(57)【要約】【課題】暗闇の環境下でもイメージセンサからの信号が一切出力されない故障を検出できる固体撮像装置を提供する。【解決手段】フォトダイオード（ＰＤ）を有する複数の画素５が行方向および列方向に配置され、各ＰＤに外部から光を入射させて光電変換により電気信号を生成することができる有効画素領域３と、遮光膜で覆われた複数の画素５が配置され、サブ領域としてリファレンス領域及び故障検出用パターン領域２１を形成する非有効画素領域２０とを備え、リファレンス領域の画素は各々ＰＤを有し、故障検出用パターン領域は、ＰＤを有するＰＤ具備画素２２とＰＤが形成されていないＰＤ不備画素２３が所定の配列パターンで組み合わされた構成を有し、有効画素領域の各画素ついて画素信号を出力させる駆動が行われるとともに、故障検出用パターン領域を含む非有効画素領域の各画素についても、画素信号を出力させる駆動が行われるように構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトダイオード（ＰＤ）を有する複数の画素が行方向および列方向に配置され、前記各フォトダイオードに外部から光を入射させて光電変換により電気信号を生成することができる有効画素領域と、
遮光膜で覆われた複数の画素が配置され、サブ領域としてリファレンス領域及び故障検出用パターン領域を形成する非有効画素領域とを備え、
前記リファレンス領域の前記画素は各々フォトダイオードを有し、
前記故障検出用パターン領域は、フォトダイオードを有するＰＤ具備画素とフォトダイオードが形成されていないＰＤ不備画素が所定の配列パターンで組み合わされた構成を有し、
前記有効画素領域の前記各画素ついて画素信号を出力させる駆動が行われるとともに、
前記故障検出用パターン領域を含む前記非有効画素領域の前記各画素についても、画素信号を出力させる駆動が行われるように構成されている固体撮像装置。
【請求項２】
前記故障検出用パターン領域は、前記ＰＤ具備画素と前記ＰＤ不備画素とを一列に配列して構成されている請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記有効画素領域の画素は、入射光を光電変換して電荷を蓄積できる前記フォトダイオードと、電荷を一時的に蓄積するフローティングディフージョンと、前記フォトダイオードの電荷を前記フローティングディフージョンに転送する転送トランジスタと、前記フローティングディフュージョンの電荷をリセットするリセットトランジスタと、前記フローティングディフュージョンの電位を増幅する増幅トランジスタとを備え、
前記リファレンス領域に配置された前記画素及び前記故障検出用パターン領域に配置されたＰＤ具備画素は、前記有効画素領域の前記画素と同一の構成を有し、
前記故障検出用パターン領域に配置された前記ＰＤ不備画素は、前記フローティングディフュージョンと、前記リセットトランジスタと、前記増幅トランジスタとを有する請求項１または２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
請求項１に記載の固体撮像装置を駆動する方法であって、
前記有効画素領域の画素から画像信号を読み出す第１ステップと、
前記故障検出用パターン領域内の前記画素に対して外部から電荷を注入するための動作を行う第２ステップと、
その後、前記故障検出用パターン領域内の前記各画素から、前記注入電荷に基づく信号を読み出す第３ステップとを含む固体撮像装置の駆動方法。
【請求項５】
前記有効画素領域の画素は、入射光を光電変換して電荷を蓄積できる前記フォトダイオードと、電荷を一時的に蓄積するフローティングディフージョンと、前記フォトダイオードの電荷を前記フローティングディフージョンに転送する転送トランジスタと、前記フローティングディフュージョンの電荷をリセットするリセットトランジスタと、前記フローティングディフュージョンの電位を増幅する増幅トランジスタとを備え、
前記リファレンス領域に配置された前記画素及び前記故障検出用パターン領域に配置されたＰＤ具備画素は、前記有効画素領域の前記画素と同一の構成を有し、
前記故障検出用パターン領域に配置された前記ＰＤ不備画素は、前記フローティングディフュージョンと、前記リセットトランジスタと、前記増幅トランジスタとを有する固体撮像装置を駆動する方法であって、
前記第２ステップは、
前記故障検出用パターン領域内の前記画素における、前記リセットトランジスタおよび前記転送トランジスタをＯＮ状態に制御して、電源電圧により、前記リセットトランジスタおよび前記転送トランジスタを介して前記フローティングディフュージョン及び前記フォトダイオードに電荷を注入する第２ａステップと、
前記転送トランジスタをＯＦＦ状態にした後、前記リセットトランジスタをＯＮ状態にして前記フローティングディフュージョンの電位をリセットする第２ｂステップとを含む請求項４記載の固体撮像装置の駆動方法。
【請求項６】
前記第２ａステップにおいて、前記電源電圧は、前記有効画素領域から画素信号を読み出す際に用いられるいずれの電圧よりも低い請求項５記載の固体撮像装置の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＯＳ型の固体撮像装置、特に、外部光が入射しない暗時であっても、入射光がないのか故障かを判別可能なフェールセーフを保障する機構を備えた固体撮像装置、およびその駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図６は、固体撮像装置１が備える画素領域（受光領域）２と信号処理領域４の構成を示す概略図である。画素領域２には、フォトダイオードを含んだ画素セル５が、行方向および列方向に配列されている。信号処理領域４には、画素セル５から垂直信号線７を介して読み出した信号の処理回路が設けられており、ノイズキャンセル回路６を備えている。信号処理領域４で処理された画像信号は、水平信号線８を介して外部に出力される。
【０００３】
画素領域２は、内側の破線で囲まれた有効画素領域３と、外側の破線と内側の破線の間の非有効画素領域２０に大別される。非有効画素領域２０は、有効画素領域３を構成する画素セル５から出力される画像信号レベルのリファレンス信号を生成するために設けられている。有効画素領域３の画素セル５は、フォトダイオードに入射する光量に応じた電気信号を出力するのに対し、非有効画素領域２０の画素セル５は、遮光膜（ハッチングを施すことにより示されている）によってフォトダイオードに光が入射しない構造になっており、光学的黒の信号を出力する。有効画素領域３と非有効画素領域２０では、遮光膜の有無以外は構造の差異はない。
【０００４】
図７は、図６に示した画素セル５の具体的な回路図の一例を示す。画素セル５は、フォトダイオード９、転送ゲート１０、フローティングディフュージョン（ＦＤ）１１、リセットゲート１２を備えたリセットトランジスタ１３、増幅ゲート１４を備えた増幅トランジスタ１５、およびコンデンサ１６を備えている。転送ゲート１０はＴＲＡＮＳ信号を供給するＴＲＡＮＳ信号線１８に接続され、リセットゲート１２はＲＳＣＥＬＬ信号を供給するＲＳＣＥＬＬ信号線１７に接続されている。増幅トランジスタ１５はＶＤＤ電圧を供給する電源ＶＤＤ線１９と垂直信号線７の間に接続されている。
【０００５】
この固体撮像装置は、図８のタイミングチャートで示すように駆動される。すなわちフォトダイオード９に蓄積された画像データの読み出し操作前に、タイミングａでＲＳＣＥＬＬ信号がＨｉｇｈとなることによって、リセットトランジスタ１３がＯＮ状態に制御される。これにより、ＦＤ１１の電位がＥｒｅｓｅｔとなり、読み出し準備状態となる。この状態から、タイミングｂで転送ゲート１０にＴＲＡＮＳ信号電圧Ｈｉｇｈが印加されると、フォトダイオード９で光電変換によって得られた光電子が、ＦＤ１１に転送される。それにより、ＦＤ１１の電位は、フォトダイオード９に蓄積された電荷量に応じた大きさまで低下し、タイミングｃではＥｓｉｇになる。ＦＤ１１の電位は、増幅ゲート１４に印加されている電位である。垂直信号線７には、電源電圧ＶＤＤを、増幅ゲート１４の大きさに応じて増幅トランジスタ１５により変圧した大きさの電圧信号が現れる。最後にタイミングｄで、電源電圧ＶＤＤをＬｏｗレベルに低下させ、リセットトランジスタ１３をＯＮ状態に制御することで、ＦＤ１１の電位をＥｎまで低下させて非選択状態とする。
【０００６】
ところで近年は、ＣＣＤ型やＭＯＳ型の固体撮像装置が用いられる製品応用分野は拡大しており、自動車に搭載され、車内外の監視用などに用いられるようになってきている。このような車載用途に用いられる固体撮像装置、およびこの固体撮像装置を組み入れたカメラシステムは、従来のデジタルカメラやビデオカメラなどの民生用途に用いられる場合と比べ、故障時に生命に危険を及ぼす可能性が高い。このため、システム自体に高い信頼性が求められるとともに、万が一故障した場合でもフェールセーフとなるような機構が必須である。
【０００７】
一方、図６に示した固体撮像装置中の非有効画素領域２０における、外部からの光を遮断している遮光膜の一部を、特定の配列パターンをもって複数開口することで、この複数の開口配列パターンに対応する情報を、撮像信号の一部として出力する固体撮像装置が特許文献１に示されている。具体的には、有効画素領域内３の画素セル５からの読み出し動作ごとに、有効画素領域３だけでなく、この非有効画素領域２０における特定の配列パターンに対応する画素セル５からも信号を読み出すことで、各フレームの撮像信号に常に、特定の配列パターンによる情報を出力させる。
【０００８】
特許文献１におけるこのような構成の目的は、特定の配列パターンによって発生させた映像信号をシリアル番号とし、映像出力信号にこのシリアル番号情報を含ませることで、固体撮像素子の個別の特定を行うことである。従って、この場合の特定の配列パターンは、フェールセーフとなるような機構を設ける意図によるものではない。
【特許文献１】特開２００３−２３４９６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
通常のカメラシステムでは、固体撮像装置の有効画素領域に形成されているフォトダイオードに入射した光の量に応じた信号のみを、外部へ出力している。このため、故障によりイメージセンサからの信号が一切出力されなくなった場合、それが故障によるものなのか、フォトダイオードへの光の入射がない暗時の状態なのかを区別できない、という問題点があった。このため、故障した場合に故障であることを検出することができず、フェールセーフ機構が必須の車載用途に用いることはできなかった。
【００１０】
フェールセーフを実現する方法として、特許文献１に開示されている方法を利用することが考えられる。しかし、特定パターンの情報は非有効画素領域２０に形成され、特定の配列パターンで開口された遮光膜開口部から、その下の画素セル５のフォトダイオードに入射する光量に依存する。従って、夜間走行時のような暗時の場合は、特定パターンのフォトダイオードへの電荷の蓄積がないため、特定パターンの情報が出力されない。そのため、イメージセンサが正常に動作しているにもかかわらず、特定パターンの情報が出力されない場合があり、特定パターンの信号の有無を故障検出に用いることができない。
【００１１】
本発明は上記問題点を解決するため、夜間走行時のような暗闇の環境下でも、イメージセンサからの信号が一切出力されない故障を検出できる固体撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の固体撮像装置は、フォトダイオード（ＰＤ）を有する複数の画素が行方向および列方向に配置され、前記各フォトダイオードに外部から光を入射させて光電変換により電気信号を生成することができる有効画素領域と、遮光膜で覆われた複数の画素が配置され、サブ領域としてリファレンス領域及び故障検出用パターン領域を形成する非有効画素領域とを備え、前記リファレンス領域の前記画素は各々フォトダイオードを有し、前記故障検出用パターン領域は、フォトダイオードを有するＰＤ具備画素とフォトダイオードが形成されていないＰＤ不備画素が所定の配列パターンで組み合わされた構成を有し、前記有効画素領域の前記各画素ついて画素信号を出力させる駆動が行われるとともに、前記故障検出用パターン領域を含む前記非有効画素領域の前記各画素についても、画素信号を出力させる駆動が行われるように構成されている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、暗闇の環境下でも、ＰＤ具備画素とＰＤ不備画素の配列パターンに基づく出力信号が得られるので、イメージセンサからの信号が一切出力されない故障を検出可能であり、フェールセーフ機能を備えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は、上記の構成を基本として、以下のような態様をとることができる。
【００１５】
すなわち、本発明の固体撮像装置において、前記故障検出用パターン領域は、前記ＰＤ具備画素と前記ＰＤ不備画素とを一列に配列して構成してもよい。
【００１６】
また、前記有効画素領域の画素は、入射光を光電変換して電荷を蓄積できる前記フォトダイオードと、電荷を一時的に蓄積するフローティングディフージョンと、前記フォトダイオードの電荷を前記フローティングディフージョンに転送する転送トランジスタと、前記フローティングディフュージョンの電荷をリセットするリセットトランジスタと、前記フローティングディフュージョンの電位を増幅する増幅トランジスタとを備え、前記リファレンス領域に配置された前記画素及び前記故障検出用パターン領域に配置されたＰＤ具備画素は、前記有効画素領域の前記画素と同一の構成を有し、前記故障検出用パターン領域に配置された前記ＰＤ不備画素は、前記フローティングディフュージョンと、前記リセットトランジスタと、前記増幅トランジスタとを有する構成とすることができる。
【００１７】
本発明の固体撮像装置の駆動方法は、上記基本構成の固体撮像装置を駆動する方法であって、前記有効画素領域の画素から画像信号を読み出す第１ステップと、前記故障検出用パターン領域内の前記画素に対して外部から電荷を注入するための動作を行う第２ステップと、その後、前記故障検出用パターン領域内の前記各画素から、前記注入電荷に基づく信号を読み出す第３ステップとを含む。
【００１８】
この駆動方法を、次の構成を有する固体撮像装置に適用することができる。すなわち、前記有効画素領域の画素は、入射光を光電変換して電荷を蓄積できる前記フォトダイオードと、電荷を一時的に蓄積するフローティングディフージョンと、前記フォトダイオードの電荷を前記フローティングディフージョンに転送する転送トランジスタと、前記フローティングディフュージョンの電荷をリセットするリセットトランジスタと、前記フローティングディフュージョンの電位を増幅する増幅トランジスタとを備え、前記リファレンス領域に配置された前記画素及び前記故障検出用パターン領域に配置されたＰＤ具備画素は、前記有効画素領域の前記画素と同一の構成を有し、前記故障検出用パターン領域に配置された前記ＰＤ不備画素は、前記フローティングディフュージョンと、前記リセットトランジスタと、前記増幅トランジスタとを有する。
【００１９】
この場合、前記第２ステップは、前記故障検出用パターン領域内の前記画素における、前記リセットトランジスタおよび前記転送トランジスタをＯＮ状態に制御して、電源電圧により、前記リセットトランジスタおよび前記転送トランジスタを介して前記フローティングディフュージョン及び前記フォトダイオードに電荷を注入する第２ａステップと、前記転送トランジスタをＯＦＦ状態にした後、前記リセットトランジスタをＯＮ状態にして前記フローティングディフュージョンの電位をリセットする第２ｂステップとを含むことが好ましい。
【００２０】
この駆動方法において、好ましくは、前記第２ａステップにおいて、前記電源電圧は、前記有効画素領域から画素信号を読み出す際に用いられるいずれの電圧よりも低い。
【００２１】
以下に、本発明の実施の形態における固体撮像装置およびその駆動方法について、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施の形態における固体撮像装置の構成を示す概略図である。図６に示した従来例の固体撮像装置と同一の要素については、同一の参照番号を付して説明する。
【００２２】
固体撮像装置１は、画素領域（受光領域）２と信号処理領域４を備えている。画素領域２には、フォトダイオードを具備する画素セル５が、行方向および列方向に配置されている。画素領域２は、便宜的に最も内側の破線で囲まれた範囲内の有効画素領域３と、その周囲の最も外側の破線で囲まれた範囲内に、ハッチングを付して示された非有効画素領域２０に大別される。信号処理領域４には、有効画素領域３、非有効画素領域２０に関わらず、画素セル５から垂直信号線７を介して読み出した信号を処理する回路が設けられており、ノイズキャンセル回路６を備えている。信号処理領域４で処理された画像信号は、水平信号線８を介して外部に出力される。
【００２３】
非有効画素領域２０はサブ領域として、従来例と同様の、有効画素領域３を構成する画素セル５から出力される画像信号レベルのリファレンスとなる信号を生成するリファレンス領域とともに、リファレンス領域とは異なるハッチングが付された故障検出用パターン領域２１を含んでいる。
【００２４】
有効画素領域３の画素セル５は、フォトダイオードに入射する光量に応じた電気信号を出力するのに対し、非有効画素領域２０のリファレンス領域の画素セル５は、遮光膜によってフォトダイオードに光が入射しない構造になっており、光学的黒の信号を出力する。故障検出用パターン領域２１は、非有効画素領域２０内の特定の一行に変更を加えて設けられたものであり、フォトダイオード（ＰＤ）が通常どおり形成されたＰＤ具備画素２２と、フォトダイオードが形成されていないＰＤ不備画素２３が、特定の配列パターンで形成されている。
【００２５】
図２は、上記構成の固体撮像装置における画素領域の、具体的なパターンレイアウトを示す平面図である。このパターンレイアウトは、図７に示した回路と同一の構成に対応するものである。有効画素領域３および非有効画素領域２０の両方において、基本的に同一のレイアウトになっているが、後に説明するように、非有効画素領域２０の故障検出用パターン領域２１の特定の画素セルでは、パターンレイアウトが異なっている。また、図２には図示されていないが、非有効画素領域２０は全面が遮光膜で覆われている。
【００２６】
図２において、画素セル５として破線で囲まれた領域が１画素セルの領域であり、フォトダイオード９、転送トランジスタの転送ゲート１０、増幅トランジスタ１５の増幅ゲート１４、ＦＤ１１、及びリセットトランジスタ１３のリセットゲート１２が形成されている。各素子は、図７に示された回路構成に従って、主としてアルミニウム配線で接続されている。画素セル５内の対応する素子に、垂直信号線７、ＲＳＣＥＬＬ信号線１７、ＴＲＡＮＳ信号線１８、電源ＶＤＤ線１９が接続されている。
【００２７】
図３は、図２におけるＡ−Ｂ断面図であり、故障検出用パターン領域２１における各画素の断面構造を示す。図３（ａ）はフォトダイオードが通常どおりに形成されたＰＤ具備画素２２（図１参照）の断面を、図３（ｂ）はフォトダイオードが形成されていないＰＤ不備画素２３の断面を示す。
【００２８】
図３（ａ）に示すＰＤ具備画素２２では、第１導電型のシリコン基板３０の中に、第２導電型のウェルであるフォトダイオード９とＦＤ１１、および素子分離領域３１が形成されている。また、基板３０上、フォトダイオード９とＦＤ１１の間に、転送ゲート１０が形成されている。フォトダイオード９、ＦＤ１１、転送ゲート１０の上方に、シリコン基板３０に近い順に、シリコン酸化膜からなる層間絶縁膜３２、たとえばアルミなどの金属からなる遮光膜３３、及びシリコン窒化膜からなる封止膜３４が形成されている。遮光膜３３は、フォトダイオード９の上でも開口されていない。ＰＤ具備画素２２の等価回路は、図７に示した回路構成のとおりである。
【００２９】
一方、図３（ｂ）に示すＰＤ不備画素２３の構造は、フォトダイオード９が形成されていないほかは、図３（ａ）のＰＤ具備画素２２の構造と同一である。あるいは、ＰＤ不備画素２３では、図４に示すように、転送ゲート１０も回路から除外するようにしてもよい。
【００３０】
上述のとおり、非有効画素領域２０内にある特定の一行については、図３（ａ）に示したＰＤ具備画素２２と、図３（ｂ）に示したＰＤ不備画素２３を、特定の配列で設ける。ＰＤ不備画素２３は、例えばマスキングによって、フォトダイオード形成に必要な不純物が注入されないようにすることで形成する。この、ＰＤ具備画素２２と、ＰＤ不備画素２３の組み合わせ配列パターンを、故障検出用パターンとする。
【００３１】
上述のように形成された故障検出用パターンを読み出すためには、通常の読み出し動作時、１フレームごとに図１に示す有効画素領域３の全領域から画像信号を読み出した後、続いて、有効画素領域３からの画像信号読み出しとは異なる駆動方法に切り換えて読み出し動作を行う。それにより、故障検出用パターン領域２１から、上記の故障検出用パターンに応じた電位信号パターンを読み出す。このようにして、故障検出用パターン領域２１の特定の配列パターンに応じた信号を常時確認し、この特定の配列パターンに応じた信号が出力されなくなった時を故障と判断する。
【００３２】
なお上記構成では、行方向に逐次読み出す動作を想定し、故障検出用パターン領域２１を特定の一行とした。しかし本発明の効果は、故障検出用パターン領域２１を特定の一行に限らず、非有効画素中の任意の位置に設けた場合でも同様に得ることが可能である。
【００３３】
次に、図５を参照して、故障検出用パターン領域２１の画素セルを駆動するタイミングの一例について説明する。故障検出用パターン領域２１における各画素セルには、行方向に電源ＶＤＤ線１９、リセット信号線（ＲＳＣＥＬＬ信号線）１７が共通に接続され、ＰＤ具備画素にはＴＲＡＮＳ信号線１８が行方向に共通に接続されている。故障検出用パターンを読み出す際は、通常の有効画素領域３に形成されている画素領域の読み出しとは異なり、あらかじめフォトダイオードに電荷を注入した後、図８に示した動作と同様の通常の読み出し動作を行う。この駆動方法について、図５を参照して順を追って説明する。
【００３４】
まず、電源ＶＤＤ線１９から供給する電源ＶＤＤを通常の非選択動作時の電圧Ｌよりもさらに低い電圧ＬＬとし、リセットトランジスタ１３（ＲＳＣＥＬＬ）および転送ゲート１０（ＴＲＡＮＳ）をＯＮ状態に制御する（タイミングｘ）。それにより、電源ＶＤＤよりＦＤ１１を通じてフォトダイオード９へ電荷を注入する。このとき、ＰＤ具備画素２２ではフォトダイオードに電荷が蓄積されるが、ＰＤ不備画素２３では電荷が蓄積されない。次に電源電圧ＶＤＤをＨｉｇｈに戻し、転送ゲート１０（ＴＲＡＮＳ）をＯＦＦ状態にし、一方、リセットトランジスタ１３（ＲＳＣＥＬＬ）は引き続きＯＮ状態にすることにより、ＦＤの電位をＥｒｅｓｅｔとする（タイミングａ）。
【００３５】
この状態で転送ゲート１０（ＴＲＡＮＳ）をＯＮ状態にすると（タイミングｂ）、画素セル２２のフォトダイオード９に蓄積された電荷（電子）が、ＦＤ１１に転送される。このときにＰＤ具備画素２２では、タイミングｘでフォトダイオードに蓄積された電荷が読み出されるため、タイミングｃではＦＤ１１の電位はＥｓｉｇに低下する。これに対して、ＰＤ不備画素２３では電荷の変動がないため、ＦＤ１１の電位はＥｒｅｓｅｔのまま変動しない。
【００３６】
以上のようにして、フォトダイオードの有無の配列に応じた信号が、図７及び図４に示した増幅トランジスタ１５を介して信号線７に出力される。最後に、電源ＶＤＤの電圧を低下させてＬｏｗレベルとし、リセットトランジスタ１３（ＲＳＣＥＬＬ）をＯＮ状態に制御することで、ＦＤ１１の電位をＥｎまで低下させ、非選択状態とする（タイミングｄ）。
【００３７】
上述の駆動方法によって、ＰＤ具備画素２２およびＰＤ不備画素２３から垂直信号線７に出力された信号は、信号処理領域４に転送される。さらに水平信号線８から出力される、ＰＤ具備画素２２およびＰＤ不備画素２３の行方向での配列に応じた信号の有無を、毎フレームについて確認する。したがって、外部光が入射しない暗時であっても、入射光がないのか故障かという、固体撮像装置の故障の有無を確認できる。それにより、固体撮像装置が故障した場合でもフェールセーフを保障する機構がえられる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明にかかる固体撮像装置およびカメラシステムは、車載用途など、フェールセーフ機構が必要な用途に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施の形態における固体撮像装置の概略構成を示す平面図
【図２】同固体撮像装置における画素領域のレイアウト図
【図３】同固体撮像装置の一部を示す断面図
【図４】同固体撮像装置におけるフォトダイオードのないＰＤ不備画素の等価回路図
【図５】本発明に係る故障検出用パターン領域の画素を駆動するための制御タイミングチャート
【図６】従来例の固体撮像装置の概略構成を示す平面図
【図７】同固体撮像装置におけるフォトダイオードを有するＰＤ具備画素の等価回路図
【図８】同固体撮像装置における画素を駆動するための制御タイミングチャート
【符号の説明】
【００４０】
１  固体撮像装置
２  画素領域
３  有効画素領域
４  信号処理領域
５  画素セル
６  ノイズキャンセル回路
７  垂直信号線
８  水平信号線
９  フォトダイオード
１０  転送ゲート
１１  フローティングディフュージョン（ＦＤ）
１２  リセットゲート
１３  リセットトランジスタ
１４  増幅ゲート
１５  増幅トランジスタ
１６  コンデンサ
１７  ＲＳＣＥＬＬ信号線
１８  ＴＲＡＮＳ信号線
１９  電源ＶＤＤ線
２０  非有効画素領域
２１  故障検出用パターン領域
２２  フォトダイオードのある画素
２３  フォトダイオードのない画素
３０  シリコン基板
３１  素子分離領域
３２  層間絶縁膜
３３  遮光膜
３４  封止膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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