(57)【要約】【課題】蓋体を外した状態で、該基板収納容器が動いた場合でも、ウェハを所定の位置に保持することができる基板収納容器を提供すること。【解決手段】本発明は、天井部８、底部９、側壁５〜７により構成された基板収納部３と、側壁６と側壁７の内側面に、それぞれ、並設された複数のウェハスロット１１と、第２の側壁６と第３の側壁７に、それぞれ、ウェハスロット１１の配列方向に沿って延在形成されたスリット部１２と、各スリット部１２に沿って移動可能に配設されたスライド部１８と、スライド部１８の内側面に、ウェハスロット１１のピッチと略等しいピッチで並設された複数の基板固定片を有し、スライド部１８が基板固定位置において、基板固定片が基板をウェハスロット１１に押付固定し、基板固定解除位置において、基板固定片が基板の周縁部から離間し、基板の固定状態を解除する。【選択図】図１
2009010119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井部及び底部と、複数の側壁部とを有する筐体状の基板収納部と、
前記基板収納部を構成する一対の側壁部の内側面に、それぞれ、前記天井部側から前記底部側に向かって、主面間に間隔を空けて並設された複数の支持板と、
前記一対の側壁部に、それぞれ、前記支持板の配列方向に沿って延在形成されたスリット部と、
前記スリット部内に移動可能に配設され、前記天井部及び前記底部の少なくともいずれかから、その端部が突出するスライド部と、
前記スライド部の内側面に、前記支持板のピッチと略等しいピッチで並設された基板固定片とを有し、
前記基板収納部内に収納される基板は、前記一対の側壁部の一方に設けられた前記支持板と、他方に設けられた前記支持板との間に、掛け渡されるように載置自在とされ、
前記スライド部の一端部が前記底部から突出した状態において、前記基板固定片が前記基板の周縁部に当接して前記基板を前記支持板上に固定自在とされ、
前記スライド部の他端部が前記天井部から突出した状態において、前記基板固定片が前記基板の周縁部から離間して基板固定状態を解除自在としたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記スライド部の前記天井部側の端部に、前記基板収納容器の外側に位置する上側フランジ部が設けられ、前記上側フランジ部を前記天井部に当接した状態において前記スライド部の下方への移動が抑止されることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記上側フランジ部が前記天井部に当接した状態において、前記基板固定片が、前記基板の周縁部に当接して前記基板を前記支持板に押し付け固定自在とされてなることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記スライド部の前記底部側の端部に、前記基板収納容器の外側に位置する下側フランジ部が設けられ、前記下側フランジ部を前記底部に当接した状態において前記スライド部の上方への移動が抑止されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記下側フランジ部が前記底部に当接した状態において、前記基板の周縁部から前記基板固定片が離間し、前記基板の固定状態を解除自在とされてなることを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記下側フランジ部の底部と対向する面、及び、前記底部の前記下側フランジ部と対向する面の少なくともいずれかに、ガスケットが設けられていることを特徴とする請求項４又は５のいずれかの項に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記スライド部を、前記上側フランジ部が前記天井部側に当接した状態及び／又は前記下側フランジ部が前記底部側に当接した状態に固定する止め具を有することを特徴とする請求項２〜６のいずれかの項に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記スライド部の上側フランジ部を前記天井部から突出させた状態において、前記止め具が前記上側フランジ部と前記天井部との間に挿入自在とされ、前記スライド部が前記止め具により仮止め自在とされてなることを特徴とする請求項７に記載の基板収納容器。
【請求項９】
前記天井部に、前記スライド部の上端部及び前記上側フランジ部を覆う保護カバーが配設されていることを特徴とする請求項２〜８のいずれかの項に記載の基板収納容器。
【請求項１０】
前記外側ケースは、一方の側面が開口されるとともに、前記開口を開閉する蓋体を有し、
前記開口と対向する側壁部の内側面および前記蓋体の前記外側ケース側の面に、それぞれ、前記支持板上に載置された前記基板の周縁部に係合する複数の基板固定治具が、前記支持板のピッチと略等しいピッチで並設され、
前記開口が前記蓋体によって閉塞された状態にあるとき、前記基板は、前記側壁部に設けられた基板固定治具と、前記蓋体に設けられた基板固定治具とによって挟持され、前記支持板上に固定されることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかの項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハやガラスウェハ等の基板の収納、保管、輸送等に使用される基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハやガラスウェハ等の基板は、基板収納容器内に複数枚収納された状態で、保管したり移送したりされるのが一般的である（例えば、特許文献１〜３参照。）。このようにウェハが収納される基板収納容器では、収納される複数のウェハを互いに接触しないように一定間隔を空けて支持する必要がある。このため、複数のウェハを、一定の間隔を空けて支持するウェハスロットが設けられるとともに、このウェハスロットに支持されたウェハを、この状態で保持する基板固定治具が設けられる。
例えば特許文献１には、半導体ウエハを収納する容器本体として、半導体ウエハを両側から支持する溝板を備えた構造が開示され、特許文献２には、複数のウエハを支持する溝板支持部材を容器本体の内部に備えた構造が開示され、特許文献３には、上下方向に並ぶ複数の溝を設けたリアリテーナを容器内部の左右両側に備えたフロントオープンボックスタイプの基板収納容器が開示され、半導体ウエハを左右のリアリテーナの溝間に挟み込んで水平支持する構造が開示されている。
【０００３】
以上のように構成された従来の基板収納容器の一例を、図１５に示す。
この基板収納容器は、正面が開口した本体ケース１０１と、本体ケース１０１の開口した正面を開閉する蓋体１０２を有している。
図１５（ｂ）に示すように、本体ケース１０１には、相対向する側壁部１０３、１０４の内側面に、それぞれ複数のウェハスロット１０５が、上下方向に一定の間隔を空けて並設されている。ウェハ１０６は、上下に並ぶ各ウェハスロット１０５同士の間に一枚ずつ収納され、下方のウェハスロット１０５間に掛け渡された状態で、これらウェハスロット１０５によって重力方向に支持される。
【０００４】
更に、図１５（ａ）に示すように、本体ケース１０１の正面と対向する側壁部１０７の内側面には、ウェハスロット１０５上に支持されたウェハ１０６の周縁部と係合する基板固定治具１０８ａが複数並設されており、また、蓋体１０２の本体ケース１０１側の面にも、これと対応するように、ウェハスロット１０５上に支持されたウェハ１０６の周縁部と係合する基板固定治具１０８ｂが複数並設されている。本体ケース１０１内に収納されたウェハ１０６は、本体ケース１０１に蓋体１０２が装着された状態で、側壁部１０７に設けられた基板固定治具１０８ａと蓋体１０２に設けられた基板固定治具１０８ｂとによって挟持され、本体ケース１０１内の所定の位置（ウェハスロット１０５に支持された状態）に固定される。これにより、基板収納容器が、移送等に際して振動しても、ウェハ１０６がウェハスロット１０５上に保持され、ウェハ１０６同士が接触したり、ウェハ１０６が本体ケース１０１の内側面と接触したりすることによるウェハ１０６の破損が防止される。
【特許文献１】特開２００４−２１４２６９号公報
【特許文献２】特開２００４−２４７４６７号公報
【特許文献３】特開２００５−００５５２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような基板収納容器では、本体ケース１０１に蓋体１０２が装着された状態であれば、前述のようにウェハ１０６がウェハスロット１０５上に固定されるが、蓋体１０２が外されると、基板固定治具１０８ａ、１０８ｂによって挟持された状態が解除され、ウェハ１０６がウェハスロット１０５上に載置されただけの状態になる。このため、例えば、蓋体１０２を外した状態で、基板収納容器を移送したり、基板収納容器からウェハを出し入れしたり等の作業を行うと、基板収納容器の振動によって、ウェハ１０１がウェハスロット１０５上から移動してしまい、他のウェハ１０６や本体ケース１０１の壁面等と接触し、損傷するか破損するおそれがあるという問題が生じている。
この問題は先の特許文献１に記載されている構造においても同様な課題となり、蓋を外した状態においてウエハが固定されていないために、手動によりウエハを取り出す際にケースが仮に傾いた状態であると、ウエハの不意の移動により他の部材との接触、損傷のおそれを有していた。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、蓋体を外した状態で、該基板収納容器が動いた場合でも、ウェハを所定の位置に保持することができる基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の基板収納容器は、天井部及び底部と、複数の側壁部とを有する筐体状の基板収納部と、前記基板収納部を構成する一対の側壁部の内側面に、それぞれ、前記天井部側から前記底部側に向かって、主面間に間隔を空けて並設された複数の支持板と、記一対の側壁部に、それぞれ、前記支持板の配列方向に沿って延在形成されたスリット部と、前記スリット部内に移動可能に配設され、前記天井部及び前記底部の少なくともいずれかから、その端部が突出するスライド部と、前記スライド部の内側面に、前記支持板のピッチと略等しいピッチで並設された基板固定片とを有し、前記基板収納部内に収納される基板は、前記一対の側壁部の一方に設けられた前記支持板と、他方に設けられた前記支持板との間に、掛け渡されるように載置自在とされ、前記スライド部の一端部が前記底部から突出した状態において、前記基板固定片が前記基板の周縁部に当接して前記基板を前記支持板上に固定自在とされ、前記スライド部の他端部が前記天井部から突出した状態において、前記基板固定片が前記基板の周縁部から離間して基板固定状態を解除自在としたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、蓋体を外した状態で、スライド部を上下にスライドさせることにより、基板を支持板上に固定したり、基板が固定された状態を解除できる。基板を支持板上に固定した状態では、蓋体が装着されていない状態で移動や振動等の動作が行われた場合であっても、基板が支持板上に保持され、他の基板や壁面等に接触することによる基板の損傷や破損を防止することができる。また、基板が固定された状態を、スライド部のスライド操作により容易に解除することができるので、例えば、基板が固定された状態から基板の出し入れ作業への移行を容易に行うことができる。
【０００９】
本発明においては、前記スライド部の前記天井部側の端部に、前記基板収納容器の外側に位置する上側フランジ部が設けられ、前記上側フランジ部を前記天井部に当接した状態において前記スライド部の下方への移動が抑止されることが望ましい。
この構成によれば、スライド部が、スリット部の底部側の開口から抜け落ちるのを防止することができる。
【００１０】
本発明においては、前記上側フランジ部が前記天井部に当接した状態において、前記基板固定片が、前記基板の周縁部に当接して前記基板を前記支持板に押し付け固定自在とされてなることが望ましい。
この構成によれば、スライド部の位置を、基板固定片が基板の周縁部に当接した状態に規制することができる。
【００１１】
本発明においては、前記スライド部の前記底部側の端部に、前記基板収納容器の外側に位置する下側フランジ部が設けられ、前記下側フランジ部を前記底部に当接した状態において前記スライド部の上方への移動が抑止されることが好ましい。
この構成によれば、スライド部が、スリット部の天井部側の開口から抜け出るのを防止することができる。
【００１２】
本発明においては、前記下側フランジ部が前記底部に当接した状態において、前記基板の周縁部から前記基板固定片が離間し、前記基板の固定状態を解除自在としたことを特徴とする。
この構成によれば、スライド部の位置を、基板固定片が基板の周縁部から離間した状態に規制することができる。
【００１３】
本発明においては、前記下側フランジ部の底部と対向する面、及び、前記底部の前記下側フランジ部と対向する面の少なくともいずれかに、ガスケットが設けられていることが望ましい。
この構成によれば、スリット部とスライド部の隙間からゴミ等の異物が侵入し、基板収納部内が汚染されるのを防止することができる。
【００１４】
本発明においては、前記スライド部を、前記上側フランジ部が前記天井部側に当接した状態及び／又は前記下側フランジ部が前記底部側に当接した状態に固定する止め具を有することが望ましい。
この構成によれば、スライド部の位置を、基板固定片が基板の周縁部に当接した状態、及び／又は、基板固定片が基板の周縁部から離間した状態に固定することができる。
【００１５】
本発明においては、前記スライド部の上側フランジ部を前記天井部から突出させた状態において、前記止め具が前記上側フランジ部と前記天井部との間に挿入自在とされ、前記スライド部が前記止め具により仮止め自在とされてなることが望ましい。
この構成によれば、簡易な構成で、スライド部の位置を、基板固定片が基板の周縁部に当接した状態に固定することができる。
【００１６】
本発明においては、前記天井部に、前記スライド部の上端部及び前記上側フランジ部を覆う保護カバーが配設されていることが望ましい。
この構成によれば、スライド部の隙間からゴミ等の異物が侵入し、基板収納部内が汚染されるのを防止することができる。
【００１７】
本発明においては、前記外側ケースは、一方の側面が開口されるとともに、前記開口を開閉する蓋体を有し、前記開口と対向する側壁部の内側面および前記蓋体の前記外側ケース側の面に、それぞれ、前記支持板上に載置された前記基板の周縁部に係合する複数の基板固定治具が、前記支持板のピッチと略等しいピッチで並設され、前記開口が前記蓋体によって閉塞された状態にあるとき、前記基板は、前記側壁部に設けられた基板固定治具と、前記蓋体に設けられた基板固定治具とによって挟持され、前記支持板上に固定されることが望ましい。
この構成によれば、支持板上に載置された基板を、蓋体を装着した状態で、この支持板上に固定することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、蓋体を外した状態で、スライド部を上下にスライドさせることにより、基板を支持板上に固定したり、基板が固定された状態を解除したりすることができる。
基板を支持板上に固定した状態では、蓋体が装着されていない状態で移動や振動等の動作が行われた場合でも、基板が支持板上に保持され、他の基板や壁面等に接触することによる基板の破損を防止することができる。また、基板が固定された状態を、容易に解除することができるので、例えば、基板が固定された状態から基板の出し入れ作業への移行を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明の基板収納容器について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２０】
図１は、本発明の基板収納容器の一実施形態を示す斜視図、図２は、図１に示す基板収納容器において、スライド部が基板固定位置にある状態を示す模式図、図３は、図１に示す基板収納容器において、スライド部が基板固定解除位置にある状態を示す模式図、図４は、図１に示す基板収納容器が備える蓋体を示す模式図、図５は、図１に示す基板収納容器が備えるスライド部を示す模式図、図６は、図１に示す基板収納容器が備える基板固定機構の上側を示す分解斜視図、図７は、図１に示す基板収納容器が備える基板固定機構の下側を示す分解斜視図、図８は、図６に示す基板固定機構の上側において、スライド部が基板固定位置にある状態を示す斜視図、図９は、図６に示す基板固定機構の上側において、スライド部が基板固定解除位置にある状態を示す斜視図、図１０は、図７に示す基板固定機構の下側において、スライド部が基板固定解除位置にある状態を示す斜視図、図１１は、図１に示す基板収納容器において、基板が基板固定機構によって固定された状態を示す斜視図、図１２は、図１に示す基板収納容器において、基板固定機構による基板の固定が解除された状態を示す斜視図、図１３は、図６に示す基板固定機構の上側において、止め具がスライド部固定解除位置にある状態を示す斜視図である。なお、図２〜図５において、（ａ）は図１中の矢印Ａ方向から見た模式図、（ｂ）は図１中の矢印Ａ方向と直交する方向から見た模式図である。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態の基板収容容器は、正面が開口した本体ケース（ウエハケース）１と、本体ケース１の開口した正面を開閉する蓋体２を有している。
図２及び３に示すように、本体ケース１は、複数の基板３０を間隔を空けて収納することができる構造とされている。
基板３０としては、支持板状のものであればよく、特に限定されないが、具体的には半導体ウェハ、ガラスウェハ等が挙げられる。
【００２２】
本体ケース１は、基板収納部３と、基板収納部３内に収納された基板３０を所定の位置に固定する基板固定機構４を有している。
基板収納部３は、正面が開口した略直方体形状の筐体であり、正面と対向する第１の側壁部５と、第１の側壁部５と隣接し、相対向する第２の側壁部６及び第３の側壁部７と、第１の側壁部５〜第３の側壁部７の上端面に、その下面が接合された天井部８と、第１の側壁部〜第３の側壁部の下端面に、その上面が接合された底部９とによって筐体が構成されている。また、この基板収納部３の開口側の端面には、ガスケット１０が設けられている。蓋体２は、このガスケット１０を介して基板収納部３に装着される。
【００２３】
基板収納部３の材料としては、特に限定されないが、例えば、ＴＰＦ（フッ素系熱可塑性エラストマー）等の熱可塑性高分子弾性体（プラスチック）等を用いることができる。
ガスケット１０の材料としては、特に限定されないが、例えばポリカーボネート等の樹脂等を用いることができる。
【００２４】
第２の側壁部６及び第３の側壁部７の内側面には、それぞれ、複数のウェハスロット（支持板）１１が、その主面が略水平となるように、上下方向に、所定のピッチで並設されている。基板３０は、上下に並ぶ各ウェハスロット１１同士の間に１枚づつ収納され、それぞれ、下方のウェハスロット１１間に掛け渡された状態で、これらウェハスロット１１、１１によって支持される。
また、第２の側壁部６及び第３の側壁部７には、ウェハスロット１１の主面方向と略直交する方向に、スリット部１２が延在形成されている。このスリット部１２の上端部及び下端部は、それぞれ、第２の側壁部６及び第３の側壁部７の上端面及び下端面に臨んで開口している。このスリット部１２には、後述する基板固定機構４のスライド部（内側ケース）１８が、上下方向に移動可能に配設されている。
【００２５】
図２（ｂ）及び図３（ｂ）に示すように、第１の側壁部５の内側面には、各ウェハスロット１１に支持された基板３０の周縁部に係合する基板固定治具１３ａが、ウェハスロット１１と略等しいピッチで、上下方向に複数並設されている。また、図４（ｂ）に示すように、蓋体２の本体ケース１側の面にも、これと対応するように、各ウェハスロット１１に支持された基板３０の周縁部と係合する基板固定治具１３ｂが、上下方向に複数並設されている。
【００２６】
各基板固定治具１３ａ、１３ｂは、断面倒Ｖ字状の溝を有している。各ウェハスロット１１に支持された基板３０は、本体ケース１に蓋体２が装着された状態で、その背面側の周縁部及び正面側の周縁部が、それぞれ基板固定治具１３ａの溝及び基板固定治具１３ｂの溝に係合し、これら基板固定治具１３ａ、１３ｂによって挟持される。これにより、本体ケース１内の所定の位置（下方のウェハスロットに支持された状態）に基板３０が固定される。
各基板固定治具１３の材料としては、特に限定されないが、例えば、前述のガスケット１０と同様の材料等を用いることができる。
【００２７】
図６に示すように、天井部８の外縁部には、第２の側壁部６及び第３の側壁部７にそれぞれ形成されたスリット部１２に対応する位置に、該スリット部１２と略等しい断面形状の切り欠き部１５が設けられている。また、天井部８の上面には、この切り欠き部１５に対応する位置に略矩形状の凹部１６が設けられている。この凹部１６は、その一方が天井部８の端面に臨んで開放しており、また、その底部の略中央に、切り欠き部１５の上端部が開口している。これら切り欠き部１５内及び凹部１６内には、後述する基板固定機構４が備えるスライド部１８の上端部及び上側フランジ部２２が配設される。
【００２８】
また、図７に示すように、底部９の外縁部には、第２の側壁部６及び第３の側壁部７にそれぞれ形成されたスリット部１２に対応する位置に、該スリット部１２と略等しい断面形状の切り欠き部１７が設けられている。この切り欠き部１７には、後述する基板固定機構４が備えるスライド部１８の下端部が配設される。
【００２９】
図５〜図１３に示すように、基板固定機構４は、一対の長板状のスライド部１８と、各スライド部１８の一方の面に設けられた複数の基板固定片１９と、各スライド部１８を所定の高さ位置に固定する一対の止め具２０と、スライド部１８の上端部及び後述する上側フランジ部２２を覆う一対の保護カバー２１とを有している。
スライド部１８の一方は、天井部８の切り欠き部１５内、第２の側壁６のスリット部１２内及び底部９の切り欠き部１７内に、上下方向に移動可能に配設され、他方のスライド部１８は、天井部８の切り欠き部１５内、第３の側壁７のスリット部１２内及び底部９の切り欠き部１７内に、上下方向に移動可能に配設されている。
【００３０】
各スライド部１８は、その長さＬが、基板収納部３の高さＨ（第２の側壁６または第３の側壁７の上下方向における長さと、天井部８及び底部９の厚さとの合計）よりも長尺とされており、その上端部及び下端部の少なくともいずれかが、天井部８の上面または底部９の下面から突出するように構成されている。
また、各スライド部１８の上端部及び下端部には、それぞれ、両側面から突出するように上側フランジ部２２及び下側フランジ部２３が設けられ、これら各端部及び各フランジ部２２、２３とで断面略Ｔ字状をなしている。
【００３１】
図２に示すように、スライド部１８を下方にスライドすると、図８に示すように、上側フランジ部２２が凹部１６内に嵌挿され、上側フランジ部２２の下面が凹部１６の底面（天井部８の外側面）に当接する。これにより、スライド部１８がそれ以上に下降するのが抑止される。一方、図３に示すように、スライド部１８を上方にスライドすると、図９に示すように、天井部８の上面からスライド部１８の上端部が突出する。また、図１０に示すように、下側フランジ部２３の上面が底部９の下面に当接する。これにより、スライド部１８がそれ以上に上昇するのが抑止される。すなわち、これらフランジ部２２、２３は、スライド部１８の高さ位置を規制するように機能する。
【００３２】
なお、以下の説明では、図８に示すように、上側フランジ部２２の下面が凹部１６の底面に当接した状態でのスライド部１８の高さ位置を「基板固定位置」と言い、図１０に示すように、下側スライド部２３の上面が底部９の下面に当接した状態でのスライド部１８の高さ位置を「基板固定解除位置」と言う。
【００３３】
また、このスライド部１８のスライド量（スライドし得る長さ）は、スライド部１８の長さＬと、基板収納部３の高さＨ（第２の側壁部６または第３の側壁部７の長さと、天井部８及び底部９の厚さの合計）との差分となる。本実施形態では、このスライド量を、上下に並ぶウェハスロット１１同士の間隔と基板３０の厚さの差分、すなわち、上下に並ぶウェハスロット１１同士の間隔（例えば、１０ｍｍ）−基板３の厚さ（例えば、１ｍｍ）＝スライド部１８のスライド量（例えば９ｍｍ）に設定する。
【００３４】
スライド部１８の材料としては、特に限定されないが、例えば、前述の基板収納部３と同様の材料等を用いることができる。
また、図７に示すように、下側フランジ部２３の底部９と対向する面（上面）及び底部９の下側フランジ部２３と対向する面の少なくともいずれかに、ポリカーボネート等の樹脂よりなるガスケット２８が設けられているのが望ましい。これにより、底部９の切り欠き部１７とスライド部１８との隙間からゴミ等の異物が侵入し、本体ケース１内が汚染されるのを防止することができる。
【００３５】
図５に示すように、各スライド部１８の内側面には、それぞれ、複数の基板固定片１９が、ウェハスロット１１と略等しいピッチで、上下方向に並設されている。
図１１及び図１２に示すように、各基板固定片１９は、他方のスライド部１８に設けられた基板固定片１９と対向する側の面が、下方にいくに従って、スライド部１８の内側面に近づくように傾斜した傾斜面２４となっている。
【００３６】
これら基板固定片１９は、スライド部１８が基板固定位置（上側フランジ部２２の下面が凹部１６の底面に当接した状態での高さ位置）にあるとき、図１１（ｂ）に示すように、その傾斜面２４が、ウェハスロット１１上に支持された基板３０の周縁部に当接し、この周縁部３０をウェハスロット１１に押し付ける。これにより、基板３０は、ウェハスロット１１上に固定された状態になる。
この状態では、蓋体２が装着されておらず、基板固定治具１３による固定が解除されていても、基板固定片１９によって基板がウェハスロット１１上に固定されていることにより、本体ケースが振動しても、基板３０はウェハスロット１１上に保持される。
一方、スライド部１８が基板固定位置よりも上方にスライドされると、図１２（ｂ）に示すように、基板固定片１９も、これに追従して上方に移動し、基板３０の周縁部から離間する。これにより、基板３０の固定状態が解除される。
【００３７】
ここで、スライド部１８の上方へのスライドは、例えば、本体ケース１を、下側フランジ部２３を基台面に当接させて基台上に載置し、基板収納部３をスライド部１８に対して相対的に下降させる（スライド部１８は基板収納部３に対して押し上げられる）ことによってなすことができ、スライド部１８の下方へのスライドは、例えば、本体ケース１を基台面から持ち上げ、自重によって、スライド部１８を基板収納部３に対して相対的に下降させることによってなすことができる。したがって、基板収納容器３を基台面から持ち上げたり、基台面に降ろしたりすることによって、別途スライド操作を行わなくとも、基板３０の固定解除状態と固定状態との切り替えを行うことができる。
【００３８】
また、基板固定片１９の材料としては、特に限定されないが、例えば、前述のガスケット１０と同様の材料等を用いることができる。
【００３９】
図６に示すように、コ字型の保護カバー２１は、それぞれ、天井部８の上面に、スライド部１８の上端部及び上側フランジ部２２を覆うように設けられている。
この保護カバー２１の内頂面には、図１３に示すように、天井部８に対面する第１の溝２５及び第２の溝２６が設けられている。
【００４０】
第１の溝２５は、基板収納部３の外縁側に配設され、図１３に示すその深さＤ１が、スライド部１８の長さＬと基板収納部３の高さＨとの差分Ｓと、上側フランジ部２２の厚さＴ１の合計と略等しく、その長さ（奥行き）Ｌ１が、スライド部１８の厚さＴ２（内側面と直交する方向での長さ）と略等しく、その幅Ｗ１が上側フランジ部２２の幅Ｗと略等しい寸法とされている。また、第２の溝２６は、その深さＤ２が、スライド部１８の長さＬと基板収納部３の高さＨとの差分Ｓと略等しく、その幅Ｗ２が上側フランジ部２２の幅Ｗと略等しい寸法とされている。
【００４１】
保護カバー２１の第１の溝２５内には、スライド部１８の上端部及び上側フランジ部２２が収容されている。これにより、天井部８に設けられた切り欠き部１５とスライド部１８との隙間からゴミ等の異物の侵入を防止し、本体ケース１内が汚染されるのを防止することができる。
また、保護カバー２１の第１の溝２５内及び第２の溝２６内には、止め具２０が、これら溝の延在方向に沿って移動可能に配設されている。
【００４２】
図１３に示す如く止め具２０は、その厚さが、保護カバー２１における第２の溝２６の深さＤ２と略等しい寸法とされ、その長さが、第１の溝２５の長さＬ１と第２の溝２６の長さＬ２の合計と略等しく、その幅が、第１の溝及び第２の溝の幅Ｗ１、Ｗ２と略等しい寸法となされた小片形状とされ、外縁側に、スリット部１２と略等しい断面形状の切り欠き部２７を有している。
この止め具２０は、スライド部１８を基板固定解除位置または基板固定位置に固定するように使用することができる。
【００４３】
すなわち、図１３に示すように、止め具２０は、初期状態では、基板収納部３の外縁側と反対側に移動され、切り欠き部２７が第２の溝２６側に収容されている。
図９に示すように、スライド部１８を上に引き上げて基板固定解除位置にした状態で、止め具２０を基板収納部３の外縁側に移動すると、止め具２０の切り欠き部２７が第１の溝２５側に移動し、この切り欠き部２７内にスライド部１８の上端部が侵入する。このとき、上側フランジ部２２の下面は止め具２０の上面に当接した状態になり、これにより、スライド部１８は、それ以上に下降するのが抑止され、基板固定解除位置において固定される。即ち、上側フランジ部２２と天井部８との間に止め具２０を挟み込むことで、スライド部１８を引き上げた状態のまま仮固定することができる。
一方、図８に示すように、スライド部１８を引き下げて基板固定位置にした状態で、止め具２０を基板収納部３の外縁側に移動すると、止め具２０の切り欠き部２７が第１の溝２５側に移動し、上側フランジ部２２の上面が切り欠き部２７の下面に当接した状態になる。これにより、スライド部１８は、それ以上に上昇するのが抑止され、基板固定位置に固定される。
【００４４】
なお、以下の説明では、止め具２０の切り欠き部２７が第１の溝２５内にあるときの位置を「スライド部固定位置」と言い、止め具２０の切り欠き部２７が第２の溝２６内にあるときの位置を「スライド部固定解除位置」と言う。
止め具２０の材料としては、特に限定されないが、例えば、前述の基板収納部と同様の材料等を用いることができる。
【００４５】
図１に示すように、蓋体２は、本体ケース１の開口に着脱自在に装着され、該開口を開閉する。
図４に示すように、この蓋体２には、前述のように、本体ケース１側の面に、複数の基板固定治具１３が、上下方向に並設されている。本体ケース１に収納された基板３０は、本体ケース１に蓋体２が装着された状態で、この基板固定治具１３と第１の側壁部５に設けられた基板固定治具１３とによって挟持され、本体ケース１内の所定の位置（下方のウェハスロット１１に支持された状態）に固定される。
蓋体２の材料としては、特に限定されないが、例えば、前述の基板収納部３と同様の材料等を用いることができる。
【００４６】
次に、この基板収容容器の使用方法の一例について説明する。
ここでは、基板３０が収納された基板収納容器を、作業台３１の上に載置した状態から、持ち上げて移送し、他の作業台３１の上に載置した後、基板収納容器から基板を取り出す作業を行う場合を例にする。
【００４７】
まず、図１０に示すように、作業台３１の上に載置された状態の基板収納容器は、下側フランジ部２３の下面が作業台３１の上面に当接しており、下側フランジ部２３の上面は、基板収納部３の底部９に当接している。また、スライド部１８の上端部は、基板収納部３の天井部８の上面から突出した状態となっている。すなわち、スライド部１８は、基板固定解除位置となっている。このとき、図１２に示すように、基板固定片１９は、基板３０の周縁部から離間して、該周縁部より上方に位置しており、基板３０の固定が解除された状態になっている。
ここで、止め具２０は、スライド部固定解除位置にあってもよく、スライド部固定位置に移動していてもよい。また、蓋体２は、本体ケース１に装着されていてもよく、本体ケース１から外されていてもよい。
【００４８】
次に、止め具２０がスライド部固定位置にある場合には、止め具２０をスライド部固定解除位置に移動する。そして、作業台３１の上から本体ケース１を持ち上げる。これにより、スライド部１８は、自重によって基板収納部３に対して相対的に下降する。その結果、図２に示すように、スライド部１８は、その下端部が底部９の下面から突出し、上側フランジ部２２が凹部１６内に嵌挿され、その下面と凹部１６の底面とが当接した状態（基板固定位置）になる。このとき、基板固定片１９も、スライド部１８の下降に追従して下降し、その傾斜面２４が基板３１の周縁部に当接する。これにより、図１１（ｂ）に示すように、基板３０の周縁部がウェハスロット１１に押し付けられ、基板３０がウェハスロット１１上に固定された状態になる。
【００４９】
そして、この状態で、基板収納容器を、他の作業台に移送する。このとき、基板収納容器は振動するが、基板３０が基板固定片１９によってウェハスロット１１上に固定されていることにより、蓋体２が装着されていなかったり、蓋体２が移送中に外されたりすることにより、基板固定治具１３による固定が解除されていても、基板３０はウェハスロット１１上に保持されている。したがって、基板３０が他の基板３０や本体ケース１の内側面に接触してダメージや損傷を受けることが防止され、基板収納容器の移送を安全に行うことができる。
【００５０】
次に、基板収納容器を、他の作業台に載置する。これにより、下側フランジ部２３の下面が作業台３１の上面に当接し、基板収納部３は、自重及び収納された基板３１の重さによって、スライド部１８に対して相対的に下降し、その底部の下面が下側フランジ部２３の上面に当接した状態になる。また、図３に示すように、スライド部１８は、基板収納部３に対して押し上げられ、上側フランジ部２２が、凹部１６の上方に移動し、スライド部１８の上端部が基板収納部３の天井部８の上面から突出した状態（基板固定解除位置）になる。このとき、基板固定片１９は、スライド部１８が押し上げられるのに追従して上昇し、その傾斜面２４が基板３０の周縁部から離間する。これにより、図１２に示すように、基板３０の固定が解除された状態になる。そして、この状態で、基板３０を、本体ケース１から取り出すことができる。
【００５１】
以上の作業工程において、基板収納容器を移送する前に、スライド部１８が基板固定位置となった状態で、止め具２０をスライド部固定位置に移動しておいてもよい。これにより、基板収納容器を移送する際に、スライド部１８が基板固定位置に確実に固定され、基板３０が固定されている状態を確実に持続することができる。
また、スライド部１８が基板固定解除位置にある状態で、止め具２０をスライド部固定位置に移動しておき、この状態で、基板収納容器を移送するようにしてもよい。これにより、基板収納容器の移送中に基板３０の出し入れ作業を行うことができる。
【００５２】
次に、前述の構成の基板収納容器を使用する場合、使用目的に応じて止め具２０を使い分けて使用する状態の一例についてフロー図を基に以下に補足説明する。
図１４は止め具２０の使い分けに応じた使用状態パターンの一例を体系的に示すもので、ステップＳ１において基板収納容器（ウエハケース）を所定の位置に設置した状態からステップＳ２においてウエハケースを移動させると決定した場合、ステップＳ３の如く止め具２０でスライド部（内側ケース）１８が固定されているか否か確認する。固定されていない場合、ステップＳ４に移動して本体ケース（ウエハケース）を持ち上げ、ウエハを固定し、ステップＳ５において本体ケースを目的の位置に移動させ、ステップＳ６においてウエハの出し入れ作業を行うか否か判断する。本体ケースを持ち上げるとスライド部が自重で下降して基板固定片１９の斜面がウエハを押さえるので、移動作業中にウエハを固定することができる。
ステップＳ６においてウエハの出し入れ作業を行わないとした場合、ステップＳ７において本体ケースを置いた状態に復帰してステップＳ８においてリスタートとなる。
前記ステップＳ３において止め具２０でスライド部（内側ケース）１８が固定されているとなった場合、ステップＳ９に移り、止め具によりスライド部（内側ケース）１８の固定を解除し、ステップＳ４に移行する。
前記ステップＳ６においてウエハの出し入れ作業を行うとした場合、ステップＳ１０に移行し、ステップＳ１０において蓋体（蓋）で基板収納容器を閉じているか否か判断する。ステップＳ１０において蓋体で基板収納容器を閉じていないと判断されると、ステップＳ１１においてウエハの固定を解除しウエハの出し入れ作業を行い、ステップＳ９に移行する。
前記ステップＳ１０において蓋体で基板収納容器を閉じていると確認された場合、ステップＳ１２に移行し、蓋体を外し、ステップＳ１３に移行し、ウエハの固定を解除してウエハの出し入れ作業を行う。ステップＳ１３において出し入れ作業が終了したならば、ステップＳ１４において蓋体で基板収納容器を閉じてステップＳ９に戻す。
なおここで説明した図１４に示す一連のステップＳ１〜Ｓ１４に伴うウエハの搬送形態は基板収納容器の使用形態の一例であって、基板収納容器を用いて行うウエハの搬送形態がこの図１４に示す例に限らないのは勿論である。
【００５３】
以上、本発明の基板収納容器の具体的な実施形態について説明したが、これら実施形態において、基板収納容器を構成する各部の形状及び構成材料は一例であって、本発明の範囲を逸脱しない範囲で適宜変更することができるのは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の活用例として、半導体ウェハやガラスウェハ等の基板の収納、保管、輸送等に使用される基板収納容器が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の基板収納容器の一実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図１に示す基板収納容器において、スライド部が基板固定位置にある状態を示す模式図である。
【図３】図１に示す基板収納容器において、スライド部が基板固定解除位置にある状態を示す模式図である。
【図４】図１に示す基板収納容器が備える蓋体を示す模式図である。
【図５】図１に示す基板収納容器が備えるスライド部を示す模式図である。
【図６】図１に示す基板収納容器が備える基板固定機構の上側を示す分解斜視図である。
【図７】図１に示す基板収納容器が備える基板固定機構の下側を示す分解斜視図である。
【図８】図６に示す基板固定機構の上側において、スライド部が基板固定位置にある状態を示す斜視図である。
【図９】図６に示す基板固定機構の上側において、スライド部が基板固定解除位置にある状態を示す斜視図である。
【図１０】図７に示す基板固定機構の下側において、スライド部が基板固定解除位置にある状態を示す斜視図である。
【図１１】図１に示す基板収納容器において、基板が基板固定機構によって固定された状態を示す斜視図である。
【図１２】図１に示す基板収納容器において、基板固定機構による基板の固定が解除された状態を示す斜視図である。
【図１３】図６に示す基板固定機構の上側において、止め具がスライド部固定解除位置にある状態を示す斜視図である。
【図１４】止め具の状態に応じた基板収納容器の取り扱いのパターンを示すフロー図。
【図１５】従来の基板収納容器の一例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５６】
１…本体ケース（ウエハケース）  ２…蓋体  ３…基板収納部  ４…基板固定機構  ５…第１の側壁部  ６…第２の側壁部  ７…第３の側壁部  ８…天井部  ９…底部  １０…ガスケット  １１…支持板（ウェハスロット）  １２…スリット部  １３ａ、１３ｂ…基板固定治具  １５…切り欠き部  １６…凹部  １７…切り欠き部  １８…スライド部（内側ケース）  １９…基板固定片  ２０…止め具  ２１、１２…保護カバー  ２２…上側フランジ部  ２３…下側フランジ部  ２４…傾斜面  ２５…第１の溝  ２６…第２の溝  ２７…切り欠き部  ２８…ガスケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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