(57)【要約】【課題】微細な凹凸の周期構造を成形するに際して、金型からの転写が良好で、製造容易な反射特性に優れた反射防止光学部材の提供と該反射防止光学部材を用いた光モジュールを提供する。【解決手段】成形金型を用いて、透光性基材の表面２０にサブ波長の周期の微細な凹凸構造を成形して反射防止面とされる光学部材で、前記の凹凸構造は、サブ波長の周期で密に設けられた多数の微細な錐台形状の凹部２１により形成される。錐台形状の凹部２１は、ピッチをP、底面の幅をＷ、深さをＨ、入射光波長をλとしたとき、「０.３５＜（Ｗ／Ｐ）＜０.７」および「０.２５＜（Ｈ／λ）＜０.４」とする。【選択図】図１
2009175481.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形金型を用いて、透光性基材の表面にサブ波長の周期の微細な凹凸構造を成形して反射防止面とされる光学部材であって、
前記凹凸構造は、サブ波長の周期で密に設けられた多数の微細な錐台形状の凹部により形成されていることを特徴とする反射防止光学部材。
【請求項２】
前記錐台形状の凹部のピッチをＰ、底面の幅をＷ、深さをＨ、入射光波長をλとしたとき、「０.３５＜（Ｗ／Ｐ）＜０.７」および「０.２５＜（Ｈ／λ）＜０.４」であることを特徴とする反射防止光学部材。
【請求項３】
前記錐台形状は、多角錐台形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の反射防止光学部材。
【請求項４】
前記多角錐台形状は、４角錐台形状であることを特徴とする請求項３に記載の反射防止光学部材。
【請求項５】
前記錐台形状は、円錐台形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の反射防止光学部材。
【請求項６】
前記請求項１〜５のいずれか１項に記載の反射防止光学部材を、光素子の光学系路に配したことを特徴とする光モジュール。
【請求項７】
前記反射防止光学部材の屈折率がｎ、入射光波長がλであるとき、錐台形状の凹部のピッチＰ≦λ／（１＋ｎ）とすることを特徴とする請求項６に記載の光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透光性基材の表面に、反射防止用の微細な凹凸構造が形成された反射防止部材および該反射防止部材を用いた光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の微細加工技術の進歩により、透光性基材からなる光学部材に対して、使用波長より微細なサブ波長の周期の凹凸構造（数百ナノメートル）の形成が可能となり、この微細な凹凸構造を用いて光学装置における表面反射を抑制できることが知られている。
例えば、特許文献１には、図９（Ａ）に模式的に示すように、反射型液晶装置の面光源に、錐形状の微細な連続パターンからなる反射防止用の凹凸面を形成した導光板が開示されている。
【０００３】
この装置は、反射型液晶手段１側に、フロントライトとして照明装置２が配置される。この照明装置２は、線状光源３、導光板４を備え、視認性を高めるために導光板４の裏面に微細な凹凸面からなる反射防止面５が形成されている。導光板４の一端側から入射された光は、導光板４の表面側に形成された反射面６で反射されて反射型液晶表示手段１に与えられる。次いで、反射型液晶表示手段１にて、光変調され、反射された光は、導光板４の裏面の反射防止面５により反射を防止され、且つ回析されずに導光板４内に入射され、透光面７を透過して視認される。
【０００４】
反射防止面５は、図９（Ｂ）に示すように、透光性基材の導光板４の表面に、微細な錐形状（４角錐）の突起８が連続的に形成され、突起８のパターンピッチＰと突起８の高さＤとしたときの比（Ｄ／Ｐ）をアスペクト比としている。このアスペクト比が、「１」より小さいと長波長側での反射率が上昇して反射による赤の干渉色が強くなり、「１」より大きいと反射率が小さくなるとともに反射による干渉色が無色になることが開示されている。
【０００５】
また、上記の微細な突起８による凹凸面を有する導光板４は、図９（Ｃ）に示すように、透光性の樹脂材９を上下の金型１０，１１により成形して形成される。下金型１１には、反射防止面５の突起８を連続成形するためのパターンが形成されている。この下金型１１側のパターンが正確に転写されない（突起８の山部と谷部の端部形状が鈍る）と、反射率が上昇するということも開示されている。
【０００６】
また、特許文献２には、図１０（Ａ），（Ｂ）に示すような液晶ディスプレイ等による各種表示部の窓材等に用いられる反射防止物品が開示されている。この反射防止物品は、基材１２の表面に微細な凹凸１３を設けて成り、微細な凹凸１３の最凸部１３ａにおける周期をＰ、使用される可視光の最小波長をλｍとしたとき、Ｐ≦λｍとしている。また、微細凹凸１３の最凸部１３ａから最凹部１３ｂにいくにしたがって、基材１２の水平面内での断面積が連続的に漸次増加していくように形成することが開示されている。
【０００７】
この他、特許文献３には、図１１に示すように、第１端子１５ａに発光素子１４の下面電極をボンディングして固定し、上面電極をワイヤボンディングで第２端子１５ｂに接続して搭載され、その外側を透明樹脂からなるレンズ１６で封止し、レンズ１６の所定領域の表面部分に反射防止用の微細構造１６ａを形成した発光ダイオードが開示されている。反射防止用の微細構造１６ａは、図９（Ｂ）で説明したのと同様な微細な錐形状の突起を連続的に形成した形状のものである。
【特許文献１】特開２００３−２７９７０５号公報
【特許文献２】特開２００３−２４０９０４号公報
【特許文献３】特開２００５−７９２４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述の図９〜図１１に示したように、光学部材の表面に錐形状の突起をサブ波長の微細構造で連続的に形成することにより、光学部材を透過する波長の光が反射するのを防止することが可能とされている。しかしながら、反射防止用の微細な錐形状の突起は、通常、ガラスや半導体基材からなる金型を用いて成形される。このための金型としては、図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）に示すように、金型基材１７の所定の領域部分１７ａに錐形状の凹部１８を、微細パターンのエッチング等により形成している。
【０００９】
そして、上述の金型を用いて、透明樹脂１９を充填して錐形状の微細な突起を、所定の周期で密に連続成形する場合、図１２（Ｃ）に示すように、金型基材に設けられた微細な錐形状の凹部１８の最深部に空気１８ａが残留して、空気の逃げを塞ぐ形となって樹脂１９が十分流れ込まずに、充填が不完全のままとなったりすることがある。このため、図９（引用文献１）でも開示されているように、金型からの転写率が悪くなり、所定の反射特性が得られないことがある。
【００１０】
本発明は、上述した実情に鑑みてなされたもので、微細な凹凸の周期構造を成形するに際して、金型からの転写が良好で、製造容易な反射特性に優れた反射防止光学部材の提供と該反射防止光学部材を用いた光モジュールの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明による反射防止光学部材は、成形金型を用いて、透光性基材の表面にサブ波長の周期の微細な凹凸構造を成形して反射防止面とされる光学部材で、前記の凹凸構造は、サブ波長の周期で密に設けられた多数の微細な錐台形状の凹部により形成されている。錐台形状の凹部は、ピッチをＰ、底面の幅をＷ、深さをＨ、入射光波長をλとしたとき、「０.３５＜（Ｗ／Ｐ）＜０.７」および「０.２５＜（Ｈ／λ）＜０.４」を満足していることが好ましい。
前記の錐台形状は、多角錐台形状で、好ましくは４角錐台形状で、この他、円錐台形状で形成されていてもよい。
【００１２】
また、上記の反射防止光学部材を、レーザ素子等の光素子を搭載した光モジュールの光学系路に用いることにより光の反射防止機能を備えたものとすることができる。なお、反射防止光学部材の屈折率がｎ、入射光波長がλであるとき、錐台形状の凹部のピッチＰ≦λ／（１＋ｎ）とすることで、回折光の発生を抑制するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、透光性樹脂等の基材表面にサブ波長の周期の微細な凹凸構造を成形するに際して、金型側の基準面に対して凸となる錐台形状の多数の凸部を形成することで、凹となる底部分は金型の基準面で互いに連通した状態となるため、樹脂の成形時に凹となる底部分に空気が残らないようにすることができる。この結果、金型の微細な凹凸構造を良好に転写させて、反射防止機能を向上させることができる。
【００１４】
また、凹となる底部分は錐の先端部分を切り取った錐台形状としているため、金型に鋭利な先端形状がなくなり、錐台形状の高低差も小さくすることができるので、取り扱いがよい。なお、金型面に微細な錐台形状の多数の凹部を形成するより、微細な錐台形状の多数の凸部を形成する方が、製造上は容易であり金型作製のコストを低減することができる。
また、この反射防止用の凹凸周期構造を光モジュールの光学系に用いることにより、光学特性を向上させ、光モジュールの製造コストを低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図により本発明の実施の形態を説明する。図１（Ａ）は本発明による金型成形により形成された透光基材の表面上の凹凸構造の一例を示す図、図１（Ｂ）は他の凹凸構造の例を示す図である。図中、２０は透光性基材の表面、２１は４角錐台形状の凹部、２１ａは上端、２１ｂは底部、２２は円錐台形状の凹部、を示す。
【００１６】
本発明の反射防止光学部材は、透光性の樹脂基材に、使用波長より小さいサブ波長の周期で多数の凹凸を連続的に密に形成した構造（以下、凹凸周期構造という）を設けて構成される。本発明においては、特に、この凹凸周期構造を、図１（Ａ）に示すように、透光性基材の表面２０から基材内に向けて錐台形状（例えば、微細な４角錐台形状）の凹部２１を、Ｘ方向とＹ方向に周期的に連続させて形成している。なお、この凹部２１のＸ方向の配列ピッチをＰｘ、Ｙ方向の配列ピッチをＰｙ、また、凹部２１の深さをＨとする。
【００１７】
Ｘ方向の配列ピッチＰｘとＹ方向の配列ピッチＰｙは、使用される波長領域の最小波長λｍｉｎより小さい距離となるようにされる。なお、配列ピッチＰｘと配列ピッチＰｙは、同じであってもよく、波長領域の最小波長λｍｉｎより小さければ異なっていてもよい。また、この凹部２１は、基材表面２０から内部に向けて次第に凹部断面が縮小される錐台形状で形成される。
【００１８】
具体的な錐台形状の凹部２１としては、図１（Ａ）に示すように４角錐台形状とすることにより容易に実現することができるが、この他、３角錐台形状、６角錐台形状（ハニカム形状）、５角錐台形状と６角錐台形状の混合等の各種の多角錐台形状で形成することができる。なお、これらの多角錐台形状は、基材表面２０の上端２１ａから底部２１ｂまで、正確な多角錐台形状を維持していなくてもよく、少なくとも基材表面２０側で形状が確保されていればよい。さらには、図１（Ｂ）に示すような円錐台形状としてもよい。
【００１９】
上記の凹部２１による周期構造は、図９（Ｂ）で示したような凸部の周期構造を反転させた形状（錐台形状）となる。両者の凹凸周期構造の形状に関して、凸部側の形状で比べると、図９（Ｂ）では凸部頂部が４角錐頂点の点状となるのに対し、本発明の図１（Ａ）では、凸部頂部に相当する部位は線状の稜線となる。しかし、両者とも連続形成するピッチ（Ｐｘ，ＰｙとＰ）を使用する波長領域の最小波長λｍｉｎより小さくすることにより、同様な反射防止機能を持たせることが可能となる。
【００２０】
図２は、本発明による反射防止部材を成形する金型と樹脂成形体の一例を説明する図である。図２（Ａ）は金型を示し、図２（Ｂ）は樹脂成形体を示す。図中、３０は金型、３０ａ，３０ｂはＶ溝、３１は４角錐台、３１ａは台形頂面、３１ｂは台形基部、３２は基準面を示し、その他の符号は、図１で用いたのと同じ符号を用いることにより説明を省略する。
【００２１】
上述した多数の錐台形状の凹部からなる凹凸周期構造は、図２（Ａ）に示すように、多数の４角錐台３１を金型３０の基準面３２から突出するように形成される。４角錐台３１は、４角錐の頂部分をきりとった状態の台形頂面３１ａと、基準面３２とほぼ同じ位置の台形基部３１ｂからなっている。この４角錐台３１は、マトリックス状に密接して配列され、隣接する４角錐台３１との間にＶ溝３０ａ，３０ｂがある形状となる。
【００２２】
樹脂成形体の基材表面２０は、図２（Ｂ）に示すように、上記の金型３０に設けたマトリックス状に配列された４角錐台３１が転写されて、図１で説明したように、４角錐台形状の凹部２１をマトリックス状に配した凹凸周期構造が得られる。なお、凹部２１の上端２１ａは、金型３０のＶ溝３０ａ，３０ｂとにより格子線状の稜線となるように成形され、その高さ位置が基材表面２０に一致する。また、凹部２１の底部２１ｂは、金型３０の台形頂面３１ａによって平坦に成形される。
【００２３】
本発明は、上記したように、成形された樹脂基材の反射防止用の微細な凹凸周期構造を、樹脂基材側が凹部となるようにしているので、これを成形する金型側は、凸部で形成することができる。これにより、凸部の基部は金型の基準面と同じ位置となるので、図１２（Ｃ）で説明したような、凹部の最深部に空気が残留して、空気の逃げを塞ぐのを回避することができる。この結果、金型側の微細な凹凸周期構造を精度よく樹脂基材側に転写させることができ、反射特性の良好な光学部材が得られる。
【００２４】
金型の表面に微細な凹部を形成するには、微細なパターンによってエッチングするなどの手間とコストがかかるが、金型の表面に微細な錐台形状の凸部を形成することは、最新の精密な機械加工技術によれば容易に行うことができる。例えば、図２（Ａ）のような微細な４角錐台３１を連続的にマトリクス状に密に形成する場合、金型の表面をＸ方向に研削して微小なＶ溝３０ａを複数形成した後、これと直交するＹ方向に同様な微小なＶ溝３０ｂを複数形成することによって、容易に微細な４角錐を所定のピッチで密に形成することができる。この後、必要に応じて４角錐の頂部分をＺ方向に研削する。すなわち、凹凸周期構造を成形するための金型としては、壁面に凹部を形成するよりは、凸部を形成する方が容易であり、また、精度も高いものとすることができ、特にサブ波長の微細な凹凸周期構造に対しては、精度のよい金型を安価に形成することが可能となる。
【００２５】
図３および図４は、錐台形状の凹凸周期構造による反射率を等高線で表した図である。図３（Ａ）および図４（Ａ）に示すように、例えば、錐台形状の凹部の周期（ピッチ）をＰ，深さをＨ、底部の幅をＷ、入射される光波長のλを設計パラメータとし、（Ｗ／Ｐ）および（Ｈ／λ）を代表パラメータとする。図３（Ｂ）および図４（Ｂ）は、横軸に（Ｗ／Ｐ）をとり、縦軸に（Ｈ／λ）をとったときの、入射角θｘ＝θｙ＝０の場合の反射率を等高線０.１％〜２.０％で示している。
【００２６】
図３は、金型から樹脂成形への転写率が１００％（理想状態）で行われた場合を想定したもので、反射率が最も小さくなる領域が２箇所あることを示している。１つはＥ点で示す（Ｗ／Ｐ，Ｈ／λ）＝（０.４，０.７）付近と、もう１つは、Ｆ点で示す（Ｗ／Ｐ，Ｈ／λ）＝（０.５５，０.３２）付近である。本発明の課題である金型からの転写が良好で、製造容易を考慮すると、錐台形の深さＨが浅く、底面の幅Ｗが大きいＦの方が最適と言える。したがって、このＦ点を中心とした網掛け部分、「０.３５＜（Ｗ／Ｐ）＜０.７」および「０.２５＜（Ｈ／λ）＜０.４」の範囲となるように、各パラメータを設定するのが望ましい。
【００２７】
なお、上記の凹部を錐形状（先端部分をきりとらない形状）とした場合は、図３の等高線から推定（Ｗ／Ｐ＝０と同等）すると、本発明の錐台形とした場合と同程度の反射率とするには、「（Ｈ／λ）≧０.６」とする必要がある。本発明では、上記のように「０.２５＜（Ｈ／λ）＜０.４」であるので、錐形状より深さＨを低く形成することができ、この観点からも製造性が向上されるといえる。
【００２８】
上記の図３（Ｂ）では、樹脂成形の転写率が１００％で行われることを前提としたものであるが、実際上は難しいことから、転写率が８０％程度で成形された状態での検証を行った。なお、転写率とは、図４（Ａ）のように、点線で示す部分（成形樹脂の上部の稜線部分）の形状が欠落または鈍った状態を除いた、全体に対する割合を言う。
図４（Ｂ）は、金型から樹脂成形への転写率が８０％で行われた場合のもので、反射率が最も小さくなる領域は、図３（Ｂ）の場合と同様にＥ’点とＦ’点の２箇所にある。
【００２９】
この場合も、錐台形の深さＨが浅く、底面の幅Ｗが大きいＦ’の方が最適とすることができる。このＦ’点を中心とした網掛け部分は、図の網掛け部分の領域とほぼ一致している。したがって、上記の転写率１００％の場合の最適範囲である「０.３５＜（Ｗ／Ｐ）＜０.７」および「０.２５＜（Ｈ／λ）＜０.４」は、転写率が８０％で行われた場合においても適用することができる。
【００３０】
図５は、図１（Ａ）の微細な４角錐台形状の凹凸周期構造による反射特性と、ＡＲコートによる反射特性を比較して示した図である。
図５（Ａ）は、反射率の波長依存性を示す図で、横軸に入射光波長、縦軸に反射率（％）をとり、光の入射角（図１のθｘ、θｙ）を０度としたときの特性を示し、光通信システムで用いられる波長１.３１μｍが最適値となるようにしたときの、波長依存性を示す反射特性である。太線は上述した本発明による凹凸周期構造による反射特性で、細線がＡＲコートによる反射特性である。
【００３１】
また、図５（Ｂ）は、反射率の入射角依存性を示す図で、横軸に光入射角（図１のθｘ，θｙ）、縦軸に反射率（％）をとり、図１のＰｘ＝Ｐｙ＝０.４λとし、光波長１.３１μｍとしたときの特性を示したものである。そして、図５（Ａ）と同様に、太線が上述した本発明による凹凸周期構造による反射特性で、細線がＡＲコートによる反射特性である。また、実線はｚ方向に電界成分をもたないＴＥモードによる反射率を示し、点線はｚ方向に磁界成分をもたないＴＭモードによる反射率を示している。この図５（Ｂ）によれば、本発明においては、ＴＥモードとＴＭモードとも大きな差はなく、光の入射角が３５度以下であれば、反射率を０.２％以下に抑えることができる。
【００３２】
図５（Ａ）および図５（Ｂ）の反射特性に示すように、本発明による凹凸周期構造は、波長依存性並びに入射角依存性とも、ＡＲコート（Anti-Reflection Coat）と同等以上の良好な反射特性を有している。このため、本発明による凹凸周期構造を用いることにより、ＡＲコーティングを不要とし、低コスト化を可能とする。
【００３３】
また、微細な凹凸周期構造の周期が長くなると、透過光、反射光以外に、回折光が発生し、光学特性を低下させる一因となる。そこで、微細な凹凸周期構造が形成される樹脂の屈折率をｎとすると、凹凸周期構造のピッチＰ（図１の凹部のピッチＰｘ，Ｐｙ）が、「λ／（１＋ｎ）」以下となるようにして、回折光の発生を抑制することが望ましい。
【００３４】
図６は、上記の錐台形状の凹部からなる微細な凹凸周期構造を、金型を用いて光モジュール部品に成形し、反射面とする例を示す図である。図中、２３は光素子、２４は回路基板、３３，３３ａ，３３ｂは上金型、３４は錐台形状の凸部、３５は内壁面、３６は減圧用ダクト、３７は下金型、３８ａ，３８ｂは成形空間を示す。
【００３５】
光モジュール部品は、例えば、回路基板２４上に発光素子または受光素子などの光素子２３が搭載され、これを透光性の樹脂基材で封止するとともに、その樹脂表面の光学系路に微細な凹凸周期構造による反射防止面が形成されるものとする。透光性の樹脂基材を成形する金型は、例えば、図６（Ａ）に示すように、上金型３３と下金型３７とからなり回路基板２４を上下から挟むことにより、上下金型３３，３７との間に、樹脂が充填される成形空間３８ａ，３８ｂが形成される。また、上下金型３３，３７のいずれかの部分に、成形樹脂の注入口（図示せず）と減圧用ダクト３６が設けられる。
【００３６】
上金型３３の内壁面３５には、光学部材の光学的な系路となる部分に、反射防止用の微細な凹凸周期構造を成形するための錐台形状の凸部３４が所定のピッチと高さで連続的に密に形成される。この凸部３４は、上金型３３の内壁面３５に対して凸となるように形成され、例えば、図２（Ａ）で示したような、微細な４角錐台形状の突起を周期的に並べた形状で形成することができる。そして、上下金型３３，３７の成形空間３８ａ，３８ｂを減圧して透光性の樹脂を充填すると、上記の微細な４角錐台形状の凸部３４を成形樹脂に転写したときに、上述した図１（Ａ）に示すような微細な４角錐台形状の凹部からなる凹凸周期構造が樹脂基材の上面に形成される。なお、樹脂の成形後、上金型３３は矢印で示すように上方向から取り外される。
【００３７】
図６（Ｂ）は、他の成形例を示し、光学部材の光素子２３の光学的な系路が、側面方向にある場合の例である。この場合、例えば、上金型は、上方向から取り外す上金型３３ａと、横方向から取り外す上金型３３ｂの２つの金型を組合わせて構成される。上金型３３ｂには、図６（Ａ）の場合と同様に、凸部３４がその内壁面３５に対して凸となるように、微細な４角錐台形状の突起を連続的に並べた形状で形成される。これにより、成形された透光性の樹脂基材の側面に、微細な４角錐台形状の凹部からなる凹凸周期構造が形成される。樹脂の成形後、上金型３３ａは矢印で示すように上方向から取り外され、上金型３３ｂは矢印で示す横方向から取り外される。
【００３８】
図７は、光通信に用いられる光モジュールに、上述した反射防止用の微細な凹凸周期構造を適用する例を示す図である。図中、２５は光デバイス、２５ａはステム、２５ｂはリードピン、２５ｃはキャップ、２５ｄは透光窓部、２７はスリーブ、２７ａは集光レンズ、２７ｂは嵌合部、２７ｃはフェルール挿入部、２８はファイバフェルールを示す。その他の符号は、図１で用いたのと同じ符号を用いることにより説明を省略する。
【００３９】
光モジュールは、図７に示すように、例えば、光デバイス２５に光ファイバとの接続を形成するスリーブ２７を取付けて構成される。光デバイス２５は、同軸型のＣＡＮ型パッケージで形成され、外部回路への接続用のリードピン２５ｂを設けたステム２５ａに、半導体発光素子あるいは半導体受光素子等の光素子２３を搭載し、これに、透光窓部２５ｄを有するキャップ２５ｃで覆って形成される。
【００４０】
スリーブ２７は、例えば、光デバイス２５と結合する嵌合部２７ｂと、光ファイバとの接続を形成するフェルール挿入部２７ｃと、光デバイス２５内の光素子２３とファイバフェルール２８との光結合を形成する集光レンズ２７ａを、透光性の樹脂で一体に成形して形成されるとする。光素子２３とファイバフェルール２８の先端との間で、信号光の光伝送が形成されるが、集光レンズ２７ａの表面で信号光の反射が生じないように、レンズ表面に反射防止構造が形成される。
【００４１】
集光レンズ２７ａの反射防止構造に、上述した微細な凹凸周期構造を用いることにより、信号光の反射を効率よく低減し、また、光モジュールを安価に製造することが可能となる。反射防止用の凹凸周期構造は、集光レンズ２７ａの所定の領域のレンズ表面からレンズ内に向けて、図１で説明した、例えば、微細な４角錐台形状の凹部２１を周期的に連続形成してなる。また、この凹部２１の配列ピッチや深さは、図１（Ａ）で説明したのと同様に、光素子２３で信号光として用いられる波長より、小さいピッチで形成し、その深さを所定の値で形成することにより、反射防止機能をもたせることができる。
【００４２】
図８は、図７に示すスリーブ２７を、金型を用いて成形する例を示す図である。図中、３９は上金型、３９ａは基部成形部、３９ｂは円筒成形部、３９ｃはレンズ成形部、３９ｄは樹脂充填口、３９ｅは減圧用ダクト、４０は錐台形状の凸部、４１は下金型、４１ａは円筒成形部、４２ａ〜４２ｄは成形空間を示す。
【００４３】
スリーブを成形する金型は、図６で説明したのと同様に、上金型３９と下金型４１からなる。上金型３９は、スリーブの円柱状の基部を成形する基部成形部３９ａ、光デバイスの嵌合部２７ｂを成形する円筒成形部３９ｂ、集光レンズ２７ａを成形するレンズ成形部３９ｃ、透光性の樹脂基材を充填する樹脂充填口３９ｄ、金型内を真空引きして減圧するための減圧ダクト３９ｅを有している。また、下金型４１は、フェルール挿入部２７ｃを成形する円筒成形部４１ａを有している。
【００４４】
上金型３９のレンズ成形部３９ｃの所定領域の表面には、反射防止用の微細な凹凸周期構造を成形するための微細な錐台形状の凸部４０が、所定のピッチと高さで形成される。この凸部４０は、上金型３９の凹状の内壁球面に対して凸となるように形成され、例えば、図２（Ａ）で示したような、微細な４角錐台形状の突起を球状の内壁面に周期的に並べたもので形成することができる。なお、この微細な錐台形状の凸部４０は、レンズ成形部３９ｃの凹状球面に沿って形成されるため、領域の周縁側では、成形後の型抜きの際に、成形された凹部２１の形状が変形を受けないように、凸部側面の角度を考慮する必要がある。
【００４５】
上記のように構成された金型は、上金型３９と下金型４１とを閉じることにより、スリーブ２７に対応した形状の成形空間４２ａ〜４２ｄが形成される。金型内の空気を真空引きすることにより減圧して、上記の成形空間内に透光性の樹脂基材を樹脂充填口３９ｄから充填する。上記の微細な錐台形状の凸部４０は、成形樹脂に転写されて、図７に示すように集光レンズ２７ａの所定領域に微細な錐台形状の凹部２１を成形することができる。これにより、集光レンズ２７ａの成形と同時に、レンズ表面に、反射防止用の凹凸周期構造を形成することができ、安価な方法で反射防止機能をもたせることができる。なお、図７における傾斜面２７ｄや、図８における下金型の円筒部底面４１ｂのように光軸と交わる面に本発明の凹凸周期構造による反射防止機能を備えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明による反射防止光学部材の概略を説明する図である。
【図２】本発明による反射防止部材を成形する金型と樹脂成形体の一例を説明する図である。
【図３】本発明の凹凸周期構造（転写率１００％）による反射率を等高線で表した図である。
【図４】本発明の凹凸周期構造（転写率８０％）による反射率を等高線で表した図である。
【図５】本発明の凹凸周期構造による反射特性と、ＡＲコートによる反射特性を比較して示した図である。
【図６】本発明による反射防止光学部材を成形する金型の構成例を示す図である。
【図７】光本発明による反射防止光学部材を光モジュールに適用した構成例を示す図である。
【図８】図７における反射防止光学部材の成形例を示す図である。
【図９】従来技術を説明する図である。
【図１０】他の従来技術を説明する図である。
【図１１】その他の従来技術を説明する図である。
【図１２】従来技術の問題点を説明する図である。
【符号の説明】
【００４７】
２０…透光性基材の表面、２１…４角錐台形状の凹部、２１ａ…上部、２１ｂ…底部、２２…円錐台形状の凹部、２３…光素子、２４…回路基板、２５…光デバイス、２５ａ…ステム、２５ｂ…リードピン、２５ｃ…キャップ、２５ｄ…透光窓部、２７…スリーブ、２７ａ…集光レンズ、２７ｂ…嵌合部、２７ｃ…フェルール挿入部、２７ｄ…傾斜面、２８…ファイバフェルール、３０…金型、３０ａ，３０ｂ…Ｖ溝、３１…４角錐台、３１ａ…台形頂面、３１ｂ…台形基部、３２…基準面、３３、３３ａ，３３ｂ…上金型、３４…錐台形状の凸部、３５…内壁面、３６…減圧用ダクト、３７…下金型、３８ａ，３８ｂ…成形空間、３９…上金型、３９ａ…基部成形部、３９ｂ…円筒成形部、３９ｃ…レンズ成形部、３９ｄ…樹脂充填口、３９ｅ…減圧用ダクト、４０…錐台形状の凸部、４１…下金型、４１ａ…円筒成形部、４１ｂ…円筒部底面、４２ａ〜４２ｄ…成形空間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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