(57)【要約】【課題】コンパクトでありながら、従来の複数の洗浄槽を設けた従来の洗浄装置に匹敵する効果の高い洗浄が可能な洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄槽、シャワーノズル、排液口、洗浄液貯液槽、及び、洗浄液貯液槽内の洗浄液をシャワーノズルに循環供給する循環洗浄手段を備えている洗浄装置であって、貯液槽・循環手段の組合せを複数備え、かつ、複数の貯液槽・循環手段の組合せ中から１つの貯液槽・循環手段の組合せを選択して選択された貯液槽に排液口からの洗浄液を供給させるとともに、選択された循環洗浄手段のみを稼働させて洗浄を行い、同様に繰り返す、組合せ選択手段を備えている洗浄装置において、前記組合せ選択手段が切替の際に、前記循環洗浄手段を停止させた後に、前記シャワーノズル付近の前記配管中の洗浄液を該配管が接続された洗浄液貯液槽に逆送し、その後所定時間後に、次の貯液槽・循環手段の組合せに切替える洗浄装置。【選択図】図１
2009106896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄槽、該洗浄槽内部にシャワーノズル、該洗浄槽下部に排液口、該排液口の下流側に洗浄液貯液槽、及び、該洗浄液貯液槽内の洗浄液を前記シャワーノズルに接続された配管を経由して該シャワーノズルに循環供給する循環洗浄手段、を備えている洗浄装置であって、
前記洗浄液貯液槽と該洗浄液貯液槽に接続された循環洗浄手段とからなる貯液槽・循環手段の組合せを複数備え、かつ、
該複数の貯液槽・循環手段の組合せ中から１つの貯液槽・循環手段の組合せを選択して、該選択された洗浄液貯液槽にのみ前記排液口からの洗浄液を供給させるとともに、該選択された洗浄液貯液槽に接続された循環洗浄手段のみを稼働させて洗浄を行い、その後、順次他の貯液槽・循環手段の組合せに切替え、以後同様に繰り返す、組合せ選択手段を備えている、
洗浄装置において、
前記組合せ選択手段が前記切替の際に、前記循環洗浄手段を停止させた後に、前記シャワーノズル付近の前記配管中の洗浄液を該配管が接続された洗浄液貯液槽に逆送し、その後所定時間後に、次の貯液槽・循環手段の組合せに切替えるものであることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄液と接触する部分に、親水化処理、親水加工処理、撥水化処理、及び、撥水加工処理から選ばれる１つ以上の処理が施されていることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記循環洗浄手段を停止させた後に、前記洗浄槽、及び、被洗浄物に対して、液切りのために衝撃を付与する、衝撃付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記複数の洗浄液貯液槽のうち１つの洗浄液貯液槽内の洗浄液を他所へ移送し排液した後に、
該洗浄液が排液された洗浄液貯液槽に他の洗浄液貯液槽中の洗浄液を移送し、かつ、この洗浄液の移送及び排液を順次繰り返す洗浄液前送り手段と、最後に洗浄液の移送及び排液を行った洗浄液貯液槽に新たな洗浄液を導入する洗浄液導入手段と、を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記複数の洗浄液貯液槽が、それぞれ直列に接続された２つ以上の貯液槽から構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記複数の洗浄液貯液槽が、それぞれ直列に接続された２つ以上の貯液槽から構成され、これら貯液槽のそれぞれ最下流側の貯液槽がそれぞれ前記移送及び排液の順番に下から上に位置するように配置され、かつ、これら最下流側の貯液槽のうち下から２番目以降の貯液槽に重力を利用して一つ下に位置する貯液槽へそれぞれの洗浄液を移送及び排液するための配管と、該配管に設けられた開閉可能なバルブ装置と、を備えていることを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置、特に、めっきなどの表面処理における水洗工程などの洗浄に好適に用いることができる洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属めっき工程ではめっき浴中でめっき処理された後、被めっき物は水洗される。この水洗水中にはめっき浴の成分が持ち込まれている。このため、この水洗水を、水分を蒸発させて濃縮しためっき液に加える、あるいは、これら水洗水自体を水分を蒸発させて濃縮したのちめっき浴へ戻す等により有効利用されている。
【０００３】
ここで、従来は、洗浄液が容れられた液槽の中に被洗浄物を浸漬して洗浄を行っていた。この方法であると、必要な洗浄液の量が多くなるために、その後、濃縮時などで必要な熱量も多く、また、濃縮装置も大型化する。
【０００４】
このような欠点を解決するために、シャワー式の洗浄方法が用いられてきた。しかしながら、このようなシャワー式の洗浄であっても、第１洗浄、第２洗浄、あるいは第３洗浄など洗浄回数に応じた洗浄槽が必要であった。あるいは、洗浄液槽を併用する必要があった（特許文献１）。
【０００５】
そこで、本発明者等は１つの洗浄槽で、供給する洗浄液を切り替えることで、効率よく洗浄する方法を特開２００１−３４７２３５公報（引用文献２）で提案している。
【０００６】
この洗浄装置について図２〜５を用いて説明する。図４及び図５に、この洗浄装置の要部の構成を、側面図及び平面図として示した。
【０００７】
図２は洗浄装置の洗浄室１５１の下部に設けられた排液口１５１ａからの洗浄液をその下方に配置された複数の洗浄液タンクから選択された洗浄液タンクに振り分けて供給し、その後順次他の洗浄液タンクに供給させる流路切替機構Ａ付近のモデル断面図である。
【０００８】
図中の１５１は洗浄室で、その排液口１５１ａの直下に、洗浄液の流路切替機構Ａを、取付用部材１５９を介して連結させている。そして、流路切替機構Ａの下側には、直方体形をした４つの洗浄液タンク１３１〜１３４（以後、単にタンクと言う）を、排液口１５１ａを取巻くようにして、田の字形に近接させた配置で設置している。この４つのタンクのうち、タンク１３１は、洗浄開始当初に排出されて、汚れ度合いが最もひどい洗浄液を、循環させずに溜めて置く貯留タンクとなる。
【０００９】
図２に示したように、流路切替機構Ａは、洗浄室１５１の下面に固着された取付用部材１５９の平坦な底面に、連結ボルト１９０を用いて密着状態で取付けている。
【００１０】
流路切替機構Ａの概略の構成は、図２及び図３に示したように、排液口１５１ａの周りに水平向きに回転自在で、排液口１５１ａからの流出排液を、４つのタンク１３１〜１３４に、その液中の汚れ成分濃度が濃いタンクから薄いタンクの順に逐次流入させる役割を果たす回転分配盤１０１を、回転盤支持部材１０２の内空部に、回転自在に組込んでいる。回転盤支持部材１０２の側面には、回転分配盤１０１の駆動源となるモータ１０３を取付けている。
【００１１】
回転分配盤１０１はこの例では金属又は合成樹脂製で、厚手の円盤状ブロックから成り、その上面中央部には、洗浄室１５１の排液口１５１ａに摺接状態で連通させる、液入口１０４を開口させ、下面周縁部の１個所には、液出口１０５を設けている。そして、液入口１０４と液出口１０５とは、回転分配盤１０１を刳り抜くように設けた液流下路１０６を介して連通させている。
【００１２】
回転分配盤１０１の外周面には、リングギア１０７を嵌着させている。また、回転分配盤１０１の上面には、取付用部材１５９の平坦な下面に摺接する環状パッキン１０８を、液入口１０４を包囲する配置で設けている。
【００１３】
回転盤支持部材１０２は、上半部１０２Ａと下半部１０２Ｂとを、連結ボルト１０９により合体させた構成を備えている。回転分配盤１０１は、この上半部１０２Ａに設けた内空部に内嵌させたベアリング１１０を介して、回転盤支持部材１０２に回動自在に支持されている。
【００１４】
環状ケーシング状の回転盤支持部材１０２の、上半部１０２Ａの上面と、取付用部材１５９との当接面、及び上半部１０２Ａの内周面と回転分配盤１０１の外周面との間に設けた環状空隙ａには、夫々液密保持用の環状パッキン１１１及び１１２を配設している。
【００１５】
回転盤支持部材１０２の平面視形状は、図３に示したように、円形盤の外周面の１個所を膨出させた形態を備えており、この膨出個所をギアボックス部１０２Ｃとしている。ギアボックス部１０２Ｃの側端面には、可変速のモータ１０３を取付けている。
【００１６】
ギアボックス部１０２Ｃには、リングギア１０７に噛合するピニオン１１３のギア軸１１４を支承する、上下１組の軸受１１５，１１５を組込んでいる。ギア軸１１４には、ベベルギア１１６を軸嵌させている。このベベルギア１１６には、モータ１０３の出力軸１１７に軸嵌した別のベベルギア１１８が噛合される。
【００１７】
さらに、回転分配盤１０１の外周面には、４つのタンク１３１〜１３４の配置に対応した計４個所に、回転分配盤１０１の回転位置検知用の、回転位置表示部１２１を取付けている。一方、環状ケーシング１０２の下半部１０２Ｂの下面には、各回転位置表示部１２１に対応した夫々の位置に、回転位置センサ１２２を取付けている。
【００１８】
各回転位置センサ１２２は、図３に示したように、環状ケーシング状の回転盤支持部材１０２の周方向に沿って、変位可能な円弧状帯板１２３に取付けている。円弧状帯板１２３には、その円弧に沿う配置で長孔１２４を設けてある。そして、この長孔１２４に挿通させたボルト１２５を、環状ケーシング１０２の螺孔に螺止することによって、回転位置センサ１２２の固定位置を微調整可能にしている。
【００１９】
流路切替機構Ａには、上述のように、洗浄室１５１内の洗浄物品の洗浄過程で、排液口１５１ａから排出させた洗浄排液を、複数のタンク１３１〜１３４に順次切替えて流入させるために、回転分配盤１０１の回転動を制御するモータ１０３の、回動制御部（図示略）を付属させている。
【００２０】
流路切替機構Ａは、図２から容易に理解されるように、その高さ寸法を、極力低く抑えられる構造になっている。その分、洗浄液循環濃縮システム全体の背丈をかなり低くすることが出来、限られたスペースの設置場所にも、このシステムを無理なく納められるようになる。
【００２１】
また、上記流路切替機構Ａは、図２に示したように、その全体が完全な液密構造になっている。そのため、腐食性のある洗浄液を扱う場合でも、その保守・管理の為の手間と経費を殆ど省け、かつ、充分な耐久性を確保出来る。
【００２２】
このような流路切替機構Ａを備えている洗浄装置を用いて、切替されて選択された洗浄液タンク中の洗浄液を洗浄室に設けられたシャワーヘッドに供給して、洗浄室内に挿入された被洗浄物を洗浄することにより、効率良い洗浄が可能となると考えられていた。
【００２３】
しかしながら、上記例では従来の４つの洗浄槽を設けた従来の洗浄装置に比べると、洗浄効果が低く、その結果には満足できなかった。
【特許文献１】特公平３−４４８３０号公報
【特許文献２】特開２００１−３４７２３５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
本発明は、上記した従来の問題点を改善する、すなわち、コンパクトでありながら、従来の複数の洗浄槽を設けた従来の洗浄装置に匹敵する効果の高い洗浄が可能な洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明の洗浄装置は上記課題を解決するため、請求項１に記載の通り、洗浄槽、該洗浄槽内部にシャワーノズル、該洗浄槽下部に排液口、該排液口の下流側に洗浄液貯液槽、及び、該洗浄液貯液槽内の洗浄液を前記シャワーノズルに接続された配管を経由して該シャワーノズルに循環供給する循環洗浄手段、を備えている洗浄装置であって、前記洗浄液貯液槽と該洗浄液貯液槽に接続された循環洗浄手段とからなる貯液槽・循環手段の組合せを複数備え、かつ、該複数の貯液槽・循環手段の組合せ中から１つの貯液槽・循環手段の組合せを選択して、該選択された洗浄液貯液槽にのみ前記排液口からの洗浄液を供給させるとともに、該選択された洗浄液貯液槽に接続された循環洗浄手段のみを稼働させて洗浄を行い、その後、順次他の貯液槽・循環手段の組合せに切替え、以後同様に繰り返す、組合せ選択手段を備えている、洗浄装置において、
前記組合せ選択手段が前記切替の際に、前記循環洗浄手段を停止させた後に、前記シャワーノズル付近の前記配管中の洗浄液を該配管が接続された洗浄液貯液槽に逆送し、その後所定時間後に、次の貯液槽・循環手段の組合せに切替えるものであることを特徴とする洗浄装置である。
【００２６】
また、本発明の洗浄装置は、請求項２に記載の通り、請求項１に記載の洗浄装置において、前記洗浄液と接触する部分に、親水化処理、親水加工処理、撥水化処理、及び、撥水加工処理から選ばれる１つ以上の処理が施されていることを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の洗浄装置は、請求項３に記載の通り、請求項１または請求項２に記載の洗浄装置において、前記循環洗浄手段を停止させた後に、前記洗浄槽、及び、被洗浄物に対して、液切りのために衝撃を付与する、衝撃付与手段を備えていることを特徴とする。
【００２８】
また、本発明の洗浄装置は、請求項４に記載の通り、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の洗浄装置において、前記複数の洗浄液貯液槽のうち１つの洗浄液貯液槽内の洗浄液を他所へ移送し排液した後に、該洗浄液が排液された洗浄液貯液槽に他の洗浄液貯液槽中の洗浄液を移送し、かつ、この洗浄液の移送及び排液を順次繰り返す洗浄液前送り手段と、最後に洗浄液の移送及び排液を行った洗浄液貯液槽に新たな洗浄液を導入する洗浄液導入手段と、を備えていることを特徴とする。
【００２９】
また、本発明の洗浄装置は、請求項５に記載の通り、請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の洗浄装置において、前記複数の洗浄液貯液槽が、それぞれ直列に接続された２つ以上の貯液槽から構成されていることを特徴とする。
【００３０】
また、本発明の洗浄装置は、請求項６に記載の通り、請求項４に記載の洗浄装置において、前記複数の洗浄液貯液槽がそれぞれ直列に接続された２つ以上の貯液槽から構成され、これら貯液槽のそれぞれ最下流側の貯液槽がそれぞれ前記移送及び排液の順番に下から上に位置するように配置され、かつ、これら最下流側の貯液槽のうち下から２番目以降の貯液槽に重力を利用して一つ下に位置する貯液槽へそれぞれの洗浄液を移送及び排液するための配管と、該配管に設けられた開閉可能なバルブ装置と、を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
本発明の洗浄装置によれば、組合せ選択手段が切替えの際に、循環洗浄手段を停止させた後に、シャワーノズル付近の前記配管中の洗浄液を該配管が接続された洗浄液貯液槽に逆送し、その後所定時間後に、次の貯液槽・循環手段の組合せに切替えるものであることにより、シャワーノズルからの洗浄液（要洗浄成分濃度が濃い）の液だれをなくすることができ、次の貯液槽・循環手段の組合せに切替えたときの、前の洗浄液の持ち込みが少なくなるために洗浄効果が高くなり、コンパクトでありながら、従来の複数の洗浄槽を設けた従来の洗浄装置に匹敵する効果の高い洗浄が可能な洗浄装置である。
【００３２】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄液と接触する部分に、親水化処理、親水加工処理、撥水化処理、及び、撥水加工処理から選ばれる１つ以上の処理が施されているために、液切れが良好であるために、次の貯液槽・循環手段の組合せに切替えたときの、前の洗浄液の持ち込みが少なくなるために洗浄効果が高い。
【００３３】
また、本発明の洗浄装置は、前記循環洗浄手段を停止させた後に、前記洗浄槽、及び、被洗浄物に対して、液切りのために衝撃を付与する、衝撃付与手段を備えていることにより、より効果的に液残りを防止することができるので、高い洗浄効果が得られる。
【００３４】
また、本発明の洗浄装置は、前記複数の洗浄液貯液槽のうち１つの洗浄液貯液槽内の洗浄液を他所へ移送し排液した後に、該洗浄液が排液された洗浄液貯液槽に他の洗浄液貯液槽中の洗浄液を移送し、かつ、この洗浄液の移送及び排液を順次繰り返す洗浄液前送り手段と、最後に洗浄液の移送及び排液を行った洗浄液貯液槽に新たな洗浄液を導入する洗浄液導入手段と、を備えているので、洗浄液を効率的に利用することができ、濃縮、濾過、精製処理などの処理コストを低く抑えることができる。
【００３５】
また、本発明の洗浄装置は、前記複数の洗浄液貯液槽が、それぞれ直列に接続された２つ以上の貯液槽から構成されていることにより、洗浄槽の下に置く貯液槽の容量が小さくても充分な洗浄液量が確保でき、また、装置の高さを低く抑えることができ、例えばめっき処理を含む処理装置などへの組み込みが容易となり、応用範囲を広くすることができる。
【００３６】
また、本発明の洗浄装置は、請求項６に記載の通り、請求項４に記載の洗浄装置に記載の洗浄装置において、前記複数の洗浄液貯液槽がそれぞれ直列に接続された２つ以上の貯液槽から構成され、これら貯液槽のそれぞれ最下流側の貯液槽がそれぞれ前記移送及び排液の順番に下から上に位置するように配置され、かつ、これら最下流側の貯液槽のうち下から２番目以降の貯液槽に重力を利用して一つ下に位置する貯液槽へそれぞれの洗浄液を移送及び排液するための配管と、該配管に設けられた開閉可能なバルブ装置とを備えているので、洗浄槽の下に置く貯液槽の容量が小さくても充分な洗浄液量が確保でき、また、装置の高さを低く抑えることができ、例えばめっき処理を含む処理装置などへの組み込みが容易となり、応用範囲を広くすることができるとともに、基本的にはバルブ操作だけで洗浄液の移送及び排液が可能となるので、装置コストを低廉に抑えることが可能となる。さらに、洗浄槽付近に洗浄液の送液を行うポンプ類や制御機器を配置する必要がなくなり、例えば洗浄槽から離れたところにこれら貯液槽のそれぞれ最下流側の貯液槽を配置すると共にその付近にポンプを集約配置することが可能となるので、例えば、表面処理ラインにおける従来の洗浄装置との置き換えが容易となると共に、洗浄装置の洗浄槽付近での作業性の悪化を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
図１（ａ）及び図（ｂ）に本発明に係る洗浄装置αのモデル図を示す。
【００３８】
図１（ａ）は正面から見た、正面に近い箇所でのモデル断面図であり、図１（ｂ）は裏面から見た、裏面に近い箇所でのモデル断面図である。
【００３９】
この洗浄装置αは、洗浄槽１、洗浄槽１内部にシャワーノズル１ａ、１ｂ、１ｃ、及び、１ｄがそれぞれ複数個、洗浄槽１下部に排液口１ｆ、排液口１ｆの下流側に洗浄液貯液槽、及び、洗浄液貯液槽内の洗浄液をシャワーノズル１ａ、１ｂ、１ｃ、及び、１ｄに接続された配管を経由してシャワーノズル１ａ、１ｂ、１ｃ、及び、１ｄに循環供給する循環洗浄手段、を備えている洗浄装置であって、洗浄液貯液槽と洗浄液貯液槽に接続された循環洗浄手段とからなる貯液槽・循環手段の組合せを複数備えている。
【００４０】
すなわち、シャワーノズル１ａ、１ｂ、１ｃ、及び、１ｄにはそれぞれ配管１ａ１、１ｂ１、１ｃ１、及び、１ｄ１などの配管を介してそれぞれポンプ２ａ−洗浄槽下受液槽４ａ−ポンプ３ａ−貯液槽７ａ−ポンプ２ａの組合せ、ポンプ２ｂ−洗浄槽下受液槽４ｂ−ポンプ３ｂ−貯液槽７ｂ−ポンプ２ｂの組合せ、ポンプ２ｃ−洗浄槽下受液槽４ｃ−ポンプ３ｃ−貯液槽７ｃ−ポンプ２ｃの組合せ、及び、ポンプ２ｄ−洗浄槽下受液槽４ｄ−ポンプ３ｄ−貯液槽７ｄ−ポンプ２ｄの組合せが接続されている。これらの内、洗浄槽下受液槽４ａ〜４ｄ及び貯液槽７ａ〜７ｄは洗浄液貯液槽を構成し、ポンプ２ａ、２ｂ、２ｃ及び２ｄ、ポンプ３ａ、３ｂ、３ｃ及び３ｄ及び配管類は循環洗浄手段である。
【００４１】
ここで、このように、それぞれの組合せで貯液槽がそれぞれ直列に接続された、洗浄槽下受液槽４ａと貯液槽７ａとから、洗浄槽下受液槽４ｂと貯液槽７ｂとから、洗浄槽下受液槽４ｃと貯液槽７ｃとから、及び、洗浄槽下受液槽４ｄと貯液槽７ｄとから、構成されているために、各洗浄液の液量が多くても、洗浄槽下受液槽の高さを低く、かつ大きさを小さくすることが可能であるので、洗浄槽１の下に置く貯液槽の容量が小さくても充分な洗浄液量が確保でき、また、装置の高さを低く抑えることができ、例えばめっき処理を含む処理装置などへの組み込みが容易となり、応用範囲を広くすることができる。
【００４２】
さらにこれら直列に接続された貯液槽のうち、最下流側の貯液槽である貯液槽７ａ、貯液槽７ｂ、貯液槽７ｃ、及び、貯液槽７ｄは後述する移送及び排液の順番に、下から上に位置するように配置されている。
【００４３】
さらに、この洗浄装置αは、複数の貯液槽・循環手段の組合せ中から１つの貯液槽・循環手段の組合せを選択して、該選択された洗浄液貯液槽にのみ前記排液口からの洗浄液を供給させるとともに、該選択された洗浄液貯液槽に接続された循環洗浄手段のみを稼働させて洗浄を行い、その後、順次他の貯液槽・循環手段の組合せに切替え、以後同様に繰り返す、図示しない、組合せ選択手段を有するが、このような組合せ選択手段は洗浄槽１の排液口１ｆ直下に設けられた、特開２００１−３４７２３５公報記載の技術に係る流路切替機構Ａ、各ポンプ２ａ〜２ｄ、及び、ポンプ３ａ〜３ｄを制御する。
【００４４】
さらに、この組合せ選択手段は切替の際に、循環洗浄手段のポンプ２ａ〜２ｄ及びポンプ３ａ〜３ｄを停止させた後に、シャワーノズル１ａ、１ｂ、１ｃ、及び、１ｄ付近の配管中の洗浄液を配管が接続された洗浄液貯液槽である洗浄槽下受液槽４ａ〜４ｄに逆送し、その後所定時間後に、次の貯液槽・循環手段の組合せに切替えるものであり、配管１ａ１、１ｂ１、１ｃ１、及び、１ｄ１のそれぞれの洗浄槽下受液槽４ａ、４ｂ、４ｃ、及び、４ｄの上縁よりも高い位置で、かつ、すべてのシャワーノズル１ａ、１ｂ、１ｃ、及び、１ｄよりも低い位置で分岐され、それぞれこれら洗浄槽下受液槽内へ導かれている分岐配管６ａ、６ｂ、６ｃ、及び、６ｄのそれぞれに設けられたバルブ５ａ、５ｂ、５ｃ、及び、５ｄをそれぞれ制御するものである。
【００４５】
ここで、このような組合せ選択手段はタイマー装置及び各種リレー装置、あるいはマイクロコンピュータ（必要に応じ各種リレー装置を併用）から構成することができるが、動作仕様の保守や変更、追加等の容易さからマイクロコンピュータを用いることが好ましく、洗浄装置αにおける組合せ選択手段はマイクロコンピュータを用いるものとなっていて、後述する各種制御機構も兼ねるものとなっている。
【００４６】
このような洗浄装置αにおいて、洗浄液と接触する部分に、親水化処理、親水加工処理、撥水化処理、及び、撥水加工処理から選ばれる１つ以上の処理が施されていると、排液が容易になると共に残留液が少なくなるので後工程での洗浄水への混入が少なくなり、高い洗浄効果が得られる。
【００４７】
このような親水化加工処理、親水化処理としては、洗浄装置αの洗浄槽１や配管などに使われる樹脂であるポリプロピレン樹脂あるいは塩化ビニル樹脂に対して親水性を有するポリビニルアルコールフィルム（日本合成化学社製等）を貼る親水化加工、あるいはチタニア、シリカ、シリコンからなる親水処理剤（ＴＯＴＯ社製等）で処理する親水化処理などが挙げられる。
【００４８】
また、撥水化加工処理、撥水化処理としては、洗浄装置αの洗浄槽１や配管などに使われる上記樹脂に対して、シリコーン樹脂系塗料（ＮＴＴアドバンステクノロジー社製等）や疎水性シリカ撥水剤（日華化学社製等）を塗布したり、あるいは、フッ素コーティング剤（フロロテクノロジー社製等）による表面処理を行う。
【００４９】
この例では、洗浄槽１の内面には親水化加工としてポリビニルアルコールフィルム（日本合成化学社製等）を貼付してあり、凹凸によりフィルム貼付が困難な箇所にはＮＴＴアドバンステクノロジー社製のシリコーン樹脂系塗料が塗布されて、撥水加工されている。
【００５０】
さらに、このような洗浄装置αにおいて、循環洗浄手段を停止させた後に、洗浄槽１、及び、被洗浄物に対して、液切りのために衝撃を付与する、衝撃付与手段を備えていると、残留液が少なくなるので後工程での洗浄水への混入が少なくなり、高い洗浄効果が得られる。
【００５１】
このような衝撃付与手段としては各種アクチュエータ、あるいは各種アクチュエータとハンマーとを組み合わせて、構成することができる。
【００５２】
洗浄装置αでは洗浄槽１に衝撃を与える衝撃付与手段として、アクチュエータ（図示しない）とハンマーとを組み合わせたハンマー装置８ａを洗浄槽１上縁付近に、被洗浄物であるめっき処理済み品１０が多数架けられたハンガー１１を介してめっき処理済み品１０に対して衝撃を与える衝撃付与手段としてアクチュエータ（図示しない）とハンマーとを組み合わせたハンマー装置８ｂを洗浄槽１上方のハンガー１１停止位置に、それぞれ備えている。
【００５３】
また、洗浄装置αの複数の洗浄液貯液槽のうち１つの洗浄液貯液槽内の洗浄液を他所へ移送し排液した後に、該洗浄液が排液された洗浄液貯液槽に他の洗浄液貯液槽中の洗浄液を移送し、かつ、この洗浄液の移送及び排液を順次繰り返す洗浄液前送り手段と、最後に洗浄液の移送及び排液を行った洗浄液貯液槽に新しい洗浄液を導入する洗浄液導入手段とを備えていると、洗浄液を有効に用いることができ、その後処理（濃縮処理、イオン交換処理等）での負担を少なくすることができるので、洗浄装置αを用いる表面処理システム等のシステムのランニングコストを低廉なものとすることができると共に、必要な後処理の装置の小型化や低廉化も可能となる。
【００５４】
この洗浄装置αはこのような洗浄液前送り手段としては、貯液槽７ａの底部に設けられた、図示しない他工程（濃縮工程）に内部の洗浄液を移送するための配管７ａ１に設けられたバルブ７ａ２、貯液槽７ｂの底部であるとともに貯液槽７ａへ導かれるように設けられた配管７ｂ１に設けられたバルブ７ｂ２、貯液槽７ｃの底部であるとともに貯液槽７ｂへ導かれるように設けられた配管７ｃ１に設けられたバルブ７ｃ２、及び、貯液槽７ｄの底部であるとともに貯液槽７ｃへ導かれるように設けられた配管７ｄ１に設けられたバルブ７ｄ２を制御する。
【００５５】
ここで、バルブ７ｂ２を操作して開くことにより貯液槽７ｂ内の洗浄液は、重力により貯液槽７ａへ、バルブ７ｃ２を操作して開くことにより貯液槽７ｃ内の洗浄液は、重力により貯液槽７ｂへ、さらに、バルブ７ｄ２を操作して開くことにより貯液槽７ｄ内の洗浄液は、重力により貯液槽７ｃへ、移送及び排液可能となっているので、ポンプなどの高価な機材が不要であり、装置自体もコンパクトなものとなる。
【００５６】
また、洗浄液導入手段は、貯液槽７ｄへ導かれるように設けられ、貯液槽７ｄに新しい洗浄液を導入するための配管１２に設けられたバルブ１２ａを制御するものである。
【００５７】
これら洗浄液前送り手段、及び、洗浄液導入手段はタイマー装置及び各種リレー装置、あるいはマイクロコンピュータ（必要に応じ各種リレー装置を併用）から構成することができるが、動作仕様の保守や変更、追加等の容易さからマイクロコンピュータを用いることが好ましく、この洗浄装置αにおける洗浄液前送り手段、及び、洗浄液導入手段は上述の組合せ選択手段を構成するマイクロコンピュータが兼用している。
【００５８】
次に、このような洗浄装置αによる洗浄について説明をする（この例ではすべてのポンプは停止し、すべてのバルブは閉まっている状態で、ただし、流路切替機構Ａは排液口１ｆからの洗浄液が洗浄槽下受液槽４ａ上方に設けられた配管Ａａへと流れる状態から開始する）。
【００５９】
洗浄槽１には、めっき工程、めっき液回収工程を経て、被洗浄物であるめっき処理済み品１０が多数架けられたハンガー１１が搬入され、図１（ａ）に示すハンガー１１停止位置で停止する。
【００６０】
ポンプ２ａ及びポンプ３ａが稼働され、貯液槽７ａ内の洗浄液がポンプ２ａにより配管１ａ１を通じてシャワーノズル１ａにより、めっき処理済み品１０に噴射され、めっき処理済み品１０を洗浄した後、排液口１ｆから流路切替機構Ａによって配管Ａａを経て、洗浄槽下受液槽４ａへと流れる。洗浄槽下受液槽４ａに受けられた洗浄液は、洗浄槽下受液槽４ａ底部に設けられた配管とポンプ３ａとにより、再び貯液槽７ａに戻り、以下同様に循環する。この例では、ポンプ３ａの容量は洗浄槽下受液槽４ａへの洗浄液の供給量よりも大きいために、洗浄槽下受液槽４ａの容量は小さいものであっても充分である。
【００６１】
貯液槽７ａ内の洗浄液による洗浄処理が、予め定められた時間（組合せ選択手段内のマイクロコンピュータのタイマーによる）、あるいは、予め定められた流量（図示しない流量計による測定結果による）、あるいは、洗浄液の各パラメータの分析結果（図示しない分析装置による）により、終了条件に達したときに、組合せ選択手段は循環洗浄手段としてのポンプ２ａを止め、これによりシャワーノズル１ａへの洗浄液の供給が止まると共に、組合せ選択手段はバルブ５ａを開く。これにより、シャワーノズル１ａ付近の配管１ａ１中の洗浄液は配管が接続された洗浄液貯液槽である洗浄槽下受液槽４ａに分岐配管６ａを経て逆送される。
【００６２】
さらに衝撃付与手段であるハンマー装置８ａ及びハンマー装置８ｂが稼働して、洗浄槽１、及び、めっき処理済み品１０が多数架けられたハンガー１１に衝撃を与えて、洗浄槽１、めっき処理済み品１０及びハンガー１１に付着した洗浄液が落下し、洗浄槽下受液槽４ａに回収される。
【００６３】
このように洗浄槽下受液槽４ａに逆送あるいは回収された洗浄液はポンプ３ａによって貯液槽７ａに回収される。これら回収・逆送される洗浄液がなくなった時間（この例では予め測定し組合せ選択手段に設定してある）後、組合せ選択手段は、バルブ５ａを閉め、ポンプ３ａを停止させると共に、次の貯液槽・循環手段を選択し、それを稼働させる。
【００６４】
すなわち、組合せ選択手段は流路切替機構Ａを制御して、排液口１ｆからの洗浄液が洗浄槽下受液槽４ｂ上方に設けられた配管Ａｂへと流れる状態とする。
【００６５】
次いでポンプ２ｂ及びポンプ３ｂが稼働され、貯液槽７ｂ内の洗浄液がポンプ２ｂにより配管１ｂ１を通じてシャワーノズル１ｂにより、めっき処理済み品１０に噴射され、めっき処理済み品１０を洗浄した後、排液口１ｆから流路切替機構Ａによって配管Ａｂを経て、洗浄槽下受液槽４ｂへと流れる。洗浄槽下受液槽４ｂに受けられた洗浄液は、洗浄槽下受液槽４ｂ底部に設けられた配管とポンプ３ｂとにより、再び貯液槽７ｂに戻り、以下同様に循環する。なお、この例では、ポンプ３ａの容量は洗浄槽下受液槽４ａへの洗浄液の供給量よりも大きい。
【００６６】
貯液槽７ｂ内の洗浄液による洗浄処理が、予め定められた時間（組合せ選択手段内のマイクロコンピュータのタイマーによる）、あるいは、予め定められた流量（図示しない流量計による測定結果による）、あるいは、洗浄液の各パラメータの分析結果（図示しない分析装置による）により、終了条件に達したときに、組合せ選択手段は循環洗浄手段としてのポンプ２ｂを止め、これによりシャワーノズル１ｂへの洗浄液の供給が止まると共に、組合せ選択手段はバルブ５ｂを開く。これにより、シャワーノズル１ｂ付近の配管１ｂ１中の洗浄液は配管が接続された洗浄液貯液槽である洗浄槽下受液槽４ｂに分岐配管６ｂを経て逆送される。
【００６７】
さらに衝撃付与手段であるハンマー装置８ａ及びハンマー装置８ｂが稼働して、洗浄槽１、及び、めっき処理済み品１０が多数架けられたハンガー１１に衝撃を与えて、洗浄槽１、めっき処理済み品１０及びハンガー１１に付着した洗浄液が落下し、洗浄槽下受液槽４ｂに回収される。
【００６８】
このように洗浄槽下受液槽４ｂに逆送あるいは回収された洗浄液はポンプ３ｂによって貯液槽７ｂに回収される。これら回収・逆送される洗浄液がなくなった時間（この例では予め測定し組合せ選択手段に設定してある）後、組合せ選択手段は、バルブ５ｂを閉め、ポンプ３ｂを停止させると共に、次の貯液槽・循環手段を選択し、それを稼働させる。
【００６９】
上記同様に、組合せ選択手段は流路切替機構Ａを制御して、排液口１ｆからの洗浄液が洗浄槽下受液槽４ｃ上方に設けられた配管Ａｃへと流れる状態とする。
【００７０】
次いでポンプ２ｃ及びポンプ３ｃが稼働され、貯液槽７ｃ内の洗浄液がポンプ２ｄにより配管１ｃ１を通じてシャワーノズル１ｃにより、めっき処理済み品１０に噴射され、めっき処理済み品１０を洗浄した後、排液口１ｆから流路切替機構Ａによって配管Ａｃを経て、洗浄槽下受液槽４ｃへと流れる。洗浄槽下受液槽４ｃに受けられた洗浄液は、洗浄槽下受液槽４ｃ底部に設けられた配管とポンプ３ｃとにより、再び貯液槽７ｃに戻り、以下同様に循環する。なお、この例では、ポンプ３ｃの容量は洗浄槽下受液槽４ｃへの洗浄液の供給量よりも大きい。
【００７１】
貯液槽７ｃ内の洗浄液による洗浄処理が、予め定められた時間（組合せ選択手段内のマイクロコンピュータのタイマーによる：本例）、あるいは、予め定められた流量（図示しない流量計による測定結果による）、あるいは、洗浄液の各パラメータの分析結果（図示しない分析装置による）により、終了条件に達したときに、組合せ選択手段は循環洗浄手段としてのポンプ２ｃを止め、これによりシャワーノズル１ｃへの洗浄液の供給が止まると共に、組合せ選択手段はバルブ５ｃを開く。これにより、シャワーノズル１ｃ付近の配管１ｃ１中の洗浄液は配管が接続された洗浄液貯液槽である洗浄槽下受液槽４ｃに分岐配管６ｃを経て逆送される。
【００７２】
さらに衝撃付与手段であるハンマー装置８ａ及びハンマー装置８ｂが稼働して、洗浄槽１、及び、めっき処理済み品１０が多数架けられたハンガー１１に衝撃を与えて、洗浄槽１、めっき処理済み品１０及びハンガー１１に付着した洗浄液が落下し、洗浄槽下受液槽４ｃに回収される。
【００７３】
このように洗浄槽下受液槽４ｃに逆送あるいは回収された洗浄液はポンプ３ｃによって貯液槽７ｃに回収される。これら回収・逆送される洗浄液がなくなった時間（この例では予め測定し組合せ選択手段に設定してある）後、組合せ選択手段は、バルブ５ｃを閉め、ポンプ３ｃを停止させると共に、次の貯液槽・循環手段を選択し、それを稼働させる。
【００７４】
上記同様に、組合せ選択手段は流路切替機構Ａを制御して、排液口１ｆからの洗浄液が洗浄槽下受液槽４ｄ上方に設けられた配管Ａｄへと流れる状態とする。
【００７５】
次いでポンプ２ｄ及びポンプ３ｄが稼働され、貯液槽７ｄ内の洗浄液がポンプ２ｄにより配管１ｄ１を通じてシャワーノズル１ｄにより、めっき処理済み品１０に噴射され、めっき処理済み品１０を洗浄した後、排液口１ｆから流路切替機構Ａによって配管Ａｄを経て、洗浄槽下受液槽４ｄへと流れる。洗浄槽下受液槽４ｄに受けられた洗浄液は、洗浄槽下受液槽４ｄ底部に設けられた配管とポンプ３ｄとにより、再び貯液槽７ｄに戻り、以下同様に循環する。この例では、ポンプ３ｄの容量は洗浄槽下受液槽４ｄへの洗浄液の供給量よりも大きい。
【００７６】
貯液槽７ｄ内の洗浄液による洗浄処理が、予め定められた時間（組合せ選択手段内のマイクロコンピュータのタイマによる）、あるいは、予め定められた流量（図示しない流量計による測定結果による）、あるいは、洗浄液の各パラメータの分析結果（図示しない分析装置による）により、終了条件に達したときに、組合せ選択手段は循環洗浄手段としてのポンプ２ｄを止め、これによりシャワーノズル１ｄへの洗浄液の供給が止まると共に、組合せ選択手段はバルブ５ｄを開く。これにより、シャワーノズル１ｄ付近の配管１ｄ１中の洗浄液は配管が接続された洗浄液貯液槽である洗浄槽下受液槽４ｄに分岐配管６ｄを経て逆送される。
【００７７】
さらに衝撃付与手段であるハンマー装置８ａ及びハンマー装置８ｂが稼働して、洗浄槽１、及び、めっき処理済み品１０が多数架けられたハンガー１１に衝撃を与えて、洗浄槽１、めっき処理済み品１０及びハンガー１１に付着した洗浄液が落下し、洗浄槽下受液槽４ｄに回収される。
【００７８】
このように洗浄槽下受液槽４ｄに逆送あるいは回収された洗浄液はポンプ３ｄによって貯液槽７ｄに回収される。これら回収・逆送される洗浄液がなくなった時間（予め測定し組合せ選択手段に設定してある）後、組合せ選択手段は、上記一連のサイクルを再び行うが、この繰り返しの開始前に、洗浄槽１内に位置していためっき処理済み品１０が多数架けられたハンガー１１は次工程（例えば            工程）へと移動し、洗浄槽１内には未洗浄のめっき処理済み品１０が多数架けられたハンガー１１が搬入される。
【００７９】
このような一連の洗浄を行うと、貯液槽７ａ内の洗浄液、貯液槽７ｂ内の洗浄液、貯液槽７ｃ内の洗浄液、及び、貯液槽７ｄ内の洗浄液の順に濃く、洗浄前にめっき処理済み品１０及びハンガー１１に付着していた要洗浄成分が存在するようになる。このため、上記４つの洗浄工程からなる１サイクルごと、あるいは数サイクルごと、あるいは、上記洗浄液内の要洗浄成分をチェックして必要に応じて、洗浄液導入手段は、貯液槽７ａ内の洗浄液を移液・排液に必要時間バルブ７ａ２を開き（必要に応じて配管７ａ１に接続された図示しないポンプを稼働させて）他所、例えば濃縮工程へ移送させ排液させた後に、洗浄液が排液された貯液槽７ａへ他の洗浄液貯液槽である貯液槽７ｂ中の洗浄液をバルブ７ｂ２を移液・排液に必要な時間開けて移送させ、次いで、洗浄液が排液された貯液槽７ｂへ貯液槽７ｃ中の洗浄液をバルブ７ｃ１を移液・排液に必要な時間開けて移送させ、その後、洗浄液が排液された貯液槽７ｃに他の洗浄液貯液槽である貯液槽７ｄ中の洗浄液をバルブ７ｄ２を移液・排液に必要な時間開けて移送させ、さらに、バルブ１２ａを開けて、新たな洗浄液を貯液槽７ｄに導入させる。このようにすることにより、必要最小限の洗浄液で、極めて有効な洗浄が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明に係る洗浄装置αを示すモデル図である。（ａ）正面から見た、正面に近い箇所でのモデル断面図である。（ｂ）裏面から見た、裏面に近い箇所でのモデル断面図である。
【図２】従来技術に係る（本発明の洗浄装置でも用いる）流路切替機構Ａのモデル断面図である。
【図３】従来技術に係る流路切替機構Ａの一半側部分の底面視図である。
【図４】従来技術に係る流路切替機構を備えた洗浄装置の流路切替機構Ａ付近の正面図である。
【図５】洗浄槽を省いて示す、図４の平面視図である。
【符号の説明】
【００８１】
α      本発明に係る洗浄装置の一例
１    洗浄槽
１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ  シャワーノズル
１ａ１、１ｂ１、１ｃ１、及び、１ｄ１    配管
１ｆ      排液口
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ  ポンプ
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ  ポンプ
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ  洗浄槽下受液槽
５ａ、５ｂ、５ｃ、及び、５ｄ  バルブ
６ａ、６ｂ、６ｃ、及び、６ｄ  分岐配管
７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ  貯液槽
８ａ、８ｂ    ハンマー装置
１０    めっき処理済み品
１１    ハンガー
１２    配管
１２ａ  バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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