(57)【要約】【課題】真空チャンバーに設けられている圧力計を交換する際に、真空チャンバー内やロードロック室等を大気開放することなく交換できるロードロック室を有する真空チャンバー装置を提供することである。【解決手段】ロードロック室と圧力計がそれぞれ配管により連接されているチャンバーと、ロードロック用ポンプと、高真空ポンプと、荒引きポンプと、を備えたロードロック室を有する真空チャンバー装置であって、前記配管により連接されている圧力計とチャンバー間に第一の開閉バルブを備え、第一の開閉バルブと圧力計の間に、その間の配管内を大気圧にする第二の開閉バルブを備え、さらに、第一の開閉バルブと圧力計の間に、第三の開閉バルブを介して配管内を減圧する配管用荒引きポンプを具備していることを特徴とするロードロック室を有する真空チャンバー装置である。【選択図】図１
2009158527.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロードロック室と圧力計がそれぞれ配管により連接されているチャンバーと、ロードロック室を減圧するロードロック用ポンプと、チャンバー内を真空にする高真空ポンプと、チャンバーを減圧する荒引きポンプと、
を備えたロードロック室を有する真空チャンバー装置であって、
前記配管により連接されている圧力計とチャンバー間に第一の開閉バルブを備え、
第一の開閉バルブと圧力計の間に、その間の配管内を大気圧にする第二の開閉バルブを備え、
さらに、第一の開閉バルブと圧力計の間に、第三の開閉バルブを介して配管内を減圧する配管用荒引きポンプを具備していることを特徴とするロードロック室を有する真空チャンバー装置。
【請求項２】
ロードロック室と圧力計がそれぞれ配管により連接されているチャンバーと、ロードロック室を減圧するロードロック用ポンプと、チャンバー内を真空にする高真空ポンプと、チャンバーを減圧する荒引きポンプと、
を備えたロードロック室を有する真空チャンバー装置であって、
前記配管により連接されている圧力計とチャンバー間に第一の開閉バルブを備え、
第一の開閉バルブと圧力計の間に、その間の配管内を大気圧にする第二の開閉バルブを備え、
さらに、第一の開閉バルブと圧力計の間に、第三の開閉バルブを備え、
前記第三の開閉バルブの配管とロードロック用ポンプの配管とが連接されていることを特徴とするロードロック室を有する真空チャンバー装置。
【請求項３】
前記圧力計が２箇所の開閉バルブを介して２個具備可能であることを特徴とする請求項２に記載のロードロック室を有する真空チャンバー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバーを用いて基材処理する、例えば、半導体ウェーハのドライエッチチング装置、スパッター装置、真空成膜装置等のロードロック室を有する真空チャンバーに関する。特に、真空チャンバーに設けられている圧力計の交換が容易にできるロードロック室を有する真空チャンバー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハのドライエッチング装置、スパッター装置、真空成膜装置等は基材処理を行うための、真空チャンバーが設けられている。そして、図４に示すように処理する基材等を搬入、搬出するための開口が設けられている。
【０００３】
この開口の外側には、開口を気密に閉塞するロードロック室（１０３）が設けられている。
【０００４】
前記ロードロック室（１０３）は基材等を搬入、搬出する方向に設けられているゲートバルブ（１０１）と、反対方向の真空チャンバー（１０４）との境界にゲートバルブ（１０２）が設けられている。
【０００５】
そして、真空チャンバー（１０４）は開閉バルブ（１０５）を介して高真空ポンプ（１０６）が設けられている。さらに、高真空ポンプ（１０６）と連接されている配管上に二個の開閉バルブ（１０７）、（１０８）を介して荒引きポンプ（１０９）が設けられている。
【０００６】
また、前記荒引きポンプ（１０９）は高真空ポンプ（１０６）と配管により連接されているだけでなく、二個の開閉バルブ（１０７）、（１０８）が設けられている途中から開閉バルブ（１１０）を介して真空チャンバー（１０４）と配管により連接されている。
【０００７】
また、ロードロック室（１０３）は、大気を排気するロードロック用ポンプ（１１１）が開閉バルブ（１０５）を介して設けられている。
【０００８】
そして、各ポンプ（１０６、１０９、（１１１）から排気される大気等は各ポンプ（１０６、１０９、１１１）に配管により連接されている排気処理装置に送られる。
【０００９】
また、前記真空チャンバー（１０４）には、真空チャンバー（１０４）内が真空引された状態等を見る圧力計（１１２）が設けられている。
【００１０】
また、真空チャンバー（１０４）が設けられている装置によっては、基材等を搬入するロードロック室（１０３）と、処理された基材を搬出するロードロック室の二つのロードロック室を設けた真空チャンバー装置もある。
【００１１】
前記真空チャンバーを用いた長期に安定して稼動できる半導体製造装置およびそれを利用した半導体装置の製造方法（例えば、特許文献１参照。）が知られている。
【００１２】
この半導体製造装置は半導体基板を処理する処理室を有する。処理室には真空ポンプ、圧力計およびＭＦＣが設けられている。また、ＭＦＣにはボンベが設けられている。そして、圧力計およびＭＦＣに制御部が接続されている。
【００１３】
また、制御部には圧力計およびＭＦＣの補正量が、補正した時刻と共に記憶されるメモリと、補正結果に基づいて圧力計およびＭＦＣの異常および交換時期の少なくとも一方を検出する検出部と、検出部により検出された結果などを表示する表示部とが設けられている。
【００１４】
そして、処理室で半導体基板が処理される前に圧力計およびＭＦＣのゼロ点が調整される。これにより、長期にわたり半導体基板を安定して処理できる。
【００１５】
以下に先行技術文献を示す。
【特許文献１】特開２００３−２５７８７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
上記先行文献１の半導体製造装置およびそれを利用した半導体装置の製造方法の半導体製造装置は、真空チャンバーである処理室の真空に排気した状態を見る圧力計が設けられている。
【００１７】
ここでは処理室を真空に排気するための真空ポンプがバルブを介して設けられおり、該バルブと処理室の途中に圧力計の一方が設けられている。そして、圧力計の他方は制御部に連接されている。
【００１８】
このため、圧力計が不具合になり、交換する際には、処理室を大気開放しなければ出来ないという問題がある。
【００１９】
さらに、大気開放した後、真空排気および処理室のクリーニング等コンディショニングが必要である。そして、この作業は長時間かかるという問題がある。
【００２０】
本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、真空チャンバーに設けられている圧力計を交換する際に、真空チャンバー内やロードロック室等を大気開放することなく短時間で容易に交換できるロードロック室を有する真空チャンバー装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記問題点を解決するために、本発明の請求項１に係る発明は、
ロードロック室と圧力計がそれぞれ配管により連接されているチャンバーと、ロードロック室を減圧するロードロック用ポンプと、チャンバー内を真空にする高真空ポンプと、チャンバーを減圧する荒引きポンプと、
を備えたロードロック室を有する真空チャンバー装置であって、
前記配管により連接されている圧力計とチャンバー間に第一の開閉バルブを備え、
第一の開閉バルブと圧力計の間に、その間の配管内を大気圧にする第二の開閉バルブを備え、
さらに、第一の開閉バルブと圧力計の間に、第三の開閉バルブを介して配管内を減圧する配管用荒引きポンプを具備していることを特徴とするロードロック室を有する真空チャンバー装置である。
【００２２】
次に、本発明の請求項２に係る発明は、
ロードロック室と圧力計がそれぞれ配管により連接されているチャンバーと、ロードロック室を減圧するロードロック用ポンプと、チャンバー内を真空にする高真空ポンプと、チャンバーを減圧する荒引きポンプと、
を備えたロードロック室を有する真空チャンバー装置であって、
前記配管により連接されている圧力計とチャンバー間に第一の開閉バルブを備え、
第一の開閉バルブと圧力計の間に、その間の配管内を大気圧にする第二の開閉バルブを備え、
さらに、第一の開閉バルブと圧力計の間に、第三の開閉バルブを備え、
その第三の開閉バルブの配管とロードロック用ポンプの配管とが連接されていることを特徴とするロードロック室を有する真空チャンバー装置である。
【００２３】
次に、本発明の請求項３に係る発明は、
前記圧力計が２箇所の開閉バルブを介して２個具備可能であることを特徴とする請求項２に記載のロードロック室を有する真空チャンバー装置である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のロードロック室を有する真空チャンバー装置は以上の構成からなるので、圧力計を交換する際、真空チャンバー内を大気開放しなくともよい。このため、真空チャンバー内を再び真空排気する必要がなく、真空引きするための動力源等のコストが低減できる。
【００２５】
また、真空チャンバー内やロードロック室等を再び真空に排気することがなければクリーニング等、真空チャンバー内をコンディショニングする必要がないため、作業開始が短時間で出来る。
【００２６】
さらに、圧力計を交換した後、直ぐ交換する前の作業状態で基材処理等の作業ができる。このため、基材処理製品は均一で、且つ、品質が安定する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明のロードロック室を有する真空チャンバー装置を実施の形態に沿って以下に図面を参照にしながら詳細に説明する。
【００２８】
図１は、本発明のロードロック室を有する真空チャンバー装置の一実施例の概略を示す説明図である。
【００２９】
図１に示すように、本実施例のロードロック室を有する真空チャンバー装置（３０）は真空チャンバー（１）と、ロードロック室（２）が設けられている。
【００３０】
また、ロードロック室（２）は２個の開閉バルブ（９、１０）を介して配管パイプ（８）によりロードロック用ポンプ（５）に接続されている。
【００３１】
前記ロードロック室（２）とロードロック用ポンプ（５）が接続されている配管パイプ（８）の途中に設けられている開閉バルブ（９、１０）は特に２個に限定されるものではなくいずれか一箇所に設けても良い。
【００３２】
さらに、ロードロック室（２）はロードロック室（２）に基材等を搬入する開口部に開口を気密に閉塞する開口用ゲートバルブ（３）が設けられている。
【００３３】
また、開口用ゲートバルブ（３）の反対方向の真空チャンバー（１）との境界にもロードロック室開口用ゲートバルブ（４）が設けられている。
【００３４】
また、真空チャンバー（１）は開閉バルブ（１２）を介して配管パイプ（１１）により高真空ポンプ（６）の一方に接続されている。そして、高真空ポンプ（６）の他方は荒引
きポンプ（７）と配管パイプ（２８）によって連接されている。
【００３５】
前記高真空ポンプ（６）の他方と荒引きポンプ（７）が接続されている配管パイプ（２８）の途中の高真空ポンプ（６）近傍と荒引きポンプ（７）近傍に各々開閉バルブ（１３、１４）が設けられている。
【００３６】
そして、高真空ポンプ（６）近傍と荒引きポンプ（７）近傍に設けられた開閉バルブ（１３、１４）の間の配管パイプ（２８）に真空チャンバー（１）と開閉バルブ（１６）を介して連接する配管パイプ（１５）が設けられている。
【００３７】
また、真空チャンバー（１）の下部に、真空チャンバー（１）と連接する配管パイプに設けられている全ての開閉バルブを閉じた後に、真空チャンバー（１）内を大気開放するための開閉バルブ（１７）が設けられている。
【００３８】
さらに、真空チャンバー（１）には、真空チャンバー（１）内を真空引きされた状態等を見る圧力計（１８）が第一の開閉バルブ（１９）を介して配管パイプ（２２）により連接されている。
【００３９】
そして、第一の開閉バルブ（１９）と圧力計（１８）の間の配管パイプ（２２）には、第二の開閉バルブ（２１）と第三の開閉バルブ（２０）の一方が連接されている。
【００４０】
また、前記第三の開閉バルブ（２０）の他方は、荒引き配管パイプ（２３）により、荒引き配管用ポンプ（２４）の一方に連接されている。そして、荒引き配管用ポンプ（２４）の一方の近傍に開閉バルブ（２５）が設けられている。
【００４１】
また、荒引き配管用ポンプ（２４）の他方は配管パイプにより、図には示していないが排気処理装置等に連接されている。
【００４２】
そして、真空チャンバー（１）が通常稼動している際には、第一の開閉バルブ（１９）は開口し、第二の開閉バルブ（２１）と第三の開閉バルブ（２０）は閉じられている。また、荒引き配管用ポンプ（２４）は停止されている。
【００４３】
また、圧力計（１８）を交換する際には、まず、第一の開閉バルブ（１９）と、第二の開閉バルブ（２１）と、第三の開閉バルブ（２０）の全てを閉じる。さらに、荒引き配管用ポンプ（２４）も停止されている。
【００４４】
次に、第二の開閉バルブ（２１）だけを開口すると、配管パイプ（２２）内と圧力計（１８）が大気開放される。そして、圧力計（１８）を交換する事ができる。
【００４５】
圧力計（１８）の交換が終了したら、第一の開閉バルブ（１９）は閉じたまま、第二の開閉バルブ（２１）を閉じる。そして、第三の開閉バルブ（２０）を開口し、荒引き配管用ポンプ（２４）を稼動させることにより、配管パイプ（２２）内と圧力計（１８）が真空引きされる。
【００４６】
前記荒引き配管用ポンプ（２４）を稼動し、約５分後、圧力計（１８）が１００ｍＴ以下であることを確認して、第一の開閉バルブ（１９）を開口する。そして、荒引き配管用ポンプ（２４）を停止した後、通常運転が再開される。
【００４７】
前記通常運転を再開する際には、真空チャンバー内やロードロック室等を真空引きすることなく、即時に運転ができる。このため、圧力計（１８）を交換する前の作業条件等、
長時間かかるコンディショニングをする必要がない。さらに、圧力計（１８）を交換する前と、同様の品質のものができる。
【００４８】
また、真空チャンバー内やロードロック室等を再び真空引きするする必要がないために、動力源等のコストが低減できる。
【００４９】
さらに、圧力計（１８）を交換する際には、配管パイプ（２２）内と圧力計（１８）を大気開放するだけでよいため、即時に開放できる。そして、圧力計（１８）は短時間で交換する事ができる。
【００５０】
図２は、本発明のロードロック室を有する真空チャンバー装置の他の一実施例の概略を示す説明図である。
【００５１】
図２に示すように、本実施例のロードロック室を有する真空チャンバー（３０）は真空チャンバー（１）と、ロードロック室（２）が設けられている。
【００５２】
また、ロードロック室（２）は２個の開閉バルブ（９、１０）を介して配管パイプ（８）によりロードロック用ポンプ（５）に接続されている。
【００５３】
そして、２個の開閉バルブ（９、１０）が設けられている配管パイプ（８）に、第三の開閉バルブ（２０）と連接する配管パイプ（２７）が設けられている。
【００５４】
前記ロードロック室（２）はロードロック室（２）に基材等を搬入する開口部に開口を気密に閉塞する開口用ゲートバルブ（３）が設けられている。また、開口用ゲートバルブ（３）の反対方向の真空チャンバー（１）との境界にもロードロック室開口用ゲートバルブ（４）が設けられている。
【００５５】
また、真空チャンバー（１）は開閉バルブ（１２）を介して配管パイプ（１１）により高真空ポンプ（６）の一方に接続されている。そして、高真空ポンプ（６）の他方は荒引きポンプ（７）と配管パイプ（２８）によって連接されている。
【００５６】
前記高真空ポンプ（６）の他方と荒引きポンプ（７）が接続されている配管パイプ（２８）の途中の高真空ポンプ（６）近傍と荒引きポンプ（７）近傍に各々開閉バルブ（１３、１４）が設けられている。
【００５７】
そして、高真空ポンプ（６）近傍と荒引きポンプ（７）近傍に設けられた開閉バルブ（１３、１４）の間の配管パイプ（２８）に真空チャンバー（１）と開閉バルブ（１６）を介して連接する配管パイプ（１５）が設けられている。
【００５８】
また、真空チャンバー（１）の下部に、真空チャンバー（１）と連接する配管パイプに設けられている全ての開閉バルブを閉じた後に、真空チャンバー（１）内を大気開放するための開閉バルブ（１７）が設けられている。
【００５９】
さらに、真空チャンバー（１）には、真空チャンバー（１）内を真空引きされた状態等を見る圧力計（１８）が第一の開閉バルブ（１９）を介して配管パイプ（２２）により連接されている。
【００６０】
そして、第一の開閉バルブ（１９）と圧力計（１８）の間の配管パイプ（２２）には、第二の開閉バルブ（２１）と第三の開閉バルブ（２０）の一方が連接されている。
【００６１】
前記第三の開閉バルブ（２０）の他方は、配管パイプ（２７）により、上述したようにロードロック用ポンプ（５）に連接されている配管パイプ（８）と連接されている。
【００６２】
そして、真空チャンバー（１）が通常稼動している際には、第一の開閉バルブ（１９）は開口し、第二の開閉バルブ（２１）と第三の開閉バルブ（２０）は閉じられている。
【００６３】
また、圧力計（１８）を交換する際には、まず、第一の開閉バルブ（１９）と、第二の開閉バルブ（２１）と、第三の開閉バルブ（２０）の全てを閉じる。
【００６４】
次に、第二の開閉バルブ（２１）だけを開口すると、配管パイプ（２２）内と圧力計（１８）が大気開放される。そして、圧力計（１８）を交換する事ができる。
【００６５】
圧力計（１８）の交換が終了したら、第一の開閉バルブ（１９）は閉じたまま、第二の開閉バルブ（２１）を閉じる。そして、第三の開閉バルブ（２０）を開口し、ロードロック用ポンプ（５）により、配管パイプ（２２）内と圧力計（１８）が真空引きされる。
【００６６】
前記ロードロック用ポンプ（５）で真空引きされ、約５分後、圧力計（１８）が１００ｍＴ以下であることを確認して、第一の開閉バルブ（１９）を開口する。そして、ロードロック用ポンプ（５）を停止し、通常運転が再開される。
【００６７】
図３は、本発明のロードロック室を有する真空チャンバー装置のまた他の一実施例の概略を示す説明図である。
【００６８】
図３に示すように、本実施例のロードロック室を有する真空チャンバー（３０）は真空チャンバー（１）と、ロードロック室（２）が設けられている。また、ロードロック室（２）は２個の開閉バルブ（９、１０）を介して配管パイプ（８）によりロードロック用ポンプ（５）に接続されている。
【００６９】
そして、２個の開閉バルブ（９、１０）が設けられている配管パイプ（８）に第三の開閉バルブ（２０）に連接する配管パイプ（２７）が設けられている。
【００７０】
前記ロードロック室（２）はロードロック室（２）に基材等を搬入する開口部に開口を気密に閉塞する開口用ゲートバルブ（３）が設けられている。
【００７１】
また、開口用ゲートバルブ（３）の反対方向の真空チャンバー（１）との境界にもロードロック室開口用ゲートバルブ（４）が設けられている。
【００７２】
また、真空チャンバー（１）は開閉バルブ（１２）を介して配管パイプ（１１）により高真空ポンプ（６）の一方に接続されている。そして、高真空ポンプ（６）の他方は荒引きポンプ（７）と配管パイプ（２８）によって連接されている。
【００７３】
前記高真空ポンプ（６）の他方と荒引きポンプ（７）が接続されている配管パイプ（２８）の途中の高真空ポンプ（６）近傍と荒引きポンプ（７）近傍に各々開閉バルブ（１３、１４）が設けられている。
【００７４】
そして、高真空ポンプ（６）近傍と荒引きポンプ（７）近傍に設けられた開閉バルブ（１３、１４）の間の配管パイプ（２８）に、真空チャンバー（１）と開閉バルブ（１６）を介して連接する配管パイプ（１５）が設けられている。
【００７５】
また、真空チャンバー（１）の下部に、真空チャンバー（１）と連接する配管パイプに
設けられている全ての開閉バルブを閉じた後に、真空チャンバー（１）内を大気開放するための開閉バルブ（１７）が設けられている。
【００７６】
さらに、真空チャンバー（１）には、真空チャンバー（１）内を真空に排気された状態等を見る圧力計（２９、３１）の少なくとも１つが第一の開閉バルブ（１９）、および圧力計に対応する開閉バルブ（３２、３３）を介して配管パイプ（２２）の先端に設けられている。
【００７７】
そして、真空チャンバー（１）と各々の圧力計（２９、３１）の間に設けられている第一の開閉バルブ（１９）と開閉バルブ（３２、３３）の間の配管パイプ（２２）には、第二の開閉バルブ（２１）と第三の開閉バルブ（２０）の一方が連接されている。
【００７８】
前記第三の開閉バルブ（２０）の他方は、配管パイプ（２７）により、上述したようにロードロック用ポンプ（５）に連接されている配管パイプ（８）と連接されている。
【００７９】
そして、真空チャンバー（１）が通常稼動している際には、第一の開閉バルブ（１９）は開口し、第二の開閉バルブ（２１）と第三の開閉バルブ（２０）は閉じられている。
【００８０】
また、各々の圧力計（２９、３１）に具備されている開閉バルブ（３２、３３）は、圧力計（２９、３１）の取り付け状態に応じて開口させる。
【００８１】
ここで、圧力計（２９）のみが取り付けられた状態で運転し、その後圧力計（２９）が壊れた場合に、圧力計の交換によりプロセス条件が変わることの無いよう、予め２つ目の圧力計（３１）を取り付け、両圧力計（２９、３１）の公差をチェックし、その後圧力計（２９）が壊れた際に、圧力計（２９）を取り外し、圧力計（３１）のみを使用する場合のバルブの開閉について説明する。
【００８２】
圧力計（２９）のみを使用して通常運転する時には、第一の開閉バルブ（１９）と開閉バルブ（３２）を開口し、第二の開閉バルブ（２１）と第三の開閉バルブ（２０）および開閉バルブ（３３）は閉じている。
【００８３】
ここで、２つ目の圧力計（３１）を取り付ける際には、まず、第一の開閉バルブ（１９）、第二の開閉バルブ（２１）、第三の開閉バルブ（２０）、および開閉バルブ（３２、３３）の全てを閉じ、ロードロック用ポンプ（５）も停止する。
【００８４】
次に、第二の開閉バルブ（２１）と開閉バルブ（３２、３３）を開口すると、配管パイプ（２２）内と圧力計（２９）が大気開放される。ここで圧力計（３１）を取り付ける。
【００８５】
次いで、第二の開閉バルブ（２１）を閉じた後、第三の開閉バルブ（２０）を開口し、ロードロック用ポンプ（５）で真空引きする。
【００８６】
約５分後、圧力計（２９、３１）が１００ｍＴ以下であることを確認した後、第三の開閉バルブ（２０）を閉じ、第一の開閉バルブ（１９）を開放する。
【００８７】
ここで、両圧力計（２９、３１）を０点調整するとともに、公差を取っておきたいプロセス（エッチング等）を実施し、両圧力計（２９、３１）ともに圧力を記録しておく。
【００８８】
次いで、圧力計（３１）に接続されている開閉バルブ（３３）を閉じ、圧力計（２９）を使用して通常運転を行う。
【００８９】
その後、圧力計（２９）が故障する事態が生じた場合には、以下の手順を行えばよい。第一の開閉バルブ（１９）、第二の開閉バルブ（２１）、第三の開閉バルブ（２０）、および開閉バルブ（３２、３３）の全てを閉じ、圧力計（２９）を取り外す。
【００９０】
次いで、圧力計（３１）の開閉バルブ（３３）を開放し、その圧力が１００ｍＴ以上であれば、第三の開閉バルブ（２０）を開放しロードロック用ポンプ（５）にて荒引きを行うが、圧力が１００ｍＴ未満であれば、荒引きの必要はなく、第一の開閉バルブ（１９）を開放すれば、即時に通常運転を再開できる。
【００９１】
このように、圧力計を２台取り付けることで、新しく使用する圧力計と前の圧力計の表示の差をあらかじめ知ることができるので、圧力計のどちらかが故障した場合でも、短い作業時間で、容易に交換前のプロセス条件が再現でき、同等の品質を確保できる。また、交換する際のロードロック用ポンプ（５）を用いた真空引きの作業がさらに低減もしくは不要となり、動力源等のコスト低減にもなる。
【００９２】
なお、ロードロック用ポンプ（５）を圧力計交換時の荒引き用に利用している図２、図３の例では、配管パイプ８を分岐させて配管パイプ（２７）を設置しているが、ロードロック用ポンプ（５）までの配管をフレキシブル配管にすれば、分岐させること無く一組の配管で運用することも可能である。このように、本発明は例示した実施の形態に限ることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形を加えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明のロードロック室を有する真空チャンバー装置の一実施例の概略を示す説明図である。
【図２】本発明のロードロック室を有する真空チャンバー装置の他の一実施例の概略を示す説明図である。
【図３】本発明のロードロック室を有する真空チャンバー装置のまた他の一実施例の概略を示す説明図である。
【図４】従来のロードロック室を有する真空チャンバー装置の概略を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００９４】
１…真空チャンバー
２…ロードロック室
３…開閉用ゲートバルブ
４…ロードロック室用ゲートバルブ
５…ロードロック用ポンプ
６…高真空ポンプ
７…荒引きポンプ
８…配管パイプ
９…開閉バルブ
１０…開閉バルブ
１１…配管パイプ
１２…開閉バルブ
１３…開閉バルブ
１４…開閉バルブ
１５…配管パイプ
１６…開閉バルブ
１７…開閉バルブ
１８…圧力計
１９…第一の開閉バルブ
２０…第三の開閉バルブ
２１…第二の開閉バルブ
２２…配管パイプ
２３…荒引き配管パイプ
２４…荒引き配管用ポンプ
２５…開閉バルブ
２６…配管パイプ
２７…配管パイプ
２８…配管パイプ
２９…圧力計
３０…ロードロック室を有する真空チャンバー装置
３１…圧力計
３２…開閉バルブ
３３…開閉バルブ
【図１】
2009158527.tif 000003
【図２】
2009158527.tif 000004
【図３】
2009158527.tif 000005
【図４】
2009158527.tif 000006