(57)【要約】【課題】ディスク上の潤滑剤が付着し難く、付着しても停留し難く及び蒸発し易い、磁気ディスク装置のヘッドスライダを提供する。【解決手段】磁気ディスク装置のヘッドスライダの空気軸受け面が、該スライダの流出端８０８側中央付近に形成されたセンタパッド８０６と、該センタパッドの流出端と該スライダの流出端８０８とを繋ぐように形成され、該センタパッドの最もディスクに近い面８０６ａよりも深く且つ該スライダの最も深く掘り込まれた溝８１４よりも浅い流出端パッド８１２と、を有し、該流出端パッド８１２と略同じ深さの面が該センタパッド８０６の幅方向の両脇に存在しないように構成される。【選択図】図８
2009076183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスク装置のヘッドスライダであって、該スライダの空気軸受け面が、
該スライダの流出端側中央付近に形成されたセンタパッドと、
該センタパッドの流出端と該スライダの流出端とを繋ぐように形成され、該センタパッドの最もディスクに近い面よりも深く且つ該スライダの最も深く掘り込まれた溝よりも浅い流出端パッドと、
を有し、該流出端パッドと略同じ深さの面が該センタパッドの幅方向の両脇に存在しないように構成されているヘッドスライダ。
【請求項２】
該流出端パッドの深さが、該センタパッドにおいて流入端側に設けられた、該センタパッドの最もディスクに近い面よりも一段深い面の深さと略同じである、請求項１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【請求項３】
該流出端パッドの深さが、該センタパッドの最もディスクに近い面に対して０.１μｍ以上である、請求項２に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【請求項４】
該スライダの流出端近傍に該流出端パッドよりも深さが深いパッドを有する、請求項１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【請求項５】
該流出端パッドの流出端エッジ部分が丸く形成され又は面取り加工されている、請求項１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【請求項６】
該スライダの流出端の端面に浮上量制御用ヒータ機構が埋め込まれている、請求項１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【請求項７】
該スライダの流出端の端面に潤滑剤蒸発用ヒータ機構が埋め込まれている、請求項１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【請求項８】
該スライダの流出端の端面に０．５〜２００μｍの掘り込み量の掘り込みが形成されている、請求項１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【請求項９】
磁気ディスク装置のヘッドスライダであって、
該スライダの流出端の端面に埋め込まれた浮上量制御用ヒータ機構と、
該ヒータ機構から発生する熱を該スライダの端面に伝達すべく該スライダに取付けられた伝熱板と、
を具備するヘッドスライダ。
【請求項１０】
磁気ディスク装置のヘッドスライダであって、該スライダの空気軸受け面が、
負圧を形成する負圧領域と、
該負圧領域を取り囲む幅方向に延伸する１本又は複数本のレールからなるレール部と、
を具備し、少なくとも１本のレールの深さが、最もディスクに近い面に対して０.１μｍ以上であるヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置におけるヘッドスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の磁気ディスク装置では、その高記録密度化に伴い、記録再生ヘッドと媒体との距離すなわち磁気スペーシングを低減することが強く望まれている。これを実現するため、記録再生ヘッドを搭載したスライダすなわちヘッドスライダの浮上量を低減することが求められており、近年のヘッドスライダでは浮上量が１０ｎｍを切っている。かかる低浮上化に伴い、ヘッドスライダにディスク上潤滑剤が付着する可能性が高くなって来ている。
【０００３】
図１は、従来のヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図であり、また、図２は、図１に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。回転する磁気ディスク（磁気記録媒体）に対向して配置されるヘッドスライダは、ディスクとスライダとの間に生ずる空気流を受けてディスクに対し所望の正圧及び負圧を得るように、その媒体対向面すなわち空気軸受け面（air bearing surface）に流入パッド１０２、二つのサイドレール１０４Ａ及び１０４Ｂ、センタパッド１０６等を備えている。
【０００４】
図１に示された従来のヘッドスライダでは、センタパッド１０６とスライダの流出端（スライダにおいて空気が流出する側の端）１０８との間に隙間１１０が設けられている（例えば、下記特許文献１参照）。また、従来の他のヘッドスライダでは、センタパッド全体が、ディスクに最も近い面よりも１段低い面（ステップ面と呼ばれる）によって囲まれている。
【０００５】
媒体に塗布された潤滑剤が何らかの原因でスライダ側に移着した場合、空気流の影響などにより、スライダ上を流動した後、図２に示されるようにセンタパッド１０６とスライダの流出端１０８との間の隙間１１０に液滴２１２として留まることがある。かかる液滴２１２は、スライダの浮上特性に影響を与え易い。また、溜まり続けた潤滑剤が大きな液滴に成長し、許容量を超えた場合、一気にスライダ上から排出されてディスク上に塊として落下し、その後、スライダが塊状の潤滑剤液滴に接触し、浮上が不安定になり、最悪の場合、クラッシュしてしまうこともある。また、前述のステップ面においても潤滑剤の停留が起こり易い。
【０００６】
図３は、従来の更に他のヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図であり、図４、図５及び図６は、図３に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。このヘッドスライダでは、図３及び図４に示されるように、負圧を形成するための部分（領域）すなわち負圧部分（負圧領域）３３０を囲うように形成されたレール３３２がある。図５に示されるように当該部分に潤滑剤５４０が付着し、その後、スライダ浮上面上を流動した後、図６に示されるように流出端近傍の浮上面上又はスライダの流出端の端面に潤滑剤溜まり６４２が生じる。溜まり続けた潤滑剤が大きな液滴に成長し、許容量を超えた場合、一気にスライダ上から脱離してディスク上に塊として落下し、その後、スライダが塊状の潤滑剤液滴に接触し、浮上が不安定になり、最悪の場合、クラッシュしてしまう。また、浮上が不安定にならなくても、潤滑剤液滴の膜厚により、当該部分をスライダが浮上した際の磁気スペーシングが増加してしまい、データを読み書きすることができないといった問題が発生することがある。
【０００７】
特に、スライダの負圧部分を囲うように形成されたレールは、スライダの幅方向のほぼ全体に渡って延伸しているため、当該部分に付着した潤滑剤が流出端方向に流れ去った場合、スライダのセンタパッド近傍のみならず、センタパッドよりもスライダの幅方向の両脇に近いところに溜まり易いという特徴がある。この潤滑剤がスライダ流出端の端面に移動した場合、やはりセンタパッドよりもスライダの幅方向の両脇に近いところに分布し、センタパッド近傍に搭載されたヒータ機構等によってこの潤滑剤を蒸発させることが困難であるという問題がある。
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−２９３７０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、スライダ上、特に流出端近傍に設けられたパッドに移着した潤滑剤が、流出端近傍に停留し難く連続的に流出端に排出され易いスライダを提供することにある。また、本発明は、スライダ表面に付着した潤滑剤が濡れ広がりやすく且つ蒸発しやすくすることで、潤滑剤ドロップに起因する浮上不安定化を引き起こしにくいスライダを提供することにある。更に、本発明の目的は、ステップ面でセンタパッド全周を囲うことによって引き起こされるディスク上潤滑剤のスライダ表面への付着を低減するスライダを提供することにある。
【００１０】
また、本発明の目的は、スライダ浮上面の負圧を形成するための負圧部分を囲うレール部に潤滑剤が付着しにくく、かつ、ヒータ加熱等によって潤滑剤を蒸発させることが困難な部位に潤滑剤が溜まり難いスライダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明によれば、磁気ディスク装置のヘッドスライダであって、該スライダの空気軸受け面が、該スライダの流出端側中央付近に形成されたセンタパッドと、該センタパッドの流出端と該スライダの流出端とを繋ぐように形成され、該センタパッドの最もディスクに近い面よりも深く且つ該スライダの最も深く掘り込まれた溝よりも浅い流出端パッドと、を有し、該流出端パッドと略同じ深さの面が該センタパッドの幅方向の両脇に存在しないように構成されているヘッドスライダが提供される。
【００１２】
一つの好適な態様では、該流出端パッドの深さが、該センタパッドにおいて流入端側に設けられた、該センタパッドの最もディスクに近い面よりも一段深い面、の深さと略同じである。
【００１３】
一つの好適な態様では、該流出端パッドの深さが、該センタパッドの最もディスクに近い面に対して０.１μｍ以上である。
【００１４】
一つの好適な態様では、該スライダの流出端近傍に該流出端パッドよりも深さが深いパッドを有する。
【００１５】
一つの好適な態様では、該流出端パッドの流出端エッジ部分が丸く形成され又は面取り加工されている。
【００１６】
一つの好適な態様では、該スライダの流出端の端面に浮上量制御用ヒータ機構が埋め込まれている。
【００１７】
一つの好適な態様では、該スライダの流出端の端面に潤滑剤蒸発用ヒータ機構が埋め込まれている。
【００１８】
一つの好適な態様では、該スライダの流出端の端面に０．５〜２００μｍの掘り込み量の掘り込みが形成されている。
【００１９】
また、本発明によれば、磁気ディスク装置のヘッドスライダであって、該スライダの流出端の端面に埋め込まれた浮上量制御用ヒータ機構と、該ヒータ機構から発生する熱を該スライダの端面に伝達すべく該スライダに取付けられた伝熱板と、を具備するヘッドスライダが提供される。
【００２０】
また、本発明によれば、磁気ディスク装置のヘッドスライダであって、該スライダの空気軸受け面が、負圧を形成する負圧領域と、該負圧領域を取り囲む幅方向に延伸する１本又は複数本のレールからなるレール部と、を具備し、少なくとも１本のレールの深さが、最もディスクに近い面に対して０.１μｍ以上であるヘッドスライダが提供される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によるヘッドスライダにあっては、潤滑剤が停留しやすい領域にパッドが設けられることにより、潤滑剤が塊状の液滴に成長する前に連続的に流出端方向に排出され、潤滑剤溜りによる浮上特性への影響が排除される。また、スライダ表面に付着した潤滑剤が濡れ広がり易く且つ蒸発しやすい状態に置かれるため、潤滑剤ドロップが防止され、ヘッドスライダの浮上安定性が向上する。更に、ステップ面でセンタパッド全周を囲うことによって引き起こされるディスク上潤滑剤のスライダ表面への付着が低減される。
【００２２】
また、負圧領域を囲うように形成された幅方向に長く延伸するレール部の掘り込み深さが深いことにより、ディスクとの距離が長くなり、ディスク上に塗布されている潤滑剤が当該レール部に付着しにくくなる。したがって、その後の流動により潤滑剤が流出端近傍に溜まることもなく、潤滑剤のドロップ現象、浮上の不安定現象、クラッシュ、データの読み書き障害等の問題が発生しにくくなり、超低浮上領域においても、安定した浮上特性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
最初に、図７を用いて、本発明に係るヘッドスライダが適用される磁気ディスク装置の概略構造を説明する。磁気ディスク装置は、読み書き素子（記録再生ヘッド）を搭載したヘッドスライダが回転型記録媒体上を浮上走行して読み書きする形態の記録装置の一種であり、図７は、内部構造を説明するため、矢印Ａで示される方向から取付けられるカバーが取り外された状態で示されている。
【００２４】
図７において、磁気記録媒体（磁気ディスク）７８０は、クランプ７８２によりスピンドルモータに固定され、稼働中、スピンドルモータによって駆動されて所定の回転速度で回転し続ける。その磁気記録媒体７８０上をｎｍオーダでヘッドスライダ７８４が浮上走行する。ヘッドスライダ７８４に搭載された読み書きヘッドは、磁気記録媒体７８０に対し所定の間隔を有して動作する。スライダ７８４は、一定の押し付け力をスライダ７８４に印加するサスペンション７８６を介して駆動アーム７８８に接続されている。駆動アーム７８８がボイスコイルモータ７９０により駆動されて磁気記録媒体７８０上をスキャンすることで、所望の位置にあるデータの読み書きが実現される。これらのコンポーネントは、ベース７９２に取付けられている。
【００２５】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図８は、本発明の第一実施形態に係るヘッドスライダの媒体対向面（空気軸受け面）側から見た斜視図であり、また、図９は、図８に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。なお、スライダ本体は、例えばアルミナチタンカーバイド（ＡｌＴｉＣ）からなり、記録再生ヘッドが形成される空気流出側端部は例えばアルミナからなり、イオンミリング、イオンエッチング等の従来から知られている方法で製造される。
【００２６】
スライダ上の潤滑剤の流動挙動は、主として空気膜のせん断応力ベクトル方向に沿う流れとなる。空気膜せん断力を生じさせる要因には、ディスクの周速方向に沿うクエット流（Couette flow）成分と、空気膜圧力の高い部分から空気膜圧力の低い部分に吹き降ろすポアズイユ流（Poiseuille flow）成分とがある。
【００２７】
スライダの流出端（空気が流出する側の端部をいう）の近傍では、これら２つの成分が拮抗し、せん断力ベクトルが逆流する領域が生ずる。その結果、せん断力が集中する淀み点が生じ、ここに潤滑剤が停留しやすくなる。図８に示されるヘッドスライダは、この潤滑剤が停留しやすい領域にパッドを設けることにより、空気膜せん断応力のクエット流成分を促進させ、空気膜せん断応力の淀み点を作らないように構成されている。
【００２８】
図８において、符号８０２は、スライダの流入端（空気が流入する側の端部をいう）側に形成された流入パッド、符号８０４Ａ及び８０４Ｂの各々は、流入パッド８０２から空気流の方向に延伸するサイドレール、符号８０６は、スライダ流出端８０８側中央付近に形成されたセンタパッド、を示す。また、符号８１２は、センタパッド８０６と一体的に形成された、本発明の特徴をなす流出端パッドを示す。
【００２９】
この流出端パッド８１２は、センタパッド８０６の流出端とスライダの流出端８０８とを繋ぐように形成され、センタパッド８０６の最もディスクに近い面８０６ａよりも深く且つスライダの最も深く掘り込まれた溝８１４よりも浅いものとなっている。そして、図８に示されるヘッドスライダは、流出端パッド８１２の深さと略同じ深さの面がセンタパッド８０６の幅方向の両脇に存在しないように構成されている。
【００３０】
図８に示されるヘッドスライダでは、図１に示されるような隙間１１０が存在せず、すなわち、潤滑剤が停留しやすい領域が排除されている。そのため、潤滑剤が塊状の液滴に成長する前に連続的に流出端方向に排出される。図９は、図２の場合と異なり、潤滑剤の液滴が生成されないことを示している。かくして、潤滑剤溜りによる浮上特性への影響という従来技術の問題点が解消される。
【００３１】
また、図８に示されるヘッドスライダでは、センタパッド８０６が、ステップ面８０６ｂ（ディスクに最も近い面８０６ａよりも１段低い即ち深い面）で全周が囲われる構造となっていないため、ディスク上潤滑剤のスライダ表面への付着が低減される。
【００３２】
図１０は、本発明の第二実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。同図において、符号１００２は流入パッド、符号１００２ａは流入パッド１００２の最もディスクに近い面、符号１００２ｂ及び１００２ｃは流入パッド１００２のステップ面（面１００２ａよりも１段深い面）を示す。また、符号１００６はセンタパッド、符号１００６ａはセンタパッド１００６の最もディスクに近い面、符号１００６ｂはセンタパッド１００６のステップ面（面１００６ａよりも１段深い面）を示す。また、符号１０１２は流出端パッドを示す。
【００３３】
図１０に示されるヘッドスライダにおいては、流出端パッド１０１２の深さが、センタパッド１００６において流入端側に設けられたステップ面１００６ｂの深さと略同じである。流出端パッド１０１２の深さをこのように設定しても潤滑剤排出効果が得られるところ、製造が容易になるという効果がある。さらに、流入パッド１００２のステップ面１００２ｂ及び１００２ｃも、流出端パッド１０１２及びセンタパッドステップ面１００６ｂの深さと同一の深さを有すれば、さらに効果が増大する。具体的には、流出端パッド１０１２の深さは、センタパッド１００６の最もディスクに近い面１００６ａに対して０.１μｍ以上である。
【００３４】
図１１は、本発明の第三実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。このヘッドスライダでは、スライダ流出端１１０８に、流出端パッド１１１２よりも深さが深いパッド１１１６Ａ及び１１１６Ｂが形成されている。流出端１１０８近傍での潤滑剤の溜まりを抑制することができる。
【００３５】
図１２は、本発明の第四実施形態に係るヘッドスライダにおける流出端パッドを示す斜視図である。同図に示されるヘッドスライダでは、流出端パッド１２１２の流出端エッジ部分１２１２ａが丸く形成されている。そのため、潤滑剤がより排出されやすいという効果がある。
【００３６】
図１３は、本発明の第五実施形態に係るヘッドスライダにおける流出端パッドを示す斜視図である。同図に示されるヘッドスライダでは、流出端パッド１３１２の流出端エッジ部分１３１２ａが面取り加工されている。そのため、図１２の実施形態と同様に、潤滑剤が排出されやすいという効果が得られるとともに、図１２の実施形態よりも容易に製造可能であるという効果がある。
【００３７】
図１４は、本発明の第六実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。同図に示されるように、流出端パッド１４１２の流出端はスライダ流出端１４０８の一部となるが、そのスライダ流出端１４０８の端面に、電熱線が浮上量制御用ヒータ機構１４２０として埋め込まれている。この浮上量制御用ヒータ機構１４２０は、通電により膨張してスライダのディスクに対する浮上量を低くする機能を実現するが、それと同時に、スライダ流出端へ排出されてきた潤滑剤を蒸発させる機能をも実現する。
【００３８】
潤滑剤を蒸発させるため、この浮上量制御用ヒータ機構１４２０は、潤滑剤が付着する可能性が高い、データの読出し及び書込みの後に駆動される。また、浮上量制御用ヒータ機構１４２０は、同様の理由で、ヘッドとディスクとの接触が検知された後に駆動される。また、浮上量制御用ヒータ機構１４２０には、ある一定値以上の電力が供給された後にも、潤滑剤の蒸発が促進されるように微弱な電力が供給されるようにすることが好ましい。さらに、スライダがあるトラックに対し一定時間浮上走行した際にも、潤滑剤が付着する可能性を考慮して、浮上量制御用ヒータ機構１４２０に電力が供給されるようにしてもよい。
【００３９】
図１５は、本発明の第七実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。図１４に示されるヘッドスライダと比較すると、図１５に示されるヘッドスライダでは、スライダの流出端１５０８（流出端パッド１５１２の流出端を含む）の端面に、浮上量制御用ヒータ機構１５２０に加え、潤滑剤蒸発用ヒータ機構１５２２が埋め込まれている。潤滑剤蒸発用ヒータ機構１５２２は、潤滑剤蒸発専用に設けられたもので、駆動条件としては、図１４に関して説明された浮上量制御用ヒータ機構の駆動条件と同様のものとなる。なお、浮上量制御用ヒータ機構を設けずに、潤滑剤蒸発用ヒータ機構のみ設ける構成としてもよい。
【００４０】
図１６は、本発明の第八実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。図１６に示されるヘッドスライダでは、スライダの流出端１６０８（流出端パッド１６１２の流出端を含む）において、埋め込まれたヒータ機構１６２０とスライダ流出端１６０８の端面との間（符号１６２４で示される付近）の物質がアルミナよりも熱伝導率の高い物質で構成されている。したがって、ヒータ機構１６２０からスライダ流出端１６０８へ熱が伝わりやすく、結果として潤滑剤の蒸発が効率よく行われる。なお、ヒータ機構１６２０は、浮上量制御用ヒータ機構若しくは潤滑剤蒸発用ヒータ機構のいずれか一方又はそれらの双方を示す。
【００４１】
図１７は、本発明の第九実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。図１７に示されるヘッドスライダでは、スライダの流出端１７０８（流出端パッド１７１２の流出端を含む）の端面に、数ミクロン〜数十ミクロン（具体的には０．５〜２００μｍ、好ましくは３〜５０μｍ）の掘り込み量の掘り込み１７２６が形成されている。この掘り込み１７２６による毛細管現象により、スライダ流出端に排出された潤滑剤が濡れ広がり易くなり、そのため、蒸発しやすくなる。その結果、潤滑剤ドロップが防止され、ヘッドスライダの浮上安定性が向上する。
【００４２】
図１７の例では、掘り込み１７２６が流出端パッド１７１２から始まりスライダの幅方向の両脇近傍まで延伸しているが、スライダの側面まで延伸させることで、側面における潤滑剤の濡れ広がりをも促進することができる。
【００４３】
また、図１７における掘り込み１７２６は、流出端パッド１７１２の浮上面（ディスクに対向する面）に接続しないように構成されている。これは、掘り込み１７２６を流出端パッド１７１２の浮上面まで接続させるとすると、コーナー（角）となる部分を形成することとなり、製造上の困難を伴う上、ディスクとの接触等により破損する可能性が増大するからである。
【００４４】
図１８は、本発明の第十実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。図１８に示されるヘッドスライダでは、スライダの流出端１８０８（流出端パッド１８１２の流出端を含む）の端面に、前述した掘り込み１８２６が形成されるとともに、前述した浮上量制御用ヒータ機構１８２０が埋め込まれている。
【００４５】
図１８に示されるヘッドスライダでは、浮上量制御用ヒータ機構１８２０の作用により温度が高くなると、潤滑剤は、その流動性が増大し、掘り込み１８２６に流れ込みやすくなる。そして、表面積の大きな掘り込み１８２６に流れ込んだ潤滑剤は、蒸発し易くなる。
【００４６】
以上説明したいずれの実施形態においても、潤滑剤が濡れ広がり易くするため、スライダの流出端の端面は、潤滑剤の表面自由エネルギよりも高い表面自由エネルギを有する材質で形成されることが好ましく、また、アルミナの表面自由エネルギよりも高い表面自由エネルギを有する材質で形成されることが好ましい。具体的には、表面自由エネルギが高い材質として、例えば、カーボン膜、金属膜等を使用して端面を形成する。
【００４７】
図１９は、本発明の第十一実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。同図において、符号１９４４は読み書きヘッドがある部分、符号１９２０は浮上量制御用ヒータ機構、符号１９４６は伝熱板、をそれぞれ示す。図１９に示されるスライダでは、空気軸受け面の中央（読み書きヘッドがある部分１９４４）が最も媒体に接近するので、スライダ流出端の端面に潤滑剤が堆積しやすい。そこで、伝熱板１９４６の幅Ｗは、センタパッドの空気軸受け面（ＡＢＳ）の幅の１倍以上にされ、その範囲が加熱され、潤滑剤が蒸発せしめられる。なお、伝熱板１９４６の幅Ｗは、スライダの幅の１倍未満とされている。このように、この実施形態では、ヒータの効果を高めるために、端面に伝熱板が設けられ、広い範囲で潤滑剤が加熱される。
【００４８】
図２０は、本発明の第十二実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。図１９に示されるヘッドスライダと比較すると、図２０に示されるヘッドスライダでは、ヒータ２０２０及び伝熱板２０４６が同様に設けられるが、伝熱板２０４６がスライダの側面まで延伸されることで、側面に堆積した潤滑剤も加熱され蒸発せしめられるように構成されている。
【００４９】
図２１は、本発明の第十三実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。図１９に示されるヘッドスライダと比較すると、図２１に示されるヘッドスライダでは、ヒータ２１２０及び伝熱板２１４６が同様に設けられるのに加え、中央の空気軸受け面を構成するセンタパッドに掘り込み（溝）２１２６が形成されている。そのため、掘り込み（溝）２１２６の毛細管現象により、センタパッドの流出端に堆積した潤滑剤がスライダ幅方向へと流し込まれる。かくして、センタパッドの流出端に堆積した潤滑剤が広く拡散せしめられ、蒸発が促進される。加えて、伝熱板２１４６の加熱作用により、一層蒸発を促進させることが可能となる。この場合、伝熱板２１４６の幅Ｗは、略スライダの幅と一致させる。
【００５０】
図２２は、本発明の第十四実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。図２１に示されるヘッドスライダと比較すると、図２２に示されるヘッドスライダでは、ヒータ２２２０、伝熱板２２４６及び掘り込み（溝）２２２６が同様に設けられるが、センタパッドに堆積した潤滑剤をより広い範囲に拡散させるため、掘り込み（溝）２２２６が蛇行形状に形成され、その長さが延長せしめられている。こうすることにより、掘り込み（溝）２２２６の単位面積当たりの潤滑剤の量が減るため、より一層潤滑剤の蒸発を促進させることができる。なお、前述の図１７及び図１８の実施形態においても、同様に、掘り込みを蛇行させるようにしてもよい。
【００５１】
図２３は、本発明の第十五実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図であり、図２４、図２５及び図２６は、図２３に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。この実施形態は、図３〜図６に示される従来のヘッドスライダに対応するものである。図２３及び図２４に示されるヘッドスライダでは、負圧領域２３３０を囲うように形成された幅方向に長く延伸するレール２３３２が設けられ、このレール２３３２の掘り込みの深さは、スライダ表面上で最もディスクに近い面（例えば、符号２３０６で示される面）に対して０．１μｍ以上掘り込まれた深さとなっている。
【００５２】
このように負圧領域を囲うように形成された幅方向に長く延伸するレール部の掘り込みの深さが深いことにより、ディスクとの距離が長くなり、その結果、図２５に示されるように、図５の場合と異なって、ディスク上の潤滑剤がレール２３３２に付着しにくくなる。当該部分に潤滑剤が付着しにくくなる結果、図２６の符合２６４２に示されるように、図６の場合と異なって、その後の流動により潤滑剤が流出端近傍に溜まることもなくなる。かくして、潤滑剤のドロップ現象、浮上の不安定現象、クラッシュ、データの読み書き障害等の問題が発生しにくくなり、超低浮上領域においても、安定した浮上特性を得ることができる。
【００５３】
図２７は、本発明の第十六実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図であり、図２８は、図２７に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。この第十六実施形態は、前述の第十五実施形態を変形したものである。同図において、符号２７３２及び２７３４は、負圧領域２７３０を複数重に囲うように形成された複数本のレールを示す。そして、そのうち少なくとも１本のレールであるレール２７３２の深さが、最もディスクに近い面に対して０.１μｍ以上となるように形成されている。
【００５４】
図２９は、本発明の第十七実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図であり、図３０は、図２９に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。この第十七実施形態は、前述の第十六実施形態と同様のものである。図２９及び図３０において、符号２９３２及び２９３４は負圧領域２９３０を複数重に囲うように形成された複数本のレールを示す。特に、レール２９３２は、掘り込み量が０．１μｍ以上の内側のレールを示し、レール２９３４は、掘り込み量が０．１μｍ以下である外側のレールを示している。そして、符号２９４８は、負圧領域２９３０を囲う複数本のレールの内の内側のレール２９３２と外側のレール２９３４とを繋ぐ、スライダの長手方向に延伸するレールを示している。
【００５５】
図３１は、本発明の第十八実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。この第十八実施形態は、前述の第十五〜十七実施形態に更なる特徴を付加したものである。同図において、符号３１５０は、第十五〜十七実施形態の特徴を有する浮上面形状を示し、符号３１２２は、潤滑剤を蒸発させるヒータ機構を示す。すなわち、このヘッドスライダでは、第十五〜十七実施形態の特徴が備えられるとともに、スライダ浮上面上のセンタパッドと流出端との間が、スライダ浮上面上で最もディスクに近い面よりも一段低い面を有するパッドにより繋げられており、スライダ流出端の端面に付着した潤滑剤がヒータでの加熱により蒸発せしめられるように構成されている。
【００５６】
以上、本発明を特にその好ましい実施の形態を参照して詳細に説明した。本発明の容易な理解のため、本発明の具体的な形態を以下に付記する。
【００５７】
（付記１）  磁気ディスク装置のヘッドスライダであって、該スライダの空気軸受け面が、
該スライダの流出端側中央付近に形成されたセンタパッドと、
該センタパッドの流出端と該スライダの流出端とを繋ぐように形成され、該センタパッドの最もディスクに近い面よりも深く且つ該スライダの最も深く掘り込まれた溝よりも浅い流出端パッドと、
を有し、該流出端パッドと略同じ深さの面が該センタパッドの幅方向の両脇に存在しないように構成されているヘッドスライダ。
【００５８】
（付記２）  該流出端パッドの深さが、該センタパッドにおいて流入端側に設けられた、該センタパッドの最もディスクに近い面よりも一段深い面の深さと略同じである、付記１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００５９】
（付記３）  該流出端パッドの深さが、該センタパッドの最もディスクに近い面に対して０.１μｍ以上である、付記２に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６０】
（付記４）  該スライダの流出端近傍に該流出端パッドよりも深さが深いパッドを有する、付記１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６１】
（付記５）  該流出端パッドの流出端エッジ部分が丸く形成され又は面取り加工されている、付記１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６２】
（付記６）  該スライダの流出端の端面に浮上量制御用ヒータ機構が埋め込まれている、付記１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６３】
（付記７）  該スライダの流出端の端面に潤滑剤蒸発用ヒータ機構が埋め込まれている、付記１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６４】
（付記８）  （ａ）データの読出し及び書込み後、（ｂ）ヘッドとディスクとの接触が検知された後、（ｃ）該ヒータ機構にある一定値以上の電力が供給された後、及び／又は（ｄ）該スライダがあるトラックに対し一定時間浮上走行した後、に該ヒータ機構が駆動される、付記６又は付記７に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６５】
（付記９）  該ヒータ機構と該スライダの流出端の端面との間の物質の熱伝導率がアルミナの熱伝導率よりも高い、付記６又は付記７に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６６】
（付記１０）  該スライダの流出端の端面に０．５〜２００μｍの掘り込み量の掘り込みが形成されている、付記１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６７】
（付記１１）  該掘り込みが該流出端パッドから始まり少なくとも該スライダの幅方向の両脇近傍まで延伸している、付記１０に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６８】
（付記１２）  該掘り込みが該流出端パッドの浮上面に接続していない、付記１０に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００６９】
（付記１３）  該スライダの流出端の端面に更に浮上量制御用ヒータ機構が埋め込まれている、付記１０に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００７０】
（付記１４）  該スライダの流出端の端面が、潤滑剤の表面自由エネルギよりも高い表面自由エネルギを有する材質で形成されている、付記１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００７１】
（付記１５）  該スライダの流出端の端面が、アルミナの表面自由エネルギよりも高い表面自由エネルギを有する材質で形成されている、付記１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００７２】
（付記１６）  該スライダの流出端の端面が、カーボン膜又は金属膜で形成されている、付記１に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００７３】
（付記１７）  該掘り込みが蛇行形状に形成されている、付記１０に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【００７４】
（付記１８）  磁気ディスク装置のヘッドスライダであって、
該スライダの流出端の端面に埋め込まれた浮上量制御用ヒータ機構と、
該ヒータ機構から発生する熱を該スライダの端面に伝達すべく該スライダに取付けられた伝熱板と、
を具備するヘッドスライダ。
【００７５】
（付記１９）  磁気ディスク装置のヘッドスライダであって、該スライダの空気軸受け面が、
負圧を形成する負圧領域と、
該負圧領域を取り囲む幅方向に延伸する１本又は複数本のレールからなるレール部と、
を具備し、少なくとも１本のレールの深さが、最もディスクに近い面に対して０.１μｍ以上であるヘッドスライダ。
【００７６】
（付記２０）  該負圧領域に対し最も内側のレールのみの深さが、最もディスクに近い面に対して０．１μｍ以上である、付記１９に記載の磁気ディスク装置のヘッドスライダ。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】従来のヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図２】図１に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。
【図３】従来の更に他のヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図４】図３に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。
【図５】図４と同様の平面図であってレールに付着した潤滑剤の様子を示す図である。
【図６】図４と同様の平面図であって潤滑剤の溜まりの様子を示す図である。
【図７】本発明に係るヘッドスライダが適用される磁気ディスク装置の概略構造を例示する図である。
【図８】本発明の第一実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図９】図８に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。
【図１０】本発明の第二実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図１１】本発明の第三実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図１２】本発明の第四実施形態に係るヘッドスライダにおける流出端パッドを示す斜視図である。
【図１３】本発明の第五実施形態に係るヘッドスライダにおける流出端パッドを示す斜視図である。
【図１４】本発明の第六実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図１５】本発明の第七実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図１６】本発明の第八実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図１７】本発明の第九実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図１８】本発明の第十実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図１９】本発明の第十一実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図２０】本発明の第十二実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図２１】本発明の第十三実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図２２】本発明の第十四実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図２３】本発明の第十五実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図２４】図２３に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。
【図２５】図２４と同様の平面図であってレールに潤滑剤が付着していない様子を示す図である。
【図２６】図２４と同様の平面図であって潤滑剤の溜まりが現れない様子を示す図である。
【図２７】本発明の第十六実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図２８】図２７に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。
【図２９】本発明の第十七実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【図３０】図２９に示されるヘッドスライダの媒体対向面側平面図である。
【図３１】本発明の第十八実施形態に係るヘッドスライダを媒体対向面側から見た斜視図である。
【符号の説明】
【００７８】
１０２    流入パッド
１０４Ａ、１０４Ｂ    サイドレール
１０６    センタパッド
１０８    スライダ流出端
１１０    隙間
２１２    液滴
３３０    負圧部分（負圧領域）
３３２    負圧部分（負圧領域）を囲うように形成されたレール
５４０    潤滑剤
６４２    潤滑剤溜まり
７８０    磁気記録媒体（磁気ディスク）
７８２    クランプ
７８４    ヘッドスライダ
７８６    サスペンション
７８８    駆動アーム
７９０    ボイスコイルモータ
７９２    ベース
８０２    流入パッド
８０４Ａ、８０４Ｂ    サイドレール
８０６    センタパッド
８０６ａ    ディスクに最も近い面
８０６ｂ    ステップ面
８０８    スライダ流出端
８１２    流出端パッド
８１４    スライダの最も深く掘り込まれた溝
１００２    流入パッド
１００２ａ    流入パッドの最もディスクに近い面
１００２ｂ、１００２ｃ    流入パッドのステップ面
１００６    センタパッド
１００６ａ    センタパッドの最もディスクに近い面
１００６ｂ    センタパッドのステップ面
１０１２    流出端パッド
１１０８    スライダ流出端
１１１２    流出端パッド
１１１６Ａ、１１１６Ｂ    流出端パッドよりも深さが深いパッド
１２１２    流出端パッド
１２１２ａ    流出端パッドの流出端エッジ部分
１３１２    流出端パッド
１３１２ａ    流出端パッドの流出端エッジ部分
１４０８    スライダ流出端
１４１２    流出端パッド
１４２０    浮上量制御用ヒータ機構
１５０８    スライダ流出端
１５１２    流出端パッド
１５２０    浮上量制御用ヒータ機構
１５２２    潤滑剤蒸発用ヒータ機構
１６０８    スライダ流出端
１６１２    流出端パッド
１６２０    ヒータ機構
１６２４    ヒータ機構とスライダ流出端の端面との間付近
１７０８    スライダ流出端
１７１２    流出端パッド
１７２６    掘り込み
１８０８    スライダ流出端
１８１２    流出端パッド
１８２０    浮上量制御用ヒータ機構
１８２６    掘り込み
１９２０    浮上量制御用ヒータ機構
１９４４    読み書きヘッドがある部分
１９４６    伝熱板
２０２０    浮上量制御用ヒータ機構
２０４６    伝熱板
２１２０    浮上量制御用ヒータ機構
２１２６    掘り込み（溝）
２１４６    伝熱板
２２２０    浮上量制御用ヒータ機構
２２２６    掘り込み（溝）
２２４６    伝熱板
２３３０    負圧領域
２３３２    負圧領域を囲うように形成されたレール
２７３０    負圧領域
２７３２、２７３４    負圧領域を複数重に囲うように形成された複数本のレール
３１２２    潤滑剤蒸発用ヒータ機構
【図１】
2009076183.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009076183.tif 000009
【図８】
2009076183.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2009076183.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2009076183.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2009076183.tif 000019
【図１８】
2009076183.tif 000020
【図１９】
2009076183.tif 000021
【図２０】
2009076183.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
2009076183.tif 000027
【図２６】
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【図２７】
2009076183.tif 000029
【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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