(57)【要約】 【課題】  被走査面への光の照射量を維持して、被走査面の走査速度の高速化を実現可能な光走査装置を提供する。【解決手段】  ポリゴンミラー１１と、光照射手段１２と、ミラー駆動手段１３とを含んで、光走査装置１を構成する。ポリゴンミラー１１は、平面状に形成され、入射する光を反射する反射面１１ａを有する。このポリゴンミラー１１の反射面１１ａに光照射手段１２によって光が照射される。ミラー駆動手段１３は、ポリゴンミラー１１の反射面１１ａで反射された光が被走査面１０ａを往復走査するように、ポリゴンミラー１１を駆動する。たとえばポリゴンミラー１１は、平板状に形成され、ミラー駆動手段１３によって第１方向Ｂ１とその反対の第２方向Ｂ２とに往復角変位駆動される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面状に形成され、入射する光を反射する反射面を有するポリゴンミラーと、
ポリゴンミラーの反射面に光を照射する光照射手段と、
ポリゴンミラーの反射面で反射された光が被走査面を往復走査するように、ポリゴンミラーを駆動するミラー駆動手段とを含むことを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
ポリゴンミラーは、平板状に形成され、予め定める角変位軸線まわりに角変位可能に設けられ、
ミラー駆動手段は、ポリゴンミラーを角変位軸線まわりに往復角変位駆動することを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
被走査面の往復走査において、被走査面における往路の走査終了点と復路の走査開始点とが一致するように、光照射手段が光の照射を開始する照射開始タイミングを補正するタイミング補正手段を含み、
光照射手段は、タイミング補正手段によって補正された照射開始タイミングに基づいて、光の照射を開始することを特徴とする請求項１または２に記載の光走査装置。
【請求項４】
補正前の照射開始タイミングに基づいて光照射手段が光を照射したときの被走査面における往路の走査終了点と復路の走査開始点とのずれ量を表す走査ずれ量を取得する走査ずれ量取得手段を含み、
タイミング補正手段は、走査ずれ量取得手段によって取得される走査ずれ量に基づいて、照射開始タイミングを補正することを特徴とする請求項３に記載の光走査装置。
【請求項５】
ポリゴンミラーの反射面で反射されて被走査面外の領域に照射される光を検出する光検出手段を含み、
ミラー駆動手段は、ポリゴンミラーの反射面で反射された光が、被走査面と被走査面外の領域とにわたって照射されるようにポリゴンミラーを駆動し、
走査ずれ量取得手段は、被走査面の往復走査における往路および復路の少なくともいずれか一方において、被走査面よりも走査方向上流側の上流側検出位置で光検出手段によって光が検出される上流側検出タイミングと、被走査面よりも走査方向下流側の下流側検出位置で光検出手段によって光が検出される下流側検出タイミングとに基づいて、走査ずれ量を取得することを特徴とする請求項４に記載の光走査装置。
【請求項６】
走査ずれ量取得手段は、
上流側検出タイミングと下流側検出タイミングとに基づいて、上流側検出位置と下流側検出位置との間の検出幅を計数するカウンタと、
カウンタによって計数された検出幅に基づいて、走査ずれ量を求める幅取得部とを含むことを特徴とする請求項５に記載の光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置、より詳細には、光照射手段によって照射される光を、ポリゴンミラーを介して被走査面に照射することによって被走査面を走査する光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光走査装置は、たとえば、レーザプリンタ、ファクシミリ装置および複写機などの画像形成装置における画像読取手段および画像書込手段、ならびにディスプレイなどの画像表示装置における画像投影手段として用いられる。光走査装置は、光照射手段によって照射される光を、ポリゴンミラーを介して被走査面に照射することによって被走査面を走査する。光走査装置において、ジッタ性能、すなわち被走査面におけるビームスポット位置である像高のばらつきの度合いは、ポリゴンミラーの性能によって決まる。
【０００３】
従来技術の光走査装置として、外周面に２つの偏光面を有するポリゴンミラーを備え、このポリゴンミラーを一定速度で回転駆動するレーザビーム走査光学装置が特許文献１に開示される。特許文献１に開示のレーザビーム走査光学装置では、ポリゴンミラーを回転駆動することによって、ポリゴンミラーの２つの偏光面を使い、２つの偏光面で偏光されたレーザ光を被走査面に照射する。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１６６５５４号公報（第２頁，第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示のレーザビーム走査光学装置では、ポリゴンミラーの２つの偏光面で偏光されたレーザ光で被走査面を走査するので、ポリゴンミラーが１つの偏光面のみを有する場合に比べれば、被走査面の走査速度は速いが、被走査面の走査速度には更なる高速化が求められる。
【０００６】
特許文献１に開示のレーザビーム走査光学装置では、ポリゴンミラーを回転駆動することによって被走査面を走査するので、被走査面の走査速度は、ポリゴンミラーの回転速度に依存する。ポリゴンミラーの回転速度を速めれば、被走査面の走査速度を速めることは可能であるが、ポリゴンミラーの回転速度が速くなり過ぎると、被走査面への光の照射量が不充分になる。たとえばレーザビーム走査光学装置が画像書込手段として用いられる場合、被走査面への光の照射量が不充分になると、画像を正確に書込むことができないという問題が生じる。
【０００７】
本発明の目的は、被走査面への光の照射量を維持して、被走査面の走査速度の高速化を実現可能な光走査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、平面状に形成され、入射する光を反射する反射面を有するポリゴンミラーと、
ポリゴンミラーの反射面に光を照射する光照射手段と、
ポリゴンミラーの反射面で反射された光が被走査面を往復走査するように、ポリゴンミラーを駆動するミラー駆動手段とを含むことを特徴とする光走査装置である。
【０００９】
また本発明は、ポリゴンミラーは、平板状に形成され、予め定める角変位軸線まわりに角変位可能に設けられ、
ミラー駆動手段は、ポリゴンミラーを角変位軸線まわりに往復角変位駆動することを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、被走査面の往復走査において、被走査面における往路の走査終了点と復路の走査開始点とが一致するように、光照射手段が光の照射を開始する照射開始タイミングを補正するタイミング補正手段を含み、
光照射手段は、タイミング補正手段によって補正された照射開始タイミングに基づいて、光の照射を開始することを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、補正前の照射開始タイミングに基づいて光照射手段が光を照射したときの被走査面における往路の走査終了点と復路の走査開始点とのずれ量を表す走査ずれ量を取得する走査ずれ量取得手段を含み、
タイミング補正手段は、走査ずれ量取得手段によって取得される走査ずれ量に基づいて、照射開始タイミングを補正することを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、ポリゴンミラーの反射面で反射されて被走査面外の領域に照射される光を検出する光検出手段を含み、
ミラー駆動手段は、ポリゴンミラーの反射面で反射された光が、被走査面と被走査面外の領域とにわたって照射されるようにポリゴンミラーを駆動し、
走査ずれ量取得手段は、被走査面の往復走査における往路および復路の少なくともいずれか一方において、被走査面よりも走査方向上流側の上流側検出位置で光検出手段によって光が検出される上流側検出タイミングと、被走査面よりも走査方向下流側の下流側検出位置で光検出手段によって光が検出される下流側検出タイミングとに基づいて、走査ずれ量を取得することを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、走査ずれ量取得手段は、
上流側検出タイミングと下流側検出タイミングとに基づいて、上流側検出位置と下流側検出位置との間の検出幅を計数するカウンタと、
カウンタによって計数された検出幅に基づいて、走査ずれ量を求める幅取得部とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、光照射手段によって照射される光が、ポリゴンミラーの平面状の反射面で反射されて、被走査面に照射される。ポリゴンミラーは、ポリゴンミラーの反射面で反射された光が被走査面を往復走査するようにミラー駆動手段によって駆動される。これによって、ポリゴンミラーの反射面で反射された光で被走査面を往復走査することができるので、被走査面への光の照射量を維持して、被走査面を一方向に走査する場合に比べて、被走査面の走査速度を速めることができる。
【００１５】
また本発明によれば、ポリゴンミラーは、平板状に形成され、ミラー駆動手段によって角変位軸線まわりに往復角変位駆動される。これによって簡単な構成で、ポリゴンミラーの反射面で反射された光によって被走査面を往復走査する光走査装置を実現することができる。
【００１６】
また本発明によれば、被走査面の往復走査において、被走査面における往路の走査終了点と復路の走査開始点とが一致するように、タイミング補正手段によって照射開始タイミングが補正され、この補正された照射開始タイミングに基づいて、光照射手段によって光の照射が開始される。これによって被走査面における往路の走査終了点と復路の走査開始点とを一致させることができるので、往路と復路とにおいて、被走査面の走査される領域にずれが生じることを防ぐことができる。したがって、たとえば被走査面の走査によって被走査面に画像を形成する場合、画像にずれが生じることを防ぐことができる。
【００１７】
また本発明によれば、補正前の照射開始タイミングに基づいて光照射手段が光を照射したときの被走査面における往路の走査開始点と復路の走査開始点とのずれ量を表す走査ずれ量が走査ずれ量取得手段によって取得され、この取得された走査ずれ量に基づいて、照射開始タイミングが補正される。これによって簡単な構成で、被走査面の往復走査における往路と復路とにおいて、被走査面の走査される領域にずれが生じることを防ぐことのできる光走査装置を実現することができる。
【００１８】
また本発明によれば、ポリゴンミラーの反射面で反射された光が、被走査面と被走査面外の領域とにわたって照射され、この被走査面外の領域に照射される光が光検出手段によって検出される。走査ずれ量取得手段は、被走査面の往復走査における往路および復路の少なくともいずれか一方において、上流側検出タイミングと下流側検出タイミングとに基づいて、走査ずれ量を取得する。これによって走査ずれ量を容易に取得することができる。
【００１９】
また本発明によれば、走査ずれ量取得手段は、カウンタと幅取得部とを含む。カウンタによって、上流側検出タイミングと下流側検出タイミングとに基づいて、上流側検出位置と下流側検出位置との間の検出幅が計数され、この計数された検出幅に基づいて、幅取得部によって走査ずれ量が求められる。これによって簡単な構成で走査ずれ量取得手段を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の実施の一形態の光走査装置１を示す概略構成図である。光走査装置１は、ポリゴンミラー１１と、光照射手段１２と、ミラー駆動手段１３と、光検出手段１４とを含む。光走査装置１は、被走査体１０の被走査面１０ａを走査する。本実施形態では、被走査体１０は円柱状であり、ポリゴンミラー１１と同期して、軸線まわりに回転駆動される。被走査体１０は、たとえば画像形成装置に備わる感光体ドラムである。被走査体１０の被走査面１０ａは、軸線方向に平行な走査方向Ａに走査される。
【００２１】
ポリゴンミラー１１は、平面状に形成され、入射する光を反射する反射面１１ａを有する。本実施形態においてポリゴンミラー１１は、平板状に形成され、その厚み方向一方側の表面が反射面１１ａを構成する。ポリゴンミラー１１は、予め定める角変位軸線まわりに角変位可能に設けられる。
【００２２】
光照射手段１２は、ポリゴンミラー１１の反射面１１ａに光を照射する。光照射手段１２は、ポリゴンミラー１１の反射面１１ａに光を照射可能に設けられる。光照射手段１２は、たとえばレーザ装置、具体的には半導体レーザ装置によって実現される。
【００２３】
ミラー駆動手段１３は、ポリゴンミラー１１の反射面１１ａで反射された光が被走査面１０ａを往復走査するように、ポリゴンミラー１１を駆動する。本実施形態では、ミラー駆動手段１３は、ポリゴンミラー１１を角変位軸線まわりに往復角変位駆動する。
【００２４】
光検出手段１４は、光検出部２１と、３つのミラー、すなわち第１〜第３ミラー２２〜２４とを含む。第１および第２ミラー２２，２３は、被走査面１０ａ外の領域に設けられる。より詳細には、第１ミラー２２は、被走査面１０ａの走査方向Ａに関して、被走査面１０ａよりも走査方向一方Ａ１側に設けられる。第２ミラー２３は、被走査面１０ａの走査方向Ａに関して、被走査面１０ａよりも走査方向他方Ａ２側に設けられる。
【００２５】
第１ミラー２２は、ポリゴンミラー１１の反射面１１ａで反射されて入射した光を光検出部２１に向けて反射するように設けられる。第２ミラー２３は、ポリゴンミラー１１の反射面１１ａで反射されて入射した光を第３ミラー２４に向けて反射するように設けられる。第３ミラー２４は、第２ミラー２３で反射されて入射した光を光検出部２１に向けて反射するように設けられる。
【００２６】
光検出部２１は、ポリゴンミラー１１の反射面１１ａで反射されて、第１ミラー２２または第２および第３ミラー２３，２４を介して入射する光を検出する。光検出部２１は、水平同期信号（Horizontal Synchronizing signal；略称ＨＳＹＮＣ）を出力する。ＨＳＹＮＣ信号は、画像印字領域である書込み領域を示す信号として、感光体ドラムに印字するときに用いられる。光検出部２１は、たとえばビームディテクター（Beam Detector；略称ＢＤ）センサによって実現される。
【００２７】
光走査装置１は、図１に示すようにミラー駆動手段１３によって、ポリゴンミラー１１を角変位軸線まわりに第１方向Ｂ１またはその反対方向である第２方向Ｂ２に角変位駆動することによって、被走査体１０の被走査面１０ａに光（以下「走査光」という）３０を照射する。ミラー駆動手段１３は、走査光３０が第１ミラー２２または第２ミラー２３を追い越した後に、ポリゴンミラー１１を反対方向に角変位駆動する。
【００２８】
ポリゴンミラー１１は、第１方向Ｂ１に角変位駆動されるとき、被走査面１０ａを軸線方向の他端部から一端部に向かって、すなわち走査方向一方Ａ１に走査し、第２方向Ｂ２に角変位駆動されるとき、被走査面１０ａを軸線方向の一端部から他端部に向かって、すなわち走査方向他方Ａ２に走査する。このとき、被走査面１０ａの軸線方向他端部側において、第２ミラー２３に照射された走査光３０ｂは、第３ミラー２４を介して光検出部２１に照射され、被走査面１０ａの軸線方向一端部側において、第１ミラー２２に照射された走査光３０ａは、直接光検出部２１に照射される。光検出部２１は、走査光３０が照射されると、ＨＳＹＮＣ信号をロー（ＬＯＷ）レベルにする。
【００２９】
ポリゴンミラー１１は、第１方向Ｂ１と第２方向Ｂ２とに往復変位駆動される。したがってポリゴンミラー１１による走査ライン４０の方向は、走査方向一方（以下「第１走査方向」という）Ａ１と走査方向他方（以下「第２走査方向」という）Ａ２とに交互に繰返される。たとえば奇数ラインＮ１，Ｎ３は、第１走査方向Ａ１に走査し、偶数ラインＮ２，Ｎ４は、第２走査方向Ａ２に走査する。このようにポリゴンミラー１１が第１方向Ｂ１と第２方向Ｂ２とに往復変位駆動されることによって、被走査面１０ａが、第１走査方向Ａ１と、その反対方向である第２走査方向Ａ２とに往復走査される。
【００３０】
走査光３０が第１走査方向Ａ１に走査するとき、第２ミラー２３の走査光３０が照射される面（以下「光照射面」という）の第２走査方向Ａ２側の端部２３ａの位置が走査開始位置であり、第１ミラー２２の光照射面の第２走査方向Ａ２側の端部２２ａの位置が走査終了位置である。走査光３０が第２走査方向Ａ２に走査するとき、第１ミラー２２の光照射面の第１走査方向Ａ１側の端部２２ｂの位置が走査開始位置に相当し、第２ミラー２３の光照射面の第１走査方向Ａ１側の端部２３ｂの位置が走査終了位置に相当する。以下、第１走査方向Ａ１側の端部を「第１側端部」といい、第２走査方向Ａ２側の端部を「第２側端部」という。
【００３１】
このように本実施形態では、ポリゴンミラー１１の反射面１１ａで反射された光で被走査面１０ａを往復走査することができるので、被走査面１０ａへの光の照射量を維持して、被走査面１０ａを一方向に走査する場合に比べて、被走査面１０ａの走査速度を速めることができる。
【００３２】
また本実施形態では、ポリゴンミラー１１は、平板状に形成され、ミラー駆動手段１３によって角変位軸線まわりに往復角変位駆動される。これによって簡単な構成で、ポリゴンミラー１１の反射面１１ａで反射された光によって被走査面１０ａを往復走査する光走査装置１を実現することができる。
【００３３】
図２は、本発明の実施の一形態の光走査装置１の電気的構成を示すブロック図である。光走査装置１は、ポリゴンミラー１１と、光照射手段１２と、ミラー駆動手段１３と、光検出手段１４とに加えて、さらに制御手段１５を含む。制御手段１５は、たとえば中央処理装置（Central Processing Unit：略称ＣＰＵ）によって実現される。制御手段１５は、光照射手段１２、ミラー駆動手段１３および光検出手段１４の動作を制御する。制御手段１５は、タイミング補正手段および走査ずれ量取得手段として機能する。光検出手段１４から出力されたＨＳＹＮＣ信号は、制御手段１５に与えられる。
【００３４】
図１に示すように、ポリゴンミラー１１を揺動させ、より詳細には往復角変位駆動させ、１つの反射面１１ａのみを用いて走査光３０を被走査面１０ａに照射する場合、たとえば被走査体１０である感光体１０を備える画像形成装置において感光体１０上に走査光３０によって画像情報を書き込む場合、ポリゴンミラー１１から反射される走査光３０の往路で奇数ラインＮ１，Ｎ３を作成し、復路で偶数ラインＮ２，Ｎ４を作成すると、奇数ラインＮ１，Ｎ３と偶数ラインＮ２，Ｎ４の書き込み領域開始点がずれて、画像ずれが発生することがある。
【００３５】
図３は、ポリゴンミラー１１の揺動による画像のずれを模式的に示す図である。光照射手段１２は、クロック信号であるＰＣＬＫ信号に同期して、被走査面１０ａに走査光３０を照射する。ＰＣＬＫ信号は、位相同期回路（Phase locked loop；略称ＰＬＬ）を介して出力されるクロック信号であるｐｌｌｃｌｋ信号と同期を取ったもので、印字するときの信号となる。つまり、実際の印字エリア設定は、ＰＣＬＫ単位の設定となる。印字用紙サイズは、たとえば、ＰＣＬＫ単位で４．５、すなわちＰＣＬＫ信号の４．５周期分となる。また各走査ラインＮ１〜Ｎ４の印字エリアは、たとえば４ＰＣＬＫ、すなわちＰＣＬＫ信号の４周期分となる。この場合、図３に示すように、偶数ラインＮ２，Ｎ４と奇数ラインＮ１，Ｎ３とでは、半画素分、すなわち０．５ＰＣＬＫのずれが生じる。図３では、走査ラインＮ１〜Ｎ４のうち、奇数ラインＮ１，Ｎ３の印字エリアについては、左下がりの斜線のハッチングを付して示し、偶数ラインＮ２，Ｎ４の印字エリアについては、右下がりの斜線のハッチングを付して示す。
【００３６】
ｐｌｌｃｌｋ信号は、たとえば４００ＭＨｚの信号であり、光検出部２１の出力であるＨＳＹＮＣ信号と非同期である。ＨＳＹＮＣ信号は、光検出部２１に走査光３０が入射するとＬｏｗレベルになる。ＨＳＹＮＣ＿Ｄ２信号は、ＨＳＹＮＣ信号をディレイ、すなわち遅延させたものである。より詳細には、ＨＳＹＮＣ＿Ｄ２信号は、制御手段１５の不図示のＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）に入力される非同期のＨＳＹＮＣ信号を、ＡＳＩＣを駆動する動作クロック信号である前述のｐｌｌｃｌｋ信号で同期させたものである。このＨＳＹＮＣ＿Ｄ２信号からＰＣＬＫ信号を作り、図３に示すように、印字用紙とのタイミングを計る。
【００３７】
図３に示す例では、奇数ラインＮ１，Ｎ３および偶数ラインＮ２，Ｎ４のいずれの場合も、ＨＳＹＮＣ＿Ｄ２信号がハイレベルからローレベルになった時刻において、ｐｌｌｃｌｋ信号を４分周したＰＣＬＫ信号の出力が開始される。ＨＳＹＮＣ＿Ｄ２信号は、ＨＳＹＮＣ信号をｐｌｌｃｌｋ信号で同期させたものであるので、ＰＣＬＫ信号は、ＨＳＹＮＣ信号がハイレベルからローレベルになる時刻を基準として出力が開始されることになる。
【００３８】
ＨＳＹＮＣ信号は、走査開始位置で走査光３０が検出されたときに、ハイレベルからローレベルになるので、ＰＣＬＫ信号は、走査開始位置で走査光３０が検出された時点を基準として出力が開始される。ＰＣＬＫ信号は、走査終了位置で走査光３０が検出されるまで出力される。第１走査方向Ａ１の走査における走査終了位置は、前述のように第１ミラー２２の光照射面の第２側端部２２ａであり、第２走査方向Ａ２の走査における走査開始位置である第１ミラー２２の光照射面の第１側端部２２ｂとは異なる。この第１走査方向Ａ１の走査終了位置と第２走査方向Ａ２の走査開始位置とのずれによって、第１走査方向Ａ１に走査される奇数ラインＮ１，Ｎ３と、第２走査方向Ａ２に走査される偶数ラインＮ２，Ｎ４との間に、前述のように被走査面１０ａにおける書込み領域開始点Ｐのずれが生じる。
【００３９】
書込み領域開始点Ｐとは、本実施形態では、被走査面１０ａの書込み領域である印字エリアの第２走査方向Ａ２側の端部をいう。図３に示す例では、奇数ラインＮ１，Ｎ３の書込み開始点Ｐ１よりも偶数ラインＮ２，Ｎ４の書込み領域開始点Ｐ２の方が第１走査方向Ａ１側にずれている。書込み領域開始点Ｐの反対側の端部、すなわち書込み領域の第１走査方向Ａ１側の端部Ｑは、往路である第１走査方向Ａ１の走査ライン、すなわち奇数ラインＮ１，Ｎ３では、被走査面１０ａの走査終了点に相当し、復路である第２走査方向Ａ２の走査ライン、すなわち偶数ラインＮ２，Ｎ４では、被走査面１０ａの走査開始点に相当する。つまり図３に示す例では、被走査面１０ａにおいて、走査方向Ａに垂直な方向に関して、往路の走査終了点Ｑ１と復路の走査開始点Ｑ２とがずれている。
【００４０】
本実施形態では、図３に示す偶数ラインＮ２，Ｎ４と奇数ラインＮ１，Ｎ３とのずれを解消するように、制御手段１５によって補正する。具体的には、ＨＳＹＮＣ信号の出力間隔、すなわち各走査における上流側検出位置と下流側検出位置との間の幅である検出幅を、カウンタとして機能する制御手段１５によって小数単位まで計数する。その値から、第１走査方向Ａ１の印字と第２走査方向Ａ２の印字とで発生する画素のズレの量である走査ずれ量を、幅取得部として機能する制御手段１５によって求め、第１走査方向Ａ１のＰＣＬＫ信号または第２走査方向Ａ２のＰＣＬＫ信号を、設定によりｐｌｌｃｌｋ単位でずらして、画像のズレを解消する。
【００４１】
第１走査方向Ａ１の走査では、図１に示す第２ミラー２３の光照射面の第１側端部２３ｂの位置が上流側検出位置に相当し、第１ミラー２２の光照射面の第１側端部２２ｂの位置が下流側検出位置に相当する。第２走査方向Ａ２の走査では、第１ミラー２２の光照射面の第２側端部２２ａの位置が上流側検出位置に相当し、第２ミラー２３の光照射面の第２側端部２３ａの位置が下流側検出位置に相当する。第１走査方向Ａ１の走査における下流側検出位置２２ｂは、その次の第２走査方向Ａ２の走査における走査開始位置に一致するので、第１走査方向Ａ１の走査において、走査終了位置２２ａと下流側検出位置２２ｂとの幅を求めることで、走査ずれ量を求めることができる。同様に第２走査方向Ａ２の走査における下流側検出位置２３ａは、その次の第１走査方向Ａ１の走査における走査開始位置に一致するので、第２走査方向Ａ２の走査において、走査終了位置２３ｂと下流側検出位置２３ａとの幅を求めることで、走査ずれ量を求めることができる。
【００４２】
図４は、制御手段１５によって実現されるカウンタを説明するための図である。本実施形態では、ＰＣＬＫ信号として、ｐｌｌｃｌｋ信号を４分周した信号を用いる場合の例を示す。カウンタである制御手段１５は、ＨＳＹＮＣ信号の出力間隔である検出幅（以下「ＨＳＹＮＣ幅」ということがある）をＰＣＬＫ単位でカウントする。そのとき、ＰＣＬＫの小数の幅をサポートするためにｐｌｌｃｌｋ信号を用いたカウンタ値をレジスタに記録する。すなわち制御手段１５は、ＰＣＬＫ信号をカウントするＰＣＬＫカウンタ、およびｐｌｌｃｌｋ信号をカウントするｐｌｌｃｌｋカウンタとして機能する。制御手段１５は、画像出力領域と画像出力を行わない領域とで個別にレジスタを持つ。
【００４３】
図４では、ｐｌｌｃｌｋ信号のカウンタ値であるｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ信号を「ｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ」として示す。本実施形態では、ＰＣＬＫ信号は、ｐｌｌｃｌｋ信号を４分周してある。したがってｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ信号は、０〜３のカウンタ値となる。ｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ信号のカウンタ値は、０、１、２、３の順にカウントアップし、「３」になるとリセットされて「０」に戻る。制御手段１５は、時刻ｔ１でＨＳＹＮＣ信号がローレベルからハイレベルになると、ｐｌｌｃｌｋカウンタをリセットし、ｐｌｌｃｌｋカウンタのカウンタ値を「０」にする。
【００４４】
本実施形態では、図４に示すように、ＨＳＹＮＣ信号がローレベルからハイレベルになる時刻ｔ１でｐｌｌｃｌｋカウンタによるｐｌｌｃｌｋ信号のカウントがスタートし、次にＨＳＹＮＣ信号がローレベルからハイレベルになる時刻ｔ４で終了、すなわちエンドとなる。時刻ｔ１は、往路である第１走査方向Ａ１の走査において、上流側検出位置である第２ミラー２３の光照射面の第１側端部２３ｂで光が検出される上流側検出タイミングであり、時刻ｔ４は、第１走査方向Ａ１の走査において、下流側検出位置である第１ミラー２２の光照射面の第１側端部２２ｂで光が検出される下流側検出タイミングである。
【００４５】
時刻ｔ１のスタートにおけるｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ信号のカウンタ値が０で、時刻ｔ４のエンドにおけるｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ信号のカウンタ値が２であるから、その差が２であり、後述する表１に示す対応関係から、０．５画素ずれていることが判断できる。この画素のずれ量が走査ずれ量であり、このような画素のずれ量を、たとえば光走査装置１の製造工程において確認し、初期設定で制御手段１５にｐｌｌｃｌｋ信号で２ずれることを、走査ずれ情報として与えておけば、画素のズレを補正できる。
【００４６】
走査ずれ量は、復路である第２走査方向Ａ２の走査において求めることもできる。図４の場合、時刻ｔ４でカウンタによるｐｌｌｃｌｋ信号のカウントが終了してから、次にＨＳＹＮＣ信号がローレベルからハイレベルになる時刻ｔ５において、再度カウンタのカウンタ値がリセットされてｐｌｌｃｌｋ信号のカウントがスタートし、その次にＨＳＹＮＣ信号がローレベルからハイレベルになる時刻ｔ８で終了、すなわちエンドとなる。時刻ｔ５は、第２走査方向Ａ２の走査において、上流側検出位置である第１ミラー２２の光照射面の第２側端部２２ａで光が検出される上流側検出タイミングであり、時刻ｔ８は、第２走査方向Ａ２の走査において、下流側検出位置である第２ミラー２３の光照射面の第２側端部２３ａで光が検出される下流側検出タイミングである。
【００４７】
具体的には、カウンタである制御手段１５は、ＨＳＹＮＣ幅をレジスタに格納する。まず時刻ｔ１で、ポリゴンミラー１１からの走査光３０が、上流側検出位置である第２ミラー２３の光照射面の第１側端部２３ｂを第１走査方向Ａ１に通過して、ＨＳＹＮＣ信号がローレベルからハイレベルになると、制御手段１５は、ｐｌｌｃｌｋカウンタをリセットしてカウンタ値を「０」にし、ｐｌｌｃｌｋ信号のカウントを開始する。時刻ｔ２でＰＣＬＫ信号がローレベルからハイレベルになると、制御手段１５は、ＰＣＬＫ信号のカウントを開始する。
【００４８】
次いで時刻ｔ３で、ポリゴンミラー１１からの走査光３０が、走査終了位置である第１ミラー２２の光照射面の第２側端部２２ａを通過して、ＨＳＹＮＣ信号がハイレベルからローレベルになると、制御手段１５は、第１走査方向Ａ１のＨＳＹＮＣ幅を格納するための第１走査方向ＨＳＹＮＣ整数レジスタに、時刻ｔ３におけるＰＣＬＫ信号のカウンタ値である時刻ｔ３のＰＣＬＫ＿ＨＣＮＴ信号のカウンタ値を格納する。本実施形態では、「５００」を格納する。ＰＣＬＫ＿ＨＣＮＴ信号のカウンタ値は、時刻ｔ３においてＨＳＹＮＣ信号がハイレベルからローレベルになるとリセットされ、「０」に戻る。
【００４９】
次いで時刻ｔ４で、ポリゴンミラー１１からの走査光３０が、下流側検出位置である第１ミラー２２の第１側端部２２ｂを第１走査方向Ａ１に通過して、ＨＳＹＮＣ信号がローレベルからハイレベルになると、制御手段１５は、第１走査方向ＨＳＹＮＣ小数レジスタに、時刻ｔ４におけるｐｌｌｃｌｋ信号のカウンタ値である時刻ｔ４のｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ信号のカウンタ値を格納する。本実施形態では、「２」を格納する。ポリゴンミラー１１からの走査光３０が下流側検出位置２２ｂを第１走査方向Ａ１に通過したことは、走査光３０の第１走査方向Ａ１への走査が終了したことを示す。
【００５０】
次いで時刻ｔ５で、ポリゴンミラー１１からの走査光３０が、上流側検出位置である第１ミラー２２の光照射面の第２側端部２２ａを第２走査方向Ａ２に通過して、ＨＳＹＮＣ信号がローレベルからハイレベルになると、制御手段１５は、ｐｌｌｃｌｋカウンタをリセットしてカウンタ値を「０」にし、ｐｌｌｃｌｋ信号のカウントを開始する。時刻ｔ６でＰＣＬＫ信号がローレベルからハイレベルになると、制御手段１５は、ＰＣＬＫ信号のカウントを開始する。
【００５１】
次いで時刻ｔ７で、ポリゴンミラー１１からの走査光３０が、走査終了位置である第２ミラー２３の光照射面の第１側端部２３ｂを第２走査方向Ａ２に通過して、ＨＳＹＮＣ信号がハイレベルからローレベルになると、制御手段１５は、第２走査方向Ａ２のＨＳＹＮＣ幅を格納するための第２方向ＨＳＹＮＣ整数レジスタに、時刻ｔ７におけるＰＣＬＫ信号のカウンタ値である時刻ｔ７のＰＣＬＫ＿ＨＣＮＴ信号のカウンタ値を格納する。本実施形態では、「５００」を格納する。
【００５２】
次いで時刻ｔ８で、ポリゴンミラー１１からの走査光３０が、下流側検出位置である第２ミラー２３の光照射面の第２側端部２３ａを第２走査方向Ａ２に通過して、ＨＳＹＮＣ信号がローレベルからハイレベルになると、制御手段１５は、第２走査方向ＨＳＹＮＣ小数レジスタに、時刻ｔ８におけるｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ信号のカウンタ値である、時刻ｔ８のｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ信号のカウンタ値を格納する。本実施形態では、「２」を格納する。
【００５３】
ｐｌｌｃｌｋ信号をカウントするｐｌｌｃｌｋカウンタとしての制御手段１５は、０，１，２，３を繰り返しカウントする。ｐｌｌｃｌｋ信号のカウンタ値であるｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔ信号のカウンタ値は、表１に示すようにＨＳＹＮＣ幅の小数値を表す。またＰＣＬＫ＿ＨＣＮＴによるカウンタ値はＨＳＹＮＣ幅の整数値を表す。したがって第１走査方向Ａ１のＨＳＹＮＣ幅は５００．５ＰＣＬＫとなる。第２走査方向Ａ２も同様に５００．５ＰＣＬＫとなる。
【００５４】
【表１】
2009151246.tif 000003
【００５５】
このようにして求めた検出幅であるＨＳＹＮＣ幅に基づいて、幅取得部として機能する制御手段１５によって、走査ずれ量が求められる。具体的には、ＨＳＹＮＣ幅の小数値を参照して、走査ずれ量が求められる。図４に示す例では、往路である第１走査方向Ａ１のＨＳＹＮＣ幅が５００．５ＰＣＬＫ、すなわちＰＣＬＫ信号の５００．５周期分であり、小数値が０．５０であるので、走査ずれ量として、０．５画素、すなわちｐｌｌｃｌｋ信号の２周期分が求められる。復路である第２走査方向Ａ２のＨＳＹＮＣ幅を用いても、同様にして走査ずれ量を求めることができる。
【００５６】
図５は、ジッタ補正を説明するための図である。ジッタ補正は、走査方向Ａの各走査ラインの先頭画素、すなわち書込み領域開始点Ｐを合わせるためのものである。ジッタ補正では、図５に示すように、ＨＳＹＮＣ信号がＬｏｗになってから、ｐｌｌｃｌｋ信号に同期したジッタカウンタであるＪｉｔｔｅｒ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントがカウントアップして、設定した値「ｃ」になったときに、ｐｌｌｃｌｋ信号を４分周したＰＬＣＫ１信号が発生する。光照射手段１２による光照射のタイミングの基準となる印字信号として、前述の図３に示すＰＣＬＫ信号に代えて、ＰＣＬＫ１信号を用い、ＰＣＬＫ１信号に同期して光照射手段１２から走査光３０を照射させることによって、往路である第１走査方向Ａ１の走査終了点Ｑ１と、復路である第２走査方向Ａ２の走査開始点Ｑ２とが、走査方向Ａに垂直な方向に関して一致するように、光照射手段１２による走査光３０の照射開始タイミングを補正することができる。これによって、走査ライン同士の画素のずれであるジッタを補正することができる。ＨＳＹＮＣ信号がＬｏｗになるたびに、ジッタ補正が行なわれる。ジッタカウンタは、制御手段１５によって実現される。
【００５７】
ジッタ補正は、たとえば以下の条件で行われる。まず非同期のＨＳＹＮＣ信号を、動作クロック信号であるｐｌｌｃｌｋ信号で同期させて、Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[０]信号を作る。ジッタ補正のスタート信号を作るために、Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[０]信号から、Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[１]信号とＨｓｙｎｃ＿ｄ[２]信号とを作る。Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[１]信号は、Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[０]信号を１ｐｌｌｃｌｋ分、すなわちｐｌｌｃｌｋ信号の１周期分遅延させたものであり、Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[２]信号は、Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[１]信号を、１ｐｌｌｃｌｋ分遅延させたものである。つまりＨｓｙｎｃ＿ｄ[２]信号は、ｐｌｌｃｌｋ信号の２周期分、Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[０]信号を遅延させた信号である。
【００５８】
Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[１]信号がハイレベルからローレベルになったタイミングである時刻ｔ１１で、ＰＣＬＫ１信号を発生させるタイミングを計るためのＰｃｌｋカウンタであるＰｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントがスタートする。また、Ｈｓｙｎｃ＿ｄ[１]信号の反転信号とＨｓｙｎｃ＿ｄ[２]信号との論理積、すなわちＡＮＤの出力値がハイレベルからローレベルになったタイミングである時刻ｔ１２で、Ｊｉｔｔｅｒ＿ｃｎｔ［３：０］のジッタカウントがスタートする。
【００５９】
Ｊｉｔｔｅｒ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントがカウントアップして、設定した値「ｃ」になったタイミングである時刻ｔ１３で、Ｐｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントがリセットされ、「０」になる。Ｐｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントは、Ｊｉｔｔｅｒ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントが、設定した値「ｃ」になるまで、「４」が保持されている。
【００６０】
以上の条件のもとに、図５に示す例では、Ｊｉｔｔｅｒ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントが、設定した値「ｃ」になったタイミングである時刻ｔ１３で、Ｐｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントが保持状態の「４」から「０」になり、ＰＣＬＫ１信号がロー（Ｌｏｗ）信号となる。Ｐｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントが「３」から「４」になったタイミングである時刻ｔ１４で、ＰＣＬＫ１信号がハイ（Ｈｉ）信号となる。それ以降は、Ｐｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウント値からＰＣＬＫ１が作られる。Ｐｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウント値が「０」〜「３」の範囲でＰＣＬＫ１はロー（Ｌｏｗ）信号となり、Ｐｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウント値が「４」〜「７」の範囲でＰＣＬＫ１はハイ（Ｈｉ）信号となる。つまり、時刻ｔ１４においてＰｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウント値が「３」から「４」になると、ＰＣＬＫ１信号がローレベルからハイレベルになり、時刻ｔ１５においてＰｃｌｋ＿ｃｎｔ［３：０］のカウントが「７」から「０」になると、ＰＣＬＫ１信号がハイレベルからローレベルになる。
【００６１】
図６は、印字信号を説明するための図である。印字信号であるＰＣＬＫ１信号は、図５に示すジッタ補正後のクロック信号であり、光照射手段１２は、このクロック信号ＰＣＬＫ１に同期して、図１に示す走査光３０を被走査面１０ａに照射する。図６では、第２走査方向Ａ２の走査である偶数ラインＮ２の走査におけるＰＣＬＫ１信号の発生開始タイミングを、第１走査方向Ａ１の走査である奇数ラインＮ１の走査におけるＰＣＬＫ１信号の発生開始タイミングよりも、走査ずれ量であるｐｌｌｃｌｋの２周期分ずらす場合を示す。
【００６２】
時刻ｔ２１で、走査光３０が第２ミラー２３の光照射面の第１側端部２３ｂを第２走査方向Ａ２に通過すると、ＨＳＹＮＣ＿Ｎ信号がハイ（ＨＩＧＨ）レベルからロー（ＬＯＷ）レベルとなる。ＨＳＹＮＣ＿Ｎ信号は、光検出部１２から出力されたままのＨＳＹＮＣ信号のことである。ＨＳＹＮＣ＿Ｎ信号は、走査光３０が光検出部２１に入射する間、すなわち第２ミラー２３に走査光３０が照射されている間はＬＯＷレベルに維持され、走査光３０が光検出部２２に入射しなくなると、ハイ（ＨＩＧＨ）レベルになる。時刻ｔ２２で、走査光３０が第２ミラー２３の光照射面の第２側端部２３ａを第２走査方向Ａ２に通過して、ＨＳＹＮＣ＿Ｎ信号がローレベルからハイレベルになると、ポリゴンミラー１１の駆動方向が第２方向Ｂ２から第１方向Ｂ１に切換えられる。
【００６３】
時刻ｔ２３で、走査光３０が第２ミラー２３の光照射面の第２側端部２３ａを第１走査方向Ａ１に通過すると、再度ＨＳＹＮＣ＿Ｎ信号がハイ（ＨＩＧＨ）レベルからロー（ＬＯＷ）レベルになる。この走査光３０が第２ミラー２３の第２側端部２３ａである走査開始位置を第１走査方向Ａ１に通過した時刻ｔ２３から、ＨＳＹＮＣ＿Ｎ信号をｐｌｌｃｌｋ信号で同期させて、さらにｐｌｌｃｌｋ信号の２周期分遅延させた図５に示すＨｓｙｎｃ＿ｄ[２]信号が、ハイレベルからローレベルになった時刻ｔ２４において、ＰＣＬＫ１信号の発生が開始し、ＰＣＬＫ１信号がローレベルからハイレベルになる。図６に示す時刻ｔ２４は、図５に示す時刻ｔ１２に相当する。
【００６４】
走査光３０が第１走査方向Ａ１に走査されて、第１の奇数ラインＮ１の走査が終了した後、時刻ｔ２５で、走査光３０が第１ミラー２２の光照射面の第２側端部２２ａである走査終了位置を第１走査方向Ａ１に通過して光検出部２１に入射し、ＨＳＹＮＣ＿２信号がハイレベルからロー（ＬＯＷ）レベルになる。時刻ｔ２６で、走査光３０が第１ミラー２２の光照射面の第１側端部２２ｂを第１走査方向Ａ１に通過して、ＨＳＹＮＣ＿Ｎ信号がローレベルからハイレベルになると、ポリゴンミラー１１の駆動方向が第１方向Ｂ１から第２方向Ｂ２に切換えられる。時刻ｔ２７で、走査光３０が、第１ミラー２２の光照射面の第１側端部２２ｂを第２走査方向Ａ２に通過すると、再度ＨＳＹＮＣ信号がハイ（ＨＩＧＨ）レベルからＬＯＷレベルになる。
【００６５】
この走査光３０が第１ミラー２２の光照射面の第１側端部２２ｂを第２走査方向Ａ２に通過した時刻ｔ２７から、図５に示すＪｉｔｔｅｒ＿ｃｎｔ［３：０］がカウントアップして、設定した値「ｃ」になった時刻ｔ２８において、ＰＣＬＫ１信号の発生が開始し、ＰＣＬＫ１信号がローレベルからハイレベルになる。図６に示す時刻ｔ２８は、図５に示す時刻ｔ１３に相当する。ＰＣＬＫ１信号の発生開始タイミングを決定するＪｉｔｔｅｒ＿ｃｎｔ［３：０］の設定値「ｃ」は、前述のようにして求めた走査ずれ量がゼロになる、すなわち往路である第１走査方向Ａ１の走査終了点と、復路である第２走査方向Ａ２の走査開始点とが、走査方向Ａに垂直な方向に関して一致するように選ばれる。
【００６６】
図７は、画像のズレを解消した状態を示す図である。前述のように、本実施形態では、ズレを解消するためにＨＳＹＮＣの幅をｐｌｌｃｌｋ単位で測定する。Ｐｌｌｃｌｋ信号は、４００ＭＨｚと高速であるので、多ビットのカウンタをＡＳＩＣでもつことはできない。したがって、本実施形態では、前述のようにｐｌｌｃｌｋ信号で２ｂｉｔのカウンタにてＨＳＹＮＣの幅を算出する。算出したＨＳＹＮＣ幅の小数値を参照してＰＣＬＫ信号をｐｌｌｃｌｋ単位でずらす。本実施形態では、前述のように画像のずれ量である走査ずれ量は、０．５画素分、すなわちｐｌｌｃｌｋ信号の２周期分であるので、たとえば奇数ラインＮ１，Ｎ３の走査において、ＰＣＬＫ信号をｐｌｌｃｌｋ信号で２周期分ずらすことによって、図７に示すように奇数ラインＮ１，Ｎ３の印字エリアを第１走査方向Ａ１に０．５画素分ずらすことができ、画像のずれを解消することができる。このずらしたＰＣＬＫ信号が、前述の図６に示すＰＣＬＫ１信号に相当する。
【００６７】
図７に示す例では奇数ラインＮ１，Ｎ３を第１走査方向Ａ１にずらしているが、図６に示す例のように偶数ラインＮ２，Ｎ４の走査において、ＰＣＬＫ信号をｐｌｌｃｌｋ信号で２周期分ずらして、偶数ラインＮ２，Ｎ４を第２走査方向Ａ２にずらしてもよく、奇数ラインＮ１，Ｎ３および偶数ラインＮ２，Ｎ４をそれぞれ、第１走査方向Ａ１または第２走査方向Ａ２にずらしてもよい。
【００６８】
このようにＰＣＬＫ信号をずらすことは、ＨＳＹＮＣ信号をｐｌｌｃｌｋ信号で同期させて遅延させた信号、たとえば前述の図４に示すＨＳＹＮＣ信号をｐｌｌｃｌｋ信号と同期させたＨＳＹＮＣ＿Ｄ［０］信号を、ｐｌｌｃｌｋ信号の１周期分遅延させたＨＳＹＮＣ＿Ｄ［１］信号に基づいて、ＰＣＬＫ信号を発生させることに相当する。このようにＰＣＬＫ信号をジッタが補正されるようにずらして、前述の図４に示すようにして走査ずれ量を求めると、ＨＳＹＮＣ＿Ｄ［１］信号がローレベルからハイレベルになる時刻ｔ３１において、ｐｌｌｃｌｋ＿ｃｎｔのカウントがゼロになり、画像のずれが解消されていることがわかる。
【００６９】
以上のように本実施形態では、図３に示す補正前の照射開始タイミングに基づいて光照射手段１２が光を照射したときの被走査面１０ａにおける往路の走査終了点Ｑ１と復路の走査開始点Ｑ２とのずれ量を表す走査ずれ量を、図４に示すように、前述の画素ずれ量として、走査ずれ量取得手段として機能する制御手段１５によって取得する。この取得された走査ずれ量に基づいて、制御手段１５が光照射手段１２の照射開始タイミングを補正して、光照射手段１２によって光を照射させる。このようにして画素のずれ、すなわちジッタを補正するので、簡単な構成で、被走査面１０ａの往復走査における往路と復路とにおいて、被走査面１０ａの走査される領域、すなわち印字エリアにずれが生じることを防ぐことのできる光走査装置１を実現することができる。
【００７０】
また本実施形態では、走査ずれ量取得手段である制御手段１５は、図４に示すように、被走査面１０ａの往復走査における往路または復路において、上流側検出タイミングである時刻ｔ１，ｔ５と下流側検出タイミングである時刻ｔ４，ｔ８とに基づいて、走査ずれ量である画素ずれ量を取得する。したがって走査ずれ量を容易に取得することができる。
【００７１】
また本実施形態では、走査ずれ量取得手段である制御手段１５は、カウンタおよび幅取得部として機能し、図４に示すように上流側検出タイミングである時刻ｔ１，ｔ５と下流側検出タイミングである時刻ｔ４，ｔ８とに基づいて、上流側検出位置と下流側検出位置との間の検出幅、すなわち第１ミラー２２と第２ミラー２３との間に出力されるＰＣＬＫ信号を計数し、この計数された検出幅に基づいて走査ずれ量を求める。これによって簡単な構成で、走査ずれ量取得手段として機能する制御手段１５を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の一形態の光走査装置１を示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施の一形態の光走査装置１の電気的構成を示すブロック図である。
【図３】ポリゴンミラー１１の揺動による画像のずれを模式的に示す図である。
【図４】カウンタを説明するための図である。
【図５】ジッタ補正を説明するための図である。
【図６】印字信号を説明するための図である。
【図７】画像のズレを解消した状態を示す図である。
【符号の説明】
【００７３】
１  光走査装置
１０  被走査体
１０ａ  被走査面
１１  ポリゴンミラー
１１ａ  反射面
１２  光照射手段
１３  ミラー駆動手段
１４  光検出手段
１５  制御手段
２１  光検出部
２２  第１ミラー
２３  第２ミラー
２４  第３ミラー
【図１】
2009151246.tif 000004
【図２】
2009151246.tif 000005
【図３】
2009151246.tif 000006
【図４】
2009151246.tif 000007
【図５】
2009151246.tif 000008
【図６】
2009151246.tif 000009
【図７】
2009151246.tif 000010