(57)【要約】【課題】有機層を用いることなく、耐熱性を向上させた反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法を提供する。【解決手段】プラスチックレンズ基材の表面に直接または他の層を介して多層反射防止膜を有するプラスチックレンズ。前記多層反射防止膜は、金属元素が同一であり、かつ酸素含有量が異なる少なくとも２つの金属酸化物層を隣接して有する複合層を含む。上記のプラスチックレンズの製造方法。前記複合層を構成する各金属酸化物層は、同一の蒸発源を用い、かつ隣接する層同士は、反応性酸素ガス分圧が異なる条件下で蒸着することで形成されることを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチックレンズ基材の表面に直接または他の層を介して多層反射防止膜を有するプラスチックレンズであって、
前記多層反射防止膜は、金属元素が同一であり、かつ酸素含有量が異なる少なくとも２つの金属酸化物層を隣接して有する複合層を含むことを特徴とするプラスチックレンズ。
【請求項２】
前記複合層を構成する金属酸化物層のうち少なくとも１層は、酸素含有量が化学量論未満であることを特徴とする請求項１に記載のプラスチックレンズ。
【請求項３】
前記複合層を構成するすべての金属酸化物層は、酸素含有量が化学量論未満の酸化物からなることを特徴とする請求項１または２に記載のプラスチックレンズ。
【請求項４】
前記複合層を構成する、酸素含有量が最も少ない金属酸化物層の膜厚が、５ｎｍ以下である請求項１〜３のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項５】
前記複合層は、２つの金属酸化物層からなることを特徴とする請求項１のプラスチックレンズ。
【請求項６】
前記多層反射防止膜は高屈折率層及び低屈折率層を含み、前記複合層は、前記高屈折率層及び低屈折率層とは異なる金属元素を含む金属酸化物で構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項７】
前記複合層を構成する金属酸化物層の最外側層は、反射防止膜の外側から２層目になるように、前記複合層は前記反射防止膜に含まれる請求項１〜６のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項８】
前記複合層を構成する金属酸化物層の最外側層は、酸素含有量が最も少ない金属酸化物層である請求項７に記載のプラスチックレンズ。
【請求項９】
前記複合層を構成する金属酸化物層は、導電性酸化物で構成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項１０】
前記複合層を構成する金属酸化物層は、インジウム錫酸化物、チタン酸化物、インジウム亜鉛酸化物またはインジウム酸化物からなることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載のプラスチックレンズの製造方法であって、
前記複合層を構成する各金属酸化物層は、同一の蒸発源を用い、かつ隣接する層同士は、反応性酸素ガス分圧が異なる条件下で蒸着することで形成されることを特徴とする、前記製造方法。
【請求項１２】
前記蒸着は、イオンプレーティング法、プラズマCVD法、イオンアシスト法、および反応性スパッタリング法からなる群から選択される方法で行われる請求項１１に記載の製造方法。
【請求項１３】
前記蒸着は、イオンアシスト法で行われる請求項１１に記載の製造方法。
【請求項１４】
プラスチックレンズ基材の表面に直接または他の層を介して、高屈折率層及び低屈折率層を任意の順番で、任意の回数繰り返して積層し、積層した高屈折率層及び低屈折率層の上に、前記複合層を形成する請求項１１〜１３のいずれかに記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
合成樹脂からなる光学部材、例えば、プラスチックレンズの表面反射特性を改善するために、合成樹脂の表面上に反射防止膜を施すことは良く知られている。
【０００３】
無機反射防止膜は、プラスチックレンズ基板との熱膨張係数の違いから、一般に、有機反射防止膜（例えば、特開2005-234311号公報(特許文献1))よりも熱特性が悪い。特開2007-78780号公報(特許文献2)には、無機反射防止膜の弱点を補うために、蒸着成膜された無機層と塗布成膜された有機層が共存する形の反射防止膜を製造する方法が開示されている。特許文献2では、反射防止効果の高い無機層と耐熱効果の高い有機層を共存させることで、耐熱性に優れるプラスチックレンズを得ている。
【０００４】
さらに、プラスチックレンズについては、上記反射防止機能に加えて、帯電防止機能を付与した導電性反射防止膜を設けることも行われている（例えば、米国特許6852406号(特許文献3)）。
【特許文献１】特開2005-234311号公報
【特許文献２】特開2007-78780号公報
【特許文献３】米国特許6852406号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献2に記載の方法では、反射防止膜の表面の低屈折率層に有機物の低屈折率層を形成している。反射防止膜の形成に無機層を成形する蒸着法と有機層を形成する塗布工程が必要となり、製造過程が複雑化する。また、有機層と無機層の密着性を良くするためには、接合界面を極めて清浄化する必要がある。光学的性質を付与する反射防止膜で、密着不良による剥がれや、（有機層の）塗布斑が生じると、得られるレンズの見た目が悪くなり、あるいは反射防止効果が低下する。熱特性を付与するために、異なる手段で形成された有機層と無機層が共存する反射防止膜を成膜するのは、現実的では無い。
【０００６】
特許文献3に記載の導電性反射防止膜は、表面抵抗値にバラツキが生じてしまい歩留まりが悪かった。従来の製造方法でも、設計値の導電率のレンズが得られましたが、品質にバラツキが生じてしまう、という問題があった。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、有機層を用いることなく、耐熱性を向上させた反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法を提供することにある。
【０００８】
さらに本発明は、有機層を用いることなく、耐熱性を向上させた反射防止膜を有するプラスチックレンズであって、さらに、表面抵抗値のバラツキの少ない導電性反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下のとおりである。
[１]プラスチックレンズ基材の表面に直接または他の層を介して多層反射防止膜を有するプラスチックレンズであって、
前記多層反射防止膜は、金属元素が同一であり、かつ酸素含有量が異なる少なくとも２つの金属酸化物層を隣接して有する複合層を含むことを特徴とするプラスチックレンズ。
[２]前記複合層を構成する金属酸化物層のうち少なくとも１層は、酸素含有量が化学量論未満であることを特徴とする[１]に記載のプラスチックレンズ。
[３]前記複合層を構成するすべての金属酸化物層は、酸素含有量が化学量論未満の酸化物からなることを特徴とする[１]または[２]に記載のプラスチックレンズ。
[４]前記複合層を構成する、酸素含有量が最も少ない金属酸化物層の膜厚が、５ｎｍ以下である[１]〜[３]のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
[５]前記複合層は、２つの金属酸化物層からなることを特徴とする[１]のプラスチックレンズ。
[６]前記多層反射防止膜は高屈折率層及び低屈折率層を含み、前記複合層は、前記高屈折率層及び低屈折率層とは異なる金属元素を含む金属酸化物で構成されていることを特徴とする[１]〜[４]のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
[７]前記複合層を構成する金属酸化物層の最外側層は、反射防止膜の外側から２層目になるように、前記複合層は前記反射防止膜に含まれる[１]〜[６]のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
[８]前記複合層を構成する金属酸化物層の最外側層は、酸素含有量が最も少ない金属酸化物層である[７]に記載のプラスチックレンズ。
[９]前記複合層を構成する金属酸化物層は、導電性酸化物で構成されていることを特徴とする[１]〜[８]のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
[１０]前記複合層を構成する金属酸化物層は、インジウム錫酸化物、チタン酸化物、インジウム亜鉛酸化物またはインジウム酸化物からなることを特徴とする[１]〜[９]のいずれかに記載のプラスチックレンズ。
[１１][１]〜[１０]のいずれかに記載のプラスチックレンズの製造方法であって、
前記複合層を構成する各金属酸化物層は、同一の蒸発源を用い、かつ隣接する層同士は、反応性酸素ガス分圧が異なる条件下で蒸着することで形成されることを特徴とする、前記製造方法。
[１２]前記蒸着は、イオンプレーティング法、プラズマCVD法、イオンアシスト法、および反応性スパッタリング法からなる群から選択される方法で行われる[１１]に記載の製造方法。
[１３]前記蒸着は、イオンアシスト法で行われる[１１]に記載の製造方法。
[１４]プラスチックレンズ基材の表面に直接または他の層を介して、高屈折率層及び低屈折率層を任意の順番で、任意の回数繰り返して積層し、積層した高屈折率層及び低屈折率層の上に、前記複合層を形成する[１１]〜[１３]のいずれかに記載の製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、有機層を用いることなく、耐熱性を向上させた反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法を提供することができる。
【００１１】
さらに、本発明によれば、有機層を用いることなく、耐熱性を向上させた反射防止膜を有するプラスチックレンズであって、さらに、表面抵抗値のバラツキの少ない導電性反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
［プラスチックレンズ］
本発明のプラスチックレンズは、プラスチックレンズ基材の表面に直接または他の層を介して多層反射防止膜を有するプラスチックレンズである。本発明のプラスチックレンズは、前記多層反射防止膜が、金属元素が同一であり、かつ酸素含有量が異なる少なくとも2つの金属酸化物層を隣接して有する複合層を含むことを特徴とする。
【００１３】
本発明において、前記複合層は少なくとも2つの金属酸化物層を隣接して有し、これら金属酸化物層は、含まれる金属元素は同一であり、酸素含有量が異なる層である。前記複合層は、例えば、２つの金属酸化物層からなるか、３つの金属酸化物層からなることができる。４つ以上の金属酸化物層からなることもできる。このような、金属元素が同一で酸素含有量が異なる酸化物層が隣接して重なり合っている複合層を反射防止膜中に備えることで、このような反射防止膜を設けたプラスチックレンズの耐熱特性を向上させることができる。
【００１４】
前記複合層を構成する金属酸化物層のうち少なくとも１層は、酸素含有量が化学量論未満であることが耐熱効果を向上させるという観点から好ましい。酸素含有量が化学量論未満であるとは、具体的には、酸化物中の化学量論量と比較して０．１mol％〜２０mol％の割合の範囲で酸素が不足していることであり、このようにすることが、耐熱性向上効果を得るために適当である。
【００１５】
前記複合層を構成するすべての金属酸化物層が、酸素含有量が化学量論未満の酸化物からなることもできる。この場合、すべての金属酸化物層は、酸素含有量が化学量論未満の酸化物からなり、かつ化学量論未満の範囲で酸素含有量は異なる。
【００１６】
前記複合層を構成する金属酸化物層のうち、酸素含有量が最も少ない金属酸化物層の膜厚は、５ｎｍ以下であることが好ましい。酸素含有量が少ない酸化物層ほど可視光線に対する吸収性を有することから、酸素含有量が最も少ない金属酸化物層の膜厚が厚くなると、着色が顕著になる傾向があり、この点と、複合層を設ける効果を得る、という観点を考慮すると、酸化物層の膜厚は、５ｎｍ以下であることが好ましい。酸素含有量が最も少ない金属酸化物層の膜厚の下限は、上記観点の内、特に、本発明に係る複合層である酸化物層を設ける効果を得るという観点からは、０．５ｎｍ以上である。また、前記複合層が３つの金属酸化物層からなり、その第1層および第3層が、第2層に比べて酸素含有量が少ない金属酸化物層である場合、第1層および第3層（一方が、酸素含有量が最も少ない金属酸化物層であり、他方がその次に酸素含有量が少ない金属酸化物層である）ともに膜厚は、５ｎｍ以下であることが、上記観点から好ましい。
【００１７】
前記多層反射防止膜は、高屈折率層及び低屈折率層を含み、前記複合層は、前記高屈折率層及び低屈折率層とは異なる金属元素を含む金属酸化物で構成されていることが適当である。
【００１８】
多層反射防止膜は、具体的には、高屈折率層と低屈折率層を有する多層反射防止膜であり、異なる材質の酸化物を交互に積層して形成することができる。高屈折率層を構成する酸化物としては、例えば、酸化ニオブ、酸化タンタル、及び、酸化ジルコニウム等を挙げることができる。低屈折率層を構成する酸化物としては、例えば、二酸化ケイ素、及び、ケイ素とアルミニウムの混合酸化物等を挙げることができる。
【００１９】
複合層を構成する金属酸化物は、複合層を含む反射防止膜を備えた場合においてプラスチックレンズの光学特性が高いレベルで維持できるものであればよく、金属酸化物（具体的には金属酸化物に含まれる金属）の種類は限定されない。但し、本発明において、前記複合層は、高屈折率層と低屈折率層を構成する金属酸化物とは異なる導電性を有する酸化物で構成されることが好ましい。通常の反射防止用の金属酸化物材料では導電性は得られないが、耐殺傷性のある膜とすることできる。それに対して、インジウム錫酸化物等の導電性を有する酸化物の層では導電性は得られるが、高屈折率全層に適用するには、耐殺傷性が不十分だからである。
【００２０】
複合層に適用可能な好ましい酸化物としては、例えば、インジウム錫酸化物、チタン酸化物、インジウム亜鉛酸化物またはインジウム酸化物が挙げられる。これらの酸化物は、導電性を有する酸化物であり、プラスチックレンズの耐熱性向上効果に加えて、表面の帯電防止効果を付与することができるという観点から好ましい。さらに、前記複合層は、帯電防止効果を高いレベルで安定して付与ことができる、という観点からインジウム錫酸化物であることが好ましい。
【００２１】
複合層が導電性酸化物で構成されている場合、複合層を形成するすべての層の酸化物は、酸素含有量が化学量論量未満であることが好ましい。酸素欠損状態の導電性酸化物は、酸化物内に正電荷のサイトを有する。酸素含有量が化学量論量未満であると、複合層の導電性が向上するため、プラスチックレンズの帯電防止効果がさらに向上する。この場合、酸素含有量が少ない酸化物層は、化学量論量よりも０．１〜２０ｍｏｌ％の割合の範囲で酸素が不足している酸化物からなることが好ましく、他の層は、１×１０-5〜１０ｍｏｌ％の範囲の割合で不足している酸化物からなることが好ましい。
【００２２】
上記のように異なる材料が積層される多層反射防止膜においては、一般に、材料毎の熱特性の違いから、熱疲労により層間に細かなヒビが入る内部亀裂が生じやすい。本発明はこのような課題を解決することを第一の目的としており、そのために、多層反射防止膜に、前述の複合層を含める。同一の金属種の酸化物であっても、その酸化物に含まれる酸素含有量が異なると応力に対する変化の特性が異なる。酸素含有量が異なる2つの金属酸化物層が隣接することで、熱膨張等による引張応力や圧縮応力をうまく相殺することができる。特に、複合層に含まれる少なくとも1つの層の酸素が化学量論量よりも不足している酸素欠損状態の酸化物層あると、金属元素の結合手が空き、層中の金属元素の結合手が空くと、その層が柔軟になる。酸素欠損層は、その柔軟性から物質間の熱膨張率の違いによる歪みを好適に吸収することができる。本発明においては、多層反射防止膜が酸素欠損を有する層を含むことで、表面処理層の内部亀裂が抑制され、レンズの耐熱性能が向上する。
【００２３】
前記複合層を構成する金属酸化物層の最外側層は、反射防止膜の外側から２層目になるように、前記複合層は前記反射防止膜に含まれることが好ましい。さらに、前記複合層を構成する金属酸化物層の最外側層は、酸素含有量が最も少ない金属酸化物層であることが好ましい。酸素含有量が化学量論量未満である酸化物層は、複合層に１層設け、反射防止膜の外側から２層目に含まれることが、表面処理層の内部亀裂が抑制され、レンズの耐熱性能が向上する、という効果を良好に発揮するという観点から好ましい。熱による微細な亀裂は、反射防止膜において、外層に向けてより形成されやすくなる。酸素欠損層を最も外側の低屈折率層の直下に形成すると、熱歪みによる微細亀裂を好適に抑制することができる。
【００２４】
プラスチックレンズ基材は、特に限定されず、例えば、メチルメタクリレート単独重合体、メチルメタクリレートと１種以上の他のモノマーとの共重合体、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート単独重合体、ジエチレングリコールビスアリルカーボネートと１種以上の他のモノマーとの共重合体、イオウ含有共重合体、ハロゲン含有共重合体、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、不飽和ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリウレタン等が挙げられる。プラスチックレンズ基材の屈折率は、例えば、１．５〜１．８であることが好ましい。
【００２５】
本発明のプラスチックレンズは、プラスチックレンズ基材と反射防止膜との間に下地層が設けられることが好ましい。下地層の材質としては、二酸化ケイ素層が好ましい。また、下地層を成膜する前に、金属ニオブを蒸着してもよい。
【００２６】
本発明のプラスチックレンズは、プラスチックレンズ基材と反射防止膜あるいは前記下地層との間に、硬化被膜を有してもよい。硬化被膜としては、通常、金属酸化物コロイド粒子と有機ケイ素化合物よりなるコ−ティング組成物を硬化したものが一般的に用いられる。前記金属酸化物コロイド粒子としては、例えば、酸化タングステン（ＷＯ3）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ケイ素（ＳｉＯ2)、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3)、酸化チタニウム（ＴｉＯ2)、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2)、酸化スズ（ＳｎＯ2)、酸化ベリリウム（ＢｅＯ）又は酸化アンチモン（Ｓｂ2Ｏ5)等が挙げられ、単独又は２種以上を併用することができる。
【００２７】
さらに、硬化被膜とプラスチックレンズ基材の密着性を向上させるために、プライマー層を形成しても良い。プライマー層を形成すると、プラスチックレンズの耐衝撃性が向上する効果が付与される。プライマー層の構成材料としては、ウレタン系材料が挙げられる。
【００２８】
さらに、前記反射防止膜の最外層の上に、必要に応じ、撥水層が設けられていても良い。
【００２９】
［プラスチックレンズの製造方法］
以下に、本発明のプラスチックレンズの製造方法について説明する。
反射防止膜は、上記のように、異なる材質の酸化物を交互に積層して高屈折率層と低屈折率層を形成することで調製される。その中で、複合層中の酸素含有量が少ない酸化物層は、隣接する酸化物を成膜するときよりも反応性酸素ガスの供給量が少ない条件下（すなわち、酸素分圧の少ない環境下）で蒸着によって形成される。酸素含有量が少ない酸化物層以外複合層及び複合層以外の反射防止膜を構成する層も、蒸着により形成されることが、製造方法を簡便にするという観点から好ましい。
【００３０】
複合層は、例えば、通常の反応性酸素ガスの供給量条件下で成膜された酸化物層を形成し、次いで、その上面に隣接して酸素含有量が少なくなるような反応性酸素ガスの供給量条件で成膜して、酸化物層が重なり合っている２層構造の複合層とすることで形成できる。あるいは、通常の反応性酸素ガスの供給量条件下で成膜された酸化物層の上下両面に酸素含有量が少なくなるような反応性酸素ガスの供給量条件下で成膜して、酸化物層が重なり合っている３層構造の複合層を形成することもできる。前述のように、複合層によって耐熱性能を効率よく付与する形態としては、上側（表面側）の層の酸素含有量が下側（基板側）の酸素含有量よりも少ない２層構造の複合層が挙げられる。プラスチックレンズには上側（表面側）から下側（基板側）に向けて熱が加わるので、複合層における上側の層に酸素含有量が少ない層を配置することで、プラスチックレンズの耐熱性能をより効果的に向上させることができる。
【００３１】
反応性酸素ガスの存在下で蒸着する方法としては、イオンプレーティング法、プラズマCVD法、イオンアシスト法、および反応性スパッタリング法等を挙げることかできる。このような方法によれば、反応性酸素ガスの供給量を調整することで、酸素含有量の少ない酸化物層を成膜することができる。特に、イオンアシスト法であることが、層中に微視的な空隙が形成されにくく緻密な層が得られるという観点から好ましい。
【００３２】
イオンアシスト蒸着等の反応性酸素ガスの存在下で蒸着する方法は、公知の方法である。蒸着を反応性酸素ガス雰囲気下で行って、蒸着層を成膜することで、酸化物の酸化度を制御することができる。特に、イオンアシスト蒸着により酸素ガスイオン量を調節することで層の酸素欠損量を容易に調整することができる。酸素ガスイオン量の調節は、酸素ガスに加えて、アルゴンガス等の不活性ガスを、適量混在させることで行うことができる。
【００３３】
酸素量の調整を酸素アシスト法により行うと、層中の酸化度が規定される。結果、レンズの光学特性を高レベルに維持しながら、耐熱性に優れるレンズを得ることができる。
【００３４】
本発明のプラスチックレンズの反射防止膜においては、前述のように、複合層は、隣接する酸化物層よりも酸素含有量が少ない酸化物層が含まれる層であり、酸素含有量が少ない酸化物層と複合層に含まれる他の酸化物層の、酸素含有量以外の組成は同一である層を有することが好ましい。この場合、複合層は、酸素含有量が少ない層と酸素含有量以外の組成は同一であるその他の層も、イオンアシスト蒸着によって形成されることが好ましい。具体的には、酸素含有量が少ない酸化物層および酸素含有量以外の組成は同一であるその他の酸化物層は、同一蒸発源を用いて、酸素ガス濃度を変えて複数回実施されるイオンアシスト蒸着により形成される。同一蒸発源を用いて、酸素ガス濃度を変えるだけで、酸素含有量が異なる酸化物層を形成できることから、製造方法を簡便にすることができる。蒸発源を変更することなく、成膜時の酸素量のみを調整するだけで成膜できるので、酸化度の低い層の形成を簡単に行うことができる。
【００３５】
反射防止効果に加えて、複合層を導電性酸化物で形成することで、導電性を付与することができる。導電性酸化物（例えば、ＩｎＳｎＯ、ＩｎＺｎＯ、Ｉｎ2Ｏ3）は、一般に反応性酸素ガスを供給しながら成膜することができる。また、酸素供給量が少ない条件の蒸着工程を含むことで、得られる反射防止膜表面の表面抵抗が低くなる。さら、表面抵抗値がレンズ毎にばらつく現象を抑制することができる。
【００３６】
本発明によれば、優れた耐熱性能と優れた反射防止効果を有しながら、かつ、着色の少ないプラスチックレンズを得ることができる。本発明は、特に眼鏡用プラスチックレンズの反射防止膜の成膜に適している。
【実施例】
【００３７】
以下に本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。
【００３８】
実施例１
以下の条件で本実施例のサンプルを１６個製作した。膜構成は、図１に示す。
予めハードコートが施されたプラスチック基材（プラスチックレンズ：ＨＯＹＡ(株)製商品名：フェニックス、屈折率１．５３）の表面に第１層の下地層（低屈折率層）である酸化ケイ素層を形成し、その上に第２層〜第９層の反射防止膜を形成した。
【００３９】
第１層、第３層、第５層、及び、第９層は、真空蒸着法で低屈折率材料の酸化ケイ素を蒸着して形成した。
第２層、第４層、及び、第６層は、真空蒸着法で高屈折率材料の酸化ニオブを蒸着して形成した。
【００４０】
第７層と第８層は、酸素ガスイオンを導入して酸化物層を形成するイオンアシスト蒸着を行ってITO層を形成した。第７層は酸素ガスイオンのみを導入する方法で行い、第８層は酸素ガスイオンとアルゴンガスイオンを導入する方法で行った。導入する酸素ガスイオンは第８層よりも第７層が多く、第８層のITOの酸化度が低くなるように形成した。酸化度の低いITO層は、一般に光の吸収率が高い。第８層の層の厚みが増すとレンズ自体の吸収率も高くなるため、第８層は、吸収率の上昇が最小限に抑えられるように光学膜厚で５nm以下の層厚に設定した。
【００４１】
反射防止膜の成膜条件と構成を表１に示す。成膜時の膜厚管理は、光学膜厚測定で行った。なお、表１中の光学膜厚は、λ＝５００ｎｍの波長における光学膜厚を示している。なお、実膜厚は光学膜厚と屈折率の積算値から算出することができる。
【００４２】
＜蒸着構成＞
【表１】
2009128820.tif 000003
【００４３】
比較例１
以下の条件で比較例のサンプルを１６個製作した。膜構成は、図２に示す。
本比較例では、実施例１の反射防止膜において第８層のITO（酸素不足層）が形成されていない構成の反射防止膜を有するサンプを１６サンプル製作した。反射防止膜の成膜条件と構成を表２に示す。
【００４４】
【表２】
2009128820.tif 000004
【００４５】
耐熱性試験(i)
以下の条件で耐熱性試験を実施した。試験は、蒸着膜形成直後の反射防止膜を有するレンズをオーブンに１時間入れて加熱した後、１０分間冷却し、クラックの有無を調べる手法で行った。加熱温度は、５０℃から５℃毎におこないクラックが発生する温度を調べた。本試験は、２枚の実施例と２枚の比較例のレンズで行った。結果を表３に示す。
【００４６】
【表３】
2009128820.tif 000005
【００４７】
上記結果から、酸素量の少ないITO層が含まれている実施例１，２のレンズは、比較例１、２よりも耐熱温度が１０℃ほど上昇することがわかった。
【００４８】
耐熱性試験(ii)
本試験では、周縁加工が施され、フレームに固定された状態のレンズについて、耐熱性試験を行った。なお、試験は、各サンプルが同形状に周縁加工が施されており、同形状のフレームに固定された状態で行った。試験方法は、上記耐熱性試験(i)と同様の方法で行った。本試験は、２枚の実施例と２枚の比較例のレンズで行った。結果を４に示す。
【００４９】
【表４】
2009128820.tif 000006
【００５０】
上記試験から実施例３、４は、比較例３、４よりも５〜１０℃ほど耐熱性が向上していることがわかった。
フレームに固定され、その固定による歪みが加わった場合でも、酸素量の少ないITO層を含むことで、耐熱性が向上することがわかった。
【００５１】
表面抵抗値の測定
実施例１２サンプルと比較例１２サンプルのそれぞれの表面抵抗値を計測した。結果を表５及び図３のグラフに示す。
【００５２】
【表５】
2009128820.tif 000007
【００５３】
表５、図３に示すように、実施例のサンプルは、比較例のサンプルよりも凸面と凹面の両方で、表面抵抗が低い。また、図３に示すように、実施例では、凹面と凸面のいずれも抵抗値が安定しており、サンプル毎の抵抗値のばらつきが少なかった。一方、比較例では、サンプル毎に抵抗値がばらつき、特に、凸面の抵抗値のばらつきが著しかった。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、プラスチックレンズに関する分野に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施例１の膜構成を示す模式図。
【図２】比較例１の膜構成を示す模式図。
【図３】実施例と比較例の表面抵抗値を示すグラフである。
【図１】
2009128820.tif 000008
【図２】
2009128820.tif 000009
【図３】
2009128820.tif 000010