(57)【要約】【課題】透明支持板の両面に接着した配線基板を、作業時間を低減し、紫外線の供給を改善して、側面からの紫外線照射により剥離させる。【解決手段】配線基板の製造工程における、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された配線基板を剥離させるための紫外線の照射方法であって、紫外線の照射前に、配線基板が接着された複数の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持し、その支持板保持治具を各透明支持板の側面が対向するような照射位置に配置し、支持板保持治具に保持された各透明支持板に対して紫外線を照射し、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から排出する。【選択図】図１
2009272384.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板の製造工程において、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された配線基板を剥離させるために、前記透明支持板を介して前記紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射する照射方法であって、
前記紫外線の照射の前に、前記配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持工程と、
前記複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部からの照射位置に前記各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を搬入させる搬入工程と、
前記支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射工程と、
前記照射工程が終了した前記支持板保持治具を、前記紫外線照射部の照射領域内の前記照射位置から排除する搬出工程と
を有することを特徴とする照射方法。
【請求項２】
前記照射工程には、所定の照射時間を計時する計時工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の照射方法。
【請求項３】
前記支持板保持工程では、前記支持板保持治具に前記各透明支持板を積層方向に並べて保持することを特徴とする請求項１又は２に記載の照射方法。
【請求項４】
前記各透明支持板の前記配線基板が接着される面は、長辺と短辺とを有する矩形の表面を有し、
前記支持板保持工程では、前記支持板保持治具に、前記各透明支持板の長辺側の側面が前記紫外線照射部の照射位置に位置付けられる様に、前記各透明支持板を並べて保持することを特徴とする請求項３に記載の照射方法。
【請求項５】
前記照射工程では、前記各透明支持板の長辺側の一側面に紫外線が照射される
ことを特徴とする請求項４に記載の照射方法。
【請求項６】
前記照射工程では、前記各透明支持板の２辺以上の側面に紫外線が照射される
ことを特徴とする請求項４に記載の照射方法。
【請求項７】
前記照射工程では、前記支持板保持治具に保持された前記各透明支持板に１枚ずつ個別に紫外線を照射する
ことを特徴とする請求項４〜６の何れか１項に記載の照射方法。
【請求項８】
前記搬出工程と、次の前記複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具の搬入工程の少なくとも一部が重複して同時に実施される
ことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の照射方法。
【請求項９】
透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布工程と、
前記透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着工程と、
前記配線基板の非接着面上に配線パターンを形成する形成工程と、
前記透明支持板の側面から紫外線を前記紫外線剥離型の接着剤に照射することにより前記配線基板を前記透明支持板から剥離させる剥離工程と
を有し、
前記剥離工程に請求項１〜８の何れか１項に記載の照射方法を含む
ことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１０】
前記形成工程中又はその前後の工程において、前記各透明支持板における紫外線が照射されない少なくとも一つの側面に、前記紫外線を反射する反射層を設ける工程を有する
ことを特徴とする請求項９に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１１】
前記形成工程中又はその前後の工程において、前記各透明支持板に接着される配線基板の接着面に、紫外線に対して高反射効率である金属層を形成する工程を有する
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１２】
透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布部と、
前記透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着部と、
前記配線基板の基材上に配線パターンを形成する形成部と、
紫外線を照射する光源を有し、該光源からの光を前記透明支持板の側面から前記紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射することにより前記配線基板を前記透明支持板から剥離させる剥離部と
を備え、
前記剥離部は、
前記紫外線の照射の前に、前記配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持具装着部と、
前記支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射部と、
前記複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部の照射位置に前記各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を搬入させると共に、前記照射工程が終了した前記支持板保持治具を、前記紫外線照射部の照射領域内の前記照射位置から搬出する搬送部と
を有することを特徴とする配線基板の製造装置。
【請求項１３】
前記配線基板の接着面には、銅板面が設けられ、該銅板面を紫外線に対する反射効率を高めるために研磨する研磨部を有する
ことを特徴とする請求項１２に記載の配線基板の製造装置。
【請求項１４】
前記配線基板の接着面における研磨された銅板面上に、紫外線に対して高反射効率であるアルミニウム又は銀の金属層を設ける反射膜形成部を有する
ことを特徴とする請求項１３に記載の配線基板の製造装置。
【請求項１５】
前記紫外線の光源は、高圧水銀ランプ又は紫外線レーザ発生装置である
ことを特徴とする請求項１２〜１４の何れか１項に記載の配線基板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持板の両面に配線をビルドアップする配線基板の製造方法及び製造装置に関し、特に、ビルドアップした当該配線基板を支持板から紫外線照射により剥離させる場合の紫外線の照射方法を含む製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ビルドアップ配線基板の製造方法として、金属製の支持板の表面にろう材の層を設けてからその上に配線構造をビルドアップし、その後にろう材の層を加熱して溶融させることで、ビルドアップ配線基板を支持板から剥離させる方法が知られている。しかし、そのような配線基板は、支持板と配線基板との膨張率には相違があることから、剥離させる際にろう材の層に加えられる熱により反りが発生する場合があった。このような配線基板の反りを抑制するために、ろう材の層に融点が配線基板の劣化許容範囲以下である低融点金属を用いて、剥離させる際には、そのろう材の層（低融点金属）を溶融させることができる温度を加えることで、配線基板の劣化を抑制しながら支持板から剥離させる方法が紹介されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、熱による反りの解決法としては、支持板の厚みを増加させる方法が知られている。例えば、支持板の厚みを増加させるために、２枚の金属製支持板を貼り合わせてからその両面に配線構造をビルドアップした後、金属製支持板を分離してからエッチングにより除去することで配線基板を製造する。この方法では、支持板の厚みが２倍になり、両面に配線構造を形成することで反りの応力が相殺するので、反りについては防止でき、さらに支持板の両面に同時に配線基板を製造するので製造効率を高められる（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
あるいは、上記した特許文献１の配線基板の熱による反りを抑制するために、接着部に紫外線剥離型の接着剤を用いる方法が知られている。その方法では、紫外線を透過する透明支持板の一面に紫外線剥離型の接着剤を塗布してから配線基板を形成した後に、その透明支持板の他面側から紫外線を照射して配線基板を剥離させる。さらに紫外線剥離型の接着剤を用いて、透明支持板の両面に配線基板を形成して、透明支持板の側面から紫外線を照射することで剥離させる方法も紹介されている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００４−１７２２９３号公報
【特許文献２】特開２００５−００５７４２号公報
【特許文献３】特開２００７−１５０１７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の方法においては、熱を加えることから、熱による影響（膨張率の相違による反り）を無くすことはできなかった。特許文献２の方法では、金属製支持板をエッチングで除去する時間が長く必要であった。特許文献３の方法では、紫外線を用いることから熱による影響を無くすことができ、支持板の除去にエッチング用の時間は必要ないが、透明支持板の両面に配線基板を形成して側面から紫外線を照射する場合には、全接着面の剥離に必要な紫外線を供給することが困難な場合があった。
【０００６】
特許文献３の方法で紫外線の供給が困難な場合とは、例えば、透明支持板が薄く、接着された面積が広い場合に、側面からの照射光束を透明支持板の側面の薄さに合わせて、例えばシリンドリカルレンズ等を用いて光束を基板の厚み方向に絞り込んで入射させるような場合である。その場合、透明支持板の中に入った光束は絞り込んだ焦点の先で広がりながら進行する。光束は透明支持板中を直進する場合も透過率に従って減衰するのが、広がりながら進行する場合にはさらに減衰する。透明支持板の中の光束は、紫外線剥離型の接着剤層を通過し、配線基板の表面（例えば金属膜層）に当たって反射することでさらに減衰し、光束の到達距離を減少させる。このように、紫外線の透過効率が悪く、全ての接着面に紫外線が十分に供給できない場合があり、その場合には、接着面を剥離できない部分が残る場合、又は、接着面の剥離に長時間が必要な場合があった。
【０００７】
そこで本発明は、上記の課題を解決するために、透明支持板の両面に接着した配線基板上に配線パターンを形成した後に側面から紫外線を照射して配線基板を剥離させる場合に、作業時間を低減でき、接着面への紫外線の供給を改善できる配線基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に係る照射方法は、配線基板の製造工程において、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された配線基板を剥離させるために、透明支持板を介して紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射する照射方法であって、紫外線の照射の前に、配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持工程と、複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部の照射位置に前記各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を搬入させる搬入工程と、支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射工程と、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から排除する搬出工程とを有する。請求項１の本発明によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、紫外線照射の作業時間を低減させることができる。
【０００９】
好ましくは、請求項２に係る本発明のように、照射工程には、所定の照射時間を計時する計時工程を含むようにしてもよい。本実施態様では、照射時間を計時することで配線基板の剥離に必要な紫外線照射を十分に無駄なく実施できる。
【００１０】
好ましくは、請求項３に係る本発明のように、支持板保持工程では、支持板保持治具に各透明支持板を積層方向に並べて保持するようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板を積層方向に並べて保持治具に保持することで、効率よく透明支持板の側面に紫外線を照射することができる。
【００１１】
好ましくは、請求項４に係る本発明のように、各透明支持板、の前記配線基板が接着される面は、長辺と短辺とを有する矩形の表面を有し、支持板保持工程では、支持板保持治具に、各透明支持板の長辺が紫外線照射部の照射位置に位置付けられる様に、各透明支持板を並べて保持するようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板の長辺側側面から紫外線を入射させることで、短辺から入射させるよりも多くの紫外線を入射させることができる。
【００１２】
好ましくは、請求項５に係る本発明のように、照射工程では、各透明支持板の長辺側の一側面に紫外線が照射されるようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板の長辺側側面から紫外線を入射させることで、短辺から入射させるよりも多くの紫外線を入射させることができることに加え、紫外線の光路長が短くなるので減衰量を減らすことができ、紫外線の光源を比較的低出力にすることができる。
【００１３】
好ましくは、請求項６に係る本発明のように、照射工程では、各透明支持板の２辺以上の側面に紫外線が照射されるようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板の２辺以上の側面から紫外線を照射することで、外線の光路長が短くなるので減衰量を減らすことができ、紫外線の光源を比較的低出力にすることができ、紫外線の照射ムラ、剥離残り等を減少させることができる。
【００１４】
好ましくは、請求項７に係る本発明のように、照射工程では、支持板保持治具に保持された各透明支持板に１枚ずつ個別に紫外線を照射するようにしてもよい。本実施態様では、複数枚の透明支持板に１枚ずつ紫外線を照射することで、各透明支持板に同様に紫外線を照射でき、照射出力を必要最小限にすることができる。
【００１５】
好ましくは、請求項８に係る本発明のように、搬出工程と、次の前記複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具の搬入工程の少なくとも一部が重複して同時に実施されるようにしてもよい。本実施態様では、前の支持板保持治具の搬出工程と、次の支持板保持治具の搬入を同時に実施することで、照射工程の作業効率を向上させることができる。
【００１６】
また、上記課題を解決するために、本発明の請求項９に係る配線基板の製造方法は、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布工程と、透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着工程と、配線基板の非接着面上に配線パターンを形成する形成工程と、透明支持板の側面から紫外線を紫外線剥離型の接着剤に照射することにより配線基板を透明支持板から剥離させる剥離工程とを有し、剥離工程に請求項１〜８の何れか１項に記載の照射方法を含むことを特徴とする。請求項１１の本発明によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減できる。
【００１７】
好ましくは、請求項１０に係る本発明のように、形成工程中又はその前後の工程において、各透明支持板における紫外線が照射されない少なくとも一つの側面に、紫外線を反射する反射層を設ける工程を有するようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板の紫外線が入射しない側面に反射層を設置することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができる。
【００１８】
好ましくは、請求項１１に係る本発明のように、形成工程中又はその前後の工程において、各透明支持板に接着される配線基板の接着面に、紫外線に対して高反射効率である金属層を形成する工程を有するようにしてもよい。本実施態様では、各配線基板の接着面に金属層を設けることで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させ、照射光源出力を低減させることができる。
【００１９】
また、上記課題を解決するために、本発明の請求項１２に係る配線基板の製造装置は、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布部と、透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着部と、配線基板の基材上に配線パターンを形成する形成部と、紫外線を照射する光源を有し、該光源からの光を透明支持板の側面から紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射することにより配線基板を透明支持板から剥離させる剥離部とを備え、剥離部は、紫外線の照射の前に、配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持具装着部と、支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射部と、複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部の照射位置に前記各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を搬入させると共に、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から搬出する搬送部とを有する。請求項１６の本発明によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減できる。
【００２０】
好ましくは、請求項１３に係る本発明のように、配線基板の接着面には、銅板面が設けられ、形成部において、該銅板面を紫外線に対する反射効率を高めるために研磨する研磨部を有するようにしてもよい。本実施態様では、各配線基板の接着面に研磨された銅板面が設けられるので、紫外線が高率で反射され、照射工程の作業効率を向上させ、照射光源出力を低減させることができる。
【００２１】
好ましくは、請求項１４に係る本発明のように、配線基板の接着面における研磨された銅板面上に、紫外線に対して高反射効率であるアルミニウム又は銀の金属層を設ける反射膜形成部を有するようにしてもよい。本実施態様では、各配線基板の接着面に設けられた研磨された銅板面上に、さらにアルミニウム又は銀の金属層が貼り付けまたは蒸着により設けられるので、紫外線はさらに高率で反射され、照射工程の作業効率もさらに向上し、照射光源出力をいっそう低減させることができる。
【００２２】
好ましくは、請求項１５に係る本発明のように、紫外線の光源は、高圧水銀ランプ又は紫外線レーザ発生装置であるようにしてもよい。本実施態様では、光源を高圧水銀ランプ又は紫外線レーザ発生装置とすることで、紫外線の発生量及び発生効率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の照射方法、配線基板の製造方法及び製造装置によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の照射方法、配線基板の製造方法及び製造装置の実施の形態について、以下に図面を用いながら詳細に説明する。
【００２５】
＜第１実施形態＞
図１（ａ）は、本発明の第１実施形態の配線基板の製造工程における概略の構成及び製造順序を示す図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）の照射工程５３における紫外線光源及び計時部を示す図である。図１（ａ）の製造工程において、貫通孔形成工程１では、配線基板の基材を貫通して両面の銅板層を導通させると共に当該基材に配線パターンを形成する場合の基準位置になる貫通孔（スルーホール又は層間ビア）を例えば３か所以上形成する。このように配線基板の配線パターンを形成する前に、配線基板の層間を接続する貫通孔を３か所以上形成しておき、その貫通孔の位置に基づき配線パターンのマスクを介して露光させて配線パターンを形成することにより、積層型の多層基板を形成することができる。
【００２６】
尚、本実施形態の各透明支持板に接着される配線基板の接着面には、紫外線を反射できる金属層（銅板層）が形成されている。従って、各配線基板の接着面に金属層が設けられることで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させ、照射光源出力を低減させることができる。銅板面研磨工程２では、配線基板の基材における後工程で接着材が塗布される側の銅板層を可能な限り滑らかにして紫外線の反射効率を高めるように鏡面研磨する。この配線基板の接着面に設けられた銅板面を紫外線に対する反射効率を高めるために研磨することにより、紫外線が高率で反射され、照射工程の作業効率をより向上させ、照射光源出力もより低減させることができる。
【００２７】
反射膜形成工程３では、鏡面研磨された銅板層の表面に、銅の表面に対して紫外線の反射効率が高いアルミニウム又は銀の反射膜を、蒸着又は金属箔の貼り付けにより形成する。この配線基板の接着面における研磨された銅板面上にアルミニウム又は銀の金属層を設ける反射膜形成工程を形成することにより、各研磨された銅板面上に、さらにアルミニウム又は銀の金属層が貼り付けまたは蒸着により設けられるので、紫外線はさらに高率で反射され、照射工程の作業効率もさらに向上し、照射光源出力をいっそう低減させることができる。接着剤塗布工程４では、配線基板の基材を支持する透明支持板の両面に後述する紫外線剥離型の接着剤を塗布する。基材接着工程５では、接着剤が塗布された透明支持板の両面に、配線基板の基材における反射膜が形成された面を対向させて接着する。
【００２８】
配線パターン形成工程６では、配線基板の基材における接着されない表面上に配線パターンを形成する。基材の表面上には、必要に応じて多層の配線パターンが形成される。貫通孔形成工程４１では、例えば、アディティブ法により配線パターンを形成したくない部分にレジストを形成してメッキ等により貫通孔用の突起部又は配線パターンを形成する。さらに、貫通孔形成工程４１では、必要に応じて、多層を貫通して各層の配線パターンを導通させる貫通孔を形成する。露光工程４２では、例えば、表面に塗布された感光性のフォトレジストに対して、配線パターンに基づいてマスキングした状態で露光する。これにより、基材表面の銅板層上のフォトレジスト層は、配線パターンに該当する部分のみの保護機能が有効になり、他の部分はエッチングに対して保護されなくなる。保護膜形成工程４３では、例えば、貫通孔（スルーホール）等の通常の配線パターン以外の配線要素部に対するレジスト膜を塗布等により形成する。エッチング工程４４では、フォトレジスト層及び／又はレジスト膜等が形成された基材表面の銅板層をエッチングする。これにより、基材表面上には配線パターンが形成される。エッチング終了後、必要に応じて基材表面のフォトレジスト層及び／又はレジスト膜等は除去される。
【００２９】
ビルドアップ型の多層配線基板用に基材の表面上に多層の配線パターン及び絶縁層を形成する場合は、上記のように形成された配線パターンの所定箇所に貫通孔用の導体を立設し、その後に、配線パターンの表面上に絶縁層を形成し、さらにその上に次の層の配線パターンを形成する。この場合の配線パターンは、例えば、配線パターンを形成したくない部分にレジストを形成してメッキ等により配線パターンを形成するアディティブ法により形成してもよい。新たな層（上層）に形成された配線パターンは、貫通孔用の導体により下層の配線パターンと導通する。３層以上の多層基板では、上記の絶縁層と配線パターンの形成工程が繰り返される。
【００３０】
基板分割工程７では、個別の同様な配線パターンが形成された配線基板を多数取りした集合基板を、個別の配線パターンを有する配線基板に分割する。これは、基板のパターン形成段階においては、パターン形成の効率を高めるために集合基板の状態で配線パターンを形成しておき、基板を透明支持板から剥離する段階では、各個別の配線基板の状態で剥離させるため、個別の配線基板に分割するものである。反射層形成工程８では、両面に配線基板の基材が接着された透明支持板の側面の内、後段で紫外線が照射されない側面に対して、紫外線の反射効率が高いアルミニウム又は銀の反射膜を、蒸着又は金属箔の貼り付けにより形成する。これにより、各透明支持板における紫外線が照射されない少なくとも一つの側面に、紫外線を反射する反射層を設けることにより、各透明支持板の紫外線が入射しない側面に反射層を設置することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができる。
【００３１】
基板剥離工程９では、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された各配線基板を剥離させるために、透明支持板の側面を介して紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射する。支持板保持部装着工程５１では、紫外線の照射の前に、配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する。
搬入工程５２では、複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、その紫外線照射部からの照射位置に各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を手作業、ロボット、又はコンベア等の搬送装置を用いて搬入させる。より詳しくは、配線基板が接着された複数の透明支持板を、積層方向の同じ向きに並ぶようにして、図２に示す支持板保持治具に設置する。これにより、各透明支持板の同じ側面が同じ方向に向く。
【００３２】
照射工程５３では、支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板の少なくとも同じ一側面に対して、紫外線光源６１から出射した紫外線を照射する。紫外線光源６１は、一般的な光源と比較して可視光よりも紫外線を多く出力する光源であり、例えば、高圧水銀ランプ又は紫外線レーザ発生装置である。これにより本実施形態の光源は、紫外線の発生量及び発生効率を向上させることができる。各透明支持板内に入射した紫外線は、各透明支持板の両面の紫外線剥離型の接着剤に到達し、接着した各配線基板を剥離させる。計時部６２は、紫外線剥離型の接着剤を剥離させるに十分な所定の照射時間を計時する。この照射時間を計時することで、配線基板の剥離に必要な紫外線照射を十分に無駄なく実施できる。
搬出工程５４では、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から手作業、ロボット、又はコンベア等の搬送装置を用いて排除する。
【００３３】
制御部２０は、例えば、パーソナルコンピュータ又はワークステーション等のマイクロプロセッサと各種メモリ及び各種インターフェース等の複合体であり、透明支持板上への配線基板の基材の接着、各配線基板への配線パターンの形成、反射層の形成、基板の剥離等の上記した各製造工程の動作を全て制御する。
【００３４】
本実施形態では、支持板保持部装着工程５１で複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、紫外線照射の作業時間を低減させることができる。
【００３５】
図２（ａ）、（ｂ）は、図１の基板剥離工程９で使用される支持板保持治具の一例の概略構成を示す図であり、図２（ａ）が支持板保持治具の単体での状態を示し、（ｂ）が両面に配線基板が接着された複数の透明支持板を積層方向に並べて保持した状態の支持板保持治具を示す。
【００３６】
支持板保持治具７１は、複数の透明支持板を安定して保持するための平坦な基台部を有し、両面に配線基板が接着された複数の透明支持板複合体８１（８１ａ〜８１ｅ）を横並びの積層方向に並べて保持する。把持部７２（７２ａ〜７２ｆ）は、例えば、細長いブロック形状であり、基台部上に隙間７３（７３ａ〜７３ｅ）を空けて平行設置される。隙間７３は、両面に配線基板が接着された透明支持板の厚み寸法と同様の幅寸法を有する隙間である。両面に配線基板が接着された透明支持板複合体８１は、隣り合う把持部７２との隙間７３（７３ａ〜７３ｅ）に各々立てて保持される。本実施形態では、透明支持板複合体８１は、横方向の寸法Ｌ１に対して、縦方向の寸法Ｌ２の方が長い矩形であり、縦方向の寸法Ｌ２が高さ方向になるように立設される。尚、図２では、複数の透明支持板を各々基台部上に立設して横並びの積層方向に配置しているが、保持具の形状を変更することにより縦に並ぶ積層方向に配置してもよい。
【００３７】
このように支持板保持治具に複数の透明支持板を保持させることにより、照射工程において、支持板保持治具に保持された各透明支持板に同時に紫外線を照射することができる。この複数枚の透明支持板に同時に紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができる。
【００３８】
図３は、図２の両面に配線基板が接着された複数の透明支持板複合体８１の一例の概略構成を示す図である。透明支持板９１は、紫外線が透過可能な材料であれば、石英ガラス又はケイ酸ガラス等のガラス材料、セラミックス材料、アクリル等の硬質な樹脂材料等を用いることができる。透明支持板９１の寸法は、用途と材料強度にもよるが、例えば、厚みを５ｍｍ〜１０ｍｍとして、矩形の１辺の長さを１００ｍｍ〜１０００ｍｍの中から選択してもよい。尚、上記したように本実施形態では、透明支持板複合体８１の横方向の寸法Ｌ１よりも縦方向の寸法Ｌ２が長く設定される。また、一般的なビルドアップ配線基板のコア基板と比較した場合、コア基板は厚みが０．２〜２．０ｍｍであるので、それよりも厚くすることが好ましい。
【００３９】
接着剤層９２（９２ａ，９２ｂ）は、透明支持板９１の両面に塗布された紫外線剥離型の接着剤の層である。紫外線剥離型の接着剤は、紫外線の照射により接着力が消失するか大きく低下するものであり、例えば、主成分がアクリル樹脂であるものが、ＦＰＣ（フレキシブル基板）用のキャリアテープ等に実用化されている。より詳しくは、紫外線剥離型の接着剤は、例えば、アクリル樹脂系粘着剤（アクリル系粘着ポリマー）、紫外線架橋系化合物（紫外線硬化型オリゴマー）、重合開始剤（光開始剤）等を含有させた接着性樹脂材料のペーストが知られている。この接着性樹脂材料のペーストを用いる場合には、透明支持板９１の表面に塗布して乾燥させるか、接着性樹脂材料のペーストフィルムを透明支持板９１の表面に粘着する。
【００４０】
アクリル樹脂系粘着剤は、例えば、アクリル酸２−エチルヘキシル及びアクリル酸等であり、粘着性を付与するために低ガラス転移点を有するモノマー（例えば、アクリル酸エステルモノマー）と、凝集性付与するための高ガラス転移点を有して固い重合体を形成することが可能なモノマーと、架橋性や接着性を改良するためのカルボン酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロキシル基等の官能基を有するモノマーとを含有する。また、粘着剤としては、紫外線を透過する基材シートに塗設した接着シートの形態で用いることができる。その場合の基材シートとしては、例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル／塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリオレフィン、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリエステル、ポリカーボネート、アセチルセルロース等からなる樹脂シートが使用できる。
【００４１】
紫外線架橋系化合物は、例えば、ウレタンアクリレートオリゴマー等であり、又は、特定波長域の紫外線の照射により架橋するオリゴマー（例えば、オリゴエステルアクリレート）や、１．６−ヘキサンジオールアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の多価アルコールとアクリル酸とのアクリル酸エステルモノマー、又は、１．６−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の多価アルコールとメタクリル酸とのメタクリル酸エステルモノマー、又は、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート等である。
【００４２】
重合開始剤は、例えば、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等であり、又は、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類、ベンゾイン、ベンジル、ベンゾフェノン等の芳香族オキシケトン類や芳香族ケトン類、ベンジルジメチルケタール、ポリビニルベンゾフェノン等である。
【００４３】
配線基板側反射膜層９３（９３ａ、９３ｂ）は、例えば、アルミニウム又は銀の蒸着層、又は接着される薄膜層であり、配線基板の銅板層９４（９４ａ、９４ｂ）の上に形成される。銅板層９４（９４ａ、９４ｂ）は、例えば、配線基板の基材９５（９５ａ、９５ｂ）の上に形成される銅箔の層であり、本実施形態の接着面側の銅板層９４は、可能な限り滑らかになるように鏡面研磨される。その結果、この銅板層９４の上に形成される配線基板側反射膜層９３の平坦度も改善され、紫外線の反射率を向上させることができる。
【００４４】
配線基板の基材９５（９５ａ、９５ｂ）は、例えば、ビルドアップ配線基板のコア基板と同様に、ガラスクロスにエポキシ樹脂又はビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた絶縁シートの両面に銅箔を貼着させてから樹脂を熱硬化させた厚みが０．２〜２．０ｍｍ程度の両面銅張り板であってよい。この両面銅張り板は、さらにスルーホール用の穿孔を実施し、その穿孔にメッキ膜を被着してから樹脂充填して用いることが好ましい。配線パターン層９６（９６ａ、９６ｂ）も、例えば、ビルドアップ配線基板と同様に、１０〜１００μｍ程度の樹脂からなる絶縁層とメッキ膜からなる配線パターンの導体層とを交互に積層するものであってよい。絶縁層は、例えば、まずエポキシ樹脂又はビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂に無機絶縁性フィラーを分散させた樹脂フィルムを貼着する。次にその樹脂フィルム中の熱硬化性樹脂を熱硬化させることで絶縁層を形成する。
【００４５】
貫通孔９７は、絶縁層に設けられるスルーホール又は層間ビアであり、例えば、レーザ加工等により絶縁層に穿孔を設け、そこにセミアディティブ法等によりメッキ膜を設けて絶縁層の上下を導通させる。側面反射膜層９８は、透明支持板複合体８１の側面に形成される反射膜であり、例えば、アルミニウム又は銀の蒸着層、又は接着される薄膜層である。紫外線照射側面９９は、透明支持板複合体８１の各側面のうち、紫外線の光源と対向する側面である。従って、この面には側面反射膜層９８が形成されない。
【００４６】
図４は、図２（ｂ）の状態の支持板保持治具を積層方向の側面から見た図を紫外線光源等と共に示した図である。本実施形態の各透明支持板９１は、長辺と短辺とを有する矩形の表面を有している。また、支持板保持治具７１には、各透明支持板９１の長辺が紫外線照射部（紫外線光源１０２及びシリンドリカルレンズ１０１）の照射方向に対向するように、各透明支持板９１が並べて保持される。さらに、本実施形態の透明支持板複合体８１等には、紫外線の入射しない３方の側面に側面反射膜層９８が形成されている。
【００４７】
透明支持板複合体８１は、横方向の寸法Ｌ１に対して、縦方向の寸法Ｌ２の方が長い矩形であり、縦方向の寸法Ｌ２が高さ方向になるように支持板保持治具７１上に立設されている。透明支持板複合体８１の紫外線照射側面９９には、紫外線光源１０２から出射された紫外線が、シリンドリカルレンズ１０１を介して入射する。この場合、縦方向の寸法Ｌ２よりも横方向の寸法Ｌ１は短いので、紫外線の減衰量は、縦横を逆にした場合よりも少なくなる。従って、その他が同じ条件であれば、照射工程で各透明支持板９１の長辺側の一側面から紫外線を入射させることで、短辺から入射させるよりも多くの紫外線を入射させることができることに加え、紫外線の光路長が短くなるので減衰量を減らすことができ、紫外線の光源を比較的低出力に減少させることができる。
【００４８】
図５は、図２（ｂ）の状態の支持板保持治具を上面から見た図を紫外線光源等と共に示した図である。図５では、各透明支持板複合体８１ａ〜８１ｅに対して、紫外線光源１０２から出射された紫外線を一括して照射している。このように複数の透明支持板複合体８１に対して一括して紫外線を照射することにより、各透明支持板複合体８１ａ〜８１ｅに対して個別に紫外線を照射する場合と比較して配線基板の剥離時間を短縮させることができる。又、図５では、レンズ１０３を各透明支持板複合体８１ａ〜８１ｅに対して一括して紫外線を照射できる集光レンズとして示したが、例えば、各透明支持板複合体８１ａ〜８１ｅの側面に個別に集光できるシリンドリカルレンズを複数個横に並べて構成してもよい。
【００４９】
図６は、本実施形態の配線基板の製造方法の一例を示すフローチャートである。以下に、図１〜図５を参照しつつ配線基板の製造方法を説明する。まず、貫通孔形成工程１では、配線基板の基材９５を貫通して両面の銅板層９４及び配線パターン層９６におけるパターン形成前の銅板層を導通させると共に、基材９５に配線パターンを形成する場合の基準位置になる貫通孔９７を形成する。銅板面研磨工程２では、基材９５における銅板層９４を鏡面研磨する。反射膜形成工程３では、鏡面研磨された銅板層９４の表面にアルミニウム又は銀の反射膜層９３を、蒸着又は金属箔の貼り付けにより形成する（Ｓ１）。接着剤塗布工程４は、基材９５を支持する透明支持板９１の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布して接着剤層９２を設ける（Ｓ２）。基材接着工程５では、接着剤が塗布された透明支持板９１の両面に、基材９５における反射膜層９３が形成された面を対向させて接着する（Ｓ３）。
【００５０】
配線パターン形成工程６では、基材９５における接着されない表面（９６側）上に配線パターンを形成する。基材９５の表面（９６側）上には、必要に応じて多層の配線パターンが形成される。貫通孔形成工程４１は、例えば、多層を貫通して各層の配線パターンを導通させる貫通孔（不図示）を形成する。露光工程４２は、例えば、表面（９６側）に塗布された感光性のフォトレジストに対して、配線パターンに基づいてマスキングした状態で露光する（Ｓ４）。保護膜形成工程４３は、例えば、貫通孔９７等の通常の配線パターン以外の配線要素部に対するレジスト膜を形成する（Ｓ５）。エッチング工程４４は、レジストが形成された基材９５の表面（９６側）の銅板層をエッチングする。これにより、基材９５の表面（９６側）上には配線パターン層９６が形成される（Ｓ６）。エッチング終了後、必要に応じて基材９５表面（９６側）のフォトレジスト層及び／又はレジスト膜等は除去される。
【００５１】
基板上の配線層が一層である場合には、上記で配線の形成を終了することができるが、配線層が多層である場合には、ここで配線の形成が終了したか否かを判断する（Ｓ７）。配線の形成を終了する場合（Ｓ７:ＹＥＳ）には、次のステップＳ８に進むが、次の配線の形成する場合（Ｓ７:ＮＯ）には、ステップＳ４に戻って配線パターンを形成する。
【００５２】
次のステップ８は、１枚の基材の表面に、１枚の配線基板の配線パターンを形成する場合には必要ないが、同じ配線パターンを複数形成した集合基板を製作して、配線基板を多面取りする場合には、各基板を分割する必要がある。そこで基板分割工程７では、個別の同様な配線パターンが形成された配線基板を多数取りした集合基板を、個別の配線パターンを有する配線基板に分割する（Ｓ８）。このようにして透明支持板９１の両面に接着された配線基板を有する透明支持板複合体８１が形成される。
【００５３】
次に反射層形成工程８では、透明支持板複合体８１の側面の内、後段で紫外線が照射されない側面に対して、紫外線の反射効率が高いアルミニウム又は銀の反射ミラーを配置する。（Ｓ９）。尚、基板分割工程７は、集合基板の状態で後段の基板剥離が可能であれば、最終工程に移動させて、剥離した配線基板（集合配線基板）を分割するようにしてもよい。このように配線基板を、複数組の配線パターンが１枚の配線基板の表面上に形成された集合配線基板とした場合、接着工程では、その集合配線基板の基材を対応する透明支持板と接着し、集合基板でまとめて配線パターンの形成を実施した後に、その集合配線基板を個別の配線基板に分割することで、個々の透明支持板の紫外線を照射する奥行きの距離が短くなり、効率良い照射が可能となる。
【００５４】
その次の基板剥離工程９では、透明支持板複合体８１の各配線基板を剥離させるために、透明支持板複合体８１の側面を介して紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射する（Ｓ１０）。このステップＳ１０の剥離工程については、図７を用いてさらに詳しく説明する。
【００５５】
図７は、図６のステップＳ１０のさらに詳しい内容の一例を示すフローチャートである。図６と同様に、以下に図１〜図５を参照しつつ配線基板の製造方法を説明する。基板剥離工程９内の支持板保持部装着工程５１では、紫外線の照射の前に、複数枚の透明支持板複合体８１を積層方向の同じ向きに並ぶようにして図２（ａ）に示す支持板保持治具７１に保持させる（Ｓ１１）。これにより複数枚の透明支持板複合体８１は、図２（ｂ）の状態で支持板保持治具７１に保持される。この工程は、その後段の処理に係わらず、全ての枚数の透明支持板複合体８１を先に支持板保持治具７１に保持させておいてよい。
【００５６】
この透明支持板複合体８１が保持された支持板保持治具７１を、手作業、ロボット、又はコンベア等の搬送装置を用いて照射工程５３の照射位置まで搬送（搬入）する（Ｓ１２）。照射工程５３では、透明支持板複合体８１の側面に対して、紫外線光源６１から出射した紫外線を照射する（Ｓ１３）。次に照射工程５３では、計時部６２により、照射時間を計時し、紫外線剥離型の接着剤を剥離させるに十分な所定の照射時間に達して照射時間を終了するか否かを判断する（Ｓ１４）。
【００５７】
照射時間が不十分である場合（Ｓ１４：ＮＯ）は、ステップＳ１３で紫外線を照射する。これにより、各透明支持板複合体８１内に入射した紫外線は、各透明支持板９１の両面の紫外線剥離型の接着剤層９２に到達し、接着した各配線基板９３〜９６は剥離させることができるようになる。照射時間が十分である場合（Ｓ１４：ＹＥＳ）には、その支持板保持治具７１を照射位置から搬送（搬出）する（Ｓ１５）。その際に制御部２０は紫外線照射する次の透明支持板複合体８１（支持板保持治具７１上に保持）があるか否かを判断する（Ｓ１６）。
【００５８】
次の透明支持板複合体８１がある場合（Ｓ１６：ＮＯ）には、ステップＳ１５と同時又はそのすぐ後に、次の透明支持板複合体８１が保持された支持板保持治具７１を搬入し、次の透明支持板複合体８１がない場合（Ｓ１６：ＹＥＳ）には、剥離処理を終了する。このように、紫外線照射が終了した透明支持板が保持された支持板保持治具の搬出工程と、紫外線照射前の透明支持板が保持された次の支持板保持治具の搬入工程の少なくとも一部を重複させて同時に実施することで、照射待ち時間と照射間隔を低減させ、照射工程の作業効率を向上させることができる。
【００５９】
このように本実施形態では、配線基板の製造工程は、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布工程４と、透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着工程５と、配線基板の基材上に配線パターンを形成する形成工程６と、紫外線を照射する光源を有して、その光源からの光を透明支持板の側面から紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射することにより配線基板を透明支持板から剥離させる剥離工程９とを備えている。また、その剥離工程９は、紫外線の照射の前に、配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持具装着工程５１と、支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射工程５３と、複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部の照射位置に各透明支持板の側面が位置付けられる様に各透明支持板を搬入させる搬入工程５２と、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から搬出する搬出工程５４とを有している。
【００６０】
従って本実施形態の配線基板の製造工程によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減できる。
【００６１】
＜第２実施形態＞
図８は、本発明の第２の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の側面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図８は、図４のシリンドリカルレンズと紫外線光源の組の配置を変更した図でもある。本実施形態の構成は、図８に示したようにシリンドリカルレンズと紫外線光源の組の配置が異なる他は、第１の実施形態と同様である。
【００６２】
シリンドリカルレンズ１０１と紫外線光源１０２の配置を透明支持板複合体８１の紫外線入射側面に対して垂直ではなく、斜めに入射させることにより入射した紫外線の内部反射回数を増加させ、透明支持板の両面に塗布された紫外線剥離型の接着剤への紫外線照射量を増加させることができる。
【００６３】
従って本実施形態の配線基板の製造工程によれば、紫外線を透明支持板９１の側面に斜めに照射することで、同じ光源であっても接着剤に照射される紫外線の照射量が増加し、その結果、照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減させることができる。
【００６４】
＜第３実施形態＞
図９は、本発明の第３の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の側面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図９は、図４のシリンドリカルレンズと紫外線光源の組について、別の組を異なる側面の照射用に追加した図でもある。本実施形態の構成は、図９に示したようにシリンドリカルレンズと紫外線光源の組が追加されている他は、第１の実施形態と同様である。
【００６５】
本実施形態では、第１の実施形態と同様に、シリンドリカルレンズ１０１ａと紫外線光源１０２ａの組が透明支持板複合体８１の第１の紫外線入射側面９９ａに対向して配置される。それに加えて追加のシリンドリカルレンズ１０１ｂと紫外線光源１０２ｂの組が透明支持板複合体８１の第１の紫外線入射側面９９ａの反対側の第１の紫外線入射側面９９ｂに対向して配置される。さらに、追加のシリンドリカルレンズ１０１ｃと紫外線光源１０２ｃの組が透明支持板複合体８１の第１の紫外線入射側面９９ａと反対側の第１の紫外線入射側面９９ｂとの間の紫外線入射側面９９ｃに対向して配置される。本実施形態では、このように光源と入射させる側面を増加させることにより、透明支持板の両面に塗布された紫外線剥離型の接着剤への紫外線照射量を増加させることができる。
【００６６】
従って本実施形態の配線基板の製造工程によれば、各透明支持板の各透明支持板の長辺側の両方の側面を含んで２辺以上の側面に紫外線を照射することで、紫外線の光路長が短くなるので減衰量を減らすことができ、紫外線の光源を比較的低出力にすることができ、接着剤にムラなく紫外線を照射でき、紫外線の照射量を増加させることができ、剥離残り等を減少させることができ、配線基板作成の作業時間を低減させることができる。
【００６７】
＜第４実施形態＞
図１０は、本発明の第４の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図１０は、図５のレンズの出射光を平行光でなく一つの透明支持板複合体８１の側面に集光させた図でもある。本実施形態の構成は、図１０に示したようにシリンドリカルレンズの焦点を、一つの透明支持板複合体８１の側面に集光できるようにした他は、第１の実施形態と同様である。
【００６８】
本実施形態では、紫外線光源１０２から出射された紫外線を一つの透明支持板複合体８１の側面に集光させるので、複数の透明支持板複合体８１の側面に一度に入射させる場合と比べて、強い集光光束で側面を照射する事が可能である。接着層の紫外線透過率が低い場合は、有効な手段となる。
【００６９】
図１１は、図１０の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体８１の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。図１１に示したように本実施形態の紫外線は焦点に急角度で集光されるため、透明支持板複合体８１の側面に入射した後に反射する回数が多くなる。入射した紫外線は、透明支持板９１の内部を透過する際にも透明支持板９１の透過率に従い徐々に減衰するが、接着剤層９２を通過する際には透明支持板９１内を透過するよりも大幅に減衰し、配線基板側反射膜層９３で反射されて再度、接着剤層９２を通過する際に大幅に減衰する。従って、紫外線の入射した後に反射回数が多いことは、紫外線の減衰が大きいことになる。減衰を回避する為には、配線基板側反射膜層９３の反射率を高くする為にアルミ蒸着層を形成する事で、反射率を高くすれば良い。また、一般に利用される配線基板側反射膜層９３は銅であるが、銅の接着面側を研磨する事で反射率を高くする事が可能となる。また、入射角度についても、ブリュースター角を満たす傾きで照射する事で、更に反射率を高くする事が可能となる。
【００７０】
このように本実施形態では、照射工程で、支持板保持治具に保持された各透明支持板に１枚づつ個別に紫外線を照射するので、高い照度で各透明支持板に効率良く紫外線を照射でき、処理時間を軽減する事ができる。
【００７１】
＜第５実施形態＞
図１２は、本発明の第５の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体８１の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図１２は、図１１のレンズを無くし、紫外線光源を点光源に変更した図でもある。
【００７２】
本実施形態では、透明支持板複合体８１の側面に入射した後に反射による減衰量を小さくするために、入射する紫外線の入射角度を透明支持板９１の側面に対して直角に近づけ、接着剤層９２の通過回数を減らしている。そのために、指向性及び収束性に優れている光源として、例えば、紫外線レーザ発生装置を用いている。
【００７３】
このように本実施形態では、透明支持板複合体８１の側面に入射する紫外線の入射角度が透明支持板９１の側面に対して直角に近いため、紫外線が最終目的位置に到達するまでに接着剤層９２を通過する回数が少なくなり、最終目的位置に到達する紫外線の減衰量を低減させることができる。
【００７４】
＜第６実施形態＞
図１３は、本発明の第６の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体８１の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図１３は、図１１のレンズと紫外線光源の組に対して、レンズから出射される光が集光されないで平行光に近いものでも透明支持板９１の側面に入射できるように、透明支持板９１の側面の幅寸法を図１１のＬ３から図１３のＬ４に広げた構成を示す図でもある。
【００７５】
本実施形態では透明支持板９１の側面の幅寸法を、紫外線光源とレンズから出射される光と平行に近づけることにより、紫外線が最終目的位置に到達するまでに接着剤層９２を通過する回数が少なくなり、最終目的位置に到達する紫外線の減衰量を低減させることができる。
【００７６】
このように透明支持板が、光源からの光束を集光しないで入射させることができる厚みを備えるようにしてもよい。本実施形態では、各透明支持板の厚みを増加させることにより集光しないようにできることから、透明支持板の厚みに合わせて集光した場合の焦点から先で結果的に光束が広がってしまう事態を抑制できる。
【００７７】
以上、本発明に係る配線基板の製造工程を実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載された範囲には限定されない透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された基材上に配線基板を形成した後に、透明支持板の側面から紫外線を照射して各配線基板を剥離させて配線基板を製造する製造工程であれば、他の構成の配線基板の製造工程にも適用することができる。透明支持板、接着剤の透過率条件や、照明光束の入射角度条件で効率の良い照射が可能であれば、透明支持板の両面に接着される配線基板の基材は、両面に銅以外の金属層を有していても良いし、金属層が無くてもよい。
【００７８】
また、その基材の表面にアルミニウムと銀以外の反射層を設けてもよいし、反射層がなくてもよい。また、基板の分割も必要に応じて実施すればよく、透明支持板複合体の側面の反射膜の形成も必要に応じて実施すればよい。本発明は、それらの必要性が無いことから配線基板の製造中に用いられないような製造工程にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】（ａ）は本発明の第１実施形態の配線基板の製造工程における概略の構成及び製造順序を示す図であり、（ｂ）は（ａ）の照射工程５３における紫外線光源及び計時部を示す図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、図１の基板剥離工程９で使用される支持板保持治具の一例の概略構成を示す図であり、（ａ）が支持板保持治具の単体での状態を示し、（ｂ）が両面に配線基板が接着された複数の透明支持板を積層方向に並べて保持した状態の支持板保持治具を示す。
【図３】図２の両面に配線基板が接着された複数の透明支持板複合体８１の一例の概略構成を示す図である。
【図４】図２（ｂ）の状態の支持板保持治具を積層方向の側面から見た図を紫外線光源等と共に示した図である。
【図５】図２（ｂ）の状態の支持板保持治具を上面から見た図を紫外線光源等と共に示した図である。
【図６】本実施形態の配線基板の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図７】図６のステップＳ１０のさらに詳しい内容の一例を示すフローチャートである。
【図８】本発明の第２の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の側面図を紫外線光源等と共に示した図である。
【図９】本発明の第３の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の側面図を紫外線光源等と共に示した図である。
【図１０】本発明の第４の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。
【図１１】図１０の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体８１の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。
【図１２】本発明の第５の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体８１の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。
【図１３】本発明の第６の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体８１の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。
【符号の説明】
【００８０】
１  貫通孔形成工程、
２  銅板面研磨工程、
３  反射膜形成工程、
４  接着剤塗布工程、
５  基材接着工程、
６  配線パターン形成工程、
７  基板分割工程、
８  反射層形成工程、
９  基板剥離工程、
２０  制御部、
４１  貫通孔形成工程、
４２  露光工程、
４３  保護膜形成工程、
４４  エッチング工程、
５１  支持板保持具装着工程、
５２  搬入工程、
５３  照射工程、
５４  搬出工程、
６１  紫外線光源、
６２  計時工程。
【図１】
2009272384.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2009272384.tif 000007
【図６】
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【図７】
2009272384.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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