(57)【要約】【課題】  インキの乾燥を制御することにより、被印刷物に対してインキの受理転移を確実に行い、理想的な印刷環境を提供することのできる微細印刷装置を提供する。【解決手段】  印刷ロール周囲の雰囲気条件を制御する雰囲気制御手段を備え、印刷ロール周囲の雰囲気を制御することにより、印刷ロールに受理されたインキの表面粘度を制御することにより被印刷物に対するインキの転移率を向上させる。また印刷ロールに巻回されたエストラマーに吸収された溶剤を気化させ、被印刷物に対するインキの転移率を向上させる。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インキを供給するためのインキ供給ロールと、
該インキ供給ロールからインキを受理し、被印刷物にインキを転移させるための印刷ロールと、
前記印刷ロール周囲の雰囲気条件を制御する雰囲気制御手段とを備えたことを特徴とする微細印刷装置。
【請求項２】
前記雰囲気制御手段により制御される雰囲気条件は温度であることを特徴とする請求項１に記載の微細印刷装置。
【請求項３】
前記雰囲気制御手段により制御される雰囲気条件は圧力であることを特徴とする請求項１に記載の微細印刷装置。
【請求項４】
前記雰囲気制御手段により制御される雰囲気条件は気体の種類であることを特徴とする請求項１に記載の微細印刷装置。
【請求項５】
前記気体の種類は、酸化防止用の還元性の気体であることを特徴とする請求項４に記載の微細印刷装置。
【請求項６】
前記還元性の気体は不活性ガスであることを特徴とする請求項５に記載の微細印刷装置。
【請求項７】
前記雰囲気制御手段は、前記印刷ロール周囲に対して通風を行う送風ファンと排気ファンとであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の微細印刷装置。
【請求項８】
前記インキ供給ロール表面との間に隙間を有して、該インキ供給ロール表面を囲繞するカバーと、
前記隙間から前記インキ供給ロールにインキを供給するための機構とを備えたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の微細印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷ロール周囲の雰囲気を制御することにより、インキの受理転移を確実にする微細印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高精度を要求される微細印刷では、印刷品質が最終的に目的とする商品の品質に直結することから、安定した印刷、つまりインキやペーストの乾燥を制御する事が非常に重要である。
従来、印刷装置においてインキの乾燥を防止するために、例えば下記特許文献の開示技術が提案されている。
特許文献１の開示技術は、図７に示すように、表面に微細な凹凸が形成され、版胴２９に接触して配置された主ロール３０と、主ロール３０に対して接触配置された補助ロール３１との間にインキを補給し、主ロール表面の凹部に溜まったインキを版胴２９に移して印刷を行なう印刷装置において、主ロール３０又は補助ロール３１に接触する希釈液補給ロール３２に、補給ロール３２表面に希釈液の被膜を形成する様に希釈液を補給し、希釈液補給ロール３２と主ロール３０の接触回転によって、希釈液の被膜がインキに混じることにより、インキに希釈液を補給してインキの乾燥を防止するものである。
即ち、主ロール３０から版胴２９へのインキ供給量を調整するため、主ロール３０と補助ロール３１の周速を相対的に変化させ、インキの絞りを強くした場合、ロール表面が温度上昇し、インキの水分蒸発が助長され、インキの濃度及び粘度が高まり、このために印刷面に色斑が生じる。そこで特許文献１は、インキに必要に応じて水分を補給することにより、インキの濃度及び粘度の高まりを防止できるインキの乾燥防止法及びその装置を提供している。
【特許文献１】特開平０７−０８９０５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、この特許文献１のインキの乾燥防止装置では、必要に応じてインキに水分を補給するために、補給ロール３２と、補給ロール３２表面に希釈液の被膜を形成するための希釈液とを備えなければならない。そのため補給ロール３２周辺の構造が複雑となる上に、水分量の厳密な制御が要求され、安定した印刷を実現することが困難であった。また乾燥を促進したいインキに対しては対応していないという問題があった。
【０００４】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、高精度を要求される微細印刷において、印刷ロール周囲の雰囲気を制御することにより、簡易な方法でインキの乾燥を制御し、これによってインキの受理転移を確実にし、様々な種類のインキに対応して安定した印刷を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、微細印刷装置において、インキを供給するためのインキ供給ロールと、該インキ供給ロールからインキを受理し、被印刷物にインキを転移させるための印刷ロールと、前記印刷ロール周囲の雰囲気条件を制御する雰囲気制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
【０００６】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の発明において、前記雰囲気制御手段により制御される雰囲気条件は温度であることを特徴とするものである。
【０００７】
請求項３に係る発明は、請求項１に記載の発明において、前記雰囲気制御手段により制御される雰囲気条件は圧力であることを特徴とするものである。
【０００８】
請求項４に係る発明は、請求項１に記載の発明において、前記雰囲気制御手段により制御される雰囲気条件は気体の種類であることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項５に係る発明は、請求項４に記載の発明において、前記気体の種類は、酸化防止用の還元性の気体であることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項６に係る発明は、請求項５に記載の発明において、前記還元性の気体は不活性ガスであることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項７に係る発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明において、前記雰囲気制御手段は、前記印刷ロール周囲に対して通風を行う送風ファンと排気ファンとであることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項８に係る発明は、請求項１乃至７のいずれかに記載の発明において、前記インキ供給ロール表面との間に隙間を有して、該インキ供給ロール表面を囲繞するカバーと、前記隙間から前記インキ供給ロールにインキを供給するための機構とを備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に係る発明は、印刷ロール周囲の雰囲気条件を制御する雰囲気制御手段を備えたことにより、被印刷物に対して最適な環境で印刷を行うことができる。即ち、微細印刷では高精度の印刷が要求されるが、本発明によれば、印刷ロールに受理されたインキの表面粘度を制御することにより被印刷物に対してインキの転移率を向上させることができる。また印刷ロールに巻回されたエストラマーに吸収された溶剤を気化させることにより、被印刷物に対してインキの転移率を向上させることができる。
【００１４】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の発明において、前記雰囲気制御手段により制御される雰囲気条件は温度であることにより、印刷ロール又はインキ供給ロール周囲の温度を制御することができ、被印刷物に対して適切な印刷環境を提供することができる。
【００１５】
請求項３に係る発明は、請求項１に記載の発明において、前記雰囲気制御手段により制御される雰囲気条件は圧力であることにより、印刷ロール又はインキ供給ロール周囲の圧力を制御することができ、被印刷物に対して適切な印刷環境を提供することができる。
【００１６】
請求項４に係る発明は、請求項１に記載の発明において、前記雰囲気制御手段により制御される雰囲気条件は気体の種類であることにより、印刷ロール又はインキ供給ロール周囲の気体の種類を制御することができ、被印刷物に対して適切な印刷環境を提供することができる。
【００１７】
請求項５に係る発明は、請求項４に記載の発明において、前記気体の種類は、酸化防止用の還元性の気体であることにより、インキの酸化を防ぎたい被印刷物に対して、簡易な方法でインキを酸化させることなく良好な印刷環境を提供することができる。
【００１８】
請求項６に係る発明は、請求項５に記載の発明において、前記還元性の気体は不活性ガスであることにより、インキの酸化を防ぎたい被印刷物に対して、簡易な方法でインキを酸化させることなく良好な印刷環境を提供することができる。
【００１９】
請求項７に係る発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明において、前記雰囲気制御手段は、前記印刷ロール周囲に対して通風を行う送風ファンと排気ファンとであることにより、印刷ロール周囲の雰囲気を自在に制御することができ、最適な印刷環境を提供することができる。即ち、印刷ロール表面の気圧、温度又は気体の種類を制御し、又は局所的に陽圧又は陰圧をかけることにより、印刷ロールに受理されたインキの表面粘度を制御し、被印刷物に対してインキの転移率を向上させることができる。また印刷ロールに巻回されたエストラマーに吸収された溶剤を気化させることで、被印刷物に対してインキの転移率を向上させ、理想的な印刷環境を提供することができる。また、インキの乾燥を促進させたい被印刷物に対して、適切な乾燥通風を行うことにより、インキの乾燥を促進してインキの表面粘度を少し高くすることで、被印刷物に対してインキの転移率を高くし、理想的な印刷環境を提供できる。
【００２０】
請求項８に係る発明は、請求項１乃至７いずれかに記載の発明において、前記雰囲気制御手段は、前記インキ供給ロール表面との間に隙間を有して、該インキ供給ロール表面を囲繞するカバーと、前記隙間から前記インキ供給ロールにインキを供給するための機構とを備えたものである。このように、前記機構により可能な限りインキが空気に接触することがなく、適量のインキを供給することができ、インキの乾燥を防ぐことができる。即ち、印刷中にインキ供給ロール表面のインキが乾燥してインキの粘度が高くなることなく、印刷ロールへ取り付けられた凸版やブランケットに定量で安定したインキの転移ができる。また、カバーにより、供給されたインキが可能な限り空気に触れるのを防止し、インキがインキ供給ロール表面において乾燥するのを確実に防ぐことができ、理想的な印刷環境を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。
本実施の形態の微細印刷装置１は、研究用装置から生産用装置まで幅広く対応するものであり、半導体パターンのウエハへの直接印刷、導電ペーストによるガラス基材への電極印刷、プリント基板へのダイレクト印刷、及び白色発光ダイオードのダイレクト印刷等に使用が可能である。
【００２２】
図１は、本実施の形態の微細印刷装置において、後述する凸版ロール等の印刷ロール４上に備えられた雰囲気制御手段（Ａ）と、後述するアニロクスロール又はグラビアロール等のインキ供給ロール３上に備えられたインキ乾燥抑制手段（Ｂ）とを設置した状態を示す正面図である。
図２は、本実施の形態による微細印刷装置において、上記印刷ロール４上に備えられた雰囲気制御手段（Ａ）及びインキ供給ロール３上に備えられたインキ乾燥抑制手段（Ｂ）を取り外した状態を示す正面図であり、オプションとして乾燥ユニットIIIを備えている。
図２に示すように、本実施の形態による微細印刷装置１は、印刷ユニットI、ワインダーユニットII及び乾燥ユニットIIIの３つに分けられる。
印刷ユニットIは、基材テーブル２と、インキ供給ロール３と、印刷ロール４と、圧胴５と、ピンチロール６と、ドクターブレード７とを備えている。
基材テーブル２は、微細印刷装置１の中央の高さに水平に設けられている。
インキ供給ロール３は、印刷ロールにコントロールされたインキを転移させるためのロールであり、円柱状であって微細印刷装置１の幅方向（紙面垂直方向）に延び、且つ基材テーブル２に対して水平に回転可能に支持され、その円周面にエストラマーが巻回されている。
印刷ロール４は、被印刷物にインキを転着させるロールであり、インキ供給ロール３と同径であって、微細印刷装置１の幅方向に延び、且つ基材テーブル２に対して水平にインキ供給ロール３のやや下方位置に回転可能に支持され、且つインキ供給ロール３にその右側の円周面の一部が当接している。そして、その円周面にエストラマーが巻回されている。
圧胴５は、インキ供給ロール３と同長、且つ小径の円柱状であって、微細印刷装置１の幅方向に延び、且つ基材テーブル２に対して水平、且つ印刷ロール４の左側近傍に、印刷ロール４よりやや上方に回転可能に支持されている。
ピンチロール６は、インキ供給ロール３と同長、且つ圧胴５よりかなり小径の円柱状であって、微細印刷装置１の幅方向に延び、且つ基材テーブル２に対して水平に、圧胴５よりやや下方位置に回転可能に支持され、且つ圧胴５にその右側の円周面の一部が当接している。
ドクターブレード７は、刃先がインキ供給ロール３の上部表面に当接し、インキ供給ロール３が正回転又は逆回転した時に、インキ供給ロール３表面のインキをかき取るものである。
【００２３】
ワインダーユニットIIは、支持板８と、ワインダーロール（巻き出しロール）９と、リワインダーロール（巻き取りロール）１０と、ガイドロール１１とを備えている。
支持板８は、ピンチロール６の左部に所望の距離を空けて、微細印刷装置１の後部（紙面奥側）に、微細印刷装置１の基材テーブル２に対して垂直に固定されている。
ワインダーロール９は、支持板８の下方に、微細印刷装置１の幅方向に延びるように、支持板８に対して垂直に、且つ回転可能に備えられている。
リワインダーロール１０は、支持板８の上方に、微細印刷装置１の幅方向に延びるように、支持板８に対して垂直に、且つ回転可能に備えられている。
一対のガイドロール１１は、リワインダーロール１０の更に上方の左右２点に、微細印刷装置１の幅方向に延びるように、支持板８に対して垂直に固定されている。
このようなワインダーユニットIIを備えたことにより、後述するようにロールｔｏロールで効率的に被印刷物１５にインキを転移させることができる。
【００２４】
乾燥ユニットIIIは、オプションとして取り付け可能なものであり、支持板１２と、ガイドロール１３及び１４とを備えている。
支持板１２は、ワインダーユニットIIの支持板８の左側に隣接して、設置面に対して垂直に固定されている。
複数のガイドロール１３は、微細印刷装置１の幅方向に延びるように、固定板１２に対して垂直に備えられており、固定板１２の右部上方及び左部において、上方から下方に向かって緩やかな曲線を描くように、所望の間隔を空けて配置されている。
複数のガイドロール１４は、微細印刷装置１の幅方向に延びるように固定板１２に対して垂直に備えられており、固定板１２の右部において、上方位置と下方位置に夫々複数本ずつ並設されている。
このような乾燥ユニットIIIをオプションとして備えたことにより、後述するように被印刷物に転移されたインキを素早く乾燥させ、作業の効率化を図ることができる。
【００２５】
上記のように構成された微細印刷装置１において、ポリイミド等のフィルムである被印刷物１５の設置方法について説明する。
ワインダーユニットIIの支持板８の下方に備えられたワインダーロール９に、フィルム１５等のロール状に巻回された被印刷物１５（以下、フィルム１５と称す）の中央に備えられた孔部を差し込み、フィルム１５を回転可能に支持する。
次に、フィルム１５の端部を引き出し、ピンチロール６の上部の円周面に沿わせて、圧胴５とピンチロール６との間を通過させ、圧胴５の円周面に沿わせながら圧胴５の上方に引き出し、支持板８の上方のガイドロール１１の上部でフィルム１５が弛まないように張力を加えながら、乾燥ユニットIIIの曲線状のガイドロール１３の上方から下方に向けて、各ガイドロール１３の左部に沿わせる。
フィルム１５が固定板１２の左部の最下部のガイドロール１３に到達した時点で、固定板１２の右部のガイドロール１４に上下交互に掛けていき、そして、フィルム１５が最右端のガイドロール１４に到達した時点で、ワインダーユニットIIの上方のリワインダーロール１０に巻回させる。
これにより、連続的にフィルム１５を印刷ユニットIに送り込み、また乾燥ユニットIIIを通過させて巻き取ることが可能となる。
【００２６】
以下、上記のように、フィルム１５を設置した微細印刷装置１について、その基本動作について説明する。
後述するＴダイ２５（図６参照）によりインキ供給ロール３にインキを供給しながら、インキ供給ロール３を左回りに回転させ、同時にインキ供給ロール３に隣接する印刷ロール４を右回りに回転させて、インキ供給ロール３のインキを印刷ロール４に転移させる。
そして、その円周面右側にフィルム１５が巻回された圧胴５を左回りに回転させながら、印刷ロール４に当接させることにより、印刷ロール４のインキをフィルム１５に転移させる。その際、ピンチロール６は、圧胴５に沿わせたフィルム１５が弛まないように、フィルム１５に当接しながら右回りに回転する。このようにして、ワインダーユニットIIの下部に備えられたフィルム１５のワインダーロール９から、印刷ユニットＩの圧胴５に対してフィルム１５を連続的に送り込む。
また、インキが転移されたフィルム１５は圧胴５の上部からワインダーユニットIIのガイドロール１１に沿って移動し、更に乾燥ユニットIIIの各ガイドロール１３及びガイドロール１４に沿って移動することにより、十分に乾燥された後、最後にワインダーユニットIIのリワインダーロール１０に巻回されることになる。
【００２７】
なお、本実施の形態においてはフィルム１５に印刷する場合について説明したが、本実施の形態における微細印刷装置によれば、ガラスやシリコンウエハ又はシートフィルム等に微細印刷を行うことも可能である。この場合、基材テーブル２上にガラス、シリコンウエハ又はシートフィルムを設置し、基材テーブル２を水平方向に移動させることにより印刷を行うことが可能である。例えば、シリコンウエハに対して配線を直接印刷することも可能である。
【００２８】
印刷ロール４とインキと被印刷物１５の受理転移における相性は多様であるため、印刷ロール４周囲における雰囲気の制御は重要である。そこで、本実施の形態における印刷ロール４に備えられた雰囲気制御手段（Ａ）について図３乃至図５を参照して説明する。
図３乃至図５は、印刷ロール４における雰囲気制御手段（Ａ）について示している。
図３乃至図５に示すように、印刷ロール４上に設置された雰囲気制御手段は、一対の送風ファン１６と排気ファン１７とを備え、送風ファン１６及び排気ファン１７は夫々パイプ１８、１９を介して印刷ロール４の上方に備えられた送風ダクト２１及び排気ダクト２２に接続されている。送風ダクト２１及び排気ダクト２２には印刷ロール４円周面付近に対して垂直に向かう送風通路２３及び排気通路２４が接続されている。
このような構成により、送風ファン１６からパイプ１８、送風ダクト２１及び送風通路２３を介して印刷ロール４の円周面付近に送風することができる。
また、排気ファン１７によりパイプ１９、排気ダクト２２及び排気通路２４を介して印刷ロール４の円周面付近から排気を行うことができる。
送風ファン１６はフィルタ２０を備えており、印刷ロール４に送られる気体を清浄なものとする。
なお、送風ファン１６、排気ファン１７、送風ダクト２１及び排気ダクト２２は、印刷ロール４の後部において、ファン取り付けアームにより固定支持されている。
また、送風ファン１６及び排気ファン１７により給排気される気体の風圧、風量及び温度は、送風機の回転制御及び温度管理ユニットにより任意の風圧、風量及び温度に設定することが可能であり、これにより被印刷物１５におけるインキの転移率を制御することもできる。
また、被印刷物に応じて、インキの酸化を防ぎたい場合は、送風ファン１６から還元性のある気体（例えば窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン又はラドン等の不活性ガス）を送風することにより酸化防止を実現できる。
このように、送風ファン１６及び排気ファン１７により、印刷ロール４表面の気圧、温度又は気体の種類を制御し、又は局所的に陽圧又は陰圧をかけ、印刷ロール４に巻回されているエストラマーに吸収された溶剤を気化させることで、被印刷物に対してインキの転移率を向上させることができる。
また、印刷ロール４は、被印刷物の素材によっては、インキの乾燥を促進してインキの表面粘度を少し高くした方が被印刷物に対してインキの転移率が高くなることがある。従って、上記送風ファン１６及び排気ファン１７により、印刷ロール４の円周面の全幅に亘り、所望の風圧、温度又は気体の種類を持つ乾燥通風を行うことにより最適な印刷環境を提供することができる。
【００２９】
次に、本実施の形態におけるインキ供給ロール３上に備えられたインキ乾燥抑制手段（Ｂ）について図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照して説明する。
インキ供給ロール３におけるインキ乾燥抑制手段（Ｂ）は、印刷ロール４における雰囲気制御手段（Ａ）と併設されるものである。
図６（ａ）は図１の（Ｂ）部の拡大図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）の側面断面図である。
図６（ａ）に示すように、本実施の形態においては、インキを供給する機構としてＴダイ２５を用いる。即ち、インキ供給ロール３の円周面の最上部の近傍に、Ｖ字状に先端が細く形成されているＴダイ２５を、インキ供給路が垂直下方に向くように設置し、インキ供給路からインキ供給ロール３の円周面に対して適量のインキを斑無く供給する。
このように、インキ供給ロール３の円周面に対して、その近傍からインキを供給することにより、可能な限りインキが空気に接触することを防止し、インキの乾燥を抑制してインキの粘度が高くなるのを防ぐことができる。
なお、供給するインキの量については、適宜所望の量に調節できる。
なお、本実施の形態においてはＴダイ２５によりインキ供給ロール３にインキを供給したが、本発明はこれに限定されるものではなく、シリンジポンプやドクターチャンバー等によりインキを供給することも可能である。
【００３０】
また、本実施の形態においては、図６（ａ）に示すように、インキ供給ロール３の円周面から所定の隙間を空けて外側に、インキ供給ロール３の円周面を囲繞するようにカバー２６ａ，２６ｂ及び２６ｃが設置されている。
ここで、Ｔダイ２５によりインキが供給されるインキ供給ロール３の上部、及び印刷ロール４と当接する付近については、カバー２６ａ，２６ｂ及び２６ｃで囲繞することのないように、所望の隙間を空けて設置する。
即ち、カバー２６ａは、インキ供給ロール３の右半分の上部から下部までを囲繞し、カバー２６ｂは、インキ供給ロール３の上部において、カバー２６ａとの間にＴダイ２５によりインキを供給するための隙間を空けて、インキ供給ロール３の左上部の印刷ロール４と接しない部分を囲繞し、カバー２６ｃは、インキ供給ロール３の左下部の印刷ロール４と接しない部分とインキ供給ロール３の右下部までを囲繞する。
ここで、カバー２６ａ及び２６ｃは、組付けを簡単にするために分離されたものであり、インキ供給ロール３の右下部において端部を重ねることにより互いに接合させる。
【００３１】
図６（ｂ）に示すように、カバー２６ａ，２６ｂ及び２６ｃは、その軸方向の長さがインキ供給ロール３よりもやや長いものであり、そのインキ供給ロール３から突出した端部において、周方向に所定の間隔で備えられた複数のビス２７ａでその端部が互いに固定されている。
また、カバー２６ａ，２６ｂ及び２６ｃは、その端部の円周面の中央において、基材テーブル２に対して水平方向に延びる円柱状のカバー取り付けアーム２８ａに対して、ボルト２７ｂにより固定支持されている。カバー取り付けアーム２８ａは微細印刷装置１の後部において、垂直に延びる支持部２８ｂにより固定されている。
このように、インキ供給ロール３がカバー２６ａ，２６ｂ及び２６ｃにより囲繞されることにより、Ｔダイ２５によりインキがインキ供給ロール３に供給された時、インキが空気に触れるのを可能な限り防ぐことができ、インキ供給ロール３の円周面の表面のインキの乾燥を抑制することができる。
なお、本実施の形態においては、インキ供給ロール３の円周面と、カバーと２６ａ，２６ｂ及び２６ｃとの間を０．３ｍｍから２．００ｍｍに設定することが好ましい。これは、Ｔダイ２５によりインキ供給ロール３の円周表面に供給されたインキを、可能な限り空気に触れないようにし、且つ乾燥を抑制しすぎることなくインキの乾燥度を適当にするためである。
但し、本発明においてインキ供給ロール３とカバー２６ａ，２６ｂ及び２６ｃとの隙間は上記値に限定されるものではなく、求められるインキ乾燥抑制の度合いに応じて適宜隙間を設定できる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明は、高精度を要求される被印刷物、例えばシリコンウエハに配線を印刷する微細印刷において、好適に利用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】微細印刷装置において、印刷ロール上に備えられた雰囲気制御手段（Ａ）と、インキ供給ロール上に備えられたインキ乾燥抑制手段（Ｂ）とを示す正面図である。
【図２】微細印刷装置において、図１の上記（Ａ）及び（Ｂ）を取り外した状態を示す正面図である。
【図３】印刷ロールにおける雰囲気制御手段（Ａ）を示す図である。
【図４】雰囲気抑制手段（Ａ）のファン及びダクトを示す図である。
【図５】印刷ロール円周面付近における送風及び排気状態を示す拡大図である。
【図６】（ａ）インキ供給ロールにおけるインキ乾燥抑制手段を示す（Ｂ）部の拡大図であり、（ｂ）インキ供給ロールにおけるカバーのカバー取り付けアームを示す側面断面図である。
【図７】従来のインキ乾燥防止装置を示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  微細印刷装置
３  インキ供給ロール
４  印刷ロール
１５  フィルム（被印刷物）
１６  送風ファン
１７  排気ファン
２５  Ｔダイ
２６ａ，２６ｂ，２６ｃ  カバー
Ａ  印刷ロールにおける雰囲気制御手段
Ｂ  インキ供給ロールにおけるインキ乾燥抑制手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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