(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の物性変化を低減し、描画パターンの品質のばらつきを低減させることが可能な複数の被吐出領域を有するマザー基板を提供する。【解決手段】複数のノズル５８が列上に形成されるとともに前記ノズル５８の配列方向である副走査方向に複数配設され、液状体を所定の吐出幅Ｌで吐出する液滴吐出ヘッド４０に対して、前記副走査方向もしくは前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動されるマザー基板Ｂであって、前記ノズル５８から前記液状体が吐出される複数の被吐出領域を有し、前記複数の被吐出領域は、面積の異なる第１の被吐出領域Ｐと第２の被吐出領域Ｑとを含み、前記主走査方向への相対移動において、前記液滴吐出ヘッド４０の前記吐出幅Ｌ内に、前記第１の被吐出領域Ｐと前記第２の被吐出領域Ｑとの少なくともどちらか１つが配置されている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する複数のノズルが列上に形成されるとともに前記ノズルの配列方向である副走査方向に複数配設され、前記液状体を所定の吐出幅で吐出する液滴吐出ヘッドに対して、前記副走査方向もしくは前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動されるマザー基板であって、
前記ノズルから前記液状体が吐出される複数の被吐出領域を有し、
前記複数の被吐出領域は、面積の異なる第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とを含み、
前記主走査方向への相対移動において、前記液滴吐出ヘッドの前記吐出幅内に、前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域との少なくともどちらか１つが配置されていることを特徴とするマザー基板。
【請求項２】
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とは、矩形形状に複数形成され、
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とが、前記副走査方向において、互いにもしくはそれぞれ、互い違いに千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のマザー基板。
【請求項３】
前記第１の被吐出領域と、前記第２の被吐出領域と、を含む被吐出可能領域を有し、
前記第１の被吐出領域は、前記第２の被吐出領域より大きい面積に形成されており、
前記第１の被吐出領域が、前記被吐出可能領域内に、前記副走査方向において、互い違いに千鳥状に配置され、
前記第２の被吐出領域は、前記被吐出可能領域内の第１の被吐出領域以外の空き領域に、前記副走査方向において、互い違いに千鳥状に配置されている部分を含むことを特徴とする請求項１または２に記載のマザー基板。
【請求項４】
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とは、前記副走査方向において、互いにもしくはそれぞれ、前記吐出幅の整数倍の間隔をおいて配置されている部分を含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のマザー基板。
【請求項５】
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とが、前記被吐出可能領域内において、前記副走査方向に前記被吐出可能領域を略２分する線分に対して、線対称に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のマザー基板。
【請求項６】
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とが、前記被吐出可能領域内において、前記被吐出可能領域を縦横に略２分する線分が交差してできる中心点に対して、点対称に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のマザー基板。
【請求項７】
液状体を吐出する複数のノズルが列状に形成され、前記ノズルの配列方向である副走査方向に複数配設された液滴吐出ヘッドに対して、前記副走査方向、もしくは前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させられるマザー基板の被吐出領域の配置方法であって、
前記液滴吐出ヘッドは、前記複数のノズルから吐出される前記液状体の吐出幅が想定されており、
前記ノズルから前記液状体が吐出される複数の被吐出領域は、面積の異なる第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とを含み、
前記マザー基板の前記主走査方向への相対移動において、前記液滴吐出ヘッドの前記吐出幅内に、前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域との少なくともどちらか１つの被吐出領域を配置することを特徴とするマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【請求項８】
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とは、矩形形状に複数形成され、
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とは、前記副走査方向において、互いにもしくはそれぞれ、互い違いに千鳥状に配置されることを特徴とする請求項７に記載のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【請求項９】
前記第１の被吐出領域と、前記第２の被吐出領域と、を含む被吐出可能領域において、
前記第１の被吐出領域を、前記第２の被吐出領域より大きい面積に形成し、
前記第１の被吐出領域を、前記被吐出可能領域内に、前記副走査方向において、互い違いに千鳥状に配置して、
前記第２の被吐出領域を、前記被吐出可能領域内の第１の被吐出領域以外の空き領域に、前記副走査方向において、互い違いに千鳥状に配置する部分を含むことを特徴とする請求項７または８に記載のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【請求項１０】
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とを、前記副走査方向において、互いにもしくはそれぞれ、前記吐出幅の整数倍の間隔をおいて配置する部分を含むことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【請求項１１】
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とを、前記被吐出可能領域内において、前記副走査方向に前記被吐出可能領域を略２分する線分に対して、線対称に配置することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【請求項１２】
前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とを、前記被吐出可能領域内において、前記被吐出可能領域を縦横に略２分する線分が交差してできる中心点に対して、点対称に配置することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【請求項１３】
基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載のマザー基板の第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とに対して、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドから液状体が吐出される被吐出領域を複数有するマザー基板、マザー基板の被吐出領域の配置方法およびカラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜などの分野に液滴吐出装置が利用されている。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。液滴吐出装置では、これらのノズルから液状体を液滴として吐出することにより、基板等からなるワーク上に液状体からなるパターンの描画を行う。
【０００３】
近年、表示装置は大型化が進んでおり、それに伴い表示装置に用いられるワークも大型化が進んでいる。そのため、ワークに対して効率よくパターンの描画を行うことが重要になってきている。ワークに液状体を吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置として、複数の液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジを描画エリアに１列に配置して、キャリッジが配置された方向と直交する方向に、ワークを移動させてパターンの描画を行う液滴吐出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２５４７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
また、上述のような液滴吐出装置において、生産性を向上させるために、大面積のマザー基板に複数の被吐出領域を設け、同時に複数の被吐出領域にパターンを描画する方式が適用されている。この方式では、製作されたマザー基板を切断分割して複数の表示パネルを得る。この方式では、マザー基板の被吐出領域以外の領域を含む領域に配置される液滴吐出ヘッドが発生し得る。このような液滴吐出ヘッドは、液状体を安定的に吐出しないことになる。すなわち、液滴吐出ヘッド間で液状体の消費量のばらつきが発生する。そのため、液滴吐出ヘッド内や液状体を液滴吐出ヘッドに供給する管路内に、液状体が滞留してしまう場合がある。
【０００６】
液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜等に用いられる液状体は、特殊な液状体であり、経時的に粘度等の物性が変化してしまう。その結果、液滴吐出ヘッドごとに吐出される液状体の物性が異なり、吐出特性が変化してしまう。このような吐出特性の異なる液状体によって、パターンが描画されると、描画品質がばらつく惧れがある。描画品質がばらつくと、製造される表示装置の画像品質が低下してしまうという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
（適用例１）液状体を吐出する複数のノズルが列上に形成されるとともに前記ノズルの配列方向である副走査方向に複数配設され、前記液状体を所定の吐出幅で吐出する液滴吐出ヘッドに対して、前記副走査方向もしくは前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動されるマザー基板であって、前記ノズルから前記液状体が吐出される複数の被吐出領域を有し、前記複数の被吐出領域は、面積の異なる第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とを含み、前記主走査方向への相対移動において、前記液滴吐出ヘッドの前記吐出幅内に、前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域との少なくともどちらか１つが配置されていることを特徴とするマザー基板。
【０００９】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドとマザー基板とを主走査方向へ相対移動させながら、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出すると、液滴吐出ヘッドの液状体の吐出幅内に、第１の被吐出領域または第２の被吐出領域のどちらか一方、もしくは、第１の被吐出領域および第２の被吐出領域の双方が存在する。そのため、液滴吐出ヘッドは、被吐出領域に対して、液状体を吐出することが可能になる。すなわち、１つの吐出作業において、液状体の吐出量が極端に少ない液滴吐出ヘッドを減らすことができ、液滴吐出ヘッド間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００１０】
その結果、特定の液滴吐出ヘッドから液状体が安定的に吐出されずに、流路内に液状体が滞留して粘度等の物性が変化すること、または、ノズル出口で液状体が固化し吐出状態が変化することを防止することができる。従って、液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の物性の変化に起因する吐出特性のばらつきを低減することができ、吐出特性のばらつきに起因する塗膜の不均一や塗膜不良を低減させることができる。
【００１１】
（適用例２）前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とは、矩形形状に複数形成され、前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とが、前記副走査方向において、互いにもしくはそれぞれ、互い違いに千鳥状に配置されていることを特徴とする上記のマザー基板。
【００１２】
この構成によれば、複数の第１の被吐出領域と複数の第２の被吐出領域とは、互いにもしくはそれぞれ、互い違いに千鳥状に配置されているため、液滴吐出ヘッドとマザー基板との主走査方向への相対移動において、液滴吐出ヘッドの吐出幅内に、第１の被吐出領域と第２の被吐出領域との少なくともどちらか１つの被吐出領域を配置することができる。
【００１３】
（適用例３）前記第１の被吐出領域と、前記第２の被吐出領域と、を含む被吐出可能領域を有し、前記第１の被吐出領域は、前記第２の被吐出領域より大きい面積に形成されており、前記第１の被吐出領域が、前記被吐出可能領域内に、前記副走査方向において、互い違いに千鳥状に配置され、前記第２の被吐出領域は、前記被吐出可能領域内の第１の被吐出領域以外の空き領域に、前記副走査方向において、互い違いに千鳥状に配置されている部分を含むことを特徴とする上記のマザー基板。
【００１４】
この構成によれば、面積の大きい複数の第１の被吐出領域は、被吐出可能領域内に千鳥状に配置され、第２の被吐出領域は、第１の被吐出領域が配置された後の空き領域に千鳥状に配置されている。そのため、被吐出可能領域内に、面積の異なる第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とを効率的に配置することができ、マザー基板の有効活用が実現できる。
【００１５】
（適用例４）前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とは、前記副走査方向において、互いにもしくはそれぞれ、前記吐出幅の整数倍の間隔をおいて配置されている部分を含むことを特徴とする上記のマザー基板。
【００１６】
液滴吐出ヘッドとマザー基板とを主走査方向に相対移動させ、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出すると、隣り合う被吐出領域間に対向する液滴吐出ヘッドは吐出する液状体の吐出量が少なくなってしまう。この構成によれば、吐出作業において、液滴吐出ヘッドもしくはマザー基板を副走査方向に、吐出幅の整数倍の距離だけ移動させると、先の吐出作業で被吐出領域間に対向していた液滴吐出ヘッドを被吐出領域に対向させることができる。そのため、次の吐出作業において、先の吐出作業で液状体の吐出量の少なかった液滴吐出ヘッドから、液状体を被吐出領域に吐出することができる。その結果、恒常的に液状体の吐出量が少ない液滴吐出ヘッドを低減することができ、液滴吐出ヘッド間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００１７】
（適用例５）前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とが、前記被吐出可能領域内において、前記副走査方向に前記被吐出可能領域を略２分する線分に対して、線対称に配置されていることを特徴とする上記のマザー基板。
【００１８】
この構成によれば、複数の第１の被吐出領域と複数の第２の被吐出領域とは、被吐出可能領域を略２分する線分に対して線対称、すなわち左右対称に配置されている。副走査方向に配置された複数の液滴吐出ヘッドは、被吐出可能領域と略対応している。そのため、被吐出可能領域を略２分する線分により、左右に２分された液滴吐出ヘッドのグループはそれぞれ、同一な面積の被吐出領域に対して、液状体を吐出する。従って、左右に２分された液滴吐出ヘッドのグループは、同量の液状体を吐出することになり、液滴吐出ヘッド間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００１９】
（適用例６）前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とが、前記被吐出可能領域内において、前記被吐出可能領域を縦横に略２分する線分が交差してできる中心点に対して、点対称に配置されていることを特徴とする上記のマザー基板。
【００２０】
この構成によれば、複数の第１の被吐出領域と複数の第２の被吐出領域とは、被吐出可能領域の中心点に対して点対称に配置されている。副走査方向に配置された複数の液滴吐出ヘッドは、被吐出可能領域と略対応している。そのため、被吐出可能領域の中心点を通る主走査方向の線分により、副走査方向において左右に２分された液滴吐出ヘッドのグループはそれぞれ、同一な面積の被吐出領域に対して、液状体を吐出する。従って、左右に２分された液滴吐出ヘッドのグループは、同量の液状体を吐出することになり、液滴吐出ヘッド間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００２１】
（適用例７）液状体を吐出する複数のノズルが列状に形成され、前記ノズルの配列方向である副走査方向に複数配設された液滴吐出ヘッドに対して、前記副走査方向、もしくは前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させられるマザー基板の被吐出領域の配置方法であって、前記液滴吐出ヘッドは、前記複数のノズルから吐出される前記液状体の吐出幅が想定されており、前記ノズルから前記液状体が吐出される複数の被吐出領域は、面積の異なる第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とを含み、前記マザー基板の前記主走査方向への相対移動において、前記液滴吐出ヘッドの前記吐出幅内に、前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域との少なくともどちらか１つの被吐出領域を配置することを特徴とするマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【００２２】
この方法によれば、液滴吐出ヘッドとマザー基板とを主走査方向へ相対移動させながら、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出すると、液滴吐出ヘッドの液状体の吐出幅内に、第１の被吐出領域または第２の被吐出領域のどちらか一方、もしくは、第１の被吐出領域および第２の被吐出領域の双方が存在する。そのため、液滴吐出ヘッドは、被吐出領域に対して、液状体を吐出することが可能になる。すなわち、１つの吐出作業において、液状体の吐出量が極端に少ない液滴吐出ヘッドを減らすことができ、液滴吐出ヘッド間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００２３】
その結果、特定の液滴吐出ヘッドから液状体が安定的に吐出されずに、流路内に液状体が滞留して粘度等の物性が変化すること、または、ノズル出口で液状体が固化し吐出状態が変化することを防止することができる。従って、液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の物性の変化に起因する吐出特性のばらつきを低減することができ、吐出特性のばらつきに起因する塗膜の不均一や塗膜不良を低減させることができる。
【００２４】
（適用例８）前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とは、矩形形状に複数形成され、前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とは、前記副走査方向において、互いにもしくはそれぞれ、互い違いに千鳥状に配置されることを特徴とする上記のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【００２５】
この方法によれば、複数の第１の被吐出領域と複数の第２の被吐出領域とは、互いにもしくはそれぞれ、互い違いに千鳥状に配置されているため、液滴吐出ヘッドとマザー基板との主走査方向への相対移動において、液滴吐出ヘッドの吐出幅内に、第１の被吐出領域と第２の被吐出領域との少なくともどちらか１つの被吐出領域を配置することができる。
【００２６】
（適用例９）前記第１の被吐出領域と、前記第２の被吐出領域と、を含む被吐出可能領域において、前記第１の被吐出領域を、前記第２の被吐出領域より大きい面積に形成し、前記第１の被吐出領域を、前記被吐出可能領域内に、前記副走査方向において、互い違いに千鳥状に配置して、前記第２の被吐出領域を、前記被吐出可能領域内の第１の被吐出領域以外の空き領域に、前記副走査方向において、互い違いに千鳥状に配置する部分を含むことを特徴とする上記のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【００２７】
この方法によれば、面積の大きい複数の第１の被吐出領域は、被吐出可能領域内に千鳥状に配置され、第２の被吐出領域は、第１の被吐出領域が配置された後の空き領域に千鳥状に配置されている。そのため、被吐出可能領域内に、面積の異なる第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とを効率的に配置することができ、マザー基板の有効活用が実現できる。
【００２８】
（適用例１０）前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とを、前記副走査方向において、互いにもしくはそれぞれ、前記吐出幅の整数倍の間隔をおいて配置する部分を含むことを特徴とする上記のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【００２９】
液滴吐出ヘッドとマザー基板とを主走査方向に相対移動させ、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出すると、隣り合う被吐出領域間に対向する液滴吐出ヘッドは吐出する液状体の吐出量が少なくなってしまう。この方法によれば、吐出作業において、液滴吐出ヘッドもしくはマザー基板を副走査方向に、吐出幅の整数倍の距離だけ移動させると、先の吐出作業で被吐出領域間に対向していた液滴吐出ヘッドを被吐出領域に対向させることができる。そのため、次の吐出作業において、先の吐出作業で液状体の吐出量の少なかった液滴吐出ヘッドから、液状体を被吐出領域に吐出することができる。その結果、恒常的に液状体の吐出量が少ない液滴吐出ヘッドを低減することができ、液滴吐出ヘッド間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００３０】
（適用例１１）前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とを、前記被吐出可能領域内において、前記副走査方向に前記被吐出可能領域を略２分する線分に対して、線対称に配置することを特徴とする上記のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【００３１】
この方法によれば、複数の第１の被吐出領域と複数の第２の被吐出領域とは、被吐出可能領域を略２分する線分に対して線対称、すなわち左右対称に配置されている。副走査方向に配置された複数の液滴吐出ヘッドは、被吐出可能領域と略対応している。そのため、被吐出可能領域を略２分する線分により、左右に２分された液滴吐出ヘッドのグループはそれぞれ、同一な面積の被吐出領域に対して、液状体を吐出する。従って、左右に２分された液滴吐出ヘッドのグループは、同量の液状体を吐出することになり、液滴吐出ヘッド間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００３２】
（適用例１２）前記第１の被吐出領域と前記第２の被吐出領域とを、前記被吐出可能領域内において、前記被吐出可能領域を縦横に略２分する線分が交差してできる中心点に対して、点対称に配置することを特徴とする上記のマザー基板の被吐出領域の配置方法。
【００３３】
この方法によれば、複数の第１の被吐出領域と複数の第２の被吐出領域とは、被吐出可能領域の中心点に対して点対称に配置されている。副走査方向に配置された複数の液滴吐出ヘッドは、被吐出可能領域と略対応している。そのため、被吐出可能領域の中心点を通る主走査方向の線分により、副走査方向において左右に２分された液滴吐出ヘッドのグループはそれぞれ、同一な面積の被吐出領域に対して、液状体を吐出する。従って、左右に２分された液滴吐出ヘッドのグループは、同量の液状体を吐出することになり、液滴吐出ヘッド間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００３４】
（適用例１３）基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記に記載のマザー基板の第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とに対して、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【００３５】
この方法によれば、液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の物性の変化を低減することができ、物性の変化に起因する吐出特性のばらつきを低減することができる。そのため、吐出特性のばらつきに起因する塗膜の不均一や塗膜不良を低減させることができ、塗膜品質の安定したカラーフィルタを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、実施形態を図面に基づいて説明する。以下の説明で参照する図面では、説明および図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３７】
（液状体吐出装置の全体構成について）
まず、本実施形態における液滴吐出装置を、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、複数のキャリッジ１０２と、キャリッジ搬送機構１０４と、テーブル１０６と、第１のテーブル搬送機構１０８と、第２のテーブル搬送機構１１０と、制御装置１１２と、基台１１４とを備えている。
【００３８】
この液滴吐出装置１００は、複数のキャリッジ１０２と、テーブル１０６との相対位置を変化させつつ、複数のキャリッジ１０２に搭載された複数の液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して、テーブル１０６に搭載されたマザー基板Ｂに液状体で所望のパターンを形成するものである。なお、図中のＹ方向はテーブル１０６の主走査方向を示し、Ｘ方向はキャリッジ１０２の移動方向およびテーブル１０６の副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
【００３９】
このような液滴吐出装置１００は、例えば、各種の表示装置のカラー表示を可能にするカラーフィルタの製造に適用され得る。例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液滴吐出装置１００の各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかをマザー基板Ｂに液滴として吐出して、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントのパターンを描画する。
【００４０】
ここで、液滴吐出装置１００の各構成について説明する。
基台１１４は、例えば、平板状の石材などの熱膨張係数が小さい材料から形成されており、Ｙ方向に一定の幅を有し、Ｘ方向に沿って延びるように４本の脚部１１６に支持されている。また、基台１１４のＺ方向の下部には、制御装置１１２が設けられている。
【００４１】
第１のテーブル搬送機構１０８は、ベース１１８と、２つのリニアモータ１２０とを有している。ベース１１８は、平板状に形成され、基台１１４のＺ方向上面に固定されている。ベース１１８のＺ方向上面には、２つのリニアモータ１２０がＹ方向に沿って平行に配置されている。
【００４２】
第２のテーブル搬送機構１１０は、スライド部材１２２と、２つのリニアモータ１２４とを有している。スライド部材１２２は、平板状に形成され、ベース１１８に配置された２つのリニアモータ１２０の上方に配設されている。スライド部材１２２のＺ方向上面には、２つのリニアモータ１２４がＸ方向に沿って平行に配置されている。
【００４３】
テーブル１０６は、平板状の部材であり、Ｚ方向上面にマザー基板Ｂを着脱可能に保持する載置面１０６Ａを有している。テーブル１０６は、スライド部材１２２に配置された２つのリニアモータ１２４の上方に配設されている。
【００４４】
リニアモータ１２０は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はベース１１８に、可動子はスライド部材１２２に設けられている。第１のテーブル搬送機構１０８は、制御装置１１２からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０６を第１方向であるＹ方向に往復移動させることができる。
【００４５】
リニアモータ１２４は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はスライド部材１２２に、可動子はテーブル１０６に設けられている。第２のテーブル搬送機構１１０は、制御装置１１２からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０６を第２方向であるＸ方向に往復移動させることができる。
【００４６】
図１に示すように、キャリッジ搬送機構１０４は、２つのリニアモータ１２６と、４本の支柱１２８とを備えている。リニアモータ１２６のそれぞれは、第２のテーブル搬送機構１１０に配置されたテーブル１０６に対してＺ方向に空間を有する状態でＸ方向に延びるように、２本の支柱１２８に支持され互いに平行に配設されている。
【００４７】
複数のキャリッジ１０２それぞれは、複数の液滴吐出ヘッド４０が搭載されており、液滴吐出ヘッド４０側がＺ方向下方、すなわち、テーブル１０６に載置されたマザー基板Ｂの上面に対向するように、２つのリニアモータ１２６のＺ方向上方に配設されている。リニアモータ１２６は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は支柱１２８に支持され、可動子はキャリッジ１０２に設けられている。キャリッジ搬送機構１０４は、制御装置１１２からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、複数のキャリッジ１０２を、個別に、第２方向であるＸ方向に往復移動させることができる。
【００４８】
（液滴吐出ヘッドの構成について）
次に、液滴吐出ヘッドについて、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は底面側から見た斜視図、（ｂ）は底面図である。図２中のＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と同一の方向を示す。
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド４０は、液状体導入部４２と、ヘッド基板４４と、ヘッド本体４６と、コネクタ４８とを備えている。
【００４９】
液状体導入部４２は、方形に形成され、２連の接続針５０を有し、ヘッド基板４４の一面に設けられている。ヘッド基板４４は、長手方向の長さが液状体導入部４２の長手方向の長さより長い長方形の板状に形成され、液状体導入部４２が設けられている面に、さらに２個のコネクタ４８が設けられている。ヘッド本体４６は、方形に形成され、液状体導入部４２が設けられている面とは反対側のヘッド基板４４の面に、液状体導入部４２と対峙するように設けられている。
【００５０】
ヘッド本体４６は、液状体導入部４２に連なるポンプ部５２と、ポンプ部５２に連なるノズルプレート５４と、を有している。ノズルプレート５４のノズル面５６には、複数のノズル５８（例えば、１８０個）が形成されている。図２（ｂ）に示すように、複数のノズル５８は、ノズル面５６にＸ方向に沿って所定のピッチ間隔Ｄを有して互いに平行なノズル列５９ａおよび５９ｂを形成している。ノズル列５９ａおよび５９ｂは、ノズル列５９ａおよび５９ｂのノズル５８同士がＸ方向にＤ／２の間隔だけずれた位置に形成されている。
【００５１】
ポンプ部５２には、図示しない圧電素子が設けられており、当該圧電素子を駆動することによって、液状体導入部４２から供給されてきた液状体をノズル５８から液滴として吐出する。１つのノズル５８に対応して１つの圧電素子が設けられており、それぞれのノズル５８毎に独立して液滴を吐出することができる。同時に、１つの液滴吐出ヘッド４０は、図２（ｂ）に示すように液滴吐出ヘッド４０から液状体が吐出される吐出幅Ｌを有している。
【００５２】
（キャリッジの構成について）
キャリッジ１０２を、図１、図３および図４を参照して説明する。図３はキャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドの配置を示す図である。図４は、キャリッジの構造を説明する図である。図３および図４中のＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と同一の方向を示す。
【００５３】
キャリッジ１０２は、図１および図３に示すように、ヘッドプレート６０と、１２個の液滴吐出ヘッド４０と、タンク６２とを有している。ヘッドプレート６０は、ステンレス等からなる上面視略平行四辺形の板状部材であり、１２個の液滴吐出ヘッド４０を、図１に示すように、ノズル面５６がＺ方向下方に突出するよう搭載し、キャリッジ１０２のＺ方向下方に設けられている。キャリッジ１０２のＺ方向上方にはタンク６２が設けられている。
【００５４】
図３に示すように、１２個の液滴吐出ヘッド４０は、６個ずつに二分されＹ方向に所定の間隔をあけて、ヘッド列６４ａおよび６４ｂを形成している。ヘッド列６４ａおよび６４ｂは、Ｙ方向から所定の角度θを有する方向に延びるように構成されている。そのため、図３中のＹ方向から見たとき、キャリッジ１０２において、１２個の液滴吐出ヘッド４０は、これらの全ノズル列５９ａおよび５９ｂで１つの描画ラインを構成すべく、そのノズル列５９ａおよび５９ｂが連続するように配設されている。同時に、キャリッジ１０２は、１２個の液滴吐出ヘッド４０から液状体が吐出される吐出幅Ｍを有している。
【００５５】
図４に示すように、タンク６２は、箱形状に形成され、予め脱気した液状体を内部に貯留して、キャリッジ１０２のＺ方向上面側に設けられている。また、タンク６２の下側には、タンク６２の重量を検出する重量測定装置６６が設けられている。なお、図４は図を分かりやすくするために１つの液滴吐出ヘッド４０への液状体の供給状態を示している。
そして、タンク６２から供給される液状体は、供給チューブ６８により圧力調整弁７０を介して、液滴吐出ヘッド４０に供給される。また、供給チューブ６８に介設された圧力調整弁７０は、タンク６２に貯蔵された液状体の水頭値と液滴吐出ヘッド４０との間の水頭差を調整して、液滴吐出ヘッド４０からの液ダレを防止する。
【００５６】
上記構成を有する液滴吐出装置１００は、キャリッジ１０２と、テーブル１０６との相対位置を変化させつつ、キャリッジ１０２に搭載された複数の液滴吐出ヘッド４０から液状体を液滴として吐出して、テーブル１０６に搭載されたマザー基板Ｂに所望のパターンを形成する。そして、吐出された液状体を乾燥等により固化して、パターン化された様々な機能性膜を形成することができる。
【００５７】
（マザー基板について）
ここで、本実施形態におけるマザー基板について図５を参照して説明する。図５は、マザー基板における被吐出領域の配置例を示す図である。図中Ｘ方向は、図１と同様に、キャリッジの移動方向すなわち液滴吐出ヘッドのノズル配列方向を示し、Ｙ方向は、テーブルの主走査方向を示している。
【００５８】
（実施例１）
本実施例１では、矩形形状に形成されたマザー基板Ｂに、面積の大きい５個の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と、それより面積の小さい１０個の第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とが配置される。第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とは、矩形形状に形成されている。
【００５９】
図５に示すように、マザー基板Ｂには、液滴吐出装置１００の動作領域により、矩形の被吐出可能領域Ｓが想定されている。マザー基板Ｂの中央に、第１の被吐出領域Ｐ３が、第１の被吐出領域Ｐ３の長辺および短辺がそれぞれマザー基板Ｂの長辺および短辺と平行になるように配置される。そして、図５において、第１の被吐出領域Ｐ３の左斜め上方には、第１の被吐出領域Ｐ１が，右斜め上方には第１の被吐出領域Ｐ２が、左斜め下方には、第１の被吐出領域Ｐ４が，右斜め下方には第１の被吐出領域Ｐ５が、それぞれの長辺方向を一にして配置される。なお、被吐出領域Ｐ１，Ｐ２，Ｐ４，Ｐ５は、それぞれ矩形の被吐出可能領域Ｓの各コーナー近傍に配置される。このように配置されることによって、面積の大きい５個の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５は、被吐出可能領域Ｓ内に、それぞれ互い違いに千鳥状に位置される。
【００６０】
このとき、図５に示すように、被吐出可能領域Ｓ内には、第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５が配置されてできた領域以外の空き領域Ｓ１，Ｓ２ができる。面積の小さい１０個の第２の被吐出領域Ｑは、第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ５，Ｑ６〜Ｑ１０に２分され、第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ５は、空き領域Ｓ１に、第２の被吐出領域Ｑ６〜Ｑ１０は、空き領域Ｓ２に配置される。
【００６１】
このとき、第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ５は、上述の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と同様に、第２の被吐出領域Ｑ３が、空き領域Ｓ１の中央に配置され、その他の第２の被吐出領域Ｑ１，Ｑ２，Ｑ４，Ｑ５が第２の被吐出領域Ｑ３の周囲を囲むように互いに千鳥状に位置される。また、第２の被吐出領域Ｑ６〜Ｑ１０は、上述の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と同様に、第２の被吐出領域Ｑ８が、空き領域Ｓ２の中央に配置され、その他の第２の被吐出領域Ｑ６，Ｑ７，Ｑ９，Ｑ１０が第２の被吐出領域Ｑ８の周囲を囲むように互いに千鳥状に位置される。
【００６２】
このとき、Ｘ方向において、第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とが配置される間隔は、図２（ｂ）に示す液滴吐出ヘッド４０から液状体が吐出される吐出幅Ｌの整数倍に設定されていることが好ましい。例えば、図５に示す第１の被吐出領域Ｐ３と、第２の被吐出領域Ｑ２，Ｑ５もしくは第２の被吐出領域Ｑ６，Ｑ９との間隔Ｇ１，Ｇ２が、液滴吐出ヘッド４０の吐出幅Ｌの整数倍に設定される。第２の被吐出領域Ｑ１，Ｑ４と第２の被吐出領域Ｑ２，Ｑ５との間隔Ｇ３、および第２の被吐出領域Ｑ６，Ｑ９と第２の被吐出領域Ｑ７，Ｑ１０との間隔Ｇ４が、液滴吐出ヘッド４０の吐出幅Ｌの整数倍に設定される。そして、第１の被吐出領域Ｐ１，Ｐ４と第１の被吐出領域Ｐ２，Ｐ５との間隔Ｇ５が、液滴吐出ヘッド４０の吐出幅Ｌの整数倍に設定される。
【００６３】
第１の被吐出領域Ｐと第２の被吐出領域Ｑとをマザー基板Ｂに配置するにあたり、Ｘ方向において、第１の被吐出領域Ｐと第２の被吐出領域Ｑとが配置される間隔が、液滴吐出ヘッド４０の吐出幅Ｌの整数倍に設定することを優先し、このときの誤差は、被吐出可能領域Ｓの外周部と第１の被吐出領域Ｐおよび第２の被吐出領域Ｑとの隙間で調整することが好ましい。
【００６４】
（液滴吐出装置の制御について）
次に、図６を参照して、液滴吐出装置の制御系について説明する。図６は液滴吐出装置１００の主要構成を示すブロック図である。液滴吐出装置１００は、マザー基板Ｂを搭載したテーブル１０６を搬送する第１のテーブル搬送機構１０８、第２のテーブル搬送機構１１０、液滴吐出ヘッド４０を搭載したキャリッジ１０２およびキャリッジ１０２を搬送するキャリッジ搬送機構１０４を有する描画部８０と、重量測定装置６６と、これらを統括制御する制御装置１１２と、を備えている。
【００６５】
図４に示す重量測定装置６６は、タンク６２の重量を所定の期間毎に測定しており、この測定値を随時制御装置１１２に送るようにしている。この測定値は、満液の状態のタンク６２を測定した測定値を基準にしており、計測した重量からタンク６２の重量を減算することで、タンク６２内部の液状体の重量を測定している。
【００６６】
制御装置１１２は、制御系の主要部となる制御部８４と、液滴吐出ヘッド４０を吐出駆動させるヘッドドライバ８６と、キャリッジ搬送機構１０４、第１のテーブル搬送機構１０８および第２のテーブル搬送機構１１０を駆動するモータドライバ８８とインタフェース部９６とを備えている。制御部８４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）９０およびメモリ部９２とを備えている。ＣＰＵ９０は、描画処理等の各種処理を実行する。メモリ部９２は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read-Only Memory）などを含んだ構成を有している。ＲＡＭは、ホストコンピュータ９３からインタフェース部９６を介して入力される描画データを格納したり、ＣＰＵ９０によって実行される描画処理等のプログラムを一時的に展開したり、各種データを一時的に格納したりする。
【００６７】
ここで、描画データは、液状体でマザー基板Ｂに描画すべきパターンを指示するものであり、描画すべきパターンがビットマップ状に表現されている。なお、描画データは、ホストコンピュータ９３によって生成され、ホストコンピュータ９３からインタフェース部９６を介して制御部８４に入力される。ＲＯＭは、例えば不揮発性半導体メモリで構成され、各液滴吐出ヘッド４０の駆動周波数を制御する吐出制御プログラムおよび液滴吐出ヘッド４０の吐出状態を管理する吐出管理プログラムなどの他、ＣＰＵ９０が実行する各種のプログラムが格納されている。
【００６８】
ヘッドドライバ８６は、ＣＰＵ９０からの指令に基づいて、キャリッジ１０２の各液滴吐出ヘッド４０を個別に制御する。モータドライバ８８は、ＣＰＵ９０からの指令に基づいて、第１のテーブル搬送機構１０８、第２のテーブル搬送機構１１０およびキャリッジ搬送機構１０４のそれぞれのモータを個別に制御する。インタフェース部９６は、ホストコンピュータ９３から受け取った描画データを制御部８４に出力したり、制御部８４から受け取った各種情報をホストコンピュータ９３に出力したりする。
【００６９】
（液状体の吐出方法について）
次いで、液状体の吐出方法について、図７を参照して説明する。図７は、液滴吐出ヘッドとマザー基板との関係を示す図である。図７は、説明をわかりやすくするために液滴吐出ヘッドの大きさを誇張するとともに、数を減じて示している。また、図中Ｘ方向は、図１と同様に、キャリッジの移動方向およびテーブルの副走査方向を示し、Ｙ方向は、テーブルの主走査方向を示している。
【００７０】
図７に示すように、キャリッジ１０２に搭載された複数の液滴吐出ヘッド４０は、ノズル５８から液状体が吐出される吐出幅Ｌを有している。キャリッジ１０２は、それぞれの液滴吐出ヘッド４０のノズル列５９で１つの描画ラインを構成し、複数の液滴吐出ヘッド４０から液状体が吐出される吐出幅Ｍを有している。複数のキャリッジ１０２は、Ｘ方向に沿って、１列に配設されているため、複数のキャリッジ１０２全体で吐出幅Ｎを有している。
【００７１】
前述のマザー基板Ｂは、図１に示す液滴吐出装置１００において、上記複数のキャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド４０と対向するように、テーブル１０６に載置される。そして、第１のテーブル搬送機構１０８によりＹ方向に搬送されながら、複数の液滴吐出ヘッド４０から第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とに液状体が吐出され、第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５および第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０に所定のパターンが描画される。
【００７２】
図７に示すように、複数のキャリッジ１０２全体で吐出幅Ｎとマザー基板Ｂの被吐出可能領域ＳのＸ方向の幅とは、略対応しており、第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とは、互いにもしくはそれぞれ、互い違いに千鳥状に配置されている。そのため、マザー基板ＢのＹ方向への移動に伴う液滴吐出ヘッド４０の液状体の吐出において、それぞれの液滴吐出ヘッド４０は、第１の被吐出領域Ｐまたは第２の被吐出領域Ｑのどちらか、もしくは、第１の被吐出領域Ｐと第２の被吐出領域Ｑとの双方に液状体を吐出することができる。
【００７３】
すなわち、１つの吐出作業において、液状体があまり吐出されない液滴吐出ヘッド４０をなくすことができ、液状体の吐出量が極端に少ない液滴吐出ヘッド４０を減らすことができる。また、液滴吐出ヘッド４０間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。その結果、特定の液滴吐出ヘッド４０から液状体が安定的に吐出されずに、図４に示す供給チューブ６８、圧力調整弁７０および液滴吐出ヘッド４０内に液状体が滞留して粘度等の物性が変化すること、または、ノズル５８出口で液状体が固化し吐出状態が変化することを防止することができる。従って、液滴吐出ヘッド４０から吐出される液状体の物性の変化に起因する吐出特性のばらつきを低減することができ、吐出特性のばらつきに起因する塗膜の不均一や塗膜不良を低減させることができる。
【００７４】
（実施例２）
次いで、実施例２について、同じく図７を参照して説明する。図７に示す第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とが、マザー基板Ｂに配置されるＸ方向の間隔Ｇ１〜Ｇ５は、液滴吐出ヘッド４０から液状体が吐出される吐出幅Ｌの整数倍に設定されている。なお、図７は、説明をわかりやすくするために液滴吐出ヘッドの大きさを誇張するとともに、数を減じて示している。
【００７５】
図１に示す液滴吐出装置１００において、マザー基板Ｂを上記複数のキャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド４０と対向するように、テーブル１０６に載置する。そして、第１のテーブル搬送機構１０８によりＹ方向に搬送させながら、図７に示す複数の液滴吐出ヘッド４０から第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とに液状体を吐出して、第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５および第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０に所定のパターンを描画する。このようにして１つの吐出作業が終了する。
【００７６】
新たなマザー基板Ｂに対して吐出作業を行う場合は、図１に示す液滴吐出装置１００において、テーブル１０６に載置された新たなマザー基板Ｂを、第２のテーブル搬送機構１１０によりＸ方向に移動させる。そして、新たなマザー基板Ｂを、第１のテーブル搬送機構１０８によりＹ方向に搬送させながら、図７に示す複数の液滴吐出ヘッド４０から第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とに液状体を吐出して、第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５および第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０に所定のパターンを描画する。
【００７７】
新たなマザー基板Ｂが第２のテーブル搬送機構１１０によりＸ方向に移動される距離は、液滴吐出ヘッド４０から液状体が吐出される吐出幅Ｌの整数倍の距離であることが好ましい。上述のように第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とが、マザー基板Ｂに配置されるＸ方向の間隔Ｇ１〜Ｇ５は、液滴吐出ヘッド４０から液状体が吐出される吐出幅Ｌの整数倍に設定されている。
【００７８】
そのため、マザー基板ＢをＸ方向に、吐出幅Ｌの整数倍の距離だけ移動させると、先の吐出作業で第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５および第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０の間隔Ｇ１〜Ｇ５に対向していた液滴吐出ヘッド４０を、第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５および第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０の内のいずれかに対向させることができる。その結果、次の吐出作業において、先の吐出作業で液状体の吐出量の少なかった液滴吐出ヘッド４０から、液状体を第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５および第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０の内のいずれかに吐出することができる。従って、恒常的に液状体の吐出量が少ない液滴吐出ヘッド４０を低減することができ、液滴吐出ヘッド４０間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００７９】
なお、実施例２では、マザー基板Ｂを第２のテーブル搬送機構１１０によりＸ方向に移動する場合を例にとり説明したが、これに限定しない。複数のキャリッジ１０２を、図１に示すキャリッジ搬送機構１０４により、液滴吐出ヘッド４０の吐出幅Ｌの整数倍の距離だけＸ方向に移動してもよい。また、複数のキャリッジ１０２は、キャリッジ搬送機構１０４により、個々に移動することができるため、それぞれのキャリッジ１０２単位でＸ方向に移動させ対向させる位置を設定することもできる。
【００８０】
また、本実施例２では、新たなマザー基板Ｂに対して吐出作業を行う場合を例にとり説明したが、これに限定されない。同一のマザー基板Ｂに対して、液滴吐出ヘッド４０から液状体を複数回に分けて吐出する、いわゆる重ね打ちによる液状体の吐出作業を行う場合に対しても適用できる。
【００８１】
また、図４に示すように、キャリッジ１０２に設けられた液状体を貯留するタンク６２は、タンク６２の下側に、タンク６２の重量を検出する重量測定装置６６が設けられている。そのため、この重量測定装置６６により、タンク６２から液滴吐出ヘッド４０に供給される液状体の量を計測し、その計測データに基づいて移動させるキャリッジ１０２および移動させる距離を決定することができる。さらには、図６に示す液滴吐出ヘッド４０の吐出状態を管理する吐出管理プログラムにより、液滴吐出ヘッドごとの液滴の吐出ショット回数をカウントして、液滴吐出ヘッド４０から吐出された液状体の量を計算し、移動させるキャリッジ１０２および移動させる距離を決定することができる。
【００８２】
（実施例３）
次いで、実施例３について、図８を参照して説明する。図８は実施例３および４を説明する図である。図８に示すように、マザー基板Ｂに配置された第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とは、被吐出可能領域Ｓ内において、Ｘ方向に被吐出可能領域Ｓを略２分する線分Ｔに対して、線対称、すなわち図中左右対称に配置されている。また、複数のキャリッジ１０２全体での吐出幅Ｎとマザー基板Ｂの被吐出可能領域ＳのＸ方向の幅とは、略対応している。
【００８３】
そのため、このように配置されることによって、被吐出可能領域Ｓを略２分する線分Ｔにより、左右に２分された液滴吐出ヘッド４０のグループはそれぞれ、同一な面積の被吐出領域に対して、液状体を吐出する。従って、左右に２分された液滴吐出ヘッド４０のグループは、同量の液状体を吐出することになり、液滴吐出ヘッド４０間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００８４】
（実施例４）
次いで、実施例４について、同じく図８を参照して説明する。図８に示すように、マザー基板Ｂに配置された第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とは、被吐出可能領域Ｓ内において、Ｘ方向に被吐出可能領域Ｓを略２分する線分ＴとＹ方向に被吐出可能領域Ｓを略２分する線分Ｕとが交差してできる点Ｏに対して、点対称に配置されている。また、複数のキャリッジ１０２全体での吐出幅Ｎとマザー基板Ｂの被吐出可能領域ＳのＸ方向の幅とは、略対応している。
【００８５】
そのため、このように配置されることによって、被吐出可能領域Ｓを略２分する線分Ｔにより、左右に２分された液滴吐出ヘッド４０のグループはそれぞれ、同一な面積の被吐出領域に対して、液状体を吐出する。従って、左右に２分された液滴吐出ヘッド４０のグループは、同量の液状体を吐出することになり、液滴吐出ヘッド４０間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【００８６】
（カラーフィルタの製造方法）
次に、上記マザー基板を用いたカラーフィルタの製造方法について図９〜図１１を参照して説明する。図９は液晶表示装置の構造を示す分解斜視図、図１０はカラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造工程を示す概略断面図である。
【００８７】
まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の一例である液晶表示装置について説明する。図９に示すように、液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）透過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備えている。液晶表示パネル５２０は、着色層を有するカラーフィルタ５０５を具備した対向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８と、両基板５０１，５０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる両基板５０１，５０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。
【００８８】
対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に複数の着色領域をマトリクス状に区画するバンクとしての隔壁部５０４と、区画された複数の着色領域にＲＧＢ３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを備えている。隔壁部５０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、隔壁部５０４と隔壁部５０４によって区画された着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えている。カラーフィルタ５０５は後述する製造方法を用いて製造されている。
【００８９】
素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを備えている。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。
【００９０】
照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【００９１】
なお、液晶を挟む対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、液晶の分子を一定の方向に配列させるための配向膜がそれぞれ形成されているが、図示省略した。また、上下偏光板５１４，５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル５２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよい。さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタ５０５を備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【００９２】
本実施形態のカラーフィルタ５０５の製造方法は、図５に示すように、マザー基板Ｂに第１の被吐出領域Ｐとしての対向基板５０１Ｐ１〜５０１Ｐ５と、第２の被吐出領域Ｑとしての対向基板５０１Ｑ１〜５０１Ｑ１０とが形成される。これら対向基板５０１Ｐ１〜５０１Ｐ５，５０１Ｑ１〜５０１Ｑ１０は、それぞれの液晶表示装置を構成するカラーフィルタとなる。なお、以降の説明において説明をわかりやすくするため、対向基板５０１Ｐ１〜５０１Ｐ５，５０１Ｑ１〜５０１Ｑ１０の１つを例にとり、対向基板５０１として説明する。
【００９３】
図１０に示すように、本実施形態のカラーフィルタ５０５の製造方法は、対向基板５０１の表面にバンクを形成する工程（ステップＳ１）と、バンクによって区画された着色領域を表面処理する工程（ステップＳ２）とを備えている。また、表面処理された着色領域に着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を吐出する工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥してカラーフィルタ５０５を成膜する工程（ステップＳ４）とを備えている。さらに隔壁部５０４とカラーフィルタ５０５とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する工程（ステップＳ５）と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向電極５０７を形成する工程（ステップＳ６）と、出来上がったカラーフィルタ５０５を個々に切断分離する工程（ステップＳ７）とを備えている。
【００９４】
図１０のステップＳ１は、バンク形成工程である。ステップＳ１では、図１１（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部５０２ａ（図９参照）に対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５０２が形成される。
【００９５】
次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられる。これにより対向基板５０１上に複数の着色領域Ａをマトリクス状に区画するバンクとしての隔壁部５０４が形成される。そしてステップＳ２へ進む。
【００９６】
図１０のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ３へ進む。
【００９７】
図１０のステップＳ３は、液状体吐出工程である。ステップＳ３では、図１１（ｂ）に示すように、表面処理された各着色領域Ａのそれぞれに、対応する液状体２００Ｒ，２００Ｇ，２００Ｂを液滴Ｖとして吐出する。液状体２００ＲはＲ（赤色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体２００ＧはＧ（緑色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体２００ＢはＢ（青色）の着色層形成材料を含むものである。各液状体２００Ｒ，２００Ｇ，２００Ｂは、それぞれの液滴吐出ヘッド４０に配列される複数のノズル５８から、対応する色の着色領域Ａに対して吐出される。このような主走査を必要量の液状体２００Ｒ，２００Ｇ，２００Ｂが対応する着色領域Ａに付与されるまで繰り返す。吐出された液状体２００Ｒ，２００Ｇ，２００Ｂは、着色領域Ａに濡れ拡がり、表面張力によって盛り上がる。そしてステップＳ４へ進む。
【００９８】
図１０のステップＳ４は、液状体乾燥・成膜工程である。ステップＳ４では、図１１（ｃ）に示すように、吐出された液状体２００Ｒ，２００Ｇ，２００Ｂを一括乾燥し、溶剤成分を除去して着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方法が望ましい。そしてステップＳ５へ進む。
【００９９】
図１０のステップＳ５は、ＯＣ層形成工程である。ステップＳ５では、図１１（ｄ）に示すように、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂと上層バンク５０３とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層５０６は、カラーフィルタ５０５が形成された対向基板５０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられている。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。そしてステップＳ６へ進む。
【０１００】
図１０のステップＳ６は、対向電極形成工程である。ステップＳ６では、図１１（ｅ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中で成膜して、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。
上記ステップＳ１〜Ｓ６を経て、マザー基板Ｂには、対向基板５０１Ｐ１〜５０１Ｐ５，５０１Ｑ１〜５０１Ｑ１０に対応してカラーフィルタ５０５が形成される。
【０１０１】
図１０のステップＳ７は、切断分離工程である。ステップＳ７では、カラーフィルタ５０５が形成された対向基板５０１Ｐ１〜５０１Ｐ５，５０１Ｑ１〜５０１Ｑ１０を切断装置等を用いて個々に切断分離する。そして、この対向基板５０１Ｐ１〜５０１Ｐ５，５０１Ｑ１〜５０１Ｑ１０と、対応する素子基板５０８とを接着剤を用いて所定の位置で接着し、対向基板５０１と素子基板５０８との隙間に液晶を充填すれば、図９に示す液晶表示装置５００を製造することができる。なお、この切断分離工程はステップＳ７で実施せず、以降の工程、例えば液晶表示装置５００が製造された後で実施してもよい。
【０１０２】
本実施形態におけるカラーフィルタ５０５の製造方法では、第１の被吐出領域Ｐとしての対向基板５０１Ｐ１〜５０１Ｐ５と、第２の被吐出領域Ｑとしての対向基板５０１Ｑ１〜５０１Ｑ１０とが形成されたマザー基板Ｂを用いて、液滴吐出ヘッド４０から着色層形成材料を含む液状体をそれぞれ対応する着色領域に吐出してカラーフィルタ５０５を製造することができる。そのため、着色層形成材料を含む液状体の吐出量が極端に少ない液滴吐出ヘッド４０を減らすことができ、液滴吐出ヘッド４０間で、液状体の消費量のばらつきを低減することができる。
【０１０３】
その結果、特定の液滴吐出ヘッド４０から着色層形成材料を含む液状体が安定的に吐出されずに、流路内に液状体が滞留して粘度等の物性が変化すること、または、ノズル出口で液状体が固化し吐出状態が変化することを防止することができる。従って、吐出特性のばらつきに起因する塗膜の不均一や塗膜不良を低減させることができ、品質の向上したカラーフィルタ５０５を製造することができる。また、１枚のマザー基板Ｂから複数のカラーフィルタ５０５を製造することができるため、生産性の向上に寄与できる。
【０１０４】
以上、実施形態について説明したが、上述の実施形態に対しては、趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１０５】
（変形例１）
本実施形態では、矩形形状に形成されたマザー基板Ｂに、面積の大きい５個の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ５と、それより面積の小さい１０個の第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とがそれぞれもしくは互いに千鳥状に配置されている場合を例にとり説明したが、これはあくまでも１実施例であり、これに限定されない。別の配置例として、マザー基板Ｂ１に、面積の大きい４個の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ４とそれより面積の小さい１２個の第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１２とを配置する例を、変形例１として、変形例１を示す図である図１２を参照して説明する。
【０１０６】
図１２に示すように、マザー基板Ｂ１に想定された矩形の被吐出可能領域ＳのＹ方向中央に面積の大きい４個の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ４の内の第１の被吐出領域Ｐ２，Ｐ３をＸ方向に２個並置する。そして、矩形の被吐出可能領域ＳのＸ方向中央で、第１の被吐出領域Ｐ２，Ｐ３のＹ方向上下に第１の被吐出領域Ｐ１および第１の被吐出領域Ｐ４をそれぞれ配置する。すなわち、４個の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ４はいわゆる菱形の頂点部分に対応する位置に置かれ、４個の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ４は互いに千鳥状に配置される。
【０１０７】
なお、このとき、マザー基板Ｂ１の被吐出可能領域Ｓの各頂点近傍には、第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ４が配置された領域以外の空き領域Ｓ１〜Ｓ４ができる。面積の小さい１２個の第２の被吐出領域Ｑは、第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ３，Ｑ４〜Ｑ６，Ｑ７〜Ｑ９，Ｑ１０〜Ｑ１２に４分される。そして、第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ３は空き領域Ｓ１に、第２の被吐出領域Ｑ４〜Ｑ６は空き領域Ｓ２に、第２の被吐出領域Ｑ７〜Ｑ９は空き領域Ｓ３に、第２の被吐出領域Ｑ１０〜Ｑ１２は空き領域Ｓ４に割り当てられる。
【０１０８】
第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ３，Ｑ４〜Ｑ６，Ｑ７〜Ｑ９，Ｑ１０〜Ｑ１２のそれぞれは、空き領域Ｓ１〜Ｓ４のそれぞれに、三角状に置かれることにより千鳥状に配置される。なお、図１２に示す変形例１は、第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ４と１２個の第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１２と図中点Ｏに対して点対称に配置した場合を例にとり図示している。または、図中に示す線分Ｔに対して線対称になるように、第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ３，Ｑ４〜Ｑ６，Ｑ７〜Ｑ９，Ｑ１０〜Ｑ１２のそれぞれを、同一方向に頂点を有するように配置されてもよい。
【０１０９】
（変形例２）
さらに、別の配置例として、マザー基板Ｂ２に、面積の大きい３個の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ３とそれより面積の小さい１０個の第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ１０とを配置する例を変形例２として、変形例２を示す図である図１３を参照して説明する。
図１３に示すように、マザー基板Ｂ２に想定された矩形の被吐出可能領域Ｓに、Ｙ方向下方を底辺側として、面積の大きい３個の第１の被吐出領域Ｐ１〜Ｐ３を、三角状すなわち千鳥状に配置する。
【０１１０】
そして、マザー基板Ｂ２の被吐出可能領域ＳのＹ方向上方左右にできた空き領域Ｓ１，Ｓ２に、２分された第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ５および第２の被吐出領域Ｑ６〜Ｑ１０を割り当てる。このとき、図１３に示すように、第２の被吐出領域Ｑ１〜Ｑ５は、第２の被吐出領域Ｑ３が、空き領域Ｓ１の中央に配置され、その他の第２の被吐出領域Ｑ１，Ｑ２，Ｑ４，Ｑ５が第２の被吐出領域Ｑ３の周囲を囲むように互いに千鳥状に位置される。また、第２の被吐出領域Ｑ６〜Ｑ１０は、第２の被吐出領域Ｑ８が、空き領域Ｓ２の中央に配置され、その他の第２の被吐出領域Ｑ６，Ｑ７，Ｑ９，Ｑ１０が第２の被吐出領域Ｑ８の周囲を囲むように互いに千鳥状に位置される。
【０１１１】
なお、上述の変形例１および変形例２は、例示であって、製造されるカラーフィルタ５０５のサイズにより、任意の大きさ、かつ、任意の数の第１の被吐出領域Ｐと第２の被吐出領域Ｑとを適用し、様々なバリエーションで組み合わせることができる。また、被吐出領域の種類は、第１の被吐出領域Ｐと第２の被吐出領域Ｑとの２種類に限らない。複数種の面積を有する被吐出領域を組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す図。
【図２】液滴吐出ヘッドを示す図。
【図３】キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドの配置を示す図。
【図４】キャリッジの構造を説明する図。
【図５】マザー基板における被吐出領域の配置例を示す図。
【図６】液滴吐出装置の主要構成を示すブロック図。
【図７】液滴吐出ヘッドとマザー基板との関係を示す図。
【図８】実施例３および４を示す図。
【図９】液晶表示装置の構造を示す分解斜視図。
【図１０】カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート。
【図１１】カラーフィルタの製造工程を示す概略断面図。
【図１２】変形例１を示す図。
【図１３】変形例２を示す図。
【符号の説明】
【０１１３】
４０…液滴吐出ヘッド、５８…ノズル、５９ａ，５９ｂ…ノズル列、６２…タンク、１００…液滴吐出装置、１０２…キャリッジ、１０６…テーブル、５００…液晶表示装置、５０１…対向基板、５０５…カラーフィルタ、５０８…素子基板、Ｂ…マザー基板、Ｌ，Ｍ，Ｎ…吐出幅、Ｐ…第１の被吐出領域、Ｑ…第２の被吐出領域、Ｓ…被吐出可能領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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