(57)【要約】【課題】  振動部へのストレスの作用を防ぎつつエージング特性を向上させ、安定した固定状態とする。【解決手段】  電極が形成された振動部、引回電極が設けられ前記振動部の外側に位置し切欠部が設けられてＣ型形状をなす枠部、前記振動部と前記枠部とをつなぐ接続部、前記枠部と前記接続部とに設けられる引出電極からなる水晶振動素子と、前記水晶振動素子の前記枠部を２点で支持・接合される２つ一対の外部引出部を備えたベース部と、このベース部に接合され、内部に前記水晶振動素子を気密封止するキャップ部とを備え、前記接続部が前記ベース部より最も離れて位置しており、前記切欠部が前記一対の外部引出部のうちいずれか一方の外部引出部との接合位置より前記ベース部側に設けられている。【選択図】      図１
2009055559.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動部と、
この振動部の外側に位置し切欠部が設けられてＣ型形状をなす枠部と、
前記振動部と前記枠部とをつなぐ接続部と、
前記振動部の両主面に設けられる電極と、
前記枠部と前記接続部との両主面に設けられ電極と接続する一対の引回電極とを備え、
前記切欠部と前記接続部とが前記振動部の平面中心点を基準に非対称の位置となるように前記振動部と前記枠部と前記接続部とが一体で設けられ、
前記一対の引回電極が前記接続部から枠部の一方の端部へ形成される前記第一パターンと前記接続部から枠部の他方の端部へ形成される前記第二パターンとからなり、それぞれ対向せずに設けられていることを特徴とする水晶振動素子。
【請求項２】
電極が形成された振動部、引回電極が設けられ前記振動部の外側に位置し切欠部が設けられてＣ型形状をなす枠部、前記振動部と前記枠部とをつなぐ接続部、前記枠部と前記接続部とに設けられる引出電極からなる水晶振動素子と、
前記水晶振動素子の前記枠部を２点で支持・接合される２つ一対の外部引出部を備えたベース部と、
このベース部に接合され、内部に前記水晶振動素子を気密封止するキャップ部とを備え、
前記接続部が前記ベース部より最も離れて位置しており、
前記切欠部が前記一対の外部引出部のうちいずれか一方の外部引出部との接合位置より前記ベース部側に設けられることを特徴とする水晶振動子。
【請求項３】
前記接合位置が、前記切欠部よりも前記ベース部から離れており、前記切欠部よりも前記外部引出部に近い位置に設けられていることを特徴とする水晶振動子。
【請求項４】
前記電極と前記引回電極とは、下地にＴｉ、その上にＡｕが設けられ、
前記枠部と前記外部引出部との接合部分にＡｇが設けられていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の水晶振動子。
【請求項５】
前記外部引出部がリード部とＮｉからなるサポート部とからなることを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれか１項に記載の水晶振動子。
【請求項６】
前記外部引出部と枠部とを接合するＡｕ−Ｓｎからなる接合材を備えていることを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれか１項に記載の水晶振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に用いられる水晶振動素子及び水晶振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、高安定を要求される水晶振動子は、１×１０-８／年のエージング特性を持っていた。
このような水晶振動子は、円板状の水晶片及びこの水晶片の中心に設けられる電極及び水晶片の外周縁に引回された引回電極を備えた水晶振動素子と、この水晶振動子素子を支持・固定しつつ外部に引き出す２つ一対の外部引出部と、この外部引出部が固定されたベース部と、水晶振動素子を気密封止しつつベース部に接合されるキャップ部とから主に構成されている。なお、キャップ部をＣＡＮという場合がある。
また、外部引出部は、棒状のリード部と水晶振動素子の外周縁の一部を挟んで導電性接着材で固定されるサポート部とから構成されている（例えば、特許文献１参照）。
電極と引回電極とは電気的に接続された状態となっており、引回電極と接合されるサポート部とサポート部に接合されているリード部とが電気的に接続した状態となっている。
【０００３】
このような水晶振動子をさらに高安定で用いるために、図４に示すように、外部引出部２３０に固定される部分となる枠部２１３を振動する部分となる振動部２１１から離して構成した水晶振動素子２１０を備えた水晶振動子２００が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
この水晶振動子は、振動部２１１と振動部２１１から直径方向に伸びる２つ一対の接続部２１２とこれら接続部２１２の先端部から反時計周りに他方の接続部付近まで円弧状に延出した枠部２１３とから構成される水晶振動素子２１０と、この水晶振動子素子２１０を支持・固定しつつ外部に引き出す２つ一対の外部引出部２３０と、この外部引出部２３０が固定されたベース部２２０と、水晶振動素子２１０を気密封止しつつベース部２２０に接合されるキャップ部２４０とから主に構成されている。
この水晶振動素子２１０は、振動部２１１と枠部２１３との間が枠部２１３の幅の半分程度となっており、接続部２１２の幅が枠部２１３の幅の数倍となっている。
また、振動部２１１の両主面には電極が設けられ、接続部２１２と枠部２１３とには引回電極が形成されており、電極と引回電極とが電気的に接続している。
なお、外部引出部２３０はサポート部とサポート部に接合されているリード部とからなる。電極と引回電極とこの引回電極と接合されるサポート部とサポート部に接合されているリード部とは、電気的に接続した状態となっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−０６７７７７号公報
【特許文献２】特開２００７−０１３７１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、これら従来の水晶振動子は、円板状の水晶板が用いられる水晶振動素子の引回電極と外部引出部のサポート部とを導電性接着材で接合しているため、この導電性接着材が固まるときに収縮を起こしてしまう。そのため、外部引出部が水晶振動素子を引っ張るか或いは押さえつけるかといったストレスを水晶振動素子に作用させて周波数に影響を与えてしまっていた。このような状況が、水晶振動子のエージング特性が向上しない原因の１つとなっていた。
また、ＣＡＮとベース部との接合にコールドウェルドを用いているため、ＣＡＮとベース部との接合の際に、ベース部に固定されている外部引出部のリード部がわずかながら変位してしまっていた。これにより、リード部と接合しているサポート部と接合している水晶振動素子に、引っ張り、ねじれ、そらしなどの微少なストレスが作用してしまい、水晶振動子の周波数に影響を与えてしまっていた。
また、特許文献２に開示されている水晶振動子は、前記ストレスの作用をいくらか改善されたものの、エージング特性の向上には限界があった。
【０００６】
そこで、本発明では、前記した問題を解決し、振動部へのストレスの作用を防ぎつつエージング特性を向上させ、安定した固定状態とすることができる水晶振動素子及び水晶振動子を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明は、水晶振動素子であって、振動部と、この振動部の外側に位置し切欠部が設けられてＣ型形状をなす枠部と、前記振動部と前記枠部とをつなぐ接続部と、前記振動部の両主面に設けられる電極と、前記枠部と前記接続部との両主面に設けられ電極と接続する一対の引回電極とを備え、前記切欠部と前記接続部とが前記振動部の平面中心点を基準に非対称の位置となるように前記振動部と前記枠部と前記接続部とが一体で設けられ、前記一対の引回電極が前記接続部から枠部の一方の端部へ形成される前記第一パターンと前記接続部から枠部の他方の端部へ形成される前記第二パターンとからなり、それぞれ対向せずに設けられていることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、水晶振動子であって、電極が形成された振動部、引回電極が設けられ前記振動部の外側に位置し切欠部が設けられてＣ型形状をなす枠部、前記振動部と前記枠部とをつなぐ接続部、前記枠部と前記接続部とに設けられる引出電極からなる水晶振動素子と、前記水晶振動素子の前記枠部を２点で支持・接合される２つ一対の外部引出部を備えたベース部と、このベース部に接合され、内部に前記水晶振動素子を気密封止するキャップ部とを備え、前記接続部が前記ベース部より最も離れて位置しており、前記切欠部が前記一対の外部引出部のうちいずれか一方の外部引出部との接合位置より前記ベース部側に設けられることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、前記接合位置が、前記切欠部よりも前記ベース部から離れており、前記切欠部よりも前記外部引出部に近い位置に設けられていても良い。
【００１０】
また、本発明は、前記電極と前記引回電極とは、下地にＴｉ、その上にＡｕが設けられ、前記枠部と前記外部引出部との接合部分にＡｇが設けられていても良い。
【００１１】
また、本発明は、前記外部引出部がリード部とＮｉからなるサポート部とで構成しても良い。
【００１２】
また、本発明は、前記外部引出部と枠部とを接合するＡｕ−Ｓｎからなる接合材を備えていても良い。
【発明の効果】
【００１３】
このような水晶振動素子によれば、枠部が１つの接続部で振動部とつながっているので、振動部へのストレスの作用を緩和してエージング特性を向上させることができる。また、枠部が振動部から離れているため、安定した固定状態とすることができる。
また、このような水晶振動素子によれば、外部引出部と枠部とを接合するので、安定した固定状態とすることができる。
【００１４】
また、接合位置が、切欠部よりもベース部から離れ、切欠部よりも外部引出部に近い位置に設けられているので、外部引出部の長さを短くすることができ、外部引出部の撓みから起因する水晶振動子の周波数変化を防ぐことができる。
【００１５】
また、本発明の水晶振動子によれば、枠部と外部引出部との接合部分となる引回電極の上にＡｇ（銀）を設けたので、引回電極に用いられているＡｕ（金）の減少を防ぐことができる。
【００１６】
また、外部引出部を構成するリード部と柔軟性の高いＮｉ（ニッケル）からなるサポート部とからなっていることにより、水晶振動素子へのストレスが緩和されて周波数の変動が小さくなり、エージング特性を向上させることができる。
【００１７】
また、外部引出部と枠部とをＡｕ−Ｓｎ（金−錫）で接合するため、外部引出部と枠部とを安定した固定状態にすることができる。また、導電性接着材を用いた場合と比べて、ガスの発生が無いため、エージング特性を低下させる要因を減らすことができる。
【００１８】
したがって、振動部へのストレスの作用を防ぎつつエージング特性を向上させ、安定した固定状態とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施形態」という。）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、発明を明確に説明するために、図の一部を誇張して表現している。
図１は本発明の実施形態に係る水晶振動子の一例を示す概念図である。図２は図１のＡ部拡大図である。
【００２０】
図１に示すように、本発明の実施形態に係る水晶振動子１００は、水晶振動素子１０とこれを支持するベース部２０、ベース部２０に固定され水晶振動素子１０と接合される外部引出部３０、水晶振動素子１０を気密封止するキャップ部（ＣＡＮ）４０とから主に構成されている。
【００２１】
図１に示すように、水晶振動素子１０は、例えば、所定のカットで形成された水晶基板からエッチング等で外形が形成され、振動部１１、接続部１２、枠部１３、切欠部Ｓ１、電極Ｄ１、引回電極Ｄ２、保護膜Ｄ３とから構成されている。なお、前記水晶基板は、例えば、ＳＣカットが用いられるが、これに限定されない。
【００２２】
振動部１１は、円形状に形成されており、この振動部１１の中央部分に後述する電極Ｄ１が設けられている。なお、この電極Ｄ１は、円形板となる振動部１１の両主面に同心円で振動部１１よりも小さく形成されている。この振動部１１に設けられた電極Ｄ１に電圧を印加すると振動部１１が所定の周波数で振動するようになっている。
枠部１３は、この振動部１１を取り囲んだ環形状の一部に切欠部Ｓ１を設けて、例えば、Ｃ型形状で形成されている。
【００２３】
接続部１２は、振動部１１と枠部１３とを接続する役割を果たし、円形となる振動部１１の円の中心点に対して切欠部Ｓ１と非対称となる位置で振動部１１と枠部１３とに接続している。例えば、非対称となる例としては、切欠部Ｓ１と接続部１２とが円形となる振動部１１の円の中心点を通る直線状、つまり、直径方向には位置せず、直径方向からずれた位置関係となっている状態が挙げられる。
【００２４】
なお、接続部１２と切欠部Ｓ１との位置関係は、この水晶振動素子１０を後述するベース部２０に設けられた外部引出部３０に接合する際、以下のようになっている。
まず、水晶振動素子１０は、接続部１２がベース部２０より最も離れた位置で、外部引出部３０に接合される。このときの切欠部Ｓ１の位置は、一対の外部引出部３０のうちいずれか一方の外部引出部３０との接合位置よりベース部２０側に設けられている。
【００２５】
電極Ｄ１は、前記のとおり、振動部の両主面に円形形状で設けられ、下地にＴｉ（チタン）、その上にＡｕ（金）が設けられて形成されている。
引回電極Ｄ２は、接続部１２と枠部１３との両主面に表裏一対で設けられており、一方の主面に設けられる引回電極Ｄ２である第一パターンＨ１と他方の主面に設けられる引回電極Ｄ２である第二パターンＨ２とは異なるパターンとなり両主面で対向しないように設けられている。なお、それぞれの引回電極Ｄ２は、下地にＴｉ、その上にＡｕが設けられて形成されている。
【００２６】
例えば、第一パターンＨ１は、枠部１３の一方の端部から接続部１２まで円弧状に形成されつつ、その枠部１３の一方の端部側に近い接続部１２の縁に沿って直線上に形成されて振動部１１の一方の主面に形成された電極Ｄ１と接続している。
また、第二パターンＨ２は、枠部１３の他方の端部から接続部１２まで円弧状に形成されつつ、その枠部１３の他方の端部側に近い接続部１２の縁に沿って直線上に形成されて振動部１１の他方の主面に形成された電極Ｄ１と接続している。
このように形成することにより、一対の引回電極Ｄ２はそれぞれ対向せず、接続部１２を境に枠部１３をそれぞれ反対方向となるように設けられている。
【００２７】
この引回電極Ｄ２において、図２に示すように、後述する外部引出部３０と接合する位置、つまり、接合部分には、保護膜Ｄ３としてＡｇ（銀）の層が形成されている（図３参照）。この保護膜Ｄ３は、後述する枠部１３に設けられた引回電極Ｄ２と外部引出部３０とをＡｕ−Ｓｎ（金スズ）の接合材Ｄ４で接合する際、引回電極Ｄ２のＡｕが接合材Ｄ４のＡｕ−Ｓｎに取り込まれる、いわゆる「金喰われ」現象が起きるのを防ぐことができる。具体的に説明すると、枠部１３に正常に形成された引回電極Ｄ２の外部引出部３０との接合位置に、Ａｇからなる保護膜Ｄ３を設けないでＡｕ−Ｓｎからなる接合材Ｄ４を用いて外部引出部３０を接合した場合、Ａｕ−Ｓｎの接合材Ｄ４の塗布後、リフローやアニール等の熱処理を行うと、引回電極Ｄ２のＡｕがＡｕ−Ｓｎの接合材Ｄ４に取り込まれていき、接合材Ｄ４に近接した位置の引回電極Ｄ２のＡｕがなくなり、外部引出部３０と引回電極Ｄ２とが電気的に接続しなくなるという現象が起こることがある。
【００２８】
しかしながら、枠部１３に設けられた引回電極Ｄ２の外部引出部３０との接合部分にＡｇからなる保護膜Ｄ３を設けたことで、引回電極Ｄ２のＡｕがＡｇからなる保護膜Ｄ３で塞がれた状態となり、Ａｕ−Ｓｎの接合材Ｄ４へ引回電極Ｄ２のＡｕが取り込まれるのを防ぐことができる。
【００２９】
これにより、振動部１１の一部を拘束する接続部１２は、振動部１１の重みによる撓みを生じるが、枠部１３が外部引出部３０でしっかりと固定されるため、振動部１１の重みによる外部引出部３０からの脱落などを防ぐことができる。
また、枠部１３を外部引出部３０でしっかりと固定しても、切欠部Ｓ１により枠部１３の環状が切断された状態となるので、接続部１２の撓みの影響を枠部１３が受けても、切欠部Ｓ１により枠部１３がうねりなどの不定形となる形状変化を防ぐことができる。
したがって、形状変化による影響を緩和することができるので、振動部１１の振動、つまり周波数の変化が少なくなり、エージング特性を向上させることができる。
【００３０】
図１に示すように、ベース部２０は、金属製の外装部２２とこの外装部の内部に設けられる絶縁部２１とから構成されている。絶縁部２１は、四角柱の長手側の両端部の厚み面を曲面状にした形状となっており、後述する外部引出部３０を金属製の外装部２２に接触するのを防ぐための凸部２１Ａを、曲面が形成されていない主面に設けている。
外装部２２は、前記凸部２１Ａとこの凸部２１Ａが設けられている主面とは反対の主面を残した状態で絶縁部２１を覆っており、絶縁部２１の凸部２１Ａが設けられている主面とは反対側の主面から離れる方向に縁部２２Ａが設けられている。
この縁部２２Ａは、後述するキャップ部４０との接合に用いられる。
【００３１】
図１に示すように、外部引出部３０は、２つ一対で用いられ、ベース部２０に所定の間隔を空けて固定されている。
この外部引出部３０は、水晶振動素子１０と電気的・機械的に接合して、水晶振動素子１０に電圧を外部から印加できるようになっている。
また、外部引出部３０は、リード部３１とサポート部３２とで構成されている。
【００３２】
リード部３１は導電性の部材であって棒状に形成されており、絶縁部２１に設けられた凸部２１Ａの中心位置において絶縁部２１を貫通した状態でベース部２０に保持されている。
サポート部３２は、リード部３１に接合されており、水晶振動素子１０を挟んで保持する役割を果たす。
サポート部３２と水晶振動素子１０の接合位置は、水晶振動素子１０の切欠部Ｓ１よりもベース部２０から離れており、切欠部Ｓ１よりも外部引出部３０に近い位置に設けられている。
【００３３】
このサポート部３２は、Ｎｉからなり、直線状の板部材の一方の端部側が長さ方向の切込みが設けられ、他方の端部側が直線状の他の板部材の中央部で接合された一体型の金属部材から形成される。この板部材の切り込みで形成された直線部をＬ形状に折り曲げ、他の板部材を折り曲げてＣ形状に形成することでサポート部３２が形成される。
外部引出部３０は、このサポート部３２のＣ形状に折り曲げた部分をリード部３１に嵌めて、スポット溶接等で接合して形成される。
【００３４】
水晶振動素子１０とサポート部３２との接合は、２つのサポート部３２のＬ形状に折り曲げた部分に水晶振動素子１０の保護膜Ｄ３が設けられた２つの位置で保持し、２点のそれぞれの保護膜Ｄ３とサポート部３２とをＡｕ−Ｓｎからなる接合材Ｄ４により接合している。
【００３５】
図１に示すように、キャップ部４０は、「ＣＡＮ」とも呼称され、金属製で凹部が設けられた容器状に形成されており、水晶振動素子１０を外部引出部３０に固定した状態でベース部２０と接合されて凹部内を気密封止する役割を果たす。
このキャップ部４０は、凹部を形成する縁部がベース部２０の外装部２２に設けられた縁部と重なるように折り曲げられている。これにより、キャップ部４０の折り曲げられた縁と、ベース部２０の外装部２２に設けられた縁部とを接合することにより、凹部内を気密封止することができる。なお、キャップ部４０とベース部２０との接合には、従来周知のコールドウェルドが用いられる。このコールドウェルドによる接合とは、例えば、常温で重ね合わせた金属に圧力を加えて接合することをいう。
【００３６】
また、凹部は、水晶振動素子１０を外部引出部３０に固定した状態で水晶振動素子とキャップ部４０とに隙間が生じる程度の大きさとなっている。
このように、本発明の実施形態に係る水晶振動子１００を構成したので、キャップ部４０をベース部２０に接合する際に起きるベース部２０の目視で確認できない程度の微少な変形が起きて外部引出部３０が目視で確認できない程度のわずかながらの変位をしてしまっても、この変位によって水晶振動素子１０の枠部１３に撓みやねじれ等のストレスが生じたときに、水晶振動素子１０の振動部１１と枠部１３とを接続する接続部１２がベース部２０より最も離れており、かつ、切欠部Ｓ１がベース部２０に近い位置に設けられ、枠部１３と外部引出部３０との接合位置が、切欠部Ｓ１よりもベース部２０から離れ、切欠部Ｓ１よりも外部引出部３０に近い位置に設けられているので、外部引出部３０の長さを短くすることができ、外部引出部３０の撓みから起因する水晶振動子の周波数変化を防ぐことができる。
したがって、振動部へのストレスの作用を緩和して、例えば、従来の１×１０−８／年のエージング特性を１×１０−９／年のエージング特性に向上させることができる。
【００３７】
また、枠部１３の引回電極Ｄ２の外部引出部３０との接合位置にＡｇからなる保護層Ｄ３を設けたので、Ａｕ−Ｓｎを溶融接合する際の熱処理やリフロー等の熱処理を行っても、枠部１３と外部引出部３０とを接合するＡｕ−Ｓｎからなる接合材Ｄ４に引回電極Ｄ２のＡｕを取り込まれること、つまり、減少を防ぐことができる。
また、外部引出部３０と枠部１３とをＡｕ−Ｓｎからなる接合材Ｄ４で接合するため、外部引出部３０と枠部１３とを安定した固定状態にすることができる。また、導電性接着材を用いた場合と比べて、ガスの発生が無いため、エージング特性を低下させる要因を減らすことができる。
したがって、ゆがみやねじれが生じても周波数の変化が小さいためにエージング特性を向上させることができる。
【実施例】
【００３８】
ここで、実施例１として、水晶振動子は、図３に示す水晶振動素子１０Ａの枠部１３Ａの幅Ｗ１と、接続部１２Ａの幅Ｗ２と、振動部１１Ａと枠部１３Ａとの間隔Ｌ１との関係は、例えば、Ｗ１：Ｗ２：Ｌ１が１．７：２．５：１．２の比率の関係となっている。このとき、振動部１１Ａの直径が７．５ｍｍ、枠部１３Ａの外周の直径が１４ｍｍ、振動部１１Ａと枠部１３Ａとの間隔Ｌ１が１２ｍｍ、電極Ｄ１Ａの直径が５．２ｍｍとなっている構造のものとする。
【００３９】
また、比較例１とする水晶振動子２００は、図４に示すように、振動部２１１と振動部２１１から直径方向に伸びる２つ一対の接続部２１２とこれら接続部２１２の先端部から反時計周りに他方の接続部２１２付近まで円弧状に延出した枠部２１３とから構成される水晶振動素子２１０と、この水晶振動子素子２１０を支持・固定しつつ外部に引き出す２つ一対の外部引出部２３０と、この外部引出部２３０が固定されたベース部２２０と、水晶振動素子２１０を気密封止しつつベース部２２０に接合されるキャップ部２４０とから主に構成されている。
この水晶振動素子２１０は、振動部２１１と枠部２１３との間隔Ｌ２が０．６ｍｍ、枠部２１３の幅Ｗ３が１．４ｍｍ、接続部２１２の幅Ｗ４が２．８ｍｍ、振動部２１１の直径が１０ｍｍ、電極の直径が７．８ｍｍ、枠部２１３の外周の直径が１４ｍｍとなっている。
【００４０】
図３は本発明の水晶振動素子の一例を示す概念図である。図４は比較例の水晶振動子の一例を示す概念図である。図５（ａ）は従来の水晶振動子のエージング特性を示す図であり、（ｂ）は実施例１の水晶振動子のエージング特性を示す図であり、（ｃ）は（ｂ）の縦軸のスケールを異にした実施例１のエージング特性を示す図である。
【００４１】
図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、縦軸を周波数変化量（ｄｆ／Ｆ）とし、１×１０−８ごとに目盛りが付されている。また、横軸を日（ｄａｙ）とし、１０００日までの目盛りが付されている。
また、図５（ａ）、（ｂ）の図中、測定起点から斜めに伸びる直線は、１×１０−８／年となる規格を示す。また、図５（ｃ）も同様に、図中、測定起点から斜めに伸びる直線は、１×１０−９／年となる規格を示す。
【００４２】
図５（ａ）では、比較例１の水晶振動子のエージング特性が、測定開始から１０日頃までは−１×１０−８の目盛りに微少に近づくように変化し、１０日を過ぎたところから１００日頃までの間で、周波数変化量（ｄｆ／Ｆ）が＋１×１０−８の目盛りに近づくように変化をしている。なお、１×１０−８／年の規格を示す２本の直線で挟まれた内部で周波数変化量（ｄｆ／Ｆ）の変化が推移している。
【００４３】
図５（ｂ）では、実施例１の水晶振動子のエージング特性が、測定開始から１００日頃までの間で＋１×１０−８の目盛りに微少に近づくように周波数変化量（ｄｆ／Ｆ）が変化している。なお、１×１０−８／年の規格を示す２本の直線で挟まれた内部で周波数変化量（ｄｆ／Ｆ）の変化が推移している。
つまり、実施例１の方が比較例１より周波数変化量（ｄｆ／Ｆ）が小さいことが確認できる。言い換えると、実施例１の水晶振動子はエージング特性が向上したことが確認できる。
【００４４】
ここで、図５（ｃ）に示すように、図５（ｂ）で示した実施例１の水晶振動子のエージング特性を縦軸を１×１０−９の目盛りに換えて表した結果、測定開始から１日を経過する前までは周波数変化量（ｄｆ／Ｆ）が緩やかに＋１×１０−９の目盛りに近づく変化となり、１日を経過した後は、これまでよりも勾配を大きくした変化の周波数変化量（ｄｆ／Ｆ）となっているが、＋１×１０−９の目盛りを超えることはなかった。つまり、１×１０−９／年の規格を示す２本の直線で挟まれた内部で周波数変化量（ｄｆ／Ｆ）の変化が推移していた。
従って、実施例１は、１×１０−９／年のエージング特性を有することとなる。
このように、本発明の水晶振動子は、安定した固定状態としながらも従来よりもエージング特性を向上させるという課題を解決したことが確認された。
【００４５】
このような本発明の実施形態に係る水晶振動子を、恒温槽となる容器に収容して、別途、設けられた発振回路等と電気的に接続した恒温槽付水晶発振器、いわゆる「ＯＣＸＯ」に用いることで、外部温度の変化が大きい環境化で使用されても、安定した周波数を発振することができる。
【００４６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態には限定されない。例えば、図１に示すように、ベース部２０と水晶振動素子１０の枠部１３との接合において、外部引出部３０での接合の他に、ベース部２０に支持部３３を設けて、枠部１３とベース部２０とが最も接近する位置で、支持部３３と枠部１３とを接合しても良い。
このように水晶振動素子１０を保持・固定してもエージング特性に影響することがない。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態に係る水晶振動子の一例を示す概念図である。
【図２】図１のＡ部拡大図である。
【図３】水晶振動素子の一例を示す概念図である。
【図４】比較例の水晶振動素子の一例を示す概念図である。
【図５】（ａ）は従来の水晶振動子のエージング特性を示す図であり、（ｂ）は実施例１の水晶振動子のエージング特性を示す図であり、（ｃ）は（ｂ）の縦軸のスケールを異にした実施例１のエージング特性を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１００  水晶振動子
１０    水晶振動素子
１１    振動部
１２    接続部
１３    枠部
２０    ベース部
２２    外装部
２１    絶縁部
２１Ａ  凸部
２２Ａ  縁部
３０    外部引出部
３１    リード部
３２    サポート部
３３    支持部
４０    キャップ部
Ｄ１    電極
Ｄ２    引回電極
Ｄ３    保護膜
Ｄ４    接合材
Ｈ１    第一パターン
Ｈ２    第二パターン
Ｓ１    切欠部
【図１】
2009055559.tif 000003
【図２】
2009055559.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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