(57)【要約】【課題】  回折光学素子を利用することにより、広波長域に亘って高い回折効率を得て光の利用効率を向上させつつ、小型化・薄型化を達成した偏光分離素子、偏光変換素子及び画像表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】  等方性の光学材料からなる第１の回折光学面を有する第１光学素子要素１１と、第１光学素子要素１１に隣接した複屈折性の光学材料からなる第２の回折光学面を有する第２光学素子要素１２とを有し、前記等方性の光学材料の屈折率をＮ１とし、前記複屈折性の光学材料の常光線に対する屈折率をＮｏ及び異常光線に対する屈折率をＮｅとし、これら屈折率Ｎｏ，Ｎｅのうち前記屈折率Ｎ１に近い方の値をＮ２ｎとしたとき、次式｜Ｎ１−Ｎ２ｎ｜＜０．０１及び｜Ｎｅ−Ｎｏ｜＞０．０５の条件を満足する。【選択図】  図２
2009294417.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
等方性の光学材料からなる第１の回折光学面を有する第１光学素子要素と、前記第１光学素子要素に隣接した複屈折性の光学材料からなる第２の回折光学面を有する第２光学素子要素とを有し、
前記等方性の光学材料の屈折率をＮ１とし、
前記複屈折性の光学材料の常光線に対する屈折率をＮｏ及び異常光線に対する屈折率をＮｅとし、これら屈折率Ｎｏ，Ｎｅのうち前記屈折率Ｎ１に近い方の値をＮ２ｎとしたとき、次式
｜Ｎ１−Ｎ２ｎ｜＜０．０１
｜Ｎｅ−Ｎｏ｜＞０．０５
の条件を満足することを特徴とする偏光分離素子。
【請求項２】
前記複屈折性の光学材料の常光線に対する屈折率をＮｏとし、異常光線に対する屈折率をＮｅとし、これら屈折率Ｎｏ，Ｎｅのうち前記屈折率Ｎ１から離れている方の値をＮ２ｆとしたとき、次式
０．０２＜｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜＜０．４５
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の偏光分離素子。
【請求項３】
前記第１光学素子要素のピッチと前記第２光学素子要素のピッチはほぼ等しく、
前記第１光学素子要素のピッチをｐとし、ｄ線の波長をλとしたとき、次式
ｐ／λ＞１０．０
の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の偏光分離素子。
【請求項４】
前記第１の回折光学面と前記第２の回折光学面とが互いに接するように配置され、
前記第１光学素子要素の格子高さをｈとし、前記第１光学素子要素のピッチをｐとしたとき、次式
０．０１＜ｈ／ｐ＜３．０
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の偏光分離素子。
【請求項５】
前記等方性の光学材料において、前記屈折率Ｎ１はｄ線に対する屈折率であり、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１とし、
前記複屈折性の光学材料において、前記屈折率Ｎ２ｆはｄ線に対する屈折率であり、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２とし、
前記等方性の光学材料と、前記複屈折性の光学材料との主分散の差をΔ（ＮＦ−ＮＣ）＝｛（ＮＦ１−ＮＣ１）−（ＮＦ２−ＮＣ２）｝としたとき、次式
−５０．０＜｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜／Δ（ＮＦ−ＮＣ）＜−１．０
の条件を満足することを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の偏光分離素子。
【請求項６】
ｄ線での回折効率をＥｄとし、ｇ線での回折効率をＥｇとし、Ｃ線での回折効率をＥＣとしたとき、次式
（Ｅｇ＋ＥＣ）／（２×Ｅｄ）＞０．８０
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の偏光分離素子。
【請求項７】
前記第１光学素子要素のピッチと前記第２光学素子要素のピッチはほぼ等しく、
前記第１光学素子要素のピッチをｐ（μｍ）としたとき、次式
ｐ≧１０
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の偏光分離素子。
【請求項８】
前記第１の回折光学面と前記第２の回折光学面とが互いに接するように配置され、
前記第１光学素子要素の格子高さをｈ（μｍ）としたとき、次式
ｈ≦３０
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の偏光分離素子。
【請求項９】
光源側から順に並んだ、
請求項１〜８のいずれか一項に記載の偏光分離素子と、
透過する光の偏光面を９０°回転変換する１／２波長板とを有することを特徴とする偏光変換素子。
【請求項１０】
前記偏光分離素子の光源側に配置された第１のフライアイレンズを有することを特徴とする請求項９に記載の偏光変換素子。
【請求項１１】
前記１／２波長板の投写側に配置された第２のフライアイレンズを有することを特徴とする請求項９又は１０に記載の偏光変換素子。
【請求項１２】
請求項９〜１１のいずれか一項に記載の偏光変換素子と、
前記偏光変換素子から射出した光を変調して画像光を生成する画像生成光学系とを有することを特徴とする画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回折光学素子を利用した偏光分離素子、偏光変換素子及び画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光源からの光を液晶パネルにより変調し、投影レンズによりスクリーン上に拡大投写する投写装置（プロジェクタ）が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１−１８２８７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液晶パネルのように特定偏光の光変調により画像表示を行うライトバルブでは、特定偏光のみが有効に作用し、それに直交する偏光成分はコントラストの低下等の劣化要因となる。このため、液晶パネルの前段（および後段）に偏光子を入れて偏光状態をコントロールしている。しかしながら、光源から発せられる照明光は無偏光ビーム（自然光）であることが多いため、偏光子によって特定の一方向のみの偏光成分が選択されると、その約半分は光量損失となってしまう。
【０００５】
ところで近年、プロジェクタのような画像表示装置の使用において、室内をあまり暗くしなくても認識できる明るい投写画像への要求が高いため、液晶ライトバルブの光利用効率の向上が重要である。また、プロジェクタは、家庭用やビジネス時のプレゼンテーション用として持ち運び可能であることが求められており、これに伴い搭載される偏光分離素子及び偏光変換素子にも小型化・薄型化が期待される。
【０００６】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、光の利用効率を向上させつつ、小型化・薄型化を達成することができる偏光分離素子及びこれを有する偏光変換素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的を達成するため、本発明を例示する第一の態様に従えば、等方性の光学材料からなる第１の回折光学面を有する第１光学素子要素と、前記第１光学素子要素に隣接した複屈折性の光学材料からなる第２の回折光学面を有する第２光学素子要素とを有し、前記等方性の光学材料の屈折率をＮ１とし、前記複屈折性の光学材料の常光線に対する屈折率をＮｏ及び異常光線に対する屈折率をＮｅとし、これら屈折率Ｎｏ，Ｎｅのうち前記屈折率Ｎ１に近い方の値をＮ２ｎとしたとき、次式｜Ｎ１−Ｎ２ｎ｜＜０．０１及び｜Ｎｅ−Ｎｏ｜＞０．０５の条件を満足することを特徴とする偏光分離素子が提供される。
【０００８】
また、本発明を例示する第二の態様に従えば、光源側から順に並んだ、上記第一の態様の偏光分離素子と、透過する光の偏光面を９０°回転変換する１／２波長板とを有することを特徴とする偏光変換素子が提供される。
【０００９】
また、本発明を例示する第三の態様に従えば、上記第二の態様の偏光変換素子と、前記偏光変換素子から射出した光を変調して画像光を生成する画像生成光学系とを有することを特徴とする画像表示装置が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、本発明によれば、回折光学素子を利用することにより、広波長域に亘って高い回折効率を得て光の利用効率を向上させつつ、小型化・薄型化を達成した偏光分離素子及びこれを有する偏光変換素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１２】
従来より、屈折光学系や反射光学系では達し得ない高性能化・小型化を目指して、例えば光ディスク用のピックアップ用レンズなどの光学系に回折光学面を組み込む試みが種々行われてきた。しかしながら、このような回折光学面を有する単層型の光学回折素子では、設計波長からずれた波長域の光によりフレアが発生し、画質・結像性能を損ねてしまう問題があり、その使用はレーザー光源などの単一波長や狭い波長域での使用に限られていた。
【００１３】
そこで、近年、複層型（または積層型）と呼ばれる回折光学素子が提案されている。このタイプの回折光学素子は、例えば、鋸歯状に形成された回折光学面（レリーフパターン）を有し、異なる屈折率及び分散を有した複数の光学素子要素を分離あるいは密着させた形で積層させてなるものであり、所望の広波長域（例えば、可視光領域）のほぼ全域で高い回折効率が保たれる。すなわち、回折効率の波長特性が良好であるという特徴を有している。
【００１４】
ここで、複層型の回折光学素子の構造について説明すると、一般に、図５（ａ），（ｂ）に示すように、第１の材質からなる第１光学素子要素１１１と、これとは屈折率や分散値が異なる第２の材質からなる第２光学素子要素１１２とから構成され、それぞれの光学素子要素の対向し合う面には鋸歯状の回折格子１１１ａ，１１２ａが形成されている。そして、特定の２波長に対して色消し条件を満足させるように、第１光学素子要素１１１の格子高さ（溝の高さ）ｈ１を所定の値に決定し、第２光学素子要素１１２の格子高さｈ２を別の所定の値に決定する。これにより、特定の２波長に対しては回折効率が１．０となり、その他の波長に対してもかなり高い回折効率を得ることができるようになる。このように、回折光学素子を複層型にすることで、回折光学素子をほぼ全波長に対して適用することができるようになる。なお、回折効率とは、透過型の回折光学素子において、該回折光学素子に入射する光の強度Ｉ０と、回折光学素子を透過した光に含まれる一次回折光の強度Ｉ１との割合η（＝Ｉ１／Ｉ０）として定義される。
【００１５】
また、所定条件を満たすことにより、図５（ｂ）に示すように、第１光学素子要素１１１の格子高さｈ１と、第２光学素子要素１１２の格子高さｈ２とを一致させた、いわゆる密着複層型の回折光学素子を達成することが可能となる。この密着複層型の回折光学素子では、図５（ａ）に示す分離複層型に比べ、格子高さの誤差感度（公差）が緩くなったり、格子面の面粗さの誤差感度（公差）が緩くなったりする等、製造し易くなるメリットがあり、生産性に優れ、量産性が高く、光学製品のコストダウンに好都合であるという利点を有している。
【００１６】
また、第１光学素子要素１１１および第２光学素子要素１１２のうち、いずれか一方の光学素子要素を先に精密に形成し、その後、他方の光学素子要素をＵＶ硬化型樹脂等に流し込んで成型することもできる。この場合、先に形成した格子が型となって後に成型する格子も精密に形成でき、両者の偏心も全く生じないという利点を持っている。
【００１７】
このような密着複層型の回折光学素子を構成する２つの光学素子要素は、一方の光学素子要素が相対的に高屈折率低分散の材料であり、他方の光学素子要素が相対的に低屈折率高分散の材料からなることが必須であるが、どちらの材料が物体側（光の入射側）に配置されても構わない。但し、製造上の誤差感度を所望の程度まで低減させるためには、ｄ線における２つの光学素子要素の屈折率差が０．４５以下であることが好ましい。また、２つの光学素子要素の屈折率差が０．２以下であれば、なお好ましい。
【００１８】
本発明の偏光分離素子及びこれを有する偏光変換素子は、以上のような複層型の回折光学素子の性質を応用することにより、広波長域に亘って高い回折効率を得て光の利用効率を向上させつつ、小型化・薄型化の達成を実現している。
【００１９】
まず、図１を用いて、本実施形態に係る（偏光分離素子を含む）偏光変換素子を搭載した画像表示装置（プロジェクタ）について説明する。プロジェクタは、光源部２０と、照明光学系と、画像生成光学系と、投影レンズ６０とを有している。
【００２０】
光源部２０は、白色光を発光する光源２２と、光源２２からの照明光を照明光学系へ向けて反射させるリフレクタ２４とからなる。光源部２０からの照明光は、照明光軸２６に沿って照明光学系に入射される。
【００２１】
照明光学系は、偏光変換素子３２と、リレーレンズ３４とからなる。偏光変換素子３２は、図２にも示すように、光源側から順に並んだ、第１フライアイレンズ３２ａと、偏光分離素子１０と、１／２波長板３２ｂと、第２フライアイレンズ３２ｃとを有する。第１，第２フライアイレンズ３２ａ，３２ｃは、照明光軸２６と垂直な面に複数の小型のレンズが配置され、入射した光を均斉化させて出射させる。偏光分離素子１０は、詳細は後述するが、光源２２からの照明光を偏光面が互いに直交する２つの直線成分（Ｐ偏光とＳ偏光）に分離する。１／２波長板３２ｂは、偏光分離素子１０により分離された一方の直線偏光の偏光面を９０度回転させ、前記２つの直線偏光の偏光面を同じにする。リレーレンズ３４は、第２フライアイレンズ３２ｃから出射した照明光を画像生成光学系へ中継する。なお、図２においては、第２光学素子要素１２の光学部材のＮｅとＮｏのいずれかが、第１光学素子要素１１に比して小さい値となっている。逆に、第２光学素子要素１２の光学部材のＮｅとＮｏのいずれかが、第１光学素子要素１１に比して大きい値の場合には、回折光（破線）は図中で上側に進行する。
【００２２】
画像生成光学系は、反射鏡４０、４２、４４と、ダイクロイックミラー４６、４８、３枚の透過型の液晶パネル５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂと、クロスダイクロイックプリズム５２とからなる。照明光学系にて均斉化された照明光は、反射鏡２８によって光路が折り曲げられた後、ダイクロイックミラー４６に入射する。ダイクロイックミラー４６は、白色光に含まれる青色光（Ｂ光）を透過し、赤色光（Ｒ光）、緑色光（Ｇ光）を反射することによりＢ光を分離する。分離されたＢ光は、反射鏡４０により反射されて液晶パネル５０Ｂに入射する。ダイクロイックミラー４６により反射されたＲ光及びＧ光は、ダイクロイックミラー４８に入射する。ダイクロイックミラー４８はＲ光を透過させ、Ｇ光を反射させ、Ｒ光とＧ光を分離する。Ｇ光は、そのまま液晶パネル５０Ｇに入射し、Ｒ光は反射鏡４２、４４により反射されて液晶パネル５０Ｒに入射する。
【００２３】
液晶パネル５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂでは、それぞれ入射したＲ光、Ｇ光、Ｂ光に画像情報が付与される。液晶パネル５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂを透過した各光束は、クロスダイクロイックプリズム５２に入射する。クロスダイクロイックプリズム５２は、４つの直角プリズムを組み合わせて構成され、互いに直交した２種類のダイクロイック面を有している。ダイクロイック面は、クロスダイクロイックプリズム５２の側面から入射した光束をその偏光特性及び波長に応じて入射時と異なる方向に出射させるもので、Ｒ光を反射するＲ光反射面５２ａと、Ｂ光を反射するＢ光反射面５２ｂとからなる。
【００２４】
液晶パネル５０Ｒを透過したＲ光は、Ｒ光反射面５２ａによって投映光学系に向かって直角方向に反射される。液晶パネル５０Ｇを透過したＧ光は、Ｒ光反射面５２ａ及びＢ光反射面５２ｂを透過して直進し、投映光学系に入射する。液晶パネル５０Ｂを透過したＢ光は、Ｂ光反射面５２ｂによって投映光学系に向かって直角方向に反射される。これにより、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色の画像光が合成され、カラーの画像光が生成される。合成済みの画像光は投映光軸５６に沿って投影レンズ６０に入射して拡大されて、スクリーン７０に投映されるようになっている。
【００２５】
なお、上記液晶パネル５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂとして透過型のものを用いたが、これに限定されず、反射型の液晶パネルを用いてもよい。
【００２６】
ここで、偏光分離素子１０について説明する。図３に示すように、偏光分離素子１０は、等方性の光学材料からなる第１の回折光学面を有する第１光学素子要素１１と、前記第１光学素子要素１１に隣接した複屈折性の光学材料からなる第２の回折光学面を有する第２光学素子要素１２とを有し、これら第１光学素子要素１１と第２光学素子要素１２とが互いに対向して配置され、複層型の回折光学素子を構成している。なお、図では省略しているが、第２光学素子要素１２を構成する複屈折性の光学材料は、第３の光学材料により封入された形となっている。このように、偏光分離素子１０に複層型の回折光学素子を利用することにより、広い波長範囲に亘って色収差が良好に補正され、十分に高い回折効率が確保された、小型軽量薄型で且つ優れた光学性能を達成することができる。換言すれば、本実施形態の偏光分離素子１０は、複層型の回折光学素子の特性を利用することで、片側の格子形成層に屈折力を与えて収差補正自由度を増し、優れた光学性能を達成している。
【００２７】
第２光学素子要素１２を構成する複屈折性の光学材料は、常光線に対する屈折率Ｎｏと、異常光線に対する屈折率Ｎｅとが異なる。したがって、第１光学素子要素１１を構成する等方性の光学材料との格子界面（回折光学面）１３が及ぼす回折作用も、常光線と異常光線とでは異なる。この偏光分離素子１０では、第２光学素子要素１２に係る光学材料の常光線，異常光線のうちのいずれか一方に対する屈折率が、第１光学素子要素１１に係る光学材料の屈折率とほぼ同じになるように材料が選択されている。
【００２８】
例えば、常光線に対する第１光学素子要素１１に係る光学材料の屈折率Ｎ１と、第２光学素子要素１２に係る光学材料の屈折率Ｎｏとを同じにした場合、常光線が回折作用を受けずに格子界面１３を透過し、異常光線が格子界面１３での回折作用を受けて偏向することになる。逆に、異常光線に対する第１光学素子要素１１に係る光学材料の屈折率Ｎ１と、第２光学素子要素１２に係る光学材料の屈折率Ｎｅとを同じにした場合、異常光線が回折作用を受けずに格子界面１３を透過し、常光線が格子界面１３での回折作用を受けて偏向することになる。このように偏光分離素子１０は、第１光学素子要素１１と第２光学素子要素１２とを対向して配置することにより、入射してきた照明光を偏光面が互いに直交する２つの直線偏光に分離することができる。
【００２９】
上記構成の基に、本実施形態の偏光分離素子１０は、等方性の光学材料の屈折率をＮ１とし、複屈折性の光学材料の常光線に対する屈折率をＮｏ及び異常光線に対する屈折率をＮｅとし、これら屈折率Ｎｏ，Ｎｅのうち前記屈折率Ｎ１に近い方の値をＮ２ｎとしたとき、次式（１）及び（２）の条件を満足する。
【００３０】
｜Ｎ１−Ｎ２ｎ｜＜０．０１  …（１）
｜Ｎｅ−Ｎｏ｜＞０．０５  …（２）
【００３１】
上記条件式（１）は、第１光学素子要素１１と第２光学素子要素１２との格子界面１３で、第２光学素子要素１２において前記屈折率Ｎ１に近い（屈折率差の小さい）方に相当する偏光が略直進するための要件である。この条件式（１）の上限値を上回ると、格子界面１３で透過光が偏角を生じてしまい、偏光分離素子１０の後方（投写側）に配置される光学系や光学素子において、照明光がけられて光量損失が発生するため好ましくない。また、所謂フレネル反射が出て、この反射による光量損失が大きくなってしまい、照明系としての透過率が下がるため好ましくない。なお、条件式（１）の効果を十分に発揮するには、上限値を０．００５とすることが好ましい。
【００３２】
上記条件式（２）は、第２光学素子要素１２を形成する複屈折率量（＝｜Ｎｅ−Ｎｏ｜）を規定するものである。この条件式（２）の満足することで、偏光分離素子１０の回折角を大きく取ることができるとともに、１／２波長板３２ｂの数を増やすことなく偏光変換素子３２の全長を短縮することができる。さらには、１／２波長板３２ｂの微細加工が不要となり、生産コストも抑えることができる。なお、条件式（２）の下限値を下回ると、偏光変換素子３２が大型化するだけなく、薄膜のエッジ部分の欠けや１／２波長板３２ｂの寸法誤差等によるケラレで発生する光量損失が大きくなるおそれもあり、好ましくない。なお、条件式（２）の効果を十分に発揮するには、下限値を０．１とすることが好ましい。
【００３３】
なお、より優れた偏光分離素子１０及び偏光変換素子３２を得るためには、条件式（１）及び（２）を同時に満たすことが好ましい。
【００３４】
また、本実施形態においては、第２光学素子要素１２を構成する複屈折性の光学材料の常光線に対する屈折率をＮｏ及び異常光線に対する屈折率をＮｅとし、これら屈折率Ｎｏ，Ｎｅのうち、第１光学素子要素１１を構成する等方性の光学材料の屈折率Ｎ１から離れている方の値をＮ２ｆとしたとき、次式（３）の条件を満足することが好ましい。
【００３５】
０．０２＜｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜＜０．４５  …（３）
【００３６】
上記条件式（３）は、第１光学素子要素１１を構成する光学材料Ｎ１と、第２光学素子要素１２を構成する光学材料の屈折率Ｎ２ｆとの屈折率差について、適切な範囲を規定するものである。この条件式（３）の上限値を上回ると、屈折率差が大きくなり過ぎてしまい、格子界面１３における格子の製造誤差に対する感度が大きくなり過ぎるという不都合が生じる。一方、条件式（３）の下限値を下回ると、格子界面１３に要求される格子高さが大きくなり過ぎて製造上不利になったり、格子の段差部分により影が生じてブレーズ光の回折効率の低下を招いたり、格子の壁面に入射する光の散乱や反射による迷光が大きく発生して、画質を損ねる原因となったりしてしまう。なお、条件式（３）の効果を確実にするために、上限値を０．２０にすることが好ましい。また、条件式（３）の効果を確実にするために、条件式（３）の下限値を０．０３にすることが好ましい。
【００３７】
具体的には、複屈折性の光学材料で第２光学素子要素１２を形成する際、屈折率Ｎ２ｆで定まる偏光方向が、図２において紙面と平行方向（Ｐ偏光と定義する）である。また、前記偏光方向と直交する方向が、図２において紙面と直交方向（Ｓ偏光と定義する）である。すなわち、光学軸はこの両偏光方向に対して４５度をなしている。本発明は、このように偏光方向によって屈折率が異なる「二色性」の回折光学素子と、密着複層型の回折光学素子を組み合わせて構成した偏光分離素子１０である。
【００３８】
なお、優れた偏光分離素子１０及び偏光変換素子３２を得るためには、条件式（１）、（２）、（３）を同時に満たすことが好ましい。
【００３９】
また、本実施形態においては、第１光学素子要素１１のピッチと第２光学素子要素１２のピッチはほぼ等しく、前記第１光学素子要素１１のピッチをｐとし、設計主波長であるｄ線（波長５８７．６ｎｍ）をλとしたとき、次式（４）の条件を満足することが好ましい。
【００４０】
ｐ／λ＞１０．０  …（４）
【００４１】
上記条件式（４）は、適正なる格子ピッチの大きさｐを、波長の大きさλで換算して規定するものである。回折の一般的性質として、格子のピッチの大きさが細かくなり過ぎると、高次回折光が発生して光利用効率が下がってしまう。これを回避するために、本実施形態では条件式（４）を規定している。なお、回折現象は波長の大きさに応じて生ずるため、条件式（４）では、格子ピッチの大きさｐを、波長の大きさλで規格化して考察している。このような条件式（４）の下限値を下回ると、１次光の回折効率が約６０％以下に低下し、実用レベルから外れるため、好ましくない（なお、１次光の回折効率の値は、拡張スカラー理論によれば概算で約５６％となる。また、電磁場解析計算（ＦＤＴＤ法など）によればさらに正確な計算が可能となる）。また、条件式（４）は、回折光に顕著な偏光特性が付加されないようにするための条件にもなっており、該条件式（４）の下限値を下回ると、回折光に所望の偏光成分と異なる成分の偏光が混入してくるため、所望の偏光成分の光量低下と、迷光発生によるコントラスト低下とを招きやすくなり、好ましくない。なお、条件式（４）の効果を十分に発揮するには、下限値を２０．０とすることが好ましい。
【００４２】
また、本実施形態においては、第１の回折光学面と第２の回折光学面とが互いに接するように配置され、前記第１光学素子要素１１の格子高さをｈとし、前記第１光学素子要素１１のピッチをｐとしたとき、次式（５）の条件を満足することが好ましい。
【００４３】
０．０１＜ｈ／ｐ＜３．０  …（５）
【００４４】
上記条件式（５）は、格子の高さｈと、ピッチの大きさｐとの適切な関係を規定するものである。この条件式（５）の上限値を上回ると、格子ピッチｐが小さくなり過ぎてしまい、回折角が大きくなって、回折面の色分散が大きくなり、被照射面での照明領域の周辺に色づきが発生する。すると、照明領域を狭めて使用せざるを得ない不都合が生じる。さらに、加工しづらくなるばかりか、回折効率の低下を招き、不要なフレア光による画質を損ねる不都合が発生する。このように、最小の格子ピッチｐを適切に設定することが重要である。一方、条件式（５）の下限値を下回ると、格子ピッチｐが大きくなり過ぎてしまい、回折角が大きくなって、偏光分離素子１０及びこれを有する偏光変換素子３２の全長が伸びてしまう不都合が発生する。なお、条件式（５）の効果を十分に発揮するには、上限値を１．０とすることが好ましい。また、条件式（５）の効果を十分に発揮するには、下限値を０．０５とすることが好ましい。
【００４５】
また、本実施形態においては、前記等方性の光学材料において、前記屈折率Ｎ１はｄ線に対する屈折率であり、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１とし、前記複屈折性の光学材料において、前記屈折率Ｎ２ｆはｄ線に対する屈折率であり、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２とし、前記等方性の光学材料と、前記複屈折性の光学材料との主分散の差をΔ（ＮＦ−ＮＣ）＝｛（ＮＦ１−ＮＣ１）−（ＮＦ２−ＮＣ２）｝としたとき、次式（６）の条件を満足することが好ましい。
【００４６】
−５０．０＜｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜／Δ（ＮＦ−ＮＣ）＜−１．０  …（６）
【００４７】
上記条件式（６）は、第１光学素子要素１１及び第２光学素子要素１２を構成する光学材料における、（格子界面１３での）ｄ線に対する屈折率の差｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜と、主分散ＮＦ−ＮＣの差Δ（ＮＦ−ＮＣ）との適切な関係を規定するものである。この条件式（６）は、本実施形態のような密着複層型の回折光学素子において、広波長域に亘り高い回折効率を得るために重要な条件である。この条件式（６）の範囲を逸脱すると、使用波長域の全域に亘る高い回折効率を得ることができず、光の利用効率が低下するという不都合が生じる。この条件式（６）の効果を十分に発揮するには、下限値を−４５．０とすることが好ましい。
【００４８】
また、本実施形態においては、ｄ線での回折効率をＥｄとし、ｇ線での回折効率をＥｇとし、Ｃ線での回折効率をＥＣとしたとき、次式（７）の条件を満足することが好ましい。
【００４９】
（Ｅｇ＋ＥＣ）／（２×Ｅｄ）＞０．８０  …（７）
【００５０】
上記条件式（７）は、広波長域化した使用光に対する回折効率のバランスについて適切な範囲を規定するものである。この条件式（７）の下限値を下回ると、主波長であるｄ線に対して、相対的に短波長であるｇ線及び長波長であるＣ線のうち、少なくとも一方の波長において回折効率が低下しすぎて、回折フレアが大きくなり、画質を損ねてしまう。すなわち、ブレーズされた以外の波長や画角等の光が不要な回折光となってしまい、フレアの発生が大きくなってしまい、良好な画質が得られなくなってしまう。なお、条件式（７）の効果を確実にするために、上限値を０．９８にすることが好ましい。また、条件式（７）の効果を確実にするために、下限値を０．８２にすることが好ましい。
【００５１】
また、本実施形態においては、第１光学素子要素１１と第２光学素子要素１２は、同じ格子高さで密着し、ピッチはほぼ等しく、前記第１光学素子要素１１の格子高さをｈとし、前記第１光学素子要素１１のピッチをｐとしたとき、次式（８），（９）の条件をそれぞれ満足することが好ましい。
【００５２】
ｐ≧１０μｍ  …（８）
ｈ≦３０μｍ  …（９）
【００５３】
上記条件式（８）及び（９）を満足することにより、ピッチｐが緩く、格子高さｈが低く抑えられ、回折効率の角度特性（入射光線の入射角の変化に対する回折効率の低下の度合い）が向上し、使用可能な角度範囲が広くなる。すなわち、不要回折光によるフレアを減ずることができるため、好ましい。また、ピッチが緩く、格子高さが低く抑えられることにより、加工精度が出しやすい等、回折格子の加工が容易となり、ひいては製造コストを抑えることができる。但し、条件式（８）の下限値を下回った場合、ピッチが狭くなり過ぎてしまい、加工しづらくなるばかりか、回折効率の低下を招き、不要なフレア光による画質を損ねる不都合が発生する。この条件式（８）の効果を確実にするために、下限値を３０μｍにすることが好ましい。
【００５４】
また、条件式（９）の上限値を上回った場合、格子高さｈが高くなり過ぎてしまい、光透過時の損失が大きくなり、角度特性が悪くなるおそれがある。この条件式（９）の効果を確実にするために、上限値を２５μｍにすることが好ましい。
【００５５】
さらに、本実施形態においては、以下の条件を満足することが好ましい。
【００５６】
第１光学素子要素１１（等方性の光学材料）と第２光学素子要素１２（複屈折性の光学材料）とのｄ線における屈折率差をΔＮｄ（上記の屈折率Ｎ１とＮ２ｆの差）とし、第１光学素子要素１１と第２光学素子要素１２とのｄ線に対するアッベ数の差Δνｄとしたとき、次式（１０）の条件を満足することが好ましい。
【００５７】
０．００１＜Δνｄ／ΔＮｄ＜０．０１  …（１０）
【００５８】
上記条件式（１０）は、高い回折効率を所定の波長域に亘って得るために、複層型の回折光学素子を構成する、高屈折率低分散の材料と低屈折率高分散の材料との適切な関係を規定するものである。この条件式（１０）の上限値を上回ると、広波長域に亘っての高い回折効率が得られず、ブレーズされた以外の波長や画角等の光が不要な回折光となってしまい、フレアの発生が大きくなって、良好な画質が得られなくなってしまう。一方、条件式（１０）の下限値を下回ると、同様に広波長域に亘っての高い回折効率が得られない。なお、条件式（１０）の効果を確実にするために、上限値を０．０１５にすることが好ましい。また、条件式（１０）の効果を確実にするために、下限値を０．００２にすることが好ましい。
【００５９】
また、本実施形態においては、偏光分離素子１０と組み合わせて使用されるフライアイレンズ３２ａ，３２ｃを構成する単独のマイクロレンズの焦点距離をｆとし、前記マイクロレンズの入射最大径をＤとしたとき、次式（１１）の条件を満足することが好ましい。
【００６０】
ｆ／Ｄ＞１．５  …（１１）
【００６１】
上記条件式（１１）は、フライアイレンズ３２ａ，３２ｃを構成するマイクロレンズの、焦点距離ｆと、入射最大径Ｄとの適切な比を規定したものである。この条件式（１１）の下限値を下回ると、マイクロレンズによる収差が発生し、光線のケラレによる光量損失が発生する不都合が生じやすい。また、第１のフライアイレンズ３２ａに適用する場合、条件式（１１）の下限値を下回ると、後方（投写側）に設けた偏光分離素子１０への入射角が大きくなり過ぎて、透過特性と反射特性が劣化して、高い偏光変換効率が得られなくなり、好ましくない。なお、条件式（１１）の効果を確実にするために、下限値を−２．０にすることが好ましい。
【００６２】
また、本実施形態においては、等方性の光学材料からなる第１光学素子要素１１のリタデーションをＲ（ｎｍ／ｃｍ）としたとき、次式（１２）の条件を満足することが好ましい。
【００６３】
Ｒ＜５０  …（１２）
【００６４】
この条件式（１２）の上限値を上回ると、偏光分離素子１０を通過する直線偏光が楕円偏光になってしまい、高い偏光変換効率が得られなくなり、好ましくない。なお、条件式（１２）の効果を確実にするために、上限値を２０にすることが好ましい。
【００６５】
また、本実施形態においては、偏光分離素子１０の全厚をＬとし、第２光学素子要素１２の厚さＬｂとしたとき、次式（１３）の条件を満足することが好ましい（図３参照）。
【００６６】
０．０５＜Ｌｂ／Ｌ＜０．５  …（１３）
【００６７】
上記条件式（１３）は、偏光分離素子１０の全厚Ｌと、第２光学素子要素１２の厚さＬｂとの適切な比を規定するものである。この条件式（１３）の上限値を上回ると、第２光学素子要素１２の厚さＬｂが大きくなり過ぎ、複屈折性の材料による吸収のため、光透過率が低下するばかりか、残存するリタデーションにより消光比が劣化するため、好ましくない。一方、条件式（１３）の下限値を下回ると、第２光学素子要素１２の厚さＬｂが小さくなり過ぎ、第２光学素子要素１２を製作し辛くなる製造上の問題が生じやすくなり、好ましくない。なお、使用波長のオーダの数倍程度が、所定の回折波を発生せしめることができる下限である。
【００６８】
本実施形態においては、上記のように、光源側に位置する第１光学素子要素１１を等方性の光学材料で構成し、投射側に位置する第２光学素子要素１２を複屈折性の光学材料で構成している（図２参照）。この構成のように、光源２２からの照明光が等方性の光学材料を先に通る場合には、リタデーションがないので、該材料中では偏光状態が変化することなく、回折界面１３において偏光分離が行われる。特に、光源２２から発せられるのが自然光（無偏光）の場合、Ｓ偏光とＰ偏光とに５０％ずつ分かれるので「偏光分離素子」として都合がよい。
【００６９】
しかしながら、本実施形態においては、逆の組み合わせ、すなわち光源側に位置する第１光学素子要素１１を複屈折性の光学材料で構成し、投射側に位置する第２光学素子要素１２を等方性の光学材料で構成することも可能である。但し、光源２２からの照明光が複屈折性の光学材料を先に通る場合には、リタデーションがあるので、該材料中では偏光状態が変化してしまい、所定の偏光分離特性が得られない。例えば、回折界面１３に対する斜入射光が偏光成分の偏りを持ってしまい、直線偏光が楕円偏光となってしまう等の不都合が生じる。また、複屈折性の部材が厚くなると、楕円偏光が発生し易くなり、照明ムラなどの不具合の原因となってしまう。
【００７０】
さらに、本実施形態においては、以下の条件を満足することがより好ましい。
【００７１】
本実施形態においては、第１及び第２光学素子要素１１，１２の壁（段差部分）による散乱とブレーズ光の回折効率の低下を軽減するために、第１及び第２光学素子要素１１，１２の壁を照明光学系の通過後の光学系の入射瞳に向けて勾配を与え、傾けることが好ましい。より具体的には、主光線に倣って勾配を与えることが好ましい。その結果、第１及び第２光学素子要素１１，１２は、金型を用いて樹脂整形により製造することが可能となり、量産性が向上し、コストダウンを図ることができる。
【００７２】
また、本実施形態においては、小型化・軽量化のため、第１光学素子要素１１を構成する光学材料を、比重が２．０以下の樹脂材料で構成することが好ましい。樹脂は、ガラス等に比して比重が小さいため、光学系の軽量化に非常に有効である。なお、効果を十分に発揮するには、比重は１．６以下であることが好ましい。さらに、第１及び第２の回折格子１１，１２を構成する光学材料は、空気との界面に正屈折力の屈折面を有し、この屈折面が非球面であることが好ましい。これにより小型化・軽量化を促進できる。
【００７３】
また、本実施形態においては、第２光学素子要素１２を構成する複屈折性の材料としては、後述の実施例に示したネマチック液晶に留まらず、一軸性の結晶で複屈折率性の材料であれば、液晶や結晶など、同様な効果を発揮するものであればよい（例えば、水晶や方解石など）。
【００７４】
また、本実施形態においては、第１光学素子要素１１を構成する等方性の材料として、後述の実施例に示した光学ガラスに留まらず、ＵＶ硬化樹脂や熱可塑性樹脂などを用いてもよい。但し、ＵＶ硬化樹脂を用いる場合は、成形性を良好に保ち、優れた量産性を確保するために、材料の粘度（未硬化物粘度）が少なくとも４０以上であるものを用いることが好ましい。材料の粘度が４０以下であると、成形中に樹脂が流れやすくなってしまい、精密形状を成形することが困難となり、好ましくない。
【００７５】
また、本実施形態においては、第１光学素子要素１１と第２光学素子要素１２との格子界面１３における面粗さは、格子界面１３における散乱（回折）フレアを減じるために、ＲＭＳ値で設計基準波長の１／１００以下であることが好ましい。
【００７６】
また、本実施形態においては、偏光分離素子１０を構成する場合には、第１,第２フライアイレンズ３２ａ，３２ｃと、１／２波長板３２ｂとを１次元配列とすることが、製作上好ましい。但し、２次元配列でも構わない。
【００７７】
さらに、本実施形態においては、第１フライアイレンズ３２ａと第２フライアイレンズ３２ｃを同一形状としておけば、量産性が向上してコストダウンが図れて好ましい。
【００７８】
以上のような本発明の偏光分離素子１０あるいは偏光変換素子３２を組み込んで得られる、複数の構成要素からなる光学系も、本発明の範囲を逸脱するものではない。さらには、屈折率分布型レンズ、結晶材料レンズなどを組み込んで得られる光学系に関しても同様である。
【実施例】
【００７９】
（第１実施例）
本実施例における偏光分離素子１０では、第１光学素子要素１１を構成する等方性の光学材料を（株）オハラ製のＳＬＡＭ３とし、第２光学素子要素１２を構成する複屈折性の光学材料を５ＣＢ液晶（OPTICAL ENGINEERING,Vol.32,No.8,P.1775-1780(1993)）とした。以下の表１に、第１実施例における偏光分離素子１０の光学データと、上記条件式（１）〜（１３）に対応する値を示す。なお、光学データにおけるｎｇ、ｎＦ、ｎｅ、ｎｄ、ｎＣは、ｇ線（波長435.835nm）に対する屈折率、Ｆ線（波長486.133nm）に対する屈折率、ｅ線（波長546.074nm）に対する屈折率、ｄ線（波長587.562nm）に対する屈折率、Ｃ線（波長656.273nm）に対する屈折率をそれぞれ示す。以上の説明は、他の実施例においても同様とし、その説明を省略する。なお、複屈折性の光学材料（５ＣＢ液晶）のｄ線以外での波長（ｇ線、Ｆ線、e線、Ｃ線）での屈折率も上記論文から計算可能である。
【００８０】
（表１）
［光学データ］
ｎｇ      ｎＦ      ｎｅ      ｎｄ      ｎＣ
等方性材料  (SLAM3)    1.735870  1.724790  1.720560  1.717000  1.712530
複屈折性材料(5CB)      1.555500  1.543200  1.534500  1.530500  1.525800
［条件式対応値］
Ｎ１＝1.71700
Ｎ２ｎ＝1.7171（＝Ｎｏ）
Ｎ２ｆ＝1.5305（＝Ｎｅ）
ｐ＝30
λ＝0.5876
ｈ＝3.158
Δ（ＮＦ−ＮＣ）＝-0.00514
Ｅｇ＝72.6
ＥＣ＝96.7
Ｅｄ＝100.0
Δνｄ＝27.9943
ΔＮｄ＝0.1865
ｆ＝15
Ｄ＝5
Ｒ＝20
Ｌｂ＝2
Ｌ＝5
条件式（１）｜Ｎ１−Ｎ２ｎ｜＝0.0001
条件式（２）｜Ｎｅ−Ｎｏ｜＝0.1866
条件式（３）｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜＝0.1865
条件式（４）ｐ／λ＝51.055
条件式（５）ｈ／ｐ＝5.374
条件式（６）｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜／Δ（ＮＦ−ＮＣ）＝-36.28
条件式（７）（Ｅｇ＋ＥＣ）／（２×Ｅｄ）＝0.8465
条件式（８）ｐ＝30
条件式（９）ｈ＝3.158
条件式（１０）Δνｄ／ΔＮｄ＝0.00666
条件式（１１）ｆ／Ｄ＝3
条件式（１２）Ｒ＝20
条件式（１３）Ｌｂ／Ｌ＝0.4
【００８１】
本実施例では、上記条件式（１）〜（１３）が全て満たされていることが分かる。図４（ａ）に示す曲線は、本実施例の偏光分離素子１０においてｄ線での回折効率が１００％となるように設定した場合の回折効率の分布、すなわち等方性の光学材料（ＳＬＡＭ３）と複屈折性の光学材料（５ＣＢ液晶）とからなる複層型の回折光学素子における回折効率を示している。図から分かるように、本実施例においては、ｇ線からＣ線までの波長領域において０．７３以上の高い回折効率（回折光強度）を得ることができた。
【００８２】
（第２実施例）
本実施例における偏光分離素子１０では、第１光学素子要素１１を構成する等方性の光学材料を（株）オハラ製のＳＬＡＬ８とし、第２光学素子要素１２を構成する複屈折性の光学材料を５ＣＢ液晶とした。以下の表２に、第２実施例における偏光分離素子１０の光学データと、上記条件式（１）〜（１３）に対応する値を示す。
【００８３】
（表２）
［光学データ］
ｎｇ      ｎＦ      ｎｅ      ｎｄ      ｎＣ
等方性材料  (SLAL8)    1.729430  1.722210  1.716150  1.713000  1.708970
複屈折性材料(5CB)      1.555500  1.543200  1.534500  1.530500  1.525800
［条件式対応値］
Ｎ１＝1.71300
Ｎ２ｎ＝1.7171（＝Ｎｏ）
Ｎ２ｆ＝1.5305（＝Ｎｅ）
ｐ＝15
λ＝0.5876
ｈ＝3.220
Δ（ＮＦ−ＮＣ）＝-0.00041
Ｅｇ＝76.0
ＥＣ＝96.7
Ｅｄ＝100.0
Δνｄ＝23.3634
ΔＮｄ＝0.1825
ｆ＝20
Ｄ＝10
Ｒ＝20
Ｌｂ＝2
Ｌ＝5
条件式（１）｜Ｎ１−Ｎ２ｎ｜＝0.0041
条件式（２）｜Ｎｅ−Ｎｏ｜＝0.1866
条件式（３）｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜＝0.1825
条件式（４）ｐ／λ＝25.523
条件式（５）ｈ／ｐ＝5.480
条件式（６）｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜／Δ（ＮＦ−ＮＣ）＝-43.87
条件式（７）（Ｅｇ＋ＥＣ）／（２×Ｅｄ）＝0.863
条件式（８）ｐ＝15
条件式（９）ｈ＝3.220
条件式（１０）Δνｄ／ΔＮｄ＝0.00781
条件式（１１）ｆ／Ｄ＝2
条件式（１２）Ｒ＝20
条件式（１３）Ｌｂ／Ｌ＝0.4
【００８４】
本実施例では、上記条件式（１）〜（１３）が全て満たされていることが分かる。図４（ｂ）に示す曲線は、本実施例の偏光分離素子１０においてｄ線での回折効率が１００％となるように設定した場合の回折効率の分布、すなわち等方性の光学材料（ＳＬＡＬ８）と複屈折性の光学材料（５ＣＢ液晶）とからなる複層型の回折光学素子における回折効率を示している。図から分かるように、本実施例においては、ｇ線からＣ線までの波長領域において０．７６以上の高い回折効率（回折光強度）を得ることができた。
【００８５】
（第３実施例）
本実施例における偏光分離素子１０では、第１光学素子要素１１を構成する等方性の光学材料を（株）オハラ製の光学ガラスＳＢＡＬ１２とし、第２光学素子要素１２を構成する複屈折性の光学材料をＬＱＣ液晶（長岡技科大の論文（２００５年  日本液晶学会討論会  ２６５〜２６６ページ参照））とした。以下の表３に、第３実施例における偏光分離素子１０の光学データと、上記条件式（１）〜（１３）に対応する値を示す。なお、複屈折性の光学材料（ＬＱＣ液晶）のｄ線以外での波長（ｇ線、Ｆ線、ｅ線、Ｃ線）での屈折率も上記論文から、推定可能である。
【００８６】
（表３）
［光学データ］
ｎｇ      ｎＦ      ｎｅ      ｎｄ      ｎＣ
等方性材料  (SBAL12)  1.551220  1.546270  1.542120  1.539960  1.537190
複屈折性材料(LQC)    1.482000  1.475000  1.470000  1.468000  1.464000
［条件式対応値］
Ｎ１＝1.53996
Ｎ２ｎ＝1.535（＝Ｎｅ）
Ｎ２ｆ＝1.468（＝Ｎｏ）
ｐ＝80
λ＝0.5876
ｈ＝7.927
Δ（ＮＦ−ＮＣ）＝-0.00192
Ｅｇ＝79.8
ＥＣ＝95.7
Ｅｄ＝99.7
Δνｄ＝16.922
ΔＮｄ＝0.07198
ｆ＝30
Ｄ＝10
Ｒ＝20
Ｌｂ＝1
Ｌ＝2
条件式（１）｜Ｎ１−Ｎ２ｎ｜＝0.00496
条件式（２）｜Ｎｅ−Ｎｏ｜＝0.067
条件式（３）｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜＝0.07196
条件式（４）ｐ／λ＝136.15
条件式（５）ｈ／ｐ＝13.490
条件式（６）｜Ｎ１−Ｎ２ｆ｜／Δ（ＮＦ−ＮＣ）＝-37.48
条件式（７）（Ｅｇ＋ＥＣ）／（２×Ｅｄ）＝0.8801
条件式（８）ｐ＝80
条件式（９）ｈ＝7.927
条件式（１０）Δνｄ／ΔＮｄ＝0.00425
条件式（１１）ｆ／Ｄ＝3
条件式（１２）Ｒ＝20
条件式（１３）Ｌｂ／Ｌ＝0.5
【００８７】
本実施例では、上記条件式（１）〜（１３）が全て満たされていることが分かる。図４（ｃ）に示す曲線は、本実施例の偏光分離素子１０においてｄ線での回折効率が１００％となるように設定した場合の回折効率の分布、すなわち等方性の光学材料（ＳＢＡＬ１２）と複屈折性の光学材料（ＬＱＣ液晶）とからなる複層型の回折光学素子における回折効率を示している。図から分かるように、本実施例においては、ｇ線からＣ線までの波長領域において０．８０以上の高い回折効率（回折光強度）を得ることができた。
【００８８】
以上のように、本発明を分かりやすくするため、実施形態の構成要件を付して説明したが、本発明がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本実施形態に係る偏光分離素子及び偏光変換素子を有するプロジェクタの断面構成を示す図である。
【図２】本実施形態に係る偏光変換素子の断面構成を示す図である。
【図３】本実施形態に係る偏光分離素子の断面構成を示す図である。
【図４】（ａ）は第１実施例における、（ｂ）は第２実施例における、（ｃ）は第３実施例における、偏光分離素子の各波長に対する回折効率を示す図である。
【図５】複層型の回折光学素子の模式断面図であり、（ａ）は分離複層型の回折光学素子の模式断面図であり、（ｂ）は密着複層型の回折光学素子の模式断面図である。
【符号の説明】
【００９０】
１０  偏光分離素子
１１  第１光学素子要素
１２  第２光学素子要素
１３  格子界面（回折光学面）
３２  偏光変換素子
３２ａ  第１フライアイレンズ
３２ｂ  １／２波長板
３２ｃ  第２フライアイレンズ
【図１】
2009294417.tif 000003
【図２】
2009294417.tif 000004
【図３】
2009294417.tif 000005
【図４】
2009294417.tif 000006
【図５】
2009294417.tif 000007