(57)【要約】【課題】実装基板上に配置された、互いに厚みが異なる第１及び第２の半導体装置と、第１及び第２の半導体装置の頂部表面にそれぞれ形成された第１の端子電極及び第２の端子電極を相互に接続する導体パターンを有する配線用基板と、を有する電子装置において、製造プロセスを煩雑化することなく、高周波特性のばらつきを抑制できる電子装置を提供する。【解決手段】電子装置１０では、導体パターン２１上に形成されたバンプ電極２５の段数と、導体パターン２２上に形成されたバンプ電極２５の段数とが異なる。導体パターン２１上に形成されたバンプ電極２５の頂部と導体パターン２２上に形成されたバンプ電極２５の頂部とが同じ高さにある。【選択図】図１
2009076562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
実装基板上に配置された、互いに厚みが異なる第１及び第２の半導体装置と、該第１及び第２の半導体装置の頂部表面にそれぞれ形成された第１の端子電極及び第２の端子電極を相互に接続する導体パターンを有する配線用基板と、を備える電子装置であって、
前記第１の端子電極上に形成されたバンプ電極の段数と、前記第２の端子電極上に形成されたバンプ電極の段数とが異なり、第１の端子電極上に形成されたバンプ電極の頂部と第２の端子電極上に形成されたバンプ電極の頂部とが同じ高さにあることを特徴とする電子装置。
【請求項２】
前記第１及び第２の端子電極の少なくとも一方に縦積みされた複数のバンプ電極では、バンプ電極の横方向の断面が上段に向かうほど小さくなることを特徴とする、請求項１に記載の電子装置。
【請求項３】
前記バンプ電極がＡｕからなる、請求項２に記載の電子装置。
【請求項４】
前記第１の半導体装置が、表面に導体パターンが形成された誘電体基板を含み、前記第２の半導体装置がベアチップ型半導体装置からなることを特徴とする、請求項１〜３の何れか一に記載の電子装置。
【請求項５】
マイクロ波帯又はミリ波帯の高周波信号の送受信機として構成される、請求項１〜４の何れか一に記載の電子装置。
【請求項６】
高さが相互に異なる第１の端子電極と第２の端子電極とを、平坦な導体を介して接続する電極接続方法において、
前記第１の端子電極上に形成するバンプ電極の段数と、前記第２の端子電極上に形成するバンプ電極の段数とを調節して、双方の端子電極上のバンプ電極の頂部を同じ高さにすることを特徴とする電極接続方法。
【請求項７】
前記バンプ電極のそれぞれを、金属線状体から形成することを特徴とする、請求項６に記載の電極接続方法。
【請求項８】
前記金属線状体がＡｕからなる、請求項７に記載の電極接続方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子装置及び電極接続方法に関し、更に詳しくは、実装基板上に配置された、互いに厚みが異なる第１及び第２の半導体装置と、第１及び第２の半導体装置の頂部表面にそれぞれ形成された第１の端子電極及び第２の端子電極を相互に接続する導体パターンを有する配線用基板と、を有する電子装置、及び、高さが相互に異なる第１の端子電極と第２の端子電極とを、平坦な導体を介して接続する電極接続方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロ波帯やミリ波帯といった高周波信号の送受信機として構成される電子装置が知られている。このような電子装置では、図３に示すように、実装基板１１の表面に形成された接地パターン上に半導体装置１２，１３を接着し、それらの上面に形成された導体パターン２１，２２の間をワイヤボンディングで接続する方法が採用されている。ワイヤボンディングは、特に厚みが互いに異なる半導体装置間を接続する際に多用される。半導体装置１２，１３は、実装基板などの誘電体基板や、チップ座面に電極端子が形成されたベアチップなどである。
【０００３】
ところで、図３の電子装置３０では、使用する周波数が高くなるほど、隣接するワイヤ３１間や、ワイヤ３１と誘電体基板１２上に形成された導体パターン２１との間、ワイヤ３１とベアチップ１３との間の結合容量が大きくなる。ワイヤ３１は、その形成に際して長さのばらつきが大きいため、結合容量の大きさもばらつき、従って、電子装置３０の高周波特性がばらつく問題があった。
【０００４】
特許文献１は、互いに高さの異なる一対の導体パターン間を、ピラー電極及び配線用基板を用いて接続した電子装置を記載している。この電子装置では、個々のピラー電極は、対応する導体パターンの高さに応じた厚みを有し、高さの揃った一対のピラー電極の頂部が配線用基板によって互いに接続されている。
【特許文献１】特開平１０−６４９５３号公報（図１，４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の電子装置では、一対の導体パターン間を、高さの揃ったピラー電極及び配線用基板を用いて接続するので、ワイヤ３１を用いてボンディングする従来の電子装置３０に比して、配線長のばらつきを抑えることが出来る。しかし、同文献によれば、厚みの異なるピラー電極の形成に際して、基板上にフォトレジスト層を塗布する工程や、このフォトレジスト層に径を調節してスルーホールを形成する工程、めっき法によってスルーホール内にピラー電極を形成する工程など多くの工程を必要とし、製造プロセスが煩雑化する問題があった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑み、互いに高さの異なる一対の電極端子の間を電気的に接続する際に、製造プロセスを煩雑化することなく、且つ、高周波特性のばらつきを抑制するように接続する電子装置及び電極形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の電子装置は、
実装基板上に配置された、互いに厚みが異なる第１及び第２の半導体装置と、該第１及び第２の半導体装置の頂部表面にそれぞれ形成された第１の端子電極及び第２の端子電極を相互に接続する導体パターンを有する配線用基板と、を備える電子装置であって、
前記第１の端子電極上に形成されたバンプ電極の段数と、前記第２の端子電極上に形成されたバンプ電極の段数とが異なり、第１の端子電極上に形成されたバンプ電極の頂部と第２の端子電極上に形成されたバンプ電極の頂部とが同じ高さにあることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の電極接続方法は、
高さが相互に異なる第１の端子電極と第２の端子電極とを、平坦な導体を介して接続する電極接続方法において、
前記第１の端子電極上に形成するバンプ電極の段数と、前記第２の端子電極上に形成するバンプ電極の段数とを調節して、双方の端子電極上のバンプ電極の頂部を同じ高さにすることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の電子装置及び電極接続方法によれば、電極端子間をワイヤを用いてボンディングした従来の電子装置に比して、一対の電極端子間の配線長のばらつきを抑制でき、電子装置における高周波特性のばらつきを抑制できる。バンプ電極を高さ方向に重ねて形成することは容易であるので、電子装置の製造プロセスの煩雑化を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、添付図面を参照し、本発明の実施例を詳しく説明する。図１は、本発明の第１実施例に係る電子装置の断面図である。電子装置１０は、例えばマイクロ波帯の信号の送受信機であって、実装基板１１と、実装基板１１上に配設された誘電体基板１２及びベアチップ（ベアチップ型半導体装置）１３と、これら誘電体基板１２及びベアチップ１３の上方に配設された配線用基板１４とを有する。誘電体基板１２及びベアチップ１３が、本発明の半導体装置に対応する。
【００１１】
誘電体基板１２及びベアチップ１３は、実装基板１１の表面に形成された図示しない接地パターンに対してダイアタッチで接着され、上面には導体パターン２１，２２が形成されている。誘電体基板１２は、ベアチップ１３よりも大きな厚みを有している。配線用基板１４は、誘電体基板２３と、この誘電体基板２３の表面に形成された導体パターン２４とを有する。配線用基板１４は、導体パターン２４が形成された面が実装基板１１に対向するように配設され、誘電体基板１２上の導体パターン２１と配線用基板１４の導体パターン２４との間、及び、ベアチップ１３の導体パターン２２と配線用基板１４の導体パターン２４との間は、バンプ電極２５（２５ａ〜２５ｄ）を介してそれぞれ接続されている。
【００１２】
誘電体基板１２上の導体パターン２１と配線用基板１４の導体パターン２４との間には、１つのバンプ電極２５ａが介在している。ベアチップ１３の導体パターン２２と配線用基板１４の導体パターン２４との間には、縦積みされた３つのバンプ電極２５ｂ〜２５ｄが介在している。バンプ電極２５ａの頂部の高さとバンプ電極２５ｄの頂部の高さとは、互いに揃っている。バンプ電極２５ａ〜２５ｄは、例えばＡｕからなる。
【００１３】
上記のように、誘電体基板１２上の導体パターン２１とベアチップ１３の導体パターン２２との間は、バンプ電極２５ａ、導体パターン２４、及び、バンプ電極２５ｂ〜２５ｄを介して、接続されている。バンプ電極２５は、スタッドバンプであり、金からなる金属線状体（金線）の先端部を放電等によってボール状に形成し、このボール状部分を超音波を用いて目的部分に固定すると共に、ボール状部分から金線を切断することによって形成される。３段に縦積みされたバンプ電極２５ｂ〜２５ｄは、そのようなボール状のバンプ電極２５を高さ方向に重ねて形成することによって形成される。
【００１４】
配線用基板１４の取付けに際しては、頂部の高さが揃ったバンプ電極２５ａ，２５ｄ上に導体パターン２４を接触させて、超音波振動を与えることによって、バンプ電極２５ａ，２５ｄと導体パターン２４とを接続させる。ここで、配線用基板１４の取付けの先立って、バンプ電極２５ａの頂部の高さとバンプ電極２５ｄの頂部の高さとを厳密に揃える必要はない。これは、Ａｕからなるバンプ電極２５は比較的変形し易いので、配線用基板１４の取付けに際して、それらの高さに若干の差があっても、バンプ電極２５の変形によって、この差を容易に吸収できるためである。
【００１５】
上記電子装置１０では、ベアチップ１３の導体パターン２２と配線用基板１４の導体パターン２４との間を、縦積みされた複数のバンプ電極２５ｂ〜２５ｄを介して接続するので、バンプ電極２５ａの頂部の高さとバンプ電極２５ｄの頂部の高さとを揃えることが出来る。このため、バンプ電極２５ａとバンプ電極２５ｄとの間を表面に平坦な導体パターン２４が形成された配線用基板１４を介して接続できる。これによって、一対の導体パターン間をワイヤを用いてボンディングした従来の電子装置に比して、一対の導体パターン２１，２２間の配線長のばらつきを抑制でき、電子装置の高周波特性のばらつきを抑制できる。
【００１６】
縦積みされた複数のバンプ電極２５ｂ〜２５ｄは、ボール状のバンプ電極２５を高さ方向に重ねて形成することによって容易に形成できる。また、配線用基板１４の取付けに先立って、バンプ電極２５ａの頂部の高さとバンプ電極２５ｄの頂部の高さとを厳密に揃えなくても、配線用基板１４の取付けに際して、Ａｕからなるバンプ電極２５の変形によって、それらの高さを容易に調節できる。このため、電子装置１０の製造プロセスの煩雑化を防止できる。
【００１７】
なお、バンプ電極２５ｄの頂部との高さを揃えるために、誘電体基板１２上の導体パターン２１と配線用基板１４の導体パターン２４との間にも複数のバンプ電極２５を介在させてもよい。また、バンプ電極２５間、又は、バンプ電極２５と誘電体基板１２上の導体パターン２１や、ベアチップ１３の導体パターン２２、配線用基板１４の導体パターン２４との間の接続には、超音波以外にも、熱圧着等の方法を用いてもよい。バンプ電極２５の材料は、Ａｕに限定されないが、変形し易い性質を有することが望ましい。
【００１８】
図２は、本発明の第２実施例に係る電子装置の断面図である。電子装置１５では、ベアチップ１３の導体パターン２２と配線用基板１４の導体パターン２４との間が、縦積みされた４つのバンプ電極２５ｂ〜２５ｅを介して接続されている。４つのバンプ電極２５ｂ〜２５ｅは、上段に向かうほど寸法が小さくなり、横方向の断面が小さくなっている。バンプ電極２５の寸法は、例えば金線の先端部をボール状に形成する際の放電の強さを調節し、或いは、金線の太さを調節することによって制御できる。
【００１９】
本実施例の電子装置１５では、バンプ電極２５ｂ〜２５ｅを重ねて形成する際や、配線用基板１４を配設する際に、バンプ電極２５ｂ〜２５ｅを高さ方向に安定させることが出来る。
【００２０】
以上、本発明をその好適な実施例に基づいて説明したが、本発明の電子装置及び電極形成方法は、上記実施例の構成にのみ限定されるものではなく、上記実施例の構成から種々の修正及び変更を施したものも、本発明の範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施例に係る電子装置の断面図である。
【図２】本発明の第２実施例に係る電子装置の断面図である。
【図３】従来の電子装置の断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０：電子装置
１１：実装基板
１２：誘電体基板（半導体装置）
１３：ベアチップ（半導体装置）
１４：配線用基板
１５：電子装置
２１：導体パターン
２２：導体パターン
２３：誘電体基板
２４：導体パターン
２５，２５ａ〜２５ｅ：バンプ電極
３０：電子装置
３１：ワイヤ
【図１】
2009076562.tif 000003
【図２】
2009076562.tif 000004
【図３】
2009076562.tif 000005