(57)【要約】【課題】環状に配設される複数の放電電極を自動的に清掃するとともに、当該清掃能力を好適に確保することができる放電電極の清掃装置を提供する。【解決手段】清掃装置２０は、モータ２１の作動を通じて環状に配設された各放電電極１６と同心状に回転変位するとともに当該回転変位に伴い各放電電極１６に対してそれらの配設方向において摺接するブラシ２７を有する清掃部材２２を備えてなる。また、清掃装置２０は、各放電電極１６に対応して設けられるとともに回転変位する清掃部材２２の一部との摺接に基づき当該清掃部材２２を各放電電極１６の配設方向に交わる方向へ揺動させる案内部材３０を備えてなる。この構成によれば、清掃部材２２に設けられたブラシ２７は、各放電電極１６に対してこれらの配設方向のみならず、当該配設方向に交わる方向にも摺接する。【選択図】図２
2009158412.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の円周上に所定間隔をおいて放射状に配設されてなる複数の針状の放電電極の清掃装置において、
駆動源の作動を通じて前記円周と同心状に回転変位するとともに当該回転変位に伴い前記複数の放電電極に対しそれらの配設方向において摺接するブラシを有する清掃部材と、
前記各放電電極に対応して設けられるとともに回転変位する清掃部材の一部との摺接に基づき当該清掃部材を前記各放電電極の配設方向に交わる方向において揺動させる案内部材と、を備え、
前記案内部材の清掃部材側の部位には、当該清掃部材の回転方向に対して交わる方向へ延びる複数の凹凸が当該清掃部材の回転方向に沿う方向において所定間隔毎に配設されてなる摺動面を形成する一方で、前記清掃部材の一部として当該清掃部材の前記案内部材側の部位には当該案内部材の摺動面に摺動する突部が形成されてなる放電電極の清掃装置。
【請求項２】
請求項１に記載の放電電極の清掃装置において、前記清掃部材は弾性を有してなる放電電極の清掃装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の放電電極の清掃装置において、
前記ブラシを構成するブラシ毛は、前記放電電極の軸線と同方向へ延びるように設けられてなる放電電極の清掃装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の放電電極の清掃装置において、
電圧が印加される各放電電極の使用時には、前記清掃部材はその回転方向における各放電電極の間の位置である退避位置に保持される放電電極の清掃装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のうちいずれか一項に記載の放電電極の清掃装置において、
前記駆動源は、前記各放電電極への電圧の印加が停止されている状態で作動が開始される放電電極の清掃装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電電極の清掃装置及び放電電極の清掃方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体集積回路の製造ラインにおいては、静電気帯電によるウエハへの塵埃の付着及びウエハ上の集積回路の静電破壊等の問題が懸念されている。また、こうした静電気帯電は、製造ライン上のウエハあるいは半導体集積回路等に限らず、各種の電子機器の誤動作等の問題の原因にもなる。そこでこうした各種の問題の原因となる静電気を取り除くために、従来、例えば特許文献１に示されるような除電装置が使用されている。この除電装置は、環状のホルダの外周面に対して径方向へ突出する複数の針状の放電電極を備えるとともに、これら電極への高電圧の印加を通じてコロナ放電を発生させることにより当該電極の先端周囲の空気をイオン化する。そして、当該イオンをファンの作動により発生する空気流を利用して前述したウエハ及び電子機器等の帯電体へ供給することにより当該帯電体の電荷を中和して静電気を取り除く。
【特許文献１】特開２００６−１９６３８０号公報
【特許文献２】特開閉７−２９６６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前述したような除電装置ではその使用を通じてコロナ放電が繰り返されることにより、前記放電電極には塵及び汚れが付着してこれが徐々に蓄積される。これに伴いコロナ放電の放電特性が低下し、ひいては当該放電により発生するイオンの量が次第に減少する。すなわち、放電電極の汚れ等は除電装置の除電性能に大きく影響するため、放電電極に付着した塵や汚れ等を定期的に清掃する必要がある。そこで、当該文献２の除電装置においては、前記ホルダを当該装置に対して着脱可能に設けて、各電極の清掃を行う際にはこれらを当該ホルダごと装置から取り外す。そして、この取り外した状態で放電電極を例えばブラシ等を使用して手作業で清掃する。このようにすれば、各電極を当該装置に取り付けたままの状態で清掃を行うようにした場合に比べて、ある程度のメンテナンス性は確保されるものの、手作業で清掃等することには変わりはないことから、清掃等の作業効率の大幅な改善は望めない。また、手作業による清掃は、放電電極に付着した塵及び汚れ等の除去にむらが生じやすく、また十分に除去できないことも想定される。
【０００４】
ここで、除電装置には、前述した特許文献１のように複数の放電電極を環状に配設するものの他に、複数の放電電極を直線状に配設するようにしたものも知られている。このようなタイプの除電装置においては、例えば特許文献２に示されるように、放電電極の清掃を自動的に行う技術が従来開示されている。すなわち、同文献２では、駆動機構の作動を通じて、各放電電極の配列方向に沿ってブラシを摺接させることにより、各放電電極の清掃が自動的に行われる。しかし、複数の放電電極が環状に配設されてなる前記文献１のような除電装置において、各放電電極を自動的に清掃するための具体的な構成については未だ開示がない。
【０００５】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、環状に配設される複数の放電電極を自動的に清掃するとともに、当該清掃能力を好適に確保することができる放電電極の清掃装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、同一の円周上に所定間隔をおいて放射状に配設されてなる複数の針状の放電電極の清掃装置において、駆動源の作動を通じて前記円周と同心状に回転変位するとともに当該回転変位に伴い前記複数の放電電極に対しそれらの配設方向において摺接するブラシを有する清掃部材と、前記各放電電極に対応して設けられるとともに回転変位する清掃部材の一部との摺接に基づき当該清掃部材を前記各放電電極の配設方向に交わる方向において揺動させる案内部材と、を備え、前記案内部材の清掃部材側の部位には、当該清掃部材の回転方向に対して交わる方向へ延びる複数の凹凸が当該清掃部材の回転方向に沿う方向において所定間隔毎に配設されてなる摺動面を形成する一方で、前記清掃部材の一部として当該清掃部材の前記案内部材側の部位には当該案内部材の摺動面に摺動する突部が形成されてなることをその要旨とする。
【０００７】
本発明によれば、駆動源の作動を通じて清掃部材が各放電電極の配設方向へ回転変位すると、当該清掃部材に設けられたブラシは各放電電極に対してこれらの配設方向において摺接する。また清掃部材が各放電電極に対応する位置まで回転変位した際には、当該清掃部材はその一部において案内部材に摺接することにより各放電電極の配設方向に交わる方向へ揺動する。すなわち、清掃部材の突部と案内部材の摺動面を構成する複数の凹凸との相対的な摺動に基づき、当該清掃部材は自身の回転方向、すなわち各放電電極の配設方向に交わる方向において揺動する。これに伴い清掃部材に設けられたブラシは、各放電電極に対してこれらの配設方向のみならず、当該配設方向に交わる方向にも摺接する。すなわち、各放電電極は、ブラシの多方向からの摺接に基づき多方向から掃除されることから、放電電極の清掃能力は好適に確保される。また、駆動源の作動を通じて環状に配設される複数の放電電極が自動的に清掃されることから、放電電極を手作業で清掃する場合と異なり手間がかからない。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の放電電極の清掃装置において、前記清掃部材は弾性を有してなることをその要旨とする。
本発明によれば、清掃部材は、案内部材の摺動面を構成する凹凸との摺接を通じて、各放電電極の配設方向に交わる方向における弾性変形と原位置への弾性復帰とを繰り返す。これにより、清掃部材、ひいては当該清掃部材に設けられたブラシは各放電電極の配設方向に交わる方向において揺動する。清掃部材に弾性を持たせることにより当該清掃部材自身を各放電電極の配設方向に交わる方向へ変位させるための構成の削減が可能となる。したがって、清掃装置の構成の簡素化が図られる。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の放電電極の清掃装置において、前記ブラシを構成するブラシ毛は、前記放電電極の軸線と同方向へ延びるように設けられてなることをその要旨とする。
【００１０】
本発明によれば、ブラシが各放電電極に対しそれらの配設方向及び当該配設方向に交わる方向において摺接する際に、ブラシ毛は各放電電極を確実に横切るように摺接する。したがって、放電電極の清掃能力が向上する。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の放電電極の清掃装置において、電圧が印加される各放電電極の使用時には、前記清掃部材はその回転方向における各放電電極の間の位置である退避位置に保持されることをその要旨とする。
【００１２】
本発明によれば、放電電極の使用時においては、清掃部材はその回転方向における各放電電極の間の位置である退避位置に保持されることから、放電電極にはブラシが接触しない状態で電圧が印加されることとなる。このため、放電電極の放電特性が確保される。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のうちいずれか一項に記載の放電電極の清掃装置において、前記駆動源は、前記各放電電極への電圧の印加が停止されている状態で作動が開始されることをその要旨とする。
【００１４】
このように、各放電電極の清掃は、これらへの電圧の印加が停止された状態で行うことが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、環状に配設される複数の放電電極を自動的に清掃するとともに、当該清掃能力を好適に確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を除電装置に具体化した一実施の形態を図１に基づいて説明する。
図１に示すように、除電装置１１の直方体状のケーシング１２の内部において、その背面側には当該ケーシング１２の前面側へ向けて空気流を発生させるファン１３が収容されている。一方、ケーシング１２の前面側の側壁には開口部１２ａが形成されるとともに、当該開口部１２ａには多数の空気吹出口１４ａが形成された四角枠状のカバー１４が着脱可能に取り付けられている。このカバー１４の内面における中央部には、環状の電極保持部材１５が固定されるとともに、当該電極保持部材１５の外周面には複数の針状の放電電極１６が電極保持部材１５の円周方向において所定間隔毎に突設されている。各放電電極１６は、配線１７を介して高圧電源１８に接続されている。この高圧電源１８は除電装置１１に組み込んでもよいし、当該装置の外部に別途設けるようにしてもよい。
【００１７】
高圧電源１８を通じて各放電電極１６に高電圧が印加されると、これらの先端付近にコロナ放電が発生して各放電電極１６の周囲の空気がイオン化される。ここで、除電装置１１には、イオンを発生させる方式により直流方式と交流方式との２つの方式がある。直流方式は、放電電極に直流電圧を印加してコロナ放電を行い、プラス又はマイナスのいずれかのイオンのみを発生させる方式である。交流方式は、放電電極に交流電圧を印加してコロナ放電を行い、プラス及びマイナスのイオンを交互に発生させる方式である。これら方式のうち、本実施の形態では、交流方式が採用されている。
【００１８】
コロナ放電により各放電電極１６の周囲に生成されたイオンは、ファン１３からケーシング１２の前面側へ供給される空気と共にカバー１４の多数の空気吹出口１４ａを介して外部に放出される。この放出されたイオンが除電対象に供給されることにより当該対象の電荷が中和されて静電気が除去される。
【００１９】
前述のように、各放電電極１６には高電圧が印加されることから集塵作用がある。そして各放電電極１６に塵や埃が付着するとイオンの発生量が減少し、ひいては除電装置１１の除電性能の低下にもつながる。このため、除電装置１１の除電性能を好適に維持するためには、各放電電極１６に付着した塵や埃を定期的に清掃する必要がある。こうした各放電電極１６に付着した塵や埃を自動的に除去するために、除電装置１１のケーシング１２の内部において、ファン１３と各放電電極１６が保持された電極保持部材１５との間には、次のような清掃装置２０が設けられている。
【００２０】
＜清掃装置＞
すなわち、清掃装置２０の駆動源となるモータ２１は、ファン１３を構成するケース１３ａの前面中央部にその出力軸２１ａをケーシング１２の前面側へ向けて固定されている。モータ２１の出力軸２１ａの先端部には、各放電電極１６を清掃するための清掃部材２２が一体回転可能に設けられている。図２に示されるように、この清掃部材２２は、モータ２１の出力軸２１ａの先端部に外嵌固定される円環状の固定部２３、及び当該固定部２３の周面に突設された直方体状の腕部２４を備えてなる。当該腕部２４のモータ２１側の側面における上部には、突部２４ａが設けられるとともに、当該突部２４ａの先端部は球面状に形成されている。
【００２１】
また、腕部２４のモータ２１と反対側の側面における上部には、直方体状の支持部２５が突設されるとともに、図１に併せて示されるように、当該支持部２５の先端部は放電電極１６の先端部に対応する位置まで延出されている。支持部２５の下面には、多数の可撓性を有するブラシ毛２６が縦横に所定の配置間隔で設けられることにより全体として四角柱状をなすブラシ２７が設けられている。ブラシ毛２６は、ブラシ２７が各放電電極１６に対応する位置にある場合に、各放電電極１６の軸線と同方向へ延びるように設けられている。なお、固定部２３、腕部２４、突部２４ａ及び支持部２５は、絶縁性を有する合成樹脂材料による射出成形等により一体形成されて全体として可撓性（弾性）を有してなる。例えば腕部２４に所定方向の外力が付与されたとき、当該腕部２４は固定部２３との連結部位を支点として当該所定方向に沿う方向へ傾動する。
【００２２】
また、ケーシング１２の内部において、モータ２１と当該モータ２１の出力軸２１ａに固定された清掃部材２２との間には、円環板状の取付部材２８が出力軸２１ａに挿通された状態で配設されている。この取付部材２８は、複数のブラケット２９を介してケーシング１２の内面に固定されている。取付部材２８のモータ２１と反対側の側面には、放電電極１６と同数の案内部材３０が固定されている。図３に示されるように、各案内部材３０は、各放電電極１６（正確には、その先端部）に対応するように取付部材２８の周方向において所定間隔毎に設けられている。案内部材３０は四角板状に形成されるとともに、その取付部材２８と反対側の側面は、図４に示されるように、複数の波状の凹凸が形成されてなる摺動面３１とされている。この摺動面３１を構成する凹部３１ａ及び凸部３１ｂは、対応する放電電極１６の軸線と同方向に延びている。
【００２３】
また、図５（ａ）に示されるように、腕部２４のモータ２１側の側面に対する突部２４ａの突出高さｈは、当該腕部２４のモータ２１側の側面と案内部材３０（正確には各凸部３１ｂの頂点をすべて含む仮想平面）との間の距離ｄ１よりも若干大きく設定されている。本実施の形態では、前記突部２４ａの突出高さｈは、腕部２４のモータ２１側の側面と案内部材３０との間の距離ｄ１よりも摺動面３１の凹部３１ａの深さｄ２の分だけ大きく設定されている。
【００２４】
したがって、モータ２１の駆動を通じて清掃部材２２が出力軸２１ａを中心として回転した際には、突部２４ａは摺動面３１に対してその凹凸の延びる方向に交わる方向において摺動する。この場合において、突部２４ａが摺動面３１の凹部３１ａに対応するときには、清掃部材２２は、図５（ａ）に示される通常状態となる。清掃部材２２がこの通常状態にあるときには、ブラシ２７を構成する各ブラシ毛２６は、対応する放電電極１６の軸線にほぼ平行をなす。また、突部２４ａが摺動面３１の凸部３１ｂに対応するときには、清掃部材２２は、図５（ｂ）に示される傾動状態となる。すなわち、清掃部材２２の腕部２４は固定部２３との連結部位を支点として摺動面３１の凹部３１ａの深さｄ２の分だけ案内部材３０から離間する方向へ湾曲する。清掃部材２２の出力軸２１ａを中心とする回転に伴い、突部２４ａが案内部材３０の摺動面３１に摺接して通過する際には、当該清掃部材２２は前述した通常状態と傾動状態との２つの状態を繰り返す。
【００２５】
＜清掃装置の清掃動作＞
次に、前述のように構成した清掃装置２０による各放電電極１６の清掃動作を説明する。各放電電極１６の清掃は、例えば図示しないタイマにより除電装置１１の累積使用時間を計測して当該累積使用時間が所定時間に達したときに前記制御装置を通じて自動的に開始されるようにしてもよいし、除電装置１１に設けられる図示しない掃除開始スイッチがユーザにより操作された際に開始されるようにしてもよい。なお、前述したように、除電装置１１の使用時には、清掃部材２２は図３に示される退避位置に保持されている。この退避位置は、清掃部材２２の変位方向において各放電電極１６のいずれにも対応しない位置である。すなわち、退避位置はブラシ２７がその回転方向において各放電電極１６の間に保持される位置であって且つ各放電電極１６とブラシ２７とが非接触状態となる位置である。また、各放電電極１６の清掃は、これらへの高電圧の印加が停止された状態で行われる。
【００２６】
さて、各放電電極１６の清掃を行うべくモータ２１が正回転された場合には、清掃部材２２は、当該モータ２１の出力軸２１ａを中心として各放電電極１６の配設方向でもある図３に矢印Ｘ１で示される右方向へ回転する。そして清掃部材２２のブラシ２７が各放電電極１６に対応する位置にさしかかって当該清掃部材２２の突部２４ａが案内部材３０の摺動面３１に対して摺動を開始すると、当該清掃部材２２は、前述した図５（ａ）に示される通常状態及び傾動状態の２つの状態を繰り返しながら、矢印Ｘ１で示される右方向へ回転する。すなわち、清掃部材２２の腕部２４は図４に矢印Ｙ１で示される方向への傾動（撓み）と、同じく矢印Ｙ２で示される方向への弾性復帰とを繰り返しながら、矢印Ｘ１で示される右方向へ回転する。そしてこのような腕部２４の状態変化を通じて、ブラシ２７を構成するブラシ毛２６は、対応する放電電極１６に対して、図４に矢印Ｘ１で示される右方向、及び矢印Ｙ１，Ｙ２で示される前後方向において摺接する。このように放電電極１６には、ブラシ２７が多方向から摺接することから、放電電極１６に付着した塵及び汚れ等は好適に除去される。
【００２７】
一方、モータ２１が逆回転された場合には、清掃部材２２は、当該モータ２１の出力軸２１ａを中心として各放電電極１６の配設方向でもある図３に矢印Ｘ２で示される左方向へ回転する。この場合、ブラシ２７を構成するブラシ毛２６は、対応する放電電極１６に対して、図４に矢印Ｘ１で示される左方向、及び矢印Ｙ１，Ｙ２で示される前後方向において摺接する。前述した右回転時と同様に、放電電極１６には、ブラシ２７が多方向から摺接することから、放電電極１６に付着した塵及び汚れ等は好適に除去される。
【００２８】
以上のように、モータ２１の正逆回転を通じて、ブラシ２７が各放電電極１６に対してこれらの配設方向へ摺接しつつ、当該配設方向に交わる方向へ振動的に摺接することにより、放電電極１６に付着した塵及び汚れ等は好適に除去される。ひいては、環状に配設された複数の放電電極１６の清掃装置２０の清掃能力が高められる。
【００２９】
なお、ブラシ２７を各放電電極１６に対してこれらの配設方向（図４に矢印Ｘ１，Ｘ２で示される方向）においてのみ摺接させる構成を採用してもよい。この場合には、ブラシ２７を図４に矢印Ｙ１，Ｙ２で示される前後方向へ振動させるための構成、すなわち、突部２４ａ、取付部材２８、ブラケット２９及び案内部材３０は省略可能である。そして、この場合であれ、環状に配設された複数の放電電極１６の清掃が自動的に行われることから、手作業でこれら放電電極１６の清掃を行うようにした場合と比べて、清掃等の作業効率の大幅な改善が図られる。
【００３０】
＜実施の形態の効果＞
従って、本実施の形態によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）清掃装置２０は、モータ２１の作動を通じて環状に配設された各放電電極１６と同心状に回転変位するとともに当該回転変位に伴い各放電電極１６に対してそれらの配設方向において摺接するブラシ２７を有する清掃部材２２を備えてなる。また、清掃装置２０は、各放電電極１６に対応して設けられるとともに回転変位する清掃部材２２の一部との摺接に基づき当該清掃部材２２を各放電電極１６の配設方向に交わる方向へ揺動させる案内部材３０を備えてなる。
【００３１】
この構成によれば、モータ２１の作動を通じて清掃部材２２が各放電電極１６の配設方向へ回転変位すると、当該清掃部材２２に設けられたブラシ２７は各放電電極１６に対してこれらの配設方向において摺接する。また清掃部材２２が各放電電極１６に対応する位置まで回転変位した際には、当該清掃部材２２はその一部において案内部材３０に摺接することにより各放電電極１６の配設方向に交わる方向へ揺動する。これに伴い清掃部材２２に設けられたブラシ２７は、各放電電極１６に対してこれらの配設方向のみならず、当該配設方向に交わる方向にも摺接する。すなわち、各放電電極１６は、ブラシの多方向からの摺接に基づき多方向から掃除されることから、放電電極１６の清掃能力は好適に確保される。また、モータ２１の作動を通じて環状に配設される複数の放電電極１６が自動的に清掃されることから、放電電極１６を手作業で清掃する場合と異なり手間がかからない。
【００３２】
（２）案内部材３０の放電電極１６側の側面には、清掃部材２２の回転方向に対して交わる方向へ延びる複数の凹凸が当該清掃部材２２の回転方向に沿う方向において所定間隔毎に配設されてなる摺動面３１を形成した。一方、清掃部材２２の案内部材３０側の部位には当該案内部材３０の摺動面３１に摺動する突部２４ａを形成した。
【００３３】
この構成によれば、清掃部材２２の突部２４ａと案内部材３０の摺動面３１との相対的な摺動に基づき、当該清掃部材２２は自身の回転方向、すなわち各放電電極１６の配設方向に交わる方向において揺動する。このため、複雑な機構を設ける必要はなく清掃装置の構成の簡素化が図られる。
【００３４】
（３）また、清掃部材２２は弾性を有してなる。このため、清掃部材２２は、案内部材３０の摺動面３１との摺接を通じて、各放電電極１６の配設方向に交わる方向における弾性変形と原位置への弾性復帰とを繰り返す。これにより、清掃部材２２、ひいては当該清掃部材２２に設けられたブラシ２７は各放電電極１６の配設方向に交わる方向において揺動する。このように、清掃部材２２に弾性を持たせるようにすれば、当該清掃部材２２自身を各放電電極１６の配設方向に交わる方向へ変位させるための構成の大幅な簡素化が図られる。
【００３５】
（４）ブラシ２７のブラシ毛２６は、放電電極１６の軸線と同方向へ延びるように設けられてなる。この構成によれば、ブラシ２７が各放電電極１６に対しそれらの配設方向及び当該配設方向に交わる方向において摺接する際に、ブラシ毛２６は各放電電極１６を確実に横切るように摺接する。したがって、放電電極１６の清掃能力が向上する。
【００３６】
（５）除電装置１１の使用時、すなわち各放電電極１６に対して電圧を印加する際には、清掃部材２２はその回転方向における各放電電極の間の位置であって各放電電極と前記ブラシとが非接触状態となる退避位置に保持されるようにした。このため、各放電電極１６にはブラシが接触しない状態で電圧が印加されることとなる。したがって、放電電極１６の放電特性が確保される。
【００３７】
（６）モータ２１は、各放電電極１６への電圧の印加が停止されている状態で作動が開始されるようにした。このように、各放電電極１６の清掃は、これらへの電圧の印加が停止された状態で行うことが好ましい。これは、前述したように、高電圧が印加された放電電極１６には集塵作用が生じることから、これら放電電極１６に付着した塵及び汚れ等が除去しにくくなるからである。
【００３８】
＜他の実施の形態＞
なお、本実施の形態は、次のように変更して実施してもよい。
・本実施の形態では、案内部材３０の摺動面３１を波状としたが、例えば図６（ａ）に示されるように、鋸刃状の断面形状を有してなる摺動面３１を採用することも可能である。また、図６（ｂ）に示されるように、複数のスリット４１ａが並設されてなる平板状の案内部材４１を採用してもよい。この場合、当該案内部材４１の一方面（表面）が摺動面４２となる。清掃部材２２の突部２４ａの先端部がスリット４１ａに若干入り込むようにして係合する状態と、案内部材４１の表面を摺動する状態とを繰り返すことにより、清掃部材２２、ひいてはブラシ２７は各放電電極１６の配設方向に交わる方向（矢印Ｙ１，Ｙ２方向）において往復動する。なお、スリット４１ａは案内部材３０を貫通して設けてもよいし、貫通して設けなくてもよい。
【００３９】
・本実施の形態では、放電電極１６の軸線に沿うようにブラシ毛２６を設けたが、図７に示されるように、放電電極１６の軸線に直交するようにブラシ毛２６を設けてもよい。このようにした場合であれ、多数のブラシ毛２６は、放電電極１６に対して多方向（矢印Ｘ１，Ｘ２方向及び矢印Ｙ１，Ｙ２方向）に摺接する。
【００４０】
・本実施の形態では、清掃部材２２について全体として可撓性を持たせることにより、当該清掃部材２２の突部２４ａと案内部材３０の摺動面３１との摺接に基づき、当該清掃部材２２を各放電電極１６の配設方向に交わる方向へ揺動させるようにしたが、次のような構成を採用することも可能である。例えば図７に示されるように、まず清掃部材２２は出力軸２１ａに対してその軸線方向へスライド移動可能に構成する。そして同図７に二点鎖線で示されるように、モータ２１の出力軸２１ａを環状の電極保持部材１５の内部に進入する程度に延長して形成するとともに、当該延長した出力軸２１ａの先端にはばね受け部材５１を固定する。そして当該出力軸２１ａにおいて、ばね受け部材５１と清掃部材２２（正確には、その固定部２３）との間には圧縮コイルばね５２を介在させる。清掃部材２２は、当該圧縮コイルばね５２の弾性力によりモータ２１側へ常に付勢される。この清掃部材２２のモータ２１側への変位は、当該清掃部材２２のモータ２１側の側面が出力軸２１ａに貫通して固定されたストッパ５３に当接することにより規制される。したがって、清掃部材２２の突部２４ａが案内部材３０の摺動面３１に摺動する際において、当該突部２４ａが摺動面３１に対しその凹部３１ａに対応する位置から凸部３１ｂに対応する位置へ相対的に変位するのに伴って、清掃部材２２は圧縮コイルばね５２の弾性力に抗して、出力軸２１ａの軸線に沿ってモータ２１に対して離間する方向へ変位する。そして当該突部２４ａが摺動面３１に対しその凸部３１ｂに対応する位置から隣り合う凹部３１ａに対応する位置へ相対的に変位するのに伴って、清掃部材２２は圧縮コイルばね５２の弾性力により出力軸２１ａの軸線に沿ってモータ２１に対して近接する方向へ変位する。清掃部材２２の突部２４ａが摺動面３１の凹凸を乗り越えるたびに前述の動作が繰り返され、これにより清掃部材２２は、出力軸２１ａの軸線方向に沿って往復動する。この場合には、清掃部材２２には可撓性（弾性）を持たせる必要はない。そしてこのように構成した場合であれ、ブラシ２７は各放電電極１６に対して多方向に摺接することから、清掃装置２０の清掃能力は確保される。
【００４１】
・本実施の形態においては、除電装置１１に適用される放電電極１６の清掃装置２０について説明したが、当該清掃装置２０を他の装置に適用することも可能である。
＜他の技術的思想＞
次に、前記実施の形態より把握できる技術的思想について以下に記載する。
【００４２】
・同一の円周上に所定間隔をおいて放射状に配設されてなる複数の針状の放電電極の清掃方法において、駆動原の作動を通じて、前記複数の放電電極に対して清掃部材のブラシをこれら放電電極の配設方向へ摺接させながら当該配設方向に交わる方向へ往復動させることにより当該交わる方向においても摺接させる放電電極の清掃方法。
【００４３】
当該清掃方法によれば、請求項１に記載の発明と同様に、各放電電極は、ブラシの多方向からの摺接に基づき多方向から掃除されることから、放電電極の清掃能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】除電装置の概略構成を示す断面図。
【図２】除電装置の分解斜視図。
【図３】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図４】放電電極とブラシとの対応関係を示す要部斜視図。
【図５】（ａ），（ｂ）は、回転時における清掃部材の状態を示す要部断面図。
【図６】（ａ），（ｂ）は、案内部材の変形例を示す斜視図。
【図７】ブラシの配置の変形例を示す要部断面図。
【符号の説明】
【００４５】
１１…除電装置、１６…放電電極、２０…清掃装置、２１…駆動源、２２…清掃部材、２４ａ…突部、２６…ブラシ毛、２７…ブラシ、３０，４１…案内部材、３１，４２…摺動面、３１ａ…凹部、３１ｂ…凸部。
【図１】
2009158412.tif 000003
【図２】
2009158412.tif 000004
【図３】
2009158412.tif 000005
【図４】
2009158412.tif 000006
【図５】
2009158412.tif 000007
【図６】
2009158412.tif 000008
【図７】
2009158412.tif 000009