(57)【要約】【課題】信頼性が高く、製品寿命の長期化を図ることが可能な回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。【解決手段】回転陽極型Ｘ線管装置は、電子衝突面Ｓに電子ｅが衝突されることによってＸ線ｘを発生させる陽極ターゲット２と、電子衝突面にほぼ垂直に衝突させる電子を放出する電子放出源８と、電子の軌道を取り囲み、電子衝突面にて反跳した反跳電子を捕獲する内面を有した反跳電子捕獲構造体９と、真空外囲器１と、を備えている。反跳電子捕獲構造体９の内面は、回転対称形状である。上記内面の中心軸は、電子衝突面Ｓにほぼ垂直である。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能であり、電子衝突面を有し、前記電子衝突面に電子が衝突されることによってＸ線を発生させる陽極ターゲットと、
前記電子衝突面にほぼ垂直に衝突させる電子を放出する電子放出源と、
前記電子放出源から前記電子衝突面に向かう電子の軌道を取り囲み、前記電子衝突面にて反跳した反跳電子を捕獲する内面を有した反跳電子捕獲構造体と、
前記陽極ターゲット及び電子放出源を収容し、前記反跳電子捕獲構造体の内側を含み、内部を真空に維持する真空外囲器と、を備え、
前記反跳電子捕獲構造体の内面は、回転対称形状であり、
前記内面の中心軸は、前記電子衝突面にほぼ垂直である回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項２】
前記電子衝突面は、前記陽極ターゲットの回転軸に垂直な平面である請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項３】
前記電子衝突面は、前記陽極ターゲットの回転軸に垂直な平面に対し、前記電子放出源と反対側に５°乃至２０°の角度をなす錐面である請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、回転陽極型Ｘ線管装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線画像診断装置や非破壊検査装置などに搭載され、Ｘ線の発生源として使用される回転陽極型Ｘ線管装置が知られている。この回転陽極型Ｘ線管装置は、電子の衝突によりＸ線を発生する陽極ターゲットと、陽極ターゲットに向けて電子を放出する電子放出源と、少なくとも陽極ターゲット及び電子放出源の周囲を所定の真空度に維持する真空外囲器とを備えている。
【０００３】
電子放出源から放出された電子は、陽極ターゲットと電子放出源との間に印加された電圧によって加速され、陽極ターゲットの焦点面に衝突する。陽極ターゲットに衝突した電子は、陽極ターゲット上で熱とＸ線に変換され、発生したＸ線の一部が真空外囲器に設けられたＸ線透過窓から出力される。
【０００４】
ところが、陽極ターゲットに衝突した電子の中には、熱やＸ線に変換されずに反跳電子となって散乱を繰り返すものがある。反跳電子の方向や強度は、印加電圧や焦点近傍の電界によって変化するが、通常、入射電子の約４０％以上があらゆる方向に反跳することになる。
【０００５】
反跳電子は、陽極ターゲットの電子衝突面ではない部分に帰還したり、真空外囲器に突入したりするが、これら反跳電子の帰還もしくは突入によっても熱やＸ線が発生する。
【０００６】
反跳電子によって発生したＸ線は、陽極ターゲットの焦点面から発生するＸ線に対するノイズ成分となり、均一なＸ線を得る妨げとなる。また、反跳電子によって発生する熱は、陽極ターゲットやＸ線透過窓などの温度を上昇させる要因となる。
【０００７】
そこで、これらの問題を解決するために、発生した反跳電子を捕獲して、陽極ターゲットに帰還する反跳電子や、真空外囲器に突入する反跳電子を低減させた回転陽極型Ｘ線管装置が提案されている（例えば、特許文献１乃至４参照）。この回転陽極Ｘ線管は、陽極ターゲットと電子放出源との間に、反跳電子を捕獲するためのトラップとして機能する反跳電子捕獲構造体を具備している。  
反跳電子捕獲構造体は、電子放出源から陽極ターゲットに向かう電子の軌道を取り囲むように円筒状に形成されていて、その内周面を利用して、陽極ターゲットにて反跳した反跳電子を捕獲する。
【特許文献１】特開２００７−１４９４５２号公報
【特許文献１】特開平５−２１０２８号公報
【特許文献１】米国特許第５６８９５４２号明細書
【特許文献１】米国特許第４３０９６３７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
通常、陽極ターゲットには、極めて高いエネルギーの電子が投入される。そのため、反跳電子捕獲構造体の発熱は膨大なものとなり、強烈な冷却が必要となる。これにより、反跳電子捕獲構造体の発熱部と冷却部には大きな温度勾配が生じ、結果として、反跳電子捕獲構造体及びその真空外囲器との接合部に大きな熱応力が発生する。
【０００９】
一般に、反跳電子捕獲構造体は、発生した膨大な熱量をできるだけ早く外部に逃がすために、熱伝導率の良い銅材を基本として構成されることが多い。特に、純銅は、熱伝導率やろう流れ性に優れていて、且つ比較的安価であるため、採用されることが多い。
【００１０】
しかしながら、純銅は、上述のような熱応力の繰り返しによって、表面荒れと呼ばれる２次再結晶化を起こしやすい。２次再結晶化が進行すると、粒界すべりなどによって、結晶粒界からのガスの発生や表面粗さの低下などが生じ、結果として、耐電圧劣化につながる。即ち、純銅を材料とした反跳電子捕獲構造体には、所謂寿命が短い、という欠点がある。
【００１１】
そこで、近年、純銅の短寿命を改善するために、純銅に酸化物を分散させて機械強度を高めた酸化物分散強化銅が採用されるようになっている。例えば、アルミナ（酸化アルミ）分散銅などがそれにあたる。また、純銅に微量の異種金属を混ぜて銅合金にすることで、機械的強度を高めた強化銅合金も採用されるようになっている。例えば、クロムやタングステンなどの銅合金がそれにあたる。
【００１２】
酸化物分散強化銅や強化銅合金は、いずれも銅の高い熱伝導率をある程度維持したまま、機械強度を高めることを目的に採用されていて、これらを材料として使用することで、前述した純銅の欠点はある程度改善される。
【００１３】
しかしながら、酸化物分散強化銅や強化銅合金は、純銅に比べて延性が低いため、一度結晶割れが生じた場合に、その割れがクラックとなり、どんどん進展して、最終的に大気貫通に至ることがある。即ち、酸化物分散強化銅や強化銅合金を材料とした反跳電子捕獲構造体には、真空外囲器の内部の真空気密が維持できなくなるという欠点がある。
【００１４】
従来におけるアルミナ分散銅を材料とした反跳電子捕獲構造体の内周面に発生したクラックは、反跳電子捕獲構造体の半径方向に沿って進展する。そして、クラックが大気貫通する恐れがある。
【００１５】
特に、アルミナ分散銅などの酸化物分散強化銅は、その素材の製造方法に、引き抜きもしくは押し出しが用いられているため、これら引き抜きもしくは押し出しの影響によって、素材に特定の結晶方向が生じていることが多い。しかも、反跳電子捕獲構造体には、加熱によって半径方向に拡大しようとする大きな力が作用する傾向がある。したがって、酸化物分散強化銅の結晶方向が反跳電子捕獲構造体の軸心方向と一致していると、反跳電子捕獲構造体には、結晶繊維と結晶繊維とを引き離すように力が作用するため、発生したクラックが反跳電子捕獲構造体の半径方向に進展しやすくなる。
【００１６】
さらに、酸化物分散銅や強化銅合金などを材料とした反跳電子捕獲構造体が回転陽極型Ｘ線管装置に採用された場合、発生したクラックが小さいうちは、耐電圧に影響が現れにくい。そのため、知らぬ間にクラックが進展してゆき、最終的に大気貫通した時点で、はじめて回転陽極型Ｘ線管装置が使用不可能となることもある。即ち、突如として使用不可に陥るという、医療用として好ましくないライフエンドとなる可能性がある。
【００１７】
また、反跳電子捕獲構造体は、銅をろう材としたろう付けによって真空外囲器に接合されることが多いが、反跳電子捕獲構造体の材料に酸化物分散銅や強化銅合金などが使用されていると、反跳電子捕獲構造体に対するろう流れ性が悪くなり、反跳電子捕獲構造体と真空外囲器との接合部分において、応力剥がれなどが発生しやすくなるという欠点もある。
【００１８】
まとめると、反跳電子捕獲構造体は、膨大な熱が発生するため、熱伝導率の良い銅材の使用と内部強制液冷の構造が採用される。しかしながら、反跳電子捕獲構造体の材料に純銅が使用された場合は、使用中の熱応力の繰り返しによって、表面荒れによるガスの放出や、耐電圧劣化などによる短寿命化が生じる。一方、寿命を少しでも長くするために用いられる酸化物分散強化銅や強化銅合金は、クラックが進行しやすいため、反跳電子捕獲構造体の材料に酸化物分散強化銅や強化銅合金が使用された場合は、突如として貫通リーク不良となる危険性がある。  
また、反跳電子捕獲構造体がある場合でも、反跳電子の一部はＸ線透過窓を依然として衝撃してＸ線透過窓の温度を上昇させている。すると、真空外囲器及びハウジング間を充たしている冷却液と接触する側のＸ線透過窓の表面で、冷却液を温度上昇させて分解する。その結果、その分解生成物がＸ線透過窓の外表面に堆積することによりＸ線透過窓から冷却液への熱伝達が悪化し、更なる温度上昇をもたらすことになる。
【００１９】
そして、回転陽極Ｘ線管の使用時間の経過とともに最終的にＸ線透過窓の温度が過度に上昇し、Ｘ線透過窓の接合破壊による真空気密不良が発生する可能性がある。また、冷却液が水系冷却液の場合には沸騰による気泡発生によるアーチファクトが診断画像に発生する可能性がある。  
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、信頼性が高く、製品寿命の長期化を図ることが可能な回転陽極型Ｘ線管装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記課題を解決するため、本発明の態様に係る回転陽極型Ｘ線管装置は、
回転可能であり、電子衝突面を有し、前記電子衝突面に電子が衝突されることによってＸ線を発生させる陽極ターゲットと、
前記電子衝突面にほぼ垂直に衝突させる電子を放出する電子放出源と、
前記電子放出源から前記電子衝突面に向かう電子の軌道を取り囲み、前記電子衝突面にて反跳した反跳電子を捕獲する内面を有した反跳電子捕獲構造体と、
前記陽極ターゲット及び電子放出源を収容し、前記反跳電子捕獲構造体の内側を含み、内部を真空に維持する真空外囲器と、を備え、
前記反跳電子捕獲構造体の内面は、回転対称形状であり、
前記内面の中心軸は、前記電子衝突面にほぼ垂直である。
【発明の効果】
【００２１】
この発明によれば、信頼性が高く、製品寿命の長期化を図ることが可能な回転陽極型Ｘ線管装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置について詳細に説明する。  
図１に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置は、Ｘ線画像診断装置や非破壊検査装置などに搭載されるものである。回転陽極型Ｘ線管装置は、回転陽極型Ｘ線管１５と、回転陽極型Ｘ線管を収容したハウジング１０と、ハウジングの内部に満たされた冷却液１７とを備えている。冷却液１７は、ハウジング１０及び回転陽極型Ｘ線管１５間に設けられている。冷却液１７としては、水を主成分とした電気伝導率が低い非油脂系冷却液、もしくは周知の絶縁油などが使用される。
【００２３】
回転陽極型Ｘ線管１５は、電子ｅの衝突によりＸ線ｘを放射する陽極ターゲット２と、陽極ターゲット２に対向配置され、この陽極ターゲット２に向けて電子ｅを放出する陰極５と、陽極ターゲット２と陰極５との間に配置され、陽極ターゲット２にて反跳した反跳電子ｒｅを捕獲する反跳電子捕獲構造体９と、陽極ターゲット２、陰極５及び反跳電子捕獲構造体９を収容し、これらの周囲を所定の真空度に維持する真空外囲器１とを備えている。
【００２４】
陽極ターゲット２は、円盤状に形成されていて、その半径方向の中心部が回転体３によって支持されている。陽極ターゲット２は、陽極２ａと、この陽極の外面の一部に設けられたターゲット層２ｂとを有している。陽極２ａは、回転体３に固定されている。ここでは、陽極２ａは、回転体３と一体に形成されている。陽極ターゲット２は、回転軸ａ１を中心に回転可能である。
【００２５】
陽極ターゲット２は、電子衝突面Ｓを有している。この実施の形態において、電子衝突面Ｓは、ターゲット層２ｂの表面である。また、電子衝突面Ｓは、陽極ターゲット２の回転軸ａ１に垂直な平面である。
【００２６】
回転体３は、固定体４によって回転可能に支持されていて、真空外囲器１の外部に配設されたステータコイル７とともに、陽極ターゲット２を回転させるためのモータ１８を構成している。陽極ターゲット２を回転させていれば、陰極５からの電子ｅが陽極ターゲット２の一個所に集中照射されない。このため、回転陽極型Ｘ線管装置が長時間にわたり使用されても、陽極ターゲット２が過加熱状態に陥ることはない。
【００２７】
回転体３は、筒状に形成され、この回転体の回転動作の中心軸となる回転軸ａ１に沿って延出している。回転体３は、この回転体の内側に、円形枠状に窪んだ凹部３ａを有している。
【００２８】
固定体４は柱状に形成されている。固定体４の両端部は、真空外囲器１に固定されている。固定体４の両端部は、真空外囲器１の外部に露出されている。固定体４は、陽極ターゲット２及び回転体３と同軸的に設けられ、回転軸ａ１に沿って延出している。固定体４は、この固定体の外側に、円形枠状に突出した凸部４ａを有している。固定体４は、回転体３を回転可能に支持している。
【００２９】
凸部４ａが凹部３ａの内部に嵌合された状態で、固定体４は、回転体３の内部に嵌合されている。凹部３ａ及び凸部４ａは、回転体３及び固定体４の回転軸ａ１に沿った方向への相対的なズレを規制するものである。
【００３０】
回転体３及び固定体４は、互いに隙間を置いて設けられている。回転体３及び固定体４間の隙間に、潤滑剤としての金属潤滑剤が充填されている。上記したように、回転陽極型Ｘ線管１５はすべり軸受を使っている。
【００３１】
陰極５は、真空外囲器１との電気的絶縁をはかるために、絶縁部材６を介して真空外囲器１に取り付けられている。陰極５は、電子放出源８を有している。電子放出源８は、陽極ターゲット２に対応する部位に配置され、電子衝突面Ｓにほぼ垂直に衝突させる電子ｅを放出するものである。絶縁部材６の素材としては、例えばアルミナセラミックスなどが使用される。
【００３２】
真空外囲器１は、陽極ターゲット２、陰極５、回転体３及び固定体４等を収容している。真空外囲器１は、反跳電子捕獲構造体９の内面側を含み、内部を真空に維持するものである。真空外囲器１は、陽極ターゲット２から出射されるＸ線ｘを透過させるＸ線透過窓１ａを有している。ハウジング１０も、Ｘ線ｘを透過させるＸ線透過窓１０ａを有している。Ｘ線透過窓１ａ及びＸ線透過窓１０ａは対向している。
【００３３】
図１及び図２に示すように、反跳電子捕獲構造体９は、円筒状である。なお、図２において、反跳電子捕獲構造体９の断面形状を示すため、一部を除いた反跳電子捕獲構造体９を示している。反跳電子捕獲構造体９は、陰極５の電子放出源８から陽極ターゲット２に向かう電子ｅの軌道を取り囲むよう形成されている。反跳電子捕獲構造体９は、電子放出源８から放出されて陽極ターゲット２にて反跳した電子を捕獲する内面２１を有している。
【００３４】
反跳電子捕獲構造体９の素材としては、熱伝導率が良好で、且つ２次再結晶化が発生しにくい素材として、例えばアルミナ分散銅（酸化物分散強化銅）が使用される。反跳電子捕獲構造体９は、内面２１に、陽極ターゲット２から離間するにつれて内径が拡大するテーパを有している。反跳電子捕獲構造体９の内面２１は、回転対称形状である。内面２１の中心軸ａ２は、電子衝突面Ｓにほぼ垂直である。
【００３５】
上記回転陽極型Ｘ線管装置において、ハウジング１０は、架台３０に載置され、固定されている。架台３０は、ハウジング１０を傾けて固定できるため、Ｘ線ｘを出射させる方向を調整することができる。
【００３６】
次に、回転陽極型Ｘ線管装置の動作について説明する。  
まず、陰極５の電子放出源８から電子ｅが放出される。放出された電子ｅは、陽極ターゲット２と陰極５との間に印加されている高い電圧により加速され、陽極ターゲット２の電子衝突面Ｓにほぼ垂直に衝突する。陽極ターゲット２に衝突した電子ｅは、熱とＸ線ｘに変換され、発生したＸ線ｘの一部がＸ線透過窓１ａを透過して、Ｘ線透過窓１０ａからハウジング１０の外部に出力される。
【００３７】
しかしながら、陽極ターゲット２の電子衝突面Ｓに衝突した電子ｅの一部は、熱やＸ線ｘに変換されることなく、反跳電子ｒｅとなって繰り返し散乱する。陽極ターゲット２にて反跳した反跳電子ｒｅは、反跳電子捕獲構造体９に捕獲される。
【００３８】
反跳電子捕獲構造体９に反跳電子ｒｅが入射すると、反跳電子捕獲構造体９、特に内面２１側には、膨大な熱が発生する。しかしながら、電子ｅは電子衝突面Ｓにほぼ垂直に衝突するものであり、内面２１の中心軸ａ２は電子衝突面Ｓにほぼ垂直である。反跳電子ｒｅは、内面２１全体に均一に入射されるため、内面２１の一部への熱応力の集中を抑制することができる。
【００３９】
このため、反跳電子捕獲構造体９の内面２１側でのクラックの発生を抑制することができる。これにより、反跳電子ｒｅが内面２１全体に均一に入射される反跳電子捕獲構造体９の寿命は、反跳電子ｒｅが内面２１の一部に集中して入射される反跳電子捕獲構造体に比べて飛躍的に長くなる。
【００４０】
次に、電子ｅを電子衝突面Ｓにほぼ垂直に衝突させ、内面２１の中心軸ａ２を電子衝突面Ｓにほぼ垂直としたことによる効果について詳細に説明する。  
陽極ターゲット２での反跳電子ｒｅは、電子ｅが衝突した焦点を中心に３６０°どの方向にも散乱するが、従来、陽極ターゲット２の電子衝突面の傾き角と、焦点形状の影響で、Ｘ線透過窓１ａ、１０ａ側で反跳電子ｒｅがより多くなる。これにより、陽極ターゲット２に温度の差が生じ、反跳電子捕獲構造体９の内面２１で発生する熱応力の集中が、特にＸ線透過窓１ａ、１０ａ側に発生しやすい。
【００４１】
従来、この熱応力の集中により反跳電子捕獲構造体９の内面２１側にクラックが発生する場合があり、この場合、発生したクラックの先端に熱応力が一層集中し、クラックはどんどん進行していく。このため、従来の回転陽極型Ｘ線管装置の多くは上述した現象で不具合に至り、従来の反跳電子捕獲構造体に複数個のクラックが同時に確認されることはあまりない。また、上述したように、熱応力が加わる方向は、図２で言うと、反跳電子捕獲構造体９の内径が広げられる方向である。
【００４２】
図３及び図４は、陽極ターゲット２への電子ｅの入射角度によって反跳電子ｒｅの分布がどのように変わるかを定性的に示したものである。電子ｅの陽極ターゲットへの入射点を始点とし、分布曲線の任意の点を終点とするベクトルは、その方向が反跳電子ｒｅの放出される方向であり、その大きさは反跳電子ｒｅの放出数に比例する値として表現されている。
【００４３】
図４は、従来の回転陽極型Ｘ線管装置を用いた場合の反跳電子ｒｅの分布を示す図であり、電子衝突面Ｓに垂直な方向から傾斜した方向から電子ｅが入射される状態を誇張して示している。従来の場合は、電子ｅが陽極ターゲット２に入射する方向と反対方向に反跳電子ｒｅがより放出され易いことを示している。そして、従来の回転陽極型Ｘ線管装置では、反跳電子捕獲構造体の内面で発生する熱応力の集中がとくにＸ線透過窓１ａ、１０ａ側に発生しやすいことを良く説明している。
【００４４】
これに対し、図３に示すように、この発明の実施の形態によれば、電子放出源８から発生する電子（熱電子）ｅが陽極ターゲット２の電子衝突面Ｓに入射される方向は、ほぼ電子衝突面Ｓに垂直である。また、上述したように、反跳電子捕獲構造体９の内面２１は、回転対称形状であり、内面２１の中心軸ａ２は、電子衝突面Ｓにほぼ垂直である。
【００４５】
このため、反跳電子ｒｅは中心軸ａ２に対して回転対称な分布をもって反跳電子捕獲構造体９を衝撃する。これにより、反跳電子ｒｅの衝撃による反跳電子捕獲構造体９の温度上昇が全体的に均一となり、反跳電子捕獲構造体９の局所的な温度の過上昇を防止することができ、回転陽極型Ｘ線管１５の製品寿命の長期化を図ることができる。
【００４６】
また、図３及び図４に示した反跳電子ｒｅの分布から分かるように、Ｘ線透過窓１ａを衝撃する反跳電子ｒｅの数も減少する。このため、Ｘ線透過窓１ａの温度上昇が軽減し、冷却液１７との接触面で反応生成物が堆積することによる製品寿命の低下を抑制することができる。
【００４７】
上記したことから、内面２１側でのクラックの発生を抑制しつつ、反跳電子捕獲構造体９の熱容量の増加を図ることができるため、反跳電子捕獲構造体９を強制冷却している部分での熱交換率を向上させることができる。これにより、回転陽極型Ｘ線管装置の冷却効率を全体的に向上させることができる。
【００４８】
上記したように構成された回転陽極型Ｘ線管装置によれば、電子放出源８は、電子衝突面Ｓにほぼ垂直に衝突させる電子ｅを放出するものである。反跳電子捕獲構造体９は、電子放出源８から電子衝突面Ｓに向かう電子ｅの軌道を取り囲み、電子衝突面Ｓにて反跳した反跳電子ｒｅを捕獲する内面２１を有している。反跳電子捕獲構造体９の内面２１は、回転対称形状である。内面２１の中心軸ａ２は電子衝突面Ｓにほぼ垂直である。
【００４９】
電子衝突面Ｓにて反跳した反跳電子ｒｅは、内面２１全体に均一に入射されるため、反跳電子捕獲構造体９の内面２１側でのクラックの発生を抑制することができる。クラックの発生を抑制することにより、真空外囲器１の内部の真空度を良好に維持することができる。  
上記したことから、信頼性が高く、製品寿命の長期化を図ることが可能な回転陽極型Ｘ線管装置を得ることができる。
【００５０】
次に、この発明の他の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置について詳細に説明する。なお、この実施の形態において、他の構成は上述した実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００５１】
図５に示すように、電子衝突面Ｓは、陽極ターゲット２の回転軸ａ１に垂直な平面に対し、電子放出源８と反対側に５°乃至２０°の角度θをなす錐面である。
【００５２】
電子放出源８は、電子衝突面Ｓにほぼ垂直に衝突させる電子ｅを放出するものである。反跳電子捕獲構造体９の内面２１は、回転対称形状である。内面２１の中心軸ａ２は電子衝突面Ｓにほぼ垂直である。このため、内面２１の中心軸ａ２は、陽極ターゲット２の回転軸ａ１から傾いている。
【００５３】
上記したように構成された回転陽極型Ｘ線管装置によれば、電子放出源８は、電子衝突面Ｓにほぼ垂直に衝突させる電子ｅを放出するものである。反跳電子捕獲構造体９は、電子放出源８から電子衝突面Ｓに向かう電子ｅの軌道を取り囲み、電子衝突面Ｓにて反跳した反跳電子ｒｅを捕獲する内面２１を有している。反跳電子捕獲構造体９の内面２１は、回転対称形状である。内面２１の中心軸ａ２は電子衝突面Ｓにほぼ垂直である。電子衝突面Ｓは、陽極ターゲット２の回転軸ａ１に垂直な平面に対し、電子放出源８と反対側に５°乃至２０°の角度θをなす錐面である。
【００５４】
電子衝突面Ｓにて反跳した反跳電子ｒｅは、内面２１全体に均一に入射されるため、反跳電子捕獲構造体９の内面２１側でのクラックの発生を抑制することができる。クラックの発生を抑制することにより、真空外囲器１の内部の真空度を良好に維持することができる。  
上記したことから、信頼性が高く、製品寿命の長期化を図ることが可能な回転陽極型Ｘ線管装置を得ることができる。
【００５５】
なお、この発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化可能である。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】この発明の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置を示す断面図。
【図２】図１に示した反跳電子捕獲構造体を示す斜視図。
【図３】上記回転陽極型Ｘ線管装置を用いた場合の反跳電子の分布を示す図であり、特に、電子衝突面にほぼ垂直に電子を衝突させた場合の図。
【図４】従来の回転陽極型Ｘ線管装置を用いた場合の反跳電子の分布を示す図であり、特に、電子衝突面に傾いた方向から電子を衝突させた場合の図。
【図５】この発明の他の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置を示す断面図。
【符号の説明】
【００５７】
１…真空外囲器、１ａ…Ｘ線透過窓、２…陽極ターゲット、２ａ…陽極、２ｂ…ターゲット層、３…回転体、４…固定体、５…陰極、８…電子放出源、９…反跳電子捕獲構造体、１０…ハウジング、１０ａ…Ｘ線透過窓、１５…回転陽極型Ｘ線管、１７…冷却液、２１…内面、３０…架台、ａ１…回転軸、ａ２…中心軸、θ…角度、Ｓ…電子衝突面、ｘ…Ｘ線、ｅ…電子、ｒｅ…反跳電子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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