(57)【要約】【課題】熱変形による放電加工装置のＺ加工軸傾きを低減する。【解決手段】電極８を動かすヘッド１と、ヘッド１を駆動させるＺ方向駆動機構９と、ヘッド１を支持するラム３及びコラム４と、ワーク７及びコラム４をその上面に設置するベッド２と、ベッド２を床面ＦＳに固定する支持脚５から成る放電加工装置において、少なくとも２つの支持脚５Ａの各々を、床面ＦＳに固定された固定溝部材１４の凹底面上で摺動可能な態様で設置し、更に、支持脚５Ａと固定溝部材１４の凹側面との間に、静的弾性率が１００ＭＰａ以上のクリープ材料から成る支持部材１３を設けている。【選択図】図１
2009006420.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電電極を備えたヘッド部と、
ワークを載置するテーブル面を備えたベッドと、
前記放電電極を前記テーブル面に対して垂直方向に駆動させるＺ方向駆動機構と、
前記Ｚ方向駆動機構を前記ベッドに設置するとともに前記ヘッド部を前記テーブル面の上方で支持する支持部と、
前記ベッドを床面に設置する複数の支持脚と、を備え、
前記複数の支持脚の内の少なくとも二つの各々は、前記床面に固定された固定溝部材の底面上に摺動可能な形で設置されており、且つ、前記支持脚と前記固定溝部材の側面との間に設けられた、静的弾性率が１００ＭＰａ以上のクリープ材料から成る支持部材によって支持されていることを特徴とする、
放電加工装置。
【請求項２】
請求項１記載の放電加工装置であって、
前記クリープ材料の１２時間後のクリープ弾性率と静的弾性率との比が８０％以下であることを特徴とする、
放電加工装置。
【請求項３】
請求項２記載の放電加工装置であって、
前記クリープ材料の１２時間後のクリープ弾性率と静的弾性率との比が１０％以下であることを特徴とする、
放電加工装置。
【請求項４】
放電電極を備えたヘッド部と、
ワークを載置するテーブル面を備えたベッドと、
前記放電電極を前記テーブル面に対して垂直方向に駆動させるＺ方向駆動機構と、
前記Ｚ方向駆動機構を前記ベッドに設置するとともに前記ヘッド部を前記テーブル面の上方で支持する支持部と、
前記ベッドを床面に設置する複数の支持脚と、を備える放電加工装置であって、
前記複数の支持脚の内の少なくとも二つの各々は、摩擦調整面を有する前記床面上に設置され、
前記摩擦調整面の静摩擦係数μは、
前記放電加工装置の剛性Ｅ、質量ｍ、断面積Ｓ、線膨張係数α、予想される温度変化量ΔＴ及び重力加速度ｇから定まる値Ａ＝(Ｅ×α×Ｓ×ΔＴ)／(ｍ×ｇ)よりも小さく、且つ、前記放電加工装置の質量ｍと加工時の反発力fとから定まる値Ｂ=ｆ／(ｍ×ｇ) よりも大きな値からなることを特徴とする、
放電加工装置。
【請求項５】
放電電極を備えたヘッド部と、
ワークを載置するテーブル面を備えたベッドと、
前記放電電極を前記テーブル面に対して垂直方向に駆動させるＺ方向駆動機構と、
前記Ｚ方向駆動機構を前記ベッドに設置するとともに前記ヘッド部を前記テーブル面の上方で支持する支持部と、
前記ベッドを床面に固定するための複数の支持脚とを備える放電加工装置であって、
前記ベッドは、
前記支持部が設置される第１ベッドと、
その底面に前記複数の支持脚が設置された第２ベッドと、
前記第１ベッドと前記第２ベッドとの間に配設された摩擦調整面とを備えており、
前記摩擦調整面の静摩擦係数μは、
前記放電加工装置の剛性Ｅ、質量ｍ、断面積Ｓ、線膨張係数α、予想される温度変化量ΔＴ及び重力加速度ｇから定まる値Ａ＝(Ｅ×α×Ｓ×ΔＴ)／(ｍ×ｇ)よりも小さく、且つ、前記放電加工装置の質量ｍと加工時の反発力fとから定まる値Ｂ=ｆ／(ｍ×ｇ) よりも大きな値であることを特徴とする、
放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、周囲温度変化による熱変位量と加工時の反発力による変形とを抑制することで、高い加工精度の実現が可能な放電加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、放電加工装置では、使用時の周囲温度変化に伴い、装置のテーブル面に対して水平方向（Ｙ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）に相対熱変位が発生する。この相対熱変位は、主として、周囲温度上昇による放電加工装置本体の熱膨張と、放電加工装置各部の熱容量差による不均一な温度分布によりもたらされる放電加工装置の変形とによってもたらされるものであり、この相対熱変位により電極とワークの位置が変わるため、この相対熱変位は放電加工装置の加工精度の低下をもたらす。このため、例えば、特許文献１に記載の従来技術は、加工装置本体に取り付けられたセンサーから温度を測定し、予め構築しておいた温度と熱変位量との関係式から熱変位量を予測し、各軸方向の移動量を補正する方法を採用している。しかしながら、このような制御的な補正方法では、加工装置本体の変形による加工軸の傾きによる加工精度低下を防ぐのは困難であり、加工装置本体の構造的な改善が必要である。
【０００３】
この様な周囲温度変化の熱変形による加工精度低下を構造的に防ぐために、例えば、特許文献２に記載の従来技術は、加工装置本体の支持部材の一方を変形可能にし、熱変形による反りの発生を回避している。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−７５９３７号公報
【特許文献２】特開２００６−２６３８２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
背景技術で述べた支持部材の一方を変形可能にした構造では、熱変形による反りは回避できるが、装置本体の剛性の低下により、加工中の反発力に対して変形が大きくなり、加工精度が低下すると言う問題点がある。しかも、装置本体の固有振動数の低下により、加工時の振動的な反発力に対して共振し、加工精度が低下すると言う問題点もある。
【０００６】
本発明は、斯かる状況に鑑み成されたものであり、熱変形による反りを抑制すると共に、加工時の反発力に対する変形を低減する特性を有する放電加工装置を提供することを、その目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の主題は、放電加工装置であって、電極を動かすヘッドと、前記ヘッドをＺ方向に駆動させるＺ方向駆動機構と、前記ヘッドを支持するラム及びコラムと、ワーク及び前記コラムが設置された上面を有するベッドと、前記ベッドを床面に設置するための複数の支持脚とを備えており、前記複数の支持脚の内の少なくとも二つの各々は、前記床面に固定された固定溝部材の底面上に摺動可能な形で設置されており、且つ、前記支持脚と前記固定溝部材の側面との間に設けられた、静的弾性率が１００ＭＰａ以上のクリープ材料から成る支持部材によって支持されていることを特徴とする。
【０００８】
以下、この発明の主題の様々な具体化を、添付図面を基に、その効果・利点と共に、詳述する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の主題によれば、支持脚を摺動可能としたことにより、周囲温度変化に対してもベッドの反りを低減することが出来、Ｚ加工軸傾き量を低減できるため、高い加工精度を維持することが出来る。しかも、摺動可能としたことに伴い、放電加工装置の剛性が低下して加工時の反発力に起因した変形が大きくなるところが、本構成の支持部材を設けることで、放電加工装置の剛性低下を防げ、変形が増大しなくなり、高い加工精度を維持することが出来る。更に、剛性低下を抑制することで、放電加工装置本体の固有振動数低下も抑制することが出来るため、加工時の振動的な反発力に対して共振し難くなり、高い加工精度を維持することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（実施の形態１）
図８は、一般的な放電加工装置の構成を示す縦断面図である。図８に示す通り、電極８が取り付けられて電極８を駆動するヘッド１は、Ｚ方向駆動機構９を通じて、ラム３に取り付けられている。又、ラム３は、Ｘ方向駆動機構１０及びＹ方向駆動機構１１を通じて、コラム４の上に設置されており、コラム４はベッド２の上面に固定されている。又、加工槽１２の内部は加工油（加工液とも言う。）で満たされており、被加工物（ワーク）７は、加工槽１２の中のテーブル６上に固定され、テーブル６はベッド２の上面に設置されている。そして、ベッド２は、４本の支持脚５で、床面（図示せず。）と固定されている（各支持脚５は例えば金属性のアンカー（図示せず。）を用いて床面に拘束されている。）。
【００１１】
被加工物７の加工は、リニアモータ（図示せず。）等から構成される各軸方向駆動機構９〜１１の位置決めの制御を行いながら、電極８を指定の位置まで動かし、加工槽９に満たされた加工液を通して電極８と被加工物７との間（点Ａ−点Ｂ間）に放電を発生させることにより、行われる。この際、電極８の面積が大きくなるにつれて、加工液の粘性や放電により発生する気泡の影響で、反発力として、電極８にＺ方向の大きな荷重が単発的及び振動的に発生する。
【００１２】
図８に示す様な放電加工装置において、例えば周囲温度を一様に上昇させた場合の熱変形として、Ｚ加工軸の傾き量を図９に示す。なお、Ｚ方向はテーブル６のテーブル面に対して垂直な方向である。Ｚ加工軸の傾き量は、ベッド２の反りと各部材の熱容量差による温度分布とにより発生する。このため、温度変化が止まる付近でＺ加工軸の傾き量は最大となり、その後、温度が一定に保持されると、温度分布が解消されるため、徐々にＺ加工軸傾き量は減少するが、ベッド２の反りは解消されないため、Ｚ加工軸傾きは一定値に落ち着く傾向を示す。この様なＺ加工軸傾きの増大は、被加工物７に於ける穴の真直度や真円度、加工位置など、加工精度の低下をもたらすため、対策が必要となる。尚、周囲温度変化としては、エアコンのON、OFF状態又は昼夜の温度差が想定され、１日1サイクル程度の周期である。
【００１３】
ここで、図１は、本実施の形態に係る放電加工装置の構成を示す縦断面図である。図１に於いて、既述した図８の各部材と同一の参照符号を有する部材は、同一又は同等のものを示す。図１の放電加工装置が、構成的に、図８の現行の放電加工装置と相違する点は、支持脚の構成にある。図１の放電加工装置は、４本の支持脚５を有するが、その内の少なくとも２本の支持脚（図１の一例では、図１の紙面に垂直な方向に互いに対面し合う２本の支持脚）５Ａは、次の特徴的構成を具備している（勿論、４本の支持脚を支持脚５Ａとして構成しても良い。）。その他の残りの支持脚５は、図８の現行の放電加工装置に於ける支持脚５と同様の構成を有しており、その底面は床面ＦＳ上に直接に固定・設置されている。
【００１４】
即ち、支持脚５Ａは、床面ＦＳ内に設けられた縦断面形状がＵ字型の低摩擦面の固定溝部材１４上（on）に設置されており、支持脚５Ａの底部に設けられたロッド５ＡＬは、固定溝部材１４の底面に対して、摺動可能な態様で設置されている。しかも、支持脚５Ａは、支持脚５Ａと固定溝部材１４の側面との間に設けられた、静的弾性率が１００ＭＰａ以上のクリープ材料から成る支持部材１３によって支持されている。換言すれば、支持脚５Ａの水平方向の移動は、固定溝部材１４内に設けられた静的弾性率が１００ＭＰａ以上のクリープ材料から成る支持部材１３で以って拘束されている。
【００１５】
ここで、「静的弾性率」とは、縦弾性率のことであり、例えば、引張試験装置や動的粘弾性測定装置を用いて、瞬間的にある力で引っ張る時の伸び率によって静的弾性率を測定することが出来る。
【００１６】
又、「クリープ材料」とは、クリープ変形の大きな材料を、即ち、クリープ弾性率の低い材料を意味しており、１２時間後（温度サイクルが１日２４時間とした場合には、その半サイクルである１２時間が温度上昇期間ないしは温度下降期間と考えられる。）のクリープ弾性率が、後述する様に、静的弾性率の８０％以下である材料を、更に望ましくは静的弾性率の１０％以下の材料であり、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、フッ素樹脂、塩化ビニル樹脂、ナイロン等の材料から成る。
【００１７】
以下に、本実施の形態（支持脚５Ａを採用する点）の効果について記載する。放電加工装置では、加工時に瞬間的な反発力が発生し、装置本体が変形する可能性がある。反発力は、その周波数が数Ｈｚ〜数十Ｈｚの振動として発生する場合もあるため、装置本体の剛性の他、装置本体の固有振動数を上げて、反発力との共振を避ける必要性がある。
【００１８】
そこで、本実施の形態では、支持部材１３として、反発力の速度オーダーである数Ｈｚ〜数十Ｈｚの静的弾性率が１００ＭＰａ以上を有するクリープ材料を使用することで、装置本体の剛性の低下を防いでいる。その効果を示すため、図８に示した現行装置本体の剛性として、ヘッド１の先端に荷重を付与したときの荷重負荷点の変位を有限要素法で算出し、支持部材１３の静的弾性率を変えた場合の上記変位の変化率を、支持部材１３の静的弾性率が１０００００ＭＰａの場合を基準化して、図２に示す。尚、金属の静的弾性率が１０００００ＭＰａのオーダーであるため、静的弾性率が１０００００ＭＰａの場合とは、金属製の部材で以って支持脚５を拘束している現行装置（図８）相当の状態を解析する場合に該当している。例えば、放電加工装置の耐振性を向上させるために防振材の使用が考えられるが、防振材として最も一般的に使用されるゴムでは、その静的弾性率は０．１ＭＰａ〜１０ＭＰａであるが、これを支持部材１３に適用した場合には、負荷点の変位が顕著に増加する。他方、支持部材１３の静的弾性率を１００ＭＰａ以上にすれば、図２に示す通り、上記変位の増加を減らすことが出来、瞬間的な反発力に対しても加工精度を維持することが出来る。
【００１９】
又、振動的な反発力に対しても、支持部材１３に静的弾性率が１００ＭＰａ以上のクリープ材料を使用することで、放電加工装置本体の固有振動数の低下を最小限に留められる。ここで、放電加工装置本体の固有振動数ｆｂは、装置本体を一自由度振動系と看做せば、数１の（１）式で表される。
【００２０】
【数１】
2009006420.tif 000003
【００２１】
（１）式に於いて、ｋは放電加工装置の剛性を１個のばねで近似した場合のバネ定数であり、ｍは放電加工装置の質量である。即ち、（１）式より、放電加工装置の剛性増加によりバネ定数の値を上げるか、放電加工装置を軽量化することで、放電加工装置の固有振動数を上げることが出来る。前述の様に、支持部材１３に、その静的弾性率が１００ＭＰａ以上のものを使用することで放電加工装置の剛性が増加するため、本放電加工装置の固有振動数は低下せず、図１の放電加工装置は、振動的な反発力に対して共振しにくい振動抑制効果のある構造となる。尚、ゴムの様な防振材でも振動抑制効果が得られるが、前述の様に剛性低下をもたらすため、瞬間的な反発力に対して変形が大きくなり、加工精度を維持することが出来ない。
【００２２】
次に、本実施の形態に係る放電加工装置が奏する熱変形抑制効果について記載する。クリープ材料は、荷重に対して時間依存型の変形であるクリープ変形を示す特徴を有しており、その特性は、ＪＩＳ  Ｋ  ７１１５ “プラスチック―クリープ特性の試験方法―第１部：引張クリープ”にも記載されている様に、応力σを時間ｔにおけるひずみεtで除したクリープ弾性率（数２の（２）式を参照。）で表現出来る。
【００２３】
【数２】
2009006420.tif 000004
【００２４】
クリープ弾性率が低い材料は、クリープ変形し易い材料であり、従って、長期負荷に対して変形し易い性質を示す。放電加工装置に於いて通常の使用条件である１日１サイクル程度の温度変化によるベッド２の熱収縮又は熱膨張に対して、支持部材１３は、支持脚５Ａと固定溝部材１４に挟まれるため、１日１サイクル程度の長期負荷を受けるが、クリープ変形が起きるため、支持部材１３は、支持脚５Ａと固定溝部材１４の底面間での摺動運動を妨げない。この効果を確認するため、一日の温度変化を模擬した温度プロファイルを与えたときの熱変形を、有限要素法を用いて解析した。熱変形を示す指標としてＺ加工軸傾き量を選択したとき、支持部材１３にクリープ材料を使用した場合の効果として、支持部材１３のクリープ弾性率と静的弾性率との比に対するＺ加工軸傾き量の関係を求めた。その結果を図３に示す。図３で、クリープ弾性率／静的弾性率の比が１の材料はクリープ変形しないことを示し、当該材料はクリープ材料ではない。図３に於いて、クリープ弾性率／静的弾性率の比が小さい材料程、その物はクリープ変形し易い材料である。但し、一般的に樹脂はわずかながらクリープの性質を示すが、その多くは、クリープ弾性率／静的弾性率の比が０．９よりも大の材料である。そこで、本実施の形態で用いるクリープ材料は、少なくともクリープ弾性率／静的弾性率の比が０．９以下の物である。
【００２５】
図３に示す通り、クリープ弾性率の低下と共に、Ｚ加工軸傾き量を低減することが可能となっている。クリープ弾性率は時間依存性を有しており、時間経過と共に低下するため、温度が上昇（あるいは下降）した状態で支持脚５Ａが支持部材１３で保持された場合を想定すると、時間と共に、Ｚ加工軸傾き量が低減されることを意味する。
【００２６】
図３において、例えば、クリープ弾性率が静的弾性率の８０％以下の材料を支持部材１３のクリープ材料として使用すれば、Ｚ加工軸傾きを５％低減することができる。
【００２７】
又、図３において、更に望ましくは、クリープ弾性率が静的弾性率の１０％以下の材料を支持部材１３のクリープ材料として使用すれば、Ｚ加工軸傾き量を半減することが出来ると言う顕著な効果が得られる。
【００２８】
尚、固定溝部材１４に関しては、支持脚５Ａとの摩擦係数を下げるため、フッ素樹脂等でコーティングすることが望ましい。
【００２９】
又、図１に示す支持脚５Ａと固定溝部材１４の凹部底面との間の摺動を、例えばリニアガイドやボールローラ等で置き換えても、同様なＺ加工軸傾き量の顕著な低減効果が得られる。
【００３０】
又、図８ではヘッドの支持部であるラムとコラムの間にXY方向の駆動機構を設けているが、XY方向の駆動機構の設置箇所が他場所、例えばテーブル面が動くようにXY方向駆動機構がテーブル下に置かれている放電加工装置でも、本発明の構成により同様の効果が得られる。
【００３１】
放電電極を備えたヘッド部がワークを載置するテーブル面の上方で支持され、また、テーブル面に垂直なＺ方向に放電電極を駆動するＺ方向駆動機構を備える放電加工装置では、これらのヘッド部およびＺ方向駆動機構はラムおよびコラムなどの支持部によって支持される。このラムおよびコラムなどの支持部はテーブルから離れてベッド上に固定される。このため、ベッドが熱などで変形すると、テーブル面と支持部が固定される面とは平行でなくなり、その傾きが支持部によって増幅されて加工精度が悪くなっていた。一方、本実施の形態によれば、上記のような放電加工装置において、ベッドを床面に設置する複数の支持脚を備えて、その支持脚の内の少なくとも二つの各々は、床面に固定された固定溝部材の底面上に摺動可能な形で設置されており、且つ、支持脚と固定溝部材の側面との間に設けられた、静的弾性率が１００ＭＰａ以上のクリープ材料から成る支持部材によって支持されるので、以下の利点が得られる。即ち、周囲温度変化に対するベッド２の“反り”の一因は、放電加工装置を床面上に固定する脚部が、ベッド２が熱膨張（又は熱収縮）する際の拘束点となり、拘束の無いベッド２上部とのアンバランスから発生するものであるが、上記の通り、支持脚５Ａを摺動可能とすることでベッド２の反りを抑制することが出来る。更に、固定溝部材１４の凹部側面と支持脚５Ａとの間に静的弾性率が１００ＭＰａ以上のクリープ材料から成る支持部材１３を設けているため、周囲温度変化による熱膨張に対しては、支持部材１３は柔となるために固定溝部材１４の凹部内の支持脚５Ａの摺動運動を拘束しない反面、加工時の反発力に対しては、支持部材１３は剛となるために放電加工装置本体の剛性とその固有振動数の低下とを防ぎ、支持脚５Ａ、固定溝部材１４及び支持部材１３から成る構造は、高い加工精度を実現可能とする。
【００３２】
（実施の形態２）
図４は、本実施の形態に係る放電加工装置の設置状態を示す縦断面図である。支持脚５と床面との固定以外は、本実施の形態に係る放電加工装置の構成は図８に示した一般的な放電加工装置の構成と同一である。本実施の形態では、放電加工装置の支持脚５を摩擦調整面１５の上に設置する構造としている点に特徴がある。ここで、摩擦調整面１５は、支持脚５との間に、数３の（３）式から算出される静摩擦係数μを有している。
【００３３】
【数３】
2009006420.tif 000005
【００３４】
つまり、静摩擦係数μは、放電加工装置の剛性Ｅ、断面積Ｓ、質量ｍ、線膨張係数α及び予想変化温度ΔＴから算出される値Ａと、放電加工装置の質量ｍ及び予想される加工時の反発力ｆから算出される値Ｂとの間の値として与えられるのが良い。即ち、静摩擦係数μに関して、数４の（４）式が成立する。
【００３５】
【数４】
2009006420.tif 000006
【００３６】
本実施の形態の一例の効果として、例えば、放電加工装置が次の様な場合を考える。
【００３７】
E＝ 100 GPa 
α＝1.0×10-5 ppm/℃ 
S = 0.01 m2 
ΔT = 1℃
m = 1000 kg
ｆ＝500N
g = 10 m/s2
このとき、Ａ及びＢの値は、
Ａ＝(100000×106)×1.0×10-5 ×0.01×1／（1000×10）＝1
Ｂ＝500／（1000×10）＝0.05
となる。つまり、摩擦調整面１５は、数５の（５）式を満たす静摩擦係数μを有するものとなる。
【００３８】
【数５】
2009006420.tif 000007
【００３９】
摩擦調整面１５の静摩擦係数μが（４）式の特性を持てば、加工時の反発力ｆに対しては静摩擦力の方が大きいため、支持脚５は拘束され、放電加工装置の変形は小さい。他方、周囲温度変化に対しては、図５に示す様に、周囲温度が、静摩擦力を超える熱荷重に相当する変化温度ΔＴ１になると、熱変形が生じる。熱変形が生じると、支持脚５に働く熱荷重は緩和するため、支持脚５は摩擦力と釣り合う位置で停止するが、更なる温度変化が生じることで、再び熱荷重が静摩擦力を超えて熱変形が進行することで支持脚５が移動し、支持脚５は、図５に示す様なステップ状の挙動を示す。このため、図６に示す様に、Ｚ加工軸傾き量も温度変化がなくなるまでは波状の挙動を示すが、支持脚５が初期位置より摺動しており、図８の現行の放電加工装置よりもＺ加工軸傾き量を低減することが出来、加工精度を向上させることが出来る。
【００４０】
（４）式に示す様に、摩擦調整面１５に要求される静摩擦係数μは、重量や剛性によって変わるが、一般には低摩擦係数であることが必要と予想されるため、例えば、支持脚５が設置される床面に対して、二硫化モリブデンによるコーティング処理や、フッ素系樹脂又はＤＬＣによるコーティング処理、あるいは、窒化処理等の表面処理を施すと良い。
【００４１】
以上より、本実施の形態の構成によれば、支持脚５が静摩擦力で摩擦力調整面１５上に拘束されるため、加工時の反発力に対する変形に対しても、現行形状と同等の加工精度を維持することが出来る。しかも、周囲温度変化に対しては、熱変形による荷重が静摩擦力を超えることで、支持脚５が摩擦調整面１５上を摺動し、ベッド２の反りを低減することが出来、Ｚ加工軸傾き量を低減することが出来るため、図８に示した現行の放電加工装置のそれよりも高い加工精度を維持することが出来る。
【００４２】
尚、本実施の形態に於いても、複数の支持脚５（図４では４本の支持脚５）の内で、少なくとも図４の紙面に垂直な方向に対向し合う二つの支持脚５の各々が、対応する摩擦調整面１５の上に固定されていれば良い。
【００４３】
（実施の形態３）
図７は、本実施の形態に係る放電加工装置の構成を示す縦断面図である。図７中、図８と同一の参照符号を有する構成要素は同一あるいは同等のものを示す。実施の形態２の図４では、ベッド２が一体物から成り、支持脚５が設置される床面に、（４）式で与えられる静摩擦係数μを有する摩擦調整面１５が設けられていた。これに対して、図７の放電加工装置では、ベッド２がベッド上部（第１ベッド）２Ａとベッド下部２Ｂ（第２ベッド）とに分けられ、その間に、摩擦調整面１６が設けられている。この摩擦調整面１６もまた、図４の摩擦調整面１５と同様の特性を、即ち、上記の（４）式で与えられる静摩擦係数μを有する。
【００４４】
本実施の形態の効果として、実施の形態２と同様に、ベッド上部２Ａの熱変形による反りを低減することが出来、且つ、加工時の反発力による変形を低減することが出来る。
【００４５】
更に、周囲温度が変化した場合には、ベッド２は不均一な温度分布を有し、それは、床との拘束と同様に、反りの原因となる。例えば、ベッド上部２Ａが高温、ベッド下部２Ｂが低温となる様な温度分布となる場合には、ベッド上部２Ａの方がその熱膨張量は大きいため、ベッド２は、上側に向けて凸形状となる様な反り変形を示すが、本実施の形態では、ベッド上部２Ａとベッド下部２Ｂの膨張量の差を摩擦調整面１６で調整し、反り変形を低減することが出来ると言う利点がある。加えて、加工時の反発力による変形も低減することが出来る。
【００４６】
尚、図７ではベッド２をベッド上部２Ａとベッド下部２Ｂの２つに分割しているが、ベッド２を３つ以上に分割構成しても良い。斯かる場合には、２つ以上の摩擦調整面１６を設けることとなる。この場合、ベッド２の不均一な温度分布による反り変形の低減には、更なる効果が上げられる。
【００４７】
（付記）
以上、本発明の実施の形態を詳細に開示し記述したが、以上の記述は本発明の適用可能な局面を例示したものであって、本発明はこれに限定されるものではない。即ち、記述した局面に対する様々な修正や変形例を、この発明の範囲から逸脱することの無い範囲内で考えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態１に係る放電加工装置の構成を示す縦断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１の効果として、剛性と支持部材の弾性率との関係を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１の効果として、クリープ弾性率とＺ加工軸傾き量との関係を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る放電加工装置の設置状態を示す縦断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２において、温度変化と支持脚の移動量との関係を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態２の効果を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係る放電加工装置の構成を示す縦断面図である。
【図８】一般的な放電加工装置の構成を示す縦断面図である。
【図９】一般的な放電加工装置に於ける温度と熱変位との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  ヘッド、２  ベッド、３  ラム、４  コラム、５，５Ａ  支持脚、６  テーブル、７  被加工物、８  電極、９  Ｚ方向駆動機構、１０  Ｘ方向駆動機構、１１  Ｙ方向駆動機構、１２  加工槽、１３  支持部材、１４  固定溝部材、１５，１６  摩擦調整面、２Ａ  第１ベッド、２Ｂ  第２ベッド。
【図１】
2009006420.tif 000008
【図２】
2009006420.tif 000009
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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