(57)【要約】【課題】ダイシング工程でのチッピングによるフィルタの剥離を抑制することができる半導体パッケージおよびその製造方法を提供する。【解決手段】半導体デバイスを一面に配した半導体基板、前記半導体基板の一面から間隙を介して、前記半導体基板に対向して配置されたキャップ基板、及び、前記キャップ基板にあって、前記半導体基板に対向する面に突設され、前記キャップ基板と前記半導体基板とを接着するスペーサー、から少なくともなる半導体パッケージであって、前記キャップ基板に配されるフィルタを備え、前記フィルタが前記半導体デバイスと重なる位置にあり、かつ前記スペーサーとは重ならない半導体パッケージを提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスを一面に配した半導体基板、前記半導体基板の一面から間隙を介して、前記半導体基板に対向して配置された一面を有し、該一面が全域において平坦部、又は平坦部と共に局所的な凸部を備えてなるキャップ基板、及び、前記キャップ基板にあって、前記半導体基板に対向する一面の平坦部あるいは凸部において突設され、前記キャップ基板と前記半導体基板とを接着するスペーサー、から少なくともなる半導体パッケージであって、前記キャップ基板に配されるフィルタを備え、前記フィルタが前記半導体デバイスと重なる位置にあり、かつ前記スペーサーとは重ならないことを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項２】
前記フィルタは、前記半導体基板、前記フィルタ、前記キャップ基板の順に重ねて配されることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ。
【請求項３】
前記フィルタは、前記半導体基板、前記キャップ基板、前記フィルタの順に重ねて配されることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ。
【請求項４】
前記フィルタは第一フィルタと第二フィルタからなり、前記半導体基板、前記第一フィルタ、前記キャップ基板、前記第二フィルタ、の順に重ねて配されることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ。
【請求項５】
前記半導体基板の一面側にあって、前記半導体デバイスと電気的に接してなる電極、前記半導体基板の他面側から前記電極に向けて設けられた貫通電極、及び前記貫通電極と電気的に接してなるはんだバンプ、を少なくとも備えたことを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ。
【請求項６】
半導体デバイスを一面に配した半導体基板、前記半導体基板の一面から間隙を介して、前記半導体基板に対向して配置された一面を有し、該一面が全域において平坦部、又は平坦部と共に局所的な凸部を備えてなるキャップ基板、及び、前記キャップ基板にあって、前記半導体基板に対向する一面の平坦部あるいは凸部において突設され、前記キャップ基板と前記半導体基板とを接着するスペーサー、から少なくともなり、前記キャップ基板に配されるフィルタを備え、前記フィルタが前記半導体デバイスと重なる位置にあり、かつ前記スペーサーとは重ならない半導体パッケージの製造方法であって、
前記キャップ基板に前記フィルタを形成する第一工程、前記半導体デバイスが複数、互いに離間部を挟むように、一面に配されてなる前記半導体基板と、前記フィルタを配した前記キャップ基板とを、前記離間部においてスペーサーを介して接着する第二工程、並びに、前記キャップ基板、前記半導体デバイス、及び前記スペーサーからなる構造体を、前記スペーサーがある領域において、前記半導体基板と前記キャップ基板の重なり方向に分断する第三工程、とを少なくとも順に備えることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
【請求項７】
前記第二工程の後に、前記半導体基板の他面側から、前記半導体デバイスに向かって電気的に接続される貫通電極を形成する工程、及び、前記貫通電極と電気的に接続されるはんだバンプを形成する工程、を順に備えることを特徴とする請求項６記載の半導体パッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体パッケージおよびその製造方法に係り、より詳しくは、半導体パッケージに配されたフィルタの剥離対策に関する。
【背景技術】
【０００２】
昨今の携帯電話や携帯情報端末、デジタルカメラなどのモバイル電子機器は、その携帯性や軽量化が大きな市場ニーズとなっている。そのため、搭載される半導体ＩＣなどの各チップは更なる小型・薄型化が必須であり、安定した製造工程が求められる。
これらモバイル電子機器に搭載されているＣＣＤ、ＣＭＯＳなどに代表されるような光学系半導体デバイスには、赤外カットフィルタなどの光学フィルタが用いられている。これら光学フィルタを光学系半導体のウエハレベルパッケージに適用するとき、ガラス基板に光学フィルタを成膜してパッケージ加工することがある。
【０００３】
従来のガラス基板にフィルタを成膜する手順としては、パッケージ加工終了後に、ガラス基板にフィルタを成膜する方法や、最初にガラス基板にフィルタを成膜してパッケージ加工する方法とがある。フィルタを保護するためにパッケージ内部にフィルタを形成する場合、後者の方法が採用される。また、前者では一つ一つのパッケージにフィルタを形成する作業となるが、後者ではウエハレベルで一度にフィルタを形成できるという利点がある。
図１３は、フィルタをパッケージ内部に形成する従来の半導体パッケージの製造工程断面図である。この半導体パッケージ４０の製造工程は、図１３（a）で示すように、フィルタ４６がキャップ基板４４の一方の面４４ａ全面に配される。次に、スペーサー４５を介してフィルタ４６と半導体基板４２とが接合される。次に、図１３（ｂ）で示すように、図中Lの破線で示す部位で半導体ウエハをダイシングする。このダイシングによるチッピングで、図１３（ｄ）に示すようにフィルタ４６の剥離６０が生じる虞がある。このフィルタ４６の剥離６０は信頼性試験等により拡大し、半導体パッケージ４０を故障させる原因となる場合があった。また、スペーサー４５がフィルタ４６に直接接着されているので、フィルタ４６とキャップ基板４４との密着性が弱いと、スペーサー４５の膨張収縮による応力でフィルタ４６が剥離する虞がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ダイシング工程でのチッピングによるフィルタの剥離を抑制することができる半導体パッケージを提供することを第一の目的とする。また、本発明は、ダイシング処理において、フィルタの剥離を抑制できる半導体パッケージの製造方法を提供することを第二の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に係る半導体パッケージは、半導体デバイスを一面に配した半導体基板、前記半導体基板の一面から間隙を介して、前記半導体基板に対向して配置された一面を有し、該一面が全域において平坦部、又は平坦部と共に局所的な凸部を備えてなるキャップ基板、及び、前記キャップ基板にあって、前記半導体基板に対向する一面の平坦部あるいは凸部において突設され、前記キャップ基板と前記半導体基板とを接着するスペーサー、から少なくともなる半導体パッケージであって、前記キャップ基板に配されるフィルタを備え、前記フィルタが前記半導体デバイスと重なる位置にあり、かつ前記スペーサーとは重ならないことを特徴とする。
【０００６】
本発明の請求項２に係る半導体パッケージは、請求項１において、前記フィルタは、前記半導体基板、前記フィルタ、前記キャップ基板の順に重ねて配されることを特徴とする。
【０００７】
本発明の請求項３に係る半導体パッケージは、請求項１において、前記フィルタは、前記半導体基板、前記キャップ基板、前記フィルタの順に重ねて配されることを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項４に係る半導体パッケージは、請求項1において、前記フィルタは第一フィルタと第二フィルタからなり、前記半導体基板、前記第一フィルタ、前記キャップ基板、前記第二フィルタ、の順に重ねて配されることを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項５に関する半導体パッケージは、前記半導体基板の一面側にあって、前記半導体デバイスと電気的に接してなる電極、前記半導体基板の他面側から前記電極に向けて設けられた貫通電極、及び前記貫通電極と電気的に接してなるはんだバンプ、を少なくとも備えたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項6に関する半導体パッケージ製造方法は、半導体デバイスを一面に配した半導体基板、前記半導体基板の一面から間隙を介して、前記半導体基板に対向して配置された一面を有し、該一面が全域において平坦部、又は平坦部と共に局所的な凸部を備えてなるキャップ基板、及び、前記キャップ基板にあって、前記半導体基板に対向する一面の平坦部あるいは凸部において突設され、前記キャップ基板と前記半導体基板とを接着するスペーサー、から少なくともなり、前記キャップ基板に配されるフィルタを備え、前記フィルタが前記半導体デバイスと重なる位置にあり、かつ前記スペーサーとは重ならない半導体パッケージの製造方法であって、前記キャップ基板に前記フィルタを形成する第一工程、前記半導体デバイスが複数、互いに離間部を挟むように、一面に配されてなる前記半導体基板と、前記フィルタを配した前記キャップ基板とを、前記離間部においてスペーサーを介して接着する第二工程、並びに、前記キャップ基板、前記半導体デバイス、及び前記スペーサーからなる構造体を、前記スペーサーがある領域において、前記半導体基板と前記キャップ基板の重なり方向に分断する第三工程、とを少なくとも順に備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項7に関する半導体パッケージ製造方法は、前記第二工程の後に、前記半導体基板の他面側から、前記半導体デバイスに向かって電気的に接続される貫通電極を形成する工程、及び、前記貫通電極と電気的に接続されるはんだバンプを形成する工程、を順に備えることを特徴とする請求項６記載の半導体パッケージの製造方法。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る半導体パッケージにおいて、半導体デバイスを一面に配した半導体基板の一面から、間隙を介して、キャップ基板が対向して配置している。スペーサーが、このキャップ基板にあって、半導体基板に対向する面に突設され、半導体基板とキャップ基板とを接着している。また、フィルタは半導体デバイスと重なるようにキャップ基板に配し、スペーサーとは重ならない位置にある。
この構成により、半導体パッケージの分断部位はスペーサーを両断する位置にあるので、フィルタを分断することがなく、チッピングによるフィルタの剥離を防ぐことが可能となる。
【００１３】
また、本発明の半導体パッケージの製造方法において、キャップ基板の一面に半導体デバイスと重なるようにフィルタを形成した後、スペーサーがフィルタと重ならない位置で、複数の半導体デバイスを離間部を設けて配した半導体基板と、キャップ基板とを対向させて接着する。その後、半導体基板、キャップ基板、及びスペーサーとが接着してなる構造体を、スペーサーを両断する部位で分断する。この製造過程において、フィルタは半導体パッケージの分断箇所に配されていないので、分断する工程において、チッピングによってフィルタがキャップ基板から剥離することを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を、図面を参照して説明する。
本発明は、これら実施例によって限定されるものではない。
【００１５】
第１実施形態
図１は、本発明に係る半導体パッケージの第１実施形態を示す断面図である。
半導体パッケージ１０ａは、半導体デバイス１１が、半導体基板１２の一面１２ａに配している。この半導体基板１２から間隙１３を介して、キャップ基板１４が対向して配置している。また、スペーサー１５が半導体基板１２に対向する面１４ａに突設され、半導体基板１２とキャップ基板１４とを接着している。更に、半導体デバイス１１と重なり、かつ、スペーサー１５とは重ならないように、キャップ基板１４の一面１４ａにフィルタ１６が配されている。
【００１６】
半導体デバイス１１に関しては、ＣＣＤやＣＭＯＳ等のイメージセンサが好ましい。また、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）デバイスなども用いることができ、その一例として、マイクロリレー、マイクロスイッチ、圧力センサ、加速度センサ、高周波フィルタ、マイクロミラー等が挙げられる。
【００１７】
半導体基板１２に関しては、材料として、例えば、ガリウム砒素、ガラス、セラミック、ゲルマニウム、シリコン等が用いられる。また、半導体基板１２の一面１２ａには、半導体デバイス１１と電気的に接してなる電極１７を配していることが好ましい。この電極１７に関しては、半導体デバイス１１と電気的に接していれば、特に限定されるものではないが、その配置部位は半導体基板の一面１２ａ上が好ましい。電極１７の材質に関しては、Ａｌ、Ａｌ−Ｃｕ、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ等が用いられる。これは、Ｉ／Ｏパッドとして用いられる。
【００１８】
間隙１３に関しては、特に限定されるものではなく、半導体デバイス１１から要求される仕様などの条件に応じて自由に選択可能であるが、例えば数μｍ〜数百μｍの範囲であれば、半導体デバイス１１の周囲に十分なキャビティを確保することができるとともに、半導体パッケージ１０の寸法を抑制することができる。
例えば、半導体デバイス１１がＣＣＤやＣＭＯＳ等のイメージセンサである場合には、半導体基板１２とキャップ基板１４との距離が近すぎると、キャップ基板１４に付着したパーティクル等の影響を受けやすくなる場合があり、このような場合には、スペーサー１５によって半導体基板１２とキャップ基板１４との間に確保された間隙１３の役割を最大限に生かすことができる。
【００１９】
キャップ基板１４に関しては、半導体デバイス１１の上方に間隔１３を介して配置され、半導体デバイス１１を保護する等の役割を有する。キャップ基板１４の材料としては、樹脂やガラス、金属等からなる板材を用いることができ、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の光学系半導体デバイスに適用する場合には、光透過性を有するガラス等の材料を用いるのが好ましい。また、半導体基板１２と、平行して対向させるのが好ましい。
【００２０】
スペーサー１５は、半導体基板１２とキャップ基板１４との間隙１３を確保するため、キャップ基板１４を半導体基板１２と接合したときに、半導体デバイス１１の周囲を切れ目無く囲い、かつ、半導体デバイス１１の上を覆わないような所定位置に設けられる。これにより、半導体デバイス１１の周囲の空間１３が半導体基板１２とキャップ基板１４とスペーサー１５とにより気密に封止される。スペーサー１５に用いられる材料に関しては、例えば、感光性もしくは非感光性の樹脂（ＵＶ硬化型樹脂、可視光硬化型樹脂、赤外光硬化型樹脂、熱硬化型樹脂等）からなるワニスやペースト、ドライフィルム等が挙げられる。
スペーサー１５を構成するのに適した材料としては、半導体パッケージの使用環境に応じて適宜選択すればよいが、とりわけ、ポリイミドやフェノール系樹脂など、耐薬品性及び耐熱性に優れる樹脂が好適である。ポリイミド樹脂の場合、層を形成した後に焼成を行うことにより、架橋反応を引き起こして耐薬品性及び耐熱性を向上することが可能である。
スペーサー１５を構成する材料が感光性を有する場合、前記感光性材料としては、エポキシアクリレート等の感光性樹脂や、感光性ガラスペーストなどが挙げられる。
ポリイミド樹脂やガラスペーストを焼成する場合、スペーサー１５をキャップ基板１４側に形成して、キャップ基板１４を半導体基板１２と接合する前にスペーサー１５の焼成を行うことにより、焼成の熱による半導体デバイス１１のダメージを回避することができる。
また、スペーサーをＳｎやＡｕなどの金属接合や、ガラス、Ｓｉ等にすることで、半導体パッケージを気密封止することができる。これにより、間隙１３内の結露を防止することができる。
【００２１】
フィルタ１６に関しては、使用するフィルタ１６の種類が限定されるものではなく、ノッチフィルタやＮＤフィルタ、バンドパスフィルタ等、半導体デバイス１１の用途により、自由に選択可能である。ＣＣＤやＣＭＯＳを半導体デバイスとして用いる場合、赤、緑、青で構成された原色フィルタや、シアン、マゼンダ、イエロー、グリーンから構成される補色フィルタ、ＩＲカットフィルタなどを用いるのが好ましい。
【００２２】
本発明において、フィルタ１６は、半導体デバイス１１に重なる位置で、キャップ基板１４の一面１４ａ側に配されている。このフィルタ１６は、キャップ基板１４の一面１４ａに直接配されても良いし、キャップ基板１４の一面１４ａに設置されたものを介して配されても良い。また、このフィルタ１６が配されている位置は、ダイシング部位とは重ならず、かつスペーサー１５とも直接重ならない位置でもあるので、ダイシングした際のチッピングによるフィルタ１６の剥離を抑制することができる。また、フィルタ１６にスペーサー１５が接着されていないので、スペーサー１５の膨張収縮によるフィルタ１６の剥離を防ぐことができる。更に、フィルタ１６は、キャップ基板１４の全面に配しているのではないので、フィルタ１６の応力によるキャップ基板１４の反りを緩和することができる。
【００２３】
第２実施形態  
図３で示すように、本発明において、フィルタ２６は、キャップ基板２４の他面２４ｂ側に配することもできる。この場合においても、フィルタ２６はキャップ基板２４の他面２４ｂに直接配されても良いし、このキャップ基板２４の他面２４ｂに配されたものを介して、フィルタ２６が設置されても良い。また、このフィルタ２６が配されている位置は、ダイシング部位とは重ならないので、ダイシング時におけるチッピングに囚われることは無くなる。更に、スペーサー２５とも接触していないので、従来みられた、スペーサー２５の膨張収縮の応力によるフィルタ２６の剥離を回避することができる。このフィルタ２６は半導体パッケージ２０の外周部に設けてあるので、半導体デバイス２１に入射する不要な光線を半導体パッケージ２０に入射する前に遮光することができる。
【００２４】
第３実施形態
図５で示すように、本発明において、フィルタ３６はキャップ基板の一面３４ａ及び他面３４ｂの両方の側に配することもできる。つまり、半導体基板３２、第一フィルタ３６ａ、キャップ基板３４、第二フィルタ３６ｂの順に重ねて配されている。この第一フィルタ３６ａ及び第二フィルタ３６ｂの配置に関しては、直接キャップ基板３４に配されても良いし、キャップ基板３４に配されたものを介して、間接的に配されても良い。どちらの場合においても、前記２つの実施例と同様に、第一フィルタ３６ａ及び第二フィルタ３６ｂはスペーサー３５と重ならない位置に配してあるので、ダイシング時のチッピングによる、フィルタの剥離を防ぐことができる。また、上記実施例と同様に、スペーサー３５が直接両フィルタ３６ａ、３６ｂに接着していないので、スペーサー３５の膨張収縮による応力で、これらフィルタ３６が剥離することも防ぐことができる。更に、キャップ基板３４の両面にフィルタ３６を配した場合、キャップ基板３４の両面にフィルタ３６の応力が加わるので、キャップ基板３４の反りを緩和することができる。光学系半導体デバイスの場合、この第一フィルタ３６aと第二フィルタ３６ｂの組み合わせを変えることで、例えば、ＮＤフィルタとバンドパスフィルタの組み合わせを変えるなど、様々な状況に応じた光学系半導体パッケージ３０を作製することができる。
【００２５】
本発明の半導体パッケージにおいて、第１実施形態の応用例１として図２（ａ）に示すとおり、キャップ基板１４に凸部１４ｐを備えたものがある。スペーサー１５が樹脂より成る場合、樹脂は透湿係数が高いため、樹脂の封止厚が厚いと間隙１３内が結露する虞があった。また、半導体基板１２からキャップ基板１４までの距離が短いと撮像特性等の光学的な問題が生じる。この両方を改善するためにも、キャップ基板１４に凸部１４ｐを備えることで、透湿係数の高い樹脂層の薄肉化が図れ、結露を抑制するとともに、キャップ基板１４の凸部１４ｐを制御することで、半導体基板１２からキャップ基板１４までの距離を調節することが可能となる。このとき、半導体基板１２とキャップ基板１４の凸部１４ｐとを接合するスペーサー１５の高さは、０．５〜３μｍとするのが好ましい。また、半導体基板１２からキャップ基板１４までの距離は１０〜１００μｍとするのが好ましい。
【００２６】
本発明の第２実施形態の応用例２として、図４（ａ）に示すように、キャップ基板２４に凸部２４ｐを設けたものがある。この構成により、応用例１と同様な効果が得られる。
【００２７】
本発明の第３実施形態の応用例３として、図６（ａ）に示すように、キャップ基板３４に凸部３４ｐを設けたものがある。この構成により、応用例１及び応用例２と同様な効果を得ることができる。
【００２８】
また、本発明の半導体パッケージにおいて、図１（ｂ）に示すように、貫通電極１８とはんだバンプ１９を設けることもできる。半導体基板１２の他面１２ｂ側から電極１７に向けて貫通電極１８を設け、この貫通電極１８と電気的に接してなるはんだバンプ１９を備えている。また、同様に第２実施形態と第３実施形態にも、それぞれ図３（ｂ）及び図５（ｂ）に示すように、貫通電極２８、３８とはんだバンプ２９、３９を形成することができる。
【００２９】
貫通電極１８に関しては、電極１７が貫通電極１８を介して外部と導通できる導電路を形成する。貫通電極１８の形状は、特に限定されるものではないが、半導体デバイス１１に対して直角方向に設置するのが好ましい。また、材質としては、スズや銅などの金属を用いることが好ましい。この貫通電極１８に接するように裏面配線層を半導体基板１２の他面１２ｂに形成することも可能である。
【００３０】
はんだバンプ１９に関しては、貫通電極１８が配された半導体基板の他面１２ｂに形成し、貫通電極１８に電気的に接続するように設置する。はんだバンプ１９の材質に関しては、用いるはんだ合金は特に限定されるものではないが、鉛フリーのはんだ合金を用いる場合は、ＳｎＡｇ３．０Ｃｕ０．５あるいはＳｎＡｇ３．５Ｃｕ０．７を用いるのが好ましく、より好ましくはＳｎＡｇ３．０Ｃｕ０．５である。また、はんだバンプ１９の大きさや、はんだバンプ１９を形成する間隔に関しては、特に限定されるものではないが、大きさは３０〜２５０μｍ、間隔に関しては、１００〜４００μｍが好ましい。
【００３１】
貫通電極１８やはんだバンプ19を設けることで、従来のワイヤボンディングと比較し、信号の高速化が図れる。
【００３２】
本発明の第一実施形態に貫通電極及びはんだバンプを設けた半導体パッケージにおいても、応用例４として、同様にキャップ基板に凸部１４ｐを備えたものを用いることができる。スペーサー１５が樹脂より成る場合、樹脂は透湿係数が高いため、樹脂の封止厚が厚いと間隙１３内が結露する虞があった。また、半導体基板１２からキャップ基板１４までの距離が短いと撮像特性等の光学的な問題が生じる。この両方を改善するためにも、キャップ基板１４に凸部１４ｐを備えることで、透湿係数の高い樹脂層の薄肉化が図れ、結露を抑制するとともに、キャップ基板１４の凸部１４ｐを制御することで、半導体基板１２からキャップ基板１４までの距離を調節することが可能となる。このとき、半導体基板１２とキャップ基板１４の凸部１４ｐとを接合するスペーサー１５の高さは、０．５〜３μｍとするのが好ましい。また、半導体基板１２からキャップ基板１４までの距離は１０〜１００μｍとするのが好ましい。
【００３３】
また、本発明の第２実施形態に貫通電極及びはんだバンプを設けた半導体パッケージにおいても、図４（ｂ）に示すように、キャップ基板２４に凸部２４ｐを設けたものとして、応用例５がある。この構成により、応用例４と同様な効果が得られる。    
【００３４】
更に、本発明の第３実施形態に貫通電極及びはんだバンプを設けた半導体パッケージにおいても、図６（ｂ）に示すように、キャップ基板３４に凸部３４ｐを設けたものとして、応用例６がある。この構成により、応用例４及び応用例５と同様な効果が得られる。
【００３５】
（製造方法）
第１実施形態
第１実施形態の半導体パッケージ１０Aの製造方法は、まず、図７（ａ）に示すように、キャップ基板１４の一面１４ａにフィルタ１６を形成する。この、フィルタ１６をキャップ基板１４に形成する方法の一例として、キャップ基板１４の一面１４ａに、感光性樹脂をスピンコーター等を用いて形成した後、フォトリソグラフィーにより、使用状況に応じたパターンを形成する。前記感光性樹脂の材料としては、光重合型のアクリル系樹脂や、光架橋型のポリビニールアルコールをベースとしたものを用いることが好ましい。また、カラーフィルターを形成する際は、顔料を分散させたポリイミド前駆体を着色樹脂層として、エッチング法により形成することもできる。また、蒸着により、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ＭｇＦ２、Ｔａ２Ｏ５などを積層したものもある。
【００３６】
次に、図７（ｂ）に示すように、スペーサー１５をキャップ基板１４ａに突設されるように形成し、半導体デバイス１１及び電極１７が配された半導体基板１２を接着する。半導体基板１２に対してキャップ基板１４を向かい合わせ、キャップ基板１４の一面１４ａに形成されたスペーサー１５を半導体基板１２の一面１２ａに接着する。これにより、半導体基板１２とキャップ基板１４とがスペーサー１５を介して接合される。接合にはエポキシ樹脂や感光性ＢＣＢ樹脂等を用いて接合するのが好ましい。
【００３７】
次に、スペーサー１５が両断されるように、図７（ｂ）に示す切断線Ｌに沿って半導体基板１２、スペーサー１５、及びキャップ基板１４をダイシングソーなどにより切断すれば、図７（ｃ）に示すように、本実施形態の半導体パッケージ１０Aが得られる。
【００３８】
本発明の、半導体パッケージ１０Aの製造方法によれば、フィルタ１６が、キャップ基板１４の一面１４ａ全面に形成されているのではなく、面の一部に形成されているので、フィルタ１６の応力によるキャップ基板１４の反りを緩和することができる。また、フィルタ１６が、ダイシング部位Ｌに設置されていないため、ダイシングによるチッピングでフィルタ１６の剥離を防ぐことができる。更に、スペーサー１５とキャップ基板１４とにフィルタ１６が挟まれていないため、スペーサー１５の膨張収縮による応力でフィルタ１６が剥離することも防げる。また、フィルタ１６は半導体パッケージ１０Aの内部に形成されているので、半導体パッケージ１０Aの加工中においてフィルタ１６が保護される。
【００３９】
第２実施形態
次に、図８は、本発明の第２実施形態に係る半導体パッケージ２０Aの製造方法を説明する断面工程図である。
本発明の第２実施形態では、第１実施形態と重複する説明を省略することがある。
本第２実施形態での製造方法は、まず、図８（ａ）で示すように、キャップ基板２４の他面２４ｂに、フィルタ２６を形成する。フィルタ２６の形成方法は、第１実施形態と同様である。
【００４０】
次に、図８（ｂ）に示すように、フィルタ２６を覆うように保護膜５０を形成する。この保護膜５０に関しては、後の工程で取り除けるようなものが好ましく、剥離可能な樹脂や微粘着フィルム等を用いるのが好ましい。この保護膜５０の形成方法に関しては、フィルムのラミネート、剥離可能な樹脂のスピンコート等を用いる。
【００４１】
次に、第一実施形態の図７（ｂ）と同様に、キャップ基板２４、スペーサー２５、及び半導体基板２２、とを、図８（ｃ）に示すように、接合する。
【００４２】
次に、図８（ｄ）で示すように、図８（ｂ）で形成した保護膜５０を除去する。保護膜５０の除去に関しては、フィルタ２６にダメージを与えないような薬液、（フィルムならセパレーター）等を用いる。または、O２アッシングなどのドライプロセスを行って保護膜５０を除去するのが好ましい。
【００４３】
次に、図８（ｄ）に示す切断線Ｌに沿って半導体基板２２、スペーサー２５及びキャップ基板２４を切断すれば、図８（ｅ）に示すように、本実施形態の半導体パッケージ２０Aが得られる。
【００４４】
本発明の第２実施形態の半導体パッケージ２０Aの製造方法によれば、第１実施形態と同様の理由により、フィルタ２６の剥離を防ぐことができる。また、キャップ基板２４の他面２４bに形成したフィルタ２６は、フィルタ２６形成後に保護膜５０で覆われるので、製造工程中におけるフィルタ２６の損傷を防ぐことができる。
【００４５】
第３実施形態
次に、図９は第３実施形態に係る半導体パッケージ３０Aの製造方法を説明する断面工程図である。本発明の第３実施形態では、第１形態例、及び第２実施形態と重複する説明を省略することがある。
本第２実施形態での製造方法は、まず、図９（ａ）で示すように、キャップ基板３４の一面３４ａと、キャップ基板３４の他面３４ｂに、それぞれ第一フィルタ３６ａ、第二フィルタ３６ｂを形成する。第一フィルタ３６ａと第二フィルタ３６ｂの形成方法は、第１実施形態と同様である。
【００４６】
次に、図９（ｂ）で示すように、第二フィルタ３６ｂを保護膜５０で覆う。保護膜５０の形成方法に関しては、第２実施形態の場合と同様である。
【００４７】
次に、第１実施形態の図７（ｂ）と同様に、キャップ基板３４、スペーサー３５、及び半導体基板３２、とを、図９（ｃ）に示すように、接合する。
【００４８】
次に、図９（ｄ）に示すように、図９（ｂ）で形成した保護膜５０を除去する。この工程は、第２形態例の図８（ｄ）で示した方法と同様である。
【００４９】
最後に、図９（ｄ）に示す切断線Ｌに沿って半導体基板３２、スペーサー３５及びキャップ基板３４を切断すれば、図９（ｅ）に示すように、本形態例の半導体パッケージ３０Aが得られる。
【００５０】
第３実施形態においても、第１実施形態、及び第２実施形態と同様な理由により、第一フィルタ３６ａと第二フィルタ３６ｂの剥離を防ぐことができる。また、第一フィルタ３６ａに関しては、該フィルタが半導体パッケージ３０内部に形成されているため、また、第二フィルタ３６ｂに関しては、第２実施例のときと同様に、保護膜で覆う工程を備えているので、製造工程中における両該フィルタの損傷を防ぐことができる。
【００５１】
貫通電極とはんだバンプを形成する半導体パッケージの製造方法
第１実施形態
貫通電極、及びはんだバンプを設けた第１形態例の半導体パッケージ１０Bの製造方法は、まず、図１０（ａ）に示すように、キャップ基板１４の一面１４ａにフィルタ１６を形成する。この、フィルタ１６をキャップ基板１４に形成する方法の一例として、キャップ基板１４の一面１４ａに、感光性樹脂をスピンコーター等を用いて形成した後、フォトリソグラフィーにより、使用状況に応じたパターンを形成する。前記感光性樹脂の材料としては、光重合型のアクリル系樹脂や、光架橋型のポリビニールアルコールをベースとしたものを用いることが好ましい。また、カラーフィルターを形成する際は、顔料を分散させたポリイミド前駆体を着色樹脂層として、エッチング法により形成することもできる。
【００５２】
次に、図１０（ｂ）に示すように、スペーサー１５をキャップ基板１４ａに突設されるように形成し、半導体デバイス１１及び電極１７が配された半導体基板１２を接着する。半導体基板１２に対してキャップ基板１４を向かい合わせ、キャップ基板１４の一面１４ａに形成されたスペーサー１５を半導体基板１２の一面１２ａに接着する。これにより、半導体基板１２とキャップ基板１４とがスペーサー１５を介して接合される。接合にはエポキシ樹脂や感光性ＢＣＢ樹脂を用いて接合するのが好ましい。
【００５３】
次に、図１０（ｃ）に示すように、半導体基板１２の他面１２ｂから、電極１７に向かって貫通孔を形成する。貫通孔の形成に関しては、シリコンの深堀エッチング装置（ＤｅｅｐＲＩＥ）を用いるのが好ましい。貫通孔に酸化膜層としてＳｉＯ2層をＰｌａｓｍａ−Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎを用いて成膜し貫通孔内に絶縁層を形成する。次いで、Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇを用いて、孔底部のＳｉＯ2層を選択的に除去する。その後、スパッタによりシード層を形成し、電解めっきにより貫通電極１８と、図中に記載は無いが、必要に応じて裏面配線層を形成する。
【００５４】
次に、図１０（ｄ）に示すように、はんだバンプ１９が貫通電極１８に電気的に接続されるように形成する。はんだバンプ１９の形成に関しては、必要に応じて、半導体基板１２をＨＡＳＬ処理やＯＳＰ処理、無電解Ｎｉ／浸漬Ａｕ処理、浸漬Ａｇ処理等を行うのが好ましい。また、図中に記載は無いが、裏面配線層を作製した場合には、この裏面配線層に電気的に接続されるようにはんだバンプ１９を作製する。
【００５５】
次に、スペーサー１５が両断されるように、図１０（ｄ）に示す切断線Lに沿って半導体基板１２及びキャップ基板１４を切断すれば、図１０（ｅ）に示すように、貫通電極１８とはんだバンプ１９を備えた半導体パッケージ１０Bが得られる。
【００５６】
本発明の、半導体パッケージ１０Bの製造方法によれば、フィルタ１６が、ダイシング部位Ｌに設置されていないため、ダイシングによるチッピングでフィルタ１６の剥離を防ぐことができる。またフィルタ１６が、キャップ基板１４の一面１４ａ全面に形成されているのではなく、面の一部に形成されているので、フィルタ１６の応力によるキャップ基板１４の反りを緩和することができる。更に、スペーサー１５とキャップ基板１４とにフィルタ１６が挟まれていないため、スペーサー１５の膨張収縮による応力でフィルタ１６が剥離することも防げる。また、フィルタ１６は半導体パッケージ１０Bの内部に形成されているので、半導体パッケージ１０Bの加工中においてフィルタ１６が保護される。貫通電極１８に関しては、開口部位が、ダイシング部位に配していないため、パーティクル等の浸入や、ダイシングによる変形等を防ぐことができる。
【００５７】
第２実施形態
次に、図１１は、本発明の第２形態例に貫通電極２８とはんだバンプ２９を設けた半導体パッケージ２０Bの製造方法を説明する断面工程図である。
本発明の貫通電極２８とはんだバンプ２９を設けた第２形態例では、図１０の製造工程と重複する説明を省略することがある。
本形態例での製造方法は、まず、図１１（ａ）で示すように、キャップ基板２４の他面２４ｂに、フィルタ２６を形成する。フィルタ２６の形成方法は、図１０（ａ）と同様である。
【００５８】
次に、図１１（ｂ）に示すように、フィルタ２６を覆うように保護膜５０を形成する。この保護膜５０に関しては、後の工程で取り除けるようなものが好ましく、剥離可能な樹脂や微粘着フィルム等を用いるのが好ましい。この保護膜５０の形成方法に関しては、剥離可能な樹脂のスピンコート、ドライフィルム（微粘着フィルム等）のラミネートを用いる。
【００５９】
次に、図１０（ｂ）と同様に、キャップ基板２４、スペーサー２５、及び半導体基板２２、とを、図１１（ｃ）に示すように、接合する。
【００６０】
次に、図１１（ｄ）に示すように、半導体基板２２の他面２２ｂから、電極２７に向かって貫通電極２８を形成する。貫通電極２８の形成に関しては、図１０（ｃ）と同様である。
【００６１】
次に、図１１（ｅ）に示すように、はんだバンプ２９が貫通電極２８に電気的に接続されるように図１０（ｄ）と同様に形成する。
【００６２】
次に、図１１（ｆ）で示すように、図１１（ｂ）で形成した保護膜５０を除去する。保護膜５０の除去に関しては、フィルタ２６にダメージを与えないような薬液及びドライプロセスを用いる。薬液に関しては、アセトン等の有機溶剤等でフィルターにダメージがないもの等を用いて、フィルタ２６を覆うように形成された保護膜５０を除去する。ドライプロセスにおいてはO２アッシング等を用いるのが好ましい。
【００６３】
次に、図１１（ｆ）に示す切断線Ｌに沿って半導体基板２２、スペーサー２５及びキャップ基板２４を切断すれば、図１１（ｇ）に示すように、本形態例の半導体パッケージ２０Bが得られる。
【００６４】
本形態例の製造方法によれば、貫通電極２８とはんだバンプ２９を備えた図１０の第１実施形態と同様の理由により、フィルタ２６の剥離を防ぐことができる。また、キャップ基板２４の他面２４bに形成したフィルタ２６は、フィルタ２６形成後に保護膜５０で覆われるので、製造工程中におけるフィルタ２６の損傷を防ぐことができる。また貫通電極２８に関しては、開口部位が、ダイシング部位に配していないため、パーティクル等の浸入や、ダイシングによる変形等を防ぐことができる。
【００６５】
第３実施形態
次に、図１２は、貫通電極とはんだバンプを備えた第３実施形態に係る半導体パッケージ３０Bの製造方法を説明する断面工程図である。
本形態例での製造方法は、まず、図１２（ａ）で示すように、キャップ基板３４の一面３４ａと、キャップ基板３４の他面３４ｂに、それぞれ第一フィルタ３６ａ、第二フィルタ３６ｂを形成する。第一フィルタ３６ａと第二フィルタ３６ｂの形成方法は、図１０の製造工程と同様である。
【００６６】
次に、図１２（ｂ）で示すように、第二フィルタ３６ｂを保護膜５０で覆う。保護膜５０の形成方法に関しては、図１１（ｂ）の製造工程と同様である。
【００６７】
次に、図１０（ｂ）と同様に、キャップ基板３４、スペーサー３５、及び半導体基板３２、とを、図１２（ｃ）に示すように、接合する。
【００６８】
次に、図１２（ｄ）に示すように、半導体基板３２の他面３２ｂから、電極３７に向かって貫通電極３８を形成する。貫通電極３８の形成に関しては、図１０（ｃ）と同様である。
【００６９】
次に、図１２（ｅ）に示すように、はんだバンプ３９が貫通電極３８に電気的に接続されるように図１０（ｄ）と同様に形成する。
【００７０】
次に、図１２（ｆ）で示すように、図１２（ｂ）で形成した保護膜５０を除去する。この工程は、図１１（ｆ）と同様である。
【００７１】
次に、図１２（ｆ）に示す切断線Ｌに沿って半導体基板３２、スペーサー３５及びキャップ基板３４を切断すれば、図１２（ｇ）に示すように、本形態例の半導体パッケージ３０Bが得られる。
【００７２】
本実施形態においても、図１１、及び図１２の製造工程と同様な理由により、第一フィルタ３６ａと第二フィルタ３６ｂの剥離を防ぐことができる。また、第一フィルタ３６ａに関しては、該フィルタが半導体パッケージ３０B内部に形成されているため、また、第二フィルタ３６ｂに関しては、第２実施例のときと同様に、保護膜５０で覆う工程を備えているので、製造工程中における両該フィルタの損傷を防ぐことができる。また、貫通電極３８に関しては、開口部位が、ダイシング部位に配していないため、パーティクル等の浸入や、ダイシングによる変形等を防ぐことができる。
【００７３】
また、第一実施形態の製造工程において、応用例１及び４で示したようにキャップ基板１４、に凸部１４ｐを設けたものを用いてもよい。スペーサー１５が樹脂より成る場合、樹脂は透湿係数が高いため、樹脂の封止厚が厚いと間隙１３内が結露する虞があった。また、半導体基板１２からキャップ基板１４までの距離が短いと撮像特性等の光学的な問題が生じる。この両方を改善するためにも、キャップ基板１４に凸部１４ｐを備えることで、透湿係数の高い樹脂層の薄肉化が図れ、結露を抑制するとともに、キャップ基板１４の凸部１４ｐを制御することで、半導体基板１２からキャップ基板１４までの距離を調節することが可能となる。このとき、半導体基板１２とキャップ基板１４の凸部１４ｐとを接合するスペーサー１５の高さは、０．５〜３μｍとするのが好ましい。また、半導体基板１２からキャップ基板１４までの距離は１０〜１００μｍとするのが好ましい。
【００７４】
また、第二実施形態の製造工程及び第三実施形態の製造工程においても、同様にキャップ基板に凸部を設けることで、上記と同様な効果を得ることができる。
更に、貫通電極及びはんだバンプを備えた半導体装置の各製造工程においても同様である。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明は、半導体基板上に形成された半導体デバイスに対するウエハレベルでのパッケージングにおいて、キャップ基板にフィルタを配する場合に、特に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第1実施形態に係る一例を示す半導体パッケージの断面図。
【図２】本発明の応用例１に係る一例を示す半導体パッケージの断面図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る一例を示す半導体パッケージの断面図。
【図４】本発明の応用例２に係る一例を示す半導体パッケージの断面図。
【図５】本発明の第３実施形態に係る一例を示す半導体パッケージの断面図。
【図６】本発明の応用例３に係る一例を示す半導体パッケージの断面図。
【図７】本発明の第1実施形態に係る半導体パッケージの断面工程図。
【図８】本発明の第２実施形態に係る半導体パッケージの断面工程図。
【図９】本発明の第３実施形態に係る半導体パッケージの断面工程図。
【図１０】本発明の第1実施形態に貫通電極、及びはんだバンプを設けた半導体パッケージの断面工程図。
【図１１】本発明の第２実施形態例に貫通電極、及びはんだバンプを設けた半導体パッケージの断面工程図。
【図１２】本発明の第３実施形態例に貫通電極、及びはんだバンプを設けた半導体パッケージの断面工程図。
【図１３】従来の半導体パッケージ、及び断面工程図と、フィルタが剥離した模式図。
【符号の説明】
【００７７】
１１、２１、３１、４１  半導体デバイス、１２、２２、３２、４２  半導体基板、１３、２３、３３、４３  間隙、１４、２４、３４、４４  キャップ基板、１４ｐ、２４ｐ、３４ｐ、４４ｐ  キャップ基板凸部、１５、２５、３５、４５  スペーサー、１６、２６、３６（３６a、３６ｂ）、４６  フィルタ、１７、２７、３７、４７  電極、１８、２８、３８  貫通電極、１９、２９、３９  はんだバンプ、１０（１０A、１０B、１０Ｃ、１０Ｄ）  第１実施形態に係る半導体パッケージ、２０（２０A、２０B、２０Ｃ、２０Ｄ）  第２実施形態に係る半導体パッケージ、３０（３０A、３０B、３０Ｃ、３０Ｄ）  第3実施形態に係る半導体パッケージ、４０  従来の半導体パッケージ、５０  保護膜、６０  フィルタの剥離、Ｌ  ダイシング部位。
【図１】
2009010261.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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