(57)【要約】【課題】１台で複数種類の基板をランダムに且つ効率よく検査することができる基板検査装置を提供する。【解決手段】外寸が互いに異なる複数種類の基板１０Ａ〜Ｃをそれぞれセット可能な共通治具１４０が装着された基板載置部（支持台）１３０と、基板載置部上の基板を撮像する撮像手段１１０と、基板載置部上の基板の種類を識別する基板種別情報を取得する基板種別情報取得手段１５０と、複数種類の基板それぞれに対応する複数の検査用プログラムを記憶する記憶手段と、基板載置部上の検査対象の基板について取得された基板種別情報に基づいて、複数の検査用プログラムから基板に対応する検査用プログラムを選択して実行することにより、撮像手段による基板の撮像を行うとともに、撮像された基板の画像データを用いて基板の検査結果を出すように検査用データ処理を行う検査処理手段とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外寸が互いに異なる複数種類の基板を検査する基板検査装置であって、
該複数種類の基板をそれぞれセット可能な共通治具が装着された基板載置部と、
該基板載置部上の基板を撮像する撮像手段と、
該基板載置部上の基板の種類を識別する基板種別情報を取得する基板種別情報取得手段と、
該複数種類の基板それぞれに対応する複数の検査用プログラムを記憶する記憶手段と、
該基板載置部上の検査対象の基板について取得された基板種別情報に基づいて、該複数の検査用プログラムから該基板に対応する検査用プログラムを選択して実行することにより、該撮像手段による該基板の撮像を行うとともに、該撮像された基板の画像データを用いて該基板の検査結果を出すように検査用データ処理を行う検査処理手段と、
を備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
請求項１の基板検査装置において、
上記記憶手段は、上記複数の検査用プログラムのうち上記複数種類の基板に共通に用いる部分を共通の検査用メインプログラムとして記憶するとともに、該複数種類の基板ごとに異なる部分を複数の検査用サブプログラムとして記憶し、
上記検査処理手段は、上記検査用メインプログラムの実行を開始した後、上記取得された基板種別情報に基づいて上記複数の検査用サブプログラムから検査対象の基板に対応する検査用サブプログラムを選択して実行することを特徴とする基板検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２の基板検査装置において、
上記記憶手段は、上記複数種類の基板それぞれに対応する複数の検査判定用基準データを記憶し、
上記検査処理手段は、上記取得された基板種別情報に基づいて上記複数の検査判定用基準データから検査対象の基板に対応する検査判定用基準データを選択して上記検査用データ処理に用いることを特徴とする基板検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかの基板検査装置において、
上記共通治具の面上に複数並ぶ程度の外寸を有する小サイズの基板を検査する場合、該小サイズの基板を複数セット可能な小サイズ基板用治具を、上記共通治具上に装着したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかの基板検査装置において、
上記検査処理手段は、上記基板載置部上の基板の基板種別情報に基づいて、該基板の検査対象面が片面か両面かを判定し、その判定結果に基づいて、上記基板の撮像と上記検査用データ処理とを行うことを特徴とする基板検査装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかの基板検査装置において、
上記基板種別情報取得手段は、検査対象の基板上に付されているコード画像を読み取り、該コード画像の画像データから該基板の基板種別情報を取得することを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数種類の基板を検査する基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の基板検査装置として、検査対象の基板の形状に合わせた専用治具を予め用意しておき、基板がセットされた専用治具を支持台上に装着し、支持台上の基板上に光を照射し、その基板を撮像して取得された画像により基板の外観を検査する装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−２２６１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の基板検査装置では、複数種類の基板ごとに専用治具を用意しておき、検査対象の基板の種類を変えるときは支持台に装着する専用治具を交換する必要がある。また、検査対象の基板の種類を切り換える際には、オペレータが装置を操作することにより、基板の検査に用いる検査用プログラムを切り換える必要がある。そのため、上記従来の基板検査装置では、検査対象の基板の種類を変えるために煩雑な作業が必要となり、検査の効率を上げるために検査対象の基板の種類をロット単位で切り換える必要がある。
【０００４】
本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、１台で複数種類の基板をランダムに且つ効率よく検査することができる基板検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、外寸が互いに異なる複数種類の基板を検査する基板検査装置であって、該複数種類の基板をそれぞれセット可能な共通治具が装着された基板載置部と、該基板載置部上の基板を撮像する撮像手段と、該基板載置部上の基板の種類を識別する基板種別情報を取得する基板種別情報取得手段と、該複数種類の基板それぞれに対応する複数の検査用プログラムを記憶する記憶手段と、該基板載置部上の検査対象の基板について取得された基板種別情報に基づいて、該複数の検査用プログラムから該基板に対応する検査用プログラムを選択して実行することにより、該撮像手段による該基板の撮像を行うとともに、該撮像された基板の画像データを用いて該基板の検査結果を出すように検査用データ処理を行う検査処理手段と、を備えたことを特徴とするものである。
また、請求項２の発明は、請求項１の基板検査装置において、上記記憶手段は、上記複数の検査用プログラムのうち上記複数種類の基板に共通に用いる部分を共通の検査用メインプログラムとして記憶するとともに、該複数種類の基板ごとに異なる部分を複数の検査用サブプログラムとして記憶し、上記検査処理手段は、上記検査用メインプログラムの実行を開始した後、上記取得された基板種別情報に基づいて上記複数種類の検査用サブプログラムから検査対象の基板に対応する検査用サブプログラムを選択して実行することを特徴とするものである。
また、請求項３の発明は、請求項１又は２の基板検査装置において、上記記憶手段は、上記複数種類の基板それぞれに対応する複数の検査判定用基準データを記憶し、上記検査処理手段は、上記取得された基板種別情報に基づいて上記複数の検査判定用基準データから検査対象の基板に対応する検査判定用基準データを選択して上記検査用データ処理に用いることを特徴とするものである。
また、請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれかの基板検査装置において、上記共通治具の面上に複数並ぶ程度の外寸を有する小サイズの基板を検査する場合、該小サイズの基板を複数セット可能な小サイズ基板用治具を、上記共通治具上に装着したことを特徴とするものである。
また、請求項５の発明は、請求項１乃至４のいずれかの基板検査装置において、上記検査処理手段は、上記基板載置部上の基板の基板種別情報に基づいて、該基板の検査対象面が片面か両面かを判定し、その判定結果に基づいて、上記基板の撮像と上記検査用データ処理とを行うことを特徴とするものである。
また、請求項６の発明は、請求項１乃至５のいずれかの基板検査装置において、上記基板種別情報取得手段は、検査対象の基板上に付されているコード画像を読み取り、該コード画像の画像データから該基板の基板種別情報を取得することを特徴とするものである。
なお、上記コード画像は、バーコード等の１次元的なコード画像でもいいし、ＪＩＳ Ｘ ０５１０で規定されているＱＲコード（登録商標）等の２次元的なコード画像でもよい。
【０００６】
請求項１の基板検査装置では、基板載置部に装着された共通治具に、複数種類の基板の任意の基板が検査対象としてセットされる。基板載置部上の基板の種類を識別する基板種別情報は、基板種別情報取得手段で取得される。検査処理手段では、その取得された基板種別情報に基づいて、記憶手段に記憶されている複数の検査用プログラムから上記検査対象の基板に対応する検査用プログラムが選択されて実行される。この検査用プログラムの実行により、撮像手段による基板の撮像が行われ、撮像された基板の画像データを用いて基板の検査結果を出すように検査用データ処理が行われる。
なお、上記基板の検査結果は、基板検査装置内の記憶手段に記憶するとともに基板検査装置に設けられた表示手段に表示してもよい。また、上記基板の検査結果は、基板検査装置とネットワークを介して通信可能なサーバ装置に出力してもよい。
【０００７】
請求項２の基板検査装置では、検査用メインプログラムを複数種類の基板に共通に用いることができるとともに、その検査用メインプログラムから呼び出す複数種類の検査用サブプログラムを複数種類の基板それぞれに対応させている。このように検査用メインプログラムと複数種類の検査用サブプログラムとを組み合わせることにより検査に用いるプログラムの全体のサイズを小さくすることができる。
請求項３の基板検査装置では、複数種類の基板ごとに設定された適切な検査判定用基準データを用いて各基板の検査結果を出すことができる。
請求項４の基板検査装置では、上記共通治具を基板検査装置に装着したままの状態で、その共通治具に更に装着した小サイズ基板用治具上に小サイズの基板をセットすることにより、小サイズの基板を検査することができる。
請求項５の基板検査装置では、基板の検査対象面が片面か両面かにかかわらず、各基板の検査対象面を確実に検査することができる。
請求項６の基板検査装置では、基板種別情報を符号化したコード画像を基板に付しておき、そのコード画像を読み取ることにより、基板の基板種別情報を確実に取得することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、基板載置部に装着された共通治具に、複数種類の基板の任意の基板を検査対象としてセットするとともに、その基板載置部上の基板について取得された基板種別情報に基づいて、上記検査対象の基板に対応する検査用プログラムを、オペレータの操作を伴わずに自動選択して実行することができるので、１台で複数種類の基板をランダムに且つ効率よく検査することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を用いて、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る卓上型の基板外観検査装置の一例を示す外観図である。この基板外観検査装置は、本体部１００とコンピュータ部２００とを備え、少なくとも外寸が互いに異なる複数種類の基板の外観（部品の有無、部品等の位置ずれ、部品の姿勢、異物付着、はんだ付け部のショートやオープン等のはんだ付け不良、部品のリードやチップの浮き等）を検査することができる。
【００１０】
上記本体部１００は、ボックス状筐体１０１の内部に撮像部１１０及びその信号処理を行う撮像駆動部１２０を内蔵するとともに、ボックス状筐体１０１の前方部分に基板セット用の開口１０１ａを有している。この開口１０１ａを介して、基板載置部を構成する支持台１３０が前後移動可能に構成されている。支持台１３０は、その下端部が、本体部１００の内部と手前側まで延出したベーステーブル部１０２上に設けられた１対のガイドレール１０３でガイドされることにより、ベーステーブル部１０２上の手前露出位置とボックス状筐体１０１の内部との間で移動可能になっている。また、支持台１３０は、図示しないボールネジやリニアモータ等で構成された制御可能な駆動部によってガイドレール１０３上で駆動できるようになっている。そして、その支持台１３０の上部には、検査対象の基板１０がセットされる共通治具１４０が着脱可能に装着されている。また、支持台１３０上の基板１０に付されている１次元コード画像であるバーコードや２次元コード画像を読み取る基板識別情報取得手段としてのハンディ型のバーコード読み取り装置（例えば、株式会社東研社製の２次元コードリーダーTHIR-3000シリーズ）１５０が、コンピュータ部２００に接続されている。
【００１１】
上記撮像部１１０は、例えば受光素子が１次元的（ライン状）に並んだＣＣＤ（電荷結合素子）型のラインセンサ及び受光レンズ等の光学系を有するラインセンサカメラで構成することができる。このラインセンサカメラは、検査対象の基板１０の移動方向とは直行する方向（図１中の左右方向）にラインセンサが延在するように、ボックス状筐体１０１内に固定配置される。検査対象の基板１０がセットされた支持台１３０を、基板セット用の開口１０１ａを介して、ベーステーブル部１０２上の手前露出位置からボックス状筐体１０１の内部へ移動させるときに、上記ラインセンサカメラによって検査対象の基板１０を上からライン状に順次撮像されることにより、基板１０の全体の２次元的な画像が取得され、その画像データが撮像駆動部１２０内の所定の画像メモリ内に保存される。
【００１２】
図２は、本実施形態の基板外観検査装置で検査することができる基板１０Ａ〜１０Ｄの外形を示す説明図である。図３（ａ）は、これらの基板を共通にセットすることができる共通治具１４０の平面図、及び図３（ｂ），（ｃ）は、その断面図である。これらの基板１０Ａ〜１０Ｄは、同一の製品で使用される４種類の基板であり、基板１０上の部品と干渉しないように中央部に開口１４０ｂを有している。４種類の基板のうち、図中の左側に示す３種類の基板１０Ａ〜１０Ｃの長さＬａ，Ｌｂ，Ｌｃは同じであり、基板１０Ａの幅Ｗａは基板１０Ｂ，１０Ｃの幅Ｗｂ，Ｗｃよりも広い。また、基板１０Ａ，１０Ｂの検査対象面は両面であるが、基板１０Ｃの検査対象面は片面である。３種類の基板１０Ａ〜１０Ｃの長さＬａ，Ｌｂ，Ｌｃは同じであるので、図３に示すように各基板の長さ方向の端部を共通治具１４０の枠１４０ａに合わせるように共通治具１４０上にセットすることができる。
【００１３】
一方、基板１０Ｄは、共通治具１４０の面上に少なくとも６個並ぶ程度の外寸を有する小サイズの基板である。この基板１０Ｄは、図４（ａ）〜（ｃ）に示す小サイズ基板専用治具１４５上に６個並べてセットされ、更に、その小サイズ基板専用治具１４５が上記共通治具１４０上にセットされる。なお、この小サイズの基板１０Ｄの検査対象面は両面になっている。また、図４（ａ）〜（ｃ）に示す小サイズ基板専用治具１４５も、基板１０上の部品と干渉しないように中央部に開口１４５ｂを有している。
【００１４】
上記コンピュータ部２００は、上記本体部１００の各部を制御したり本体部１００から送られてきたデータを処理したりするコントローラとして機能し、例えばコンピュータ本体２０１、表示部としてのディスプレイ２０２、入力部としてのキーボード２０３及びマウス２０４、通信インターフェース等からなるパーソナルコンピュータで構成することができる。コンピュータ本体２０１は、例えばＣＰＵ等からなるデータ処理装置、記憶手段としてのＲＡＭやＲＯＭ等の内部メモリ、同じく記憶手段としてのＨＤＤなどの外部記憶装置等で構成されている。
【００１５】
図５は、上記コンピュータ部２００のコンピュータ本体２０１で読み出されて実行される検査用プログラム２１０及び検査用データ２２０の一例を示す説明図である。検査用プログラム２１０は、上記複数種類の基板１０Ａ〜１０Ｄに共通に用いる共通の検査用メインプログラム２１１と、複数種類の基板１０Ａ〜１０Ｄごとに異なる複数の検査用サブプログラム２１２Ａ〜２１２Ｄとで構成され、例えば上記外部記憶装置に保存されている。また、検査用データ２２０は、上記複数種類の基板１０Ａ〜１０Ｄに共通に用いる検査用共通データ２２１と、複数種類の基板１０Ａ〜１０Ｄごとに異なる複数の検査判定基準データを含む個別基板検査データ２２２Ａ〜２２２Ｄとを用いて構成され、例えば上記外部記憶装置に保存されている。コンピュータ部２００のコンピュータ本体２０１は、所定の基本ソフト（ＯＳ）が起動した状態で上記検査用メインプログラム２１１の実行を開始した後、上記バーコード読み取り装置１５０で取得された基板種別情報に基づいて複数の検査用サブプログラム２１２Ａ〜２１２Ｄから検査対象の基板に対応する検査用サブプログラムを選択して実行することにより、検査処理手段として機能する。これらの検査用メインプログラム２１１、検査用サブプログラム２１２Ａ〜２１２Ｄが実行される場合、所定のタイミングでそれぞれ対応する検査用共通データ２２１や検査判定基準データを含む個別基板検査データ２２２Ａ〜２２２Ｄのいずれかが読み出されて用いられる。
【００１６】
なお、上記検査用プログラムを実行して行われる基板の良否の判定方式としては、例えば２値化画像判定方式を用いることができる。この２値化画像判定方式は、標準基板（良品の基板）について予め得られた２値化画像の検査判定基準データと、検査対象の基板を撮影した測定画像について得られた２値化画像の測定結果である測定データとを比較することにより、検査対象の基板の良否を判定する方式である。上記２値化画像は、例えば、基板の画像の検査対象部分を矩形枠（検査ウィンドウ）で囲み、その矩形枠で囲まれた領域の画像について、予め設定した画像濃淡の閾値に基づいて２値化処理して得られる。そして、この２値化画像のレベル１の白部分又はレベル０の黒部分の画素（ピクセル）を評価分析することにより、上記測定データを得ることができる。２値画像の評価分析は、例えば、上記２値化画像のレベル１の白部分又はレベル０の黒部分の面積や所定方向の長さについて画素をカウントし、面積や長さのデータとして上記測定データを得るように行われる。また、測定データと比較される検査判定基準データは、例えば、基板の検査対象部分を定義する矩形枠（検査ウィンドウ）のデータと、その検査対象部分に実装されている部品のサイズ・形状等のデータとに基づいて、予め作成されている。この検査判定基準データの作成に用いられる各種部品のサイズ・形状等のデータは、ライブラリーとして、コンピュータ本体２０１の記憶手段やネットワーク上のサーバに格納し、検査対象の基板の種類に応じて基板に実装されている部品のデータを呼び出すようにしてもよい。また、上記検査判定基準データは、測定誤差を考慮して所定の幅を有するように設定される。そして、上記検査対象の基板について得られた２値化画像の測定データが検査判定基準データの範囲内に入っているときは「合格」と判定し、一方、上記測定データが検査判定基準データの範囲から外れているときは「不合格」と判定する。
【００１７】
また、上記検査用プログラムを実行して行われる基板の良否の判定方式としては、画像マッチング方式を用いてもよい。この場合、上記検査判定基準データとしては、例えば合格レベルにある標準の基板１０Ａ〜１０Ｃについて予め撮像された基準画像データが用いられる。基準画像データは、検査対象の基板について撮像された測定画像データと比較するように画像処理が実行され、例えば基板上の部品の形状、位置及び姿勢、半田付け部の形状等に所定の誤差以上の相違点があったときには不合格の検査結果が出される。
【００１８】
図６は、本実施形態の基板外観検査装置を用いて基板の外観を検査するときの処理の一例を示すフローチャートである。まず、オペレータがコンピュータ部２００を操作し、検査用メインプログラムを起動し、本体部１００の支持台１３０上に装着されている共通治具１４０又は小サイズ基板専用治具１４５に検査対象の基板１０をセットし、検査開始の操作を行うとともに、バーコード読み取り装置１５０で基板１０のコード画像を読み取る（Ｓ１〜Ｓ４）。これにより、バーコード読み取り装置１５０によって読み取られた基板１０のコード画像の読み取り結果が、基板識別情報として画像コンピュータ部２００に送られる（Ｓ４）。コンピュータ部２００は、バーコード読み取り装置１５０で取得した基板識別情報に基づいて、検査対象の基板の種別の切替があったか否かを判断する（Ｓ５）。検査対象の基板の種別の切替があった場合には、検査対象の基板に対応する検査用サブプログラム及び検査用データ（検査判定基準データなど）を選択して読み出すことにより、検査用サブプログラム及び検査用データを切り換える（Ｓ６）。
【００１９】
なお、検査用メインプログラムの起動後における最初の基板の検査の場合は、上記ステップＳ５の判断を行わずに、検査対象の基板に対応する検査用サブプログラム及び検査用データ（検査判定基準データなど）を選択して読み出す処理を行う（Ｓ６）。
【００２０】
次に、コンピュータ部２００は、上記検査対象の基板に対応する検査用サブプログラムを実行し上記検査用データを用いることにより、撮像駆動部１２０を制御する。そして、基板がセットされた支持台１３をオペレータがベーステーブル部１０２上の手前露出位置からボックス状筐体１０１の内部に押し込むことにより、撮像部１１０によって基板の撮像が行われる（Ｓ７）。撮像部１１０で撮像されて生成された基板の画像データは、撮像駆動部１２０からコンピュータ部２００に送られて所定の記憶装置に一旦保存される（Ｓ８）。次に、コンピュータ部２００は、上記検査用サブプログラムの実行により、上記撮像された画像データについて所定の検査判定用データを用いた検査用データ処理を行う（Ｓ９）。この検査用データ処理で得られた検査結果は所定の記憶装置に保存されるとともに、ディスプレイ２０２に表示される（Ｓ１０）。検査結果の表示は、例えば合格の場合に「ＯＫ」と表示し、不合格の場合は「ＮＧ」と表示するとともにその不合格となった箇所の画像を表示するように行われる。
【００２１】
次に、コンピュータ部２００は、上記バーコード読み取り装置１５０で取得した基板識別情報と、上記読み出した検査対象の基板に対する検査用データとに基づいて、基板の裏面についても外観検査を行うか否かすなわち検査対象面が両面か否かを判定する（Ｓ１１）。ここで、基板の裏面についても外観検査を行うと判定した場合、すなわち検査対象面が両面であると判定した場合（Ｓ１１でＹｅｓ）は、その旨がディスプレイ２０２に表示される。その表示を見たオペレータが検査対象の基板を裏返して共通治具１４０又は小サイズ基板専用治具１４５上にセットし直し、所定の検査継続の操作を行うと、上記ステップＳ７〜Ｓ１０が繰り返される。
【００２２】
次に、コンピュータ部２００は、上記検査対象の基板の検査が終了したら、次の検査対象の基板があるか否かをオペレータに確認する画面をディスプレイ２０２に表示する。ここで、次の検査対象の基板がない場合（Ｓ１３でＮｏ）は、一連の基板外観検査を終了する。一方、次の検査対象の基板がある旨を指示するオペレータの操作があった場合（Ｓ１３でＹｅｓ）は、上記ステップＳ２から繰り返される。
【００２３】
以上、本実施形態によれば、支持台１３０に装着された共通治具１４０に、複数種類の基板１０の任意の基板を検査対象としてセットするとともに、その検査対象の基板について取得された基板種別情報に基づいて、当該基板に対応する検査用サブプログラムを、オペレータの操作を伴わずに自動選択して実行することができるので、１台で複数種類の基板をランダムに且つ効率よく検査することができる。
また、本実施形態によれば、検査用メインプログラム２１１を複数種類の基板に共通に用いることができるとともに、その検査用メインプログラム２１１から呼び出す複数種類の検査用サブプログラム２１２Ａ〜２１２Ｄを複数種類の基板１０Ａ〜１０Ｄそれぞれに対応させている。このように検査用メインプログラム２１１と複数種類の検査用サブプログラム２１２Ａ〜２１２Ｄとを組み合わせることにより検査に用いるプログラムの全体のサイズを小さくすることができる。
また、本実施形態によれば、複数種類の基板１０Ａ〜１０Ｄごとに設定された適切な検査判定用基準データ（例えば標準基板の画像データ）を用いて各基板の検査結果を出すことができる。
また、本実施形態によれば、上記共通治具１４０を基板検査装置に装着したままの状態で、その共通治具１４０に更に装着した小サイズ基板用治具１４５上に小サイズ基板１０Ｄをセットすることにより、小サイズ基板１０Ｄを検査することができる。
また、本実施形態によれば、基板の検査対象面が片面か両面かにかかわらず、各基板の検査対象面を確実に検査することができる。
また、本実施形態によれば、基板種別情報を符号化したバーコードを各基板に付しておき、そのバーコードをバーコード読み取り装置１５０で読み取ることにより、各基板の基板種別情報を確実に取得することができる。
【００２４】
なお、上記実施形態において、共通治具１４０及び小サイズ基板用治具１４５の枠１４０ａ，１４５ａの一部に、基板の端部から外側に突出するように装着された部品との干渉を防止するための切り欠き部を設けてもよい。例えば、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、共通治具１４０の枠１４０ａにおける基板１０Ａの長手方向両端部が対向する部分に切り欠き部１４０ｃを設ける。これにより、基板１０Ａの長手方向両端部に部品１１が外側に突出するように装着されていたとしても、その部品１１は共通治具１４０の枠１４０ａの切り欠き部１４０ｃに位置することになるので、基板１０Ａの長手方向両端部にある部品１１と共通治具１４０の枠１４０ａとの干渉を防止することできる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る卓上型の基板外観検査装置の一例を示す外観図。
【図２】基板外観検査装置で検査することができる複数種類の基板の外形を示す説明図。
【図３】（ａ）は基板を共通にセットすることができる共通治具の平面図。（ｂ）及び（ｃ）はその共通治具の断面図。
【図４】（ａ）は小サイズ基板をセットすることができる小サイズ専用共通治具の平面図。（ｂ）及び（ｃ）はその小サイズ専用共通治具の断面図。
【図５】検査用プログラム及び検査用データの一例を示す説明図。
【図６】基板外観検査装置を用いて基板の外観を検査するときの処理の一例を示すフローチャート。
【図７】（ａ）は変形例に係る共通治具の平面図。（ｂ）はその共通治具の断面図。
【符号の説明】
【００２６】
１０（１０Ａ〜１０Ｄ）    基板
１１    部品
１００  本体部
１０１  ボックス状筐体
１０２  ベーステーブル部
１０３  ガイドレール
１１０  撮像部
１２０  撮像駆動部
１３０  支持台
１４０  共通治具
１５０  バーコード読み取り部
２００  コンピュータ部
２０１  コンピュータ本体
２０２  ディスプレイ
２１０  検査用プログラム
２１１  検査用メインプログラム
２１２Ａ〜２１２Ｄ  検査用サブプログラム
２２０  検査用データ
２２１  検査用共通データ
２２２Ａ〜２２２Ｄ  個別基板検査データ
【図１】
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【図２】
2009103661.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009103661.tif 000006
【図５】
2009103661.tif 000007
【図６】
2009103661.tif 000008
【図７】
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