(57)【要約】【課題】吐出能力の高い液体吐出ヘッド７及び、それを備えた液体吐出装置Ａを提供する。【解決手段】圧力室１１の一部を区画する弾性部材１８、弾性部材１８を挟持すると共に、圧力室１１の一部を区画する加圧部材１５、及び、加圧部材１５を変位させるように駆動することでノズル１２から液体を吐出させるアクチュエータ１９、を備える。弾性部材１８は、加圧部材１５に挟持される方向の肉厚が薄くかつ、その挟持方向に直交する方向であって、圧力室１１からその外方に向かう方向の長さが相対的に長い扁平形状を有している。【選択図】図２
2009056768.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容する圧力室の一部を区画する弾性部材、
前記弾性部材に対し接合されることで、当該弾性部材を挟んだ反対側の部材との間で前記弾性部材を挟持すると共に、前記圧力室の一部を区画する加圧部材、及び、
前記弾性部材の弾性変形を伴いながら、前記加圧部材を変位させるように駆動することで、前記圧力室内の液体に圧力を印加して当該圧力室に連通するノズルから前記液体を吐出させるアクチュエータ、を備え、
前記弾性部材は、前記加圧部材に挟持される方向の肉厚が薄くかつ、その挟持方向に直交する方向であって、前記圧力室からその外方に向かう方向の長さが相対的に長い扁平形状を有している液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記弾性部材は、肉厚をｔとし、前記圧力室からその外方に向かう方向の長さの平均をＬとしたときに、Ｌ≧１０ｔを満たしている液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記弾性部材は、その体積弾性率が１ＧＰａ以上に設定されている液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記弾性部材と圧力室との間に介在して当該圧力室の内壁面を構成する薄膜部材をさらに備えている液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えている液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液体吐出ヘッド及び、それを備えた液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
記録紙に対してインク滴を吐出するインクジェット技術が、近年、エレクトロニクス分野を始めとした様々な分野の製造過程に利用されている。すなわち、液体吐出ヘッドから液体材料を吐出することによって、各種のデバイス製造過程におけるパターンの形成や均一薄膜の形成等が行われている。そうしたパターン形成等に用いられる液体吐出ヘッドには、さらなる小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が要求される。それらの要求を満たす吐出能力の高いヘッドを実現するには、圧力室内の液体に、より高い圧力を加える必要がある。
【０００３】
例えば特許文献１に開示されている液体吐出ヘッドでは、圧力室の一部を弾性変形可能な弾性体によって区画形成している。そして、その弾性体に対し、アクチュエータの駆動により変位する加圧板を接合している。この液体吐出ヘッドでは、アクチュエータを駆動させることで加圧板を変位させ、それによって、圧力室の体積を変化させる。この構成の液体吐出ヘッドでは、アクチュエータの駆動により発生したエネルギーを、圧力室内の液体に印加する圧力へと効率的に変換して、その液体に高い圧力を印加することができる。
【特許文献１】特許第２７２１１２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、前記文献に記載された構造の液体吐出ヘッドでは、吐出能力を向上させるべく液体に印加する圧力をさらに高めようしても、圧力室内の圧力が高くなるほど、その圧力室を区画形成する弾性体が、圧力室の外方に向かって逃げ変形してしまう。その結果、液体に印加される圧力は、その逃げ変形の分だけ低下してしまう。つまり、従来構造の液体吐出ヘッドは吐出能力をさらに向上させることが難しい、という問題がある。
【０００５】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、吐出能力の高い液体吐出ヘッド及び、それを備えた液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面によると、液体吐出ヘッドは、液体を収容する圧力室の一部を区画する弾性部材、前記弾性部材に対し接合されることで、当該弾性部材を挟んだ反対側の部材との間で前記弾性部材を挟持すると共に、前記圧力室の一部を区画する加圧部材、及び、前記弾性部材の弾性変形を伴いながら、前記加圧部材を変位させるように駆動することで、前記圧力室内の液体に圧力を印加して当該圧力室に連通するノズルから前記液体を吐出させるアクチュエータ、を備え、前記弾性部材は、前記加圧部材に挟持される方向の肉厚が薄くかつ、その挟持方向に直交する方向であって、前記圧力室からその外方に向かう方向の長さが相対的に長い扁平形状を有している。
【０００７】
この構成によると、液体吐出ヘッドは、アクチュエータの駆動により、弾性部材に接合された加圧部材が変位することで、圧力室内の液体に対し圧力が印加される。そうして、その圧力室に連通するノズルから液体が吐出することになる。
【０００８】
前記圧力室内の液体に圧力が印加されたときには、その圧力室の一部を区画する弾性部材に対しても力が加わる。肉厚が薄くかつ、圧力室からその外方に向かう方向の長さが相対的に長い扁平形状を有している弾性部材は、加圧部材と弾性部材を挟んだ反対側の部材とによって挟持されていることから、その弾性部材は、圧力室から離れるにつれて加圧部材と前記反対側の部材による拘束によって剛体的になる。これにより圧力室内の圧力が高くなっても、弾性部材に、圧力室の外方に向かう、たわみ変形は生じず、よって、弾性部材が圧力室の外方に向かって逃げ変形することが抑制される。その結果、圧力室内の液体に対して高い圧力が印加可能になり、液体吐出ヘッドの吐出能力が向上する。
【０００９】
前記弾性部材は、肉厚をｔとし、前記圧力室からその外方に向かう方向の長さの平均をＬとしたときに、Ｌ≧１０ｔを満たしている、としてもよい。こうすることで、前述した、弾性部材の逃げ変形が確実に抑制される。
【００１０】
前記弾性部材は、その体積弾性率が１ＧＰａ以上に設定されている、としてもよい。つまり、弾性部材としては、圧力室内の液体に対して圧力が印加されたときに、圧力室の外方に向かう方向に、圧縮変形し難いものであることが望ましい。そうすることによって、圧力室内の液体に印加する圧力が低下せず、液体吐出ヘッドの吐出能力が向上する。
【００１１】
前記液体吐出ヘッドは、前記弾性部材と圧力室との間に介在して当該圧力室の内壁面を構成する薄膜部材をさらに備えている、としてもよい。
【００１２】
薄膜部材によって弾性部材が圧力室内の液体に直接触れなくなるため、弾性部材の耐食性が向上する。
【００１３】
本発明の他の側面によると、液体吐出装置は、上述した液体吐出ヘッドを備える。このため、吐出能力の高い液体吐出装置が実現する。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明によると、加圧部材によって挟持されて、圧力室の一部を区画する弾性部材を扁平形状にすることによって、圧力室内の液体に圧力を印加したときに、弾性部材が圧力室の外方に逃げ変形することを防止することができる。その結果、圧力室内の液体に対して高い圧力を印加して液体吐出ヘッドの吐出能力を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００１６】
（実施形態１）
図１は、液体吐出装置Ａの概略構成を示している。この液体吐出装置Ａは、一又は複数のヘッド本体９１（図２等参照）を備えた液体吐出ヘッド７と、被記録物４を支持するステージ３１と、を備えている。
【００１７】
液体吐出ヘッド７は、装置基台６に支持されたヘッド移動装置２によって主走査方向（図１に示すＸ方向）に往復移動し、ステージ３１は、同じく装置基台６に支持されたステージ移動装置３によって副走査方向（図１に示すＹ方向）に往復移動する。
【００１８】
ヘッド移動装置２は、液体吐出ヘッド７を支持するキャリッジ７ａを含む。キャリッジ７ａは、主走査方向に延びるキャリッジ軸７ｂにガイドされ、図示を省略する駆動源（例えばモータ）によって、主走査方向に往復移動する。
【００１９】
ステージ移動装置３は、主走査方向に所定間隔を開けて配置されかつ、それぞれ副走査方向に延びる２つのステージ軸３２，３２を含む。ステージ３１はこれらのステージ軸３２，３２にガイドされ、図示を省略する駆動源（例えばモータ）によって、副走査方向に往復移動する。
【００２０】
液体吐出装置Ａはこの構成によって、液体吐出ヘッド７とステージ３１上の被記録物４とを相対移動させながら、液体吐出ヘッド７（ヘッド本体９１）から被記録物４に向かって液体材料を吐出し、被記録物４上に所望のパターンや均一薄膜等を形成する。
【００２１】
図２に示すように、ヘッド本体９１は、液体材料が収容される圧力室１１と、その圧力室１１に連通するノズル１２とを備えている。このヘッド本体９１は、ノズル１２が形成されたノズル板１３と、圧力室１１の側面を区画する圧力室部材１４と、圧力室１１の上面を区画する加圧部材１５と、アクチュエータ１９と、を積層した積層構造を有している。尚、以下においては、図２における上下方向をヘッド本体９１における上下方向、図２における左右方向をヘッド本体９１における左右方向と呼ぶ。
【００２２】
ノズル板１３は、例えば約０．３ｍｍ厚のステンレス鋼からなる板状の部材であり、その上面によって圧力室１１の底面が区画される。
【００２３】
ノズル１２は、ノズル板１３に対して、その板厚方向に貫通して形成されており、その径が基端から先端に向かって小さくなるテーパ形状を有している。基端開口の径は、例えば約φ０．２ｍｍ、先端開口の径は、例えば約φ０．０３ｍｍとすればよい。
【００２４】
尚、このノズル板１３の下面は、図示は省略するが、液体材料の吐出安定性の観点から、撥水膜で被覆されていることが好ましい。この撥水膜は、公知の方法により形成することが可能である。
【００２５】
圧力室部材１４は、例えば約０．４ｍｍ厚のステンレス鋼からなる板状部材であり、前記ノズル板１３の上面に対して接着層を介して接着されている。圧力室部材１４には、その厚み方向に貫通する圧力室用孔１４ａが形成されている。圧力室用孔１４ａは、その内周面によって圧力室１１の側面を区画する孔であり、例えば横断面円形状に形成すればよい。また、圧力室用孔１４ａの直径は、例えば約φ０．２５ｍｍとすればよい。
【００２６】
圧力室部材１４にはまた、その板厚方向の略中間部を水平方向に延びて圧力室用孔１４ａに連通する供給口１４ｂが形成されている。供給口１４ｂは、図示は省略する液体材料の供給源から圧力室１１内に、液体材料を供給するための孔である。供給口１４ｂは、例えば一辺の長さが約０．０７ｍｍの横断面矩形状の孔としてもよい。
【００２７】
加圧部材１５は、例えばその厚みが約２．０ｍｍの、ステンレス鋼からなる板状部材であり、前記圧力室部材１４の上面に対して弾性部材１８を介して接合されている。圧力室１１の上面は、この加圧部材１５の下面によって区画される。
【００２８】
弾性部材１８は、後述するように、アクチュエータ１９の駆動に伴い加圧部材１５が上下方向に変位することで弾性的に伸縮変形して、圧力室１１の体積を変化させるための部材である。弾性部材１８は、図２，３に示すように、その肉厚が、その幅及び長さに比べて大幅に薄い扁平な形状を有している。弾性部材１８は、一辺の長さが例えば２．０ｍｍ程度の矩形板状の部材として、その肉厚は例えば０．０３ｍｍ程度とすればよい。
【００２９】
弾性部材１８には、その中央位置に、厚み方向に貫通した貫通孔１８ａが形成されており、この貫通孔１８ａは、前記圧力室部材１４の圧力室用孔１４ａの上側にこの圧力室用孔１４ａと同軸に配置されることによって、圧力室用孔１４ａと共に圧力室１１の側面の一部を区画する。貫通孔１８ａの径は、例えば０．２５ｍｍ程度とすればよい。
【００３０】
弾性部材１８は、その肉厚をｔ、肉厚に直交する方向であって圧力室（貫通孔１８ａ）から外方に向かう方向の長さの平均をＬとしたときに、Ｌ≧１０ｔを満たしていることが好ましい。これは、後述するように、弾性部材１８の圧力室外方への逃げ変形を防止するためである。尚、長さの平均Ｌは、弾性部材１８の肉厚方向に直交する方向に広がる面の面積を、貫通孔１８ａの縁から弾性部材１８の縁までの間の中央位置を通る線の周長（図３における一点鎖線参照）で割った値と等しい。
【００３１】
弾性部材１８はまた、例えばそのヤング率が４ＭＰａ程度、体積弾性率が２ＧＰａ程度の材料によって構成すればよい。こうすることで、後述するように、アクチュエータ１９の駆動に伴う変形が比較的容易になる一方で、圧力室１１内の液体の圧力が高まったときに、圧力室１１の外方に向かって圧縮変形することは、し難くなる。つまり、圧力室１１内の液体材料に高い圧力を印加する上で有利になる。また、弾性部材１８は、液体材料に対する耐食性を考慮して、例えば耐溶剤性のゴム、具体的にはフッ素ゴムやシリコンゴム等によって形成してもよい。
【００３２】
アクチュエータ１９は、例えばその厚みが１．０ｍｍ程度の積層型圧電体からなり、その下面が加圧部材１５の上面に対して接合されている。アクチュエータ１９は、図２では図示を省略する電極に電圧が印可されることによって、図２における上下方向に伸縮変形する（図２の矢印参照）。アクチュエータ１９の伸縮駆動に伴い、加圧部材１５が図２における上下方向に変位し、それに伴い弾性部材１８が上下方向に伸縮変形する。そのことで圧力室１１の体積が増減するようになっている。
【００３３】
次に、上記構成のヘッド本体９１の動作について説明する。供給口１４ｂ、圧力室１１、及びノズル１２内のそれぞれに液体材料が充填された状態でアクチュエータ１９に所定の電圧（例えば２０Ｖ）を印可する。このことによって、アクチュエータ１９を伸長変形させる（同図の矢印参照）。
【００３４】
アクチュエータ１９の伸長変形に伴い加圧部材１５は下方に変位するため、弾性部材１８が収縮変形し、圧力室１１内の液体材料に対して圧力が印加される。そうして液体材料がノズル１２から押し出されて被記録物４に向かって液滴として吐出される。液滴は被記録物４の上面にドット状に付着する。
【００３５】
アクチュエータ１９への電圧印加を解除することによって、伸長していたアクチュエータ１９が元に戻り、加圧部材１５が上方に変位して圧力室１１の体積が元に戻る。このときに、液体材料の供給源から供給口１４ｂを介して、液体材料が圧力室１１内に補充される。
【００３６】
このヘッド本体９１では、加圧部材１５と圧力室部材１４とによって挟持される弾性部材１８が扁平形状を有している。このため、弾性部材１８において、圧力室１１から離れた側の部分、例えば図２に示す状態で、ヘッド本体９１の左右の端部に近い辺りの弾性部材１８は、加圧部材１５と圧力室部材１４とに拘束されることで剛体的になる。そのため、アクチュエータ１９の駆動によって弾性部材１８を積層方向に圧縮したときに、圧力室１１の圧力が高まることでその弾性部材１８が圧力室１１の外方に向かってたわみ変形しようとするが、そのたわみ変形が抑制される。
【００３７】
また、弾性部材１８は、その体積弾性率が比較的高いため、圧力室１１内の液体に対して圧力が印加されたときに、圧力室１１の外方に向かう方向に、圧縮変形し難くなっている。
【００３８】
その結果、弾性部材１８の、圧力室１１外方への逃げ変形が防止されるため、圧力室１１内の液体材料に、高い圧力が確実に印加される。つまり、ヘッド本体９１の吐出能力が高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。前記構成のヘッド本体９１は、例えば粘度が５０ｃＰ（０．０５Ｐａ・ｓ）の高粘度液体を、約２０ｐｌ（ピコリットル）の小さい液滴量で吐出することが可能である。
【００３９】
尚、アクチュエータ１９の駆動は、前記のようないわゆる押し引き駆動ではなくて、加圧部材１５を上方に変位させて液体材料を圧力室１１内に充填させた後に、その加圧部材１５を元に戻すことで、液体材料をノズル１２から吐出させる、いわゆる引き押し駆動としてもよい。
【００４０】
また、弾性部材１８の形状も、図３に示す矩形状に限らず、扁平形状という制約の下で適宜設定することが可能である。
【００４１】
（実施形態２）
液体吐出ヘッド７におけるヘッド本体の構成は、前記の構成に限定されるものではない。例えば、図４に示すような構成を採用してもよい。
【００４２】
実施形態２に係るヘッド本体９２は、図４に示すように、ノズル１２が形成されたノズル板１３と、アクチュエータ１９と、ヘッドプレート４１と、を上下方向に積層した積層構造を有している。
【００４３】
このヘッド本体９２における加圧部材１６は、その中心軸が上下方向に延びる円柱形状を有している。加圧部材１６は、例えばセラミック等の、比較的高剛性の材料によって形成されており、その外径は、例えば０．７ｍｍ程度とすればよい。また、加圧部材１６の下端部は、後述するように、アクチュエータ１９の貫通孔１９ａ内に内挿されている。一方、加圧部材１６の中間部は、後述するように、ヘッドプレート４１の貫通孔４１ａに内挿されてヘッドプレート４１に対し固定されている。加圧部材１６には、その中心軸に沿って延びる貫通孔１６ａが貫通形成されている。この貫通孔１６ａは、その下端が圧力室１１内に開口しており、圧力室１１内に液体材料を供給する供給口として機能する。このように、加圧部材１６に供給口を形成することによって、液体材料の供給系の構成が簡略化するという利点がある。尚、この貫通孔１６ａ（供給口）の径は、例えば約φ０．０７ｍｍ程度とすればよい。
【００４４】
アクチュエータ１９は、例えばその厚みが１．０ｍｍ程度の積層型圧電体からなり、その下面がノズル板１３の上面に対して接着層２０を介して接合されていると共に、その上面がヘッドプレート４１の下面に対して接合されている。尚、接着層２０には、その中心位置に圧力室１１を区画するための貫通孔が形成されている。
【００４５】
アクチュエータ１９はまた、その中心位置に、その厚み方向に貫通して形成された貫通孔１９ａを有している。貫通孔１９ａは、前記円柱状の加圧部材１６が内挿される孔であって、その径は、加圧部材１６の外径に応じて適宜設定すればよい。ここでは、φ０．７６ｍｍ程度に設定されているとする。
【００４６】
アクチュエータ１９と加圧部材１６との隙間には、弾性部材１８が介在されている。弾性部材１８が弾性変形することにより、加圧部材１６はアクチュエータ１９に対して上下方向に変位可能に保持されることになる。
【００４７】
このヘッド本体９２の弾性部材１８において、その肉厚ｔは、アクチュエータ１９の貫通孔１９ａの径方向に設定されると共に、その肉厚に直交する方向の、圧力室１１から外方に向かう方向の長さＬは、アクチュエータ１９の厚み方向の長さ（図４における上下方向の長さ）に設定される。弾性部材１８の肉厚ｔは、例えば０．０３ｍｍ程度に設定され、その長さＬは、前述したように１．０ｍｍ程度に設定されることから、このヘッド本体９２においても、Ｌ≧１０ｔを満たすことになる。
【００４８】
アクチュエータ１９の上面に接合されるヘッドプレート４１には、その中心位置に貫通孔４１ａが厚み方向に貫通して形成されている。この貫通孔４１ａ内には、加圧部材１６の中間部が内挿されて固定されている。加圧部材１６の上端部は、ヘッドプレート４１の貫通孔４１ａを通って、ヘッドプレート４１の上方に突出している。
【００４９】
このヘッド本体９２では、アクチュエータ１９を駆動させたときに、ヘッドプレート４１を介して加圧部材１６が上下方向に変位するようになり、それによって、圧力室１１の体積が増減する。
【００５０】
前述したように、このヘッド本体９２における弾性部材１８の肉厚ｔは、図４における左右方向の肉厚に相当し、長さＬは、図４における上下方向の長さに相当する。つまり、このヘッド本体９２における弾性部材１８は、扁平形状の弾性部材を、円柱状の加圧部材１６の外周面に巻き付けた構成を有している。この構成においても、圧力室１１内の液体材料に対して圧力を印加したときには、圧力室１１の外方（図４における上方）へのたわみ変形が防止されるから、圧力室１１内の液体材料に対して高い圧力を印加することができ、液体吐出ヘッド７の吐出能力を向上させることができる。
【００５１】
（変形例）
図５は変形例に係るヘッド本体９３を示している。このヘッド本体９３は、図４に示すヘッド本体９２と比較して、アクチュエータ１９の下面に保護プレート２１が取り付けられている。
【００５２】
この保護プレート２１は、アクチュエータ１９と接着層２０との間に介在することにより、圧力室１１内の液体材料がアクチュエータ１９に直接触れないようにするためのプレートである。保護プレート２１は、例えば０．１ｍｍ厚程度のステンレス鋼製の板材によって構成すればよい。
【００５３】
こうした保護プレート２１を取り付けることは、ヘッド本体９３の長寿命化の上で有利である。
【００５４】
（実施形態３）
図６は、実施形態３に係るヘッド本体９４を示している。このヘッド本体９４は、図２に示すヘッド本体９１と比較して、圧力室部材１４と弾性部材１８との間に薄膜２２が介在している。
【００５５】
薄膜２２は、例えば０．０２〜０．２ｍｍ厚程度の金属膜や、０．０５〜０．５ｍｍ厚程度の樹脂フィルムとすればよい。こうした薄膜２２を介在させることによって、圧力室１１内の液体材料が弾性部材１８に直接触れることが回避されるため、弾性部材１８の耐食性を向上して、ヘッド本体９４の長寿命化を図る上で有利になる。また、例えば液体材料に応じて、圧力室１１の内壁を構成する材質を、特定の材質にしたい場合等にも、圧力室部材１４と弾性部材１８との間に介在させる薄膜の材質を適宜選択することによって、容易に実現するようになる。
【００５６】
この構成のヘッド本体９４における加圧部材１５には、圧力室１１に対応する位置に、その下面から下方に突出する突起１５ａが形成されており、この突起１５ａによって、圧力室１１内の液体材料に対し、圧力を効果的に印加することが可能になる。
【００５７】
加圧部材１５の下面に接合される弾性部材１８は、前記突起１５ａを除く全ての部分に対して接合されており、これによって、弾性部材１８の下面と突起１５ａの下面とは面一にされている。この構成によって、圧力室１１内の液体材料に圧力を印加したときに薄膜２２がたわむことに起因して、圧力室１１内の圧力が低下することが防止される。つまり、図８に示すように、例えば弾性部材１８を、圧力室部材１４と加圧部材１５との接合部分にのみ介在させた構成においては、突起１５ａの周囲において、加圧部材１５と薄膜２２との間に空間が形成されることになる。このため、圧力室１１内の液体材料に圧力を印加したときに、薄膜２２が圧力室１１の外方に向かってたわんでしまう。例えば前記の薄膜を、圧力室１１内の液体材料に圧力を印加したときでも、たわまない程度の剛性を有するものとしてしまうと、加圧部材１５を変位させて圧力室１１内の液体材料に対して圧力を印加するために大きなエネルギが必要になり、好ましくない。
【００５８】
これに対し、図７に示す構成では、圧力室１１内の液体材料に圧力を印加したときに、薄膜２２が圧力室１１の外方に向かってたわむことが、弾性部材１８によって規制されることになる。従って、圧力室１１内の液体材料に対して、高い圧力を印加することができる。また、薄膜２２の剛性を低下させることができるため、省エネルギの観点からも好ましい。
【００５９】
尚、ヘッド本体９１〜９４において、圧力室１１内の液体に対して圧力を印加するためのアクチュエータ１９としては、圧電体に限らず、例えば磁歪素子を採用することも可能である。
【００６０】
また、ヘッド本体９１〜９４の構成は一例であり、その構成は適宜変更することが可能である。例えば図２等に示すヘッド本体９１においては、ノズル１２を上下方向に延びるものとして下方に向かって開口するようにしているが、例えばノズルを水平方向に延びるものとしてヘッド本体の側方に向かって開口するようにしてもよい。また、例えば図２等に示すヘッド本体９１において、圧力室１１内に液体材料を供給する供給口を、例えばアクチュエータを貫通して形成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
以上説明したように、本発明は、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現するから、例えばフラットパネルディスプレイや回路基板等の各種デバイスの製造といったエレクトロニクス分野を始めとして、オプトエレクトロニクス分野、バイオ・メディカル分野等の各種の技術分野において、種々なパターンや均一薄膜等を形成する液体材料吐出ヘッド及び液体材料吐出装置として有用であると共に、インクを吐出することによって例えば記録紙等の記録媒体上に画像を形成するインク吐出ヘッド及び画像形成装置としても有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】実施形態に係る液体吐出装置を示す概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係るヘッド本体を示す縦断面図である。
【図３】弾性部材を示す斜視図である。
【図４】実施形態２に係るヘッド本体を示す縦断面図である。
【図５】実施形態２の変形例に係るヘッド本体を示す縦断面図である。
【図６】実施形態３に係るヘッド本体を示す縦断面図である。
【図７】実施形態３のヘッド本体における薄膜の配設部分を拡大して示す部分断面図である。
【図８】比較例に係るヘッド本体を示す図７対応図である。
【符号の説明】
【００６３】
１１  圧力室
１２  ノズル
１４  圧力室部材
１５  加圧部材
１６  加圧部材
１８  弾性部材
１９  アクチュエータ
２２  薄膜部材
７    液体吐出ヘッド
９１  ヘッド本体
９２  ヘッド本体
９３  ヘッド本体
９４  ヘッド本体
Ａ    液体吐出装置
【図１】
2009056768.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009056768.tif 000009
【図８】
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