(57)【要約】      （修正有）【課題】ソルダレジスト層の積層工程が省略できるので実装基板の製造費用が節減でき、アンダーフィル内にボイドの発生を最小化することができるので実装工程の信頼度を確保して実装成功率が改善できる、実装基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】実装基板は、一面にチップが実装される基板であって、絶縁層２００と、チップが実装される位置に対応して絶縁層の一面に埋め込まれるボンディングパッド５１２、５２３と、ボンディングパッドに電気的に接続する回路パターン２０１と、を含み、ボンディングパッドの表面を絶縁層の表面から陥入させることを特徴とする。【選択図】図５
2009004772.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面にチップが実装される基板であって、
絶縁層と、
前記チップが実装される位置に対応して前記絶縁層の一面に埋め込まれるボンディングパッドと、
前記ボンディングパッドに電気的に接続する回路パターンと、
を含む実装基板。
【請求項２】
前記ボンディングパッドの表面が、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されることを特徴とする請求項１に記載の実装基板。
【請求項３】
前記ボンディングパッドが、前記絶縁層の一面に埋め込まれたランドを含むことを特徴とする請求項２に記載の実装基板。
【請求項４】
前記ランドの表面が、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されることを特徴とする請求項３に記載の実装基板。
【請求項５】
前記絶縁層の他面に形成された回路パターンをさらに含み、
前記ボンディングパッドは、前記回路パターンと電気的に接続し、前記ランドに対応する位置に、前記絶縁層に埋め込まれたビアをさらに含むことを特徴とする請求項３に記載の実装基板。
【請求項６】
前記ビアの表面が、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されることを特徴とする請求項５に記載の実装基板。
【請求項７】
前記ランドの表面が、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されることを特徴とする請求項６に記載の実装基板。
【請求項８】
前記ビアの表面が、前記ランドの表面に比べ前記絶縁層の表面からさらに深く陥入されることを特徴とする請求項７に記載の実装基板。
【請求項９】
一面に回路パターンが形成された絶縁層を提供するステップと、
前記絶縁層の他面に前記回路パターンと電気的に接続するボンディングパッドを形成するステップと、
前記ボンディングパッドの表面が前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されるように前記ボンディングパッドをエッチングするステップと、
を含む実装基板の製造方法。
【請求項１０】
前記ボンディングパッドを形成するステップが、
前記絶縁層の他面にランドを埋め込むステップを含むことを特徴とする請求項９に記載の実装基板の製造方法。
【請求項１１】
前記ボンディングパッドを形成するステップが、
前記ランドが埋め込まれる位置に対応して、前記回路パターンと電気的に接続するビアを形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の実装基板の製造方法。
【請求項１２】
前記ボンディングパッドをエッチングするステップは、前記ビアの表面が前記絶縁層の表面より所定深さ陥入されるように前記ビアをエッチングするステップを含む請求項１１に記載の実装基板の製造方法。
【請求項１３】
前記ボンディングパッドをエッチングするステップは、前記ランドの表面が前記絶縁層の表面より所定深さ陥入されるように前記ランドをエッチングするステップを含む請求項１２に記載の実装基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実装基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の高性能化傾向に伴い、パッケージの小型化及び高密度化が進行される。これはパッケージにおいて、チップとメインボードとを接続させる実装基板、すなわち、インターポーザ（interposer）の高密度化を要求する。現在、高密度パッケージに用いられる実装方法としては、ワイヤーボンディン及びフリップボンディングがある。単位面積当たり入出力端子の数が増加する場合、実装時かかる費用などの問題から、フリップボンディングが好まれる。
【０００３】
図１は、従来技術に係るフリップチップボールグリッドアレイ （ＦＣＢＧＡ：flip chip ball grid array）構造の断面図とその部分の拡大図である。チップ１００は、バンプ１１３を通してボンディングパッド１１１と電気的に接続する。ボンディングパッド１１１は、絶縁基板１１０に形成された回路（図示せず）と電気的に接続する。この回路は、ソルダボール１４０と電気的に接続可能である。ソルダボール１４０は、絶縁基板１１０とメインボードとの間に介在され、チップ１００とメインボードとの電気的な接続を提供する。
【０００４】
ボンディングパッド１１１は、絶縁基板１１０の一面上に形成される。ボンディングパッド１１１は、絶縁基板上に形成されたソルダレジスト層１１２に開口部を形成した後、伝導性物質をメッキする方法で形成できる。この場合、メッキ工程の公差はボンディングパッド１１１の高さ公差を誘発する。スクリーンプリンティング方法などによりバンプ１１３を形成する場合、プリントされるソルダの量が不足すると、バンプ１１３がチップと電気的に接続しないという問題が発生し得る。また、ソルダレジスト層１１２を形成し、これに開口部を形成する工程は、高精度を要する工程であって、複雑なだけでなく、費用が増加する要因となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述した従来技術の問題点に鑑み、本発明は、ボンディングパッドを絶縁層に埋め込むことにより、実装基板の製造工程を単純化し、生産費用を節減して、実装工程の信頼度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態によれば、一面にチップが実装される基板であって、絶縁層と、チップが実装される位置に対応して絶縁層の一面に埋め込まれるボンディングパッドと、ボンディングパッドに電気的に接続する回路パターンと、を含む実装基板が提供される。
【０００７】
ボンディングパッドの表面は、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されてもよい。
【０００８】
ボンディングパッドは、絶縁層の一面に埋め込まれたランドを含んでもよく、ランドの表面も前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されてもよい。
【０００９】
ボンディングパッドは、絶縁層の他面に形成された回路パターンと電気的に接続し、前期ランドに対応した位置に、絶縁層に埋め込まれたビアをさらに含むことができる。ビアの表面は前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されてもよい。
【００１０】
一方、ボンディングパッドがランド及びビアを含む場合、ランド及びビアの表面は、絶縁層の表面から所定深さ陥入されてもよく、この場合、ビアの表面がランドの表面に比べ前記絶縁層の表面から所定深ささらに陥入されてもよい。
【００１１】
本発明の他の実施形態によれば、一面に回路パターンが形成された絶縁層を提供するステップと、絶縁層の他面に前記回路パターンと電気的に接続するボンディングパッドを形成するステップと、ボンディングパッドの表面が前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されるように前記ボンディングパッドをエッチングするステップと、を含む実装基板の製造方法が提供される。
【００１２】
ボンディングパッドを形成するステップは、他面にランドを埋め込むステップを含むことができる。また、ランドが埋め込まれる位置に対応して、回路パターンに電気的に接続するビアを形成してもよい。また、ランド及びビアをエッチングしてボンディングパッドの表面が絶縁層の表面から陥入されるようにする。
【００１３】
このように、表面が絶縁層の表面から陥入された形態にボンディングパッドを形成することにより、ソルダレジスト層を積層する工程は省略できる。従って、工程が単純化し、実装基板の製造費用が節減できる。また、チップが実装される実装基板の一面を、突出部を含まない平らな形態で維持して、アンダーフィル（underfill）内にボイドが発生することを最小化することができる。こうすると、実装工程の信頼度を確保でき、実装成功率が改善される。
【００１４】
バンプとは、実装基板とチップとの間に介在され電気的な接続を提供する部分であって、ソルダボールの形態に限定されるものではない。
【００１５】
ボンディングパッドとは、実装基板において、チップとの電気的な接続を提供するバンプ及びワイヤーなどとボンディングする部分を通称する意味であって、必ずしも一つの独立した構造または物質からなるものに限定されない。以下、ボンディングパッドはバンプ及びワイヤーなどと電気的に接続するランド及びビアを含む意味で使用できる。また、ボンディングパッドは、ランド及びビアの表面に形成された腐食防止膜を含む意味で解釈され得る。
【００１６】
前述した以外の他の実施形態、特徴、利点が以下の図面、本発明の特許請求の範囲、及び発明の詳細な説明から明確になるだろう。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の好ましい実施例によれば、絶縁層に埋め込まれたボンディングパッドを形成して、工程を単純化することができる。また、ボンディングパッドの表面が絶縁層の表面から陥入されるようにすることで、ソルダレジスト層を積層する工程が省略できるため、実装基板の製造費用が節減できる。一方、チップが実装される実装基板の一面を、突出部を含まない平らな形態に維持して、アンダーフィル内にボイドが発生することを最小化することができる。これにより、実装工程の信頼度が確保でき、実装成功率が改善される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る実装基板及びその製造方法の好ましい実施例を添付図面を参照して詳細に説明し、添付図面を参照して説明するに当たって、同一構成要素及び対応構成要素には、同一の図面符号を付し、これに対する重複説明は省略する。
【００１９】
図２は、本発明の第１実施例に係る実装基板の断面図である。図２を参照すると、絶縁層２００、回路パターン２０１、ランド２１０、ビア２２０、ボンディングパッド２３０、及びバンプ２４０が示されている。
【００２０】
絶縁層２００は、実装基板において、チップが実装される一面に形成された絶縁層である。実装基板が複数層から形成された場合、絶縁層２００はチップが実装される方向の外郭層を形成する。この場合、絶縁層２００は、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂などを塗布する方法を用いて形成できる。追加的なソルダレジスト層が省略される場合、絶縁層２００が実装基板の最外郭層になれる。
【００２１】
回路パターン２０１は、絶縁層２００の一面に位置する。実装基板が複数層から形成された場合、回路パターン２０１の下方にはまた他の絶縁層が位置する。実装基板はコア基板を用いるビルドアップ工法で製作できるため、回路パターン２０１が他の絶縁層などに形成されたまま絶縁層２００が形成されることもできる。
【００２２】
ランド２１０は、絶縁層２００の他面に埋め込まれ、例えば、銅のような金属からなってもよい。ランド２１０は、環状（annular）に形成されてもよい。ランド２１０はビア２２０と電気的に接続され、ボンディングパッド２３０とバンプ２４０との接触面積を広げる。ランド２１０の形成方法は図５及び図６の詳細な説明から明らかになる。
【００２３】
ビア２２０は、絶縁層２００の他面に、ランドの対応する位置に形成される。ビアは、絶縁層を貫挿して絶縁層の一面に形成された回路パターン２０１とランド２１０との間に電気的接続を提供する。ビアは、例えば、銅のような金属からなり、ビア２２０の形成方法は、図５及び図６の詳細な説明を通して明らかになる。
【００２４】
ボンディングパッド２３０は、ランド２１０とビア２２０とを含む。本実施例において、ランド２１０とビア２２０との表面は絶縁層２００の表面と実質的に同じ高さを有する。図１では、ボンディングパッド１１１がソルダレジスト層１１２に囲まれているが、本実施例の絶縁層２００は、互いに隣り合うボンディングパッド２３０間を区切る役割をする。
【００２５】
図２の（ｂ）では、ボンディングパッド２３０の上方にバンプ２４０が形成されている。ランド２１０とビア２２０との表面がバンプ２４０と結合する。バンプ２４０は、スクリーン印刷方法で形成できる。本実施例でのボンディングパッドは、バンプを通してチップと電気的に接続するが、ワイヤーボンディングでチップに電気的に接続することも可能である。
【００２６】
一方、実装基板は一つの絶縁層からなることができる。この場合、絶縁層２００の一面に形成された回路パターン２０１は、メインボードとの電気的接続を提供する、ソルダボールが連結される入出力端子を構成してもよい。
【００２７】
図３は、本発明の第２実施例に係る実装基板の断面図である。図３を参照すると、絶縁層２００、回路パターン２０１、ランド３１０、及びビア３２０が示されている。同じ図面符号の構成要素については他の図面の詳細な説明を参照すればよい。
【００２８】
本実施例では、ビア３２０の表面が、絶縁層の表面に比べ所定深さ陥入されることにより、バンプ及びワイヤーなどが安定してボンディングパッドに結合できるようにすることにその特徴がある。
【００２９】
ビア３２０は、図２に示されているビア２２０と同じ位置に同じ物質を用いて形成することができる。ビア３２０の表面の陥入深さは、ランド３１０と電気的接続を維持できる範囲であればよい。
【００３０】
図１のソルダレジスト層１１２により提供されるボンディングパッド１１１周りの高さ差が、 本実施例においては、ランド３１０により提供されるので、ソルダレジスト層１１２は省略できる。
【００３１】
ランド３１０は、図２のランド２１０に類似した形態と属性を有することができる。但し、ビア３２０の表面を絶縁層２００の表面より所定深さ陥入させるためにエッチング工程を用いる場合、ランド３１０にも影響を及ぼし得る。
【００３２】
本実施例において、ボンディングパッドはランド３１０とビア３２０とを含む。また、ボンディングパッドは、ランド３１０及びビア３２０の表面に形成される腐食防止膜をさらに含むことができる。腐食防止膜はニッケルまたは金メッキで形成され得る。
【００３３】
図４は、本発明の第３実施例に係る実装基板の断面図である。図４を参照すると、絶縁層２００、回路パターン２０１、ランド４１０、及びビア４２０が示されている。
【００３４】
本実施例は、ランド４１０及びビア４２０の表面が絶縁層の表面から所定深さ陥入されることにより、ランド４１０及びビア４２０を含むボンディングパッドと、バンプなどとの結合を安定して維持できるようにし、相隣り合う複数のボンディングパッド間をより確実に区切るということに特徴がある。
【００３５】
ランド４１０及びビア４２０は、図３に示されているランド３１０及びビア３２０をさらにエッチングすることにより形成できる。その他の形態や属性において、ランド４１０及びビア４２０は、図２及び図３で例示したランド２１０，３１０及びビア２２０，３２０と類似の形態と属性を有することができる。
【００３６】
図５は、本発明の第４実施例に係る実装基板の製造方法の工程度であり、図６は、本発明の第４実施例に係る実装基板の製造方法のフローチャートである。図５及び図６を参照すると、絶縁層２００、ランド５１０，５１１，５１２、ビアホール５２０、ビア５２１，５２２，５２３が示されている。
【００３７】
ステップＳ６１０で、図５の（ａ）に示すように、一面に回路パターンが形成されている絶縁層を提供する。上述したように、実装基板は複数層から形成されることができ、この場合、絶縁層２００はチップが実装される外郭層を形成する。
【００３８】
絶縁層２００が必ずしも回路パターン２０１より先に形成されるものではない。絶縁層２００は、実装基板の他層に形成されている回路パターン２０１をカバーするように樹脂などの絶縁物質を塗布して形成することができる。
【００３９】
ステップＳ６２０で、図５の（ｂ）のように、絶縁層の他面にランドを埋め込む。ランド５１０は、一面に金属パターンが形成されているキャリアを圧着し、後続工程でキャリアを除去する方法から形成できる。
【００４０】
キャリアは、金属、ガラス、及び樹脂からなることができる。キャリアにパターンを形成する過程でシード層を予め形成する工程を行ってもよい。図面には示されていないが、ランド５１０の表面にはこのようなシード層の一部が残存し得る。
【００４１】
ステップＳ６３０で、図５の（ｃ）及び（ｄ）のように、ランドに対応する位置にビアを形成する。
【００４２】
ビアホール５２０は、ランド５１０に対応する位置で絶縁層２００を貫挿する形態に形成される。ビアホール５２０は、レーザー加工及び／またはエッチング工程で形成できる。
【００４３】
ビア５２１は、ビアホール５２０に伝導性物質を充填して形成される。ビアホール５２０には銅などの金属を充填することができる。伝導性物質の充填にはメッキ工程を活用することができる。
【００４４】
本実施例では、ビアホール５２０が完全に充填され、後続工程でビア５２１をエッチングする。一方、ビアホール５２０の一部のみを充填してビアを形成する場合、ビアをエッチングする工程は省略でき、簡素化できる。
【００４５】
ステップＳ６４０で、図５の（ｅ）に示すように、ビアをエッチングする。このステップは、ビア５２１をエッチングしてビアの表面が絶縁層２００の表面より所定深さ陥入されるということに特徴がある。これにより、従来ソルダレジスト層により提供された段差を絶縁層２００が提供することになる。
【００４６】
ビア５２１とランド５１１が同じ物質からなった場合、同じエッチャントによりランド５１１もエッチングできる。しかし、ランド５１１の形成過程でランド５１１の表面に残されたシード層がランドのエッチングを妨げる場合には、同じ物質から構成されたランドであってもその高さが維持されることもある。
【００４７】
ステップＳ６５０で、図５の（ｆ）に示すように、ランドをエッチングする。このステップは、ランドをエッチングしてランド５１２の表面が絶縁層２００の表面より所定深さ陥入されるようにすることを特徴とする。
【００４８】
この工程に用いられるエッチャントの反応性に応じて、ビア５２３の高さは図５の（ｅ）のビア５２２に比べさらに深くなることもできる。
【００４９】
一方、ランド５１０，５１１，５１２は、ビア５２１，５２２，５２３と異なる物質からなってもよく、この場合、各々をエッチングするエッチャントもそれに対応して異なる物質が使用できる。これにより、エッチング工程の工程変数を調整してビアとランドとの段差を調節することができる。
【００５０】
一方、本実施例では、ビアをエッチングするステップＳ６４０は、ランドをエッチングするステップＳ６５０とは別途に行われたが、一つの工程にして同時に行うこともできる。この場合、ランド５１０，５１１，５１２及びビア５２１，５２２，５２３の物性に適する一つ以上のエッチャントを混合して用いることができる。
【００５１】
前述した実施例の以外の多くの実施例が本発明の特許請求の範囲内に存在する。
【００５２】
以上、本発明についてその実施例を中心に説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば、本発明が本質的特性から逸脱しない範囲で、変形し具現できることを理解できよう。したがって、開示された実施例は限定的な観点からではなく、説明的な観点から考慮されるべきである。本発明の範囲は、前述した説明ではなく、特許請求の範囲に示されており、それと同等な範囲内にある全ての差は本発明に含まれるものとして解釈しなくてはならない。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】従来技術に係るＦＣＢＧＡ構造の断面図及びその部分の拡大図である。
【図２】本発明の第１実施例に係る実装基板の断面図である。
【図３】本発明の第２実施例に係る実装基板の断面図である。
【図４】本発明の第３実施例に係る実装基板の断面図である。
【図５】本発明の第４実施例に係る実装基板製造方法の工程図である。
【図６】本発明の第４実施例に係る実装基板製造方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【００５４】
１００：チップ
１１０：絶縁基板
１１１：ボンディングパッド
１１２：ソルダレジスト層
１１３、２４０：バンプ
１３０：アンダーフィル
１４０：ソルダボール
２００：絶縁層
２１０、３１０、４１０、５１０：ランド
２２０、３２０、４２０、５２１：ビア
２３０：ボンディングパッド
５２０：ビアホール
【図１】
2009004772.tif 000003
【図２】
2009004772.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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