(57)【要約】  【課題】スリットノズルの吐出口面および隣接面に付着した塗布液とその乾燥固着物を容易に、短時間で除去することが可能な清掃方法及び清掃装置、並びにこれらを用いて塗布品位に優れたディスプレイ用部材を高い生産性で製造可能なディスプレイ用部材の製造方法及び製造装置を提供することにある。  【解決手段】吐出口面と、該吐出口面に隣接する隣接面を有するスリットノズルを清掃する方法であって、清掃部材を吐出口面と隣接面に接触させつつ長手方向に移動させて、吐出口面と隣接面の清掃を行う第1の清掃工程と、回転ブラシを隣接面に当接させつつ、且つ当接部に洗浄液を供給しながら長手方向に移動させて、隣接面を清掃する第２の清掃工程と、を有するスリットノズルの清掃方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口を具備した吐出口面と、該吐出口面に隣接する隣接面を有するスリットノズルを清掃する方法であって、清掃部材を吐出口面と隣接面に接触させつつスリットノズルの長手方向に移動させて、吐出口面と隣接面の清掃を行う第1の清掃工程と、回転ブラシを前記隣接面に当接させつつ、且つ当接部に洗浄液を供給しながらスリットノズルの長手方向に移動させて、前記隣接面を清掃する第２の清掃工程と、を有することを特徴とするスリットノズルの清掃方法。
【請求項２】
前記第２の清掃工程において、前記隣接面への回転ブラシの当接と当接部への洗浄液の供給による隣接面の清掃後に、隣接面に向かって洗浄液を吐出して、隣接面の清掃を行うことを特徴とする請求項１に記載のスリットノズルの清掃方法。
【請求項３】
前記第２の清掃工程において、前記隣接面への洗浄液の吐出後に、隣接面に向かって気体を吐出して隣接面の清掃を行うことを特徴とする請求項２に記載のスリットノズルの清掃方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のスリットノズルの清掃方法を用いて、ディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
【請求項５】
塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口を具備した吐出口面と、該吐出口面に隣接する隣接面を有するスリットノズルを清掃する清掃装置であって、（Ａ）清掃部材を前記吐出口面と隣接面に接触させつつスリットノズルの長手方向に移動させる第１の清掃装置と、（Ｂ）隣接面に当接させる回転ブラシと、回転ブラシと隣接面の当接部に洗浄液を供給するノズルとを備えた清掃ユニットとを有し、かつ該清掃ユニットをスリットノズルの長手方向に移動可能とする第２の清掃装置と、を設けたことを特徴とするスリットノズルの清掃装置。
【請求項６】
前記第２の清掃装置に隣接してスリットノズルの長手方向に、洗浄液を前記隣接面に向かって吐出する洗浄液吐出ユニットをさらに配することを特徴とする請求項５に記載のスリットノズルの清掃装置。
【請求項７】
前記洗浄液吐出ユニットに隣接してスリットノズルの長手方向に、隣接面に向かって気体を吐出する気体吐出ユニットをさらに配することを特徴とする請求項６に記載のスリットノズルの清掃装置。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれかに記載のスリットノズルの清掃装置を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ並びにＴＦＴ用アレイ基板、光学フィルタ、ＰＤＰ背面板、前面板等のディスプレイ用部材を製造する分野に主として使用されるものであり、詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面に塗布液を吐出して、均一な塗布膜を形成するスリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する隣接面の清掃を行うスリットノズルの清掃方法及び清掃装置、並びにディスプレイ用部材の製造方法及び製造装置の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶用ディスプレイは、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板などにより構成されているが、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板ともに、低粘度の液体材料を塗布して乾燥させ、塗布膜を形成する製造工程が多く含まれている。例えば、カラーフィルタの製造工程では、ガラス基板上に黒色のフォトレジスト材の塗布膜を形成し、フォトリソ法により塗布膜を格子状に加工した後に、格子間に赤色、青色、緑色のフォトレジスト材の塗布膜を同様の手法により順次形成していく。その他にも、フォトレジスト材を塗布して塗布膜を形成後、カラーフィルタとＴＦＴ用アレイ基板との間に注入される液晶のスペースを形成する柱にしたり、カラーフィルタ上の表面の凹凸を平滑化するためのオーバコート塗布膜を形成する製造工程などもある。
【０００３】
この塗布膜形成のための塗布装置としては、従来はスピナー、バーコータなどが使用されていたが、塗布液の使用量削減や消費電力削減、さらに塗布基板の大型化に伴う装置の大型化が困難であることなどにより、近年に至ってスリットコータ（例えば特許文献１）の使用が増加してきている。この公知のスリットコータは塗布ヘッドとしてスリットノズルを有し、このスリットノズルに設けられたスリット状の吐出口から塗布液を吐出しながら、一方向に走行するガラス基板などの枚葉状の被塗布部材に塗布膜を形成するものとなっている。
【０００４】
このスリットコータを使用して枚葉状の被塗布部材に塗布を行う場合、一度塗布液の塗布を行うと、スリットノズルの長手方向に複数の液玉が連ねられたような形で、スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する隣接面に塗布液が付着して残留する。再び塗布を行う際に、吐出口面および隣接面に塗布液が付着残留したままであると、スリットノズルから吐出される塗布液と共に、付着していた塗布液もガラス基板に塗布されるため、長手方向すなわち塗布幅方向に均一厚さの塗布膜が得られなくなる。また、塗布液が感光性アクリル系ペースト、フォトレジスト等の揮発性の高いものであると、吐出口面や隣接面に付着した塗布液が乾燥して容易に乾燥固着物となり、これがスジむらなどの塗布欠点を発生させたり、乾燥固着物が塗布膜面に落下してパーティクル欠点などが発生することがある。
【０００５】
以上の不都合を回避するために、一回の塗布が終了するごとに、スリットノズルの吐出口面および隣接面を清掃部材により清掃して、付着した塗布液を除去することが行われている（例えば特許文献２、３）。特許文献２では、筒状長尺ブラシを回転させながら水平ならびに上下方向に往復動させてスリットノズルの清掃が行われるが、付着した塗布液は十分除去できない。一方特許文献３では吐出口面および隣接面に密着する清掃部材を長手方向に摺接させて付着した塗布液の除去が行われる。
【０００６】
しかし、この方法で塗布液が付着しているスリットノズルの吐出口面および隣接面を清掃しても、付着している塗布液量が多いと、隣接面の清掃部材の摺接経路外に塗布液がせり上がって残存することがある。このせり上がりにより残存した塗布液は、多数回に亘る清掃によって次第に蓄積、乾燥し、乾燥固着物片の落下による塗布欠点や、清掃部材と乾燥固着物との摩耗による清掃部材の寿命低下および摩耗粉による塗布欠点などを引き起こし、塗布膜品質低下の一因となっている。この問題に対しては、清掃部材の摺接経路外に残存した塗布液や、その乾燥固着物を清掃部材を摺接させて除去するなどの改善が提案されているが（例えば特許文献４）、十分には塗布液やその乾燥固着物を除去できないのが現状である。
【特許文献１】特開平６−３３９６５６号公報（第５欄１８行目〜第９欄１３行目、図１）
【特許文献２】特開２００４−２６７９３５号公報（第４欄１行目〜第５欄４０行目、図１〜図５）
【特許文献３】特開平７−１６８０１５号公報（第２欄２６行目〜第２欄３８行目、第３欄８行目〜第４欄２５行目、図１、図３）
【特許文献４】特開２００６−１６７５０８号公報（第５欄２６行目〜第１０欄１行目、図１〜図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
スリットコータにおいて、繰り返して安定して塗布を行うためにスリットノズルの清掃を毎回行おうとすると、公知の最も優れた清掃手段を用いた場合でも、スリットノズル隣接面の清掃部材の摺接経路外に塗布液やその乾燥固着物が残存し、残存塗布液やその乾燥固着物による塗布面でのスジ欠点、乾燥固着物の塗布面への落下によるパーティクル欠点、並びに清掃部材と乾燥固着物との摩耗粉による塗布欠点、が発生する。さらには清掃部材の摩耗による寿命低下によって製造コストが増大するという問題もある。
【０００８】
以上、従来の清掃手段でスリットノズルの清掃を行うと清掃状態が不十分で塗布膜品質や製造コストを損なうので、溶剤を湿らせた布で残存した塗布液やその乾燥固着物を人手で拭き取ることが行われている。この作業は一定間隔ごとに装置を停止して行う必要があることから、生産性低下の一因にもなっている。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、スリットノズルの吐出口面および隣接面に付着した塗布液とその乾燥固着物を容易に、短時間で除去することが可能な清掃方法及び清掃装置、並びにこれらを用いて塗布品位に優れたディスプレイ用部材を高い生産性で製造可能なディスプレイ用部材の製造方法及び製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記本発明の目的は、以下に述べる手段により達成される。
本発明に係る清掃方法は、塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口を具備した吐出口面と、該吐出口面に隣接する隣接面を有するスリットノズルを清掃する方法であって、清掃部材を吐出口面と隣接面に接触させつつスリットノズルの長手方向に移動させて、吐出口面と隣接面の洗浄を行う第1の清掃工程と、回転ブラシを前記隣接面に当接させつつ、且つ当接部に洗浄液を供給しながらスリットノズルの長手方向に移動させて、前記隣接面を清掃する第２の清掃工程と、を有することを特徴とする。
【００１０】
ここで、前記第２の清掃工程において、前記隣接面への回転ブラシの当接と当接部への洗浄液の供給による隣接面の清掃後に、隣接面に向かって洗浄液を吐出して、隣接面の清掃を行うこと、前記第２の清掃工程において、前記隣接面への洗浄液の吐出後に、隣接面に向かって気体を吐出して隣接面の清掃を行うこと、が好ましい。
本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法は、請求項１〜３に記載のスリットノズルの清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。
又、本発明に係る清掃装置は、塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口を具備した吐出口面と、該吐出口面に隣接する隣接面を有するスリットノズルを清掃する清掃装置であって、（Ａ）清掃部材を前記吐出口面と隣接面に接触させつつスリットノズルの長手方向に移動させる第１の清掃装置と、（Ｂ）隣接面に当接させる回転ブラシと、回転ブラシと隣接面の当接部に洗浄液を供給するノズルとを備えた清掃ユニットとを有し、かつ該清掃ユニットをスリットノズルの長手方向に移動可能とする第２の清掃装置と、を設けたことを特徴とする。
【００１１】
ここで、前記第２の清掃装置に隣接してスリットノズルの長手方向に洗浄液を前記隣接面に向かって吐出する洗浄液吐出ユニットをさらに配すること、前記洗浄液吐出ユニットに隣接してスリットノズルの長手方向に、隣接面に向かって気体を吐出する気体吐出ユニットをさらに配すること、が好ましい。
本発明に係るディスプレイ用部材の製造装置は、請求項５〜７のいずれかに記載のスリットノズルの清掃装置を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る清掃方法および清掃装置を用いれば、スリットノズルの吐出口面と隣接面に付着した塗布液を、清掃部材を摺接させて除去し、さらに隣接面に残存した少量の塗布液やその乾燥固着物を回転ブラシ、洗浄液、気体を用いた清掃によって除去するのであるから、残存物なく容易に、かつ効率良く除去できる。残存する塗布液や乾燥固着物を皆無にできるのであるから、残存塗布液や乾燥固着物片起因の塗布欠点の発生や、清掃部材と乾燥固着物との摩耗による清掃部材の寿命低下、及び摩耗粉による塗布欠点の発生、を完全に解消できる。更に一定間隔ごとに装置を停止して残存した塗布液や乾燥固着物を人手で清掃除去することが不要であるので、スリットコータの稼働率が向上し、生産性を向上させることが可能となる。
【００１３】
本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法および製造装置によれば、上記の優れた清掃方法および清掃装置を用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、優れた品位のディスプレイ用部材を低コストで製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好ましい実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は本発明の清掃装置３０を備えたスリットコータ１の概略側面図、図２は本発明の清掃装置３０の拡大概略側面図、図３は拭取りゴム清掃装置３１による清掃状況を示す概略正面図、図４は本発明の回転ブラシ付き清掃装置６０の概略斜視図、図５は回転ブラシ付き清掃装置６０による清掃状況を示す概略側面図、図６は本発明の回転ブラシ付き清掃装置１１０の概略斜視図、図７は本発明の回転ブラシ付き清掃装置１２０の概略斜視図、である。
【００１５】
まず図１を参照すると、本発明の清掃装置３０を左側に装備したスリットコータ１が示されている。このスリットコータ１は基台２を備えており、基台２上には、被塗布部材であるガラス基板５の載置台、すなわちステージ４が配置されている。ステージ４の上面は図示しない吸着孔からなる真空吸着面となっており、ガラス基板５を吸着保持することができる。基台２上には、さらに一対のガイドレール３が設けられており、このガイドレール３上には、門型ガントリー６が矢印で示されているＸ方向に案内自在に搭載されている。門型ガントリー６には、昇降ユニット７を介してスリットノズル２０がステージ４の上方の位置に来るように取り付けられている。門型ガントリー６は図示しないリニアモータで駆動されるので、これに搭載されているスリットノズル２０は、Ｘ方向に自在に往復動することができる。
【００１６】
尚、スリットノズル２０は、Ｘ方向に直交する方向（紙面に垂直な方向）、すなわち長手方向に延びているフロントリップ２１、及びリアリップ２２を、シム２３を介してＸ方向に重ね合わせ、図示しない複数の連結ボルトにより一体的に結合して構成されている。スリットノズル２０の内部にはマニホールド２４が形成されており、このマニホールド２４もスリットノズル２０の長手方向にのびている。マニホールド２４の下方には、スリット２５が連通して形成されている。このスリット２５もスリットノズル２０の長手方向にのびており、その下端がスリットノズル２０の最下端面である吐出口面２６で開口して、吐出口２７を形成する。なおスリット２５はシム２３によって形成されるので、スリット２５の間隙（Ｘ方向に測定）は、シム２３の厚さと等しくなる。また吐出口面２６のＸ方向の両隣に隣接する隣接面となるリップ斜面２８が斜め上方に切り上がって形成されている。
このスリットノズル２０を昇降させる昇降ユニット７は、スリットノズル２０を吊り下げる形で保持する吊り下げ保持台８、吊り下げ保持台８を昇降させる昇降台９、昇降台９を上下方向であるＺ方向に案内するガイド１０、モータ１１の回転運動を昇降台９の直線運動に変換するボールネジ１２より構成されている。昇降ユニット７はスリットノズル２０の長手方向の両端部を支持するよう左右１対あって、各々が独立に昇降できるので、スリットノズル２０の長手方向の水平に対する傾き角度を任意に設定することができる。これによってスリットノズル２０の吐出口面２６とガラス基板５を、スリットノズル２０の長手方向にわたって略平行にすることができる。さらに、この昇降ユニット７によって、ステージ４上のガラス基板５とスリットノズル２０の吐出口面２６の間に隙間、即ちクリアランスを任意の大きさに設けることができる。
【００１７】
次に、本発明に係る塗布用スリットノズルの清掃装置３０の構成を図1〜図５を用いて説明する。
図１で基台２上の左側には、清掃装置３０を構成する第１の清掃装置である拭き取りゴム清掃装置３１と、第２の清掃装置である回転ブラシ付き清掃装置６０と、トレイ１００と、が台１０１上に取り付けられている。拭き取りゴム清掃装置３１と回転ブラシ付き清掃装置６０はＸ方向に並べて配置されているので、スリットノズル２０は、門型ガントリー６の移動によって拭き取りゴム清掃装置３１のゴム清掃部材３２や、回転ブラシ付き清掃装置６０の清掃ヘッド部６１の上方まで移動することができる。トレイ１００はスリットノズル２０の長手方向長さよりも長く、拭き取りゴム清掃装置３１や回転ブラシ付き清掃装置６０によるスリットノズル２０の清掃時に除去された塗布液やその乾燥固着物、洗浄液を回収する。塗布液や洗浄液等は落下してトレイ１００に溜まり、排出口１０２、廃液用配管１０３を介して、図示しない回収タンクに回収される。なおトレイ１００は、スリットノズル２０からエアー抜き等で吐出される塗布液を回収するためにも使用される
次に図２を参照すると、拭き取りゴム清掃装置３１はゴム拭き取り部３３、拭き取りゴム駆動部３４、清掃部材洗浄用洗浄液供給部３５で構成される。
【００１８】
ゴム拭き取り部３３は、スリットノズル２０の吐出口面２６及びリップ斜面２８に係合する形状を有するゴム清掃部材３２、それを保持する清掃部材保持台３６、清掃部材保持台３６をＺ方向に往復動自在な弾性体３７を介して連結保持する保持台３８、により構成されている。清掃部材保持台３６には、ゴム清掃部材３２の外形形状に合わせた凹みが設けられており、そこにゴム清掃部材３２をはめ込み、プレート３９を介してプレート固定ボルト４０によりゴム清掃部材３２が固定される。ゴム清掃部材３２の材質としては、摺接するスリットノズル２０に傷を付けないようにシリコーンゴム、エチレンプロピレン共重合体ゴム、フッ素ゴム、テフロン（登録商標）等の高分子樹脂を用いることが好ましいが、スリットノズル２０に密着できるよう弾性を有するゴム弾性体が特に好ましく、さらに、使用する塗布液及び洗浄液に対して薬品耐性を有する材質を選択することがより好ましい。なお、弾性体３７は、その縮み量に応じた略均一の圧力でゴム清掃部材３２をスリットノズル２０の吐出口面２６及びリップ斜面２８に押し当てることが必要であることから、バネ、ゴム、エアーバネ等を用いることが好ましい。なお図３に示すスリットノズル２０の吐出口面２６とゴム清掃部材３２とが作る角度θは、１５°〜８０°であることが好ましく、これによってゴム清掃部材３２で除去される塗布液を、重力を利用して効率よく下方に落下させることができる。
【００１９】
次に、図２に示される拭き取りゴム駆動部３４には、ゴム清掃部材３２を保持する保持台３８をスリットノズル２０の長手方向に自在に移動可能とする駆動装置４１が備えられている。駆動装置４１はボールネジ駆動装置、エアーシリンダ駆動装置など一方向の往復動を可能とするものであれば如何なるものを用いてもよいが、ゴム清掃部材３２の位置決め及び移動を迅速かつ正確に行えるリニアモータ駆動装置がより好ましい。
【００２０】
次に清掃部材洗浄用洗浄液供給部３５は、洗浄液を吐出してゴム清掃部材３２の洗浄を行う洗浄ノズル４２と、洗浄ノズル４２に洗浄液タンク４６中の洗浄液４７を洗浄ノズル用バルブ４４と洗浄液配管４３を介して圧送供給するための圧空源４５により構成される。そして洗浄ノズル用バルブ４４の開閉により、洗浄液タンク４６内の洗浄液４７の洗浄ノズル４２への供給を、任意に制御することができる。なお洗浄ノズル４２から吐出させる洗浄液４７は、塗布液を溶解させる必要があることから、塗布液と可溶な溶剤が好ましい。その他塗布液を溶解させるものであれば、塗布液の構成溶剤そのものでも、アルカリ液であっても良い。また洗浄ノズル４２は長手方向の原点位置に配置されていて、スリットノズル２０がゴム清掃部材３２の上方までＸ方向に移動してきても、洗浄ノズル４２と位置的干渉を起こすことはない。
【００２１】
次に図２の拭き取りゴム清掃装置３１の左側には、回転ブラシ付き清掃装置６０が配置されている。
【００２２】
回転ブラシ付き清掃装置６０は、清掃ヘッド部６１、清掃ヘッド駆動部６４、洗浄液供給部６５、清掃ヘッド洗浄用洗浄液供給部６６で構成されており、清掃ヘッド部６１に備えられた回転ブラシ６２Ａ、Ｂをリップ斜面２８に当接させながらスリットノズル２０の長手方向に移動させて、リップ斜面２８の清掃を行うものである。
【００２３】
図２で清掃ヘッド駆動部６４には、清掃ヘッド部６１の清掃ヘッド保持台７０をスリットノズル２０の長手方向に自在に移動可能とする駆動装置７５が備えられている。駆動装置７５はボールネジ駆動装置、エアーシリンダ駆動装置など一方向の往復動を可能とするものであれば如何なるものを用いてもよいが、清掃ヘッド部６１の位置決め及び移動を迅速かつ正確に行えるリニアモータ駆動装置が好ましい。
【００２４】
次に洗浄液供給部６５は、洗浄液８１を貯蔵する洗浄液タンク７６と、洗浄液タンク７６から洗浄液８１を流量調整装置７９、バルブ７８を介して、清掃ヘッド部６１の清掃ブロック６７Ａ、Ｂに供給する洗浄液配管７７と、洗浄液タンク７６を加圧する圧空源８０と、より構成される。圧空源８０により洗浄液タンク７６内の洗浄液８１を加圧しておけば、バルブ７８の開閉によって、洗浄液８１の清掃ブロック６７Ａ、Ｂへの圧送供給タイミングを任意に制御できる。この時の洗浄液８１の流量速度は絞り弁等からなる流量調整装置７９によって調整される。洗浄液８１は塗布液を溶解させる必要があることから、塗布液と可溶な溶剤が好ましい。その他塗布液を溶解させるものであれば、塗布液の構成溶剤そのものでも、アルカリ液であっても良い。
【００２５】
次に清掃ヘッド洗浄用洗浄液供給部６６は、洗浄液４７を回転ブラシ６２Ａ、Ｂに吐出して回転ブラシ６２Ａ、Ｂの洗浄を行う洗浄ノズル８２と、洗浄タンク４６中の洗浄液４７を洗浄ノズル用バルブ８４を介して洗浄ノズル８２に供給する洗浄液配管８３と、から構成される。なお洗浄液配管８３は、拭き取りゴム清掃装置３１を構成する清掃部材洗浄用洗浄液供給部３５の洗浄液配管４３から分岐している。清掃ヘッド洗浄用洗浄液供給部６６では、洗浄ノズル用バルブ８４の開閉により、圧空源４５で加圧された洗浄液タンク４６内の洗浄液４７の洗浄ノズル８２への供給を、任意に制御することができる。なお洗浄ノズル８２は長手方向の原点位置に配置されていて、スリットノズル２０が清掃ヘッド部６１の上方までＸ方向に移動してきても、洗浄ノズル８２と位置的干渉を起こすことはない。
【００２６】
次に、実際にスリットノズル２０の清掃を行う清掃ヘッド部６１は、図４に詳細が示されているように、回転ブラシ６２Ａ、Ｂと、回転ブラシ６２Ａ、Ｂをそれぞれ両端で回転自在に保持する一対のブラシ支持ブロック６８Ａ、Ｂと、ブラシ支持ブロック６８Ａ、Ｂを支持するとともに、スリットノズル２０のリップ斜面２８に洗浄液を吐出する複数の洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂを備える清掃ブロック６７Ａ、Ｂと、回転ブラシ６２Ａ、Ｂを回転駆動するブラシ駆動モータ６９Ａ、Ｂと、清掃ブロック６７Ａ、Ｂを保持する清掃ヘッド保持台７０と、より構成されている。清掃ブロック６７Ａ、Ｂ上で洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂはスリットノズル２０の長手方向にそれぞれ一列状に配置されている。また清掃ブロック６７Ａ、Ｂの内部には、洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂと供給管１０４Ａ、Ｂとに流体的に連通し、長手方向に伸びるマニフォールド７３Ａ、Ｂが備えられている。供給管１０４Ａ、Ｂは洗浄液供給部６５の洗浄液配管７７に接続されている。したがって、洗浄液配管７７から供給管１０４Ａ，Ｂを介して清掃ブロック６７Ａ、Ｂに供給される洗浄液８１は、マニフォールド７３Ａ、Ｂで長手方向に拡幅し、洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂに略均等に分配され、洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂよりスリットノズル２０のリップ斜面２８に向けて長手方向に略均一に吐出される。図５では、スリットノズル２０を清掃ヘッド部６１による清掃位置まで下降させた状態が示されている。清掃時には回転ブラシ６２Ａ、Ｂはリップ斜面２８に当接している。そして洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂは回転ブラシ６２Ａ、Ｂの上方を越えてリップ斜面２８に向けて洗浄液８１を吐出する。これによってリップ斜面２８に達した洗浄液８１は重力によって落下し、回転ブラシ６２Ａ、Ｂとリップ斜面の当接部に供給される。回転ブラシ６２Ａ、Ｂは、このような洗浄液８１の供給を受けて残存物の一部が溶解された状態で、矢印方向に回転しつつ長手方向（紙面に垂直な方向）に移動することによって、リップ斜面２８の清掃を行う。なお回転ブラシ６２Ａ、Ｂの回転方向は、リップ斜面２８に残存するものをリップ斜面２８に沿って流下させる向きであることが好ましい。円筒状のコアに細い毛がブラシとして多数埋め込まれている回転ブラシ６２Ａ、Ｂのブラシの材質としては、接触するリップ斜面２８に傷を付けず更に使用する塗布液及び洗浄液に対して薬品耐性を有するナイロン（登録商標）、ポリエステル、ポリプロピレン等の高分子樹脂が好ましい。また回転ブラシ６２Ａ、Ｂの外径は１０ｍｍ〜３０ｍｍ、ブラシの線径は好ましくは０．０５ｍｍ〜１ｍｍ、より好ましくは、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍである。ブラシ線径が以上の範囲よりも小さいと、ブラシによる残存塗布液やその乾燥固着物を除去する剛性が不足し、逆にブラシ線径が範囲よりも大きいと清掃不良が生じる。
【００２７】
また回転ブラシ６２Ａ、Ｂは、スリットノズル２０の長手方向に移動させて清掃を行うために、回転ブラシ６２Ａ、Ｂを長手方向に長尺なブラシにする必要は無く、長手方向の長さは好ましくは１０ｍｍ〜３００ｍｍ、より好ましくは３０ｍｍ〜１００ｍｍにする。この長さより短い場合は回転ブラシ６２Ａ、Ｂによる清掃能力が低く、逆に長い場合は回転ブラシ６２Ａ、Ｂ回転時の負荷が大きくなり、ブラシ駆動モータ６９Ａ、Ｂが大型化する。
【００２８】
次に、本発明の清掃装置３０を用いて、スリットノズル２０を清掃する清掃方法の一例について、図１と図２と図３と図５を用いて説明する。図１、図２において、まず準備動作として、拭き取りゴム清掃装置３１のゴム清掃部材３２を含むゴム拭き取り部３３と、回転ブラシ付き清掃装置６０の回転ブラシ６２Ａ、Ｂを含む清掃ヘッド部６１は、スリットノズル２０の長手方向にある原点位置（図１の紙面の手前側）に移動する。この時、洗浄液４７は洗浄タンク４６から洗浄ノズル４２、及び洗浄ノズル８２まで充満し、一方洗浄液８１は洗浄液タンク７６から清掃ブロック６７Ａ、Ｂの洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂまで充満し、それぞれの洗浄液をすぐに吐出できる状態にある。なお洗浄ノズル用バルブ４４、８４、バルブ７８は全て閉の状態にある。
【００２９】
清掃開始の指令が出されたら、スリットノズル２０の吐出口面２６が、ゴム清掃部材３２の直上位置にくるまで、スリットノズル２０を搭載した門型ガントリー６をＸ方向に移動させる。そして、図示しない塗布液供給装置によりスリットノズル２０の吐出口２７から塗布液を１ｍあたり０．２〜２ｃｃだけ吐出する。この塗布液の吐出によって、スリットノズル２０の吐出口面２６及びリップ斜面２８に、塗布液が付着して残存する。塗布液の吐出終了後、ゴム清掃部材３２を長手方向の清掃開始位置まで移動させる。つづいて昇降ユニット７によりスリットノズル２０を下降させ、吐出口面２６及びリップ斜面２８を、静止しているゴム清掃部材３２に当接させる。このとき、弾性体３７が所定量縮むまでスリットノズル２０を下降させ、好ましくは０．１Ｎ〜１０Ｎの押付け力がゴム清掃部材３２からスリットノズル２０に作用するようにする。
【００３０】
この状態で、駆動装置４１によりゴム清掃部材３２を、図３に示されているようにスリットノズル２０の清掃開始位置から清掃終了位置まで長手方向に好ましくは５０〜６００ｍｍ／ｓ、より好ましくは１００〜３００ｍｍ／ｓの移動速度で摺接させて、ゴム清掃部材３２により吐出口面２６及びリップ斜面２８の付着塗布液４９を除去するとともに、なおかつ吐出口２７まで塗布液が満たされた状態にする、すなわちスリットノズル２０の清掃と初期化を行う。なお図３に示されているように、吐出口面２６及びリップ斜面２８の付着塗布液４９の一部は、ゴム清掃部材３２の摺接によってリップ斜面２８のゴム清掃部材３２の上方、すなわちゴム清掃部材３２の摺接経路外にせり上がって、長手方向に伸びるライン状に残存する残存塗布液４８となる。この残存塗布液４８がそのまま放置されると、乾燥して乾燥固着物となる。除去された塗布液はトレイ１００へ落下蓄積され、排出口１０２、廃液用配管１０３を介して図示しない回収タンクに回収される。なお、ゴム清掃部材３２が清掃終了部に達したら、スリットノズル２０を上昇させて、ゴム清掃部材３２をスリットノズル２０から離し、ゴム清掃部材３２を原点位置に復帰させる。つづいて洗浄ノズル用バルブ４４を開とし、洗浄液４７を洗浄ノズル４２からゴム清掃部材３２に向かって吐出させ、ゴム清掃部材３２に付着した塗布液やパーティクルを洗浄し、以降の清掃作業に備える。
【００３１】
拭き取りゴム清掃装置３１によるスリットノズル２０の清掃と初期化終了後に、スリットノズル２０は門型ガントリー６のＸ方向の移動によりガラス基板５の塗布開始部の上方に移動し、塗布が行われる。塗布が終了すれば、スリットノズル２０を再びゴム清掃部材３２の直上に移動させ、上述した拭き取りゴム清掃装置３１による清掃と初期化を行う。以降塗布と清掃、初期化を繰り返す。この工程の繰り返しによって、リップ斜面２８でゴム清掃部材３２の摺接経路上方には残留塗布液４８が長手方向に伸びる筋状に残留して蓄積するとともに、一部は乾燥して乾燥固着物となる。予め設定した塗布枚数に達したら、その塗布終了後に、門型ガントリー６を駆動してスリットノズル２０を回転ブラシ付き清掃装置６０の清掃ヘッド部６１の上方に移動させる。
【００３２】
つづいて清掃ヘッド部６１を原点位置から清掃開始位置まで、駆動装置７５によりスリットノズル２０の長手方向に移動させる。移動完了後に昇降ユニット７によりスリットノズル２０を予め設定している高さ位置まで下降させ、図５に示されるようにリップ斜面２８に回転ブラシ６２Ａ、Ｂを当接させる。なお回転ブラシ６２Ａ、Ｂとリップ斜面２８の当接部は、図３のリップ斜面２８上の残存塗布液４８がある位置を覆っていることが好ましい。スリットノズル２０が下降停止すると同時に洗浄液供給部６５のバルブ７８を開き、洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂから洗浄液８１をリップ斜面２８の回転ブラシ６２Ａ、Ｂとの当接位置よりも上方に吐出する。これによって回転ブラシ６２Ａ、Ｂとリップ斜面２８の当接部に洗浄液８１が落下して供給される。洗浄液８１の洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂよりの吐出と同時にブラシ駆動モータ６９Ａ、Ｂを作動させて回転ブラシ６２Ａ、Ｂを回転させると共に、回転ブラシ６２Ａ、Ｂをリップ斜面２８に当接させたまま駆動装置７５により清掃開始位置から清掃終了位置まで長手方向に移動させる。すなわち、図１で言えば、紙面奥側に移動させる。これにより、リップ斜面２８上でゴム清掃部材３２の摺接経路上方にライン状に付着残存した残存塗布液４８やその乾燥固着物が、洗浄液８１で押し流されたり溶解されるとともに、回転ブラシ６２Ａ、Ｂの回転により除去される。ここで除去された塗布液やその乾燥固着物及び洗浄液等はトレイ１００へ落下し、排出口１０２、廃液用配管１０３を介して図示しない回収タンクに回収される。
【００３３】
回転ブラシ６２Ａ、Ｂが清掃終了位置に達して停止すると同時にバルブ７８が閉じられ、洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂからの洗浄液８１の吐出が止められるとともに、回転ブラシ６２Ａ、Ｂの回転駆動も止められる。そしてスリットノズル２０を上昇させて、回転ブラシ６２Ａ、Ｂとリップ斜面２８の当接を解除してから、駆動装置７５を駆動して、回転ブラシ６２Ａ、Ｂを含む清掃ヘッド部６１をスリットノズル２０の長手方向の原点位置に復帰させる。それからバルブ８４を一時的に開き、洗浄液４７を洗浄ノズル８２から回転ブラシ６２Ａ、Ｂに吐出させると共に、ブラシ駆動モータ６９Ａ、Ｂにより回転ブラシ６２Ａ、Ｂを回転させ、回転ブラシ６２Ａ、Ｂに付着した塗布液、乾燥固着物、その他のパーティクルを除去し、以降の清掃作業に備える。
【００３４】
この一連の動作において、洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂからの洗浄液８１の吐出量は、０．１〜１０ｃｃ／ｓ、より好ましくは、０．５〜５ｃｃ／ｓとする。少なすぎると残存塗布液の除去やその乾燥固着物の溶解能力が低く、多すぎると洗浄液の消費量が多くなりすぎ、コストアップになる。回転ブラシ６２Ａ、Ｂを含む清掃ヘッド部６１の長手方向の移動速度は１０〜５００ｍｍ／ｓが好ましく、より好ましくは５０〜２５０ｍｍ／ｓである。移動速度がこの範囲よりも低すぎると清掃に時間がかかりすぎて生産性が低下し、高すぎると付着した残存塗布液やその乾燥固着物が十分に除去できない。回転ブラシ６２Ａ、Ｂの回転数は好ましくは３０ｒｐｍ〜６００ｒｐｍ、より好ましくは６０ｒｐｍ〜３００ｒｐｍとする。回転数が小さすぎると回転ブラシ６２Ａ、Ｂによる残存塗布液４８やその乾燥固着物の除去能力が不足し、大きすぎると回転ブラシ６２Ａ、Ｂからの塗布液や洗浄液の飛散が多く周辺を汚染してしまう。
【００３５】
上述した回転ブラシ付き清掃装置６０の清掃方法によって、スリットノズル２０のリップ斜面２８に付着した残存塗布液やその乾燥固着物を除去後に再び塗布を行う時は、門型カントリー６を駆動してスリットノズル２０を一旦拭き取りゴム清掃装置３１のゴム清掃部材３２の直上位置に移動させ、上記に記載したゴム清掃部材３２によるスリットノズル２０の清掃、初期化を実施する。この清掃、初期化を終了後に塗布を行い、以降同じ清掃、初期化、塗布の工程を繰り返す。なお、前記の回転ブラシ付き清掃装置６０による清掃では、スリットノズル２０の吐出口２７から洗浄液の一部がどうしても侵入し、塗布液に混入して固形分濃度を低下させたり、ソルベントショックによるパーティクルを発生させたりして、塗布品質が低下することがある。そのために回転ブラシ付き清掃装置６０による洗浄後に、適当量の塗布液をスリットノズル２０に供給して、スリット２５内に残存している洗浄液を押し出し、その後に拭取りゴム清掃装置３１による清掃を行って、スリットノズル２０の初期化を行うことが好ましい。この回転ブラシ付き清掃装置６０による清掃は塗布1枚毎に行う必要は無く、リップ斜面２８上にライン状に付着残存する残存塗布液４８やその乾燥固着物が相当量蓄積した時点で行えば良い。好ましくは５〜２００枚、より好ましくは１０〜１００枚塗布ごとに回転ブラシ付き清掃装置６０による清掃を行う。この範囲より少ないと清掃回数が頻繁となって塗布工程のタクトタイムが長くなり生産性が低下する。この範囲より多いと残存塗布液の乾燥固着物の固着が強固となって、洗浄液による溶解及び回転ブラシ６２Ａ、Ｂによる清掃が容易に行えないために、乾燥固着物が残存してしまうことがある。
【００３６】
回転ブラシ付き清掃装置６０によるリップ斜面２８の清掃回数は、多いほど残存物の除去性が高くなるが、タクトタイムの点から３回以下が好ましい。
【００３７】
なお、本実施態様では回転ブラシ付き清掃装置６０と拭き取りゴム清掃装置３１をＸ方向に並べて配置しているが、両者をスリットノズル２０の長手方向に直列に配置する構成にしても良い。
以上本発明のスリットノズルの清掃装置３０は、拭き取りゴム清掃装置３１による清掃と初期化後にリップ斜面２８に残存する残存塗布液やその乾燥固着物を、回転ブラシ付き清掃装置６０によって洗浄液で溶解させると共に回転ブラシ６２Ａ、Ｂで回転しながら除去するので、残存塗布液やその乾燥固着物の除去を完全にしかも効率良く行うことができる。その結果、残存塗布液やその乾燥固着物片の落下による塗布欠点の発生や、乾燥固着物との摩耗によるゴム清掃部材３２の使用寿命の低下、及びゴム清掃部材３２の摩耗粉による塗布欠点の発生、を解消できる。更に従来手段で必要であった一定間隔ごとに装置を停止して残存塗布液やその乾燥固着物を人手で清掃除去することが不要となるので、タクトタイムの短縮化や、稼働率増による生産性の向上が図れる。
次に本発明になる第２の清掃装置の別の実施態様である回転ブラシ付き清掃装置１１０について、図６を参照しながら説明する
図６において、回転ブラシ付き清掃装置１１０は、回転ブラシ付き清掃装置６０の清掃ヘッド部６１に隣接して、洗浄液をスリットノズル２０に吐出する洗浄液吐出ユニット１１１を、矢印で示されるスリットノズル２０の長手方向に配置したものである。ここで洗浄液吐出ユニット１１１は、複数の洗浄液吐出ノズル１１２Ａ、Ｂと洗浄液供給管１１３Ａ、Ｂを備えた１対の洗浄液ノズルブロック１１４Ａ、Ｂより構成されている。また洗浄液ノズルブロック１１４Ａ、Ｂは各々、回転ブラシ付き清掃装置６０の清掃ブロック６７Ａ、Ｂと長手方向に隣接して一列状に並ぶように配置されている。洗浄液供給管１１３Ａ、Ｂに供給される洗浄液は洗浄液ノズルブロック１１４Ａ、Ｂ内部にある洗浄液マニホールド１１５Ａ、Ｂで長手方向に拡幅され、洗浄液マニホールド１１５Ａ、Ｂに連通している洗浄液吐出ノズル１１２Ａ、Ｂから、スリットノズル２０のリップ斜面２８に向けて吐出される。
【００３８】
回転ブラシ付き清掃装置１１０を用いた清掃方法であるが、回転ブラシ付き清掃装置６０を用いた清掃方法で、洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂから洗浄液を吐出する同じタイミングで洗浄液吐出ノズル１１２Ａ、Ｂから洗浄液を吐出する他は、回転ブラシ付き清掃装置６０を用いた清掃方法と全く同じである。この清掃方法により、リップ斜面２８を回転ブラシ６２Ａ、Ｂが洗浄液の供給を受けて回転しながら当接／移動した後に、洗浄液吐出ノズル１１２Ａ、Ｂが洗浄液を吐出して、図１の紙面奥側に移動するので、回転ブラシ６２Ａ、Ｂで除去しきれずにリップ斜面２８に塗布液やその乾燥固着物が残存する場合でも、洗浄液吐出ノズル１１２Ａ、Ｂから吐出される洗浄液で押し流して除去することが可能となる。また移動方向を図６の矢印方向とは逆にして、すなわち図１で言えば、紙面奥側から手前側に移動させて、リップ斜面２８を洗浄液吐出ノズル１１２Ａ、Ｂが洗浄液を吐出して移動した後に、回転ブラシ６２Ａ、Ｂが洗浄液の供給を受けて回転しながら移動してもよい。この場合、塗布液の乾燥固着物がよりよく溶解して、回転ブラシ６２Ａ、Ｂでより容易に除去できる。なお、洗浄液吐出ノズル１１２Ａ、Ｂからの洗浄液の吐出流量は、０．１〜１０ｃｃ／ｓ、より好ましくは、０．５〜５ｃｃ／ｓとする。少なすぎると残存塗布液やその乾燥固着物の除去や乾燥固着物の溶解能力が不足し、多すぎると洗浄液の使用量が多くなってコストアップになる。回転ブラシ付き清掃装置１１０の長手方向の移動速度は１０〜５００ｍｍ／ｓが好ましく、より好ましくは５０〜２５０ｍｍ／ｓである。移動速度が低すぎると清掃に時間がかかって生産性が低下し、移動速度が高すぎると残存塗布液やその乾燥固着物が十分に除去できない。
【００３９】
次に本発明になる第２の清掃装置のさらに別の実施態様である回転ブラシ付き清掃装置１２０について、図７を参照しながら説明する。図７において、回転ブラシ付き清掃装置１２０は、回転ブラシ付き清掃装置１１０に隣接して、気体をスリットノズル２０に吐出する気体吐出ユニット１２１を、矢印で示される長手方向に配置したものである。ここで気体吐出ユニット１２１は、スリットノズル２０のリップ斜面２８に気体を吐出する複数の気体吐出ノズル１２２Ａ、Ｂと、気体供給管１２３Ａ、Ｂとを備えた１対の気体ノズルブロック１２４Ａ、Ｂより構成されている。また気体ノズルブロック１２４Ａ、Ｂは各々、回転ブラシ付き清掃装置１１０の洗浄液ノズルブロック１１４Ａ、Ｂと、その長手方向に隣接して一列状に並ぶように配置されている。気体供給管１２３Ａ、Ｂに供給された気体は、気体ノズルブロック１２４Ａ、Ｂ内部にある気体マニホールド１２５Ａ、Ｂで長手方向に拡幅され、気体マニホールド１２５Ａ、Ｂに連通している気体吐出ノズル口１２２Ａ、Ｂから、スリットノズル２０のリップ斜面２８に向けて吐出される。
【００４０】
回転ブラシ付き清掃装置１２０を用いた清掃方法であるが、回転ブラシ付き清掃装置１１０を用いた清掃方法で、洗浄液吐出ノズル１１２Ａ、Ｂから洗浄液を吐出する同じタイミングで、気体吐出ノズル１２２Ａ、Ｂから気体を吐出する他は、回転ブラシ付き清掃装置１１０を用いた清掃方法と全く同じである。この清掃方法により、リップ斜面２８を回転ブラシ６２Ａ、Ｂが洗浄液の供給を受けて回転しながら当接／移動してから、洗浄液吐出ノズル１１２Ａ、Ｂが洗浄液を吐出して移動し、その後で気体吐出ノズル１２２Ａ、Ｂが気体をリップ斜面２８に吐出して長手方向、すなわち図１で言えば、紙面奥側に移動するので、回転ブラシ６２Ａ、Ｂによる回転と洗浄液の吐出で除去しきれずにリップ斜面２８に残存塗布液やその乾燥固着物が残存する場合でも、残存物を気体で吹き飛ばして除去することが可能となる。さらには微量に洗浄液が残存していても、それを蒸発させることによって除去することもできる。気体吐出ノズル１２２Ａ、Ｂから吐出される気体としては、窒素ガス等の不活性ガスが好ましいが、簡便さからクリーン化処理された乾燥空気であってもよい。なお気体吐出ノズル１２２Ａ、Ｂからの気体の吐出速度は、好ましくは５〜１００ｍ／ｓ、より好ましくは２０〜５０ｍ／ｓとする。この範囲よりも小さいと残存物を吹き飛ばすだけの排除力に不足し、この範囲よりも大きいと、残存物の除去能力の割には、気体の消費量が多くなって製造コストが高くなってしまう。回転ブラシ付き清掃装置１２０の長手方向の移動速度は１０〜５００ｍｍ／ｓが好ましく、より好ましくは５０〜２５０ｍｍ／ｓである。移動速度が低すぎると清掃に時間がかかって生産性が低下し、移動速度が高すぎると残存塗布液その乾燥固着物が十分に除去できない。
【００４１】
なお回転ブラシ付き清掃装置１１０に備えられた洗浄液吐出ユニット１１１を、回転ブラシ付き清掃装置１２０の気体吐出ユニット１２１に入れ替えてもよい。この場合、リップ斜面２８を回転ブラシ６２Ａ、Ｂが洗浄液の供給を受けて回転しながら走査した後に、気体吐出ノズル１２２Ａ、Ｂが気体を吐出して走査するので、回転ブラシ６２Ａ、Ｂによる回転で除去しきれずにリップ斜面２８に塗布液やその乾燥固着物からなる残存物がある場合でも、気体で吹き飛ばして除去することが可能となる。さらには微量に洗浄液が残存していても、それを蒸発させることによって除去することもできる。
【００４２】
本発明のスリットノズルの清掃方法および清掃装置は、液晶ディスプレイ用部材やプラズマディスプレイ用部材等のディスプレイ用部材製造工程でのスリットノズルの清掃に好適に用いることができる、とりわけ液晶ディスプレイ用部材の製造工程での各種塗布液、特にカラーフィルタ用カラーレジスト液、ブラックマトリックス用レジスト液、カラムスペーサ用レジスト液、アレイ基板用レジスト液、オーバコート材など、粘度が０．５〜１００ｍＰａ・ｓ、より好ましくは１〜１０ｍＰａ・ｓの低粘度かつ揮発性の高い塗布液を枚葉塗布するスリットノズルの清掃に好適に用いることができる。
【実施例】
【００４３】
以下実施例により本発明を具体的に説明する。
カラーフィルタ製造工程で、吐出口２７の間隙が１００μｍ、長手方向の長さが１１００ｍｍ、図１に示すリップ斜面の角度φが９０度のスリットノズル２０を用いてカラーフィルタ用塗布液の塗布を行うスリットコータ１に、スリットノズルの清掃装置３０を適用した。なお、塗布液としてブラックマトリックス、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色の各塗布液を用意した。ブラックマトリックス用塗布液は、チタン酸窒化物を遮光材、アクリル樹脂をバインダー、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を溶媒にそれぞれ用い、固形分濃度を１０％、粘度を１０ｍＰａ・ｓに調整した。同様に、Ｒ色用塗布液はアクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶媒、ピグメントレッド１７７を顔料にして固形分濃度１５％で混合し、粘度を５ｍＰａ・ｓに調整したもの、Ｇ色用塗布液はＲ色用塗布液で顔料をピグメントグリーン３６にして固形分濃度１５％で粘度を５ｍＰａ・ｓに調整したもの、Ｂ色用塗布液にはＲ色用塗布液で顔料をピグメントブルー１５にして固形分濃度１５％で粘度を５ｍＰａ・ｓに調整したものである。これらの塗布液はいずれも感光性特性を有するものであった。
【００４４】
スリットコータ１の清掃装置３０の拭き取りゴム清掃装置３１のゴム清掃部材３２に、硬度Ｈｓ＝６０でシリコーンゴム製の成型品を用い、図３に示す角度θが６０度となるように取り付けた。また、清掃部材保持台３６に、ポリエチレンテレフタレート製の成型品を用い、更に弾性体３７としてバネ定数０．２Ｎ／ｍｍのステンレス製バネを４本用いた。
【００４５】
清掃装置３０の回転ブラシ付き清掃装置６０においては、回転ブラシ６２Ａ、Ｂには、ナイロン（登録商標）製で線径０．１５ｍｍのブラシを密にうめこんで、外径１５ｍｍ、長手方向長さ４０ｍｍに成形したものを用いた。洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂから吐出する洗浄液や、洗浄ノズル４２、８２から吐出する洗浄液には、ＰＧＭＥＡを使用した。
以上のスリットノズル２０の清掃装置３０を備えたスリットコータ１により、カラーフィルタの製造を次の手順で行った。まず、１１００×１３００ｍｍで厚さ０．７ｍｍのガラス基板を洗浄装置に投入した。ウェット洗浄によってガラス基板上のパーティクルを除去後、スリットコータ１でブラックマトリックス用塗布液を、ウェット塗布膜厚１０μｍ、スリットノズル２０〜ガラス基板間のクリアランス１２０μｍ、塗布速度６ｍ／分にてガラス基板に塗布した。毎回の塗布前にはスリットノズルから１ｃｃのブラックマトリックス用塗布液を吐出後に、ゴム清掃部材３２をスリットノズル２０の吐出口面２６及びリップ斜面２８に当接させ、長手方向の移動速度２００ｍｍ／ｓで移動させて、スリットノズル２０の付着塗布液の除去と初期化を行った。塗布した基板は３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで、露光・現像・剥離を行なった後、２６０度のホットプレートで３０分加熱してキュアし、基板の幅方向にピッチが２５４μｍ、基板の長手方向にピッチが８５μｍ、線幅が２０μｍ、ＲＧＢ画素数が１６００（基板長手方向）×１６００（基板幅方向）、対角の長さが５０８ｍｍ（基板長手方向に４０６ｍｍ、基板幅方向に３０５ｍｍ）となる格子形状で、厚さが１μｍとなるブラックマトリックスパターンを、基板内の９箇所（９面取り）に作成した。またブラックマトリックス用塗布液の塗布を５０枚のガラス基板に行うごとに、回転ブラシ付き清掃装置６０を稼働させ、洗浄液吐出ノズル７１Ａ、Ｂからの洗浄液を１ｃｃ／ｓで吐出しつつ、１５０ｒｐｍで回転する回転ブラシ６２Ａ、Ｂをリップ斜面２８に当接させ、長手方向に移動速度２５０ｍｍ／ｓで移動させて、リップ斜面の残存塗布液やその乾燥固着物を除去した。
【００４６】
次に、Ｒ色用塗布液を塗布膜厚が１３μｍにする以外はブラックマトリックス用塗布液と全く同じ条件でスリットコータ１にて、ブラックマトリックスが形成された基板に対して、塗布を行った。なお清掃部材３２によるスリットノズル２０の清掃と初期化、ならびに回転ブラシ付き清掃装置６０によるスリットノズル２０の清掃は、ブラックマトリックス用塗布液の塗布工程と全く同じ条件にて行った。塗布した基板は３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、９０℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｒ画素部にのみ厚さ２μｍのＲ色塗布膜を残し、２６０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。
次に、Ｒ色用塗布液と同様の操作をＧ色用塗布液、Ｂ色用塗布液にも順次適用し、柱材とオーバコート材を塗布後、最後にＩＴＯをスパッタリングで付着させ、カラーフィルタを作成した。
【００４７】
上記手順によるカラーフィルタを１０００枚製造したところ、本発明によるスリットノズルの清掃装置および清掃方法を適用したので、スリットノズルに塗布液が残存して多量の乾燥固着物が発生する事もなく、良好な清掃を行うことが可能であった。また、ガラス基板上の塗布面も残存塗布液やその乾燥固着物片の落下やゴム清掃部材の摩耗粉による塗布欠点が無かったため、全数に亘って高品質のカラーフィルタが得られた。残存塗布液の乾燥固着物による塗布欠点の発生が無くなったため、装置を一時停止しての人手によるリップ斜面２８の布拭き清掃作業も無くなり、生産性が３０％向上した。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の清掃装置３０を備えたスリットコータ１の概略側面図である。
【図２】本発明の清掃装置３０の拡大概略側面図である。
【図３】拭取りゴム清掃装置３１による清掃状況を示す概略正面図である。
【図４】本発明の回転ブラシ付き清掃装置６０の概略斜視図である。
【図５】回転ブラシ付き清掃装置６０による清掃状況を示す概略側面図である。
【図６】本発明の回転ブラシ付き清掃装置１１０の概略斜視図である。
【図７】本発明の回転ブラシ付き清掃装置１２０の概略斜視図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  スリットコータ
２  基台
３  ガイドレール
４  ステージ
５  ガラス基板
６  門型ガントリー
７  昇降ユニット
８  吊り下げ保持台
９  昇降台
１０  ガイド
１１  モータ
１２  ボールネジ
２０  スリットノズル
２１  フロントリップ
２２  リアリップ
２３  シム
２４  マニホールド
２５  スリット
２６  吐出口面
２７  吐出口
２８  リップ斜面
３０  清掃装置
３１  拭き取りゴム清掃装置（第1の清掃装置）
３２  ゴム清掃部材
３３  ゴム拭き取り部
３４  拭き取りゴム駆動部
３５  清掃部材洗浄用洗浄液供給部
３６  清掃部材保持台
３７  弾性体
３８  保持台
３９  プレート
４０  プレート固定ボルト
４１  駆動装置
４２  洗浄ノズル
４３  洗浄液配管
４４  洗浄ノズル用バルブ
４５  圧空源
４６  洗浄液タンク
４７  洗浄液
４８  残存塗布液
４９  付着塗布液
６０  回転ブラシ付き清掃装置
６１  清掃ヘッド部
６２Ａ、Ｂ  回転ブラシ
６４  清掃ヘッド駆動部
６５  洗浄液供給部
６６  清掃ヘッド洗浄用洗浄液供給部
６７Ａ、Ｂ  清掃ブロック
６８Ａ、Ｂ  ブラシ支持ブロック
６９Ａ、Ｂ  ブラシ駆動モータ
７０  清掃ヘッド保持台
７１Ａ、Ｂ  洗浄液吐出ノズル
７３Ａ、Ｂ  マニフォールド
７５  駆動装置
７６  洗浄液タンク
７７  洗浄液配管
７８  バルブ
７９  流量調整装置
８０  圧空源
８１  洗浄液
８２  洗浄ノズル
８３  洗浄液配管
８４  洗浄ノズル用バルブ
１００  トレイ
１０１  台
１０２  排出口
１０３  廃液用配管
１０４Ａ、Ｂ  供給管
１１０  回転ブラシ付き清掃装置
１１１  洗浄液吐出ユニット
１１２Ａ、Ｂ  洗浄液吐出ノズル
１１３Ａ、Ｂ  洗浄液供給管
１１４Ａ、Ｂ  洗浄液ノズルブロック
１１５Ａ、Ｂ  洗浄液マニホールド
１２０  回転ブラシ付き清掃装置
１２１Ａ、Ｂ  気体吐出ユニット
１２２Ａ、Ｂ  気体吐出ノズル
１２３Ａ、Ｂ  気体供給管
１２４Ａ、Ｂ  気体ノズルブロック
１２５Ａ、Ｂ  気体マニホールド
【図１】
2009220056.tif 000003
【図２】
2009220056.tif 000004
【図３】
2009220056.tif 000005
【図４】
2009220056.tif 000006
【図５】
2009220056.tif 000007
【図６】
2009220056.tif 000008
【図７】
2009220056.tif 000009