(57)【要約】【課題】電気特性を計測するプローブ装置に関し、被測定物の被測定箇所を視認しやすく、精度の高い検出ができるプローブ装置を提供することを課題とする。【解決手段】基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側がプリント基板（被測定物）３の金属露出部（被測定箇所）５に対して斜めに当てられるプローブチップ７と、プローブチップ７に接し、プローブチップ７の先端部がプリント基板３の金属露出部５に当てられた際のプローブチップ７に加わる力を検出する圧電素子（力検出手段）１３と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側が被測定物の被測定箇所に対して斜めに当てられるプローブチップと、
該プローブチップに接し、前記プローブチップの先端部が前記被測定物の前記被測定箇所に当てられた際の前記プローブチップに加わる力を検出する力検出手段と、
を有することを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
前記力検出手段の出力値が第１設定値より大きくなると応動する通知手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のプローブ装置。
【請求項３】
基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側が被測定物上の複数の被測定箇所に対して斜めに当てられる複数のプローブチップが並設されたプローブと、
前記各プローブチップに接するように設けられ、前記各プローブチップの先端部が前記被測定物の各被測定箇所に当てられた際の前記各プローブチップに加わる力を検出する力検出手段と、
前記各力検出手段の出力値が第１設定値より大きく、前記各力検出手段の出力値のうちの最大値と最小値との差が第２設定値より以下の場合に応動する通知手段と、
を有することを特徴とするプローブ装置。
【請求項４】
前記力検出手段は、前記プローブチップによって押される圧電素子であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のプローブ装置。
【請求項５】
基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側が被測定物上の複数の被測定箇所に対して斜めに当てられる複数のプローブチップが並設されたプローブと、
前記各プローブチップに接するように設けられ、前記プローブチップの先端部が前記被測定物の被測定箇所に当てられた際、前記各プローブチップによって押される圧電素子と、
前記被測定物が設けられる面に対して直交する方向であるＺ軸方向に前記プローブを移動させるＺ軸方向プローブ移動手段と、
前記被測定物が設けられる面上で、前記Ｚ軸と直交する方向であるＸ方向に前記プローブを移動させるＸ軸方向プローブ移動手段と、
前記被測定物が設けられる面上で、前記Ｚ軸と、前記Ｘ軸とに直交する方向であるＹ方向に前記プローブを移動させるＹ軸方向プローブ移動手段と、
前記Ｙ軸を中心として前記プローブを回転させるプローブ回転手段と、
前記プローブチップによって押される各圧電素子に発生する電圧のうちの最大値と最小値との差と、この差が０である前記プローブの位置から前記プローブが前記Ｙ軸を中心に回転して前記差が発生する前記プローブの回転角との関係が記録された第１のテーブルと、
前記プローブが前記Ｙ軸を中心として回転した場合の、前記Ｘ軸、前記Ｙ軸で構成されるＸ−Ｙ平面上での前記プローブの座標が記録された第２のテーブルと、
前記プローブチップが前記被測定物の複数の被測定箇所に当てられた際に、
前記各圧電素子に発生する電圧が第１設定値より大きく、前記各圧電素子に発生する電圧のうちの最大値と最小値との差が第２設定値より大きければ、前記Ｚ軸方向プローブ移動手段を駆動して前記プローブチップの先端側を前記被測定物の被測定箇所から離し、前記第１のテーブルを参照して、前記各圧電素子の電圧の最大値と最小値との差が前記第２設定値似内となるように、前記プローブ回転手段を回転し、前記第２のテーブルを参照して、前記Ｘ−Ｙ平面上での前記プローブのずれ量を補正するように、Ｘ方向プローブ移動手段、Ｙ方向プローブ移動手段を駆動する制御手段と、
を有することを特徴とするプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気特性を計測するプローブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板製造の試験過程で部品が正しく搭載されているか、伝送信号が正しく送信受信されているかを測定するため、被測定物であるプリント基板の金属露出部（被測定箇所）にプローブを接触させて測定する。
【０００３】
近年、プリント基板の小型化・高密度化により金属露出部が非常に小さくなっている。これに対応するためプローブ自体も小型化しているため、人間による目視などで金属露出部分に確実にプローブが接触して正しい電気的特性が計測できているのか確認が取りにくくなっている。同様に、電圧・電流など電気的計測に関してプローブが確実に接触しているのか確認が取りにくくなっている。
【０００４】
被測定箇所に確実に接触しているかどうかを確認できるプローブ装置として、下記特許文献１に記載されたプローブ装置が提案されている。特許文献１には、一方の端面が開放された有底円筒状のスリーブと、このスリーブの底に設けられた圧電素子と、スリーブの開放面から外部に突出するように設けられたプローブチップと、圧電素子とプローブチップとの間に設けられたスプリングとからなるプローブが記載されている。そして、被測定箇所に対してプローブのプローブチップの先端側を当てると、プローブチップに作用する圧力は、スプリングを介して圧電素子に伝達され、圧電素子によって電圧に変換される。この電圧の大きさにより、プローブが被測定箇所所に確実に接触しているかどうかを確認できる。
【特許文献１】特開平５−１９０１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述した特許文献１に記載された発明のプローブ装置には、以下のような問題点がある。
（１）プローブは、被測定箇所の真上からに当たるので、被測定箇所が視認しにくい。
（２）スプリングがスリーブの内壁面に引っかかると精度の高い検出ができない。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、被測定物の被測定箇所を視認しやすいプローブ装置を提供することにある。
又、本発明の他の課題は、精度の高い検出ができるプローブ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する請求項１に係る発明は、基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側が被測定物の被測定箇所に対して斜めに当てられるプローブチップと、該プローブチップに接し、前記プローブチップの先端部が前記被測定物の前記被測定箇所に当てられた際の前記プローブチップに加わる力を検出する力検出手段と、を有することを特徴とするプローブ装置である。
【０００８】
基端部側が支持された片持ちはり状でのプローブチップの先端部側を被測定物の被測定箇所に対して斜めに当てると、プローブチップは力が加わる。力検出手段はプローブチップに加わる力を検出する。
【０００９】
請求項２に係る発明は、前記力検出手段の出力値が第１設定値より大きくなると応動する通知手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のプローブ装置である。
前記力検出手段の出力値が第１設定値より大きくなると、通知手段が応動する。
【００１０】
請求項３に係る発明は、基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側が被測定物上の複数の被測定箇所に対して斜めに当てられる複数のプローブチップが並設されたプローブと、前記各プローブチップに接するように設けられ、前記各プローブチップの先端部が前記被測定物の各被測定箇所に当てられた際の前記各プローブチップに加わる力を検出する力検出手段と、前記各力検出手段の出力値が第１設定値より大きく、前記各力検出手段の出力値のうちの最大値と最小値との差が第２設定値より以下の場合に応動する通知手段と、を有することを特徴とするプローブ装置である。
【００１１】
基端部側が支持された片持ちはり状で、プローブに並設された複数のプローブチップの先端部側を被測定物の被測定箇所に対して斜めに当てると、各プローブチップに力が加わる。各力検出手段は各プローブチップに加わる力を検出する。
【００１２】
通知手段は、前記各力検出手段の出力値が第１設定値より大きく、前記各力検出手段の出力値のうちの最大値と最小値との差が第２設定値より以下の場合に応動する。
請求項４に係る発明は、前記力検出手段は、前記プローブチップによって押される圧電素子であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のプローブ装置である。
【００１３】
圧電素子は、前記プローブチップによって押され、押される力に応じた電圧を発生する。
請求項５に係る発明は、基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側が被測定物上の複数の被測定箇所に対して斜めに当てられる複数のプローブチップが並設されたプローブと、前記各プローブチップに接するように設けられ、前記プローブチップの先端部が前記被測定物の被測定箇所に当てられた際、前記各プローブチップによって押される圧電素子と、前記被測定物が設けられる面に対して直交する方向であるＺ軸方向に前記プローブを移動させるＺ軸方向プローブ移動手段と、前記被測定物が設けられる面上で、前記Ｚ軸と直交する方向であるＸ方向に前記プローブを移動させるＸ軸方向プローブ移動手段と、前記被測定物が設けられる面上で、前記Ｚ軸と、前記Ｘ軸とに直交する方向であるＹ方向に前記プローブを移動させるＹ軸方向プローブ移動手段と、前記Ｙ軸を中心として前記プローブを回転させるプローブ回転手段と、前記プローブチップによって押される各圧電素子に発生する電圧のうちの最大値と最小値との差と、この差が０である前記プローブの位置から前記プローブが前記Ｙ軸を中心に回転して前記差が発生する前記プローブの回転角との関係が記録された第１のテーブルと、前記プローブが前記Ｙ軸を中心として回転した場合の、前記Ｘ軸、前記Ｙ軸で構成されるＸ−Ｙ平面上での前記プローブの座標が記録された第２のテーブルと、前記プローブチップが前記被測定物の複数の被測定箇所に当てられた際に、前記各圧電素子に発生する電圧が第１設定値より大きく、前記各圧電素子に発生する電圧のうちの最大値と最小値との差が第２設定値より大きければ、前記Ｚ軸方向プローブ移動手段を駆動して前記プローブチップの先端側を前記被測定物の被測定箇所から離し、前記第１のテーブルを参照して、前記各圧電素子の電圧の最大値と最小値との差が前記第２設定値似内となるように、前記プローブ回転手段を回転し、前記第２のテーブルを参照して、前記Ｘ−Ｙ平面上での前記プローブのずれ量を補正するように、Ｘ方向プローブ移動手段、Ｙ方向プローブ移動手段を駆動する制御手段と、を有することを特徴とするプローブ装置である。
【００１４】
基端部側が支持された片持ちはり状で、プローブに並設された複数のプローブチップの先端部側を被測定物の被測定箇所に対して斜めに当てると、各プローブチップは力が加わる。各圧電素子は前記各プローブチップよって押され、押される力に応じた電圧を発生する。
【００１５】
制御手段は、前記プローブチップが前記被測定物の複数の被測定箇所に当てられた際に、前記各圧電素子に発生する電圧が第１設定値より大きく、前記各圧電素子に発生する電圧のうちの最大値と最小値との差が第２設定値より大きければ、前記Ｚ軸方向プローブ移動手段を駆動して前記プローブチップの先端側を前記被測定物の被測定箇所から離し、前記第１のテーブルを参照して、前記各圧電素子の電圧の最大値と最小値との差が前記第２設定値似内となるように、前記プローブ回転手段を回転し、前記第２のテーブルを参照して、前記Ｘ−Ｙ平面上での前記プローブのずれ量を補正するように、Ｘ方向プローブ移動手段、Ｙ方向プローブ移動手段を駆動する。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１−４に係る発明によれば、プローブ装置のプローブチップは、先端部側が被測定物の被測定箇所に対して斜めに当てられるので、被測定物の被測定箇所を視認しやすい。又、力検出手段は、該プローブチップに接しているので、精度の高い検出ができる。
【００１７】
請求項２に係る発明は、前記力検出手段の出力値が第１設定値より大きくなると応動する通知手段を設けた。第１設定値を最適な値にすることにより、プローブ装置のプローブチップが被測定物の被測定箇所に確実に接触していることが容易にわかる。
【００１８】
請求項３に係る発明によれば、前記各力検出手段の出力値が第１設定値より大きく、前記各力検出手段の出力値のうちの最大値と最小値との差が第２設定値より以下の場合に応動する通知手段を設けた。
【００１９】
第１設定値を最適な値にすることにより、プローブ装置の各プローブチップが被測定物の各被測定箇所に確実に接触していることが容易にわかる。又、第２設定値を最適な値にすることで、各プローブチップが各被測定箇所に均等に接触していることが容易にわかる。
【００２０】
請求項４に係る発明によれば、前記力検出手段は、前記プローブチップによって押される圧電素子であることにより、構造が簡単で、小型軽量で、取扱いが容易である。
請求項５に係る発明によれば、プローブ装置のプローブチップは、先端部側が被測定物の被測定箇所に対して斜めに当てられるので、被測定物の被測定箇所を視認しやすい。又、圧電素子は、プローブチップに接するように設けられているので、精度の高い検出ができる。
【００２１】
又、基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側が被測定物上の複数の被測定箇所に対して斜めに当てられる複数のプローブチップが並設されたプローブと、前記各プローブチップに接するように設けられ、前記プローブチップの先端部が前記被測定物の被測定箇所に当てられた際、前記各プローブチップによって押される圧電素子と、前記被測定物が設けられる面に対して直交する方向であるＺ軸方向に前記プローブを移動させるＺ軸方向プローブ移動手段と、前記被測定物が設けられる面上で、前記Ｚ軸と直交する方向であるＸ方向に前記プローブを移動させるＸ軸方向プローブ移動手段と、前記被測定物が設けられる面上で、前記Ｚ軸と、前記Ｘ軸とに直交する方向であるＹ方向に前記プローブを移動させるＹ軸方向プローブ移動手段と、前記Ｙ軸を中心として前記プローブを回転させるプローブ回転手段と、前記プローブチップによって押される各圧電素子に発生する電圧のうちの最大値と最小値との差と、この差が０である前記プローブの位置から前記プローブが前記Ｙ軸を中心に回転して前記差が発生する前記プローブの回転角との関係が記録された第１のテーブルと、前記プローブが前記Ｙ軸を中心として回転した場合の、前記Ｘ軸、前記Ｙ軸で構成されるＸ−Ｙ平面上での前記プローブの座標が記録された第２のテーブルと、前記プローブチップが前記被測定物の複数の被測定箇所に当てられた際に、前記各圧電素子に発生する電圧が第１設定値より大きく、前記各圧電素子に発生する電圧のうちの最大値と最小値との差が第２設定値より大きければ、前記Ｚ軸方向プローブ移動手段を駆動して前記プローブチップの先端側を前記被測定物の被測定箇所から離し、前記第１のテーブルを参照して、前記各圧電素子の電圧の最大値と最小値との差が前記第２設定値似内となるように、前記プローブ回転手段を回転し、前記第２のテーブルを参照して、前記Ｘ−Ｙ平面上での前記プローブのずれ量を補正するように、Ｘ方向プローブ移動手段、Ｙ方向プローブ移動手段を駆動する制御手段とを有することで、自動で複数の接触箇所の測定が確実に行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
＜第１の実施の形態例＞
図１−図２を用いて第１の実施の形態例を説明する。
第１の実施の形態例のプローブ装置の全体を示す構成図である図１に示すように、プローブ装置１は、被測定物であるプリント基板３被測定箇所である金属露出部５に当てられるプローブチップ７が設けられたプローブ９と、このプローブ９を所望の位置に移動するポジショナー１１とに大別される。
【００２３】
プローブ９の断面図である図２に示すように、プローブチップ７は、基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側がプリント基板３の金属露出部５に対して斜めに当てられる様になっている。
【００２４】
プローブ９内には、プローブチップ７に接し、プローブチップ７の先端部がプリント基板３の金属露出部５に当てられた際のプローブチップ７に加わる力を検出する力検出手段が設けられている。本実施の形態例では、圧電素子１３を用いた。プローブチップ７を金属露出部５に押し当てると、プローブチップ７が弾性体の場合は、プローブチップ７が弾性変形して圧電素子１３を押し、圧電素子１３には押された力に応じた電圧を発生する。又、プローブチップ７が剛体の場合であっても、金属露出部５からの反力が圧電素子１３に作用し、圧電素子１３には反力に応じた電圧を発生する。尚、プローブチップ７が弾性体の場合には、プローブチップ７に発生する歪みを検出する歪ゲージ等も適用可能である。
【００２５】
図１に戻って、ポジショナー１１の説明を行なう。プローブ９はねじ１０を用いてポジショナー１１に取り付けられている。
ポジショナー１１は、プリント基板３が設けられる面に対して直交する方向（本形態例では、上下方向）であるＺ軸方向にプローブ９を移動させるＺ軸方向プローブ移動手段を有している。このＺ軸方向プローブ移動手段は、ノブ２１を回転させることにより作動する。
【００２６】
又、ポジショナー１１は、プリント基板３が設けられる面上で、Ｚ軸と直交する方向であるＸ方向（本形態例では、図１の紙面に対して垂直方向）にプローブ９を移動させるＸ軸方向プローブ移動手段を有している。このＸ軸方向プローブ移動手段は、ノブ２３を回転させることにより作動する。
【００２７】
更に、ポジショナー１１は、プリント基板３が設けられる面上で、Ｚ軸と、Ｘ軸とに直交する方向であるＹ方向にプローブ９を移動させるＹ軸方向プローブ移動手段を有している。このＹ軸方向プローブ移動手段は、ノブ２５を回転させることにより作動する。
【００２８】
図１、図２に示すように、プローブチップ７の基端部側には、同軸ケーブル３１に一端側が電気的に接続され、この同軸ケーブル３１の他端側は、金属露出部５の電気特製を測定する電気特性測定器３３に接続されている。又、圧電素子１３には、ケーブル３５の一端部側が電気的に接続され、このケーブル３５の他端側は、通知手段として接触確認装置３７に接続されている。この接触確認装置３７は、圧電素子１３に発生する電圧を表示するものである。
【００２９】
上記構成の作動を説明する。
（１）プローブ９のプローブチップ７の先端部側がプリント基板３から離れた状態で、ノブ２３、ノブ２５を回して、プローブチップ７の先端側がプリント基板３の金属露出部５上に位置するようにポジショナー１１を移動させる。
（２）ノブ２１を回して、プローブ９のプローブチップ７の先端側をプリント基板３の金属露出部５に当てる。この時、接触確認装置３７の表示を見て、圧電素子１３に発生する電圧が第１設定値より大きくなるまで、ノブ２１を回す。
【００３０】
上記構成によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）プローブ装置１のプローブチップ７は、先端部側が金属露出部５に対して斜めに当てられるので、金属露出部５を視認しやすい。
（２）力検出手段としての圧電素子１３は、プローブチップ７に接しているので、精度の高い検出ができる。
【００３１】
又、力検出手段が圧電素子１３であることにより、構造が簡単で、小型軽量で、取扱いが容易である。
（３）圧電素子１３に発生する電圧を表示する接触確認装置３７を設け、第１設定値を最適な値にすることにより、プローブ装置１のプローブチップ７が金属露出部５に確実に接触していることが容易にわかる。
【００３２】
尚、本発明は、上記形態例に限定するものではない。上記形態例では、通知手段として圧電素子１３に発生する電圧を表示する接触確認装置３７を設けたが、他に、第１の設定値になったらＬＥＤ等を発光させてもよいし、ブザー等で音を出しても良い。
【００３３】
又、Ｚ軸方向プローブ移動手段をモータ駆動とし、圧電素子１３に発生する電圧が第１設定値より大きくなるまで、プローブ９のプローブチップ７の先端部側をプリント基板３の金属露出部５に押し当てるようにしてもよい。
＜第２の実施の形態例＞
図３−図５を用いて第２の実施の形態例を説明する。
【００３４】
一般に、プリント基板上の金属露出部の電気的特性を測定するには、基準となる点と、測定する点の２カ所以上の所にプローブチップを当てなければならない。本形態例は、複数のプローブチップを有するプローブ装置である。
【００３５】
第２の実施の形態例のプローブ装置の全体を示す構成図である図３に示すように、プローブ装置１０１は、被測定物であるプリント基板１０３被測定箇所である金属露出部に当てられるプローブチップが設けられたプローブ１０９と、このプローブ１０９を所望の位置に移動するポジショナー１１１とに大別される。
【００３６】
図３のＡ方向矢視図である図４に示すように、プローブ１０９には、基準になる点に当てられる第１のプローブチップ１０７、測定する点に当てられる第２のプローブチップ１０８が並設されている。
【００３７】
そして、第１の実施の形態例と同様に、第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８は、基端部側が支持された片持ちはり状で、先端部側がプリント基板１０３の第１の金属露出部１０５、第２の金属露出部１０６に対して斜めに当てられる様になっている。又、プローブ１０９内には、第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８に接し、第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８の先端部がプリント基板１０３の第１の金属露出部（基準なる点）１０５、第２の金属露出部（測定される点）１０６に当てられた際の第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８に加わる力を検出する力検出手段が設けられている。本実施の形態例では、第１の圧電素子、第２の圧電素子を用いた。
【００３８】
図３に戻って、ポジショナー１１１の説明を行なう。プローブ１０９はねじ１１０を用いてポジショナー１１１に取り付けられている。
ポジショナー１１１は、プリント基板１０３が設けられる面に対して直交する方向（本形態例では、上下方向）であるＺ軸方向にプローブ１０９を移動させるＺ軸方向プローブ移動手段１２１を有している。このＺ軸方向プローブ移動手段は、図示しないモータを駆動させることにより作動する。
【００３９】
又、ポジショナー１１１は、プリント基板１０３が設けられる面上で、Ｚ軸と直交する方向であるＸ方向（本形態例では、図３の紙面に対して垂直方向）にプローブ１０９を移動させるＸ軸方向プローブ移動手段１２３を有している。このＸ軸方向プローブ移動手段は、図示しないモータを駆動させることにより作動する。
【００４０】
更に、ポジショナー１１１は、プリント基板１０３が設けられる面上で、Ｚ軸と、Ｘ軸とに直交する方向であるＹ方向にプローブ１０９を移動させるＹ軸方向プローブ移動手段１２５を有している。このＹ軸方向プローブ移動手段は、図示しないモータを駆動させることにより作動する。
【００４１】
そして、ポジショナー１１１は、Ｙ軸を中心としてプローブ１０９を回転させるプローブ回転手段１２７を有している。このプローブ回転手段１２７は、図示しないモータを駆動させることにより作動する。
【００４２】
第１の実施の形態例と同様に、第２の金属露出部１０６の電気特性を測定する電気特性測定器１３３と、第１のプローブチップ１０７，第２のプローブチップ１０８の第１の圧電素子、第２の圧電素子に発生する電圧を表示する接触確認装置１３７が設けられている。
【００４３】
次に、本形態例の電気的接続を示すブロック図である図５を用いて、電気的構成を説明する。
１５１は、第１の圧電素子１６１、第２の圧電素子１６３からの信号を取り込んで、Ｘ軸方向プローブ移動手段１２３、Ｙ軸方向プローブ移動手段１２５、Ｚ軸方向プローブ移動手段１２１、プローブ回転手段１２７を駆動する制御手段である。
【００４４】
１６５は、第１のプローブチップ１０７，第２のプローブチップ１０８によって押される第１の圧電素子１６１、第２の圧電素子１６３に発生する電圧（Ｖ１、Ｖ２）の差Δ（本形態例では、Δ＝Ｖ１−Ｖ２）と、この差が０であるプローブ１０９の位置からプローブ１０９がＹ軸を中心に回転して前記差（Δ）が発生するプローブ１０９の回転角との関係が記録された第１のテーブルである。
【００４５】
１６７は、プローブ１０９がＹ軸を中心として回転した場合の、Ｘ軸、Ｙ軸で構成されるＸ−Ｙ平面上でのプローブ１０９の座標（（ｘ、ｙ））が記録された第２のテーブルである。
【００４６】
ここで、制御手段の作動を示すフローチャートである図６を用いて、第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８がプリント基板１０３の第１の金属露出部１０５，第２の金属露出部１０６に当てられた際の作動を説明する。
【００４７】
最初に、第１の圧電素子１６１、第２の圧電素子１６３に発生する電圧（Ｖ１、Ｖ２）が第１設定値（Ｋ１）より大きくなるまで、Ｚ軸方向プローブ移動手段１２１を駆動し、第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８を第１の金属露出部１０５、第２の金属露出部１０６に当てる（ステップ１、２、３）。
【００４８】
尚、第１設定値（Ｋ１）は、プローブ装置１０１の第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８が第１の金属露出部１０５、第２の金属露出部１０６に確実に接触した時の、第１の圧電素子１６１、第２の圧電素子１６３に発生する電圧値とした。
【００４９】
ここで、第１のプローブチップ１０７，第２のプローブチップ１０８によって押される第１の圧電素子１６１、第２の圧電素子１６３に発生する電圧（Ｖ１、Ｖ２）の差Δ（Δ＝Ｖ１−Ｖ２）が第２設定値（Ｋ２）以下ならば、電気特性を測定し、一連の作動を終了する（ステップ４，８）。
【００５０】
ステップ４で、第１のプローブチップ１０７，第２のプローブチップ１０８によって押される第１の圧電素子１６１、第２の圧電素子１６３に発生する電圧（Ｖ１、Ｖ２）の差Δ（Δ＝Ｖ１−Ｖ２）が第２設定値（Ｋ２）より大きければ、Ｚ軸方向プローブ移動手段１２７を先程とは逆方向に駆動して、第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８をプリント基板１０３の第１の金属露出部１０５，第２の金属露出部１０６から離す（ステップ４、ステップ５）。
【００５１】
次に、第１のテーブル１６５を参照して、第１の圧電素子１６１、第２の圧電素子１６３に発生する電圧（Ｖ１、Ｖ２）の差Δ（Δ＝Ｖ１−Ｖ２）が第２設定値（Ｋ２）似内となるように、プローブ回転手段１２７を回転する（ステップ６）。第２のテーブル１６７を参照して、Ｘ−Ｙ平面上でのプローブ１０９のずれ量を補正するように、Ｘ方向プローブ移動手段１２３、Ｙ方向プローブ移動手段１２５を駆動する（ステップ７）。
【００５２】
そして、第２の金属露出部１０６の電気特性を測定し、一連の作動を終了する（ステップ８）。
上記構成によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）プローブ装置１０１の第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８は、先端部側が第１の金属露出部１０５、第２の金属露出部１０６に対して斜めに当てられるので、第１の金属露出部１０５、第２の金属露出部１０６を視認しやすい。
（２）力検出手段としての第１の圧電素子１６１、第２の圧電素子１６３は、第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８に接しているので、精度の高い検出ができる。又、力検出手段が圧電素子であることにより、構造が簡単で、小型軽量で、取扱いが容易である。
（３）第１設定値（Ｋ１）を最適な値にすることにより、プローブ装置１０１の各プローブチップ１０７、１０８が各金属露出部１０５，１０６に確実に接触していることがわかる。又、第２設定値（Ｋ２）を最適な値にすることで、各プローブチップ１０６、１０８が各露出部１０５，１０６に均等に接触していることが容易にわかる。
（４）自動で複数の接触箇所の測定が確実に行える。
（５）１つのプローブ１０９に第１のプローブチップ１０７、第２のプローブチップ１０８を設けた。そして、第１のプローブチップ１０７を基準となる第１の金属露出部１０５、第２のプローブチップ１０８を測定する金属露出部１０６に当て、第１のプローブチップ１０７のケーブル、第２のプローブチップ１０８のケーブルをペアにすることにより、プローブ自体が大きなアンテナになることを防止でき、ノイズを拾わず、精度の高い測定が可能となる。
【００５３】
尚、本発明は上記形態例に限定するものではない。上記形態例では、プローブに設ける複数のプローブチップとして、２つのプローブチップの場合で説明を行ったが、３つ以上の場合でも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】第１の実施の形態例のプローブ装置の全体を示す構成図である。
【図２】図１のプローブの断面図である。
【図３】第２の実施の形態例のプローブ装置の全体を示す構成図である。
【図４】図３のＡ方向矢視図である。
【図５】第２の形態例の電気的接続を示すブロック図である。
【図６】図５の制御手段の作動を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５５】
３  プリント基板（被測定物）
５  金属露出部（被測定箇所）
７  プローブチップ
１３  圧電素子（力検出手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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