(57)【要約】【課題】基板のカールを防止するとともに簡便に作製することができるペリクルミラー及び該ペリクルミラーを用いた撮像装置を提供する。【解決手段】撮像装置の光学系に備えられ、撮影レンズの透過光を反射及び透過することにより分割するペリクルミラー１００において、透明のプラスチックフィルム１１と、前記プラスチックフィルム１１の両面それぞれに設けられ該プラスチックフィルム１１よりも高屈折率材料からなる単層膜１２と、からなり、前記プラスチックフィルム１１と単層膜１２との屈折率差により前記透過光の反射率が制御されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像装置の光学系に備えられ、撮影レンズの透過光を反射及び透過することにより分割するペリクルミラーにおいて、
透明のプラスチックフィルムと、前記プラスチックフィルムの両面それぞれに設けられ該プラスチックフィルムよりも高屈折率材料からなる単層膜と、からなり、
前記プラスチックフィルムと単層膜との屈折率差により前記透過光の反射率が制御されていることを特徴とするペリクルミラー。
【請求項２】
前記プラスチックフィルムは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）,シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）,ポリカーボネート（ＰＣ）,ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）,ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）,トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）のいずれかからなることを特徴とする請求項１に記載のペリクルミラー。
【請求項３】
前記単層膜は、屈折率２以上の材料からなり、膜厚１００ｎｍ以下の光学膜であることを特徴とする請求項１に記載のペリクルミラー。
【請求項４】
前記単層膜は、Ｉｎ2Ｏ3,ＳｎＯ2,ＺｎＯ,ＩＴＯのいずれか又はこれらの合金、もしくはＺｎＯにＡｌまたはＧａをドープした透明導電性材料からなることを特徴とする請求項１に記載のペリクルミラー。
【請求項５】
前記単層膜は、Ｔａ2Ｏ5,ＺｒＯ2,Ｎｂ2Ｏ5,ＴｉＯ2のいずれかからなることを特徴とする請求項１に記載のペリクルミラー。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のペリクルミラーを備え、撮影レンズの透過光を該ペリクルミラーに入射させ、その反射光をファインダ光学系に、透過光を撮像素子に導くことを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラスチックフィルムをベースとするペリクルミラー及び該ペリクルミラーを用いた撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の一眼レフカメラは、いわゆるクイックリターンミラーが採用され、撮影の時には直前にミラー構造が撮影光路外に待避し、撮影終了後ただちに光路内に復帰してファインダ光学系に被写体光を導く構造となっていることから、撮影中はファインダ像が消失し、撮影の瞬間の被写体を見ることができず、特に、被写体の動きの速いスポーツ、レース、動物写真等においては、連続的に撮影をしながら被写体に追従するような撮影が大変難しく、いわゆる決定的瞬間を見逃すことがあった。
【０００３】
これに対し、ペリクルミラーを有する一眼レフカメラ（例えば、特許文献１〜３参照。）では、従来ファインダ系に光束を導くミラーを固定のハーフミラー（ペリクルミラー）とし、撮影光束を常にファインダ系とフィルム面方向に分割し、撮影中においても常にファインダにて被写体の状態を観察できるという利点が述べられている。
【０００４】
また、特許文献４では、一眼レフカメラ用ハーフミラーの膜設計が提案されている。これは、ガラス上の片面に高屈折率材料と低屈折率材料を交互に合計５層、総膜厚で４５０ｎｍ程度成膜したものである。
【０００５】
【特許文献１】特許第２８０１２１７号公報
【特許文献２】特開平８−２５４７５１号公報
【特許文献３】特開２００６−３５０２５３号公報
【特許文献４】特開平３−１０９５０４号公報
【特許文献５】特許第２８０１２１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献４の膜設計を極薄のプラスチックフィルム基板に適用した場合には、多層膜の大きな圧縮応力により、基板に大きなカールが発生し、取り扱いにくいことが考えられる。また、透過率、反射率の最適化のためには、各膜厚値の精密な制御が必要になるとともに、総膜厚も大きいことから生産性が悪く、コストが高くなる。さらに、プラスチックフィルム基板には、静電気発生によるゴミ付着の可能性が高い。
【０００７】
また、発明者らが特許文献４の内容を元に、４５°入射での透過率、反射率の可視光分布をシミュレーションした結果を図１に示す。ここでは、ガラス基板上にガラス基板側からＺｒＯ２（膜厚１４４ｎｍ）／ＭｇＦ２（５０ｎｍ）／ＺｒＯ２（膜厚７１ｎｍ）／ＭｇＦ２（１１１ｎｍ）／ＺｒＯ２（膜厚７１ｎｍ）を積層した、合計膜厚４４７ｎｍの光学膜の場合を検討した（図１（ａ））。その結果（図１（ｂ））、透過率分布では、短波長側や長波長側で急激に大きく上昇していることがわかる。波長４００〜７００ｎｍの可視光領域において、予想される透過率ばらつきとしては、４４．７〜６２．７％であり、差は１８％となる。また反射率ばらつきは３７．３〜５５．３％であり、差は同様に１８％となり、それぞれのばらつきが非常に大きいことがわかった。
【０００８】
本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、基板のカールを防止するとともに簡便に作製することができるペリクルミラー及び該ペリクルミラーを用いた撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために提供する本発明は、撮像装置の光学系に備えられ、撮影レンズの透過光を反射及び透過することにより分割するペリクルミラーにおいて、透明のプラスチックフィルム（プラスチックフィルム１１）と、前記プラスチックフィルムの両面それぞれに設けられ該プラスチックフィルムよりも高屈折率材料からなる単層膜（単層膜１２）と、からなり、前記プラスチックフィルムと単層膜との屈折率差により前記透過光の反射率が制御されていることを特徴とするペリクルミラー１００である（図２）。
ここで、前記プラスチックフィルムは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）,シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）,ポリカーボネート（ＰＣ）,ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）,ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）,トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）のいずれかからなることが好ましい。
また、前記単層膜は、屈折率２以上の材料からなり、膜厚１００ｎｍ以下の光学膜であることが好ましい。さらに、前記単層膜は、Ｉｎ2Ｏ3,ＳｎＯ2,ＺｎＯ,ＩＴＯのいずれか又はこれらの合金、もしくはＺｎＯにＡｌまたはＧａをドープした透明導電性材料からなることが好適である。あるいは、前記単層膜は、Ｔａ2Ｏ5,ＺｒＯ2,Ｎｂ2Ｏ5,ＴｉＯ2のいずれかからなることがよい。
【００１０】
また、前記課題を解決するために提供する本発明は、上述したいずれかのペリクルミラー（ペリクルミラー１００）を備え、撮影レンズ（交換レンズ２）の透過光を該ペリクルミラーに入射させ、その反射光をファインダ光学系（ファインダ部１０２）に、透過光を撮像素子（撮像素子１０１）に導くことを特徴とする撮像装置（撮像装置１）である（図５）。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のペリクルミラーによれば、極薄フィルム両面に高屈折率材料の単層膜を成膜し、プラスチックフィルムおよび薄膜材料の屈折率を選択することで容易に所望の透過率値、反射率値に対応することができる。また、両面成膜のため、膜の圧縮応力により発生するカールを低減することができる。さらに、単層膜の成膜のため、特性ばらつきが小さく、生産性も高いため、低コストの作製が可能となる。
また、単層膜を透明導電性材料からなる膜とすると、表面の導電性を確保することができ帯電防止を実現できるため、撮像装置の光学系におけるゴミ付着防止に役立つ。
また、単層膜は、Ｔａ2Ｏ5,ＺｒＯ2,Ｎｂ2Ｏ5,ＴｉＯ2のいずれかからなる高屈折率膜とすると、透過率値、反射率値の設定の自由度が増す。
本発明の撮像装置によれば、極薄としたペリクルミラーを用いるので光学系の設計の自由度が増し、コンパクトなカメラとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明に係るペリクルミラー及び撮像装置について説明する。なお、本発明を図面に示した実施形態をもって説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、実施の態様に応じて適宜変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。
【００１３】
図１に、本発明に係るペリクルミラーの構成を示す。
本発明に係るペリクルミラー１００は、撮像装置の光学系に備えられ、撮影レンズの透過光を反射及び透過することにより分割するペリクルミラーにおいて、透明のプラスチックフィルム１１と、プラスチックフィルム１１の両面それぞれに設けられプラスチックフィルム１１よりも高屈折率材料からなる単層膜１２と、からなり、プラスチックフィルム１１と単層膜１２との屈折率差により前記透過光の反射率が制御されていることを特徴とするものである。
【００１４】
ここで、プラスチックフィルム１１としては、可視光領域内で透明であり、目標とする透過率、反射率値に応じた屈折率を有する材料を選択すればよい。例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）,シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）,ポリカーボネート（ＰＣ）,ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）,ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）,トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）のいずれかからなることが好ましい。このとき、単層膜１２としてＺｒＯ2をプラスチックフィルム１１の両面に膜厚７０ｎｍ成膜するとした場合、屈折率ｎ＝１．６のＰＥＴフィルムでは可視光平均透過率６８．３％であり、ｎ＝１．５３のＺＥＯＮＯＲフィルム（日本ゼオン製フィルム）では６６．１％、ｎ＝１．４８のＴＡＣフィルムでは６５．２％と、目標値に応じて、単層膜１２の材料の屈折率およびプラスチックフィルム１１の屈折率を選択すればよい。また、プラスチックフィルム１１の厚みに関しては、像のぼやけを防ぐために、なるべく薄いほうがよいが、成膜や取り扱いを考慮すると２５μｍ程度が好ましい。
【００１５】
また、単層膜１２の膜厚としては、各境界面での反射波面を全て同位相にし、相加的に重なり合わせるため、１／４波長膜を形成すればいい。数式としては、膜厚ｄ＝λ／４ｎとなるが、透過率、可視光反射率のスペクトルが平坦となるような中心波長を選択すればよく、通常可視光域内に中心波長がくるため、２以上の屈折率を考慮すると、通常の膜厚は１００ｎｍ以下になる。
【００１６】
また、単層膜１２は、Ｉｎ2Ｏ3,ＳｎＯ2,ＺｎＯ,ＩＴＯのいずれか又はこれらの合金、もしくはＺｎＯにＡｌまたはＧａをドープした透明導電性材料からなることが好適である。あるいは、単層膜１２は、Ｔａ2Ｏ5,ＺｒＯ2,Ｎｂ2Ｏ5,ＴｉＯ2のいずれかからなることがよい。
【００１７】
なお、撮像装置においてフィルム状のペリクルミラーを冶具等によりペリクルミラーがカールしていても問題なく固定できる場合には、前記プラスチックフィルムの片面に単層膜を設けたペリクルミラーとしてもよい。
この場合には、前記単層膜は、屈折率２．３以上の材料からなり、膜厚１００ｎｍ以下の光学膜であることが好ましく、例えばＮｂ2Ｏ5,ＴｉＯ2のいずれかからなることが好適である。
【００１８】
つぎに、本発明に係る撮像装置について説明する。
本発明に係る撮像装置は、本発明のペリクルミラーを備え、撮影レンズの透過光を該ペリクルミラーに入射させ、その反射光をファインダ光学系に、透過光を撮像素子に導くことを特徴とするものである。
図３および図４は、本発明に係る撮像装置１の外観構成を示す図である。ここで、図３および図４は、それぞれ正面図および背面図を示している。
【００１９】
撮像装置１は、例えば一眼レフレックスタイプのデジタルスチルカメラとして構成されており、カメラボディ１０と、カメラボディ１０に着脱自在な撮影レンズとしての交換レンズ２とを備えている。
【００２０】
具体的には、図３に示されるように、カメラボディ１０の正面側には、正面略中央に交換レンズ２が装着されるマウント部３０１と、マウント部３０１の右横に配置されたレンズ交換ボタン３０２と、把持可能とするためのグリップ部３０３と、正面左上部に配置されたモード設定ダイアル３０５と、正面右上部に配置された制御値設定ダイアル３０６と、グリップ部３０３の上面に配置されたシャッターボタン３０７とが設けられている。
【００２１】
交換レンズ２は、撮影レンズであり、被写体からの光（被写体光）を取り込むレンズ窓として機能するとともに、当該被写体光をカメラボディ１０の内部に配置されている撮像素子１０１に導くための撮影光学系として機能する。
【００２２】
シャッターボタン３０７は、途中まで押し込んだ「半押し状態」と、さらに押し込んだ「全押し状態」とを検出可能な押下スイッチである。撮影モードにおいてシャッターボタン３０７が半押し（Ｓ１）されると、被写体の静止画を撮影するための準備動作（露出制御値の設定および焦点検出等の準備動作）が実行され、シャッターボタン３０７が全押し（Ｓ２）されると、撮影動作（撮像素子１０１(図５参照)を露光し、その露光によって得られた画像信号に所定の画像処理を施してメモリカード等に記録する一連の動作）が実行される。
【００２３】
また、図４に示されるように、カメラボディ１０の背面側には、表示部として機能するＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）３１１と、ＬＣＤ３１１の上方に配設されたファインダ窓３１６と、ファインダ窓３１６の周囲を囲むアイカップ３２１と、ファインダ窓３１６の左方に配設されたメインスイッチ３１７と、ファインダ窓３１６の右方に配設された露出補正ボタン３２３およびＡＥロックボタン３２４と、ファインダ窓３１６の上方に配設されたフラッシュ部３１８および接続端子部３１９とが備えられている。また、カメラボディ１０の背面側には、ＬＣＤ３１１の左方に配置された設定ボタン群３１２と、ＬＣＤ３１１の右方に配置された方向選択キー３１４と、方向選択キー３１４の中央に配置されたプッシュボタン３１５と、方向選択キー３１４の右下方に配置された表示切替スイッチ８５とが備えられている。
【００２４】
ＬＣＤ３１１は、画像表示が可能なカラー液晶パネルを備えており、撮像素子１０１(図５参照)により撮像された画像の表示または記録済みの画像の再生表示等を行うとともに、撮像装置１Ａに搭載される機能またはモードの設定画面を表示するものである。
【００２５】
ファインダ窓（接眼窓）３１６は、光学ファインダ（ＯＶＦ）を構成し、ファインダ窓３１６には、交換レンズ２を通過した被写体像を形成する光（被写体光）が導かれている。ユーザは、このファインダ窓３１６を覗くことによって、実際に撮像素子１０１にて撮影される被写体像を視認することができる。
【００２６】
表示切替スイッチ８５は、２点のスライドスイッチからなり、接点を上段の「光学」位置に設定すると光学ファインダモード（「ＯＶＦモード」とも称する）が選択され、光学ファインダ視野内に被写体像が表示される。これにより、ユーザは、ファインダ窓３１６を介して光学ファインダ視野内に表示される被写体像を視認することによって、構図決め操作（フレーミング）を行うことが可能になる。
【００２７】
一方、表示切替スイッチ８５の接点を下段の「モニタ」位置に設定すると電子ファインダモード（「ＥＶＦモード」または「ライブビューモード」とも称する）が選択され、ＬＣＤ３１１において被写体像に係るライブビュー画像が動画的態様にて表示される。これにより、ユーザは、ＬＣＤ３１１に表示されるライブビュー画像を視認することによって、フレーミングを行うことが可能になる。
【００２８】
このように、ユーザは、表示切替スイッチ８５の操作によって、ファインダモードを切り替えることが可能であり、撮像装置１では、ライブビュー表示が行われる電子ファインダ、或いは光学ファインダを用いて被写体の構図決めを行うことが可能である。
【００２９】
次に、撮像装置１の内部構成について説明する。図５は、撮像装置１の縦断面図である。図５に示すように、カメラボディ１０の内部には、撮像素子１０１、ファインダ部１０２（ファインダ光学系）、ペリクルミラー１００等が備えられている。
【００３０】
撮像素子１０１は、カメラボディ１０に交換レンズ２が装着された場合の当該交換レンズ２が備えているレンズ群（撮影レンズ）の光軸ＬＴ上において、光軸ＬＴに対して垂直に配置されている。撮像素子１０１としては、例えばフォトダイオードを有して構成される複数の画素がマトリクス状に２次元配置されたＣＭＯＳカラーエリアセンサ（ＣＭＯＳ型の撮像素子）が用いられる。また、撮像素子１０１は、その撮像面においてオートフォーカス（ＡＦ）制御のための位相差検出用の画素（ＡＦ画素）を有している。
【００３１】
上記の光軸ＬＴ上において、撮影レンズの透過光である被写体光をファインダ部１０２へ向けて反射される位置には、本発明のペリクルミラー１００が光軸ＬＴに対して４５°に傾斜して配置されている。交換レンズ２を通過した被写体光の一部はペリクルミラー１００によって上方へ反射されるとともに、被写体光の残りはこのペリクルミラー１００を透過する。すなわち、ペリクルミラー１００が入射してきた被写体光を反射及び透過することにより分割して、その反射光をファインダ光学系（ファインダ部１０２）に、透過光を撮像素子１０１に導く。
【００３２】
ファインダ部１０２は、ペンタプリズム１０５、接眼レンズ１０６およびファインダ窓３１６を備えている。ペンタプリズム１０５は、断面５角形を呈し、その下面から入射された被写体像を内部での反射によって当該光像の天地左右を入れ替えて正立像にするためのプリズムである。接眼レンズ１０６は、ペンタプリズム１０５により正立像にされた被写体像をファインダ窓３１６の外側に導く。このような構成により、ファインダ部１０２は、本撮影前の撮影待機時において被写界を確認するための光学ファインダとして機能する。
【００３３】
あるいは、ペリクルミラー１００を透過した被写体光により撮像素子１０１で順次に生成される画像信号に基づき、動画的態様にて被写体をＬＣＤ３１１に表示させるライブビュー(プレビュー)表示が可能となる。
【００３４】
一方、ペリクルミラー１００を透過した被写体光を撮像素子１０１において受光するが、その撮像面に組み込まれたＡＦ画素からの出力信号を用いて位相差検出方式の自動合焦動作（撮像素子１０１による位相差ＡＦ動作）を実行することができる。すなわち、撮像素子１０１により位相差検出方式で焦点を検出し、交換レンズ２内のフォーカスレンズを光軸方向に移動させて焦点調整を行なうものである。
【００３５】
また、撮影時には、ペリクルミラー１００を透過した被写体光は撮像素子１０１上に届き、該撮影素子１０１が露光され、結像された被写体像に関するＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各色成分のアナログの電気信号（画像信号）を生成し、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色の画像信号として出力する。その後、出力された画像信号について所定の画像処理が行なわれ、最終的に画像データが得られる。
【００３６】
なお、ペリクルミラー１００において目標となる透過率値、反射率は、ファインダ部１０２への光量と撮像素子１０１への光量のバランスを考慮する必要があり、製品の構成により様々であるが、透過率値７０％、反射率値３０％程度のものが、好適であると考えられる。
【実施例】
【００３７】
以下、本発明のペリクルミラーについて試験した例を説明する。
（試験例１）
本試験例では、ペリクルミラーに４５°で可視光が入射した場合に、透過率７０％、反射率３０％の値を目標値とした。
図６（ｂ）に、基板を２５μｍ厚ＰＥＴフィルム（屈折率１．６）とし、基板両面にＺｎＯ（屈折率２．０）を膜厚９０ｎｍで設けた場合（図６（ａ））の光学特性のシミュレーション結果を示す。４５°入射において、波長４００〜７００ｎｍの範囲内で、透過率ばらつき６９．９〜７４．８％でその差（ばらつきの大きさ）が４．９％、反射率ばらつき１３．６〜２７．８％でその差（ばらつきの大きさ）が１４．２％と、従来例（図１）よりもフラットな可視光特性が予想された。
【００３８】
そこでＤＣスパッタリング法により、基板としては、帝人デュポンフィルム製２５μｍ厚ＰＥＴフィルムを使用し、基板両面にＺｎＯを膜厚９０ｎｍで実際に成膜した。図７に、そのサンプルを分光光度計により測定した結果を示す。４５°入射において、波長４００〜７００ｎｍの範囲内で、透過率ばらつき６１．７〜７１．４％でその差（ばらつきの大きさ）が９．７％、反射率ばらつき８．３〜３０．５％でその差（ばらつきの大きさ）が２２．２％とシミュレーション結果よりも大きい値となったが、透過率は従来例（図１）よりもフラットな可視光特性となった。
【００３９】
なお薄いフィルムへのスパッタ成膜はフィルムの熱負けを考慮する必要があり、なるべく小さい投入電力で成膜することが望ましい。また、両面成膜を行うことで、カールが大幅に低減できることを確かめることができた。
【００４０】
また、短波長吸収の影響による短波長での反射率低下が問題になる場合には、短波長吸収の少ない誘電体材料を選択すればよく、目標とする透過率、反射率値とプラスチックフィルムの屈折率を考慮して、高屈折率材料の屈折率値を選択すればよい。例えば、４５°入射で透過率を７０％、反射率を３０％の値を目標値とし、プラスチックフィルムとしてｎ=１．６のＰＥＴフィルムを選択した場合は、屈折率としてｎ＝２付近の高屈折率材料がよい。
【００４１】
（試験例２）
試験例１におけるＺｎＯに代えてＺｒＯ2をＰＥＴフィルム両面にそれぞれ７０ｎｍ成膜した場合（図８（ａ））のシミュレーションを行なった。図８（ｂ）に、その結果を示す。４５°入射において、波長４００〜７００ｎｍの範囲内で、透過率ばらつき６６．１〜７２．７％でその差（ばらつきの大きさ）が６．６％、透過率平均が６８．３％であった。また、反射率ばらつき２７．３〜３３．９％でその差（ばらつきの大きさ）が６．６％、反射率平均が３１．７％であった。可視光領域での透過率ばらつき、反射率ばらつきの両者を小さくすることができる。
【００４２】
（試験例３）
試験例２におけるＰＥＴフィルムに代えて、ＺＥＯＮＯＲフィルム（日本ゼオン（株）製ＣＯＰフィルム、屈折率１．５３）、ＴＡＣフィルム（屈折率１．４８）とした場合（図９（ａ），（ｂ））のシミュレーションを行なった。図９（ｃ）に、その結果を試験例２の結果と合わせて示す。図中、透過率、反射率曲線ともに、ＺＥＯＮＯＲフィルムのものを「ＺＥＯＮＯＲ」と、ＴＡＣフィルムのものを「ＴＡＣ」と、ＰＥＴフィルムのものを「ＰＥＴ」と記している。
４５°入射において、ＺＥＯＮＯＲフィルムの場合、透過率ばらつき６４．１〜７１．６％でその差（ばらつきの大きさ）が７．５％、透過率平均が６６．１％であった。また、反射率ばらつき２８．４〜３５．９％でその差（ばらつきの大きさ）が７．５％、反射率平均が３３．９％であった。つぎに、ＴＡＣフィルムの場合、透過率ばらつき６２．７〜７０．８％でその差（ばらつきの大きさ）が８．１％、透過率平均が６５．２％であった。また、反射率ばらつき２９．２〜３７．３％でその差（ばらつきの大きさ）が８．１％、反射率平均が３４．８％であった。
【００４３】
（試験例４）
基板の片面に単層膜を成膜した場合を検討した。ここでは、４５°入射で透過率を７０％、反射率を３０％の値を目標値とし、プラスチックフィルムとしてｎ＝１．６のＰＥＴフィルムを選択した場合は、屈折率としてｎ＝２．３付近の高屈折率材料からなる単層膜がよい。
【００４４】
Ｎｂ2Ｏ5からなる単層膜（屈折率２．３）をＰＥＴフィルム（屈折率１．６）の片面に６０ｎｍ成膜した場合（図１０（ａ））のシミュレーションを行なった。図１０（ｂ）に、その結果を示す。４５°入射において、波長４００〜７００ｎｍの範囲内で、透過率ばらつき６５．８〜７０．１％でその差（ばらつきの大きさ）が４．３％、反射率ばらつき２９．９〜３４．２％でその差（ばらつきの大きさ）が４．３％となり、可視光領域での透過率ばらつき、反射率ばらつきの両者を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】従来のペリクルミラーの透過率・反射率シミュレーション結果を示す図である。
【図２】本発明に係るペリクルミラーの構成を示す断面図である。
【図３】本発明に係る撮像装置の構成を示す正面図である。
【図４】本発明に係る撮像装置の構成を示す背面図である。
【図５】本発明に係る撮像装置の構成を示す縦断面図である。
【図６】試験例１の透過率・反射率シミュレーション結果を示す図である。
【図７】試験例１の試作サンプルの透過率・反射率の測定結果を示す図である。
【図８】試験例２の透過率・反射率シミュレーション結果を示す図である。
【図９】試験例３の透過率・反射率シミュレーション結果を示す図である。
【図１０】試験例４の透過率・反射率シミュレーション結果を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１・・・撮像装置、２・・・交換レンズ、１０・・・カメラボディ、１１・・・プラスチックフィルム、１２・・・単層膜、８５・・・表示切替スイッチ、１００・・・ペリクルミラー、１０１・・・撮像素子、１０２・・・ファインダ部、１０５・・・ペンタプリズム、１０６・・・接眼レンズ、３０１・・・マウント部、３０２・・・レンズ交換ボタン、３０３・・・グリップ部、３０５・・・モード設定ダイアル、３０６・・・制御値設定ダイアル、３０７・・・シャッターボタン、３１１・・・ＬＣＤ、３１２・・・設定ボタン群、３１４・・・方向選択キー、３１５・・・プッシュボタン、３１６・・・ファインダ窓、３１７・・・メインスイッチ、３１８・・・フラッシュ部、３１９・・・接続端子、３２１・・・アイカップ、３２３・・・露出補正ボタン、３２４・・・ＡＥロックボタン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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