(57)【要約】【課題】従来のスクリーン印刷装置を使用しても１回の印刷により厚さの異なるはんだプリントを印刷できるスクリーン印刷用マスクを提供する。【解決手段】厚さ方向に貫通する貫通孔４０ｗ、４０ｘ、４０ｙおよび４０ｚをもつ平板状マスク４０を備え、平板状マスク４０で覆われた被印刷物１の表面に貫通孔を通じてはんだペーストＳを印刷するスクリーン印刷用マスクであって、平板状マスク４０は、第一貫通孔４０ｗ、４０ｘおよび４０ｙと、第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔４１ｚと、が形成されたマスク本体４１と、マスク本体４１の表面を面方向にスライド移動可能であって、第二貫通孔４１ｚと連通して貫通孔４０ｚをなす可動貫通孔４２ｚが形成されたマスク可動部４２と、からなり、マスク可動部４２をスライド移動させて貫通孔４０ｚに充填されたはんだペーストＳｚを可動貫通孔４２ｚの内壁面で摺り切る。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔をもつ平板状マスクを備え、該平板状マスクで覆われた被印刷面に該貫通孔を通じてはんだペーストを印刷するスクリーン印刷用マスクであって、前記平板状マスクは、
前記複数の貫通孔の一部である第一貫通孔と、該第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔と、が形成されたマスク本体と、
前記マスク本体の表面を面方向にスライド移動可能であって、前記第二貫通孔と連通して前記複数の貫通孔の残部をなす可動貫通孔が形成されたマスク可動部と、
からなり、前記マスク可動部をスライド移動させて前記第二貫通孔および前記可動貫通孔に充填された前記はんだペーストを該可動貫通孔の内壁面で摺り切ることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項２】
前記マスク本体は、前記被印刷面に載置される平板状のベースマスクと、該ベースマスクの表面に重ね合わせて肉厚部を形成する平板状の固定マスク片と、からなる請求項１記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項３】
前記固定マスク片は、前記ベースマスクの表面に厚さ方向に２枚以上重ね合わせられる請求項２記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項４】
前記マスク可動部は、平板状の可動マスク片からなる請求項１記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項５】
前記マスク可動部は、前記可動マスク片が厚さ方向に２枚以上重ね合わせられてなる請求項４記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項６】
２枚以上の前記可動マスク片は、個別にスライド移動可能である請求項５記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項７】
前記可動貫通孔は、厚さ方向に対して傾斜した内壁面をもつ請求項１記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項８】
さらに、前記マスク可動部の移動を案内する案内手段を有する請求項１記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項９】
前記マスク可動部は、金属材料からなる請求項１記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項１０】
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔をもつ平板状マスクを備え、該平板状マスクは、
前記複数の貫通孔の一部である第一貫通孔と、該第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔と、が形成されたマスク本体と、
前記マスク本体の表面を面方向にスライド移動可能であって、前記第二貫通孔と連通して前記複数の貫通孔の残部をなす可動貫通孔が形成されたマスク可動部と、
からなるスクリーン印刷用マスクと、
前記スクリーン印刷用マスクを被印刷物の表面に固定するマスク固定手段と、
前記被印刷物の表面と前記貫通孔の内壁面とで区画された空間にはんだペーストを充填するはんだペースト充填手段と、
前記マスク本体が前記被印刷物に固定された状態で前記マスク可動部をスライド移動させて前記第二貫通孔および前記可動貫通孔に充填された前記はんだペーストを該可動貫通孔の内壁面で摺り切るはんだペースト摺切手段と、
前記被印刷物と前記スクリーン印刷用マスクとを分離するマスク分離手段と、
を備えることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項１１】
前記マスク本体は、前記被印刷面に載置される平板状のベースマスクと、該ベースマスクの表面に重ね合わせて肉厚部を形成する平板状の固定マスク片と、からなる請求項１０記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１２】
前記固定マスク片は、前記ベースマスクの表面に厚さ方向に２枚以上重ね合わせられる請求項１１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１３】
前記マスク可動部は、平板状の可動マスク片からなる請求項１０記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１４】
前記マスク可動部は、前記可動マスク片が厚さ方向に２枚以上重ね合わせられてなる請求項１３記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１５】
２枚以上の前記可動マスク片は、個別にスライド移動可能である請求項１４記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１６】
前記可動貫通孔は、厚さ方向に対して傾斜した内壁面をもつ請求項１０記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１７】
前記スクリーン印刷用マスクは、さらに、前記可動マスクの移動を案内する案内手段を有する請求項１０記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１８】
前記マスク可動部は、金属材料からなる請求項１０記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１９】
前記はんだペースト充填手段は、前記スクリーン印刷用マスク上に載置された前記はんだペーストを加圧しながら該スクリーン印刷用マスク上を平行移動するスキージを備える請求項１０記載のスクリーン印刷装置。
【請求項２０】
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔をもつ平板状マスクを備え、該平板状マスクは、
前記複数の貫通孔の一部である第一貫通孔と、該第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔と、が形成されたマスク本体と、
前記マスク本体の表面を面方向にスライド移動可能であって、前記第二貫通孔と連通して前記複数の貫通孔の残部をなす可動貫通孔が形成されたマスク可動部と、
からなるスクリーン印刷用マスクを、該第二貫通孔と該可動貫通孔とが連通した状態で被印刷物の表面に固定するマスク固定工程と、
前記被印刷物の表面と前記貫通孔の内壁面とで区画された空間にはんだペーストを充填するはんだペースト充填工程と、
前記マスク本体が前記被印刷物に固定された状態で前記マスク可動部をスライド移動させて前記第二貫通孔および前記可動貫通孔に充填された前記はんだペーストを該可動貫通孔の内壁面で摺り切るはんだペースト摺切工程と、
前記被印刷物と前記スクリーン印刷用マスクとを分離するマスク分離工程と、
を含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項２１】
第一貫通孔と第二貫通孔とが形成されたマスク本体と、可動貫通孔が形成された可動マスクと、から構成され、
前記マスク本体は、前記可動マスクがスライド移動可能な表面をもつ段差部を有し、前記第一貫通孔は該マスク本体と該可動マスクとが重ならない部分に形成され、前記第二貫通孔は該マスク本体と該可動マスクとが重なる部分に形成され、前記可動貫通孔は該第二貫通孔と対応する位置で連通可能に形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板などにスクリーン印刷によりはんだペーストを塗布する際に使用されるマスク、印刷装置および印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリント配線板への電子部品の表面実装をリフロー方式のはんだ付け工法により行う場合には、スクリーン印刷法により、あらかじめプリント配線板にはんだペースト（「クリームはんだ」とも言う）が塗布される。スクリーン印刷法によるはんだペーストの一般的な塗布手順を、図１を用いて説明する。図１は、スクリーン印刷法によるはんだペーストの一般的な塗布手順を模式的に示す説明図であって、（ｉ）〜（ｉｉｉ）はそれぞれプリント配線板の厚さ方向の断面の一部を示す。図１において、プリント配線板１０は、絶縁基板１１と、絶縁基板１１の表裏面に銅などの導電性材料で形成された導体パターン１２と、導体パターン１２を覆うように絶縁基板１１に形成されたソルダーレジスト１３と、から構成される。ソルダーレジスト１３は樹脂製で、はんだ付けが必要な導体パターン１２の一部（フットプリント１２ａおよび１２ｂ）が１３ａおよび１３ｂから露出する。
【０００３】
スクリーン印刷法によりフットプリント１２ａおよび１２ｂにはんだペーストを塗布するには、厚さ方向に貫通する貫通孔２０ａおよび２０ｂをもつスクリーン印刷用マスク２０をプリント配線板１０の表面に載置する（図１（ｉ））。このとき、貫通孔２０ａおよび２０ｂからは、フットプリント１２ａおよび１２ｂのそれぞれの少なくとも一部が露出する。次に、１２ａと１３ａとからなる空間、および、１２ｂと１３ｂとからなる空間に、はんだペーストＳを充填する（図１（ｉｉ））。はんだペーストＳは、たとえば、スキージ３０により各空間に充填される。スキージ３０は、スクリーン印刷用マスク２０に押し付けられながらスクリーン印刷用マスク２０上を矢印方向に平行移動するため、スクリーン印刷用マスク２０の表面はならされる。その後、プリント配線板１０からスクリーン印刷用マスク２０を取り去る。プリント配線板１０の表面（フットプリント１２ａおよび１２ｂ上）には、はんだペーストＳａおよびＳｂが印刷される（図１（ｉｉｉ））。
【０００４】
そして、図示しないが、図１（ｉｉｉ）の後、印刷されたはんだペーストＳａおよびＳｂ上に表面実装用部品を載置した状態で加熱することではんだを溶融させて（リフロー方式）はんだ付けを行い、部品が実装されたプリント回路板を得る。
【０００５】
スクリーン印刷法では、厚みの均一なスクリーン印刷用マスクが使用されるのが一般的である。厚みの均一なスクリーン印刷用マスクを用いて印刷されるはんだペーストは、貫通孔の開口面積（開口率）に関わらず均一の厚さとなる。ところが、表面実装用部品のリードや電極とプリント配線板のフットプリントとの接合強度は、はんだペーストの量に依存する。そのため、表面実装用部品の種類に応じてフットプリントへのはんだペーストの印刷量を適切な量に調整する必要がある。
【０００６】
たとえば、スクリーン印刷用マスクの貫通孔の開口面積（開口率）を調整することで、ひとつのフットプリント上に印刷されるはんだペーストの量を増減させられる。ところが、  近年、電子機器の小型化にともなって、プリント配線板に実装される電子部品は小型化・高密度化され、フットプリントの大きさや隣接するフットプリント間の間隔も小さくなりつつある。そのため、開口率による調整は、限界がある。
【０００７】
そこで、特許文献１には、スクリーン印刷用マスクを２枚準備して、それぞれのマスクを用いて２回のスクリーン印刷を行うことで、厚みの異なるはんだペーストを印刷する方法が開示されている。はじめに、第一のマスクによりはんだペーストの印刷を行う。次に、第一のマスクに、厚みを必要とするランド（フットプリント）上のはんだペーストに対応する位置に貫通孔を有する第二のマスクを重ね合わせて、はんだペーストの印刷を行う。したがって、さらに厚みが必要な場合には、３回以上のスクリーン印刷を行う必要がある。
【０００８】
なお、特許文献１とは目的が異なるが、特許文献２にも、少なくとも２枚のマスクを重ねてスクリーン印刷を行うことが記載されている。特許文献２では、非印刷物の表面に複数枚のマスクを重ね合わせた状態で貫通孔にはんだペーストを充填した後、各マスクを順次分離する。各マスクは、通常のマスクが非印刷物の表面から取り去られるときと同様にして、はんだペーストが掻き取られないように分離される。
【０００９】
また、特許文献３には、厚みが部分的に異なるスクリーン印刷用マスクを用いた印刷方法が開示されている。はんだペーストを厚く印刷したい部分に対応するスクリーン印刷用マスクの貫通孔周辺を他の部分よりも肉厚とすることで、１枚のスクリーン印刷用マスクを用いた１回の印刷により厚みの異なるはんだペーストを印刷できる。
【特許文献１】特開平４−２７６６９２号公報
【特許文献２】特開２００７−１６８１２７号公報
【特許文献３】特開平１１−７４６３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前述のように、特許文献１に記載の方法では、厚みの異なるはんだペーストを印刷するためには２回以上のスクリーン印刷を行わなければならない。しかしながら、スクリーン印刷の回数が多いと印刷にずれが生じやすくなる問題がある。一方、特許文献３に記載の方法では、１回の印刷により厚みの異なるはんだペーストを印刷できる。しかし、部分的に厚みの異なるスクリーン印刷用マスクは表面に凹凸をもつため、はんだペーストを貫通孔に充填する際にスキージがスムーズに移動しないことがある。そのような場合、従来と同様の条件でスキージを移動させても全ての貫通孔にはんだペーストが良好に充填されない虞がある。そのような場合には、スキージの移動速度、押し付け圧だけでなく、スキージの材質や形状、取り付け角度を変更する必要があるため、従来のスクリーン印刷装置をそのまま使用できないという問題がある。
【００１１】
そこで、本発明は、従来のスクリーン印刷装置を使用しても１回の印刷により厚さの異なるはんだプリントを印刷できるスクリーン印刷用マスクを提供することを目的とする。また、このスクリーン印刷用マスクを有するスクリーン印刷装置、および、スクリーン印刷用マスクを用いたスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のスクリーン印刷用マスクは、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔をもつ平板状マスクを備え、該平板状マスクで覆われた被印刷面に該貫通孔を通じてはんだペーストを印刷するスクリーン印刷用マスクであって、前記平板状マスクは、
前記複数の貫通孔の一部である第一貫通孔と、該第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔と、が形成されたマスク本体と、
前記マスク本体の表面を面方向にスライド移動可能であって、前記第二貫通孔と連通して前記複数の貫通孔の残部をなす可動貫通孔が形成されたマスク可動部と、
からなり、前記マスク可動部をスライド移動させて前記第二貫通孔および前記可動貫通孔に充填された前記はんだペーストを該可動貫通孔の内壁面で摺り切ることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明のスクリーン印刷装置は、上記本発明のスクリーン印刷用マスクを有する印刷装置である。本発明のスクリーン印刷装置は、
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔をもつ平板状マスクを備え、該平板状マスクは、
前記複数の貫通孔の一部である第一貫通孔と、該第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔と、が形成されたマスク本体と、
前記マスク本体の表面を面方向にスライド移動可能であって、前記第二貫通孔と連通して前記複数の貫通孔の残部をなす可動貫通孔が形成されたマスク可動部と、
からなるスクリーン印刷用マスクと、
前記スクリーン印刷用マスクを被印刷物の表面に固定するマスク固定手段と、
前記被印刷物の表面と前記貫通孔の内壁面とで区画された空間にはんだペーストを充填するはんだペースト充填手段と、
前記マスク本体が前記被印刷物に固定された状態で前記マスク可動部をスライド移動させて前記第二貫通孔および前記可動貫通孔に充填された前記はんだペーストを該可動貫通孔の内壁面で摺り切るはんだペースト摺切手段と、
前記被印刷物と前記スクリーン印刷用マスクとを分離するマスク分離手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明のスクリーン印刷方法は、上記本発明のスクリーン印刷用マスクを用いてスクリーン印刷を行う方法である。本発明のスクリーン印刷方法は、
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔をもつ平板状マスクを備え、該平板状マスクは、
前記複数の貫通孔の一部である第一貫通孔と、該第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔と、が形成されたマスク本体と、
前記マスク本体の表面を面方向にスライド移動可能であって、前記第二貫通孔と連通して前記複数の貫通孔の残部をなす可動貫通孔が形成されたマスク可動部と、
からなるスクリーン印刷用マスクを、該第二貫通孔と該可動貫通孔とが連通した状態で被印刷物の表面に固定するマスク固定工程と、
前記被印刷物の表面と前記貫通孔の内壁面とで区画された空間にはんだペーストを充填するはんだペースト充填工程と、
前記マスク本体が前記被印刷物に固定された状態で前記マスク可動部をスライド移動させて前記第二貫通孔および前記可動貫通孔に充填された前記はんだペーストを該可動貫通孔の内壁面で摺り切るはんだペースト摺切工程と、
前記被印刷物と前記スクリーン印刷用マスクとを分離するマスク分離工程と、
を含むことを特徴とする。
【００１５】
なお、本発明のスクリーン印刷用マスクは、第一貫通孔と第二貫通孔とが形成されたマスク本体と、可動貫通孔が形成された可動マスクと、から構成され、
前記マスク本体は、前記可動マスクがスライド移動可能な表面をもつ段差部を有し、前記第一貫通孔は該マスク本体と該可動マスクとが重ならない部分に形成され、前記第二貫通孔は該マスク本体と該可動マスクとが重なる部分に形成され、前記可動貫通孔は該第二貫通孔と対応する位置で連通可能に形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク、と捉えることもできる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のスクリーン印刷用マスクは、マスク本体とマスク可動部とから構成される平板状マスクを備える。マスク本体は、平板状マスクが有する複数の貫通孔の一部である第一貫通孔と、第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔と、を有する。つまり、マスク本体は、部分的に厚さが異なる。一方、マスク可動部は、第二貫通孔と連通して複数の貫通孔の残部をなす可動貫通孔を有する。マスク本体とマスク可動部とを組み合わせることで、マスク本体がもつ厚みの不均一が緩和されるため、平板状マスクの表面はほぼ平坦となる。その結果、従来の装置を用いた従来の方法により、平板状マスクがもつ複数の貫通孔にはんだペーストを充填することができる。たとえば、スキージを用いて貫通孔にはんだペーストを充填する場合、特別な条件を設定しなくとも、スキージは平板状マスクの表面を滑らかに移動できる。
【００１７】
そして、本発明のスクリーン印刷用マスクであれば、平板状マスクがもつ複数の貫通孔へのはんだペーストの充填を１回行うだけで、厚みの異なるはんだペーストが印刷される。本発明のスクリーン印刷用マスクにおいてマスク可動部は、マスク本体の表面を面方向にスライド移動可能である。マスク可動部をスライド移動させると、マスク可動部とともに可動貫通孔も移動するため、第二貫通孔および可動貫通孔に充填されたはんだペーストは可動貫通孔の内壁面で摺り切られる。その結果、被印刷面には第二貫通孔の厚みの分だけはんだペーストが残存するため、全体として、第一貫通孔を通じてはんだペーストが厚く印刷される部分と、第二貫通孔を通じてはんだペーストが薄く印刷される部分と、が形成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明のスクリーン印刷用マスク、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を実施するための最良の形態を説明する。
【００１９】
［スクリーン印刷用マスク］
本発明のスクリーン印刷用マスクは、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔をもつ平板状マスクを備える。平板状マスクで覆われた被印刷面（プリント配線板などの表面）に貫通孔を通じてはんだペーストが印刷される。貫通孔は、被印刷面がプリント配線板の表面であれば、プリント配線板の各フットプリントの位置に対応して配置される。平板状マスクは、マスク本体とマスク可動部とからなる。
【００２０】
マスク本体は、平板状マスクが有する複数の貫通孔の一部である第一貫通孔と、第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔と、が形成されている。マスク本体は、部分的に厚さが異なる。第一貫通孔と第二貫通孔とでは厚さ方向の長さが異なり、第一貫通孔の周辺部と第二貫通孔の周辺部の厚さが異なるからである。第一貫通孔および第二貫通孔の配置位置に特に限定はないが、被印刷面において、第一貫通孔ははんだペーストを厚く印刷したい位置に、第二貫通孔ははんだペーストを薄く印刷したい位置に、それぞれ対応するように平板状マスクに配置される。後に詳説するように、はんだペーストは、第一貫通孔および第二貫通孔の厚さ方向の長さに応じた厚みで、被印刷面に印刷されるからである。
【００２１】
マスク本体は、厚さの均一な平板を加工して作製してもよいが、平板状のベースマスクと、ベースマスクの表面に重ね合わせられる平板状の固定マスク片と、からなるのが好ましい。両者が重なり合った部位で、肉厚部が形成される。そのため、ベースマスクおよび固定マスク片の大きさや互いの重ね合わせ方を変更することで、部分的に厚さの異なるマスク本体が容易に形成される。固定マスク片は、ベースマスクに２枚以上重ね合わせてもよい。ベースマスクの同一の面に２枚以上並べてもよいし、ベースマスクの表面に厚さ方向に２枚以上重ね合わせてもよい。固定マスク片をベースマスクの表面に厚さ方向に２枚以上重ね合わせることで、マスク本体の各部の厚さを様々に変化させられる。その結果、１枚の平板状マスクで複数種類の厚さのはんだペーストを印刷することが可能となる。
【００２２】
後に詳説するが、はんだペーストは、第一貫通孔および第二貫通孔の厚さ方向の長さに応じた厚みで、被印刷面に印刷される。第一貫通孔および第二貫通孔の厚さ方向の長さは、マスク本体の各部の厚さに依存する。そのため、印刷されるはんだペーストの厚さを最厚でＴｋ、最薄でＴｎとしたい場合には、厚さＴｋの最厚部と厚さＴｎの最薄部をもつマスク本体を使用する必要がある。
【００２３】
平板状マスクの平面視における第一貫通孔および第二貫通孔の大きさおよび断面形状は、印刷するはんだペーストの大きさおよび形状に合わせて適宜選択すればよい。したがって、被印刷面がプリント配線板の表面であれば、フットプリントの大きさおよび形状に合わせて適宜選択すればよい。また、第一貫通孔および第二貫通孔の個数にも制限はない。
【００２４】
マスク可動部は、マスク本体の表面を面方向にスライド移動可能であって、マスク本体の第二貫通孔と連通して複数の貫通孔の残部をなす可動貫通孔が形成されている。すなわち、平板状マスクがもつ複数の貫通孔は、第一貫通孔と、第二貫通孔と可動貫通孔とが連通してなる貫通孔と、からなる。マスク可動部をスライド移動させると、可動貫通孔もスライド移動するため、はんだペーストが互いに連通する第二貫通孔および可動貫通孔に充填されると、はんだペーストは可動貫通孔の内壁面で摺り切られる。
【００２５】
マスク可動部は、マスク本体の表面を面方向にスライド移動可能な形状であれば、その形状に特に限定はない。好ましくは、マスク本体の第二貫通孔とマスク可動部の可動貫通孔とを互いに連通させた場合に、マスク本体の最厚部の表面とマスク可動部の表面とを同一平面上に位置させることで、平板状マスクの表面が実質的に平坦になる。また、１つの平板状マスクが有するマスク可動部の個数にも、制限はない。
【００２６】
マスク可動部は、平板状の可動マスク片からなるのが好ましい。可動マスク片は、１枚を単独で用いてもよいし、厚さ方向に２枚以上重ね合わせて用いてもよい。可動マスク片を厚さ方向に２枚以上重ね合わせて用いる場合には、可動マスク片を互いに固定することで一体的にスライド移動可能としてもいし、１枚ずつ個別にスライド移動可能としてもよい。また、大きさの異なる可動マスク片を厚さ方向に２枚以上重ね合わせて用いてもよい。可動マスク片の厚さは、マスク本体の形状や寸法に応じて適宜選択すればよい。
【００２７】
可動貫通孔は、平板状マスクの貫通孔にはんだペーストが充填されるときにマスク本体の第二貫通孔と連通すれば、その形状に特に限定はない。可動貫通孔に充填されたはんだペーストはマスク可動部の移動により摺り切られて被印刷面に印刷されないため、可動貫通孔の断面形状は第二貫通孔と同一でなくてもよい。たとえば、２つ以上の第二貫通孔と連通する大きな寸法の開口をもつ可動貫通孔であってもよい。また、可動貫通孔は、厚さ方向に対して傾斜した内壁面をもつのが好ましい。可動貫通孔の内壁面は、マスク可動部がスライド移動することではんだペーストを摺り切る。そのため、たとえば、厚さ方向を基準として摺り切る方向に内壁面を傾斜させることで、可動貫通孔に充填されたはんだペーストは、マスク可動部の移動とともに内壁面で第二貫通孔に押し付けられる。また、厚さ方向を基準として摺り切る方向と反対の方向に内壁面を傾斜させることで、マスク可動部とマスク本体との間にはんだが入り込み難くなる。
【００２８】
マスク可動部の材質に特に限定はないが、金属材料からなるのがよい。金属材料は、マスク本体の最薄部の厚さＴｎに相当する薄板状であってもスライド移動時に形状を保持できる剛性を有するためである。また、マスク可動部のみならず、平板状マスク全体を金属製としてもよい。平板状マスクが金属製であれば、マスク本体およびマスク可動部の加工や貫通孔の加工が容易である。連通孔の加工は、マスク本体（ベースマスクと固定マスク片であってもよい）とマスク可動部（可動マスク片であってもよい）とを重ね合わせた状態で行ってもよい。平板マスクが金属製であれば、レーザにより貫通孔を形成するとよい。
【００２９】
また、平板状マスクは、重ね合わせることで厚さ方向に貫通する複数の貫通孔をもつ少なくとも２枚の薄板状マスクからなる、と捉えることもできる。薄板状マスクは、それぞれ、ベースマスクと１枚以上の部分可動マスクとからなるのが好ましい。部分可動マスクは、ベースマスクの表面に厚さ方向に重ね合わせられる。部分可動マスクは、固定マスク片と可動マスク片とからなる。可動マスク片は、部分可動マスクから一部分が分割され、可動貫通孔が形成さている。可動マスク片は、隣接する薄板状マスクの表面を面方向にスライド移動可能である。すなわち、板材を複数枚準備し、分割する位置を適宜選択して重ね合わせるだけの単純な構成で、平板状マスクが複雑な形状であっても、所望の形状に簡単に形成することができる。
【００３０】
さらに、本発明のスクリーン印刷用マスクは、マスク可動部の移動を案内する案内手段を有するのが好ましい。たとえば、平板状マスクを保持する版枠に、案内手段としてマスク可動部の周縁部が嵌合する溝を形成し、溝に沿ってスライド移動させるとよい。また、マスク本体は、部分的に厚さが異なるため、第二貫通孔の開口部周辺には段差部が形成される。この段差部とマスク可動部とを嵌合させることで、マスク可動部の移動は段差部に案内される。すなわち、マスク本体の段差部に、案内手段を兼用させてもよい。
【００３１】
［スクリーン印刷装置］
本発明のスクリーン印刷装置は、既に詳説した本発明のスクリーン印刷用マスクを有する印刷装置である。本発明のスクリーン印刷装置は、主として、上記本発明のスクリーン印刷用マスクと、マスク固定手段と、はんだペースト充填手段と、はんだペースト摺切手段と、マスク分離手段と、を備える。
【００３２】
マスク固定手段は、スクリーン印刷用マスクを被印刷物の表面に固定する手段である。被印刷物を載置するステージの上方にスクリーン印刷用マスクを配設したマスク固定手段であれば、ステージを固定した状態でスクリーン印刷用マスクを降下させてもよいし、スクリーン印刷用マスクを固定した状態でステージを上昇させてもよい。いずれにおいても、マスク本体（ベースマスク）が被印刷物の表面（被印刷面）に載置された状態となればよい。このとき、マスク固定手段は、被印刷物と少なくともマスク本体とがずれないように固定するとよい。また、マスク固定手段に、被印刷物と平板状マスクとの位置あわせを行う位置合わせ手段があるとさらに好ましい。
【００３３】
はんだペースト充填手段は、被印刷物の表面と貫通孔の内壁面とで区画された空間にはんだペーストを充填する手段である。はんだペースト充填手段は、スクリーン印刷用マスク上に載置されたはんだペーストを加圧しながらスクリーン印刷用マスク上を平行移動するスキージを備えるのが好ましい。スキージは、はんだペーストのスクリーン印刷装置に従来から使用されている材質および形状のものでよい。本発明のスクリーン印刷用マスクは、マスク本体とマスク可動部からなる平板状マスクを備えるため、第一貫通孔と第二貫通孔とで厚さ方向の長さが異なりマスク本体の厚さが部分的に異なっても、平板マスク全体として厚さの不均一が均されるからである。スキージとしては、一般的な、板状の金属あるいはゴムを用いることができる。
【００３４】
はんだペースト摺切手段は、マスク本体が被印刷物に固定された状態でマスク可動部をスライド移動させて第二貫通孔および可動貫通孔に充填されたはんだペーストを可動貫通孔の内壁面で摺り切る手段である。はんだペースト充填手段により平板状マスクの全ての貫通孔にはんだが充填された状態で、はんだペースト摺切手段によりマスク可動部をスライド移動させれば、第二貫通孔および可動貫通孔に充填されたはんだペーストは可動貫通孔の内壁面で自然に摺り切られる。はんだペースト摺切手段は、段差部からマスク可動部を機械的に引き抜く装置であるとよい。
【００３５】
マスク分離手段は、被印刷物とスクリーン印刷用マスクとを分離する手段である。スクリーン印刷用マスクは、マスク可動部のように面方向にスライド移動させるのではなく、被印刷面に印刷されたはんだペーストに悪影響がないような方向、たとえば厚さ方向に移動させて分離する必要がある。上述のように被印刷物を載置するステージの上方にスクリーン印刷用マスクを配設したマスク固定手段であれば、ステージを降下させる、あるいはスクリーン印刷用マスクを上昇させることにより容易に分離ができる。また、被印刷面からスクリーン印刷用マスクを捲るようにしてスクリーン印刷用マスクの一端から順に分離させてもよい。
【００３６】
［スクリーン印刷方法］
本発明のスクリーン印刷方法は、既に説明した上記本発明のスクリーン印刷用マスクを用いてスクリーン印刷を行う方法である。本発明のスクリーン印刷方法は、主として、マスク固定工程と、はんだペースト充填工程と、はんだペースト摺切工程と、マスク分離工程と、を含む。
【００３７】
マスク固定工程は、スクリーン印刷用マスクを、マスク本体の第二貫通孔とマスク可動部の可動貫通孔とが連通した状態で被印刷物の表面に固定する工程である。マスク本体は、被印刷物から分離されるまで、被印刷面からずれないように固定される必要がある。一方、マスク可動部は、スライド移動させるまではマスク本体に固定して移動不可としてもよい。
【００３８】
はんだペースト充填工程は、被印刷物の表面と前記貫通孔の内壁面とで区画された空間にはんだペーストを充填する工程である。たとえば、スクリーン印刷用マスク上にはんだペーストを載置し、スクリーン印刷用マスク上を平行移動するスキージによりはんだペーストを加圧することで、全ての貫通孔にむらなくはんだペーストを充填することができる。なお、マスク可動部がスライド移動できない方向と同じ方向にスキージを平行移動させることで、マスク可動部のマスク本体からのずれが抑制される。
【００３９】
はんだペースト摺切工程は、マスク本体が被印刷物に固定された状態でマスク可動部をスライド移動させて第二貫通孔および可動貫通孔に充填されたはんだペーストを可動貫通孔の内壁面で摺り切る工程である。スライド移動後のマスク可動部は、マスク本体から分離されてもよいし、第二貫通孔と可動貫通孔とが連通しない状態であればマスク本体に載置された状態であってもよい。なお、可動貫通孔に充填されたはんだペーストは、被印刷物の表面に印刷されないため、回収して再利用することができる。
【００４０】
マスク分離工程は、被印刷物とスクリーン印刷用マスクとを分離する工程である。マスク本体からマスク可動部が分離された状態であれば、マスク本体のみを被印刷物から分離すればよい。
【００４１】
以上、本発明のスクリーン印刷用マスク、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法の実施形態を説明したが、本発明のスクリーン印刷用マスク、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法は、上記実施形態に限定されるものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲において、当業者が行い得る変更、改良等を施した種々の形態にて実施することができる。
【００４２】
以下に、本発明のスクリーン印刷用マスク、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を図２〜図１０を用いて具体的に説明する。
【００４３】
図２および図３は、本発明のスクリーン印刷用マスクを用いたはんだペーストの印刷方法を模式的に示す説明図である。図２は本発明のスクリーン印刷用マスクの平板状マスクの平面図であって、図３は図２のＡ−Ａ’断面を示す。
【００４４】
平板状マスク４０は、厚さ方向に貫通する貫通孔４０ｗ、４０ｘ、４０ｙおよび４０ｚをもち、マスク本体４１とマスク可動部４２とからなる。平板状マスク４０は全体として矩形形状を呈し、各貫通孔の断面形状も矩形形状である。
【００４５】
マスク本体４１は、第一貫通孔としての貫通孔４０ｗ、４０ｘおよび４０ｙと、第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔４１ｚと、を有する。そのため、マスク本体４１は、第一貫通孔４０ｗ、４０ｘおよび４０ｙをもつ肉厚部と、第二貫通孔４１ｚをもつ肉薄部と、からなり、表面に第二貫通孔４１ｚが開口する段差部４１ｔをもつ。第二貫通孔４１ｚは、平板状マスク４０が有する４つの貫通孔のうちのひとつである貫通孔４０ｚの一部分である。
【００４６】
マスク可動部４２は、マスク本体４１の段差部４１ｔに嵌合し、全体として平板状マスク４０を構成する。マスク可動部４２は、平板状マスク４０が有する４つの貫通孔のうちのひとつである貫通孔４０ｚの一部分である可動貫通孔４２ｚを有する。可動貫通孔４２ｚは、マスク可動部４２が段差部４１ｔに嵌合した状態で第二貫通孔４１ｚと同軸的に連通し、第二貫通孔４１ｚと可動貫通孔４２ｚとで貫通孔４０ｚをなす。
【００４７】
マスク可動部４２は、段差部４１ｔに嵌合するとともに、面方向にスライド移動可能である。マスク可動部４２は、その底面が、第二貫通孔４１ｚが開口する段差部４１ｔの表面（符号ｔ１で示す）と少なくとも摺接して、スライド移動する。たとえば、マスク可動部４２を図２の矢印方向にスライド移動させる場合には、マスク可動部４２は、第二貫通孔４１ｚが開口する段差部４１ｔの表面ｔ１と摺接するとともに、その表面から立ち上がり段差部４１ｔを区画する面ｔ２とも摺接することで、スライドする方向が一方向に案内される。
【００４８】
平板状マスク４０をもつスクリーン印刷用マスクを用いて被印刷面にはんだペーストを印刷するには、はじめに、スクリーン印刷装置のステージ９に被印刷物１を載置する。次に、各貫通孔が所定の位置となるように、被印刷物１の表面（被印刷面）を平板状マスク４０で覆う（図３（Ｉ）マスク固定工程）。このとき、マスク本体４１は、後のはんだペースト充填工程におけるスキージ３０の移動で、被印刷物１に対する位置が変わらないように固定される。一方、マスク可動部４２は、面方向にスライド移動可能な状態で、段差部４１ｔに嵌合される。すなわち、この状態では、第二貫通孔４１ｚと可動貫通孔４２ｚとが同軸的に連通して貫通孔４０ｚをなす。
【００４９】
次に、スキージ３０を用いて、貫通孔４０ｗ、４０ｘ、４０ｙおよび４０ｚに、はんだペーストＳを充填する（図３（ＩＩ）はんだペースト充填工程）。各貫通孔に充填されたはんだペーストをそれぞれＳｗ、Ｓｘ、Ｓｙ、Ｓｚ（ＳｗおよびＳｘは図示せず）とする。スキージ３０は、平板状マスク４０に押し付けられながら平板状マスク４０上を矢印方向に平行移動する。はんだペーストＳは、各貫通孔の内壁面と被印刷面とで区画された空間に隙間無く充填され、余剰はスキージ３０により摺り切られ、平板状マスク４０の表面がならされる。なお、スキージの移動方向は、マスク可動部４２がスライドできない方向と同一の方向であるため、マスク本体４１からのマスク可動部４２のずれは抑制される。
【００５０】
各貫通孔にはんだペーストＳを充填後、マスク可動部４２をスライド移動させる（図３（ＩＩＩ）はんだペースト摺切工程）。マスク可動部４２を矢印方向にスライド移動させると、貫通孔４０ｚに充填されたはんだペーストＳｚのうち可動貫通孔４２ｚに充填されたはんだペーストＳｚ’が、マスク可動部４２とともに移動する。マスク可動部４２の移動により、貫通孔４０ｚに充填されたはんだペーストＳｚの一部が、可動貫通孔４２ｚの内壁面で摺り切られる。その結果、被印刷物１の表面には、第二貫通孔４１ｚ内のはんだペーストＳｚ−が残存する。一方、貫通孔４０ｗ、４０ｘおよび４０ｙには、はんだペーストＳｗ、ＳｘおよびＳｙがそのまま残存する。
【００５１】
その後、被印刷物１と平板状マスク４０とを分離する（図３（ＩＶ）マスク分離工程）。被印刷物１の表面（被印刷面）には、はんだペーストＳｗ、Ｓｘ、Ｓｙ、Ｓｚ−が印刷される。はんだペーストＳｗ、ＳｘおよびＳｙは、貫通孔４０ｗ、４０ｘおよび４０ｙの厚さ方向の長さに相当する厚みをもつ。一方、はんだペーストＳｚ−の厚みは、貫通孔４０ｚに充填された厚みよりもマスク可動部４２の厚み分だけ減少し、第二貫通孔４１ｚの厚さ方向の長さに相当する。つまり、被印刷面には、厚みの異なるはんだペーストが印刷される。
【００５２】
また、図４〜図７は、平板状マスクの変形例であり、本発明のスクリーン印刷用マスクを用いたはんだペーストの印刷方法を模式的に示す説明図である。図４は本発明のスクリーン印刷用マスクを構成する薄板状マスクの斜視図である。図５〜図７は、隣接する２つの貫通孔における断面図である。
【００５３】
平板状マスク５０は、３枚の薄板状マスク（ベースマスク５１、部分可動マスク５２および５３）とからなり、それらを互いに重ね合わせることで厚さ方向に貫通する貫通孔５０ｗ、５０ｘ、５０ｙおよび５０ｚをもつ。３枚の薄板状マスクは矩形形状を呈し、各貫通孔の断面形状も矩形形状である。
【００５４】
ベースマスク５１は、下部貫通孔５１ｗ、５１ｘ、５１ｙおよび５１ｚを有する。また、部分可動マスク５２は固定貫通孔５２ｗ、５２ｘ、５２ｚおよび可動貫通孔５２ｙを、部分可動マスク５３は固定貫通孔５３ｗおよび可動貫通孔５３ｘ、５３ｙ、５３ｚを、それぞれ有する。下部貫通孔、固定貫通孔および可動貫通孔は、それぞれ、平板状マスク５０が有する４つの貫通孔の一部分である。したがって、ベースマスク５１、部分可動マスク５２および５３を重ね合わせることで、下部貫通孔、固定貫通孔および可動貫通孔は図のように同軸的に連通する。
【００５５】
ベースマスク５１は、１枚の薄板からなり、スクリーン印刷の際に被印刷物１の表面（被印刷面）に固定される。そして、部分可動マスク５２および５３は、ベースマスク５１の表面に厚さ方向に順に重ね合わせられる。部分可動マスク５２は、固定マスク片５２’と可動マスク片５２”とからなる。固定マスク片５２’は、固定貫通孔５２ｗ、５２ｘおよび５２ｚを有する。可動マスク片５２”は、可動貫通孔５２ｙを含んで部分可動マスク５２から分割される。固定マスク片５２’は、ベースマスク５１上の所定の位置に固定され、可動貫通孔５２ｙと下部貫通孔５１ｙとが連通する。可動マスク片５２”は、ベースマスク５１上に固定マスク片５２’と面一に配置され、ベースマスク５１の表面をスライド移動可能である。また、部分可動マスク５３は、固定マスク片５３’と可動マスク片５３”とからなる。固定マスク片５３’は、固定貫通孔５３ｗを有する。可動マスク片５３”は、可動貫通孔５３ｘ、５３ｙおよび５３ｚを含んで部分可動マスク５３から分割される。固定マスク片５３’は、部分可動マスク５２上の所定の位置に固定される。可動マスク片５３”は、部分可動マスク５２上に固定マスク片５３’と面一に配置され、部分可動マスク５２の表面をスライド移動可能である。
【００５６】
なお、ベースマスク５１、固定マスク片５２’および５３’によりマスク本体（図４の網掛け部分に相当）が、可動マスク片５２”および５３”によりマスク可動部（図４の白抜き部分に相当）が、それぞれ構成されると捉えることもできる。したがって、貫通孔５０ｗ（下部貫通孔５１ｗと固定貫通孔５２ｗ、５３ｗとからなる）により第一貫通孔、下部貫通孔５１ｘと固定貫通孔５２ｘあるいは下部貫通孔５１ｚと固定貫通孔５２ｚにより第二貫通孔、さらに短い貫通孔として下部貫通孔５１ｙにより第三貫通孔、がそれぞれ構成される。
【００５７】
平板状マスク５０をもつスクリーン印刷用マスクを用いて被印刷面にはんだペーストを印刷するには、はじめに、スクリーン印刷装置のステージ９に被印刷物１を載置する。次に、各貫通孔が所定の位置となるように、被印刷物１の表面（被印刷面）を平板状マスク５０で覆う（図５（Ｉ）マスク固定工程）。このとき、ベースマスク５１は、後の手順で被印刷物１に対する位置が変わらないように固定される。また、固定マスク片５２’および５３’は、隣接する薄板状マスクに固定される。一方、可動マスク片５２”および５３”は、面方向にスライド移動可能な状態で、薄板状マスクに載置される。この状態では、下部貫通孔、固定貫通孔および可動貫通孔は同軸的に連通して貫通孔５０ｗ、５０ｘ、５０ｙおよび５０ｚをなす。
【００５８】
次に、スキージを用いて、貫通孔５０ｗ、５０ｘ、５０ｙおよび５０ｚに、はんだペーストＳを充填する（図５（ＩＩ）はんだペースト充填工程）。各貫通孔に充填されたはんだペーストをそれぞれＳｗ、Ｓｘ、Ｓｙ、Ｓｚ（ＳｗおよびＳｘは図５に図示せず）とする。はんだペーストＳは、各貫通孔の内壁面と被印刷面とで区画された空間に隙間無く充填され、余剰はスキージ３０により摺り切られ、平板状マスク５０の表面がならされる。
【００５９】
各貫通孔にはんだペーストＳを充填後、可動マスク片５２”および５３”を順にスライド移動させる。
【００６０】
はじめに、可動マスク片５３”をスライド移動させて、貫通孔５０ｘ、５０ｙおよび５０ｚに充填されたはんだペーストＳｘ、ＳｙおよびＳｚを可動貫通孔５３ｘ、５３ｙおよび５３ｚの内壁面により摺り切る（図６：はんだペースト摺切工程）。その結果、被印刷物１の表面には、固定貫通孔５２ｙ、可動貫通孔５２ｘおよび５２ｚ、下部貫通孔５１ｘ、５１ｙおよび５１ｚ内のはんだペーストＳｘ−、Ｓｙ−およびＳｚ−（Ｓｘは図示せず）が残存する。一方、貫通孔５０ｗには、はんだペーストＳｗがそのまま残存する。
【００６１】
次に、可動マスク片５２”をスライド移動させて、可動貫通孔５２ｙおよび下部貫通孔５１ｙに充填されたはんだペーストＳｙ−を可動貫通孔５２ｙの内壁面により摺り切る（図７（ＩＶ）はんだペースト摺切工程）。その結果、被印刷物１の表面には、下部貫通孔５１ｙ内のはんだペーストＳｙ−−が残存する。一方、他の貫通孔には、はんだペーストＳｗ、Ｓｘ−およびＳｚ−がそのまま残存する。
【００６２】
その後、被印刷物１と、ベースマスク５１および固定マスク片５２’および５３’と、を分離する（図７（Ｖ）マスク分離工程）。被印刷物１の表面（被印刷面）には、はんだペーストＳｗ、Ｓｘ−、Ｓｙ−−およびＳｚ−が印刷される。はんだペーストＳｗは、貫通孔５０ｗに充填されたままの厚みである。一方、はんだペーストＳｘ−、Ｓｙ−−およびＳｚ−の厚みは、貫通孔５０ｘ、５０ｙおよび５０ｚに充填された厚みよりも可動マスク片５２”および５３”の厚み分だけ減少する。つまり、被印刷面には、厚みの異なるはんだペーストが印刷される。
【００６３】
なお、可動マスク片５２”および５３”をそれぞれ別々にスライド移動させる例を説明したが、予め可動マスク片５２”および５３”を互いに一体的に固定することで、スライド移動を一度に行ってもよい。
【００６４】
以上の具体例では、平板状マスクの形状は平面視で矩形としたが、長方形、正方形の他、台形、三角形、円形、また、矩形に切り欠きを形成した形状であってもよい。また、ベースマスクと部分可動マスクの寸法を同じにする必要はなく、ベースマスクの寸法を部分可動マスクよりも大きくして、スライド移動後もマスク可動部をベースマスク上に載置してもよい。
【００６５】
また、貫通孔の形状にも限定はなく、矩形の他、円形であってもよい。また、第一貫通孔と第二貫通孔（下部貫通孔と固定貫通孔あるいは第三貫通孔）の形状や寸法は被印刷物に応じて設定すればよいが、可動貫通孔の形状および寸法に特に制限はない。はんだペーストの充填の際に全ての貫通孔全体に隙間無くはんだペーストが充填され、可動貫通孔の内壁面が第二貫通孔の開口を通過することで、はんだペーストの摺り切りが良好に行われるのであれば、図８に模式的に示すように、１つの可動貫通孔が複数の第二貫通孔に連通してもよい。なお、図８の上図は平板状マスク６０を模式的に示す平面図であって、下図は平板状マスク６０を模式的に示す側面図である。図８において、平板状マスク６０は、厚さ方向に貫通する貫通孔６０ｗ、６０ｘｚおよび６０ｙをもち、マスク本体６１とマスク可動部６２とからなる。平板状マスク６０は全体として矩形形状を呈し、各貫通孔の断面形状も矩形形状である。
【００６６】
マスク本体６１は、第一貫通孔としての貫通孔６０ｗおよび６０ｙと、第一貫通孔よりも厚さ方向の長さが短い第二貫通孔６１ｘおよび６１ｚと、を有する。そのため、マスク本体４１は、第一貫通孔６０ｗおよび６０ｙをもつ肉厚部と、第二貫通孔６１ｘおよび６１ｚをもつ肉薄部と、からなり、表面に第二貫通孔６１ｘおよび６１ｚが開口する段差部６１ｔをもつ。第二貫通孔６１ｘおよび６１ｚは、平板状マスク６０が有する３つの貫通孔のうちのひとつである貫通孔６０ｘｚの一部分である。
【００６７】
マスク可動部６２は、マスク本体６１の段差部６１ｔに嵌合し、全体として平板状マスク６０を構成する。マスク可動部６２は、平板状マスク６０が有する３つの貫通孔のうちのひとつである貫通孔６０ｘｚの一部分である可動貫通孔６２ｘｚを有する。可動貫通孔６２ｘｚは、マスク可動部６２が段差部６１ｔに嵌合した状態で第二貫通孔６１ｘおよび６１ｚと連通し、第二貫通孔６１ｘおよび６１ｚと可動貫通孔６２ｘｚとでひとつの貫通孔６０ｘｚをなす。マスク可動部６２を図８下図の矢印方向に面方向にスライド移動させることで、貫通孔６０ｘｚに充填されるはんだペーストＳｘｚは、可動貫通孔６２ｘｚの内壁面により摺り切られる。
【００６８】
また、可動貫通孔の内壁面を、厚さ方向に対して傾斜させてもよい。一例を図９に示す。図９は、平板状マスクを模式的に示す断面図であって、貫通孔付近の部分拡大図である。平板状マスク７０は、マスク本体７１とマスク可動部７２とからなり、厚さ方向に貫通する貫通孔７０ｘを有する。マスク本体７１は、表裏を貫通する第二貫通孔７１ｘを有する。マスク可動部７２は、表裏を貫通する可動貫通孔７２ｘを有する。両者は、厚さ方向に重ね合わせられることで同軸的に連通し、貫通孔７０ｘを構成する。第二貫通孔７１ｘは面方向あるいは厚さ方向において一定の矩形断面を有する。一方、可動貫通孔７２ｘは、厚さ方向に対して傾斜した傾斜面Ｐをもつ。傾斜面Ｐは、厚さ方向を基準として摺り切る方向（図９下図の矢印で示すスライド方向）に傾斜する。マスク可動部７２がスライド移動する際には、可動貫通孔７２ｘに充填されたはんだペーストは、マスク可動部７２の移動とともに傾斜面Ｐで第二貫通孔７１ｘに押し付けられる。すなわち、傾斜面Ｐは、はんだペースト摺切工程において、スキージの役割を果たす。
【００６９】
なお、以上の具体例では、説明の簡略化のため、貫通孔の数を４つとした。しかし、貫通孔の数は２つ以上であればよい。
【００７０】
また、上記の平板状マスク４０および６０では、段差部４１ｔおよび６１ｔの断面形状がＬ字型であるため、マスク可動部４２および６２のスライド方向によっては、各マスク可動部のスライド方向は各段差部により所定の方向に案内される。特に、マスク可動部のスライド方向を決まった一方向に案内したい場合には、段差部と案内手段とを兼用させるとよい。図１０は、平板状マスク４０（図３）の変形例を示す平面図である。マスク本体４１は、第二貫通孔４１ｚが開口する段差部４１ｔの表面ｔ１と、表面ｔ１から立ち上がる面ｔ２、ｔ３およびｔ４から区画されるなる平面視でコの字型の段差部４１ｔ’を有する。段差部４１ｔ’により、マスク可動部４２のスライド方向は一方向に決定される。案内手段を兼用する段差部は、平面視でコの字型に限定されるものではなく、貫通孔の配置に応じて適宜選択すればよい。
【００７１】
また、具体例では、マスク可動部を平板状マスクの外側に向けて面方向にスライド移動させているが、内側に向けてスライド移動させてもよい。平板状マスクの内側に向けてマスク可動部をスライド移動させる場合には、平板状マスクの中央部にスライド移動後のマスク可動部を収容する収容空間が必要となる。この収容空間は、平板状マスクの表面部に形成された凹部であって、スキージの移動が妨げられないで程度の大きさであれば悪影響はない。
【００７２】
さらに、図３において、段差部４１ｔは断面Ｌ字型で、段差部４１ｔを区画する表面ｔ１、ｔ２およびｔ３は互いに直交する平坦な面である。しかし、これらの面は必ずしも直交する必要はない。また、図３において、段差部４１ｔに嵌合するマスク可動部４２は、段差部４１の表面ｔ１、ｔ２およびｔ３と接触している。マスク可動部４２は、少なくとも表面ｔ１と接触して配置されればよく、スキージの移動が妨げられないで程度であれば、表面ｔ２およびｔ３とマスク可動部４２との間に間隙があってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】スクリーン印刷法によるはんだペーストの一般的な塗布手順を模式的に示す説明図である。
【図２】本発明のスクリーン印刷用マスクを用いたはんだペーストの印刷方法を模式的に示す説明図であって、平板状マスクの平面図である。
【図３】本発明のスクリーン印刷用マスクを用いたはんだペーストの印刷方法を模式的に示す説明図であって、図２のＡ−Ａ’断面を示す。
【図４】本発明のスクリーン印刷用マスクを構成する薄板状マスクを模式的に示す斜視図である。
【図５】本発明のスクリーン印刷用マスクを用いたはんだペーストの印刷方法を模式的に示す説明図であって、重ね合わせられた薄板状マスクの断面を図４の正面から見た断面図である。
【図６】本発明のスクリーン印刷用マスクを用いたはんだペーストの印刷方法を模式的に示す説明図であって、マスク可動部の位置部がスライド移動した後の平板状マスクの断面を図４の正面から見た断面図（ＩＩＩ−１）と、図４の左側面から見た断面図（ＩＩＩ−２）である。
【図７】本発明のスクリーン印刷用マスクを用いたはんだペーストの印刷方法を模式的に示す説明図であって、マスク可動部が全てスライド移動した後の平板状マスク（ＩＶ）およびスクリーン印刷後の被印刷物（Ｖ）の断面を図４の正面から見た断面図である。
【図８】本発明のスクリーン印刷用マスクを用いたはんだペーストの印刷方法を模式的に示す説明図であって、上図は平板状マスクの平面図、下図は平板状マスクの側面図である。
【図９】本発明のスクリーン印刷用マスクを用いたはんだペーストの印刷方法を模式的に示す説明図であって、平板状マスクの貫通孔付近の部分拡大断面図である。
【図１０】図３に示す平板状マスクの変形例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００７４】
４０，５０，６０，７０：平板状マスク
４０ｗ，４０ｘ，４０ｙ，４０ｚ：貫通孔（４０ｗ，４０ｘ，４０ｙ：第一貫通孔）
４１：マスク本体    ４１ｔ：段差部    ４１ｚ：第二貫通孔
４２：マスク可動部    ４２ｚ：可動貫通孔
５０ｗ，５０ｘ，５０ｙ，５０ｚ：貫通孔
５１：ベースマスク    ５１ｗ，５１ｘ，５１ｙ，５１ｚ：下部貫通孔
５２：部分可動マスク
５２’：固定マスク片    ５２ｗ，５２ｘ，５２ｚ：下部貫通孔
５２”：可動マスク片    ５２ｙ：可動貫通孔
５３：部分可動マスク
５３’：固定マスク片    ５３ｗ：固定貫通孔
５３”：可動マスク片    ５３ｘ，５３ｙ，５３ｚ：可動貫通孔
Ｓ：はんだペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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