(57)【要約】【課題】スピンコート法により基板上に層が形成される際に、基板のクランプ部上に凹凸部が形成され難くするとともに、基板のクランプ部の周辺部に凸部が形成されることにより生じる放射状の線状欠陥の発生率を低減し、再生及び／又は記録時の光学特性の優れた２層以上の光情報記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】中心に貫通穴を有する基板上に複数の層が順次積層された光情報記録媒体の、前記複数の層のうちの少なくとも２つの層を、前記貫通穴に所定の半径のセンターキャップを嵌合させ、スピンコート法で形成する光情報記録媒体の製造方法であって、前記少なくとも２つの層のうちの上層の形成に用いるセンターキャップの半径は、前記少なくとも２つの層のうちの下層の形成に用いるセンターキャップの半径よりも大きいことを特徴とする。【選択図】図３３
2009151909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心に貫通穴を有する基板上に複数の層が順次積層された光情報記録媒体の、前記複数の層のうちの少なくとも２つの層を、前記貫通穴に所定の半径のセンターキャップを嵌合させ、スピンコート法で形成する光情報記録媒体の製造方法であって、
前記少なくとも２つの層のうちの上層の形成に用いるセンターキャップの半径は、前記少なくとも２つの層のうちの下層の形成に用いるセンターキャップの半径よりも大きいことを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記光情報記録媒体は、前記基板上に２つの情報層と前記２つの情報層を分離する中間層とが交互に積層され、最後にカバー層が積層された２層の光情報記録媒体であり、前記下層は前記中間層であり、前記上層は前記カバー層であることを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記光情報記録媒体は、前記基板上に複数の情報層と前記複数の情報層を分離する中間層とが交互に積層され、最後にカバー層が積層された３層以上の光情報記録媒体であり、前記下層は先に積層される前記中間層であり、前記上層は後に積層される前記中間層であることを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記光情報記録媒体は、前記基板上に複数の情報層と前記複数の情報層を分離する中間層とが交互に積層され、最後にカバー層が積層された３層以上の光情報記録媒体であり、前記下層は前記中間層であり、前記上層は前記カバー層であることを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記下層の形成に用いるセンターキャップの半径と、前記上層の形成に用いるセンターキャップの半径との差は、０．２５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記複数の層の形成に用いるセンターキャップのうちで、最も半径の小さなセンターキャップの半径は、８．５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記センターキャップの厚さは、前記センターキャップの中心から外側に行くに従って薄くなることを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記カバー層の形成が開始される半径位置は、前記中間層の形成が開始される半径位置よりも外周側であることを特徴とする請求項２記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】
後に積層される前記中間層の形成が開始される半径位置は、先に積層される前記中間層の形成が開始される半径位置よりも外周側であることを特徴とする請求項３記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
前記カバー層の形成が開始される半径位置は、最後に積層される前記中間層の形成が開始される半径位置よりも外周側であることを特徴とする請求項４記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
前記センターキャップは、前記貫通穴に嵌合される嵌合部と、前記嵌合部と同心的に設けられた、前記基板と平行でかつ前記嵌合部よりも径が大きい円環形状の平面からなる端面を有する傘状部とを有し、
前記端面は、底面視前記嵌合部と接しないように設けられ、前記嵌合部は、正面視前記端面から突起し、前記嵌合部が前記貫通穴に嵌合されると、前記端面が前記基板の上面に当接され、前記傘状部の内面と前記基板との間に空間部を形成する構造であることを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
前記端面の幅は、２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】
前記基板の上面からの前記空間部の最大高さは、０．０５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
前記基板の上面からの前記空間部の高さは、前記傘状部の中心から外側に行くに従って低くなることを特徴とする請求項１１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１５】
前記基板の上面からの前記傘状部の外面の高さは、前記傘状部の中心から外側に行くに従って低くなることを特徴とする請求項１１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１６】
前記センターキャップは、更に、前記傘状部の上部に前記傘状部と同心的に設けられた突起部と、前記突起部と前記嵌合部とを貫通する外気導入孔とを有することを特徴とする請求項１１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１７】
前記外気導入孔は前記突起部の側面に開口部を有し、前記開口部の近傍には、前記センターキャップが回転する際に前記外気導入孔へ外気を導入する外気導入部材が設けられていることを特徴とする請求項１６記載の光情報記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センターキャップを用いて、スピンコート法により基板上に層を形成する工程を有する光情報記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、基板の情報層が形成された側から光を照射することにより、情報信号の再生及び／又は記録を行うようにした高密度の光情報記録媒体が提案されている。図１は、基板の情報層が形成された側から光を照射することにより情報信号の再生及び／又は記録を行うようにした２層構造の光情報記録媒体の構成を例示する断面図である。図１において、１０は光情報記録媒体、１１は基板、１２は反射層及び／又は記録層、１３は中間層、１４は第２反射層及び／又は第２記録層、１５はカバー層、１６はレーザ光、１７は対物レンズを示している。
【０００３】
図１に示す光情報記録媒体１０において、基板１１は、厚さが約１．１ｍｍで、例えば、ポリカーボネート等を射出成形することにより作製され、一方の面に公知のピット及び／又は案内溝が設けられた構造を有する。反射層及び／又は記録層１２、中間層１３、第２反射層及び／又は第２記録層１４、カバー層１５は、基板１１のピット及び／又は案内溝上に順次積層されている。
【０００４】
反射層及び／又は記録層１２と第２反射層及び／又は第２記録層１４とはアルミ合金等からなる情報層である。第２反射層及び／又は第２記録層１４は、レーザ光１６から見て奥側の反射層及び／又は記録層１２への再生及び／又は記録を可能とするために、光を半透過するような層構成となっている。反射層及び／又は記録層１２の厚さは、例えば、２０ｎｍであり、第２反射層及び／又は第２記録層１４の厚さは、例えば、８ｎｍである。
【０００５】
中間層１３は、反射層及び／又は記録層１２と第２反射層及び／又は第２記録層１４とを分離する層であり、中間層１３の表面には、紫外線硬化樹脂等を用いた２Ｐ転写法等により、基板と同様にピット及び／又は案内溝が形成され、その厚さは、例えば、２５μｍである。
【０００６】
カバー層１５は、光透過性の紫外線硬化樹脂等から形成され、その厚さは、例えば、７５μｍである。光源（図示せず）から出射されたレーザ光１６は、対物レンズ１７により集光され、カバー層１５を通して、反射層及び／又は記録層１２、又は、第２反射層及び／又は第２記録層１４に照射される。以下、反射層及び／又は記録層を、必要に応じて情報層と呼ぶ。
【０００７】
図２は、光情報記録媒体を構成する基板の外観を例示する模式図である。同図中、図１と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。１１ａはセンターホール、１１ｂはクランプ部を示している。図１に示すような光情報記録媒体１０を構成する基板１１は、一般的に、図２に示すような、中心に貫通穴であるセンターホール１１ａを有する円形形状からなる。クランプ部１１ｂはセンターホール１１ａ周辺部の所定の領域に設けられ、基板１１が光情報記録媒体１０として完成され、情報記録再生装置（図示せず）に装着される際にクランプされる。
【０００８】
図１に示すような、高密度の光情報記録媒体では、基板１１上に均一な膜厚のカバー層１５を形成することが必要である。そこで、スピンコート法により、紫外線硬化樹脂（レジン）を基板１１上に均一に塗布し、硬化させることで、均一な膜厚を有するカバー層１５を基板１１上に形成する方法が提案されている。
【０００９】
以下、図３から図１５を参照しながら、２層構造の光情報記録媒体１０におけるスピンコート法による中間層１３及びカバー層１５の形成方法について説明する。図３は、スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられる従来のセンターキャップ２５を例示する図である。図３（ａ）は断面図、図３（ｂ）は正面図、図３（ｃ）は底面図である。図３に示すセンターキャップ２５は、基板１１のセンターホール１１ａに嵌合される嵌合部２５ｃと、嵌合部２５ｃと同心的に設けられ、嵌合部２５ｃが基板１１のセンターホール１１ａに嵌合された際に、基板１１と平行となり、かつ、嵌合部２５ｃよりも径が大きい円環形状の平面からなる端面２５ｅを有する傘状部２５ｂと、傘状部２５ｂの上部に傘状部２５ｂと同心的に設けられた円柱状の突起部２５ａとを有する。
【００１０】
又、基板１１と当接する部分である端面２５ｅは全面が平坦な円環形状の平面部になっている。なお、センターキャップ２５の端面２５ｅが基板１１と当接する場合に、ごくわずかの隙間を生ずるが、そのような場合も含めて当接と表現する。なお、図３において、Ｒ１はセンターキャップ２５の半径を示している。
【００１１】
図４から図１５は、２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図である。図４から図１５において、図１乃至図３と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。始めに、図４に示すように、アルミ合金等を反射層及び／又は記録層１２としてスパッタした基板１１のセンターホール１１ａを基板位置決め部２２に嵌め合わせるようにして、回転可能な載置台である回転テーブル２１上に載置する。そして、図３に示すセンターキャップ２５の嵌合部２５ｃを基板１１のセンターホール１１ａに嵌め合わせる。
【００１２】
次いで、図５に示すように、基板１１の中心部に、紫外線硬化樹脂３３を塗布した後、回転テーブル２１を回転させる。これにより、図６に示すように、基板１１上に均一膜厚の紫外線硬化樹脂３３からなる中間層１３が形成される。次いで、図７に示すように、センターキャップ２５を上方向に移動する。そして、図８に示すように、中間層１３に、下面３４ｂに所定のピット及び／又は案内溝が形成されている透明なスタンパ３４を載せる。更に、図９に示すように、所定のピット及び／又は案内溝を転写しながら、スタンパ３４の上面３４ａの上方から紫外線３５を照射する。その後、図１０に示すように、スタンパ３４を上方向に移動することにより、所定のピット及び／又は案内溝のある中間層１３が形成される。
【００１３】
更に、中間層１３上にアルミ合金等をスパッタして第２反射層及び／又は第２記録層１４を形成した後、図１１に示すように、再度、基板１１のセンターホール１１ａを基板位置決め部２２に嵌め合わせるようにして、回転テーブル２１上に載置し、センターキャップ２５の嵌合部２５ｃを基板１１のセンターホール１１ａに嵌め合わせる。次いで、図１２に示すように、基板１１の中心部に、紫外線硬化樹脂３３を塗布した後、回転テーブル２１を回転させることにより、図１３に示すように、基板１１上に均一膜厚の紫外線硬化樹脂３３からなるカバー層１５が形成される。次いで、図１４に示すように、センターキャップ２５を上方向に移動し取り外す。次いで、図１５に示すように、紫外線硬化樹脂３３の上方から紫外線３５を照射させて、紫外線硬化樹脂３３を硬化させることで、紫外線硬化樹脂３３からなるカバー層１５が形成され、２層構造の光情報記録媒体１０が完成する（例えば、特許文献１〜４参照）。
【特許文献１】特開平１１−２１３４５９号公報
【特許文献２】特開２００４−９５１０８号公報
【特許文献３】特開２００６−５９４５４号公報
【特許文献４】特開２００６−３３１５６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、図４から図１５に示した２層構造の光情報記録媒体１０の従来の製造方法では、図１３を拡大した図１６に示すように、中間層１３及びカバー層１５の形成に際し、センターキャップ２５上に液状の紫外線硬化樹脂３３を垂らすと、センターキャップ２５の端面２５ｅと基板１１とのわずかな隙間Ｔ１に毛管現象により液状の紫外線硬化樹脂３３が染み込むため、回転テーブル２１を回転させた後、液状の紫外線硬化樹脂３３に紫外線３５を照射させて液状の紫外線硬化樹脂３３を硬化させると、図１５を拡大した図１７に示すように、中間層１３及びカバー層１５について、基板１１のクランプ部１１ｂ上に、わずかな凹凸部１３ａ及び１５ａが形成され、又、クランプ部１１ｂの周辺部（センターキャップ２５の端部）に凸部１３ｂ及び１５ｂが形成される場合がある。
【００１５】
クランプ部１１ｂの周辺部（センターキャップ２５の端部）に形成された中間層１３の凸部１３ｂは、カバー層１５の形成に悪影響を及ぼす。凸部１３ｂが形成された中間層１３上に、アルミ合金等をスパッタして第２反射層及び／又は第２記録層１４を形成する。その後に、中間層１３を形成する際に用いたものと同じ半径Ｒ１のセンターキャップ２５を用いて図１２に示すようにセンターキャップ２５上に紫外線硬化樹脂３３を滴下する。そして、図１３に示すように回転させて振り切ると、紫外線硬化樹脂３３は、クランプ部１１ｂの周辺部（センターキャップ２５の端部）に形成された凸部１３ｂの影響を直接受け、均一に広がらない。その結果、カバー層１５には、図１８に示すような多数の放射状の線状欠陥３６が発生し、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化をもたらすという問題があった。
【００１６】
このような問題は、例えば、特許文献３に開示されている、基板に接する面が凹状となり、基板と空間を作る構造を有するセンターキャップでは解決できない。すなわち、特許文献３に開示されているセンターキャップでは、１層構造の光情報記録媒体におけるクランプ部の外観不良を改善することはできるが、２層以上の光情報記録媒体への適用方法に関しては具体的に開示されていない。
【００１７】
又、例えば、特許文献４に開示されている、中間層とカバー層の内径を変化させる技術は、シートの貼り合わせにて中間層を形成する光情報記録媒体を対象とするものであり、センターキャップを用いてスピンコート法により中間層やカバー層を形成する際の上記問題点は解決できない。
【００１８】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、スピンコート法により基板上に層が形成される際に、基板のクランプ部上に凹凸部が形成され難くするとともに、基板のクランプ部の周辺部に凸部が形成されることにより生じる放射状の線状欠陥の発生率を低減し、再生及び／又は記録時の光学特性の優れた２層以上の光情報記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を達成するため、本発明は、中心に貫通穴を有する基板上に複数の層が順次積層された光情報記録媒体の、前記複数の層のうちの少なくとも２つの層を、前記貫通穴に所定の半径のセンターキャップを嵌合させ、スピンコート法で形成する光情報記録媒体の製造方法であって、前記少なくとも２つの層のうちの上層の形成に用いるセンターキャップの半径は、前記少なくとも２つの層のうちの下層の形成に用いるセンターキャップの半径よりも大きいことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、スピンコート法により基板上に層が形成される際に、基板のクランプ部上に凹凸部が形成され難くするとともに、基板のクランプ部の周辺部に凸部が形成されることにより生じる放射状の線状欠陥の発生率を低減し、再生及び／又は記録時の光学特性の優れた２層以上の光情報記録媒体の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態の説明を行う。なお、本発明に係る光情報記録媒体、光情報記録媒体の製造方法は、例えば、ＢＤ−Ｒ等の追記型の光情報記録媒体、例えば、ＢＤ−ＲＥ等の書き換え型の光情報記録媒体、例えば、ＢＤ−ＲＯＭ等の再生専用の光情報記録媒体に適用することができるが、本実施例では再生専用の光情報記録媒体を例にとって説明する。
【００２２】
〈実施例1〉
図１９は、本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００を例示する断面図である。図１９に示す光情報記録媒体１００において、基板１１０は、厚さが約１．１ｍｍで、ポリカーボネートを射出成形することにより作製され、一方の面に公知のピットが設けられた構造を有する。基板１１０の外観は、図２に示す基板１１の外観と同様であるため図示は省略するが、基板１１０は、中心に貫通穴であるセンターホール１１０ａを有する円形形状からなる。クランプ部１１０ｂはセンターホール１１０ａ周辺部の所定の領域に設けられ、基板１１０が光情報記録媒体１００として完成され、情報記録再生装置に装着される際にクランプされる。
【００２３】
反射層１２０、中間層１３０、第２反射層１４０、カバー層１５０は、基板１１０のピット上に順次積層されている。反射層１２０と第２反射層１４０とはアルミ合金等からなる情報層である。第２反射層１４０は、レーザ光１６０から見て奥側の反射層１２０への再生及び／又は記録を可能とするために、光を半透過するような層構成となっている。反射層１２０の厚さは、例えば、２０ｎｍであり、第２反射層１４０の厚さは、例えば、８ｎｍである。
【００２４】
中間層１３０は、反射層１２０と第２反射層１４０とを分離する層であり、中間層１３０の表面には、紫外線硬化樹脂等を用いた２Ｐ転写法等により、基板と同様にピットが形成され、その厚さは、例えば、２５μｍである。中間層１３０の表面には、紫外線硬化樹脂を用いた２Ｐ転写法により、基板１１０と同様にピットが形成されている。中間層１３０の厚さは、例えば、２５μｍである。
【００２５】
カバー層１５０は、光透過性の紫外線硬化樹脂から形成され、その厚さは、例えば、７５μｍである。光源（図示せず）から出射されたレーザ光１６０は、対物レンズ１７０により集光され、カバー層１５０を通して、反射層１２０又は第２反射層１４０に照射される。
【００２６】
この高密度記録方式の光情報記録媒体の情報記録部に記録された情報の読み取りには開口数（ＮＡ）の大きな光学系を用いる。そのため、カバー層１５０の表面の僅かな凹凸やカバー層１５０内の僅かな気泡の存在によっても再生信号の大幅な劣化につながることから、反射層１２０等を覆うカバー層１５０の表面は傾斜のない平滑面に形成され、カバー層１５０内には気泡が確実に残存しない形態に構成されている。
【００２７】
更に、反射層１２０等における情報を正確に読み取ることができるように、カバー層１５０表面から第２反射層１４０までの距離（カバー層１５０の厚さ）Ｔ２は、従来の光情報記録媒体（例えばＤＶＤ）における情報読み取り面側の基板の厚さ０．６ｍｍに比べると非常に薄く、レーザ光１６０の波長（４０５ｎｍ）、対物レンズ１７０の開口数（０．８５）、カバー層１５０の屈折率（約１．５）に対応した所定値（７５μｍ）で、カバー層１５０の内周と外周における膜厚差が３μｍ以下という高精度に形成されている。
【００２８】
図２０は、本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００の概略の構成を例示する模式図である。図２０を参照するに、本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００は、回転テーブル２１０と、基板位置決め部２２０と、回転軸２３０と、駆動モータ２４０と、センターキャップ２５と、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０と、紫外線（ＵＶ）照射機２７０とを有するスピンコーティング用装置である。
【００２９】
回転テーブル２１０は、例えば、アルミニウム等の金属からなる反射層１２０が積層形成された基板１１０（図示せず）のセンターホール１１０ａ（図示せず）を基板位置決め部２２０に嵌め合わせるようにして載置し、基板１１０を下方から支持する。又、回転テーブル２１０は、回転軸２３０を介して、駆動モータ２４０と接続されており、駆動モータ２４０の回転に従って、例えば、３万ｒｐｍ程度の回転数で高速回転する。センターキャップ２５は、Ｚ方向に移動可能に構成されており、Ｚ−方向に移動することにより、回転テーブル２１０上に載置された基板１１０（図示せず）のセンターホール１１０ａ（図示せず）と嵌合可能な状態で配設されている。
【００３０】
紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０は、紫外線硬化樹脂を供給する材料供給部であるノズルであり、回転テーブル２１０の上方に接近動作可能な状態で配設されている。紫外線（ＵＶ）照射機２７０は、紫外線硬化樹脂を硬化させるための照射機であり、回転テーブル２１０の上方に接近動作可能な状態で配設されている。又、本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００は、吸気通路及び吸気孔からなる吸着機構（図示せず）を有し、回転テーブル２１０上に載置された基板１１０を吸着固定保持する。
【００３１】
図２１から図３２を用いて、本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明する。同図中、図１９及び図２０と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。始めに、ピットを形成したスタンパを用いてポリカーボネート等のプラスチック樹脂を射出成形や加圧成形等して、ピットを転写した基板１１０を作製する。次いで、基板１１０のピットの凹凸形成面にスパッタ法や真空蒸着法等によりアルミニウム等を積層し、記録反射膜である反射層１２０を形成する。又、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ａと、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ａよりも半径Ｒ１の大きなカバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｂとを用意する。
【００３２】
次いで、図２１に示すように、基板１１０のセンターホール１１０ａを基板位置決め部２２０に嵌め合わせるようにして、回転テーブル２１０上に載置し、吸気通路（図示せず）を介して吸気孔に負圧を作用させ、回転テーブル２１０上に載置された基板１１０を吸着固定保持する。そして、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ａの嵌合部２５ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌め合わせる。
【００３３】
次いで、図２２に示すように、センターキャップ２５Ａ上に中間層１３０の形成材料である液状の紫外線硬化樹脂３３０を紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０（図示せず）にて吐出し、しかる後、駆動モータ２４０（図示せず）を作動させ、回転テーブル２１０を所定の回転数で回転させて、図２３に示すように、反射層１２０上に紫外線硬化樹脂３３０からなる均一な中間層１３０を形成する。
【００３４】
次いで、図２４に示すように、センターキャップ２５Ａを取り除き、図２５に示すように、中間層１３０に、下面３４０ｂに所定のピットが形成されている光透過スタンパ３４０を載せ、図２６に示すように、ピットを転写しながら、スタンパ３４０の上面３４０ａの上方から、紫外線（ＵＶ）照射機２７０（図示せず）により紫外線３５０を照射し、紫外線硬化樹脂３３０を硬化させて、図２７に示すように、スタンパ３４０を上方向に移動することにより、ピットの凹凸のある中間層１３０を形成する。
【００３５】
更に、中間層１３０上にスパッタ法等により、アルミニウム等を光が一部透過するほどの薄さで積層して第２反射層１４０を形成した後、図２８に示すように、再度、基板１１０のセンターホール１１０ａを基板位置決め部２２０に嵌め合わせるようにして、回転テーブル２１０上に載置し、センターキャップ２５Ａよりも半径Ｒ１の大きい、カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｂの嵌合部２５ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌め合わせる。
【００３６】
次いで、図２９に示すように、基板１１０の中心部に、紫外線硬化樹脂３３０を塗布した後、回転テーブル２１０を回転させることにより、図３０に示すように、基板上に紫外線硬化樹脂３３０からなる均一なカバー層１５０を形成する。次いで、図３１に示すように、センターキャップ２５Ｂを上方向に移動し、図３２に示すように、紫外線硬化樹脂３３０からなる均一なカバー層１５０の上方から紫外線（ＵＶ）照射機２７０（図示せず）により、紫外線３５０を照射し、紫外線硬化樹脂３３０を硬化させ、カバー層１５０を形成することで、本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００が完成する。
【００３７】
図３３は、図３０における基板１１０のクランプ部１１０ｂの周辺部を拡大した図である。図３３において、図３０と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。図３３において、１３０ａはクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部、１３０ｂ及び１５０ｂはクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２５Ａ及び２５Ｂの端部）に形成される凸部を示している。
【００３８】
図３３に示すように、中間層１３０形成の際にできたクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２５Ａの端部）の凸部１３０ｂを、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ａよりも半径Ｒ１の大きなカバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｂで覆うことにより、紫外線硬化樹脂３３０が、クランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２５Ａの端部）に形成された凸部１３０ｂの影響を受けず、均一に広がるため、カバー層１５０において、図１８に示すような放射状の線状欠陥３６の発生率が大幅に低減された。
【００３９】
図３４は、図３３に示す光情報記録媒体１００をカバー層１５０側から見た平面図である。実施例１に係る方法で製造された光情報記録媒体１００は、図３３に示すように、クランプ部１１０ｂ周辺部において、中間層１３０とカバー層１５０の形成が開始される半径位置が異なり、カバー層１５０の形成が開始される半径位置は、中間層１３０の形成が開始される半径位置よりも外周側であるため、中間層１３０とカバー層１５０の形成が開始される半径位置の周辺部には図３３に示すような段差が形成される。従って、図３３に示すような段差が形成された光情報記録媒体１００をカバー層１５０側から平面視すると、図３４に示すように、クランプ部１１０ｂの外側に近接する領域に、中間層１３０のみからなる円環状の領域が確認できる。
【００４０】
なお、基板１１０上に複数の情報層と前記複数の情報層を分離する中間層１３０とが交互に積層され、最後にカバー層１５０が積層される３層以上の光情報記録媒体の場合には、基板１１０上に先に積層される中間層１３０の形成が開始される半径位置は、後に積層される中間層１３０の形成が開始される半径位置よりも内周側であり、カバー層１５０の形成が開始される半径位置は、最後に積層される中間層１３０の形成が開始される半径位置よりも外周側である。
【００４１】
本発明の実施例１によれば、カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｂの半径Ｒ１を、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ａの半径Ｒ１よりも大きくしたことにより、カバー層１５０形成時に、カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｂが、中間層１３０形成の際にクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２５Ａの端部）に形成された凸部１３０ｂを覆う。そのため、紫外線硬化樹脂３３０が、クランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２５Ａの端部）に形成された凸部１３０ｂの影響を受けず、均一に広がり、カバー層１５０において、図１８に示すような放射状の線状欠陥３６の発生率が大幅に低減され、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００４２】
〈実施例２〉
実施例２では、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃ及びカバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｄの、半径Ｒ１の異なる２種類のセンターキャップ２５を用意して、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１を９．５ｍｍとし、カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｄの半径Ｒ１を９ｍｍから１４ｍｍまで振ってカバー層１５０を形成し、放射状の線状欠陥３６の発生率を求めた。具体的には、ｎ個の光情報記録媒体を製造し、少しでも放射状の線状欠陥３６の発生した光情報記録媒体は不良（ＮＧ）として、放射状の線状欠陥３６の発生率＝（ＮＧ数／ｎ）×１００（％）を求めた。
【００４３】
図３５は、カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｄの半径Ｒ１と放射状の線状欠陥３６の発生率との関係を例示する図である。図３５に示すように、カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｄの半径Ｒ１が、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１よりも、０．２５ｍｍ以上大きくなったところから急激に放射状の線状欠陥３６の発生率が減少し始め、０．５ｍｍ以上大きくなると、ほとんど放射状の線状欠陥３６は観られなくなった。
【００４４】
本発明の実施例２によれば、カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｄの半径Ｒ１を、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１よりも０．２５ｍｍ以上、好ましくは０．５ｍｍ以上大きくすることにより、カバー層１５０形成時に、カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｄが、中間層１３０形成の際にクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２５Ｃの端部）に形成された凸部１３０ｂを覆う。そのため、紫外線硬化樹脂３３０が、クランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２５Ｃの端部）に形成された凸部１３０ｂの影響を受けず、均一に広がり、カバー層１５０において、図１８に示すような放射状の線状欠陥３６の発生率が大幅に低減され、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００４５】
なお、３層以上の中間層およびカバー層を本発明のセンターキャップ２５を用いて形成する場合、最初に積層する中間層用のセンターキャップ２５の半径Ｒ１が最も小さく、そこから徐々に半径Ｒ１の大きなセンターキャップ２５を用いて中間層を重ねて行き、最後に形成するカバー層用のセンターキャップ２５の半径Ｒ１が最も大きくなるようにすることが重要である。このようにすれば、それぞれの層に最適化された半径Ｒ１を有するセンターキャップ２５は中間層形成の際にできたクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２５の端部）の凸部を逃れることができ、それぞれの中間層形成時の凸部の影響を受けないため、３層以上の光情報記録媒体においても放射状の線状欠陥３６の発生率を大幅に低減することが可能となり、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００４６】
〈実施例３〉
実施例３では、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１と、センターキャップ２５Ｃの端面２５ｅと基板１１０とのわずかな隙間Ｔ１への液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込み発生率との関係について確認するため、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１を７．５ｍｍから１１ｍｍまで振って中間層１３０を形成し、紫外線硬化樹脂３３０の染み込み発生率を求めた。具体的には、ｎ個の光情報記録媒体を製造し、少しでも紫外線硬化樹脂３３０の染み込みの発生した光情報記録媒体は不良（ＮＧ）として、紫外線硬化樹脂３３０の染み込みの発生率＝（ＮＧ数／ｎ）×１００（％）を求めた。なお、カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｄの半径Ｒ１は、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１よりも常に１ｍｍ大きな値に設定した。
【００４７】
図３６は、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１と紫外線硬化樹脂３３０の染み込み発生率との関係を例示する図である。図３６に示すように、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１が、８．５ｍｍよりも小さくなると、センターキャップ２５Ｃの端面２５ｅと基板１１０とのわずかな隙間Ｔ１への液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込み発生率が急増した。
【００４８】
本発明の実施例３によれば、中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１を、８．５ｍｍ以上とすることにより、センターキャップ２５Ｃの端面２５ｅと基板１１０とのわずかな隙間Ｔ１への液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込み発生率を大幅に低減することが可能となり、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの影響により、光情報記録媒体が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着される度合いが低減されるため、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。
【００４９】
なお、３層以上の中間層およびカバー層を本発明のセンターキャップ２５を用いて形成する場合は、最初に積層する中間層形成用のセンターキャップ２５の半径Ｒ１を８．５ｍｍ以上とし、そこから徐々に半径Ｒ１の大きなセンターキャップ２５を用いて中間層を重ねて行き、最後に形成するカバー層用のセンターキャップ２５の半径Ｒ１が最も大きくなるようにすることにより、センターキャップ２５の端面２５ｅと基板１１０とのわずかな隙間Ｔ１への液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込み発生率を大幅に低減することが可能となり、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの影響により、光情報記録媒体が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着される度合いが低減されるため、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。
【００５０】
〈実施例４〉
実施例４では、実施例１から３で用いたセンターキャップとは異なる形状のセンターキャップを用いる例を示す。図３７は、スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられる本発明に係るセンターキャップ２６を例示する図である。図３７（ａ）及び図３７（ｄ）は断面図、図３７（ｂ）は正面図、図３７（ｃ）は底面図である。
【００５１】
図３７に示すセンターキャップ２６は、基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合される嵌合部２６ｃと、嵌合部２６ｃと同心的に設けられ、嵌合部２６ｃが基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合された際に、基板１１０と平行となり、かつ、嵌合部２６ｃよりも径が大きい円環形状の平面からなる端面２６ｅを有する傘状部２６ｂと、傘状部２６ｂの上部に傘状部２６ｂと同心的に設けられた円柱状の突起部２６ａとを有する。
【００５２】
又、基板１１０と当接する部分である端面２６ｅは全面が平坦な円環形状の平面部になっている。図３７（ｃ）に示すように、端面２６ｅは、底面視嵌合部２６ｃと接しないように設けられ、図３７（ｂ）に示すように、嵌合部２６ｃは、正面視端面２６ｅから突起し、図３７（ｄ）に示すように、嵌合部２６ｃが基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合されると、端面２６ｅが基板１１０の上面に当接され、傘状部２６ｂの内面と基板１１０との間に空間部２６ｄを形成する。
【００５３】
なお、センターキャップ２６の端面２６ｅが基板１１０と当接する場合に、ごくわずかの隙間を生ずるが、そのような場合も含めて当接と表現する。図３７において、Ｒ２はセンターキャップ２６の傘状部２６ｂの半径を、Ｗ２は端面２６ｅの幅を、Ｈは空間部２６ｄの最大高さを示している。
【００５４】
このように、本発明の実施例４に係るセンターキャップ２６は、空間部２６ｄを形成することで、センターキャップ２６の周縁部に形成された端面２６ｅのみにより基板１１０の上面と当接する構造であり、図３に示すセッターキャップ２５と比較すると、基板１１０の上面と当接する部分の面積が大幅に縮小されていることが特徴である。
【００５５】
なお、本発明の実施例４に係るセンターキャップ２６においては、空間部２６ｄを形成することで、センターキャップ２６の周縁部に形成された端面２６ｅのみにより基板１１０の上面と当接する構造とすることが重要であるから、傘状部２６ｂは必ずしも円錐状である必要はなく、センターキャップ２６の傘状部２６ｂの外面の高さが、傘状部２６ｂの中心から外周に行くに従って徐々に低くなるように、中心部から外周部にかけて傾斜を有する形状であれば、どのような形状でも構わない。
【００５６】
又、空間部２６ｄは、図３７に例示するように、その高さが傘状部２６ｂの中心から外周に行くに従って徐々に低くなる形状であることが好ましいが、端面２６ｅのみが、基板１１０の上面と当接するように空間が設けられていれば、どのような形状でも構わない。
【００５７】
実施例４では、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ａと、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ａよりも半径Ｒ２の大きなカバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｂとを用意した。そして、セッターキャップ２６Ａ及び２６Ｂを用いて光情報記録媒体１００を製造した。
【００５８】
具体的には、中間層１３０形成用のセンターキャップ２６Ａは、傘状部２６ｂの半径Ｒ２＝７．５ｍｍ、端面２６ｅの幅Ｗ２＝０．１ｍｍ、空間部２６ｄの最大高さＨ＝０．１ｍｍである。カバー層１５０形成用のセンターキャップ２６Ｂは、傘状部２６ｂの半径Ｒ２＝１１ｍｍ、端面２６ｅの幅Ｗ２＝０．１ｍｍ、空間部２６ｄの最大高さＨ＝０．１ｍｍである。
【００５９】
図３８から図４１を用いて、本発明の実施例４に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明する。同図中、図１９乃至図３４と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する場合がある。始めに、ピットを形成したスタンパを用いてポリカーボネート等のプラスチック樹脂を射出成形や加圧成形等して、ピットを転写した基板１１０を作製する。次いで、基板１１０のピットの凹凸形成面にスパッタ法や真空蒸着法等によりアルミニウム等を積層し、記録反射膜である反射層１２０を形成する。
【００６０】
次いで、図３８に示すように、基板１１０のセンターホール１１０ａを基板位置決め部２２０に嵌め合わせるようにして、回転テーブル２１０上に載置し、吸気通路（図示せず）を介して吸気孔に負圧を作用させ、回転テーブル２１０上に載置された基板１１０を吸着固定保持する。そして、センターキャップ２６Ａの嵌合部２６ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌め合わせる。
【００６１】
次いで、図２２〜図２７と同様の工程を実行する。すなわち、センターキャップ２６Ａ上に中間層１３０の形成材料である液状の紫外線硬化樹脂３３０を紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０（図示せず）にて吐出する。しかる後、駆動モータ２４０（図示せず）を作動させ、回転テーブル２１０を所定の回転数で回転させて、反射層１２０上に紫外線硬化樹脂３３０からなる均一な中間層１３０を形成する。次いで、センターキャップ２６Ａを取り除き、中間層１３０に、下面３４０ｂに所定のピットが形成されている光透過性のスタンパ３４０を載せる。そして、ピットを転写しながら、スタンパ３４０の上面３４０ａの上方から、紫外線（ＵＶ）照射機２７０（図示せず）により紫外線３５０を照射し、紫外線硬化樹脂３３０を硬化させる。その後、スタンパ３４０を上方向に移動することにより、ピットの凹凸のある中間層１３０を形成する。
【００６２】
更に、中間層１３０上にスパッタ法等により、アルミニウム等を光が一部透過するほどの薄さで積層して第２反射層１４０を形成した後、図３９に示すように、再度、基板１１０のセンターホール１１０ａを基板位置決め部２２０に嵌め合わせるようにして、回転テーブル２１０上に載置し、センターキャップ２６Ａよりも傘状部２６ｂの半径Ｒ２の大きいセンターキャップ２６Ｂの嵌合部２６ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌め合わせる。
【００６３】
次いで、図２９〜図３０と同様の工程を実行する。すなわち、基板１１０の中心部に、紫外線硬化樹脂３３０を塗布した後、回転テーブル２１０を回転させることにより、基板１１０上に紫外線硬化樹脂３３０からなる均一なカバー層１５０を形成する。次いで、図４０に示すように、センターキャップ２６Ｂを上方向に移動し、図４１に示すように、紫外線硬化樹脂３３０からなる均一なカバー層１５０の上方から紫外線（ＵＶ）照射機２７０（図示せず）により、紫外線３５０を照射し、紫外線硬化樹脂３３０を硬化させ、カバー層１５０を形成することで、本発明の実施例４に係る光情報記録媒体１００が完成する。
【００６４】
このように、実施例４では、図３７において、傘状部２６ｂの半径Ｒ２＝７．５ｍｍ、端面２６ｅの幅Ｗ２＝０．１ｍｍ、空間部２６ｄの最大高さＨ＝０．１ｍｍとした中間層１３０形成用センターキャップ２６Ａ、及び、図３７において、傘状部２６ｂの半径Ｒ２＝１１ｍｍ、端面２６ｅの幅Ｗ２＝０．１ｍｍ、空間部２６ｄの最大高さＨ＝０．１ｍｍとしたカバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｂを用いて光情報記録媒体１００を製造したところ、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部及びクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６Ａ及び２６Ｂの端部）に形成される凸部の最大高さは、図４２及び図４３に示すように、図１６及び図１７と比較して大幅に低くなった。
【００６５】
図４２は、図４０における基板１１０のクランプ部１１０ｂの周辺部を拡大した図であり、図４３は、図４１における基板１１０のクランプ部１１０ｂの周辺部を拡大した図である。図４２及び図４３において、図４０及び図４１と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。図４２及び図４３において、１３０ａはクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部、１３０ｂ及び１５０ｂはクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６Ａ及び２６Ｂの端部）に形成される凸部を示している。
【００６６】
中間層１３０を形成するに際し、センターキャップ２６Ａ上に液状の紫外線硬化樹脂３３０を垂らすと、毛管現象により液状の紫外線硬化樹脂３３０がセンターキャップ２６Ａの端面２６ｅの下部にのみ染み込み、クランプ部１１０ｂ上に凹凸部１３０ａが形成され、クランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６Ａの端部）に凸部１３０ｂが形成される場合があるが、凹凸部１３０ａ及び凸部１３０ｂが形成された場合の、凹凸部１３０ａ及び凸部１３０ｂの最大高さは、いずれも図１６及び図１７と比較して大幅に低くなった。
【００６７】
これは、図３７に示すように、本発明に係るセンターキャップ２６Ａは、センターキャップ２６Ａの傘状部２６ｂの内面と基板１１０との間に空間部２６ｄを設けたためである。すなわち、センターキャップ２６Ａと基板１１０との間に大きな隙間を形成し、センターキャップ２６Ａの周縁部に形成された端面２６ｅのみにより、基板１１０の上面と当接する構造としたためである。その結果、センターキャップ２５に比べて、基板１１０の上面と当接する部分の面積が大幅に縮小され、センターキャップ２６Ａ上に液状の紫外線硬化樹脂３３０を垂らしても、図４２及び図４３に示すように、毛管現象により液状の紫外線硬化樹脂３３０がセンターキャップ２６Ａに染み込む量が、従来に比べて大幅に減少した。
【００６８】
又、カバー層１５０を形成するに際し、カバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｂの傘状部２６ｂの半径（＝１１ｍｍ）を、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ａの傘状部２６ｂの半径（＝７．５ｍｍ）よりも大きくしたことにより、図１８に示すような放射状の線状欠陥３６の発生率が大幅に低減された。
【００６９】
これは、図４２に示すように中間層１３０形成の際にわずかにできたクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６Ａの端部）の凸部１３０ｂを、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ａよりも傘状部２６ｂの半径Ｒ２の大きなカバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｂで覆うことにより、紫外線硬化樹脂３３０が、クランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６Ａの端部）に形成された凸部１３０ｂの影響を受けず、均一に広がるからである。
【００７０】
実施例４に係る方法で製造された光情報記録媒体１００は、図４２及び図４３に示すように、クランプ部１１０ｂ周辺部において、中間層１３０とカバー層１５０の形成が開始される半径位置が異なり、カバー層１５０の形成が開始される半径位置は、中間層１３０の形成が開始される半径位置よりも外周側であるため、中間層１３０とカバー層１５０の形成が開始される半径位置の周辺部には図４２及び図４３に示すような段差が形成される。従って、図４２及び図４３に示すような段差が形成された光情報記録媒体１００をカバー層１５０側から平面視すると、実施例１で示した図３４と同様に、クランプ部１１０ｂの外側に近接する領域に、中間層１３０のみからなる円環状の領域が確認できる。
【００７１】
なお、基板１１０上に複数の情報層と前記複数の情報層を分離する中間層１３０とが交互に積層され、最後にカバー層１５０が積層される３層以上の光情報記録媒体の場合には、基板１１０上に先に積層される中間層１３０の形成が開始される半径位置は、後に積層される中間層１３０の形成が開始される半径位置よりも内周側であり、カバー層１５０の形成が開始される半径位置は、最後に積層される中間層１３０の形成が開始される半径位置よりも外周側である。
【００７２】
本発明の実施例４によれば、センターキャップ２６Ａの傘状部２６ｂの内面と基板１１０との間に空間部２６ｄを設けることでセンターキャップ２６Ａと基板１１０との間に大きな隙間を形成し、センターキャップ２６Ａの周縁部に形成された端面２６ｅのみで、基板１１０の上面と当接する構造とすることにより、毛管現象による液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込みが大幅に減少するため、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さを大幅に低くすることが可能となり、光情報記録媒体１００が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着される度合いが低減され、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。
【００７３】
又、カバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｂの傘状部２６ｂの半径Ｒ２（＝１１ｍｍ）を、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ａの傘状部２６ｂの半径Ｒ２（＝７．５ｍｍ）よりも大きくしたことにより、カバー層１５０形成時に、カバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｂが、中間層１３０形成の際にクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６Ａの端部）にわずかに形成された凸部１３０ｂを覆う。そのため、紫外線硬化樹脂３３０が、クランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６Ａの端部）に形成された凸部１３０ｂの影響を受けず均一に広がり、カバー層１５０において、図１８に示すような放射状の線状欠陥３６の発生率が大幅に低減され、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００７４】
なお、実施例４では、カバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｂの傘状部２６ｂの半径Ｒ２を、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ａの傘状部２６ｂの半径Ｒ２よりも大きくしたが、カバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｂの傘状部２６ｂの半径Ｒ２を、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ａの傘状部２６ｂの半径Ｒ２と同じにしても、従来のセンターキャップ２５を用いた場合と比べて、カバー層１５０において、図１８に示すような放射状の線状欠陥３６の発生率を低減することが可能であり、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００７５】
これは、センターキャップ２６Ａ及び２６Ｂの傘状部２６ｂの内面と基板１１０との間に空間部２６ｄを設けることでセンターキャップ２６Ａ及び２６Ｂと基板１１０との間に大きな隙間を形成し、センターキャップ２６Ａ及び２６Ｂの周縁部に形成された端面２６ｅのみで、基板１１０の上面と当接する構造とすることにより、毛管現象による液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込みが大幅に減少するため、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さのみならず、クランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６Ａの端部）に形成される凸部１３０ｂの最大高さも大幅に低くなるからである。
【００７６】
〈実施例５〉
実施例５では、図３７に示すセンターキャップ２６の傘状部２６ｂの半径Ｒ２を１１ｍｍ、端面２６ｅの幅Ｗ２を２ｍｍとし、空間部２６ｄの最大高さＨを０．０１ｍｍから０．３ｍｍまで振ってカバー層１５０を形成し、クランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの高さの最大値を求めた。図４４は、センターキャップ２６の空間部２６ｄの最大高さＨとクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さとの関係を例示する図である。なお、凹凸部の高さの測定は、表面形状測定装置デックタック（スローン社製）を用いて行った。
【００７７】
図４４に示すように、カバー層１５０を形成する際に使用する本発明に係るセンターキャップ２６の空間部２６ｄの最大高さＨが０．０５ｍｍよりも低くなるに従って、クランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さが高くなることが確認された。
【００７８】
本発明の実施例５によれば、本発明に係るセンターキャップ２６の空間部２６ｄの最大高さＨが０．０５ｍｍ以上であれば、毛管現象による液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込みが大幅に減少する。その結果、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さを大幅に低くすることが可能となり、光情報記録媒体が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着される度合いが低減され、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。
【００７９】
〈実施例６〉
実施例６では、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ｃ及びカバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｄの傘状部２６ｂの半径Ｒ２の異なる２種類のセンターキャップ２６を用意し、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ｃの傘状部２６ｂの半径Ｒ２を９ｍｍ、端面２６ｅの幅Ｗ２を２ｍｍとし、空間部２６ｄの最大高さＨを０．０１ｍｍから０．３ｍｍまで振ってカバー層１５０を形成し、放射状の線状欠陥３６の発生率を求めた。
【００８０】
具体的には、ｎ個の光情報記録媒体を製造し、少しでも放射状の線状欠陥３６の発生した光情報記録媒体は不良（ＮＧ）として、放射状の線状欠陥３６の発生率＝（ＮＧ数／ｎ）×１００（％）を求めた。なお、カバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｄは、傘状部２６ｂの半径Ｒ２を１１ｍｍ、端面２６ｅの幅Ｗ２を２ｍｍ、空間部２６ｄの最大高さＨを０．０５ｍｍとした。
【００８１】
図４５は、空間部２６ｄの最大高さＨと放射状の線状欠陥３６の発生率との関係を例示する図である。図４５に示すように、中間層１３０を形成する際に使用する本発明に係るセンターキャップ２６Ｃの空間部２６ｄの最大高さＨが０．０５ｍｍよりも低くなるに従って、カバー層１５０を形成した際にできる放射状の線状欠陥３６の発生率が高まることが確認された。
【００８２】
本発明の実施例６によれば、中間層１３０を形成する際に使用する本発明に係るセンターキャップ２６Ｃの空間部２６ｄの最大高さＨが０．０５ｍｍ以上であれば、毛管現象による液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込みが大幅に減少する。その結果、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さのみならず、クランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６ｃの端部）に形成される凸部１３０ｂの最大高さも大幅に低くなる。そのため、カバー層１５０を形成した際にできる放射状の線状欠陥３６の発生率が低減し、中間層１３０の影響を受けない高品質のカバー層１５０を形成することが可能となり、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００８３】
なお、３層以上の中間層およびカバー層を本発明のセンターキャップ２６を用いて形成する場合、最初に積層する中間層用のセンターキャップ２６の傘状部２６ｂの半径Ｒ２が最も小さく、そこから徐々に傘状部２６ｂの半径Ｒ２の大きなセンターキャップ２６を用いて中間層を重ねて行き、最後に形成するカバー層用のセンターキャップ２６の傘状部２６ｂの半径Ｒ２が最も大きくなるようにすることが重要である。このようにすれば、それぞれの層に最適化された傘状部２６ｂの半径Ｒ２を有するセンターキャップ２６は中間層形成の際にわずかにできたクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６の端部）の凸部を逃れることができ、それぞれの中間層形成時の凸部の影響を受けないため、３層以上の光情報記録媒体においても放射状の線状欠陥３６の発生率を大幅に低減することが可能となり、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００８４】
〈実施例７〉
実施例７では、図３７に示すセンターキャップ２６の傘状部２６ｂの半径Ｒ２を１１ｍｍ、空間部２６ｄの最大高さＨを０．０５ｍｍとし、端面２６ｅの幅Ｗ２を０．１ｍｍから３ｍｍまで振ってカバー層１５０を形成し、クランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの高さの最大値を求めた。なお、凹凸部の高さの測定は、表面形状測定装置デックタック（スローン社製）を用いて行った。
【００８５】
図４６は、センターキャップ２６の端面２６ｅの幅Ｗ２とクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さとの関係を例示する図である。図４６に示すように、カバー層１５０を形成する際に使用する本発明に係るセンターキャップ２６の端面２６ｅの幅Ｗ２が２ｍｍよりも広くなるに従って、クランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さが高くなることが確認された。
【００８６】
本発明の実施例７によれば、本発明に係るセンターキャップ２６の端面２６ｅの幅Ｗ２が２ｍｍ以下であれば、毛管現象による液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込みが大幅に減少する。その結果、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さを大幅に低くすることが可能となり、光情報記録媒体が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着される度合いが低減され、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。
【００８７】
〈実施例８〉
実施例８では、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ｃ及びカバー層１５０形成用センターキャップ２６Ｄの傘状部２６ｂの半径Ｒ２の異なる２種類のセンターキャップ２６を用意し、中間層１３０形成用センターキャップ２６Ｃの傘状部２６ｂの半径Ｒ２を９ｍｍ、空間部２６ｄの最大高さＨを０．０５ｍｍとし、端面２６ｅの幅Ｗ２を０．１ｍｍから３ｍｍまで振ってカバー層１５０を形成し、放射状の線状欠陥３６の発生率を求めた。なお、カバー層１５０形成用センターキャップ２６ｄは、傘状部２６ｂの半径Ｒ２を１１ｍｍ、端面２６ｅの幅Ｗ２を２ｍｍ、空間部２６ｄの最大高さＨを０．０５ｍｍとした。
【００８８】
図４７は、センターキャップ２６Ｃの端面２６ｅの幅Ｗ２と放射状の線状欠陥３６の発生率との関係を例示する図である。図４７に示すように、中間層１３０を形成する際に使用する本発明に係るセンターキャップ２６Ｃの端面２６ｅの幅Ｗ２が２ｍｍよりも広くなるに従って、カバー層１５０を形成した際にできる放射状の線状欠陥３６の発生率が高まることが確認された。
【００８９】
本発明の実施例８によれば、中間層１３０を形成する際に使用する本発明に係るセンターキャップ２６ｃの端面２６ｅの幅Ｗ２が２ｍｍ以下であれば、毛管現象による液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込みが大幅に減少する。その結果、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さのみならず、クランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６ｃの端部）に形成される凸部１３０ｂの最大高さも大幅に低くなる。そのため、カバー層１５０を形成する際にできる放射状の線状欠陥３６の発生率が低減し、中間層１３０の影響を受けない高品質のカバー層１５０を形成することが可能となり、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００９０】
なお、３層以上の中間層およびカバー層を本発明のセンターキャップ２６を用いて形成する場合、最初に積層する中間層用のセンターキャップ２６の傘状部２６ｂの半径Ｒ２が最も小さく、そこから徐々に傘状部２６ｂの半径Ｒ２の大きなセンターキャップ２６を用いて中間層を重ねて行き、最後に形成するカバー層用のセンターキャップ２６の傘状部２６ｂの半径Ｒ２が最も大きくなるようにすることが重要である。このようにすれば、それぞれの層に最適化された傘状部２６ｂの半径Ｒ２を有するセンターキャップ２６は中間層形成の際にわずかにできたクランプ部１１０ｂの周辺部（センターキャップ２６の端部）の凸部を逃れることができ、それぞれの中間層形成時の凸部の影響を受けないため、３層以上の光情報記録媒体においても放射状の線状欠陥を大幅に低減することが可能となり、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００９１】
〈実施例９〉
実施例９では、図３に示すセンターキャップ２５、図３７に示すセンターキャップ２６とは異なる形状のセンターキャップを用いる例を示す。図４８は、スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられる本発明に係るセンターキャップ２７を例示する図である。図４８（ａ）は正面図であり、図４８（ｂ）は平面図である。
【００９２】
図４８に示すセンターキャップ２７は、基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合される嵌合部２７ｃと、嵌合部２７ｃと同心的に設けられ、嵌合部２７ｃが基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合された際に、基板１１０と平行となり、かつ、嵌合部２７ｃよりも径が大きい円環形状の平面からなる端面２７ｅを有する傘状部２７ｂと、傘状部２７ｂの上部に傘状部２７ｂと同心的に設けられた円柱状の突起部２７ａとを有する。
【００９３】
センターキャップ２７には、外気導入孔２７ｘが設けられている。外気導入孔２７ｘは、Ｚ方向に設けられ、突起部２７ａの上面と嵌合部２７ｃの下面とを貫通する縦孔と、嵌合部２７ｃ内にＸ方向に設けられ、嵌合部２７ｃを貫通する横孔とが嵌合部２７ｃ内で連通した構造である。すなわち、外気導入孔２７ｘは４つの開口部を有し、第１の開口部は突起部２７ａの上面に、第２の開口部は嵌合部２７ｃの下面に、第３及び第４の開口部は嵌合部２７ｃの側面の対向する位置に設けられている。
【００９４】
前述のように、基板１１０は、センターホール１１０ａを基板位置決め部２２０に嵌め合わせるようにして、回転テーブル２１０上に載置され、吸気通路（図示せず）を介して吸気孔に負圧を作用させ、回転テーブル２１０上に載置された基板１１０を吸着固定保持される。そして、センターキャップ２５の嵌合部２５ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌め合わせる。
【００９５】
図４９は、センターキャップ２５の嵌合部２５ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合させた様子を例示する図である。基板１１０を吸着固定保持するために作用させる負圧は、図４９に示すセンターキャップ２５と基板１１０との隙間２９ａにも影響を及ぼし、隙間２９ａも負圧になる場合がある。隙間２９ａが負圧になると、センターキャップ２５上に紫外線硬化樹脂３３０を塗布した際に、隙間２９ａに紫外線硬化樹脂３３０が染み込むことを助長し、基板のクランプ部の周辺部に凸部が形成されることになる。
【００９６】
図５０は、センターキャップ２７の嵌合部２７ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合させた様子を例示する図である。図５０に示すように、センターキャップ２７を用いると外気導入孔２７ｘから隙間２９ａに外気が流入するため、隙間２９ａが負圧になることを防止できる。
【００９７】
本発明の実施例９によれば、中間層１３０又はカバー層１５０を形成する際に、外気導入孔２７ｘを有するセンターキャップ２７を用いることにより、センターキャップ２７と基板１１０との隙間２９ａが負圧になることを防止できる。その結果、センターキャップ２７上に紫外線硬化樹脂３３０を塗布した際に、基板１１０を吸着固定保持するために作用させる負圧が、隙間２９ａに紫外線硬化樹脂３３０が染み込むことを助長しなくなるため、基板のクランプ部の周辺部に凸部が形成されることを防止できる。
【００９８】
なお、実施例９では、センターキャップ２５に外気導入孔２７ｘを設けたセンターキャップ２７について説明したが、センターキャップ２６にも同様に外気導入孔を設けることが可能であり、同様の効果を奏する。
【００９９】
〈実施例１０〉
実施例１０では、図４８に示すセンターキャップ２７を変形した例を示す。図５１は、スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられる本発明に係るセンターキャップ２８を例示する図である。図５１（ａ）は正面図であり、図５１（ｂ）は平面図である。図５１（ｂ）において、破線の矢印は、センターキャップ２８の回転する方向を示している。
【０１００】
図５１に示すセンターキャップ２８は、基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合される嵌合部２８ｃと、嵌合部２８ｃと同心的に設けられ、嵌合部２８ｃが基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合された際に、基板１１０と平行となり、かつ、嵌合部２８ｃよりも径が大きい円環形状の平面からなる端面２８ｅを有する傘状部２８ｂと、傘状部２８ｂの上部に傘状部２８ｂと同心的に設けられた円柱状の突起部２８ａとを有する。
【０１０１】
センターキャップ２８には、外気導入孔２８ｘ及び外気導入部材２８ｙが設けられている。外気導入孔２８ｘは、Ｚ方向に設けられ、突起部２８ａの上面と嵌合部２８ｃの下面とを貫通する縦孔と、突起部２８ａ内にＸ方向に設けられ突起部２８ａを貫通する横孔と、嵌合部２８ｃ内にＸ方向に設けられ、嵌合部２８ｃを貫通する横孔とが突起部２８ａ及び嵌合部２８ｃ内で連通した構造である。
【０１０２】
すなわち、外気導入孔２８ｘは、６つの開口部を有し、第１の開口部は突起部２８ａの上面に、第２の開口部は嵌合部２８ｃの下面に、第３及び第４の開口部は突起部２８ａの側面の対向する位置に、第５及び第６の開口部は嵌合部２８ｃの側面の対向する位置に設けられている。
【０１０３】
突起部２８ａの側面の対向する位置に設けられた第３及び第４の開口部の近傍には、センターキャップ２８が回転する際に、外気導入孔２８ｘへ外気を導入する外気導入部材２８ｙが設けられている。外気導入部材２８ｙは、例えば、金属やプラスチック等をセンターキャップ２８に固着することにより設けることができる。外気導入部材２８ｙは、センターキャップ２８と一体的に成型されていても構わない。
【０１０４】
外気導入部材２８ｙが設けられていることにより、例えば、図２２に示す工程等で、センターキャップ２８が図５１（ｂ）の破線の矢印で示す方向に回転したときに、突起部２８ａの側面の対向する位置に設けられた第３及び第４の開口部から外気導入孔２８ｘに効率よく外気を導入することができる。
【０１０５】
本発明の実施例１０によれば、中間層１３０又はカバー層１５０を形成する際に、外気導入孔２８ｘ及び外気導入部材２８ｙを有するセンターキャップ２８を用いることにより、実施例９と同様に、センターキャップ２８と基板１１０との隙間２９ａが負圧になることを防止できる。その結果、センターキャップ２８上に紫外線硬化樹脂３３０を塗布した際に、基板１１０を吸着固定保持するために作用させる負圧が、隙間２９ａに紫外線硬化樹脂３３０が染み込むことを助長しなくなるため、基板のクランプ部の周辺部に凸部が形成されることを防止できる。更に、センターキャップ２８の第３及び第４の開口部近傍に外気導入部材２８ｙを設けたことにより、外気導入孔２８ｘに効率よく外気を導入することができる。
【０１０６】
なお、実施例１０では、センターキャップ２７に外気導入部材２８ｙを設けたセンターキャップ２８について説明したが、センターキャップ２６にも同様に外気導入孔及び外気導入部材を設けることが可能であり、同様の効果を奏する。
【０１０７】
〈比較例１〉
比較例１では、本発明に係るセンターキャップ２６を用いてカバー層１５０を形成した場合と、センターキャップを用いずにカバー層１５０を形成した場合との内外周厚みプロファイルの違いを示した。図５２は、光情報記録媒体の半径位置とカバー層１５０の膜厚との関係を例示する図である。図５２に示すように、本発明に係るセンターキャップ２６を用いてカバー層１５０を形成した場合は、膜厚が７５μmでほぼ均一な膜厚のカバー層１５０を得ることができたが、センターキャップを用いなければ、どのように条件を振っても、内外周でその膜厚を均一にすることはできなかった。
【０１０８】
センターキャップを用いない場合には、遠心力により内周の液が外周へ次々と移動していくため、外周の膜厚が内周の膜厚よりも厚くなる。図３７に示すように、本発明に係るセンターキャップ２６は、例えば円錐状の、傘状部２６ｂを有する。そのため、本発明に係るセンターキャップ２６を用いると、遠心力により外周へ移動して行った膜を、センターキャップ２６上に滴下した紫外線硬化樹脂液が、例えば円錐状の、傘状部２６ｂを伝わり、より内周部側から補給するので、内周部から外周部に亘って均一な膜を得ることができる。
【０１０９】
このように、内周から外周に向かって傾斜する、例えば円錐状の、傘状部２６ｂを有するセンターキャップ２６を、１層以上の情報層を有する光情報記録媒体のカバー層１５０の形成に用いることで、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さが従来より大幅に低く、かつ、内周から外周にかけて均一な膜厚を持つ１層又は多層の光情報記録媒体を得ることができる。
【０１１０】
又、内周から外周に向かって傾斜する、例えば円錐状の、傘状部２６ｂを有するセンターキャップ２６を、２層以上の情報層を有する光情報記録媒体の中間層１３０及びカバー層１５０の形成に用いることで、どの層にも放射状の線状欠陥３６が少ない、内周から外周にかけて均一な膜厚を持つ多層の光情報記録媒体を得ることができる。
【０１１１】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【０１１２】
例えば、本発明は、スピンコート法により中心に貫通穴を有する基板上に層を形成するものであれば、光情報記録媒体以外にも適用可能である。
【０１１３】
又、本発明において、スピンコート法で形成する層は、カバー層、中間層以外の層でも構わない。
【０１１４】
又、実施例９及び１０では、センターキャップに外気導入孔、外気導入部材を設ける例を示したが、外気導入孔、外気導入部材は図４８や図５１で示したものには限定されない。すなわち、センターキャップと基板との隙間に負圧が生じることを防止できれば、外気導入孔の構造等、外気導入部材の形状等はどのようなものでも構わない。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】基板の情報層が形成された側から光を照射することにより情報信号の再生及び／又は記録を行うようにした２層構造の光情報記録媒体の構成を例示する断面図である。
【図２】光情報記録媒体を構成する基板の外観を例示する模式図である。
【図３】スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられる従来のセンターキャップ２５を例示する図である。
【図４】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その１）である。
【図５】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その２）である。
【図６】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その３）である。
【図７】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その４）である。
【図８】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その５）である。
【図９】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その６）である。
【図１０】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その７）である。
【図１１】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その８）である。
【図１２】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その９）である。
【図１３】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その１０）である。
【図１４】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その１１）である。
【図１５】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その１２）である。
【図１６】図１３における基板１１のクランプ部１１ｂの周辺部を拡大した図である。
【図１７】図１５における基板１１のクランプ部１１ｂの周辺部を拡大した図である。
【図１８】放射状の線状欠陥３６について説明するための図である。
【図１９】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００を例示する断面図である。
【図２０】本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００の概略の構成を例示する模式図である。
【図２１】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その１）である。
【図２２】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その２）である。
【図２３】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その３）である。
【図２４】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その４）である。
【図２５】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その５）である。
【図２６】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その６）である。
【図２７】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その７）である。
【図２８】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その８）である。
【図２９】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その９）である。
【図３０】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その１０）である。
【図３１】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その１１）である。
【図３２】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その１２）である。
【図３３】図３０における基板１１０のクランプ部１１０ｂの周辺部を拡大した図である。
【図３４】図３３に示す光情報記録媒体１００をカバー層１５０側から見た平面図である。
【図３５】カバー層１５０形成用センターキャップ２５Ｄの半径Ｒ１と放射状の線状欠陥３６の発生率との関係を例示する図である。
【図３６】中間層１３０形成用センターキャップ２５Ｃの半径Ｒ１と紫外線硬化樹脂３３０の染み込みの発生率との関係を例示する図である。
【図３７】スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられる本発明に係るセンターキャップ２６を例示する図である。
【図３８】本発明の実施例４に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その１）である。
【図３９】本発明の実施例４に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その２）である。
【図４０】本発明の実施例４に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その３）である。
【図４１】本発明の実施例４に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その４）である。
【図４２】図４０における基板１１０のクランプ部１１０ｂの周辺部を拡大した図であり、
【図４３】図４１における基板１１０のクランプ部１１０ｂの周辺部を拡大した図である。
【図４４】センターキャップ２６の空間部２６ｄの最大高さＨとクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さとの関係を例示する図である。
【図４５】空間部２６ｄの最大高さＨと放射状の線状欠陥３６の発生率との関係を例示する図である。
【図４６】センターキャップ２６の端面２６ｅの幅Ｗ２とクランプ部１１０ｂ上に形成される凹凸部１３０ａの最大高さとの関係を例示する図である。
【図４７】センターキャップ２６Ｃの端面２６ｅの幅Ｗ２と放射状の線状欠陥３６の発生率との関係を例示する図である。
【図４８】スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられる本発明に係るセンターキャップ２７を例示する図である。
【図４９】センターキャップ２５の嵌合部２５ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合させた様子を例示する図である。
【図５０】センターキャップ２７の嵌合部２７ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合させた様子を例示する図である。
【図５１】スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられる本発明に係るセンターキャップ２８を例示する図である。
【図５２】光情報記録媒体の半径位置とカバー層１５０の膜厚との関係を例示する図である。
【符号の説明】
【０１１６】
１０、１００  光情報記録媒体
１１、１１０  基板
１１ａ、１１０ａ  センターホール
１１ｂ、１１０ｂ  クランプ部
１２  反射層及び／又は記録層
１３、１３０  中間層
１３ａ、１３０ａ  中間層の凹凸部
１３ｂ、１３０ｂ  中間層の凸部
１４  第２反射層及び／又は第２記録層
１５、１５０  カバー層
１５ａ  カバー層の凹凸部
１５ｂ、１５０ｂ  カバー層の凸部
１６、１６０  レーザ光
１７、１７０  対物レンズ
２１、２１０  回転テーブル
２２、２２０  基板位置決め部
２５、２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃ、２５Ｄ、２６、２６Ａ、２６Ｂ、２７、２８  センターキャップ
２５ａ、２６ａ、２７ａ、２８ａ  突起部
２５ｂ、２６ｂ、２７ｂ、２８ｂ  傘状部
２５ｃ、２６ｃ、２７ｃ、２８ｃ  嵌合部
２５ｅ、２６ｅ、２７ｅ、２８ｅ  端面
２６ｄ  空間部
２７ｘ、２８ｘ  外気導入孔
２８ｙ  外気導入部材
２９ａ  隙間
３３、３３０  紫外線硬化樹脂
３４、３４０  スタンパ
３４ａ、３４０ａ  スタンパ３４の上面
３４ｂ、３４０ｂ  スタンパ３４の下面
３５、３５０  紫外線
３６  線状欠陥
１２０  反射層
１４０  第２反射層
２００  製造装置
２３０  回転軸
２４０  駆動モータ
２６０  紫外線硬化樹脂供給ノズル
２７０  紫外線（ＵＶ）照射機
Ｈ  高さ
Ｒ１、Ｒ２  半径
Ｔ１、Ｔ２  厚さ
Ｗ２  幅
【図１】
2009151909.tif 000003
【図２】
2009151909.tif 000004
【図３】
2009151909.tif 000005
【図４】
2009151909.tif 000006
【図５】
2009151909.tif 000007
【図６】
2009151909.tif 000008
【図７】
2009151909.tif 000009
【図８】
2009151909.tif 000010
【図９】
2009151909.tif 000011
【図１０】
2009151909.tif 000012
【図１１】
2009151909.tif 000013
【図１２】
2009151909.tif 000014
【図１３】
2009151909.tif 000015
【図１４】
2009151909.tif 000016
【図１５】
2009151909.tif 000017
【図１６】
2009151909.tif 000018
【図１７】
2009151909.tif 000019
【図１８】
2009151909.tif 000020
【図１９】
2009151909.tif 000021
【図２０】
2009151909.tif 000022
【図２１】
2009151909.tif 000023
【図２２】
2009151909.tif 000024
【図２３】
2009151909.tif 000025
【図２４】
2009151909.tif 000026
【図２５】
2009151909.tif 000027
【図２６】
2009151909.tif 000028
【図２７】
2009151909.tif 000029
【図２８】
2009151909.tif 000030
【図２９】
2009151909.tif 000031
【図３０】
2009151909.tif 000032
【図３１】
2009151909.tif 000033
【図３２】
2009151909.tif 000034
【図３３】
2009151909.tif 000035
【図３４】
2009151909.tif 000036
【図３５】
2009151909.tif 000037
【図３６】
2009151909.tif 000038
【図３７】
2009151909.tif 000039
【図３８】
2009151909.tif 000040
【図３９】
2009151909.tif 000041
【図４０】
2009151909.tif 000042
【図４１】
2009151909.tif 000043
【図４２】
2009151909.tif 000044
【図４３】
2009151909.tif 000045
【図４４】
2009151909.tif 000046
【図４５】
2009151909.tif 000047
【図４６】
2009151909.tif 000048
【図４７】
2009151909.tif 000049
【図４８】
2009151909.tif 000050
【図４９】
2009151909.tif 000051
【図５０】
2009151909.tif 000052
【図５１】
2009151909.tif 000053
【図５２】
2009151909.tif 000054