(57)【要約】【課題】送受信器の光結合部品の従来技術に付随する不利益と問題を軽減または除去することである。【解決手段】一装置は１つまたは複数の電気光学カップリングモジュール（２８）を有する。電気光学カップリングモジュール（２８）は、ダイオード（４４）と、フレキシブル光カップリングエレメント（１４）と、反射面（４８）と、光ファイバ（２４）とを有する。ダイオード（４４）は信号に電気光学変換を行う。フレキシブル光カップリングエレメント（１４）はダイオード（４４）と反射面（４８）との間で信号を伝達する。反射面（４８）はフレキシブル光カップリングエレメント（１４）と光ファイバ（２４）との間で信号を反射する。【選択図】  図１Ａ
2009128916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つまたは複数の電気光学カップリングモジュールを有し、一電気光学カップリングモジュールは、
ダイオードと、
前記ダイオードに結合したフレキシブル光カップリングエレメントと、
前記フレキシブル光カップリングエレメントに結合した反射面と、
前記反射面に結合した光ファイバとを有し、
前記ダイオードは信号の電気光学変換を行い、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記反射面は前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射する装置。
【請求項２】
少なくとも１つの電気光学カップリングモジュールにおいて、
前記反射面は、前記光ファイバから前記フレキシブル光カップリングエレメントに前記信号を反射することにより、前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射し、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは、前記反射面から前記ダイオードに前記信号を伝達することにより、前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記ダイオードは、光信号から電気信号に前記信号を変換することにより、前記電気光学変換を行う、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
少なくとも１つの電気光学カップリングモジュールにおいて、
前記ダイオードは、光信号から電気信号に前記信号を変換することにより、前記信号に前記電気光学変換を行い、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは、前記ダイオードから前記反射面に前記信号を伝達することにより、前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記反射面は、前記フレキシブル光カップリングエレメントから前記光ファイバに前記信号を反射することにより、前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
少なくとも１つの電気光学カップリングモジュールは、
前記ダイオードと前記フレキシブル光カップリングエレメントとの間に配置した光学ジェルをさらに有する、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記光ファイバとの間で前記信号を伝達するテーパ端を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記ダイオードはレーザダイオードを含み、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記光ファイバのコアの略直前に配置された、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記ダイオードはフォトダイオードを含み、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記光ファイバのコアに、前記信号をある角度に向けるよう配置された、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
凹部のある表面を有するサブマウントをさらに有し、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記凹部上に配置され、
前記光ファイバは少なくとも部分的に前記凹部内に配置された、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
エッチングにより形成された凹部のある表面を有するサブマウントをさらに有し、
前記凹部は前記反射面を支持する面を有し、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記面上に配置され、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
１つまたは複数の電気光学カップリングモジュールを形成する段階を有し、一電気光学カップリングモジュールは、
フレキシブル光カップリングエレメントに、信号に電気光学変換を行うダイオードを結合する段階と、
反射面を前記フレキシブル光カップリングエレメントに結合する段階と、
光ファイバを前記反射面に結合する段階とにより形成され、
前記ダイオード、前記フレキシブル光カップリングエレメント、前記反射面、前記光ファイバは、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記反射面は前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射するように配置される方法。
【請求項１１】
１つまたは複数の電気光学カップリングモジュールを形成する手段を有し、一電気光学カップリングモジュールは、
フレキシブル光カップリングエレメントに、信号に電気光学変換を行うダイオードを結合する段階と、
反射面を前記フレキシブル光カップリングエレメントに結合する段階と、
光ファイバを前記反射面に結合する段階とにより形成され、
前記ダイオード、前記フレキシブル光カップリングエレメント、前記反射面、前記光ファイバは、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記反射面は前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射するように配置された装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光信号の分野に関し、より具体的には送受信器の光結合部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ネットワークにおける送受信器は、光ファイバと、レーザダイオードやフォトディテクタ等の能動部品との間で信号を伝送する光コネクタを含んでいる。従来の光コネクタにはマイクロレンズが含まれている。しかし、場合によっては、マイクロレンズは、カップリングロスが大きく、アライメントのずれに対する許容度が低く、温度歪みや機械的歪みなどの外的条件による変化に対する許容度が低い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明により、送受信器の光結合部品の従来技術に付随する不利益と問題を軽減または除去することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の一実施形態によると、一装置は１つまたは複数の電気光学カップリングモジュールを有する。電気光学カップリングモジュールは、ダイオードと、フレキシブル光カップリングエレメントと、反射面と、光ファイバとを有する。前記ダイオードは信号に電気光学変換を行う。前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達する。前記反射面は前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射する。
【発明の効果】
【０００５】
本発明の実施形態により以下の技術的有利性がもたらされる。一実施形態の技術的優位性として、光カップラがフレキシブルになる点が挙げられる。フレキシブルにすることにより、位置ずれや外的条件に起因する変化に対する許容度が高くなる。
【０００６】
本発明の実施形態には、上記の技術的な有利性を含まないもの、一部を含むもの、すべてを含むものがある。図面、詳細な説明、及び特許請求の範囲に基づき、当業者には容易に１つ以上の技術的な有利性が明らかとなるであろう。
【０００７】
本発明とその特徴及び優位性をよりよく理解してもらうため、添付した図面を参照しつつ以下に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の実施形態とその有利性は、図１乃至図７を参照してよく理解できる。図面では同じ参照符号は同一または対応する要素を示している。
【０００９】
図１Ａと図１Ｂは、フレキシブル光カップリングエレメント１４を含む送受信システム１０の一実施形態を示す図である。本実施形態では、送受信システム１０は電気信号を光信号に変換し、光信号を電気信号に変換する。フレキシブル光カップリングエレメント１４は光ファイバをフォトダイオードやレーザダイオードと光学的に結合する。
【００１０】
一実施形態では、送受信システム１０は、光ネットワーク（例えば、ストレージエリアネットワーク（ＳＡＮ）、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、アクセスネットワーク、サーバクラスタ、または光信号を伝送するその他のネットワーク）で光信号となる光ビームを送受信する。光信号は音声、データ、オーディオ、ビデオ、マルチメディアその他の情報を伝送し、その波長は６００−１６００ナノメートルの範囲にあり、例えば８５０、１３１０、１５５０ナノメートルである。
【００１１】
第１の構成要素と第２の構成要素との間の信号伝送とは、第１の構成要素から第２の構成要素への信号伝送、及び／または第２の構成要素から第１の構成要素への信号伝送をいう。光信号が構成要素（entities）間を伝送できる場合、それらの構成要素は光学的に結合されている。
【００１２】
図示した実施形態において、送受信システム１０は、基板２０、１つまたは複数の光ファイバ２４、１つまたは複数の電気光学（ＥＯ）カップリングモジュール２８、ドライバ３２、電気的インタフェース３６、サブマウント５０、支持部５４などの部品を含む。電気光学カップリングモジュール２８は光コネクタ４０と電気光学ダイオード４４とを含む。光コネクタ４０は反射面４８とフレキシブル光カップリングエレメント１４とを含む。支持部５４、電気光学ダイオード４４、ドライバ３２、電気的インタフェース３６は基板２０上に配置されている。光コネクタ４０は支持部５４と電気光学ダイオード４４上に配置されている。光ファイバ２４、光コネクタ４０、電気光学ダイオード４４の外側は光学的に結合している。
【００１３】
動作上の一実施形態では、一方向において、光コネクタ４０は光ファイバ２４から光信号を受け取る。光コネクタ４０はその信号をフレキシブル光カップリングエレメント１４に向けてある角度（例えば、約６０°）で反射する。フレキシブル光カップリングエレメント１４はその信号を電気光学ダイオード４４に送る。この方向では、電気光学ダイオード４４は光信号を電気信号に変換するフォトダイオードを表す。ドライバ３２はその電気信号を受け取り、電気的インタフェース３６に送る。
【００１４】
動作上の一実施形態では、他方向において、電気的インタフェース３６は電気信号を受け取り、その信号をドライバ３２に送る。ドライバ３２はその電気信号を電気光学ダイオード４４に送る。この方向では、電気光学ダイオード４４は電気信号を光信号に変換するレーザダイオードを表す。光信号はフレキシブル光カップリングエレメント１４に送られる。フレキシブル光カップリングエレメント１４は光コネクタ４０を通して信号を伝送する。
【００１５】
図示した実施形態の構成要素を説明すると、基板２０はその他の構成要素を支持するものである。基板２０は任意の適切な材料を含み、例えばプリント回路基板（ＰＣＢ）等の回路基板である。光ファイバ２４は光信号を伝送し、その開口数は、例えば０．１−０．５の範囲にあり、例えば０．４８や０．３９である。光ファイバ２０はファイバアレイで置き換えてもよい。
【００１６】
電気光学カップリングモジュール２８は光ファイバ２４を電気光学ダイオード４４に光学的に結合（couple）する。電気光学カップリングモジュール２８は光コネクタ４０と電気光学ダイオード４４とを含む。光コネクタ４０は反射面４８とフレキシブル光カップリングエレメント１４とを含む。光ファイバ２４は反射面４８に光学的に結合している。反射面４８は光カップリングエレメント１４上に配置され、光学的に結合されている。フレキシブル光カップリングエレメント１４はダイオード４４上に配置され、光学的に結合されている。
【００１７】
実施形態によっては、電気光学カップリングモジュール２８は任意の適切な角度（例えば、約０°乃至４５°、約４５°乃至８５°、約８５°乃至９５°（例えば９０°）、約９５°乃至１３５°、または約１３５°乃至１８０°）だけ信号の伝搬方向を変更するものであってもよい。図示した実施形態では、電気光学カップリングモジュール２８は信号の方向を約９０°変更している。
【００１８】
実施形態によっては、反射面４８を用いて信号の伝搬方向を変更する。反射面４８は、光カップリングエレメント１４と光ファイバ２４との間において、光ファイバ２４から光カップリングエレメント１４への信号、または光カップリングエレメント１４から光ファイバ２４への信号を反射する。反射面４８の方向Ｘに対する傾き角は任意で適切なものであればよい。例えば、方向Ｘに対する傾き角は４０°乃至６０°であり得る。例えば、傾き角は約４５°、５０°、または５４°である。
【００１９】
フレキシブル光カップリングエレメント１４は、ダイオード４４と反射面４８との間で、反射面４８からダイオード４４に、またはダイオード４４から反射面４８に信号を伝送する。光カップリングエレメント１４は送受信システム１０に対して任意で適切な大きさを有する。その大きさはダイオード４４の光学的インタフェースの開口によって決まる。レーザダイオードの場合、光カップリングエレメント１４の直径は、レーザダイオードの開口以上であり、光ファイバ２４の直径以下である。フォトダイオードの場合、光カップリングエレメント１４の直径は、レーザダイオードの開口以下であり、光ファイバ２４の直径以上である。例えば、レーザダイオードの開口が１０μｍのとき、フォトダイオードの開口は７０μｍであり、ファイバのコアの直径は５０μｍであるとき、カップリングエレメント１４は直径が５０μｍであり、長さが１５０μｍであってもよい。
【００２０】
電気光学ダイオード４４は信号を電気光学変換する。電気光学変換とは、光信号の電気信号への変換、または電気信号の光信号への変換をいう。ダイオードの例としてはフォトダイオードとレーザダイオードがある。ドライバ３２はダイオード４４の電圧と電流を制御する。電気的インタフェース３６はシステム１０への電気信号を受け取り、及び／またはシステム１０からの電気信号を送り出す。機械的支持部５４は方向Ｚにおける受動的なアライメント制御をする。
【００２１】
本発明の範囲から逸脱することなく、システム１０に修正、追加、または削除をすることができる。システム１０の構成要素は一体であっても分離していてもよい。さらに、システム１０の動作を実行する構成要素は、これより多くても少なくてもよいし、他の構成要素であってもよい。例えば、電気光学ダイオード４４は複数の構成要素により動作する。本明細書では、「各」とは、集合の各要素、または集合の部分集合の各要素を指す。
【００２２】
図２は、図１Ａと図１Ｂの送受信システム１０の一部分５６の一実施形態を示す図である。本実施形態では、部分５６は屈折率整合流体５８と光学ジェル６０とを含む。
【００２３】
屈折率整合流体５８は光カップリングエレメント１４と光ファイバ２４とを光学的及び／または機械的に結合して、光ファイバ２４に対する光カップリングエレメント１４の位置を維持する。屈折率整合流体５８はカップリングエレメント１４と光ファイバ２４との間の屈折率整合をとる。
【００２４】
光学ジェル６０はダイオード４４とフレキシブル光カップリングエレメント１４とを光学的及び／または機械的に結合して、カップリングエレメント１４に対するダイオード４４の位置を維持する。光学ジェル６０はカップリングエレメント１４とダイオード４４との間の屈折率整合をとる。
【００２５】
図３Ａと図３Ｂは、電気光学ダイオード４４とサブマウント５０との間に動きがある時に動作するフレキシブル光カップリングエレメント１４を示す図である。図３Ａは、電気光学ダイオード４４とサブマウント５０の第１の位置を示す。この第１の位置は設計上の位置（designed  position）である。
【００２６】
図３Ｂは、電気光学ダイオード４４とサブマウント５０の第２の位置を示す。この第２の位置では、電気光学ダイオード４４はサブマウント５０に対して方向Ｘにずれている。第２の位置は、システム１０が温度変化や機械的変化に反応した結果である。光カップリングエレメント１４はフレキシブルであり、光カップリングエレメント１４は第２の位置であっても電気光学ダイオード４４と光ファイバ２４と光学的に結合されている。
【００２７】
図４Ａと図４Ｂは、光ファイバ２４のコア６２に対する光カップリングエレメント１４の配置の例を示す図である。この例では、反射面４８は方向Ｘに対して約５４°の傾き角を有している。また、光カップリングエレメント１４の壁面の反射係数は比較的高く、例えば０．５％から全反射までの範囲にある。全反射は空気と光カップリングエレメント１４の材料の間の接合部分により決まる。したがって、カップリングエレメント１４への入射角は大きくてもよい。
【００２８】
図４Ａはフォトダイオードの場合の配置例を示す図である。光カップリングエレメント１４は光ファイバ２４のコア６２のほぼ直前にある。この例では、光カップリングエレメント１４への入射角は大きくてもよく、信号は光カップリングエレメント１４に入る（confine）。
【００２９】
図４Ｂはレーザダイオードの場合の配置例を示す図である。光カップリングエレメント１４は、光ファイバ２４のコア６２に対してＺ方向に１−５μｍの範囲の距離だけ上に位置している。この位置により、反射面４８の傾き角が４５°よりも大きいときに、光カップリングエレメント１４と光ファイバ２４との間の光学的結合が容易になる。
【００３０】
一実施形態では、反射面４８の傾き角は４５°ではないので、光信号はコア６２に平行でない入射角で光ファイバ２４に入射する。この例では、反射面４８の傾き角は５４°なので、光信号は約１８−１９°の入射角で光ファイバ２４に入射する。光ファイバ２４はこの入射角でもよいものを選択する。一例として、光ファイバ２４は入射角に適合する開口数を有する。他の一例として、光ファイバ２４の端にテーパをつけ、入射角に合わせてもよい。これについては図５を参照してさらに詳しく説明する。さらに別の例として、反射面４８の傾き角を、光学的結合の効率が高くなるように選択してもよい。例えば、傾き角は約４５°だが、必ずしも４５°である必要はない。
【００３１】
図５は、いろいろな入射角に適合するために用いられるテーパ端を示す図である。テーパ端はコア６２に対して垂直ではない角度をつけて切った端であり、テーパ角度はコア６２に垂直な平面に対して測る。図示した実施形態では、光カップリングエレメント１４はレーザダイオード４４に隣接したテーパ端７０を有する。光ファイバ２４は反射面４８に隣接するテーパ端７４を有する。テーパの角度は任意の適切なものでよく、例えば０°−１０°の間の角度でよく、例えば約８°でもよい。テーパ端によりビームの方向がファイバの伝搬方向にちかいところまで曲げられる。したがって、テーパをつけることにより開口数が小さいファイバ２４を利用できる。
【００３２】
図６Ａ乃至図７は、サブマウント５０として機能する基板７９上にフレキシブル光カップリングエレメント１４を生産する方法を示す図である。
【００３３】
図６Ａは基板７９の表面の凹部であるグルーブ８０を示す。基板７９はシリコン等の任意の適切な材料でできている。グルーブ８０の断面形状は、ファイバ２４を少なくとも部分的にグルーブ８０内に配置できるものであれば任意の適切なものでよい。図示した例ではグルーブ８０はＶ字形をしている。他の例では、グルーブ８０の断面形状はＵ字形でも方形でもよい。
【００３４】
グルーブ８０は任意の適切な方法で形成することができる。グルーブ８０は、エッチング等により形成でき、例えば、グルーブ８０を形成する位置に開口部を設けて基板７９をパターニングし、化学溶液中で基板７９をエッチングすることによりを形成することができる。水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液などの化学溶液は異方性がつよい。ウェハレベルで複数のグルーブ８０を形成して、１つのウェハから任意で適切な数（例えば１００個）の基板を作れる。
【００３５】
グルーブ８０は光カップリングエレメント１４を結合する面８４を有する。面８４は反射面４８の支持材（support）として機能し、その傾き角は反射面４８の傾き角に近い。反射層８６をＶ字グルーブ８０上に（outwardly  from）配置してもよい。反射層８６は、例えば、面８４の反射率を向上する反射面を有する金属層である。
【００３６】
一実施形態では、４５°の傾き角を形成するために、リソグラフィでマスキングして、水酸化カリウム（ＫＯＨ）とヨウ化イソプロピル（ＩＰＩ）の溶液でウェットエッチングをする。エッチマスクのパターンを特定の結晶リソグラフィ方向（crystal  lithographic  directions）に合わせてもよい。
【００３７】
図６Ｂは面８４上への光カップリングエレメント１４の配置を示す。図示した実施形態では、光カップリングエレメント１４は概ね円筒形状であり、プレーナ面８８と端部９０、９２を有する。プレーナ面８８は光ファイバ２４に合わせてほぼ平面状である。端部９２は面８４のテーパ角度に合わせてテーパをつけてあってもよい。例えば、テーパ角度は面８４の傾き角と９０°との差であってもよい。図示した実施形態では、光カップリングエレメント１４の壁面はほぼまっすぐである。しかしこの壁面は必ずしもまっすぐである必要はない。壁面は端部９０及び／または９２に向かってテーパがついていても、あるいは曲がっていてもよい。
【００３８】
光カップリングエレメント１４は任意の適切な方法で生産できる。例えば、光カップリングエレメント１４は光パターン化可能ポリマー（photo-patternable  polymer）で作ることができる。ポリマーを基板７９上に（outwardly  from）露出させる。ダイレクトリソグラフィを用いて光カップリングエレメント１４を形成する。光カップリングエレメント１４を標準的なフォトリソグラフィによりグルーブ８０上に（outwardly  from）配置してもよい。光カップリングエレメント１４をウェハの基板７９のグルーブ８０上に配置してからウェハをダイシングする。
【００３９】
図６Ｃは少なくとも部分的にグルーブ８０内にファイバ２４を示す図である。光カップリングエレメント１４に対するファイバ２４のファイバコア６２の配置は、図４Ａと図４Ｂを参照して説明した通りである。
【００４０】
図６Ｄはグルーブ８０上に接着剤１００を塗布したところを示す。接着剤１００は光カップリングエレメント１４と光ファイバ２４とを光学的及び／または機械的に結合して、光ファイバ２４に対する光カップリングエレメント１４の位置を維持する。接着剤１００は、光カップリングエレメント１４と光ファイバ２４との間の反射率整合をとる光学係数整合材料（optical  index  matching  material）を含んでいてもよい。
【００４１】
図７は、基板２０上への電気光学カップリングモジュール２８の配置を示す図である。機械的支持部５４はサブマウント５０に機械的に結合される。図示した実施形態では、電気光学ダイオード４４はレーザダイオード１１０とフォトダイオード１１４を含む。レーザダイオードは開口１１８を有し、フォトダイオード１１４は開口１２２を有する。光カップリングエレメント１４の端部をエポキシに浸し、光カップリングエレメント１４を開口１１８と１２２に位置合わせして（align）配置する。横方向位置合わせウェッジ法（lateral  alignment  wedge  techniques）等の方法を用いて位置合わせの許容誤差を改善してもよい。
【００４２】
本発明の範囲から逸脱することなく、本方法に修正、追加、または削除をすることができる。本方法に含まれるステップはこれより多くても少なくてもよく、他のステップが含まれてもよい。また、ステップを好適な任意の順序で実行してもよい。
【００４３】
本発明の実施形態により以下の技術的有利性がもたらされる。一実施形態の技術的優位性として、光カップラがフレキシブルになる点が挙げられる。フレキシブルにすることにより、位置ずれや外的条件に起因する変化に対する許容度が高くなる。
【００４４】
本開示を実施形態に関して説明したが、これらの実施形態の変形や置き換えは当業者には明らかであろう。従って、上記の実施形態の説明は本開示を限定するものではない。特許請求の範囲に記載した本開示の精神と範囲から逸脱せずに、その他の変更、置き換え、改変も可能である。
【００４５】
上記の実施形態について次の付記を記載する。
（付記１）  １つまたは複数の電気光学カップリングモジュールを有し、一電気光学カップリングモジュールは、
ダイオードと、
前記ダイオードに結合したフレキシブル光カップリングエレメントと、
前記フレキシブル光カップリングエレメントに結合した反射面と、
前記反射面に結合した光ファイバとを有し、
前記ダイオードは信号の電気光学変換を行い、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記反射面は前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射する装置。
（付記２）  少なくとも１つの電気光学カップリングモジュールにおいて、
前記反射面は、前記光ファイバから前記フレキシブル光カップリングエレメントに前記信号を反射することにより、前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射し、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは、前記反射面から前記ダイオードに前記信号を伝達することにより、前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記ダイオードは、光信号から電気信号に前記信号を変換することにより、前記電気光学変換を行う、付記１に記載の装置。
（付記３）  少なくとも１つの電気光学カップリングモジュールにおいて、
前記ダイオードは、光信号から電気信号に前記信号を変換することにより、前記信号に前記電気光学変換を行い、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは、前記ダイオードから前記反射面に前記信号を伝達することにより、前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記反射面は、前記フレキシブル光カップリングエレメントから前記光ファイバに前記信号を反射することにより、前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射する、付記１に記載の装置。
（付記４）  少なくとも１つの電気光学カップリングモジュールは、
前記ダイオードと前記フレキシブル光カップリングエレメントとの間に配置した光学ジェルをさらに有する、付記１に記載の装置。
（付記５）  前記反射面は約９０°の角度で前記信号を反射する、付記１に記載の装置。
（付記６）  前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記光ファイバとの間で前記信号を伝達するテーパ端を有する、付記１に記載の装置。
（付記７）  前記ダイオードはレーザダイオードを含み、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記光ファイバのコアの略直前に配置された、付記１に記載の装置。
（付記８）  前記ダイオードはフォトダイオードを含み、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記光ファイバのコアに、前記信号をある角度に向けるよう配置された、付記１に記載の装置。
（付記９）  凹部のある表面を有するサブマウントをさらに有し、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記凹部上に配置され、
前記光ファイバは少なくとも部分的に前記凹部内に配置された、付記１に記載の装置。
（付記１０）  エッチングにより形成された凹部のある表面を有するサブマウントをさらに有し、
前記凹部は前記反射面を支持する面を有し、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記面上に配置され、付記１に記載の装置。
（付記１１）  前記フレキシブル光カップリングエレメントはほぼ円筒形状である、付記１に記載の装置。
（付記１２）  １つまたは複数の電気光学カップリングモジュールを形成する段階を有し、一電気光学カップリングモジュールは、
フレキシブル光カップリングエレメントに、信号に電気光学変換を行うダイオードを結合する段階と、
反射面を前記フレキシブル光カップリングエレメントに結合する段階と、
光ファイバを前記反射面に結合する段階とにより形成され、
前記ダイオード、前記フレキシブル光カップリングエレメント、前記反射面、前記光ファイバは、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記反射面は前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射するように配置される方法。
（付記１３）  少なくとも１つの電気光学カップリングモジュールにおいて、
前記反射面は、前記光ファイバから前記フレキシブル光カップリングエレメントに前記信号を反射することにより、前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射し、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは、前記反射面から前記ダイオードに前記信号を伝達することにより、前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記ダイオードは、光信号から電気信号に前記信号を変換することにより、前記電気光学変換を行う、付記１２に記載の方法。
（付記１４）  少なくとも１つの電気光学カップリングモジュールにおいて、
前記ダイオードは、光信号から電気信号に前記信号を変換することにより、前記信号に前記電気光学変換を行い、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは、前記ダイオードから前記反射面に前記信号を伝達することにより、前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記反射面は、前記フレキシブル光カップリングエレメントから前記光ファイバに前記信号を反射することにより、前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射する、付記１２に記載の方法。
（付記１５）  少なくとも１つの電気光学カップリングモジュールにおいて、前記ダイオードと前記フレキシブル光カップリングエレメントの間に光ジェルを配置する段階をさらに有する、付記１２に記載の方法。
（付記１６）  前記反射面は約９０°の角度で前記信号を反射する、付記１２に記載の方法。
（付記１７）  前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記光ファイバとの間で前記信号を伝達するテーパ端を有する、付記１２に記載の方法。
（付記１８）  前記ダイオードはレーザダイオードを含み、
前記フレキシブル光カップリングエレメントを前記光ファイバのコアの略直前に配置する段階をさらに有する、付記１２に記載の方法。
（付記１９）  前記ダイオードはフォトダイオードを含み、
前記光ファイバのコアに前記信号をある角度に向けるように前記フレキシブル光カップリングエレメントを配置する段階と、付記１２に記載の方法。
（付記２０）  サブマウントの表面の凹部上に前記フレキシブル光カップリングエレメントを配置する段階と、
前記光ファイバを少なくとも部分的に前記凹部内に配置する段階とを有する、付記１２に記載の方法。
（付記２１）  前記フレキシブル光カップリングエレメントはほぼ円筒形状である、付記１２に記載の方法。
（付記２２）  １つまたは複数の電気光学カップリングモジュールを形成する手段を有し、一電気光学カップリングモジュールは、
フレキシブル光カップリングエレメントに、信号に電気光学変換を行うダイオードを結合する段階と、
反射面を前記フレキシブル光カップリングエレメントに結合する段階と、
光ファイバを前記反射面に結合する段階とにより形成され、
前記ダイオード、前記フレキシブル光カップリングエレメント、前記反射面、前記光ファイバは、
前記フレキシブル光カップリングエレメントは前記ダイオードと前記反射面との間で前記信号を伝達し、
前記反射面は前記フレキシブル光カップリングエレメントと前記光ファイバとの間で前記信号を反射するように配置された装置。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１Ａ】フレキシブル光カップリングエレメントを含む送受信器システムの一実施形態を示す図である。
【図１Ｂ】フレキシブル光カップリングエレメントを含む送受信システムの一実施形態を示す図である。
【図２】図１Ａと図１Ｂの送受信システムの一部の一実施形態を示す図である。
【図３Ａ】電気光学ダイオードとサブマウントとの間に動きがある時に動作するフレキシブル光カップリングエレメントを示す図である。
【図３Ｂ】電気光学ダイオードとサブマウントとの間に動きがある時に動作するフレキシブル光カップリングエレメントを示す図である。
【図４Ａ】光ファイバのコアに対する光カップリングエレメントの配置例を示す図である。
【図４Ｂ】光ファイバのコアに対する光カップリングエレメントの配置例を示す図である。
【図５】いろいろな入射角に適合させるために用いるテーパ端を示す図である。
【図６】基板上にフレキシブル光カップリングエレメントを生産する方法を示す図である。
【図７】基板上にフレキシブル光カップリングエレメントを生産する方法を示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  送受信システム
２０  基板
２４  光ファイバ
２８  電気光学カップリングモジュール
３２  ドライバ
３６  電気インタフェース
４０  光コネクタ
４４  電気光学ダイオード
４８  反射面
５０  サブマウント
５４  支持部
５６  部分
５８  屈折率整合流体
６０  光学ジェル
６２  コア
７０  テーパ端
７９  基板
８０  グルーブ
８４  表面
８６  反射層
８８  プレーナ面
９０、９２  端
１００  接着剤
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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