(57)【要約】【課題】  中心に孔が形成されているスタンパーに均等な膜厚の光透過膜を形成し、且つ洗浄などの余計な工数が発生しない光ディスクの原盤の検査方法を提供すること。【解決手段】  スタンパー１０の円孔１１を塞ぐようにスタンパー１０の記録面１０ａ側にシール３１を貼り付け、記録面１０ａの中心付近に固化すると光透過膜になる液体を供給し、スタンパー１０を回転させて液体を記録面１０ａの全体に塗布し、塗布した液体を紫外線照射により固化させて透明薄膜５０を形成し、その後シール３１を除去する。シール３１で円孔１１を塞ぐことにより、供給される液体が円孔１１から流れ落ちず、記録面１０ａに均一な透明薄膜５０が形成される。また、シール３１は安価で使い捨て可能であるので、シールを洗浄するような余分な工程を省くことができる。【選択図】  図１
2009271986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスクの原盤であって中心に孔が形成された孔付原盤の記録面側に光透過膜を形成する膜付工程と、前記光透過膜が形成された孔付原盤の記録面にレーザー光を集光して照射し、前記照射したレーザー光の反射光を検出し、前記反射光に基づく信号を用いて前記孔付原盤を検査する検査工程とを有する光ディスクの原盤の検査方法において、
前記膜付工程が、
前記孔付原盤に形成された前記孔を塞ぐように、前記孔付原盤の記録面側にシールを貼り付けるシール貼付工程と、
前記孔付原盤の記録面側の中心付近に固化すると光透過膜になる液体を供給するとともに前記孔付原盤を回転させることによって、前記液体を前記記録面の全体に塗布する塗布工程と、
前記塗布工程にて塗布した液体を固化させることにより光透過膜を前記孔付原盤の記録面上に形成する固化工程と、
前記シール貼付工程にて前記孔付原盤に貼り付けられたシールを除去するシール除去工程と、
を含むことを特徴とする光ディスクの原盤の検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光ディスクの原盤の検査方法において、
前記シール貼付工程にて前記孔付原盤に貼り付けるシールが、厚さ１００μｍ以下であり、且つプラスチック製の素材からなることを特徴とする光ディスクの原盤の検査方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光ディスクの原盤の検査方法において、
前記シール貼付工程前に行われる工程であって、作業者が治具を手動操作して前記シールを前記治具に吸着する吸着工程と、
前記シール貼付工程後に作業者が前記治具を手動操作して前記治具による前記シールの吸着を解除する吸着解除工程と、
をさらに含むことを特徴とする光ディスクの原盤の検査方法。
【請求項４】
請求項３に記載の光ディスクの原盤の検査方法において、
前記治具は、内部空間が形成された筐体と、前記筐体内で移動することにより前記内部空間内の容積を変動させる容積変動手段と、前記筐体内への押し込み動作が可能であり、前記容積変動手段を移動させるために作業者が操作する操作手段とを備え、
前記筐体には、前記シールを吸着する吸着外面と、前記内部空間に連通するとともに前記吸着外面に開口した吸着用連通路が形成されており、
前記吸着工程における作業者による前記治具の手動操作は前記操作手段の押し込み動作であり、前記押し込み動作によって前記容積変動手段が移動することにより前記内部空間が密閉状態下で容積増加して減圧されることを特徴とする光ディスクの原盤の検査方法。
【請求項５】
請求項４に記載の光ディスクの原盤の検査方法において、
前記筐体には、前記内部空間に連通するとともに外部に開口した第１連通路が形成されており、
前記第１連通路には、前記内部空間から外部へ流出する流体の流れを許容し外部から前記内部空間へ流入する流体の流れを遮断する第１逆止弁が配設されており、
前記押し込み動作により、前記内部空間の状態が、前記容積変動手段が前記内部空間の容積を減少するように移動するとともに前記内部空間内の流体が前記第１連通路および前記第１逆止弁を経由して外部に放出される第１の状態と、前記第１の状態から前記容積変動手段が前記内部空間の容積を増加するように移動することにより前記内部空間が密閉状態下で容積増加して減圧される第２の状態とに連続して変化することを特徴とする光ディスクの原盤の検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の光ディスクの原盤の検査方法において、
前記操作手段には磁石が取付けられており、前記容積変動手段は磁性体により形成された部分を有しており、前記内部空間内には前記容積変動手段が前記内部空間の容積を減少する方向に移動するにつれて抗力を増加する弾性部材が配設されており、
前記第１の状態では前記磁石と前記磁性体との間に発生する磁力により前記容積変動手段が前記操作手段の操作に連動して移動することにより前記内部空間の容積が減少し、
前記第２の状態では前記磁力に対して前記抗力が勝り、前記抗力により前記容積変動手段が移動して前記内部空間の容積が増加することを特徴とする光ディスクの原盤の検査方法。
【請求項７】
請求項４乃至６のいずれか１項に記載の光ディスクの原盤の検査方法において、
前記筐体には、前記内部空間に連通するとともに外部に開口した第２連通路が形成されており、
前記第２連通路には、外部から前記内部空間へ流入する流体の流れを許容し前記内部空間から外部へ流出する流体の流れを遮断する第２逆止弁が配設されており、
前記第２逆止弁には、作業者が前記第２逆止弁を開弁するために操作する操作ボタンが取付けられており、
前記吸着解除工程における作業者による前記治具の手動操作は前記操作ボタンの操作であり、前記操作ボタンの操作によって前記第２逆止弁が開弁することにより前記内部空間の減圧状態が解除されることを特徴とする光ディスクの原盤の検査方法。
【請求項８】
請求項３乃至７のいずれか１項に記載の光ディスクの原盤の検査方法において、
前記シール貼付工程にて前記シールを前記孔付原盤に貼り付けた後、前記治具を用いて前記シールを前記孔付原盤上で擦ることにより前記シールと前記孔付原盤との間に存在する空気を除去する空気除去工程を更に含むことを特徴とする光ディスクの原盤の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＢＤ（Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ、ＣＤなどの光ディスクの原盤の検査方法に関し、より具体的には原盤に光を透過する膜（例えば透明な膜）を形成した後、この光透過膜を介して原盤にレーザー光を照射し、その反射光に基づく信号を用いて原盤を検査する方法に関する。ここで、本明細書においては、光ディスクの原盤とは、光ディスクを型成形するまでに用いられる原盤であって、光ディスクに記録すべきデータが記録されている全てのものを意味し、スタンパーおよび、スタンパーを製造するまでのマスタリング工程にて作製される原盤（ガラスマスター、メタルマスター、メタルマザーなど）を含むものとする。
【背景技術】
【０００２】
再生型光ディスクを製造するためには、まずデータが記録されたスタンパーが成型機の金型に取り付けられる。次いでポリカーボネート樹脂やアクリル樹脂などの熱可塑性樹脂を金型のキャビティ内に射出する。この射出成形により光ディスク基板が成形されるとともに基板の一方面上にスタンパーに記録されたデータが転写される。その後、光ディスク基板のデータが転写された記録面上に反射層や保護層などを積層させることにより、再生型光ディスクが製造される。
【０００３】
スタンパーに傷や不良箇所があると、製造されるディスクも不良品となる。このため光ディスクの製造前にはスタンパーの良否を検査する必要がある。この検査方法の一つに、スタンパーを用いて光ディスクのサンプル品を製造し、このサンプル品を再生して特性を測定することによりスタンパーの良否を判定する方法がある。しかし、この検査方法によれば、スタンパーの良否判定を行うためにサンプル品の製造工程とサンプル品の再生工程とを行う必要があるので、良否判定までに長時間を要するという問題がある。したがって、良否判定を短時間で行うため、スタンパー自身に記録されたデータを直接再生してその良否を判定する検査方法が広く行われている。同様に、スタンパーを作製する元となるメタルマスター、メタルマザー、あるいはガラスマスターなどの検査においても、これらに記録されたデータを直接再生してその良否を判定する検査方法が採用されることがある。
【０００４】
ところで、光ディスクを検査するときは、光ピックアップ装置から出射されたレーザー光が対物レンズを介して光ディスクの記録面に照射される。ここで、光ディスクはその記録面上に透明基板が設けられているために、レーザー光は透明基板に入射するときに屈折する。よって、対物レンズは、光ディスクの記録面にレーザー光が集光するように、透明基板による屈折を考慮してその仕様が決定されている。透明基板による屈折を前提に仕様が決定されている上記対物レンズを有する光ピックアップ装置を用いて光ディスクの原盤にレーザー光を照射した場合は、透明基板による屈折がないために球面収差が発生する。すると、記録面上におけるレーザー光の集光位置のスポット径が大きくなってしまう。このためこのような光ピックアップ装置では、光ディスクの原盤に直接レーザー光を照射して記録データの再生や検査を行うことはできない。
【０００５】
したがって、光ディスクの原盤に記録されたデータを再生するために、透明基板による屈折を考慮しない仕様の対物レンズを有する光ピックアップ装置を用いてレーザー光を照射する方法が考えられる。しかし、このような対物レンズは特殊仕様であるためコスト高になるという問題がある。
【０００６】
また、特許文献１に記載の方法により光ディスクの原盤にレーザー光を照射して記録されたデータの再生を行うこともある。この方法によれば、光ディスクの原盤の記録面上に光ディスクの透明基板とほぼ等しい屈折率を有する光透過性の膜が形成される。このようにすれば、光ディスクの原盤を光ディスクと同等に扱うことができる。したがって、光ディスクの記録データを再生可能な対物レンズと同仕様の対物レンズを持つ光ピックアップ装置を用いて上記光透過性の膜が形成された原盤にレーザー光を照射し、その反射光から記録データを再生することができる。
【０００７】
図５は、この方法の手順を示した図である。まず、スピンコータＳＣに例えばスタンパーＳＴがセットされる。このとき記録面が上を向くようにスタンパーＳＴがセットされる。次に、セットされたスタンパーＳＴの上面の中心部にレジンと呼ばれる感光性樹脂（紫外線硬化樹脂）が塗布される（図５（Ａ）参照）。塗布後、あるいは塗布と同時にスピンコータＳＣを回転させる（図５（Ｂ）参照）。レジンは回転の遠心力によりスタンパーＳＴの上面を覆うように延ばされ、自身の表面張力により所定の厚みを持つ薄膜となる。その後、ＵＶランプＲを用いて紫外線を薄膜に照射し、薄膜を硬化させる（図５（Ｃ）参照）。これによりスタンパーＳＴの表面（記録面）に光透過膜（透明膜）が形成される。こうして透明膜が形成されたスタンパーＳＴの中心に孔Ｈが開けられる（図５（Ｄ）参照）。この孔Ｈを基準としてスタンパーＳＴが再生装置Ｐにセットされる（図５（Ｅ）参照）。そして、光ディスク再生用の光ピックアップ装置Ｑからレーザー光が照射されてデータの再生が行われる（図５（Ｆ）参照）。この場合において、スタンパーＳＴの表面には透明膜が形成されているので、この透明膜の屈折率が光ディスクに形成される透明基板の屈折率と等しくなるように透明膜を形成することにより、光ディスク再生用の仕様を持つ対物レンズを有する光ピックアップ装置Ｑを用いてスタンパーＳＴに記録されたデータを再生することができる。
【０００８】
上記方法によれば、通常の光ディスク再生用の光ピックアップ装置を用いて安価に光ディスクの原盤に記録されたデータの再生や光ディスクの原盤の検査を行うことができる。しかしながら、光ディスクの原盤、特にスタンパーは、それが作製されるまでの過程（マスタリング工程）において中心部分に孔が開けられているものが多い。中心部分に孔が開けられている場合、スピンコータによりレジンを薄膜化する工程において、スピンコータの回転によりレジンが孔から流れ落ちる。このためレジンがうまく光ディスクの原盤の記録面に行き渡らず、また行き渡ったとしても、均等な厚みの薄膜を形成することができないという問題がある。
【０００９】
一方、特許文献２に記載の方法は、スタンパーの中心部分に形成されている孔をキャップで塞ぎ、キャップにレジン（特許文献２では光硬化性樹脂とされている）を塗布し、この状態でスピンコータを回転させてレジンをスタンパーの記録面に行き渡らせている。この方法によれば、キャップによりスタンパーの中央の孔が塞がれるために、孔からレジンが流れ落ちることはなくなる。しかし、キャップ上に供給されたレジンがスタンパーの周方向に均一に供給されるとは限らないので、スピンコートによって生成される薄膜の厚みを均一化することができないおそれがある。また、キャップにレジンを塗布しているので、キャップに残ったレジンを有機溶剤により洗浄し、その後キャップを乾燥させなければキャップを再利用できない。よって、余分な工数がかかるという問題がある。
【特許文献１】特開平１０−２１５８５号公報
【特許文献２】特開平１１−２１３４５９号公報
【発明の開示】
【００１０】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、光ディスクの原盤に光透過膜を形成した後、この膜を介してレーザー光を照射し、反射光に基づく信号を用いて光ディスクの原盤を検査する方法において、当該原盤の中心に孔が形成されている場合でも、均等な膜厚の光透過膜を形成することができ、且つ洗浄などの余計な工数が発生しない光ディスクの原盤の検査方法を提供することにある。
【００１１】
本発明の特徴は、光ディスクの原盤であって中心に孔が形成された孔付原盤の記録面側に光透過膜を形成する膜付工程と、前記光透過膜が形成された孔付原盤の記録面にレーザー光を集光して照射し、前記照射したレーザー光の反射光を検出し、前記反射光に基づく信号を用いて前記孔付原盤を検査する検査工程とを有する光ディスクの原盤の検査方法において、前記膜付工程が、前記孔付原盤に形成された前記孔を塞ぐように、前記孔付原盤の記録面側にシールを貼り付けるシール貼付工程と、前記孔付原盤の記録面側の中心付近に固化すると光透過膜になる液体を供給するとともに前記孔付原盤を回転させることによって、前記液体を前記記録面の全体に塗布する塗布工程と、前記塗布工程にて塗布した液体を固化させることにより光透過膜を前記孔付原盤の記録面上に形成する固化工程と、前記シール貼付工程にて前記孔付原盤に貼り付けられたシールを除去するシール除去工程とを含むことにある。
【００１２】
本発明によれば、シール貼付工程にて孔付原盤の中心に形成された孔にシールが貼り付けられることにより、この孔が塞がれる。このためその後の塗布工程にて供給される液体が孔から流れ落ちることがない。また、シールはキャップと異なり薄いので、シール上に供給された液体は孔付原盤の周方向に均一に広がる。よって、孔付原盤の記録面に均一な薄膜を形成することができる。また、シールは安価であるので使い捨て可能である。よって、光透過膜を形成した後にシールを除去し、このシールを廃棄して次の検査においては新しいシールを使用することにより、シールを洗浄するような余分な工程を省くことができる。このため工数が短縮されて、孔付原盤の検査効率が向上する。なお、上記シール貼付工程においては、シールは孔付原盤の記録面のうち、孔の周りの部分であってデータが記録されていない部分に貼り付けられるとよい。
【００１３】
上記シール貼付工程にて孔付原盤に貼り付けるシールは、厚さ１００μｍ以下であり、且つプラスチック製の素材であるとよい。このようなシールは非常に薄いために、あたかも孔が形成されていな光ディスクの原盤のように取り扱うことができる。したがって、塗布工程においてより均一に液体を記録面に塗布することができる。また、材質をプラスチック製とすることにより、供給される液体がシールに浸透することを防止できるため、シールをはがす際にシールにつられて光透過膜が剥離するなどの不具合が防止される。
【００１４】
また、本発明の光ディスクの原盤の検査方法は、上記シール貼付工程前に行われる工程であって、作業者が治具を手動操作してシールを治具に吸着する吸着工程と、上記シール貼付工程後に作業者が治具を手動操作して治具によるシールの吸着を解除する吸着解除工程とをさらに含むものであるのがよい。これによれば、治具によってシールが吸着され、治具に吸着されたシールが光ディスクの原盤に貼り付けられ、その後シールと治具との吸着が解除されて治具からシールが離される。このように、シールを光ディスクの原盤に貼り付けるまでの間に作業者が指やビニール手袋などでシールを触ることがないので、作業者の指の脂やビニール手袋の汚れなどによるシールの汚染が防止される。したがって、光ディスクの原盤の記録データを再生したときの再生精度が向上し、ひいては検査精度も向上する。
【００１５】
また、上記治具は、内部空間が形成された筐体と、筐体内で移動することにより内部空間内の容積を変動させる容積変動手段と、筐体内への押し込み動作が可能であり、容積変動手段を移動させるために作業者が操作する操作手段とを備え、上記筐体には、シールを吸着する吸着外面と、内部空間に連通するとともに吸着外面に開口した吸着用連通路が形成されているとよい。そして、上記吸着工程における作業者による治具の手動操作は上記操作手段の押し込み動作であり、この押し込み動作によって容積変動手段が移動することにより内部空間が密閉状態下で容積増加して減圧されるものであるのがよい。これによれば、作業者が操作手段を押し込み操作することにより、容積変動手段が移動して筐体内の内部空間が減圧される。この内部空間には吸着用連通路が連通しており、吸着用連通路は筐体の吸着外面に開口しているので、この吸着外面が内部空間の減圧により吸引力を発生する。したがって、シールはこの吸着外面に吸着される。
【００１６】
この場合、上記筐体には、内部空間に連通するとともに外部に開口した第１連通路が形成されており、この第１連通路には、内部空間から外部へ流出する流体の流れを許容し外部から前記内部空間へ流入する流体の流れを遮断する第１逆止弁が配設されているとよい。そして、上記押し込み動作により、内部空間の状態が、容積変動手段が内部空間の容積を減少するように移動するとともに内部空間内の流体が第１連通路および第１逆止弁を経由して外部に放出される第１の状態と、この第１の状態から容積変動手段が内部空間の容積を増加するように移動することにより内部空間が密閉状態下で容積増加して減圧される第２の状態とに連続して変化するものであるとよい。これによれば、一連の押し込み動作によって内部空間内の流体の排出および内部空間の容積増加が行われるので、簡単に筐体の内部空間を減圧状態とすることができ、作業者が煩わしい作業をしなくても簡単に治具にシールを吸着させることができる。
【００１７】
さらにこの場合、上記操作手段には磁石が取付けられており、上記容積変動手段は磁性体により形成された部分を有しており、内部空間内には容積変動手段が内部空間の容積を減少する方向に移動するにつれて抗力を増加する弾性部材が配設されているとよい。そして、上記第１の状態では磁石と磁性体との間に発生する磁力により容積変動手段が操作手段の操作に連動して移動することにより内部空間の容積が減少し、上記第２の状態では上記磁力に対して上記抗力が勝り、この抗力により容積変動手段が移動して内部空間の容積を増加するようにされているとよい。このように磁石と弾性部材とを用いれば、作業者が手動操作で治具を操作して簡単に内部空間の減圧状態を作り出すことができ、治具によるシールの貼り付け工数を低減することができる。
【００１８】
また、上記筐体には、内部空間に連通するとともに外部に開口した第２連通路が形成されており、この第２連通路には、外部から内部空間へ流入する流体の流れを許容し内部空間から外部へ流出する流体の流れを遮断する第２逆止弁が配設されており、さらにこの第２逆止弁には、作業者が第２逆止弁を開弁するために操作する操作ボタンが取付けられているとよい。そして、上記吸着解除工程における作業者による治具の手動操作は上記操作ボタンの操作であり、この操作ボタンの操作によって第２逆止弁が開弁することにより内部空間の減圧状態が解除されるものであるとよい。これによれば、作業者は操作ボタンを操作するだけで内部空間の減圧状態を解除することができる。よって、簡単な操作で治具を減圧状態から元の状態に戻すことができ、速やかに次のシールを吸着することができる。このため治具によるシールの貼り付け工数を低減することができる。
【００１９】
また、本発明の光ディスクの検査方法は、上記シール貼付工程にてシールを孔付原盤に貼り付けた後、治具を用いてシールを孔付原盤上で擦ることによりシールと孔付原盤との間に存在する空気を除去する空気除去工程を更に含むものであるとよい。これによれば、孔付原盤に貼り付けられたシールを治具で擦ることによって、隙間無くシールを貼り付けることができる。したがって、シールの貼り付け不良によってその後の工程にて不具合が生じることを効果的に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図１は、本実施形態に係るスタンパーの検査方法の手順を示した図である。本実施形態においてはスタンパーの検査方法について説明するが、その他の原盤（ガラスマスター、メタルマスター、メタルマザーなど）においても同様な方法により検査することができる。以下、図を参照しながらスタンパーの検査方法における各工程を説明する。
【００２１】
＜スタンパーセット工程＞
まず、作業者は、スタンパー１０をスピンコータ２０のテーブル２１にセットする。このスタンパー１０は、中央に円孔１１が形成された孔付スタンパー（孔付原盤）である。なお、スピンコータ２０は円板状のテーブル２１と、テーブル２１の下部中央に一端が連結した回転軸２２と、この回転軸２２を軸回りに回転させる図示しない駆動手段を備える。スタンパー１０は、その記録面１０ａが上面を向くように、テーブル２１上にセットされる。
【００２２】
＜シール貼付工程＞
次いで、作業者はビニール手袋をし、孔閉塞用のシール３１を台紙から剥がす。このシール３１は、スタンパー１０に形成された円孔１１の径よりも大きな径を持つ円形に形成されており、プラスチック製である。また、厚みは１００μｍ以下である。そして、作業者は剥がしたシール３１をスタンパー１０の円孔１１を塞ぐようにスタンパー１０の記録面１０ａ側に貼り付ける（図１（Ａ）参照）。シール３１はスタンパー１０の記録面１０ａのうち、円孔１１の周りの部分であって、データが記録されていない部分に貼り付けられる。このとき作業者は、スタンパー１０とシール３１との間に空気が入ったり、シール３１に皺が生じないように、指でシール３１をスタンパー１０によく擦りつける。
【００２３】
＜レジン供給工程＞
その後、作業者は、スタンパー１０の記録面１０ａ側の中央部分、すなわちシール３１が貼られている部分にレジンを供給（滴下）する（図１（Ｂ）参照）。このレジンは、紫外線照射によって固化して光を透過する膜（光透過膜）を形成する液体である。レジンの供給量は、後工程のスピンコート工程にて薄膜を形成する際に、薄膜の膜厚が所望の厚みになるように、予め計算された量とする。
【００２４】
＜スピンコート工程＞
次に、作業者は、スピンコータ２０を起動させる。これによりスピンコータ２０のテーブル２１が回転する（図１（Ｃ）参照）。テーブル２１の回転により、スタンパー１０の記録面１０ａ側に供給されたレジンに遠心力が作用する。この遠心力によりレジンは引き延ばされる。レジンがスタンパー１０の記録面１０ａに所定の厚みで一様に行き渡るように、設定された速度で所定の時間だけテーブル２１を回転させ、その後停止させる。これによりレジンがスタンパー１０の記録面１０ａに均一に行き渡る。なお、上記レジン供給工程およびスピンコート工程が、本発明の塗布工程に相当する。
【００２５】
＜ＵＶ照射工程＞
次いで、作業者はスピンコータ２０のテーブル２１をＵＶランプ４１が設置されている場所まで移動する。あるいは、作業者はスピンコータ２０からスタンパー１０を取り外し、スタンパー１０をＵＶランプ４１が設置されている場所まで持って行く。そして、ＵＶランプ４１が発生する紫外線をスタンパー１０の記録面１０ａ側に照射する（図１（Ｄ）参照）。この紫外線照射によりレジンが硬化し、透明薄膜５０（光透過膜）がスタンパー１０上に形成される。この透明薄膜５０は、光ディスクの記録面に取付けられている透明基板と同一の屈折率を持つように形成される。なお、スタンパー１０上に形成された透明薄膜５０は、スタンパー１０を使用して光ディスクを作製する前にスタンパー１０からはがされる。したがって、透明薄膜５０としては、たとえばニッケル製のスタンパー１０から剥離しやすく、且つ屈折率が光ディスクに形成されている透明基板の屈折率と略同一の材質であるとよい。このＵＶ照射工程が、本発明の固化工程に相当する。
【００２６】
＜シール除去工程＞
ＵＶ照射後、作業者は差し込み棒４２を使ってスタンパー１０に貼り付けられたシール３１を剥がす（図１（Ｅ）参照）。この場合に用いる差し込み棒４２は丸棒形状を呈し、断面の径がスタンパー１０の円孔１１よりも小さい。作業者は差し込み棒４２をスタンパー１０の下面（記録面１０ａとは反対側の面）から円孔１１に向けて差し込む。円孔１１はスタンパー１０の記録面１０ａ側に貼り付けられたシール３１により塞がれているので、円孔１１に差し込まれた差し込み棒４２の先端はシール３１に接触する。この状態でさらに差し込み棒４２を差し込むことにより、シール３１は棒から押圧力を受ける。この押圧力によってシール３１はスタンパー１０から引き離される。このようにしてシール３１がスタンパー１０から除去される。この場合において、差し込み棒４２によってシール３１に急激に押圧力を加えると、シール３１が引き剥がされるときに生じる張力によって、シール３１付近の透明薄膜５０の部分がひび割れるおそれがある。よって、透明薄膜５０がひび割れない程度にゆっくりと差し込み棒４２を円孔１１内に差し込むとよい。また、差し込み棒４２が軸方向に一定の低速度で移動するように所定の設備を用いて差し込み棒４２を移動させてシール３１を除去してもよい。
【００２７】
以上の、スタンパーセット工程、シール貼付工程、レジン供給工程、スピンコート工程、ＵＶ照射工程およびシール除去工程が、本発明における膜付工程に相当する。
【００２８】
＜検査装置セット工程＞
スタンパー１０からシール３１が除去された後、作業者はスタンパー１０の検査装置６０にスタンパー１０をセットする（図１（Ｆ）参照）。ここで、検査装置６０は、検査対象物をセットすることができるターンテーブル６１と、このターンテーブル６１を回転させるための回転手段と、ターンテーブル６１上の検査対象物にレーザー光を照射する光ピックアップ装置６２とを備える。光ピックアップ装置６２は光ディスク再生用のものである。すなわち、光ピックアップ装置６２内に設けられた対物レンズは、光ディスクを再生できるような仕様とされている。また、光ピックアップ装置６２は、出射するレーザー光がターンテーブル６１上にセットされた検査対象物の上面側に照射されるように、ターンテーブル６１の上部に配置されている。作業者は、このような検査装置６０のターンテーブル６１にスタンパー１０をセットするが、このとき透明薄膜５０が形成された記録面１０ａ側を上向きとしてスタンパー１０をターンテーブル６１にセットし、止め具６３を円孔１１に差し込んでスタンパー１０をターンテーブル６１に固定する。
【００２９】
＜検査工程＞
スタンパー１０をターンテーブル６１にセットした後に、作業者は検査装置６０を起動させる。これによりターンテーブル６１が回転するとともに、光ピックアップ装置６２からレーザー光が出射される（図１（Ｇ）参照）。出射されたレーザー光はスタンパー１０の記録面１０ａ側に照射される。このとき記録面１０ａ側には透明薄膜５０が形成されており、この透明薄膜５０の屈折率は光ディスクに形成されている透明基板の屈折率と同じとされているため、スタンパー１０を光ディスクと同等に扱うことができる。よって、光ディスク再生用の光ピックアップ装置６２からのレーザー光がスタンパー１０に照射された場合でも、そのレーザー光が透明薄膜５０により屈折し、球面収差が発生することなく記録面１０ａに集光して小さな光スポットが形成される。光ピックアップ装置６２は、レーザー光を照射するとともに、レーザー光の記録面１０ａにおける照射光の反射光を受光する。検査装置６０は光ピックアップ装置６２が受光した光に基づいてスタンパー１０の記録データを再生する。そして、再生したデータの再生信号に基づいて、スタンパー１０の良否を判定する。この良否判定によりスタンパー１０が検査される。スタンパー１０の検査における具体的な検査方法は公知であるのでその説明は省略する。
【００３０】
以上のように、本実施形態におけるスタンパー１０の検査方法は、膜付工程と検査工程とを有し、膜付工程が、スタンパー１０の円孔１１を塞ぐようにスタンパー１０の記録面１０ａ側にシール３１を貼り付けるシール貼付工程と、スタンパー１０の記録面１０ａ側の中心付近に固化すると光透過膜になる液体を供給するとともにスタンパー１０を回転させることによって、この液体を記録面１０ａの全体に塗布する塗布工程（レジン供給工程、スピンコート工程）と、塗布工程にて塗布した液体を紫外線照射により固化させて透明薄膜５０（光透過膜）をスタンパー１０の記録面１０ａ上に形成する固化工程（ＵＶ照射工程）と、シール貼付工程にてスタンパー１０に貼り付けられたシール３１を除去するシール除去工程とを含む。シール貼付工程にてスタンパー１０の中心に形成された円孔１１にシール３１が貼り付けられてこの円孔１１が塞がれることにより、その後の塗布工程にて供給される液体が円孔１１から流れ落ちることがない。また、シール上に供給された液体はスタンパー１０の周方向に均一に広がる。よって、スタンパー１０の記録面１０ａに均一な透明薄膜５０を形成することができる。また、シール３１は安価で使い捨て可能であるので、除去工程によりシール３１を除去し、このシール３１を廃棄して次の検査においては新しいシールを使用することにより、シールを洗浄するような余分な工程を省くことができる。このため工数が短縮されて、スタンパー１０の検査効率が向上する。
【００３１】
上記方法では、シール貼付工程にて、ビニール手袋をした作業者が手でシール３１をつかみ、スタンパー１０の中心部分に形成された円孔１１を塞ぐようにスタンパー１０にシール３１を貼り付けている。しかし、人手を介してシール３１を貼り付けることで、汚れがシール３１やスタンパー１０に付着する可能性がある。よって、治具を用いてシール３１をスタンパー１０に貼り付け、作業者の手が直接シール３１に触れないようにするとよい。治具を用いたシールの貼付方法を以下に説明する。
【００３２】
図２は、スタンパー１０にシール３１を貼り付けるときに使用する治具１００の部分断面図、図３は斜視図である。これらの図に示されるように、治具１００は、筐体１１０と、操作手段１２０と、容積変動手段としての円筒体１３０とを備えて構成されている。
【００３３】
筐体１１０はこの治具１００の主要な構成を収容するものであり、本体１１１と蓋部１１２を有し、図３に示されるように円柱形状とされている。また図２からわかるように、本体１１１には、その上面中央付近から下方に向けて、上下方向に軸を持つ段付円柱状の凹部が形成されている。この凹部は、第１凹部１１１ａ、第２凹部１１１ｂおよび第３凹部１１１ｃからなる。第１凹部１１１ａは本体１１１の上面に開口しており、上面から本体１１１の図示上下方向の中央よりも若干下方の部分まで形成されている。第２凹部１１１ｂは第１凹部１１１ａの下端部分から連続して形成されている。第２凹部１１１ｂはその径が第１凹部１１１ａの径よりも小さくされている。したがって、第１凹部１１１ａと第２凹部１１１ｂとの境界部分に段差部１１１ｄが形成される。第２凹部１１１ｂの下部には第３凹部１１１ｃが続いて形成されている。第３凹部１１１ｃは、その径が第１凹部１１１ａおよび第２凹部１１１ｂの径よりも遙かに大きく、本体１１１の径方向の広い範囲に亘り形成されている。第３凹部１１１ｃの下面には、多数の吸着用連通路１１１ｅが開口している。吸着用連通路１１１ｅは一端（下端）が本体１１１の下面１１１ｆに開口し、他端（上端）が第３凹部１１１ｃに連通している。吸着用連通路１１１ｅは、本体１１１の下面１１１ｆに一様に開口するように、広い範囲に亘って形成されているとよい。なお、本体１１１の下面１１１ｆが、本発明における吸着外面に相当する。
【００３４】
円板状の蓋部１１２が本体１１１の上面に取付けられている。この蓋部１１２は、断面外形が本体１１１の断面外形と同一とされており、合わせピン１４１によって本体１１１に結合されている。また蓋部１１２は、その中央部分に上面から下面にかけて貫通した貫通孔１１２ａが形成されている。この貫通孔１１２ａは、蓋部１１２が本体１１１に結合された状態で、本体１１１の第１凹部１１１ａに連通する。
【００３５】
図２に示されるように、第１凹部１１１ａ内に円筒体１３０が配設されている。この円筒体１３０は、リング状の側周部１３１および円板状の底部１３２を有し、上面が開口したコップ状に形成されている。円筒体１３０の上下方向長さは第１凹部１１１ａの上下方向長さよりも短くされている。また、円筒体１３０の径方向長さは第２凹部１１１ｂの径よりも大きくされている。したがって、円筒体１３０は、第１凹部１１１ａ内を上下方向に移動可能である。
【００３６】
また、円筒体１３０の側周部１３１の上方部位は例えばステンレス（ＳＵＳ）のような磁性体１３１ａにより形成されている。この磁性体１３１ａよりも下方の部位は例えば樹脂材料のような非磁性体１３１ｂにより形成されている。これらの磁性体１３１ａおよび非磁性体１３１ｂは、同一の径を有するリング形状に形成されており、上下に積み重ねられて、磁性体１３１ａの下面部分と非磁性体１３１ｂの上面部分とが接着などの固定手段により固定された状態で側周部１３１を形成する。
【００３７】
また、非磁性体１３１ｂの下方部分の外周壁には周方向溝が形成されており、この溝内にＯリング１３１ｃが配設されている。Ｏリング１３１ｃは第１凹部１１１ａを形成する壁面に接触している。このため第１凹部１１１ａの上面開口は円筒体１３０およびＯリング１３１ｃによって閉塞され、円筒体１３０より下方の空間は、本体１１１内にて密閉された内部空間Ｓとなる。また、第１凹部１１１ａの壁面にはグリスなどの潤滑剤が塗布されている。したがって、円筒体１３０は内部空間Ｓの密閉状態を保ったまま第１凹部１１１ａ内を上下方向に移動可能である。
【００３８】
円筒体１３０の底部１３２は永久磁石により形成されている。この底部１３２は円板形状をなしており、その外周壁が側周部１３１の下端部の内周壁に接着剤などにより接着されて、円筒体１３０の底面部分を形成する。
【００３９】
円筒体１３０の下部には抗力発生用スプリング１８１が配設されている。この抗力発生用スプリング１８１は図２に示される状態において第１凹部１１１ａから第２凹部１１１ｂを経て第３凹部１１１ｃに亘って上下方向に伸縮可能に配設されている。抗力発生用スプリング１８１の上端は円筒体１３０の底部１３２に当接し、下端は第３凹部１１１ｃの下面に当接している。したがって、円筒体１３０は抗力発生用スプリング１８１により支えられるような状態とされている。抗力発生用スプリング１８１は、円筒体１３０が内部空間Ｓの容積が減少するように下方移動した場合に、その移動につれて、円筒体１３０の下方移動に対する抗力が増加するように、内部空間Ｓ内であり円筒体１３０の下部に配置している。なお、図２に示される状態では、円筒体１３０は抗力発生用スプリング１８１によって持ち上げられて、第１凹部１１１ａの上方寄りに配置される。
【００４０】
操作手段１２０は作業者により操作されるものであり、操作レバー１２１と操作軸１２２とを有する。操作レバー１２１は水平方向に延びた丸棒形状を呈しており、この操作レバー１２１の中央付近に操作軸１２２が連結している。操作軸１２２は上下方向に延びた丸棒形状とされ、その上端が操作レバー１２１に連結し、その下方部分が蓋部１１２の貫通孔１１２ａに挿通され、下端面が円筒体１３０の側周部１３１の内周空間に面している。
【００４１】
操作軸１２２の下端には永久磁石１２３が取付けられている。この永久磁石１２３は上下面を有する円柱形状に形成されており、周面が円筒体１３０の側周部１３１の内壁面に対面するように、側周部１３１の内周空間に配設されている。図２からわかるように、永久磁石１２３はその下面側が円筒体１３０の底部１３２と対面している。円筒体１３０の底部１３２も永久磁石であり、２つの永久磁石は互いに吸引力を発生する磁極の向きとなるように配置している。また、永久磁石１２３の外周面は、円筒体１３０の側周部１３１の上部の磁性体１３１ａに対面している。したがって、磁性体１３１ａと永久磁石１２３との間に吸引力が発生している。
【００４２】
操作軸１２２にはその軸方向中央付近にリング状のストッパ１２４がとりつけられている。このストッパ１２４は、操作軸１２２の軸方向移動に伴って移動して、蓋部１１２の上面に当接することによりそれ以上の操作軸１２２の軸方向移動を規制する。
【００４３】
また、筐体１１０には、内部空間Ｓと外部とを連通するための通路である第１連通路１１０ａと第２連通路１１０ｂが形成されている。第１連通路１１０ａは、本体１１１内にて水平方向に沿って形成されている。この第１連通路１１０ａは、小径部と大径部とを備える段付状の通路とされており、小径端が第２凹部１１１ｂを形成する壁面に開口し、大径端が本体１１１の外周壁に開口している。第１連通路１１０ａの大径部には第１逆止弁１５０が配設されている。第１逆止弁１５０は、内部空間Ｓから第１連通路１１０ａを通って外部へ流出する流体の流れを許容し、外部から第１連通路１１０ａを通って内部空間Ｓへ流入する流体の流れを遮断する常閉型の弁であり、弁体１５１と、スプリング１５２と、止め金１５３を備えて構成されている。止め金１５３はリング形状とされ、第１連通路１１０ａの本体１１１の外周壁側の開口部分に係止されている。弁体１５１は図に示されるように砲弾形状をなし、先端部分が第１連通路１１０ａの大径部と小径部との境界に形成される段差部１１０ｃに係合可能とされている。スプリング１５２は弁体１５１と止め金１５３との間に配設されており、図に示される状態において常に伸張力を発揮している。したがって、弁体１５１は、スプリング１５２の伸張力によってその先端側が段差部１１０ｃに付勢されている。通常はこの付勢力によって第１逆止弁１５０が閉じられ、第１連通路１１０ａによる内部空間Ｓと外部との連通が遮断されている。
【００４４】
第２連通路１１０ｂは、本体１１１から蓋部１１２にかけて上下方向に沿って形成されている。第２連通路１１０ｂも小径部と大径部とを備える段付状の通路とされており、小径端が第１連通路１１０ａを形成する壁面に開口し、大径端が蓋部１１２の上面に開口している。第２連通路１１０ｂの大径部には第２逆止弁１６０が配設されている。第２逆止弁１６０は、外部から第２連通路１１０ｂを通って内部空間Ｓへ流入する流体の流れを許容し内部空間Ｓから第２連通路１１０ｂを通って外部へ流出する流体の流れを遮断する常閉型の弁であり、弁体１６１と、スプリング１６２と、弁座１６３を備えて構成されている。弁座１６３は中央に円孔１６３ａが設けられた円板形状をなし、円孔１６３ａが第２連通路１１０ｂの図示上端開口部と同心状となる位置にて、止めピン１４３により蓋部１１２の上面に固定されている。弁体１６１は砲弾形状とされ、その先端部分が弁座１６３に形成された円孔１６３ａの周縁に係止可能に第２連通路１１０ｂの大径部に配置されている。スプリング１６２は第２連通路１１０ｂの大径部内にて弁体１６１の下部に配置されている。スプリング１６２はその下端部が第２連通路１１０ｂの大径部と小径部との境に形成される段差部１１０ｄに当接し、その上端が弁体１６１の後部に当接し、図に示される状態において常に伸張力を発揮している。したがって弁体１６１は、スプリング１６２の伸張力によってその先端側が円孔１６３ａの周縁に付勢されている。通常はこの付勢力によって第２逆止弁１６０が閉じられ、第２連通路１１０ｂによる内部空間Ｓと外部との連通が遮断されている。なお、このスプリング１６２は、後述する内部空間Ｓの減圧によって第２逆止弁１６０が開かないように、強い弾性力を発生している。また、Ｏリング１６４は、弁体１６１が弁座１６３に係合したときに空気漏れを防止する。
【００４５】
また、弁体１６１には操作ボタン１７０が連結している。この操作ボタン１７０は、軸部１７１とボタン部１７２を備える。軸部１７１は上下方向に延びており、軸方向移動すると弁体１６１も軸部１７１の軸方向に沿って動くようにされている。軸部１７１の上端にボタン部１７２が取付けられている。ボタン部１７２は図３に示されるように円板形状をなし、作業者が指で押圧することができる部分である。
【００４６】
図４は、上記構成の治具１００を用いてシール３１をスタンパー１０に貼り付けるときの手順を表した図である。以下、図の手順にしたがって治具１００の作動について説明する。なお、治具１００の細部の構成の符号は図２を参照されたい。
【００４７】
＜第１手順＞
まず、図２に示された状態とされている治具１００を、その下面１１１ｆがシールの非接着面に合わせられるようにシール３１の上に置く（図４（Ａ）参照）。このとき治具１００は、下面１１１ｆの少なくとも一部がシール３１の端とほぼ一致するように、シール３１の非接着面上に載置される。なお、シール３１は、スタンパー１０の円孔１１を塞ぐのにちょうどよい大きさに台紙３２ごと切られ、台紙３２側を下向きとして粘着性または吸着性のある台に置かれているものとする。
【００４８】
＜第２手順＞
治具１００をシール３１上に載置した後、作業者が治具１００の操作レバー１２１を押し込む（図４（Ｂ）参照）。すると、操作軸１２２が軸方向に下方移動する。このとき、操作軸１２２の先端の永久磁石１２３と円筒体１３０の側周部１３１の磁性体１３１ａとの間に発生している吸引力によって、円筒体１３０も下方移動する。円筒体１３０は、操作軸１２２の軸方向移動に連動して移動し、その側周部１３１の下端が第１凹部１１１ａと第２凹部１１１ｂとの間の段差部１１１ｄに当接するまで下方移動する。円筒体１３０の下方移動によって、円筒体１３０の下部に配置した抗力発生用スプリング１８１はさらに圧縮され、円筒体１３０の下方移動に対向する力（抗力）が増す。
【００４９】
また、円筒体１３０の下方移動によって、筐体１１０内に形成されている内部空間Ｓの空間容積が減少する。内部空間Ｓは、筐体１１０内で密閉されているので、空間容積の減少により圧力上昇する。内部空間Ｓの圧力と大気圧との差圧が第１逆止弁１５０のスプリング１５２が発生している付勢力（この付勢力は弱いものであるとよい）を上回ると、第１逆止弁１５０が開弁し、内部空間Ｓ内の空気が第１連通路１１０ａおよび第１逆止弁１５０を経て外部に放出される。この状態が本発明における第１の状態である。なお、この場合において、本体１１１の下面１１１ｆはシール３１により塞がれているので、内部空間Ｓ内の空気が吸着用連通路１１１ｅを通って本体１１１の下面１１１ｆから外部に放出されることはない。上記差圧がスプリング１５２の付勢力と等しくなった時点で第１逆止弁１５０は閉弁する。
【００５０】
＜第３手順＞
作業者が操作レバー１２１をさらに押し込み、操作軸１２２がさらに下方に移動すると、やがて操作軸１２２に取付けられたストッパ１２４が蓋部１１２の上面に係合して操作軸１２２の下方移動が規制される（図４（Ｃ）参照）。この状態では、永久磁石１２３が円筒体１３０の側周部１３１の磁性体１３１ａに対面した位置から下方に移動するため、これらの間に発生している吸引力が弱まる。加えて操作軸１２２先端の永久磁石１２３と円筒体１３０の底部１３２を形成する永久磁石との間における吸引力が増加する。このため永久磁石１２３と底部１３２との間に発生している吸引力と抗力発生用スプリング１８１の抗力とを加えた力が永久磁石１２３と円筒体１３０の側周部１３１の磁性体１３１ａとの間に発生している吸引力に勝り、円筒体１３０がこれらの力、特に抗力発生用スプリング１８１が発生する抗力により上方に押し上げられて元の位置に戻る。そして、永久磁石１２３が底部１３２の磁石に吸着する。
【００５１】
円筒体１３０の上方移動により、内部空間Ｓの容積が増加する。このため内部空間Ｓ内の圧力が負圧となる。ここで、第２逆止弁１６０はスプリング１６２の付勢力が大きいために開弁しない。よって、内部空間Ｓ内が減圧状態に保たれる。この状態が本発明の第２の状態に相当する。また、内部空間Ｓには第３凹部１１１ｃの下面にて吸着用連通路１１１ｅの一端（上端）が連通している。よって、内部空間Ｓの減圧により吸着用連通路１１１ｅの他端（下端）側に吸引力が発生する。すなわち本体１１１の下面１１１ｆに吸引力が発生する。このため、下面１１１ｆに接触しているシール３１が治具１００に吸着される（吸着工程）。
【００５２】
＜第４手順＞
作業者は操作レバー１２１を押し込んだまま、治具１００を、シール３１に端を合わせた側を上げるように傾ける（図４（Ｄ）参照）。ここで、シール３１はプラスチック製で薄く、軟らかい。したがって、シール３１は治具１００に吸引されたまま、治具１００に合わされた端の位置を起点として台紙３２から剥がれる。
【００５３】
＜第５手順＞
作業者はシール３１を吸着した治具１００をスタンパー１０が設置された位置まで持って行き、スタンパー１０の記録面１０ａ側であって円孔１１を塞ぐ位置にシール３１を貼り付ける（図４（Ｅ）参照）。
【００５４】
＜第６手順＞
作業者は操作ボタン１７０のボタン部１７２を下方に押し込む（図４（Ｆ）参照）。これにより第２逆止弁１６０が開弁し、外部から空気が第２逆止弁１６０、第２連通路１１０ｂ、第１連通路１１０ａを経由して、減圧されている内部空間Ｓ内に流入する。このため内部空間Ｓ内は大気圧となり、本体１１１の下面１１１ｆ側で発生していた吸引力は解消する。これによりシール３１は治具１００から離れることが可能となる（吸着解除工程）。
【００５５】
＜第７手順＞
作業者は治具１００によってシール３１の上面を擦り、スタンパー１０とシール３１との間に混入する空気の除去、シール３１に形成される皺の除去を行う（図４（Ｇ）参照）。
【００５６】
＜第８手順＞
作業者は本体１１１の側面を片方の手で掴み、もう片方の手で操作レバー１２１を引き上げる（図４（Ｈ）参照）。すると、操作軸１２２の先端の永久磁石１２３が円筒体１３０の底部１３２の磁石から引き離され、操作軸１２２が上方へ移動する。これにより治具１００は元の状態（図１（Ａ）の状態）に戻る。これでシール貼付工程が完了し、治具１００は次のシールの貼り付けが可能になる。
【００５７】
以上のように、治具１００を利用したスタンパーの検査方法においては、シール３１をスタンパーに貼り付ける前に、作業者が治具１００を手動操作してシール３１を治具に吸着し、治具１００を用いてシール３１をスタンパー１０に貼り付けた後に、作業者が治具１００を手動操作して治具１００によるシール３１の吸着を解除している。このように治具１００を用いてシール３１をスタンパー１０に貼り付けるので、作業者が指やビニール手袋などでシール３１を触ることがない。よって、シール３１の汚染を防止することができる。
【００５８】
また、治具１００は、内部空間Ｓが形成された筐体１１０と、筐体１１０内で移動することにより内部空間内の容積を変動させる円筒体１３０と、筐体１１０内への押し込み動作が可能であり、円筒体１３０を移動させるために作業者が操作する操作手段１２０とを備える。さらに、筐体１１０には、シール３１を吸着する面である下面１１１ｆと、内部空間Ｓに連通するとともに下面１１１ｆに開口した吸着用連通路１１１ｅが形成されている。このため作業者による操作手段１２０の押し込み動作による円筒体１３０の移動により内部空間Ｓが密閉状態下で容積増加して減圧される。したがって、内部空間Ｓに連通した吸着用連通路１１１ｅの開口が形成されている下面１１１ｆが内部空間Ｓの減圧により吸引力を発生し、シール３１はこの下面１１１ｆに吸着される。
【００５９】
また、筐体１１０には、内部空間Ｓに連通するとともに外部に開口した第１連通路１１０ａが形成されており、この第１連通路１１０ａには第１逆止弁１５０が配設されている。そして、作業者による操作手段１２０の押し込み動作により、内部空間Ｓの状態が、円筒体１３０が内部空間Ｓの容積を減少するように下方移動するとともに内部空間Ｓ内の流体が第１連通路１１０ａおよび第１逆止弁１５０を経由して外部に放出される第１の状態と、この第１の状態から円筒体１３０が内部空間Ｓの容積を増加するように上方移動することにより内部空間Ｓが密閉状態下で容積増加して減圧される第２の状態とに連続して変化する。このため作業者による一連の押し込み動作によって簡単に筐体１１０の内部空間Ｓ内の流体の排出および内部空間Ｓの減圧を行うことができる。よって、作業者が煩わしい作業をしなくても簡単に治具１００にシール３１を吸着させることができる。
【００６０】
また、操作軸１２２の先端には永久磁石１２３が取付けられており、一方円筒体１３０の側周部１３１の上部は磁性体１３１ａにより形成されている。さらに、内部空間Ｓ内には円筒体１３０が内部空間の容積を減少する方向に移動（下方移動）するにつれてその移動に対する抗力を増加する抗力発生用スプリング１８１が配設されている。そして、上記第１の状態では永久磁石１２３と磁性体１３１ａとの間に発生する磁力により円筒体１３０が操作手段１２０の操作に連動して下方移動して内部空間Ｓの容積を減少し、上記第２の状態では上記磁力に対して抗力発生用スプリング１８１が発生する抗力が勝って、この抗力によって円筒体１３０が上方移動して内部空間Ｓの容積を増加するようにされている。このように磁力とスプリングの抗力（弾性力）を用い、両者の力の影響を円筒体１３０の移動位置および円筒体１３０と操作手段１２０の相対位置により変化させるように治具１００を構成することにより、作業者が手動操作で治具１００を操作して簡単に内部空間Ｓの減圧状態を作り出すことができる。このため治具１００によるシール３１の貼り付け工数を低減することができる。
【００６１】
また、筐体１１０には、内部空間Ｓに連通するとともに外部に開口した第２連通路１１０ｂが形成されており、この第２連通路１１０ｂには第２逆止弁１６０が配設されており、さらにこの第２逆止弁１６０には作業者が第２逆止弁１６０を開弁するために操作する操作ボタン１７０が取付けられている。よって、吸着解除工程において作業者は、この操作ボタン１７０を操作して第２逆止弁１６０を開弁させることにより内部空間Ｓの減圧状態を簡単に解除することができる。このため治具１００によるシール３１の貼り付け工数を低減することができる。
【００６２】
また、本実施形態の検査方法では、スタンパー１０にシール３１を貼り付けた後に、治具１００を利用してシール３１をスタンパー１０上で擦ることによりシール３１とスタンパー１０との間に存在する空気を除去している。したがって、隙間無くシール３１をスタンパー１０に貼り付けることができ、シール３１の貼り付け不良によってその後の工程にて不具合が生じることを効果的に防止できる。
【００６３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるべきものではない。例えば、上記実施形態では、手動により減圧吸着する治具１００を使用した例も示したが、コスト面を重視しなければ様々な形態の治具を使用できる。例えば真空引き吸着する治具や、静電吸着する治具などを使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態に係るスタンパーの検査方法を表した工程図である。
【図２】本実施形態のシール貼付工程にて使用する治具の部分断面図である。
【図３】本実施形態のシール貼付工程にて使用する治具の斜視図である。
【図４】治具を用いてシールをスタンパーに貼り付けるときの手順を表した工程図である。
【図５】従来技術におけるスタンパーの検査方法を表した工程図である。
【符号の説明】
【００６５】
１０…スタンパー（孔付原盤）、１０ａ…記録面、１１…円孔（孔）、２０…スピンコータ、２１…テーブル、３１…シール、４１…ＵＶランプ、４２…差し込み棒、５０…透明薄膜（光透過膜）、６０…検査装置、６２…光ピックアップ装置、１００…治具、１１０…筐体、１１０ａ…第１連通路、１１０ｂ…第２連通路、１１０ｃ…段差部、１１０ｄ…段差部、１１１…本体、１１１ａ…第１凹部、１１１ｂ…第２凹部、１１１ｃ…第３凹部、１１１ｄ…段差部、１１１ｅ…吸着用連通路、１１１ｆ…下面（吸着外面）、１１２…蓋部、１２０…操作手段、１２１…操作レバー、１２２…操作軸、１２３…永久磁石（磁石）、１３０…円筒体（容積変動手段）、１３１…側周部、１３１ａ…磁性体、１３１ｂ…非磁性体、１３２…底部、１５０…第１逆止弁、１６０…第２逆止弁、１７０…操作ボタン、１７１…軸部、１７２…ボタン部、１８１…抗力発生用スプリング（弾性部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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