(57)【要約】【課題】ファンフィルタユニットの風量調節を遠隔から操作する場合において、コストアップの要因になるシリアル通信やアナログ信号を用いることなく、安価な方法で実現する。【解決手段】周期的なパルス信号の周期と電動機の回転数を一義的に関係付けて、パルス信号の周期を変化させることで、電動機の回転数を指示する。また、ファンフィルタユニットから電動機の回転数をパルス信号で出力することで、外部から電動機の回転数をモニタすることができるようにする。【選択図】図１０
2009101290.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転数を可変することができる電動機と、周期的なパルス信号を入力してパルス周期を測定する回転数指示パルス測定手段と、回転数指示パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段とで構成されるファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項２】
回転数を可変することができる電動機と、周期的なパルス信号を入力してパルス周期を測定する第一および第二の回転数指示パルス測定手段と、これら第一および第二の回転数指示パルス測定手段からの信号を外部条件に応じて切換える切換手段と、パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段とで構成されるファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項３】
一定周期のパルスを発生するパルス発生手段を設け、第一の回転数指示パルス測定手段では、周期的なパルス信号を入力してその周期を測定し、第二の回転数指示パルス測定手段では、前記パルス発生手段から出力される出力パルス周期を測定することを特徴とする請求項２記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項４】
パルス発生手段の出力パルス周期を可変するパルス周期可変手段を設けたことを特徴とする請求項３記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項５】
切換手段の出力に表示手段を設けた請求項２〜４いずれかに記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項６】
電動機の回転数を検出する回転数検出手段と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段とを有する、請求項１〜５いずれかに記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項７】
電動機の回転数の上限および下限を設定する上下限回転数設定手段と、電動機の回転数と上下限回転数設定手段の設定値とを比較する回転数比較手段と、電動機の回転数が上下限を超えた場合に信号出力する出力手段とを有した、請求項６に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項８】
電動機の回転数が上下限を超えた場合に、回転数パルス出力手段からの出力を止めるようにした、請求項６に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項９】
上下限回転数の設定を外部からの周期的なパルスで設定できるように、上限および下限の設定パルスを入力して周期を測定する上限回転数パルス測定手段および下限回転数パルス測定手段を設け、この出力で上下限の回転数を設定するようにした、請求項７または８に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１０】
回転数を可変することができる電動機と、外部からの周期的なパルス信号を入力してその周期を測定するパルス測定手段と、パルス信号と共にこのパルス信号の意味付けを識別する識別パルス信号を入力するパルス信号識別手段と、この識別結果に応じてパルス周期測定手段の測定結果を記憶する記憶手段と、記憶手段の出力を外部入力条件に応じて切換える切換手段と、パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段と、電動機の回転数を検出する回転数検出手段と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段と、電動機の回転数と記憶手段で記憶した上下限の設定値とを比較する回転数比較手段と、電動機の回転数が上下限を超えた場合に出力する出力手段とで構成されるファンフィルタユニットの制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの清浄環境を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットの風量を可変させる制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットは、半導体などの製造装置に組み込まれて、またはクリーンルームの天井部などに設置されて運転され、一定の空間を清浄化している。このファンフィルタユニットは、半導体製造装置やクリーンルームの稼動情況や、設置場所に応じて風量を調節して使用される。風量の調節はファンフィルタユニットに内蔵された風量調節装置で予め調節される場合もあるが、半導体製造装置によっては、外部信号により遠隔操作で風量調節が必要な場合がある。従来、このような場合は、特開２００４−１２０８１３号公報（特許文献１）に示すように、アナログ信号により電動機の速度指示を受けるか、またはシリアル通信により速度指示を受けていた。
【特許文献１】特開２００４−１２０８１３号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のアナログ信号による速度指示では、ファンフィルタユニット側は、アナログ信号をＡ／Ｄ変換器でデジタル信号に変換して制御手段で電動機の速度調節をしていた。また、シリアル通信による速度指示では、通信ユニットを搭載してシリアル信号を翻訳して電動機の速度調節をしていた。また、電動機の回転数を外部に出力する場合はシリアル通信を通じて行っていた。このために、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信ユニットなどが必要となり、コストアップの要因になっていた。
【０００４】
本発明は、このような従来のファンフィルタユニットの回転数調節および回転数モニタ出力に係る課題を解決するものであり、安価なファンフィルタユニットを実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のファンフィルタユニットの制御装置は、回転数を可変することができる電動機と、周期的なパルス信号を入力してパルス周期を測定する回転数指示パルス測定手段と、回転数指示パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段とで構成したものである。
【０００６】
この構成により、入力する回転数指示パルスの周期を可変することでファンフィルタユニットの電動機の回転数を可変することができる。
【０００７】
また他の手段は、回転数を可変することができる電動機と、周期的なパルス信号を入力してパルス周期を測定する第一および第二の回転数指示パルス測定手段と、これら第一および第二の回転数指示パルス測定手段からの信号を外部入力条件に応じて切換える切換手段と、パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段とで構成したものである。
【０００８】
この構成により、入力する回転数指示パルスの周期を可変することでファンフィルタユニットの電動機の回転数を可変することができると共に、異なる二つの回転数を切換えて指示することができ、ファンフィルタユニットの電動機の回転数指示を瞬時に切換えることができる。
【０００９】
また他の手段は、回転数を可変することができる電動機と、周期的なパルス信号を入力してその周期を測定する第一の回転数指示パルス測定手段と、一定周期のパルスを発生するパルス発生手段と、この出力パルス周期を測定する第二の回転数指示パルス測定手段と、これら第一および第二の回転数指示パルス測定手段からの信号を外部入力条件に応じて切換える切換手段と、パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段とで構成したものである。
【００１０】
この構成により、入力する回転数指示パルスの周期を可変することでファンフィルタユニットの電動機の回転数を可変することができると共に、ファンフィルタユニット内部で設定した回転数にも切換えて指示することができ、ファンフィルタユニットの電動機の回転数指示を瞬時に切換えることができる。
【００１１】
また他の手段は、パルス発生手段の出力パルス周期を可変するパルス周期可変手段を設けたものである。
【００１２】
この構成により、入力する回転数指示パルス周期を可変することでファンフィルタユニットの電動機の回転数を可変することができると共に、ファンフィルタユニット内部で設定変更可能な回転数にも切換えて指示することができ、ファンフィルタユニットの電動機の回転数指示を瞬時に切換えることができる。
【００１３】
また他の手段は、切換手段の出力に表示手段を設けたものである。
【００１４】
この構成により、異なる二つの回転数指示のどちらの指示で電動機が回転しているかを目視で容易に判断できる。
【００１５】
また他の手段は、電動機の回転数を検出する回転数検出手段と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段とを有する構成としたものである。
【００１６】
この構成により、電動機の回転数を外部から監視することができる。
【００１７】
また他の手段は、電動機の回転数を検出する回転数検出手段と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段と、電動機の回転数の上限および下限を設定する上下限回転数設定手段と、電動機の回転数と上下限回転数設定手段の設定値とを比較する回転数比較手段と、電動機の回転数が上下限を超えた場合に信号出力する出力手段とを有する構成としたものである。
【００１８】
この構成により、電動機の回転数を監視し、さらに予め設定した上下限回転数範囲を超えた場合に異常出力することができる。
【００１９】
また他の手段は、電動機の回転数が上下限を超えた場合に、回転数パルス出力手段からの出力を止めるようにした構成としたものである。
【００２０】
この構成により、電動機の回転数を監視し、さらに予め設定した上下限回転数範囲を超えた場合に回転数信号が停止することで、異常を認識することができる。
【００２１】
また他の手段は、上下限回転数の設定を外部からの周期的なパルスで設定できるように、上限および下限の設定パルスを入力して周期を測定する上限回転数パルス測定手段および下限回転数パルス測定手段を設け、この出力で上下限の回転数を設定するような構成としたものである。
【００２２】
この構成により、電動機の回転数を監視し、さらに変更可能な上下限回転数範囲を設定することができ、この範囲を超えた場合に異常出力することができる。
【００２３】
また他の手段は、回転数を可変することができる電動機と、外部からの周期的なパルス信号を入力してその周期を測定するパルス測定手段と、パルス信号と共にこのパルス信号の意味付けを識別する識別パルス信号を入力するパルス信号識別手段と、この識別結果に応じてパルス測定手段の測定結果を記憶する記憶手段と、記憶手段の出力を外部条件に応じて切換える切換手段と、パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段と、電動機の回転数を検出する回転数検出手段と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段と、電動機の回転数と記憶手段で記憶した上下限の設定値とを比較する回転数比較手段と、電動機の回転数が上下限を超えた場合に出力する出力手段とで構成したものである。
【００２４】
この構成により、入力する回転数指示パルスの周期を可変することでファンフィルタユニットの電動機の回転数を可変することができると共に、異なる二つの回転数を切換えて指示することができ、ファンフィルタユニットの電動機の回転数指示を瞬時に切換えることができる。また、電動機の回転数を監視し、さらに変更可能な上下限回転数範囲を設定することができ、この範囲を超えた場合に異常出力することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、電動機の回転数指示をパルス信号で受ける構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができる。
【００２６】
また、他の構成で、回転数指示を二つの異なるパルス信号を受けて、これを切換えて制御する構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができ、さらに、二つの異なる回転数指示を瞬時に切換えることができる。
【００２７】
また、他の構成で、回転数指示をパルス信号と内部のパルス発生手段とで受けて、これを切換えて制御する構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができ、さらに、二つの異なる回転数指示を瞬時に切換えることができる。
【００２８】
また、他の構成で、回転数指示をパルス信号と内部の周期を可変可能なパルス発生手段とで受けて、これを切換えて制御する構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができ、さらに、二つの異なる回転数指示を瞬時に切換えることができる。
【００２９】
また、他の構成で、回転数指示を二つの異なるパルス信号を受けて、これを切換えて制御し、さらに切換手段に表示手段を設けた構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができ、さらに、二つの異なる回転数指示を瞬時に切換えることができと共に、切換結果を目視で判断することができる。
【００３０】
また、他の構成で、回転数指示を二つの異なるパルス信号を受けて、これを切換えて制御し、さらに、回転数をパルス信号で出力する構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができ、さらに、二つの異なる回転数指示を瞬時に切換えることができ、さらに、回転数モニタ信号をパルスで出力することができる。
【００３１】
また、他の構成で、回転数指示を二つの異なるパルス信号を受け、これを切換えて制御し、さらに、回転数をパルス信号で出力すると共に、予め設定した上下限の回転数範囲を超えた場合に信号を出力する構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができ、さらに、二つの異なる回転数指示を瞬時に切換えることができ、さらに、回転数モニタ信号をパルスで出力すると共に回転数の異常信号を出力することができる。
【００３２】
また、他の構成で、回転数指示を二つの異なるパルス信号を受けて、これを切換えて制御し、さらに、回転数をパルス信号で出力すると共に、予め設定した上下限の回転数範囲を超えた場合に回転数パルス信号の出力を停止する構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができ、さらに、二つの異なる回転数指示を瞬時に切換えることができ、さらに、回転数モニタ信号をパルスで出力すると共に回転数の異常を監視することができる。
【００３３】
また、他の構成で、回転数指示を二つの異なるパルス信号を受けて、これを切換えて制御し、さらに、回転数をパルス信号で出力すると共に、外部パルス信号で設定した上下限の回転数範囲を超えた場合に回転数パルス信号の出力を停止する構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができ、さらに、二つの異なる回転数指示を瞬時に切換えることができ、さらに、回転数モニタ信号をパルスで出力すると共に回転数の異常信号を出力することができる。
【００３４】
また、他の構成で、回転数指示および上下限回転数を一つの入力ラインからパルス信号で受け、同時に他の入力ラインでパルス信号を識別する信号を受け、さらに、回転数をパルス信号で出力する構成としたため、Ａ／Ｄ変換器やシリアル通信回路が不要となり安価で簡易なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができ、さらに、二つの異なる回転数指示を瞬時に切換えることができ、さらに、回転数モニタ信号をパルスで出力すると共に回転数の異常信号を出力することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
本発明の請求項１記載の発明は、回転数を可変することができる電動機と、周期的なパルス信号を入力してパルス周期を測定する回転数指示パルス測定手段と、回転数指示パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段とで構成したものであり、パルス信号で回転数の指示を受けるという作用を有する。
【００３６】
本発明の請求項２記載の発明は、回転数を可変することができる電動機と、周期的なパルス信号を入力してパルス周期を測定する第一および第二の回転数指示パルス測定手段と、これら第一および第二の回転数指示パルス測定手段からの信号を外部条件に応じて切換える切換手段と、パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段とで構成したものであり、二つの異なるパルス信号で回転数の指示を切換えて受けるという作用を有する。
【００３７】
本発明の請求項３記載の発明は、回転数を可変することができる電動機と、周期的なパルス信号を入力してその周期を測定する第一の回転数指示パルス測定手段と、一定周期のパルスを発生するパルス発生手段と、この出力パルス周期を測定する第二の回転数指示パルス測定手段と、これら第一および第二の回転数指示パルス測定手段からの信号を外部条件に応じて切換える切換手段と、パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段とで構成したものであり、外部パルス信号での回転数指示と内部で設定した回転数指示とを切換えて受けるという作用を有する。
【００３８】
本発明の請求項４記載の発明は、パルス発生手段の出力パルス周期を可変で設定できるようにしたものであり、外部パルス信号での回転数指示と可変可能な内部で設定した回転数指示とを切換えて受けるという作用を有する。
【００３９】
本発明の請求項５記載の発明は、切換手段の出力に表示手段を設けたものであり、二つの異なる回転数指示を切換えた結果を目視できるという作用を有する。
【００４０】
本発明の請求項６記載の発明は、電動機の回転数を検出する回転数検出手段と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段とを有する構成としたものであり、電動機の回転数をパルス出力するという作用を有する。
【００４１】
本発明の請求項７記載の発明は、電動機の回転数を検出する回転数検出手段と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段と、電動機の回転数の上限および下限を設定する上下限回転数設定手段と、電動機の回転数と上下限回転数設定手段の設定値とを比較する回転数比較手段と、電動機の回転数が上下限を超えた場合に信号出力する出力手段とを有した構成としたものであり、電動機の回転数が設定した上下限の回転数範囲を超えた場合に、信号を出力するという作用を有する。
【００４２】
本発明の請求項８記載の発明は、電動機の回転数が上下限を超えた場合に、回転数パルス出力手段からの出力を止めるようにしたものであり、電動機の回転数が設定した上下限の回転数範囲を超えた場合に、回転数パルス信号の出力を停止するという作用を有する。
【００４３】
本発明の請求項９記載の発明は、上下限回転数の設定を外部からの周期的なパルスで設定できるように、上限および下限の設定パルスを入力して周期を測定する上限回転数パルス測定手段および下限回転数パルス測定手段を設けたものであり、電動機の上下限回転数を外部パルス信号で設定するという作用を有する。
【００４４】
本発明の請求項１０記載の発明は、回転数を可変することができる電動機と、外部からの周期的なパルス信号を入力してその周期を測定するパルス測定手段と、パルス信号と共にこのパルス信号の意味付けを識別する識別パルス信号を入力するパルス信号識別手段と、この識別結果に応じてパルス測定手段の測定結果を記憶する記憶手段と、記憶手段の出力を外部条件に応じて切換える切換手段と、パルス周期から前記電動機の回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段の出力を受けて電動機の回転数を制御する制御手段と、電動機の回転数を検出する回転数検出手段と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段と、電動機の回転数と記憶手段で記憶した上下限の設定値とを比較する回転数比較手段と、電動機の回転数が上下限を超えた場合に出力する出力手段とで構成したものであり、意味付けされた外部パルス信号を記憶し切換えて回転数指示を受けると共に、上下限の回転数を設定するという作用を有する。
【００４５】
（実施の形態１）
図１に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、回転数を可変することができる電動機１と、周期的なパルス信号を入力してパルス周期を測定する回転数指示パルス測定手段２と、回転数指示パルスの周期から電動機１の回転数を決定する回転数決定手段３と、回転数決定手段３の出力を受けて電動機１の回転数を制御する制御手段４とを有する構成となっている。
【００４６】
上記構成において、外部より入力するパルス信号の周期と電動機１の回転数との関係を一義的に決めておき、ある周期のパルス信号を入力すると、回転数指示パルス測定手段２で入力されたパルス信号の周期を測定し、回転数決定手段３に信号を送る。回転数決定手段３では、一義的に決めたパルス信号の周期と電動機１の回転数との関係から電動機１の回転数を決定して制御手段４に回転数を指示し、制御手段４はこの指示回転数にて電動機１を回転数制御する。パルス信号の周期を可変することで、電動機１の回転数を可変することができる。
【００４７】
周期的なパルス信号は、オン／オフの繰り返し信号であるため、プログラマルロジックコントローラ（以下、ＰＬＣと略する）などで簡単に出力することができ、シリアル通信ユニットやＡＤ変換ユニットなどをＰＬＣに付加することなく、安価にファンフィルタユニットの風量調節を実現することができる。
【００４８】
（実施の形態２）
図２に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、回転数を可変することができる電動機１と、周期的なパルス信号を入力してパルス周期を測定する第一および第二の回転数指示パルス測定手段２１，２２と、これら第一および第二の回転数指示パルス測定手段２１，２２からの信号を外部条件に応じて切換える切換手段５と、パルス信号の周期から電動機１の回転数を決定する回転数決定手段３と、回転数決定手段３の出力を受けて電動機１の回転数を制御する制御手段４とを有する構成となっている。
【００４９】
上記構成において、第一および第二の回転数指示パルス測定手段２１、２２、回転数決定手段３、制御手段４、および電動機１は、実施の形態１で記述した機能と同等の機能を有する。切換手段５は、第一および第二の回転数指示パルス測定手段２１、２２から二つの周期信号を入力するが、外部条件を入力して、これに応じて二つのパルス周期を切換えて回転数決定手段に信号を出力する。この外部条件を入力することにより、たとえば半導体製造装置に設けられたセンサーやスイッチの状態に応じて電動機の回転数を瞬時に切換ることができる。例えば、半導体製造装置のドアなどが開いて装置内部の静圧が変化したときなど、その変化に応じてファンフィルタユニットの風量を変化させることで、装置内部の静圧を一定に保つなどの対応が可能になる。
【００５０】
（実施の形態３）
図３に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、回転数を可変することができる電動機１と、周期的なパルス信号を入力してその周期を測定する第一の回転数指示パルス測定手段２１と、一定周期のパルスを発生するパルス発生手段６と、この出力パルス周期を測定する第二の回転数指示パルス測定手段２２と、これら第一および第二の回転数指示パルス測定手段２１、２２からの信号を外部入力条件に応じて切換える切換手段５と、パルス周期から電動機１の回転数を決定する回転数決定手段３と、回転数決定手段３の出力を受けて電動機１の回転数を制御する制御手段４とを有する構成となっている。
【００５１】
上記構成において、パルス発生手段６は予め設定した周期のパルスを発生するもので、この出力を第二の回転数指示パルス測定手段２２に入力することで、実施の形態２と同様に、外部からの回転数指示パルス信号による電動機１の回転数指示と、内部で予め設定した電動機１の回転数指示を瞬時に切換えて制御することが可能となる。これは、たとえばパルス発生手段の指示を最低回転数に設定することで、外部条件に応じて瞬時にスタンバイ状態に切換えることができる。例えば、装置内部に半導体がない場合などは、ファンフィルタユニットの回転数を最低回転数にすることで省エネを図ることが可能となる。
【００５２】
（実施の形態４）
図４に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、実施の形態３に対して、パルス発生手段６の出力パルス周期を可変できるようにパルス周期可変手段７を追加した構成となっている。
【００５３】
この構成により、外部条件により切換える電動機１の回転数を可変して設定することができる。
【００５４】
（実施の形態５）
図５に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、実施の形態２から４に示した切換手段５の出力に表示手段８を追加した構成となっている。表示手段８は切換手段５が選択した回転数指示パルスを表示する機能を有する。
【００５５】
上記構成において、切換手段５が外部条件に応じてどちらの回転数指示パルスを選択したことが目視で容易に判断することができるので、試運転時において結線ミスなどの発見が容易になる。
【００５６】
（実施の形態６）
図６に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、実施の形態１から５に対して、電動機１の回転数を検出する回転数検出手段９と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段１０とを追加した構成となっている。
【００５７】
上記構成において、外部から電動機１の実回転数をモニタすることができ、運転状態、異常状態の監視が可能になる。
【００５８】
（実施の形態７）
図７に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、実施の形態６に対して、電動機の回転数の上限および下限を設定する上下限回転数設定手段１１と、電動機の回転数と上下限回転数設定手段１１の設定値とを比較する回転数比較手段１２と、電動機の回転数が上下限を超えた場合に信号出力する出力手段１３とを有する構成となっている。
【００５９】
上記構成において、電動機１の回転数が予め設定した上限および下限の回転数範囲を超えた場合は、出力手段１３に信号を出力することとなり、外部から電動機１の回転数異常状態を容易に判断することができる。
【００６０】
（実施の形態８）
図８に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、実施の形態７に対して、回転数比較手段１２の出力で、回転数パルス出力手段１０の出力を停止する構成となっている。
【００６１】
上記構成において、電動機１の回転数が予め設定した上限および下限の回転数範囲を超えた場合は、回転数パルス出力手段１０の出力を停止することとなり、外部から電動機１の回転数異常状態を容易に判断することができる。回転数パルス出力手段１０の出力を共用するため実施の形態７と同等の機能を、より簡易な方法で実現できる。
【００６２】
（実施の形態９）
図９に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、実施の形態７および８に対して、上限回転数パルス測定手段１４と下限回転数パルス測定手段１５とを追加した構成となっている。上下限回転数設定手段１１には、この上限回転数パルス測定手段１４と下限回転数パルス測定手段１５の出力を受けて、電動機１の上下限回転数を設定される。
【００６３】
上記構成において、実施の形態７および８では、電動機１の上下限回転数が固定で合ったの対して、ファンフィルタユニットが設置される環境に適切な上下限回転数を外部より設定することが可能となる。
【００６４】
（実施の形態１０）
図１０に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２０は、回転数を可変することができる電動機１と、外部からの周期的なパルス信号を入力してその周期を測定するパルス測定手段１７と、パルス信号と共にこのパルス信号の意味付けを識別する識別パルス信号を入力するパルス信号識別手段１８と、この識別結果に応じてパルス測定手段１７の測定結果を記憶する記憶手段１６と、記憶手段１６の出力を外部入力条件に応じて切換える切換手段５と、パルス周期から前記電動機１の回転数を決定する回転数決定手段３と、前記回転数決定手段３の出力を受けて電動機１の回転数を制御する制御手段４と、電動機１の回転数を検出する回転数検出手段９と、検出した回転数を周期的なパルスに変換して出力する回転数パルス出力手段１０と、電動機１の回転数と記憶手段１６で記憶した上下限の設定値とを比較する回転数比較手段１２と、電動機１の回転数が上下限を超えた場合に出力する出力手段１３とを有する構成となっている。パルス測定手段１７には、電動機１の第一の回転数、第二の回転数、上限回転数、および下限回転数のパルス信号が入力されるが、どのパルス信号であるかは、同時にパルス信号識別手段１８に入力されるパルス信号で決定される。記憶手段１６は、パルス信号を識別して記憶し、第一および第二の回転数信号は切換手段５に出力され、上限回転数および下限回転数信号は上下限回転数設定手段１１に出力される。この他の動作は、実施の形態１〜９に示した動作と同様である。
【００６５】
上記構成において、より簡易な構成で実施の形態９と同等の機能を有することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
ファンフィルタユニットの制御装置で説明したが、遠隔操作を行う電動機制御全般に応用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態１のブロック図
【図２】本発明の実施の形態２のブロック図
【図３】本発明の実施の形態３のブロック図
【図４】本発明の実施の形態４のブロック図
【図５】本発明の実施の形態５のブロック図
【図６】本発明の実施の形態６のブロック図
【図７】本発明の実施の形態７のブロック図
【図８】本発明の実施の形態８のブロック図
【図９】本発明の実施の形態９のブロック図
【図１０】本発明の実施の形態１０のブロック図
【符号の説明】
【００６８】
１    電動機
２    回転数指示パルス測定手段
３    回転数決定手段
４    制御手段
５    切換手段
６    パルス発生手段
７    パルス周期可変手段
８    表示手段
９    回転数検出手段
１０  回転数パルス出力手段
１１  上下限回転数設定手段
１２  回転数比較手段
１３  出力手段
１４  上限回転数パルス測定手段
１５  下限回転数パルス測定手段
１６  記憶手段
１７  パルス測定手段
１８  パルス信号識別手段
２０  制御装置
２１  第一の回転数指示パルス測定手段
２２  第二の回転数指示パルス測定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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