(57)【要約】【課題】一対のノズル半体の間にゴミや塵などの異物を噛み込んでノズル本体部の組み付け時の寸法再現性が損なわれる問題点を解決し得る画期的な薄膜塗布装置。【解決手段】ノズル本体部Ａを構成する一対のノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａを互いに重合してこの一対のノズル半体１，２間にスリット状の間隙を形成し、この間隙をノズル内液通路３として構成すると共にこのノズル内液通路３の先端を先端吐出口４として構成し、ノズル内液通路３を通じて先端吐出口４から塗工液ａを吐出し被塗布体５に塗布する薄膜塗布装置において、一対のノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａは互いに全面密着する面一な平坦面形状とせずに、少なくともいずれか一方の重合面１ａ（２ａ）は、他方の重合面２ａ（１ａ）と密着する密着凸部６と、前記他方の重合面２ａ（１ａ）と密着当接せずにゴミや塵などの異物が入り込む非密着凹面部７とから成る凹凸面形状とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のノズル半体から成るノズル本体部を有し、このノズル本体部は、前記一対のノズル半体の重合面を互いに重合してこの一対のノズル半体間にスリット状の間隙を形成し、このスリット状の間隙をノズル内液通路として構成すると共にこのノズル内液通路の先端をスリット状の先端吐出口として構成し、液供給部から供給された塗工液を前記ノズル内液通路を通じて前記先端吐出口から吐出してこの塗工液を被塗布体に薄膜状に塗布する薄膜塗布装置において、前記ノズル本体部を構成する一対のノズル半体の重合面は互いに全面密着する面一な平坦面形状とせずに、少なくともいずれか一方の重合面は、他方の重合面と密着する密着凸部と、前記他方の重合面と密着当接せずにゴミや塵などの異物が入り込む非密着凹面部とから成る凹凸面形状に形成したことを特徴とする薄膜塗布装置。
【請求項２】
凹凸面形状に形成した前記一方の重合面は、前記他方の重合面の一部と面で密着当接する密着凸面部を複数形成し、この各密着凸面部を前記密着凸部として構成すると共に、この各密着凸面部間の凹面部を前記非密着凹面部として構成したことを特徴とする請求項１記載の薄膜塗布装置。
【請求項３】
前記ノズル本体部は、前記一対のノズル半体に夫々連通状態にボルト通孔を設け、このボルト通孔に挿通した締付ボルトにナットを螺着固定してこの一対のノズル半体を締め付け固定する構成とし、このボルト通孔は、凹凸面形状に形成した前記一方の重合面の前記密着凸面部を貫通する位置に形成し、このボルト通孔を形成した密着凸面部と、これと密着当接する前記他方の重合面の一部とを、前記締付ボルトとナットにより締め付け固定される締め付け固定面として構成したことを特徴とする請求項２記載の薄膜塗布装置。
【請求項４】
凹凸面形状に形成した前記一方の重合面には、前記ノズル本体部の幅方向に延設される前記密着凸部を形成し、この幅方向に延設される密着凸部は、前記ノズル内液通路の前記先端吐出口を形成した側と反対側の後方側を閉塞する液流路閉塞凸部として構成し、塗工液がこのノズル内液通路の後方側へと流通することをこの液通路閉塞凸部によって阻止するように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜塗布装置。
【請求項５】
凹凸面形状に形成した前記一方の重合面は、幅方向に延設される前記液流路閉塞凸部と、この液流路閉塞凸部よりも後方側の位置にして前記請求項３記載のボルト通孔を貫通形成した複数の密着凸面部と、この複数の各密着凸部間の前記非密着凹面部とから成る凹凸面形状に形成したことを特徴とする請求項４記載の薄膜塗布装置。
【請求項６】
凹凸面形状に形成した前記一方の重合面の前記液流路閉塞凸部は、前記他方の重合面の一部と面で密着当接する前記密着凸面部を幅方向に延設して成る構成とし、前記ノズル本体部は、この一方の重合面の液流路閉塞凸部を貫通する位置に、この液流路閉塞凸部に沿って複数並設状態に前記ボルト通孔を形成した構成としたことを特徴とする請求項５記載の薄膜塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被塗布体に塗工液を薄膜状に塗布する薄膜塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被塗布体に塗工液を薄膜状に塗布する装置として、例えば特許文献１に開示されるように、ダイコータやスロットコータと呼ばれる薄膜塗布装置がある。これは、例えば図５に図示したように、液供給部から供給された塗工液ａをスリット状の先端吐出口４から吐出するノズル本体部Ａを有し、バックアップロールなどに支持されて搬送する被塗布体５に対して前記ノズル本体部Ａの先端吐出口４を対向近接させた状態で、この被塗布体５を連続搬送しつつ前記先端吐出口４から前記塗工液ａを吐出することでこの被塗布体５に塗工液ａを薄膜状に塗布する構成であり、例えば、被塗布体５の表面コーティングや、薄膜フィルムの製造など、種々の用途で使用されるものである（後述する本発明と同一構成部材には同一符号を付している。）。
【０００３】
一般に、この種の薄膜塗布装置におけるノズル本体部Ａは、一対のノズル半体１，２を重合状態に組み付けて成る構成であり、具体的には、一対のノズル半体１，２を重合し、このノズル半体１，２間にマニホールド10（液溜め部）やスリット状の間隙を形成し、このスリット状の間隙をノズル内液通路３とし、その先端をスリット状の先端吐出口４とした構成である。液供給部から供給された塗工液ａは、マニホールド10を介してノズル内液通路３に供給され、このノズル内液通路３を通じて先端吐出口４から吐出される。
【０００４】
また、このノズル本体部Ａには、ノズル半体１，２間にシムと呼ばれる介在部材を挟み込むタイプ（以下「シムタイプ」）と、介在部材を使用しないタイプ（以下「シムレスタイプ」）とがある。
【０００５】
シムタイプは、例えば特許文献１に開示されるように、一対のノズル半体１，２の間にシムと呼ばれる薄いプレート状の介在部材を挟み込み、これによりノズル半体１，２間にスリット状の間隙を形成し、これを前記ノズル内液通路３として構成するものである。
【０００６】
一方、シムレスタイプは、例えば特許文献２に開示されるように、一対のノズル半体１，２の互いに対向する面に、例えば図５に図示したような高低段差を設ける（例えばノズル半体１の先端側（前方側）を低段面，後方側を高段面に形成する）ことにより、重合したノズル半体１，２間にスリット状の間隙を形成し、これを前記ノズル内液通路３として構成するものである。
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１６７７７３号公報
【特許文献２】特開平１１−１５６２６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで上述した薄膜塗布装置は、塗布作業を実施する際、ノズル本体部Ａの先端吐出口４から吐出する塗工液ａの膜厚が幅方向に均一となるように膜厚調整を行う。
【０００９】
この種の膜厚塗布装置は、例えば数ｎｍオーダーといった極めて高い膜厚精度を要求される装置である為、この膜厚調整にも高い精度が要求され、それだけ高い熟練と、多くの手間と時間とを要し、従ってこの膜厚調整は厄介で煩わしい作業と言える。
【００１０】
しかも、せっかく多くの手間と時間とをかけて膜厚調整を行っても、例えば洗浄を行うためにノズル本体部Ａを一旦分解し、再びノズル半体１，２を重合してノズル本体部Ａを組み付けると、調整したはずの膜厚が大きく変化してしまう。このようにノズル本体部Ａは、組み付け時の寸法再現性が悪く、せっかく膜厚調整を行っても、一旦このノズル本体部Ａを分解してしまうと膜厚寸法が大きく変化してしまう（狂ってしまう）為、再び組み付けして塗布作業を実施する際には、再び多くの手間と時間とをかけて膜厚調整をやり直す必要があった。
【００１１】
特に、上述したシムタイプは、シム自体が極めて薄く、洗浄時に簡単に折り目や変形が生じ、しかもシム表面に微細な毛羽立ちが生ずることも多々有り、これがノズル本体部Ａの組み付け時の寸法再現性を損ねることとなる。
【００１２】
この点、シムレスタイプは、前記シムによる寸法再現性の問題は生じ得ないが、それにも関わらず、このシムレスタイプもやはりノズル本体部Ａの寸法再現性は著しく低い。
【００１３】
従って、これまではシムタイプ，シムレスタイプのいずれにおいても、ノズル本体部Ａを分解して再び組み付けるたびに、再び多くの手間と時間とをかけて膜厚調整を行っているのが現状であり、これが薄膜塗布装置を用いた塗布作業の作業効率や量産性，コスト性を損ねる大きな一因となっている。
【００１４】
本発明者は、この薄膜塗布装置の開発・研究を重ねる中で、ノズル本体部Ａの組み付け時に、ノズル半体１，２の間にゴミや塵などの異物を挟み込む（噛み込む）ことによって寸法再現性が損なわれる場合があることを見い出した。
【００１５】
即ち、肉眼に見えないような極小さな異物がノズル半体１，２の間に挟み込まれ、このノズル半体１，２同志の重合角度などが極僅かに変化するだけでも、数ｎｍオーダーといった極めて高い膜厚精度を要求されるこの種の装置においては、その影響は大きく、寸法再現性が大きく損なわれてしまうことを見い出した。
【００１６】
そこで本発明者は、このような研究の末見い出した前記問題点に着眼し、薄膜塗布装置の研究を重ねた末、ノズル半体１，２を重合してノズル本体部Ａを組み付ける際に、このノズル半体１，２の間にゴミや塵などの異物が挟み込まれることを防止し、これによって従来にない高い寸法再現性を実現し、この種の薄膜塗布装置における膜厚調整に要する多大な手間と時間とを軽減でき、それだけ作業性や量産性に秀れることとなる画期的な薄膜塗布装置を完成した。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１８】
一対のノズル半体１，２から成るノズル本体部Ａを有し、このノズル本体部Ａは、前記一対のノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａを互いに重合してこの一対のノズル半体１，２間にスリット状の間隙を形成し、このスリット状の間隙をノズル内液通路３として構成すると共にこのノズル内液通路３の先端をスリット状の先端吐出口４として構成し、液供給部から供給された塗工液ａを前記ノズル内液通路３を通じて前記先端吐出口４から吐出してこの塗工液ａを被塗布体５に薄膜状に塗布する薄膜塗布装置において、前記ノズル本体部Ａを構成する一対のノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａは互いに全面密着する面一な平坦面形状とせずに、少なくともいずれか一方の重合面１ａ（２ａ）は、他方の重合面２ａ（１ａ）と密着する密着凸部６と、前記他方の重合面２ａ（１ａ）と密着当接せずにゴミや塵などの異物が入り込む非密着凹面部７とから成る凹凸面形状に形成したことを特徴とする薄膜塗布装置に係るものである。
【００１９】
また、凹凸面形状に形成した前記一方の重合面１ａ（２ａ）は、前記他方の重合面２ａ（１ａ）の一部と面で密着当接する密着凸面部６Ａを複数形成し、この各密着凸面部６Ａを前記密着凸部６として構成すると共に、この各密着凸面部６Ａ間の凹面部を前記非密着凹面部７として構成したことを特徴とする請求項１記載の薄膜塗布装置に係るものである。
【００２０】
また、前記ノズル本体部Ａは、前記一対のノズル半体１，２に夫々連通状態にボルト通孔８を設け、このボルト通孔８に挿通した締付ボルト９Ａにナット９Ｂを螺着固定してこの一対のノズル半体１，２を締め付け固定する構成とし、このボルト通孔８は、凹凸面形状に形成した前記一方の重合面１ａ（２ａ）の前記密着凸面部６Ａを貫通する位置に形成し、このボルト通孔８を形成した密着凸面部６Ａと、これと密着当接する前記他方の重合面２ａ（１ａ）の一部とを、前記締付ボルト９Ａとナット９Ｂにより締め付け固定される締め付け固定面として構成したことを特徴とする請求項２記載の薄膜塗布装置に係るものである。
【００２１】
また、凹凸面形状に形成した前記一方の重合面１ａ（２ａ）には、前記ノズル本体部Ａの幅方向に延設される前記密着凸部６を形成し、この幅方向に延設される密着凸部６は、前記ノズル内液通路３の前記先端吐出口４を形成した側と反対側の後方側を閉塞する液流路閉塞凸部11として構成し、塗工液ａがこのノズル内液通路３の後方側へと流通することをこの液通路閉塞凸部11によって阻止するように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜塗布装置に係るものである。
【００２２】
また、凹凸面形状に形成した前記一方の重合面１ａ（２ａ）は、幅方向に延設される前記液流路閉塞凸部11と、この液流路閉塞凸部11よりも後方側の位置にして前記請求項３記載のボルト通孔８を貫通形成した複数の密着凸面部６Ａと、この複数の各密着凸部６間の前記非密着凹面部７とから成る凹凸面形状に形成したことを特徴とする請求項４記載の薄膜塗布装置に係るものである。
【００２３】
また、凹凸面形状に形成した前記一方の重合面１ａ（２ａ）の前記液流路閉塞凸部11は、前記他方の重合面２ａ（１ａ）の一部と面で密着当接する前記密着凸面部６Ａを幅方向に延設して成る構成とし、前記ノズル本体部Ａは、この一方の重合面１ａ（２ａ）の液流路閉塞凸部11を貫通する位置に、この液流路閉塞凸部11に沿って複数並設状態に前記ボルト通孔８を形成した構成としたことを特徴とする請求項５記載の薄膜塗布装置に係るものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明は上述のように、ノズル本体部を構成する一対のノズル半体の重合面が全面密着する平坦面形状とせずに、少なくともいずれか一方の重合面は他方の重合面と密着する密着凸部と、他方の重合面と密着当接しない非密着凹面部とから成る凹凸面形状に形成したから、この重合する一対のノズル半体の重合面同志の接触面積を低減でき、よってそれだけこの重合面間にゴミや塵などの異物を挟み込む（噛み込む）確率が低くなり、この異物の挟み込みにより膜厚寸法に影響（変化）が生じて再現性が損なわれる従来の問題を防ぐことができる。
【００２５】
また、重合面を互いに平坦面形状で全面密着する構成とした場合、重合歪などが生じないように平坦面全面を高い面精度で面一に加工する高い加工技術を要するが、この点、本発明では少なくともいずれか一方の重合面を凹凸面形状とした為、それだけ加工も容易で、それだけノズル本体部を容易に製造できる。
【００２６】
よって本発明は、ゴミや塵などの異物を挟み込む（噛み込む）ことでノズル本体部の再現性が損なわれる問題を防ぎ、高い再現性を実現し、設計によっては、例えば膜厚調整が為されたノズル本体部を一旦分解し、再びノズル半体同志を重合してノズル本体部を組み付けた際に、多大な手間と時間とを要する膜厚調整を再び行わずに済むような高い再現性も実現可能で、それだけ作業効率や量産性，コスト性に秀れた画期的な薄膜塗布装置となる。
【００２７】
また、請求項２，３記載の発明においては、密着凸部は他方の重合面と面で密着当接する密着凸面部としたから、一対のノズル半体の重合面の接触面積を低減して再現性を高める上記作用効果を発揮しながら、重合密着安定性に秀れることとなり、また特に請求項３記載の発明においては、この密着凸面部が、締付ボルトとナットにより締め付け固定する際の締め代としても機能することとなるから、ノズル半体同志の締め付け固定も良好に行える。
【００２８】
また、請求項４，５，６記載の発明においては、ノズル本体部の幅方向に延設状態に形成した密着凸部（液流路閉塞凸部）により、重合した一対のノズル半体の間隙の後方側を閉塞する機能も発揮するように構成したので、ノズル本体部の後方側への塗工液の漏れ流れをシールする閉塞部材，閉塞構造を別途設ける必要がない。また特に請求項５，６記載の発明においては、複数の密着凸部のうちの前記液流路閉塞凸部以外の密着凸部は、この液流路閉塞凸部よりも後方部位に形成するから、この液流路閉塞凸部によって塗工液との接触が阻止され、よって塗工液が付着することも無く、洗浄が容易で、塗工液の付着汚れが残存してノズル本体部の組み付け時に異物として重合面間に挟み込まれて再現性を損ねるといった問題も阻止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
好適と考える本発明の実施形態（発明をどのように実施するか）を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００３０】
本発明は、液供給部から供給された塗工液ａを、ノズル本体部Ａのノズル内液通路３を通じて先端吐出口４から吐出し、被塗布体５に薄膜状に塗布する薄膜塗布装置である。
【００３１】
ノズル本体部Ａは、一対のノズル半体１，２から成る構成であり、具体的には、この一対のノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａを互いに重合してこの一対のノズル半体１，２間にスリット状の間隙を形成し、このスリット状の間隙をノズル内液通路３として構成すると共に、このノズル内液通路３の先端をスリット状の先端吐出口４として構成している。
【００３２】
このノズル本体部Ａを構成する一対のノズル半体１，２を重合する際、このノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａの間にゴミや塵などの異物を挟み込む（噛み込む）と、塗布作業時に、このノズル本体部Ａの先端吐出口４から吐出する塗工液ａの膜厚寸法が変化してしまう。即ち、ノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａの間に異物が介在し、ノズル半体１，２の例えば重合角度や重合位置に僅かなズレが生ずることで、ノズル本体部Ａの前記先端吐出口４の開口形状に変化を生じ、その結果例えば数ｎｍオーダーといった極めて高い膜厚精度を要求される本装置においては無視できない大きな膜厚の変化が生じてしまう。
【００３３】
しかし本発明においては、この一対のノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａを従来のように互いに全面密着する面一な平坦面形状とせずに、少なくともいずれか一方の重合面１ａ（２ａ）は、他方の重合面２ａ（１ａ）と密着する密着凸部６と、前記他方の重合面２ａ（１ａ）と密着当接せずにゴミや塵などの異物が入り込む非密着凹面部７とから成る凹凸面形状に形成している。
【００３４】
従って、凹凸面形状に形成したこの一方の重合面１ａ（２ａ）の非密着凹面部７は、他方の重合面２ａ（１ａ）と密着重合せず、仮にこの非密着凹面部７に微小なゴミや塵などの異物が入り込んでもノズル半体１，２の重合角度や位置に何ら影響は無い。即ち、たとえ空中に漂う微小なゴミや塵などの異物がこの重合面１ａ，２ａのいずれかに付着したとしても、異物の付着位置がこの非密着凹面部７か若しくはこの非密着凹面部７と対向する他方の重合面２ａ（１ａ）の一部であれば（即ち重合面１ａ，２ａ同志が密着重合しない部位であれば）、付着した異物を双方の重合面１ａ，２ａから押圧状態に挟み込む（噛み込む）ことはないので、隙間膜厚寸法には何ら影響が無い。
【００３５】
つまり本発明は、前記一方の重合面１ａ（２ａ）を凹凸面形状とすることで、一対のノズル半体１，２の互いの重合面１ａ，２ａの接触面積を減らし、これによりゴミや塵などの異物をこの重合面１ａ，２ａ間に挟み込む（噛み込む）確率を低くすることができ、それだけこの異物によって寸法再現性が損なわれる上記問題を防ぐことができ、これまでにない高い寸法再現性を実現できることとなる。
【００３６】
また、平坦面同志を重合させる際、重合歪などが生じ無いように平坦面全面を高い面精度に加工する必要があり、それだけ加工に手間とコストを要するが、この点本発明は、前述のように重合面１ａ，２ａのうちの少なくともいずれか一方を凹凸面形状に形成しており、平坦面に比して面加工が簡易である（少なくとも非密着凹面部７は高い面精度を要さ無い）為、それだけ製造が容易である。
【００３７】
また、例えば後述する実施例のように、凹凸面形状に形成した前記一方の重合面１ａ（２ａ）は、前記他方の重合面２ａ（１ａ）の一部と面で密着当接する密着凸面部６Ａを複数形成し、この各密着凸面部６Ａを前記密着凸部６として構成すると共に、この各密着凸面部６Ａ間の凹面部を前記非密着凹面部７として構成した場合には、重合面１ａ，２ａ同志の接触面積の低減を確実に図りながら、尚且つ一方の重合面１ａ（２ａ）の密着凸面部６Ａと、他方の重合面２ａ（１ａ）とが面で密着当接するのでノズル半体１，２同志の密着安定性にも秀れることとなる。
【００３８】
また例えば、ノズル本体部Ａは、前記一対のノズル半体１，２に夫々連通状態にボルト通孔８を設け、このボルト通孔８に挿通した締付ボルト９Ａにナット９Ｂを螺着固定してこの一対のノズル半体１，２を締め付け固定する構成とし、このボルト通孔８は、凹凸面形状に形成した前記一方の重合面１ａ（２ａ）の前記密着凸面部６Ａを貫通する位置に形成し、このボルト通孔８を形成した密着凸面部６Ａと、これと密着当接する前記他方の重合面２ａ（１ａ）の一部とを、前記締付ボルト９Ａとナット９Ｂにより締め付け固定される締め付け固定面として構成すれば、重合面１ａ，２ａ同志の接触面積の低減を確実に図りながら、尚且つ締付ボルト９Ａとナット９Ｂによる重合面１ａ，２ａ同士の締め付け固定も確実に発揮できることとなる。つまり、密着凸面部６Ａとこれと密着する他方の重合面２ａ（１ａ）の一部とが、前記締付ボルト９Ａとナット９Ｂとの締め代となり、この締付ボルト９Ａとナット９Ｂとの締め付け押圧を良好に発揮できることとなる。
【実施例】
【００３９】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００４０】
本実施例は、一対のノズル半体１，２から成るノズル本体部Ａを有し、このノズル本体部Ａは、前記一対のノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａを互いに重合してこの一対のノズル半体１，２間にスリット状の間隙を形成し、このスリット状の間隙をノズル内液通路３として構成すると共にこのノズル内液通路３の先端をスリット状の先端吐出口４として構成し、液供給部から供給された塗工液ａを前記ノズル内液通路３を通じて前記先端吐出口４から吐出してこの塗工液ａを被塗布体５に薄膜状に塗布する薄膜塗布装置において、前記ノズル本体部Ａを構成する一対のノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａは互いに全面密着する面一な平坦面形状とせずに、少なくともいずれか一方の重合面１ａ（２ａ）は、他方の重合面２ａ（１ａ）と密着する密着凸部６と、前記他方の重合面２ａ（１ａ）と密着当接せずにゴミや塵などの異物が入り込む非密着凹面部７とから成る凹凸面形状に形成したものである。
【００４１】
以下、本実施例を具体的に説明する。
【００４２】
前記ノズル本体部Ａは、前記一対のノズル半体１，２に夫々連通状態にボルト通孔８を設け、このボルト通孔８に挿通した締付ボルト９Ａにナット９Ｂを螺着固定してこの一対のノズル半体１，２を締め付け固定して成る構成である。尚、図示した本実施例においては、上下一対のノズル半体１，２のうち、下側をノズル半体１，上側をノズル半体２とする。
【００４３】
具体的には、図１に図示したように、ノズル本体部Ａの前後複数列（二列）に、このノズル本体部Ａの幅方向に複数（五箇所）並設状態に前記ボルト通孔８を形成する。
【００４４】
また、各ボルト通孔８の上部開口部にして上側のノズル半体２の上面には、前記締付ボルト９Ａのボルト頭部が突き当たり当接する段部を凹設している。
【００４５】
また、前記ナット９Ｂは円環状ではなく矩形環状に形成しており、図示はしていないが前記複数の各ボルト通孔８の下部開口部にして下側のノズル半体１の下面には、前記矩形環状に形成したナット９Ｂが合致嵌合して回り止めされる矩形状の段部を凹設しており、ナット９Ｂをこの矩形状の段部内に回り止めした状態で前記締付ボルト９Ａを良好に締めつけ螺動し得るように構成している。
【００４６】
また、本実施例では、膜厚をｎｍオーダーで調整する膜厚調整機構13を設けている。この膜厚調整機構13は、先端吐出口４の形状を微妙に変形してその開口度合いを予め微調整して、幅方向に膜厚が均一となるように調整するものである。この設定には長時間かかり、一度調整設定したら、できるだけ改めて再調整設定したくない調整機構である。そのため、本実施例は、ノズル内を洗浄するためにノズル半体１，２を分割し、洗浄後再び組み付けても膜厚の均一性に変化が生じず、前記膜厚調整機構13の再調整設定ができるだけ不要となるように構成している。
【００４７】
更に説明すると、本実施例では、上側のノズル半体２の先端（先端吐出口４の上部位置の幅方向に前方に開口した調整用溝13Ｃを形成し、この上部）に、幅方向に複数設けた調整螺子13Ａを設け、この調整螺子13Ａの螺動調整により、幅方向の膜厚がナノオーダーで均一となるように調整する膜厚調整機構13としている。具体的には、各調整螺子13Ａを螺合する雌螺子が内周面に刻設された螺子孔13Ｂを前記調整用溝13Ｃの上部に貫通形成し、この各螺子孔13Ｂに各調整螺子13Ａを螺着しその先端が前記調整用機構13Ｃを貫通し更にこの調整用溝13Ｃの下部（底部）に設けた螺子孔13Ｂにも螺合し、例えばこの調整用溝13Ｃの上下の螺子孔13Ｂのピッチを変えることで、前記各調整螺子13Ａの進退螺動操作によって前記上側のノズル半体２の先端部位の調整用溝13Ｃの下部を上下に微小に撓み変形調整せしめ、これによりノズル本体部Ａの先端吐出口４の開口形状を変形調整し、先端吐出口４から吐出する塗工液ａの幅方向での膜厚調整を行って均一となるように構成している。
【００４８】
また、本実施例では、このノズル本体部Ａを構成する上下一対のノズル半体１，２は、互いに対向する対向面部のうちの先端側（前方側）領域を、間隙をおいて互いに対向する離間対向面部として、この離間対向面部間の間隙をこのノズル本体部Ａの前記ノズル内液通路３として構成しており、一方この先端側と反対の側，つまり後方側は、互いに重合する重合面１ａ，２ａとして構成している。
【００４９】
このノズル本体部Ａの前記ノズル内液通路３の形成下面に相当する下側のノズル半体１の対向面部には、図１，図３及び図４に図示したように幅方向に延設状態にマニホールド10を凹設すると共に、このマニホールド10と前記ノズル本体部Ａの後端部に接続される液供給部と連通するノズル内液供給路14を設けた構成とする。
【００５０】
本実施例では、上下一対のノズル半体１，２のうち下側のノズル半体１の重合面１ａを前記密着凸部６と非密着凹面部７とから成る凹凸面形状に形成している。（上側のノズル半体２の重合面２ａを凹凸面形状に形成しても良いし、一対のノズル半体１，２の双方の重合面１ａ，２ａを凹凸面形状に形成しても良い。）。
【００５１】
また、この下側のノズル半体１の重合面１ａに形成した複数の各密着凸部６は、例えば上側のノズル半体２の重合面２ａの一部と点で密着当接するする先端突鋭形状に形成しても良いが、本実施例においては、この上側の重合面２ａの一部と面で密着当接する密着凸面部６Ａとして構成し、この複数の各密着凸面部６Ａ間の凹面部を前記非密着凹面部７として構成している。即ち、例えば複数の各密着凸部６を前記上側のノズル半体２の重合面２ａと点で密着当接する先端突鋭形状に形成した場合に比して、面と面との密着当接なので重合安定性に秀れる。また、上側のノズル半体２の重合面２ａを先端突鋭形状の密着凸部６で変形させたり、或いはこの先端突鋭形状の密着凸部６が変形したりするトラブルも防止できる。
【００５２】
更に、前記ノズル本体Ａのボルト通孔８は、凹凸面形状に形成した前記一方の重合面１ａ（２ａ）の前記密着凸面部６Ａを貫通する位置に形成し、このボルト通孔８を形成した密着凸面部６Ａと、これと密着当接する前記他方の重合面２ａ（１ａ）の一部とを、前記締付ボルト９Ａとナット９Ｂにより締め付け固定される締め付け固定面として構成している。
【００５３】
即ち、密着凸面部６Ａとこれと密着する他方の重合面２ａ（１ａ）の一部とが、前記締付ボルト９Ａとナット９Ｂとの締め代となり、この締付ボルト９Ａとナット９Ｂとの締め付け押圧を良好に発揮できる。
【００５４】
また、図１に図示したように、下側のノズル半体１の重合面１ａ（２ａ）は、前記ノズル本体部Ａの幅方向に延設される前記密着凸部６を形成し、この幅方向に延設される密着凸部６は、前記ノズル内液通路３の後方側を閉塞する液流路閉塞凸部11として構成し（図３参照）、これにより塗工液ａがこのノズル内液通路３の後方側へと流通することをこの液通路閉塞凸部11によって阻止するように構成している。
【００５５】
また、この液通路閉塞凸部11は、図１及び図４に図示したように、上側の重合面２ａと面で密着当接する凸面形状としている。そして図４に図示したように、ノズル本体部Ａの前後二列のうちの前列にして幅方向に五箇所に並設状態に形成する前記ボルト通孔８は、この液通路閉塞凸部11を貫通する位置に形成する。
【００５６】
そして、ノズル本体部Ａの前後二列のうちの後列にして幅方向に五箇所に並設状態に形成する前記ボルト通孔８は、前記液通路閉塞凸部11よりも後方側の位置に夫々独立して個々に形成した複数の各密着凸面部６Ａに貫通する位置に形成する。
【００５７】
即ち、下側のノズル半体１の重合面１ａは、この幅方向に延設状態に形成した液通路閉塞凸部11としての密着凸面部６Ａと、この液通路閉塞凸部11よりも後方側部位にして前記ボルト通孔８が貫通することで円環状に形成された互いに独立する複数の各密着凸面部６Ａとを密着凸部６とし、これ以外の部位を前記上側のノズル半体２の重合面２ａと密着当接しない非密着凹面部７として凹凸面形状に形成した構成である。
【００５８】
即ち、凹凸面形状に形成する下側のノズル半体１の重合面１ａのうち、前記ボルト通孔８が貫通する部位には、上述のように締付ボルト９Ａとナット９Ｂとの締め代としての密着凸面部６Ａを設けるが、その余の箇所は前記上側のノズル半体２の重合面２ａとの接触面積を低減できるように非密着凹面部７として形成することが望ましい。
【００５９】
例えば、液通路閉塞凸部11も、その後方部位に形成する円環状の各密着凸面部６Ａと同様に幅方向に連続しない独立した形状とすれば、それだけ更に重合面１ａ，２ａの接触面積を減らすことができるが、その場合にはノズル内液通路３に供給された塗工液ａがノズル本体部Ａの後方へと流れてノズル本体部Ａの後端部から漏れ流れることを阻止する為に何らかの閉塞部材，閉塞構造（シール構造）を設ける必要があり煩わしい。この点、本実施例では、前記液通路閉塞凸部11が締付ボルト９Ａとナット９Ｂとの締め代としての機能と閉塞構造としての機能の双方を発揮するから、別途閉塞部材や閉塞構造を設ける必要が無い。
【００６０】
尚、液通路閉塞凸部11の後方部位に形成する前記複数の円環状の各密着凸面部６Ａの形成位置は、少なくともこの液通路閉塞凸部11とノズル本体部Ａの後方端部との丁度中間位置よりもノズル本体部Ａの後方端部寄り位置に設定する。
【００６１】
これにより、液通路閉塞凸部11と、その後方部位に形成する前記複数の密着凸面部６Ａとを離間でき、それだけノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａ同志の重合安定性が増すと共に、ノズル半体１，２の重合面１ａ，２ａを重合した際の高い水平精度も出し易い。
【００６２】
また、図中，符号15は、ノズル本体部Ａの幅方向両側を閉塞する側部閉塞部材15であり、図示したようにノズル本体部Ａの幅方向量側に螺着ボルト15Ａによって取り付け固定するものである。
【００６３】
尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本実施例に係る薄膜塗布装置のノズル本体部の説明分解斜視図である。
【図２】本実施例に係る薄膜塗布装置の要部説明分割斜視図である。
【図３】本実施例に係る薄膜塗布装置の説明側断面図である。
【図４】本実施例に係る薄膜塗布装置の説明側断面図である。
【図５】従来例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  ノズル半体
１ａ  重合面
２  ノズル半体
２ａ  重合面
３  ノズル内液通路
４  先端吐出口
５  被塗布体
６  密着凸部
６Ａ  密着凸面部
７  非密着凹面部
８  ボルト通孔
９Ａ  締付ボルト
９Ｂ  ナット
11  液流路閉塞凸部
Ａ  ノズル本体部
ａ  塗工液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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