(57)【要約】【課題】液晶表示パネルの一側部に回路基板を精密に実装することができる実装装置を提供することにある。【解決手段】上面に液晶表示パネルが載置されるθテーブル７を第１の回転位置から第２の回転位置及び第３の回転位置に順次所定角度ずつ回転させるθ駆動源８と、θ駆動源によってθテーブルが各回転位置に順次回転させられたときに、液晶表示パネルのマークを撮像する撮像カメラ３６と、撮像カメラの撮像信号から各回転位置でのマークのＸ、Ｙ座標を算出し、その算出に基いて第１の回転位置のマークと第２の回転位置のマークを結ぶ第１の線分の中点を通ってその第１の線分に対して直交する第１の直線と、第２の回転位置のマークと第３の回転位置のマークを結ぶ第２の線分の中点を通ってその第２の線分に対して直交する第２の直線の式を求め、これらの２つの式から第１の直線と第２の直線の交点を算出してθテーブルの回転中心とする制御装置３５を具備する。【選択図】図１
2009042058.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の回転角度を設定してその基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上面に上記基板が載置されその基板を回転方向に位置決めする実装テーブルと、
この実装テーブルを第１の回転位置から第２の回転位置及び第３の回転位置に順次所定角度ずつ回転させる駆動手段と、
この駆動手段によって上記実装テーブルが第１の回転位置、第２の回転位置及び第３の回転位置に順次回転させられたときに、各回転位置において上記基板に設けられたマークを撮像する撮像手段と、
この撮像手段の撮像信号から上記各回転位置での上記マークのＸ、Ｙ座標を算出し、その算出に基いて第１の回転位置と第２の回転位置の上記マークを結ぶ第１の線分の中点を通ってその第１の線分に対して直交する第１の直線と、第２の回転位置と第３の回転位置の上記マークを結ぶ第２の線分の中点を通ってその第２の線分に対して直交する第２の直線の式を求め、これらの２つの式から第１の直線と第２の直線の交点を算出して上記実装テーブルの回転中心とする演算処理手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
上記駆動手段は上記実装テーブルを回転方向及び水平方向に駆動するようになっていて、
上記基板を実装位置へ駆動するとき、上記演算処理手段によって求められた上記実装テーブルの回転中心と上記基板の中心のずれに基いて上記基板の実装位置への駆動を補正することを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項３】
基板の回転角度を設定してその基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上面に上記基板が載置されその基板を回転方向に位置決めする実装テーブルと、
この実装テーブルを第１の回転位置から１８０度回転させて第２の回転位置に位置決めする駆動手段と、
この駆動手段によって上記実装テーブルを第１の回転位置から第２の回転位置に回転させたときに、各回転位置において上記基板に設けられたマークを撮像する撮像手段と、
この撮像手段の撮像信号から上記各回転位置での上記マークのＸ、Ｙ座標を求め、これらＸ、Ｙ座標の中心点を算出して上記実装テーブルの回転中心とする演算処理手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項４】
上記駆動手段は上記実装テーブルを回転方向及び水平方向に駆動するようになっていて、
上記基板を実装位置へ駆動するとき、上記演算処理手段によって求められた上記実装テーブルの回転中心と上記基板の中心のずれに基いて上記基板の実装位置への駆動を補正することを特徴とする請求項３記載の電子部品の実装装置。
【請求項５】
上記実装テーブルの回転中心を求めた後で上記実装テーブルに載置された基板を位置決めするとき、上記演算処理手段は、上記基板のマークの予め算出される基準座標と、載置後に上記撮像手段によって撮像して求められる上記マークの撮像座標とを上記実装テーブルの回転中心を基準にして比較し、その比較に基いて上記基板の位置を補正することを特徴とする請求項１又は請求項３記載の電子部品の実装装置。
【請求項６】
実装テーブルに載置された基板の回転角度を設定してその基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装方法であって、
上記基板を上記実装テーブルによって第１の回転位置から第２の回転位置及び第３の回転位置に順次所定角度ずつ回転させる工程と、
上記基板を上記第１の回転位置、第２の回転位置及び第３の回転位置に順次回転させたときに、各回転位置において上記基板に設けられたマークを撮像する工程と、
上記マークの撮像に基いて各回転位置での上記マークのＸ、Ｙ座標を算出し、その算出に基いて第１の回転位置の上記マークと第２の回転位置の上記マークを結ぶ第１の線分の中点を通ってその第１の線分に対して直交する第１の直線と、第２の回転位置の上記マークと第３の回転位置の上記マークを結ぶ第２の線分の中点を通ってその第２の線分に対して直交する第２の直線の式を求め、これら２つの式から第１直線と第２の直線の交点を算出して上記実装テーブルの回転中心とする工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項７】
実装テーブルに載置された基板の回転角度を設定してその基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装方法であって、
上記基板を上記実装テーブルによって第１の回転位置から１８０度回転させて第２の回転位置に位置決めする工程と、
上記基板を第１の回転位置から第２の回転位置回転させたときに、各回転位置において上記基板に設けられたマークを撮像する工程と、
上記マークの撮像に基いて上記各回転位置での上記マークのＸ、Ｙ座標を算出し、各Ｘ座標とＹ座標の中心点を算出して上記実装テーブルの回転中心とする工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項８】
上記実装テーブルの回転中心を求めた後で上記実装テーブルに載置された基板を位置決めするときに、上記基板のマークの予め算出される基準座標と、載置後に撮像して求められる上記マークの撮像座標とを上記実装テーブルの回転中心を基準にして比較し、その比較に基いて上記基板の位置を補正することを特徴とする請求項６又は請求項７記載の電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板の一側部に電子部品を実装するための電子部品の実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置の組立工程では、図７（ａ）に示すように基板としての液晶表示パネル１００の一側部に電子部品としての複数の回路基板１０２を複数のＴＣＰ（Tape Carrier Package）１０３を介して接続するということが行われる。
【０００３】
すなわち、図７（ｂ）に示すように、上記液晶表示パネル１００の一側部には複数のＴＣＰ１０３の一辺がテープ状の異方性導電部材１０４によって接続され、これらＴＣＰ１０３の他辺には、１つ若しくは複数、この場合は２つの上記回路基板１０２が同じくテープ状の異方性導電部材１０４によって接続される。
【０００４】
複数のＴＣＰ１０３は一辺が上記回路基板１０２に仮圧着されてから、一括して本圧着（実装）される。ＴＣＰ１０３の他辺に２つの回路基板１０２を接続する場合、１つ目の回路基板１０２を実装、つまり本圧着してから、２つ目の回路基板１０２を本圧着するようにしている。
【０００５】
一般に、液晶表示パネルに接続されたＴＣＰに回路基板を実装する場合、まず、回路基板を搬送テーブルに供給載置する一方、液晶表示パネルをＸ、Ｙ及び回転方向に駆動させる実装テーブルに供給載置する。
【０００６】
ついで、搬送テーブルに載置された回路基板の一側の長手方向の一端部と他端部とに設けられた位置合わせマークを一対の第１の撮像カメラで撮像し、その撮像信号が画像処理部で処理される。それによって、上記回路基板のＸ座標、Ｙ座標及び回転角度が算出される。  
Ｘ座標、Ｙ座標及び回転角度が算出された回路基板は、実装位置に向かうＸ方向に駆動され、ＴＣＰに接続された一端部がバックアップツール上に搬送位置決めされる。
【０００７】
上記実装テーブルに供給載置された液晶表示パネルは、その一側の長手方向の一端部と他端部とに設けられた位置合わせマークが一対の第２の撮像カメラで撮像され、その撮像信号が画像処理部で処理される。それによって、上記液晶表示パネルのＸ座標、Ｙ座標及び回転角度が算出される。
【０００８】
ついで、液晶表示パネルは、第２の撮像カメラの撮像信号に基いて求められた回転角度及びＹ座標が第１の撮像カメラの撮像信号に基いて求められた回路基板の回転角度及びＹ座標に対して所定の関係となるよう補正される。ついで、実装位置に向かうＸ方向に駆動され、一側部に接続されたＴＣＰが実装位置のバックアップツール上に予め位置決めされた上記回路基板に対して重なるよう位置決めされる。
【０００９】
回路基板と液晶表示パネルが上記実装位置に位置決めされると、バックアップツールの上方に配置された加圧ツールが下降方向に駆動される。それによって、上記液晶表示パネルに設けられたＴＣＰに回路基板が実装される。  
このようにして液晶表示パネルに回路基板を実装する先行技術は特許文献１に示されている。
【００１０】
ところで、実装テーブルに供給載置された液晶表示パネルの中心が実装テーブルの回転中心に精密に一致していないと、実装テーブルとともに液晶表示パネルを回転させてその回転角度を補正する際、これらの回転中心のずれ量に応じて液晶表示パネルのＸ座標及びＹ座標にずれが生じてしまう。
【００１１】
液晶表示パネルのＸ座標とＹ座標のうち、とくにＹ座標にずれが生じると、液晶表示パネルに接続されたＴＣＰの端子と、回路基板に設けられた端子とが幅方向にずれてしまう。ＴＣＰや回路基板の端子はμｍ単位の線幅に微細化されている。
【００１２】
そのため、液晶表示パネルのＹ座標にずれが生じると、ＴＣＰと回路基板の端子を精密に一致させて接続するということができなくなることがあるばかりか、そのずれ量が大きくなると接続不良を招くことになる。
【００１３】
そこで、従来は液晶表示パネルを実装テーブルに供給したならば、治具を用いて上記液晶表示パネルの中心を、上記実装テーブルの回転中心に一致させるということが行なわれていた。
【００１４】
上記治具としては、たとえば平板状の治具本体の上面に上記液晶表示パネルの隣り合う２つの辺に係合する３つの上部ピンが設けられ、下面に上記実装テーブルの隣り合う２つの辺に係合する３つの下部ピンが設けられたものが用いられている。
【００１５】
そして、実装テーブルに供給された液晶表示パネルがこの実装テーブルの上面に所定の高さで設けられた吸着パットによって支持されたならば、吸着パットに吸引力を発生させる前に、上記実装テーブルと液晶表示パネルとの間に上記治具を挿入し、３つの上部ピンを液晶表示パネルの隣り合う２つの側辺に係合させ、下部ピンを実装テーブルの隣り合う２つの側辺に係合させる。それによって、液晶表示パネルが実装テーブルに対して相対的に位置決めされるから、実装テーブルの回転中心に液晶表示パネルの中心を一致させることができるというものであった。
【特許文献１】特開平８−１１４８１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
ところで、上述したように治具によって液晶表示パネルの中心を実装テーブルの回転中心に一致させるようにすると、これらの位置合わせ精度は治具の製作精度によって大きく左右されることになる。
【００１７】
通常、上記液晶表示パネルと回路基板の位置合わせ精度は数μｍ単位で要求される。しかしながら、上記治具を数μｍ単位の精度で製作することは容易でないから、治具の製作精度に応じて液晶表示パネルの中心が実装テーブルの回転中心に対して精密に一致させるのが難しいということがある。しかも、治具を用いての位置決め作業は作業者が手作業で行なうため、熟練度合などによって誤差が発生し易いということもある。
【００１８】
この発明は基板を所定の角度で回転させながら、各回転位置で基板に設けられたマークを撮像し、そのマークの座標から回転中心を精密の求めることができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
この発明は、基板の回転角度を設定してその基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上面に上記基板が載置されその基板を回転方向に位置決めする実装テーブルと、
この実装テーブルを第１の回転位置から第２の回転位置及び第３の回転位置に順次所定角度ずつ回転させる駆動手段と、
この駆動手段によって上記実装テーブルが第１の回転位置、第２の回転位置及び第３の回転位置に順次回転させられたときに、各回転位置において上記基板に設けられたマークを撮像する撮像手段と、
この撮像手段の撮像信号から上記各回転位置での上記マークのＸ、Ｙ座標を算出し、その算出に基いて第１の回転位置と第２の回転位置の上記マークを結ぶ第１の線分の中点を通ってその第１の線分に対して直交する第１の直線と、第２の回転位置と第３の回転位置の上記マークを結ぶ第２の線分の中点を通ってその第２の線分に対して直交する第２の直線の式を求め、これらの２つの式から第１の直線と第２の直線の交点を算出して上記実装テーブルの回転中心とする演算処理手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【００２０】
上記駆動手段は上記実装テーブルを回転方向及び水平方向に駆動するようになっていて、
上記基板を実装位置へ駆動するとき、上記演算処理手段によって求められた上記実装テーブルの回転中心と上記基板の中心のずれに基いて上記基板の実装位置への駆動を補正することが好ましい。
【００２１】
この発明は、基板の回転角度を設定してその基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上面に上記基板が載置されその基板を回転方向に位置決めする実装テーブルと、
この実装テーブルを第１の回転位置から１８０度回転させて第２の回転位置に位置決めする駆動手段と、
この駆動手段によって上記実装テーブルを第１の回転位置から第２の回転位置に回転させたときに、各回転位置において上記基板に設けられたマークを撮像する撮像手段と、
この撮像手段の撮像信号から上記各回転位置での上記マークのＸ、Ｙ座標を求め、これらＸ、Ｙ座標の中心点を算出して上記実装テーブルの回転中心とする演算処理手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【００２２】
上記駆動手段は上記実装テーブルを回転方向及び水平方向に駆動するようになっていて、
上記基板を実装位置へ駆動するとき、上記演算処理手段によって求められた上記実装テーブルの回転中心と上記基板の中心のずれに基いて上記基板の実装位置への駆動を補正することが好ましい。
【００２３】
上記実装テーブルの回転中心を求めた後で上記実装テーブルに載置された基板を位置決めするとき、上記演算処理手段は、上記基板のマークの予め算出される基準座標と、載置後に上記撮像手段によって撮像して求められる上記マークの撮像座標とを上記実装テーブルの回転中心を基準にして比較し、その比較に基いて上記基板の位置を補正することが好ましい。
【００２４】
この発明は、実装テーブルに載置された基板の回転角度を設定してその基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装方法であって、
上記基板を上記実装テーブルによって第１の回転位置から第２の回転位置及び第３の回転位置に順次所定角度ずつ回転させる工程と、
上記基板を上記第１の回転位置、第２の回転位置及び第３の回転位置に順次回転させたときに、各回転位置において上記基板に設けられたマークを撮像する工程と、
上記マークの撮像に基いて各回転位置での上記マークのＸ、Ｙ座標を算出し、その算出に基いて第１の回転位置の上記マークと第２の回転位置の上記マークを結ぶ第１の線分の中点を通ってその第１の線分に対して直交する第１の直線と、第２の回転位置の上記マークと第３の回転位置の上記マークを結ぶ第２の線分の中点を通ってその第２の線分に対して直交する第２の直線の式を求め、これら２つの式から第１直線と第２の直線の交点を算出して上記実装テーブルの回転中心とする工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
【００２５】
この発明は、実装テーブルに載置された基板の回転角度を設定してその基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装方法であって、
上記基板を上記実装テーブルによって第１の回転位置から１８０度回転させて第２の回転位置に位置決めする工程と、
上記基板を第１の回転位置から第２の回転位置回転させたときに、各回転位置において上記基板に設けられたマークを撮像する工程と、
上記マークの撮像に基いて上記各回転位置での上記マークのＸ、Ｙ座標を算出し、各Ｘ座標とＹ座標の中心点を算出して上記実装テーブルの回転中心とする工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
【００２６】
上記実装テーブルの回転中心を求めた後で上記実装テーブルに載置された基板を位置決めするときに、上記基板のマークの予め算出される基準座標と、載置後に撮像して求められる上記マークの撮像座標とを上記実装テーブルの回転中心を基準にして比較し、その比較に基いて上記基板の位置を補正することが好ましい。
【発明の効果】
【００２７】
この発明によれば、基板を回転させるとともに、所定の回転位置で基板に設けられたマークを撮像し、各回転位置でのマークのＸ座標とＹ座標に基いて実装テーブルの回転中心を精密に求めることができるから、実装テーブルの回転中心と、実装テーブルに載置された基板の中心とに差があれば、その差に基いて基板を実装位置に精密に位置決めすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１はこの発明の実装装置の概略的構成図であって、この実装装置はベース１を備えている。このベース１にはテーブルユニット２が設けられている。このテーブルユニット２は上記ベース１上に図中矢印で示すＸ方向に沿って移動可能に設けられたＸテーブル３を有する。このＸテーブル３は上記ベース１の一端に設けられたＸ駆動源４によってＸ方向に沿って駆動されるようになっている。
【００２９】
上記Ｘテーブル３上にはＹテーブル５がＸ方向と交差するＹ方向に沿って移動可能に設けられている。このＹテーブル５は上記Ｘテーブル３の一側面に設けられたＹ駆動源６によってＹ方向に駆動されるようになっている。
【００３０】
上記Ｙテーブル５には実装テーブルとしてのθテーブル７が水平面と直交する軸線を中心にして回転可能に設けられている。このθテーブル７は上記Ｙテーブル５の一側面に設けられたθ駆動源８によって回転方向に駆動されるようになっている。したがって、上記θテーブル７はＸ、Ｙ及びθ方向の３軸方向に駆動可能となっている。
【００３１】
上記θテーブル７の上面には図示しない複数の吸着パットが所定の高さで設けられていて、このθテーブル７には図７（ａ）、（ｂ）に示すように一側部に接続用の電子部品としての複数のＴＣＰ１０３が異方性導電部材１０４によって接続固定された、基板としての液晶表示パネル１００が供給載置される。この液晶表示パネル１００は、上記吸着パッドに生じる吸引力によって上記θテーブル７に吸着保持される。なお、液晶表示パネル１００は図１に示すようにＴＣＰ１０３が接続された一側部を含む周辺部全体をθテーブル７の外周面から外方へ突出させている。
【００３２】
上記ＴＣＰ１０３には電子部品としての回路基板１０２が後述する実装位置Ｂに設けられた圧着部１１で接続固定される、つまり実装される。この圧着部１１はＹ方向に沿って細長い板状のバックアップツール１２を有する。このバックアップツール１２は第１のＺ駆動源１３によって図中矢印で示す上下方向である、Ｚ方向に駆動可能となっている。このバックアップツール１２の上部には第１のヒータ１４が内蔵されている。
【００３３】
なお、テーブルユニット２にＺ駆動源を設けてθテーブルをＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動可能とし、バックアップツール１２はＺ方向に駆動しない構成であってもよく、要は液晶表示パネル１００を保持したθテーブル７とバックアップツール１２とが相対的にＺ方向に駆動できる構成であればよい。
【００３４】
バックアップツール１２の上方には、下端面を上記バックアップツール１２の上端面に対向させた加圧ツール１５が配設されている。この加圧ツール１５は下端部に第２のヒータ１６が設けられていて、第２のＺ駆動源１７によってＺ方向に駆動されるようになっている。
【００３５】
したがって、後述するように上記バックアップツール１２の上端面に異方性導電部材１０４を介して回路基板１０２とＴＣＰ１０３を重ね合わせ、その重合部分を上記加圧ツール１５で加圧しながら第１、第２のヒータ１４，１６で加熱すれば、上記異方性導電部材１０４を溶融硬化させて回路基板１０２とＴＣＰ１０３を接続固定することができる。すなわち、液晶表示パネル１００に対してＴＣＰ１０３を介して上記回路基板１０２を本圧着（実装）することができる。
【００３６】
上記回路基板１０２は搬送テーブル２１によって上記バックアップツール１２上に搬送されるようになっている。上記搬送テーブル２１は図１に示すように、可動体２２の上端面にＸ方向に沿う一端部を固定して設けられている。
【００３７】
上記可動体２２の下端面のＸ方向と交差するＹ方向の両端部には一対のスライダ２３（１つのみ図示）が設けられ、このスライダ２３はガイドレール２５に移動可能に係合している。このガイドレール２５は上記ベース１上に架台２４を介してＸ方向に沿って設けられている。つまり、搬送テーブル２１はＸ方向に沿う１軸方向に駆動されるようになっている。
【００３８】
上記可動体２２は図示しない駆動手段によって上記ガイドレール２５に沿うＸ方向に往復駆動されるようになっている。可動体２２をＸ方向に沿って往復駆動する駆動手段としては、駆動源によって回転駆動されるねじ軸やシリンダを用いてもよいが、この実施の形態ではガイドレール２５に所定間隔で配置された多数の磁石と、上記スライダ２３に設けられた電磁コイルとからなるリニアモータによって構成されている。
【００３９】
上記搬送テーブル２１には上記回路基板１０２が供給載置される。回路基板１０２は一端部を搬送テーブル２１の端面から突出させて供給され、その状態で幅方向の複数個所が複数の保持部材２７（１つのみ図示）によって弾性的に押圧保持される。  
なお、回路基板１０２の一端部の上面には幅方向全長にわたってテープ状の異方性導電部材１０４が予め貼着されている。
【００４０】
上記保持部材２７は弾性を備えた帯板によって屈曲形成されていて、先端部が上記回路基板１０２の上面を弾性的に押圧するとともに、後端は上記可動体２２の側面に設けられた第１のＺシリンダ２９のロッド２９ａに連結固定されている。
【００４１】
したがって、上記第１のＺシリンダ２９のロッド２９ａが突出方向に駆動されれば、上記保持部材２７は図１に鎖線で示すように上昇して先端部が搬送テーブル２１上の回路基板１０２の上面から離れ、この回路基板１０２の保持状態が解除される。それによって、回路基板１０２を上記搬送テーブル２１に対して着脱することができるようになっている。
【００４２】
上記バックアップツール１２の上記可動体２２側の側面には、軸線を垂直にして複数の第２のＺシリンダ３１（１つのみ図示）が搬送テーブル２１の他端、つまりバックアップツール１２側に位置する先端面に開放して形成された複数の凹部２１ａ（１つのみ図示）と対応する間隔で設けられている。
【００４３】
上記第２のＺシリンダ３１のロッド３１ａには受け部材３０が上面を水平にして取り付けられている。この受け部材３０は矩形状で、上記搬送テーブル２１に形成された凹部２１ａ内に入り込む大きさに形成されている。
【００４４】
上記搬送テーブル２１に供給載置された回路基板１０２は、Ｘ方向に駆動されて実装位置Ｂに位置決めされる前に、図４に示すようにその長手方向の両端部に設けられた一対の位置合わせマークｍ１が一対の第１の撮像カメラ３３（１つだけ図示）によって撮像される。同図においてＳ１は一対の第１の撮像カメラ３３の視野範囲を示す。
【００４５】
上記第１の撮像カメラ３３の撮像信号は図１に示す画像処理部３４に出力され、ここでデジタル信号に変換されてから制御装置３５に出力される。この制御装置３５には演算手段としての演算処理部３８及び駆動手段としての駆動出力部３９が設けられ、上記デジタル信号は上記演算処理部３８で演算処理される。それによって、上記回路基板１０２のＸ座標、Ｙ座標及び回転角度θ１が算出される。
【００４６】
なお、制御装置３５は、上記駆動出力部３９から出力される駆動信号によってテーブルユニット２の上記Ｘ駆動源４、Ｙ駆動源６、θ駆動源８の駆動及び第２のＺ駆動源１７、バックアップツール１２の第１のＺ駆動源１３、第１のＺシリンダ２９、第２のＺシリンダ３１、さらに可動体２２の図示しないリニアモータの駆動を制御するようになっている。
【００４７】
上記テーブルユニット２のθテーブル７に供給載置された液晶表示パネル１００は、Ｘ方向に駆動されて実装位置に位置決めされる前に、図４に示すように一側部の長手方向の両端部に設けられた一対の位置合わせマークｍ２が撮像手段として一対の第２の撮像カメラ３６（１つだけ図示）によって撮像される。同図においてＳ２は一対の第２の撮像カメラ３６の視野範囲を示す。
【００４８】
上記第２の撮像カメラ３６の撮像信号は上記画像処理部３４でデジタル信号に変換されてから上記制御装置３５に出力され、この制御装置３５に設けられた演算処理部３８で演算処理されて上記液晶表示パネル１００のＸ座標、Ｙ座標及び回転角度θ２が算出される。
【００４９】
上記回路基板１０２は、一対の位置合わせマークｍ１が第１の撮像カメラ３３によって撮像されてＸ座標、Ｙ座標及び回転角度θ１が算出されたならば、算出されたＸ座標に基いて異方性導電部材１０４が設けられた先端部がバックアップツール１２の上方に位置決めされるよう、実装位置Ｂに向かうＸ方向に駆動される。
【００５０】
ついで、図２（ａ）に示すように第２のＺシリンダ３１が作動して受け部材３０が上昇方向に駆動され、搬送テーブル２１に形成された凹部２１ａに入り込んで回路基板１０２が支持される。
【００５１】
受け部材３０が回路基板１０２を支持すると、図２（ｂ）に示すように第１のＺシリンダ２９が作動して保持部材２７による回路基板１０２の保持状態を解除した後、上記搬送テーブル２１が後退方向に駆動される。
【００５２】
ついで、図２（ｃ）に示すように上記受け部材３０が第２のＺシリンダ３１によって下降方向に駆動され、回路基板１０２の先端部がバックアップツール１２の上面に支持される。なお、バックアップツール１２は回転角度θ１で傾斜した回路基板１０２の先端部を確実に支持することができる幅寸法を有する。
【００５３】
一方、θテーブル７は、このθテーブル７に供給載置された上記液晶表示パネル１００を介して第２の撮像カメラ３６の撮像信号によって後述するように回転中心の座標（Ｘ０，Ｙ０）が算出され、その回転中心が液晶表示パネル１００の中心座標（Ｘｐ，Ｙｐ）に一致しているか否かが求められる。
【００５４】
以下、θテーブル７の回転中心の算出方法を図５を参照しながら説明する。  
まず、θテーブル７に液晶表示パネル１００が供給され、この液晶表示パネル１００に設けられた一対の位置合わせマークｍ２が第２の撮像カメラ３６によって撮像されたときに、一方の位置合わせマークｍ２のＸ座標とＹ座標が制御装置３５によって算出される。このときの液晶表示パネル１００の回転状態を図５に実線で示す第１の回転位置Ｗ１とし、第１の回転位置における一方の位置合わせマークｍ２の座標を（Ｘ１、Ｙ１）とする。
【００５５】
液晶表示パネル１００の第１の回転位置Ｗ１における位置合わせマークｍ２の座標を算出したならば、液晶表示パネル１００をθテーブル７とともに図５に矢印Ｋで示す反時計方向に所定角度、たとえば３０度回転させ、そのときのマークｍ２の座標（Ｘ２、Ｙ２）を算出する。このときの液晶表示パネル１００の回転位置を鎖線で示す第２の回転位置Ｗ２とする。
【００５６】
ついで、液晶表示パネル１００をさらに所定角度、たとえば３０度回転させて同図に鎖線で示す第３の回転位置Ｗ３とし、そのときのマークｍ２の座標（Ｘ３、Ｙ３）を算出する。
【００５７】
なお、第２の撮像カメラ３６は液晶表示パネル１００の回転にともなってそのマークｍ２が撮像できるよう図示せぬＸ・Ｙ駆動源によって上記マークｍ２に追従するようＸ、Ｙ方向に駆動されるようになっている。
【００５８】
θテーブル７の中心座標（Ｘ０，Ｙ０）となる回転中心を図５にＯで示す位置にあると仮定する。第１の回転位置Ｗ１において、マークｍ２と液晶表示パネル１００の回転中心Ｏを結ぶ直線がＸ軸線に対してなす角度をαとする。
【００５９】
第１の回転位置Ｗ１から液晶表示パネル１００を所定角度回転させた第２の回転位置Ｗ２において、マークｍ２と回転中心Ｏを結ぶ直線がＸ軸線に対してなす角度をβとする。第２の回転位置Ｗ２から液晶表示パネル１００をさらに所定角度回転させた第３の回転位置Ｗ３において、マークｍ２と回転中心Ｏを結ぶ直線がＸ軸線に対してなす角度をγとする。
【００６０】
ついで、第１の回転位置Ｗ１におけるマークｍ２と第２の回転位置Ｗ２におけるマークｍ２を結ぶ線分Ｈ１の中点Ｃ１のＸ座標（Ｘ１＋Ｘ２）／２及びＹ座標（Ｙ１＋Ｙ２）／２を求め、この中点Ｃ１を通って線分Ｈ１に直交する第１の直線Ｌ１の式を求める。
【００６１】
さらに、第２の回転位置Ｗ２におけるマークｍ２と第３の回転位置Ｗ３におけるマークｍ２を結ぶ線分Ｈ２の中点Ｃ２のＸ座標（Ｘ２＋Ｘ３）／２及びＹ座標（Ｙ２＋Ｙ３）／２を求め、この中点Ｃ２を通って線分Ｈ２に直交する第２の直線Ｌ２の式を求める。
【００６２】
つまり、第１の直線Ｌ１の式は、
ｙ＝ｔａｎ｛（α＋β）／２｝ｘ＋ｂ１        …（１）式
となる。
【００６３】
第２の直線Ｌ２の式は、
ｙ＝ｔａｎ｛（β＋γ）／２｝ｘ＋ｂ２        …（２）式
となる。
【００６４】
（１）式は第１の線分Ｈ１の中点Ｃ１のＸ座標（Ｘ１＋Ｘ２）／２及びＹ座標（Ｙ１＋Ｙ２）／２を通り、（２）式は第２の線分Ｈ２の中点Ｃ２のＸ座標（Ｘ２＋Ｘ３）／２及びＹ座標（Ｙ２＋Ｙ３）／２を通るから、これらの座標を（１）式と（２）式に代入すると、
上記（１）式は、  
（Ｙ１＋Ｙ２）／２＝ｔａｎ｛（α＋β）／２｝・｛（Ｘ１＋Ｘ２）／２｝＋ｂ１…（３）式
となり、  
上記（２）式は、
（Ｙ２＋Ｙ３）／２＝ｔａｎ｛（β＋γ）／２｝・｛（Ｘ２＋Ｘ３）／２｝＋ｂ２…（４）式
となる。
【００６５】
上記（３）式よりｂ１は、
ｂ１＝（Ｙ１＋Ｙ２）／２−ｔａｎ｛（α＋β）／２｝・｛（Ｘ１＋Ｘ２）／２｝…（５）式
となり、  
上記（４）式よりｂ２は、
ｂ１＝（Ｙ２＋Ｙ３）／２−ｔａｎ｛（β＋γ）／２｝・｛（Ｘ２＋Ｘ３）／２｝…（６）式
となる。
【００６６】
したがって、上記（１）式、（２）式にそれぞれ上記（５）式、（６）式を代入して第１の直線Ｌ１の式と、第２の直線Ｌ２の式とし、これら第１、第２の直線の式の交点（Ｘｐ，Ｙｐ）を求めれば、その交点がθテーブル７の回転中心Ｏの座標（Ｘ０，Ｙ０）となる。
【００６７】
θテーブル７に供給載置される液晶表示パネル１００の中心の座標（ＸＰ，ＹＰ）はこれらに設けられた一対の位置合わせマークｍ２の座標から求めることができる。そして、θテーブル７の回転中心Ｏの座標（Ｘ０，Ｙ０）と、液晶表示パネル１００の中心の座標（Ｘｐ，Ｙｐ）にずれがあり、そのずれによってθテーブル７を回転させたときに液晶表示パネル１００に生じるＸ座標及びＹ座標のずれ量は制御装置３５の演算処理部３８によって求めることができる。
【００６８】
上記制御装置３５は、θテーブル７を回転させるとき、その駆動出力部３９からの駆動信号によってθテーブル７を上記ずれ量が補正されるようＸ方向及びＹ方向、この実施の形態では実装精度に影響を及ぼす少なくともＹ方向に駆動するようになっている。
【００６９】
したがって、液晶表示パネル１００の中心の座標（Ｘｐ，Ｙｐ）がθテーブル７の回転中心Ｏの座標（Ｘ０，Ｙ０）に対してずれていても、そのずれによって液晶表示パネル１００のＸ座標とＹ座標に誤差が生じないよう、θテーブル７は液晶表示パネル１００をＸ、Ｙ方向に位置補正しながら回転させる。したがって、液晶表示パネル１００を回路基板１０２に対して精密に位置決めすることが可能となる。
【００７０】
このようにして、液晶表示パネル１００が回路基板１０２に対して位置決めされたならば、図３（ａ）に示すように液晶表示パネル１００は実装位置Ｂに向かうＸ方向に駆動され、ＴＣＰ１０３が貼着された一側部がバックアップツール１２上に既に位置決めされた回路基板１０２の先端部の上方に位置決めされる。
【００７１】
ついで、図３（ｂ）に示すように、バックアップツール１２の上方に設けられた加圧ツール１５が下降方向に駆動される。それによって、回路基板１０２がＴＣＰ１０３に本圧着されることになる。
【００７２】
このように、θテーブル７の回転中心の座標（Ｘ０，Ｙ０）と、このθテーブル７に供給憂さ位置される液晶表示パネル１００の中心座標との関係を、従来のように治具を用いることなく、液晶表示パネル１００の位置認識を行なう第２の撮像カメラ３６を利用して光学的に求めるようにした。
【００７３】
そして、液晶表示パネル１００の回転角度θ２を、回路基板１０２の回転角度θ１に一致させるよう回転させるとき、θテーブル７と液晶表示パネル１００との中心のずれによって生じるＸ方向及びＹ方向の位置ずれ量のうち、少なくともＹ方向の位置ずれ量を、θテーブル７をＹ方向に駆動して補正するようにした。
【００７４】
そのため、θテーブル７の回転中心Ｏの座標（Ｘ０，Ｙ０）と、このθテーブル７に保持された液晶表示パネル１００の中心の座標（Ｘｐ，Ｙｐ）とにずれがあっても、上記回路基板１０２を上記液晶表示パネル１００のＴＣＰ１０３に対して精密に位置決めして実装することができる。
【００７５】
図６はθテーブル７の中心Ｏ１を、このθテーブル７に載置された液晶表示パネル１００を利用して求める、この発明の他の実施の形態を示す。この実施の形態では、まず、第１の回転位置で第２の撮像カメラ３６によってθテーブル７に供給載置された液晶表示パネル１００の一対の位置合わせマークｍ２の一方を撮像し、その位置合わせマークｍ２の座標（Ｘ１，Ｙ１）を求める。第１の回転位置における一対の位置合わせマークｍ２は白抜きで示す。
【００７６】
ついで、θテーブル７を第１の回転位置から矢印Ｋで示す反時計方向に１８０度回転させて第２の回転位置とする。そして、第２の回転位置で上記一方の位置合わせマークｍ２を撮像してその座標（Ｘ４，Ｙ４）を求める。第２の回転位置における一対の位置合わせマークｍ２は黒で塗り潰して示す。
【００７７】
ついで、第１の回転位置と第２の回転位置との位置合わせマークｍ２を結ぶ線分Ｈ３の中点のＸ座標とＹ座標を求めれば、その中点の座標がθテーブル７の回転中心Ｏ１の座標（Ｘｃ，Ｙｃ）となる。なお、θテーブル７の回転中心Ｏ１のＸ座標Ｘｃは、（Ｘ１＋Ｘ４）／２で求めることができ、回転中心Ｏ１のＹ座標Ｙｃは（Ｙ１＋Ｙ４）／２で求めることができる。
【００７８】
このようにして、θテーブル７の回転中心Ｏ１の座標（Ｘｃ，Ｙｃ）を求めたならば、上記一実施の形態と同様、θテーブル７と液晶表示パネル１００の中心座標との誤差及びその誤差によって液晶表示パネル１００を回路基板１０２の回転角度θ１に応じて回転させたときに生じるＸ方向及びＹ方向のずれ量が演算処理部３８で算出される。
【００７９】
そして、液晶表示パネル１００を回路基板１０２の回転角度θ１に応じて回転させるとき、演算処理部３８で算出されたＸ方向及びＹ方向のずれ量のうち、少なくともＹ方向のずれ量が駆動出力部３９から出力される駆動信号によって補正されて液晶表示パネル１００が位置決めされるから、液晶表示パネル１００を回路基板１０２に対して精密に位置決めすることができる。
【００８０】
上記各実施の形態でθテーブル７の回転中心Ｏ，Ｏ１を求め、そのときにθテーブル７に載置された液晶表示パネル１００の位置補正をして回路基板１０２を接続したならば、上記θテーブル７にはつぎの液晶表示パネル１００が供給される。これを２枚目の液晶表示パネル１００という。
【００８１】
２枚目の液晶表示パネル１００の位置補正は予め求められたθテーブル７の回転中心Ｏ，Ｏ１を利用して以下のように行なうことができる。まず、理論的に求めることができる液晶表示パネル１００の中心を、θテーブル７の回転中心Ｏ，Ｏ１に一致させたときの液晶表示パネル１００に設けられた一対の位置合わせマークｍ２のＸ、Ｙ座標を算出する。このＸ、Ｙ座標を基準座標とする。
【００８２】
つぎに、θテーブル７に供給載置された液晶表示パネル１００の一対の位置合わせマークｍ２を第２の撮像カメラ３６で撮像してＸ、Ｙ座標を求める。このときのＸ、Ｙ座標を撮像座標とする。
【００８３】
ついで、一対の位置合わせマークｍ２の基準座標と撮像座標とを比較し、これら座標のずれ量を制御装置３５の演算処理部３８によって算出する。そして、そのずれ量をθテーブル７で補正して液晶表示パネル１００を位置補正すれば、この液晶表示パネル１００に回路基板１０２を精度よく接続することができる。
【００８４】
すなわち、上述したように最初にθテーブル７に液晶表示パネル１００を供給したときにそのθテーブル７の回転中心の座標を求めれば、２枚目以降の液晶表示パネル１００に対しては、θテーブル７の回転中心の座標を利用して一対の位置合わせマークｍ２の基準座標を算出し、その基準座標と撮像された一対の位置合わせマークｍ２の撮像座標を比較することで、液晶表示パネル１００を位置補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】この発明の一実施の形態の実装装置を示す概略的構成図。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は回路基板をバックアップツールに対して位置決めする順序を示す説明図。
【図３】（ａ），（ｂ）は位置決めされた回路基板を液晶表示パネルに接続されたＴＣＰに実装する説明図。
【図４】回路基板に対して液晶表示パネルを位置決めする前の状態を示す説明図。
【図５】液晶表示パネルの中心座標を求めるときの説明図。
【図６】液晶表示パネルの中心座標を求めるこの発明の他の実施の形態を示す説明図。
【図７】（ａ）は一側部に２つの回路基板がＴＣＰを介して接続された液晶表示パネルの平面図、（ｂ）は同じく拡大側面図。
【符号の説明】
【００８６】
２…テーブルユニット（第２の搬送位置決め手段）、７…θテーブル、１１…圧着部、１２…バックアップツール、１５…加圧ツール（実装手段）、２１…搬送テーブル（第１の搬送位置決め手段）、３３…第１の撮像カメラ（第１の撮像手段）、３４…画像処理部、３５…制御装置、３６…第２の撮像カメラ（第２の手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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