(57)【要約】      （修正有）【課題】ロボットコンポーネントのキャリブレーションを実施する方法及びシステムを開示する。【解決手段】一実施形態において、ロボットキャリブレーションを実施する方法には、ターゲットに対して位置合わせされたロボットブレードの中心を手動でキャリブレーションすることが含まれる。この方法には、更に、カメラに対して位置合わせされたロボットブレードの中心の第１の位置の値を記録することが含まれる。この方法には、更に、カメラに対して位置合わせされたロボットブレードの中心の第２の位置の値を自動で求めることが含まれる。この方法には、更に、第１の位置の値からの許容値オフセットを超える第２の位置の値と第１の位置の値の間のオフセットに基づいて、ロボットブレードを自動でリキャリブレーションすることが含まれる。【選択図】図１
2009107107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットをリキャリブレーションする方法であって、
ターゲットに対して位置合わせされたロボットブレードの中心を手動でキャリブレーションする工程と、
カメラステーションに対して位置合わせされた前記ロボットブレードの前記中心の第１の位置の値を記録する工程と、
前記カメラステーションに対して位置合わせされた前記ロボットブレードの前記中心の第２の位置の値を自動で求める工程と、
前記第１の位置の値からの許容値オフセットを超える前記第２の位置の値と前記第１の位置の値の間のオフセットに基づいて、前記ロボットブレードを自動でリキャリブレーションする工程とを含む方法。
【請求項２】
前記カメラステーションに対して位置合わせされた前記ロボットブレードの前記中心の第３の位置の値を自動で求める工程と、
前記第１の位置の値からの許容値オフセットを超える前記第３の位置の値と第１の位置の値の間のオフセットに基づいて、前記ロボットブレードを自動でリキャリブレーションする工程とを含む請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記ターゲットが、プロセスチャンバに配置された静電ウェハチャックである請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記ロボットブレードのリキャリブレーション中、前記プロセスチャンバの蓋が閉じている請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記ロボットブレードのリキャリブレーション中、プロセスチャンバの蓋が閉じている請求項２記載の方法。
【請求項６】
前記ロボットブレードの前記中心の前記第２の位置の値を自動で求める工程が、
前記ロボットを訓練して、前記ロボットブレードの前記中心を、前記カメラステーションと位置合わせする工程を含む請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記ロボットブレードの前記中心の前記第２の位置の値を自動で求める工程が、
前記カメラステーションに対して位置合わせされた前記ロボットブレードの前記中心の画像をキャプチャする工程と、
前記画像を処理ユニットに送信して、前記ロボットブレードの前記中心の前記第２の位置の値を自動で求める工程とを含む請求項６記載の方法。
【請求項８】
製造装置であって、
複数のプロセスチャンバと、
搬送チャンバであって、前記搬送チャンバと前記処理チャンバの間でデバイスを搬送するロボットを有する搬送チャンバと、
前記ロボットの操作を制御する処理ユニットとを含み、前記ロボットが、蓋の開いた処理チャンバに対して手動でキャリブレーションされた後、前記ロボットが、前記蓋の閉じた処理チャンバに対して自動でリキャリブレーションされる製造装置。
【請求項９】
前記処理ユニットが、カメラステーションに対して位置合わせされた前記ロボットブレードの前記中心の第１の位置の値を記録する請求項８記載の装置。
【請求項１０】
前記第１の位置の値からの許容値オフセットを超える第２の位置の値と前記第１の位置の値の間のオフセットに基づいて、前記カメラステーションに対して位置合わせされた前記ロボットブレードの前記中心の前記第２の位置の値を自動で求めることにより、前記処理ユニットが、ロボットを自動でリキャリブレーションする請求項９記載の装置。
【請求項１１】
前記第１の位置の値からの許容値オフセットを超える第３の位置の値と前記第１の位置の値の間のオフセットに基づいて、前記カメラステーションに対して位置合わせされた前記ロボットブレードの前記中心の前記第３の位置の値を記録することにより、前記処理ユニットが、続いて、ロボットを自動でリキャリブレーションする請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
前記ターゲットが、プロセスチャンバに配置された静電ウェハチャックである請求項８記載の装置。
【請求項１３】
前記ロボットの前記第１、第２及び第３の位置の値を、前記搬送チャンバに記録するために前記搬送チャンバの内側を見られるよう、前記カメラステーションが前記搬送チャンバに結合されている請求項１１記載の装置。
【請求項１４】
前記ロボットが、前記ロードステーションと搬送チャンバの間でウェハを搬送できるよう、前記搬送チャンバに結合したロードステーションを含み、前記ロードステーションにおいて、前記ロボットの前記第１、第２及び第３の位置の値を記録するために前記ロードステーションの内側を見られるよう、前記カメラステーションが前記ロードステーションに結合されている請求項１１記載の装置。
【請求項１５】
前記搬送チャンバと処理チャンバの間にチャンバポートを含み、前記チャンバポートにおいて、前記ロボットの前記第１、第２及び第３の位置の値を記録するために前記チャンバポートの内側を見られるよう、前記カメラステーションが、前記チャンバポートに結合されている請求項１１記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
本出願は、２００７年８月３０日に、「カメラによるロボットキャリブレーションのための方法及び装置」の名称で出願された米国特許仮出願第６０／９６９，１２４号に基づく優先権の利益を主張し、この出願は引用により本明細書に組込まれる。
【技術分野】
【０００２】
本発明の実施形態はロボットキャリブレーションに関し、特に、ロボットキャリブレーションにカメラを用いることに関する。
【背景】
【０００３】
多くの産業で、多数のセンサ、コントロール及びロボットコンポーネントを含む精密な製造設備が用いられており、これらは夫々、製品品質を確保するよう、処理中慎重にモニターされる。ロボットシステムの機構のプリセット位置を正確に定義して、システムが適切に機能するようにするため、ロボットコンポーネントにはキャリブレーションが必要である。ロボットの機械的機構をキャリブレーションすることによって、対象物の適正なハンドオフが、ロボットと製造設備コンポーネント（例えば、ローディングステーション、外部チャンバ、プロセスチャンバ）間に確立される。ロボットキャリブレーションは、様々な理由で必要である。例えば、初期設置後、コンポーネント修理後、予防保守、製造設備の再始動又はリキャリブレーション、ロボットの絶対的な位置決めを変更する時等である。
【０００４】
ある製造設備（例えば、半導体製造設備、自動車製造設備）については、キャリブレーションを実施するのに必要な時間にわたって、設備を完全にシャットダウンすることは費用と時間がかかることである。キャリブレーションを実施する従来の方法では、通常、設備の完全又は部分的なシャットダウンが必要とされる。例えば、半導体処理設備のロボットコンポーネントのキャリブレーションは、通常の製造操作から設備をオフラインにすることにより、通常、実施される。処理チャンバに出し入れするのにウェハを搬送するために、キャリブレーションの必要なロボットには、処理チャンバをオフラインとする（例えば、プロセスガスを除去する、圧力、電圧、磁場等を変更する）必要があり、処理チャンバを開けて、キャリブレーションを手動で実施する。典型的に、保守人員は、処理チャンバのコンポーネントにピンやジグを位置合わせして、ロボット取扱システムと処理チャンバの間でキャリブレーションを手動で実施する。キャリブレーションが完了した後、ピンやジグを物理的に取り外して、処理チャンバの蓋を閉める。製造人員は、チャンバをオンラインにする前に、処理チャンバの適性検査を実施する。
【０００５】
その他以前のやり方では、ロボットが、ディスクを様々なタイプの製造設備へロード及びアンロードできるよう、ウェハと同様のディスク形を用いて、製造設備をオフラインにする時間とコストを最小なものにしようとしてきた。しかしながら、このディスクでは、ロボットと様々なタイプの製造設備の間でキャリブレーションを実施するためのカメラ技術が必要である。カメラを使う場合は、製造設備で使われる様々なタイプのターゲットに位置合わせするよう示さなければならず、ロボットキャリブレーションを実施するための時間、コスト、エンジニアリング及び／又は保守リソースに関して、更に複雑で高価なものとなっている。
【詳細な説明】
【０００６】
本明細書に記載されているのは、ロボットコンポーネントでキャリブレーションを実施する方法及びシステムである。一実施形態において、ロボットのキャリブレーションを実施する方法には、ターゲットに対して位置合わせされたロボットブレードの中心を手動でキャリブレーションすることが含まれる。本方法には、更に、カメラに対して位置合わせされたロボットブレードの中心の第１の位置の値を記録することが更に含まれる。本方法には、更に、カメラに対して位置合わせされたロボットブレードの中心の第２の位置の値を自動で求めることが含まれる。本方法には、更に、第１の位置の値からの許容値オフセットを超える第２の位置の値と第１の位置の値の間のオフセットに基づいて、ロボットブレードを自動でキャリブレーションすることが含まれる。一実施形態において、ロボットブレードのリキャリブレーションは、蓋の閉じたプロセスチャンバに対して求められる。
【０００７】
前述した従来のやり方とは対照的に、リキャリブレーションプロセス中、プロセスチャンバを開けることは避けられ、パーティクルがプロセスチャンバに入らないようになる。プロセスチャンバを開けて手動によるキャリブレーションが必要な従来のやり方に比べて、装置のダウンタイム及びリキャリブレーションプロセス中の労働時間が大幅に削減される。一実施形態において、カメラ位置は、プロセスチャンバの外側に固定され、異なるプロセスパラメータ（例えば、温度、プロセス、ガス、圧力）を有する様々なタイプの製造装置について同じリキャリブレーションプロセスが可能となる。更に、リキャリブレーションプロセス中、ロボットの位置は、キャリブレーションプロセス中と同じ精度が確保される。ロボットブレードの同じ中心をリキャリブレーションで用いるからである。
【０００８】
以下の説明は、製造装置で実施されるプロセスをモニターするプロセスシステムの詳細である。一実施形態において、プロセスシステムは、電子装置（例えば、半導体、基板、液晶ディスプレイ）の製造に用いられる。かかる装置の製造には、通常、異なるタイプの製造プロセスを伴う多数の製造工程が必要である。例えば、エッチング、スパッタリング及び化学蒸着が、３つの異なるタイプのプロセスであり、夫々が、同じ装置、或いは、異なるタイプの装置で実施される。
【０００９】
図１に、搬送チャンバに配置されたカメラを備えた製造装置の一実施形態を示す。製造装置又はプロセスシステム１００は、システムコントローラ１６０及びロボットコントローラ１７０を有するファクトリーインターフェース１００を有する。システムコントローラ１６０は、製造装置１００の操作を制御する処理ユニット１６２、ソフトウェア１６４及びメモリ１６６を含む。ロボットコントローラ１７０は、ロボット１２０の操作を制御する処理ユニット１７２、ソフトウェア１７４及びメモリ１７６を含む。
【００１０】
一実施形態において、製造装置（例えば、クラスターツール）１００は、カメラステーション１５２を有するロードロックステーション１５０、カメラステーション１５６を有するロードロックステーション１５４、搬送チャンバ１１４、プロセスチャンバ１４０及びチャンバポート１４２、１４４、１４６及び１４８を含む。チャンバポート１４２は、搬送チャンバ１１４とプロセスチャンバ１４０をインターフェースさせる。残りのチャンバポートは、ある実施形態において、搬送チャンバ１１４と他のプロセスチャンバ（図示せず）をインターフェースさせることができる。
【００１１】
搬送チャンバ１１４に、ロボット１２０とロボットブレード１２２がある。ロボット１２０は、ロードロックステーション１５０及び１５４と、プロセスチャンバ１４０及び／又はその他プロセスチャンバの間でデバイス（例えば、ウェハ、基板、レチクル）を搬送する。ロボット１２０は、予防保守（例えば、ロボット、プロセスチャンバ）、製造設備１００の再始動、製造設備１００の様々なコンポーネントの交換及びシステム故障（例えば、破損デバイス）をはじめとする様々な理由のためにキャリブレーションする必要がある。製品の性能を損なうことなく、製品をより早く発送する製造のために、これらのキャリブレーションは、適時に且つ正確に行う必要がある。
【００１２】
一実施形態において、ロボット１２０は、ターゲット１４１に対して、ロボットブレード１２２の中心１２４を位置合わせすることにより手動でキャリブレーションされる。ターゲット１４１が、プロセスチャンバに配置されている場合には、保守人員はチャンバをパージし、チャンバを開き、ピン又は識別ターゲットをチャンバに配置し、ロボットブレードの中心をターゲットと位置合わせする。プロセスチャンバを閉じ、処理状態に戻る。次に、ロボットブレード１２２の中心１２４を、ロードロックステーション、チャンバポート及び／又は搬送チャンバ１１４に取り付けられたカメラステーションに対して位置合わせすることにより、ロボットブレード１２２の中心１２４の第１の位置の値を記録する。ロボット１２０についての位置の値又は座標、例えば、（ｘ、ｙ）座標値又は（半径、シータ）値を記録する。シータは、ロボット１２０の虚ｚ軸周囲の度で測定される。
【００１３】
ロボットが、上述した通り、リキャブレーションを必要とする、又はその予定の場合には、リキャブレーションは、搬送チャンバ１１４又はプロセスチャンバ１４０を開けずに自動で行うことができる。予め、ロボットブレード１２２に位置合わせした同じカメラステーションに対して、ロボットブレード１２２の中心を自動で位置合わせすることにより、ロボットブレード１２２の中心１２４の第２の位置の値は求められる。言い換えると、ロボットを訓練して、カメラステーションと位置合わせされた第１の位置の値に戻す。カメラステーションは、カメラステーションの中心と位置合わせされたロボットブレードの中心の画像をキャプチャする。この画像は、ワイヤ又はワイヤレスリンクを介して、処理１６２又は１７２等の処理ユニットに送信される。処理ユニット１６２又は１７２は、画像処理ソフトウェアを実行して、ロボットブレードの中心の第２の位置の値と、第１と第２の位置の値間のオフセットを求める。
【００１４】
カメラシステムからの画像は、システムコントローラ１６０と互換性がなければならず、システムコントローラ１６０にリンクされたモニターで動的に見ることができる。オフセット値を与える画像処理ソフトウェアも、システムコントローラ１６０と互換性がなければならない。オフセット値は、ロボットに教えるのに直接用いることができる。
【００１５】
ロボットブレード１２２は、第１の位置の値からの許容値オフセットを超える第２の位置の値と第１の位置の値の間のオフセットに基づいてリキャリブレーションすることができる。第１と第２の位置の値が、ロボットブレード１２２の安全運転を可能とする所定の許容値オフセットを超えた場合、ロボットブレード１２２をリキャブレーションする必要がある。
【００１６】
上述したリキャブレーションは、従来のやり方とは対照的に、蓋を閉じたプロセスチャンバに対してなされる。リキャブレーション手順は、処理チャンバ外に配置されたカメラステーションに対してなされる。カメラステーションは、図１及び２に示す通り、搬送チャンバ１１４、チャンバポート１４２、１４４、１４６、１４８又はロードロックステーション１５０及び１５４に配置されている。カメラステーションは、搬送チャンバ、チャンバポート及び／又はロードステーションの内側を見て、カメラステーションに対するロボットブレード１２２の位置の値を記録する。
【００１７】
処理チャンバは、実際のオンライン処理条件に匹敵する同様のレベルの処理ガス、温度、磁場及び圧力を含んでいてよい。一実施形態において、処理チャンバは、ロボットブレード１２２のリキャブレーション中、製造プロセスを実施する。リキャブレーションは、単純で、費用効率が高く、保守時間が少なくて済み、その結果、製造装置１００のダウンタイムが短くなる。
【００１８】
一実施形態において、製造装置１００は、エッチャー、化学蒸着（ＣＶＤ）炉、フォトリソグラフィーデバイス、インプランター等の電子デバイス製造用装置である。或いは、製造装置１００は、他の製品（例えば、自動車）を製造するものであってもよい。一実施形態において、製造装置１００は、単体のタイプである。或いは、製造装置１００は、夫々が異なるプロセスを実行する多数の異なるタイプの設備を含んでいてもよい。
【００１９】
図２に、様々なカメラ位置での製造装置の一実施形態を示す。製造装置又はプロセスシステム２００は、システムコントローラ２８０とロボットコントローラ２８２を有するファクトリーインターフェース２７０、ロードステーション２１０及び２３０、搬送チャンバ２１４、並びに、プロセスチャンバとインターフェースさせることのできるチャンバポート２４６、２４８、２５０及び２５２（図示せず）を含む。搬送チャンバ２１４は、ロボット２２０と、中心２２４を有するロボットブレード２２２とを含む。
【００２０】
図１で上述したキャリブレーションとリキャブレーションは、図２についても同様のやり方でなされる。しかしながら、図１における、ロードロックステーション１５０及び１５４の上部に夫々配置されたカメラ１５２及び１５６は、図２においては、チャンバポート２４８及び２５０の上部に位置するカメラ２６０及び２６２に置き換わっている。更に、カメラ２７２及び２７０は、搬送チャンバ２１４に結合されている。一実施形態において、キャリブレーション及びリキャブレーション手順は、１つ以上のカメラ２６０、２６２、２７０及び２７２に対して自動でなされる。追加のカメラを、プロセスチャンバ方向に並べて搬送チャンバ２１４上に装着して、ロボット繰り返し性を改善し、ロボット２２０とプロセスチャンバに配置されたターゲットの間での位置合わせのために、位置の誤差を減じることができる。
【００２１】
図３に、カメラステーションと位置合わせされたロボットブレードの一実施形態を示す。ロボットブレード３１０は、カメラステーションの中心３４０と位置合わせすることのできる中心穴３１２を含む。カメラステーションは、半導体製造用のクリーンルームと適合する必要がある。カメラステーションは、ある距離から、中心穴３１２の直径をキャプチャできる必要がある。例えば、ある距離は、直径０．１２７インチの中心穴３１２だと、２〜６インチである。一実施形態において、カメラステーションは、中心穴３１２を透明な窓ガラスを通して見て、オートフォーカス及び照明システムによって、様々な照明条件で画像をキャプチャする必要がある。カメラステーションの形状及びサイズはコンパクトなものとし、図１及び２に示すようなチャンバポート、ロードロック又は搬送チャンバに適合するようにする。一実施形態において、カメラステーションは、チャンバポート、ロードロック又は搬送チャンバの固定位置に配置されている。一実施形態において、カメラステーションは、＋／−０．００２インチの精度のオフセット値を提供する画像をキャプチャする。
【００２２】
前述した通り、ロボットが、リキャブレーションを必要とする、又はその予定の場合には、搬送チャンバ又はプロセスチャンバを開くことなく、リキャブレーションは自動的になされる。まず、カメラ中心３４０に対して位置合わせされた中心穴３１２でキャリブレーションがなされ、この位置が記録される。次に、リキャブレーションが自動的になされ、ロボットは、カメラステーションと位置合わせされた前の位置に戻るよう訓練されている。この時、カメラステーションは、ロボット中心穴３３０とカメラ中心３４０を有する画像３２０をキャプチャする。この画像は、ワイヤ又はワイヤレスリンクを介して、処理ユニットに送信され、画像処理ソフトウェアを実行して、中心穴３３０とカメラ中心３４０の間のｘｙ座標のようなオフセットを求める。
【００２３】
ロボットブレードは、カメラ中心３４０から許容値オフセットを超えるこのオフセットに基づいてリキャブレーションすることができる。このオフセットが、ロボットブレード３１０の安全操作を可能とする所定の許容値オフセットを超えた場合、ロボットブレード３１０をリキャブレーションする必要がある。
【００２４】
図４は、ロボットキャリブレーションを行う方法の一実施形態のフロー図である。一実施形態において、ロボットキャリブレーションを実施する方法には、ブロック４０２で、ターゲットに対して位置合わせされたロボットブレードの中心をキャリブレーションすることが含まれる。本方法には、更に、ブロック４０４で、カメラに対して位置合わせされたロボットブレードの中心の第１の位置の値を記録することが含まれる。本方法には、更に、ブロック４０６で、カメラに対して位置合わせされたロボットブレードの中心の第２の位置の値を自動で求めることが含まれる。本方法は、更に、ブロック４０８で、第１の位置の値からの許容値オフセットを超える第２の位置の値と第１の位置の値の間のオフセットに基づいて、ロボットブレードを自動でリキャリブレーションすることが含まれる。
【００２５】
第１のリキャブレーションが、許容値オフセットを超えるオフセットとなった場合には、リキャブレーションプロセスを繰り返す。この場合、ロボットブレードの中心の第３の位置の値は、カメラに対して位置合わせされた中心により自動で求められる。ロボットブレードは、ブロック４１２で、第１の位置の値からの許容値オフセットを超える第３の位置の値と第１の位置の値の間のオフセットに基づいてリキャリブレーションされる。
【００２６】
図５は、ロボットキャリブレーションを行う方法の一実施形態の詳細なフロー図である。一実施形態において、ロボットキャリブレーションを行う方法には、ブロック５０２で、搬送チャンバ又はロードロックステーションのスリットバルブを基準にして、ロボットブレードを水平にすることが含まれる。本方法には、更に、ブロック５０４で、ホーム参照位置でロボットブレードを設定することが含まれる。一実施形態において、ホーム位置は、ロボット内部のセンサを用いて繰り返し得られる出発位置として定義される。格納式ホームセンサを、ロボットの内側シャフトに装着することができる。これらのセンサは、ロボットのブレードに付随したロボットフラグが、搬送チャンバ内側にある時にセンシングする光学センサであり、ロボットとブレードが安全に回転する。ホーム位置は各ロボットに固有のものである。本方法には、ブロック５０６で、ゼロ参照点（例えば、ゼロ位置）を設定することが含まれる。一実施形態において、ゼロ位置（例えば、搬送チャンバに対するロボットブレードのゼロ位置）は、その他全ての参照点により参照される参照点である。
【００２７】
ロボットゼロキャリブレーションについては、バッファに適合するパイ形ピース又は搬送チャンバを用いてよい。パイは、位置合わせマーカー（例えば、ピン）を有する搬送チャンバに対してその正しい位置に挿入される。ロボットモータに最も近いパイの部分が、左右方向に動く場合は、パイをキャリブレーションする。或いは、ロボットのゼロ位置キャリブレーションのためにカメラステーションを用いてもよい。例えば、ロボットブレードの中心穴を、搬送チャンバに取り付けられたカメラステーションの中心に対して位置合わせすることができる。
【００２８】
本方法には、ブロック５０８で、ロボットブレードの中心を、ターゲットの中心に対して位置合わせすることが含まれる。ロボットは、ターゲットに対して位置合わせされたロボットブレードの中心の第１の位置の値（例えば、（ｘ，ｙ）座標又は（Ｒ、シータ）座標）を記録することによりキャリブレーションされる。一実施形態において、ターゲットは、処理チャンバに配置されたウェハチャックである。本方法には更に、ブロック５１０で、ロボットブレードの中心を、カメラステーションの中心に対して配置することが含まれる。カメラステーションの中心に対して位置合わせされたロボットブレードの中心の第１の位置の値が、ブロック５１０で記録される。ブロック５０２、５０４、５０６、５０８及び５１０の操作は、初期設定及び／又はツール起動時のキャリブレーションに使われる。続いて、ロボットには、操作５１２、５１４、５１６、５１８、５２０及び５２２で、後述するリキャリブレーションプロセスが必要である。
【００２９】
本方法には更に、ブロック５１０でのカメラ中心に対する前の位置合わせに基づいて、ブロック５１２で、ロボットブレードの中心を、カメラステーションの中心（カメラ中心）に、位置合わせするようロボットに教えることが含まれる。本方法には更に、ブロック５１４で、カメラ中心に対して位置合わせされたロボットブレードの中心の画像をキャプチャし、この画像を、ワイヤ又はワイヤレスリンクを介して、システムツール（例えば、システムコントローラ１６０）と通信させることが含まれる。本方法には更に、ブロック５１６で、この画像を、画像処理ソフトウェアにより処理して、カメラ中心と、カメラステーションと位置合わせされたロボットブレードの中心の間のオフセット値を提供することを含む。画像処理ソフトウェアは、システムツールに配置された処理ユニットにより実行される。一実施形態において、画像処理ソフトウェアは、画像からのオフセット値を直接計算する。他の実施形態において、画像処理ソフトウェアは、ロボットブレードの中心の第２の位置の値を求めてから、第２の位置の値と第１の位置の値（カメラ中心）の間のオフセットを求める。
【００３０】
本方法は更に、ブロック５１８で、オフセットが所定の限界内かどうか求めることを含む。所定の限界は、安全とロボットの適正な操作のために、ロボットブレードの中心とカメラ中心の間の最大オフセットを設定するものである。本方法には更に、ブロック５１８で、計算したオフセットが、所定の限界内にある場合には、ブロック５２０で、リキャリブレーションを終了する。そうでない場合には、ロボットは、ロボット位置を補正することにより、ブロック５２２で、リキャリブレーションされる。この場合は、リキャリブレーションプロセスは、ブロック５１２での開始から繰り返される。
【００３１】
図６に、装置に、ここで述べた手順の１つ以上を実施させるための一組の命令が実行されるコンピュータシステム６００の例証の形態にある装置の図を示す。変形実施形態において、装置は、ＬＡＮ、イントラネット、エクストラネット又はインターネットで、他の装置に接続（例えば、ネットワーク接続）されていてもよい。装置は、クライアント−サーバーネットワーク環境においては、サーバー又はクライアント装置の容量内で、或いは、ピア・トゥ・ピア（又は分散）ネットワーク環境においては、ピア装置として操作される。装置は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、タブレットＰＣ、セットトップボックス（ＳＴＢ）、パーソナルデジタルアシスタント（ＰＤＡ）、携帯電話、ウェブアプライアンス、サーバー、ネットワークルーター、スイッチ又はブリッジ、或いは、その装置により採られる動作を指定する一組の命令を（順次又はその他）実行できる装置である。更に、１つの装置のみが図示されているが、「装置」という用語には又、一組（又は複数組）の命令を別個又は結合して実行して、ここで述べた手順の１つ以上を実行する装置の集合も含まれるものとする。
【００３２】
例示のコンピュータシステム６００は、処理装置（プロセッサ）６０２、メインメモリ６０４（例えば、リード・オンリーメモリ（ＲＯＭ））、フラッシュメモリ、ダイナミックランダムアクセスメモリ（ＤＲＡＭ）、例えば、同期ＤＲＡＭ（ＳＤＲＡＭ）又はランバスＤＲＡＭ（ＲＤＲＡＭ）等）、スタティックメモリ６０６（例えば、フラッシュメモリ、スタティックランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）等）及び互いにバス６３０を介して通信するデータ記憶デバイス６１８が含まれる。
【００３３】
プロセッサ６０２は、マイクロプロセッサ、中央処理ユニット等といった１つ以上の汎用処理デバイスを表す。より具体的には、プロセッサ６０２は、複合命令セットコンピューティング（ＣＩＳＣ）マイクロプロセッサ、縮小命令セットコンピューティング（ＲＩＳＣ）マイクロプロセッサ、超長命令語（ＶＬＩＷ）マイクロプロセッサ、他の命令セットを実行するプロセッサ又は命令セットの組み合わせを実行するプロセッサである。プロセッサ６０２は又、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、ネットワークプロセッサ等のような１つ以上の専用処理デバイスであってもよい。プロセッサ６０２は、処理論理６２６を実行して、ここに述べた、操作とステップを実行するように構成されている。
【００３４】
コンピュータシステム６００は更に、ネットワークインターフェースデバイス６０８を含んでいてもよい。コンピュータシステム６００はまた、ビデオディスプレイユニット６１０（例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や陰極線管（ＣＲＴ））、英数字入力デバイス６１２（例えば、キーボード）、カーソル制御デバイス６１４（例えば、マウス）及び信号生成デバイス６１６（例えば、スピーカー）を含んでいてもよい。
【００３５】
データ記憶装置６１８は、装置アクセス可能な記憶媒体６３１を含み、これに、ここで述べた手順又は機能の１つ以上を実行する１つ以上の組の命令（例えば、ソフトウェア６２２）がストアされる。ソフトウェア６２２はまた、メインメモリ６０４内且つ／又はプロセッサ６０２内に、コンピュータシステム６００、メインメモリ６０４及びプロセッサ６０２によるその実行中、完全に、又は少なくとも部分的に存在していてもよく、装置アクセス可能な記憶媒体も構成する。ソフトウェア６２２は更に、ネットワークインターフェースデバイス６０８を介して、ネットワーク６２０で送受信される。
【００３６】
装置アクセス可能な記憶媒体６３１を用いて、ユーザー識別状態及びユーザープロフィールを定義するユーザーの好みを定義するデータ構造セットをストアしてもよい。データ構造セット及びユーザープロフィールはまた、スタティックメモリ６０６のようなコンピュータシステム６００の他のセクションにストアされてもよい。
【００３７】
装置アクセス可能な記憶媒体６３１を、例示の実施形態においては、単一媒体として示したが、「装置アクセス可能な記憶媒体」という用語は、１つ以上の組の命令をストアする単一の媒体又は複数の媒体（例えば、集中又は分散データベース及び／又は関連キャッシュ及びサーバー）を含むものとする。「装置アクセス可能な媒体」という用語は、装置により実行される一組の命令をストア、エンコード又は伝えることができ、装置に本発明の１つ以上の手順を実行させる媒体を含むものとする。従って、「装置アクセス可能な媒体」という用語は、これらに限られるものではないが、ソリッドステートメモリ、光学及び磁気媒体並びに搬送波信号が含まれるものとする。
【００３８】
本明細書において、数多くの詳細が規定されている。しかしながら、当業者であれば、これらの具体的な詳細がなくても、本発明を実施できることは明白である。場合によっては、周知の構造及びデバイスは、本発明を不明瞭にしないために、詳細ではなく、ブロック図形態で示されている。
【００３９】
以降の詳細な説明のいくつかの部分は、コンピュータメモリ内のデータビットの動作のアルゴリズム及び象徴的な図で示されている。これらのアルゴリズムの説明及び図は、データ処理業界の当業者により用いられる手法であり、その作業の本質を他の当業者に最も効率的に伝えるものである。ここで、アルゴリズムは、概して、所望の結果を導くステップの自己無撞着シーケンスと考えられる。ステップは、物理量の物理的処理を必要とするようなものである。通常、必ずしもではないが、これらの量は、ストア、伝達、結合、比較その他処理することのできる電気又は磁気信号の形態を採る。これらの信号は、ビット、値、要素、シンボル、文字、用語、数字等として参照するのが、主に、共通使用の理由から、時には便利であることが証明されている。
【００４０】
しかしながら、これら及び同様の用語は全て、適切な物理量と関連付けるべきであり、これらの量に適用された便利なラベルに過ぎないことに留意する。以降より明らかな通り、特に断りのない限り、明細書全体にわたって、「処理」、「コンピューティング」、「計算」、「求める」、「表示する」等といった用語を用いた記述は、コンピュータシステム又は同様の電子コンピューティングデバイスの動作及びプロセスのことを指すものと考えられ、コンピュータシステムのレジスタ及びメモリ内で物理（例えば、電子）量として表わされるデータを操作し、コンピュータシステムメモリ又はレジスタ又はその他かかる情報記憶、伝達又は表示デバイス内で物理量として表わされる同様のその他のデータへと変換するものである。
【００４１】
本発明はまた、本明細書の操作を実行する装置にも関する。この装置は、特に、必要な目的のために構築されていて、コンピュータにストアされたコンピュータプログラムにより選択的に始動又は再構成される汎用コンピュータを含んでいてよい。かかるコンピュータプログラムは、コンピュータ読取り可能な記憶媒体、例えば、これらに限られるものではないが、フロッピー（登録商標）ディスク、光学ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ及び光−磁気ディスクをはじめとする任意のタイプのディスク、リード・オンリーメモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、磁気又は光学カード、又は電子命令をストアするのに好適なその他タイプの媒体にストアされる。
【００４２】
ここに示されたアルゴリズムと表示は、特定のコンピュータ又はその他装置に本質的に関連するものではない。様々な汎用システムを、ここに記した教示に従って、プログラムと共に用いてよく、必要な方法ステップを実施するための特に専門の装置を構築するのに便利なことが分かった。これらの様々なシステムに必要な構造は、後述から分かるであろう。更に、本発明は、特定のプログラミング言語を参照して説明されていない。様々なプログラミング言語を用いて、ここに述べた本発明の教示を実施してよい。
【００４３】
装置読取り可能な媒体は、装置（例えば、コンピュータ）により読み取り可能な形態で情報をストア又は伝達する機構を含んでいる。例えば、装置読取り可能な媒体としては、装置読取り可能な記憶媒体（例えば、リードオンリーメモリ（「ＲＯＭ」）、ランダムアクセスメモリ（「ＲＡＭ」）、磁気ディスク記憶媒体、光学記憶媒体、フラッシュメモリデバイス等）が挙げられる。
【００４４】
上記の説明は、例示であり限定するものとは解釈されない。多くのその他の実施形態は、上記の説明を読み、理解することにより、当業者に明白である。従って、本発明の範囲は、特許請求の範囲及び特許請求の範囲の均等の全範囲を参照して定められる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
本発明は、例示の、これらに限定されるものではない添付図面により説明される。
【図１】ロードロックステーションに配置されたカメラを備えた製造装置の一実施形態を示す図である。
【図２】様々なカメラ位置での製造装置の一実施形態を示す図である。
【図３】カメラステーションと位置合わせされたロボットブレードの一実施形態を示す図である。
【図４】プロセスチャンバに配置されたロボットブレードの一実施形態を示す図である。
【図５】ロボットキャリブレーションを提供するための実施形態のフロー図である。
【図６】装置に、ここで述べた手順の１つ以上を実施させるための一組の命令が実行されるコンピュータシステムの例示の形態の装置の図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【外国語明細書】
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