(57)【要約】【課題】液体流路の一部を構成する貫通孔が形成された構成部材と他の構成部材との接着不良を防止することができると共に液体流路を流れる液体のリークを防止でき、且つこの構成部材の貫通孔の内壁面の一部が崩壊して異物としてインクに混入するのを防止することができる液体噴射ヘッドユニット及びその製造方法を提供する。【解決手段】液体流路の一部を構成する貫通孔２３１ａがプレス加工によって一方面側から他方面側に向かって打ち抜き形成された金属製の流路形成部材（ヘッドケース構成部材２３０ａ）を有し、その流路形成部材の一方面側及び他方面側に形成された貫通孔２３１ａの開口縁部の角部２３５が、前記貫通孔の内壁面に形成されたせん断面と、開口縁部表面に形成された研磨面２３６、２３７とで画成されている。【選択図】図５
2009006539.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口と液体を貯留する貯留手段とを繋ぐ液体流路の途中に設けられた圧力発生室内の液体に圧力発生手段によって圧力を付与して前記ノズル開口から液滴を噴射する液体噴射ヘッドユニットであって、前記液体流路の一部を構成する貫通孔がプレス加工によって一方面側から他方面側に向かって打ち抜き形成された金属製の流路形成部材を有し、該流路形成部材の一方面側及び他方面側に形成された前記貫通孔の開口縁部の角部が、前記貫通孔の内壁面に形成されたせん断面と、前記開口縁部表面に形成された研磨面とで画成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項２】
前記貫通孔の内壁面が全てせん断面で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
前記液体噴射ヘッドユニットは、ノズル開口に連通する圧力発生室内の液体に圧力発生手段によって圧力を付与して前記ノズル開口から液滴を噴射するヘッド本体と、該ヘッド本体に固定されると共に前記貯留手段が取り付けられる保持部材に接合されて前記貯留手段に貯留された液体を前記圧力発生室に供給するための前記液体流路の一部が形成されたヘッドケースとを具備し、前記流路形成部材が前記ヘッドケースを構成する構成部材であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項４】
ノズル開口と液体を貯留する貯留手段とを繋ぐ液体流路の途中に設けられた圧力発生室内の液体に圧力発生手段によって圧力を付与して前記ノズル開口から液滴を噴射する液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、前記液体噴射ヘッドユニットを構成する金属製の流路形成部材を、その一方面側から他方面側に向かってプレス加工することにより当該流路形成部材を貫通する加工孔を打ち抜き形成する１次工程と、前記流路形成部材の加工孔の内壁面に形成されたせん断面より一方面側に位置し、且つ前記加工孔の開口部が前記加工孔の中心方向に向かうにつれて他方面側に塑性変形して形成されたダレと、前記加工孔のせん断面より他方面側の内壁面に形成された破断面とがなくなるまで前記流路形成部材の一方面及び他方面を研磨する２次加工工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を噴射する液体噴射ヘッドユニットに関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子等の圧力発生手段によって液体に圧力を付与することで、ノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このようなインクジェット式記録ヘッド（ユニット）としては、例えば、圧力発生室が形成された流路形成基板に、ノズル開口が穿設されたノズルプレート、ヘッドケース等が接合されてヘッド本体が構成され、これら複数のヘッド部材（ヘッド本体）が固定部材（固定板）に接着固定されると共に、ヘッドケースによって覆われているものがある（例えば、特許文献１参照）。このようなインクジェット式記録ヘッド（ユニット）には、ノズル開口とインクカートリッジとを繋ぐ液体流路が形成されている。
【０００３】
そして、このようなインクジェット式記録ヘッド（ユニット）を構成する構成部材の中には、例えばヘッドケースのように金属材料からなり、プレス加工により液体流路の一部を構成する貫通孔が打ち抜き形成されたものがある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−０９６４１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ヘッドケースなどの金属材料からなる構成部材をプレス加工することにより、液体流路の一部を構成する貫通孔を流路形成部材の一方面側から他方面側に向かって抜き打ち形成すると、貫通孔の内壁面はせん断面のみで形成されず、貫通孔の一方面側の開口部にはその貫通孔の中心方向に向かうにつれて他方面側に塑性変形したダレと、貫通孔のせん断面より他方面側の内壁面には破断面とが形成されてしまう。
【０００６】
そして、このような破断面が形成された貫通孔を有する構成部材を用いて、上述したような液体流路が形成されたインクジェット式記録ヘッド（ユニット）を構成し、その液体流路にインクを流した場合には、インクは貫通孔の内壁面の一部を構成する破断面に接しながら流れることになるので、破断面の一部が崩壊して異物としてインクに混入してしまうおそれがあるという問題があった。
【０００７】
また、同様に、このようなダレが形成された貫通孔を有する構成部材の一方面側に、接着剤などを介して他の構成部材を接着させて上述したような液体流路が形成されたインクジェット式記録ヘッド（ユニット）を構成し、その液体流路にインクを流した場合には、この構成部材のダレと他の構成部材との間に空間が形成されてしまうので、インクが液体流路からリークしやすいという問題や、この構成部材と他の構成部材との接着不良が生じやすいという問題があった。
【０００８】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、液体流路の一部を構成する貫通孔が形成された構成部材と他の構成部材との接着不良を防止することができると共に液体流路を流れる液体のリークを防止でき、且つこの構成部材の貫通孔の内壁面の一部が崩壊して異物としてインクに混入するのを防止することができる液体噴射ヘッドユニット及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明は、ノズル開口と液体を貯留する貯留手段とを繋ぐ液体流路の途中に設けられた圧力発生室内の液体に圧力発生手段によって圧力を付与して前記ノズル開口から液滴を噴射する液体噴射ヘッドユニットであって、前記液体流路の一部を構成する貫通孔がプレス加工によって一方面側から他方面側に向かって打ち抜き形成された金属製の流路形成部材を有し、該流路形成部材の一方面側及び他方面側に形成された前記貫通孔の開口縁部の角部が、前記貫通孔の内壁面に形成されたせん断面と、前記開口縁部表面に形成された研磨面とで画成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。かかる本発明では、流路形成部材の貫通孔の内壁面がせん断面のみで構成されているので、この流路形成部材の一方面と他の構成部材の接着不良を防止することができる共に液体流路を流れる液体のリークを防止でき、且つこの流路形成部材の貫通孔の内壁面の一部が崩壊して異物として液体に混入するのを防止することができる。
【００１１】
ここで、前記貫通孔の内壁面が全てせん断面で構成されていることが好ましい。これによれば、上述した効果を有する好適的な液体噴射ヘッドを提供することができる。
【００１２】
また、前記液体噴射ヘッドユニットは、ノズル開口に連通する圧力発生室内の液体に圧力発生手段によって圧力を付与して前記ノズル開口から液滴を噴射するヘッド本体と、該ヘッド本体に固定されると共に前記貯留手段が取り付けられる保持部材に接合されて前記貯留手段に貯留された液体を前記圧力発生室に供給するための前記液体流路の一部が形成されたヘッドケースとを具備し、前記流路形成部材が前記ヘッドケースを構成する構成部材であることが好ましい。これによれば、この構成部材の貫通孔の内壁面がせん断面のみで構成されているので、この構成部材と、他の構成部材、ヘッド本体又は保持部材との接着不良を防止することができると共に液体流路を流れる液体のリークを防止でき、且つこの構成部材の貫通孔の内壁面の一部が崩壊して異物としてその液体に混入するのを防止することができる。その結果、好適な液体噴射ヘッドユニットを提供することができる。
【００１３】
本発明の他の態様は、ノズル開口と液体を貯留する貯留手段とを繋ぐ液体流路の途中に設けられた圧力発生室内の液体に圧力発生手段によって圧力を付与して前記ノズル開口から液滴を噴射する液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、前記液体噴射ヘッドユニットを構成する金属製の流路形成部材を、その一方面側から他方面側に向かってプレス加工することにより当該流路形成部材を貫通する加工孔を打ち抜き形成する１次工程と、前記流路形成部材の加工孔の内壁面に形成されたせん断面より一方面側に位置し、且つ前記加工孔の開口部が前記加工孔の中心方向に向かうにつれて他方面側に塑性変形して形成されたダレと、前記加工孔のせん断面より他方面側の内壁面に形成された破断面とがなくなるまで前記流路形成部材の一方面及び他方面を研磨する２次加工工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法にある。かかる態様では、流路形成部材の貫通孔の内壁面をせん断面のみで構成することができるので、この流路形成部材の一方面と他の構成部材の接着不良を防止することができると共に液体流路を流れる液体のリークを防止でき、且つこの流路形成部材の貫通孔の内壁面の一部が崩壊して異物としてインクに混入するのを防止することができる液体噴射ヘッドユニットを作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットを示す分解斜視図である。図示するように、本発明の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、ヘッドユニットとも言う）を構成する保持部材であるカートリッジケース２１０は、図示しないインク供給手段（貯留手段）であるインクカートリッジがそれぞれ装着されるカートリッジ装着部２１１を有する。例えば、本実施形態では、インクカートリッジは、ブラック及び３色のカラーインクが充填された別体で構成され、カートリッジケース２１０には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。なお、カートリッジケース２１０の底面には、図示しないが、一端が各カートリッジ装着部２１１に開口し、他端が後述するヘッドケース側に開口する複数のインク連通路が設けられている。また、カートリッジ装着部２１１のインク連通路の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針２１３が、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路に形成されたフィルタ（図示しない）を介して固定されている。
【００１５】
また、このようなカートリッジケース２１０の底面側には、複数のインクジェット式記録ヘッド２が固定されている。
【００１６】
インクジェット式記録ヘッド２は、インクカートリッジのインク色毎に対応して複数設けられている。本実施形態では、１つのインクジェット式記録ヘッドユニット１に４つのインクジェット式記録ヘッド２が設けられている。
【００１７】
ここで、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド２について詳細に説明する。図２は、インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図３はインクジェット式記録ヘッドの断面図である。図２及び図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド２は、ヘッド本体２２０と、ヘッド本体２２０の液体噴射面Ａとは反対側に設けられたヘッドケース２３０とを具備する。
【００１８】
ヘッド本体２２０を構成する流路形成基板１０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板１０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がその幅方向に沿って列状に２列形成されている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述するリザーバ形成基板３０に設けられるリザーバ部３１と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部１３が形成されている。また、連通部１３は、インク供給路１４を介して各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板１０に形成された流路として、圧力発生室１２、連通部１３及びインク供給路１４が設けられている。したがって、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２では、圧力発生室１２、連通部１３及びインク供給路１４からなるインク流路と、上述したインク連通路とにより、ノズル開口２１とインクカートリッジとを繋ぐ液体流路が形成されている。
【００１９】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。すなわち、本実施形態では、１つのヘッド本体２２０にノズル開口２１の並設されたノズル列２１Ａが２列設けられている。本実施形態では、このノズルプレート２０のノズル開口２１が開口する面が、液体噴射面Ａとなっている。
【００２０】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、シリコン基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。
【００２１】
一方、図３に示すように、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有するリザーバ形成基板３０が接合されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００２２】
また、リザーバ形成基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。
【００２３】
さらに、リザーバ形成基板３０上には、各圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１１０が設けられている。この駆動ＩＣ１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動ＩＣ１１０の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００２４】
また、このようなリザーバ形成基板３０上には、コンプライアンス基板４０が接合されている。コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部４３となっており、リザーバ１００は、可撓部４３により封止されている。この可撓部４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスを与えている。
【００２５】
また、各ヘッド本体２２０の液体噴射面Ａとは反対側の面、すなわち、コンプライアンス基板４０上には、ヘッドケース２３０が固定されている。
【００２６】
ヘッドケース２３０は、金属からなり、１ｍｍ程度の厚みをそれぞれ有する第１のヘッドケース構成部材２３０ａ、第２のヘッドケース構成部材２３０ｂ及び第３のヘッドケース構成部材２３０ｃが順次接合されて構成されている。これらのヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃの液体噴射面Ａ側表面（一方面）及び液体噴射面Ａとは反対側の面（他方面）は共に研磨加工された研磨面で構成されている。また、各ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃには、厚さ方向に貫通した貫通孔２３１ａ〜２３１ｃがそれぞれ形成されており、各ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃが接合された際にインク供給連通路２３１を構成する。そして、これらの貫通孔２３１ａ〜２３１ｃの内壁面は各貫通孔２３１ａ〜２３１ｃをプレス加工で打ち抜き形成する際に形成されるせん断面のみで構成されている。したがって、各ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃの一方面側及び他方面側の貫通孔２３１ａ〜２３１ｃの開口縁部の角部は、各貫通孔２３１ａ〜２３１ｃの内壁面に形成されたせん断面と、それらの開口縁部表面に形成された研磨面とでそれぞれ画成されていることになる。
【００２７】
このように構成された各ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃを用いてヘッドケース２３０を構成することにより、各ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃ間の接着不良、ヘッドケース構成部材２３０ａとヘッド本体２２０との接着不良及びヘッドケース構成部材２３０ｃとカートリッジケース２１０との接着不良を防止することができると共に、インク供給連通路２３１を流れるインクのリークを防止でき、且つ各貫通孔２３１ａ〜２３１ｃの内壁面の一部が崩壊して異物としてインクに混入するのを防止することができる。その結果、インクジェット式記録ヘッドユニット１の信頼性を向上させることができる。
【００２８】
さらに、このヘッドケース２３０には、コンプライアンス基板４０の可撓部４３に対向する領域に凹部２３２が形成され、可撓部４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、リザーバ形成基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動ＩＣ保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動ＩＣ保持部２３３を挿通して駆動ＩＣ１１０と接続されている。
【００２９】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２は、インクカートリッジからのインクをインク連通路及びインク供給連通路２３１を介してインク導入口４４から取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１１０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００３０】
次に、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニット１の製造方法について説明する。なお、ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃの製造方法以外は、従来のインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法と同様であり、且つ各ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃは同様にして製造することができるので、以下では、ヘッドケース構成部材２３０ａの製造方法のみについて説明する。
【００３１】
まず、図４（ａ）に示すように、円柱状のパンチ５１０と、そのパンチ５１０の直径よりも大きな直径を有する円柱状の貫通部５２１を有するダイプレート５２０との間にヘッドケース構成部材２３０ａとなる板状部材４００を載置する。ここで、パンチ５１０の直径と貫通部５２１の直径との差は小さい方が好ましい。この差を小さくすることにより、後述する破断面部の表面積を小さくすることができ、結果として後述する２次加工工程を短縮することができる。
【００３２】
その後、プレス加工を施して、この板状部材４００の上側（一方面側）から下側（他方面側）に向かって貫通孔２３１ａとなる加工孔４１０を打ち抜き形成する（１次加工工程）。その結果、図４（ｂ）に示すように、板状部材４００には、加工孔４１０の内壁面がせん断面で形成されたせん断面部４１２と、せん断面部４１２よりも一方面側に位置し、且つ加工孔４１０の開口部が加工孔４１０の中心方向に向かうにつれて塑性変形して形成されたダレ部４１１と、加工孔４１０のせん断面部４１２よりも他方面側の内壁面に形成された破断面部４１３とが形成されてしまう。
【００３３】
次に、板状部材４００の一方面側表面４０６及び他方面側表面４０７をダレ部４１１及び破断面部４１３がなくなるまで一様に研磨（ポリッシュ）して、ヘッドケース構成部材２３０ａを形成する（２次加工工程）。なお、板状部材４００の一方面側表面４０６及び他方面側表面４０７を研磨する際には、まず何れか一方の表面を研磨した後に残りの表面を研磨してもよいし、同時に両面を研磨してもよい。
【００３４】
その結果、図５に示すように、ヘッドケース構成部材２３０ａの貫通孔２３１ａの一方面側及び他方面側の開口縁部の角部２３５は、貫通孔２３１ａの内壁面に形成されたせん断面と、開口縁部表面に形成された研磨面２３６、２３７とで画成されることになる。
【００３５】
そして、このように作製された各ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃを、接着剤などを介してそれぞれ接合することにより、インク供給連通路２３１が形成されたヘッドケース２３０を作製することができる。なお、各ヘッドケース構成部材を接合する方法は特に限定されず、例えば陽極接合を用いて各ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃをそれぞれ接合してもよい。
【００３６】
このようなヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃを用いてヘッドケース２３０を作製することにより、インク供給連通路２３１の内壁面をせん断面のみで構成することができるので、各ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃ間の接着不良、ヘッドケース構成部材２３０ａとヘッド本体２２０との接着不良及びヘッドケース構成部材２３０ｃとカートリッジケース２１０との接着不良を防止することができると共に、インク供給連通路２３１を流れるインクのリークを防止でき、且つ各貫通孔２３１ａ〜２３１ｃの内壁面の一部が崩壊して異物としてインクに混入するのを防止することができるインクジェット式記録ヘッドユニットを作製することができる。その結果、信頼性を向上させたインクジェット式記録ヘッドユニット１を提供することができる。
【００３７】
これに対して、プレス加工により単に加工孔が抜き打ち形成されたヘッドケース構成部材には、図４（ｂ）に示すように、せん断面部以外にダレ部及び破断面部が形成されている。したがって、このような破断面部を有するヘッドケース構成部材を用いてヘッドケースを作製して、上述したような液体流路が形成されたインクジェット式記録ヘッドユニットを構成し、その液体流路にインクを流した場合には、インクは一次加工孔の内壁面を構成する破断面に接しながら流れることになるので、破断面の一部が崩壊して異物としてインクに混入してしまうという問題が生ずる可能性がある。また、同様に、このようなダレ部を有するヘッドケース構成部材の一方面側に、他の構成部材を接合させて上述したような液体流路が形成されたインクジェット式記録ヘッドユニットを構成し、その液体流路にインクを流した場合には、このヘッドユニット構成部材のダレ部と他のヘッドケース構成部材などとの間に空間が形成されてしまうので、インクが液体流路からリークしやすくなるという問題や、このヘッドケース構成部材と他のヘッドケース構成部材などとの接着不良が生じやすくなるという問題が生ずる可能性がある。しかしながら、本実施形態に係るヘッドケース２３０では、このような問題が生ずることはない。
【００３８】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態１を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、液体流路の一部を構成する貫通孔を有する流路形成部材であって、流路形成部材の一方面側及び他方面側に形成された貫通孔の開口縁部の角部が、その流路形成部材の一方面側及び他方面側の貫通孔の内壁面に形成されたせん断面と、その開口縁部表面に形成された研磨面とで画成されているものとして、ヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃを例示したが、液体流路の一部を構成する貫通孔が形成された液体流路基板、リザーバ基板又はコンプライアンス基板などに本発明を適用してもよい。
【００３９】
また、実施形態１では、ヘッドケース２３０は３つのヘッドケース構成部材２３０ａ〜２３０ｃで構成されていたが、１つのヘッドケース構成部材で構成されていてもよいのはいうまでもない。
【００４０】
さらに、上述した実施形態１では、撓み振動型の圧電素子３００を有するインクジェット式記録ヘッド２を例示したが、これに限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のインクジェット式記録ヘッドや発熱素子等の発熱で発生するバブルによってインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド等、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドを有するヘッドユニットに応用することができることはいうまでもない。
【００４１】
なお、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを有するヘッドユニットを一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを有する液体噴射ヘッドユニットの製造方法を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】実施形態１に係るヘッドケース構成部材の製造方法を示す断面図である。
【図５】実施形態１に係るヘッドユニット構成部材の断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
Ａ  液体噴射面、  １  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  ２  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  ２１  ノズル開口、  ３０  リザーバ形成基板、  ４０  コンプライアンス基板、  ２１０  カートリッジケース、  ２２０  ヘッド本体、  ２３０  ヘッドケース、  ２３５  角部、  ２３６，２３７  研磨面、  ２４０  カバーヘッド、  ２５０  固定板、  ４００  板状部材、  ４０６  板状部材の一方面側表面、  ４０７  板状部材の他方面側表面、  ４１０  加工孔、  ４１１  ダレ部、  ４１２  せん断面部、  ４１３  破断面部
【図１】
2009006539.tif 000003
【図２】
2009006539.tif 000004
【図３】
2009006539.tif 000005
【図４】
2009006539.tif 000006
【図５】
2009006539.tif 000007