(57)【要約】【課題】流体の通過量を制御する装置の異常を確実に検出することができる装置状態監視方法、および装置状態監視装置を提供する。【解決手段】基板処理装置での基板処理開始前に、流量ゼロに対応する流量出力電圧を取得する。次いで、基板処理中の制御信号に応じた流量制御中に、当該制御状態に対応する流量出力電圧を取得する。そして、流量制御中の流量出力電圧と流量ゼロ時の流量出力電圧との差分により実流量を算出する。算出した実流量に基づいて流量異常の有無を判定する。また、基板処理ごとに、現在実施中の基板処理の実流量と、直前の基板処理の実流量との差分を算出し、当該差分により流量制御特性の変動および流量制御精度を監視する。さらに、当該差分を所定期間にわたって積算することにより、流量制御特性の長期変動を監視する。【選択図】図４
2009004479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置へ供給する流体または基板処理装置から排出する流体の通過量を制御する機構を有し、当該通過量制御機構の制御状態と予め対応づけられた制御信号が入力されたときに、前記通過量をその制御信号に応じた通過量に制御するとともに、当該通過量制御機構の制御状態を示す電気信号を出力値として出力する装置の動作を監視する、装置状態監視方法であって、
基板処理装置での基板処理開始前に、前記通過量制御機構の基準状態に対応する第１の出力値を取得する工程と、
基板処理中の制御信号に応じた通過量の制御実施中に、当該制御状態に対応する第２の出力値を取得する工程と、
前記第１の出力値と前記第２の出力値との差分である出力差分値を算出する工程と、
前記出力差分値に基づいて通過量制御異常の有無を判定する工程と、
を有することを特徴とする装置状態監視方法。
【請求項２】
複数回の同一の通過量制御が実施される場合、通過量制御異常の有無が、各通過量制御について算出された前記出力差分値に基づいて通過量制御ごとに判定される請求項１記載の装置状態監視方法。
【請求項３】
異常判定対象の通過量制御について算出された前記出力差分値と、当該通過量制御前に完了した他の通過量制御について算出された前記出力差分値との差分を算出する工程をさらに有し、当該差分と、予め設定されたそれぞれの規格値とを比較することにより、通過量制御異常の有無を判定する請求項２記載の装置状態監視方法。
【請求項４】
前記他の通過量制御が、前記異常判定対象の通過量制御の直前に完了した通過量制御である請求項３記載の装置状態監視方法。
【請求項５】
前記出力差分値の差分を、所定期間内に実施された複数回の通過量制御にわたって累積し、当該累積値に基づいて、通過量制御異常の有無を判定する請求項４記載の装置状態監視方法。
【請求項６】
前記通過量制御機構を有する装置が、液体または気体の流量を所定値に調整する流量制御装置であり、前記基準状態が流量ゼロの制御状態である請求項１または２記載の装置状態監視方法。
【請求項７】
前記通過量制御機構を有する装置が、基板処理装置内の圧力を所定圧力に調整する圧力制御装置であり、前記基準状態が、基板処理装置内が制御信号に応じた所定圧力に到達したときの制御状態である請求項１または２記載の装置状態監視方法。
【請求項８】
基板処理装置へ供給する流体または基板処理装置から排出する流体の通過量を制御する機構を有し、当該通過量制御機構の制御状態と予め対応づけられた電気信号が入力されたときに、前記通過量をその制御信号に応じた通過量に制御するとともに、通過量の制御を実施中の前記通過量制御機構の制御状態を示す電気信号を出力値として出力する装置の動作を監視する、装置状態監視装置であって、
前記出力値を取得する手段と、
基板処理装置での基板処理の開始前に取得された、前記通過量制御機構の基準状態に対応する出力値と、基板処理中の制御信号に応じた通過量の制御実施中に取得された、当該制御状態に対応する出力値との差分である出力差分値を算出する手段と、
前記出力差分値に基づいて通過量制御異常の有無を判定する手段と、
を備えたことを特徴とする装置状態監視装置。
【請求項９】
異常判定対象の通過量制御について算出された前記出力差分値と、当該通過量制御前に完了した他の通過量制御について算出された前記出力差分値との差分を算出する手段をさらに備え、当該差分と、予め設定されたそれぞれの規格値とを比較することにより、通過量制御異常の有無を判定する請求項８記載の装置状態監視装置。
【請求項１０】
前記他の通過量制御が、前記異常判定対象の通過量制御の直前に完了した通過量制御である請求項９記載の装置状態監視装置。
【請求項１１】
前記判定手段が、前記出力差分値の差分を、所定期間内に実施された複数回の通過量制御にわたって累積し、当該累積値に基づいて、通過量制御異常の有無を判定する請求項１０記載の装置状態監視装置。
【請求項１２】
通過量異常の判定を行う都度、当該判定結果に基づいて、出力値のゼロ点補正を行う手段をさらに備えた請求項８記載の装置状態監視装置。
【請求項１３】
前記通過量制御機構を有する装置が、液体または気体の流量を所定値に調整する流量制御装置であり、前記基準状態が流量ゼロの制御状態である請求項８記載の装置状態監視装置。
【請求項１４】
前記通過量制御機構を有する装置が、基板処理装置内の圧力を所定圧力に調整する圧力制御装置であり、前記基準状態が、基板処理装置内が制御信号に応じた所定圧力に到達したときの制御状態である請求項８記載の装置状態監視装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量制御装置や圧力制御装置等の、液体や気体等の流体の通過量を制御する装置の異常検出を行う装置状態監視方法、および装置監視装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置等の製造工程では、流量制御装置や圧力制御装置等の、液体や気体の通過量を制御する制御装置と一体に使用される基板処理装置が広く用いられている。このような基板処理装置として、真空処理室を備えた成膜装置やエッチング装置、薬液塗布装置、現像装置等がある。この種の装置では、処理異常の検出を目的として、以下のようにして、装置状態の監視が行われている。
【０００３】
図１１は、従来の装置状態監視方法を説明するための図である。図１１では、基板処理装置１１１０が流量制御装置１１２０と接続されている。基板処理装置１１１０は、流量制御装置１１２０に設定すべき流量値を電気信号として入力する。流量制御装置１１２０は、流量制御対象である液体や気体の流量を、流量制御バルブの開度等を調整することにより、入力された流量値に一致させる。例えば、基板処理装置１１１０がドライエッチング装置である場合、流量制御装置１１２０は、基板処理装置１１１０の処理室に供給するプロセスガスの流量を制御するマスフローコントローラに相当する。
【０００４】
図１１に示すように、基板処理装置１１１０は流量制御装置１１２０の流量制御状態を監視する流量監視部１１１１を備える。流量監視部１１１１は、まず、設定すべき流量値を、予め流量監視部１１１１に登録されている流量制御特性に基づいて電気信号に変換する。ここで、流量制御特性とは、流量制御装置１１２０において、物理的に流量を調整する流量制御機構の流量制御状態と電気信号との対応関係を指す。例えば、流量制御装置１１２０が、流量制御バルブの開度を調整することにより流量を制御する場合、電気信号と流量制御バルブの開度と１対１に対応している。その電気信号として電圧値（以下、流量電圧値という。）を使用することができる。ここでは、調整すべき流量値が１００ｓｃｃｍであり、１００ｓｃｃｍの流量値に対応する流量電圧値が２．５Ｖであるとする。
【０００５】
流量監視部１１１１は、変換した流量電圧値（２．５Ｖ）を要求値１１３１として、要求値出力ポート１１１２から出力する。要求値１１３１は、流量制御装置１１２０の要求値入力ポート１１２１に入力される。要求値１１３１が入力されると、流量制御装置１１２０は、流量制御機構の流量制御状態を、入力された要求値１１３１に対応する状態にする。これにより、流量制御対象の流体の流量が流量制御機構の状態に応じた特定の流量になる。ここでは、流量制御機構が２．５Ｖの流量電圧値に対応する状態になる。このとき、流量制御装置１１２０は、流量制御機構の現実の流量制御状態を確認し、その流量制御状態に対応する流量電圧値を戻り値１１３２として、戻り値出力ポート１１２２から出力する。例えば、流量制御機構が２．５Ｖの流量電圧値に対応する状態になっていれば、戻り値１１３２として２．５Ｖが出力される。また、流量制御機構が、２．５Ｖと異なる流量電圧値に対応する状態になっていれば、その流量電圧値が戻り値１１３２として出力される。
【０００６】
戻り値１１３２は、流量監視部１１１１の戻り値入力ポート１１１３に入力される。戻り値が入力されると、流量監視部１１１１は、予め登録されている流量制御特性に基づいて、戻り値１１３２を対応する流量値に変換する。変換された流量値は、例えば、基板処理装置１１１０が備える表示装置等に、流量制御装置１１２０の流量値として表示される。
【０００７】
この場合、変換された流量値が、流量制御装置１１２０に要求した流量値と一致するとき、あるいは、要求した流量値と異なるときであっても、変換された流量値が、規格範囲内に属していると、正常な流量制御が実施されていると判断する。また、変換された流量値が、規格範囲内にない場合、流量制御に異常があると判断する。すなわち、以上の構成によれば、基板処理装置１１１０の要求どおりの流量制御を流量制御装置１１２０が実施しているか否かを監視することができる。
【０００８】
このような装置状態の監視を使用した従来技術として、例えば特許文献１に記載されたものがある。
【特許文献１】特開２００２−１２９３３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述の従来の装置状態監視方法では、流量制御装置１１２０が状態監視部１１１１に予め登録された流量制御特性にしたがって流量制御を実施することが前提になっている。すなわち、流量制御装置１１２０の流量制御機構が流量制御特性にしたがった流量制御を行い続けることが必要である。
【００１０】
図１２は、流量制御装置１１２０の流量制御特性の一例を示す図である。図１２において、横軸が流量値に対応し、縦軸が流量電圧値に対応する。ここでは、図１２に実線で示す直線１２０１が、流量監視部１１１１に予め登録されている流量制御特性である。直線１２０１では、０ｓｃｃｍ（standard cc per minute）から２００ｓｃｃｍまでの流量値が０Ｖから５Ｖまでの流量電圧値と１対１で対応づけられている。例えば、流量制御装置１１２０の流量制御機構が直線１２０１の流量制御特性にしたがって動作する場合、流量監視部１１１１が２．５Ｖの要求値を出力すると、図１２に点線矢印１２０２で示すように、流量値は１００ｓｃｃｍになる。
【００１１】
しかしながら、経時変化等により、流量制御機構の流量制御特性が変動した場合、以下のような問題が発生する。例えば、図１２に破線の直線１２０３で示すように、流量制御機構のゼロ点変動により流量制御特性にオフセット１２０５が生じた場合、流量監視部１１１１が２．５Ｖの要求値を出力すると、図１２に一点鎖線矢印１２０４で示すように、現実の流量値は１００ｓｃｃｍとは異なるＹｓｃｃｍになる。このとき、流量制御機構は、流量電圧値が２．５Ｖに対応した流量制御状態になっているので、流量制御装置１１２０は、戻り値として２．５Ｖを出力する。この場合、流量監視部１１１１は、予め登録されている流量制御特性（図１２に示す直線１２０１）にしたがって戻り値を流量値に変換すると、流量値は１００ｓｃｃｍになる。すなわち、流量制御装置１１２０における現実の流量が１００ｓｃｃｍと異なるＹｓｃｃｍであるにもかかわらず、流量監視部１１１１は要求どおりの１００ｓｃｃｍの流量であると認識してしまうのである。この場合、流量監視部１１１１は、流量の異常を検出するができない。
【００１２】
このような問題を回避するため、従来は、基板処理装置１１１０が休止中に、流量制御機構の流量制御特性と、流量監視部１１１１に登録されている流量制御特性とが一致するようにゼロ点の調整を行っていた。しかしながら、基板処理装置１１１０の休止中に流量制御機構の流量制御特性と、流量監視部１１１１に登録されている流量制御特性との不一致が発覚した場合、その時点までに基板処理装置１１１０で実施された基板処理の中に、正常な流量制御が行われていない状態で実施された基板処理が含まれることになる。このため、基板処理装置１１１０が休止中にゼロ点の調整を行う方法では、異常な流量制御状態で基板処理されることを確実に防止することはできない。
【００１３】
また、流量のプロセスマージンが極めて狭くなってきた近年の微細化プロセスや枚葉化プロセスでは、異常な流量制御状態で基板処理が実施されると、製造歩留が大きく低下することになる。
【００１４】
本発明は上記従来の問題点を解決するためのものであり、流体の通過量を制御する装置の異常を確実に検出することができる装置状態監視方法、および装置状態監視装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の技術的手段を採用している。まず、本発明は、基板処理装置へ供給する流体または基板処理装置から排出する流体の通過量を制御する機構を有し、当該通過量制御機構の制御状態と予め対応づけられた制御信号が入力されたときに、前記通過量をその制御信号に応じた通過量に制御するとともに、当該通過量制御機構の制御状態を示す電気信号を出力値として出力する装置の動作を監視する、装置状態監視方法を前提としている。そして、本発明に係る装置状態監視方法は、まず、基板処理装置での基板処理開始前に、上記通過量制御機構の基準状態に対応する第１の出力値を取得する。ここで、基準状態とは、制御信号が入力されていない場合の、通過量制御機構の通過量制御状態である。次いで、基板処理中の制御信号に応じた通過量の制御実施中に、当該制御状態に対応する第２の出力値を取得する。また、第１の出力値と第２の出力値との差分である出力差分値を算出する。そして、算出した出力差分値に基づいて通過量制御異常の有無を判定する。ここで、通過量制御機構を有する装置とは、例えば、液体または気体の流量を所定値に調整する流量制御装置や、圧力制御弁の開度を調整することにより、基板処理装置内の圧力を調整する圧力制御装置である。
【００１６】
本構成によれば、通過量制御機構を有する装置の異常の有無を確実に検出することができる。このため、当該装置状態監視方法を採用することにより、異常が発生した状態で、基板処理が継続して実施されることを確実に防止することができる。例えば、通過量制御機構を有する装置が流量制御装置である場合、上記基準状態は流量ゼロの状態であり、上記出力差分値は現実の流量値に対応する。また、通過量制御機構を有する装置が圧力制御装置である場合、上記基準状態は基板処理装置内が制御信号に応じた所定圧力に到達したときの制御状態であり、上記出力差分値は圧力制御弁等の変動量に対応する。なお、複数回の同一の通過量制御が実施される場合、通過量制御異常の有無は、各通過量制御について算出された出力差分値に基づいて通過量制御ごとに判定される。
【００１７】
また、上記装置状態監視方法は、異常判定対象の通過量制御について算出された前記出力差分値と、当該通過量制御前に完了した他の通過量制御について算出された前記出力差分値との差分を算出し、算出された差分と、予め設定された規格値とを比較することにより、通過量制御異常の有無を判定してもよい。これにより、通過量制御機構の制御特性変動の有無や、制御精度の異常を検出することができる。加えて、本構成によれば、通過量の設定値（制御信号レベル）と独立して、異常検出の判定基準である規格範囲を設定することができる。このため、通過量の設定値に応じて、規格範囲を変更する必要がなく、また、通過量をより厳密に管理することができる。また、上記他の通過量制御は、前記異常判定対象の通過量制御の直前に完了した通過量制御であることが好ましい。この場合、さらに、制御特性変動の発生自体を検出することができる。
【００１８】
さらに、上記装置状態監視方法は、上記出力差分値の差分を、所定期間内に実施された複数回の通過量制御にわたって累積し、当該累積値に基づいて、通過量制御異常の有無を判定することが好ましい。これにより、制御特性の長期変動の傾向を把握することができ、通過量制御異常の発生を予測することができる。
【００１９】
一方、他の観点では、本発明は、基板処理装置へ供給する流体または基板処理装置から排出する流体の通過量を制御する機構を有し、当該通過量制御機構の制御状態と予め対応づけられた電気信号が入力されたときに、前記通過量をその制御信号に応じた通過量に制御するとともに、通過量の制御を実施中の前記通過量制御機構の制御状態を示す電気信号を出力値として出力する装置の動作を監視する、装置状態監視装置を提供することもできる。すなわち、本発明に係る装置状態監視装置は、入力ポート、演算部、および判定部を備える。入力ポートは、上記出力値を取得する。演算部は、基板処理装置での基板処理の開始前に取得された、前記通過量制御機構の基準状態に対応する出力値と、基板処理中の制御信号に応じた通過量の制御実施中に取得された、当該制御状態に対応する出力値との差分である出力差分値を算出する。そして、判定部は、当該出力差分値に基づいて装置異常の有無を判定する。
【００２０】
上記演算部は、さらに、異常判定対象の通過量制御について算出された出力差分値と、当該通過量制御前に完了した他の通過量制御について算出された出力差分値との差分を算出する構成であることが好ましい。この場合、判定部は、当該差分と、予め設定された規格値とを比較することにより、通過量制御異常の有無を判定する。上記他の通過量制御は、異常判定対象の通過量制御の直前に完了した通過量制御であることが好ましい。
【００２１】
また、判定部は、上記出力差分値の差分を、所定期間内に実施された複数回の通過量制御にわたって累積し、当該累積値に基づいて、通過量制御異常の有無を判定する構成にすることもできる。
【００２２】
さらに、上記装置状態監視装置は、通過量制御異常の判定の都度、判定結果に基づいて、出力値のゼロ点補正部さらに備えてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、基板処理装置において実施される基板処理ごとに、流体の供給異常や、排出異常を確実に検出することができる。また、流体の通過量を制御する機構の制御特性変動の有無や制御精度の異常、さらには、制御特性変動の発生自体を検出することもできる。さらに、基板処理ごとに検出することが困難な、制御特性の緩やかな変動に起因する、流体の供給異常や排出異常を確実に検出することができる。
【００２４】
また、本発明によれば、異常の有無を判定する判定基準を、流体の通過量と独立して設定することができるとともに、流体の供給異常や排出異常を厳密に監視することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態では、基板処理装置と一体で使用される流量制御装置の動作を監視する事例により本発明を具体化している。
【００２６】
図１は本実施形態の装置状態監視装置を示す概略構成図である。図１に示すように、本実施形態では、装置状態監視装置１１３が基板処理装置１１１と別体で構成されている。本実施形態においても、従来と同様に、基板処理装置１１１は、基板処理を実施する際に、流量制御装置１１２へ要求値１２１（制御信号）を出力する。流量制御装置１１２は、要求値１２１にしたがって基板処理装置１１１に供給する流体の流量制御を行い、流量制御機構の流量制御状態を戻り値１２２（出力値）として基板処理装置１１１に出力する。なお、本実施形態では、要求値１２１および戻り値１２２は、上述した流量電圧値であるとする。また、本実施形態の基板処理装置１１１は、処理室内に一定流量のプロセスガスを導入し、処理室内に収容された被処理体に対してエッチング処理や成膜処理等を行う装置であるとする。
【００２７】
本実施形態の装置状態監視装置１１３は、入力ポート１１４、演算部１１５、および判定部１１６を備える。入力ポート１１４は、基板処理装置１１１から出力されるトリガ信号１２３に応じて、流量制御装置１１２から基板処理装置１１１に入力される戻り値１２２を取得する。本実施形態では、基板処理装置１１１は、要求値１２１を出力する所定時間前にゼロ点取得トリガを出力する。また、基板処理装置１１１は、要求値出力後から処理終了までの間、データ取得トリガを一定周期で出力する。
【００２８】
演算部１１５は、入力ポート１１４が取得した戻り値１２２に基づいて後述の各種演算を行う。判定部１１６は、演算部１１５の演算結果に基づいて流量制御異常の有無を判定する。本実施形態では、基板処理装置１１１が、要求値１２１に対応する戻り値１２２の規格範囲（規格値）を保持しており、判定部１１６は、当該規格範囲を判定基準として取得する構成になっている。なお、演算部１１５および判定部１１６は、例えば、専用の演算回路や、プロセッサとＲＡＭ（Random Access Memory）やＲＯＭ（Read Only Memory）等のメモリとを備えたハードウエア、および当該メモリに格納され、プロセッサ上で動作するソフトウエア等として実現することができる。
【００２９】
装置状態監視装置１１３では、演算部１１５が、実流量の算出、算出した実流量と、その基板処理の直前に実施された基板処理について算出した実流量との差分の算出、および基準となる基板処理以降に実施された基板処理について算出された、実流量差分の総和の算出を行う。以下、各演算について説明する。
【００３０】
まず、実流量の算出について説明する。図２は、流量制御装置１１２が出力する戻り値１２２の一例を示す図である。図２において、横軸は時間に対応し、縦軸は戻り値１２２（流量電圧値）に対応する。図２では、基板処理装置１１１における複数回の基板処理にわたって流量制御装置１１２から出力された戻り値１２２を示している。図２では、各基板処理において、基板処理装置１１１から要求値１２１が出力され、各要求値１２１に応じて流量制御装置１１２が戻り値１２２を出力している状態を示している。
【００３１】
入力ポート１１４は、基板処理装置１１１からゼロ点取得トリガ２１１が入力されると、流量制御装置１１２から、その時点での戻り値１２２を取得する。このとき、基板処理装置１１１は、流量制御装置１１２に対して要求値１２１を未だ出力していないため、流量制御装置１１２は、流量制御を開始していない基準状態にある。ここでは、当該基準状態は、基板処理装置１１１の処理室にプロセスガスが供給されていない状態、すなわち、流量ゼロの状態である。なお、以下では、ゼロ点取得トリガ２１１に応じて取得された戻り値１２２をゼロ点レベルＶ０n（ｎ＝１、２、３、・・・  ：ｎは基板処理装置１１１における基板処理の処理順を特定する番号）という。
【００３２】
また、入力ポート１１４は、基板処理装置１１１からデータ取得トリガ２１２が入力されると、その時点での戻り値１２２を流量制御装置１１２から取得する。このとき、流量制御装置１１２は、基板処理装置１１１が出力した要求値１２１に応じた流量制御を実施している状態にある。なお、図２では、基板処理装置１１１は、各基板処理において、要求値１２１として出力レベルＶnの信号を流量制御装置１１２に出力している。各基板処理において、基板処理中の要求値１２１は一定である。また、以下では、当該要求値１２１が入力された状況下で、データ取得トリガ２１２に応じて流量制御装置１１２から取得された戻り値１２２を流量出力レベルＶnm（ｍ＝１、２、３、・・・  ：ｍは基板処理ｎにおいて、データが取得された順を特定する番号）という。
【００３３】
入力ポート１１４により取得されたゼロ点レベルＶ０nと流量出力レベルＶnmは、演算部１１５に入力される。演算部１１５は、ゼロ点レベルＶ０nと流量出力レベルＶnmとの差分（出力差分値）から、実流量Ｆnmを下記の式１により算出する。なお、ここでは、戻り値１２２は、流量制御装置１１２の流量制御範囲Ｆmin〜Ｆmax（ｓｃｃｍ）の流量値に対して、Ｖmin〜Ｖmax（Ｖ）の流量電圧値が比例直線により１対１で対応づけられているとする。
【００３４】
【数１】
2009004479.tif 000003
【００３５】
式１について、図３を用いて説明する。図３は、流量制御装置１１２の流量制御特性の一例を示す図である。図３において、横軸が流量値に対応し、縦軸が流量電圧値に対応する。ここでは、図３に実線で示す直線３０１が、基板処理装置１１１に予め登録されている流量制御特性である。直線３０１では、ＦminからＦmaxまでの流量値が、ＶminからＶmaxまでの流量電圧値と比例直線により１対１で対応づけられている。例えば、流量制御装置１１２の流量制御機構が直線３０１の流量制御特性にしたがって動作する場合、基板処理装置１１１がＶnの要求値１２１を出力すると、図３に点線矢印３０２で示すように、流量制御装置１１２の流量値はＦaになる。
【００３６】
ここで、流量制御装置１１２の流量制御特性に、経時変化等によりゼロ点変動が発生し、流量制御装置１１２が、直線３０１に対してオフセット３０５を有する直線（図３に破線で示す直線３０３）の流量制御特性にしたがって動作する状態になっているとする。この場合、基板処理装置１１１がＶnの要求値１２１を出力すると、図３に一点矢印３０４で示すように、流量制御装置１１２の流量値はＦbになる。この場合であっても、式１によれば、実流量Ｆnmは、流量出力レベルＶnmとその流量制御が開始される直前のゼロ点レベルＶ０nとの差に基づいて求められる。このため、図３に示したオフセット３０５の影響が排除され、実流量Ｆnmとして流量値Ｆbが算出される。すなわち、実流量Ｆnmは基板処理装置１１１において実施される各基板処理中の実流量を正確に示すことになる。なお、演算部１１５は、算出した実流量Ｆnmを、基板処理順、データ取得順および後述の期間を特定する情報と関連づけて、自身が備える記憶部に格納する。
【００３７】
一方、演算部１１５は上述の演算に加えて、実流量Ｆnmから以下のようにしてゼロ点レベルの変動および流量制御精度を監視するための演算を行う。図４は当該監視方法の原理を説明する模式図である。図４において、横軸は時間に対応し、縦軸は戻り値１２２（流量電圧値）に対応する。なお、図４では、各基板処理（基板処理５〜基板処理９）において、基板処理装置１１１から流量制御装置１１２へ、同一出力レベルＶnの要求値１２１が入力されている。
【００３８】
演算部１１５は、基板処理ｎが開始されると、直前の基板処理ｎ−１において式１により算出した全ての実流量Ｆ(n-1)mの平均値である平均実流量ＡＦn-1を算出する。そして、現在実施中の基板処理ｎにおいて式１により算出した実流量Ｆnmと、平均実流量ＡＦn-1との差分である制御差分Ｄnmを以下の式２により演算する。
【００３９】
【数２】
2009004479.tif 000004
【００４０】
現在実施中の基板処理ｎと、当該基板処理ｎの直前に完了した基板処理ｎ−１とにおいて、流量制御装置１１２が同一の流量制御を実施している場合、式２により算出された制御差分Ｄnmは、ほぼゼロになる（図４に示す基板処理５、６、８）。これに対し、流量制御装置１１２が同一の流量制御を実施していない場合、制御差分Ｄnmはゼロ以外の値を示す（図４に示す基板処理７、９）。
【００４１】
図４に示すように、制御差分Ｄnmがゼロ以外の値となる場合には、制御差分Ｄnmが、データ取得トリガ２１２が入力されている期間全体にわたってほぼ一定の値を示す場合（図４に示す基板処理７）と、データ取得トリガ２１２が入力されている期間内で変動する場合（図４に示す基板処理９）とがある。データ取得トリガ２１２が入力されている期間全体にわたって制御差分Ｄnmがほぼ一定の値を示す状態は、戻り値１２２が要求値１２１に応じた値であるにもかかわらず、実流量が異なっている状態である。すなわち、流量制御装置１１２の流量制御特性にオフセットが生じている状態を示している。また、データ取得トリガ２１２が入力されている期間内で制御差分Ｄmnの値が変動する状態は、実流量が安定していない状態を示している。特に、制御差分Ｄnmが、ゼロを挟んで変動しているときは、直前の基板処理時の流量制御特性に対してオフセットは発生していないが、実流量が揺らいでいる状態を示している。したがって、制御差分Ｄnmにより、ゼロ点レベルの変動および流量制御精度の悪化を検出することができる。なお、演算部１１５は、算出した制御差分Ｄnmを、基板処理順、データ取得順および後述の期間を特定する情報と関連づけて、自身が備える記憶部に格納する。
【００４２】
また、本実施形態では、演算部１１５は、以下の式３に示す平均制御差分ＡＤnを算出する。ここで、平均制御差分ＡＤnは、現在実施中の基板処理ｎについて、算出された実流量Ｆnmの平均実流量ＡＦnと、直前の基板処理ｎ−１について算出された平均実流量ＡＦn-1との差分である。
【００４３】
【数３】
2009004479.tif 000005
【００４４】
上述のように、本実施形態では、制御差分Ｄnmによりゼロ点レベルの変動および流量制御精度の悪化を検出しているが、式３により算出した平均制御差分ＡＤnを使用しても、同様の検出を行うことができる。制御差分Ｄnmを使用した場合、現在実施中の基板処理ｎについて算出された実流量Ｆnmを直接用いるため、制御異常を最大の検出感度で検出することができる。一方、平均制御差分ＡＤnを使用した場合、平均実流量ＡＦnを用いるため、ノイズなどの微少な変動分を除去することができるため、致命的な制御異常のみを検出することができる。なお、本実施形態では、ｎ＝１である場合、演算部１１５は、式２および式３を用いることなく、制御差分Ｄ1mおよび平均制御差分ＡＤ1の値をゼロにする。
【００４５】
さらに、演算部１１５は上述の演算に加えて、実流量Ｆnmを用いて、以下のようにして長期的な変動を監視するための演算を行う。図５は当該監視方法の原理を説明する模式図である。図５において、横軸は時間に対応し、縦軸は平均実流量ＡＦnに対応する。図５に示す点は、各基板処理について算出された平均実流量ＡＦnを示しており、隣接する２点の差は、式３により算出される平均制御差分ＡＤnを示している。そして、演算部１１５は、以下の式４により、変動差分ＤTを算出する。
【００４６】
【数４】
2009004479.tif 000006
【００４７】
変動差分ＤTの算出は、例えば、１日ごと、メンテナンス間ごと、規定ロット数ごと等の予め定められた期間内において、基板処理が完了する都度、実施される。変動差分ＤTは、特定の基板処理を初期状態（変動差分基準値）としたときの初期状態からの変動量を示す。本実施形態では、基板処理装置１１１から上述の期間の最初に入力される初期化トリガ５０１に応じて、基板処理の処理順を特定する番号ｎがリセットされる。そして、初期化トリガ５０１の入力以降に、基板処理装置１１１において最初に実施される基板処理が基板処理１となる。したがって、式４により算出される変動差分ＤTは、その基板処理が完了した時点での、変動差分基準値からの変動量を示すことになる。
【００４８】
変動差分ＤTがゼロ以外の値である場合、流量制御装置１１２の流量制御特性が初期状態（初期化トリガ５０１が入力された時点）から変動していることになる。このように変動差分ＤTにより、流量制御特性の長期的な変動傾向を把握することができる。したがって、例えば、各基板処理における流量制御特性の変動が微小な場合であっても、当該変動の累積量を把握することができる。すなわち、基板処理ごとに検出することが困難な制御特性の緩やかな変動に起因する流量制御異常を検出することができる。
【００４９】
判定部１１６は、演算部１１５が以上のようにして算出した、実流量Ｆnm、制御差分Ｄnm（あるいは、平均制御差分ＡＤn）、および変動差分ＤTに基づいて、流量制御装置１１２の異常の有無を判断する。図６は、判定部１１６が実施する装置状態監視処理を示すフロー図である。ここでは、当該処理は、基板処理装置１１１おいて、上記各期間における最初の基板処理１が実施される前に開始されている。
【００５０】
装置状態監視処理が開始されると、判定部１１６は、基板処理ｎが完了するまで待機する（ステップＳ６１１、Ｓ６１２Ｎｏ）。そして、基板処理ｎが完了すると、判定部１１６は、演算部１１５から、実流量Ｆnm、制御差分Ｄnm、および変動差分ＤTを取得する（ステップＳ６１２Ｙｅｓ、Ｓ６１３）。このとき、判定部１１６は、実流量Ｆnmおよび制御差分Ｄnmについては、その基板処理ｎの間に算出された全ての実流量Ｆnmおよび全ての制御差分Ｄnmを演算部１１５から取得する。
【００５１】
次いで、判定部１１６は、基板処理装置１１１から、実流量Ｆnm、制御差分Ｄnm、および変動差分ＤTの規格範囲（規格値）を取得する（ステップＳ６１４）。判定部１１６は、実流量Ｆnm、制御差分Ｄnm、および変動差分ＤTと、それぞれの規格範囲とを比較し、それぞれが規格範囲内にあるか否かを判定する（ステップＳ６１５）。本実施形態では、実流量Ｆnmの規格範囲として、上限値と下限値とが設定される。当該上限値と下限値とにより、基板処理装置１１１が出力した要求値１２１に応じた流量値として許容される実流量の範囲が設定される。また、制御差分Ｄnmの規格範囲として、上限値と下限値とが設定される。当該上限値と下限値とにより、流量制御中に許容される流量制御精度の範囲が設定される。なお、特に限定されないが、本実施形態では、変動差分ＤTの規格範囲は、実流量Ｆnmの規格範囲と同一になっている。
【００５２】
当該判定において、判定部１１６は、例えば、まず、制御差分Ｄnmが規格範囲内に属しているか否かを判定する。制御差分Ｄnmが規格範囲内に属していなかった場合、判定部１１６は、取得した各制御差分Ｄnmの符号を確認する。そして、制御差分Ｄnmに異なる符号が混在していた場合、制御精度異常ありと判定する。また、制御差分Ｄnmの符号が全て同一であった場合、判定部１１６はゼロ点変動発生と判断する。次いで、判定部１１６は、実流量Ｆnmが規格範囲内に属しているか否かを判定する。実流量Ｆnmが規格範囲内に属していなかった場合、判定部１１６は、許容できないゼロ点変動ありと判断する。続いて、判定部１１６は、変動差分ＤTが規格範囲内に属しているか否かを判定する。変動差分ＤTが規格範囲内に属していなかった場合も、判定部１１６は、許容できないゼロ点変動ありと判断する。
【００５３】
判定部１１６は、以上のように異常ありと判定した場合、報知部１１７にアラームの発報を指示するとともに、判定結果を送信する（ステップＳ６１５Ｎｏ、Ｓ６１６）。当該指示を受けた報知部１１７は、音、光、警告表示、電子メールによる警告通知等、作業者に異常を通知可能な任意の方式によりアラームを発報するとともに、異常の種別を、装置状態監視装置１１３の図示しない表示部に表示する。また、このとき、報知部１１７は、基板処理装置１１１を動作不能状態にする構成であってもよい。異常の発生を認識した作業者は、表示部に表示された事項に応じて、各装置の復旧を行う。
【００５４】
なお、実流量Ｆnm、制御差分Ｄnm、および変動差分ＤTの全てが規格範囲内に属していた場合、判定部１１６は、次基板処理が完了するまで待機し、次基板処理について上述の判定を行う（ステップＳ６１５Ｙｅｓ、Ｓ６１６、Ｓ６１２）。
【００５５】
以上説明したように、本実施形態によれば、基板処理装置１１１において実施される基板処理ごとに、ゼロ点変動や制御精度の異常等の流量制御異常を確実に検出することができる。このため、異常が発生した状態で、基板処理が継続して実施されることを確実に防止することができる。また、基板処理ごとに検出することが困難な制御特性の緩やかな変動に起因する、流量制御異常をも確実に検出することができる。
【００５６】
また、本実施形態は、従来技術に比べて以下のような利点も有している。図７は、本実施形態の規格範囲と従来の規格範囲との差異を説明する模式図である。図７（ａ）が従来の規格範囲の一例であり、図７（ｂ）が、本実施形態の規格範囲の一例である。図７（ａ）および図７（ｂ）の横軸は時間に対応する。また、図７（ａ）の縦軸は、流量値に対応する。図７（ｂ）の上段の縦軸が実流量に対応し、下段の縦軸は制御差分Ｄnmに対応する。なお、図７（ａ）および図７（ｂ）では、４回の基板処理に対して取得されたデータを示している。なお、ここでは、ゼロ点変動は発生していないものとする。
【００５７】
従来、図７（ａ）に示すように、流量値に対する規格範囲７０２は、流量値のターゲット値の設定範囲７０１内で設定される。ここで、ターゲット値の設定範囲７０１とは、基板処理対象の基板に適用されるプロセスにおいて、基板処理装置１１１の状態（例えば、プラズマの生成状態等）が経時的に変動したときに、当該変動に合わせてターゲット値の変更を許容する範囲である。また、制御精度の規格範囲７０２は、あるターゲット値が設定されたときに、そのターゲット値が設定された流量制御において変動が許容される流量値の範囲である。近年の微細化プロセスや枚葉化プロセスでは、流量のプロセスマージンが極めて狭いため、制御精度の範囲７０２が極めて狭くなっている。このため、従来の装置状態監視装置１１３では、基板処理装置１１１の経時的な変動に応じてターゲット値を変更した場合、制御精度の規格範囲７０２を変更する必要があった。すなわち、図７（ａ）において、流量制御のターゲット値を、流量値７１１のターゲット値７１６から、流量値７１２のターゲット値７１７に変更した場合、ターゲット値の変更に応じて流量値は変動する。このとき、制御精度の規格範囲７０２を変更しなければ、ターゲット値変更以降の基板処理の流量値７１２、７１３、７１４は制御精度の規格範囲７０２を満足しないため、全て異常と判定される。流量値７１４は、制御精度の規格幅を超えて変動しているため、異常と判定されても問題ないが、流量値７１２、７１３は、変更後のターゲット値に応じた流量値であり、また、制御精度の規格幅内で変動しているため、正常に流量制御がなされている。すなわち、正常な流量制御が異常と誤検知されている。このような誤検知の発生を防止するため、従来は、流量値のターゲット値を変更するたびに、制御精度の規格範囲を変更する必要があった。このような、変更は、１回の基板処理内で複数種の流量値が設定される場合や、同一の基板処理装置内で複数種の基板処理が実施される場合などには、非常に煩雑な作業となる。また、制御精度の規格範囲の変更が完了するまでの間、常に異常が検出されるため、真の異常（流量値７１４）を検出することができない。
【００５８】
これに対し、本実施形態では、図７（ｂ）に示すようにターゲット値の設定範囲７０１と独立して、流量制御精度の規格範囲７０２が制御差分Ｄnmの規格範囲として設定されている。すなわち、図７（ｂ）において、流量制御のターゲット値を、流量値７１１のターゲット値７１６から、流量値７１２のターゲット値７１７に変更した場合、ターゲット値の変更に応じて流量値は変動する。このとき、流量差分Ｄnmに対する規格範囲７０２は固定されている。この場合、流量値７２１、７２３に対応する制御差分７２１、７２３は、規格範囲７０２を満足するため、正常と判定される。また、流量値７１４に対応する制御差分７２４は制御精度の規格範囲７０２を満足しないため、異常と判定される。また、本実施形態では、ターゲット値を変更した直後の流量値７１２に対応する制御差分７２２は、ゼロ点変動として検出される。しかしながら、当該変動量がターゲット値の変動に応じた変動であるか否かを判定することにより、真のゼロ点変動であるか否を容易に識別することができる。
【００５９】
したがって、本実施形態では、ターゲット値を変更した場合であっても、制御差分Ｄnmの規格範囲を変更する必要がない。すなわち、流量制御精度の規格範囲７０２を永久的に固定にでき、かつ流量制御精度の異常７１４を確実に検知することができる。したがって、流量制御異常を簡便にかつ正確に検出することができる。
【００６０】
以上説明したように、本実施形態によれば、基板処理装置において実施される基板処理ごとに、流量制御異常を確実に検出することができる。また、当該異常が、流量制御特性の変動（ゼロ点変動）であるか、制御精度の異常であるかを、容易に識別することができる。さらには、基板処理ごとに検出することが困難な、制御特性の緩やかな変動に起因する、流量制御異常も確実に検出することができる。
【００６１】
また、本実施形態によれば、流量制御異常の有無を判定する規格範囲を、流量値と独立して設定することができるとともに、流量制御異常を厳密に管理することができる。
【００６２】
（第２の実施形態）
第１の実施形態では、ゼロ点変動を検出した場合にアラームを発報する構成について説明した。しかしながら、ゼロ点変動を検出した場合、自動的に流量制御装置のゼロ点を補正する構成とすることもできる。
【００６３】
図８は、本実施形態の装置状態監視装置を示す概略構成図である。図８に示すように、本実施形態の装置状態監視装置８１３は、ゼロ点補正部８１１を備える点で、第１の実施形態で説明した装置状態監視装置１１３と異なっている。他の構成は、装置状態監視装置１１３と同一である。以下では、装置状態監視装置１１３と同一の要素には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００６４】
本実施形態では、ゼロ点補正部８１１が、判定部１１６が、流量制御異常の判定を行う都度、当該判定結果に基づいて、戻り値のゼロ点補正を行う。ここで、ゼロ点補正とは、流量制御装置１１２が出力する戻り値をゼロ点変動がない状態にする処理を指す。
【００６５】
第１の実施形態において説明した手法により、判定部１１６が、ゼロ点変動発生と判断した場合、判定部１１６は、ゼロ点補正部８１１に、その旨と、変動量α（図４に示す基板処理７参照。）を通知する。当該通知を受けたゼロ点補正部８１１は、入力された変動量αに応じた補正値を決定する。なお、当該補正値は、例えば、図３に示した、流量制御特性に基づいて算出することができる。
【００６６】
補正値を算出したゼロ点補正部８１１は、当該補正値を流量制御装置１１２へ通知し、流量制御装置１１２が出力する戻り値１２２のゼロ点補正を行う。また、ゼロ点補正部８１１は、流量制御装置１１２に代えて、基板処理装置１１１に補正値を通知することにより、ゼロ点補正を行ってもよい。この場合、基板処理装置１１１は、入力された補正値を要求値１２１に加算することにより、要求値１２１をオフセットさせる。これにより、流量制御装置１１２の戻り値が相対的にゼロ点補正される。
【００６７】
本実施形態によれば、ゼロ点変動が頻繁に発生する基板処理装置に対しても、基板処理ごとに、自動的にゼロ点補正を実施することができる。この結果、各基板処理における実流量を正確に制御することができる。このため、極めて均質な基板処理を実現することができる。また、第１の実施形態に比べて、アラームの発報頻度を低減することができ、基板処理装置１１１の稼働率を向上させることもできる。
【００６８】
なお、本実施形態の装置状態監視装置８１３も、判定部１１６が流量制御異常を検出した際に、報知部１１７がアラームを発報する構成である。しかしながら、ゼロ点変動が発生した場合、次基板処理が実施されるまでの間に、ゼロ点補正が自動的に実施されるため、ゼロ点変動発生についてはアラームを報知しない。
【００６９】
（第３の実施形態）
第１および第２の実施形態では、流量制御装置の装置状態を監視する事例について説明した。しかしながら、本発明は、圧力制御弁の開度を調整することにより、基板処理装置内の圧力を調整する圧力制御装置の装置状態の監視にも適用することができる。そこで、第３の実施形態では、基板処理装置と一体で使用される圧力制御装置の動作を監視する事例について説明する。
【００７０】
図９は本実施形態の装置状態監視装置を示す概略構成図である。図９に示すように、本実施形態においても、基板処理装置９１１は、上述の第１および第２の実施形態と同様に、基板処理を実施する際に、圧力制御装置９１２へ要求値９２１（制御信号）を出力する。圧力制御装置９１２は、基板処理装置９１１の、例えば処理室内部の圧力を計測する圧力計９１８から出力される戻り値９２２を取得する。ここでは、戻り値９２２は、圧力計９１８が計測した圧力に対応する電圧値である。圧力制御装置９１２は、戻り値９２２が示す圧力値が要求値９２１に対応する圧力値と一致するように、圧力制御弁９１９へ動作値９１７（出力値）を入力する。ここで、動作値９１７は、圧力制御弁９１９の開度を指定する電気信号である。また、圧力制御装置９１２は、圧力計９１８から取得した戻り値９２２を順次基板処理装置１１１に出力する。
【００７１】
本実施形態の装置状態監視装置１１３は、第１の実施形態で説明した装置状態監視装置と同一の構成を有している。本実施形態では、基板処理装置９１１から出力されるトリガ信号９２３に応じて、入力ポート１１４が、圧力制御装置９１２から出力される動作値９１７を取得する。
【００７２】
本実施形態では、基板処理装置９１１は、圧力制御装置９１２からの戻り値９２２が要求値９２１に対応する値になったとき（基準状態）に、ゼロ点取得トリガを出力する。また、ゼロ点取得トリガを出力後から処理終了までの間は、基板処理装置１１１は、一定周期でデータ取得トリガを出力する。したがって、本実施形態では、ゼロ点取得トリガが入力されたときに入力ポート１１４が取得する動作値９１７は、圧力制御装置９１２が、所定の圧力制御を開始する時点で、圧力制御弁９１９に出力していた動作値９１７になる。また、データ取得トリガが入力されたときに入力ポート１１４が取得する動作値９１７は、圧力制御装置９１２が所定の圧力制御を実施中に、圧力制御弁９１９に出力していた動作値９１７になる。そして、本実施形態では、演算部１１５が、圧力制御装置９１２が所定の圧力制御を実施中に、圧力制御弁９１９に出力していた動作値９１７と、基準状態において圧力制御弁９１９に出力していた動作値９１７との差分（出力差分値）を算出する。この場合、当該差分は、圧力制御弁９１９の変動量に対応する値になる。
【００７３】
図１０は、圧力制御装置９１２が処理室内の圧力を一定に維持する動作をしている場合の、処理室の外部リーク量と圧力制御弁９１９の動作値９１７および圧力制御弁９１９の変動量との関係を示す模式図である。図１０（ａ）が、処理室の外部リーク量と圧力制御弁９１９の動作値９１７との関係を示す模式図であり、図１０（ｂ）が、処理室の外部リーク量と圧力制御弁９１９の変動量との関係を示す模式図である。
【００７４】
図１０（ａ）に示すように、処理室内の圧力を一定に維持する動作をしている場合、圧力制御弁９１９の動作値９１７と、外部リーク量との間に明確な相関関係は確認できない。これに対し、図１０（ｂ）に示すように、圧力制御弁９１９の変動量と外部リーク量との間には明確な相関関係が確認できる。これは、圧力制御弁９１９の動作値９１７が圧力計９１８から入力される戻り値９２１に応じて変更されることに起因する。
【００７５】
排気系の排気能力は常に一定ではなく、経時的に変化する。このため、処理室に外部リークが存在しない状況下であっても、処理室内を同一の圧力に維持した状態での圧力制御弁９１９の動作値９１７は互いに異なる。処理室に外部リークが発生した場合、その外部リークに対応する量が動作値９１７に加算されるだけであるため、外部リークと圧力制御弁９１９の動作値９１７との間に相関関係は生じない。これに対し、処理室に外部リークが存在しない状況下では、処理室内を同一の圧力に維持した状態での圧力制御弁９１９の変動量はほぼゼロになる。これは、１回の基板処理中では、排気系の排気能力が大きく変動しないからである。したがって、処理室に外部リークが発生した場合、その外部リークに対応する量が変動量に加算される。この結果、外部リークと圧力制御弁９１９の変動量との間に相関関係は生じることになる。
【００７６】
したがって、式１により算出される圧力制御弁９１９の変動量により、外部リークの有無を判定することができる。また、当該変動量に規格範囲を設定することにより、所定のリーク量を超える外部リークを異常として検出することも可能となる。
【００７７】
このように、本実施形態によれば、従来検出が不可能であった、処理室等の外部リークの有無を、基板処理中にかつ基板処理ごとに判定することができる。
【００７８】
以上説明したように、本発明によれば、基板処理装置において実施される基板処理ごとに、流体の供給異常や排出異常を確実に検出することができる。また、流体の通過量を制御する機構の制御特性変動の有無や制御精度の異常、さらには、制御特性変動の発生自体を検出することもできる。加えて、基板処理ごとに検出することが困難な、制御特性の緩やかな変動に起因する、流体の供給異常や排出異常を確実に検出することができる。
【００７９】
また、本発明によれば、異常の有無を判定する判定基準を、流体の通過量の絶対値と独立して設定することができるとともに、流体の供給異常や排出異常を厳密に管理することができる。
【００８０】
なお、本発明は、以上で説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲において、種々の変形および応用が可能である。例えば、上記各実施形態では、基板処理装置から入力されたトリガ信号に基づいて、入力ポートが戻り値や動作値を取得する構成としたが、入力ポートが、戻り値や動作値を常時取得し、上述の出力差分値、制御差分、および変動差分を算出する構成であってもよい。また、上記では、１回の基板処理内で、流量値や圧力値が一定値に制御される事例について説明したが、１回の基板処理内で、複数の流量値や複数の圧力値に制御される場合でも、同様の効果を得ることができる。この場合、規格範囲は、各流量値（圧力値）に対して、個別に設定すればよい。さらに、上記では、異常判定対象の通過量制御の直前に完了した通過量制御直前の通過量制御について算出された出力差分値に基づいて出力差分値の差分を算出する構成を説明した。しかしながら、ゼロ点変動および通過量制御の精度を検出する観点では、直前に完了した通過量制御に限らず、異常判定対象の通過量制御前に完了した他の通過量制御について算出された出力差分値に基づいて出力差分値の差分を算出してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、基板処理ごとに基板処理装置とともに使用される流体の通過量を制御する装置の異常を確実に検出することができ、装置状態監視方法および装置状態監視装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の第１の実施形態における装置状態監視装置を示す概略構成図
【図２】本発明の第１の実施形態における流量制御装置が出力する戻り値の一例を示す図
【図３】本発明の第１の実施形態における流量制御特性の一例を示す図
【図４】本発明の第１の実施形態における演算部が実施する、ゼロ点レベル変動および流量制御精度の監視の原理を説明する模式図
【図５】本発明の第１の実施形態における演算部が実施する、長期的な変動の監視の原理を説明する模式図
【図６】本発明の第１の実施形態における装置状態監視処理を示すフロー図
【図７】本発明の第１の実施形態における規格範囲と従来の規格範囲との差異を示す模式図
【図８】本発明の第２の実施形態における装置状態監視装置を示す概略構成図
【図９】本発明の第３の実施形態における装置状態監視装置を示す概略構成図
【図１０】本発明の第３の実施形態における処理室の外部リーク量と圧力制御弁の動作値および変動量との関係を示す模式図
【図１１】従来の装置状態監視方法を説明するための模式図
【図１２】流量制御特性の一例を示す図
【符号の説明】
【００８３】
１１１  基板処理装置
１１２  流量制御装置
１１３  装置状態監視装置
１１４  入力ポート
１１５  演算部
１１６  判定部
１１７  報知部
１２１  要求値
１２２  戻り値（出力値）
８１１  ゼロ点補正部
８１３  装置状態監視装置
９１１  基板処理装置
９１２  圧力制御装置
９１７  動作値（出力値）
９１８  圧力計
９１９  圧力制御弁
９２１  要求値
【図１】
2009004479.tif 000007
【図２】
2009004479.tif 000008
【図３】
2009004479.tif 000009
【図４】
2009004479.tif 000010
【図５】
2009004479.tif 000011
【図６】
2009004479.tif 000012
【図７】
2009004479.tif 000013
【図８】
2009004479.tif 000014
【図９】
2009004479.tif 000015
【図１０】
2009004479.tif 000016
【図１１】
2009004479.tif 000017
【図１２】
2009004479.tif 000018