(57)【要約】【課題】振動板の固定部での湾曲を抑えつつ、隣接する振動板間の表面形状を、配線を含めて平坦化することができない。【解決手段】固定電極１２ａを形成する固定電極層１２と、空隙１４ｂを形成する犠牲層１４と、可変電極２３ａを形成する可変電極層２３が順次積層され、固定電極１２ａと可変電極２３ａとの間の犠牲層１４がエッチングで除去されて空隙１４ｂが形成され、振動板２０のノズル配列方向の端部部分（固定部）２０ａが固定電極層１４上に設けられるとともに、隣り合う振動板２０の間では、固定電極層１２がなく、固定電極層１２よりも抵抗率の低い材料からなる配線層５３ｂが形成され、配線層５３ｂが可変電極層２３に接続されている。【選択図】図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルが連通する各液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板に設けられた可変電極と、この可変電極に対して空隙を介して対向する固定電極とを備え、前記可変電極と固定電極との間の静電力と前記振動板の反発力により液滴を吐出させる液体吐出ヘッドにおいて、
前記固定電極を形成する固定電極層と、前記空隙を形成する犠牲層と、前記可変電極を形成する可変電極層が順次積層され、
前記固定電極と前記可変電極との間の前記犠牲層がエッチングで除去されて前記空隙が形成され、
前記振動板のノズル配列方向の端部部分が前記固定電極層上に設けられるとともに、
隣り合う振動板の間では、前記固定電極層がなく、固定電極層よりも抵抗率の低い材料からなる配線層が形成され、前記配線層が前記可変電極層に接続されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記隣り合う振動板の間の少なとも一部の領域では前記犠牲層が残されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関し、特に静電型液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関するする。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリンタ／ファックス／コピア或いはこれらの機能を複合した画像形成装置としては、例えば、記録液（液体）の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、媒体（以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。）を搬送しながら、インクを用紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。）を行なうものがある。
【０００３】
なお、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、「インク」とは狭義のインクに限るものではなく、ヘッドから吐出される液体を総称するものとする。
【０００４】
液体吐出ヘッドのうちの静電型液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルが連通する各液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板に設けられた可変電極（振動板電極ともいう。）と、この可変電極に対して空隙を介して対抗する固定電極とを備え、可変電極と固定電極との間の静電力と振動板の反発力により液滴を吐出させる方式のものである。
【０００５】
このような、静電型液体吐出ヘッドにおいては、振動板と電極との間の空隙（ギャップ）の寸法（ギャップ長）精度がその特性に大きく影響を及ぼし、特に、画像形成装置に使用する液体吐出ヘッドの場合、各アクチュエータの特性のバラツキが大きければ、印字精度、画質の再現性が著しく低下することとなる。
【０００６】
そこで、従来から、次の特許文献にも記載されているように、固定電極を形成する固定電極層と、空隙を形成する犠牲層と、可変電極を形成する可変電極層が順次積層され、固定電極と可変電極との間の犠牲層がエッチングで除去されて空隙が形成される犠牲層プロセスを用いて、空隙を形成することが行われている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−０７６１２９号公報
【特許文献２】特開２００４−３５８８６６号公報
【特許文献３】特開２００４−０９８５０６号公報
【特許文献４】特許第３５００６３６号公報
【特許文献５】特開２００１−０１８３８３公報
【特許文献６】特開２００５−２６２６８６公報
【特許文献７】特開２００４−１０６０８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した特許文献４、５に記載されている構成にあっては、振動板のノズル配列方向の端部（以下「固定部」という。）に対応する領域で固定電極層が除去されているために段差が生じて、犠牲層プロセスの性質上振動板が固定部付近で湾曲した形状となる。このような形状の場合、振動板を構成する膜の残留応力（内部応力）によって、振動板に撓みが生じ、犠牲層の厚さとギャップの長さが異なってしまうことになる。この場合、予め振動板の撓み量を考慮して、犠牲層の膜厚を設定すれば良いが、ギャップ長のバラツキの要因となり、犠牲層プロセスは高精度なギャップ形成が可能になるという利点が損なわれるという課題がある。
【０００９】
そこで、特許文献３に記載されているように、振動板の固定部は固定電極層上に形成することで、振動板を概ね平坦な形状として、振動板の撓み発生を防ぐことが行われる。そして、このようにアクチュエータ基板（固定電極、空隙、振動板を形成した基板）の表面が概ね平坦な形状になることで、振動板の液室側表面を保護する接液膜をスピンコートで形成した場合に、その膜厚の均一性を確保することもできるという利点がある。
【００１０】
ところで、各振動板の可変電極に対して配線を行うには、特許文献１に記載されているように、隣接する振動板間（液室間隔壁部に対応する）にメタル配線を配置する構成とすることが、ヘッドの小型化を図れる。
【００１１】
ここで、特許文献１に記載されている配線構成を特許文献３に記載されている構成に適用すると、配線のみが振動板表面から突出するような構成となり、振動板表面に接液膜をスピンコートで形成した場合に、その膜厚のバラツキの要因となる。特に、振動板表面に形成する接液膜を配線の保護膜としても兼用する場合、その被覆性が不十分になりやすいという課題が生じる。後者の課題については、保護膜を厚くすれば解決できるが、振動板表面の接液膜と兼用する場合、吐出特性との関係で単純に保護膜を厚くすることはできず、また、流路基板（液室基板）とアクチュエータ基板（静電アクチュエータを構成した基板）の接合（接着）の面でも、配線が突出していない方が好ましい。
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、振動板の固定部での湾曲を抑えつつ、隣接する振動板間の表面形状を、配線を含めて平坦化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルが連通する各液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板に設けられた可変電極と、この可変電極に対して空隙を介して対向する固定電極とを備え、前記可変電極と固定電極との間の静電力と前記振動板の反発力により液滴を吐出させる液体吐出ヘッドにおいて、
前記固定電極を形成する固定電極層と、前記空隙を形成する犠牲層と、前記可変電極を形成する可変電極層が順次積層され、
前記固定電極と前記可変電極との間の前記犠牲層がエッチングで除去されて前記空隙が形成され、
前記振動板のノズル配列方向の端部部分が前記固定電極層上に設けられるとともに、
隣り合う振動板の間では、前記固定電極層がなく、固定電極層よりも抵抗率の低い材料からなる配線層が形成され、前記配線層が前記可変電極層に接続されている
構成とした。
【００１４】
ここで、前記隣り合う振動板の間の少なとも一部の領域では前記犠牲層が残されている構成とできる。
【００１５】
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えている構成とした。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、振動板のノズル配列方向の端部部分が固定電極層上に設けられているので、振動板の固定部における湾曲が抑えられるとともに、隣り合う振動板の間では、固定電極層がなく、固定電極層よりも抵抗率の低い材料からなる配線層が形成され、配線層が可変電極層に接続されているので、隣接する振動板間の表面形状を、配線を含めて平坦化することができる。
【００１７】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、安定した画像形成を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明を適用した液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図９を参照して説明する。なお、図１は同液体吐出ヘッドのアクチュエータ基板を透過状態で示す要部平面説明図、図２は同ヘッドの図１のＸ１−Ｘ１線に沿う断面説明図、図３は同じく図１のＸ２−Ｘ２線に沿う断面説明図、図４は同じく図１のＸ３−Ｘ３線に沿う断面説明図、図５は同じく図１のＸ４−Ｘ４線に沿う断面説明図、図６は同じく図１のＹ１−Ｙ１線に沿う断面説明図、図７は同じく図１のＹ２−Ｙ２線に沿う断面説明図、図８は同じく図１のＹ３−Ｙ３線に沿う断面説明図、図９は同じく図１のＹ４−Ｙ４線に沿う断面説明図である。
【００１９】
この液体吐出ヘッドは、基板の面部に設けたノズルから液滴を吐出させるサイドシュータタイプのものであり、第１の基板であるアクチュエータ基板１０と第２の基板である流路基板３０と第３の基板であるノズル基板４０を順次積層して構成し、これら３枚の基板１０、３０、４０を接合することで、液滴を吐出するノズル４１がノズル連通路３４を介して連通する液室（圧力発生室）３３、液室３３にインクを供給するための流体抵抗部３２及び共通液室３１を形成している。そして、アクチュエータ基板１０には、外部から共通液室３１にインクを供給する液供給路である液供給路５７を、アクチュエータ基板１０を貫通させて形成している。
【００２０】
アクチュエータ基板１０は、液室３３の一部の壁面を形成する可変電極（振動板電極）を含む可変領域を形成する振動板２０と、この振動板２０に犠牲層エッチングによって形成した空隙（ギャップ）１４ａを介して対向する固定電極（対向電極）１２ａを備え、これらの振動板２０と固定電極１２ａによって各液室３３に対応する静電型アクチュエータを構成する。
【００２１】
このアクチュエータ基板１０には、絶縁膜１１を形成し、この絶縁膜１１上に固定電極層１２によって固定電極１２ａ及びスペーサ部１２ｂを形成して固定電極側絶縁膜１３にて被覆している。この絶縁膜１３上には犠牲層残存部分１４ｂ及び犠牲層１４がエッチング除去されて形成される空隙１４ａが形成され、犠牲層１４ｂ上に多層膜からなる振動板２０を形成している。
【００２２】
振動板２０は、犠牲層残存部分１４ｂ及び除去される前の空隙１４ａ上に絶縁膜２２を形成し、この絶縁膜２２上に複数のノズル４１に対応する共通電極となる振動板電極層２３を形成し、更に振動板電極層２３上に後述する（図１０ないし図１３参照）振動板撓み防止膜２４、応力調整膜（引張り応力膜）２５、犠牲層除去孔封止膜２６の積層膜２８、及び接液膜２７を順次積層形成したものである。
【００２３】
そして、液室３３の隔壁部３６、すなわち、ノズル配列方向における隣り合う振動板２０、２０間の領域（以下「チャンネル間領域」ともいう。）には、固定電極１２ａに接続する配線５３ａ、及び振動板電極層２３に接続する配線５３ｂが配置され、それぞれ図示しない外部取り出し電極部にされている。
【００２４】
アクチュエータ基板１０上に接合する流路基板３０は、例えば、結晶面方位（１１０）のシリコン基板に、液室（吐出室）３３と、各々の液室３３に流体抵抗部３２を介して連通する共通液室３１などを溝部（凹部）として形成している。また、流路基板３０の上に接合するノズル基板４０は、例えば、厚さ５０μｍのニッケルを用い、ノズル４１はドライ又はウェットエッチングやレーザー加工など周知の方法で形成することができる。なお、アクチュエータ基板１０と流路基板３０、流路基板３０とノズル基板４０とは接着剤６０で接合している。
【００２５】
このように構成した液滴吐出ヘッドにおいては、各液室３３内に記録液（インク）が満たされた状態で、図示しない制御部からの画像データに基づいて、記録液の吐出を行いたいノズル４に対応する固定電極１２ａに対して、駆動回路により所定のパルス電圧を印加する。この電圧を印加することにより固定電極１２ａの表面にプラス電荷が帯電し、固定電極１２ａと、振動板電極を含む振動板２０との間に静電力による吸引作用が働いて、振動板２０が下方へ撓む（実際に変形するのは可変領域である）。これにより、液室３３の容積が広げられることから、その容積分の記録液が共通液室３１より流体抵抗部３２を介して液室３３へ流入する。
【００２６】
その後、固定電極１２ａへのパルス電圧を０Ｖにする（印加を止める）ことにより、静電力により下方へ撓んだ振動板２０は自身の剛性により元の位置に戻る。これにより、液室３３内の圧力が急激に上昇して、液室３３に連通するノズル４１より記録液の液滴が吐出される。そして、この動作を繰り返してノズル４１から記録液を連続的に吐出することにより、液滴吐出ヘッドに対向して配置した被記録媒体（用紙）に画像を形成する。
【００２７】
次に、この液体吐出ヘッドに適用した本発明の第１実施形態について図１０ないし図１４を参照して説明する。なお、図１０は同ヘッドの透過状態で示す要部平面説明図、図１１は図１０のＡ１−Ａ１線に沿う断面説明図、図１２は図１０のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図、図１３は図１０のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図、図１４は図１０のＡ２−Ａ２線に沿う断面説明図である。また、図１０は図１の平面図とは９０°向きが異なっている状態で示している。
【００２８】
まず、振動板２０は、前述したように、絶縁膜２２、振動板電極層２３、振動板撓み防止膜２４、応力調整膜（引張り応力膜）２５、犠牲層除去孔封止膜２６、接液膜２７で構成されている。振動板電極層２３は、空隙１４ｂに対向する振動板電極（可変電極）２３ｂと、スペーサ部２３ｂを形成している。そして、振動板２０の振動板領域両端の固定部２０ａは、図１１、図１３、図１４に示すように、固定電極層１２で形成され、固定電極１２ａから分離されたスペーサ部（固定電極ダミー）１２ｂ上に形成されている。つまり、振動板２０のノズル配列方向の端部部分２０ａが固定電極層１２上に設けられている構成としている。また、振動板２０のノズル配列方向の端部部分２０ａが固定電極層１２との間には犠牲層分離溝７１で分離された残存犠牲層（スペーサ部）１４ｂを介在させている。
【００２９】
これによって、振動板２０、特に引っ張り応力膜（例えば窒化膜）２５が、振動板２０の固定部２０ａで、湾曲形状ではなく、概ね平坦な型（犠牲層１４）で形成されることから、振動板２０の撓みの発生を招くことがなくなる。
【００３０】
そして、チャンネル間領域（隣り合う振動板２０の間）では、固定電極層１２がなく、固定電極層１２よりも抵抗率の低い材料（例えばアルミナ系材料）からなる配線層５３ｂが形成され、図１４に示すように、積層膜２８を貫通する接続穴５２を介して配線層５３ｂが振動板電極層２３に接続されている。
【００３１】
これによって、配線層５３ｂが積層膜２８上から突出することがなく、配線層５３ｂの膜厚を固定電極層１２の厚みと略等しい厚さとすることで、接液膜２７をスピンコート法などで成膜した場合の膜厚の均一性を向上することができ、接液膜２７で配線層５３ｂの保護膜を兼ねることで被覆性が向上し、更にアクチュエータ基板１０と流路基板３０との接合性が向上する。
【００３２】
つまり、図２０に示すように、振動板２０の固定部２０ａに対応する領域で固定電極層１２を除去すると、段差が生じて、犠牲層プロセスの性質上振動板２０が固定部２０ａ付近で湾曲し、振動板２０を構成する膜の残留応力（内部応力）によって、振動板２０に撓みが生じ、犠牲層１４の厚さとギャップ１４ａの長さが異なることになる。一方、図２１に示すように、振動板２０の固定部２０ａは固定電極層１４上に形成することで、振動板２０を概ね平坦な形状とするこができるが、チャンネル間領域に配線層５３ｂを配置すると、配線層５３ｂのみが振動板表面から突出するような構成となり、接液膜２７をスピンコートで形成した場合に、その膜厚がバラツキ、流路基板３０とアクチュエータ基板１０の接合不良が生じやすくなる。
【００３３】
これに対して、この実施形態では、振動板２０の固定部２０ａが固定電極層１４上に設けられ、チャンネル間領域では、固定電極層１４がなく、固定電極層１４よりも抵抗率の低い材料からなる配線層５３ｂが形成され、配線層５３ｂが可変電極層２３に接続されているので、振動板２０の撓みを抑えられ、隣接する振動板間の表面形状を、配線層５３ｂを含めて平坦化することができる。
【００３４】
また、上記実施形態では、振動板２０の固定部分２０ａに対応して犠牲層１４から分離溝７１にて分離された残存犠牲層（スペーサ部）１４ｂを介在させているので、より湾曲形状が低減して更に振動板撓み防止の効果が得られる。なお、図１０に示すように、チャンネル間領域には犠牲層除去孔７５及び振動板電極開口部７６を設けられる。
【００３５】
このようにして、振動板の撓みを抑えたまま、振動板表面に形成する接液膜の膜厚均一性向上、配線の被覆性確保、流路基板とアクチュエータ基板の接合性の向上を図れ、これにより、高精度のギャップを形成することができ、高精度の滴吐出特性で、高周波特性の優れたヘッドを得ることができる。
【００３６】
次に、本発明の第２実施形態について図１５を参照して説明する。なお、図１５は同ヘッドのアクチュエータ基板を透過状態で示す要部平面説明図である。
この実施形態では、上記第１実施形態と同様な構成において、固定電極層１２の有無による段差部分７３と犠牲層分離溝７１の交差する部分７２で、犠牲層分離溝７１の幅を広げている。これにより、段差部分でのエッチング残の発生が低減する。
【００３７】
次に、本発明の第３実施形態について図１６及び図１７を参照して説明する。なお、図１６は同ヘッドのアクチュエータ基板を透過状態で示す要部平面説明図、図１７は図１６のＤ−Ｄ線に沿う断面説明図である。
この実施形態では、上記第１実施形態と同様な構成において、固定電極層１２の有無による段差部分７３に犠牲層分離溝７１がかからないような構成としている。これにより、段差部分でのエッチング残の発生を低減することができる。
【００３８】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図１８及び図１９を参照して説明する。なお、図１８は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図、図１９は同機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２０１Ａ、２０１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【００３９】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００４０】
また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「サブタンク２３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニット２２４によって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００４１】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００４２】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００４３】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００４４】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００４５】
また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００４６】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む本発明に係るヘッドの維持回復装置である維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００４７】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット（空吐出受け）２８８を配置し、このインク回収ユニット２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００４８】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００４９】
このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００５０】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００５１】
このように、この画像形成装置では本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えているので、安定した滴吐出特性が得られて高画質画像を記録することができる。
【００５２】
なお、上記実施形態では本発明をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ／ファックス／コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、狭義のインク以外の液体や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。
【００５３】
また、液体吐出ヘッドを構成している静電アクチュエータは、液体吐出ヘッドだけでなく、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバイス）のみならず、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明を適用する液体吐出ヘッドのアクチュエータ基板の一例を透過状態で示す要部平面説明図である。
【図２】同ヘッドの図１のＸ１−Ｘ１線に沿う断面説明図である。
【図３】同じく図１のＸ２−Ｘ２線に沿う断面説明図である。
【図４】同じく図１のＸ３−Ｘ３線に沿う断面説明図である。
【図５】同じく図１のＸ４−Ｘ４線に沿う断面説明図である。
【図６】同じく図１のＹ１−Ｙ１線に沿う断面説明図である。
【図７】同じく図１のＹ２−Ｙ２線に沿う断面説明図である。
【図８】同じく図１のＹ３−Ｙ３線に沿う断面説明図である。
【図９】同じく図１のＹ４−Ｙ４線に沿う断面説明図である。
【図１０】本発明の第１実施形態のヘッドのアクチュエータ基板を透過状態で示す要部平面説明図である。
【図１１】図１０のＡ１−Ａ１線に沿う断面説明図である。
【図１２】図１０のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図である。
【図１３】図１０のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図である。
【図１４】図１０のＡ２−Ａ２線に沿う断面説明図である。
【図１５】本発明の第２実施形態のヘッドのアクチュエータ基板を透過状態で示す要部平面説明図である。
【図１６】本発明の第３実施形態のヘッドのアクチュエータ基板を透過状態で示す要部平面説明図である。
【図１７】図１６のＤ−Ｄ線に沿う断面説明図である。
【図１８】本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図である。
【図１９】同機構部の要部平面説明図である。
【図２０】比較例１の振動板固定部分の要部断面説明図である。
【図２１】比較例２の振動板固定部分の要部断面説明図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０…アクチュエータ基板
１２…固定電極層
１２ａ…固定電極
１２ｂ…固定電極ダミー（スペーサ部）
１３…固定電極側絶縁膜
１４…犠牲層
１４ａ…空隙（ギャップ）
１４ｂ…残存犠牲層（スペーサ部）
２０…振動板
２２…振動板側絶縁膜
２３…振動板電極層（可変電極層）
２３ａ…振動板電極（可変電極）
２３ｂ…振動板電極引出し部（スペーサ部）
３０…流路基板
３１…共通液室
３３…液室（圧力発生室）
４０…ノズル板
４１…ノズル
５３ｂ…配線
２３４…記録ヘッド
【図１】
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【図２】
2009220455.tif 000004
【図３】
2009220455.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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