(57)【要約】【課題】不良品率を低減したり、揺動体を調整する調整工程を不要或いは工程数ないしその内容を軽減したりすることができる揺動体構造体の作製方法などを提供する。【解決手段】揺動体構造体は、形成工程と選択工程とを含む作製方法で作製される。形成工程では、弾性支持部110と、弾性支持部110の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部111a及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部111bとを形成する。選択工程では、第1の揺動体候補部111aと第2の揺動体候補部111bのうち、いずれか1つを揺動体112として選択する。形成工程において、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部を同一形状又は略同一形状を有する様に設計して形成することができる。【選択図】図1
2009139873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性支持部と、該弾性支持部の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部とを形成する形成工程と、
前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部のうち、いずれか1つを揺動体として選択する選択工程と、
を有することを特徴とする揺動体構造体の作製方法。
【請求項２】
弾性支持部と、該弾性支持部の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部とを形成する形成工程と、
前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部のうち、いずれか1つを揺動体として選択する選択工程と、
前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部のうち、前記揺動体として選択された揺動体候補部の他の揺動体候補部を固定部材に取り付ける固定工程と、
を有することを特徴とする揺動体装置の作製方法。
【請求項３】
前記形成工程において、前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部は同一形状又は略同一形状を有する様に設計されて形成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の作製方法。
【請求項４】
前記選択工程の前或いは後に、前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部のうちの少なくとも一方に光反射部を形成する工程を有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の作製方法。
【請求項５】
前記形成工程において、前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部を、共にそれぞれの固有振動数が目標周波数となる様に設計して形成し、
前記選択工程において、キズ或いは欠陥の少ない方の揺動体候補部を前記揺動体として選択することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の作製方法。
【請求項６】
前記形成工程において、前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部の一方をその固有振動数が目標周波数となる様に設計して形成し、前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部の他方をその固有振動数が前記目標周波数より大きく或いは小さくなる様に設計して形成し、
前記選択工程において、前記固有振動数が前記目標周波数に近い方の揺動体候補部を前記揺動体として選択することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の作製方法。
【請求項７】
前記形成工程において、前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部をそれぞれの固有振動数が目標周波数を挟んで上下となる様に設計して形成し、
前記選択工程において、前記固有振動数が前記目標周波数に近い方の揺動体候補部を前記揺動体として選択することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の作製方法。
【請求項８】
弾性支持部と、該弾性支持部の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部とを有する揺動体構造体であって、
前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部は同一形状又は略同一形状を有することを特徴とする揺動体構造体。
【請求項９】
請求項8に記載の揺動体構造体を有し、
キズ或いは欠陥の少ない方の揺動体候補部或いは固有振動数が目標周波数に近い方の揺動体候補部を揺動体として
前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部のうち、前記揺動体として選択された揺動体候補部の他の揺動体候補部が固定部材に取り付けられていることを特徴とする揺動体装置。
【請求項１０】
光源と、前記揺動体に光反射部を設けて光偏向器とした請求項9に記載の揺動体装置とを有し、
前記光源から出射された光を前記光偏向器により偏向して、該偏向された光の少なくとも一部を目標対象物に照射することを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動体を含む揺動体構造体、揺動体構造体を持つ揺動体装置、これらの作製方法、揺動体装置を用いた光偏向器、光偏向器を用いた画像形成装置などの光学機器などに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複写機やレーザービームプリンタなどの画像形成装置、バーコードリーダ、レーザ光を走査して映像を投影する画像表示装置等の光学機器において、光偏向器が用いられている。
【０００３】
一般に、機械的運動で光走査を行なう光偏向器としては、回転多面鏡からなるポリゴンミラーや揺動型反射鏡からなるガルバノミラーなどが知られている。特にガルバノミラータイプにおいては、マイクロメカニクス技術によってシリコン基板を加工して作製される共振型光偏向器が開発されている。このタイプのものは、小型化、軽量化、低コスト化が期待でき、この様な共振型光偏向器を利用した画像形成装置などの光学機器が提案されている。
【０００４】
図4は、こうした光偏向器を示す斜視図である（特許文献1参照）。図4の偏向素子65では、内側可動板656が、互いに直交する第1軸ＡＸ1及び第2軸ＡＸ2回りに、しかも独立して揺動運動する。ミラー駆動部は、内側可動板656を第1軸ＡＸ1回りに揺動させることで主走査方向Ｘに光ビームを偏向して走査させている。一方、内側可動板656を第2軸ＡＸ2回りに揺動させることで、被走査面上での走査光ビームの副走査方向Ｙにおける位置が調整可能となっている。したがって、被走査面での光ビームの走査位置が副走査方向にずれたときでも、該ずれを補正することにより常に高い精度で光ビームを走査させることができる。こうして、副走査方向における光ビームの走査位置を簡単に、しかも高精度に調整して、誤差のない光走査を行うことができる光走査装置及び該装置を備えた画像形成装置を提供している。
【特許文献１】特開2005-70708号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記光偏向器について、その作製上や取り扱い上、以下の点が指摘される。
（a）走査ミラーの表面にキズ或いは欠陥がある場合には、作製品が不良品となり、歩留まりを低下させる可能性がある。
（b）作製された走査ミラー及びねじりバネの形状のバラツキにより、その固有振動数が目標の周波数からずれてしまう場合、レーザ光などを用いて材料を除去或いは付加するトリミング等により周波数を調整するという工程が必要となる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題に鑑み、本発明の揺動体構造体の作製方法は、弾性支持部と形成工程とを有することを特徴とする。前記形成工程では、弾性支持部と、該弾性支持部の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部とを形成する。前記選択工程では、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部のうち、いずれか1つを揺動体として選択する。典型的には、前記形成工程において、前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部は同一形状又は略同一形状を有する様に設計されて形成される。
【０００７】
また、上記課題に鑑み、本発明の揺動体装置の作製方法は、弾性支持部と形成工程と固定工程とを有することを特徴とする。前記形成工程では、弾性支持部と、該弾性支持部の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部とを形成する。前記選択工程では、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部のうち、いずれか1つを揺動体として選択する。前記固定工程では、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部のうち、前記揺動体として選択された揺動体候補部の他の揺動体候補部を固定部材に取り付ける。ここでも典型的には、前記形成工程において、前記第1の揺動体候補部と前記第2の揺動体候補部は同一形状又は略同一形状を有する様に設計されて形成される。
【０００８】
また、上記課題に鑑み、本発明の揺動体構造体は、弾性支持部と、該弾性支持部の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部とを有する。そして、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部は同一形状又は略同一形状を有することを特徴とする。
【０００９】
また、上記課題に鑑み、本発明の揺動体装置は、上記の揺動体構造体を有し、キズ或いは欠陥の少ない方の揺動体候補部或いは固有振動数が目標周波数に近い方の揺動体候補部を揺動体としている。そして、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部のうち、前記揺動体として選択された揺動体候補部の他の揺動体候補部が固定部材に取り付けられていることを特徴とする。
【００１０】
また、上記課題に鑑み、本発明の光学機器は、光源と、揺動体に光反射部を設けて光偏向器とした上記の揺動体装置とを有し、光源から出射された光を光偏向器により偏向して、該偏向された光の少なくとも一部を目標対象物に照射することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、上記の如く弾性支持部の両端にそれぞれ接続された第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部とを形成するので、より好ましい方を揺動体として選択することができる。よって、不良品率を低減したり、揺動体を調整する調整工程を不要或いは工程数ないしその内容を軽減したりすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明では、ねじりバネや撓み変形バネなどの弾性支持部の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部、及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部が形成される。従来は、揺動体構造体において、揺動体と固定部（固定部材に取り付けられる部分）はそれぞれの部分をその為に設計して形成する。よって、作製後に、揺動体の部分が目標の設計値或いは所定の条件を満足していないとか、調整しても目標の設計値にすることは困難であるとかが判明しても、急遽代わって固定部を揺動体に仕立て上げるのは不可能であった。
【００１３】
これに対して、本発明では、予め共に揺動体候補部として設計して形成する。この際、目標の設計値（固有振動数ないし共振周波数、慣性モーメント、形状、寸法など）に基づいて、弾性支持部を挟んで2つの揺動体候補部を設計して形成する。典型的には、同一形状或いは略同一形状に設計して形成する。略同一形状とは、例えば、数パーセント程度（高々5パーセント程度）以下の範囲で固有振動数が異なる程度の形状、慣性モーメントを調整するためのタブの有無の違いやその設け方の違い程度の形状をいう。ただし、場合によっては、異なる形状に2つの揺動体候補部を設計して形成することもあり得る。例えば、揺動体の形態が2つのうちのどちらでも良いような場合である。
【００１４】
上記設計は、作製過程で発生する可能性があるバラツキ、欠陥などを考慮して行う。その結果、実際の作製過程でバラツキや表面不良などの問題が生じても、どちらかをそのまま或いは若干の調整を施して揺動体として使用可能とできる率を高めることができる。こうして、不良品率を低減したり、揺動体を調整する調整工程を不要或いは工程数ないしその内容を軽減したりすることができる。以上が、本発明の骨子の考え方である。
【００１５】
ここで、バラツキは、意図した設計に対して2つの揺動体候補部で同方向に生じる傾向があることを考慮して、典型的には、次の3つの態様で設計を行うのが好適である。揺動体装置が光偏向器であるとして説明する。
【００１６】
（1）両方のミラーを同じサイズで作製し、より問題の少ない方をミラー側として使い、問題の多い方を固定部材に取り付ける側とする。このことによって、不良品となる製品を救済でき、歩留まりを向上させることが可能となる（後述の第1の実施の形態を参照）。すなわち、形成工程において、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部を、共にそれぞれの固有振動数が目標周波数となる様に設計して形成し、選択工程において、キズ或いは欠陥の少ない方の揺動体候補部を揺動体として選択する。
【００１７】
（2）両方のミラーの固有振動数が目標周波数をまたいで上下になるように設計し、バラツキを伴って達成された固有振動数が目標周波数に近い方をミラーとして使う。このことによって、トリミング等により周波数を調整するという工程を無しにしたり或いは軽減したりすることが可能となる（後述の第2の実施の形態を参照）。すなわち、形成工程において、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部をそれぞれの固有振動数が目標周波数を挟んで上下となる様に設計して形成し、選択工程において、固有振動数が目標周波数に近い方の揺動体候補部を揺動体として選択する。
【００１８】
（3）片方のミラーを目標周波数に合わせ、他方のミラーの周波数を大きめ或いは小さめに設計し、バラツキによって片方のミラーの周波数が目標周波数からずれたときには、他方のミラーを使う。このことによって、トリミング等による周波数調整工程の必要性を低減できる（後述の第3の実施の形態を参照）。すなわち、形成工程で、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部の一方をその固有振動数が目標周波数となる様に設計して形成し、他方をその固有振動数が目標周波数より大きく或いは小さくなる様に設計して形成する。そして、選択工程において、固有振動数が目標周波数に近い方の揺動体候補部を前記揺動体として選択する。
【００１９】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
【００２０】
（第1の実施の形態）
本発明の揺動体構造体を用いた光偏向器100の作製方法などの第1の実施の形態について、図1及び図2を用いて説明する。図1は上面図、図2は図1におけるA1-A2断面図である。
【００２１】
本実施形態では、揺動体構造体の作製のために、まず、材料が単結晶であるシリコン基板の表面にレジストを厚さ10μm程度塗布してフォトリソグラフィーを行ない、ドライエッチングのレジストマスクを作製する。この際、質量部111a、111bを同一形状に形成できる様に（すなわち同一の慣性モーメントを持つ様に）レジストマスクを設計する。この設計の目標は、2つの質量部に所定の共振周波数すなわち固有振動数を持たせることである。
【００２２】
上記シリコン基板を貼付基板に貼り付けた後に、誘導結合型プラズマ及びＢＯＳＣＨプロセスを用いたＲＩＥを行なう。こうして、弾性支持部であるねじりバネ110を形成すると共に、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部である第1の揺動体候補部111a及び第2の揺動体候補部111bを同一形状に形成する。このとき、貼り付け基板はエッチングストッパーとして機能する。その後、レジストマスクを除去し、貼り付け基板を剥離する。ここで、ＢＯＳＣＨプロセスとは、エッチングガスと側壁保護用ガスを交互に供給し、エッチングと側壁保護を切換えることにより、シリコンを選択的にかつ異方性良く一方向にエッチングする方式である。本方式のＲＩＥを用いることで、ねじりバネ110と、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部111a、111bの側壁を垂直に形成することができる。ここでは、この様に、弾性支持部と、第1の揺動体候補部及び第2の揺動体候補部とは一体で、シリコンからなる。
【００２３】
これら弾性支持部と2つの質量部は、レーザ加工、プレス加工などで形成することもできる。
【００２４】
質量部111a、111bを含むシリコン基板121表面にチタンを50Å程度成膜した後、アルミニウムを1000Å程度、蒸着、スパッタ等で成膜し、反射膜123を形成する。
【００２５】
以上の様にして、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部111a、111bが形成される。これらのうち、より問題が少ない、例えば、表面にキズ或いは欠陥などが少ない方の質量部111aを、光走査ミラー用の揺動体として用いる側の質量部112として使用する。そして、より問題の多い方を固定部材113に取り付ける側の質量部114として使用する。こうした問題の検査は、例えば、目視或いは顕微鏡で行うことができる。
【００２６】
次に、断面が0.5mm×0.5mm角、長さが1.8mmの硬磁性体の線材を質量部114の裏面に配置して接着剤で固定し、更に磁化することで永久磁石115とする。そして、永久磁石115と対向するように、回路基板117に電磁コイル116を配置する。電磁コイル116と固定部材113は、電磁コイル116を駆動させるための回路基板117に接続されている。
【００２７】
本実施形態では、より問題が少ない方の質量部を光走査ミラー用の揺動体として用いる側の質量部112として使用し、より問題の多い方を固定部材113に取り付ける側の質量部114として使用する。このことで、不良品となる製品を救済でき、歩留まりを向上させることが可能となる。
【００２８】
次に、本実施形態の揺動体構造体を用いた光偏向器100の構造について、図1及び図2を用いて説明する。光偏向器100は、MEMS技術によって加工されるシリコン基板121と、それを固定する固定部材113と、シリコン基板121に接着される永久磁石115と、電磁コイル116を含む構造を有する。これらの構成要素が、回路基板117に設置されている。光偏向器100全体の大きさは、例えば、縦5mm、横10mm、高さ3mm程度である。
【００２９】
本実施形態では、ねじりバネ110と、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部111a、111bは、シリコン基板121により一体で形成されている。シリコン基板121は単結晶シリコンからなり、ヤング率が大きい、比重が小さい、塑性変形しないなど、機械的特性に優れている。そのため、揺動体として用いられる側の質量部112に大きい固有振動数を持たせることが可能である。
【００３０】
また、シリコン基板の表面には反射膜123が形成されている。揺動体の光反射部となる反射膜123は、例えばアルミニウムからなる。シリコン基板121の裏面には、断面と長さが上記の如き硬磁性体の線材が配置されて接着剤で固定されている。これは磁化されて永久磁石115となっている。永久磁石115は、例えば、サマリウムコバルト、ネオジウム鉄ボロン等の硬磁性体を着磁した材料から構成される。
【００３１】
電磁コイル116は、XY平面（図1の紙面と平行な面）に沿って円形状に配線（不図示）が巻かれている。これに電源から電力を供給することによって、電流の方向によって電磁コイル116の上面にN極またはS極が現れる。電磁コイル116の配線は銅やアルミニウムのように低抵抗な金属で構成され、巻数は数十回から数百回程度である。ここでは、電磁コイル116の大きさは直径d=3mm、高さt=2mmとした。回路基板117は、鉄やパーマロイ等の強磁性体からなり、電磁コイル116に接続する役割と、電磁コイル116から発生する磁場を遮蔽する役割を持つ。
【００３２】
次に、光走査ミラー用の揺動体として用いる側の質量部112の揺動方法について説明する。電磁コイル116に電流Iを流すと、電磁コイル116上面にN極或いはS極が現れる。発生する磁界Hは、電磁コイル116を流れる電流Iと電磁コイル116の巻数Nとの積に比例する。磁界Hは永久磁石115の磁極に作用し、これによりねじりバネ110が揺動中心軸118を中心に変形し、揺動体として用いる側の質量部112は揺動中心軸118回りに揺動する。電流Iを交流電流とすることで、揺動体として用いる側の質量部112は周期的に変位することが可能である。さらに、交流電流の周波数と揺動体として用いる側の質量部112の固有振動数とをほぼ一致させることにより、低消費電力による質量部112の共振運動が可能になる。
【００３３】
磁性体、電磁コイル、弾性支持部、2つの質量部を適宜変更することで、図1の紙面内で揺動中心軸118と直角な方向に伸びる軸の回りで揺動体が揺動する構造とすることも可能である。ここでは、弾性支持部は、撓み変形バネとして働く。
【００３４】
本実施形態によれば、光源と光偏向器とを有し、光源から出射された光を光偏向器により偏向して、該偏向された光の少なくとも一部を感光体などの目標対象物に照射する光学機器を提供することができる。
【００３５】
（第2の実施の形態）
本発明の揺動体構造体を用いた光偏向器100の作製方法などの第2の実施の形態について、図2及び図3を用いて説明する。図3は本光偏向器の上面図であり、基本的な構成、駆動方法は前述の第1の実施の形態と同じである。同じ機能を持つ部分の詳しい説明は省略する。
【００３６】
作製方法については、前述の第1の実施の形態と類似している。違いは、ねじりバネ110の両端に接続される2つの質量部111a、111bを同一の形状に形成にするのではなく、慣性モーメント（すなわち固有振動数）が異なるように設計して作製することである。図3では、右側の質量部が若干大きめになっている。この差は、共振周波数すなわち固有振動数で言って、数パーセント程度以下である。
【００３７】
本実施形態では、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部111a、111bの固有振動数が目標周波数を挟んで上下になるように設計してこれらを作製する。作製後、目標周波数に近い方を光走査ミラー用の揺動体として用いる側の質量部119と使用し、他方を固定部材113に取り付ける側の質量部120として使用する。
【００３８】
こうした選択を行うための固有振動数の測定は、例えば、次の様にして行う。ウエハを加工して形成された弾性支持部と2つの揺動体候補部からなる揺動体構造体において、揺動体の回転軸（上記揺動中心軸118参照）から外れた個所に、非接触で音圧を加える。このとき、音波の周波数を走査する。そして、周波数に揺動体がねじれ応答した状態で、加えた周波数或いは検知した周波数から、当該揺動体のねじれ固有振動数を得る。こうした測定の結果に基づいて、上記2つの揺動体候補部から、揺動体として用いる側の質量部119を選択する。すなわち、ここでは、選択工程において、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部にそれぞれ空間を介して加圧して固有振動数を調べる加振方法により、それぞれの固有振動数を検知していずれか1つを揺動体として選択する。
【００３９】
本実施形態では、上述した様に、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部111a、111bの固有振動数が目標周波数をまたいで上下になるように設計する。このことで、製造バラツキにより必要となるレーザートリミング等の除去ないし付加トリミングによる周波数調整工程を無くしたり、或いはその工程数や内容を低減ないし軽減したりすることが可能となる。
【００４０】
本揺動体構造体を用いた光偏向器200の構造については、作製方法と同様に、前述の第1の実施の形態と類似している。違いは、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部111a、111bを同一形状に設計するのではなく、上記の如く慣性モーメントが異なるような形状とすることである。こうした設計・作製により上記の効果が得られる理由は、バラツキは、意図した設計から、2つの揺動体候補部で同方向に生じる傾向があるからである。このことを考慮して、上記の様に設計して作製すると、バラツキが生じた場合に、いずれかの揺動体候補部が目標の設計に近づくことになって、これを揺動体として用いる側の質量部119とすればよいことになる。また、調整工程を必要とするとしても、目標の設計に近づいているので、その数ないし程度を低減ないし軽減できる。
【００４１】
（第3の実施の形態）
本発明の揺動体構造体を用いた光偏向器100の作製方法などの第3の実施の形態について、図2及び図3を用いて説明する。図3は本光偏向器の上面図であり、基本的な構成、駆動方法は前述の第1及び第2の実施の形態と同じである。同じ機能を持つ部分の詳しい説明は省略する。
【００４２】
作製方法については、前述の第2の実施の形態と類似している。違いは、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部111a、111bの固有振動数に関して、片方の質量部を目標周波数に合わせて設計して作製し、他方の質量部を目標周波数より大きめ或いは小さめに設計して作製することである。
【００４３】
本実施形態では、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部111a、111bの固有振動数を上記の如く設計して構造体を作製する。このことで、製造バラツキによって周波数が目標周波数からずれたときに、上記他方の質量部を光走査ミラー用の揺動体として使うことで、トリミング等による周波数の調整工程の必要性を低減することが可能となる。こうしたことが可能となる理由は、バラツキは2つの質量部で同方向に生じるので、一方が目標周波数から離れる方向にバラツクとき、他方は目標周波数に近づく方向にバラツク可能性が大きくなるからである。
【００４４】
本揺動体構造体を用いた光偏向器200の構造については、作製方法と同様に、前述の第2の実施の形態と類似している。違いは、ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部111a、111bが同一形状ではなく、片方の質量部を目標周波数に合わせた形状とし、他方の質量部は、周波数を大きめ或いは小さめにする様に慣性モーメントが異なる形状とすることである。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
上記揺動体装置は、上記光学機器の他に、電位センサなどのセンサ等の揺動体構造体を用いる装置に用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の揺動体構造体を用いた光偏向器などの第1の実施の形態を説明する上面図である。
【図２】本発明の揺動体構造体を用いた光偏向器などの実施の形態を説明する断面図である。
【図３】本発明の揺動体構造体を用いた光偏向器などの第2及び第3の実施の形態を説明する上面図である。
【図４】本発明の背景技術を説明する図である。
【符号の説明】
【００４７】
100：光偏向器
110：弾性支持部（ねじりバネ）
111a：第1の揺動体候補部（ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部の一方）
111b：第2の揺動体候補部（ねじりバネ110の両端に接続された2つの質量部の他方）
112、119：揺動体として用いる側の質量部
113：固定部材
114、120：固定部材113に取り付ける側の質量部
115：永久磁石
116：電磁コイル
118：揺動中心軸
【図１】
2009139873.tif 000003
【図２】
2009139873.tif 000004
【図３】
2009139873.tif 000005
【図４】
2009139873.tif 000006