(57)【要約】【課題】良好な反射抑制性能等の光学性能を有し、かつ設計自由度の高い光学素子を提供する。【解決手段】光学素子は、光入射側から順に、第１の層１４、第２の層１５及びベース部材１１とを有する。第１の層は、入射光の波長λよりも小さいピッチで凸部１４ａと凹部１４ｂが交互に形成された凹凸構造を有し、第２の層は、互いに屈折率が異なる複数の層１３，１２を含む。【選択図】図１
2009042472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光入射側から順に、第１の層、第２の層及びベース部材とを有し、
前記第１の層は、入射光の波長λよりも小さいピッチで凸部と凹部が交互に形成された凹凸構造を有し、
前記第２の層は、互いに屈折率が異なる複数の層を含むことを特徴とする光学素子。
【請求項２】
前記第２の層に含まれる前記複数の層の屈折率は、前記第１の層の等価屈折率と前記ベース部材の屈折率との間の屈折率であり、かつ前記第１の層に近い層ほど小さいことを特徴とする請求項１に記載の光学素子。
【請求項３】
以下の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の光学素子。
【数１】
2009042472.tif 000007
ただし、ｎ０は前記第１の層の等価屈折率、ｎ１は前記第２の層に含まれる前記複数の層のうち最も前記第１の層側の層の屈折率、ｎ２は該複数の層のうち最も前記ベース部材側の層の屈折率、ｎ３は前記ベース部材の屈折率である。
【請求項４】
前記凸部及び前記凹部は、該第１の層の厚さ方向において幅が変化しており、前記ｎ０は、該凹凸構造のうち最も前記ベース部材側での等価屈折率であることを特徴とする請求項３に記載の光学素子。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１つに記載の光学素子を含むことを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射抑制機能等の光学的機能を有する光学素子と、これを用いた光学機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの光学機器には、様々な透過光学素子が用いられており、例えば、デジタルカメラの撮像光学系では、透過光学素子としてのレンズにより物体像を撮像素子上に結像させる。
【０００３】
ただし、透過光学素子の材料として一般に使用される光学ガラスや光学プラスチックは屈折率が大きいために反射率が高く、このような透過光学素子を複数使用すると透過光量が少なくなってしまう。
【０００４】
透過光学素子での反射を抑制するために、該光学素子に反射抑制機能を付与することが多い。光学素子に反射抑制機能を付与する方法としていくつかの方法が知られている。
【０００５】
最も一般的な方法は、透過光学素子の表面に反射抑制膜を形成する方法である。具体的には、蒸着やスパッタ等に代表される薄膜形成技術によって透過光学素子の表面に薄膜を形成し、光学干渉を利用することで反射率を下げる。
【０００６】
また、入射光の波長（使用波長ともいう）よりも細かい構造を利用する方法もある。最も有名な構造として、蛾の目”moth-eye”がある。蛾の目はそれに特有の微細構造によって非常に低い反射率を得ることができる。
【０００７】
入射光の波長よりも細かい構造では、光はその構造を認識できずに一様な媒質のような振舞いを示す。該構造は、これを構成する材料の体積比に準じた屈折率を示す。これにより、通常の材料では得られない低屈折率な構造体を実現でき、反射を良好に抑えることができる。
【０００８】
微細構造を利用する反射抑制方法としては、入射光の波長より小さい粒径を有する微粒子を分散した膜を塗布する方法や(特許文献１参照) 、微細パターン加工技術によって微細周期構造を形成する方法方法(特許文献２参照) がある。
【特許文献１】特許第３１３５９４４号公報
【特許文献２】特開昭５０−７００４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、入射光の波長よりも細かい構造を形成するには、複雑なプロセスが必要であり、さらに構造を構成する材料が限定されているために設計自由度が低い。このため、このような微細構造によって高い反射抑制性能が得られるのは限られた条件の透過光学素子のみであった。
【００１０】
本発明は、良好な反射抑制性能等の光学性能を有し、かつ設計自由度の高い光学素子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一側面としての光学素子は、光入射側から順に、第１の層、第２の層及びベース部材とを有する。第１の層は、入射光の波長λよりも小さいピッチで凸部と凹部が交互に形成された凹凸構造を有し、第２の層は、互いに屈折率が異なる複数の層を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、広帯域特性及び入射角度特性に優れた反射抑制性能等、良好な光学性能を有し、かつ設計自由度の高い光学素子を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の好ましい実施例について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１には、本発明の実施例である光学素子の構成を示す。Ｌは該光学素子に入射する光を示す。光学素子は、光入射側から順に、第１の層１４、第２の層１５（１３，１２）及びベース部材１１を有する。
【００１５】
ベース部材１１は、第１及び第２の層１４，１５による反射抑制膜２０１を付加するレンズやプリズム等の光学透明部材（透過光学部材）に相当する。
【００１６】
第１の層１４は、該光学素子への入射光Ｌの波長λよりも小さいピッチｐで凸部１４ａと凹部１４ｂが交互に形成された凹凸構造を有する。凸部１４ａと凹部１４ｂはそれぞれ、幅ｗａ，ｗｂを有する。ここにいうピッチｐとは、凸部１４ａと次の凸部１４ａまでの距離である。また、幅とは、凸部１４ａと凹部１４ｂの交互配列方向での寸法を意味する。
【００１７】
第１の層０１２は、厚さ方向において幅が均一な凸部０１２ａと凹部０１２ｂにより構成された凹凸構造を有する。
【００１８】
第２の層１５は、互いに屈折率が異なる２つの層１３，１２により構成されている。以下、これらの２つの層を、光入射側から順に、第２ａ層１３及び第２ｂ層１２と称する。第２ａ層１３及び第２ｂ層１２は、第１の層１４のような凹凸構造を持たない均質層である。
【００１９】
ここで、第１の層１４をなす凹凸構造におけるピッチｐがλ／２０以上であると、第１の層１４は凸部１４ａを構成する媒質と凹部１４ｂ内を満たす媒質（例えば、空気）とが混合した等価屈折率を持つ層として機能するため、好ましい。
【００２０】
また、凹凸構造は、全ての凸部１４ａと全ての凹部１４ｂがそれぞれ同一幅で規則的に配置された（つまりは同一ピッチで凸部と凹部が交互に形成された）周期構造であるとよい。ただし、平均ピッチがλより小さければ、凸部１４ａと凹部１４ｂとが不規則配置された非周期的な構造であってもよい。
【００２１】
さらに、第２ａ層１３及び第２ｂ層１２のうち少なくとも一方は、前述した均質層でなくてもよく、λより小さいピッチで凸部と凹部が交互に形成された凹凸構造を有していてもよい。また、本実施例では、第２の層１５に屈折率が異なる２つの層が含まれている場合について説明するが、第２の層は３つ以上の層を含んでいてもよい。
【００２２】
図１に示す光学素子の屈折率構造を図２に示す。図２において、２１はベース部材１１の屈折率を、２２は第２ｂ層１２の屈折率を示す。また、２３は第２ａ層１３の屈折率を、２４は第１の層１４の屈折率（等価屈折率）を示す。また、図２の縦軸は屈折率を、横軸は厚さ方向の位置を示す。
【００２３】
図２から分かるように、第２の層１５に含まれる複数の層（本実施例では、第２ａ層１３及び第２ｂ層１２）の屈折率は、第１の層１４の等価屈折率とベース部材１１の屈折率との間の屈折率であり、かつ第１の層１４に近い層ほど小さい。ただし、第２の層１５のこのような屈折率層の配置は例にすぎず、必ずしもこれを満たさなくてもよい。
【００２４】
第１の層１４は、入射光Ｌの波長よりも十分に小さな凹凸構造を有するため、みかけ上は均質層のような光学特性を持つ。具体的には、凸部１４ａを構成する材料の充填量ffから求められる等価屈折率を有する。
【００２５】
等価屈折率ｎｓは、凸部１４ａを構成する材料を屈折率ｎ０とすると、以下の式（ａ）により簡易的に表される。
【００２６】
【数２】
2009042472.tif 000003
【００２７】
この式（ａ）から分かるように、凸部１４ａを構成する材料の充填率が高いほど第１の層１４の等価屈折率が高くなる。このことを利用することで、従来の均質層では得られなかった低屈折率な層を作成できる。
【００２８】
本実施例の光学素子は、この第１の層１４とベース部材１１との間に、別の光学干渉を生じる層（第２の層１５）を挿入した構成を有する。このような構成では、最表層である第１の層１４の屈折率を低くして入射角に対するフレネル係数の変化を抑えることができる。さらに、第２の層１５で光学干渉を生じさせることで、入射角度特性を改善することができる。
【００２９】
また、最表層である第１の層１４とこれに接する空気との屈折率差を小さくすることができるため、光学干渉の波の振幅を小さくすることができ、広帯域特性に優れた反射抑制機能を得ることができる。
【００３０】
以上のような性能又は機能をより効果的に得るためには、以下の条件（１）を満足するとよりよい。
【００３１】
【数３】
2009042472.tif 000004
【００３２】
ここで、ｎ０は第１の層１４の等価屈折率、ｎ１は第２の層１５に含まれる複数の層のうち最も第１の層側の層（図１の例では、第２ａ層１３）の屈折率である。また、ｎ２は該複数の層のうち最もベース部材側の層（図１の例では、第２ｂ層１２）の屈折率、ｎ３はベース部材１１の屈折率である。
【００３３】
この条件（１）を満足することにより、反射する波の振幅が各層の境界面ごとで同じ大きさとなるため、より広い波長域にわたって上記性能及び機構を発揮することができる。
【００３４】
さらに、以下の条件を満足すれば、より効果的である。
【００３５】
【数４】
2009042472.tif 000005
【００３６】
以上説明したように各層の屈折率を設定することにより、最表層である第１の層１４によって入射角度特性や広帯域特性を補正した光を別途、光学干渉によってさらに低減することができるため、高性能な反射抑制構造が得られる。
【００３７】
図３には、厚さ方向において幅が均一な凹凸構造を有する第１の層３２が、ベース部材３１上に直接形成されている（つまり、第２の層を持たない）光学素子を比較例として示す。この場合でも、第１の層３２の構造を変化させることで屈折率を調整できる。この場合、以下の条件（３）を満たす構造を採用することで、図４に２０３で示すような反射率特性が得られる。なお、図４中の２０２は、図１に示した本実施例の反射抑制構造の反射率である。
【００３８】
【数５】
2009042472.tif 000006
【００３９】
ただし、図３に示す構造では、単層膜と同等であり、屈折率の高いベース部材３１を用いる場合には、第１の層３１との屈折率差が大きくなる。このため、波長帯域が狭く、入射角特性も悪い。
【００４０】
図５には、厚さ方向において幅が均一な凹凸構造を有する第１の層５３と、ベース部材５１との間に均質層５２を１層だけ設けた光学素子を比較例として示す。
【００４１】
図４に２０４で示すように、図３に示す光学素子に比べて、高性能な反射抑制性能が得られる。しかし、ベース部材５１の屈折率が高い場合に均質層５２を１層のみ設けるだけでは、波長帯域で十分な反射抑制性能が得られない。
【００４２】
これらに対し、図１に示した本実施例の反射抑制構造では、図４中の２０２に示すように、広い波長帯域で十分な反射抑制性能が得られる。
【００４３】
また、図１に示した光学素子と同様の構成を有する光学素子において、第１の層に設ける凹凸構造は、図６に示すような構造であってもよい。６１はベース部材である。６５は第２の層であり、それぞれ均質層である第２ａ層６３及び第２ｂ層６２を含む。
【００４４】
６４は第１の層であり、入射光Ｌの波長λよりも小さいピッチで凸部６４ａと凹部６４ｂが交互に形成された凹凸構造を有する。ただし、凸部６４ａと凹部６４ｂの幅は、第１の層６４の厚さ方向において変化している。具体的には、凸部６４ａの幅は第２の層６５及びベース部材６１に近いほど大きくなっており、凹部６４ｂの幅はその逆に変化している。
【００４５】
この光学素子の屈折率構造を図７に示す。第１の層６４の等価屈折率７４は、厚さ方向にて変化する。７１はベース部材６１の屈折率、７２は第２ｂ層６２の屈折率、７３は第２ａ層６３の屈折率である。また、図７の縦軸は屈折率を、横軸は厚さ方向の位置を示す。
【００４６】
第１の層６４の凸部６４ａは、第２の層側から先細りの形状を有するため、等価屈折率は、第２の層側から空気側（光入射側）に向けて徐々に低くなる。
【００４７】
このような屈折率構造では、入射光は第１の層６４内で無数に干渉し合って第２の層６５に入射する。この場合、従来の光学干渉膜とは異なり、屈折率の勾配と第１の層６４の厚みとに対応して光が減衰しながら第２の層６５に入射する。そこで、残留した光のベース部材６１での反射を抑えるために、第２の層６５（第２ａ層６３及び第２ｂ層６２）の屈折率と厚さを調整することで、光学特性に優れた反射抑制構造が得られる。
【００４８】
なお、この構造を採用する場合の条件（１）及び（２）におけるｎ０は、該凹凸構造のうち最もベース部材側での等価屈折率である。
【００４９】
このような本実施例の反射抑制構造によれば、従来の光学干渉膜を用いずに光を減衰させることができる。従来の光学干渉膜は、層の厚さや屈折率に対して敏感であるため、広帯域特性や入射角度特性に優れた反射抑制構造を得ることが難しい。これに対し、本実施例では、入射光の入射角度や波長に対して鈍感になるため、高性能な反射抑制構造を得やすい。
【００５０】
また、本実施例では、第１の層の構造に適した第２の層を導入することで、第１の層の材料や形状によらず、様々な透過光学部材に適用できる反射抑制構造が得られる。さらに、本実施例の第２の層には、第１の層で減衰した光が入射するため、本実施例は、従来の光学干渉膜を用いる場合に比べて、第２の層の屈折率や厚さに鈍感である。このため、本実施例の光学素子は、従来に比べて製作精度の余裕度が大きい。
【００５１】
図８には、厚さ方向において構造が変化する第１の層８２を有する比較例を示す。図８は、ベース部材８１と、これとは異なる材料で形成された第１の層８２とが互いに隣接している場合（第２の層を持たない場合）を示す。
【００５２】
図８の構造での屈折率構造を図９に示す。９１はベース部材８１の屈折率、９２は第１の層９２の屈折率（等価屈折率）である。図８の構造では、第１の層８２とベース部材８１とに異なる材料を用いているため、これらの界面に大きな屈折率差が生じる。このため、空気側から入射する光は第１の層８２で減衰されても、第１の層８２とベース部材８１との界面での反射が大きく、光学性能が劣る。図１１の２０７には、図８の構造による反射率特性を示す。また、図１１の２０６には、図６に示した本実施例の構造による反射率特性を示す。
【００５３】
図１０には、厚さ方向において構造が変化する第１の層１０３を有し、第１の層１０３とベース部材１０１との間に、均質層１０２を１層のみ設けた場合の比較例を示す。
【００５４】
この構造では、図１１に２０８で示すような比較的高い反射抑制性能が得られる。しかし、ベース部材１０１の屈折率が２．０以上と高い場合には、均質層１０２を１層のみ設けるだけでは、広帯域で十分な反射抑制性能が得られない。
【００５５】
これに対し、図６に示した本実施例の構造によれば、図１１中の２０６に示すように、広帯域で十分な反射抑制性能が得られる。
【００５６】
図１２及び図１３には、本実施例にて説明した反射抑制構造の光学素子への適用例を示す。図１２は光学素子の１つであるレンズの断面図を、図１３は別の光学素子であるプリズムの断面図である。
【００５７】
これらの図において、１１２，１２２はそれぞれ、反射抑制機能を付加するベース部材（光学透明部材）としてのレンズ本体及びプリズム本体である。１１１，１２１はそれぞれ、入射光の波長λよりも小さなピッチの凹凸構造を有する第１の層である。１１３，１２３は第２の層である。
【００５８】
レンズ本体及びプリズム本体１１２，１２２は、一般的な光学機器に搭載できる程度の厚さを有し、また第１の層１１１，１２１及び第２の層１１３，１２３は、入射光の波長λ以下の凹凸ピッチや厚さを持っている。
【００５９】
このようなレンズやプリズム等の光学素子は、多くの光学機器で使用することができる。例えば、図１７には、本実施例の光学素子を用いた光学機器としてのデジタルカメラを示している。
【００６０】
２０はカメラ本体、２１は本実施例の光学素子であるレンズを用いて構成された撮影光学系である。撮影光学系２１は、複数のレンズによって構成されており、このうち少なくとも１つのレンズが本実施例の光学素子により構成されている。２２はカメラ本体２０に内蔵され、撮影光学系２１によって形成された被写体像を受光するＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等の固体撮像素子（光電変換素子）である。
【００６１】
２３は撮像素子２２によって光電変換された被写体像に対応する情報を記録するメモリ、２４は液晶ディスプレイパネル等によって構成され、固体撮像素子２２上に形成された被写体像を観察するための電子ビューファインダである。
【００６２】
このように実施例の光学素子を用いて撮像光学系を構成することで、撮像光学系内での不要な反射を抑えた高い光学性能を有するカメラを実現することができる。
【００６３】
なお、本実施例の光学素子は、カメラのファインダ光学系や、液晶プロジェクタの照明光学系及び投射光学系等にも使用することができる。そして、該光学素子が上述した反射抑制構造を有することで、透過光量が十分に多く、不要な反射によるゴーストやフレアの発生を十分に抑えることができる。
【００６４】
以上説明したように、上記実施例によれば、広帯域特性及び入射角度特性に優れた反射抑制性能等、良好な光学性能を有し、かつ設計自由度の高い光学素子を実現することができる。
【００６５】
以下、上記各実施例に対応した数値例（シミュレーション例）について説明する。全ての数値例において、入射光の波長は５００ｎｍである。ただし、このことは、本発明の実施例（数値例）における入射光の波長が５００ｎｍに限定されることを意味するものではない。また、層の厚さは物理的層厚（膜厚）とした。
【００６６】
（数値例１）
本数値例の光学素子では、第２の層に２つの層（第２ａ，２ｂ層）を設け、これら２つの層の屈折率を、第１の層の屈折率とベース部材の屈折率との範囲内で互いに異ならせた。また、第２ａ層と第２ｂ層とも、均質層とした。ベース部材としては、屈折率が２．０の光学ガラスを用いた。第１の層を、屈折率が１．４６の材料により構成し、材料充填率を３０％とした。このときの等価屈折率は１．１３である。また、第１の層は、厚み方向に一様な構造とした。
【００６７】
この場合、上記条件式（１）に示す、ベース部材側の第２ｂ層の屈折率に対する第１の層側の第２ａ層の屈折率の比（ｎ２／ｎ１）が、１．１３以上１．４３以下の範囲となるように各層の屈折率を設定することが望ましい。
【００６８】
本数値例では、ベース部材
上に、屈折率が１．８６の第２ｂ層を５５ｎｍの厚さで形成し、その上に屈折率が１．５５の第２ａ層を７０ｎｍの厚さで形成し、さらにその上に第１の層を１００ｎｍの厚さで形成した。この場合のｎ２／ｎ１は、１．２であった。
【００６９】
図１４には、本数値例の光学素子の反射率特性を示す。図１４から分かるように、本数値例によれば、４００ｎｍから７００ｎｍの広い波長域において、０．５％以下の十分に低い反射率（十分に高い反射抑制性能）が得られた。
【００７０】
また、図１４には、比較例として、屈折率が２．０のベース部材の上に等価屈折率が１．１３の第１の層を設け、第２の層を設けていない光学素子の反射率特性を示す。
【００７１】
（数値例２）
本数値例の光学素子では、第２の層に３つの層（第２ａ，２ｂ，２ｃ層）を設け、これら３つの層の屈折率を、第１の層の屈折率とベース部材の屈折率との範囲内で互いに異ならせた。また、該３つの層とも、均質層とした。ベース部材としては、屈折率が２．０の光学ガラスを用いた。第１の層を、屈折率が１．４６の材料により構成し、材料充填率を３０％とした。このときの等価屈折率は１．１３である。また、第１の層は、厚み方向に一様な構造とした。
【００７２】
この場合、ｎ２／ｎ１が１．１３以上１．４３以下の範囲となるように各層の屈折率を設定することが望ましい。
【００７３】
本数値例では、ベース部材
上に屈折率が１．７１の第２ａ層を７４ｎｍの厚さで形成し、その上に屈折率が１．５１の第２ｂ層を８４ｎｍの厚さで形成した。さらにその上に、屈折率が１．３３の第２ｃ層を９６ｎｍの厚さで形成し、その上に第１の層を１０９ｎｍの厚さで形成した。この場合のｎ２／ｎ１は、１．１３であった。
【００７４】
図１５には、本数値例の光学素子の反射率特性を示す。図１５から分かるように、本数値例によれば、４００ｎｍから７００ｎｍの広い波長域において、０．５％以下の十分に低い反射率（十分に高い反射抑制性能）が得られた。
【００７５】
（数値例３）
本数値例の光学素子では、第２の層に２つの層（第２ａ，２ｂ層）を設け、これら２つの層の屈折率を、第１の層の屈折率とベース部材の屈折率との範囲内で互いに異ならせた。また、第２ａ層を凹凸構造とし、第２ｂ層を均質層とした。ベース部材としては、屈折率が１．８の光学ガラスを用いた。
【００７６】
第１の層を屈折率が１．４６の材料により構成し、材料充填率を３０％とした。このときの等価屈折率は１．１３である。また、第１の層は厚み方向に一様な構造とした。この場合、ｎ２／ｎ１が、１．０６以上１．３６以下の範囲となるように各層の屈折率を設定することが望ましい。
【００７７】
また、第２ａ層を、屈折率が１．４６の材料により構成し、材料充填率を６５％とした。このときの等価屈折率は１．３０である。第２ａ層は、厚み方向に一様な構造とした。
【００７８】
本数値例では、ベース部材
上に、屈折率が１．６０の第２ｂ層（均質層）を７０ｎｍの厚さで形成し、その上に等価屈折率が１．３０の第２ａ層（凹凸構造層）を８０ｎｍの厚さで形成し、さらにその上に第１の層を９３ｎｍの厚さで形成した。この場合のｎ２／ｎ１は、１．２３であった。
【００７９】
図１６には、本数値例の光学素子の反射率特性を示す。図１６から分かるように、本数値例によれば、４００ｎｍから７００ｎｍの広い波長域において、０．３％以下の十分に低い反射率（十分に高い反射抑制性能）が得られた。
【００８０】
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。例えば、上記実施例では、第１及び第２の層をベース部材上に設けることによって反射抑制機能を得る場合について説明したが、他の光学機能を得るために上記第１及び第２の層をベース部材上に設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の実施例である光学素子の構成を示す概略図。
【図２】図１の光学素子の屈折率構造を示す図。
【図３】比較例としての光学素子の構成を示す概略図。
【図４】図１，図３及び図５の光学素子における反射抑制性能を示す図。
【図５】他の比較例としての光学素子の構成を示す概略図。
【図６】本発明の別の実施例である光学素子の構成を示す概略図。
【図７】図６の光学素子の屈折率構造を示す図。
【図８】別の比較例としての光学素子の構成を示す概略図。
【図９】図８の光学素子の屈折率構造を示す図。
【図１０】さらに別の比較例としての光学素子の構成を示す概略図。
【図１１】図６，図８及び図１０の光学素子における反射抑制性能を示す図。
【図１２】実施例の反射抑制構造のレンズへの適用例を示す図。
【図１３】実施例の反射抑制構造のプリズムへの適用例を示す図。
【図１４】実施例に対応する数値例１の反射率特性を示す図。
【図１５】数値例２の反射率特性を示す図。
【図１６】数値例３の反射率特性を示す図。
【図１７】実施例の光学素子を用いたデジタルカメラの概略図。
【符号の説明】
【００８２】
１１，６１  ベース部材
１２，６２  第２ｂ層
１３，６３  第２ａ層
１４，６４  第１の層
１５，６５  第２の層
Ｌ  入射光
【図３】
2009042472.tif 000008
【図８】
2009042472.tif 000009
【図１０】
2009042472.tif 000010
【図１２】
2009042472.tif 000011
【図１４】
2009042472.tif 000012
【図１５】
2009042472.tif 000013
【図１６】
2009042472.tif 000014
【図１】
2009042472.tif 000015
【図２】
2009042472.tif 000016
【図４】
2009042472.tif 000017
【図５】
2009042472.tif 000018
【図６】
2009042472.tif 000019
【図７】
2009042472.tif 000020
【図９】
2009042472.tif 000021
【図１１】
2009042472.tif 000022
【図１３】
2009042472.tif 000023
【図１７】
2009042472.tif 000024