(57)【要約】【課題】従来の検査装置では確認することが困難であった、不吐出まで至らない吐出位置のずれといった吐出不良を生じているノズル及びインクヘッドを検出するための検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】複数の吐出ノズルが配列したインクヘッドを有するインクジェット装置の吐出検査方法であって、インクヘッドを走行方向に移動させながら各吐出ノズルからインクを連続的に吐出して描画した互いに平行な吐出線とその間の空白部とからなる検査用ラインパターンを検査用受像基材上に形成する工程と、空白部幅と吐出線中心座標を決定する工程と、該空白部幅と該吐出線中心座標から各吐出ノズルの吐出不良を検出する工程とを有する吐出検査方法及びこれに適した検査装置である。【選択図】図１
2009128476.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出ノズルが配列したインクヘッドを有するインクジェット装置の吐出検査方法であって、インクヘッドを走行方向に移動させながら各吐出ノズルからインクを連続的に吐出して描画した互いに平行な吐出線とその間の空白部とからなる検査用ラインパターンを検査用受像基材上に形成する工程と、空白部幅と吐出線中心座標を決定する工程と、該空白部幅と該吐出線中心座標から各吐出ノズルの吐出不良を検出する工程とを有する吐出検査方法。
【請求項２】
前記空白部幅と吐出線中心座標を決定する工程において、前記検査用ラインパターンの画像データを取得する工程と、画像データの各画素の輝度値に基づいて、インクヘッドの走行方向に平行な前記各画素列について輝度値を積算する画像処理工程と、画像処理された画像データから空白部幅と吐出線中心座標を決定する工程とを有することを特徴とする請求項１に記載の吐出検査方法。
【請求項３】
前記画像処理された画像データから空白部幅と吐出線中心座標を決定する工程において、前記積算された輝度値に対して所定の閾値を設定し、該閾値により吐出線側境界画素と、空白部側境界画素を決定し、吐出線側境界画素における輝度値及び空白部側境界画素における輝度値から、前記両境界画素間での吐出線及び空白部の割合を算出し、空白部幅と吐出線中心座標を決定することを特徴とする請求項２に記載の吐出検査方法。
【請求項４】
前記各吐出ノズルの吐出不良を検出する工程において、前記吐出線と直交する方向に順次、空白部幅を検査し、前記の検査においては、空白部幅が許容範囲内にあるか否かにより吐出不良の有無を判定することを特徴とする請求項１、２、又は３に記載の吐出検査方法。
【請求項５】
前記各吐出ノズルの吐出不良を検出する工程において、前記空白部幅検査の結果、空白部幅が許容範囲外であり、吐出不良有りと判定された場合、当該空白部両側の吐出線中心座標と最小二乗法により算出された吐出線の中心座標との差分を取り、どちら側の差分値の絶対値が小さいかにより、吐出不良のノズルを特定することを特徴とする請求項１、２、３、又は４に記載の吐出検査方法。
【請求項６】
前記最小二乗法による吐出線の中心座標算出工程において、前記各吐出線中心座標と当該吐出線の番号を一組のサンプルデータとして、吐出線本数分のサンプルデータを最も良く近似する直線を求め、この直線を使い、吐出線番号対応の吐出線中心座標を算出することを特徴とする請求項５に記載の吐出検査方法。
【請求項７】
前記検査用受像基材が、フィルム状であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、又は６に記載の吐出検査方法。
【請求項８】
複数の吐出ノズルが配列したインクヘッドを有するインクジェット装置のインク液の吐出不良を検査する検査装置であって、インクヘッドの各吐出ノズルから連続的に吐出されたインクによって描画された互いに平行な吐出線とその間の空白部とからなる検査用ラインパターンが形成された検査用受像基材を搬送する搬送手段と、該検査用ラインパターンを撮像するための撮像手段と、前記検査用ラインパターンを照明する照明手段と、前記撮像手段によって前記検査用ラインパターンを走査して得られた画像データにプロファイル処理を施す画像処理部と、該画像処理部により処理が施されたデータから各吐出ノズルの吐出不良を検出する検査処理部とを有し、前記撮像手段と前記検査用受像基材とが、前記吐出線の方向に対して直交する方向に、相対的に移動可能な機構を有することを特徴とする吐出検査装置。
【請求項９】
前記照明手段が、検査用受像基材を介して前記撮像手段と対向する位置に配置された透過方式の照明手段であることを特徴とする請求項８に記載の吐出検査装置。
【請求項１０】
前記照明手段が、検査用受像基材に照射し、反射した照明光を撮像手段により受光できる位置に配置された反射方式の照明手段であることを特徴とする請求項８に記載の吐出検査装置。
【請求項１１】
前記照明手段が、検査用受像基材に照射し、散乱した照明光を撮像手段により受光できる位置に配置された暗視野方式の照明手段であることを特徴とする請求項８に記載の吐出検査装置。
【請求項１２】
検査用受像基材がフィルム状であることを特徴とする、請求項８、９、１０、又は１１に記載の吐出検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット法によって形成される吐出パターンのずれ、特にカラーフィルタの製造時におけるインクの吐出ずれを防止するために、インクヘッドの不良を検出する検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの発達、液晶テレビの大型化、携帯電話の普及などに伴い、カラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。基板サイズも大型化になり、その設備投資額や必要スペースは莫大なものとなって来ている反面、各ディスプレイ部材への低コスト化への要求も大きい。そこで、フォトリソグラフィ方式等と比較して、製造工程が簡略であり、製造原価削減や生産性の向上が見込まれる、インクジェット法を用いたカラーフィルタの製造方法が注目されている。
【０００３】
インクジェット方式では、インクジェット装置のインク吐出部であるノズルからカラーフィルタの各着色層（例えばＲ、Ｇ、Ｂ）を構成するインクを隔壁の開口部に吐出し、画素を形成する。従って、インクの吐出制御及び吐出ノズルの状態を正常に維持することが重要である。
【０００４】
従来のインク吐出状態の不良を検査する方法としては、インクジェット装置を構成するインク液吐出ヘッド（以下単にインクヘッドと呼ぶ）のノズルからインク液が吐出されない状態、いわゆる不吐出ノズルの有無を目視またはカメラにより検出する方法を用いていた。不吐出ノズルが検出された場合の対処方法としては、不吐出ノズルを有するインクヘッドを洗浄する、または新しいインクヘッドに交換する、或いはインク液の吐出されていないガラス基板の余白領域にインク液を再度吐出し、適切なインク吐出ができた場合にはそのまま使用する、といった方法が取られてきた（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−２４０１９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、吐出されないまでには至らない場合であっても、インクの固着による吐出口の目詰まり、吐出制御電圧の異常等の種々の理由により、吐出ずれといった、吐出不良が生じた場合、パターンの形成に大きな影響を及ぼす。このため、各インクヘッドのノズルが、インク液吐出の際に、正常なパターンを形成できるか否かが重要となる。
【０００６】
そこで、本発明では、従来の検査装置では確認することが困難であった、不吐出まで至らないが、吐出位置のずれといった吐出不良を生じているノズル及びインクヘッドを検出するための検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、カラーフィルタの製造工程において、高価なカラーフィルタ用の透明基板にインクジェット方式によりインクを吐出させる前に、カラーフィルタの製造工程とは別に、オフラインでインク液の吐出不良を検査する工程を設けることが望ましい。上記検査工程における検査方法として、本発明に係る以下の検査方法を用いることが効果的である。
【０００８】
（１）請求項１に記載された発明は、複数の吐出ノズルが配列したインクヘッドを有するインクジェット装置の吐出検査方法であって、インクヘッドを走行方向に移動させなが
ら各吐出ノズルからインクを連続的に吐出して描画した互いに平行な吐出線とその間の空白部とからなる検査用ラインパターンを検査用受像基材上に形成する工程と、空白部幅と吐出線中心座標を決定する工程と、該空白部幅と該吐出線中心座標から各吐出ノズルの吐出不良を検出する工程とを有する吐出検査方法である。
【０００９】
（２）請求項２に記載された発明は、前記空白部幅と吐出線中心座標を決定する工程において、前記検査用ラインパターンの画像データを取得する工程と、画像データの各画素の輝度値に基づいて、インクヘッドの走行方向に平行な前記各画素列について輝度値を積算する画像処理工程と、画像処理された画像データから空白部幅と吐出線中心座標を決定する工程とを有することを特徴とする請求項１に記載の吐出検査方法である。
【００１０】
（３）請求項３に記載された発明は、前記画像処理された画像データから空白部幅と吐出線中心座標を決定する工程において、前記積算された輝度値に対して所定の閾値を設定し、該閾値により吐出線側境界画素と、空白部側境界画素を決定し、吐出線側境界画素における輝度値及び空白部側境界画素における輝度値から、前記両境界画素間での吐出線及び空白部の割合を算出し、空白部幅と吐出線中心座標を決定することを特徴とする請求項２に記載の吐出検査方法である。
【００１１】
（４）請求項４に記載された発明は、前記各吐出ノズルの吐出不良を検出する工程において、前記吐出線と直交する方向に順次、空白部幅を検査し、前記の検査においては、空白部幅が許容範囲内にあるか否かにより吐出不良の有無を判定することを特徴とする請求項１、２、又は３に記載の吐出検査方法である。
【００１２】
（５）請求項５に記載された発明は、前記各吐出ノズルの吐出不良を検出する工程において、前記空白部幅検査の結果、空白部幅が許容範囲外であり、吐出不良有りと判定された場合、当該空白部両側の吐出線中心座標と最小二乗法により算出された吐出線の中心座標との差分を取り、どちら側の差分値の絶対値が小さいかにより、吐出不良のノズルを特定することを特徴とする請求項１、２、３、又は４に記載の吐出検査方法である。
【００１３】
（６）請求項６に記載された発明は、前記最小二乗法による吐出線の中心座標算出工程において、前記各吐出線中心座標と当該吐出線の番号を一組のサンプルデータとして、吐出線本数分のサンプルデータを最も良く近似する直線を求め、この直線を使い、吐出線番号対応の吐出線中心座標を算出することを特徴とする請求項５に記載の吐出検査方法である。
【００１４】
（７）請求項７に記載された発明は、前記検査用受像基材が、フィルム状であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、又は６に記載の吐出検査方法である。
また吐出不良を検出する検査装置として、上記の吐出検査方法を実現できる本発明に係る以下の検査装置を用いることが効果的である。
【００１５】
（８）請求項８に記載された発明は、複数の吐出ノズルが配列したインクヘッドを有するインクジェット装置のインク液の吐出不良を検査する検査装置であって、インクヘッドの各吐出ノズルから連続的に吐出されたインクによって描画された互いに平行な吐出線とその間の空白部とからなる検査用ラインパターンが形成された検査用受像基材を搬送する搬送手段と、該検査用ラインパターンを撮像するための撮像手段と、前記検査用ラインパターンを照明する照明手段と、前記撮像手段によって前記検査用ラインパターンを走査して得られた画像データにプロファイル処理を施す画像処理部と、該画像処理部により処理が施されたデータから各吐出ノズルの吐出不良を検出する検査処理部とを有し、前記撮像手段と前記検査用受像基材とが、前記吐出線の方向に対して直交する方向に、相対的に移動可能な機構を有することを特徴とする吐出検査装置である。
【００１６】
（９）請求項９に記載された発明は、前記照明手段が、検査用受像基材を介して前記撮像手段と対向する位置に配置された透過方式の照明手段であることを特徴とする請求項８に記載の吐出検査装置である。
【００１７】
（１０）請求項１０に記載された発明は、前記照明手段が、検査用受像基材に照射し、反射した照明光を撮像手段により受光できる位置に配置された反射方式の照明手段であることを特徴とする請求項８に記載の吐出検査装置である。
【００１８】
（１１）請求項１１に記載された発明は、前記照明手段が、検査用受像基材に照射し、散乱した照明光を撮像手段により受光できる位置に配置された暗視野方式の照明手段であることを特徴とする請求項８に記載の吐出検査装置である。
【００１９】
（１２）請求項１２に記載された発明は、検査用受像基材がフィルム状であることを特徴とする、請求項８、９、１０、又は１１に記載の吐出検査装置である。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１の発明では、検査用パターンをラインパターン状に形成することにより、吐出位置ずれについて、空白部幅と吐出線中心座標によって判定することができる。このため、各ノズルが吐出不良を生じているか否かを判断し、検査することが容易となった。よって、カラーフィルタ製造時においては、基板上での吐出不良発生を低減することができるために、製造コストを抑え、高品質なカラーフィルタを製造することが可能となる。
【００２１】
また請求項２の発明では、各吐出線の中心座標について、ライン方向に輝度値を積算することによって、ノイズ等の影響を減らし、検出精度を高めることができる。
【００２２】
また請求項３の発明により、撮像素子の画素単位以下のスケールで吐出線中心座標を算出することが可能となった。このため、カラーフィルタ製造に用いるインクヘッドのように、各吐出ノズルからの吐出量が微量でありかつ吐出ノズルの間隔が密である場合であっても、精度良く吐出不良を検出することができる。
【００２３】
また請求項４〜請求項６の発明により、吐出ずれのノズルを正確に特定することが可能である。
【００２４】
また請求項７の発明により、フィルム状基材を用いれば、受像基材のコストを低減することができ、また変形して格納できることから、検査領域が大規模である場合でも装置を小型化することが可能である。
【００２５】
請求項８〜請求項１１の発明によれば、インクジェット方式のカラーフィルタ製造工程における、上記の検査を能率よく正確に実施することができる。また最適な照明手段を選択することにより、検査用受像基材やインクの材質に対する選択の幅が広がる。またさらに検査用受像基材としてフィルム状の材質を使用した場合には、装置がコンパクトになり、設置スペースの節約につながる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下に本発明の具体的な実施の形態について図を用いて詳細に説明する。図１はインクジェット方式のカラーフィルタ製造工程において、本発明の検査方法によるインク液吐出ずれ検査を行う装置の一例を示した概念模式図である。
【００２７】
まずインクジェット方式により検査用ラインパターン８を形成した検査用受像基材７を
、図１に示す検査装置に設置する。ここでは、検査用受像基材として、受像テスト用透明フィルムを使用した。次に該検査用受像基材を図１の搬送方向矢印の方向に搬送し、撮像手段２と照明手段１を該検査用受像基材の搬送方向と直交方向に移動させることで検査用ラインパターン８を撮像する。次に撮像された検査用ラインパターンの画像データは画像処理部４を通じて制御部５に転送され、制御部５と検査処理部６で画像データのやりとりを行い、検査処理部６より検出、分別されたインク液吐出ずれに関する情報を制御部５で受け取り検査結果を得る。
【００２８】
（撮像手段）
上述の検査用ラインパターン８の吐出された前記検査用受像基材７を搬送方向に移動させ、搬送方向に並べてあるパターンが撮像手段２の撮像視野範囲に入るまで移す。移動が完了すると、撮像手段２を走査方向に移動させながら撮像する。同時に、照明手段１も撮像手段２と同期して走査方向に移動させる。撮像手段２と照明手段１の移動距離は前記検査用ラインパターンの画像データが全部取得できる位置までである。撮像手段２と照明手段１の移動速度は図４の画像が得られるような分解能、撮像素子のスキャンレート等により決める。また撮像手段２は、例えばＣＣＤカメラで構成され、その移動速度は制御部５によりモーター３の回転速度をコントロールすることにより制御される。
【００２９】
（照明手段）
照明手段１は、検査領域において均一な光強度及び光スペクトルで光を照射し、位置的、場所的な撮像条件によって輝度の変化が少ないものが好ましく、具体的には高周波点灯方式の蛍光灯を好適に用いることができる。図１の検査装置のように照明手段１を撮像手段２と同期して移動させる代わりに撮像手段２の走査範囲全領域に面照明を提供することができる光源を設けても良い。
【００３０】
また、図２に示すように、照明手段１を図１の位置とは異なり、検査用受像基材７に対し、撮像手段２と同じ側に反射照明２００を設け、反射方式の検査装置としても良い。この場合には、照明手段によって基板に照射された光の反射する角度に撮像手段２を設置する。反射方式では、検査用受像基材の底側に透過照明が設置できない場合でも、インク液の吐出ずれ検査が可能である。また、図３に示すように、前記反射照明２００の代わりに、暗視野照明２０１を設け、暗視野方式の検査装置としても良い。この場合には、照明手段によって基板に照射された光の散乱光により、検査パターンを捉える。この方式により装置全体をコンパクトにすることもできる。
【００３１】
（検査用受像基材）
検査用受像基材７は、インクを受像し、撮像手段２で撮像した際に、画像の輝度値より、閾値を設け、吐出ずれ有り、無しの識別が可能であれば任意の材料を用いることができる。図１に示した検査装置のように、検査用受像基材を介して照明手段と、撮像手段が対向して配置された構成である場合には、光透過性の基材が求められる。前述の反射照明或いは暗視野照明を用いる場合には、光透過性の基材である必要はなく、インクパターン形成箇所とそれ以外の基板面で一定のコントラストが得られる受像基材であればよい。
【００３２】
また検査用受像基材は、可撓性のあるフィルム状であることがより好ましい。フィルム状基材を用いれば、受像基材のコストを低減することができ、また変形して格納できることから、検査領域が大規模である場合でも装置を小型化することが可能である。検査用受像基材に用いるフィルム材料としては、具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリメタクリル酸メチル、ポリカーボネート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ナイロン−６、ナイロン−６．６、ポリ塩化ビニリデン、ポリエーテルスルフォン等を用いることができる。受像用透明フィルムの膜厚は、２５〜２５０μｍ程度であることが望ましい。
【００３３】
以上の説明では、撮像手段２により検査用ラインパターン８の画像データを取得する際、検査用受像基材７を固定して撮像手段２と照明手段１を移動させる場合について説明したが、照明手段１の構造によっては、固定式であってもかまわない。また撮像手段２と照明手段１をともに固定して検査用受像基材７を移動させても良い。いずれの方法を採るかは、検査用基材の材質、形状や検査装置の設置環境等によって適宜選択すればよい。
【００３４】
（検査用ラインパターン形成方法）
次に図４は、検査用受像基材７に検査用ラインパターン８を形成した場合の例を示したもので、インクヘッドを図の走行方向に移動させながら、インクヘッドの１０１〜１０８ノズルからインクを連続吐出させてラインパターンを形成したものである。従って、ラインパターン中の一つの吐出線は、一つの吐出ノズルから吐出されたインクにより形成されている。１０ａ〜１０ｈはそれぞれ１０１〜１０８ノズルより吐出された吐出線の走査方向の中心座標を表している。
【００３５】
この検査用ラインパターンの吐出線の長さは、後述する画像データの評価工程において、画像データの画像処理エリア内で十分なサンプル数を得られる長さであればよい。なお、検査用ラインパターンの形成方法については上記の形成方法の例に限らず、例えば、複数のヘッドより、撮像手段走査方向とインクヘッド走行方向に、それぞれ一定のピッチ毎に一定のインク液を連続吐出させても良い。また、検査用ラインパターンはＲ、Ｇ、Ｂの３色のヘッドか、その中の１色のヘッドや他の複数の色のヘッドにより吐出して形成させて良い。
【００３６】
上記のように、検査用パターンをラインパターン状に形成することにより、各ノズルから吐出されるインキの吐出位置ずれについて、吐出線のずれによって判定することができる。このため、各ノズルが吐出不良を生じているか否かを判断し、検査することが容易とる。
【００３７】
（画像データ評価手段）
撮像手段２によって撮像され、画像処理部４に入力される撮像データは、撮像素子が受光した光の輝度値によって表された画像データである。各画素の輝度値は画像データとして画像処理部４に入力され、次に制御部５に渡される。検査処理部６ではこの制御部５に渡された画像データを取り出し、検査処理を行う。
【００３８】
＜画像処理＞
まず、画像処理部４において、それぞれの検査用ラインパターン毎に画像処理エリアを設定する。つまり一つの画像処理エリア内は、一つのインクヘッドの各吐出ノズルによって形成された検査用ラインパターンからなり、画像処理エリア内に不良吐出箇所が存在すれば、そのインクヘッドのノズルに不良が生じているということになる。次に、各検査領域において、走査方向の画像データ画素列毎にヘッド走行方向の全画素輝度値を積算する、一般的にプロファイル処理と呼ばれている処理を施す。各吐出線及び空白部の輝度値をそのライン方向に積算することによって、ノイズ等の影響を減らし、検出精度を高めることができる。
【００３９】
上記画像処理を施したデータから、空白部幅と吐出線中心座標を定める。具体的には、図１に示したような透過方式の検査装置の場合、インク液の吐出がある位置では光の透過率が低いため、撮像素子の受光部に入る光の受光量も低く、対応している画素の輝度値も低くなる。そこで予め上記の積算された輝度値に対し、各色パターン毎にそれぞれの輝度の閾値を決め、この閾値を下回る画素列が示されている検査用ラインパターンの該当位置にはインク液の吐出があり、逆であればインク液の吐出が無い空白部と判定することによ
り検査用ラインパターンの各空白部幅と吐出線中心座標を決定することができる。反射方式或いは暗視野方式の検査装置とした場合にも、画像データの輝度値のコントラストによって、インク液吐出部と空白部の輝度値の閾値を定めることで、同様に空白部幅や吐出線中心座標を決定することができる。さらに、次に示すような補完方法により、１画素単位以下のスケールで空白部幅及び吐出線中心座標を定めることが可能である。
【００４０】
＜空白部幅及び吐出線中心座標補完方法＞
図５の四角の点で示すように、画像データの輝度値は、画素単位で格納されている。一方、閾値の設定値により定められる実際の空白部から吐出線への輝度の立下り及び吐出線から空白部への輝度の立ち上りの点は、閾値を跨ぐ二つの画素の輝度値の間に存在する。カラーフィルタの製造に用いるインクジェット装置の場合では、各ノズルから吐出されるインク液の吐出量は極微量であり、またノズル間隔も密であるので、吐出線及び空白部も細く、画素の大きさによっては、吐出不良を検出する検査精度が悪くなるおそれがある。そこでより正確な空白部と吐出線の太さを測定するために、この１画素単位での空白部の割合と吐出線の割合を定め、空白部と吐出線の両側エッジ座標を補完することが好ましい。補完されたエッジ座標により空白部幅と吐出線の中心座標が定められる。
【００４１】
図５に基づいて、閾値よりも輝度値が大きいときには空白部、小さいときには吐出線部とする場合（例えば透過方式の検査装置）の例を示す。まず９００画素から９０１画素は空白部が１画素単位と計算される。次に、９０１画素（空白部側境界画素）から９０２画素（吐出線側境界画素）の間には、空白部と吐出線部がともに存在する。このとき、画素間での輝度値の変化を直線近似することにより、以下に示す数式１及び数式２の式に基づいて１画素での空白部の割合と吐出線部の割合を計算し、それぞれ空白部及び吐出線の両側エッジ座標の補完値とすることができる。空白部幅は空白部の両側エッジ座標の差分値で、吐出線中心座標は吐出線両側エッジ座標の加算値の半分に値する。
【００４２】
【数１】
2009128476.tif 000003
【００４３】
【数２】
2009128476.tif 000004
【００４４】
９０４画素から９０５画素の間の空白部と吐出線部の補完値についても同様に数式１及び数式２の式から吐出線部と空白部の割合を計算することができる。このようにして、各空白部幅及び吐出線中心座標を１画素単位以下のスケールで決定することができる。
【００４５】
＜検査処理＞
次に、画像処理されたデータが制御部５から検査処理部６に渡され、検査処理が行われる。図６は、図４に示す吐出ずれがある検査用ラインパターン１０の画像処理後のデータを、図４の走査方向の距離（画素数）を横軸、前記積算した輝度値を縦軸に描画したグラフである。上述のように画像データから空白部幅を算出し、この幅が許容範囲（Ｍｉｎ〜Ｍａｘ）以外の場合、吐出ずれ或いは吐出不良が発生していると判定する。上記許容範囲は予め設定された値である。空白部の許容範囲１ヘッド上に等ピッチで並ぶノズルの吐出口から正常にインク液が吐出された場合でも、インク液の流動性により、受像層上では吐出線の幅は一定のバラツキを持つので、許容範囲にこのバラツキを考慮する必要があるためである。１０のパターンについて示したグラフで、空白部幅２０で表される空白部では、許容範囲よりも広く、吐出不良有と判断される。以下に吐出ずれがある検査用ラインパターン１０に対する検出判定処理を説明する。説明においては、検査判定走査方向は左側から右側へとする。もちろん、右側から左側への検査判定走査方向でも良い。
【００４６】
吐出ずれがある検査用ラインパターン１０に対応するグラフ図６において、左側から右側へ走査していき、吐出線１０５と吐出線１０６の間の空白部２０が空白部幅許容範囲外
であり、吐出不良有と判定する。次に、図７において、空白部幅２０の両側の１０５と１０６ノズルによる吐出された吐出線の中心座標１０ｅと１０ｆをそれぞれ、最小二乗法により算出された１０５と１０６ノズル番号対応の吐出線中心座標１０ｅ’と１０ｆ’との差分をとる。２１は１０５ノズル対応の吐出線中心座標の差分値の絶対値で、２２は１０６ノズル対応の吐出線中心座標差分値の絶対値である。２１と２２を比較して、２２が大きいことから、吐出不良が発生したノズルは１０６であると特定できる。ここで、差分値の絶対値が大きいことは測定誤差が大きいことを意味し、空白部幅２０が許容範囲より大きい原因は、１０６ノズルより吐出された吐出線が右側にずれているためであることを示している。
【００４７】
カラーフィルタの製造工程において、以上のような検査方法による検査工程をカラーフィルタ用の透明基板にインクジェット方式によりインクを吐出させる前にカラーフィルタの製造工程とは別に設けることにより、基板上での吐出不良発生を低減することができるために、製造コストを抑え、高品質なカラーフィルタを製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】インク液吐出検査装置の概念模式図
【図２】反射照明を用いたときの光学構成の模式図
【図３】暗視野照明を用いたときの光学構成の模式図
【図４】吐出ずれがある検査用ラインパターン例の模式図
【図５】空白部幅及び吐出線幅補完方法を説明する模式図
【図６】検査用ラインパターン１０の走査方向の距離−輝度値を示したグラフ
【図７】最小二乗法による吐出線中心座標との差分算出を説明する図
【符号の説明】
【００４９】
１・・・照明手段
２・・・撮像手段
２００・・・反射照明
２０１・・・暗視野照明
３・・・モーター
４・・・画像処理部
５・・・制御部
６・・・検査処理部
７・・・検査用受像基材
８・・・検査用ラインパターン
１０・・・吐出ずれがある検査用ラインパターン
１０ａ〜１０ｈ・・・吐出線の中心座標
１０ｅ’・・・最小二乗法により算出された１０５ノズル対応吐出線の中心座標
１０ｆ’・・・最小二乗法により算出された１０６ノズル対応吐出線の中心座標
１０１〜１０８・・・ノズル番号
２０・・・１０５と１０６ノズルにより吐出された吐出線間の空白部幅
２１・・・１０５ノズルの吐出線中心座標差分値
２２・・・１０６ノズルの吐出線中心座標差分値
９００〜９０５・・・１画素位置
【図２】
2009128476.tif 000005
【図３】
2009128476.tif 000006
【図４】
2009128476.tif 000007
【図５】
2009128476.tif 000008
【図６】
2009128476.tif 000009
【図７】
2009128476.tif 000010
【図１】
2009128476.tif 000011