(57)【要約】【課題】  温度の上昇によって算出される試料の透過スペクトルにおける精度の低下を、簡単且つ安価な装置で回避できる赤外分光光度計を提供する。【解決手段】  干渉光を生成する干渉計２と、記干渉光を検出して試料インターフェログラム及びバックグランドインターフェログラムを得る検出器４と、検出器４の温度を測定する温度センサ６と、試料インターフェログラム及びバックグランドインターフェログラムをそれぞれフーリエ変換し、試料パワースペクトル及びバックグランドパワースペクトルを得る変換部７２と、温度センサ６が測定した温度と、検出器４の感度補正係数を用いて試料インターフェログラム等を補正する温度補正部７１と、補正後の試料パワースペクトルを補正前のバックグランドパワースペクトルで、又は補正前の試料パワースペクトルを補正後のバックグランドパワースペクトルで除算して試料スペクトルを算出する算出部７３とを備える。【選択図】    図１
2009014397.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉光を生成する干渉計と、
前記干渉光を検出して試料インターフェログラム及びバックグランドインターフェログラムを得る検出器と、
前記検出器の温度を測定する温度センサと、
前記試料インターフェログラム及びバックグランドインターフェログラムをそれぞれフーリエ変換し、試料パワースペクトル及びバックグランドパワースペクトルを得る変換部と、
前記温度センサが測定した温度と前記検出器の感度補正係数とを用いて、前記試料インターフェログラム、前記試料パワースペクトル、前記バックグランドインターフェログラム又は前記バックグランドパワースペクトルを補正する温度補正部と、
前記補正後の試料パワースペクトルを前記補正前のバックグランドパワースペクトルで除算して、又は前記補正前の試料パワースペクトルを前記補正後のバックグランドパワースペクトルで除算して試料スペクトルを算出する算出部
とを備えることを特徴とする赤外分光光度計。
【請求項２】
前記温度補正部は、前記試料インターフェログラム又は前記試料パワースペクトルに前記感度補正係数を乗算することを特徴とする請求項１に記載の赤外分光光度計。
【請求項３】
前記温度補正部は、前記バックグランドインターフェログラム又は前記バックグランドパワースペクトルを前記感度補正係数で除算することを特徴とする請求項１に記載の赤外分光光度計。
【請求項４】
試料のない状態におけるバックグランドインターフェログラムを検出器で検出するステップと、
前記バックグランドインターフェログラムをフーリエ変換し、バックグランドパワースペクトルを算出するステップと、
前記試料を通過した干渉光を試料インターフェログラムとして前記検出器で検出するステップと、
前記検出器の温度を測定するステップと、
前記試料インターフェログラムをフーリエ変換し、試料パワースペクトルを算出するステップと、
測定された温度と前記検出器の感度補正係数を用いて前記試料インターフェログラム、前記試料パワースペクトル、前記バックグランドインターフェログラム又は前記バックグランドパワースペクトルを補正するステップと、
前記補正後の試料パワースペクトルを前記補正前のバックグランドパワースペクトルで、又は前記補正前の試料パワースペクトルを前記補正後のバックグランドパワースペクトルで除算して試料スペクトルを算出するステップ
とを含むことを特徴とする赤外分光光度測定方法。
【請求項５】
前記補正が、前記試料インターフェログラム又は前記試料パワースペクトルに前記感度補正係数を乗算するステップを含むことを特徴とする請求項４に記載の赤外分光光度測定方法。
【請求項６】
前記補正が、前記バックグランドインターフェログラム又は前記バックグランドパワースペクトルを前記感度補正係数で除算するステップを含むことを特徴とする請求項４に記載の赤外分光光度測定方法。
【請求項７】
試料のない状態におけるバックグランドインターフェログラムを検出器に検出させる命令と、
前記バックグランドインターフェログラムをフーリエ変換し、バックグランドパワースペクトルを算出させる命令と、
試料を通過した干渉光を試料インターフェログラムとして検出させる命令と、
前記検出器の温度を測定させる命令と、
前記試料インターフェログラムをフーリエ変換し、試料パワースペクトルを算出させる命令と、
前記測定された温度と前記検出器の感度補正係数を用いて前記インターフェログラム、前記パワースペクトル、前記バックグランドインターフェログラム又は前記バックグランドパワースペクトルを補正させる命令と、
前記補正後の試料パワースペクトルを前記補正前のバックグランドパワースペクトルで、又は前記補正前の試料パワースペクトルを前記補正後のバックグランドパワースペクトルで除算して試料スペクトルを算出させる命令
とを含む一群の命令を、赤外分光光度計に実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項８】
前記試料インターフェログラム又は前記試料パワースペクトルに前記感度補正係数を乗算させる命令を含む一群の命令を赤外分光光度計に実行させることを特徴とする請求項７に記載のプログラム。
【請求項９】
前記バックグランドインターフェログラム又は前記バックグランドパワースペクトルを前記感度補正係数で除算させる命令を含む一群の命令を赤外分光光度計に実行させることを特徴とする請求項７に記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は赤外分光光度を算出する技術に関し、特に温度による影響を補正する検出器を備える赤外分光光度計、赤外分光光度測定方法及びこの赤外分光光度計を動作させるプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
フーリエ変換赤外分光光度計では、一般に焦電型検出器を使用する。焦電型検出器は、その感度に温度依存性を持っている。一般に、３０℃以下では出力は一定であり、それを超えると出力が低下し、キュリー温度を超えると焦電効果がなくなるために出力がなくなる。
【０００３】
フーリエ変換赤外分光光度計において、このような温度依存性を持つ検出器に赤外光が照射されると、使用と共に温度が上昇するので、使用時間により出力が変化してしまう問題がある。安定な測定を行うためには、検出器の温度を一定に保つ必要があり、その方法として電子冷熱素子等による冷却が採用されている（例えば、特許文献１参照。）。しかし、電子冷熱による温度調節は精度が悪いと逆に感度を不安定にさせる要因にもなる。そのため精度の良い温度調整が必要となり、装置の複雑化や製造コストの増大につながっている。
【特許文献１】特表２００３−５３２８８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、低コストで検出器の温度依存性の補正が可能な、精度の高い赤外分光光度計、赤外線分光光度測定方法及びこの赤外分光光度計を動作させるプログラムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の様態は、（イ）干渉光を生成する干渉計と、（ロ）干渉光を検出して試料インターフェログラム及びバックグランドインターフェログラムを得る検出器と、（ハ）検出器の温度を測定する温度センサと、（ニ）試料インターフェログラム及びバックグランドインターフェログラムをそれぞれフーリエ変換し、試料パワースペクトル及びバックグランドパワースペクトルを得る変換部と、（ホ）温度センサが測定した温度と、検出器の感度補正係数を用いて試料インターフェログラム、試料パワースペクトル、バックグランドインターフェログラム又はバックグランドパワースペクトルを補正する温度補正部と、（ヘ）補正後の試料パワースペクトルを補正前のバックグランドパワースペクトルで、又は補正前の試料パワースペクトルを補正後のバックグランドパワースペクトルで除算して試料スペクトルを算出する算出部とを備えることを特徴とする赤外分光光度計であることを要旨とする。
【０００６】
また、本発明の他の様態は、（イ）試料のない状態におけるバックグランドインターフェログラムを検出器で検出するステップと、（ロ）バックグランドインターフェログラムをフーリエ変換し、バックグランドパワースペクトルを算出するステップと、（ハ）試料を通過した干渉光を試料インターフェログラムとして検出器で検出するステップと、（ニ）検出器の温度を測定するステップと、（ホ）試料インターフェログラムをフーリエ変換し、試料パワースペクトルを算出するステップと、（ヘ）測定された温度と検出器の感度補正係数を用いて試料インターフェログラム、試料パワースペクトル、バックグランドインターフェログラム又はバックグランドパワースペクトルを補正するステップと、（ト）補正後の試料パワースペクトルを補正前のバックグランドパワースペクトルで、又は補正前の試料パワースペクトルを補正後のバックグランドパワースペクトルで除算して試料スペクトルを算出するステップとを含むことを特徴とする赤外分光光度測定方法であることを要旨とする。
【０００７】
さらに、本発明の他の様態は、（イ）試料のない状態におけるバックグランドインターフェログラムを検出器に検出させる命令と、（ロ）バックグランドインターフェログラムをフーリエ変換し、バックグランドパワースペクトルを算出させる命令と、（ハ）試料を通過した干渉光を試料インターフェログラムとして検出させる命令と、（ニ）検出器の温度を測定させる命令と、（ホ）試料インターフェログラムをフーリエ変換し、試料パワースペクトルを算出させる命令と、（へ）測定された温度と検出器の感度補正係数を用いてインターフェログラム、パワースペクトル、バックグランドインターフェログラム又はバックグランドパワースペクトルを補正させる命令と、（ト）補正後の試料パワースペクトルを補正前のバックグランドパワースペクトルで、又は補正前の試料パワースペクトルを補正後のバックグランドパワースペクトルで除算して試料スペクトルを算出させる命令とを含む一群の命令を赤外分光光度計に実行させることを特徴とするプログラムであることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、低コストで検出器の温度依存性の補正が可能な、精度の高い赤外分光光度計、赤外線分光光度測定方法及びこの赤外分光光度計を動作させるプログラムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであることに留意すべきである。また、以下に示す実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものではない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
【００１０】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係る赤外分光光度計は、図１に示すように、干渉光を生成する干渉計２と、干渉光を検出して試料インターフェログラム及びバックグランドインターフェログラムを得る検出器４と、検出器４の温度を測定する温度センサ６と、試料インターフェログラム及びバックグランドインターフェログラムをそれぞれフーリエ変換し、試料パワースペクトル及びバックグランドパワースペクトルを得る変換部７２と、温度センサ６が測定した温度と、検出器４の感度補正係数を用いてバックグランドインターフェログラムを補正する温度補正部７１と、補正前の試料パワースペクトルを補正後のバックグランドパワースペクトルで除算して試料スペクトルを算出する算出部７３とを備える。ここで、「試料スペクトル」は、試料の透過率スペクトル及び吸光度スペクトルを含み、試料スペクトルを用いることにより、試料に含まれる成分を特定したり、成分の含有量を推定したりすることができる。また、透過率スペクトル及び吸光度スペクトルは、お互いに一方から他方を算出することができ、使用目的によってどちらのスペクトルを適用するか使い分けることが出来る。
【００１１】
また、干渉計２には、波長測定、波長比測定、精密測長、表面粗さ測定及び膜厚測定等広い応用性のあるマイケルソン干渉計、ワークエリアの自由度が高く、光路が大きい大型であるマッハツェンダー干渉計、透過型試料の波面収差を測定可能なトワイマン・グリーン干渉計、屈折率の微小な変化を明暗のコントラストに変換するシュリーレン法装置及び球面や平面の表面の精度を光の波長単位で測定可能なフィゾー干渉計等が使用可能である。
【００１２】
また、試料室３は、干渉光が照射されるように測定対象の試料を設置及び固定する。
【００１３】
また、検出器４は、光源１が出射した赤外光を検出する。検出器４には、重水素化L−アラニンドープトリグリシン硫酸結晶（ＤＬＡＴＧＳ）、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ系）、タンタル酸リチウム(ＬｉＴａＯ３系)、ポリフツ化ビニリデン(ＰＶＦ２)等の焦電センサ等種々の赤外線検出器が採用可能である。ＤＬＡＴＧＳ素子は、潮解性を持つために，ＫＲＳ−５窓板を取り付けて外気から遮断した構造を取る。ＤＬＡＴＧＳの場合、感度が高いもののキュリー温度が低いため、素子の温調が必要であるが、本発明では精度の良い温調器は不要である。
【００１４】
また、ＡＤ変換器５は、検出器４が出力したインターフェログラムのアナログ電気信号をデジタル信号に変換する。
【００１５】
また、温度センサ６は、検出器４又は検出器周辺の温度を測定する。温度センサ６には、熱電対等が使用可能である。温度センサ６は、例えば図４に示すように、検出器４に密着させた放熱板４１に埋め込む等により、熱接面抵抗を小さくする事が好ましい。図４に示した構成では温度センサ６が測定する温度は検出器４の温度と正確には異なるが、温度センサ６を検出器４の近傍に配置することで、検出器４の温度とみなすことができる。
【００１６】
また、中央演算処理装置（ＣＰＵ）７は、ＡＤ変換器５から出力されたデジタル信号に変換されたインターフェログラムから試料スペクトルを算出する。さらに、ＣＰＵ７は、温度補正部７１、変換部７２及び算出部７３を備える。
【００１７】
ここで、「検出器感度変化情報」とは、検出器４の温度の変化と、温度に対応した検出器４の出力（感度）の変化の関係を示すデータ群であり、図２で示されるグラフの関係を有する。また、「感度補正係数」とは、「検出器感度変化情報」より算出される、任意の温度における検出器４の出力(感度)変化の割合である。「感度補正係数」を用いて、所定の計算をすることで、温度による検出器４の出力変化を補正し、温度の影響を受けない状態における検出器４による出力を得ることができる。
【００１８】
ＣＰＵ７は、様々な数値計算や情報処理、機器制御などを行うコンピュータにおける中心的な回路であり、命令の解釈とプログラムの流れの制御を行う制御機能（制御回路）や、プログラムの実行を行う演算機能（演算回路）を備える。
【００１９】
また、記憶装置８は、温度センサ６が測定した試料計測時における検出器４の温度、温度補正部７１が生成した検出器感度変化情報、検出器感度変化情報より算出した、各温度に対応する感度補正係数、予め測定したバックグランドインターフェログラム及びバックグランドインターフェログラムより算出したバックグランドパワースペクトル等を記憶する。
【００２０】
記憶装置８には、ＣＰＵ７において実行されるプログラムや各種データを格納するＲＯＭや、プログラムの実行処理中に利用されるデータ等を一時的に格納したり、作業領域として利用される一時的なデータメモリ等として機能ＲＡＭが使用可能である。記憶装置８には例えば、半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスクや磁気テープ等種々の記憶媒体が利用可能であり、記憶された情報をデータとして管理し、容易に検索・抽出などの再利用をできるようにしたデータベースの形式で構築することができる。
【００２１】
次に、本発明の第１の実施の形態に係る赤外分光光度測定方法を図１及び図４を参照しながら図３のフローチャートを用いて説明する。
【００２２】
（ａ）ステップＳ１０１において、図１の赤外分光光度計１０に電源が投入されると、ステップＳ１０２において、検出器４が試料のない状態における試料室３を透過した干渉光をバックグランドインターフェログラムとして受光し、検出器４が光信号をアナログ電気信号に光電変換する。出力されたバックグランドインターフェログラムのアナログ電気信号をＡＤ変換器５でデジタル信号に変換する。
【００２３】
（ｂ）ステップＳ１０３において、ステップＳ１０２が開始されると同時に、バックグランドインターフェログラムを受光する図４に示す検出器４の温度を、図１及び図４に示す温度センサ６が測定する。検出器４の温度及び試料のない状態における試料室３を通して検出された干渉光をデジタル信号に変換したバックグランドインターフェログラムはＣＰＵ７が記憶装置８に、バックグランドパワースペクトル検出時の温度データと共に記憶する。
【００２４】
（ｃ）ステップＳ１０４において、温度センサ６が測定した温度と、記憶装置８に予め記憶された検出器４の温度による感度特性を示す検出器感度変化情報から図１に示す温度補正部７１は測定された温度における感度補正係数を算出し、赤外分光光度計１０の出力結果に及ぼす温度変化の影響ができるだけ小さくなるようにバックグランドインターフェログラムの補正を行う。第１の実施の形態では、バックグランドインターフェログラムを温度センサ６が測定した温度から算出される感度補正係数で除算してバックグランドインターフェログラムの補正を行う。補正後のバックグランドインターフェログラムは記憶装置８に記憶される。
【００２５】
（ｄ）ステップＳ１０５において、変換部７２が、補正後のバックグランドインターフェログラムをフーリエ変換し、補正後のバックグランドパワースペクトルを得る。得られた補正後のバックグランドパワースペクトルは記憶装置８に記憶される。
【００２６】
（ｅ）ステップＳ１０６において、ＣＰＵ７は、試料室３に試料が設置されているかどうかを確認する。試料が設置されていなければ、ステップＳ１０７において、試料を試料室３に設置するよう促し、ステップＳ１０２に移る。試料が試料室３に設置されていれば、ステップＳ１０８に移る。ステップＳ１０１の電源投入直後の最初のステップＳ１０５では、バックグランドパワースペクトルを得た段階であるため、試料は試料室３に設置されておらず、ステップＳ１０７で試料を試料室３に設置した後、ステップＳ１０２に移る。
【００２７】
（ｆ）ステップＳ１０２において、図１の検出器４が試料室３に設置された試料を透過した干渉光を受光し、検出器４が光信号をアナログ電気信号に光電変換する。出力された干渉光のアナログ電気信号をＡＤ変換器５でデジタル信号に変換する。
【００２８】
（ｇ）一方、ステップＳ１０３において、ステップＳ１０２が開始されると同時に、干渉光（試料インターフェログラム）を受光する図４に示す検出器４の温度を、図１及び図４に示す温度センサ６が測定する。検出器４の温度及び試料を通して測定された干渉光（試料インターフェログラム）をデジタル信号に変換した試料インターフェログラムはＣＰＵ７が記憶装置８に、試料パワースペクトル検出時の温度データと共に記憶する。
【００２９】
（ｈ）第１の実施の形態では、補正された試料スペクトルを算出するのに、補正後のバックグランドパワースペクトルを使用する。そのため、試料インターフェログラムの補正を行う処理である、ステップＳ１０１の電源投入直後の２回目のステップＳ１０４はスキップする。
【００３０】
（ｉ）ステップＳ１０５において、変換部７２が、補正前の試料インターフェログラムをフーリエ変換し、補正前の試料パワースペクトルを得る。得られた補正前の試料パワースペクトルは記憶装置８に記憶される。
【００３１】
（ｊ）ステップＳ１０６において、ＣＰＵ７は、試料室３に試料が設置されているかどうかを再び確認する。試料が設置されていなければ、ステップＳ１０７において、試料を設置するよう促し、ステップＳ１０２に移る。試料が設置されていれば、ステップＳ１０８に移る。（ｉ）のステップＳ１０５では、試料パワースペクトルを得た段階であるため、試料は設置されておりステップＳ１０８に移る。
【００３２】
（ｋ）ステップＳ１０８において、算出部７３が、補正前の試料パワースペクトルを補正後のバックグランドパワースペクトルで除算することにより、補正された試料の試料スペクトルを算出する。
【００３３】
これにより、本発明の第１の実施の形態に係る赤外分光光度計１０を用いた試料の測定において算出される試料の試料スペクトルが、検出器４の温度変化によって影響を受ける際、温度の影響による試料パワースペクトルの値の変化を補正し、正確な値を算出することができる。
【００３４】
次に、本発明の第１の実施の形態に係る赤外分光光度計１０によって算出された補正後の試料スペクトルの精度について説明する。図５（ａ）及び図７は温度による影響に対して補正を行わない状態で計測したパワースペクトル、すなわち破線がバックグランドパワースペクトルで実線が試料パワースペクトルのグラフである。また、図５（ｂ）及び図８は図５（ａ）及び図７に対して試料パワースペクトルをバックグランドパワースペクトルでそれぞれ除算して算出した試料スペクトルのグラフである。図５（ａ）及び図７からわかるように、時間の経過と共に赤外線の照射及び図１に示す光源１等からの温度の伝播により、検出器４の温度が上昇するために、検出器４の出力が低下する。そのため、図５（ｂ）から明らかなように試料の試料スペクトルのベースラインは１００％より低下する。
【００３５】
一方、図６（ａ）及び図９は温度による影響に対して補正を行ったパワースペクトル、である。図６（ａ）及び図９において上側の実線が補正後のバックグランドパワースペクトル及び下側の実線が試料パワースペクトルである。なお、図６（ａ）の破線は図５（ａ）の破線と同様の補正を行っていないバックグランドパワースペクトルであり、補正後のバックグランドパワースペクトルとの比較のために示している。図６（ｂ）及び図１０は図６（ａ）及び図９より算出した補正後の試料スペクトルである。図６（ｂ）及び図１０より明らかなように、試料の試料スペクトルのベースラインは１００％で安定している。これより、温度補正部７１が検出器４の出力したインターフェログラムを感度補正係数で補正した結果、精度の良い試料スペクトルを算出できたことがわかる。
【００３６】
本発明の第１の実施の形態に係る赤外分光光度計１０によれば、温度の上昇によって算出される試料の透過スペクトルにおける精度の低下を、簡単且つ安価な装置で回避できる。特に、ペルチェ素子等に代表される熱電素子のような温度調節機能を備える機器を検出器に取り付けることをせずに小型且つ安価な装置で簡単及び迅速に試料スペクトルを算出可能である。
【００３７】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態に係る赤外分光光度計の構成は、図１に示した第１の実施の形態に係る赤外分光光度計１０の構成と基本的に同様である。但し、第２の実施の形態に係る赤外分光光度計においては、温度補正部７１は、検出器４の感度補正係数を用いて試料インターフェログラムを補正し、算出部７３は、補正後の試料パワースペクトルを補正前の（補正をしていない）バックグランドパワースペクトルで除算して試料スペクトルを算出する点が、第１の実施の形態に係る赤外分光光度計とは異なる。他は、第１の実施の形態に係る赤外分光光度計１０と実質的に同様であるので、重複した装置の説明を省略する。
【００３８】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る赤外分光光度測定方法を、第１の実施の形態の説明した図１及び図４を転用して参照しながら、図３のフローチャートを用いて説明する。
【００３９】
（ａ）ステップＳ１０１において、図１の赤外分光光度計１０に電源が投入されると、ステップＳ１０２において、検出器４が試料のない状態における試料室３を透過した干渉光（バックグランドインターフェログラム）を受光し、検出器４が光信号をアナログ電気信号に光電変換する。出力された干渉光のアナログ電気信号をＡＤ変換器５でデジタル信号に変換する。
【００４０】
（ｂ）ステップＳ１０３において、ステップＳ１０２が開始されると同時に、干渉光（バックグランドインターフェログラム）を受光する図４に示す検出器４の温度を、図１及び図４に示す温度センサ６が測定する。検出器４の温度及び試料のない状態における試料室３を通して検出された干渉光をデジタル信号に変換したバックグランドインターフェログラムはＣＰＵ７が記憶装置８に、バックグランドパワースペクトル検出時の温度データと共に記憶する。
【００４１】
（ｃ）第２の実施の形態では、補正された試料スペクトルを算出するのに、補正後の試料パワースペクトルを使用する。そのため、バックグランドインターフェログラムの補正を行う処理である、ステップＳ１０１の電源投入直後の最初のステップＳ１０４はスキップする。
【００４２】
（ｄ）ステップＳ１０５において、変換部７２が、補正前の（補正をしていない）バックグランドインターフェログラムをフーリエ変換し、補正前の（補正をしていない）バックグランドパワースペクトルを得る。得られた補正前の（補正をしていない）バックグランドパワースペクトルは記憶装置８に記憶される。
【００４３】
（ｅ）ステップＳ１０６において、ＣＰＵ７は、試料室３に試料が設置されているかどうかを確認する。試料が試料室３に設置されていなければ、ステップＳ１０７において、試料を試料室３に設置するよう促し、ステップＳ１０２に移る。試料が試料室３に設置されていれば、ステップＳ１０８に移る。ステップＳ１０１の電源投入直後の最初のステップＳ１０５では、バックグランドパワースペクトルを得た段階であるため、試料は試料室３に設置されておらず、ステップＳ１０７で試料を試料室３に設置した後、ステップＳ１０２に移る。
【００４４】
（ｆ）ステップＳ１０２において、図１の検出器４が、試料室３に設置された試料を透過した干渉光（試料インターフェログラム）を受光し、検出器４が光信号をアナログ電気信号に光電変換する。出力された干渉光（試料インターフェログラム）のアナログ電気信号をＡＤ変換器５でデジタル信号に変換する。
【００４５】
（ｇ）一方、ステップＳ１０３において、ステップＳ１０２が開始されると同時に、試料インターフェログラムを受光する図４に示す検出器４の温度を、図１及び図４に示す温度センサ６が測定する。検出器４の温度及び試料を通して測定された干渉光をデジタル信号に変換した試料インターフェログラムはＣＰＵ７が記憶装置８に、試料パワースペクトル検出時の温度データとともに記憶する。
【００４６】
（ｈ）ステップＳ１０４において、温度センサ６が測定した温度と、記憶装置８に予め記憶された検出器４の温度による感度特性を示す検出器感度変化情報から図１に示す温度補正部７１は測定された温度における感度補正係数を算出し、赤外分光光度計１０の出力結果に及ぼす温度変化の影響ができるだけ小さくなるように試料インターフェログラムの補正を行う。第２の実施の形態では、試料インターフェログラムに温度センサ６が測定した温度から算出される感度補正係数を乗算して試料インターフェログラムの補正を行う。補正後の試料インターフェログラムは記憶装置８に記憶される。
【００４７】
（ｉ）ステップＳ１０５において、変換部７２が、補正後の試料インターフェログラムをそれぞれフーリエ変換し、補正後の試料パワースペクトルを得る。得られた補正後の試料パワースペクトルは記憶装置８に記憶される。
【００４８】
（ｊ）ステップＳ１０６において、ＣＰＵ７は、試料室３に試料が設置されているかどうかを再び確認する。試料が設置されていなければ、ステップＳ１０７において、試料を設置するよう促し、ステップＳ１０２に移る。試料が設置されていれば、ステップＳ１０８に移る。（ｉ）のステップＳ１０５では、試料パワースペクトルを得た段階であるため、試料は設置されておりステップＳ１０８に移る。
【００４９】
（ｋ）ステップＳ１０８において、算出部７３が、補正後の試料パワースペクトルを補正前の（補正をしていない）バックグランドパワースペクトルで除算することにより、補正された試料の試料スペクトルを算出する。
【００５０】
本発明の第２の実施の形態に係る赤外分光光度計１０によって算出された補正後の試料スペクトルの精度は、本発明の第１の実施の形態に係る赤外分光光度計１０によって算出された補正後の試料スペクトルと同様に、精度の良い試料スペクトルを算出できる。
【００５１】
したがって、本発明の第２の実施の形態に係る赤外分光光度計１０によって、温度の上昇により影響される試料の透過スペクトルにおける精度の低下を、簡単且つ安価な装置で回避できる。
【００５２】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００５３】
例えば、第１の実施の形態では、補正された試料スペクトルを算出するための補正後のバックグランドパワースペクトルは、検出器４が検出したバックグランドインターフェログラムを温度補正部７１が補正し、その後、変換部７２がフーリエ変換することで得ると説明した。これに対し、補正された試料スペクトルを算出するための補正後のバックグランドパワースペクトルは、検出器４が検出したバックグランドインターフェログラムを変換部７２がフーリエ変換し、変換されたバックグランドパワースペクトルを温度補正部７１が補正することで得てもよい。
【００５４】
また、第２の実施の形態では、補正された試料スペクトルを算出するための補正後の試料パワースペクトルは、検出器４が検出した試料インターフェログラムを温度補正部７１が補正し、その後、変換部７２がフーリエ変換することで得ると説明した。これに対し、補正された試料スペクトルを算出するための補正後の試料パワースペクトルは、検出器４が検出した試料インターフェログラムを変換部７２がフーリエ変換し、変換された試料パワースペクトルを温度補正部７１が補正することで得てもよい。
【００５５】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計の主要部の概略を説明する模式的なブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計が、温度の影響を受ける際の感度特性を示すグラフ図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計が、温度の影響を補正し、試料スペクトルを算出する方法を示すフローチャート図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計の主要部の模式図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計が算出した試料パワースペクトル、バックグランドパワースペクトル及び試料スペクトルのグラフの模式図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計が算出した試料パワースペクトル、補正後のバックグランドパワースペクトル及び補正後の試料スペクトルのグラフの模式図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計が算出した試料パワースペクトル及びバックグランドパワースペクトルの実際のグラフ図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計が算出した試料スペクトルの実際のグラフ図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計が算出した試料パワースペクトル及び補正後におけるバックグランドパワースペクトルの実際のグラフ図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る赤外分光光度計が算出した補正後における試料スペクトルの実際のグラフ図である。
【符号の説明】
【００５７】
１…光源
２…干渉計
３…試料室
４…検出器
５…ＡＤ変換器
６…温度センサ
７…中央演算処理装置（ＣＰＵ）
８…記憶装置
１０…赤外分光光度計
４１…放熱板
７１…温度補正部
７２…変換部
７３…算出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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