(57)【要約】【課題】被研削物を研削面に押し当てて研削する際、被研削物の姿勢を適切に制御し、研削精度を向上できる研削装置、研削装置用の研削ヘッド及び研削方法を提供することを目的とする。【解決手段】被研削物を研削面に押し付けて研削する研削装置用の研削ヘッドであって、前記被研削物を表面に保持する弾性の保持手段と、前記保持手段を研削方向に沿って引っ張るための引張手段と、前記保持手段を介して前記研削面に対して前記被研削物を押し付ける押圧手段と、を備える。【選択図】図１
2009220240.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研削物を研削面に押し付けて研削する研削装置用の研削ヘッドであって、
前記被研削物を表面に保持する弾性の保持手段と、
前記保持手段を研削方向に沿って引っ張るための引張手段と、
前記保持手段を介して前記研削面に対して前記被研削物を押し付ける押圧手段と、を備える研削ヘッド。
【請求項２】
さらに、前記保持手段に掛かる張力の分布を均一化する張力分布均一化手段を備える請求項１に記載の研削ヘッド。
【請求項３】
前記張力分布均一化手段は、前記保持手段が延在する面内において揺動可能な揺動プレートである請求項２に記載の研削ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の研削ヘッドを備える研削装置。
【請求項５】
被研削物を研削盤の研削面に押し付けて研削する研削方法であって、
弾性の保持手段の表面に前記被研削物を保持し、
前記被研削物を保持する前記保持手段を研削方向に沿って引っ張り、
引っ張られた前記保持手段に保持された前記被研削物を前記研削面に対して押圧する、ことを備える研削方法。
【請求項６】
前記保持手段を研削方向に沿って引っ張る際に、前記保持手段に掛かる張力の分布を均一化させる請求項５に記載の研削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品等の被研削物を研削面に押し付けて研削する研削装置、その研削装置用の研削ヘッド、研削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電子部品の一つである磁気ヘッドの製造工程において、複数の磁気ヘッド素子（ＭＲ（Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）膜と呼ばれる。）が表面上に一列に形成されてなるローバーの被研削面（いわゆるエアベアリング面）に対していわゆるＲＬＧ（Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  Ｌａｐｐｉｎｇ  Ｇｕｉｄｅ）研削が行われている。ＲＬＧ研削は、スライダのスロートハイトあるいはＭＲハイト等が適切な値になるように、ＭＲ膜の抵抗特性をダミー抵抗を用いて測定しながら行われる。
【０００３】
研削される対象であるローバーとは、セラミック材料からなるウエハの表面に、磁気ヘッド素子を複数形成したものを、ダイシング工程において所定の幅で切断して得られた個々の棒状部材である。
【０００４】
ＲＬＧ研削では、ローバーの被研削面に対向する面に剛体からなる治具を固定し、研削用定盤の上方に配置される研削ヘッドの下面に、治具に固定されたローバーを固定する。
【０００５】
次に、研削剤（スラリー）を一様に塗布した研削用定盤の上面に対して研削ヘッドを降下させ、ローバーの被研削面を研削用定盤の上面に接触させる。その後、研削用定盤を回転させ、ローバーを構成する各スライダに、押圧部材から圧力を作用させることで、ローバーを所定の厚さ、表面粗さ、及び所定の形状に研削する（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００６】
以下に、従来の磁気ヘッド研削装置について説明する。図８は、従来の磁気ヘッド研削装置の研削ヘッドの縦断面図である。
【０００７】
図８に示されるように、研削ヘッド３１５は、ローバー３１７を保持するラバー３１９と、ラバー３１９が先端に貼付され、上下動可能な押圧スライダ３３１と、押圧スライダ３３１を駆動するエアアクチュエータと、を備える。
【０００８】
エアアクチュエータは、不図示の電空レギュレータで制御されるエアを、継手３２６を介してマニホールドシリンダ３２７内に導入し、マニホールドシリンダ３２７内に保持された断面円状のピストン３３７を駆動する。ピストン３３７の駆動に応じて、板状の押圧スライダ３３１が不図示の研削面に対して上下方向に往復運動する。
【０００９】
また、押圧スライダ３３１に必要な移動量を提供しうるピストン３３７の大きさ、特にピストン３３７の直径は、現状においては、各素子（スライダ）に割り当てられるローバー上の領域の大きさと比較して、かなり大きいものとなる。このため、ピストン３３７を３列に並設し、隣り合う押圧スライダ３３１を駆動するピストン３３７は、順次異なる列に配置（千鳥配置）することとし、押圧スライダ３３１各々に対して別個のピストン３３７を対応させている。
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−２３２１３４号公報
【特許文献２】特開２００２−６６８９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
近年、ますます磁気ヘッドに使用される電子部品の小型化がますます進んできており、従来の必要とされた寸法精度であっても、製品の性能に影響を及ぼすことが予想されるため、より高い精度で研削することが求められる。研削の精度を向上させるためには、被研削物を研削面に対して所定の姿勢に保つことが求められる。
【００１２】
しかし、被研削物を研削面に押し当てると、押圧力に応じて被研削物と研削面との間で生じる摩擦力により、研削面に対する被研削物の姿勢が崩れ、結果として所期の形状もしくは寸法に研削することが困難となることが考えられる。
【００１３】
そこで、本発明は、被研削物を研削面に押し当てて研削する際、被研削物の姿勢を適切に制御し、研削精度を向上できる研削装置、研削装置用の研削ヘッド及び研削方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するための本発明の研削ヘッドの第１の態様は、被研削物を研削面に押し付けて研削する研削装置用の研削ヘッドであって、前記被研削物を表面に保持する弾性の保持手段と、前記保持手段を研削方向に沿って引っ張るための引張手段と、前記保持手段を介して前記研削面に対して前記被研削物を押し付ける押圧手段と、を備える。
【００１５】
本発明の研削ヘッドの第２の態様によれば、さらに、前記保持手段に掛かる張力の分布を均一化する張力分布均一化手段を備える。
【００１６】
本発明の研削ヘッドの第３の態様によれば、前記張力分布均一化手段は、前記保持手段が延在する面内において揺動可能な揺動プレートである。
【００１７】
本発明の研削ヘッドの第４の態様によれば、前記保持手段は、ラバーである。
【００１８】
本発明の研削ヘッドの第５の態様によれば、前記保持手段は、弾性のあるプラスチックシートである。
【００１９】
上記課題を解決するための本発明の研削装置の第１の態様は、上記第１乃至第５の態様のいずれかの研削ヘッドを備える。
【００２０】
上記課題を解決するための本発明の研削方法の第１の態様は、被研削物を研削盤の研削面に押し付けて研削する研削方法であって、弾性の保持手段の表面に前記被研削物を保持し、前記被研削物を保持する前記保持手段を研削方向に沿って引っ張り、引っ張られた前記保持手段に保持された前記被研削物を前記研削面に対して押圧する、ことを備える。
【００２１】
本発明の研削方法の第２の態様によれば、前記保持手段を研削方向に沿って引っ張る際に、前記保持手段に掛かる張力の分布を均一化させる。
本明細書において、研削方向とは、被研削物の研削面に対して相対的に移動する方向を意味する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の研削装置、研削装置用の研削ヘッド及び研削方法によれば、被研削物を保持する保持手段を研削方向に沿って引っ張ることにより、被研削物の研削面に対する姿勢を適確に制御することができる。結果として、研削精度を高めることができ、製造される電子部品の歩留まり率を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明による研削装置用の研削ヘッドの実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００２４】
（実施形態）
図１は研削ヘッドの正面図であり、図２は研削ヘッドの下面図である。
【００２５】
本実施形態の研削ヘッド１５は、電子部品を構成する素子が複数形成された被研削物であって、セラミック等からなるローバー１７を研削する研削装置に用いられものである。研削ヘッド１５は、主として、ローバー１７を表面に保持し、弾性を有する保持手段すなわちラバー１９と、研削面に対するローバー１７の姿勢を制御すべくラバー１９を所定方向に引っ張るための引張手段すなわち低摩擦シリンダ６７と、ラバー１９を介してローバー１７を押圧する押圧手段すなわちスライダ３１と、を備える。
【００２６】
また、研削ヘッド１５のヘッド本体２７は、マニホールドシリンダ２９を構成している。マニホールドシリンダ２９内には、複数のロッド７１が摺動自在に収容され、各ロッド７１は、図面の表裏方向に配置されている複数のスライダ３１それぞれを押圧する。
【００２７】
各ロッド７１には、不図示の電空レギュレータで制御されるエアが、継手２６を介して供給され、ロッド７１が所定量動くように構成されている。本実施形態では、スライダ３１の厚さ（図１の表裏方向の長さ）を薄くし、ローバー１７に対する押圧間隔を短くし、研削制御を高精細に行えるようにしている。
【００２８】
また、スライダ３１は、図１の表裏方向に並置され、隣り合うスライダ３１の各々を押圧するロッド７１が干渉しないように、スライダ３１の上端３１ａとそれに対応するロッド７１の組が千鳥配置されている。
【００２９】
図１においてスライダ３１の両側で、ストッパ７３、７５がヘッド本体２７に固定され、スライダ３１の鉛直方向下方への移動を制限している。
【００３０】
さらに、ヘッド本体２７には、図１中で右方向に延びる支持部材７７の一端部が連結されている。支持部材７７の他端部には、低摩擦シリンダ６７が配置されている。さらに、支持部材７７には、図２の左右方向に延びる一対のリニアガイド６０、６２が互いに平行に設けられている。
【００３１】
そして、リニアガイド６０、６２のそれぞれに対して摺動可能に装着される一対の移動スライダ６１、６３が下面視略台形状のスライドプレート６９に固定されている。スライドプレート６９はその短辺部に、ロッド収容溝６９ａが刻設されており、ロッド７９の端部がロッド収容溝６９ａ内に収容され固定されている。このように、スライドプレート６９とロッド７９とが連結される。
【００３２】
従って、低摩擦シリンダ６７を作動させると、ロッド７９がｘ方向に移動し下面視で略台形状のスライドプレート６９がｘ方向へ移動する。なお、本実施形態の移動スライダとリニアガイドは公知の構成を用いるので詳細は割愛する。
【００３３】
さらに、図１中においてスライドプレート６９の下方には、ラバー１９に掛かる張力の分布を均一化させる張力均一化手段である揺動プレート８１が配置されている。図２に示すように揺動プレート８１は下面視で略台形状である。揺動プレート８１は、その一端部に突起部８１ａを備える。また、揺動プレート８１は、その厚さ方向（図１の上下方向）に貫通する貫通孔が設けられ、その貫通孔にはスライドプレート６９から鉛直方向下方（図１中）に延びる中心軸６５が延在している。中心軸６５は、転がり軸受８２を介して貫通孔に装着されている。このように、揺動プレート８１は、中心軸６５の回り、すなわちラバー１９の表面が延在する面内において揺動可能（図２の矢印Ｒ方向）である。
【００３４】
さらに揺動プレート８１の下方には保持手段を構成し、ラバー１９の一端を保持する第１保持部８３が固定されている。
【００３５】
上記構成において、不図示の制御部からの駆動信号を低摩擦シリンダ６７が受け、ロッド７９がｘ方向に沿って進退移動すると、スライドプレート６９がｘ方向に移動する。さらに、スライドプレート６９の中心軸６５に連結されている、揺動プレート８１がｘ方向に移動する。
【００３６】
さらに、ラバー１９の他端を保持する第２保持部８５は、スライダ３１を挟んで第１保持部８３に対向配置されている。第１保持部８３及び第２保持部８５には、略矩形のシート状ラバー１９の対向する辺がそれぞれ固定されている。ラバー１９を固定する方法としては、接着剤やねじ等の締結部材等が利用できる。なお、第１保持部８３はねじ等の締結部材により揺動プレート８１に固定されている。
【００３７】
なお、上記のように、第１保持部８３が固定される揺動プレート８１が、スライドプレート６９に対して相対回転できる構成とすると以下のような利点がある。例えば、ラバー１９が第１保持部８３及び第２保持部８５に対して接着剤を用いて接着したときに、ラバー１９が第１保持部８３及び第２保持部８５に対して、均一に接着されずにラバー１９に撓みが生じた場合であっても、第１保持部８３を第２保持部８５から離れる方向に移動させると、揺動プレート８１が揺動（傾斜）することによりラバー１９に生じる張力分布を均一化できる。結果として、接着時に生じたラバー１９の撓みの影響を排除して均一にラバー１９を引っ張ることが可能となる。
【００３８】
また、上記構成では第１保持部８３を固定し、第２保持部８５を移動する構成としたが、本発明はこの構成に限定されない。第１保持部８３と第２保持部８５とが互いに離れる方向に移動でき、第１保持部８３と第２保持部８５との間に架橋されるラバー１９に引っ張り力を付与できる構成であれば良いことは言うまでもない。
【００３９】
さらに、揺動プレート８１は、移動可能な第１保持部８３に装着されているが、揺動プレートを第２保持部８５に設ける構成や、両保持部８３、８５に設ける構成とすることができることは言うまでもない。
【００４０】
次に、研削されるローバーの姿勢を制御するメカニズムについて説明する。図３（ａ）は、引っ張られた状態のラバーの平面図であり、図３（ｂ）は、引っ張られた状態のラバーの正面図であり、図４（ａ）は、ラバーを引っ張らずにローバーを研削した状態の模式図であり、図４（ｂ）は、研削盤と研削ヘッドとの位置関係を示す平面図である。
【００４１】
図３（ａ）（ｂ）において、引張部材（図１、２に示す第１保持部８３及び第２保持部８５）によりラバー１９を引っ張る引張方向を、矢印Ｔで示している。また、ローバー１７の短手方向が研削方向である。研削方向とは、ローバー１７の研削面１７ａに対して研削盤２の上面に設けられた研削面２ａ（図４（ｂ）参照。）が進行する方向である。
【００４２】
図４（ａ）の破線で示すように、ラバー１９にその長手方向へ引張力を付与しない状態で、回転する研削面２ａにローバー１７を押圧力Ｐで押圧すると、ローバー１７に対してＦ方向への摩擦力が生じ、ラバー１９が撓み、ローバ−１７が鉛直方向に対して傾く場合がある。従って、ローバー１７を所定の寸法や形状に研削することが困難である。
【００４３】
そこで、図４（ａ）の実線で示すように、ローバー１７を保持するラバー１９の引張方向Ｔに沿った方向と研削方向Ｇとを整合させると、押圧力Ｐにより生じる摩擦力Ｆにラバー１９を抗させローバー１７を所期の姿勢に維持できる。これは、伸びた状態のラバーをさらに伸ばすために必要な引張力に、摩擦力Ｆが達していないためである。すなわち、伸びた状態のラバー１９をさらに引張方向Ｔに沿って伸ばすには、引っ張られていない初期状態のラバーを伸ばす際に必要な引張力に比較して大きな引張力が必要となる。従って、伸びた状態からさらに伸ばすために必要な引張力が付与されない限りラバー１９は伸びることがなく、引張方向Ｔに沿って撓まないこととなる。このように、ラバー１９を伸ばそうとする摩擦力Ｆに対するラバー１９の研削方向Gに沿った撓みを抑制することで、ローバー１７の姿勢を制御している。
【００４４】
なお、ラバー１９を引っ張る方向は、研削方向Gの矢印の向き（図３の左方向）には限定されない。すなわち、第２保持部８５を固定し、第１保持部８３を移動させるのみならず、第１保持部８３を固定して、第２保持部を左方向に移動させたり、第１保持部８３、第２保持部が互いに離れる方向（図３の左右方向）に移動させ、ラバー１９に引張力を付加しても良い。
【００４５】
また、引っ張られていないラバー１９の短手方向S１（引張方向Tに直交する方向）や図３（ｂ）の上下方向Ｓ２（引っ張り方向Tに直交する方向）へは、引張方向Ｔの引張力に比べ小さい荷重で変形（伸び縮み）させることができる。従って、スライダ３１によりラバー１９を介しローバー１７を研削盤２の研削面２ａに押圧してローバー１７を研削面２ａに向かって変形させることができる。
【００４６】
このように、ラバー１９を研削方向Gとほぼ一致する引張方向Tへ引っ張ることにより、摩擦力Fによるラバー１９の撓みを抑えローバー１７が傾くことを防止することができる。さらに、引張られたラバー１９を用いるにも拘わらず、比較的小さい押圧力によりスライダ３１による上下方向Ｓ２への円滑な移動を確保できる。
【００４７】
なお、図４（ｂ）に示すように円形（中心Ｏ）の研削盤２を用いた場合、ローバー１７の研削方向は、研削盤２の研削面２ａの回転方向Ｇとなる。従って、厳密には、研削方向Ｇと、ローバー１７の部位によりラバー１９の引張方向Ｔとは、一致しない。しかしながら、研削面の外径に対して、ローバーの幅寸法は相対的に小さいので、ローバー１７に対するラバー１９の引張方向Ｔと、研削方向Ｇと、がほぼ一致していると考えることができる。
【００４８】
（保持手段の変形例）
以下に、保持シートを用いた保持手段の変形例について説明する。図５（ａ）は、電子部品を挟持保持した状態の保持シートの平面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）の側面図である。
【００４９】
保持シート１０１は、弾性がありかつ絶縁性のプラスチックシート、ポリイミドシート等からなり、薄板状の部材であるシート基材１０３と、電子部品である被研削物１５１の電極１５３に電気的に接続する電極接点部材１０９と、を備える。電極接点部材１０９は、シート基材１０３の上面１０３ａに形成された銅等からなる電気配線１１１に接続している。電気配線１１１は、長手方向に延び、シート基材３の端部に至り、後述するようにＭＲ抵抗等の電子部品の特性値を測定するための測定手段に接続する。
【００５０】
さらに、シート基材１０３は、長手方向に対向（図５（ａ）、（ｂ）の左右方向）して配置され、外開きの関係となる第１挟持部及び第２挟持部すなわち、第１舌片１０７及び第２舌片１０５を有する。初期状態（撓んでない状態）において、第１舌片１０７の先端部１０７ｃと第２舌片１０５の先端部１０５ｃが互いに対面する構成である。
【００５１】
ここで、舌片は、舌片の周囲の切り込みを付した部分では切断されているが、残りの一部はシート基材１０３から切断されずに一体化されたままのシート状片である。シート基材１０３と舌片の切断されない部分（以下、連結部（１０７ｂ）という。）は、連結されている。
【００５２】
第１舌片１０７は、シート基材１０３に図５（ａ）における上下方向で離間配置される一対の矩形状の切り欠き１１９、１２１を設け、切り欠き１１９、１２１それぞれの一方の短辺の間（符号１２２参照。）を切断することにより形成され、第１舌片１０７は、略矩形状を呈する。さらに、第１舌片１０７の上面１０７ａには、電極接点部材１０９が貼付されている。また、上記第１舌片１０７は、その連結部１０７ｂ（仮想線ｘに沿った部分）を支点として、図５（ｂ）の下方に撓むことができる片持ち梁形状である。すなわち、第１舌片１０７が下面１０３ｂから下方に突き出る構成である。
【００５３】
第１舌片１０７の厚さは、電極接点部材１０９及び電気配線１１１の厚さ分だけ、シート基材１０３の他の部分より若干薄くなっている。シート基材１０３の長手方向において、第１舌片１０７に対向配置される第２舌片１０５は、第１舌片１０７とほぼ同じ寸法、形状である。但し、第２舌片１０５は、第１舌片１０７と異なり、電極接点部材を備えない。
【００５４】
また、電子部品である被研削物１５１は、略直方体状であり、その一端面に電極部１５３を備える。被研削物１５１の電極部１５３と第１舌片１０７の電極接合部材１０９とが接触した状態で、撓んだ第１舌片１０７、第２舌片１０５とにより被研削物１５１を挟持保持する。挟持保持された被研削物１５１は、図５（ｂ）の左右方向には、第１及び第２舌片１０７、１０５により規制され、上方向には、シート基材１０３の下面１０３ｂにより位置決めがなされる。
【００５５】
第１舌片１０７及び第２舌片１０５の厚さ及び連結部（１０７ｂ）から先端部（１０７ｃ）までの長さは、撓んだ状態（図５（ｂ））から初期状態（シート基板１０３の上面１０３ａ若しくは下面１０３ｂにほぼ平行な状態）に戻ろうとする復元力により被研削物１５１を保持できるように寸法付けされる。
【００５６】
なお、図５（ａ）に示すように、第１舌片１０７、第２舌片１０５はそれぞれ、シート基材１０３の短手方向（図５（ａ）の上下方向）に２つ設ける構成としたが、本発明がこれに限定されないことは言うまでもない。例えば、被研削物１５１の長手方向長さ（図５（ａ）の上下方向長さ）に応じて、適宜舌片の数、配置、寸法を適宜変更できる。
【００５７】
上記構成の保持シート１０１は、図１、２に示す第１保持部８３及び第２保持部８５に接着剤やねじ等の締結部材により固定される。そして、低摩擦シリンダ６７を駆動させ、第１保持部８３を第２保持部８５から離れるように移動し、所定の引っ張り力を保持シート１０１に付与する。
【００５８】
このように、研削面に押圧された被研削物１５１に生じる摩擦力と一致する方向に、保持シート１０１を引っ張ることにより、保持シート１０１が撓み被研削物１５１の姿勢が傾くことを防止できる。なお、その引っ張り方向と研削方向との関係については、図３、４に関連して説明した内容と同様であるので割愛する。
【００５９】
なお、保持シート１０１の第１舌片１０７及び第２舌片１０５、それぞれの連結部（１０７ｂ）から先端部（１０７ｃ）までの長さは、保持シート１０１が長手方向に引っ張られた場合であっても、被加工物を挟持できるように寸法付けされることは言うまでもない。
【００６０】
上記実施形態では、低摩擦シリンダ６７を利用してラバー１９、保持シート１０１を引っ張る構成としたが、本発明はこの構成に限定されることはなく、空気圧、ピエゾ素子、圧電素子等を利用し引張り動作が可能なアクチュエータを使用できることは言うまでもない。
【００６１】
また、上記実施形態では、研削面を回転させる構成として説明したが、直線状に移動する研削面を利用しても良いことは言うまでもない。さらに、本発明は、研削面を被研削物に対して移動させて研削する構成に限定されず、被研削物が研削面に対して相対移動できる構成であれば良いことは言うまでもない。
【００６２】
実施形態では、被研削物の姿勢を制御するために、被研削物を研削面に押圧することにより生じる摩擦力に抗するように、研削方向に引張力を付与する構成としたが、被研削物を研削面に対して所定の姿勢に維持するように制御できるものであればよく、種々の態様が利用できることは言うまでもない。例えば、ラバーを複合材料から形成し、研削方向については弾性係数が高く、研削方向の鉛直方向については弾性係数が低いような部材であれば、上述したように被研削物の姿勢を適正に制御できる。
【００６３】
（磁気ヘッド研削装置）
本発明の実施の形態に係る研削ヘッドを適用した磁気ヘッド用研削装置の実施例について図６、７を参照して説明する。図６は磁気ヘッド用研削装置を示す全体正面図であり、図７は図６の平面図である。
【００６４】
磁気ヘッド用研削装置は、基台１を備え、この基台１には、研削用定盤２が水平面内で回転可能に支持され、さらに、この研削用定盤２は基台１内に設けられた回転駆動源である定盤駆動用モータ４でベルト６を介して回転駆動される。なお、研削用定盤２における研削面２ａは、研削工程によって被研削面上に所定のＲ形状（クラウン形状）を与えるべく、所定の半径を有する球面の一部を構成する略凹面状のすり鉢形状である。
【００６５】
また、上下方向に離間した１対のガイドレール８が水平方向に延びるように基台１の上方で支持され、さらに、１対のガイドレール８により水平方向に摺動自在に案内される横移動スライダ１０が設けられている。この横移動スライダ１０には研削ヘッド取付用フレーム１２が昇降自在に取付けられている。また、研削ヘッド取り付け用フレーム１２には、その高さを調整するための公知の昇降駆動手段（不図示）が連結されている。
【００６６】
横移動スライダ１０の駆動は、例えばガイドレール８に平行なボール螺子軸にスライダ１０側のボール螺子ナットを螺合し、ボール螺子軸をモータで回転駆動することで実行することができ、さらに、スライダ１０及び研削ヘッド取付用フレーム１２は往復直線運動を行うことができる。
【００６７】
上記構成の磁気ヘッド用研削装置では、ラバー１９（図１参照）の表面にローバー１７（図１参照）が自己粘着性作用により固定保持され、研削面２ａに押しつけられクラウン加工が行われる。加工時においては、複数のスライダ３１（図１参照）各々を駆動して（移動させて）ラバー１９を介してローバー１７の特定部位を研削面２ａに押しつけることで研削が行われる。ここで、研削量は、スライダ３１からローバー１７に対する押圧量及びスライダ３１を研削面２ａに当接させる時間を変更することにより調整できる。
【００６８】
なお、スライダ３１は弾性体であるラバー１９を介してローバー１７に変形を与えるが、スライダ３１からの押圧力はその何割かがラバー１９の弾性変形により減衰される。従って、スライダ３１の移動量すなわちピストン７１の押圧力は、ラバー１９による減衰量を考慮して定めることを要する。
【００６９】
なお、上記磁気ヘッド研削装置では、ラバー１９を第１及び第２保持部材８３、８５に接着剤を用いて接着したが、真空源に連通する吸引口を第１及び第２保持部材８３、８５に設け、真空吸引によりラバーを保持することも可能である。
【００７０】
上記磁気ヘッド研削装置では、図１、２に示す研削ヘッドを利用したが、前述した保持手段の変形例である保持シート１０１を使用した研削ヘッドを適用できることは言うまでもない。
【００７１】
さらに、上述の磁気ヘッド用研削装置では、駆動装置によりスライダを移動させ、ラバー１９を押圧する構成であったが、圧縮空気を直接ラバーに付与することにより、ラバー１９に保持されたローバーを押圧する構成とすることもできる。
【００７２】
また、本実施の形態では、ラバー１９は一部品からなる構成としたが、その材質の剛性やローバーに対する自己粘着作用等に応じて変更でき、ラバーがローバーに当接する当接領域には、自己粘着性に優れた材料を用い、ホルダーに固定される部分には、剛性の高い材料を用いても良い。
【００７３】
以上、実施形態においては、研削量の制御については特に述べていないが、本願出願人の出願である特開２００１−１２１３９４に開示するように、各素子の例えばＭＲ値等を順次測定しながら研削を行うクローズドループによる研削量の制御を行っても良い。さらに、上記実施形態においては、ローバーに対してクラウン加工を施す際の研削装置について述べているが、本発明はこれらに限定されるものではなく、例えば、研削面３ａを平坦な面とし、当該研削装置をスロートハイトの調節等に用いても良い。
【００７４】
さらに、本発明は、加工物を所定の形状や寸法に研削する研削装置、研削装置用ヘッド、研削方法として説明したが、加工物の面を所定の表面粗さに加工するための研磨装置、研磨装置用ヘッド、研磨方法にも適用できることは言うまでもない。
【００７５】
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】実施形態の研削ヘッドの正面図である。
【図２】実施形態の研削ヘッドの下面図である。
【図３】（ａ）は、引っ張られた状態のラバーの平面図であり、（ｂ）は、引っ張られた状態のラバーの正面図である。
【図４】（ａ）は、ラバーを引っ張らずにローバーを研削した状態を示す模式図であり、（ｂ）は、研削盤と研削ヘッドとの位置関係を示す平面図である。
【図５】（ａ）は、電子部品を挟持保持した状態の保持シートの平面図である。（ｂ）は、図５（ａ）の側面図である。
【図６】研削装置を示す全体正面図である。
【図７】図５の研削装置の平面図である。
【図８】従来の磁気ヘッド研削装置の研削ヘッドの縦断面図である。
【符号の説明】
【００７７】
３            研削用定盤
２ａ          研削面
１５          研削ヘッド
１７          ローバー
１９          ラバー
６７          低摩擦シリンダ
８３、８５    第１保持部、第２保持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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