(57)【要約】【課題】プローブデータを考慮してテストを効率化することが可能な、ウエハテストのための処理方法および処理装置を提供すること。【解決手段】プローブすべきデバイスについてウエハ上の位置情報を取得し、この位置情報に基づいて、第１のプローブカードを用いてテストを行う場合のインデックス数を第１のインデックス数として求め、第１のプローブカードとはウエハ対応面積の異なる第２のプローブカードを用いてテストを行う場合のインデックス数を第２のインデックス数として求め、第１、第２のインデックス数から、それぞれ、第１、第２のプローブカードを用いてテストを行う場合の所要時間を第１、第２の所要時間として求め、第１、第２のプローブカードから、第１、第２の所要時間のうちより短い所要時間である方に対応するプローブカードを使用プローブカードとして選択する。【選択図】図１
2009010249.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストのためプローブすべきデバイスについて、ウエハ上の位置情報を取得し、
前記位置情報に基づいて、第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第１のインデックス数として求め、
前記位置情報に基づいて、前記第１のプローブカードとはウエハ対応面積の異なる第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第２のインデックス数として求め、
前記第１のインデックス数から、前記第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第１の所要時間として求め、
前記第２のインデックス数から、前記第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第２の所要時間として求め、
前記第１の所要時間と前記第２の所要時間とを比較し、
前記第１のプローブカードおよび前記第２のプローブカードから、前記第１の所要時間および前記第２の所要時間のうちより短い所要時間である方に対応するプローブカードを使用プローブカードとして選択し、
前記使用プローブカードを指示する情報をウエハプローバに出力すること
を特徴とする、ウエハテストのための処理方法。
【請求項２】
複数のウエハにおいて、
テストのためプローブすべきデバイスについて、ウエハ上の位置情報を取得し、
前記位置情報に基づいて、第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第１のインデックス数として求め、
前記位置情報に基づいて、前記第１のプローブカードとはウエハ対応面積の異なる第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第２のインデックス数として求め、
前記第１のインデックス数から、前記第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第１の所要時間として求め、
前記第２のインデックス数から、前記第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第２の所要時間として求めること
を前記複数のウエハの各ウエハについて行い、
前記各ウエハについての前記第１の所要時間を合算して該第１の所要時間の合計時間を第１の合計所要時間として求め、
前記各ウエハについての前記第２の所要時間を合算して該第２の所要時間の合計時間を第２の合計所要時間として求め、
前記第１の合計所要時間と前記第２の合計所要時間とを比較し、
前記第１のプローブカードおよび前記第２のプローブカードから、前記第１の合計所要時間および前記第２の合計所要時間のうちより短い合計所要時間である方に対応するプローブカードを使用プローブカードとして選択し、
前記使用プローブカードを指示する情報をウエハプローバに出力すること
を特徴とする、ウエハテストのための処理方法。
【請求項３】
複数のウエハにおいて、
テストのためプローブすべきデバイスについて、ウエハ上の位置情報を取得し、
前記位置情報に基づいて、第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第１のインデックス数として求め、
前記位置情報に基づいて、前記第１のプローブカードとはウエハ対応面積の異なる第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第２のインデックス数として求め、
前記第１のインデックス数から、前記第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第１の所要時間として求め、
前記第２のインデックス数から、前記第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第２の所要時間として求め、
前記第１の所要時間と前記第２の所要時間とを比較し、
前記第１のプローブカードおよび前記第２のプローブカードから、前記第１の所要時間および前記第２の所要時間のうちより短い所要時間である方に対応するプローブカードを使用プローブカードとして選択すること
を前記複数のウエハの各ウエハについて行い、
前記各ウエハについて選択された前記使用プローブカードが同じであるウエハの組を特定し、
前記ウエハの組と該ウエハの組に対応する前記使用プローブカードを指示する情報とをウエハプローバに出力すること
を特徴とする、ウエハテストのための処理方法
【請求項４】
テストのためプローブすべきデバイスについて、ウエハ上の位置情報を取得する手段と、
前記位置情報に基づいて、第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第１のインデックス数として求める手段と、
前記位置情報に基づいて、前記第１のプローブカードとはウエハ対応面積の異なる第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第２のインデックス数として求める手段と、
前記第１のインデックス数から、前記第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第１の所要時間として求める手段と、
前記第２のインデックス数から、前記第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第２の所要時間として求める手段と、
前記第１の所要時間と前記第２の所要時間とを比較する手段と、
前記第１のプローブカードおよび前記第２のプローブカードから、前記第１の所要時間および前記第２の所要時間のうちより短い所要時間である方に対応するプローブカードを使用プローブカードとして選択する手段と、
前記使用プローブカードを指示する情報をウエハプローバに出力する手段と
を具備することを特徴とする、ウエハテストのための処理装置。
【請求項５】
前記使用プローブカードを指示する前記情報が前記ウエハプローバに出力されるに応じて前記ウエハプローバから返信される前記ウエハプローバのステータス信号に基づいて、前記ウエハプローバに動作開始信号を出力する手段をさらに具備することを特徴とする請求項４記載の、ウエハテストのための処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハテストのための処理方法および処理装置に係り、特に、テストの効率向上のため複数のプローブカードを用いる、ウエハテストのための処理方法および処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ上に形成された各デバイスをウエハの段階でテストすることは、その後の工程での無駄な労力やコストを軽減する上で必須である。各デバイスがテストの対象となるか否かは、通常、デバイスごとのプローブデータ（デバイスごとのオン／オフデータ）として保持、管理されている。プローブデータはデバイスごとのデータであるが、一般には、ウエハ上でのデバイスの位置情報と対応づけられて管理され、さらにウエハの一定数の集まりであるロットごとに管理されている。
【０００３】
テストにおける通常のプローブのやり方は、プローブデータがオンとなっているデバイスを少なくとも含むようにプローブできる複数デバイス対応のプローブカードを用いれば足りる。このようなプローブカードを用いる場合、テストの対象ではないデバイスもプローブされる。したがって、プローブカードの耐久性に影響を与えるとともに、この結果、テストすべきロットの数に対して用意されているプローブカードの数が足りなくなる場合があり得る。また、テストの対象ではないデバイスがプローブされる頻度が高いほどテスト時間の効率化という意味で不利になりやすい。
【０００４】
複数のプローブカードを用いるウエハテスタには、例えば下記特開昭６３−１７９２６７号公報記載のものがある。このテスタは、ウエハ上に設けられたバーコードを認識してこれに対応するプローブカードを選択、装着する手段を有している。これらのプローブカードは複数デバイス対応のプローブカードではなく、例えば同一ウエハ上に別品種のデバイスが形成されている場合などを想定して用意された複数のプローブカードである。
【特許文献１】特開昭６３−１７９２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、ウエハテストのための処理方法および処理装置において、プローブデータを考慮してテストを効率化することが可能な、ウエハテストのための処理方法および処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様であるウエハテストのための処理方法は、テストのためプローブすべきデバイスについて、ウエハ上の位置情報を取得し、前記位置情報に基づいて、第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第１のインデックス数として求め、前記位置情報に基づいて、前記第１のプローブカードとはウエハ対応面積の異なる第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第２のインデックス数として求め、前記第１のインデックス数から、前記第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第１の所要時間として求め、前記第２のインデックス数から、前記第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第２の所要時間として求め、前記第１の所要時間と前記第２の所要時間とを比較し、前記第１のプローブカードおよび前記第２のプローブカードから、前記第１の所要時間および前記第２の所要時間のうちより短い所要時間である方に対応するプローブカードを使用プローブカードとして選択し、前記使用プローブカードを指示する情報をウエハプローバに出力する。
【０００７】
また、本発明の別の態様であるウエハテストのための処理方法は、複数のウエハにおいて、テストのためプローブすべきデバイスについて、ウエハ上の位置情報を取得し、前記位置情報に基づいて、第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第１のインデックス数として求め、前記位置情報に基づいて、前記第１のプローブカードとはウエハ対応面積の異なる第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第２のインデックス数として求め、前記第１のインデックス数から、前記第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第１の所要時間として求め、前記第２のインデックス数から、前記第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第２の所要時間として求めることを前記複数のウエハの各ウエハについて行い、前記各ウエハについての前記第１の所要時間を合算して該第１の所要時間の合計時間を第１の合計所要時間として求め、前記各ウエハについての前記第２の所要時間を合算して該第２の所要時間の合計時間を第２の合計所要時間として求め、前記第１の合計所要時間と前記第２の合計所要時間とを比較し、前記第１のプローブカードおよび前記第２のプローブカードから、前記第１の合計所要時間および前記第２の合計所要時間のうちより短い合計所要時間である方に対応するプローブカードを使用プローブカードとして選択し、前記使用プローブカードを指示する情報をウエハプローバに出力する。
【０００８】
また、本発明のさらに別の態様であるウエハテストのための処理方法は、複数のウエハにおいて、テストのためプローブすべきデバイスについて、ウエハ上の位置情報を取得し、前記位置情報に基づいて、第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第１のインデックス数として求め、前記位置情報に基づいて、前記第１のプローブカードとはウエハ対応面積の異なる第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第２のインデックス数として求め、前記第１のインデックス数から、前記第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第１の所要時間として求め、前記第２のインデックス数から、前記第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第２の所要時間として求め、前記第１の所要時間と前記第２の所要時間とを比較し、前記第１のプローブカードおよび前記第２のプローブカードから、前記第１の所要時間および前記第２の所要時間のうちより短い所要時間である方に対応するプローブカードを使用プローブカードとして選択することを前記複数のウエハの各ウエハについて行い、前記各ウエハについて選択された前記使用プローブカードが同じであるウエハの組を特定し、前記ウエハの組と該ウエハの組に対応する前記使用プローブカードを指示する情報とをウエハプローバに出力する。
【０００９】
また、本発明のさらに別の態様であるウエハテストのための処理装置は、テストのためプローブすべきデバイスについて、ウエハ上の位置情報を取得する手段と、前記位置情報に基づいて、第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第１のインデックス数として求める手段と、前記位置情報に基づいて、前記第１のプローブカードとはウエハ対応面積の異なる第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合のインデックス数を第２のインデックス数として求める手段と、前記第１のインデックス数から、前記第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第１の所要時間として求める手段と、前記第２のインデックス数から、前記第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の所要時間を第２の所要時間として求める手段と、前記第１の所要時間と前記第２の所要時間とを比較する手段と、前記第１のプローブカードおよび前記第２のプローブカードから、前記第１の所要時間および前記第２の所要時間のうちより短い所要時間である方に対応するプローブカードを使用プローブカードとして選択する手段と、前記使用プローブカードを指示する情報をウエハプローバに出力する手段とを具備する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ウエハテストのための処理方法および処理装置において、テストのためプローブすべきデバイスについての情報であるプローブデータを考慮してテストを効率化することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
上記一態様であるウエハテストのための処理方法によれば、テストのためプローブすべきデバイスについての位置情報を取得し、この位置情報に基づいて、ウエハ対応面積の異なる２つ（以上）のプローブカードを用いてテストを行う場合のそれぞれのインデックス数を求める。そして、これらのインデックス数からそれぞれのテストの所要時間を求め、所要時間のより短い方のプローブカードを選択し、この選択されたプローブカードを使用プローブカードとしてその指示情報をウエハプローバへ出力する。よって、テストのためプローブすべきデバイスについての情報であるプローブデータを考慮してテストの効率化が達成できる。上記一態様であるウエハテストのための処理装置における作用としてもほぼ同様である。
【００１２】
なお、インデックスとは、ウエハに対するプローブカードの、テストでの位置対応づけをいい、あるプローブカードを用いた場合、そのプローブカードのウエハに対する対応面積により、１回以上のインデックスによりひとつのウエハ上のすべてのデバイスに対してプローブができる。
【００１３】
ここで、前記第１のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の合計プローブデバイス数を第１の合計プローブデバイス数として求め、前記第２のプローブカードを用いて前記テストを行う場合の合計プローブデバイス数を第２の合計プローブデバイス数として求め、前記第１の所要時間と前記第２の所要時間とが同じである場合に、前記第１のプローブカードおよび前記第２のプローブカードのうち、前記第１の合計プローブデバイス数および前記第２の合計プローブデバイス数のうちより小さい数である方に対応するプローブカードを前記使用プローブカードとして選択することをさらに行う、とすることができる。これは、所要時間が同じである場合には、無駄なプロービングができるだけ発生しないことを基準にプローブカードを選択するようにしたものである。
【００１４】
なお、テストのためプローブすべきデバイスについての位置情報を取得し、この位置情報に基づいて、ウエハ対応面積の異なる２つ（以上）のプローブカードを用いてテストを行う場合のそれぞれのインデックス数を求め、これらのインデックス数からそれぞれのテストの所要時間を求めることを複数のウエハの各ウエハにおいて行ったあと、次のように処理することもできる。すなわち、各ウエハについての一方のプローブカードによる所要時間を合算してその合計時間を求め、また、他方のプローブカードによる所要時間を合算してその合計時間を求め、それらのうち合計時間をより短い方のプローブカードを選択し、この選択されたプローブカードを使用プローブカードとしてウエハプローバへの指示情報として出力する。これは、複数のウエハについてプローブカードを同一とする場合にテスト時間を効率化させるものである。
【００１５】
また、複数の各ウエハについてそれぞれ所要時間のより短い方のプローブカードを選択し、各ウエハについて選択された使用プローブカードが同じであるウエハの組を特定し、このウエハの組と該ウエハの組に対応する使用プローブカードを指示する情報とをウエハプローバに出力する、としてもよい。これによれば、使用するプローブカードに応じたまとまりでウエハをテストするができ、プローブカードの交換回数が少なくて済む。
【００１６】
本発明の一態様であるウエハテストのための処理装置では、実施態様として、前記使用プローブカードを指示する前記情報が前記ウエハプローバに出力されるに応じて前記ウエハプローバから返信される前記ウエハプローバのステータス信号に基づいて、前記ウエハプローバに動作開始信号を出力する手段をさらに具備する、とすることができる。この態様は、使用プローブカードがウエハプローバに装着されたことを確認しつつこのウエハプローバの動作を制御する場合に向いている。
【００１７】
なお、処理装置における各手段としては、例えば、マイクロプロセッサ、メモリ、インターフェースなどのハードウエアと、これらのハードウエア上で動作する基本ソフトウエア（ＯＳ）およびアプリケーションプログラムとで構成することができる。
【００１８】
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る、ウエハテストのための処理方法を実施するためのシステムを示す機能ブロック図である。図１に示すように、このシステムは、ウエハテストのための処理装置１０を中心にウエハテスタ２０、ウエハプローバ３０、ＭＥＳ（生産システム）５０を有しており、処理装置１０と、ウエハテスタ２０、ウエハプローバ３０、ＭＥＳ５０との間はネットワーク４０で接続されている。
【００１９】
処理装置１０は、このシステムで必要な処理を行う本体であり、例えば汎用の情報処理装置（ＰＣなど）に必要なソフトウエアを組み込んだものとすることができる。ウエハテスタ２０は、ウエハ段階の各デバイスに対して諸テストを行う機能を有し、このテストのためウエハプローバ３０と相互に接続されている。ウエハテスタ２０は、テストの結果として、特に、テスト対象のデバイスごとにＢＩＮデータを得てこれをＢＩＮデータ保持部２２に保持する。なおＢＩＮとは、正常デバイスと不良デバイスとを分類する基準のことでありＢＩＮデータを数値として表わされる。ＢＩＮデータ保持部２２に保持されたＢＩＮデータは、ネットワーク４０を介して処理装置１０のＢＩＮデータ保持部１２に送られて保持され得る。
【００２０】
ウエハプローバ３０は、ウエハ段階の各デバイスに、プローブカード（不図示）を介してプロービングする機能を少なくとも有する装置であり、プロービングによりウエハテスタ２０からの試験信号のデバイスへの印加、および試験信号による発生信号のデバイスからの取り出しを行う。このウエハプローバ３０では、特に、上記プローブカードとして、複数デバイス対応のものを含み２以上のものが取り替えられ装着されることに対応している。テストでは、これらのプローブカードから、選択カード情報保持部３４に保持された情報を参照して、いずれかを選択し使用する（選択の具体例は後述する）。
【００２１】
選択カード情報保持部３４に保持されている情報は、処理装置１０の処理部１１における処理の結果としてウエハプローバ３０に送られて保持されているものである。また、ウエハプローバ３０は、テストの結果として、特に、ウエハ上の各デバイスについてそのデバイスを以降もテスト対象とするかしなくてもよいかの指示データであるプローブデータを得て、これをプローブデータ保持部３５に保持する。プローブデータ保持部３５に保持されたプローブデータは、ネットワーク４０を介して処理装置１０のプローブデータ保持部１５に送られて保持され得る。
【００２２】
ＭＥＳ５０は、ウエハやウエハの一定の集まりであるロットなどについての測定データ、あるいは生産される品種などについてのデータを統括的に管理するシステムであり、処理装置１０は、ネットワーク４０を介してＭＥＳ５０から必要な情報を取得することができる。これらのデータは、テストのプロセス名称、テスト対象のロット番号、ウエハ番号、ウエハ内でのデバイス位置（さらにはデバイス内でのブロック位置）などの情報が付加され対応づけられている。なお、ネットワーク４０は例えばイントラネットである。
【００２３】
処理装置１０の処理部１１は、このシステムにおける一連の処理を統括するものである。その具体的なフローについては後述する。ＢＩＮデータ保持部１２は、ネットワーク４０を介してウエハテスタ２０のＢＩＮデータ保持部２２またはＭＥＳ５０から得たＢＩＮデータを保持するものである。対象ウエハ情報保持部１３は、あるロットの中での測定対象となるウエハを特定する情報である対象ウエハ情報を保持するものである。この対象ウエハ情報は、例えば、ＭＥＳ５０から取得した、あるロットについての測定情報を参照して決定された情報である。選択カード情報保持部１４は、ウエハプローバ３０に送る選択カード情報を保持しておくものである。この選択カード情報は、処理部１１での処理によって生成される。その具体的処理は後述する。
【００２４】
プローブデータ保持部１５は、ネットワーク４０を介してウエハプローバ３０のプローブデータ保持部３５またはＭＥＳ５０から得たプローブデータを保持するものである。測定ロットデータベース１６は、ＭＥＳ５０から取得した、あるロットについての測定情報を保持しておくものである。カードマスタデータベース１７は、ウエハプローバ３０で使用できる各プローブカードの諸元であるマスター情報を保持しているデータベースである。プローブマスタデータベース１８は、品種やロット識別情報に対応づけて、使用するプローブカードの選択基準情報を保持しているデータベースである。
【００２５】
なお、ＢＩＮデータ保持部１２、対象ウエハ情報保持部１３、選択カード情報保持部１４、プローブデータ保持部１５、測定ロットデータベース１６、カードマスタデータベース１７、プローブマスタデータベース１８は、それぞれ単独の構成であっても、あるいはひとつの構成物を仕切ることでそれぞれ得られたものであってもよい。
【００２６】
以上、図１を参照して機能説明をひと通り行ったが、より具体的、詳細には、上記以外の機能や動作が含まれる。これらは、図２以降を参照する説明で明らかになる。そこで、次に、図２をも参照し、図１に示したシステムの動作を時系列に説明する。図２は、図１中に示した処理部１１が実行する処理を示す流れ図であり、この図２中に示す参照符号のうち図１中に使用のものは、互いに対応していることを示す。
【００２７】
まず、ウエハプローバ３０には、ある品種のウエハがひとつのまとまりであるロットとして、テストのためセットされる。これに応じてウエハプローバ３０からは、そのロットの識別情報（品種情報も含まれる）が、ネットワーク４０を介して処理装置１０の処理部１１に送られる（ステップ６１）。また、ウエハプローバ３０に使用のため装着されているプローブカードの識別情報も、ネットワーク４０を介して処理部１１に送られる（同ステップ）。処理部１１は、ロットの識別情報、プローブカードの識別情報を受け取る。
【００２８】
処理部１１では、受け取ったロット識別情報をＭＥＳ５０に送り、ＭＥＳ５０からこのロットの測定情報を取得する（ステップ６２）。取得された測定情報は、測定ロットデータベース１６に保管される（同ステップ）。さらに、この測定情報から測定対象ウエハを決定し、これを対象ウエハ情報として、対象ウエハ情報保持部１３に保持する（ステップ６３）。ここで対象ウエハ情報は、例えば、図３に示すようなデータである。図３は、図１中に示した対象ウエハ情報保持部１３が保持する情報を例示するデータ構造図である。図３に示す例は、ウエハ番号１から２５でひとつのロットであり、テストの欄がオンのものが測定対象のウエハであり、オフのものが測定対象ではないウエハの場合を示している。
【００２９】
また、処理部１１は、決定された測定対象ウエハにプローブデータかＢＩＮデータのどちらかが存在するかを確認する（ステップ６３）。この確認には、ＢＩＮデータ保持部１２およびプローブデータ保持部１５を参照する。プローブデータもＢＩＮデータも存在しない場合は、現テスト環境において何らのデータも測定されていないということであり、通常のルーチンの処理フローに従い、プローブ開始の旨をウエハプローバ３０に送信する（ステップ６４）。これにより、通常手順でテストが進められ、測定対象ウエハについてプローブデータおよびＢＩＮデータの少なくとも一方が得られて、これが処理装置１０内のＢＩＮデータ保持部１２および／またはプローブデータ保持部１５に保持されることになる。
【００３０】
また、上記決定された測定対象ウエハにプローブデータかＢＩＮデータのどちらかが存在する場合には、ＢＩＮデータ保持部１２またはプローブデータ保持部１５にあるそれらのデータから、各ウエハ内でのプローブすべきデバイスの位置情報を取得する（ステップ６５）。ＢＩＮデータおよびプローブデータは、それぞれ、ウエハ内でのデバイスと対応づけられた情報なので容易に得られる。このような位置情報は、あるウエハについて見ると、例えば、図４に示すような情報になる。図４は、図１中に示したＢＩＮデータ保持部１２またはプローブデータ保持部１５が保持する情報から得た、プローブすべきデバイスの位置情報を例示する模式図である。
【００３１】
次に、処理部１１は、ウエハプローバ３０から得られたロット識別情報に対応するプローブマスタ情報を確認する（ステップ６６）。これにはプローブマスタデータベース１８を参照する。ここでプローブマスタ情報は、例えば図５に示すような情報である。図５は、図１中に示したプローブマスタデータベース１８が保持するプローブマスタ情報を例示するデータ構造図である。図５に示す例は、プロダクトの欄に品種が、ロットの欄にロット名が、プローブの欄にそのロット内で使用するプローブカードをいかに選択するかの基準が、それぞれ、記述された場合を示している。なお、ロットの欄の「＊」はいずれのロットでも適用である旨を示している。
【００３２】
また、処理部１１は、ロットの品種に対応するカードマスタ情報を取得する（ステップ６６）。これにはカードマスタデータベース１７を参照する。ここでカードマスタ情報は、例えば図６に示すような情報である。図６は、図１中に示したカードマスタデータベースが保持するカードマスタ情報を例示するデータ構造図である。図６に示す例は、プロダクトの欄に品種が、カードの欄にプローブカード名が、ＴＤの欄にウエハ上でのプローブカードの対応面積に関する情報が、アドレスの欄にそのプローブカードを位置させるインデックスごとの座標情報が、ＤＵＴの欄に１回のインデックス当たりのプローブデバイス数が、時間の欄に１回のインデックス当たりのテスト所要時間（単位min）が、それぞれ、記述された場合を示している。
【００３３】
ここで、図４に示したプローブすべきデバイスの位置情報と、図６に示したカードマスタ情報とから、図４のウエハと各プローブカードとの関係は、図７ないし図１０に示すようになる。図７は、図４に例示したデバイスの位置情報を前提としたときの第１のプローブカードＣ１とウエハとの位置関係を示す模式図であり、図８は、同様に第２のプローブカードＣ２とウエハとの位置関係を示す模式図であり、図９は、第３のプローブカードＣ１とウエハとの位置関係を示す模式図であり、図１０は、第４のプローブカードＣ４とウエハとの位置関係を示す模式図である。
【００３４】
図７に示すように、プローブカードＣ１は、ＴＤがウエハ全面対応であることから、図４に示したウエハを１回のインデックスでカバーする。また、図８に示すように、プローブカードＣ２は、ＴＤがウエハの半分に対応であるものの、このウエハ上のプローブすべきデバイスが上半分の領域に限られているため、図４に示したウエハをやはり１回のインデックスでカバーできる。
【００３５】
さらに図９に示すように、プローブカードＣ３は、ＴＤがウエハの１／４の領域に対応し、この１／４の領域対応を前提として、図４に示したウエハを２回のインデックスでカバーできる。また、図９に示すように、プローブカードＣ４は、ＴＤが各ダイ（各デバイス）対応であるので、図４に示したウエハ上のプローブすべきデバイスの数と同数のインデックス数（この場合４３）が必要である。
【００３６】
図７から図１０に示すような関係は、図４に示したプローブすべきデバイスの位置情報と、図６に示した情報のうちＴＤおよびアドレスの欄に記載された情報とにより、それぞれ一意に決定することができる。
【００３７】
次に、処理部１１は、ロットで同一のプローブカードを続けて使用することを前提として、どのプローブカードを用いれば時間的に効率的にテストが済むかを判断する（ステップ６７）。この判断で得られたプローブカードの情報は、使用プローブカード情報として、選択カード情報保持部１４に保持される。ここで、ステップ６７の処理をより詳細に示すと、図１１に示すようになる。図１１は、図２中に示した処理ステップ６７をやや詳細に示す流れ図である。図１１を参照してステップ６７を詳細説明する。
【００３８】
まず、ウエハを固定してこのウエハについて、あるプローブカードを用いたときのインデックス数を求める（ステップ６７１）。これは、図７ないし図１０に示したような関係から求められる。すなわち、図７の場合ではインデックス数は１、図８の場合ではインデックス数は同じく１、図９の場合ではインデックス数は２、図１０の場合ではインデックス数は４３である。そして、求められたインデックス数からテストの所要時間を求める（ステップ６７２）。これは、インデックス数×１回のインデックス数当たりの時間（前述のようにこの時間はカードマスタ情報に記述されている）で求めることができる。
【００３９】
上記のステップ６７１、６７２の処理は、ウエハを固定してそのウエハについて、使用可能なプローブカードにつきすべて行う（ステップ６７３）。この結果は、例えば図１２に示すようになる。図１２は、図４に示したデバイスの位置情報および図６に示したカードマスタ情報を前提としたときの、各プローブカードについて求めたインデックス数、所要時間を例示する表である。なお、図１２では、インデックス数および所要時間以外に、合計のプローブデバイス数であるＤＵＴも求められている。
【００４０】
参考まで図１２でドットパターンは、仮にこのウエハだけで判断した場合でのもっとも効率的なプローブカードを示している。この場合、時間では同じになる場合（プローブカードＣ１とプローブカードＣ２）には、合計のプローブデバイス数が少ない方を選んでいる。プローブ数が少ない方がプローブカードの耐久性上好ましい。
【００４１】
ステップ６７１、６７２、６７３の処理は、あるウエハについてこれが済んだら、対象ウエハのうちの別のウエハに処理対象を代えて、対象ウエハすべてについて同様に行う（ステップ６７４）。そして、プローブカードごとに、対象ウエハについての所要時間を合算し、より短いプローブカードを選ぶ（ステップ６７５）。ここでテスト対象（対象ウエハ）が全部で５つのウエハだとすると、この合算結果は例えば、図１３に示すようにして求められる。図１３は、図１２に示したプローブカードごとの所要時間を各ウエハについても求めかつこれをプローブカードごとに合算して合計所要時間を求めて示す表である。
【００４２】
図１３に示すような結果からは、プローブカードとしてＣ１を選択すると合計所要時間は５０分となり最短である。なお、参考まで図１３でドットパターンは、仮に個々のウエハだけで判断した場合でのもっとも効率的なプローブカードを示している。
【００４３】
図２に戻り、次に、処理部１１は、もっとも効率的と判断されたプローブカード（この例ではプローブカードＣ１）が、ウエハプローバ３０から受け取っている、装着されたプローブカードの識別情報と異なる場合に、プローブカードを交換すべき旨の信号をウエハプローバ３０に送信する（ステップ６８）。これは、ウエハプローバ３０から受け取る、装着されたプローブカードの識別情報が一致するまで行う（同ステップ）。
【００４４】
処理部１１において、もっとも効率的と判断されたプローブカードが、ウエハプローバ３０から受け取っている、装着されたプローブカードの識別情報に一致したら、プローブ開始の旨をウエハプローバ３０に送信する（ステップ６９）。加えて、対象ウエハ情報（図３）およびプローブすべきデバイスの位置情報（図４）もウエハプローバ３０に渡す（ステップ７０）。これにより、ウエハプローバ３０は、その選択されたプローブカード（この場合Ｃ１）を用いて続けて対象ウエハについてプロービングしてウエハテスタ２０とともにテストを行う。
【００４５】
対象ウエハについてテストが終了すると、テストの結果としてウエハプローバ３０で得られたプローブデータを受け取り、その後ウエハプローバ３０からプローブ終了の旨の信号を受け取る（ステップ７１）。
【００４６】
以上説明のような処理により、この実施形態では、テストのためプローブすべきデバイスについての情報であるプローブデータを考慮してテストの効率化が達成できる。特に、測定の対象となるウエハで同じプローブカードを用いる場合に特化した処理になっている。
【００４７】
次に、図１に示したシステムにおける別の処理例について図１４、図１５を参照して説明する。図１４は、図１中に示した処理部が実行する処理の別の例を示す流れ図であり、図１５はその続図である。図１４、図１５において、すでに説明した図中に示す参照符号と同じものは同じ構成要素または処理を示している。その重複する説明は省略する。この処理例では、基本的に、ウエハごとに効率的なプローブカードが選択され使用される。ただし、さらに、プローブカードの取り替えに要する合計時間を短縮するように考慮がされている。
【００４８】
図１４において、ステップ６１からステップ６６までは図２を参照した説明と同じである。次に、ステップ６７においては、処理部１１は、ウエハごとに最短時間でテストができるプローブカードを使うことを前提として、各ウエハでどのプローブカードを用いれば時間的に効率的にテストが済むかを判断する（ステップ６７Ａ）。この判断で得られたプローブカードの情報は、使用プローブカード情報として、選択カード情報保持部１４に保持される。また、このプローブカードの情報には、同じカードが最適として選択されたウエハの組の情報が含まれる（同ステップ）。
【００４９】
ここで、ステップ６７Ａの処理をより詳細に示すと、図１６に示すようになる。図１６は、図１４中に示した処理ステップ６７Ａをやや詳細に示す流れ図である。図１６を参照してステップ６７Ａを詳細説明する。なお、図１６において、すでに図１１中に示した参照符号と同じ処理には同一の符号を付している。その重複する説明は省略する。
【００５０】
図１６において、ステップ６７１からステップ６７４については、図１１での説明と同じである。次に、ステップ６７５Ａにおいては、各ウエハにおいて、所要時間の短いプローブカードを選択する。なお、短いものが同じ時間である場合には、プローブカードの耐久性上有利な合計プローブデバイス数が少ないほうのプローブカードを選択する。そして、同じプローブカードが選択されたウエハの組を特定する。
【００５１】
より、具体的には、前掲（図３から図１０）の例で言えば、図１７に示すように、カード選択と、選択カードが同じウエハの組とが特定される。図１７は、図１２に示したプローブカードごとの所要時間を各ウエハについても求めかつウエハそれぞれで所要時間の短いプローブカードを選択しさらに選択されたプローブカードが同じウエハで組分けして示す表である。図１７では、太枠の部分が選択されたプローブカードを示しており、さらに同じ選択カードのウエハを他と切り離して示している。
【００５２】
図１５を参照して、次に、処理部１１は、あるウエハの組についてもっとも効率的と判断されたプローブカードが、ウエハプローバ３０から受け取っている、装着されたプローブカードの識別情報と異なる場合に、プローブカードを交換すべき旨の信号をウエハプローバ３０に送信する（ステップ６８Ａ）。これは、ウエハプローバ３０から受け取る、装着されたプローブカードの識別情報が一致するまで行う（同ステップ）。
【００５３】
処理部１１において、あるウエハの組についてもっとも効率的と判断されたプローブカードが、ウエハプローバ３０から受け取っている、装着されたプローブカードの識別情報に一致したら、プローブ開始の旨をウエハプローバ３０に送信する（ステップ６９）。加えて、ウエハの組の情報およびプローブすべきデバイスの位置情報もウエハプローバ３０に渡す（ステップ７０Ａ）。これにより、ウエハプローバ３０は、その選択されたプローブカードを用いて、続けてその組に属するウエハについてプロービングしてウエハテスタ２０とともにテストを行う。
【００５４】
その組に属するウエハについてテストが終了すると、テストの結果としてウエハプローバ３０で得られたプローブデータを受け取り、その後ウエハプローバ３０からプローブ終了の旨の信号を受け取る（ステップ７１）。次に、処理部１１は、テストすべきウエハすべてについてすべてテストが終了してどうかを判断し、終了していなければステップ６８Ａに戻り次のウエハの組について同様のテストおよび処理を行う（ステップ８１）。
【００５５】
以上説明のような処理により、テストのためプローブすべきデバイスについての情報であるプローブデータを考慮してテストの効率化が達成できる。特に、測定の対象となるウエハでそれぞれ最適、短時間のプローブカードを用いる場合に特化した処理になっている。また、最適、短時間のプローブカードが同じウエハを組として示す情報を生成しているので、プローブカードをそれらのウエハをテストする間は取り替える必要がない。これによりプローブカードの取り替えに要する合計時間も削減できる。
【００５６】
次に、以上説明した各処理（図２の処理、図１４、図１５の処理）において必要な、処理装置１０とウエハプローバ３０とのネットワーク４０を介する通信の態様例について図１８を参照して説明する。図１８は、図２または図１４、図１５に示した処理で用いられる処理装置１０とウエハプローバ３０との通信処理例を説明する図であり、特に、ステップ６８（またはステップ６８Ａ）に関係している。図１８において、すでに説明した図中に示したものと同一の構成要素には同一符号を付している。また、図１８における左右間を行き来する矢印に付されたＳで始まる符号は、図１８下側に示すような構成および意味を有する信号である。
【００５７】
まず、ウエハプローバ３０から処理装置１０に向けて、カード識別情報の確認要求を行う（これはステップ６１でも行う）。このカード識別情報は、現在装着されているプローブカードに関するものである。処理装置１０では、送られたカード識別情報をチェックする（ステップ９１；ここからはステップ６８（６８Ａ）のみに関する）。具体的には、送られたカード識別情報が、処理部１１において効率的だと判断され使用することが決定されているプローブカードに一致しているかどうかである。
【００５８】
上記の一致がなければ、処理装置１０からウエハプローバ３０にカード交換要求の旨を送信する。ウエハプローバ３０では、これにより、カードの取り外しを例えば手作業または自動で行い（ステップ９２）、これが済み次第、取り外し完了の旨を処理装置１０に送信する。そして、処理装置１０は、取り外し完了の旨を受信したことの通知をウエハプローバ３０に行う。
【００５９】
次に、ウエハプローバ３０は、取り外したカードとは別のプローブカードの装着を例えば手作業または自動で行い（ステップ９３）、これが済み次第、装着完了の旨を処理装置１０に送信する。そして、処理装置１０は、装着完了の旨を受信したことの通知をウエハプローバ３０に行う。これにより、ウエハプローバ３０は、処理装置１０に向けて、カード識別情報の確認要求を再び行う（破線のように進んで）。処理装置１０では、送られたカード識別情報を上記で説明したようにチェックする（ステップ９１）。一致があればその旨をウエハプローバ３０に送信して終了である（「Ｓ３Ｆ７２」の「Ａｃｋ」）。一致しなければ、ステップ９２以下が繰り返しになる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の一実施形態に係る、ウエハテストのための処理方法を実施するためのシステムを示す機能ブロック図。
【図２】図１中に示した処理部が実行する処理を示す流れ図。
【図３】図１中に示した対象ウエハ情報保持部が保持する情報を例示するデータ構造図。
【図４】図１中に示したＢＩＮデータ保持部またはプローブデータ保持部が保持する情報から得た、プローブすべきデバイスの位置情報を例示する模式図。
【図５】図１中に示したプローブマスタＤＢが保持するプローブマスタ情報を例示するデータ構造図。
【図６】図１中に示したカードマスタＤＢが保持するカードマスタ情報を例示するデータ構造図。
【図７】図４に例示したデバイスの位置情報を前提としたときの第１のプローブカードとウエハとの位置関係を示す模式図。
【図８】図４に例示したデバイスの位置情報を前提としたときの第２のプローブカードとウエハとの位置関係を示す模式図。
【図９】図４に例示したデバイスの位置情報を前提としたときの第３のプローブカードとウエハとの位置関係を示す模式図。
【図１０】図４に例示したデバイスの位置情報を前提としたときの第４のプローブカードとウエハとの位置関係を示す模式図。
【図１１】図２中に示した処理ステップ６７をやや詳細に示す流れ図。
【図１２】図４に示したデバイスの位置情報および図６に示したカードマスタ情報を前提としたときの、各プローブカードについて求めたインデックス数、所要時間を例示する表。
【図１３】図１２に示したプローブカードごとの所要時間を各ウエハについても求めかつこれをプローブカードごとに合算して合計所要時間を求めて示す表。
【図１４】図１中に示した処理部が実行する処理の別の例を示す流れ図。
【図１５】図１４の続図であって、図１中に示した処理部が実行する処理の別の例を示す流れ図。
【図１６】図１４中に示した処理ステップ６７Ａをやや詳細に示す流れ図。
【図１７】図１２に示したプローブカードごとの所要時間を各ウエハについても求めかつウエハそれぞれで所要時間の短いプローブカードを選択しさらに選択されたプローブカードが同じウエハで組分けして示す表。
【図１８】図２または図１４、図１５に示した処理で用いられる処理装置とウエハプローバとの通信処理例を説明する図。
【符号の説明】
【００６１】
１０…ウエハテストのための処理装置、１１…処理部、１２…ＢＩＮデータ保持部、１３…対象ウエハ情報保持部、１４…選択カード情報保持部、１５…プローブデータ保持部、１６…測定ロットデータベース、１７…カードマスタデータベース、１８…プローブマスタデータベース、２０…ウエハテスタ、２２…ＢＩＮデータ保持部、３０…ウエハプローバ、３４…選択カード情報保持部、３５…プローブデータ保持部、４０…ネットワーク、５０…ＭＥＳ（生産システム）、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４…プローブカード。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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