(57)【要約】【課題】フォークリフトを用いてパスボックスへ物品を移す作業やクリーンルームの内外で物品を受け渡す作業について作業効率を向上させること。【解決手段】パスボックス１００は、クリーンルーム２００の側壁２０１に設置され、クリーンルーム２００の内側と外側で物品の受け渡しが行なわれる。このパスボックス１００は、物品を載置する載置台１０５を備えている。載置台１０５の下には、車両１１の前方に突出したアウトリガー１３、１４が挿入される第１挿入穴１１０が、クリーンルーム２００の内側に向けて開口するように形成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの側壁に設置され、クリーンルームの内側と外側で物品の受け渡しが行なわれるパスボックスであって、
物品を載置する載置台を備え、
前記載置台の下に、車両の前方に突出したアウトリガーが挿入される第１挿入穴が、クリーンルームの内側に向けて開口するように形成されている、パスボックス。
【請求項２】
前記載置台の下に、前記第１挿入穴とは独立して、車両の前方に突出したアウトリガーが挿入される第２挿入穴が、クリーンルームの外側に向けて開口するように形成されており、
当該第２挿入穴は、クリーンルームの内部と気密性を有する壁によって隔てられている、請求項１に記載のパスボックス。
【請求項３】
前記第２挿入穴は、前記第１挿入穴の幅方向両側にそれぞれ形成されている、請求項２に記載のパスボックス。
【請求項４】
前記第１挿入穴の幅方向の中間位置と、幅方向両側の第２挿入穴の幅方向の中間位置が一致している、請求項３に記載のパスボックス。
【請求項５】
前記第１挿入穴は、前記第２挿入穴の幅方向両側にそれぞれ形成されている、請求項２に記載のパスボックス。
【請求項６】
前記第２挿入穴の幅方向の中間位置と、幅方向両側の第１挿入穴の幅方向の中間位置が一致している、請求項５に記載のパスボックス。
【請求項７】
前記第１挿入穴の上部は前記載置台に開口しており、当該開口に着脱自在に嵌められる蓋を備えている、請求項１〜６の何れかに記載のパスボックス。
【請求項８】
前記第１挿入穴は、クリーンルームの内側に向けて開口した挿入口が第１挿入穴の奥よりも幅方向に広くなるように形成された、請求項１〜７の何れかに記載のパスボックス。
【請求項９】
前記第２挿入穴は、クリーンルームの外側に向けて開口した挿入口が第２挿入穴の奥よりも幅方向に広くなるように形成された、請求項１〜８の何れかに記載のパスボックス。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れかに記載のパスボックスが側壁に設置されたクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム（clean room）の側壁に設置され、クリーンルームの内側と外側で物品の受け渡しを行なうパスボックス（pass box）、および、当該パスボックスが設置されたクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームは、数〜数十ミクロンレベルの大きさの塵やほこりも取り除けるように設計され、内部に超清浄空間を形成するための施設である。かかるクリーンルームは、例えば、リチウムイオン二次電池(lithium-ion secondary battery)や半導体などのエレクトロニクス（electronics）や、バイオテクノロジー（biotechniques）等の技術分野、医薬品や食品製造分野等に幅広く利用されている。かかるクリーンルームに関し、特開平６−２７０９３９号公報には、クリーンルームへ搬入されるパレットであって、載置された物品の底面を空気シャワーによって洗浄できるパレットに関する技術が記載されている。また、特開平１１−１１４７８号公報には、クリーンルーム間をフォークリフト（forklift truck）等を用いて搬送可能な二重構造のコンテナに関する技術が記載されている。
【０００３】
ところで、クリーンルーム内で用いられる材料や部品の搬入や、クリーンルーム内で製造された製品や半製品などの搬出のため、クリーンルーム内とクリーンルームの外で物品を受け渡す作業が必要である。クリーンルームは、クリーンルーム内の汚染を抑制するために、物品を搬入したり搬出したりする際に、クリーンルーム内に塵や埃が侵入するのを防止する装置が必要である。ここで、クリーンルーム内外で物品を受け渡すのに用いられる装置として、クリーンルームの側壁に設置されるパスボックスがある。「パスボックス」は、クリーンルーム内外で物品を受け渡すのに用いられる箱状の装置である。
【特許文献１】特開平６−２７０９３９号公報
【特許文献２】特開平１１−１１４７８号公報
【特許文献３】実開平７−２８１９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
クリーンルーム内外で物品を受け渡す作業にフォークリフトが使用される場合がある（特開平１１−１１４７８号公報）。従来、この種の作業には運動性能のよい所謂カウンター型のフォークリフト（リフター(lifter)ともいう。）が使用されている。しかしながら、カウンター型フォークリフトを効率よく使用（運転）するには比較的広い取り回しスペースを必要とするため、比較的狭いクリーンルーム内で斯かるタイプのフォークリフトの使用は本来不向きである。
他の構造のフォークリフト（リフター）として、実開平７−２８１９５号公報に記載されるような所謂アウトリガー（outrigger）型フォークリフト（リフター）が挙げられる。このアウトリガー型リフター１０Ａは、例えば、図１に示すように、車両１１の前側に張り出したアウトリガー１３、１４に車輪１６、１７が取り付けられている。図１に示すアウトリガー型リフター１０Ａでは、当該アウトリガー１３、１４の間にフォークリフト１８を備えている。図１中の符号２１、２２は、フォークリフト１８のフォークを示している。かかるアウトリガー型リフター１０Ａは、上述のカウンター型リフターと比較して、小回りが利き、一般にはスペースに制約がある場所でも使い勝手が良いと考えられる。
しかしながら、クリーンルームの内側から外側（或いはその逆）へ物品を搬出する作業では事情は異なる。即ち、クリーンルームの内側からパスボックスに物品を載置し、パスボックスに載置された物品をクリーンルームの外側へ搬出する。この作業にアウトリガー型リフターを使用しようとすると、車両の前側に張り出したアウトリガーが邪魔になり、パスボックスに物品を載置し難い。
本発明者は、上述の事情に鑑み、フォークリフトを用いてパスボックスへ物品を移す作業ならびにクリーンルームの内外で物品を受け渡す作業について、その作業効率を向上することを目的として本発明を創出した。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るパスボックスは、クリーンルームの側壁に設置され、クリーンルームの内側と外側で物品の受け渡しが行なわれるパスボックスである。このパスボックスは、物品を載置する載置台を備えている。載置台の下には、車両の前方に突出したアウトリガーが挿入される第１挿入穴が、クリーンルームの内側に向けて開口するように形成されている。
かかるパスボックスによれば、従来使用が困難であったアウトリガー型リフターのアウトリガーを第１挿入穴に挿入することによって、パスボックスの載置台にフォークを延ばすことができる。このため、クリーンルームの内側にて、アウトリガー型リフターを用いて、パスボックスの載置台に直接物品を載置したり、パスボックスの載置台から物品を掬ったりすることができる。斯かるパスボックスの採用によって、作業スペース（取り回しスペース）が比較的小さくてすむアウトリガー型リフターの使用を実現し得、当該アウトリガー型リフターを使用してパスボックスへ物品を移す作業や、例えばリチウムイオン電池等の二次電池製造に使用するような比較的作業スペースの小さいクリーンルームの内外で物品（例えば電池構築用の種々の材料、或いは製造された電池製品）を受け渡す作業の作業効率を向上させることができる。
【０００６】
載置台の下には、第１挿入穴とは独立して、車両の前方に突出したアウトリガーが挿入される第２挿入穴が、クリーンルームの外側に向けて開口するように形成されており、当該第２挿入穴は、クリーンルームの内部と気密性を有する壁によって隔てられていることが好ましい。
かかるパスボックスによれば、アウトリガー型リフターのアウトリガーを第２挿入穴に挿入することによって、パスボックスの載置台にフォークを延ばすことができる。このため、クリーンルームの外側においてもアウトリガー型リフターを用いることができ、パスボックスの載置台に直接物品を載置したり、パスボックスの載置台から物品を掬ったりすることができる。これによりアウトリガー型リフターからパスボックスへ物品を移す作業や、クリーンルームの内外で物品を受け渡す作業について、より一層の作業効率の向上を図ることができる。
また、第２挿入穴が、クリーンルームの内部と気密性を有する壁によって隔てられているので、第２挿入穴を通じてクリーンルームが汚染されることもない。
【０００７】
第２挿入穴は、第１挿入穴の幅方向両側にそれぞれ形成されていてもよい。このような構成により、作業効率を低下させることなく比較的コンパクトなパスボックスが提供される。
また、この場合、第１挿入穴の幅方向の中間位置と、幅方向両側の第２挿入穴の幅方向の中間位置が一致していることが特に好ましい。このような構成によって、クリーンルームの内側から第１挿入穴にアウトリガーを挿入したアウトリガー型リフターの中心と、クリーンルームの外側から第２挿入穴にアウトリガーを挿入したアウトリガー型リフターの中心を略一致させることができ、これによってクリーンルームの内側と外側で安定して物品の受け渡しを行なうことができる。
【０００８】
また、第１挿入穴は、第２挿入穴の幅方向両側にそれぞれ形成されていてもよい。このような構成によっても、作業効率を低下させることなく比較的コンパクトなパスボックスが提供される。
また、この場合、第１挿入穴の幅方向の中間位置と、幅方向両側の第２挿入穴の幅方向の中間位置が一致していることが特に好ましい。このような構成によって、クリーンルームの内側から第１挿入穴にアウトリガーを挿入したアウトリガー型リフターの中心と、クリーンルームの外側から第２挿入穴にアウトリガーを挿入したアウトリガー型リフターの中心を略一致させることができ、これによってクリーンルームの内側と外側で安定して物品の受け渡しを行なうことができる。
【０００９】
また、第１挿入穴の上部は載置台に開口しており、当該開口に着脱自在に嵌められる蓋を備えていてもよい。これにより、クリーンルームに連通した第１挿入穴の清掃が容易に行なえる。
【００１０】
また、前記第１挿入穴は、クリーンルームの内側に向けて開口した挿入口が第１挿入穴の奥よりも幅方向に広くなるように形成されていてもよい。同様に、第２挿入穴は、クリーンルームの外側に向けて開口した挿入口が第２挿入穴の奥よりも幅方向に広くなるように形成されていてもよい。このような構成によって、アウトリガー型リフターのアウトリガーを第１挿入穴または第２挿入穴に挿入する操作が容易に行なえるため、より一層の作業効率の向上を図ることができる。
【００１１】
また、本発明は、ここで開示される何れかの構成のパスボックスが側壁に設置されたクリーンルームを提供する。
本発明のクリーンルームによると、アウトリガー型リフターの採用により、比較的狭い作業空間でも効率よくパスボックスへ物品を移す作業やクリーンルーム内外で物品を受け渡す作業を行うことができる。従って、例えばリチウムイオン電池等の電池の製造に用いるクリーンルームとして好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態に係るパスボックス、および、クリーンルームを図面に基づいて説明する。なお、同じ作用を奏する部材又は部位には、同じ符号を付している。また、下記の実施形態は本発明の実施の一形態を例示するに過ぎず、本発明は下記の実施形態には限定されない。
【００１３】
この実施形態のパスボックス１００は、図２に示すように、クリーンルーム２００の側壁２０１に設置され、クリーンルーム２００の内側と外側で物品の受け渡しを行なう箱体である。パスボックス１００には、パスボックス１００内の空気中の塵や埃を除去する塵除去装置１０１、１０２を備えている。塵除去装置１０１、１０２は、この実施形態では、図示は省略するが、空気噴出部（エアシャワー）、空気吸引部、フィルタ、ポンプなどを備えている。ポンプによって空気吸引部からパスボックス内の空気を吸引し、フィルタによって空気中の塵や埃を数ミクロンの大きさものまで取り除く。そして、塵や埃を取り除いた空気を空気噴出部から噴出させている。また、パスボックス１００は、気密性を有する扉（例えばシャッター１３１、１３２：図４）によって、クリーンルーム２００、および、クリーンルーム２００の外側と、それぞれ隔てられる。さらに、クリーンルーム２００内、パスボックス１００内は、クリーンルーム２００の外よりも気圧が高くなるように調整されている。これにより、クリーンルーム２００内の空気はクリーンルーム２００外に出るが、クリーンルーム２００の外の空気はクリーンルーム２００内に入らない。
【００１４】
パスボックス１００は、図３に示すように、物品を載置する載置台１０５を備えており、載置台１０５の下には、第１挿入穴１１０と、第２挿入穴１２０が形成されている。
【００１５】
第１挿入穴１１０は、図４に示すように、クリーンルーム２００の内側に向けて開口しており、リフター１０Ａの前方に突出したアウトリガー１３、１４が挿入される。この実施形態では、第１挿入穴１１０は、図３に示すように、クリーンルーム２００の内側で使用されるアウトリガー型リフター１０Ａの左右のアウトリガー１３、１４が入り得る一つの穴で形成されている。第１挿入穴１１０は、略矩形の孔であり、載置台１０５の略中央部に形成されている。この実施形態では、図３に示すように、第１挿入穴１１０の上部は載置台１０５に開口している。当該開口には、図４に示すように、蓋１３０が着脱自在に嵌められる。当該蓋１３０は、第１挿入穴１１０の上部の開口に嵌められた状態において、パスボックス１００の物品を載置する載置台１０５の一部になる。
【００１６】
この実施形態では、クリーンルーム２００の内側で使用されるアウトリガー型リフター１０Ａは、図１に示すように、車両１１の前方に突出したアウトリガー１３、１４が左右２本ある。第１挿入穴１１０の幅は、図５に示すように、アウトリガー型リフター１０Ａの左右２本のアウトリガー１３、１４の幅よりも広く設定されている。なお、図５では、第１挿入穴１１０の上部から蓋１３０を外した状態を示している。
また、この実施形態では、第１挿入穴１１０は、クリーンルーム２００の内側の挿入口１１１は、第１挿入穴１１０の奥よりも幅方向に広くなるように、クリーンルーム２００の内側の挿入口１１１付近の側面１１３、１１４が斜めに形成されている。これにより、第１挿入穴１１０にアウトリガー型リフター１０Ａが挿入し易く、アウトリガー型リフター１０Ａの取り回しが容易になる。
【００１７】
第２挿入穴１２０は、図３に示すように、車両１１の前方に突出したアウトリガー１３、１４が挿入される挿入穴であり、クリーンルーム２００の外側に向けて開口している。第２挿入穴１２０は、図６に示すように、載置台１０５の下に第１挿入穴１１０とは独立して形成されており、クリーンルーム２００の内部と気密性を有する壁１１５によって隔てられている。この実施形態では、第２挿入穴１２０は、第１挿入穴１１０の幅方向両側（両方の外側）にそれぞれ形成されている。さらに、この実施形態では、第１挿入穴１１０の幅方向の中間位置ｃ１（図５参照）と、幅方向両側の第２挿入穴１２０の中間位置ｃ２（図６参照）が一致している。
この実施形態では、第２挿入穴１２０は、クリーンルーム２００の外側の挿入口１２１が、第２挿入穴１２０の奥よりも幅方向に広くなるように、クリーンルーム２００の内側の挿入口１２１付近の側面１２３、１２４が斜めに形成されている。これにより、第２挿入穴１２０にアウトリガー型リフター１０Ｂのアウトリガー１３、１４が挿入し易く、アウトリガー型リフター１０Ｂの取り回しが容易になる。
【００１８】
なお、この実施形態では、図４に示すように、パスボックス１００は、内側及び外側にそれぞれ天井部分に設置したシャッター（shutter）１３１、１３２を備えている。シャッター１３１、１３２は、パスボックス１００とクリーンルーム２００内部、パスボックス１００とクリーンルーム２００の外側とをそれぞれ遮蔽する。かかる扉は、かかる実施形態（シャッター）に限らず、気密性を有する扉であればよい。
【００１９】
このパスボックス１００は、載置台１０５の下には、アウトリガー型リフター１０Ａの車両１１の前方に突出したアウトリガー１３、１４が挿入される第１挿入穴１１０が、クリーンルーム２００の内側に向けて開口している。
このパスボックス１００に対しては、図５に示すように、クリーンルーム２００の内側では、第１挿入穴１１０に左右のアウトリガー１３、１４を挿入できるアウトリガー型リフター１０Ａを用いる。
この際、図４および図５に示すように、アウトリガー型リフター１０Ａの左右のアウトリガー１３、１４を第１挿入穴１１０に挿入することによって、パスボックス１００の載置台１０５にフォーク２１（２２）を延ばすことができる。このように、このパスボックス１００では、クリーンルーム２００の内側において、アウトリガー型リフター１０Ａを用いて、パスボックス１００の載置台１０５に直接物品３００を載置したり、パスボックス１００の載置台１０５の物品３００を掬ったりすることができる。なお、クリーンルーム２００の内側でパスボックス１００に物品３００を搬入したり、パスボックス１００から物品３００を搬出したりする作業を行なう場合には、図４に示すように、パスボックス１００の外側の扉（この実施形態では、シャッター１３２）を閉じて行なうとよい。また、図５では、第１挿入穴１１０の上部の開口から蓋１３０を外した状態で図示されているが、パスボックス１００に物品を搬入したり、パスボックス１００から物品を搬出したりする作業を行なう場合には、第１挿入穴１１０の上部の開口に蓋１３０を嵌めた状態で行なうとよい。
【００２０】
また、このパスボックス１００は、載置台１０５の下に、第１挿入穴１１０とは独立して、車両１１の前方に突出したアウトリガー１３、１４が挿入される第２挿入穴１２０が、クリーンルーム２００の外側に向けて開口するように形成されている。この第２挿入穴１２０は、クリーンルーム２００の内部と気密性を有する壁１１５によって隔てられている。
このパスボックス１００に対しては、図６に示すように、クリーンルーム２００の外側では、第１挿入穴１１０の幅方向両側にそれぞれ形成された第２挿入穴１２０に、左右のアウトリガー１３、１４を挿入できるアウトリガー型リフター１０Ｂを用いる。
この際、図６に示すように、アウトリガー型リフター１０Ｂの左右のアウトリガー１３、１４を、左右の第２挿入穴１２０に挿入することによって、パスボックス１００の載置台１０５にフォーク２１、２２（図１参照）を延ばすことができる。
なお、図６では、第１挿入穴１１０の上部から蓋１３０を外した状態を示している。パスボックス１００に物品を搬入したり、パスボックス１００から物品を搬出したりする作業を行なう場合には、第１挿入穴１１０の上部の開口に蓋１３０を嵌めた状態で行なうとよい。
図６に示すように、このパスボックス１００では、クリーンルーム２００の外側において、アウトリガー型リフター１０Ｂを用いて、パスボックス１００の載置台１０５に直接物品を載置したり、パスボックス１００の載置台１０５に載置された物品を掬ったりすることができる。なお、クリーンルーム２００の外側でパスボックス１００に物品を搬入したり、パスボックス１００から物品を搬出したりする作業を行なう場合には、図示は省略するが、パスボックス１００の内側の扉（この実施形態では、シャッター１３１（図４参照））を閉じて行なうとよい。
また、この実施形態では、第２挿入穴１２０が、クリーンルーム２００の内部と気密性を有する壁１１５によって隔てられているので、第２挿入穴１２０を通じてクリーンルーム２００が汚染されることもない。
【００２１】
また、図５に示すように、クリーンルーム２００の内側から第１挿入穴１１０にアウトリガー１３、１４を挿入したアウトリガー型リフター１０Ａの中心は、第１挿入穴１１０の幅方向の中間位置ｃ１或いはその近傍に配設される。また、図６に示すように、クリーンルーム２００の外側から第２挿入穴１２０にアウトリガー１３、１４を挿入したアウトリガー型リフター１０Ｂの中心は、左右の第２挿入穴１２０の幅方向の中間位置ｃ２、或いはその近傍に配設される。このパスボックス１００は、第１挿入穴１１０の幅方向の中間位置ｃ１と、幅方向両側の第２挿入穴１２０の幅方向の中間位置ｃ２とが一致している。このため、クリーンルーム２００の内外で使用されるアウトリガー型リフター１０Ａ、１０Ｂは、アウトリガー１３、１４をそれぞれ第１挿入穴１１０、第２挿入穴１２０に挿入したとき、アウトリガー型リフター１０Ａ、１０Ｂの幅方向の中心は略一致する。クリーンルーム２００の内外で使用されるアウトリガー型リフター１０Ａ、１０Ｂの幅方向の中間位置ｃ１、ｃ２が略一致するので、クリーンルーム２００の内側と外側で安定して物品の受け渡しを行なうことができる。
【００２２】
また、この実施形態では、パスボックス１００は、クリーンルーム２００の内側に形成される第１挿入穴１１０の上部は載置台１０５に開口しており、当該開口に着脱自在に嵌められる蓋１３０を備えている。この場合、図３に示すように、蓋１３０を第１挿入穴１１０から取り外すことによって、クリーンルーム２００に連通した第１挿入穴１１０の清掃が容易に行なえる。
また、この実施形態では、第１挿入穴１１０は、クリーンルーム２００の内側で使用されるアウトリガー型リフター１０Ａの左右のアウトリガー１３、１４が入り得る一つの穴で形成されている。このため、穴が大きく、清掃作業を行なう際に、隅々まで清掃作業者の手が届き、清掃し易い。クリーンルーム２００の内側に配設される第１挿入穴１１０は、塵や埃を排除し、常に清潔にすることが求められ、定期的な清掃が必要である。従って、この実施形態のように、第１挿入穴１１０を清掃し易い形態とすることのメリットは大きい。
【００２３】
以上、本発明に係るパスボックスおよびクリーンルームを説明したが、これらは本発明の一実施形態を示すに過ぎず、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。また、上述した実施形態の各構成は、適宜変更が可能である。
【００２４】
例えば、上述した実施形態では、図３に示すように、載置台１０５の下には、クリーンルーム２００の内側に向けて開口する第１挿入穴１１０とは独立して、第２挿入穴１２０がクリーンルーム２００の外側に向けて開口するように形成されている。しかし、クリーンルーム２００の外側では、作業スペースなどの制約がなく、アウトリガー型リフター１０でないフォークリフトが用いられることがある。このため、クリーンルーム２００の外側に、アウトリガーが挿入される第２挿入穴を形成する必要がない場合もある。
【００２５】
また、上述した実施形態では、クリーンルーム２００の内側に向けて開口する第１挿入穴１１０がパスボックス１００の幅方向の中心に形成され、クリーンルーム２００の外側に開口する第２挿入穴１２０が、第１挿入穴１１０の幅方向両側にそれぞれ形成されている。しかし、本発明に係るパスボックスは、これに限定されない。例えば、図示は省略するが、クリーンルームの外側に向けて開口する第２挿入穴がパスボックスの幅方向の中心に形成され、当該第２挿入穴の幅方向両側に、クリーンルームの内側に向けて開口する第１挿入穴を形成してもよい。この場合、第２挿入穴の幅方向の中間位置と、幅方向両側の第１挿入穴の幅方向の中間位置を一致させるとよい。
【００２６】
また、上述した実施形態では、図５に示すように、クリーンルーム２００の内側に形成される第１挿入穴１１０は、アウトリガー型リフター１０Ａの左右のアウトリガー１３、１４が収まり得る一つの大きな穴で形成されている。しかし、第１挿入穴１１０は、図示は省略するが、アウトリガー型リフター１０Ａの左右のアウトリガー１３、１４がそれぞれ収まる２つの穴で形成してもよい。
【００２７】
上述したパスボックスを備えたクリーンルームは、例えば、リチウムイオン二次電池や半導体などのエレクトロニクスや、バイオテクノロジー等の技術分野、医薬品や食品製造分野などに幅広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】アウトリガー型リフターの一例を示す斜視図。
【図２】本発明の一実施形態に係るパスボックスを取り付けたクリーンルームを示す横断平面図。
【図３】本発明の一実施形態に係るパスボックスを示す斜視図。
【図４】本発明の一実施形態に係るパスボックスを示す縦断側面図。
【図５】本発明の一実施形態に係るパスボックスを示す横断平面図。
【図６】本発明の一実施形態に係るパスボックスを示す横断平面図。
【符号の説明】
【００２９】
１０、１０Ａ、１０Ｂ  アウトリガー型リフター
１１  車両
１３、１４  アウトリガー
１６、１７  車輪
１８  フォークリフト
２１、２２  フォーク
１００  パスボックス
１０１、１０２  塵除去装置
１０５  載置台
１１０  第１挿入穴
１１１  挿入口
１１３、１１４  挿入口近傍の側面
１１５  壁
１２０  第２挿入穴
１２１  挿入口
１２３、１２４  挿入口近傍の側面
１３０  蓋
１３１、１３２  シャッター（扉）
２００  クリーンルーム
２０１  側壁
ｃ１  第１挿入穴の幅方向の中間位置
ｃ２  第２挿入穴の幅方向の中間位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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