(57)【要約】      （修正有）【課題】電子校正装置とプローブとを接続することができ、同軸ケーブル及びプローブの校正に電子校正装置を利用することができる誤差基準値検出装置を提供する。【解決手段】誤差基準値検出装置１００は、電子校正装置４０と、プローブ３０の信号用探針３１ａに当接する信号パターン６２及びグランド用探針３１ｂに当接するグランドパターン６３が誘電体基板６１上にそれぞれ配設される伝送路基板６０と、電子校正装置４０に接続する同軸ケーブル２２を固定する同軸コネクタ部５１が配設されると共に、同軸コネクタ部５１の内導体に対応するピン５１ｃを伝送路基板６０の信号パターン６２に当接させ、同軸コネクタ部５１の外導体に対応する外導体部５１ｅを伝送路基板６０のグランドパターン６３に当接させ、信号パターン６２及びグランドパターン６３を露出した状態で伝送路基板６０を係止する変換部５２を配設されてなるアダプタ５０と、を備える。【選択図】図４
2009014385.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワーク・アナライザに接続する同軸ケーブル及びプローブにおける振幅損失並びに位相損失を検出する誤差基準値検出装置において、
前記ネットワーク・アナライザに対して複数の状態を生成して提供する電子校正装置と、
前記プローブの信号用探針に当接する信号パターン及び前記プローブのグランド用探針に当接するグランドパターンが、誘電体基板上にそれぞれ配設される伝送路基板と、
前記電子校正装置のポートに接続する同軸ケーブルを固定する同軸コネクタ部が配設されると共に、当該同軸コネクタ部の内導体に対応する部分を前記伝送路基板の信号パターンに当接させ、当該同軸コネクタ部の外導体に対応する部分を前記伝送路基板のグランドパターンに当接させ、前記信号パターン及びグランドパターンを露出した状態で前記伝送路基板を係止する変換部を配設されてなるアダプタと、
を備えることを特徴とする誤差基準値検出装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載の誤差基準値検出装置において、
前記アダプタの変換部が、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンを露出させる凹部を有し、当該凹部に前記プローブのプローブ本体部の外側面を当接して係合させることを特徴とする誤差基準値検出装置。
【請求項３】
前記請求項２に記載の誤差基準値検出装置において、
前記アダプタの変換部における凹部が、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンに対して、前記プローブの信号用探針及びグランド用探針を位置決めするように、前記変換部の凹部と前記プローブのプローブ本体部とが、互いに嵌合する形状であることを特徴とする誤差基準値検出装置。
【請求項４】
前記請求項１に記載の誤差基準値検出装置において、
前記アダプタの変換部が、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンを露出させる凹部を有し、
前記変換部の凹部及び前記プローブのプローブ本体部との間に、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンに対して、前記プローブの信号用探針及びグランド用探針を位置決めするように、前記変換部の凹部の内側面及び前記プローブのプローブ本体部の外側面にそれぞれ当接して介装するアタッチメントを備えることを特徴とする誤差基準値検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ネットワーク・アナライザに接続する同軸ケーブル及びプローブにおける振幅損失並びに位相損失を検出する誤差基準値検出装置に関し、特に、プローブと電子校正装置とを接続する誤差基準値検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ネットワーク・アナライザは、高周波若しくはマイクロ波回路又はデバイスの高周波特性を測定する測定器であり、回路や素子が配設された基板（以下、被測定物と称す）にプローブを当接して、被測定物に高周波やマイクロ波を入力し、被測定物における反射状態及び通過状態を測定して被測定物の電気的特性を測定する。なお、ネットワーク・アナライザには、振幅及び位相を測定するベクトル・ネットワーク・アナライザ（Vector Network Analyzer:ＶＮＡ）と、位相を測定せず振幅のみを測定するスカラー・ネットワーク・アナライザ（Scalar Network Analyzer）との２つの種類がある。
【０００３】
被測定物の電気的特性を測定するにあたり、ネットワーク・アナライザと被測定物との間を媒介する同軸ケーブル及びプローブにおいて、振幅損失及び位相損失が生じ、被測定物の実測値と真の値とで誤差が生じるために、誤差を補正する校正（キャリブレーション）を行なう必要がある。
【０００４】
この校正は、同軸ケーブル及びプローブにおいて生じる振幅損失及び位相損失を、校正基板を使用して予め測定し、被測定物における電気的特性の真の値を算出するための誤差基準値としたうえで、被測定物の実測値から誤差基準値を減算することで、被測定物の真の値を算出する。
【０００５】
なお、校正基板は、セラミック基板上に形成されたショート（Short、短絡）、オープン（Open、開放）、ロード（Load、５０Ω抵抗）、スルー（Thru、通過）及びライン（Line、線）の各素子に、プローブを接触させて、ネットワーク・アナライザの校正をプローブの先端で行なうための校正キットである。
【０００６】
例えば、従来の反射測定治具においては、本体と、本体内に設けられ、ネットワーク・アナライザとを結ぶケーブルの端からワークの端子までの延長線路のインピーダンスを保障する、プリント化された伝送線路を有する基板と、基板の伝送線路からワークの端子にかけて延在し、入射波及び反射波を授受する一対のプローブとを備える（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
また、従来の電子校正方法においては、少なくとも第１ポートと第２ポートとを有するネットワーク・アナライザを提供するステップと、少なくとも１つのポートを有するマルチステート電子転送標準を提供するステップと、前記アナライザの第１及び第２ポートのうちの１つにマルチステート電子転送標準の少なくとも１つのポートをインターフェイスするステップと、マルチステート電子転送標準の少なくとも１つのポートでマルチステート電子転送標準をもって複数の状態を生成するステップと、生成された複数の状態を基に校正係数を導出するステップと、を備える（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００７−４７１５２号公報
【特許文献２】特開平７−１９８７６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来の反射測定治具は、ショート、オープン及び５０Ωの標準抵抗が配設されたワークの端子にプローブを当接させることで、ショート、オープン及び５０の標準抵抗を順に挿入して校正するのであるが、ワークの端子とプローブとの接触には、ミクロンオーダーの微細な位置合わせ精度が必要であるために、ワークの端子とプローブとの接触操作に時間が掛かるという問題点があった。
【０００９】
また、ワークの端子とプローブとの位置合わせには、ある程度の熟練が必要であり、校正の精度は、操作者による位置合わせ精度に依存するという問題点があった。
また、ワークの端子とプローブとの接触は、ネットワーク・アナライザの１ポートにつき、ショート、オープン及び５０Ωの標準抵抗に対して各１回、合計３回の接触が必要である。特に、ネットワーク・アナライザのポートが２ポートであり、スルーによる校正も行なう場合には、ネットワーク・アナライザの１ポートにつき３回（ショート、オープン、５０Ωの標準抵抗）と、ネットワーク・アナライザの２つのポートを接続するスルーに２回（１ポートにつき１回）と、合計８回のワークの端子とプローブとの接触が必要であり、校正に時間が掛かるという問題点があった。
【００１０】
さらに、従来の電子校正装置は、マルチステート電子転送標準のポートがコネクタであるために、ネットワーク・アナライザにケーブルを介して接続されたプローブとは接続形態が異なり、マルチステート電子転送標準にプローブを接続することができない。このため、プローブの校正には、簡易に校正することができる電子校正装置を利用することができないという問題点があった。
【００１１】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、電子校正装置とプローブとを接続することができ、同軸ケーブル及びプローブの校正に、電子校正装置を利用することができる誤差基準値検出装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明に係る誤差基準値検出装置においては、ネットワーク・アナライザに対して複数の状態を生成して提供する電子校正装置と、プローブの信号用探針に当接する信号パターン及びプローブのグランド用探針に当接するグランドパターンが、誘電体基板上にそれぞれ配設される伝送路基板と、前記電子校正装置のポートに接続する同軸ケーブルを固定する同軸コネクタ部が配設されると共に、当該同軸コネクタ部の内導体に対応する部分を前記伝送路基板の信号パターンに当接させ、当該同軸コネクタ部の外導体に対応する部分を前記伝送路基板のグランドパターンに当接させ、前記信号パターン及びグランドパターンを露出した状態で前記伝送路基板を係止する変換部を配設されてなるアダプタと、を備えるものである。
【００１３】
また、この発明に係る誤差基準値検出装置においては、必要に応じて、前記アダプタの変換部が、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンを露出させる凹部を有し、当該凹部に前記プローブのプローブ本体部の外側面を当接して係合させるものである。
【００１４】
また、この発明に係る誤差基準値検出装置においては、必要に応じて、前記アダプタの変換部における凹部が、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンに対して、前記プローブの信号用探針及びグランド用探針を位置決めするように、前記変換部の凹部と前記プローブのプローブ本体部とが、互いに嵌合する形状である。
【００１５】
また、この発明に係る誤差基準値検出装置においては、必要に応じて、前記アダプタの変換部が、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンを露出させる凹部を有し、前記変換部の凹部及び前記プローブのプローブ本体部との間に、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンに対して、前記プローブの信号用探針及びグランド用探針を位置決めするように、前記変換部の凹部の内側面及び前記プローブのプローブ本体部の外側面にそれぞれ当接して介装するアタッチメントを備えるものである。
【発明の効果】
【００１６】
この発明に係る誤差基準値検出装置においては、ネットワーク・アナライザに対して複数の状態を生成して提供する電子校正装置と、プローブの信号用探針に当接する信号パターン及びプローブのグランド用探針に当接するグランドパターンが、誘電体基板上にそれぞれ配設される伝送路基板と、前記電子校正装置のポートに接続する同軸ケーブルを固定する同軸コネクタ部が配設されると共に、当該同軸コネクタ部の内導体に対応する部分を前記伝送路基板の信号パターンに当接させ、当該同軸コネクタ部の外導体に対応する部分を前記伝送路基板のグランドパターンに当接させ、前記信号パターン及びグランドパターンを露出した状態で前記伝送路基板を係止する変換部を配設されてなるアダプタと、を備えることにより、電子校正装置のポートである同軸コネクタに接続することができる同軸ケーブルや、ネットワーク・アナライザに接続するプローブのように、接続形態が異なる伝送路媒体同士であっても、アダプタ及び伝送路基板を用いることで電子校正装置に接続することができ、電子校正装置を用いたネットワーク・アナライザにより同軸ケーブル及びプローブにおける振幅損失及び位相損失を簡易に検出することができる。
【００１７】
また、この発明に係る誤差基準値検出装置においては、必要に応じて、前記アダプタの変換部が、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンを露出させる凹部を有し、当該凹部に前記プローブのプローブ本体部の外側面を当接して係合させることにより、伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンと、プローブの信号用探針及びグランド用探針との位置合わせを、簡易に行なうことができる。
【００１８】
また、この発明に係る誤差基準値検出装置においては、必要に応じて、前記アダプタの変換部における凹部が、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンに対して、前記プローブの信号用探針及びグランド用探針を位置決めするように、前記変換部の凹部と前記プローブのプローブ本体部とが、互いに嵌合する形状であることにより、伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンと、プローブの信号用探針及びグランド用探針との位置合わせを、精度よく簡易に行なうことができ、接触操作に掛かる時間を短縮することができる。
【００１９】
また、この発明に係る誤差基準値検出装置においては、必要に応じて、前記アダプタの変換部が、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンを露出させる凹部を有し、前記変換部の凹部及び前記プローブのプローブ本体部との間に、前記伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンに対して、前記プローブの信号用探針及びグランド用探針を位置決めするように、前記変換部の凹部の内側面及び前記プローブのプローブ本体部の外側面にそれぞれ当接して介装するアタッチメントを備えることにより、プローブ及びアダプタの形状を変形することなく、既存のプローブ及びアダプタにおける、伝送路基板の信号パターン及びグランドパターンと、プローブの信号用探針及びグランド用探針との位置合わせを、精度よく容易に行なうことができ、接触操作に掛かる時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（本発明の第１の実施形態）
図１はこの発明を実施するための第１の実施形態における誤差基準値検出装置の概略構成を示す説明図、図２はこの発明を実施するための第１の実施形態における他の誤差基準値検出装置の概略構成を示す説明図、図３（ａ）は図１に示すアダプタの変換部に係止される伝送路基板の概略構成を示す平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す伝送路基板の矢視Ａ−Ａ線の断面図、図４は図１に示すアダプタの概略構成を示す分解斜視図、図５（ａ）は図４に示すアダプタの矢視Ｂ−Ｂ線の断面図、図５（ｂ）は図４に示すアダプタの矢視Ｃ−Ｃ線の断面図、図６は図１に示すプローブと伝送路基板との接続状態を説明するための部分拡大図である。
【００２１】
図１又は図２に示すように、誤差基準値検出装置１００は、既存のネットワーク・アナライザ１０と、ネットワーク・アナライザ１０に同軸ケーブル２１を介して接続する既存のプローブ３０と、ネットワーク・アナライザ１０に対して複数の状態（ショート、オープン、ロード、スルー）を生成して提供する既存の電子校正装置４０と、電子校正装置４０に同軸ケーブル２２を介してプローブ３０を接続するための伝送路基板６０及びアダプタ５０とを備えている。
【００２２】
ネットワーク・アナライザ１０は、内部にある信号源１１が所定の周波数に掃引され、信号源１１とポート１２との間に配設される方向性結合器１３を内蔵している。
信号源１１により生成された信号は、ネットワーク・アナライザ１０のポート１２から出力され、同軸ケーブル２１、プローブ３０、伝送路基板６０、アダプタ５０及び同軸ケーブル２２を介して、電子校正装置４０のポート４１に入力される。
【００２３】
なお、ネットワーク・アナライザ１０により制御されて電子校正装置４０で生成されるショート、オープン又はロードの状態による、電子校正装置４０に入力された信号の反射状態（１００％反射、位相反転、吸収）をネットワーク・アナライザ１０によって測定する場合には、入射信号が入力された第１のポート４１ａと同一のポート４１である第１のポート４１ａから反射信号を出力し、同一の伝送路を逆送して、ネットワーク・アナライザ１０から入射信号が出力された第１のポート１２ａと同一のポート１２である第１のポート１２ａに反射信号が入力される。
【００２４】
また、ネットワーク・アナライザ１０により制御されて電子校正装置４０で生成されるスルーの状態による、電子校正装置４０に入力された信号の通過状態をネットワーク・アナライザ１０によって測定する場合には、入射信号が入力された第１のポート４１ａと異なるポート１２である第２のポート４１ｂから通過信号を出力し、異なる伝送路を通って、ネットワーク・アナライザ１０から入射信号が出力された第１のポート１２ａと異なるポート１２である第２のポート１２ｂに通過信号が入力される。
【００２５】
ネットワーク・アナライザ１０は、電子校正装置４０に入力された入射信号と電子校正装置４０で生成された状態による反射信号又は通過信号とを、電子校正装置４０の第１のポート４１ａ及び第２のポート４１ｂのそれぞれについて方向性結合器１３を用いて測定する。
【００２６】
方向性結合器１３は、一方から入ってくる信号の方向を分別して出力する。すなわち、図１において、第１の方向性結合器１３ａであれば、信号源１１側から入力される信号（電子校正装置４０に入力される信号）はａ１に出力され、電子校正装置４０側の第１のポート１２ａから入力される信号はｂ１に出力される。第２の方向性結合器１３ｂについても同様に、信号源１１側から入力される信号（電子校正装置４０に入力される信号）はａ２に出力され、電子校正装置４０側の第２のポート１２ｂから入力される信号はｂ２に出力される。
【００２７】
ネットワーク・アナライザ１０は、方向性結合器１３により出力される入射信号に対する反射信号又は通過信号の電圧比を算出することで、ネットワーク・アナライザ１０に接続する同軸ケーブル２１，２２及びプローブ３０における振幅損失並びに位相損失を検出することができる。
【００２８】
なお、この第１の実施形態においては、２つのポート１２を備えたネットワーク・アナライザ１０を示して説明したが、４つのポート１２を備えたネットワーク・アナライザ１０を用いることで、各ポート１２の反射係数とポート１２間の通過特性とを同時に測定することができる。
プローブは、高周波プローブ、差動プローブ、ウェーハ・プローブなどのように、様々なプローブが存在するが、以下の説明においては、高周波プローブを用いて説明する。
【００２９】
図６に示すように、プローブ３０は、信号用探針３１ａ及びグランド用探針３１ｂがグランド−信号−グランドからなるコプレーナ導波路を構成する先端部３１と、図示しないプローブステーションにおけるポジショナーにプローブ３０を螺着するためのネジ孔３２ａを有し、同軸ケーブル２１を接続する同軸コネクタ３２ｂからコプレーナ導波路に移行するプローブ本体部３２と、を備えている。
【００３０】
なお、この第１の実施形態におけるプローブ３０は、プローブ本体部３２に同軸コネクタ３２ｂを１つ配設した例を示しているが、差動信号用のプローブであれば、プローブ本体部３２に同軸コネクタ３２ｂを２つ配設したプローブ３０を用いることになる。
【００３１】
また、プローブ３０の先端部３１における探針は、グランド−信号−グランド（ＧＳＧプローブ）に限られるものではなく、グランド−信号（ＧＳプローブ）、信号−グランド−信号（ＳＧＳプローブ）、グランド−信号−信号−グランド（ＧＳＳＧプローブ）、グランド−信号−グランド−信号−グランド（ＧＳＧＳＧプローブ）などの探針となる先端部３１を有するプローブ３０を用いてもよい。
【００３２】
図４及び図５に示すように、アダプタ５０は、同軸ケーブル２２に嵌合して固定する同軸コネクタ部５１が配設されると共に、同軸コネクタ部５１の内導体に対応する部分を後述する伝送路基板６０の信号パターン６２に当接させ、同軸コネクタ部５１の外導体に対応する部分を伝送路基板６０のグランドパターン６３に当接させ、伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３を露出した状態で伝送路基板６０を係止する変換部５２を配設されてなる。
【００３３】
同軸コネクタ部５１は、パネル取付用フランジの付いた４点止めのＳＭＡ（Sub Miniature Type A）コネクタを使用し、取付ネジ５１ｂによって変換部５２の本体部５２ａに螺着している。
【００３４】
変換部５２は、締付ネジ５２ｂを挿通する貫通孔５２ｃを有する本体部５２ａと締付ネジ５２ｂに螺合するネジ孔５２ｄを有する対向部５２ｅとの間に、伝送路基板６０を挟持して、締付ネジ５２ｂによって伝送路基板６０を固定する。
【００３５】
本体部５２ａは、同軸コネクタ部５１のパネル取付用フランジに当接する略直方体部分とこの略直方体部分に対して反同軸コネクタ部５１側（同軸ケーブル２２の挿入方向に対して反対側）に突出する略直方体部分とかららなる断面が略Ｌ字状となる角柱に、伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３を露出するように、凹部５２ｆを配設した形状である。
【００３６】
また、本体部５２ａは、同軸コネクタ部５１における内導体である心線５１ａ、並びに心線５１ａを中心として同心円状に配設している絶縁体及び外導体に対応する部分を、内部にそれぞれ延在させ、反同軸コネクタ部５１側の凹部５２ｆでピン５１ｃ、絶縁体部５１ｄ及びが外導体部５１ｅとして露出させている。特に、同軸コネクタ部５１の心線５１ａは、反同軸コネクタ部５１側の先端に近づくに従って径を徐々に小さくするテーパーを付けた先細り形状であり、反同軸コネクタ部５１側の凹部５２ｆに心線５１ａであるピン５１ｃを突出させている。
【００３７】
なお、この第１の実施形態においては、前述したアダプタ５０の構成要素を備えたものとして、Southwest Microwave, Incの「End Launch Connectors」があり、アダプタ５０として使用することが好ましい。
【００３８】
また、この第１の実施形態におけるアダプタ５０においては、本体部５２ａと対向部５２ｅとの間に、伝送路基板６０を挟持して、締付ネジ５２ｂによって伝送路基板６０を固定する変換部５２を示したが、伝送路基板６０を係止することができるのであれば、この構成に限られるものではない。
【００３９】
図３に示すように、伝送路基板６０は、セラミックスなどの誘電体を材料とした誘電体基板６１上に線状の導体箔を形成した電磁波を伝播するコプレーナ導波路であり、線状の導体箔が、プローブ３０の信号用探針３１ａに当接する信号パターン６２及びプローブ３０のグランド用探針３１ｂに当接するグランドパターン６３としてそれぞれ配設される。また、伝送路基板６０は、アダプタ５０の締付ネジ５２ｂを基板表面に対して垂直に挿通するための貫通孔６４を、導体箔が形成されていない両縁部に配設している。
【００４０】
このように、アダプタ５０のピン５１ｃと伝送路基板６０の信号パターン６２とを当接させ、アダプタ５０の外導体部５１ｅと伝送路基板６０のグランドパターン６３とを当接させたうえで、変換部５２で伝送路基板６０を係止することにより、同軸コネクタ部５１の同軸伝送路から伝送路基板６０のコプレーナ導波路に移行させることができる。
【００４１】
なお、この第１の実施形態における伝送路基板６０は、アダプタ５０のピン５１ｃ及び外導体部５１ｅの配置並びにプローブ３０の先端部３１における探針の配置を考慮して、誘電体基板６１における信号パターン６２及びグランドパターン６３のライン数、幅並びに配置を適宜設定するものである。特に、特性インピーダンスが５０Ω±５％以内を満たすように、ピン５１ｃに対する、信号パターン６２の幅Ｗｓ、グランドパターン６３の幅Ｗｇ、及び信号パターン６２とグランドパターン６３との間のスペースＳの最適な値、並びに信号パターン６２の幅ＷｓとスペースＳとの最適な比を導出し、最適なラインアンドスペースを設定する必要がある。
【００４２】
なお、プローブ３０は、各メーカーにより、信号用探針３１ａとグランド用探針３１ｂとの間隔が異なる製品が存在する。例えば、グランド−信号−グランドの三端子の先端部３１を有するプローブ３０であれば、信号用探針３１ａとグランド用探針３１ｂとの間隔が、標準的な範囲として、１５０μｍから１０００μｍまであり、５０μｍ毎に製品が存在する。このため、測定対象であるプローブ３０の仕様に応じて、アダプタ５０に装着する伝送路基板６０を入れ替える必要がある。
【００４３】
そこで、伝送路基板６０の入れ替えを最小限に抑えるために、グランドパターン６３の幅Ｗｇにある程度の幅を持たせることで、異なる間隔のプローブ３０に対応することができる。例えば、縦１３ｍｍ、横５ｍｍ、厚さ０．６３５ｍｍの矩形状の誘電体基板６１上に、信号パターン６２の幅Ｗｓが３００μｍ、グランドパターン６３の幅Ｗｇが１２００μｍであり、信号パターン６２及びグランドパターン６３間のスペースＳが１４０μｍである導体箔を形成する。
【００４４】
このラインアンドスペースにより、特性インピーダンスが５０Ω±５％以内を満たすことができると共に、例えば、信号用探針３１ａとグランド用探針３１ｂとの間隔が２００μｍ又は５００μｍの異なる間隔である複数のプローブ３０に対応することができる。
【００４５】
プローブ３０は、顕微鏡又はマニピュレーターを用いて、アダプタ５０に装着された伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３と信号用探針３１ａ及びグランド用探針３１ｂとをそれぞれ位置合わせした後に、プローブ３０の先端部３１と伝送路基板６０とを半田付けにより固着する。なお、伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３とプローブ３０の信号用探針３１ａ及びグランド用探針３１ｂとの位置合わせのために必要な精度は、数十ミクロンオーダーでよい。
【００４６】
以上のように、この第１の実施形態における誤差基準値検出装置１００は、電子校正装置４０のポート４１である同軸コネクタに接続することができる同軸ケーブル２２や、ネットワーク・アナライザ１０に接続するプローブ３０などのように、接続形態が異なる伝送路媒体同士であっても、アダプタ５０及び伝送路基板６０を用いることで電子校正装置４０に接続することができ、電子校正装置４０を用いたネットワーク・アナライザ１０によってプローブ３０における振幅損失及び位相損失を簡易に検出することができる。
【００４７】
特に、電子校正装置４０の複数のポート４１における校正を行なう場合であって、プローブや同軸ケーブルなどの伝送路媒体が異なる媒体同士を、電子校正装置４０にそれぞれ接続する場合であっても、本発明に係るアダプタ５０及び伝送路基板６０を用いない電子校正装置４０のように同軸ケーブル同士しか校正できないという制約がなく、従来の校正基板のようにプローブ同士しか校正できないという制約もない。
【００４８】
また、電子校正装置４０の複数のポート４１における校正を行なう場合であって、従来の校正基板では不可能であった、信号用探針３１ａ及びグランド用探針３１ｂの配置が異なる種類のプローブ（例えば、ＧＳプローブとＧＳＧプローブ）をそれぞれ接続して行なう校正も可能である。
【００４９】
また、電子校正装置４０の複数のポート４１における校正を行なう場合であって、隣り合う探針間のピッチが異なる複数のプローブ３０の校正が可能である。例えば、第１のポート４１ａに接続するプローブ３０の隣り合う探針間のピッチが５００μｍであり、第２のポート４１ｂに接続するプローブ３０の隣り合う探針間のピッチが１０００μｍである複数のプローブ３０の校正に適用でき、高周波プローブカードや半導体パッケージの測定に最適である。
【００５０】
また、同軸ケーブル及びウェーハ・プローブにおける振幅損失並びに位相損失を検出することができ、同軸コネクタを使用する高周波プローブカードにおける振幅損失及び位相損失を簡易に検出することができる。
【００５１】
さらに、ネットワーク・アナライザの２つのポート１２における校正を行なう場合であり、ＳＯＬＴ（Short,Open,Load,Thru）校正法を行なう場合であっても、伝送路基板６０とプローブ３０との接触は１つのポート１２につき１回（合計２回）の接触でよいために、従来の校正基板による校正（接触回数が合計８回）と比較して、大幅に校正に掛かる時間を短縮することができる。特に、差動プローブにおける校正の煩雑さを解消することができる。
【００５２】
（本発明の第２の実施形態）
図７（ａ）はこの発明を実施するための第２の実施形態における誤差基準値検出装置のアダプタの概略構成を示す平面図、図７（ｂ）は図７（ａ）に示すアダプタの反同軸コネクタ部側からみた側面図、図８は図７に示すアダプタの概略構成を示す斜視図である。図７及び図８において、図１乃至図６と同じ符号は、同一または相当部分を示し、その説明を省略する。
【００５３】
この第２の実施形態においては、アダプタ５０の変換部５２に嵌合部５３を有するところのみが第１の実施形態と異なるところであり、後述する嵌合部５３による作用効果以外は、第１の実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００５４】
図７及び図８に示すように、嵌合部５３は、本体部５２ａのうち反同軸コネクタ部５１側の側面に対して凹設しており、前述した第１の実施形態における凹部５２ｆの変形例である。
【００５５】
嵌合部５３は、伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３に対して、プローブ３０の信号用探針３１ａ及びグランド用探針３１ｂを位置決めするように、プローブ本体部３２と嵌合する形状である。例えば、嵌合部５３は、変換部５２の本体部５２ａの側端に凹部として形成され、この凹部の奥端部５３ａから開口入口部５３ｂに向かって拡開状に形成される構成である。
プローブ３０のプローブ本体部３２は、後端部３２ｃから先端部３２ｄに向かって先細状に形成され、この先細り形状が、嵌合部５３の凹部に嵌合することになる。
【００５６】
また、嵌合部５３は、プローブ本体部３２の先端部３２ｄから傾斜している第１の外側面３２ｅ、第２の外側面３２ｆ及び第３の外側面３２ｇの傾斜角とそれぞれ一致するような傾斜角を有する第１の内側面５３ｃ、第２の内側面５３ｄ及び第３の内側面５３ｅを備え、プローブ３０の先端部３１がアダプタ５０の本体部５２ａに接触しないような間隙５３ｆを配設している。
【００５７】
すなわち、プローブ本体部３２が先細り形状である場合（先端部３２ｄ側の第２の外側面３２ｆの辺の長さＬ１とその辺に対向する辺の長さＬ２との大小関係がＬ１＜Ｌ２である場合、及び／又は、先端部３２ｄ側の第１の外側面３２ｅ若しくは第３の外側面３２ｇの辺の長さｈ１とその辺に対向する辺の長さｈ２との大小関係がｈ１＜ｈ２である場合）には、嵌合部５３は、プローブ３０の挿入口である開口入口部５３ｂの面積が広く、奥端部５３ａ側に向かうほど断面積が狭くなる形状である。
【００５８】
この第２の実施形態においては、嵌合部５３の各内側面に、プローブ本体部３２の外側面を摺接して、アダプタ５０に対してプローブ３０をスライド移動させることで、プローブ３０の先端部３１を伝送路基板６０の所定の位置に導き、伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３と、プローブ３０の信号用探針３１ａ及びグランド用探針３１ｂとの位置合わせを、精度よく容易に行なうことができると共に、接触操作に掛かる時間を短縮することができる。
【００５９】
なお、この第２の実施形態においては、既存のプローブ３０の形状に嵌合するように、アダプタ５０の本体部５２ａの形状を変形した例を示したが、既存のアダプタ５０の形状に嵌合するように、プローブ３０のプローブ本体部３２の形状を変形することによって、伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３と、プローブ３０の信号用探針３１ａ及びグランド用探針３１ｂとの位置合わせを行なってもよい。
【００６０】
（本発明の第３の実施形態）
図９（ａ）この発明を実施するための第３の実施形態における誤差基準値検出装置のアタッチメントを説明するための説明図、図９（ｂ）は図９（ａ）に示すアタッチメントの反同軸コネクタ部側からみた側面図である。図９において、図１乃至図８と同じ符号は、同一または相当部分を示し、その説明を省略する。
【００６１】
この第３の実施形態においては、アタッチメント７０によって伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３にプローブ３０の先端部３１を位置決めするところのみが第１の実施形態及び第２の実施形態と異なるところであり、後述するアタッチメント７０による作用効果以外は、第１の実施形態及び第２の実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００６２】
図９に示すように、アタッチメント７０は、伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３に対して、プローブ３０の信号用探針３１ａ及びグランド用探針３１ｂを位置決めするように、アダプタ５０の変換部５２における凹部５２ｆの内側面及びプローブ３０のプローブ本体部３２の外側面にそれぞれ当接し、アダプタ５０の変換部５２における凹部５２ｆ及びプローブ３０のプローブ本体部３２との間に介装する。
【００６３】
例えば、アタッチメント７０は、プローブ３０のプローブ本体部３２における、プローブ３０の先端部３１から傾斜している外側面の傾斜角と一致するような傾斜角を有する内側面７０ａを備え、プローブ３０の先端部３１がアダプタ５０の本体部５２ａに接触しないような間隙７０ｂを配設している。また、アタッチメント７０の外側面は、アダプタ５０の変換部５２における凹部５２ｆの内側面に当接するように、アタッチメント７０の外形を設定する。
【００６４】
この第３の実施形態においては、アタッチメント７０を使用することで、プローブ３０及びアダプタ５０の形状を変形することなく、既存のプローブ３０及びアダプタ５０における、伝送路基板６０の信号パターン６２及びグランドパターン６３と、プローブ３０の信号用探針３１ａ及びグランド用探針３１ｂとの位置合わせを、精度よく容易に行なうことができ、接触操作に掛かる時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】この発明を実施するための第１の実施形態における誤差基準値検出装置の概略構成を示す説明図である。
【図２】この発明を実施するための第１の実施形態における他の誤差基準値検出装置の概略構成を示す説明図である。
【図３】（ａ）は図１に示すアダプタの変換部に係止される伝送路基板の概略構成を示す平面図、（ｂ）は図３（ａ）に示す伝送路基板の矢視Ａ−Ａ線の断面図である。
【図４】図１に示すアダプタの概略構成を示す分解斜視図である。
【図５】（ａ）は図４に示すアダプタの矢視Ｂ−Ｂ線の断面図、（ｂ）は図４に示すアダプタの矢視Ｃ−Ｃ線の断面図である。
【図６】図１に示すプローブと伝送路基板との接続状態を説明するための部分拡大図である。
【図７】（ａ）はこの発明を実施するための第２の実施形態における誤差基準値検出装置のアダプタの概略構成を示す平面図、（ｂ）は図７（ａ）に示すアダプタの反同軸コネクタ部側からみた側面図である。
【図８】図７に示すアダプタの概略構成を示す斜視図である。
【図９】（ａ）この発明を実施するための第３の実施形態における誤差基準値検出装置のアタッチメントを説明するための説明図、（ｂ）は図８（ａ）に示すアタッチメントの反同軸コネクタ部側からみた側面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０    ネットワーク・アナライザ
１１    信号源
１２    ポート
１２ａ  第１のポート
１２ｂ  第２のポート
１３    方向性結合器
１３ａ  第１の方向性結合器
１３ｂ  第２の方向性結合器
２１，２２    同軸ケーブル
３０    プローブ
３１    先端部
３１ａ  信号用探針
３１ｂ  グランド用探針
３２    プローブ本体部
３２ａ  ネジ孔
３２ｂ  同軸コネクタ
３２ｃ  後端部
３２ｄ  先端部
３２ｅ  第１の外側面
３２ｆ  第２の外側面
３２ｇ  第３の外側面
４０    電子校正装置
４１    ポート
４１ａ  第１のポート
４２ｂ  第２のポート
５０    アダプタ
５１    同軸コネクタ部
５１ａ  心線
５１ｂ  取付ネジ
５１ｃ  ピン
５１ｄ  絶縁体部
５１ｅ  外導体部
５２    変換部
５２ａ  本体部
５２ｂ  締付ネジ
５２ｃ  貫通孔
５２ｄ  ネジ孔
５２ｅ  対向部
５２ｆ  凹部
５３    嵌合部
５３ａ  奥端部
５３ｂ  開口入口部
５３ｃ  第１の内側面
５３ｄ  第２の内側面
５３ｅ  第３の内側面
５３ｆ  間隙
６０    伝送路基板
６１    誘電体基板
６２    信号パターン
６３    グランドパターン
６４    貫通孔
７０    アタッチメント
７０ａ  内側面
７０ｂ  間隙
１００    誤差基準値検出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009014385.tif 000009
【図８】
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【図９】
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