(57)【要約】【課題】マスクの開口部に詰まった粒子を効率よく除去することができ、粒子がマスクの下に落ちて基板載置ステージを汚すことのない粒子充填用マスクの清掃装置を提供する。【解決手段】帯電性粒子を含む粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルを製造する際に、粒子を情報表示用パネルの基板空間に充填配置する粒子充填工程で用いるマスク１２の清掃装置１１において、マスクの上面側に配置され、マスク開口部１３に詰まった粒子１４をその先端が押し出すよう機能するブラシ１５を備えるブラシ装置１６と、マスクの下面側に、ブラシ装置のブラシとはマスクを挟んで対向するように配置され、ブラシ装置のブラシによってマスク下側に押し出された粒子を吸引するよう機能する吸引装置１８と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電性粒子を含む粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルを製造する際に、粒子を情報表示用パネルの基板空間に充填配置する粒子充填工程で用いるマスクの清掃装置において、マスクの上面側に配置され、マスク開口部に詰まった粒子をその先端が押し出すよう機能するブラシを備えるブラシ装置と、マスクの下面側に、ブラシ装置のブラシとはマスクを挟んで対向するように配置され、ブラシ装置のブラシによってマスク下側に押し出された粒子を吸引するよう機能する吸引装置と、を備えることを特徴とする粒子充填用マスクの清掃装置。
【請求項２】
吸引装置の吸引口およびブラシ装置のブラシを、マスクの幅方向一列に並んだマスク開口部に対応して構成したことを特徴とする請求項１に記載の粒子充填用マスクの清掃装置。
【請求項３】
ブラシ装置のブラシが、マスク開口部に入るような断面積および断面形状を有する毛ブラシであることを特徴とする請求項１または２に記載の粒子充填用マスクの清掃装置。
【請求項４】
ブラシ装置を基台にブラシを植毛して構成したブラシ装置とし、ブラシ装置を少なくともブラシの長手方向に小刻みに往復運動させながら、ブラシ装置をマスクの幅方向とは直角な方向に移動させることを特徴とする請求項３に記載の粒子充填用の清掃装置。
【請求項５】
ブラシ装置をローラ芯にブラシを放射状に植毛して構成したローラ状ブラシ装置とし、ローラ状ブラシ装置を回転させながら、ローラ状ブラシ装置をマスクの幅方向とは直角な方向に移動させることを特徴とする請求項３に記載の粒子充填用マスクの清掃装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電性粒子を含む粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルを製造する際に、粒子を情報表示用パネルの基板空間に充填配置する粒子充填工程で用いるマスクの清掃装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯電性粒子を含む粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルを製造する際に、マスクを利用して粒子を情報表示用パネルの基板空間に充填配置する粒子充填工程を実施することが知られている（例えば、特許文献１参照）。上述した従来の粒子充填工程では、マスクの開口部を介して粒子を充填しているため、マスクの開口部に詰まった粒子を除去する必要があった。そのために、吸引口にブラシが付いた吸引式掃除機を用いて、粒子充填工程で用いたマスクを清掃していた。
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１７９００４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したように従来例では、マスクの開口部に詰まった粒子を除去するために、吸引口にブラシが付いた吸引式掃除機を用いてこの清掃を行っているが、吸引式の掃除機の吸引口に付けられたブラシで詰まっている粒子に触れながら吸引するため、吸引されずにマスクの下に落ちる粒子が基板載置ステージを汚してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は上述した問題点を解消して、マスクの開口部に詰まった粒子を効率よく除去することができ、粒子がマスクの下に落ちて基板載置ステージを汚すことのない粒子充填用マスクの清掃装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の粒子充填用マスクの清掃装置は、帯電性粒子を含む粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルを製造する際に、粒子を情報表示用パネルの基板空間に充填配置する粒子充填工程で用いるマスクの清掃装置において、マスクの上面側に配置され、マスク開口部に詰まった粒子をその先端が押し出すよう機能するブラシを備えるブラシ装置と、マスクの下面側に、ブラシ装置のブラシとはマスクを挟んで対向するように配置され、ブラシ装置のブラシによってマスク下側に押し出された粒子を吸引するよう機能する吸引装置と、を備えることを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明の粒子充填用マスクの清掃装置の好適例としては、吸引装置の吸引口およびブラシ装置のブラシを、マスクの幅方向一列に並んだマスク開口部に対応して構成したこと、ブラシ装置のブラシが、マスク開口部に入るような断面積および断面形状を有する毛ブラシであること、ブラシ装置を基台にブラシを植毛して構成したブラシ装置とし、ブラシ装置を少なくともブラシの長手方向に小刻みに往復運動させながら、ブラシ装置をマスクの幅方向とは直角な方向に移動させること、ブラシ装置をローラ芯にブラシを放射状に植毛して構成したローラ状ブラシ装置とし、ローラ状ブラシ装置を回転させながら、ローラ状ブラシ装置をマスクの幅とは直角な方向に移動させること、がある。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、マスクの開口部に詰まった粒子を除去するときに、マスク上面側に配置したブラシ装置で、詰まっている粒子をマスク下面側に押し出しながら、マスク下面側に配置した吸引装置で吸引するため、粒子がマスクの下に落ちて基板載置ステージを汚してしまうという問題を解消することができる。また、上記問題が解消できることによって、粒子充填工程を止めてマスク清掃を行う必要がなくなり、粒子充填工程の一連としてマスクの開口部に詰まった粒子を除去できるようになり、粒子充填工程の生産性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
まず、本発明を用いる対象となる情報表示用パネルの基本的な構成について説明する。本発明を用いる対象となる情報表示用パネルでは、対向する２枚の基板間に封入した帯電性粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体に電界が付与される。付与された電界方向にそって、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動することにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し表示を書き換える時あるいは表示情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。
【００１０】
本発明を用いる対象となる情報表示用パネルの例を、図１（ａ）、（ｂ）〜図２（ａ）、（ｂ）に基づき説明する。
【００１１】
図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、光学的反射率と帯電性とを有する帯電性粒子を含む少なくとも１種以上の粒子から構成される粒子群であって、互いに光学的反射率および帯電特性が異なる表示媒体３を少なくとも２種以上（ここでは白色表示媒体用粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体用粒子３Ｂａの粒子群からなる黒色表示媒体３Ｂを示す）基板間に封入し、隔壁４で形成された各セル７において、基板１に設けた電極５（個別電極）と基板２に設けた電極６（個別電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。
【００１２】
図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、光学的反射率と帯電性を有する帯電性粒子を含む少なくとも１種以上の粒子から構成される粒子群であって、互いに光学的反射率および帯電特性の異なる表示媒体３を２種以上（ここでは白色表示媒体用粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体用粒子３Ｂａの粒子群からなる黒色表示媒体３Ｂを示す）基板間に封入し、隔壁４で形成された各セル７において、基板１に設けた電極５（ライン電極）と基板２に設けた電極６（ライン電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図２（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図２（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。
【００１３】
本発明の粒子充填用マスクの清掃装置は、上述した構成の情報表示用パネルの製造方法のうち、粒子充填工程に用いるマスクの清掃装置において、マスクの上面側に配置され、マスク開口部に詰まった粒子をその先端が押し出すよう機能するブラシを備えるブラシ装置と、マスクの下面側に、ブラシ装置のブラシとはマスクを挟んで対向するように配置され、ブラシ装置のブラシによってマスク下側に押し出された粒子を吸引するよう機能する吸引装置と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
図３（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の粒子充填用マスクの清掃装置の一例を清掃の対象となるマスクとともに示した図であり、図３（ａ）は上側から見た図を示し、図３（ｂ）は図３（ａ）において下側から見た側面を示し、図３（ｃ）は図３（ｂ）におけるＡ−Ａ線に沿った断面をそれぞれ示している。なお、説明を簡単にするために、図３（ｃ）に示すマスクのマスク開口部は、図３（ａ）、（ｂ）に示す例より拡大して異なる縮尺で記載している。吸引口１７はマスクの幅方向に対応するように一列として設けられており、吸引口面積はマスク開口部を少なくとも一列分含むように構成される。マスク開口部が密集隣接されている部分は複数列分を含むように構成される。
【００１５】
図３（ａ）〜（ｃ）に示す例において、本発明の粒子充填用マスクの清掃装置１１は、マスク１２の上面側に配置され、マスク１２のマスク開口部１３に詰まった粒子１４をその先端が押し出すよう機能するブラシ１５を備えるブラシ装置１６と、マスク１２の下面側に、ブラシ装置１６とはマスク１２を挟んで対向するよう配置され、ブラシ装置１６のブラシ１５によってマスク１２の下側に押し出された粒子１４を吸引口１７から吸引するよう機能する吸引装置１８と、を枠体１９により一体にすることで構成されている。
【００１６】
図３（ａ）〜（ｃ）に示す例では、吸引装置１８の吸引口１７およびブラシ装置１６のブラシ１５を、一列に並んだマスク開口部１３の一列分に対応して構成している。また、ブラシ装置１６のブラシ１５を、マスク開口部１３に入るような断面積および断面形状を有する毛ブラシから構成するとともに、毛ブラシからなるブラシ１５を基台２１に植毛したブラシ装置１６としている。そして、図３（ａ）に示すように、マスク１２に対し清掃装置１１を両矢印Ａ方向のどちらか一方の進行方向に移動させて、マスク１２のマスク開口部１３に詰まった粒子１４を除去している。この移動は両矢印Ａ方向に小刻みに往復させながら徐々に進行方向に移動させるのが好ましい。なお、移動は、清掃装置１１を移動させて行っても、マスク１２を移動させて行っても良い。また、図３（ｂ）に示すように、ブラシ１５は両矢印Ｂ方向で示した長手方向に小刻みに往復移動させながらマスク清掃を行うと、詰まった粒子１４を除去しやすいので好ましい。この場合も、清掃装置１１を移動させても、マスク１２を移動させても良い。
【００１７】
図４（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の粒子充填用マスクの清掃装置の他の例を清掃の対象となるマスクとともに示した図であり、図４（ａ）は上側から見た図を示し、図４（ｂ）は図４（ａ）において下側から見た側面を示し、図４（ｃ）は図４（ｂ）におけるＡ−Ａ線に沿った断面をそれぞれ示している。図３（ａ）〜（ｃ）に示す例と同様に、説明を簡単にするために、図４（ｃ）に示すマスクのマスク開口部は、図４（ａ）、（ｂ）に示す例と異なる縮尺で記載している。図４（ａ）〜（ｃ）に示す例において、図３（ａ）〜（ｃ）に示す例と異なる点は、清掃装置１１のブラシ装置１６の構成を、ローラ芯２２にブラシ１５を放射状に植毛して構成したローラ状ブラシ装置とした点である。吸引口１７はマスクの幅方向に対応するように一列として設けられており、吸引口面積はマスク開口部を少なくとも一列分含むように構成される。マスク開口部が密集隣接されている部分は複数列分を含むように構成される。
【００１８】
図４（ａ）〜（ｃ）に示す例では、吸引装置１８の吸引口１７およびローラ状ブラシ装置１６のブラシ１５を、一列に並んだマスク開口部１３の一列分に対応して構成している。また、ブラシ装置１６のブラシ１５を、マスク開口部１３に入るような断面積および断面形状を有する毛ブラシから構成するとともに、毛ブラシからなるブラシ１５を基台２１に植毛したブラシ装置１６としている。そして、図４（ａ）に示すように、マスク１２に対し清掃装置１１を両矢印Ａ方向のどちらか一方の進行方向に移動させて、マスク１２のマスク開口部１３に詰まった粒子１４を除去している。この移動は両矢印Ａ方向に小刻みに往復させながら徐々に進行方向に移動させるのが好ましい。なお、移動は、清掃装置１１を移動させて行っても、マスク１２を移動させて行っても良い。また、図４（ｂ）に示すように、ローラ状ブラシ装置１６矢印Ｃ方向に回転させながらマスク清掃を行うと、詰まった粒子１４を除去しやすいので好ましい。回転方向は矢印と逆向きで行っても同様の効果が得られる。このようにローラ状ブラシ装置１６は回転させながらマスク清掃を行うことが好ましいが、回転させないで行うこともできる。
【００１９】
以下、本発明の粒子充填用マスクの清掃装置における好適な態様をまとめて示す。ブラシ１５は毛製ブラシとし、「毛の太さ」、「毛の長さ」、「毛の植毛密度」、「毛の材質」、「ブラシの構造」が重要で、いずれもマスク開口部への入り込みやすさに関係する。ブラシに用いる毛は、接触するマスクを傷付けずに、マスク開口部に詰まった粒子を効率良く取り除くために、材質、長さ、太さ、植毛密度、毛先形状を設計する。ブラシ構造としては、基台に毛を植毛した構造とし、ブラシを装着した清掃装置をマスクにそって水平移動させてマスク清掃を行う。ブラシ構造としては、例えば芯ローラに毛を放射状に植毛したローラ構造とすることもできる。この場合、芯ローラの回転軸を中心にブラシローラを回転させながらマスクにそって清掃装置を移動させてマスク清掃を行うと効率のよいマスク開口部に詰まった粒子の除去が行える。マスク開口部の大きさが１００μｍ程度（マスク開口部を孔とした場合その孔の直径に想到する）のマスクを用いる際の清掃用ブラシとしては、ブラシの毛の太さは、２０μｍ〜５０μｍ、毛の長さは、５ｍｍ〜１０ｍｍ、毛の材質は、ナイロン、ポリエチレン、ポリポロピレン、塩化ビニル等の樹脂が好ましいが、動物の毛や植物からとった繊維状のもの等の天然素材を用いることもできる。ブラシの毛先形状は曲面であるほうがマスク表面を傷めにくいので好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明の清掃の対象となるマスクを用いて製造される情報表示用パネルは、ノートパソコン、ＰＤＡ、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞、電子マニュアル（取扱説明書）等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板等の掲示板、電卓、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、電子ＰＯＰ（Point of presnece, Point of Purchase advertising）、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、外部電界形成手段を用いて表示媒体駆動を行うリライタブルペーパーとしても好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の清掃の対象となるマスクを用いて製造された情報表示用パネルの一例を説明するための図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の清掃の対象となるマスクを用いて製造された情報表示用パネルの他の例を説明するための図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の粒子充填用マスクの清掃装置の一例を清掃の対象となるマスクとともに示した図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の粒子充填用マスクの清掃装置の他の例を清掃の対象となるマスクとともに示した図である。
【符号の説明】
【００２２】
１、２  基板
３  表示媒体（粒子群）
３Ｗ  白色表示媒体
３Ｗａ  白色表示媒体用粒子
３Ｂ  黒色表示媒体
３Ｂａ  黒色表示媒体用粒子
４  隔壁
５、６  電極
７  セル
１１  清掃装置
１２  マスク
１３  マスク開口部
１４  粒子
１５  ブラシ
１６  ブラシ装置
１７  吸引口
１８  吸引装置
１９  枠体
２１  基台
２２  ローラ芯
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2009151080.tif 000006