(57)【要約】【課題】  搬送車が走行することによって発生する塵埃によってクリーンルーム内が汚損されることを的確に回避できるクリーンルーム用搬送設備を提供する。【解決手段】  天井部１から前記床部２に向けて清浄空気Ｇが通風されるクリーンルームＡにおける前記床部２を走行する物品搬送用の搬送車Ｂが設けられ、搬送車Ｂの走行車輪１５が走行する走行レール１４、搬送車Ｂの被案内輪１６をその搬送車Ｂが走行経路に沿って移動するように案内する案内レール１７及び搬送車Ｂの受電部１８に給電する給電レール１９が、床部２の下方の通風空間４内に配置され、床部２に、走行レール１４、案内レール１７及び給電レール１９を露出する搬送車通過用開口Ｄが形成されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井部から多孔状の床部に向けて清浄空気が通風されるクリーンルームにおける前記床部を走行する物品搬送用の搬送車が設けられたクリーンルーム用搬送設備であって、
前記搬送車の走行車輪が走行する走行レール、前記搬送車の被案内輪をその搬送車が走行経路に沿って移動するように案内する案内レール及び前記搬送車の受電部に給電する給電レールが、前記床部の下方の通風空間内に配置され、
前記床部に、前記走行レール、前記案内レール及び前記給電レールを露出する搬送車通過用開口が形成されているクリーンルーム用搬送設備。
【請求項２】
前記搬送車通過用開口を閉じる多孔状の蓋部材が、前記床部と連なる状態に装着自在に設けられている請求項１記載のクリーンルーム用搬送設備。
【請求項３】
前記床部の下方の通風空間内に、前記走行レール、前記案内レール及び受電部を支持する架台が設置されている請求項１又は２記載のクリーンルーム用搬送設備。
【請求項４】
前記走行レールとして機能する上面部及び前記案内レールとして機能する横側面部を備えた搬送車用レールにて、前記走行レール及び前記案内レールが構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載のクリーンルーム用搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井部から多孔状の床部に向けて清浄空気が通風されるクリーンルームにおける前記床部を走行する物品搬送用の搬送車が設けられたクリーンルーム用搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかるクリーンルーム用搬送設備は、医薬品や基板（例えば、ＦＰＤ、半導体、太陽電池パネル等）を製造あるいは処理するクリーンルーム内において搬送車によって物品を搬送するのに用いられることになる。例えば、クリーンルーム内に物品を収納する自動倉庫及び物品処理装置が設けられている場合には、自動倉庫と物品処理装置との間での物品の搬送を搬送車によって行うことになる。
【０００３】
かかるクリーンルーム用搬送設備の従来例として、搬送車の走行車輪が床部の上面を走行するように構成され、そして、搬送車の被案内輪をその搬送車が走行経路に沿って移動するように案内する案内レール及び搬送車の受電部に給電する給電レールが、床部の下方の通風空間内に配置されたものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−８６６５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した従来のクリーンルーム用搬送設備においては、案内レール及び給電レールを床部の下方の通風空間内に配置するものであるから、被案内輪が案内レールに接触することにより発生する塵埃や受電部が給電レールに接触することにより発生する塵埃が、床部の上方に浮遊してクリーンルーム内を汚損することを回避できるものである。つまり、クリーンルームは、床部の下方の通風空間内に流動する清浄空気を吸引して天井部に送風する送風手段により、清浄空気を床部の下方の通風空間と天井部とに亘って循環流動させるものであり、そして、循環流動される清浄空気中に存在する塵埃を除塵フィルターにより除去するように構成されるものであるから、床部の下方の通風空間内にて発生した塵埃は清浄空気とともに流動し、且つ、除塵フィルターにて除去されることになるため、被案内輪が案内レールに接触することにより発生する塵埃や受電部が給電レールに接触することにより発生する塵埃により、クリーンルーム内が汚損されることを回避できるものとなる。
【０００６】
しかしながら、上記した従来のクリーンルーム用搬送設備においては、搬送車の走行車輪が床部の上面を走行するものであるから、走行車輪が床部の上面を走行することによって発生する塵埃が、クリーンルーム内を汚損する虞があった。説明を加えると、走行車輪が床部の上面を走行することによって発生する塵埃は、天井部から床部に向けて流動する清浄空気とともに流動して、床部の下方の通風空間内に流動する傾向となるものの、走行車輪が接触する床部そのものが、塵埃とともに清浄空気が流動することを妨げることになる等に起因して、天井部から床部に向けて通風された清浄空気が的確に流動し難いものであり、その結果、走行車輪が床部の上面を走行することによって発生する塵埃の一部が、クリーンルーム内に浮遊して、クリーンルーム内を汚損する虞があった。
【０００７】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、搬送車が走行することによって発生する塵埃によってクリーンルーム内が汚損されることを的確に回避できるクリーンルーム用搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のクリーンルーム用搬送設備は、
天井部から多孔状の床部に向けて清浄空気が通風されるクリーンルームにおける前記床部を走行する物品搬送用の搬送車が設けられたものであって、その第１特徴構成は、
前記搬送車の走行車輪が走行する走行レール、前記搬送車の被案内輪をその搬送車が走行経路に沿って移動するように案内する案内レール及び前記搬送車の受電部に給電する給電レールが、前記床部の下方の通風空間内に配置され、
前記床部に、前記走行レール、前記案内レール及び前記給電レールを露出する搬送車通過用開口が形成されている点にある。
【０００９】
すなわち、搬送車は、床部に形成した搬送車通過用開口を通して、走行車輪を床部の下方の通風空間内に配置された走行レールに接触させ、被案内輪を床部の下方の通風空間内に配置された案内レールに接触させ、及び、受電部を床部の下方の通風空間内に配置された給電レールに接触させるようにする状態で、走行経路に沿って走行することになる。
そして、搬送車が走行すると、走行車輪が走行レールに接触することにより塵埃が発生し、被案内輪が案内レールに接触することにより塵埃が発生し、さらには、受電部が給電レールに接触することにより塵埃を発生するものとなるが、走行レール、案内レール及び給電レールが、床部の下方の通風空間内に配置されるものであるから、上述の如く発生した塵埃がクリーンルーム内に浮遊して、クリーンルーム内を汚損することが回避されることになる。
【００１０】
説明を加えると、クリーンルームは、床部の下方の通風空間内に流動する清浄空気を吸引して天井部に送風する送風手段により、清浄空気を床部の下方の通風空間と天井部とに亘って循環流動させるものであり、そして、循環流動される清浄空気中に存在する塵埃を除塵フィルターにより除去するように構成されるものであるから、床部の下方の通風空間内にて発生した塵埃は、クリームルーム内に浮遊することなく的確に清浄空気とともに流動することになり、そして、除塵フィルターにて除去されることになるため、走行車輪が走行レールに接触することにより発生する塵埃、被案内輪が案内レールに接触することにより発生する塵埃、及び、受電部が給電レールに接触することにより発生する塵埃により、つまり、搬送車が走行することにより発生する塵埃により、クリーンルーム内が汚損されることを回避できるものとなる。
したがって、搬送車が走行することによって発生する塵埃によってクリーンルーム内が汚損されることを的確に回避できるクリーンルーム用搬送設備を提供するに至った。
【００１１】
本発明の第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、
前記搬送車通過用開口を閉じる多孔状の蓋部材が、前記床部と連なる状態に装着自在に設けられている点にある。
【００１２】
すなわち、搬送車の使用を中止するとき等において、床部に形成された搬送車通過用開口を蓋部材にて閉じることにより、床部の搬送車通過用開口が形成された部分を、床部として使用することが可能となり、しかも、蓋部材が多孔状であるから、天井部から床部に向けて通風される清浄空気を、蓋部材の装着部分においても床部の下方の通風空間に流動させることができるようにして、クリーンルーム内を適切に清浄な状態に保ち易いものとなる。
つまり、クリーンルーム内における処理装置の配置を変更する等により、搬送車の使用を中止する必要が生じた際に、床部に形成された搬送車通過用開口を蓋部材にて閉じるようにすれば、クリーンルーム内を適切に清浄な状態に保ちながらも、床部の搬送車通過用開口が形成された部分を、床部として使用することが可能となるのである。
したがって、第１特徴構成による作用効果に加えて、搬送車の使用を中止する際において、クリーンルーム内を清浄な状態に保ちながら、搬送車通過用開口が形成された部分を
も床部として有効に利用することが可能となるクリーンルーム用搬送設備を提供するに至った。
【００１３】
本発明の第３特徴構成は、上記第１又は第２特徴構成に加えて、
前記床部の下方の通風空間内に、前記走行レール、前記案内レール及び受電部を支持する架台が設置されている点にある。
【００１４】
すなわち、床部の下方の通風空間内に架台が設置され、走行レール、案内レール及び受電部が、その架台に支持されることになる。
つまり、走行レール、案内レール、及び、受電部を、床部の下方の通風空間内に配置するにあたり、それらを通風空間の床部に各別に支持させるように設置すると、それらの相対位置関係が適正な位置関係となるように組み付け難いものとなるが、走行レール、案内レール、及び、受電部を、共通の架台に支持させることにより、それらの相対位置関係が適正な関係となるように組み付け易いものとなるのである。
したがって、上記第１又は第２特徴構成の作用効果に加えて、走行レール、案内レール、及び、受電部を適正な相対位置関係となるように組み付ける易いクリーンルーム用搬送設備を提供するに至った。
【００１５】
本発明の第４特徴構成は、上記第１〜第３特徴構成のいずれかに加えて、
前記走行レールとして機能する上面部及び前記案内レールとして機能する横側面部を備えた搬送車用レールにて、前記走行レール及び前記案内レールが構成されている点にある。
【００１６】
すなわち、走行レール及び案内レールが、上面部を走行レールとし且つ横側面部を案内レールとする搬送車レールにて構成されることになる。
このように、一つの搬送車レールにて走行レール及び案内レールを構成するものであるから、走行レール及び案内レールを各別のレールとして構成するのに較べて、構成の簡素化を図れるものとなり、しかも、床部の下方の通風空間内に通風の抵抗となる部材の存在が多くなるのを回避して、通風空間内の洗浄空気の流動を円滑に行わせ易いものとなるのである。
従って、上記第１〜第３特徴構成のいずれかによる作用効果に加えて、構成の簡素化及び床部の下方の通風空間内における空気流動の円滑化を図ることが可能となるクリーンルーム用搬送設備を提供するに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、天井部1から多孔状の床部２に向けて清浄空気Ｇが通風される、いわゆるダウンフロー式のクリーンルームＡ内に、床部２を走行する物品搬送用の搬送車Ｂが、直線状の走行経路に沿って往復走行するように設けられ、その走行経路の横脇に、複数の物品搬出入用コンベヤ３が設置されて、搬送車Ｂにて複数の物品搬出入コンベヤ３の間での搬送を行うクリーンルーム用搬送設備が構成されている。
前記複数の物品搬出入コンベヤ３は、詳述はしないが、自動倉庫における入出庫部や物品処理装置における入出庫部として設けられるものである。
【００１８】
前記クリーンルームＡについて説明を加えると、前記床部２の下方に通風空間４が形成され、天井部１には、ＨＥＰＡフィルタなどからなるエアーフィルタ５が並設され、そのエアーフィルタ５の上方側に、エアーチャンバ室として機能する送風空間６が形成され、通風空間４と送風空間６とが接続流路７にて連通される。
その接続流路７に、通風空間４に吸引作用して、吸引した空気を送風空間６に送風する循環用送風機８、及び、塵埃を除塵するプレフィルタ９が設けられている。
そして、循環用送風機８の通風作用により、クリーンルームＡ内の空気が床部２を通して通風空間４内に流動し、その通風空間４内の空気が接続流路７を流動して、プレフィルタ９にて浄化されたのちに送風空間６に流入し、その後、エアーフィルタ５を通して浄化されたのち、天井部１から床部２に向けて清浄空気Ｇとして通風されるようになっている。
【００１９】
また、前記接続流路７における循環用送風機８の吸い込み側部分に、外気取入用流路１０が接続され、その外気取入用流路１０に、外気取入量調節用ダンパ１１が設けられ、接続流路７における循環用送風機８の吐出側部分に、排気流路１２が接続され、その排気流路１２に、排気量調節用ダンパ１３が設けられている。
そして、外気量調節用ダンパ１１と排気量調節用ダンパ１３の開度を調節することにより、循環される浄化空気のうちの一部を新鮮な空気と交換するように構成されている。
【００２０】
前記搬送車Ｂは、直線状の走行経路に沿って往復走行する車体本体Ｂ１と、その車体本体Ｂ１の上部に設置された物品移載装置Ｂ１とを備えている。
前記物品移載装置Ｂ２は、ローラコンベヤ式に構成されており、物品搬出入コンベヤ３から供給される物品を受け入れ、且つ、載置した物品を物品搬出入コンベヤ３に供給するように駆動されることになる。
【００２１】
図３及び図４にも示すように、前記走行車体Ｂ１の走行車輪１５が走行する走行レール１４、走行車体Ｂ１の被案内輪１６を走行車体Ｂ１が走行経路に沿って移動するように案内する案内レール１７、及び、走行車体Ｂ１の受電部１８に給電する給電レール１９が、前記床部２の下方の通風空間４内に配置されている。
そして、床部２に、走行レール１４、案内レール１７、及び、給電レール１９を露出する搬送車通過用開口Ｄが形成されている。
従って、搬送車Ｂ、つまり、車体本体Ｂ１は、床部２に形成した搬送車通過用開口Ｄを通して、走行車輪１５を床部２の下方の通風空間４内に配置された走行レール１４に接触させ、被案内輪１６を床部２の下方の通風空間４内に配置された案内レール１７に接触させ、及び、受電部１８を床部２の下方の通風空間４内に配置された給電レール１９に接触させるようにする状態で、走行経路に沿って走行することになる。
そして、搬送車Ｂが走行すると、走行車輪１５が走行レール１４に接触することにより塵埃が発生し、被案内輪１６が案内レール１７に接触することにより塵埃が発生し、さらには、受電部１８が給電レール１９に接触することにより塵埃を発生するものとなるが、走行レール１４、案内レール１７及び給電レール１９が、床部２の下方の通風空間４内に配置されるものであるから、上述の如く発生した塵埃がクリーンルームＡ内に浮遊して、クリーンルームＡ内を汚損することが回避されることになる。
【００２２】
説明を加えると、前記走行レール１４として機能する上面部及び前記案内レール１７として機能する横側面部を備えた搬送車用レールＦにて、走行レール１４及び案内レール１７が構成されており、その搬送車用レールＦが、左右一対並置され、そして、それら搬送車用レールＦのうちの一方に、給電レール１９が取り付けられている。
前記走行車輪１５は、左右の走行レール１４の夫々に対して前後方向に一対並べる状態で４個の備えられるものであって、４個の車輪１５のうちの、車体前後方向の一方側に位置する２つの車輪１５が、走行用電動モータ２０にて駆動されるようになっている。
前記被案内輪１７は、４個の車輪１５の夫々に対応させて、左右一対ずつを配置させる状態で８個備えられている。
ちなみに、前記受電部１８にて受電した電力は、走行用電動モータ２０、前記物品移載装置Ｂ２、及び、走行電動モータ２０や物品移載装置Ｂ２の作動を制御するコントローラ（図示せず）の作動用電力として用いられることになる。
【００２３】
前記搬送車用レールＦの支持構造について説明を加えると、図５にも示すように、床部２の下方の通風空間４内に、走行レール１４、案内レール１７及び給電レール１９を支持するための架台Ｋが設置され、この架台Ｋに、搬送車用レールＦが支持されるように構成されている。
前記架台Ｆは、搬送車Ｂの走行経路方向に沿って延びる状態で位置する左右一対の主フレーム部材２１、これら左右の主フレーム部材２１をその長手方向の複数箇所にて接続する水平方向に沿う補助フレーム部材２２、及び、通風空間４の床部から立設され且つ主フレーム部材２１の長手方向に沿って並ぶ複数の脚部材２３を備えており、複数の脚部材２３にて左右の主フレーム部材２１を支持するように構成されている。
【００２４】
また、図５にも示すように、多数の通気孔Ｓを分散状態で形成した凹状の板状部材２４が、床部２における搬送車通過用開口Ｄの口縁部に接続され且つ架台Ｋの上部を覆う状態で設けられており、通気を許容しながらも、諸物体が架台Ｋの下方に落下することを回避するように構成されている。尚、架台Ｋにおける補助フレーム部材２２の上部に相当する箇所には、前記板状部材２４を載置支持する板状の長尺部材２４ａが、架台２１の両横側方に突出する状態で且つ架台２１に載置支持される状態で設けられおり、板状部材２４を補強するようになっている。つまり、床部２における搬送車通過用開口Ｄの両口縁部に亘る状態で装着される凹状の板状部材２４が、架台Ｋにて載置支持される形態で設けられている。
【００２５】
前記左右の搬送車用レールＦの支持構造について説明を加えると、図４に示すように、前記左右の搬送車用レールＦを支持するための長尺状のレール支持体２５が、前記板状部材２４の上部に、搬送車用レールＦの長手方向に沿って適当間隔おきに並置されており、左右の搬送車レールＦが、レール支持体２５の左右の端部に載置状態で取り付けられている。
【００２６】
図６に示すように、前記搬送車用開口Ｄを閉じる複数の多孔状の蓋部材２６が、床部２と連なる状態に装着自在に設けられている。つまり、蓋部材２６を、床部２における搬送車通過用開口Ｄの口縁部に設けた受止部２７にて受け止め、且つ、左右の搬送車レールＦにて受け止めるように装着することにより、複数の多孔状の蓋部材２６によって搬送車用開口Ｄを閉じることができるように構成されている。
すなわち、搬送車Ｂの使用を中止するとき等において、床部２に形成された搬送車通過用開口Ｄを蓋部材２６にて閉じることにより、床部２の搬送車通過用開口Ｄが形成された部分を、床部２として使用することが可能となり、しかも、蓋部材２６が多孔状であるから、天井部１から床部２に向けて通風される清浄空気Ｇを、蓋部材２６の装着部分においても床部２の下方の通風空間４に流動させることができるようにして、クリーンルームＡ内を適切に清浄な状態に保つことができるものとなるのである。
つまり、クリーンルームＡ内における処理装置の配置を変更する等により、搬送車Ｂの使用を中止する必要が生じた際に、床部２に形成された搬送車通過用開口Ｄを蓋部材２６にて閉じるようにすれば、クリーンルームＡ内を適切に清浄な状態に保ちながらも、床部２の搬送車通過用開口Ｄが形成された部分を、床部２として使用することが可能となるのである。
【００２７】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、搬送車Ｂが直線状の走行経路を往復走行する場合を例示したが、走行経路を曲線状や環状に形成して実施しても良い。
【００２８】
（２）上記実施形態では、搬送車用レールＦにて、走行レール１４と案内レール１７とが一体的に形成される場合を例示したが、走行レール１４と案内レール１７とを各別のレールとして形成して実施しても良い。
【００２９】
（３）搬送車Ｂに備えさせる走行車輪１５の個数や配置は、例えば３個の車輪１５のうちの２つを車体の前方部に横幅方向に並べて配置し、残りの１個を車体後方部の横幅方向の中央部に配置するようにする等、種々変更できるものである。また、被案内輪１６についても、その設置個数や設置形態は種々変更できるものである。
【００３０】
（４）上記実施形態では、架台Ｋの上部を覆う板状部材２４を設けるようにしたが、この板状部材２４を省略してもよい。
【００３１】
（５）蓋部材２６を設けるにあたって、架台Ｋに支持させるようにする等、その支持構造は種々変更できる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】クリーンルーム用搬送設備の平面図
【図２】クリーンルーム用搬送設備の縦断正面図
【図３】搬送車の概略平面図
【図４】搬送車の正面図
【図５】架台の装着部の斜視図
【図６】蓋部材を装着した状態の縦断正面図
【符号の説明】
【００３３】
１    天井部
２    床部
４    通風空間
１４  走行レール
１５  走行車輪
１６  被案内輪
１７  案内レール
１８  受電部
１９  給電レール
Ａ    クリーンルーム
Ｄ    搬送車通過用開口
Ｆ    搬送車用レール
Ｇ    清浄空気
Ｋ    架台
Ｓ    通気孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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