(57)【要約】【課題】レーザースペックルを減少させて、表示映像の画質低下を防止することができる光変調器及び光変調器モジュールを提供すること。【解決手段】駆動信号により入射された入射光を変調した出力光を出力する光変調器と、上記光変調器上に位置し、上記入射光と上記出力光とが通過し、上記入射光と上記出力光との光経路となる表面一部に位相調整パターンが形成されている光透過性基板と、を含み、上記位相調整パターンは自己相関関数の中心ピークの幅ｗが上記位相調整パターンのパターン幅Ｔより小さく、サイドローブ準位Ａｓが上記中心ピークの準位Ａ（０）より小さいことを特徴とする光変調器モジュールを提供する。【選択図】        図７
2009139951.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号により入射された入射光を変調した出力光を出力する光変調器と、
前記光変調器上に位置し、前記入射光と前記出力光とが通過し、前記入射光と前記出力光との光経路となる表面一部に位相調整パターンが形成されている光透過性基板と、を含み、
前記位相調整パターンは、自己相関関数の中心ピークの幅が前記位相調整パターンのパターン幅より小さく、サイドローブ準位が前記中心ピークの準位より小さいことを特徴とする光変調器モジュール。
【請求項２】
前記位相調整パターンは、｜ＡＳ／Ａ（０）｜２≪１及びｗ／Ｔ≪１を満足することを特徴とする請求項１に記載の光変調器モジュール。
【請求項３】
前記位相調整パターンは、凸状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの高さを有することを特徴とする請求項１に記載の光変調器モジュール。
【請求項４】
前記位相調整パターンは、凹状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの深さを有することを特徴とする請求項１に記載の光変調器モジュール。
【請求項５】
前記位相調整パターンは、０ラジアンまたはπラジアンの相対位相変移を誘導することを特徴とする請求項１に記載の光変調器モジュール。
【請求項６】
基板と、
前記基板上に位置する絶縁層と、
中央部分が前記絶縁層と所定間隔離隔して位置し、表面に上部ミラーが形成されており、前記中央部分に第１位相調整パターンが形成されている構造物層と、
前記構造物層の両側端に形成され、前記構造物層の中央部分を上下に動かす駆動体と、を含み、
前記第１位相調整パターンは、自己相関関数の中心ピークの幅が前記位相調整パターンのパターン幅より小さく、サイドローブ準位が前記中心ピークの準位より小さいことを特徴とする光変調器。
【請求項７】
前記第１位相調整パターンは、｜ＡＳ／Ａ（０）｜２≪１及びｗ／Ｔ≪１を満足することを特徴とする請求項６に記載の光変調器。
【請求項８】
前記第１位相調整パターンは、凸状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの高さを有することを特徴とする請求項６に記載の光変調器。
【請求項９】
前記第１位相調整パターンは、凹状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの深さを有することを特徴とする請求項６に記載の光変調器。
【請求項１０】
前記第１位相調整パターンは、０ラジアンまたはπラジアンの相対位相変移を誘導することを特徴とする請求項６に記載の光変調器。
【請求項１１】
前記構造物層の前記中央部分には長手方向に一つ以上のスリットが形成されており、
前記絶縁層の表面には下部ミラーが形成されており、前記第１位相調整パターンの下部には第２位相調整パターンが形成されていることを特徴とする請求項６に記載の光変調器。
【請求項１２】
前記第２位相調整パターンは、自己相関関数の中心ピークの幅が前記位相調整パターンのパターン幅より小さく、サイドローブ準位が前記中心ピークの準位より小さいことを特徴とする請求項１１に記載の光変調器。
【請求項１３】
前記第２位相調整パターンは、｜ＡＳ／Ａ（０）｜２≪１及びｗ／Ｔ≪１を満足することを特徴とする請求項１２に記載の光変調器。
【請求項１４】
前記第２位相調整パターンは、凸状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの高さを有することを特徴とする請求項１１に記載の光変調器。
【請求項１５】
前記第２位相調整パターンは、凹状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの深さを有することを特徴とする請求項１１に記載の光変調器。
【請求項１６】
前記第２位相調整パターンは、０ラジアンまたはπラジアンの相対位相変移を誘導することを特徴とする請求項１１に記載の光変調器。
【請求項１７】
前記第１位相調整パターンと前記第２位相調整パターンとは、ほぼ同じ形状を有することを特徴とする請求項１１に記載の光変調器。
【請求項１８】
入射光を照射する光源と、前記入射光を変調した出力光を出力する請求項１〜５のいずれか１項に記載された光変調器モジュールと、前記出力光をスクリーン上にスキャニングするスキャニングミラーと、を含むスキャニングディスプレイ装置。
【請求項１９】
入射光を照射する光源と、前記入射光を変調した出力光を出力する請求項６〜１７のいずれか１項に記載された光変調器と、前記出力光をスクリーン上にスキャニングするスキャニングミラーと、を含むスキャニングディスプレイ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光変調器、光変調器モジュール、及びこれを含むスキャニングディスプレイ装置に関するもので、より詳細には、レーザースペックル（ｌａｓｅｒ  ｓｐｅｃｋｌｅ）が減少した光変調器、光変調器モジュール、及びこれを含むスキャニングディスプレイ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
人間の目の分解能（ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）には限界がある。目で物体を見る場合、目は分解能により物体を複数の点に量子化する。例えば、特定物体の表面が人から３ｍ程度離れて前にあるとき、人間の目はその表面を各々１ｍｍの直径を有する点に分解して認知する。
【０００３】
図１には、人間の目が拡散表面（ｄｉｆｆｕｓｅ  ｓｕｒｆａｃｅ）を捉えるときの視線を示した図である。レーザー光源によるレーザー光１６が、拡散表面１４を照射している様子を示している。人間の目１２の網膜上には、拡散表面１４の特定点１８に関する像が結像される。特定点１８よりも小さな拡散表面１４上の模様は、目１２によって分解することはできない。一つの特定点１８内には多数の散乱中心（ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ  ｃｅｎｔｅｒ）が含まれており、これらはレーザー光１６を散乱させる。レーザー光１６は、その特性上、干渉性を有することから、散乱中心は目１２に干渉を生じさせる。目１２はその干渉により、最も明るい点から最も暗い点までの明暗度（ｇｒａｙ  ｓｃａｌｅ）範囲内にある特定点１８を認知する。特定点１８内の夫々の散乱中心は、多様な光波の中心になり、各光波は補強干渉及び／または相殺干渉によって特定点１８の明暗度を決める。例えば、特定点１８は、各光波が補強干渉を起こすと明るい点になり、相殺干渉を起こすと暗い点になる。したがって、目１２は拡散表面１４に対して明るい点、中間明るさの点、暗い点がランダムにパターニングされた粒状パターンを作るが、このような粒状パターンをスペックルという。
【０００４】
図１において、人間の目１２を例示して説明したが、一般的な光学システムにおいても人間の目１２と同じ原理に基づいて、レーザー光のような干渉光を拡散表面１４のような粗い表面に照射すると、スペックルを検出する。図２は、明るい点、中間明るさの点、暗い点が顆粒状パターンを呈するスペックルを示した写真である。このようなスペックルは、表示映像の画質を低下させる原因になるため、スペックルを減少させる必要がある。
【０００５】
図２に示すようなスペックルは、Ｎ個の無相関スペックルパターンを重畳させることにより減少させることができる。Ｎ個の無相関スペックルパターンが同じ平均強度を有すれば、スペックル減少因子は√Ｎになり、また、Ｎ個の無相関スペックルパターンが同じではない平均強度を有すれば、スペックル減少因子は√Ｎ以下になるだろう。また、無相関スペックルパターンは空間的に重畳されるという以外にも、時間平均、周波数または偏波によっても得られる。
【０００６】
図３は、従来のレーザースペックルを減少させるためのディスプレイ装置を概略的に示した図である。レーザー光源３０５はレーザー光３７２を放出する。照明光学装置３１０は、発散レンズ３１２、視準レンズ３１４、及び円筒レンズ３１６を含み、また、レーザー光３７２を光変調器３２０上に集中させる。光変調器３２０から変調された変調光は、第１リリースレンズ３３２及び第２リリースレンズ３３６とシュリーレン停止部（Ｓｃｈｌｉｅｒｅｎ  ｓｔｏｐ）３３４とを含むシュリーレン光学装置３３０と、複数回のスキャンにより位相変移を生成する２次元の長方形配列を有する拡散器３４０と、プロジェクションレンズ３５２及びスキャニングミラー３５４を含むプロジェクション装置３５０と、を通過してスクリーン３６０上に照射される。
【０００７】
ここで、多数回のスキャン動作で位相変移を生成するために、Ｎ個の無相関スペックルパターンに対応する２次元長方形配列を有する拡散器３４０によってレーザースペックルを減少させられるが、拡散器３４０を既存のディスプレイ装置３００に対して、別途備える必要があった。また、中間映像平面を必須的に必要とするため、ディスプレイ装置３００は全体として嵩が増し、かつ、複雑になるという問題があった。そして、小型プロジェクタのような省スペース型のディスプレイ装置が必要な所では使用できないという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
こうした従来技術の問題点に鑑み、本発明は、追加的な装置を備えなくとも、レーザースペックルを減少させる位相調整パターンが光変調器または光変調器モジュールに形成されるため、体積の増えない光変調器及び光変調器モジュールを提供することをその目的の一つとする。
【０００９】
また、本発明は、レーザースペックルを減少させて表示映像の画質低下を防止できる光変調器及び光変調器モジュールを提供することをその目的の一つとする。
【００１０】
さらに、本発明は、モバイル光学系のような小型光学系にも適用可能な光変調器及び光変調器モジュールを提供することをその目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一実施形態によれば、駆動信号により入射された入射光を変調した出力光を出力する光変調器と、前記光変調器上に位置し、前記入射光と前記出力光とが通過し、前記入射光と前記出力光との光経路となる表面一部に位相調整パターンが形成されている光透過性基板と、を含み、前記位相調整パターンは、自己相関関数の中心ピークの幅（ｗ）が前記位相調整パターンのパターン幅（Ｔ）より小さく、サイドローブ準位（ＡＳ）が前記中心ピークの準位（Ａ（０））より小さいことを特徴とする光変調器モジュールが提供される。
【００１２】
ここで、前記位相調整パターンは、｜ＡＳ／Ａ（０）｜２≪１及びｗ／Ｔ≪１を満足することができる。前記位相調整パターンは凸状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの高さを有することができる。
【００１３】
前記位相調整パターンは凹状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの深さを有することができる。また、前記位相調整パターンは０ラジアンまたはπ（パイ）ラジアンの相対位相変移を誘導することができる。
【００１４】
本発明の他の実施形態によれば、基板と、前記基板上に位置する絶縁層と、中央部分が前記絶縁層と所定間隔離隔して位置し、表面に上部ミラーが形成されており、前記中央部分に第１位相調整パターンが形成されている構造物層と、前記構造物層の両側端に形成され、前記構造物層の中央部分を上下に動かす駆動体と、を含み、前記第１位相調整パターンは、自己相関関数の中心ピークの幅（ｗ）が前記位相調整パターンのパターン幅（Ｔ）より小さく、サイドローブ準位（ＡＳ）が前記中心ピークの準位（Ａ（０））より小さいことを特徴とする光変調器が提供される。
【００１５】
前記第１位相調整パターンは｜ＡＳ／Ａ（０）｜２≪１及びｗ／Ｔ≪１を満足することができる。そして、前記第１位相調整パターンは、凸状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの高さを有するか、凹状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの深さを有することができる。前記第１位相調整パターンは０ラジアンまたはπラジアンの相対位相変移を誘導することができる。
【００１６】
また、前記構造物層の前記中央部分には長手方向に一つ以上のスリットが形成されており、前記絶縁層の表面には下部ミラーが形成されており、前記第１位相調整パターンの下部には第２位相調整パターンが形成されることができる。
【００１７】
前記第２位相調整パターンは、自己相関関数の中心ピークの幅（ｗ）が前記位相調整パターンのパターン幅（Ｔ）より小さく、サイドローブ準位（ＡＳ）が前記中心ピークの準位（Ａ（０））より小さくてもよい。
【００１８】
前記第２位相調整パターンは｜ＡＳ／Ａ（０）｜２≪１及びｗ／Ｔ≪１を満足することができる。そして、前記第２位相調整パターンは、凸状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの高さを有するか、凹状に形成され、合成バーカーコードシーケンスパターンの深さを有することができる。
【００１９】
前記第２位相調整パターンは、０ラジアンまたはπラジアンの相対位相変移を誘導することができる。前記第１位相調整パターンと前記第２位相調整パターンとは、ほぼ同じ形状を有してもよい。
【００２０】
本発明のまた他の実施形態によれば、入射光を照射する光源と、前記入射光を変調した出力光を出力する前述の光変調器モジュールと、前記出力光をスクリーン上にスキャニングするスキャニングミラーと、を含むスキャニングディスプレイ装置が提供される。
【００２１】
本発明のまた他の実施形態によれば、入射光を照射する光源と、前記入射光を変調した出力光を出力する前述の光変調器と、前記出力光をスクリーン上にスキャニングするスキャニングミラーと、を含むスキャニングディスプレイ装置が提供される。上述した以外の他の実施形態、特徴、利点については、以下の図面、特許請求の範囲、及び発明の詳細な説明により明確になるだろう。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る光変調器及び光変調器モジュールによれば、別の装置を追加しなくとも、レーザースペックルを減少させる位相調整パターンを光変調器または光変調器モジュールに形成することができ、体積を増加させないという効果を奏する。
【００２３】
また、レーザースペックルを減少させて、表示映像の画質の低下を防止できる。また、モバイル光学系のような小型のプロジェクション装置にも適用可能である。さらに、追加的に必要な装置がないため、装置全体の構成コストを安価にでき、重さが軽いという長所がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明は多様な変換を加えることができ、様々な実施例を有することができるが、本明細書では特定の実施形態について図面に示し、詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の実施形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物及び代替物を含むものとして理解されるべきである。本発明を説明するに当たって、係る公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨をかえって不明にすると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
【００２５】
「第１」、「第２」などの用語は、多様な構成要素を説明するために用いるに過ぎず、前記構成要素が前記用語により限定されるものではない。前記用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的にのみ用いられる。本願明細書で用いた用語は、特定の実施例を説明するためだけに用いたものであって、本発明を限定するものではない。単数の表現は、文の中で明らかに言及しない限り、複数の意味が含まれるものと解する。本願明細書において、「含む」または「有する」などの用語は明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品、またはこれらを組み合わせたものの存在を指定するものであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品、またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除するものではないと理解しなければならない。
【００２６】
図４は、本発明の一実施形態に係る光変調器を用いたディスプレイ装置を示す概略図であり、図５は、図４に示された光変調器を用いたディスプレイ装置を光軸に沿って展開した図であり、図６は、本発明の一実施形態に係る光変調器の形態を示した部分斜視図である。
【００２７】
ディスプレイ装置４００には、光源４０１、照明光学系４０２、光変調器４０５、プロジェクション光学系４０７、及びスキャニングミラー４１０が含まれる。照明光学系４０２及びプロジェクション光学系４０７が一般のディスプレイ装置に含まれるものであることは、当該技術分野における通常の知識を有する者（以下、当業者という）であれば、容易に認識できるものである。ここで、ディスプレイ装置４００は、スキャニングミラー４１０によって１次元線形光が所定方向に走査されて、２次元または３次元映像を形成するスキャニングディスプレイ装置である。
【００２８】
光源４０１は、照明光学系４０２を通過し、光軸４１２に沿って光変調器４０５に入射光４１３を放出する。本発明ではレーザー光の干渉性を用い、それによるレーザースペックルの減少にその目的があるので、光源４０１はレーザー光を放出するレーザー光源またはレーザーダイオードであるのが好ましい。
【００２９】
照明光学系４０２は、光源４０１から放出された光４１３を光軸４１２に略平行に集めるコンデンサ４０３と、光変調器４０５のミラー上にコンデンサ４０３により集められた光４１３を集中させる円筒レンズ４０４と、を含む。その他にも図示されていないが、コンデンサ４０３の代わりに発散レンズと視準レンズとを用いても、円筒レンズ４０４に入射光４１３を伝達できることは当業者にとって自明である。照明光学系４０２は、光源４０１からの光４１３を１次元線形光として集中させ、光変調器４０５に入射されるようにする。ここで、光変調器４０５への入射光４１３は、反射光と回折光とがプロジェクション光学系４０７のシュリーレン停止部４０９に到達するようにする入射角を有する。
【００３０】
照明光学系４０２以外の他の光学系によっても、光変調器４０５に入射光４１３を照射できることは当業者にとって明らかである。また、本発明に使用されるレンズは、単一構成品レンズだけでなく、複合レンズまたは反射性光学素子も使用できることも当業者にとって明らかである。
【００３１】
光変調器４０５は、各々ミラー層を有する複数のリボン４１５−１〜４１５−ｎ（ｎは２以上の任意の自然数）を円筒レンズ４０４の焦点線（ここではＹ軸）に沿って線形配列している。光変調器４０５は、光変調器駆動回路（図示せず）の電気信号に応じて、各リボン４１５−１，…，４１５−ｎを上下方向（ここではＺ軸方向）に駆動させて入射光を変調する。
【００３２】
図６の光変調器４０５は、多数のリボン４１５−１、…、４１５−ｎ（以下、リボン４１５と称する）を含んでおり、図６では、ｍ−１番目リボンを４１５−（ｍ−１）、ｍ番目リボンを４１５−ｍ、ｍ＋１番目リボンを４１５−（ｍ＋１）（ここで、ｍ＜ｎ）とし、これを中心に説明する。
【００３３】
光変調器４０５は、基板（図示せず）上に位置する絶縁層６１０と、中央部分６３０が絶縁層６１０と所定間隔離隔して位置する構造物層６００と、構造物層６００の両側端上に形成され、構造物層６００の中央部分６３０を上下に動かす圧電駆動体（図示せず）と、を含む。構造物層６００には、中央部分６３０の備えられた一表面上に光反射特性を有する上部ミラー６５０が形成されている。構造物層６００及び上部ミラー６５０を含んで一方向に長い形状を有しているため、リボン４１５と称する。
【００３４】
リボン４１５の中央部分６３０にスリット６４０が形成されていなければ、一つ以上のリボン４１５が集まって映像中の一画素を担当することになる。複数のリボン４１５は、圧電駆動体に加えられる電圧（光変調器駆動回路の電気信号に応じて変化する）により上下に駆動する。複数のリボン４１５の全てが一定の高さを維持しながら、例えば偶数番目のリボンに第１電圧が加えられて偶数番目のリボンが上方向または下方向に動くことになると、偶数番目のリボンから反射される第１反射光と奇数番目のリボンから反射される第２反射光との間に経路差が生じて回折（干渉）が起こり、この特性を用いて光の強度を変調することになる。これによって、映像の各画素の明暗度を表現することができる。
【００３５】
一方、リボン４１５の中央部分６３０に一つ以上のスリット６４０が形成されていれば（図６参照）、一つまたは二つ以上のリボン４１５が映像中の一画素を担当することになる。スリット６４０は、リボン４１５の長手方向（図６のｘ軸方向）に長い長方形状のホールであることが好ましい。このとき、絶縁層６１０の表面に光反射特性を有する下部ミラー６２０が形成されていることが望ましい。圧電駆動体に加えられる電圧により、一つまたは二つ以上のリボン４１５が同時に上下に動いてリボン４１５表面の上部ミラー６５０と絶縁層の下部ミラー６２０との間の間隔調節が可能になる。上部ミラー６５０から反射される第３反射光と、下部ミラー６２０から反射される第４反射光との間に経路差が生じて回折（干渉）が起こる。
【００３６】
リボン４１５にスリット６４０が形成されている場合及び形成されていない場合の両方において、各反射光間の経路差を用いて一画素の明暗度を表現することになり、各反射光は回折（干渉）原理に基づいて０次回折光４２０以外に＋１回折次数と−１回折次数（Ｄ＋１、Ｄ−１）などの回折光４２１，４２２を作り出す。以下、本発明では、後述するプロジェクション光学系４０７に含まれるシュリーレン停止部４０９において、０次回折光４２０は進ませ、＋１次回折光４２１、−１次回折光４２２などの０次以外の回折次数の回折光は進行を停止させることを中心に説明する。しかし、必要によって、シュリーレン停止部４０９が０次回折光４２０を停止させ、＋１次回折光４２１及び／または−１次回折光４２２を進ませることもできることは当業者にとって明らかである。また、リボン４１５を上下に駆動させるために、圧電駆動体以外に静電方式を用いた駆動体なども当然に使用可能である。
【００３７】
光変調器４０５は、一つまたは二つ以上のリボン４１５に映像の一画素の明暗度を表すようにして、入射光を変調して光を出力する。上述したように、出力光には、０次回折光４２０、＋１次回折光４２１、−１次回折光４２２などの回折光が含まれる。光変調器４０５は、図５及び図６に示すように、Ｙ軸方向に略平行に配列された複数のリボン４１５により１次元線形映像を表す。
【００３８】
ここで、光変調器４０５は、任意の視点から２次元映像を構成する１次元線形映像のいずれか一つ（垂直走査線または水平走査線）の明暗度を表す。スキャニングミラー４１０は、スクリーン４１１上の特定位置に当該１次元線形映像を表示する。光変調器４０５は、スキャン周波数によって複数の１次元線形映像を変調し、スキャニングミラー４１０が所定方向（一方向または両方向）に１次元線形映像をスキャンすることにより、全体的に２次元映像を表示することになる。
【００３９】
光変調器４０５からの出力光４２０，４２１，４２２は、プロジェクション光学系４０７を通過してスキャニングミラー４１０に伝達される。プロジェクション光学系４０７には、プロジェクションレンズ４０８及びシュリーレン停止部４０９が含まれる。プロジェクションレンズ４０８は、１次元線形映像の出力光４２０，４２１，４２２を２次元空間映像（１次元直線映像が左右に広げられた形態）に広げた後、スキャニングミラー４１０を介して最終的にスクリーン４１１上に１次元線形映像に投影されるようにする。シュリーレン停止部４０９は、出力光のうち、回折次数に応じて選別された回折次数の回折光だけを通過させるようにする。
【００４０】
ガルバノミラーは、第１スキャン運動Ａにより元の位置に戻り、第２スキャン運動Ｂにより１次元線形映像である出力光をスクリーン４１１上に投影する。あるいはその逆もありうる。また、第１スキャン運動Ａ及び第２スキャン運動Ｂにより、連続的な２次元平面映像フレームを表示することもできる。
【００４１】
また、ガルバノミラーの代りにポリゴンミラーまたは回転バーを用いて、一方向にのみ回転しながら、出力光をスクリーン４１１上に投影できることは当業者にとって明らかである。本明細書ではガルバノミラー、ポリゴンミラー、回転バーなどを通称して、スキャニングミラーという。
【００４２】
位相調整パターン４０６は、光変調器４０５の上部ミラーまたは光変調器４０５を備えた光変調器モジュールの光透過性基板上に形成されたものであって、レーザースペックルを減少させることができるものである。以下、スペックル位相調整によりレーザースペックルを減少させる装置及びその方法を詳細に説明する。
【００４３】
図７は、本発明の一実施形態に係る光透過性基板に位相調整パターンが形成された光変調器モジュールの断面図である。光変調器モジュール７００は、光変調器４０５と、光透過性基板７１０とを含む。
【００４４】
光変調器４０５に光が入射され、変調された光を放出するようにするために、光変調器４０５の上部には光透過性基板７１０が備えられる。光透過性基板７１０は、光変調器４０５の両表面のうちの光変調に関連した一表面（すなわち、上部ミラー６５０が位置した表面）の上部に位置し、入射光４１３と出力光４２０，４２１，４２２とを通過させる。光変調器４０５は、電圧、電流などの微小電気により機械的に運動するＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）装置であるため、外部環境（例えば、温度、湿度、微細塵、振動、衝撃など）からの影響を最小化するためにモジュール化する。モジュール化によって外部環境の影響を最小化しながら、モジュールそのもののサイズを最小化するために、図７には示されていないが、入射光４１３と出力光４２０，４２１，４２２とが通過できる光透過性基板７１０を用いて、光変調器４０５にて機械的に運動するリボン４１５部分を密封する。光透過性基板７１０は、光を９９％以上透過させる材質からなり、例えばガラスなどで構成される。
【００４５】
図７の光透過性基板７１０の表面において、出力光４２０，４２１，４２２が通過する光経路上の表面一部７４０には位相調整パターン７２０が形成されている。
【００４６】
位相調整パターン７２０は凹状に形成され、二つの深さ（０またはｈ）を有する。各深さに応じて、出力光４２０，４２１，４２２から０ラジアンの第１相対位相変移、またはπラジアンの第２相対位相変移が誘導される。一方、位相調整パターン７２０は、図７の図とは異なって、凸状に形成されてもよく、この場合にも二つの高さ（０またはｈ）を有する。夫々の高さに応じて、出力光４２０，４２１，４２２から０ラジアンの第１相対位相変移またはπラジアンの第２相対位相変移が誘導される。
【００４７】
また、位相調整パターン７２０は、出力光４２０，４２１，４２２の光経路の代りに、入射光４１３の光経路となる表面一部７３０に形成されることもできる。しかし、この場合、図４及び図５に示されたディスプレイ装置４００のコントラスト比が悪くなる。したがって、位相調整パターン７２０は、出力光４２０，４２１，４２２が通過する光透過性基板７１０の表面一部７４０に形成されることが好ましい。
【００４８】
光変調器４０５のリボン表面から位相調整パターン７２０までの距離（ｚ０、すなわちｄ＋Ｄ）は、次の数式（１）を満たさなければならない。
ｚ０≦Ｔ２／λ＋Ｄ（ｎ０−１）／ｎ０    ・・・（１）
数式（１）において、ｚ０＞Ｄである。
【００４９】
また、光透過性基板７１０の厚さは数式（２）を満たす。
Ｄ≦ｎ０｛（Ｔ２／λ）−ｄ｝     ・・・（２）
数式（２）において、ｄは光変調器４０５の上面と光透過性基板７１０の下面との間の間隔である。また、Ｔは光幅（ｂｅａｍ  ｗｉｄｔｈ）またはＸ軸の１ピクセルのサイズ、すなわちリボンピッチを示し、λは光の波長を示す。ｄ≪Ｄであれば、光変調器４０５の上面と光透過性基板７１０との間の間隔ｄは無視することができ、このときの光透過性基板７１０の厚さは、Ｄ≦ｎ０（Ｔ２／λ）となる。
【００５０】
上述した位相調整パターン７２０は、次の数式（３）及び数式（４）の条件を満たさなければならない。
｜ＡＳ／Ａ（０）｜２≪１  ・・・（３）
ｗ／Ｔ≪１                ・・・（４）
ここで、数式（３）において、ＡＳは最大サイドローブ振幅（ｍａｘｉｍｕｍ  ｓｉｄｅ  ｌｏｂｅ  ａｍｐｌｉｔｕｄｅ）であり、Ａ（０）は中心ピークの振幅を示す。また、数式（４）において、ｗは中心ピークの幅であり、Ｔは全体パターンの幅である。Ａ（ｘ）は位相調整関数Ｈ（ｘ）の自己相関関数（ａｕｔｏｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ  ｆｕｎｃｔｉｏｎ）であって、二乗モジュール（ｓｑｕａｒｅｄ  ｍｏｄｕｌｅ）が狭い中心ピーク（ｎａｒｒｏｗ  ｃｅｎｔｒａｌ  ｐｅａｋ）を有し、比較的小さいサイドローブ準位（ｌｏｗ  ｓｉｄｅ  ｌｏｂｅ  ｌｅｖｅｌ）を有する。自己相関関数は数式（５）の通りである。
Ａ(ｘ)＝∫Ｈ（ｘ−ｖ)Ｈ＊(ｖ）ｄｖ      ・・・（５）
【００５１】
位相調整関数は正規化された関数（ｎｏｒｍａｌｉｚｅｄ  ｆｕｎｃｔｉｏｎ）である。また、複素数透明度のｔ（ｘ）は数式（６）の通りである。
ｔ（ｘ）＝ｅｘｐ｛ｎ０・ｈ・Ｈ（ｘ）・２π／λ］｝    ・・・（６）
数式（６）において、ｊ＝√−１であり、ｎ０は位相調整パターンの形成された基板の屈折率（ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ  ｉｎｄｅｘ）を示す。また、ｈは位相調整パターンの最大高さ（または深さ）であり、位相調整関数は０＜Ｈ（ｘ）＜１、λは光の波長である。
【００５２】
位相調整関数Ｈ（ｘ）としては、バーカーコード（Ｂａｒｋｅｒ  ｃｏｄｅ）、チャープ信号（Ｃｈｉｒｐ  ｓｉｇｎａｌ）、Ｍシーケンス（Ｍ  ｓｅｑｕｅｎｃｅ）などが適用可能である。レーザースペックルの減少効果は、スペックルコントラスト比を用いて理論的に説明可能である。スペックルコントラスト比Ｃは下記の数式（７）の通りである。
【数１】
2009139951.tif 000003
数式（７）において、〈Ｉ〉はスペックルパターンにおける光強度の平均値であり、σＩはスペックルパターンにおける光強度の標準偏差であって、σＩ＝√(〈Ｉ２〉−〈Ｉ〉２）である。〈Ｉ２〉は二乗光強度（ｓｑｕａｒｅｄ  ｌｉｇｈｔ  ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）の平均値である。ここでの平均値の計算領域は、スクリーン全体となる。
【００５３】
ここでは、スペックルパターンＧ（ｘ）が定常的で、かつ、エルゴード的（ｅｒｇｏｄｉｃ）であるため、空間座標ｘによる平均が実際の全体的な効果の平均と同一であると仮定する。スクリーン上で人間の目による一つの分解要素を考慮することができ、その統計的な特性を考慮して、上記数式（７）からパラメータを見つけ出す。スクリーン上でスペックルパターンが定常的であると仮定したので、任意のアイピクセルを基準にする。以下では、計算の便宜上、ｘ＝０であるスクリーンの中心のピクセルを用いることにする。
【００５４】
〈Ｉ〉を期待値と定義し、数式（８）のようにその二乗を定義できる。
【数２】
2009139951.tif 000004
数式（８）において、Ｅ０はスクリーン上に入射される光の電場（または磁場）の振幅であり、Ｇ０は定数であり、ｘ１とｘ２はスクリーン上の水平座標であり、ａは図１に示されたスクリーンから人間の目までの距離である水晶体の対象距離（ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  ｌｅｎｓ  ｏｂｊｅｃｔ  ｄｉｓｔａｎｃｅ）である。
【００５５】
また、ｆ（ｘ１−ｘ２）＝〈ｒ(ｘ１)ｒ＊(ｘ２)〉を満たし、スクリーンモジュレーション係数ｒ（ｘ）の自己相関関数を示す。また、スクリーン微細粗度相関長さ（ｓｃｒｅｅｎ  ｍｉｃｒｏ−ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ  ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ  ｌｅｎｇｔｈ）χが、実質的に自己相関関数Ａ（ｘ）の中心ピークの幅εとスクリーン上での分解要素の大きさＤに比べて極めて小さいものであると仮定する。
【００５６】
スクリーンモジュレーションの自己相関関数は、ｆ（ｘ）＝Ｒδ（ｘ）であるとすることができる。ここで、Ｒ＝｜ｒ（ｘ）｜２であって、パワーモジュレーションインデックスを意味する。これらの関係を以下に示す。
【数３】
2009139951.tif 000005
である。
【００５７】
ここで、０＜β（ｘ）＜１を満たし、β（ｘ）は、スクリーンモジュレーション係数ｒ（ｘ）の振幅であり、ψ（ｘ）は、スクリーン微細粗度リリーフｈＳ（ｘ）に提供されるランダム位相変移である。ｋは波数であって、ｋ＝２π／λであり、ｈＳ（ｘ）はスクリーン微細粗度リリーフ、すなわちスクリーン上の微細粗度の凸状の高さまたは凹状の深さを意味するものである。上記の数式（８）は、次式を用いて数式（９）のように示すことができる。
【数４】
2009139951.tif 000006
【数５】
2009139951.tif 000007
【００５８】
数式（７）の〈Ｉ２〉は、下記の数式（１０）のように示すことができる。
【数６】
2009139951.tif 000008
この式において、Ｆ（ｘ１，ｘ２，ｘ３，ｘ４）＝〈ｒ(ｘ１)ｒ＊(ｘ２)ｒ(ｘ３)ｒ＊(ｘ４)〉が成り立つ。
【００５９】
ｒ（ｘ）の狭い自己相関特性を考えると、関数Ｆは、実際に次の（ａ）〜（ｃ）の場合にゼロにならないことが分かる。
（ａ）ｘ１＝ｘ２で、ｘ３＝ｘ４である場合
Ｆ１＝〈｜ｒ（ｘ１）｜２〉〈ｒ（ｘ３）｜２〉＝Ｒ２（ｘ１＝ｘ３を除いた全ての場合）
（ｂ）ｘ２＝ｘ３で、ｘ１＝ｘ４である場合
Ｆ２＝〈｜ｒ（ｘ２）｜２〉〈ｒ（ｘ４）｜２〉＝Ｒ２（ｘ２＝ｘ４を除いた全ての場合）
（ｃ）ｘ１＝ｘ２＝ｘ３＝ｘ４である場合
Ｆ３＝〈（｜ｒ（ｘ）｜２）２〉＝σｒ２２＋〈｜ｒ（ｘ）｜２〉２＝２Ｒ２
Ｆ１〜Ｆ３の式において、ｒ（ｘ）は、散乱光の振幅と位相とを定義するランダム係数であって、通常のスペックルパターンを生成するランダムウォークの統計に従わなければならない。従って、｜ｒ（ｘ）｜２は負の指数密度関数（ｎｅｇａｔｉｖｅ  ｅｘｐｏｎｅｎｔｉａｌ  ｄｅｎｓｉｔｙ  ｆｕｎｃｔｉｏｎ）でなければならず、二乗標準偏差である分散は、次のように二乗平均と同じように示される。
【数７】
2009139951.tif 000009
【００６０】
したがって、関数Ｆは下記数式（１１）のように定義できる。
Ｆ（ｘ１，ｘ２，ｘ３，ｘ４）＝Ｒ２δ（ｘ１−ｘ２）δ（ｘ３−ｘ４）[１−δ（ｘ１−ｘ３）]＋Ｒ２δ（ｘ２−ｘ３）δ（ｘ１−ｘ４）[１−δ（ｘ２−ｘ４）]＋２Ｒ２δ（ｘ１−ｘ２）δ（ｘ３−ｘ４）δ（ｘ１−ｘ３）
＝Ｒ２[δ（ｘ１−ｘ２）δ（ｘ３−ｘ４）＋δ（ｘ２−ｘ３）δ（ｘ１−ｘ４）]
・・・（１１）
ここで、δ（ｘ１−ｘ２）δ（ｘ３−ｘ４）δ（ｘ１−ｘ３）＝δ（ｘ２−ｘ３）δ（ｘ１−ｘ４）δ（ｘ２−ｘ４）が成り立つことを考える。そこで、数式（１１）から数式（１０）を引くと、数式（１２）となることが分かる。
〈Ｉ２〉＝Ｉｎ１＋Ｉｎ２         ・・・（１２）
ここで、Ｉｎ１とＩｎ２は次の式で表される。
【数８】
2009139951.tif 000010
ここでは、Ａ（ｘ４−ｘ３）＝Ａ＊（ｘ３−ｘ４）の特性が用いられた。
【００６１】
これらの結果を数式（７）に代入すると、コントラスト比は下記の数式（１３）のように表すことができる。
【数９】
2009139951.tif 000011
変数をｙ＝ｘ３−ｘ４、ｖ＝ｘ４とすると、下記の数式（１４）のように示すことができる。
【数１０】
2009139951.tif 000012
ここで、
【数１１】
2009139951.tif 000013
である。
【００６２】
ここで、数式（１３）に数式（１４）を代入すると、１次元スキャニングディスプレイ装置におけるコントラスト比を下記の数式（１５）のように簡単に表すことができる。
【数１２】
2009139951.tif 000014
ここでは、ｚ＝ｘ／Ｄであって、スキャニング方向に略平行したスクリーン上の座標である。また、Ｄ＝２λａ／Δであって、これはスクリーン上における人間の目の分解要素のサイズである。ａはスクリーンから人間の目までの距離で、Δは人間の目の水晶体の大きさを表す。
【００６３】
上記数式（１５）はスカラーアプローチにより獲得する。しかしながら、スクリーンの偏光消滅特性によってコントラスト比は減少する。粗い表面から散乱して偏極された理想的干渉光は、偏光特性を完全に失うことになる。散乱光は、通常二つの無相関直交偏光成分から構成される。二つの偏光成分は、統計的に互いに異なる二つの独立的なスペックルパターンを生成し、拡散器がなく、スキャニングをしなくても、全体スペックルコントラストは数式（１５）に比べて√２倍小さくなければならない。したがって、実際のスペックルコントラスト比は下記の数式（１６）の通りである。
【数１３】
2009139951.tif 000015
【００６４】
スペックルコントラスト比は、Ｑ（ｚ）とＡ（Ｄｚ）／Ａ（０）との関数として表される。数式（１５）での積分値の減少は、単に曲線Ａ（Ｄｚ）／Ａ（０）下で二乗値の減少により達成される。最大値が１になり、二乗値の減少は中心ピークｗを狭めサイドローブ準位Ａｓを減少させることにより可能となる。言い換えれば、数式（３）、数式（４）を満足させることにより、数式（１６）からスペックルコントラスト比を小さくすることが可能となる。
【００６５】
理想的な場合、数式（５）の自己相関関数はディラックのデルタ（Ｄｉｒａｃ‐ｄｅｌｔａ）関数に近接する。すなわち、Ａ（ｘ）≒δ（ｘ）である。このとき、数式（１５）のスペックルコントラスト比はほぼ０に近接し、完全なスペックル減少を達成することができる。
【００６６】
数式（３）及び数式（４）は、バーカーコードを用いて獲得できる。バーカーコードの自己相関関数は、極めて小さいサイドローブ準位、狭い中心ピークをもってディラックのデルタに最も近接する。バーカーコードの数がさらに多くなるほど、ディラックのデルタに一層近くなる。
【００６７】
バーカーコードシーケンスパターンは、最大１３の長さを有する無相関シーケンスパターンであって、下記に示す数式（１７）のようなバーカーコードの一例及び数式（１８）から生成される。
Ｂ＝［１１１１１−１−１１１−１１−１１］     ・・・（１７）
【数１４】
2009139951.tif 000016
ここで、ｒｅｃｔ（ｘ−ｉ）は、ｘがｉからｉ＋１の区間だけ１になり、その他の区間では０になる関数である。Ｎ（Ｎ＝１３）はバーカーコードの長さである。図８には上記数式（１７）と上記数式（１８）によって獲得されるバーカーコードシーケンスパターンが示されている。
【００６８】
上記数式（１７）において、正（＋）の符号は０ラジアンである第１相対位相変移を意味し、負（−）の符号はπラジアンである第２相対位相変移を意味する。或いは、その逆であっても当然よい。バーカーコードシーケンスパターンでの深さ（または高さ）ｈは下記の数式（１９）を満たさなければならない。
ｈ＝λ／２（ｎ０−１）           ・・・（１９）
数式（１９）において、ｎ０は光透過性基板７１０の屈折率を表す。
【００６９】
図７に示されている位相調整パターン７２０は、ｈ・Ｈ（ｘ）である。上記した数式（１８）に記載された位相調整パターン７２０の全長は、光変調器４０５におけるＸ軸方向への単一ピクセルサイズ、または光幅Ｔと同じでなければならない。このパターンは、光と位相調整パターン７２０との不一致を防ぐために、Ｘ軸方向に周期的に反復され得る。
【００７０】
上記の数式（１８）によるパターンの特徴は、パターンの自己相関関数の狭い中心ピーク（ほぼ単一ビットまたはピッチ（Ｔ／Ｎ）と同一）と低いサイドローブ準位とを有することである。これは、単一ピッチ（Ｔ／Ｎ）と同一またはそれ以上の距離Δｘだけ（Δｘ≧Ｔ／Ｎ）Ｘ軸方向にパターンをシフトした後は、以前のパターンとは相関しないことを意味する。
【００７１】
図８に示されているようなバーカーコードシーケンスパターンを位相調整パターン７２０として用いることにより、無相関スペックルパターンを重畳してレーザースペックルを減少させることができる。この例では、バーカーコードシーケンスパターンの長さが１３であるので、スペックル減少因子は最大√１３になり得る。しかし、このようなバーカーコードシーケンスは最大長さが１３であるという限界がある。
【００７２】
したがって、本発明では、下記に示す数式（２０）により基本バーカーコードから生成された合成バーカーコードシーケンスを用いる。
【数１５】
2009139951.tif 000017
ここで、Ｈｎ，ｍ（ｘ）は、新しい合成バーカーコードシーケンスを示す２進関数であり、Ｈｎ（ｘ）とＨｍ（ｘ）はそれぞれｎとｍの長さを有する基本バーカーコードシーケンスを定義する関数であって、数式（２１）と同様である。そして、χはバーカーコードチップのサイズである。
【数１６】
2009139951.tif 000018
ここで、ｂｉｎとｂｉｍは、夫々、ｎとｍとの長さを有する基本バーカーコードシーケンスの構成成分である。このとき、合成バーカーコードシーケンスは、Ｎ＝ｎ×ｍの非常に大きい長さを有する。合成バーカーコードシーケンスの自己相関関数は、約１／ｎ・ｍとより狭くなった中心ピークと、相対的に小さなサイドローブとを有する。合成方法については、以下に図９及び図１０を参照して説明する。
【００７３】
図９は、長さが７である基本バーカーコードシーケンスを示す図であり、図１０は、長さが７×７である合成バーカーコードシーケンスを示す図である。そして、図１１は、長さが７×７である合成バーカーコードシーケンスの自己相関関数の二乗モジュールグラフである。
【００７４】
図９には、構成成分ベクトルが［１１１−１−１１−１］である長さ７の基本バーカーコードシーケンスＨ７（ｘ）９００が示されている。そして、図１０には、図９の基本バーカーコードシーケンス９００を数式（２０）により合成した合成バーカーコードシーケンスＨ７，７（ｘ）１０００が示されている。合成バーカーコードシーケンス１０００は、７個の小バーカーコードシーケンス１０１０〜１０７０から構成される。各々の小バーカーコードシーケンスは、図９に示された基本バーカーコードシーケンス９００と同じであるか、またはその位相が逆のものである。
【００７５】
基本バーカーコードシーケンス９００の構成成分ベクトルの成分が１であるとき、基本バーカーコードシーケンス９００と同じ位相の小バーカーコードシーケンス１０１０，１０２０，１０３０，１０６０が合成される。一方で、構成成分ベクトルの成分が−１であるときは、基本バーカーコードシーケンス９００とは位相が逆の小バーカーコードシーケンス１０４０，１０５０，１０７０を用いて合成バーカーコードシーケンス１０００が合成される。したがって、合成バーカーコードシーケンス１０００は７×７、すなわち４９の長さを有する。
【００７６】
図１１には、自己相関関数Ａ（Ｄｚ）／Ａ（０）及びＱ（ｚ）が示されている。上記した数式（１６）によって計算された残余スペックルコントラスト比は次の通り例示されるものである。
（ｉ）スキャニングせずに偏光消滅スクリーンに均一に照明される場合：Ｃ＝１／√２＝０．７０１または７０％、
（ｉｉ）長方形のビーム（ｎ＝１）がスキャニングされる場合：Ｃ＝０．４２４または４２％、
（ｉｉｉ）ｎ＝７である基本バーカーコード形状ビームがスキャニングされる場合：Ｃ＝０．１８１または１８％、
（ｉｖ）ｎ＝１３である基本バーカーコード形状ビームがスキャニングされる場合：Ｃ＝０．１３１または１３％、
（ｖ）ｎ×ｍ＝７×７である合成バーカーコード形状ビームがスキャニングされる場合：Ｃ＝０．０７２または７％、
（ｖｉ）ｎ×ｍ＝７×１１である合成バーカーコード形状ビームがスキャニングされる場合：Ｃ＝０．０５７または５％
【００７７】
図１２は、本発明の他の実施例に係る位相調整パターンを有する光変調器の形態を示した斜視図である。光変調器４０５の各リボン４１５にはスリット６４０が形成されている。各リボン４１５の中央部分６３０、すなわち上部ミラー６５０に第１位相調整パターンＨｕｐ（ｘ）１２１０が形成されている。また、絶縁層６１０表面の下部ミラー６２０が形成された部分には第２位相調整パターンＨｄｎ（ｘ）１２２０が形成されている。第１位相調整パターン１２１０及び第２位相調整パターン１２２０は、同じ値（即ち、Ｈｕｐ（ｘ）＝Ｈｄｎ（ｘ））を有することが好ましく、図１０に示されたような合成バーカーコードシーケンスを用いたパターンであってもよい。また、図１２に示されたように、凹状または凸状に形成されることができる。
【００７８】
光変調器４０５における各リボン４１５にスリット６４０が形成されていない場合には、各リボン４１５の上部ミラー６５０にだけ第１位相調整パターン１２１０を形成することができる。その際は、二つ以上のリボン４１５を用いて一画素の明暗度を表現することになる。
【００７９】
いずれの場合であっても、位相調整パターン１２００は、光変調器４０５のリボン４１５表面に形成されているので（すなわち、ｚ０＝０）、上記した数式（１）を常に満足することになる。ここで、第１位相調整パターン１２１０及び／または第２位相調整パターン１２２０の深さ（または高さ）ｈはλ／４であればよい（位相変移の反射タイプ）。
【００８０】
上述したように、光変調器モジュールの光透過性基板７１０または光変調器のリボン４１５表面に位相調整パターンを形成する。１次元線形光であった出力光は、プロジェクション光学系４０７にて２次元空間光として広げられ、プロジェクションレンズ４０８により一つの１次元線形光として集光され、スキャニングミラー４１０によりスクリーン４１１に向かうことになる。
【００８１】
スクリーン上にスキャニングされた光は、人間の目の解像領域に移動する。図１０に示すような位相調整パターンを有する。全ての設計が正確であれば、光幅は人間の目の解像領域の大きさと一致する。光がピッチ距離（Ｍ×Ｔ／Ｎ）（Ｍはスクリーン上での倍率）だけシフトするたびに人間の目に新しい無相関ランダム強度を生成する。このような無相関ランダム強度の総数は、Ｎ（合成バーカーコードシーケンスの長さｎ×ｍ）になる。結果的にＮ回平均化した強度レベルが人間の目に生成される。この過程がスクリーンの全体において繰り返され、全体スペックルコントラストは√Ｎ倍減少することになる。光変調器４０５によって直接的に、または、上述したような位相調整パターンを光変調器モジュール７００に形成することにより、ディスプレイ装置の全体サイズが小さく保つようにすることができる。
【００８２】
以上、本発明の好ましい実施例を参照して説明したが、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内において、本発明に多様な修正及び変更を加えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】人間の目が拡散表面を捉えるときの視線を示した図である。
【図２】明るい点、中間明るさの点、暗い点が顆粒状パターンを呈するスペックルの写真である。
【図３】従来のレーザースペックルを減少させるためのディスプレイ装置を概略的に示した図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る光変調器を用いたディスプレイ装置を示す概略図である。
【図５】図４に示された光変調器を用いたディスプレイ装置を光軸に沿って展開した図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る光変調器の形態を示した部分斜視図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る光透過性基板に位相調整パターンが形成された光変調器モジュールの断面図である。
【図８】バーカーコードシーケンスパターンの一例を示す図である。
【図９】長さが７である基本バーカーコードシーケンスを示す図である。
【図１０】長さが７×７である合成バーカーコードシーケンスを示す図である。
【図１１】長さが７×７である合成バーカーコードシーケンスの自己相関関数の二乗モジュールのグラフである。
【図１２】本発明の他の実施例に係る位相調整パターンを有する光変調器の形態を示した斜視図である。
【符号の説明】
【００８４】
４０５  光変調器
７００  光変調器モジュール
７１０  光透過性基板
７２０  位相調整パターン
【図１】
2009139951.tif 000019
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2009139951.tif 000028
【図１１】
2009139951.tif 000029
【図１２】
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