(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドのインクの吐出部分周辺への撥水処理に改善を加えることで、インク吐出不良の発生を効果的に抑制する。【解決手段】本発明のインクジェットヘッド１の製造方法は、インクの流路を内部に有すると共にインク吐出口の開口するインク吐出面を備えたインクジェットヘッドマニホールド２を作製する工程と、作製されたインクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面に、インク吐出口とつながるインク吐出孔３ａが穿孔されたオリフィスプレート３を接合する工程と、オリフィスプレート３の接合されたインクジェットヘッドマニホールド２のインクの流路内に供給した気体７５をインク吐出孔３ａより噴出させた状態で、オリフィスプレート３の表面３ｂに撥水剤を塗布し且つこれを固化する工程と、を有する。【選択図】図７Ｂ
2009056729.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクの流路を内部に有すると共にインク吐出口の開口するインク吐出面を備えたヘッド本体を作製するヘッド本体作製工程と、
前記作製されたヘッド本体の前記インク吐出面に、前記インク吐出口とつながるインク吐出孔が穿孔されたオリフィス部材を接合するオリフィス接合工程と、
前記オリフィス部材の接合されたヘッド本体の前記インクの流路内に供給した気体を前記インク吐出孔より噴出させた状態で、前記オリフィス部材の表面に撥水剤を塗布し且つこれを固化する撥水処理工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記作製されたヘッド本体を挟む位置から圧電素子の駆動にて生じる押圧力を付与する一対の振動板を前記ヘッド本体上の一対のヘッド押圧面に拡散接合する振動板接合工程をさらに有し、
前記撥水処理工程は、少なくとも前記振動板接合工程を経た後に行われることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記ヘッド本体作製工程では、複数の積層板を拡散接合により積層一体化して前記ヘッド本体を作製することを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記撥水処理工程では、前記インク吐出孔より不活性ガスを噴出させることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンタでは、例えばピエゾ素子の駆動により生じるポンプ作用でインクを吐出させるピエゾ方式のインクジェットヘッドや、インクの加熱により発生した気泡を通じてインクを吐出させるバブルジェット（登録商標）方式のインクジェットヘッドなどが用いられる（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、上記特許文献のバブルジェット（登録商標）方式を採用したインクジェットヘッドは、ヘッド本体内の液流路にある撥水剤を気泡の圧力でインクの吐出口から押し出し、その吐出口の構成面に上記撥水剤の固化物を付着させている。つまり、このインクジェットヘッドは、このような撥水加工によって吐出口周辺でのインクの溜まりを抑え、インク吐出不良の発生を抑制している。
【特許文献１】特開平９−３２７９２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した撥水加工方法を例えばピエゾ方式のインクジェットヘッドに適用することを想定した場合、一般のピエゾが発生させ得る駆動力ではヘッド本体内の撥水剤をインク吐出口から押し出すこと自体が困難である。さらに、上記の撥水加工方法では、撥水剤の一部がインク吐出口の例えば内側で固化し、インクの吐出を逆に阻害してしまうことなども懸念される。
【０００５】
そこで本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、インクの吐出部分周辺への撥水処理に改善を加えることで、インク吐出不良の発生を効果的に抑制できるインクジェットヘッドの製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、インクの流路を内部に有すると共にインク吐出口の開口するインク吐出面を備えたヘッド本体を作製するヘッド本体作製工程と、前記作製されたヘッド本体の前記インク吐出面に、前記インク吐出口とつながるインク吐出孔が穿孔されたオリフィス部材を接合するオリフィス接合工程と、前記オリフィス部材の接合されたヘッド本体の前記インクの流路内に供給した気体を前記インク吐出孔より噴出させた状態で、前記オリフィス部材の表面に撥水剤を塗布し且つこれを固化する撥水処理工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
すなわち、本発明によれば、インク吐出孔より気体を噴出させた状態で、オリフィス部材の表面に撥水剤のコーティングを行うので、インク吐出孔を含むインクの吐出経路を塞ぐことなく、インク吐出部分周辺に撥水加工を施すことができる。
【発明の効果】
【０００８】
したがって、本発明によれば、インクの吐出部分周辺への撥水処理に改善を加えることで、インク吐出不良の発生を効果的に抑制することが可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を用いて作製されたインクジェットヘッド１の外観を示す斜視図である。また、図２は、このインクジェットヘッド１を示す平面（上面）図であり、図３は、インクジェットヘッド１の底面図である。さらに、図４は、このインクジェットヘッド１の構造を示す分解斜視図である。
【００１０】
図１に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド１は、いわゆるピエゾ方式を採用するインクジェットヘッドであって、ヘッド本体（ヘッド筐体）としての金属製のインクジェットヘッドマニホールド２を備えている。このインクジェットヘッドマニホールド２は、図３及び図４に示すように、インクの流路を内部に備える共にインク吐出口３７の開口するインク吐出面２ｄを有する。
【００１１】
インクジェットヘッドマニホールド２は、図１に示すように、複数の種類（図４に示す例では大別して９種類）の金属製の第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９を複数枚（例えば、２５〜２５０枚）積層して構成されている。これらの第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９は、厚さが例えば０．０２ｍｍ〜０．２ｍｍの金属製（例えば、ＳＵＳ３０４など）の板材から構成されており、これらを拡散接合などによって互いに圧着することで、ブロック状に形成されている。また、第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９に開口されたインク流路は、例えばエッチング加工やブラスト加工によって形成されている。第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９の外形は、エッチング加工やブラスト加工の他、打ち抜き加工によっても成形することができる。
【００１２】
また、インクジェットヘッドマニホールド２の底面のインク吐出面２ｄには、図３及び図４に示すように、個々のインク吐出口３７と各々つながる複数のインク吐出孔３ａ（直径、例えば０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍ）の穿孔されたオリフィスプレート３（オリフィス部材）が、上記した拡散接合などによって接合されている。このオリフィスプレート３は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍで形成されており、その構成材料としては、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４など）が適用されている。インク吐出孔３ａは、図３、図４に示すように、オリフィスプレート３上に例えば一列に配置されている。このインク吐出孔３ａは、例えばパンチング加工、レーザ加工、エッチング加工などによって形成されている。
【００１３】
本実施形態のインクジェットヘッド１では、上記のインク吐出口３７が開口するインクジェットヘッドマニホールド２上のインク吐出面２ｄと、インク吐出孔３ａを備えたオリフィスプレート３と、が互いに位置合せされた状態で接合されていることで、微細なインク粒子を吐出させるインク吐出経路が構成される。ここで、オリフィスプレート３の表面（外側面）３ｂには、インク吐出孔３ａの開口部分を避けた領域に（インク吐出孔３ａを含むインクの吐出経路を塞がないようにして）、撥水皮膜７７がコーティングされている。このような撥水加工によって、インク吐出孔３ａ周辺でのインクの溜まりが抑制され、これにより、インク吐出不良の発生が抑えられている。
【００１４】
また、インクジェットヘッドマニホールド２の各側面で構成されるヘッド押圧面２ｃには、図１〜図４に示すように、一対の振動板（箔）４が、拡散接合などによって接合されている。また、振動板４は、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４など）から構成されており、例えば厚さ０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍで形成されている。また、振動板４は、レーザ加工やエッチング加工などによって加工成形されている。このような各振動板４は、一対のヘッド押圧面２ｃ側からインクジェットヘッドマニホールド２を挟んだ状態で押圧力を付与する。
【００１５】
一対のこの振動板４の個々の外側面には、図１〜図４に示すように、所定形状の導体パターンが形成された一対のＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）５が、接着剤などによって接合されている。さらに、このＦＰＣ５の各外側面には、接着剤（例えば、メチルシアノアクリレートやエポキシ系、アクリル系の接着剤）などを用いて圧電素子６が接合（貼着）されている。圧電素子６は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの材質で構成されたピエゾ素子であって例えば０．２ｍｍ〜２ｍｍの厚さを有する。これらの圧電素子６には、各インク吐出孔３ａにそれぞれ対応する複数の電極が、蒸着などの方法で形成されており、これらの電極は、ＦＰＣ５に形成された導体パターンとそれぞれ電気的に接続されている。すなわち、圧電素子６をＦＰＣ５を介して電気的に駆動することで振動板４が振動し、この際生じるポンプ作用によってインク吐出孔３ａからインクが吐出することになる。
【００１６】
また、図４に示すように、上述した第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９のうちで、中央部に配置される第５流路形成積層板２５から一方の積層方向に積層される第６流路形成積層板２６〜第９流路形成積層板２９は、インク吐出孔３ａの例えば奇数列の流路を形成するように配置されている。また、第５流路形成積層板２５から他方の積層方向に積層される第４流路形成積層板２４〜第１流路形成積層板２１は、インク吐出孔３ａの例えば偶数列の流路を形成するように配置されている。
【００１７】
ここで、上記構成に代えて、第５流路形成積層板２５から一方に積層される第６流路形成積層板２６〜第９流路形成積層板２９が、インク吐出孔３ａの偶数列の流路を形成し、第５流路形成積層板２５から他方に積層される第４流路形成積層板２４〜第１流路形成積層板２１が、インク吐出孔３ａの奇数列の流路を形成するものであってもよい。そして、このようにして形成される奇数列の流路と偶数列の流路とで、図３に示すように、インク吐出孔３ａが、オリフィスプレート３上に一列に配置される。
【００１８】
上記したように、中央部に配置される第１流路形成積層板２５には、インク供給流路３１、インク溜め部３２、空気抜き孔４０、インク吐出口３７を形成するための開口部が設けられている。また、第５流路形成積層板２５の両外側に配置される第６流路形成積層板２６及び第４流路形成積層板２４には、インク供給流路３１、インク溜め部３２、空気抜き孔４０を形成するための開口部と、下側インク流路３６を形成するための開口部とが設けられている。
【００１９】
ここで、インク溜め部３２の内壁上部３２ａは、空気抜き孔４０に向けて上り勾配となる傾斜面で形成されている。また、インク供給流路３１は、インク供給口２ａから一旦インク溜め部３２の下方に延び、次いで上方に延びてインク溜め部３２の底部に接続されるサイフォン構造を採っている。さらに、インク供給流路３１と空気抜き孔４０とは、インク溜め部３２の長手方向の両側端部に接続されるように設けられている。
【００２０】
また、上記第６流路形成積層板２６及び第４流路形成積層板２４のそれぞれの外側に配置される第７流路形成積層板２７及び第３流路形成積層板２３には、下側インク流路３６と、上側共通インク流路３３とを形成するための開口部が設けられている。さらに、第７流路形成積層板２７及び第３流路形成積層板２３のそれぞれの外側に配置される第８流路形成積層板２８及び第２流路形成積層板２２には、下側インク流路３６と、上側個別インク流路３４とを形成するための開口部が設けられている。また、最も外側に配置される第９流路形成積層板２９及び第１流路形成積層板２１には、上下方向インク流路３５を形成するための開口部が設けられている。
【００２１】
このように構成された所定枚数の第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９を、所定の順序で積層一体化することで、インクジェットヘッドマニホールド２内には、インク供給流路３１からインク吐出口３７に至るインクの流路が、積層方向中央部から両側に向けて形成されると共に、図３及び図４に示すように、インクジェットヘッドマニホールド２の上側に、インク供給口２ａ、空気抜き口２ｂが開口した状態となる。また、積層一体化されたこれらの積層板の端面で、上述したインク吐出口３７を開口させたインク吐出面２ｄが構成される。
【００２２】
インクジェットヘッドマニホールド２へのインクの供給は、図４に示すように、インク供給口２ａから行われる。このインク供給口２ａから供給されたインクは、インク供給流路３１を通って、インク溜め部３２に導入され、このインク溜め部３２から、上側共通インク流路３３、上側個別インク流路３４、上下方向インク流路３５、下側インク流路３６をこの順で通過して、インク吐出口３７内にまで充填される。
【００２３】
また、上記のようにインクジェットヘッドマニホールド２内にインクが充填された状態で、ＦＰＣ５を介して圧電素子６に駆動信号が加わると、駆動信号が加わった部分の圧電素子６が変形することで対応する部分の振動板４が振動し、さらにこれに対応する部分の上下方向インク流路３５内のインクを押圧し、オリフィスプレート３の対応するインク吐出孔３ａから所定量のインクが吐出されることになる。
【００２４】
ここで、上記したインク供給流路３１は、サイフォン構造で構成されているため、インク供給口２ａから供給されるインク供給量及び供給圧が仮に安定していなくとも、インク溜め部３２内のインクの状態を安定に保つことができ、インク吐出不良の発生を抑制することができる。また、インク溜め部３２には、上述したように、空気抜き孔４０が設けられており、インク溜め部３２の内壁上部３２ａは、空気抜き孔４０に向けて上り勾配となる傾斜面とされているので、インク溜め部３２内に進入した空気を、速やかにこの空気抜き孔４０から排出させることができ、これにより、インクの吐出が阻害されてしまうことを防止できる。
【００２５】
次に、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の製造方法について説明する。ここでは、まず、インクジェットヘッドマニホールド２の製造方法を図５及び図６に基づき説明する。なお、上述した第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９は、以下、積層板６５として説明を行う。上記の図５は、積層板６５どうしを拡散接合するための熱圧着装置５５を概略的に示す図であり、また、図６は、積層板６５を形成するための母材プレート５０を示す斜視図である。
【００２６】
図５に示すように、熱圧着装置５５は、複数の積層板６５を熱圧着により積層一体化したインクジェットヘッドマニホールド２を作製するための装置である。熱圧着装置５５は、高温真空炉５６と、この高温真空炉５６の床上に設置された金属製の支え台５７と、この支え台５７上に設置されたあて板５８と、このあて板５８上に配置された複数の積層板６５を上方から支え台５７側に押圧するあて板５９を備えた金属製の圧着冶具６３と、この圧着冶具６３を駆動するアクチュエータ６４と、一対の金属製の位置決めピン６１、６２と、で主に構成される。
【００２７】
ここで、上記した図１、図２及び図５に示すように、金属製（本実施形態ではＳＵＳ３０４製）の複数の積層板６５の各々には、一対の貫通穴（位置決め穴）７、８が形成されている。この貫通穴７、８は、積層板６５の積層一体化後インクの流路になる開口部（インク供給流路３１及びインク溜め部３２など）と同一のステージで形成され、このインク流路形成用の開口部との相対的な位置精度が確保されている。ここで、上記した位置決めピン６１、６２は、積層板６５の貫通穴７、８に対し挿抜自在に嵌合される。
【００２８】
つまり、熱圧着装置５５では、貫通穴７、８に位置決めピン６１、６２を挿通させた状態で、熱圧着により積層板６５どうしを拡散接合する。なお、積層板６５の貫通穴７、８の内壁面と位置決めピン６１、６２とが拡散現象により接合してしまうことなどを抑制するために、位置決めピン６１、６２の外周面に例えばアルミナ層などを形成することが好ましい。
【００２９】
高温真空炉５６は、その炉内を最大１３００℃程度まで昇温させることが可能である。また、高温真空炉５６では、その炉内に接続されたターボ分子ポンプ（図示せず）などを通じて１０-1〜１０-10Ｐａ程度の真空度を得ることができる。さらに、高温真空炉５６は、炉内を窒素などの不活性ガス雰囲気にすることも可能である。
【００３０】
支え台５７の上面に設けられたあて板５８、及び圧着冶具６３の下端部に設けられたあて板５９は、熱圧着時の金属材料間での拡散現象により、支え台５７（又は圧着冶具６３）と積層板６５とが接合してしまうことを防止するために設けられている。つまり、あて板５８、５９は、例えば析出硬化型ステンレス鋼などで形成されている。また、本実施形態では、支え台５７上には、上述したように、位置決めピン６１、６２を挿通させた状態で、複数の積層板６５が搭載されることになる。ここで、あて板５９には、圧着冶具６３が下降して支え台５７上のこれら積層板６５を熱圧着する際に、積層板６５の上方から突出する位置決めピン６１、６２の形状を避けるように一対の凹部６０が設けられている。
【００３１】
したがって、熱圧着装置５５を用いて、実際に積層板６５どうしを接合する場合には、まず、酸浸漬などによる洗浄処理により、ＳＵＳ３０４製の各積層板６５の表層にあるクロムの酸化膜（不動態皮膜）を除去する。次に、図５に示すように、各積層板６５の一対の貫通穴７、８に対し、位置決めピン６１、６２を挿通させることで、複数の積層板６５どうしをその板面に沿った方向に位置決めする。
【００３２】
次いで、貫通穴７、８に位置決めピン６１、６２を挿通させた状態の複数の積層板６５を熱圧着装置５５における高温真空炉５６内の支え台５７上に載置する。さらに、位置決めピン６１、６２の外形部分（例えばアルミナ層）を貫通穴７、８の内壁面に接触させることにより位置決めされた複数の積層板６５を、所定温度に加熱しつつ、さらに圧着冶具６３を通じて加圧し、当該積層板６５どうしを拡散接合する。この熱圧着時の条件は、例えば、加熱温度９５０℃〜１０５０℃、圧力０．５〜２ｋｇ／ｃｍ2、炉内の真空度を０．０００１Ｐａとし、この状態を２時間維持し、この後さらに２４時間かけて除冷処理を行う。これにより、インクジェットヘッドマニホールド２が作製される。
【００３３】
ここで、上述した態様では、積層板６５の本体部分（製品部分）どうしを直接積層する製法について例示したが、これに代えて、図６に示すように、積層板６５の外側にあるブランク部（捨て部材）５１、５２を有する状態の積層板６５どうしを積層一体化するようにしてもよい。図６に示すように、積層板６５は、例えばＳＵＳ３０４製の母材プレート５０を加工成形することで得られる。詳細には、非製品部分であるブランク部５１、５２は、各積層板６５の外形部分のさらに外側に配置され且つ積層板６５どうしの拡散接合後に除去されるものであって、積層板６５と一体で加工成形される。このようなブランク部５１、５２は、積層板６５本体を例えばハンドリングする場合などに有用となる。なお、ブランク部５１、５２と積層板６５とのつなぎ部分に、ハーフエッチングなどによって切れ込みを入れておくことで、積層板６５の積層一体化後、ブランク部５１、５２を容易に除去して、インクジェットヘッドマニホールド２を得ることができる。
【００３４】
次に、このようにして作製されたインクジェットヘッドマニホールド２に対して振動板４及びオリフィスプレート３を接合し、さらにオリフィスプレート３の表面３ｂに撥水皮膜７７を形成する方法について図７Ａ、図７Ｂ、及び図８Ａ、図８Ｂに基づき説明を行う。ここで、図７Ａは、インクジェットヘッドマニホールド２に対して行われる振動板接合工程及びオリフィス接合工程を説明するための断面図であり、また、図７Ｂは、図７Ａのインクジェットヘッドマニホールド２に接合されたオリフィスプレート３に対して行われる撥水処理工程を説明するための図である。また、図８Ａは、図７Ｂの撥水処理工程を開始する直前のインク吐出孔３ａの周辺の状態を拡大して示す断面図であり、図８Ｂは、図８Ａの撥水処理工程を終了させる直前のインク吐出孔３ａの周辺の状態を拡大して示す断面図である。なお、図７Ａでは、インクジェットヘッドマニホールド２内のインクの流路の図示を省略している。
【００３５】
まず、図７Ａに示すように、上記製法で作製されたインクジェットヘッドマニホールド２を両側から挟んだ状態で押圧力を付与することの可能な一対の振動板４を、当該インクジェットヘッドマニホールド２上の一対のヘッド押圧面２ｃに接合する。さらに、この際、インクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面２ｄ上に、インク吐出口３７及びインク吐出孔３ａを位置合せした状態でオリフィスプレート３を接合する。ここで、インクジェットヘッドマニホールド２と、各振動板４及びオリフィスプレート３と、の接合には、上記図５の積層板６５どうしの積層一体化に利用された拡散接合が適用される。また、オリフィスプレート３の拡散接合前には、インク吐出口３７内への異物の混入を防止した上で、インクジェットヘッドマニホールド２の（積層板６５の個々の端面で構成される）インク吐出面２ｄを平坦に研磨することが望ましい。
【００３６】
次に、図７Ｂに示すように、塞栓部材７２を用いて空気抜き口２ｂ（空気抜き孔４０）を塞ぐと共に、インクジェットヘッドマニホールド２内のインク流路（インク供給流路３１、インク溜め部３２、上側共通インク流路３３、上側個別インク流路３４、上下方向インク流路３５、下側インク流路３６）、及びインク吐出口３７を介して、オリフィスプレート３のインク吐出孔３ａとつながるインク供給口２ａ（インク供給流路３１）に、給気ポンプ７１のチューブ７１ａの先端を接続する。次いで、図７Ｂ、図８Ａに示すように、給気ポンプ７１を駆動することにより、インクジェットヘッドマニホールド２のインク供給口２ａからインクの流路内に所定の気体７５を供給し、この気体７５を（インク吐出口３７を介して）インク吐出孔３ａより噴出させる。ここで、給気ポンプ７１を通じて供給する気体７５は、他の物質との反応性の低い不活性ガス（広義には窒素ガスを含む）などが好ましい。この後、上記の窒素ガスなどをインク吐出孔３ａより噴出させた状態で、図８Ｂに示すように、オリフィスプレート３の表面３ｂに、撥水剤を塗布し且つこれを固化して撥水皮膜７７をコーティングする。
【００３７】
具体的には、上記の撥水剤として、例えば、ジメチルシリコーンオイルやメチルハイドロジェンシリコーンオイルなどのシリコーン系の液状の撥水剤を適用することができる。また、これに代えて、ふっ素系ポリマを有機溶剤で溶解した撥水剤を使用してもよい。撥水剤を塗布する手法としては、スピンコート、転写、ディッピング、ロールコート、スプレー、はけ塗りなどを選択することが可能である。さらに、撥水剤の乾燥固化（皮膜化）は、適用した撥水剤の物性に応じて、常温での所定時間の放置や加熱処理などを適宜行う。ここで、本実施形態の撥水処理工程では、オリフィスプレート３の表面３ｂに、撥水剤を塗布し且つこの撥水剤が乾燥固化して撥水皮膜７７が形成されるまでの期間、図７Ｂ、図８Ａ及び図８Ｂに示すようにインク吐出孔３ａより窒素ガスなどを噴出させるので、インク吐出孔３ａを含むインクの吐出経路を塞ぐことなく、オリフィスプレート３の表面３ｂに撥水加工を施すことができる。
【００３８】
さらにこの後、インクジェットヘッドマニホールド２上の各振動板４の外側面に一対のＦＰＣ５及び圧電素子６を順次接合して行くことで、図１に示したインクジェットヘッド１を作製することができる。
【００３９】
既述したように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の製造方法では、インク吐出孔３ａより窒素ガスなどを噴出させた状態で、オリフィスプレート３の表面３ｂに撥水皮膜７７をコーティングするので、インクの吐出経路に詰まりなどを生じさせることなく、インク吐出部分周辺に撥水処理を行うことができる。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法によれば、実質的にインクの吐出動作の耐久性を向上させることができ、これによりインク吐出不良の発生を効果的に抑制することができる。
【００４０】
以上、本発明を実施の形態により具体的に説明したが、本発明はこの実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。上述した実施形態では、ＦＰＣ５及び圧電素子６をインクジェットヘッドマニホールド２に接合する前に、撥水処理工程を行うものであったが、これに代えて、ＦＰＣ５及び圧電素子６を接合した後、撥水処理工程を行うようにしてもよい。すなわち、拡散接合を行うためにヘッド本体が高温の環境下におかれることになる振動板接合工程及びオリフィス接合工程を経た後であれば、撥水処理工程をどの段階で行ってもよい。また、上記の実施形態では、複数の積層板６５を積層一体化したインクジェットヘッドマニホールド２をヘッド本体（筐体）として用いていたが、無論、積層一体化構造を採らない１ブロック構造のインクジェットヘッドマニホールドも本発明に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法により作製されたインクジェットヘッドの外観を示す斜視図。
【図２】図１のインクジェットヘッドを示す平面図。
【図３】図１のインクジェットヘッドの底面図。
【図４】図１のインクジェットヘッドの構造を示す分解斜視図。
【図５】図１のインクジェットヘッドを構成する積層板どうしを拡散接合するための熱圧着装置を概略的に示す図。
【図６】図１のインクジェットヘッドを構成する積層板を形成するための母材プレートを示す斜視図。
【図７Ａ】図１のインクジェットヘッドを構成するインクジェットヘッドマニホールドに対して行われる振動板接合工程及びオリフィス接合工程を説明するための断面図。
【図７Ｂ】図７Ａのインクジェットヘッドマニホールドに接合されたオリフィスプレートに対して行われる撥水処理工程を説明するための図。
【図８Ａ】図７Ｂの撥水処理工程を開始する直前のインク吐出孔の周辺の状態を拡大して示す断面図。
【図８Ｂ】図８Ａの撥水処理工程を終了させる直前のインク吐出孔の周辺の状態を拡大して示す断面図。
【符号の説明】
【００４２】
１…インクジェットヘッド、２…インクジェットヘッドマニホールド、２ｃ…ヘッド押圧面、２ｄ…インク吐出面、３…オリフィスプレート、３ａ…インク吐出孔、３ｂ…オリフィスプレートの表面、４…振動板、６…圧電素子、２１…第１流路形成積層板、２２…第２流路形成積層板、２３…第３流路形成積層板、２４…第４流路形成積層板、２５…第５流路形成積層板、２６…第６流路形成積層板、２７…第７流路形成積層板、２８…第８流路形成積層板、２９…第９流路形成積層板、３７…インク吐出口、６５…積層板、７１…給気ポンプ、７５…気体、７７…撥水皮膜。
【図１】
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【図２】
2009056729.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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