(57)【要約】【課題】作業者の負担を軽減することが可能な流体用容器および流体入り容器を提供する。【解決手段】流体用容器は、生産設備に供給されるレジストなどの流体を貯留する流体用容器であって、キャニスター缶１０と、キャニスター缶１０に収容され、流体を貯留可能なライナー２１およびライナー２２と、ライナー２１に挿入されたチューブ３０とを備える。ライナー２１およびライナー２２は、流体の貯留量およびキャニスター缶１０の内部の圧力に応じて変形可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を貯留する流体用容器であって、
外殻部材と、
前記外殻部材に収容され、前記流体を貯留可能な第１内袋部材および第２内袋部材と、
前記第１内袋部材に挿入されたチューブとを備え、
前記第１内袋部材および前記第２内袋部材は、前記流体の貯留量および前記外殻部材の内部の圧力に応じて変形可能である、流体用容器。
【請求項２】
前記チューブは、前記第１内袋部材および前記第２内袋部材のうち、前記第１内袋部材にのみ挿入される、請求項１に記載の流体用容器。
【請求項３】
前記第１内袋部材は前記流体の供給用に用いられ、前記第２内袋部材は前記流体の回収用に用いられる、請求項１または請求項２に記載の流体用容器。
【請求項４】
流体を貯留する流体入り容器であって、
外殻部材と、
前記外殻部材に収容され、前記流体を貯留可能な第１内袋部材および第２内袋部材とを備え、
前記第１内袋部材および前記第２内袋部材は、前記流体の貯留量および前記外殻部材の内部の圧力に応じて変形可能であり、
前記第１内袋部材および前記第２内袋部材のうち、前記第１内袋部材にのみ前記流体が貯留されている、流体入り容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体用容器および流体入り容器に関し、特に、レジストなどの流体を貯留するための流体用容器および流体入り容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開２００８−７１５３号公報（特許文献１）には、外装容器と、外装容器に収納された包装袋と、包装袋に挿入された液出しチューブとを備えた流体用容器が記載されている。
【特許文献１】特開２００８−７１５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に記載の流体用容器では、流体用容器に貯留された流体を供給する際には、液出しチューブが装着されていることが前提であり、流体用容器に液体を回収する際には、液出しチューブを取り外すことが前提となっている（特許文献１の段落［００９３］，［００９４］を参照）。したがって、特許文献１に記載の流体用容器では、流体の出し入れに伴なって、液出しチューブの脱着の作業が必然的に生じ、作業者の負担が増大する。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、作業者の負担を軽減することが可能な流体用容器および流体入り容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る流体用容器は、流体を貯留する流体用容器であって、外殻部材と、外殻部材に収容され、流体を貯留可能な第１内袋部材および第２内袋部材と、第１内袋部材に挿入されたチューブとを備え、第１内袋部材および第２内袋部材は、流体の貯留量および外殻部材の内部の圧力に応じて変形可能である。
【０００６】
上記構成によれば、外殻部材の内部に少なくとも２つの内袋部材を設けることにより、用途に応じて各々の内袋部材を使い分けることができる。この結果、チューブの脱着作業が不要となり、流体用容器を使用して作業する作業者の負担を軽減することができる。
【０００７】
好ましくは、上記流体用容器において、チューブは、第１内袋部材および第２内袋部材のうち、第１内袋部材にのみ挿入される。
【０００８】
好ましくは、上記流体用容器において、第１内袋部材は流体の供給用に用いられ、第２内袋部材は流体の回収用に用いられる。
【０００９】
本発明に係る流体入り容器は、流体を貯留する流体入り容器であって、外殻部材と、外殻部材に収容され、流体を貯留可能な第１内袋部材および第２内袋部材とを備え、第１内袋部材および第２内袋部材は、流体の貯留量および外殻部材の内部の圧力に応じて変形可能であり、第１内袋部材および第２内袋部材のうち、第１内袋部材にのみ流体が貯留されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、外殻部材の内部に複数の内袋部材を設けることにより、用途に応じて各々の内袋部材を使い分けることができるので、作業者の負担を軽減しながら繰り返し使用可能な容器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本発明の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。
【００１２】
なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の構成を適宜組合わせることは、当初から予定されている。
【００１３】
図１，図２は、本発明の１つの実施の形態に係る流体用容器を示す図である。なお、図１は、供給前の流体を流体用容器に貯留した状態を模式的に示し、図２は、回収後の流体を流体用容器に貯留した状態を模式的に示す図である。
【００１４】
本実施の形態に係る流体用容器は、生産設備に供給されるレジストなどの溶剤を充填するための容器である。この容器は、レジストを生産設備に供給した後、使用後のレジストを回収する際にも使用可能である。
【００１５】
図１，図２を参照して、本実施の形態に係る流体用容器は、流体を貯留する流体用容器であって、キャニスター缶１０と、キャニスター缶１０に収容され、流体を貯留可能なライナー２０と、チューブ３０とを含む。
【００１６】
ライナー２０は、ライナー２１と、ライナー２２とを含む。チューブ３０は、ライナー２１の底部近傍に達するようにライナー２１に挿入されている。ライナー２２には、チューブ３０は挿入されていない。
【００１７】
ライナー２１およびライナー２２は、液体の貯留量に応じて変形可能である。すなわち、図３に示すように、ライナー２１に液体が供給されている場合には、ライナー２１は膨張し、ライナー２２は圧縮されている。他方、図４に示すように、ライナー２２に液体が供給されているときは、ライナー２１は圧縮され、ライナー２２は膨張している。
【００１８】
図５，図６は、比較例に係る流体用容器を示す図である。なお、図５は、供給前の流体を流体用容器に貯留した状態を模式的に示し、図６は、回収後の流体を流体用容器に貯留した状態を模式的に示す図である。
【００１９】
図５，図６を参照して、比較例に係る流体用容器は、本実施の形態に係る流体用容器と同様に、キャニスター缶１０Ａと、キャニスター缶１０Ａに収容され、流体を貯留可能なライナー２０Ａと、ライナー２０Ａに挿入されたチューブ３０Ａとを含む。
【００２０】
図５，図６に示す流体用容器では、以下のようにして液体の供給および回収が行なわれる。
【００２１】
まず、容器内の液体を外部に供給する際には、キャニスター缶１０Ａの内部にガス（たとえば窒素ガス）を供給して、キャニスター缶１０Ａとライナー２０Ａとの間の圧力を増大させる。これにより、ライナー２０Ａ内の圧力が増大し、ライナー２０Ａ内に貯留された液体は、チューブ３０Ａを介して外部に供給される（図５中の矢印ＤＲ２０Ａ１）。
【００２２】
他方、使用済みの液体を容器に回収する際には、ライナー２０Ａに挿入されていたチューブ３０Ａを取り外した上で、ポンプなどを用いて液体をライナー２０Ａに回収する（図５中の矢印ＤＲ２０Ａ２）。ここで、チューブ３０Ａを取り外すのは、液体の回収作業時にチューブ３０が刺さったままであると、キャニスター１０Ａの内圧と外気圧との関係によっては、回収液が逆流するおそれがあるためである。
【００２３】
このように、図５，図６に示す比較例では、液体を外部に供給する際には、チューブ３０Ａをライナー２０Ａに挿入することが必要であり、液体を外部から回収する際には、チューブ３０Ａをライナー２０Ａから取り外すことが必要である。すなわち、図５，図６に示す比較例では、液体の供給および回収に伴なって、チューブ３０Ａの脱着作業が必然的に生じる。この結果、作業者の負担が増大する。
【００２４】
これに対し、本実施の形態に係る流体用容器では、キャニスター缶１０の内部に複数の内袋部材（ここでは、２つの例について説明するが、発明の範囲としては、２つに限定しない。）を設けることにより、作業者の負担を軽減することが可能である。その理由を以下に説明する。
【００２５】
図１〜図４に示すように、本実施の形態に係る流体用容器は、チューブ３０が挿入されたライナー２１と、チューブ３０が挿入されていないライナー２２とを備えている。そして、チューブ３０が挿入されたライナー２１を液体供給用のライナーとして用い、チューブ３０が挿入されていないライナー２２を液体回収用のライナーとして用いる。
【００２６】
このようにすることで、液体供給時にはチューブ３０を介して液体を吐出することが可能でありながら、液体回収時にチューブ３０を取り外す必要がないため、液体の供給および回収に伴なうチューブ３０の脱着作業が不要となる。チューブ３０の脱着作業には、比較的大きな力が必要であり、この作業を行なうことで作業者の負担が増大する。これに対し、本実施の形態に係る流体用容器では、チューブ３０の脱着作業が不要であるため、作業者の負担を軽減することが可能である。
【００２７】
このように、本実施の形態に係る流体用容器によれば、チューブ３０の脱着作業を回避しながら、繰り返しの使用が可能となる。この流体用容器を繰り返し使用する場合、典型的な例では、供給用の液体を貯留するライナー２１はその都度交換されるが、回収された液体を貯留するライナー２０は、生産品への影響が無いため、繰り返し使用される。
【００２８】
上述した内容について要約すると、以下のようになる。すなわち、本実施の形態に係る流体用容器は、生産設備に供給されるレジストなどの流体を貯留する流体用容器であって、「外殻部材」としてのキャニスター缶１０と、キャニスター缶１０に収容され、流体を貯留可能な「第１内袋部材」としてのライナー２１および「第２内袋部材」としてのライナー２２と、ライナー２１に挿入されたチューブ３０とを備え、ライナー２１およびライナー２２は、流体の貯留量およびキャニスター缶１０の内部の圧力に応じて変形可能である。
【００２９】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の１つの実施の形態に係る流体用容器に供給前の流体を貯留した状態を模式的に示す図である。
【図２】本発明の１つの実施の形態に係る流体用容器に回収後の流体を貯留した状態を模式的に示す図である。
【図３】図１に示す状態における第１内袋部材および第２内袋部材の変形状態を説明する図である。
【図４】図２に示す状態における第１内袋部材および第２内袋部材の変形状態を説明する図である。
【図５】比較例に係る流体用容器に供給前の流体を貯留した状態を模式的に示す図である。
【図６】比較例に係る流体用容器に回収後の流体を貯留した状態を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０，１０Ａ  キャニスター缶、２０，２０Ａ，２１，２２  ライナー、３０，３０Ａ  チューブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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