(57)【要約】【課題】アクチュエータユニットと配線部材とを異方性導電材を介在させた状態で圧着する際において導通を要する部分に対する荷重のばらつきを抑えて、より確実な導通を確保することができる圧電素子ユニットの製造方法、アクチュエータユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】複数の圧電素子２０を列設してなる圧電素子群２１を有するアクチュエータユニットと、各圧電素子に駆動信号を印加するためのフレキシブルケーブル２４とを、両者の間に異方性導電材であるＡＣＦ４１を介在させた状態で重ね合わせ、当該重ね合わせ部に対するヒートツール４４の押圧により熱圧着する熱圧着工程において、ヒートツールによる一度の押圧において、電気的に導通を要する部分に対する荷重を、導通を要しない部分に対する荷重よりも大きくした。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群を有するアクチュエータユニットと、各圧電素子に駆動信号を印加するための配線部材とを、両者の間に異方性導電材を介在させた状態で重ね合わせ、当該重ね合わせ部に対する熱圧着治具の押圧により熱圧着するアクチュエータユニットの製造方法であって、
前記接合治具による一度の押圧において、電気的に導通を要する部分に対する荷重を、導通を要しない部分に対する荷重よりも大きくしたことを特徴とするアクチュエータユニットの製造方法。
【請求項２】
前記熱圧着治具の押圧面において、前記導通を要する部分に対応する第１の押圧部を、前記導通を要しない部分に対応する第２の押圧部よりも押圧方向に突出させ、
前記重ね合わせ部に対する押圧時に、前記導通を要する部分に前記第１の押圧部が圧接するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータユニットの製造方法。
【請求項３】
前記導通を要する部分は、前記圧電素子群の外部電極と前記配線部材の配線端子との重ね合わせ部であり、
前記外部電極は、圧電素子毎に固有の個別外部電極と、各圧電素子に共通の共通外部電極とから構成され、
前記圧電素子群の配線接続面における後端側の隅角部に前記共通外部電極を設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータユニットの製造方法。
【請求項４】
複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群を有し、
請求項１から請求項３の何れか一項に記載のアクチュエータユニットの製造方法に基づいて圧電素子の外部電極と配線部材の配線端子が電気的に接続されたことを特徴とするアクチュエータユニット。
【請求項５】
請求項４に記載のアクチュエータユニットを備え、
当該アクチュエータユニットの各圧電素子の作動により液体を噴射することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクなどの液体（機能液体）を噴射させるのに好適なアクチュエータユニットの製造方法、アクチュエータユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドに関し、特に、圧電素子群とその圧電素子に駆動信号を供給する配線部材とを異方性導電材を用いて接合するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）には、例えば、共通インク室から圧力室を通りノズル開口に至るまでのインク流路を有する流路ユニットと、この流路ユニットの背面側に配置されて、圧力室の容積を変化させるための複数の圧電素子（圧電素子群）を有するアクチュエータユニットと、内部にアクチュエータユニットを収容可能な収容空部が形成されて、先端に流路ユニットが接合されるケースとを備えたものがある。
【０００３】
上記アクチュエータユニットは外部電極、具体的には、圧電素子毎の個別外部電極と各圧電素子に共通の共通外部電極を有しており、これらの外部電極に配線部材が電気的に接続され、この配線部材を通じて圧電素子に駆動信号が印加されるようになっている。この配線部材としては、例えば、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）等のフィルム状のものが好適に用いられる。
【０００４】
アクチュエータユニットの外部電極と配線部材の配線端子との接合に関し、以前では半田付けが主流であった。しかし、印刷の高精度化に伴って実装密度が高くなり、圧電振動子とフレキシブル基板との接合を半田で行うと、高密度実装の狭ピッチ化、小型化、多ノズル化等に対応することができなくなってきている。また、半田を用いると、フラックスの洗浄に用いているフロン系溶剤の規制や、半田の主成分であるＰｂレス化の要請に逆行することとなり、環境上からも好ましくない。さらに、半田接続の作業性や経年劣化を考慮すると、製造コストの増大や信頼性の低下を招くこととなる。
【０００５】
このような事情から、近年では、異方性導電材を用いてアクチュエータユニットの外部電極と配線部材を接合する方法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。異方性導電材は、エポキシ系の熱硬化樹脂等からなるペースト状或いはフィルム状の接着剤樹脂中に導電性粒子を分散させて構成される。導電性粒子としては、例えば、スズ−ニッケル合金、ニッケル等の金属からなる粒子や、スチレン、ジビニルベンゼン、ベンゾグアナミン等の核となる樹脂にニッケル又はニッケル・金メッキを施した粒子等が用いられる。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２８９２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記異方性導電材を用いてアクチュエータユニットの外部電極と配線部材を接合する場合、アクチュエータユニット上において外部電極を含むある程度幅を持った範囲に異方性導電材を塗布或いは貼付し、この異方性導電材を介在させた状態で外部電極とフレキシブルケーブルの配線端子を重ね合わせ、この重ね合わせ部をヒートツール（熱圧着治具）によって加熱しながら押圧することで熱圧着する。
【０００８】
この際、電気的な導通を要する部分に対するヒートツールによる押圧時の荷重の設定は、外部電極と配線端子との間の導通を確保する観点で重要である。即ち、電気的な導通を要する部分に対する荷重が足りないと、導電性粒子の端子・電極に対する接触面積を確保できずに電気抵抗が大きくなってしまう。逆に、導電性粒子が砕けてしまう程に荷重が大きすぎても、電気抵抗が却って大きくなってしまう。
【０００９】
ところが、上記ヒートツールでは、外部電極以外の部分（導通を要しない部分）も含む範囲を押圧するので、各部に対する荷重が均一になり難く、これにより、導通を要する部分における導電性粒子の端子・電極に対する接触面積にばらつきが生じ、十分な導通を確保できないという問題があった。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、アクチュエータユニットと配線部材とを異方性導電材を介在させた状態で圧着する際において導通を要する部分に対する荷重のばらつきを抑えて、より確実な導通を確保することができるアクチュエータユニットの製造方法、アクチュエータユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群を有するアクチュエータユニットと、各圧電素子に駆動信号を印加するための配線部材とを、両者の間に異方性導電材を介在させた状態で重ね合わせ、当該重ね合わせ部に対する熱圧着治具の押圧により熱圧着するアクチュエータユニットの製造方法であって、
前記接合治具による一度の押圧において、電気的に導通を要する部分に対する荷重を、導通を要しない部分に対する荷重よりも大きくしたことを特徴とする。
【００１２】
上記構成によれば、接合治具による一度の押圧において、電気的に導通を要する部分に対する荷重を、導通を要しない部分に対する荷重よりも大きくしたので、即ち、導通を要する部分に荷重が集中するようにしたので、導通を要する部分に対する荷重のばらつきを抑えて、接続抵抗値を安定化することができる。その結果、より確実な導通を確保することができる。
【００１３】
上記構成において、前記熱圧着治具の押圧面において、前記導通を要する部分に対応する第１の押圧部を、前記導通を要しない部分に対応する第２の押圧部よりも押圧方向に突出させ、
前記重ね合わせ部に対する押圧時に、前記導通を要する部分に前記第１の押圧部が圧接するようにすることが望ましい。
【００１４】
この構成によれば、熱圧着治具の押圧面を変更するのみで他の装置に変更を施すことなく熱圧着工程を行うことができる。
【００１５】
上記構成において、前記導通を要する部分は、前記圧電素子群の外部電極と前記配線部材の配線端子との重ね合わせ部であり、
前記外部電極は、圧電素子毎に固有の個別外部電極と、各圧電素子に共通の共通外部電極とから構成され、
前記圧電素子群の配線接続面における後端側の隅角部に前記共通外部電極を設ける構成を採用することができる。
【００１６】
この構成によれば、圧電素子群の配線接続面における後端側の隅角部に前記共通外部電極を設け、この共通外部電極に対応する部分に荷重が集中してより確実に圧着されるので、配線部材が剥がれやすい部分（即ち、圧電素子群の配線接続面における後端側の隅角部）を補強することができ、アクチュエータユニットから配線部材が剥離することを防止することができる。
【００１７】
本発明のアクチュエータユニットは、複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群を有し、
上記アクチュエータユニットの製造方法に基づいて圧電素子の外部電極と配線部材の配線端子が電気的に接続されたことを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の液体噴射ヘッドは、上記構成のアクチュエータユニットを備え、
当該アクチュエータユニットの各圧電素子の作動により液体を噴射することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。
【００２０】
図１は、本実施形態における記録ヘッド１の要部を拡大して示した断面図であり、図２は圧電素子ユニットの要部を拡大して示した断面図であり、図３は圧電素子ユニットの平面図である。また、図４はフレキシブルケーブル接合前の圧電素子群の平面図である。
【００２１】
記録ヘッド１は、ケース２、流路ユニット３、及び、圧電素子ユニット４等によって概略構成されている。ケース２は、上下が開放した合成樹脂製のブロック状部材であり、その内部には、開口形状がノズル列方向（素子列設方向（後述））に細長い収容空部５が形成されている。このケース２の先端面（下面）には流路ユニット３が接着等によって接合されており、収容空部５内には圧電素子ユニット４が収容され固定されている。また、ケース２において収容空部５の側方には、インクカートリッジや自己封止バルブなどのインク供給源からのインクを流路ユニット３のリザーバ側に導入するためのケース流路６がケース高さ方向を貫通した状態で形成されている。
【００２２】
流路ユニット３は、流路形成板７、ノズルプレート８、及び、弾性板９を積層して構成されている。ドット形成密度に対応したピッチで多数（例えば、３６０個）のノズル開口１０を列状に開設した薄手の板状部材であり、例えば、ステンレス板によって構成してある。このノズルプレート８に積層される流路形成板７には、ケース流路６を通して供給されたインクが流入するリザーバ１１、ノズル開口１０からインクを噴射させるために必要な圧力を発生させるための圧力室１２、これらのリザーバ１１と圧力室１２を連通するインク供給口１３等が形成されている。そして、本実施形態では、これらの各部は、シリコンウェハーをエッチング処理することにより形成されている。なお、流路形成板７の材料としてはシリコンには限定されず、金属製の板材によって構成してもよい。
【００２３】
弾性板９は、本実施形態では、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）等の高分子膜を弾性体膜１４としてステンレス板１５上にラミネートした二重構造である。そして、ステンレス板１５には、エッチング処理によって圧力室１２に対応する部分を島状に残した状態でその周囲を環状に除去して弾性体膜１４のみとすることで島部１６が形成されている。この島部１６は、その上面（圧力室１２とは反対側の面）に圧電素子の先端面が接合されるブロック状部であり、ドット形成密度に対応したピッチで圧力室１２と同数設けられる。
【００２４】
そして、ノズルプレート８を流路形成板７の一方の面側に配置すると共に、弾性板９を他方の面側に配置してノズルプレート８と弾性板９とで流路形成板７を挟み、接着等により一体化することで、流路ユニット３が形成されている。なお、この流路ユニット３において、上記の弾性板９は、圧力室１２やリザーバ１１の開口面を封止する封止材の一部を構成している。
【００２５】
上記の圧電素子ユニット４は、複数の圧電素子２０を列設してなる圧電素子群２１とステンレス板の固定板２２と圧電素子群２１を駆動するための駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル２４（本発明の配線部材の一種）とにより概略構成されている。なお、圧電素子群２１と固定板２２とにより、本発明におけるアクチュエータユニットを構成している。圧電素子群２１は、図２，３に示すように、素子先端側の自由端部２１ａを固定板２２の先端面２２ａから突出させて、固定端部２１ｂ側を固定板２２に固定している。即ち、この圧電素子群２１はいわゆる片持梁のような状態で固定板２２の先端面２２ａから素子先端を突出させて固定されている。また、圧電素子群２１において、圧電素子列設方向における両端部に位置する素子はダミー素子２８となっており、両ダミー素子２８の間に配置された各素子が駆動素子２９となっている。
【００２６】
ここで、駆動素子２９はインクの吐出（噴射）に関与する圧電素子であり、例えば、５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅のニードル状に切り分けられている。また、ダミー素子２８はインクの吐出に関与しない圧電素子であり、主に圧電素子ユニット４のケース２内における素子列設方向の位置を規定するために設けられている。本実施形態における圧電素子群２１の駆動素子２９は、素子長手方向に伸縮駆動する、いわゆる縦振動モードの圧電素子である。
【００２７】
駆動素子２９は、図２に示すように、共通内部電極３２と個別内部電極３３とを圧電体３１を挟んで交互に積層して構成されている。ここで、共通内部電極３２は全ての駆動素子２９に対して同じ電位レベルに設定される電極であり、個別内部電極３３は各駆動素子２９毎に電位レベルを設定するための電極である。そして、この駆動素子２９における素子先端から素子長手方向の３分の２程度から半分程度までの部分を自由端部２９ａとし、残りの部分を固定端部（後部）２９ｂとしている。
【００２８】
駆動素子２９の自由端部２９ａには、共通内部電極３２と個別内部電極３３とが間に圧電体３１を挟んで重なり合った活性領域（オーバーラップ部分）が形成されている。これらの内部電極３２，３３に電位差を与えたり放電すると、活性領域の圧電体３１が素子長手方向に変位して伸縮する。そして、共通内部電極３２の基端は駆動素子２９の後端面部で共通外部電極３７に導通しており、個別内部電極３３の先端は駆動素子２９の先端面部で個別外部電極３６に導通している。ここで、個別外部電極３６は、フレキシブルケーブル２４の先端側の個別配線端子２４ａ（配線端子の一種）と各個別内部電極３３とを導通する外部電極であり、共通外部電極３７はフレキシブルケーブル２４の個別配線端子２４ａよりも後端側の共通配線端子２４ｂ（配線端子の一種）と共通内部電極３２とを導通する外部電極である。なお、この駆動素子２９の両側に位置するダミー素子２８の基本的な構造は、前述した駆動端子２９の構造と同じであるが、ダミー素子２８は個別配線端子２４ａが接続されないので駆動パルスが印加されず、伸縮作動しない構成となっている。
【００２９】
上記のフレキシブルケーブル２４は、ポリイミドやポリエステル等の絶縁性フィルムの表面に、銅箔で導体パターンを形成するとともに、配線端子以外の部分をレジストで覆って構成されている。このフレキシブルケーブル２４の先端側は、上記圧電素子群２１の固定端部２１ｂにおける固定板２２を接合する固定板接合面とは反対側の配線接続面３８側に配置される。そして、後述する熱圧着治具（ヒートツール４４）を用いた熱圧着工程（配線工程）においてフレキシブルケーブル２４の個別配線端子２４ａ及び共通配線端子２４ｂと個別外部電極３６及び共通外部電極３７とが電気的に接続される。また、フレキシブルケーブル２４の後端側は、プリンタ本体側からの駆動パルスを中継する中継基板３９と電気的に接続される（図１）。
【００３０】
圧電素子ユニット４は、図１に示すように、記録ヘッド１への取付状態において、圧電素子２０（駆動素子２９）の先端面部が弾性板９の島部１６に当接した状態となっており、圧電素子２０の先端面部と島部１６とは接着剤によって接着される。
【００３１】
フレキシブルケーブル２４を通じて駆動素子２９に駆動パルスが印加されると、駆動素子２９は素子長手方向に伸縮し、これに伴って島部１６が圧力室１２から遠ざかる方向又は近づく方向に変位する。この島部１６の変位によって、圧力室１２は膨張或いは収縮して容積が変化する。ノズル開口１０からインク滴を吐出させる場合には、インク滴を吐出させるノズル開口１０に対応する圧電素子２０（駆動素子２９）に対して選択的に駆動信号を印加し、例えば、圧力室１２を一旦膨張させてから収縮させる。このようにすると、圧力室１２の膨張に伴ってリザーバ１１内のインクが圧力室１２に流入し、圧力室１２の収縮に伴って圧力室１２内のインクの圧力が高まり、これにより、ノズル開口１０から押し出されたインクがインク滴として噴射される。
【００３２】
次に、本実施形態におけるアクチュエータユニット、及びその製造方法について説明する。
【００３３】
本実施形態における圧電素子ユニット４は、前述したように、ステンレス等の金属製板材からなる固定板２２と、この固定板２２に固定される圧電素子群２１とから構成されるアクチュエータユニットに、圧電素子群２１の配線接続面３８に電気的に接続されるフレキシブルケーブル２４を取り付けて概略構成される。フレキシブルケーブル２４の個別配線端子２４ａは、フレキシブルケーブル２４の先端側に、圧電素子群２１の各駆動素子２９の個別外部電極３６毎に対応させて列設されている。一方、これらの個別配線端子２４ａの列設方向の両側であり、個別配線端子２４ａよりフレキシブルケーブル２４の後端寄りの位置には、圧電素子群２１の共通外部電極３７と接続される共通配線端子２４ｂが設けられている。
【００３４】
上記の圧電素子群２１には、図２に示すように、側面を除く配線接続面３８、先端面部、後端面部、及び固定板接合面に、各外部電極３６，３７が導電材料による蒸着やスパッタリングにより形成されている。個別外部電極３６は、各圧電素子２０（駆動素子２９）の先端面部と配線接続面３８とに一連に形成された外部電極であり、配線接続面３８側の部分においては駆動素子２９の先端側から後端近傍まで連続的に形成されている。この各個別外部電極３６における駆動素子２９の後端近傍に位置する部分（図３におけるハッチング部分）が、フレキシブルケーブル２４の個別配線端子２４ａと接合される部分となっている。
【００３５】
一方、共通外部電極３７は、圧電素子群２１の配線接続面３８、後端面部、及び固定板接合面に一連に形成された外部電極であり、配線接続面３８においては個別外部端子３６よりも圧電素子群２１の後端側に離れた位置から後端面部に向けて連続的に形成されている。具体的には、圧電素子群２１の後端側（固定端部側）の両隅角部に略四角形状に共通外部電極３７が形成されている。
【００３６】
アクチュエータユニットに対するフレキシブルケーブル２４の配線時には、配線接続面３８において圧電素子群２１の個別外電極３６と共通外電極３７を含む範囲、具体的には、図４においてハッチングで示すＡＣＦ貼付領域４２に、異方性導電材の一種であるＡＣＦ（Anisotropic Conductive Adhesive Film）４１を貼付し（図６参照。）、このＡＣＦ４１を介在させた状態で外部電極３６，３７とフレキシブルケーブル２４の配線端子２４ａ，２４ｂとを重ね合わせ、ＡＣＦ貼付領域４２に対応する部分をヒートツール４４（熱圧着治具の一種。図５，６参照。）によって加熱しながらフレキシブルケーブル２４の表面側からアクチュエータユニット側に押圧することで熱圧着する。また、図３に示すように、固定板２２の圧電素子群実装面における圧電素子群２１よりも後端側には、紫外線硬化型接着剤４３が塗布され、この紫外線硬化型接着剤４３によってもフレキシブルケーブル２４がアクチュエータユニットに接着固定されるようになっている。なお、異方性導電材としては、上記ＡＣＦに限られず、ペースト状のＡＣＰ（Anisotropic Conductive Adhesive Paste）を用いることもできる。
【００３７】
ここで、上記の配線時の熱圧着工程において、電気的な導通を要する部分、即ち、圧電素子群２１の外部電極３６，３７とフレキシブルケーブル２４の配線端子２４ａ，２４ｂとの重ね合わせ部に、ヒートツール４４による荷重が集中するようにしている。以下、この点について説明する。
【００３８】
図５は、ヒートツール４４の押圧面４４′を示す平面図である。同図に示すように、ヒートツール４４の押圧面４４′は、ＡＣＦ貼付領域４２に対応させて素子列設方向に細長い矩形を呈しており、その縦横の寸法は、ＡＣＦ貼付領域４２の寸法よりも大きく設定されている。また、この押圧面４４′において、導通を要する部分（圧電素子群２１の外部電極３６，３７とフレキシブルケーブル２４の配線端子２４ａ，２４ｂとの重ね合わせ部）に対応する部分を第１の押圧部４５とし、導通を要しない部分に対応する部分を第２の押圧部４６としている。そして、押圧面４４′において、第１の押圧部４５を、第２の押圧部４６よりも圧着時の押圧方向に突出させている。換言すると、第２の押圧部４６を第１の押圧部よりもヒートツール４４の押圧面４４′とは反対側の後端側に窪ませている。
【００３９】
図６は、上記のように構成されたヒートツール４４を用いてアクチュエータユニットにフレキシブルケーブル２４を熱圧着する様子を説明する断面図である。なお、同図は、共通外部電極３７に対応する位置における素子長手方向の断面図である。
【００４０】
同図に示すように、本実施形態における熱圧着工程では、電気的な導通を要する部分、即ち、圧電素子群２１の外部電極３６，３７とフレキシブルケーブル２４の配線端子２４ａ，２４ｂとの重ね合わせ部に第１の押圧部４５が圧接するように、ＡＣＦ貼付領域４２に対応する部分をヒートツール４４によってフレキシブルケーブル２４の表面側からアクチュエータユニット側に押圧する。このとき、第１の押圧部４５が第２の押圧部４６よりも突出しているので、押圧時の荷重が圧電素子群２１の外部電極３６，３７とフレキシブルケーブル２４の配線端子２４ａ，２４ｂとの重ね合わせ部に集中する。これにより、この部分におけるＡＣＦ４１の潰れ量が導通を要しない部分よりも大きくなり、ＡＣＦ４１の導電性粒子４１′の配線端子２４ａ，２４ｂ及び外部電極３６，３７に対する接触面積を十分に確保することができる。
【００４１】
一方、導通を要しない部分では、第２の押圧部４６によって、導通を要する部分に対する荷重よりも少ない荷重で熱圧着されるので、ＡＣＦ４１の接着剤樹脂の厚みを確保しつつ硬化させることができ、これにより十分な接合強度を得ることができる。また、要導通部分におけるＡＣＦ４１の一部が、第１の押圧部４５による押圧により、第２の押圧部４６側に流動するため、アクチュエータユニットとフレキシブルケーブル２４との間からＡＣＦ４１が漏れ出すことを抑制することができる。
【００４２】
以上のように、本発明に係るアクチュエータユニットの製造方法では、ヒートツール４４による一度の押圧において、電気的に導通を要する部分に対する荷重を、導通を要しない部分に対する荷重よりも大きくしたので、即ち、導通を要する部分にヒートツール４４による荷重が集中するようにしたので、熱圧着工程において導通を要する部分に対する荷重のばらつきを抑えることができる。これにより、導通を要する部分では、接続抵抗値を安定化することができ、より確実な導通を確保することができる。
【００４３】
また、圧電素子群２１の後端側（固定端部側）の両隅角部に共通外部電極３７を設けたので、この共通外部電極３７に対応する部分にヒートツール４４による荷重が集中してより確実に圧着されるので、フレキシブルケーブル２４が剥がれやすい部分（即ち、圧電素子群２１の配線接続面３８における後端側の隅角部）を補強することができ、アクチュエータユニットからフレキシブルケーブル２４が剥離することを防止することができる。
【００４４】
さらに、ヒートツール４４の押圧面４４′において、第１の押圧部４５を、第２の押圧部４６よりも圧着時の押圧方向に突出させ、熱圧着工程において電気的な導通を要する部分に第１の押圧部４５が圧接するようにしたので、ヒートツール４４の押圧面４４′を変更するのみで他の装置に変更を施すことなく熱圧着工程を行うことができる。
【００４５】
なお、以上では、液体噴射ヘッドとして、上記記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、本発明は、アクチュエータユニットとフレキシブルケーブルを異方性導電材を用いて接合する構成を採用する他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】記録ヘッドの要部断面図である。
【図２】圧電素子ユニットの要部を拡大して示す断面図である。
【図３】圧電素子ユニットの平面図である。
【図４】圧電素子群の平面図である。
【図５】ヒートツールの押圧面の構成を説明する平面図である。
【図６】ヒートツールを用いてアクチュエータユニットにフレキシブルケーブルを熱圧着する様子を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１…記録ヘッド，２…ケース，３…流路ユニット，４…圧電振動子ユニット，２０…圧電素子，２１…圧電振動子群，２１ａ…自由端部，２１ｂ…固定端部，２２…固定板，２４…フレキシブルケーブル，２４ａ…個別配線端子，２４ｂ…共通配線端子，２９…駆動素子，３６…個別外部電極，３７…共通外部電極，３８…配線接続面，４１…ＡＣＦ，４２…ＡＣＦ貼付領域，４４…ヒートツール，４５…第１の押圧部，４６…第２の押圧部
【図１】
2009056756.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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