(57)【要約】【課題】電源供給部ＤＰＳの余剰チャンネルを有効に活用できる半導体検査装置を実現すること。【解決手段】複数チャンネルの電源供給部よりなるＤＰＳユニットからプローブカードを介してデバイスユニットに実装されるＤＵＴに所定の電源を供給するように構成された半導体検査装置において、前記ＤＰＳユニットに、各電源供給部の出力電圧をＤＵＴに供給する出力リレーとＤＵＴ以外の他の系統に供給する別出力リレーを設けたことを特徴とするもの。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数チャンネルの電源供給部よりなるＤＰＳユニットからプローブカードを介してデバイスユニットに実装されるＤＵＴに所定の電源を供給するように構成された半導体検査装置において、
前記ＤＰＳユニットに、各電源供給部の出力電圧をＤＵＴに供給する出力リレーとＤＵＴ以外の他の系統に供給する別出力リレーを並列に設けたことを特徴とする半導体検査装置。
【請求項２】
前記別出力リレーを介して出力される電源供給部の出力電圧を、ユーティリティ電源として使用することを特徴とする請求項１記載の半導体検査装置。
【請求項３】
前記ユーティリティ電源をプローブカード上の別出力リレー用電源として使用することを特徴とする請求項２記載の半導体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体検査装置に関し、詳しくは、検査対象半導体（以下、ＤＵＴという）に電源を供給する電源系統の改良に関するものである。
【０００２】
半導体検査装置の一種に、たとえば図３に示すように、ＤＰＳ(Device Power Supply)ユニット１０からプローブカード２０を介してデバイスユニット３０に実装されるＤＵＴに所定の電源を供給するように構成されたものがある。
【０００３】
ＤＰＳユニット１０には、デバイスユニット３０に実装されるＤＵＴを駆動するのに必要な複数種類の電圧を個別に供給する複数チャンネル（たとえば１００チャンネル）の電源供給部ＤＰＳ１〜１００と、各チャンネル個別に設けられた出力リレーＲＬ１〜１００が設けられている。なお、出力リレーＲＬ１〜１００を選択的にオンオフ駆動するリレー制御回路も設けられているが図示しない。
【０００４】
プローブカード２０には、ＤＰＳユニット１０を構成する電源供給部ＤＰＳ１〜１００の出力端子をデバイスユニット３０に実装されるＤＵＴの所定の電源端子に接続するための複数の配線と、プローブカード２０に実装されるプローブカードリレーを選択的にオンオフ駆動するためのリレー制御回路ＲＬＣＴ１が設けられている。このリレー制御回路ＲＬＣＴ１はユーティリティ電源４０により駆動され、プローブカードリレーを選択的にオンオフする制御信号はＤＰＳユニット１０から入力される。
【０００５】
デバイスユニット３０には、検査目的に応じて、検査対象となる同一種類のＤＵＴが複数個実装される。
【０００６】
特許文献１には複数のＤＰＳから複数のＤＵＴに電源を供給して並列検査を行う半導体検査装置の構成が記載されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−２２１４０２号公報
【０００８】
ところで、このような半導体検査装置で使用される電源供給部ＤＰＳの最大数は、デバイステストにおいてデバイスユニット３０に実装されるＤＵＴの並列数と、それらのＤＵＴが必要とする電源の種類によって決定される。
【０００９】
たとえば、図３に示すようにＤＰＳユニット１０を構成する電源供給部が１００チャンネルの半導体検査装置において、デバイスユニット３０に実装されるＤＵＴが２５個で、ＤＵＴが必要とする電源種類が４種類であれば、１００チャンネル全ての電源供給部ＤＰＳを使用してデバイステストを行うことになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
これに対し、同様の検査装置において、図４に示すようにデバイスユニット３０に実装されるＤＵＴが２５個で、ＤＵＴが必要とする電源種類が３種類であれば、１００チャンネルの電源供給部ＤＰＳのうちの７５チャンネルを使用してデバイステストを行うことになる。このとき、斜線を付けた残りの２５チャンネルは今回のテストにあたっては余剰となり、デバイステストには使用されない。これら電源供給部ＤＰＳの余剰チャンネルは、デバイステストにおいて動作はしているものの出力リレーＲＬがオンされないため、どこにも出力されず、無駄になっている。
【００１１】
本発明は、このような課題を解決するものであり、その目的は、電源供給部ＤＰＳの余剰チャンネルを有効に活用できる半導体検査装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、複数チャンネルの電源供給部よりなるＤＰＳユニットからプローブカードを介してデバイスユニットに実装されるＤＵＴに所定の電源を供給するように構成された半導体検査装置において、前記ＤＰＳユニットに、各電源供給部の出力電圧をＤＵＴに供給する出力リレーとＤＵＴ以外の他の系統に供給する別出力リレーを設けたことを特徴とする。
【００１３】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の半導体検査装置において、前記別出力リレーを介して出力される電源供給部の出力電圧を、ユーティリティ電源として使用することを特徴とする。
【００１４】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の半導体検査装置において、前記ユーティリティ電源をプローブカード上のリレー用電源として使用することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、電源供給部ＤＰＳの余剰チャンネルを、ＤＵＴ以外の他の系統に供給するユーティリティ電源として有効に活用できる半導体検査装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブロック図であり、図４と共通する部分には同一の符号を付けている。
【００１７】
図１において、ＤＰＳユニット１０は、デバイスユニット３０に実装されるＤＵＴを駆動するのに必要な複数種類の電圧を個別に供給する複数チャンネル（たとえば１００チャンネル）の電源供給部ＤＰＳ１〜１００と、これら電源供給部ＤＰＳ１〜１００の出力電圧をＤＵＴに供給するため各チャンネル個別に設けられた出力リレーＲＬ１〜１００と、これら出力リレーＲＬ１〜１００と並列に接続されＤＵＴ以外の他の系統に供給する別出力リレーＲＬ１’〜１００’とで構成されている。なお、出力リレーＲＬ１〜１００および別出力リレーＲＬ１’〜１００’を選択的にオンオフ駆動するリレー制御回路も設けられているが図示しない。
【００１８】
プローブカード２０には、ＤＰＳユニット１０を構成する電源供給部ＤＰＳ１〜１００の出力端子をデバイスユニット３０に実装されるＤＵＴの所定の電源端子に接続するための複数の配線と、プローブカード２０に実装されるプローブカードリレーを選択的にオンオフ駆動するためのリレー制御回路ＲＬＣＴ１〜ＲＬＣＴ３が設けられている。ここで、リレー制御回路ＲＬＣＴ１はユーティリティ電源４０により駆動され、リレー制御回路ＲＬＣＴ２は別出力リレーＲＬ４’を介して入力される電源供給部ＤＰＳ４の出力により駆動され、リレー制御回路ＲＬＣＴ３は別出力リレーＲＬ１００’を介して入力される電源供給部ＤＰＳ１００の出力により駆動される。これらプローブカードリレーを選択的にオンオフする制御信号は、従来と同様にＤＰＳユニット１０から入力される。
【００１９】
このような構成において、電源供給部ＤＰＳ１〜３、・・、９７〜９９は、ＤＵＴ経路の出力リレーＤＰＳ１〜３、・・、９７〜９９がオンになって、別出力リレーＤＰＳ１’〜３’、・・、９７’〜９９’はオフとなっており、従来通りＤＵＴ電源としてＤＵＴに電源を供給する。
【００２０】
一方、ＤＵＴ電源として使用されない電源供給部ＤＰＳ４、１００の出力は、ＤＵＴ経路の出力リレーＲＬ４、１００がオフになって別出力リレーＲＬ０’、１００’がオンになることで、リレー制御回路ＲＬＣＴ２およびＲＬＣＴ３に供給される。
【００２１】
これにより、ユーティリティ電源４０で駆動する図３や図４の従来の構成に比べて、駆動可能なプローブカードリレーの数を増やすことができる。
【００２２】
また、従来のユーティリティ電源４０はプログラムで制御できないが、ＤＵＴ電源として使用されない電源供給部ＤＰＳをユーティリティ電源として使用することにより、プログラムで制御可能なユーティリティ電源が実現できる。
【００２３】
図２は本発明の他の実施例を示すブロック図である。図２の実施例において、プローブカード２０のリレー制御回路ＲＬＣＴ４は、別出力リレーＲＬ４’を介して入力される電源供給部ＤＰＳ４の出力と、別出力リレーＲＬ１００’を介して入力される電源供給部ＤＰＳ１００の出力とを合わせた形態で駆動される。
【００２４】
これにより、１つの電源供給部ＤＰＳでは出力電流容量が足らない場合でも、複数の電源供給部ＤＰＳの出力を合わせて必要な出力電流容量を確保することができる。
【００２５】
なお、図１および図２の実施例では、電源供給部ＤＰＳの余剰チャンネルを、プローブカード２０に実装されるプローブカードリレーを選択的にオンオフ駆動するためのリレー制御回路の電源として用いる例を示したが、たとえばデバイス用周辺回路などのユーティリティ電源としても使用できる。
【００２６】
以上説明したように、本発明によれば、電源供給部ＤＰＳの余剰チャンネルを、ＤＵＴ以外の他の系統に供給するユーティリティ電源などとして有効に活用できる半導体検査装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】本発明の他の実施例を示すブロック図である。
【図３】従来の半導体検査装置の構成例図である。
【図４】従来の半導体検査装置の他の構成例図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０  ＤＰＳユニット
２０  プローブカード
３０  デバイスユニット
４０  ユーティリティ電源
ＲＬ１〜１００  別出力リレー
ＲＬ１’〜１００’  別出力リレー
ＲＬＣＴ１〜４  リレー制御回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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