(57)【要約】【課題】製造装置の設置作業を効率化する。【解決手段】複数のユニットをラインによって接続して構成される製造装置を設置する設置方法が開示される。前記配置方法は、それぞれラインとの接続部が複数のユニットのうち対応するユニットと同一の位置に設けられた複数の模型を複数のユニットのうち対応するユニットの設置予定位置に配置する工程と、ラインを敷設するとともに複数の模型にラインを接続する工程と、ラインを検査する工程と、検査で発見された不具合を解決する工程と、複数の模型に代えて複数のユニットを設置する工程と、複数のユニットにラインを接続する工程とを含む。【選択図】図２
2009010132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のユニットをラインによって接続して構成される製造装置を設置する設置方法であって、
それぞれ前記ラインとの接続部が前記複数のユニットのうち対応するユニットと同一の位置に設けられた複数の模型を前記複数のユニットのうち対応するユニットの設置予定位置に配置する工程と、
前記ラインを敷設するとともに前記複数の模型に前記ラインを接続する工程と、
前記ラインを検査する工程と、
前記検査で発見された不具合を解決する工程と、
前記複数の模型に代えて前記複数のユニットを設置する工程と、
前記複数のユニットに前記ラインを接続する工程と、
を含むことを特徴とする設置方法。
【請求項２】
前記ラインは、ケーブル、チューブおよびダクトの少なくとも１つを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の設置方法。
【請求項３】
前記複数のユニットの少なくとも一部のユニットは、前記検査のための検査器を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の設置方法。
【請求項４】
前記検査器は、ケーブルの断線検査、チューブのリーク検査、ケーブルの周囲における電磁ノイズの検査および用力検査の少なくとも１つを含む、ことを特徴とする請求項３に記載の設置方法。
【請求項５】
前記用力検査は、空気圧、冷却水温度および電力品質の検査の少なくとも１つを含む、ことを特徴とする請求項４に記載の設置方法。
【請求項６】
前記複数のユニットは、露光装置を構成する本体ユニットおよび光源ユニットを含む、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の設置方法。
【請求項７】
前記本体ユニットは、クリーンルームに配置され、前記光源ユニットは、前記クリーンルームが配置された階と異なる階に配置される、ことを特徴とする請求項６に記載の設置方法。
【請求項８】
複数のユニットをラインによって接続して構成される製造装置における前記複数のユニットのうちの１つの装置の模型であって、
前記ラインと接続する接続部と、
前記接続部に前記ラインが接続された状態で前記ラインを検査する検査器と、
を備え、前記接続部は、前記１つの装置の接続部と同一の位置に配置されている、
ことを特徴とする模型。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造装置を設置する設置方法および当該方法に好適な模型に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置を半導体製造工場に設置する際に、半導体製造装置に用力を提供するために、工場設備に接続された複数のラインが半導体製造装置に接続される。ここで、用力とは、例えば、製品の製造のために必要な電力、ガス、圧縮空気、排気、冷却水等を意味する。
【０００３】
従来、半導体製造工場への半導体製造装置の設置は、次のような手順でなされていた。まず、用力ラインを敷設する。次に、半導体製造装置を半導体工場のクリーンルーム内に搬入し設置する。次に、用力ラインと半導体製造装置とを接続する。
【０００４】
半導体製造装置のメーカーには、半導体製造装置を半導体工場へ搬入してから立上げ・引渡しまで短期間で行うことが要求される。しかしながら、近年、半導体製造装置の高精度化・高機能化・多機能化が進んだことにより必要な用力が増加し、その結果、用力ラインの接続工事が長期化する傾向にあった。
【０００５】
このような問題を解決するために、次のような設置手順が知られている。まず、半導体製造装置と外形寸法がほぼ同一で、用力ラインとの接続仕様（接続部品、接続部位置）が同じ装置模型を準備する。次に、装置模型を半導体製造装置が設置される位置に仮配置する。次に、装置模型の接続部付近まで用力ラインを敷設してその用力ラインを装置模型に仮接続する。次に、装置模型に仮接続した用力ラインを外して装置模型を撤去する。次に、半導体製造装置を装置模型が仮配置された位置に設置し、装置模型に仮接続されていた用力ラインを半導体製造装置に本接続する。
【０００６】
上記のような設置手順によれば、半導体製造装置の搬入・設置後に行なっていた用力ラインの接続工事を装置の搬入前に行うことができる。これにより、用力ラインの接続工事を行う業者が装置の搬入。設置待ちを待つ期間が削減され、装置の搬入から引渡しまでの期間を有効に活用して短期間で装置を半導体製造工場側に引き渡すことができていた。
【特許文献１】再公表ＷＯ０１／０１３４１１号公報
【特許文献２】特開２００６−１５７０３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、半導体製造装置の高精度化・高機能化・多機能化等により装置自体の規模が大きくなってきている。露光装置も同様で、露光装置の本体ユニットの規模が大きくなり、本体ユニット以外の電装ユニットや空調ユニット、圧縮空気・液体・ガス関連のユニットの規模も大きくなってきている。
【０００８】
また、半導体製造工場の生産性を上げるために、１台の装置によるクリーンルーム（メイン製造階）の占有スペースを最小限にするために、本体ユニットのみをクリーンルーム（メイン製造階）に配置することが多い。この場合、本体ユニット以外の電装ユニットや空調、圧空・液体・ガス関連のユニットは、クリーンルーム（メイン製造階）の下階にあるユーティリティー階のスペースに配置されうる。
【０００９】
したがって、クリーンルーム（メイン製造階）にある本体ユニットとユーティリティー階にある本体ユニット以外のユニットとの間には、多数のケーブル、チューブ、ダクトが配置される。また、ユーティリティー階にあるユニット同士を接続するケーブルも存在する。ユーティリティー階にあるユニットと工場設備との接続も存在する。そのために、半導体製造装置の設置期間は長期化する傾向にある。
【００１０】
そこで、例えばケーブルに関しては、クリーンルーム（メイン製造階）とユーティリティー階との間のケーブル敷設は、大規模な工事となるので、ケーブル敷設において、ケーブルを破損する可能性が全く無いとは言えない。
【００１１】
また、ケーブルの長さは、耐ノイズ性や電圧降下等で制限されているので、可能な限り短い方が好ましい。また、可能な限り短くなるようにユーティリティー階の電装ユニットや空調、圧縮空気・液体・ガス関連のユニットの配置を決定すべきである。また、ケーブルを長めに製作した場合、その余長処理方法を検討する必要がある。半導体製造工場では、余長処理を行うための空間を十分に確保できない場合もある。
【００１２】
したがって、ケーブルの長さは、装置ごとに最適な長さにする必要があり、ケーブルの長さも算出も重要になってきている。また、ケーブルの敷設時のケーブル位置決めを誤ると、ケーブルを装置の接続部に接続できない事態も起こりうるので、敷設作業は十分慎重に行う必要があり、作業に長時間を要する。
【００１３】
そこで、半導体製造装置が工場に搬入される前に、敷設されたケーブルの検査（例えば、断線チェック）を事前に行い、問題があれば新たなケーブルを敷設しておくことが望ましい。また、チューブ・ダクトに関しても、敷設後に検査を行い、問題があれば半導体製造装置の搬入前に対策をとることが望ましい。
【００１４】
以上のような問題は、半導体製造装置の設置にのみ限定されるものではなく、あらゆる製造装置について当てはまる。
【００１５】
本発明は、上記のような課題認識を契機としてなされたものであり、例えば、製造装置の設置作業を効率化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の第１の側面は、複数のユニットをラインによって接続して構成される製造装置を設置する設置方法に係り、前記配置方法は、それぞれ前記ラインとの接続部が前記複数のユニットのうち対応するユニットと同一の位置に設けられた複数の模型を前記複数のユニットのうち対応するユニットの設置予定位置に配置する工程と、前記ラインを敷設するとともに前記複数の模型に前記ラインを接続する工程と、前記ラインを検査する工程と、前記検査で発見された不具合を解決する工程と、前記複数の模型に代えて前記複数のユニットを設置する工程と、前記複数のユニットに前記ラインを接続する工程とを含む。
【００１７】
本発明の第２の側面は、複数のユニットをラインによって接続して構成される製造装置における前記複数のユニットのうちの１つの装置の模型に係り、前記模型は、前記ラインと接続する接続部と、前記接続部に前記ラインが接続された状態で前記ラインを検査する検査器とを備え、前記接続部は、前記１つの装置の接続部と同一の位置に配置される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、例えば、製造装置の設置作業を効率化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
【００２０】
なお、以下では、例示的に半導体デバイス等のデバイスの製造装置（露光装置）の設置について説明するが、本発明は、あらゆる製造装置の設置に有用である。
【００２１】
図１は、半導体製造工場に設置された製造装置（露光装置）を模式的に示す図である。露光装置は、よく知られているように、半導体デバイス等のデバイスを製造するためのリソグラフィー工程において使用されうる。
【００２２】
露光装置の本体ユニット１は、クリーンルーム（メイン製造階）に配置されうる。ここで、本体ユニット１は、例えば、原版を位置決めする原版ステージ機構、該原版を照明する照明光学系、該原版のパターンを基板に投影する投影光学系、該基板を位置決めする基板ステージ機構等を含みうる。
【００２３】
露光装置を構成する複数のユニットのうち、本体ユニット１以外のユニットとしては、例えば、光源ユニット（例えば、レーザーユニット）２、電装ユニット３および４、ならびに、空調・液冷ユニット５等を挙げることができる。本体ユニット１、光源ユニット２、電装ユニット３および４、ならびに、空調・液冷ユニット５は、クリーンルームが配置されたメイン製造階２０とは異なるユーティリティー階２１に配置されうる。本体ユニット１、光源ユニット２、電装ユニット３および４、ならびに、空調・液冷ユニット５は、相互にケーブル６によって接続されうる。
【００２４】
本体ユニット１と光源ユニット２とは、光源ユニット２から本体ユニット１に光を提供するためのチューブ７によって接続されている。本体ユニット１と空調・液冷ユニット５とは、空調用の液体（冷媒）を循環させるためのチューブ８およびダクト９によって接続されている。
【００２５】
工場設備１０は、露光装置を構成するユニット１、２、３、４、５に対して用力を供給する。ここで、用力は、例えば、電力、ガス、排気、圧縮空気、冷却水を意味する。電装ユニット４は、ケーブル１１を介して工場設備１０に接続されている。空調・液冷ユニット５は、チューブ１２およびダクト１３を介して工場設備１０に接続されている。ケーブル６および１１は、ケーブルトレイ１４によって固定される。
【００２６】
この明細書では、ケーブル、チューブ、ダクト等のようなユニット間またはユニットと工場設備とを接続するための構成を総称してラインと呼ぶ。図１に示す例では、ラインには、ケーブル６および１１、チューブ７、８および１２、ダクト９および１３が含まれる。
【００２７】
図２は、本発明の好適な実施形態の製造装置（露光装置）の設置方法を示す図である。ステップＳ１０１では、メイン製造階２０に構成されたクリーンルーム内における露光装置の本体ユニット１の配置、クリーンルームの下階にあるユーティリティー階２１における光源ユニット２、電装ユニット３および４、空調・液冷ユニット５の配置を決定する。また、ステップＳ１０１では、ライン、即ち、ケーブル６および１１、チューブ７、８および１２、ダクト９および１３の配置を決定する。ここで、耐ノイズ性や電圧降下を考慮すると、ケーブル６および１１の長さが可能な限り短くなるように、ユニット２〜５の配置が決定されるべきである。
【００２８】
ステップＳ１０２では、半導体製造工場にケーブルトレイ１４を敷設する。
【００２９】
ステップ１０３では、敷設すべきケーブルの長さを決定する。この決定は、図３に模式的に示すように、半導体製造工場に敷設したケーブルトレイ１４に沿って敷設すべきケーブルの長さを実測するか、半導体製造工場の設計ＣＡＤにケーブルトレイのデータを入力して、ＣＡＤ上で算出する方法がある。
【００３０】
ケーブルの長さは、耐ノイズ性や電圧降下を考慮すると、可能な限り短くすべきである。また、ケーブルを長めに製作した場合には、その余長処理方法を検討する必要があり、半導体製造工場では、その余長処理を行うための空間が十分に確保できない場合もある。よって、ケーブルの長さは、相応の精度で決定する必要がある。
【００３１】
ステップＳ１０４では、ステップＳ１０３で決定した長さを有するコネクタ付きのケーブル６および１１を製作する。
【００３２】
ステップＳ１０５では、図４に模式的に示すように、ユニット１〜５にそれぞれ対応する模型３１〜３５を半導体製造工場に配置する。ユニット１〜５の模型３１〜３５は、それぞれユニット１〜５の設置予定位置に配置される。模型３１〜３５は、複数のラインの少なくとも一部と接続するための接続部を有し、該接続部は、対応するユニットに設けられている接続部と同一の位置に設けられている。また、模型３１〜３５に設けられた接続部は、該模型３１〜３５に対応するユニット１〜５に設けられた接続部に接続されるラインと接続することができるように構成される。模型３１〜３５は、それらの接続部に接続されるラインを検査する検査機能を備えている。
【００３３】
図６は、本体ユニット１の模型３１を模式的に示す図である。模型３１は、ラインと接続するための接続部２０１〜２０３を備えている。より具体的には、模型３１は、ケーブル６、チューブ８およびダクト９とそれぞれ接続するための接続部２０１、２０２、２０３を備えている。なお、図４および図６に示す例では、光源ユニット２と本体ユニット１とを接続するチューブ７と接続するための接続部は、模型３１には設けられていない。これは、チューブ７については、接続検査の対象としていないからであって、これを接続検査の対象とする場合には、チューブ７と接続するための接続部が模型３１に設けられる。
【００３４】
模型３１は、更に、それに接続するラインの少なくとも一部を検査するための検査器を備えている。具体的には、模型３１は、接続部２０１に接続されたケーブル６を検査する検査器３０１、接続部２０２に接続されたチューブ８を検査する検査器３０２、接続部２０３に接続されたダクト９を検査する検査器３０３を備えている。なお、模型３２〜３５にも、模型３１と同様に、ラインを検査するための検査器が備えられうる。
【００３５】
ステップＳ１０６では、図４に模式的に示すように、ラインを半導体製造工場に敷設する。具体的には、ケーブル６および１１をケーブルトレイ１４に敷設する。ここで、メイン製造階２０に構成されたクリーンルームとその下階にあるユーティリティー階２２との間におけるケーブルの敷設は、上階のメイン製造階２０からケーブルを下階のユーティリティー階２２に送り込んで行うことが一般的である。この実施形態では、予め本体ユニット１の模型３１がメイン製造階２０のクリーンルームに配置されているので、ケーブル６の位置決めは、模型３１の接続部２０１にケーブル６のコネクタを接続することにより簡単に行うことができる。また、ステップＳ１０６では、他のライン、即ち、チューブ７、８および１２、ダクト９および１３も配置する。
【００３６】
ステップＳ１０６では、ラインの敷設に際して、ラインの位置決めのために、最初に当該ラインと本体ユニット１の接続部とが接続されうる。
【００３７】
ステップＳ１０７では、敷設したケーブル６および１１、チューブ７、８および１２、ダクト９および１３と該当する模型の接続部とを接続する。
【００３８】
ステップＳ１０８では、模型３１に搭載されている検査器３０１〜３０３並びに模型３２〜３５に搭載されている検査器を使って、ライン、即ち、ケーブル６および１１、チューブ８および１２、ダクト９および１３を検査する。この検査には、例えば、ケーブルの断線検査、チューブからの気体又は液体のリーク検査等が含まれうる。例えば、ケーブルトレイ１４へのケーブル６および１１の敷設の際にそれらに断線が発生する可能性があるので、この検査は重要である。
【００３９】
その他、敷設したケーブル６および１１の周囲における電磁ノイズの測定や、用力検査（例えば、空気圧、冷却水温度、電力品質等の検査）の長期的安定性や短期的変化を測定および検査することもできる。
【００４０】
ステップＳ１０９は、ステップＳ１０８の検査において不具合が発見された場合にそれを解決するように実施され、例えば、ケーブルに断線が見つかった場合には、そのケーブルを新たなケーブルと交換する。
【００４１】
ステップＳ１１０では、図５に模式的に示すように模型３１〜３５を撤去し、それらに代えて、図１に模式的に示すようにユニット１〜５をそれらの配置予定位置に設置する。
【００４２】
ステップＳ１１１では、ライン、即ち、ケーブル６および１１、チューブ８および１２、ダクト９および１３を該当するユニットの接続部に接続する。以上のステップによって半導体製造工場への露光装置の設置が完了する。
【００４３】
以上のような設置方法は、露光装置以外の他の半導体製造装置の設置にも適用可能であるし、半導体デバイス以外のデバイス、更には、他のあらゆる物品の製造のための製造装置の設置に適用することができる。
【００４４】
本発明の好適な実施形態によれば、製造装置を工場に設置する前に、該製造装置を構成するユニットの模型を配置して該模型を使ってラインを位置決めし配置することができる。これによって、ラインの配置作業を効率よく行うことができる。また、模型とラインとを接続した状態で該ラインを検査することにより、ラインの不具合を効率よく発見することができる。これによって、工場への製造装置の搬入前にラインを準備することができるので、工場への製造装置の搬入からその立上げまでに要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】半導体製造工場に設置された製造装置（露光装置）を模式的に示す図である。
【図２】本発明の好適な実施形態の製造装置（露光装置）の設置方法を示す図である。
【図３】製造装置（露光装置）の設置作業の途中段階を模式的に示す図である。
【図４】製造装置（露光装置）の設置作業の途中段階を模式的に示す図である。
【図５】製造装置（露光装置）の設置作業の途中段階を模式的に示す図である。
【図６】模型の構成例を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１：本体ユニット、２：光源ユニット、３：電装ユニット、４：電装ユニット、５：空調・液冷ユニット、６：ケーブル、７：チューブ、８：チューブ、９：ダクト、１０：工場設備、１１：ケーブル、１２：チューブ、１３：ダクト、１４：ケーブルトレイ、２０：メイン製造階、２１：ユーティリティー階、３１〜３５：模型
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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