(57)【要約】【課題】被検査体を載置する載置体を、プローブカードの複数のプローブの針先のバラツキなどによる傾きに合わせて確実に傾斜させることができ、複数のプローブと被検査体を均一な接触荷重で接触させて信頼性の高い検査を行うことができる被検査体の傾斜調整装置及びプローブ装置を提供する。【解決手段】本発明のプローブ装置１０は、載置台１１と、プローブカード１３と、第１第２のカメラ２１、２３及び制御装置１５を備え、第１、第２のカメラ２１、２２からの複数のプローブ１３Ａの針先及び複数の電極パッドの位置情報に基づいて載置体１１Ａを傾斜させる傾斜駆動手段２３と、傾斜した載置体１１Ａの変位量を検出する変位量検出手段２４と、を備え、制御装置１５の制御下で傾斜駆動手段２３と変位量検出手段２４が協働して、載置体１１Ａの傾きを複数のプローブ１３Ａの針先の傾きに合わせるように構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を載置する載置体を有する移動可能な載置台と、
上記載置体上にある上記被検査体の電気特性検査に用いられるプローブカードの予め選択された複数のプローブの針先の位置をそれぞれ検出する第１の撮像手段と、
上記載置体上にある上記被検査体の予め選択された複数の電極の位置をそれぞれ検出する第２の撮像手段と、
上記第１、第２の撮像手段からの位置情報に基づいて上記複数のプローブの針先と上記複数の電極の平行度を求める制御装置と、
上記平行度に基づいて上記載置体を傾斜させる傾斜駆動手段と、
上記傾斜駆動手段によって傾斜した上記載置体の変位量を検出する変位量検出手段と、を備え、
上記制御装置の制御下で上記傾斜駆動手段と上記変位量検出手段が協働して、上記載置体の傾きを上記複数のプローブの針先の傾きに合わせる
ことを特徴とする載置体の傾斜調整装置。
【請求項２】
上記傾斜駆動手段は、上記載置体と上記載置体を支持する支持体との間に設けられた圧電体と、上記載置体を傾けるために上記圧電体に印加する電圧を制御する電圧制御手段と、を有することを特徴とする請求項１に記載の載置体の傾斜調整装置。
【請求項３】
上記圧電体は、複数の圧電素子が積層されてなることを特徴とする請求項２に記載の載置体の傾斜調整装置。
【請求項４】
被検査体を載置する載置体を有する移動可能な載置台と、
上記載置体上の上記被検査体の電気的特性検査に用いられるプローブカードと、
上記プローブカードの予め選択された複数のプローブの針先の位置をそれぞれ検出する第１の撮像手段と、
上記被検査体の予め選択された複数の電極の位置をそれぞれ検出する第２の撮像手段と、
上記第１、第２の撮像手段からの位置情報に基づいて上記複数のプローブの針先と上記複数の電極の平行度を求める制御装置と、
を備えたプローブ装置であって、
上記平行度に基づいて上記載置体を傾斜させる傾斜駆動手段と、
上記傾斜駆動手段によって傾斜した上記載置体の変位量を検出する変位量検出手段と、を備え、
上記制御装置の制御下で上記傾斜駆動手段と上記変位量検出手段が協働して、上記載置体の傾きを上記複数のプローブの針先の傾きに合わせる
ことを特徴とするプローブ装置。
【請求項５】
上記傾斜駆動手段は、上記載置体と上記載置体を支持する支持体との間に設けられた圧電体と、上記載置体を傾けるために上記圧電体に印加する電圧を制御する電圧制御手段と、を有することを特徴とする請求項４に記載のプローブ装置。
【請求項６】
上記圧電体は、複数の圧電素子が積層されてなることを特徴とする請求項５に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカードを用いて被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置に関し、更に詳しくは、プローブカードの複数のプローブの針先が傾いている時にその傾斜に合わせて被検査体を載置する載置体を傾斜させることができる載置体の傾斜調整装置及びプローブ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プローブ装置は、図５に示すように、被検査体（例えば、ウエハ）Ｗを載置し且つ昇降駆動機構を内蔵する移動可能な載置台１と、載置台１を水平方向へ移動させるＸＹテーブル２と、載置台１の上方に配置されたプローブカード３と、載置台１上のウエハＷとプローブカード３の複数のプローブ３Ａの位置合わせするアライメント機構（図示せず）と、載置台１及びアライメント機構を含む各種の機器を制御する制御装置（図示せず）と、を備えて構成されている。ウエハＷの検査を行う場合には、制御装置の制御下で、アライメント機構を用いて、載置台１上のウエハＷの複数の電極パッドとプローブカード３の複数のプローブ３Ａとの位置合わせを行った後、載置台１を所定の位置へ移動させ、その位置で載置台１を所定の高さまで上昇させてウエハＷと複数のプローブ３Ａとを接触させ、更に載置台をオーバードライブさせてウエハＷと複数のプローブ３Ａとを電気的に接触させてウエハＷの電気的特性検査を行う。
【０００３】
近年、プローブカードの開発が進み、図５に示すようにプローブカード３全面に形成された多数のプローブ３ＡとウエハＷ全面に形成された多数の電極パッドとを載置台１上で一括して接触させてウエハＷの検査を行う、一括接触方式への要求が強くなってきている。一括接触方式では多数のプローブ３Ａの針先と載置台１上のウエハＷとの平行度が問題となり、これら両者の平行度が悪いとプローカード３の全プローブ３ＡとウエハＷの接触荷重がばらつき、検査の信頼性が低下する虞があり、場合によってはプローブカード３やウエハＷを傷つける虞もある。
【０００４】
このような事態を防止するために、例えば特許文献１、２においてプローブカードとウエハの平行度を出す技術が提案されている。特許文献１ではウエハプローバに関する技術が提案され、特許文献２ではプローブカードの調整機構及びプローブ装置に関する技術が提案されている。
【０００５】
特許文献１のウエハプローバでは、チャックトップ内に圧電素子を挿入し、チャックトップ上段のステージを傾けられるようにしてあり、あるいは、プローブカードを装着したＤＵＴボードが圧電素子で傾けられるようにしている。チャックトップのステージを傾ける場合には、予めプローブカードの傾きを、レーザセンサまたは容量センサを用いて非接触で検出し、プローブカードの傾きに合わせてステージを傾斜させるようにしている。
【０００６】
特許文献２に記載のプローブ装置は、プローブカードと、プローブカードを支持するインサートリングと、インサートリングを支承するヘッドプレートと、インサートリングとヘッドプレートの間に介在し、プローブカードとウエハチャック上のウエハとの平行度を調整する第１、第２支承機構を有する調整機構と、を備え、第２支承機構は、ヘッドプレート上にあってインサートリングを昇降させる楔部材を有している。つまり、この技術では第２支承機構を用いてプローブカードの傾きを調整して、プローブカードとウエハチャック上のウエハとが平行になるようにしている。
【０００７】
【特許文献１】特開平０６−０２１１６６号公報
【特許文献１】特開２００６−３１７３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１の技術では、プローブカード本体の傾きにチャックトップ上段のステージの傾きを合わせることができたとしても、プローブカードの複数のプローブの針先高さにバラツキがあれば、複数のプローブとウエハとが均一な接触荷重を得ることができない。プローブカードとウエハを一括接触させる場合にはプローブカードの複数のプローブをウエハ全面に接触させるため、プローブの針先のバラツキの影響が大きく、検査の信頼が益々低下する。また、特許文献１の技術では、ステージの傾きを調整した後、ステージがプローブカードの傾きにあっているか否かを調べないため、ステージがプローブカードの傾きに合致した傾きになっているとの保証はない。
【０００９】
また、特許文献２の技術は、ウエハチャックに合わせてプローブカードの傾きを調整する技術であり、ウエハチャック側をプローブカードに合わせて平行度を得る技術ではない。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、被検査体を載置する載置体を、プローブカードの複数のプローブの針先のバラツキなどによる傾きに合わせて確実に傾斜させることができ、複数のプローブと被検査体を均一な接触荷重で接触させて信頼性の高い検査を行うことができる載置体の傾斜調整装置及びプローブ装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の請求項１に記載の載置体の傾斜調整装置は、被検査体を載置する載置体を有する移動可能な載置台と、上記載置体上にある上記被検査体の電気特性検査に用いられるプローブカードの予め選択された複数のプローブの針先の位置をそれぞれ検出する第１の撮像手段と、上記載置体上にある上記被検査体の予め選択された複数の電極の位置をそれぞれ検出する第２の撮像手段と、上記第１、第２の撮像手段からの位置情報に基づいて上記複数のプローブの針先と上記複数の電極の平行度を求める制御装置と、上記平行度に基づいて上記載置体を傾斜させる傾斜駆動手段と、上記傾斜駆動手段によって傾斜した上記載置体の変位量を検出する変位量検出手段と、を備え、上記制御装置の制御下で上記傾斜駆動手段と上記変位量検出手段が協働して、上記載置体の傾きを上記複数のプローブの針先の傾きに合わせることを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項２に記載の載置体の傾斜調整装置は、請求項１に記載の発明において、上記傾斜駆動手段は、上記載置体と上記載置体を支持する支持体との間に設けられた圧電体と、上記載置体を傾けるために上記圧電体に印加する電圧を制御する電圧制御手段と、を有することを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項３に記載の載置体の傾斜調整装置は、請求項２に記載の発明において、上記圧電体は、複数の圧電素子が積層されてなることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項４に記載のプローブ装置は、被検査体を載置する載置体を有する移動可能な載置台と、
上記載置体上の上記被検査体の電気的特性検査に用いられるプローブカードと、
上記プローブカードの予め選択された複数のプローブの針先の位置をそれぞれ検出する第１の撮像手段と、上記被検査体の予め選択された複数の電極の位置をそれぞれ検出する第２の撮像手段と、上記第１、第２の撮像手段からの位置情報に基づいて上記複数のプローブの針先と上記複数の電極の平行度を求める制御装置と、を備えたプローブ装置であって、上記平行度に基づいて上記載置体を傾斜させる傾斜駆動手段と、上記傾斜駆動手段によって傾斜した上記載置体の変位量を検出する変位量検出手段と、を備え、上記制御装置の制御下で上記傾斜駆動手段と上記変位量検出手段が協働して、上記載置体の傾きを上記複数のプローブの針先の傾きに合わせることを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の請求項５に記載のプローブ装置は、請求項４に記載の発明において、上記傾斜駆動手段は、上記載置体と上記載置体を支持する支持体との間に設けられた圧電体と、上記載置体を傾けるために上記圧電体に印加する電圧を制御する電圧制御手段と、を有することを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項６に記載のプローブ装置は、請求項５に記載の発明において、上記圧電体は、複数の圧電素子が積層されてなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、被検査体を載置する載置体を、プローブカードの複数のプローブの針先のバラツキなどによる傾きに合わせて確実に傾斜させることができ、複数のプローブと被検査体を均一な接触荷重で接触させて信頼性の高い検査を行うことができる載置体の傾斜調整装置及びプローブ装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図１〜図４に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。尚、各図中、図１は本発明のプローブ装置の一実施形態の構成を示す構成図、図２の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示すプローブ装置に用いられる圧電素子を示す斜視図、図３は図１に示すプローブ装置においてプローブカードの複数のプローブの針先とウエハとを平行にする動作を示す流れ図、図４の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図３に示す流れ図に従ってプローブカードの複数のプローブの針先とウエハを平行する動作を示すプローブ装置の側面図である。
【００１９】
本実施形態のプローブ装置１０は、例えば図１に示すように、被検査体（例えば、ウエハ）Ｗを載置する移動可能な載置台１１と、載置台１１をＸＹ方向へ移動させるＸＹテーブル１２と、載置台１１の上方に配置されたプローブカード１３と、載置台１１上のウエハＷの複数の電極パッドとプローブカード１３の複数のプローブ１３Ａとの位置合わせを行うアライメント機構１４と、載置台１１及びアライメント機構１４を含む複数の機器を制御する制御装置１５と、を備え、従来と同様にアライメント機構１４を介して載置台１１上のウエハＷの電極パッドとプローブカード１３の複数のプローブ１３Ａが一括して電気的に接触したまま、ウエハＷの全てのデバイスについて電気的特性検査を行うように構成されている。
【００２０】
而して、載置台１１は、ウエハＷを載置する載置体１１Ａと、載置体１１Ａを支持する支持体１１Ｂと、支持体１１Ｂに内蔵され且つ上記載置体と上記支持体を一体的に昇降させる昇降駆動機構（図示せず）と、を備えている。載置体１１Ａは、後述のように傾斜駆動手段によって支持体１１Ｂに対して傾斜可能に構成されている。尚、図示してないが、昇降駆動機構は、ＸＹステージ１２に固定されたボール螺子と、支持体１１Ｂに固定されたナット部材を主体に構成されている。
【００２１】
プローブカード１３は、図１に示すようにヘッドプレート１６の略中央に形成された開口部１６Ａに装着され、固定されている。プローブカード１３やヘッドプレート１６には加工誤差やプローブカード１３のヘッドプレート１６への装着具合によっては、載置体１１Ａに対してプローブカード１３が平行にならないことがある。また、複数のプローブ１３Ａの針先高さにバラツキがあり、図１に示すように複数のプローブ１３Ａの針先のなす面（以下、必要に応じて「針先面」と称す。）が全体として一方向に傾斜し載置体１１Ａ上のウエハＷと平行でないことがある。複数のプローブ１３Ａと載置体１１Ａ上のウエハＷが一括接触するためには、複数のプローブ１３Ａの針先面と載置体１１Ａ上のウエハＷとが平行になるようにプローブカード１３または載置体１１Ａを傾斜させる必要がある。
【００２２】
そこで、本実施形態では、図１に示すように載置体の傾斜調整装置（以下、単に「傾斜調整装置」と称す。）２０を用いて、複数のプローブ１３Ａの針先面の傾きに合わせて載置体１１Ａを傾斜させて両者が平行になるように調整する。この傾斜調整装置２０について以下説明する。
【００２３】
本実施形態の傾斜調整装置２０は、図１に示すように、ウエハＷを載置する載置体１１Ａを有する移動可能な載置台１１と、載置体１１Ａ上にあるウエハＷの電気特性検査に用いられるプローブカード１３の複数のプローブ１３Ａの針先の位置をそれぞれ検出する第１の撮像手段（第１のカメラ）２１と、載置体１１Ａ上にあるウエハＷの複数の電極パッドの位置をそれぞれ検出する第２の撮像手段（第２のカメラ）２２と、第１、第２のカメラ２１、２２からの位置情報に基づいて複数のプローブ１３Ａの針先と複数の電極パッドの平行度を求める制御装置１５と、複数のプローブ１３Ａの針先に合わせて載置体１１Ａを傾斜させる傾斜駆動手段２３と、傾斜駆動手段２３によって傾斜した載置体１１Ａの元の位置からの変位量をレーザセンサや容量センサ等の変位センサによって検出する変位量検出手段２４と、を備え、制御装置１５の制御下で傾斜駆動手段２３と変位量検出手段２４が協働して、載置体１１Ａの傾きを複数のプローブ１３Ａの針先面の傾きに合わせるように構成されている。
【００２４】
第１のカメラ２１は、図１に示すように載置台１１に付設されており、載置台１１が水平方向に移動する間にプローブカード１３の下方から互いに離間した複数のプローブ１２を選択し、それぞれの針先を撮像する。第１のカメラ２１は、それぞれのプローブ１３Ａの針先位置をＸ、Ｙ、Ｚ座標値として位置認識部２１Ａで認識し、そのＸ、Ｙ、Ｚ座標値を位置情報として制御装置１５へ送信する。第２のカメラ２２は、図１に示すようにアライメント機構１４のアライメントブリッジ１４Ａの中央に取り付けられており、載置台１１が水平方向に移動する間に載置体１１Ａ上にあるウエハＷから複数の電極パッドを選択し、それぞれの電極パッドを撮像する。第２のカメラ２２は、それぞれの電極パッドの位置をＸ、Ｙ、Ｚ座標値として位置認識部２２Ａで認識し、そのＸ、Ｙ、Ｚ座標値を位置情報として制御装置１５へ送信する。尚、第１、第２のカメラ２１、２２は、アライメント機構１４として構成されている。
【００２５】
制御装置１５では、中央演算処理部１５Ａ及び記憶部１５Ｂを備えている。制御装置１５では、中央演算処理部１５Ａが第１のカメラ２１からの位置情報を解析し、選択された複数のプローブ１３Ａそれぞれの針先のＸ、Ｙ、Ｚ位置として記憶部１５Ｂに記憶させる。また、中央演算処理部１５Ａが第２のカメラ２２からの位置情報を解析し、選択された複数の電極パッドそれぞれのＸ、Ｙ、Ｚ位置として記憶部１５Ｂに記憶させる。更に、中央演算処理部１５Ａは、複数個所のプローブ１３ＡそれぞれのＸ、Ｙ、Ｚ位置情報と複数個所の電極パッドそれぞれのＸ、Ｙ、Ｚ位置情報に基づいて複数のプローブ１３Ａの針先のこれらに対応する複数の電極パッドからの高さを求め、延いては複数のプローブ１３Ａの傾斜具合を検出することができる。本実施形態ではプローブカード１３本体はヘッドプレート１８に対して水平に装着され、載置体１１Ａに対して平行になっているが、複数のプローブ１３Ａの針先面は傾斜している。
【００２６】
複数のプローブ１３Ａの針先面と載置体１１Ａ上のウエハＷが平行でない時には、複数のプローブ１３Ａの針先とこれらのプローブ１３Ａに対応する複数の電極パッドからの高さが変化する。中央演算処理部１５Ａは、高さの変化量に基づいて複数のプローブ１３Ａと複数の電極パッドの平行度を求めることができる。中央演算処理部１５Ａは、この平行度によって傾斜駆動手段２３を制御して載置体１１Ａを傾ける。
【００２７】
傾斜駆動手段２３は、図１に示すように、載置体１１Ａを傾けるアクチュエータとなる圧電体２３Ａと、圧電体２３Ａに印加する電圧を制御するアクチュエータコントローラ２３Ｂと、アクチュエータコントローラ２３Ｂからの電圧を増幅する増幅器２３Ｃと、を備え、中央演算処理部１５Ａからの動作指令信号に基づいてアクチュエータコントローラ２３Ｂが圧電体２３Ａに対する印加電圧を制御する。圧電体２３Ａは、載置体１１Ａと支持体１１Ｂの間に周方向に所定の間隔を空けて複数配置されている。これらの圧電体２３Ａは、電圧を印加すると分極し、例えば図２の（ａ）に矢印で示すように上下方向に伸び、載置体１１Ａを傾斜させることができる。本実施形態では圧電体２３Ａは、図２の（ｂ）に示すように複数の圧電素子２３Ａ１、２３Ａ２・・・２３Ａｎを適宜積層して形成されている。圧電素子２３Ａ１、２３Ａ２・・・２３Ａｎを積層することにより、複数のプローブ１３Ａの傾斜の度合いに即して圧電素子の積層数を適宜調整することができる。
【００２８】
載置体１１Ａの傾斜による変位量、即ち載置体１１Ａが圧電体２３Ａで持ち上げられた寸法は、変位量検出手段２４によって実測され、本来必要とされる傾斜が得られているかを検証することができる。また、ウエハＷを例えば１５０℃の高温で検査を行う場合には、圧電体２３Ａが熱膨張するため、圧電体２３Ａに電圧を印加した時の載置体１１Ａの傾きに誤差を生じることがある。このような場合でも、変位量検出手段２４によって載置体１１Ａの変位量を検証するため、高温検査でも載置体１１Ａを所定の寸法だけ正確に傾けることができる。
【００２９】
変位量検出手段２４は、図１に示すように、支持体１１Ｂ上に圧電体２３Ａに隣接して固定された複数の変位センサ２４Ａと、複数の変位センサ２４Ａによって検出された変位量をそれぞれ検出する複数の検出器２４Ｂと、を備え、複数の検出器２４Ｂの検出信号を中央演算処理部１５Ａへ送信する。中央演算処理部１５Ａは、検出器２４Ｂからの検出信号に基づいてアクチュエータコントローラ２３Ｂへ動作指令信号を送信し、アクチュエータコントローラ２３Ｂによって圧電体２３Ａの印加電圧を制御する。変位量検出手段２４で検出された変位量が本来必要とされる変位量に満たない時には、上述のように圧電体２３Ａが制御装置１５及びアクチュエータコントローラ２３Ｂを介して作動して更に載置体１１Ａを傾斜させる。変位量検出手段２４で検出された変位量が本来の変位量を満たす時には圧電体２３Ａへの電圧の印加を止める。
【００３０】
次いで、傾斜調整装置２０の動作について図３及び図４を参照しながら説明する。まず、載置体１１Ａ上にウエハＷが載置されると載置台１１がＸＹテーブル１２を介してプローブカード１３の下方へ移動した後、傾斜調整装置２０が作動する。傾斜調整装置２０が作動すると、図３に示すように載置台１１がプローブカード１３の下方でＸ、Ｙ方向へ移動し、第１のカメラ２１で予め選択された複数のプローブ１３Ａの真下でプローブ１３Ａの針先をそれぞれ検出して撮像する（ステップＳ１）。第１のカメラ２１がプローブ１３Ａを検出すると、位置認識部２１Ａが載置台１１の撮像位置に基づいてプローブ１３ＡのＸ、Ｙ、Ｚ座標を位置情報として認識し、これらの位置情報を記憶部１５Ｂで記憶する。
【００３１】
次いで、アライメントブリッジ１４Ａがプローブセンタへ進出した後、載置台１１がＺＹテーブル１２を介してＸＹ方向へ移動し、第２のカメラ２２で予め選択された複数の電極パッドの真上で電極パッドをそれぞれ撮像する（ステップＳ２）。第２のカメラ２１がプローブ１３Ｂを検出して撮像すると、位置認識部２２Ａが載置台１１の撮像位置に基づいて電極パッドのＸ、Ｙ、Ｚ座標を位置情報として認識し、これらの位置情報を記憶部１５Ｂで記憶する。
【００３２】
制御装置１５では、中央演算処理部１５Ａが記憶部１５Ｂから複数のプローブ１３Ａの針先及び複数の電極パッドの位置情報を読み出し、それぞれの位置情報に基づいて複数のプローブ１３Ａの針先の電極パッドからの高さを求め、複数のプローブ１３Ａそれぞれの高さの高低差から複数の電極パッドとの平行度を求めた後、複数の針先面とウエハＷが平行であるか否かを判断する（ステップＳ３）。図４の（ａ）に示す場合には平行でないと判断し、中央演算処理部１５Ａからの動作指令によりアクチュエータコントローラ２３Ｂが作動し、増幅器２３Ｃを介して圧電体２３Ａに電圧を印加し、載置体１１Ａを傾ける（ステップＳ４）。
【００３３】
載置体１１Ａが傾斜した後、変位量検出手段２４が作動し、変位センサ２４Ａによって載置体１１Ａの水平状態からの変位量を検出し（ステップＳ５）、検出器２４Ｂにおいて変位量を求めて制御装置１４の中央演算処理部１４Ａへ送信する。中央演算処理部１４Ａは、この変位量が複数のプローブ１３Ａの針先面と複数のパッドが平行になるための変位量として正しいか否かを判断し（ステップＳ６）、正しいと判断すれば、図４の（ｂ）に示すように複数のプローブ１３Ａの針先面と複数の電極パッドが平行になっている。この状態で、検査工程に移行し、検査を実行する。
【００３４】
仮に、ステップＳ１、Ｓ２において第１、第２のカメラ２１、２２によって複数のプローブ１３Ａの針先面と載置体１１Ａ上のウエハＷの複数の電極パッドの平行度を検出し、ステップＳ３において、複数のプローブ１３Ａの針先面とウエハＷの複数の電極パッドが平行であると判断すると、平行度を調整する必要がないため、平行度の調整工程を実行することなく、次の検査工程へ移行する。
【００３５】
また、傾斜調整装置２０によって平行度を一度調整し、変位量検出手段２４によって載置体１１Ａの傾きがステップＳ６において正しくないと判断されると、ステップＳ４に戻り、ステップＳ４において再度載置体１１Ａを傾け、ステップＳ５において載置体１１Ａの変位量を検出する。複数のプローブ１３Ａの針先面と複数の電極パッドが平行になるまでステップＳ４とステップＳ６の工程を繰り返す。
【００３６】
以上説明したように本実施形態によれば、プローブ装置１０は傾斜調整装置２０を備えているため、制御装置１４の制御下で傾斜駆動手段２３と変位量検出手段２４が協働して複数のプローブ１３Ａの針先面の傾きに載置体１１上のウエハＷの複数の電極パッドの傾きが合致するまで載置体１１Ａの傾斜動作を繰り返すため、複数のプローブ１３Ａに対して複数の電極パッドを平行にすることができ、もって複数のプローブと１３Ａと複数の電極パッドを均一な接触荷重で接触させて信頼性の高い検査を行うことができると共に、プローブカード１３やウエハＷを傷つけることがない。
【００３７】
また、本実施形態によれば、傾斜駆動手段２３は、載置体１１Ａと載置体１１Ａを支持する支持体１１Ｂとの間に設けられた圧電体２３Ａと、複数のプローブ１３Ａの針先の複数の電極パッドからの高さに基づいて圧電体２３Ａに印加する電圧を制御するアクチュエータコントローラ２３Ｂと、を有するため、低コストで傾斜駆動手段２３を構築することができ、しかも複数のプローブ１３Ａの傾きに載置体１１Ａ上のウエハＷの複数の電極パッドの傾きを確実に合致させることができる。
【００３８】
更に、圧電体２３Ａが複数の圧電素子２３Ａ１、２３Ａ２・・・２３Ａｎによって形成することにより、載置体１１Ａの変位量に即して圧電体２３Ａの変位量を適宜調整することができる。
【００３９】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、本発明の構成要素を適宜設計変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、ウエハ等の被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置に好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明のプローブ装置の一実施形態の構成を示す構成図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示すプローブ装置の載置台を傾斜させるアクチュエータの一例を示す斜視図である。
【図３】図１に示すプローブカードとウエハの平行度を調整する時の主要な流れを示すフローチャートである。
【図４】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図３に示す流れに従って平行度が調整される前後のプローブカードとウエハの関係を示す側面図である。
【図５】従来のプローブ装置のプローブカードとウエハの関係を示す側面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０    プローブ置
１１    載置台
１１Ａ  載置体
１１Ｂ  支持体
１３    プローブカード
１３Ａ  プローブ
１５    制御装置
２０    傾斜調整装置
２１    第１のカメラ（第１の撮像手段）
２２    第２のカメラ（第２の撮像手段）
２３    傾斜駆動手段
２４    変位量検出手段
Ｗ    ウエハ（被検査体）
【図１】
2009164298.tif 000003
【図２】
2009164298.tif 000004
【図３】
2009164298.tif 000005
【図４】
2009164298.tif 000006
【図５】
2009164298.tif 000007