(57)【要約】【課題】流体噴射ヘッドが備える流体流路が接着剤によって閉塞されることを防止する。【解決手段】流体を噴射するノズル開口及び該ノズル開口に連通される流体流路５５の一部が形成された第１基板３０と、上記流体流路５５の残部が形成された第２基板２０とが接着剤８０を介して接合された流体噴射ヘッドであって、上記第１基板３０及び上記第２基板２０の少なくともいずれか一方は、上記接着剤８０の流れを堰き止める防御部９０を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を噴射するノズル開口及び該ノズル開口に連通される流体流路の一部が形成された第１基板と、前記流体流路の残部が形成された第２基板とが接着剤を介して接合された流体噴射ヘッドであって、
前記第１基板及び前記第２基板の少なくともいずれか一方は、前記接着剤の流れを堰き止める防御部を備えることを特徴とする流体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記防御部は、前記流体流路の内部に形成されることを特徴とする請求項１記載の流体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記防御部は、前記接着剤を溜める貯留部を有することを特徴とする請求項２記載の流体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記防御部は、前記流体流路の外部であって前記第１基板と前記第２基板との間に形成されることを特徴とする請求項１記載の流体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記防御部は、前記第１基板及び前記第２基板と接することを特徴とする請求項４記載の流体噴射ヘッド。
【請求項６】
流体噴射ヘッドから所定の対象物に向けて流体を噴射する流体噴射装置であって、
前記流体噴射ヘッドとして、請求項１〜３いずれかに記載の流体噴射ヘッドを備えることを特徴とする流体噴射装置。
【請求項７】
流体を噴射するノズル開口及び該ノズル開口に連通される流体流路の一部が形成された第１基板と、前記流体流路の残部が形成された第２基板とが接着剤を介して接合された流体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記第１基板及び前記第２基板の少なくともいずれか一方が、前記接着剤の流れを堰き止める防御部を備え、
前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせる工程を有することを特徴とする流体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体噴射ヘッド、流体噴射装置、及び流体噴射ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流体噴射装置として、流体噴射ヘッドに形成されたノズル開口より記録媒体（対象物）にインク（流体）を噴射するインクジェット式記録装置が知られている。
このようなインクジェット式記録装置を含む流体噴射装置においては、流体噴射ヘッドがノズル開口に連通する圧力室を備えており、圧力室を容積変動させることにより圧力室内部の流体をノズル開口から外部に噴射する。
【０００３】
そして、上述のように圧力室を容積変動させる方式の一つとして静電駆動方式が提案されている。この静電駆動方式は、電極に電圧を印加することによって生じる静電気力によって圧力室の壁面を変位させ、これによって圧力室の容積を変動させる方式である。
【特許文献１】特開平１１−１９８３８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、静電駆動方式の流体噴射装置においては、流体噴射ヘッドは、上述のノズル開口と該ノズル開口に連通する流体流路とを備えている。このような流体流路は、ノズル開口及び流体流路の一部を備えるノズル基板（第１基板）と、圧力室の少なくとも一部及び流体流路の残部を備えるキャビティ基板（第２基板）とが接合されることによって構成されている。
【０００５】
そして、流体噴射ヘッドを組み立てる場合には、ノズル基板とキャビティ基板とを接着剤を介して貼り合わせる。
しかしながら、ノズル基板とキャビティ基板との少なくともいずれ一方を、貼り合わせるために押圧すると、ノズル基板とキャビティ基板との間に配置された接着剤が押し出され、流体流路に流れ込む場合がある。このように、流体流路に接着剤が流れ込んだ場合には、流体流路が接着剤によって閉塞され、ノズル開口から流体を噴射することができなくなり、噴射不良が生じることとなる。
【０００６】
なお、接着剤によって２つの基板を貼り合わせる工程は、静電駆動方式の流体噴射装置が備える流体噴射ヘッドの製造工程に行われるものではなく、他の駆動方式の流体噴射装置が備える流体噴射ヘッドを製造する際にも、上述のように、ノズル開口に連通する流体流路が、２つの基板を接合するための接着剤によって閉塞される場合があった。
【０００７】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、流体噴射ヘッドが備える流体流路が接着剤によって閉塞されることを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の流体噴射ヘッドは、流体を噴射するノズル開口及び該ノズル開口に連通される流体流路の一部が形成された第１基板と、上記流体流路の残部が形成された第２基板とが接着剤を介して接合された流体噴射ヘッドであって、上記第１基板及び上記第２基板の少なくともいずれか一方は、上記接着剤の流れを堰き止める防御部を備えることを特徴とする。
【０００９】
このような特徴を有する本発明の流体噴射ヘッドによれば、第１基板と第２基板とを接着剤を介して貼り合わせる際に、防御部によって接着剤の流れが堰き止められることで、流体流路が接着剤によって閉塞することが防止される。
したがって、本発明の流体噴射ヘッドによれば、流体噴射ヘッドが備える流体流路が接着剤によって閉塞されることを防止することが可能となり、流体流路が接着剤によって閉塞されることに起因する噴射不良が生じることを防止することが可能となる。
【００１０】
また、本発明の流体噴射ヘッドにおいては、上記防御部は、上記流体流路の内部に形成されるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、接着剤の流れが、流体流路の内部に存在する防御部によって堰き止められる。
流体流路の容積は、第１基板と第２基板との間と比較すれば遥かに大きいため、第１基板と第２基板との間に配置された接着剤の量が多量であった場合であっても、流体流路の内部に防御壁を形成することによって、第１基板と第２基板との貼り合わせの際に、流体流路を閉塞させないように接着剤を流体流路に逃がすことが可能となる。
このため、接着剤が第１基板と第２基板との間から外部にはみ出すことを抑制することが可能となる。
【００１１】
また、本発明の流体噴射ヘッドにおいては、上記防御部が上記流体流路の内部に形成される場合に、前記防御部は、前記接着剤を溜める貯留部を有するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、接着剤が貯留部に溜められ、これによって接着剤が第１基板と第２基板との間から外部にはみ出すことを抑制することが可能となる。
【００１２】
また、本発明の流体噴射ヘッドにおいては、上記防御部は、上記流体流路の外部であって上記第１基板と上記第２基板との間に形成されるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、防御部によって接着剤が流体流路に流れ込むことが防止される。このため、流体流路の開口面積が接着剤によって狭まることを防止することが可能となる。
【００１３】
また、本発明の流体噴射ヘッドにおいては、上記防御部が上記流体流路の外部であって上記第１基板と上記第２基板との間に形成される場合に、前記防御部は、前記第１基板及び前記第２基板と接するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、接着剤が防御部によって進行を阻止され、これによって接着剤が第１基板と第２基板との間から外部にはみ出すことを抑制することが可能となる。
【００１４】
次に、本発明の流体噴射装置は、流体噴射ヘッドから所定の対象物に向けて流体を噴射する流体噴射装置であって、上記流体噴射ヘッドとして、本発明の流体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
【００１５】
本発明の流体噴射ヘッドによれば、流体噴射ヘッドが備える流体流路が接着剤によって閉塞されることを防止することが可能となる。
したがって、このような流体噴射ヘッドを備える本発明の流体噴射装置は、流体流路が接着剤によって閉塞されることに起因する噴射不良の生じない信頼性の高いものとなる。
【００１６】
次に、本発明の流体噴射ヘッドの製造方法は、流体を噴射するノズル開口及び該ノズル開口に連通される流体流路の一部が形成された第１基板と、上記流体流路の残部が形成された第２基板とが接着剤を介して接合された流体噴射ヘッドの製造方法であって、上記第１基板及び上記第２基板の少なくともいずれか一方が、上記第１基板と上記第２基板とを接着剤を介して貼り合わせる際に、上記接着剤による上記流体流路の閉塞が防止されるように上記接着剤の流れを堰き止める防御壁を備え、上記第１基板と上記第２基板とを貼り合わせる工程を有することを特徴とする。
【００１７】
このような特徴を有する本発明の流体噴射ヘッドの製造方法によれば、第１基板及び第２基板の少なくとも一方が接着剤の流れを堰き止める防御壁を備えており、第１基板と第２基板とを接着剤を介して貼り合わせる際に、上記防御壁によって、接着剤が流体流路を閉塞しないように接着剤の流れが堰き止められる。
したがって、本発明の流体噴射ヘッドの製造方法によれば、流体流路が開口された流体噴射ヘッドを確実に製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本発明に係る流体噴射ヘッド、流体噴射装置、及び流体噴射ヘッドの製造方法の一実施形態について説明する。なお、以下の説明においては、本発明に係る流体噴射ヘッドの一例として静電駆動方式によりインク（流体）を噴射するインクジェットヘッドについて説明し、さらに本発明の流体噴射装置の一例として上記インクジェットヘッドを備えるインクジェット式記録装置（以下、インクジェットプリンタと称する）について説明する。また、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１９】
（第１実施形態）
図１及び図２は、本実施形態のインクジェットヘッド１の概略構成を示す図である。なお、図１及び図２において、ノズル列の延在方向をＸ方向、該Ｘ方向と水平に直交する方向をＹ方向、該Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向（高さ方向）をＺ方向とする。
そして、図１は、本実施形態のインクジェットヘッド１をＹ方向に切断すると共に分解した分解斜視図である。また、図２は、本実施形態のインクジェットヘッド１をＹ方向に切断した断面図である。なお、説明の便宜上、図１における切断面と図２における切断面とは、Ｘ方向にずらしてある。
【００２０】
図１に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド１は、電極基板１０と、キャビティ基板２０（第２基板）と、ノズル基板３０（第１基板）とを備えている。
そして、本実施形態のインクジェットヘッド１は、図２に示すように、これらの電極基板１０、キャビティ基板２０及びノズル基板３０がＺ方向に積層されて接合されることによって構成されている。
【００２１】
電極基板１０は、キャビティ基板２０及びノズル基板３０の形成材料であるシリコン単結晶基板と近い熱膨張率を有する材料によって形成される基板であり、例えばホウ珪酸ガラス等のガラス基板からなるものである。
【００２２】
電極基板１０の上面１１には、複数の溝部１２（図２参照）がＸ方向に配列されて形成されている。そして、各溝部１２の底面上に静電気力を発生するための個別電極１３が形成されている。すなわち、個別電極１３は、電極基板１０上において、Ｘ方向に配列されて複数形成されている。なお、本実施形態においては、個別電極１３は、２列に亘って配列されている。
このような個別電極１３は、図１に示すように、同じく電極基板１０上に形成された配線１４を介して電極基板１０の縁部に形成された端子１５と接続されている。そして、個別電極１３には、端子１５を介して電圧が印加される。
なお、個別電極１３、配線１４及び端子１５は、例えばインジウム酸化スズ（ITO: Indium Tin Oxide）によって形成される。
【００２３】
また、電極基板１０には、上記溝部１２、個別電極１３、配線１４及び端子１５を避けてＺ方向に貫通されるインク注入口５１が形成されている。
インク注入口５１は、電極基板１０と、キャビティ基板２０と、ノズル基板３０とが接合されることによって形成されるインク流路５０の一部であり、同じくインク流路５０の一部であると共にキャビティ基板２０とノズル基板３０とによって形成される共通インク室５２に対して外部からインクを供給するための流路である。
【００２４】
キャビティ基板２０は、例えば面方位（１００）または（１１０）のシリコン単結晶基板から形成されている。
キャビティ基板２０の上面２１には、インク流路５０の一部である圧力室５３に対応する溝部２２と、同じくインク流路５０の一部である共通インク室５２に対応する溝部２３が形成されている。
【００２５】
圧力室５３に対応する溝部２２は、図１に示すように、電極基板１０、キャビティ基板２０及びノズル基板３０が接合された場合において、各個別電極１３の上方に圧力室５３が配置されるように、電極基板１０の個別電極１３に対応してＸ方向に複数配列されて形成されている。すなわち、圧力室５３に対応する溝部２２は、電極基板１０の個別電極１３と同数形成されている。
この圧力室５３に対応する溝部２２の底部は、可撓性を有する程度に薄く形成されており、振動板２４（図２参照）として構成されている。この振動板２４は、個別電極１３に電圧が印加されることによって静電気力が発生した場合に、当該静電気力によって引き寄せられることによって下方に変位し、静電気力が解放された場合に元の平板形状に復帰する。
【００２６】
共通インク室５２に対応する溝部２３は、電極基板１０、キャビティ基板２０及びノズル基板３０が接合された場合に、圧力室５３の側方に共通インク室５２が配置されるように、キャビティ基板２０の縁部にＸ方向に延在して形成されている（図１参照）。
なお、共通インク室５２は、Ｘ方向に配列される圧力室５３の一列ごとに一つ形成される。このため、共通インク室５２に対応する溝部２３は、圧力室５３に対応する溝部２２の一列に対して一つ形成されており、本実施形態においては二つ形成されている。
また、共通インク室５２に対応する溝部２３の底部には、電極基板１０及びキャビティ基板２０が接合された場合に、電極基板１０に形成されたインク注入口５１と連通される貫通孔５４が形成されている。この貫通孔５４は、インク注入口５１を介して外部から供給されるインクを共通インク室５２に導入するためのものであり、インク注入口５１等の同様に、インク流路５０の一部を構成するものである。
【００２７】
また、キャビティ基板２０の上面２１には、圧力室５３に対応する溝部２２及び共通インク室５２に対応する溝部２３を避けて共通電極２５が形成されている。そして、キャビティ基板２０には、共通電極２５を介して電圧が印加される。
なお、共通電極２５は、例えばプラチナ（Ｐｔ）によって形成される。
【００２８】
そして、キャビティ基板２０は、電極基板１０と接合される。このように電極基板１０とキャビティ基板２０とが接合されることによって、図２に示すように、電極基板１０の溝部１２とキャビティ基板２０の下面２６とによって、振動板２４が変位可能な空間（以下、振動板変位室７０と称する）が形成される。
また、振動板変位室７０への異物の侵入を防止するため、振動板変位室７０は、ギャップ部材６０によって外部空間と隔離された密閉状態とされている。
なお、振動板変位室７０の高さ（すなわち、個別電極１３と振動板２４との離間距離）は、例えば１８０ｎｍ程度とされる。
【００２９】
ノズル基板３０は、キャビティ基板２０と同様に、面方位（１００）または（１１０）のシリコン単結晶基板から形成されている。
ノズル基板３０の下面３１には、インク流路５０の一部であるインク供給口５５に対応する溝部３２と、上記共通インク室５２に対応する溝部３３と、インクを噴射するためのノズル開口３４に対応する溝部３５とが形成されている。
【００３０】
インク供給口５５に対応する溝部３２は、キャビティ基板２０とノズル基板３０とが接合された場合に、各圧力室５３と共通インク室５２とが接続されるように形成されている。すなわち、インク供給口５５に対応する溝部３２は、圧力室５３と同数形成されている。
また、図３及び図４に示すように、インク供給口５５に対応する溝部３２内には、溝部３２の深さと略等しい高さの柱状部５５ａがＸ方向に複数配列されている。また、溝部３２の壁部３２ａと柱状部５５ａとの間には、各々防御部９０が形成されている。
【００３１】
防御部９０は、キャビティ基板２０とノズル基板３０とを接着剤８０を介して接合する際に、インク供給口５５に溢れ出した接着剤８０によってインク供給口５５が閉塞されないように接着剤８０の流れを堰き止めるためのものであり、図３に示すように、柱状部５５ａと同一の高さを有すると共にＹ方向に延在して形成される防御壁９１と、防御壁９１と壁部３２ａとの間において接着剤８０を貯留する貯留部９２とを備える。
【００３２】
共通インク室５２に対応する溝部３３は、キャビティ基板２０とノズル基板３０とが接合された場合に、キャビティ基板２０の溝部２３と共に共通インク室５２を構成するものであり、キャビティ基板２０の溝部２３と同様に、ノズル基板３０の縁部にＸ方向に延在して形成されている。
【００３３】
ノズル開口３４に対応する溝部３５は、円柱形状の溝であり、ノズル（以下の説明においてノズル３５と称する）として機能するものである。このノズル３５は、キャビティ基板２０とノズル基板３０とが接合された場合に、キャビティ基板２０の溝部２２の一端と接続される大径部３５ａと、該大径部３５ａの底部からノズル基板３０の上面３６まで貫通する小径部３５ｂとから構成されている。
【００３４】
また、ノズル基板３０の上面３６には、共通インク室５２に対応する凹部３７と、ノズル開口３４に対応する凹部３８とが形成されている。
【００３５】
共通インク室５２に対応する凹部３７は、ノズル基板３０の下面３１に形成された溝部３３の反対側に形成されている。そして、溝部３３と凹部３７とによって挟まれた壁部は、可撓性を有する程度に薄く形成されており、ダイアフラム３９として構成されている。このダイアフラム３９は、共通インク室５２内のインクの振動（振動波）に伴って振動し、これによって共通インク室５２内の振動波を減衰させるものである。そして、本実施形態においてダイアフラム３９は、ノズル基板３０の上面３６側において、凹部３７の内部にて変位する。
【００３６】
ノズル開口３４に対応する凹部３８は、その底部に溝部３５の小径部３５ｂの開口端であるノズル開口３４が露出されるものであり、全てのノズル開口３４の形成領域全体に形成されている。
【００３７】
そして、上記電極基板１０、キャビティ基板２０及びノズル基板３０が接合されることによって、電極基板１０に形成されたインク注入口５１からノズル基板３０に形成されたノズル開口３４まで連通するインク流路５０が形成される。
より詳細には、キャビティ基板２０の上面２１に形成された溝部２３と、ノズル基板３０の下面３１に形成された溝部３３とによって共通インク室５２が形成される。また、キャビティ基板２０の上面に２１に形成された溝部２２と、ノズル基板３０の下面３１とによって圧力室５３が形成される。また、ノズル基板３０の下面３１に形成された溝部３２と、キャビティ基板２０の上面２１とによってインク供給口５５が形成される。
すなわち、本実施形態のインクジェットヘッド１においては、ノズル基板３０にはノズル開口３４と該ノズル開口３４に連通するインク流路５０の一部が形成され、キャビティ基板２０にはインク流路５０の残部が形成され、これらのノズル基板３０とキャビティ基板２０とが接着剤８０を介して接合されている。
【００３８】
共通インク室５２は、インク注入口５１及び貫通孔５４を介して外部から供給されるインクを一旦貯留するものであり、一列分の圧力室５３に対して一つ設けられている。
圧力室５３は、振動板２４の変位によって容積変動を生じるものであり、各ノズル開口３４に対して設けられている。そして、圧力室５３は、一端がノズル３５と接続されると共に他端がインク供給口５５と接続される。
【００３９】
インク供給口５５は、共通インク室５２から各圧力室５３に対してインクを導入するための入口として機能するものであり、一端が圧力室５３と接続されると共に他端が共通インク室５２と接続される。
インク供給口５５の内部には、Ｘ方向に配列された柱状部５５ａが複数形成されており、これらの柱状部５５ａによって、万が一共通インク室５２内のインクに異物が含まれている場合であっても、当該異物が除去される。
そして、本実施形態のインクジェットヘッド１においては、インク供給口の内壁（すなわち、溝部３２の内壁３２ａ）と柱状部５５ａとの間に、接着剤８０が柱状部５５ａ間に侵入しないように防御するための防御部９０が形成されている。この防御部９０によって、図３及び図４に示すように、接着剤８０が防御部９０の貯留部９２に溜まり、防御壁９１より内部側（柱状部５５ａ側）に入り込むことが防止され、インク供給口５５の開口が確保されている。すなわち、防御部９０によって、接着剤８０によるインク供給口５５の閉塞が防止されている。
【００４０】
このような構成を有する本実施形態のインクジェットヘッド１を組み立てる（製造する）場合には、電極基板１０とキャビティ基板２０とが例えば陽極接合によって接合され、キャビティ基板２０とノズル基板３０とが接着剤８０を介して接合される。
そして、キャビティ基板２０とノズル基板３０とが接合される際には、まず、キャビティ基板２０の上面２１及びノズル基板の下面３１の少なくともいずれか一方に軟化状態の接着剤８０を塗布し、その後キャビティ基板２０とノズル基板３０とを貼り合わせる。この際、キャビティ基板２０及びノズル基板３０の少なくともいずれか一方が他方に向けて押圧されることによって、図５に示すように、キャビティ基板２０とノズル基板３０との間から接着剤８０が溢れ出すが、本実施形態のインクジェットヘッド１においては、防御部９０によって、溢れ出した接着剤８０の流れが堰き止められる。このため、接着剤８０によってインク供給口５５が閉塞されることを防止することができる。
その後、軟化状態の接着剤８０を、例えば熱処理等によって硬化させることによってキャビティ基板２０とノズル基板３０とが接合される。
【００４１】
以上のような本実施形態のインクジェットヘッド１によってインクを噴射する場合には、インク注入口５１及び貫通孔５４を介して共通インク室５２にインクが供給され、共通インク室５２に供給されたインクがインク供給口５５を介して各圧力室５３供給され、各圧力室５３に供給されたインクが各ノズル３５に供給される。
【００４２】
そして、このようにしてインク流路５０の全てにインクが供給された状態において、電極基板１０の端子１５とキャビティ基板２０の上面２１に形成された共通電極２５とに外部の制御部１４０（図８参照）から駆動電圧が印加されると、電極基板１０の個別電極１３とキャビティ基板２０の振動板２４との間に電位差が生じ、静電気力が発生する。
【００４３】
この結果、図６に示すように、振動板２４が上記静電気力によって下方に引き寄せられることで振動板変位室７０内において変位し、圧力室５３の容積が増加する。そして、圧力室５３の容積の増加分に応じた量のインクが共通インク室５２からインク供給口５５を介して圧力室５３に供給される。
【００４４】
その後、駆動電圧の印加を停止することによって上記静電気力が消失し、当該性電気力によって変位された振動板２４が元の形状（平板状）に復帰する。この結果、図７に示すように、圧力室５３の容積が減少し、容積の増加時に圧力室５３に供給されたインクと同量のインクＬが、ノズル開口３４を介して外部に噴射される。
【００４５】
なお、振動板２４が元の形状に復帰する場合には、振動板２４の変位によってインク流路５０内においてインクの逆流が生じる。すなわち、ノズル開口３４からインクを噴射する際に、インク流路５０内には、圧力室５３から共通インク室５２へ向かうインクの振動波が生じる。
そして、このようなインクの振動波は、共通インク室５２に到達した後、ダイアフラム３９を振動させる。この結果、インクの振動波は減衰される。すなわち、ノズル開口３４からインクを噴射する際に生じたインクの振動は、ダイアフラム３９によって吸収される。このため、所定のノズル開口３４からインクを噴射することによって生じたインク流路５０内部のインクの振動波が、他のノズル開口３４に対応する圧力室５３に伝達されることが抑止され、他のノズル開口３４におけるインクの噴射特性に影響を与えることが抑止される。
【００４６】
続いて、図８を参照して、本実施形態のインクジェットヘッド１を備えるインクジェットプリンタ１００について説明する。
図８は、インクジェットプリンタ１００の内部構造の概略を示す斜視図である。
【００４７】
図８に示すように、インクジェットプリンタ１００は、給紙ユニット１５０、搬送ユニット１６０、キャリッジユニット１７０、メンテナンスユニット１８０、及び駆動部１９０を備えている。
【００４８】
給紙ユニット１５０は、インクジェットプリンタ１００に対して印刷用紙Ｐを供給するためのものであり、印刷用紙Ｐを積層載置することが可能な給紙トレー１５１、給紙トレー１５１に載置された印刷用紙Ｐをピックアップするためのピックアップローラ等を備えている。
【００４９】
搬送ユニット１６０は、給紙ユニット１５０によって給紙された印刷用紙Ｐを搬送するものであり、キャリッジユニット１７０よりも給紙側にて印刷用紙Ｐを搬送する搬送ローラやキャリッジユニット１７０よりも排紙側にて印刷用紙Ｐを搬送する搬送ローラ等を備えている。
【００５０】
キャリッジユニット１７０は、本実施形態のインクジェットヘッド１が設置されるものであり、インクジェットヘッド１を印刷用紙Ｐの搬送方向と直交する方向に移動させるものである。
このキャリッジユニット１７０は、インクジェットヘッド１と該インクジェットヘッド１に供給するインクを貯留するインクカートリッジ２００とが固定されるキャリッジ１７１等を備える。そして、キャリッジユニット１７１を移動させることによって、インクジェットヘッド１を移動させる。
なお、インクカートリッジ２００は、例えば、４つのカートリッジ（４色のインク（ブラック、イエロー、シアン、マゼンダ）がそれぞれ別個独立に充填された容器）からなり、それぞれが別個独立に交換可能となっている。
【００５１】
メンテナンスユニット１８０は、インクジェットヘッド１のメンテナンスを行うものであり、搬送ユニット１６０の側方に配置されている。
このメンテナンスユニット１８０は、不図示のキャップ機構、ポンプ装置、ワイピング機構等を備えている。
【００５２】
駆動部１９０は、インクジェットプリンタ１００の駆動源としての駆動モータ１９１と、該駆動モータ１９１の駆動力を各機構（給紙ユニット１５０、搬送ユニット１６０、キャリッジユニット１７０及びメンテナンスユニット１８０）に伝達するための伝達機構（不図示）等を備えている。
【００５３】
このような構成を有するインクジェットプリンタ１００においては、不図示の制御部によって、駆動部１９０、給紙ユニット１５０及び搬送ユニット１６０が制御されることで印刷用紙が搬送され、制御部によって、キャリッジユニット１７０が制御されることでインクジェットヘッド１から印刷用紙にインクが噴射され、これによって印刷用紙に画像形成が行われる。
また、このような構成を有するインクジェットプリンタ１００においては、不図示の制御部によって、駆動部１９０、メンテナンスユニット１８０及びキャリッジユニット１７０が制御されることでインクジェットヘッド１のメンテナンスが行われる。
【００５４】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、本第２実施形態の説明において、上記第１実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
【００５５】
図９は、本実施形態のインクジェットヘッドが備えるインク供給口５５を含む断面図である。
上記実施形態においては、接着剤８０の流れを堰き止める防御部９０がインク供給口５５の内部に配置されている構成について説明した。これに対して、本実施形態のインクジェットヘッドは、図９に示すように、インク供給口５５の外部であってキャビティ基板２０とノズル基板３０との間に、接着剤８０流れを堰き止めるための防御壁９３が形成されている。
この防御壁９３は、ノズル基板３０に突設され、キャビティ基板２０に接している。すなわち、防御壁９３は、キャビティ基板２０とノズル基板３０との両方に接している。
【００５６】
このような構成を有する本実施形態のインクジェットヘッドによれば、防御壁９３によって、接着剤８０が防御壁９３より内部側（柱状部５５ａ側）に入り込むことが防止され、インク供給口５５の開口が確保される。
【００５７】
すなわち、本実施形態のインクジェットヘッドを組み立てる（製造する）時にであって、キャビティ基板２０とノズル基板３０とが接合される際には、キャビティ基板２０及びノズル基板３０の少なくともいずれか一方が他方に向けて押圧されることによって、キャビティ基板２０とノズル基板３０との間から接着剤８０が溢れ出ようとするが、防御壁９３がキャビティ基板２０とノズル基板３０との両方に接することによって、接着剤８０の流れが堰き止められる。このため、接着剤８０がインク供給口５５に流れ込むことを防止し、これによってインク供給口５５が閉塞されることを防止することができる。
【００５８】
また、本実施形態のインクジェットヘッドにおいては、防御壁９３がインク供給口５５の外部であってキャビティ基板２０とノズル基板３０との間に配置される構成を採用する。このため、接着剤がインク流路５０に流れ込むことが防止される。よって、インク流路５０の開口面積が接着剤８０によって狭まることを防止することが可能となる。
【００５９】
このように、上記第１実施形態においては防御壁９１及び貯留部９２によって本発明の防御部が構成されていたが、本実施形態においては防御壁９３が本発明の防御部とされている。
【００６０】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもなく、上記各実施形態を組み合わせても良い。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６１】
例えば、上記実施形態においては、防御壁９１，９３がＹ方向に延在して形成されている構成について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、防御壁９１，９３が、柱状部５５ａと同様に円柱形状を有していても良い。
【００６２】
また、上記実施形態においては、複数の柱状部５５ａがＸ方向に一直線に配列されている構成について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、柱状部５５ａがＸ方向に対して斜め方向に配列されていても良いし、また柱状部５５ａが一直線に配列されず千鳥状に配列されていても良い。
【００６３】
また、上記実施形態においては、柱状部５５ａがノズル基板３０の溝部３２内に形成される構成、すなわちノズル基板３０のみが柱状部５５ａを備える構成について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、キャビティ基板２０のみが柱状部５５ａを備える構成を採用しても良いし、キャビティ基板２０及びノズル基板３０の両方が柱状部５５ａを備える構成を採用しても良い。
【００６４】
また、上記実施形態においては、単一のインクジェットヘッドを備えるインクジェットプリンタについて説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、複数のインクジェットヘッドを備えるインクジェットプリンタに適用することも可能である。
また、本発明は、シリアル方式のインクジェットプリンタに限られるものではなく、ラインヘッド方式のインクジェットプリンタに適用することも可能である。
【００６５】
また、上記実施形態においては、インクジェット式記録装置がインクジェットプリンタである場合を例にして説明したが、インクジェットプリンタに限られず、複写機及びファクシミリ等の記録装置であってもよい。
【００６６】
また、上述の各実施形態においては、流体噴射装置が、インク等の流体を噴射する流体噴射装置（流体噴射装置）である場合を例にして説明したが、本発明の流体噴射装置は、インク以外の他の流体を噴射したり吐出したりする流体噴射装置に適用することができる。流体噴射装置が噴射可能な流体は、液体、機能材料の粒子が分散又は溶解されている液状体、ジェル状の流状体、流体として流して噴射できる固体、及び粉体（トナー等）を含む。
【００６７】
また、上述の各実施形態において、流体噴射装置から噴射される流体としては、インクのみならず、特定の用途に対応する流体を適用可能である。流体噴射装置に、その特定の用途に対応する流体を噴射可能な噴射ヘッドを設け、その噴射ヘッドから特定の用途に対応する流体を噴射して、その流体を所定の物体に付着させることによって、所定のデバイスを製造可能である。例えば、本発明の流体噴射装置（流体噴射装置）は、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、及び面発光ディスプレイ（ＦＥＤ）の製造等に用いられる電極材、色材等の材料を所定の分散媒（溶媒）に分散（溶解）した流体を噴射する流体噴射装置に適用可能である。
【００６８】
また、流体噴射装置としては、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する流体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる流体を噴射する流体噴射装置であってもよい。
【００６９】
さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する流体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する流体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する流体噴射装置、ジェルを噴射する流状体噴射装置、トナーなどの粉体を例とする固体を噴射するトナージェット式記録装置であってもよい。そして、これらのうちいずれか一種の流体噴射装置に本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの切断分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドのインク供給口を含む側断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドのインク供給口を含む平面断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を説明するための説明図である。
【図６】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの動作を説明するための説明図である。
【図７】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの動作を説明するための説明図である。
【図８】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドを備えるインクジェットプリンタの内部構造の概略を示す斜視図である。
【図９】本発明の第２実施形態のインクジェットヘッドのインク供給口を含む側断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１……インクジェットヘッド（流体噴射ヘッド）、１０……電極基板、２０……キャビティ基板（第２基板）、３０……ノズル基板（第１基板）、３４……ノズル開口、５０……インク流路（流体流路）、５５……インク供給口、５５ａ……柱状部、８０……接着剤、９０……防御部、９１，９３……防御壁、９２……貯留部、１００……インクジェットプリンタ（流体噴射装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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