(57)【要約】      （修正有）【課題】チップの面領域にはできるだけ接触せず、かつ、チップを周辺の端部等接触可能な部分で保持すると共に、チップを損傷することなく、容易に取り出すことが可能なチップケースを提供する。【解決手段】チップを収納する凹陥形状の複数の収納部１を備えたチップケースであって、ケースを構成するチップの収納部１が、それぞれ凹陥形状の収納部１の中心領域から該収納部１の周縁部に達する放射状の複数の溝状部品挿脱部２を備え、収納部１が、中心に向かって傾斜した逆円錐形または逆角錐形に表面から削り取った形の断面形状の傾斜面３を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップを収納する凹陥形状の収納部を備えたチップケースにおいて、前記凹陥形状の収納部が逆円錐形または逆角錐形に表面から削り取った形の断面形状の傾斜面を備え、かつ、前記収納部が、凹陥形状の収納部の中心領域から収納部の周縁部に達する放射状の複数の溝状部品挿脱部を備えていることを特徴とするチップケース。
【請求項２】
請求項１に記載のチップケースにおいて、１チップの収納部が同一面の縦横に連接して複数配置された構造をなすように設けられていることを特徴とするチップケース。
【請求項３】
チップを収納する凹陥形状の収納部を備えたチップケースにおいて、前記凹陥形状の収納部の一部が階段状の逆ピラミッド形状に表面から掘り込まれた断面形状の傾斜面を備え、上面からみた場合に一定幅の正方形の額縁状の平面枠が同心円状に複数積み重なった形状で構成されていることを特徴とするチップケース。
【請求項４】
請求項３に記載のチップケースにおいて、前記収納部が、凹陥形状の収納部の中心領域から収納部の周縁部に達する放射状の複数の溝状部品挿脱部を備えていることを特徴とするチップケース。
【請求項５】
請求項３または４に記載のチップケースにおいて、１チップの収納部が同一面の縦横に連接して配置された構造をなすように設けられていることを特徴とするチップケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を収納するケースに関し、特に、電子部品自体に直接接触することを避けるべき表面実装型デバイス等のチップ部品やＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｏｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）あるいは、ＰＭ（Ｐｈｏｔｏｍａｓｋｓ）の露光装置のアパーチャ等のエッチング部品の保管及び運搬に使用されるチップケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の電子部品は高い品質と高い信頼性をもっているが、破壊につながる要因（静電破壊、機械的破壊、湿度、ガスなど）が数多く存在し、運搬あるいは保管での取り扱い、実装あるいは使用条件等によっては、デバイスを破壊することがある。また、半導体デバイス等の電子部品は異物を極端に嫌う。特に集積回路や表面実装形デバイスやＭＥＭＳあるいはアパーチャなどの各種電子部品（以下本発明ではチップと称する）は、その物自体に直接接触することはできるだけ避けるべきである。
【０００３】
そのため、これらのチップの保管や運搬のために、チップが収納される凹部が形成されたトレイ等を使用することが知られている。一般に、収納するチップのサイズに合わせて専用のチップケースを用いて、異物が発生・付着しない環境状態にて保管・運搬される。チップサイズも多種多様で、数ミリメートルくらいのものから数センチメートルのものまで存在する。また、チップの形も常に正方形ではなく、長方形・円形など様々なものが存在する。
【０００４】
またこれらのチップは作成されるプロセスにも依存するが、エッチングや洗浄、チップへの分離化を行う際に、チップのエッジ部分が傾斜を持つ場合があり、真横から見ると、台形状の断面形状を有する場合がある。これら接触を極力避けるべきチップを保持し掴もうとした場合、広域面部（上下面）にはなるべく接触しないように、周辺部のわずか数mmエリアのみが接触可能となる。これらのチップを掴む方法も様々あるが、一般的にはピンセット等を用いている。しかし、チップのエッジ部にテーパ等がある場合ピンセット等で掴む際、非常に掴みにくい。
【０００５】
特許文献1では凹部の周縁にウエハ挿脱用溝をもうけて、吸着しているウエハを掴み易くした半導体ウエハを運搬するための収納ケースが提案されている。また、特許文献２では凹部の下側に可動片を配置してその変位によって電子部分を浮上させて取り出しやすくした収納容器が提案されている。
【特許文献１】特開平６−１８１２５３号公報
【特許文献２】特開平９−１６５０８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の収納ケースでは、特定の寸法のチップ専用として汎用性がない問題があった。また、チップと凹部側壁との隙間が狭く、ケースとチップとの間に空間ができないために、チップの取り出しに際しては、ケースそのものを傾けるかあるいは、可動片や磁石あるいは吸着機能をもつ特殊なピンセット等の道具を用いて取り出しを行っており、チップを掴んだ際に、安定性が低く、チップを落としてしまうなどといった危険性があった。また、作業効率、製品の信頼性の観点からも、チップの上下の面領域にはできる
だけ接触せず、かつ、チップを周辺の端部等接触可能な部分で保持すると共に、チップを損傷することなく、容易に取り出すことが可能なチップケースが必要とされている。
【０００７】
本発明は、上記問題点を解決するもので、チップをその周縁の端部で安定的に保持すると共に、チップを取り出す場合には、安全で確実にチップを掴む事ができるように改良した形状のチップケースの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１に係る発明は、チップを収納する凹陥形状の収納部を備えたチップケースにおいて、前記凹陥形状の収納部が逆円錐形または逆角錐形に表面から削り取った形の断面形状の傾斜面を備え、かつ、前記収納部が、凹陥形状の収納部の中心領域から収納部の周縁部に達する放射状の複数の溝状部品挿脱部を備えていることを特徴とするチップケースである。
【０００９】
また、本発明の請求項２に係る発明は、請求項１に記載のチップケースにおいて、１チップの収納部が同一面の縦横に連接して複数配置された構造をなすように設けられていることを特徴とするチップケースである。
【００１０】
また、本発明の請求項３に係る発明は、チップを収納する凹陥形状の収納部を備えたチップケースにおいて、前記凹陥形状の収納部の一部が階段状の逆ピラミッド形状に表面から掘り込まれた断面形状の傾斜面を備え、上面からみた場合に一定幅の正方形の額縁状の平面枠が同心円状に複数積み重なった形状で構成されていることを特徴とするチップケースである。
【００１１】
また、本発明の請求項４に係る発明は、請求項３に記載のチップケースにおいて、前記収納部が、凹陥形状の収納部の中心領域から収納部の周縁部に達する放射状の複数の溝状部品挿脱部を備えていることを特徴とするチップケースである。
【００１２】
さらにまた、本発明の請求項５に係る発明は、請求項３または４に記載のチップケースにおいて、１チップの収納部が同一面の縦横に連接して配置された構造をなすように設けられていることを特徴とするチップケースである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の請求項１に記載のチップケースによれば、凹陥形状の収納部が逆円錐形または逆角錐形に表面から削り取った形の断面形状の傾斜面を備えているので、平面寸法の異なるチップに対応可能である。また、ピンセット等の先が溝に入って、チップの両面を確実に捉えることが可能となる。
【００１４】
また、本発明の請求項３に記載のチップケースによれば、収納部の一部の断面形状が階段状で、一定幅の正方形の額縁状の平面枠が同心円状に複数積み重なった形状を有しているため、掘り込みの深さを変えることで収納できるチップの厚さの選択が可能で、かつ、平面寸法の異なるチップに対応することが可能であり、チップが少なくとも二辺と階段状の側壁で保持されるため、チップが収納部内で動いてしまうことが少なくなり、チップケースとチップの接触によって発生する異物を抑制することができる。
【００１５】
また、本発明の請求項４に記載のチップケースによれば、溝状部品挿脱部を正方形の辺または角の任意の位置に設けることによって、他の工程や実装部分から運ばれてきたチップの方向がいずれを向いていても、大きな方向転換をせずに収納でき、取り出しも容易となる。
【００１６】
さらにまた、本発明の請求項２または５に記載のチップケースによれば、円形あるいは楕円形、または矩形等の多角形の形状を有する１チップの収納部が同一面の縦横に連接して配置された構造をなすため、製造が容易で、かつ、面積効率が良く低価格化できる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明のチップケースを、図面を参照しながら説明する。なお、各図中、図１（ａ）はチップの収納部の一実施形態の断面形状を説明する模式図であり、図１（ｂ）はそのチップの収納部を上面からみた場合の形状を説明する模式図である。また、図２はその１チップの収納部が同一面の縦横に連接して配置された構造を説明する模式図である。また、図３（ａ）はチップの収納部の他の実施形態の断面形状を説明する模式図であり、図３（ｂ）はそのチップの収納部を上面からみた場合の形状を説明する模式図である。図４は本発明のその他の実施形態であるチップケースの上面から見た形状を説明する模式図であり、図４（ａ）はそのチップの収納部を、図４（ｂ）はその１チップの収納部が同一面の縦横に連接して配置された構造を説明する模式図である。
【００１８】
本発明のチップケースは、導電性または帯電防止性能を有する合成樹脂等で好ましく構成される。アウトガスを発生しない、添加剤等でデバイスを汚染しない、さらにはチップ部品との擦れで異物を発生させない、形状安定性のある合成樹脂が好ましいが特に限定されるものではない。また、本発明のチップケースは、射出成形法、圧空成形法、真空成形法などの旧知の方法で実施される。
【００１９】
チップを収納する凹陥形状の収納部を備えた本発明のチップケースでは、チップの収納部１の傾斜面３を、図１（ａ）に示すように、中心に向かって傾斜した逆円錐形または逆角錐形に表面から削り取った形の断面形状とする。このような形状とすることで、チップの外形寸法が設計変更等で変化した場合には、チップと収納部の接触・保持位置が傾斜面３に沿って上下に移動することで、ケースの設計変更なしでチップの収納が可能となる。チップの収納部の形状は、適応するチップの形状に対応して逆円錐形または逆角錐形に表面から削り取った形の断面形状とする。
【００２０】
また、チップの収納部には、図１（ａ），（ｂ）に示すように、凹陥形状の収納部１の中心領域から収納部の周縁部に達する放射状の複数の溝状部品挿脱部２を設ける。この溝によってピンセット等の挿脱用治具をチップ部品の下面側に入れることが可能となり、チップ部品を確実に把持できる。チップの収納部の傾斜面３の接触部分が、収納するチップの外周と一致する形状の場合、収納するチップ部品の収納部１との接触・保持部には隙間が無くなるため、溝状部品挿脱部２が必要となる。
【００２１】
上述したチップケースは一つのチップを収納する容器として用いることも可能であるが、図２に示すように、１チップの収納部が同一面の縦横に連接して複数配置された構造とすることも可能であり、同時に多数のチップを収納、運搬あるいは保管することが可能である。
【００２２】
さらに、チップが収納部１の中で動いて、部品エッジ部とチップの収納部１の表面が擦れて異物が発生することを避けるために、図３（ａ）に示すように、前記チップの収納部１の傾斜面の一部を階段状の逆ピラミッド形状に表面から掘り込まれた断面形状となし、図３（ｂ）に示すように、上面から見た形状を一定幅の正方形の額縁状の平面枠４が同心矩形状に複数積み重なった形状とする。このことにより、円形あるいは矩形等の形状を持った平面寸法の異なるチップを、チップ周縁の一定幅の少なくとも２面で保持させることが可能となる。なおここで、上面から見た形状が正方形の平面枠４の幅は、チップと収納部とを安定的に保持し、かつできるだけ接触面積を小さくするため概ね３ｍｍ以内が好ましいがこれに限定されるものではない。
【００２３】
ここで、溝状部品挿脱部２として、例えば、図３（ａ）に示すように、それぞれ一定の角度をなす複数本の溝を、各々の１チップの収納部の前記正方形の辺または角に対応する方向に設ける。前述したように、溝状部品挿脱部を正方形の平面枠４の辺及び角のそれぞれに対応して設けることで、他の工程や実装部分から運ばれてきたチップの方向がいずれを向いていても、大きな方向転換をせずに収納でき、取り出しも同様に容易となる。またチップの形状変更に対しても大幅な設計変更なしで対応可能となる。
【００２４】
次に、図３（ｂ）に示すように、上述した１チップの収納部１を、同一面の縦横に連接して配置することで、複数のチップの保管あるいは運搬が可能なチップケースが供給される。
【００２５】
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施形態を説明する模式図であり、（ａ）はチップの収納部の断面形状を説明する模式図であり、（ｂ）はそのチップの収納部を上面からみた場合の形状を説明する模式図である。
【図２】本発明の一実施形態である１チップの収納部が同一面の縦横に連接して配置された構造を説明する模式図である。
【図３】本発明の他の実施形態を説明する模式図であり、（ａ）はチップの収納部の他の実施形態の断面形状を説明する模式図であり、図２（ｂ）はそのチップの収納部を上面からみた場合の形状を説明する模式図である。
【図４】本発明のその他の実施形態である電子部品の収納容器の上面から見た形状を説明する模式図であり、（ａ）はチップの収納部を、（ｂ）は１チップの収納部が同一面の縦横に連接して配置された構造を説明する模式図である。
【符号の説明】
【００２７】
１・・・チップの収納部      ２・・・溝状部品挿脱部
３・・・（収納部の）傾斜面      ４・・・（額縁状の）平面枠
１０・・・１チップの収納部
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図２】
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