(57)【要約】      （修正有）【課題】空気の低温分離又は精製のプロセスで原料ガスとして用いる空気から二酸化炭素を除去するのに特に有用な方法を提供する。【解決手段】サイクル式スイング吸着法の稼働床への原料ガス中の被吸着物の濃度を監視し、そのデータを処理してその床の稼働モードを完了するために必要な時間を予測し、同時に非稼働状態にある床のパージ流量及び／又は他の再生モード運転条件をその予測された時間の変化に応じて変更し、それによって該非稼働状態にある床の再生モードを同時進行する稼働床の稼働モードと同じ時間に完了する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つの吸着床が稼働モードにあってその床を通過する原料ガス混合物から被吸着物を吸着し、その間に別の吸着床が再生モードにあって吸着された被吸着物が床から脱着され、それらの床は上記のモードを交互に実施するサイクル式スイング吸着の方法であって、稼働モードを完了するのに必要な時間を、当該モードにある間に床に供給される原料ガス混合物中の被吸着物の総量により決定し、当該稼働モードの間、原料ガス混合物中の被吸着物濃度を監視しそして当該監視された濃度から稼働モードを完了するのに要する時間を予測し、少なくとも１つの再生モード運転条件を上記の予測された時間の変化に応じて変更して、それにより再生モードを同時進行する稼働モードと同じ時間に完了させるサイクル式スイング吸着方法。
【請求項２】
原料ガス混合物中の被吸着物の基準濃度に基づく稼働モード完了のための最小時間があり、該完了のための予測時間は、該予測時間が該最小時間を超える限度まで前記監視された濃度が前記基準濃度を超えたときに限り変化する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
被吸着物が二酸化炭素である、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
被吸着物が二酸化炭素であり、前記基準濃度が約４００ｐｐｍである、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
原料ガス混合物が空気であり、被吸着物が二酸化炭素であり、そして稼働モードの間に更に水が吸着される、請求項３に記載の方法。
【請求項６】
被吸着物の濃度を稼働吸着床の上流の原料ガス混合物での測定によって監視する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
被吸着物の濃度を稼働吸着床での測定によって監視する、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記少なくとも１つの再生モード運転条件が再生モードで吸着床を通り抜けるパージガスの流量を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記少なくとも１つの再生モード運転条件が再生モードで吸着床に供給されるパージガスの熱を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
該方法がサイクル式熱スイング吸着法である、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
原料ガス混合物中に２種以上の被吸着物があり、稼働モードを完了するのに必要な時間を該モードの間に床に供給される原料ガス混合物中の２種以上の被吸着物の総量によって決定し、該稼働時間を決定する原料ガス混合物中の被吸着物の濃度を該稼働モードの間監視しそして監視された濃度から該稼働モードを完了するために必要な時間を予測し、少なくとも１つの再生モード運転条件を該予測された時間の変化に対応して変更して、それにより該再生モードを同時進行する稼働モードと同じ時間に完了させる、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
空気を主空気圧縮機で圧縮して圧縮空気とし、この圧縮空気から、１つの吸着床が稼働モードにあってその間に圧縮空気から二酸化炭素が吸着されて二酸化炭素を含まない空気原料となり、その間別の吸着床が再生モードにあってその間に二酸化炭素がその床から脱着され、これらの床は上記のモードを交互に実施するサイクル式スイング吸着法によって二酸化炭素を除去し、そして上記の二酸化炭素を含まない空気原料を空気分離装置に供給して当該二酸化炭素を含まない空気原料の成分に富む少なくとも１つの生成物流を提供する空気分離の方法であって、稼働モードを完了するのに必要な時間を圧縮空気中の二酸化炭素の総量によって決定し、圧縮空気中の二酸化炭素の濃度を上記の稼働モードの間監視しそして当該稼働モードを完了するのに必要な時間を当該監視した濃度から予測し、少なくとも１つの再生モード運転条件を当該予測された時間の変化に応じて変更して、それによって再生モードを同時進行する稼働モードと同じ時間に完了させる空気分離方法。
【請求項１３】
被吸着物の濃度を稼働吸着床の上流の原料ガス混合物での測定によって監視する、請求項１２に記載の空気分離方法。
【請求項１４】
請求項１に記載の方法を実施するためのサイクル式スイング吸着装置であって、
少なくとも２つの吸着床、
一つの床を、稼働モードの間にその床に供給される原料ガス混合物中の被吸着物の総量によって決められる時間稼働モードに維持し、その稼働モードの間に床を通過する原料ガス混合物から被吸着物を吸着することができ、そして別の床を再生モードに維持し、その間に、吸着された被吸着物をその床から脱着させることができ、それらの床で上記のモードを交互に実施するための制御回路、
稼働モードの間に床に供給された原料ガス混合物中の被吸着物の総量を測定し、それによって稼働モードの持続時間を決定するための総吸着剤センサー、
前記稼働モードの間原料ガス混合物中の被吸着物濃度を監視するための濃度監視装置、及び
当該監視された濃度から稼働モードを完了するために必要な時間を予測するためのプロセッサー、
を含み、前記制御回路は、前記予測された時間の変化に対応して少なくとも１つの再生モード運転条件を変更し、それによって再生モードを同時進行する稼働モードと同時に完了させる、サイクル式スイング吸着装置。
【請求項１５】
前記総吸着剤センサーが前記濃度監視装置と共通である、請求項１４に記載の方法を実施するためのサイクル式スイング吸着装置。
【請求項１６】
前記濃度監視装置が稼働吸着床の上流の原料ガス混合物中の吸着剤の濃度を測定する、請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置。
【請求項１７】
前記濃度監視装置が稼働吸着床で吸着剤の濃度を測定する、請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置。
【請求項１８】
前記制御回路が再生モードで吸着床を通り抜けるパージガスの流量を制御する、請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置。
【請求項１９】
制御回路が再生モードで吸着床へ供給されるパージガスの熱を制御する、請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置。
【請求項２０】
該装置がサイクル式熱スイング吸着である、請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置。
【請求項２１】
請求項１２に記載の方法を実施するための空気分離システムであって、
圧縮空気を提供するための主空気圧縮機、
二酸化炭素を含まない空気原料を提供するための請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置、及び、
前記二酸化炭素を含まない空気原料を分離して、そのうちの１つの成分に富んだ少なくとも１つの生成物流を提供する空気分離装置、
を含む空気分離システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原料ガス混合物の分離のためのサイクル式スイング吸着法に関する。本明細書で用いる「分離」という用語は、ガス流から汚染物質及び／又は不純物を除去することを含み、ガス流はその後さらに分離されてもよい。本発明は、それだけではないが、下流における処理に適したものとするために原料ガス中の二酸化炭素を除去すること、又は少なくともその量を減らすこと、に特に応用される。本発明は、空気の低温分離又は精製のプロセスで原料ガスとして用いる空気から二酸化炭素を除去するのに特に有用である。
【背景技術】
【０００２】
二酸化炭素は、比較的沸点が高いガス物質であり、原料ガスに存在し得るこの物質及び他の高沸点物質、例えば水、の除去は、混合物がその後低い温度の、例えば極低温の（ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ）、プロセスで処理される場合に必要である。比較的高沸点の物質が除去されないと、以後の処理においてそれらが液化又は固化して下流プロセスにおける圧力低下と流れにくさという問題を生ずる。また、原料ガスの更なる処理の前に危険な、例えば爆発性の、物質を除去することも、後のプロセスで蓄積して爆発する要因となる危険を減らすために必要であり、又は望ましかろう。炭化水素のガス、例えばアセチレンは、そのような危険をもたらす可能性がある。
【０００３】
固体吸着剤による選択的吸着を利用して原料ガス混合物から１種以上の成分を分離する方法はいくつか知られている。そのような方法としては、温度スイング吸着（ＴＳＡ）、圧力スイング吸着（ＰＳＡ）、熱圧力スイング吸着（ＴＰＳＡ）、熱促進圧力スイング吸着（ＴＥＰＳＡ）が挙げられる。通常、この方法はサイクル式に行われ、一つの吸着床が稼働モードにあって床を通過する原料ガス混合物から被吸着物を吸着している間に、別の吸着床は再生モードにあって吸着された被吸着物を床から脱着しており、これらの床は上記モードを交互に実施する。
【０００４】
一般に、空気を原料ガスとするこれらの方法では、その混合物を水及び二酸化炭素を吸着する１種以上の吸着剤と接触させることによって空気の原料ガスから水と二酸化炭素を除去する。水の吸着剤は典型的にはシリカゲル、アルミナ、又はモレキュラーシーブであり、二酸化炭素の吸着剤は典型的にはモレキュラーシーブ、例えばゼオライトである。通常は、塔（カラム）内の水と二酸化炭素の選択吸着のために選ばれた単一吸着剤層又は個別の層に原料空気を通すことによって、最初に水を除去し、次に二酸化炭素を除去する。二酸化炭素及びその他の高沸点成分を非常に低いレベルまで除去することは、下流プロセスの効率的な運転のために特に望ましい。
【０００５】
吸着後、原料ガスの流れを吸着床から遮断し、吸着剤を、吸着された物質、例えば二酸化炭素と水を吸着剤から除去する再生ガスの流れにさらして、それを更に使用するために再生する。
【０００６】
二酸化炭素と水を除去するＴＳＡプロセスでは、普通、空気が主空気圧縮機（ＭＡＣ）で圧縮され、続いて水で冷却され、こうして凝縮した水が分離装置で除去される。空気は更に、例えば冷却されたエチレングリコールを用いて冷却されことがある。この工程で大部分の水が、凝縮及び凝縮物の分離によって除去される。ガスは次に吸着床システムに通され、そこで残りの水と二酸化炭素が吸着によって除去される。
【０００７】
２つの吸着床を並列に配置して用いることによって、一方を吸着のために作動させてその間に他方を再生することができ、それらの役割は運転サイクルで周期的に逆転する。通常、吸着と再生には等しい時間が割り当てられる。
【０００８】
床が稼働している間に原料ガスから除去される成分が吸着されるので、吸着法では吸着熱が発生し、吸着剤を通して熱パルスが下流へ進行する。原料供給又は稼働中は、熱パルスは吸着床の下流端から流れ出すままにされる。再生処理中は、床に吸着されたガス成分を脱着させるために熱を供給しなければならない。再生工程では、製品ガス、例えば窒素、の一部、又は下流プロセスからの廃気流を、吸着された成分を脱着するのに使用し、そしてそれは加熱するのに加えて圧縮されることもある。この高温のガスが再生中の床を通り抜けて、被吸着物を除去する。再生は、通常、吸着工程と反対の方向に行われる。
【０００９】
ＰＳＡシステムでは、サイクル時間は通常ＴＳＡシステムより短いが、原料温度及び圧力と再生ガスは同様であることが多い。しかし、ＰＳＡシステムでは、再生ガスの圧力は原料ガスの圧力より低く、圧力の変化を利用して吸着剤から二酸化炭素と水を除去する。再生は、ＴＳＡに関連して上で述べた熱パルスが床の下流端に到達する前に開始されるのが適切である。熱パルスの方向が再生の処理によって逆転され、ガス成分の吸着で発生する熱が床に保持されて、再生のときにその成分を脱着するために用いられる。ＴＳＡと異なり、再生ガスを加熱する必要はない。
【００１０】
熱圧力スイング吸着（ＴＰＳＡ）も、原料空気から二酸化炭素と水を除去するのに適している。ＴＰＳＡシステムでは、水は普通、水の吸着媒体、例えば活性アルミナ又はシリカゲルが配置されているゾーンに局限される。通常、二酸化炭素を吸着するための、例えばモレキュラーシーブを含む別個の層が用いられ、モレキュラーシーブの層と水の吸着ゾーンは通常別々である。ＴＳＡシステムと異なり、水はモレキュラーシーブ層に有意の範囲まで入らず、そのため都合のよいことに、モレキュラーシーブ層から水を脱着させるために大量のエネルギーを投入する必要がなくなる。ＴＰＳＡ法は、例えば米国特許第５８８５６５０号明細書と同第５８４６２９５号明細書に記載されており、その内容は参照によって本明細書に組み込まれる。
【００１１】
熱促進ＰＳＡ（ＴＥＰＳＡ）は、ＴＰＳＡと同じように、二段階の再生プロセスを利用し、以前に吸着された二酸化炭素をＴＳＡで脱着させ、吸着された水をＰＳＡで脱着させる。この方法では、脱着は再生ガスを原料流より低い圧力及び原料流より高い温度で供給し、その高温の再生ガスをその後低温の再生ガスで置き換えることによって行われる。加熱された再生ガスはサイクル時間をＰＳＡシステムよりも延ばすことを可能にし、床で吸着によって発生した熱を一部高温の再生ガスからの熱の代りとすることができるので切り替え損失が減少する。ＴＥＰＳＡ法は、例えば米国特許第５６１４０００号明細書に記載されており、その内容は参照によって本明細書に組み込まれる。
【００１２】
ＰＳＡと異なり、ＴＳＡ、ＴＥＰＳＡ及びＴＰＳＡは全て、再生ガスを加熱することによる熱エネルギーの投入を必要とするが、各処理はそれぞれの特有の利点と欠点を有する。再生ガスに必要な温度は、普通、システム工学的に負担になるのに十分な高い温度、例えば５０℃〜２００℃であり、それはコストを増大させる。普通、処理で除去される被吸着物は１種以上であり、一般にそれらの成分の１つ以上、例えば水、が強く吸着され、別の成分、例えば二酸化炭素はずっと弱く吸着される。再生に用いられる高温は、より強く吸着される成分を脱着させるのに十分であることが必要である。ＴＳＡ、ＴＰＳＡ及びＴＥＰＳＡシステムで用いられる高温は、断熱容器、再生ガス予熱器、及び入口端の予冷器の使用を必要とすることがあり、そして一般に高温はシステムに対してより厳しく高価な機械的仕様を要求する。運転時には、パージ予熱器の使用に関連する余分なエネルギー費がかかる。ＰＳＡシステムは、高温に対応する必要がないためにこれらの欠点の多くを回避するが、ＰＳＡを特徴づける短いサイクル時間がそれ自身の欠点になる。
【００１３】
スイング吸着システムの設計は、分離しようとする原料ガス混合物の組成の可能性のある変動を考慮して、通常、可能性のある変動に全て対応して見込まれる最悪の原料条件に基づく。通常、システムの処理条件は、被吸着物のあり得る最高の含有量を有する原料ガスを処理しても、被吸着物を除去するのにシステムの能力を超える危険がなく、許容できないレベルの被吸着物が下流プロセスに流れ出すことを確実に回避するために、予め選択されて運転中は一定にとどまる。空気から二酸化炭素と水を除去する場合、そのプロセスを運転しようとする地方における最も一般的な周囲条件が考慮される。二酸化炭素の濃度は汚染レベルによって変化し、原料ガス中の水分は局地的な温度及び相対湿度の変動によって変化するからである。特に二酸化炭素汚染の場合、原料空気の二酸化炭素含有量は、付近に二酸化炭素を放出するバーナー煙突がある場合は風向の変化に応じて、又は局地的な気象条件の変動に応じて、急激に且つ相当に変化することがある。例えば、図１は、２００５年１１月２０日から２３日までの期間に英国のＷｉｇａｎにおけるエア・プロダクツ社の空気分離施設における周囲二酸化炭素濃度の変動を示すグラフである。２００５年１１月２０日から２２日までは霧の立ちこめた天候で、その間二酸化炭素濃度は、約４５０ｐｐｍの通常のレベルより高く、ピークで約６８０ｐｐｍに達した。同様に、図２は、２００６年９月４日から８日までの期間に英国グレイン島のＩｓｒｅにおけるエア・プロダクツ社の空気分離施設における周囲二酸化炭素濃度の変動を示すグラフである。この施設の近くにはＬＮＧバーナー煙突があり、その煙突から放出される二酸化炭素が空気分離施設に及ぼす影響は風向に依存する。図に見られるように、二酸化炭素のピーク濃度は１０００ｐｐｍを超えていた。
【００１４】
従来技術では、サイクル式スイング吸着法のサイクル時間を変えて原料ガス組成の変化に対応することが提案されていた。例えば、米国特許第３８０８７７３号明細書には、水と１種以上の副次的成分を含むガスの吸着精製が開示されている。これは、ガスをモレキュラーシーブ床に通して吸着される成分を除去し、被吸着物の水の蒸気がそこから破過する前に、好ましくはもっとも吸着しにくい副次的成分が破過したときに、ガスの流れを停止し、その後そのガスの流れと逆向きに加熱されたパージガスをモレキュラーシーブに通すことによって１００〜２００℃の比較的低い温度でモレキュラーシーブを再生させることにより行われる。一方の床で吸着が行われている間に他方の床で設定された時間再生が行われる二床システムが記載されている。
【００１５】
米国特許第４１９７０９５号明細書には、二床吸着法によりガス原料から単数又は複数の成分を吸着することが開示されており、この方法では、流量、入口及び出口温度、入口及び出口圧力、及び再生圧力などの運転条件を検知し、床の再生に必要なパージガスの量を計算し、運転条件の下でのパージ流量を計算し、床が再生されたときにパージガスの流れを停止するように再生時間を制御する。サイクル時間は、再生時間より短くない時間に制御され、床はその時間の終わりに切り換えられる。
【００１６】
米国特許第４４７２１７８号明細書には、水の減少したガス原料流からＴＳＡシーケンスにより二酸化炭素を吸着することが開示されている。ここでは、吸着床の二酸化炭素が減少したガス生成物を最初に復熱装置に通して熱を回収するが、ガスがより低い所定の温度に達した後は、復熱装置をバイパスさせる。ガス生成物が所定の二酸化炭素濃度に達すると原料ガスの流れを中断し、床の圧力を下げ、そして床をまずパージガスによって逆向きに、熱いゾーンが床に存在するようになるまでパージし、パージガスは外部から供給される熱と復熱装置からの回収された熱で加熱されている。パージは、熱いゾーンがほぼ床の供給端になるまで外部から熱を供給することなく続けられ、そしてその後うち切られる。床は、吸着サイクルを再び開始できるような所定の圧力に達するまで、水と二酸化炭素が減少したガスによって逆向きに再加圧される。一方の床で吸着が行われている間に他方の床で再生が設定された時間にわたって行われる二床システムが記載されている。
【００１７】
米国特許第４６９３７３０号明細書には、並流の減圧からの放出流の特性を検出し、それに応答して矯正動作がとられて生成物の純度を制御する圧力スイング吸着法が開示されている。その動作は、再生の程度を制御するために吸着床が受け取るパージガスの量を調整することでよい。例示された実施形態では、検出される特性は不純物濃度であり、サイクル時間と不純物レベル目標値を調整して、１つの床の減圧の放出流特性によって全ての床に影響する矯正動作がとられる。
【００１８】
米国特許第５９８９３１３号明細書には、空気のＰＳＡ予備精製プロセスが開示されており、ここでは、少なくとも２つの吸着装置のおのおのについてサイクル時間が「リアルタイム」方式で制御され、稼働中の吸着装置への実際の合計流量が所定の時間にわたって測定された流量値に基づいて積算され、そして空気の供給条件、例えば温度、圧力、相対湿度、などが監視される。定期的に、吸着装置への最大の合計流量が監視された空気の供給条件に基づいて計算され、実際の合計流量値が現在の計算された最大合計流量値と比較され、それらの間の所定の関係に到達すると稼働中の吸着装置への空気の供給が中止されて別の吸着装置へ空気が供給される。各吸着装置のサイクル時間の制御は、負荷要求量の変動、パージ対供給空気比、及び吸着装置の床を切り替えたときに起こる不安定状態、なども考慮する。パージ対供給空気比は、空気流量と塔の回収率に基づいて制御することができ、そしてまた夏などのように床温度が高い場合は、パージ流量を減らすことができる。
【００１９】
米国特許第６２７７１７４号明細書には、少なくとも２つの床のおのおのへの最大の供給圧力を吸着の際に監視し、各床からの最小排気圧力を脱着の際に監視して、１サイクル内の個々の工程時間を監視された圧力に応じて変更し、床への及び床の間の流量を制御してほぼ一定の圧力比を維持するＰＳＡ法が開示されている。パージ工程及び重なり合う均圧工程の時間を監視された圧力に応じて調整できる。
【００２０】
米国特許第６４０２８０９号明細書には、ＴＳＡ法による二酸化炭素及び／又は水を含む空気などのガスの精製が開示されている。ここでは、吸着装置に入る及び／又はそれを出てゆく再生ガスの流量、再生工程の所用時間、及び吸着装置に入る再生ガスの再生温度、から選ばれる少なくとも１つのエネルギーパラメータを、吸着装置に入る及び／又はそれを出てゆく精製されるガスの圧力、吸着装置に入る及び／又はそれを出てゆく精製されるガスの流量、吸着装置に入る精製されるガスの温度、及び吸着装置に入る精製されるガスに含まれる不純物の含有量、から選ばれる少なくとも１つの運転条件に応じ、且つ、再生の終わりに吸着装置から出力されるヒートフロントの熱プロファイルに応じて、制御、監視及び／又は調節する。好ましくは、吸着が１つの床で行われる間、別の床で再生が行われる。
【００２１】
米国特許第６５９９３４７号明細書には、熱スイング吸着法を用いて原料ガスから水と二酸化炭素を吸着することが開示されている。ここでは、原料ガスの水含有量に関係する１つ以上のパラメータが直接又は間接的に測定され、吸着剤はその単数又は複数のパラメータに基づいた条件を用いて再生される。原料ガスの単数又は複数のパラメータは、連続的に又は、毎時又は毎日といったように、定期的に測定することができ、そしてパージガス流量及び／又は温度を測定データに応じて変更することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
これらの従来技術の方法のいずれも、吸着床の再生の完了時間を稼働中の床により同時に進行する吸着の完了時間と一致するように変えて、稼働中の床を再生された床と取り替えることができるスイング吸着の自動制御を可能にするものではない。本発明の目的は、そのような制御を提供することであり、原料ガス中の被吸着物の通常の濃度に対してシステムを最適な条件の下で運転し、再生された床を通常よりも速やかに使用して通常レベルよりも高い増大した被吸着物濃度のために減少した稼働時間に対応するのを可能にすることができるようにすることである。予期される最も高い被吸着物濃度に対応する運転を行う従来のシステム設計に比べて、これは通常運転ではもっと長い稼働時間を可能にし、その一方で、通常よりも高い被吸着物濃度に又は被吸着物濃度の予期しない突然の変化に対応して、代わりとなる床の再生を完了するのに必要な時間に制限されることなく、稼働時間を短縮することを可能にする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は、１つの吸着床が稼働モードにあってその床を通過する原料ガス混合物から被吸着物を吸着し、その間に別の吸着床が再生モードにあって吸着された被吸着物が床から脱着され、それらの床は上記のモードを交互に実施するサイクル式スイング吸着の方法を提供する。この吸着法では、稼働モードを完了するのに必要な時間を、当該モードにある間に床に供給される原料ガス混合物中の被吸着物の総量により決定し、当該稼働モードの間、原料ガス混合物中の被吸着物濃度を監視しそして当該監視された濃度から稼働モードを完了するのに要する時間を予測し、少なくとも１つの再生モード運転条件を上記の予測された時間の変化に応じて変更して、それにより再生モードを同時進行する稼働モードと同じ時間に完了させる。
【００２４】
本発明はまた、前記方法を実施するためのサイクル式スイング吸着装置を提供し、この装置は、
少なくとも２つの吸着床、
一つの床を、稼働モードの間にその床に供給される原料ガス混合物中の被吸着物の総量によって決められる時間稼働モードに維持し、その稼働モードの間に床を通過する原料ガス混合物から被吸着物を吸着することができ、そして別の床を再生モードに維持し、その間に、吸着された被吸着物をその床から脱着させることができ、それらの床で上記のモードを交互に実施するための制御回路、
稼働モードの間に床に供給された原料ガス混合物中の被吸着物の総量を測定し、それによって稼働モードの持続時間を決定するための総吸着剤センサー、
前記稼働モードの間原料ガス混合物中の被吸着物濃度を監視するための濃度監視装置、及び
当該監視された濃度から稼働モードを完了するために必要な時間を予測するためのプロセッサー、
を含み、前記制御回路は、前記予測された時間の変化に対応して少なくとも１つの再生モード運転条件を変更し、それによって再生モードを同時進行する稼働モードと同時に完了させる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】２００５年１１月２０日から２３日までの英国のＷｉｇａｎにおけるエア・プロダクツ社の空気分離施設での周囲二酸化炭素濃度の変動を示すグラフである。
【００２６】
【図２】２００６年９月４日から８日までの英国グレイン（Ｇｒａｉｎ）島のＩｓｌｅにおけるエア・プロダクツ社の空気分離施設での周囲二酸化炭素濃度の変動を示すグラフである。
【００２７】
【図３】本発明に従って運転されるＴＳＡを用いる低温空気分離施設のためのフロントエンド予備精製装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明は、原料ガス中の通常濃度の被吸着物に対して最適条件の下で運転できるが、再生された床を通常より速やかに使用して通常レベルを超える増大した被吸着物濃度に起因する稼働時間の短縮に対応するのを可能にするように、スイング吸着システムを制御するものである。これは、原料ガスの被吸着物濃度を連続的又は継続的に測定し、得られたデータから達成される稼働時間の推定値を計算し、そして再生されている床に関するパージ流量やその他の運転パラメータを、稼働中の床が飽和したときに必要なレベルの再生が達成されるように自動的に変更することによって達成される。こうして、通常運転で用いられるパージ流量を通常の稼働時間に合致するように減らし、それにより、従来の設計によるシステムに比べて、必要なパージガスの量を減らし、そしてまた再生中の床での圧力低下を減らすことができる。これによって、常時最小の量のパージガスを用いることが可能になる。
【００２９】
本発明の第一の様態によれば、１つの吸着床が稼働モードにあり、その間にその床を通過する原料ガス混合物から被吸着物が吸着され、その一方で別の吸着床は再生モードにあり、吸着された被吸着物がその間にその床から脱着され、そしてそれらの床は前記モードを交互に実施するサイクル式スイング吸着法であって、稼働モードを完了するために必要な時間を当該モードの間に当該床に供給される原料ガス混合物中の被吸着物の総量によって決定し、稼働モードの間原料ガス混合物中の被吸着物の濃度を監視してその監視された濃度から稼働モードを完了するために必要な時間を予測し、そして少なくとも１つの再生モード運転条件を当該予測された時間の変化に対応して変更して、それにより再生モードを同時に進行する稼働モードと同じ時間に完了させるサイクル式スイング吸着法が提供される。
【００３０】
稼働の時間と再生の時間を一致させる仕方を除き、吸着モードと再生モードは任意の従来のやり方で運転することができる。
【００３１】
好ましい実施形態では、原料ガス混合物中の被吸着物の基準濃度に基づいた稼働モード完了のための最小時間があり、予測される完了時間は、監視された濃度がその基準濃度を、予測される時間がその最小時間を超える限度まで超えたときに限り変更する。通常、基準濃度は、通常の運転条件の下で原料ガスに通常予期される最高の濃度である。例えば、英国において原料空気から二酸化炭素を吸着する場合、基準濃度は約４００ｐｐｍとするのが適当である。
【００３２】
被吸着物の濃度は、稼働中の吸着床の上流の原料ガス混合物及び／又は稼働中の吸着床における原料ガス混合物で測定することによって監視できる。測定が吸着床の上流で行われるときには、再生条件に調整を加えるために利用できる時間は増えるが、推定される稼働時間は測定が床で行われる場合より不正確になることが理解されよう。測定の行われるのが床の出口近くになればなるほど、稼働時間のより正確な推定が可能になる。しかしこの推定は、被吸着物の前部が床を通って測定位置に達して初めて行うことができる。その結果、制御装置が働き始めて再生条件を調整できるようになるまでに時間遅れがあり、これは再生条件が最適なものに及ばないであろうことを意味する。測定は、２つ以上の場所で行うことができる。
【００３３】
推定された稼働時間が正しく、被吸着物が吸着床を出ていかないことを確認するためには、被吸着物の出口濃度を測定することが適切である。この測定を利用して、稼働時間推定ソフトウエアにフィードバックし、その予測に補正を加えることができる。
【００３４】
被吸着物濃度の変化に応じて変更される少なくとも１つの再生モード運転条件は、パージガスの流量及び／又はそのガスの温度及び／又はＴＳＡのための再生加熱時間であることができ、あるいは容量を高めるためのＰＳＡサイクル時間の短縮であることができる。
【００３５】
本発明は以下では２つの床を有するＴＳＡシステムに適用されるものとして説明されるが、それは他の吸着サイクル、特にＰＳＡ、ＴＥＰＳＡ  ＆  ＰＳＡシステムでも、またいずれの圧力、温度、吸着剤、及び被吸着物についても、有用なものである。それは、原料、生成物、及び再生流が複数である複数の床に適用してもよい。吸着床は複数の吸着層を含むことができ、稼働時間を制御して、原料ガス中の各被吸着物成分をそれ自身の所定の部分に保持することができるようにすることができる。特に、本発明の一つの実施形態では、原料ガス混合物中に２種以上の被吸着物があり、稼働モードを完了するために必要な時間をこのモードの間に床に供給される原料ガス混合物中の２種以上の被吸着物の総量によって決定し、当該稼働時間を決定する原料ガス混合物中の当該被吸着物の濃度を当該稼働モードの間に監視してその稼働モードを完了するために必要な時間を当該監視された濃度から予測し、そしてこの予測された時間の変化に応じて少なくとも１つの再生モード運転条件を変更し、それによって再生モードを同時進行する稼働モードと同時に完了させる。
【００３６】
本発明は特に、空気又はその他の二酸化炭素含有ガス、例えば天然ガスや合成ガスなどから二酸化炭素を除去するのに、とりわけ少なくとも酸素及び／又は窒素生成物流を供給する低温空気分離装置のためのフロントエンド予備精製装置で利用される。
【００３７】
空気から二酸化炭素を除去するために用いられる場合、空気は水を除去するように第一のゾーンで吸着剤と接触してから、第二のゾーンで好適には第二の吸着剤によって二酸化炭素を除去されるのが好適である。適当な吸着剤としては、アルミナ、シリカゲル、活性アルミナ、含浸アルミナ、及びモレキュラーシーブ、例えばタイプＡ及びタイプＸのゼオライト、が挙げられる。水吸着物質は、好ましくはシリカゲル、活性アルミナ、含浸アルミナ又はアルミナであり、二酸化炭素吸着物質は、好ましくはモレキュラーシーブ、例えばゼオライトである。ゼオライトは、結合されていても結合剤なしでもよく、好ましくはゼオライト１３Ｘ、更に好ましくは結合剤なしのゼオライト１３Ｘである。
【００３８】
好ましくは、水吸着剤と二酸化炭素吸着剤は複合床に配置されて、二酸化炭素吸着剤が水吸着剤の下流になるようにされるが、所望ならば別々の床を用いることもできる。
【００３９】
ＴＳＡプロセスでは、原料ガスは、−５０〜８０℃、好ましくは０〜６０℃、特に１０〜５０℃の温度で、吸着工程に供給されるのが好適である。好適には、原料ガスの圧力は少なくとも０．１ＭＰａ、好ましくは０．２〜４ＭＰａ、更に好ましくは０．２〜３ＭＰａ、望ましくは０．２〜１．５ＭＰａである。好ましくは、再生ガスは下流プロセスから再循環されたガス、例えば、乾燥しており二酸化炭素を含まない空気分離装置からの窒素に富む廃ガス流、を含む。吸着剤の再生は、床の吸着温度よりも高い温度、好適には５０〜４００℃、好ましくは６５〜２４０℃の温度で行われる。再生圧力は、好適には０．０１〜３ＭＰａ、好ましくは０．０３〜１ＭＰａである。再生圧力は原料ガスの圧力の５０パーセントを超えないことが特に望ましい。
【００４０】
空気分離装置への原料空気の他の点では通常どおりのスイング吸着処理において、原料空気から二酸化炭素と水を除去する場合、好ましいプロセスパラメータは表１に示したとおりである。
【００４１】
【表１】
2009262151.tif 000002
【００４２】
本発明の第二の様態によれば、空気を主空気圧縮機で圧縮して圧縮空気とし、この圧縮空気から、１つの吸着床が稼働モードにあってその間に圧縮空気から二酸化炭素が吸着されて二酸化炭素を含まない空気原料となり、その間別の吸着床が再生モードにあってその間に二酸化炭素がその床から脱着され、これらの床は上記のモードを交互に実施するサイクル式スイング吸着法によって二酸化炭素を除去し、そして上記の二酸化炭素を含まない空気原料を空気分離装置に供給して当該二酸化炭素を含まない空気原料の成分に富む少なくとも１つの生成物流を提供する空気分離の方法であって、稼働モードを完了するのに必要な時間を圧縮空気中の二酸化炭素の総量によって決定し、圧縮空気中の二酸化炭素の濃度を上記の稼働モードの間監視しそして当該稼働モードを完了するのに必要な時間を当該監視した濃度から予測し、少なくとも１つの再生モード運転条件を当該予測された時間の変化に応じて変更して、それによって再生モードを同時進行する稼働モードと同じ時間に完了させる空気分離方法が提供される。
【００４３】
空気分離に関連する限り、第一の様態に関係して上で述べた全ての代替の態様及び好ましい要件が第二の様態に当てはまる。
【００４４】
本発明の第三の様態によれば、第一の様態の方法を実施するためのサイクル式スイング吸着装置であって、
少なくとも２つの吸着床、
一つの床を、稼働モードの間にその床に供給される原料ガス混合物中の被吸着物の総量によって決められる時間稼働モードに維持し、その稼働モードの間に床を通過する原料ガス混合物から被吸着物を吸着することができ、そして別の床を再生モードに維持し、その間に、吸着された被吸着物をその床から脱着させることができ、それらの床が前記モードを交互に実施するようにする制御回路、
稼働モードの間に床に供給された原料ガス混合物中の被吸着物の総量を測定し、それによって稼働モードの持続時間を決定する総吸着剤センサー、
前記稼働モードの間原料ガス混合物中の被吸着物濃度を監視する濃度監視装置、及び
当該監視された濃度から稼働モードを完了するために必要な時間を予測するプロセッサー、
を含み、前記制御回路は、前記予測された時間の変化に対応して少なくとも１つの再生モード運転条件を変更し、それによって再生モードを同時進行する稼働モードと同時に完了させる、サイクル式スイング吸着装置が提供される。
【００４５】
総吸着剤センサーは濃度監視装置と共通であることが好適である。
【００４６】
装置の構造に関連する限り、第一の様態に関係して上で述べた全ての代替の態様及び好ましい要件が第三の様態に当てはまる。例えば、濃度監視装置は原料ガス混合物中の吸着剤の濃度を稼働吸着床の上流において及び／又は稼働吸着床において測定してもよく、制御回路はパージガスの流量及び／又は温度を制御してもよく、そして装置は、好ましくはサイクル式熱スイング吸着装置である。
【００４７】
第四の様態によれば、本発明は第二の様態による方法を実施するための空気分離システムであって、
圧縮空気を提供するための主空気圧縮機、
二酸化炭素を含まない空気原料を提供するための第三の様態によるサイクル式スイング吸着装置、及び、
前記二酸化炭素を含まない空気原料を分離して、そのうちの１つの成分に富んだ少なくとも１つの生成物流を提供する空気分離装置、
を含む空気分離システムを提供する。
【００４８】
図３を参照すると、精製される空気は主空気圧縮機（ＭＡＣ）１に供給され、そこで圧縮されてから冷却器２に送られ、冷却された圧縮空気から少なくともいくらかの水蒸気を凝縮させる。冷却された圧縮空気は分離器３に送られ、これは原料から水滴を除去するように働く。分離器は入口４に接続され、そこで流路はそれぞれ入口制御弁７、８を有する二つの流路５、６に分かれる。制御弁７、８の下流で、入口流路５、６はベント弁１０、１１を含むベント（ｖｅｎｔ）９により橋渡しされる。ベント９にはサイレンサー１２が接続されている。吸着容器１３、１４が、ベント９の下流でそれぞれ入口流路５、６に接続されている。各容器１３、１４は、２つの吸着剤１５、１６及び１５’、１６’を含む吸着床をそれぞれ含む。吸着床の上流部分１５、１５’は、水を除去するための吸着剤、例えば活性アルミナ又は改質アルミナ、を含み、吸着床の下流部分１６、１６’は、二酸化炭素を除去するための吸着剤、例えばゼオライトを含む。各吸着容器１３、１４に出口流路１７、１８が接続され、それらは出口制御弁１９、２０を含む。別々の出口流路１７、１８は制御弁１９、２０の下流で合流して、下流処理装置、例えば低温空気分離装置（図示せず）、に接続されるのが好適な単一出口２１となる。出口制御弁１９、２０の上流で、出口流路１７、１８はパージガス入口２２によって橋渡しされ、橋渡し部にはパージガス制御弁２３、２４が含まれる。パージガス入口２２から上流の別の橋渡し管路２５も、制御弁２６を含む。
【００４９】
パージガス入口２２は、加熱器２８又はバイパス管路２９を介してパージガス供給部２７に接続されている。パージガスの流量と経路を制御するために制御弁３０、３１が設けられている。パージガスは、出口２１によって供給される下流の処理装置から得るのが好適である。
【００５０】
流量制御器３２がパージガス供給部２７に設けられ、入口２２へのパージガスの流量を測定し制御する。流量制御器３２は、プロセッサー３３から制御信号を受けるが、それはまたパージガスの加熱を制御するためのヒートシーケンサー３４にも制御信号を供給する。分離器３の下流にある二酸化炭素センサー３５が、吸着床への清浄空気原料中の二酸化炭素濃度に比例した入力をプロセッサー３３に与える。
【００５１】
使用時には、空気が主空気圧縮機１によって圧縮されて冷却器２と分離器３を通して入口４に送られ、２つの吸着容器１３、１４の一方（「稼働」容器）を下流方向へ通り抜ける。他方の吸着容器（「非稼働」容器）は入口２２からパージガスを受け取り、それは第一の吸着容器における空気の流れと反対の方向に流れる。
【００５２】
容器１３が稼働している状態で、空気は開いた弁７を通って容器１３へ進み、開いた弁１９を通って下流での処理のために出口２１へ進む。吸着容器１４への空気の供給が遮断されるので、弁８は閉じている。弁２０、２３、２４、２６、１０、及び１１は全て閉じている。吸着容器１４で床の再生を開始するには、弁１１を開いて容器１４の圧力を下げ、弁２４を開いてパージガスの流れが吸着容器１４を通過するようにする。パージガスは普通、下流の処理装置から、例えば空気分離装置のコールドボックスから得られる二酸化炭素を含まない乾燥した窒素である。弁３０を開いてパージガスを加熱器２８を通過させて、例えば１００℃以上の温度に加熱してから、必要とされる温度で容器１４に流れ込ませる。パージガスが容器１４を通り抜けると、二酸化炭素が脱着され、熱ウエーブが吸着床１６’を通過する。適当な時間に、例えば熱ウエーブが床１５’に入り込んだときに、弁３０を閉じ、弁３１を開いて、パージガスが加熱されず容器１４に流れ込み、熱パルスを更に吸着剤１５’を通して移動させるようにする。
【００５３】
吸着剤１６’がＴＳＡによって再生される一方で、低温のパージガスは、圧力が低いために、吸着剤１５’から水をＰＳＡによって、また熱ウエーブが吸着剤１５’に流れ込んでいるかどうかにより、ＴＳＡによっても、脱着させる。
【００５４】
再生時間の終わりに、弁２４を閉じ、弁２６を開いて、パージガスを容器１４の床から移動させる。次に弁１１を閉じて、容器１４を精製された空気で再び加圧する。次いで弁２６を閉じ、弁８と２０を開いて、容器１４を稼働させる。このとき容器１３を上で説明したのと同様の仕方で再生し、容器１３、１４は段階的な運転サイクルで稼働され、減圧され、再生され、再加圧され、稼働運転に戻される。
【００５５】
プロセッサー３３は、センサー３５からの二酸化炭素濃度データから、稼働工程を完了するのに必要な時間を推定する。推定された稼働時間が減少したならば、プロセッサーは流量制御器を制御してパージ流量を増加させ、場合により加熱器温度及び／又は加熱器運転時間を増加させ、そして熱パルスを非稼働中の床を通り抜けさせ、床を速やかに冷却して、それが時間に合わせて完全に再生されてオンラインに戻るようにする。推定された稼働時間が増加するように原料の条件が変化した場合には、プロセッサーはパージ流量を減少させ、また場合により加熱器温度及び／又は加熱器運転時間を減少させ、エネルギーを節約する。
【００５６】
原料空気の二酸化炭素濃度に応じてプロセッサーが行う制御がないと、熱パルスが再生されている非稼働容器の床内になおもある時点で、不純物が稼働中の容器を破過する可能性がある。その結果、床の再生は不十分になり、加えられた熱が浪費されてしまい、下流の設備が放出される熱パルスに耐えられない場合はそれに重大な結果を生ずる可能性がある。例えば、空気分離装置には通常、約６５℃という供給温度の限界がある。通常、この限界は、床を大きめにして、不純物が稼働中の床を破過する前に非稼働の床を冷却する十分な時間が常にあるようにして回避される。しかし、一年の大部分についてこの「最悪ケースのシナリオ」モードで床を運転することは、加熱器の電力と圧力低下が増大するために、一般に不経済である。本発明は、稼働する床に入ってくる原料ガス中の被吸着物の濃度を測定し、得られた情報を処理して被稼働中の床へのパージ流量を制御することによって、効率を著しく改善する。
【実施例】
【００５７】
本発明を以下の例を参照して更に詳しく説明するが、本発明がそれに限定されると見なされないことを理解すべきである。
【００５８】
典型的には、約４００ｐｐｍの二酸化炭素の入口濃度を仮定して、低温空気分離装置への原料空気の予備精製用の床を設計する。しかし、上で報告したように、霧が立ちこめた時期に得られた測定値又は主空気圧縮機への入口がＬＮＧターミナルなどの二酸化炭素源に近い場合に得られた測定値は、二酸化炭素濃度が急速に且つ劇的に上昇することがあることを実証している。最大で１００００ｐｐｍが記録されているが、６００ｐｐｍがより標準的である。吸着システムはこれらの条件に対処するように設計できるが、必要なパージガス流量は、空気中にわずか４００ｐｐｍの二酸化炭素が存在している場合に比べてずっと大きい。従って、吸着システムは、原料中の濃度が４００ｐｐｍである一年の大部分はずっと長い稼働時間で、従って少ないパージガス流量で運転し、二酸化炭素レベルが上昇したときだけ流量を増加させるというのが有益である。以下の例は、可能な圧力低下の節約（及びそれによる圧縮機動力の節約）を示す。
【００５９】
【表２】
2009262151.tif 000003
【００６０】
上のデータから分かるように、本発明では９２ｋＷの動力が節約される。
【００６１】
【表３】
2009262151.tif 000004
【００６２】
上のデータから分かるように、本発明では６ｋＷの動力が節約される。
【００６３】
本発明を特定の実施例について詳細に説明したが、その精神と範囲を逸脱することなくいろいろな変更や修正ができることは当業者には明らかであろう。
【図１】
2009262151.tif 000005
【図２】
2009262151.tif 000006
【図３】
2009262151.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月30日(2009.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明はまた、前記方法を実施するためのサイクル式スイング吸着装置を提供し、この装置は、
少なくとも２つの吸着床、
一つの床を、稼働モードの間にその床に供給される原料ガス混合物中の被吸着物の総量によって決められる時間稼働モードに維持し、その稼働モードの間に床を通過する原料ガス混合物から被吸着物を吸着することができ、そして別の床を再生モードに維持し、その間に、吸着された被吸着物をその床から脱着させることができ、それらの床で上記のモードを交互に実施するための制御回路、
稼働モードの間に床に供給された原料ガス混合物中の被吸着物の総量を測定し、それによって稼働モードの持続時間を決定するための総被吸着物センサー、
前記稼働モードの間原料ガス混合物中の被吸着物濃度を監視するための濃度監視装置、及び
当該監視された濃度から稼働モードを完了するために必要な時間を予測するためのプロセッサー、
を含み、前記制御回路は、前記予測された時間の変化に対応して少なくとも１つの再生モード運転条件を変更し、それによって再生モードを同時進行する稼働モードと同時に完了させる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
本発明の第三の様態によれば、第一の様態の方法を実施するためのサイクル式スイング吸着装置であって、
少なくとも２つの吸着床、
一つの床を、稼働モードの間にその床に供給される原料ガス混合物中の被吸着物の総量によって決められる時間稼働モードに維持し、その稼働モードの間に床を通過する原料ガス混合物から被吸着物を吸着することができ、そして別の床を再生モードに維持し、その間に、吸着された被吸着物をその床から脱着させることができ、それらの床が前記モードを交互に実施するようにする制御回路、
稼働モードの間に床に供給された原料ガス混合物中の被吸着物の総量を測定し、それによって稼働モードの持続時間を決定する総被吸着物センサー、
前記稼働モードの間原料ガス混合物中の被吸着物濃度を監視する濃度監視装置、及び
当該監視された濃度から稼働モードを完了するために必要な時間を予測するプロセッサー、
を含み、前記制御回路は、前記予測された時間の変化に対応して少なくとも１つの再生モード運転条件を変更し、それによって再生モードを同時進行する稼働モードと同時に完了させる、サイクル式スイング吸着装置が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
総被吸着物センサーは濃度監視装置と共通であることが好適である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
装置の構造に関連する限り、第一の様態に関係して上で述べた全ての代替の態様及び好ましい要件が第三の様態に当てはまる。例えば、濃度監視装置は原料ガス混合物中の被吸着物の濃度を稼働吸着床の上流において及び／又は稼働吸着床において測定してもよく、制御回路はパージガスの流量及び／又は温度を制御してもよく、そして装置は、好ましくはサイクル式熱スイング吸着装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１４】
請求項１に記載の方法を実施するためのサイクル式スイング吸着装置であって、
少なくとも２つの吸着床、
一つの床を、稼働モードの間にその床に供給される原料ガス混合物中の被吸着物の総量によって決められる時間稼働モードに維持し、その稼働モードの間に床を通過する原料ガス混合物から被吸着物を吸着することができ、そして別の床を再生モードに維持し、その間に、吸着された被吸着物をその床から脱着させることができ、それらの床で上記のモードを交互に実施するための制御回路、
稼働モードの間に床に供給された原料ガス混合物中の被吸着物の総量を測定し、それによって稼働モードの持続時間を決定するための総被吸着物センサー、
前記稼働モードの間原料ガス混合物中の被吸着物濃度を監視するための濃度監視装置、及び
当該監視された濃度から稼働モードを完了するために必要な時間を予測するためのプロセッサー、
を含み、前記制御回路は、前記予測された時間の変化に対応して少なくとも１つの再生モード運転条件を変更し、それによって再生モードを同時進行する稼働モードと同時に完了させる、サイクル式スイング吸着装置。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１５】
前記総被吸着物センサーが前記濃度監視装置と共通である、請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置。
【手続補正７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１６】
前記濃度監視装置が稼働吸着床の上流の原料ガス混合物中の被吸着物の濃度を測定する、請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置。
【手続補正８】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１７】
前記濃度監視装置が稼働吸着床で被吸着物の濃度を測定する、請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置。
【手続補正９】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２０】
該装置がサイクル式熱スイング吸着装置である、請求項１４に記載のサイクル式スイング吸着装置。
【外国語明細書】
2009262151000001.pdf