(57)【要約】【課題】噴射される液体の噴射量および噴射速度のばらつきが低減した液体噴射ヘッドおよびその製造方法を得ること。【解決手段】アクチュエータ２０と供給口プレート３１間、リザーバプレート３３と供給口プレート３１間、リザーバプレート３３とノズルプレート３４間の第１のフィルム接着材２５および第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂには、ノズル連通口３７の位置に応じて略同じ大きさの円形の孔２５０，円形の孔３２０が形成されている。略同じ大きさの円形の孔２５０，円形の孔３２０なので、第１のフィルム接着材２５および第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂの層によって生じる空間の容積のばらつきを少なくでき、各ノズル連通口３７の流路抵抗の差を少なくできる。したがって、インク噴射量およびインク滴スピードのノズル間でのばらつきを低減できる記録ヘッド１を得ることができる。【選択図】図３
2009045786.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータと、
ノズルプレートと、
前記ノズルプレートに形成された複数のノズル開口と、
前記アクチュエータと前記ノズルプレートとの間に、前記アクチュエータと前記ノズル開口まで連通するノズル連通口を形成する複数の開口部が形成された供給口プレートを備え、
前記アクチュエータと前記供給口プレートとは、第１のフィルム接着材によって接着され、
前記第１のフィルム接着材には、前記開口部の位置に応じた複数の円形の孔が形成され、前記第１のフィルム接着材に形成された前記円形の孔の大きさは略同じ大きさである
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記供給口プレートと前記ノズルプレートとの間に、前記ノズル連通口を形成する複数の開口部が形成されたリザーバプレートを備え、
前記リザーバプレートと前記供給口プレートおよび前記ノズルプレートとは、第２のフィルム接着材によって接着され、
前記第２のフィルム接着材には、前記開口部の位置に応じた複数の円形の孔が形成され、前記第２のフィルム接着材に形成された前記円形の孔の大きさは略同じ大きさである
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記円形の孔の径は前記開口部の径より大きい
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
アクチュエータからノズル開口までノズル連通口を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ノズル連通口を形成する供給口プレート用開口部の形成された供給口プレートの片面と前記供給口プレート用開口部の位置に応じた略同じ大きさの複数の円形の孔が形成された第１のフィルム接着材とを、前記供給口プレート用開口部と前記円形の孔との位置を合わせて熱圧着する供給口プレート仮圧着工程と、
前記第１のフィルム接着材が仮圧着された前記供給口プレートと前記アクチュエータとを、前記第１のフィルム接着材を介して熱圧着するアクチュエータ本圧着工程とを含む
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記第１のフィルム接着材に形成された前記円形の孔の径は前記供給口プレート用開口部の径より大きい
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記アクチュエータ本圧着工程後の前記円形の孔は円形であり、かつ、前記アクチュエータ本圧着工程後の前記円形の孔の大きさが、前記アクチュエータ本圧着工程前の前記円形の孔の大きさよりも小さい
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項４〜請求項６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記アクチュエータ本圧着工程後および前記供給口プレート仮圧着工程後の前記円形の孔の大きさが略同じ大きさとなるように熱圧着する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項４〜請求項７いずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ノズル連通口を形成するリザーバプレート用開口部が形成されたリザーバプレートおよび前記ノズル開口の形成されたノズルプレートと前記リザーバプレート用開口部および前記ノズル開口の位置に応じた略同じ大きさの複数の円形の孔が形成された第２のフィルム接着材とを、前記リザーバプレート用開口部および前記ノズル開口と前記第２のフィルム接着材に形成された前記円形の孔との位置を合わせて熱圧着するリザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程と、
前記ノズルプレート、前記第２のフィルム接着材、前記リザーバプレート、前記第２のフィルム接着材、前記供給口プレート、前記第１のフィルム接着材、前記アクチュエータの順になるように、前記供給口プレート用開口部、前記リザーバプレート用開口部および前記円形の孔が前記ノズル連通口を形成するように重ね合わせた後、熱圧着するヘッドユニット本圧着工程とを含む
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記第２のフィルム接着材に形成された前記円形の孔の径は前記リザーバプレート用開口部および前記ノズル開口の径より大きい
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ヘッドユニット本圧着工程後の前記円形の孔は円形であり、かつ、前記ヘッドユニット本圧着工程後の前記円形の孔の大きさが、前記ヘッドユニット本圧着工程前の前記円形の孔の大きさよりも小さい
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
請求項８〜請求項１０のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ヘッドユニット本圧着工程後、前記リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程後の前記円形の孔の大きさが略同じ大きさとなるように熱圧着する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層構造の液体流路を備えた液体噴射ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドがある。
インクジェット式記録ヘッドでは、例えば、ノズルプレートに形成されたノズル開口から圧電振動子の振動を利用してインクを噴射するものがある。圧電振動子を備えたアクチュエータからノズル開口までのインクの流路であるノズル連通口を、流路形成板を積層して形成されたものが知られている。
ノズルプレート、流路形成板としてのインク貯留室形成板および供給口形成板とアクチュエータとは、フィルム接着材を用いて接着されている（例えば、特許文献１参照）。
また、流路形成板には、積層された際にノズル連通口となる開口部が形成されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２２４４２４号公報（５頁、図３）
【特許文献２】特開２００３−６２９９１号公報（６項、図１０および図１１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
各流路形成板およびアクチュエータの接着は、流路形成板等とフィルム接着材を合わせ、熱と圧力をかけることによって行う。このとき、流路形成板に形成されたノズル連通口となる開口部が接着剤によって塞がれないように、フィルム接着材には、接着の際にノズル連通口となる開口部に応じた孔を形成する。
フィルム接着材に形成された孔の形状は、熱と圧力を加えることによって変形する。製造工程において、熱と圧力の加わり方がばらついた場合、変形の量が孔ごとに異なる。ここで、フィルム接着材にも厚みがあるため、フィルム接着材の孔によって形成される空間の容積がノズル開口ごとにばらついてしまう。ノズル連通口の体積がばらつくと、その流路抵抗がノズル開口ごとに異なり、噴射されるインクの噴射量および噴射速度がインク開口ごとに異なる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
アクチュエータと、ノズルプレートと、前記ノズルプレートに形成された複数のノズル開口と、前記アクチュエータと前記ノズルプレートとの間に、前記アクチュエータと前記ノズル開口まで連通するノズル連通口を形成する複数の開口部が形成された供給口プレートを備え、前記アクチュエータと前記供給口プレートとは、第１のフィルム接着材によって接着され、前記第１のフィルム接着材には、前記開口部の位置に応じた複数の円形の孔が形成され、前記第１のフィルム接着材に形成された前記円形の孔の大きさは略同じ大きさであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０００７】
この適用例によれば、アクチュエータと供給口プレート間の第１のフィルム接着材には、ノズル連通口の位置に応じて略同じ大きさの円形の孔が形成されている。略同じ大きさの円形の孔なので、第１のフィルム接着材の層によって生じる空間の容積にばらつきが少なくなり、各ノズル連通口の流路抵抗の差が少なくなる。したがって、インク噴射量およびインク滴スピードのノズル間でのばらつきが低減した液体噴射ヘッドが得られる。
【０００８】
［適用例２］
上記液体噴射ヘッドであって、前記供給口プレートと前記ノズルプレートとの間に、前記ノズル連通口を形成する複数の開口部が形成されたリザーバプレートを備え、前記リザーバプレートと前記供給口プレートおよび前記ノズルプレートとは、第２のフィルム接着材によって接着され、前記第２のフィルム接着材には、前記開口部の位置に応じた複数の円形の孔が形成され、前記第２のフィルム接着材に形成された前記円形の孔の大きさは略同じ大きさであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、リザーバプレートと供給口プレート間、リザーバプレートとノズルプレート間の第２のフィルム接着材には、ノズル連通口の位置に応じて略同じ大きさの円形の孔が形成されている。略同じ大きさの円形の孔なので、第２のフィルム接着材の層によって生じる空間の容積にばらつきが少なくなり、各ノズル連通口の流路抵抗の差が少なくなる。したがって、インク噴射量およびインク滴スピードのノズル間でのばらつきが低減した液体噴射ヘッドが得られる。
【０００９】
［適用例３］
上記液体噴射ヘッドであって、前記円形の孔の径は前記開口部の径より大きいことを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、第１のフィルム接着材および第２のフィルム接着材に形成された円形の孔の大きさが開口部より大きいので、第１のフィルム接着材および第２のフィルム接着材がノズル連通口内に突出することによるノズル連通口の流路抵抗の増加が押さえられた液体噴射ヘッドが得られる。
【００１０】
［適用例４］
アクチュエータからノズル開口までノズル連通口を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ノズル連通口を形成する供給口プレート用開口部の形成された供給口プレートの片面と前記供給口プレート用開口部の位置に応じた略同じ大きさの複数の円形の孔が形成された第１のフィルム接着材とを、前記供給口プレート用開口部と前記円形の孔との位置を合わせて熱圧着する供給口プレート仮圧着工程と、前記第１のフィルム接着材が仮圧着された前記供給口プレートと前記アクチュエータとを、前記第１のフィルム接着材を介して熱圧着するアクチュエータ本圧着工程とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【００１１】
この適用例によれば、供給口プレート仮圧着工程前に、略同じ大きさの円形の孔が形成された第１のフィルム接着材を用いているので、熱圧着によってこれらのフィルムが伸縮して変形しても、第１のフィルム接着材に形成された円形の孔は、円形を保ったまま均一に変形する。したがって、第１のフィルム接着材の層によって生じる空間の容積にばらつきが少なくなることにより、各ノズル連通口の流路抵抗の差が少なくなり、インク噴射量およびインク滴スピードのノズル間でのばらつきが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１２】
［適用例５］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１のフィルム接着材に形成された前記円形の孔の径は前記供給口プレート用開口部の径より大きいことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、第１のフィルム接着材に形成された円形の孔の大きさが開口部より大きいので、第１のフィルム接着材がノズル連通口内に突出することによるノズル連通口の流路抵抗の増加が押さえられた液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１３】
［適用例６］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記アクチュエータ本圧着工程後の前記円形の孔は円形であり、かつ、前記アクチュエータ本圧着工程後の前記円形の孔の大きさが、前記アクチュエータ本圧着工程前の前記円形の孔の大きさよりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、アクチュエータ本圧着工程後であっても、円形の孔は円形を保っており、円形の孔の大きさも小さくなるので、第１のフィルム接着材の層によって生じる空間の容積による影響が少なく、より前述の効果を達成できる液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１４】
［適用例７］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記アクチュエータ本圧着工程後および前記供給口プレート仮圧着工程後の前記円形の孔の大きさが略同じ大きさとなるように熱圧着することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、アクチュエータ本圧着工程後の円形の孔の大きさが略同じ大きさなので、第１のフィルム接着材の層によって生じる空間の容積による影響が少なく、より前述の効果を達成できる液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１５】
［適用例８］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ノズル連通口を形成するリザーバプレート用開口部が形成されたリザーバプレートおよび前記ノズル開口の形成されたノズルプレートと前記リザーバプレート用開口部および前記ノズル開口の位置に応じた略同じ大きさの複数の円形の孔が形成された第２のフィルム接着材とを、前記リザーバプレート用開口部および前記ノズル開口と前記第２のフィルム接着材に形成された前記円形の孔との位置を合わせて熱圧着するリザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程と、前記ノズルプレート、前記第２のフィルム接着材、前記リザーバプレート、前記第２のフィルム接着材、前記供給口プレート、前記第１のフィルム接着材、前記アクチュエータの順になるように、前記供給口プレート用開口部、前記リザーバプレート用開口部および前記円形の孔が前記ノズル連通口を形成するように重ね合わせた後、熱圧着するヘッドユニット本圧着工程とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程前に、略同じ大きさの円形の孔が形成された第２のフィルム接着材を用いているので、熱圧着によってこれらのフィルムが伸縮して変形しても、第２のフィルム接着材に形成された円形の孔は、円形を保ったまま均一に変形する。したがって、第２のフィルム接着材の層によって生じる空間の容積にばらつきが少なくなることにより、各ノズル連通口の流路抵抗の差が少なくなり、インク噴射量およびインク滴スピードのノズル間でのばらつきが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１６】
［適用例９］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第２のフィルム接着材に形成された前記円形の孔の径は前記リザーバプレート用開口部および前記ノズル開口の径より大きいことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、第２のフィルム接着材に形成された円形の孔の大きさが開口部より大きいので、第２のフィルム接着材がノズル連通口内に突出することによるノズル連通口の流路抵抗の増加が押さえられた液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１７】
［適用例１０］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ヘッドユニット本圧着工程後の前記円形の孔は円形であり、かつ、前記ヘッドユニット本圧着工程後の前記円形の孔の大きさが、前記ヘッドユニット本圧着工程前の前記円形の孔の大きさよりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、ヘッドユニット本圧着工程後であっても、円形の孔は円形を保っており、円形の孔の大きさも小さくなるので、第１のフィルム接着材および第２のフィルム接着材の層によって生じる空間の容積による影響が少なく、より前述の効果を達成できる液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１８】
［適用例１１］
上記液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ヘッドユニット本圧着工程後、前記リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程後の前記円形の孔の大きさが略同じ大きさとなるように熱圧着することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、ヘッドユニット本圧着工程後の円形の孔の大きさが略同じ大きさなので、第１のフィルム接着材および第２のフィルム接着材の層によって生じる空間の容積による影響が少なく、より前述の効果を達成できる液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、実施形態にかかる記録ヘッド１の分解斜視図を示している。
以下の説明は、液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという）に搭載される、４種類のインクが噴射可能なインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッド１という）を例に挙げて行う。
【００２０】
図１において、記録ヘッド１は、図示しないインクカートリッジ内に貯留されたインクを記録ヘッド１内部に導入するインク供給針２が複数配設されている供給針ユニット３と、アクチュエータ２０および流路ユニット３０から成るヘッドユニット４０とを、ヘッドケース５０に備えている。
また、記録ヘッド１において、ヘッドケース５０の先端側（供給針ユニット３の接合面とは反対側）には、ヘッドユニット４０を保護するための金属製のカバー６０が取り付けられるようになっている。
【００２１】
供給針ユニット３は、インク供給針２がヘッド主走査方向（ノズル列に対して直交する方向）に横並びに配設された合成樹脂製の部材である。この供給針ユニット３に配設されるインク供給針２の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。
また、この先端部には導入孔が複数穿設されており、これらの導入孔を通じてインクカートリッジ内のインクがヘッド内に導入される。そして、４種類のインクに対応して、供給針ユニット３には、合計４本のインク供給針２が先端を上方に突出した姿勢で配設されている。
【００２２】
ヘッドケース５０は、供給針ユニット３や配線基板４が取り付けられるベース部５１と、このベース部５１の底部から下方に向けて延出し、開口面にヘッドユニット４０が取り付けられる中空箱体状のケース部５２とにより構成される部材である。
実施形態においては、このヘッドケース５０と供給針ユニット３は、例えば、変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）樹脂等の合成樹脂によって作製されている。そして、ヘッドケース５０のベース部５１には、ヘッドユニット４０側にインクを供給する収束流路（図示せず）の上部開口５３が、供給針ユニット３の各インク供給針２に対応した位置にそれぞれ開設されている。また、ベース部５１には、配線基板４を配設するための基板配設部５４が形成されている。
【００２３】
配線基板４は、コネクタ５を備えており、このコネクタ５には、プリンタ本体側からのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線ケーブル（図示せず）が装着されるようになっている。また、配線基板４には、接続用端子６が形成されており、この接続用端子６には、ＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等のフィルム状のフレキシブルケーブル７が電気的に接続されている。そして、この配線基板４は、プリンタ本体側からの駆動信号をＦＦＣを通じて受けると共に、この駆動信号をフレキシブルケーブル７を介してアクチュエータ２０に供給するようになっている。
【００２４】
図２は、ヘッドユニット４０の分解斜視図である。
ヘッドユニット４０は、２個のアクチュエータ２０と流路ユニット３０とを備えている。アクチュエータ２０と流路ユニット３０とは、第１のフィルム接着材２５によって接着されている。
なお、アクチュエータ２０の個数は、噴射するインクの種類の数によって、例えば１個または３個以上でもよい。
【００２５】
流路ユニット３０は、流路形成板としての供給口プレート３１、第２のフィルム接着材３２Ａ、リザーバプレート３３、第２のフィルム接着材３２Ｂ、ノズルプレート３４とを備え、この順で積層されている。
供給口プレート３１、リザーバプレート３３は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材をプレス加工またはエッチングすることで作製されている。
【００２６】
ノズルプレート３４には、ドット形成密度に応じたピッチで複数のノズル開口３５が列状に開設されており、実施形態においては、このノズル開口３５の列（ノズル列）が、ヘッド主走査方向に複数条（４列）並設されている。そして、このノズルプレート３４は、流路ユニット３０において、アクチュエータ２０の接合面側とは反対側に配置されている。
ノズルプレート３４も、流路ユニット３０を構成する部材の１つであり、供給口プレート３１、リザーバプレート３３と同様の材料、方法で作製されている。
図１で示した金属製のカバー６０は、ノズルプレート３４を保護するだけでなく、接地電位に調整する役割もある。
【００２７】
図３は、図１に示したヘッドユニット４０のＡ−Ａ部分断面図である。
図１に示すヘッドユニット４０は、２つのアクチュエータ２０と流路ユニット３０とを重ね合わせた状態で一体化して構成されている。２つのアクチュエータ２０は、ヘッド主走査方向に並べて配置されている。
図３では、１つのアクチュエータ２０を含む部分の部分断面図を示している。
【００２８】
アクチュエータ２０は、圧力変動によりノズル開口３５を介して内部の液体を噴射する圧力室２１をヘッド主走査方向に２つ備えている。また、この圧力室２１に対応して配設され、駆動端子２２を介して供給される駆動信号により変形して圧力室２１内の液体に圧力変動を生じさせる圧電振動子２００を主走査方向に２つ備えている。さらに、圧力室２１と圧電振動子２００はノズル列方向のノズルに対応して設けられている。したがって、アクチュエータ２０は、ノズル列に沿ってノズル列方向に細長い形状を有し、１つのアクチュエータ２０で２列のノズル列からの液体の噴射を行う。
【００２９】
アクチュエータ２０は、圧力室２１となる開口部を開設した圧力室プレート２３、圧電振動子２００が複数横並びに実装されると共に、圧力室２１の一部を区画する振動子プレート２４と、供給側連通口２６０およびノズル連通口３７となる開口部２６１を形成した連通口プレート２６とを積層して構成されている。これらの圧力室プレート２３、振動子プレート２４および連通口プレート２６は、アルミナや酸化ジルコニウム等のセラミックスで作製されており、焼成によって一体化されている。
【００３０】
圧力室２１は、ノズル列とは直交する方向に細長い空部となっており、ノズル開口３５に対応して複数形成されている。そして、各圧力室２１の一端側は、供給側連通口２６０およびインク供給口３６を通じてリザーバ３８に連通している。また、供給側連通口２６０とは反対側の圧力室２１の他端側は、ノズル連通口３７を通じてノズル開口３５に連通している。この圧力室２１の一部は、振動子プレート２４によって区画されている。
【００３１】
実施形態において、圧電振動子２００は、圧力発生素子の一種として機能する圧電振動子２００に付与された電界に応じて撓み振動を行う、いわゆる撓みモードの圧電振動子である。
圧電振動子２００は、駆動電極２１０と共通電極２２０と圧電体層２３０とを備えている。圧電体層２３０は、駆動電極２１０と共通電極２２０とに挟まれている。
圧電振動子２００は、圧力室２１とは反対側の振動子プレート２４の表面に、圧力室２１を覆い隠す状態に形成されている。すなわち、各圧電振動子２００は、各圧力室２１に対応してノズル列方向に列設されている。ここで、圧電振動子列の端部に位置するものは、インク滴の噴射に関与しない。つまり、駆動信号が供給されず駆動しないダミー振動子となっている。
なお、圧電振動子２００は、共通電極２２０と上下２枚の駆動電極２１０との間に２枚の圧電体層を、それぞれ挟んだいわゆるダブルチップス方式のものでももちろんかまわない。
【００３２】
駆動端子２２は、圧電振動子２００の駆動電極２１０に電気的に接続されている。また、共通電極２２０は、図示しない共通幹電極を介して共通接地端子に電気的に接続されている。ここで、駆動端子２２は、２つの圧電振動子２００の列と列の間の領域に、圧電振動子２００に対応する２列の分駆動端子２２が形成されることになる。
【００３３】
流路ユニット３０は、オリフィスとして機能するインク供給口３６およびノズル連通口３７の一部となる供給口プレート用開口部３１０が形成された供給口プレート３１と、インク供給針２側からのインクが供給されるリザーバ３８（共通液体室）およびノズル連通口３７の一部となるリザーバプレート用開口部３３０が形成されたリザーバプレート３３と、ノズルプレート３４とから構成されている。
【００３４】
そして、流路ユニット３０は、リザーバプレート３３の一方の面にノズルプレート３４を、他方の面に供給口プレート３１をそれぞれ配置し、これらの部材の間を第２のフィルム接着材３２Ａ、第２のフィルム接着材３２Ｂによって接合して構成されている。この流路ユニット３０は、リザーバ３８からノズル開口３５に至るまでのインク流路であるノズル連通口３７を形成している。
【００３５】
アクチュエータ２０と流路ユニット３０とは、第１のフィルム接着材２５によって接着されている。第１のフィルム接着材２５には、供給口プレート用開口部３１０に応じて、円形の孔２５０が複数形成されている。これら円形の孔２５０の径は、供給口プレート用開口部３１０の径より大きく、それぞれ略同じ大きさである。
第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂにも、それぞれリザーバプレート用開口部３３０およびノズル開口３５に応じて円形の孔３２０が複数形成されている。円形の孔３２０の径も、リザーバプレート用開口部３３０およびノズル開口３５の径よりも大きく、それぞれ略同じ大きさである。
【００３６】
以下に、記録ヘッド１の製造方法について、ヘッドユニット４０の製造工程を中心に詳しく説明する。
図１において、記録ヘッド１は、ヘッドユニット４０と合成樹脂成形された供給針ユニット３およびヘッドケース５０とを組み立てることによって得られる。
ヘッドケース５０の基板配設部５４に配線基板４を組み込み、コネクタ５およびフレキシブルケーブル７を取り付ける。
カバー６０によって、ヘッドユニット４０の外縁を覆い、ネジ等によってヘッドケース５０にカバー６０を押し付けながら固定することにより、ヘッドユニット４０は、ヘッドケース５０に固定される。
【００３７】
図４に、ヘッドユニット４０の製造工程を示すフロー図を簡単に示した。
ヘッドユニット４０の製造工程は大きく仮圧着工程と本圧着工程とを含んでいる。
仮圧着工程は、リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程と供給口プレート仮圧着工程とを含む。本圧着工程は、アクチュエータ本圧着工程とヘッドユニット本圧着工程を含む。
【００３８】
図５に、仮圧着工程および本圧着工程を表す概略断面図を示した。
図５（ａ）は、リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程を表す概略断面図である。
図５（ｂ）は、供給口プレート仮圧着工程を表す概略断面図である。
図５（ｃ）は、アクチュエータ本圧着工程を表す概略断面図である。
図５（ｄ）は、ヘッドユニット本圧着工程を表す概略断面図である。
【００３９】
仮圧着工程は、リザーバプレート３３、ノズルプレート３４および供給口プレート３１のそれぞれに第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂを仮圧着する工程である。
図５（ａ）において、リザーバプレート仮圧着工程では、図３に示したノズル連通口３７を形成するリザーバプレート用開口部３３０の位置とリザーバプレート用開口部３３０に応じて形成された第２のフィルム接着材３２Ａの圧着前の円形の孔３２１との位置を合わせて仮圧着する。
ノズルプレート仮圧着工程では、図３に示したノズル開口３５の位置とノズル開口３５に応じて形成された第２のフィルム接着材３２Ｂの円形の孔３２１との位置を合わせて仮圧着する。
ここで、円形の孔３２１の径は、リザーバプレート用開口部３３０およびノズル開口３５の径より大きく形成されている。
【００４０】
第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂは、ポリエチレンテレフタレートのフィルム７０に設けられており、仮圧着後にポリエチレンテレフタレートのフィルム７０は剥離する。
また、リザーバプレート用開口部３３０およびノズル開口３５と円形の孔３２１の位置合わせは、ガイドピン８０と、リザーバプレート３３、ノズルプレート３４、第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂの外周に形成された孔９０とによって行う。
圧着は、ヒータ１００と台４００との間に挟んで温度と圧力を加えることによって行う。例えば、仮圧着は、１５５℃の温度で、２．５ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を２秒加えることによって行う。
【００４１】
図５（ｂ）において、供給口プレート仮圧着工程では、図３に示したノズル連通口３７を形成する供給口プレート用開口部３１０に応じて形成された第１のフィルム接着材２５の圧着前の円形の孔２５１との位置を合わせて仮圧着する。仮圧着の条件は、リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程と同様である。
ここで、第１のフィルム接着材２５の円形の孔２５１の径は、供給口プレート用開口部３１０の径より大きく形成されている。
第１のフィルム接着材２５および第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂとしては、例えば、ポリオレフィン系、エポキシ系のフィルム接着材を用いることができる。
【００４２】
図５（ｃ）において、アクチュエータ本圧着工程では、供給口プレート仮圧着工程で得られた第１のフィルム接着材２５が仮圧着された供給口プレート３１とアクチュエータ２０とを本圧着する。
台４１０には、アクチュエータ２０の位置に応じて、凸部４１１が２か所設けられており、効率的に圧力が加えられるようになっている。
【００４３】
図５（ｄ）において、ヘッドユニット本圧着工程では、第２のフィルム接着材３２Ａが仮圧着されたリザーバプレート３３と、第２のフィルム接着材３２Ｂが仮圧着されたノズルプレート３４と、本圧着されたアクチュエータ２０と供給口プレート３１とを重ね合わせ、本圧着する。
第２のフィルム接着材３２Ａは、供給口プレート３１とリザーバプレート３３との間、第２のフィルム接着材３２Ｂは、リザーバプレート３３とノズルプレート３４との間に来るように重ね合わせる。
【００４４】
重ね合わせの際には、ノズル開口３５、供給口プレート用開口部３１０、リザーバプレート用開口部３３０、円形の孔２５１、円形の孔３２１がノズル連通口３７を形成するように重ね合わせる。
本圧着は、２４０℃の温度で、０．４ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を１５秒加えることによって行う。
【００４５】
図６は、供給口プレート３１に形成された供給口プレート用開口部３１０に対する、図３に示す第１のフィルム接着材２５に形成された円形の孔２５０の仮圧着および本圧着前、本圧着後の様子を表す図である。
以下には、円形の孔２５０について本圧着前、本圧着後の様子を説明するが、円形の孔３２０についても同様の結果が得られる。
【００４６】
図６において、仮圧着および本圧着前は円形の孔２５１であり、本圧着後は、熱と圧力が加わることにより変形し、円形の孔２５０になる。
円形の孔２５１と供給口プレート用開口部３１０とは、その中心位置を合わせて仮圧着、本圧着する。
円形の孔２５１の径は、直径が０．１７ｍｍとした。
【００４７】
このような実施形態によれば、以下の効果がある。
（１）アクチュエータ２０と供給口プレート３１間の第１のフィルム接着材２５には、ノズル連通口３７の位置に応じて略同じ大きさの円形の孔２５０が形成されている。略同じ大きさの円形の孔２５０なので、第１のフィルム接着材２５の層によって生じる空間の容積にばらつきを少なくでき、各ノズル連通口３７の流路抵抗の差を少なくできる。したがって、インク噴射量およびインク滴スピードのノズル間でのばらつきを低減できる記録ヘッドを得ることができる。
【００４８】
（２）リザーバプレート３３と供給口プレート３１間、リザーバプレート３３とノズルプレート３４間の第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂには、ノズル連通口３７の位置に応じて略同じ大きさの円形の孔３２０が形成されている。略同じ大きさの円形の孔３２０なので、第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂの層によって生じる空間の容積にばらつきを少なくでき、各ノズル連通口３７の流路抵抗の差が少なくなる。したがって、インク噴射量およびインク滴スピードのノズル間でのばらつきが低減した記録ヘッド１を得ることができる。
【００４９】
（３）第１のフィルム接着材２５および第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂに形成された円形の孔２５０，３２０の大きさが供給口プレート用開口部３１０、リザーバプレート用開口部３３０、ノズル開口３５より大きいので、第１のフィルム接着材２５および第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂがノズル連通口３７内に突出することによるノズル連通口３７の流路抵抗の増加が押さえられた記録ヘッド１を得ることができる。
【００５０】
（４）供給口プレート仮圧着工程前に、略同じ大きさの円形の孔２５１が形成された第１のフィルム接着材２５を用いているので、熱圧着によってこれらのフィルムが伸縮して変形しても、第１のフィルム接着材２５に形成された円形の孔２５１は、円形を保ったまま均一に変形する。したがって、第１のフィルム接着材２５の層によって生じる空間の容積にばらつきが少なくなることにより、各ノズル連通口３７の流路抵抗の差を少なくでき、インク噴射量およびインク滴スピードのノズル間でのばらつきが低減した記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００５１】
（５）第１のフィルム接着材２５に形成された円形の孔２５０の大きさが供給口プレート用開口部３１０より大きいので、第１のフィルム接着材２５がノズル連通口３７内に突出することによるノズル連通口３７の流路抵抗の増加が押さえられた記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００５２】
（６）アクチュエータ本圧着工程後であっても、円形の孔２５１は円形を保っており、大きさも小さくなるので、第１のフィルム接着材２５の層によって生じる空間の容積による影響を少なくでき、より前述の効果を達成できる記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００５３】
（７）アクチュエータ本圧着工程後の円形の孔２５１の大きさが略同じ大きさなので、第１のフィルム接着材２５の層によって生じる空間の容積による影響を少なくでき、より前述の効果を達成できる記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００５４】
（８）リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程前に、略同じ大きさの円形の孔３２１が形成された第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂを用いているので、熱圧着によってこれらのフィルムが伸縮して変形しても、第２のフィルム接着材に形成された円形の孔３２１は、円形を保ったまま均一に変形する。したがって、第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂの層によって生じる空間の容積にばらつきが少なくなることにより、各ノズル連通口３７の流路抵抗の差が少なくなり、インク噴射量およびインク滴スピードのノズル間でのばらつきが低減した記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００５５】
（９）第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂに形成された円形の孔３２１の大きさがリザーバプレート用開口部３３０、ノズル開口３５より大きいので、第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂがノズル連通口３７内に突出することによるノズル連通口３７の流路抵抗の増加が押さえられた記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００５６】
（１０）ヘッドユニット本圧着工程後であっても、円形の孔２５０，３２０は円形を保っており、大きさも小さくなるので、第１のフィルム接着材２５および第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂの層によって生じる空間の容積による影響を少なくでき、より前述の効果を達成できる記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００５７】
（１１）ヘッドユニット本圧着工程後の円形の孔２５０，３２０の大きさが略同じ大きさなので、第１のフィルム接着材２５および第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂの層によって生じる空間の容積による影響を少なくでき、より前述の効果を達成できる記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００５８】
（１２）第１のフィルム接着材２５および第２のフィルム接着材３２Ａ，３２Ｂに形成された円形の孔２５１、円形の孔３２１が同じ円形なので、孔を抜くためのパンチが少なくて済み、コストが低減する。
【００５９】
なお、上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
例えば、流路ユニット３０は、リザーバプレート３３、ノズルプレート３４、供給口プレート３１に他のプレートを加えて構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】実施形態にかかる記録ヘッドの分解斜視図。
【図２】ヘッドユニットの分解斜視図。
【図３】ヘッドユニットの図１におけるＡ−Ａ部分断面図。
【図４】ヘッドユニットの製造工程を示すフロー図。
【図５】（ａ）は、リザーバプレートおよびノズルプレート仮圧着工程を表す概略断面図、（ｂ）は、供給口プレート仮圧着工程を表す概略断面図、（ｃ）は、アクチュエータ本圧着工程を表す概略断面図、（ｄ）は、ヘッドユニット本圧着工程を表す概略断面図。
【図６】円形の孔の仮圧着および本圧着前、本圧着後の様子を表す図。
【符号の説明】
【００６１】
１…液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド、２０…アクチュエータ、２５…第１のフィルム接着材、３１…供給口プレート、３２Ａ，３２Ｂ…第２のフィルム接着材、３３…リザーバプレート、３４…ノズルプレート、３５…ノズル開口、３７…ノズル連通口、２５０，３２０…円形の孔、  ３１０…供給口プレート用開口部、３３０…リザーバプレート用開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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