(57)【要約】【課題】溝の周辺の雰囲気の影響により液体の伸び量が変動することを防止し、ノズルの液滴吐出量の測定精度を向上させることができる液滴量測定方法を提供する。【解決手段】液滴を貯留可能な溝３２に、溝３２を覆うカバー部材４０を、少なくとも一の液滴が着弾可能に溝３２の一部を露出させた状態で装着する溝被覆工程と、溝３２の一部へ液滴を着弾させ、溝３２のカバー部材４０に覆われた部分に液滴を濡れ拡がらせる液滴伸張工程と、溝３２に濡れ拡がった液滴の長さを計測する計測工程と、を有し、液滴の長さの計測値に基づいて、液滴の量を推定することを特徴とする。【選択図】図３
2009101265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴の量を測定する液滴量測定方法であって、
液滴を貯留可能な溝に、該溝を覆うカバー部材を、少なくとも一の前記液滴を滴下可能に前記溝の一部を露出させた状態で装着する溝被覆工程と、
前記溝の一部へ前記液滴を滴下させ、前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に前記液滴を濡れ拡がらせる液滴伸張工程と、
前記溝に濡れ拡がった前記液滴の長さを計測する計測工程と、を有し、
前記液滴の前記長さの計測値に基づいて、前記液滴の量を推定することを特徴とする液滴量測定方法。
【請求項２】
液状材料を複数のノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定方法であって、
前記液滴吐出ヘッドから吐出された液状材料を貯留可能な溝に、該溝を覆うカバー部材を、少なくとも一の前記液滴が着弾可能に前記溝の一部を露出させた状態で装着する溝被覆工程と、
前記ノズルから前記溝の一部へ前記液滴を吐出して着弾させ、前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に前記液状材料を濡れ拡がらせる液材伸張工程と、
前記溝に濡れ拡がった前記液状材料の長さを計測する計測工程と、を有し、
前記液状材料の前記長さの計測値に基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とする液滴吐出量測定方法。
【請求項３】
前記液材伸張工程において、前記溝の一部に前記液滴を着弾させた後、前記ノズルから前記液滴を間歇的に吐出させながら前記液滴吐出ヘッドを移動させ、前記カバー部材から露出された別の前記溝の一部へ前記液滴を着弾させること特徴とする請求項２記載の液滴吐出量測定方法。
【請求項４】
前記計測工程において、前記カバー部材を取り外した後に前記液状材料の前記長さを計測することを特徴とする請求項２または３記載の液滴吐出量測定方法。
【請求項５】
液状材料を複数のノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する液滴吐出量調整方法であって、
請求項２から４のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法で測定された前記ノズルの液滴吐出量に基づいて、前記ノズル毎に前記液滴の吐出滴数または駆動波形を調整することを特徴とする液滴吐出量調整方法。
【請求項６】
請求項５記載の液滴吐出量調整方法により基板上に液状材料が塗布されたことを特徴とするデバイス。
【請求項７】
請求項６記載のデバイスを備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項７記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
液滴を貯留可能な溝が形成された液滴量測定用治具であって、
前記溝が形成された基板と、前記液滴が滴下される前記溝の一部を露出させた状態で前記溝を覆うカバー部材と、を備え、
前記溝は、幅方向の中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有し、
前記溝の一部へ前記液滴を滴下させ、前記液滴を前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に濡れ拡がらせ、その濡れ拡がった長さを計測し、該計測値に基づいて、前記液滴の量を推定する液滴量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする液滴量測定用治具。
【請求項１０】
液滴吐出ヘッドの複数のノズルから液滴として吐出された液状材料を貯留可能な溝が形成された液滴吐出量測定用治具であって、
前記溝が形成された基板と、前記液滴が着弾する前記溝の一部を露出させた状態で前記溝を覆うカバー部材と、を備え、
前記溝は、幅方向の中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有し、
前記ノズルから前記溝の一部へ前記液滴を吐出して着弾させ、前記液状材料を前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に濡れ拡がらせ、その濡れ拡がった長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１１】
請求項１０記載の液滴吐出量測定用治具であって、
前記溝の幅は、前記液滴が当該溝に着弾した際の前記幅方向の最大径と、前記幅方向の所定の許容誤差量との合計に略等しく、
前記カバー部材から露出された前記溝の一部の前記溝の延在方向の長さが、前記液滴が当該溝に着弾した際の前記延在方向の最大径と、前記延在方向の所定の許容誤差量との合計に略等しいことを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１２】
請求項１０または１１記載の液滴吐出量測定用治具であって、
前記溝は、前記基板の一方向の一端側から他端側まで延設されると共に、前記基板の前記一方向に直交する方向の一端側から他端側まで前記各ノズルに対応した間隔で複数形成されていることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１３】
請求項１０ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出量測定用治具であって、
前記カバー部材は、帯状の可撓性を有する材料により形成され、接着剤を介して前記基板に固着されていることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１４】
請求項１０ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出量測定用治具であって、
前記カバー部材は板材により形成され、前記液滴が着弾する前記溝の一部に対応して開口部が設けられていることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１５】
請求項１４記載の液滴吐出量測定用治具であって、
前記開口部は、前記液滴吐出ヘッドによる描画パターンに対応するパターン形状に形成されていることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１６】
請求項１０ないし１５のいずれかに記載の液滴吐出量測定用治具であって、
前記カバー部材には、基板位置合わせ手段が設けられていることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１７】
請求項１０ないし１６のいずれかに記載の液滴吐出量測定用治具であって、
前記カバー部材には、液滴吐出ヘッド位置合わせ手段が設けられていることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１８】
請求項１０ないし１７のいずれかに記載の液滴吐出量測定用治具であって、
前記カバー部材は、光透過性を有する材料により形成されていることを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１９】
液状材料を複数のノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定装置であって、
請求項１０ないし請求項１８のいずれかに記載の液滴吐出量測定用治具と、
前記ノズルから前記液滴として吐出され、前記カバー部材から露出した前記溝の一部に着弾して前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に濡れ拡がった前記液状材料の長さを計測する計測部と、
露出された前記溝の一部への液滴の吐出及び濡れ拡がった前記液状材料の長さの計測を複数回繰り返した結果に基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定する推定部と、を有することを特徴とする液滴吐出量測定装置。
【請求項２０】
液状材料を複数のノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、ワークとを相対的に移動させ、前記ノズルから液滴を吐出して前記ワークに着弾させることにより描画を行う描画装置であって、
請求項１９記載の液滴吐出量測定装置と、前記推定部の推定結果に基づいて前記ノズル毎に前記液滴の吐出量を調整する調整部とを有することを特徴とする描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液滴量測定方法、液滴吐出量測定方法、液滴量測定用治具、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量をノズル毎に測定することができる液滴吐出量測定方法等が知られている。この技術は、ノズルから液滴を吐出して、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた溝内に充填する充填工程と、液状材料が溝内に充填された長さを計測する計測工程とを有し、溝に充填された長さの計測値に基づいて、各ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とするものである。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００７−１３０５３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来の技術では、液滴を溝に吐出して着弾させると、液滴を構成する液体が溝と接触し、毛管力により溝に沿って瞬間的に濡れ拡がる。この際、極微量の液体であっても、溝に沿って広範囲に濡れ拡がる。例えば、液滴の量がおよそ１０ｐｌ程度の微量であっても、溝に沿って約２ｍｍ以上の長さに濡れ拡がる。
このため、液体が濡れ拡がる際に非常に乾燥しやすく、僅かな蒸気分圧の変化や気体の流動等、溝の周辺の雰囲気の変化の影響を受けて、液体が溝に沿って濡れ拡がる長さ（伸び量）が変動してしまうという課題がある。
【０００４】
図１６は、複数のノズル（ノズル番号：１〜１８０番）に対応して複数並行して設けられた溝に吐出された液体の伸び量Ｌ１を示すグラフである。図１６に示すように、両端に形成された溝（ノズル番号：１番および１８０番に対応する溝）に近いほど、液体が周囲の雰囲気の影響を受けやすく、伸び量Ｌ１が小さくなっている。
このように、溝の位置や配置が異なると、液体の伸び量が半分程度になることもあり、ノズルの液滴吐出量の測定精度を低下させる要因となっていた。
【０００５】
そこで、この発明は、溝の周辺の雰囲気の影響により液体の伸び量が変動することを防止し、ノズルの液滴吐出量の測定精度を向上させることができる液滴量測定方法、液滴吐出量測定方法、液滴量測定用治具、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の液滴量測定方法は、液滴の量を測定する液滴量測定方法であって、液滴を貯留可能な溝に、該溝を覆うカバー部材を、少なくとも一の前記液滴が着弾可能に前記溝の一部を露出させた状態で装着する溝被覆工程と、前記溝の一部へ前記液滴を着弾させ、前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に前記液滴を濡れ拡がらせる液滴伸張工程と、前記溝に濡れ拡がった前記液滴の長さを計測する計測工程と、を有し、前記液滴の前記長さの計測値に基づいて、前記液滴の量を推定することを特徴とする。
【０００７】
このように測定することで、液滴を溝に沿って濡れ拡がらせる際に、カバー部材によって溝の外部の気体と液滴とが接触することを防止し、液滴の乾燥を防止することができる。すなわち、溝をカバー部材によって遮蔽することで、溝の周辺の雰囲気が液滴に及ぼす影響を低減させることができる。これにより、液滴の伸び量の変動を防止して、所定の量の液滴に対する伸び量を一定の値にすることができる。したがって、液滴の量を極めて正確に測定することができる。
【０００８】
また、本発明の液滴吐出量測定方法は、液状材料を複数のノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定方法であって、前記液滴吐出ヘッドから吐出された液状材料を貯留可能な溝に、該溝を覆うカバー部材を、少なくとも一の前記液滴が着弾可能に前記溝の一部を露出させた状態で装着する溝被覆工程と、前記ノズルから前記溝の一部へ前記液滴を吐出して着弾させ、前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に前記液状材料を濡れ拡がらせる液材伸張工程と、前記溝に濡れ拡がった前記液状材料の長さを計測する計測工程と、を有し、前記液状材料の前記長さの計測値に基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とする。
【０００９】
このように測定することで、液状材料を溝に沿って濡れ拡がらせる際に、カバー部材によって溝の外部の気体と液状材料とが接触することを防止し、液状材料の乾燥を防止することができる。すなわち、溝をカバー部材によって遮蔽することで、溝の周辺の雰囲気が液状材料に及ぼす影響を低減させることができる。これにより、液状材料の伸び量の変動を防止して、所定の量の液状材料に対する伸び量を一定の値にすることができる。したがって、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズル毎に極めて正確に測定することができる。
また、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてではなく、特定のノズルの測定値として極めて正確に知ることができる。特に、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出している場合におけるノズル毎の吐出量を極めて正確に測定することができる。一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルのみから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を極めて正確に測定することができ、非常に有用である。
また、溝が複数のノズルで構成されるノズル群毎に設けられている場合には、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を、ノズル群毎に極めて正確に測定することができる。
【００１０】
また、本発明の液滴吐出量測定方法は、前記液材伸張工程において、前記溝の一部に前記液滴を着弾させた後、前記ノズルから前記液滴を間歇的に吐出させながら前記液滴吐出ヘッドを移動させ、前記カバー部材から露出された別の前記溝の一部へ前記液滴を着弾させることを特徴とする。
【００１１】
このように測定することで、一度液滴を吐出させた後、液滴吐出ヘッドを移動させる際に、液滴を吐出させないで移動させる場合と比較して、間歇の周期を短縮させ、ノズルに吐出不良が発生することを防止できる。したがって、より実際の描画時に近いノズルの液滴吐出量を測定することができる。
また、液滴吐出ヘッドが移動中に吐出した液滴をカバー部材によって受けて、測定を必要としない移動中に吐出された液滴が溝に着弾することを防止することができる。したがって、溝の露出された部分に着弾した液状材料の伸び量を正確に測定することができる。
【００１２】
また、本発明の液滴吐出量測定方法は、前記計測工程において、前記カバー部材を取り外した後に前記液状材料の前記長さを計測することを特徴とする。
【００１３】
このように測定することで、溝のカバー部材によって覆われた部分に濡れ拡がった液状材料の長さ（伸び量）を、カバー部材の影響を受けることなく計測することができる。したがって、液状材料の伸び量をより正確に測定することができる。
【００１４】
また、本発明の液滴吐出量調整方法は、液状材料を複数のノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する液滴吐出量調整方法であって、先に記載の液滴吐出量測定方法で測定された前記ノズルの液滴吐出量に基づいて、前記ノズル毎に前記液滴の吐出滴数または駆動波形を調整することを特徴とする。
【００１５】
このように調整することで、液滴吐出ヘッドの各ノズルの１滴当たりの吐出量を均一化することができる。その結果、この液滴吐出ヘッドを用いて描画される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上が図れる。また、上記効果を極めて簡単な方法で達成することができる。
【００１６】
また、本発明のデバイスは、先に記載の液滴吐出量調整方法により基板上に液状材料が塗布されたことを特徴とする。
このように構成することで、描画される膜の膜厚が高精度に制御され、製品の品質向上が図られたデバイスを得ることができる。
【００１７】
また、本発明の電気光学装置は、先に記載のデバイスを備えることを特徴とする。
また、本発明の電子機器は、先に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする。
このように構成することで、品質向上が図られた電気光学装置及び電子機器を得ることができる。
【００１８】
また、本発明の液滴量測定用治具は、液滴を貯留可能な溝が形成された液滴量測定用治具であって、前記溝が形成された基板と、前記液滴が滴下される前記溝の一部を露出させた状態で前記溝を覆うカバー部材と、を備え、前記溝は、幅方向の中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有し、前記溝の一部へ前記液滴を滴下させ、前記液滴を前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に濡れ拡がらせ、その濡れ拡がった長さを計測し、該計測値に基づいて、前記液滴の量を推定する液滴量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする。
【００１９】
このように構成することで、溝のカバー部材から露出された部分へ液滴を滴下させると、液滴は毛管力により溝のカバー部材によって覆われた部分に濡れ拡がる。したがって、上述の液滴量測定方法に本発明の治具を用いることで、液滴を溝に沿って濡れ拡がらせる際に、カバー部材によって溝の外部の気体と液滴とが接触することを防止し、液滴の乾燥を防止することができる。すなわち、溝をカバー部材によって遮蔽することで、溝の周辺の雰囲気が液滴に及ぼす影響を低減させることができる。これにより、液滴の伸び量の変動を防止して、所定の量の液滴に対する伸び量を一定の値にすることができる。したがって、液滴の量を極めて正確に測定することができる。
【００２０】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、液滴吐出ヘッドの複数のノズルから液滴として吐出された液状材料を貯留可能な溝が形成された液滴吐出量測定用治具であって、前記溝が形成された基板と、前記液滴が着弾する前記溝の一部を露出させた状態で前記溝を覆うカバー部材と、を備え、前記溝は、幅方向の中央部から両側に向かうに従って漸次上方へ向かう断面形状を有し、前記ノズルから前記溝の一部へ前記液滴を吐出して着弾させ、前記液状材料を前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に濡れ拡がらせ、その濡れ拡がった長さを計測し、該計測値に基づいて、当該ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であることを特徴とする。
【００２１】
このように構成することで、ノズルから溝のカバー部材から露出された部分へ液状材料の液滴を吐出して着弾させると、液状材料は毛管力により溝のカバー部材によって覆われた部分に濡れ拡がる。したがって、上述の液滴吐出量測定方法に本発明の治具を用いることで、液状材料を溝に沿って濡れ拡がらせる際に、カバー部材によって溝の外部の気体と液状材料とが接触することを防止し、液状材料の乾燥を防止することができる。すなわち、溝をカバー部材によって遮蔽することで、溝の周辺の雰囲気が液状材料に及ぼす影響を低減させることができる。これにより、液状材料の伸び量の変動を防止して、所定の量の液状材料に対する伸び量を一定の値にすることができる。したがって、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズル毎に極めて正確に測定することができる。
また、溝が複数のノズルで構成されるノズル群毎に設けられている場合には、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を、ノズル群毎に測定することができる。
【００２２】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、先に記載の液滴吐出量測定用治具であって、前記溝の幅は、前記液滴が当該溝に着弾した際の前記幅方向の最大径と、前記幅方向の所定の許容誤差量との合計に略等しく、前記カバー部材から露出された前記溝の一部の前記溝の延在方向の長さが、前記液滴が当該溝に着弾した際の前記延在方向の最大径と、前記延在方向の所定の許容誤差量との合計に略等しいことを特徴とする。
【００２３】
このように構成することで、吐出した液滴に飛行曲がりが生じ、溝の幅方向および溝の延在方向の飛行曲がりの許容誤差量を超えた場合に、液滴が溝の内部に着弾せず、溝の外部やカバー部材上に着弾する。このため、飛行曲がりが発生したノズルに対応する溝の液状材料の伸び量が極端に減少するか、または０となる。したがって、液状材料の伸び量が極端に減少したか、または０となった溝を検出することで、飛行曲がりが生じたノズルを検出することができる。
【００２４】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、先に記載の液滴吐出量測定用治具であって、前記溝は、前記基板の一方向の一端側から他端側まで延設されると共に、前記基板の前記一方向に直交する方向の一端側から他端側まで前記各ノズルに対応した間隔で複数形成されていることを特徴とする。
【００２５】
このように構成することで、伸び量の異なる様々な液状材料に対応することができる。また、溝の容積を増加させ、液状材料の乾燥を防止することが可能となる。また、溝とカバー部材との位置ずれに対する許容誤差を拡大させ、溝とカバー部材との位置合わせを容易にすることができる。さらに、基板全体を有効に利用し、治具を小型化することができる。
【００２６】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、先に記載の液滴吐出量測定用治具であって、前記カバー部材は、帯状の可撓性を有する材料により形成され、接着剤を介して前記基板に固着されていることを特徴とする。
【００２７】
このように構成することで、カバー部材の接着位置を調整し、液滴吐出ヘッドのノズルの配置や描画パターン等に対応してカバー部材を配置したり、カバー部材の端部に露出される溝の一部の延在方向の長さを調整したりすることを容易に行うことができる。また、溝が複数並行して形成されている場合には、カバー部材を溝の延在方向と交差する方向に延ばして基板上に固定することで、一度に複数の溝を覆うことができる。
【００２８】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、先に記載の液滴吐出量測定用治具であって、前記カバー部材は板材により形成され、前記液滴が着弾する前記溝の一部に対応して開口部が設けられていることを特徴とする。
【００２９】
このように構成することで、溝が形成された基板にカバー部材を位置合わせして取り付けるだけで、液滴が着弾する溝の一部を露出させた状態で溝を覆うことができる。したがって、カバー部材を基板に固定してカバー部材の端部に溝の一部を露出させる場合と比較して、露出される溝の一部の寸法や配置等を精密に形成することができる。
【００３０】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、先に記載の液滴吐出量測定用治具であって、前記開口部は、前記液滴吐出ヘッドによる描画パターンに対応するパターン形状に形成されていることを特徴とする。
【００３１】
このように構成することで、描画パターンを描く場合と同様に液滴吐出ヘッドを移動させて、ノズルから開口部に露出された溝の一部に液滴を吐出し、実際の描画状態と略等しい状態でのノズルの液滴の吐出量を測定することができる。
【００３２】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、先に記載の液滴吐出量測定用治具であって、前記カバー部材には、基板位置合わせ手段が設けられていることを特徴とする。
【００３３】
このように構成することで、基板とカバー部材とを正確に位置合わせし、カバー部材の開口部を基板の溝に対して精密に位置合わせすることができる。
【００３４】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、先に記載の液滴吐出量測定用治具であって、前記カバー部材には、液滴吐出ヘッド位置合わせ手段が設けられていることを特徴とする。
【００３５】
このように構成することで、カバー部材と液滴吐出ヘッドとを精密に位置合わせすることができる。
【００３６】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、先に記載の液滴吐出量測定用治具であって、前記カバー部材は、光透過性を有する材料により形成されていることを特徴とする。
【００３７】
このように構成することで、カバー部材を取り外すことなく溝の内部の液状材料の伸び量を測定することができ、液滴吐出量の測定を容易かつ迅速に行うことができる。
【００３８】
また、本発明の液滴吐出量測定装置は、液状材料を複数のノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定装置であって、先に記載の液滴吐出量測定用治具と、前記ノズルから前記液滴として吐出され、前記カバー部材から露出した前記溝の一部に着弾して前記溝の前記カバー部材に覆われた部分に濡れ拡がった前記液状材料の長さを計測する計測部と、露出された前記溝の一部への液滴の吐出及び濡れ拡がった前記液状材料の長さの計測を複数回繰り返した結果に基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定する推定部と、を有することを特徴とする。
【００３９】
このように構成することで、液滴吐出ヘッドのノズルから治具の溝のカバー部材から露出された部分へ液状材料の液滴を吐出して着弾させると、液状材料は毛管力により溝のカバー部材によって覆われた部分に濡れ拡がる。したがって、液状材料を溝に沿って濡れ拡がらせる際に、カバー部材によって溝の外部の気体と液状材料とが接触することを防止し、液状材料の乾燥を防止することができる。すなわち、溝をカバー部材によって遮蔽することで、溝の周辺の雰囲気が液状材料に及ぼす影響を低減させることができる。これにより、液状材料の伸び量の変動を防止して、所定の量の液状材料に対する伸び量を一定の値にすることができる。したがって、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズル毎に極めて正確に測定することができる。
また、溝が複数のノズルで構成されるノズル群毎に設けられている場合には、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を、ノズル群毎に測定することができる。
【００４０】
また、本発明の描画装置は、液状材料を複数のノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、ワークとを相対的に移動させ、前記ノズルから液滴を吐出して前記ワークに着弾させることにより描画を行う描画装置であって、先に記載の液滴吐出量測定装置と、前記推定部の推定結果に基づいて前記ノズル毎に前記液滴の吐出量を調整する調整部とを有することを特徴とする。
【００４１】
このように構成することで、液滴吐出ヘッドの各ノズルの１滴当たりの吐出量を均一化することができる。その結果、この液滴吐出ヘッドを用いて描画される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上が図れる。また、上記効果を極めて簡単な方法で達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明の液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器の実施の形態を、図１ないし図１５を参照して説明する。
【００４３】
＜第一実施形態＞
図１は、本発明の液滴吐出量測定装置を搭載した描画装置（インクジェット描画装置）の実施形態を示す斜視図である。
図１に示すように、描画装置１は、液滴吐出ヘッド２を１個または複数個搭載したキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、ワーク１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている。
【００４４】
描画装置１の近傍には、液状材料１１１を貯留するタンク１０１が設置されている。タンク１０１と、キャリッジ１０３とは、液状材料１１１を送液する流路となるチューブ１１０を介して接続されている。各タンク１０１に貯留された液状材料１１１は、例えば圧縮空気の力によって、キャリッジ１０３に搭載された液滴吐出ヘッド２に送液（供給）される。
このような描画装置１は、ステージ移動機構１０８およびキャリッジ移動機構１０４を作動させ、ステージ１０６とキャリッジ１０３とを相対的に移動させることにより、液滴吐出ヘッド２をワーク１０Ａに沿って走査しつつ、液滴吐出ヘッド２のノズル２５（図２参照）から液状材料１１１の液滴を吐出して、ワーク１０Ａ上に所定のパターンを描画する装置である。
【００４５】
描画装置１は、各種の電気光学装置の製造装置として使用可能な装置であり、例えば液晶表示装置のカラーフィルタ基板や有機ＥＬ表示装置のような色要素付き基板、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置、電気泳動表示装置等の製造や、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を行うのに用いることができる。
【００４６】
また、本実施形態において、液状材料１１１は、例えば色要素付き基板の色要素膜のような目的物を形成するための材料を含み、かつ、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出可能な粘度を有するものである。この場合、材料は水性または油性のどちらでもよい。また、ノズル２５から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。すなわち、液状材料は、色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解した溶液でも、分散した分散液（サスペンションやエマルジョン）でもよい。
【００４７】
液状材料１１１に含有され得る材料としては、カラーフィルタのフィルタ材料、有機ＥＬ装置におけるＥＬ発光層を形成するための蛍光材料、ＰＤＰ装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料等が挙げられる。
【００４８】
描画装置１におけるキャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御される。なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、キャリッジ１０３（及び液滴吐出ヘッド２）をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ１０３を回転させる機能も有しており、これにより、キャリッジ１０３（及び液滴吐出ヘッド２）のＺ軸回りの角度を微調整することができる。
【００４９】
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、ワーク１０Ａをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置されたワーク１０ＡのＺ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。
【００５０】
上述のように、キャリッジ１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動によって、ステージ１０６上のワーク１０Ａと、キャリッジ１０３との相対位置が変わるので、ワーク１０Ａに対し液滴吐出ヘッド２を相対的に走査することができる。
【００５１】
描画装置１は、ステージ移動機構１０８の作動により、ステージ１０６上に保持されたワーク１０ＡをＹ軸方向に移動させ、キャリッジ１０３の下を通過させつつ、キャリッジ１０３の各液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出するように作動する。この動作を「主走査」と言う。
キャリッジ１０３全体としてワーク１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向の幅（以下、「全吐出幅」と言う）よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が小さいものである場合には、キャリッジ１０３とワーク１０Ａとの主走査を１回行うことにより、ワーク１０Ａの全体に対して液状材料１１１の付与、すなわち描画を行うことができる。
【００５２】
これに対し、キャリッジ１０３の全吐出幅よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合には、キャリッジ移動機構１０４を作動してキャリッジ１０３をＸ軸方向へ移動させることによって、キャリッジ１０３とワーク１０ＡとのＸ軸方向の相対位置関係を変えた後、主走査を再度行う。キャリッジ１０３とワーク１０ＡとのＸ軸方向の相対位置関係を変えることを「副走査」と呼ぶ。主走査および副走査を繰り返し行うことにより、キャリッジ１０３の全吐出幅よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合であっても、ワーク１０Ａの全面に対して液状材料１１１の付与、すなわち描画を行うことができる。
【００５３】
図２は、図１に示す描画装置１における液滴吐出ヘッド２を示す図であり、（Ａ）が斜視図、（Ｂ）が断面側面図である。以下、図２を参照して、液滴吐出ヘッド２の内部構成について説明する。
図２に示す液滴吐出ヘッド２は、液滴を吐出する多数のノズル２５が列をなして並んだノズル列を有するインクジェットヘッドである。この液滴吐出ヘッド２は、振動板１２６と、ノズル２５が形成されたノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００５４】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０（液体室）である。キャビティ１２０はノズル２５に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル２５の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。
【００５５】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル２５からＺ軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル２５の形状が調整されている。
【００５６】
具体的には、このピエゾ素子１２４Ｃに対して、図２（Ｃ）に示すように印加電圧Ｖｈを印加することで、（ａ）キャビティ１２０を拡大させて液状材料１１１を供給口１３０から取り入れて、（ｂ）キャビティ１２０を収縮させて液状材料１１１を加圧し、（ｃ）キャビティ１２０を拡大させて元に戻す、というようにピエゾ素子１２４Ｃを伸縮させて、液状材料１１１を加圧して所定量の液状材料１１１をノズル２５から吐出させるようになっている。これらピエゾ素子１２４Ｃの駆動、即ち液滴吐出ヘッド２からの液滴吐出は、制御手段１１２により制御される。
【００５７】
制御手段１１２は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル２５から吐出される液状材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル２５毎に制御されてもよい。
なお、液滴吐出ヘッド２は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料１１１の熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。
【００５８】
また、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２が有する各ノズル２５の液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定装置が設けられている。
図１に示すように、液滴吐出量測定装置５０は、治具用ステージ５１に保持された測定用治具３（液滴吐出量測定用治具）と、測定用治具３に吐出された液滴の長さを画像処理により計測するＣＣＤカメラ等の計測カメラ５３（計測部）と、計測カメラ５３の計測結果が出力されて演算処理を行う推定部としての制御手段１１２から構成される。
【００５９】
治具用ステージ５１は、ステージ１０６と同様に、Ｙ軸方向に沿って移動する。また、計測カメラ５３は、キャリッジ１０３（液滴吐出ヘッド２）と同様に、制御手段１１２の制御下でキャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に自在に移動する。つまり、キャリッジ移動機構１０４および治具用ステージ５１の作動によって、治具用ステージ５１上の測定用治具３と、キャリッジ１０３及び計測カメラ５３との相対位置を変わるので、測定用治具３に対して液滴吐出ヘッド２及び計測カメラ５３を相対的に走査することができる。
【００６０】
図３に示すように、測定用治具３は、平板状の基板３０を備え、その上面３１には、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出された液状材料１１１を貯留可能な溝３２が形成されている。溝３２は、液滴吐出ヘッド２の複数のノズル２５に対応して、複数、並行して設けられている。すなわち、複数の溝３２は、等間隔に配置されており、その間隔は、液滴吐出ヘッド２のノズルピッチと同一となっている。
【００６１】
基板３０上には、溝３２を覆う帯状のカバー部材４０が固定されている。カバー部材４０は、例えば、ポリイミド等の光透過性および可撓性を有する材料により形成され、接着剤を介して基板３０の上面３１に固定されている。カバー部材４０は、カバー部材４０の他端部４０２側を基板３０の一辺に位置合わせして固定したときに、カバー部材４０の一端部４０１が溝３２の一端部３２１よりも溝３２の他端部３２２側に位置し、溝３２の一端部３２１側の一部を露出させるように形成されている。
【００６２】
図３中の部分詳細図に示すように、各溝３２は、中央部から両側に向かうに従って、漸次上方へ向かう断面形状、具体的には略Ｖ字状の断面形状を有している。これら溝３２の開口端の幅Ｗは、液状材料１１１の液滴が着弾して変形した際の幅Ｗ方向の最大径（着弾インパクト径）以上であることが好ましい。また、カバー部材４０から露出された溝３２の一部の溝３２延在方向の長さＬも、延在方向の着弾インパクト径以上であることが好ましい。具体的には、幅方向の着弾インパクト径をＤ１、溝３２の幅Ｗ方向の許容誤差量をαとすると、幅Ｗは以下の式（１）で表される。同様に、溝３２延在方向の着弾インパクト径をＤ２、溝３２の長さＬ方向の許容誤差量をβとすると、長さＬは以下の式（２）で表される。
【００６３】
Ｗ＝Ｄ１＋α  …（１）
Ｌ＝Ｄ２＋β  …（２）
【００６４】
なお、着弾インパクト径とは、液滴が着弾後に数マイクロ秒程度で変形するときの最大径であり、シミュレーションや、高速度カメラ、ストロボシステムで予め計測することが可能である。
【００６５】
本実施形態の場合、基板３０はシリコン基板によって形成されており、複数の溝３２は、基板３０の母材であるシリコン単結晶基板を異方性エッチングにより部分的に除去して形成されたものである。この単結晶シリコンとしては、断面がテーパ状となる結晶方位面が１００面のものを用いることができる。
具体的には、例えば結晶方位面が１００面の単結晶シリコンの表面にレジストを配置し、ＫＯＨ溶液や、エチレンジアミン水溶液等のエッチング液を用いて異方性エッチングを行う。そして、レジストを除去した後に、酸化膜を形成する。
これにより、溝３２の内面及び溝３２の周囲を含む全面が液状材料１１１に対して親液化される。
【００６６】
次に、制御手段１１２の構成を説明する。図４に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３、カメラ位置検出手段３０４とを備えている。
入力バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、治具用ステージ５１、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、液滴吐出ヘッド２と相互に通信可能に接続されている。
【００６７】
入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置（不図示）から、液状材料１１１の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータや、計測カメラ５３から出力された画像データ等を受け取る。入力バッファメモリ２００は、この描画パターンデータや画像データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画パターンデータや画像データを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。
【００６８】
キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６（すなわちワーク１０Ａ）及び治具用ステージ５１（すなわち測定用治具３）のＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
カメラ位置検出手段３０４は、計測カメラ５３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３及びカメラ位置検出手段３０４は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
【００６９】
処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３及びカメラ位置検出手段３０４の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、計測カメラ５３、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、キャリッジ１０３の位置と、ワーク１０Ａの位置、計測カメラ５３の位置、測定用治具３の位置とを制御する。
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわちワーク１０Ａの移動速度を制御する。
【００７０】
制御手段１１２としては、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
【００７１】
本実施形態の液滴吐出量測定方法を実施する際には、まず、基板３０の上面３１に溝３２を覆うカバー部材を固定する（溝被覆工程）。このとき、少なくとも１滴の液滴１１３が溝３２の内部に着弾可能となるように、溝３２の一部を露出させた状態でカバー部材４０を基板３０の上面３１に接着剤を介して固定する。本実施形態では、上述のように、カバー部材４０の他端部４０２を基板３０の一辺に位置合わせして固定することで、溝３２の一端部３２１側の一部を露出させることができる。
【００７２】
次に、治具用ステージ５１上に測定用治具３を載置する。このとき、溝３２が液滴吐出ヘッド２のノズル２５の配列方向と垂直になるような向きで、測定用治具３をセットする。
次いで、計測カメラ５３を測定用治具３と対向する位置から退避させるとともに、治具用ステージ５１およびキャリッジ移動機構１０４を作動し、図５に示すように、各ノズル２５が、各溝３２の一端部３２１側のカバー部材４０から露出された部分の上空に位置するようにする。そして、各ノズル２５から溝３２の露出された部分へ液状材料１１１の液滴１１３を繰り返し吐出する。この際、各ノズル２５からは、同じ数の液滴１１３を吐出する。
【００７３】
溝３２の一端部３２１のカバー部材４０から露出された部分へ液状材料１１１の液滴１１３が付与されると、付与された液状材料１１１は、毛管力によって溝３２のカバー部材４０によって覆われた部分に沿って濡れ拡がり、他端部３２２へ向かって伸張するように溝３２内に充填されていく（液材伸張工程）。図６は、測定用治具３の溝３２内に液状材料１１１が伸張して充填された状態を示す部分平面図である。同図に示すように、液状材料１１１が溝３２内に沿って濡れ拡がり伸張した長さ（以下、「伸び量」と言う）Ｌ１は、通常、溝３２に付与された液状材料１１１の量に比例する。よって、溝３２毎に伸び量Ｌ１を計測することにより、その溝３２に液滴１１３を吐出したノズル２５の液滴吐出量を求めることができる。
【００７４】
一方、図６に示す溝３２Ｅのように、液滴１１３が飛行曲がりで溝からはみ出して着弾した液滴については、測定用治具３が親液性を有していることから、溝内に戻ることなく溝外に残留する。従って、溝３２Ｅ内に着弾する液滴１１３の滴量が減ることから、溝３２Ｅにおける伸び量Ｌ１は、他の溝と比較して短くなる。
【００７５】
ここで、溝３２の断面が略Ｖ字状であり、溝３２の内面３２ａ（図３参照）が親液性を有しているため、溝３２内に吐出された液滴１１３は、自重により中央部に集まり、Ｖ字を形成する両面に接触する。そのため、液滴１１３と内面３２ａとの接触角は、液状材料１１１が迅速に濡れ拡がる大きさとなり、伸び量Ｌ１を短時間で計測することが可能になる。
また、液滴１１３の着弾位置が中央部から多少ずれたとしても、自重により中央部に集まるため、測定時に液状材料１１１の端部の検出が容易であり、伸び量Ｌ１を高速に測定することができる。
【００７６】
また、液状材料１１１を溝３２に沿って濡れ拡がらせる際に、カバー部材４０によって溝３２の外部の気体と液状材料１１１とが接触することを防止し、液状材料１１１の乾燥を防止することができる。すなわち、溝３２をカバー部材４０によって遮蔽することで、溝３２の周辺の雰囲気が液状材料１１１に及ぼす影響を低減させることができる。これにより、溝３２の周辺の雰囲気の影響を受けて液状材料１１１の伸び量Ｌ１が変動することを防止して、所定の量の液状材料１１１に対する伸び量Ｌ１を一定の値にすることができる。
したがって、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出される１滴の液滴１１３の量を、ノズル２５毎に極めて正確に測定することができる。
【００７７】
図７に、複数のノズル２５（ノズル番号が１〜１４７番まで）毎の伸び量Ｌ１の測定結果の一例を示す。ここでは、液状材料１１１として、例えば、約５ｍＰａ・ｓ程度の粘度のＡｇインクを用い、各ノズル２５に対応して設けられた溝３２へ液状材料１１１の液滴１１３を１滴ずつ吐出した。溝３２の幅Ｗは、例えば、約８０μｍ程度であり、溝３２の深さＤｐは、例えば、約５６μｍ程度である。この条件で、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．５までの５つの測定用治具３のサンプルを作成した。
【００７８】
Ｎｏ．１〜Ｎｏ．５までの５つの測定用治具３のサンプルにおいて、液滴吐出ヘッド２の両端（ノズル番号が１番および１４７番）近傍のノズル２５から吐出された液状材料１１１の伸び量Ｌ１が中央部（ノズル番号が７０番前後）近傍のノズル２５から吐出された液状材料１１１の伸び量Ｌ１と比較して、僅かに大きくなっている。
【００７９】
すなわち、溝３２をカバー部材４０により覆ったことで、従来では最も外部の雰囲気の影響を受けやすく乾燥しやすかった基板３０の外側に位置する溝３２に吐出された液状材料１１１が、溝３２の外部の雰囲気の影響を受けることなく十分に濡れ拡がっていることが分かる。また、各サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．５間におけるノズル番号Ｎに対する伸び量Ｌ１の再現性も極めて高くなっている。すなわち、所定の量の液状材料１１１に対する伸び量Ｌ１が略一定の値となっている。
【００８０】
図８は、サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．４間のノズル番号Ｎ毎の伸び量Ｌ１の比を示すグラフである。図中、「１／２」と示すデータは、サンプルＮｏ．１とＮｏ．２との比であることを示している。
図８に示すように、各サンプル間でのバラツキは、殆ど１％以下（各ショットでの吐出量のバラツキを含む）であり、測定の信頼性を裏付ける結果となっている。
【００８１】
伸び量Ｌ１を計測する方法は、いかなる方法であってもよいが、本実施形態では、作業を容易にするために、計測カメラ５３を測定用治具３と対向する位置に移動させ、計測カメラ５３で撮像した画像に基づいて制御手段１１２が各溝３２における伸び量Ｌ１を計測する（計測工程）。
ここで、本実施形態においては、カバー部材４０が光透過性の材料により形成されているので、カバー部材４０を取り外すことなく溝３２の内部の液状材料１１１の伸び量Ｌ１を測定することができ、液滴吐出量の測定を容易かつ迅速に行うことができる。
【００８２】
伸び量Ｌ１を計測したら、その計測値と、溝３２の単位長さ当たりの容積に関する情報と、溝３２へ吐出された液滴１１３の数とに基づいて、そのノズル２５から吐出された液滴１１３の１滴当たりの量を算出（推定）することができる。すなわち、伸び量Ｌ１と溝３２の単位長さ当たりの容積とを乗算し、これを吐出液滴数で除算することにより、そのノズル２５から吐出された液滴１１３の１滴当たりの体積及び重量を算出することができる。
なお、飛行曲がりが生じた溝３２Ｅへ液滴を吐出したノズルについては、伸び量Ｌ１が他の長さと比較して極端に短くなることから、何らかのエラー（この場合、許容誤差量を超える飛行曲がり）が生じたものとして、液滴吐出量の測定から除外し、ノズルのクリーニングを実施すればよい。
【００８３】
図９は、各サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．４のノズル２５毎の液滴１１３の吐出重量Ｉｗを示すグラフである。なお、図９では液滴１１３の平均重量を１０ｎｇとする補正を行っている。
図９に示すように、各ノズル番号Ｎの吐出重量Ｉｗの傾向は、各サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．４間で略一致しており、測定の信頼性を裏付ける結果となっている。
【００８４】
このように、本実施形態では、上述の計算を溝３２毎に行うことにより、液滴吐出ヘッド２のノズル２５毎に、吐出される液滴１１３の１滴当たりの重量を求めることができる。特に、液状材料１１１を溝３２に沿って濡れ拡がらせる際に、カバー部材４０によって溝３２の外部の気体と液状材料１１１とが接触することを防止し、液状材料１１１の乾燥を防止することができる。すなわち、溝３２をカバー部材４０によって遮蔽することで、溝３２の周辺の雰囲気が液状材料１１１に及ぼす影響を低減させることができる。これにより、液状材料１１１の伸び量Ｌ１の変動を防止して、所定の量の液状材料１１１に対する伸び量Ｌ１を一定の値にすることができる。したがって、液滴吐出ヘッド２から吐出される１滴の液滴１１３の量を、ノズル２５毎に極めて正確に測定することができる。
【００８５】
また、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５から液滴１１３を吐出している場合における各ノズル２５の吐出量を測定することができる。一般に、同じノズル２５であっても、全ノズル２５から液滴１１３を吐出している場合と、そのノズル２５のみから液滴１１３を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワーク１０Ａに対し描画しているときは、液滴吐出ヘッド２のほぼ全部のノズル２５から液滴１１３を吐出するので、本実施形態では、実際の描画状態に近い状態での液滴吐出量をノズル２５毎に測定することができ、極めて有用である。
【００８６】
また、本実施形態では、上記溝３２が略Ｖ字状の断面形状を有し、内面３２ａが親液性を有しているため、着弾した液滴１１３は着弾後すぐに濡れ拡がる。そして濡れ拡がった液滴１１３が溝の底部（Ｖ字の頂点）に達すると、その瞬間に毛管力によって溝３２の延在方向に伸張される。図６では、図を解りやすくするために着弾位置に液状材料１１１が集まっているように表示しているが、実際には着弾位置の液状材料１１１だけが多くなることはなく、溝３２の延在方向に沿って均一に濡れ拡がる。したがって、溝３２の内面３２に着弾せず、基板３０の上面３１やカバー部材４０上に着弾した液状材料１１１だけが取り残される。したがって、飛行曲がりが発生したノズル２５を正確に判定することができる。
【００８７】
特に、本実施形態では、シリコン基板に異方性エッチングを施すことにより溝３２を形成しているため、略原子レベルで溝３２の内面３２ａが平滑化され、円滑に液状材料が濡れ拡がるため、測定精度の向上に一層寄与できる。また、全面親液性の測定用治具３であれば、洗浄することにより液状材料１１１を除去することで再利用が可能であり、コスト削減及び環境保護に寄与できる。例えば、ＵＶ洗浄やプラズマ洗浄を施すことにより、親液性も維持可能である。
【００８８】
また、本実施形態では、測定用治具３が親液性を有しており、また溝３２の開口端の幅Ｗが、着弾インパクト径Ｄ以上の大きさに設定されているため、着弾時の変形で液滴１１３が溝３２内から飛び出してしまい、正確な液滴吐出量の測定に支障を来すことを防止できる。
【００８９】
また、溝３２の幅Ｗおよびカバー部材４０から露出された部分の延在方向の長さＬを、上述の式（１）および式（２）を満たすように設定することで、吐出した液滴１１３に飛行曲がりが生じ、溝３２の幅Ｗ方向および溝３２の延在方向の飛行曲がりの許容誤差量α，βを超えた場合に、液滴１１３が溝３２の内部に着弾せず、溝３２の外部やカバー部材４０上に着弾する。このため、飛行曲がりが発生したノズル２５に対応する溝３２の液状材料１１１の伸び量Ｌ１が極端に減少するか、または０となる。したがって、飛行曲がりが生じたノズル２５を検出することができる。
【００９０】
＜第二実施形態＞
次に、本発明の第二実施形態について、図１、図２および図４を援用し、図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）を用いて説明する。本実施形態の測定用治具３Ａは、溝３２Ａが延長されて複数のカバー部材４０が基板３０Ａ上に間隔をあけて並行して固定されている点で上述の第一実施形態で説明した測定治具３と異なっている。その他の点は第一実施形態と同様であるので、同一の部分には同一の符号を付して説明は省略する。
【００９１】
図１０に示すように、測定用治具３Ａは、基板３０Ａの上面３１Ａに溝３２Ａが基板３０Ａの長さ方向の一端３１１Ａ側から他端３１２Ａ側まで延長されると共に、基板の幅方向の一端３１３Ａ側から他端３１４Ａ側まで各ノズル２５に対応した間隔で複数形成されている。
また、基板３０Ａの上面３１Ａには、溝３２Ａの延在方向と略直交する方向に延設された複数のカバー部材４０が、接着剤を介して固定されている。カバー部材４０の間には間隙が形成され、第一実施形態と同様に、溝３２Ａの一部が延在方向に長さＬだけ露出されている。また、溝３２Ａの幅Ｗは第一実施形態と同様に形成されている。
【００９２】
本実施形態の液滴吐出量測定方法を実施する際には、まず、基板３０Ａ上に上述のように複数のカバー部材４０を固定した後、治具用ステージ５１上に測定用治具３Ａを載置し、第一実施形態と同様の手順により、各ノズル２５が、基板３０Ａの一端３１１Ａ側のカバー部材４０と、それに隣接するカバー部材４０との間から露出された各溝３２Ａの上空に位置するようにする。
【００９３】
そして、第一実施形態と同様に、各ノズル２５からカバー部材４０の間に露出された溝３２Ａへ液状材料１１１の液滴１１３を繰り返し吐出して着弾させる。これにより、溝３２Ａの露出された部分に液滴１１３として着弾した液状材料１１１が、溝３２Ａに沿って、溝３２Ａの露出された部分からカバー部材４０に覆われた両方向に均等に伸張するように濡れ拡がり、溝３２Ａ内に充填されていく（液材伸張工程）。
【００９４】
次に、治具用ステージ５１およびキャリッジ移動機構１０４を作動させ、液滴吐出ヘッド２を基板３０Ａの長さ方向の他端３１２Ａ側に移動させ、各ノズル２５が、隣接する次のカバー部材４０との間から露出された各溝３２Ａの上空に位置するようにする。
このとき、ノズル２５はカバー部材４０の上空を横切るように通過するが、本実施形態では、ノズル２５がカバー部材４０の上空を通過する際に、ノズル２５から液滴１１３を間歇的に吐出させながら液滴吐出ヘッド２を移動させる。カバー部材４０の上空で吐出された液滴１１３はカバー部材４０上に着弾する。
【００９５】
各ノズル２５が、隣接する次のカバー部材４０との間から露出された各溝３２Ａの上空に達したら、同様に、各ノズル２５からカバー部材４０の間に露出された溝３２Ａへ液状材料１１１の液滴１１３を繰り返し吐出して着弾させる。
以上の手順を繰り返して基板３０Ａの長さ方向の一端３１１Ａ側から他端３１２Ａ側まで、各カバー部材４０の間に露出された溝３２Ａに順次液滴１１３を吐出して着弾させ、溝３２Ａに沿って伸張させる。
【００９６】
本実施形態では、上述のように、基板３０Ａが第一実施形態よりも大きく形成され、溝３２Ａが延在方向（基板３０Ａの長さ方向）に延長されて複数の箇所で液滴１１３を受けて液状材料１１１を受容可能に形成されている。したがって、カバー部材４０の寸法を調整し、溝３２Ａのカバー部材４０に覆われている部分を広げたり狭めたりすることで、伸び量Ｌ１の異なる様々な液状材料１１１に対応することができる。また、溝３２Ａの容積が増加するので、予め溝３２Ａに溶媒を受容させた状態にしておくことができ、液状材料１１１の乾燥を防止することが可能となる。また、溝３２Ａとカバー部材４０との位置ずれに対する許容誤差を拡大させ、溝３２Ａとカバー部材４０との位置合わせを容易にすることができる。さらに、基板３０Ａ全体を有効に利用し、測定用治具３Ａを小型化することができる。
【００９７】
また、最初の溝３２Ａの露出部分に液滴１１３を吐出させた後、次の溝３２Ａの露出部分まで液滴吐出ヘッド２を移動させる際に、ノズル２５から間歇的に液滴１１３を吐出させながら移動させている。したがって、ノズル２５から液滴１１３を吐出させないで移動させる場合と比較して、間歇の周期を短縮させ、ノズル２５に吐出不良が発生することを防止できる。したがって、より実際の描画時に近いノズル２５の液滴吐出量を測定することができる。
【００９８】
また、液滴吐出ヘッド２が移動中に吐出した液滴１１３をカバー部材４０によって受けて、測定を必要としない移動中に吐出された液滴１１３が溝３２Ａに着弾することを防止することができる。したがって、溝３２Ａの露出された部分に着弾した液状材料１１１の伸び量Ｌ１を正確に測定することができる。
【００９９】
以上説明したように、本実施形態によれば、第一実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、伸び量Ｌ１の異なる様々な液状材料１１１に対応することができる。また、より実際の描画時に近いノズル２５の液滴吐出量を測定することができる。
【０１００】
＜第三実施形態＞
次に、本発明の第三実施形態について、図１、図２および図４を援用し、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）を用いて説明する。本実施形態の測定用治具３Ｂは、溝３２Ｂが基板３０Ｂの一端３１１Ｂから他端３１２Ｂまで延長され、複数の開口部４１Ｂを有する板状のカバー部材４０Ｂが、基板３０Ｂの全体を覆うように基板３０Ｂに固定されている点で上述の第二実施形態で説明した測定用治具３Ａと異なっている。その他の点は第二実施形態と同様であるので、同一の部分には同一の符号を付して説明は省略する。
【０１０１】
図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）に示すように、測定用治具３Ｂは、カバー部材４０Ｂが、例えば、ステンレス鋼等の板材により形成され、液滴１１３が着弾する溝３２Ｂの一部に対応して開口部４１Ｂが設けられている。ここで、本実施形態では、開口部４１Ｂは液滴吐出ヘッド２による描画パターンに対応するパターン形状に形成されている。具体的には、例えば、実際の描画パターンから、液状材料１１１の伸び量Ｌ１を考慮に入れた測定用描画パターンを生成し、その測定用描画パターンに対する液滴１１３の吐出位置に対応して開口部４１Ｂが形成されている。
【０１０２】
また、開口部４１Ｂの溝３２Ｂの延在方向の長さＬは、第一実施形態および第二実施形態における溝３２，３２Ａの露出された部分の長さＬと同様に形成されている。溝３２Ｂの幅Ｗも第一実施形態および第二実施形態における溝３２，３２Ａの幅Ｗと同様に形成されている。
また、溝３２Ｂは、基板３０Ｂの長さ方向の一端３１１Ｂから他端３１２Ｂまで連続して形成され、幅方向の一端３１３Ｂ側から他端３１４Ｂ側まで各ノズル２５に対応した間隔で複数並行して設けられている。
【０１０３】
また、カバー部材４０Ｂには、図１１（Ｂ）に示すように、基板３０Ｂの上面３１Ｂ側を収容する凹部４２Ｂ（基板位置合わせ手段）が形成されている。凹部４２Ｂの内側面４３Ｂは、基板３０Ｂの外形に沿って形成され、凹部４２Ｂの幅Ｗ２および長さＬ２は基板３０Ｂの幅Ｗ３および長さＬ３と等しいかやや大きくなるように形成されている。
また、カバー部材４０Ｂの上面４４Ｂには、アライメントマーク４５Ｂ（液滴吐出ヘッド位置合わせ手段）が形成されている。
【０１０４】
本実施形態の液滴吐出量測定方法を実施する際には、まず、基板３０Ｂに溝３２Ｂを覆うカバー部材４０Ｂを装着する（溝被覆工程）。この際、カバー部材４０Ｂの凹部４２Ｂの内側面４３Ｂに基板３０Ｂの側面を沿わせるようにして、基板３０Ｂをカバー部材４０Ｂの凹部４２Ｂに収容する。
次に、治具用ステージ５１上に測定用治具３Ｂを載置し、第一実施形態と同様の手順により、ノズル２５が基板３０Ｂの開口部４１Ｂの上空に位置するようにする。このとき、カバー部材４０Ｂと液滴吐出ヘッド２との位置合わせは、カバー部材４０Ｂの上面４４Ｂのアライメントマーク４５Ｂにより行うことができる。
【０１０５】
そして、第一実施形態と同様に、ノズル２５からカバー部材４０Ｂの開口部４１Ｂに露出された溝３２Ｂへ液状材料１１１の液滴１１３を繰り返し吐出して着弾させる。これにより、溝３２Ｂの露出された部分に液滴１１３として着弾した液状材料１１１が、溝３２Ｂに沿って、溝３２Ｂの露出された部分からカバー部材４０Ｂに覆われた両方向に均等に伸張するように濡れ拡がり、溝３２Ｂ内に充填されていく（液材伸張工程）。
【０１０６】
次に、治具用ステージ５１およびキャリッジ移動機構１０４を作動させ、液滴吐出ヘッド２を測定用描画パターンに沿って移動させ、ノズル２５が次の開口部４１Ｂから露出された溝３２Ｂの上空に位置するようにする。
ここで、第二実施形態と同様に、ノズル２５がカバー部材４０Ｂの上空を通過する際に、ノズル２５から液滴１１３を間歇的に吐出させながら液滴吐出ヘッド２を移動させる。
【０１０７】
ノズル２５が、次の開口部４１Ｂから露出された溝３２Ｂの上空に達したら、同様に、ノズル２５から開口部４１Ｂに露出された溝３２Ｂへ液状材料１１１の液滴１１３を繰り返し吐出して着弾させる。
以上の手順を繰り返して開口部４１Ｂに露出された溝３２Ｂに順次液滴１１３を吐出して着弾させ、液状材料１１１を溝３２Ｂに沿って伸張させる。
【０１０８】
全ての開口部４１Ｂに液滴１１３を着弾させ、液状材料１１１を溝３２Ｂに沿って十分に伸張させた後、カバー部材４０Ｂを取り外す。そして、第一実施形態と同様に、溝３２Ｂに沿って伸張した液状材料１１１の伸び量Ｌ１を計測し（計測工程）、ノズル２５から吐出された液滴１１３の１滴当たりの体積及び重量を算出する。
【０１０９】
本実施形態では、上述のように、凹部４２Ｂの幅Ｗ２および長さＬ２は基板３０Ｂの幅Ｗ２および長さＬ３と等しいかやや大きくなるように形成されると共に、基板３０Ｂの外形に沿って形成されている。したがって、基板３０Ｂをカバー部材４０Ｂの凹部４２Ｂに収容することで、基板３０Ｂとカバー部材４０Ｂとを正確に位置合わせし、カバー部材４０Ｂの開口部４１Ｂを基板３０Ｂの溝３２Ｂに対して精密に位置合わせすることができる。
【０１１０】
また、溝３２Ｂが形成された基板３０Ｂにカバー部材４０Ｂを位置合わせして取り付けるだけで、液滴１１３が着弾する溝３２Ｂの一部を露出させた状態で溝３２Ｂを覆うことができる。したがって、第一実施形態のように、帯状のカバー部材４０を基板３０に固定してカバー部材４０の端部に溝３２の一部を露出させる場合と比較して、露出される溝３２Ｂの長さＬや配置等を精密に形成することができる。
また、カバー部材４０Ｂと液滴吐出ヘッド２との位置合わせは、カバー部材４０Ｂの上面４４Ｂのアライメントマーク４５Ｂにより行うことで、カバー部材４０と液滴吐出ヘッド２とを精密に位置合わせすることができる。
【０１１１】
また、カバー部材４０Ｂの開口部４１Ｂは描画パターンに対応して形成されているので、実際に描画パターンを描く場合と同様に液滴吐出ヘッド２を移動させて、ノズル２５から開口部４１Ｂに露出された溝３２Ｂの一部に液滴１１３を吐出し、実際の描画状態と略等しい状態でのノズル２５の液滴１１３の吐出量を測定することができる。
【０１１２】
また、計測工程において、液状材料１１１の伸び量Ｌ１の計測前に、基板３０Ｂからカバー部材４０Ｂを取り外すことで、溝３２Ｂのカバー部材４０Ｂによって覆われた部分に濡れ拡がった液状材料１１１の伸び量Ｌ１を、カバー部材４０Ｂの影響を受けることなく計測することができる。したがって、カバー部材４０Ｂが、光を透過しない場合であっても液状材料１１１の伸び量Ｌ１を正確に測定することができる。
【０１１３】
以上説明したように、本実施形態によれば、第一、第二実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、カバー部材４０Ｂの開口部４１Ｂを基板３０Ｂの溝３２Ｂに対して精密に位置合わせすることができ、カバー部材４０と液滴吐出ヘッド２とを精密に位置合わせすることができ、カバー部材４０Ｂが光を透過しない場合であっても液状材料１１１の伸び量Ｌ１を正確に測定することができる。
【０１１４】
（液滴吐出量調整方法）
次に、液滴吐出量調整方法の一実施形態について説明する。
描画装置１を用いて電気光学装置を製造するに際し、高品質の製品を得るためには、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５の１滴当たりの吐出量をできるだけ均一にすることが重要となる。例えば、液晶表示装置のカラーフィルタ基板や有機ＥＬ表示装置のような色要素付き基板の色要素（画素）に、フィルタ膜や発光膜のような色要素膜を形成する場合、色ムラを防止すべく、色要素膜の膜厚を全色要素に渡って均一にするためには、全ノズル２５の１滴当たりの吐出量をできるだけ均一にする必要がある。
【０１１５】
そこで、本実施形態では、複数の溝３２の各々の伸び量Ｌ１の計測値（液滴吐出量）に基づき、制御手段１１２が調整部として複数のノズル２５の各々に対応するビットマップを調整する。
具体的には、ノズル毎の液滴吐出数（ショット数）を調整（増減）することにより、液状材料の塗布量をノズル間で均一化することができる。
【０１１６】
例えば、あるノズルの液滴吐出量が他のノズルと比較して１０％程度少ない場合には、他のノズルが１０滴の液状材料を吐出する箇所に対して１１滴の液状材料を吐出する。逆に、あるノズルの液滴吐出量が他のノズルと比較して１０％程度多い場合には、他のノズルが１０滴の液状材料を吐出する箇所に対して９滴の液状材料を吐出する。
なお、さらに微調整が必要な場合には、図２に示した駆動波形について微小量の液状材料を吐出するための微小ドット波形の駆動波形を設定しておき、この駆動波形を用いることで微小の吐出量調整が可能になる。
このような調整を行うことにより、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５の総吐出量を均一化することができ、その結果、描画装置１を用いて形成される膜の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上が図れる。
【０１１７】
（デバイス）
続いて、上記描画装置１を用いて製造されるデバイスとして、カラーフィルタ基板について説明する。
図１２に示すように、カラーフィルタ基板（デバイス）ＣＦは、長方形形状のガラス４８上に、生産性をあげる観点から複数個のカラーフィルタ領域１０５がマトリックス状に形成されたものである。これらのカラーフィルタ領域１０５は、後でガラス４８を切断することで、液晶表示装置に適合するカラーフィルタとして用いることができる。
【０１１８】
カラーフィルタ領域１０５には、ＲのインクとＧのインクおよびＢのインクを所定のパターンで形成して配置している。この形成パターンとしては、図に示すように従来公知のストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェアー型等がある。特に、液滴吐出ヘッド２を傾けることで画素部の配列ピッチにノズル間隔を対応させる場合、ストライプ型では一度に吐出できるノズルの数が多いため効果的である。
【０１１９】
図１３は、カラーフィルタ領域１０５におけるノズル番号と画素との対応関係を示す模式図である。本実施形態では、画素の配列ピッチとノズルピッチとが異なっており、また液状材料の溢れ防止のため画素間には非吐出領域が存在するため、４番、１１番、１２番のノズルは非吐出である。
例えば、７０ｋＨｚで吐出可能な吐出周波数を用いる場合には、１回の走査で１０ｎｇ／回を１０回（以上）吐出できる。１画素あたりに９０回の吐出を行う場合、各画素には３つのノズルで液滴を吐出するため、３回の走査で画素に液状材料を充填できる。
ここで、上述した液滴吐出量の測定で、例えば９番のノズルの吐出量が少ない（伸び量Ｌ１が短い）際には、８番及び１０番のノズルからの吐出数を増やしたり、９番のノズルの吐出量が顕著に少ない場合にはこのノズルを使用せずに１１番のノズルを用いたりしてもよい。
なお、ノズルピッチ等の理由で使用ノズルの変更が不可の場合には、ヘッドクリーニングを行った後に、上記液滴吐出量の測定を実行するシーケンスを採ることが好ましい。
【０１２０】
また、図１３で示したカラーフィルタ領域１０５のように、各画素に対して３つのノズルで液滴を吐出する場合には、ノズル毎の液滴吐出量の他に、各画素に吐出する３つのノズルで構成されるノズル群毎の液滴吐出量を測定し、この測定結果に基づいて各ノズルの液滴吐出量を調整することも可能である。
このような場合には、図１４に示すように、溝３２がノズル群（ここでは３つのノズル）毎に設けられた測定用治具３を用いればよい。
この場合、ノズル群毎に対応する溝３２に液滴を吐出し、充填長さを計測することにより、ノズル群毎に液滴吐出量を測定することができる。
そのため、測定された液滴吐出量に基づいて、各ノズルの液滴吐出量を調整することにより、画素間で生じる液滴充填量のばらつきを容易に抑制することが可能になる。
【０１２１】
また、本発明に係る描画装置１は、上述したカラーフィルタ基板ＣＦを有する液晶パネルの製造のみに適用されるものではなく、例えば、電流を通すことによって発光する有機機能層を画素として用いる有機ＥＬ装置等、他の電気光学装置の製造にも適用可能である。なお、有機ＥＬ装置に本発明を適用した場合には、有機機能層が本発明に係る描画装置によって形成される。
さらに、液晶パネルや有機ＥＬ装置以外にも、金属配線や有機薄膜トランジスタ、レジストやマイクロレンズアレイ、バイオ分野にも適用可能である。
【０１２２】
（電子機器）
図１５（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の電子機器の実施の形態例を示している。
本例の電子機器は、上記のカラーフィルタ基板を有する液晶パネルを表示手段として備えている。
図１５（Ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１５（Ａ）において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記のカラーフィルタ基板を用いた表示部を示している。
図１５（Ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１５（Ｂ）において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記のカラーフィルタ基板を用いた表示部を示している。
図１５（Ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１５（Ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記のカラーフィルタ基板を用いた表示部を示している。
図１５（Ａ）〜（Ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、上記のカラーフィルタ基板を表示手段として備えているので、表示品質に優れた電子機器を得ることができる。
【０１２３】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
上述の実施形態では、液滴吐出ヘッドの液滴吐出量測定方法を中心に説明したが、上述の液滴吐出量測定方法および液滴吐出量測定用治具を、液滴量測定方法および液滴量測定用治具として、例えば、バイオ、各種校正、粘度測定等、極微量の液体の量を測定する様々な分野に適用できることは言うまでもない。
また、上述の実施形態では、基板位置合わせ手段としてカバー部材に凹部を設ける構成について説明したが、溝の幅を予め調整しておけば、基板の一辺をカバー部材の一辺に突き当てる構成であってもよい。この場合、溝の幅を調整することで、突き当て精度誤差を吸収することができ、アライメントに求められる精度を緩和することができる。例えば、溝の幅は、溝の幅方向の液滴の着弾インパクト径と、溝の幅方向の所定量の許容誤差と、突き当て誤差との和とすることができる。
また、本発明の液滴吐出量調整方法では、上述の実施形態で説明した液滴数の調整によるものだけでなく、駆動波形を調整し、液滴の一滴の吐出量を増減させることで液滴吐出量を調整してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】本発明の液滴吐出量測定装置を搭載した描画装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す描画装置における液滴吐出ヘッドを示す図である。
【図３】本発明の液滴吐出量測定用治具の第一実施形態と液滴吐出ヘッドとを示す平面図である。
【図４】図１に示す描画装置における制御手段の構成を示すブロック図である。
【図５】測定用治具の実施形態と液滴吐出ヘッドとを示す側面図である。
【図６】測定用治具の溝内に液状材料が充填された図である。
【図７】溝に吐出された液状材料の伸び量の測定結果の一例を示すグラフである。
【図８】複数のサンプル間での伸び量の比の一例を示すグラフである。
【図９】伸び量から算出されたノズル毎の吐出重量の一例を示すグラフである。
【図１０】（Ａ）は本発明の液滴吐出量測定用治具の第二実施形態を示す平面図であり、（Ｂ）はＡ−Ａ’線に沿う断面図である。
【図１１】（Ａ）は本発明の液滴吐出量測定用治具の第三実施形態を示す平面図であり、（Ｂ）はＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
【図１２】基板と基板上のカラーフィルタ領域の一部を示す図である。
【図１３】カラーフィルタ領域におけるノズル番号と画素との対応関係を示す模式図である。
【図１４】液滴吐出量測定用治具の他の実施形態を示す図である。
【図１５】本発明の電子機器の具体例を示す図である。
【図１６】従来の液滴吐出量測定用治具の溝に吐出された液状材料の伸び量の測定結果の一例を示すグラフである。
【符号の説明】
【０１２５】
１  描画装置、２  液滴吐出ヘッド、３,３Ａ,３Ｂ  測定用治具、１０Ａ  ワーク、２５  ノズル、３,３０Ａ,３０Ｂ  基板、３２,３２Ａ,３２Ｂ,３２Ｅ  溝、４０,４０Ｂ  カバー部材、４１Ｂ  開口部、４２Ｂ  凹部（位置合わせ手段）、４５Ｂ  アライメントマーク（位置合わせ手段）、５０  液滴吐出量測定装置、５３  計測カメラ（計測部）、１１１  液状材料、１１２  制御手段（推定部、調整部）、１１３  液滴、３１１Ａ,３１１Ｂ  一端、３１２Ａ,３１２Ｂ  他端、３１３Ａ,３１３Ｂ  一端、３１４Ａ,３１４Ｂ  他端、１０００  携帯電話本体（電子機器）、１００１  表示部（電気光学装置）、１１００  時計本体（電子機器）、１１０１  表示部（電気光学装置）、１２００  情報処理装置（電子機器）、１２０６  表示部（電気光学装置）、α,β  許容誤差量、ＣＦ  カラーフィルタ基板（デバイス）、Ｄ  着弾インパクト径（最大径）、Ｌ  長さ、Ｌ１  伸び量（長さ）、Ｌ３  長さ（一方向）、Ｗ  幅、Ｗ３  幅（一方向に直交する方向）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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