(57)【要約】【課題】積み重ねられた複数の基板の最上層の基板をその下層の基板から容易に剥離して引き上げることができる基板移送方法を提供すること。【解決手段】多数枚積層されるガラス基板積層体８から最上層のガラス基板３を取り出して移送するに際し、最上層のガラス基板３の片隅部２０を初めに吸引して引き上げ、その片隅部２０を下層の基板３より剥離し、次に、その片隅部２０を剥離した状態で、ガラス基板３の剥離した箇所に近接した部位２４を吸引して引き上げ、その吸引箇所を下層のガラス基板３より更に剥離する。そして、これを維持した状態で、ガラス基板３の残りの部位を吸引して引き上げ、ガラス基板３全体を下層のガラス基板３より剥離して取り出す。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数枚積層される基板積層体より最上層の基板を一枚ずつ取り出し移送するに際し、最上層の基板の少なくとも片隅部を初めに吸引して引き上げ、該基板の片隅部を下層の基板より剥離する第１の工程を少なくとも有し、
前記基板の片隅部を下層の基板より剥離した状態を維持したまま、該基板の残りの部位を吸引して引き上げ、基板全体を下層の基板より剥離して取り出す第３の工程を含むことを特徴とする基板移送方法。
【請求項２】
前記第１の工程と前記第３の工程の間に、前記基板の片隅部を剥離した状態で、該基板の前記剥離した箇所に近接した部位を吸引して引き上げ、該吸引箇所を下層の基板より更に剥離する第２の工程、を有することを特徴とする請求項１に記載の基板移送方法。
【請求項３】
前記基板が傾斜状に積層配置されている状態において、前記第１の工程では、前記最上層の基板の少なくとも上端縁の片隅部を下層の基板より剥離し、次に前記第２の工程では、該基板の該片隅部よりも上端縁の内側寄り部位及び該片隅部よりも下側寄り部位を下層の基板より剥離することを特徴とする請求項２に記載の基板移送方法。
【請求項４】
前記基板が傾斜状に積層配置されている状態において、前記第１の工程では、前記最上層の基板の上端縁の両片隅部を下層の基板より剥離し、次に前記第２の工程では、該基板の両片隅部間の部位及び両片隅部の下側寄り部位を下層の基板より剥離することを特徴とする請求項２に記載の基板移送方法。
【請求項５】
前記第１、第２及び第３の工程の後、前記基板を前記第１及び第２の工程により引き上げた分下降させ、前記基板の湾曲状態を緩和させた状態で前記基板を移送することを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載の基板移送方法。
【請求項６】
前記基板間には緩衝材としての粉体が介設されている状態において、前記最上層の基板面の粉体をエアにより吹き飛ばす工程を前記第１の工程の前に含むことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の基板移送方法。
【請求項７】
前記基板は大型のガラス基板であることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の基板移送方法。
【請求項８】
多数枚積層される基板積層体より最上層の基板を一枚ずつ取り出し移送するに際し、前記基板積層体の最上層の基板面に対向して複数の吸着パッドを縦横に列設させ、これら複数の吸着パッドを下降させて前記基板を吸引した後において、前記最上層の基板の少なくとも片隅部に配置される吸着パッドを上昇させる第１の吸着パッド昇降工程と、該第１の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドに近接した位置の吸着パッドを上昇させる第２の吸着パッド昇降工程と、前記第１及び第２の吸着パッド昇降工程により昇降動された吸着パッドと共に該吸着パッド以外の吸着パッドを上昇させる第３の吸着パッド昇降工程を含むことを特徴とする基板移送方法。
【請求項９】
前記基板が傾斜状に積層配置されている状態において、前記第１の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドは、最上層の基板の上端縁の片隅部を吸引するように配置されていると共に、前記第２の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドは、該基板の該片隅部よりも上端縁の内側寄り部位及び該片隅部よりも下側寄り部位を吸引するように配置されていることを特徴とする請求項８に記載の基板移送方法。
【請求項１０】
前記基板が傾斜状に積層配置されている状態において、前記第１の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドは、最上層の基板の上端縁の両片隅部を吸引するように配置されていると共に、前記第２の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドは、該基板の該両片隅部よりも上端縁の内側寄り部位及び両片隅部よりも下側寄り部位を吸引するように配置されていることを特徴とする請求項８に記載の基板移送方法。
【請求項１１】
前記第１、第２及び第３の吸着パッド昇降工程の後、前記基板を前記第１及び第２の吸着パッド昇降工程により上昇させた分下降させ、前記基板の湾曲状態を緩和させた状態で前記基板を移送することを特徴とする請求項８から１０のいずれかに記載の基板移送方法。
【請求項１２】
前記基板間には緩衝材としての粉体が介設されている状態において、エア噴出手段が設けられると共に、このエア噴出手段から噴出されるエアにより前記最上層の基板面の粉体を吹き飛ばす工程を前記第１の工程の前に含むことを特徴とする請求項８から１１のいずれかに記載の基板移送方法。
【請求項１３】
多数枚積層される基板積層体より最上層の基板を一枚ずつ取り出し移送する基板移送装置であって、前記基板積層体の最上層の基板面に対向して４つ以上の吸着パッドが縦横に列設され、前記最上層の基板の少なくとも１つの片隅部に配置される吸着パッドを、該吸着パッド以外の吸着パッドに対して引き上げ方向に相対的に移動させる第１の移動手段を備えていることを特徴とする基板移送装置。
【請求項１４】
前記第１の移動手段により移動される吸着パッドに近接して配置される吸着パッドを、該吸着パッド以外の吸着パッドに対して引き上げ方向に相対的に移動させる第２の移動手段を備えていることを特徴とする請求項１３に記載の基板移送装置。
【請求項１５】
前記吸着パッドの吸着孔がエア噴出孔としても機能することを特徴とする請求項１３又は１４に記載の基板移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型のガラス基板等の基板が多数枚積層された状態から、基板を一枚ずつ取り出して移送する基板移送方法及び基板移送装置に関し、更に詳しくは基板を吸引して引き上げ、その基板よりも下層の基板から剥離して取り出す基板移送方法及び基板移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示パネルなどの平面型の表示パネルに用いられるガラス基板は大型化（第８世代：２１６０ｍｍ×２４６０ｍｍ）されてきていることから、トラック輸送等する際のガラス基板梱包箱として、特開２００７−７３６７８号公報に開示されているようなものがある。
【０００３】
図１６に示されるようにガラス基板梱包箱５０の支持台５１上には複数枚のガラス基板５２が傾斜して積み重ねられており、ガラス基板５２同士の間には緩衝材としての水溶性の粉体５３が介在されている。この水溶性の粉体５３としては、例えば市販されている洗濯用石鹸などの水溶性洗剤が用いられており、水によって簡単に洗い落とすことができる上に、ガラス基板５２表面を洗浄する洗剤として機能する。
【０００４】
このようなガラス基板梱包箱５０から、ガラス基板５２を１枚ずつ取り出して加工ライン等に移送する装置として、一般的には、図１６に示されるような基板移送装置５４が用いられている。基板移送装置５４には、ガラス基板５２に対して平行になるように傾斜した基板吸着ヘッド５５が備えられており、基板吸着ヘッド５５はフレーム５６に沿って移動することが可能になっている。この基板吸着ヘッド５５の基板吸着面５７には複数の吸着パッド５８が設けられおり、この吸着パッド５８を最上層のガラス基板５２に吸着させて、基板吸着ヘッド５５を引き上げることで、ガラス基板５２を１枚ずつ取り出すことができる。尚、本発明に関連する先行技術文献としては下記特許文献が挙げられる。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１４８４０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したようにガラス基板の大型化によりその自重も増加しているため、積み重ねられたガラス基板同士が密着してしまい、最上層のガラス基板を吸引して引き上げ、その下層のガラス基板から剥離することが困難になっている。また、引き上げられたとしても、最上層のガラス基板と共にその下層のガラス基板も引き上げてしまう場合がある。
【０００７】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、積み重ねられた複数の基板の最上層の基板をその下層の基板から容易に剥離して引き上げることができる基板移送方法及び基板移送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明に係る基板移送方法は、多数枚積層される基板積層体より最上層の基板を一枚ずつ取り出し移送するに際し、最上層の基板の少なくとも片隅部を初めに吸引して引き上げ、該基板の片隅部を下層の基板より剥離する第１の工程を少なくとも有し、前記基板の片隅部を下層の基板より剥離した状態を維持したまま、該基板の残りの部位を吸引して引き上げ、基板全体を下層の基板より剥離して取り出す第３の工程を含み、さらに好ましくは前記第１の工程と前記第３の工程の間に、前記基板の片隅部を剥離した状態で、該基板の前記剥離した箇所に近接した部位を吸引して引き上げ、該吸引箇所を下層の基板より更に剥離する第２の工程、を有することを要旨とするものである。
【０００９】
この場合、基板が傾斜状に積層配置されている状態において、第１の工程では、最上層の基板の少なくとも上端縁の片隅部を下層の基板より剥離し、次に第２の工程では、基板の片隅部よりも上端縁の内側寄り部位及び片隅部よりも下側寄り部位を下層の基板より剥離する構成、又は第１の工程では、最上層の基板の上端縁の両片隅部を下層の基板より剥離し、次に第２の工程では、基板の両片隅部間の部位及び両片隅部の下側寄り部位を下層の基板より剥離する構成にすると良い。
【００１０】
また、第１、第２及び第３の工程の後、基板を第１及び第２の工程により引き上げた分下降させ、基板の湾曲状態を緩和させた状態で基板を移送する構成にすると良い。更に、基板間には緩衝材としての粉体が介設されている状態において、最上層の基板面の粉体をエアにより吹き飛ばす工程を第１の工程の前に含む構成にすると良い。
【００１１】
そして、本発明に係る他の基板移送方法は、多数枚積層される基板積層体より最上層の基板を一枚ずつ取り出し移送するに際し、基板積層体の最上層の基板面に対向して複数の吸着パッドを縦横に列設させ、これら複数の吸着パッドを下降させて基板を吸引した後において、最上層の基板の少なくとも片隅部に配置される吸着パッドを上昇させる第１の吸着パッド昇降工程と、第１の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドに近接した位置の吸着パッドを上昇させる第２の吸着パッド昇降工程と、第１及び第２の吸着パッド昇降工程により昇降動された吸着パッドと共にこれら吸着パッド以外の吸着パッドを上昇させる第３の吸着パッド昇降工程を含むことを要旨とする。
【００１２】
この場合、基板が傾斜状に積層配置されている状態において、第１の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドは、最上層の基板の上端縁の片隅部を吸引するように配置されていると共に、第２の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドは、基板の片隅部よりも上端縁の内側寄り部位及び両片隅部よりも下側寄り部位を吸引するように配置されている構成や、第１の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドは、最上層の基板の上端縁の両片隅部を吸引するように配置されていると共に、第２の吸着パッド昇降工程により昇降動される吸着パッドは、基板の両片隅部よりも上端縁の内側寄り部位及び両片隅部よりも下側寄り部位を吸引するように配置されている構成にすると良い。
【００１３】
また、第１、第２及び第３の吸着パッド昇降工程の後、基板を第１及び第２の吸着パッド昇降工程により上昇させた分下降させ、基板の湾曲状態を緩和させた状態で基板を移送する構成にすると良い。更に、基板間には緩衝材としての粉体が介設されている状態において、エア噴出手段が設けられると共に、このエア噴出手段から噴出されるエアにより最上層の基板面の粉体を吹き飛ばす工程を前記第１の吸着パッド昇降工程の前に含む構成にすると良い。
【００１４】
更に、上記課題を解決するため本発明は、多数枚積層される基板積層体より最上層の基板を一枚ずつ取り出し移送する基板移送装置であって、前記基板積層体の最上層の基板面に対向して４つ以上の吸着パッドが縦横に列設され、前記最上層の基板の少なくとも１つの片隅部に配置される吸着パッドを、該吸着パッド以外の吸着パッドに対して引き上げ方向に相対的に移動させる第１の移動手段を備えていることを要旨とするものである。
【００１５】
この場合、前記第１の移動手段により移動される吸着パッドに近接して配置される吸着パッドを、該吸着パッド以外の吸着パッドに対して引き上げ方向に相対的に移動させる第２の移動手段を備えている構成にすると良い。また、前記吸着パッドの吸着孔がエア噴出孔としても機能する構成にすると良い。
【発明の効果】
【００１６】
上記構成を有する基板移送方法によれば、最上層の基板の片隅部を初めに吸引して引き上げ、基板の片隅部を下層の基板より剥離し、次に、その片隅部を剥離した状態で、基板の剥離した箇所に近接した部位を吸引して引き上げ、その吸引箇所を下層の基板より更に剥離する方法なので、最上層の基板とその下層の基板が密着していても最上層の基板とその下層の基板との間に空気が、基板の片隅部からその片隅部に近接した部位へと基板の内側に向かって順に侵入し、下層の基板から最上層の基板を剥離した面積が順に広げられることになり、最上層の基板とその下層の基板の分離が容易となる。したがって、例えば上述した第８世代のような大型のガラス基板が積み重ねられた状態であっても、基板を一枚ずつ取り出し移送することができる。
【００１７】
また、より具体的な構成として、基板積層体の最上層の基板面に対向して複数の吸着パッドを縦横に列設させ、これら複数の吸着パッドを下降させて基板を吸引した後において、最上層の基板の少なくとも片隅部に配置される吸着パッドを上昇させ、次に、この吸着パッドに近接した位置の吸着パッドを上昇させ、これら吸着パッドと共にこれら吸着パッド以外の吸着パッドを上昇させるようにすれば、簡便に基板を吸引して引き上げることができる。
【００１８】
この場合、基板が傾斜状に積層配置されている状態においては、最上層の基板の上端縁の片隅部を下層の基板より剥離し、次に、基板の片隅部よりも上端縁の内側寄り部位及び片隅部よりも下側寄り部位を下層の基板より剥離する構成や、最上層の基板の上端縁の両片隅部を下層の基板より剥離し、次に、基板の両片隅部間の部位及び両片隅部の下側寄り部位を下層の基板より剥離する構成にすれば、傾斜状に積層配置されている基板の最上層の基板を効率的に下層の基板より剥離することができる。
【００１９】
また、基板の片隅部やその近接した部位を引き上げた分下降させ、基板の湾曲状態を緩和させた状態で基板を移送すれば、吸着されている基板が移送中に外れてしまうおそれがなくなる。更に、基板間には緩衝材としての粉体が介設されている状態において、最上層の基板面の粉体をエアにより吹き飛ばすことを、基板を引き上げる前に行えば、吸着パッドによる基板吸着が行い易くなる。
【００２０】
そして、上記構成を有する基板移送装置によれば、基板積層体の最上層の基板面に対向して４つ以上の吸着パッドが縦横に列設され、最上層の基板の少なくとも１つの片隅部に配置される吸着パッドを、該吸着パッド以外の吸着パッドに対して引き上げ方向に相対的に移動させる第１の移動手段を備えているので、上述した本発明に係る基板移送方法を簡易な構成で実施することが可能である。
【００２１】
この場合、第１の移動手段により移動される吸着パッドに近接して配置される吸着パッドを、該吸着パッド以外の吸着パッドに対して引き上げ方向に相対的に移動させる第２の移動手段を備えている構成にすれば、最上層の基板とその下層の基板の分離が更に容易となる。また、吸着パッドの吸着孔がエア噴出孔としても機能する構成にすれば、基板間に緩衝材としての粉体が介設されている場合において、最上層の基板面の粉体をエアにより吹き飛ばすことが簡易な構成で実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明に係る基板移送方法及び基板移送装置の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に係る基板移送方法が用いられるガラス基板移送装置の概略構成図、図２及び図３は基板吸着ヘッドの概略構成図、図４はガラス基板移送装置の動作を制御する制御部等の概略構成図、図５〜図１５はガラス基板移送装置によってガラス基板を移送する手順を順に示した図である。
【００２３】
図１に示されるようにガラス基板移送装置１は、方形の枠体であるフレーム２を備えており、このフレーム２には、ガラス基板３を吸着して移送する基板吸着ユニット４が垂下されて設けられており、基板吸着ユニット４はフレーム２に沿って水平移動可能になっている。
【００２４】
基板吸着ユニット４は、上下方向に伸縮するアーム５と、このアーム５の先端にガラス基板３と対向する方向に回転自在に設けられた基板吸着ヘッド６とを備えている。図示されるように支持台７には、所定の傾斜角度、例えば８０°で多数枚のガラス基板３が積層配置されたガラス基板積層体８が載置されている。この場合、ガラス基板積層体８のガラス基板３同士の間には緩衝材としての粉体９が介在されている。また、支持台７は台車１０に所定の傾斜角度、例えば２０°で載置されている。したがって、ガラス基板積層体８は、垂直方向に対して６０°傾いた状態になっている。
【００２５】
基板吸着ヘッド６は、図２（ａ）の上面図に示されるような８本の棒状のフレーム１１ａ〜１１ｈを行方向及び列方向に４本ずつ配列して組み立てた形状を有しており、図中左から１列目〜４列目のフレーム１１ａ〜１１ｄにはそれぞれ４つの吸着パッドが等間隔で取り付けられることにより、基板吸着面１２が形成されている。
【００２６】
上面から見た基板吸着ヘッド６の左から１列目と４列目に配置されるフレーム１１ａとフレーム１１ｄには、図２（ｂ）に示されるように図中右から順に吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３が等間隔で固定されている。このうち吸着パッドＰ１はシリンダ１３を介してフレーム１１ａ，１１ｄに固定されている。シリンダ１３のシリンダロッド１４の先端にはブラケット１５が取り付けられており、そのブラケット１５に吸着パッドＰ１は固定されている。この吸着パッドＰ１はシリンダ１３の動作によりフレーム１１ａ，１１ｄ、つまり基板吸着ヘッド６に対して相対的に上昇・下降する。
【００２７】
同じく吸着パッドＰ２はシリンダ１６を介してフレーム１１ａ，１１ｄに固定されている。このシリンダ１６のシリンダロッド１７の長さは、吸着パッドＰ１を上昇・下降させるシリンダ１３のシリンダロッド１４の長さよりも短くなっている。このシリンダロッド１７の先端にはブラケット１５が取り付けられ、そのブラケット１５に吸着パッドＰ２は固定されている。この吸着パッドＰ２はシリンダ１６の動作によりフレーム１１ａ，１１ｄ、つまり基板吸着ヘッド６に対して相対的に上昇・下降する。
【００２８】
同じく上面から見た基板吸着ヘッド６の左から２列目と３列目に配置されるフレーム１１ｂ，１１ｃには、図２（ｃ）に示されるように図中右から順に吸着パッドＰ２，Ｐ３，Ｐ３，Ｐ３が等間隔で固定されており、前述のフレーム１１ａ，１１ｄに固定された吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３とは構成が異なっている。吸着パッドＰ３は、ブラケット１８を介してフレーム１１ｂ，１１ｃに固定されており、基板吸着ヘッド６の移動に伴って移動する。
【００２９】
図３（ａ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線の断面図を示しており、基板吸着ヘッド６の上から１行目における吸着パッドの構成は、図示されるように右から順に吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ２，Ｐ１が配置された構成になっている。また、図３（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線の断面図を示しており、基板吸着ヘッド６の上から２行目における吸着パッドの構成は、図示されるように右から順に吸着パッドＰ２，Ｐ３，Ｐ３，Ｐ２が配置された構成になっている。更に、図３（ｃ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ線及びＤ−Ｄ線の断面図を示しており、基板吸着ヘッド６の上から３行目及び４行目における吸着パッドの構成は、図示されるように右から順に吸着パッドＰ３，Ｐ３，Ｐ３，Ｐ３が配置された構成になっている。
【００３０】
基板吸着ヘッド６に対して相対的に上昇・下降の昇降動作が行われる吸着パッドＰ１，Ｐ１は図２（ａ）に示すようにガラス基板積層体８の最上層に位置するガラス基板３に対して、そのガラス基板３の上端縁の両片隅部１９，２０に配置されて、その両片隅部１９，２０を吸引し、一方、吸着パッドＰ２，Ｐ２，Ｐ２，Ｐ２は、ガラス基板３に対して、吸着パッドＰ１，Ｐ１位置よりも上端縁の内側寄り部位２１，２２及び下側寄り部位２３，２４を吸引する。
【００３１】
このような吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３及びシリンダ１３，１６には、図４に示すような空気圧回路２５が接続されている。空気圧回路２５は、吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３の吸着孔にそれぞれ接続された真空配管２６，２７，２８，２９の集合部３０に並列的に接続された圧空バルブ３１及び真空バルブ３２と、圧空バルブ３１に接続された圧空ポンプ３３と、真空バルブ３２に接続された真空ポンプ３４を備えている。これらは制御部３５により、圧空バルブ３１を閉栓状態及び真空バルブ３２を開栓状態に設定すると、吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３にガラス基板３を吸着することができる。また、制御部３５により、圧空バルブ３１を開栓状態及び真空バルブ３２を閉栓状態に設定すると、吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３による吸着状態からガラス基板３を解放することができる。尚、制御部３５はアーム５の動作も制御する。
【００３２】
この場合、ガラス基板３を吸着する前において、制御部３５により、圧空バルブ３１を開栓状態及び真空バルブ３２を閉栓状態に設定すると、図６に示されるように吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３からエア３６がガラス基板３表面に噴出され、ガラス基板３面上の粉体９を吹き飛ばすことができる。したがって、吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３の吸引孔は、エア噴出孔としても機能する。
【００３３】
また、圧空ポンプ３３には圧縮エアの送出先を２方向に切り換え可能なシリンダ用バルブ３７，３８にも接続されており、シリンダ１３，１６はそれぞれ独立して制御部３５により動作させられる。シリンダ１３はシリンダ用バルブ３７の切り換え動作によって、シリンダロッド１４を上昇・下降させることができ、これに伴いシリンダロッド１４の先端に固定された吸着パッドＰ１が上昇・下降させられる。また、シリンダ１６はシリンダ用バルブ３８に切り換え動作によって、シリンダロッド１７を上昇・下降させることができ、これに伴いシリンダロッド１７の先端に固定された吸着パッドＰ２が上昇・下降させられる。
【００３４】
次に、このような構成のガラス基板移送装置１によってガラス基板積層体８の最上層のガラス基板３を吸引により取り出して移送する方法について図５〜図１５を用いて説明する。先ず、図５に示されるように、制御部３５によりアーム５の動作が行われて基板吸着ヘッド６の基板吸着面１２が、ガラス基板積層体８の最上層のガラス基板３面に対して所定距離離れた位置で平行になるように移動されて傾けられる。このとき、各吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３は最上層のガラス基板３に対して図２（ａ）に示されるような位置に配置される。
【００３５】
次に、図６に示されるように、制御部３５により圧空バルブ３１が開栓状態にされると、吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３からエア３６が噴出されて、ガラス基板３面上の粉体９が一部吹き飛ばされてその部分のガラス基板３面が露出される。
【００３６】
そして、図７に示されるように、アーム５の動作により基板吸着ヘッド６をガラス基板３の法線方向に沿って移動させ、ガラス基板３面が露出された部分に吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３を当接させる。その後、制御部３５により真空バルブ３２が開栓状態にされると、ガラス基板３面が露出された部分を吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３が吸着する。
【００３７】
次に、制御部３５によりシリンダ用バルブ３７の動作が行われると、図８及び図９（ａ）に示されるように吸着パッドＰ１がガラス基板３の両片隅部１９，２０を吸着した状態のまま基板吸着ヘッド６に対して相対的に５０ｍｍ上昇し、両片隅部１９，２０が下層のガラス基板３から剥離されて引き上げられる。この引き上げの際の吸着パッドＰ１の上昇量は、ガラス基板３が湾曲により損傷しない程度に設定される。このとき図示されるようにガラス基板３の両片隅部１９，２０とその下層のガラス基板３との間に空気が侵入し、両片隅部１９，２０における両ガラス基板３，３の密着が外れることにより両片隅部１９，２０は下層のガラス基板３から剥離されて引き上げられる。
【００３８】
このように基板吸着ヘッド６の上から１行目に配置された吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ２，Ｐ１のうち、ガラス基板３の両片隅部１９，２０を吸着した吸着パッドＰ１，Ｐ１だけ基板吸着ヘッド６に対して相対的に上昇したとき、基板吸着ヘッド６の上から２行目に配置された吸着パッドＰ２，Ｐ３，Ｐ３，Ｐ２は図９（ｂ）に示されるように上昇せず、ガラス基板３を吸着した状態を維持している。また、同様に基板吸着ヘッド６の上から３行目及び４行目に配置された吸着パッドＰ３，Ｐ３、Ｐ３，Ｐ３も図９（ｃ）に示されるように上昇せず、ガラス基板３を吸着した状態を維持している。
【００３９】
次に、制御部３５によりシリンダバルブ３７，３８の動作が行われると、図１０、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示されるように吸着パッドＰ１と共に吸着パッドＰ２がそれぞれガラス基板３を吸着した状態のまま基板吸着ヘッド６に対して相対的にそれぞれ５０ｍｍ上昇し、吸着パッドＰ１が吸着した両片隅部１９，２０が下層のガラス基板３から更に引き上げられると共に、吸着パッドＰ２が吸着したガラス基板３の部位２１，２２及び部位２３，２４が下層のガラス基板３から剥離されて引き上げられる。
【００４０】
このとき図示されるように吸着パッドＰ１，Ｐ１位置よりもガラス基板３の上端縁の内側寄り部位２１，２２及び下側寄り部位２３，２４とその下層のガラス基板３との間に空気が侵入し、これらの部位２１，２２，２３，２４における両基板３，３の密着が外れることにより最上層のガラス基板３は下層のガラス基板３から更に剥離され、最上層のガラス基板３が下層のガラス基板３から剥離された面積が広げられる。
【００４１】
このように基板吸着ヘッド６の１行目に配置された吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ２，Ｐ１及び２行目に配置された吸着パッドＰ２，Ｐ３，Ｐ３，Ｐ２のうち吸着パッドＰ１，Ｐ１と共に吸着パッドＰ２，Ｐ２，Ｐ２，Ｐ２が上昇したとき、基板吸着ヘッド６の上から３行目及び４行目に配置された吸着パッドＰ３，Ｐ３、Ｐ３，Ｐ３は図１１（ｃ）に示されるように上昇せず、ガラス基板３を吸着した状態を維持している。
【００４２】
そして、図１１の状態を維持したまま、図１２に示されるように制御部３５によりアーム５の動作が行われて基板吸着ヘッド６が最上層のガラス基板３を吸着したまま下層のガラス基板３に対して上昇、つまり全ての吸着パッドが下層のガラス基板３に対して上昇すると、最上層のガラス基板３全体がガラス基板積層体８から引き上げられて取り出される。尚、図１３はこのときの状態を示しており、図１３（ａ）は基板吸着ヘッド６の上から１行目に配置された吸着パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ２，Ｐ１とこれらに吸着された状態のガラス基板３、図１３（ｂ）は基板吸着ヘッド６の上から２行目に配置された吸着パッドＰ２，Ｐ３，Ｐ３，Ｐ２とこれらに吸着された状態のガラス基板３、図１３（ｃ）は基板吸着ヘッド６の上から３行目及び４行目に配置された吸着パッドＰ３，Ｐ３、Ｐ３，Ｐ３とこれらに吸着された状態のガラス基板３を示している。
【００４３】
その後、図１４に示すように、基板吸着ヘッド６に対して相対的に上昇させた吸着パッドＰ１，Ｐ１及び吸着パッドＰ２，Ｐ２，Ｐ２，Ｐ２を上昇させた分下降させることにより、ガラス基板３を元の状態に戻して湾曲状態を緩和させる。湾曲状態のままガラス基板３を移送すると、吸着されているガラス基板３が移送中に外れてしまうおそれがある。そして、図１５に示すように、制御部３５によりアーム５が動作されると、基板吸着ヘッド６は傾斜状態から水平状態に回転され、取り出されたガラス基板３は図示しない加工ライン等に移送される。
【００４４】
上述したガラス基板移送装置１によれば、多数枚のガラス基板３が傾斜状に積み重ねられたガラス基板積層体８の最上層のガラス基板３の上端縁の両片隅部１９，２０を吸着パッドＰ１，Ｐ１により初めに吸引して引き上げてガラス基板３の両片隅部１９，２０を下層のガラス基板３より剥離し、次に、両片隅部１９，２０を剥離した状態で、吸着パッドＰ１，Ｐ１位置よりもガラス基板３の上端縁の内側寄り部位２１，２２及び下側寄り部位２３，２４を吸着パッドＰ２，Ｐ２，Ｐ２，Ｐ２により吸引して引き上げてそれら吸着パッドＰ２，Ｐ２，Ｐ２，Ｐ２が吸引したガラス基板３の部位２１，２２，２３，２４を下層のガラス基板３より剥離するという構成なので、最上層のガラス基板３とその下層のガラス基板３が密着していても最上層のガラス基板３とその下層のガラス基板３との間に空気が、ガラス基板３の両片隅部１９，２０からその両片隅部１９，２０に近接した部位２１，２２，２３，２４へとガラス基板３の内側に向かって順に侵入することになる。これにより、下層のガラス基板３から最上層のガラス基板３が剥離された面積が順に広げられ、大型のガラス基板３が積み重ねられた状態であっても最上層のガラス基板３とその下層のガラス基板３の分離が容易となる。
【００４５】
また、傾斜したガラス基板３の上端縁と下端縁のうち上端縁の両片隅部１９、２０を初めに吸引して引き上げるので、上述したようなガラス基板３が傾斜して積み重ねられている場合には、効率的にガラス基板３を取り出すことができる。更に、上述したようにガラス基板３同士の間に緩衝材としての粉体９が介設されている場合は、ガラス基板３を引き上げる前にガラス基板３面上の粉体９をエアにより吹き飛ばすことにより、ガラス基板３面を露出させることができるので、上述した吸着パッドによるガラス基板３の吸着が行われやすくなる。
【００４６】
更に、ガラス基板３をガラス基板積層体８から取り出した後において、ガラス基板３の両片隅部１９，２０とそれら両片隅部１９，２０に近接した部位２１，２２，２３，２４を引き上げた分下降させているので、局所的な引き上げによるガラス基板３の湾曲状態が緩和される。このようにガラス基板３を元の状態に戻しているので、基板吸着ヘッド６に吸着されているガラス基板３が移送中に外れてしまうおそれがなくなる。
【００４７】
以上、本発明に係る基板移送方法及び基板移送装置の実施の形態について説明したが、本発明はこうした実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。例えば、上記実施形態では、ガラス基板の片隅部から順にガラス基板内側方向に向かって２段階で引き上げる構成を示したが、引き上げの段階数を３段階、４段階・・・としても良く、上記実施形態の２段階引き上げには限定されない。
【００４８】
また、上記実施形態ではガラス基板の上端縁の両片隅部を初めに引き上げる構成を説明したが、例えば一方の片隅部を初めに引き上げる構成でも良い。更に、ガラス基板積層体が水平状態である場合でも本発明の基板移送方法及び基板移送装置を適用することができる。そして、すべての吸着パッドを基板吸着ヘッドに対して相対的に上昇・下降させるように構成しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板移送方法が用いられるガラス基板移送装置の概略構成を示した図である。
【図２】図１のガラス基板移送装置に備えられた基板吸着ヘッドの概略構成を示しており、（ａ）は基板吸着ヘッドの上面図、（ｂ）は（ａ）の基板吸着ヘッドの左から１列目及び４列目の断面図、（ｃ）は（ａ）の基板吸着ヘッドの２列目及び３列目の断面図を示している。
【図３】（ａ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線における断面図、（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図、（ｃ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ線及びＤ−Ｄ線における断面図を示している。
【図４】図１のガラス基板移送装置の動作を制御する制御部等の概略構成を示した図である。
【図５】図１のガラス基板移送装置の第１の動作を示した図である。
【図６】図１のガラス基板移送装置の第２の動作を示した図である。
【図７】図１のガラス基板移送装置の第３の動作を示した図である。
【図８】図１のガラス基板移送装置の第４の動作を示した図である。
【図９】（ａ）は図８の基板吸着ヘッドの上から１行目の吸着パッドの動作、（ｂ）は図８の基板吸着ヘッドの上から２行目の吸着パッドの動作、（ｃ）は図８の基板吸着ヘッドの上から３行目及び４行目の吸着パッドの動作を示した図である。
【図１０】図１のガラス基板移送装置の第５の動作を示した図である。
【図１１】（ａ）は図１０の基板吸着ヘッドの上から１行目の吸着パッドの動作、（ｂ）は図１０の基板吸着ヘッドの上から２行目の吸着パッドの動作、（ｃ）は図１０の基板吸着ヘッドの上から３行目及び４行目の吸着パッドの動作を示した図である。
【図１２】図１のガラス基板移送装置の第６の動作を示した図である。
【図１３】（ａ）は図１２の基板吸着ヘッドの上から１行目の吸着パッドの動作、（ｂ）は図１２の基板吸着ヘッドの上から２行目の吸着パッドの動作、（ｃ）は図１２の基板吸着ヘッドの上から３行目及び４行目の吸着パッドの動作を示した図である。
【図１４】図１のガラス基板移送装置の第７の動作を示した図である。
【図１５】図１のガラス基板移送装置の第８の動作を示した図である。
【図１６】従来用いられてきたガラス基板移送装置の概略構成を示した図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  ガラス基板移送装置
３  ガラス基板
４  基板吸着ユニット
５  アーム
６  基板吸着ヘッド
８  ガラス基板積層体
９  粉体
１２  基板吸着面
１３，１６  シリンダ
１９，２０  ガラス基板の上端縁の片隅部
２１，２２  ガラス基板の上端縁の片隅部よりも内側寄り部位
２３，２４  ガラス基板の上端縁の片隅部よりも下側部位
２５  空気圧回路
３５  制御部
３６  エア
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３  吸着パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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