（液体貯留源）内のインク（液体または流体の一種）が導入される針流路１２となっている。このインク導入針２の尖端部分には、上記針流路１２と連通する導入孔１３が開設されており、インク導入針２が液体貯留部材の内部に挿入されると、この導入孔１３を通じて液体貯留部材内のインクが針流路１２内に導入されるようになっている。また、このインク導入針２の根本部分は、上流側（先端側）から下流側に向けて拡径したスカート部１４となっている。このスカート部１４は、インク流路内で発生した気泡を一時的に捕捉する機能を有している。そして、このスカート部１４の下流側開口の近傍、即ち、インク導入針２の下流側開口の近傍には、針流路１２に導入されたインクを濾過するためのフィルタ３を配設している。このフィルタ３の詳細については後述する。
【００１８】
導入針ユニット４は、インク導入針２と同様にエポキシ系樹脂等の合成樹脂によって成型されており、その内部には、インク導入針２毎に対応したインク供給路１７が形成されている。そして、フィルタ３をインク供給路１７の入口開口１７′の周縁部に固定した状態でインク導入針２を導入針ユニット４に取り付けている。即ち、このインク供給路１７は、針流路１２と液密状態で連通している。また、インク供給路１７の下流端は、流路ジョイント部材１８（パッキン）を介してヘッドケース８の内部に形成されたケース流路１９と液密状態で連通している。これにより、インク導入針２の導入孔１３から導入されたインクは、フィルタ３で濾過された後、インク供給路１７を通じてヘッドユニット１０側に供給される。なお、このフィルタ３は、外縁２０（図２を参照）に近い領域よりも中央２１の周辺に、流速が速い流体（インクや気泡など）が通過するように配置されている。
【００１９】
ヘッドケース８は、振動子ユニット７を収容するための収容空部２２が形成されている。そして、振動子ユニット７は、この収容空部２２内に挿入され、接着等によって収容空部２２の内壁に固定されている。このヘッドケース８の一方の面は、導入針ユニット４に接合され、ケース流路１９が導入針ユニット４のインク供給路１７と液密状態で連通する。また、ヘッドケース８の他方の面には、流路ユニット９が接着剤等により固定される。この流路ユニット９は、振動板２３、流路形成基板２４、及びノズルプレート２５を積層した状態で接着剤等で接合して一体化することにより作製されている。
【００２０】
上記の振動子ユニット７は、圧力発生源としての圧電振動子３０と、この圧電振動子３０が接合される固定板３１と、圧電振動子３０に駆動信号を供給するための回路基板３２と、この回路基板３２と圧電振動子３０を電気的に接続するフレキシブルケーブル３３等から構成される。本実施形態の圧電振動子３０は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動素子を備える。各圧電振動素子は、固定端部が固定板３１上に接合され、自由端部が固定板３１の先端面よりも外側に突出している。
【００２１】
流路ユニット９の底部に配置されるノズルプレート２５は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口３５を列状に開設した金属製の薄い板材である。
【００２２】
ノズルプレート２５と振動板２３との間に配置される流路形成基板２４は、インク流路となる流路基部、具体的には、共通液体室の一種である共通インク室３７、インク供給口３８、及び、圧力室３９となる空部が区画形成された板状の部材である。本実施形態において、流路形成基板２４は、結晶性を有する基材であるシリコンウェハーを異方性エッチング処理することによって作製されている。
【００２３】
流路形成基板２４とヘッドケース８との間に配置される振動板２３は、ステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板２３の圧力室３９に対応する部分には、エッチングなどによって支持板を環状に除去することで、圧電振動子３０の自由端部の先端面を接合するための島部４１が形成されており、この部分はダイヤフラム部として機能する。即ち、この振動板２３は、圧電振動子３０の作動に応じて島部４１の周囲の弾性フィルムが弾性変形するように構成されている。また、振動板２３は、流路形成基板２４の共通インク室３７の開口面を封止してコンプライアンス部４２としても機能する。このコンプライアンス部４２に相当する部分については、ダイヤフラム部と同様に、エッチングなどにより支持板を除去して弾性フィルムだけにしている。
【００２４】
そして、この記録ヘッド１において、上記回路基板３２からフレキシブルケーブル３３を通じて圧電振動子３０に駆動信号が供給されると、この圧電振動子３０が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部４１が圧力室３９に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力室３９の容積が変化し、圧力室３９内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル開口３５からインク滴が吐出（噴射）される。
【００２５】
ここで、フィルタ３について説明する。
フィルタ３は、例えばステンレス製（ＳＵＳ製）の平坦な極薄の金属板材（例えば、厚さ１５μｍ。本発明における被加工板材に相当）５３に、微細な貫通孔４７，４９が多数開設された円形板であり、その外径は、インク供給路１７の直径の数倍の大きさ、例えば８〜９ｍｍ程度とされている。
【００２６】
貫通孔４７，４９は、フィルタ３の一方の面から他方の面へ貫通しており、インクや気泡などの流体を通過させる。貫通孔４７の径は、１５μｍであり（図３中の（ａ）を参照）、貫通孔４９の径は、２０μｍ（図３中の（ｂ）を参照）となっている。つまり、貫通孔４９は、貫通孔４７よりも孔の径が大きくなるように形成されている。なお、貫通孔４７，４９の大きさは、フィルタ３として機能させるため、ノズル開口３５（図１参照）よりも小さく設定されている。また、フィルタ３の穴形状としては、円形とする場合に限らず、正方形や六角形等の多角形にすることも可能であり、円形の場合には、直径をノズル開口３５よりも小さく設定し、多角形の場合には、対角線の長さを記録ヘッド１のノズル開口３５よりも小さく設定することで、フィルタとして機能させることができる。
【００２７】
このように、フィルタ３には、図２，３に示すように、貫通孔４７が形成されとともに、孔の単位面積あたりの開口率が低い低開口領域４８と、貫通孔４７よりも径（寸法）が大きい貫通孔４９が形成されるとともに、低開口領域４８よりも開口率が高い高開口領域５０と、が形成されている。つまり、高開口領域５０は、低開口領域４８よりも孔の径を大きく設定して流体（インクや気泡など）を通過させ易くなっている。
【００２８】
本実施形態の低開口領域４８は、図２に示すように、フィルタ３の外縁２０寄りに形成されている。高開口領域５０は、フィルタ１８の中央２１に四角形状に形成されている。即ち、低開口領域４８が、高開口領域５０を囲んだ状態となっている。このため、異物をトラップするフィルタ３の濾過機能を損なうことなく、フィルタ３全体の強度を確保するとともに、流体（インクや気泡など）の圧力損失を軽減させることができる。また、流体（インクや気泡など）の流下にともなってフィルタ３の上流側に停滞してしまう流体中の気泡を、高開口領域５０に導くこととなり、気泡の排出性を向上させることができる。そして、流路を塞ぐ気泡の滞留が低下することができ、記録ヘッド１の信頼性が向上する。
【００２９】
次に、板状の被加工板材としての金属板材５３に第１パンチ５４を複数配列したパンチ群５５及び第２パンチ５４´を複数配列したパンチ群５６を備えたプレス装置（金型）５１を用いて貫通孔４７，４９を開設させて（貫通孔開設工程）、フィルタ３を製造するフィルタの製造方法を説明する。図４は、金属板材に貫通孔を形成する工程を説明する上金型などの要部断面図である。上金型のパンチ群５５，５６は、第１パンチ５４の先端５７に標準寸法に設定した標準切刃部５８が設けられた第１パンチ群５５と、第２パンチ５４´の先端５７に標準寸法に設定した標準切刃部５８が設けられるとともに、標準切刃部５８よりも根元５９側に標準寸法よりも大きな寸法の大径切刃部６０が設けられた第２パンチ群５６と、により構成されている。それぞれのパンチ５４，５４´は、根元５９がパンチホルダ６１に取り付けられる。パンチ群５５，５６のパンチ５４，５４´は、同じピッチＰ．Ｐで一直線上に配置された櫛刃状をなしている。本実施形態では、標準切刃部５８の寸法は、１５μｍｍとしており、大径切刃部６０の寸法は、２０μｍとしている。なお、パンチ群５５，５６のパンチ５４，５４´の数は、いずれも１本だけ設けられていても良い。
【００３０】
また、前述した第１パンチ群５５は、第２パンチ群５６を挟むように配置されている。即ち、第２パンチ群５６の両側に第１パンチ群５５が位置するように、それぞれのパンチ５４，５４´が先端５７を揃えた状態で直線状に並べられている。
【００３１】
この第１パンチ５４の根元５９には、パンチ５４の外周に亘って、パンチ５４の他の部分よりも寸法が大きくなるように設定された拡径部７０が形成されている。具体的には、拡径部７０の寸法は、第２パンチ５４´の大径切刃部６０の寸法よりも大きくなるように設定されている。即ち、第１及び第２パンチ５４，５４´は、先端５７側よりも根元５９側の寸法が大きくなっている。
【００３２】
そして、図４に示すように、パンチ群５５，５６のパンチ５４，５４´それぞれの先端５７を、コイルスプリングなどで台座６２側に付勢されたストリッパプレート６４のガイド孔６５内に挿通する。そうすると、パンチ群５５，５６のパンチ５４，５４´それぞれの先端５７は、金属板材５３に向かった状態で配置される。なお、金属板材５３は、台座６２の上面に配置された弾性材からなる弾性マット６３の上に載置されている。また、パンチングホルダ６１は、プレス加工機のスライド（ラム）に固定され、スライドと共に上下動する。
【００３３】
弾性マット６３は、その表面が平坦な板状に形成された、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やエラストマーなどの弾性を有する素材により作製された板材であり、金属板材５３の厚さの数倍の厚さに設定されている。そして、金属板材５３に貫通孔貫通孔４７，４９を形成する際には、弾性マット６３上に金属板材５３を載置した状態で加工を行う。
【００３４】
なお、弾性マット６３としては、ＰＥＴに限らず、例えばＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＡＢＳ（ＡＢＳ樹脂）、ＰＰＳ（ポリフェニンサルファイド）等の他の高分子材料等を用いることも可能であり、硬さは、金属板材の厚さや貫通孔の大きさ、ピッチ等により種々選択することが可能である。
【００３５】
次に、貫通孔開設工程について説明する。パンチ群５５，５６のパンチ５４，５４´それぞれの先端５７を金属板材５３に向かった状態で、パンチングホルダ６１を下降させる。すると、先ずストリッパプレート６４の下面が、金属板材５３の表面に当接する。その後、ストリッパプレート６４を下方に付勢しているコイルスプリングの付勢力に抗しながらパンチングホルダ６１をさらに下方に押し下げると、ストリッパプレート６４のガイド孔６５に案内されて、パンチ５４，５４´の標準切刃部５８が、金属板材５３に打ち込まれることで、金属板材５３を貫通して、標準切刃部５８の外形（標準寸法：１５μｍ）と略同形の貫通孔４７が形成される。即ち、パンチ５４およびパンチ５４´それぞれは、標準切刃部５８の外形と略同形の内周である貫通孔４７を形成する。そのため、パンチ５４およびパンチ５４´の標準切刃部５８によって、低開口領域４８の貫通孔４７を形成する。なお、このプレス加工はダイレス加工であり、貫通孔４７を開設した際の抜きカスは、弾性マット６３に埋設した状態で残る。また、低開口領域４８を形成する場合のストロークは大径切刃部６０が金属板材５３に当接しない長さである。
【００３６】
さらに、パンチングホルダ６１を一旦上昇させて金属板材５３から引き抜いた後に、金属板材５３の位置を送りピッチＦ．Ｐだけずらして再び下降させると、前述したようにパンチ５４およびパンチ５４´の標準切刃部５８によって、標準切刃部５８の外形（標準寸法：１５μｍ）と略同形の貫通孔４７が形成され、この操作を繰り返すと標準寸法の孔をパンチ５４，５４´の数ずつピッチＦ．Ｐの列ごとに開設できる。そして、パンチングホルダ６１を前記ストローク以上のロングストローク分下降させると、パンチ５４´の大径切刃部６０が、金属板材５３の貫通孔４７の外縁に打ち込まれることで、金属板材５３を貫通して、大径切刃部６０の外形（標準寸法：２０μｍ）と略同形の貫通孔４９が形成される。即ち、パンチ５４は、標準切刃部５８の外形と略同形の内周である貫通孔４７を形成し、パンチ５４´は、大径切刃部６０の外形と略同形の内周である貫通孔４９を形成する。そのため、送りピッチＦ．Ｐで前記ロングストロークの打ち込みを繰り返すと、パンチ５４の標準切刃部５８によって、低開口領域４８の貫通孔４７を形成するとともに、パンチ５４´の大径切刃部６０によって、高開口領域５０の貫通孔４９を形成することができる。なお、図４は、金属板材５３を１／２Ｐ．Ｐ幅方向にずらして送りピッチＦ．Ｐずつ２回通過させることにより孔を千鳥配置状態となるように加工したものである。
【００３７】
そして、貫通孔開設工程が終了したならば、金属板材５１を次のプレス加工機に搬送し、これにより最終的には所定の形状（例えば円形）及び大きさに打ち抜いて、即ち、切断して、上記記録ヘッド１に用いられるフィルタ３とする（トリミング工程）。
【００３８】
このように、本実施形態のプレス装置は、先端５７に標準寸法に設定した標準切刃部５８が設けられた第１パンチ５４と、先端５７に標準寸法に設定した標準切刃部５８が設けられるとともに、標準切刃部５８よりも根元５９側に標準寸法よりも大きな寸法の大径切刃部６０が設けられた第２パンチ５４´と、を備え、第１パンチ５４の根元５９に、他の部分よりも寸法の大きな拡径部７０を形成し、金属板材５３に対するパンチ５４，５４´の打ち込み深さ（距離）を変えることで、金属板材５３に標準寸法の孔４７とそれより大きな寸法の孔４９を開設可能としたので、拡径部７０によって、金属板材５３に打ち込む際の第１パンチ５４の強度が上がり、パンチ５４の破損を防止することができる。また、プレス装置５１を交換することなく、パンチ５４，５４´の打ち込み深さを変えることで、異なる寸法の孔４７，４９を効率的に開設することができる。
【００３９】
また、第１パンチ群５５のパンチ５４および第２パンチ群５６のパンチ５４´を同一平面上に並べて、標準寸法の貫通孔４７を同時に開設することができるとともに、金属板材５３へ打ち込む際の打ち込み深さを変えるだけで、同一のパンチ群５５，５６（パンチ５４，５４´）を用いて標準寸法の貫通孔４７とそれよりも大きな貫通孔４９を開設することができる。このため、パンチ群５５，５６（パンチ５４，５４´）の交換作業の手間を省くことができ、容易に低開口領域４８および高開口領域５０を金属板材５３に形成させてフィルタ３を加工することができる。
【００４０】
また、第１パンチ５４を複数本（図４中には４本）並べて設けた第１パンチ群５５と、第２パンチ５４´を複数本（図４中には２本）並べて設けた第２パンチ群５６と、が先端５７を揃えた状態で並べられているので、異なる寸法の孔４７，４９をプレス装置５１の一回の加工によって、複数開設することができ、効率的に金属板材５３に孔４７，４９を開設することができる。
【００４１】
上記構成によれば、第２パンチ群５６の両側に第１パンチ群５５を配置するので、金属板材５３に対するパンチ５４，５４´の打ち込み深さを変えることで、金属板材５３上に孔の単位面積あたりの開口率が低い低開口領域４８を金属板材５３の中央２１に開設し、その周囲にこれよりも開口率が高い高開口領域５０を形成することができる。そのため、このプレス装置５１でプレス加工した金属板材５３をフィルタ３として用いる際に、異物をトラップするフィルタ３そのものの機能を損なうことなく、フィルタ３全体の強度を保つとともに、流体の圧力損失を軽減させることができる。また、流体の流下にともなってフィルタ３の上流側に停滞してしまう流体中の気泡を、高開口領域５０に導くこととなり、気泡の排出性を向上させることができる。
【００４２】
ところで、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００４３】
前述した実施形態では、第２パンチ群５６の両側に第１パンチ群５５を配置した構成を説明したが、本発明のプレス装置５１は、第１パンチ群５５の両側に第２パンチ群５６を配置しても良い。このように、パンチ群５５，５６のパンチ５４，５４´の配置を換えることで、低開口領域４８がフィルタ３の中央２１に位置し、高開口領域５０が外縁２０に位置させることができる。要するに、パンチ５４，５４´同士の間隔や並び順などの配置や、パンチ５４，５４´の本数などは適宜変更することができる。
【００４４】
また、第１パンチ５４の根元５９に拡径部７０を設けたが、第２パンチ５４´の根元５９にも拡径部７０を設けても良い。即ち、第２パンチ５４´の根元５９の寸法を、大径切刃部６０の寸法よりも大きくすることで、第２パンチ５４´の強度が強くなり、第２パンチ５４´の破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図２】フィルタの平面図である。
【図３】フィルタの説明図であり、（ａ）は低開口領域の拡大図、（ｂ）高開口領域の拡大図である。
【図４】プレス装置の構成を説明する要部断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
３…フィルタ、４７…貫通孔、４９…貫通孔、５１…プレス装置、５３…金属板材、５４…第１パンチ，５４´…第２パンチ、５５…第１パンチ群、５６…第２パンチ群、５７…先端、５８…標準切刃部、５９…根元、６０…大径切刃部、７０…拡径部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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