(57)【要約】【課題】外装体と洗浄治具本体の間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを防止し、洗浄での歩留まりを向上させることができる洗浄治具を提供する。【解決手段】薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、薄板が挿入可能な複数の第１の貫通孔を有する洗浄治具本体と、洗浄治具本体の両主面にそれぞれに設けられる２つ一対の外装体とを備え、外装体は、薄板と相対し、内側に第２の貫通孔を有する凸部が設けられている。【選択図】図１
2009106901.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、
前記薄板が挿入可能な複数の第１の貫通孔を有する洗浄治具本体と、
前記洗浄治具本体の両主面にそれぞれに設けられる２つ一対の外装体とを備え、
前記外装体は、前記薄板と相対し、内側に第２の貫通孔を有する凸部が設けられていることを特徴とする薄板の洗浄治具。
【請求項２】
前記外装体に凹部を設け、前記凹部に磁石を収容することを特徴とする請求項１記載の洗浄治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄く形成された板状体を洗浄する際に用いる洗浄治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄く形成された板状体、つまり薄板には、例えば水晶素板３００がある。この水晶素板３００は、従来より、通信機器や電子機器等に搭載される圧電デバイスに用いられている。
【０００３】
この水晶素板３００は、洗浄されてから用いられる。しかしながら、水晶素板３００は小さく割れやすいため、前記水晶素板３００の洗浄には、洗浄治具２００が用いられる。  具体的には、図４に示すように、この洗浄治具２００は、板状であって、その内部に水晶素板３００をセットするための複数の貫通孔２０２が設けられている洗浄治具本体２０１と、前記洗浄治具本体２０１の一方の主面に配置される板状の第１の外装体２０３と、前記洗浄治具本体２０１の他方の主面に配置される板状の第２の外装体２０４とによって構成されている。
洗浄治具本体２０１には、複数の第１の貫通孔２０２が設けられており、前記第１の貫通孔２０２には水晶素板３００が収容されている。
外装体２０３、２０４には、第２の貫通孔２０５、２０６が洗浄治具本体２０１に対応する位置に複数設けられている。
前記第２の貫通孔２０５、２０６は、前記第１の貫通孔２０２よりも開口径が小さくなるように設けられている。
前記外装体２０３、２０４は、前記洗浄治具本体２０１を挟み込むようにして配置され、マグネット等により簡易に接合されている。
この従来の洗浄治具２００を用いた水晶素板３００の洗浄は、洗浄治具本体２０１の貫通孔２０２内に水晶素板３００が収容され、前記洗浄治具２００を洗浄槽に浸けて、前記洗浄治具２００に向かって水流を噴射することによって、前記水晶素板３００に付着している研磨粉やごみ等の付着物を落とすシャワー洗浄を行なっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２８４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、水流を噴射することにより、前記水晶素板３００が前記第１の貫通孔２０２内で激しく動き、外装体２０３、２０４と前記洗浄治具本体２０１間に前記水晶素板３００が入り込むおそれがある。それにより、水晶素板に不要な力が加わってしまい前記水晶素板３００が破損してしまうといった課題があった。
また、水流を噴射することにより、前記水晶素板３００が前記第１の貫通孔２０２内で激しく動き、前記水晶素板３００の角部が外装体２０３、２０４に当たることにより、水晶素板３００が破損してしまうといった課題もあった。
【０００６】
本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、外装体と洗浄治具本体の間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを防止し、洗浄での歩留まりを向上させることができる洗浄治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の洗浄治具は、薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、薄板が挿入可能な複数の第１の貫通孔を有する洗浄治具本体と、洗浄治具本体の両主面にそれぞれに設けられる２つ一対の外装体とを備え、外装体は、薄板と相対し、内側に第２の貫通孔を有する凸部が設けられていることを特徴とするものである。
【０００８】
また、外装体に凹部を設け、凹部に磁石を収容することにより、洗浄治具本体と外装体とを固定することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
このような洗浄治具によれば、搬送治具本体の両主面に外装体が設けられ、第１の貫通孔内で前記外装体に設けられた凸部で薄板が動ける空間が小さくなり、貫通孔内で前記薄板が激しく動くことがなくなるので、外装体と洗浄治具本体の間に前記薄板が入り込むことを防止する。よって前記薄板が破損することがなくなるので、洗浄での歩留まりを向上させることが可能となる。
また、前記外装体に設けられた凸部で、前記薄板の角部が外装体に当たる頻度を減少させることができる。よって前記薄板が破損することがなくなるので、洗浄での歩留まりを向上させることが可能となる。
【００１０】
また、第１の外装体及び第２の外装体に凹部を設け、凹部に磁石を収容することにより、洗浄治具本体と第１の外装体及び第２の外装体とを簡易に固定することができるため、洗浄での歩留まりを向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施添付図面に基づいて詳細に説明する。尚、薄板を水晶素板として説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る洗浄治具を示す分解斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る洗浄治具を示す拡大した分解斜視図である。図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。
【００１２】
図１〜図３に示すように、洗浄治具１００は、水晶素板２０を収容し、その洗浄治具１００を洗浄槽に浸けて、洗浄治具１００に向かって水流を噴射することによって、前記水晶素板２０に付着している付着物を落とすことにより洗浄する際に用いるものである。以下、水晶素板２０、洗浄治具１００の順に説明する。
【００１３】
（水晶素板）
水晶素板２０は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状で平面形状が例えば四角形となっている。
この水晶素板２０は、後述する外装体４０、外装体５０との間隔に収まる程度の厚みとなっている。水晶素板２０の厚みは、例えば、３０μｍ〜５０μｍとなっている。
このように洗浄された水晶素板２０の表裏両主面に励振用電極を被着形成することによって水晶振動素子となる。
前記水晶振動素子は、外部からの電圧が励振用電極を介して水晶素板２０に印加されると、所定の振動モード及び周波数で励振を起こすようになっている。
励振用電極は、前記水晶素板２０の表裏両主面に金属膜を積層するようにして被着・形成したものであり、水晶素板２０の上面には第１の金属膜であるクロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）が形成され、第１の金属膜の上面に第２の金属膜である金（Ａｕ）が積層するように形成されている。
【００１４】
（洗浄治具）
図１〜図３に示すように、洗浄治具１００は、洗浄治具本体３０と、外装体４０、５０を備えている。
【００１５】
図１〜図３に示すように、洗浄治具本体３０は、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されており、水晶素板２０を挿入可能な第１の貫通孔３１が複数配列された状態で設けられている。
前記貫通孔３１は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられている。洗浄治具本体３０の厚みは、例えば、５０〜１００μｍとなっている。
【００１６】
図１〜図３に示すように、外装体４０は、洗浄治具本体３０と同様にＳＵＳ３０４等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。
前記外装体４０、５０は、前記洗浄治具本体３０の両主面に２つ一対でそれぞれに設けられる。
前記外装体４０、５０は、前記水晶素板２０と相対し、内側に第２の貫通孔４２、５２を有する凸部４１、５１が設けられている。
前記洗浄本体治具３０の一方の主面に外装体４０が設けられ、洗浄本体治具３０の他方の主面に外装体５０が設けられている。
前記外装体４０、５０には凸部４１、５１が、前記洗浄治具本体３０の第１の貫通孔３１にそれぞれ収まるように複数設けられている。
つまり、前記第凸部４１の平面４１ａと前記凸部５１の平面５１ａが水晶素板２０と向かい合うようになっている。
凸部４１、５１の内側、例えば水晶素板２０と対向する平面４１ａ、５１ａの中央には、外装体４０、５０の一方の主面から他方に主面に貫通された第２の貫通孔４２、５２が設けられている。
前記凸部４１、５１は、一枚板の金属板をエッチング加工することによって、外装体４０に複数設けられている。
また、外装体４０、５０の厚みは、凸部４１、５１の位置から２０〜４０μｍになっている。
第２の貫通孔４２、５２は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられ、前記第１の貫通孔３１よりも開口径が小さくなるように設けられている。
【００１７】
第１の貫通孔３１内の水晶素板２０は、前記凸部４１の水晶素板２０に対向する平面４１ａと前記凸部５１の水晶素板に対向する平面５１ａによって第１の貫通孔３１から脱落しないようになっている。
よって、水晶素板２０が前記凸部４１の平面４１ａと前記凸部５１の平面５１ａとによりも動きにくくなる。また、外装体４０と洗浄治具本体３０との間、外装体５０と洗浄治具本体３０との間に入り込むことがない。
【００１８】
さらに、外装体４０の他方の主面の４隅には他方の主面側に開口した凹部６０が形成されており、前記凹部６０よりも形状が小さい磁石７０を、前記凹部６０にそれぞれ収容する。
前記磁石７０を外装体４０に設けることで、外装体４０は、洗浄治具本体３０と外装体５０を確実に磁力により固定することができる。よって、ねじなどで洗浄治具本体３０と外装体４０、５０とを固定するよりも簡易に固定することができる。
【００１９】
洗浄治具１００は、洗浄治具本体３０に設けられた貫通孔３１内に水晶素板２０を収容し、前記貫通孔３１内に凸部４１、５１が入り込むように、外装体４０、５０を洗浄治具本体３０に重ね合わせ、水晶素板２０を収容した状態で使用される。
前記水晶素板２０が収容された洗浄治具１００を洗浄槽に浸け、洗浄治具本体３０の開口を上下に向けて前記洗浄治具１００に向かって水流を噴射させる。
外装体４０に設けられた第２の貫通孔４２と外装体５０に設けられた第２の貫通孔５２を通して、水流が水晶素板２０にあたることによって、前記水晶素板２０に付着している付着物が落とされ、水晶素板２０の洗浄を行なっている。
また、前記外装体４０、５０に設けられた凸部４１、５１で、前記水晶素板２０の角部が外装体４０に当たる頻度を減少させることができる。よって前記水晶素板２０が破損することがなくなるので、洗浄での歩留まりを向上させることが可能となる。
【００２０】
このような水流を直接水晶素板に当てる洗浄方法を用いても、洗浄治具本体３０の貫通孔３１内で外装体４０に設けられた凸部４１と、外装体５０に設けられた凸部５１とで水晶素板２０が動ける空間が小さくなるため、貫通孔３１内で前記水晶素板２０が激しく動くことがなくなる。それにより、外装体４０または外装体５０と洗浄治具本体３０の間に前記水晶素板２０が入り込むことを防止する。よって前記水晶素板２０が破損することがなくなるので、洗浄での歩留まりを向上させることが可能となる。
【００２１】
尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
例えば、前記実施形態においては、外装体４０の他方の主面の４隅には凹部６０が設けられており、前記凹部６０よりも形状が小さい磁石７０を、前記凹部６０に収容し、外装体４０は、洗浄治具本体３０と外装体５０に確実に固定することができることが記載されていたが、外装体５０にも凹部を設け、磁石７０を収容することにより強固に固定することが可能となる。
【００２２】
また、前記実施形態においては、第１の貫通孔３１、第２の貫通孔４２、５２は、平面形状は四角形で記載されていたが、円形でも構わない。また、水晶素板２０も平面形状は四角形で記載されていたが、円形の板であっても構わない。
【００２３】
また、前記実施形態においては、薄板を水晶素板２０として説明したが、セラミック、ガラス、サファイア等の硬脆材のものであっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態に係る洗浄治具を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る洗浄治具を示す拡大した分解斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】従来の洗浄治具を示した断面図である。
【符号の説明】
【００２５】
２０・・・水晶素板
３０・・・洗浄治具本体
３１・・・第１の貫通孔
４０、５０・・・外装体
４１、５１・・・凸部
４１ａ、５１ａ・・・凸部の平面
４２、５２・・・第２の貫通孔
６０・・・凹部
７０・・・磁石
１００・・・洗浄治具
【図１】
2009106901.tif 000003
【図２】
2009106901.tif 000004
【図３】
2009106901.tif 000005
【図４】
2009106901.tif 000006