(57)【要約】【課題】ディスク・ドライブ装置内の塵埃を効果的に除去する。【解決手段】本発明の一実施形態は、ディスク・ドライブ装置の製造において使用する塵埃除去装置である。塵埃除去の対照であるディスク・ドライブ装置の好適な例は、ハードディスク・ドライブ装置である。塵埃除去装置は、ノズル１３内の気体吸引口とノズル内を移動する気体噴き出し口１５２ａ、１５２ｂとを有する。ディスク・ドライブ装置の製造において発生した塵埃は、ノズル内の気体吸引口から吸引されて除去される。移動する気体噴き出し口からの気流によりノズル内に定常流が発生することを抑制し、塵埃除去対象部分から効果的に塵埃を除去することができる。また、移動する気体噴き出し口が塵埃除去対象部分に対して気体を噴き当てることで、塵埃除去対象部分近傍での定常流の発生を抑制し、より効果的な塵埃除去を実現することができる。【選択図】図１
2009151850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク・ドライブ装置の製造において、前記ディスク・ドライブ装置内の塵埃を除去するための装置であって、
塵埃除去対象部分を覆うノズルと、
前記ノズル内において移動して前記塵埃除去対象部分に前記気体を噴き当てる気体噴き出し口と、
前記ノズル内にあって、気体と共に塵埃を吸引する気体吸引口と、
を有する装置。
【請求項２】
前記気体噴き出し口は、前記ディスク・ドライブ装置の部品を固定するネジの上を通過するように移動する、
請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記気体噴き出し口は回転して、前記ディスク・ドライブ装置の部品を固定するネジの上を通過する、
請求項２に記載の装置。
【請求項４】
羽根板を有し前記ノズル内で回転する羽根車をさらに有し、
前記羽根板の前記塵埃除去対象部分に対向する面に前記気体噴き出し口が形成されている、
請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記羽根車は、前記気体吸引口への気体の流れ及び／もしくは前記気体噴き出し口からの気体の噴き出しにより回転する、
請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記羽根車は、前記塵埃除去対象部分に対向する面の回転中心に気体噴き出し口をさらに有している、
請求項４に記載の装置。
【請求項７】
前記ノズルに、外部から前記ノズル内に気体が流入する開口が形成されている、
請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記開口は、前記ノズルの前記塵埃除去対象部分側端に形成されている、
請求項７に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はディスク・ドライブ装置の製造において前記ディスク・ドライブ装置内の塵埃を除去するための装置に関し、特に、塵埃を除去するための気流生成機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）は著しい進歩を見せ、大容量・高記録密度化及びアクセスの高速化が進んでいる。ＨＤＤの高性能化に伴いその製造もより難しさを増し、ＨＤＤの製造においてエラーが発生することも少なくない。エラー発生の原因の一つは、ＨＤＤの部品組み立てにおいて発生する塵埃である。ＨＤＤは、制御回路などの電子部品の他に、多くの機械部品を多く含んでいる。具体的には、ＨＤＤは、筐体内に実装される磁気ディスク、磁気ディスクを回転するスピンドル・モータ（ＳＰＭ）、磁気ディスク上を浮上するヘッド・スライダ及びそのヘッド・スライダを保持して回動するアクチュエータなどの部品を有している。
【０００３】
ＨＤＤの組み立ては、ベース内に固定されているＳＰＭへの磁気ディスクの固定、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリの固定、磁気ディスク上から待避したアクチュエータがその上で停止するランプの固定などの工程を有している。ＨＤＤの組み立てはクリーンルーム内で行う。しかし、上記ＨＤＤの構成部品は金属で形成されているものが多く、これら機構部品の組み立てにおいて金属部品間の摩擦により塵埃が発生することが多い。特に、機構部品を筐体内にネジにより固定するとき、摩擦により金属の粒子が発生しやすい。
【０００４】
塵埃が磁気ディスク上に落ちると、リード／ライト・エラーあるいはヘッド・スライダと磁気ディスクとの衝突の原因となる。このため、ＨＤＤの組み立てにおいて発生した塵埃を確実に除去することが必要である。例えば、特許文献１は、ＨＤＤの組み立てにおいて発生した塵埃を吸引する塵埃吸引装置を開示している。具体的には、この装置は、ＨＤＤのＳＰＭと接続するノズルと、ノズルを介してＨＤＤの塵埃を吸引する吸引器とを有している。ノズルの一端はＨＤＤのＳＰＭと接続され、他端は負圧となっているクリーンルームの床下に突出させたパイプに接続されている。
【０００５】
上記装置により、ＨＤＤの組立て作業のときにＳＰＭに発生する塵埃を除去することが可能になり、従ってＨＤＤの製造工程においてＳＰＭに発生する塵埃がクリーンルームを汚染し、また、ＨＤＤのシール部の間隙からＨＤＤの内部に侵入してＨＤＤの内部を汚染することによってＨＤＤの信頼性を低下させるのを防止できる。
【特許文献１】特開平６−１３１８４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１に開示されているように、塵埃をＨＤＤ内で拡散しないために、ＨＤＤの組み立てにおいて発生した塵埃を吸引機により吸引することが必要である。しかし、上記従来の塵埃吸引装置のように単に吸引機により塵埃を吸引するのみでは、ＨＤＤ内から十分に塵埃を除去することはできないことがわかった。
【０００７】
具体的には、ノズルの一方の口をＨＤＤに当接し、他方の口から気体を吸引して（それのみで）ノズル内に気流を生成する場合、ノズル内の一部の領域において定常流が発生する。この定常流は塵埃が存在する領域に対して境界領域を生成し、吸引機が生成する気流による塵埃の除去を妨げる。従って、ノズル内の定常流の発生を抑制し、ＨＤＤ内の塵埃をより効果的に除去することができる装置が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、ディスク・ドライブ装置の製造において、前記ディスク・ドライブ装置内の塵埃を除去するための装置である。この装置は、塵埃除去対象部分を覆うノズルと、前記ノズル内において移動して前記塵埃除去対象部分に前記気体を噴き当てる気体噴き出し口と、前記ノズル内にあって、気体と共に塵埃を吸引する気体吸引口とを有する。上記気体噴き出し口により、定常流の発生を抑制し、効果的に塵埃を吸引除去することができる。
【０００９】
前記気体噴き出し口は、前記ディスク・ドライブ装置の部品を固定するネジの上を通過するように移動することが好ましい。ネジ固定による塵埃の発生の可能性が多く、ネジ近傍における塵埃を効果的に除去することができる。さらに好ましい例において、前記気体噴き出し口は回転して、前記ディスク・ドライブ装置の部品を固定するネジの上を通過する。これにより、シンプルな構造で気体噴き出し口を移動することができる。
【００１０】
羽根板を有し前記ノズル内で回転する羽根車をさらに有し、前記羽根板の前記塵埃除去対象部分に対向する面に前記気体噴き出し口が形成されていることが好ましい。前記羽根車は、前記気体吸引口への気体の流れ及び／もしくは前記気体噴き出し口からの気体の噴き出しにより回転することがさらに好ましい。これにより、シンプルな構造で気体噴き出し口を移動することができる。前記羽根車は、前記塵埃除去対象部分に対向する面の回転中心に気体噴き出し口をさらに有していることが好ましい。これにより、所望量の気体を噴き出すことができる。
【００１１】
前記ノズルに、外部から前記ノズル内に気体が流入する開口が形成されていることが好ましい。これにより、気体噴き出し口からの噴出量と係りなく、所望の吸引量を実現することができる。形成前記開口は、前記ノズルの前記塵埃除去対象部分側端に形成されていることがさらに好ましい。これにより、塵埃除去対象部分近傍に速い気流を形成することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ディスク・ドライブ装置内の塵埃を効果的に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。本形態は、ディスク・ドライブ装置の製造において使用する塵埃除去装置である。塵埃除去の対象であるディスク・ドライブ装置の好適な例は、ハードディスク・ドライブ装置である。
【００１４】
本形態の塵埃除去装置は、ノズル内の気体吸引口とノズル内を移動する気体噴き出し口とを有する。ディスク・ドライブ装置の製造において発生した塵埃は、ノズル内の気体吸引口から吸引されて除去される。移動する気体噴き出し口からの気流によりノズル内に定常流が発生することを抑制し、塵埃除去対象部分から効果的に塵埃を除去することができる。また、移動する気体噴き出し口が塵埃除去対象部分に対して気体を噴き当てることで、塵埃除去対象部分近傍での定常流の発生を抑制し、より効果的な塵埃除去を実現することができる。
【００１５】
図１（ａ）及び（ｂ）は、本形態の塵埃除去装置の一部を構成するアセンブリ１を示す斜視図である。塵埃除去装置は、アセンブリ１の他に、噴出ポンプ、吸引ポンプ、あるいは、それらポンプとアセンブリ１を連結する連結管などの構成部品（不図示）を有している。図１（ａ）に示すように、アセンブリ１は、アーム１１、アーム１１に固定されている第１連結管１２、アーム１１に固定されている筒状のノズル１３、ノズル１３に固定されている第２連結管１４を有している。また、図１（ｂ）に示すように、アセンブリ１はノズル１３内に羽根車１５を有している。アーム１１、第１連結管１２及び第２連結管１４は、典型的には金属で形成される。ノズル１３と羽根車１５とは、典型的には樹脂で形成される。
【００１６】
ノズル１３内で噴き出す気体は、第１連結管１２内を通る。第１連結管１２は、他の連結管（不図示）を介して気体噴出ポンプ（不図示）に連結される。ノズル１３内から吸引された気体は、第２連結管１４内を通る。第２連結管１４は、他の連結管（不図示）を介して気体吸引ポンプ（不図示）に連結される。塵埃除去の対象であるディスク・ドライブ装置は、図１（ａ）において、ノズル１３の下側に配置される。
【００１７】
図１（ｂ）に示す羽根車１５は２枚の羽根１５１ａ、１５１ｂを有し、ディスク・ドライブ装置からの塵埃除去中に回転する。また、羽根車１５は、塵埃除去対象部分に対向する面に３つの気体噴き出し口１５２ａ〜１５２ｃを有している。気体噴き出し口１５２ａは羽根車１５の回転中心に形成されている。気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃは、二つの羽根１５１ａ、１５１ｂのそれぞれに形成されている。
【００１８】
気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃは羽根車１５の回転と共に回転し、ノズル１３内で移動する。具体的には、気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃのそれぞれは、羽根車１５の回転中心から一定の距離にある円周上を回転する。これにより、ノズル１３内における定常流の発生を抑制することができる。気体噴き出し口１５２ａは移動することなく、同一位置に停止している。
【００１９】
図２は、ディスク・ドライブ装置側（下側）から見たアセンブリ１の構造及び塵埃除去における気流を示す斜視図である。ディスク・ドライブ装置に対向するノズル１３の円形開口１３１から、羽根車１５が露出している。塵埃除去においては、ノズル１３を塵埃除去対象部分に当接させる、あるいは、ノズル１３を塵埃除去対象部分に近接させる。塵埃除去において、アセンブリ１は、ノズル１３（円形開口１３１）が対向する塵埃除去対象部分への気体の噴き当てと、ノズル１３内の気体の吸引とを行う。
【００２０】
塵埃除去対象部分に噴き当てられる気体は、第１連結管１２及び羽根車１５の内部を通り、羽根車１５の気体噴き出し口１５１ａ〜１５２ｃから、塵埃除去対象部分に向かって噴出する。一方、第２連結管１４は、ノズル１３内に形成されている気体吸引口１３２に連結されている。気体噴き出し口１５２ａ〜１５２ｃから噴出された気体及びノズル１３の外部から流入した気体は、気体吸引口１３２から第２連結管１４に吸引される。吸引される気体と共に、ノズル１３内の塵埃も気体吸引口１３２から吸引され、ノズル１３内あるいはノズル１３の下にある塵埃除去対象部分の塵埃が除去される。
【００２１】
羽根車１５は、気体吸引口１３２から吸引される気体の流れ及び／もしくは気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃからの気体の噴出により回転する。図２において、羽根車１５は、下側から見て右回り（時計回り）に回転する。気体吸引口１３２から吸引により羽根車１５が受ける力は右回り方向である。気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃからの気体の噴出により羽根車１５が受ける力の方向は、気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃが向いている方向、つまり、気体を吹き出す方向に依存する。気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃの方向を調整することで、気体噴出による羽根車１５の回転力を調整することができる。
【００２２】
気体噴き出しによる力の方向は、気体吸引による力と同一、あるいは反対とすることができる。また、気体噴き出しによる力の大きさと方向によって、羽根車１５を左回り（反時計回り）に回転させることもできる。羽根車１５の形状において、吸引される気流による回転力は、羽根１５１ａと１５１ｂの回転中心軸に対する角度に依存する。羽根１５１ａと１５１ｂの角度が小さくなり、羽根１５１ａと１５１ｂが回転中心軸方向に近づけば、回転速度は小さくなる。
【００２３】
実際の設計においては、気体吸引口１３２から吸引量及び羽根１５１ａと１５１ｂの形状、気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃからの噴出し量及びその方向、をそれぞれ調整することで、所望の回転方向及び回転速さを実現することができる。羽根車１５の形状設計において、羽根車１５の回転が速すぎる場合、羽根１５１ａと１５１ｂに当たる気流による回転力と反対の回転力を生ずるように気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃの角度を調整することで、羽根車１５の回転速度を遅くすることができる。
【００２４】
羽根車１５は、回転しながら、気体噴き出し口１５２ａ〜１５２ｃから気体を塵埃除去対象部分に向けて噴き当てる。羽根１５１ａ、１５１ｂの塵埃除去対象部分対向面に形成されている気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃは、羽根車１５の回転によりノズル１３内を移動する。気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃが移動することでノズル１３内の気流が撹乱され、ノズル１３内における定常流の発生を抑制することができる。また、塵埃除去対象部分に近接した気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃから気体を塵埃除去対象部分に噴き当てることで、塵埃除去対象部分近傍での定常流の発生及びそれによる塵埃除去の阻害を低減することができる。
【００２５】
アセンブリ１の各構成部品についてより詳細に説明する。図３は、アセンブリ１の分解斜視図である。アセンブリ１は、アーム１１、第１連結管１２、ノズル１３、第２連結管１４、羽根車１５に加え、シャフト１６、ベゼル１７、そして二つのプラグ１８ａ、１８ｂを有している。シャフト１６は羽根車１５をノズル１３に回転可能に連結する。また、シャフト１６は気体の通路として羽根車１５と第１連結管１２との間にある管であり、内部は噴き出し気体が流れるように空洞である。噴出し気体は、第１連結管１２からシャフト１６内の流路を通って、羽根車１５内の流路に流れ込む。
【００２６】
ベゼル１７はノズル１３の塵埃除去対象部分側端（先端）に固定され、ノズル１３外部からの気体の吸引量を調整する。典型的には、ベゼル１７はノズル１３と同じ材料で形成される。プラグ１８ａ、１８ｂは、羽根車１５の羽根１５１ａ、１５１ｂのそれぞれの側面に形成されている孔を塞ぐ部品である。典型的には、プラグ１８ａ、１８ｂは、羽根１５１ａ、１５１ｂと同じ材料で形成される。
【００２７】
図４は、本形態のノズル１３の形状を示す図である。図４（ａ）は上側（第１連結管１２側）から見た斜視図、図４（ｂ）は下側から見た斜視図であり、図４（ｃ）は断面図である。図４（ｄ）は断面合成図であり、中央線の左右の図はノズル１３の異なる位置における断面を示している。図４（ａ）に示すように、ノズル１３は、その外側面に、第１連結管１２が連結される第１連結口１３３と、第２連結管１４が連結される第２連結口１３４を有している。
【００２８】
図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、ノズル１３の塵埃除去対象部分側端面１３５に複数の開口（凹部）１３６ａ〜１３６ｆが形成されている。面１３５の円周方向において、開口１３６ａ〜１３６ｆの間に凸部１３７ａ〜１３７ｆが存在する。好ましい態様において、塵埃除去において凸部１３７ａ〜１３７ｆの先端面が塵埃除去対象部分に当接する。これにより、各ディスク・ドライブ装置の塵埃除去処理において、ノズル１３と塵埃除去対象部分との間の空隙を正確に一定にすることができる。ノズル１３とディスク・ドライブ装置とを接触させないことが好ましい場合、ノズル１３をディスク・ドライブ装置から離間して配置してもよい。
【００２９】
図４（ａ）に示すように、塵埃除去処理において、ノズル１３の外部から気体が開口１３６ａ〜１３６ｆを通って内部に流入する。ノズル１３内部には、羽根車１５から気体が噴出される。しかし、羽根車１５からの気体噴出量とノズル１３内での気体吸引量を一致させることは困難である。気体噴出量が多い場合には、ディスク・ドライブ装置内において塵埃を拡散することになる。従って、気体吸引量を気体噴出量よりも多くすることで、塵埃を確実に吸引することができる。尚、開口１３６ａ〜１３６ｆをノズル１３の端面１３５ではなく側面に形成することもできる。しかし、塵埃除去対象部分近傍で速い気流を生成し、塵埃を効果的の吸引するためには端面１３５に形成することが好ましい。
【００３０】
開口１３６ａ〜１３６ｆを通る気流は、羽根車１５の回転に大きく寄与する。図４（ｂ）に示すように、周方向において開口１３６ａ〜１３６ｆを画定する凸部１３７ａ〜１３７ｆの各面は、気流の方向を制御するように傾斜している。具体的には、開口１３６ａ〜１３６ｆに露出している凸部１３７ａ〜１３７ｆの各面は、開口１３６ａ〜１３６ｆを通る気流の方向が、羽根車１５の回転方向に近づくように傾斜している。開口１３１側（図４（ｂ）における上側）から見て、羽根車１５は右回転する。凸部１３７ａ〜１３７ｆの各面は、ノズル１３の外側から内側への方向において右側に傾斜している。これにより、羽根車１５の回転を補助する方向に気流を生成する。
【００３１】
ノズル１３内の気流を正確に制御するためには、開口１３６ａ〜１３６ｆを通る気流の量を適切な量とすることが重要であり、そのために開口１３６ａ〜１３６ｆの大きさを調整することができることが好ましい。アセンブリ１は、図３に示したように、リング状のベゼル１７を有している。図５（ａ）は第１連結管１２側(上側)から見たベゼル１７の斜視図であり、図５（ｂ）は下側から見た斜視図である。
【００３２】
ベゼル１７は、ノズル１３の先端において、開口１３６ａ〜１３６ｆ及び凸部１３７ａ〜１３７ｆと重なるようにノズル１３の内側に固定される。図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、ベゼル１７は、開口１３６ａ〜１３６ｆ及び凸部１３７ａ〜１３７ｆと同様の開口１７１ａ〜１７１ｆ及凸部１７２ａ〜１７２ｆを有しており、それら間の重なり量を調整することで、ノズル１３の開口１３６ａ〜１３６ｆの大きさを調整することができる。
【００３３】
図４（ｃ）及び図４（ｄ）の断面図は、ノズル１３の内部形状を示している。図４（ｄ）において、左側は第１連結管１２が連結される第１連結孔１３３における断面構造を示し、右側は第２連結管１４が連結される第２連結口１３４における断面構造を示している。羽根車１５は、ノズル１３の内部空間１３８内に収容される。内部空間１３８を画定する内側面は円筒状である。羽根車１５の回転軸は内部空間１３８の中心線と略一致する。
【００３４】
内部空間１３８において、羽根車１５は、ノズル１３の気体吸引口１３２と、ディスク・ドライブ装置側の開口１３１との間に位置する。気体吸引口１３２は、羽根車１５の気体噴き出し口１５２ａ〜１５２ｃよりも、塵埃除去対象部分から遠くに位置する。気体噴き出し口１５２ａ〜１５２ｃを塵埃除去対象部分に近づけることで、塵埃除去対象部分の近傍における定常流の発生を効果的に防ぐことができる。また、気体吸引口１３２への気流により羽根車１５に効果的に回転力を与える。
【００３５】
図６（ａ）は、気体吸引口１３２側からみた羽根車１５の構造を示す斜視図であり、図６（ｂ）は、羽根車１５の気体噴き出し口１５２ａ〜１５２ｃ側から見た羽根車１５の構造を示す斜視図である。羽根車１５は、二つの羽根１５１ａ、１５１ｂと、中心にある円筒形の筒１５３とを有している。筒１５３は、羽根車１５の回転中心軸に平行に延びており、その内部に気体が通る流路が形成されている。筒１５３に対して二つの羽根１５１ａ、１５１ｂは傾斜しており、気流により羽根車１５が回転する。
【００３６】
羽根１５１ａと１５１ｂとは、いずれか一方の側からみて、互いに交差している（図７（ａ）を合わせて参照）。筒１５３から見た場合は、羽根１５１ａと１５１ｂの回転中心軸に対する傾き方向及び角度（図７（ａ）におけるα）は同じである。羽根１５１ａと１５１ｂとは、回転中心軸について、１８０°の回転対称の関係にある。図６（ａ）、（ｂ）は、羽根１５１ａの側部に形成されている孔１５４ａを示している。同様の孔は羽根１５１ｂの側部にも形成されている。この孔１５４ａは羽根車１５内の必要な流路を形成するために必要であるが、羽根車１５の機能上は必要でない。そのため、図３を参照して説明したように、プラグ１８ａによって塞がれる。
【００３７】
図６（ｂ）に示すように、羽根１５１ａと１５１ｂの塵埃除去対象部分と対向する面１５５ａ、１５５ｂに、気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃが形成されている。気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃのそれぞれの回転中心からの距離は重要である。図６（ｂ）の例において、気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃのそれぞれの回転中心からの距離は同一である。塵埃除去対象部分内にネジが存在する場合、気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃがその上を通過することが好ましい。
【００３８】
ネジが嵌合している部分は塵埃が発生している可能性が高い。気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃがネジ上を通過することで、ネジ近傍での定常流の発生をより確実に防ぐことができる。気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃの双方がネジ上を通過することが好ましいが、その一方のみであっても定常流の抑制効果を高めることができる。
【００３９】
気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃが形成されている面１５５ａ、１５５ｂは、回転中心軸方向に対して垂直な面である。これにより、気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃを、塵埃除去対象部分のより近くに配置させることができる。設計に応じて、面１５５ａ、１５５ｂは、回転中心軸に垂直な面に対して傾斜していてもよい。
【００４０】
羽根車１５の羽根の数は、設計により適切な値が選択される。羽根が一枚のみであっても、羽根車１５は回転する。しかし、ノズル１３内の気流を効果的に撹乱して定常流の発生をより効果的に抑制するためには、羽根車１５は複数の羽根を有し、各羽根が気体噴き出し口を有することが好ましい。なお、羽根車１５が３枚以上の羽根を有する場合、典型的には、各羽根の形状及び位置は、回転軸中心について一定角度の回転対称となる。
【００４１】
羽根車１５は、回転する気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃの他に、羽根車１５の回転中心にあって移動することがない気体噴き出し口１５２ａを有している。気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃは、羽根１５１ａと１５１ｂの塵埃除去対象部分対向面に形成されているため、その大きさに制限があり、気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃからの気体流量も制限される。気体噴き出し口の数を増やすこと気体流量は増加するが、それにも制限が存在する。羽根車１５の回転中心にある筒１５３に形成された気体噴き出し口１５２ａから塵埃除去対象部分に気体を噴き当てることで、ノズル１３内に必要な量の流量を供給すると共に、塵埃除去対象部分近傍において十分な気流を形成することができる。
【００４２】
図７は、羽根車１５の内部構成を示す図である。図７（ａ）は、羽根車１５の透視側面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＢ−Ｂ切断線における断面図、図７（ｂ）は、羽根車１５の回転中心軸に沿った断面図である。図７（ｂ）及び図７（ｃ）に示すように、筒１５３内の貫通孔１５７から、羽根１５１ａと１５１ｂの側面に向かう貫通孔１５８ａ、１５８ｂが存在するが、これらは図３に示したプラグ１８ａ、１８ｂにより塞がれる。
【００４３】
羽根１５１ａと１５１ｂの内部に、貫通孔１５８ａ、１５８ｂに連結された流路１５９ａ、１５９ｂが形成されている。貫通孔１５８ａ、１５８ｂを介して、流路１５９ａ、１５９ｂが、貫通孔１５７と羽根１５１ａと１５１ｂの気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃとを連結している。図３に示したように、貫通孔１５７内にはシャフト１６が挿入される。図８（ａ）はシャフト１６の構造を示す斜視図、図８（ｂ）は、その断面図である。
【００４４】
図８（ａ）、（ｂ）に示すように、シャフト１６は中空の管であり、内部に貫通孔１６１が形成されている。側面と底面とに開口１６２ａ〜１６２ｃを有している。側面の開口１６２ａ、１６２ｂが貫通孔１５８ａ、１５８ｂに一致する。また、底面の開口１６２ｃを通過した気流は、羽根車１５の気体噴き出し口１５２ａから噴出する。
【００４５】
第１連結管１２からの気流は、貫通孔１５７（内のシャフト１６）に入り、その内部を通過して、羽根車１５の中心にある気体噴き出し口１５２ａから外部に噴出する。また、貫通孔１５７（シャフト１６）を流れる気流の一部は、羽根１５１ａと１５１ｂ内の流路１５９ａ、１５９ｂに入り、そこを通過して気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃから外部に噴出する。このように、気流により回転する羽根車１５の羽根１５１ａと１５１ｂに気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃを形成することで、特別な駆動機構を実装することなく、気体噴き出し口をノズル１３内で移動させることができる。
【００４６】
本形態の塵埃除去装置は、ＨＤＤの製造における塵埃除去に好適である。そこで、以下において、ＨＤＤ５００の構成及び製造方法について説明する。図９に示すように、ＨＤＤ５００の各構成要素は、ベース５０２内に収容されている。なお、ベース５０２内の各構成要素の制御は、ベース外に固定された回路基板上の制御回路（不図示）が行う。ＨＤＤ５００は、データを記憶するディスクである磁気ディスク５０１を備えている。
【００４７】
ヘッド・スライダ５０５は、ユーザ・データの磁気ディスク５０１への書き込み及び／又は読み出しを行うヘッド素子部と、そのヘッド素子部がその面上に形成されているスライダとを備えている。ベース５０２に固定されたスピンドル・モータ（ＳＰＭ）５０３は、所定の角速度で磁気ディスク５０１を回転する。磁気ディスク５０１は、ＳＰＭ５０３のハブに、クランプ５１１を介して、複数のネジ５１２ａ〜５１２ｈで固定されている。
【００４８】
アクチュエータ５０６は、ヘッド・スライダ５０５を保持し、それを移動する。アクチュエータ５０６は回動軸５０７に回動自在に保持されており、駆動機構としてのボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）５０９によって駆動される。アクチュエータ５０６及びＶＣＭ５０９のアセンブリは、ヘッド・スライダ５０５の移動機構である。磁気ディスク５０１へのアクセス（リードあるいはライト）のため、アクチュエータ５０６は回転している磁気ディスク５０１表面のデータ領域上でヘッド・スライダ５０５を移動する。ヘッド・スライダ５０５は磁気ディスク５０１上を浮上する。
【００４９】
ＨＤＤ５００の製造工程は、まず、ベース５０２をダイキャストや切削を使用して製造する。次にアクチュエータ５０６とヘッド・スライダ５０５とのアセンブリであるヘッド・スタック・アセンブリ（ＨＳＡ）の他、ＳＰＭ５０３、磁気ディスク５０１などをベース５０２内に実装し、その後、トップ・カバー（不図示）をベース５０１に固定する。これにより、ヘッド・ディスク・アセンブリ（ＨＤＡ）が完成する。ＨＤＡの組み立ては、クリーンルーム内で行われる。ＨＤＡに制御回路基板（不図示）を実装し、ＨＤＤ５００が完成する。ＨＤＤ５００の製造工程は、このような組み立て工程の他、サーボ・ライト工程、動作パラメータ設定工程、ディスク上の欠陥検査工程、動作試験工程などを有している。
【００５０】
本形態の塵埃除去装置は、上記ＨＤＡの組み立てにおいて使用される。特に、複数のネジ５１２ａ〜５１２ｈにより磁気ディスク５０１及びクランプ５１１を固定した後、ネジ５１２ａ〜５１２ｈの近傍領域における塵埃除去に有用である。具体的には、ノズル１３をクランプ５１１上に配置する。ノズル１３の径はネジ５１２ａ〜５１２ｈの配置された円の径よりも大きく、ネジ５１２ａ〜５１２ｈの全てがノズル１３に覆われる。典型的には、ノズル１３はクランプ５１１に当接する。
【００５１】
好ましくは、羽根車１５に形成され回転する気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃは、ネジ５１２ａ〜５１２ｈの位置と一致する。つまり、羽根車１５の回転中心軸から気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃまでの距離は、ＳＰＭ５０３の回転軸中心からネジ５１２ａ〜５１２ｈまでの距離と略一致する。羽根車１５の回転軸中心とＳＰＭ５０３の回転軸中心とが一致するようにノズル１３をクランプ５１１上に固定する。塵埃除去処理において羽根車１５が回転すると、気体噴き出し口１５２ｂ、１５２ｃは、ネジ５１２ａ〜５１２ｈの上を通過する。これにより、ネジ５１２ａ〜５１２ｈ近傍の塵埃を効果的に吸引することができる。
【００５２】
以上、本発明を好ましい実施形態を例として説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加することが可能である。例えば、本発明の塵埃除去装置はＨＤＤの分解工程に特に有用であるが、それ以外のディスク・ドライブ装置の製造に使用することができる。気体噴き出し口のノズル内における移動は、よりシンプルな構造で実現することができることから、回転による移動が好ましい。しかし、塵埃除去対象部分のネジ位置に応じて、気体噴き出し口の移動方法を変えることができる。例えば、気体噴き出し口は、直線状にスライドしてもよい。
【００５３】
羽根車の各羽根は、一つもしくは複数の気体噴き出し口を有することができる。各羽根は、回転中心からの距離が同じである気体噴き出し口を有することが好ましいが、それぞれが異なる各羽根の気体噴き出し口半径位置が異なっていてもよい。また、一部の羽根のみが気体噴き出し口を有してもよい。気体噴き出し口は塵埃除去対象部分に向かって気体を噴き当てることが好ましいが、本発明はこれに限定されるものではない。塵埃除去装置の構造を効率化するためには羽根車は気流により回転することが好ましいが、電動モータにより羽根車を回転させてもよい。各構成部品は複数の材料で形成することができ、例えば、その一部を金属で形成し、他の一部を樹脂で形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本実施形態に係る塵埃除去装置の一部を構成するアセンブリを示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係るアセンブリの構造を示す斜視図である。
【図３】本実施形態に係るアセンブリの分解斜視図である。
【図４】本実施形態に係るノズルの形状を示す図である。
【図５】本実施形態に係るベゼルの形状を示す斜視図である。
【図６】本実施形態に係る羽根車の構造を示す斜視図である。
【図７】本実施形態に係る羽根車の構造を示す側面図及び断面図である。
【図８】本実施形態に係るシャフトの構造を示す斜視図及び断面図である。
【図９】ＨＤＤの全体構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  アセンブリ、１１  アーム、１２  第１連結管、１３  ノズル、１４  第２連結管
１５  羽根車、１６  シャフト、１７  ベゼル、１８ａ、１８ｂ  プラグ
１５２ａ〜１５２ｃ  気体噴き出し口、１５１ａ、１５１ｂ  羽根
１３１  開口、１３２  気体吸引口、１３３  第１連結口、１３４  第２連結口
１３５  端面、１３６ａ〜１３６ｆ  開口（凹部）、１３７ａ〜１３７ｆ  凸部
１３８  内部空間、１５４ａ  孔、１５５ａ、１５５ｂ  面、１５７  貫通孔
１５８ａ、１５８ｂ  貫通孔、１５９ａ、１５９ｂ  流路、１６２ａ〜１６２ｃ  開口
１７１ａ〜１７１ｆ  開口、１７２ａ〜１７２ｆ  凸部
５００  ハードディスク・ドライブ、５０１  磁気ディスク、５０２  ベース
５０３  スピンドル・モータ、５０５  ヘッド・スライダ、５０６  アクチュエータ
５０７  回動軸、５１１  クランプ、５１２ａ〜５１２ｈ  ネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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