(57)【要約】      （修正有）【課題】アクチュエータとして使用可能なバイモルフ構造を有する積層体において、積層体全体としての変位量性能が向上した積層体を提供する。【解決手段】２つの樹脂層を備えた積層体１であって、第１の樹脂層２が導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、アニオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であり、第２の樹脂層３が導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、カチオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であることを特徴とする積層体を用いる。【選択図】図１
2009107342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの樹脂層を備えた積層体であって、第１の樹脂層が導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、アニオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であり、第２の樹脂層が導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、カチオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であることを特徴とする積層体。
【請求項２】
２つの樹脂層を備えた積層体であって、第１の樹脂層が導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、電位掃引によって該樹脂層から出入りすることが可能なドーパントアニオンを含む樹脂層であり、第２の樹脂層が導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、電位掃引しても該樹脂層にとどまるドーパントアニオンを含む樹脂層であることを特徴とする積層体。
【請求項３】
第１の樹脂層と第２の樹脂層の間に、導電性薄膜を備えた請求項１または請求項２に記載の積層体。
【請求項４】
２つの樹脂層を備えた積層体であって、（１）第１の樹脂層及び第２の樹脂層がイオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であり、（２）第１の樹脂層と第２の樹脂層の何れか１層が複数の層形成部分により構成され、（３）第１の樹脂層若しくは第２の樹脂層における層形成部分と背面である第２の樹脂層若しくは第１の樹脂層における前記層形成部分に対応する部分との組合わせが、（ａ）導電性樹脂を基体樹脂とする層形成部分であって、アニオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な層形成部分と（ｂ）導電性樹脂を基体樹脂とする層形成部分であって、カチオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な層形成部分との組合わせであり、（４）前記組合わせが積層体中に２以上あることを特徴とする積層体。
【請求項５】
アクチュエータ素子として用いた人工筋肉または駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バイモルフ構造を含むアクチュエータ素子として使用可能な積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、導電性樹脂を用いたバイモルフ構造を有するアクチュエータは、２以上の層からなる複層体のうち少なくとも１層が導電性樹脂層からなり、前記導電性樹脂層にアニオンを脱注入することにより伸長及び収縮が生じるために、電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換して駆動するものである。
【０００３】
上記バイモルフ構造を有するアクチュエータとしては、例えば、「ＭＩＣＲＯＥＬＥＣＴＲＯＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ  ＡＣＴＵＡＴＯＲＳ  ＢＡＳＥＤ  ＯＮ  ＣＯＮＤＵＣＴＩＮＧ  ＰＯＬＹＭＥＲＳ」（P.  I.  Lazarev.  Molecular.Electronics、２６７〜２８９ページ、Kluwer  Academic  Publishers、１９９１） には、脱アニオン状態の導電性樹脂層〔（Ｐ）Ｘ〕とアニオンドープ状態の導電性樹脂層〔（Ｐ＋ＹＡ−Ｙ）Ｘ〕とを備えたマイクロピンセットが記載されている。このマイクロピンセットは、各導電性樹脂層に電線を取付けて通電することにより、一方の導電性樹脂層が伸長したときには、他方の導電性樹脂層が収縮するので、マイクロピンセットの開閉を自由にコントロールすることができるものである。また、特開平１１−１６９３９３及び特開平１１−１６９３９４には、固体電解質形成体の両側にポリアニリン膜が形成されている人工筋肉が提案されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記のバイモルフ構造を有するアクチュエータは、導電性樹脂層（膜）に対して単イオン種であるアニオンの脱注入が行われるためにバイモルフ構造を形成する膜の伸縮が単イオン種の体積や電荷に依存するので、バイモルフ構造を形成する膜の伸縮量が小さく、アクチュエータの屈曲が弱く、アクチュエータとしての変位量が不足している。
【０００５】
また、導電性高分子は、電気化学的酸化還元過程において導電性高分子が脱ドープ状態になると電気伝導性が低下する。
【０００６】
本発明の目的は、バイモルフ構造を備えた積層体において、積層体全体としての変位量性能を向上させることであり、さらには、持続性のある変位速度を向上させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明者らは、鋭意検討の結果、２つの樹脂層を備えた積層体であって、第1の樹脂層が導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、電位掃引、すなわち、電気化学的酸化還元によって該樹脂層から出入りする(脱ドーピング、ドーピング)ことができる比較的嵩の小さなドーパントアニオンを含む樹脂層であり、第2の樹脂層が導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、導電性樹脂の分子鎖と絡み合っているために、電位掃引しても該樹脂層から脱離しない比較的嵩高いドーパントアニオンを含む樹脂層である積層体を用いることにより、大きな積層体の屈曲、変位量を得ることができること見出し、本発明に至った。
【０００８】
また、第１の樹脂層と第２の樹脂層との間に導電性薄膜を備えることにより、電解伸縮の速度を向上させることが可能であることを見出した。
【０００９】
さらには、アクチュエータ素子として使用できる積層体の構成を、２つの樹脂層を備えた積層体であって、（１）第１の樹脂層及び第２の樹脂層がイオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であり、（２）第１の樹脂層と第２の樹脂層の何れか１層が複数の層形成部分により構成され、（３）第１の樹脂層若しくは第２の樹脂層における層形成部分と背面である第２の樹脂層若しくは第１の樹脂層における前記層形成部分に対応する部分との組合わせが、（ａ）導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、樹脂層であって、電位掃引、すなわち、酸化還元によって該樹脂層から出入りすることができる比較的嵩の小さなドーパントアニオンを含む樹脂層により形成される部分と（ｂ）導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、導電性樹脂の分子鎖と絡み合っているために、電位掃引しても該樹脂層から脱離しない比較的嵩高いドーパントアニオンを含む樹脂層により形成される部分との組合わせであり、（４）前記組合わせが積層体中に２以上ある積層体を用いることにより、積層体が全体に一方向に屈曲するのではなく、部分的に異なる屈曲動作を行うために、複雑な屈曲運動を可能とするものであることをも見出した。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明について図を参照して説明するが、本発明は図に示された実施形態に限定されるものではない。
【００１１】
図１は、本発明の積層体であるバイモルフアクチュエータの一態様を示す図であり、図２は、当該態様における積層体断面のイオンの取込み及び放出を示す部分拡大概念図である。図１において、断面として示されている積層体１は、第１の樹脂層２及び第２の樹脂層３を備えている。第１の樹脂層は、導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、アニオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層である。第２の樹脂層は、導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、カチオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層である。積層体１には、第１の樹脂層２と第２の樹脂層３との間に導電性薄膜４が備えられ、さらに導電性薄膜４にはリード５、５’及び電源６を介して対向電極が取り付けられている。
【００１２】
図１においては積層体１が陽極として表されているが、積層体１が陽極である場合には、図２に示すように、電解質溶液中において、アニオンの脱注入が可能である第１の樹脂層２は、アニオンが注入されるためにアニオンを取り込んだ状態となり、当該樹脂層が伸長すると考えられる。これに対して、カチオンの脱注入が可能である第２の樹脂層３は、該樹脂層中に嵩高く脱離できないドーパントアニオンが存在するために、カチオンが脱離することで電解液から電極への電子移動が起こり、当該樹脂層が収縮すると考えられる。これに対し、積層体１が陰極となる場合には、アニオンの脱注入が可能である第１の樹脂層２はアニオンが離脱するために収縮し、カチオンの脱注入が可能である第２の樹脂層３はカチオンが注入されるために伸長する。第１の樹脂層及び第２の樹脂層の伸縮過程において、第１の樹脂層は脱注入されるイオンのうちアニオンが主であり、第２の樹脂層は脱注入されるイオンのうちカチオンが主である樹脂層で有れば良いが、第１の樹脂層はアニオンの脱注入のみが生じる樹脂層であることが好ましく、第２の樹脂層はカチオンの脱注入のみが生じる樹脂層であることが好ましい。本発明の積層体は、上述のようなイオンの脱注入機構を備えることにより、アニオン若しくはカチオンの脱注入のみが生じる積層体に比べて変位量が大きく、屈曲も力強くなる。
【００１３】
前記第１の樹脂層は、導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、アニオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であるが、組成としては、導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、電位掃引、すなわち、電気化学的酸化還元によって該樹脂層から出入りすることができるドーパントアニオンを含む樹脂層を用いることができる。そのようなドーパントアニオン種としては、ｐ−フェノールスルホン酸、ｐ−トルエンスルホン酸などを用いることができる。特に、前記第１の樹脂層として、電解重合ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリフェニレンフィルムなど用いることができる。前記電解重合導電性樹脂フィルムは、比較的嵩の小さなドーパントアニオンを内部に取り込む構造を備えていることにより、サイクリックボルタンメトリーにおいて、初期の酸化−還元電圧印加サイクルでは主にカチオンの脱注入が生じるが、その後電圧印加を繰り返すことにより安定なアニオンの脱注入へと移行する。即ち、このような電圧印加の過程を経て、比較的嵩の小さなドーパントアニオンを内部に取り込ませた電解重合導電性樹脂フィルムは、安定的なアニオン脱注入により駆動可能なアニオン駆動型アクチュエータを形成することができる。なお、前記第１の樹脂層を形成する基体樹脂は、導電性樹脂であれば特に限定されるものではないが、アニオンの安定的な脱注入が得られることから、電解重合ポリピロールを用いることが好ましい。電解重合ポリピロールフィルムは、ポリピロールと電解質（該ドーパントアニオンの塩）を含む水またはアセトニトリルなどの有機溶媒を電解液として、定電位法、定電流法、電位掃引法などにより、合成時に作用極として使用する白金、ＩＴＯ、炭素などの電極上に膜として得られる。
【００１４】
前記第２の樹脂層は、導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、カチオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であるが、組成としては、第２の樹脂層が導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、嵩高く、導電性樹脂の分子鎖と絡まり相互貫通型網目（ＩＰＮ）構造を作り、電位掃引によって容易に脱離しないドーパントアニオンを含む樹脂層を用いることができる。そのような嵩高いドーパントとしては、第２の樹脂層に電位掃引が施されても容易に脱離せず、電位掃引しても該樹脂層にとどまるアニオンであれば、特に限定されるものではない。そのような嵩高いドーパントアニオンは、低分子量化合物のアニオンであっても、重合体のアニオンであっても良いが、第２の樹脂層から脱離しにくくするために、該ドーパントアニオンが長鎖の炭素鎖を持つアニオンであることが好ましく、高分子アニオンであることがより好ましい。前記の低分子量化合物のアニオンとしては、例えばｐ−ドデシルベンゼンスルホン酸などの、主鎖の炭素数が１０以上である脂肪族官能基を備えた脂肪族若しくは芳香族の有機スルホン酸塩を用いることができる。前記の重合体のアニオンとしては、例えばポリスチレンスルホン酸やイオン導電性フッ素樹脂（例えば、商品名「Ｎａｆｉｏｎ」、ＤｕＰｏｎｔ社製）などの嵩高いアニオンを用いることができる。特に、他の樹脂層として、常法の電解重合法による合成時において嵩高いドーパントアニオンを内部に取り込ませた電解重合ポリピロールフィルムは、嵩高いドーパントアニオンを内部に取り込む構造を備えていることより、サイクリックボルタンメトリーにおいて、前記他の樹脂層に対してのカチオンの安定な脱注入が認められ、アニオンの脱注入が観察されなかった。つまり、嵩高いドーパントアニオンを内部に取り込ませた電解重合ポリピロールフィルムは、カチオンの安定的な脱注入により駆動可能なカチオン駆動型アクチュエータを形成することができる。なお、前記第２の樹脂層を形成する基体樹脂についても、導電性樹脂であれば特に限定されるものではないが、カチオンの安定的な脱注入が得られることから、電解重合ポリピロールを用いることが好ましい。この電解重合ポリピロールとしては、嵩高いドーパントアニオンの塩、例えばポリスチレンスルホン酸ナトリウムの水溶液にピロールを加えて、常法により電解重合することにより膜として得られる。
【００１５】
図１および図２においては、第１の樹脂層２と第２の樹脂層３との間に導電性薄膜４が備えられている。図１及び図２においては導電性薄膜４を備えており、本発明の積層体に導電性薄膜４を必ずしも備えていなくても良いが、前記導電性薄膜を設置することにより本発明における積層体の屈曲運動の伸縮速度の向上を行うことができるので、本発明の積層体中に前記導電性薄膜を第1の樹脂層２と第２の樹脂層３とに接触するように設けることが好ましい。前記導電性薄膜が低抵抗の導電層であるために電流が流れ易いので、一の樹脂層と他の樹脂層とに接触して各層の間に前記導電性薄膜があることにより、リードを取付けた端部Ａと反対側の端部Ｂとの電位差が殆どない。このために、端部Ｂにおける一の樹脂層及び他の樹脂層で生じる電気化学的酸化還元反応が端部Ａ付近で生じるのと同様の反応量で生じるので、積層体全体における電気化学的酸化還元反応の反応速度並びに一の樹脂層及び他の樹脂層の伸縮速度が向上するものである。
【００１６】
前記導電性薄膜としては、特に限定されるものではなく、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銅（Ｃｕ）など導電性に優れた金属薄膜を用いることが好ましく、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）などの耐食性を有する導電性金属薄膜を用いることがより好ましい。また、本発明の積層体の形成若しくは変形を自由に行いやすくするために、導電性に優れた金属を不導体または半導体の薄膜にコーティングすることにより、実質的に導電性薄膜とした導電性薄膜を用いてもよく、例えば、樹脂薄膜にＰｔ等の導電性金属を蒸着することにより得られた表面に導電性金属層を有する薄膜を用いても良い。
【００１７】
図３（ａ）は、本発明の他の実施態様である積層体１１の断面図であり、図３（ｂ）は前記積層体１１の駆動状態を示す断面図である。積層体１１は、厚さ方向に２つの層が積層した積層体として構成され、第１の樹脂層２１と第２の樹脂層３１から構成されている。第１の樹脂層である層２１は、第１の樹脂層についての層形成部分７１と層形成部分２２とから構成され、層形成部分７１は導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、カチオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であり、層形成部分２２は導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、アニオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層である。第２の樹脂層である層３１は、第２の樹脂層についての層形成部分７２と層形成部分３２とから構成され、層形成部分７２は導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、カチオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であり、層形成部分３２は導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、アニオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層である。層形成部分７１及び層形成部分７２は、階段状の連続層である層７を構成するものであるが、厚さ方向における複合層である積層体１１の第１の樹脂層２１と第２の樹脂層３１とのそれぞれの層を形成する部分である。
【００１８】
積層体１１は、端部Ｃにおいては第１の樹脂層の層形成部分７１とその背面である第２の樹脂層の層形成部分３２との組合わせであり、端部Ｄにおいては第１の樹脂層の層形成部分２２とその背面である第２の樹脂層の層形成部分７２との組合わせである。層形成部分２２及び層形成部分３２は、導電性樹脂を基体樹脂とする層形成部分であって、アニオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な層形成部分である。層形成部分７１及び層形成部分７２は、導電性樹脂を基体樹脂とする層形成部分であって、カチオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な層形成部分である。積層体１１は、積層された層間における、導電性樹脂を基体樹脂とする層形成部分であって、アニオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な層形成部分と、導電性樹脂を基体樹脂とする層形成部分であって、カチオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な層形成部分との組合わせが、端部Ｃ付近と端部Ｄ付近との２つの組合わせを備えているが、本発明の積層体は２以上の組合わせの部分を備えていても良い。前記組合わせを複数の部分に備えた積層体は、変位量が大きく、屈曲も力強く、さらに積層体全体において異なる屈曲動作を行う部位があるために複雑な屈曲運動をするので、前記組合わせが１つである図１に示す積層体に比べて振れ幅が狭くしながら大きな機械的エネルギーを発揮することができる。
【００１９】
前記積層体１１は、図３（ｂ）に示すように、酸化還元過程のニュートラル状態から酸化状態への移行時に、すなわちアニオンの注入及びカチオンの離脱が生じる状態への移行時においては蠕動を生じ、酸化還元過程のニュートラル状態から酸化状態への移行時においては逆の蠕動を生じる。前記の蠕動運動は、アニオンの脱注入が可能な層形成部分とカチオンの脱注入が可能な層形成部分との組合わせを複数備えることにより、複雑となり、積層体平面においてマトリックス状に形成することにより、さらに複雑な蠕動を生じることも可能であるが、前記組合わせの配置を適宜設定することにより、平面的な生物の動きとすることも可能である。
【００２０】
前記積層体１１は、図４として示す積層体１１の工程図の製造方法により製造することもできる。先ず、第１工程として導電性基体電極８を用意し、第２工程において前記導電性電極８に隠蔽層９を形成する。第３工程において、前記第２工程で得た隠蔽層９を備えた導電性電極８に通電することによる電解重合法にて第１の層形成部分２２を形成する。第４工程において、第３工程で得た層形成部分２２を備えた前記導電性電極８から隠蔽層９を剥離した後に、導電性電極８に通電することによる電解重合法にて連続層７を形成する。第５工程において、導電性電極８上に形成された層７（層形成部分７１）の上に電着法にて第２の樹脂層の層形成部分３２を形成する。第６工程において、第５工程により得られた積層体を導電性電極８より剥がすことにより本発明の積層体１１を得ることができる。なお、前記導電性基体電極として、白金電極または炭素電極を用いた場合には、該電極の両面に樹脂層が形成される場合があるために、電解重合法にて第１の樹脂層を形成する前に該電極の一方の面を粘着テープ等の絶縁性材料により隠蔽しておくことが好ましい。
【００２１】
前記の本発明の製造方法において、前記導電性電極８は、公知の板状電極として用いることができるものであれば特に限定されるものではないが、導電性が良好であるなどの点から白金電極であることが好ましい。第２工程において形成される隠蔽層は、電気伝導性が低い層であり、隠蔽層上に層形成部分２２を構成する導電性樹脂等が電着しない材質であれば特に限定されるものではなく、粘着テープを貼るなどにより塗膜形成することにより得ることができる。また、第３工程、第４工程、及び第５工程において用いられる電解重合法は、公知の方法により行われるものであり、電位、通電量を適宜調整することにより、所望の膜厚を形成するものであれば、特に限定されるものではない。
【００２２】
本発明の積層体は、通電による変位量が大きく、屈曲が力強いので、機械的エネルギーの大きいアクチュエータ素子として用いることができる。さらに、本発明の積層体は、２層間におけるアニオン脱注入が可能な層形成部分とカチオン脱注入が可能な層形成部分との組合わせを複数備えることにより、より複雑な蠕動運動が可能となり、大きな機械的エネルギーを生み出しながらも、振れ幅の小さいアクチュエータ素子として用いることができ、強い機械的エネルギーを発生させることができる人工筋肉並びにカテーテル、マイクロデバイスなどのマイクロマシーンとして使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の積層体の一の実施態様。
【図２】本発明の積層体の断面においてのイオンの取込み及び放出を示す部分拡大概念図。
【図３】（ａ）本発明の積層体の他の実施態様。（ｂ）本発明の積層体の他の実施態様における駆動状態を示す断面図。
【図４】本発明の積層体の他の実施態様についての製造工程図。
【符号の説明】
【００２４】
１、１１ 積層体
２、２１ 第１の樹脂層
２２ 第１の樹脂層の層形成部分
３、３１ 第２の樹脂層
３２ 第２の樹脂層形成部分
４ 導電性薄膜
５、５’ リード
６ 電池
７ 連続層
７１ 第１の樹脂層の層形成部分
７２ 第２の樹脂層の層形成部分
８ 導電性電極
９ 隠蔽層
Ａ 積層体１の端部
Ｂ 積層体１の端部
Ｃ 積層体１１の端部
Ｄ 積層体１１の端部
【図１】
2009107342.tif 000003
【図２】
2009107342.tif 000004
【図３】
2009107342.tif 000005
【図４】
2009107342.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月24日(2008.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の樹脂層及び第２の樹脂層を積層した積層体であって、
前記第１の樹脂層及び前記第２の樹脂層が、導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であり、
前記第１の樹脂層及び前記第２の樹脂層が、イオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であり、
前記第１の樹脂層が、アニオン及びカチオンのいずれか一方を取込むことにより伸長可能な層形成部分（１）、及び、前記層形成部分（１）の取込まれるアニオン又はカチオンと反対のアニオン又はカチオンを放出することにより収縮可能な層形成部分（２）からなり、
前記第２の樹脂層が、アニオン及びカチオンのいずれか一方を取込むことにより伸長可能な層形成部分（１）、及び、前記層形成部分（１）の取込まれるアニオン又はカチオンと反対のアニオン又はカチオンを放出することにより収縮可能な層形成部分（２）からなり、
前記第１の樹脂層の前記層形成部分（１）及び前記第２の樹脂層の前記層形成部分（１）が連続して階段状の連続層を形成していることを特徴とする積層体。
【請求項２】
更に、前記第１の樹脂層の前記層形成部分（２）及び前記第２の樹脂層の前記層形成部分（２）が連続層を形成していないことを特徴とする請求項１記載の積層体。
【請求項３】
前記樹脂層がポリピロールにより形成されることを特徴とする請求項１又は２記載の積層体。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の積層体の製造方法であって、
導電性電極上の一部に隠蔽層を形成する工程と、
前記隠蔽層を形成した部分を除く前記導電性電極上に電解重合法にて、層形成部分（２）を形成する工程と、
前記層形成部分（２）を形成した前記導電性電極上から隠蔽層を剥離する工程と、
前記導電性電極上に電解重合法にて、前記隠蔽層を剥離した部分及び前記層形成部分（２）上に、階段状の連続層である層形成部分（１）を形成する工程と、
前記階段状の連続層である層形成部分（１）であって、前記層形成部分（２）上に隠蔽層を形成する工程と、
前記隠蔽層を形成した部分を除く前記階段状の連続層である層形成部分（１）上に電解重合法にて、層形成部分（２）を形成する工程と、
前記階段状の連続層である層形成部分（１）上に形成した隠蔽層を剥離する工程と、
前記積層体を導電性電極上より剥離する工程と、を含むことを特徴とする積層体の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
さらには、アクチュエータ素子として使用できる積層体の構成を、第１の樹脂層及び第２の樹脂層を積層した積層体であって、前記第１の樹脂層及び前記第２の樹脂層が、導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であり、前記第１の樹脂層及び前記第２の樹脂層が、イオンの取込み及び放出することにより伸縮可能な樹脂層であり、前記第１の樹脂層が、アニオン及びカチオンのいずれか一方を取込むことにより伸長可能な層形成部分（１）、及び、前記層形成部分（１）の取込まれるアニオン又はカチオンと反対のアニオン又はカチオンを放出することにより収縮可能な層形成部分（２）からなり、前記第２の樹脂層が、アニオン及びカチオンのいずれか一方を取込むことにより伸長可能な層形成部分（１）、及び、前記層形成部分（１）の取込まれるアニオン又はカチオンと反対のアニオン又はカチオンを放出することにより収縮可能な層形成部分（２）からなり、前記第１の樹脂層の前記層形成部分（１）及び前記第２の樹脂層の前記層形成部分（１）が連続して階段状の連続層を形成していることを特徴とする。更に、本発明の積層体は、前記第１の樹脂層の前記層形成部分（２）及び前記第２の樹脂層の前記層形成部分（２）が連続層を形成していないことが好ましい。また、本発明の積層体は、前記樹脂層がポリピロールにより形成されることが好ましい。また、電位掃引、すなわち、酸化還元によって該樹脂層から出入りすることができる比較的嵩の小さなドーパントアニオンを含む樹脂層により形成される部分と導電性樹脂を基体樹脂とする樹脂層であって、導電性樹脂の分子鎖と絡み合っているために、電位掃引しても該樹脂層から脱離しない比較的嵩高いドーパントアニオンを含む樹脂層により形成される部分との組合わせであり、前記組合わせが積層体中に２以上ある積層体を用いることにより、積層体が全体に一方向に屈曲するのではなく、部分的に異なる屈曲動作を行うために、複雑な屈曲運動を可能とするものであることをも見出した。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の積層体の製造方法は、前記いずれかに記載の積層体の製造方法であって、導電性電極上の一部に隠蔽層を形成する工程と前記隠蔽層を形成した部分を除く前記導電性電極上に電解重合法にて、層形成部分（２）を形成する工程と、前記層形成部分（２）を形成した前記導電性電極上から隠蔽層を剥離する工程と、前記導電性電極上に電解重合法にて、前記隠蔽層を剥離した部分及び前記層形成部分（２）上に、階段状の連続層である層形成部分（１）を形成する工程と、前記階段状の連続層である層形成部分（１）であって、前記隠蔽層を剥離した部分上に電着法にて、層形成部分（２）を形成して積層体を形成する工程と、前記積層体を導電性電極上より剥離する工程と、を含むことが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2009107342.tif 000007