(57)【要約】【課題】工具の大きさに規定されず、自由曲面加工にも適用でき、工具の寿命が短くならない加工装置及び加工方法を提供すること。【解決手段】加工装置１は、切削工具９と、前記切削工具９を、所定の切り込み量を与えつつ、被加工物１０１に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成する切削ライン形成手段７と、前記切削工具９の前記被加工物１０１に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送る切削工具送り手段７と、を備え、前記被加工物１０１の表面に、前記交差する方向に沿って並ぶ複数の前記切削ラインを形成し、前記切り込み量が前記複数の切削ライン間で不均一となるように、前記切り込み量を設定する切り込み量設定手段を備えることを特徴とする。【選択図】図１
2009220253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削工具と、
前記切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、前記切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成する切削ライン形成手段と、
前記切削工具の前記被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送る切削工具送り手段と、を備え、
前記被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って並ぶ複数の前記切削ラインを形成する加工装置であって、
前記切り込み量が前記複数の切削ライン間で不均一となるように、前記切り込み量を設定する切り込み量設定手段を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項２】
切削工具と、
前記切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、前記切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成する切削ライン形成手段と、
前記切削工具の前記被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送る切削工具送り手段と、を備え、
前記被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って、前記所定の送り量の間隔で並ぶ複数の前記切削ラインを形成する加工装置であって、
前記送り量を、不均一となるように設定する送り量設定手段を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項３】
切削工具と、
前記切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、前記切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成する切削ライン形成手段と、
前記切削工具の前記被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送る切削工具送り手段と、を備え、
前記被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って並ぶ複数の前記切削ラインを形成する加工装置であって、
前記切削ラインを形成するときの前記切削工具の向きを、前記複数の切削ライン間で不均一となるように設定する向き設定手段を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項４】
切削工具と、
前記切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、前記切削工具を被加工物に対し所定の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成する切削ライン形成手段と、
前記切削工具の前記被加工物に対する位置を、前記所定の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送る切削工具送り手段と、を備え、
前記被加工物の表面に複数の前記切削ラインを形成する加工装置であって、
前記所定の方向を、前記切削ライン間で不均一となるように設定する方向設定手段を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項５】
切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、前記切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、
前記切削工具の前記被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送り、
前記被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って並ぶ複数の前記切削ラインを形成する加工方法であって、
前記切り込み量が、前記複数の切削ライン間で不均一となるように、前記切り込み量を設定することを特徴とする加工方法。
【請求項６】
切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、前記切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させ、切削ラインを形成し、
前記切削工具の前記被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送り、
前記被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って、前記所定の送り量の間隔で並ぶ複数の前記切削ラインを形成する加工方法であって、
前記送り量を、不均一となるように設定することを特徴とする加工方法。
【請求項７】
切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、前記切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、
前記切削工具の前記被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送り、
前記被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って並ぶ複数の前記切削ラインを形成する加工方法であって、
前記切削ラインを形成するときの前記切削工具の向きを、前記複数の切削ライン間で不均一となるように設定することを特徴とする加工方法。
【請求項８】
切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、前記切削工具を被加工物に対し所定の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、
前記切削工具の前記被加工物に対する位置を、前記所定の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送り、
前記被加工物の表面に複数の前記切削ラインを形成する加工方法であって、
前記所定の方向を、前記複数の切削ライン間で不均一となるように設定することを特徴とする加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、レンズやミラー等の加工に適用できる加工装置、及び加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
平面、球面、非球面、自由曲面の形状のレンズやミラーを製作する方法、または上記レンズやミラーの成形に用いる金型を製作する方法として、切削加工により形状創成を行う方法が有効である。
【０００３】
切削加工としては、被加工物を回転させながら加工する旋削方式と、工具と被加工物を相対的に移動させて加工するシェーパ方式と、工具を回転させながら加工するフライカット方式があり、いずれも鏡面度の高い表面状態を得ることが可能である。
【０００４】
この切削加工法における問題点には、切削加工によって被加工物の表面に生じる規則的な切削痕に光が当たると、干渉により虹のように見えてしまうことがある。この干渉光は光の品質、もしくは画像の品質を悪化させるため好ましくない。
【０００５】
規則的な切削痕は、切削加工後に研磨加工を施すことで除去できるが、高い精度で加工された表面形状を悪化させる、傷を生じさせる等の危険も大きい。また、研磨時間も膨大となるため現実的ではない。このため、ｎｍレベルの輪郭精度を持つ工具で、ｎｍレベルの高い加工精度を有する設備で転写させる加工法である切削加工が有効である。
【０００６】
従来、上記の干渉光を抑制するためには、工具のＲ形状を大きくすることで干渉光を抑制する方法が一般的であり、場合によっては効果もある。
また、切削方向に対し直交する方向に工具を揺動させ、蛇行させながら加工することで、光の干渉を抑える技術が開示されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００６−１５９３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、工具のR形状を大きくする方法は、加工形状から、工具先端Rの大きさが規定される場合には、用いることができない。
また、特許文献１記載の方法では、非球面形状になった領域で、工具を切削方向に対し直交する方向に揺動させたのでは、段差が生じやすく、形状精度を悪化させるおそれがある。また、工具を非球面形状に高速にフィットさせながら揺動させることは困難である。また工具を微振動させることで、工具が摩耗し易くなり、工具の寿命が短くなってしまう。
【０００８】
本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、工具の大きさに規定されず、自由曲面加工にも適用でき、工具の寿命が短くならない加工装置及び加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明に係る加工装置は、切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、また、切削工具の被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送る。このことにより、本発明に係る加工装置は、被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って並ぶ複数の切削ラインを形成する。
【００１０】
特に、本発明の加工装置は、切り込み量が複数の切削ライン間で不均一となるように、切り込み量を設定する。その結果、被加工物の表面における切削痕の深さが不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００１１】
本発明の加工装置は、切削工具の大きさによらず、かつ、自由曲面加工にも適用できる。さらに、切削工具を揺動させなくてもよいので、切削工具の寿命が短くなってしまうことがない。
【００１２】
請求項２の発明に係る加工装置は、切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、また、切削工具の被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送る。このことにより、本発明に係る加工装置は、被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って前記所定の送り量の間隔で並ぶ複数の切削ラインを形成する。
【００１３】
特に、本発明の加工装置は、送り量を、不均一となるように設定する。その結果、被加工物の表面における切削痕のピッチが不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００１４】
本発明の加工装置は、切削工具の大きさによらず、かつ、自由曲面加工にも適用できる。さらに、切削工具を揺動させなくてもよいので、切削工具の寿命が短くなってしまうことがない。
【００１５】
請求項３の発明に係る加工装置は、切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、また、切削工具の被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送る。このことにより、本発明に係る加工装置は、被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って並ぶ複数の切削ラインを形成する。
【００１６】
特に、本発明の加工装置は、切削工具の向きを、複数の切削ライン間で不均一となるように設定する。切削工具の向きが異なると、各切削ラインの形状が相違するので、結果として、被加工物の表面における切削痕の断面形状が不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００１７】
本発明の加工装置は、切削工具の大きさによらず、かつ、自由曲面加工にも適用できる。さらに、切削工具を揺動させなくてもよいので、切削工具の寿命が短くなってしまうことがない。
【００１８】
請求項４の発明に係る加工装置は、切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、切削工具を被加工物に対し所定の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、また、切削工具の被加工物に対する位置を、前記所定の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送る。このことにより、本発明に係る加工装置は、被加工物の表面に複数の切削ラインを形成する。
【００１９】
特に、本発明の加工装置は、切削ラインの方向が不均一となるように設定する。その結果、被加工物の表面における切削痕の方向が不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００２０】
本発明の加工装置は、切削工具の大きさによらず、かつ、自由曲面加工にも適用できる。さらに、切削工具を揺動させなくてもよいので、切削工具の寿命が短くなってしまうことがない。
【００２１】
請求項５の発明に係る加工方法は、切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、切削工具の被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送り、被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って並ぶ複数の前記切削ラインを形成する。
【００２２】
特に、本発明の加工方法は、切り込み量が複数の切削ライン間で不均一となるように、切り込み量を設定する。その結果、被加工物の表面における切削痕の深さが不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００２３】
本発明の加工方法は、切削工具の大きさによらず、かつ、自由曲面加工にも適用できる。さらに、切削工具を揺動させなくてもよいので、切削工具の寿命が短くなってしまうことがない。
【００２４】
請求項６の発明に係る加工方法は、切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させ、切削ラインを形成し、切削工具の被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送り、被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って、所定の送り量の間隔で並ぶ複数の切削ラインを形成する。
【００２５】
特に、本発明の加工方法は、送り量を、不均一となるように設定する。その結果、被加工物の表面における切削痕のピッチが不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００２６】
本発明の加工方法は、切削工具の大きさによらず、かつ、自由曲面加工にも適用できる。さらに、切削工具を揺動させなくてもよいので、切削工具の寿命が短くなってしまうことがない。
【００２７】
請求項７の発明に係る加工方法は、切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、切削工具を被加工物に対し１の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、切削工具の被加工物に対する位置を、前記１の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送り、被加工物の表面に、前記交差する方向に沿って並ぶ複数の切削ラインを形成する。
【００２８】
特に、本発明の加工方法は、切削工具の向きを、複数の切削ライン間で不均一となるように設定する。その結果、被加工物の表面における切削痕の断面形状が不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００２９】
本発明の加工方法は、切削工具の大きさによらず、かつ、自由曲面加工にも適用できる。さらに、切削工具を揺動させなくてもよいので、切削工具の寿命が短くなってしまうことがない。
【００３０】
請求項８の発明に係る加工方法は、切削工具に所定の切り込み量を与えつつ、切削工具を被加工物に対し所定の方向に相対的に移動させて、切削ラインを形成し、切削工具の被加工物に対する位置を、所定の方向と交差する方向に、所定の送り量だけ送り、被加工物の表面に複数の切削ラインを形成する。
【００３１】
特に、本発明の加工方法は、切削ラインの方向が不均一となるように設定する。その結果、被加工物の表面における切削痕の方向が不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００３２】
本発明の加工方法は、切削工具の大きさによらず、かつ、自由曲面加工にも適用できる。さらに、切削工具を揺動させなくてもよいので、切削工具の寿命が短くなってしまうことがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００３４】
１．加工装置１の構成及び基本的な動作
加工装置１の構成及び基本的な動作を図１及び図２に基づいて説明する。加工装置１は精密ＮＣフライス盤である。
【００３５】
加工装置１は、加工部３と、制御ユニット５とから構成される。加工部３は、被加工物１０１を載置することができ、Ｘ軸、Ｙ軸方向のそれぞれに移動可能なテーブル７と、ダイヤモンド工具（切削工具）９を保持し、Ｚ軸方向に移動可能な工具保持部１１とから構成される。テーブル７及び工具保持部１１の最小移動量は、それぞれ、０．００１μm（１ｎｍ）である。また、工具保持部１１は、図２に示すように、Ｘ軸方向と同じ向きに取り付けた状態（図２（ａ）の状態）となることもできるし、Ｚ軸を中心として回転し、ダイヤモンド工具９の向きが変動した状態（図２（ｂ）の状態）となることもできる。
【００３６】
加工部３による被加工物１０１の加工は、以下のように行う。
(i)工具保持部１１をＺ軸方向に動かし、ダイヤモンド工具９を、被加工物１０１の表面から、所定の切り込み量だけ切り込ませた状態で、テーブル７をＸ軸方向に移動させる。この結果、ダイヤモンド工具９が、Ｘ軸方向に沿って、被加工物１０１に対し相対的に移動し、被加工物１０１の表面には、Ｘ軸方向に沿って延びる切削ラインが形成される。
(ii)切削ラインの形成後、テーブル７を、Ｙ軸方向に、所定のピックフィード量（送り量）ａだけ移動させる。
(iii)上記(i)、(ii)を繰り返す。
【００３７】
上記の工程により、被加工物１０１の表面には、図３に示すように、Ｘ軸方向に沿って延びる切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・が、Ｙ軸方向に沿って並ぶ形状が形成される。ここで、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・の間隔は、ピックフィード量ａとなる。
【００３８】
制御ユニット５は、ＮＣデータに基づき、加工部３における上述した動作を制御する。ＮＣデータには、表１に示すように、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・を形成するときにおけるダイヤモンド工具９のＺ座標、及びテーブル７のＹ座標が、切削ラインごとに記憶されている。なお、表１、及び後述する表２、表３では、便宜上、切削ラインＬ１とＬ２との間のピックフィード量ａを、切削ラインＬ１の欄に記載している。
【００３９】
【表１】
2009220253.tif 000003
また、表１には示していないが、ＮＣデータには、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・を形成するときにおけるダイヤモンド工具９の向きが切削ラインごとに記憶されている。
【００４０】
なお、切削ラインを形成するときにおけるダイヤモンド工具９のＺ座標により切り込み量が定まる。表１において、Ｚ座標が「Ｚ−ｘ」と表されているとき、切り込み量はｘμｍである。また、ある切削ラインを形成するときにおけるテーブル７のＹ座標と、次の切削ラインを形成するときにおけるテーブル７のＹ座標との差が、ピックフィード量ａとなる。ＮＣデータを作成する方法の詳細については後述する。
【００４１】
２．ＮＣデータの作成
ＮＣデータを作成する方法を図４のフローチャートに基づいて説明する。以下の処理は、コンピュータにより実行される。
【００４２】
ステップ１０では、被加工物（例えば、レンズ、ミラー等）１０１の光学形状定義式を取得する。光学形状定義式はユーザがコンピュータに入力することができる。
ステップ２０では、前記ステップ１０で入力した光学形状定義式に基づき、周知の方法で、ＣＡＤ形状定義を行う。
【００４３】
ステップ３０では、使用するダイヤモンド工具９の形状を設定する。なお、ダイヤモンド工具９の形状は、ユーザがコンピュータに入力することができる。
ステップ４０では、被加工物１０１の仕上がりにおける表面粗さを設定する。なお、この表面粗さは、ユーザがコンピュータに入力することができる。
【００４４】
ステップ５０では、前記ステップ２０で行ったＣＡＤ形状定義、前記ステップ３０で設定したダイヤモンド工具９の形状、及び前記ステップ４０で設定した表面粗さに基づき、周知の方法により、基本ＮＣデータを作成する。基本ＮＣデータとは、上記表１に示すように、ピックフィード量ａと、切り込み量とが、いずれの切削ラインでも同一であるものである。また、基本ＮＣデータでは、ダイヤモンド工具９の向きも、いずれの切削ラインでも同一である。
【００４５】
ステップ６０では、回折抑制加工を行う必要があるか否かを判断する。例えば、ミラー、レンズ等を製作する場合は、回折抑制加工が必要であると判断し、高い鏡面状態を必要としない場合や、切削加工の後に磨きを施す必要がある場合等は、回折抑制加工を行う必要がないと判断する。回折抑制加工を行う必要があると判断した場合はステップ７０に進み、不要であると判断した場合はステップ１３０に進む。
【００４６】
ステップ７０では、回折抑制加工において変化させるパラメータを、ピックフィード量ａ、切り込み量、ダイヤモンド工具９の向き（工具方向）、及び加工方向のうちのいずれにするかを選択する。この選択は、ユーザの設定に応じて行うことができる。
【００４７】
ステップ８０〜１１０では、前記ステップ５０で作成した基本ＮＣデータを基に、ピックフィード量ａ、切り込み量、工具方向、加工方向をそれぞれ変化させる。
具体的には、ステップ８０では、表２に示すように、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・を形成するときにおけるピックフィード量ａを、標準の値である５μｍを中心として、±１μｍの範囲で変化させる。
【００４８】
【表２】
2009220253.tif 000004
このピックフィード量ａにおける変化幅は、乱数を用いて、ランダムとなるように設定する。
【００４９】
また、ステップ９０では、表３に示すように、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・を形成するときにおける切り込み量を、標準の値である２μｍを中心として、±１μｍの範囲で変化させる。
【００５０】
【表３】
2009220253.tif 000005
この切り込み量における変化幅は、乱数を用いて、ランダムとなるように設定する。
【００５１】
また、ステップ１００では、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・を形成するときにおけるダイヤモンド工具９の向きを、標準の向きを中心として、±５°の範囲で変化させる。ダイヤモンド工具９の向きにおける変化幅は、乱数を用いて、ランダムとなるように設定する。
【００５２】
また、ステップ１１０では、図５に示すように、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・の方向を、乱数を用いて、ＸＹ平面の中でランダムに変化させる。
ステップ１２０では、ステップ８０〜１１０で処理後のＮＣデータを加工装置１の制御ユニット５に出力する。
【００５３】
一方、前記ステップ６０にて回折抑制加工が不要であると判断した場合、ステップ１３０にて、基本ＮＣデータを加工装置１の制御ユニット５に出力する。
３．加工装置１による加工方法
加工装置１は、基本ＮＣデータ、又は前記ステップ８０〜１１０で処理後のＮＣデータに基づき、上述した方法で、被加工物１０１を加工する。
【００５４】
前記ステップ１１０で処理後のＮＣデータを用いる場合、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・の方向に応じて、ダイヤモンド工具９の向きも変え、切削方向が変化しても常に、ダイヤモンド工具９の正面と切削方向を一致させることが好ましい。
【００５５】
４．加工装置１が奏する効果
(i)前記ステップ８０で処理後のＮＣデータを用いる場合、図６に示すように、加工後の被加工物１０１の表面において、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・間でのピックフィード量ａ１、ａ２、ａ３、・・・が不均一となる（ａ１、ａ２、ａ３は不均一な値）。その結果、被加工物１０１の表面における切削痕のピッチが不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００５６】
前記ステップ８０で処理後のＮＣデータを用い、以下の条件で被加工物１０１を加工した。また、基本ＮＣデータを用い、それ以外の条件は同様にして、被加工物１０１を加工した。
（加工条件）
ダイヤモンド工具９：単結晶ダイヤモンド Ｒ０．２ｍｍ
切り込み量：２μｍ一定
ピックフィード量：５±１μm
被加工物１０１の材質：アルミ
被加工物１０１の形状：平面
その結果、加工後の表面粗さは、前記ステップ８０で処理後のＮＣデータ、基本ＮＣデータのいずれを用いても、Ｒａ５〜７ｎｍであり同等であった。しかしながら、反射率については、前記ステップ８０で処理後のＮＣデータを用いた場合は９１％であり、基本ＮＣデータを用いた場合は８８％であった。前記ステップ８０で処理後のＮＣデータを用いた場合に反射率が向上した理由は、回折のロスが低減したためである。よって、この結果から、前記ステップ８０で処理後のＮＣデータを用いると、回折が低減することが確かめられた。
【００５７】
前記ステップ９０で処理後のＮＣデータを用いる場合、図７に示すように、加工後の被加工物１０１の表面において、切り込み量が切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・間で不均一となる。その結果、被加工物１０１の表面における切削痕の深さが不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００５８】
前記ステップ１００で処理後のＮＣデータを用いる場合、ダイヤモンド工具９の向きが
切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・の間で異なるため、図８に示すように、加工後の被加工物１０１の表面において、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・のＹＺ断面形状が不均一となる。その結果、被加工物１０１の表面における切削痕の断面形状が不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００５９】
前記ステップ１１０で処理後のＮＣデータを用いる場合、図５に示すように、加工後の被加工物１０１の表面において、切削ラインＬ１、Ｌ２、Ｌ３、・・・の方向が不均一となる。その結果、被加工物１０１の表面における切削痕の方向が不規則となり、周期性がなくなるため、干渉光を低減することができる。
【００６０】
(ii)通常、鏡面加工では、数万ポイント以上の加工点が必要になっており、ＮＣデータの作成には膨大な計算が必要となる。特に、ピックフィード量ａ、切り込み量、ダイヤモンド工具９の向き、切削ラインの方向をランダムに変化させるＮＣデータの作成には、一層、膨大な計算が必要になる。本実施例では、まず、ピックフィード量ａ、切り込み量、ダイヤモンド工具９の向き、及び切削ラインの方向が一定である基本ＮＣデータを作成し、次に、乱数等の微少な数値を、加減算する方法をとることにより、ＮＣデータを作成するために要する演算の負荷を低減することができる。
(iii)本実施例の加工方法は、ダイヤモンド工具９の大きさによらず、実施することができる。また、自由曲面加工にも適用できる。さらに、ダイヤモンド工具９を揺動させることはないので、その寿命が短くなってしまうことがない。
【００６１】
尚、本発明は前記実施の形態になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
例えば、ＮＣデータを処理するとき、ピックフィード量ａ、切り込み量、ダイヤモンド工具９の向き、及び切削ラインの方向から成る群から選ばれる２種以上を同時に変動させてもよい。
【００６２】
また、ダイヤモンド工具９の向きは、テーブル７を回転させることで変更してもよい。
また、本発明は、シェーパ加工の装置だけではなく、フライカット加工の装置や、旋削加工の装置（例えばＮＣ旋盤）にも適用することができる。
【００６３】
また、前記実施例では、ＣＡＤ／ＣＡＭでＮＣデータを作成する際に、ピックフィード量ａや切り込み量をランダムにするように設定したが、これに限らず、加工装置１に、ピックフィード量ａ、切り込み量等をランダムに設定する制御機能を持たせても良い。例えば、従来通り、均一のピックフィード量ａや切り込み量を規定するＮＣデータを作成し、これを加工装置１に供給し、加工装置１において、ピックフィード量ａ、切り込み量等の設定値をランダムに設定し直すようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】加工装置１の構成を表す斜視図である。
【図２】加工装置１の構成を表す斜視図であり、（ａ）はダイヤモンド工具９の向きが標準の状態を表し、（ｂ）は標準の状態からＺ軸を中心として回転した状態を表す。
【図３】（ａ）は基本ＮＣデータを用いて加工した後における被加工物１０１の平面図であり、（ｂ）は基本ＮＣデータを用いて加工した後における被加工物１０１の断面図である。
【図４】ＮＣデータを作成する処理を表すフローチャートである
【図５】切削ラインの方向を変化させる処理を表す説明図である。
【図６】（ａ）はピックフィード量ａをランダムとしたＮＣデータを用いて加工した後における被加工物１０１の平面図であり、（ｂ）はピックフィード量ａをランダムとしたＮＣデータを用いて加工した後における被加工物１０１の断面図である。
【図７】切り込み量をランダムとしたＮＣデータを用いて加工した後における被加工物１０１の断面図である。
【図８】ダイヤモンド工具９の向きをランダムとしたＮＣデータを用いて加工した後における被加工物１０１の断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１・・・加工装置、３・・・加工部、５・・・制御ユニット、７・・・テーブル、
９・・・ダイヤモンド工具、１１・・・工具保持部、１０１・・・被加工物
【図４】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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