(57)【要約】【課題】クリーンルーム内のダウンフローを阻害することが抑制された可動式の防煙垂れ壁を提供する。【解決手段】防煙垂れ壁３は、ダウンフローが形成されるクリーンルーム内において、レール４上を移動する台車５によって被搬送物６を搬送する天井搬送設備のレール４と交差する方向に延在するものである。防煙垂れ壁３は、レール４の上方に設けられた固定部分３１０と、固定部分３１０に対して下方向にスライド移動可能に該固定部分３１０に取り付けられた可動部分３２０とを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダウンフローが形成されるクリーンルーム内において、レール上を移動する台車によって被搬送物を搬送する天井搬送設備の前記レールと交差する方向に延在する防煙垂れ壁であって、
前記レールの上方に設けられた固定部分と、
前記固定部分に対して下方向にスライド移動可能に該固定部分に取り付けられた可動部分とを備えた、防煙垂れ壁。
【請求項２】
前記クリーンルームの天井は、前記ダウンフローを通過させるフィルタと、該フィルタを支持するフレームとを含み、
前記防煙垂れ壁は前記フレームの直下に設けられ、前記防煙垂れ壁の厚みは前記フレームの幅よりも小さい、請求項１に記載の防煙垂れ壁。
【請求項３】
前記可動部分は、前記固定部分に対して下方向にスライド移動可能な第１部分と、該第１部分に対して下方向にスライド移動可能な第２部分とを含む、請求項１または請求項２に記載の防煙垂れ壁。
【請求項４】
前記クリーンルーム内の火災が検知されたことに基づいて前記可動部分を前記固定部分に対して下方向にスライド移動させる、請求項１から請求項３のいずれかに記載の防煙垂れ壁。
【請求項５】
前記可動部分に固定された第１係合部と、
前記可動部分と重なるように前記固定部分に固定され、前記第１係合部と係合することによって前記可動部分を持ち上げた状態で固定する第２係合部と、
前記第１係合部に対する前記第２係合部の係合および該係合の解除を手動で行なうことが可能な係合操作部とをさらに備えた、請求項１から請求項４のいずれかに記載の防煙垂れ壁。
【請求項６】
前記可動部分に固定された第１係合部と、
前記可動部分と重なるように前記固定部分に固定され、前記第１係合部と係合することによって前記可動部分を持ち上げた状態で固定する第２係合部と、
前記第２係合部を進退動させて前記第１係合部に対する係合および該係合の解除を電動で行なうアクチュエータと、
前記第２係合部と同軸上に設けられ、該第２係合部を前記第１係合部に向けて付勢する付勢部分とをさらに備えた、請求項１から請求項５のいずれかに記載の防煙垂れ壁。
【請求項７】
前記可動部分に当接することで前記固定部分に対する前記可動部分の下方向への移動を所定の位置で止めるストッパ部と、
前記ストッパ部上に設けられた衝撃吸収部とをさらに備えた、請求項１から請求項６のいずれかに記載の防煙垂れ壁。
【請求項８】
前記固定部分と前記可動部分との間に設けられ、前記固定部分に対してスライド移動する前記可動部分をガイドするガイド部分をさらに備え、
前記可動部分は、該可動部分の端部を折り曲げることによって形成され前記可動部分の幅方向外側から前記ガイド部分を覆うカバー部分を含む、請求項１から請求項７のいずれかに記載の防煙垂れ壁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防煙垂れ壁に関し、特に、クリーンルームの天井に設けられる防煙垂れ壁に関する。
【背景技術】
【０００２】
建築基準法で定められた防煙区画を行なうための構成として、天井から所定量（たとえば５００ｍｍ以上）垂れ下がる防煙垂れ壁が用いられる。
【０００３】
このような防煙垂れ壁としては、固定式のものと可動式のものとが従来から用いられている。たとえば、特開平１０−１２７７９９号公報（特許文献１）には、可動式の防煙垂れ壁として、非使用時には天井と同一面に保持することが可能な防煙垂れ壁が記載されている。また、特開平８−８４７８１号公報（特許文献２）には、非使用時には天井部に設けた巻取装置に防煙垂れ壁を巻き込んで収納し、使用時にはこれを垂下させる防煙垂れ壁が記載されている。
【特許文献１】特開平１０−１２７７９９号公報
【特許文献２】特開平８−８４７８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体などの製造に用いられるクリーンルーム内においても、防煙垂れ壁を設けることが必要である。クリーンルーム内では、天井搬送設備が用いられるため、床面からの有効スペースを確保する観点からは、非使用時には収納される可動式の防煙垂れ壁を用いることが好ましい。
【０００５】
他方、クリーンルーム内では、天井から下方向に向かうダウンフローが形成されている。可動式の防煙垂れ壁を用いることによって、このダウンフローを阻害しないようにすることが好ましい。
【０００６】
特許文献１に記載の防煙垂れ壁では、非使用時に天井と同一面に収納された防煙垂れ壁によってダウンフローが遮断される。また、特許文献２に記載の防煙垂れ壁では、天井内に非使用時の防煙垂れ壁を巻き込む巻取装置を設ける必要があるため、ダウンフローを形成するための開口の面積が侵食される。いずれにしても、クリーンルーム内のダウンフローが阻害される。
【０００７】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、クリーンルーム内のダウンフローを阻害することが抑制された可動式の防煙垂れ壁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施の形態に係る防煙垂れ壁は、ダウンフローが形成されるクリーンルーム内において、レール上を移動する台車によって被搬送物を搬送する天井搬送設備のレールと交差する方向に延在する防煙垂れ壁である。上記防煙垂れ壁は、レールの上方に設けられた固定部分と、固定部分に対して下方向にスライド移動可能に該固定部分に取り付けられた可動部分とを備えている。
【発明の効果】
【０００９】
この実施の形態によれば、クリーンルーム内のダウンフローへの影響を抑制しながら、クリーンルーム内においてレールの設置高さを高くして有効スペースを拡大することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。
【００１１】
なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の構成を適宜組合わせることは、当初から予定されている。
【００１２】
図１は、本発明の１つの実施の形態に係る防煙垂れ壁の側面図である。図１を参照して、本実施の形態に係る防煙垂れ壁は、クリーンルームの天井から垂れ下がるように設けられるものである。防煙垂れ壁は、火災時に建築基準法で定められた防煙区画を行なうために設けられる。
【００１３】
図１に示すように、クリーンルームの天井は、フィルタ１とフレーム２とを含んで構成される。フレーム２は、天井面内に格子状に配置される。格子状に配置されたフレーム２上にフィルタ１が設置される。フィルタ１に向けて、空気流が形成されている。フィルタ１は空気流を通過させる。この結果、図１中の矢印に示すように、クリーンルーム内において天井から下方向に向かう気流（ダウンフロー）が形成されている。防煙垂れ壁３は、フレーム２から垂れ下がるようにフレーム２の直下に設けられている。防煙垂れ壁３の厚み（Ｔ）は、フレーム２の幅（Ｄ）と同じか、または、当該幅（Ｄ）よりも小さい。
【００１４】
図２は、上記防煙垂れ壁３および該防煙垂れ壁の下部を通過する天井搬送設備を示す斜視図である。なお、図３は、図２に示す防煙垂れ壁３および天井搬送設備をレール４の方向から見た状態を示す図である。
【００１５】
図２，図３を参照して、クリーンルームの天井近くには、天井搬送設備が設けられている。天井搬送設備は、防煙垂れ壁３の延在方向に対して交差する方向に延在するレール４と、レール４上を移動する台車５とを含んで構成される。台車５上に被搬送物６が搭載される。これによって、被搬送物６がクリーンルーム内においてレール４に沿って移動する。被搬送物６は、たとえば半導体ウエハを保持したカセットを収納したケースである。
【００１６】
図２，図３に示すように、防煙垂れ壁３は、固定部分３１０と、可動部分３２０と、ガイド部分３３０とを含んで構成される。固定部分３１０は、レール４に対して交差するようにレール４の上方に設けられる。固定部分３１０の下部は、一部が凹むように形成され、当該凹みの下部にレール４が通されている。上記のような凹みを設けることにより、台車５および被搬送物６が通るスペースを確保しながら、レール４を防煙垂れ壁３に近づけることができるので、クリーンルーム内の有効スペースを拡大することができる。
【００１７】
防煙垂れ壁３の全高さは、たとえば５００ｍｍであり、上記凹みの深さは、たとえば２５０ｍｍである。また、上記凹みの幅は、たとえば３００〜４００ｍｍ程度である。
【００１８】
他方、防煙垂れ壁３は、火災時に所定の高さを確保する必要がある。そこで、本実施の形態では、火災時に上記の凹みを塞ぐための可動部分３２０を設けている。可動部分３２０は、固定部分３１０に取り付けられている。そして、可動部分３２０は、ガイド部分３３０に沿って、固定部分３１０に対して上下方向（矢印ＤＲ１方向）にスライド移動可能である。図２（ａ）および図３（ａ）に示すように、通常時には、可動部分３２０は固定部分３１０と重なるように固定部分３１０に係止され、台車５に搭載された被搬送物６は、固定部分３１０に設けられた凹みを通過する。これに対し、火災時には、図２（ｂ）および図３（ｂ）に示すように、可動部分３２０は、固定部分３１０に設けられた凹みを塞ぐように固定部分３１０に対して下方向にスライド移動する。なお、火災時には、天井搬送設備が停止されるため、レール４と防煙垂れ壁３との間に被搬送物６を通過させるスペースを確保する必要はない。すなわち、レール４は、可動部分３２０が落下して上記凹みを塞いだ場合にも、可動部分３２０とレール４および台車５とが接触しない範囲（すなわち、可動部分３２０の下方向へのスライド移動が阻害されない範囲）でできるだけ上側に設けることが好ましい。
【００１９】
次に、図４を用いて、上記防煙垂れ壁の変形例について説明する。すなわち、図４（ｃ）の例では、可動部分３２０は、固定部分３１０に取り付けられた第１部分３２０Ａと、第１部分３２０Ａに取り付けられた第２部分３２０Ｂとを含んで構成される。このようにすることで、動作時（火災時）の垂れ壁の高さを確保しながら、固定部分３１０の高さをさらに低減することができるので、レール４をさらに上側に設置することができる。すなわち、図４（ｂ）の例のように、可動部分３２０を１枚のパネルで構成した場合は、固定部分３１０のみの従来の防煙垂れ壁（図４（ａ））に対してレール４をＬ１だけ上側に設けることができるのに対し、図４（ｃ）の例のように、可動部分３２０を２枚のパネルで構成した場合は、従来の防煙垂れ壁（図４（ｃ））に対してレール４をＬ２（＞Ｌ１）だけ上側に設けることができる。
【００２０】
次に、図５を用いて、上記防煙垂れ壁の動作機構の一例について説明する。図５に示すように、防煙垂れ壁３の動作機構は、火災検知器７と、防煙垂れ壁作動装置８と、火災検知器制御盤９と、天井搬送設備制御盤１０と、防煙垂れ壁装置制御盤１１とを含んで構成される。
【００２１】
火災検知器７は、煙感知性のものであってもよいし、熱感知性のものであってもよい。いずれにしても、火災検知器７によって、クリーンルーム内の火災の発生が検知される。そうすると、火災検知器制御盤９から、防煙垂れ壁装置制御盤１１に「火災信号」が送信される。防煙垂れ壁装置制御盤１１は、火災検知器制御盤９からの「火災信号」に基づいて、天井搬送設備制御盤１０に「停止信号」を発信する。「停止信号」を受信した天井搬送設備制御盤１０は、レール４上の台車５の動作を停止させる。その後、防煙垂れ壁装置制御盤１１は、防煙垂れ壁作動装置８に「作動信号」を発信する。「作動信号」を受信した防煙垂れ壁作動装置８は、可動部分３２０を固定部分３１０に対して下方向にスライド移動させて、固定部分３１０の凹みを塞ぐ。これにより、クリーンルーム内の防煙区画が行なわれる。
【００２２】
次に、図６〜図８を用いて、上記防煙垂れ壁における可動部分３２０の固定部分３１０に対する係止構造３４０について説明する。なお、図７，図８は、それぞれ、図６におけるＶII−ＶII断面図，ＶIII−ＶIII断面図である。
【００２３】
図６〜図８を参照して、可動部分３２０の係止構造３４０は、可動部分３２０を跨ぐように、かつ、可動部分３２０と重なるように固定部分３１０に固定されたＬ字部材３４１と、Ｌ字部材３４１に固定されたアクチュエータ３４２および手動レバー３４３と、手動レバー３４３の外周に巻回されたコイルスプリング３４４と、ブッシュ３４５と、ブッシュ３４５およびアクチュエータ３４２に固定されるプレート３４６と、プレート３４６に固定される棒状のピン３４７と、可動部分３２０に固定されたリング状のラッチ３４８とを含んで構成される。
【００２４】
ラッチ３４８（第１係合部）にピン３４７（第２係合部）が挿通されることで、可動部分３２０が持ち上げられた状態で固定部分３１０に対して係止される。すなわち、ピン３４７は、可動部分３２０と重なるようにＬ字部材３４１を介して固定部分３１０に固定され、ラッチ３４８と係合することによって可動部分３２０を持ち上げた状態で固定する。
【００２５】
電動のアクチュエータ３４２は、プレート３４６を介してピン３４７を軸方向に移動させ、ラッチ３４８に対するピン３４７の係合を解除したり、ラッチ３４８に対してピン３４７を再係合させることができる。電動のアクチュエータ３４２は、通常時には、プレート３４６を矢印ＤＲ３４２方向に動かさないようにロックしている。これにより、ピン３４７とラッチ３４８との係合が確保され、可動部分３２０が持ち上げられた状態で固定部分３１０に係止される。
【００２６】
手動レバー３４３（係合操作部）は、ピン３４７と同軸に設けられている。手動レバー３４３を回動させることにより、ピン３４７を軸方向に移動させて、ラッチ３４８に対するピン３４７の係合を解除したり、ラッチ３４８に対してピン３４７を再係合させることができる。したがって、一度落下した可動部分３２０のパネルを再度持ち上げて固定する（以下、「可動部分３２０を再セッティングする。」という。）際、１人の作業者が一方の手で可動部分３２０を持ち上げながら、他方の手で手動レバー３４３を操作してピン３４７をラッチ３４８に係合させることで、可動部分３２０を持ち上げた状態で固定することができる。なお、この際、アクチュエータ３４２のロックは解除されている。上記のような作業は、防煙垂れ壁３の動作点検のたびに必要である。上記のように、可動部分３２０に近い位置に固定された手動レバー３４３の操作によってピン３４７およびラッチ３４８の係合／係合解除を行なうことができるようにすることで、１人の作業者によって可動部分３２０を再セッティングすることができるようになる。なお、１人の作業者によって可動部分３２０の設置および再セッティングをするという観点からは、可動部分３２０の重量は、１０ｋｇまたはそれより小さいことが好ましい。可動部分３２０を軽量化する観点から、防煙垂れ壁３をたとえばアルミニウムなどの軽量金属により構成することが好ましい。
【００２７】
手動レバー３４３の外周に巻回されたコイルスプリング３４４は、ブッシュ３４５およびプレート３４６を介して、ピン３４７をラッチ３４８に向けて付勢する。すなわち、コイルスプリング３４４は、ラッチ３４８と係合する方向にピン３４７を付勢する付勢部分である。コイルスプリング３４４は、たとえば、意図しないときにアクチュエータ３４２のロックが解除された場合にも、ピン３４７をラッチ３４８と係合する方向に付勢することで、可動部分３２０が下方向にスライド移動することを抑制することができる。
【００２８】
次に、図９を用いて、上記防煙垂れ壁の天井のフレーム２に対する固定構造について説明する。図９を参照して、防煙垂れ壁３を固定するための固定構造１２は、第１部材１２Ａと第２部材１２Ｂとを含んで構成される。第１部材１２Ａは、コの字状の断面形状を有し、フレーム２を挟み込むようにフレーム２にボルト固定される。第２部材１２Ｂは、第１部材１２Ａに対して溶接等により固定される。第２部材１２Ｂは、防煙垂れ壁３の固定部分３１０に対してボルト固定される。図９に示す固定構造によって、防煙垂れ壁３がフレーム２に支持される。
【００２９】
次に、図１０を用いて、上記防煙垂れ壁の他の変形例について説明する。図１０を参照して、防煙垂れ壁３は、可動部分３２０が落下した際に該可動部分３２０を受け止めるストッパ部３５０を有する。すなわち、ストッパ部３５０は、可動部分３２０に当接することで、固定部分３１０に対する可動部分３２０の下方向への移動を所定の位置で止める。ストッパ部３５０上には、クッション材３５１（衝撃吸収部）が設けられている。クッション材３５１が設けられることにより、可動部分３２０を受け止めたときの衝突音が低減される。すなわち、クッション材３５１は、可動部分３２０とストッパ部３５０との衝突音を抑制する騒音抑制部材である。
【００３０】
図１１は、図１０におけるＸI−ＸI断面図である。図１１を参照して、可動部分３２０は、ガイド部分３３０と係合する係合部分３２１を有する。ガイド部分３３０と係合部分３２１とによって、固定部分３１０に対してスライド移動する可動部分３２０をガイドすることができる。可動部分３２０のパネル端部は、固定部分３１０に向かう方向に突出するように折り曲げられている。この折り曲げられた部分（カバー部分）によって、ガイド部分３３０が外側から覆われている。このようにすることで、固定部分３１０と可動部分３２０との隙間を塞ぐことができるので、防煙垂れ壁による防煙区画を確実に行なうことができる。
【００３１】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明は、クリーンルーム内に設けられる防煙垂れ壁に特に有利に適用され得る。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の１つの実施の形態に係る防煙垂れ壁の側面図である。
【図２】本発明の１つの実施の形態に係る防煙垂れ壁およびクリーンルーム内の天井搬送設備を示す斜視図である。
【図３】図２に示す防煙垂れ壁およびクリーンルーム内の天井搬送設備をレールの方向から見た状態を示す図である。
【図４】本発明の１つの実施の形態に係る防煙垂れ壁の変形例を説明する図である。
【図５】本発明の１つの実施の形態に係る防煙垂れ壁の動作機構の一例を説明する図である。
【図６】本発明の１つの実施の形態に係る防煙垂れ壁における可動部分の係止構造を説明する図である。
【図７】図６におけるＶII−ＶII断面図である。
【図８】図６におけるＶIII−ＶIII断面図である。
【図９】本発明の１つの実施の形態に係る防煙垂れ壁の天井のフレームに対する固定構造を示す図である。
【図１０】本発明の１つの実施の形態に係る防煙垂れ壁の他の変形例を説明する図である。
【図１１】図１０におけるＸI−ＸI断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  フィルタ、２  フレーム、３  防煙垂れ壁、４  レール、５  台車、６  被搬送物、７  火災検知器、８  防煙垂れ壁作動装置、９  火災検知器制御盤、１０  天井搬送設備制御盤、１１  防煙垂れ壁装置制御盤、１２  固定構造、１２Ａ  第１部材、１２Ｂ  第２部材、３１０  固定部分、３２０  可動部分、３２０Ａ  第１部材、３２０Ｂ  第２部材、３２１  係合部分、３３０  ガイド部分、３４０  係止構造、３４１  Ｌ字部材、３４２  アクチュエータ、３４３  手動レバー、３４４  コイルスプリング、３４５  ブッシュ、３４６  プレート、３４７  ピン、３４８  ラッチ、３５０  ストッパ部、３５１  クッション材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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