(57)【要約】【課題】液晶基板検査装置において、搬送機構によるパーティクルの発生を低減する。【解決手段】液晶基板検査装置において液晶基板を搬送する基板搬送機構であって、液晶基板を載置するパレットと、このパレットの下部と接触し移動自在に支持するパレット搬送用ローラーとを備える。基板搬送機構は、搬送機構においてパレット下部とローラーとの接触時に発生する衝撃を緩和あるいは衝撃に耐え得る構成とすることによって、搬送機構によるパーティクルの発生を低減する。少なくともパレット搬送用ローラーと接触するパレットの接触部分を硬化処理すると共に、パレット搬送用ローラーを衝撃緩衝用部材を介してベース部に支持させる構成とする。パレットとパレット搬送用ローラーとが接触した際に、パレットが破損することを防ぐと共に、パレットおよびパレット搬送用ローラーに加わる衝撃を低減して、パーティクルの発生を低減する。【選択図】図１
2009139666.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶基板検査装置において液晶基板を搬送する基板搬送機構であって、
液晶基板を載置するパレットと、
前記パレットの下部と接触し移動自在に支持するパレット搬送用ローラーとを備え、
前記パレットは、少なくとも前記パレット搬送用ローラーと接触する接触部分には硬化処理が施されることを特徴とする、基板搬送機構。
【請求項２】
液晶基板検査装置において液晶基板を搬送する基板搬送機構であって、
液晶基板を載置するパレットと、
前記パレットの下部と接触し移動自在に支持するパレット搬送用ローラーとを備え、
前記パレット搬送用ローラーは、衝撃緩衝用部材を介してベース部に支持されることを特徴とする、基板搬送機構。
【請求項３】
液晶基板検査装置において液晶基板を搬送する基板搬送機構であって、
液晶基板を載置するパレットと、
前記パレットの下部と接触し移動自在に支持するパレット搬送用ローラーとを備え、
前記パレットは、少なくとも前記パレット搬送用ローラーと接触する接触部分には硬化処理が施され、
前記パレット搬送用ローラーは、衝撃緩衝用部材を介してベース部に支持されることを特徴とする、基板搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶用ガラス基板等の基板検査装置に関し、特に、基板を搬送する搬送機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板は、例えばガラス基板上に液晶の画素を駆動する複数の回路がマトリックス状に配列された電気回路が形成され、その周囲に電気的接点となる電極パットが多数形成されている。この液晶基板に形成された電気回路の良否を判定する電気的検査は、液晶基板の電極パットと電気的に接触するプローブピンを有したプローバによって行っている。
【０００３】
液晶基板等の基板欠陥の要因として、基板表面に付着するパーティクルが挙げられる。基板検査装置において、プローバの接触素子の側面とベース基板の開口部の縁部との摩擦によって発生するパーティクルを防止することを目的として、接触素子の側面にコーティング等によって滑性材を付加したり、接触素子の先端部を焼き入れしたり硬化処理を施すことによって耐摩耗性を向上させる構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、液晶基板の搬送機構として、基板を載置したパレットをローラーで支持することによって搬送する搬送機構が提案されている（特許文献２，３参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−５６６３号公報
【特許文献２】特開２００７−６７３７５号公報
【特許文献３】特開２００４−９９２５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本出願の発明者は、液晶基板検査装置において、基板表面に付着するパーティクルが発生する箇所として、液晶基板を搬送する搬送機構があることを見出した。
【０００７】
特に、パレット下部をローラーによって回転支持することによって基板を搬送する搬送機構では、パレット下部とローラーとの機械的接触によってパレットあるいはローラーが破損し、この破損によってパーティクルが飛散することを見出した。
【０００８】
液晶基板検査装置において、パーティクルの発生箇所として搬送機構があること、さらに、パーティクルの発生要因として、パレット下部とローラーとの機械的接触によってパレットあるいはローラーが破損することについては、本出願の発明者が認識する限りにおいては知られていない。
【０００９】
この搬送機構において、パーティクルの発生を抑制する一方法として、搬送速度を低下させることによって、パレット下部とローラーとの接触時の衝撃を低減させることが考えられる。しかしながら、液晶基板検査装置において、液晶基板の搬送速度を低下させることは、基板検査のタクト時間が長時間化するという問題がある。また、液晶基板の搬送速度を上げると、パレット下部とローラーとが接触する際の衝撃が大きくなり、パーティクルの発生率が上がることになる。
【００１０】
そこで、本発明は前記した前記問題点を解決し、液晶基板検査装置において、搬送機構によるパーティクルの発生を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の基板搬送機構は、搬送機構においてパレット下部とローラーとの接触時に発生する衝撃を緩和あるいは衝撃に耐え得る構成とすることによって、搬送機構によるパーティクルの発生を低減する。
【００１２】
本発明の基板搬送機構は、液晶基板検査装置において液晶基板を搬送する基板搬送機構であって、液晶基板を載置するパレットと、このパレットの下部と接触し移動自在に支持するパレット搬送用ローラーとを備える。
【００１３】
本発明の第１の形態は、パレットにおいて、少なくともパレット搬送用ローラーと接触する接触部分に硬化処理を施す構成とする。これによって、パレットとパレット搬送用ローラーとが接触した際にパレットが破損することを防いで、パーティクルの発生を低減する。
【００１４】
また、本発明の第２の形態は、パレット搬送用ローラーをダンパ等の衝撃緩衝用部材を介してベース部に支持させる構成とする。これによって、パレットとパレット搬送用ローラーとが接触した際に、パレットおよびパレット搬送用ローラーに加わる衝撃を低減して、パーティクルの発生を低減する。
【００１５】
また、本発明の第３の形態は、少なくともパレット搬送用ローラーと接触するパレットの接触部分を硬化処理すると共に、パレット搬送用ローラーをダンパ等の衝撃緩衝用部材を介してベース部に支持させる構成とする。これによって、パレットとパレット搬送用ローラーとが接触した際に、パレットが破損することを防ぐと共に、パレットおよびパレット搬送用ローラーに加わる衝撃を低減して、パーティクルの発生を低減する。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明の液晶基板検査装置によれば、搬送機構によるパーティクルの発生を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００１８】
図１は本発明の液晶基板検査装置を説明するための概略ブロック図である。
【００１９】
図１において、液晶基板検査装置１は液晶基板１００を検査する検査チャンバ２およびロードロックチャンバ６を備える。検査チャンバ２およびロードロックチャンバ６は、内部に基板１００を支持するステージ４、およびこのステージ４に対して基板１００を搬出入する基板搬送機構１０を備える。
【００２０】
検査チャンバ２とロードロックチャンバ６とはゲートバルブ３を介して接続され、このゲートバルブ３を閉じることによって両チャンバを独立して真空状態とすることができ、また、ゲートバルブ３を開くことによって両チャンバ間で基板１００を導出入することができる。
【００２１】
検査チャンバ２およびロードロックチャンバ６内の基板１００の搬送、および両チャンバ間での基板１００の搬送は、パレット２０に載置した状態で基板搬送機構１０によって行うことができる。ロードロックチャンバ６からゲートバルブ３を通して検査チャンバ２内に導入された基板１００は、基板搬送機構１０によってステージ４の位置に搬送された後、ステージ４上に載置される。
【００２２】
基板１００は、ステージ４上で検査された後に基板搬送機構１０によって搬出され、ゲートバルブ３を通してロードロックチャンバ６に搬送される。
【００２３】
液晶基板検査装置１は、液晶基板１００を検査する機構としてプローバ５を備えることができ、ステージ４上に載置された基板１００と接触させることによって基板１００に検査信号を供給し検査を行う。
【００２４】
なお、液晶基板検査１による検査は、上記したプローバ５を用いた検査に限らず、光学像を取得する光学顕微鏡等など他の検査手段を用いることもできる。
【００２５】
基板搬送機構１０は、検査チャンバ２内およびロードロックチャンバ６内においてステージ４と並置して設けられ、検査チャンバ２あるいはロードロックチャンバ６内に導入された基板１００をステージ４上に搬送する他、ステージ４上から基板１００を搬出する。
【００２６】
図２は、基板搬送機構１０の概略構成を説明するための斜視図である。図２において、基板搬送機構１０は基板１００を載置して支持するパレット２０と、このパレット２０を搬送する搬送部３０とを備える。
【００２７】
パレット２０は、基板１００とほぼ同程度の大きさを備え、基板１００を載置する基板マウント部２２と、この基板マウント部２２を保持するリブ２１とを備える。リブ２１は、パレット２０の両側部の位置に、搬送方向に沿って形成され、搬送部３０によって移動自在に支持される。
【００２８】
搬送部３０は、ステージ４の両側部の外側の位置に、パレット２０の搬送方向に沿って配置されるローラー支持部材３２と、このローラー支持部材３２に回転自在に軸支された複数個の搬送用ローラー３１とを備える。複数個の搬送用ローラー３１は、ローラー支持部材３２の長さ方向に沿って一定ピッチで配置され、パレット２０のリブ２１のリブ下部２２と接触することによって、パレット２０を移動自在に支持する。
【００２９】
図３は、基板搬送機構１０の概略構成を説明するための一部断面図であり、パレット２０のリブ２１のリブ下部２２は搬送部３０の搬送用ローラー３１上に支持され、搬送用ローラー３１が回転支持することで搬送自在としている。
【００３０】
リブ２１は、少なくともリブ下部２２に硬化処理を施す。硬化処理は、例えば、焼き入れや、硬化膜の生成あるいは硬化膜の塗布等によって行うことができる。少なくとも、リブ２１が搬送用ローラー３１と接触する部分を硬化させることによって、リブ下部２２が搬送用ローラー３１と接触した際に、リブ２１が破損してパーティクルが飛散することを防ぐことができる。また、搬送用ローラー３１にも、リブ下部２２と同様に硬化処理を施してもよい。
【００３１】
図４、図５は、基板搬送機構１０の搬送部３０の概略構成を説明するための概略断面図、および概略斜視図である。
【００３２】
搬送部３０は、搬送用ローラー３１をダンパ３５等の衝撃緩衝材を介して支持する構成を備える。この衝撃緩衝材を設けることによって、リブ２１と搬送用ローラー３１とが接触した際の衝撃を緩和し、リブあるいは搬送用ローラーが破損してパーティクルが発生することを防ぐものである。
【００３３】
搬送用ローラー３１には支持軸３３が取り付けられ、軸受け３４によって回転自在に軸支される。軸受け３４は、ダンパ３５等の衝撃緩衝材によって付勢された状態でローラー支持材３２に取り付けられる。
【００３４】
ダンパ３５は、一方の端部は軸受け３４に当接させ、他方の端部はローラー支持材３２のベース部３２ａによって支持する。ダンパ３５は、常時、軸受け３４を上方に付勢し、パレット２０のリブ２１が搬送用ローラー３１と接触した際には圧縮されて下方に移動し、その接触で発生した衝撃力を吸収する。リブ２１が搬送用ローラー３１から離れた場合には、ダンパ３５は復元して、軸受け３４と共に搬送用ローラー３１を所定の初期位置に戻す。
【００３５】
図５に示す構成では、搬送用ローラー３１の初期位置は、ローラー支持材３２に形成した軸受け３４の収納位置の上端で定めることができる。図５において、図中の左方に示す搬送用ローラー３２は、パレット２０のリブ２１が接触していない状態を示している。この場合には、搬送用ローラー３２は、ダンパ３５によって上方位置に付勢されている。
【００３６】
一方、図中の右方に示す搬送用ローラー３２は、パレット２０のリブ２１が接触している状態を示しいている。この場合には、搬送用ローラー３２はリブ２１によって押され、ダンパ３５を圧縮して下方位置に下降する。このダンパ３５の圧縮によって、リブ２１のリブ下部２２と搬送用ローラー３２との接触による衝撃は緩和される。
【００３７】
また、図示していないが、搬送機構３０には、搬送機構３０に支持しているパレット２０をステージ４上に移動して載置する機構、および、ステージ４上に載置されたパレット２０を搬送機構２０の搬送用ローラー３２上に移動して載置する機構を備え、これによって、搬送機構２０とステージ４との間のパレット２０の移動を行うことができる。
【００３８】
なお、本実施例においては、基板搬送機構を有するロードロックチャンバを併設し、検査チャンバとロードロックチャンバの間で基板を搬送する基板搬送機構を有する構成について説明したが、この構成例に限らず様々な形態において本発明の基板搬送機構を適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明の基板搬送機構は、液晶のガラス基板の搬送に限らず、半導体ウエハの基板の搬送にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の基板搬送機構を説明するための図である。
【図２】本発明の基板搬送機構が備えるパレットおよび搬送用ローラーの一部断面図である。
【図３】本発明の液晶基板検査装置が備えるパレット搬送用ローラーの断面図である。
【図４】本発明の基板搬送機構の搬送部の概略構成を説明するための概略断面図である。
【図５】本発明の基板搬送機構の搬送部の概略構成を説明するための概略斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
１…基板検査装置、２…検査チャンバ、３ａ，３ｂ…ゲートバルブ、４…ステージ、５…プローバ、１０…基板搬送機構、２０…パレット、２１…リブ、２２…リブ下部、３０…搬送部、３１…搬送用ローラー、３２…ローラー支持材、３２ａ…ベース部、３３…支持軸、３４…軸受け、３５…ダンパ、１００…基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図４】
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