(57)【要約】【課題】診断時間を短縮できるＩＣテスタを実現することを目的にする。【解決手段】本発明は、被試験対象を試験するＩＣテスタに改良を加えたものである。本装置は、カード間の組み合わせなく、被試験対象を試験すると共に、自身の診断を行う診断手段を有する複数のカードと、これらのカードの制御を行うテスタコントローラとを備えたことを特徴とする装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
カード間の組み合わせなく、前記被試験対象を試験すると共に、自身の診断を行う診断手段を有する複数のカードと、
これらのカードの制御を行うテスタコントローラと
を備えたことを特徴とするＩＣテスタ。
【請求項２】
カードは、
パターンアドレスを発生するパターンアドレス発生器と、
このパターンアドレス発生器のパターンアドレスにより、被試験対象にパターンを発生するパターン発生器と、
このパターン発生器のパターンと被試験対象の出力とを比較する比較部と
を有することを特徴とする請求項１記載のＩＣテスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験対象、ＩＣ、ＬＳＩ等を試験するＩＣテスタに関し、試験時間を短縮できるＩＣテスタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣテスタは、被試験対象に試験信号を与え、被試験対象の出力により、被試験対象の良否の判定を行うものである。そして、このような装置の診断は、例えば、下記特許文献１等に示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１８９７４４号公報
【０００４】
このような装置を、図４を用いて説明する。
図４において、カード１はパターンアドレス発生器で、バスＢに接続し、パターンアドレスを出力する。カード２ａ〜２ｃはパターン発生器、比較部で、バスＢに接続すると共に、カード１と接続され、カード１のパターンアドレスを入力し、パターンを図示しない被試験対象（以下ＤＵＴ）に出力し、ＤＵＴの出力を入力し、出力とパターンとを比較する。テストコントローラ３は、診断手段３ａを有し、バスＢに接続し、カード１，２ａ〜２ｃの制御を行う。診断手段３１は、カード１，２ａ〜２ｃの診断の制御を行う。
【０００５】
以下、図５，６を用いて、動作を説明する。図５は、図４に示す装置の動作を説明する図である。図６は、図４に示す装置の診断のタイムチャートで、（ａ）はカード１，２ａの診断時間、（ｂ）はカード１，２ｂの診断時間、（ｃ）はカード１，２ｃの診断時間、（ｄ）はトータル診断時間である。
【０００６】
試験動作する場合、テスタコントローラ３が、バスＢを介して、カード１，２ａ〜２ｃに対して、コマンドを送る。図５に示すように、カード１が、パターンアドレスをカード２ａ〜２ｃに出力し、カード２ａ〜２ｃがパターンをＤＵＴに出力し、ＤＵＴの出力とパターンとを比較する。
【０００７】
次に、診断を行う場合、図６に示すように、テスタコントローラ３の診断手段３１が、バスＢを介して、カード１，２ａに対して、コマンドを送り、カード１，２ａに診断を行わせる。そして、テスタコントローラ３の診断手段３１は、カード１，２ａから診断結果を受け取る。次に、テスタコントローラ３の診断手段３１が、バスＢを介して、カード１，２ｂに対して、コマンドを送り、カード１，２ｂに診断を行わせる。そして、テスタコントローラ３の診断手段３１は、カード１，２ｂから診断結果を受け取る。次に、テスタコントローラ３の診断手段３１が、バスＢを介して、カード１，２ｃに対して、コマンドを送り、カード１，２ｃに診断を行わせる。そして、テスタコントローラ３の診断手段３１は、カード１，２ｃから診断結果を受け取る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ＩＣテスタは、大型な装置のため、各種カードが分離して設けられ、カード１と各カード２ａ〜２ｃとの関連性のため、カード１と各カード２ａ〜２ｃを組み合わせて、診断を順番に実施しなければならず、診断時間がかかってしまった。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、診断時間を短縮できるＩＣテスタを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
カード間の組み合わせなく、前記被試験対象を試験すると共に、自身の診断を行う診断手段を有する複数のカードと、
これらのカードの制御を行うテスタコントローラと
を備えたことを特徴とするＩＣテスタ。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明であって、
カードは、
パターンアドレスを発生するパターンアドレス発生器と、
このパターンアドレス発生器のパターンアドレスにより、被試験対象にパターンを発生するパターン発生器と、
このパターン発生器のパターンと被試験対象の出力とを比較する比較部と
を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、カードがカード間の組み合わせなく、被試験対象を試験すると共に、自身の診断を行う診断手段を有するので、診断時間を短縮できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。
【００１３】
図１において、複数のカード１０ａ〜１０ｃはプリント基板で、カード間の組み合わせなく、ＤＵＴを試験すると共に、自身の診断を行う診断手段１１を有する。テスタコントローラ２０は、複数のカード１０ａ〜１０ｃの制御を行う。
【００１４】
以下、図２，３を用いて、動作を説明する。図２は、図１に示す装置の動作を説明する図である。
【００１５】
図２において、カード１０ａ〜１０ｃは、パターンアドレス発生器１２、パターン発生器１３、比較部１４を有する。パターンアドレス発生器１２は、パターンアドレスを発生する。パターン発生器１３は、パターンアドレス発生器１２のパターンアドレスにより、ＤＵＴにパターン（試験パターン）を発生する。比較部１４は、パターン発生器１３のパターン（期待値）とＤＵＴの出力とを比較する。
【００１６】
図３は、図１に示す装置の診断のタイムチャートで、（ａ）はカード１０ａの診断時間、（ｂ）はカード１０ｂの診断時間、（ｃ）はカード１０ｃの診断時間、（ｄ）はトータル診断時間である。
【００１７】
試験動作する場合、テスタコントローラ２０が、バスＢを介して、カード１０ａ〜１０ｃに対して、コマンドを送る。図２に示すように、カード１０ａ〜１０ｃ中で、パターンアドレス発生器１２が、パターンアドレスをパターン発生器１３に出力し、パターン発生器１３がパターン（試験パターン）をＤＵＴに出力し、比較部１４がＤＵＴの出力とパターン発生器１３のパターン（期待値）とを比較する。
【００１８】
次に、診断を行う場合、図３に示すように、テスタコントローラ３が、バスＢを介して、カード１０ａ〜１０ｃに対して、コマンドを送り、カード１０ａ〜１０ｃの診断手段１１に診断を行わせる。各カード１０ａ〜１０ｃの診断手段１１が、診断を行い、診断結果をバスＢを介して、テスタコントーラ３に送る。
【００１９】
このように、カード１０ａ〜１０ｃがカード間の組み合わせなく、ＤＵＴを試験すると共に、自身の診断を行う診断手段１１を有するので、診断時間を短縮できる。ウェハテスト時のウェハアライメントやプローブアライメントに要する時間、または、パッケージテスト時のインデックスタイム等の量産テストの待機時間中に、自己診断を実行することによって、テスト稼動時間が向上する。
【００２０】
なお、カード１０ａ〜１０ｃは、パターンアドレス発生器１２、パターン発生器１３、比較部１４を有する構成を示したが、直流測定部を設ける構成でもよい。また、カード１０ａ〜１０ｃは、３枚だけでなく、多数設けられる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】図１に示す装置の動作を説明する図である。
【図３】図１に示す装置の診断のタイムチャートである。
【図４】従来のＩＣテスタの構成を示した図である。
【図５】図４に示す装置の動作を説明する図である。
【図６】図４に示す装置の診断のタイムチャートである。
【符号の説明】
【００２２】
１０ａ〜１０ｃ  カード
１１  診断手段
１２  パターンアドレス発生器
１３  パターン発生器
１４  比較部
２０  テスタコントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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