(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量の安定性を向上させるパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッド４０内の機能液の温度を計測する温度センサＳＥを各キャリッジに設けて、予め定めたその時々の温度を計測し、その検出信号を制御装置１００に出力する。制御装置１００は、温度センサＳＥからの検出信号に基づいて、その時々の温度を求める。そして、液滴吐出ヘッド４０内の機能液を予め定めた基準温度となるように供給する空気の温度及び流量を求めて、給気装置１２５を駆動制御する。また、その時々の温度で吐出重量が基準吐出重量となる駆動電圧値Ｖｈを求め、その駆動電圧値Ｖｈの駆動波形信号ＣＯＭを駆動波形生成回路１０７に生成させ、ヘッド駆動回路１０８に出力する。ヘッド駆動回路１０８は、入力された駆動波形信号ＣＯＭに基づいて各圧電素子ＰＺを駆動させる。【選択図】図６
2009106838.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送テーブルに載置された基板を主走査方向に移動させて、前記主走査方向と直交する副走査方向に並設したキャリッジに設けた液滴吐出ヘッドの各ノズルから、機能液を液滴にして吐出し、前記基板にパターンを形成するパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法であって、
前記キャリッジの内側に温調用気体を供給して、前記液滴吐出ヘッドに供給される機能液の温度を調整する給気手段と、
前記液滴吐出ヘッド内の機能液の温度を計測する温度計測手段と、
を設け、
前記温度計測手段の計測結果に基づいて、前記給気手段から供給される温調用気体の温度、前記給気手段から供給される温調用気体の流量、及び、前記液滴吐出ヘッドを駆動させる駆動素子の駆動力の少なくとも１つを変更して、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量が一定になるようにしたことを特徴とするパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法において、
前記温度計測手段は、前記各キャリッジの各々に設けたことを特徴とするパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法において、
前記給気手段は、前記各キャリッジの各々に対応して設けたことを特徴とするパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法において、
前記温度計測手段は、パターン形成途中の予め定められたその時々の液滴吐出ヘッドの温度を計測し、
その時々に、前記温度計測手段の計測結果に基づいて、
前記給気手段から供給される温調用気体の温度、前記給気手段から供給される温調用気体の流量、及び、前記液滴吐出ヘッドを駆動させる駆動素子の駆動力の少なくとも１つを変更して、
前記基板にパターンが形成されるまで、前記液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出重量が終始一定となるようにしたことを特徴とするパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの吐出量調整方法において、
前記温度計測手段は、前記基板にパターンを形成するために、同基板を主走査方向に往動または復動させる直前に、前記液滴吐出ヘッドの温度を計測することを特徴とするパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、機能液を使って基板上に所望のパターンを形成する装置として、機能液を液滴にして吐出するインクジェット装置、すなわち液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、ステージに載置される基板と機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドとを２次元的に相対移動させながら、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の液滴を基板上の任意の箇所に配置することによりパターンを形成する。
【０００３】
液滴吐出ヘッドは、別設のタンクなどから機能液が供給されるとともに、供給された機能液をその内部に設けたインク室（キャビティ）に一時的に貯留する。そして、ステージと相対向するように設けたノズルプレートに多数形成されたノズル孔からインク室に貯留した機能液を液滴にして吐出する。
【０００４】
詳述すると、液滴吐出ヘッドには、駆動素子（例えば、ピエゾ素子）及び同駆動素子を駆動させる駆動回路が設けられている。駆動素子は、駆動回路から駆動電圧が供給されると収縮及び伸張して、連結した振動板を振動させる。この振動板の振動がキャビティの体積を拡大及び縮小することによって、機能液をノズル孔から液滴にして吐出している。
【０００５】
ところで、液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出していると、すなわち、駆動素子に駆動回路から駆動電圧を供給していると同駆動素子が発熱し、キャビティに貯留した機能液に熱影響を及ぼす。そして、この熱影響による機能液の温度変化にともなって機能液の粘度が変化してしまい、液滴の吐出重量が変化してしまう。つまり、各液滴吐出ヘッドからの吐出重量を均一に保つことができなくなってしまう。
【０００６】
このような液滴吐出ヘッドの発熱により温度が上昇した機能液を冷却する方法として、液滴吐出ヘッドを冷却する空冷ファンを設けて周囲の空気を導入し、液滴吐出ヘッドを冷却して機能液の温度上昇を抑制する提案がなされている（例えば、特許文献１）
【特許文献１】特開２００２−２４８７４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、駆動素子からの発熱量は、液滴を吐出するパターンによって異なる。すなわち、液滴を吐出する回数が多ければ駆動素子の駆動回数も多くなり、それに伴って発熱量も大きくなる。従って、特許文献１の方法では、液滴吐出ヘッドを冷却する空気は、温度が一定である液滴吐出ヘッド周辺の空気なので、描画するパターンが変化すると、液滴吐出ヘッド内の機能液の温度を一定に保つことが困難で、機能液の吐出重量のばらつきを生じている虞があった。
【０００８】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量の安定性を向上させるパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法は、搬送テーブルに載置された基板を主走査方向に移動させて、前記主走査方向と直交する副走査方向
に並設したキャリッジに設けた液滴吐出ヘッドの各ノズルから、機能液を液滴にして吐出し、前記基板にパターンを形成するパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法であって、前記キャリッジの内側に温調用気体を供給して、前記液滴吐出ヘッドに供給される機能液の温度を調整する給気手段と、前記液滴吐出ヘッド内の機能液の温度を計測する温度計測手段と、を設け、前記温度計測手段の計測結果に基づいて、前記給気手段から供給される温調用気体の温度、前記給気手段から供給される温調用気体の流量、及び、前記液滴吐出ヘッドを駆動させる駆動素子の駆動力の少なくとも１つを変更して、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量が一定になるようにした。
【００１０】
本発明のパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法によれば、温度計測手段の計測結果に基づいて、給気手段から供給される温調用気体の温度と流量を変更することによって、液滴吐出ヘッドに供給される機能液の温度を調整することができる。従って、液滴吐出ヘッド内の機能液の温度を一定になるように調整することができる。その結果、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を一定になるようにすることができる。
【００１１】
また、温度計測手段の計測結果に基づいて、液滴吐出ヘッドを駆動させる駆動素子の駆動力を変更すれば、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を一定になるようにすることができる。
【００１２】
このパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法は、前記温度計測手段は、前記各キャリッジの各々に設けてもよい。
このパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの吐出量調整方法によれば、キャリッジ毎に温度計測手段を設けたことによって、各キャリッジの液滴吐出ヘッド内の機能液の温度をそれぞれ計測することができる。従って、例えば、キャリッジ毎に給気手段を設けたとき、各キャリッジの液滴吐出ヘッド内の機能液の温度に基づいて、そのキャリッジに対応する給気手段をそれぞれ駆動制御することによって、各キャリッジの液滴吐出ヘッド内の機能液の温度を均一にすることができる。
【００１３】
また、例えば、液滴吐出ヘッドを駆動させる駆動力を、各キャリッジの液滴吐出ヘッド毎に駆動制御することによって、各キャリッジの液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を均一にすることができる。
【００１４】
その結果、各キャリッジの液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量が一定になるようにすることができる。
このパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法は、前記給気手段は、前記各キャリッジの各々に対応して設けてもよい。
【００１５】
このパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法によれば、給気手段をキャリッジ毎に設けたことによって、キャリッジ毎に液滴吐出ヘッドに供給される機能液の温度をそれぞれ調整することができる。従って、例えば、キャリッジ毎に機能液の温度にばらつきがあったとしてもキャリッジ毎に給気手段をそれぞれ駆動制御することによって、液滴吐出ヘッド内の機能液の温度を均一にすることができる。
【００１６】
このパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法は、前記温度計測手段は、パターン形成途中の予め定められたその時々の液滴吐出ヘッドの温度を計測し、その時々に、前記温度計測手段の計測結果に基づいて、前記給気手段から供給される温調用気体の温度、前記給気手段から供給される温調用気体の流量、及び、前記液滴吐出ヘッドを駆動させる駆動素子の駆動力の少なくとも１つを変更して、前記基板にパターンが形成されるまで、前記液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出重量が終始一定
となるようにしてもよい。
【００１７】
このパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法によれば、温度計測手段は、パターン形成途中の予め定められたその時々の液滴吐出ヘッドの温度を計測し、その時々に温度計測手段の計測結果に基づいて、給気手段から供給される温調用気体の温度と流量を変更することができることから、基板にパターン形成されるまで、液滴吐出ヘッド内の機能液の温度を終始一定になるようにすることができる。
【００１８】
また、その時々に温度計測手段の計測結果に基づいて、液滴吐出ヘッドを駆動させる駆動力を変更することができることから、基板にパターンが形成されるまで、液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出重量を終始一定になるようにすることができる。
【００１９】
このパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法は、前記温度計測手段は、前記基板にパターンを形成するために、同基板を主走査方向に往動または復動させる直前に、前記液滴吐出ヘッドの温度を計測してもよい。
【００２０】
このパターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法によれば、基板を主走査方向に往動または復動させる直前に、液滴吐出ヘッドの温度を計測することから、液滴吐出ヘッド内の機能液の温度を終始一定になるようにすることができる。また、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を終始一定になるようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施したパターン形成装置の一実施形態を図面に従って説明する。
図１は、ブラックマトリクスが形成されたガラス基板に赤、緑、青のカラーフィルタを形成するためのパターン形成装置としての液滴吐出装置１の概略構成を示している。液滴吐出装置１は、図１に示すように、床面に主走査方向（Ｘ軸方向）に延在した基台２が設置され、その上面に２ａに一対のＸ軸ガイドレール１１が主走査方向（Ｘ軸方向）に敷設され、その一対のＸ軸ガイドレール１１にはＸ軸移動プレート１２が載置されている。Ｘ軸移動プレート１２は、Ｘ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に搭載されている。一対のＸ軸ガイドレール１１には、Ｘ軸リニアモータＭ１が備えられ、Ｘ軸リニアモータＭ１は、一対のＸ軸ガイドレール１１に載置されたＸ軸移動プレート１２を、エアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に往復移動させる。
【００２２】
尚、図１において、主走査方向をＸ軸方向、主走査方向（Ｘ軸方向）に直交する副走査方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（上下方向）をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回動方向をθ方向と表記する。
【００２３】
Ｘ軸移動プレート１２の上面には、搬送テーブルとしての基板ステージ１４が設けられている。基板ステージ１４は、真空吸着テーブルであって、その上面にガラス基板よりなるカラーフィルタ基板（ＣＦ基板という）Ｗを吸着固定し、同ＣＦ基板Ｗを搬送する。基板ステージ１４は、Ｘ軸移動プレート１２と基板ステージ１４との間に設けた破線で示すステージ回動機構１６によって、Ｘ軸移動プレート１２に対してθ方向に回動可能に支持固定されている。
【００２４】
従って、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレート１２とともにＸ軸方向（主走査方向）に移動する。また、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレート１２の平面（ＸＹ平面（水平面））に対して平行にθ方向に回動する。
【００２５】
前記Ｘ軸ガイドレール１１の上方向をＹ軸方向に跨ぐように、一対のＹ軸ガイドレール１８が配設されている。一対のＹ軸ガイドレール１８の一端の支柱１９ａは、基台２の上
面２ａ一側に立設され、他端の支柱１９ｂは基台２から離間した床に立設されている。一対のＹ軸ガイドレール１８は、Ｘ軸方向に予め定めた間隔をおいて平行に配設されている。尚、本実施形態では、Ｙ軸方向に平行に延びた一対のＹ軸ガイドレール１８において、基台２の上方位置を作業領域、基台２から離間した位置を待機領域としている。
【００２６】
一対のＹ軸ガイドレール１８の間に、複数（本実施形態では、６個）のキャリッジプレート２１が差し渡されるように配置されている。そして、各キャリッジプレート２１は、Ｙ軸ガイドレール１８に沿って副走査方向（Ｙ軸方向）に移動可能に載置されている。一対のＹ軸ガイドレール１８には、Ｙ軸リニアモータＭ２を備え、Ｙ軸リニアモータＭ２は、一対のＹ軸ガイドレール１８に載置された各キャリッジプレート２１をそれぞれエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に往復移動させる。つまり、各キャリッジプレート２１は、Ｙ軸ガイドレール１８上の作業領域と待機領域との間を往復移動するようになっている。
【００２７】
各キャリッジプレート２１の上面には、機能液供給ユニット２２とヘッド用電装ユニット２３とが載置されている。機能液供給ユニット２２は、機能液Ｆ（図３（ｂ）参照）を所定量貯蔵して、各液滴吐出ヘッド４０（図３（ａ），（ｂ）参照）に機能液Ｆを供給するための供給回路装置である。機能液供給ユニット２２に貯蔵されている機能液Ｆは予め定めた温度（基準温度Ｔｋ）に設定されている。ヘッド用電装ユニット２３は、各液滴吐出ヘッド４０を駆動するための電気信号を供給するための電気回路装置である。
【００２８】
また、ここでいう機能液Ｆとは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置される赤、緑、青のフィルタ用インクである。機能液Ｆは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置された後に乾燥させると、赤、緑、青のフィルタとなる。
【００２９】
図２に示すように、各キャリッジプレート２１の下面の中央位置には、吊下機構２５が設けられ、その吊下機構２５の下端部にキャリッジ３０が取着されている。
吊下機構２５は、吊下基板２６と、吊下回動枠２７と、吊下支持枠２８とを有している。吊下基板２６は、キャリッジプレート２１の下面中央位置に連結固定され、その下端部に吊下回動枠２７を連結している。吊下回動枠２７は、その下端部に吊下支持枠２８をθ方向に回動可能に連結支持している。吊下回動枠２７には、θ軸回動モータ（図示省略）を有し、θ軸回動モータは吊下支持枠２８を吊下基板２６（キャリッジプレート２１）に対してθ方向に回動させるようになっている。吊下支持枠２８には、キャリッジ３０が支持固定され、吊下機構２５に垂設されたキャリッジ３０をθ方向に回動させる。
【００３０】
キャリッジ３０は、略直方体形状のキャリッジ枠３１を有している。キャリッジ枠３１には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれの両側面に開口部が設けられており（Ｘ軸方向の各開口部は図示省略）、キャリッジ枠３１の内側に対して空気が流出入できるようになっている。また、キャリッジ３０の略直方体形状のキャリッジ枠３１の下端部には、ユニットプレート３４が図示しないネジ等により固設されている。ユニットプレート３４には、液滴吐出ヘッド４０が着脱可能に、かつ、精度よく位置決め固定されて取り付けられている。本実施形態では、Ｘ軸方向に沿って並設された３個の液滴吐出ヘッド４０が、Ｙ軸方向と平行に２列、すなわち合計６個の液滴吐出ヘッド４０が取り付けられている。尚、キャリッジ枠３１の内側は、配管や配線などが配設されているが、表示すると煩雑になるため図示を省略している。
【００３１】
また、キャリッジ３０には、図２に示すように、供給チューブ１２３を介して給気装置１２５が接続されている。給気装置１２５は、各キャリッジ３０にそれぞれ設けられ、ペルチェ素子などから構成された温度調整部１２６によって所定の温度に調整された温調用
気体としての空気を、送風機などからなる送風部１２７を用いて供給チューブ１２３に供給している。すなわち、給気装置１２５は、各キャリッジ３０に所定の温度に調整された空気を供給するようになっている。
【００３２】
さらに、キャリッジ枠３１の内側には、供給チューブ１２３の先端が接続された図示しない給気部材が設けられている。給気部材は、ユニットプレート３４に固設された各液滴吐出ヘッド４０の液体導入部４１（図３参照）に臨むように多数の給気口が設けられている。すなわち、給気装置１２５から供給された空気は、供給チューブ１２３を介して、給気部材に供給され、液滴吐出ヘッド４０の液体導入部４１に向かって吹き付けるようになっている。従って、液滴吐出ヘッド４０の液体導入部４１及び液体導入部４１（接続針４２）に接続された配管接続部材などは、給気装置１２５から供給される空気の温度と略等しくなるようになっている。
【００３３】
つまり、給気装置１２５から供給される空気が液体導入部４１の近傍に吹き付けられることによって、液滴吐出ヘッド４０に供給される機能液Ｆは、その温度が調整されるようになっている。また、給気装置１２５から供給された空気は、キャリッジ枠３１の側面に設けられた開口部から外部へと排出されるようになっている。
（液滴吐出ヘッド４０）
次に、ユニットプレート３４に取着した液滴吐出ヘッド４０について図３を参照して説明する。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドを基板ステージ１４側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド４０は、２つの接続針４２を有する液体導入部４１と、液体導入部４１の側方に連なるヘッド基板４３と、液体導入部４１に連なるポンプ部４４と、ポンプ部４４に連なるノズルプレート４５とを備えている。
【００３４】
液体導入部４１の接続針４２には、機能液供給ユニット２２に接続した図示しない配管接続部材が接続されている。ヘッド基板４３には、一対のヘッドコネクタ４３Ａが実装されており、当該ヘッドコネクタ４３Ａを介して、ヘッド用電装ユニット２３に接続された図示しないフレキシブルフラットケーブルが接続される。
【００３５】
一方、ポンプ部４４とノズルプレート４５とにより、方形のヘッド本体４０Ａが構成されている。
また、ポンプ部４４のＸ軸方向の一側面には、温度計測手段としての温度センサＳＥが接着剤などを用いて取着され、液滴吐出ヘッド４０を介して、キャビティ５２に収容された機能液Ｆの温度を検出するようになっている。また、本実施形態では、温度センサＳＥは、各キャリッジ３０の所定の位置に配置された液滴吐出ヘッド４０に設けられている。
【００３６】
ノズルプレート４５のノズル形成面４５ａには、液滴を吐出する吐出ノズル４６からなる２本のノズル列４７が形成されている。２本のノズル列４７は相互に平行に列設されており、各ノズル列４７は、等ピッチで並設された１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４６で構成されている。すなわち、ヘッド本体４０Ａのノズル形成面４５ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４７が対称に配設されている。
【００３７】
図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッド４０のポンプ部４４の内部を示し、各吐出ノズル４６の上側にそれぞれキャビティ５２、振動板５３及び駆動素子としての圧電素子ＰＺを有している。各キャビティ５２は、それぞれ配管接続部材を介して機能液供給ユニット２２に接続され、同機能液供給ユニット２２からの機能液Ｆ（フィルタ用インク）を収容し、そのフィルタ用インクを吐出ノズル４６に供給する。振動板５３は、各キャビティ５２に対向する領域をＺ方向に振動することによって、該キャビティ５２の容積を拡大及び縮小させて、これに伴って吐出ノズル４６のメニスカスを振動させる。各圧電素子ＰＺは、それぞれ所定の駆動波形信号を受けるとき、Ｚ方向に収縮して伸張することによって、振動板５
３の各領域をＺ方向に振動させる。各キャビティ５２は、それぞれの振動板５３がＺ方向に振動するとき、収容する機能液Ｆ（フィルタ用インク）の一部を所定重量の液滴Ｆｂにして吐出ノズル４６から吐出させる。
【００３８】
ポンプ部４４の基部側、すなわちヘッド本体４０Ａの基部側は、液体導入部４１を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４８が形成されている。このフランジ部４８は、抜け止めの役目を果たすとともに、ヘッド止めネジ（図示せず）でユニットプレート３４と連結固定される連結部の役目を果たす。フランジ部４８には、液滴吐出ヘッド４０をユニットプレート３４に固定する小ネジ用のネジ孔（雌ネジ）４９が一対形成されている。つまり、液滴吐出ヘッド４０は、ユニットプレート３４の所定の位置に形成された貫通穴（図示せず）に、ヘッド本体４０Ａを貫挿させて、ユニットプレート３４を貫挿してネジ孔４９と螺合するヘッド止めネジ（図示せず）によってユニットプレート３４に固定される。
【００３９】
図２及び図３に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。すなわち、ユニットプレート３４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、液滴吐出ヘッド４０に形成されたノズル列４７（図３（ａ）参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。
（メンテナンスユニット５５）
次に、液滴吐出ヘッド４０のメンテナンスを行うメンテナンスユニット５５について説明する。図１に示すように、メンテナンスユニット５５は、一対のＹ軸ガイドレール１８の待機領域の下側に設けられている。メンテナンスユニット５５は、Ｙ軸方向に沿って延在したメンテナンスベース５６の上面５６ａに、１つのワイピングユニット６０と複数のキャッピングユニット６１とがそれぞれ設けられている。
【００４０】
ワイピングユニット６０は、各キャリッジ３０がそれぞれ上方に位置したときに、ユニットプレート３４に取着した各液滴吐出ヘッド４０のノズル形成面４５ａと接触して、該ノズル形成面４５ａをクリーニングする装置である。
【００４１】
ワイピングユニット６０は、メンテナンスベース５６の最も基台２側に設けられ、図示しない払拭ローラが、キャリッジ３０（ユニットプレート３４）に下側から臨んで、各液滴吐出ヘッド４０のノズル形成面４５ａと接触し、該ノズル形成面４５ａをそれぞれクリーニングするようになっている。
【００４２】
ワイピングユニット６０に隣接して設けられたキャッピングユニット６１は、キャリッジプレート２１（キャリッジ３０）の数（６個）だけＹ軸方向に並設されている。各キャッピングユニット６１は、対応するキャリッジ３０のユニットプレート３４に設けた各液滴吐出ヘッド４０のノズル形成面４５ａに固着した機能液Ｆ（フィルタ用インク）をそれぞれ除去する装置である。また、液滴吐出装置１が休止状態であるとき、各液滴吐出ヘッド４０のノズルプレート４５とそれぞれ密着してキャビティ５２内の機能液Ｆ（フィルタ用インク）の乾燥を抑制する装置である。
（検査ユニット７０）
次に、液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴を検査する検査ユニット７０について説明する。
【００４３】
図１に示すように、前記基台２に敷設された一対のＸ軸ガイドレール１１には、検査ユニット７０がＸ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に配置されている。
詳述すると、検査ユニット７０は、移動ブロック７１を有し、移動ブロック７１は、Ｘ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に搭載されている。そして、移動ブロック７１は、一対のＸ軸ガイドレール１１に備えられたＸ軸リニアモータＭ１にてエアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に往復移動する。
【００４４】
移動ブロック７１の上面の基板ステージ１４側には、検査台７２が設置固定されている。検査台７２は、Ｙ軸方向に沿って長く延び、その上面に、例えばフィルムコーティングが施された、被検出紙Ｐが配置されている。検査台７２に配置した被検出紙Ｐは、検査台７２が液滴吐出ヘッド４０の直下に案内された時に、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から吐出された液滴Ｆｂが着弾されるようになっている。
【００４５】
移動ブロック７１の上面であって検査台７２に隣接した位置には、フラッシング回収台７３が前記キャリッジ３０の数（６個）だけ設けられ、その各フラッシング回収台７３がＹ軸方向に沿って並設されている。
【００４６】
フラッシング回収台７３の受け口７３ａは、各フラッシング回収台７３が対応するキャリッジ３０の直下に案内された時に、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から液滴が吐出され（フラッシングされ）、その液滴Ｆｂを受け止める収容するようになっている。つまり、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでカラーフィルタを描画する前にフラッシング動作され、そのフラッシングに基づく液滴Ｆｂをフラッシング回収台７３で回収する。
【００４７】
移動ブロック７１の上面であって並設されたフラッシング回収台７３に隣接した位置には、重量測定天秤７４が前記キャリッジ３０の数（６個）だけ設けられ、その各重量測定天秤７４がＹ軸方向に沿って並設されている。
【００４８】
重量測定天秤７４は、対応するキャリッジ３０の直下に案内された時に、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から吐出された液滴Ｆｂが着弾しその重量を計測するようになっている。つまり、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでパターンを形成する前に、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から液滴Ｆｂの吐出重量を計測する。
（描画検査カメラ装置８０）
次に、前記検査台７２に配置した被検出紙Ｐに着弾された液滴を撮影し、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から液滴Ｆｂのノズル抜けなどの検査を行う描画検査カメラ装置８０について説明する。
【００４９】
描画検査カメラ装置８０は、図１及び図２に示すように、一対のＹ軸ガイドレール１８の内、検査ユニット７０のＹ軸ガイドレール１８に沿って設けられている。図７は、Ｙ軸ガイドレール１８に沿って設けられた描画検査カメラ装置８０の全体斜視図である。
【００５０】
図４において、描画検査カメラ装置８０は、ベース筐体８１を有している。ベース筐体８１はＹ軸ガイドレール１８に沿って延び、その下側半分をカメラ移動テーブル部８１Ａ、上側半分をケーブルベアダクト部８１Ｂに区画形成されている。
【００５１】
ベース筐体８１の下側半分のカメラ移動テーブル部８１Ａは、ガイド孔８２がＹ軸方向に沿って形成されていて、ガイド孔８２から突出したアーム８３（図５参照）が検査カメラＣＡを固設したカメラベースとしてのベース板８４と連結されている。ガイド孔８２から突出したアーム８３は、カメラ移動テーブル部８１Ａ内に設けられた図示しないカメラスキャン用のリニアモータによって、ガイド孔８２に沿ってＹ軸方向に移動可能になっている。従って、ベース板８４に固設した検査カメラＣＡもリニアモータによって、ガイド孔８２に沿ってＹ軸方向に移動可能になる。
【００５２】
その結果、検査カメラＣＡのＹ軸方向に移動する軌跡の直下に、検査台７２が案内された時に、検査台７２に配置した被検出紙Ｐに着弾された液滴Ｆｂを、検査カメラＣＡは、
Ｙ軸方向に移動することにより、撮影することができる。
【００５３】
ベース筐体８１の上側半分のケーブルベアダクト部８１Ｂは、引き出し孔８５がＹ軸方向に沿って略長方形状に形成されていて、検査カメラを固設したベース板８４から延びる引き回しアーム８６が、引き出し孔８５内に貫挿され、ベース板８４（検査カメラＣＡ）のＹ軸方向に移動とともに引き出し孔８５に沿って移動する。
【００５４】
ケーブルベアダクト部８１Ｂ内は、検査カメラＣＡの駆動電力の授受、データ信号の授受を行うために移動ケーブルとしてのケーブル８７が湾曲された状態で配設されている。ケーブル８７は、その先端が引き回しアーム８６に設けたコネクタと連結されて検査カメラＣＡと電気的に接続されている。そして、ケーブル８７は、検査カメラＣＡがＹ軸方向に移動することに伴い、ケーブルベアダクト部８１Ｂ内で湾曲部分を変化させて、検査カメラＣＡの移動に追従させるようになっている。
【００５５】
ケーブルベアダクト部８１Ｂは、図５に示すように、仕切板８８にて区画されていて、引き出し孔８５側をケーブル収容室８９ａ、Ｙ軸ガイドレール１８側をダクト通路室８９ｂとしている。仕切板８８には、開口面積が等しい通気孔８８ａが均等配列で多数貫通形成されている。
【００５６】
また、ダクト通路室８９ｂのＹ軸側側壁には排気ポートＰ１が形成されている（図４参照）。排気ポートＰ１は、図示しない吸引ポンプに接続されている。従って、吸引ポンプを駆動して排気ポートＰ１から空気を吸引すると、ケーブルベアダクト部８１Ｂの引き出し孔８５から外部（キャリッジ３０付近）の空気が吸引され、その吸引された空気が通気孔８８ａ、ダクト通路室８９ｂを介して排気ポートＰ１から排気される。
【００５７】
同じく、カメラ移動テーブル部８１Ａの両端部には、図４及び図５に示すように、排気ポートＰ２が設けられている。排気ポートＰ２は、図示しない吸引ポンプに接続されている。従って、吸引ポンプを駆動して排気ポートＰ２から空気を吸引すると、カメラ移動テーブル部８１Ａのガイド孔８２から外部（キャリッジ３０周辺）の空気が吸引され、排気ポートＰ２から排気される。
（描画観測カメラ装置９０）
図２に示すように、描画検査カメラ装置８０が設けられたＹ軸ガイドレール１８と相対向するもう一方のＹ軸ガイドレール１８には、描画観測カメラ装置９０が設けられている。描画観測カメラ装置９０は、基板ステージ１４に載置されたＣＦ基板Ｗのアライメントマークを撮影してＣＦ基板Ｗの位置を計測したり、ＣＦ基板Ｗに形成された配置パターン等を撮影して描画状態を検査する。
【００５８】
尚、描画観測カメラ装置９０は、本実施形態では、描画検査カメラ装置８０とその取り付けられている位置が異なる（反対側のＹ軸ガイドレール１８に設けられている）だけで、その構成は描画検査カメラ装置８０と同じなので、符号を同じにしてその詳細な説明は省略する。
【００５９】
従って、キャリッジ３０の給気部材から供給された空気は、キャリッジ枠３１に設けられた開口部などから外部に排出されると、描画検査カメラ装置８０及び描画観測カメラ装置９０のそれぞれの引き出し孔８５やガイド孔８２から吸引され、排気ポートＰ１，Ｐ２から排出されるようになっている。
【００６０】
次に、液滴吐出装置１の電気的構成を図６に従って説明する。図６は、液滴吐出装置１の電気的構成を示すブロック図である。
図６において、制御装置１００は、ＣＰＵ１０１、ＲＯＭ１０２、ＲＡＭ１０３等を有
している。制御装置１００は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、Ｘ軸移動プレート１２の搬送処理、各キャリッジプレート２１の搬送処理などを実行する。また、制御装置１００は、各キャリッジ３０にそれぞれ設けた給気装置１２５の給気処理を実行するとともに、各キャリッジ３０に設けた各液滴吐出ヘッド４０の液滴吐出処理などを実行する。
【００６１】
制御装置１００には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置１０４が接続されている。入出力装置１０４は、液滴吐出装置１が実行する各種処理の処理状況を表示する。入出力装置１０４は、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでパターンを形成するための描画データ（ビットマップデータＢＤ）を生成し、そのビットマップデータＢＤを制御装置１００に入力する。また、制御装置１００は、入力されたビットマップデータＢＤをＲＡＭ１０３に記憶する。
【００６２】
ビットマップデータＢＤは、各ビットの値（０あるいは１）に応じて各圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータＢＤは、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下をＣＦ基板Ｗが通過する際、ＣＦ基板Ｗの予め特定された各位置に、液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。
【００６３】
すなわち、ビットマップデータＢＤは、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでカラーフィルタのパターンを形成するために、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下を、何度もＣＦ基板を往復動させ、その往動及び復動する毎に、カラーフィルタのパターンを形成するために用意された、配置位置に液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。
【００６４】
詳述すると、Ｘ軸移動プレート１２（ＣＦ基板Ｗ）が液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下を往動及び復動する毎に用意された、各往動及び各復動に対応するビットマップデータＢＤをつかって、液滴Ｆｂを吐出させれば、ＣＦ基板Ｗにカラーフィルタのパターンが描画されることになる。
【００６５】
そして、本実施形態では、このＣＦ基板Ｗに描画するパターンは、予め設計等で求め、その求めたパターンからビットマップデータＢＤが作成される。
制御装置１００には、Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号をＸ軸リニアモータ駆動回路１０５に出力する。Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、Ｘ軸移動プレート１２（ＣＦ基板Ｗ）を移動させるためのＸ軸リニアモータＭ１を駆動させる。また、制御装置１００は、検査台７２の被検出紙Ｐに液滴Ｆｂによる検査パターンを描画する場合などに、検査ユニット７０を移動させるための駆動制御信号をＸ軸リニアモータ駆動回路１０５に出力する。Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５は、制御装置１００からの検査ユニット７０を移動させるための駆動制御信号に応答して、移動ブロック７１を移動させるためのＸ軸リニアモータＭ１を駆動させる。
【００６６】
制御装置１００には、Ｙ軸リニアモータ駆動回路１０６が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号をＹ軸リニアモータ駆動回路１０６に出力する。Ｙ軸リニアモータ駆動回路１０６は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、各キャリッジプレート２１を移動させるためのＹ軸リニアモータＭ２を駆動させる。
【００６７】
制御装置１００には、描画検査カメラ装置８０が電気的に接続されている。制御装置１００は、検査台７２の被検出紙Ｐに描画された液滴Ｆｂによる検査パターンを、検査カメラＣＡにて撮影し、そのパターンを撮影した画像データを取得するために描画検査カメラ装置８０を駆動制御する。
【００６８】
制御装置１００には、描画観測カメラ装置９０が電気的に接続されている。制御装置１００は、基板ステージ１４に載置されたＣＦ基板ＷのアライメントマークやＣＦ基板Ｗに形成された配置パターン等を撮影し、その撮影した画像データを取得するために描画観測カメラ装置９０を駆動制御する。
【００６９】
制御装置１００には、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０に設けられた温度センサＳＥが電気的に接続されている。温度センサＳＥは、予め定めた時間のその時々の液滴吐出ヘッド４０内の機能液Ｆの温度を計測し、その計測結果に基づいた検出信号を制御装置１００に入力する。
【００７０】
制御装置１００には、給気装置１２５が電気的に接続されている。制御装置１００は、温度センサＳＥからの検出信号に基づいてその時々の温度Ｔｎを算出する。そして、その時々の温度Ｔｎと基準温度Ｔｋとを比較し、その比較した結果に基づいて給気装置１２５を駆動制御し、温度調整部１２６と送風部１２７とを駆動させる。
【００７１】
詳述すると、制御装置１００は、基準温度Ｔｋと機能液Ｆのその時々の温度Ｔｎとに基づいて、液滴吐出ヘッド４０内の機能液Ｆが基準温度Ｔｋとなるように、給気装置１２５から給気部材に供給する空気の温度及び流量を求める。そして、その求めた空気の温度及び流量になるように給気装置１２５を駆動制御し、温度調整部１２６及び送風部１２７を駆動させる。つまり、機能液Ｆのその時々の温度Ｔｎが基準温度Ｔｋよりも高いときは、例えば、給気装置１２５から給気部材に供給される空気の温度を低くするとともに、その流量を大きくする。また、機能液Ｆのその時々温度Ｔｎが基準温度Ｔｋよりも低いときは、例えば、給気装置１２５から給気部材に供給される空気の温度を高くする。
【００７２】
従って、制御装置１００は、給気装置１２５から給気部材に供給される空気の流量及び温度を調整し、液滴吐出ヘッド４０のキャビティ５２に収容された機能液Ｆのその時々の温度Ｔｎが、常に、基準温度Ｔｋになるようにしている。
【００７３】
また、基準温度Ｔｋに対するその時々の温度Ｔｎにおける給気装置１２５から供給される空気の温度及び流量は、予めＲＯＭ１０２にデータとして記憶されている。そして、制御装置１００は、ＲＯＭ１０２に記憶したデータから給気装置１２５から各キャリッジ３０に供給する空気の温度及び流量を求めるようになっている。
【００７４】
制御装置１００は、温度センサＳＥからの検出信号に基づいて、その時々の温度Ｔｎが求まると、その時々の温度Ｔｎにおける液滴Ｆｂの吐出重量Ｗｎが、予め定めた基準吐出重量Ｗｋと同じなるための、各圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈを求める。
【００７５】
尚、その時々の温度Ｔｎにおける吐出重量Ｗｎが、基準吐出重量Ｗｋと同じなるための、各圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈは、予めＲＯＭ１０２にデータとして記憶されていて、制御装置１００は、ＲＯＭ１０２に記憶したデータから各温度に対する駆動電圧値Ｖｈを求めるようにしている。
【００７６】
制御装置１００には、駆動波形生成回路１０７が接続されている。制御装置１００は、求めた圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈを駆動波形生成回路１０７に出力する。駆動波形生成回路１０７は、制御装置１００からの駆動電圧値Ｖｈに基づき圧電素子ＰＺに印加する駆動波形信号ＣＯＭを生成する。図７は、駆動波形信号ＣＯＭの一例を示しており、圧電素子ＰＺに印加する駆動電圧の波高値が大きいほど、吐出量が大きくなる。すなわち、図７において、駆動波形信号ＣＯＭ０（波高値ｈ０）は、駆動波形信号ＣＯＭ１（波高値ｈ１）よりも波高値が大きいので吐出重量は大きくなる。
【００７７】
従って、駆動波形生成回路１０７は、制御装置１００からの駆動電圧値Ｖｈに基づき、常に、温度に関係なく吐出重量が一定となる波高値の駆動波形信号ＣＯＭを生成し、制御装置１００に出力する。
【００７８】
制御装置１００には、液滴吐出ヘッド４０毎に設けられたヘッド駆動回路１０８が接続されている。制御装置１００は、所定の吐出周波数に同期させたパターン形成用制御信号ＳＩをヘッド駆動回路１０８に出力する。制御装置１００は、駆動波形生成回路１０７にて生成された各液滴吐出ヘッド４０の駆動波形信号ＣＯＭを所定の吐出周波数に同期させて、それぞれ対応するヘッド駆動回路１０８に出力する。
【００７９】
詳述すると、制御装置１００は、ビットマップデータＢＤを利用して所定の周波数に同期したパターン形成用制御信号ＳＩを生成し、パターン形成用制御信号ＳＩをヘッド駆動回路１０８にシリアル転送する。ヘッド駆動回路１０８は、制御装置１００からのパターン形成用制御信号ＳＩを各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路１０８は、制御装置１００からの吐出タイミング信号ＬＴを受けるたびに、シリアル／パラレル変換したパターン形成用制御信号ＳＩをラッチし、パターン形成用制御信号ＳＩによって選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給する。
【００８０】
次に、このように構成した液滴吐出装置１の作用について説明する。
温度センサＳＥからの検出信号に基づいて、液滴吐出ヘッド４０内の機能液Ｆの温度を基準温度Ｔｋに調整するとともに、各液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量を基準吐出重量Ｗｋに調整する処理動作について説明する。
【００８１】
この処理動作は、Ｘ軸移動プレート１２（ＣＦ基板Ｗ）の往動または復動を開始する直前に行われる。
今、温度センサＳＥは、Ｘ軸移動プレート１２（ＣＦ基板Ｗ）の往動または復動を開始する直前の温度を計測し、その検出信号を制御装置１００に出力している。
【００８２】
制御装置１００は、各温度センサＳＥからの検出信号に基づいて、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０内の機能液Ｆのその時々の温度Ｔｎを算出する。そして、その時々の温度Ｔｎと基準温度Ｔｋとに基づいて、液滴吐出ヘッド４０内の機能液Ｆの温度を基準温度Ｔｋにするための、各給気装置１２５が給気部材に供給する空気の温度及び流量を求める。制御装置１００は、求めた空気の温度及び流量になるように給気装置１２５をそれぞれ駆動制御し、温度調整部１２６及び送風部１２７を駆動させる。
【００８３】
また、制御装置１００は、その時々の温度Ｔｎにおいて、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量Ｗｎを、基準吐出重量Ｗｋと等しくするための、各圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈを求める。
【００８４】
制御装置１００は、駆動波形生成回路１０７に対して、駆動電圧値Ｖｈに基づき、常に、キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量Ｗｎが基準吐出重量Ｗｋと等しくなる駆動波形信号ＣＯＭを液滴吐出ヘッド４０毎に生成させる。そして、その駆動波形信号ＣＯＭにてキャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０（圧電素子ＰＺ）を駆動させる。
【００８５】
従って、給気装置１２５は、温度センサＳＥの検出信号に基づいて、給気部材に供給する空気の温度及び流量が制御される。つまり、液滴吐出ヘッド４０のキャビティ５２の機能液Ｆの温度を常に基準温度Ｔｋとなるようにすることができる。
【００８６】
また、液滴吐出ヘッド４０は、温度センサＳＥの検出信号に基づいて、その時々の温度Ｔｎに応じて、圧電素子ＰＺに印加される駆動波形信号ＣＯＭが制御される。つまり、各液滴吐出ヘッド４０の吐出ノズル４６から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量Ｗｎを常に基準吐出重量Ｗｋとなるようにすることができる。
【００８７】
上記実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド４０に温度センサＳＥを設けて、キャビティ５２の機能液Ｆのその時々の温度Ｔｎを計測し、その検出信号を制御装置１００に出力させた。制御装置１００は、温度センサＳＥからの検出信号に基づいてその時々の温度Ｔｎを算出し、液滴吐出ヘッド４０内の機能液Ｆの温度が基準温度Ｔｋとなるように、給気装置１２５から給気部材に供給される空気の温度及び流量を調整した。
【００８８】
従って、その時々の温度Ｔｎにおいて、給気装置１２５から給気部材に供給される空気の温度と流量とを調整することによって、液滴吐出ヘッド４０のキャビティ５２の機能液Ｆの温度を、常に基準温度Ｔｋとなるようにすることができる。その結果、機能液Ｆの温度変化に起因する液滴吐出ヘッド４０からの液滴Ｆｂの吐出重量のばらつきを低減することができる。
【００８９】
（２）上記実施形態によれば、制御装置１００は、温度センサＳＥの検出信号からその時々の温度Ｔｎを求めて、その時々の温度Ｔｎのとき、液滴吐出ヘッド４０の吐出ノズル４６から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量Ｗｎが基準吐出重量Ｗｋとなるように、圧電素子ＰＺに印加する駆動波形信号ＣＯＭを調整した。
【００９０】
従って、その時々の温度Ｔｎにおいて、液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量Ｗｎを、基準吐出重量Ｗｋとなるように圧電素子ＰＺに印加する駆動電圧値Ｖｈを調整することによって、吐出重量Ｗｎを常に基準吐出重量Ｗｋとなるようにすることができる。その結果、ＣＦ基板Ｗにより高精細なパターンを形成することができる。
【００９１】
（３）上記実施形態では、温度センサＳＥを各キャリッジ３０の所定の位置に配置された液滴吐出ヘッド４０に取着するとともに、給気装置１２５を各キャリッジ３０にそれぞれ設けた。
【００９２】
従って、各キャリッジ３０のその時々の温度Ｔｎが異なっていたとしても、各キャリッジ３０のその時々の温度Ｔｎに対応した空気の温度及び流量を調整することができる。その結果、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の機能液Ｆの温度をより均一にすることができる。
【００９３】
（４）上記実施形態によれば、温度センサＳＥは、Ｘ軸移動プレート１２（ＣＦ基板Ｗ）が往動または復動する直前に、液滴吐出ヘッド４０のキャビティ５２に収容された機能液Ｆの温度を計測し、制御装置１００に出力した。
【００９４】
従って、液滴吐出ヘッド４０のキャビティ５２に収容された機能液Ｆの温度と、液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量とを終始一定になるようにすることができる。その結果、ＣＦ基板Ｗにより高精細なパターンを形成することができる。
【００９５】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、制御装置１００は、温度センサＳＥから検出信号が入力されると、その検出信号に基づいて、給気装置１２５が供給する空気の温度及び流量を調整するとともに、圧電素子ＰＺに印加させる駆動波形信号ＣＯＭを調整した。これに限らず、例え
ば、給気装置１２５が供給する空気の温度、給気装置１２５が供給する空気の流量、及び、圧電素子ＰＺに印加させる駆動波形信号ＣＯＭの少なくとも１つを選択して調整させるようにしてもよい。
【００９６】
・上記実施形態では、温度センサＳＥは、各キャリッジ３０の所定の位置に配置された１つの液滴吐出ヘッド４０に設けた。これに限らず、例えば、各キャリッジ３０の全ての液滴吐出ヘッド４０に設けてもよい。このとき、各キャリッジ３０のその時々の温度Ｔｎは、各液滴吐出ヘッド４０の温度センサＳＥからの検出信号に基づいて、その平均値から求めるようにするとよい。
【００９７】
・上記実施形態では、温度センサＳＥは、Ｘ軸移動プレート１２（ＣＦ基板Ｗ）の往動または復動を開始する直前の温度を計測し、検出信号を制御装置１００に出力させた。これに限らず、例えば、基板処理毎やロット毎、リアルタイムなど、温度センサＳＥが温度を計測するその時々の時間は適宜変更してもよい。
【００９８】
・上記実施形態では、温度センサＳＥは、液滴吐出ヘッド４０の一側面に設けた。これに限らず、例えば、液体導入部４１の接続針４２に接続した配管接続部材の液滴吐出ヘッド４０に近接した位置などに設けてもよい。
【００９９】
・上記実施形態では、フィルタ用インクを液滴にして吐出させてＣＦ基板にカラーフィルタを形成する液滴吐出装置に具体化した。これに限らず、金属配線を形成する液滴吐出装置、絶縁層を形成する液滴吐出装置、液晶層や配向膜を形成する液滴吐出装置、有機ＥＬ表示装置の発光層や輸送層等の各層を形成する液滴吐出装置等に応用してもよい。
【０１００】
・上記実施形態では、液滴吐出ヘッド４０を６個搭載したキャリッジを６個搭載した液滴吐出装置１に具体化した。これに限らず、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの配置や数、及び、液滴吐出装置に搭載されるキャリッジの数は、適宜変更してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】キャリッジプレートとキャリッジの関係を表す平面図。
【図３】（ａ）液滴吐出ヘッドを基板ステージ側から見た斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドのポンプ部断面図。
【図４】描画検査カメラ装置の概略斜視図。
【図５】描画検査カメラ装置とＹ軸ガイドレールの概略断面図。
【図６】液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。
【図７】駆動波形信号の一例を示すグラフ。
【符号の説明】
【０１０２】
ＢＤ…ビットマップデータ、ＣＡ…検査カメラ、ＣＯＭ…駆動波形信号、ＣＯＭ０…駆動波形信号、ＣＯＭ１…駆動波形信号、ｈ０…波高値、ｈ１…波高値、Ｆ…機能液、Ｆｂ…液滴、ＬＴ…吐出タイミング信号、Ｍ１…Ｘ軸リニアモータ、Ｍ２…Ｙ軸リニアモータ、Ｐ…被検出紙、Ｐ１…排気ポート、Ｐ２…排気ポート、ＰＺ…圧電素子、ＳＥ…温度センサ、ＳＩ…パターン形成用制御信号、Ｔｋ…基準温度、Ｔｎ…温度、Ｖｈ…駆動電圧値、Ｗ…ＣＦ基板、Ｗｋ…基準吐出重量、Ｗｎ…吐出重量、１…液滴吐出装置、２…基台、２ａ…上面、１１…Ｘ軸ガイドレール、１２…Ｘ軸移動プレート、１４…基板ステージ、１６…ステージ回動機構、１８…Ｙ軸ガイドレール、１９ａ…支柱、１９ｂ…支柱、２１…キャリッジプレート、２２…機能液供給ユニット、２３…ヘッド用電装ユニット、２５…吊下機構、２６…吊下基板、２７…吊下回動枠、２８…吊下支持枠、３０…キャリッジ、３１…キャリッジ枠、３４…ユニットプレート、４０…液滴吐出ヘッド、４０Ａ…ヘッ
ド本体、４１…液体導入部、４２…接続針、４３…ヘッド基板、４３Ａ…ヘッドコネクタ、４４…ポンプ部、４５…ノズルプレート、４５ａ…ノズル形成面、４６…吐出ノズル、４７…ノズル列、４８…フランジ部、４９…ネジ孔、５２…キャビティ、５３…振動板、５５…メンテナンスユニット、５６…メンテナンスベース、５６ａ…上面、６０…ワイピングユニット、６１…キャッピングユニット、７０…検査ユニット、７１…移動ブロック、７２…検査台、７３…フラッシング回収台、７３ａ…受け口、７４…重量測定天秤、８０…描画検査カメラ装置、８１…ベース筐体、８１Ａ…カメラ移動テーブル部、８１Ｂ…ケーブルベアダクト部、８２…ガイド孔、８３…アーム、８４…ベース板、８５…引き出し孔、８６…引き回しアーム、８７…ケーブル、８８…仕切板、８８ａ…通気孔、８９ａ…ケーブル収容室、８９ｂ…ダクト通路室、９０…描画観測カメラ装置、１００…制御装置、１０１…ＣＰＵ、１０２…ＲＯＭ、１０３…ＲＡＭ、１０４…入出力装置、１０５…Ｘ軸リニアモータ駆動回路、１０６…Ｙ軸リニアモータ駆動回路、１０７…駆動波形生成回路、１０８…ヘッド駆動回路、１２３…供給チューブ、１２５…給気装置、１２６…温度調整部、１２７…送風部。
【図１】
2009106838.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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