(57)【要約】【課題】エッチング帯状体に生じた不良個所を的確に検知し、不具合を生産工程に的確にフィードバックすることができるエッチング帯状体の検査方法を提供する。【解決手段】エッチング帯状体１０の幅方向に複数に分割した検査対象領域を設定し、前記エッチング帯状体１０の幅方向の一つの検査対象領域について、複数の露光単位にわたり、エッチング帯状体の画像を取得し、次いで、エッチング帯状体の幅方向の他の検査対象領域に移行し、当該検査対象領域について、複数の露光単位にわたり前記エッチング帯状体の画像を取得する操作を繰り返して、エッチング帯状体の幅方向については全幅について、エッチング帯状体の長手方向には間欠範囲にわたりエッチング帯状体の画像を取得する工程と、前記画像の取得工程により取得された画像から、露光単位ごとに同一個所に表れる不良個所と、露光単位に関わりなく表れる不良個所とを分別して解析する工程とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属帯状体の表面に露光単位ごとに繰り返しパターンとなるエッチング用パターンを形成し、このエッチング用パターンをマスクとして金属帯状体をエッチングして形成したエッチング帯状体の検査方法であって、
エッチング帯状体の幅方向に複数に分割した検査対象領域を設定し、
前記エッチング帯状体の幅方向の一つの検査対象領域について、複数の露光単位にわたり、エッチング帯状体の画像を取得し、
次いで、エッチング帯状体の幅方向の他の検査対象領域に移行し、当該検査対象領域について、複数の露光単位にわたり前記エッチング帯状体の画像を取得する操作を繰り返して、
エッチング帯状体の幅方向については全幅にわたり、エッチング帯状体の長手方向には間欠的にエッチング帯状体の画像を取得する工程と、
前記画像の取得工程により取得された画像から、露光単位ごとに同一個所に表れる不良個所と、露光単位に関わりなく表れる不良個所とを分別して解析する工程とを備えていることを特徴とするエッチング帯状体の検査方法。
【請求項２】
前記画像の取得工程においては、前回の検査対象領域についてエッチング帯状体の表面の画像を取得した後、次回の検査対象領域を、前回の検査対象領域の後端位置に当該検査対象領域の前端位置を一致させることにより、エッチング帯状体の全長にわたり画像を取得することを特徴とする請求項１記載のエッチング帯状体の検査方法。
【請求項３】
前記画像の取得工程においては、前記検査対象領域についてエッチング帯状体を一方向に間欠的に搬送するとともに、エッチング帯状体の搬送方向とは交差する方向に往復動する移動機構を備えた検査カメラを用いてエッチング帯状体の画像を取得することを特徴とする請求項２記載のエッチング帯状体の検査方法。
【請求項４】
前記画像の取得工程においては、前回の検査対象領域についてエッチング帯状体の表面の画像を取得した後、次回の検査対象領域を、前回の検査対象領域の前端位置に当該検査対象領域の開始位置を一致させ、エッチング帯状体の全幅について画像を取得した後、
エッチング帯状体の長手方向に所定距離離間した位置から次回の画像を取得する操作を行って、エッチング帯状体の全長にわたり画像を取得することを特徴とする請求項１記載のエッチング帯状体の検査方法。
【請求項５】
前記画像の取得工程においては、エッチング帯状体の上面側と下面側に、それぞれエッチング帯状体の表面の画像を取得する検査カメラを配置し、エッチング帯状体の上面と下面の画像を取得することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載のエッチング帯状体の検査方法。
【請求項６】
前記画像の取得工程においては、エッチング帯状体の上面側と下面側の一方に、エッチング帯状体に形成されているパターンを検知する形状検査カメラを配置し、エッチング帯状体に形成されているパターンの画像を取得することを特徴とする請求項k１〜５のいずれか一項記載のエッチング帯状体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチングリードフレームのような、長尺な金属帯状体をエッチングして形成したエッチング帯状体の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エッチング方法を利用してリードフレームを製造する方法には、シート状に形成された金属板をエッチングして形成する方法と、長尺な金属帯状体をエッチングして製造する方法がある。
長尺な金属帯状体を使用してリードフレームを形成する場合は、金属帯状体の両面をレジストによって被覆した後、両面のレジストを所定パターンに露光および現像してレジストパターンを形成し、レジストパターンをマスクとして金属帯状体をエッチングしてリードフレームを形成する。レジストパターンは、露光操作ごとに金属帯状体を間欠的に搬送しながら順次、露光して形成する。
【０００３】
金属帯状体を使用してリードフレームを形成する工程では、金属帯状体をエッチングしてリードフレームを形成した後、リードフレームが所定のパターンに形成されているか否かを検査する。この検査は、リードフレームの最終製品段階の検査ではなく、レジストパターンが所定形状で形成されているか否か、エッチングが所定の精度でなされているか否かを判定することを主な目的としている。
【０００４】
図４は、金属帯状体をエッチングした後の検査として従来行っている方法を示す。従来は、エッチングリードフレームの全長のうち、エッチングリードフレームの前端側と後端側の数露光ショット分（図のＡ部分）をリードフレームから切り離し、この切り離した部分を検査装置にかけて検査している。この検査は、顕微鏡を用いて、目視により、ピンホールやリードの曲がりといった不良がないかどうかを検査するものである。そして、検査結果を生産工程にフィードバックし、製造上の不具合を解消するようにしている。
【特許文献１】特開平２−１５８１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の検査方法で、エッチングリードフレームの前端側と後端側から検査用に数露光ショット分を切り離して検査しているのは、この検査工程後に、エッチングリードフレームにめっきを施したり、エッチングリードフレームから個片のリードフレームに切り離す工程があり、これらの工程では、長尺体のまま処理するからである。
【０００６】
しかしながら、金属帯状体の前端側あるいは後端側のいくつかの露光単位について検査したとしても、この検査領域はエッチングリードフレーム全体の数％に相当するに過ぎず、この検査対象領域の検査から検査対象であるエッチングリードフレームにどのような不具合が生じているかを的確に判断することは困難である。したがって、生産工程に不具合をフィードバックするといっても、的確に不具合が反映されているか否か不明である。
【０００７】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、長尺な金属帯状体を用いて製造するエッチングリードフレームのようなエッチング帯状体について、効率的かつ的確に不良個所を検知することができ、製造上の不具合を的確に生産工程にフィードバックすることができ、製造工程の信頼性を向上させ製品の品質を向上させることができるエッチング帯状体の検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は次の構成を備える。
すなわち、金属帯状体の表面に露光単位ごとに繰り返しパターンとなるエッチング用パターンを形成し、このエッチング用パターンをマスクとして金属帯状体をエッチングして形成したエッチング帯状体の検査方法であって、エッチング帯状体の幅方向に複数に分割した検査対象領域を設定し、前記エッチング帯状体の幅方向の一つの検査対象領域について、複数の露光単位にわたり、エッチング帯状体の画像を取得し、次いで、エッチング帯状体の幅方向の他の検査対象領域に移行し、当該検査対象領域について、複数の露光単位にわたり前記エッチング帯状体の画像を取得する操作を繰り返して、エッチング帯状体の幅方向については全幅にわたり、エッチング帯状体の長手方向には間欠的にエッチング帯状体の画像を取得する工程と、前記画像の取得工程により取得された画像から、露光単位ごとに同一個所に表れる不良個所と、露光単位に関わりなく表れる不良個所とを分別して解析する工程とを備えていることを特徴とする。
【０００９】
また、前記画像の取得工程においては、前回の検査対象領域についてエッチング帯状体の表面の画像を取得した後、次回の検査対象領域を、前回の検査対象領域の後端位置に当該検査対象領域の前端位置を一致させることにより、エッチング帯状体の全長にわたり画像を取得することを特徴とする。この方法では、検査対象領域がエッチング帯状体の長手方向に連続する配置となるから、エッチング帯状体を一方向に搬送しながら、効率的に検査することができる。
また、前記画像の取得工程においては、前記検査対象領域についてエッチング帯状体を一方向に間欠的に搬送するとともに、エッチング帯状体の搬送方向とは交差する方向に往復動する移動機構を備えた検査カメラを用いてエッチング帯状体の画像を取得することを特徴とする。
【００１０】
また、前記画像の取得工程においては、前回の検査対象領域についてエッチング帯状体の表面の画像を取得した後、次回の検査対象領域を、前回の検査対象領域の前端位置に当該検査対象領域の開始位置を一致させ、エッチング帯状体の全幅について画像を取得した後、エッチング帯状体の長手方向に所定距離離間した位置から次回の画像を取得する操作を行って、エッチング帯状体の全長にわたり画像を取得することを特徴とする。この方法の場合は、検査対象領域が露光単位の全域となるから、一つの露光単位全体についての不良個所を検知することが可能となる。
【００１１】
また、前記画像の取得工程においては、エッチング帯状体の上面側と下面側に、それぞれエッチング帯状体の表面の画像を取得する検査カメラを配置し、エッチング帯状体の上面と下面の画像を取得して検査する方法、エッチング帯状体の上面側と下面側の一方に、エッチング帯状体に形成されているパターンを検知する形状検査カメラを配置し、エッチング帯状体に形成されているパターンの画像を取得して検査する方法によることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るエッチング帯状体の検査方法によれば、エッチング帯状体の幅方向に複数に分割した検査対象領域を設定し、エッチング帯状体に設定された検査対象領域を選択的に検査することにより、エッチング帯状体の全域について検査する方法と比較して効率的でかつ的確な検査が可能となる。また、検査対象領域を選択して検査することで、不良個所を検知する画像解析の負荷を軽減して効率的な検査が可能となる。また、一つの検査対象領域については複数の露光単位にわたって検査することにより、露光単位ごとに繰り返し表れる不良個所と露光単位とは関わりなく表れる不良個所を検知することができ、生産工程に不具合を的確にフィードバックし、また当該エッチング帯状体での不良率を把握することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係るエッチング帯状体の検査方法の適用例として、エッチングリードフレームの検査に適用する例について説明する。
図１は、エッチングリードフレームの検査に使用する検査装置の主要部の構成を示す。この検査装置は、リードパターンが形成された長尺体のワーク（エッチングリードフレーム）を、巻出機から順次巻き出し、一方向に搬送しながら全長にわたって検査するように構成されている。
この検査装置にかけられるエッチングリードフレームは、金属帯状体の両面にレジストパターンを形成し、レジストパターンをマスクとして金属帯状体をエッチングした後、レジストパターンを除去したものである。
【００１４】
ワーク１０を巻き出し、巻き取りする巻出機および巻取機にはそれぞれ回転駆動機構が設けられ、これらの回転駆動機構を制御する制御部が設けられている。また、ワーク１０を水平に搬送するためのガイドローラ等の支持機構が設けられている。これらの駆動機構および支持機構からなるワーク１０の搬送機構は、長尺体の搬送に用いられる一般的な機構である。
【００１５】
ワーク１０の不良を検査する検査機構として、本実施形態においては、長尺体のワーク１０が水平に搬送される搬送位置の上方と下方に、それぞれ第１の検査カメラ２０と第２の検査カメラ２２とを配置し、ワーク１０の搬送位置の下方に形状検査カメラ２４を配している。
第１の検査カメラ２０と第２の検査カメラ２２は、ワーク１０に形成されたピンホールなどの不良を検知するためのもので、第１の検査カメラ２０はワーク１０の上面について、第２の検査カメラ２２はワーク１０の下面について不良を検査する。
【００１６】
第１の検査カメラ２０と第２の検査カメラ２２には、検査カメラをワーク１０の幅方向（Ｘ方向）もしくはＸ−Ｙ方向にそれぞれ移動させる移動機構２０ａ、２２ａが設けられている。これらの移動機構２０ａ、２２ａは、検査カメラをワーク１０の搬送面に平行に移動させるガイド機構と、電動モータあるいはエアシリンダ等の検査カメラを移動させる駆動部と、検査カメラの移動位置を制御する制御部とを備える。
【００１７】
第１、第２の検査カメラ２０、２２の移動機構２０ａ、２２ａは制御部２６により制御され、第１の検査カメラ２０と第２の検査カメラ２２の移動位置、移動タイミング等が制御される。
また、制御部２６は、第１の検査カメラ２０と第２の検査カメラ２２による撮像タイミングを制御するとともに、第１の検査カメラ２０と第２の検査カメラ２２によって得られた画像を解析して、ピンホール等の不要個所が存在するか否か、生産工程にフィードバックすべき不良か否かといった画像解析を行う。
【００１８】
図１に示すように、本実施形態では、第１の検査カメラ２０と第２の検査カメラ２２による視認範囲をワーク１０の幅方向の１／３程度の範囲としている。すなわち、第１の検査カメラ２０あるいは第２の検査カメラ２２によってワーク１０を全幅にわたって視認するには、第１の検査カメラ２０と第２の検査カメラ２２を幅方向に３段階に移動させる必要がある。これは、検査カメラの精度と画像解析の効率、および検査精度を考慮して設定したものである。
【００１９】
形状検査カメラ２４はエッチングリードフレームに形成されているリードパターンが所定のパターンに形成されているか否かを検査するためのものである。リードは金属帯状体を抜いて形成される。したがって、形状検査カメラ２４では、ワーク１０の上方から照明しワーク１０の下方から受光してリード形状を視認するように配置される。
形状検査カメラ２４には、ワーク１０の幅方向（搬送方向に直角に交差する方向）に形状検査カメラ２４を移動する移動機構２４ａが配されている。移動機構２４ａは制御部２６によって制御され、形状検査カメラ２４によって撮像されたリードの形状は制御部２６によって画像解析され、リード形状に異常があるか否かが判定される。
【００２０】
エッチングリードフレームのリード形状の不良は、金属帯状体の表面にレジストパターンを形成する際に、マスクに汚れがあったりしてレジストパターンが所定のパターンに形成されていないような場合、あるいは、エッチング工程でのエッチング液の液回りが不十分で的確に金属帯状体がエッチングされない等によって生じると考えられる。
【００２１】
図２は、ワーク（エッチングリードフレーム）１０に生じる不良個所を、第１の検査カメラ２０、第２の検査カメラ２２および形状検査カメラ２４によって取得された画像から解析して得られた不良個所の例である。
同図で、Ａ部分が、金属帯状体の表面にレジストパターンを形成する際に一回で露光する範囲である。エッチングリードフレームでは、一つの短冊状のリードフレーム(単位リードフレーム）が金属帯状体の幅方向に複数個配置される。図２では、説明を簡単化するために金属帯状体の幅方向に３個の単位リードフレームを配置した例を示したが、実際のエッチングリードフレームでは、単位リードフレームの大きさによって、金属帯状体の幅方向に１０個あるいは１２個といったように単位リードフレームが配置される。
【００２２】
図２において、P1〜P4、Q1〜Q3が不良発生個所である。これらの不良発生個所のうち、露光単位ごとに繰り返して同じ位置（同じアドレス）で不良が発生しているものと、露光単位とは関係なく不良発生個所がばらついて発生しているものがある。
不良発生個所P1とP2、P3とP4は露光単位で同じ位置で不良が発生している。これに対して、不良発生個所Q１〜Q3は、露光単位で同じ位置に不良が発生しているのではなく、不良発生個所がばらついている。
【００２３】
露光単位ごとに同じ位置に不良が発生する理由としては、金属帯状体に形成するレジストパターンのパターン形成に問題があるといった理由、たとえば、パターン形成用のマスクに汚れが付着していて、所定のパターンに露光できていないといった原因、あるいはレジストを現像する際に、特定の部位でレジストの抜けが悪いといった原因が考えられる。したがって、このような問題は、生産工程にフィードバックして改善する必要がある。
【００２４】
一方、露光単位とは関係なく不良個所が発生している部位については、レジストパターンにピンホールが生じてエッチングされてしまった、レジストと金属帯状体との密着性が悪く、エッチングされてはならない箇所がエッチングされてしまった、エッチング液の液回りが悪く、所要のエッチングがなされなかったといった問題が考えられる。このような問題は、レジストパターンを形成する方法あるいは装置のセッティングといった問題も考えられるが、ある程度不可避的な問題である。したがって、このようなばらついて発生する不良については、そのロットの不良個所を検知し、その検知データとともに後工程に移すようにするのがよい。
【００２５】
第１の検査カメラ２０、第２の検査カメラ２２および形状検査カメラ２４を用いて検査した結果は、ワーク１０のどの位置に不良が生じたかを不良発生位置（アドレス）とともにデータを記憶することができるから、後工程では、その検査データに基づいて処理することができる。
たとえば、上記検査装置を用いて、特定のロットについての不良発生率をあらかじめ検知しておけば、後工程で製品検査する場合でも効率的な検査が可能である。不良率が低いと判定されたロットについては、後工程の製品検査の段階で、比較的緩やかな検査として通すことができるし、不良率が高いと判定されたロットについては、後工程の製品検査の段階でより厳しく検査することで不良品の発生を抑えることができる。すなわち、後工程での検査方法に軽重を加えることで、品質を低下させることなく、検査作業を効率化することが可能である。
【００２６】
また、ワーク１０の不良が発生した特定位置（アドレス）の製品については、不良品として後工程の検査工程から排除し検査しないで済ますこともできる。また、不良発生個所については、より厳重に製品検査をするといった扱いにすることできる。
いずれの場合も、金属帯状体をエッチングしてエッチングリードフレームとした段階で検査して検知された不良個所をもとに、レジストパターンを形成する露光装置や生産装置を改善、修正するようにフィードバックすることによって、問題が後工程に影響しないように改善して不良品の発生を未然に防止することができ、また、あらかじめ検査した結果から、後工程における製品検査の負荷を低減させることが可能となる。
【００２７】
（検査方法）
図３は、図１に示した検査装置を用いてワーク（エッチングリードフレーム）１０を検査する検査方法を示す。
図３において、斜線部分が検査対象領域Ｓ、空白部分が非検査対象領域Ｔを示す。
図１に示したように、本実施形態の検査装置では、第１、第２の検査カメラ２０、２２および形状検査カメラ２４は、ワーク１０の幅方向の略１／３の領域を視認するように構成されている。この場合は、ワーク１０を検査する検査対象領域Ｓをワーク１０の幅方向に３分割し、１／３ずつに分割して領域ごとに検査する。このようにワーク１０の幅方向に複数の検査対象領域を分割して設定した場合には、検査対象領域をどのように選択して検査するか工夫する必要がある。
【００２８】
図３（ａ）は、ワーク１０を検査する検査対象領域をワーク１０の長手方向に３等分、幅方向に３分割して設定し、長手方向の各分割領域では幅方向に３分割した一つの領域ごとにワークの画像を取得して検査するように構成した例である。
各々の検査対象領域Ｓでは、複数の露光単位を含んでいるから、露光単位ごとに繰り返して表れる不良発生個所を検知することができる。また、検査対象領域Ｓを幅方向に移動させてワーク１０の全幅について検査することにより、ワーク１０の全幅領域について不良発生個所を検知することができる。
【００２９】
なお、この図３（ａ）に示す方法は、ワーク１０の全長にわたって検査する際に、第１、第２の検査カメラ２０、２２と形状検査カメラ２４は幅方向に３回移動させるのみであり、カメラの移動操作に要する時間が短時間で、効率的な検査ができるという利点がある。一方、一つの検査対象領域Ｓが長範囲にわたるため、たとえば、ワーク１０の前部側の非検査対象領域Ｔで生じていた不良がワーク１０の後部側の検査対象領域Ｓではあらわれないといったように、不良発生個所の検査漏れを生じさせるといったおそれがある。
なお、この図３（ａ）による検査方法では、ワーク１０の検査対象領域の抜き取り率３３％で検査したことになる。
【００３０】
図３（ｂ）に示す検査方法は、ワークの検査対象領域Ｓの１回の長さ（スパン）を、図３（ａ）の場合にくらべて短くし、前回の検査対象領域Ｓの検査が済んだら、幅方向にカメラを移動させ、前回の検査対象領域Ｓの後端位置に次回の検査対象領域Ｓの前端位置を一致させて検査する。ワーク１０の幅方向に３段階に検査することで、露光単位の全幅分について検査することになる。
本方法では、前回の検査対象領域Ｓに続けて、次回の検査対象領域Ｓを設定して検査するから、ワーク１０の長手方向には検査対象領域Ｓがシリーズ的に連続して配置されているようになる。
【００３１】
図３（ｂ）に示す検査方法の場合は、一回の検査対象領域Ｓの長さ（スパン）を短くしたことによって、ワーク１０の全長にわたり、むらなく不良個所を検知することができる。ただし、この方法の場合は、検査対象領域Ｓを幅方向に変えるごとに、ワーク１０の搬送をいったん停止させ、カメラを幅方向に移動させる操作を行う必要がある、したがって、ワーク１０を何度も停止させて検査することになるから、図３（ａ）に示す方法とくらべると検査時間が長くなる。なお、一回の検査対象領域Ｓの長さは適宜設定可能であるが、少なくとも２つ以上の露光単位が含まれるように設定して、露光単位ごとに繰り返してあらわれる不良個所が検知されるようにする必要がある。
なお、図３（ｂ）に示す方法の場合も、ワーク１０に対する検査対象領域の抜き取り率は３３％である。
【００３２】
図３（ｃ）に示す検査方法は、同一の露光単位についてワーク１０の全幅にわたって検査できるように設定する例である。上述した検査方法は、露光単位の全幅について検査はしているが、同一の露光単位について全幅にわたって検査しているものではない。
本検査方法では、検査対象領域Ｓがワーク１０の幅方向を横切るように設定することによって同一露光単位での全幅での検査を可能とする。このように検査対象領域Ｓを設定するには、一つの検査対象領域Ｓについて検査を終了したところで、カメラを前回の検査対象領域Ｓの先頭（前端）の位置に戻して、次の検査対象領域Ｓについて検査するようにする。
【００３３】
この検査方法では、ワーク１０の長手方向の第１番目の区画についてワーク１０の検査が終了したら、ワーク１０を所定長さ分だけ空送り（非検査対象領域Ｔ）し、第２番目の区画について検査する。
ワーク１０に設定する検査対象領域Ｓの長さと、ワーク１０の非検査対象領域Ｔ（空送りの長さ）の範囲を設定する方法を適宜選択することによって、ワーク１０の検査対象領域の抜き取り率を変えることができる。
本検査方法では同一の露光単位の全幅について検査できるから、一回の露光操作（露光ショット）において生じている不良をまとめて検知することが可能である。
【００３４】
以上説明したように、ワーク１０について検査対象領域Ｓを幅方向に分割して設定し、検査対象領域Ｓを適宜選択して検査する方法は、ワーク１０の全長にわたりワーク１０の全幅について検査する方法と比較して、効率的に、かつ画像処理に対する負荷を軽減して検査することができる。本発明方法では、ワーク１０の全領域を検査対象領域とはしないが、ワーク１０に生じている不良個所を効率的にかつ的確に検知する方法として有効に利用できる。
【００３５】
エッチングリードフレームをエッチング後に検査して、形成されたパターンの状態や、リードフレームにピンホールが生じているか否かといった不良を検知する目的は、レジストパターンが正確に形成されているか否か、エッチングが所定精度でなされているか否かといったことを主として検査し、生産工程をチェックして不具合があった場合には不具合をフィードバックして解消することにある。したがって、ワーク１０の全域について完全に検査する必要はなく、一定の確実さで不具合が検知できるようにすればよい。その場合に、検査のために長時間を要することも望ましくない。このような目的には、本発明のエッチング帯状体の検査方法はきわめて有用である。
また、生産工程にフィードバックする不具合の他に、ワーク１０に生じている不良個所の発生率をあらかじめ検知しておくことで、後工程での製品検査に有用なデータを供給することができ、製品の品質を向上させることに役立てることができる。
【００３６】
なお、上記実施形態では、ワーク１０を幅方向に３分割した検査対象領域を設定した例を示したが、ワーク１０の幅方向に２分割あるいは４分割、５分割等に分割して検査対象領域を設定することももちろん可能である。これらの場合も、検査対象領域を幅方向に全幅分移動させることで、露光単位の全幅について生じる不良個所を検知することができる。また、図１に示す例では、ワーク１０の上方と下方にそれぞれ第１の検査カメラ２０と第２の検査カメラ２２を配する構成としたが、製品によってはワーク１０の片面のみにレジストパターンを形成してエッチングによりエッチングリードフレームを形成する場合がある。この場合にはワーク１０のレジストパターンが形成された一方の面側に検査カメラを配するようにすればよい。
【００３７】
また、上記実施形態ではエッチングリードフレームを例にエッチング帯状体の検査方法について説明したが、本発明は、エッチングリードフレームに限らず、接点部品のようなエッチングによって所定のパターンに形成する製品については同様に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】エッチング帯状体を検査する検査装置の構成の概要を示す説明図である。
【図２】エッチング帯状体の検査結果にあらわれる不良個所の発生例を示す説明図である。
【図３】エッチング帯状体について検査対象領域の設定例を示す説明図である。
【図４】エッチングリードフレームについて従来の検査方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  ワーク
２０  第１の検査カメラ
２２  第２の検査カメラ
２４  形状検査カメラ
２４ａ  移動機構
２６  制御部
【図１】
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【図２】
2009158723.tif 000004
【図３】
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【図４】
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