(57)【要約】【課題】光ピックアップの波面収差を短時間かつ高精度に検査する。【解決手段】第１のコリメータレンズ１０１は、光ピックアップ１６の第１の対物レンズ２０１を出射した第１の出射光を平行光に変換し、第２のコリメータレンズ１０２は、光ピックアップ１６の第２の対物レンズ２０２を出射した第２の出射光を平行光に変換し、波面収差検出部６は、第１の出射光及び第２の出射光の波面収差とを検出し、光ピックアップ位置調整部１８は、第１の出射光及び第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように光ピックアップ１６の水平方向の位置を調整し、波面収差検出部６は、水平方向の位置が調整された光ピックアップ１６から出射された第１の出射光及び第２の出射光の波面収差を測定する。【選択図】図１
2009151908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを含む光ピックアップから出射される出射光の波面収差を測定する波面収差検査装置であって、
前記光ピックアップの前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、
前記光ピックアップの前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、
前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、
前記光ピックアップを保持し、前記光ピックアップの位置を調整する光ピックアップ位置調整部とを備え、
前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記光ピックアップの水平方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によって水平方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第１の出射光の波面収差を測定し、
前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記光ピックアップの水平方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によって水平方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第２の出射光の波面収差を測定することを特徴とする波面収差検査装置。
【請求項２】
第１の波長を有する第１のレーザ光を光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを含む光ピックアップから出射される出射光の波面収差を測定する波面収差検査装置であって、
前記光ピックアップの前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、
前記光ピックアップの前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、
前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、
前記光ピックアップを保持し、前記光ピックアップの位置を調整する光ピックアップ位置調整部とを備え、
前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記光ピックアップのフォーカス方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によってフォーカス方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第１の出射光の波面収差を測定し、
前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記光ピックアップのフォーカス方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によってフォーカス方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第２の出射光の波面収差を測定することを特徴とする波面収差検査装置。
【請求項３】
前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記光ピックアップのフォーカス方向の位置をさらに調整し、
前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によって水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第１の出射光の波面収差を測定し、
前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記光ピックアップのフォーカス方向の位置をさらに調整し、
前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によって水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第２の出射光の波面収差を測定することを特徴とする請求項１記載の波面収差検査装置。
【請求項４】
前記第１の対物レンズと前記第２の対物レンズとの間隔と、前記第１のコリメータレンズと前記第２のコリメータレンズとの間隔とは略等しいことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の波面収差検査装置。
【請求項５】
前記光ピックアップ位置調整部は、前記第１のコリメータレンズ及び前記第２のコリメータレンズを水平方向又はフォーカス方向に移動させることにより、前記光ピックアップとの相対的な水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の波面収差検査装置。
【請求項６】
前記第１のコリメータレンズと前記第２のコリメータレンズとを一体に保持するコリメータレンズホルダをさらに備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の波面収差検査装置。
【請求項７】
前記コリメータレンズホルダは、
前記第１のコリメータレンズの入射面側に、前記第１の光情報媒体の保護層と光学的に等価な厚みを有する第１のカバーガラスと、
前記第２のコリメータレンズの入射面側に、前記第２の光情報媒体の保護層と光学的に等価な厚みを有する第２のカバーガラスとを含むことを特徴とする請求項６記載の波面収差検査装置。
【請求項８】
前記波面収差検出部は、前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光及び前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光を受光する受光部と、前記受光部に前記第１の出射光及び前記第２の出射光を集光させるレンズアレイとを含み、
前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光を前記レンズアレイへ伝達する第１のリレーレンズと、
前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光を前記レンズアレイへ伝達する第２のリレーレンズとをさらに備え、
前記第１のコリメータレンズの出射側の焦点位置と前記第１のリレーレンズの入射側の焦点位置とを一致させ、前記第１のリレーレンズの出射側の焦点位置と前記レンズアレイの入射側の焦点位置とを一致させ、前記第２のコリメータレンズの出射側の焦点位置と前記第２のリレーレンズの入射側の焦点位置とを一致させ、前記第２のリレーレンズの出射側の焦点位置と前記レンズアレイの入射側の焦点位置とを一致させることを特徴とする請求項１記載の波面収差検査装置。
【請求項９】
第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを含み、前記第１の対物レン
ズ及び前記第２の対物レンズをフォーカス方向及びトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータを光ピックアップに取り付ける光ピックアップ組立調整装置であって、
前記光ピックアップの前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、
前記光ピックアップの前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、
前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、
前記対物レンズアクチュエータを保持し、前記対物レンズアクチュエータの位置を調整する対物レンズアクチュエータ位置調整部とを備え、
前記対物レンズアクチュエータ位置調整部は、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータの水平方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第１の対物レンズの傾きを調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータの水平方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第２の対物レンズの傾きを調整することを特徴とする光ピックアップ組立調整装置。
【請求項１０】
第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを含み、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズをフォーカス方向及びトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータを光ピックアップに取り付ける光ピックアップ組立調整装置であって、
前記光ピックアップの前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、
前記光ピックアップの前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、
前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、
前記対物レンズアクチュエータを保持し、前記対物レンズアクチュエータの位置を調整する対物レンズアクチュエータ位置調整部とを備え、
前記対物レンズアクチュエータ位置調整部は、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第１の対物レンズの傾きを調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第２の対物レンズの傾きを調整することを特徴とする光ピックアップ組立調整装置。
【請求項１１】
前記対物レンズアクチュエータ位置調整部は、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置をさらに調整し、
前記対物レンズアクチュエータの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整した後、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方
向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第１の対物レンズの傾きを調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置をさらに調整し、
前記対物レンズアクチュエータの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整した後、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第２の対物レンズの傾きを調整することを特徴とする請求項９記載の光ピックアップ組立調整装置。
【請求項１２】
第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズを駆動する対物レンズアクチュエータへ取り付ける対物レンズアクチュエータ組立調整装置であって、
前記第１の対物レンズへ向けて前記第１のレーザ光を出射するとともに、前記第２の対物レンズへ向けて前記第２のレーザ光を出射するレーザ光源と、
前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、
前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、
前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、
前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズを保持し、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズの位置を調整する対物レンズ位置調整部とを備え、
前記対物レンズ位置調整部は、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記第１の対物レンズの水平方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第１の対物レンズの傾きを調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記第２の対物レンズの水平方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第２の対物レンズの傾きを調整することを特徴とする対物レンズアクチュエータ組立調整装置。
【請求項１３】
第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズを駆動する対物レンズアクチュエータへ取り付ける対物レンズアクチュエータ組立調整装置であって、
前記第１の対物レンズへ向けて前記第１のレーザ光を出射するとともに、前記第２の対物レンズへ向けて前記第２のレーザ光を出射するレーザ光源と、
前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、
前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、
前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、
前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズを保持し、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズの位置を調整する対物レンズ位置調整部とを備え、
前記対物レンズ位置調整部は、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記第１の対物レンズのフォーカス方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第１の対物レンズの傾きを調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記第２の対物レンズのフォーカス方向の位置を調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第２の対物レンズの傾きを調整することを特徴とする対物レンズアクチュエータ組立調整装置。
【請求項１４】
前記対物レンズ位置調整部は、
前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記第１の対物レンズのフォーカス方向の位置をさらに調整し、
前記第１の対物レンズの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整した後、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第１の対物レンズの傾きを調整し、
前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記第２の対物レンズのフォーカス方向の位置をさらに調整し、
前記第２の対物レンズの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整した後、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第２の対物レンズの傾きを調整することを特徴とする請求項１２記載の対物レンズアクチュエータ組立調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクに代表される光情報媒体に対して情報の記録又は再生に利用される光ピックアップに関し、特に、光ピックアップの波面収差検査装置、光ピックアップ組立調整装置及び対物レンズアクチュエータ組立調整装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、光ディスク装置は大容量のデータを記録又は再生する手段として盛んに開発が行われ、より高い記録密度を達成するためのアプローチがなされている。
【０００３】
従来のＣＤ（コンパクトディスク）、ＤＶＤ（ディジタル多目的ディスク）に加え、最近ではさらなる光情報媒体の記録容量の大容量化に伴い、光源の短波長化、集光光学系の高ＮＡ（ＮＡ：開口数）化などにより、片面単層で約２５ＧＢ、片面２層で約５０ＧＢものディジタル情報を記録又は再生可能な、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃや、片面単層で約２０ＧＢ、片面２層で約４０ＧＢのディジタル情報を記録又は再生可能なＨＤ  ＤＶＤ（Ｈｉｇｈ  Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ  ＤＶＤ）がすでに実用化されている。
【０００４】
この光ディスク装置の大容量化に伴い、その主要構成要素である光ピックアップには、非常に高い性能が要求されている。その中でも、集光光学系の集光性能を決定づける収差性能については、使用波長の短波長化と、対物レンズの高ＮＡ化に伴い、波動光学上の理論的限界である回折限界に近い、極めて厳しい性能が要求されている。
【０００５】
上記の性能を実現するためには、光ピックアップの構成要素である光学部品の加工精度を高める必要がある。また、光学部品を光ピックアップの光学基台へ組み付ける際の組立調整精度、及び組立が行われた光ピックアップの収差性能を検査する収差測定精度についても、より高い精度が要求されている。
【０００６】
光ピックアップの調整工程において、理想的には光源であるレーザ光の光軸と、対物レンズの光軸とが一致するように配置され、対物レンズから出射されるレーザ光の光軸に対して光情報媒体である光ディスクが垂直となるように調整が行われる。
【０００７】
ところが、光ピックアップの構成要素である光学部品それぞれの組立誤差や、光学部品単体がそれぞれ持つコマ収差により、対物レンズからの出射光には通常コマ収差が発生している。そのため、対物レンズをレーザ光の光軸に対して傾けることにより、コマ収差を打ち消す調整方法が一般的に用いられている。
【０００８】
光ピックアップの対物レンズの傾きの調整、及び収差性能の検査は、光ピックアップの出射光を観測装置によって観測し、観測結果に基づいて行われている。観測結果に基づき、対物レンズの傾きなどを調整する場合は調整装置として使用され、調整を行わない場合は検査装置として使用される。両者は、基本的には同様な構成のため、以下、従来例として検査装置について説明する。
【０００９】
さて、従来の光ピックアップの検査装置としては、例えば特許文献１に示されるようなスポットアナライザを用いた装置がある。
【００１０】
このスポットアナライザを用いた装置は、光ピックアップの対物レンズからの出射光をコリメータレンズにより取り込み、ＣＣＤカメラ上に結像し、このＣＣＤカメラのスポット像に基づいてコマ収差の大きさと方向とを検出する。具体的には、モニタ上に映し出されたスポット像の０次光画像の真円度及び１次回折光によるリング状画像の均一性に基づいて、視覚的又は画像解析によりコマ収差量を得ている。
【００１１】
スポットアナライザを用いた検査装置は、構成が簡単という利点がある。しかしながら、装置自体が持つ収差が測定結果に影響を及ぼす場合があるため、装置の持つ収差を極力排除しなければならない。また、各収差成分同士のクロストークを完全に除去できないため、各収差成分を高精度に独立して測定することが困難である。そのため、最近の高密度記録用光ピックアップの調整装置及び検査装置としては、性能が十分であるとは言えない。そこで、最近では干渉計を用いた調整装置を用い、高精度な収差検出を行う方法も用いられている。
【００１２】
特許文献２には、マッハツェンダ干渉計を用いた収差検査装置が開示されている。特許文献２に開示されている収差検査装置は、光ピックアップの出射光を、マッハツェンダ干渉計に入射させ、マッハツェンダ干渉計から得られた干渉波面に位相変調をかけることにより光ピックアップからの出射光の波面収差を得ている。
【００１３】
マッハツェンダ干渉計を用いた収差検査装置では、高精度な波面収差計測が行えるため、精度良く光ピックアップの検査を行えるという利点がある。しかしながら、参照光を得るために非常に高精度に光ピックアップと干渉系との光軸位置調整（数ミクロン以下）を行わなければならない。また、被測定光の可干渉性が高くなければならず、干渉による影響が非常に強い。さらに、ノイズ光が干渉波面に重畳されると測定精度が低下する。さらにまた、光学系が複雑で装置自体が非常に高価になる。マッハツェンダ干渉計を用いた収差検査装置にはこれらの課題があり、実用的な製造装置として用いることは難しい。
【００１４】
ところが、特許文献３には、シャック−ハルトマン（Ｓｈａｃｋ−Ｈａｒｔｍａｎｎ）法を用いた光ピックアップ波面測定装置が開示されている。シャック−ハルトマン法は、上記の干渉計を用いた収差検査装置の欠点を解消可能な方法として、近年、注目を集めている。
【００１５】
シャック−ハルトマン法を用いた波面測定装置は、被測定光をレンズアレイに入射させ、レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、被測定光が集光するスポット位置との差に基づいて、被測定光の位相波面を検出する。以下、図１０を用いて、シャック−ハルトマン法の原理を簡単に説明する。
【００１６】
図１０は、シャック−ハルトマン法の原理を説明するための図である。図１０において、被測定光の位相波面分布Ｐ１の領域１、領域２、領域３、領域４、・・・における光束は、レンズアレイ２２を構成するマイクロレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、・・・へそれぞれ入射する。各マイクロレンズは焦点距離ｆを持つ。
【００１７】
一般に、レンズに平行光を入射させた場合、入射光の波面にθの傾き（チルト）があると、スポット位置の変位Δｘはｆθに比例する。そこで、各マイクロレンズのスポット位置の焦点位置からのずれ量Δｘ１，Δｘ２，Δｘ３，Δｘ４，・・・に基づいて、各領域の局所的な波面の傾きが得られ、計算処理により被測定光の位相波面Ｐ２が合成される。
【００１８】
このシャック−ハルトマン法は、干渉による波面検出方法ではないため、被測定光の可干渉性や、ノイズ光による干渉の影響を受けにくく、簡単な構造のため安価に装置を構成することができる。また、参照光を生成する光学系が不要であり光学系を簡素化できるといった利点がある。
【００１９】
以下、図１１を用いて、シャック−ハルトマン法を用いた、従来の光ピックアップ波面測定装置の構成について説明する。
【００２０】
図１１は、従来の光ピックアップ波面測定装置を示す構成図である。図１１において、光ピックアップ１６からの出射光は、コリメータレンズ１により平行光に変換された後、第３のビームスプリッタ４１を介し、レンズアレイ７に入射する。レンズアレイ７からの収束光は、ＣＣＤカメラ８上に複数のスポットを形成する。
【００２１】
ＣＣＤカメラ８によって受光された複数のスポットの集光位置情報は、画像処理装置１３に送られ、情報処理装置１５において、シャック−ハルトマン法により、位相波面が算出される。情報処理装置１５は、位相波面に基づいて、各種収差成分の大きさや方向を検出し、画面上に各情報を表示する。
【００２２】
ところで、光ピックアップを配置した初期状態においては、通常、対物レンズ５の位置は大きくずれている。そのため、オートコリメータ６１によって、コリメータレンズ１からの平行光を観測し、光ピックアップ１６の位置を調整することにより対物レンズ５の位置を所定の位置範囲へ移動させる。
【００２３】
具体的には、オートコリメータ６１に表示されるスポット画像の位置に基づいて、対物レンズ５の水平方向の位置が調整され、スポット画像の大きさにより、対物レンズ５のフォーカス方向の位置が調整される。
【００２４】
さらに、第１のビームスプリッタ２により一部取り出されたコリメータレンズ１からの平行光は、シリンドリカルレンズ１１によって第１の受光素子１２に集光される。フォーカス・トラッキングエラー生成装置１４は、第１の受光素子１２によって受光された光に基づいて、一般的に光ピックアップなどによく用いられている非点収差法によりフォーカスエラー信号を生成する。
【００２５】
また、第２のビームスプリッタ３により一部取り出されたコリメータレンズ１からの平行光は、レンズ９によって第２の受光素子１０に集光される。フォーカス・トラッキングエラー生成装置１４は、第２の受光素子１０の受光面上の集光スポットの位置に基づいてトラッキングエラー信号を生成する。そして、フォーカスエラー信号及びトラッキングエラー信号に基づいて、対物レンズアクチュエータ２０がフォーカス方向及びトラッキング方向に駆動し、対物レンズ５の位置を制御する。
【００２６】
さらに、従来の光ピックアップは、種々の光情報媒体に情報を記録又は再生するため、波長が異なる複数のレーザ光を光情報媒体に集光するための複数の対物レンズを備えている。例えば、図１１に示す光ピックアップ波面測定装置では、青色レーザ光を光情報媒体に集光させるための第１の対物レンズ５ａと、赤色レーザ光又は赤外レーザ光を光情報媒体に集光させるための第２の対物レンズ５ｂとを備える。
【特許文献１】特許第３７９２２１８号公報
【特許文献２】特開２００４−２７１３６５号公報
【特許文献３】特開２００５−３５３２６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
従来のシャック−ハルトマン法を用いた光ピックアップ収差検査装置では、従来の干渉計を用いた光ピックアップ収差検査装置と比べて、前述したとおり、参照光を生成する光学系が不要といった利点がある。しかしながら、従来の光ピックアップ収差検査装置では、測定光学系を構成するコリメータレンズの軸外特性に影響されやすいという課題がある。
【００２８】
以下、上記の課題について図１２を用いて説明する。図１２（Ａ）及び（Ｂ）は、コリメータレンズと対物レンズとの位置関係、及びコリメータレンズの光軸と対物レンズの光軸との位置関係を示す図である。図１２（Ａ）及び（Ｂ）において、コリメータレンズ２４は、光ピックアップの対物レンズ２３からの発散光を平行光に変換し、シャック−ハルトマン法により波面収差を検出するための図示しないレンズアレイに導く。なお、それぞれのレンズの中心線は、レンズの光軸を示す。
【００２９】
図１２（Ａ）は、対物レンズ２３の光軸とコリメータレンズ２４の光軸とが一致している状態で、それぞれのレンズが理想的に配置された状態である。図１２（Ｂ）は、対物レンズ２３の光軸とコリメータレンズ２４の光軸とがずれている状態である。図１２（Ｂ）のように、対物レンズ２３の光軸とコリメータレンズ２４の光軸とがずれた場合、コリメータレンズ２４を通過した光は傾いて出射してしまう。
【００３０】
このように光軸から傾いて光が出射する場合、コリメータレンズ２４には一般的に軸外収差と呼ばれる収差が発生し、特に、波長が短く、ＮＡの大きな高密度記録用の光ピックアップを測定する際に顕著に現れる。その結果として、１ミクロン程度の位置ずれに対し、数ｍλの軸外収差が発生し、収差測定結果に誤差を発生させてしまう。
【００３１】
現在の高密度記録用の光ピックアップにおいては、十分な集光スポットを得るために、収差検査仕様は１５ｍλ程度以下である場合もあり、測定誤差の影響は大きく、対物レンズ２３とコリメータレンズ２４との光軸ズレを抑制する必要がある。この光軸ずれを高精度に行うために複雑な専用の位置検出装置を設ける必要があり、例えば、位置検出装置としてはオートコリメータが用いられる。
【００３２】
ところが、位置検出装置は、通常、検出範囲と検出分解能とがそれぞれトレードオフの関係になる。したがって、従来のＤＶＤやＣＤ用光ピックアップの測定や、従来、シャック−ハルトマン法がよく用いられていた望遠鏡などの組立とは異なり、高密度記録用の光ピックアップのように高精度な位置調整が要求される場合においては、２段階のステップにより位置調整を行わなければならない。すなわち、位置検出装置は、検出感度が広く、検出分解能が粗い位置粗調整と、検出範囲が狭く、検出分解能が高い位置微調整との２段階のステップにより位置調整を行わなければならない。そのため、調整タクトが増大するという課題がある。
【００３３】
さらに、図１１に示す光ピックアップ波面測定装置では、コリメータレンズ１は単一の組み合わせレンズで構成されている。そのため、コリメータレンズ１は、波長の異なる複数のレーザ光に対応させるとともに、開口数を大きくする必要がある。この場合、コリメータレンズ１として高ＮＡ色消し組み合わせレンズが用いられる。しかしながら、高ＮＡ色消し組み合わせレンズは高価であり、構成が複雑であるため、装置全体のコストアップに繋がる。
【００３４】
また、図１１に示す光ピックアップ波面測定装置において収差を測定する場合、コリメータレンズ１と対物レンズ５との間に、光情報媒体の保護層に相当するカバーガラス（不図示）を設ける必要がある。例えば、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおける保護層の厚みと、ＤＶＤにおける保護層の厚みとは異なっているため、対物レンズに応じたカバーレンズが取り付けられる。しかしながら、従来の光ピックアップ波面測定装置は、コリメータレンズ１が単一の組み合わせレンズで構成されているので、測定対象である対物レンズを切り換える毎に、カバーガラスも切り換える必要があり、操作が煩雑となり、装置構成も複雑なものとなる。
【００３５】
さらにまた、測定対象である対物レンズを切り換える際に、光ピックアップ１６又はコリメータレンズ１を移動させる必要があり、測定タクトが増大し、装置構成が複雑なものとなる。
【００３６】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、光ピックアップの波面収差を短時間かつ高精度に検査することができる波面収差検査装置、光ピックアップを短時間かつ高精度に組み立てることができる光ピックアップ組立調整装置、及び対物レンズアクチュエータを短時間かつ高精度に組み立てることができる対物レンズアクチュエータ組立調整装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００３７】
本発明に係る波面収差検査装置は、第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを含む光ピックアップから出射される出射光の波面収差を測定する波面収差検査装置であって、前記光ピックアップの前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、前記光ピックアップの前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、前記光ピックアップを保持し、前記光ピックアップの位置を調整する光ピックアップ位置調整部とを備え、前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記光ピックアップの水平方向の位置を調整し、前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によって水平方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第１の出射光の波面収差を測定し、前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記光ピックアップの水平方向の位置を調整し、前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によって水平方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第２の出射光の波面収差を測定する。
【００３８】
この構成によれば、第１のコリメータレンズによって、光ピックアップの第１の対物レンズを出射した第１の出射光が平行光に変換され、第２のコリメータレンズによって、光ピックアップの第２の対物レンズを出射した第２の出射光が平行光に変換される。そして、波面収差検出部によって、第１のコリメータレンズを通過した第１の出射光の波面収差と、第２のコリメータレンズを通過した第２の出射光の波面収差とが検出される。続いて、光ピックアップ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように光ピックアップの水平方向の位置が調整され、波面収差検出部によって、光ピックアップ位置調整部により水平方向の位置が調整された光ピックアップから出射された第１の出射光の波面収差が測定される。その後、光ピックアップ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように光ピックアップの水平方向の位置が調整され、波面収差検出部によって、光ピックアップ位置調整部により水平方向の位置が調整された光ピックアップから出射された第２の出射光の波面収差が測定される。
【００３９】
したがって、第１の対物レンズに対応する第１のコリメータレンズと、第２の対物レンズに対応する第２のコリメータレンズとが予め配置されているので、測定対象となる対物レンズを切り換える際に、コリメータレンズを移動させる必要がなく、光ピックアップの波面収差を短時間かつ高精度に検査することができる。
【００４０】
本発明に係る波面収差検査装置は、第１の波長を有する第１のレーザ光を光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを含む光ピックアップから出射される出射光の波面収差を測定する波面収差検査装置であって、前記光ピックアップの前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、前記光ピックアップの前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、前記光ピックアップを保持し、前記光ピックアップの位置を調整する光ピックアップ位置調整部とを備え、前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記光ピックアップのフォーカス方向の位置を調整し、前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によってフォーカス方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第１の出射光の波面収差を測定し、前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記光ピックアップのフォーカス方向の位置を調整し、前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によってフォーカス方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第２の出射光の波面収差を測定する。
【００４１】
この構成によれば、第１のコリメータレンズによって、光ピックアップの第１の対物レンズを出射した第１の出射光が平行光に変換され、第２のコリメータレンズによって、光ピックアップの第２の対物レンズを出射した第２の出射光が平行光に変換される。そして、波面収差検出部によって、第１のコリメータレンズを通過した第１の出射光の波面収差と、第２のコリメータレンズを通過した第２の出射光の波面収差とが検出される。続いて、光ピックアップ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように光ピックアップのフォーカス方向の位置が調整され、波面収差検出部によって、光ピックアップ位置調整部によりフォーカス方向の位置が調整された光ピックアップから出射された第１の出射光の波面収差が測定される。その後、波面収差検出部によって、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように光ピックアップのフォーカス方向の位置が調整され、波面収差検出部によって、光ピックアップ位置調整部によりフォーカス方向の位置が調整された光ピックアップから出射された第２の出射光の波面収差が測定される。
【００４２】
したがって、第１の対物レンズに対応する第１のコリメータレンズと、第２の対物レンズに対応する第２のコリメータレンズとが予め配置されているので、測定対象となる対物レンズを切り換える際に、コリメータレンズを移動させる必要がなく、光ピックアップの波面収差を短時間かつ高精度に検査することができる。
【００４３】
また、上記の波面収差検査装置において、前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記光ピックアップのフォーカス方向の位置をさらに調整し、前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によって水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第１の出射光の波面収差を測定し、前記光ピックアップ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記光ピックアップのフォーカス方向の位置をさらに調整し、前記波面収差検出部は、前記光ピックアップ位置調整部によって水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された前記光ピックアップから出射された第２の出射光の波面収差を測定することが好ましい。
【００４４】
この構成によれば、光ピックアップ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように光ピックアップの水平方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように光ピックアップのフォーカス方向の位置がさらに調整される。そして、波面収差検出部によって、光ピックアップ位置調整部により水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された光ピックアップから出射された第１の出射光の波面収差が測定される。その後、光ピックアップ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように光ピックアップの水平方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように光ピックアップのフォーカス方向の位置がさらに調整される。そして、波面収差検出部によって、光ピックアップ位置調整部により水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された光ピックアップから出射された第２の出射光の波面収差が測定される。
【００４５】
したがって、第１の出射光及び第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように光ピックアップのフォーカス方向の位置がさらに調整されるので、光ピックアップの波面収差をより高精度に検査することができる。
【００４６】
また、上記の波面収差検査装置において、前記第１の対物レンズと前記第２の対物レンズとの間隔と、前記第１のコリメータレンズと前記第２のコリメータレンズとの間隔とは略等しいことが好ましい。
【００４７】
従来のようにコリメータレンズが１つの場合、測定対象の２つの対物レンズへの光軸の位置合わせが必要となる。しかしながら、この構成によれば、第１のコリメータレンズと第２のコリメータレンズとは、第１の対物レンズと第２の対物レンズとの間隔と、第１のコリメータレンズと第２のコリメータレンズとの間隔とが略等しくなるように配置されるので、第１の対物レンズ及び第２の対物レンズのうちの一方の対物レンズの位置合わせを行えば他方の対物レンズの位置がほぼ一致することとなり、位置合わせの作業を省略することができる。
【００４８】
また、上記の波面収差検査装置において、前記光ピックアップ位置調整部は、前記第１のコリメータレンズ及び前記第２のコリメータレンズを水平方向又はフォーカス方向に移動させることにより、前記光ピックアップとの相対的な水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整することが好ましい。
【００４９】
この構成によれば、第１のコリメータレンズ及び第２のコリメータレンズが水平方向又はフォーカス方向に移動させることにより、容易に光ピックアップとの相対的な水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整することができる。
【００５０】
また、上記の波面収差検査装置において、前記第１のコリメータレンズと前記第２のコリメータレンズとを一体に保持するコリメータレンズホルダをさらに備えることが好ましい。
【００５１】
この構成によれば、予め、第１の対物レンズの光軸と第１のコリメータレンズの光軸とを一致させ、第２の対物レンズの光軸と第２のコリメータレンズの光軸とを一致させることにより、対物レンズに対するコリメータレンズの位置合わせが不要となり、光ピックアップの波面収差をより短時間かつより高精度に検査することができる。
【００５２】
また、上記の波面収差検査装置において、前記コリメータレンズホルダは、前記第１のコリメータレンズの入射面側に、前記第１の光情報媒体の保護層と光学的に等価な厚みを有する第１のカバーガラスと、前記第２のコリメータレンズの入射面側に、前記第２の光情報媒体の保護層と光学的に等価な厚みを有する第２のカバーガラスとを含むことが好ましい。
【００５３】
この構成によれば、コリメータレンズホルダには、第１のコリメータレンズの入射面側に、第１の光情報媒体の保護層と光学的に等価な厚みを有する第１のカバーガラスと、第２のコリメータレンズの入射面側に、第２の光情報媒体の保護層と光学的に等価な厚みを有する第２のカバーガラスとが含まれる。したがって、測定対象である対物レンズを切り換える際に、従来のように対物レンズに応じてカバーガラスを切り換える機構が不要となり、装置構成を簡略化することができる。
【００５４】
また、上記の波面収差検査装置において、前記波面収差検出部は、前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光及び前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光を受光する受光部と、前記受光部に前記第１の出射光及び前記第２の出射光を集光させるレンズアレイとを含み、前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光を前記レンズアレイへ伝達する第１のリレーレンズと、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光を前記レンズアレイへ伝達する第２のリレーレンズとをさらに備え、前記第１のコリメータレンズの出射側の焦点位置と前記第１のリレーレンズの入射側の焦点位置とを一致させ、前記第１のリレーレンズの出射側の焦点位置と前記レンズアレイの入射側の焦点位置とを一致させ、前記第２のコリメータレンズの出射側の焦点位置と前記第２のリレーレンズの入射側の焦点位置とを一致させ、前記第２のリレーレンズの出射側の焦点位置と前記レンズアレイの入射側の焦点位置とを一致させることが好ましい。
【００５５】
この構成によれば、第１のコリメータレンズの出射側の焦点位置と第１のリレーレンズの入射側の焦点位置とが一致し、第１のリレーレンズの出射側の焦点位置とレンズアレイの入射側の焦点位置とが一致し、第２のコリメータレンズの出射側の焦点位置と第２のリレーレンズの入射側の焦点位置とが一致し、第２のリレーレンズの出射側の焦点位置とレンズアレイの入射側の焦点位置とが一致するので、第１のレーザ光及び第２のレーザ光を確実に受光部に導くことができる。
【００５６】
本発明に係る光ピックアップ組立調整装置は、第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを含み、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズをフォーカス方向及びトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータを光ピックアップに取り付ける光ピックアップ組立調整装置であって、前記光ピックアップの前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、前記光ピックアップの前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、前記対物レンズアクチュエータを保持し、前記対物レンズアクチュエータの位置を調整する対物レンズアクチュエータ位置調整部とを備え、前記対物レンズアクチュエータ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータの水平方向の位置を調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第１の対物レンズの傾きを調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータの水平方向の位置を調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第２の対物レンズの傾きを調整する。
【００５７】
この構成によれば、第１のコリメータレンズによって、光ピックアップの第１の対物レンズを出射した第１の出射光が平行光に変換され、第２のコリメータレンズによって、光ピックアップの第２の対物レンズを出射した第２の出射光が平行光に変換される。そして、波面収差検出部によって、第１のコリメータレンズを通過した第１の出射光の波面収差と、第２のコリメータレンズを通過した第２の出射光の波面収差とが検出される。続いて、対物レンズアクチュエータ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータの水平方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に、対物レンズアクチュエータ又は第１の対物レンズの傾きが調整される。その後、対物レンズアクチュエータ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータの水平方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、対物レンズアクチュエータ又は第２の対物レンズの傾きが調整される。
【００５８】
したがって、第１の対物レンズに対応する第１のコリメータレンズと、第２の対物レンズに対応する第２のコリメータレンズとが予め配置されているので、測定対象となる対物レンズを切り換える際に、コリメータレンズを移動させる必要がなく、光ピックアップを短時間かつ高精度に組み立てることができる。
【００５９】
本発明に係る光ピックアップ組立調整装置は、第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを含み、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズをフォーカス方向及びトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータを光ピックアップに取り付ける光ピックアップ組立調整装置であって、前記光ピックアップの前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、前記光ピックアップの前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、前記対物レンズアクチュエータを保持し、前記対物レンズアクチュエータの位置を調整する対物レンズアクチュエータ位置調整部とを備え、前記対物レンズアクチュエータ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置を調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第１の対物レンズの傾きを調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置を調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第２の対物レンズの傾きを調整する。
【００６０】
この構成によれば、第１のコリメータレンズによって、光ピックアップの第１の対物レンズを出射した第１の出射光が平行光に変換され、第２のコリメータレンズによって、光ピックアップの第２の対物レンズを出射した第２の出射光が平行光に変換される。そして、波面収差検出部によって、第１のコリメータレンズを通過した第１の出射光の波面収差と、第２のコリメータレンズを通過した第２の出射光の波面収差とが検出される。続いて、対物レンズアクチュエータ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に、対物レンズアクチュエータ又は第１の対物レンズの傾きが調整される。その後、対物レンズアクチュエータ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、対物レンズアクチュエータ又は第２の対物レンズの傾きが調整される。
【００６１】
したがって、第１の対物レンズに対応する第１のコリメータレンズと、第２の対物レンズに対応する第２のコリメータレンズとが予め配置されているので、測定対象となる対物レンズを切り換える際に、コリメータレンズを移動させる必要がなく、光ピックアップを短時間かつ高精度に組み立てることができる。
【００６２】
また、上記の光ピックアップ組立調整装置において、前記対物レンズアクチュエータ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置をさらに調整し、前記対物レンズアクチュエータの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整した後、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第１の対物レンズの傾きを調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置をさらに調整し、前記対物レンズアクチュエータの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整した後、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、前記対物レンズアクチュエータ又は前記第２の対物レンズの傾きを調整することが好ましい。
【００６３】
この構成によれば、対物レンズアクチュエータ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置がさらに調整され、対物レンズアクチュエータの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された後、波面収差検出部により検出された第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に、対物レンズアクチュエータ又は第１の対物レンズの傾きが調整される。そして、対物レンズアクチュエータ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置がさらに調整され、対物レンズアクチュエータの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された後、波面収差検出部により検出された第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、対物レンズアクチュエータ又は第２の対物レンズの傾きが調整される。
【００６４】
したがって、第１の出射光及び第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータのフォーカス方向の位置がさらに調整されるので、光ピックアップをより高精度に組み立てることができる。
【００６５】
本発明に係る対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズを駆動する対物レンズアクチュエータへ取り付ける対物レンズアクチュエータ組立調整装置であって、前記第１の対物レンズへ向けて前記第１のレーザ光を出射するとともに、前記第２の対物レンズへ向けて前記第２のレーザ光を出射するレーザ光源と、前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズを保持し、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズの位置を調整する対物レンズ位置調整部とを備え、前記対物レンズ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記第１の対物レンズの水平方向の位置を調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第１の対物レンズの傾きを調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように前記第２の対物レンズの水平方向の位置を調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第２の対物レンズの傾きを調整する。
【００６６】
この構成によれば、レーザ光源によって、第１の対物レンズへ向けて第１のレーザ光が出射されるとともに、第２の対物レンズへ向けて第２のレーザ光が出射される。第１のコリメータレンズによって、第１の対物レンズを出射した第１の出射光が平行光に変換され、第２のコリメータレンズによって、第２の対物レンズを出射した第２の出射光が平行光に変換される。そして、波面収差検出部によって、第１のコリメータレンズを通過した第１の出射光の波面収差と、第２のコリメータレンズを通過した第２の出射光の波面収差とが検出される。続いて、対物レンズ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように第１の対物レンズの水平方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に第１の対物レンズの傾きが調整される。その後、対物レンズ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように第２の対物レンズの水平方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に第２の対物レンズの傾きが調整される。
【００６７】
したがって、第１の対物レンズに対応する第１のコリメータレンズと、第２の対物レンズに対応する第２のコリメータレンズとが予め配置されているので、測定対象となる対物レンズを切り換える際に、コリメータレンズを移動させる必要がなく、対物レンズアクチュエータを短時間かつ高精度に組み立てることができる。
【００６８】
本発明に係る対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、第１の波長を有する第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する第１の対物レンズと、前記第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を前記第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する第２の対物レンズとを、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズを駆動する対物レンズアクチュエータへ取り付ける対物レンズアクチュエータ組立調整装置であって、前記第１の対物レンズへ向けて前記第１のレーザ光を出射するとともに、前記第２の対物レンズへ向けて前記第２のレーザ光を出射するレーザ光源と、前記第１の対物レンズを出射した第１の出射光を平行光に変換する第１のコリメータレンズと、前記第２の対物レンズを出射した第２の出射光を平行光に変換する第２のコリメータレンズと、前記第１のコリメータレンズを通過した前記第１の出射光の波面収差と、前記第２のコリメータレンズを通過した前記第２の出射光の波面収差とを検出する波面収差検出部と、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズを保持し、前記第１の対物レンズ及び前記第２の対物レンズの位置を調整する対物レンズ位置調整部とを備え、前記対物レンズ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記第１の対物レンズのフォーカス方向の位置を調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第１の対物レンズの傾きを調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記第２の対物レンズのフォーカス方向の位置を調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第２の対物レンズの傾きを調整する。
【００６９】
この構成によれば、レーザ光源によって、第１の対物レンズへ向けて第１のレーザ光が出射されるとともに、第２の対物レンズへ向けて第２のレーザ光が出射される。第１のコリメータレンズによって、第１の対物レンズを出射した第１の出射光が平行光に変換され、第２のコリメータレンズによって、第２の対物レンズを出射した第２の出射光が平行光に変換される。そして、波面収差検出部によって、第１のコリメータレンズを通過した第１の出射光の波面収差と、第２のコリメータレンズを通過した第２の出射光の波面収差とが検出される。続いて、対物レンズ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように第１の対物レンズのフォーカス方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に第１の対物レンズの傾きが調整される。その後、対物レンズ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように第２の対物レンズのフォーカス方向の位置が調整され、波面収差検出部により検出された第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に第２の対物レンズの傾きが調整される。
【００７０】
したがって、第１の対物レンズに対応する第１のコリメータレンズと、第２の対物レンズに対応する第２のコリメータレンズとが予め配置されているので、測定対象となる対物レンズを切り換える際に、コリメータレンズを移動させる必要がなく、対物レンズアクチュエータを短時間かつ高精度に組み立てることができる。
【００７１】
また、上記の対物レンズアクチュエータ組立調整装置において、前記対物レンズ位置調整部は、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記第１の対物レンズのフォーカス方向の位置をさらに調整し、前記第１の対物レンズの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整した後、前記波面収差検出部によって検出された前記第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第１の対物レンズの傾きを調整し、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように前記第２の対物レンズのフォーカス方向の位置をさらに調整し、前記第２の対物レンズの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置を調整した後、前記波面収差検出部によって検出された前記第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に前記第２の対物レンズの傾きを調整することが好ましい。
【００７２】
この構成によれば、対物レンズ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように第１の対物レンズのフォーカス方向の位置がさらに調整され、第１の対物レンズの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された後、波面収差検出部により検出された第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に第１の対物レンズの傾きが調整される。そして、対物レンズ位置調整部によって、波面収差検出部により検出された第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように第２の対物レンズのフォーカス方向の位置がさらに調整され、第２の対物レンズの水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された後、波面収差検出部により検出された第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に第２の対物レンズの傾きが調整される。
【００７３】
したがって、第１の出射光及び第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように第１の対物レンズ及び第２の対物レンズのフォーカス方向の位置がさらに調整されるので、対物レンズアクチュエータをより高精度に組み立てることができる。
【発明の効果】
【００７４】
本発明によれば、第１の対物レンズに対応する第１のコリメータレンズと、第２の対物レンズに対応する第２のコリメータレンズとが予め配置されているので、測定対象となる対物レンズを切り換える際に、コリメータレンズを移動させる必要がなく、光ピックアップの波面収差を短時間かつ高精度に検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７５】
以下添付図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。尚、以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
【００７６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における波面収差検査装置の一例を示す構成図である。
【００７７】
図１に示す波面収差検査装置は、第１のコリメータレンズ１０１、第２のコリメータレンズ１０２、コリメータレンズホルダ１０３、波面収差検出部６、光ピックアップ位置調整部１８、コリメータレンズ位置調整部２１、反射ミラー４、ビームスプリッタ４２，４３，４６，４９、リレーレンズ４４，４５，４７，４８、画像処理装置１３、情報処理装置１５及び位置制御インタフェース１７を備える。
【００７８】
光ピックアップ１６は、第１のレーザ光源（不図示）、第２のレーザ光源（不図示）、第１の対物レンズ２０１、第２の対物レンズ２０２及び対物レンズアクチュエータ２０を備える。第１のレーザ光源は、第１の波長を有する第１のレーザ光を出射する。第２のレーザ光源は、第１の波長とは異なる第２の波長を有する第２のレーザ光を出射する。
【００７９】
第１の対物レンズ２０１は、第１のレーザ光源から出射される第１のレーザ光を第１の光情報媒体へ集光する。第２の対物レンズ２０２は、第２のレーザ光源から出射される第２のレーザ光を第１の光情報媒体とは異なる第２の光情報媒体へ集光する。対物レンズアクチュエータ２０は、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２をフォーカス方向及びトラッキング方向に駆動する。
【００８０】
なお、第１のレーザ光は、第１の光情報媒体に情報を記録する又は第１の光情報媒体から情報を再生するための青色レーザ光である。第２のレーザ光は、第２の光情報媒体に情報を記録する又は第２の光情報媒体から情報を再生するための赤色レーザ光である。青色レーザ光である第１の波長は、例えば４０５ｎｍであり、赤色レーザ光である第２の波長は、例えば６６０ｎｍである。第１の光情報媒体がＢｌｕ−ｒａｙディスクである場合、青色レーザ光である第１のレーザ光が用いられ、第２の光情報媒体がＤＶＤである場合、赤色レーザ光である第２のレーザ光が用いられる。なお、第１の波長は、４０５ｎｍに限定されず、３９０ｎｍ〜４１５ｎｍの波長帯域を有する青色レーザ光を用いてもよい。また、第２の波長は、６６０ｎｍに限定されず、６３０ｎｍ〜６８０ｎｍの波長帯域を有する赤色レーザ光を用いてもよい。
【００８１】
第１のコリメータレンズ１０１は、光ピックアップ１６の第１の対物レンズ２０１を出射した第１の出射光を平行光に変換する。第２のコリメータレンズ１０２は、光ピックアップ１６の第２の対物レンズ２０２を出射した第２の出射光を平行光に変換する。コリメータレンズホルダ１０３は、第１のコリメータレンズ１０１及び第２のコリメータレンズ１０２を一体に保持する。
【００８２】
図２は、コリメータレンズホルダ及び対物レンズアクチュエータを示す断面図である。図２に示すように、第１の対物レンズ２０１に対向する位置に第１のコリメータレンズ１０１が配置され、第２の対物レンズ２０２に対向する位置に第２のコリメータレンズ１０２が配置されている。そして、第１のコリメータレンズ１０１及び第２のコリメータレンズ１０２は、第１の対物レンズ２０１の光軸と第１のコリメータレンズ１０１の光軸とが一致し、第２の対物レンズ２０２の光軸と第２のコリメータレンズ１０２の光軸とが一致するようにコリメータレンズホルダ１０３に固定されている。
【００８３】
従来のようにコリメータレンズが１つの場合、測定対象の２つの対物レンズへの光軸の位置合わせが必要となる。しかしながら、本実施の形態では、第１のコリメータレンズ１０１と第２のコリメータレンズ１０２とは、第１の対物レンズ２０１と第２の対物レンズ２０２との間隔と、第１のコリメータレンズ１０１と第２のコリメータレンズ１０２との間隔とが略等しくなるように配置されるので、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２のうちの一方の対物レンズの位置合わせを行えば他方の対物レンズの位置がほぼ一致することとなり、位置合わせの作業を省略することができる。
【００８４】
また、第１のコリメータレンズ１０１の入射面側には、光ピックアップ１６が記録又は再生を行う第１の光情報媒体の保護層と光学的に等価な厚みを有する第１のカバーガラス１０４が配置されている。また、第２のコリメータレンズ１０２の入射面側には、光ピックアップ１６が記録又は再生を行う第２の光情報媒体の保護層と光学的に等価な厚みを有する第２のカバーガラス１０５が配置されている。第１のカバーガラス１０４及び第２のカバーガラス１０５は、コリメータレンズホルダ１０３に一体に保持されている。
【００８５】
波面収差検出部６は、第１のコリメータレンズ１０１を通過した第１の出射光の波面収差と、第２のコリメータレンズ１０２を通過した第２の出射光の波面収差とを検出する。波面収差検出部６は、レンズアレイ７及びＣＣＤカメラ８を含む。ＣＣＤカメラ８は、第１のコリメータレンズ１０１を通過した第１の出射光及び第２のコリメータレンズ１０２を通過した第２の出射光を受光する。レンズアレイ７は、入射するレーザ光のビーム径よりも小さい径を有する複数のレンズが格子状に配列されており、ＣＣＤカメラ８に第１の出射光及び第２の出射光を集光させる。
【００８６】
反射ミラー４は、第１のコリメータレンズ１０１を通過した第１の出射光及び第２のコリメータレンズ１０２を通過した第２の出射光を波面収差検出部６に向けて反射させる。
【００８７】
ビームスプリッタ４２は、第１のコリメータレンズ１０１を通過した第１の出射光を透過させるとともに、第２のコリメータレンズ１０２を通過した第２の出射光を反射させる。リレーレンズ４４，４５は、ビームスプリッタ４２を透過した第１の出射光をレンズアレイ７へ伝達する。
【００８８】
ビームスプリッタ４３は、ビームスプリッタ４２で反射した第２の出射光をリレーレンズ４７に向けて反射させる。リレーレンズ４７，４８は、ビームスプリッタ４３で反射した第２の出射光をレンズアレイ７へ伝達する。ビームスプリッタ４９は、リレーレンズ４７，４８を通過した第２の出射光をビームスプリッタ４６に向けて反射させる。
【００８９】
ビームスプリッタ４６は、リレーレンズ４４，４５を透過した第１の出射光をレンズアレイ７へ向けて透過させるとともに、ビームスプリッタ４９で反射した第２の出射光をレンズアレイ７へ向けて反射させる。
【００９０】
図３は、第１のコリメータレンズ及び第２のコリメータレンズからＣＣＤカメラまでの光学構成の一例を示す図である。なお、図３では、第１のコリメータレンズ１０１とリレーレンズ４４との間に存在する反射ミラー４及びビームスプリッタ４２を省略し、第２のコリメータレンズ１０２とリレーレンズ４７との間に存在する反射ミラー４及びビームスプリッタ４２，４３を省略している。
【００９１】
第１のビーム拡大系７１は、凸型のリレーレンズ４４と凸型のリレーレンズ４５とで構成される。第１のビーム拡大系７１は、ケプラー型のビーム拡大系であり、第１の出射光を拡大する。第２のビーム拡大系７２は、凸型のリレーレンズ４７と凸型のリレーレンズ４８とで構成される。第２のビーム拡大系７２は、ケプラー型のビーム拡大系であり、第２の出射光を拡大する。
【００９２】
図３に示すように、第１のコリメータレンズ１０１の出射側の焦点位置とリレーレンズ４４の入射側の焦点位置とを一致させる。さらに、リレーレンズ４４の出射側の焦点位置とリレーレンズ４５の入射側の焦点位置とを一致させ、リレーレンズ４５の出射側の焦点位置とレンズアレイ７の入射側の焦点位置とを一致させる。また、第２のコリメータレンズ１０２の出射側の焦点位置とリレーレンズ４７の入射側の焦点位置とを一致させる。さらに、リレーレンズ４７の出射側の焦点位置とリレーレンズ４８の入射側の焦点位置とを一致させ、リレーレンズ４８の出射側の焦点位置とレンズアレイ７の入射側の焦点位置とを一致させる。
【００９３】
これにより、第１のコリメータレンズ１０１の後方焦点距離ｆ１と前方焦点距離ｆ２とが等しくなり、リレーレンズ４４の後方焦点距離ｆ３と前方焦点距離ｆ４とが等しくなり、リレーレンズ４５の後方焦点距離ｆ５と前方焦点距離ｆ６とが等しくなる。また、第２のコリメータレンズ１０２の後方焦点距離ｆ７と前方焦点距離ｆ８とが等しくなり、リレーレンズ４７の後方焦点距離ｆ９と前方焦点距離ｆ１０とが等しくなり、リレーレンズ４８の後方焦点距離ｆ１１と前方焦点距離ｆ１２とが等しくなる。なお、リレーレンズ４８の前方焦点距離ｆ１２は、リレーレンズ４８を出射してから、ビームスプリッタ４９によって折り曲げられた後、ビームスプリッタ４６に到達するまでの距離である。さらに、レンズアレイ７の後方焦点距離ｆ１３と前方焦点距離ｆ１４とが等しくなる。
【００９４】
このように、各光学部品の入射側の焦点距離と出射側の焦点距離とが一致するように各光学部品を配置することにより、第１のレーザ光及び第２のレーザ光を確実にＣＣＤカメラ８に導くことができ、光の回折による位相の変化を防ぐことができる。
【００９５】
画像処理装置１３は、ＣＣＤカメラ８によって撮像された画像に対して所定の画像処理を施す。
【００９６】
情報処理装置１５は、例えばパーソナルコンピュータで構成され、シャック−ハルトマン法を用いて、ＣＣＤカメラ８によって撮像された画像に基づいて第１の出射光及び第２の出射光の位相波面を算出する。また、情報処理装置１５は、算出した位相波面に基づいて、３次コマ収差成分、３次非点収差成分、チルト成分、パワー成分、３次球面収差成分、５次コマ収差成分、５次非点収差成分及び５次球面収差成分などの各種収差成分を算出する。
【００９７】
さらに、情報処理装置１５は、算出した第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるような光ピックアップ１６の水平方向の移動量を算出する。情報処理装置１５は、算出した第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるような光ピックアップ１６の水平方向の移動量を算出する。
【００９８】
さらにまた、情報処理装置１５は、算出した第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるような光ピックアップ１６のフォーカス方向の移動量を算出する。さらに、情報処理装置１５は、算出した第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるような光ピックアップ１６のフォーカス方向の移動量を算出する。
【００９９】
位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出された光ピックアップ１６の水平方向の移動量を光ピックアップ位置調整部１８へ出力する。また、位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出された光ピックアップ１６のフォーカス方向の移動量をコリメータレンズ位置調整部２１へ出力する。さらに、位置制御インタフェース１７は、光ピックアップ１６が備える第１のレーザ光源及び第２のレーザ光源を駆動するための指示を制御部１６１へ出力する。
【０１００】
光ピックアップ位置調整部１８は、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように光ピックアップ１６の水平方向の位置を調整する。また、光ピックアップ位置調整部１８は、情報処理装置１５によって検出された第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように光ピックアップ１６の水平方向の位置を調整する。
【０１０１】
光ピックアップ位置調整部１８は、第１のモータ１８１、第２のモータ１８２、ステージ１８３、第１の操作子１８４及び第２の操作子１８５を備える。ステージ１８３は、光ピックアップ１６を載置するための台である。なお、光ピックアップ１６を載置する位置は予め決められており、ユーザは、ステージ１８３上の所定の位置に光ピックアップ１６を載置する。
【０１０２】
第１の操作子１８４は、回転駆動することによって、ステージ１８３をＸ軸方向へ移動させる。第２の操作子１８５は、回転駆動することによって、ステージ１８３をＹ軸方向へ移動させる。なお、本実施の形態では、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２が配置される方向をＸ軸方向とし、水平面においてＸ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としている。
【０１０３】
第１のモータ１８１は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸方向の移動量に応じて第１の操作子１８４を回転駆動させる。第２のモータ１８２は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸方向の移動量に応じて第２の操作子１８５を回転駆動させる。
【０１０４】
コリメータレンズ位置調整部２１は、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように光ピックアップ１６のフォーカス方向の位置を調整するとともに、情報処理装置１５によって検出された第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように光ピックアップ１６のフォーカス方向の位置を調整する。すなわち、コリメータレンズ位置調整部２１は、位置制御インタフェース１７から入力された光ピックアップ１６のフォーカス方向の移動量に応じてコリメータレンズホルダ１０３をフォーカス方向に移動させる。
【０１０５】
次に、図１に示す波面収差検査装置の動作について説明する。
【０１０６】
まず、検査対象である光ピックアップ１６がステージ１８３上の予め決められた位置に載置される。なお、光ピックアップ１６がステージ１８３上の予め決められた位置に載置されることにより、第１の対物レンズ２０１と第１のコリメータレンズ１０１との光軸が略一致し、第２の対物レンズ２０２と第２のコリメータレンズ１０２との光軸が略一致することとなる。
【０１０７】
次に、情報処理装置１５は、位置制御インタフェース１７を介し、光ピックアップ１６の制御部１６１に対して第１のレーザ光源を駆動する指示を出力する。次に、制御部１６１は、第１のレーザ光源を駆動し、第１のレーザ光を出射させる。第１のレーザ光源から出射した第１のレーザ光は、第１の対物レンズ２０１に入射する。
【０１０８】
光ピックアップ１６の第１の対物レンズ２０１から出射した第１の出射光は、第１のコリメータレンズ１０１によって平行光に変換された後、反射ミラー４を反射し、ビームスプリッタ４２に入射する。ビームスプリッタ４２は、第１の出射光を透過させる。ビームスプリッタ４２を透過した第１の出射光は、リレーレンズ４４，４５により中継され、ビームスプリッタ４６に入射する。ビームスプリッタ４６は、第１の出射光を透過させる。ビームスプリッタ４６を透過した第１の出射光は、レンズアレイ７に入射する。レンズアレイ７は、第１の出射光を収束させ、ＣＣＤカメラ８上に複数のスポットを形成する。
【０１０９】
次に、ＣＣＤカメラ８は、受光した複数のスポットに関する集光位置情報を画像処理装置１３に送り、画像処理装置１３は、集光位置情報に所定の画像処理を施す。次に、情報処理装置１５は、シャック−ハルトマン法に基づいて位相波面を算出する。なお、シャック−ハルトマン法に基づく位相波面の算出方法は、図１０を用いて既に説明した通りである。次に、情報処理装置１５は、算出した位相波面に基づいて、各種収差成分の大きさ及び方向を算出する。なお、情報処理装置１５に表示装置が接続されている場合、各種収差成分の大きさ及び方向に関する情報を画面上に表示してもよい。
【０１１０】
各収差成分の大きさ及び方向の導出手順は、位相波面を極座標にてツェルニケ多項式展開し、各ツェルニケ展開係数の値より求める手法が通常用いられる。コンピュータによる数値解析手法としては、それぞれのツェルニケ項が極座標系において直交関数系をなすことを利用して、数値積分を用いて計算処理を行うアルゴリズムがすでに確立しており、ここではその詳細については省略する。
【０１１１】
各収差成分の中で、光ピックアップの解析対象としてよく用いられる収差成分は、３次コマ収差成分、３次非点収差成分、チルト成分、パワー成分、３次球面収差成分、５次コマ収差成分、５次非点収差成分及び５次球面収差成分などである。コマ収差成分、非点収差成分及びチルト成分には方向性があり、ベクトル値として取り扱われる。
【０１１２】
光ピックアップ１６を配置した初期状態においては、通常、第１の対物レンズ２０１の位置は測定に最適な位置からずれている。しかしながら、位相波面の解析結果より得られたチルト成分を零とするように光ピックアップ１６の水平方向の位置あわせを行うことにより、第１のコリメータレンズ１０１からの第１の出射光の光軸方向を、第１のコリメータレンズ１０１の光軸方向に一致させることができる。
【０１１３】
すなわち、情報処理装置１５は、第１の出射光の位相波面のチルト成分が零となるように光ピックアップ１６の水平方向の位置を調整する。具体的には、情報処理装置１５は、第１の出射光の位相波面のチルト成分が零となる、光ピックアップ１６のＸ軸方向の移動量と、光ピックアップ１６のＹ軸方向の移動量とを算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたＸ軸方向の移動量を第１のモータ１８１へ出力し、情報処理装置１５によって算出されたＹ軸方向の移動量を第２のモータ１８２へ出力する。
【０１１４】
次に、第１のモータ１８１は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸方向の移動量に応じて第１の操作子１８４を回転駆動させ、光ピックアップ１６を載置したステージ１８３をＸ軸方向へ移動させる。次に、第２のモータ１８２は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸方向の移動量に応じて第２の操作子１８５を回転駆動させ、光ピックアップ１６を載置したステージ１８３をＹ軸方向へ移動させる。
【０１１５】
次に、情報処理装置１５は、第１の出射光の位相波面のパワー成分が零となる、光ピックアップ１６のフォーカス方向の移動量を算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたフォーカス方向の移動量をコリメータレンズ位置調整部２１へ出力する。
【０１１６】
次に、コリメータレンズ位置調整部２１は、位置制御インタフェース１７から入力された光ピックアップ１６のフォーカス方向の移動量に応じてコリメータレンズホルダ１０３をフォーカス方向に移動させる。
【０１１７】
そして、情報処理装置１５は、位置制御インタフェース１７を介し、光ピックアップ１６の制御部１６１に対して第１のレーザ光源を駆動する指示を出力する。波面収差検出部６は、光ピックアップ位置調整部１８によって水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された光ピックアップ１６から出射された第１の出射光の波面収差を測定する。
【０１１８】
従って、第１のコリメータレンズ１０１より発生する軸外収差を無くすことができ、光ピックアップ１６の位置ずれによる測定誤差を低減できる。
【０１１９】
チルト成分は非常に感度が高く、たとえば０．１λｒｍｓという十分測定可能な値に対し、０．１ミクロン以下の検出感度がある。
【０１２０】
ところで、光ピックアップ１６が最適な位置からずれていた場合、測定結果に誤差は生じるものの、測定は可能であり、光ピックアップ１６が最適な位置へ近づくにつれて誤差は零に近づく。従って、光ピックアップ１６が最適な位置から数百ミクロン程度ずれていても、チルト成分を目安に位置調整を行えば、光ピックアップ１６を最適な位置へ収束させることができる。
【０１２１】
すなわち、チルト成分を水平方向の位置ずれ検出に用いることにより、数百ミクロンからサブミクロンの広範囲にわたる位置ずれ検出を行うことができるため、専用の位置ずれ検出手段を別途設ける必要がなく光学系の簡素化が行え、また、専用の位置ずれ検出手段を操作する必要もないため、測定タクトを短縮することが可能となる。
【０１２２】
位置ずれ調整は手動で行ってもよいが、精密な位置制御が必要なため、チルト情報（Ｘ軸方向の移動量及びＹ軸方向の移動量）を位置制御インタフェース１７に送り、光ピックアップ位置調整部１８により電動にて光ピックアップ１６の位置を調整するのが実用的な方法である。光ピックアップ位置調整部１８は、動力として、ステッピングモータや、圧電素子などが用いられる。
【０１２３】
また、各収差成分におけるパワー成分は、第１のコリメータレンズ１０１から出射される平行光の平行度を定量的に示す指標となり、第１のコリメータレンズ１０１と、光ピックアップ１６の第１の対物レンズ２０１とのフォーカス位置の不一致を示すことになる。このフォーカス位置の不一致は球面収差の測定値に誤差を与えるため、パワー成分が零となるように光ピックアップ１６のフォーカス方向の位置を調整することにより、球面収差の測定精度を向上させることが可能になる。
【０１２４】
従って、パワー成分をフォーカス方向の位置ずれ検出に用いることにより、専用の位置ずれ検出手段を別途設ける必要がなく光学系の簡素化を行うことが可能となる。
【０１２５】
このようにして、第１の対物レンズ２０１の波面収差が検査された後、第２の対物レンズ２０２の波面収差が検査される。すなわち、情報処理装置１５は、位置制御インタフェース１７を介し、光ピックアップ１６の制御部１６１に対して第２のレーザ光源を駆動する指示を出力する。次に、制御部１６１は、第２のレーザ光源を駆動し、第２のレーザ光を出射させる。第２のレーザ光源から出射した第２のレーザ光は、第２の対物レンズ２０２に入射する。
【０１２６】
光ピックアップ１６の第２の対物レンズ２０２から出射した第２の出射光は、第２のコリメータレンズ１０２によって平行光に変換された後、反射ミラー４を反射し、ビームスプリッタ４２に入射する。ビームスプリッタ４２は、第２の出射光を反射させる。ビームスプリッタ４２を反射した第２の出射光は、ビームスプリッタ４３に入射する。ビームスプリッタ４３は、第２の出射光を反射させる。ビームスプリッタ４３を反射した第２の出射光は、リレーレンズ４７，４８により中継され、ビームスプリッタ４９に入射する。ビームスプリッタ４９は、第２の出射光を反射させる。ビームスプリッタ４９を透過した第２の出射光は、ビームスプリッタ４６に入射する。ビームスプリッタ４６は、第２の出射光を反射させる。ビームスプリッタ４６を反射した第２の出射光は、レンズアレイ７に入射する。レンズアレイ７は、第２の出射光を収束させ、ＣＣＤカメラ８上に複数のスポットを形成する。
【０１２７】
次に、ＣＣＤカメラ８は、受光した複数のスポットの集光位置情報を画像処理装置１３に送り、画像処理装置１３は、集光位置情報に所定の画像処理を施す。次に、情報処理装置１５は、シャック−ハルトマン法に基づいて位相波面を算出する。次に、情報処理装置１５は、算出した位相波面に基づいて、各種収差成分の大きさ及び方向を算出する。なお、情報処理装置１５に表示装置が接続されている場合、各種収差成分の大きさ及び方向に関する情報を画面上に表示してもよい。また、各種収差成分の算出方法については既に説明したとおりである。
【０１２８】
次に、情報処理装置１５は、第２の出射光の位相波面のチルト成分が零となるように光ピックアップ１６の水平方向の位置を調整する。具体的には、情報処理装置１５は、第２の出射光の位相波面のチルト成分が零となる、光ピックアップ１６のＸ軸方向の移動量と、光ピックアップ１６のＹ軸方向の移動量とを算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたＸ軸方向の移動量を第１のモータ１８１へ出力し、情報処理装置１５によって算出されたＹ軸方向の移動量を第２のモータ１８２へ出力する。
【０１２９】
第１のモータ１８１は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸方向の移動量に応じて第１の操作子１８４を回転駆動させ、光ピックアップ１６を載置したステージ１８３をＸ軸方向へ移動させる。第２のモータ１８２は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸方向の移動量に応じて第２の操作子１８５を回転駆動させ、光ピックアップ１６を載置したステージ１８３をＹ軸方向へ移動させる。
【０１３０】
次に、情報処理装置１５は、第２の出射光の位相波面のパワー成分が零となる、光ピックアップ１６のフォーカス方向の移動量を算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたフォーカス方向の移動量をコリメータレンズ位置調整部２１へ出力する。
【０１３１】
次に、コリメータレンズ位置調整部２１は、位置制御インタフェース１７から入力された光ピックアップ１６のフォーカス方向の移動量に応じてコリメータレンズホルダ１０３をフォーカス方向に移動させる。
【０１３２】
次に、情報処理装置１５は、位置制御インタフェース１７を介し、光ピックアップ１６の制御部１６１に対して第２のレーザ光源を駆動する指示を出力する。波面収差検出部６は、光ピックアップ位置調整部１８によって水平方向の位置及びフォーカス方向の位置が調整された光ピックアップ１６から出射された第２の出射光の波面収差を測定する。
【０１３３】
なお、従来の波面収差検査装置はコリメータレンズを１つだけ備えている。そのため、光ピックアップが複数の対物レンズを備える場合、コリメータレンズを移動させることにより、複数の対物レンズそれぞれの波面収差を測定することができる。しかしながら、複数の対物レンズは、それぞれ異なる波長のレーザ光、ＮＡ及び保護層厚の光情報媒体に対応しているため、コリメータレンズも、使用する全ての波長のレーザ光、ＮＡ及び保護層厚に対応させる必要がある。そのため、コリメータレンズは複雑な組レンズの構成となり、高価になる。
【０１３４】
さらに、従来の波面収差検査装置では、波面収差を測定する際に、各対物レンズに対向する位置にコリメータレンズを移動させ、コリメータレンズの入射面側に配置している、保護層厚と光学的に等価な厚みのカバーガラスも切換えなければならず、装置の動作が煩雑になる。
【０１３５】
しかしながら、本実施の形態に係る波面収差検査装置では、単一のコリメータレンズを使用するのではなく、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２のそれぞれに対し、専用の第１のコリメータレンズ１０１及び第２のコリメータレンズ１０２が配置されるので、コリメータレンズの構造の簡素化、コスト低減及びコリメータレンズの移動によるタクトの短縮を図ることができる。
【０１３６】
また、第１のコリメータレンズ１０１及び第２のコリメータレンズ１０２をそれぞれ安価な単レンズで構成することが可能であり、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２で共用するために組み合わせレンズで構成された従来のコリメータレンズに比べて、コストダウンすることができる。
【０１３７】
さらに、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２のそれぞれに対応する第１のカバーガラス１０４及び第２のカバーガラス１０５が第１のコリメータレンズ１０１及び第２のコリメータレンズ１０２と一体に構成されるので、カバーガラスの切り替えによるタクトを短縮できる。また、測定対象である対物レンズを切り換える際に、従来のように対物レンズに応じてカバーガラスを切り換える機構が不要となり、装置構成を簡略化することができる。
【０１３８】
なお、本実施の形態の波面収差検査装置では、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように光ピックアップ１６の水平方向の位置を調整した後、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように光ピックアップ１６のフォーカス方向の位置をさらに調整しているが、本発明は特にこれに限定されない。本実施の形態に係る波面収差検査装置は、光ピックアップ１６の水平方向の位置を調整せずに、光ピックアップ１６のフォーカス方向の位置のみを調整してもよい。また、光ピックアップ１６のフォーカス方向の位置を調整せずに、光ピックアップ１６の水平方向の位置のみを調整してもよい。さらに、光ピックアップ１６のフォーカス方向の位置を調整した後、光ピックアップ１６の水平方向の位置を調整してもよい。これらは、第２の出射光についても同様である。
【０１３９】
なお、本実施の形態においては、本発明を光ピックアップから出射される出射光の波面収差を検査する波面収差検査装置に適用する場合について説明してきたが、複数の収差成分のうちの３次コマ収差成分が減少する方向に、対物レンズアクチュエータ２０の傾きを調整することによって、光ピックアップ１６の対物レンズの傾きを調整する光ピックアップ組立調整装置として適用することも可能である。
【０１４０】
図４は、本発明の実施の形態１における光ピックアップ組立調整装置の一例を示す構成図である。なお、図４に示す光ピックアップ組立調整装置において、図１に示す波面収差検査装置と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【０１４１】
図４に示す光ピックアップ組立調整装置は、第１のコリメータレンズ１０１、第２のコリメータレンズ１０２、コリメータレンズホルダ１０３、波面収差検出部６、光ピックアップ位置調整部１８、対物レンズアクチュエータ位置調整部１９、コリメータレンズ位置調整部２１、反射ミラー４、ビームスプリッタ４２，４３，４６，４９、リレーレンズ４４，４５，４７，４８、画像処理装置１３、情報処理装置１５及び位置制御インタフェース１７を備える。
【０１４２】
情報処理装置１５は、算出した第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるような対物レンズアクチュエータ２０のＸ軸方向の移動量及びＹ軸方向の移動量を算出する。また、情報処理装置１５は、算出した第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるような対物レンズアクチュエータ２０のＸ軸方向の移動量及びＹ軸方向の移動量を算出する。なお、本実施の形態では、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２が配置される方向をＸ軸方向とし、水平面においてＸ軸方向に直交する方向をＹ軸方向としている。
【０１４３】
また、情報処理装置１５は、算出した第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるような対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の移動量を算出する。さらに、情報処理装置１５は、算出した第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるような対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の移動量を算出する。
【０１４４】
さらに、情報処理装置１５は、算出した第１の出射光の位相波面の３次コマ収差成分が小さくなるような対物レンズアクチュエータ２０のＸ軸回りの移動量及びＹ軸回りの移動量を算出する。また、情報処理装置１５は、算出した第２の出射光の位相波面の３次コマ収差成分が小さくなるような対物レンズアクチュエータ２０のＸ軸回りの移動量及びＹ軸回りの移動量を算出する。
【０１４５】
対物レンズアクチュエータ位置調整部１９は、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整する。また、対物レンズアクチュエータ位置調整部１９は、情報処理装置１５によって検出された第２の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整する。
【０１４６】
なお、対物レンズアクチュエータ２０には、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２が取り付けられており、対物レンズアクチュエータ２０を移動させることにより、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２も移動することとなる。
【０１４７】
また、対物レンズアクチュエータ位置調整部１９は、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に、対物レンズアクチュエータ２０の傾きを調整する。また、対物レンズアクチュエータ位置調整部１９は、情報処理装置１５によって検出された第２の出射光のコマ収差量が減少する方向に、対物レンズアクチュエータ２０の傾きを調整する。
【０１４８】
対物レンズアクチュエータ位置調整部１９は、第３のモータ１９１、第４のモータ１９２、第５のモータ１９３、第６のモータ１９４、第３の操作子１９５、第４の操作子１９６、第５の操作子１９７及び第６の操作子１９８を備える。
【０１４９】
第３の操作子１９５は、回転駆動することによって、対物レンズアクチュエータ２０をＸ軸方向へ移動させる。第４の操作子１９６は、回転駆動することによって、対物レンズアクチュエータ２０をＹ軸方向へ移動させる。第５の操作子１９７は、回転駆動することによって、対物レンズアクチュエータ２０をＸ軸回りに回転させる。第６の操作子１９８は、回転駆動することによって、対物レンズアクチュエータ２０をＹ軸回りに回転させる。
【０１５０】
第３のモータ１９１は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸方向の移動量に応じて第３の操作子１９５を回転駆動させる。第４のモータ１９２は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸方向の移動量に応じて第４の操作子１９６を回転駆動させる。第５のモータ１９３は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸回りの移動量に応じて第５の操作子１９７を回転駆動させる。第６のモータ１９４は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸回りの移動量に応じて第６の操作子１９８を回転駆動させる。
【０１５１】
また、光ピックアップ１６の制御部１６１は、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の位置をさらに調整する。また、制御部１６１は、情報処理装置１５によって検出された第２の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の位置をさらに調整する。
【０１５２】
ここで、図４に示す光ピックアップ組立調整装置の動作について説明する。まず、第１の対物レンズ２０１の位置が調整される。なお、第１のレーザ光を出射させてから、位相波面の収差成分を検出するまでの動作は、図１に示す波面収差検査装置と同じであるので、説明を省略する。
【０１５３】
情報処理装置１５は、第１の出射光の位相波面のチルト成分が零となるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整する。具体的には、情報処理装置１５は、第１の出射光の位相波面のチルト成分が零となる、対物レンズアクチュエータ２０のＸ軸方向の移動量と、対物レンズアクチュエータ２０のＹ軸方向の移動量とを算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたＸ軸方向の移動量を第３のモータ１９１へ出力し、情報処理装置１５によって算出されたＹ軸方向の移動量を第４のモータ１９２へ出力する。
【０１５４】
次に、第３のモータ１９１は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸方向の移動量に応じて第３の操作子１９５を回転駆動させ、対物レンズアクチュエータ２０をＸ軸方向へ移動させる。次に、第４のモータ１９２は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸方向の移動量に応じて第４の操作子１９６を回転駆動させ、対物レンズアクチュエータ２０をＹ軸方向へ移動させる。
【０１５５】
次に、情報処理装置１５は、第１の出射光の位相波面のパワー成分が零となる、対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の移動量を算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたフォーカス方向の移動量を制御部１６１へ出力する。
【０１５６】
次に、制御部１６１は、位置制御インタフェース１７から入力された対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の移動量に応じて第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２をフォーカス方向に移動させる。なお、本実施の形態では、第１の対物レンズ２０１と第２の対物レンズ２０２とが対物レンズホルダに一体に構成されており、対物レンズアクチュエータ２０は、対物レンズホルダをフォーカス方向に移動させる。そのため、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２は、共にフォーカス方向に移動することとなる。
【０１５７】
次に、情報処理装置１５は、第１の出射光の位相波面のコマ収差成分が零となるように対物レンズアクチュエータ２０の傾きを調整する。具体的には、情報処理装置１５は、第１の出射光の位相波面のコマ収差成分が零となる、対物レンズアクチュエータ２０のＸ軸回りの移動量と、対物レンズアクチュエータ２０のＹ軸回りの移動量とを算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたＸ軸回りの移動量を第５のモータ１９３へ出力し、情報処理装置１５によって算出されたＹ軸回りの移動量を第６のモータ１９４へ出力する。
【０１５８】
次に、第５のモータ１９３は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸回りの移動量に応じて第５の操作子１９７を回転駆動させ、対物レンズアクチュエータ２０をＸ軸回りに回転させる。次に、第６のモータ１９４は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸回りの移動量に応じて第６の操作子１９８を回転駆動させ、対物レンズアクチュエータ２０をＹ軸回りに回転させる。
【０１５９】
続いて、第２の対物レンズ２０２の位置が調整される。なお、第２のレーザ光を出射させてから、位相波面の収差成分を検出するまでの動作は、図１に示す波面収差検査装置と同じであるので、説明を省略する。
【０１６０】
情報処理装置１５は、第２の出射光の位相波面のチルト成分が零となるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整する。具体的には、情報処理装置１５は、第２の出射光の位相波面のチルト成分が零となる、対物レンズアクチュエータ２０のＸ軸方向の移動量と、対物レンズアクチュエータ２０のＹ軸方向の移動量とを算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたＸ軸方向の移動量を第３のモータ１９１へ出力し、情報処理装置１５によって算出されたＹ軸方向の移動量を第４のモータ１９２へ出力する。
【０１６１】
次に、第３のモータ１９１は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸方向の移動量に応じて第３の操作子１９５を回転駆動させ、対物レンズアクチュエータ２０をＸ軸方向へ移動させる。次に、第４のモータ１９２は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸方向の移動量に応じて第４の操作子１９６を回転駆動させ、対物レンズアクチュエータ２０をＹ軸方向へ移動させる。
【０１６２】
次に、情報処理装置１５は、第２の出射光の位相波面のパワー成分が零となる、対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の移動量を算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたフォーカス方向の移動量を制御部１６１へ出力する。
【０１６３】
次に、制御部１６１は、位置制御インタフェース１７から入力された対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の移動量に応じて第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２をフォーカス方向に移動させる。
【０１６４】
次に、情報処理装置１５は、第２の出射光の位相波面のコマ収差成分が零となるように対物レンズアクチュエータ２０の傾きを調整する。具体的には、情報処理装置１５は、第２の出射光の位相波面のコマ収差成分が零となる、対物レンズアクチュエータ２０のＸ軸回りの移動量と、対物レンズアクチュエータ２０のＹ軸回りの移動量とを算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたＸ軸回りの移動量を第５のモータ１９３へ出力し、情報処理装置１５によって算出されたＹ軸回りの移動量を第６のモータ１９４へ出力する。
【０１６５】
次に、第５のモータ１９３は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸回りの移動量に応じて第５の操作子１９７を回転駆動させ、対物レンズアクチュエータ２０をＸ軸回りに回転させる。次に、第６のモータ１９４は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸回りの移動量に応じて第６の操作子１９８を回転駆動させ、対物レンズアクチュエータ２０をＹ軸回りに回転させる。
【０１６６】
このようにして、対物レンズアクチュエータ２０の位置が調整される。その後、ユーザは、対物レンズアクチュエータ２０を光ピックアップ１６に固定する。
【０１６７】
なお、本実施の形態では、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２を共に水平方向に移動させているが、本発明は特にこれに限定されず、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２を個別に水平方向に移動させてもよい。
【０１６８】
また、本実施の形態では、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２を共にフォーカス方向に移動させているが、本発明は特にこれに限定されず、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２を個別にフォーカス方向に移動させてもよい。
【０１６９】
さらに、本実施の形態では、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２の傾きを共に調整しているが、本発明は特にこれに限定されず、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２の傾きを個別に調整してもよい。
【０１７０】
なお、本実施の形態の光ピックアップ組立調整装置では、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光の位相波面のチルト成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整し、その後、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光の位相波面のパワー成分が小さくなるように対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の位置を調整し、さらにその後、情報処理装置１５によって検出された第１の出射光のコマ収差量が減少する方向に対物レンズアクチュエータ２０の傾きを調整しているが、本発明は特にこれに限定されない。
【０１７１】
本実施の形態に係る光ピックアップ組立調整装置は、対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整せずに、対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の位置及び傾きを調整してもよい。また、対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の位置を調整せずに、対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置及び傾きを調整してもよい。さらに、対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の位置を調整した後、対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整してもよい。これらは、第２の出射光についても同様である。
【０１７２】
さらに、本実施の形態に係る光ピックアップ組立調整装置では、第１の出射光の波面収差を検出し、対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置、フォーカス方向の位置及び傾きを調整し、その後、第２の出射光の波面収差を検出し、対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置、フォーカス方向の位置及び傾きを調整しているが、本発明は特にこれに限定されない。第１の出射光の波面収差を検出した後、第２の出射光の波面収差を検出し、第１の出射光及び第２の出射光の位相波面のチルト成分が共に小さくなるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整し、第１の出射光及び第２の出射光の位相波面のパワー成分が共に小さくなるようにフォーカス方向の位置を調整し、第１の出射光及び第２の出射光の位相波面のコマ収差量が共に小さくなるように傾きを調整してもよい。
【０１７３】
この場合、第１の出射光の位相波面のチルト成分及び第２の出射光の位相波面のチルト成分が共に零（最小）になるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整してもよい。また、第１の出射光の位相波面のチルト成分及び第２の出射光の位相波面のチルト成分が共に所定の値になるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整してもよい。さらに、第１の出射光の位相波面のチルト成分及び第２の出射光の位相波面のチルト成分のうちのいずれか一方が零（最小）になるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整してもよい。なお、赤色レーザ光に対応した対物レンズよりも青色レーザ光に対応した対物レンズの方がより高い精度が要求されるので、第１の出射光が青色レーザ光である場合、第１の出射光の位相波面のチルト成分が優先して零（最小）になるように対物レンズアクチュエータ２０の水平方向の位置を調整する。これらの調整は、対物レンズアクチュエータ２０のフォーカス方向の位置及び傾きについても同様に行うことができる。
【０１７４】
また、本実施の形態においては、光ピックアップ１６を移動させることにより、第１及び第２のコリメータレンズ１０１，１０２と第１及び第２の対物レンズ２０１，２０２との相対的な水平方向の位置を調整しているが、本発明は特にこれに限定されない。第１及び第２のコリメータレンズ１０１，１０２をフォーカス方向だけでなく、水平方向にも移動可能に構成してもよく、この場合、コリメータレンズ位置調整部２１は、情報処理装置１５によって算出されたＸ軸方向の移動量及びＹ軸方向の移動量に応じてコリメータレンズホルダ１０３を移動させ、第１及び第２のコリメータレンズ１０１，１０２と第１及び第２の対物レンズ２０１，２０２との相対的な水平方向の位置を調整してもよい。
【０１７５】
さらに、対物レンズアクチュエータ２０を電気的に駆動し、第１及び第２の対物レンズ２０１，２０２をフォーカス方向及びトラッキング方向に動かすことによって、第１及び第２のコリメータレンズ１０１，１０２と第１及び第２の対物レンズ２０１，２０２との相対的な水平方向の位置を調整することも可能である。
【０１７６】
なお、本実施の形態では、第１のレーザ光源が青色レーザ光を出射し、第２のレーザ光源が赤色レーザ光を出射しているが、本発明は特にこれに限定されず、第１のレーザ光源が青色レーザ光を出射し、第２のレーザ光源が赤外レーザ光を出射してもよく、第１のレーザ光源が赤色レーザ光を出射し、第２のレーザ光源が赤外レーザ光を出射してもよい。赤外レーザ光である第２の波長は、例えば７８０ｎｍである。第２の光情報媒体がＣＤである場合、赤外レーザ光である第２のレーザ光が用いられる。赤外レーザ光の波長は、７８０ｎｍに限定されず、７８０ｎｍ〜８２０ｎｍの波長帯域を有する赤外レーザ光を用いてもよい。また、第２のレーザ光源は、赤色レーザ光及び赤外レーザ光を出射するモノリシック２波長レーザであってもよい。
【０１７７】
さらに、実施の形態１では、反射ミラー４、波面収差検出部６、ビームスプリッタ４２，４３，４６，４９、リレーレンズ４４，４５，４７，４８は同一平面内に配置されているが、本発明は特にこれに限定されず、波面収差検出部６を前記平面に垂直な方向に配置してもよい。波面収差検出部６を前記平面に対して垂直上方向に配置することにより、装置の小型化を実現することができる。
【０１７８】
また、ビームスプリッタ４２，４３，４６，４９及びリレーレンズ４４，４５，４７，４８は、調整の容易さを理由に、水平方向に沿った平面内に配置されているが、本発明は特にこれに限定されず、ビームスプリッタ４２，４６及びリレーレンズ４４，４５と、ビームスプリッタ４３，４９及びリレーレンズ４７，４８とを上下方向に沿った平面内に配置してもよい。
【０１７９】
（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２における波面収差検査装置の一例を示す構成図である。実施の形態２では、実施の形態１とは異なり、光ピックアップ１６の位置検出を行うオートコリメータ６１が配置されている。なお、オートコリメータ６１とビームスプリッタ４１とを備える以外は、図１に示す波面収差検査装置と同じ構成である。図５に示す波面収差検査装置において、図１に示す波面収差検査装置と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【０１８０】
実施の形態１で述べたように、光ピックアップ１６の位置調整において、チルト成分を位置ずれ検出に用いることにより、数百ミクロンからサブミクロンの広範囲にわたる位置ずれ検出を行うことができる。しかしながら、シャック−ハルトマン法の原理を説明した図１０において、レンズアレイ２２を構成する各マイクロレンズのスポットが、各領域から出てしまうほどに位置ずれが起こった場合、チルト成分を正確に検出することは困難である。具体的には、図１０において、マイクロレンズＬ１への入射光が大きく傾き、マイクロレンズＬ１のスポットが領域２において集光した場合、このスポットはマイクロレンズＬ２のスポットと重なり合い、波面検出に誤差が生じてしまう。
【０１８１】
そこで、光ピックアップ１６を配置した初期状態の位置ずれが大きい場合、オートコリメータ６１により、第１のコリメータレンズ１０１及び第２のコリメータレンズ１０２からの平行光を観測し、光ピックアップ１６の位置を所定の位置範囲へ移動することにより、一旦、位置ずれの粗調整を行う。
【０１８２】
具体的には、ビームスプリッタ４１は、第１の出射光及び第２の出射光をオートコリメータ６１へ透過させるとともに、第１の出射光及び第２の出射光を波面収差検出部６に向けて反射させる。ユーザは、オートコリメータ６１に表示されるスポット画像の位置に基づいて、第１の対物レンズ２０１の水平方向の位置の粗調整を行い、スポット画像の大きさに基づいて、第１の対物レンズ２０１のフォーカス方向の位置の粗調整を行う。同様に、オートコリメータ６１に表示されるスポット画像の位置に基づいて、第２の対物レンズ２０２の水平方向の位置の粗調整を行い、スポット画像の大きさに基づいて、第２の対物レンズ２０２のフォーカス方向の位置の粗調整を行う。
【０１８３】
すなわち、ユーザは、第１の操作子１８４を操作することにより、Ｘ軸方向へ光ピックアップ１６を移動させ、第２の操作子１８５を操作することにより、Ｙ軸方向へ光ピックアップ１６を移動させ、オートコリメータ６１に表示されるスポット画像を所定の範囲内に収める。
【０１８４】
スポット画像が所定の範囲内に収まるように、光ピックアップ１６の位置の粗調整が行われた時点で、実施の形態１と同様の手順にて、チルト成分及びパワー成分に基づく光ピックアップ１６の位置の微調整が行われる。
【０１８５】
実施の形態２によれば、光ピックアップ１６の初期位置精度を緩和することができ、光ピックアップの波面収差検査装置として設備コストと測定タクトとを低減することが可能になる。
【０１８６】
その他の内容については、実施の形態１と同様である。また、実施の形態２に係る波面収差検査装置は、波面収差検査装置としてだけではなく、光ピックアップ１６の第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２の傾きを調整する光ピックアップ組立調整装置として使用することも可能である。
【０１８７】
（実施の形態３）
図６は、本発明の実施の形態３における対物レンズアクチュエータ組立調整装置の一例を示す構成図である。
【０１８８】
図６に示す対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、光ピックアップ用の対物レンズを、対物レンズアクチュエータに取り付ける際の組立調整に用いられる。対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、第１のレーザ光を出射する第１の平行光源２９ａ、第２のレーザ光源を出射する第２の平行光源２９ｂ、組立調整の対象物である第１及び第２の対物レンズ２０１，２０２、対物レンズアクチュエータ３０、第１の対物レンズ２０１の位置を調整する第１の対物レンズ位置調整部３１及び第２の対物レンズ２０２の位置を調整する第２の対物レンズ位置調整部３２を備えており、その他の構成については、実施の形態１と同様である。
【０１８９】
第１の対物レンズ位置調整部３１は、第７のモータ３１１、第８のモータ３１２、第９のモータ３１３、第１０のモータ３１４、第７の操作子３１５、第８の操作子３１６、第９の操作子３１７及び第１０の操作子３１８を備える。
【０１９０】
第７の操作子３１５は、回転駆動することによって、第１の対物レンズ２０１をＸ軸方向へ移動させる。第８の操作子３１６は、回転駆動することによって、第１の対物レンズ２０１をＹ軸方向へ移動させる。第９の操作子３１７は、回転駆動することによって、第１の対物レンズ２０１をＸ軸回りに回転させる。第１０の操作子３１８は、回転駆動することによって、第１の対物レンズ２０１をＹ軸回りに回転させる。
【０１９１】
第７のモータ３１１は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸方向の移動量に応じて第７の操作子３１５を回転駆動させる。第８のモータ３１２は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸方向の移動量に応じて第８の操作子３１６を回転駆動させる。第９のモータ３１３は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸回りの移動量に応じて第９の操作子３１７を回転駆動させる。第１０のモータ３１４は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸回りの移動量に応じて第１０の操作子３１８を回転駆動させる。
【０１９２】
第２の対物レンズ位置調整部３２は、第１１のモータ３２１、第１２のモータ３２２、第１３のモータ３２３、第１４のモータ３２４、第１１の操作子３２５、第１２の操作子３２６、第１３の操作子３２７及び第１４の操作子３２８を備える。
【０１９３】
第１１の操作子３２５は、回転駆動することによって、第２の対物レンズ２０２をＸ軸方向へ移動させる。第１２の操作子３２６は、回転駆動することによって、第２の対物レンズ２０２をＹ軸方向へ移動させる。第１３の操作子３２７は、回転駆動することによって、第２の対物レンズ２０２をＸ軸回りに回転させる。第１４の操作子３２８は、回転駆動することによって、第２の対物レンズ２０２をＹ軸回りに回転させる。
【０１９４】
第１１のモータ３２１は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸方向の移動量に応じて第１１の操作子３２５を回転駆動させる。第１２のモータ３２２は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸方向の移動量に応じて第１２の操作子３２６を回転駆動させる。第１３のモータ３２３は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸回りの移動量に応じて第１３の操作子３２７を回転駆動させる。第１４のモータ３２４は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸回りの移動量に応じて第１４の操作子３２８を回転駆動させる。
【０１９５】
図６においては、対物レンズアクチュエータ３０の基準面（底面）に対し、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２のコマ収差が零になるように、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２の傾きを調整する例について説明する。
【０１９６】
図６において、対物レンズアクチュエータ３０は、第１の平行光源２９ａの光軸に対し、対物レンズアクチュエータ３０の底面が垂直になるように配置されており、対物レンズアクチュエータ３０の上には第１の対物レンズ位置調整部３１に保持された第１の対物レンズ２０１が配置されている。また、対物レンズアクチュエータ３０は、第２の平行光源２９ｂの光軸に対し、対物レンズアクチュエータ３０の底面が垂直になるように配置されており、対物レンズアクチュエータ３０の上には第２の対物レンズ位置調整部３２に保持された第２の対物レンズ２０２が配置されている。
【０１９７】
まず、第１の対物レンズ２０１の組立調整が行われる。情報処理装置１５は、位置制御インタフェース１７を介し、第１の平行光源２９ａを駆動する指示を出力する。第１の平行光源２９ａから出射された第１のレーザ光は、第１の対物レンズ２０１を通過し、発散光に変換され、第１のコリメータレンズ１０１、反射ミラー４及びレンズアレイ７などで構成される光学系により、ＣＣＤカメラ８に集光され、情報処理装置１５によって、発散光の波面収差が検出される。
【０１９８】
次に、第１の対物レンズ位置調整部３１は、検出された波面収差のうちの位相波面のチルト成分が最小又は所定の値となるように、第１の対物レンズ２０１の水平方向の位置を調整する。
【０１９９】
具体的には、情報処理装置１５は、位相波面のチルト成分が零となる、第１の対物レンズ２０１のＸ軸方向の移動量と、第１の対物レンズ２０１のＹ軸方向の移動量とを算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。次に、位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたＸ軸方向の移動量を第７のモータ３１１へ出力し、情報処理装置１５によって算出されたＹ軸方向の移動量を第８のモータ３１２へ出力する。
【０２００】
次に、第７のモータ３１１は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸方向の移動量に応じて第７の操作子３１５を回転駆動させ、第１の対物レンズ２０１をＸ軸方向へ移動させる。次に、第８のモータ３１２は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸方向の移動量に応じて第８の操作子３１６を回転駆動させ、第１の対物レンズ２０１をＹ軸方向へ移動させる。
【０２０１】
次に、第１の対物レンズ位置調整部３１は、検出された波面収差のうちの位相波面のパワー成分が最小又は所定の値となるように、第１の対物レンズ２０１のフォーカス方向の位置を調整する。
【０２０２】
具体的には、情報処理装置１５は、位相波面のパワー成分が零となる、第１の対物レンズ２０１のフォーカス方向の移動量を算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。次に、位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたフォーカス方向の移動量を対物レンズアクチュエータ３０へ出力する。次に、対物レンズアクチュエータ３０は、位置制御インタフェース１７から入力された第１の対物レンズ２０１のフォーカス方向の移動量に応じて第１の対物レンズ２０１をフォーカス方向に移動させる。なお、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２が対物レンズホルダに一体に保持されている場合、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２が共にフォーカス方向へ移動される。
【０２０３】
次に、第１の対物レンズ位置調整部３１は、検出された波面収差のうちの位相波面のコマ収差成分が最小又は所定の値となるように、第１の対物レンズ２０１の傾きを調整する。
【０２０４】
具体的には、情報処理装置１５は、位相波面のコマ収差成分が零となる、第１の対物レンズ２０１のＸ軸回りの移動量と、第１の対物レンズ２０１のＹ軸回りの移動量とを算出し、位置制御インタフェース１７へ出力する。次に、位置制御インタフェース１７は、情報処理装置１５によって算出されたＸ軸回りの移動量を第９のモータ３１３へ出力し、情報処理装置１５によって算出されたＹ軸回りの移動量を第１０のモータ３１４へ出力する。
【０２０５】
次に、第９のモータ３１３は、位置制御インタフェース１７から入力されたＸ軸回りの移動量に応じて第９の操作子３１７を回転駆動させ、第１の対物レンズ２０１をＸ軸回りに回転させる。次に、第１０のモータ３１４は、位置制御インタフェース１７から入力されたＹ軸回りの移動量に応じて第１０の操作子３１８を回転駆動させ、第１の対物レンズ２０１をＹ軸回りに回転させる。
【０２０６】
その後、ユーザは、第１の対物レンズ２０１を対物レンズアクチュエータ３０に固定する。
【０２０７】
続いて、第２の対物レンズ２０２の組立調整が行われる。情報処理装置１５は、位置制御インタフェース１７を介し、第２の平行光源２９ｂを駆動する指示を出力する。なお、第２の対物レンズ２０２についても、上記の第１の対物レンズ２０１と同様の手順により調整され、対物レンズアクチュエータ３０に固定されるので、説明は省略する。
【０２０８】
本実施の形態では、対物レンズアクチュエータ組立調整装置としての構成を示したが、対物レンズの収差性能検査のみを行う対物レンズアクチュエータ収差検査装置としても使用することは可能である。その他の内容については、実施の形態１及び実施の形態２と同様である。
【０２０９】
なお、本実施の形態の対物レンズアクチュエータ組立調整装置では、情報処理装置１５によって検出された第１のレーザ光の位相波面のチルト成分が小さくなるように第１の対物レンズ２０１の水平方向の位置を調整し、その後、情報処理装置１５によって検出された第１のレーザ光の位相波面のパワー成分が小さくなるように第１の対物レンズ２０１のフォーカス方向の位置を調整し、さらにその後、情報処理装置１５によって検出された第１のレーザ光のコマ収差量が減少する方向に第１の対物レンズ２０１の傾きを調整しているが、本発明は特にこれに限定されない。
【０２１０】
本実施の形態に係る対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、第１の対物レンズ２０１の水平方向の位置を調整せずに、第１の対物レンズ２０１のフォーカス方向の位置及び傾きを調整してもよい。また、第１の対物レンズ２０１のフォーカス方向の位置を調整せずに、第１の対物レンズ２０１の水平方向の位置及び傾きを調整してもよい。さらに、第１の対物レンズ２０１のフォーカス方向の位置を調整した後、第１の対物レンズ２０１の水平方向の位置を調整してもよい。これらは、第２のレーザ光についても同様である。
【０２１１】
（実施の形態４）
図７は、本発明の実施の形態４における光ディスクドライブの一例を示すブロック図である。
【０２１２】
図７には、本発明の実施の形態１の光ピックアップ組立調整装置により組み立てられた光ピックアップを利用した光ディスクドライブの構成を示している。光ディスクドライブは、光ピックアップユニット３６、光ピックアップユニット３６を光情報媒体３３の径方向に移動させる光ピックアップ移動駆動機構３９、光情報媒体３３を回転駆動するスピンドルモータ３４などを備える。光ピックアップ移動駆動機構３９は、シークモータ３８、リードスクリュー３７及びガイドレール３５を備える。光ディスクドライブは、光ピックアップユニット３６を光情報媒体３３の径方向に沿って移動させることで、光情報媒体３３から情報を読み取るとともに、光情報媒体３３に情報を記録する。
【０２１３】
図７において、光ピックアップユニット３６は、第１のレーザ光源（不図示）、第２のレーザ光源（不図示）、第１の対物レンズ２０１及び第２の対物レンズ２０２を備える。例えば、図示しない第１のレーザ光源は、青紫色レーザ光を出射し、第１の対物レンズ２０１は、Ｂｌｕ−ｒａｙディスク及び／又はＨＤ  ＤＶＤディスクの記録層に青紫色レーザ光を集光させる。また、図示しない第２のレーザ光源は、赤色レーザ光及び／又は赤外レーザ光を出射し、第２の対物レンズ２０２は、ＤＶＤ及び／又はＣＤの記録層に赤色レーザ光及び／又は赤外レーザ光を集光させる。
【０２１４】
なお、他の組み合わせとしては、例えば、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクは、第１のレーザ光源及び第１の対物レンズ２０１を用いて記録又は再生を行い、ＨＤ  ＤＶＤ、ＤＶＤ及びＣＤは、それぞれを共通の第２のレーザ光源及び第２の対物レンズ２０２を用いて記録又は再生を行ってもよい。
【０２１５】
図７に示す光ディスクドライブを光情報装置に適用すれば、小型で高性能な光情報装置を実現することができる。
【０２１６】
（実施の形態５）
次に、実施の形態５に係る波面収差検査装置ついて説明する。実施の形態１に係る波面収差検査装置は、図３に示すように凸型のリレーレンズ４４，４７と凸型のリレーレンズ４５，４８とを組み合わせたケプラー型の第１及び第２のビーム拡大系７１，７２を備えているが、実施の形態５に係る波面収差検査装置は、ガリレオ型の第１及び第２のビーム拡大系を備える。
【０２１７】
図８は、本発明の実施の形態５に係る波面収差検査装置の構成の一部を示す図である。なお、図８では、第１のコリメータレンズ１０１及び第２のコリメータレンズ１０２からＣＣＤカメラ８までの光学構成の一例を示している。また、図８では、第１のコリメータレンズ１０１とリレーレンズ５１との間に存在する反射ミラー４及びビームスプリッタ４２を省略し、第２のコリメータレンズ１０２とリレーレンズ５２との間に存在する反射ミラー４及びビームスプリッタ４２，４３を省略している。
【０２１８】
実施の形態５に係る波面収差検査装置は、実施の形態１に係る波面収差検査装置のリレーレンズ４４，４７に替えてリレーレンズ５１，５２を備える。なお、実施の形態５に係る波面収差検査装置において、第１のビーム拡大系７３及び第２のビーム拡大系７４以外の構成は実施の形態１に係る波面収差検査装置の構成と同じであるので説明を省略する。また、実施の形態５に係る波面収差検査装置の動作についても、実施の形態１に係る波面収差検査装置の動作と同じであるので説明を省略する。
【０２１９】
第１のビーム拡大系７３は、凹型のリレーレンズ５１と凸型のリレーレンズ４５とで構成される。第１のビーム拡大系７３は、ガリレオ型のビーム拡大系であり、第１の出射光を拡大する。第２のビーム拡大系７４は、凹型のリレーレンズ５２と凸型のリレーレンズ４８とで構成される。第２のビーム拡大系７４は、ガリレオ型のビーム拡大系であり、第２の出射光を拡大する。
【０２２０】
図８に示すように、第１のコリメータレンズ１０１の出射側の焦点位置とリレーレンズ４５の入射側の焦点位置とを一致させる。さらに、リレーレンズ４５の出射側の焦点位置とレンズアレイ７の入射側の焦点位置とを一致させる。また、第２のコリメータレンズ１０２の出射側の焦点位置とリレーレンズ４８の入射側の焦点位置とを一致させる。さらに、リレーレンズ４８の出射側の焦点位置とレンズアレイ７の入射側の焦点位置とを一致させる。
【０２２１】
これにより、第１のコリメータレンズ１０１の後方焦点距離ｆ２１と前方焦点距離ｆ２２とが等しくなり、リレーレンズ４５の後方焦点距離ｆ２４と前方焦点距離ｆ２５とが等しくなる。なお、リレーレンズ５１は凹レンズであるので、リレーレンズ５１の焦点距離ｆ２３は負の値となる。
【０２２２】
また、第２のコリメータレンズ１０２の後方焦点距離ｆ２８と前方焦点距離ｆ２９とが等しくなり、リレーレンズ４８の後方焦点距離ｆ３１と前方焦点距離ｆ３２とが等しくなる。なお、リレーレンズ５２は凹レンズであるので、リレーレンズ５２の焦点距離ｆ３０は負の値となる。リレーレンズ４８の前方焦点距離ｆ３２は、リレーレンズ４８を出射してから、ビームスプリッタ４９によって折り曲げられた後、ビームスプリッタ４６に到達するまでの距離である。さらに、レンズアレイ７の後方焦点距離ｆ２６と前方焦点距離ｆ２７とが等しくなる。
【０２２３】
このように、第１のビーム拡大系７３及び第２のビーム拡大系７４をガリレオ型とすることにより、実施の形態１に係る波面収差検査装置に比べて光学系の全長を短くすることが可能となり、波面収差検査装置の小型化を実現することができる。具体的には、図３に示す第１のビーム拡大系７１の焦点距離ｆ３に相当する長さだけ光学系の全長を短くすることができ、例えばｆ３：ｆ５＝１：２である場合、光学系の全長を実施の形態１の波面収差検査装置の２／３程度にすることができる。
【０２２４】
また、波面収差検査装置を小型化することにより、装置を構成する部材を少なくすることができる。また、通常、振動などの外乱に対する信頼性を確保するために、装置の剛性を高める必要があるが、波面収差検査装置を小型化することにより、装置の剛性を高めるための補強部材を少なくすることができる。その結果、波面収差検査装置の製造コストを低減することができる。
【０２２５】
なお、実施の形態５に係る第１のビーム拡大系７３及び第２のビーム拡大系７４の構成は、波面収差検査装置だけでなく、光ピックアップ組立調整装置及び対物レンズアクチュエータ組立調整装置にも適用可能である。また、第１のビーム拡大系７３及び第２のビーム拡大系７４の両方をガリレオ型にするのではなく、一方をガリレオ型にし、他方をケプラー型にしてもよい。
【０２２６】
（実施の形態６）
次に、実施の形態６に係る波面収差検査装置ついて説明する。実施の形態５に係る波面収差検査装置は、図８に示すように凹型のリレーレンズ５１，５２と凸型のリレーレンズ４５，４８とを組み合わせたガリレオ型の第１及び第２のビーム拡大系７３，７４を備えているが、実施の形態６に係る波面収差検査装置は、ガリレオ型の第１のビーム拡大系と、ピンホールを有するケプラー型の第２のビーム拡大系とを備える。
【０２２７】
図９は、本発明の実施の形態６に係る波面収差検査装置の構成の一部を示す図である。なお、図９では、第１のコリメータレンズ１０１及び第２のコリメータレンズ１０２からＣＣＤカメラ８までの光学構成の一例を示している。また、図９では、第１のコリメータレンズ１０１とリレーレンズ５１との間に存在する反射ミラー４及びビームスプリッタ４２を省略し、第２のコリメータレンズ１０２とリレーレンズ４７との間に存在する反射ミラー４及びビームスプリッタ４２，４３を省略している。
【０２２８】
実施の形態６に係る波面収差検査装置は、実施の形態１に係る波面収差検査装置のリレーレンズ４４に替えてリレーレンズ５１を備え、リレーレンズ４７とリレーレンズ４８との間にピンホール５３を備える。なお、実施の形態６に係る波面収差検査装置において、第２のビーム拡大系７５以外の構成は実施の形態５に係る波面収差検査装置の構成と同じであるので説明を省略する。また、実施の形態６に係る波面収差検査装置の動作についても、実施の形態１に係る波面収差検査装置の動作と同じであるので説明を省略する。
【０２２９】
第２のビーム拡大系７５は、凸型のリレーレンズ４７と凸型のリレーレンズ４８とピンホール５３とで構成される。第２のビーム拡大系７５は、ケプラー型のビーム拡大系であり、第２の出射光を拡大する。
【０２３０】
トラッキングサーボとして３ビーム方式を用いた光ピックアップを評価する場合、情報の記録又は再生を行う０次光（メインビーム）の波面収差を測定するためには、±１次光（サブビーム）を除く必要がある。そこで、実施の形態６に係る波面収差検査装置は、±１次光（サブビーム）を除去するためのピンホール５３を備える。
【０２３１】
ピンホール５３は、リレーレンズ４７とリレーレンズ４８との間に配置される。具体的に、ピンホール５３は、リレーレンズ４７の出射側の焦点位置とリレーレンズ４８の入射側の焦点位置とが一致する位置に配置される。ピンホール５３は、±１次光（サブビーム）を蹴り、０次光（メインビーム）のみを通過させる。
【０２３２】
図９に示すように、第１のコリメータレンズ１０１の出射側の焦点位置とリレーレンズ４５の入射側の焦点位置とを一致させる。さらに、リレーレンズ４５の出射側の焦点位置とレンズアレイ７の入射側の焦点位置とを一致させる。また、第２のコリメータレンズ１０２の出射側の焦点位置とリレーレンズ４７の入射側の焦点位置とを一致させる。さらに、リレーレンズ４７の出射側の焦点位置とリレーレンズ４８の入射側の焦点位置とを一致させ、リレーレンズ４８の出射側の焦点位置とレンズアレイ７の入射側の焦点位置とを一致させる。
【０２３３】
これにより、第１のコリメータレンズ１０１の後方焦点距離ｆ４１と前方焦点距離ｆ４２とが等しくなり、リレーレンズ４５の後方焦点距離ｆ４４と前方焦点距離ｆ４５とが等しくなる。なお、リレーレンズ５１は凹レンズであるので、リレーレンズ５１の焦点距離ｆ４３は負の値となる。
【０２３４】
また、第２のコリメータレンズ１０２の後方焦点距離ｆ４８と前方焦点距離ｆ４９とが等しくなり、リレーレンズ４７の後方焦点距離ｆ５０と前方焦点距離ｆ５１とが等しくなり、リレーレンズ４８の後方焦点距離ｆ５２と前方焦点距離ｆ５３とが等しくなる。なお、リレーレンズ４８の前方焦点距離ｆ５３は、リレーレンズ４８を出射してから、ビームスプリッタ４９によって折り曲げられた後、ビームスプリッタ４６に到達するまでの距離である。さらに、レンズアレイ７の後方焦点距離ｆ４６と前方焦点距離ｆ４７とが等しくなる。
【０２３５】
このように、リレーレンズ４７とリレーレンズ４８との間に、±１次光（サブビーム）を蹴り、０次光（メインビーム）のみを通過させるピンホール５３が配置されるので、０次光のみをＣＣＤカメラ７に導くことができる。
【０２３６】
なお、実施の形態６に係る第１のビーム拡大系７３及び第２のビーム拡大系７５の構成は、波面収差検査装置だけでなく、光ピックアップ組立調整装置及び対物レンズアクチュエータ組立調整装置にも適用可能である。また、第１のビーム拡大系７３をケプラー型のビーム拡大系にしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０２３７】
本発明に係る波面収差検査装置、光ピックアップ組立調整装置及び対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、光ピックアップの波面収差を短時間かつ高精度に検査することができ、光磁気記録装置や、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ−ＤＶＤ及びＢｌｕ−ｒａｙディスクなどの光ディスクを用いた光情報記録再生装置に用いられる光ピックアップの波面収差検査装置、光ピックアップ組立調整装置及び対物レンズアクチュエータ組立調整装置として有用である。また、ホログラム記録装置や将来の超高密度記録再生装置に用いられる光ピックアップの波面収差検査装置、光ピックアップ組立調整装置及び対物レンズアクチュエータ組立調整装置としても適用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２３８】
【図１】本発明の実施の形態１における波面収差検査装置の一例を示す構成図である。
【図２】コリメータレンズホルダ及び対物レンズアクチュエータを示す断面図である。
【図３】第１のコリメータレンズ及び第２のコリメータレンズからＣＣＤカメラまでの光学構成の一例を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態１における光ピックアップ組立調整装置の一例を示す構成図である。
【図５】本発明の実施の形態２における波面収差検査装置の一例を示す構成図である。
【図６】本発明の実施の形態３における対物レンズアクチュエータ組立調整装置の一例を示す構成図である。
【図７】本発明の実施の形態４における光ディスクドライブの一例を示す構成図である。
【図８】本発明の実施の形態５に係る波面収差検査装置の構成の一部を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態６に係る波面収差検査装置の構成の一部を示す図である。
【図１０】シャック−ハルトマン法の原理を説明するための図である。
【図１１】従来の光ピックアップ波面測定装置を示す構成図である。
【図１２】コリメータレンズと対物レンズとの位置関係、及びコリメータレンズの光軸と対物レンズの光軸との位置関係を示す図である。
【符号の説明】
【０２３９】
１    コリメータレンズ
２，３    ビームスプリッタ
４    反射ミラー
５    対物レンズ
５ａ    第１の対物レンズ
５ｂ    第２の対物レンズ
６    波面収差検出部
７    レンズアレイ
８    ＣＣＤカメラ
９    レンズ
１０    第２の受光素子
１１    シリンドリカルレンズ
１２    第１の受光素子
１３    画像処理装置
１４    フォーカス・トラッキングエラー生成装置
１５    情報処理装置
１６    光ピックアップ
１７    位置制御インタフェース
１８    光ピックアップ位置調整部
１９    対物レンズアクチュエータ位置調整部
２０    対物レンズアクチュエータ
２１    コリメータレンズ位置調整部
２２    レンズアレイ
２３    対物レンズ
２４    コリメータレンズ
２９ａ    第１の平行光源
２９ｂ    第２の平行光源
３０    対物レンズアクチュエータ
３１    第１の対物レンズ位置調整部
３２    第２の対物レンズ位置調整部
３３    光情報媒体
３４    スピンドルモータ
３５    ガイドレール
３６    光ピックアップユニット
３７    リードスクリュー
３８    シークモータ
３９    光ピックアップ移動駆動機構
４１，４２，４３，４６，４９    ビームスプリッタ
４４，４５，４７，４８，５１，５２    リレーレンズ
５３    ピンホール
６１    オートコリメータ
７１，７３    第１のビーム拡大系
７２，７４，７５    第２のビーム拡大系
１０１    第１のコリメータレンズ
１０２    第２のコリメータレンズ
１０３    コリメータレンズホルダ
１０４    第１のカバーガラス
１０５    第２のカバーガラス
１６１    制御部
１８１    第１のモータ
１８２    第２のモータ
１８３    ステージ
１８４    第１の操作子
１８５    第２の操作子
１９１    第３のモータ
１９２    第４のモータ
１９３    第５のモータ
１９４    第６のモータ
１９５    第３の操作子
１９６    第４の操作子
１９７    第５の操作子
１９８    第６の操作子
２０１    第１の対物レンズ
２０２    第２の対物レンズ
３１１    第７のモータ
３１２    第８のモータ
３１３    第９のモータ
３１４    第１０のモータ
３１５    第７の操作子
３１６    第８の操作子
３１７    第９の操作子
３１８    第１０の操作子
３２１    第１１のモータ
３２２    第１２のモータ
３２３    第１３のモータ
３２４    第１４のモータ
３２５    第１１の操作子
３２６    第１２の操作子
３２７    第１３の操作子
３２８    第１４の操作子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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