(57)【要約】【課題】落射照明イメージと透過照明イメージとの両イメージを利用した検査が、片方のイメージだけを利用する検査装置と同程度の速度で行え、しかも設置面積の増大を招かず、廉価なパターン検査装置の提供。【解決手段】フィルム状の帯状ワークであるテープ１０（ＣＯＦテープ等）の上面側及び下面側に配置され、テープ１０の上面側及び下面側をそれぞれ撮像するカメラ５ａ及び５ｂと、テープ１０の上面側から照明光を照射する照明装置４とを備えてなる。テープ１０における反射状態を表す落射照明イメージを生成するための落射光照明の機能と、テープ１０における透明度の分布を表す透過照明イメージを生成するための透過光照明の機能とが、１つの照明装置４だけで得られるので、１つの被検査パターンに関する落射照明イメージ及び透過照明イメージが同時に取得できる。【選択図】  図１
2009128268.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム状の帯状ワークに形成されたパターンを撮像し、該パターンの外観を検査するパターン検査装置において、
前記帯状ワークの一方の面側に配置され、前記帯状ワークを撮像する第１の撮像手段と、
前記帯状ワークの他方の面側に配置され、前記帯状ワークを撮像する第２の撮像手段と、
前記帯状ワークの一方の面側から照射する照明手段と
を備えたことを特徴とするパターン検査装置。
【請求項２】
前記照明手段は、前記第１の撮像手段の光入射開口と前記帯状ワークとの間に配置され、該帯状ワークで反射された光を通す観測ウインドウを備え、
前記第１の撮像手段は前記観測ウインドウを通して前記帯状ワークを撮像する
ことを特徴とする請求項１に記載のパターン検査装置。
【請求項３】
前記照明手段は、前記第１の撮像手段のための照明と前記第２の撮像手段のための照明とを同時に行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のパターン検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープに設けられた回路パターンを検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装用フィルムキャリアテープとしては、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding ）テープ、Ｔ−ＢＧＡ（Tape Ball Grid Array）テープ、ＡＳＩＣ(application
Specific Integration Circuit) テープ、ＣＯＦ（Chip On Film）テープ等が知られている。電子部品実装用フィルムキャリアテープは、透明なフィルム、このフィルムに貼り付けられた電子部品、これら電子部品相互を接続するためにそのフィルムに印刷された導体パターン等からなる。フィルム材料には耐熱性が必要であり、耐熱性に優れたポリイミド樹脂等が使用されている。電子部品及びフィルム上の導体パターンでもって回路パターンを構成している。電子部品実装用フィルムキャリアテープ上の回路パターンを検査するパターン検査装置としては、例えば特許文献１（特開２００４−２８５９７）に記載のものが知られている。
【０００３】
この種のパターン検査装置は、検査するテープに照明光を照射し、回路パターンを撮像装置で撮像して、回路パターン像を取得し、その回路パターン像を基準パターンと比較し、回路パターンにおける欠陥の有無を検査することにより、回路パターンの良否を判定する。回路パターンにおける欠陥としては、回路パターンの配線の上面側の一部に欠損のある欠陥（いわゆる「ディシュダウン」）、その配線の一部が規定値より細くなった欠陥（いわゆる「細り」）、その配線におけるフィルムとの密着面の幅が規定値より広がった欠陥（いわゆる「ボトムの太り」）等がある。
【０００４】
図４は、テープの反射光に基づく落射照明イメージを取得するパターン検査装置（Ａ）及びテープを透過した光（透過光）に基づく透過照明イメージを取得するパターン検査装置（Ｂ）の要部を示す概念図である。図４（Ａ）のパターン検査装置は、導体パターンＤ１，Ｄ２が印刷されたテープ１０を照明装置４で照明しながら、テープ１０による反射光をカメラ５ａで受け、反射光に基づきテープ１０を撮像することにより、テープ１０の落射照明イメージを取得し、落射照明イメージを表す落射照明イメージ信号５０１を出力する。図４（Ｂ）のパターン検査装置は、導体パターンＤ１，Ｄ２が印刷されたテープ１０を照明装置４で照明したときに、テープ１０を透過した光（透過光）をカメラ５ｂで受け、透過光に基づきテープ１０を撮像することにより、テープ１０の透過照明イメージを取得し、透過照明イメージを表す透過照明イメージ信号５０２を出力する。導体パターンＤ２には、ボトムの太りＲおよびディシュダウンＳという欠陥がある。
【０００５】
図５は、図４（Ａ）又は同図（Ｂ）のパターン検査装置により被検査パターンを検査する方法を説明する図である。図５（Ａ）は導体パターンＤ１及びＤ２が印刷されたテープ１０の部分を示す平面図、図５（Ｂ）は同図（Ａ）のＡＡ線矢視断面図、図５（Ｃ）は落射照明イメージ信号５０１を示す図、図５（Ｄ）は透過照明イメージ信号５０２を示す図である。導体パターンＤ１の幅の規格値はＷ１、導体パターンＤ２の幅の規格はＷ３、導体パターンＤ１とＤ２の間隔の規格値はＷ２である。導体パターンＤ２にボトムの太りＲがあるので、ＡＡ線における導体パターンＤ１とＤ２の間隔はＷ４に縮小している。また、導体パターンＤ２の左側面からディシュダウンＳの奥端までの幅はＷ５である。矢印２００は、テープ１０の搬送方向を示す。図５（Ｃ）におけるｒ及びｓは、ボトムの太りＲ及びディシュダウンＳに対応する落射照明イメージ信号５０１の波形の乱れをそれぞれ示す。
【０００６】
図５（Ａ）、（Ｂ）に示すテープ１０を図４（Ａ）の構成のパターン検査装置により検査すると、カメラ５ａからは図５（Ｃ）の落射照明イメージ信号５０１が得られる。落射照明イメージにおいては、明暗を表すイメージ信号範囲のやや明るい領域に閾値を設定すること（例えば図５（Ｃ）で示すTh1）で、比較的容易にＷ３とＷ５‘との差を検出することができる。したがってディシュダウンＳ等の導体パターンの上面側の欠陥に対しては、落射照明イメージを取得することで比較的容易に欠陥箇所を検出することができる。一方、導体パターンのボトム側の太りＲのように、明暗を表すイメージ信号の暗い部分に存在する欠陥は、閾値を暗い領域に設定しても（例えば図５（Ｃ）で示すTh2）、変化点ｒは基材であるフィルム１０ａの反射率のばらつき等にまぎれてしまい、Ｗ２とＷ４’との差を検出するのは困難である。したがってボトム側に存在する欠陥は、落射照明イメージに基づくだけでは欠陥として認識し難い傾向にある。
【０００７】
図５（Ａ），（Ｂ）に示すテープ１０を図４（Ｂ）のパターン検査装置により検査すると、カメラ５ｂからは図５（Ｄ）の透過照明イメージ信号５０２が得られる。導体パターンは、金属でなり、不透明であるから、透過照明イメージには、導体パターンＤ１，Ｄ２がフィルム１０ａに密着した面の影絵（シルエット）が明瞭に表れる。そこで、図５（Ｄ）に示すように、透過照明イメージ信号５０２を閾値Th3と比較することにより、導体パターンＤ１とＤ２との間隔Ｗ２が測定でき、Ｗ２とＷ４との比較によりＷ２＞Ｗ４が分かるので、導体パターンＤ１とＤ２との間隔が縮小し、導体パターンＤ２にはボトムの太りＲがあることが容易に判定できる。
【０００８】
上述のように、落射照明イメージによる検査では、導体パターンにおけるボトムの太りの検出が難しいという欠点があったが、落射照明イメージによる検査に加えて透過照明イメージによる検査をすることにより、導体パターンにおけるボトムの太りの検出確率を向上できる。ボトムの太りと同様に、導体パターンの幅が規格より細くなった欠陥「細り」は、導体パターンの透過照明イメージを取得し、導体パターンとフィルムとの密着面のシルエットを検査することにより、容易に確実に検出できる。このように、落射照明イメージと透過照明イメージとの両イメージを取得し、両者の特徴を生かすことにより、ディシュダウン、細り、ボトムの太りといった被検査パターンの欠陥の検出確率を向上できる。
【０００９】
特許文献１は、１つのテープの検査を行うために、テープを上方から照明する落射光照明装置と、テープを下方から照明する透過光照明装置とを備え、落射照明イメージと透過照明イメージとの両イメージを利用するパターン検査装置を開示している。
【００１０】
図６は、特許文献１に図５として示された従来のパターン検査装置の構成を示す概念図である。このパターン検査装置は、制御装置（２１）、ラインセンサカメラでなる撮像装置（８）、落射照明装置（６）、テープ引張り機構（２２）、透過照明装置（７）、テープ搬送機構（２３）及び不良品パンチ機構（２４）を備えてなる。制御装置（２１）は、撮像装置（８）、落射照明装置（６）、テープ引張り機構（２２）、透過照明装置（７）、テープ搬送機構（２３）及び不良品パンチ機構（２４）等に対して、検査動作の所定のタイミングで制御信号を送信し、これらを制御する。制御装置（２１）には、パターン検査の基準となるマスターデータ（２５）が予め入力されている。マスターデータ（２５）には、落射照明で得られる画像（落射照明イメージ）の基準パターンと、透過照明で得られる画像（透過照明イメージ）の基準パターンとの２種類の基準パターンが含まれている。
【００１１】
図６のパターン検査装置による検査は次の手順で行われる。まず、制御部（２１）によってテープ搬送機構（２３）が駆動され、テープ（１）が搬送され、テープ（１）における被検査パターンが撮像位置に停止する。次に、テープ引張り機構（２２）のグリップ用上部材（１６）、グリップ用下部材（１７）によってテープ（１）の周辺部が挟持された状態でテープ（１）の幅方向にテンションがかけられる。
【００１２】
次に、落射照明装置（６）によってテープ（１）上の被検査パターンに対して照明光が照射される。被検査パターンからの反射光は撮像装置（８）のＣＣＤラインセンサ８１にて受光される。次に、落射照明装置（６）による照明をしている状態で、落射照明装置（６）及び撮像装置（８）が固定されているフレームがテープ（１）の幅方向に移動する。その結果、落射照明装置（６）と撮像装置（８）は共にテープ（１）の幅方向に移動し、テープ（１）の一方のエッジＡから他方のエッジＢに向かって走査し、撮像装置（８）には、テープ（１）のエッジＡからエッジＢ間の被検査パターンが撮像される。撮像された被検査パターンの情報は、テープの幅方向の位置に対応して制御部（２１）に記憶される。
【００１３】
撮像装置（８）による撮像がテープ（１）のエッジＢにまで達すると、落射照明装置６による照明を停止し、透過照明装置（７）によってテープ（１）上の被検査パターンに対して照明光が照射され、被検査パターンを透過した透過光は撮像装置（８）のＣＣＤラインセンサ（８１）にて受光される。次に、透過照明装置（７）による照明をしている状態で、フレームがテープ（１）の幅方向に移動する。その結果、透過照明装置（７）と撮像装置（８）は共にテープ（１）の幅方向に移動し、テープ（１）の他方のエッジＢから一方のエッジＡに向かって走査し、撮像装置（８）には、テープ（１）のエッジＢからエッジＡ間の被検査パターンが撮像される。撮像された被検査パターンの情報は、先と同様に、テープの幅方向に位置に対応して制御部（２１）に記憶される。撮像装置（８）による撮像がテープ（１）のエッジＡにまで達すると、透過照明装置（７）による照明を停止し、再びテープ搬送機構（２３）が駆動され、テープ（１）が搬送され、新たな被検査パターンが所定の撮像位置に停止するように制御される。
【００１４】
上記のごとく、撮像装置（８）の往復移動により得られた、テープ（１）上の被検査パターンの反射光による情報（落射照明イメージ）と透過光による情報（透過照明イメージ）の２つの情報は、制御装置（２１）内で、記憶されているそれぞれのマスターデータ（２５）と比較され、良否が判定される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
図６を参照して説明した特許文献１に記載の従来のパターン検査装置は、落射照明装置（６）でテープ（１）を照明することにより落射照明イメージを得る落射光撮像工程と、透過照明装置（７）でテープ（１）を照明することにより透過照明イメージを得る透過光撮像工程との２つの工程により、１つの被検査パターンを検査する。特許文献１に記載の従来のパターン検査装置では、落射照明装置（６）および透過照明装置（７）の両方の照明装置を点灯すると、落射光および透過光が互いに干渉し、落射照明イメージ及び透過照明イメージがともに不鮮明になり、被検査パターンの欠陥を見つけることはできないので、やむなく落射照明装置（６）および透過照明装置（７）を交互に点灯し、落射光撮像工程および透過光撮像工程の２つの工程でもって１つの被検査パターンの検査を行うのである。このように、特許文献１に記載の従来のパターン検査装置には、パターン検査の速度を上げることが困難であるという解決するべき課題があった。
【００１６】
図６の従来の方式を改善してパターン検査の速度を高くしようとすれば、例えば図７に構成図で示すパターン検査装置を用いることになる。図７のパターン検査装置は、制御部１１（図６の制御装置（２１）に相当。）、落射光検査部３１、透過光検査部３２、パンチャー部８０（図６の不良品パンチ機構（２４）に相当。）、巻き出し部２１、巻き取り部２３及びエアダンサー２２１，２２２でなる。落射光検査部３１は、図６における落射照明装置（６）及び撮像装置（８）に相当する。透過光検査部３２は、図６における透過照明装置（７）及び撮像装置（８）に相当する。図６のパターン検査装置が落射照明装置（６）、透過照明装置（７）及び撮像装置（８）でなる１つの検査部を備えるのに対し、図７のパターン検査装置は落射光検査部３１及び透過光検査部３２という２つの検査部を備えている。巻き出し部２１、巻き取り部２３及びエアダンサー２２１，２２２は、図６におけるテープ搬送機構（２３）に相当する。
【００１７】
制御部１１は、サーバーでなる制御部本体１１ａ、ディスプレイ１１ｂ及びキーボード１１ｃを備えてなる。ディスプレイ１１ｂは、制御部本体１１ａで制御される。キーボード１１ｃは、制御部本体１１ａに命令やデータを入力する端末装置であり、例えばディスプレイ１１ｂに表示するデータの選択はキーボード１１ｃの操作により制御部本体１１ａに命令される。
【００１８】
巻き出し部２１は、軸２１ａに装着された巻き出しリール１０ａ及びテンションローラ２５ａを備えてなる。落射光検査部３１は、カメラ５ａ、落射照明装置６、ステージ３１ａ、フリースプロケット２５ｂ，２５ｃを備えてなる。透過光検査部３２は、カメラ５ｂ、透過照明装置７、ステージ３２ａ、フリースプロケット２５ｇを備えてなる。パンチャー部８０は、３つのパンチャー８０ａ及びフリースプロケット２５ｅを備えてなる。巻き取り部２３は、軸２３ａに装着された巻き取りリール１０ｂ及びテンションローラ２５ｆを備えてなる。エアダンサー２２１は、センサ２２ａを８個備え、テープ１０の下端の位置をセンサ２２ａで検知し、テープ１０が常に適切な長さの余裕を保つように、落射光検査部３１のテープ搬送機構を制御している。エアダンサー２２２は、センサ２２ａを８個備え、テープ１０の下端の位置をセンサ２２ａで検知し、テープ１０が常に適切な長さの余裕を保つように、透過光検査部３２のテープ搬送機構を制御している。図において、テープ１０は巻き出しリール１０ａから巻き出され、巻き取りリール１０ｂに巻き取られる間のテープを表している。
【００１９】
図７のパターン検査装置は、落射光検査部３１および透過光検査部３２をテープ１０の搬送方向に縦続に配置しているので、１つの被検査パターンを落射光で照射し、落射照明イメージを取得している間に、同時に別の被検査パターンを透過照明装置７で照明し、透過照明イメージを取得できる。したがって、図６に示した特許文献１のパターン検査装置に比べ、２倍の速度で被検査パターンを検査できる。しかしながら、図７のパターン検査装置は、落射光検査部３１と透過光検査部３２とを備えるから、図７に横幅寸法を例示するように、図６のパターン検査装置に比べ、１つの検査部および１つのエアダンサー分の長さ（図７の例では、1690mm）だけテープ１０の搬送方向に長くなる。落射光および透過光で同時に検査できるように２つの検査部を縦続に配列した図７のパターン検査装置は、長い設置場所、ひいては広い設置面積を要する。また、落射光検査部３１および透過光検査部３２にはテープ搬送を高精度に制御するための機構がそれぞれ必要であるので、図７のパターン検査装置の製造費は高価になる。そこで、図７の装置には、設置面積および製造費に関し解決するべき課題がある。
【００２０】
そこで、本発明の目的は、被検査パターンに関する落射照明イメージと透過照明イメージとの両方のイメージを利用して、その被検査パターンの検査を高速に行うことができ、また落射照明イメージ又は透過照明イメージのうちの一方だけのイメージに基づき被検査パターンの検査をするパターン検査装置と同程度の面積に設置でき、しかも製造費が低廉なパターン検査装置の提供にある。
【特許文献１】特開２００４−２８５９７
【特許文献２】特開平１１−２９６６５７
【課題を解決するための手段】
【００２１】
前述の課題を解決するために、本発明は次の手段を提供する。
【００２２】
（１）フィルム状の帯状ワークに形成されたパターンを撮像し、該パターンの外観を検査するパターン検査装置において、
前記帯状ワークの一方の面側に配置され、前記帯状ワークを撮像する第１の撮像手段と、
前記帯状ワークの他方の面側に配置され、前記帯状ワークを撮像する第２の撮像手段と、
前記帯状ワークの一方の面側から照射する照明手段と
を備えたことを特徴とするパターン検査装置。    
【００２３】
（２）前記照明手段は、前記第１の撮像手段の光入射開口と前記帯状ワークとの間に配置され、該帯状ワークで反射された光を通す観測ウインドウを備え、
前記第１の撮像手段は前記観測ウインドウを通して前記帯状ワークを撮像する
ことを特徴とする前記（１）に記載のパターン検査装置。
【００２４】
（３）前記照明手段は、前記第１の撮像手段のための照明と前記第２の撮像手段のための照明とを同時に行うことを特徴とする前記（１）又は（２）に記載のパターン検査装置。
【発明の効果】
【００２５】
上述の構成の本発明によれば、帯状ワークにおける１つの被検査パターンを１つの照明手段で照明することにより、その１つの被検査パターンに関する落射照明イメージと透過照明イメージとを同時に得ることができるので、被検査パターンに関する落射照明イメージと透過照明イメージとの両方のイメージを利用して、その被検査パターンの検査を高速に行うことができ、また落射照明イメージ又は透過照明イメージを１つの検査部で取得できるので、これら両イメージのうちの一方だけのイメージに基づき被検査パターンの検査をするパターン検査装置と同程度の面積に設置でき、しかも製造費の低廉なパターン検査装置が提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明になるパターン検査装置の一実施の形態の構成を示す概念図である。このパターン検査装置は、制御装置１、ＣＣＤラインセンサを光感知手段とするカメラ５ａ，５ｂ、照明装置４、テープ引張り機構３、テープ搬送機構２および不良品パンチ機構８を備えてなる。テープ１０は、ＣＯＦテープ等の電子部品実装用フィルムキャリアテープであり、前述の帯状ワークの一種である。カメラ５ａ及び５ｂは、それぞれ前述の第１及び第２の撮像手段に相当する。
【００２７】
制御装置１は、カメラ５ａ及び５ｂ、照明装置４、テープ引張り機構３、照明装置４、テープ搬送機構２及び不良品パンチ機構８等に対して、検査動作の所定のタイミングで制御信号を送信し、これらを制御する。制御装置１には、パターン検査の基準となるマスターデータ９が予め入力されている。マスターデータ９には、落射照明で得られる画像（落射照明イメージ）の基準パターンａと、透過照明で得られる画像（透過照明イメージ）の基準パターンｂとの２種類の基準パターンが含まれている。
【００２８】
テープ引張り機構３は、グリップ用上部材３１及びグリップ用下部材３２によってテープ１０の周辺部を挟持し、テープ１０に幅方向のテンションをかけ、テープ１０の平面度を向上する。照明装置４は、テープ１０上の被検査パターンに対して照明光を照射する。照明装置４は、カメラ５ａの光入射開口とテープ１０との間に配置され、テープ１０で反射された光を通す観測ウインドウを備え、カメラ５ａは観測ウインドウを通してテープ１０を撮像する。観測ウインドウを備え、照明の対象領域を均等な照度で照明できる照明装置の一例として、特許文献２（特開平１１−２９６６５７）に開示された「画像処理装置の撮像光学系」がある。カメラ５ａは、被検査パターンからの反射光をＣＣＤラインセンサ５１で受光する。また、カメラ５ｂは、被検査パターンからの透過光をＣＣＤラインセンサ５２で受光する。
【００２９】
ＣＣＤラインセンサ５１及び５２は、多数のＣＣＤをライン（線）状に配列してなる。ＣＣＤラインセンサ５１及び５２におけるＣＣＤの配列方向は、テープ１０が搬送される方向（即ちテープ１０の長さ方向）に直交する方向である。テープ搬送機構２は、ＣＣＤで構成される画素の幅の単位という微小な距離ずつ間欠的に一定の時間間隔でテープ１０を長さ方向に搬送する。カメラ５ａ及び５ｂは、その間欠的搬送に同期したタイミングでテープ１０を撮像する。
【００３０】
図１のパターン検査装置による検査は次の手順で行われる。まず、制御装置１の制御によってテープ搬送機構２が駆動され、テープ１０が搬送され、テープ１０における被検査パターンの始端が撮像位置に至ると、カメラ５ａ及び５ｂは撮像を開始する。
【００３１】
次に、照明装置４による照明をしている状態で、テープ搬送機構２は被検査パターンの始端マークの位置から前記一定の微小距離ずつテープ１０を長さ方向に搬送する。この搬送の間に、カメラ５ａ及び５ｂはその被検査パターンを前記タイミングで撮像する。カメラ５ａ及び５ｂが被検査パターンの終端マークの撮像を終えると、テープ搬送機構２は次の被検査パターンの始端マークの位置がカメラ５ａ及び５ｂで撮像されるまでテープ１０を迅速に搬送し、その始端マークの位置が撮像された時から前期のタイミングで微小距離ずつテープ１０を搬送する。以下、同様にテープ１０上の被検査パターンはカメラ５ａ及び５ｂにより順次に撮像される。
【００３２】
上述のごとく、テープ１０の搬送に応じ、テープ１０上の被検査パターンの反射光による画像データ及びその被検査パターンの透過光による画像データが得られ、これら画像データの信号はそれぞれ落射照明イメージ信号５０１及び透過照明イメージ信号５０２としてカメラ５ａ及びカメラ５ｂから出力される。落射照明イメージ及び透過照明イメージは、制御装置１に記憶されている基準パターンａ及び基準パターンｂとそれぞれ比較される。制御装置１は、この比較により、被検査パターンの良否を判定する。
【００３３】
図２は、図１における制御装置１による被検査パターンの良否の判定方法を示す図である。図１のパターン検査装置におけるテープ搬送機構２の主要部は巻き出し部２１及び巻き取り部２３であるので、図２には、巻き出し部２１及び巻き取り部２３でもってテープ１０を搬送する様子が概念的に示してある。また、制御装置１は、落射照明イメージ及び透過照明イメージを基準パターンａ及び基準パターンｂとそれぞれ比較し、被検査パターンの良否を判定する判定機能の他に、前述のようにパターン検査装置の全体の作動を制御する機能を有するが、図２ではその判定機能だけが抽出して示してある。
【００３４】
その判定機能は、判定部１ｃ，１ｄ、合成部１ｅ及び最終判定部１ｆでなる。基準パターンａ及びｂは、判定部１ｃ及び１ｄにそれぞれ記憶されるデータである。落射照明イメージだけを利用して被検査パターンの良否を判定するパターン検査装置には、前述のように、ボトムの太りなどの検出に弱点があった。そこで、本実施の形態のパターン検査装置は、落射照明イメージ生成用のカメラ５ａおよび透過照明イメージ生成用のカメラ５ｂを備えることにより、これら各カメラで落射照明イメージ信号５０１及び透過照明イメージ信号５０２を得ている。
【００３５】
図１及び図２を参照して、図１の実施の形態における被検査パターンの良否を判定する判定機能を説明する。いま、図１のパターン検査装置は、図５（Ａ），（Ｂ）に示した導体パターンＤ１及びＤ２を含む領域を検査しているものとする。判定部１ｃ及び１ｄは、導体パターンＤ１及びＤ２がそれぞれ所定の領域に存在していることを示すデータを、基準パターンａ及びｂから得ている。判定部１ｃは、落射照明イメージ信号５０１と第１の閾値とを比較し、導体パターンＤ１，Ｄ２の幅、両導体パターンの間隔を検出し、それら幅及び間隔を基準パターンａにおける幅及び間隔とそれぞれ比較し、ディッシュダウンＳ等の欠陥を検出し、判定結果（欠陥の有無）を表す判定信号１０３を出力する。判定部１ｄは、透過照明イメージ信号５０２と第２の閾値とを比較し、導体パターンＤ１，Ｄ２の幅、両導体パターンの間隔を検出し、それら幅及び間隔を基準パターンｂにおける幅及び間隔とそれぞれ比較し、ボトムの太りＲ等の欠陥を検出し、判定結果を表す判定信号１０４を出力する。
【００３６】
合成部１ｅは、判定部１ｃ及び１ｄからそれぞれ出力される判定信号１０３及び１０４を受け、判定信号１０３及び１０４が表す判定結果を被検査パターンにおける一定範囲毎に合成し、その一定範囲に関する欠陥の度合の判定をし、その判定を表す合成判定信号１０５を生成する。最終判定部１ｆは、合成判定信号１０５で表される被検査パターンの一定範囲に関する欠陥の度合に基づき、被検査パターンを総合的に評価し、当該被検査パターンを不良品と判定するか否か、ひいては不良パンチ機構８で当該被検査パターンに穴を開けるべきか否かを決定する。
【００３７】
図３は、図１のパターン検査装置の外形寸法を説明するために概念的に描いた構成図である。図３のパターン検査装置は、制御部１１（図１の制御装置１に相当。）、検査部３０、パンチャー部８０（図１の不良品パンチ機構８に相当。）、巻き出し部２１、巻き取り部２３及びエアダンサー２２でなる。検査部３０は、図１における照明装置４及びカメラ５ａ,５ｂでなる部分に相当する。巻き出し部２１、巻き取り部２３及びエアダンサー２２は、図１のテープ搬送機構２に相当する。図１におけるテープ引張り機構３は、図３では図示が省略されている。
【００３８】
前に説明した図７のパターン検査装置は、テープ１０の落射照明イメージ及び透過照明イメージを得るために、落射光検査部３１及び透過光検査部３２という２つの検査部を備えている。これに対し、図３のパターン検査装置は、両イメージを従来装置と同様に同時に取得するのであるが、共通の１つの被検査パターンに関してそれら両イメージを取得する構成であるので、検出部は１つだけである。このように、図３のパターン検査装置は、図７のパターン検査装置と同様に、落射照明イメージ及び透過照明イメージを同時に生成し、両イメージを利用した検査を行うので、図３のパターン検査装置による検査速度は図７のパターン検査装置による検査速度に劣らず、高速である。
【００３９】
更に、図７のパターン検査装置は、テープ１０に弛みを持たせ、テープ１０の搬送を円滑にする機能を与えるために、落射光検査部３１及び透過光検査部３２それぞれに対応してエアダンサー２２１及び２２２を備えるのに対し、図３のパターン検査装置では、検査部が１つだけであるから、エアダンサーも１つだけで足りている。このように、図３のパターン検査装置は、図７のパターン検査装置における落射光検査部３１、透過光検査部３２、エアダンサー２２１及び２２２の機能を検査部３０及びエアダンサー２２で賄っているので、全体の横幅において１６９０ｍｍも小さい。したがって、図５の装置の設置面積は、図７の装置の設置面積に比べ、大幅に縮小されている。更に、検査部が１つの図３のパターン検査装置は、微小距離（カメラ５ａ，５ｂの分解能に相当する距離）ずつ間欠的にテープ１０を搬送する高精度の搬送機構が１つで足りるから、同様な搬送機構を２つ要する図７の従来のパターン検査装置に比べ、格段に安価に製造できる。
【００４０】
特許文献１のパターン検査装置では、落射照明装置と透過照明装置とを設け、これら各照明装置は落射照明イメージ取得用および透過照明イメージ取得用としてそれぞれ専用に割り当てられており、両照明装置を同時に点灯すると両方の照明が互いに干渉し合い、両イメージが全く不鮮明になるので、各照明を交互に点灯し、両イメージは交互に取得せざるを得ず、検査速度の向上が望めなかった。これに対し、以上に説明した本発明の実施の形態は、テープ１０における１つの被検査パターンを１つの照明装置４だけで照明することにより、その被検査パターンに関する落射照明イメージと透過照明イメージとを同時に得るので、被検査パターンに関する落射照明イメージと透過照明イメージとの両方のイメージを利用した検査を高速に行うことができ、また落射照明イメージ又は透過照明イメージのうちの一方だけのイメージに基づき被検査パターンの検査をするパターン検査装置と同程度の面積に設置でき、しかも製造費が低廉である。
【００４１】
なお、以上には、本発明の具体例として実施の形態を挙げ、詳しく説明したが、本発明がこれらの形態に限定されるものでないことは勿論である。例えば、図１の実施の形態では、落射照明イメージ取得用カメラは符号１ａのカメラ１台だけであったが、本発明のパターン検査装置では、１台のカメラの視野幅より広い幅のテープの検査をするときには、複数の落射照明イメージ取得用カメラをテープの幅方向にずらして並べて配置することにより、これら複数のカメラでもってテープ幅全域について落射照明イメージを取得する構成を採用する。透過照明イメージ取得用カメラについても同様である。
【００４２】
また、図１乃至図３に示した実施の形態では、照明手段（照明装置４に相当）は１台のみであったが、本発明は照明手段を必ずしも１つに限るものではない。例えば、落射照明用の第１の照明手段および透過照明用の第２の照明手段を落射照明イメージ取得用の第１の撮像装置（カメラ５ａに相当）側に設け、第１の撮像装置は第１の照明装置の照明（落射照明）により帯状ワークを撮像し、第２の撮像装置（カメラ５ｂに相当）は第２の照明装置の照明（透過照明）により帯状ワークを撮像するように、第１及び第２の撮像装置の光軸を異ならせ、即ち第１及び第２の撮像装置の光軸をオフセットさせた構成を採用しても、本発明は実施できる。
【００４３】
このように第１及び第２の照明手段を設け、かつ第１及び第２の撮像装置の光軸をオフセットさせた構成では、第１及び第２の撮像装置はそれぞれ１つの照明手段だけによる照明に基づき帯状ワークを撮像するので、落射照明および透過照明を同時に行っても落射光および透過光が互いに干渉することがないので、鮮明な落射照明イメージ及び透過照明イメージが第１及び第２の撮像装置からそれぞれ得られ、しかも第１及び第２の撮像装置は同時に帯状ワークを撮像できるので、照明手段が１つである構成と同じく、被検査パターンの検査を高速に行うことができる。また、このような第１及び第２の照明手段を設け、かつ第１及び第２の撮像装置の光軸をオフセットさせた構成のパターン検査装置は、帯状ワークにおける被検査パターンが第１と第２の撮像装置とでは帯状ワークの搬送方向に僅かにずれるが、第１及び第２の照明手段並びに第１及び第２の撮像装置を１つの検査装置に設置できるので、帯状ワークの搬送機構が１つで足り、同様な搬送機構を２つ要する図７の従来のパターン検査装置に比べ、格段に安価に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明になるパターン検査装置の一実施の形態の構成を示す概念図である。
【図２】図１における制御装置１による被検査パターンの良否の判定方法を示す図である。
【図３】図１のパターン検査装置の外形寸法を説明するための構成図である。
【図４】落射照明イメージだけを取得するパターン検査装置の要部（Ａ）および透過照明イメージだけを取得するパターン検査装置の要部（Ｂ）を示す概念図である。
【図５】図４（Ａ）及び（Ｂ）のパターン検査装置による落射照明イメージ信号及び透過照明イメージ信号を説明する図である。
【図６】従来のパターン検査装置の構成を示す概念図である。
【図７】従来のパターン検査装置を示す構成図である。
【符号の説明】
【００４５】
１   制御装置
１ｃ，１ｄ   判定部
１ｅ   合成部
１ｆ   最終判定部
２   テープ搬送機構
３   テープ引張り機構
４   照明装置
５ａ，５ｂ   ＣＣＤラインセンサを光感知手段とするカメラ
８   不良品パンチ機構
９  
マスターデータ
９ａ，９ｂ   基準パターン
１０   ＣＯＦテープ等の電子部品実装用フィルムキャリアテープ
１０ａ   巻き出しリール
１０ｂ   巻き取りリール
１１   制御部
１１ａ   制御部本体
１１ｂ    ディスプレイ
１１ｃ    キーボード
２１   巻き出し部
２１ａ，２３ａ   軸
２２，２２１，２２２   エアダンサー
２３  巻き取り部
２５ａ，２５ｆ  テンションローラ
２５ｂ，２５ｃ，２５ｅ，２５ｇ  フリースプロケット
２５ｄ，２５ｈ スプロケット
３０    検査部
３１   落射光検査部
３２   透過光検査部
８０   パンチャー部
１０３，１０４   判定信号
１０５   合成判定信号
２００   テープの搬送方向
５０１   落射照明イメージ信号
５０２   透過照明イメージ信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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