(57)【要約】【課題】アクチュエータとフレキシブル配線材とを電気的に接続するために必要な熱が、他の部材に悪影響を及ぼすことを抑制する。【解決手段】フレキシブル配線材１２におけるアクチュエータ１１と反対側となる面には、アクチュエータ１１における多数の外部電極４３にわたる大きさを有し、フレキシブル配線材１２よりも剛性が高く熱伝導性を有する剛性部材１３が積層され、剛性部材１３のフレキシブル配線材１２と対向する面には、フレキシブル配線材１２側に突出する突部１３ｂ、１３ｃが、外部電極４３と対応するようにフレキシブル配線材１２に設けられた電極パターン５１と、外部電極４３との接続位置に対応して形成されている。【選択図】図９
2009056709.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータの選択的な駆動により液滴を吐出するヘッドユニットと、前記アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブル配線材とを備え、前記アクチュエータの一方の面に前記液滴を吐出させるための多数の外部電極を有し、前記フレキシブル配線材に前記外部電極と対応する電極パターンを有し、前記外部電極と前記電極パターンとが電気的に接続されるとともに前記アクチュエータの一方の面に前記フレキシブル配線材が積層配置されている液滴吐出ヘッドにおいて、
前記フレキシブル配線材における前記アクチュエータと反対側となる面には、前記多数の外部電極にわたる大きさを有し、前記フレキシブル配線材よりも剛性が高く熱伝導性を有する剛性部材が積層され、
前記剛性部材の前記フレキシブル配線材と対向する面には、前記フレキシブル配線材側に突出する突部が、前記外部電極と前記電極パターンとの接続位置に対応して形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記多数の外部電極は、複数の列状に形成されていて、前記剛性部材の突部は、前記外部電極の各列毎に対応して設けられ、当該外部電極の列の延びる方向に連続して長い畝状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記剛性部材における複数の畝状の突部のうち最も外側の突部は、その他の突部よりも畝の幅が広幅であることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記ヘッドユニットは、多数のノズルを外部に開口させ内部に液体流路を有し且つ主として金属材料を素材とするキャビティ部と、前記キャビティ部内の液体に選択的に吐出圧力を与える圧電式の前記アクチュエータとを有していることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記多数のノズルは、複数の列状に形成され、前記多数の外部電極および前記複数の突部のうち、前記多数のノズルと対応する外部電極および前記剛性部材の突部が、複数の列状に形成されていて、当該剛性部材の突部のうち、最も外側の突部が、その他の突部よりも畝の幅が広幅であることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記アクチュエータと前記フレキシブル配線材の各々には、前記外部電極と前記電極パターンとを所定の位置関係に位置合わせするための位置合わせ用マークが設けられ、
前記剛性部材には、前記位置合わせ用マークを外部に露出するための貫通部が、板厚を切欠または穿孔して形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
アクチュエータの選択的な駆動により液滴を吐出するヘッドユニットと、前記アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブル配線材とを備え、前記アクチュエータの一方の面に前記液滴を吐出させるための多数の外部電極を有し、前記フレキシブル配線材に前記外部電極と対応する電極パターンを有し、前記外部電極と前記電極パターンとが電気的に接続されるとともに前記アクチュエータの一方の面に前記フレキシブル配線材が積層配置されている液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記フレキシブル配線材よりも剛性が高く熱伝導性を有し、且つ前記外部電極と前記電極パターンとの接続位置に対応して、前記多数の外部電極にわたる大きさを有し前記フレキシブル配線材側に突出する突部が形成されている剛性部材を、前記フレキシブル配線材における前記アクチュエータと反対側の面に積層して固定する工程と、
前記剛性部材が固定された前記フレキシブル配線材を、前記アクチュエータの一方の面に対向させ、前記剛性部材における前記フレキシブル配線材と反対側の面に面状の加熱部材を当接させて加熱し、前記アクチュエータの電極パターンと前記フレキシブル配線材の外部電極とを電気的に接続する工程とを備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記多数の外部電極は、複数の列状に形成されていて、前記剛性部材の突部は、前記外部電極の各列毎に対応して設けられ、当該外部電極の列の延びる方向に連続して長い畝状に形成されていることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記剛性部材における複数の畝状の突部のうち、当該剛性部材の外周に近い位置の突部の畝の幅は、中央部側の突部の畝の幅よりも広幅に形成されていることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
アクチュエータの選択的な駆動により液滴を吐出するヘッドユニットと、前記アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブル配線材とを備え、前記アクチュエータの一方の面に前記液滴を吐出させるための多数の外部電極を有し、前記フレキシブル配線材に前記外部電極と対応する電極パターンを有し、前記外部電極と前記電極パターンとが電気的に接続されるとともに前記アクチュエータの一方の面に前記フレキシブル配線材が積層配置されている液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記フレキシブル配線材における前記アクチュエータと反対側となる面に、前記多数の外部電極にわたる大きさを有し、前記フレキシブル配線材よりも剛性が高く熱伝導性を有する剛性部材を積層して固定する工程と、
前記剛性部材が固定された前記フレキシブル配線材を、前記アクチュエータの一方の面に対向させ、前記剛性部材における前記フレキシブル配線材と反対側の面に加熱部材を当接させて加熱し、前記アクチュエータの電極パターンと前記フレキシブル配線材の外部電極とを電気的に接合する工程とを備え、
前記多数の外部電極は、複数の列状に形成されていて、
前記加熱部材は、前記剛性部材と対向する面状部と、この面状部から前記剛性部材側に突出する突部とを備え、前記突部は、前記外部電極の各列毎に対応して設けられ、当該外部電極の列の延びる方向に連続して長い畝状に形成されていて、
前記加熱部材における複数の畝状の突部のうち最も外側の突部は、その他の突部よりも畝の幅が広幅であることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記ヘッドユニットは、多数のノズルを外部に開口させ内部に液体流路を有し且つ主として金属材料を素材とするキャビティ部と、前記キャビティ部内の液体に選択的に吐出圧力を与える圧電式の前記アクチュエータとを有してなることを特徴とする請求項７から１０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記多数のノズルは、複数の列状に形成され、前記多数の外部電極および前記複数の突部のうち、前記多数のノズルと対応する外部電極および前記剛性部材の突部が、複数の列状に形成されていて、当該剛性部材の突部のうち、最も外側の突部が、その他の突部よりも畝の幅が広幅であることを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記アクチュエータと前記フレキシブル配線材の各々には、前記外部電極と前記電極パターンとを所定の位置関係に位置合わせするための位置合わせ用マークが設けられ、
前記剛性部材には、前記位置合わせ用マークを外部に露出するための貫通部が、板厚を切欠または穿孔して形成されていて、
前記フレキシブル配線材に前記剛性部材を積層して固定する工程は、前記フレキシブル配線材の前記位置合わせ用マークを前記貫通部と対応させて前記フレキシブル配線材に前記剛性部材を積層して固定し、
前記電極パターンと前記外部電極とを電気的に接続する工程は、前記貫通部を通して、前記アクチュエータと前記フレキシブル配線材の各々に設けられている位置合わせ用マークを合わせることを特徴とする請求項７から１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータの選択的な駆動により液滴を吐出するヘッドユニットと、フレキシブル配線材とが、順次積層される構造を有する液滴吐出ヘッド及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出ヘッドとして、例えばインクジェット式の記録ヘッドでは、従来から、インクを吐出する多数のノズルが形成されたキャビティ部と、このキャビティ部のインクに吐出圧力を与えるアクチュエータと、アクチュエータに駆動信号を入力するフレキシブル配線材とが備えられた構造が知られている（特許文献１等）。
【０００３】
アクチュエータには、その表面に外部電極がノズルの数に対応して多数設けられていて、フレキシブル配線材に設けられた電極パターンと各外部電極とが、個別に電気的に接続され、前記駆動信号が入力される。一般的には、アクチュエータの外部電極か、またはフレキシブル配線材の電極パターンのいずれか一方にバンプが形成されていて、外部電極と電極パターンとは、位置合わせした後に、フレキシブル配線材の上からヒータなどの加熱部材で押圧加熱されることで、バンプが溶融し潰れて電気的に接続される。
【０００４】
ところで、キャビティ部には、ノズルからインクを吐出するまでに複雑なインク流路が必要で、特許文献１では、インク流路となる大小の貫通穴等がエッチング加工された薄い金属板を複数枚積層してキャビティ部が構成されている。つまり、キャビティ部は主に金属製の材料で形成されている一方、アクチュエータには圧電式（圧電セラミックス製）が適用されているので、アクチュエータとキャビティ部とでは、その線膨張係数に大きな違いがある。
【特許文献１】特開２００５−１６１７６２号公報（図３及び図６参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の構成では、キャビティ部に固着されているアクチュエータに対して、フレキシブル配線材が固着される。そのため、アクチュエータの外部電極とフレキシブル配線材の電極パターンとを押圧加熱して電気的に接続するときに、加熱部材の熱がアクチュエータを介してキャビティ部にまで伝わる。その結果、上述した線膨張係数の違いによって、アクチュエータとキャビティ部との間に、剥がれが発生したりクラックが生じたりする虞があり、液滴の吐出不良を招き易いという課題があった。
【０００６】
本発明は、上記問題を解消するものであり、アクチュエータとフレキシブル配線材とを電気的に接続するために必要な熱が、他の部材に悪影響を及ぼすことを抑制できる液滴吐出ヘッドとその製造方法の実現を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明における液滴吐出ヘッドは、アクチュエータの選択的な駆動により液滴を吐出するヘッドユニットと、前記アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブル配線材とを備え、前記アクチュエータの一方の面に前記液滴を吐出させるための多数の外部電極を有し、前記フレキシブル配線材に前記外部電極と対応する電極パターンを有し、前記外部電極と前記電極パターンとが電気的に接続され前記アクチュエータの一方の面に前記フレキシブル配線材が積層配置されている液滴吐出ヘッドにおいて、前記フレキシブル配線材における前記アクチュエータと反対側となる面には、前記多数の外部電極にわたる大きさを有し、前記フレキシブル配線材よりも剛性が高く熱伝導性を有する剛性部材が積層され、前記剛性部材の前記フレキシブル配線材と対向する面には、前記フレキシブル配線材側に突出する突部が、前記外部電極と前記電極パターンとの接続位置に対応して形成されていることを特徴とするものである。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記多数の外部電極は、複数の列状に形成されていて、前記剛性部材の突部は、前記外部電極の各列毎に対応して設けられ、当該外部電極の列の延びる方向に連続して長い畝状に形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記剛性部材における複数の畝状の突部のうち最も外側の突部は、その他の突部よりも畝の幅が広幅であることを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ヘッドユニットは、多数のノズルを外部に開口させ内部に液体流路を有し且つ主として金属材料を素材とするキャビティ部と、前記キャビティ部内の液体に選択的に吐出圧力を与える圧電式の前記アクチュエータとを有していることを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記多数のノズルは、複数の列状に形成され、前記多数の外部電極および前記複数の突部のうち、前記多数のノズルと対応する外部電極および前記剛性部材の突部が、複数の列状に形成されていて、当該剛性部材の突部のうち、最も外側の突部が、その他の突部よりも畝の幅が広幅であることを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記アクチュエータと前記フレキシブル配線材の各々には、前記外部電極と前記電極パターンとを所定の位置関係に位置合わせするための位置合わせ用マークが設けられ、前記剛性部材には、前記位置合わせ用マークを外部に露出するための貫通部が、板厚を切欠または穿孔して形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項７に記載の発明における液滴吐出ヘッドの製造方法は、アクチュエータの選択的な駆動により液滴を吐出するヘッドユニットと、前記アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブル配線材とを備え、前記アクチュエータの一方の面に前記液滴を吐出させるための多数の外部電極を有し、前記フレキシブル配線材に前記外部電極と対応する電極パターンを有し、前記外部電極と前記電極パターンとが電気的に接続されるとともに前記アクチュエータの一方の面に前記フレキシブル配線材が積層配置されている液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記フレキシブル配線材よりも剛性が高く熱伝導性を有し、且つ前記外部電極と前記電極パターンとの接続位置に対応して、前記多数の外部電極にわたる大きさを有し前記フレキシブル配線材側に突出する突部が形成されている剛性部材を、前記フレキシブル配線材における前記アクチュエータと反対側の面に積層して固定する工程と、前記剛性部材が固定された前記フレキシブル配線材を、前記アクチュエータの一方の面に対向させ、前記剛性部材における前記フレキシブル配線材と反対側の面に面状の加熱部材を当接させて加熱し、前記アクチュエータの電極パターンと前記フレキシブル配線材の外部電極とを電気的に接続する工程とを備えることを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記多数の外部電極は、複数の列状に形成されていて、前記剛性部材の突部は、前記外部電極の各列毎に対応して設けられ、当該外部電極の列の延びる方向に連続して長い畝状に形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記剛性部材における複数の畝状の突部のうち、当該剛性部材の外周に近い位置の突部の畝の幅は、中央部側の突部の畝の幅よりも広幅に形成されていることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項１０に記載の発明における液滴吐出ヘッドの製造方法は、アクチュエータの選択的な駆動により液滴を吐出するヘッドユニットと、前記アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブル配線材とを備え、前記アクチュエータの一方の面に前記液滴を吐出させるための多数の外部電極を有し、前記フレキシブル配線材に前記外部電極と対応する電極パターンを有し、前記外部電極と前記電極パターンとが電気的に接続されるとともに前記アクチュエータの一方の面に前記フレキシブル配線材が積層配置されている液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記フレキシブル配線材における前記アクチュエータと反対側となる面に、前記多数の外部電極にわたる大きさを有し、前記フレキシブル配線材よりも剛性が高く熱伝導性を有する剛性部材を積層して固定する工程と、前記剛性部材が固定された前記フレキシブル配線材を、前記アクチュエータの一方の面に対向させ、前記剛性部材における前記フレキシブル配線材と反対側の面に加熱部材を当接させて加熱し、前記アクチュエータの電極パターンと前記フレキシブル配線材の外部電極とを電気的に接合する工程とを備え、前記多数の外部電極は、複数の列状に形成されていて、前記加熱部材は、前記剛性部材と対向する面状部と、この面状部から前記剛性部材側に突出する突部とを備え、前記突部は、前記外部電極の各列毎に対応して設けられ、当該外部電極の列の延びる方向に連続して長い畝状に形成されていて、前記加熱部材における複数の畝状の突部のうち最も外側の突部は、その他の突部よりも畝の幅が広幅であることを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項１１に記載の発明は、請求項７から１０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記ヘッドユニットは、多数のノズルを外部に開口させ内部に液体流路を有し且つ主として金属材料を素材とするキャビティ部と、前記キャビティ部内の液体に選択的に吐出圧力を与える圧電式の前記アクチュエータとを有してなることを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記多数のノズルは、複数の列状に形成され、前記多数の外部電極および前記複数の突部のうち、前記多数のノズルと対応する外部電極および前記剛性部材の突部が、複数の列状に形成されていて、当該剛性部材の突部のうち、最も外側の突部が、その他の突部よりも畝の幅が広幅であることを特徴とするものである。
【００１９】
また、請求項１３に記載の発明は、請求項７から１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記アクチュエータと前記フレキシブル配線材の各々には、前記外部電極と前記電極パターンとを所定の位置関係に位置合わせするための位置合わせ用マークが設けられ、前記剛性部材には、前記位置合わせ用マークを外部に露出するための貫通部が、板厚を切欠または穿孔して形成されていて、前記フレキシブル配線材に前記剛性部材を積層して固定する工程は、前記フレキシブル配線材の前記位置合わせ用マークを前記貫通部と対応させて前記フレキシブル配線材に前記剛性部材を積層して固定し、前記電極パターンと前記外部電極とを電気的に接続する工程は、前記貫通部を通して、前記アクチュエータと前記フレキシブル配線材の各々に設けられている位置合わせ用マークを合わせることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１に記載の発明によれば、フレキシブル配線材におけるアクチュエータと反対側となる面には剛性部材が配置されているから、剛性部材によってフレキシブル配線材の剛性が高められる。また、剛性部材のフレキシブル配線材と対向する面には、アクチュエータの外部電極とフレキシブル配線材の電極パターンとの接続位置に対応して突部が形成されている。そのため、剛性部材をフレキシブル配線材に固定した後、ヘッドユニットのアクチュエータにフレキシブル配線材を位置合わせして、剛性部材側に加熱用の部材を接触させると、加熱用の部材の熱が、剛性部材を介してフレキシブル配線材に伝わる。そして、フレキシブル配線材の電極パターンとアクチュエータの外部電極とを電気的に接続することができる。このときに、剛性部材に設けた突部が、外部電極と電極パターンの接続位置に対応して設けられているため、その接続位置に集中して熱が伝わる一方、突部以外の部位は直接フレキシブル配線材に接触していないので、電気的接続に関係ないアクチュエータの部位には熱が伝わり難い。そのため、ヘッドユニットに対する熱による悪影響を低減できる。
【００２１】
また、請求項２に記載の発明によれば、剛性部材の突部は、外部電極の列に対応して、畝状に形成されているから、外部電極の１つずつに対応して突部を設ける場合に比べて、剛性部材の製造が容易になる上に、剛性部材とフレキシブル配線材との位置合わせ精度を緩和させることができる。
【００２２】
また、請求項３に記載の発明によれば、剛性部材には複数の畝状の突部が形成されているが、最も外側の突部は、その他の突部よりも畝の幅が広幅である。突部が複数設けられていると、加熱用の部材から熱が伝わったときに、最も外側の突部はその外方の放熱空間に放熱し易いが、その他の突部は突部同士が隣接しているため放熱し難い。つまり、加熱用の部材から熱が伝わったときに、最も外側の突部はその他の突部よりも温度が下がってしまう。その結果、剛性部材の突部を介してフレキシブル配線材に伝わる熱に部分的な温度差が生じ、外部電極と電極パターンとの接続ばらつきや接続不良を引き起こす。そのため、最も外側の突部の幅を広くして熱容量を大きくすることで、突部の温度差を解消でき、外部電極と電極パターンとの接続ばらつきを抑制できる。
【００２３】
また、請求項４に記載の発明によれば、ヘッドユニットは主として金属材料を素材とするキャビティ部と、圧電式のアクチュエータとを有している。金属材料と圧電材料は線膨張係数の差が大きいため、アクチュエータの外部電極とフレキシブル配線材の電極パターンとを電気的に接続するときの熱が、キャビティ部に伝わると、アクチュエータとキャビティ部に剥がれやクラック等が発生する。そのため、請求項１から３のいずれかに記載のように、剛性部材に突部を設け、キャビティ部に不要な熱が伝わることを抑制することで、前述したアクチュエータとキャビティ部に剥がれやクラック等が発生する虞を低減できる。
【００２４】
また、請求項５に記載の発明によれば、多数のノズルが複数の列状に形成され、多数の外部電極および複数の突部のうち、多数のノズルと対応する外部電極および剛性部材の突部が、複数の列状に形成され、最も外側の突部が、その他の突部よりも畝の幅が広幅である。これにより、アクチュエータにおけるノズルと対向する外部電極とフレキシブル配線材の電極パターンとを電気的に接続するときに、突部の温度差を解消でき、ノズルと対向する外部電極と電極パターンとの接続ばらつきを抑制できる。
【００２５】
また、剛性部材の突部が、前述したような形状であるため、液滴を吐出するヘッドの動作時に、フレキシブル配線材や外部電極等に他から熱が伝わってきたときに、剛性部材が温度のばらつきを解消するように作用するので、ノズル列毎に吐出する液滴の吐出特性のばらつきを抑制することができる。
また、請求項６に記載の発明によれば、アクチュエータとフレキシブル配線材の各々には、外部電極と電極パターンとを所定の位置関係に位置合わせするための位置合わせ用マークが設けられているから、外部電極と電極パターンとを高い精度で位置合わせできる。また、剛性部材には、位置合わせマークを外部に露出するための貫通部が設けられているから、剛性部材の貫通部とフレキシブル配線材の位置合わせマークとを用いて、フレキシブル配線材と剛性部材とを位置合わせすることができる。さらに、フレキシブル配線材と剛性部材とを固着した後に、貫通部を介してフレキシブル配線材とアクチュエータとの位置合わせマークを視認することができる。
【００２６】
また、請求項７に記載の発明によれば、外部電極と電極パターンとの接続位置に対応して、フレキシブル配線材側に突出する突部が形成されている剛性部材を、フレキシブル配線材におけるアクチュエータと反対側の面に積層して固定する。これにより、剛性部材の突部がフレキシブル配線材と密着し、剛性部材によってフレキシブル配線材の剛性が高められる。
【００２７】
また、剛性部材が固定されたフレキシブル配線材を、アクチュエータの一方の面に対向させ、剛性部材におけるフレキシブル配線材と反対側の面に面状の加熱部材を当接させて加熱する。これにより、加熱部材の熱は剛性部材の突部を介してフレキシブル配線材に伝わるから、外部電極と電極パターンとの接続位置が集中的に加熱されて電気的に接続される。換言すれば、外部電極と電極パターンとの接続位置以外の部分は、加熱部材の熱が伝わり難く、ヘッドユニットに対する熱による悪影響を低減できる。
【００２８】
また、請求項８に記載の発明によれば、剛性部材の突部は、外部電極の列に対応して、畝状に形成されているから、外部電極の１つずつに対応して突部を設ける場合に比べて、剛性部材の製造が容易になる上に、剛性部材とフレキシブル配線材との位置合わせ精度を緩和させることができる。
【００２９】
また、請求項９に記載の発明によれば、剛性部材には複数の畝状の突部が形成されているが、最も外側の突部は、その他の突部よりも畝の幅が広幅である。突部が複数設けられていると、加熱用の部材から熱が伝わったときに、最も外側の突部はその外方の放熱空間に放熱し易いが、その他の突部は突部同士が隣接しているため放熱し難い。つまり、加熱用の部材から熱が伝わったときに、最も外側の突部はその他の突部よりも温度が下がってしまう。その結果、剛性部材の突部を介してフレキシブル配線材に伝わる熱に部分的な温度差が生じ、外部電極と電極パターンとの接続ばらつきや接続不良を引き起こす。そのため、最も外側の突部の幅を広くして熱容量を大きくすることで、突部の温度差を解消でき、外部電極と電極パターンとの接続ばらつきを抑制できる。
【００３０】
また、請求項１０に記載の発明によれば、フレキシブル配線材におけるアクチュエータと反対側となる面に、フレキシブル配線材よりも剛性が高く熱伝導性を有する剛性部材を積層して固定する。これにより、剛性部材によってフレキシブル配線材の剛性が高められる。また、剛性部材が固定されたフレキシブル配線材を、アクチュエータの一方の面に対向させて重ね、剛性部材における前記フレキシブル配線材と反対側の面に加熱部材を当接させて加熱される。この加熱部材には、剛性部材側に突出する突部が、外部電極の各列毎に対応しても、畝状に設けられているから、加熱部材の熱は、剛性部材における外部電極に対応する部位に集中的に伝わる。さらに、熱は、剛性部材を介して、外部電極に対応するフレキシブル配線材の部位（電極パターン）に伝わるので、外部電極と電極パターンとの接続位置が集中的に加熱されて、これらが電気的に接続される。換言すれば、外部電極と電極パターンとの接続位置以外の部分は、加熱部材の熱が伝わり難く、ヘッドユニットに対する熱による悪影響を低減できる。
【００３１】
また、加熱部材には複数の畝状の突部が形成されているが、最も外側の突部は、その他の突部よりも畝の幅が広幅である。突部が複数設けられていると、加熱用の部材から熱が伝わったときに、最も外側の突部はその外方の放熱空間に放熱し易いが、その他の突部は突部同士が隣接しているため放熱し難い。つまり、加熱用の部材から熱が伝わったときに、最も外側の突部はその他の突部よりも温度が下がってしまう。その結果、加熱部材の突部を介してフレキシブル配線材に伝わる熱に部分的な温度差が生じ、外部電極と電極パターンとの接続ばらつきや接続不良を引き起こす。そのため、最も外側の突部の幅を広くして熱容量を大きくすることで、突部の温度差を解消でき、外部電極と電極パターンとの接続ばらつきを抑制できる。
【００３２】
また、請求項１１に記載の発明によれば、ヘッドユニットは主として金属材料を素材とするキャビティ部と、圧電式のアクチュエータとを有している。金属材料と圧電材料は線膨張係数の差が大きいため、アクチュエータの外部電極とフレキシブル配線材の電極パターンとを電気的に接続するときの熱が、キャビティ部にまで伝わると、アクチュエータとキャビティ部に剥がれやクラック等が発生する。そのため、請求項７から１０のいずれかに記載のように、加熱部材に突部を設け、キャビティ部に不要な熱が伝わることを抑制することで、前述したアクチュエータとキャビティ部に剥がれやクラック等が生じる虞を低減できる。
【００３３】
また、請求項１２に記載の発明によれば、多数のノズルが複数の列状に形成され、多数の外部電極および複数の突部のうち、多数のノズルと対応する外部電極および剛性部材の突部が、複数の列状に形成され、最も外側の突部が、その他の突部よりも畝の幅が広幅である。これにより、アクチュエータにおけるノズルと対向する外部電極とフレキシブル配線材の電極パターンとを電気的に接続するときに、突部の温度差を解消でき、ノズルと対向する外部電極と電極パターンとの接続ばらつきを抑制できる。
【００３４】
また、剛性部材の突部が、前述したような形状であるため、液滴を吐出するヘッドの動作時に、フレキシブル配線材や外部電極等に他から熱が伝わってきたときに、剛性部材が熱のばらつきを解消するように作用するので、ノズル列毎に吐出する液滴の吐出特性のばらつきを抑制することができる。
【００３５】
また、請求項１３に記載の発明によれば、アクチュエータとフレキシブル配線材の各々には、外部電極と電極パターンとを所定の位置関係に位置合わせするための位置合わせ用マークが設けられているから、外部電極と電極パターンとを高い精度で位置合わせできる。また、剛性部材には、位置合わせマークを外部に露出するための貫通部が設けられているから、剛性部材の貫通部とフレキシブル配線材の位置合わせマークとを用いて、フレキシブル配線材と剛性部材とを位置合わせすることができる。さらに、フレキシブル配線材と剛性部材とを固着した後に、貫通部を介してフレキシブル配線材とアクチュエータとの位置合わせマークを視認することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下に本発明の基本的な実施形態について説明する。図１は、本発明の液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド１を適用したインクジェットプリンタ１００を示している。実施形態のインクジェットプリンタ１００は、例えば、単独のプリンタ装置としてだけでなく、コピー機能、スキャナ機能、ファクシミリ機能等を備えた多機能装置（ＭＦＤ：Multi Function Device ）のプリンタ機能（記録部）としても適用することができるものである。インクジェットプリンタ１００は、本体フレーム２の内部に備えられ、被記録媒体である用紙ＰＡにインクを吐出させて記録するインクジェットヘッド１がキャリッジ３に搭載されて、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って走行するように構成されている。
【００３７】
キャリッジ３は、本体フレーム２内に主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って平行状に設けられた後ガイド軸６と前ガイド軸７とに摺動自在に載置されており、本体フレーム２の右後側に配置されたキャリッジ駆動モータ１７と、無端帯であるタイミングベルト１８とにより、主走査方向（Ｙ軸方向）へ往復移動するように構成されている。用紙ＰＡは、図示しない公知の用紙搬送機構により、主走査方向（Ｙ軸方向）と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド１の下面側を水平状に搬送される（図１の矢印Ａ方向）。この用紙ＰＡに対して、主走査方向（Ｙ軸方向）に移動するインクジェットヘッド１のノズル４（図５参照）から下向きにインクが吐出されて記録が行われる。
【００３８】
キャリッジ３には、図２に示すように、略箱状のヘッドホルダ８が備えられ、全体として略扁平形状を有するインクジェットヘッド１は、ヘッドホルダ８の底板８ａの下面側に、ノズル４が開口する面を下向きに露出させて当該底板８ａとほぼ平行になるように固着される。ヘッドホルダ８の底板８ａの上面側には、本体フレーム２内に静置されたインク供給源（インクタンク）５ａ〜５ｄからインク供給管１４（１４ａ〜１４ｄ）を介してキャリッジ側に供給された各インクを貯留するダンパー装置９が取り付けられる。この実施形態では４色のインク（ブラック、イエロー、マゼンタ、シアン）のインクタンクが備えられていて、ダンパー装置９の内部は、複数のインク室に区画され、各色毎にインクが貯留される。ダンパー装置９には、インク室中のインクに滞留する気泡を除去するための排気弁手段９ｂも備えられている。
【００３９】
ヘッドホルダ８の底板８ａには開口部（図示せず）が貫通形成されており、この開口部の内側では、ダンパー装置９のインク流出口９ａと、インクジェットヘッド１のインク供給口３７とが、後述する補強フレーム１５の接続穴１５ｂと弾性シール部材９ｃとを介して接続され、ダンパー装置９からインクジェットヘッド１にインクが色毎に独立して供給される。
【００４０】
インクジェットヘッド１は、複数のノズル４を外部に開口させ内部にインク流路を有するキャビティ部１０と、このキャビティ部１０内のインクに選択的に吐出圧力を与える圧電アクチュエータ１１と積層されたヘッドユニット２０と、圧電アクチュエータ１１に駆動信号を出力するフレキシブル配線材１２がさらに積層配置される構造を備えている。キャビティ部１０と圧電アクチュエータ１１とは、いずれも平面視略長方形の扁平形状を有しているが、キャビティ部１０の外形状は、圧電アクチュエータ１１の外形状よりもひと回り大きく形成されており、キャビティ部１０の背面の略中央に、圧電アクチュエータ１１が積層されて、キャビティ部１０のＹ軸方向に平行な一方の辺寄りに設けられた４つのインク供給口３７がヘッドユニット２０の背面側に露出するようになっている。
【００４１】
また、インクジェットヘッド１は、キャビティ部１０の背面にて圧電アクチュエータ１１を囲むように積層される補強フレーム１５を有している。補強フレーム１５は、剛性を有する素材（例えば、ＳＵＳなどの金属板）からなり、平面視ロの字状の扁平な板材で、外形がキャビティ部１０よりもひと回り大きく形成されており、その枠部１５ａのうちＹ軸方向に平行な一方の辺寄りには、前述した接続穴１５ｂが４つ並んで穿設されている。
【００４２】
この補強フレーム１５は、キャビティ部１０の剛性を高めるためのものであり、キャビティ部１０は、その背面（上面）にあらかじめ補強フレーム１５を接着固定してからヘッドホルダ８の底板８ａに接着剤によって固定されることで、薄い扁平形状のキャビティ部１０（ヘッドホルダ２０）の変形や歪みを防止することができる。
【００４３】
また、インクジェットヘッド１は、キャビティ部１０の前面（ノズル面）側に配置されるフロントフレーム１６を有している。フロントフレーム１６は、平面視コの字状の扁平な板材で、キャビティ部１０のノズル面とヘッドホルダ８の周囲との段差を解消するために、補強フレーム１５の前面に固着される（図２及び図３参照）。
【００４４】
また、インクジェットヘッド１は、フレキシブル配線材１２の背面（図２では上面）における圧電アクチュエータ１１と対応する位置に積層される、平面視長方形状の剛性部材１３を有している。この剛性部材１３については後に詳述する。
【００４５】
次に、この実施形態でのキャビティ部１０の構成について説明する。
【００４６】
キャビティ部１０は、図５及び図６に示すように、ノズルプレート２１、スペーサプレート２２、ダンパープレート２３、２枚のマニホールドプレート２４ａ、２４ｂ、サプライプレート２５、ベースプレート２６、及びキャビティプレート２７の合計８枚の薄い平板を、その各平板面が対向するように接着剤を介して積層し接合した構造となっている。
【００４７】
実施形態では、各プレート２１〜２７は４０〜１５０μｍ程度の厚さを有し、ノズルプレート２１はポリイミド等の合成樹脂製で、その他のプレート２２〜２７は４２％ニッケル合金鋼板製である。ノズルプレート２１には、微小径（２０μｍ程度）のインク吐出用のノズル４が微小間隔で多数個穿設されており、ノズル４は、Ｘ軸方向に沿って延びる列状に配置され、５列設けられている。
【００４８】
各ノズル４は、スペーサプレート２２、ダンパープレート２３、２枚のマニホールドプレート２４ａ、２４ｂ、サプライプレート２５、ベースプレート２６に穿設されている貫通路３５を介して、キャビティプレート２７の圧力室３１にそれぞれ接続されている（図６参照）。
【００４９】
キャビティプレート２７には、各ノズル毎に設けられた複数の圧力室３１がノズル４の配列に対応して５列に配列されている。各圧力室３１は、図５に示すように、平面視細長形状でその長手方向がＹ軸方向に沿うようにしてキャビティプレート２７の板厚を貫通して形成されている。各圧力室３１の長手方向の一端は、ベースプレート２６に穿設された連通孔３２と、サプライプレート２５に形成された接続流路３３とを介して共通インク室３４に連通している。各圧力室３１の長手方向の他端には前記貫通路３５が接続されている。
【００５０】
２枚のマニホールドプレート２４ａ，２４ｂには、Ｘ軸方向に沿って長い５つの（共通インク室３４となるべき）溝が板厚を貫通して形成されており、２枚のマニホールドプレート２４ａ、２４ｂを積層し、かつその上面をサプライプレート２５にて覆い、下面をダンパープレート２３にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）３４が形成される。
【００５１】
マニホールドプレート２４ａの下面に隣接するダンパープレート２３の下面側には、各共通インク室３４と位置および形状を一致させ且つ共通インク室３４と隔絶されたダンパー室３６が凹み形成されている。このダンパープレート２３は、ダンパー室３６上部の薄い板状の天井部が弾性変形により自由に振動することで、圧力室３１から共通インク室３４に伝播した圧力変動を吸収減衰させ、圧力変動が他の圧力室３１へ伝播するクロストークを抑制する。
【００５２】
また、キャビティプレート２７のＹ軸方向に平行な一方の辺寄りには、前述のインク供給口３７が４つ穿設されており、各インク供給口３７と上下位置を対応させて、ベースプレート２６とサプライプレート２５とにそれぞれ４つの接続口３８が穿設されている。４つのインク供給口３７には、インク中の異物を除去するためのフィルタ体３９が接着剤等で一括して貼着されている。
【００５３】
この実施形態では、図５における左側の１つのインク供給口３７から、同じく左側の２つの共通インク室３４、３４に、ブラックインクが分岐して流入するようにし、ブラックインクを吐出するノズル列を２列に設定している。これは、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものであり、他の３つのインク供給口３７には、シアン、イエロー、マゼンタの各インクがそれぞれ単独に供給される。
【００５４】
このように、キャビティ部１０では、インクが、インク供給口３７から接続口３８を経て共通インク室３４に流入し、接続流路３３及び連通孔３２を経由して圧力室３１に至り、さらに貫通路３５を経てノズル４に至るインク流路が形成されている。
【００５５】
圧電アクチュエータ１１は、全ての圧力室３１にわたる大きさを有する扁平形状で、特開２００２−２５４６３４号公報等に開示された公知のものと同様に、扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層１１ａと、このセラミックス層１１ａの扁平な方向の面上に配置される電極層とが備えられている。ここでは、セラミックス粉末、バインダ、溶剤を混合したものを１枚の厚さが３０μｍ程度になるように扁平に成形した圧電セラミックス素材のシート（グリーンシート）の複数枚のうち適数枚のシート面に導電性ペーストで電極層を印刷法等によって形成し、その複数枚のグリーンシートを積層して焼成することで、圧電アクチュエータ１１を形成している。これにより、各グリーンシートは、焼結体のセラミックス層となる。
【００５６】
電極層としては、図６に示すように、圧力室３１毎に形成される個別電極４１の電極層と、複数の圧力室３１に跨って形成されるコモン電極４２の電極層とがセラミックス層１１ａを挟んで積層方向に交互に設けられ、その電極層とそれぞれ電気的なスルーホール（図示せず）を介して接続して最上面に外部電極４３（図４〜図６参照）の層が設けられている。外部電極４３は、フレキシブル配線材１２に形成された電極パターン５１（後述する）と個別に電気的に接続される。
【００５７】
公知のように個別電極４１とコモン電極４２との間に高電圧を印加することで、両電極に挟まれたセラミックス層の部分が分極されて活性部が形成される。活性部は各圧力室３１の上方に対応して設けられており、フレキシブル配線材１２から圧電アクチュエータ１１に印加された駆動信号によって変位して、インクを吐出するための吐出圧力を圧力室３１に与える。
【００５８】
外部電極４３としては、図７に示すように、各個別電極４１にそれぞれ接続される個別外部電極４３ａと、コモン電極４２に接続されるコモン外部電極４３ｂとが設けられている。圧電アクチュエータ１１の最上面には、外部電極４３の他に、フレキシブル配線材１２には接続されないダミー電極４５と、フレキシブル配線材１２との位置合わせに用いる平面視円形の位置合わせ用マーク４６とが形成されている。
【００５９】
位置合わせ用マーク４６は、圧電アクチュエータ１１のＹ軸方向に沿う両側縁の中央に、各々平面視円形に形成されている。この位置合わせ用マーク４６は、外部電極４３と同じ導電性材料で形成されているから、導電性ペーストを圧電セラミックス素材のシートに印刷して外部電極４３を形成する工程で、同時に印刷し、焼成して形成される。位置合わせ用マーク４６は外部電極４３と所定の位置関係で配置されているが、同時に印刷する（同じマスクを用いる）ことで、高い精度で位置関係を確保することができる。
【００６０】
個別外部電極４３ａは、圧力室３１（個別電極４１）に対応して、Ｘ軸方向に沿って延びる列状に配置され、Ｙ軸方向に５列配列され、且つ圧力室３１（個別電極４１）と同じＹ軸方向に沿って長い細長形状を有しており、その長手方向の一方の端部の上面には、個別外部電極４３ａよりも長さが短く幅広の接続端子４４ａ（導電材料製）が形成されている。この接続端子４４ａは、個別外部電極４３ａが高密度に配置されているので、隣接する接続端子４４ａとの間にできるだけ大きく距離をあけるために、Ｘ軸方向に沿って千鳥状に、すなわち、個別外部電極４３ａの一端側に設けた接続端子４４ａと、他端側に設けた接続端子４４ａとが、Ｘ軸方向に沿って交互に並ぶように配置されている。また、Ｙ軸方向に隣接する個別外部電極４３ａの間でも、接続端子４４ａ同士がＹ軸方向に隣接しないように配置されている。
【００６１】
コモン外部電極４３ｂは、圧電アクチュエータ１１のＹ軸方向に平行な一方（または両方）の辺に沿って、幅広の帯状にそれぞれ形成されており、その上面に適宜間隔をあけて平面視長方形状の接続端子４４ｂが形成されている。接続端子４４（４４ａ、４４ｂ）は、外部電極４３と後述するバンプ５４との接合性を良くするために、外部電極４３の上に導電性材料を印刷またはメッキにより付着させたものである。コモン外部電極４３ｂは複数列形成されてあってもよい。
【００６２】
フレキシブル配線材１２は、図４に示すように、全体として帯状を呈し、長手方向の一端が、圧電アクチュエータ１１のキャビティ部１０と反対側の面に固着される平坦部１２ａとなり、平坦部１２ａに連続する可撓部１２ｂが、補強フレーム１５上を通ってＹ軸方向に引き出されている（図３参照）。フレキシブル配線材１２には、可撓部１２ｂの長手方向の中途に駆動回路１２ｃとしてチップ状のＩＣが搭載されたＣＯＦ（チップ・オン・フレキシブル配線材）を適用している。フレキシブル配線材１２の可撓部１２ｂの他端は、信号源に接続されていて、信号源から送られた駆動信号が、駆動回路１２ｃを介して圧電アクチュエータ１１に出力される。図３に示すように、ヘッドホルダ８の側板寄りの部分には、駆動回路１２ｃを挟持するためのヒートシンク６０と弾性部材６１とが設けられており、駆動回路１３の発熱をヒートシンク６０によって放熱するようにしている。
【００６３】
フレキシブル配線材１２は、図８（ｂ）に示すように、透明性を有する扁平形状の絶縁材料製（ポリイミド等）のベースフィルム５０と、ベースフィルム５０の一方の面に固着された導電性材料（銅箔等）をエッチングして形成された導線５２と、この導線５２を覆う絶縁材料製のカバーフィルム５３とを備えている。平坦部１２ａには、圧電アクチュエータ１１の接続端子４４の位置にそれぞれ対応する電極パターン５１として、ベースフィルム５０に穿設した貫通穴から導線５２の端部を露出させた端子電極が設けられている。この電極パターン（端子電極）５１上には、熱溶融可能な導電材料製（例えば、半田製）のバンプ５４が、外部電極４３に向かって突出するように設けられている。
【００６４】
また、フレキシブル配線材１２には、圧電アクチュエータ１１との位置合わせに使う位置合わせ用マーク５５が、可撓部１２ｂが引き出される方向（Ｙ軸方向）に平行な、平坦部１２ａの両側縁の中央に設けられている。この位置合わせ用マーク５５は、導電性材料を、圧電アクチュエータ１１の位置合わせ用マーク４６の円形状よりもひと回り小さい円形状に形成しており、導線５２の形成と同時にエッチング加工され、電極パターン（端子電極）５１と所定の位置関係に配置されている。位置合わせ用マーク５５が設けられた箇所では、圧電アクチュエータ１１の位置合わせ用マーク４６よりも僅かに大きな面積で、カバーフィルム５３が除去され、位置合わせ用マーク５５が上面に露出されている。
【００６５】
剛性部材１３は、圧電アクチュエータ１１と平面視でほぼ同じ面積を有する長方形の扁平な板材で、フレキシブル配線材１２よりも剛性が高く且つ熱伝導性に優れた素材からなっており、例えば、アルミニウム、銅、ＳＵＳなどの金属板が適用されている。この剛性部材１３のＹ軸方向に平行な両辺の中央には、圧電アクチュエータ１１とフレキシブル配線材１２とを位置合わせするために設けられた位置合わせ用マーク４６、５５を外部に露出するための貫通部１３ａが切欠形成されている。貫通部１３ａは、切欠ではなく、穴状に穿孔形成してもよい。
【００６６】
第１実施形態の剛性部材１３は、図９（ｂ）に示すように、フレキシブル配線材１２と対向する面に、フレキシブル配線材１２側に突出する突部１３ｂ、１３ｃが設けられている。突部１３ｂは、圧電アクチュエータ１１の個別外部電極４３ａと、フレキシブル配線材１２の電極パターン（端子電極）５１のバンプ５４との接続位置に対応して設けられている。突部１３ｃは、圧電アクチュエータ１１のコモン外部電極４３ｂと、フレキシブル配線材１２の電極パターン（端子電極）５１との接続位置に対応して設けられている。なお、剛性部材１３の貫通部１３ａは、突部１３ｂ、１３ｃに対して所定の位置関係で形成されている。
【００６７】
個別外部電極４３ａは、圧電アクチュエータ１１の各ノズル４の位置に対応して、５つの列状に形成されているので（図４参照）、突部１３ｂを個別外部電極４３ａの各列に対応させて、列方向に長い畝状に形成している。つまり、この実施形態では、図９（ａ）に示すように、剛性部材１３に、Ｘ軸方向に長い畝状の突部１３ｂが５つ平行に形成されている。５つの突部１３ｂのうち、最外列の２つ（Ｙ軸方向両端の２つ）の突部１３ｂの畝の幅Ｗ１は、これらの間に配置された３つ突部１３ｂの畝の幅Ｗ２よりも広幅に形成されている（Ｗ１＞Ｗ２）。
【００６８】
また、コモン外部電極４３ｂは、圧電アクチュエータ１１のＸ軸方向の両側端縁に沿って設けられていて、接続端子４４ｂはコモン外部電極４３ｂ上に間隔をあけて点在しているので（図７参照）、突部１３ｃをコモン外部電極４３ｂの位置に対応させて、剛性部材１３のＸ軸方向の両側端縁に沿って長く設けている。但し、この突部１３ｃは、貫通部１３ａを避けるために、長手方向の中央部で分割されている。なお、コモン外部電極４３ｂが複数列設けられる場合も同様に、突部１３ｃのうち最外列となる突部１３ｃの畝幅を他の突部の畝幅よりも広幅に形成してもよい。
【００６９】
このように構成されたインクジェットヘッド１の組み立てについて説明する。
【００７０】
まず、キャビティ部１０と圧電アクチュエータ１１とは、圧電アクチュエータ１１における下面（圧力室３１と対面する広幅面）全体に、接着剤としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート（図示せず）を貼着しておき、次いで、前記キャビティ部１０に対して、圧電アクチュエータ１１が、その各個別電極４１を前記キャビティ部１０における各圧力室３１の各々に対応させて接着、固定される。これによりキャビティ部１０と圧電アクチュエータ１１との積層体が形成される。
【００７１】
一方、フレキシブル配線材１２のカバーフィルム５３側に、剛性部材１３の突部１３ｂ、１３ｃを対向させ、貫通部１３ａからフレキシブル配線材１２の位置合わせ用マーク５５を外部に露出させるように（視認できるように）して、これらを位置合わせした後に、接着、固定する。これにより、フレキシブル配線材１２と剛性部材１３の積層体が形成される。このフレキシブル配線材１２と剛性部材１３との接着工程は、後述するように、剛性部材１３の突部１３ｂ、１３ｃとバンプ５４（個別外部電極４３ａ、コモン外部電極４３ｂ）の位置との位置精度に影響するため、ある程度、厳密な位置合わせの精度が必要である。しかしながら、突部１３ｂ、１３ｃは、畝状に形成されていて各バンプ５４毎に個別に形成されてはいないので、後述するフレキシブル配線材１２とアクチュエータ１１との位置合わせの精度ほど厳密ではない。
【００７２】
次に、図８（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ１１の外部電極４３が形成された面と、フレキシブル配線材１２の電極パターン５１が形成された面とが対向するように、キャビティ部１０と圧電アクチュエータ１１との積層体に、フレキシブル配線材１２と剛性部材１３との積層体を対向させる。
【００７３】
このとき、フレキシブル配線材１２の位置合わせ用マーク５５と、圧電アクチュエータ１１の位置合わせ用マーク４６とが位置合わせされるが、位置合わせ用マーク５５を含む領域では、剛性部材１３に貫通部１３ａが設けられていることと、フレキシブル配線材１２のカバーフィルム５３が除去されていることと、ベースフィルム５０が透光性を有していることにより、図８（ｂ）に示す矢印Ｂ方向から見たときに、フレキシブル配線材１２の位置合わせ用マーク５５だけでなく、ベースフィルム５０を通して圧電アクチュエータ１１の位置合わせ用マーク４６も視認することができる（図８（ａ）参照）。
【００７４】
圧電アクチュエータ１１の位置合わせ用マーク４６は、上側に位置するフレキシブル配線材１２の位置合わせ用マーク５５よりも大きな円形であるから、これらの中心を容易に重ね合わせることができ、高い精度でフレキシブル配線材１２の電極パターン５１と圧電アクチュエータ１１の接続端子４４とを位置合わせすることができるのである。また、これにより、フレキシブル配線材１２に先に接合されている剛性部材１３の突部１３ｂ、１３ｃを、個別外部電極４３ａ、コモン外部電極４３ｂの位置に対応させることができる。なお、マーク４６、５５を、それぞれカメラで撮像し、画像表示装置の上で拡大表示して位置合わせしても良いし、マーク４６、５５を、それぞれ画像処理して位置合わせしても良い。
【００７５】
そして、上述したように、キャビティ部１０と圧電アクチュエータ１１との積層体に、フレキシブル配線材１２と剛性部材１３との積層体を位置合わせした状態で、図９（ｂ）に示すように、剛性部材１３の上に加熱押圧手段（請求項の加熱部材に相当、例えばヒータバー）７０を当て、圧電アクチュエータ１１に向けて圧力と熱を加える。このときに、加熱押圧手段７１の熱は、剛性部材１３の突部１３ｂ、１３ｃを介して、フレキシブル配線材１２に伝わる。突部１３ｂ、１３ｃは、フレキシブル配線材１２のバンプ５４と圧電アクチュエータ１１の接続端子４４との接続位置に対応しているので、これらが集中的に加熱押圧されて、パンプ５４が溶融され、フレキシブル配線材１２の電極パターン５１と圧電アクチュエータ１１の接続端子４４とが電気的及び機械的に接合される。
【００７６】
つまり、突部１３ｂ、１３ｃ以外の剛性部材１３の領域は、フレキシブル配線材１２に接触していないので、前述したフレキシブル配線材１２と圧電アクチュエータ１１との接続位置以外には、加熱押圧手段７１の熱が伝わり難くなる。
【００７７】
これにより、キャビティ部１０に伝わる熱を大幅に抑制できるから、圧電アクチュエータ１１とキャビティ部１０の線膨張係数の差が大きくても、熱に起因して、圧電アクチュエータ１１とキャビティ部１０に剥がれ、歪み、クラック等が生じることはないので、製造時の歩留まりが向上する。
【００７８】
また、剛性部材１３に平行状に設けられた５つの突部１３ｂのうち、最外列の突部１３ｂの幅を、内側の突部１３ｂの幅より広幅にしているが、これは、最外列の突部１３ｂは、その外側に放熱空間があって、突部１３ｂ同士が隣接している内側の突部１３ｂよりも温度が下がり易いためである。全ての突部１３ｂを同じ幅にしていると、バンプ５４と接続端子４４とを電気的に接合するときに、突部１３ｂに部分的な（列毎の）温度差が生じ、バンプ５４における接続のばらつきや不良が発生する虞がある。そのため、最外列の突部１３ｂの幅を広幅にして熱容量を大きくすることで、接合時の前述した突部１３ｂの部分的な温度差を解消することができる。
【００７９】
もちろん、剛性部材１３はフレキシブル配線材１２の剛性を高める効果だけでなく、圧電アクチュエータ１１及びフレキシブル配線材１２よりも熱伝導性に優れているから、フレキシブル配線材１２を介して圧電アクチュエータ１１に接触することで、圧電アクチュエータ１１の局所的な発熱を分散し、且つ放熱する効果も奏することができる。その結果、局部的な発熱によるアクチュエータの動作不良や温度分布のバラツキによる吐出バラツキ等を防止することができる。特に、前述したように、突部１３ｂは、ノズル４の列に対応して形成されて且つ最外列が広幅であるため、液滴の吐出動作に伴って、外からの熱（例えば、フレキシブル配線材１２の駆動回路１２ｃの熱等）がフレキシブル配線材１２やアクチュエータ１１に伝わったときも、その部分的な温度差を解消できる。その結果、キャビティ部１０内の液体に伝熱する熱のノズル４の列ごとのばらつきを抑制させることができるため、ノズル４の列ごとの吐出特性のばらつきを低減させることができる。
【００８０】
加えて、フレキシブル配線材１２単体では、薄いフィルム状で剛性が低いために、位置合わせ工程でのハンドリングや、作業性が悪いという欠点を有していたが、フレキシブル配線材１２を圧電アクチュエータ１１に位置合わせする前に、フレキシブル配線材１２にこれよりも剛性の高い剛性部材１３を固着しているから、フレキシブル配線材１２を平坦な状態に保ったままで、容易に作業することができ、作業時間の短縮を図ることができる。
【００８１】
次に、本発明の第２実施形態について図１０を用いて説明する。第２実施形態では、剛性部材１３のフレキシブル配線材１２と対向する側の面に、突部１３ｂ、１３ｃを設けず、平坦面に形成している。そして、加熱押圧手段７１の剛性部材１３側の面に、前述した突部１３ｂ、１３ｃと同じ形状の畝状の突部７１ａ、７１ｂを設けるようにしている。つまり、加熱押圧手段７１に、フレキシブル配線材１２のバンプ５４と圧電アクチュエータ１１の接続端子４４との接続位置に対応して、突部７１ａを５つ平行状に設け、突部７１ａを挟み且つこれらに交差させて２つの突部７１ｂを設けている。第１実施形態と同様に、５つの突部７１ａのうち、最外列の２つの突部７１ａの畝の幅Ｗ１は、これらに挟まれた中央の３つの突部７１ａの畝の幅Ｗ２よりも広幅にしている。
【００８２】
これにより、第２実施形態も第１実施形態と同様の効果が得られ、フレキシブル配線材１２のバンプ５４と圧電アクチュエータ１１の接続端子４４との接続するための熱が、前記接続位置以外に伝わることを抑制でき、熱に起因して圧電アクチュエータ１１とキャビティ部１０にクラックや剥がれ等が生じる虞を大幅に抑制できる。
【００８３】
なお、第１及び第２実施形態では、剛性部材１３の突部１３ｂ、１３ｃ、及び加熱押圧手段７１に設けた突部７１ａ、７１ｂの数や配置は、アクチュエータ１１の外部電極４３と、フレキシブル配線材１２の電極パターン５１との接続位置に応じて適宜変更が可能である。また、各突部を必ずしも前述したような畝状に形成する必要はなく、部品の製造や組み立てが可能であれば、バンプ５４と接続端子４４との接続位置に個別に対応して突部を形成してもよい。
【００８４】
上記実施の形態では、アクチュエータとして、圧電方式のものを用いたが、静電気により振動板を変位させてインクを吐出させるなど他の駆動方式においても、アクチュエータとフレキシブル配線材と電気的に接続するための熱を、そのほかの部材に伝わり難くしたい場合には、本発明が有効である。また、インクジェットプリンタヘッドへの適用に限定するものではなく、その他の液滴吐出ヘッドに適用してもよいことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明のインクジェットヘッドが適用されたインクジェットプリンタの平面図である。
【図２】キャリッジの分解斜視図である。
【図３】キャリッジをＹ軸方向に沿って切断した断面図である。
【図４】ヘッドユニットと均熱板の一部分解斜視図である。
【図５】キャビティ部の分解斜視図である。
【図６】（ａ）図４のＶＩ−ＶＩ線矢視断面図、（ｂ）前記（ａ）のｂ−ｂ線矢視断面図である。
【図７】圧電アクチュエータの最上面の一部を示す平面図である。
【図８】（ａ）は圧電アクチュエータと対向させた状態のフレキシブル配線材の一部を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＶＩＩＩｂ−ＶＩＩＩｂ線矢視断面図である。
【図９】（ａ）は第１実施形態の剛性部材の平面図、（ｂ）は第１実施形態にてフレキシブル配線材と圧電アクチュエータとを電気的に接続する工程を説明する図である。
【図１０】第２実施形態にてフレキシブル配線材と圧電アクチュエータとを電気的に接続する工程を説明する図である。
【符号の説明】
【００８６】
１      インクジェットヘッド
３      キャリッジ
４      ノズル
９      ダンパー装置
１０    キャビティ部
１１    圧電アクチュエータ
１２    フレキシブル配線材
１３    剛性部材
１３ａ  貫通部
１３ｂ、１３ｃ    突部
１５    補強フレーム
２０    ヘッドユニット
４３    外部電極
４４    接続端子
４６    位置合わせ用マーク
５０    ベースフィルム
５１    電極パターン
５４    バンプ
５５    位置合わせ用マーク
７１    加熱押圧手段
７１ａ、７１ｂ    突部
１００  インクジェットプリンタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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