(57)【要約】【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板等を、軌道上で搬送する搬送車において、小スペースに対応する簡単な構成により、被搬送物の振動を抑制する。【解決手段】搬送車（１１）は、軌道に沿って軌道の両側に敷設されると共に軌道が合流又は分岐する箇所で片側が途切れるガイドレール（２）上を転動する走行ローラ（１２）と、走行ローラが転動可能に取り付けられた搬送車本体（１１ａ）と、搬送車本体の上方に軌道に沿って敷設されると共に少なくとも合流又は分岐する箇所に設けられるローラ受け（２１）に対向する位置に設けられ、搬送車本体がガイドレール上で傾くのをローラ受けに接触することで抑制する体勢保持ローラ（１３）とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道上を走行して被搬送物を搬送する搬送車であって、
前記軌道に沿って前記軌道の両側に敷設されると共に前記軌道が合流又は分岐する箇所で片側が途切れるガイドレール上を転動する走行ローラと、
該走行ローラが転動可能に取り付けられた搬送車本体と、
該搬送車本体の上方に前記軌道に沿って敷設されると共に少なくとも前記合流又は分岐する箇所に設けられるローラ受に対向する位置に設けられ、前記搬送車本体が前記ガイドレール上で傾くのを前記ローラ受けに接触することで抑制する体勢保持ローラと
を備えることを特徴とする搬送車。
【請求項２】
前記ローラ受けは、前記軌道の両側に一対のローラ受けとして設けられ、
前記体勢保持ローラは、前記一対のローラ受けと接触するように、前記搬送車本体の上面における両側に一対の体勢保持ローラとして設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送車。
【請求項３】
前記一対の体勢保持ローラは、前記搬送車本体の進行方向に対して、前記軌道が曲がる箇所で曲がり方向側に向くように斜めに取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の搬送車。
【請求項４】
前記一対の体勢保持ローラは、前記搬送車本体における前記進行方向の前側及び後ろ側に複数ずつ設けられ、
前記前側の体勢維持ローラは、前記前側に向かって内側に窄まるように斜めに取り付けられており、
前記後ろ側の体勢維持ローラは、前記後ろ側に向かって内側に窄まるように斜めに取り付けられている
ことを特徴とする請求項３に記載の搬送車。
【請求項５】
前記搬送車本体は、複数の搬送車本体が前記軌道に沿って連結されてなり、
前記前側の体勢維持ローラは、前記複数の搬送車本体のうち前記前側に連結された搬送車本体の前端に取り付けられており、
前記後ろ側の体勢維持ローラは、前記複数の搬送車本体のうち前記後ろ側に連結された搬送車本体の後端に取り付けられている
ことを特徴とする請求項４に記載の搬送車。
【請求項６】
前記一対の体勢保持ローラの間における前記上面に、接触防止ローラを更に備えることを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等を、軌道上で搬送する搬送車の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送車として、例えば軌道に沿って設けられたガイドレール上を走行して被搬送物を搬送するものがある。このような搬送車において、曲線状のガイドレールを走行する場合に、車体が一方の側に傾くために、搬送中の被搬送物が振動してしまう。
【０００３】
このため、例えば特許文献１では、ガイドレールを挟み込むように、複数のガイドローラを設けることで、ガイドローラを常時ガイドレールに密着させ、振動を防止するという技術が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３５５２７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１によれば、ガイドレールを上面及び下面から支持するような複雑な構成では、ガイドレール近傍に十分なスペースを取れない場合に、実施が困難である。また、通常軌道の両側に設けられるガイドレールは、軌道が分岐又は合流する箇所で、片側のガイドレールが相当の長さに渡って存在しない。このため、分岐又は合流する箇所では、片側だけのガイドレールだけをガイドローラにより挟むこととなり、振動を防止するのには不足であるという技術的問題点がある。
【０００６】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、小スペースに対応する簡単な構成により、被搬送物の振動を抑制可能である搬送車を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の搬送車は上記課題を解決するために、軌道上を走行して被搬送物を搬送する搬送車であって、前記軌道に沿って前記軌道の両側に敷設されると共に前記軌道が合流又は分岐する箇所で片側が途切れるガイドレール上を転動する走行ローラと、該走行ローラが転動可能に取り付けられた搬送車本体と、該搬送車本体の上方に前記軌道に沿って敷設されると共に少なくとも前記合流又は分岐する箇所に設けられるローラ受に対向する位置に設けられ、当該搬送車本体が前記ガイドレール上で傾くのを前記ローラ受けに接触することで抑制する体勢保持ローラとを備える。
【０００８】
本発明に係る搬送車によれば、当該搬送車は、被搬送物を搬送するために軌道上を走行する。該軌道に沿って該軌道の両側には、ガイドレールが敷設される。ここで「ガイドレール」は、例えば軌道が合流又は分岐する箇所で片側が途切れている。仮に何らの対策も施さないとするならば、このようなガイドレール上を走行する搬送車は、ガイドレールが途切れたところに走行ローラが大なり小なり落ちることで、ガイドレールが途切れた側に傾いてしまう。更に、傾いた状態にある搬送車の走行ローラが、ガイドレールが途切れていない箇所に突入する際に、走行ローラがガイドレールに瞬時に乗り上がることで振動を引き起こす。しかるに本発明は、次のようにこの傾きを抑制することで、搬送車が振動するのを抑制する。
【０００９】
当該搬送車は、搬送車本体の、例えば下面に、走行ローラが転動可能に取り付けられる。本発明では特に、搬送車本体の上面に、体勢保持ローラが取り付けられる。ここで「体勢保持ローラ」は、例えばゴム等の樹脂から生成されており、搬送車本体がガイドレール上で傾くのを抑制する、言い換えれば、その傾き体勢を固定する役割を果たす。具体的には、体勢保持ローラは、搬送車本体の上方に、ガイドレールが敷設される軌道に沿って敷設されるローラ受けに接触することで、搬送車本体の傾き体勢を固定する。ここで「ローラ受け」は、体勢保持ローラが転動可能な、例えばレールであり、ガイドレールの、少なくとも軌道が合流又は分岐する箇所に設けられる。該ローラ受けは、軌道が合流又は分岐する箇所の他に、軌道が直進する箇所に設けられてもよいが、この直進する箇所では、体勢保持ローラに接触することは殆どない。このようなローラ受けに対向する位置に、体勢保持ローラが設けられる。
【００１０】
本発明では特に、体勢保持ローラは、搬送車が、合流又は分岐により片側が途切れるガイドレール上を走行する、即ち搬送車本体が傾く場合に、ローラ受けに接触する。この接触状態では、途切れたガイドレールに対向する一方の走行ローラが、ガイドレールが敷設される面に接触したり、該面から離れて宙に浮く不安定な状態となる。この不安定な一方の走行ローラの代わりに、体勢保持ローラがローラ受け面を転動し、連続するガイドレールに対向する他方の走行ローラと共に、搬送車本体の傾き体勢を保持する。ここで、傾き体勢の「傾き」とは、例えば一方の走行ローラが、ガイドレールの敷設面（通常、ガイドレールの下面と接している面）と接触して生じる摩擦等により搬送車の走行が妨害されない、最小限の傾きを意味する。このような傾き体勢を保持可能な位置に、ローラ受けが設けられることで、搬送車本体の振動が最小限に抑制される。
【００１１】
以上説明したように、本発明に係る搬送車によれば、ガイドレールの合流又は分岐により搬送車が傾けられようとする場合に、体制保持ローラがローラ受けに接触し、搬送車の傾き体勢を保持することが可能であるため、搬送車本体に載置される被搬送物の振動を抑制することができる。しかも、搬送車側に体勢保持ローラを設けると共に軌道側にローラ受けを設けるという比較的簡単な構造を利用して、且つ比較的省スペースにて、このように体勢を保持することが可能となる。
【００１２】
本発明の搬送車の一態様では、前記ローラ受けは、前記軌道の両側に一対のローラ受けとして設けられ、前記体勢保持ローラは、前記一対のローラ受けと接触するように、前記搬送車本体の上面における両側に一対の体勢保持ローラとして設けられる。
【００１３】
この態様によれば、一対のローラ受けと接触するように、一対の体勢保持ローラが設けられる。このため、合流又は分岐する方向が左右のどちらかの方向であっても、体制保持ローラがローラ受けと接触し、搬送車の傾き体勢が保持される。よって、結果として、被搬送物の振動を抑制することができる。
【００１４】
本発明の搬送車の他の態様では、前記一対の体勢保持ローラは、前記搬送車本体の進行方向に対して、前記軌道が曲がる箇所で曲がり方向側に向くように斜めに取り付けられている。
【００１５】
この態様によれば、一対の体勢保持ローラが、軌道の曲がり方向側に向くように、斜めに取り付けられる。このため、軌道が合流又は分岐する箇所でガイドレールの片側が途切れていても、搬送車がスムーズに、軌道の曲がる方向に進行可能である。また、体勢保持ローラに接触されるローラ受けは、体勢保持ローラを進行方向に対して平行に取り付ける場合と比較して、例えば体勢保持ローラとの嵌合寸法等において、簡単に構成することができる。
【００１６】
本発明の搬送車の他の態様では、前記一対の体勢保持ローラは、前記搬送車本体における前記進行方向の前側及び後ろ側に複数ずつ設けられ、前記前側の体勢保持ローラは、前記前側に向かって内側に窄まるように斜めに取り付けられており、前記後ろ側の体勢保持ローラは、前記後ろ側に向かって内側に窄まるように斜めに取り付けられている。
【００１７】
この態様によれば、搬送車本体には、例えば進行方向の前側及び後ろ側に夫々、一対の体勢保持ローラが設けられ、前側の体勢保持ローラは、該前側に向かって内側に窄まるように、後ろ側の体勢保持ローラは、該後ろ側に向かって内側に窄まるように、斜めに取り付けられる。例えば軌道が左方向に曲がる場合に、前側の体勢保持ローラが右斜め方向に、後ろ側の体勢保持ローラが左斜め方向に、夫々取り付けられる。このように、搬送車本体の前後で、体勢保持ローラの取り付け方向を逆方向とすることで、走行バランスを保持することが可能である。このため、高速走行する搬送車にも適応することができる。
【００１８】
本発明の搬送車の他の態様では、前記搬送車本体は、複数の搬送車本体が前記軌道に沿って連結されてなり、前記前側の体勢保持ローラは、前記複数の搬送車本体のうち前記前側に連結された搬送車本体の前端に取り付けられており、前記後ろ側の体勢保持ローラは、前記複数の搬送車本体のうち前記後ろ側に連結された搬送車本体の後端に取り付けられている。
【００１９】
この態様によれば、当該搬送車は、複数の搬送車本体が連結されてなり、前側に連結された搬送車本体の前端に、前側の体勢保持ローラが、後ろ側に連結された搬送車本体の後端に、後ろ側の体勢保持ローラが、取り付けられる。このように、体勢保持ローラを、複数の搬送車本体から構成される搬送車の前端及び後端にのみ取り付ける場合でも、搬送車の傾き体勢を保持することが可能である。このため、搬送車を低コストに抑えることも可能である。
【００２０】
本発明の搬送車の他の態様では、前記一対の体勢保持ローラの間における前記上面に、接触防止ローラを更に備える。
【００２１】
この態様によれば、搬送車本体の上面で、且つ一対の体勢保持ローラの間に、接触防止ローラが設けられる。接触防止ローラは、例えばゴム等の樹脂から生成されている。このため、搬送車が傾けられた場合に、搬送車本体或いは該搬送車本体に載置される被搬送物が、ローラ受けを除く何かしらの障害物に接触するのを防止することができる。また、搬送車が何らかの要因により上下振動した場合にも、搬送車本体等の接触を防ぐことが可能である。
【００２２】
以上説明したように、本発明に係る搬送車によれば、小スペースに対応する簡単な構成により、被搬送物の振動を抑制することが可能である。
【００２３】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００２５】
先ず、本実施形態に係る搬送車の構成について説明する。ここに図１は、本実施形態に係る搬送車及び軌道を示す模式図であり、図２は、図１の搬送車の基本的な動作原理示す原理図である。
【００２６】
図１において、本実施形態に係る搬送車１１は、ガイドレール２上を走行する。ガイドレール２は、搬送車１１の軌道に沿って、軌道の両側に敷設されている。ガイドレール２は、分岐点ＳＰを基準として、右方向へ連なる進行方向Ｄ１、及び左方向へ連なる進行方向Ｄ２の２つの方向に分岐する。分岐点ＳＰより手前（図１では、分岐点ＳＰより下側）には、一対のガイドレール２ａ，２ｂが敷設されている。また、分岐点ＳＰより後（図１では、分岐点ＳＰより上側及び左側）には、ガイドレール２ａと共に、これと対をなすガイドレール２ｃ、及び、ガイドレール２ｂと共に、これと対をなすガイドレール２ｄが敷設されている。
【００２７】
搬送車１１は、図示しないリニアモータにより駆動され、ガイドレール２上を走行して、被搬送物を搬送する。図２において、搬送車１１は、主に搬送車本体１１ａ、走行ローラ１２、及び体勢保持ローラ１３から構成される走行部１７、並びに搬送部１８の２つの部位を備える。走行部１７及び搬送部１８は、接続部１９によって、上下方向で相互に接続されている。
【００２８】
搬送部１８は、被搬送物を載置するための荷台の役割を果たす。搬送部１８は、走行部１７にぶら下がった状態で、例えばガイドレール２に沿って配置される、複数の製造装置へ搬送される。この搬送時に、搬送部１８は、一対のガイドレール２ａ，２ｂの間で、且つこれらガイドレール２ａ，２ｂより下方に位置する。搬送部１８は、縦移載型でも、横移載型でもよく、例えば不図示の、被搬送物の頭部を挟持するアーム部、アーム部が吊るされるベルト、ベルトを巻出し巻取りする機構、被搬送物の落下防止機構等が設けられている。
【００２９】
本実施形態では、このような搬送部１８を備える搬送車１１が、合流又は分岐するガイドレール上を走行するのを可能としている。このため、再び図１に示すように、搬送部１８（具体的には、接続部１９）の経路を妨げないように、分岐点ＳＰの手前で、一対のガイドレール２ａ，２ｂの片側が途切れている。具体的に、搬送車１１が進行方向Ｄ１へ進行するための左側のガイドレールにおいて、分岐点ＳＰの手前で、ガイドレール２ｂが途切れ、分岐点ＳＰ以後でガイドレール２ｂの代わりに、ガイドレール２ｃが使用される。また、搬送車１１が進行方向Ｄ２へ進行するための右側のガイドレールにおいて、分岐点ＳＰの手前で、ガイドレール２ａが途切れ、分岐点ＳＰ以後でガイドレール２ａの代わりに、ガイドレール２ｄが使用される。ガイドレール２ａ又は２ｂが途切れている距離は、少なくとも接続部１９の幅方向の長さに対応している。搬送車１１は、途切れたガイドレール２ａ又は２ｂ上を走行すると、ガイドレール２ａ又は２ｂの途切れた側に落ち込み、傾き体勢となる。また、ガイドレール２の途切れた箇所からの復帰時にも、走行ローラ１２がガイドレール２の先端（図１では、ガイドレール２ｃの下端やガイドレール２ｄの右下端）に乗り上げる際にも、衝撃でゆれ、傾き体勢となる。
【００３０】
本実施形態では、搬送車１１は、連結部１６により軌道に沿って連結された、２台の搬送車本体１１ａからなっている。各搬送車本体１１ａにおいて、下面の両側には、一対の走行ローラ１２が取り付けられている。一対の走行ローラ１２は、ガイドレール２上を転動する。
【００３１】
各搬送車本体１１ａにおいて、進行方向の前側及び後ろ側の上面の両側には、一対の体勢保持ローラ１３ａ，１３ｂが夫々取り付けられている。各体勢保持ローラ１３ａ，１３ｂは、後述のローラ受けレール２１に対向する位置に設けられている。各体勢保持ローラ１３ａ，１３ｂは、分岐点ＳＰの手前で、片側のガイドレールが途切れた箇所では、ローラ受けレール２１と接触することにより、搬送車本体１１が傾く状態、即ち傾き体勢を抑制しつつ、これを保持する。
【００３２】
体勢保持ローラの取り付け方向について、前側の一対の体勢保持ローラ１３ａは、進行方向の前側に向かって、内側に窄まるように、例えば軌道の曲がる方向に対応する角度で、取り付けられている。一方、後ろ側の一対の体勢保持ローラ１３ｂは、進行方向の後ろ側に向かって、内側に窄まるように、例えば軌道の曲がる方向に対応する角度で、取り付けられている。
【００３３】
図２において、一対の体勢保持ローラ１３ａ，１３ｂは、搬送車本体１１ａと一体形成される支持部１４，１５によって、外側方向から水平に支持されている。
【００３４】
図２に示すように、ローラ受けレール２１は、本実施形態に係る「ローラ受け」の一例であり、搬送車本体１１の上方に、軌道に沿って敷設されている。ローラ受けレール２１は、軌道の両側に設けられており、分岐点ＳＰの手前で、ガイドレール２ａ，２ｂが途切れた箇所に設けられている。一対のローラ受けレール２１は、一対の体勢保持ローラ１３ａ，１３ｂと接触することで、一対の体勢保持ローラ１３と共に、搬送車本体１１の傾き体勢を抑制しつつ、保持する。
【００３５】
次に、本実施形態に係る搬送車の動作について、引き続き図１及び図２を参照して説明する。図２（ａ）は、搬送車１１が一対のガイドレール２ａ，２ｂ上を走行する場合を示す正面図であり、図２（ｂ）は、搬送車１１が片側のみ設置されているガイドレール２ｂ上を走行する場合、即ち搬送車１１の傾き体勢を示す正面図である。
【００３６】
図２（ａ）に示すように、合流も分岐もしない軌道において、搬送車１１の一対の走行ローラ１２が両側のガイドレール２ａ，２ｂ上を転動されて、搬送車１１が水平の体勢で走行される。続いて、搬送車１１が進行方向Ｄ２へ進行するように、リニアモータに対してコンピュータ制御がなされると、図２（ｂ）に示すように、搬送車１１が、分岐点ＳＰの手前でガイドレール２ａが途切れた箇所に進入して、被搬送物が載置された搬送車本体１１ａが傾き体勢で走行される。この場合に、一対の体勢保持ローラ１３ａ，１３ｂのうち左側の体勢保持ローラが、対向するローラ受けレール２１と接触して、ローラ受けレール２１上を転動する。この後、搬送車１１が分岐点ＳＰを通過すると、再び図２（ａ）に示すように、搬送車１１が水平の体勢で走行される。
【００３７】
このように、本実施形態の搬送車によれば、搬送車本体１１ａの上面に取り付けられた体勢保持ローラ１３ａ，１３ｂを、搬送車本体１１の上方に、且つ分岐箇所に限って設けられたローラ受けレール２１と接触させることで、搬送車本体１１ａが傾くのを抑制しつつ、その傾き体勢を保持する。このため、小スペースに対応する簡単な構成により、被搬送物の振動を抑制することが可能である。
【００３８】
尚、本実施形態では、一対の体勢保持ローラは、前側或いは後ろ側に向かって内側に窄まるように斜めに取り付けられるが、ガイドレールが途切れた箇所で、曲がり方向側に向くように斜めに取り付けられてもよい。また、一対の体勢保持ローラは、各搬送車本体の前側及び後ろ側に夫々取り付けられるが、先頭の搬送車本体の前側、及び後尾の搬送車本体の後ろ側のみに取り付けられてもよい。更に、体勢保持ローラは、一対とせずに、片側にのみ設けられてもよい。
【００３９】
尚、本実施形態の搬送車本体１１ａの上面で、且つ一対の体勢保持ローラ１３の間に、図３に示すように、接触防止ローラ３１が設けられてもよい。接触防止ローラ３１は、例えば搬送車本体１１ａに載置された被搬送物より高い位置に設けられる。これにより、例えば搬送車本体１１ａが傾けられた衝撃により被搬送物が移動され、移動された被搬送物がローラ受けレール２１と連なる部材２０と接触するのを、防止することができる。
【００４０】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送車もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】実施形態に係る搬送車及び軌道を示す模式図である。
【図２】実施形態に係る搬送車の基本的な動作原理を示す原理図である。
【図３】実施形態に係る搬送車において、接触防止ローラを付加した例を示す正面図である。
【符号の説明】
【００４２】
２…ガイドレール、１１…搬送車、１１ａ…搬送車本体、１２…走行ローラ、１３…体勢保持ローラ、２１…ローラ受けレール
【図１】
2009046072.tif 000003
【図２】
2009046072.tif 000004
【図３】
2009046072.tif 000005