(57)【要約】【課題】表面平滑性に優れ、膜厚が均一の被覆樹脂膜、及び転写基板を作製する。【解決手段】センターピンを具備するターンテーブルに、中心孔を有する部材を、前記センターピンと前記中心孔とを合わせて載置する工程と、化学もしくは熱エネルギーによって硬化する液状の樹脂を前記部材の面上に円環状に塗布する工程と、前記部材を回転させることにより、前記液状の樹脂をスピンアウトする工程と、化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記樹脂を硬化させる工程とを有する成膜方法であって、前記液状の樹脂をスピンアウトする工程、及び／若しくは、前記樹脂を硬化させる工程において、前記部材と前記ターンテーブルとは、当該部材の中心孔と前記センターピンのみが接触した状態で行う。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センターピンを具備するターンテーブルに、中心孔を有する部材を、前記センターピンと前記中心孔とを合わせて載置する工程と、
化学もしくは熱エネルギーによって硬化する液状の樹脂を前記部材の面上に円環状に塗布する工程と、
前記部材を回転させることにより、前記液状の樹脂をスピンアウトする工程と、
化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記樹脂を硬化させる工程とを有する部材被覆樹脂膜形成方法であって、
前記液状の樹脂をスピンアウトする工程、及び前記樹脂を硬化させる工程において、前記ターンテーブルに前記部材を吸着させることなく、前記中心孔と前記センターピンとの嵌合のみによって部材を固定させて行うことを特徴とする部材被覆樹脂膜形成方法。
【請求項２】
前記ターンテーブルは表面が平滑面であることを特徴とする請求項１に記載の部材被覆樹脂膜形成方法。
【請求項３】
前記ターンテーブルと前記部材との間に、部材接触面と表面張力を有する媒体を介在させることを特徴とする請求項１又は２に記載の部材被覆樹脂膜形成方法。
【請求項４】
前記部材を前記ターンテーブルに接着剤により接着しておくことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の部材被覆樹脂膜形成方法。
【請求項５】
センターピンを具備するターンテーブル上に、中心孔を有する部材であって金属材料が裏打ちとして接着されているものを、前記金属材料面を吸着させて載置する工程と、
化学もしくは熱エネルギーによって硬化する液状の樹脂を前記部材の面上に円環状に塗布する工程と、
前記部材を回転させることにより、前記液状の樹脂をスピンアウトする工程と、
化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記樹脂を硬化させる工程とを有することを特徴とする部材被覆樹脂膜形成方法。
【請求項６】
前記請求項１乃至５のいずれか一項の成膜方法によって得たことを特徴とする部材被覆樹脂膜。
【請求項７】
中心孔を有する部材上に、化学もしくは熱エネルギーによって硬化する液状の樹脂を前記部材面上に円環状に塗布する工程と、
センターピンを具備するターンテーブルに、前記部材を、前記センターピンと前記中心孔とを合わせて載置する工程と、
前記部材を回転させることにより、前記液状の樹脂をスピンアウトする工程と、
化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記樹脂を硬化させる工程と、
前記硬化工程後に前記樹脂を剥離する転写基板の作製方法であって、
前記部材の固定を、前記ターンテーブルに前記部材を吸着させることなく前記中心孔と前記センターピンとの嵌合のみで行うことを特徴とする転写基板の作製方法。
【請求項８】
前記請求項７に記載の作製方法により作製されたことを特徴とする転写基板。
【請求項９】
表面に機能形状を有する部材の下面をマグネット保持し、前記部材上に液状の硬化性樹脂を円環状に塗布する工程と、
前記部材上に基板を載置して接液させ、遠心力を付与してスピンアウトする工程と、
化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記部材と前記基板とが、前記硬化性樹脂を介して密着した状態で、前記基板上に液状の硬化性樹脂を円環状に塗布する工程と、
前記硬化性樹脂に対して剥離性を有する基板を載置接液する工程と、
遠心力を付与してスピンアウトする工程と、前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記表面に機能形状を有する部材を剥離し、かつ前記剥離性を有する基板を剥離する工程とを、順次行うことを特徴とする転写基板の製造方法。
【請求項１０】
表面に機能形状を有する部材の下面をマグネット保持し、樹脂フィルムを熱圧着させる工程と、
その後冷却し、前記部材に前記樹脂フィルムが密着した状態で、前記樹脂フィルム上に、液状の硬化性樹脂を円環状に塗布する工程と、
前記硬化性樹脂に対して剥離性を有する基板を載置接液する工程と、
遠心力を付与してスピンアウトする工程と、前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記表面に機能形状を有する部材を剥離し、かつ前記剥離性を有する基板を剥離する工程とを、順次行うことを特徴とする転写基板の製造方法。
【請求項１１】
請求項９又は１０の製造方法により作製されたことを特徴とする転写基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能形状を有する部材の当該機能形状を被覆する被覆樹脂膜の作製方法、及び被覆樹脂膜、更には、前記機能形状を転写した転写基板の作製方法、及び転写基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高いＮＡを有する光ピックアップに適用可能な、いわゆる表面記録型のフレキシブル光ディスクが広く汎用されている。
このような各種光ディスクは、フォトリソグラフィーにより作製できる。すなわち微細凹凸パターンを有するスタンパ（型）をスピナーにセットし、紫外線硬化型樹脂等を円環状に塗布し、スピンアウトし、その後、紫外線硬化後にこれを剥離することにより、フレキシブルな転写基板を得て、これを用いて作製される。
【０００３】
通常の転写用スタンパは、成形機でのキャビティーのクリアランスの関係から、厚さが０．３ｍｍと規定されている。
このスタンパを所定のターンテーブルに真空吸着した状態で、上記紫外線硬化型の樹脂等のスピンアウトを行うと、ターンテーブルが具備している吸着孔の当該位置においてスタンパが引っ張られるため、スタンパの形状に局所的な凹み部分が生じる。
上記のように、スタンパ上に塗布した紫外線硬化型樹脂は、このスタンパの凹みの部分に流れ込んでしまい、転写された紫外線硬化型樹脂膜には実質的に凸部が形成されてしまう。
このように凸部が形成された紫外線硬化型樹脂膜は、スタンパによる吸着を停止しても、その形状は保持されたままとなり、これに紫外線を照射して硬化後に剥離したとしても、膜厚が不均一な転写膜が形成されてしまう。
【０００４】
また、上記のようにして得られたフレキシブル転写基板に所定の記録層を成膜した後、更にオーバーコート層を形成する必要があるが、フレキシブル転写基板を作製する工程と同様に、今度はフレキシブル転写基板が強く吸引されることになるので、これに起因してオーバーコート層に凸部が形成されてしまい、塗膜欠陥が生じてしまう。このような膜厚の不均一は、安定した記録再生特性を得ることができなくなり、実用面における不都合の原因となる。
上述した現象は、特に極めて薄層の樹脂膜を作製する工程において、問題となるのである。
【０００５】
上述した問題に鑑みて、従来においては、変形癖のあるシートにエアーを吹き付けディスク基板を静電力でチャックするようにする方法（例えば、下記特許文献１参照。）、ディスクを多孔質材料で全面吸着する方法（例えば、下記特許文献２参照。）、ディスクの中心部及び外周部のみを真空吸着する方法（例えば、下記特許文献３参照。）が提案されている。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の方法は、変形癖を強制的に矯正して静電チャックしているので、残留応力が発生しやすく、また静電吸着によりテーブルとディスクの間に空気が存在することに起因して吸着されない部分が発生してしまい、やはり膜厚の不均一を確実に回避することはできない。
特許文献２に記載の方法によれば、多孔質材料が有している吸着穴に相当した無数の形状不均一部分が発生してしまうという問題が生じる。
特許文献３に記載の方法によれば、クランプ部分の影響を完全に回避することができず、吸着の影響により、やはり膜厚が不均一化するという問題を生じる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−２１６４２６号公報
【特許文献２】実開平５−１５１０１号公報
【特許文献３】特開２００２−３１９２１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明においては、機能性を発揮し得る所定の表面形状を具備している部材の、当該表面形状を被覆したり、あるいはこの形状を転写させて所定の転写基板を作製したりする際の工程について検討を行い、膜厚が全面において均一で、かつ欠陥の極めて少ない部材被覆樹脂膜、及び転写基板を作製することを目的とした。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明においては、センターピンを具備するターンテーブルに、中心孔を有する部材を、前記センターピンと前記中心孔とを合わせて載置する工程と、化学もしくは熱エネルギーによって硬化する液状の樹脂を前記部材の面上に円環状に塗布する工程と、前記部材を回転させることにより、前記液状の樹脂をスピンアウトする工程と、化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記樹脂を硬化させる工程とを有する部材被覆樹脂膜形成方法であって、前記液状の樹脂をスピンアウトする工程、及び化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記樹脂を硬化させる工程は、前記ターンテーブルに前記部材を吸着させることなく、前記中心孔と前記センターピンとの嵌合のみによって部材を固定させて行うことを特徴とする部材被覆樹脂膜形成方法を提供する。
【００１０】
請求項２の発明においては、前記ターンテーブルは表面が平滑面であることを特徴とする請求項１に記載の部材被覆樹脂膜形成方法を提供する。
【００１１】
請求項３の発明においては、前記ターンテーブルと前記部材との間に、部材接触面と表面張力を有する媒体を介在させることを特徴とする請求項１又は２に記載の部材被覆樹脂膜形成方法を提供する。
【００１２】
請求項４の発明においては、前記部材を前記ターンテーブルに接着剤により接着しておくことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の部材被覆樹脂膜形成方法を提供する。
【００１３】
請求項５の発明においては、センターピンを具備するターンテーブル上に、中心孔を有する部材であって金属材料が裏打ちとして接着されているものを、前記金属材料面を吸着させて載置する工程と、化学もしくは熱エネルギーによって硬化する液状の樹脂を前記部材の面上に円環状に塗布する工程と、前記部材を回転させることにより、前記液状の樹脂をスピンアウトする工程と、化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記樹脂を硬化させる工程とを有することを特徴とする部材被覆樹脂膜形成方法を提供する。
【００１４】
請求項６の発明においては、前記請求項１乃至５のいずれかの成膜方法により得られる部材被覆樹脂膜を提供する。
【００１５】
請求項７の発明においては、中心孔を有する部材上に、化学もしくは熱エネルギーによって硬化する液状の樹脂を前記部材面上に円環状に塗布する工程と、センターピンを具備するターンテーブルに、前記部材を、前記センターピンと前記中心孔とを合わせて載置する工程と、前記部材を回転させることにより、前記液状の樹脂をスピンアウトする工程と、  化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記樹脂を硬化させる工程と、前記硬化工程後に前記樹脂を剥離する転写基板の作製方法であって、前記部材の固定を、前記ターンテーブルに前記部材を吸着させることなく前記中心孔と前記センターピンとの嵌合のみで行うことを特徴とする転写基板の作製方法を提供する。
【００１６】
請求項８の発明においては、請求項７の作製方法により得られる転写基板を提供する。
【００１７】
請求項９の発明においては、表面に機能形状を有する部材の下面をマグネット保持し、前記部材上に液状の硬化性樹脂を円環状に塗布する工程と、前記部材上に基板を載置して接液させ、遠心力を付与してスピンアウトする工程と、化学もしくは熱エネルギーを付与することにより前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、前記部材と前記基板とが、前記硬化性樹脂を介して密着した状態で、前記基板上に液状の硬化性樹脂を円環状に塗布する工程と、前記硬化性樹脂に対して剥離性を有する基板を載置接液する工程と、遠心力を付与してスピンアウトする工程と、前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、前記表面に機能形状を有する部材を剥離し、かつ前記剥離性を有する基板を剥離する工程とを、順次行うことを特徴とする転写基板の製造方法を提供する。
【００１８】
請求項１０の発明においては、表面に機能形状を有する部材の下面をマグネット保持し、樹脂フィルムを熱圧着させる工程と、その後冷却し、前記部材に前記樹脂フィルムが密着した状態で、前記樹脂フィルム上に、液状の硬化性樹脂を円環状に塗布する工程と、前記硬化性樹脂に対して剥離性を有する基板を載置接液する工程と、遠心力を付与してスピンアウトする工程と、前記硬化性樹脂を硬化させる工程と、前記表面に機能形状を有する部材を剥離し、かつ前記剥離性を有する基板を剥離する工程とを、順次行うことを特徴とする転写基板の製造方法を提供する。
【００１９】
請求項１１の発明においては、請求項９又は１０の製造方法により作製されたことを特徴とする転写基板を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１の発明によれば、部材に遠心力を付与して振り切る際、及び／又は樹脂硬化を行う際に、部材の固定を部材の中心孔とターンテーブルのセンターピンとの嵌合のみで行い、部材を吸着しないようにしたことにより、吸着時に生じる吸着痕の発生が回避でき、膜厚が均一で欠陥の無い高品質な部材被覆樹脂膜が得られた。
【００２１】
請求項２の発明によれば、部材を載置するターンテーブルは表面が平滑であるものとしたことにより、上記効果の加え、成膜工程において成膜面が平滑な状態に保持できるので、表面形状が平滑で、均一な膜厚の部材被覆樹脂膜が容易に得られた。
【００２２】
請求項３の発明によれば、ターンテーブルと部材との間に、接触面と表面張力を有する媒体を配したことにより、遠心力をかけても部材がぶれることなく、かつ部材面を平滑に保持することができるので、平滑性に優れ、均一な膜厚の部材被覆樹脂膜が得られた。
【００２３】
請求項４の発明によれば、ターンテーブルと部材とが接着剤を介して接着されていることにより、遠心力をかけても部材がぶれることなく、かつ部材面を平滑に保持することができるので、平滑性に優れ、均一な膜厚の部材被覆樹脂膜が得られた。
【００２４】
請求項５の発明によれば、部材があらかじめ接着剤を介して金属材料により裏打ちされているものとして、前記金属材料側をターンテーブルに吸着させることとしたので、平滑性に優れ、均一な膜厚の部材被覆樹脂膜を確実に得ることができた。
【００２５】
請求項７の発明によれば、部材に対して、液状の硬化性樹脂を円環状に塗工後、基板を載置、接液させて、遠心力を付与して振り切り、化学もしくは熱エネルギーを供給して硬化性樹脂を硬化させ、部材から硬化性樹脂を剥離することにより得られる転写基板形成工法において、部材および基板の固定を部材の中心孔、基板の中心孔とターンテーブルのセンターピンとの嵌合のみで行い、部材および基板を吸着しないようにしたことにより、従来工程で吸着時に生じていた吸着痕が発生せず、欠陥の無い高品質な転写基板が得られた。
【００２６】
請求項９乃至１１の発明によれば、極めて平滑性に優れたハードコート膜と膜均一性に優れた記録層を有する転写基板が得られた。
【実施例】
【００２７】
以下、本発明の具体的な実施例、及び比較例について説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。
【００２８】
〔実施例１〕
この例においては、表面記録型の光ディスクを作製する場合について説明する。
先ず、フォトリソグラフィー技術によってプリグルーブ形状が形成されており、中心孔を有する型であるスタンパを用意する。このスタンパを、センターピンを具備しかつ吸着機能を有さない所定のターンテーブルに、前記中心孔と前記センターピンとを合わせて載置する。
次に、光硬化性樹脂であるアクリレートモノマー材料を、プランジャーポンプ（ユニコントロールズ製：ハイバーポンプＣＶ）を用いて、円環状に０．５ｍｌ塗布する。
次に、中心孔を有するＰＣフィルム基板（帝人製商品名  ピュアーエース）を載置する。毛細管現象によって光硬化性樹脂が所望の領域（記録エリアより内側）まで展延し、３０００ｒｐｍで２０秒間のスピンアウトを行い、続いて、フュージョン製Ｈバルブを５秒間照射して光硬化性樹脂を硬化させることにより、図１に示すように、表面形状が優れた平滑性を有し、厚さムラがなく、均一な樹脂膜が形成できたことが確かめられた。
その後、光硬化性樹脂とＰＣフィルム基板を剥離することにより転写基板が得られた。この転写基板は、図２に示すように、表面平滑性に極めて優れていることが確かめられた。
なお、ターンテーブルのセンターピンとスタンパ中心孔とのクリアランスは、０．０２ｍｍ、０．１ｍｍ、０．５ｍｍ、１ｍｍのそれぞれに設定してスピンアウトを実施した場合、いずれにおいても、スタンパやフィルムの飛散は発生しなかったことが確かめられた。
また、ターンテーブルの表面粗さは、Ｒｙが０．５〜１μｍであれば、表面形状が平滑で、かつ膜厚が均一な樹脂膜や転写基板が得られることが確かめられた。
【００２９】
〔実施例２〕
この例においては、前記実施例１において転写層が形成された中心孔を有するフィルム基板、すなわち転写基板を用い、これに所定の記録層を成膜し、この記録層上に、被覆樹脂膜（ハードコート、カバー層）を形成する。
先ず、記録層を成膜した後、この転写基板を、吸着機能を有さないターンテーブルに、前記中心孔と前記センターピンとを合わせて載置する。
次に、光硬化性樹脂であるアクリレートモノマー材料を、プランジャーポンプ（ユニコントロールズ製：ハイバーポンプＣＶ）を用いて、円環状に０．５ｍｌ塗布する。次に３０００ｒｐｍで２０秒間のスピンアウトを行い、続いて、フュージョン製Ｈバルブを５秒間照射して光硬化性樹脂が硬化し、被覆樹脂膜を形成した。
上記のようにして成膜した被覆樹脂膜は、図２に示すように、表面平滑性に極めて優れており、最終的に得られた光記録媒体についても、フォーカス、トラッキングのいずれも良好であり、図３に示すように、再生信号特性も平坦な反射率（ＲＦ信号）のいずれもが良好な特性を示した。
なお、ターンテーブルのセンターピンとスタンパ中心孔とのクリアランスは、０．０２ｍｍ、０．１ｍｍ、０．５ｍｍ、１ｍｍのそれぞれに設定してスピンアウトを実施した場合、いずれにおいても、スタンパやフィルムの飛散は発生しなかったことが確かめられた。
また、ターンテーブルの表面粗さは、Ｒｙが０．５〜１μｍであれば、平滑な転写基板、及び被覆樹脂膜が得られたことが確かめられた。
【００３０】
〔実施例３〕
この例においては、上記実施例と同様に、被覆樹脂膜を形成するが、特に、ターンテーブルと部材との間に、表面張力を生じさせる媒体を介在させることとする。
吸着穴を具備しているターンテーブルの表面に、予め水膜を形成しておく。
このターンテーブル上に、記録層が形成されたフィルム基板を、中心孔とセンターピンとを合わせて載置する。
この基板の記録層上に、光硬化性樹脂であるアクリレートモノマー材料をプランジャーポンプ（ユニコントロールズ製：ハイバーポンプＣＶ）を用いて円環状に０．５ｍｌ塗布する。次に、３０００ｒｐｍで２０秒間のスピンアウトを行い、続いて、フュージョン製Ｈバルブを５秒間照射して光硬化性樹脂が硬化し、被覆樹脂膜を形成した。
上記のようにして成膜した被覆樹脂膜は、図２に示すように、表面平滑性に極めて優れており、最終的に得られた光記録媒体についても、フォーカス、トラッキングのいずれも良好であり、再生信号特性も平坦な反射率（ＲＦ信号）のいずれもが良好な特性を示した。
なお、ターンテーブルのセンターピンとスタンパ中心孔とのクリアランスは、０．０２ｍｍ、０．１ｍｍ、０．５ｍｍ、１ｍｍのそれぞれに設定してスピンアウトを実施した場合、いずれにおいても、スタンパやフィルムの飛散は発生しなかったことが確かめられた。
また、ターンテーブルの表面粗さは、Ｒｙが０．５〜１μｍであれば、平滑な転写基板、被覆樹脂膜が得られたことが確かめられた。
【００３１】
〔実施例４〕
この例においては、部材が前記ターンテーブルに接着剤を介して接着されているものとする。その他の条件は実施例１と同様として転写基板を作製した。
具体的には、部材としてスタンパを適用し、これを予めターンテーブルに接着しておく。
続いて、スタンパ上に光硬化性樹脂であるアクリレートモノマー材料をプランジャーポンプ（ユニコントロールズ製：ハイバーポンプＣＶ）を用いて円環状に０．５ｍｌ塗布する。次に、中心孔を有するＰＣフィルム基板（帝人製ピュアーエース）を載置接液する。毛細管現象により光硬化性樹脂が所望の領域（記録エリアより内側）まで展延したら、３０００ｒｐｍで２０秒間のスピンアウトを行い、続いて、フュージョン製Ｈバルブを５秒間照射して光硬化性樹脂を硬化させる。これにより、図２に示すように表面平滑性に極めて優れた転写基板が得られた。
【００３２】
〔実施例５〕
この例においては、センターピンを具備するターンテーブルに、中心孔を有する部材であって金属材料が裏打ちとして接着されているものを、前記金属材料面を吸着させて載置するものとする。
その他の条件は、実施例１と同様として転写基板を作製した。
まずスタンパを接着剤を介して金属材料で裏打ちしたものを用意し、これをターンテーブルに吸着させておく。
このスタンパ上に光硬化性樹脂であるアクリレートモノマー材料をプランジャーポンプ（ユニコントロールズ製：ハイバーポンプＣＶ）を用いて円環状に０．５ｍｌ塗布する。次に、中心孔を有するＰＣフィルム基板（帝人製ピュアーエース）を載置接液する。毛細管現象により光硬化性樹脂が所望の領域（記録エリアより内側）まで展延したら、３０００ｒｐｍで２０秒間のスピンアウトを行い、続いて、フュージョン製Ｈバルブを５秒間照射することにより、光硬化性樹脂を硬化する。
その後、光硬化性樹脂とＰＣフィルム基板を剥離することにより転写基板が得られた。この転写基板は、図２に示すように、表面平滑性に極めて優れていることが確かめられた。
【００３３】
〔実施例６〕
この例においては、表面記録型の光ディスクを作製する（図４（ａ）〜（ｇ））。
図４（ａ）に示すように、フォトリソグラフィーにより形成されたプリグルーブ形状を具備し、かつ中心孔を有する型（スタンパ）を、表面にマグネットを具備するターンテーブル上に載置し固定する。このスタンパ上に、光硬化性樹脂であるアクリレートモノマー材料をプランジャーポンプ（ユニコントロールズ製；ハイバーポンプＣＶ）を用いて円環状に０．５ｍｌ塗布し、次に、中心孔を有するポリカーボネートフィルム（帝人製ピュアーエース）よりなる基板を載置接液する。
図４（ｂ）に示すように、毛細管現象により光硬化性樹脂を所望の位置（記録エリアより内側）まで展延させ、３０００ｒｐｍで２０秒間のスピンアウトを行った。
図４（ｃ）に示すように、キセノン社製パルスＵＶ照射装置ＲＣ−５００Ｂ（３０００ｍＷ／ｃｍ2）を、５秒間照射し、光硬化性樹脂を硬化させた。
続いて、図４（ｄ）に示すように、スタンパと光硬化性樹脂とが密着した状態で、ポリカーボネートフィルム基板上に、光硬化性樹脂であるアクリレートモノマー材料をプランジャーポンプ（ユニコントロールズ製；ハイバーポンプＣＶ）を用いて円環状に０．５ｍｌ塗布し、その後、硬化後の光硬化性樹脂に対して剥離性を有するポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基板（東洋紡製コスモシャインＡ４１００）を載置接液する。
図４（ｅ）に示すように、毛細管現象により光硬化性樹脂を所望の位置（記録エリアより内側）まで展延させ、３０００ｒｐｍで２０秒間のスピンアウトを行った。
図４（ｆ）に示すように、パルスＵＶ照射装置を用いて５秒間の紫外線照射を行い光硬化性樹脂を硬化させた。
図４（ｇ）に示すように、スタンパとＰＥＴ基板とを剥離させることにより、表面平滑性に優れている転写層およびハードコート（ＨＣ）膜が得られた（図２）。最終的に得られた光ディスクについても、フォーカス、トラッキングのいずれも良好であり、図３に示すように、再生信号特性も平坦な反射率（ＲＦ信号）のいずれもが良好な特性を示した。
【００３４】
〔実施例７〕
この例においては、表面記録型の光ディスクを作製する（図５（ａ）〜（ｇ））。
図５（ａ）、（ｂ）に示すように、ヒーターにより１５０℃に加熱されたスタンパをＰＣフィルムに対して、１４ＭＰａで１０分間インプリントすることにより、ポリカーボネート転写基板を作製した。
図５（ｃ）に示すように上下ヒーターを解除して冷却した後、図５（ｄ）に示すように、スタンパとＰＣフィルムが密着した状態で、ＰＣフィルム上に光硬化性樹脂であるアクリレートモノマー材料をプランジャーポンプ（ユニコントロールズ製；ハイバーポンプＣＶ）を用いて円環状に０．５ｍｌ塗工し、硬化後の光硬化性樹脂に対して剥離性を有するポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基板（東洋紡製コスモシャインＡ４１００）を載置接液する。
図５（ｅ）に示すように、毛細管現象により光硬化性樹脂を所望の位置（スタンパ記録エリアより内側）まで展延させ、３０００ｒｐｍで２０秒間のスピンアウトを行った。
図５（ｆ）に示すように、パルスＵＶ照射装置により５秒間の紫外線照射を行い、光硬化性樹脂を硬化させる。
その後、図５（ｇ）に示すように、スタンパと剥離性を有するＰＥＴ基板を剥離させることにより、表面平滑性に優れている転写層およびハードコート（ＨＣ）膜が得られた（図２）。最終的に得られた光ディスクについても、フォーカス、トラッキングのいずれも良好であり、図３に示すように、再生信号特性も平坦な反射率（ＲＦ信号）のいずれもが良好な特性を示した。
【００３５】
〔比較例１〕
この例においては、上記実施例２と同様にして、記録層上に被覆樹脂膜を形成した。
但し、ターンテーブルとして吸着穴を具備するものを適用し、部材（この例においてはフィルム基板）を吸着させて、光硬化性樹脂のスピンアウト、及び光硬化工程を行った。
これによると、フィルム基板が吸着により部分的に引っ張られ、局所的な凹部が形成され、最終的に得られる被覆樹脂膜は、図６に示すように、上記凹部に影響されて表面に凹み形状の発生した膜となり、最終的に得られた光記録媒体は、記録再生信号に実用面において問題となるノイズが発生した（図７）。
【００３６】
〔比較例２〕
この例においては、上記実施例１と同様にして、転写基板を形成する。
但し、ターンテーブルとして吸着穴を具備しているものを適用し、部材（この例においてはスタンパ）を吸着して光硬化性樹脂のスピンアウト、及び光硬化工程を行った。
これによると、スタンパが吸着により部分的に引っ張られ、局所的な凹部が形成されてしまい、図６に示すように、その凹部に影響されて表面に凹み形状が発生し、これをスタンパから剥離すると凸形状が形成された転写基板となった（図８）。
【００３７】
〔比較例３〕
この例においては、上記実施例６と同様の工程により、表面記録型の光ディスクを作製するが、被覆樹脂膜（ハードコート）の形成工程（（ｄ）〜（ｅ））は、スタンパから転写基板を剥離する工程（（ｆ）〜（ｇ））の後に実施した。この方法によると、転写面が保持されていない状態で被覆樹脂膜を形成するので、転写面に汚染が生じてしまい、記録再生特性の劣化の原因となった。
また、転写基板を作製した後、この転写基板を吸着穴を具備しているテーブル上に載置し、被覆樹脂膜を形成すると、転写基板が吸着により裏面側から引っ張られてしまい、被覆樹脂膜（ハードコート膜）はその凹みに倣って形成されてしまうので、表面平滑性を損ね、最終的に得られた光ディスクは、記録再生信号に実用面において問題となるノイズが発生した（図７）。
【００３８】
上述したように、本発明によれば、スピンアウト時、露光硬化時において、ターンテーブルに吸着させなかったため、吸着穴による形状転写の影響による膜厚の不均一化、表面の変形等の不具合の発生が回避され、優れた平滑性を有し、高品質の部材被覆膜（ハードコート、カバー層）、及び転写基板が作製でき、この技術を適用して作製した光記録媒体についても、良好な記録再生信号特性が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明実施例で作製した樹脂膜の表面状態を示す。
【図２】本発明実施例で作製した転写基板の表面状態を示す。
【図３】本発明実施例で作製した光記録媒体の再生信号特性、及びＲＦ信号特性を示す。
【図４】（ａ）〜（ｇ）本発明実施例における転写基板とハードコートの作製工程図を示す。
【図５】（ａ）〜（ｇ）本発明実施例における転写基板とハードコートの作製工程図を示す。
【図６】比較例で作製した被覆樹脂膜の表面状態を示す。
【図７】比較例で作製した光記録媒体の再生信号特性、及びＲＦ信号特性を示す。
【図８】比較例で作製した転写基板の表面状態を示す。
【図３】
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【図７】
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【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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