(57)【要約】【課題】液晶層の形成のために基板上に液晶を滴下する液晶滴下装置を提供する。【解決手段】少なくとも一つのノズルは、積載された基板に対して相対移動する。液晶供給部は、ノズルから基板上に液晶が滴下されるようにノズルに液晶を供給する。不良検出用センサーは、ノズルが移動しながら、液晶供給部による液晶滴下中に、ノズルの下側で液晶滴下の良否を検出する。補修用センサーは、液晶滴下が終了した後、不良検出用センサーによって液晶滴下不良が検出された位置に移動して、液晶滴下の良否を判別し、液晶不足量を算出する。制御部は、補修用センサーによって算出された液晶不足量だけノズルから液晶滴下がなされるように液晶供給部を制御する。したがって、液晶滴下の良否を検出する過程から補修過程に至るあらゆる過程が自動化されることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
積載された基板に対して相対移動する少なくとも一つのノズルと、
前記ノズルから前記基板上に液晶が滴下されるように、前記ノズルに液晶を供給する液晶供給部と、
前記ノズルが移動しながら、前記液晶供給部による液晶滴下中に、前記ノズルの下側で液晶滴下の良否を検出する不良検出用センサーと、
液晶滴下が終了した後、前記不良検出用センサーによって液晶滴下不良が検出された位置に移動して、液晶滴下の良否を判別し、液晶不足量を算出する補修用センサーと、
前記補修用センサーによって算出された液晶不足量だけ前記ノズルから液晶滴下がなされるように、前記液晶供給部を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする液晶滴下装置。
【請求項２】
前記補修用センサーは、
ビジョンセンサーからなり、液晶滴下不良が検出された位置でイメージを獲得し、該獲得されたイメージを処理して、液晶滴下の良否を判別することを特徴とする請求項１に記載の液晶滴下装置。
【請求項３】
前記補修用センサーは、
滴下不良であると判断されれば、一滴の液晶量を液晶不足量として前記制御部に出力し、
前記補修用センサーは、定量未達滴下または定量超過滴下であると判断されれば、獲得されたイメージから定量未達滴の体積または定量超過滴の体積を測定した後、測定値と基準値とを比べて液晶不足量または液晶超過量を計算して、前記制御部に出力することを特徴とする請求項２に記載の液晶滴下装置。
【請求項４】
滴下不良または定量未達滴下と定量超過滴下とがともにある場合、
前記制御部は、入力された液晶不足量に液晶超過量を反映した値と設定された液晶滴下量値とを比べて液晶不足と判断されれば、液晶不足量を算出することを特徴とする請求項３に記載の液晶滴下装置。
【請求項５】
前記補修用センサーは、
獲得されたイメージと予め入力されたイメージとを比べて同一であると判断されるイメージを抽出し、該抽出されたイメージに該当する液晶不足量または液晶超過量を前記制御部に出力することを特徴とする請求項２に記載の液晶滴下装置。
【請求項６】
滴下不良または定量未達滴下と定量超過滴下とがともにある場合、
前記制御部は、入力された液晶不足量に液晶超過量を反映した値と設定された液晶滴下量値とを比べて液晶不足と判断されれば、液晶不足量を算出することを特徴とする請求項５に記載の液晶滴下装置。
【請求項７】
前記制御部は、
液晶滴下不良が検出された位置の真上やその横に前記ノズルを移動させて液晶滴下がなされるようにすることを特徴とする請求項１ないし請求項６のうち何れか一項に記載の液晶滴下装置。
【請求項８】
前記不良検出用センサーは、
レーザセンサーからなり、
前記レーザセンサーは、
射出したレーザ光が、前記ノズルの下側を通過するように配された発光部と、前記発光部からの射出光を受けて受光信号を処理する受光部とを備えることを特徴とする請求項１に記載の液晶滴下装置。
【請求項９】
前記受光部は、
前記ノズルが液晶滴下位置に移動した時点からある一時点まで設定時間の間に獲得された受光信号が一定値を有すると判断するか、獲得された受光信号波形と基準信号波形とを比べて差があると判断されれば、液晶滴下不良として認識することを特徴とする請求項８に記載の液晶滴下装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置を製造するに当たって、液晶層の形成のために基板上に液晶を滴下する液晶滴下装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（Liquid Crystal Display；ＬＣＤ）は、陰極線管(Cathode Ray Tube；ＣＲＴ）に比べて視認性に優れ、同じ画面サイズのＣＲＴに比べて平均消費電力も小さいだけでなく、発熱量も少ない。これにより、ＬＣＤは、プラズマ表示装置（Plasma Display Panel；ＰＤＰ）や電界放出表示装置（Field Emission Display；ＦＥＤ）とともに、携帯電話、コンピュータ用モニター、ＴＶ分野などで次世代表示装置として脚光を浴びている。
【０００３】
一般的に、ＴＦＴ(Thin Film Transister)ＬＣＤパネルは、ＴＦＴアレイ基板とカラーフィルターアレイ基板とを備える。前記二つの基板は、おおよそ４〜５μｍ程度に離隔し、その間に液晶層が形成される。そして、画面表示領域の周りで、シーラントが二つの基板を接合する一方、液晶層に水分や汚染物質が流入されることを防止する。
【０００４】
一方、液晶層を形成する多様な方式の中に液晶滴下方式がある。液晶滴下方式とは、基板上のシーラントによって限定された空間内に液晶を滴下して液晶層を形成した後、基板の間を貼り合せた後、シーラントを硬化させて接合する方式である。液晶滴下方式によって液晶層を形成するため、液晶滴下装置が利用されている。
【０００５】
液晶滴下装置は、液晶が貯蔵されたシリンジ(syringe)から液晶を供給されるノズルを基板に対して相対移動させながら、基板上にノズルから液晶を滴下させるように動作する。この際、液晶滴下装置は、設定された滴下量で液晶を滴下して液晶層を形成する。
【０００６】
ところが、液晶を滴下する過程で、ノズルに供給される液晶に気泡が混入されるなどの理由によって、滴下不良(miss drop)が発生することがある。滴下不良は、液晶滴下が終了した後、実際に液晶が滴下された総滴下量が設定された量より少なくなる液晶滴下不良を引き起こす。
【０００７】
従来によれば、滴下不良を作業者が肉眼で確認した後、作業者の判断によって液晶滴下装置を手作業で動作させて補修(repair)している。しかし、滴下不良を肉眼で確認して手作業で補修する場合、熟練された作業者を必要とする。また、作業者が不在である場合、作業者が現場に戻って滴下不良を補修する前まで後続の工程が進まないので、生産性が落ちることがある。
【０００８】
また、滴下不良ではないが、一滴の液晶滴下量が定量より少ない定量未達滴下である場合、作業者は液晶滴下量がどれほど不足であるか肉眼で判断しにくい。これにより、液晶滴下不良を正確に補修しにくいという問題があり得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の課題は、前記問題点を解決するためのものであって、液晶滴下の良否を検出する過程から補修過程に至るあらゆる過程が自動化されることができる液晶滴下装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の課題を果たすための本発明による液晶滴下装置は、積載された基板に対して相対移動する少なくとも一つのノズルと、前記ノズルから前記基板上に液晶が滴下されるように、前記ノズルに液晶を供給する液晶供給部と、前記ノズルが移動しながら、前記液晶供給部による液晶滴下中に、前記ノズルの下側で液晶滴下の良否を検出する不良検出用センサーと、液晶滴下が終了した後、前記不良検出用センサーによって液晶滴下不良が検出された位置に移動して、液晶滴下の良否を判別し、液晶不足量を算出する補修用センサーと、前記補修用センサーによって算出された液晶不足量だけ前記ノズルから液晶滴下がなされるように、前記液晶供給部を制御する制御部と、を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、液晶滴下の良否を検出する過程から補修過程に至るあらゆる過程が自動化されることができる。これにより、熟練された作業者が不要となり、作業者が不在であるとしても、液晶滴下不良が自動で補修されることができる。その結果、後続の工程が円滑に進行されることができ、生産性低下が発生しなくなる。
【００１２】
また、本発明によれば、定量未達滴下である場合、液晶量がどれほど不足であるか肉眼で判断しにくいとしても、液晶不足量が正確に算出されて液晶不足量だけ液晶滴下がなされうる。これにより、液晶滴下不良が容易に補修されることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付した図面を参照して、望ましい実施形態による本発明を詳しく説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態による液晶滴下装置に対する構成図である。
【００１５】
図１を参照すれば、液晶滴下装置１００は、少なくとも一つのノズル１１１と、液晶供給部１２０と、不良検出用センサー１３０と、補修用センサー１４０、及び制御部１５０とを含んで構成される。
【００１６】
ノズル１１１は、積載された基板１０に対して相対移動可能に動作する。ノズル１１１は、液晶供給部１２０によって液晶を供給されて基板１０上に吐出することによって、基板１０上に液晶層を形成させうる。
【００１７】
液晶供給部１２０は、ノズル１１１から基板１０上に液晶が滴下されるようにノズル１１１に液晶を供給する。液晶供給部１２０は、ノズル１１１から液晶が設定された量で滴下されるように制御部１５０によって制御されることができる。
【００１８】
不良検出用センサー１３０は、ノズル１１１が移動しながら、液晶供給部１２０によってノズル１１１から基板１０上に液晶滴下が進行する間、液晶滴下の良否を検出する。すなわち、不良検出用センサー１３０は、ノズル１１１が一定間隔で移動するごとにノズル１１１から液晶が設定された量で正確に滴下しているか否かを検出する。
【００１９】
液晶滴下不良は、ノズル１１１に供給される液晶に気泡が混入されるなどの理由によって発生することがある。その例としては、液晶が滴下される位置に液晶が全く滴下されていない滴下不良や、一滴の液晶滴下量が定量より少ない定量未達滴下がある。
【００２０】
不良検出用センサー１３０から検出された液晶滴下不良についての情報は、制御部１５０に提供されることができる。制御部１５０は、不良検出用センサー１３０から液晶滴下不良についての情報が提供された時点に該当するノズル１１１の位置を液晶滴下不良位置に認識し、液晶滴下不良位置を記憶する。
【００２１】
補修用センサー１４０は、液晶滴下が終了した後、不良検出用センサー１３０によって液晶滴下不良が検出された位置に移動して、液晶滴下の良否を判別する。前記補修用センサー１４０の移動は、液晶滴下不良位置を記憶している制御部１５０によって制御されることができる。液晶滴下不良である場合、補修用センサー１４０は、液晶不足量を算出する。液晶不足量についての情報は、制御部１５０に提供されることができる。
【００２２】
制御部１５０は、補修用センサー１４０によって算出された液晶不足量だけノズル１１１から基板１０上に液晶滴下がなされて補修されることができるように液晶供給部１２０を制御する。この過程で、制御部１５０は、ノズル１１１を液晶滴下不良が検出された位置に移動させるように制御することができる。それ以外に、制御部１５０は、液晶滴下装置１００の全体を制御して、基板１０上に液晶を設定された量で滴下させる。
【００２３】
前記のように構成された液晶滴下装置１００の作用例を説明すれば、次の通りである。
【００２４】
ノズル１１１から液晶滴下が進行する間、滴下不良や定量未達滴下のような液晶滴下不良が発生すると、不良検出用センサー１３０は、液晶滴下の良否を検出して制御部１５０に提供する。制御部１５０は、液晶滴下不良位置を認識して記憶している途中、液晶滴下が終了すれば、液晶滴下不良位置に補修用センサー１４０を移動させる。
【００２５】
補修用センサー１４０は、液晶滴下の良否を判別し、液晶滴下不良であれば、液晶不足量を算出して制御部１５０に提供する。制御部１５０は、液晶供給部１２０を制御して液晶不足量だけノズル１１１から基板１０上に液晶滴下がなされるようにする。これにより、液晶滴下不良が補修されて、液晶層は、基板１０上に設定された滴下量で形成される。
【００２６】
前述したように、液晶滴下の良否を検出する過程から補修過程に至るあらゆる過程が自動化される。したがって、液晶滴下の良否を作業者が肉眼で確認した後、作業者の判断によって液晶滴下装置を手作業で動作させて補修する過程と比べて、熟練された作業者が不要となる。また、作業者が不在であるとしても、液晶滴下不良が自動で補修されるので、後続の工程が円滑に進行しうる。これにより、生産性低下が発生しなくなる。そして、定量未達滴下である場合、液晶量がどれほど不足であるか肉眼で判断しにくいとしても、液晶不足量が正確に算出されて液晶不足量だけ液晶滴下がなされうる。これにより、液晶滴下不良が容易に補修されることができる。
【００２７】
一方、ノズル１１１は、基板１０に対して相対移動できるようにヘッドユニット１１０のノズル装着ブロック１１２に装着されることができる。ここで、ヘッドユニット１１０は、ヘッド支持部１０２に支持され、ヘッド支持部１０２は、フレーム１０１に一方向に水平移動可能に設けられる。これとともに、ヘッドユニット１１０は、ヘッド支持部１０２の移動方向と垂直方向に水平移動可能に設けられる。これにより、ヘッドユニット１１０に装着されたノズル１１１が基板１０に対して相対移動可能である。
【００２８】
大面積の上、下部ガラス基板に単位パネルを多数個形成して生産性を図る場合、ノズル１１１は、複数個備えられうる。単位パネルは、ＬＣＤごとに一つずつ採用されるＬＣＤパネルに相応するものである。複数個のノズル１１１は、単位パネル別に少なくとも一つずつ配されて液晶を滴下させる。これにより、多数個の単位パネルに液晶層が同時に形成されるので、生産性が向上する。
【００２９】
液晶供給部１２０は、ノズル１１１に液晶を供給するために液晶が貯蔵されたシリンジ１２１とポンプモジュール１２２とを備えることができる。ポンプモジュール１２２は、シリンジ１２１からノズル１１１に液晶が供給される時、液晶に吐出圧力を加えるように構成されることによって、ノズル１１１から液晶を吐出させる。そして、ポンプモジュール１２２は、シリンジ１２１とノズル１１１との間で液晶の流れを開閉する弁機能を有するように構成されることによって、設定された量ずつシリンジ１２１からノズル１１１に液晶を供給させる。
【００３０】
他の例として、液晶供給部１２０は、ポンプモジュール１２２の代わりに、空気圧供給機を備えることも可能である。空気圧供給機は、シリンジ１２１内に所定圧力を有する空気やガスを供給して液晶に吐出圧力を加えるように構成されることによって、ノズル１１１から液晶を吐出させる。
【００３１】
一方、不良検出用センサー１３０は、ノズル１１１の下側に配されて液晶滴下が進行する間に液晶滴下不良を検出することができる。不良検出用センサー１３０は、レーザセンサーであり得る。レーザセンサーは、図２に図示されたように、レーザビームを射出する発光部１３１と、発光部１３１からの射出光を受けて受光信号を処理する受光部１３２とを備える。
【００３２】
発光部１３１と受光部１３２は、ノズル１１１の下側でノズル１１１を挟んで両側に分けられて配される。そして、発光部１３１は、射出した光がノズル１１１の下側を通過するように配され、受光部１３２は、発光部１３１からの射出光を受けることができるように配される。
【００３３】
発光部１３１は、検出領域を広げるために多数の発光部位を備えることができる。このために、発光部位は、水平方向に沿って一定間隔離れて配列されることができる。多数の発光部位は、ノズル１１１から滴下される液晶滴が垂直落下ではなく、傾斜落下であっても、その液晶滴の落下を検出可能にする。
【００３４】
受光部１３２は、ノズル１１１が液晶滴下位置に移動した時点からある一時点まで設定時間の間に獲得された受光信号が一定値を有すると判断されれば、滴下不良のような液晶滴下不良として認識することができる。
【００３５】
すなわち、設定時間の間、図３Ａに図示されたように、ノズル１１１から液晶が滴状になって発光部１３１と受光部１３２との間を通過しないこともある。それでは、発光部１３１からの射出光は、そのまま進行して受光部１３２に入射される。したがって、設定時間の間に獲得された受光信号は、許容誤差範囲内で一定値を有する。このような場合、受光部１３２は、設定時間の間に獲得された受光信号が一定値を有すると判断して、液晶滴が落下していない滴下不良として認識する。
【００３６】
一方、設定時間の間、図３Ｂに図示されたように、ノズル１１１から液晶が滴状になって発光部１３１と受光部１３２との間を通過することができる。それでは、発光部１３１からの射出光は、液晶滴が通過する間に液晶滴によって反射されて受光部１３２に入射されない。したがって、液晶滴が、発光部１３１と受光部１３２との間を通過する前後に獲得された受光信号値と、液晶滴が、発光部１３１と受光部１３２との間に通過する間に獲得された受光信号値とが異なる。このような場合、受光部１３２は、液晶滴が落下したと認識する。
【００３７】
受光部１３２は、設定時間の間に獲得された受光信号波形と基準信号波形とを比べて差があれば、液晶滴下不良として認識することができる。
【００３８】
すなわち、設定時間の間、ノズル１１１から落ちる一滴の液晶滴下量が定量より少ないか多い不良である場合、不良である液晶滴の形状は、定量である液晶滴の形状と異なる。これにより、不良である液晶滴に対して受光部１３２から獲得される受光信号波形は、定量である液晶滴に対して受光部１３２から獲得される受光信号波形と異なる。
【００３９】
受光部１３２は、定量である液晶滴に対して獲得された受光信号波形を基準信号波形として記憶する。受光部１３２は、ノズル１１１から落ちる液晶滴に対して獲得された受光信号波形を基準信号波形と比べて、同一であると判断されれば、定量の液晶滴であると認識する。受光部１３２は、二つの波形の差値が許容誤差範囲を満足すれば、二つの波形が同一であると判断する。
【００４０】
受光部１３２は、獲得された受光信号波形と基準信号波形とを比べて差があると判断された場合、不良の液晶滴であると認識する。受光部１３２は、二つの波形の差値が許容誤差範囲を外れれば、二つの波形が異なると判断する。一方、受光部１３２は、光を受けて電気的信号に変換し、該変換された電気的信号を処理する信号処理部が制御部１５０に備えられることも可能である。
【００４１】
前述したように、発光部１３１は光を射出し、受光部１３２は受光信号を処理して液晶滴下不良を検出するので、液晶滴下不良は非接触方式として検出されることができる。したがって、液晶滴下不良を検出する過程でノズル１１１から滴下される液晶に何らの影響も加えないので、検出過程による液晶滴下不良が発生しなくなる。他の例として、不良検出用センサー１３０は、他の非接触方式であるビジョンセンサーからなることも可能である。
【００４２】
一方、不良検出用センサー１３０は、液晶飛散防止カバー１３６をさらに備えることができる。液晶飛散防止カバー１３６は、ノズル１１１から落下された液晶が基板１０に衝突してノズル１１１側に再び飛散して、発光部１３１と受光部１３２との間への流入を防止できるようにする。これにより、液晶滴下不良が正確に検出されることができる。
【００４３】
液晶飛散防止カバー１３６は、発光部１３１と受光部１３２との下側に配され、ノズル１１１の下部と対応する部位に孔１３６ａが形成された構造からなされうる。
【００４４】
一方、補修用センサー１４０は、ビジョンセンサーからなり、図４Ａに図示されたように、液晶滴下不良が検出された位置（ＥＰ）でイメージを獲得し、該獲得されたイメージを処理して、液晶滴下の良否を判別することができる。ここで、補修用センサー１４０は、滴下不良であると判断されれば、一滴の液晶量を液晶不足量として制御部１５０に出力することができる。液晶滴下が終了した後、制御部１５０は滴下不良のみあると認識した場合、ノズル１１１を図４Ｂに図示されたように、滴下不良が発生した位置（ＥＰ）に移動させ、ノズル１１１から一滴の液晶量を吐出させる。
【００４５】
補修用センサー１４０は、定量未達滴下または定量超過滴下であると判断されれば、獲得されたイメージから定量未達滴の体積または定量超過滴の体積を測定する。以後、補修用センサー１４０は、測定値と基準値とを比べて液晶不足量または液晶超過量を計算して制御部１５０に出力することができる。ここで、基準値は、定量滴の体積値に該当する。
【００４６】
補修用センサー１４０が獲得されたイメージから定量未達滴の体積または定量超過滴の体積を測定する方法は多様である。測定方法の一例を説明すれば、次の通りである。獲得されたイメージは、滴下された液晶滴の表面の高さによって異なる色相情報を含みうる。これを用いて、補修用センサー１４０は獲得されたイメージの色相データに基づいて、滴下された液晶滴の表面の高さデータに変換した後、滴下された液晶滴の体積を算出することができる。
【００４７】
一方、滴下不良または定量未達滴下があった後、ノズル１１１の端部に液晶が残留することもある。この場合、残留液晶が後続の滴下過程でともに滴下されて定量超過滴下があり得る。このように、滴下不良または定量未達滴下と定量超過滴下とがともにある場合、液晶滴下が終了した後、制御部１５０は、入力された液晶不足量に液晶超過量を反映した値と設定された液晶滴下量値とを比べて液晶不足量を算出する。
【００４８】
制御部１５０は、液晶が不足であると判断した場合、ノズル１１１を滴下不良または定量未達滴下が発生した位置に移動させ、ノズル１１１から液晶不足量だけ液晶を吐出させる。
【００４９】
ここで、制御部１５０は、滴下不良または定量未達滴下が発生した位置の真上にノズル１１１を移動させて液晶滴下がなされるようにできる。他の例として、制御部１５０は、滴下不良または定量未達滴下が発生した位置の横にノズル１１１を移動させて液晶滴下がなされるようにすることもできる。この場合、滴下不良または定量未達滴下が発生した位置で気泡が残存していても、液晶が残存気泡上に直ちに滴下されずに残存気泡横に滴下されることができる。したがって、液晶が残存気泡上に滴下されることによって、残存気泡が液晶層内に混入される現象が防止されることができる。
【００５０】
一方、補修用センサー１４０は、獲得されたイメージと予め入力されたイメージと比べて、同一であると判断されるイメージを抽出し、該抽出されたイメージに該当する液晶不足量または液晶超過量を制御部１５０に出力することができる。
【００５１】
ここで、予め入力されたイメージは、定量の液晶滴に対するイメージを基準に、液晶不足量または液晶超過量が設定されたイメージである。そして、補修用センサー１４０は、比較対象である二つのイメージの差が許容誤差範囲を満足すれば、二つのイメージが互いに同一であると判断する。一方、補修用センサー１４０は、イメージを獲得し、該獲得されたイメージを処理するイメージ処理部が制御部１５０に備えられることも可能である。
【００５２】
以上、本発明の望ましい実施形態について説明したが、本発明は、前述した特定の実施形態に限定されない。すなわち、当業者ならば、特許請求の範囲の思想及び範疇を逸脱せずに、本発明に対する多様な変更及び修正が可能であり、そのようなすべての適切な変更及び修正の均等物も、本発明の範囲に属すると見なされなければならない。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、液晶滴下装置関連の技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の一実施形態による液晶滴下装置に対する構成図である。
【図２】図１において、ヘッドユニットに装着された不良検出用センサーと補修用センサーとを図示した斜視図である。
【図３Ａ】図２に図示された不良検出用センサーによって、ノズルから液晶滴が落ちるか否かを検出する過程を説明するための図面である。
【図３Ｂ】図２に図示された不良検出用センサーによって、ノズルから液晶滴が落ちるか否かを検出する過程を説明するための図面である。
【図４Ａ】図２に図示された補修用センサーによって液晶滴下不良を判別した後、液晶滴下不良を補修する過程を説明するための図面である。
【図４Ｂ】図２に図示された補修用センサーによって液晶滴下不良を判別した後、液晶滴下不良を補修する過程を説明するための図面である。
【符号の説明】
【００５５】
１００：液晶滴下装置                  １１１：ノズル
１２０：液晶供給部                    １３０：不良検出用センサー
１４０：補修用センサー                １５０：制御部
１０：基板                            １１０：ヘッドユニット
１１２：ノズル装着ブロック            １０２：ヘッド支持部
１０１：フレーム                      １２１：シリンジ
１２２：ポンプモジュール              １３１：発光部
１３２：受光部                        １３６：液晶飛散防止カバー
１３６ａ：孔
【図１】
2009175708.tif 000003
【図２】
2009175708.tif 000004
【図３Ａ】
2009175708.tif 000005
【図３Ｂ】
2009175708.tif 000006
【図４Ａ】
2009175708.tif 000007
【図４Ｂ】
2009175708.tif 000008