(57)【要約】【課題】シート状機能部品への損傷を抑制しつつ、画像認識によるシート状機能部品の検査精度を向上させることができるシート状機能部品の検査装置を提供する。【解決手段】自由状態で皺を生ずるシート状機能部品Ｗがセットされるセットテーブル４１と、セットテーブル４１にセットしたシート状機能部品Ｗを押える透明プレート４２と、透明プレート４２越しにシート状機能部品Ｗを画像認識して、シート状機能部品Ｗを検査する認識検査手段４３，４５と、付着した異物によりシート状機能部品Ｗにダメージが生じないように、且つ皺を解消してシート状機能部品Ｗが認識不良とならないように、セットテーブル４１に対する透明プレート４２の押圧接近位置を位置規制する押圧規制手段４４と、を備えたものである。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
自由状態で皺を生ずるシート状機能部品がセットされるセットテーブルと、
前記セットテーブルにセットした前記シート状機能部品を押える透明プレートと、
前記透明プレート越しに前記シート状機能部品を画像認識して、前記シート状機能部品を検査する認識検査手段と、
付着した異物により前記シート状機能部品にダメージが生じないように、且つ皺を解消して前記シート状機能部品が認識不良とならないように、前記セットテーブルに対する前記透明プレートの押圧接近位置を位置規制する押圧規制手段と、を備えたことを特徴とするシート状機能部品の検査装置。
【請求項２】
前記押圧規制手段は、前記セットテーブルの周縁部と前記透明プレートとの間に介設され、前記押圧接近位置を位置規制するスペーサを、有していることを特徴とする請求項１に記載のシート状機能部品の検査装置。
【請求項３】
前記押圧規制手段は、前記セットテーブルの周縁部に組み込まれ、前記透明プレートを前記押圧接近位置に支持すると共に、前記押圧接近位置を微調整可能な支持調整機構を、有していることを特徴とする請求項１に記載のシート状機能部品の検査装置。
【請求項４】
前記押圧規制手段は、前記透明プレートを前記セットテーブルに平行に保持すると共に、前記透明プレートを前記セットテーブルに対し相対的に昇降させて前記押圧接近位置を位置調整する昇降機構を、有していることを特徴とする請求項１に記載のシート状機能部品の検査装置。
【請求項５】
前記押圧規制手段は、前記透明プレートが前記シート状機能部品から受ける反力を検出する圧力センサと、
前記圧力センサの検出結果に基づいて、前記昇降機構の停止を制御する制御手段と、を更に有していることを特徴とする請求項４に記載のシート状機能部品の検査装置。
【請求項６】
前記セットテーブルは、少なくとも前記シート状機能部品がセットされるセット部が透光性の部材で構成され、
前記認識検査手段は、前記透明プレート越しに前記シート状機能部品を画像認識する認識カメラと、前記セットテーブルの下方から前記シート状機能部品を照明する対向照明と、を有していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のシート状機能部品の検査装置。
【請求項７】
前記認識検査手段は、前記認識カメラと同軸上に配設され、前記透明プレートの上方から前記シート状機能部品を照明する落射照明を、更に有していることを特徴とする請求項６に記載のシート状機能部品の検査装置。
【請求項８】
前記シート状機能部品が、複数の圧力室と複数の圧電素子との間に介設したインクジェットヘッドの振動板であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のシート状機能部品の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像認識により、シート状機能部品の表面の性状等を検査するシート状機能部品の検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の検査装置として、シート状のワーク（シート状機能部品）を載置する検査ステージと、ワークの上に重ね、検査ステージとの間にワークを挟持するガラス板と、ガラス板の表面に接触しながら移動するローラと、ローラのガラス板を押下する圧力を調整するダンパと、ワークを撮像するラインセンサカメラと、ワークを照らす同軸落射照明と、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１）。この検査装置では、ラインセンサカメラによるワークの撮像に際し、ワークの変形やたわみをとるべく、ワークを、ガラス板を介してローラで押さえるようにしている。これにより、シート状のワークに対する検査精度の向上を図っている。
【特許文献１】特開２００２−００５６３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このように、従来の検査装置では、検査ステージ上のワークにガラス板を押し付けることにより、ワークの皺等の部分的なたわみを伸ばすことはできるが、ワークに異物が付着していると、この異物によりワークに凹み等の傷が新たに発生してしまう問題があった。
【０００４】
本発明は、シート状機能部品への損傷を抑制しつつ、画像認識によるシート状機能部品の検査精度を向上させることができるシート状機能部品の検査装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のシート状機能部品の検査装置は、自由状態で皺を生ずるシート状機能部品がセットされるセットテーブルと、セットテーブルにセットしたシート状機能部品を押える透明プレートと、透明プレート越しにシート状機能部品を画像認識して、シート状機能部品を検査する認識検査手段と、付着した異物によりシート状機能部品にダメージが生じないように、且つ皺を解消してシート状機能部品が認識不良とならないように、セットテーブルに対する透明プレートの押圧接近位置を位置規制する押圧規制手段と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
これらの構成によれば、皺を持つシート状機能部品を、セットテーブルと透明プレートの間に挟み込んでセットする場合、セットテーブルと透明プレートとの隙間量（押圧接近位置）を、シート状機能部品の皺を適度に解消し、且つ付着した異物によりシート状機能部品がダメージを受けない程度に調整することができる。これにより、シート状機能部品が傷つくことがなく、且つ皺による認識不良（誤認識）を解消することができる。したがって、シート状機能部品への損傷を抑制しつつ、画像認識によるシート状機能部品の検査精度を向上させることができる。
【０００７】
この場合、押圧規制手段は、セットテーブルの周縁部と透明プレートとの間に介設され、押圧接近位置を位置規制するスペーサを、有していることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、極めて単純な構造で、且つ認識検査手段によるシート状機能部品の画像認識に影響を与えることなく、セットテーブルと透明プレートの間の隙間量を適切に保つことができる。また、スペーサを活用して、セットテーブル上に、シート状機能部品をラフに位置決めして配置することができ、検査の作業性を向上させることができる。
【０００９】
同様に、押圧規制手段は、セットテーブルの周縁部に組み込まれ、透明プレートを押圧接近位置に支持すると共に、押圧接近位置を微調整可能な支持調整機構を、有していることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、支持調整機構を介して透明プレートの押圧接近位置を調整することにより、透明プレートとセットテーブルとの隙間量を適切に調整でき、シート状機能部品の厚さ変更や、皺を矯正する度合い変更の際にも、容易に対応させることができる。
【００１１】
同様に、押圧規制手段は、透明プレートをセットテーブルに平行に保持すると共に、透明プレートをセットテーブルに対し相対的に昇降させて前記押圧接近位置を位置調整する昇降機構を、有していることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、透明プレートを自動的に昇降させ、セットプレートと透明プレートとの間の押圧接近位置を適切に調整することができるため、シート状機能部品を効率良く検査することができる。また、透明プレートとセットテーブルとの隙間量の調整を簡単に行うことができる。
【００１３】
この場合、押圧規制手段は、透明プレートがシート状機能部品から受ける反力を検出する圧力センサと、圧力センサの検出結果に基づいて、昇降機構の停止を制御する制御手段と、を更に有することが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、圧力センサによって、透明プレートの押圧力を一定に制御することができ、シート状機能部品の皺の解消程度を検査毎に同じ条件にし、同じ精度の下で検査することができる。
【００１５】
これらの場合、セットテーブルは、少なくともシート状機能部品がセットされるセット部が透光性の部材で構成され、認識検査手段は、透明プレート越しにシート状機能部品を画像認識する認識カメラと、セットテーブルの下方からシート状機能部品を照明する対向照明と、を有していることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、シート状機能部品に透明部分がある場合、この部分は対向照明によって投影され、セットテーブル及び透明プレートの雑像に影響されることなく、認識カメラの撮像によって画像処理され、適切に検査を行うことができる。
【００１７】
この場合、認識検査手段は、認識カメラと同軸上に配設され、透明プレートの上方からシート状機能部品を照明する落射照明を、更に有していることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、シート状機能部品に不透明部分がある場合、落射照明によるこの部分を精度良く検査することができる。
【００１９】
一方、シート状機能部品が、複数の圧力室と複数の圧電素子との間に介設したインクジェットヘッドの振動板であることが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、シート状機能部品の適切な検査により、インクジェットヘッドの振動板を高品質に保つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付した図面を参照して、本発明の第１実施形態に係るシート状機能部品の検査装置について説明する。このシート状機能部品の検査装置（以下、単に「検査装置」という。）は、シート状機能部品を認識カメラで撮影し、シート表面の検査を行う、いわゆる画像認識による検査装置である。ここでは、検査装置の説明の前に、その検査対象物であるシート状機能部品（以下、「ワーク」という。）から説明をすすめる。
【００２２】
図１に示すように、ワークＷは、インクジェットヘッド１０のいわゆる振動板として使用されるものであり、ヘッドケース１１と複数の圧力室（キャビティ）１２との間に介設され、一部が複数の圧電素子１３と接触し各圧電素子１３の動きと連動して各圧力室１２を加減圧する。圧力室１２に貯留するインクは、圧電素子１３を介して振動板からの圧力を受け、ノズルプレート１４に設けられた吐出ノズル１５を通して、吐出される。
【００２３】
図２に示すように、ワークＷは、その複数個がマザーワークＷ０からそれぞれ方形に打ち抜いて形成されるものであり、マザーワークＷ０は、透明な樹脂フィルム２１に特殊接着剤２２（図３参照）でステンレスの薄板２３を接着し、薄板２３の一部をエッチングにより除去して形成されている。すなわち、ワークＷは、ヘッドケース１１および各圧電素子１３に接触する部分以外の部分を除去した金属層３１と、金属層３１のベースとなる透明樹脂層３２とで構成され、これらが互いは特殊接着剤２２で接着されている（図３参照）。金属層３１には、共通流路の部分となる一対のスリット除去部３５を有し、枠状に形成した外枠部３６と、外枠部３６内の振動機能部３７に均等配置された複数の短冊部３８と、で構成されている。外枠部３６は、上記のヘッドケース１１と各圧力室１２との間にサンドイッチされる部分であり、複数の短冊部３８は、各圧電素子１３が接触する部分であり、さらに振動機能部３７は圧電素子１３により脈動する部分である。このため、複数の短冊部３８は、インクジェットヘッド１０の吐出ノズル１５の数と同数設けられている。
【００２４】
図３では、高さ方向を極端に表しているが、ワークＷは、金属層３１が３０μｍ程度、透明樹脂層３２が５０μｍ程度であって、極めて薄く形成されている（図３（ａ）参照）。また、上述したように、ワークＷは、マザーワークＷ０からプレスにより打ち抜いて形成される。このため、検査対象となる単体（自由状態）のワークＷ（図２（ｂ）のもの）は、全体として微妙な撓みが生じ、且つ部分的に引きつりによる皺が生じている（図３（ｂ）参照）。この撓みや皺は、ヘッドケース１１と圧力室１２との間に組み付けたときに延されて解消するため、これを組み込んだインクジェットヘッド１０の機能に影響を及ぼすことはないが、特に皺にあっては、画像認識において打痕（窪み）と誤認識（認識不良）され、正常なワークＷが「ＮＧ」となってしまうおそれがある。
【００２５】
本実施形態では、金属層３１および透明樹脂層３２（特に振動機能部３７）に生じた打痕や傷の有無を、画像認識により検査するが、その際、ワークＷを平坦になるように押圧し皺やたわみを解消し、誤認識が生じないようにする必要がある。一方、ワークＷの表裏両面には、加工段階で生じた屑粉等の異物が付着していることがある。この異物は、後に除去可能であるが、検査時にワークＷを強く押圧すると、付着した異物がワークＷ表面に凹み傷を発生させてしまうおそれがある。そこで、本実施形態の検査装置１では、皺やたわみを解消しつつ、異物によりワークＷ表面に凹み傷が生じないようにしている。
【００２６】
次に、図４および図５を参照して、第１実施形態の検査装置１について詳細に説明する。検査装置１は、ワークＷがセットされる水平なセットテーブル４１と、セットテーブル４１上のワークＷを押える透明プレート４２と、セットテーブル４１上のワークＷを画像認識する画像認識装置４３と、セットテーブル４１と透明プレート４２の隙間量（間隙寸法）を調整する支持調整機構（押圧規制手段）４４と、これら構成装置を制御するモニター５５付きのコントローラ４５と、を有している。なお、実施形態に言うが認識検査手段は、上記の画像認識装置４３とコントローラ４５とで構成されている。
【００２７】
セットテーブル４１は、厚手のガラス板等で構成されており、ワークＷが載置するようにセットされる方形のセット部４８と、セット部４８の周囲に位置する機構組込み部（周縁部）４９と、で一体に形成されている。セット部４８は、透明に且つワークＷに対し一回り大きく形成されている。一方、機構組込み部４９は、不透明に且つ方形枠状に形成されている。セットテーブル４１の下側には、後述する画像認識装置４３の対向照明５２が配設されており、対向照明５２の照明光はセット部４８を透過して照射される。なお、セット部４８と機構組込み部４９と、を別部材で構成するようにしてもよい。また、セット部４８と同様に、機構組込み部４９も透明であってもよい。
【００２８】
透明プレート４２は、セットテーブル４１と同様に厚手の透明ガラス板等で構成され、セットテーブル４１と同一或いは僅かに小さな方形の平面形状に形成されている。また、透明プレート４２は、全体が透明に形成され、且つその自重によりワークＷを押圧できるような重さを有している。すなわち、透明プレート４２は、ワークＷに載せ込んだときに、その重みでワークＷの皺や撓みを解消可能な十分な重量を有している。
【００２９】
画像認識装置４３は、セットテーブル４１上のワークＷを透明プレート４２越しに上側から撮像（画像認識）する認識カメラ５３と、認識カメラ５３に併設したドーナツ状の落射照明５１と、セットテーブル４１上のワークＷを下方から照明する対向照明５２と、を備えている。また、落射照明５１および対向照明５２は、セットテーブル４１の中心を通る認識カメラ５３の光軸と同軸上に配設されている。
【００３０】
落射照明５１および対向照明５２は、例えばＬＥＤアレイで構成され、上記のコントローラ４５により点灯および消灯制御される。この場合、対向照明５２は、ワークＷを投影するように照明し、落射照明５１は、ワークＷ表面を撮像可能に照明する。認識カメラ５３は、ワークＷ表面の欠陥を撮像可能な十分な解像度を有し、鏡筒６１の前部に配設した対物レンズ６２と後部に配設したＣＣＤ（またはＣ−ＭＯＳ）６３とで構成され、コントローラ４５の画像処理回路に接続されている。この場合、認識カメラ５３の撮像結果は、コントローラ４５のモニター５５の画面に映し出され、オペレータは、このモニター５５の画面上でワークＷの欠陥を判断（検査）するようにしている。
【００３１】
支持調整機構４４は、セットテーブル４１における機構組込み部４９の四隅に組み込んだ４台のマイクロヘッド７０により、構成されている。各マイクロヘッド７０は、そのスピンドル７１がセットテーブル４１を貫通した状態で、セットテーブル４１の下側に取り付けられている。４台のマイクロヘッド７０の４つのスピンドル７１は、セットテーブル４１を貫通しセットテーブル４１から上側に突出するようになっている。そして、この４つのスピンドル７１上に透明プレート４２が載置されている。すなわち、透明プレート４２は、その四隅に突き当てられた４つのスピンドル７１によりセットテーブル４１に平行（水平）に支持されると共に、各スピンドル７１の突出寸法の微調整により、セットテーブル４１との間隙（押圧接近位置）を微調整可能に構成されている。
【００３２】
セットテーブル４１と、４つのスピンドル７１に支持された透明プレート４２との間隙調整は、透明プレート４２の自重により押えられるワークＷに対し、誤認識が生じない程度に皺が解消され（延され）、且つ付着した異物によりワークＷが傷付かない程度に押し付ける得るものとなっている（図５参照）。実際の間隙調整においては、モニター５５を見ながら、透明プレート４２を下げてセットテーブル４１との間隙を徐々に狭くしてゆき、皺の陰影（濃淡）が解消したところで、調整を完了する。また、透明プレート４２の平行度は、４つのスピンドル７１のメモリを合わせることで行う。なお、セットテーブル４１上に、ワークＷをラフに位置決めするワーク位置決めガイド、および透明プレートをラフに位置決めするプレート位置決めガイドを設けるようにしてもよい。
【００３３】
コントローラ４５は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等により主要部が構成され、対向照明５２、落射照明５１および認識カメラ５３を制御し、ワークＷの撮影を行う。撮影された画像は、付設のモニター５５に映し出される。
【００３４】
次に、上記の検査装置１による、ワークＷの検査方法における一連の動作について説明する。この場合、４台のマイクロヘッド７０による透明プレート４２の設置高（間隙）は、既に調整されているものとする。先ず、検査を行う前に、セットテーブル４１と透明プレート４２に異物が付着していないかを目視で確認する。次に、ワークＷを、セットテーブル４１にセットするが、その際、セット部４８の外縁を目安に、セット部４８にセンター中心で載せ込むようにセットする。続いて、セットしたワークＷが位置ズレしないように、透明プレート４２を上側から水平姿勢を維持しつつ４つのマイクロヘッド７０（スピンドル７１）にゆっくり載せる。このようにしてオペレータが、透明プレート４２をスピンドル７１に載せ込むようにすると、ワークＷは、適宜押し潰されてゆき平坦に近い状態まで矯正されて、生じた皺が延されてゆく。
【００３５】
透明プレート４２を載せてワークＷの撮像準備が整ったら、コントローラ４５を介して、対向照明５２および落射照明５１を点灯させると共にセットテーブル４１と透明プレート４２に挟み込まれたワークＷを認識カメラ５３により撮像する。撮影された画像はモニター５５に写し出されて、オペレータによる目視検査が行われる。オペレータは、モニター５５に映し出されてワークＷに、打痕や傷があるか否かを確認する。特に、インクジェットヘッド１０に組み込んだときに直接インクと接する、透明樹脂層３２の振動機能部３７に打痕や傷があるか否かを精査する。そして、打痕や傷が確認された場合には、このワークＷを「ＮＧ」として廃棄処分とする。一方、打痕や傷が確認されなかった場合には、このワークＷを正常なものとして扱う（後工程に移行）。なお、ワークＷに異物の付着が確認されたものについては、後に除去可能であるため、「ＮＧ」の対象とはしない。
【００３６】
以上の構成によれば、ワークＷを、隙間量（間隙寸法）が調整された透明（透光性を有する）なセットテーブル４１と透明プレート４２の間に挟み込んで、画像認識による検査を行うようにしているので、誤認識が生じない程度にワークＷの皺が解消された状態で検査を実施することができる。また、ワークＷに異物が付着している場合にも、透明プレート４２の押し付け過ぎによるワークＷの損傷を防ぐことができる。これにより、適切な画像認識が実行されるため、検査精度を向上させることができる。
【００３７】
次に、図６を参照して、検査装置の第２実施形態について説明する。この実施形態の検査装置１では、上記の支持調整機構４４に代えて、セットテーブル４１の機構組込み部４９に一対のスペーサ７２が設けられている。各スペーサ７２は、短冊状の薄板（例えばガラス板）で構成され、セットテーブル４１に粘着されている。この場合も、セットテーブル４１と、一対のスペーサ７２に支持された透明プレート４２との間隙（押圧接近位置）は、透明プレート４２の押圧作用が、誤認識が生じない程度にワークＷの皺が解消され（延され）、且つ付着した異物によりワークＷが傷付かない程度に調整されている（図５参照）。なお、一対のスペーサ７２は、セット部４８に近づけて設置することで、セットテーブル４１にワークＷをセットするときの位置的な目安として利用することができる。
【００３８】
この実施形態によれば、極めて簡単な構造により、ワークＷの皺を解消することができると共に、ワークＷに異物が付着する場合にも、透明プレート４２の押し付け過ぎによる損傷を防ぐことができる。これにより、適切な画像認識が実行されるため、検査精度を向上させることができる。なお、異なるワークＷを検査する場合には、各ワークＷに応じた厚さのスペーサを用意しておき、適宜これを交換して検査を行うことが好ましい。
【００３９】
次に、図７を参照して、検査装置１の第３実施形態について説明する。この実施形態の検査装置１では、上記の支持調整機構４４やスペーサ７２に代えて、透明プレート４２を昇降させる昇降機構８０と、透明プレート４２がワークＷを押し付けるときの圧力を検出する複数の圧力センサ８１と、が設けられている。昇降機構８０は、透明プレート４２を水平に支持する支持フレーム８２と、支持フレーム８２を介して透明プレート４２を昇降させるサーボモータ８３と、支持フレーム８２の昇降をガイドする一対の昇降ガイド８４と、を備えている。また、図示では省略したが、サーボモータ８３と支持フレーム８２との間には、リードねじ機構等の進退動機構が介設されている。
【００４０】
支持フレーム８２は、その下端部でワークＷ撮影の妨げにならないように透明プレート４２の四隅に連結され、透明プレート４２を水平姿勢に保持している。サーボモータ８３が駆動すると、支持フレーム８２を介して、透明プレート４２が水平姿勢を維持した状態で水平なセットテーブル４１に対し離接移動（昇降）する。一方、複数の圧力センサ８１は、透明プレート４２の裏面、すなわちワークＷ側の面に埋め込むように設けられている。本実施形態では、４個の圧力センサ８１がワークＷの各部に接するように分散して配置されており、透明プレート４２がワークＷを押し付けたときにワークＷに接触し、ワークＷの反力（圧力）を検出する。そして、サーボモータ８３および複数の圧力センサ８１は、コントローラ４５に接続されて、ワークＷの撮像動作と連動して操作される。
【００４１】
この実施形態では、サーボモータ８３により、透明プレート４２が待機位置（上昇端位置）に移動した状態で、セットテーブル４１にワークＷをセットする。ワークＷをセットしたら、サーボモータ８３を起動し、透明プレート４２を下降させてゆく。下降中の透明プレート４２がワークＷを押し付け、適度に皺を延ばし、設定された値の押圧力を圧力センサ８１が検知すると、サーボモータ８３が停止し、同時に透明プレート４２の下降が停止する。この場合、圧力センサ８１の検出閾値は、上記実施形態と同様に、誤認識が生じない程度にワークＷの皺が解消され（延され）、且つ付着した異物によりワークＷが傷付かない程度の圧力値に設定されている。すなわち、複数の圧力センサ８１のうちの任意の１つ圧力センサ８１が、この検出閾値に達した状態で、サーボモータ８３（透明プレート４２）が停止するようになっている。そして、ワークＷの撮像が完了した後には、サーボモータ８３が再起動し、透明プレート４２は待機位置まで上昇する。
【００４２】
この実施形態によれば、セットテーブル４１と透明プレート４２との間の隙間量（間隙寸法）を、圧力センサ８１の検出に基づいて規制するようにしているため、隙間量を適切に維持することができ、ワークＷを傷つけずに、且つ正常に画像認識可能な程度にワークＷの皺を解消することができる。そのため、異なるワークＷを検査するときにも、常に適切な状態でワークＷを撮影することができるため、高い検査精度を維持して検査を実施することができる。また、コントローラ４５からの操作で透明プレート４２を昇降させることができるため、検査時間を短縮することができる。
【００４３】
なお、第３実施形態において、予め試験的に求めた下降端位置（押圧接近位置）で、透明プレート４２を停止するようにしてもよい。かかる場合には、圧力センサ８１を省略することができる。また、セットテーブル４１の機構組込み部４９に、度当り部材（スペーサ的なもの）を設け、透明プレート４２の過押し付け防止用の安全装置として機能させるようにしてもよい。また、透明プレート４２を固定としセットテーブルＷを昇降させる構造であってもよい。かかる場合には、セットテーブル４１の下側に昇降機構８０を設置し、セットテーブル４１のセット部４８に圧力センサ８１を取り付けて、セットテーブル４１を昇降させる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】インクジェットヘッドの主要部の断面図である。
【図２】マザーワーク（ａ）およびワーク（シート状機能部品（ｂ））の平面図である。
【図３】ワーク（シート状機能部品）の断面図である。
【図４】第１実施形態に係る検査装置の撮影前の模式図である。
【図５】第１実施形態に係る検査装置の撮影時の模式図である。
【図６】第２実施形態に係る検査装置の模式図である。
【図７】第３実施形態に係る検査装置の模式図である。
【符号の説明】
【００４５】
１…検査装置  １０…インクジェットヘッド  １２…圧力室  １３…圧電素子  ３１…樹脂層  ３２…金属層  ４１…セットテーブル  ４２…透明プレート  ４３…画像認識装置  ４４…支持調整機構  ４５…コントローラ  ４８…セット部  ４９…機構組込み部  ５１…落射照明  ５２…対向照明  ５３…認識カメラ  ７０…マイクロヘッド  ７１…スピンドル  ７２…スペーサ  ８０…昇降機構  ８１…圧力センサ  Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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