(57)【要約】【課題】絶縁層の伸縮による基板の湾曲や、絶縁層と基板との剥離を防止するとともに、端子どうしの間で絶縁性を高めた半導体装置を提供する。【解決手段】本発明の半導体装置１０は、一面に第一絶縁部１２が形成された半導体基板１１を有する。第一絶縁部１２には、第一導電部１３を覆う第二絶縁部１４が重ねて配される。第二絶縁部１４には第二導電部１５が重ねて配される。第二絶縁部１４には、第二導電部１５を覆う第三絶縁部１６が配される。互いに隣接する構造体１７どうしの間には、第三開口部１９が形成されている。この第三開口部１９は、第三絶縁部１６および第二絶縁部１４を貫通し、第一絶縁部１２を露呈させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面が第一絶縁部で覆われた半導体基板と、前記半導体基板の一面に配された第一導電部、前記第一絶縁部に重ねて配され、前記第一導電部を露呈させる第一開口部を有する第二絶縁部、前記第二絶縁部に重ねて配され、前記第一開口部で前記第一導電部に電気的に接続される第二導電部、前記第二導電部に重ねて配され、前記第二導電部の一部を露呈させる第二開口部を有する第三絶縁部、及び前記第二開口部に配された端子からなる構造体を、前記半導体基板上に複数個備えた半導体装置であって、
前記構造体のうち、隣接する位置にある少なくとも一組の構造体間には、前記第二絶縁部および前記第三絶縁部を貫通し、前記第一絶縁部を露呈させる第三開口部が配されてなることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記第三開口部は、互いに隣接する位置にある前記構造体どうしの間の少なくとも一部を分離するように形成されることを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記半導体装置を上から見たときに、前記構造体が前記端子を取り巻く独立した島状を成すように前記第三開口部が形成されることを特徴とする請求項２記載の半導体装置。
【請求項４】
隣接する前記構造体どうしは互いに繋がり、かつ前記構造体間に配された前記第三開口部どうしは互いに独立して形成されることを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項５】
一面が第一絶縁部で覆われた半導体基板と、前記半導体基板の一面に配された第一導電部、前記第一絶縁部に重ねて配され、前記第一導電部を露呈させる第一開口部を有する第二絶縁部、前記第二絶縁部に重ねて配され、前記第一開口部で前記第一導電部に電気的に接続される第二導電部、前記第二導電部に重ねて配され、前記第二導電部の一部を露呈させる第二開口部を有する第三絶縁部、及び前記第二開口部に配された端子からなる構造体を、前記半導体基板上に複数個備えた半導体装置であって、
前記構造体のうち、隣接する位置にある少なくとも一組の構造体間には、前記第二絶縁部を貫通し、前記第一絶縁部を露呈させる第三開口部を有し、
第三絶縁部は、隣接する位置にある少なくとも一組の構造体間で連なり、前記第三開口部を覆うことを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、配線基板（インタポーザ）などを使用しないウェハレベルＣＳＰ等において使用される半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の（半導体装置）では、例えば半導体チップを樹脂により封止し、この封止された樹脂周辺の側面部に金属リード線を配置した周辺端子配置型が主流であった。しかしながら、このパッケージ構造の場合、パッケージの面積が半導体チップの面積よりも大きくなってしまう。このため、近年では、いわゆるＣＳＰ（チップスケールパッケージ又はチップサイズパッケージ）と呼ばれるパッケージ構造が急速に普及しつつある。
【０００３】
このＣＳＰは、パッケージの平坦な表面に電極を平面状に配置する、いわゆるボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）技術の採用により、同一電極端子数を持つ同一投影面積の半導体チップを、従来よりも小さい面積で電子回路基板に高密度実装するものである。したがって、このＣＳＰは、パッケージの面積が半導体チップの面積にほぼ等しいため、電子機器の小型軽量化に大きく貢献することができる。
【０００４】
このようなＣＳＰは、回路を形成したシリコンウエハを切断し、切断された個々の半導体チップに対して個別にパッケージングを施し、完成させたものである。一方、ウエハレベルＣＳＰと呼ばれるパッケージ構造は、シリコンウエハ上に、絶縁層、再配線層（導電層）、封止層、はんだバンプ（端子）等を形成する。そして、最終工程においてウエハを所定のチップ寸法に切断することで、パッケージの面積を半導体チップの面積にほぼ等しくしたものである（例えば、特許文献１）。
【０００５】
こうした構造のＣＳＰでは、シリコンウエハなどの基板の上に、ほぼ全域に渡って絶縁層や封止層をを形成し、再配線層（導電層）の絶縁を保っていた。しかしながら、こうした絶縁層や封止層は樹脂等で形成されていることが殆どであり、硬化時の収縮や熱による伸縮によって基板との間に応力が生じ、基板が湾曲したり、絶縁層や封止層が基板から剥離してしまう虞があるといった課題があった。このため、例えば、特許文献２に記載された発明では、外部に露呈される端子（バンプ）ごとに、絶縁層や封止層に溝を形成して区画し、絶縁層や封止層の伸縮による基板の湾曲を低減した半導体装置が記載されている。
【特許文献１】特開２００４−２０７３６８号公報
【特許文献２】特開２０００−３５３７１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２に記載された半導体装置では、絶縁層や封止層に幅の狭い溝が形成されただけであるので、絶縁層や封止層の伸縮を完全に吸収することは困難であり、絶縁層や封止層の伸縮による基板の湾曲を確実に防止することは難しかった。また、外部に露呈される端子（バンプ）どうしの間は、幅の狭い溝によって区画されているだけなので、端子どうしが高密度に配されていると、端子どうしの間で短絡の懸念もあった。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、絶縁層の伸縮による基板の湾曲や、絶縁層と基板との剥離を防止するとともに、端子どうしの間で絶縁性を高めた半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１に記載の半導体装置は、一面が第一絶縁部で覆われた半導体基板と、前記半導体基板の一面に配された第一導電部、前記第一絶縁部に重ねて配され、前記第一導電部を露呈させる第一開口部を有する第二絶縁部、前記第二絶縁部に重ねて配され、前記第一開口部で前記第一導電部に電気的に接続される第二導電部、前記第二導電部に重ねて配され、前記第二導電部の一部を露呈させる第二開口部を有する第三絶縁部、及び前記第二開口部に配された端子からなる構造体を、前記半導体基板上に複数個備えた半導体装置であって、
前記構造体のうち、隣接する位置にある少なくとも一組の構造体間には、前記第二絶縁部および前記第三絶縁部を貫通し、前記第一絶縁部を露呈させる第三開口部が配されてなることを特徴とする。
本発明の請求項２に記載の半導体装置は、請求項１において、前記第三開口部は、互いに隣接する位置にある前記構造体どうしの間の少なくとも一部を分離するように形成されることを特徴とする。
本発明の請求項３に記載の半導体装置は、請求項２において、前記半導体装置を上から見たときに、前記構造体が前記端子を取り巻く独立した島状を成すように前記第三開口部が形成されることを特徴とする。
本発明の請求項４に記載の半導体装置は、請求項１において、隣接する前記構造体どうしは互いに繋がり、かつ前記構造体間に配された前記第三開口部どうしは互いに独立して形成されることを特徴とする。
本発明の請求項５に記載の半導体装置は、一面が第一絶縁部で覆われた半導体基板と、前記半導体基板の一面に配された第一導電部、前記第一絶縁部に重ねて配され、前記第一導電部を露呈させる第一開口部を有する第二絶縁部、前記第二絶縁部に重ねて配され、前記第一開口部で前記第一導電部に電気的に接続される第二導電部、前記第二導電部に重ねて配され、前記第二導電部の一部を露呈させる第二開口部を有する第三絶縁部、及び前記第二開口部に配された端子からなる構造体を、前記半導体基板上に複数個備えた半導体装置であって、
前記構造体のうち、隣接する位置にある少なくとも一組の構造体間には、前記第二絶縁部を貫通し、前記第一絶縁部を露呈させる第三開口部を有し、
第三絶縁部は、隣接する位置にある少なくとも一組の構造体間で連なり、前記第三開口部を覆うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の半導体装置によれば、第三絶縁部および第二絶縁部を貫通する第三開口部によって、第三絶縁部および第二絶縁部の伸縮による応力を吸収することができる。例えば、第三絶縁部や第二絶縁部の形成過程で、第三絶縁部や第二絶縁部の形成材料が固化していくと、この形成材料が収縮する。特に、第三絶縁部や第二絶縁部を樹脂で形成した場合には、固化過程での収縮が顕著となる。
【００１０】
こうした第三絶縁部や第二絶縁部が収縮すると、半導体基板と、第三絶縁部や第二絶縁部との間で大きな応力が生じ、半導体基板が湾曲してしまったり、応力が更に大きい場合には、第三絶縁部や第二絶縁部が半導体基板から剥離して、半導体装置自体が破損してしまう虞もある。
【００１１】
しかしながら、第三絶縁部および第二絶縁部と、半導体基板との伸縮率の違いにより生じた応力は第三開口部によって、効果的に緩和される。特に、こうした第三開口部は、第三絶縁部および第二絶縁部を貫通しつつ、第一絶縁部が露呈する程度まで底部が大きくされているので、第三絶縁部および第二絶縁部と、半導体基板との間に大きな応力が生じても、こうした大きな応力を吸収することができ、半導体基板が湾曲したり、第三絶縁部や第二絶縁部が半導体基板から剥離してしまうことを効果的に防止することが可能になる。
【００１２】
また、高密度に配列された端子どうしの間に第三開口部を形成することによって、電流のリークによる端子間の短絡など、電気的な異常導通を防止することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る半導体装置の一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本発明はこのような実施形態に限定されるものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１４】
図１（ａ）は、本発明の半導体装置の一例として、ＣＳＰ型の半導体装置の平面図である。また、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す半導体装置のＡ−Ａ線における断面図である。本発明の半導体装置１０は、一面に第一絶縁部（パッシベーション膜）１２が形成された半導体基板１１を有する。半導体基板１１の一部には、半導体基板１１に形成された集積回路（図示略）等と電気的に接続される電極（以下、第一導電部と言う）１３が形成される。また、第一絶縁部１２には、第一導電部１３を露呈させる電極開口部１２ａが形成されている。
【００１５】
第一絶縁部１２には第二絶縁部１４が重ねて配される。この第二絶縁部１４には、第一導電部（電極）１３の一部を露呈させる第一開口部１４ａが形成される。第二絶縁部１４には再配線層（以下、第二導電部と言う）１５が重ねて配される。この第二導電部（再配線層）１５は、第一開口部１４ａを介して第一導電部１３と電気的に接続される。
【００１６】
第二絶縁部１４には、第二導電部１５を覆う第三絶縁部（封止層）１６が配される。この第三絶縁部１６には、第二導電部１５の一部を露呈させる第二開口部１６ａが形成される。そして、第二導電部１５が第二開口部１６ａによって露呈された部分には、第二導電部１５と電気的に接続された端子（バンプ）１８が配される。
【００１７】
半導体基板１１上には、これら第一導電部１３、第二絶縁部１４、第二導電部１５、第三絶縁部１６、および端子１８からなる構造体１７が複数配されている。この実施形態では、これら構造体１７は、互いに接して形成されている。
【００１８】
互いに隣接する位置にある一組の構造体１７、１７どうしの間には、第三開口部１９が形成されている。この第三開口部１９は、第三絶縁部１６および第二絶縁部１４を貫通し、第一絶縁部１２を露呈させる
【００１９】
このような構成の本発明の半導体装置１０によれば、第三絶縁部１６および第二絶縁部１４を貫通する第三開口部１９によって、第三絶縁部１６および第二絶縁部１４の伸縮による応力の影響を小さくすることができる。例えば、第三絶縁部１６や第二絶縁部１４の形成過程で、第三絶縁部１６や第二絶縁部１４の形成材料が固化していくと、この形成材料が収縮する。特に、第三絶縁部１６や第二絶縁部１４を樹脂で形成した場合には、固化過程での収縮が顕著となる。
【００２０】
こうした第三絶縁部１６や第二絶縁部１４が収縮すると、半導体基板１１と、第三絶縁部１６や第二絶縁部１４との間で大きな応力が生じ、半導体基板１１が湾曲してしまったり、応力が更に大きい場合には、第三絶縁部１６や第二絶縁部１４が半導体基板１１から剥離して、半導体装置１０自体が破損してしまう虞もある。
【００２１】
しかしながら、こうした第三絶縁部１６および第二絶縁部１４と、半導体基板１１との伸縮率の違いにより生じた応力も、互いに接する構造体１７，１７どうしの間に形成した第三開口部１９によって、効果的に緩和される。特に、こうした第三開口部１９は、第三絶縁部１６および第二絶縁部１４を貫通しつつ、第一絶縁部１２が露呈する程度まで底部が大きくされているので、第三絶縁部１６および第二絶縁部１４と、半導体基板１１との間に大きな応力が生じても、こうした大きな応力の影響を受けにくくすることができ、半導体基板１１が湾曲したり、第三絶縁部１６や第二絶縁部１４が半導体基板１１から剥離してしまうことを効果的に防止することが可能になる。
【００２２】
同様に、半導体装置１０の使用時において温度変動があった際にも、比較的伸縮率の小さい半導体基板１１と、伸縮率の大きい第三絶縁部１６および第二絶縁部１４との間で応力が生じるが、こうした使用環境での温度変動による応力も、第三開口部１９によって効果的に緩和され、半導体基板１１の湾曲や、第三絶縁部１６や第二絶縁部１４が半導体基板１１から剥離してしまうことを効果的に防止することが可能になる。
【００２３】
また、構造体１７，１７どうしの間に第三開口部１９を形成することによって、電流のリークによる端子１８間の短絡など、電気的な異常導通を防止することもできる。さらに、第三開口部１９によって、半導体回路を成す第一導電部１３が形成された第一絶縁部１２を露呈させることにより、第一導電部１３近傍で生じた熱を効果的に放熱することもできる。
【００２４】
半導体基板１１は、例えば、シリコンウエハ等の半導体ウエハが好ましく用いられる。また、第一導電部１３は、銅、アルミニウムなどの導電性材料から構成されている。この第一導電部１３の厚みは、例えば０．３〜１．５μｍ程度であればよい。半導体基板１１を覆う第一絶縁部（パッシベーション膜）１２は、例えばＳｉＮなどを半導体基板１１の一面全体に形成したものであればよい。
【００２５】
第二絶縁部１４は、例えば、ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコン樹脂などの絶縁性樹脂が用いられればよい。また、こうした第二絶縁部１４は、例えば、スピンコート法、ラミネート法、印刷法などによって形成されれば良い。第二絶縁部１４の厚みは、例えば、３〜５０μｍ程度とされればよい。
【００２６】
第二導電部（再配線層）１５は、例えば、銅、アルミニウム、ニッケル、金等の導電性材料からなる。第二導電部１５は、例えば電解めっき、無電解めっきなどの方法で形成されれば良い。また、第二導電部１５の厚みは、例えば３〜５０μｍ程度であればよい。
【００２７】
第三絶縁部（封止層）１６は、例えば、ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコン樹脂などの絶縁性樹脂が用いられればよい。この第三絶縁部１６は、例えば、感光性の樹脂を用いてスピンコート法、ラミネート法などによって形成されれば良い。こうした第三絶縁部１６の厚みは、例えば３〜１５０μｍ程度にされればよい。
【００２８】
第三開口部１９は、第三絶縁部１６や第二絶縁部１４の形成後に、第三開口部１９を象ったレジストマスクを用いてエッチングにより形成したり、予め第三開口部１９の輪郭部分を除いて第三絶縁部１６や第二絶縁部１４を形成すればよい。
【００２９】
図２（ａ）は、本発明の半導体装置の別な一例を示す平面図である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す半導体装置のＡ−Ａ線における断面図である。この実施形態における半導体装置２０では、半導体基板２１の周縁付近に配された第一導電部（電極）２３から、半導体基板２１の中央領域に向けて延びるように第二導電部（再配線層）２５が形成されている。そして、この第二導電部２５の一端に端子（バンプ）２８が形成される。
【００３０】
第一導電部２３、第二絶縁部２４、第二導電部２５、第三絶縁部２６、および端子２８からなる構造体２７どうしは、半導体基板２１上に互いに離間して配され、これら構造体２７どうしの間には、第三絶縁部２６や第二絶縁部２４を貫通して、第一絶縁部（パッシベーション膜）２２を露呈させる第三開口部２９が形成される。この第三開口部２９は、個々の構造体２７を矩形に区画している。即ち、第三開口部２９は、互いに隣接する位置にある構造体２７どうしを構造的に分離する。
【００３１】
このような実施形態においても、個々の構造体２７を区画しつつ、第一絶縁部２２を露呈させる第三開口部２９を形成することによって、比較的伸縮率の小さい半導体基板２１と、伸縮率の大きい第三絶縁部２６および第二絶縁部２４との間で、温度変動などによって応力が生じても、第三開口部２９によって応力は効果的に緩和されるので、半導体基板２１の湾曲や、第三絶縁部２６や第二絶縁部２４が半導体基板２１から剥離してしまうことを効果的に防止することが可能になる。
【００３２】
なお、第三開口部は、端子（バンプ）を取り巻くように、第一導電部、第二絶縁部、第二導電部、第三絶縁部、および端子からなる構造体を有するように形成されても良い。端子を取り巻く第二絶縁部および第三絶縁部は、その一部が隣接する第二絶縁部および第三絶縁部と繋がっている構成（例えば図４参照）や、互いに離れている構成（例えば図３、５参照）のいずれであってもよい。
【００３３】
このように、第二絶縁部および第三絶縁部が残されるように第三開口部を形成することにより、第二絶縁部および第三絶縁部は不連続となり、これら第二絶縁部および第三絶縁部で生じる歪による半導体基板の湾曲が抑制可能である。
【００３４】
第三開口部の形状としては、例えば、図３に示すように、第一導電部、第二絶縁部、第二導電部、第三絶縁部、および端子からなる個々の構造体３７を島状に区画して、より広い範囲で第一絶縁部（パッシベーション膜）３２を露呈させ、応力を緩和する能力を高めた第三開口部３９を形成してもよい。構造体３７を島状に区画することで、構造体３７の面積は、図２に示す半導体装置の構造体２７よりも更に小さくすることができる。それぞれの島状の構造体の角部分は、面取り形状、曲面形状などにするのが好ましい。これにより、第二絶縁部および第三絶縁部で生じる歪を小さく抑えることができ、応力を緩和する能力が更に高められる。
【００３５】
なお、これら島状の構造体３７は、全てが独立して形成されている必要は無く、構造体どうしの間の少なくとも一部を分離させるように第三開口部３９が形成されていてもよい。これにより、端子どうしのピッチが一部だけ異なるような半導体装置とすることもできる。
【００３６】
また、例えば、図４に示すように、第一導電部、第二絶縁部、第二導電部、第三絶縁部、および端子からなる隣り合う構造体４７どうしが接し、これら構造体４７どうしの間に配された第三開口部４９が、互いに繋がらない独立した形状を成していてもよい。この実施形態では、構造体４７は屈曲面をもつ形状を成している。矩形の構造体の角を面取り形状、曲面形状などにすることで、図２に示す半導体装置の構造体２７のように歪が集中しやすい鋭角な角を無くすことができ、特定の箇所に応力が集中して半導体基板が湾曲することを防止できる。
【００３７】
さらに、図５に示すように、個々の端子（バンプ）５８を取り巻くように、第一導電部、第二絶縁部、第二導電部、第三絶縁部、および端子からなる構造体５７を、図３に示した実施形態よりも更に小さな島状になるように区画してもよい。これにより、第三開口部５９を大きくすることができ、第三開口部５９の応力を緩和する能力が更に高められる。
【００３８】
図６（ａ）は、本発明の半導体装置の別な一例として、ＣＳＰ型の半導体装置の平面図である。また、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示す半導体装置のＡ−Ａ線における断面図である。本発明の半導体装置６０は、一面に第一絶縁部（パッシベーション膜）６２が形成された半導体基板６１を有する。半導体基板６１の一部には、半導体基板６１に形成された集積回路（図示略）等と電気的に接続される電極（以下、第一導電部と言う）６３が形成される。また、第一絶縁部６２には、第一導電部６３を露呈させる電極開口部６２ａが形成されている。
【００３９】
第一絶縁部６２には第二絶縁部６４が重ねて配される。この第二絶縁部６４には、第一導電部（電極）６３の一部を露呈させる第一開口部６４ａが形成される。第二絶縁部６４には再配線層（以下、第二導電部と言う）６５が重ねて配される。この第二導電部（再配線層）６５は、第一開口部６４ａを介して第一導電部６３と電気的に接続される。
【００４０】
第二絶縁部６４には、第二導電部６５を覆う第三絶縁部（封止層）６６が配される。この第三絶縁部６６には、第二導電部６５の一部を露呈させる第二開口部６６ａが形成される。そして、第二導電部６５が第二開口部６６ａによって露呈された部分には、第二導電部６５と電気的に接続された端子（バンプ）６８が配される。
【００４１】
半導体基板６１上には、これら第一導電部６３、第二絶縁部６４、第二導電部６５、第三絶縁部６６、および端子６８からなる構造体６７が複数配されている。この実施形態では、これら構造体６７は、互いに接して形成されている。
【００４２】
互いに隣接する位置にある一組の構造体６７、６７どうしの間には、第三開口部６９が形成されている。この第三開口部６９は、第二絶縁部６４を貫通し、第一絶縁部６２を露呈させる。そして、第三絶縁部６６は、この第三開口部６９を覆い、互いに隣接する位置にある一組の構造体６７、６７どうしの間を一連に連なるように形成されている。即ち、第三絶縁部６６は、複数の構造体６７、６７に渡って広がる一連の層を成している。
【００４３】
このような構成とすることによって、半導体装置６０全体の絶縁性を高めるとともに、構造体６７、６７どうしの間を上面側で繋ぐ（覆う）第三絶縁部６６によって、半導体装置６０の強度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の半導体装置の一例を示す平面図および断面図である。
【図２】本発明の半導体装置の別な一例を示す平面図および断面図である。
【図３】本発明の半導体装置の別な一例を示す平面図である。
【図４】本発明の半導体装置の別な一例を示す平面図である。
【図５】本発明の半導体装置の別な一例を示す平面図である。
【図６】本発明の半導体装置の別な一例を示す平面図および断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  半導体装置、１１  半導体基板、１２  第一絶縁部、１３  第一導電部、１４  第二絶縁部、１４ａ  第一開口部、１５  第二導電部、１６  第三絶縁部、１６ａ  第二開口部、１７  構造体、１８  端子、１９  第三開口部。
【図１】
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【図２】
2009010260.tif 000004
【図３】
2009010260.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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