(57)【要約】【課題】段差部の寸法自由度も大きく、十分マージンを持って接着剤はみ出し防止を実現でき、また、段差部から接着剤がはみ出しても、確実に支持基板側へはみ出させる液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット装置を提供すること。【解決手段】複数の液滴吐出素子を具備し、液滴吐出素子が設けられた面とは反対側の面に液滴吐出素子に前記液滴材料を供給する一つ以上の供給口を具備する液滴素子基板と、液滴供給口を備えた支持基板が接着剤を用いて接合されている液滴吐出ヘッドは、基板接合部近傍の液滴材料が接する部位には、支持基板側に基板同士の接合面よりも低い段差を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の液滴吐出素子を具備し、前記液滴吐出素子が設けられた面とは反対側の面に前記液滴吐出素子に前記液滴材料を供給する一つ以上の供給口を具備する液滴素子基板と、前記液滴供給口を備えた支持基板が接着剤を用いて接合されている液滴吐出ヘッドにおいて、
基板接合部近傍の液滴材料が接する部位には、支持基板側に前記基板同士の接合面よりも低い段差を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
複数の液滴吐出素子を具備し、前記液滴吐出素子が設けられた面とは反対側の面に前記液滴吐出素子に前記液滴を供給する一つ以上の供給口を具備する液滴素子基板と、前記液滴供給口を備えた支持基板が接着剤を用いて接合されている液滴吐出ヘッドにおいて、
前記素子基板、前記支持基板両方の基板接合部近傍の液滴材料に接する部位に段差を有することを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記支持基板の前記液滴供給口の開口間口が前記素子基板側の前記液滴供給口開口間口より大きいことを特徴する請求項１または２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを具備することを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項５】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤のはみ出しを防止する液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像形成装置として用いるインクジェット記録装置において使用する液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出する微細な液滴吐出口（以下ノズルと称す）と、このノズルが連通する液室（吐出室、圧力室、加圧液室、インク流路とも称される）と、この液室内のインクを加圧する為のエネルギー発生手段、ならびに外部よりインクを供給するインク供給口を備えた素子基板、そしてインク供給系等外部機構との接続や素子基板そのものの保持の必要性から、支持基板（フレームとも称される）と接合した構成となっている。
【０００３】
素子基板と支持基板を接着剤で接合する場合は、インク供給口にはみ出した接着剤が、毛管現象で素子基板のインク流路等に這い上がりインク吐出不良の原因となるため、基板の接合時、素子基板と支持基板の位置合わせ精度、接着剤塗布厚、接着剤の粘度管理、接着剤硬化条件等厳密な管理が必要である。
【０００４】
今後、画像形成装置の市場での競争力を獲得する為やヘッドの低コスト化や高画質化に対応する為、液滴吐出ヘッドの小型化、１ヘッド多色化等が必要とされ、これらを実現する為には更なる微細化に伴い、より高精度な工程管理が要求される。
【０００５】
ところで、インクジェットヘッドにおける接着剤接合時の接着剤はみ出しの影響を抑えるものとして、記録素子基板の記録液供給口への接着剤進入を防止する目的で、記録素子基板の裏面に溝形状を設け、支持部材上の接着剤塗布形状に不連続性を作り張り合わせる構成がある。
【０００６】
また、インク供給口内へ接着剤流れ込み防止と多数色を１基板に形成する際の隣接する異色の混色を確実に防止し、且つ基板と支持板との位置合わせが容易な方法を提供する目的で、基板裏面よりインクを供給するインク供給口とこのインク供給口の外周を囲む凹部を形成し、これに対応して支持基板のインク供給口の外周に凸部が形成され、この支持基板凸部の外周に接着剤を塗布し、基板凹部と支持基板凸部が嵌合する構成、工法がある。
【０００７】
特許文献１には、ノズル板の下地層とインク流路基板の接着剤接合において、余剰接着剤を逃がし、接合強度を向上させ、接合信頼性を向上する目的で、下地層に凹部を備える構成が開示されている。
【０００８】
特許文献２には、フレームと振動板の間に流路に開口した段差(はみ出し防止)に関する構成が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２３９６７１号公報
【特許文献２】特開２００３−０７２０６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述した特許文献１に記載されているように余剰接着剤を逃がす凹部を設けることで、ある程度余剰接着剤のはみ出しを抑制できるが、接着剤のはみ出しを完全に防止する事はできない為、接着剤のはみ出しが原因で生ずる不具合を確実に回避することは難しい。
【００１０】
また、凸部外周に接着剤を塗布することにより、インク供給口に接着剤が、はみ出ることはないが、インク供給口と凸部までの接合すべき面に接着剤が充填されず、隙間ができインク充填しても隙間の空気が排除できない為、インク吐出の不安定要因になったり、十分な接合強度が得られず所望の信頼性、耐久性が得られない原因となる。
【００１１】
また、微細な領域に凸部と凹部の嵌合をおこなうが、特に凹部の形成工程で異物等により、凹部形状が一部でも設計通りに仕上がらない場合は、凸部との嵌め合いが不十分となり、基板間で隙間が生じ、結果的に接合強度が十分得られない、あるいはインク漏れ等の原因となる。
【００１２】
特許文献１では、基板にインク供給口部とは別の本来接合部となる基板面に凹部、あるいは凸部を形成しているが、今後益々微細化が進むと凹部や凸部を配置するスペースの制約が厳しくなり、十分な機能を持たす為の凹部や凸部の配置が困難になると予想され、接着剤はみ出しに起因する不具合の対策が十分得られないことが考えられる。
【００１３】
特許文献２では、接着剤のはみ出しを防止する、凹部の深さ（接着剤を留めて空間）には、振動板厚の制約から、十分なマージンをもって接着剤を凹部で吸収できない可能性がある。また、振動板凹部から接着がはみ出しても逃げ部を設け、ここで接着剤を逃がすことができる構成であるが、接着剤を機能部(液滴吐出を担う部分)へはみ出すこと自体、リスクを負うことになる。
【００１４】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、段差部の寸法自由度も大きく、十分マージンを持って接着剤はみ出し防止を実現でき、また、段差部から接着剤がはみ出しても、確実に支持基板側へはみ出させる液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１記載の発明は、複数の液滴吐出素子を具備し、液滴吐出素子が設けられた面とは反対側の面に液滴吐出素子に液滴材料を供給する一つ以上の供給口を具備する液滴素子基板と、液滴供給口を備えた支持基板が接着剤を用いて接合されている液滴吐出ヘッドにおいて、基板接合部近傍の液滴材料が接する部位には、支持基板側に基板同士の接合面よりも低い段差を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドである。
【００１６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の液滴吐出ヘッドにおいて、複数の液滴吐出素子を具備し、液滴吐出素子が設けられた面とは反対側の面に液滴吐出素子に液滴を供給する一つ以上の供給口を具備する液滴素子基板と、液滴供給口を備えた支持基板が接着剤を用いて接合されている液滴吐出ヘッドにおいて、素子基板、支持基板両方の基板接合部近傍の液滴材料に接する部位に段差を有することを特徴とする。
【００１７】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の液滴吐出ヘッドにおいて、支持基板の液滴供給口の開口間口が素子基板側の液滴供給口開口間口より大きいことを特徴する。
【００１８】
請求項４記載の発明は、液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、液滴吐出ヘッドが請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを具備することを特徴とするインクカートリッジである。
【００１９】
請求項５記載の発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット装置において、液滴吐出ヘッドが請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット装置である。
【発明の効果】
【００２０】
段差部の寸法自由度も大きく、十分マージンを持って接着剤はみ出し防止を実現でき、また、段差部から接着剤がはみ出しても、確実に支持基板側へはみ出させる液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を添付図面で参照して説明する。
図１は、本発明の第１の実施例における液滴吐出ヘッドの分解斜視図、図２は図１の下記に詳記する構造を持つ３枚の基板１・２・３と支持基板４を重ね合せた図で、一部断面図で示してある。本実施例はインク液滴を基板の面部に設けたノズル孔から吐出させるサイドシュータタイプの例を示すものである。本実施例の液滴吐出ヘッドは、下記に詳記する構造を持つ３枚の基板１・２・３と支持基板４を重ねた積層構造となっている。
【００２２】
第１の基板１は、液滴吐出エネルギー発生素子として静電型アクチュエータ１０を複数具備している。また、静電型アクチュエータ１０を個別に駆動させる為に電極（不図示）に外部から駆動パルスを印加できるようにパッド１１が配置されている。また、第１の基板１の裏面からインクを供給できるよう第１の基板１を貫通する共通インク供給口１２が備えられている。第１の基板１の上面に接合される第２の基板２には、＜１１０＞シリコン基板に静電型アクチュエータ１０表面を底壁とする吐出室１３と、各々の吐出室１３にインクを供給するための共通液室１４が設けられている。共通液室１４と吐出室１３を連通させる流体抵抗部１５が設けられている。続けて第２の基板の上面に接合される第３の基板３には、厚さ５０ミクロンのニッケル基板を用い、基板２の面部に、吐出室１３と連通するようにそれぞれノズル孔１６が備わっている。上記基板（基板１，２，３）を接合した後、外部からのインク供給をおこなう為、インク供給口１７を備えた支持基板４と接着剤で接合する。
【００２３】
本発明において、前記する各部分は、重要ではなく、公知の従来技術工法で形成可能である為、詳細説明は省略する。
【００２４】
上記のように構成された液滴吐出ヘッドの動作を説明する。支持基板４のインク供給口１７からインクが供給され、第１の基板１の共通インク供給口を通り、第２に基板２の吐出室１２内がインクにより満たされた状態で個別電極に接続されているパッド１１に発振回路により例えば４０Ｖのパルス電位を印加する。電圧印加により静電型アクチュエータ１０の個別電極（不図示）と振動板(不図示)との間に静電気の吸引作用が働き振動板（不図示）が下方へ撓み、共通液室１４より流体抵抗１５を通じて吐出室１３へインクが流入する。その後個別電極(不図示)へのパルス電圧を０Ｖにすると静電気力により下方へ撓んだ振動板(不図示)が自身の剛性により元に戻る。その結果、吐出室１３内の圧力が急激に上昇し、ノズル孔１６よりインク液滴を記録紙に向けて吐出する。これを繰り返すことによりインクを連続的に吐出することが出来る。
【００２５】
本発明の液滴吐出ヘッドでは、支持基板４と第１の基板１との接着剤による接合時、余剰接着剤が第１の基板１の共通インク供給口１２内壁を伝って、インクが流れる吐出室１２やノズル孔１６へ流入することを防止し精度良く、安定して液滴吐出吐出ヘッドを製造することが可能となる。
【００２６】
次に本発明の実施の形態を実施例に基づいて詳細に説明する。
【００２７】
（実施例１）
図３は、本発明の第１の実施例、及び従来技術に係る液滴吐出ヘッド(図１，２)の図２ Ｓ面での模式断面図、図４には、本発明の第１実施例の支持基板４の接合面から見た模式平面図とＡ-Ａ’線模式断面図をそれぞれ示す。また、図５には、本発明の第１実施例の支持基板４の断面模式図を示す。図４同様従来例における液滴吐出吐出ヘッドの断面模式図を示す。
【００２８】
本発明の要点は、第１の基板と支持基板との接着剤による接合時、インク供給口内壁部にはみ出した余剰接着剤を第１の基板のインク供給口から第２の基板、第３の基板へ流れ込まないようにしたことに特徴があり、本実施例は以上の点について詳細説明する。
【００２９】
図３の本発明の実施例１の断面模式図では、静電型アクチュエータ１０、共通インク供給口１２を備えた第１の基板１、吐出室１３、共通液室１４、流体抵抗部１５を備えた第２の基板２、及びノズル孔１６を備えた第３の基板３を先に接合したもの(素子基板)と支持基板４が紫外線、あるいは熱硬化型の接着剤５０を介して、接合されている。ここでの接合は、接着剤５０を支持基板４に薄膜転写法、あるいは描画法で薄く、例えば１μm厚で塗布した後、素子基板（第１〜３の基板を接合したもの）と支持基板４を位置合わせし、加圧治具(不図示)等を用いて押圧しながら接着剤を硬化させる。
【００３０】
このとき、接着剤５０の塗布異常が生じた場合など、硬化途中の余剰接着剤が第１の基板１の共通インク供給口内、及び支持基板４のインク供給口１７内壁へはみ出すが、従来例のように第１の基板１の共通インク供給口内壁を伝って、第２の基板２の流体抵抗部１５、吐出室１３、あるいは第３の基板３のノズル孔１６へ流れ込まないように支持基板４に段差１００を設けて、はみ出した接着剤５０がこの段差５０内に留まるようにしている。この段差の寸法は、接着剤の粘度、塗布膜厚、及び共通インク供給口１２とインク供給口１７の表面性(濡れ性)によって最適すればよく、段差１００の深さｄと幅ｗは、１〜１０μｍ程度で十分効果が得られる。
【００３１】
また、段差断面形状は、図５に示すように最適な形状を設定すればよい。加えて、第１の基板１と支持基板４との接合面にある共通インク供給口１１２とインク供給口１７の開口寸法は、図４に示すようにＸ１＜Ｘ４、Ｙ１＜Ｙ４とすることにより、接着剤のはみ出し量が段差の許容量を超えた場合でも接着剤は、第１の基板１の共通インク供給口へ這い上がらず、支持基板４のインク供給口１７内壁を這い上がる為、従来技術のようにはみ出し接着剤による不具合を防止することができる。
【００３２】
このようにインク供給口内壁部にはみ出し接着剤を留める段差を設ける事により、従来のインク供給口外周に溝を設ける構成に比べて、接着面の不連続部が無いため接着強度が十分得られるともに、本発明では、インク供給口そのものに段差を設ける為、外周部に溝を形成する従来技術に比べて、レイアウト的な制約が殆ど無い為、今後の低コスト化、高画質化、多色化に対応する為、益々微細化や高精度位置合わせ等の要求に十分耐えることができ、従来技術に比べ高精度、高密度、且つ高い信頼性を持った液滴吐出ヘッドが実現できる。また、従来技術では困難であった良好な生産性、及び生産効率を有する寸法制御に優れた高精度、高密度、且つ高い信頼性を持った液滴吐出ヘッド製造に適用できる。
【００３３】
なお、本実施例１では、液滴吐出エネルギー発生素子として、静電型アクチュエータを用いているが、電気熱変化素子や、圧電素子を適用してもかまわない。
【００３４】
（実施例２）
図６は、本発明の第２の実施例に係る液滴吐出ヘッドの第１の基板１０１と支持基板１０４の接合部断面模式図を示す。第２、及び第３の基板は、実施例１とおなじである。
【００３５】
本実施例では、図６に示すように支持基板１０４に段差１１０と第１の基板１０１に段差１０２、両基板に段差を設けていることが特徴である。第１の基板１０１の材料にＳｉ基板を用いている場合は、公知の従来技術工法であるリソグラフィー技術によるパターニング後、アルカリ溶液によるウェットエッチ、あるいはドライエッチ法により、溝１０２を容易に形成することができる。ここでアルカリ溶液によるウェットエッチ法では、共通インク供給口１２と同時に溝１０１が形成でき、量産性を低下させることなく、所望の形状を形成することができる。
【００３６】
このように本実施例２は、共通インク供給口１２、及びインク供給口１７内へはみ出した接着剤が、第１の基板１０１共通インク供給口１２内壁への這い上がり抑止効果が実施例１よりも高い。従って、実施例１同様、高精度、高密度、且つ高い信頼性を持った液滴吐出ヘッドが実現できる。
【００３７】
（実施例３）
次に、本発明に係るインクカートリッジについて図７を参照して説明する。
【００３８】
このインクカートリッジは、ノズル８０等を有する上記各実施形態のいずれかのインクジェットヘッド８１と、このインクジェットヘッド８１に対してインクを供給するインクタンク８２とを一体化したものである。
【００３９】
このようにインクタンク一体型のヘッドの場合、アクチュエータ部を高信頼性化することで、インクカートリッジの歩留まり、信頼性が向上し、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化が図れる。
【００４０】
（実施例５）
次に、本発明に係るインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図８及び図９を参照して説明する。なお、図８は同記録装置の斜視説明図、図９は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００４１】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部８２等を収納し、装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）８４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【００４２】
印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向（図９で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド９４を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ９３にはヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。
【００４３】
インクカートリッジ６５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド６４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００４４】
ここで、キャリッジ６３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド６１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド６２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ６３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ６７で回転駆動される駆動プーリ６８と従動プーリ６９との間にタイミングベルト７０を張装し、このタイミングベルト７０をキャリッジ６３に固定しており、主走査モーター６７の正逆回転によりキャリッジ６３が往復駆動される。
【００４５】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３をヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００４６】
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９を設けている。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設け、さらに用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５，１１６とを配設している。
【００４７】
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【００４８】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段でヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００４９】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド９４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００５０】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施した静電型アクチュエータを具備したインクジェットヘッドを搭載しているので、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。また低電圧で駆動できるヘッドを搭載するので、インクジェット記録装置全体の消費電力も低減できる。
【００５１】
なお、上記実施形態においては、本発明をインクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッドにも適用することできる。
【００５２】
本実施形態によれば、素子基板と支持基板を接着剤で接合して作製する液滴吐出吐出ヘッドにおいて、余剰接着がインク流路内へはみ出してくるが、接合面のインク流路内壁に段差を設けることにより、はみ出した接着剤をこの段差に留めることができ、吐出室やノズル孔への接着剤這い上がりを防止できる。従って、従来の接着剤はみ出し対策（インク供給口外周部に溝を形成）に比べ、レイアウト的に自由度が高く、微細化、多色ヘッドに対応できる為、従来技術に比べ高精度、高密度、且つ高い信頼性を持った液滴吐出ヘッドが実現できる。また、安定した接着強度が得られ、従来技術では困難であった良好な生産性、及び生産効率を有する寸法制御に優れた高精度、高密度、且つ高い信頼性を持った液滴吐出ヘッド製造に適用できる。
【００５３】
以下に各請求項ごとの目的、作用効果を記載する。
【００５４】
（請求項２）さらに接合基板両方にはみ出した接着剤を規制する段差を工数を殆ど増加させることなく設けることにより、請求項２の構成以上に接着剤はみ出しに対する対応が十分可能となる。従って、生産性の向上、歩留まり低下なく、高精度で信頼性の高い液滴吐出吐出ヘッドが得られる。
【００５５】
（請求項３）支持基板側のインク流路間口を素子基板側のインク流路間口より大きくする事により、はみ出した接着剤が段差内に留まらない状態になっても支持基板側のインク供給口内壁を這い上がって、インク吐出室側には接着剤の影響が及ばないようにできる為、プロセス許容値が広くなり、量産性向上が期待でき,安定した清算に寄与できる。
【００５６】
（請求項４）本発明に係るいずれかの液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。
【００５７】
（請求項５）本発明に係るインクジェット記録装置によれば、本発明に係るいずれかの液滴吐出ヘッドを具備したインクジェットヘッドを搭載したので、製造不良が減少し、量産性が高いため、低コスト化を図ることができる。
【００５８】
なお、上述する各実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更実施が可能である。本発明はインクジェット記録装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施例における液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図２】３枚の基板１・２・３と支持基板４を重ね合せた図である。
【図３】本発明の第１の実施例、及び従来技術に係る液滴吐出ヘッドの模式断面図である。
【図４】本発明の第１実施例の支持基板４の接合面から見た模式平面図とＡ-Ａ’線模式断面図である。
【図５】本発明第１実施例の支持基板４の断面模式図である。
【図６】本発明の第２の実施例に係る液滴吐出ヘッドの第１の基板１０１と支持基板１０４の接合部断面模式図である。
【図７】本発明に係るインクカートリッジを示す図である。
【図８】インクジェット記録装置の斜視説明図である。
【図９】インクジェット記録装置の機構部の側面説明図である。
【符号の説明】
【００６０】
１，２，３    基板
４    支持基板
１０    静電型アクチュエータ
１１    パッド
１２    共通インク供給口
１３    吐出室
１４    共通液室
１５    流体抵抗部
１６    ノズル孔
１７    インク供給口
【図１】
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【図２】
2009143014.tif 000004
【図３】
2009143014.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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