(57)【要約】      （修正有）【課題】磁束の通過面積を増大し、推力が向上された平面パルスモータを低コストで提供する。【解決手段】平面パルスモータは、固定子と、固定子に対向して配置され、複数のコイルを有する可動子とを備え、複数のコイルに流す電流を制御することによって可動子を平面上の第１方向及び第１方向と直交する第２方向とに駆動可能である。固定子は、第１方向に沿って磁束を通過させる第１部分を含むが第２方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第１磁気回路の一部を構成する複数の第１凸部２１と、第２方向に沿って磁束を通過させる第２部分を含むが第１方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第２磁気回路の一部を構成する複数の第２凸部２２、及び、第１磁気回路及び前記第２磁気回路のいずれの一部をも構成しない凹部２３とを有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子と、前記固定子に対向して配置され、複数のコイルを有する可動子とを備え、前記複数のコイルに流す電流を制御することによって前記可動子を平面上の第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向とに駆動可能な平面パルスモータであって、
前記固定子は、前記第１方向に沿って磁束を通過させる第１部分を含むが前記第２方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第１磁気回路の一部を構成する複数の第１凸部と、前記第２方向に沿って磁束を通過させる第２部分を含むが前記第１方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第２磁気回路の一部を構成する複数の第２凸部、及び、前記第１磁気回路及び前記第２磁気回路のいずれの一部をも構成しない凹部とを有し、
前記凹部のそれぞれを取り囲む８つの領域のうち、当該凹部に対して第１方向に隣接する２つの領域に前記第１凸部が位置し、８つの領域のうちの残りの６つの領域に前記第２凸部が位置するように、前記第１凸部、前記第２凸部及び前記凹部が配置されていることを特徴とする平面パルスモータ。
【請求項２】
前記固定子は、配置すべき前記第２凸部が形成された構造体の前記第２凸部の相互の間隙に、前記第１凸部と前記凹部とが交互に列状に形成された複数のブロックが嵌め込まれて一体化されたものであることを特徴とする請求項１に記載の平面パルスモータ。
【請求項３】
固定子と、前記固定子に対向して配置され、複数のコイルを有する可動子とを備え、前記複数のコイルに流される電流が制御されることによって前記可動子が平面上の第１方向及び当該第１方向と直交する第２方向とに移動可能な平面パルスモータであって、
前記固定子は、磁性材料を含む部材が積層されて構成され前記第１方向に沿って磁束を通過させる第１部分を含むが前記第２方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第１磁気回路の一部を構成する第１凸部、及び、磁性材料を含む部材が積層されて構成され前記第２方向に沿って磁束を通過させる第２部分を含むが前記第１方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第２磁気回路の一部を構成する第２凸部を含む複数の凸部と、前記第１磁気回路及び前記第２磁気回路のいずれの一部をも構成しない凹部とを備え、
前記第１及び第２凸部と前記凹部とは、前記凹部のそれぞれを取り囲む領域のうち前記第１方向に隣接する領域に前記第１凸部が位置し、かつ、前記凹部に対して前記第２方向に隣接する領域に前記第２凸部が位置するように、前記第１方向及び前記第２方向に亙って規則的に配置されることを特徴とする平面パルスモータ。
【請求項４】
前記複数の凸部は、前記第１磁気回路及び前記第２磁気回路双方の一部を構成する第３凸部をさらに含み、
前記凹部のそれぞれを取り囲む８つの領域のうち、当該凹部に対して第１方向に隣接する２つの領域に前記第１凸部が位置し、前記第２方向に隣接する２つの領域に前記第２凸部が位置し、８つの領域のうちの角部にあたる４つの領域に前記第３凸部が位置するように、前記第１凸部、前記第２凸部、前記第３凸部及び前記凹部が配置されていることを特徴とする請求項３に記載の平面パルスモータ。
【請求項５】
前記固定子は、配置すべき前記第３凸部が形成された構造体の前記第３凸部の相互の間隙に、前記第１凸部が列状に形成された複数のブロックと前記第２凸部が列状に形成された複数のブロックとが嵌め込まれて一体化されたものであることを特徴とする請求項４に記載の平面パルスモータ。
【請求項６】
前記凹部のそれぞれを取り囲む８つの領域のうち、当該凹部に対して第１方向に隣接する２つの領域に前記第１凸部が位置し、８つの領域のうちの残りの６つの領域に前記第２凸部が位置するように、前記第１凸部、前記第２凸部及び前記凹部が配置されていることを特徴とする請求項３に記載の平面パルスモータ。
【請求項７】
レチクルのパターンを基板に転写して前記基板を露光する露光装置であって、
前記基板及び前記レチクルの少なくともいずれかは、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の平面パルスモータによって位置決めされることを特徴とする露光装置。
【請求項８】
請求項７に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面パルスモータ、露光装置及びデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図６に従来の平面パルスモータの概略構成を示す。可動子６０は、固定子１の上部に例えば約２０ミクロンメートルほどエアによって浮上された状態で、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能である。従来の平面パルスモータにおける固定子１は、図７に示されるようにＹ方向に沿って凸部２が配置される列とＹ方向に沿って凸部２がまったく配置されず凹部３ばかりの列とがＸ方向に交互に設けられる。また、Ｙ方向に沿って凸部２が配置される列において、凸部２と凹部３とがＹ方向に交互に配置されている。凸部２は、Ｘ方向及びＹ方向の双方向に磁束を通過させる領域であり、凹部３は、Ｘ方向及びＹ方向の双方向に磁束を通過させない領域である。このような従来の平面パルスモータは特許文献１に記載されている。
【０００３】
また、特許文献２には、固定子の内部に、Ｘ方向及びＹ方向の双方向に磁束を通過させる主突極と、Ｘ方向にのみ磁気的結合がなされるＸ軸突極と、Ｙ方向にのみ磁気的結合がなされるＹ軸突極とを備えた平面パルスモータが開示されている。
【特許文献１】特開２００５−２６１０６３号公報
【特許文献２】特開昭５１−３５０１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の平面パルスモータでは、固定子の凸部２と凹部３との寸法比率は通常１対１程度であり、したがって、凸部２は固定子１の表面の１／４しか占めない。そのため、可動子６０の歯先から固定子１の凸部２に流れ込む磁束の通過面積が１軸のリニアパルスモータの約１／２程度となっており、磁束の利用効率が低かった。したがって、高い推力を得ることが困難であった。
【０００５】
一方、特許文献２に記載の平面パルスモータでは、Ｘ方向及びＹ方向の双方向に磁束を通過させる凸部に、Ｘ方向にのみ磁気的結合がなされる凸部とＹ方向にのみ磁気的結合がなされる凸部とを組み合わせている。したがって、Ｘ方向、Ｙ方向の双方において磁束の通過面積は、特許文献１に記載の平面パルスモータよりもほぼ倍増している。しかし、特許文献２に記載のＸ方向（又はＹ方向）にのみ磁気的結合がなされる凸部では、Ｙ方向（又はＸ方向）に磁束の漏れが発生していた。したがって、さらに高い推力が求められる場合には、特許文献２記載の平面パルスモータの性能はなお不十分であった。
【０００６】
本発明の第１の側面は、磁束の通過面積を増大し、推力が向上された平面パルスモータを低コストで提供することを目的とする。
【０００７】
本発明の第２の側面は、固定子の構成部材からの磁束漏れを小さくすることによって、さらに推力が向上された平面パルスモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の側面は、固定子と、前記固定子に対向して配置され、複数のコイルを有する可動子とを備え、前記複数のコイルに流す電流を制御することによって前記可動子を平面上の第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向とに駆動可能な平面パルスモータであって、前記固定子は、前記第１方向に沿って磁束を通過させる第１部分を含むが前記第２方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第１磁気回路の一部を構成する複数の第１凸部と、前記第２方向に沿って磁束を通過させる第２部分を含むが前記第１方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第２磁気回路の一部を構成する複数の第２凸部、及び、前記第１磁気回路及び前記第２磁気回路のいずれの一部をも構成しない凹部とを有し、前記凹部のそれぞれを取り囲む８つの領域のうち、当該凹部に対して第１方向に隣接する２つの領域に前記第１凸部が位置し、８つの領域のうちの残りの６つの領域に前記第２凸部が位置するように、前記第１凸部、前記第２凸部及び前記凹部が配置されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の第２の側面は、固定子と、前記固定子に対向して配置され、複数のコイルを有する可動子とを備え、前記複数のコイルに流される電流が制御されることによって前記可動子が平面上の第１方向及び当該第１方向と直交する第２方向とに移動可能な平面パルスモータであって、前記固定子は、磁性材料を含む部材が積層されて構成され前記第１方向に沿って磁束を通過させる第１部分を含むが前記第２方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第１磁気回路の一部を構成する第１凸部、及び、磁性材料を含む部材が積層されて構成され前記第２方向に沿って磁束を通過させる第２部分を含むが前記第１方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第２磁気回路の一部を構成する第２凸部を含む複数の凸部と、前記第１磁気回路及び前記第２磁気回路のいずれの一部をも構成しない凹部とを備え、前記第１及び第２凸部と前記凹部とは、前記凹部のそれぞれを取り囲む領域のうち前記第１方向に隣接する領域に前記第１凸部が位置し、かつ、前記凹部に対して前記第２方向に隣接する領域に前記第２凸部が位置するように、前記第１方向及び前記第２方向に亙って規則的に配置されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の第１の側面によれば、磁束の通過面積を増大し、推力が向上された平面パルスモータを低コストで提供することができる。
【００１１】
本発明の第２の側面によれば、固定子の構成部材からの磁束漏れを小さくすることによって、さらに推力が向上された平面パルスモータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
【００１３】
［平面パルスモータの第１の実施形態］
本発明の第２の側面に係る平面パルスモータは、固定子と、固定子に対向して配置され、複数のコイルを有する可動子とを備え、複数のコイルに流される電流が制御されることによって可動子が平面上の第１方向及び第１方向と直交する第２方向に移動可能である。この実施形態では、第１方向をＸ方向とし、第２方向をＹ方向とする。
【００１４】
図４は本発明の第１の側面に係る固定子１である。凸部（Ｘ）２１は、Ｘ方向に沿って磁束を通過させる第１部分を含むがＹ方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第１磁気回路の一部を構成する第１凸部である。凸部（Ｙ）２２は、Ｙ方向に沿って磁束を通過させる第２部分を含むがＸ方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第２磁気回路の一部を構成する第２凸部である。凹部２３は、第１磁気回路及び前記第２磁気回路のいずれの一部をも構成しない。したがって、凹部２３では、Ｘ方向に沿った方向及びＹ方向に沿った方向の双方に磁束が通過しない。
【００１５】
図５Ａ〜図５Ｂは、図４に示す固定子を製作する方法を示す図である。まず図５Ａに示す製作工程１において、凸部(Ｙ)２２と溝部とがＹ方向に交互に形成された凸部(Ｙ)ブロック２４を複数個Ｘ方向に並べて接着して一体化し、凸部(Ｙ)の構造体を形成する。次いで、図５Ｂに示す製作工程２において、凸部ブロック(Ｙ)２４の共通の溝部分に、凸部(Ｘ)２１と凹部２３とが交互に列状に形成された凸部(Ｘ)ブロック２５を複数個嵌め込み接着して一体化する。この後、従来と同様、凹部２３に樹脂を流し込み、表面を平面加工することにより、図４に示される固定子１が完成する。なお、凸部(Ｙ)ブロック２４及び凸部(Ｘ)ブロック２５の側面と下面とには、第１の実施形態と同様に、磁気抵抗層を設けている。
【００１６】
この固定子１の凸部は、凸部（Ｘ）２１及び凸部（Ｙ）２２とから構成されている。凹部２３のそれぞれを取り囲む８つの領域のうち、凹部２３に対してＸ方向に隣接する２つの領域に凸部（Ｘ）２１が位置し、８つの領域のうち残りの６つの領域に凸部（Ｙ）２２が位置している。なお、凸部(Ｙ)ブロック２４、及び、凸部(Ｘ)ブロック２５は、磁性材料を含む薄い珪素鋼板を積層及び加工して製作されるものであり、それぞれ、Y方向、X方向への磁束は通り易く、他方向への漏れ磁束は小さくなる様になっている。
【００１７】
この実施形態の固定子は、第２の実施形態の固定子、及び、前述の公知例に比較して製造が非常に簡単であり、Ｙ方向の磁束通過面積は第２の実施形態と同様従来の固定子に比べ約２倍となる。しかし、第１の実施形態の固定子は、Ｘ方向の磁束通過面積に関しては従来の固定子と同等である。第１の実施形態の固定子は、例えば、Ｙ方向にのみ推力が必要な平面パルスモータへの適用が望ましいものである。
【００１８】
凹部２３のそれぞれを取り囲む８つの領域のうち、凹部２３に対してＹ方向に隣接する２つの領域に凸部（Ｙ）２２が位置し、残りの６つの領域に凸部（Ｘ）２１が位置する固定子１も同様にして製作することが可能である。
【００１９】
［平面パルスモータの第２の実施形態］
図１は、本発明に係る固定子１の一例を示している。凸部（Ｘ）６は、Ｘ方向に沿って磁束を通過させる第１部分を含むがＹ方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第１磁気回路の一部を構成する第１凸部である。凸部（Ｘ）６は、Ｙ方向に薄い珪素鋼板を複数積層し、その間に絶縁層を挟んだ構成となっている。この構成によれば、凸部（Ｘ）６にＹ方向に沿った磁束が流れてきた場合、磁束は複数の珪素鋼板の層と絶縁層とを通過しなければならないため、凸部（Ｘ）６を通過する過程でかなり減衰する。このため、凸部（Ｘ）６では、Ｘ方向に沿った磁束は通過し易く、Ｙ方向に沿った磁束は通過し難くなっている。凸部（Ｙ）７は、Ｙ方向に沿って磁束を通過させる第２部分を含むがＸ方向に沿って磁束を通過させる部分を含まない第２磁気回路の一部を構成する第２凸部である。凸部（Ｙ）７は、Ｘ方向に薄い珪素鋼板を複数積層し、その間に絶縁層を挟んだ構成となっている。この構成によれば、凸部（Ｙ）７にＸ方向に沿った磁束が流れてきた場合、磁束は複数の珪素鋼板の層と絶縁層とを通過しなければならないため、凸部（Ｙ）７を通過する過程でかなり減衰する。このため、凸部（Ｙ）７では、Ｙ方向に沿った磁束は通過し易く、Ｘ方向に沿った磁束は通過し難くなっている。また、凸部（Ｘ）６および凸部（Ｙ）７の薄い珪素鋼板の表面が絶縁膜で覆われていることにより、薄い珪素鋼板に沿って流れる磁束による渦電流ループを非常に小さくすることができ、損失を減らすことができる。凸部（ＸＹ）４は、第１磁気回路及び前記第２磁気回路双方の一部を構成する第１磁気回路及び前記第２磁気回路双方の一部を構成する第３凸部である。したがって、凸部（ＸＹ）４では、Ｘ方向及びＹ方向の双方に沿って磁束が通過可能である。凹部５は、第１磁気回路及び前記第２磁気回路のいずれの一部をも構成しない。したがって、凹部５では、Ｘ方向に沿った方向及びＹ方向に沿った方向の双方に磁束が通過しない。この実施形態の凸部は、第１凸部６、第２凸部７及び第３凸部４を含む。凹部５のそれぞれを取り囲む８つの領域のうち、凹部５に対して、Ｘ方向に隣接する２つの領域には凸部（Ｘ）６が位置し、Ｙ方向に隣接する２つの領域には凸部（Ｙ）７が位置している。残りの４つの角部にあたる領域には、凸部（ＸＹ）４が位置している。凸部と凹部とは、各凸部４，６，７と凹部５とが上述の位置関係となるようにＸ方向及びＹ方向に亙って規則的に配置されている。
【００２０】
図２Ａ〜図２Ｃに、図１に示す固定子１を製作する方法を示す。製作工程１において、まず、図２Ａの左側に示されるベース１０の上に凸部（ＸＹ）４が従来例と同様に配置された構造体を用意する。このベース１０上に配置された凸部（ＸＹ）４は、従来の固定子と同様に薄い珪素鋼板を積層及び加工して製作されるものであり、従来の固定子の凸部（ＸＹ）２と同様に、Ｘ方向及びＹ方向の双方向に磁束を通過させうる。但し、ここで、ベース１０はX方向に薄い珪素鋼板を積層している為、Y方向の方がX方向に比較して、より磁束が通り易くなっている。また、その凸部の高さが３〜４ｍｍと従来のものよりも高い点で相違する。図２Ａの右側に示される、予め製作しておいた凸部（Ｙ）が列状に形成された複数のブロック１１を構造体の凸部の相互の間隙に嵌め込んで一体化する。
【００２１】
この凸部（Ｙ）ブロック１１は、薄い珪素鋼板を積層及び加工して製作されるものであり、Ｙ方向への磁束が通り易いように設けられている。凸部（Ｙ）ブロック１１は、その側面と下面に磁気抵抗層１３が設けられており、凸部（Ｙ）７への磁束はＹ方向にしか流れないような構造となっている。
【００２２】
製作工程１で製作された段階の固定子を、図２Ｂの左側に示す。この左側に示されるブロックに、右側に示される凸部(Ｘ)ブロック１２を嵌め込んで一体化する。凸部(Ｘ)ブロック１２も、薄い珪素鋼板を積層及び加工して製作されるものであり、Ｘ方向への磁束が通り易いように設けられている。凸部(Ｘ)ブロック１１は、その側面と下面に磁気抵抗層１４を設けており、凸部(Ｘ)６への磁束はＸ方向にしか流れないような構造となっている。
【００２３】
製作工程２で製作された固定子を、図２Ｃに示す。この後、従来と同様に、凹部５に樹脂を流し込み表面を平面加工することにより固定子１が完成する。
【００２４】
なお、上記説明では、凸部（Ｙ）ブロック１１、凸部(Ｘ)ブロック１２を上方から嵌め込む様にしている。しかし、各凸部は、可動子の歯先からの磁気的な力を受ける為、これに耐ええる様、その断面を台形形状として、ベース１０の上の凸部（ＸＹ）４の間に、水平方向から挿入する構造としても良い。
【００２５】
図３及び図８を用いて、本実施形態の固定子１を使用する平面パルスモータの磁束通過面積を示す。図８は、図７に示される従来の固定子を使用する平面パルスモータを示すものである。図３は本実施形態の固定子１を用いた場合の磁束通過領域を示す図であり、従来は凹部であった領域に凸部(Ｘ)６が配置されたため、磁束通過面積が約２倍に増えていることが解る。また、この凸部(Ｘ)６はX方向に特に磁束を通し易い為、X方向の通過磁束量は２倍以上とすることが可能となる。また、図３では、Ｘ方向についてのみ示しているが、Ｙ方向に関しても、その形状から明らかなように磁束通過面積を約２倍にする。
【００２６】
［平面パルスモータの他の実施形態］
第１及び第２の実施形態以外の固定子として、以下のような変形例も可能である。
１．固定子をＸＹ平面上で約４５°回転させて配置させ、Ｘ、Ｙ方向に可動子を移動させる場合には、Ｘ方向及びＹ方向に同時に駆動させることにより、駆動推力を√２倍としうる。Ｘ方向又はＹ方向にのみ、頻度高く駆動を行うような平面リニアモータの場合に有効である。
２．第１、第２実施形態における可動子を固定側とし、固定子を可動側とする。具体的には、第１、第２実施形態の固定子と可動子を上下逆配置した構成であり、複数のＸ駆動用のコイルを有した歯先群と複数のＹ駆動用のコイルを有した歯先群を上向きに並べ固定し、この上を第１、第２実施形態における固定子を可動部として駆動可能とする。
【００２７】
以上の実施形態で示すように、Ｘ方向、Ｙ方向のそれぞれの部材を薄い珪素鋼板で構成することで、各部材間の漏れ磁束を低減させている。これにより、Ｘ方向、Ｙ方向にそれぞれ磁束を流す場合に、他方向（Ｙ方向、Ｘ方向）への磁束の漏れを低減させ推力を向上させることが可能となる。
【００２８】
［露光装置の実施形態］
図９は、本発明の好適な実施形態の平面パルスモータを使用した露光装置の構成を概略的に示す図である。露光装置は、原版（レチクル）Ｒを位置決めするレチクルステージＲＳと、原版Ｒを照明する照明光学系ＩＬと、基板（ウエハ）Ｗを位置決めする基板ステージＷＳと、原版Ｒのパターンを基板に投影する投影光学系ＰＬとを備えうる。
【００２９】
露光装置は、原版Ｒのパターンを基板Ｗに転写して、基板Ｗに塗布されている感光剤に潜像パターンを形成するように構成されうる。基板ステージＷＳは、前述の平面モータを駆動部として含んで構成されうる。より具体的な例を挙げると、基板ステージＷＳは、基板を位置決めする微動ステージ機構Ａ１と、微動ステージ機構Ａ１を位置決めする粗動ステージ機構Ａ２とを含んで構成されうる。
【００３０】
微動ステージ機構Ａ１は、基板Ｗを保持する基板チャックを含む第１可動子ＦＭと第１固定子ＦＳとを含んで構成されうる。粗動ステージ機構Ａ２は、第１固定子ＦＳを駆動する第２可動子ＣＭと第２固定子ＣＳとを含んで構成されうる。粗動ステージ機構Ａ２は、駆動部として上記の平面パルスモータを含みうる。即ち、粗動ステージ機構Ａ２の可動子である第２可動子ＣＭは、前述の本発明の可動子を含んで構成され、粗動ステージ機構Ａ２の固定子である第２固定子ＣＳは、前述の本発明の固定子を含んで構成されうる。
【００３１】
基板ステージＷＳのような位置決め装置は、露光装置の構成部品に限定されず、種々の物体の位置決めに応用されうる。ここで、位置決め装置という用語には、物品を搬送する搬送装置も含まれうる。
【００３２】
次に、上述の露光装置を利用した半導体集積回路素子、液晶表示素子等のデバイス製造方法を例示的に説明する。
【００３３】
デバイスは、前述の露光装置を用いて基板を露光する露光工程と、露光工程で露光された基板を現像する現像工程と、現像工程で現像された基板を加工する他の周知の工程とを経ることによって製造される。他の周知の工程は、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング工程などである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係る固定子の一例を示す図である。
【図２Ａ】図１に示す固定子の製作方法を示す図である。
【図２Ｂ】図１に示す固定子の製作方法を示す図である。
【図２Ｃ】図１に示す固定子の製作方法を示す図である。
【図３】図１に示す固定子の磁束通過面積を説明するための図である。
【図４】本発明に係る固定子の別例を示す図である。
【図５Ａ】図４に示す固定子の製作方法を示す図である。
【図５Ｂ】図４に示す固定子の製作方法を示す図である。
【図６】従来の平面パルスモータの概略構成を示す斜視図である。
【図７】図６に示す固定子の構成を示す図である。
【図８】図６に示す固定子の磁束通過面積を説明するための図である。
【図９】露光装置の構成を概略的に示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
１：固定子、２：凸部、３：凹部、４：凸部(ＸＹ)、５：凹部、６：凸部(Ｘ)、７：凸部
(Ｙ)、１０：ベース、１１：凸部(Ｙ)ブロック、１２：凸部(Ｘ)ブロック、１３，１４：
磁気抵抗層、２１：凸部(Ｘ)、２２：凸部(Ｙ)、２３：凹部、６０：可動子、ＩＬ：照明
光学系、Ｒ：原版、ＲＳ：原版ステージ、ＰＬ：投影光学系、Ｗ：基板、ＷＳ：基板ステ
ージ、Ａ１：微動ステージ機構、Ａ２：粗動ステージ機構
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
2009055780.tif 000012
【図８】
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【図９】
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