(57)【要約】【課題】プリント回路基板のような検査対象物の検査を効率的に遂行できる検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】プリント回路基板は搬入ユニット１０から検査ユニット３０に移動された後、順次に上面の撮影、反転、下面の撮影が行われ、搬出ユニット２０に移動される。搬入ユニット１０と検査ユニット３０と搬出ユニット２０との間のプリント回路基板の移動は、直角に配置される二つのアーム７２０，７４０を用いて搬入ユニット１０から検査ユニット３０にプリント回路基板の移動及び検査ユニット３０から搬出ユニット２０へのプリント回路基板の移動が同時に行われる。検査ユニット３０でプリント回路基板が載置されるステージ３４０にプリント回路基板の反転のために提供されるフィンガ５１０が挿入される溝を形成し、フィンガ５１０が溝を介して移動することによってプリント回路基板をステージ３４０から持ち上げるか、ステージ３４０上に載置する。【選択図】図１
2009075102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を検査する装置であって、
検査対象物に対する検査が行われる検査ユニットと、
前記検査ユニットに搬入しようとする検査対象物が載置される搬入ユニットと、
前記検査ユニットより搬出された検査対象物が載置される搬出ユニットと、
前記搬入ユニットと前記検査ユニットとの間、及び前記搬出ユニットと前記検査ユニットとの間で検査対象物を移送する移送ユニットと、を具備し、
前記移送ユニットは、
前記搬入ユニットに載置された検査対象物を前記検査ユニットに移送させる過程、
及び前記検査ユニットに載置された検査対象物を前記搬出ユニットに移送させる過程を同時に遂行できる構造を有する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記検査ユニットは、
前記搬入ユニット及び前記搬出ユニットと検査対象物を受け渡す初期位置と、検査対象物に対して撮影が行われる検査位置と、検査対象物を反転させる反転位置との間を移動でき、検査対象物が載置される複数のステージと、
前記検査位置に移動された検査対象物を撮影する撮影部材と、
前記撮影部材から撮影された画像を受信して、前記画像から検査対象物が不良であるか否かを判読する映像処理器と、
前記反転位置に移動された検査対象物を反転する反転部材と、
を具備することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記移送ユニットは、
前記搬入ユニットと前記搬出ユニットと前記初期位置に移動された前記ステージとの間に配置され、回転可能な回転体と、
前記回転体から延長され検査対象物をホールディングできる第１アームと、
前記回転体から前記第１アームと垂直をなすように延長され、検査対象物をホールディングできる第２アームと、
を具備することを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記検査位置は第１検査位置と第２検査位置とを含み、
前記初期位置、前記第１検査位置、前記反転位置、及び前記第２検査位置は、各々の前記ステージが回転によって順次に前記初期位置、前記第１検査位置、前記反転位置、前記第２検査位置、及び前記初期位置に移動するように配置される
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記検査ユニットは上面から見て正方形状を有し、回転可能なベースをさらに含み、
前記ステージは前記ベースと共に回転するように前記ベースの各辺に提供され、
前記ベースの第１側及びこれと対向する第２側にはそれぞれ前記撮影部材が配置され、
前記第１側及び前記第２側と垂直をなす１前記ベースの第３側には前記反転部材が配置され、
前記第３側と対向し、前記搬入ユニット及び前記搬出ユニットと隣接する前記ベースの第４側には前記移送ユニットが配置される
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１アームと前記第２アームの下面には、検査対象物を真空でホールディングする真空ホールが提供される
ことを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項７】
前記反転部材は、
検査対象物をホールディングするフィンガと、
検査対象物が反転されるように前記フィンガを回転させる回転駆動機と、
前記フィンガを上下方向に移動させる垂直駆動機と、
前記フィンガを前後方向に移動させる水平駆動機と、を含み、
各々の前記ステージの上面には前記フィンガが挿入され得る溝が形成される
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の検査装置。
【請求項８】
前記フィンガは複数個が互いに並んで提供され、
前記フィンガは連結部材に結合され、
前記回転ユニットは前記連結部材に固定される回転軸を含み、
前記溝は前記フィンガの各々に対応するように形成される
ことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記搬入ユニットは、
検査対象物が直線移動される運搬台と、
前記運搬台上に設置され検査対象物上に付着した異物を除去する異物除去部材と、
を含むことを特徴とする請求項１乃至３のうち何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記運搬台は所定距離離隔されて検査対象物の両側の周縁部を支持するコンベアベルトを具備し、
前記異物除去部材は、
前記コンベアベルトに載置された検査対象物の上面と接触するように配置され、外側面に接着剤が提供される第１ローラと、
前記コンベアベルトに載置された検査対象物の下面と接触するように配置され、外側面に接着剤が提供される第２ローラと、
を含むことを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記異物除去部材は、
前記第１ローラと接触するように配置され、外側面に接着剤が提供され前記第１ローラに付着した異物を除去する上部ローラと、
前記第２ローラと接触するように配置され、外側面に接着剤が提供され前記第２ローラに付着した異物を除去する下部ローラと、
をさらに具備することを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記搬入ユニットは、
検査対象物が載置される積載台と、
前記積載台に載置された検査対象物を前記運搬台に移動させる水平駆動機と、をさらに含み、
前記積載台は、
前記検査対象物が載置される空間を提供するフレームと、
前記フレーム内に配置され、検査対象物を支持する昇降板と、
前記昇降板を上下に移動させる垂直駆動機と、
前記昇降板上に検査対象物が置かれているか否かを検出するセンサと、
を含むことを特徴とする請求項１乃至３のうち何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１３】
検査対象物を検査する装置であって、
検査対象物に対する検査が行われる検査ユニットと、
前記検査ユニットで検査しようとする検査対象物が載置される搬入ユニットと、
前記検査ユニットで検査が行われた検査対象物が載置される搬出ユニットと、
前記搬入ユニットと前記検査ユニットとの間、及び前記搬出ユニットと前記検査ユニットとの間で検査対象物を移送する移送ユニットと、を具備し、
前記検査ユニットは、
検査対象物を撮影する第１撮影部材及び第２撮影部材と、
検査対象物を反転する反転部材と、
前記第１撮影部材及び前記第２撮影部材から撮影された画像を受信して、前記画像から検査対象物が不良であるか否かを判読する映像処理器と、
回転によって前記搬入ユニット及び前記搬出ユニットと検査対象物を受け渡す初期位置と、前記第１撮影部材が提供される第１検査位置と、前記反転部材が提供される反転位置と、前記第２撮影部材が提供される第２検査位置と、の間を移動でき、検査対象物が載置される複数のステージと、
を含むことを特徴とする検査装置。
【請求項１４】
前記検査ユニットは回転するベースをさらに含み、
前記ベースの各辺には前記ステージが前記ベースと共に回転するように提供され、
前記第１撮影部材、前記反転部材、及び前記第２撮影部材は各々の前記ステージが回転する時、順次に到達できるように配置される
ことを特徴とする請求項１３に記載の検査装置。
【請求項１５】
前記移送ユニットは、
前記搬入ユニットと前記搬出ユニットと前記初期位置に移動された前記ステージとの間に配置され、回転可能な回転体と、
前記回転体から延長され、検査対象物をホールディングできる第１アームと、
前記回転体から前記第１アームと垂直をなすように延長され、検査対象物をホールディングできる第２アームと、
を具備することを特徴とする請求項１３又は１４に記載の検査装置。
【請求項１６】
前記反転部材は、
検査対象物を真空によってホールディングするフィンガと、
前記フィンガを回転させ、上下方向及び前後方向に直線移動させる駆動機と、を含み、
前記ステージの上面には前記フィンガが前後方向及び上下方向に移動する時、前記フィンガの移動経路として提供される溝が形成される
ことを特徴とする請求項１３又は１４に記載の検査装置。
【請求項１７】
検査対象物を検査する方法であって、
搬入ユニットから検査対象物を検査ユニットに移動させ、
前記検査ユニットで検査対象物が不良であるか否かを検査し、
前記検査ユニットで検査が完了した基板は搬出ユニットに移動し、
一つの駆動機により回転可能で、互いに対して直角になるように提供される二つのアームを用いて、前記搬入ユニットから前記検査ユニットへの検査対象物の移動、及び前記検査ユニットから前記搬入ユニットへの検査対象物の移動を同時に遂行する
ことを特徴とする検査方法。
【請求項１８】
前記検査ユニットには検査対象物が置かれ得る複数個のステージを提供し、
前記ステージは回転により初期位置、第１検査位置、反転位置、そして第２検査位置に順次に移動でき、
前記初期位置は前記搬入ユニット及び前記搬出ユニットと前記検査ユニットが検査対象物を受け渡す位置であって、
前記第１検査位置及び前記第２検査位置は撮影部材によって検査対象物の撮影が行われる位置であって、
前記反転位置は検査対象物の反転が行われる位置である
ことを特徴とする請求項１７に記載の検査方法。
【請求項１９】
前記ステージは四つが提供され、
前記初期位置、前記第１検査位置、前記反転位置、前記第２検査位置は前記ステージが各々９０度回転する時に移動する位置である
ことを特徴とする請求項１７に記載の検査方法。
【請求項２０】
前記検査対象物の反転は、上部からフィンガで前記ステージに載置された検査対象物を真空吸着して前記検査対象物を前記ステージから持ち上げ、前記フィンガを１８０度回転させて前記検査対象物を反転させ、前記フィンガを前記ステージの上部面に提供される溝内に下降移動させて前記検査対象物を前記ステージに載置する
ことを特徴とする請求項１８に記載の検査方法。
【請求項２１】
前記検査対象物の反転は、前記ステージの上部面に提供される溝内にフィンガを挿入して前記フィンガを昇降させることによって前記ステージから前記検査対象物を持ち上げて前記検査対象物を真空吸着し、前記フィンガを１８０度回転させて前記検査対象物を反転させ、前記ステージの上部面に前記検査対象物を載置した後、前記真空を除去する
ことを特徴とする請求項１８に記載の検査方法。
【請求項２２】
直角になるように提供される二つのアームのうち一つは、前記搬入ユニットに位置する検査対象物を真空吸着し、他の一つは前記初期位置に移動された前記ステージに載置された検査対象物を真空吸着し、
前記二つのアームと連結された回転体が前記搬出ユニットに向かう方向に９０度回転することによって、前記初期位置に移動された前記ステージに載置された検査対象物は前記搬出ユニットに移動され、これと同時に前記搬入ユニットに位置する検査対象物は前記初期位置に移動された前記ステージ上に移動される
ことを特徴とする請求項１８に記載の検査方法。
【請求項２３】
前記検査対象物は上面及び下面を有する薄板形状であって、
前記検査対象物の検査面の数によって検査過程を互いに異なるように遂行し、
前記検査面が前記上面及び下面を共に含む場合には、各々の前記検査対象物が前記初期位置、前記第１検査位置、前記反転位置、前記第２検査位置、及び前記初期位置に順次に移動され、
前記第１検査位置では前記検査対象物の上面と下面のうち何れか一つに対する検査が行われ、
前記第２検査位置では前記検査対象物の上面と下面のうち他の一つに対する検査が行われ、
前記検査面が上面である場合には、各々の検査対象物は前記初期位置、前記第１検査位置、前記第２検査位置のうち何れか一つの位置、そして前記初期位置に順次に移動され、前記第１検査位置と前記第２検査位置とでは互いに異なる検査対象物に対して検査が行われる
ことを特徴とする請求項１８に記載の検査方法。
【請求項２４】
前記検査対象物が前記検査ユニットに移動される前に、前記搬入ユニットで前記検査対象物に付着した異物を除去する
ことを特徴とする請求項１７に記載の検査方法。
【請求項２５】
前記検査対象物はプリント回路基板である
ことを特徴とする請求項１７乃至２４のうち何れか１項に記載の検査方法。
【請求項２６】
前記検査対象物の検査項目は前記検査対象物の表面に付着した異物検査である
ことを特徴とする請求項２５に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置及び検査方法に関し、より詳細には、プリント回路基板のような対象物が不良であるか否かを光学的に検査する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
上面にパターンなどの形成が完了したプリント回路基板は、表面に異物が付着しているか、パターンが不良であるか、又はプリント回路基板に開口を形成した場合に切断面に削り跡（ｂｕｒｒ）などが残留しているか否かなどに対する検査が行われる。上記の検査は、主にカメラで基板を撮影して得た画像を映像処理器が画像の領域毎の明るさなどを検出することによって行われる。一般的に検査装置は多数のプリント回路基板を連続的に検査する。従って、検査に必要な時間を短縮するために装置内のユニット同士の間でプリント回路基板を迅速に移送することが重要である。
【０００３】
また、プリント回路基板の上面と下面のそれぞれに対して検査を遂行する場合、プリント回路基板を反転するユニットが必要となる。しかし、一般的な装置はその構造が非常に複雑で、反転に必要な時間が長い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的はプリント回路基板のような検査対象物の検査を効率的に遂行できる検査装置及び方法を提供することにある。
【０００５】
また、本発明はプリント回路基板のような検査対象物の検査に必要な時間を短縮できる検査装置及び方法を提供する。
【０００６】
さらに、本発明はプリント回路基板のような検査対象物の反転を迅速に遂行することができ、簡単な構造を有する検査装置及び方法を提供する。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題はこれに制限されず、言及していない他の課題は、以下の記載により当業者に明確に理解され得る。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成すべく、本発明は検査対象物を検査する装置を提供する。
【０００９】
本発明の一実施の形態によれば、前記検査対象物はプリント回路基板であり得る。前記検査装置は検査対象物に対する検査が行われる検査ユニットと、前記検査ユニットに搬入しようとする検査対象物が載置される搬入ユニットと、前記検査ユニットより搬出された検査対象物が載置される搬出ユニットと、そして、前記搬入ユニットと前記検査ユニットとの間及び前記搬出ユニットと前記検査ユニットとの間で検査対象物を移送する移送ユニットと、を具備する。前記移送ユニットは前記搬入ユニットに載置された検査対象物を前記検査ユニットに移送させる過程、及び前記検査ユニットに載置された検査対象物を前記搬出ユニットに移送させる過程を同時に遂行できる構造を有するように製作される。
【００１０】
一例として、前記検査ユニットは、前記搬入ユニット及び前記搬出ユニットと検査対象物を受け渡す初期位置と、検査対象物に対して撮影が行われる検査位置と、検査対象物を反転させる反転位置との間を移動でき、検査対象物が載置される複数のステージと、前記検査位置に移動された検査対象物を撮影する撮影部材と、前記撮影部材から撮影され画像を受信して前記画像から検査対象物が不良であるか否かを判読する映像処理器と、前記反転位置に移動された検査対象物を反転する反転部材と、を具備する。
【００１１】
一例として、前記移送ユニットは前記搬入ユニットと前記搬出ユニットと前記初期位置に移動された前記ステージとの間に配置され、回転可能な回転体と、前記回転体から延長され検査対象物をホールディングできる第１アームと、前記回転体から前記第１アームと垂直をなすように延長され、検査対象物をホールディングできる第２アームと、を具備する。
【００１２】
一例として、前記反転部材は検査対象物をホールディングするフィンガと、検査対象物が反転されるように前記フィンガを回転させる回転駆動機と、前記フィンガを上下方向に移動させる垂直駆動機と、前記フィンガを前後方向に移動させる水平駆動機と、を含む。各々の前記ステージの上面には前記フィンガが挿入され得る溝が形成され得る。
【００１３】
一例として、前記搬入ユニットは検査対象物が直線移動される運搬台、及び前記運搬台上に設置され検査対象物上に付着した異物を除去する異物除去部材を含む。前記運搬台には、所定距離離隔されて検査対象物の両側の周縁部を支持するコンベアベルトが提供され得る。前記異物除去部材は、前記コンベアベルトに載置された検査対象物の上面と接触するように配置され、外側面に接着剤が提供される第１ローラと、前記コンベアベルトに載置された検査対象物の下面と接触するように配置され、外側面に接着剤が提供される第２ローラと、前記第１ローラと接触するように配置され、外側面に接着剤が提供され前記第１ローラに付着した異物を除去する上部ローラと、前記第２ローラと接触するように配置され、外側面に接着剤が提供され前記第２ローラに付着した異物を除去する下部ローラと、を有する。
【００１４】
また、本発明の検査装置は検査対象物に対する検査が行われる検査ユニットと、前記検査ユニットで検査しようとする検査対象物が載置される搬入ユニットと、前記検査ユニットで検査が行われた検査対象物が載置される搬出ユニットと、前記搬入ユニットと前記検査ユニットとの間、及び前記搬出ユニットと前記検査ユニットとの間で検査対象物を移送する移送ユニットと、を有する。前記検査ユニットは、検査対象物を撮影する第１撮影部材及び第２撮影部材と、検査対象物を反転する反転部材と、前記第１撮影部材及び前記第２撮影部材から撮影された画像を受信して、前記画像から検査対象物が不良であるか否かを判読する映像処理器と、回転により前記搬入ユニット及び前記搬出ユニットと検査対象物を受け渡す初期位置と、前記第１撮影部材が提供される第１検査位置と、前記反転部材が提供される反転位置と、前記第２撮影部材が提供される第２検査位置と、の間を移動でき、検査対象物が載置される複数のステージと、を含む。
【００１５】
一例として、前記検査ユニットは回転するベースをさらに含み、前記ベースの各辺には前記ステージが前記ベースと共に回転するように提供され、前記第１撮影部材、前記反転部材、及び前記第２撮影部材は各々の前記ステージが回転する時、順次に到達できるように配置される。
【００１６】
一例として、前記移送ユニットは前記搬入ユニットと前記搬出ユニットと前記初期位置に移動された前記ステージとの間に配置され、回転可能な回転体と、前記回転体から延長され検査対象物をホールディングできる第１アームと、前記回転体から前記第１アームと垂直をなすように延長され、検査対象物をホールディングできる第２アームと、を有する。
【００１７】
一例として、前記反転部材は検査対象物を真空によってホールディングするフィンガ、及び前記フィンガを回転させ上下方向及び前後方向に直線移動させる駆動機を含み、前記ステージの上面には前記フィンガが前後方向及び上下方向に移動時、前記フィンガの移動経路として提供される溝が形成される。
【００１８】
また、本発明は検査対象物を検査する方法を提供する。本発明の方法によれば、搬入ユニットから検査対象物を検査ユニットに移動させ、前記検査ユニットで検査対象物が不良であるか否かを検査し、前記検査ユニットで検査が完了した基板は搬出ユニットに移動し、一つの駆動機により回転可能で互いに対して直角になるように提供される二つのアームを用いて、前記搬入ユニットから前記検査ユニットへの検査対象物の移動、及び前記検査ユニットから前記搬入ユニットへの検査対象物の移動を同時に遂行する。
【００１９】
一例として、前記検査ユニットには検査対象物が置かれ得る複数個のステージを提供し、前記ステージは回転により初期位置、第１検査位置、反転位置、そして第２検査位置へ順次に移動でき、前記初期位置は前記搬入ユニット及び前記搬出ユニットと前記検査ユニットが検査対象物を受け渡す位置であって、前記第１検査位置及び前記第２検査位置は撮影部材によって検査対象物の撮影が行われる位置であって、前記反転位置は検査対象物の反転が行われる位置である。
【００２０】
一例として、前記ステージは四つが提供され、前記初期位置、前記第１検査位置、前記反転位置、前記第２検査位置は前記ステージが各々９０度回転する時、移動する位置である。
【００２１】
前記検査対象物の反転は、上部からフィンガで前記ステージに載置された検査対象物を真空吸着して前記検査対象物を前記ステージから持ち上げ、前記フィンガを１８０度回転させて前記検査対象物を反転させ、前記フィンガを前記ステージの上部面に提供される溝内に下降移動させて前記検査対象物を前記ステージに載置することによって行われることができる。
【００２２】
また、前記検査対象物の反転は前記ステージの上部面に提供される溝内にフィンガを挿入して前記フィンガを昇降させることによって前記ステージから前記検査対象物を持ち上げて前記検査対象物を真空吸着し、前記フィンガを１８０度回転させて前記検査対象物を反転させ、前記ステージの上部面に前記検査対象物を載置した後、前記真空を除去することによって行われることができる。
【００２３】
また、直角になるように提供される二つのアームのうち一つは、前記搬入ユニットに位置する検査対象物を真空吸着し、他の一つは前記初期位置に移動された前記ステージに載置された検査対象物を真空吸着し、前記二つのアームと連結された回転体が前記搬出ユニットに向かう方向に９０度回転することによって、前記初期位置に移動された前記ステージに載置された検査対象物は前記搬出ユニットへ移動され、これと同時に前記搬入ユニットに位置する検査対象物は前記初期位置に移動された前記ステージ上に移動され得る。
【００２４】
また、前記検査対象物は上面及び下面を有する薄板形状であって、前記検査対象物の検査面の数によって検査過程を互いに異なるように遂行し、前記検査面が前記上面及び下面を共に含む場合には、各々の前記検査対象物が前記初期位置、前記第１検査位置、前記反転位置、前記第２検査位置、及び前記初期位置に順次に移動され、前記第１検査位置では前記検査対象物の上面と下面のうち何れか一つに対する検査が行われ、前記第２検査位置では前記検査対象物の上面と下面のうち他の一つに対する検査が行われ、前記検査面が上面である場合には、各々の検査対象物は前記初期位置、前記第１検査位置、前記第２検査位置のうち何れか一つの位置、そして前記初期位置に順次に移動され、前記第１検査位置と前記第２検査位置とでは互いに異なる検査対象物に対して検査が行われることができる。
【００２５】
また、前記検査対象物が前記検査ユニットに移動される前に、前記搬入ユニットで前記検査対象物に付着した異物を除去できる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、多数の検査対象物に対して効果的に検査を遂行することができる。
【００２７】
本発明によれば、検査ユニットへの検査対象物の搬入及び検査ユニットからの検査対象物の搬出が同時に遂行されるため、検査工程に必要な時間を短縮できる。
【００２８】
本発明によれば、検査対象物の反転を容易に行うことができ、反転のためのユニットの構造が簡単である。
【００２９】
本発明によれば、撮影部材によって撮影が行われる前に検査対象物に付着した異物を一次的に除去するため、検査対象物が異物により不良と判断される可能性を低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態を添付図面の図１乃至図１０に基づき、さらに詳細に説明する。本発明の実施の形態は様々な形態に変形されることができ、本発明の範囲が以下の実施の形態に限定されると解析されてはならない。本実施の形態は、本発明の属する分野における平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。従って、図面での要素の形状はより明確な説明を強調するために誇張されたものである。
【００３１】
本実施の形態では、検査対象物としてほぼ薄い板が提供されるプリント回路基板Ｂである場合を例に上げて説明する。しかし、これと異なって本発明の技術的思想はプリント回路基板Ｂ以外の検査物品にも適用されることができる。
【００３２】
図１は、本発明の検査装置１の一実施の形態を概略的に示す平面図である。図１に示すように、検査装置１は搬入ユニット１０、搬出ユニット２０、検査ユニット３０、及び移送ユニット４０を有する。搬入ユニット１０には検査を遂行するプリント回路基板Ｂが置かれ、搬出ユニット２０には検査が完了したプリント回路基板Ｂが載置される。検査ユニット３０はプリント回路基板Ｂに対して不良であるか否かを検査する。移送ユニット４０はプリント回路基板Ｂを搬入ユニット１０から検査ユニット３０に移動させ、プリント回路基板Ｂを検査ユニット３０から搬出ユニット２０に移動させる。搬入ユニット１０と搬出ユニット２０は所定距離離隔して対向するように配置される。検査ユニット３０は搬入ユニット１０と搬出ユニット２０の一端に隣接するように配置される。搬入ユニット１０、検査ユニット３０、及び搬出ユニット２０により提供される空間には移送ユニット４０が配置される。
【００３３】
搬入ユニット１０は積載台１２０、運搬台１４０、水平移動機１６０、及び異物除去部材１８０を具備する。積載台１２０には検査が遂行されるプリント回路基板Ｂが載置される。水平移動機１６０はプリント回路基板Ｂを積載台１２０から運搬台１４０に移動させ、プリント回路基板Ｂは運搬台１４０で上記の移送ユニット４０によりホールディングされ得る位置まで運搬される。異物除去部材１８０は検査ユニット３０にプリント回路基板Ｂが移動される前にプリント回路基板Ｂ上に付着した異物を一部除去する。
【００３４】
図２は、図１のI−I線に沿って切断した断面図であって、積載台１２０の構成を概略的に示す。図２に示すように、積載台１２０はフレーム１２１、昇降板１２２、垂直駆動機１２３、及びセンサ１２４を具備する。フレーム１２１は内部に上部が開放された空間を有し、略直方体形状を有する。フレーム１２１の形状は検査対象物の形状などによって変化できる。フレーム１２１内には略長方形の板状の昇降板１２２が提供される。プリント回路基板Ｂは昇降板１２２上に積層されるように載置される。垂直駆動機１２３は昇降板１２２を上下方向に駆動する。プリント回路基板Ｂがフレーム１２１から運搬台１４０に移動する度に、昇降板１２２は既設定の高さを昇降する。センサ１２４は昇降板１２２上にプリント回路基板Ｂが残っているか否かを検出する。昇降板１２２にプリント回路基板Ｂが残っていない場合に昇降板１２２は下降して、新しいプリント回路基板Ｂが作業者又は自動運送装置によってフレーム１２１内に載置される。
【００３５】
昇降板１２２上にプリント回路基板Ｂが置かれているか否かを検出する方法は多様に提供されることができる。一例として、昇降板１２２の表面として光を反射する材質が提供され、発光センサと受光センサとが昇降板１２２の上面または上部に並んで配置される。昇降板１２２が既設定の位置まで昇降すると、発光センサから照射された光は昇降板１２２によって反射され、反射された光を受光センサが受信することができる。他の例として、プリント回路基板Ｂが昇降板１２２の側方向に突出できるように昇降板１２２の大きさを決定し、発光センサと受光センサとが昇降板１２２の外側に対向するように配置される。既設定の位置にプリント回路基板Ｂが載置された場合には発光センサから発光する光をプリント回路基板Ｂが遮断し、既設定の位置に昇降板１２２が載置された場合には受光センサが光を受信できる。
【００３６】
運搬台１４０は上部から見て略長方形の板状を有する。運搬台１４０の上部面と積載台１２０の上部面とはほぼ同じ高さに配置される。運搬台１４０は積載台１２０と対向する位置から移動ユニットの方向に延長される。運搬台１４０は所定間隔離隔して、対向するように設置されたコンベアベルト１４２（図９Ａ乃至図９Ｂ参照）を有する。各々のコンベアベルト１４２にはプリント回路基板Ｂの周縁部が支持される。積載台１２０から運搬台１４０の一端の領域に移動されたプリント回路基板Ｂはコンベアベルト１４２によって運搬台１４０の他端の領域まで直線移動する。コンベアベルト１４２はその上面が運搬台１４０の一端から他端に向かうように継続的に回転する。運搬台１４０におけるプリント回路基板Ｂの運搬はコンベアベルト１４２以外の他の運搬構造を用いることができる。
【００３７】
水平移動機１６０は支持軸１６１、ガイドレール１６２、支持ロッド１６４、ハンド１６５、及び駆動機１６７、１６８を具備する。支持軸１６１の長さ方向は運搬台１４０の長さ方向と垂直をなすように配置される。支持軸１６１の一端は積載台１２０と対向する位置まで、又はこれより長くなるように延長され、支持軸１６１の他端は運搬台１４０と対向する位置まで、又はこれより長くなるように延長される。支持軸１６１は積載台１２０及び運搬台１４０の上部に位置する。支持軸１６１の一端は積載台１２０から離隔して配置され、支持軸１６１の他端は積載台１２０を横切るように配置される。支持軸１６１の上面には支持軸１６１の長さ方向に沿って一直線にガイドレール１６２が提供され、ガイドレール１６２にはブラケット１６３が結合される。ブラケット１６３には支持ロッド１６４の一端が固定結合され、支持ロッド１６４の他端にはハンド１６５が固定結合される。ハンド１６５の下面にはプリント回路基板Ｂを真空吸着するように真空ホール１６６が形成される。駆動機はブラケット１６３をガイドレール１６２に沿って直線移動させる水平駆動機１６８と、ハンド１６５を上下方向に移動させる垂直駆動機１６７と、を有する。
【００３８】
異物除去部材１８０は運搬台１４０からコンベアベルト１４２に沿って運送されるプリント回路基板Ｂの表面から一部の異物を除去する。図３は図１のII−II線の断面図であって、異物除去部材１８０の一例を示す。図３に示すように、異物除去部材１８０は第１ローラ１８２、第２ローラ１８４、上部ローラ１８６、及び下部ローラ１８８を具備する。第１ローラ１８２と第２ローラ１８４はコンベアベルト１４２（図９Ａ乃至図９Ｂ参照）を間に置いて対向するように配置される。第２ローラ１８４はコンベアベルトら１４２の間に位置する。第１ローラ１８２と第２ローラ１８４とはコンベアベルト１４２に沿って移送されるプリント回路基板Ｂの上面及び下面と接触できるように配置される。第１ローラ１８２と第２ローラ１８４はそれぞれプリント回路基板Ｂとの摩擦力により回転できる。選択的に第１ローラ１８２と第２ローラ１８４とを回転させる駆動機（図示せず）が提供され得る。
【００３９】
第１ローラ１８２と第２ローラ１８４の各々の外周面には接着層１８２ａ、１８４ａが提供される。接着層１８２ａ、１８４ａは第１ローラ１８２と第２ローラ１８４がプリント回路基板Ｂと接触する時、プリント回路基板Ｂ上に付着した異物をプリント回路基板Ｂから除去する。第１ローラ１８２と第２ローラ１８４の接着層の接着力はプリント回路基板Ｂ１８６ａ、プリント回路基板Ｂ上の異物を除去できる程度に提供される。
【００４０】
上部ローラ１８６は第１ローラ１８２に付着した異物を除去し、下部ローラ１８８は第２ローラ１８４に付着した異物を除去する。上部ローラ１８６は第１ローラ１８２の上部に第１ローラ１８２と接触するように配置され、下部ローラ１８８は第２ローラ１８４の下部に第２ローラ１８４と接触するように配置される。上部ローラ１８６及び下部ローラ１８８の外周面には接着層１８６ａ、１８８ａが提供される。上部ローラ１８６及び下部ローラ１８８の接着層の接着力は、第１ローラ１８２、又は下部ローラ１８８と接着することなく、第１ローラ１８２又は第２ローラ１８４上の異物を除去できる程度に提供される。上部ローラ１８６と下部ローラ１８８の接着層１８６ａ、１８８ａの接着力は第１ローラ１８２と第２ローラ１８４の接着層１８２ａ、１８４ａの接着力より大きく提供される。
【００４１】
図３のように、下部ローラ１８８と上部ローラ１８６は上下方向に一直線になるように配置され、第２ローラ１８４と第１ローラ１８２は上下方向に一直線になるように配置され、上部ローラ１８６と第１ローラ１８２は垂直線より傾斜するように配置され得る。選択的に、図４のように下部ローラ１８８、第２ローラ１８４、第１ローラ１８２、及び上部ローラ１８６は上下方向に一直線になるように配置され得る。
【００４２】
搬出ユニット２０は積載台２２０、運搬台２４０、及び水平移動機２６０を具備する。搬出ユニット２０の運搬台２４０と搬入ユニット１０の運搬台１４０は平行に並んで対向するように配置される。搬出ユニット２０と搬入ユニット１０の互いに対応する構成は、搬入ユニット１０と搬出ユニット２０との間の中央線を基準に互いに線対称となるように配置される。搬出ユニット２０の積載台２２０、運搬台２４０、及び水平移動機２６０は搬入ユニット１０の積載台１２０、運搬台１４０、及び水平移動機１６０とほぼ類似の構造を有する。但し、搬出ユニット２０の積載台２２０でセンサ（図示せず）は昇降板が既設定の高さまで下降したか否かを検出して、昇降板が既設定の高さまで下降すると、作業者又は自動運送装置が昇降板上に載置されたプリント回路基板Ｂを積載台２２０から除去する。また、搬出ユニット２０におけるコンベアベルト２４２の回転方向と搬入ユニット１０におけるコンベアベルト１４２の回転方向とは互いに対して逆方向であるように提供される。
【００４３】
検査ユニット３０はプリント回路基板Ｂをカメラで撮影し、撮影された画像からプリント回路基板Ｂが不良であるか否かを検出する。不良検査はプリント回路基板Ｂに形成されたパターンに断線、短絡、凹み、合線などがあるか否かを検査するパターン検査であり得る。選択的に不良検査はプリント回路基板Ｂの上面又は下面に異物が残留しているか否かを検査する異物検査であり得る。異物はパターン上に付着した異物であるか、プリント回路基板Ｂに形成された開口の切断面に残存する削り跡（ｂｕｒｒ）、またはプリント回路基板Ｂの表面に付着したパーティクルなどであり得る。
【００４４】
検査ユニット３０はステージユニット３００、撮影部材４２０、４４０、反転部材５００、及び映像処理器６００を具備する。図５は図１のステージユニット３００の斜視図である。図５に示すように、ステージユニット３００はベース３２０と複数のステージ３４０を有する。ステージユニット３００はその中心軸を基準に回転する。ベース３２０は上部から見て略正方形の板状を有する。ベース３２０の下部面の中央には上記のモータ３２６によって回転する駆動軸３２４が固定設置される。ベース３２０の各辺にはステージ３４０が設置される。ステージ３４０はベース３２０と共に回転するようにベース３２０の各辺からベース３２０の外側に延長される。各々のステージ３４０は長方形の板状を有し、ステージ３４０の長い辺の長さはベース３２０の一辺の長さとほぼ同一であるように提供される。
【００４５】
各々のステージ３４０の上面にはスリット形成の長溝３４２が形成される。各々の溝３４２はステージ３４０の外側辺から内側に所定長さ延長される。各々の溝３４２はステージ３４０の短い辺と平行するように形成される。溝３４２は互いに並んで形成される。溝３４２は後述の反転部材５００のフィンガ５１０がプリント回路基板Ｂをステージ３４０に載置するかステージ３４０から持ち上げる時、フィンガ５１０の移動経路として機能する。
【００４６】
ベース３２０は所定角度、またはその倍数の角度で回転する。例えば、所定角度は３６０度をステージ３４０の数で分けた角度であり得る。本実施の形態のようにステージ３４０が四つ提供される場合、ベース３２０は９０度、またはその倍数の間隔で回転できる。
【００４７】
各々のステージ３４０は回転によって初期位置Ｐ１、検査位置Ｐ２、Ｐ４、及び反転位置Ｐ３の間を移動する。初期位置Ｐ１は搬入ユニット１０及び搬出ユニット２０と検査ユニット３０がプリント回路基板Ｂを受け渡す位置である。検査位置Ｐ２、Ｐ４は撮影部材４２０、４４０によりプリント回路基板Ｂの撮影が行われる位置である。反転位置Ｐ３はプリント回路基板Ｂの上面と下面が反転される位置である。検査位置Ｐ２、Ｐ４は複数個が提供されることができ、本実施の形態では検査位置Ｐ２、Ｐ４が二ケ所である。一つ目の検査位置を第１検査位置Ｐ２とし、二つ目の検査位置を第２検査位置Ｐ４とする。
【００４８】
本実施の形態において、第１検査位置Ｐ２はベース３２０の第１側領域であって、第２検査位置Ｐ４はベース３２０の第２側領域である。第１側と第２側は対向する領域である。反転位置Ｐ３はベース３２０の第３側領域であって、第３側は第１側及び第２側と垂直をなす領域である。初期位置Ｐ１はベース３２０の第４側領域であって、第４側は第３側と対向する領域である。第４側は搬入ユニット１０及び搬出ユニット２０と隣接する領域である。ベース３２０が一方向に回転する時、各々のステージ３４０は初期位置Ｐ１から第１検査位置Ｐ２、反転位置Ｐ３、第３検査位置Ｐ２、P４を経て、また初期位置Ｐ１に戻る。
【００４９】
ベース３２０の第１側領域には第１撮影部材４２０が設置され、ベース３２０の第２側領域には第２撮影部材４４０が設置される。第１撮影部材４２０と第２撮影部材４４０にはカメラが用いられる。第１撮影部材４２０と第２撮影部材４４０は同じ解像度でプリント回路基板Ｂを撮影するように提供され得る。選択的に第１撮影部材４２０と第２撮影部材４４０とは、互いに異なる解像度でプリント回路基板Ｂを撮影するように提供され得る。第１撮影部材４２０と第２撮影部材４４０とは互いに異なるプリント回路基板Ｂの上面を撮影できる。選択的に第１撮影部材４２０と第２撮影部材４４０は同じプリント回路基板Ｂを撮影するが、第１撮影部材４２０はプリント回路基板Ｂの上面を撮影し、第２撮影部材４４０はプリント回路基板Ｂの下面を撮影することができる。
【００５０】
撮影部材によって撮影された画像は映像処理器６００に伝送される。映像処理器６００は撮影画像からプリント回路基板Ｂにパターンの不良があるか否か、又はプリント回路基板Ｂのパターンまたは表面に異物が付着しているか否かを判読する。
【００５１】
ベース３２０の第３側領域には反転部材５００が設置される。図６は図１の反転部材５００の斜視図である。反転部材５００はフィンガ５１０、連結ロッド５２０、回転軸５３０、支持ブロック５４０、垂直支持台５５０、及びブラケット５６０を有する。フィンガ５１０はプリント回路基板Ｂをホールディングする。フィンガ５１０はその一面の端部に真空ホール５１２ａが形成されたピン５１２を有する。ピン５１２は一列に複数個が提供されることができる。フィンガ５１０は複数個が提供されることができ、本実施の形態では四つのフィンガ５１０が提供される。フィンガ５１０は互いに並んで配置され、ステージ３４０に形成された溝３４２に相応するように提供される。フィンガ５１０は回転運動、前後方向に直線運動、及び上下方向に直線運動するように提供される。駆動機はフィンガ５１０を回転させる回転駆動機５６２、フィンガ５１０を前後方向に直線移動させる水平駆動機５６４、及びフィンガ５１０を上下方向に直線移動させる垂直駆動機５６６を有する。
【００５２】
フィンガ５１０の一端は連結ロッド５２０に固定設置される。連結ロッド５２０は回転軸５３０に固定設置され、回転軸５３０は支持ブロック５４０によって支持される。支持ブロック５４０は略直方体形状を有する。回転軸５３０の一部は支持ブロック５４０内に挿入され、一部は支持ブロック５４０より突出する。回転軸５３０は支持ブロック５４０に対して回転でき、前後方向に移動できるように支持ブロック５４０に結合される。回転軸５３０の一端には回転駆動機５６２であるモータが設置される。水平駆動機５６４は回転軸５３０を前後方向に移動させ、水平駆動機５６４としては油圧シリンダが使用され得る。垂直支持台５５０には上下方向に一直線になるように提供されるガイドレール５５２が設置される。ガイドレール５５２には垂直支持台５５０に対して上下方向に移動できるようにブラケット５６０が結合され、支持ブロック５４０はブラケット５６０に固定結合される。ブラケット５６０は垂直駆動機５６６によって上下に移動する。
【００５３】
図７Ａ乃至図７Ｅは反転部材５００がステージ３４０上に載置されたプリント回路基板Ｂを反転させる過程を順次に示す図である。先ず、ピン５１２が下方に突出した状態でフィンガ５１０がプリント回路基板Ｂを真空吸着する。フィンガ５１０は上方向に所定高さ移動してプリント回路基板Ｂをステージ３４０から持ち上げる（図７Ａ)。次に、フィンガ５１０はプリント回路基板Ｂがステージ３４０の側部に離間するように後方移動する（図７Ｂ）。回転軸５３０によってフィンガ５１０が１８０度回転してプリント回路基板Ｂが反転される（図７Ｃ）。プリント回路基板Ｂはフィンガ５１０上に載置される。フィンガ５１０が前方移動してプリント回路基板Ｂがステージ３４０の上部に位置する（図７Ｄ）。その後、フィンガが下方に移動されてプリント回路基板Ｂはステージ３４０上に置かれ、フィンガ５１０はステージ３４０に形成された溝３４２内に挿入される（図７Ｅ）。フィンガ５１０の真空が遮断され、フィンガ５１０は後進移動される。
【００５４】
上記実施の形態と異なって、フィンガ５１０がプリント回路基板Ｂをステージ３４０から十分な高さまで持ち上げ、ステージ３４０の上部で即座にプリント回路基板Ｂを回転させることができる。
また、上記実施の形態と異なって、先ず、フィンガ５１０がステージ３４０に提供される溝３４２内に挿入された後、上部に移動することによってプリント回路基板Ｂをステージ３４０から持ち上げることができる。その後、フィンガ５１０が１８０度回転してプリント回路基板Ｂを反転させ、プリント回路基板Ｂがフィンガ５１０の下でフィンガ５１０に真空吸着された状態で、フィンガ５１０がプリント回路基板Ｂをステージ３４０に載置することができる。
【００５５】
図８は、図１の移送ユニット４０の斜視図である。移送ユニット４０は初期位置Ｐ１に移動されたステージ３４０上のプリント回路基板Ｂを搬出ユニット２０に移動させ、これと同時に搬入ユニット１０に載置されたプリント回路基板Ｂを初期位置Ｐ１に移動されたステージ３４０上に移動させる構造を有する。
図８に示すように、移送ユニット４０は回転体７１０、第１アーム７２０、第２アーム７４０、支持板７７０、及び駆動機７８０を有する。第１アーム７２０と第２アーム７４０とはそれぞれロッド形状を有し、プリント回路基板Ｂをホールディングする。第１アーム７２０と第２アーム７４０の下面の端部にはプリント回路基板Ｂを真空吸着できるように真空ホール７２２が形成される。第１アーム７２０は回転体７１０からその側方向に延長される。第２アーム７４０は第１アーム７２０と同じ平面上に配置され、第１アーム７２０と垂直をなすように回転体７１０から側方向に延長される。第１アーム７２０、第２アーム７４０、及び回転体７１０は上部から見て、左右反転したＬ字形状字形状を有する。第１アーム７２０と第２アーム７４０とは回転体７１０と共に回転して駆動できるように回転体７１０に結合される。第１アーム７２０、第２アーム７４０、及び回転体７１０は一体に製造できる。
【００５６】
回転体７１０は搬入ユニット１０、搬出ユニット２０、及び初期位置Ｐ１に載置されたステージ３４０によって定義される空間に設置される。回転体７１０には回転軸７６０が固定結合され、回転軸７６０の下には支持板７７０が位置する。回転軸７６０は支持板７７０に対して回転でき、支持板７７０と共に上下移動できるように支持板７７０に結合される。駆動機７８０は回転体７１０を回転させる回転駆動機７８２と回転体７１０を上下方向に直線移動させる垂直駆動機７８４とを有する。回転駆動機７８２は回転軸７６０に結合され、支持板７７０に設置される。回転駆動機７８２としてはモータ又はロータリシリンダが使用され得る。垂直駆動機７８４には直線移動の油圧シリンダが使用され得る。
【００５７】
図９Ａと図９Ｂは移送ユニット４０がプリント回路基板Ｂを移送する過程を示す図である。搬入ユニット１０の運搬台１４０上には積載台１２０から移送された検査が遂行されるプリント回路基板Ｂ１が置かれ、検査ユニット３０の初期位置Ｐ１に移動されたステージ３４０上には撮影が完了したプリント回路基板Ｂ２が載置される。移送ユニット４０の第１アーム７２０は搬入ユニット１０の運搬台１４０の上部に位置し、第２アーム７４０は検査ユニット３０の初期位置Ｐ１に移動されたステージ３４０の上部に位置する。回転体７１０が下に移動し、第１アーム７２０は搬入ユニット１０の運搬台１４０に載置されたプリント回路基板Ｂ１を真空吸着し、第２アーム７４０は初期位置Ｐ１に移動されたステージ３４０上に載置されたプリント回路基板Ｂ２を真空吸着する（図９Ａ)。回転体７１０が上方向に移動し、第２アーム７４０が搬出ユニット２０に向かう方向に９０度回転する。第２アーム７４０は搬出ユニット２０の運搬台１４０の上部に移動され、第１アーム７２０は初期位置Ｐ１に載置されたステージ３４０の上部に移動される。第１アーム７２０と第２アーム７４０とが下方に移動する。第１アーム７２０に吸着されたプリント回路基板Ｂ１は初期位置Ｐ１に載置されたステージ３４０上に置かれ、第２アーム７４０に載置されたプリント回路基板Ｂ２は搬出ユニット２０の運搬台１４０上に載置される（図９Ｂ)。ステージ３４０は回転し、回転体７１０は第１アーム７２０が搬入ユニット１０に向かう方向に９０度回転する。第１アーム７２０はまた搬入ユニット１０の運搬台１４０の上部に位置し、第２アーム７４０は初期位置Ｐ１に移動されたステージ３４０上に移動される。上述の過程は継続的に繰り返される。
【００５８】
次に、図１０を参照してプリント回路基板Ｂが不良であるか否かを検査する方法の一例について説明する。プリント回路基板Ｂは検査が遂行される順序に基づき、第１基板、第２基板、第３基板、・・・と称する。ステージ３４０は時計回りに載置される順序に基づき、第１ステージ、第２ステージ、第３ステージ、及び第４ステージと称する。
【００５９】
先ず、各々のプリント回路基板Ｂに対して検査を遂行する面を決定する（Ｓ１０）。検査面はプリント回路基板Ｂの両面であるか、プリント回路基板Ｂの一面である。一面はパターンが形成されたプリント回路基板Ｂの上面であり得る。
【００６０】
検査面が両面である場合には、各々のプリント回路基板Ｂは初期位置Ｐ１、第１検査位置Ｐ２、反転位置Ｐ３、及び第２検査位置Ｐ４を経て、初期位置Ｐ１に再度移動され、第１検査位置Ｐ２でプリント回路基板Ｂの上面の撮影、反転位置Ｐ３でプリント回路基板Ｂの反転、そして第２検査位置Ｐ４でプリント回路基板Ｂの下面の撮影が行われる。具体的な検査方法の一例は次の通りである。
【００６１】
第１基板、第２基板、第３基板、…は上から下の順に積載台１２０内に載置される。水平移動機１６０は積載台１２０から第１基板を搬入ユニット１０の運搬台１４０に移動させる。コンベアベルト１４２の回転によって運搬台１４０内で第１基板は検査ユニット３０に向かう方向に移動される。移動途中に異物除去部材１８０によって第１基板上に付着した異物の一部が除去される。第２基板、第３基板、…は所定時間間隔に継続的に第１基板と同様に積載台１２０から搬入ユニット１０に移動される。初期位置Ｐ１には第１ステージが載置される。移送ユニット４０は第１基板を第１ステージに移送する（Ｓ１１０）。
【００６２】
ステージユニット３００が時計回りに９０度回転する。第１ステージは第１検査位置Ｐ２に移動され、第２ステージが初期位置Ｐ１に移動される（Ｓ１２０）。
【００６３】
第１基板の上面が撮影され、第２基板が搬入ユニット１０から第２ステージに移動される（Ｓ１３０）。
【００６４】
ステージユニット３００が時計回りに９０度回転する。第１ステージは反転位置Ｐ３に移動され、第２ステージ３４０は第１検査位置Ｐ２に移動され、第３ステージは初期位置Ｐ１に移動される（Ｓ１４０）。
【００６５】
第１基板が反転され、第２基板の上面が撮影され、第３基板が第３ステージに移動される（Ｓ１５０）。
【００６６】
ステージユニット３００が時計回りに９０度回転する。第１ステージは第２検査位置Ｐ４に移動され、第２ステージは反転位置Ｐ３に移動され、第３ステージは第１検査位置Ｐ２に移動され、第４ステージは初期位置Ｐ１に移動される（Ｓ１６０）。
【００６７】
第１基板の後面が撮影され、第２基板が反転され、第３基板の上面が撮影され、第４基板が第４ステージに移動される（Ｓ１７０）。
【００６８】
ステージユニット３００が時計回りに９０度回転する。第１ステージは初期位置Ｐ１に移動され、第２ステージは第２検査位置Ｐ４に移動され、第３ステージは反転位置Ｐ３に移動され、第４ステージは第１検査位置Ｐ２に移動される（Ｓ１８０）。
【００６９】
初期位置Ｐ１から第１基板は搬出ユニット２０の運搬台２４０に移動され、これと同時に第５基板が第１ステージに移動される。第２基板の後面が撮影され、第３基板が反転され、第４基板の上面が撮影される（Ｓ１９０）。
【００７０】
第１基板は搬出ユニット２０の運搬台１４０から積載台１２０に移動される。
【００７１】
上述の過程は継続的に繰り返され、初期位置Ｐ１に載置されたステージ３４０から検査が完了したプリント回路基板Ｂの移動、及び検査が遂行されるプリント回路基板Ｂの初期位置Ｐ１に載置されたステージ３４０への移動は同時に行われる。
【００７２】
検査面が上面のみである場合には、各々のプリント回路基板Ｂは初期位置Ｐ１、第１検査位置Ｐ２と第２検査位置Ｐ４のうち何れか一つを経て、初期位置Ｐ１に再度移動される。第１検査位置Ｐ２と第２検査位置Ｐ４とで互いに異なるプリント回路基板Ｂの上面の撮影が行われる。この場合、プリント回路基板Ｂの反転は行われない。具体的な検査方法の一例は次の通りである。
【００７３】
搬入ユニット１０でプリント回路基板Ｂが移送される過程は上述の検査面が両面である場合と同一である。
【００７４】
第１基板は搬入ユニット１０で初期位置Ｐ１に載置された第１ステージに移動される（Ｓ２１０）。
【００７５】
ステージユニット３００が時計回りに１８０度回転する。第１ステージは反転位置Ｐ３に移動され、第２ステージは第１検査位置Ｐ２に移動され、第３ステージは初期位置Ｐ１に移動される（Ｓ２２０）。
【００７６】
第２基板が第３ステージに移動される（Ｓ２３０）。
【００７７】
ステージユニット３００が時計回りに９０度回転する。第１ステージは第２検査位置Ｐ４に移動され、第２ステージは反転位置Ｐ３に移動され、第３ステージは第１検査位置Ｐ２に移動され、第４ステージは初期位置Ｐ１に移動される（Ｓ２４０）。
【００７８】
第１基板及び第２基板の上面の撮影が行われる（Ｓ２５０）。
【００７９】
ステージユニット３００が時計回りに９０度回転する。第１ステージは初期位置Ｐ１に移動され、第２ステージは第２検査位置Ｐ４に移動され、第３ステージは反転位置Ｐ３に移動され、第４ステージは第１検査位置Ｐ２に移動される（Ｓ２６０）。
【００８０】
第１基板が搬出ユニット２０に移動され、これと同時に第３基板が第１ステージに移動される（Ｓ２７０）。
【００８１】
ステージユニット３００が時計回りに１８０度回転する。第１ステージは反転位置Ｐ３に移動され、第２ステージは第１検査位置Ｐ２に移動され、第３ステージは初期位置Ｐ１に移動され、第４ステージは第２検査位置Ｐ４に移動される（Ｓ２８０）。
【００８２】
第２基板が搬出ユニット２０に移動され、これと同時に第３基板が第１ステージに移動される（Ｓ２９０）。
【００８３】
上述の過程は継続的に繰り返され、初期位置Ｐ１に載置されたステージ３４０から検査が完了したプリント回路基板Ｂの移動、及び検査が遂行されるプリント回路基板Ｂの初期位置Ｐ１に載置されたステージ３４０への移動は同時に行われる。
【００８４】
上述の実施の形態においては、先ずプリント回路基板Ｂの検査面を選択し、次に検査が行われる場合を例に挙げて説明した。この場合、第１撮影部材４２０と第２撮影部材４４０は同じ解像度でプリント回路基板Ｂを撮影できるように提供される。選択的にプリント回路基板Ｂの両面を検査面として行われることができる。この場合、パターンが形成された面を撮影する第１撮影部材は反対面を撮影する第２撮影部材に比べて高い解像度でプリント回路基板Ｂを撮影するように提供されることができる。
【００８５】
上述の実施の形態においては、ステージユニット３００が四つのステージ３４０を有する場合を例に挙げて説明した。しかし、ステージユニット３００はこれより多数のステージ３４０を有することができる。例えば、ステージ３４０は六つが提供され、各々のステージ３４０は初期位置、第１検査位置、第２検査位置、反転位置、第３検査位置、及び第４検査位置を経て、初期位置に再度移動することができる。この場合、ステージユニット３００は一回に６０度ずつ回転することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の好ましい実施の形態による検査装置の平面図である。
【図２】図１の積載台の一例を示す断面図である。
【図３】図１の異物除去部材の一例を示す断面図である。
【図４】図１の異物除去部材の他の例を示す断面図である。
【図５】図１のステージユニットの斜視図である。
【図６】図１の反転ユニットの斜視図である。
【図７Ａ】本発明の実施の形態によるプリント回路基板を反転する過程を順次に示す図である。
【図７Ｂ】本発明の実施の形態によるプリント回路基板を反転する過程を順次に示す図である。
【図７Ｃ】本発明の実施の形態によるプリント回路基板を反転する過程を順次に示す図である。
【図７Ｄ】本発明の実施の形態によるプリント回路基板を反転する過程を順次に示す図である。
【図７Ｅ】本発明の実施の形態によるプリント回路基板を反転する過程を順次に示す図である。
【図８】図１の移送ユニットの斜視図である。
【図９Ａ】本発明の実施の形態による移送ユニットによってプリント回路基板が移送される過程を示す図である。
【図９Ｂ】本発明の実施の形態による移送ユニットによってプリント回路基板が移送される過程を示す図である。
【図１０】本発明の好ましい実施の形態による検査方法を順次に示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００８７】
１０    搬入ユニット
２０    搬出ユニット
３０    検査ユニット
４０    移送ユニット
１２０  積載台
１４０  運搬台
１８０  異物除去部材
３２０  ベース
３４０  ステージ
４２０  第１撮影部材
４４０  第２撮影部材
５１０  フィンガ
７１０  回転体
７２０  第１アーム
７４０  第２アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図７Ｅ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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