(57)【要約】【課題】キャリアテープのエッチング処理を精度良く均一に施すことを可能とする。【解決手段】上面にキャリアテープ１を走行させ、内部にエッチング液が供給されるボックス３と、ボックスの上面に設けられ、ボックスの内部に供給されるエッチング液を潤滑用として、ボックスの上面を走行するキャリアテープの裏面に向けて噴出する噴出孔１８と、ボックスの上方に設けられ、エッチング液を配線パターン形成用として、ボックスの上面を走行するキャリアテープの表面に向けて吐出するエッチング液吐出装置２とを備え、キャリアテープをエッチングして配線パターンを形成するＴＡＢテープの製造装置において、ボックス３に設けられ、キャリアテープ１の搬送用孔と対応するボックス３の上面の位置に開口を有し、使用済みエッチング液をキャリアテープの搬送用孔を介して排出する排出路１３を備えたことを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面にキャリアテープを走行させ、内部にエッチング液が供給されるボックスと、
前記ボックスの上面に設けられ、前記ボックスの内部に供給されるエッチング液を潤滑用として、前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの裏面に向けて噴出する噴出孔と、
前記ボックスの上方に設けられ、エッチング液を配線パターン形成用として、前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの表面に向けて吐出するエッチング液吐出装置とを備え、キャリアテープをエッチングして配線パターンを形成するＴＡＢテープの製造装置において、
前記ボックスに、前記キャリアテープの搬送用孔と対応する前記ボックスの上面の位置に開口を有し、使用済みエッチング液を前記キャリアテープの搬送用孔を介して排出する排出路を備えたことを特徴とするＴＡＢテープの製造装置。
【請求項２】
前記排出路は、使用済みエッチング液を自重により排出させる排出路であることを特徴とする請求項１に記載のＴＡＢテープの製造装置。
【請求項３】
前記排出路に、使用済みエッチング液を強制的に排出させる真空ラインを接続したことを特徴とする請求項１又は２に記載のＴＡＢテープの製造装置。
【請求項４】
前記エッチング液吐出装置がキャリアテープの幅方向に複数個設けられたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＴＡＢテープの製造装置。
【請求項５】
前記エッチング液吐出装置がスプレーノズルであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のＴＡＢテープの製造装置。
【請求項６】
キャリアテープをエッチングして配線パターンを形成するＴＡＢテープの製造方法であって、
内部にエッチング液が供給されるボックスの上面に前記キャリアテープを走行させる工程と、
前記ボックス上面に設けた噴出孔から、前記ボックスの内部に供給されるエッチング液を潤滑用として、前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの裏面に向けて噴出する工程と、
前記ボックスの上方に設けたエッチング液吐出装置から、配線パターン形成用としてエッチング液を前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの表面に向けて吐出する工程と、
前記キャリアテープの搬送用孔に対応する前記ボックス上面の位置に設けた開口を有する排出路から、使用済みエッチング液を前記キャリアテープの搬送用孔を介して排出する工程と、
を有することを特徴とするＴＡＢテープの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢテープの製造装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープは、主に液晶ドライバーに用いられるＩＣの中間基板に用いられる。液晶ドライバーのような電子機器には、小型化・高機能化を実現するための高密度実装性が強く求められている。そのため、ＴＡＢテープ等の電子部品用の中間基板においても、微細配線を設けて小型化・高機能化にすることが必要となっている。このとき、ＴＡＢテープの微細配線パターン形成にはエッチング方式が採用されている。このエッチング方式を採用した処理装置（湿式化学処理装置）による、エッチング処理の概要を以下に説明する。
【０００３】
図３は、従来例のローラー２２を用いたローラー搬送方式のＴＡＢテープの製造装置の断面図である。ＴＡＢテープの製造装置は、テープ基材７上に設けられた銅箔６表面に、スクリーン印刷法や写真・現像法などにより、感光性レジスト９で所望の配線パターン状に形成されたキャリアテープ１を、搬送方向に平行又は垂直に配管された複数のスプレーノズル１２の下方に送り込み、ローラー２２を用いて搬送させるように構成されている。
【０００４】
キャリアテープ１を上述のようにローラー２２によって搬送しながら、スプレーノズル１２からキャリアテープ１の表面に、塩化第二鉄などの配線パターン形成用エッチング液８を噴射し、感光性レジスト９が形成されていない部分の銅箔６を腐食により取り除き、配線パターンを形成するというエッチング処理を行う。
上記エッチング処理後、キャリアテープ１表面に滞留している使用済みエッチング液を除去し、感光性レジスト９を剥がすことにより、所望の配線パターンを有するＴＡＢテープが得られる。
【０００５】
しかし、上述したローラー搬送方式には、精度良く、均一にエッチング処理を行う上で問題があった。
キャリアテープ１幅方向両端部では、使用済みエッチング液１１はキャリアテープ１幅方向両端部から直ちに流れ落ちることにより速やかに排出され、キャリアテープ１の表面に滞留しないという傾向がある。
これに対して、キャリアテープ１表面中間部では、使用済みエッチング液１１がキャリアテープ１表面から効率よく排出されないため滞留しやすいという傾向がある。特に広幅かつ多条銅箔を有するキャリアテープ１では、複数のスプレーノズル１２を用いるので、キャリアテープ１表面の中間部にスプレー干渉が発生し、そのスプレー干渉部分にエッチング液１１が滞留しやすい。
したがって、キャリアテープ１表面においては、滞留した使用済みエッチング液１１が原因で、新たに供給されるエッチング液８によるキャリアテープ１のエッチング処理を阻害することになる。その結果、キャリアテープ１の中間部と幅方向両端部においてエッチング状態に大きな差が生じることになる。
【０００６】
そこで、エッチング液８のスプレー噴射の圧力により、滞留する使用済みエッチング液１１を除去する技術（例えば、特許文献１）、スプレーノズル１２を所定周期で反復揺動させることにより使用済みエッチング液１１の滞留を防止する技術（例えば、特許文献２）、キャリアテープ１を傾けて搬送しながらスプレーノズル１２によりエッチング液８を噴射することにより使用済みエッチング液１１の滞留を防止する技術（例えば、特許文献３）が提案されている。
【０００７】
しかし、上記したいずれの従来技術を用いても、キャリアテープを均一にエッチングすることに関して、なお改善の余地があった。
【０００８】
そこで、キャリアテープを改良し、キャリアテープ表面の銅箔部分以外の中間部にスリットを設ける技術が提案された（例えば、特許文献４）。これによれば、キャリアテープ表面中間部に滞留する使用済みエッチング液を、そのスリットを介して下方へ速やかに除去することができる。
【０００９】
ところで、ローラーの代わりにエッチングプレートを用いた、プレート搬送方式のエッチング処理装置が提案されている（例えば、特許文献５）。キャリアテープをより安定に走行させるために、キャリアテープとの接触をローラーによる線接触からプレートによる面接触とするためである。
図４は、そのようなプレート搬送方式のＴＡＢテープの製造装置の断面図である。
このプレート搬送方式では、潤滑用となるエッチング液が、エッチング液供給孔１９を通り、エッチングプレート２０の下方に設けられたチャンバ１７に供給され、噴出孔１８よりキャリアテープ１の裏面側に一定圧力で噴出される。そして、スプレーノズル１２からスプレー噴射されるエッチング液８の圧力とつりあうような圧力をキャリアテープ１裏面に与える。
これにより、キャリアテープ１裏面とエッチングプレート２０の間に潤滑膜液４が形成され、キャリアテープ１の搬送を滑らかに行うことができる。従って、キャリアテープ１の搬送速度が一定に保たれ、エッチング処理のムラをなくすことができる。
【００１０】
【特許文献１】特開平５−１２１８５８号公報
【特許文献２】特開平７−１０３０９号公報
【特許文献３】特開２００５−１０１１６８号公報
【特許文献４】特開２００５−９３６４２号公報
【特許文献５】特開２００１−１８５５８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところが、プレート搬送方式にも、キャリアテープ表面中間部から使用済みエッチング液を排出できないという問題があった。
そこで、プレート搬送方式に、スリット付きキャリアテープ（特許文献４）を適用することも考えられる。
【００１２】
しかしながら、プレート搬送方式の場合、ローラー間に除去用の空間が形成されるローラー搬送方式と異なり、エッチングプレート２０の存在によりキャリアテープ下部に除去用の空間が形成されないため、そのスリットを介してキャリアテープ１表面中間部から、使用済みエッチング液１１を速やかに除去することができない。逆に、スリット付きのキャリアテープを用いると、潤滑用のエッチング液がスリットを介してキャリアテープ１表面にあふれ出すおそれがある。
したがって、プレート搬送方式では、ローラー搬送方式に有効であったスリット付きテープが適用できず、キャリアテープ表面中間部から使用済みエッチング液を有効に排出できないため、エッチング処理を精度良く均一に施すことが困難であった。
なお、このことは、図５に示すように、プレート搬送方式に、実線と点線の間でスプレーノズルを揺動させるスプレーノズル揺動方式（特許文献２）や、スリット２３を形成したキャリアテープ１（特許文献４）を適用したところで事情は同じである。
【００１３】
本発明の目的は、キャリアテープを精度良く均一にエッチングすることが可能なＴＡＢ
テープの製造装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の第１の態様は、上面にキャリアテープを走行させ、内部にエッチング液が供給されるボックスと、前記ボックスの上面に設けられ、前記ボックスの内部に供給されるエッチング液を潤滑用として、前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの裏面に向けて噴出する噴出孔と、前記ボックスの上方に設けられ、エッチング液を配線パターン形成用として、前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの表面に向けて吐出するエッチング液吐出装置とを備えて、キャリアテープをエッチングして配線パターンを形成するＴＡＢテープの製造装置において、前記ボックスに、前記キャリアテープの搬送用孔と対応する前記ボックスの上面の位置に開口を有し、使用済みエッチング液を前記キャリアテープの搬送用孔を介して排出する排出路を備えたことを特徴とする。
【００１５】
本発明の第２の態様は、第１の態様に記載の発明において、前記排出路は、使用済みエッチング液を自重により排出させる排出路であることを特徴とする。
【００１６】
本発明の第３の態様は、第１又は第２の態様に記載の発明において、前記排出路に、使用済みエッチング液を強制的に排出させる真空ラインを接続したことを特徴とする。
【００１７】
本発明の第４の態様は、第１乃至第３のいずれかの態様に記載の発明において、前記エッチング液吐出装置がキャリアテープの幅方向に複数個設けられたことを特徴とする。
【００１８】
本発明の第５の態様は、第１乃至第４のいずれかの態様に記載の発明において、前記エッチング液吐出装置がスプレーノズルであることを特徴とする。
【００１９】
本発明の第６の態様は、キャリアテープをエッチングして配線パターンを形成するＴＡＢテープの製造方法であって、内部にエッチング液が供給されるボックスの上面に前記キャリアテープを走行させる工程と、前記ボックス上面に設けた噴出孔から、前記ボックスの内部に供給されるエッチング液を潤滑用として、前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの裏面に向けて噴出する工程と、前記ボックスの上方に設けたエッチング液吐出装置から、配線パターン形成用としてエッチング液を前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの表面に向けて吐出する工程と、前記キャリアテープの搬送用孔に対応する前記ボックス上面の位置に設けた開口を有する排出路から、使用済みエッチング液を前記キャリアテープの搬送用孔を介して排出する工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、キャリアテープを精度良く均一にエッチングすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明するが、この実施の形態は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能である。
【００２２】
まず、図２を用いて本実施の形態で用いられるキャリアテープの構造について説明する。図２（ａ）はキャリアテープの平面図であり、図２（ｂ）はその断面図である。
ここに例示されているキャリアテープは、ＴＡＢテープを効率良く大量に生産するために、そのテープを長さ方向に切断して、配線パターンが形成される導電層を有する複数条のキャリアテープを得る幅の広い多数条取りのキャリアテープである。また、ＴＡＢテープとは、キャリアテープ上の導電層をエッチングして配線パターンを形成したものをいう。
【００２３】
図示例のキャリアテープ１は３条取りのキャリアテープである。そのキャリアテープ１のベースはテープ状のフィルム基材７から構成される。フィルム基材７としては、絶縁性および可撓性を有する樹脂、例えばポリイミド系樹脂が挙げられる。フィルム基材７の表面のテープの長さ方向に複数条の導電層、例えば３条の銅箔６が設けられる。フィルム基材７に形成される搬送用孔例えばスプロケットホール５は、銅箔６の両側に２列１組で、合計３組形成されている。３条の銅箔６上に、配線パターンをエッチング形成するためのレジストパターンがフォトレジスト９により形成されている。このようにして多数条取りキャリアテープ１が構成される。
【００２４】
次に、上述した多数条取りキャリアテープ１の銅箔６をエッチングしてＴＡＢテープを製造するＴＡＢテープ製造装置について説明する。このＴＡＢテープ製造装置は、キャリアテープ１を走行させるためのボックス３と、キャリアテープ１にエッチング液を吐出するエッチング吐出装置２とを備える。
【００２５】
ボックス３は、多数条取りのキャリアテープ１に対応させるために、キャリアテープ１の幅と略等しい幅を有している。このボックス３の上面３ａがキャリアテープ１を走行させる走行面となっている。走行面となるボックス３の上面３ａは、ボックス３の天板で構成しても、ボックス３の天板上に設けた平滑面を有するプレートで構成することもできる（以下、ボックス天板又はボックス上に設けたプレートの上面を単にボックスの上面という）。また、ボックス３は、テープキャリア１を安定走行させるために必要な長さを有している。なお、ボックス３の上面３ａの幅方向両側部には、キャリアテープ１の摩擦、損傷を防止するためにテーパが形成されている。
【００２６】
ボックス３の内部にエッチング液が供給されるチャンバ１７を有する。チャンバ１７は、多数条取りのキャリアテープ１の条数に対応させるためにボックス３の幅方向に複数列設けてある。複数列のチャンバ１７は隔壁によって区画形成され、各チャンバ１７に供給されるエッチング液が互いに混合されないように構成されている。実施の形態では、ボックス３は、３列のチャンバ１７を有して、ボックス上面３ａに３条取りのキャリアテープ１を走行できるようになっている。
【００２７】
ボックス３には、その上面３ａに潤滑用のエッチング液を噴出する複数の噴出孔１８が設けられている。複数の噴出孔１８は、チャンバ１７内に供給されるエッチング液をボックス３の上面３ａを走行するキャリアテープ１の裏面に向けて噴出できるように、チャンバ１７毎に構成されている。複数の噴出孔１８は、ボックス３の幅方向、すなわち、キャリアテープ１の幅方向の各条の略中央位置に対応させた位置に形成されている。また、複数の噴出孔１８は、ボックス３の長さ方向、すなわち、キャリアテープ１の長さ方向の各条の中央位置に対応させた位置に所定間隔離間させて形成されている。各噴出孔１８は、種々の形状とすることが可能であり、例えば円形、四角形、さらにはスリットとすることも可能である。
【００２８】
エッチング吐出装置２は、ボックス３の上方に設けられる。エッチング吐出装置２は、エッチング液を、配線パターン形成用として、ボックス３の上面３ａを走行するキャリアテープ１の表面に向けて吐出するように構成される。エッチング吐出装置２は、ボックス３の上面３ａを走行するキャリアテープ１の幅方向及び長さ方向をともにカバーするように、ボックス３の上方の幅方向、及びボックス３の上方の長さ方向に複数設けられる。
【００２９】
エッチング吐出装置２は、具体的にはスプレーノズル２１で構成される。一台のスプレーノズル２１で幅広のキャリアテープ１をカバーすることも可能であるが、通常は多数条取りのキャリアテープ１に合わせて条数と同数のスプレーノズル２１が幅方向に所定間隔を開けて配置される。また、長さ方向には、各条毎に、所定間隔を開けて複数のスプレー
ノズル２１が配置される。実施の態様では、キャリアテープ１の幅方向に３個（３列）のスプレーノズル２１が設けられている。複数のスプレーノズル２１を用いてキャリアテープ１を幅方向に亘って確実にエッチングさせるために、図示するように、相隣るスプレーノズル２１から噴射されるエッチング液同士をスプレー流れの下流側で干渉させている。
【００３０】
ボックス３には、使用済みエッチング液をキャリアテープ１のスプロケットホール５を介して排出する複数の排出路１３が設けられる。この排出路１３は、テープ中間部のスプロケットホール５からのエッチング液の排出を促進するために設けられる。排出路１３は、例えば、複数のチャンバ１７間の隔壁内に設けられる。排出路１３は、使用済みエッチング液を自重により排出させるように、その路軸方向を重力方向に向けて配設されている。排出路１３は、キャリアテープ１のスプロケットホール５と対応するボックス３の上面３ａ位置に導入開口１０ａを有し、下面位置に排出開口１０ｂを有する。
複数の排出路１３の開口１０ａは、ボックス３の幅方向、すなわち、キャリアテープ１の幅方向の各条のスプロケットホール５に対応させた位置に形成されている。また、複数の排出路１３の開口１０ａは、ボックス３の長さ方向、すなわち、キャリアテープ１の長さ方向の各条のスプロケットホール５位置に対応させた位置に所定間隔離間させて形成されている。排出路１３の開口１０ａ、１０ｂ及び排出路断面は、種々の形状とすることが可能であり、例えば円形、四角形とすることも可能である。
【００３１】
エッチング液貯留タンク１５からスプレーノズル用供給配管１６が複数のスプレーノズル２１に接続されて、複数のスプレーノズル２１に配線パターン形成用のエッチング液をそれぞれ供給できるようになっている。エッチング液貯留タンク１５からボックス用供給配管１６が複数のチャンバ１７のエッチング液供給孔１９に接続されて、複数のチャンバ１７に潤滑用のエッチング液をそれぞれ供給できるようになっている。
【００３２】
各スプレーノズル２１からキャリアテープ１の表面に吐出されたエッチング液８のうち、キャリアテープ１の幅方向の両端部から排出されて装置底部に溜まるエッチング液、及び上記排出路１３から排出されて装置底部に溜まるエッチング液は、適宜、回収配管１４を介して、図示しない再生装置を通過した後、再びエッチング液貯留タンク１５にリサイクルされるようになっている。
【００３３】
上述したような構成により、スプレーノズル２１及びボックス３の噴出孔１８からのエッチング液を、ボックス３の上面３ａを走行するキャリアテープ１の上方及び下方からキャリアテープ１に供給しつつ、キャリアテープ１の幅方向両端部及び中間部から排出することにより、各条の銅箔６をマスクパターンに従ってエッチングして配線パターンを形成することが可能となっている。
【００３４】
この際、表裏両方向から一定圧力がキャリアテープ１に加えられることにより、キャリアテープ１の搬送が円滑に行われる。また、ボックス３の噴出孔１８から、キャリアテープ１の裏面にエッチング液を噴出しつつ、キャリアテープ１を走行させてエッチング処理を行うので、噴出されたエッチング液が、ボックス３の上面３ａとキャリアテープ１の裏面との間で、膜状に広がって潤滑膜液４として機能する。この潤滑膜液４によってキャリアテープ１とボックス３の上面３ａ間の摩擦が軽減されることにより、キャリアテープ１は円滑かつ安定に走行する。
【００３５】
また、エッチング処理後の使用済みエッチング液は、キャリアテープ１の幅方向の両端部側に向かって流れ、ボックス３の幅方向両端部から落下してキャリアテープ１上面３ａから排出される（左右の白抜き矢印１１ａ）。また、各条のスプロケットホール５近傍の使用済みエッチング液はスプロケットホール５を経て導入開口１０ａから排出路１３に流れ込み、排出路１３を通り導出開口１０ｂから排出される（中間の白抜き矢印１１ｂ）。
従って、キャリアテープ１の幅方向両端部からのみならず、キャリアテープ１の幅方向中間部からも排出されるので、各条のキャリアテープ内、各条のキャリアテープ間で均一に精度良く銅箔をエッチングすることができる。なお、排出路１３からは使用済みエッチング液が自重により排出されるので、省エネ化を図ることができる。
この場合において、排出路１３の開口１０ａは、ボックス３に設けた噴出孔１８と連通しないように設けられているので、潤滑用のエッチング液と使用済みエッチング液とが混ざらず、キャリアテープ１のエッチング量をより確実に面内均一にすることができる。
【００３６】
ところで、キャリアテープ１の幅方向両端部は流路が開放されているので、エッチング液１１ａを多量に流すことが可能である。しかし、中間部はスプロケットホール５及び排出路１３の流路断面積が制約されているので、排出路１３からの自重排出に頼ると、エッチング液１１ｂを多量に流すことは困難である。そこで、なお改善の余地がある。
【００３７】
キャリアテープ１の中間部では、両端部においてオープンド接続する場合と異なり、ボックス３の排出路１３をエッチング液回収配管１４にクローズド接続することができる。このため、排出路１３に真空ポンプをつないで強制的にエッチング液１１ｂを排出させれば、両端部と同等の量のエッチング液１１ｂを中間部から流すことが可能である。
【００３８】
そこで、本実施の別な形態では、排出路１３に、使用済みエッチング液を強制的に排出させる真空ポンプを備えた真空ラインを接続するようにしている。これによれば、真空ポンプにより排出流量を増大できるから、中間部からエッチング液１１ｂをより確実に排出できる。従って、中間部の排出路１３からの排出量を両端部と同等レベルに増加させることができる。その結果、キャリアテープ１のエッチング処理をさらに精度良く均一に施すことができる。
【００３９】
上述したキャリアテープをエッチングして配線パターンを形成するＴＡＢテープの製造方法は、つぎの各工程を含む。
内部にエッチング液が供給されるボックスの上面に前記キャリアテープを走行させる工程と、前記ボックス上面に設けた噴出孔から、前記ボックスの内部に供給されるエッチング液を潤滑用として、前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの裏面に向けて噴出する工程と、前記ボックスの上方に設けたエッチング液吐出装置から、配線パターン形成用としてエッチング液を前記ボックスの上面を走行する前記キャリアテープの表面に向けて吐出する工程と、前記キャリアテープの搬送用孔に対応する前記ボックス上面の位置に設けた開口を有する排出路から、使用済みエッチング液を前記キャリアテープの搬送用孔を介して排出する工程と、を有する。
【００４０】
上記実施の形態によれば、次の効果を奏する。
ボックスに排出路を設けることにより、使用済みのエッチング液は、搬送用孔であるスプロケットホールから導入開口を介して排出路から排出されるので、使用済みエッチング液がキャリアテープ上に滞留しなくなる。したがって、キャリアテープのエッチング量を確実に面内均一にすることができ、キャリアテープを精度良く均一にエッチングすることができる。
【００４１】
また、キャリアテープのスプロケットホールを用いて使用済みのエッチング液を排出させることができるので、キャリアテープのスプロケットホールを変形したり、キャリアテープにスリット等の排出口を特別に設けたりする必要がなく、既存のキャリアテープをそのまま適用できる。本発明は、もちろん搬送用孔を変形したキャリアテープや、スリット等の排出口を設けたキャリアテープにも適用可能である。
【００４２】
また、特に排出路に真空ポンプを接続する場合には、使用済みエッチング液の排出がよ
り促進されるので、キャリアテープのエッチング量をより確実に面内均一にすることができる。
【００４３】
また、複数のスプレーノズルからのエッチング液が、スプロケットホール上で互いに干渉するようにキャリアテープに噴射される場合に、特に干渉部分での使用済みエッチング液の滞留の問題が生じやすいが、本実施の形態によれば、スプロケットホールに対応して排出路を設けることにより、干渉部に滞留する使用済みエッチング液をテープキャリアのスプロケットホールを介して排出路から排出させるので、このような問題を有効に解決できる。
【００４４】
また、複数列のチャンバを備えたボックス上に１条取りのキャリアテープを走行させる場合においても本発明は適用可能である。１条取りのキャリアテープを複数列のチャンバを備えたボックスの上面の中央列に配置して走行させると、キャリアテープの両側に配置される排出路から使用済みエッチング液を排出できる。従って、１条取りのキャリアテープであっても、エッチング量をより確実に面内均一にすることができる。本発明は、複数列ｎのチャンバを有するボックス３を用いて、ｍ（１≦ｍ≦ｎ−１）条取りのキャリアテープを走行させてエッチングする場合にも適用可能である。
【００４５】
なお、上述した実施の形態では、多数条取りキャリアテープに対応させてボックスのチャンバを複数個設けるようにしたが、共通チャンバを１個設けるようにしてもよい。
【００４６】
また、キャリアテープにおいて、ボックスの排出路に連通する開口を搬送用孔としたが、銅箔各条の相隣る中間領域のキャリアテープの搬送用孔に代えて、搬送方向に縦長のスリットを設けてもかまわない。また、排出路の導入開口の周囲に、排出路側に下向きに傾斜しているテーパを形成するのが好ましい。これにより、テーパがない場合に比べて使用済みエッチング液をより有効に除去することができるためである。
また、上記排出路がキャリアテープの搬送方向に長孔状の導入開口及び導出開口を有する偏平路からなることが好ましい。排出路が偏平状に形成されていれば、使用済みエッチング液を効率よく排出することができ、液溜まりをより有効に防ぐことができるからである。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態に係るＴＡＢテープの製造装置の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るキャリアテープの平面図及び断面図である。
【図３】従来例のＴＡＢテープの製造装置の断面図である。
【図４】従来例のＴＡＢテープの製造装置の断面図である。
【図５】従来例のＴＡＢテープの製造装置の断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１    キャリアテープ
２    エッチング液吐出装置
３    ボックス
４    潤滑膜液
５    スプロケットホール
６    銅箔
７    テープ基材
８    配線パターン形成用エッチング液
９    感光性レジスト
１０    開口
１１    使用済みエッチング液
１２    スプレーノズル
１３    排出路
１４    エッチング液回収配管
１５    エッチング液貯留タンク
１６    エッチング液供給配管
１７    チャンバ
１８    噴出孔
１９    エッチング液供給孔
２０    エッチングプレート
２１    スプレーノズル
２２    ローラー
２３    スリット
【図１】
2009027108.tif 000003
【図２】
2009027108.tif 000004
【図３】
2009027108.tif 000005
【図４】
2009027108.tif 000006
【図５】
2009027108.tif 000007