(57)【要約】【課題】簡易で、かつ短時間で良否判定が可能な光ピックアップの検査方法を提供する。【解決手段】撮像素子Ｍを対物レンズ１Ｄの焦点位置ｓ０よりも遠い第１の位置ｓ１、対物レンズの焦点位置ｓ０よりも近い第２の位置ｓ２及び第１の位置ｓ１よりも遠い第３の位置ｓ３に配置して、それぞれの位置ｓ１〜ｓ３における撮像素子Ｍに形成されるスポット径ｓｐ０〜ｓｐ２を測定し、第１、第２のずれ率Ａ、Ｂ或いは第１、第２の差Ｐ、Ｑを演算して規格値との大小比較を行って光ピックアップ１の選別を行う。【選択図】図２
2009151871.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ピックアップの発光部から出射するレーザ光を対物レンズを介して光検出部の有する撮像素子に入射させ、前記撮像素子に形成されるスポット光の径を測定することにより、前記光ピックアップの良否判定を行う光ピックアップの検査方法において、
前記対物レンズの光軸方向をＺ軸とし、前記Ｚ軸に直交する方向をＹ軸とし、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸で形成する平面に直交する方向をＸ軸として、前記撮像素子を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸で形成するＸＹ平面内に配置させるとき、前記光検出部をＺ軸方向に順次移動させて、前記対物レンズ側から見て、前記撮像素子を前記対物レンズの焦点距離を越えた第１の位置、前記対物レンズの焦点距離よりも近い第２の位置及び前記第１の位置よりも遠い第３の位置に配置して、前記発光部から前記レーザ光を前記撮像素子に出射させ、各位置における前記撮像素子に第１〜第３のスポット光を形成するステップと、
前記第１〜第３スポット光のそれぞれに対応したＸ軸方向の長さＸ０、Ｘ１、Ｘ２及びＹ軸方向の長さＹ０、Ｙ１、Ｙ２を測定した後、第１の楕円率ａ＝Ｘ０／Ｙ０、第２の楕円率ｂ＝Ｘ１／Ｙ１及び第３の楕円率ｃ＝Ｘ２／Ｙ２を演算するステップと、
前記第１の楕円率ａに対する前記第２の楕円率ｂの第１のずれ率Ａ＝（（ｂ−ａ）／ａ）×１００を演算するステップと、
前記第１のずれ率Ａが前記光ピックアップの良否判定を行うために用いられる第１の規格値よりも小さいか否かを判定するステップと、
前記第１のずれ率Ａが前記第１の規格値よりも大きい場合には、前記光ピックアップは「不良品」と判定し、前記光ピックアップの検査を終了するステップと、
前記第１のずれ率Ａが前記第１の規格値よりも小さい場合には、前記第１の楕円率ａに対する前記第３の楕円率ｃの第２のずれ率Ｂ＝（（ｃ−ａ）／ａ）×１００を演算するステップと、
前記第２のずれ率Ｂが前記光ピックアップの良否判定を行うために用いられかつ前記第１の規格値とは異なる第２の規格値よりも大きいか否かを判定するステップと、
前記第２のずれ率Ｂが前記第２の規格値よりも小さい場合には、前記光ピックアップは「不良品」と判定して前記光ピックアップの検査を終了するステップと、
前記第２のずれ率Ｂが前記第２の規格値よりも大きい場合には、前記光ピックアップを「良品」と判定して前記光ピックアップの検査を終了するステップと
からなることを特徴とする光ピックアップの検査方法。
【請求項２】
光ピックアップの発光部から出射するレーザ光を対物レンズを介して光検出部の有する撮像素子に入射させ、前記撮像素子に形成されるスポット光の径を測定することにより、前記光ピックアップの良否判定を行う光ピックアップの検査方法において、
前記対物レンズの光軸方向をＺ軸とし、前記Ｚ軸に直交する方向をＹ軸とし、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸で形成する平面に直交する方向をＸ軸として、前記撮像素子を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸で形成するＸＹ平面内に配置させるとき、前記光検出部をＺ軸方向に順次移動させて、前記対物レンズ側から見て、前記撮像素子を前記対物レンズの焦点距離を越えた第１の位置、前記対物レンズの焦点距離よりも近い第２の位置及び前記第１の位置よりも遠い第３の位置に配置して、前記発光部から前記レーザ光を前記撮像素子に出射させ、各位置における前記撮像素子に第１〜第３のスポット光を形成するステップと、
前記第１〜第３スポット光のそれぞれに対応したＸ軸方向の長さＸ０、Ｘ１、Ｘ２及びＹ軸方向の長さＹ０、Ｙ１、Ｙ２を測定した後、第１の差Ｐ＝（（Ｘ１−Ｘ０）−（Ｙ１−Ｙ０））を演算するステップと、
前記第１の差Ｐが前記光ピックアップの良否判定を行うために用いられる第１の規格値よりも小さいか否かを判定するステップと、
前記第１の差Ｐが前記第１の規格値よりも大きい場合には、「不良品」と判定し、前記光ピックアップは、「不良品」として前記光ピックアップの検査を終了するステップと、
前記第１の差Ｐが前記第１の規格値よりも小さい場合には、第２の差Ｑ＝（Ｘ２−Ｘ０）−（Ｙ２−Ｙ０）を演算するステップと、
前記第２の差Ｑが前記光ピックアップの良否判定を行うために用いられかつ前記第１の規格値とは異なる第２の規格値よりも大きいか否かを判定するステップと、
前記第２の差Ｑが前記第２の規格値よりも小さい場合には、前記光ピックアップは「不良品」と判定し、前記光ピックアップは、「不良品」として前記光ピックアップの検査を終了するステップと、
前記第２の差Ｑが前記第２の規格値よりも大きい場合には、前記光ピックアップは「良品」と判定し、前記光ピックアップは、「良品」として前記光ピックアップの検査を終了するステップと
からなることを特徴とする光ピックアップの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＤＶＤ（デジタル・バーサタイル・ディスク）等の高密度記録対応の光ディスクを再生するための光ピックアップの良否判定を行う光ピックアップの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ピックアップの良否判定は、光ピックアップから出射するレーザ光を光ディスクの信号面上に集光した際に、この信号面上に形成されたスポット光の形状を、光学干渉計で測定し、この測定結果を予め決められた基準値と比較することにより行われていた。
【０００３】
特許文献１には、この光学干渉計を用いて、光ピックアップを構成する開口数ＮＡ＞１の対物レンズの光学収差を光干渉測定することが記載されている。
【特許文献１】特開２００２−２２６０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、光ピックアップの再生性能を大きく左右する要素の一つに、再生ジッタがある。この再生ジッタを向上させるためには、光学収差を低減してスポット光の形状を基準値以内に収める必要がある。このためには、光学収差を高精度にかつ容易に測定することが求められている。
【０００５】
しかしながら、光ピックアップの光学収差を光学干渉計で高精度に測定することが、優先されていたので、光学収差の高精度測定にかなりの時間を要していた。
【０００６】
このため、大量の光ピックアップの良否を検査する生産ラインに光学干渉計を設置して光ピックアップ毎の良否判定を行なうには、かなりの時間を要していたので、生産効率が悪かった。
【０００７】
そこで本発明は、このような問題に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものであり、簡易で、かつ短時間で良否判定が可能な光ピックアップの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで本発明は、上記した課題を解決するために、下記する（１）、（２）の構成を有する光ピックアップの検査方法を提供する。
【０００９】
（１）光ピックアップの発光部から出射するレーザ光を対物レンズを介して光検出部の有する撮像素子に入射させ、前記撮像素子に形成されるスポット光の径を測定することにより、前記光ピックアップの良否判定を行う光ピックアップの検査方法において、
前記対物レンズの光軸方向をＺ軸とし、前記Ｚ軸に直交する方向をＹ軸とし、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸で形成する平面に直交する方向をＸ軸として、前記撮像素子を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸で形成するＸＹ平面内に配置させるとき、前記光検出部をＺ軸方向に順次移動させて、前記対物レンズ側から見て、前記撮像素子を前記対物レンズの焦点距離を越えた第１の位置、前記対物レンズの焦点距離よりも近い第２の位置及び前記第１の位置よりも遠い第３の位置に配置して、前記発光部から前記レーザ光を前記撮像素子に出射させ、各位置における前記撮像素子に第１〜第３のスポット光を形成するステップと、
前記第１〜第３スポット光のそれぞれに対応したＸ軸方向の長さＸ０、Ｘ１、Ｘ２及びＹ軸方向の長さＹ０、Ｙ１、Ｙ２を測定した後、第１の楕円率ａ＝Ｘ０／Ｙ０、第２の楕円率ｂ＝Ｘ１／Ｙ１及び第３の楕円率ｃ＝Ｘ２／Ｙ２を演算するステップと、
前記第１の楕円率ａに対する前記第２の楕円率ｂの第１のずれ率Ａ＝（（ｂ−ａ）／ａ）×１００を演算するステップと、
前記第１のずれ率Ａが前記光ピックアップの良否判定を行うために用いられる第１の規格値よりも小さいか否かを判定するステップと、
前記第１のずれ率Ａが前記第１の規格値よりも大きい場合には、前記光ピックアップは「不良品」と判定し、前記光ピックアップの検査を終了するステップと、
前記第１のずれ率Ａが前記第１の規格値よりも小さい場合には、前記第１の楕円率ａに対する楕円率ｃの第２のずれ率Ｂ＝（（ｃ−ａ）／ａ）×１００を演算するステップと、
前記第２のずれ率Ｂが前記光ピックアップの良否判定を行うために用いられかつ前記第１の規格値とは異なる第２の規格値よりも大きいか否かを判定するステップと、
前記第２のずれ率Ｂが前記第２の規格値よりも小さい場合には、前記光ピックアップは「不良品」と判定して前記光ピックアップの検査を終了するステップと、
前記第２のずれ率Ｂが前記第２の規格値よりも大きい場合には、前記光ピックアップを「良品」と判定して前記光ピックアップの検査を終了するステップと
からなることを特徴とする光ピックアップの検査方法。
【００１０】
（２）光ピックアップの発光部から出射するレーザ光を対物レンズを介して光検出部の有する撮像素子に入射させ、前記撮像素子に形成されるスポット光の径を測定することにより、前記光ピックアップの良否判定を行う光ピックアップの検査方法において、
前記対物レンズの光軸方向をＺ軸とし、前記Ｚ軸に直交する方向をＹ軸とし、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸で形成する平面に直交する方向をＸ軸として、前記撮像素子を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸で形成するＸＹ平面内に配置させるとき、前記光検出部をＺ軸方向に順次移動させて、前記対物レンズ側から見て、前記撮像素子を前記対物レンズの焦点距離を越えた第１の位置、前記対物レンズの焦点距離よりも近い第２の位置及び前記第１の位置よりも遠い第３の位置に配置して、前記発光部から前記レーザ光を前記撮像素子に出射させ、各位置における前記撮像素子に第１〜第３のスポット光を形成するステップと、
前記第１〜第３スポット光のそれぞれに対応したＸ軸方向の長さＸ０、Ｘ１、Ｘ２及びＹ軸方向の長さＹ０、Ｙ１、Ｙ２を測定した後、第１の差Ｐ＝（（Ｘ１−Ｘ０）−（Ｙ１−Ｙ０））を演算するステップと、
前記第１の差Ｐが前記光ピックアップの良否判定を行うために用いられる第１の規格値よりも小さいか否かを判定するステップと、
前記第１の差Ｐが前記第１の規格値よりも大きい場合には、「不良品」と判定し、前記光ピックアップは、「不良品」として前記光ピックアップの検査を終了するステップと、
前記第１の差Ｐが前記第１の規格値よりも小さい場合には、第２の差Ｑ＝（Ｘ２−Ｘ０）−（Ｙ２−Ｙ０）を演算するステップと、
前記第２の差Ｑが前記光ピックアップの良否判定を行うために用いられかつ前記第１の規格値とは異なる第２の規格値よりも大きいか否かを判定するステップと、
前記第２の差Ｑが前記第２の規格値よりも小さい場合には、前記光ピックアップは「不良品」と判定し、前記光ピックアップは、「不良品」として前記光ピックアップの検査を終了するステップと、
前記第２の差Ｑが前記第２の規格値よりも大きい場合には、前記光ピックアップは「良品」と判定し、前記光ピックアップは、「良品」として前記光ピックアップの検査を終了するステップと
からなることを特徴とする光ピックアップの検査方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、撮像素子を前記対物レンズの焦点位置よりも遠い第１の位置、対物レンズの焦点位置よりも近い第２の位置及び第１の位置よりも遠い第３の位置に配置して、それぞれの位置における撮像素子に形成されるスポット光の径を測定し、第１、第２のずれ率或いは第１、第２の差を演算して各規格値との大小比較を行って、光ピックアップの良否判定を行うので、簡易で、かつ短時間で良否判定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の光ピックアップの検査方法の各実施の形態について、図１〜図９を用いて、説明する。
【００１３】
図１は、本発明の第１の実施の形態における撮像素子に形成されたスポット光の輝度のキャリブレーションを行うフローチャート、図２は、本発明の光ピックアップの検査方法の第１の実施の形態を説明するためのフローチャート、図３は、本発明の各実施の形態に用いられる光ピックアップ検査装置を示す図、図４は、光検出部と光ピックアップとの位置関係を示す図、図５は、各測定位置でのスポットの径を示す図、図６は、光ディスクの信号読み取りを行った際のジッタと第１のずれ率Ａとの関係を示す図、図７は、光ディスクの信号読み取りを行った際のジッタと第２のずれ率Ｂとの関係を示す図、図８は、本発明の光ピックアップの検査方法の第２の実施の形態を説明するためのフローチャート、図９は、光ディスクの信号読み取りを行った際のジッタと第１の差Ｐとの関係を示す図である。
【００１４】
まず、本発明の光ピックアップの検査方法に用いられる検査装置について図３を用いて説明する。
【００１５】
図３に示すように、検査装置ＡＡは、検査部２と、制御部３と、表示部４とから構成されている。
【００１６】
検査部２は、光検出部２Ａと、この光検出部２Ａを可動制御する駆動部２Ｂとから構成されている。
【００１７】
検査対象となる光ピックアップ１は、光検出部２Ａの下方に配置される。
【００１８】
光検出部２Ａの先端部２Ａａには、光ピックアップ１の後述する発光部１Ｅから出射されるレーザ光Ｌを検出する撮像素子Ｍが設けられている。
【００１９】
制御部３は、メモリ３Ａを有しており、このメモリ３Ａには、駆動部２Ｂに指示して光検出部２Ａの位置制御を行って、撮像素子Ｍに形成されるレーザ光Ｌによるスポットの形状を測定し、この測定結果から演算を行う検査プログラムが格納されている。制御部３には、光ピックアップ１の良否判定を行った結果を表示する表示部４が接続されている。
【００２０】
上述した光ピックアップ１は、ベース１Ａと、固定部１Ｂと、対物レンズ支持部１Ｃと、対物レンズ１Ｄと、発光部１Ｅとから構成されている。詳しくは、光ピックアップ１は、ベース１Ａ上に載置された発光部１Ｅと、この発光部１Ｅから所定の距離を隔ててベース１Ａ上に載置された固定部１Ｂと、この固定部１Ｂの側面にワイヤＷを介して固定された対物レンズ１Ｄを保持する対物レンズ支持部１Ｃとから構成されている。
【００２１】
以下では、対物レンズ１Ｄの光軸方向をＺ軸とし、Ｚ軸に直交する方向をＹ軸とし、Ｙ軸及びＺ軸で形成される平面に直交する方向をＸ軸とするとき、撮像素子Ｍは、その受光面が、ＸＹ軸で形成されるＸＹ平面内にあって、かつＺ軸に直交するようにして配置されている。この撮像素子Ｍの配置に対応して、検査対象となる光ピックアップ１は図示せぬ冶具に載置される。
【００２２】
次に、この検査装置ＡＡを用いた本発明の光ピックアップ検査方法の各実施の形態について説明する。
【００２３】
本発明の各実施の形態における光ピックアップ１の検査は、制御部３からの指示により、駆動部２Ｂを介して光検出部２Ａを移動させることにより、図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）に示すように、撮像素子Ｍの位置をｓ１、ｓ２、ｓ３に配置して、各位置での撮像素子Ｍの受光面に形成されるスポットの径を測定して行う。
【００２４】
ここで、位置ｓ０は、対物レンズ１Ｄの焦点距離ｆでの焦点位置である（図３）。光検出部２ＡをＺ軸方向に移動させ、対物レンズ１Ｄ側から見たとき、位置ｓ１は、対物レンズ１Ｄの焦点距離ｆを越え、かつ焦点位置ｓ０に近接する位置に配置された撮像素子Ｍの位置であり、位置ｓ２は、対物レンズ１Ｄの焦点距離ｆよりも近くに配置された（即ち、焦点距離ｆを越えて対物レンズ１Ｄに近接して配置された）撮像素子Ｍの位置であり、位置ｓ３は、対物レンズ１Ｄからの距離が位置Ｓ１よりも遠くに配置された（即ち、焦点距離ｆを越えないで対物レンズ１Ｄから遠くに配置された）撮像素子Ｍの位置である。
【００２５】
即ち、対物レンズ１Ｄから見たとき、撮像素子Ｍを配置する位置ｓ１、ｓ２、ｓ３は、ｓ２＜ｓ１＜ｓ３の関係を有する。
【００２６】
焦点位置ｓ０に撮像素子Ｍを配置して、この撮像素子Ｍに形成されたスポット光の径を測定して、得られた結果を光ピックアップ１の良否判定に用いないのは、焦点位置ｓ０では、撮像素子Ｍに集光されるスポット光が点（ピンポイント）になってしまうので、スポット光の径の測定が難しくなり、測定誤差が大きくなるからである。撮像素子Ｍを焦点位置ｓ０に近接した位置ｓ１にすると、撮像素子Ｍに集光されるスポット光の径が測定可能な有限な大きとなって測定精度が増すため、焦点位置ｓ０の代わりに位置ｓ１で測定を行って、その結果を用いて光ピックアップ１の良否判定に用いることにしている。
【００２７】
撮像素子Ｍを位置ｓ１に配置するときのスポット光ｓｐ０の径は、図５（ａ）に示すように、焦点位置ｓ０に近接しているため、円に近い楕円であり、撮像素子Ｍを位置ｓ２に配置するときのスポット光ｓｐ１の径は、図５（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向がＹ軸方向よりも長い楕円であり、撮像素子Ｍを位置ｓ３に配置するときのスポット光ｓｐ２の径は、図５（ｃ）に示すように、撮像素子Ｍを位置ｓ２に配置した時とは逆にＹ軸方向がＸ軸方向よりも長い楕円となる。本発明の実施の形態における光ピックアップの検査方法は、この３つのスポット光ｓｐ０、ｓｐ１、ｓｐ２の径を測定することにより行うものである。
【００２８】
以下、具体的に各実施の形態について説明する。
【００２９】
（第1の実施の形態）
まずは、光ピックアップ１の良否検査の準備段階として、撮像素子Ｍに入射するレーザ光Ｌの輝度のキャリブレーション（以下、キャリブレという）を行う。
【００３０】
以下では、キャリブレ、光検出部２Ａの移動、スポット光ｓｐ０〜ｓｐ２の径の測定及び演算は、制御部３のメモリ３Ａに格納されている検査プログラムに従って行われる。
【００３１】
（キャリブレステップＳ５１）
図１に示すように、検査対象となる光ピックアップ１を検査部２の光検出部２Ａの下方に配置した後、光ピックアップ１の発光部１Ｅからレーザ光Ｌを出射させて、光検出部２Ａの撮像素子Ｍに入射させ、制御部３の指示により、駆動部２Ｂを介して光検出部２Ａを移動させて、撮像素子Ｍを位置ｓ１に配置する。
【００３２】
（キャリブレステップＳ５２）
次に、撮像素子Ｍに入射して形成されたレーザ光Ｌのスポット光ｓｐ０の輝度を測定し、撮像素子Ｍに入射したレーザ光Ｌのスポット光ｓｐ０の輝度が予め定められた基準輝度値よりも高いか否かの判定を行う。
【００３３】
（キャリブレステップＳ５３）
スポット光ｓｐ０の輝度が基準輝度値以下である場合には、発光部１Ｅに電流を供給して、レーザ光Ｌのパワーを高めて輝度を高くして、（キャリブレステップＳ５２）にて、再びスポット光ｓｐ０の輝度が基準輝度値よりも高いか否かの判定を行う。
【００３４】
（キャリブレステップＳ５４）
スポット光ｓｐ０の輝度が基準輝度値以上である場合には、キャリブレを終了して、「測定準備完了」の表示を表示部４に表示して終了する。
【００３５】
この後、光ピックアップ１の良否判定プロセスを図２に示すフローチャートに従って行う。
【００３６】
（ステップＳ１）
図４（ａ）に示すように、撮像素子Ｍを位置ｓ１に配置した状態で、制御部３の指示により、光ピックアップ１の発光部１Ｅからレーザ光Ｌを出射させ、レーザ光Ｌのスポット光ｓｐ０を撮像素子Ｍの受光面に形成し、表示部４に表示させる。
【００３７】
（ステップＳ２）
次に、図５（ａ）に示すように、制御部３により、表示部４に表示させたスポット光ｓｐ０のＸ軸方向の長さＸ０及びＹ軸方向の長さＹ０を測定した後、第１の楕円率ａ＝Ｘ０／Ｙ０を演算する。
【００３８】
（ステップＳ３）
次に、制御部３の指示により、駆動部２Ｂを介して光検出部２ＡをＺ軸方向に移動させて、図４（ｂ）に示すように、撮像素子Ｍを位置ｓ２に配置して、レーザ光Ｌのスポット光ｓｐ１を撮像素子Ｍの受光面に形成し、表示部４に表示させる。
【００３９】
（ステップＳ４）
次に、図５（ｂ）に示すように、制御部３により、表示部４に表示させたスポットｓｐ１のＸ軸方向の長さＸ１及びＹ軸方向の長さＹ１を測定した後、第２の楕円率ｂ＝Ｘ１／Ｙ１を演算する。
【００４０】
（ステップＳ５）
次に、制御部３の指示により、駆動部２Ｂを介して光検出レンズ部２ＡをＺ軸方向に移動させて、図４（ｃ）に示すように、撮像素子Ｍを位置ｓ３に配置して、レーザ光Ｌのスポット光ｓｐ３を撮像素子Ｍの受光面に形成し、表示部４に表示させる。
【００４１】
（ステップＳ６）
次に、図５（ｃ）に示すように、制御部３により、表示部３Ａに表示させた光スポット光ｓｐ２のＸ軸方向の長さＸ２及びＹ軸方向の長さＹ２を測定した後、第３楕円率ｃ＝Ｘ２／Ｙ２を演算する。
【００４２】
（ステップＳ７）
次に、制御部３により、第１の楕円率ａに対する第２の楕円率ｂの第１のずれ率Ａ＝（（ｂ−ａ）／ａ）×１００を演算する。
【００４３】
（ステップＳ８）
制御部３により、第１のずれ率Ａが光ピックアップ１の良否判定を行うために用いられる第１規格値よりも小さいか否かを判定する。
【００４４】
（ステップＳ９）
第１のずれ率Ａが第１規格値よりも大きい場合には、制御部３は、光ピックアップ１は「不良品」と判定し、制御部３は、表示部４に「不良品」と表示する。
【００４５】
これによって、光ピックアップ１は、「不良品」と判定され検査を終了する。
【００４６】
（ステップＳ１０）
第１のずれ率Ａが第１規格値よりも小さい場合は、制御部３により、第１の楕円率ａに対する第３の楕円率ｃの第２のずれ率Ｂ＝（（ｃ−ａ）／ａ）×１００を演算する。
【００４７】
（ステップＳ１１）
制御部３は、第２のずれ率Ｂが光ピックアップ１の良否判定を行うために用いられかつ第１の規格値とは異なる第２規格値よりも大きいか否かを判定する。
【００４８】
（ステップＳ１２）
第２のずれ率Ｂが第２規格値よりも小さい場合には、制御部３は、表示部３Ａに「不良品」と表示する。これによって、光ピックアップ１は、「不良品」と判定され検査を終了する。こうして、光ピックアップ１の良否選別を行う。
【００４９】
（ステップＳ１３）
第２のずれ率Ｂが第２規格値よりも大きい場合には、制御部３は、表示部３Ａに「良品」と表示する。これによって、光ピックアップ１は、「良品」と判定され検査を終了する。
【００５０】
ここで、上述した第１の実施の形態の検査方法により、第１のずれ率Ａの判定により、良否が判定された複数の光ピックアップ１を光ディスク装置に組み込んで、光ディスクの信号読み取りを行った際の各ジッタと第１のずれ率Ａとの関係を調べた結果を図６に示す。
【００５１】
ここでは、ジッタは、１０．５であるときの第１のずれ率Ａ＝０を規格値とする光ディスクの場合を示している。
【００５２】
図６に示すように、ジッタは、第１のずれ率Ａの増加と共に増加しているので、第１のずれ率Ａが０よりも大きい場合には、（ステップＳ９）で光ピックアップ１は、「不良品」であると判定することにより、規格を満たさないジッタとなる光ピックアップ１を除去することができる。
【００５３】
次に、第２のずれ率Ｂの判定により、良否が判定された複数の光ピックアップ１を光ディスク装置に組み込んで、光ディスクの信号読み取りを行った際の各ジッタと第２のずれ率Ｂとの関係を調べた結果を図７に示す。
【００５４】
ここでは、ジッタは、１１．２であるときの第２のずれ率Ｂ＝０を規格値とする光ディスクの場合を示している。
【００５５】
図７に示すように、ジッタは、第２のずれ率Ｂの増加と共に減少しているので、第２のずれ率Ｂが規格値０よりも小さい場合には、（ステップＳ１２）で光ピックアップ１は、「不良品」であると判定することにより、更に精度良く光ピックアップ１の良品の判定を行うことができる。このため、良好なジッタが得られる光ピックアップ１を光ディスク装置に組み入れることができる。
【００５６】
（第１の実施の形態の実施例）
次に、第１の実施の形態の実施例について説明する。
【００５７】
以下では、対物レンズ１Ｄから撮像素子Ｍの受光面を見たとき、位置ｓ１は、焦点位置ｓ０よりも０．５μｍ遠い位置、位置ｓ２は、焦点位置ｓ０よりも０．５μｍ近い位置であり、位置ｓ３は、焦点距離ｓ０よりも１μｍ遠い位置であるときの、光ピックアップ１の良否判別の実施例について説明する。
【００５８】
また、前記した第１の規格値は、５０とし、第２の規格値は、−５０とする。
【００５９】
上述した（キャリブレステップＳ５１）〜（キャリブレステップＳ５４）を行って、撮像素子Ｍを照射する十分なレーザ光Ｌの輝度を得た後、（ステップＳ１）及び（ステップＳ２）と同様の操作を行って、位置ｓ１でのスポット光ｓｐ０のＸ０、Ｙ０の測定及び第１の楕円率ａ＝Ｘ０／Ｙ０を演算する。
【００６０】
この結果、以下のようであった。
【００６１】
Ｘ０＝０．９、Ｙ０＝１．０、ａ＝０．９
次に、（ステップＳ３）〜（ステップＳ４）と同様の操作を行って、位置ｓ２でのスポットｓｐ１のＸ１、Ｙ１の測定及び第２の楕円率ｂ＝Ｘ１／Ｙ１を演算する。
【００６２】
この結果、以下のようであった。
【００６３】
Ｘ１＝１．２、Ｙ１＝１．０、ｂ＝１．２
次に、（ステップＳ５）及び（ステップＳ６）と同様の操作を行って、位置ｓ３でのスポット光ｓｐ２のＸ２、Ｙ２の測定及び第３の楕円率ｃ＝Ｘ２／Ｙ２を演算する。
【００６４】
この結果、以下のようであった。
【００６５】
Ｘ２＝０．８、Ｙ２＝１．０、ｃ＝０．８
次に、（ステップＳ７）と同様の操作を行って、楕円率ａに対する楕円率ｂの第１のずれ率Ａを演算する。
【００６６】
この結果、第１のずれ率Ａ＝３３．３である。
【００６７】
次に、（ステップＳ８）と同様の操作を行って、第１の規格値に対する第１のずれ率Ａの大小判定を行う。上述したように、第１のずれ率Ａは、３３．３であるので、第１の規格値５０よりも小さい。
【００６８】
（ステップＳ１０）と同様の操作を行って、楕円率ａに対する楕円率ｃの第２のずれ率Ｂを演算する。
【００６９】
この結果、第２のずれ率Ｂ＝−１１．１である。
【００７０】
（ステップＳ１１）と同様の操作を行って、第２の規格値に対する第２のずれ率Ｂの大小判定を行う。上述したように、第１のずれ率Ｂは、−１１．１であるので、第２の規格値−５０よりも大きい。
【００７１】
第２のずれ率Ｂが第２の規格値を超えているので、制御部３は、表示部４に「良品」と表示する。こうして、光ピックアップ１は、「良品」と判定され、検査を終了する。
【００７２】
以上のようにして、光ピックアップ１の良否判定を行うことができる。
【００７３】
第１の実施の形態によれば、スポットｓｐ０〜ｓｐ２のＸ軸、Ｙ軸方向の長さを測定した後、第１、第２のずれ率Ａ、Ｂを演算し、この演算結果を各規格値と比較し、大小関係により良品判定を行うので、簡易で、かつ短時間に、光ピックアップ１の良否判定を行うことができる。
【００７４】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態における光ピックアップの検査方法について図８を用いて説明する。
【００７５】
本発明の第２の実施の形態における光ピックアップの検査方法は、第１の実施の形態の（ステップＳ２）〜（ステップＳ１３）のみが異なり、それ以外は同様である。
【００７６】
（ステップＳ１４）
（キャリブレステップＳ５１）〜（キャリブレステップＳ５４）及び（ステップＳ１）を経て、図５（ａ）に示すように、制御部３により、表示部３に表示させたスポットｓｐ０のＸ軸方向の長さＸ０及びＹ軸方向の長さＹ０を測定する。
【００７７】
（ステップＳ１５）
次に、制御部３の指示により、駆動部２Ｂを介して光検出部２ＡをＺ軸方向に移動させて、図４（ｂ）に示すように、撮像素子Ｍを位置ｓ２に配置して、レーザ光のスポットｓｐ１を撮像素子Ｍの受光面に形成し、表示部４に表示させる。
【００７８】
（ステップＳ１６）
次に、図５（ｂ）に示すように、制御部３により、表示部４に表示させたスポットｓｐ１のＸ軸方向の長さＸ１及びＹ軸方向の長さＹ１を測定する。
【００７９】
（ステップＳ１７）
次に、制御部３の指示により、駆動部２Ｂを介して光検出部２ＡをＺ軸方向に移動させて、図４（ｃ）に示すように、撮像素子Ｍを位置ｓ３に配置して、レーザ光のスポットｓｐ２を撮像素子Ｍの受光面に形成し、表示部４に表示させる。
【００８０】
（ステップＳ１８）
次に、図５（ｃ）に示すように、制御部３により、表示部４に表示させたスポットｓｐ２のＸ軸方向の長さＸ２及びＹ軸方向の長さＹ２を測定する。
【００８１】
（ステップＳ１９）
制御部３は、（ステップＳ１４）及び（ステップＳ１６）で測定したＸ０、Ｘ１、Ｙ０、Ｙ１を用いて、第１の差Ｐ＝（（Ｘ１−Ｘ０）−（Ｙ１−Ｙ０））を演算する。
【００８２】
（ステップＳ２０）
第１の差Ｐが光ピックアップ１の良否判定を行うために用いられる第１の規格値よりも小さいか否かを判定する。
【００８３】
（ステップＳ２１）
第１の差Ｐが第１規格値よりも大きい場合には、制御部３は、表示部４に「不良品」と表示する。これによって、光ピックアップ１は、「不良品」として検査を終了する。
【００８４】
（ステップＳ２２）
第１の差Ｐが規格値よりも小さい場合は、制御部３は、（ステップＳ１４）及び（ステップＳ１８）で測定したＸ０、Ｘ２、Ｙ０、Ｙ２を用いて、第２の差Ｑ＝（（Ｘ２−Ｘ０）−（Ｙ２−Ｙ０））を演算する。
【００８５】
（ステップＳ２３）
制御部３は、光ピックアップ１の良否判定を行うために用いられる第２の差Ｑが第１の規格値とは異なる第２の規格値よりも大きいか否かを判定する。
【００８６】
（ステップＳ２４）
第２の差Ｑが第２の規格値よりも小さい場合には、制御部３は、表示部４に「不良品」と表示する。これによって、光ピックアップ１は、「不良品」として、検査を終了する。
【００８７】
（ステップＳ２５）
第２の差Ｑが第２の規格値よりも大きい場合には、制御部３は、表示部４に「良品」と表示する。これによって、光ピックアップ１は、「良品」として検査を終了する。
【００８８】
ここで、上述した第２の実施の形態の検査方法により、第１の差Ｐの判定により、良否が判定された複数の光ピックアップ１を光ディスク装置に組み込んで、光ディスクの信号読み取りを行った際の各ジッタと第１の差Ｐとの関係を調べた結果を図９に示す。
【００８９】
ここでは、第１の差Ｐ＝０のとき、ジッタは、１１．１以下とする光ディスク規格で決まっている場合を示している。
【００９０】
図９に示すように、ジッタは、第１の差Ｐの増加と共に増加しているので、（ステップＳ２１）で第１の差Ｐが規格値０よりも大きい場合には、光ピックアップ１は、「不良品」であると判定することにより、規格を満たさないジッタしか得られない光ピックアップ１を除去することができる。
【００９１】
第１の差Ｐの判定により、光ピックアップ１が良品と判定された後に、更に（ステップＳ２５）で第２の差Ｑが規格値よりも小さい場合には、光ピックアップ１は、「不良品」であると判定しているので、精度の良い光ピックアップ１の良品の判定を行うことができる。このため、良好なジッタが得られる光ピックアップ１を光ディスク装置に組み入れることができる。
【００９２】
（第２の実施の形態の実施例）
次に、第２の実施の形態の実施例について説明する。
【００９３】
以下では、対物レンズ１Ｄから撮像素子Ｍの受光面を見たとき、位置ｓ１は、焦点位置ｓ０よりも０．５μｍ遠い位置、位置ｓ２は、焦点位置ｓ０よりも０．５μｍ近い位置であり、位置ｓ３は、焦点距離ｓ０よりも１μｍ遠い位置であるときの光ピックアップ１の良否判別の実施例について説明する。
【００９４】
また、第１の規格値は、１、第２の規格値は、−１とする。
【００９５】
（キャリブレステップＳ５１）〜（キャリブレステップＳ５４）及び（ステップＳ１）、（ステップＳ１４）〜（ステップＳ１８）と同様の操作を行って、Ｘ０〜Ｘ２、Ｙ０〜Ｙ２を測定する。
【００９６】
この結果、上述したように、各値は、Ｘ０＝０．９、Ｘ１＝１．２、Ｘ２＝０．８、Ｙ０＝１．０、Ｙ１＝１．０、Ｙ２＝１．０である。
【００９７】
次に、（ステップＳ１９）と同様の操作を行って、第１の差Ｐを演算する。
【００９８】
この結果、Ｐ＝０．４である。
【００９９】
次に、（ステップＳ２０）と同様の操作を行って、第１の差Ｐを第１の規格値と比較する。第１の差Ｐは、０．４であるため、第１の規格値よりも小さいので、（ステップＳ２２）と同様の操作を行って、第２の差Ｑを演算する。この結果、Ｑ＝−０．１である。
【０１００】
次に、（ステップＳ２３）と同様の操作を行って、第２の差Ｑを第２の規格値と比較する。第２の差Ｑは、−０．１であるため、第２の規格値よりも大きいので、制御部３は、表示部４に「良品」と表示する。こうして、光ピックアップ１は、「良品」と判定されて終了する。以上のようにして、光ピックアップ１の良否判定を行うことができる。
【０１０１】
第２の実施の形態によっても、第１の実施の形態と同様に、簡易で、かつ短時間に、光ピックアップ１の良否判定を行うことができる。
【０１０２】
なお、スポット光ｓｐ０の輝度が基準輝度値位置に予め調整されている場合は、（キャリブレステップＳ５１）〜（キャリブレステップＳ５４）は不要である。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明の第１の実施の形態における撮像素子に形成されたスポット光の輝度のキャリブレーションを行うフローチャートである。
【図２】本発明の光ピックアップの検査方法の第１の実施の形態を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の各実施の形態に用いられる光ピックアップ検査装置を示す図である。
【図４】光検出部と光ピックアップとの位置関係を示す図である。
【図５】各測定位置でのスポットの径を示す図である。
【図６】光ディスクの信号読み取りを行った際のジッタと第１のずれ率Ａとの関係を示す図である。
【図７】光ディスクの信号読み取りを行った際のジッタと第２のずれ率Ｂとの関係を示す図である。
【図８】本発明の光ピックアップの検査方法の第２の実施の形態を説明するためのフローチャートである。
【図９】光ディスクの信号読み取りを行った際のジッタと第１の差Ｐとの関係を示す図である。
【符号の説明】
【０１０４】
１  光ピックアップ（被検査光ピックアップ）
１Ｄ  対物レンズ
２  検査部
２Ａ  光検出部
２Ｂ  駆動部３  制御部
４  表示部
Ａ  第１のずれ率
ＡＡ  検査装置
Ｂ  第２のずれ率
Ｍ  撮像素子
Ｐ  第１の差
Ｑ  第２の差
ｓ１  第１の位置
ｓ２  第２の位置
ｓ３  第３の位置
ｓｐ０〜ｓｐ２  スポット光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2009151871.tif 000008
【図７】
2009151871.tif 000009
【図８】
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【図９】
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