(57)【要約】【課題】吸着パッドと管路を通じた真空吸引源との間に設けた真空フィルタの前後にセンサを設け、これらのセンサの差圧で真空フィルタの目詰まりを早期に検出するようにした電子部品実装装置を提供する。【解決手段】電子部品実装装置は、電子部品を真空吸着してピックアップする吸着パッドから真空吸引源に至る回路中に設けた異物除去用の真空フィルタと、前記真空フィルタの手前に設けた真空圧力を検出する第１真空圧力センサと、前記真空フィルタの後方に設けた真空圧力を検出する第２真空圧力センサと、前記吸着パッドで空吸いしたときの前記第１真空圧力センサと前記第２真空圧力センサとの差圧を求め、該差圧が所定値以上のときに、前記真空フィルタに目詰まりが生じているものと判定する判定手段と、を備えたことである。【選択図】  図１
2009076799.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を真空吸着してピックアップする吸着パッドから真空吸引源に至る回路中に設けた異物除去用の真空フィルタと、
前記真空フィルタの手前に設けた真空圧力を検出する第１真空圧力センサと、
前記真空フィルタの後方に設けた真空圧力を検出する第２真空圧力センサと、
前記吸着パッドで空吸いしたときの前記第１真空圧力センサと前記第２真空圧力センサとの差圧を求め、
該差圧が所定値以上のときに、前記真空フィルタに目詰まりが生じているものと判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項２】
前記判定手段により、前記真空フィルタに目詰まりが生じていると判定したときに報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装装置。
【請求項３】
前記報知手段は、前記判定手段が前記第１真空圧力センサと第２真空圧力センサとの差圧を２段階の所定値で判定し、第１段階の所定値以上のときには緊急性のないメッセージを報知し、第２段階の所定値以上のときには緊急性のあるメッセージを報知することを特徴とする請求項２に記載の電子部品実装装置。
【請求項４】
前記第２真空圧力センサ若しくは第２真空圧力センサと第１真空圧力センサは、前記吸着パッドで電子部品を吸着したことの吸着有無の判定に用いることを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装装置。
【請求項５】
電子部品を真空吸着してピックアップする吸着パッドから真空吸引源に至る回路を形成する管路中に設けた異物除去用の真空フィルタと、
前記真空フィルタの後方に設けた前記管路中の空気の流量を検出する流量センサと、
前記流量センサで、前記空気の流量の経時変化が所定値以下になったときに前記真空フィルタに目詰まりが生じているものと判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品実装装置に関し、特に吸着パッドで電子部品を吸着する際に真空とする吸着用真空回路に設けた真空フィルタの交換時期を検出してフィルタの保守点検時期を推定できる電子部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術において、図３に示す回路は、電子部品１０を搬送する為に、電子部品１０を吸着パッド１１で吸着する回路であり、電子部品１０を吸着してピックアップする吸着パッド１１と、吸着パッド１１に接続された管路１２の途中に吸着パッド１１で吸引したときに塵も一緒に吸引するために、その塵をとるための真空フィルタ１３と、真空フィルタ１３の後方に設けたバルブ１４と、バルブ１４の後方に設けた真空吸引源１５と、真空フィルタの後方でバルブの手前に設けた空気の真空圧力を検出する真空圧力センサ２０と、から大略構成されている。
【０００３】
このような構成において、電子部品１０と共に電子部品１０周辺の塵も真空で吸込むため、バルブ１４まで塵が吸込まれてしまう。塵がバルブ１４に入ってしまうと、バルブ１４の開閉不良等の動作不良の原因になる。そこで、ライン（管路）１２上に真空フィルタ１３を設置し、塵の吸引を途中で防ぎ、バルブ１４まで到達しないようにしている。
真空圧力センサ２０は、電子部品１０の吸着若しくはリリースを完了したことを確認し、装置が次の動作を行うためのフラグとなっている
【特許文献１】特開２００１−２３０５９９号公報（図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来技術で説明した真空フィルタを設置し真空圧力センサでワークの吸着若しくはリリースを検出する回路において、真空圧力センサは閾値を設定し、閾値を超えた時を吸着が出来たものとみなしている。
しばらく稼動させていると、フィルタに塵が溜まり始める。真空フィルタに塵が溜まってくると、空吸い時の真空圧が上がってしまい、ワークが吸着されていない状態でも、真空圧力センサがオンになり誤った判断をすることになる。
結果として装置は、吸着ミスのエラーとなって停止することになる。
【０００５】
従来は、真空フィルタに塵が溜まり、吸着ミスのエラーが多発し始めて、装置を停止させれば良かったが、近年では、装置を止めずにどれだけ稼動続けるかという事が重要視される傾向がある。
このため、従来技術の真空圧力センサは、「吸着している／吸着していない」、の２種しか判別できないために、真空フィルタに目詰まりが生じてしまうと部品を吸着していないときでも真空フィルタの目詰まりが吸着状態となり吸着しているものとセンスして吸着ミスの原因となる。
又、この回路は、最もオーソドックスな回路であり、安価で最低限の構成で構築できるため、基本的な構成を変えることができない。
【０００６】
従って、ワーク（電子部品）を吸着ミスするというエラーが多発するようになって、装置がダウン（停止）して修理すると生産量が落ちてしまう。
そこで、既存の基本的な回路構成において、修理という事態になる前に、定期メンテナンスや予防保全時に装置がフィルタ交換時期の警告を発していれば、早期にフィルタを交換してもらう事が可能で、結果的に装置停止時間を減らすことができることに解決しなければならない課題を有する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本願発明の電子部品実装装置は、次に示す構成にしたことである。
【０００８】
（１）電子部品実装装置は、電子部品を真空吸着してピックアップする吸着パッドから真空吸引源に至る回路中に設けた異物除去用の真空フィルタと、前記真空フィルタの手前に設けた真空圧力を検出する第１真空圧力センサと、前記真空フィルタの後方に設けた真空圧力を検出する第２真空圧力センサと、前記吸着パッドで空吸いしたときの前記第１真空圧力センサと前記第２真空圧力センサとの差圧を求め、該差圧が所定値以上のときに、前記真空フィルタに目詰まりが生じているものと判定する判定手段と、を備えたことである。
（２）前記判定手段により、前記真空フィルタに目詰まりが生じていると判定したときに報知する報知手段を備えたことを特徴とする（１）に記載の電子部品実装装置。
（３）前記報知手段は、前記判定手段が前記第１真空圧力センサと第２真空圧力センサとの差圧を２段階の所定値で判定し、第１段階の所定値以上のときには緊急性のないメッセージを報知し、第２段階の所定値以上のときには緊急性のあるメッセージを報知することを特徴とする（２）に記載の電子部品実装装置。
（４）前記第２真空圧力センサ若しくは第２真空圧力センサと第１真空圧力センサは、前記吸着パッドで電子部品を吸着したことの吸着有無の判定に用いることを特徴とする（１）に記載の電子部品実装装置。
【０００９】
（５）電子部品実装装置は、電子部品を真空吸着してピックアップする吸着パッドから真空吸引源に至る回路を形成する管路中に設けた異物除去用の真空フィルタと、前記真空フィルタの後方に設けた前記管路中の空気の流量を検出する流量センサと、前記流量センサで、前記空気の流量の経時変化が所定値以下になったときに前記真空フィルタに目詰まりが生じているものと判定する判定手段と、を備えたことである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明においては、真空フィルタの前後にセンサを設け、これらのセンサの差圧で真空フィルタの目詰まりを検出するようにしたことで、真空フィルタの目詰まり即ち汚れを早期に検出することが可能で、吸着ミスが生じる前に真空フィルタの交換等ができるため、フィルタの目詰まりによる吸着ミスを未然に防止することができる。
【００１１】
又、真空フィルタの後方に流量センサを設け、流量の経時変化をモニターすることで、真空フィルタの目詰まりを監視するようにしたことで、真空フィルタの目詰まりを早期に検出することで、吸着ミスが生じる前に真空フィルタの交換等の対処が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
次に、本願発明に係る電子部品実装装置の実施例について図面を参照して説明する。
【００１３】
本願発明の第１実施例の電子部品実装装置は、図１に示すように、電子部品１０を真空吸着してピックアップする吸着パッド１１と、吸着パッド１１に接続された管路１２の途中に吸着パッド１１で吸引したときの塵も一緒に吸引するために、その塵をとるための真空フィルタ１３と、真空フィルタ１３の後方に設けたバルブ１４と、バルブ１４の後方に設けた真空吸引源１５と、真空フィルタ１３の手前で吸着パッド１１と真空フィルタ１３との間に設けた空気の真空圧力を検出する第２真空圧力センサ１７と、真空フィルタ１３の後方でバルブ１４の手前に設けた空気の真空圧力を検出する第１真空圧力センサ１６と、吸着パッド１１で空吸いしたときの第１真空圧力センサ１６と第２真空圧力センサ１７との差圧を求め、この差圧が所定値以上のときに、真空フィルタ１３に目詰まりが生じているものと判定する判定部（判定手段）１８と、判定部１８で真空フィルタ１３に目詰まりが生じていると判定したときに報知する報知部（報知手段）１９とから大略構成されている。
【００１４】
報知部１９は、即ち、目詰まり警報を出すもので、通常はフィルタ交換時期到来を示す構成になっている。
【００１５】
判定部１８において、第１真空圧力センサ１６と第２真空圧力センサ１７との差圧を２段階の所定値で判定するようにした場合は、第１段階の所定値以上のときには緊急性のないメッセージを報知部１９から報知させる。例えば、「そろそろフィルタの交換時期です。」と報知する。第２段階の所定値以上のときには緊急性のあるメッセージを報知部１９から報知させる。例えば、「早急にフィルタを交換してください。」と報知する。
【００１６】
このような構成において、先ず、電子部品（ワーク）１０を吸着パッド１１で吸着した時の第１真空圧力センサ１６及び第２真空圧力センサ１７の真空度は、真空吸引源１５と同じ真空度まで上がってしまい、差圧が出ない。よって、電子部品１０を吸着していない状態（空吸い）で差圧を求める。
吸着パッド１１から第２真空フィルタ１３手前間での配管（管路）１２上には塵が溜まらない。よって、その配管上に有る第２真空圧力センサ１７は、電子部品１０を吸着していない空吸い状態の値は、大きく変化しない。
しかし、真空フィルタ１３の後ろに設置された第１真空圧力センサ１６は、真空フィルタ１３が目詰まりしていないクリーンなときは、第２真空圧力センサ１７と同程度の圧力であるが、使用時間の経過とともに、真空フィルタ１３が汚れ始めると、電子部品１０を吸着していないときでも、空吸い状態の真空度が上がってしまう。
結果として、第１真空圧力センサ１６及び第２真空圧力センサ１７との間に差圧が発生し、真空フィルタ１３の汚れとして目詰まりが生じていることを判定することができる。
【００１７】
又、第１真空圧力センサ１６と第２真空圧力センサ１７は、吸着パッド１１の吸着有無の判定に用いることができる。
第１真空圧力センサ１６を使用する場合には、第１真空圧力センサ１６が真空フィルタ１３の後方の空気圧を検出するようにしているので、吸着パッド１１が電子部品１０を吸着したときに、第１真空圧力センサ１６がオンすることで吸着したことを検知することができる。
【００１８】
第１真空圧力センサ１６と第２真空圧力センサ１７を利用して吸着パッド１１の吸着有無の判定を行う場合には、真空フィルタ１３の前方で吸着パッド１１の後方位置に設けてある第２真空圧力センサ１７と真空フィルタ１３の後方位置に設けた第１真空圧力センサ１６とは、両者共に吸着パッド１１が電子部品１０を吸着するとオンする構成になっており、そのオン状態は真空フィルタ１３の目詰まりの状態により異なるが、少なくとも吸着パッド１１に電子部品１０を吸着したときにはオンするので、両者を吸着有無の判定に利用することができる。
このように、第１及び第２真空圧力センサ１６、１７を吸着有無の判定に利用することにより、吸着ミスといった誤検出を防止することができるのである。
【００１９】
次に、第２実施例の電子部品実装装置について、図面を参照して説明する。  
【００２０】
第２実施例の電子部品実装装置は、図２に示すように、電子部品１０を吸着してピックアップする吸着パッド１１と、吸着パッド１１に接続された管路１２の途中に吸着パッド１１で吸引したときの塵も一緒に吸引するために、その塵をとるための真空フィルタ１３と、真空フィルタ１３の後方に設けたバルブ１４と、バルブ１４の後方に設けた真空吸引源１５と、真空フィルタ１３の後方に設けた空気の流量を検出する流量センサ２１と、流量センサ２１で、空気の流量の経時変化が所定値以下になったときに真空フィルタ１３に目詰まりが生じているものと判定する判定部（判定手段）２２と、から大略構成されている。
【００２１】
このような構成において、流量センサ２１は、管路１２を流れる空気の流量を検出するもので、真空フィルタ１３がクリーンな状態であるときに、吸着パッド１１で電子部品１０を吸着したときの流量の変化を測定しておく。そして、真空フィルタ１３が目詰まりを生じてきたときに、吸着パッド１１で電子部品１０を吸着したときの流量の変化は相対的に少なくなるので、その流量の変化が所定値以下になったときに真空フィルタ１３に目詰まりが生じていると判定部２２で判定すればよい。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
吸着パッドと管路を通じた真空吸引源との間に設けた真空フィルタの前後にセンサを設け、これらのセンサの差圧で真空フィルタの目詰まりを検出するようにしたことで、真空フィルタの目詰まり即ち汚れを早期に検出することが可能な電子部品実装装置を提供する。
又、吸着パッドと管路を通じた真空吸引源との間に設けた真空フィルタの後方に流量センサを設け、流量の経時変化をモニターすることで、真空フィルタの目詰まりを監視して真空フィルタの目詰まりを早期に検出する電子部品実装装置を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本願発明の第１実施例の電子部品実装装置を略示的に示した説明図である。
【図２】本願発明の第２実施例の電子部品実装装置を略示的に示した説明図である。
【図３】従来技術における電子部品実装装置を略示的に示した説明図である。
【符号の説明】
【００２４】
１１      吸着パッド
１２      管路
１３      真空フィルタ
１４      バルブ
１５      真空吸引源
１６      第１真空圧力センサ
１７      第２真空圧力センサ
１８      判定部
１９      報知部
２１      流量センサ
２２      判定部
【図１】
2009076799.tif 000003
【図２】
2009076799.tif 000004
【図３】
2009076799.tif 000005