(57)【要約】【課題】反射照明と透過照明の切替える等の照明条件の切替える顕微鏡を有する画像処理装置では、複数の照明を常時点灯しているため、被写体に照射していない場合でも、電力の消費やランプの消耗、等の無駄なランニングコストがかかっていた。特に、高輝度放電用のランプを用いた光源を効率よく使用し、ランニングコストを低減した画像処理装置を提供する。【解決手段】光源ユニットを１台とし、１台の光源ユニットから出射される光を、分岐若しくは切替える照明切替部を備えることにより、１台の光源ユニットで複数の照明に切替える照明切替え手段を実現した。【選択図】図２
2009139479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体像を拡大する顕微鏡と、拡大された被写体像を撮像して画像データを出力する撮像装置と、被写体に任意の光を照射するための光源ユニットを有し、上記画像データから上記被写体検査する画像処理装置において、上記光源ユニットから出力される光を反射照明用の光と透過照明用の光とに分岐する切替え、所定の分岐比率で上記被写体に光を照射する照明分岐ユニットを有することを特徴とする画像処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置若しくは測定装置に関わり、特に、画像処理用の拡大被写体像を得るために顕微鏡の照明を切替え制御する画像処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被写体像を拡大する顕微鏡と、拡大した被写体像を撮像して画像データを出力する撮像装置と、画像データを画像処理して線幅若しくは寸法の測定、又は表面若しくはパターンの欠陥を検査する画像処理装置とを備えた検査装置若しくは測定装置（以降、検査装置と測定装置を、検査装置と称する）がある。例えば、線幅測定装置、寸法測定装置、等は、基板（例えば、LCD（ Liquid Crystal Display ）基板）に形成された TFT（ Thin Film Transistor ）や、半導体のマスクのパターン幅やパターン間隔などの測定若しくは検査を行う装置である。
【０００３】
これら検査装置では、例えば、透明ガラス基板（試料）上に形成された膜パターンに照明光を照射して得られる被写体像を顕微鏡で拡大し、拡大された被写体像を CCD（ Charge Coupled Device ）カメラ等の撮像装置で撮像して得られる画像を画像処理装置で画像処理することによって、寸法や形状の測定若しくは欠陥の有無の検査をする。
【０００４】
近年、LCD 表示装置の高精細化及び高性能化が著しく進み、高精細化されたパターンを測定若しくは検査するために測定条件が一層複雑になってきている。そのため、反射照明や透過照明などの複数の照明及びその条件を切替えて試料に照射し、得られた被写体像の画像を画像処理によって測定するのが一般的となってきている。
【０００５】
図１によって、従来の画像処理を行う方法を説明する。図１は、従来の画像処理装置の構成の一例を示すブロック図である。1 は試料、2 は試料 1 を固定する試料台、2-0 は試料台 2 を搭載する防振構造を備える固定台、3 は試料 1 の被写体像を拡大する顕微鏡、4-0 は顕微鏡 3 のレボルバ、4 はレボルバ 4-0 に備えられた対物レンズ、5 は顕微鏡 3 で拡大された被写体像を撮像する撮像装置、6 は画像処理装置、7 はモニタ、8 は反射照明用の光を供給するための光源ユニット、9 は光源ユニット 8 の光の出力をオンオフするために光路を開閉するシャッター、10 は光源ユニット 9 から出力された反射照明用の光を顕微鏡 3 の図示しないハーフミラーまで導くライトガイド、11 は透過照明用の光を供給するための光源ユニット、12 は光源ユニット 11 の光の出力をオンオフするために光路を開閉するシャッター、14 は試料 1 の裏面から透過照明用の光を照射する透過照明レンズ、13 は光源ユニット 11 から出力された透過光用の光を透過照明レンズ 14 まで導くライトガイドである。
【０００６】
試料台 2 に搭載され固定された被写体（試料）1 の反射光像若しくは透過光像は、所定の倍率にセットされた対物レンズ 4 を備えた顕微鏡 3 を通って拡大され、撮像装置 5 により光電変換され画像データが得られる。
画像データは、画像処理部 6 に入力される。そして、画像処理部 6 は、入力された画像データを画像処理する。このとき、画像データの画像は、モニタ 7 に表示される。
また、画像処理部 6 では、反射照明の光を供給する光源ユニット 8 や透過照明の光を供給するための光源ユニット 11 に対して、任意の照明条件で目的とする輝度レベルを得られるように制御を行う。
【０００７】
ハロゲン照明、メタルハライド照明、水銀照明等の一般的な画像処理用照明装置（光源ユニット）では、照明装置をオンにした後、出射光の出力レベルが安定するまでに要する時間が長い。特に、メタルハライド照明や水銀照明では、安定するまでに、数［ min ］間を要する場合が有る。そのため各照明装置にシャッタ機構を設け、シャッタの開閉により照明の切替を行っている。
例えば、反射照明用のシャッタ 9 をオンすれば、反射照明用の光路が開き、反射照明用のライトガイド 10 及び顕微鏡 3 を通して反射照明用の光が被写体 1 に照射される。また、透過照明用のシャッター 12 をオンすれば、透過照明用の光路が開き、透過照明用のライトガイド 13 及び透過照明レンズ 14 を通して透過照明用の光が被写体 1 に照射される。
このように、各照明装置について、それぞれのシャッタのオンオフ（光路の開閉）により、反射照明光と透過照明光に照明を切替えて得られた画像で画像処理を行っている（特許文献１参照。）。
【０００８】
【特許文献１】特開平５−３４１２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述の従来技術では、反射照明と透過照明の切替える等の照明条件の切替えのため、複数の照明を備えて、複数の照明を常時点灯している。このため、被写体に照射していない場合でも、電力の消費やランプの消耗、等の無駄なランニングコストがかかっている。特に、光源として、メタルハライドランプ、水銀ランプ、等の高輝度放電用のランプを使用する場合には、高価な装置である。そのため、使用していない時間分の点灯は、無駄にランプの消耗をしていることにつながるので重要な問題である。
本発明の目的は、上記のような問題を解決するため、照明装置を効率よく使用し、ランニングコストを低減した画像処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するため、本発明の画像処理装置は、光源ユニットを１台とし、１台の光源ユニットから出射される光を、分岐若しくは切替える照明切替部を備えることにより、１台の光源ユニットで複数の照明に切替える照明切替え手段を実現したものである。
また、本発明の照明切替え手段は、光分岐用のスプリッタと分岐後の光をシャッタで制御する方法、光の分岐配分が異なる複数にスプリッタを切り替えて制御する方法、液晶ガラスを利用する等である。
【００１１】
即ち、本発明の画像処理装置は、被写体像を拡大する顕微鏡と、拡大された被写体像を撮像して画像データを出力する撮像装置と、被写体に任意の光を照射するための光源ユニットを有し、上記画像データから上記被写体検査する画像処理装置において、上記光源ユニットから出力される光を反射照明用の光と透過照明用の光とに分岐する切替え、所定の分岐比率で上記被写体に光を照射する照明分岐ユニットを有するものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、１式の照明装置で複数の照明条件の切替えを実現できるため、ランプ等の消耗を抑えられ、ランニングコストが改善される。また、１式の照明装置と照明切替装置を制御するだけで良いため、制御方法が簡単になる。また更に、反射照明と透過照明等をミックスして同時に照射する場合に、ランプ等の消耗度の差で発生する、照明バランスの変化が生じないため、この面でも制御方法が簡単になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、各図において、共通な機能を有する構成要素には同一の参照番号を付し、できるだけ説明の重複を避けるため、説明を省略することがある。
【００１４】
図２によって、本発明の画像処理装置の一実施例を説明する。図２は、本発明による画像処理装置の構成を示すブロック図である。15 は光源ユニット、16 は照明装置切替えユニットである。図２は、図１で述べた構成要素に対して、光源ユニット 8 と 11 、シャッター 9 と 12 が無く、代わりに、光源ユニット 15 と照明装置切替えユニット 16 を加えた構成である。また、撮像装置 5 は、例えば、CCD（ Charge Coupled Device ）素子を撮像素子とする TV（ Tele-Vision ）カメラである。
【００１５】
図２において、試料台 2 に搭載され固定された被写体（試料）1 は、所定の倍率にセットされた対物レンズ 4 を備えた顕微鏡 3 を通って拡大され、撮像装置 5 により光電変換され画像データが得られる。
画像データは、画像処理部 6 に入力される。そして、画像処理部 6 は、入力された画像データを画像処理する。このとき、画像データの画像は、モニタ 7 に表示される。
画像処理部 6 では、照明装置切替えユニット 16 に制御に制御信号を出力し、反射照明用の光を供給する光源ユニット 8 や透過照明用の光を供給するための光源ユニット 11 に対して、任意の照明条件で目的とする輝度レベルを得られるように制御を行う。
【００１６】
照明条件を（１）反射照明、（２）透過照明、（３）反射照明及び透過照明併用とすると、画像処理部 6 は、以下のように光源ユニット 11 を制御して照明を切替える。
（１）反射照明
照明装置切替えユニット 16 が反射照明に切替える場合には、反射照明ライトガイド 10 及び顕微鏡 3 を通して、反射照明用の光が被写体 1 に照射される。
（２）透過照明
照明装置切替えユニット 16 が透過照明に切替える場合には、透過照明ライトガイド 13 及び透過照明レンズ 14 を通して、透過照明用の光が被写体 1 に照射される。
（３）反射照明及び透過照明併用
照明装置切替えユニット 16 が反射照明及び透過照明併用に切替える場合には、２つの照明光（反射照明用の光及び透過照明用の光）が同時に被写体 1 に照射される。
以下、図３〜図５を参照して、照明切替えの実施例を詳細に説明する。図３〜図５は、本発明の一実施例の照明切替え手段の構成を説明するための図である。
【００１７】
図３によって、スプリッタとシャッタによって照明を切替える照明装置切替えユニット 161 の一実施例を説明する。161-1 はスプリッタ、15-1 は光源 15 から出力される光がスプリッタ 161-1 までに至る光路、10-1 はライトガイド 10 へ反射用照明の光が通過する光路、13-1 はライトガイド 13 へ透過用照明の光が通過する光路、161-2 は反射照明用の光路 10-1 を開閉するためにオンオフするシャッタ、161-3 は透過照明用の光路 13-1 を開閉するためにオンオフするシャッタである。
なお、図３では、シャッタ 161-2 とシャッタ 161-3 をスライドさせる等のオンオフ機構を図示せず、説明も省略している。
【００１８】
図３(a)〜(c) において、光源ユニット 15 から出力される照明光は、光路 15-1 を通ってスプリッタ 161-1 に至る。スプリッタ 161-1 は、光源ユニット 15 から出力された光を光路 10-1 と光路 13-1 に分岐して出力する。
スプリッタ 161-1 の分岐比率は、例えば、目的に応じて任意の比率で予め定め、その中から選択する。
例えば、分岐比率は、透過率 50［％］で反射率 50［％］、透過率 33［％］で反射率 67［％］、透過率 20［％］で反射率 80［％］等である。
なお、図３の実施例において、反射照明ライトガイド 10 と透過照明ライトガイド 13 の配置を交換しても良いことは自明である。
【００１９】
図３(a) は、反射光用照明のシャッタ 161-2 がオンとなって光路 10-1 が開いている状態で、かつ、透過光用照明のシャッタ 161-3 がオフとなって光路 13-1 が閉じている状態である。図３(a) の状態では、光源ユニット 15 から出力され、スプリッタ 161-1 から分岐した光のうち、光路 10-1 を通る反射光用の光はシャッタ 161-2 を通過してライトガイド 10 に入力される。しかし、シャッタ 161-3 がオフで透過光用の光を導く光路 13-1 が閉じているため、ライトガイド 13 に透過用の光が入力されない。
従って、図３(a) では、反射光用の光だけが被写体 1 に照射される。
【００２０】
図３(b) は、透過光用照明のシャッタ 161-3 がオンとなって光路 13-1 が開いている状態で、かつ、反射光用照明のシャッタ 161-2 がオフとなって光路 10-1 が閉じている状態である。図３(b) の状態では、光源ユニット 15 から出力され、スプリッタ 161-1 から分岐した光のうち、光路 13-1 を通る透過光用の光はシャッタ 16-3 を通過してライトガイド 13 に入力される。しかし、シャッタ 161-2 がオフで反射光用の光を導く光路 10-1 が閉じているため、ライトガイド 10 に透過用の光が入力されない。
従って、図３(b) では、透過光用の光だけが被写体 1 に照射される。
【００２１】
図３(c) は、反射光用照明のシャッタ 161-2 がオンとなって光路 10-1 が開いている状態で、かつ、透過光用照明のシャッタ 161-3 がオンとなって光路 13-1 が開いている状態である。図３(c) の状態では、光源ユニット 15 から出力され、スプリッタ 161-1 から分岐した光のうち、光路 10-1 を通る反射光用の光はシャッタ 161-2 を通過してライトガイド 10 に入力される。また、光路 13-1 を通る透過光用の光はシャッタ 161-3 を通過してライトガイド 13 に入力される。
従って、図３(c) では、反射光用と透過光用の２つの光が被写体 1 に照射される。
【００２２】
図３の切替え方式は、安価で比較的容易に実現可能である。しかし、光を常時分岐するために、反射照明のみや透過照明のみを照射する場合は、不要な光路に対しても光を照射することになる。
そのため、ハロゲン照明等のように電圧や電流を変動させて明るさを制御するような照明装置では、消費電力、ランプ寿命等の効率が低下する。
しかし、メタルハライド照明等、ランプの消費電力が一定な照明装置では効率の低下は全く無いため、このような照明装置に最も適した方式である。
【００２３】
図４によって、液晶ガラスによって照明を切替える照明装置切替えユニット 162 の一実施例を説明する。図４の実施例は、照明装置切替えユニット 162 内に液晶ガラス、ハーフミラー、及び集光レンズを組込み、液晶ガラスへの通電状態で照明を切替えるものである。図４において、液晶ガラス 162-2 のオンオフ機構を図示せず、説明も省略している。
液晶ガラスは、液晶を２枚のガラスで挟んだもので、非通電時は液晶分子がばらばらに配列されて光を遮断し、通電時は液晶分子が整列して光を透過するものである。液晶ガラスは、通電することにより瞬時に透過率が上がるため、照明光の切替えに応用できる。
【００２４】
図４において、162-1 はハーフミラー、162-2 は液晶ガラス、162-3 は集光レンズ、15-2 は光源ユニット 15 から出力される光がハーフミラー 162-1 までに至る光路、10-2′は光源ユニット 15 から出力される光がハーフミラー 162-1 を通過して液晶ガラス 162-2 に至る光路、10-2″は液晶ガラス 162-2 から反射してハーフミラー 162-1 に戻る光路、13-2 は液晶ガラス 162-2 から反射した光がハーフミラー 162-1 でπ/2［ rad ］反射して集光レンズ 162-3 を通ってライトガイド 13 へ透過用照明の光が通過する光路、10-2 は液晶ガラス 162-2 を通ってライトガイド 10 へ反射用照明の光が通過する光路である。
【００２５】
図４(a)、(b) において、光源ユニット 15 から出力される光は、光路 15-2 を通ってハーフミラー 162-1 に至る。ハーフミラー 162-1 は、光源ユニット 15 から出力された光を透過して光路 10-2′に出力する。ハーフミラー 162-1 を透過した光は、光路 10-2′を通り液晶ガラス 162-2 に入力する。
なお、ハーフミラー 162-1 は、光源ユニット 15 から入射する光を透過し、液晶ガラス 162-2 からの光を反射する。液晶ガラス 162-2 は、通電されていない場合（非通電時）には、光を遮断（遮光）し、通電された場合（通電時）には、遮光から透過に瞬時に切替わり光を透過させるものである。
【００２６】
図４(a) は、非通電時の液晶ガラス 162-2 での光の経路を説明する図である。光源ユニット 15 から出力された光のうち、ハーフミラー 162-1 から光路 10-2′の経路で液晶ガラス 162-2 に至った光は、反射され、光路 10-2″を通ってハーフミラー 162-1 に至り、π/2［ rad ］反射して光路 13-2 を通って集光レンズ 162-3 に入力する。
このように、非通電時には、液晶ガラス 162-2 、ハーフミラー 162-1 で光を反射し、集光レンズ 162-3 で集光された後に、透過照明ライトガイド 13 に光が入力する。
【００２７】
また通電時には、図４(b) のように、液晶ガラス 162-2 で光を透過するので、ハーフミラー 162-1 を透過して液晶ガラス 162-2 に至った光は、光路 10-2 を通って反射照明ライトガイド 10 に入力する。
【００２８】
図４の実施例では、図３若しくは図５（後述）とは異なり、駆動機構を必要としないため小型化できる。また、故障率が極めて低い。更に、瞬時に照明を切替えることができる。
しかし、上記のメリットがあるが、原理上、透過率を 100［％］にできないため、通電時にも透過照明側に光が若干量漏れるデメリットがある。
なお図４の実施例の切替え方式は、を通電時に反射照明、非通電時に透過照明とした。しかし、通電時に透過照明、非通電時に反射照明に切替える等、目的に合わせて照明切替設定を逆にすることは容易に可能である。
更に、図４の実施例において、反射照明ライトガイド 10 と透過照明ライトガイド 13 の配置を交換しても良いことは自明である。
【００２９】
次に、図５によって、スプリッタ切替機構で照明を切替える照明切替装置 163 の実施例を説明する。図５の実施例は、複数のスプリッタを切替えて照明を切替えるものである。163-1 、163-2、163-3 はスプリッタ、163-0 はそれぞれ異なる分岐比率を有する複数のスプリッタ 163-1 、163-2、163-3 を備え、光源ユニット 15 から出力される光の光路上に位置するスプリッタを切替えるスライダである。
なお、図５は、分岐比率が異なるスプリッタが３個の実施例である。
また、高原ユニット 15 は、図５を図示した紙面の上方から照射され、紙面を突き抜けてライトガイド 10 に向かう方向に光が出力される。
【００３０】
図５の実施例においても、図３と同様に、スプリッタの分岐比率は、定められた分岐比率のものから予め選択するものとする。
図５は、スプリッタ 163-1 は、透過率 100［％］で反射率 0［％］（分岐比率 100：0 、スプリッタ無し＝全透過）、スプリッタ 163-2 は、透過率 50［％］で反射率 50［％］（分岐比率 50：50 、50［％］反射）、スプリッタ 163-3 は、透過率 0［％］で反射率 100［％］（分岐比率 0：100 、全反射）とした実施例である。
【００３１】
図５(a) に示すように、スライダ 163-0 を移動させて、光路上のスプリッタをスプリッタ 163-1 に切替えると、反射照明ライトガイド 10 に光が通過する。これによって、反射照明による顕微鏡観察が実現できる。
【００３２】
また図５(b) に示すように、スライダ 163-0 を移動させて、光路上のスプリッタをスプリッタ 163-2 に切替えると、反射照明ライトガイド 10 と透過照明ライトガイド 13 とに光が入力する。これによって、反射照明と透過照明を併用した顕微鏡観察が実現できる。
【００３３】
また、図５(c) に示すように、スライダ 163-0 を移動させて、光路上のスプリッタをスプリッタ 163-3 に切替えると、透過照明ライトガイド 13 に光が入力する。これによって、透過照明による顕微鏡観察が実現できる。
【００３４】
図５の実施例は、スライダ 163-0 の駆動機構とその制御が必要で、定期的なメンテナンスも必要となる。またスプリッタの数に比例して照明切替ユニットが大きくなる等のデメリットがあるが、光を効率的に分岐できるため、図３の実施例では光量が不足する場合に有効である。
なお、図５の実施例において、反射照明ライトガイド 10 と透過照明ライトガイド 13 の配置を交換しても良いことは自明である。
【００３５】
上述の図３乃至図５の実施例によれば、１式の照明装置で複数の照明条件の切替えを実現できるため、ランプ等の消耗をおさえ、ランニングコストが改善される。また、１式の照明装置、照明切替装置を制御するだけで良いため、制御方法が簡単になる。また更に、反射照明と透過照明等をミックスして同時に照射する場合に、ランプ等の消耗度の差で発生する、照明バランスの変化が生じないので、この面でも制御方法が簡単になる。
【００３６】
また上述の図３乃至図５の実施例によれば、複数の照明切替え方法を提供しており、下記のように使用条件に合わせて最適な方法を選択することができる。
（１）スプリッタと分岐後の光をシャッタで制御する方法は、安価で容易に実現可能であるという効果がある。このため、照明装置から得られる照明強度が十分有り、常時消費電力が変わらないメタルハライド照明等に適している。
（２）光の分岐配分が異なる複数のスプリッタを切り替えて制御する方法は、効率よく照明を使用する効果があり、消費電力の低い照明装置に適している。
（３）液晶ガラスを利用する方法は、駆動機構を必要としないため、小型化可能、故障率が低い、瞬時に切替可能などの効果がある。
【００３７】
図６と図７は、本発明の照明装置切替え機能を有する画像処理装置を組込んだ検査装置の一例を示す図である。図６は正面図、図７は斜視図である。600 は検査装置、602 は試料台、612 は Y 軸、613 は Z 軸、611 は Y 軸 612 ベース上を移動する X 軸、601 はY 軸 612 ベースに取付け X 軸 611 と一緒に動く照明装置、605 は Y軸 612 ベースにぶら下がり X 軸 611 と一緒に動く透過照明軸、604 は透過照明軸 605 上で Y 軸 612 と同期して動く透過照明ヘッド、603 は Z 軸 613 及び Y 軸 612 上で動く顕微鏡、603′は Y 軸 612 上を移動した場合の顕微鏡、606 は、被写体である基板の検査装置 600 への搬入時に基板を持上げる基板リフト軸、607 は複数本で基板を支持する基板リフトピンである。
図６及び図７は検査装置本体であり、これに付属して、図８に示す検査装置の構成を示すブロック図にあるような画像処理装置等が付属する。
また、図６及び図７において、顕微鏡 603 の光軸と透過照明軸 605 とは、検査装置上で移動する場合には、常に同じ垂直線状に有るように移動する。
【００３８】
図８は、本発明の画像処理装置を搭載した検査装置（線幅測定装置）の一実施例の構成を示すブロック図である。800 は、主に、撮像装置、顕微鏡、及び対物レンズを含む光学ヘッド 813 、基板 812 を載置するステージ 811 、フレームグラバ（ FG ） 824 、調光器 823 、光源ユニット 822 、透過照明ユニット 818 、画像処理装置 846 、モニタ 825 、Ｘ軸レール 816 、Ｘ軸ステージ 815 、Ｙ軸ステージ（ベース）814 、ステージ駆動部 826 、及び、ステージ 811 を搭載する台座 817 で構成される。
また画像処理装置 846 は、画像取込・表示部 861 、画像記憶部 862 、及び CPU（ Central Processing Unit ）863 から成っている。更に、光学ヘッド 813 は、複数の倍率の対物レンズ 821 を図示しないレンズリボルバー機構を画像処理装置 846 から制御することによって所望の倍率の対物レンズに切替制御し、光学ヘッド 813 の撮像装置が撮像する被写体（基板） 812 の所望のエリアの拡大率を変更する。
なお、画像処理装置 846 は、PC（ Personal Computer ）であっても良い。
また、光学ヘッド 813 に用いる撮像装置には、固体撮像素子を使ったカメラ等があるが、特にそれに限ることは無く、画像処理に必要な画像を撮像することができるイメージセンサであれば良い。
【００３９】
また、ステージ 811 には、被写体（基板 812 ）が載置され、固定されている。台座 817 は固定で、光学ヘッド 813 を、Y 軸方向（図面上の左右方向）とX 軸方向（図面上の奥行き方向）に移動させる水平移動機構と Z 軸方向（高さ方向）に移動させる高さ移動機構とそれに連動して透過照明ユニット 818 を駆動する移動機構を備え、画像処理装置 846 の制御によって基板 812 の所望の部分の画像を撮像することができる。
ステージ 811 は、例えば、基板 812 を固定するための吸着板であり、画像処理装置 846 の制御によって、基板 812 の搬入及び固定、並びに搬出を可能とする。X 軸レール 816 、X 軸ステージ 815 、Y 軸ステージ 814 、及び光学ヘッド 813 は、画像処理装置 846 に結合されたステージ駆動部 826 の制御によって、それぞれ、基板 812 の X 軸方向、Y 軸方向、Z 軸方向に対して位置制御される。
【００４０】
図８において、画像処理装置 846 は、CPU 863 に登録された処理プログラムに従って、検査装置の各構成要素を制御する。
光源ユニット 822 からの光は、調光器 823 を介して光学ヘッド 813 の顕微鏡に出力される。調光器 823 は、画像処理装置 846 から制御されて光量を調整し、顕微鏡に光量の調整された光を出力する。例えば、調光器 823 は、画像のピーク値か平均値を画像レベルの最大値になるように、光量を調整する。そして、調光器 823 から入力された光は、顕微鏡若しくは透過照明ユニット 818 を通して基板 812 に照射され、基板 812 は光を照射されたことによって反射光若しくは透過光を出し、その被写体像は、光学ヘッド 813 の顕微鏡を通って撮像装置に入射する。
光学ヘッド 813 の撮像装置は、入射された光を電気信号に変換して、変換した画像信号データを FG 824 に出力する。FG 824 は、画像データを制御部 846 に出力する画像入力ボードである。
【００４１】
上述のように、撮像装置が撮影した被写体（基板 812 ）の検査対象エリアの拡大画像は、画像信号として画像処理装置 846 に供給され、画像処理装置 846 内の画像取込・表示部 861 に入力される。この画像処理装置 846 には、更に、画像記憶部 862 と、所定のプログラムが格納された CPU 863 がある。
画像記憶部 862 は、画像、及び計算用のデータを記憶するのに使用され、システム全体の動作に必要な制御は、CPU 863 により実行される。
画像処理装置 846 の動作プログラムは、この画像信号に画像処理を施すことにより、LCD（ Liquid Crystal Device ）基板等の基板のパターン線幅などを測定し、その結果をモニタ 825 に出力する。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】従来の画像処理装置の構成を示すブロック図。
【図２】本発明の画像処理装置の一実施例も構成を示すブロック図。
【図３】本発明の一実施例の照明切替え手段の構成を説明するための図。
【図４】本発明の一実施例の照明切替え手段の構成を説明するための図。
【図５】本発明の一実施例の照明切替え手段の構成を説明するための図。
【図６】本発明の一実施例の画像処理装置を組込んだ検査装置の正面図。
【図７】本発明の一実施例の画像処理装置を組込んだ検査装置の斜視図。
【図８】本発明の画像処理装置を搭載した検査装置の一実施例の構成を示すブロック図。
【符号の説明】
【００４３】
1：試料、  2：試料台、  2-0：固定台、  3：顕微鏡、  4：対物レンズ、  4-0 はレボルバ、  5：撮像装置、  6：画像処理装置、  7：モニタ、  8：光源ユニット、  9：シャッター、  10：ライトガイド、  10-1、10-2、10-2′、10-2″：光路、  11：光源ユニット、  12：シャッター、  13：ライトガイド、  13-1、13-2：光路、  14：透過照明レンズ、  15：光源ユニット、  15-1、15-2：光路、  16、161、162、163：照明装置切替えユニット、  161-1：スプリッタ、  161-2：シャッタ、  161-3：シャッタ、  162-1：ハーフミラー、  162-2：液晶ガラス、  162-3：集光レンズ、  163-0：スライダ、  163-1、163-2、163-3：スプリッタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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