(57)【要約】【課題】  感度及び現像性に優れ、且つフィルム性（フィルム状の形態を保持する特性）に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供する。【解決手段】  （Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂と、（Ｂ）フェノール樹脂と、（Ｃ）光重合性化合物と、（Ｄ）光重合開始剤と、（Ｅ）無機フィラーと、を含有する感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂の重量平均分子量が１，０００〜３５，０００であり、前記（Ｂ）フェノール樹脂のＯＨ当量が１２０ｇ／ｅｑ以上である感光性樹脂組成物。支持フィルムと、該支持フィルム上に形成された前記の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層とを備える感光性エレメント。【選択図】  図１
2009258277.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂と、
（Ｂ）フェノール樹脂と、
（Ｃ）光重合性化合物と、
（Ｄ）光重合開始剤と、
（Ｅ）無機フィラーと、
を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂の重量平均分子量が１，０００〜３５，０００であり、
前記（Ｂ）フェノール樹脂のＯＨ当量が１２０ｇ／ｅｑ以上である感光性樹脂組成物。
【請求項２】
（Ｆ）シランカップリング剤をさらに含有する、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
熱硬化剤をさらに含有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
支持フィルムと、該支持フィルム上に形成された請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種センサ用の中空パッケージ構造を作製する際の各部材の接着には、印刷法によって塗布される液状のＵＶ硬化型感光性樹脂組成物が用いられる場合がある。例えば、ＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージセンサのパッケージを作製する場合、イメージセンサチップのセンサ部分を水分やほこり等から保護するため、チップにおけるセラミック製又はエポキシ樹脂製等のリブ上にＵＶ硬化型感光性樹脂組成物を塗布して、その上から保護ガラスを被せて接着する。
【０００３】
こうしたイメージセンサ向けの感光性樹脂組成物には、シリコン基板やガラス基板への高接着強度、気密封止性、感度、現像性、密着性、解像性、低吸水率、低イオン不純物、高信頼性などの特性が求められている。また、近年のカメラモジュールの微細化に伴い、微細化及び位置精度向上等の要求を満足できる感光性樹脂組成物の開発が求められている。さらに、昨今の価格競争に伴い、工程数短縮によるコスト削減が図られ、一括成型が可能なフィルムタイプの感光性樹脂組成物（感光性エレメント）が求められている。
【０００４】
感光性エレメントは、プリント配線板の回路形成用やソルダーレジスト用として広く開発されている。例えば、特許文献１には密着性、解像度に優れ、かつスカムの発生を抑えた感光性樹脂組成物、さらにプリント配線板の高密度化に有用な感光性エレメントが開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３５１０７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の感光性樹脂組成物を使用した場合、接着性向上剤として感光性樹脂組成物中に含有させるシランカップリング剤等が低粘度であるため、感光性エレメントを作製する際に感光性樹脂組成物層が柔らかくなり、しわやすじ、エッジフュージョンなどを引き起こし安定した塗膜面を有する感光性エレメントを得ることが困難である。
【０００７】
また、現像性を向上させるためには感光性樹脂組成物中に含まれる樹脂を低分子量化する手法が一般的に用いられるが、感光性エレメントにおいて本手法を用いると、感光性樹脂組成物層が柔軟となり、安定した塗膜面を得ることができなかった。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、感度及び現像性に優れ、且つフィルム性（フィルム状の形態を保持する特性）に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂と、（Ｂ）フェノール樹脂と、（Ｃ）光重合性化合物と、（Ｄ）光重合開始剤と、（Ｅ）無機フィラーとを含有する感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂の重量平均分子量が１，０００〜３５，０００であり、前記（Ｂ）フェノール樹脂のＯＨ当量が１２０ｇ／ｅｑ以上である感光性樹脂組成物を提供する。
【００１０】
本発明の感光性樹脂組成物は、上記構成を備えることで、感度及び現像性に優れ、且つフィルム形成性に優れたものとなる。
【００１１】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｆ）シランカップリング剤をさらに含有することが好ましい。これにより、上記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層の基板への接着強度が一層優れたものとなる。
【００１２】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、熱硬化剤をさらに含有すると好ましい。
【００１３】
また、本発明は、支持フィルムと、該支持フィルム上に形成された上記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層とを備える感光性エレメントを提供する。
【００１４】
このような感光性エレメントは、感光性樹脂組成物層が上記本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成された層であるため、感度及び現像性に優れ、且つフィルム性（フィルム状の形態を保持する特性）に優れたものとなる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、感度及び現像性に優れ、且つフィルム性に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。本明細書における「（メタ）アクリレート」とは、「アクリレート」及びそれに対応する「メタクリレート」を意味する。同様に「（メタ）アクリル」とは、「アクリル」及びそれに対応する「メタクリル」を意味し、「（メタ）アクリロイル」とは「アクリロイル」及びそれに対応する「メタクリロイル」を意味する。
【００１７】
［感光性樹脂組成物］
本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂（以下、場合により「（Ａ）成分」という）と、（Ｂ）フェノール樹脂（以下、場合により「（Ｂ）成分」という）と、（Ｃ）光重合性化合物（以下、場合により「（Ｃ）成分」という）と、（Ｄ）光重合開始剤（以下、場合により「（Ｄ）成分」という）と、（Ｅ）無機フィラー（以下、場合により「（Ｅ）成分」という）とを含有する。
【００１８】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、上記（Ａ）〜（Ｅ）成分に加え、（Ｆ）シランカップリング剤（以下、場合により「（Ｆ）成分」という）を含むことが好ましい。
【００１９】
以下、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。
【００２０】
＜（Ａ）成分＞
本発明の（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂としては、その組成や合成方法に特に制限はないが、例えば、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、イソシアネート基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル共重合体に、少なくとも１個のエチレン性不飽和基と、オキシラン環、イソシアネート基、水酸基、カルボキシル基等の１個の官能基を有する化合物を付加反応させて得られる側鎖にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性共重合体等を使用することができる。
【００２１】
前記カルボキシル基、水酸基、アミノ基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル共重合体の製造に用いられる必須のビニル単量体としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、ケイ皮酸、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド、イソシアン酸エチルメタクリレート、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、無水マレイン酸等のカルボキシル基、水酸基、アミノ基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル単量体等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用される。
【００２２】
上記の側鎖にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性共重合体の製造には必要に応じ、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル単量体以外のビニル単量体を共重合させることができる。
【００２３】
これらのビニル単量体としては、例えば、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ｎ−プロピル、メタクリル酸ｎ−プロピル、アクリル酸iso−プロピル、メタクリル酸iso−プロピル、アクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸iso−ブチル、メタアクリル酸iso−ブチル、アクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸tert−ブチル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸ペンチル、メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシル、メタクリル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、メタクリル酸ヘプチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、メタクリル酸オクチル、アクリル酸ノニル、メタクリル酸ノニル、アクリル酸デシル、メタクリル酸デシル、アクリル酸ドデシル、メタクリル酸ドデシル、アクリル酸テトラデシル、メタクリル酸テトラデシル、アクリル酸ヘキサデシル、メタクリル酸ヘキサデシル、アクリル酸オクタデシル、メタクリル酸オクタデシル、アクリル酸エイコシル、メタクリル酸エイコシル、アクリル酸ドコシル、メタクリル酸ドコシル、アクリル酸シクロペンチル、メタクリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸シクロヘプチル、メタクリル酸シクロヘプチル、アクリル酸ベンジル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニル、メタクリル酸フェニル、アクリル酸メトキシエチル、メタクリル酸メトキシエチル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸ジエチルアミノエチル、メタクリル酸ジエチルアミノエチル、アクリル酸ジメチルアミノプロピル、メタクリル酸ジメチルアミノプロピル、アクリル酸２−クロロエチル、メタクリル酸２−クロロエチル、アクリル酸２−フルオロエチル、メタクリル酸２−フルオロエチル、スチレン、α−メチルスチレン、シクロヘキシルマレイミド、アクリル酸ジシクロペンタニル、メタクリル酸ジシクロペンタニル、ビニルトルエン、塩化ビニル、酢酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００２４】
また、側鎖にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性共重合体のエチレン性不飽和基濃度は、１．０×１０−４〜６．０×１０−３モル／ｇとすることが好ましく、２．０×１０−４〜５．０×１０−３モル／ｇとすることがより好ましく、３×１０−４〜４．０×１０−３モル／ｇとすることがさらに好ましい。このエチレン性不飽和基濃度が１．０×１０−４モル／ｇ未満であると光による硬化性が低下する傾向があり、６．０×１０−３モル／ｇを超えると側鎖にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性共重合体を製造する際にゲル化を起こす傾向がある。
【００２５】
本発明における（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂（アクリル系ポリマ）の重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレン換算した値）は、耐熱性、塗布性、感光性エレメントとした場合のフィルム性（フィルム状の形態を保持する特性）、溶媒への溶解性及び後述する現像工程における現像液への溶解性等の観点から、１，０００〜３５，０００であり、５，０００〜３０，０００とすることが好ましく、１０，０００〜２５，０００とすることがより好ましい。
【００２６】
本実施形態に係る（Ａ）成分は、必要に応じて光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂以外の、光重合性不飽和基を有しない、いわゆるバインダポリマを併用することができる。
【００２７】
前記バインダポリマとしては特に制限はなく、例えばビニル共重合体が挙げられ、ビニル共重合体に用いられるビニル単量体としては、前述のものが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００２８】
（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂は、後述する現像により感光性樹脂組成物層を選択的に除去してパターンを形成する工程において、公知の各種現像液により現像可能となるように酸価を規定することができる。
【００２９】
例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミン等のアルカリ水溶液を用いて現像する場合には、（Ａ）成分の酸価を５０〜２６０ｍｇＫＯＨ／ｇとすることが好ましく、６０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇとすることがより好ましく、７０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇとすることがさらに好ましい。この酸価が、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では現像が困難となる傾向があり、２６０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると耐現像液性（現像により除去されずにパターンとなる部分が、現像液によって侵されない性質）が低下する傾向がある。
【００３０】
また、水又はアルカリ水溶液と１種以上の界面活性剤とからなるアルカリ水溶液を用いて現像する場合には、酸価を、１６〜２６０ｍｇＫＯＨ／ｇとすることが好ましい。この酸価が、１６ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では現像が困難となる傾向があり、２６０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると耐現像液性が低下する傾向がある。
【００３１】
感光性樹脂組成物中の（Ａ）成分の含有量は、感光性樹脂組成物の感度、解像度及び密着性とフィルム性をバランスよく向上させる観点から、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分の固形分総量１００重量部に対して、１０〜７０重量部であることが好ましく、２０〜６０重量部であることがより好ましく、３０〜５０重量部であることがさらに好ましい。
【００３２】
＜（Ｂ）成分＞
（Ｂ）フェノール樹脂としては、例えば、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂等が挙げられる。ノボラック型フェノール樹脂は、フェノール類とホルムアルデヒド類を酸性触媒の存在下で反応させることにより得られる。レゾール型フェノール樹脂は、フェノ−ル類とアルデヒド類をアルカリ性触媒の存在下で反応させることにより得られる。
【００３３】
上記フェノ−ル類としては、フェノ−ル、ｏ−クレゾール，ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール、キシレノール、ｐ−ターシャリーブチルフェノール、ｐ−オクチルフェノール、ｐ−ノニルフェノール、ｐ−クミルフェノール等のアルキルフェノール類、カテコール類、レゾルシン類、ビフェニル類、ビスフェノール類等が挙げられるが、これらの中でも十分な感度を得る観点から、フェノール及びクレゾールが好ましい。これらフェノ−ル類は単独で用いても混合してもよい。
【００３４】
上記アルデヒド類としては、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、ポリオキシメチレン、トリオキサン等が使用できる。これらアルデヒド類は単独で用いても混合してもよい。
【００３５】
上記酸性触媒としては、硫酸、塩酸、蓚酸、酢酸、蟻酸、フェノールスルホン酸、ｐ−トルエンスルホン酸等が挙げられる。これら酸性触媒は単独で用いても混合してもよい。アルカリ性触媒としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化バリウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウム等が挙げられる。これらアルカリ性触媒は、単独で用いても混合してもよい。
【００３６】
本発明に用いられる（Ｂ）成分であるフェノール樹脂のＯＨ当量は、１２０ｇ／ｅｑ以上であり、光感度、現像性及びフィルム性のバランスを一層良好にする観点から、１２０ｇ／ｅｑ〜２５０ｇ／ｅｑであることが好ましく、１５０〜２３０ｇ／ｅｑであることがより好ましく、１８０〜２２０ｇ／ｅｑであることがさらに好ましい。
【００３７】
感光性樹脂組成物中の（Ｂ）成分の含有量は、感光性樹脂組成物の感度、解像度及び密着性とフィルム性をバランスよく向上させる観点から、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分の固形分総量１００重量部に対して、５〜５０重量部であることが好ましく、１０〜４５重量部であることがより好ましく、１５〜４０重量部であることがさらに好ましい。
【００３８】
＜（Ｃ）成分＞
（Ｃ）光重合性化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー又はウレタンオリゴマーなどが挙げられ、これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β'−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ＥＯ変性ノニルフェニル（メタ）アクリレートなどが例示可能である。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３９】
（Ｃ）成分は、感光性樹脂組成物の光感度及び解像度を一層向上させる観点から、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物を含有することが好ましい。
【００４０】
ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。
【００４１】
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられ、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−２００（新中村化学工業株式会社製、商品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業株式会社製、商品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業株式会社製、商品名）として商業的に入手可能である。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４２】
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカプロポキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４３】
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４４】
上記多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、α，β−不飽和カルボン酸として（メタ）アクリル酸等を用いたものが挙げられる。具体的には、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４でありプロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４５】
なお、「ＥＯ」とは「エチレンオキシド」のことをいい、「ＰＯ」とは「プロピレンオキシド」のことをいう。また、「ＥＯ変性」とはエチレンオキシドユニット（−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味し、「ＰＯ変性」とはプロピレンオキシドユニット（−ＣＨ２−ＣＨ（ＣＨ３）−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味する。
【００４６】
上記グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、α，β−不飽和カルボン酸として（メタ）アクリル酸等を用いたものが挙げられる。具体的には、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート及び２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）フェニル等が挙げられる。
【００４７】
上記ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、及び、ＥＯ又はＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００４８】
更に、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル及び（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００４９】
これら（Ｃ）成分は、１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００５０】
感光性樹脂組成物中の（Ｃ）成分の含有量は、感光性樹脂組成物の光感度、解像度及び密着性をより向上させる観点から、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分の固形分総量１００重量部に対して、２０〜７０重量部であることが好ましく、２５〜６０重量部であることがより好ましく、３０〜５０重量部であることがさらに好ましい。
【００５１】
＜（Ｄ）成分＞
本発明に用いられる（Ｄ）光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン類、アルキルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９'−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体、Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物などが挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００５２】
（Ｄ）成分は、底部硬化性を一層向上させる観点から、ベンジル誘導体を含むことが好ましく、ベンジルジメチルケタールを含むことがより好ましい。
【００５３】
感光性樹脂組成物中の（Ｄ）成分の含有量は、感光性樹脂組成物の光感度、密着性及び解像度をより向上させる観点から、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分の固形分総量１００重量部に対して、０．１〜２０重量部であることが好ましく、１〜１５重量部であることがより好ましく、３〜１０重量部であることがさらに好ましい。
【００５４】
＜（Ｅ）成分＞
本発明で用いられる（Ｅ）成分の無機フィラーとしては、例えば、アルミナ、酸価セリウム、酸価コバルト、酸化銅、酸価鉄、酸価マグネシウム、二酸化珪素、酸価スズ、酸価インジウムスズ、酸価亜鉛、酸価イットリウム、酸価ホルミウム、酸価ビスマス等が挙げられる。
【００５５】
（Ｅ）成分である無機フィラーは必要に応じてエタノール、イソプロピルアルコール、キシレン、トルエン、酢酸ブチル等に分散させて配合することができる。
【００５６】
感光性樹脂組成物中の（Ｅ）成分の含有量は、感光性樹脂組成物のフィルム性を一層向上させる観点から、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分の固形分総量１００重量部に対して、１０〜７０重量部であることが好ましく、２０〜６０重量部であることがより好ましく、３０〜５０重量部であることがさらに好ましい。
【００５７】
＜（Ｆ）成分＞
本発明の感光性樹脂組成物は、基板への接着強度をさらに向上する観点から、密着性付与剤として、（Ｆ）シランカップリング剤を含有することが好ましい。（Ｆ）シランカップリング剤としては、例えば、アミノ系シランカップリング剤、ウレイド系シランカップリング剤、グリシド系シランカップリング剤、ビニル系シランカップリング剤、メタクリル系シランカップリング剤、エポキシ系シランカップリング剤、メルカプト系シランカップリング剤及びイソシアネート系シランカップリング剤が挙げられ、それらの加水分解基としてはアルコキシ基、クロル基、アセトキシ基、オキシム基、イソプロペノキシ基、アミド基等が挙げられる。具体的には、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリメトキシシランが挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００５８】
本実施形態に係る（Ｆ）成分は、加水分解反応の制御範囲が広く、ハンドリングが容易であることから、アルコキシ基を加水分解基とするシランカップリング剤であることが好ましい。
【００５９】
本実施形態に係る（Ｆ）成分は、感光性樹脂組成物層の基板への接着強度を一層高める観点から、上記シランカップリング剤のうち２種類を組み合わせて用いることが好ましい。中でもアルコキシ基を有するメタクリル系シランカップリング剤と、アルコキシ基を有するグリシド系シランカップリング剤とを組み合わせて用いることがより好ましい。
【００６０】
感光性樹脂組成物が（Ｆ）成分を含む場合、（Ｆ）成分の含有量は、感光性樹脂組成物の密着性及び接着強度を一層向上させる観点から、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分の固形分総量１００重量部に対して、０．１〜２０重量部であることが好ましく、０．５〜１５重量部であることがより好ましく、１〜１０重量部であることがさらに好ましい。
【００６１】
感光性樹脂組成物には、本発明により得られる効果を阻害しない範囲で、熱硬化剤を添加することが好ましい。熱硬化剤は、加熱により感光性樹脂組成物中に架橋構造を形成する作用を有する化合物であって、上記（Ａ）〜（Ｆ）の何れにも該当しない化合物を意味する。
このような熱硬化剤としては、特に、制限はないが、例えば、加熱によりそれ自体が架橋する熱硬化剤、即ち、熱を加えることにより、高分子網目を形成する硬化剤や加熱により（Ａ）成分の光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂と反応し３次元構造を形成する硬化剤等が挙げられる。加熱によりそれ自体が架橋する熱硬化剤としてはエポキシ樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ビスマレイミド化合物などが挙げられる。
【００６２】
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型三級脂肪酸変性ポリオールエポキシ樹脂、フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等のジグリシジルエステル類、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルトルイジン等のジグリシジルアミン類等が挙げられる。これらは１種を単独で、または２種以上を併用して使用してもよい。
【００６３】
ビスマレイミド化合物はｍ−ジ−Ｎ−マレイミジルベンゼン、ビス（４−Ｎ−マレイミジルフェニル）メタン、２，２−ビス（４−Ｎ−マレイミジルフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−Ｎ−マレイミジル２，５−ジブロモフェニル）プロパン、２，２−ビス〔（４−Ｎ−マレイミジルフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔（４−Ｎ−マレイミジル−２−メチル−５−エチルフェニル）プロパン等の各種ビスマレイミド化合物がそのまま若しくは混合物として用いられる。
【００６４】
これらのビスマレイミド化合物は単体としても各種樹脂との変性物でもどちらも用いることが可能である。
【００６５】
加熱により（Ａ）成分の官能基（例えばカルボキシル基等）と反応し、３次元構造を形成する硬化剤としては、ブロックイソシアネート化合物が挙げられる。
ブロックイソシアネート化合物としては、アルコール化合物、フェノール化合物、ε−カプロラクタム、オキシム化合物、活性メチレン化合物等のブロック剤によりブロック化されたポリイソシアネート化合物が挙げられる。
【００６６】
ブロック化されるポリイソシアネート化合物としては、４，４−ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、ナフタレン１，５−ジイソシアネート、ｏ−キシレンジイソシアネート、ｍ−キシレンジイソシアネート、２，４−トリレンダイマー等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、４，４−メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、イソホロンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネートが挙げられ、耐熱性の観点からは芳香族ポリイソシアネートが、着色防止の観点からは脂肪族ポリイソシアネート又は脂環式ポリイソシアネートが、好ましい。
【００６７】
感光性樹脂組成物が上記熱硬化剤を含む場合、熱硬化剤の含有量は、感光性樹脂組成物の密着性及び接着強度を一層向上させる観点から、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分の固形分総量１００重量部に対して、０．１〜３０重量部であることが好ましく、１〜２０重量部であることがより好ましく、５〜１５重量部であることがさらに好ましい。
【００６８】
＜その他の成分＞
以上、本実施形態の感光性樹脂組成物に含まれる（Ａ）〜（Ｆ）成分について詳細に説明したが、本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、これら以外の成分、ビニル化合物、可塑剤、染料、顔料、イメージング剤、充填剤、有機フィラー、密着性付与剤等を配合して使用することができる。
【００６９】
［感光性エレメント］
本発明の感光性エレメントは、支持フィルムと、該支持フィルム上に形成された本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層とを備える。また、本発明の感光性エレメントは、感光性樹脂組成物層の支持フィルムと反対側の面に接するように積層された保護フィルムを更に備えることが好ましい。
【００７０】
図１は、好適な実施形態に係る感光性エレメントの断面構成を模式的に示す図である。
図１に示すように、感光性エレメント１は、支持フィルム１０と、この支持フィルム１０上に設けられた感光性樹脂組成物層２０と、感光性樹脂組成物層２０上に設けられた保護フィルム３０とを備えている。ここで、感光性樹脂組成物層２０は、上述した本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成された層である。
【００７１】
支持フィルム１０としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙げられる。これらのうち、透明性の観点からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムを用いることが好ましい。なお、これらの重合体フィルムは、後に感光性樹脂組成物層２０から除去可能でなくてはならないため、除去が不可能となるような表面処理が施されたものであったり、材質であったりしてはならない。
【００７２】
また、支持フィルム１０の厚みは、５〜１００μｍであることが好ましく、１０〜５０μｍであることがより好ましい。支持フィルムの厚みが、５μｍ未満であると、支持フィルムを剥離する際に支持フィルムが破れやすくなる傾向があり、一方、１００μｍを超えると、解像度及び可とう性が低下する傾向がある。
【００７３】
感光性樹脂組成物層２０は、例えば、支持フィルム１０上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布した後、乾燥することにより形成することができる。塗布は、例えば、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、７０〜１５０℃で５〜３０分間程度で行うことができる。
【００７４】
支持フィルム１０上に感光性樹脂組成物を塗布する際、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に感光性樹脂組成物を溶解した、固形分３０〜７０重量％程度の溶液を塗布することが好ましい。
【００７５】
感光性樹脂組成物層２０の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで１０〜１００μｍであることが好ましく、２０〜６０μｍであることがより好ましい。この厚みが１０μｍ未満では塗工が工業的に困難となる傾向があり、１００μｍを超えると本発明により奏される上述の効果が小さくなりやすく、特に、可撓性及び解像度が低下する傾向にある。
【００７６】
感光性エレメント１は、支持体１０上に形成された感光性樹脂組成物層２０の上に保護フィルム３０を積層することによって製造できる。
【００７７】
保護フィルム３０としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。感光性エレメント１においては、保護フィルム３０として上述の支持フィルム１０と同様の重合体フィルムを用いてもよい。
【００７８】
保護フィルム３０と感光性樹脂組成物層２０との間の接着力は、保護フィルム３０を感光性樹脂組成物層２０から剥離しやすくするために、感光性樹脂組成物層２０と支持フィルム１０との間の接着力よりも小さいことが好ましい。
【００７９】
保護フィルム３０の厚みは、１〜１００μｍであることが好ましく、５〜５０μｍであることがより好ましく、５〜３０μｍであることが更に好ましく、１５〜３０μｍであることが特に好ましい。保護フィルムの厚みが１μｍ未満ではラミネートの際、保護フィルムが破れやすくなる傾向があり、１００μｍを超えると価格が高くなる傾向がある。
【００８０】
感光性エレメント１は、例えば、そのままの平板状の形態で、又は、円筒状などの巻芯に巻きとりロール状の形態で貯蔵することができる。なお、この際、支持フィルム１０が最も外側になるように巻き取られることが好ましい。
【００８１】
また、感光性エレメント１が保護フィルム３０を有してない２層構成である場合、かかる感光性エレメントは、そのままの平板状の形態で、又は、感光性樹脂組成物層２０の支持フィルム側と反対側の面に保護フィルムをさらに積層し、円筒状などの巻芯に巻きとり、ロール状の形態で保管することができる。
【００８２】
［パターンの形成方法］
本発明の感光性エレメントを用いたパターンの形成方法は、感光性エレメントから保護フィルムを除去する除去工程と、該感光性エレメントを感光性樹脂組成物層、支持体の順に基材又は部材上に積層する積層工程と、活性光線を感光性樹脂組成物層の所定の部分に照射して、感光性樹脂組成物層に光硬化部を形成させる露光工程と、光硬化部以外の感光性樹脂組成物層を除去する現像工程とを含むものである。なお、保護フィルムが設けられていない感光性エレメントの場合は、上記除去工程は行わない。
【００８３】
積層工程では、感光性樹脂組成物層を加熱しながら基材又は部材表面等に圧着することにより積層する。積層の際の雰囲気は特に制限されないが、密着性及び追従性等の見地から減圧下で積層することが好ましい。感光性樹脂組成物層の加熱温度は７０〜１３０℃とすることが好ましく、圧力は０．１〜１．０ＭＰａ程度とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光性樹脂組成物層を上記のように７０〜１３０℃に加熱すれば、予め基材又は部材を予熱処理することは必要ではないが、積層性を更に向上させるために、基材又は部材の予熱処理を行うこともできる。
【００８４】
露光工程では、感光性樹脂組成物層にアートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を照射した後、現像液で現像することによってパターンが得られる。この際、用いられる活性光線としは、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものを用いることができる。
【００８５】
現像工程では、安全かつ安定で、操作性が良好な現像液が用いられる。現像液としては、例えば、２０〜５０℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液（１〜５重量％水溶液）等が用いられる。半導体用途など金属軽元素を低減する必要がある場合は、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液等を用いることができる。現像の方式には、ディップ方式、スプレー方式等があり、高圧スプレー方式が現像性、解像度向上のためには最も適している。
【００８６】
以上の工程によって、パターンが形成された基材又は部材は、その後、部品実装（例えば、はんだ付け）がなされ、カメラ等の電子機器へ装着される。
【００８７】
本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターンは、任意の基材又は部材同士の接着剤として好適に用いられる。例えば、ＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージセンサチップとその保護ガラスとを接着するための接着剤として用いてもよい。この場合、イメージセンサチップがリブを備えており、そのリブ上にパターン化された感光性樹脂組成物層を形成し、更に保護ガラスをその上から被せて所定の処理を施して接着してもよい。あるいは、イメージセンサチップがリブを備えない場合、イメージセンサチップの周縁部上にパターン化された感光性樹脂組成物層を形成し、更に保護ガラスをその上から被せて所定の処理を施して接着してもよい。この場合、本発明の感光性樹脂組成物によると、現像性に優れているため、所望のパターンに感光性樹脂組成物層を形成することができる。
【００８８】
例えば、温度１３０〜１８０℃、圧力０．１〜１．５ＭＰａの条件で、１〜６０秒間、加熱加圧して行われる熱圧着工程によって任意の基材同士を接着する。接着性等を向上させるため、熱圧着工程後に１５０〜１８０℃程度の範囲で、３０〜９０分間程度の範囲で加熱を行うことが好ましい。
【００８９】
任意の基材同士を接着する本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、十分に高い接着強度が得られるとともに、良好な現像性と十分に低い吸水率を兼ね備えるので、上述のイメージセンサ以外の各種センサ用の中空パッケージ構造作製の用途にも有効である。
【００９０】
また、上述の形成方法により得られるパターンは、基板上に形成される永久レジストのようなレジストとして使用することもできる。ここで、基板としては、絶縁層と、絶縁層上に形成された導電体層（銅、銅系合金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金からなる）とを備えた基板や、シリコン基板、ガラス基板等が挙げられる。
【００９１】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はこれに制限されるものではない。
【実施例】
【００９２】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９３】
（実施例１〜２及び比較例１〜３）
（感光性樹脂組成物の作製）
以下に示す（Ａ）〜（Ｆ）成分及びその他の成分を準備し、表１に示す配合量（単位：重量部）で配合して感光性樹脂組成物の溶液を調製した。なお、表中の（Ａ）〜（Ｆ）成分、熱硬化剤及び熱重合開始剤の数値は、各成分の固形分の配合比を示す。
＜（Ａ）成分：光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂＞
Ａ−１：メタクリル酸／メタクリル酸ジシクロペンタニル（日立化成工業株式会社製、商品名ＦＡ-５１３Ｍ）／メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸２−ヒドロキシエチル／２，２'−アゾビス（イソブチロニトリル）共重合体（重量比：１５／１８．６／２０／１．４／４５、重量平均分子量：２４，０００）
Ａ−２：メタクリル酸／メタクリル酸ジシクロペンタニル（日立化成工業株式会社製、商品名ＦＡ-５１３Ｍ）／メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸２−ヒドロキシエチル／２，２'−アゾビス（イソブチロニトリル）共重合体（重量比：１５／１８．６／２０／１．４／４５、重量平均分子量：５３，０００）
【００９４】
＜（Ｂ）成分：フェノール樹脂＞
Ｂ−１：４，４'−ビス（メトキシメチル）フェノール樹脂（明和化成株式会社製、商品名「Ｈ−１Ｓ」、ＯＨ当量：１０５ｇ／ｅｑ）
Ｂ−２：４，４'−ビス（メトキシメチル）ビフェニル−フェノール樹脂（明和化成株式会社製、商品名「ＭＥＨ−７８５１ＳＳ」、ＯＨ当量：２１０ｇ／ｅｑ）
【００９５】
＜（Ｃ）成分：光重合性化合物＞
Ｃ−１：２，２−ビス（４−（メタクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン（新中村化学工業株式会社製、商品名「ＢＰＥ−２００」）
＜（Ｄ）成分：光重合開始剤＞
Ｄ−１：２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名「ＩＲＧＡＣＵＲＥ−６５１」）
＜（Ｅ）成分：無機フィラー＞
Ｅ−１：無機シリカフィラー（平均粒径：０．５４μｍ、７０重量％メチルイソブチルケトン希釈）
＜（Ｆ）成分：シランカップリング剤＞
Ｆ−１：メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（東レ・ダウコーニング株式会社製、商品名「ＳＺ−６０３０」）
Ｆ−２：３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（ＧＥ東芝シリコーン株式会社製、商品名「ＳＩＬＱＵＥＳＴ Ａ−１８７」）
【００９６】
＜その他の成分＞
その他の成分として、熱硬化剤「ＢＭＩ−４０００」（ビスフェノールＡ型マレイミド、大和化成工業株式会社製）及び熱重合開始剤「パーへキサＨＣ」（１，１−ジ−［ｔ−ヘキシルパーオキシ］シクロヘキサン、日本油脂株式会社製、商品名）を準備した。
【００９７】
【表１】
2009258277.tif 000003
【００９８】
この感光性樹脂組成物溶液を支持フィルムである５０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して感光性樹脂組成物層を形成し、感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、それぞれ５０μｍであった。
【００９９】
実施例及び比較例で得られた感光性エレメントの感光性樹脂組成物層を８０℃に加熱しながらシリコンウェハー上に常圧ラミネータ（大成ラミネータ株式会社製）を用い、８０℃、０．４ＭＰａ、１．０ｍ／分の条件でそれぞれラミネートして評価基板を得た。
【０１００】
［感光特性の評価］
次いで、このようにして得られた評価基板に、日立４１段ステップタブレットスケール（ＳＴ＝ｘ／４１）と日立テストパターンＧ２ネガフィルム（解像度ライン幅／スペース幅（Ｌ／Ｓ）＝３０〜２００／３０〜２００μｍ、密着性Ｌ／Ｓ＝３０〜２００／４００μｍ、抜け解像度Ｌ／Ｓ＝４００／３０〜２００μｍ）を使用し、５ｋｗ高圧水銀灯（株式会社オーク製作所製、商品名「ＨＭＷ−２０１ＧＸ」）を用いて６００ｍＪ／ｃｍ２の露光を行った。
【０１０１】
露光後の基板からポリエチレンテレフタレートフィルムを除去した後、２３℃で３．３重量％水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液（０．３重量％界面活性剤含む）を最小限増時間の１．２倍の時間スプレーすることにより、未露光部分を除去した。
【０１０２】
現像後、パターンが形成された日立４１段ステップタブレットスケール（ＳＴ＝ｘ／４１）の最終残存段数を読み取り、これを感度とした。また、ラインとラインとの間が完全に現像されているテストパターンの最小のライン幅の値を解像度とし、最小のスペース幅の値を抜け解像度とした。さらに、ライン幅が膨張、欠けることなく完全に残っているテストパターンの最小のラインの幅の値を密着性とした。結果を表２に示す。
【０１０３】
［吸水率の評価］
ＪＩＳ  Ｋ７２０９に準拠して、熱硬化後の感光性樹脂組成物層の吸水率測定を以下の通り行った。吸水しない基板（ＳＵＳ板、サイズ；１００ｍｍ×１６０ｍｍ、質量；Ｍ１）に、実施例１〜２及び比較例１〜４の感光性エレメント（８０ｍｍ×１４０ｍｍ）を８０℃に加熱しながら各々ラミネートし、積層基板を作製した。その後、上記「接着強度の評価」と同様にして、露光、現像、熱圧着及び熱硬化を行って各々の試験片（質量；Ｍ２）を作製した。該試験片を室温（２５℃）の水に２４時間浸漬し、浸漬後の試験片の質量（Ｍ３）を測定した。これらの結果から、以下の式（ＩＩ）；
吸水率（％）＝｛（Ｍ３−Ｍ２）／（Ｍ２−Ｍ１）｝×１００        （ＩＩ）
によって吸水率を算出した。結果を表２に示す。
【０１０４】
[接着力の評価]
上記方法で得られた評価基板を２ｍｍ角にダイシングし、該基板と１０ｍｍ角のソーダガラス基板とを、１５０℃、１．２５ＭＰａ、１０秒間の条件で熱圧着した。
次いで１６０℃、１時間で熱硬化させた後、ｄａｇｅ社製「ｓｅｒｅｉｓ４０００」を用いて室温にてシェア強度測定を行い、接着強度を算出した。結果を表２に示す。
【０１０５】
[フィルム性の評価］
上述のように感光性エレメントを作製した後、１０℃以下で保管し、６０日後に感光性樹脂組成物層表面におけるしわ等の発生の有無で評価した。２ヶ月以内にしわの発生が認められない場合を「○」、発生が認められた場合を「×」とした。結果を表２に示す。
【０１０６】
[現像性（最小現像時間）の評価］
上記方法で得られた評価基板を、感光特性の評価と同様の条件にて全面露光し、ポリエチレンテレフタレートフィルムを除去して２３℃で３．３重量％水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液にてスプレー現像した。感光性樹脂組成物層が基板から完全に除去された最小時間を測定し、これを現像性（最小現像時間）とした。結果を表２に示す。
【０１０７】
【表２】
2009258277.tif 000004
【０１０８】
（Ｂ）フェノール樹脂のＯＨ当量が１２０ｇ／ｅｑ未満であるフェノール樹脂を用いた比較例１は、ライン幅で評価した解像度が悪く、（Ｂ）成分を用いない比較例２は、フィルム性（フィルム状の形態を保持する特性）に劣る。また、（Ａ）光重合性不飽和基を有するアクリル樹脂の重量平均分子量が１，０００〜３５，０００の範囲外を用いた比較例３は、現像時間が長く、（Ｅ）無機フィラーを用いない比較例４は、解像性に優れるが接着力、フィルム性、吸水率が高くなる点で劣る。
表２から明らかなように、実施例１及び２で用いた本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントによれば、比較例１〜４の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントと比較して、感光特性、フィルム性及び現像性がバランスよく優れており、上記特性の全てを十分に満足するものであることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の感光性エレメントの好適な実施形態を示す模式断面図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１…感光性エレメント、１０…支持フィルム、２０…感光性樹脂組成物層、３０…保護フィルム。
【図１】
2009258277.tif 000005