(57)【要約】      （修正有）【課題】上昇した温度及び／又は圧力を伴う環境で作動流体をモニターするためのフローセルの提供。【解決手段】本体開口部は、本体開口部に保持された壁面に配置された対向する入口及び出口流れスリットを設けている。本体開口部は、一対の離間したシムにより分離された上方及び下方透明プレートを収容するように形成されている。離間したシムは、入口及び出口流れスリットに整合する流れ通路を両プレートの間に画成する。リテーナは、プレートとシムを定位置に保持するように適切な留め具によって取り付けられて、流れ通路を通る作動流体の流れを外部環境から密封する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体中の粒子をモニターするフローセルであって、
壁面を形成する貫通した本体開口部を有する本体；
前記壁面の両側に配置された一対のスリットであって、前記スリットの一方が流体の入口流れを受け、他方のスリットが流体の出口流れを受ける、一対のスリット；
前記開口部内に配置された一対の離間した透明プレートであって、前記両プレートの間の空間が、層状で流体を通過させる前記スリットの各々と実質的に整合する流れ通路を画成している、一対の透明プレート；及び
本体に取り付けられて前記プレートを定位置に保持し、リテーナ開口部を有するリテーナであって、前記本体開口部、前記流れ通路及び前記リテーナ開口部が光を通過できるように実質的に整合している、リテーナ；
を包含するフローセル。
【請求項２】
前記プレートがガラスで形成され、前記本体がステンレス鋼で形成され、前記リテーナがステンレス鋼で形成される、請求項１記載のフローセル。
【請求項３】
前記流れ通路が、摂氏−４０度から摂氏１２０度の範囲の温度に耐え、また約２７５８ｋＰａ（４００ｐｓｉ）までの圧力に耐えるように形成さている、請求項１記載のフローセル。
【請求項４】
前記両プレートの間に配置された一対の離間シムをさらに包含しており、前記シムの各々が前記スリットの各々の垂直縁部と整合する縁部を含む、請求項１記載のフローセル。
【請求項５】
前記プレートの一方が前記スリットの上方水平縁部と整合し、前記プレートの他方が前記スリットの下方水平縁部と整合する、請求項４記載のフローセル。
【請求項６】
前記リテーナが、少なくとも１つのステンレス鋼製留め具により前記本体に取り付けられている、請求項１記載のフローセル。
【請求項７】
前記本体の両端部に配置された一対の孔をさらに包含しており、前記孔の各々が前記スリットの１つに連結されていて、前記入口スリットと組み合わされた前記孔が、前記流れ通路への流体の流れを可能にし、前記出口スリットと組み合わされた前記孔が、前記流れ通路からの流体の流れを可能にする、請求項１記載のフローセル。
【請求項８】
前記本体内に配置され各前記スリットと流体的に連通する遷移流れ領域をさらに包含しており、前記遷移流れ領域が、丸みを付けた壁及び前記壁面により画成される、請求項１記載のフローセル。
【請求項９】
前記本体内に配置され各前記遷移流れ領域に流体的に連通するノズル遷移部をさらに包含しており、前記ノズル遷移部が略円錐形である、請求項８記載のフローセル。
【請求項１０】
前記本体内に配置され各前記ノズル遷移部に流体的に連通するノズル端部をさらに包含しており、前記ノズル端部が略円筒状である、請求項９記載のフローセル。
【請求項１１】
前記壁面が下方縁部に対向して上方縁部を保持していて、前記透明プレートを支持する支持棚が、前記本体開口部に向かって前記下方縁部から延びている、請求項１記載のフローセル。
【請求項１２】
前記支持棚がその周辺のまわりに配置された内方溝を含み、前記内方溝が第１のＯリングを保持し、前記プレートの一方が、前記内方溝に配置された前記第１のＯリングに隣接して位置され、第２のＯリングが前記リテーナと外方の前記プレートとの間に配置される、請求項１１記載のフローセル。
【請求項１３】
前記壁面の前記上方縁部の周辺のまわりに配置された外方溝をさらに包含しており、前記外方溝が、前記リテーナに隣接する第３のＯリングを支持する、請求項１２記載のフローセル。
【請求項１４】
前記リテーナが内方及び外方の圧縮段部を含み、前記内方の段部が前記第２のＯリングに接するように形成され、前記外方の段部が前記第３のＯリングに接するように形成され、前記リテーナが、前記本体の前記下方縁部に向かって前記内方の段部から延びる側方段部をさらに含み、前記側方段部が第２のＯリングに接するように形成されている、請求項１３記載のフローセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、流体を分析するための光学フローセルに関する。より詳細には、本発明は、流体を分析するためのオンライン光学フローセルに関する。特に、本発明は、流れ通路を通る流体の層流を提供し且つ作動中に環境の上昇した圧力及び／又は温度に耐えることができるオンライン光学フローセルに関する。
【背景技術】
【０００２】
潤滑流体、液圧流体及び液体燃料に限定されずに、これらを含む作動流体は、特定の作業を行なうために様々な機械的組立体で使用される。例えば、潤滑流体は、部品の冷却と潤滑を提供するために、機械的組立体内で使用される。液圧流体は、原動力を発生するためにピストンを駆動するようにポンプによって加圧される。そして、液体燃料は、様々なタイプの燃料駆動エンジンに位置エネルギーの源を提供する。これらの流体は、流体が接触しあるいは相互に作用する機械的組立体、様々な供給管路、バルブ、リザーバ、ポンプ及びエンジン並び他の機械的組立体において一般に使用されている。この相互作用の結果、機械内の可動部品により生成される摩耗粒子や外部からの汚染粒子が、流体の中に存在する。機械自体によるこれらの粒子は、オイルフィルタによって除去されるので、機械にとって問題ではない。しかしながら、粒子は、機械内で進行する摩耗のタイプを指摘するものである。生成される摩耗粒子のタイプ及びそれらのサイズ、濃度及び傾向を知ることによって、機械の健康上の予測を行なうことができる。機械の健康状態を知ることによって、必要とされる場合にだけ整備を行えばよく、時間と費用を節約し、機械の寿命を増加させる。
【０００３】
例えば、内燃機関のような作業機械によって使用されるオイルのような潤滑流体は、燃焼副産物、エンジンの空気吸込口に入った異物、及びエンジンの内部部品の摩耗で生じた他の粒子の結果として、しばしば汚染される。特に、典型的に約１５０ミクロン以下のこれら粒子は、エンジンの全面的な摩耗を指示するものである。さらに、粒子のサイズ及び形状のような物理的特性をリアルタイムで分析することにより、エンジンの現在の摩耗状態あるいは「健康状態」をオンデマンド方式で識別することができる。
【０００４】
その結果、エンジンあるいは他の作業機械の様々な作動流体を直接分析する幾つかのシステムが開発されている。「オフライン」方法と称する１つの方法は、作動流体のサンプルを抽出し、次に、分析のために遠位にある実験室へサンプルを送ることである。このシステムは有効であるが、サンプルが得られた時から摩耗結果が得られるまでに、分析には相当のリードタイムが必要とされるので、時間の浪費である。
【０００５】
最近、レーザーを利用する光学ニアフィールド画像技術を利用する流体分析システムが開発されている。これらのシステムは、レーザー光源、光検知装置、フローセル、及びフローセルを通る流体を引き入れるポンプあるいは他の手段を包含する。ニアフィールド画像技術を利用するこのような１つの型式のフローセルは、ここで参考として組み入れられる米国特許第６,１０４,４８３号に示されている。このシステムは、流体中の粒子の数を決定し、次に、粒子のサイズ及び物理的特性を識別する。粒子の物理的特性は特定の摩耗メカニズムあるいは現象に直接対応するので、システムは、検出された粒子特性を、エンジンの空気吸込口を介して入る異物あるいはエンジンの摩耗により生じる金属粒子のような、摩耗を引き起こす特定のメカニズムと関連させることができる。そのため、システムは粒子の源に関してユーザーに通知し、それにより、存在するかもしれないエンジンのあらゆる問題をより正確に診断し改善することを可能にする。
【０００６】
フローセルにより提供される光学ニアフィールド画像技術の利用は、リアルタイムの摩耗分析の可能性において重要な進歩であることが分かっているが、このようなシステムは様々な制限によって悩まされている。例えば、製造業者は、高温及び／又は高圧でのフローセルの作動に関連した技術的な障害を克服している一方で、コンパクトな寸法を有し、軽量で、コスト的に有効であり、しかも、それを通る作動流体の層流を維持できるフローセルを提供することができていない。層流は、摩耗粒子がフローセルを均一に通過することを可能にし、流体分析システムが摩耗粒子の形状をより正確に特徴づけることを可能にするという点で有益である。
【０００７】
従って、当業技術分野において、それを通る作動流体の層流を提供するように形成された光学フローセルを必要とされている。さらに、当業技術分野において、それを通る作動流体に層流を提供する一方で、高圧及び／又は高温をもつ環境に耐えるように形成された光学フローセルを必要とされている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記に鑑み、本発明の第１の様相は、高温及び／又は高圧の環境で使用するための光学フローセルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の他の様相は、壁面を形成する貫通した本体開口部を有する本体；前記壁面の両側に配置された一対のスリットであって、前記スリットの一方が流体の入口流れを受け、他方のスリットが流体の出口流れを受ける、一対のスリット；前記開口部内に配置された一対の離間した透明プレートであって、前記両プレートの間の空間が、層状で流体を通過させる前記スリットの各々と実質的に整合する流れ通路を画成している、一対の透明プレート；及び、本体に取り付けられて前記プレートを定位置に保持し、リテーナ開口部を有するリテーナであって、前記本体開口部、前記流れ通路及び前記リテーナ開口部が光を通過できるように実質的に整合している、リテーナ；を包含する流体中の粒子をモニターするフローセルを提供することである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明のこれら及び他の特徴及び利点は、以下の説明、特許請求の範囲及び添付図面に関して一層よく理解されるであろう。
【００１１】
本発明の概念によるオンライン光学フローセルは、図面の図１に示されるように、総括的に符号１０で指示される。フローセル１０の特定の様相について論じる前に、その作動の一般的な概要を以下に述べる。さらに、ここで用いられる用語「作動流体」は、潤滑流体、液圧流体、液体燃料あるいは同等物に限定されずに、これらを含む任意の流体として定義される。そのため、任意のタイプの流体がここに記載された光学フローセルを流通できることが認識されるであろう。
【００１２】
フローセル１０は、幾つかの構成要素を含む流体分析システム１２で一般に利用され、このシステムは、作動流体の流れの中の摩耗粒子や他の粒子を検出することができる。そのような作動を達成するために、光学フローセル１０は、システム１２で保持された光源３０からのレーザー光線のような平行にされた光を受けるように構成されている透明な視野領域２０を保持する。作業機械からの作動流体は、ポンプ５０のような流れ送出装置によりフローセル１０に引き入れられる。作動流体がフローセル１０に入ると、作動流体の流れは修正されて、視野領域２０を通過する流れ通路を通って層流を提供する。この期間の間、光源３０から伝えられた光は、透明な視野領域２０内の層流を通過して、画像及び分析装置６０により検出される画像を生成する。その後、画像及び分析装置６０により検出された画像は、作動流体中に保留されている摩耗粒子の特定の形状を決定するために分析される。一度画像処理されると、作動流体はフローセル１０を出て、作業機械に戻る。このように、フローセル１０内の作動流体は層流をなし、また、フローセル１０は作業機械により発生される上昇した温度及び／又は圧力に耐えるように構成されているので、光学画像システムは、先行技術のシステムよりも、このような環境において正確で一貫した摩耗粒子の識別を達成することができる。そのため、作業機械がオフラインとなるか、そうでなければ、その機械的構成要素の摩耗により機能しなくなった場合に起こる作業の遅れを回避するために、フローセル１０は、光学画像システムがより正確に摩耗を予測し予想保守スケジュールを生成することを可能にする。従って、先に述べたフローセル１０の作動の背景と共に、フローセル１０の特定の構造の様相を述べる。また、光学フローセル１０は、米国特許出願第１１/２２８,１７２号でエンジンのような機械のためのモニター作動流体について説明しているような光学画像システムに使用できるが、他の適切な画像システムも利用されてよいことが認識されるべきである。
【００１３】
後述するようなフローセル１０は、作業機械あるいは他の装置で保持される作動流体のオンライン分析のために構成されており、従って、フローセル１０はこの作業機械又は装置に直接に接続される。従って、フローセル１０は、作業機械又は装置で保持される全作動流体の一部の連続的なサンプルを受け取るように構成されている作動流体の連続的なサンプルは分析され、次に、全供給量に戻される。しかしながら、フローセル１０は、例えばオフラインそしてインラインのような他の態様で即座に適応され得ることが認識されるべきである。
【００１４】
図２及び３に示されるように、フローセル１０は、対向面１１８とは反対側の外面１１４を有する本体１１０を含む。外面１１４及び対向面１１８は、端面１２０及び１２４並びに対応する側面によって接続される。本体１１０は、上昇した温度及び／又は圧力を伴う環境に耐えることができるステンレス鋼あるいは他の材料で形成されることが認識されるべきである。本体１１０は、これを貫通する本体開口部１３４を含み、この開口部は、光源３０からの光がフローセル１０の作動中に通過することを可能にする。本体開口部１３４内には、リテーナ１４０により本体開口部内に保持される流れ通路組立体１３６が配置されており、リテーナは、本体１１０の外面１１４に取り付けられた時に本体開口部１３４と整合するリテーナ開口部１４４を有する。
【００１５】
流れ通路組立体１３６は、透明な流れ通路１３８を形成するように働く様々な構成要素を含む。より詳細に述べると、流れ通路１３８は、本体１１０に設けられた一対の対向する流れスリット１４６,１４８と整合する。本体１１０は、対応する端面１２０及び１２４に孔１６０及び１６２を有する。作動流体は、それぞれのねじ付カラー１７０及び１７４によりそれぞれの孔１６０及び１６２内に収容保持される入口管１５０及び出口管１５４を介して、流れスリット１４６,１４８及び流れ通路１３８を通過する。従って、フローセル１０の作動中、流れスリット１４６,１４８及び流れ通路１３８は、入口管１５０に入り出口管１５４を出る作動流体に層流を与えるように働く。その上、リテーナ開口部１４４及び本体開口部１３４は互いに整合しているので、流体分析システムからの画像処理光線は、透明な流れ通路１３８を通過する。
【００１６】
図に、より明瞭には図５及び６に示されるように、フローセル１０の本体開口部１３４は、本体１１０の外面１１４に隣接する上方縁部２００を有する壁面１９０を含む。本体開口部１３４内では、支持棚２１０が壁面１９０から延び、本体１１０の対向面１１８に隣接する下方縁部２１４を形成する。上方縁部２００の周辺のまわりには外方溝２２０が配設され、下方縁部２１４の周辺のまわりには、棚２１０内に凹んだ内方溝２３０が配設されている。さらに、上方縁部２００の周辺には、後述するリテーナ１４０の取り付けを容易にするために、本体１１０を貫通する複数のねじ付孔２４０Ａ−Ｄが配設されている。
【００１７】
特に図２，４，５，６及び７に関し、フローセル１０の本体開口部１３４内には、流れ組立体１３６が配設されている。流れ組立体１３６は、内方溝２３０内に定着されるか配置される下方シール３００を含む。下方シール３００上には、下方透明プレート３１０が配置され、一対の横方向離間シム３３０Ａ及び３３０Ｂにより上方透明プレート３２０から離されている。プレート３１０及び３２０は、上昇した温度及び／又は圧力をもつ作動環境に耐え得る透明なガラスあるいは他の適切な透明材料から成っていてよい。同様に、シム３３０Ａ−Ｂは、上昇した温度及び／又は圧力を伴う環境に耐え得るステンレス鋼あるいは他の材料で形成されていてよい。下方プレート３１０及び上方プレート３２０を離間することに加え、シム３３０Ａ−Ｂは、それぞれの対向縁部３３１及び３３２がスリット１４６及び１４８の幅寸法と一致する距離で離間されるように構成されている。図７及び他の図に関し、シム３３０Ａ−Ｂの高さ寸法は、流れ通路１３８を入口スリット１４６及び出口スリット１４８と実質的に整合できるように、スリット１４６,１４８の高さ寸法と略一致することが認識されるべきである。そのため、離間したプレート３１０，３２０が、流れ通路１３８の高さを画定する一方、離間したシム３３０Ａ−Ｂの離間した縁部３３１及び３３２が、流れ通路１３８の幅を画定する。換言すると、シム３３０Ａ−Ｂの縁部３３１，３３２がスリット１４６,１４８の垂直縁部に整合する一方、下方及び上方プレート３１０，３２０がスリット１４６,１４８のそれぞれの下方及び上方水平縁部と整合する。
【００１８】
続いて、上方プレート３２０上には、上方シール３５０が配置され、本体開口部１３４の上方縁部２００の下側で壁面１９０に隣接するように寸法付けられている。最後に、流れ通路組立体１３６は、外方溝２２０内に配置される外方シール３６０を含む。シール３００，３５０及び３６０は、ゴムシールあるいは他の適切な密封手段から成っていてよいことが認識されるべきである。プレート３１０,３２０、シム３３０Ａ−Ｂを保持するために、また、シール３００,３５０,３６０に十分な圧縮力を与えて流れ通路１３８のまわりに液体密封シールを形成するために、リテーナ１４０は、後述する方法でフローセル１０の本体１１０に取り付けられる。
【００１９】
リテーナ１４０は、複数の取付孔４２０Ａ−Ｄが貫通する内面４００及び外面４１０を設けている。図２に示されるように、取付孔４２０Ａ−Ｄは、本体を貫通して収容される留め具４２２Ａ−Ｄによりリテーナ１４０が本体１１０に取付できるようにし、留め具は、本体１１０に保持されたねじ付孔２４０Ａ−Ｄに収容される。留め具４２２Ａ−Ｄは、他の適切な材料が使用されてもよいが、ステンレス鋼から成っていてよいことが認識されるべきである。リテーナ１４０は、その内面４００においては、内方及び外方の同心配置された圧縮段部４３０及び４４０を保持する。内方及び外方の圧縮段部４３０,４４０はそれぞれ、上方シール３５０及び外方シール３６０に直接の圧縮力を与えるように形成されている。さらに、側方段部４５０が上方シール３５０に横方向の力を与えて、本体開口部１３４の壁面１９０に対するシールを確実に形成する。その上、リテーナ１４０は、間接の圧縮力を下方シール３００にもプレート３１０,３２０及びシム３３０Ａ−Ｂにも与えて、これらを定位置に保つのを助ける。
【００２０】
その上、本体１１０はまた、フローセル１０の本体１１０の各端面１２０及び１２４に配置されたねじ付孔１６０及び１６２を含む。ねじ付リテーナ１７０,１７４は孔１６０,１６２内に螺入されて、入口管１５０及び出口管１５４を孔内に保持する。そのため、入口管１５０は作動流体を流れ通路１３８へ導く一方、出口管１５４は作動流体を流れ通路１３８から運び去る。しかしながら、フローセル１０の一方の端面１２４は、作動流体のための入口あるいは出口として働いてよいことが認識されるべきである。さらに、孔１６０,１６２は、それらの断面形状が多少円筒形状のノズル端部５００,５０２へ移行しながら、フローセル１０の本体１１０内へ延びている。ノズル端部５００,５０２と共軸のものは、遷移流れ領域５１０,５１２へ移行する多少円錐形のノズル遷移部５０６,５０８である。遷移流れ領域５１０,５１２は、本体開口部１３４内の壁面１９０及び丸みを付けた壁５１６,５１８により画成された実質的に平らな面で構成される。丸みを付けた壁５１６,５１８は、図１１に示されるように放射状に寸法付ける必要はなく、いかなる所望のプロフィールあるいは寸法を呈していてよいことが認識されるべきである。そのため、ノズル端部５００,５０２、ノズル遷移部５０６,５０８及び遷移流れ領域５１０,５１２は、本体開口部１３４の壁面１９０内に配置された矩形の流れスリット１４６,１４８へ作動流体が移る前に作動流体を調整するように、流体的に連通する。流れスリット１４６,１４８の矩形断面及び流れ通路１３８の矩形断面は、作動流体が視野領域２０を通過するにつれて、作動流体に層流を与えることに寄与する。その上、フローセル１０は、所望の位置にフローセル１０を取り付けるために、適切な留め具を収容するように形成された１つ以上の取付孔５２０Ａ−Ｄを含んでいてよい。
【００２１】
フローセル１０の形状及び縮小サイズで製造されるその能力により、フローセルは、上昇した温度及び／又は圧力をもつ環境で且つ制限された領域で作動流体をモニターするのに使用することができる。例えば、フローセル１０は、約２７５８ｋＰａ（４００ｐｓｉ(重量ポンド毎平方インチ)）までの圧力及び摂氏−４０度から摂氏１２０度の範囲の温度をもつ環境で使用できるが、フローセル１０は他の圧力及び／又は温度範囲をもつ環境でも利用し得るので、これを制限として解釈されるべきではない。
【００２２】
フローセル１０は、少なくとも部分的には流れ通路１３８を形成するのに使用される特定の材料を選択することにより、流れ通路１３８を画成するガラスプレート３１０及び３２０の完全状態を維持しながら、高温及び／又は高圧環境でその作動性能を達成することができる。すなわち、本体１１０、リテーナ１４０、シム３３０Ａ−Ｂ及び留め具４２２Ａ−Ｄを構成するのに利用される特定の材料の選択は、フローセル１０が上昇した圧力及び／又は温度で流れ通路１３８を介し作動流体の層流を提供する能力を保持することを可能にする。そのため、本体１１０、リテーナ１４０、シム３３０Ａ−Ｂ及び留め具４２２Ａ−Ｄを含む材料は、これら使用される材料の熱膨脹係数が互いに補足して、フローセル１０が受ける環境温度及び／又は圧力が変化する際に流れ通路１３８の破損あるいは故障を防止するように、選択されている。
【００２３】
フローセル１０の作動中、エンジン、作業機械あるいは作動流体を利用する他の装置からの作動流体は、出口管１５４に作動的に連結されたポンプ５０あるいは他の手段を介して、入口管１５０によりフローセル１０内へ引き入れられる。その上、流体分析システム１２で保持された光源３０は、外面１１４に近接して位置され、レーザーのような光ビームを透明な流れ通路１３８に通して指向する。対向面１１８に近接するフローセル１０の反対側では、画像及び分析装置６０が、流れ通路１３８を通過する光を受けるように配設されている。作動流体は、入口管１５０から受け入れられると、ノズル５００を経て入口流れスリット１４６そして流れ通路１３８へ導かれる。入口流れスリット１４６、流れ通路１３８及び出口流れスリット１４８は、乱流によって特徴づけられ得る流れを、一般に乱流及び他の外乱のない層流へ正常化する作動流体の流れを呈するように働く。作動流体の層流を通過する光は、作動流体中に保留されている様々な摩耗粒子を提示する画像及び分析装置６０によって検出される画像信号を形成する。その上、流れ通路１３８を通る作動流体の層流は、摩耗粒子の特有の形状が流体分析システム１２で決定できるような一貫した方法で、作動流体中に保留されている摩耗粒子を指向させることができる。そのため、流体分析システム１２は、エンジンあるいは他の機械的装置で経験される摩耗のレベルをより正確に予測することができる。最後に、作動流体は、一度流れ室２０を通過すると、出口流れスリット１４８を介し出口管１５４を通って出て行く。
【００２４】
従って、本発明の１つ以上の実施例の利点は、作動流体が流れ通路を通過する際にフローセルが作動流体に層流を与えるように使用できることであることが認識されるであろう。本発明の他の利点は、上昇した温度及び／又は圧力を伴う環境でフローセルが作動できることである。本発明のさらに他の利点は、画像システムにより摩耗粒子の形状をより正確に特徴づけることができるように、流れ通路を通過する作動流体中の摩耗粒子がより一貫して指向されることである。
【００２５】
本発明は或る実施例に関して相当に詳細に記載したが、他の実施例も可能である。
従って、付属する特許請求の範囲の精神及び範囲は、ここに含まれている実施例の記載に制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の概念による流体分析システムで利用される光学フローセルを示すブロック図である。
【図２】本発明の概念による光学フローセルの分解斜視図である。
【図３】本発明の概念による光学フローセルの底部斜視図である。
【図４】本発明の概念による、リテーナを取り付けた光学フローセルの斜視図である。
【図５】本発明の概念による光学フローセルの斜視断面図である。
【図６】本発明の概念による光学フローセルの斜視断面図である。
【図７】本発明の概念による光学フローセルの斜視断面図である。
【図８】本発明の概念による光学フローセルの断面図である。
【図９】本発明の概念による、線９−９に沿った光学フローセルの断面図である。
【図１０】本発明の概念による、線１０−１０に沿った光学フローセルの断面図である。
【図１１】本発明の概念による、流れスリットを示す光学フローセルの斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【外国語明細書】
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