(57)【要約】【課題】対象物を所定の面内で微小変位させることが可能であり、高速追従性に優れ、かつ前記所定の面に垂直な方向におけるスペースの制約を殆ど受けないアクチュエータ、そのアクチュエータを用いた磁気ヘッドアセンブリ及び磁気ディスク装置を提供する。【解決手段】アクチュエータ２０は、磁気ヘッド１３ａを備えたスライダー１３の両側に配置された２つの圧電素子２１により構成される。これらの圧電素子２１は、電圧の印加に応じて圧電体構造物が収縮し、それにともなって圧電体構造物の上面側に配置された板状のヒンジのアーム部が変形し、スライダー１３をその重心を中心として回転させる。これにより、磁気ヘッド１３ａが微小変位する。【選択図】図２
2009118661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材と対象物との間に介在して前記対象物をその重心を中心として所定の角度範囲内で回転させるアクチュエータであって、
前記対象物の両側に配置されて前記支持部材に支持される一対の圧電素子により構成され、前記圧電素子が、印加電圧に応じて伸縮する圧電体構造物と、前記圧電体構造物の前記支持部材側の面又は前記支持部材と反対側の面上に配置されて前記対象物と連結された板状の部材とを有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
サスペンションと、
磁気ディスクに対し情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドを備え前記サスペンションの先端部に配置されたスライダーと、
前記スライダーの両側にそれぞれ配置され、印加電圧に応じて伸縮する圧電体構造物を備えた一対の圧電素子により構成されるアクチュエータとを有し、
前記アクチュエータは、前記圧電体構造物に印加される電圧に応じて前記スライダーをその重心を中心として所定の角度範囲内で回転させることを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
【請求項３】
前記圧電素子は、前記圧電体構造物の前記サスペンション側の面上に配置されて前記スライダーの前記サスペンション側の面に連結する板状の部材を有することを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【請求項４】
前記板状の部材は、前記圧電体構造物の前記サスペンション側の面の伸縮方向の両端部にそれぞれ接合される第１及び第２の接合部と、前記スライダーに連結するアーム部と、前記圧電体構造物の前記スライダー側の辺に沿って設けられて前記第１の接合部と前記アーム部との間を連絡する第１の梁部と、前記圧電体構造物の前記スライダーと反対側の辺に沿って設けられて前記第２の接合部と前記アーム部との間を連絡する第２の梁部とを有することを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【請求項５】
情報を磁気的に記録可能な磁気ディスクと、
前記磁気ディスクに対し情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドが設けられたスライダーと、
前記スライダーの両側に配置され、印加電圧に応じて伸縮する圧電体構造物を備えた一対の圧電素子により構成されて前記スライダーをその重心を中心として所定の角度範囲内で回転させるアクチュエータと、
前記スライダー及び前記アクチュエータを支持するサスペンションアームと、
前記サスペンションアームを駆動して前記スライダーを前記磁気ディスクの半径方向に移動させる移動手段と
を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドの微小変位の制御に好適なアクチュエータ、そのアクチュエータを用いた磁気ヘッドアセンブリ及び磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの情報機器には、小さな部品の微小距離の移動制御にアクチュエータが用いられている。例えば、光学系を備えた情報機器においては、焦点補正や傾角制御にアクチュエータが使用されている。また、インクジェットプリンタや磁気ディスク装置では、プリンタヘッド又は磁気ヘッドの移動制御にアクチュエータが使用されている。近年、これらの情報機器の小型化及び高性能化が促進されており、それにともなって微小距離の移動を高精度に制御可能なアクチュエータが要望されている。
【０００３】
磁気ディスク装置の場合、大容量化の要求にともなって、磁気ディスク１枚当たりの記録容量が著しく増大している。磁気ディスクの大きさを変えずに記録容量を増大するためには、単位長さ当たりのトラック数（track per inch：ＴＰＩ）を多くすること、つまりトラック幅を狭くして高密度に配置することが必須である。このため、磁気ディスクの半径方向の磁気ヘッドの位置制御を精密に行うことが必要となる。
【０００４】
磁気ヘッド（記録素子及び再生素子）は、スライダーと呼ばれるほぼ直方体の形状の部材の端面に配置される。従来の磁気ディスク装置では、スライダーを支持するサスペンションアームを電磁アクチュエータ（ボイスコイルモータ）により磁気ディスクの面に平行な方向に所定の角度範囲内で回転させて磁気ヘッドの位置決めを行っている。しかしながら、トラック密度が高くなると、単に電磁アクチュエータでサスペンションアームを回転駆動するだけでは、磁気ヘッドの位置決めを精密に制御することが困難になってきた。
【０００５】
特許文献１には、サスペンションアームの基端側と先端側との間に一対の圧電素子を配置し、これらの圧電素子でサスペンションアームの先端側を磁気ディスクの面と平行な面内で微小変位させることが提案されている。また、特許文献２〜４には、スライダーとサスペンションアームとの間に小型のアクチュエータを配置し、スライダーを磁気ディスクの面と平行な面内で微小変位させることが提案されている。
【特許文献１】特開平１１−２４２８６４号公報
【特許文献２】特開２００４−３０８２３号公報
【特許文献３】特開２００６−１４５５７号公報
【特許文献４】ＷＯ２００４／０９３２０５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された方法では、アクチュエータとスライダーとの間の距離が比較的大きいため、高速追従性が十分でないことが考えられる。また、特許文献２〜４に記載された方法では、スライダーとサスペンションとの間にアクチュエータを配置しているので、高速追従性は良好であるものの、磁気ディスクの面に垂直な方向にアクチュエータを配置するためのスペースが必要となり、磁気ディスクを複数枚搭載する磁気ディスク装置ではディスクの搭載枚数を削減する必要が生じるおそれがある。
【０００７】
以上から、本発明の目的は、対象物を所定の面内で微小変位させることが可能であり、高速追従性に優れ、かつ前記所定の面に垂直な方向におけるスペースの制約を殆ど受けないアクチュエータを提供することである。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、磁気ヘッドを磁気ディスクの面と平行な面内で微小変位させることが可能であり、高速追従性に優れ、かつ磁気ディスクの面に垂直な方向のスペースの制約を殆ど受けない磁気ヘッドアセンブリ及び磁気ディスク装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一観点によれば、支持部材と対象物との間に介在して前記対象物をその重心を中心として所定の角度範囲内で回転させるアクチュエータであって、前記対象物の両側に配置されて前記支持部材に支持される一対の圧電素子により構成され、前記圧電素子が、印加電圧に応じて伸縮する圧電体構造物と、前記圧電体構造物の前記支持部材側の面又は前記支持部材と反対側の面上に配置されて前記対象物と連結された板状の部材とを有するアクチュエータが提供される。
【００１０】
本発明の他の観点によれば、サスペンションと、磁気ディスクに対し情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドを備え前記サスペンションの先端部に配置されたスライダーと、前記スライダーの両側にそれぞれ配置され、印加電圧に応じて伸縮する圧電体構造物を備えた一対の圧電素子により構成されるアクチュエータとを有し、前記アクチュエータは、前記圧電体構造物に印加される電圧に応じて前記スライダーをその重心を中心として所定の角度範囲内で回転させる磁気ヘッドアセンブリが提供される。
【００１１】
本発明の更に他の観点によれば、情報を磁気的に記録可能な磁気ディスクと、前記磁気ディスクに対し情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドが設けられたスライダーと、前記スライダーの両側に配置され、印加電圧に応じて伸縮する圧電体構造物を備えた一対の圧電素子により構成されて前記スライダーをその重心を中心として所定の角度範囲内で回転させるアクチュエータと、前記スライダー及び前記アクチュエータを支持するサスペンションアームと、前記サスペンションアームを駆動して前記スライダーを前記磁気ディスクの半径方向に移動させる移動手段とを有する磁気ディスク装置が提供される。
【００１２】
本発明においては、微小変位させる対象物（例えば磁気ヘッドが設けられたスライダー）の両側にそれぞれ配置された圧電素子によりアクチュエータを構成し、このアクチュエータにより対象物をその重心を中心として回転させる。これにより、対象物の端面に配置された部材（磁気ヘッド等）を所定の面内で微小変位させることができる。本発明においては、対象物をその側方に配置した一対の圧電素子により駆動するので、高速追従性が良好であり、前記所定の面内に垂直な方向におけるスペースの制約を殆ど受けない。
【００１３】
更に、本発明においては、対象物をその重心を中心として回転させるので、重心が移動せず、本発明を磁気ヘッドアセンブリに適用しても、重心の移動にともなうサスペンションの共振に起因する制御帯域の低下が回避される。
【００１４】
本発明の一形態では、圧電体構造物の支持部材側の面又は支持部材と反対側の面に、対象物と連結された板状の部材を配置し、この板状の部材を介して対象物を変位させる。この場合、前記板状の部材は、圧電体構造物の支持部材側の面又は前記支持部材と反対側の面の伸縮方向の両端部にそれぞれ接合される第１及び第２の接合部と、対象物に連結するアーム部と、圧電体構造物の前記対象物側の辺に沿って設けられて前記第１の接合部と前記アーム部との間を連絡する第１の梁部と、圧電体構造物の前記対象物と反対側の辺に沿って設けられて前記第２の接合部と前記アーム部との間を連絡する第２の梁部とを有することが好ましい。このような構造とすることにより、電圧印加にともなう圧電体構造物の伸縮によりアーム部の先端が大きく変位し、対象物を大きく変位させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して説明する。本実施形態では、本発明に係るアクチュエータを磁気ディスク装置の磁気ヘッドアセンブリに適用した例について説明する。
【００１６】
図１は、本発明の実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリを備えた磁気ディスク装置を示す平面図である。この図１に示すように、磁気ディスク装置は、金属製の筐体内に、円盤状の磁気ディスク１１と、磁気ディスク１１を回転させるスピンドルモータ（図示せず）と、磁気ヘッド（記録素子及び再生素子）が設けられたスライダー１３と、スライダー１３を支持するサスペンションアーム（支持部材）１４と、サスペンションアーム１４を駆動する電磁アクチュエータ（ボイスコイルモータ）１５と、磁気ヘッドを介して磁気ディスク１１に対し情報の記録及び再生を行う電子回路（図示せず）とにより構成されている。
【００１７】
磁気ディスク１１は、スピンドルモータの回転軸１２ａに固定され、スピンドルモータにより高速で回転する。サスペンションアーム１４は、基端側（中心軸１５ａ側）のキャリッジアーム１４ａと、先端側の板ばね状のサスペンション１４ｂとにより構成される。スライダー１３は、サスペンション１４ｂの先端のジンバルと呼ばれる部分の磁気ディスク１１側の面に配置される。サスペンションアーム１４は電磁アクチュエータ１５により駆動制御され、中心軸１５ａを中心として所定の角度範囲内を回転する。
【００１８】
図２は、スライダー１３、アクチュエータ２０及びサスペンション１４ｂを示す模式図である。この図２に示すように、本実施形態のアクチュエータ２０は、スライダー１３の両側に配置された一対の圧電素子２１により構成される。スライダー１３は、アクチュエータ２０を介してサスペンション１４ｂの先端部に設けられたジンバル１４ｃの下側に配置される。アクチュエータ２０（２つの圧電素子２１）は、図２に網掛けした対角の２箇所の部分でジンバル１４ｃの下面に接合される。なお、図２中の１３ａは、スライダー１３の端面に設けられた磁気ヘッド（記録素子及び再生素子）を模式的に示している。記録素子としては例えば単磁極ヘッドが使用され、再生素子としては例えばＭＲ（Magneto Resistive）素子、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive）素子又はＴＭＲ（Tunnel Magneto Resistive）が使用される。これらの記録素子及び再生素子は、成膜工程とパターニング工程とを繰り返して作成される。
【００１９】
図３（ａ）は圧電素子２１の正面図（図２の矢印Ａ方向から見たときの図）、図３（ｂ）は同じくその上面図、図３（ｃ）は同じくその右側面図である。
【００２０】
圧電素子２１は、図３（ａ）に示すように、複数の圧電体膜３１の間に層間電極３２を挟んで構成された圧電体構造物３０を有している。この圧電体構造物３０の上には、例えばステンレス等の金属板からなるヒンジ（板状の部材）４０が配置されている。このヒンジ４０は、接着剤３３により、圧電体構造物３０の長手方向の両端部に接合されている。また、圧電体構造物３０の長手方向の両側の端面には、それぞれ一括電極３５が形成されている。一方の側（図３（ａ）では左側）の一括電極３５は上から数えて奇数番目の層間電極３２に電気的に接続され、他方の側（図３（ｂ）では右側）の一括電極３５は偶数番目の層間電極３２に電気的に接続されている。これらの一括電極３５は、図４に示すように金属細線（ボンディングワイヤ）２３を介してサスペンション１４ｂの面上に絶縁膜を介して形成された配線（図示せず）に電気的に接続されている。なお、図４中の符号２５は、圧電素子２１をジンバル１４ｃに接合する接着剤を示している。
【００２１】
ヒンジ４０は、図３（ｂ）に示すように、中央部からスライダー側に突出してスライダーに接合されるアーム部４１と、接着剤３３により圧電体構造物３０の長手方向の両端部に接合される第１の接合部４２ａ及び第２の接合部４２ｂと、圧電体構造物３０のスライダー１３側の辺に沿って配置されてアーム部４１と第１の接合部４２ａとの間を連絡する第１の梁部４３ａと、圧電体構造物３０のスライダー１３と反対側の辺に沿って配置されてアーム部４１と第２の接合部４２ｂとの間を連絡する第２の梁部４３ｂとを有している。本実施形態では、図３（ｂ）に示すように、第２の梁部４３ｂのほうが第１の梁部４３ａよりも幅広に形成されている。
【００２２】
図５，図６は、本実施形態のアクチュエータの動作を示す模式図である。図５（ａ），（ｂ）は圧電素子２１の単体での動作を示し、図６（ａ），（ｂ）はスライダー１３の変位を示している。なお、図６（ａ）に示すように、アクチュエータ２０を構成する２つの圧電素子２１のアーム部４１は、スライダー１３の重心を中心とした点対称の位置に接合される。
【００２３】
図５（ａ）に示すように、圧電素子２１に電圧を印加しない場合、アーム部４１は圧電素子２１の長手方向に垂直な方向に伸びている。この場合、図６（ａ）に示すように、スライダー１３の中心軸は、磁気ディスクのトラックの伸びる方向（図中一点鎖線で示す）に一致している。
【００２４】
一括電極３５を介して圧電素子２１に所定の電圧を供給すると、圧電素子２１を構成する圧電体構造物３０はその長手方向に伸長又は収縮する。本実施形態では、アクチュエータ２０を構成する２つの圧電素子２１に同一の電圧が供給されるものとする。圧電体構造物３０の伸長又は収縮する割合は、印加された電圧に対応する。ここでは、圧電体構造物３０が収縮するように電圧を印加したものとする。
【００２５】
この圧電素子２１への電圧の印加により、図５（ｂ）に示すように圧電体構造物３０が収縮するが、ステンレス等の金属からなる梁部４３ａ，４３ｂの長さは殆ど変化しない。そのため、アーム部４１には梁部４３ａ，４３ｂから逆方向の応力が印加される。その結果、アーム部４１が傾いて、その先端の位置が大きく変化する。
【００２６】
本実施形態においては、図６（ａ），（ｂ）に示すようにアクチュエータ２０を構成する２つの圧電素子２１がスライダー１３の重心を中心として点対称の位置に配置されているので、圧電素子２１のアーム部４１の先端部の移動にともなって、スライダー１３にはその重心を中心とする回転方向の力が働く。つまり、圧電素子２１に印加する電圧に応じて、図６（ｂ）に示すようにスライダー１３が磁気ディスクのトラックの伸びる方向に対し傾き、スライダー１３の端面に配置された磁気ヘッド（記録素子及び再生素子）は、トラックの幅方向にΔｘだけ変位する。このようにして、本実施形態においては、アクチュエータ２０を構成する２つの圧電素子２１に電圧を印加することにより、磁気ヘッドの位置を変位させることができる。
【００２７】
本実施形態においては、電磁アクチュエータ１５によりサスペンションアーム１４を駆動してスライダー１３の位置を決定し、更にサスペンション１４ｂとスライダー１３との間に介在するアクチュエータ２０（圧電素子２１）により磁気ヘッドの位置を微調整するので、トラック密度が高い磁気ディスクのトラックに磁気ヘッドを追従させることができる。また、本実施形態においては、サスペンション１４ｂ（ジンバル１４ｃ）に固定されたアクチュエータ２０によりスライダー１３を直接変位させるので、磁気ヘッドの高速追従性が良好であり、磁気記録媒体が高速で回転する磁気ディスク装置に適用することができる。更に、本実施形態においては、アクチュエータ２０を構成する２つの圧電素子２１がスライダー１３の両側に配置されているので、磁気ディスクの面に垂直な方向に必要なスペースが少なくてすみ、磁気ディスクを複数枚搭載する磁気ディスク装置においても、ディスクの搭載枚数を削減する必要がない。
【００２８】
なお、本実施形態ではアクチュエータ２０によりスライダー１３をその重心を中心として回転させることにより磁気ヘッドの位置を変位させているが、例えば図７に模式的に示すように、アクチュエータ５０によりスライダー１３をトラックの幅方向（図中矢印で示す方向）に平行移動させることも考えられる。しかし、スライダー１３をトラックの幅方向に平行移動させると、サスペンション５１の重心位置も変化してしまうので、サスペンション５１の共振を励起して制御帯域を上げることが困難になり、高速追従性が低下する。
【００２９】
一方、本実施形態では、図６（ａ），（ｂ）に示すように、磁気ヘッドの位置が変位してもスライダー１３の重心位置は変化しないので、サスペンション１４ｂの共振が回避され、良好な高速追従性が得られる。
【００３０】
以下、本実施形態に係るアクチュエータ及び磁気ヘッドアセンブリの製造方法について、図２，図３を参照して説明する。
【００３１】
まず、図３に示す圧電体構造物３０の材料として、例えばＰＮＮ（ニッケル酸ニオブ酸鉛）−ＰＴ（チタン酸鉛）−ＰＺ（ジルコン酸鉛）セラミックスグリーンシートを用意する。ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺセラミックスグリーンシートに替えて、ＰＺＴ等の圧電材料のシートを用いてもよい。
【００３２】
次に、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺセラミックスグリーンシートの表面にＰｔ（白金）を主成分とする導電ペーストをスクリーン印刷する。その後、この導電ペーストが印刷されたＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺセラミックスグリーンシートを所定の枚数積層し、大気中で１０５０℃の温度で焼成して、圧電体積層セラミックスシートを形成する。次いで、この圧電体積層セラミックスシートを所望のサイズに切断して、圧電体構造物３０を得る。そして、圧電体構造物３０の両端面上にＰｔ等の導電体膜を形成し、一括電極３５とする。
【００３３】
一方、ステンレス板を所定の形状に加工して、ヒンジ４０を形成する。そして、このヒンジ４０の第１の接合部４２ａ及び第２の接合部４２ｂを、接着剤３５により圧電体構造物３０に接合する。このようにして、圧電素子２１が完成する。
【００３４】
その後、図２に示すように、スライダー１３を挟んで２つの圧電素子２１を配置し、圧電素子２１のアーム部４１の先端部をスライダー１３に接合する。そして、圧電素子２１とサスペンション１４ｂ（ジンバル１４ｃ）とを接合する。このようにして、本実施形態に係るアクチュエータ２０を備えた磁気ヘッドアセンブリが完成する。
【００３５】
以下、本実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリの磁気ヘッドの変位量を調べた結果について説明する。図８に示すように、長さＬ１が８５０μｍ、幅Ｗ１が１８０μｍ、アーム部４１の長さＡ１が３５５μｍ、厚さが２０μｍのステンレス板からなるヒンジ４０を備えた一対の圧電素子２１を形成した。そして、これらの圧電素子２１のアーム部４１の先端の１００μｍの部分をスライダー１３に接合した。スライダー１３の大きさは、長さＬ２が８５０μｍ、幅Ｗ２が７００μｍ、高さが２４０μｍである。なお、圧電素子２１は、その底面がスライダー１３の底面よりも高い位置にあることが必要である。また、ヒンジ４０の厚さは、磁気ディスクの面に垂直な方向のスペースを確保するという観点から５０μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下とする。但し、ヒンジ４０を過剰に薄くしてしまうとスライダー１３を駆動するのに必要な強度を確保できなくなるので、ヒンジ４０の厚さは適宜設定する必要がある。
【００３６】
この磁気ヘッドアセンブリに対し、シミュレーション計算を行って、スライダー１３の端面に配置された磁気ヘッドの変位量を計算した。図９は、シミュレーション計算の結果を示す図である。このシミュレーションの結果、磁気ヘッドの変位量は１４０ｎｍとなった。
【００３７】
（変形例）
図１０は、本実施形態に係るアクチュエータの変形例を示す図である。図２に示すアクチュエータ２０では、アクチュエータ２０を構成する２つの圧電素子２１が分離された構造となっていたが、図１０に示すアクチュエータでは、２つの圧電素子６１のアーム部６２の先端がつながった構造、すなわち２つの圧電素子６１のヒンジを一体化した構造となっている。この変形例においても、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３８】
なお、上述の実施形態では本発明に係るアクチュエータを磁気ヘッドアセンブリに適用した例について説明したが、本発明に係るアクチュエータはインクジェットプリンタのプリンタヘッド又はその他の情報機器の部品の微小範囲の移動制御に使用してもよいことは勿論である。
【００３９】
また、上述の実施形態ではヒンジ（板状の部材）が圧電体構造物のサスペンション（支持部材）側の面上に配置されている場合について説明したが、板状の部材を圧電体構造物の支持部材と反対側の面上に配置してもよい。
【００４０】
以下、本発明の諸態様を、付記としてまとめて記載する。
【００４１】
（付記１）支持部材と対象物との間に介在して前記対象物をその重心を中心として所定の角度範囲内で回転させるアクチュエータであって、
前記対象物の両側に配置されて前記支持部材に支持される一対の圧電素子により構成され、前記圧電素子が、印加電圧に応じて伸縮する圧電体構造物と、前記圧電体構造物の前記支持部材側の面又は前記支持部材と反対側の面上に配置されて前記対象物と連結された板状の部材とを有することを特徴とするアクチュエータ。
【００４２】
（付記２）前記板状の部材は、前記圧電体構造物の前記支持部材側の面又は前記支持部材と反対側の面の伸縮方向の両端部にそれぞれ接合される第１及び第２の接合部と、前記対象物に連結するアーム部と、前記圧電体構造物の前記対象物側の辺に沿って設けられて前記第１の接合部と前記アーム部との間を連絡する第１の梁部と、前記圧電体構造物の前記対象物と反対側の辺に沿って設けられて前記第２の接合部と前記アーム部との間を連絡する第２の梁部とを有することを特徴とする付記１に記載のアクチュエータ。
【００４３】
（付記３）サスペンションと、
磁気ディスクに対し情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドを備え前記サスペンションの先端部に配置されたスライダーと、
前記スライダーの両側にそれぞれ配置され、印加電圧に応じて伸縮する圧電体構造物を備えた一対の圧電素子により構成されるアクチュエータとを有し、
前記アクチュエータは、前記圧電体構造物に印加される電圧に応じて前記スライダーをその重心を中心として所定の角度範囲内で回転させることを特徴とする磁気ヘッドアセンブリ。
【００４４】
（付記４）前記圧電素子は、前記圧電体構造物の前記サスペンション側の面上に配置されて前記スライダーの前記サスペンション側の面に連結する板状の部材を有することを特徴とする付記３に記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【００４５】
（付記５）前記板状の部材は、前記圧電体構造物の前記サスペンション側の面の伸縮方向の両端部にそれぞれ接合される第１及び第２の接合部と、前記スライダーに連結するアーム部と、前記圧電体構造物の前記スライダー側の辺に沿って設けられて前記第１の接合部と前記アーム部との間を連絡する第１の梁部と、前記圧電体構造物の前記スライダーと反対側の辺に沿って設けられて前記第２の接合部と前記アーム部との間を連絡する第２の梁部とを有することを特徴とする付記４に記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【００４６】
（付記６）前記一対の圧電素子のうちの一方の圧電素子のアーム部と他方の圧電素子のアーム部とが一体化されていることを特徴とする付記５に記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【００４７】
（付記７）前記板状の部材の厚さが５０μｍ以下であることを特徴とする付記４に記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【００４８】
（付記８）前記圧電体構造物は、シート状の圧電体膜と層間電極とを交互に積層した構造を有することを特徴とする付記３に記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【００４９】
（付記９）情報を磁気的に記録可能な磁気ディスクと、
前記磁気ディスクに対し情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドが設けられたスライダーと、
前記スライダーの両側に配置され、印加電圧に応じて伸縮する圧電体構造物を備えた一対の圧電素子により構成されて前記スライダーをその重心を中心として所定の角度範囲内で回転させるアクチュエータと、
前記スライダー及び前記アクチュエータを支持するサスペンションアームと、
前記サスペンションアームを駆動して前記スライダーを前記磁気ディスクの半径方向に移動させる移動手段と
を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリを備えた磁気ディスク装置を示す平面図である。
【図２】図２は、スライダー、アクチュエータ及びサスペンションを示す模式図である。
【図３】図３（ａ）は圧電素子の正面図、図３（ｂ）は同じくその上面図、図３（ｃ）は同じくその右側面図である。
【図４】図４は、アクチュエータとサスペンションの面上に設けられた配線との電気的接続を示す模式図である。
【図５】図５（ａ），（ｂ）は、圧電素子の単体での動作を示す模式図である。
【図６】図６（ａ），（ｂ）は、アクチュエータの動作にともなうスライダーの変位を示す模式図である。
【図７】図７は、アクチュエータによりスライダーをトラックの幅方向に平行移動させる場合の問題点を示す図である。
【図８】図８は、アクチュエータの各部の大きさを示す図である。
【図９】図９は、磁気ヘッドの変位量をシミュレーション計算した結果を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施形態に係るアクチュエータの変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１１…磁気ディスク、
１３…スライダー、
１４…サスペンションアーム、
１４ａ…キャリッジアーム、
１４ｂ，５１…サスペンション、
１４ｃ…ジンバル、
１５…電磁アクチュエータ（ボイスコイルモータ）、
２０，５０…アクチュエータ（圧電アクチュエータ）、
２１，６１…圧電素子、
２３…金属細線、
２５，３３…接着剤、
３０…圧電体構造物、
３１…圧電体膜、
３２…層間電極、
３５…一括電極、
４０…ヒンジ、
４１，６２…アーム部、
４２ａ，４２ｂ…接合部、
４３ａ，４３ｂ…梁部。
【図１】
2009118661.tif 000003
【図２】
2009118661.tif 000004
【図３】
2009118661.tif 000005
【図４】
2009118661.tif 000006
【図５】
2009118661.tif 000007
【図６】
2009118661.tif 000008
【図７】
2009118661.tif 000009
【図８】
2009118661.tif 000010
【図９】
2009118661.tif 000011
【図１０】
2009118661.tif 000012