(57)【要約】【課題】エミッタ膜表面と粘着テープの粘着面との間に気泡が残らないようにしてエミッタ膜表面に粘着性シートの粘着面を貼り付けられるようにする。【解決手段】カーボンナノチューブ８と無機バインダ１０とを含むエミッタ膜４の表面に粘着性シート１４の粘着面を貼り付け、次いでこの貼り付けた粘着性シート１４の粘着面をエミッタ膜４表面から剥離してカーボンナノチューブ８をエミッタ膜４表面から露出させると共に起毛させるカーボンナノチューブ起毛方法において、上記貼付に際しては、エミッタ膜４表面を粘着性シート１４の粘着面で覆うと共にエミッタ膜４表面と粘着性シート１４の粘着面とで囲む内部空間１６の圧力を粘着性シート１４表面側の外部空間２８の圧力より減圧状態に制御し、この内部圧力と外部圧力との圧力差で上記エミッタ膜４表面全体に粘着性シート１４の粘着面全体を等方圧で貼り付ける。【選択図】図１１
2009158333.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けたカーボンナノチューブ入りエミッタ膜の表面に粘着性シートの粘着面を貼り付け、次いでこの貼り付けた粘着性シートの粘着面をエミッタ膜表面から剥離してカーボンナノチューブの先端をエミッタ膜表面から起毛させるカーボンナノチューブ起毛方法において、
エミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との間の内部空間の圧力と粘着性シート表面側の外部空間の圧力とを共に同じ真空圧に制御し、この制御状態から内部空間の圧力を真空圧に維持した状態で該外部空間の圧力を増圧制御して発生する内部空間と外部空間との圧力差で粘着性シート表面全体に等方圧を発生させて粘着性シートの粘着面をエミッタ膜表面に貼り付ける、ことを特徴とするカーボンナノチューブ起毛方法。
【請求項２】
粘着性シートでエミッタ膜を覆うと共にこの粘着性シートの外周縁をエミッタ膜の外周側の基板表面に配置してエミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との間に内部空間を備えた基板セットを準備し、この準備した基板セットを真空チャンバに投入すると共に真空チャンバを真空引きして上記内部空間と粘着性シート表面側の外部空間それぞれの圧力を共に同じ真空圧に制御する一方、真空チャンバ内に大気を導入して内部空間の圧力を真空圧に維持した状態で該外部空間の圧力を大気圧に増圧制御することにより粘着性シートの粘着面をエミッタ膜表面に貼り付ける、ことを特徴とする請求項１に記載のカーボンナノチューブ起毛方法。
【請求項３】
上記粘着性シートが硬度が３０−１００のゲルシートである、ことを特徴とする請求項１または２に記載のカーボンナノチューブ起毛方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カーボンナノチューブ入りのエミッタ膜の表面に粘着性シートの粘着面を貼り付け、次いでこの貼り付けた粘着性シートの粘着面をエミッタ膜表面から剥離することにより、粘着性シートの粘着力で該エミッタ膜表面にある一部のエミッタ膜を除去してカーボンナノチューブをエミッタ膜表面から露出させると共に起毛させるカーボンナノチューブ起毛方法に関するものである。カーボンナノチューブは、電界放射により電子を放出する電子エミッタ材料であり、本明細書におけるカーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブ、２層カーボンナノチューブ、多層カーボンナノチューブ、バンブーライクカーボンナノチューブ、グラファイトナノファイバ、カーボンナノホーン、カーボンナノコーン、カーボンナノバンブ等を含む広義のカーボンナノチューブである。
【背景技術】
【０００２】
電子エミッタは電界放射により電子を放出する電子放出源として知られており、電子エミッタをカソード電極側に配置してカソード電極とアノード電極との間で印加される高電界により電子エミッタから電界放射によりアノード電極に向けて電子を放出してアノード電極上の蛍光体に衝突することによって蛍光体を励起発光させるようになっている（特許文献１参照。）。
【０００３】
このような電子エミッタの材料としてカーボンナノチューブが注目されている。その理由はカーボンナノチューブは直径が微細でアスペクト比が極めて大きいために低電界での電子放出が容易であること、電子放出特性が安定であるなどによる。
【０００４】
このようなカーボンナノチューブを用いた電子エミッタの製造方法の１つとして、カーボンナノチューブを機械的に解砕し無機バインダ等の添加剤を加え分散したペーストを基板上に印刷し、この印刷したペーストを焼成することにより無機バインダ以外のペースト中の溶媒成分を蒸発させ、基板上にカーボンナノチューブと無機バインダとを含むエミッタ膜を形成すると共に、このエミッタ膜表面からカーボンナノチューブの先端が電子放出方向に揃うように起毛処理して電子エミッタを製造する方法がある。
【０００５】
従来のカーボンナノチューブの起毛処理方法には、その代表例として、ローラを粘着性シート表面上を押し付けつつ回転移動させることによりエミッタ膜表面に粘着性シートを貼り付け、この貼り付けた粘着性シートをエミッタ膜表面から剥離してカーボンナノチューブをエミッタ膜表面から露出させ、起毛させる方法がある。
【０００６】
しかしながら、この従来のカーボンナノチューブ起毛方法では、ローラを粘着性シート表面上を押し付けつつ回転移動させてエミッタ膜表面に粘着性シートを貼り付けるためにエミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との間に気泡が残り易い貼り付け形態である。そしてこの気泡がエミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との対向内部に残した状態で上記貼り付けが行われてしまうと、その気泡が残存したエミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との対向領域は粘着性シートの粘着面はエミッタ膜表面に貼り付けらていない領域であるから、粘着性シートの粘着面をエミッタ膜表面から剥離してもその領域ではエミッタ膜表面からカーボンナノチューブが起毛されない無起毛領域となる。また、上記ローラの回転移動による貼り付けでは粘着性シートの粘着面全体からエミッタ膜表面全体に伝達される貼り付け力にばらつきが発生する結果、粘着性シートの粘着面のエミッタ膜表面に対する貼り付けむらが発生する。そのため上記剥離に際してはエミッタ膜表面の各部でのカーボンナノチューブの起毛に起毛むらが発生する。さらには、ローラの回転移動には粘着性シートの粘着性のためにローラの通過前では粘着性シートの粘着面からエミッタ膜表面に作用するストレスと通過後のストレスとが逆方向に作用するなどしてエミッタ膜に過大な破断ストレスがかかって当該エミッタ膜が破壊されたり、するという課題がある。
【特許文献１】特開２００１−２３５５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明により解決すべき課題は、エミッタ膜表面から粘着性シートの粘着面を剥離してカーボンナノチューブを起毛するとき、エミッタ膜表面に無起毛領域が発生することなく、起毛むらがなく、さらにはエミッタ膜の破壊を起こさずに、エミッタ膜表面からカーボンナノチューブを起毛処理できる方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によるカーボンナノチューブ起毛方法は、基板上に設けたカーボンナノチューブ入りエミッタ膜の表面に粘着性シートの粘着面を貼り付け、次いでこの貼り付けた粘着性シートの粘着面をエミッタ膜表面から剥離してカーボンナノチューブの先端をエミッタ膜表面から起毛させるカーボンナノチューブ起毛方法において、エミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との間の内部空間の圧力と粘着性シート表面側の外部空間の圧力とを共に同じ真空圧に制御し、この制御状態から内部空間の圧力を真空圧に維持した状態で該外部空間の圧力を増圧制御して発生する内部空間と外部空間との圧力差で粘着性シート表面全体に等方圧を発生させて粘着性シートの粘着面をエミッタ膜表面に貼り付けることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明では、エミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との間の内部空間の圧力を真空圧に制御するので当該内部空間には空気が存在せず、したがって、エミッタ膜表面に粘着性シートの粘着面を密着させる場合に気泡が存在しない。また、内部空間と粘着性シート表面側の外部空間とを同一真空圧に制御しているので、粘着性シートには負荷がかからず粘着性シートの変形が抑制されて上記内部空間を確保することができる。そして、上記内部空間と外部空間とを共に真空圧に制御している状態から、粘着性シート表面側の外部空間の圧力のみを増圧制御するので粘着性シート表面全体に等方圧が作用する。この結果、粘着性シートの粘着面の全体がエミッタ膜表面全体に均等な力で貼り付けられる。その結果、粘着性シートの粘着面は気泡無しの状態でかつエミッタ膜表面全体に均等な圧力で貼り付けられる。したがって、粘着性シートをエミッタ膜表面から剥離するときは、気泡が存在しないことによりエミッタ膜表面全体からカーボンナノチューブを均等に起毛させることが可能となり従来のような無起毛領域が発生しなくなる。また、粘着性シートの粘着面は気泡無しの状態でエミッタ膜表面全体に均等な圧力で貼り付けられので、剥離に際してエミッタ膜表面全体から均等な剥離力で均等にカーボンナノチューブを起毛させることができるようになり、従来のようなカーボンナノチューブの起毛むらが起こらずに済む。さらには、エミッタ膜表面に粘着性シートの粘着面が等方圧で瞬時に貼り付けられるので、エミッタ膜表面には不均等な貼り付けストレスが作用することがなくなり、また、上記貼り付けに際してエミッタ膜が破壊されずに貼り付けることができるようになる。
【００１０】
以上の結果、本発明の貼り付け形態では、エミッタ膜表面全体にわたりカーボンナノチューブ先端から均等に電子放出させることができるようにカーボンナノチューブをエミッタ膜表面から剥離して起毛させることができる。
【００１１】
本発明の好ましい一態様は、粘着性シートでエミッタ膜を覆うと共にこの粘着性シートの外周縁をエミッタ膜の外周側の基板表面に配置してエミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との間に内部空間を備えた基板セットを準備し、この準備した基板セットを真空チャンバに投入すると共に真空チャンバを真空引きして上記内部空間と粘着性シート表面側の外部空間それぞれの圧力を共に同じ真空圧に制御する一方、真空チャンバ内に大気を導入して内部空間の圧力を真空圧に維持した状態で該外部空間の圧力を大気圧に増圧制御することにより粘着性シートの粘着面をエミッタ膜表面に貼り付けることである。
【００１２】
なお、本出願人の実験では内部空間と外部空間の圧力は共に真空圧であるとしても、外部空間の圧力を増圧制御する際、その外部空間の圧力は内部空間のそれの２倍以上に増圧制御すれば、粘着性シートの粘着面を均等にエミッタ膜表面に貼り付けることができる。
【００１３】
本発明の好ましい一態様は、上記粘着性シートが硬度が３０−１００のゲルシートである。粘着性シートの厚みは厚い程、粘着性シートは変形しにくくなり、内部空間を例えば真空状態に減圧制御した際における流体による加圧力を均等に粘着性シート表面に瞬時に伝達させにくくなって、粘着性シートの挙動の応答性が低下する。その結果、エミッタ膜表面への粘着性シートの粘着面の均等な貼り付け性が低下する。本出願人の実験では粘着性シートの硬度はアスカーＣで３０−１００の範囲が好ましいことが確認されている。粘着性シートの硬度が３０未満であるとエミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との間に所要の内部空間を確保できるように粘着性シートが形状を維持しにくくなり、また、粘着性シートの硬度が１００超であると、外部空間の圧力を増圧制御した際に粘着性シートが硬すぎて応答性が低下する結果、エミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との密着性が低下する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のカーボンナノチューブ起毛方法によれば、カーボンナノチューブ表面と粘着テープの粘着面との間に気泡が残らないようにしてエミッタ膜表面に粘着性シートの粘着面を貼り付けることができる。
【００１５】
本発明のカーボンナノチューブ起毛方法でカーボンナノチューブを起毛した場合、均一発光特性に優れた電子エミッタを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係るカーボンナノチューブ起毛方法を説明する。
【００１７】
図１は、基板２表面にカソード側の電極が形成されている。この基板上の電極は図示を略している。この基板２上にカーボンナノチューブとガラス等の無機バインダとからなるエミッタ膜４が平面視円形状に配置されている。図中のエミッタ膜４の膜厚や平面視形状は説明の理解のため誇張して示している。このエミッタ膜４は、有機溶剤、増粘剤、無機バインダ等を含有するとともにカーボンナノチューブが混入されて構成されたペーストを基板２上に印刷し、焼成することにより形成されている。
【００１８】
エミッタ膜４は、図２で示すように、カーボンナノチューブ８と無機バインダ１０とを含み、エミッタ膜４表面は一部あるいは全体が無機バインダ１０で覆われていたり、エミッタ膜４内部に一部のカーボンナノチューブ８が埋没していたり、あるいはエミッタ膜４表面に一部のカーボンナノチューブ８が露出したりしているが、カーボンナノチューブ８の先端は起毛していなかったり、一部のカーボンナノチューブ８の先端が起毛していても電子放出方向には起毛していなかったりしている。このカーボンナノチューブ８は上記ペースト化される際に解砕されたものであってもよいし、解砕されたものでなくてもよく、あるいはそれらが混合したものであってもよい。エミッタ膜４は基板２上に印刷、焼成されたものに限定しない。
【００１９】
本実施の形態のカーボンナノチューブ起毛方法は上記エミッタ膜４中のカーボンナノチューブ８をエミッタ膜４表面から電子放出方向にその先端を起毛させる方法である。
【００２０】
以下、図３以降を参照して説明する。
【００２１】
まず、図３（ａ）で示すようにエミッタ膜４の平面視直径よりも内径が大きい円筒形の押圧治具１２と、図３（ｂ）で示すように該押圧治具１２の外径寸法よりもシート面積が大きいゲル状の粘着性シート１４とを準備する。この粘着性シート１４は真空状態、大気圧状態でシート形状を自己保持できる圧縮永久歪みを有する。押圧治具１２は円筒形に限定されず、角筒形でも円環状やその他の形状でもよい。粘着性シート１４の平面視形状は特に限定されない。粘着性シート１４の材料は好ましくはゲル状であるが、必ずしもゲル状に限定されない。粘着性シート１４のシート厚、硬度等は実験棟で適宜に定めることができる。
【００２２】
次いで、図４で示すようにエミッタ膜４表面に空間を隔てて粘着性シート１４を同心配置すると共に、その粘着性シート１４表面に押圧治具１２をエミッタ膜４と同心配置する。この同心配置関係では、粘着性シート１４のシート面積はエミッタ膜４の膜面積より大きく粘着性シート１４の外周部分はエミッタ膜４の配置領域の外側にある基板２表面上に配置されている。そして、押圧治具１２の下端面は円形であり、粘着性シート１４の外周部分上に当接している。なお、エミッタ膜４は基板２表面上の図示略の電極上に形成されているが、実施の形態では説明の都合で粘着性シート１４の外周部分は、基板２表面に配置されていると説明したが、電極上に配置されている場合を含む。
【００２３】
次いで、図５で示すように、押圧治具１２を下方へ押圧してその下端開口部内に粘着性シート１４を押し込むことにより粘着性シート１４の断面形状を円筒形にする。粘着性シート１４が断面円筒形となることにより、エミッタ膜４表面と粘着性シート１４の粘着面との間にこれらに囲まれた内部空間１６が形成される。
【００２４】
以上により基板２表面にエミッタ膜４、粘着性シート１４、押圧治具１２が配置された基板セット１８の組立が完了する。
【００２５】
次いで、図６で示すように基板セット１８を真空チャンバ２０内に図示略の機構により予め配置してある磁石６上に搭載する。
【００２６】
次いで、真空チャンバ２０の透明窓２２内面に基板セット１８の押圧治具１２上端面を当接させた状態で透明窓２２外面に磁石２４を当接させることにより、基板セット１８側の磁石１６と透明窓２２外面側の磁石２４とが吸引し合い、基板セット１８の押圧治具１２上端が透明窓２２内面に突き当たった状態で基板セット１８が透明窓２２内面に固定される。
【００２７】
次いで、図７で示すように真空チャンバ２０内部を図中矢印２６で示すように真空引きすると、エミッタ膜４表面と粘着性シート１４の粘着面との間の内部空間１６からも空気が抜けて真空引きされ、粘着性シート１４表面側の外部空間２８も真空引きされる。このことによりエミッタ膜４表面と粘着性シート１４の粘着面との間の内部空間１６には気泡発生の原因となる空気が存在しない。
【００２８】
次いで、図８で示すように真空チャンバ２０内部に図中矢印３０で示すように大気を導入することにより、粘着性シート１４表面側の外部空間２８を大気圧にする。これにより、内部空間１６の真空圧と外部空間２８の大気圧との差圧により真空チャンバ２０に流体である大気が流入し図中矢印３２で示す加圧が粘着性シート１４表面全体に均等に作用することになる。
【００２９】
この結果、図９で示すように粘着性シート１４の粘着面はその全体がエミッタ膜４表面全体に均等な力で密着した状態となる。この密着の形態について図１０を参照して説明すると、図１０（ａ）ではエミッタ膜４と粘着性シート１４との間の内部空間１６と粘着性シート１４表面側の外部空間２８とが共に真空状態に制御されている。エミッタ膜４表面には多数の凹凸が存在しており、内部空間１６が真空圧、外部空間２８も真空圧のときでは粘着性シート１４の自己形態保持力により、粘着性シート１４の粘着面はエミッタ膜４表面に非接触であるが、内部空間１６が真空圧、外部空間２８が大気圧に制御されると内部空間１６と外部空間２８の差圧により図１０（ｂ）で示すようにエミッタ膜４表面の多数の凸部４ａに粘着性シート１４の粘着面がほぼ均等に密着する。この密着圧は上記差圧により定まる。そのためエミッタ膜４表面全体の複数の凸部４ａが均等に圧縮された状態でエミッタ膜４表面と粘着性シート１４の粘着面とが密着した状態となる。そして、この密着状態では、エミッタ膜４表面と粘着性シート１４の粘着面との間の内部空間１６は狭く圧縮された状態でかつ真空引きされて空気が存在しないので気泡も存在しない。なお、エミッタ膜４表面の凸部４ａは図解の都合で均等間隔、均等大きさで誇張して示している。
【００３０】
次いで、図１１（ａ）で示すように、真空チャンバから基板セット１８を取り出す。取り出した基板セット１８ではエミッタ膜４表面と粘着性シート１４の粘着面との間の内部空間１６に空気が浸入してきてもエミッタ膜４表面と粘着性シート１４の粘着面との密着状態は変わらない。次いで、図１１（ｂ）で示すように押圧治具１２を取り外し、最後に、図１１（ｃ）で示すように粘着性シート１７をエミッタ膜４表面から剥離する。
【００３１】
この剥離を図１２で詳細に説明すると、エミッタ膜４表面には上記複数の凸部４ａそれぞれの上側一部４ｂが粘着性シート１４の粘着面側に付着して該エミッタ膜４表面から剥離除去されることにより、カーボンナノチューブ８がエミッタ膜４内からカーボンナノチューブ８の先端８ａが電子放出方向に起毛した状態で露出する。そしてエミッタ膜４表面からのカーボンナノチューブ８の先端８ａの起毛高さはエミッタ膜４表面全体にわたりほぼ均等であり、均等な電子放出が可能な形態となっている。
【実施例】
【００３２】
実施例では本発明のカーボンナノチューブ起毛方法と、従来のカーボンナノチューブ起毛方法とで作成した電子エミッタを作成し、その電子エミッタによる発光写真で本発明方法と従来方法とを比較した。
[本発明方法における使用装置等]
【００３３】
基板２：７５ｍｍ角で表面にＩＴＯ電極が形成された基板
エミッタ膜４：膜面積１．０ｃｍ2のエミッタ膜
粘着性シート１４：エクシールコーポレーション社製の硬度８０、シート厚１０ｍｍ、３０ｍｍ角でカットされたゲルシート
真空チャンバ２０：オーナルテック（株）製の真空多重アニール装置
磁石６，２４：Φ４８×Φ２５×ｔ３．５のネオジム磁石
押圧治具１２：アルミニウム製で内径２０ｍｍ、外径は２４ｍｍ、厚み０．７５ｍｍ、（厚みは押し圧方向の長さ）
[従来方法における使用装置等]
【００３４】
本発明方法によるカーボンナノチューブ起毛の実施手順は上述した通りであり、この実施に際しての真空チャンバ２０の真空圧は９Ｅ−３Ｐａに制御した。従来方法によるカーボンナノチューブ金属ウイスカもの実施手順は、ローラでエミッタ膜表面に粘着性シートの粘着面を貼り付け、この貼り付けた粘着性シートをエミッタ膜表面から剥離してカーボンナノチューブ先端を起毛させる。
【００３５】
実施結果を、図１３（ａ）（ｂ）の写真に示す。図１３（ａ）は本発明のカーボンナノチューブ起毛方法で起毛したエミッタ膜を用いた発光写真を示し、図１３（ｂ）は従来のカーボンナノチューブ起毛方法で起毛したエミッタ膜を用いた発光写真を示す。いずれの発光写真もエミッタ膜から電子放出されその放出した電子が蛍光体に衝突して該蛍光体が励起発光させた場合の蛍光体の発光写真を示す。
【００３６】
本発明による起毛方法で起毛させたエミッタ膜で蛍光体を励起発光させた場合では気泡混入が無くエミッタ膜表面に無起毛領域が存在していないために蛍光体全体に均等に発光しているのに対して、従来による起毛方法で起毛させたエミッタ膜で蛍光体を励起発光させた場合では気泡混入によりエミッタ膜表面に無起毛領域が存在しているために蛍光体全体に均等に発光させることができないことが、それぞれの発光写真から明らかに確認することができた。
【００３７】
以上から、本発明では、エミッタ膜４表面と粘着性シート１４の粘着面とで囲む内部空間１６の圧力と粘着性シート１４表面側の外部空間２８の圧力とを一旦、真空圧に制御すると共に、当該内部空間１６の圧力を真空圧に維持した状態で外部空間２８を大気圧に制御することにより、粘着性シート１４表面全体に等方的な加圧を作用させる結果、エミッタ膜４表面全体に粘着性シート１４の粘着面全体を均等に貼り付けることができるので、気泡が発生しない状態でエミッタ膜４表面に粘着性シート１４の粘着面を貼り付けられる。これにより、粘着性シート１４の粘着面をエミッタ膜４表面から剥離するに際しては、エミッタ膜４表面全体から均等にカーボンナノチューブ８の先端８ａをエミッタ膜４表面全体に無起毛領域無しで、また、起毛むらなく、また、エミッタ膜４を破壊することなく、起毛させることができる。
【００３８】
以上から本発明のカーボンナノチューブ起毛方法でカーボンナノチューブ８の先端８ａをエミッタ膜４表面から起毛させた場合、当該エミッタ膜４の電子放出特性は良好となり、電子放出先の蛍光体全体を均等に励起発光させることができ、均一発光が可能な電子エミッタを得ることができるようになる。
【００３９】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内で、種々な変更ないしは変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図１は本発明の実施の形態に係るカーボンナノチューブ起毛方法において基板表面にエミッタ膜を配置した状態を側面から示す断面図である。
【図２】図２は図１のエミッタ膜を拡大して示す側面断面図である。
【図３】図３（ａ）は上記カーボンナノチューブ起毛方法の実施に用いる押圧治具の斜視図、図３（ｂ）は同カーボンナノチューブ起毛方法の実施に用いる粘着性シートの斜視図である。
【図４】図４は基板表面にエミッタ膜、粘着性シート、押圧治具を順次配置した状態を側面から示す断面図である。
【図５】図５は基板裏面に磁石、基板表面にエミッタ膜、粘着性シート、押圧治具を順次配置してなる基板セットを側面から示す断面図である。
【図６】図６は図５の基板セットを真空チャンバ内に配置した状態を示す断面図である。
【図７】図７は図６の状態から真空チャンバ内を真空引きした状態を示す断面図である。
【図８】図８は図７の真空引き後に真空チャンバ内の圧力を大気圧に制御した状態を示す断面図である。
【図９】図９は図８における真空チャンバ内圧力の大気圧制御によりエミッタ膜表面に粘着性シートの粘着面が密着した状態を示す断面図である。
【図１０】図１０（ａ）は図９でエミッタ膜表面と粘着性シートの粘着面との間に内部空間が存在しこれらが離隔している状態を説明するため、これらを拡大して示す断面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）でエミッタ膜表面の一部と粘着性シートの粘着面の一部との密着構造を説明するため、これらを拡大して示す断面図である。
【図１１】図１１（ａ）は真空チャンバから基板セットを取り出す状態を示す図、図１２（ｂ）は基板セットから押圧治具を取り外す状態を示す図、図１１（ｃ）はエミッタ膜表面から粘着性シートの粘着面を剥離する状態を示す図である。
【図１２】図１２は図１１（ｃ）でエミッタ膜表面から粘着性シートの粘着面を剥離した剥離状態を説明するため、これらを拡大して示す断面図である。
【図１３】図１３（ａ）は本発明によるカーボンナノチューブ起毛方法で起毛したエミッタ膜を用いた場合の蛍光体の発光写真、図１３（ｂ）は従来によるカーボンナノチューブ起毛方法で起毛したエミッタ膜を用いた場合の蛍光体の発光写真である。
【符号の説明】
【００４１】
２  基板
４  エミッタ膜
６  磁石
８  カーボンナノチューブ
１０  無機バインダ
１２  押圧治具
１４  粘着性シート
１６  内部空間
１８  基板セット
２０  真空チャンバ
２２  透明窓
２４  磁石
２８  外部空間
【図１】
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【図２】
2009158333.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009158333.tif 000006
【図５】
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【図６】
2009158333.tif 000008
【図７】
2009158333.tif 000009
【図８】
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【図９】
2009158333.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2009158333.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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