(57)【要約】【課題】本発明は、電子機器の振動状態を精度良く検知することができる振動検知センサを提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明の振動検知センサは、基板１１と、この基板１１の上面に設けられ、かつ内壁１２を有する容器１３と、前記基板１１の上面と容器１３の内壁１２との間に形成される内部空間１４と、前記内部空間１４に収容され、かつ前記容器１３の内壁に接しながら前記基板１１上を移動する磁性体１５と、前記基板１１の上面に位置して設けられ、かつ前記磁性体１５が静止可能な静止領域２１とを備え、前記基板１１に、前記静止領域２１を除いた前記磁性体１５が移動可能な領域に対応して磁気検出器１８を設け、さらに前記磁気検出器１８に磁気を印加する磁気発生器を前記静止領域２１以外の部分に設けたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、この基板の上面に設けられ、かつ内壁を有する容器と、前記基板の上面と容器の内壁との間に形成される内部空間と、前記内部空間に収容され、かつ前記容器の内壁に接しながら前記基板上を移動する磁性体と、前記基板の上面に位置して設けられ、かつ前記磁性体が静止可能な静止領域とを備え、前記基板または容器に、前記静止領域を除いた前記磁性体が移動可能な領域に対応して磁気検出器を設け、さらに前記磁気検出器に磁気を印加する磁気発生器を前記静止領域以外の部分に設けた振動検知センサ。
【請求項２】
上面から見た容器の内壁の形状を円形状または円形状の一部を構成する形状とした請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項３】
上面から見た容器の内壁の形状を楕円形状または楕円形状の一部を構成する形状とした請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項４】
上面から見た磁性体の形状を円形状とした請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項５】
内部空間の中心部と静止領域とを結ぶ直線に対して線対称となるように複数の磁気検出器を設けた請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項６】
内部空間の中心部と静止領域とを結ぶ直線の両側に形成された磁気検出器の個数を同数となるようにした請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項７】
内部空間の中心部と静止領域とを結ぶ直線の少なくとも片側に磁気検出器を設けた請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項８】
磁気検出器の両側に対向するように磁気発生器を設け、かつこの磁気発生器は互いに異なる極が対向するように構成した請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項９】
１つの磁気発生器が複数の磁気検出器に磁気を印加することができるように構成した請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項１０】
基板の上面に位置して設けられた磁性体が静止可能な静止領域のみに凹部を設けた請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項１１】
基板の上面に位置して設けられた磁性体が移動可能な領域に凹部を設けた請求項１記載の振動検知センサ。
【請求項１２】
側面方向から見た容器の内壁の形状を円形状または楕円形状の一部を構成する形状とした請求項１記載の振動検知センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器の姿勢を検知して電子機器の振動状態を検出するための振動検知センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の振動検知センサは、図１２に示すように、主空間１および副空間２を有する容器３と、前記主空間１に収容された球状の磁性体４と、前記副空間２に収容された永久磁石５と、前記容器３に形成された磁気検出器６とを備えた構成で、前記磁性体４が永久磁石５と対向する特定位置にあるときにはこの磁性体４を前記永久磁石５が拘束し、そして振動または傾斜により前記磁性体４が特定位置から離れたとき、前記永久磁石５は副空間２の内部を移動して前記磁気検出器６に磁束の変化を与えるように構成されていた。
【０００３】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平１１−２３２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来の振動検知センサにおいては、磁性体４が永久磁石５と対向する特定位置にあるときにこの磁性体４を永久磁石５が拘束する構造であるため、長期間使用して永久磁石５の磁力が劣化したりした場合、あるいは、振動が速い場合には、永久磁石５が磁性体４を拘束しきれなくなり、その結果、電子機器の振動状態を精度良く検知することができないという課題を有していた。
【０００５】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、電子機器の振動状態を精度良く検知することができる振動検知センサを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【０００７】
本発明の請求項１に記載の発明は、基板と、この基板の上面に設けられ、かつ内壁を有する容器と、前記基板の上面と容器の内壁との間に形成される内部空間と、前記内部空間に収容され、かつ前記容器の内壁に接しながら前記基板上を移動する磁性体と、前記基板の上面に位置して設けられ、かつ前記磁性体が静止可能な静止領域とを備え、前記基板または容器に、前記静止領域を除いた前記磁性体が移動可能な領域に対応して磁気検出器を設け、さらに前記磁気検出器に磁気を印加する磁気発生器を前記静止領域以外の部分に設けたもので、この構成によれば、前記基板または容器に、前記静止領域を除いた前記磁性体が移動可能な領域に対応して磁気検出器を設け、さらに前記磁気検出器に磁気を印加する磁気発生器を前記静止領域以外の部分に設けているため、前記磁性体が静止可能な静止領域に位置しているときに、磁性体が磁気発生器に拘束されるということはなくなり、これにより、長期間の使用による磁気発生器の磁力の劣化や磁気発生器による磁性体の拘束が電子機器の振動状態の検知に与える影響は少なくなるため、電子機器の振動状態を精度良く検知することができるという作用効果が得られるものである。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、上面から見た容器の内壁の形状を円形状または円形状の一部を構成する形状としたもので、この構成によれば、上面から見た容器の内壁の形状を円形状または円形状の一部を構成する形状としているため、振動により移動する磁性体に遠心力を与えることができ、これにより、磁性体は確実に容器の内壁に接することになるため、磁性体の移動を確実に磁気検出器で検出することができるという作用効果が得られるものである。
【０００９】
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、上面から見た容器の内壁の形状を楕円形状または楕円形状の一部を構成する形状としたもので、この構成によれば、上面から見た容器の内壁の形状を楕円形状または楕円形状の一部を構成する形状としているため、曲率によって検知できる振動の強さを変えることができるという作用効果が得られるものである。
【００１０】
本発明の請求項４に記載の発明は、特に、上面から見た磁性体の形状を円形状としたもので、この構成によれば、上面から見た磁性体の形状を円形状としているため、磁性体を容器の内壁に沿って滑らかに移動させることができるという作用効果が得られるものである。
【００１１】
本発明の請求項５に記載の発明は、特に、内部空間の中心部と静止領域とを結ぶ直線に対して線対称となるように複数の磁気検出器を設けたもので、この構成によれば、内部空間の中心部と静止領域とを結ぶ直線に対して線対称となるように複数の磁気検出器を設けているため、振動で静止領域に対して一方向に移動した磁性体が、反動で静止領域に対して逆方向に移動したときの検知も行うことができ、これにより、より精度良く振動を検知することができるという作用効果が得られるものである。
【００１２】
本発明の請求項６に記載の発明は、特に、内部空間の中心部と静止領域とを結ぶ直線の両側に形成された磁気検出器の個数を同数となるようにしたもので、この構成によれば、内部空間の中心部と静止領域とを結ぶ直線の両側に形成された磁気検出器の個数を同数となるようにしているため、安定した振動の検知が行えるという作用効果が得られるものである。
【００１３】
本発明の請求項７に記載の発明は、特に、内部空間の中心部と静止領域とを結ぶ直線の少なくとも片側に磁気検出器を設けたもので、この構成によれば、内部空間の中心部と静止領域とを結ぶ直線の少なくとも片側に磁気検出器を設けているため、磁性体を検知した磁気検出器の数によって振動の大きさも検知することができるという作用効果が得られるものである。
【００１４】
本発明の請求項８に記載の発明は、特に、磁気検出器の両側に対向するように磁気発生器を設け、かつこの磁気発生器は互いに異なる極が対向するように構成したもので、この構成によれば、磁気検出器の両側に対向するように磁気発生器を設け、かつこの磁気発生器は互いに異なる極が対向するように構成しているため、磁気検出器により多くの磁束を印加できるという作用効果が得られるものである。
【００１５】
本発明の請求項９に記載の発明は、特に、１つの磁気発生器が複数の磁気検出器に磁気を印加することができるように構成したもので、この構成によれば、１つの磁気発生器が複数の磁気検出器に磁気を印加することができるように構成しているため、磁気発生器を一度に形成することができ、これにより、生産性を向上させることができるという作用効果が得られるものである。
【００１６】
本発明の請求項１０に記載の発明は、特に、基板の上面に位置して設けられた磁性体が静止可能な静止領域のみに凹部を設けたもので、この構成によれば、基板の上面に位置して設けられた磁性体が静止可能な静止領域のみに凹部を設けているため、この凹部により、磁性体が振動しないにもかかわらず動いてしまうということはなくなり、これにより、誤検知を防ぐことができるという作用効果が得られるものである。
【００１７】
本発明の請求項１１に記載の発明は、特に、基板の上面に位置して設けられた磁性体が移動可能な領域に凹部を設けたもので、この構成によれば、基板の上面に位置して設けられた磁性体が移動可能な領域に凹部を設けているため、磁性体は凹部の内壁に沿って確実に移動することになり、これにより、振動を確実に検知することができるという作用効果が得られるものである。
【００１８】
本発明の請求項１２に記載の発明は、特に、側面方向から見た容器の内壁の形状を円形状または楕円形状の一部を構成する形状としたもので、この構成によれば、側面方向から見た容器の内壁の形状を円形状または楕円形状の一部を構成する形状としているため、磁性体が基板と垂直方向に振動した場合、磁気発生器との距離が変わることになり、これにより、基板と垂直方向の振動も検知することができるという作用効果が得られるものである。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように本発明の振動検知センサは、基板と、この基板の上面に設けられ、かつ内壁を有する容器と、前記基板の上面と容器の内壁との間に形成される内部空間と、前記内部空間に収容され、かつ前記容器の内壁に接しながら前記基板上を移動する磁性体と、前記基板の上面に位置して設けられた前記磁性体が静止可能な静止領域とを備え、前記基板または容器に、前記静止領域を除いた前記磁性体が移動可能な領域に対応して磁気検出器を設け、さらに前記磁気検出器に磁気を印加する磁気発生器を前記静止領域以外の部分に設けているため、前記磁性体が静止可能な静止領域に位置しているときに、磁性体が磁気発生器に拘束されるということはなくなり、これにより、長期間の使用による磁気発生器の磁力の劣化や磁気発生器による磁性体の拘束が電子機器の振動状態の検知に与える影響は少なくなるため、電子機器の振動状態を精度良く検知することができるという優れた効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１〜９に記載の発明について説明する。
【００２１】
図１は本発明の実施の形態１における振動検知センサの主要部の上面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図である。
【００２２】
本発明の実施の形態１における振動検知センサは、図１、図２に示すように、基板１１と、この基板１１の上面に設けられ、かつ内壁１２を有する容器１３と、前記基板１１の上面と容器１３の内壁１２との間に形成される内部空間１４と、前記容器１３の内部空間１４に収容され、かつ前記容器１３の内壁１２に接しながら前記基板１１上を移動する磁性体１５とを備えているものである。
【００２３】
上記構成において、前記基板１１は、図３に示すように、アルミナ等の絶縁性を有する材料からなる矩形状の絶縁基板１６と、この絶縁基板１６の上面に設けられたガラスグレーズ層１７と、このガラスグレーズ層１７の上面に設けられた磁気検出器１８および２つの磁気発生器１９と、この磁気検出器１８および２つの磁気発生器１９の上面に設けられた保護膜２０とにより構成されており、そして、前記保護膜２０の表面は基板１１の表面を構成しているものである。
【００２４】
また、前記容器１３は、絶縁性を有し、かつ非磁性の樹脂材料で構成され、そして前記基板１１の上面に接着剤等により接合されているものである。ここで、「上」方向とは、図２の矢印で示すように基板１１の上面に対して垂直な方向を表している。従って、基板１１が鉛直方向と平行になったときは、「上」方向は水平面と平行になる。
【００２５】
そしてまた、前記容器１３の内壁１２は平滑となっており、かつその形状は、上面から見て円形状になっているもので、このように内壁１２の形状を上面から見て円形状とした場合は、内壁１２が直線状となっている場合と比べて、振動により移動する磁性体１５に遠心力を与えることができるため、磁性体１５を確実に内壁１２に当接させることができ、これにより、磁性体１５の移動を確実に磁気検出器１８で検出することができる。
【００２６】
なお、図１においては、上面から見た容器１３の内壁１２の形状を円形状としているが、図４に示すように楕円形状としてもよいものである。楕円形状とした場合は、磁性体１５が振動により接する容器１３の内壁１２の曲率を変えることによって検知できる振動の強さを変えることができるものである。また、上面から見た容器１３の内壁１２の形状は、円形状の一部または楕円形状の一部を構成する形状、すなわち、全体の内壁１２のうち、振動によって磁性体１５が接する部分のみが円形状または楕円形状である構成にしてもよい。
【００２７】
また、前記内部空間１４は、基板１１の上面と容器１３との間に形成される空間であり、そしてこの内部空間１４内に移動自在となるように磁性体１５が収容されている。
【００２８】
前記磁性体１５は、図１における紙面と平行な振動が起こったときに容器１３の内壁１２に沿って基板１１の上面を移動するものである。また、この磁性体１５は、Ｆｅ系合金で構成されているもので、特に透磁率が高く、かつ保磁力が低いパーマロイにより構成されている。そして、この磁性体１５の形状は球であり、図１に示すように上面から見た形状が円形状となっているため、この磁性体１５を容器１３の内壁１２に沿って滑らかに移動させることができる。
【００２９】
なお、この磁性体１５に、ポリテトラフルオロエチレン等を含有した潤滑めっきを施しておけば、摩擦係数が低くなるため、磁性体１５の移動はスムーズになり、また、この磁性体１５は耐摩耗性が高く、かつ耐食性が優れているため、錆びることは無く、信頼性を向上させることができるものである。そしてこの磁性体１５は、振動していない場合は、基板１１の上面における静止領域２１で静止し、そして振動が起こると、静止領域２１を中心に容器１３の内壁１２に接触しながら単振動するものである。
【００３０】
前記磁気検出器１８は、ＮｉＣｏ，ＮｉＦｅ等からなる強磁性薄膜を複数折り返してなるパターンに形成した薄膜の磁気抵抗素子で構成されているもので、この磁気抵抗素子は電流方向に対して磁界が垂直に印加された時に抵抗値変化率が最大となって抵抗値が低下する。なお、この磁気検出器１８は、磁気抵抗素子に限定されるものではなく、ＧＭＲやホール素子を用いてもよい。また、この磁気検出器１８は、静止領域２１から一定の間隔を隔てた箇所において２つの磁気発生器１９の間に位置しているものである。
【００３１】
そして、この磁気検出器１８は、図１に示すように、基板１１の上面における磁性体１５が移動可能な領域に対応する位置に設けられている。また、この磁気検出器１８は内部空間１４の中心部と静止領域２１とを結ぶ直線（図１のＢ−Ｂ線。以下「中心線」とする）に対して線対称となるように設けられているもので、この中心線の両側に設けられた磁気検出器１８の個数はそれぞれ２個で同数となっている。
【００３２】
なお、前記磁気検出器１８は容器１３の内壁１２の内側に設けてもよく、また中心線の片側のみに設けてもよい。さらに、中心線の片側に設けられた磁気検出器１８は１個でもよく、あるいは３個以上としてもよいものである。
【００３３】
そしてまた、前記磁気検出器１８の両側に対向するように設けられた２つの磁気発生器１９は、１つの磁気検出器１８に磁気を印加する２つの薄膜磁石により構成され、そしてこれらは、互いに異なる極が対向するように、すなわち、Ｎ極とＳ極が対向するように構成されているものである。このような構成とすることにより、磁気は直近の基板１１の上面と平行な方向に印加しているものとなる。そしてこの薄膜磁石は磁界の向きが着磁によって設定されるＣｏＰｔ合金、ＣｏＣｒＰｔ合金、フェライト等の材料により構成されているものであり、また、これらの磁気発生器１９は、静止領域２１において磁性体１５を拘束しないように、磁気検出器１８の近傍に設けられているものである。なお、１つの磁気発生器１９が複数の磁気検出器１８に磁気を印加することができるように構成した場合は、磁気発生器１９を一度に形成することができるため、生産性を向上させることができるものである。また、磁気発生器１９の位置は、磁気検出器１８に磁気を印加できれば、図３に示す位置に限定されるものではない。
【００３４】
次に、本発明の実施の形態１における振動検知センサの動作について説明する。
【００３５】
図５に示すように磁気検出器１８の上方に磁性体１５が無い場合は、磁気発生器１９で発生した磁力線は磁気検出器１８に印加されるため、磁気検出器１８は低い抵抗値を示す。そして、図６に示すように磁気検出器１８の上方に磁性体１５が存在している場合は、磁気発生器１９で発生した磁力線は磁性体１５に吸収されて磁気検出器１８には印加されないため、磁気検出器１８は高い抵抗値を示す。
【００３６】
上記したように各磁気検出器１８の抵抗値の変化によって、振動によって移動した磁性体１５の位置を検知することができるため、これにより、磁性体１５の振動（振動検知センサを搭載している機器の振動）を検知することができる。
【００３７】
例えば、図１に示すように磁性体１５が静止領域２１に位置しているときは、４つの磁気検出器１８の抵抗値はいずれも変化しないが、図７に示すように振動により磁性体１５が１つの磁気検出器１８の上面に移動したときは、この磁気検出器１８の抵抗値が変化するため、この振動を検知することができる。
【００３８】
このとき、４つの磁気検出器１８は、図８に示すように入力電極２２、ランド電極２３、出力電極２４ａ，２４ｂを有するフルブリッジ回路を構成している。そして、出力電極２４ａ，２４ｂの電圧を測定することにより４つの磁気検出器１８の抵抗値変化を検知し、磁性体１５の位置や時間、ピッチを検出して、振動の大きさ、速さ、その有無を測定する。
【００３９】
上記した本発明の実施の形態１においては、容器１３の内壁１２に接しながら基板１１上を移動する磁性体１５と、前記基板１１の上面に位置して設けられ、かつ前記磁性体１５が静止可能な静止領域２１と、前記静止領域２１を除いた前記磁性体１５が移動可能な領域に対応して前記基板１１または容器１３に設けられた磁気検出器１８と、前記静止領域２１以外の部分に設けられ、かつ前記磁気検出器１８に磁気を印加する磁気発生器１９とを備えているため、前記磁性体１５が静止可能な静止領域２１に位置しているときに、磁性体１５が磁気発生器１９に拘束されるということはなくなり、これにより、長期間の使用による磁気発生器１９の磁力の劣化や磁気発生器１９による磁性体１５の拘束が電子機器の振動状態の検知に与える影響は少なくなるため、電子機器の振動状態を精度良く検知することができるという効果を有するものである。
【００４０】
すなわち、磁気発生器１９は磁性体１５を物理的に拘束するものではなく、単に磁性体１５や磁気検出器１８に磁気を印加させるだけであるため、磁気発生器１９の磁力が減少しても電子機器の振動の検知精度に影響を与えることはない。
【００４１】
また、磁性体１５の動きを制限するものがないため、振動の向きが鉛直方向に対してどの方向でも、例えば水平方向と平行であっても振動を検知することができる。
【００４２】
そしてまた、磁性体１５が移動可能な範囲では容器１３の内壁１２が円形状となっているため、磁性体１５を容器１３の内壁１２に沿って滑らかに移動させることができる。
【００４３】
さらに、前記容器１３の内部空間１４の中心部と静止領域２１とを結ぶ直線に対して線対称となるように複数の磁気検出器１８を備えているため、振動で静止領域２１に対して一方向、例えば左側に移動した磁性体１５が、反動で逆の右方向に移動したときの検知も行うことができ、これにより、より精度良く振動を検知することができるものである。
【００４４】
さらにまた、前記容器１３の内部空間１４の中心部と静止領域２１とを結ぶ直線の両側に形成された磁気検出器１８の個数を同数となるようにしているため、安定した振動の検知が行える。
【００４５】
また、前記容器１３の内部空間１４の中心部と静止領域２１とを結ぶ直線の左右両方に、磁気検出器１８を複数個（２個）設けているため、磁性体１５を検知した磁気検出器１８の数によって振動の大きさを検知することができる。
【００４６】
なお、図１の矢印の向きが鉛直下方向になるように、静止領域２１が鉛直方向で最も下方となるように容器１３を配置すれば、水平方向の振動を容易に検知することができるものである。
【００４７】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項１０，１１に記載の発明について説明する。
【００４８】
図９は本発明の実施の形態２における振動検知センサの主要部の上面図、図１０は図９のＤ−Ｄ線断面図である。
【００４９】
なお、本発明の実施の形態２においては、上記した本発明の実施の形態１の構成と同様の構成を有するものについては、同一符号を付しており、その説明は省略する。
【００５０】
図９、図１０において、本発明の実施の形態２が上記した本発明の実施の形態１と異なる点は、基板１１の上面に位置して設けられた磁性体１５が移動可能な領域に、基板１１の上面の中央部に円形状部１１ａを残した状態でドーナツ状の凹部２５を設けた点である。
【００５１】
上記した構成においては、磁性体１５がドーナツ状の凹部２５に沿って確実に移動することになるため、振動を確実に検知することができるという効果が得られるものである。
【００５２】
特に、凹部２５を基板１１の上面において磁性体１５が静止可能な静止領域２１のみに設けるようにすれば、この凹部２５により、磁性体１５が振動しないにもかかわらず動いてしまうのを防止できるため、誤検知を確実に防ぐことができる。
【００５３】
なお、静止領域２１の凹部２５は、磁性体１５が移動可能な領域の凹部２５よりその深さを深くすれば、誤検知を確実に防ぐことができ、かつ振動も確実に検知することができるものである。
【００５４】
（実施の形態３）
以下、実施の形態３を用いて、本発明の特に請求項１２に記載の発明について説明する。
【００５５】
図１１は本発明の実施の形態３における振動検知センサの断面図である。
【００５６】
なお、本発明の実施の形態３においては、上記した本発明の実施の形態１の構成と同様の構成を有するものについては、同一符号を付しており、その説明は省略する。
【００５７】
図１１において、本発明の実施の形態３が上記した本発明の実施の形態１と異なる点は、側面方向から見た容器１３の内壁１２の形状を、円形状の一部を構成する形状とした点である。
【００５８】
上記した構成においては、容器１３の内壁１２がドーム状になっているため、この内壁１２に沿って磁性体１５が移動するものである。
【００５９】
また、上記した本発明の実施の形態１，２においては、図１における紙面と平行の振動を検知することができるようにしていたが、本発明の実施の形態３では、図１における紙面と垂直となる方向（図１１の紙面上下方向、すなわち基板１１と垂直な方向）の振動を検知することができる。
【００６０】
上記した本発明の実施の形態３においては、基板１１と垂直方向に振動したとき、磁性体１５は基板１１から離れて円形状の内壁１２に沿って移動するため、磁性体１５と磁気検出器１８との距離が変わり、これにより、磁気検出器１８で検出する磁気の強さも変化するため、基板１１と垂直方向の振動を検知することができるものである。
【００６１】
なお、側面方向から見た容器１３の内壁１２の形状は、円形状の一部を構成する形状に限定されるものではなく、楕円形状の一部を構成する形状としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明に係る振動検知センサは、電子機器の振動状態を精度良く検知することができるという効果を有するものであり、特に各種電子機器の姿勢を検知して電子機器の振動状態を検出するための振動検知センサ等において有用となるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施の形態１における振動検知センサの主要部の上面図
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図
【図３】図１のＣ−Ｃ線断面図
【図４】同振動検知センサの他の例を示す主要部の上面図
【図５】同振動検知センサの動作原理を示す主要部の断面図
【図６】同振動検知センサの動作原理を示す主要部の断面図
【図７】同振動検知センサの主要部の上面図
【図８】同振動検知センサの信号検知回路図
【図９】本発明の実施の形態２における振動検知センサの主要部の上面図
【図１０】図９のＤ−Ｄ線断面図
【図１１】本発明の実施の形態３における振動検知センサの断面図
【図１２】従来の振動検知センサの断面図
【符号の説明】
【００６４】
１１  基板
１２  内壁
１３  容器
１４  内部空間
１５  磁性体
１８  磁気検出器
１９  磁気発生器
２１  静止領域
２５  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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