(57)【要約】【課題】基板を基板カセットからトレイカセットまで一貫して搬送できるようにする。【解決手段】ウエーハ移送手段はウエーハ２の下面を支持部材23で支持する一次側ウエーハ移送手段と、該一次側ウエーハ移送手段の搬送終端の上方に配置可能に設けられ下向きの吸着面30を有するベルヌーイチャック機構29が設けられた二次側ウエーハ移送手段11とを備える。移載テーブル４に載置したトレイ３にウエーハ２を載置するときには、ベルヌーイチャック機構29はウエーハ２の上向きの表面と無接触状態で保持でき、この結果二次側ウエーハ移送手段11の下降作用によりウエーハ２の表面を無接触状態でトレイ３に載置することができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する基板カセットと、
前記基板を上面で載置可能なトレイを収納するトレイカセットと、
前記トレイを上面で支持し該トレイに対して前記基板を受け渡しする位置に配置された移載テーブルと、
前記基板カセット側と前記移載テーブルとの間で前記基板を搬送する基板移動手段と、
前記移載テーブルと前記トレイカセットとの間で前記トレイを移動するトレイ移動手段とを備え、
前記基板移動手段は前記基板の下面又は縁を支持する第一の基板移動手段と、該第一の基板移動手段の搬送端の上方に配置可能に設けられ下向きの吸着面を有するベルヌーイチャック機構が設けられた第二の基板移動手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記第二の基板移動手段は昇降専用型であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記基板がウエーハであることを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板カセットに複数枚収納されているウェーハ等とも称する半導体ウエーハ（以下基板という）を、例えば成膜処理等各種の処理をするためトレイに１枚毎、或いは複数枚毎に載置させて、このトレイをトレイカセットに収納する作業を人間の手作業で行っていた。しかしながら、人間の手作業では処理能力に限界があった。しかしながら、基板の扱いは一方の面である処理面側に接触することなく作業を行わなければならない、という問題があった。
【０００３】
そこで、無接触式のチャックとして、ベルヌーイチャックが知られる。このベルヌーイチャックは、吸着面に設けた噴射口から空気や窒素ガスなどの高圧気体を噴射し、薄板状ワークを吸着保持して無接触でワークの移し替えを行うものが知られている（例えば特許文献１）。
【特許文献１】特開２００７−２１４５２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術においては、無接触で基板の移し替えを行うものであるが、基板の移し替えにあっては基板カセットからの基板トレイに載置し、そしてトレイをトレイカセットに収納することが行われているが、従来技術にあってはこのような基板カセットからトレイカセットまで一貫するものではなかった。
【０００５】
解決しようとする問題点は、基板を基板カセットからトレイカセットまで、或いは逆にトレイカセットから基板カセットへ一貫して搬送できるようにする点である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、基板を収納する基板カセットと、
前記基板を上面で載置可能なトレイを収納するトレイカセットと、
前記トレイを上面で支持し該トレイに対して前記基板を受け渡しする位置に配置された移載テーブルと、
前記基板カセット側と前記移載テーブルとの間で前記基板を搬送する基板移動手段と、
前記移載テーブルと前記トレイカセットとの間で前記トレイを移動するトレイ移動手段とを備え、
前記基板移動手段は前記基板の下面又は縁を支持する第一の基板移動手段と、該第一の基板移動手段の搬送端の上方に配置可能に設けられ下向きの吸着面を有するベルヌーイチャック機構が設けられた第二の基板移動手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置である。
【０００７】
請求項２の発明は、前記第二の基板移動手段は昇降専用型であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置である。
【０００８】
請求項３の発明は、前記基板がウエーハであることを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送装置である。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明によれば、ベルヌーイチャック機構により基板の表面を無接触状態で保持することができる。
【００１０】
請求項２の発明によれば、基板が横揺れなどせずに正確に移載テーブルに載置したトレイに載置することができる。
【００１１】
請求項３の発明によれば、ウエーハを正確に移送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明における好適な実施の形態について、添付図面を参照して説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を限定するものではない。また、以下に説明される構成の全てが、本発明の必須要件であるとは限らない。
【実施例１】
【００１３】
図は実施例１を示しており、基台１の上面のほぼ中央には基板であるウエーハ２を移し載せるウエーハ用トレイ３を上面に載置する移載テーブル４が設けられている。また、基台１の一側（図１では左側）の前部にはウエーハカセット５が着脱自在に載置するウエーハカセット台部６が設けられている。さらに基台１の他側（図１では右側）の前部にはトレイカセット７が着脱自在に載置するトレイカセット台部８が設けられている。
【００１４】
トレイカセット７はウエーハ２を上面で載置可能なトレイ３を複数段に収納するものである。尚、実施例に示したウエーハ２は、全体が円板状であって、その円縁の一部を切り欠いて弦部によってオリフラ９を形成している。このオリフラ９は例えば特開２００８−１６７７３号公報等で開示されているようにウエーハ２におけるＭＥＳＡ構造を、オリフラ９を基準にして作製するためのものである。オリフラ９にかえて切り欠きであるノッチを形成してもよい。
【００１５】
そして、搬送装置における第一のウエーハ移送手段である一次側ウエーハ移送手段10と、第二のウエーハ移送手段である二次側ウエーハ移送手段11によってウエーハカセット５から一枚のウエーハ２が取り出され、この取り出されたウエーハ２は移載テーブル４に載置したトレイ３に載置される。さらに、ウエーハ２を載置したトレイ３がトレイ移送手段12によってトレイカセット７側に搬出されるものである。尚、実施例ではトレイ３には二枚のウエーハ２が載置されると共に、この載置の際に相互のオリフラ９相互が突き当たるようになっている。このためにトレイ３には、隣接部分（オリフラ９の箇所）が重なり合うように二つの平面円形の第一の凹部13が上方を開口するように形成されている。
【００１６】
前記ウエーハカセット５は、後側を開口するようにした第一の箱型ケース14の内側に、横向きの第一の溝15が多段に形成されており、この第一の溝15に一枚ごとに収納することで複数のウエーハ２を上下方向に多段に収納できるようになっている。
【００１７】
また、基台１の上面一側の後側にはウエーハカセット５より一枚ごとに取り出したウエーハ２を移載テーブル４に載置するにあたり、ウエーハ２の向き、すなわちオリフラ９の向きを一定に揃えるための位置決め装置16を設ける。この位置決め装置16は図３に示すようにウエーハ２を載置する平面円形の載置台17を、中央を回転中心として駆動手段１７Ａにより回転駆動できるようにしたものであり、中央の四方向のうち３方向に円弧凹状の押え部材18が中央に向けて押え部材18の往復駆動装置19によって同時に進退できるようになっており、さらに中央の四方向のうち残りの一方にオリフラ９の押え部材18Ａが軸芯に向けて押え部材18Ａの往復駆動装置19Ａによって同時に進退できるようになっている。尚、図中17Ｂは載置台17の上面に設けた吸引部であり、吸引空気路（図示せず）が接続されている。
【００１８】
前記ウエーハカセット５と前記移載テーブル４との間で前記ウエーハ２を搬送するウエーハ移送手段は、前側移送を行う一次側ウエーハ移送手段10と後側移送を行う二次側ウエーハ移送手段11との二つに分かれている。図２、図４に示すように一次側ウエーハ移送手段10は、基台１上に設けられた第一の水平回動駆動手段20Ｃに基端20Ａを設けた第一の水平回動部材である回動アーム20の先端20Ｂに第二の水平回動部材である第一のブラケット22が回動自在に設けられる。この第一のブラケット22は水平回動自在に設けられるものであって、回動アーム20の先端20Ｂに対して第一のブラケット22が第二の水平回動駆動手段22Ｃによって水平回動制御できるようになっている。さらに、第一のブラケット22の先端22Ｂ側にはウエーハ２の下面を支持可能なロボットハンド等と称する支持部材23を設ける。この支持部材23は、第一のブラケット22の先端22Ｂに設けられたモータ、シリンダ等の昇降駆動手段24の昇降作動部25に固定されたものであり、この支持部材23は、その先端23Ａの上面にウエーハ２の下面が当接して載置するようにして支持できるようになっている。実施例では支持部材23はウエーハ２の全縁のうちの一部の縁の下面に沿うように当接する平面が円弧状の支持面であって、昇降作動部25に基端25Ａを固定すると共に先端を水平横向に突設する取り付け部材25Ｂにより片持ち状に取り付けられている。そして、支持部材23の上面にはウエーハ２の下面あるいは縁を保持する保持手段たる吸引部25Ｃが設けられている。この吸引部25Ｃは上方を開口した吸引孔によって形成されており、この吸引部25Ｃに吸引路（図示せず）が接続しており、吸引部25Ｃから空気が吸引路側に吸い込まれるようになっている。したがって、基端20Ａを回転中心として回動アーム20が水平回動し、さらに回動アーム20の先端20Ｂにある第一のブラケット22が水平回動することで、支持部材23は自在に水平回動でき、さらに支持部材23は昇降駆動手段24によって昇降できるようになっている。
【００１９】
前記二次側ウエーハ移送手段11は、一次側ウエーハ移送手段10により搬送されたウエーハ２を移送端位置である移送終端位置で移し変えて移載テーブル４に載置されたトレイ３に載置するように搬送するものであり、この二次側ウエーハ移送手段11は、図５に示すように支持部材23の移動軌跡、実施例では支持部材の回動移動軌跡の端位置である終端位置に対応した移載テーブル４の上方に設けられる。そして二次側ウエーハ移送手段11は、移載テーブル４と第一の水平回動駆動手段20Ｃとの間に配置されて基台１に立設したレール状の支柱26に沿って取り付け部材である第二のブラケット27が昇降駆動手段28によって昇降駆動できるようになっている。第二のブラケット27はその基端27A側を支柱26側に設けると共に、先端27Ｂを水平に突設した片持ち状に設けられている。そして、第二のブラケット27の先端27にベルヌーイチャック機構29が移載テーブル４に対向するように設けられる。このベルヌーイチャック機構29は上述のような無接触式のチャックであって、図５、６に示すように下向きに水平に設けた吸着面30に設けた噴射口31から空気や窒素ガスなどの高圧気体を噴射し、ウエーハ２を吸着保持して無接触でウエーハ２の移し替えを行うものである。そして、このベルヌーイチャック機構29の吸着面30は底面が円形であって、その外周側に溝32が同心円状に形成されていると共に、この溝32に噴射口31がほぼ一方の周方向に向けて配置されることで、溝32内に高圧気体が旋回しながら排出するようになっている。実施例では、ベルヌーイチャック機構29は、第二のブラケット27の先端27Ｂに、平面が円形の取り付け部材27Ｃが水平に設けられると共に、この取り付け部材27Ｃの下面において中央に対してその両側にベルヌーイチャック機構29を左右一対となるように設ける。さらにこれらベルヌーイチャック機構29を囲むように取り付け板11Ａの下面には、この中央を中心とした下向きの突起27Ｄが設けられる。この突起27Ｄの内側の直径はウエーハ２の直径よりもやや大きく形成されており、さらに吸着面30よりも突起27Ｄの下端は下方に位置している。尚、突起27Ｄの下端にはウエーハ２が吸着保持されている状態でその内外を連通可能な連通部27Ｅが切り欠きによって形成されている。すなわちウエーハ２と取り付け部材27Ｃとの空間が連通部27Ｅを介して外気に連通している。したがって、ベルヌーイチャック機構29によってウエーハ２が無接触で吸着している状態では、ウエーハ２の外縁の外側に突起11Ｂが配置されることで、ウエーハ２が左右前後に大きくずれるようなことはなくウエーハ２の中央が取り付け板11Ａの下面の中央に一致するようになっている。
【００２０】
前記昇降駆動手段28は、支柱26側にモータ駆動の螺子軸（いずれも図示せず）を設けると共に、ベルヌーイチャック機構29側（第二のブラケット27）に螺子軸に螺合する雌螺子部材を設けたり、或いは図示しないが例えば支柱26側にラックを設けると共に、ベルヌーイチャック機構29側（第二のブラケット27）にラックに噛合するモータ駆動のピニオンを設けたり、或いは支柱26をシリンダ装置によって設けると共に、その昇降作動部、すなわちアクチュエータに二次側ウエーハ移送手段11を設けるようにする。
【００２１】
前記移載テーブル４は平面が円板状であって、中央を回転中心として図示しない回動駆動手段を介して回動できるようになっている。移載テーブル４の上面に前記トレイ３を載置して支持できるように水平な載置面33が設けられている。さらに、載置面33に支持された状態でトレイ３の下面に臨むように凹部34を載置面33にさらに設ける。この凹部34は載置面33の中央部を跨ぐように間隔をおいて平行状態で左右一対となって形成されており、実施例では凹部34は上方のみならず長手方向の両側、すなわち長手方向の一方である入口35、長手方向の他方である出口35Ａも上方と連通するように開口している。さらに、前記移載テーブル４の載置面33の縁の外側に対応してトレイ３のセンタリング装置36が設けられる。このセンタリング装置36は載置面33の中央部を中心としてその両側に設けられたものであり、トレイ３の縁に押圧可能な内側縁36Ａを凹円弧状として載置面33の中央部を中心として進退する。
【００２２】
前記トレイカセット７は、他側を開口するようにした第二の箱型ケース37の内側に、横向の第二の溝38が多段に形成されており、この第二の溝38にトレイ３を一枚ごとに収納できるようになっている。
【００２３】
前記トレイ移送手段12は、図１に示すように基台１の他側に前後方向に沿って水平案内路であるガイドレール39を設けると共に、このガイドレール39には移載テーブル４に対向するように第三のブラケット40を設ける。この第三のブラケット40は図示しない往復駆動手段を介してガイドレール39を往復動するものであり、第三のブラケット40は往復移送部となる。この第三のブラケット40には昇降駆動手段41を介して左右一対の突片42を昇降自在に設ける。この一対の突片42は間隔をおいて平行に配置されたものであり、昇降駆動手段41に対して第四のブラケット43にその基端42Ａを接続すると共に、先端42Ｂを入口35に向けている。実施例では一対の突片42はフォーク状であって、これらが入口35より凹部34を介して出口35Ａへ通るようになっている。
【００２４】
次に前記構成についてその作用を説明する。尚、実施例ではウエーハ２の表面を上面とし裏面を下面として説明するものであり、ウエーハカセット５のウエーハ２を１枚ごとに移載テーブル４を介してトレイ３に載置し、そしてウエーハ２を２枚載置したトレイ３をトレイカセット７に収納する場合について説明する。
【００２５】
予めウエーハカセット５に搬出前の複数のウエーハ２が表面を上向きとなって多段に収納されている。一方、トレイカセット７にはウエーハ２が載置していない空のトレイ３が第一の凹部13を上向きとした多段に収納されている。そして、トレイカセット７から一枚の空のトレイ３が引き出されて移載テーブル４上に載置されている。これは図示しない往復駆動手段、昇降駆動手段41によって、突片42をガイドレール39に沿って移動させてトレイカセット７にあるトレイ３の下側に突片42をもぐりこませる。次に、昇降駆動手段41により突片42をやや持ち上げて該突片42によりトレイ３を載置させて支持した後に、往復駆動手段、昇降駆動手段41によって、突片42を凹部34内に配置することで、トレイ３を移載テーブル４の上面に載置できる。尚、トレイ３を移載テーブル４の上面に載置した後に、突片42を後退しておく。さらに、移載テーブル４に載置された二つの第一の凹部13のうち、一方の第一の凹部13を取り付け部材27Ｃに対向するようにしておく。これはトレイ３が移載テーブル４に載置されると、そして図示しない水平回動駆動装置が作動することで移載テーブル４が水平回動し、同時にセンタリング装置36が中央にやや進むことで内側縁36Ａがトレイ３の縁に当接してトレイ３の中央が移載テーブル４の中央に配置するように位置合わせがなされる。また、一方の第一の凹部13が取り付け部材２７Ｃに対向する位置に停止する。このトレイ３の周方向の位置合わせはトレイ３にマーク（図示せず）を設けると共に、このマークの読み取り装置（図示せず）を基台１の上面側に設けておき、移載テーブル４にあるトレイ３のマークを読み取り装置で読み取ることで位置決めしている。このトレイ３の位置決めは、図５に示すように搬送されてくるウエーハ２のオリフラ９に対応するように第一の凹部13の向きを定めるように位置決めするものである。尚、移載テーブル４におけるトレイ３の位置決めのときには、昇降駆動手段28によってベルヌーイチャック機構29を備えた取り付け部材２７Ｃは一方の第一の凹部13より離れるように高い位置に待機している。
【００２６】
そして、ウエーハカセット５にあるウエーハ２を載置台17まで搬送する。この搬送は水平回動駆動手段20Ｃ，22Ｃや昇降駆動手段24によって支持部材23をウエーハカセット５の開口に対向した状態で、さらに支持部材23を所定のウエーハ２の下側にもぐりこませ、そして昇降駆動手段24により支持部材23をやや上昇させることで支持部材23上に、表面を上向きとしたウエーハ２を載置して支持する。このウエーハ２の支持は、支持部材23の上面に臨んだ吸引部25Ｃから空気を吸引することで、この吸引力によってウエーハ２は片持ち状態で水平に支持されている。そしてウエーハ２は支持部材23によって支持されて水平回動駆動手段20Ｃ，22Ｃや昇降駆動手段24によって載置台17まで搬送する。この位置決め装置16においては、ウエーハ２を載置台17に載置した状態で、吸引部25Ｃから空気の吸引を停止して支持部23より載置台17に移し替え、そして載置台17の上面に設けた吸引部17Ｂから空気の吸引を開始して後述する回転運動に耐えるように比較的小さい力で固定する。そして載置台17を水平回転駆動装置17Ａにより回転駆動すると共に、それぞれの押え部材18，18Ａを内側に移送することで、オリフラ９が押え部材18Ａの向きとなるようにウエーハ２が位置決めされる。実施例では図１ではオリフラ９は基台１の外側に向くこととなる。
【００２７】
次にウエーハ２を位置決め装置16より移載テーブル４にあるトレイ３に載置するように搬送する。この搬送は、支持部23が載置台17に近づいてウエーハ２の下面の縁側に支持部23を当接する。この段階での吸引部17Ｂの空気吸引が停止すると共に、吸引部25Ｃの吸引が再び始まる。これにより位置決め装置16にあるウエーハ２を支持部材23の上面に再び載置支持し、そして第一の水平回動駆動手段20Ｃや第二の水平回動駆動手段22Ｃによって支持部23を水平回動すると共に、昇降駆動手段24によって支持部材23を昇降させて図５に示すようにベルヌーイチャック機構29の下方に移送する。これにより支持部材23に載置されているウエーハ２の表面がベルヌーイチャック機構29の吸着面30に近づく、この際、噴射口31から高圧気体を噴射し、ウエーハ２を吸着保持し、同時に吸引部25Ｃの吸引を停止することで、支持部材23による支持からベルヌーイチャック機構29の無接触な吸着へのウエーハ２の移し替えを行うことができる。このようなベルヌーイチャック機構29によるウエーハ２の移し替えがなされると、水平回動駆動手段20Ｃ，22Ｃや昇降駆動手段24によって支持部材23は後退してウエーハ２の下方は開放される。後退した支持部材23は再びウエーハカセット５に戻って次に備える。
【００２８】
尚、ベルヌーイチャック機構29によりウエーハ２が保持されている状態では、ウエーハ２の外縁の外側に突起27Ｄが間隔をおいて外嵌合するように配置される。このためベルヌーイチャック機構29によりウエーハ２が保持されている状態で、ウエーハ２に外力が加わったり或いはウエーハ２が傾斜して、ウエーハ２が横滑りしようとしても、ウエーハ２の外縁が突起27Ｄに当接することでこれを阻止することができる。
【００２９】
次に、ベルヌーイチャック機構29により吸着されたままのウエーハ２は、昇降駆動手段24が作動してベルヌーイチャック機構29が下降してウエーハ２を一方の第一の凹部13に嵌合するように載置する。この載置が完了すると噴射口31からの高圧気体の噴射を停止して、ウエーハ２を一方の第一の凹部13に残すようにする。この後、ベルヌーイチャック機構29は昇降駆動手段24により上方に移送して待機する。
【００３０】
このように一方の第一の凹部13にウエーハ２が載置された後、移載テーブル４は回動駆動手段によって回転してトレイ３における他方の第一の凹部13がベルヌーイチャック機構29の下方に移動して、ウエーハカセット５より再びウエーハ２が取り出されて同様に二枚目のウエーハ２が他方の第一の凹部13に載置される。
【００３１】
そして、移載テーブル４にあるトレイ３をトレイカセット７に収納する。この収納は、図示しない往復駆動手段により一対の突片42をガイドレール39に沿うようにしてトレイ３の底面を避けるようにして入口35より凹部34に差込み、その先端42Ｂを出口35Ａの向きとすると共に、この方向はトレイカセット７に向いている。その後に昇降駆動手段41を作動させて一対の突片42をやや上昇することで、一対の突片42によりトレイ３の下面を支持し、そのまま往復駆動手段を作動させて一対の突片42を前進させることで、トレイ３をトレイカセット７に収納する。この際、昇降駆動手段41を作動させて一対の突片42をやや下降することで、トレイ３が第二の溝38に載置されて残るようになる。尚、その後一対の突片42によって空のトレイ３が移載テーブル４に再び設置されることとなる。
【００３２】
このようなウエーハカセット５の搬送を行ってウエーハカセット５にあるウエーハ２をトレイ３と共にウエーハカセット５へ移送する。
【００３３】
尚、上記作用ではウエーハカセット５にあるウエーハ２をトレイ３に載置し、そしてこのトレイ３をトレイカセット７に収納する経路の場合を示しているが、逆にトレイカセット７に収納されているトレイ３にウエーハ２が載置している状態から、このトレイ３を移載テーブル４に引き出して、そして二次側ウエーハ移送手段11を介してウエーハ２のみを引き上げ、この引き上げられたウエーハ２を支持部材23によって位置決め装置16を介してトレイカセット７に収納する工程を繰り返すようにしてもよい。
【００３４】
以上のように、前記実施例ではウエーハ２を収納するウエーハカセット５と、ウエーハ２を上面で載置可能なトレイ３を収納するトレイカセット７と、トレイ３を上面で支持し、該トレイ３に対して前記ウエーハ２を受け渡しする位置に配置された移載テーブル４と、ウエーハカセット５側と前記移載テーブル４との間で前記ウエーハ２を搬送するウエーハ移送手段と、移載テーブル４とトレイカセット７との間でトレイ３を移送するトレイ移送手段12とを備え、ウエーハ移送手段はウエーハ２の下面を支持部材23で支持する第一の基板移動手段である一次側ウエーハ移送手段10と、該一次側ウエーハ移送手段10の搬送端（支持部23によるトレイカセット７と反対側の端の箇所）の上方に配置可能に設けられ下向きの吸着面30を有するベルヌーイチャック機構29が設けられた第二のウエーハ移送手段である二次側ウエーハ移送手段11とを備えたことにより、移載テーブル４に載置したトレイ３にウエーハ２を載置するときには、ベルヌーイチャック機構29はウエーハ２の上向きの表面と無接触状態で保持でき、この結果二次側ウエーハ移送手段11によりウエーハ２の表面を無接触状態でトレイ３に載置することができる。
【００３５】
さらに、前記二次側ウエーハ移送手段11は昇降専用型であることにより、ベルヌーイチャック機構29は横揺れすることなく、この結果無接触状態で保持するウエーハ２が横揺れなどが少なく正確に移載テーブル４に載置したトレイ３に載置することができる。
【００３６】
しかも、ウエーハ２などの精密部品を正確に搬送することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
以上のように本発明に係る基板搬送装置は、各種の用途に適用できる。また、実施例では一対の突片によりトレイの底を支持できるようにしたが、横幅の大きい１枚の突片によりトレイの底を支持できるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施例１を示す全体斜視図である。
【図２】同支持部まわりの斜視図である。
【図３】同位置決め装置まわりの斜視図である。
【図４】同支持部の駆動まわりを示す斜視図である。
【図５】同二次側ウエーハ移送手段まわりを示す斜視図である。
【図６】同ベルヌーイチャック機構まわりを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３９】
２  ウエーハ（基板）
３  トレイ
５  ウエーハカセット
４  移載テーブル
６  トレイカセット
８  トレイ
10  一次側ウエーハ移送手段（第一のウエーハ移送手段）
11  二次側ウエーハ移送手段（第二のウエーハ移送手段）
12  トレイ移送手段
23  支持部材
29  ベルヌーイチャック機構
30  吸着面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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