(57)【要約】【課題】製造時間を短縮することができ、磁石が大型の場合でも保磁力特性を均一とすることができるのはもちろんのこと、希土類元素の添加量の低減化および高保磁力化の両立を図ることができ、磁化の低下を防止することができる永久磁石およびその製造方法を提供する。【解決手段】ステップＳ１で、磁性粉末および希土類元素含有物を準備する。磁性粉末は、希土類元素含有物よりも硬度が高い扁平状の粉末である。ステップＳ２で、扁平状の磁性粉末の表面に希土類元素含有物を被覆する被覆処理を行う。ステップＳ３で、希土類元素含有物が表面に被覆された磁性粉末に熱間圧縮成形を行い、成形体を作製する。ステップＳ４で、成形体に熱間塑性加工を行い、成形体に異方性を付与する。ステップＳ５で、異方性が付与された成形体に機械加工を行い、その後に、必要に応じて、所望の形状に加工された成形体に熱処理を行う。【選択図】図１
2009275283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有する磁性粉末の表面に、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる希土類元素含有物が均一に付着されてなることを特徴とする表面被覆磁性粉末。
【請求項２】
結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有する磁性粉末の表面に、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる希土類元素含有物が均一に付着されてなる表面被覆磁性粉末に、熱間圧縮成形を行うことにより作製された成形体であることを特徴とする永久磁石。
【請求項３】
結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有するとともに前記結晶の磁化容易軸が同一方向に配向されている磁性粉末の表面に、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる希土類元素含有物が均一に付着されてなる表面被覆磁性粉末に、磁場中で圧縮成形を行うことにより異方性が付与された成形体を作製し、その成形体に熱間圧縮成形あるいは焼結を行うことにより得られたことを特徴とする永久磁石。
【請求項４】
前記成形体への熱間塑性加工により異方性が付与されていることを特徴とする請求項２に記載の永久磁石。
【請求項５】
前記成形体への熱処理により得られたことを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の永久磁石。
【請求項６】
結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有する磁性粉末と、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる固体状の希土類元素含有物とを液体に混合することによりスラリーを作製し、
前記スラリーに超音波を照射することにより前記希土類元素含有物の微粒子化を行い、
前記スラリーの乾燥によって、前記微粒子化された希土類元素含有物を前記磁性粉末の表面に付着させることを特徴とする表面被覆磁性粉末の製造方法。
【請求項７】
結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有する磁性粉末と、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる液体状の希土類元素含有物とを混合することによりスラリーを作製し、
前記スラリーの乾燥によって、前記微粒子化された希土類元素含有物を前記磁性粉末の表面に付着させることを特徴とする表面被覆磁性粉末の製造方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載の表面被覆磁性粉末の製造方法で製造された表面被覆磁性粉末に熱間圧縮成形を行うことにより成形体を作製することを特徴とする永久磁石の製造方法。
【請求項９】
請求項６または７に記載の表面被覆磁性粉末の製造方法において前記磁性粉末として前記結晶の磁化容易軸が同一方向に配向されている粉末を用いて製造された表面被覆磁性粉末に、磁場中で圧縮成形を行うことにより異方性が付与された成形体を作製し、
前記成形体に熱間圧縮成形あるいは焼結を行うことを特徴とする永久磁石の製造方法。
【請求項１０】
前記成形体に熱間塑性加工を行うことにより、前記成形体に異方性を付与することを特徴とする請求項８に記載の永久磁石の製造方法。
【請求項１１】
前記成形体に熱処理を行うことを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載の永久磁石の製造方法。
【請求項１２】
前記スラリーの作製では、前記磁性粉末は前記希土類元素含有物より混合重量比を大きくすることを特徴とする請求項８〜１１のいずれかに記載の永久磁石の製造方法。
【請求項１３】
前記スラリーの乾燥は、前記スラリーに超音波を照射しながら行うことを特徴とする請求項８〜１２のいずれかに記載の永久磁石の製造方法。
【請求項１４】
前記スラリーの乾燥は、減圧下で行うことを特徴とする請求項８〜１３のいずれかに記載の永久磁石の製造方法。
【請求項１５】
前記スラリーの乾燥は、加熱により行うことを特徴とする請求項８〜１４のいずれかに記載の永久磁石の製造方法。
【請求項１６】
前記液体として有機溶剤を用いることを特徴とする請求項８〜１５のいずれかに記載の永久磁石の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、希土類元素含有物が添加されている磁性粉末、その磁性粉末を用いた永久磁石、および、それらの製造方法に係り、特に希土類元素含有物の添加技術の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
永久磁石の製造では、図９に示すように、ステップＳ１０１において原料粉末として磁性粉末を準備する。このとき、磁性粉末の各粉末は５〜１０μm程度の大きさの単結晶であり、その単結晶の集合体である粉末の塊の磁化容易軸はランダムな方向に向いている。次いで、ステップＳ１０２において磁場中で磁性粉末にプレス成形を行うことにより成形体を作製する。このとき、成形体には異方性が付与されるので、成形体を構成する磁性粉末の磁化容易軸は同一方向を向いている。次いで、ステップＳ１０３において成形体に、約１１００℃の温度で焼結を行うことにより焼結体を作製した後、ステップＳ１０４において焼結体に機械加工を行うことにより所望形状に加工している。これにより、永久磁石として焼結磁石が製造される。
【０００３】
このような焼結磁石では、Ｐｒ，Ｄｙ，Ｔｂ等の希土類元素を磁性材料に添加して、保磁力を向上させることにより、高耐熱化が図られている。ところが、希土類元素を用いると、それが高価であることによるコストの増大に加えて、希土類元素の添加による磁化の低下を招く。このため、磁性材料の使用量が増大するから、更なるコスト増大を招く。また、希土類元素の産出地域は、偏在性が高いため、希土類元素は供給リスクの最も高い元素として知られている（まてりあ、第４６巻、第８号、２００７年参照）。そのなかでもＤｙ等の重希土類元素の産出は、一国にほぼ寡占化されているのが現状であるため、供給リスクが更に高い。
【０００４】
以上のことから、希土類元素の添加量の低減化を図るために、図９に示した製造方法の所定の工程で希土類元素含有物を適宜添加する技術が開発されている。たとえば次のような手法１，２がある。
【０００５】
手法１では、図９のステップＳ１０１において、図１０（Ａ）に示すように、磁性粉末の各粉末が５〜１０μm程度の大きさの単結晶であり、かつその磁化容易軸（図中の各粉末Ｑ１のなかの矢印）がランダムな方向に向いている磁性粉末Ｑ２に希土類元素含有物Ｑ１を混合している。そして、その混合粉末を原料粉末として用い、図９のステップＳ２〜ステップＳ４を行う。この技術では、図１０（Ｂ）に示すように高保磁力が必要な磁性材料Ｑ２の粒界近傍（数μm程度）のみで希土類元素Ｑ１の濃化を行うことにより、希土類元素Ｑ１の磁石全体への添加量の低減を図っている。一方、手法２では、図９のステップＳ１０４での機械加工後に、図１１（Ａ）に示すように、磁性粉末Ｑ２から構成された磁石表面に希土類元素含有物Ｑ１を塗布して、約７００〜１０００℃の温度で熱処理を行う。なお、図中の各粉末Ｑ２のなかの矢印はその磁化容易軸である。この技術では、希土類元素Ｑ１が磁石内部の磁性粉末Ｑ２粒界を選択的に拡散し、図１１（Ｂ）に示すように磁石表面の粒界極近傍で希土類元素Ｑ１の濃化を行うことにより、磁石全体への希土類元素Ｑ１の添加量の低減を図っている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、手法１では、希土類元素含有物Ｑ１の磁性粉末Ｑ２への添加後に行う焼結によって、希土類元素が永久磁石内部の各粒子内まで、数μm程度拡散するため、希土類元素Ｑ１の添加量の低減効果が小さい。一方、手法２では、最大数mm程度の大きさの微小磁石を製造する場合、保磁力特性が均一となるが、それより大きいものを製造する場合、磁石表面の粒界極近傍で希土類元素Ｑ１の濃化を行っているため、磁石内部へ向かうに従い希土類元素Ｑ１の濃度が小さくなるという濃度分布が生じ、保磁力特性が不均一となってしまう。また、塗布と熱処理という工程が別途必要になり、しかも、熱処理に時間がかかる。以上のように焼結磁石を用いて希土類元素Ｑ１の添加量の低減化を図ることには各種問題が発生するため限界があった。
【０００７】
ところで、永久磁石の製造方法には熱間塑性加工法がある。たとえば特許文献１に開示されている熱間塑性加工法では、図１２に示すように、ステップＳ２０１において磁性粉末と希土類元素含有物を準備し、ステップＳ２０２において、それら粉末を混合することにより、原料粉末として混合粉末を作製する。次いで、ステップＳ２０２において混合粉末に、熱間成形を行うことにより成形体を作製する。続いて、ステップＳ２０４において成形体に、熱間塑性加工を行うことにより異方性を付与した後、ステップＳ２０５において機械加工により成形体を所望形状に加工する。これにより、永久磁石として熱間塑性加工磁石が製造される。
【０００８】
しかしながら、特許文献１の熱間塑性加工磁石では、希土類元素含有物を添加しているが、焼結磁石の場合とは違って、保磁力が低下する。また、一般に熱間塑性加工磁石では、高保磁力に効果を有するＤｙ等の重希土類元素を磁石合金中に多く添加すると、塑性加工が困難となり、異方性の付与が難しくなる。
【０００９】
【特許文献１】特開平９−１３９３０５号公報
【００１０】
したがって、本発明は、製造時間を短縮することができ、磁石が大型の場合でも保磁力特性を均一とすることができるのはもちろんのこと、希土類元素の添加量の低減化および高保磁力化の両立を図ることができ、かつ磁化の低下を防止することができる磁性粉末、永久磁石、および、それらの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の表面被覆磁性粉末は、結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有する磁性粉末の表面に、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる希土類元素含有物が均一に付着されてなることを特徴としている。
【００１２】
本発明の第１の永久磁石は、上記表面被覆磁性粉末に熱間圧縮成形を行うことにより作製された成形体である。すなわち、本発明の第１の永久磁石は、結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有する磁性粉末の表面に、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる希土類元素含有物が均一に付着されてなる表面被覆磁性粉末に、熱間圧縮成形を行うことにより作製された成形体であることを特徴としている。
【００１３】
本発明の第２の永久磁石は、上記表面被覆磁性粉末に磁場中で圧縮成形を行うことにより異方性が付与された成形体を作製し、その成形体に熱間圧縮成形あるいは焼結を行うことにより得られている。この場合、表面被覆磁性粉末の製造時に用いられる磁性粉末は、予め結晶の磁化容易軸が同一方向に配向されている。すなわち、本発明の第２の永久磁石は、結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有するとともに結晶の磁化容易軸が同一方向に配向されている磁性粉末の表面に、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる希土類元素含有物が均一に付着されてなる表面被覆磁性粉末に、磁場中で圧縮成形を行うことにより異方性が付与された成形体を作製し、その成形体に熱間圧縮成形あるいは焼結を行うことにより得られたことを特徴としている。なお、磁性粉末は、１つの粉末内部に多数の結晶粒を有し、各結晶粒は１方向に配列されて構成されているものである。また、表面被覆磁性粉末への希土類元素含有物の付着は、均一が最適であるが、均一でなくても、下記効果は一応得られる。
【００１４】
本発明の第１，第２の永久磁石では、下記のように希土類元素の濃化が粒界近傍で行われるから、希土類元素の添加量の低減化および高保磁力化の両立を図ることができる。また、これにより熱間塑性加工後の永久磁石やＨＤＤＲ粉の永久磁石などでは、結晶粒径が単磁区粒子径より僅かに大きくなるので、従来の上記手法２と同様に保磁力増大効果を得ることができる。さらに、磁石が大型の場合でも保磁力特性を均一とすることができる。
【００１５】
本発明の永久磁石は、種々の構成を用いることができる。たとえば、本発明の第１の永久磁石では、成形体への熱間塑性加工により異方性が付与されていることが好適である。また、本発明の第１，第２の永久磁石では、成形体への熱処理により得られていることが好適である。
【００１６】
本発明の第１の表面被覆磁性粉末の製造方法は、上記表面被覆磁性粉末の製造方法である。すなわち、本発明の表面被覆磁性粉末の製造方法は、結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有する磁性粉末と、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる固体状の希土類元素含有物とを液体に混合することによりスラリーを作製し、スラリーに超音波を照射することにより希土類元素含有物の微粒子化を行い、スラリーの乾燥によって、微粒子化された希土類元素含有物を磁性粉末の表面に付着させることを特徴としている。
【００１７】
本発明の第１の表面被覆磁性粉末の製造方法では、スラリーにおいて、希土類元素含有物よりも硬度の高い磁性粉末は、希土類元素含有物に対する微粒子化メディアとして機能する。初期状態では１次粒子の凝集体である（すなわち、２次粒子からなる）希土類元素含有物は、超音波照射による振動で磁性粉末に衝突することにより、その凝集が解かれるだけではなく、その１次粒子が破砕されるまでに至る。この場合、衝突は、液体中に超音波の照射により形成されるキャビテーション（小さな気泡）の破裂エネルギーによっても引き起こされる。一方、スラリーにおいて、希土類元素含有物は、拡散の作用によって、液体中に分散する。なお、希土類元素含有物自体が液体状である場合、希土類元素含有物が、スラリーにおいて拡散の作用によって分散する。このような希土類元素含有物の分散・粉砕は、磁性粉末の表面の全ての領域で局所的に繰り返されることにより、希土類元素含有物はスラリー中に均一に分散することができる。なお、ここでいう１次粒子とは、ＴＥＭ等の電子顕微鏡による観察で、単結晶であると認められる粒子のことである。粉砕とは、１次粒子の破砕のことである。
【００１８】
このようにスラリーへの超音波照射では、磁性粉末を粉砕することなく、希土類元素含有物のみを選択的に微粒子化することができるとともに、希土類元素含有物をスラリー中に均一に分散させることができる。次いで、このようなスラリーを乾燥させることによって、微粒子化された希土類元素含有物が磁性粉末の表面に付着された表面被覆磁性粉末を得る。この場合、スラリーの乾燥時の液体の表面張力により、微粒子化された希土類元素含有物が磁性粉末に付着することができるので、希土類元素含有物の磁性粉末表面への被覆を均一に行うことができる。また、希土類元素の添加量を低減することができるので、表面被覆磁性粉末を下記の永久磁石の製造方法に適用した場合、製造された永久磁石では、磁化の低下を防止することができる。
【００１９】
本発明の第２の表面被覆磁性粉末の製造方法は、希土類元素含有物が液体状である場合の製造方法である。この場合、スラリーの作製で用いられる液体が不要となり、かつスラリーへの超音波照射が不要となる。すなわち、本発明の第２の表面被覆磁性粉末の製造方法は、結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有する磁性粉末と、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つからなる液体状の希土類元素含有物とを混合することによりスラリーを作製し、スラリーの乾燥によって、微粒子化された希土類元素含有物を磁性粉末の表面に付着させることを特徴としている。本発明の第２の表面被覆磁性粉末の製造方法では、液体状の希土類元素含有物を用いているので、スラリーへの超音波照射を行わなくても、希土類元素含有物の磁性粉末表面への被覆を均一に行うことができる。また、希土類元素の添加量を低減することができるので、表面被覆磁性粉末を下記の永久磁石の製造方法に適用した場合、製造された永久磁石では、磁化の低下を防止することができる。
【００２０】
本発明の第１の永久磁石の製造方法は、上記表面被覆磁性粉末の製造方法により製造された表面被覆磁性粉末に熱間圧縮成形を行うことにより成形体を作製することを特徴としている。本発明の第２の永久磁石の製造方法は、上記表面被覆磁性粉末の製造方法において磁性粉末として結晶の磁化容易軸が同一方向に配向されている磁性粉末を用いて製造された表面被覆磁性粉末に、磁場中で圧縮成形を行うことにより異方性を有する成形体を作製し、成形体に熱間圧縮成形あるいは焼結を行うことを特徴としている。
【００２１】
本発明の第１，第２の永久磁石の製造方法では、微粒子化された希土類元素含有物を磁性粉末表面へ付着した表面被覆磁性粉末から永久磁石を製造することができる。この場合、希土類元素は、磁性粉末の界面からその内部に結晶粒界を選択的に拡散して、希土類元素の濃化を粒界近傍で行うことができるから、希土類元素の添加量の低減化および高保磁力化の両立を図ることができる。また、これにより熱間塑性加工後の永久磁石やＨＤＤＲ粉の永久磁石などでは、結晶粒径が単磁区粒子径より僅かに大きくなるので、従来の上記手法２と同様に保磁力増大効果を得ることができる。さらに、磁石が大型の場合でも保磁力特性を均一とすることができる。
【００２２】
また、熱間塑性加工、熱間圧縮成形、あるいは、焼結を行った場合でも、希土類元素の磁性粉末への拡散距離は、磁性粉末の厚み（磁性粉末の界面間の距離）の半分程度となるから、その拡散距離は、従来の上記手法２と比較して、短くなる。これにより、希土類元素の拡散のために必要な処理は、通常の熱間塑性加工法、熱間圧縮成形、あるいは、焼結の処理のみで十分であり、必要に応じて熱処理を加える場合でも、その熱処理は僅かなものでよいから、製造時間を短縮することができる。さらに、高保磁力に効果を有するＤｙ等の重希土類元素含有物を磁性粉末に多く添加した場合でも、塑性加工を容易に行うことができ、異方性の付与が易しくなる。
【００２３】
本発明の第１，第２の永久磁石の製造方法は種々の構成を用いることができる。たとえば本発明の第１の永久磁石の製造方法では、成形体に熱間塑性加工を行うことにより、成形体に異方性を付与することができる。また、本発明の第１，第２の永久磁石では、必要に応じて成形体に熱処理を行うことにより、歪みを除去することができるのはもちろんのこと、希土類元素の磁性粉末への拡散を十分に行うことができるので、保磁力特性をより均一にすることができる。
【００２４】
さらに、たとえばスラリーの作製では、磁性粉末は希土類元素含有物よりも混合重量比を大きく設定することができる。この態様では、超音波照射時の磁性粉末の分散空間が相対的に大きくなるので、磁性粉末の微粒子化を効率よく行うことができる。たとえばスラリーの乾燥は、スラリーに超音波を照射しながら行うことができる。この態様では、スラリーの乾燥時、微粒子化された希土類元素含有物を液体中を均一に分散した状態で、希土類元素含有物を磁性粉末に付着することができるので、希土類元素含有物の磁性粉末の表面への被覆をより均一に行うことができる。
【００２５】
また、スラリーの乾燥は、大気圧より低い圧力で行うことができる。この態様では、液体が気化しやすいので、乾燥を効果的に行うことができる。さらに、スラリーの乾燥は、加熱により行うことができる。この態様では、乾燥をより効果的に行うことができる。また、液体として有機溶剤を用いることができる。この態様では、有機溶剤の揮発性が高いので、乾燥をより効果的に行うことができる。また、磁性粉末および希土類元素含有物の少なくとも一方が金属粉末である場合、その金属粉末の酸化を防止することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の表面被覆磁性粉末またはその製造方法によれば、本発明の永久磁石またはその製造方法に適用することにより、希土類元素の添加量の低減化および高保磁力化の両立を図ることができる。また、希土類元素の添加量を低減することができるので、表面被覆磁性粉末を下記の永久磁石の製造方法に適用した場合、製造された永久磁石では、磁化の低下を防止することができる。
【００２７】
本発明の第１，第２の永久磁石またはその製造方法によれば、微粒子化された希土類元素含有物を磁性粉末に付着することにより、希土類元素含有物を磁性粉末表面へ付着した表面被覆磁性粉末を用いているので、希土類元素は、磁性粉末の界面からその内部に結晶粒界を選択的に拡散することができる。したがって、希土類元素の濃化を粒界近傍で行うことができるから、希土類元素の添加量の低減化および高保磁力化の両立を図ることができる等の効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
（１）第１実施形態
以下、本発明の第１実施形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る第１実施形態の永久磁石の製造方法を表す工程図である。図１に示すように、まず、ステップＳ１において、磁性粉末および希土類元素含有物を準備する。
【００２９】
磁性粉末は、結晶あるいは結晶とアモルファス相との混相を有し、希土類元素含有物よりも硬度が高い粉末である。磁性粉末は、たとえば板状等の扁平状をなしている。具体的には、磁性粉末の各粉末の断面の大きさは、たとえば長さが２００μm、厚さが３０μmであり、その各粉末のなかには、たとえば数十nm程度の微細な結晶粒が多数含まれている。結晶粒の磁化容易軸は、ランダムな方向に向いている。磁性粉末は、たとえば、希土類元素、鉄族元素、およびホウ素を含有する希土類磁性粉末（Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末）である。
【００３０】
希土類元素含有物としては、希土類元素の単体金属、合金、および、化合物の少なくとも１つを含有する希土類元素粉末や、ゾル状や液体状の希土類元素化合物等の希土類元素ゾルや希土類元素液体があげられる。具体的には、希土類元素粉末としては、Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕ，Ｓｃ，あるいは，Ｙを含有する酸化物からなる粉末や、フッ化物からなる粉末、それらの混合物からなる粉末等があげられる。また、希土類元素ゾルや希土類元素液体としては、Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕ，Ｓｃ，あるいは，Ｙを含有するゾル状フッ化物や、ゾル状コロイド状フッ化物、それら混合物からなるフッ化物等があげられる。
【００３１】
次いで、ステップＳ２において、図２に示す装置１００を用いて、扁平状の磁性粉末の表面に希土類元素含有物を被覆する被覆処理を行う。まず、容器１０４において、希土類元素含有物、磁性粉末、および、液体を混合することによりスラリーＳを作製する。液体としては、たとえば有機溶剤が用いられる。有機溶剤としては、たとえばエタノール、アセトン、あるいは、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）が用いられる。スラリーの作製では、磁性粉末は、希土類元素含有物より混合重量比を大きくすることが好適である。
【００３２】
次に、容器１０４を振動液槽１０２の振動液１０３中に配置する。続いて、超音波発振器１０１により超音波を発振し、その超音波が、振動液槽１０２中の振動液１０３を通じて容器１０４中のスラリーＳに照射される。超音波の周波数は、たとえば１００ｋＨｚ以下である。
【００３３】
ここで、第１実施形態では、スラリーＳにおいて、扁平状の磁性粉末は、希土類元素含有物に対する微粒子化メディアとして機能する。図３（Ａ）に示すように、初期状態では１次粒子の凝集体である（すなわち、２次粒子からなる）希土類元素含有物Ｐ１は、超音波照射による振動で扁平状の磁性粉末Ｐ２に衝突することにより、その凝集が解かれるだけではなく、その１次粒子が破砕されるまでに至る。この場合、衝突は、液体中に超音波の照射により形成されるキャビテーション（小さな気泡）の破裂エネルギーによっても引き起こされる。一方、スラリーＳにおいて、図３（Ｂ）に示すように、希土類元素含有物Ｐ１は、拡散の作用によって、液体中に分散する。このような希土類元素含有物Ｐ１の粉砕・分散は、磁性粉末Ｐ２の表面の全ての領域で局所的に繰り返されることにより、希土類元素含有物Ｐ１はスラリーＳ中に均一に分散することができる。なお、図３（Ａ），（Ｂ）において、液体の図示は省略している。
【００３４】
装置１００では、以上のようにして磁性粉末Ｐ２を粉砕することなく、希土類元素含有物Ｐ１のみを選択的に微粒子化することができるとともに、希土類元素含有物Ｐ１をスラリーＳ中に均一に分散させることができる。次いで、超音波を照射しながら、減圧下にて液体を乾燥させる。すると、微粒子化された希土類元素含有物Ｐ１は、液体中を均一に分散した状態が維持されるので凝集することなく、乾燥時の液体の表面張力により磁性粉末Ｐ２の表面上に付着される。その結果、微粒子化された希土類元素含有物Ｐ１は、図４（Ａ）に示すように、磁性粉末Ｐ２の表面に均一に被覆される。なお、ステップＳ２の被覆処理において、液体状の希土類元素含有物を用いる場合、スラリーの作製で用いられる液体が不要となり、かつスラリーへの超音波照射が不要となる。この場合、スラリーへの超音波照射を行わなくても、希土類元素含有物の磁性粉末表面への被覆が均一に行われる。
【００３５】
続いて、ステップＳ３において、希土類元素含有物Ｐ１が磁性粉末Ｐ２の表面に付着されてなる表面被覆磁性粉末に、熱間圧縮成形を行うことにより、表面被覆磁性粉末の結晶化および真密度化を行う。これにより成形体を作製する。このとき成形体を構成する磁性粉末Ｐ２の界面間の距離は、たとえば３０μmである。磁性粉末中の結晶粒の磁化容易軸は、ランダムな方向に向いている。熱間圧縮成形の条件としては、たとえば温度が７００℃、印加荷重が１００ＭＰａである。
【００３６】
次に、ステップＳ４において、成形体に熱間塑性加工を行うことにより、成形体に異方性を付与する。これにより、成形体を構成する磁性粉末Ｐ２中の結晶粒の磁化容易軸（図中の各粒子中の矢印方向）は、同一方向に向く。また、希土類元素は、図４（Ｂ）に示すように、扁平状の磁性粉末Ｐ２の界面からその内部へ結晶粒界（矢印方向Ｉ）に沿って選択的に拡散して、希土類元素の濃化が粒界近傍で行われる。このとき、希土類元素の扁平状の磁性粉末Ｐ２への拡散は、扁平状の磁性粉末Ｐ２の全ての界面から内部へ向かって行われるから、その拡散距離は、磁性粉末Ｐ２の厚み（磁性粉末の界面間の距離）の半分程度となる。この場合、成形体を構成する磁性粉末の界面間の距離は、たとえば１０μmである。熱間塑性加工の条件としては、たとえば温度が７５０℃、印加荷重が２０ＭＰａである。なお、図４（Ｂ）中で希土類元素含有物Ｐ１が図示されている部分は、磁性粉末Ｐ２の粉末界面である。続いて、ステップＳ５において、異方性が付与された成形体に機械加工を行うことにより、所望の形状に加工する。次いで、必要に応じて、所望の形状に加工された成形体に熱処理を行う。
【００３７】
以上のように第１実施形態では、微粒子化された希土類元素含有物Ｐ１を扁平状の磁性粉末Ｐ２表面へ付着した表面被覆磁性粉末から、永久磁石として熱間塑性加工磁石を製造することができる。この場合、希土類元素は磁性粉末Ｐ２の界面からその内部に結晶粒界を選択的に拡散して、希土類元素の濃化を粒界近傍で行うことができるから、希土類元素Ｐ１の添加量の低減化および高保磁力化の両立を図ることができる。また、これにより熱間塑性加工後の永久磁石やＨＤＤＲ粉の永久磁石などでは、結晶粒径が単磁区粒子径より僅かに大きくなるので、従来の上記手法２と同様に保磁力増大効果を得ることができる。さらに、磁石が大型の場合でも保磁力特性を均一とすることができる。さらに、希土類元素Ｐ１の添加量を低減することができるので、永久磁石では磁化の低下を防止することができる。
【００３８】
また、熱間塑性加工を行った場合でも、希土類元素の扁平状の磁性粉末Ｐ２への拡散距離は、磁性粉末Ｐ２の厚み（磁性粉末の界面間の距離）の半分程度となるから、その拡散距離は、従来の上記手法２と比較して、短くなる。これにより、希土類元素の拡散のために必要な処理は、通常の熱間塑性加工法の処理のみで十分であり、必要に応じて熱処理を加える場合でも、その熱処理は僅かなものでよいから、製造時間を短縮することができる。さらに、高保磁力に効果を有するＤｙ等の重希土類元素含有物をを磁性粉末に多く添加した場合でも、塑性加工が容易に行うことができ、異方性の付与が易しくなる。
【００３９】
特に、スラリーＳの作製では、希土類元素含有物Ｐ１は磁性粉末Ｐ２よりも混合重量比を大きく設定することにより、超音波照射時の希土類元素含有物Ｐ１の分散空間が相対的に大きくなるので、希土類元素含有物Ｐ１の微粒子化を効率よく行うことができる。スラリーＳに超音波を照射しながらスラリーＳの乾燥を行うことにより、スラリーＳの乾燥時、微粒子化された希土類元素含有物Ｐ１を液体中を均一に分散した状態で、希土類元素含有物Ｐ１が扁平状の磁性粉末Ｐ２に付着することができるので、希土類元素含有物Ｐ１の磁性粉末Ｐ２の表面への被覆をより均一に行うことができる。また、スラリーＳの乾燥を大気圧より低い圧力で行うと、液体が気化しやすいので、乾燥を効果的に行うことができる。さらに、スラリーＳの乾燥は、加熱により行うことにより、乾燥をより効果的に行うことができる。また、液体として有機溶剤を用いると、有機溶剤の揮発性が高いので、乾燥をより効果的に行うことができる。この場合、希土類元素含有物Ｐ１および磁性粉末Ｐ２の少なくとも一方が金属粉末である場合、その金属粉末の酸化を防止することができる。
【００４０】
また、希土類元素含有物Ｐ１の微粒子化では、希土類元素含有物Ｐ１の選択的微粒子化・均一分散を同一工程で行うことができるので、製造工程数を低減することができ、かつ希土類元素含有物Ｐ１，磁性粉末Ｐ２への不純物の混合の虞を解消することができる。また、微粒子化された希土類元素含有物Ｐ１を単体で扱う必要はないので、粉末の困難な取扱いがなくなる。さらに、強い機械的衝撃力を加える必要がないので、希土類元素含有物Ｐ１および磁性粉末Ｐ２がともに硬度が高い場合でも、磁性粉末Ｐ２の微粉砕化を防止することができる。加えて、必要に応じて成形体に熱処理を行うことにより、歪みを除去することができるのはもちろんのこと、希土類元素の磁性粉末Ｐ２への拡散を十分に行うことができるので、保磁力特性をより均一にすることができる。
【００４１】
（２）第２実施形態
第２実施形態では、第１実施形態とは、ステップＳ２とステップＳ５の間のステップが異なっている。第２実施形態では、第１実施形態と同様な構成要素には同符号を付し、第１実施形態と同様な作用を有する構成要素の説明は省略している。
【００４２】
第２実施形態では、第１実施形態と同様に、ステップＳ１において、磁性粉末および希土類元素含有物を準備し、ステップＳ２において、磁性粉末Ｐ２の表面に希土類元素含有物Ｐ１を被覆する被覆処理を行う。この場合、磁性粉末Ｐ２は、予め結晶の磁化容易軸が同一方向に配向されている。続いて、ステップＳ１３において、希土類元素含有物Ｐ１が磁性粉末Ｐ２の表面に付着されてなる表面被覆磁性粉末に、磁場中で圧縮成形を行う。これにより異方性を有する成形体を作製する。次いで、ステップＳ１４において、成形体に熱間圧縮成形あるいは焼結を行う。これにより成形体あるいは焼結体を得る。ステップＳ１４では、希土類元素は、第１実施形態と同様に、磁性粉末Ｐ２の界面からその内部へ結晶粒界（矢印方向Ｉ）に沿って選択的に拡散して、希土類元素の濃化が粒界近傍で行われる。
【００４３】
次いで、第１実施形態と同様に、ステップＳ５において、成形体あるいは焼結体に機械加工を行うことにより、所望の形状に加工する。次に、必要に応じて、所望の形状に加工された成形体あるいは焼結体に熱処理を行う。
【００４４】
以上のように第２実施形態では、希土類元素の拡散は、熱間圧縮成形、焼結の処理時、あるいは、必要に応じて行う熱処理時に起こっており、第１実施形態と同様な作用・効果を得ることができる。
【００４５】
（３）変形例
上記実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。たとえば、上記実施形態では、被覆処理に装置１００を用いたが、たとえば図６（Ａ）〜（Ｄ）に示す装置を用いてもよい。図６（Ａ）の装置１１０は、装置１００の構成に加えて、スラリーＳ中で図の矢印方向ＲＡに回転する撹拌手段１１１を備えている。装置１１０では、スラリーＳへの超音波照射に加えて、撹拌手段１１１の回転によるスラリーＳの撹拌が行われる。図６（Ｂ）の装置１２０は、装置１００の構成に加えて、容器１０４を回転させる回転手段（図示略）を備えている。装置１２０では、スラリーＳへの超音波照射に加えて、回転手段によるスラリーＳの回転が図の矢印方向ＲＢへ行われる。また、図２、図６（Ａ）〜（Ｃ）に示される装置では、超音波発振器１０１の位置は、図示の位置に限定されるものではなく、振動液槽１０２中の振動液１０３を通じて容器１０４中のスラリーＳに超音波照射を行うことができる位置であればよい。また、図６（Ｄ）に示される装置では、容器１０４に超音波照射を直接行うことができる位置であればよい。
【００４６】
上記実施形態では、磁性粉末における全ての希土類元素の含有量（以下、全希土類元素の含有量）は、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成（２６．７wt.％）の１．０１〜１．２０倍の範囲内であることが好適である。磁性粉末中の希土類元素の含有量がＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．０１未満である場合、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成に近くなり、Ｎｄ-rich相が存在しない。このため、永久磁石の製造時、磁性粉末の表面に付着している希土類元素含有物の希土類元素は、磁性粉末の界面から結晶粒界を通じて内部へ拡散することが困難となる。磁性粉末中の希土類元素の含有量が磁性粉末中の希土類元素の含有量が、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．０１倍以上である場合、保磁力が増加するが、磁性粉末中の希土類元素の含有量がＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．２０倍を超えると、保磁力の増加が鈍化し、かつ残留磁束密度が低下してしまい、実用的ではない。
【００４７】
また、磁性粉末には、希土類元素としてＰｒが少なくとも含有されていることが好適である。この態様では、永久磁石の製造時、磁性粉末の表面に付着している希土類元素含有物の希土類元素が結晶粒界を通じて拡散しても、結晶粒界の融点上昇が抑制されるから、その拡散が容易となる。
【実施例】
【００４８】
以下、具体的な実施例を参照して本発明の実施形態をさらに詳細に説明する。
【００４９】
（１）実施例１（永久磁石での添加元素Ｄｙの分布およびＤｙ添加量の影響）
実施例１では、永久磁石での添加元素Ｄｙの分布および永久磁石の保磁力におけるＤｙ添加量依存性を調べた。試料作製では、希土類元素含有物としてＤｙＦ３粉末、希土類元素含有物よりも硬度が高い扁平状の磁性粉末としてＮｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末を準備した。次いで、磁性粉末の表面への希土類元素含有物の被覆処理を行った。被覆処理では、実施形態と同様な手法を用いて、磁性粉末および希土類元素含有物を有機溶剤に混合してスラリーを作製した。スラリーに超音波照射を行うことにより、希土類元素含有物を微粒子化するとともにスラリー中に均一に分散させた。そして、スラリーを乾燥させることにより、微粒子化された希土類元素含有物を磁性粉末の表面に被覆した。この場合、被覆した希土類元素含有物から換算したＤｙの添加量が０％、０．５％、１．５％の表面被覆磁性粉末を作製した。
【００５０】
続いて、このような被覆処理の後、希土類元素含有物が表面に被覆された磁性粉末に熱間圧縮成形を行うことにより、成形体を作製した。熱間圧縮成形の条件は、温度を７００℃、圧力を１００ＭＰａとした。次に、成形体に熱間塑性加工を行うことにより、成形体に異方性を付与した。このようにして試料１１として、Ｄｙの添加量が０％、０．５％、１．５％である永久磁石を製造した。なお、Ｄｙの添加量の分析は、ＩＣＰ（高周波誘導結合プラズマ）分析を用いた。
【００５１】
比較試料の作製では、予めＤｙが添加されているＮｄ-Ｆｅ-Ｂ系磁性合金（Ｄｙの添加量：０％、０．５％、１．５％）に熱間塑性加工を行うことにより、そのＮｄ-Ｆｅ-Ｂ系磁性合金に異方性を付与した。このようにして比較試料１１として、Ｄｙの添加量が０％、０．５％、１．５％である永久磁石を製造した。
【００５２】
以上のようにして製造した試料１１の永久磁石のなかでＤｙを添加したものについて、Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末内部の結晶粒および粒界を透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）により観察するとともに、その領域におけるＮｄおよびＤｙの分布を調べた。その結果を図７（Ａ）〜（Ｃ）に示す。図７（Ａ）〜（Ｃ）は、ＴＥＭ写真、Ｎｄ分布写真、Ｄｙ分布写真（Ｍα線）である。図７（Ａ）〜（Ｃ）から判るように、希土類元素として添加したＤｙが、磁性粉末の粒界相であるＮｄ−rich相に濃化していることを確認した。
【００５３】
次いで、試料１１および比較試料１１の永久磁石について、ＶＳＭ（振動試料型磁力計）を用いて保磁力の測定を行った。その結果を図７および表１に示す。図７は、保磁力の変化とＤｙの添加量の関係を表すグラフである。図７および表１では、Ｄｙの添加量が０．５％，１．５％のときの保磁力は、Ｄｙの添加量が０％のときの保磁力を基準とした相対値としている。
【００５４】
【表１】
2009275283.tif 000003
【００５５】
図７に示されているように、試料１１では、所定のＤｙの添加量において、保磁力の増大量を最大で従来の約２．９倍とすることができる。すなわち、所定の保磁力を得るためにＤｙの添加量を最大約２／３削減することができる。以上のように本発明の効果が実証された。
【００５６】
（２）実施例２（添加元素Ｄｙの粒径の影響）
実施例２では、永久磁石の保磁力に対する添加元素Ｄｙの粒径の影響を調べた。試料作製では、希土類元素含有物としてＤｙＦ３粉末、希土類元素含有物よりも硬度が高い扁平状の磁性粉末としてＮｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末を用い、実施例１の本発明の試料と同様、永久磁石を製造した。この場合、Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末と超音波にて混合することにより、粉末の粒径を０．５μｍとしたＤｙＦ３粉末を用いて試料２１の永久磁石を製造し、粉末の粒径を１０μｍとしたＤｙＦ３粉末を用いて比較試料２１の永久磁石を製造した。なお、試料２１および比較試料２１における各希土類元素の含有量について、ＮｄとＰｒの各組成比率は０．４１７と０．５８３とし、全希土類元素の含有量は、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．１０倍とした。
【００５７】
そして、試料２１および比較試料２１の保磁力を測定し、Ｄｙ添加量依存性を得た。その結果を表２，３に示す。表２は試料２１の測定結果を表し、表３は比較試料２１の測定結果を表している。なお、表２，３では、実施例１の比較試料と同様な手法で作製した従来例の保磁力を測定結果を併記している。
【００５８】
【表２】
2009275283.tif 000004
【００５９】
【表３】
2009275283.tif 000005
【００６０】
表３から判るように、Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末に混合する際の粉末の粒径を１０μｍとした比較試料２１では、保磁力の上昇値が従来例のものより小さくなったが、表２から判るように、Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末に混合する際の粉末の粒径を０．５μｍとした比較試料２１では、保磁力の上昇値が従来例のものより大きくなった。これにより、Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末に混合する際の粉末の粒径は、１０μｍ未満とすることが好適であることを確認した。
【００６１】
（３）実施例３（磁性粉末中の全希土類元素の含有量の影響）
（Ａ）磁性粉末中の全希土類元素の含有量の下限値について
実施例３では、磁性粉末中の全希土類元素の含有量の永久磁石特性への影響を調べた。磁性粉末中の全希土類元素の含有量の永久磁石特性への影響について調べた。試料作製では、希土類元素含有物としてＤｙＦ３粉末、希土類元素含有物よりも硬度が高い扁平状の磁性粉末としてＮｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末を用い、実施例１の本発明の試料と同様、Ｄｙの添加量を変更して、永久磁石を製造した。
【００６２】
この場合、全希土類元素の含有量を変更して表４に示す組成比率を有する磁性粉末を用い、各磁性粉末に対応した試料３１〜３４の永久磁石を得た。なお、表４において、試料３１〜３４における各希土類元素の含有量は、組成比率として示し、試料３１〜３４での全希土類元素の含有量は、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成を基準として示している。そして、試料３１〜３４の保磁力を測定し、Ｄｙ添加量依存性を得た。その結果を表４〜８に示す。表５は試料３１の測定結果、表６は試料３２の測定結果、表７は試料３３の測定結結果、表８は試料３４の測定結果を表している。
【００６３】
【表４】
2009275283.tif 000006
【００６４】
【表５】
2009275283.tif 000007
【００６５】
【表６】
2009275283.tif 000008
【００６６】
【表７】
2009275283.tif 000009
【００６７】
【表８】
2009275283.tif 000010
【００６８】
表５，６から判るように、全希土類元素の含有量についてＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．０７倍とした試料２２は、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．０１倍とした試料２１よりも、保磁力の増大率が大きくなった。これにより、全希土類元素の含有量をＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．０７倍からから大きくするに従い、保磁力の増大率が大きくなることが判った。
【００６９】
また表６〜８から判るように、全希土類元素の含有量をＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．１０倍とした試料２４では、Ｄｙの高添加量側での保磁力の増大率は、全希土類元素の含有量をＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．０７倍とした試料２２と、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．１４倍とした試料２３との中間となったが、Ｄｙの高添加量側での保磁力の増大率は、試料２３と略同等である。試料２４は、試料２３と比較して、希土類元素としてＰｒが多く含有されていることから、試料２４にはＰｒによる結晶粒界の融点上昇抑制効果が働いていると推察される。
【００７０】
具体的には、Ｎｄ−Ｄｙの組み合わせでは、Ｄｙが結晶粒界を通じて拡散すると、結晶粒界の融点上昇が起こり、拡散速度が遅くなる。これに対して、Ｐｒ−Ｄｙの組み合わせでは、Ｎｄ−Ｄｙの組み合わせよりも、融点が低く保持されるため、Ｄｙの拡散が容易となり、多くの希土類元素が粒界を通じて拡散することができると推察される。
【００７１】
なお、Ｄｙの高添加量側では、試料２４は、保磁力の増大率が低下傾向にあるのに対して、試料２３では、保磁力の増大率がＤｙの低添加量側とほとんど変わらなかった。この理由について、粒界相の量（Ｎｄ量あるいはＮｄ−Ｐｒ量）が保磁力の増大率に影響していると考えられ、粒界相の量が大きくなるに従って、磁性粉末内部にＤｙが拡散しても粒界相の融点上昇が生じるＮｄあるいはＮｄ−ＰｒとＤｙの比率となるまで粒界の硬化が抑制されるためであると推察される。
【００７２】
（Ｂ）磁性粉末中の全希土類元素の含有量の上限値について
試料作製では、希土類元素含有物としてＤｙＦ３粉末、粉末としてＮｄ-Ｆｅ-Ｂの磁性粉末を用い、実施例１の本発明の試料と同様、永久磁石を製造した。この場合、ＤｙＦ３粉末の添加量を所定量とし、全希土類元素の含有量を変更した磁性粉末を用い、各磁性粉末に対応した試料４１〜４４の永久磁石を得た。試料４１〜４４の永久磁石の保磁力および残留磁束密度を測定した結果を表９に示す。なお、表９において、試料４１〜４４における全希土類元素の含有量は、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成を基準として示し、試料４２〜４４の保磁力および残留磁束密度の測定値は、試料４１のものを基準として示している。
【００７３】
【表９】
2009275283.tif 000011
【００７４】
表９から判るように、磁性粉末中の希土類元素の含有量がＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．０１倍以上である場合、保磁力が増加するが、磁性粉末中の希土類元素の含有量がＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．２０倍を超えると、保磁力の増加が鈍化し、かつ残留磁束密度が低下することを確認した。
【００７５】
以上の結果から、永久磁石としてたとえばＮｄ-Ｆｅ-Ｂ系磁磁石を製造する場合、磁性粉末における全ての希土類元素の含有量（以下、全希土類元素の含有量）が、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂの化学量論組成の１．０１〜１．２０倍の範囲内にあることが好適であることが判った。また、磁性粉末には、希土類元素としてＰｒが少なくとも含有されていることが好適であることが判った。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明に係る第１実施形態の永久磁石の製造方法を表す工程図である。
【図２】本発明に係る第１実施形態の永久磁石の製造方法の被覆処理で用いられる装置の概略構成を表す側断面図である。
【図３】図２に示す装置の動作時における希土類元素含有物および磁性粉末の状態を表し、（Ａ）は磁性粉末に希土類元素含有物が衝突する状態を表す概念図、（Ｂ）は磁性粉末の間で希土類元素含有物が分散する状態を表す概念図である。
【図４】本発明に係る第１実施形態の永久磁石の製造方法の各工程での生成物を表し、（Ａ）は被覆処理後の状態の概略構成図、（Ｂ）は熱間塑性加工時の状態の概略構成図である。
【図５】本発明に係る第２実施形態の永久磁石の製造方法を表す工程図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｄ）は、図２に示す装置の変形例である。
【図７】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施例１のＤｙを添加した永久磁石のＴＥＭ写真、Ｎｄ分布写真、Ｄｙ分布写真（Ｍα線）である。
【図８】本発明の実施例１の保磁力の変化と永久磁石のＤｙ添加量の関係を表すグラフである。
【図９】従来の手法１による永久磁石の製造方法を表す工程図である。
【図１０】従来の手法１による永久磁石の製造方法の各工程での生成物を表し、（Ａ）は磁性粉末と希土類元素含有物と混合後の状態の概略構成図、（Ｂ）は永久磁石での希土類元素の添加状態の概略構成図である。
【図１１】従来の手法２による永久磁石の製造方法の各工程での生成物を表し、（Ａ）は磁性粉末と希土類元素含有物と混合後の状態の概略構成図、（Ｂ）は永久磁石での希土類元素の添加状態の概略構成図である。
【図１２】従来の熱間塑性加工法を表す工程図である。
【符号の説明】
【００７７】
Ｐ１…希土類元素含有物、Ｐ２…磁性粉末、Ｓ…スラリー
【図１】
2009275283.tif 000012
【図２】
2009275283.tif 000013
【図３】
2009275283.tif 000014
【図４】
2009275283.tif 000015
【図５】
2009275283.tif 000016
【図６】
2009275283.tif 000017
【図７】
2009275283.tif 000018
【図８】
2009275283.tif 000019
【図９】
2009275283.tif 000020
【図１０】
2009275283.tif 000021
【図１１】
2009275283.tif 000022
【図１２】
2009275283.tif 000023