(57)【要約】【課題】ＩＴＯ、Ａｌ添加ＺｎＯ（ＺＡＯ）等の透明導電層を陽極として用い、Ｒ，Ｇ，Ｂ三色に対応させる場合、Ｒ，Ｇ，Ｂの色毎に層厚を変えてスパッタを行い、フォトリソグラフ・エッチング技術によりパターニングを行う必要がある。このように発光色毎に透明導電層の層厚を変える場合は成層（スパッタ）・フォトリソグラフ・エッチング工程を３度繰り返す必要があり、多くの資材と時間を要するという課題がある。【解決手段】バンク部２１６を形成した後、液滴吐出法によりバンク部２１６内にエッチング液を供給し、透明導電層のエッチングを行う。エッチング条件を変えることで陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さを各発光色に適した厚さとなるよう制御する。各発光色に対応する島状導電層の厚さを制御する。そのため、島状導電層の厚さを各発光色の波長と合わせて設定することが可能となり、発光効率の向上をはかることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）基板上に位置し、複数に区画された島状の透明導電層を形成する工程と、
（２）島状の前記透明導電層を囲う領域にバンクを形成する工程と、
（３）島状の前記透明導電層をエッチングするエッチング液を、一部の前記バンク内に選択的に供給し、島状の前記透明導電層が残留する条件でエッチングを行う工程と、
（４）前記（３）を１回、又は複数回行う工程と、
（５）それぞれの島状の前記透明導電層上に、発光層を含む機能層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、前記（３）の工程で前記エッチング液を供給する手段として液滴吐出法を用いることを特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、前記（３）で供給される前記エッチング液により行われるエッチング量が、予め定められた量に達すると同時にリンス処理を行い、前記エッチング液を希釈排出してエッチングを停止することを特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、前記（３）で供給される前記エッチング液の吐出タイミングを制御し、前記バンク内に複数のタイミングで前記エッチング液を吐出させることで前記バンク毎での前記エッチング液の滞留時間を変えてエッチングを行い、エッチング量が、予め定められた量に達すると同時に前記基板のリンス処理を行い、前記エッチング液を希釈排出してエッチングを停止すること特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。
【請求項５】
請求項１又は２に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、前記（３）で供給される前記エッチング液に複数の反応速度を有するエッチング液を前記バンク内に吐出させることで前記バンク毎での前記エッチング液でのエッチング量を複数の水準とすべくエッチングを行い、各々の前記透明導電層のエッチング量が予め定められた量に達すると同時に前記基板のリンス処理を行い、前記エッチング液を希釈排出してエッチングを停止すること特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。
【請求項６】
請求項１又は２に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、前記（３）で供給される前記エッチング液量は、予め定められる島状の前記透明導電層のエッチング量に対応する量となるよう制御され、前記エッチング液の活性物質が減少することでエッチングが停止されることを特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されることを特徴とする有機ＥＬ発光素子。
【請求項８】
請求項７に記載の有機ＥＬ発光素子を含むことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ発光素子の製造方法、有機ＥＬ発光素子、及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ発光素子は、自発光素子として様々なアプリケーションに対応可能な素子として急速に普及しつつある。例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂ（Ｒ：赤、Ｇ：緑、Ｂ：青）発光層を備えた有機ＥＬ発光素子を用いてカラー表示を行う場合、有機ＥＬ発光素子を構成する透明導電層、ＨＩＬ（ホール注入層）、ＬＥＰ（発光性ポリマー）等の層厚を制御することで、発光色のスペクトル強度分布を制御することができる。そして、各層の層厚をＲ，Ｇ，Ｂの発光色毎に最適化することで、理想的なスペクトル強度分布を有する光を取り出すことが可能となり、発光効率を向上させることができる。これらの層のうち、ＨＩＬ層やＩＬ層に関しては容易に層厚を制御することが可能である（蒸着法であれば蒸着時間、液滴吐出法であればインク濃度や充填量で制御できる）。透明導電層に関しては、Ｒ，Ｇ，Ｂの色毎に層厚を変えてスパッタを行い、フォトリソグラフ・エッチング技術によりパターニングを行うことで、層厚を制御することが可能である。
また、液滴吐出法によりレジスト層をパターニング（描画）し、必要な領域のみに保護膜を形成する手法が特許文献１に記載されている。この手法を用いれば、特定の画素を保護した状態でエッチングを行うことが可能となるため、透明導電層の成層は１度で済む。また、マスク露光工程に代えて全面露光工程を用いることが可能となり、露光用のマスクパターンとの位置合わせが不要となるため、露光工程のスループットを向上させることができる。
【０００３】
【特許文献１】特開平５−３３８１８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＩＴＯ、Ａｌ添加ＺｎＯ（ＺＡＯ）等の透明導電層を陽極として用い、Ｒ，Ｇ，Ｂ各色で異なる陽極層厚を採用する場合、Ｒ，Ｇ，Ｂの色毎に層厚を変えてスパッタを行い、フォトリソグラフ・エッチング技術によりパターニングを行う必要がある。このように発光色毎に透明導電層の層厚を変える場合は成層（スパッタ）・フォトリソグラフ・エッチング工程を３度繰り返す必要があり、多くの資材と時間を要するという課題がある。
また、特許文献１に記載される技術を用いた場合には、フォトリソグラフ工程中のマスク合わせが不要となり、フォトリソグラフ工程を短縮することができる。しかし、この場合でも、レジストのベーク工程及びレジストの除去工程を繰り返し行う必要があり、より容易に有機ＥＬ発光素子を形成する方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
なお、便宜上、「上」とは、基板の能動面側から、その法線方向に従い、基板から離れて行く方向を示すものとする。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる有機ＥＬ発光素子の製造方法は、（１）基板上に位置し、複数に区画された島状の透明導電層を形成する工程と、（２）島状の前記透明導電層を囲う領域にバンクを形成する工程と、（３）島状の前記透明導電層をエッチングするエッチング液を、一部の前記バンク内に選択的に供給し、島状の前記透明導電層が残留する条件でエッチングを行う工程と、（４）前記（３）を１回、又は複数回行う工程と、（５）それぞれの島状の前記透明導電層上に、発光層を含む機能層を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【０００７】
この適用例によれば、一部のバンク内に位置する島状導電層にエッチング液が供給される。エッチング液が供給されたバンク内に位置する島状導電層が選択的にエッチングされるため、各領域における島状導電層の厚さを制御することができる。また、この工程を複数回行うことで、島状導電層の厚さを多段階に設定することができる。そのため、島状導電層の厚さを各発光色の波長と合わせて設定することが可能となり、発光効率の向上をはかることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる有機ＥＬ発光素子の製造方法において、前記（３）の工程で前記エッチング液を供給する手段として液滴吐出法を用いることを特徴とする。
【０００９】
上記した適用例によれば、選択された各バンク内にのみエッチング液が供給されるよう高い位置精度を持ってエッチング液を供給し、かつエッチング液量を高い精度で供給することが可能となる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる有機ＥＬ発光素子の製造方法において、前記（３）で供給される前記エッチング液により行われるエッチング量が、予め定められた量に達すると同時にリンス処理を行い、前記エッチング液を希釈排出してエッチングを停止することを特徴とする。
【００１１】
上記した適用例によれば、島状導電層の厚さを制御することが可能となる。エッチング量が設定量に達すると共にリンス処理を行いエッチング液を希釈排出することで、各バンク内に供給されたエッチング液は同一のタイミングで希釈されるため、エッチング液が供給された島状導電層のエッチング量を揃えることが可能となる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる有機ＥＬ発光素子の製造方法において、前記（３）で供給される前記エッチング液の吐出タイミングを制御し、前記バンク内に複数のタイミングで前記エッチング液を吐出させることで前記バンク毎での前記エッチング液の滞留時間を変えてエッチングを行い、エッチング量が、予め定められた量に達すると同時に前記基板のリンス処理を行い、前記エッチング液を希釈排出してエッチングを停止すること特徴とする。
【００１３】
上記した適用例によれば、エッチング液を複数の吐出タイミングで各バンク内に吐出している。吐出タイミングを変えることで、エッチング液の島状導電層上への滞留時間を変えることができる。エッチング量が設定量に達すると共にリンス処理を行いエッチング液を希釈排出することで、吐出タイミングと関連付けられた複数水準の深さまでエッチングを行うことが可能となる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる有機ＥＬ発光素子の製造方法において、前記（３）で供給される前記エッチング液に複数の反応速度を有するエッチング液を前記バンク内に吐出させることで前記バンク毎での前記エッチング液でのエッチング量を複数の水準とすべくエッチングを行い、各々の前記透明導電層のエッチング量が予め定められた量に達すると同時に前記基板のリンス処理を行い、前記エッチング液を希釈排出してエッチングを停止すること特徴とする。
【００１５】
上記した適用例によれば、複数のエッチング速度を有するエッチング液を各バンク内に吐出している。複数のエッチング速度を与えることで、島状導電層とのエッチング深さを変えることができる。各々の島状導電層のエッチング量が設定量に達すると共にリンス処理を行いエッチング液を希釈排出することで、エッチング速度と関連付けられた複数水準の深さまでエッチングを行うことが可能となる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかる有機ＥＬ発光素子の製造方法において、前記（３）で供給される前記エッチング液量は、予め定められる島状の前記透明導電層のエッチング量に対応する量となるよう制御され、前記エッチング液の活性物質が減少することでエッチングが停止されることを特徴とする。
【００１７】
上記した適用例によれば、エッチング液を複数の吐出量で各バンク内に吐出している。吐出量を変えることで、島状導電層のエッチング量は、エッチング液中の活性物質を失うまでエッチングされる。そのため、エッチング液の吐出量と関連付けられた複数水準の深さまでエッチングを行うことが可能となる。
【００１８】
［適用例７］本適用例にかかる有機ＥＬ発光素子は、上記した有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されることを特徴とする。
【００１９】
この適用例によれば、製造工程が短縮される。そのため製造工程数に強い相関を持つ不良の発生を抑えることが可能となり、高い信頼性を持った有機ＥＬ発光素子が提供できる。また、製造工程数が減らせるため、製造コストを低減することができる。
【００２０】
［適用例８］本適用例にかかる電子機器は、上記した有機ＥＬ発光素子を含むことを特徴とする。
【００２１】
この適用例によれば、信頼性が高い有機ＥＬ発光素子を用いた電子機器を備えているので、この有機ＥＬ発光素子を用いて表示部を構成することで信頼性が高い表示特性が保たれる電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（有機ＥＬディスプレイの構成）
以下、本実施形態では、有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて得られる有機ＥＬ発光素子を含む、有機ＥＬディスプレイの構成について、図面を参照して説明する。
【００２３】
図１は、有機ＥＬディスプレイの配線構造を示す模式図である。この有機ＥＬディスプレイ１は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor、以下ＴＦＴと称する。）を用いたアクティブマトリクス方式のもので、複数の走査線１０１と、各走査線１０１に対して直角に交差する方向に延びる複数の信号線１０２と、各信号線１０２に並列に延びる複数の電源線１０３とからなる配線構成を有すると共に、走査線１０１及び信号線１０２の各交点付近に、画素（サブ画素４０）が設けられている。
【００２４】
信号線１０２には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン及びアナログスイッチを備えるデータ線駆動回路１００が接続されている。また、走査線１０１には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査線駆動回路８０が接続されている。
サブ画素４０の各々には、走査線１０１を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用のＴＦＴ１２２と、このスイッチング用のＴＦＴ１２２を介して信号線１０２から共有される画素信号を保持する保持容量１１３と、保持容量１１３によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用のＴＦＴ１２３と、ＴＦＴ１２３を介して電源線１０３に電気的に接続したときに当該電源線１０３から駆動電流が与えられる画素電極（陽極）２３と、画素電極（陽極）２３と向き合う位置にある対向電極（陰極）５０と、画素電極（陽極）２３と対向電極（陰極）５０との間に挟み込まれる位置にある有機ＥＬ発光素子１７（Ｒ，Ｇ，Ｂ）（Ｒ（赤色），Ｇ（緑色），Ｂ（青色））と、が設けられている。
【００２５】
次に、本実施形態の有機ＥＬディスプレイ１の具体的な態様を、図２を参照して説明する。ここで、図２は有機ＥＬディスプレイ１の構成を模式的に示す平面図である。
図２に示すように、基板２０Ａ上の実表示領域４には、Ｒ，Ｇ，Ｂに対応して設けられたサブ画素４０がマトリクス状に規則的に配置されている。ここで、基板２０Ａは、基板本体２０、及び基板本体２０上に設けられた、例えばバッファ層２１（図３参照）を含む。
【００２６】
また、Ｒ，Ｇ，Ｂ各色のサブ画素４０（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は一つの基本単位となって表示単位画素４１を構成している。また、サブ画素４０（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の各々は、ＴＦＴ１２２，１２３の動作に伴って、赤色発光（Ｒ）、緑色発光（Ｇ）、及び青色発光（Ｂ）に対応する有機ＥＬ発光素子１７（Ｒ，Ｇ，Ｂ）（図１参照）を備える構成を有している。これによって表示単位画素４１は、Ｒ，Ｇ，Ｂの発光を混色させてフルカラー表示を行う構成を有している。
なお、本実施形態において画素部３は、中央部分の実表示領域４（図中二点鎖線枠内）と、実表示領域４の周囲に配置されたダミー領域５（一点鎖線及び二点鎖線の間の領域）とに区画されている。そして、実表示領域４の図２中両側には、走査線駆動回路８０が配置されている。この走査線駆動回路８０は、ダミー領域５の下層側に位置して設けられている。
【００２７】
また、実表示領域４の図２中上方側には検査回路９０が配置されており、この検査回路９０はダミー領域５の下層側に配置されて設けられている。この検査回路９０は、有機ＥＬディスプレイ１の作動状況を検査するための回路であって、例えば検査結果を外部に出力する検査情報出力手段（図示せず）を備え、製造途中や出荷時における有機ＥＬディスプレイの品質、欠陥の検査を行うことができるように構成されている。
【００２８】
（有機ＥＬ発光素子の構造）
次に、図３を参照して、有機ＥＬ発光素子の構造について説明する。図３は、有機ＥＬディスプレイ１（図１参照）を構成する有機ＥＬ発光素子１７（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の模式断面図である。
【００２９】
基板本体２０上に、例えば窒化珪素を含むバッファ層２１等が形成された基板２０Ａ上には、ＳｉＯ2等を用いてなる第１バンク部２１６ａと、第１バンク部２１６ａ上に形成される、アクリル等を用いてなる第２バンク部２１６ｂとから構成されるバンク部２１６が配置される。ここで、第１バンク部２１６ａは、画素電極（陽極）２３の周縁部上に乗り上げるように形成される。
【００３０】
バンク部２１６内には、ＩＴＯ等を用いてなる光学的に透明な陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）が配置される。陽極２３の層厚は、有機ＥＬ発光素子１７（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の色毎に異なり、層厚は陽極２３Ｒ＞陽極２３Ｇ＞陽極２３Ｂの順で薄い層厚を有している。具体的には、陽極２３Ｒが１２０ｎｍ程度、陽極２３Ｇが６０ｎｍ程度、陽極２３Ｂが４０ｎｍ程度の層厚を有している。
【００３１】
赤色の有機ＥＬ発光素子１７Ｒを構成する機能層２１０Ｒは、正孔注入／輸送層２１１Ｒと、発光層２１２Ｒと、を含む。正孔注入／輸送層２１１Ｒが、例えばポリアニリンとポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物によって形成されている。具体的には、このポリアニリンとＰＳＳとの混合物０．７重量％が、水５０重量％、ジエチレングリコール（ＤＥＧ）５０重量％、界面活性剤（例えばサンフィノール６１［商品名］）０．１重量％（有効数字の都合上、合計は１００％となっていない）が混合されてなる分散媒に分散され、正孔注入／輸送層２１１Ｒ形成用の液状材料として用いられている。
【００３２】
また、この赤色の有機ＥＬ発光素子１７Ｒの正孔注入／輸送層２１１Ｒとしては、その形成材料の主成分が前記のポリアニリンとポリスチレンスルフォン酸との混合物に限定されることなく、他に例えば、ポリチオフェン誘導体として特に３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）と、ポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物を主成分として用いることもできる。その場合にも、これを前記の分散媒（水／ＤＥＧ／界面活性剤）に分散させて液状材料とする。この材料を使い、液滴吐出法を用いて層形成することにより、正孔注入／輸送層２１１Ｒを形成することができる。
ここで、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物は、ＰＳＳからなる長い鎖中にＰＥＤＯＴが結合した状態となり、これが分散媒に分散することによってゲルパーチィクルとなる。このゲルパーチィクルは、機械的に破砕分散させることでその平均粒子径を調整することが可能となり、また、この平均粒子径を調整することにより、得られる層（正孔注入／輸送層２１１Ｒ）の抵抗値を調整することが可能となる。
【００３３】
赤色の有機ＥＬ発光素子１７Ｒの正孔注入／輸送層２１１Ｒ用の形成材料主成分として、ＰＥＤＯＴとＰＳＳとの混合物を用いる場合、ＰＥＤＯＴとＰＳＳとの配合比（重量比）を、１：１０〜１：１５程度とする。この処理により、得られる正孔注入／輸送層２１１Ｒの抵抗値を調整することができる。
赤色の有機ＥＬ発光素子１７Ｒにおける発光層２１２Ｒは、その形成材料として、以下の化合物１として示すＣＮ−ＰＰＶが好適に用いられる。
【００３４】
【化１】
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この化合物１は、例えばシクロヘキシルベンゼン（ＣＨＢ）とイソプロピルビフェニル（ＩＰＢＰ）とを１：１で混合した溶媒に対して、０．９重量％程度となるように配合され溶解されることにより、発光層２１２Ｒ形成用の液状材料とされる。そして、この液状材料が後述するように液滴吐出法で正孔注入／輸送層２１１Ｒ上に配置され、発光層２１２Ｒが形成されている。なお、前記ＣＮ−ＰＰＶを用いた液状材料は、正孔注入／輸送層２１１Ｒとして前述したものに対して用いることができる。
そして、機能層２１０Ｒは、層厚が８０ｎｍ程度となるよう構成される。この程度の層厚を用いることで赤色の光が共振作用により強調され、赤色の有機ＥＬ発光素子１７Ｒの発光効率と色純度を向上させることができる。そして、発光層２１２Ｒ上には、Ｒ，Ｇ，Ｂ共通の電極として例えばストロンチウム（Ｓｒ）を介してアルミニウム（Ａｌ）を用いてなる陰極２１４が形成される。
緑色の有機ＥＬ発光素子１７Ｇを構成する機能層２１０Ｇは、正孔注入／輸送層２１１Ｇと、発光層２１２Ｇと、を含む。
緑色の有機ＥＬ発光素子１７Ｇは、その正孔注入／輸送層２１１Ｇが、前記ＰＥＤＯＴとＰＳＳとの混合物によって形成されている。緑色の有機ＥＬ発光素子１７Ｇの正孔注入／輸送層２１１Ｇ形成に用いられる主成分としては、ＰＥＤＯＴとＰＳＳとの配合比（重量比）を１：３０程度としたものが好適に用いられる。また、正孔注入／輸送層２１１Ｇ用を形成する材料の主成分としては、他に例えば、ＰＥＤＯＴとＰＳＳとの配合比（重量比）を１：２０程度としたものも好適に用いられる。これら混合物にあっても、配合量として０．７重量％が前記の分散媒（水；５０重量％／ＤＥＧ；５０重量％／界面活性剤；０．１重量％）（有効数字の都合上、合計は１００％となっていない）に分散されて液状材料とされる。この材料を使い、液滴吐出法で層形成することにより、正孔注入／輸送層２１１Ｇとなる。
緑色の有機ＥＬ発光素子１７Ｇの発光層２１２Ｇは、その形成材料として、以下の化合物２として示すＦ８ＢＴと化合物３として示すＴＦＢとを、１：１に混合したものが好適に用いられる。
【００３５】
【化２】
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【００３６】
【化３】
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これら化合物２と化合物３とを含む混合物は、前記のＣＨＢとＩＰＢＰとを１：１で混合した溶媒に対して、０．８重量％程度となるように配合され溶解されることにより、発光層２１２Ｇ形成用の液状材料とされる。そして、この液状材料が液滴吐出法を用いて正孔注入／輸送層２１１Ｇ上に配置されることにより、発光層２１２Ｇが形成されている。なお、前記の混合物を用いた液状材料は、正孔注入／輸送層２１１Ｇとして前述したものに対して用いることができる。
そして、機能層２１０Ｇは、層厚が８０ｎｍ程度となるよう構成される。この程度の層厚を用いることで緑色の光が共振作用により強調され、緑色の有機ＥＬ発光素子１７Ｇの発光効率と色純度を向上させることができる。そして、発光層２１２Ｇ上には、Ｒ，Ｇ，Ｂ共通の電極として、発光層２１２Ｒと同様にストロンチウム（Ｓｒ）を介してアルミニウム（Ａｌ）を用いてなる陰極２１４が形成される。
青色の有機ＥＬ発光素子１７Ｂを構成する機能層２１０Ｂは、正孔注入／輸送層２１１Ｂと、発光層２１２Ｂと、電子注入／輸送層２１３Ｂと、を含む。
有機ＥＬ発光素子１７Ｂの正孔注入／輸送層２１１Ｂは、その形成材料として、以下の化合物４として示すＦ８（ポリジオクチルフルオレン）が好適に用いられる。
【００３７】
【化４】
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この化合物４も、前記のＣＨＢとＩＰＢＰとを１：１で混合した溶媒に対して、０．８重量％程度となるように配合され溶解されることにより、発光層２１２Ｂ形成用の液状材料とされる。そして、この液状材料が液滴吐出法で正孔注入／輸送層２１１Ｂ上に配置されることにより、発光層２１２Ｂが形成されている。
電子注入／輸送層２１３Ｂは、有機金属化合物、特にこの有機金属化合物中の金属の仕事関数が３．０ｅＶ以下であるものが好ましく、具体的には以下の化合物５として示すＬｉキノリロールからなっている。
【００３８】
【化５】
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有機金属化合物は、一般に有機溶剤によって溶解し、液状材料となる。したがって、このような液状材料を例えば液滴吐出法で吐出することで電子注入／輸送層２１３Ｂが得られる。なお、この電子注入／輸送層２１３Ｂは発光層２１２Ｂ上に形成されることから、この発光層２１２Ｂを再溶解させないよう、Ｌｉキノリロールを溶解させる溶剤としては極性溶剤が用いられる。具体的には、ジエチレングリコールモノメチルエーテルと１，３−ジメチルイミダゾリジノンとを１：１で混合してなる混合溶媒が好適に用いられ、この混合溶媒に対してＬｉキノリロールが約０．０５重量％配合されることにより、液状材料が形成される。
なお、電子注入／輸送層２１３Ｂの形成材料としては、前記Ｌｉキノリロール以外にも種々の有機金属が使用可能であり、例えば以下の化合物６として示すヘキサフルオロアセチルアセトナートリチウムも好適に用いられる。
【００３９】
【化６】
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このような電子注入／輸送層２１３Ｂを備えることによって青色の発光をなす有機ＥＬ発光素子１７Ｂは、対向電極（陰極）１２から注入された電子が電子注入／輸送層２１３Ｂを介して良好に発光層２１２Ｂに注入され、正孔と再結合することから、より良好に発光をなすようになっている。
【００４０】
そして、機能層２１０Ｂは、層厚が６０ｎｍ程度となるよう構成される。この程度の層厚を用いることで青色の光が共振作用により強調され、青色の有機ＥＬ発光素子１７Ｂの発光効率と色純度を向上させることができる。そして、電子注入／輸送層２１３Ｂ上には、発光層２１２Ｒと同様にＲ，Ｇ，Ｂ共通の電極としてストロンチウム（Ｓｒ）を介してアルミニウム（Ａｌ）を用いてなる陰極２１４が形成されるボトムエミッション型の構成を有している。これは、電極配置等を変更することで容易にトップエミッション型に適用可能である。
【００４１】
また、機能層２１０（Ｒ，Ｇ，Ｂ）として、各色毎に発光波長の異なる発光層２１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を用いた例について説明したが、これは、Ｒ，Ｇ，Ｂを一つの素子で発光させ白色光を得て後、カラーフィルタ等を用いてＲ，Ｇ，Ｂの光を分光する構造を有する機能層を用いても良い。特に、白色光を発光させる場合には、機能層２１０（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さや、陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さに対して敏感に発光波長が変動するため好適である。
【００４２】
（有機ＥＬ発光素子の第１の製造方法）
次に、図４（ａ）〜（ｄ），及び図３を用いて、陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さを各色毎に変える第１の製造方法について説明する。陽極２３は、例えばＩＴＯやアルミ添加ＺｎＯ（ＺＡＯ）、ガリウム添加酸化亜鉛（ＧＺＯ）を用いて以下の手順で形成される。
【００４３】
まず、工程１として、基板本体２０上に、窒化珪素等を用いたバッファ層２１を形成する。バッファ層２１の厚さは、例えば５０ｎｍ程度である。ここで、基板本体２０とバッファ層２１とを合わせたものを基板２０Ａと呼ぶ。次に、例えばＩＴＯをターゲットとしたスパッタ法を用いて陽極層（図示せず）を形成する。ここで、陽極層の厚さを赤色発光に適した厚さとして１２０ｎｍ程度にすることが好ましく、この場合赤色発光に適した厚さを、エッチングにより再設定する必要がなくなり、工程数を減らすことができる。そして陽極前駆体をフォトリソグラフ・エッチング工程を経てマトリクス状にエッチングを行い、島状の透明導電層としての陽極前駆体２３Ａを形成する。ここまでの工程で、図４（ａ）に示す構造が形成される。
【００４４】
次に、工程２として、例えばＳｉＯ2を用いて第１バンク前駆体（図示せず）を形成し、フォトリソグラフ・エッチング工程を経て第１バンク部２１６ａを形成する。第１バンク部２１６ａの厚さは、例えば５０ｎｍ程度である。そして、同様にして、例えば耐熱性、耐溶剤性に優れた、アクリル樹脂等を用いて第２バンク部２１６ｂを形成する。第２バンク部２１６ｂの厚さは例えば２μｍ程度である。ここまでの工程で、図４（ｂ）に示す構造が形成される。ここで、第１バンク部２１６ａと第２バンク部２１６ｂとを合わせたものをバンク部２１６と呼ぶ。
【００４５】
次に、工程３として、液滴吐出法を用いて、陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さを変えるために、陽極２３（Ｇ，Ｂ）の領域にエッチング液２１５を吐出する。この場合、第１バンク部２１６ａと第２バンク部２１６ｂにより有機ＥＬ発光素子１７（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は分離されているため、隣接する有機ＥＬ発光素子１７へのエッチング液２１５の侵入は抑えられ、より精密に陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さを制御することができる。図４（ｃ）ではエッチング液２１５を注入し、エッチングが進んだ状態を示している。
【００４６】
次に、工程４として、エッチング液２１５を陽極２３（Ｇ，Ｂ）の領域に吐出した後、陽極２３Ｇの厚さがＧ（緑）の発光に適した厚さ（例えば６０ｎｍ程度）になった時点で基板２０Ａを例えば超純水等で処理し、エッチング液２１５を希釈除去する。希釈除去終了後、基板２０Ａを乾燥させる。そして、陽極２３Ｂの領域にエッチング液２１５を吐出する。エッチング液２１５が吐出され、エッチングが進んだ状態を図４（ｄ）に示す。そして、陽極２３Ｂの厚さがＢ（青）の発光に適した厚さ（例えば４０ｎｍ）程度になった時点で基板２０Ａを例えば超純水等で処理し、エッチング液２１５を希釈除去し、乾燥させる。
この工程を用いることで、陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さを、各々の発光色に適した厚みに制御することができる。
【００４７】
次に、工程５として、前述した発光層２１２を含む機能層２１０を液滴吐出法や真空蒸着法等を用いて形成し、更に陰極２１４を形成する。この工程を用いることで高い色純度を持ち、各色に対して効率的な発光強度を有する有機ＥＬ発光素子１７（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を得ることが可能となる。
また、本実施形態では、陽極２３（Ｇ，Ｂ）を一旦エッチングし、改めて２３Ｂをエッチングする例について説明したが、これは陽極２３Ｇをエッチングし、次に陽極２３Ｂをエッチングする工程を用いても良い。
【００４８】
（有機ＥＬ発光素子の第２の製造方法）
次に、図５（ａ），（ｂ）を用いて陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さを各色毎に変える第２の製造方法について説明する。まず上記した工程１と工程２とを行う。
【００４９】
次に、液滴吐出法により、陽極２３Ｂの領域にエッチング液２１５を吐出する。エッチング液２１５によりエッチングが進んだ状態を図５（ａ）に示す。そして、時間差を設けて陽極２３Ｇの領域にエッチング液２１５を吐出する。そしてエッチング液２１５によりエッチングが進んだ状態を図５（ｂ）に示す。そして、陽極２３Ｂ、陽極２３Ｇの各々の層厚が陽極２３Ｂで４０ｎｍ、陽極２３Ｇで６０ｎｍ程度となると同時に基板２０Ａを例えば超純水等で処理し、エッチング液２１５を希釈除去する。希釈除去終了後、基板２０Ａを乾燥させる。
【００５０】
そして、上記した工程５を行うことで、図３に示される、発光層２１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を含む機能層２１０（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を液滴吐出法や真空蒸着法等を用いて形成し、更に陰極２１４を形成する。この工程を用いることで、高い色純度を持ち、各色に対して効率的な発光強度を有する有機ＥＬ発光素子１を得ることが可能となる。
【００５１】
（有機ＥＬ発光素子の第３の製造方法）
次に、図６（ａ），（ｂ）を用いて、陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さを各色毎に変える第３の製造方法について説明する。まず上記した工程１と工程２とを行う。
【００５２】
次に、エッチング液２１５を原液と、超純水で希釈しエッチング速度を落としたエッチング液２１５ａを用意し、液滴吐出法によりエッチング液２１５を陽極２３Ｂの領域に吐出し、エッチング液２１５ａを陽極２３Ｇの領域に吐出する。この工程を図６（ａ）に示す。
【００５３】
次に、図６（ｂ）に示すように陽極２３Ｇの厚さが６０ｎｍ、陽極２３Ｂの厚さが４０ｎｍ程度にエッチングが進行した後、基板２０Ａを例えば超純水等で処理し、エッチング液２１５、エッチング液２１５ａを希釈除去する。希釈除去終了後、基板２０Ａを乾燥させる。
【００５４】
そして、上記した工程５を行うことで、図３に示される、発光層２１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を含む機能層２１０（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を液滴吐出法や真空蒸着法等を用いて形成し、更に陰極２１４を形成する。この工程を用いることで、高い色純度を持ち、各色に対して効率的な発光強度を有する有機ＥＬ発光素子１を得ることが可能となる。
【００５５】
（有機ＥＬ発光素子の第４の製造方法）
次に、図７（ａ），（ｂ）を用いて、陽極２３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の厚さを各色毎に変える第４の製造方法について説明する。まず上記した工程１と２とを行う。
【００５６】
次に、図７（ａ）に示すように、液滴吐出法によりエッチング液２１５を少量、陽極２３Ｇの領域に滴下し、陽極２３Ｂの領域には、陽極２３Ｇの領域の２割増し程度、エッチング液２１５を滴下する。エッチング液２１５の吐出量が少ないため、陽極２３Ｂ、陽極２３Ｇをエッチングするための反応種が使い尽くされ、エッチング液２１５が消耗エッチング液２１５ｂに変化した状態でエッチングが終了する。この状態を図７（ｂ）に示す。
【００５７】
そして、上記した工程５を行うことで、図３に示される、発光層２１２（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を含む機能層２１０（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を液滴吐出法や真空蒸着法等を用いて形成し、更に陰極２１４を形成する。この工程を用いることで、高い色純度を持ち、各色に対して効率的な発光強度を有する有機ＥＬ発光素子１を得ることが可能となる。
【００５８】
（電子機器への搭載例）
次に、上記した製造方法を用いた電子機器について説明する。図８（ａ）〜（ｃ）は、上記した図３に示す有機ＥＬ発光素子１７（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を用いた有機ＥＬディスプレイ１を含む電子機器の搭載例について説明する。図８（ａ）に、有機ＥＬディスプレイ１を備えたモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す。パーソナルコンピュータ２０００は、有機ＥＬディスプレイ１と本体部２０１０を備える。本体部２０１０には、電源スイッチ２００１及びキーボード２００２が設けられている。図８（ｂ）には、有機ＥＬディスプレイ１を備えた携帯電話機の構成を示す。携帯電話機３０００は、複数の操作ボタン３００１及びスクロールボタン３００２、並びに表示ユニットとしての有機ＥＬディスプレイ１を備える。スクロールボタン３００２を操作することによって、有機ＥＬディスプレイ１に表示される画面がスクロールされる。図８（ｃ）に、有機ＥＬディスプレイ１を適用した情報携帯端末（ＰＤＡ：Personal Digital Assistants）の構成を示す。情報携帯端末４０００は、複数の操作ボタン４００１及び電源スイッチ４００２、並びに表示ユニットとしての有機ＥＬディスプレイ１を備える。電源スイッチ４００２を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が有機ＥＬディスプレイ１に表示される。
【００５９】
なお、有機ＥＬディスプレイ１が搭載される電子機器としては、図８に示すものの他、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、前述した有機ＥＬディスプレイ１が適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】有機ＥＬディスプレイの配線構造を示す模式図。
【図２】有機ＥＬディスプレイの構成を模式的に示す平面図。
【図３】有機ＥＬディスプレイを構成する有機ＥＬ発光素子の模式断面図。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、有機ＥＬ発光素子の第１の製造方法を示す工程断面図。
【図５】（ａ）〜（ｂ）は、有機ＥＬ発光素子の第２の製造方法を示す工程断面図。
【図６】（ａ）〜（ｂ）は、有機ＥＬ発光素子の第３の製造方法を示す工程断面図。
【図７】（ａ）〜（ｂ）は、有機ＥＬ発光素子の第４の製造方法を示す工程断面図。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、有機ＥＬ発光素子を用いた有機ＥＬディスプレイを含む電子機器の搭載例。
【符号の説明】
【００６１】
１…有機ＥＬディスプレイ、３…画素部、４…実表示領域、５…ダミー領域、１７…有機ＥＬ発光素子、１７Ｂ…有機ＥＬ発光素子、１７Ｇ…有機ＥＬ発光素子、１７Ｒ…有機ＥＬ発光素子、２０…基板本体、２０Ａ…基板、２１…バッファ層、２３…陽極、２３Ａ…陽極前駆体、２３Ｂ…陽極、２３Ｇ…陽極、２３Ｒ…陽極、４０…サブ画素、４１…表示単位画素、６１…サンフィノール、８０…走査線駆動回路、９０…検査回路、１００…データ線駆動回路、１０１…走査線、１０２…信号線、１０３…電源線、１１３…保持容量、１２２…ＴＦＴ、１２３…ＴＦＴ、２１０…機能層、２１０Ｂ…機能層、２１０Ｇ…機能層、２１０Ｒ…機能層、２１１Ｂ…正孔注入／輸送層、２１１Ｇ…正孔注入／輸送層、２１１Ｒ…正孔注入／輸送層、２１２…発光層、２１２Ｂ…発光層、２１２Ｇ…発光層、２１２Ｒ…発光層、２１３Ｂ…電子注入／輸送層、２１４…陰極、２１５…エッチング液、２１５ａ…エッチング液、２１５ｂ…消耗エッチング液、２１６…バンク部、２１６ａ…第１バンク部、２１６ｂ…第２バンク部、２０００…パーソナルコンピュータ、２００１…電源スイッチ、２００２…キーボード、２０１０…本体部、３０００…携帯電話機、３００１…操作ボタン、３００２…スクロールボタン、４０００…情報携帯端末、４００１…操作ボタン、４００２…電源スイッチ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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