(57)【要約】【課題】機械部品、電気部品などの被洗浄物を良好に洗浄することができると共に、洗浄槽外への洗浄液ミストの散逸を低減し、洗浄液の回収効率を向上させることができる洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄槽１の下部に浸漬洗浄室２が設けられ、上部に被洗浄物の液切り処理を行なう液切り室５が設けられる。液切り室５内には、洗浄液を被洗浄物に吹き付けてスプレー洗浄を行なうスプレーノズル７と、洗浄後の液切り処理を行なうために空気を被洗浄物に吹き付けるエアーブローノズル６が配設される。気体吸引エジェクタ１６が液切り室５内の洗浄液ミストや気化ガスを吸引して回収するように管路を介して接続される。気体吸引エジェクタ１６は、浸漬洗浄室２の洗浄液をポンプ１４により圧送する際の洗浄液の噴出に伴って吸引力を発生させる。【選択図】図１
2009006241.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波を印加して洗浄し、洗浄後の被洗浄物を液切り室内に移動させて液切り処理を行なう洗浄装置であって、
下部に洗浄液を収容し超音波発振器を配置してなる浸漬洗浄室を設けると共に、上部に被洗浄物の液切り処理を行なう液切り室を設けた洗浄槽と、
該洗浄槽内で該被洗浄物を昇降させる昇降装置と、
該液切り室内に配設され、洗浄液を被洗浄物に吹き付けてスプレー洗浄を行なうスプレー洗浄機構と、
該液切り室内に配設され空気を被洗浄物に吹き付けて該被洗浄物の表面の洗浄液の液切り処理を実施する液切り機構と、
該液切り室内に配設され、室内の洗浄液ミストや気化ガスを吸引して回収する回収吸引機構と、
を備え、
該回収吸引機構には、該液切り室内に配設された回収吸引部材に管路を介して接続され、吸引力を生じさせる気体吸引エジェクタが設けられ、該気体吸引エジェクタは、該浸漬洗浄室の洗浄液をポンプにより圧送する際の該洗浄液の噴出に伴って該吸引力を発生させるように構成されたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記気体吸引エジェクタは、前記ポンプにより洗浄液を圧送する管路に接続されたノズル管と、該ノズル管の絞り先端から外側を覆うように配置され、管路を介して上記回収吸引部材に接続された外筒と、を備え、該ノズル管の絞り先端の周囲の外筒内に拡散室が形成され、該ノズル管の絞り先端から該拡散室に洗浄液を噴出し、該拡散室の圧力を低下させ、該外筒の一部に接続された回収吸引部材から気体を吸引するように構成されたことを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記スプレー洗浄機構は、前記液切り室内にスプレーノズルが配設され、該スプレーノズルには、管路を通して、前記気体吸引エジェクタのノズル管から噴出された洗浄液が供給され、該洗浄液をスプレーすることを特徴とする請求項２記載の洗浄装置。
【請求項４】
被洗浄物を洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波を印加して洗浄し、洗浄後の被洗浄物を液切り室内に移動させて液切り処理を行なう洗浄装置であって、
下部に洗浄液を収容し超音波発振器を配置してなる浸漬洗浄室を設けると共に、上部に被洗浄物の液切り処理を行なう液切り室を設けた洗浄槽と、
該洗浄槽内で該被洗浄物を昇降させる昇降装置と、
該液切り室内に配設され洗浄液を被洗浄物に吹き付けてスプレー洗浄を行なうスプレー洗浄機構と、
該液切り室内に配設され空気を被洗浄物に吹き付けて該被洗浄物の表面の洗浄液の液切り処理を実施する液切り機構と、
該液切り室内に配設され室内の洗浄液ミストや気化ガスを吸引して回収する回収吸引機構と、
を備え、
該回収吸引機構には液切り室内に配設された回収吸引部材に管路を介して接続され、該回収吸引部材に吸引力を生じさせる液封式真空ポンプが設けられ、該液封式真空ポンプは、該液切り室内の気体を吸引して排気を該液切り室に戻し、該気体から回収した液体は該浸漬洗浄室に戻すように該洗浄槽に管路接続されたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
前記スプレー洗浄機構は、前記液切り室内にスプレーノズルが配設され、該スプレーノズルには、前記浸漬洗浄室内の洗浄液を吸引して圧送するポンプの吐出側が管路を介して接続され、該洗浄液をスプレーすることを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属、合成樹脂等の機械部品或いは電子部品などの被洗浄物を洗浄槽内で洗浄して油脂類や異物等を除去する洗浄装置に関し、特に、被洗浄物に対し液中で超音波を印加して超音波洗浄を行なうと共に、洗浄後の被洗浄物を洗浄槽内の空気中で液切り処理を行う間、洗浄槽内に飛散した洗浄液ミストを効率よく回収可能な洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品、機械部品などの洗浄を行なう洗浄装置として、下記特許文献１などにおいて、減圧式の洗浄装置が提案されている。この洗浄装置は、洗浄槽の下部に洗浄液を入れ超音波振動子により超音波を印加する浸漬洗浄部を設けると共に、被洗浄物をその浸漬洗浄部に浸漬するための昇降装置を洗浄槽内に配設し、密閉可能な洗浄槽内に、真空ポンプに接続された接続管を接続して、洗浄槽内を減圧可能とし、洗浄後に浸漬洗浄部から引き上げた被洗浄物を洗浄槽内の上部で減圧乾燥させる構造である。
【特許文献１】特開平５−２６１３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、この従来の洗浄装置は、被洗浄物を減圧乾燥させる際、洗浄液の付着した載置台及び被覆体を真空ポンプで真空吸引して減圧し、多量に付着した洗浄液を吸引乾燥するため、必然的に大容量、高真空度の高い能力を備えた大型の真空ポンプを必要とし、設備費が高くなる不具合があった。
【０００４】
さらに、真空ポンプが多量の洗浄液を真空吸引するため、真空ポンプ内への洗浄液の流入量が増大し、このために、真空ポンプの吐出側に高性能のフィルタや回収装置を装着し、排気からの洗浄液の回収を確実に行なう必要があった。このため、フィルタや回収装置として、活性炭吸着装置、冷却凝縮回収装置などが使用される場合があるが、これらの回収装置は形状が大型化し、またコストが高いという課題があった。
【０００５】
一方、真空ポンプによる洗浄液の回収が効率よく行なわれない洗浄槽では、槽内に残留した洗浄液ミストが扉の隙間などから外部に散逸し、周囲の環境を悪化させる一方、洗浄液の消費量が増大しやすいという課題があった。
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するものであり、機械部品、電気部品などの被洗浄物を良好に洗浄することができると共に、洗浄槽外への洗浄液ミストの散逸を低減し、洗浄液の回収効率を向上させることができる洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る請求項１の洗浄装置は、被洗浄物を洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波を印加して洗浄し、洗浄後の被洗浄物を液切り室内に移動させて液切り処理を行なう洗浄装置であって、下部に洗浄液を収容し超音波発振器を配置してなる浸漬洗浄室を設けると共に、上部に被洗浄物の液切り処理を行なう液切り室を設けた洗浄槽と、該洗浄槽内で該被洗浄物を昇降させる昇降装置と、該液切り室内に配設され、洗浄液を被洗浄物に吹き付けてスプレー洗浄を行なうスプレー洗浄機構と、該液切り室内に配設され空気を被洗浄物に吹き付けて該被洗浄物の表面の洗浄液の液切り処理を実施する液切り機構と、該液切り室内に配設され、室内の洗浄液ミストや気化ガスを吸引して回収する回収吸引機構と、を備え、該回収吸引機構には、該液切り室内に配設された回収吸引部材に管路を介して接続され、吸引力を生じさせる気体吸引エジェクタが設けられ、該気体吸引エジェクタは、該浸漬洗浄室の洗浄液をポンプにより圧送する際の該洗浄液の噴出に伴って該吸引力を発生させるように構成されたことを特徴とする。
【０００８】
ここで、上記気体吸引エジェクタは、上記ポンプにより洗浄液を圧送する管路に接続されたノズル管と、該ノズル管の絞り先端から外側を覆うように配置され、管路を介して上記回収吸引部材に接続された外筒と、を備え、該ノズル管の絞り先端の周囲の外筒内に拡散室が形成され、該ノズル管の絞り先端から該拡散室に洗浄液を噴出し、該拡散室の圧力を低下させ、該外筒の一部に接続された回収吸引部材から気体を吸引するように構成することができる。
【０００９】
また、上記スプレー洗浄機構は、上記液切り室内にスプレーノズルが配設され、該スプレーノズルには、管路を通して、上記気体吸引エジェクタのノズル管から噴出された洗浄液を供給し、該洗浄液をスプレーするように構成することができる。
【発明の効果】
【００１０】
上記請求項１の洗浄装置によれば、被洗浄物は浸漬洗浄室内で浸漬洗浄されると共に、その上方の液切り室で、洗浄液を噴射されてスプレー洗浄され、その後、液切り室内の空気中でエアーブローを受けて液切り処理を行なうため、被洗浄物は効率良く、細部まで良好に洗浄し、液切りを行なうことができる。また、洗浄槽の液切り室内に配置した回収吸引部材を通して液切り室内の気体が吸引され、洗浄槽内が負圧となるため、外部への洗浄液ミストや気化ガスの散逸を低減することができる。
【００１１】
また、回収吸引部材を通して吸引した液切り室内の洗浄液ミストや気化ガスは、気体吸引エジェクタ内で洗浄液と混合されて洗浄槽の浸漬洗浄室に戻され、回収される。このため、従来使用していた洗浄液ミスト回収用の活性炭吸着装置や冷却凝縮回収装置などの大型の回収装置は不要となり、スプレー洗浄用のポンプと簡単な構造の気体吸引エジェクタなどの小型で安価な設備を用いて、洗浄槽内の洗浄液ミストや気化ガスを吸引回収することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は洗浄装置の断面図を示している。本洗浄装置は、基本的に、バスケットなどに収容した被洗浄物Ｗを洗浄槽１内下部の浸漬洗浄室２の洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波発振器１３から超音波を印加して超音波洗浄を実施し、洗浄後の被洗浄物を洗浄槽１内上部の空気中である液切り室５内に上昇させ、スプレーノズル７から洗浄液を吹き付けてスプレー洗浄を行なった後、エアーブローノズル６からエアーブローを実施し液切りを行うように構成される。
【００１３】
洗浄槽１の上部空間に形成された液切り室５には、室内を負圧にして、洗浄液ミストや気化ガスを吸引する回収吸引部材８，９が配設され、回収吸引部材８，９は気体吸引エジェクタ１６に管路２２を介して接続され、吸引された洗浄液ミストや気化ガスは回収されて洗浄槽１内に戻されるように、配管接続される。
【００１４】
洗浄槽１の上面に被洗浄物の出入口３が設けられ、出入口３には、図示しない開閉機構により開閉される扉４が設けられ、扉４を閉じた状態で、洗浄槽１内を気密的に閉鎖することができる。浸漬洗浄室２内に洗浄液を加熱するためのヒータ１２が設けられている。洗浄液として、炭化水素系溶剤、テルペン系溶剤などの揮発性有機化合物溶剤が浸漬洗浄室２内に貯留される。
【００１５】
液切り室５の上部に配設された回収吸引部材８，９は、パイプの外周部に多数のスリットが穿設され、スリットを通してパイプ内に、洗浄槽１の上部の液切り室５内の洗浄液ミストや気化ガスを、吸引回収する構造である。回収吸引部材８，９は、管路２２を介して気体吸引エジェクタ１６の吸引口１６ｄに接続され、気体吸引エジェクタ１６の作用によりパイプ内に負圧を生じさせ、スリットを通して洗浄液ミストや気化ガスを吸引する構造となっている。
【００１６】
気体吸引エジェクタ１６は、ノズル管１６ａと外筒１６ｂを有し、管路２３とフィルタ１５を介してポンプ１４に接続されるノズル管１６ａは、圧送された洗浄液を絞って加速して、外筒１６ｂ内の拡散室１６ｃに向けて噴出する。外筒１６ｂはノズル管１６ａの周囲を覆うように配設され、内部に拡散室１６ｃが形成されると共に、外筒１６ｂの一部に吸引口１６ｄが設けられ、吸引口１６ｄには管路２２が接続される。また、外筒１６ｂ内の拡散室１６ｃの先端側にディフューザ部が設けられ、ディフューザ部の先端側に吐出口１６ｅが形成され、吐出口１６ｅには管路２４が接続される。
【００１７】
さらに、気体吸引エジェクタ１６のノズル管１６ａの末端部には、ポンプ１４、フィルタ１５を接続した管路２３が接続され、吐出口１６ｅは管路２４及び切替弁１７を介して洗浄槽１内に接続されている。これにより、気体吸引エジェクタ１６の作動時、ポンプ１４により吸引された浸漬洗浄室２内の洗浄液が加圧されてノズル管１６ａに圧送される。このとき、ノズル管１６ａの絞り先端から外筒１６ｂ内の拡散室１６ｃに向けて洗浄液が加速されて噴出され、これによって、拡散室１６ｃ内の圧力が低下し、外筒１６ｂの吸引口１６ｄに負圧が発生するこの吸引口１６ｄの負圧が、管路２２及び回収吸引部材８，９を通して、液切り室５内の気体（洗浄液ミストや気化ガス）を吸引する。
【００１８】
ポンプ１４により吸引された浸漬洗浄室２内の洗浄液は、加圧されて気体吸引エジェクタ１６のノズル管１６ａに圧送された後、管路２４を通して浸漬洗浄室２に戻されるが、この管路２４に接続された切替弁１７を切り替えることにより、ポンプ１４により圧送された洗浄液は、可撓性管を介してスプレーノズル７のスプレー管７ａに供給され、スプレーノズル７から洗浄液を被洗浄物に対しスプレーし、スプレー洗浄するように構成される。このスプレーノズル７のスプレー管７ａは、上記スプレー洗浄機構を構成し、このスプレー洗浄機構には水平移動機構が設けられる。水平移動機構は、ロッドレスシリンダ１１の移動部にスプレー管７ａを保持させて構成され、スプレーノズル７は、浸漬洗浄後のスプレー洗浄時に、ロッドレスシリンダ１１の動作によって、洗浄槽１の上部の液切り室５内で往復水平移動し、被洗浄物全体に洗浄液を噴き付け、スプレー洗浄を行なう。
【００１９】
さらに、洗浄槽１の上部の液切り室５内に上記液切り機構として、エアーブローノズル６が、空気を噴出して、被洗浄物の表面に残留した洗浄液の液切りを行なうために、配設される。エアーブローノズル６は、エアー管６ａの先端に取り付けられ、エアー管６ａは、水平移動機構としてのロッドレスシリンダ１０の移動部に保持され、エアーブローノズル６は、スプレー洗浄後の液切り時に、ロッドレスシリンダ１０の動作により、洗浄槽１の上部の液切り室５内で往復水平移動し、被洗浄物全体に空気を吹き付けて洗浄液の液切り処理を行なう。
【００２０】
液切り時に圧力空気をエアーブローノズル６に供給するために、エアー管６ａの末端に可撓性管を介して空気管２５が接続される。空気管２５は、エアーバルブ１８、エアーフィルタ１９、及び圧力レギュレータ２０を介して、圧力空気源２１に接続される。これにより、圧力空気源２１から供給される圧力空気は、エアーバルブ１８の開放時、エアーフィルタ１９及び圧力レギュレータ２０を通り、空気管２５を通してエアーブローノズル６に供給される。このときの空気圧は圧力レギュレータ２０により、例えば０．２〜０．３ＭＰａ程度の圧力に調整される。圧力空気を供給されるエアーブローノズル６から、被洗浄物Ｗに向けて上記圧力の圧力空気が吹き付けられ、液切り処理が行なわれる。
【００２１】
上述のように、洗浄槽１の液切り室５内の上部には、室内の洗浄液ミストや気化ガスを吸引する上記回収吸引機構として、パイプ状の回収吸引部材８、９が配設される。これらの回収吸引部材８，９は、パイプの外周部に多数のスリットを設け、スリットを通して室内の気化ガスなどをパイプ内に吸引するように形成される。液切り処理の際及びスプレー洗浄の際には、気体吸引エジェクタ１６の動作により、その吸引口１６ｄに発生した負圧を液切り室５に印加し、液切り室５内に充満する洗浄液ミストや気化ガスを管内に吸引して、洗浄槽１内に戻す構造となっている。
【００２２】
なお、図示は省略されているが、被洗浄物Ｗはそれ自体或いは収納籠がワイヤにより吊下げられ、ワイヤ巻上げ機により昇降させる昇降機構、或いは流体圧シリンダの作動により被洗浄物の収納籠を上下に移動させる昇降機構などが、洗浄槽１自体に、或いは洗浄槽の近傍に配設される。
【００２３】
次に、上記構成の洗浄装置の動作を説明する。洗浄槽１の浸漬洗浄室２内には、炭化水素系溶剤、テルペン系溶剤などの揮発性有機化合物溶剤が貯留される。
【００２４】
洗浄開始時、図１に示すように、洗浄槽１上部の出入口３の扉４が開放され、開放された出入口３から、図示しない昇降装置により、被洗浄物Ｗがそのまま或いはバスケットなどに入れられた状態で、洗浄槽１内に下ろされ、扉４が閉じられる。そして、被洗浄物Ｗは、図２に示すように、浸漬洗浄室２内の洗浄液中に浸漬される。浸漬洗浄室２内の洗浄液は、ヒータ１２により加温されると共に、超音波発振器１３の動作によって超音波を印加されて、洗浄液内で超音波洗浄が実施され、被洗浄物Ｗは、超音波により生じたキャビテーションにより効果的に洗浄される。
【００２５】
所定時間の超音波浸漬洗浄が終了すると、次に、図示しない昇降装置によって、図３のように、被洗浄物Ｗを、洗浄槽１内上部の液切り室５の位置まで上昇させて停止させる。ポンプ１４は常時起動しており、これにより、浸漬洗浄室２内の洗浄液をフィルタ１５を通して気体吸引エジェクタ１６に洗浄液を圧送する。このとき、気体吸引エジェクタ１６では、圧送された洗浄液がノズル管１６ａに送られ、ノズル管１６ａの絞り先端から外筒１６ｂ内の拡散室１６ｃに向けて洗浄液が噴出され、拡散室１６ｃ内の圧力が低下する。この気体吸引エジェクタ１６の拡散室１６ｃの圧力低下に伴い、吸引口１６ｄに負圧が発生する。
【００２６】
一方、拡散室１６ｃから吐出口１６ｅに噴出した洗浄液は、切替弁１７がスプレー洗浄側に切り替えられている場合、吐出口１６ｅからスプレー管７ａのスプレーノズル７に圧送され、被洗浄物Ｗに向けて洗浄液が噴射されることにより、スプレー洗浄が行なわれる。
【００２７】
このとき、図３のように、水平移動機構のロッドレスシリンダ１１の移動部が往復移動し、スプレーノズル７が水平往復移動しながらスプレーが行なわれ、被洗浄物Ｗ全体に洗浄液が吹き付けられ、スプレー洗浄が効果的に実施される。
【００２８】
一方、気体吸引エジェクタ１６内のエジェクタ効果により発生した外筒１６ｂの吸引口１６ｄの負圧は、管路２２及び回収吸引部材８，９を通して、液切り室５内に作用し、これにより、液切り室５内の気体（洗浄液ミストや気化ガス）が吸引され、洗浄液ミストや気化ガスは吐出口１６ｅから切替弁１７を介して洗浄槽１内に回収される。つまり、回収吸引部材８，９を通して吸引回収された洗浄液ミストや気化ガスは、スプレー洗浄中には噴出する洗浄液中に戻され、スプレー洗浄が終了して切替弁１７が管路２４側に切り替わった場合、洗浄液は管路２４を通して洗浄槽１内にそのまま戻される。
【００２９】
この後、スプレー洗浄が終了すると、エアーバルブ１８が開放され、圧力空気がエアーフィルタ１９、圧力レギュレータ２０を通してエアー管６ａのエアーブローノズル６に供給され、図４のように、洗浄後の被洗浄物Ｗに対し空気を噴射して液切り処理を行なう。このときも、ポンプ１４が動作して、気体吸引エジェクタ１６では、ノズル管１６ａから外筒１６ｂ内の拡散室１６ｃに洗浄液が噴出してその圧力が低下し、これにより、外筒１６ｂの吸引口１６ｄに負圧が発生する。この負圧が、管路２２及び回収吸引部材８，９を通して、液切り室５内に作用し、室内の洗浄液ミストや気化ガスが吸引され、洗浄液ミストや気化ガスは吐出口１６ｅから切替弁１７を介して洗浄槽１内に回収される。特に、洗浄槽１の液切り室５内は、回収吸引部材８，９による気体の吸引動作により負圧となるため、液切り室５内に残留する洗浄液ミストや気化ガスが扉４などの隙間から外部に漏れにくく、洗浄液ミストや気化ガスの散逸を防止することができる。
【００３０】
このように、被洗浄物Ｗは浸漬洗浄室２内で浸漬洗浄されると共に、その上方の液切り室５で、洗浄液を噴射されてスプレー洗浄され、その後、液切り室５内の空気中でエアーブローを受けて液切り処理を行なうため、被洗浄物Ｗは効率良く良好に洗浄することができる。また、洗浄槽１の液切り室５内に配置した回収吸引部材８，９を通して液切り室５内の気体が吸引され、洗浄槽１内が負圧となるため、外部への洗浄液ミストや気化ガスの散逸を低減することができる。
【００３１】
また、回収吸引部材８，９を通して吸引した液切り室５内の洗浄液ミストや気化ガスは、気体吸引エジェクタ１６内で洗浄液と混合されて洗浄槽１の浸漬洗浄室２に戻され、回収される。このため、従来使用していた洗浄液ミスト回収用の、真空ポンプ、活性炭吸着装置、冷却凝縮回収装置などの大型の回収装置は不要となり、スプレー洗浄用のポンプ１４と簡単な構造の気体吸引エジェクタ１６などの安価で小型の設備を用いて、洗浄槽１内の洗浄液ミストや気化ガスを吸引回収することができる。
【００３２】
図５〜図８は他の実施形態の洗浄装置を示している。この実施形態では、気体吸引エジェクタ１６に代えて液封式真空ポンプ２６が使用される。この例の洗浄装置の上記と同様の構成部分については、上記と同じ符号を図面に付して、その説明は省略する。
【００３３】
洗浄槽１の上部空間に形成された液切り室５には、室内を負圧にして、洗浄液ミストや気化ガスを吸引する回収吸引部材８，９が配設され、回収吸引部材８，９は液封式真空ポンプ２６の吸引口に管路２７を介して接続され、吸引された洗浄液ミストや気化ガスは液封式真空ポンプ２６で回収されて洗浄槽１内に戻されるように、配管接続される。また、液封式真空ポンプ２６の排気口は管路２８に接続され、液封式真空ポンプ２６の排気は管路２８を通して液切り室５に戻されるように配管接続されている。
【００３４】
さらに上記と同様に、洗浄槽１の上面に被洗浄物の出入口３が設けられ、出入口３には、図示しない開閉機構により開閉される扉４が設けられ、扉４を閉じた状態で、洗浄槽１内を気密的に閉鎖することができる。浸漬洗浄室２内に洗浄液を加熱するためのヒータ１２が設けられている。洗浄液として、炭化水素系溶剤、テルペン系溶剤などの揮発性有機化合物溶剤が浸漬洗浄室２内に貯留される。
【００３５】
液切り室５の上部に配設された回収吸引部材８，９は、上記と同様に、パイプの外周部に多数のスリットが穿設され、スリットを通してパイプ内に、洗浄槽１の上部の液切り室５内の洗浄液ミストや気化ガスを、吸引回収する構造である。
【００３６】
ポンプ１４により吸引された浸漬洗浄室２内の洗浄液は、加圧され、管路２３を通して浸漬洗浄室２に戻されるが、この管路２３に接続された切替弁１７を切り替えることにより、ポンプ１４により圧送された洗浄液は、可撓性管を介してスプレーノズル７のスプレー管７ａに供給され、スプレーノズル７から洗浄液を被洗浄物に対しスプレーし、スプレー洗浄する。
【００３７】
このスプレーノズル７のスプレー管７ａは、上記スプレー洗浄機構を構成し、このスプレー洗浄機構には水平移動機構が設けられる。水平移動機構は、上記と同様に、ロッドレスシリンダ１１の移動部にスプレー管７ａを保持させてなり、スプレーノズル７は、浸漬洗浄後のスプレー洗浄時に、ロッドレスシリンダ１１の動作によって、洗浄槽１の上部の液切り室５内で往復水平移動し、被洗浄物全体に洗浄液を噴き付け、スプレー洗浄を行なう。
【００３８】
さらに、洗浄槽１の上部の液切り室５内に上記液切り機構として、エアーブローノズル６が、空気を噴出して、被洗浄物の表面に残留した洗浄液の液切りを行なうように配設される。エアーブローノズル６は、エアー管６ａの先端に取り付けられ、エアー管６ａは、上記と同様に、水平移動機構としてのロッドレスシリンダ１０の移動部に保持され、エアーブローノズル６は、スプレー洗浄後の液切り時に、ロッドレスシリンダ１０の動作により、洗浄槽１の上部の液切り室５内で往復水平移動し、被洗浄物全体に空気を吹き付けて洗浄液の液切り処理を行なう。
【００３９】
液切り時に圧力空気をエアーブローノズル６に供給するために、エアー管６ａの末端に可撓性管を介して空気管２５が接続される。空気管２５は、上記と同様、エアーバルブ１８、エアーフィルタ１９、及び圧力レギュレータ２０を介して、圧力空気源２１に接続される。これにより、圧力空気源２１から供給される圧力空気は、エアーバルブ１８の開放時、エアーフィルタ１９及び圧力レギュレータ２０を通り、空気管２５を通してエアーブローノズル６に供給される。
【００４０】
次に、上記構成の洗浄装置の動作を説明する。洗浄開始時、図５に示すように、洗浄槽１上部の出入口３の扉４が開放され、開放された出入口３から、図示しない昇降装置により、被洗浄物Ｗがそのまま或いはバスケットなどに入れられた状態で、洗浄槽１内に下ろされ、扉４が閉じられる。そして、被洗浄物Ｗは、図６に示すように、浸漬洗浄室２内の洗浄液中に浸漬される。浸漬洗浄室２内の洗浄液は、ヒータ１２により加温されると共に、超音波発振器１３の動作によって超音波を印加されて、洗浄液内で超音波洗浄が実施され、被洗浄物Ｗは、超音波により生じたキャビテーションにより効果的に洗浄される。
【００４１】
所定時間の超音波浸漬洗浄が終了すると、次に、図示しない昇降装置によって、図７のように、被洗浄物Ｗを、洗浄槽１内上部の液切り室５の位置まで上昇させて停止させる。次に、ポンプ１４を起動し、切替弁１７を切り替え、浸漬洗浄室２内の洗浄液をフィルタ１５を通してスプレー管７ａのスプレーノズル７に圧送する。これにより、スプレー管７ａのスプレーノズル７から被洗浄物Ｗに向けて洗浄液が噴射され、スプレー洗浄が行なわれる。
【００４２】
このとき、図７のように、水平移動機構のロッドレスシリンダ１１の移動部が往復移動し、スプレーノズル７が水平往復移動しながらスプレーが行なわれ、被洗浄物Ｗ全体に洗浄液が吹き付けられ、スプレー洗浄が効果的に実施される。
【００４３】
一方、液封式真空ポンプ２６は常時起動しており、スプレー洗浄時には、管路２７及び回収吸引部材８，９を通して液切り室５内の気体が吸引され、洗浄槽１の液切り室５内は負圧となる。これにより、液切り室５内の洗浄液ミストや気化ガスが液封式真空ポンプ２６により吸引され、吸引された洗浄液ミストや気化ガスは液封式真空ポンプ２６で回収され、その後、洗浄槽１内に戻されこととなる。
【００４４】
この後、スプレー洗浄の終了と共に、エアーバルブ１８が開放され、圧力空気がエアーフィルタ１９、圧力レギュレータ２０を通してエアー管６ａのエアーブローノズル６に供給され、図８のように、洗浄後の被洗浄物Ｗに対し空気を噴射して液切り処理を行なう。このときも、液封式真空ポンプ２６が動作して、管路２７及び回収吸引部材８，９を通して液切り室５内の気体が吸引され、洗浄槽１の液切り室５内は負圧となる。これにより、液切り室５内の洗浄液ミストや気化ガスが液封式真空ポンプ２６により吸引され、吸引された洗浄液ミストや気化ガスは液封式真空ポンプ２６で回収され、洗浄槽１内に戻される。このため、洗浄槽１の液切り室５内は、回収吸引部材８，９による気体の吸引動作により負圧となるため、液切り室５内に残留する洗浄液ミストや気化ガスが扉４などの隙間から外部に漏れにくく、洗浄液ミストや気化ガスの散逸を防止することができる。
【００４５】
このように、液封式真空ポンプ２６を使用して、液切り室５内の洗浄液ミストや気化ガスを吸引して回収し、回収した洗浄液を洗浄槽１に戻すため、従来使用していた洗浄液ミスト回収用の、活性炭吸着装置や冷却凝縮回収装置などの大型の回収装置は不要となり、比較的小型の設備を用いて、洗浄液ミストや気化ガスの散逸を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態を示す洗浄装置の構成を示す断面図である。
【図２】浸漬洗浄中の同洗浄装置の断面図である。
【図３】スプレー洗浄中の同洗浄装置の断面図である。
【図４】液切り処理中の同洗浄装置の断面図である。
【図５】他の実施形態の洗浄装置の構成を示す断面図である。
【図６】浸漬洗浄中の同洗浄装置の断面図である。
【図７】スプレー洗浄中の同洗浄装置の断面図である。
【図８】液切り処理中の同洗浄装置の断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１      洗浄槽
２      浸漬洗浄室
３      出入口
４      扉
５      液切り室
６      エアーブローノズル
７      スプレーノズル
８、９  回収吸引部材
１２    ヒータ
１３    超音波発振器
１４    ポンプ
１５    フィルタ
１６    気体吸引エジェクタ
１７    切替弁
２６    液封式真空ポンプ
Ｗ      被洗浄物                                                                        
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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