(57)【要約】【課題】レイアウトデータから寄生素子を含む回路図を抽出する際に、シミュレーションのプローブポイントとして注目するノードを、抽出された回路図において容易に識別することのできる回路抽出装置を提供する。【解決手段】回路抽出装置１０は、擬似パターン配置部１１、擬似素子配置部１２、寄生素子抽出部１３、出力部１４を備える。擬似パターン配置部１１は、レイアウトデータを入力し、１又は２以上の擬似パターンを配置する。擬似素子配置部１２は、レイアウトデータに対する回路図を入力し、前記擬似パターンのそれぞれに対応する擬似素子を配置する。寄生素子抽出部１３は、擬似パターンの配置されたレイアウトデータに基づいて寄生素子を抽出する。出力部１４は、寄生素子を擬似素子の配置された回路図へ合成して出力する。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レイアウトデータを入力し、１又は２以上の擬似パターンを配置するように構成された擬似パターン配置部と、
前記レイアウトデータに対する回路図を入力し、前記擬似パターンのそれぞれに対応する擬似素子を配置するように構成された擬似素子配置部と、
前記擬似パターンの配置されたレイアウトデータに基づいて寄生素子を抽出するように構成された寄生素子抽出部と、
前記寄生素子を前記擬似素子の配置された前記回路図へ合成して出力するように構成された出力部と、を備えることを特徴とする回路抽出装置。
【請求項２】
前記擬似パターン配置部は、配置された擬似パターンとレイアウトデータとが重なる箇所に対する寄生抵抗や寄生容量が無視できる程度の微小な擬似パターンを配置するように構成されたことを特徴とする、請求項１に記載の回路抽出装置。
【請求項３】
前記擬似素子配置部は、素子特性が互いに異なる擬似素子を配置するように構成されたことを特徴とする、請求項１又は２に記載の回路抽出装置。
【請求項４】
レイアウトデータへ１又は２以上の擬似パターンを配置する工程と、
前記レイアウトデータに対する回路図へ前記擬似パターンのそれぞれに対応する擬似素子を配置する工程と、
前記擬似パターンの配置された前記レイアウトデータに基づいて寄生素子を抽出する工程と、
前記寄生素子を前記擬似素子の配置された前記回路図へ合成して出力する工程と、を含むことを特徴とする回路抽出方法。
【請求項５】
前記擬似パターン配置工程において、配置された擬似パターンとレイアウトデータとが重なる箇所に対する寄生抵抗や寄生容量が無視できる程度の微小な擬似パターンを配置することを特徴とする、請求項４に記載の回路抽出方法。
【請求項６】
前記擬似素子配置工程において、素子特性が互いに異なる擬似素子を配置することを特徴とする、請求項４又は５に記載の回路抽出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路抽出装置及び方法に関し、特に、レイアウトデータに基づいて寄生素子を含む回路を抽出する回路抽出装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レイアウトデータから寄生素子を抽出して高精度のシミュレーションを行うことが、半導体素子の微細化に伴ってますます重要になってきている。抽出される寄生素子として、例えば寄生抵抗や寄生容量などが挙げられる。
【０００３】
従来の回路抽出装置は、寄生素子を含んだ回路情報を抽出する際に、まず、レイアウトデータより素子や配線などの回路情報を抽出する。次に、寄生素子を抽出するために、各配線を分割し、分割したそれぞれの配線に対して寄生素子を抽出する。最後に、抽出された回路情報と各配線の寄生素子とを合成して、寄生素子を含めた回路情報を出力する。
【０００４】
しかし、従来の回路抽出装置では、寄生素子によって分割された配線の各ノードにつけるノード名を制御することなく、回路抽出装置が適当に割り当てたノード名に基づいて回路情報を出力するため、回路内の特定のノード位置を抽出することが困難となる。したがって、寄生素子を含む回路をシミュレーションする際のプローブポイントを指定することが困難となっていた。
【０００５】
特許文献１に開示された回路抽出装置は、レイアウトデータから抽出された回路の寄生素子を抽出する際、回路に割り当てられるノードに、プローブポイントを識別するために予めレイアウトデータに付加しておいたノードを含めるようにすることで、上記の問題を解決している。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−１１４８７１号公報（図１〜図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以下の分析は、本発明者によってなされたものである。特許文献１に開示された回路抽出装置は、注目するノードの位置情報を事前にレイアウトデータから抽出する手段を別途必要とする。注目するノードの位置情報は外部から読み込むものとしているからである。また、特許文献１に開示された回路抽出装置においては、回路図とは異なる接続の仕方で回路情報が抽出され得る。回路情報を抽出する際にレイアウトデータのみに基づいて抽出しているからである。さらに、特許文献１に開示された回路抽出装置によって抽出された回路情報は、抽出に用いたレイアウトデータに対応する回路図に戻すことが困難となる場合がある。回路情報はレイアウトデータのみに基づいて抽出されているため、対応する回路図と接続が一致しないことがあるからである。
【０００８】
そこで、レイアウトデータから寄生素子を含む回路図を抽出する際に、シミュレーションのプローブポイントとして注目するノードを、抽出された回路図において容易に識別することのできる回路抽出装置及び方法を提供することが課題となる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の視点に係る回路抽出装置は、
レイアウトデータを入力し、１又は２以上の擬似パターンを配置するように構成された擬似パターン配置部と、
前記レイアウトデータに対する回路図を入力し、前記擬似パターンのそれぞれに対応する擬似素子を配置するように構成された擬似素子配置部と、
前記擬似パターンの配置されたレイアウトデータに基づいて寄生素子を抽出するように構成された寄生素子抽出部と、
前記寄生素子を前記擬似素子の配置された前記回路図へ合成して出力するように構成された出力部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の第２の視点に係る回路抽出方法は、
レイアウトデータへ１又は２以上の擬似パターンを配置する工程と、
前記レイアウトデータに対する回路図へ前記擬似パターンのそれぞれに対応する擬似素子を配置する工程と、
前記擬似パターンの配置された前記レイアウトデータに基づいて寄生素子を抽出する工程と、
前記寄生素子を前記擬似素子の配置された前記回路図へ合成して出力する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
第１の展開形態の回路抽出装置は、
前記擬似パターン配置部は、配置された擬似パターンとレイアウトデータとが重なる箇所に対する寄生抵抗や寄生容量が無視できる程度の微小な擬似パターンを配置するように構成されることが好ましい。
【００１２】
第２の展開形態の回路抽出装置は、
前記擬似素子配置部は、素子特性が互いに異なる擬似素子を配置するように構成されることが好ましい。
【００１３】
第３の展開形態の回路抽出方法は、
前記擬似パターン配置工程において、配置された擬似パターンとレイアウトデータとが重なる箇所に対する寄生抵抗や寄生容量が無視できる程度の微小な擬似パターンを配置することが好ましい。
【００１４】
第４の展開形態の回路抽出方法は、
前記擬似素子配置工程において、素子特性が互いに異なる擬似素子を配置することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る回路抽出方法によって、レイアウトデータから寄生素子を含む回路を抽出する際に、シミュレーションのプローブポイントとして注目するノードを、抽出された回路図において容易に識別することができる。なぜなら、抽出された回路には、注目するノードに対応づけられた擬似素子が含まれるからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施形態に係る回路抽出装置について、図面を参照して説明する。図１１は、本実施形態に係る回路抽出装置１０のブロック図である。回路抽出装置１０は、擬似パターン配置部１１、擬似素子配置部１２、寄生素子抽出部１３、出力部１４を備える。
【００１７】
擬似パターン配置部１１は、レイアウトデータを入力し、１又は２以上の擬似パターンを配置する。擬似素子配置部１２は、レイアウトデータに対する回路図を入力し、前記擬似パターンのそれぞれに対応する擬似素子を配置する。寄生素子抽出部１３は、擬似パターンの配置されたレイアウトデータに基づいて寄生素子を抽出する。出力部１４は、寄生素子を擬似素子の配置された回路図へ合成して出力する。
【００１８】
本実施形態に係る回路抽出装置１０は、注目するノードを識別するための擬似パターンをレイアウトデータに配置するとともに、擬似素子を回路図に配置し、レイアウトデータに配置された擬似パターンと回路図に配置された擬似素子との間で素子情報と接続情報を一致させておく。さらに、寄生素子を抽出する際に、配置した擬似素子も回路情報として出力する。これによって、シミュレーションの際のプローブポイントを、出力された回路情報に含まれる擬似素子として容易に識別することができる。
【実施例１】
【００１９】
次に、本発明の第１の実施例について図面を参照して詳細に説明する。図１は、レイアウトデータ上における注目するノードを識別する擬似パターンの配置図である。図１において、素子Ｄ１から出力された配線Ｓ１が２方向に分岐され、素子Ｄ１が配置されたレイアウトＬＡと隣接するレイアウトＬＢ及びＬＣに出力される。レイアウトＬＢまで伸びた配線Ｓ１の位置を識別する擬似パターンＰ１と、レイアウトＬＣまで伸びた配線Ｓ１の位置を識別する擬似パターンＰ２をそれぞれ配線Ｓ１と重ねて配置する。擬似パターンＰ１及びＰ２は、それぞれ、回路図に配置する擬似素子Ｒ１及びＲ２を定義するために、レイアウトデータに配置される擬似パターンである。
【００２０】
図２は、本実施例における、回路図上のノードを識別する擬似素子の配置図である。図２において、素子Ｄ１の出力０は図１の配線Ｓ１に対応し、レイアウトデータ上に定義した擬似パターンＰ１及びＰ２にそれぞれ対応させるため、回路図上にそれぞれ擬似素子Ｒ１及び擬似素子Ｒ２を設ける。擬似素子Ｒ１と擬似素子Ｒ２は両側の端子を接続させた抵抗ＲＡ１及び抵抗ＲＡ２で構成され、そのうちの片側端子を出力０と接続する。
【００２１】
図３は、図２で示した回路図上の擬似素子を認識させるためのレイアウト上の素子認識例を示した図である。レイアウト上の配線Ｓ１に擬似パターンＰ１を重ねたとき、擬似パターンＰ１を一律全方向に拡大した擬似パターンＰ１２と配線Ｓ１との重なり部Ｈ２から、配線Ｓ１と擬似パターンＰ１との重なり部Ｈ１を差し引いた残りの部分と、配線Ｓ１が重なる箇所を抵抗端子Ｔ１及び抵抗端子Ｔ２とする。重なり部Ｈ１を抵抗部Ｒａとする。抵抗部Ｒａと抵抗端子Ｔ１及び抵抗端子Ｔ２はそれぞれの境界部において接続される。すなわち、抵抗端子Ｔ１及び抵抗端子Ｔ２を介して、配線Ｓ１と抵抗部Ｒａとが接続される。これによって、配線Ｓ１と平行に配置された擬似素子Ｒ０を形成することができる。抵抗端子Ｔ１及びＴ２は、これら自身が抵抗及び容量抽出の対象とはならないように定義するものとする。また、配線Ｓ１と擬似パターンＰ１との重なり部Ｈ１に対する配線の寄生抵抗や寄生容量を最小限に抑えるために、できるだけ擬似パターンＰ１と配線Ｓ１との重なり範囲を狭くする。また、抵抗部Ｒａの抵抗値は回路特性上無視できるほどの小さな値に選ぶものとする。また、このようにして認識された擬似素子Ｒ１及び擬似素子Ｒ２は、一例として、抵抗値を変えるなどの方法によって、回路図上区別することができるようにしておく。
【００２２】
次に、図１及び図２のようにレイアウトデータ上及び回路図上に擬似パターンＰ１及びＰ３、擬似素子Ｒ１及びＲ２を配置した場合に、寄生抵抗や寄生容量を抽出した時の回路情報がどのように出力されるか説明する。図４は、図２の回路構成に対して寄生抵抗と寄生容量を抽出したときに出力される回路情報の等価回路を示す。
【００２３】
回路図に配置された擬似素子Ｒ１及びＲ２の箇所に注目すると、擬似素子Ｒ１の端子Ｔ３とＴ４との間の配線抵抗ＲＢ１、及び、擬似素子Ｒ２の端子Ｔ５とＴ６との間の配線抵抗ＲＢ２はそれぞれ寄生抵抗の抽出時に出力対象とされる。しかし、それぞれの端子間の距離は、注目するノードの配線全体に比べて非常に短いため、これらの抵抗は位置情報を抽出する上では無視できる程度であるため、端子Ｔ３とＴ４との間における抵抗値、及び、端子Ｔ５とＴ６との間における抵抗値をほぼ同等とすることができる。したがって、レイアウトデータ上で注目したい箇所に擬似パターンＰ１及びＰ２を配置することによって、擬似素子を構成する抵抗ＲＡ１及び抵抗ＲＡ２を回路情報として出力することができる。これらの抵抗を、個別に設定した抵抗値や回路素子情報に基づいて検出し、その両端のいずれかのノードを指定することによって、シミュレーションで注目したいプローブポイントを特定することができるようになる。
【００２４】
本実施例に係る回路抽出方法の効果は以下の通りである。第１の効果は、シミュレーションで注目するノードを出力された回路情報から容易に得られることにある。その理由は、レイアウトデータ及び回路図にノードを識別する擬似パターン及び擬似素子を配置し、回路情報を出力する際に、配置した擬似素子も同時に、かつ、個別の出力条件（例えば、抵抗値）によって回路情報として出力されるため、個々の擬似素子をプローブポイントとして容易に識別することができるからである。
【００２５】
第２の効果は、抽出された寄生素子を回路図にフィードバックすることも可能となり、回路図上においても注目する箇所の容量値や抵抗値を把握することができる。その理由は、回路図及びレイアウトデータに同じ接続条件で擬似素子及び擬似パターンを配置することによって、回路情報出力後の各ノードや素子の対応づけが容易となるからである。
【００２６】
第３の効果は、シミュレーションにおいて注目するノードをレイアウト上で容易に把握することができる。その理由は、レイアウト上に配置されたパターンに基づいて注目するノードを簡単に把握することができるからである。また、本実施例に係る回路抽出装置においては、レイアウトデータに配置された擬似パターンと回路図に配置された擬似素子との間で回路及び接続情報が対応づけられているため、回路図上の所定の擬似素子を選択することによって、レイアウト上の擬似パターンを特定することができる。
【実施例２】
【００２７】
次に、本発明の第２の実施例について図面を参照して説明する。図５は、図２に示した回路図上の擬似素子を、レイアウト上において認識させる方法の一例を示す。
【００２８】
図３に示した擬似パターンＰ１２と配線Ｓ１との重なり部Ｈ２を接続端子Ｔ１２とする。抵抗部Ｒａは抵抗端子Ｔ１及び抵抗端子Ｔ２を介して接続端子Ｔ１２と接続され、接続端子Ｔ１２を介して配線Ｓ１と接続されるものとして認識させる。抵抗端子Ｔ１と接続端子Ｔ１２との接続箇所の抵抗をＲＶ１、抵抗端子Ｔ２と接続端子Ｔ１２との接続箇所の抵抗をＲＶ２、接続端子Ｔ１２と配線Ｓ１との接続箇所の抵抗をＲＶ３とする。抵抗端子Ｔ１、抵抗端子Ｔ２、接続端子Ｔ１２は寄生抵抗や寄生容量を抽出する対象とはならないように定義する。
【００２９】
このとき、抵抗ＲＶ１、抵抗ＲＶ２、抵抗ＲＶ３のそれぞれの抵抗値は無視することができ、抵抗部Ｒａの両端のノードは接続端子Ｔ１２で配線Ｓ１と接続されることになり、図５の構成によって出力される抵抗端子Ｔ１とＴ２との間の抵抗は完全に無視することができる。
【実施例３】
【００３０】
次に、本発明の第３の実施例に係る回路抽出装置について図面を参照して説明する。図１０は、レイアウト上に配置された擬似パターンを回路図に反映させる回路抽出装置１０の構成を示すブロック図である。
【００３１】
レイアウト接続情報抽出部３ｂは、擬似パターン２ｂが配置されたレイアウトデータ１ｂを入力する。図６は、レイアウトデータ上に擬似パターンＲＰを配置した様子を示す図である。
【００３２】
レイアウト接続情報抽出手段３ｂは、素子Ａ及び素子Ｂに関係する全ての配線について、配線同士の交点、両素子の入出力接点、配線とレイアウト境界部との交点を抽出する。レイアウト接続情報抽出部３ｂは、図６を参照すると、レイアウト接続情報として、素子Ａの入出力端子ＰＢ０、素子Ｂの入出力端子ＰＢ３、配線Ｌ１、Ｌ２及びＬ４の交点ＰＢ１、配線Ｌ２、Ｌ３及びＬ５の交点ＰＢ２、配線Ｌ４、Ｌ５又はＬ６とレイアウト境界識別データＫ１との交点ＰＢ４、ＰＢ５又はＰＢ６を抽出する。
【００３３】
回路接続認識部４ｂは、抽出されたレイアウト接続情報に基づいて回路接続情報へと置き換える。図８は、図６のレイアウト接続情報から回路接続情報に置き換えたときの図を示す。図６及び図８を参照すると、素子Ａの入出力端子ＰＢ０はＰＢ１０、素子Ｂの入出力端子ＰＢ３はＰＢ１３、配線の交点ＰＢ１はＰＢ１１、ＰＢ２はＰＢ１２に置き換えられる。さらに、配線Ｌ４とレイアウト境界識別データＫ１との交点ＰＢ４は、素子Ａおよび素子Ｂ以外に接続する外部端子ＰＢ１４に置き換えられ、同様に、ＰＢ５及びＰＢ６は、それぞれＰＢ１５及びＰＢ１６に置き換えられる。抽出された各端子および交点を接続することによって、図８に示す回路接続情報が得られる。ここで、図６のレイアウト上に配置した擬似パターンＲＰはＰＢ２とＰＢ３とを接続する配線Ｌ３上に配置されているため、図８においても同様に、ＰＢ１２とＰＢ１３とを接続する配線Ｌ１３上に識別接点ＲＰ１として配置される。
【００３４】
回路接続情報比較部５ｂは、もとの回路情報６ｂと図８の回路接続情報とを比較する。
【００３５】
回路接続不足情報修正部７ｂは、レイアウトから認識された回路接続情報に対し、もとの回路情報に含まれない要素を補うことによって、レイアウトデータと回路図との間で接続構成が一致するように調整する。
【００３６】
図７は、図６のレイアウトデータのもとの回路情報を示す。図７においては、素子Ａと素子Ｂとを接続する配線Ｌ０１と配線Ｌ０２の間に交点ＰＢ０１がある。交点ＰＢ０１に配線Ｌ０３が接続され、配線Ｌ０３の先には外部端子ＰＢ０３が接続されている。素子Ａと素子Ｂとの間に接続されたこの配線にはネット（ｎｅｔＡ）が接続されている。
【００３７】
図７及び図８を参照して、回路構成を左から右に順に比較していくと、以下のようになる。すなわち、ＰＢ００及びＰＢ１０はいずれも素子Ａの外部端子であるため、一致する。配線Ｌ０１及び配線Ｌ１１はそれぞれ１組しかないため、一致する。交点ＰＢ０１及び交点ＰＢ１１は最初の配線間の交点であるため、一致する。配線Ｌ１４及び配線Ｌ０３は最初の交点から外部端子までの接続配線であるため、一致する。外部端子ＰＢ０３及び外部端子ＰＢ１４は最初の外部端子であるため、一致する。配線Ｌ１２は交点ＰＢ１１と交点ＰＢ１２とを接続する配線である。しかしながら、図７には２つの交点を接続する配線はないため一致しない。交点ＰＢ１２は２つ目の交点であって、図７にはないため、一致しない。図７には２つ目以降の外部端子と接続する配線はないため、交点ＰＢ１２と外部端子ＰＢ１５とを接続する配線、及び、交点ＰＢ１２と外部端子ＰＢ１６とを接続する配線は、いずれも一致しない。外部端子ＰＢ１５及びＰＢ１６も図７にはないため、一致しない。素子Ｂの外部端子と交点とを接続する配線はそれぞれ１組しかないため、交点ＰＢ１２と素子Ｂの外部端子ＰＢ１３とを接続する配線Ｌ１３と、交点ＰＢ０１と素子Ｂの外部端子ＰＢ０２とを接続する配線Ｌ０２は一致する。素子Ｂの外部端子ＰＢ１３と素子Ｂの外部端子ＰＢ０２はいずれも素子Ｂの外部端子であるから、一致する。
【００３８】
このように、図７と図８の配線接続を比較すると、図７においては、図９に示すように、配線Ｌ２２、配線Ｌ２５、配線Ｌ２６、交点ＰＢ２２、外部端子ＰＢ２５、外部端子ＰＢ２６に相当する要素が不足している。これは、図６のレイアウト上で新規に回路接続が発生したからである。そこで、回路接続不足情報修正部７ｂは、図７の回路図に対して、これらの配線接続データを追加してレイアウトと接続情報が一致するように回路接続情報を修正する。
【００３９】
擬似素子配置部８ｂは、認識された識別接点ＲＰ１に対して、図３の擬似素子Ｒ０や図５の擬似素子Ｒ０１を配置して、擬似パターンを配置したレイアウトデータとの間で接続情報を一致させた回路図を出力することができる。
【００４０】
以上の記載は実施例に基づいて行ったが、本発明は、上記実施例に限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明に係る回路抽出装置は、半導体回路設計における回路シミュレーション等に使用される回路情報を、レイアウトデータから抽出する際に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１の実施例におけるレイアウトデータ上の擬似素子を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施例における回路図上の擬似素子を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施例におけるレイアウトデータ上の擬似素子の認識方法について説明するための図である。
【図４】本発明の第１の実施例において、寄生素子を抽出した際の回路情報を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施例におけるレイアウトデータ上の擬似素子の認識方法について説明するための図である。
【図６】本発明の第３の実施例における擬似素子を配置したレイアウトデータを示す図である。
【図７】本発明の第３の実施例におけるレイアウトデータに対する回路図である。
【図８】本発明の第３の実施例における回路接続情報を示す図である。
【図９】本発明の第３の実施例における回路接続情報の修正について説明するための図である。
【図１０】本発明の第３の実施例に係る回路抽出装置のブロック図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る回路抽出装置のブロック図である。
【符号の説明】
【００４３】
１ｂ  レイアウトデータ
２ｂ  擬似パターン
３ｂ  レイアウト接続情報抽出部
４ｂ  回路説認識部
５ｂ  回路接続情報比較部
６ｂ  回路情報
７ｂ  回路接続不足情報修正部
８ｂ  擬似素子配置部
９ｂ  回路図
１０  回路抽出装置
１１  擬似パターン配置部
１２  擬似素子配置部
１３  寄生素子抽出部
１４  出力部
Ａ、Ｂ、Ｄ１  素子
Ｈ１、Ｈ２  重なり部
Ｋ１  レイアウト境界識別データ
Ｌ０  配線部
Ｌ１〜Ｌ６、Ｌ０１〜Ｌ０３、Ｌ１１〜Ｌ１６、Ｌ２１〜Ｌ２６、Ｓ１  配線
ＬＡ、ＬＢ、ＬＣ  レイアウト
ｎｅｔＡ  ネット
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ１２  擬似パターン
ＰＢ０、ＰＢ３  入出力端子
ＰＢ００、ＰＢ０２、ＰＢ０３、ＰＢ１０、ＰＢ１３〜ＰＢ１６、ＰＢ２０、ＰＢ２３〜ＰＢ２６  外部端子
ＰＢ０１、ＰＢ１、ＰＢ２、ＰＢ４〜ＰＢ６、ＰＢ１１、ＰＢ１２、ＰＢ２１、ＰＢ２２  交点
Ｒ０、Ｒ１、Ｒ２  擬似素子
Ｒａ  抵抗部
ＲＡ１、ＲＡ２、ＲＶ１〜ＲＶ３  抵抗
ＲＢ１、ＲＢ２  配線抵抗
ＲＰ  擬似パターン
ＲＰ１、ＲＰ２  識別接点
Ｔ１、Ｔ２  抵抗端子
Ｔ３〜Ｔ６  端子
Ｔ１２  接続端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009151620.tif 000009
【図８】
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【図９】
2009151620.tif 000011
【図１０】
2009151620.tif 000012
【図１１】
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