(57)【要約】【課題】第１報の緊急地震速報が誤報である場合の経済的損失を最小にとどめることができる機器制御装置を提供すること。【解決手段】制御対象の設置位置付近の地震の予想震度を含む地震速報を受信する地震速報受信部４１と、制御対象の設置位置付近での地震によるＰ波を検知するＰ波検知部４２と、地震速報の確実性が必要な制御対象に対しては、地震速報を受信しかつＰ波を検知したときに、また、地震速報の確実性が不要な制御対象に対しては、地震速報を受信した時点またはＰ波を検知した時点のいずれか早い時点で、制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定する処理開始判定部４４と、処理開始判定部４４によって処理動作の開始の判定が行われた制御対象に対して、地震発生時の処理動作の実行指示を含む制御信号を生成する制御信号生成部４５と、を備える。【選択図】        図３
2009139262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
地震発生時に制御対象の処理動作を制御する機器制御装置において、
前記制御対象の設置位置付近の地震の揺れの度合いを含む地震速報を受信する地震速報受信手段と、
前記制御対象の設置位置付近での前記地震によるＰ波を検知するＰ波検知手段と、
前記地震速報の確実性が必要な制御対象に対しては、前記地震速報受信手段で１拠点のＰ波の情報に基づく第１報の地震速報を受信し、かつ前記Ｐ波検知手段でＰ波を検知したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定し、前記地震速報の確実性が不要な制御対象に対しては、前記地震速報受信手段で前記第１報の地震速報を受信した時点、または前記Ｐ波検知手段でＰ波を検知した時点のいずれか早い時点で、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定する処理開始判定手段と、
前記処理開始判定手段によって前記処理動作の開始の判定が行われた前記制御対象に対して、前記地震発生時の処理動作の実行指示を含む制御信号を生成して送信する制御信号生成手段と、
を備えることを特徴とする機器制御装置。
【請求項２】
地震発生時に制御対象の処理動作を制御する機器制御装置において、
前記制御対象の設置位置付近の地震の揺れの度合いを含む地震速報を受信する地震速報受信手段と、
前記地震速報の確実性が必要な制御対象に対しては、前記地震速報受信手段で１拠点のＰ波の情報に基づく第１報の地震速報および２拠点以上のＰ波の情報に基づく第２報の地震速報を受信したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定し、前記地震速報の確実性が不要な制御対象に対しては、前記地震速報受信手段で前記第１報の地震速報を受信したときに前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定する処理開始判定手段と、
前記処理開始判定手段によって前記処理動作の開始の判定が行われた前記制御対象に対して、前記地震発生時の処理動作の実行指示を含む制御信号を生成して送信する制御信号生成手段と、
を備えることを特徴とする機器制御装置。
【請求項３】
前記処理開始判定手段は、前記制御対象の設置位置付近の予想震度が前記制御対象ごとに設定された前記地震発生時の処理動作を実行させる震度を満たさない場合には、前記地震発生時の処理動作を行わないことを特徴とする請求項１または２に記載の機器制御装置。
【請求項４】
地震発生時に制御対象の処理動作を制御する機器制御方法において、
前記制御対象の設置位置付近の地震の揺れの度合いを含む地震速報を受信する地震速報受信工程と、
前記制御対象の設置位置付近での前記地震によるＰ波を検知するＰ波検知工程と、
前記地震速報の確実性が必要な制御対象に対しては、前記地震速報受信工程で１拠点のＰ波の情報に基づく第１報の地震速報を受信し、かつ前記Ｐ波検知工程でＰ波を検知したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定し、前記地震速報の確実性が不要な制御対象に対しては、前記地震速報受信工程で前記第１報の地震速報を受信した時点、または前記Ｐ波検知工程でＰ波を検知した時点のいずれか早い時点で、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定する処理開始判定工程と、
前記処理開始判定工程で前記処理動作の開始の判定が行われた前記制御対象に対して、前記地震発生時の処理動作の実行指示を含む制御信号を生成して送信する制御信号生成工程と、
を含むことを特徴とする機器制御方法。
【請求項５】
地震発生時に制御対象の処理動作を制御する機器制御方法において、
前記制御対象の設置位置付近の地震の揺れの度合いを含む地震速報を受信する地震速報受信工程と、
前記地震速報の確実性が必要な制御対象に対しては、前記地震速報受信工程で１拠点のＰ波の情報に基づく第１報の地震速報および２拠点以上のＰ波の情報に基づく第２報の地震速報を受信したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定し、前記地震速報の確実性が不要な制御対象に対しては、前記地震速報受信工程で前記第１報の地震速報を受信したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定する処理開始判定工程と、
前記処理開始判定工程で前記処理動作の開始の判定が行われた前記制御対象に対して、前記地震発生時の処理動作の実行指示を含む制御信号を生成して送信する制御信号生成工程と、
を含むことを特徴とする機器制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、地震発生時に機器の処理動作を制御する機器制御装置および機器制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年では、地震波の発生を早期に捉え、地震の主要動が到達する前に、地震速報をユーザに伝達し報知しようとする緊急地震速報技術が実用化されている。緊急地震速報は、全国の約１，０００箇所に設置された地震計からの地震波形データを気象庁がリアルタイムで解析し、震源位置、地震規模（マグニチュード）、発生時刻を含む情報として気象庁から配信されるものである。地震速報配信メーカは、この緊急地震速報を受けると、地震の大きさ（予想震度）や到達時刻を計算し、契約している一般ユーザや企業などに地震速報として配信することで、一般ユーザや企業では、この後に来る大きな揺れの地震に備えることを可能とする。
【０００３】
たとえば、半導体装置を製造する半導体メーカでは、製造設備の稼働中に震度４以上の地震を受けると、製造設備がダメージを受け、１日〜１週間の調整期間が必要となる。特に、震度６以上の地震を受けると、製造設備が壊れてしまい、製造設備メーカによる修理期間として１〜２ヶ月かかってしまう。これらのような調整期間中や修理期間中は、半導体装置を製造することができない。しかし、製造設備を停止した状態で震度４以上の地震を受けた場合には、製造設備が壊れてしまうことはなく、半導体装置を製造できない期間は、震度４〜震度５の地震では、停止状態から再び製造設備を稼働するまでの３０分程度で済み、震度６以上の地震では１日〜１週間の調整期間で済む。そのため、緊急地震速報技術によって前もって地震が来ることを知り、必要な処置をとることができれば、半導体メーカなどの企業にとっては、地震による製造設備に与える影響を軽減することができる。
【０００４】
ところで、気象庁から配信される緊急地震速報は、地震計設置位置付近で落雷サージの発生などによって、地震計に地震発生と誤認識させる振動や電気的影響が与えられると、地震が発生していないのに地震が発生したという誤報を配信してしまうという問題点があった（たとえば、非特許文献１参照）。落雷サージは、他の地震計設置位置では観測されないので、その後に気象庁によってキャンセル報が配信される。
【０００５】
実際に地震が発生した場合には、緊急地震速報はメーカにとっては地震による損失を最小限にするために非常に有効なものとなるが、緊急地震速報が誤報である場合には、メーカによっては経済的損失を被ってしまう場合がある。たとえば、半導体メーカでは、上述したように一度製造設備を止めると、再度稼動させるまでに３０分以上の時間を要してしまう。そして、半導体メーカにとっては、分単位での製造設備の停止でも、製品としての半導体装置の販売量に大きな影響を与え、多大な経済的利益の機会損失に繋がってしまう。その結果、緊急地震速報の誤報による製造設備の停止はできる限りなくしたいという要求がある。これは半導体メーカに限らず、企業全般に要求されるものである。
【０００６】
【非特許文献１】“緊急地震速報の精度評価”、１〜３頁、［online］、気象庁、［２００７年１０月３１日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：  http://www.seisvol.kishou.go.jp/eq/EEW/kaisetsu/Check_EEW/seidohyoka_20051031.pdf＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、地震発生の信号を受けたときに、地震予測の信頼性が求められる制御対象には誤報による経済的損失を抑え、地震予測の信頼性が求められない制御対象には地震到来までの猶予時間を長く取ることができる機器制御装置および機器制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願発明の一態様によれば、地震発生時に制御対象の処理動作を制御する機器制御装置において、前記制御対象の設置位置付近の地震の揺れの度合いを含む地震速報を受信する地震速報受信手段と、前記制御対象の設置位置付近での前記地震によるＰ波を検知するＰ波検知手段と、前記地震速報の確実性が必要な制御対象に対しては、前記地震速報受信手段で１拠点のＰ波の情報に基づく第１報の地震速報を受信し、かつ前記Ｐ波検知手段でＰ波を検知したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定し、前記地震速報の確実性が不要な制御対象に対しては、前記地震速報受信手段で前記第１報の地震速報を受信した時点、または前記Ｐ波検知手段でＰ波を検知した時点のいずれか早い時点で、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定する処理開始判定手段と、前記処理開始判定手段によって前記処理動作の開始の判定が行われた前記制御対象に対して、前記地震発生時の処理動作の実行指示を含む制御信号を生成して送信する制御信号生成手段と、を備えることを特徴とする機器制御装置が提供される。
【０００９】
また、本願発明の一態様によれば、地震発生時に制御対象の処理動作を制御する機器制御装置において、前記制御対象の設置位置付近の地震の揺れの度合いを含む地震速報を受信する地震速報受信手段と、前記地震速報の確実性が必要な制御対象に対しては、前記地震速報受信手段で１拠点のＰ波の情報に基づく第１報の地震速報および２拠点以上のＰ波の情報に基づく第２報の地震速報を受信したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定し、前記地震速報の確実性が不要な制御対象に対しては、前記地震速報受信手段で前記第１報の地震速報を受信したときに前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定する処理開始判定手段と、前記処理開始判定手段によって前記処理動作の開始の判定が行われた前記制御対象に対して、前記地震発生時の処理動作の実行指示を含む制御信号を生成して送信する制御信号生成手段と、を備えることを特徴とする機器制御装置が提供される。
【００１０】
さらに、本願発明の一態様によれば、地震発生時に制御対象の処理動作を制御する機器制御方法において、前記制御対象の設置位置付近の地震の揺れの度合いを含む地震速報を受信する地震速報受信工程と、前記制御対象の設置位置付近での前記地震によるＰ波を検知するＰ波検知工程と、前記地震速報の確実性が必要な制御対象に対しては、前記地震速報受信工程で１拠点のＰ波の情報に基づく第１報の地震速報を受信し、かつ前記Ｐ波検知工程でＰ波を検知したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定し、前記地震速報の確実性が不要な制御対象に対しては、前記地震速報受信工程で前記第１報の地震速報を受信した時点、または前記Ｐ波検知工程でＰ波を検知した時点のいずれか早い時点で、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定する処理開始判定工程と、前記処理開始判定工程で前記処理動作の開始の判定が行われた前記制御対象に対して、前記地震発生時の処理動作の実行指示を含む制御信号を生成して送信する制御信号生成工程と、を含むことを特徴とする機器制御方法が提供される。
【００１１】
さらに、本願発明の一態様によれば、地震発生時に制御対象の処理動作を制御する機器制御方法において、前記制御対象の設置位置付近の地震の揺れの度合いを含む地震速報を受信する地震速報受信工程と、前記地震速報の確実性が必要な制御対象に対しては、前記地震速報受信工程で１拠点のＰ波の情報に基づく第１報の地震速報および２拠点以上のＰ波の情報に基づく第２報の地震速報を受信したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定し、前記地震速報の確実性が不要な制御対象に対しては、前記地震速報受信工程で前記第１報の地震速報を受信したときに、前記制御対象に設定された地震発生時の処理動作を開始すると判定する処理開始判定工程と、前記処理開始判定工程で前記処理動作の開始の判定が行われた前記制御対象に対して、前記地震発生時の処理動作の実行指示を含む制御信号を生成して送信する制御信号生成工程と、を含むことを特徴とする機器制御方法が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、地震予測の信頼性が求められる制御対象には誤報による経済的損失を抑え、地震予測の信頼性が求められない制御対象には地震到来までの猶予時間を長く取ることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる機器制御装置および機器制御方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、これらの実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１４】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態にかかる機器制御装置を含む緊急地震速報配信システムの構成の一例を模式的に示す図である。この緊急地震速報配信システムは、気象庁が有する緊急地震速報配信装置１０と、地震速報配信メーカが有する地震速報配信装置２０と、企業などのユーザが所有する制御対象３０および機器制御装置４０と、を備える。気象庁の緊急地震速報配信装置１０と、地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０と、ユーザの機器制御装置４０との間は、ネットワークなどの有線または無線の通信回線５１を介して接続され、ユーザの機器制御装置４０と制御対象３０との間は、通信ケーブルやネットワークなどの有線または無線の通信回線５２を介して接続される。なお、ここでは、ユーザとして、企業を例に挙げて説明する。
【００１５】
気象庁の緊急地震速報配信装置１０は、全国に設置された地震計からのＰ（Primary）波の波形データをリアルタイムで解析し、震源位置や地震規模（マグニチュード）、発生時刻を含む緊急地震速報として地震速報配信メーカに配信する。図２は、緊急地震速報配信装置による緊急地震速報の配信の様子を説明するための図である。たとえば、地震が位置Ｘ（震源）で発生した場合に、震源Ｘに最も近い位置に設置された地震計１１Ａが最初にＰ波を検知し、緊急地震速報配信装置１０に送信する。緊急地震速報配信装置１０は、地震計１１ＡからのＰ波を解析し、震源位置や地震規模、発生時刻を演算し、第１報の緊急地震速報を配信する。その後、震源Ｘにつぎに近い地震計１１ＢがＰ波を検知し、緊急地震速報配信装置１０に送信すると、緊急地震速報配信装置１０は、地震計１１Ｂからのデータと先に受信した地震計１１Ａからのデータとを用いて、震源位置や地震規模、発生時刻を演算し、第２報の緊急地震速報を配信する。その後も、震源Ｘに順に近い位置に設置された地震計からのデータを受信するごとに、緊急地震速報配信装置１０は、先に受信したデータと合わせて震源位置や地震規模、発生時刻を演算して、その都度緊急地震速報を配信していく。
【００１６】
なお、第１報の緊急地震速報が地震計１１Ａでの落雷サージなどによる地震以外の振動や電気的影響に基づくものである場合には、地震計１１Ａとは異なる位置の地震計１１ＢなどがＰ波を検知しない。そのため、地震計１１Ａからのデータを受信後、たとえばその地震計１１Ａに近い他の地震計から所定の期間にデータを受信しない場合は、緊急地震速報配信装置１０は、第１報の緊急地震速報が誤報である旨のキャンセル報を配信する。
【００１７】
地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０は、気象庁の緊急地震速報配信装置１０から受信した緊急地震速報に基づいて、契約先の企業や個人などの各ユーザに対して、地震の到達時刻や地震の揺れの度合いの予想（予想震度）を含む地震速報を演算し、配信する。なお、この例では、気象庁の緊急地震速報配信装置１０から地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０へと直接に緊急地震速報の配信を行っている場合を示しているが、緊急地震速報の配信ルートは、これに限られるものではなく、地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０に緊急地震速報が配信されるものであればどのような経路でもよい。たとえば、気象庁から財団法人気象業務支援センタを介して緊急地震速報が地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０に配信されてもよいし、また、気象庁から、財団法人気象業務センタ、特定非営利活動法人リアルタイム地震情報利用協議会を介して緊急地震速報が地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０に配信されてもよい。
【００１８】
ユーザの企業は、たとえば、建物に設置されているエレベータや、製品を製造するための製造設備、企業にとって重要な情報が含まれる情報処理端末のほか、企業内の人員に対して地震発生を通知するためのスピーカや表示板、警告灯などの機器を所有しているものとする。そして、これらの機器は、地震発生時に人的被害および物的被害を最小限にするために制御される制御対象３０となる。なお、ここで、制御対象３０には、機器を管理、制御する装置も含むものとする。
【００１９】
機器制御装置４０は、地震速報配信メーカから地震速報を受信した場合に、ユーザが所有する上記機器などの制御対象３０に対して、制御対象３０ごとに定められた地震予測の信頼性のレベルにしたがったタイミングで、制御対象３０に対する処理動作の制御についての指示を送出する装置である。図３は、第１の実施の形態にかかる機器制御装置の構成を模式的に示すブロック図である。この機器制御装置４０は、地震速報受信部４１と、Ｐ波検知部４２と、制御対象分類情報格納部４３と、処理開始判定部４４と、制御信号生成部４５と、通信部４６と、これらの各処理部を制御する制御部４７と、を備える。
【００２０】
地震速報受信部４１は、地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０からの地震速報を受信すると、地震速報を受信したことを知らせる地震速報信号を処理開始判定部４４に出力する。Ｐ波検知部４２は、ユーザ（企業）が地震による災害から守りたい機器などの制御対象３０が設置される場所の付近に設けられる地震計であり、地震によるＰ波（縦波）を検知すると、Ｐ波を検知した結果をＰ波検知信号として処理開始判定部４４に出力する。
【００２１】
制御対象分類情報格納部４３は、ユーザが地震による災害から守りたい機器などの制御対象３０ごとに、地震速報受信時の制御方法を規定した制御対象分類情報を格納する。より具体的には、この制御対象分類情報は、第１報の地震速報を受信したときまたは後述するＰ波検知部４２でＰ波を検知したときに、地震速報や検知したＰ波が誤報である場合の影響が小さい制御対象と、誤報である場合の影響が大きい場合の制御対象と、に分類したものである。
【００２２】
誤報による影響が小さい制御対象とは、地震速報を受信して停止動作や通知を行った後に、誤報であったと後で分かった場合でもユーザ（企業）による経済的損失が軽微な機器のことであり、地震予測の信頼性（地震速報の確実性）が不要な機器のことである。たとえば、ユーザ（企業）内の作業者に対して、特に外で作業を行っている者や高所で作業を行っている者に対しては、地震が到来することを通知して、作業者の作業を中止させることは、たとえ地震速報が誤報であっても、そのユーザの企業活動にとって経済的損失が大きくなることはない。また、制御対象機器がエレベータの場合に、地震速報を受信後、速やかに最寄階や地上階にエレベータを停止させ、ドアを開放状態にさせることも、ユーザの企業活動にとって経済的損失を大きくさせることはない。
【００２３】
一方の誤報による影響が大きい制御対象機器とは、地震速報が誤報であると分かった場合に、機器を停止させた時間の長さがそのユーザの企業活動にとっての経済的損失を大きくさせるような機器のことであり、機器の停止動作に地震予測の信頼性（地震速報の確実性）が必要な機器のことである。たとえば、分単位で停止させるだけで半導体メーカの利益に影響を及ぼしてしまう半導体装置の製造設備などを挙げることができる。
【００２４】
図４は、制御対象分類情報の構成の一例を示す図である。制御対象分類情報は、ユーザ（企業）が所有する各制御対象に対して、「地震予測の信頼性」と、地震速報受信時の「処理動作」と、その処理動作を実行させるための条件（地震の予想震度）である「処理動作起動条件」と、処理動作を含む制御信号の送信先である「アドレス」が設定されている。ここで、地震予測の信頼性は、「要」と「否」の２つで表される。
【００２５】
処理開始判定部４４は、地震速報受信部４１による地震速報の受信またはＰ波検知部４２によるＰ波の検知を契機として、制御対象分類情報格納部４３中の制御対象分類情報の内容に基づいて、個々の制御対象について地震速報の受信後またはＰ波の検知後に制御対象３０に対する処理を開始するか否かを判定する。
【００２６】
具体的には、地震速報中の予想震度またはＰ波検知部４２からの検知結果を用いて算出した予想震度が処理動作起動条件を満たす制御対象３０のうち、誤報による影響が小さい制御対象３０に対しては、制御対象分類情報中の処理動作を開始するか否かを、地震速報信号とＰ波検知信号の受信の有無を用いたＯＲ判定によって行う。すなわち、地震速報信号を受信したかまたはＰ波検知信号を受信した場合に、制御対象分類情報中の処理動作を開始すると判定する。また、誤報による影響が大きい制御対象３０に対しては、制御対象分類情報中の処理動作を開始するか否かを、地震速報信号とＰ波検知信号の受信の有無を用いたＡＮＤ判定によって行う。すなわち、地震速報信号を受信しかつＰ波検知信号も受信した場合に、制御対象分類情報中の処理動作を開始すると判定する。そして、この判定結果は、制御信号生成部４５に対して出力される。
【００２７】
制御信号生成部４５は、処理開始判定部４４によって制御開始が判定された制御対象３０に対して、制御対象分類情報中の処理動作を実行させるための制御信号を生成する。この制御信号には、制御対象に設定されたアドレスが含まれている。通信部４６は、制御対象３０と接続され、制御信号生成部４５によって生成された制御信号を、そのアドレスに送信する。
【００２８】
たとえば、図４に示される「エレベータ」に対しては、制御信号生成部４５は、「最寄階で停止した後、ドアを開放状態」にする旨の指示を含み、宛先がエレベータを管理する装置のアドレス「ＡＡＡＡ」である制御信号を生成し、通信部４６は、エレベータを管理する装置のアドレス「ＡＡＡＡ」に対して送信する。また、「スピーカ」に対しては、制御信号生成部４５は、「○○時○○分に震度×の地震が到達しますので、非難してください」などのアナウンスを流す旨の指示を含み、宛先がスピーカを管理する装置のアドレス「ＡＢＣＤ」である制御信号を生成し、通信部４６は、スピーカを管理する装置のアドレス「ＡＢＣＤ」に対して送信する。さらに、「製造設備」に対しては、制御信号生成部４５は、装置を停止させる旨の指示を含み、宛先が製造設備を制御する装置のアドレス「ＢＢＢＢ」である制御信号を生成し、通信部４６は、製造設備を制御する装置のアドレス「ＢＢＢＢ」に対して送信する。そして、これらの制御信号を受けた制御対象３０は、制御信号の内容に基づいた処理動作を行う。
【００２９】
つぎに、このような構成を有する機器制御装置４０の機器制御方法について説明する。この場合、震源とユーザの場所と気象庁の地震計の設置場所との距離関係で、機器制御装置４０は、地震速報を受信後にその地震によるＰ波を自装置で検知するか、自装置でＰ波を検知した後に地震速報を受信するかの２つの場合がある。そこで、以下では、この２つの場合のそれぞれについて説明する。
【００３０】
（自装置によるＰ波検知前に地震速報を受信した場合）
図５は、自装置によるＰ波検知前に地震速報を受信した場合の機器制御処理の手順の一例を示すフローチャートである。まず、機器制御装置４０の処理開始判定部４４は、地震速報受信部４１からの地震速報信号の待ち状態にある。ここでは、自装置によるＰ波検知前に地震速報を受信する場合であるので、地震速報信号の待ち状態にある場合を示しているが、実際には、同時にＰ波検知部４２からのＰ波検知信号の待ち状態にもある。
【００３１】
この状態で、ユーザ（企業）の場所（制御対象機器が設置される位置）に近い場所で、地震が発生したものとする。この地震発生によって、気象庁の緊急地震速報配信装置１０では、震源地に近い地震計からのＰ波の波形データから第１報の緊急地震速報を配信し、地震配信メーカの地震速報配信装置２０では、第１報の緊急地震速報からユーザに対して予想震度と到達時刻を含む地震速報を配信する。
【００３２】
その後、地震速報受信部４１は、地震速報配信装置２０からの地震速報を受信すると（ステップＳ１１）、その内容を含む地震速報信号を処理開始判定部４４に出力する。処理開始判定部４４は、地震速報信号中の予想震度を取得する（ステップＳ１２）。
【００３３】
ついで、処理開始判定部４４は、制御対象分類情報格納部４３中の制御対象分類情報から予想震度が処理動作起動条件を満たす制御対象３０を取得する（ステップＳ１３）。その後、取得した制御対象３０のうち地震予測に信頼性が必要ない制御対象３０の場合、すなわち処理動作の実行結果が誤報による影響をあまり受けない制御対象３０の場合（ステップＳ１４でＮｏの場合）には、処理開始判定部４４は、それぞれの制御対象３０に対する制御を開始する指示を制御信号生成部４５に出力する。そして、制御信号生成部４５は、対応する制御対象３０の制御信号を、制御対象分類情報中の「処理動作」と「アドレス」に基づいて生成する（ステップＳ１９）。
【００３４】
一方、取得した制御対象３０のうち地震予測に信頼性が必要な制御対象の場合、すなわち処理動作の実行結果が誤報による影響を大きく受ける制御対象３０の場合（ステップＳ１４でＹｅｓの場合）には、Ｐ波検知部４２でＰ波を検知したか否かを判定する（ステップＳ１５）。
【００３５】
Ｐ波が検知されない場合（ステップＳ１５でＮｏの場合）には、地震速報を受信してから所定期間経過したか否かを判定し（ステップＳ１６）、地震速報を受信してから所定期間経過していない場合（ステップＳ１６でＮｏの場合）には、ステップＳ１５へと戻る。また、地震速報を受信してから所定期間経過した場合（ステップＳ１６でＹｅｓの場合）には、処理開始判定部４４は、ステップＳ１１で受信した地震速報を誤報と判定し（ステップＳ１７）、制御対象分類情報中の処理動作を行わず（ステップＳ１８）、処理を終了する。
【００３６】
また、Ｐ波を検知した場合（ステップＳ１５でＹｅｓの場合）には、処理開始判定部４４は、地震速報信号とＰ波検知信号とを受信したので、制御対象３０に対する制御を開始する指示を制御信号生成部４５に出力する。そして、制御信号生成部４５は、対応する制御対象３０の制御信号を、制御対象分類情報中の「処理動作」と「アドレス」に基づいて生成する（ステップＳ１９）。
【００３７】
ステップＳ１９の後、通信部４６は、作成された制御信号をそのアドレスに基づいてそれぞれの制御対象３０に対して送信する（ステップＳ２０）。この制御信号を受信した制御対象３０（制御対象３０を管理、制御する装置を含む）は、制御信号に含まれる指示にしたがった動作を行う。以上で、機器制御処理が終了する。なお、ステップＳ１３で予想震度が処理動作起動条件を満たさなかった制御対象３０については、制御動作が行われない。
【００３８】
図６は、地震予測に信頼性が必要ない場合の機器制御処理の概要を示す図であり、図７は、地震予測に信頼性が必要な場合の機器制御処理の概要を示す図である。図６に示されるように、地震予測に信頼性が必要ない制御対象３０を制御する場合には、地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０からの第１報の地震速報（１拠点情報）１２０Ａを受信し、その予想震度が処理動作起動条件を満たす場合には、Ｐ波検知部４２によるその地震のＰ波１００の検知に関係なく、処理動作を含む制御信号１３０を生成し、制御対象３０に送信して制御を行う。
【００３９】
また、図７に示されるように、地震予測に信頼性が必要な制御対象３０を制御する場合には、地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０からの第１報の地震速報（１拠点情報）１２０Ａを受信し、その予想震度が処理動作起動条件を満たし、かつその後にＰ波検知部４２によってＰ波１００を検知したときに、処理動作を含む制御信号１３０を生成し、制御対象３０に送信して制御を行う。
【００４０】
（地震速報を受信前に自装置によってＰ波を検知した場合）
図８は、地震速報を受信前に自装置によってＰ波を検知した場合の機器制御処理の手順の一例を示すフローチャートである。まず、機器制御装置４０の処理開始判定部４４は、Ｐ波検知部４２からのＰ波検知信号の待ち状態にある。ここでは、地震速報を受信前に自装置によってＰ波を検知する場合であるので、Ｐ波検知信号の待ち状態にある場合を示しているが、実際には、同時に地震速報受信部４１からの地震速報信号の待ち状態にもある。
【００４１】
この状態で、ユーザ（企業）の場所（制御対象機器が設置される位置）に近い場所で、地震が発生したものとする。その後、Ｐ波検知部４２は、発生した地震によるＰ波を検知し（ステップＳ３１）、その結果をＰ波検知信号として処理開始判定部４４に出力する。ついで、処理開始判定部４４は、Ｐ波検知信号から予想震度を算出する（ステップＳ３２）。
【００４２】
なお、この地震発生によって、気象庁の緊急地震速報配信装置１０では、震源に近い地震計からのＰ波の波形データを用いて第１報の緊急地震速報を配信し、地震配信メーカの地震速報配信装置２０では、緊急地震速報からユーザに対して予想震度と到達時刻を含む第１報の地震速報を配信する。
【００４３】
ついで、処理開始判定部４４は、制御対象分類情報格納部４３中の制御対象分類情報から予想震度が処理動作起動条件を満たす制御対象３０を取得する（ステップＳ３３）。その後、取得した制御対象３０のうち地震予測に信頼性が必要な制御対象である場合（ステップＳ３４でＹｅｓの場合）には、地震速報受信部４１で地震速報を受信したか否かを判定する（ステップＳ３５）。
【００４４】
地震速報受信部４１で地震速報を受信しない場合（ステップＳ３５でＮｏの場合）には、地震速報を受信するまで待ち状態となる。その後、地震速報受信部４１で地震速報を受信した場合（ステップＳ３５でＹｅｓの場合）には、処理開始判定部４４は、Ｐ波検知信号と地震速報信号とを受信したので、制御対象３０に対する制御を開始する指示を制御信号生成部４５に出力する。そして、制御信号生成部４５は、対応する制御対象３０の制御信号を、制御対象分類情報中の「処理動作」と「アドレス」に基づいて生成する（ステップＳ３６）。
【００４５】
また、ステップＳ３４で取得した制御対象３０のうち地震予測に信頼性が必要ない制御対象の場合（ステップＳ３４でＮｏの場合）には、処理開始判定部４４は、それぞれの制御対象３０に対する制御を開始する指示を制御信号生成部４５に出力する。そして、制御信号生成部４５は、対応する制御対象３０の制御信号を、制御対象分類情報中の「処理動作」と「アドレス」に基づいて生成する（ステップＳ３６）。
【００４６】
ステップＳ３６の後、通信部４６は、作成した制御信号をそのアドレスに基づいてそれぞれの制御対象３０に対して送信する（ステップＳ３７）。この制御信号を受信した制御対象３０は、制御信号に含まれる指示にしたがった動作を行う。以上で、機器制御処理が終了する。
【００４７】
図９は、地震予測に信頼性が必要ない場合の機器制御処理の概要を示す図であり、図１０は、地震予測に信頼性が必要な場合の機器制御処理の概要を示す図である。図９に示されるように、地震予測に信頼性が必要ない制御対象３０を制御する場合には、Ｐ波検知部４２でＰ波１００を検知し、その予想震度が処理動作起動条件を満たす場合には、地震速報受信部４１による地震速報１２０Ａの受信に関係なく、処理動作を含む制御信号１３０を生成し、制御対象３０に送信して制御を行う。
【００４８】
また、図１０に示されるように、地震予測に信頼性が必要な制御対象３０を制御する場合には、Ｐ波検知部４２でＰ波１００を検知し、検知したＰ波１００を用いて演算した予想震度が処理動作起動条件を満たし、かつその後に地震速報受信部４１によって地震速報１２０Ａが受信されたときに、処理動作を含む制御信号１３０を生成し、制御対象３０に送信して制御を行う。
【００４９】
この第１の実施の形態によれば、地震予測に信頼性が必要ない制御対象３０に対しては、誤報である確率が含まれる第１報の地震速報の受信または機器制御装置４０に設けられるＰ波検知部４２によるＰ波の検知によって、制御対象分類情報で規定される処理動作を実行する制御信号を生成して送信するようにしたので、第１報の地震速報を受信してからその地震の主要動であるＳ（Secondary）波が制御対象３０の設置場所に到達するまでの猶予時間を長く確保することができる。
【００５０】
また、地震予測に信頼性が必要な制御対象３０に対しては、第１報の地震速報の受信および機器制御装置４０に設けられるＰ波検知部４２によるＰ波の検知によって、制御対象分類情報で規定される処理動作を実行する制御信号を生成して送信するようにしたので、第１報の地震速報のみで判断する場合に比して、地震到来に対する信頼性の高い制御信号を制御対象３０に送信することができるという効果を有する。これにより、主要動であるＳ波がユーザの場所（制御対象３０の設置場所）に到達する前に、製造設備などを停止させることができ、また誤報である場合には、第１報の地震速報で製造設備などを停止させてしまうことを防ぐことができる。
【００５１】
以下に、製造設備に精密装置が多く用いられている半導体メーカを例に挙げて、本実施の形態の効果についてさらに詳しく説明する。その中の１つの露光装置は、レンズなどの精密部品を含み、さらにウェハステージはエアマウントの機構を備えており、露光処理中はウェハステージを空中に浮かせた状態にある。このような処理状態中に、主要動の揺れが来た場合には、エアマウントされているウェハステージが装置内に飛ばされ、ウェハステージが装置内で衝突してしまい、ウェハをロスするとともに装置を壊してしまうという問題点がある。たとえば、ウェハがエアマウントされている状態で震度４〜震度５の主要動の揺れが来たときに、ウェハステージやウェハが装置内に飛ばされてしまうと、１日〜１週間の調整が必要になり、震度６以上の主要動の揺れが来たときには、さらに激しくウェハステージやウェハが装置内に飛ばされて、装置が壊れてしまい、１〜２ヶ月の修理が必要になる。
【００５２】
しかし、上記した本実施の形態によれば、Ｐ波検知部４２によるＰ波の検知と第１報の地震速報の受信とを組み合わせて、製造設備を停止させるようにしたので、第１報の地震速報が誤報である場合に製造設備を停止させることなく、かつ主要動が来る前にエアマウントで空中に浮いた状態にあるウェハステージをホームポジションに着地させることができる。このようにウェハステージをホームポジションに着地させた状態で主要動の揺れが来た場合には、ウェハステージやウェハが露光装置内に飛んでいってしまうことを防止することができる。つまり、ウェハのロスを抑制するとともにウェハステージの装置内での衝突による装置の破壊を防止することができる。その結果、震度４〜震度５の主要動の揺れが来たときには調整が必要なく、再稼動の時間に３０分程度を要するだけであり、震度６以上の主要動の揺れが来たときには、１日〜１週間の修理（調整）で済ませることができる。
【００５３】
また、露光装置だけでなく、ウェハをピン止めして高速回転させているような現像装置でも、主要動が到達する前に回転を停止させることで、ウェハのロスおよびウェハの飛散による装置の破壊を防ぐことができる。これらのような効果は、製造設備を構成する他の装置についても同様に得ることができる。
【００５４】
以上のように、精密部品を含み、ウェハを浮かせたり、回転させたりする露光装置や現像装置などの精密装置を含む製造設備の場合には、地震の主要動が到達する前に、装置を停止させることで、地震発生時の被害を抑制することができるという効果を有する。また、半導体メーカなどの分単位での製造設備の不必要な停止が、企業の利益の機会損失につながる場合には、地震速報とＰ波検知部４２によるＰ波の検知の２つの信号の受信を契機として、製造設備を止める制御信号を生成し、制御対象３０に送信するようにしたので、誤報の地震速報で製造設備の不必要な停止を回避することができ、企業の利益の機会損失を避けることができるという効果も有する。
【００５５】
（第２の実施の形態）
第１の実施の形態では、地震速報と機器制御装置４０のＰ波検知部４２で検知されたＰ波とを用いて、制御対象３０に対する制御信号の生成を行っていたが、この第２の実施の形態では、複数の地震速報を用いて制御対象３０に対応する制御信号の生成を行なう場合について説明する。この第２の実施の形態における機器制御装置４０の構成は、第１の実施の形態の図３の構成で示したものと同一であるので、その説明を省略する。
【００５６】
図１１は、第１報と第２報の地震速報を用いた機器制御処理の手順の一例を示すフローチャートである。まず、機器制御装置４０の処理開始判定部４４は、地震速報受信部４１からの地震速報信号の待ち状態にある。この状態で、ユーザ（企業）の場所（制御対象機器が設置される位置）に近い場所で、地震が発生したものとする。この地震発生によって、気象庁の緊急地震速報配信装置１０では、震源地に近い地震計からのＰ波の波形データから第１報の緊急地震速報を配信し、地震配信メーカの地震速報配信装置２０では、緊急地震速報からユーザに対して予想震度と到達時刻を含む第１報の地震速報を配信する。その後、つぎに震源地に近い地震計からのＰ波の波形データを気象庁の緊急地震速報配信装置１０が受信すると、最初に受信したＰ波の波形データとつぎに受信したＰ波の波形データとを用いて、第２報の緊急地震速報を配信し、地震配信メーカの地震速報配信装置２０では、緊急地震速報からユーザに対して第１報よりも精度の高い予想震度と到達時刻を含む第２報の地震速報を配信する。
【００５７】
その後、第１の実施の形態のステップＳ１１〜Ｓ１３と同様に、機器制御装置４０の地震速報受信部４１は第１報の地震速報を受信し、処理開始判定部４４は予想震度を取得した後、制御対象分類情報から予想震度が処理動作起動条件を満たす制御対象３０を取得する（ステップＳ５１〜５３）。
【００５８】
その後、取得した制御対象３０のうち地震予測に信頼性が必要な制御対象の場合（ステップＳ５４でＹｅｓの場合）には、受信した地震速報が１拠点情報であるか否かを判定する（ステップＳ５５）。ここで、１拠点情報とは、地震速報の基となる緊急地震速報が１拠点の地震計からの信号を基に演算されたもののことをいう。一般的に第１報の緊急地震速報は１拠点情報となる。
【００５９】
地震速報が１拠点情報である場合（ステップＳ５５でＹｅｓの場合）には、第２報以降の地震速報、つまり２拠点以上の地震計のＰ波の波形データを用いて解析した緊急地震速報に基づいて作成された地震速報（複数拠点情報）を受信するまで、待ち状態となる（ステップＳ５６でＮｏの場合）。その後、地震速報配信メーカから第２報の地震速報を受信した場合（ステップＳ５６でＹｅｓの場合）には、処理開始判定部４４は、第１報と第２報の地震速報信号を受信したので、制御対象３０に対する制御を開始する指示を制御信号生成部４５に出力する。そして、制御信号生成部４５は、対応する制御対象３０の制御信号を、制御対象分類情報中の「処理動作」と「アドレス」に基づいて生成する（ステップＳ５７）。
【００６０】
また、ステップＳ５５で受信した地震速報が１拠点情報でない場合（ステップＳ５５でＮｏの場合）には、処理開始判定部４４は、地震速報が複数拠点情報であるので、それぞれの制御対象３０に対する制御を開始する指示を制御信号生成部４５に出力する。そして、制御信号生成部４５は、対応する制御対象３０の制御信号を、制御対象分類情報中の「処理動作」と「アドレス」に基づいて生成する（ステップＳ５７）。
【００６１】
さらに、ステップＳ５４で地震予測に信頼性が必要な制御対象３０でない場合（ステップＳ５４でＮｏの場合）には、処理開始判定部４４は、それぞれの制御対象３０に対する制御を開始する指示を制御信号生成部４５に出力する。そして、制御信号生成部４５は、対応する制御対象３０の制御信号を、制御対象分類情報中の「処理動作」と「アドレス」に基づいて生成する（ステップＳ５７）。
【００６２】
ステップＳ５７の後、通信部４６は、作成した制御信号をそのアドレスに基づいてそれぞれの制御対象３０に対して送信する（ステップＳ５８）。この制御信号を受信した制御対象３０は、制御信号に含まれる指示にしたがった動作を行う。以上の処理によって、機器制御処理が終了する。
【００６３】
なお、ステップＳ５３で予想震度が処理動作起動条件を満たさない制御対象の場合には、制御対象分類情報で規定される処理動作が行われない。また、図１１に示される処理のみを行う場合には、機器制御装置４０にＰ波検知部４２が備えられていなくてもよい。
【００６４】
図６と図１２は、地震予測に第１報と第２報の地震速報を用いた機器制御処理の概要を示す図である。第１の実施の形態の図６に示したように、地震予測に信頼性が必要ない制御対象３０を制御する場合には、地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０からの第１報の地震速報（１拠点情報）１２０Ａを受信し、その予想震度が処理動作起動条件を満たす場合には、同じく地震速報配信装置２０からの第２報の地震速報（複数拠点情報）１２０Ｂの受信に関係なく、処理動作を含む制御信号１３０を生成し、制御対象３０に送信して制御を行う。
【００６５】
また、図１２に示されるように、地震予測に信頼性が必要な制御対象３０を制御する場合には、地震速報配信メーカの地震速報配信装置２０からの第１報と第２報の地震速報１２０Ａ，１２０Ｂを受信し、かつその予想震度が処理動作起動条件を満たしたときに、処理動作を含む制御信号１３０を生成し、制御対象３０に送信して制御を行う。
【００６６】
この第２の実施の形態によっても、地震予測に信頼性が必要ない制御対象３０に対しては、第１報の地震速報の受信によって、制御対象分類情報で規定される処理動作を実行する制御信号を生成して送信するようにしたので、第１報の地震速報を受信してからその地震の主要動であるＳ波が制御対象３０の設置場所に到達するまでの猶予時間を長く確保することができる。
【００６７】
また、地震予測に信頼性が必要な制御対象３０に対しては、第１報の地震速報の受信および第２報の地震速報の受信によって、制御対象分類情報で規定される処理動作を実行する制御信号を生成して送信するようにしたので、誤報である確率がある第１報の地震速報のみで判断する場合に比して、地震到来に対する信頼性の高い制御信号を制御対象３０に送信することができるという効果を有する。これにより、主要動であるＳ波がユーザの場所（制御対象３０の設置場所）に到達する前に、製造設備などを停止させることができ、また誤報である場合には、第１報の地震速報で製造設備などを停止させてしまうことを防ぐことができる。
【００６８】
なお、上述した第１の実施の形態と第２の実施の形態を組み合わせて使用することができる。図１３は、ユーザの制御対象の設置位置から震源までの距離によるＰ波、Ｓ波と地震速報の到達の順序を模式的に示す図である。この図に示されるように、制御対象３０の設置位置が震源のすぐ近く（たとえば、震源のほぼ直上）の（Ｄ１）の場合には、地震速報が到達する前にＰ波および主要動であるＳ波が到達してしまうために、ユーザ側での対応は不可能である。
【００６９】
しかし、それ以外の（Ｄ２）〜（Ｄ４）の場合には、ユーザ側で対応することが可能である。具体的には、制御対象３０の設置位置が震源に近い（Ｄ２）の場合には、Ｐ波→第１報の地震速報→第２報の地震速報→・・・という順番で到着する。このときの機器制御装置４０における機器制御処理は、第１の実施の形態の図９や図１０に示されるものである。また、制御対象３０の設置位置が震源に近い（Ｄ３）の場合には、第１報の地震速報→Ｐ波→第２報の地震速報→・・・という順番で到着する。このときの機器制御装置４０における機器制御処理は、第１の実施の形態の図６や図７に示されるものである。そして、制御対象３０の設置位置が震源から遠い（Ｄ４）の場合には、第１報の地震速報→第２報の地震速報→・・・→Ｐ波→・・・という順番で到着する。このときの機器制御装置４０における機器制御処理は、第２の実施の形態の図６や図１２に示される場合に相当する。
【００７０】
以上に示されるように、上述した第１の実施の形態と第２の実施の形態を組み合わせることで、制御対象３０の設置位置が、震源に近い（Ｄ２）の場合から、震源から離れている（Ｄ４）の場合まで対応することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる機器制御装置を含む緊急地震速報配信システムの構成の一例を模式的に示す図。
【図２】緊急地震速報配信装置による緊急地震速報の配信の様子を説明するための図。
【図３】第１の実施の形態にかかる機器制御装置の構成を模式的に示すブロック図。
【図４】制御対象分類情報の構成の一例を示す図。
【図５】Ｐ波検知前に地震速報を受信した場合の機器制御処理の手順の一例を示すフローチャート。
【図６】地震予測に信頼性が必要ない場合の機器制御処理の概要を示す図。
【図７】地震予測に信頼性が必要な場合の機器制御処理の概要を示す図。
【図８】地震速報を受信前にＰ波を検知した場合の機器制御処理の手順の一例を示すフローチャート。
【図９】地震予測に信頼性が必要ない場合の機器制御処理の概要を示す図。
【図１０】地震予測に信頼性が必要な場合の機器制御処理の概要を示す図。
【図１１】第１報と第２報の地震速報を用いた機器制御処理の手順の一例を示すフローチャート。
【図１２】地震予測に第１報と第２報の地震速報を用いた機器制御処理の概要を示す図。
【図１３】ユーザの制御対象の設置位置から震源までの距離によるＰ波、Ｓ波と地震速報の到達の順序を模式的に示す図。
【符号の説明】
【００７２】
４０…機器制御装置、４１…地震速報受信部、４２…Ｐ波検知部、４４…処理開始判定部、４５…制御信号生成部。
【図１】
2009139262.tif 000003
【図２】
2009139262.tif 000004
【図３】
2009139262.tif 000005
【図４】
2009139262.tif 000006
【図５】
2009139262.tif 000007
【図６】
2009139262.tif 000008
【図７】
2009139262.tif 000009
【図８】
2009139262.tif 000010
【図９】
2009139262.tif 000011
【図１０】
2009139262.tif 000012
【図１１】
2009139262.tif 000013
【図１２】
2009139262.tif 000014
【図１３】
2009139262.tif 000015