(57)【要約】【課題】電極基板の破損が起こり難くて簡便に取扱いでき、使い棄てできるように安価に製造された誘電泳動電極、並びにそれを用いた誘電泳動セル及び誘電体微粒子の捕集装置を提供する。【解決手段】液体試料中の誘電体微粒子を誘電泳動法にて捕集するための電極であって、可撓性を有する基材１の片面に、導電性薄膜からなる電極パターン２、または、導電性薄膜の上にメッキ層が積層された電極パターン４が形成されてなることを特徴とする誘電泳動電極５、並びにそれを用いた誘電泳動セル及び誘電体微粒子の捕集装置を提供する。前記導電性薄膜は、写真製法により形成された現像銀の薄膜であることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体試料中の誘電体微粒子を誘電泳動法にて捕集するための電極であって、可撓性を有する基材の片面に、写真製法により形成された現像銀の薄膜からなる電極パターンが形成されてなることを特徴とする誘電泳動電極。
【請求項２】
液体試料中の誘電体微粒子を誘電泳動法にて捕集するための電極であって、可撓性を有する基材の片面に電極パターンが形成されてなり、前記電極パターンが、写真製法により形成された現像銀の薄膜の上に、無電解メッキおよび／または電解メッキにて、金、白金、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、銀、アルミニウム、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、錫などの金属群から選択された金属の１種または２種以上からなる金属メッキ層を積層してなる電極パターンであることを特徴とする誘電泳動電極。
【請求項３】
液体試料中の誘電体微粒子を誘電泳動法にて捕集するための電極であって、可撓性を有する基材の片面に、導電性薄膜からなる電極パターンが形成されてなることを特徴とする誘電泳動電極。
【請求項４】
前記導電性薄膜が、金属粒子、カーボンナノ粒子もしくはカーボンファイバーの中から選択された１種以上を含有する導電性ペーストを印刷して形成した導電性薄膜、無電解メッキ触媒を含有するペーストを印刷して形成した導電性薄膜、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンのいずれかを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう、剥離（リフトオフ）法により形成した導電性薄膜、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成した導電性薄膜、金属箔をフォトリソ法によりエッチングして形成した導電性薄膜、のいずれかであることを特徴とする請求項３に記載の誘電泳動電極。
【請求項５】
前記電極パターンが、前記導電性薄膜の上に、無電解メッキおよび／または電解メッキにて、金、白金、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、銀、アルミニウム、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、錫などの金属群から選択された金属の１種または２種以上からなる金属メッキ層を積層してなる電極パターンであることを特徴とする請求項４に記載の誘電泳動電極。
【請求項６】
前記可撓性を有する基材の片面に、少なくとも一対の前記電極パターンが形成されてなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の誘電泳動電極。
【請求項７】
前記電極パターンが、櫛型電極からなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の誘電泳動電極。
【請求項８】
前記櫛型電極は、線幅が１〜２００μｍ、溝間隔が０．１〜１０００μｍ、線厚みが０．０５〜３０μｍであることを特徴とする請求項７に記載の誘電泳動電極。
【請求項９】
前記電極パターンと外部の電源に接続するための接続配線パターンの上には、液体試料から電気絶縁するための誘電膜が形成されていることを特徴とする請求項８に記載の誘電泳動電極。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の誘電泳動電極を用いてなる、誘電泳動セル。
【請求項１１】
請求項１〜９のいずれかに記載の誘電泳動電極を用いてなる、誘電泳動による誘電体微粒子の捕集装置。
【請求項１２】
前記誘電泳動電極は、前記可撓性を有する基材がフィルム基材からなる電極フィルムであり、前記誘電泳動セルが、前記電極フィルムと、前記電極フィルムを載置するための透明な下部支持板と、液体試料の通過する空隙を形成するように前記電極フィルムの上に積層されたスペーサーと、液体試料の出入口を有する上部透明カバー板とを備え、前記上部透明カバー板が、前記スペーサーを介して前記電極フィルムの上に積層され、かつ容易に剥離できないように接着されてなることを特徴とする請求項１０に記載の誘電泳動セル。
【請求項１３】
前記誘電泳動電極は、前記可撓性を有する基材がフィルム基材からなる電極フィルムであり、前記誘電泳動セルが、前記電極フィルムと、前記電極フィルムを載置するための透明な下部支持板と、液体試料の通過する空隙を形成するように前記電極フィルムの上に積層されたスペーサーと、液体試料の出入口を有する上部透明カバー板とを備え、前記上部透明カバー板が、前記スペーサーを介して前記電極フィルムの上に積層され、かつ再剥離できるように接着されてなることを特徴とする請求項１０に記載の誘電泳動セル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電泳動の現象を用いて液体中の誘電体微粒子を捕集する誘電泳動電極、並びにそれを用いた誘電泳動セル及び誘電体微粒子の捕集装置に関する。
さらに詳細には、電極基板の破損が起こり難くて簡便に取扱いでき、使い棄てできるように安価に製造された誘電泳動電極、並びにそれを用いた誘電泳動セル及び誘電体微粒子の捕集装置を提供することに関する。
【０００２】
なお、本発明における誘電体微粒子とは、誘電泳動法により捕集することができる誘電体からなる固体粒子、及び動物細胞、植物細胞、細菌、原生動物、酵母、カビ、芽胞などの微生物である。
以下の説明では、関連する用途との繋がりを理解し易くするために、誘電体微粒子の代表として主に微生物の名称を使用するが、本発明は誘電体の特性を有する全ての微粒子の捕集に適用される。
【背景技術】
【０００３】
液体試料中に含まれる微生物の存在の有無を迅速に確認測定することが食品製造、医薬品製造、半導体製造などの各種の産業分野において重要になっている。例えば、食品製造産業においては、使用する洗浄水、希釈水、飲料水などの液体中に有害な細菌等の微生物が含まれないように殺菌処理、滅菌処理を施しているが、その処理工程に不具合があり、最終製品に細菌等の有害な微生物が混入していれば製品を出荷できない状況となる。
消費者が求める安全な製品に対する関心は、近年、極めて高くなっており、病原菌に汚染された製品を、誤って不注意に出荷した場合の企業活動に与える影響は甚大である。場合によっては、企業の存亡に直結する事態も生じることから、産業界にとって衛生管理された製造工程を維持することが、益々、重要となっている。
【０００４】
従来、細菌の有無を検査するための目的微生物の分離には、選択培地を用いたコロニーカウント法が用いられているが、結果が得られるまでに１日から数日程度の長時間が掛かり、また、培養できない微生物には適用できないなどの問題点がある。
このため、製品に細菌が含有されていないかどうかを確認するために行なう製品出荷前の検査を、より迅速に行い、確認検査の結果に基づいて必要な対策処置を講ずることが求められている。
【０００５】
液体中の微粒子を捕集する方法として、対向する電極間に電圧を印加して、微粒子を電極に捕集して除去する方法が提案されている（例えば、特許文献１）。
この方法はいわゆる電気泳動法であって、一様な平等電界中で荷電し、微粒子を電極に集めて除去する方法であり、微粒子を移動させるためには高電圧を印加する必要があり、また荷電していない微粒子は集めることができないという問題点がある。
【０００６】
一方、最近注目されている誘導泳動による液体中の微生物などの微粒子の捕集は、電気泳動と異なり、微粒子が有する電荷に依存しておらず、荷電量がわずかな微生物を低電圧で捕集できるとし、誘導泳動法による微生物の分離を目的としたチップが開示されている（例えば、非特許文献１）。
誘電泳動においては、微小電極による交流周波数により電場が生じる場合、扱われる微生物などの粒子と周囲の液体の間の分極特性が周波数に依存している。
微生物などの粒子では、微小電極を用いることで従来に比べて低電圧を使用することができる。このため、誘電泳動で捕集された微生物の細胞膜が破壊するのを回避できる特性を有する。
【０００７】
また、液体中に含まれる微生物を測定するための装置として、液体が導入されるセルの中に備えられた誘電泳動電極の電極間に、交流電圧を印加して電極に微生物を捕集し、インピーダンスを測定して微生物数を算出する微生物数測定装置が知られている（特許文献２、３、４）。
【０００８】
また、誘電泳動による微生物測定装置に用いられる誘電泳動電極に関して各種のものが開示されている（特許文献４、５、６）。また、誘電泳動を用いてタンパクなどの分子を基板上に任意の形状で固定する分子パターニング装置が開示されている（特許文献７）。さらに、半導体製造工程、医療材料製造工程などで使用される超純水において、微粒子や微生物を除去するための誘電泳動による水中微粒子の除去装置が開示されている（特許文献８）。
【特許文献１】特開昭６１−１８７９８９号公報
【特許文献２】特開２０００−１２５８４６号公報
【特許文献３】特開２００３−０００２２３号公報
【特許文献４】特開２００５−２３３９２０号公報
【特許文献５】特開２００１−１６５９０６号公報
【特許文献６】特開２００７−００６８５８号公報
【特許文献７】特開平５−０９８４８４号公報
【特許文献８】特開２０００−０６１４７２号公報
【非特許文献１】鈴木雅登ら、「誘電泳動法による微小流体中での微生物の生死分離」、ＢＵＮＳＥＫＩ  ＫＡＧＡＫＵ、２００５年、第５４巻、第１２号、ｐ．１１８９−１１９５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
非特許文献１では、誘電泳動法を用いて微生物の生死分離を行うチップが開示されている。このチップは、ガラス製の基板に形成されたＩＴＯ蒸着膜をフォトリソ法にてパターン化して電極板とし、その上にシリコン板のスペーサー（厚み３００μｍ）を介して液体の出入口を備えたアクリル板を積層したものである。このチップは、ガラス製の基板を用いているため、破損させないように注意して取り扱う必要があり操作が不便である。また、ガラス製の基板に形成した金属酸化物の蒸着膜をフォトリソ法にてエッチングしてパターンを形成するという製造方法の制約から、量産性に劣るため安価に製造できないという問題がある。
【００１０】
特許文献２には、誘電泳動法による微生物数測定装置であって、複数の電極を備えたセルと、電極間に交流電圧を印加する泳動電源回路と、電圧を印加した電極間のインピーダンスを測定して微生物数を算出する微生物数測定装置が開示されている。基板上に形成されている櫛型電極は、厚みが５〜５０ｎｍと極めて薄い膜である。この櫛型電極は、ホウ酸ガラスからなる基板の片面にスパッタリングや蒸着によりクロムを下地とした白金薄膜を付着させ、フォトリソグラフィーにより電極パターンを形成することが開示されている。非特許文献１と同様に、ガラス製の基板を用いているため、破損させないように取扱いに注意を要して不便である。また、ガラス製の基板に形成した金属のスパッタ膜や蒸着膜をフォトリソ法にてエッチングしてパターンを形成するという製造方法の制約から、量産性に劣るため安価に製造できないという問題がある。
【００１１】
特許文献３には、特許文献２と同様な誘電泳動法による微生物数測定装置であって、一対の電極間に交流電圧を印加して複数種類の微生物を誘電泳動で濃縮し、電極間に固相化された抗体が特定の微生物と特異的に反応して分離し、その後電極間のインピーダンスを測定して特定の微生物のみの微生物数を算出する微生物測定装置及び微生物測定用電極チップが開示されている。ガラス基板やプラスチック基板にスパッタリングや蒸着、メッキ等でクロムや白金等の薄膜を製膜し、フォトリソグラフィー等でエッチングして電極を形成するとしている。櫛型電極は、例えば、線幅が３０から１００μｍである電極を、溝間隔５〜１０μｍで対向させている。電極の膜厚みは、５０〜２００ｎｍ程度である。非特許文献１と同様に、ガラス製の基板を用いた場合には、破損させないように注意して取り扱う必要があり操作が不便であるという問題がある。
【００１２】
特許文献４には、ガラス基板またはシリコンウェハー基板に作成した櫛型電極（マイクロアレイ電極）上に、他のガラス基板に一本の溝を彫ることによって形成した溶液通路を重ね合わせ、その櫛型電極に高周波電圧を印加し、溶液通路入口から分配剤微粒子溶液を導入して、微粒子を電極パターンに従って電極上に捕集する装置が開示されている。
非特許文献１と同様に、ガラス製の基板を用いた場合には、破損させないように注意して取り扱う必要があり操作が不便である。
【００１３】
特許文献５には、誘電泳動力を利用して、２種以上の分子を相互に分離する方法が開示されている。特許文献５の段落００９１には、電極は、通常、例えばガラス、石英、シリコン等の非導電性の材質からなる基板上に、自体公知の微細加工技術を用いて、一対以上の上記した如き形状の電極を櫛歯状に設けることにより作製されるとしている。
また、実施例ではガラス基板にアルミ蒸着し、フォトリソグラフィー等でエッチングして電極パターンを形成していることから、破損させないように注意して取り扱う必要があり操作が不便である。
【００１４】
特許文献６には、誘電泳動法による微生物数の測定装置に使用する微生物検査チップ（誘電泳動センサー）が開示されている。微生物数の測定装置は、誘電泳動電極を備えた微生物検査チップと、誘導泳動電極に交流電圧を印加してインピーダンス変化の測定を行う測定本体とからなる。特許文献６の段落００２８において、基板を樹脂材料で形成し、誘電泳動電極を導電性ペーストで形成することにより、安価な微生物検査チップを実現することができるとしている。しかし、基板が可撓性を有するかどうかは不明であり、何ら示唆されていない。
【００１５】
特許文献７には、誘電泳動法を用いて、溶液中のタンパクなどの分子を引き寄せ（または反発させ）て、これを基板に吸着させる誘電泳動電極が開示されている。
実施例によると、ガラス基板上に設けられた波型形状を持つ電極が形成されている。しかし、非特許文献１と同様に、ガラス製の基板を用いた場合には、破損させないように注意して取り扱う必要があり操作が不便である。
【００１６】
特許文献８には、誘電泳動による水中微粒子の除去装置が開示されている。この装置では、対向する電極間に形成される電界の絞り部を形成し、電極間に被処理水を流し、電極間に高電圧パルスを印加して誘電泳動により水中の微粒子を捕捉するものである。実施例によると、誘電泳動電極は、間隔が３ｍｍと離れているアルミニウムの平行平板電極であるが、電極が可撓性を有するかどうかは不明であり、何ら示唆されていない。
【００１７】
このように、従来技術においては、主として可撓性を有しないガラス基板にスパッタリングや蒸着により形成した金属薄膜を、フォトリソグラフ法にてエッチングして電極パターンを得ることにより誘電泳動電極を作製していた。
ガラス基板を用いているため、破損させないように注意して取り扱う必要があり操作が不便であった。また、ガラス基板に形成した金属のスパッタ膜や蒸着膜をフォトリソ法にてエッチングしてパターンを形成するという製造方法の制約から、量産性に劣るため安価に製造できないという問題があった。
【００１８】
本発明は、電極基板の破損が起こり難くて簡便に取扱いでき、使い棄てできるように安価に製造された誘電泳動電極、並びにそれを用いた誘電泳動セル及び誘電体微粒子の捕集装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記課題を解決するため、本発明は、液体試料中の誘電体微粒子を誘電泳動法にて捕集するための電極であって、可撓性を有する基材の片面に、写真製法により形成された現像銀の薄膜からなる電極パターンが形成されてなることを特徴とする誘電泳動電極を提供する。
【００２０】
また、本発明は、液体試料中の誘電体微粒子を誘電泳動法にて捕集するための電極であって、可撓性を有する基材の片面に電極パターンが形成されてなり、前記電極パターンが、写真製法により形成された現像銀の薄膜の上に、無電解メッキおよび／または電解メッキにて、金、白金、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、銀、アルミニウム、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、錫などの金属群から選択された金属の１種または２種以上からなる金属メッキ層を積層してなる電極パターンであることを特徴とする誘電泳動電極を提供する。
【００２１】
また、本発明は、液体試料中の誘電体微粒子を誘電泳動法にて捕集するための電極であって、可撓性を有する基材の片面に、導電性薄膜からなる電極パターンが形成されてなることを特徴とする誘電泳動電極を提供する。
【００２２】
また、前記導電性薄膜が、金属粒子、カーボンナノ粒子もしくはカーボンファイバーの中から選択された１種以上を含有する導電性ペーストを印刷して形成した導電性薄膜、無電解メッキ触媒を含有するペーストを印刷して形成した導電性薄膜、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンのいずれかを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう、剥離（リフトオフ）法により形成した導電性薄膜、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成した導電性薄膜、金属箔をフォトリソ法によりエッチングして形成した導電性薄膜、のいずれかであることが好ましい。
【００２３】
また、前記電極パターンが、前記導電性薄膜の上に、無電解メッキおよび／または電解メッキにて、金、白金、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、銀、アルミニウム、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、錫などの金属群から選択された金属の１種または２種以上からなる金属メッキ層を積層してなる電極パターンであることが好ましい。
【００２４】
また、前記可撓性を有する基材の片面に、少なくとも一対の前記電極パターンが形成されてなることが好ましい。
【００２５】
また、前記電極パターンが、櫛型電極からなることが好ましい。
【００２６】
また、前記櫛型電極は、線幅が１〜２００μｍ、溝間隔が０．１〜１０００μｍ、線厚みが０．０５〜３０μｍであることが好ましい。
【００２７】
また、前記電極パターンと外部の電源に接続するための接続配線パターンの上には、液体試料から電気絶縁するための誘電膜が形成されていることが好ましい。
【００２８】
また、本発明は、上記に記載の誘電泳動電極を用いてなる、誘電泳動セルを提供する。
【００２９】
また、本発明は、上記に記載の誘電泳動電極を用いてなる、誘電泳動による誘電体微粒子の捕集装置を提供する。
【００３０】
また、前記誘電泳動電極は、前記可撓性を有する基材がフィルム基材からなる電極フィルムであり、前記誘電泳動セルが、前記電極フィルムと、前記電極フィルムを載置するための透明な下部支持板と、液体試料の通過する空隙を形成するように前記電極フィルムの上に積層されたスペーサーと、液体試料の出入口を有する上部透明カバー板とを備え、前記上部透明カバー板が、前記スペーサーを介して前記電極フィルムの上に積層され、かつ容易に剥離できないように接着されてなることが好ましい。
【００３１】
また、前記誘電泳動電極は、前記可撓性を有する基材がフィルム基材からなる電極フィルムであり、前記誘電泳動セルが、前記電極フィルムと、前記電極フィルムを載置するための透明な下部支持板と、液体試料の通過する空隙を形成するように前記電極フィルムの上に積層されたスペーサーと、液体試料の出入口を有する上部透明カバー板とを備え、前記上部透明カバー板が、前記スペーサーを介して前記電極フィルムの上に積層され、かつ再剥離できるように接着されてなることが好ましい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、可撓性を有する基材の上に誘電泳動電極が積層されてなるため、高価な電極基板の取扱い中に割れて破損することが無く、費用の無駄が省ける。また、可撓性を有する基材の上に誘電泳動電極が積層するため、生産方法の制約が少なく、例えば生産性の優れたロールｔｏロールで基材フィルムの上に電極を形成することが可能であり、使い棄てできるように安価に製造することができる。さらに、この安価製造された誘電泳動電極を用いた誘電泳動セル及び誘電体微粒子の捕集装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、最良の形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。
図１〜図４は、本発明の誘電泳動電極の実施形態例を示す図面であり、図１は、誘電泳動電極の平面図、図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う矢視断面図、図３は、図１のＢ部の部分拡大平面図、図４は、図３のＣ−Ｃ線に沿う矢視断面図である。図３（ａ）は、導電性薄膜からなる電極パターンを有する誘電泳動電極である。図３（ｂ）は、導電性薄膜の上にメッキ層が積層された電極パターンを有する誘電泳動電極である。
図５〜図７は、本発明の誘電泳動電極を用いた、誘電泳動セルの実施形態例を示す図面であり、図５は、誘電泳動セルの平面図、図６は、図５のＤ−Ｄ線に沿う矢視断面図、図７が、スペーサーの平面図である。
なお、図５は、上部透明カバー板１４が透明性を有するものとして、一対の櫛型電極からなる電極パターン２（または４）を実線とし、スペーサー１６の境界線を示すためスペーサー１６に斜線（ハッチング）を付した。また、電極フィルム５の境界線を示すため、点線を付した。
図８は、複数の電極パターンが形成された長尺の電極フィルムの例を示す平面図である。図９は、可撓性を有する基材の片面に形成された電極パターンの導電性薄膜の上に、電解メッキを行なう概略の製造工程図である。
【００３４】
図１〜図４に示すように、誘電泳動電極５の電極パターン２（または４）は、可撓性を有する基材１の上に導電性薄膜２が形成されてなる電極パターン２か、あるいは、基材１の上に導電性薄膜２が形成され、さらに金属メッキ層３が積層された電極パターン４であって、可撓性を有する基材１と合わせて電極フィルム５を構成している。
図１に示す櫛型電極の場合、通常、図３に示す部分拡大図のように、櫛型電極の幅寸法Ｗａに比べて、櫛型電極の溝幅寸法Ｗｂは狭くなっている。
図１に示すように、電極パターンと外部の電源に接続するための接続配線６、６が伸びている。この接続配線６、６の上には、液体試料から電気絶縁するための誘電膜が形成されている。誘電膜としては、特に制限されず、二酸化珪素膜の蒸着膜などの既に知られているものを用いることができる。
【００３５】
従来技術においては、主として可撓性を有しないガラス基板にスパッタリングや蒸着により形成した薄膜を、フォトリソグラフ法にてエッチングして電極パターンを得ることによる誘電泳動電極を作製していたため、生産性が低いという課題があった。
この課題を解決するため、本発明では可撓性を有する基材を用いており、図８に示すように、長尺の可撓性を有する基材の片面に、複数の電極パターンを連続して形成し、生産性を高めることが可能となっている。
例えば、写真製法により生成された現像銀からなる金属薄膜で電極パターンを形成する場合には、長尺の可撓性を有する基材の片面に感光剤が塗布されたロール状のフィルムを予め準備し、必要とされる電極パターンの形状を写し取るための露光マスクを用いて露光した後、現像して現像銀からなる金属薄膜で形成された電極パターンを得る。
図８に示す複数の金属薄膜からなる電極パターンが配置された長尺の可撓性を有する基材から裁断して、図１に示すような個々の電極フィルム５を作製することができる。
使用するロール状フィルムの横幅寸法と、露光・現像の工程速度に応じて、単位時間当たりに生産される電極パターンの数量が決められる。
【００３６】
図９は、図８に示す複数の電極パターンが形成された長尺の電極フィルム３０を用いて、電極パターンの導電性薄膜の上に、電解メッキを行なう概略の製造工程図である。
図９において、写真製法による現像銀などの導電性薄膜からなる電極フィルムのロール体２１から巻き戻された長尺の電極フィルム３０は、移送ロール２２、２２により左方向から右方向に移送される。
まず、水洗浄装置２３にて電極フィルム３０の上に付着しているゴミなどが洗い落とされ、次に電解メッキ装置２４にて導電性薄膜の上に金属メッキ層が積層される。電解メッキ装置２４を経た電極フィルムは、水洗浄装置２５にて電解液を洗い落とされ、次に乾燥装置２６にて水切り乾燥され、最後に導電性薄膜の上にメッキ層が積層された電極フィルムのロール体２７として巻き取られる。
図９に示した、移送ロール２２、水洗浄装置２３、２５、電解メッキ装置２４、乾燥装置２６などの設備は、公知の技術に基づいて製作された設備を用いることができる。
【００３７】
可撓性を有する基材１は、電極パターン２（または４）を支持する基材であり、材質には特に制限はないが、誘電泳動用電極フィルム５の取扱い性が優れている点で、フレキシブル性を有する樹脂フィルムが好適に用いられる。
また、電極パターン２（または４）に付着した誘電体微粒子を光学顕微鏡で観察するために、照明光を電極フィルム５の背後から照射して透過光を受光できるようにするため、透明基材であることが好ましい。可視領域で透明性を有し、一般に全光線透過率が９０％以上のものが好ましい。
可撓性を有する基材１に使用される透明樹脂フィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂等からなる厚さ５０〜３００μｍの単層フィルム又は前記透明樹脂からなる複数層の複合フィルムが挙げられる。
【００３８】
上部透明カバー板１４は、電極パターン２（または４）の上部を覆い、図６に示すような密閉された誘電泳動セル１０を形成するためのものであって、液体試料に耐食性を有するものであれば材質には特に制限はない。電極パターン２（または４）に付着した誘電体微粒子を光学顕微鏡で観察するために、照明光を誘電泳動電極の背後から照射して透過光を受光できるようにするには、透明基材であることが好ましい。
上部透明カバー板１４に使用される樹脂フィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂等からなる厚さ５０〜３００μｍの単層フィルム又は前記透明樹脂からなる複数層の複合フィルムが挙げられる。
【００３９】
スペーサー１６は、電極フィルム５の上に、液体流入口１１及び液体流出口１２を有する上部透明カバー板１４との間で、液体試料が通過する空隙を形成するために積層されるものであって、材質には特に制限はない。スペーサー１６は、不透明であっても、透明であってもよい。
スペーサー１６に使用される樹脂フィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂等からなる厚さ５０〜３００μｍの単層フィルム又は複数層の複合フィルムが挙げられる。
【００４０】
図１、図３、図５に示す電極パターン２（または４）は、櫛型電極からなり、可撓性を有する基材１の片面に設けられている。この櫛型電極は、対向する一対または複数の対の櫛型形状であって入れ子になっている導電性薄膜２、または導電性薄膜２の上にメッキ層３が積層してなる電極パターン４である。
【００４１】
誘電泳動電極の導電性薄膜からなる電極パターン２の形成は、写真製法により生成された現像銀からなる電極パターン、あるいは、金属粒子、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバーの中から選択した１種以上を含有する導電性ペーストを印刷して形成した電極パターン、無電解メッキ触媒を含有するペーストを印刷して形成した電極パターン、金属または金属酸化物の蒸着薄膜を基材の表面に積層した後に、フォトリソグラフィー法にて形成した電極パターンのいずれかであることが好ましい。
【００４２】
誘電泳動電極の導電性薄膜２の上にメッキ層３を積層してなる電極パターン４の形成は、写真製法により生成された現像銀からなる電極パターン、あるいは、金属粒子、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバーの中から選択した１種以上を含有する導電性ペーストを印刷して形成した電極パターン、無電解メッキ触媒を含有するペーストを印刷して形成した電極パターン、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンのいずれかを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物の真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう、剥離（リフトオフ）法により形成した電極パターンの上に、さらに、無電解メッキおよび／または電解メッキにて、金属メッキを積層してなる電極パターンであることが好ましい。
【００４３】
上記のとおり、本発明では、電極パターンの作製方法として、写真製法により生成された現像銀層から生成する方法、写真製法により生成された現像銀層の上にメッキを積層する方法、導電性ペーストを印刷することにより生成する方法、導電性ペーストを印刷することにより生成した金属層の上にメッキを積層する方法、剥離（リフトオフ）法により金属蒸着する方法、蒸着により生成された金属または金属酸化物の蒸着層の上にメッキを積層する方法などを用いることができる。以下にそれぞれの方法による電極パターンの作製方法と、併せて金属メッキ層について順に説明する。
【００４４】
（写真製法により生成された現像銀からなる金属薄膜）
現像銀層を生成するための写真製法に基づく露光現像法には、（ａ）露光マスクに覆われていなくて露光された部分に現像銀が発現する、即ち、露光マスクと反対の形に現像銀が表れるいわゆるネガ型の露光現像方法と、（ｂ）露光マスクに覆われて露光されなかった部分には現像銀が発現する、即ち、露光マスクと同じ形に現像銀が表れるいわゆるポジ型の露光現像方法の２通りがある。
本発明には、上記の２つの写真製法である（ａ）ネガ型の露光・現像方法と、（ｂ）ポジ型の露光・現像方法のいずれでも適用できる。
【００４５】
（写真製法）
以下、ポジ型の露光・現像方法（ＤＴＲ法）による現像銀メッシュパターンの作製方法について説明する。ＤＴＲ法の場合、可撓性を有する基材の表面には、予め物理現像核層が設けられていることが好ましい。物理現像核としては、重金属あるいはその硫化物からなる微粒子（粒子サイズは１〜数十ｎｍ程度）が用いられる。例えば、金、銀等のコロイド、パラジウム、亜鉛等の水溶性塩と硫化物を混合した金属硫化物等が挙げられる。これらの物理現像核の微粒子層は、真空蒸着法、カソードスパッタリング法、コーティング法等によって透明基材上に設けることができる。生産効率の面からコーティング法が好ましく用いられる。物理現像核層における物理現像核の含有量は、固形分で１平方メートル当たり０．１〜１０ｍｇ程度が適当である。
【００４６】
図１、２、４、６の可撓性を有する基材１には、塩化ビニリデンやポリウレタン等のポリマーラテックス層の接着層を設けることができ、また接着層と物理現像核層との間にはゼラチン等の親水性バインダーからなる中間層を設けることもできる。
物理現像核層は、親水性バインダーを含有するのが好ましい。親水性バインダー量は物理現像核に対して１０〜３００質量％程度が好ましい。親水性バインダーとしては、ゼラチン、アラビアゴム、セルロース、アルブミン、カゼイン、アルギン酸ナトリウム、各種デンプン、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミドとビニルイミダゾールの共重合体等を用いることができる。物理現像核層には親水性バインダーの架橋剤を含有することもできる。
【００４７】
物理現像核層や前記中間層等の塗布には、例えばディップコーティング、スライドコーティング、カーテンコーティング、バーコーティング、エアーナイフコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、スプレーコーティングなどの塗布方式で塗布することができる。本発明において物理現像核層は、上記したコーティング法によって、通常連続した均一な層として設けることが好ましい。
物理現像核層に金属銀を析出させるためのハロゲン化銀の供給は、基材上に物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層をこの順に一体的に設ける方法、あるいは別の紙やプラスチック樹脂フィルム等の基材上に設けられたハロゲン化銀乳剤層から可溶性銀錯塩を供給する方法がある。コスト及び生産効率の面からは前者の物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層を一体的に設けるのが好ましい。
【００４８】
前記ハロゲン化銀乳剤は、ハロゲン化銀写真感光材料の一般的なハロゲン化銀乳剤の製造方法に従って製造することができる。ハロゲン化銀乳剤は、通常、硝酸銀水溶液、塩化ナトリウムや臭化ナトリウムのハロゲン水溶液をゼラチンの存在下で混合熟成することによって作られる。
前記ハロゲン化銀乳剤層のハロゲン化銀組成は、塩化銀を８０モル％以上含有するのが好ましく、特に９０モル％以上が塩化銀であることが好ましい。塩化銀含有率を高くすることによって形成された物理現像銀の導電性が向上する。
前記ハロゲン化銀乳剤層は、各種の光源に対して感光性を有している。本発明において物理現像銀により電極パターンを形成する場合、ハロゲン化銀乳剤層の露光方法として、電極パターンの透過原稿とハロゲン化銀乳剤層を密着して露光する方法、あるいは各種レーザー光を用いて走査露光する方法等がある。前者の密着露光は、ハロゲン化銀の感光性は比較的低くても可能であるが、レーザー光を用いた走査露光の場合は比較的高い感光性が要求される。従って、後者の露光方法を用いる場合は、ハロゲン化銀の感光性を高めるために、ハロゲン化銀は化学増感あるいは増感色素による分光増感を施してもよい。
【００４９】
化学増感としては、金化合物や銀化合物を用いた金属増感、硫黄化合物を用いた硫黄増感、あるいはこれらの併用が挙げられる。好ましくは、金化合物と硫黄化合物を併用した金−硫黄増感である。上記したレーザー光で露光する方法においては、４５０ｎｍ以下の発振波長の持つレーザー光、例えば４００〜４３０ｎｍに発振波長を有する青色半導体レーザー（バイオレットレーザーダイオードともいう）を用いることによって、明室下（明るいイエロー蛍光灯下）でも取り扱いが可能となる。
物理現像核層が設けられる基材上の任意の位置、たとえば接着層、中間層、物理現像核層あるいはハロゲン化銀乳剤層、保護層、または支持体を挟んで設けられる裏塗り層にハレーションないしイラジエーション防止用の染料もしくは顔料を含有させてもよい。
物理現像核層の上に直接にあるいは中間層を介してハロゲン化銀乳剤層が塗設された感光材料を用いて現像銀を生成する場合は、電極パターンの透過原稿と上記感光材料を密着して露光、あるいは、電極パターンのデジタル画像を各種レーザー光の出力機で上記感光材料に走査露光した後、可溶性銀錯塩形成剤と還元剤の存在下でアルカリ液中で処理することにより銀錯塩拡散転写現像（ＤＴＲ現像）が起こり、未露光部のハロゲン化銀が溶解されて銀錯塩となり、物理現像核上で還元されて金属銀が析出して電極パターンの物理現像銀薄膜を得ることができる。露光された部分はハロゲン化銀乳剤層中で化学現像されて黒化銀となる。現像後、ハロゲン化銀乳剤層及び中間層、あるいは必要に応じて設けられた保護層は水洗除去されて、電極パターンの物理現像銀薄膜が表面に露出する。
【００５０】
ＤＴＲ現像後、物理現像核層の上に設けられたハロゲン化銀乳剤層等の除去方法は、水洗除去あるいは剥離紙等に転写剥離する方法がある。水洗除去は、スクラビングローラ等を用いて温水シャワーを噴射しながら除去する方法や温水をノズル等でジェット噴射しながら水の勢いで除去する方法がある。
一方、物理現像核層が塗布された基材とは別の基材上に設けたハロゲン化銀乳剤層から可溶性銀錯塩を供給する場合、前述と同様にハロゲン化銀乳剤層に露光を与えた後、物理現像核層が塗布された基材と、ハロゲン化銀乳剤層が塗布された別の感光材料とを、可溶性銀錯塩形成剤と還元剤の存在下でアルカリ液中で重ね合わせて密着し、アルカリ液中から取り出した後、数十秒〜数分間経過した後に、両者を剥がすことによって、物理現像核上に析出した電極パターンの物理現像銀薄膜が得られる。
【００５１】
次に、銀錯塩拡散転写現像のために必要な可溶性銀錯塩形成剤、還元剤、及びアルカリ液について説明する。可溶性銀錯塩形成剤は、ハロゲン化銀を溶解し可溶性の銀錯塩を形成させる化合物であり、還元剤はこの可溶性銀錯塩を還元して物理現像核上に金属銀を析出させるための化合物であり、これらの作用はアルカリ液中で行われる。
本発明に用いられる可溶性銀錯塩形成剤としては、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸アンモニウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウム、チオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、アルカノールアミン、亜硫酸ナトリウム、亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、Ｔ．Ｈ．ジェームス編のザ・セオリー・オブ・ザ・フォトグラフィック・プロセス４版の４７４〜４７５項（１９７７年）に記載されている化合物等が挙げられる。
前記還元剤としては、写真現像の分野で公知の現像主薬を用いることができる。例えば、ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類、１−フェニル−４，４−ジメチル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−４−メチル−４−ヒドロキシメチル−３−ピラゾリドン等の３−ピラゾリドン類、パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、パラフェニレンジアミン等が挙げられる。
【００５２】
上記した可溶性銀錯塩形成剤及び還元剤は、物理現像核層と一緒に基材に塗布してもよいし、ハロゲン化銀乳剤層中に添加してもよいし、またはアルカリ液中に含有させてもよく、更に複数の位置に含有してもよいが、少なくともアルカリ液中に含有させるのが好ましい。
アルカリ液中への可溶性銀錯塩形成剤の含有量は、現像液１リットル当たり、０．１〜５モルの範囲で用いるのが適当であり、還元剤は現像液１リットル当たり０．０５〜１モルの範囲で用いるのが適当である。
アルカリ液のｐＨは１０以上が好ましく、更に１１〜１４の範囲が好ましい。銀錯塩拡散転写現像を行うためのアルカリ液の適用は、浸漬方式であっても塗布方式であってもよい。浸漬方式は、例えば、タンクに大量に貯流されたアルカリ液中に、物理現像核層及びハロゲン化銀乳剤層が設けられた基材を浸漬しながら搬送するものであり、塗布方式は、例えばハロゲン化銀乳剤層上にアルカリ液を１平方メートル当たり４０〜１２０ｍｌ程度塗布するものである。
【００５３】
誘電体微粒子を捕集するための誘電泳動電極のパターンは、捕集する誘電体微粒子の粒子径に応じて選択する。誘電泳動電極として一般的に用いられる櫛型電極の場合には、線幅１〜２００μｍ、溝間隔（一対の電極が対向する間隔）０．１〜１０００μｍ、線厚み０．０５〜３０μｍであることが好ましい。他の電極形状の場合にも、線幅、電極が対向する間隔、線厚みは櫛型電極と同程度とすることができる。
捕集する誘電体微粒子の粒子径に比較して、線幅や櫛型電極の溝間隔が狭すぎると溝が埋まってしまい、誘電泳動を引き起こす電場を適切に形成することができないので、誘電体微粒子の捕集が不完全になってしまう。また、捕集する誘電体微粒子の粒子径に応じて櫛型電極の線厚みも適宜選択する必要がある。
【００５４】
本発明に係る可撓性を有する基材上に形成された任意の電極パターンの物理現像による現像銀層は、膜厚みが極めて薄いが導電性が高いので、細線化することが可能であり微細な誘電体微粒子の捕集効率を高くすることができる。
また、この物理現像による現像銀層自身は、現像処理後に得られた現像銀層を形成する金属銀粒子が極めて小さく、かつ、現像銀層中に存在する親水性バインダー量が極めて少ないことにより、現像銀層を形成する金属銀粒子が最密充填状態に近い状態で現像銀層が形成されて通電性を有しているため、銅やニッケルなどの金属による鍍金（メッキ）を施すことが可能であり、必要に応じて、現像銀層の上に金属メッキ層を積層することができる。
【００５５】
（露光装置）
上記のハロゲン化銀乳剤層を露光する露光装置としては、枚葉式の露光マスク（フォトマスク）を用いる枚葉処理方式の露光装置と、連続したパターンが形成できる連続露光装置とがある。枚葉処理方式の露光装置は、所定のマスクパターンが形成された枚葉式の露光マスク（フォトマスク）を用いて、可撓性を有する基材を間欠送りで露光装置に送り、装置内を真空排気して露光マスクと基材とを密着させて隙間を無くしてから、例えば紫外線で露光する。枚葉処理方式の露光装置では、真空排気、露光、大気開放を間欠的に行うので、連続的な生産ができず、処理速度は遅くなる。
これに対して、可撓性を有する基材を連続的に露光できる連続露光装置を用いると、枚葉処理方式の露光装置に比較して処理速度が速く、連続的な生産が可能になるという長所がある。
連続露光装置の一例としては、写真製法における露光に用いられる光を透過する材質からなる円筒ドラムと、円筒ドラムの外周壁に設けられたメッシュパターンが形成された露光マスクフィルムと、円筒ドラムの内部に配設された露光用光源とを備え、円筒ドラムの内側の光源から出射した光によって円筒ドラムに巻き付けられた基材を露光する装置である。
【００５６】
（印刷による導電性薄膜の生成）
本発明に用いる導電性ペーストは、導電性薄膜からなる電極パターンとなるものである。通常は、金属粒子、カーボンナノ粒子、カーボンファイバーなどの導電性粒子をバインダーとなる樹脂成分に混ぜ込んだ導電性ペーストが用いられる。導電性薄膜は、金属粒子、カーボンナノ粒子、カーボンファイバーの中から選択された１種以上を含有する導電性ペーストを印刷して形成しても良い。また、無電解触媒を含むペーストを印刷して導電性の金属薄膜を形成しても良い。
前記の金属粒子としては、銅、銀、ニッケル、アルミニウム等の金属粉が用いられるが、導電性、価格の点から銅または銀の微粉末を用いるのが好ましい。
印刷する電極パターンの線幅は１〜１００μｍ程度であることから、導電性ペーストに用いる導電性粒子の粒子径は０．０５〜５μｍ程度であればよい。
【００５７】
導電性ペーストに用いられる樹脂成分としては、好ましくは、ポリエステル樹脂、（メタ）アクリル樹脂、熱可塑性樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂などの熱可塑性樹脂が用いられる。また、エポキシ樹脂、アミノ樹脂、ポリイミド樹脂、（メタ）アクリル樹脂などの熱硬化型樹脂であってもよい。
導電性ペーストは、これらの樹脂成分に金属粉末やカーボン粉末を混ぜ込んだ後にアルコールやエーテルなどの有機溶剤を加えて粘度調整を行なう。
図１、４、６の可撓性を有する基材１の片面に、導電性ペーストを用いて電極パターン２を印刷し、溶剤を乾燥除去して、電極パターンを硬化させる。
導電性ペーストを塗布して電極パターンを形成する方法は、特に制限されないが、スクリーン印刷、グラビア印刷、インクジェット方式などの方法で印刷するのが好ましい。
【００５８】
（蒸着による導電性薄膜の生成）
本発明で使用される金属または金属酸化物の蒸着層の電極パターンは、剥離（リフトオフ）法を用いて形成されるのが好ましい。フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンのいずれかを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物の真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して、電極パターンの導電性薄膜が形成される。導電性薄膜として用いられる金属酸化物は、半導体など、導電性を有するものであり、ＩＴＯ（インジウム添加酸化スズ）、酸化亜鉛などが挙げられる。
【００５９】
フォトレジストパターンを遮蔽マスクとして用いて行なう、剥離（リフトオフ）法による細線メッシュパターンの形成方法は、次による。
まず、可撓性を有する基材上にレジストを塗布した後、熱処理（プリベーク）を行い、レジストから溶媒を除去する。次に、フォトマスクを用いてレジストに所望の電極パターンを露光した後、レジストパターンを現像して遮蔽マスクとなるレジストパターンを形成する。次に、基材とレジストパターンからなる遮蔽マスクの上に、全面に渡って蒸着膜を形成した後、レジスト剥離剤を用いて遮蔽マスクとその上に乗っている蒸着膜とを同時に除去し、可撓性を有する基材の上に残された蒸着膜からなる電極パターンの金属薄膜層を得る。
【００６０】
溶剤溶解性の印刷材料を印刷した電極パターンを遮蔽マスクとして用いて行なう、剥離（リフトオフ）法による電極パターンの形成方法は、次による。
まず、可撓性を有する基材上に溶剤溶解性の樹脂を主成分とする印刷材料で遮蔽マスクとなる部分を印刷する。次に、可撓性を有する基材の上と印刷材料からなる遮蔽マスクの上に、全面に渡って蒸着膜を形成した後、溶剤を用いて遮蔽マスクとその上に乗っている蒸着膜とを同時に除去して、基材の上に残された蒸着膜からなる電極パターンの導電性薄膜を得る。
【００６１】
（金属メッキ層）
電極パターンを形成している導電性の金属薄膜である現像銀層、あるいはその他の導電性薄膜層の上に、金属メッキ層を積層するときに用いるメッキ法は、無電解メッキ法、電解メッキ法あるいは両者を組み合わせたメッキ法のいずれでも可能である。
電極パターンの導電性薄膜の上に、無電解メッキおよび／または電解メッキにて、金、白金、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、銀、アルミニウム、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、錫などの金属群から選択された金属の１種または２種以上からなる金属メッキ層を積層してなることが好ましい。
本発明において、金属メッキ法は公知の方法で行うことができるが、例えば無電解メッキ法は、銅、ニッケル、銀、金、スズ、はんだ、あるいは銅／ニッケルの多層あるいは複合系などの従来公知の方法を使用でき、これらについては、「無電解めっき  基礎と応用；日刊工業新聞社、１９９４年５月３０日初版」等の文献を参照することができる。
【００６２】
メッキが容易で、かつメッキ層の導電性、耐食性が優れ、さらに厚膜にメッキでき、低コストであるなどの理由により、メッキに用いる金属としては、クロム（Ｃｒ）および／またはニッケル（Ｎｉ）が好ましい。金属メッキ層は、メッキを複数回行うことにより、同種の金属または異種の金属を複数層積層することも好ましい。例えば、現像銀層の上に第１のメッキ層、さらにその上に第２のメッキ層を積層する場合に、一方のメッキ層が無電解ニッケルメッキ層であり、他方のメッキ層が電解クロム（Ｃｒ）層である組み合わせが好ましい。
メッキに使用するメッキ槽の型式は、竪型、横型のいずれであっても構わないが、所定のメッキ滞留時間を確保できるように長さを決定する。
【００６３】
（誘電泳動セル）
図５〜図７に示すように、本発明に係わる図１の電極パターン２（または４）を有する電極フィルム５を用いた誘電泳動セル１０は、下部支持板１３の上に載置された、可撓性を有する基材１の上に電極パターン２（または４）が形成されてなる電極フィルム５の上に、液体流入口１１及び液体流出口１２を有する上部透明カバー板１４が、液体試料が通過する空隙が形成されているスペーサー１６を介して積層されている。
上部透明カバー板１４に設けられている液体流入口１１及び液体流出口１２には、配管接続用の開口孔または短管のいずれかが配設されていることが好ましい。
図５に示す誘電泳動セル１０には、一対の櫛型電極（電極パターン）２（または４）から、それぞれの引き出し配線６、６を具備している。
【００６４】
図６に示す、図５のＤ−Ｄ線の矢視断面図において、スペーサー１６の厚み（５０〜３００μｍ程度）を調整することにより、電極パターン２（または４）と透明な上部透明カバー板１４との間に液体試料が通過できる空隙の高さを設定できる。
下部支持板１３と電極フィルム５の可撓性を有する基材１の下部とは、接着剤層２０で貼合されている。また、電極フィルム５の可撓性を有する基材１の上部は、スペーサー１６を介して上部透明カバー板１４が、接着剤層１９、１８を用いて貼合されている。
【００６５】
一般的な使用目的の誘電泳動セル１０は、可撓性を有する基材１の上に電極パターン２（または４）が積層された電極フィルム５と、前記電極フィルム５を載置するための透明な下部支持板１３と、液体試料の通過する空隙１５を形成するように前記電極フィルム５の上に積層されたスペーサー１６と、液体試料の出入口を有する上部透明カバー板１４とからなり、前記の上部透明カバー板１４が、前記スペーサー１６を介して前記電極フィルム５の上に積層され、かつ容易に剥離できないように接着されている。
この場合、電極パターン２（または４）に一定量の誘電体微粒子が捕集された誘電泳動セル１０は、内部を洗浄して再利用することも可能であるが、本発明に基づいて安価に作製された誘電泳動セル１０は、再利用しないでそのまま使い捨てすることができ、洗浄の手間が省けて便利である。
【００６６】
一方、特殊な目的の誘電泳動セル１０は、電極パターン２（または４）に捕集された誘電体微粒子（有用な微生物など）を、回収して利用するために、誘電泳動セル１０の上部透明カバー板１４と電極フィルム５の上部とを貼合している接着剤層１８から再剥離できるようにしたものである。この場合、接着剤層１８には、安定した再剥離性が得られる紫外線硬化型の再剥離性接着剤を使用するのが好ましい。
【００６７】
図５及び図６に示すように、誘電泳動セル１０の内部に移送される液体試料中に含まれる誘電体微粒子１７は、基本的に電極パターン２（または４）による電場が形成される櫛型電極間の溝７に捕捉される。
【００６８】
図３に示すような櫛型電極の場合には、電極パターン２（または４）は、極めて細かな細線（線幅１〜２００μｍ）からなり、電極パターン２（または４）の溝間隔も、捕集する微生物の大きさに合わせて所定の寸法（０．１〜１０００μｍ）に設定されている。電極パターン２（または４）の厚みも、捕集する誘電体微粒子の大きさに合わせて好ましい厚み寸法（０．０５〜３０μｍ）に設定されている。
【００６９】
図５に示すように、この誘電泳動セル１０には、電極パターン２（または４）として一対の櫛型電極が配設されているが、櫛型電極の液体試料の流れ方向（図５では左方向から右方向に液体試料が流れる）に対して、並行であっても、又は、直交していてもよい（図示は省略）。
また、この誘電泳動セル１０には、複数の対の櫛型電極が設けられていても良い。
【００７０】
また、本発明の誘電泳動セルは、可撓性を有する基材の上に１つ以上の電極パターンが形成された電極フィルムの２枚を用いて、それぞれの電極フィルムの電極パターンが対向するように一定の間隔でスペーサーを介して配設されてなるものであっても良い（図示は省略）。この場合、２枚の電極フィルムの一方に、液体流入口及び液体流出口を設けておけば、図５における下部支持板１３及び上部透明カバー板１４を省くことが可能である。
【００７１】
（誘電体微粒子の捕集装置）
一般的な誘電泳動法にて誘電体微粒子を捕集する捕集装置は、ポンプなどの液体試料を移送する移送手段と、誘電体微粒子を捕集する誘電泳動電極と、該誘電泳動電極に交流電圧を印加する電源供給部とを有し、さらに必要に応じて、該誘電泳動電極に印加した交流電圧によるインピーダンスの変化を測定する測定手段とを備えている。
図１〜図４に示した本発明に係わる誘電泳動電極５、及び図５〜図７に示した本発明に係わる誘電泳動セル１０は、一般に従来から知られている構成の、液体試料中の誘電泳動法にて誘電体微粒子を捕集する捕集装置（例えば、特許文献２、３、４）に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、食品製造、医薬品製造、半導体製造などの各種の産業分野において使用する洗浄水、希釈水、飲料水等の液体試料中に含有される誘電体微粒子を、誘電泳動法にて捕集するための電極に適用できる。また本発明の誘電泳動電極は、誘電泳動セル及び誘電体微粒子の捕集装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の誘電泳動電極の実施形態例を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。
【図３】図１のＢ部の部分拡大平面図である。
【図４】図３のＣ−Ｃ線に沿う矢視断面図であり、（ａ）は導電性薄膜からなる誘電泳動電極、（ｂ）は導電性薄膜の上にメッキ層が積層された誘電泳動電極である。
【図５】本発明の誘電泳動電極を用いた、誘電泳動セルの実施形態例を示す平面図である。
【図６】図５のＤ−Ｄ線に沿う矢視断面図である。
【図７】スペーサーの平面図である。
【図８】複数の電極パターンが形成された長尺の電極フィルムの例を示す平面図である。
【図９】可撓性を有する基材の片面に形成された電極パターンの導電性薄膜の上に、電解メッキを行なう概略の製造工程図である。
【符号の説明】
【００７４】
１…可撓性を有する基材、２…導電性薄膜（電極パターン）、３…金属メッキ層、４…導電性薄膜にメッキ層を積層した電極パターン、５…誘電泳動電極（電極フィルム）、６…引き出し配線、７…櫛型電極間の溝、１０…誘電泳動セル、１１…液体流入口、１２…液体流出口、１３…下部支持板、１４…上部透明カバー板、１５…液体の通過する空隙、１６…スペーサー、１７…誘電体微粒子、１８、１９、２０…接着剤層、２１…導電性薄膜からなる電極フィルムのロール体、２２…移送ロール、２３…水洗浄装置、２４…電解メッキ装置、２５…水洗浄装置、２６…乾燥装置、２７…導電性薄膜の上にメッキ層が積層された電極フィルムのロール体、３０…複数の導電性薄膜からなる電極パターンが形成された長尺の電極フィルム。
【図１】
2009262107.tif 000003
【図２】
2009262107.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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