(57)【要約】【課題】ＯＰＣ補正後の検証でエラーが検出されたレイアウトパターンの修正を効率的に行うことのできるＯＰＣ自動修正システムを提供する。【解決手段】ＯＰＣ自動修正システムのＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１は、ＯＰＣ補正部１１が、入力された設計レイアウトパターンに対するＯＰＣ補正処理を行ない、検証部１２が、ＯＰＣ補正部１１によりＯＰＣ補正されたレイアウトパターンに対する検証処理を行い、修正部１３が、検証部１２によりエラーが検出されたときに、そのエラー検出箇所の設計レイアウトパターンの修正処理を行う。ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１に対する処理の実行要求は、利用者端末２から通信回線４を介して送信される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＯＰＣ補正・検証・修正サーバと、複数の利用者端末と、前記ＯＰＣ補正・検証・修正サーバと前記複数の利用者端末とを通信回線を介して接続する通信手段とを有するＯＰＣ自動修正システムであって、
前記ＯＰＣ補正・検証・修正サーバは、
入力された設計レイアウトパターンに対するＯＰＣ補正処理を行なうＯＰＣ補正手段と、
前記ＯＰＣ補正手段によりＯＰＣ補正されたレイアウトパターンに対する検証処理を行なう検証手段と、
前記検証手段によりエラーが検出されたときに、そのエラー検出箇所の前記設計レイアウトパターンの修正処理を行う修正手段と
を備え、
前記ＯＰＣ補正・検証・修正サーバに対する処理の実行要求が、前記利用者端末から前記通信手段を介して送信されることを特徴とするＯＰＣ自動修正システム。
【請求項２】
前記修正手段が、
前記ＯＰＣ補正・検証・修正サーバに備えられた記憶装置に格納されたパターン修正用パラメータを読み出して前記修正処理を行う
ことを特徴とする請求項１に記載のＯＰＣ自動修正システム。
【請求項３】
前記パターン修正用パラメータが、
前記利用者端末から送信された指定入力により、前記記憶装置に格納された複数のパターン修正用パラメータの中から選択されたパターン修正用パラメータである
ことを特徴とする請求項２に記載のＯＰＣ自動修正システム。
【請求項４】
前記ＯＰＣ補正手段が、
前記修正手段により修正されたレイアウトパターンのＯＰＣ補正処理を行い、
前記検証手段が、
そのＯＰＣ補正処理されたレイアウトパターンに対する検証を行う
ことを特徴とする請求項１に記載のＯＰＣ自動修正システム。
【請求項５】
前記ＯＰＣ補正・検証・修正サーバが、
前記パターン修正用パラメータの前記記憶装置への格納をシステム管理者のみに許可する
ことを特徴とする請求項１に記載のＯＰＣ自動修正システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＯＰＣ（Optical  Proximity  Correction：光近接効果補正）処理後の検証によりエラーが検出されたレイアウトパターンの修正を行うＯＰＣ自動修正システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩの微細化に伴い、マスクパターンの光学式露光では光近接効果の影響が顕著になってくる。そこで、描画用マスクパターンを生成する際に、予め光近接効果を考慮して、設計上のレイアウトパターンを補正するＯＰＣ補正処理が行われる。
【０００３】
また、ＯＰＣ補正処理済みのレイアウトパターンに対しては、所望のパターンに対する露光像のずれを規定値と比較する検証が行なわれる。検証の結果、露光像のずれが規定値より大きい箇所については、エラー検出情報が出力される。
【０００４】
このようなＯＰＣ補正および検証処理は、通常、ＬＳＩ設計担当者によって行なわれる。そこで、ＬＳＩ設計担当者によるＯＰＣ補正および検証が実行できるＯＰＣ検査システムが提供されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
このＯＰＣ検査システムでは、ＬＳＩ設計担当者は、利用者端末からＯＰＣ補正・検証サーバへ設計後のレイアウトパターンを送付し、ＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行を指示する。ＯＰＣ検証が終了すると、ＯＰＣ補正・検証サーバから利用者端末へ、実行終了通知およびＯＰＣ検証結果が返送される。
【０００６】
実行終了通知の中にエラー検出情報が記載されている場合、ＬＳＩ設計担当者は、ＯＰＣ検証結果を表示させ、どのレイアウトパターンにエラーが発生しているかを確認することができる。
【０００７】
このように従来のＯＰＣ検査システムでは、利用者端末からＯＰＣ補正および検証を指示し、利用者端末で検証結果を受け取ることで、効率よくＯＰＣ補正および検証を行うことができた。しかし、検証でエラーが検出された場合、そのエラーが発生しているレイアウトパターンの修正は、ＬＳＩ設計担当者が手作業で行わなければならず、エラーの数が多い場合、修正作業に時間がかかるという問題があった。
【特許文献１】特開２００７−２４８５９６号公報  （第４−６ページ、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明の目的は、ＯＰＣ補正後の検証でエラーが検出されたレイアウトパターンの修正を効率的に行うことのできるＯＰＣ自動修正システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバと、複数の利用者端末と、前記ＯＰＣ補正・検証・修正サーバと前記複数の利用者端末とを通信回線を介して接続する通信手段とを有するＯＰＣ自動修正システムであって、前記ＯＰＣ補正・検証・修正サーバは、入力された設計レイアウトパターンに対するＯＰＣ補正処理を行なうＯＰＣ補正手段と、前記ＯＰＣ補正手段によりＯＰＣ補正されたレイアウトパターンに対する検証処理を行なう検証手段と、前記検証手段によりエラーが検出されたときに、そのエラー検出箇所の前記設計レイアウトパターンの修正処理を行う修正手段とを備え、前記ＯＰＣ補正・検証・修正サーバに対する処理の実行要求が、前記利用者端末から前記通信手段を介して送信されることを特徴とするＯＰＣ自動修正システムが提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ＯＰＣ補正後の検証でエラーが検出されたレイアウトパターンの修正を効率的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００１２】
図１は、本発明の実施例１に係るＯＰＣ自動修正システムの基本構成の例を示すブロック図である。
【００１３】
本実施例のＯＰＣ自動修正システムは、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１と、複数の利用者端末２と、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１と複数の利用者端末２との間でデータの転送を行うＦＴＰサーバ３１と、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１から複数の利用者端末２へ電子メールを送信するメールサーバ３２とを有し、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１に接続されたＦＴＰサーバ３１およびメールサーバ３２は、通信回線４により複数の利用者端末２と接続される。ただし、図１では、複数の利用者端末２のうちの１台だけを図示している。
【００１４】
ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１は、入力された設計レイアウトパターンに対するＯＰＣ補正処理を行なうＯＰＣ補正部１１と、ＯＰＣ補正部１１によりＯＰＣ補正されたレイアウトパターンに対する検証処理を行なう検証部１２と、検証部１２によりエラーが検出されたときに、そのエラー検出箇所の設計レイアウトパターンの修正処理を行う修正部１３と、を備える。
【００１５】
また、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１は、ＯＰＣ補正部１１、検証部１２および修正部１３それぞれの実行を制御するＯＰＣ補正・検証・修正実行制御部１４と、ＯＰＣ補正・検証・修正実行制御部１４へ与えるＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、および検証用のレシピとルールを格納するライブラリ１５と、修正部１３の修正処理で用いられるパターン修正用パラメータを格納する記憶装置１６と、ＯＰＣ補正部１１、検証部１２および修正部１３の実行状況を監視する実行監視部１７と、ＯＰＣ補正部１１、検証部１２および修正部１３の実行結果を格納する実行結果格納部１８と、ＯＰＣ処理対象のレイアウトパターンを格納する設計データ格納部１９と、を備える。
【００１６】
利用者端末２は、ＦＴＰサ−バ３１を介して、ＯＰＣ補正・検証・修正実行制御部１４へ、ＯＰＣ補正、検証および修正の実行の開始を指示するＯＰＣ補正・検証・修正実行指示部２１と、メールサ−バ３２を介して実行監視部１７から送信されたＯＰＣ補正、検証および修正の実行状況を表示する実行状況表示部２２と、実行結果格納部１８からＦＴＰサ−バ３１を介して送信された検証結果および修正結果を格納する検証・修正結果格納部２３と、入力された設計レイアウトパターンを格納する設計データ格納部２４と、検証・修正結果格納部２３に格納された検証結果あるいは修正結果を設計データ格納部２４から読み出した設計レイアウトパターンに重ね合わせて表示するＯＰＣ検証結果表示部２５と、を備える。
【００１７】
なお、設計データ格納部２４に格納された設計レイアウトパターンは、ＦＴＰサーバ３１を介してＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１へ転送され、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１の設計データ格納部１９に格納される。
【００１８】
ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１のライブラリ１５には、利用者端末２によりＯＰＣ補正および検証を実行する利用者が使用すると想定される、ＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、および検証用のレシピとルールが格納されている。
【００１９】
ライブラリ１５の登録内容は、利用者に公開され、利用者は、その中から自分の使用したいＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、および検証用のレシピとルールを選択する。
【００２０】
また、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１の記憶装置１６には、修正部１３の修正処理で用いられるパターン修正用パラメータが格納されている。このパターン修正用パラメータとしては、例えば、レイアウトパターンの太め処理、細め処理の処理幅や、レイアウトパターンを移動させるときの移動量などが規定されている。
【００２１】
このパターン修正用パラメータも利用者に公開され、利用者は、その中から自分の使用したいパラメータを指定することができる。
【００２２】
図２に、利用者端末２のＯＰＣ補正・検証・修正実行指示部２１で用いられる実行指示入力画面の例を示す。
【００２３】
この実行指示入力画面上で、対象データ、対象層、対象領域を指定し、対象条件、露光条件を指定することにより、ライブラリ１５に登録されているライブラリデータの中の１つが選択される。また、修正パラメータを指定することにより、記憶装置１６に格納されているパターン修正用パラメータの中の１つが選択される。
【００２４】
そのほか、ＦＴＰサーバ３１に対するＯＰＣ検証結果の出力先の指定、メールサーバ３２に対する電子メール送信先の指定も行なわれる。
【００２５】
また、ＯＰＣ補正・検証・修正実行指示部２１は、この実行指示入力画面により、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１のＯＰＣ補正・検証・修正実行制御部１４に対して、ＯＰＣ補正、検証および修正の実行開始を指示する。
【００２６】
本実施例では、ＯＰＣ補正、検証および修正の実行を組み合わせて実行することができる。実行モードの１つ目を、ＯＰＣ補正のみを単独で実行するＯＰＣ補正モードとし、２つ目を、検証のみを単独で実行する検証モードとし、３つ目を、修正のみを単独で行う修正モードとし、４つ目を、修正と修正後のＯＰＣ補正および検証を連続して実行する（修正＋検証）モードとする。これらの実行モードの組み合わせにより、ＯＰＣ補正と検証を連続して実行することや、ＯＰＣ補正と検証の実行に連続して修正後のＯＰＣ補正および検証を実行することなどができる。
【００２７】
図３に、本実施例におけるＯＰＣ補正、検証および修正の処理の流れをフロー図で示す。ここでは、ＯＰＣ補正と検証の実行後、引き続いてエラー発生パターンの修正を行なう場合の処理フローを例にとって示す。
【００２８】
ＯＰＣ補正、検証および修正の処理の開始にあたっては、まず、利用者端末２のＯＰＣ補正・検証・修正実行指示部２１からＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１のＯＰＣ補正・検証・修正実行制御部１４へ、ライブラリ１５から読み出すデータおよび記憶装置１６から読み出すパターン修正用パラメータを指定する（ステップＳ０１）。
【００２９】
ＯＰＣ補正・検証・修正実行制御部１４は、指定されたＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、および検査用のレシピとルールをライブラリ１５から読み出し、また、パターン修正用パラメータを記憶装置１６から読み出して、ＯＰＣ補正部１１、検証部１２および修正部１３へそれぞれ送る。
【００３０】
続いて、ＯＰＣ補正・検証・修正実行指示部２１からＯＰＣ補正・検証・修正実行制御部１４へ実行開始を指示する（ステップＳ０２）。
【００３１】
この指示を受けて、ＯＰＣ補正部１１によるＯＰＣ補正が実行され（ステップＳ０３）、実行結果が実行結果格納部１８に格納される（ステップＳ０４）。
【００３２】
このＯＰＣ補正結果に対して、検証部１２による検証が行われ（ステップＳ０５）、実行結果が実行結果格納部１８に格納される（ステップＳ０６）。それとともに、この検証によりエラーが検出されたかどうかが判定され（ステップＳ０７）、エラーが検出されなかった場合（ＮＯ）は、正常終了通知が出力される（ステップＳ１８）。
【００３３】
これに対して、検証部１２による検証でエラーが検出された場合（ＹＥＳ）は、引き続き、修正部１３による設計レイアウトパターンに対する修正が行なわれる（ステップＳ０８）。
【００３４】
このとき、修正部１３は、実行結果格納部１８に格納されているＯＰＣ補正済みのレイアウトパターンおよび検証部１２で検出されたエラーの情報をもとに、設計データ格納部１９から読み出した設計レイアウトパターンに対して、指定されたパターン修正用パラメータを適用してレイアウトパターンの修正を行なう。
【００３５】
修正部１３による修正結果は、実行結果格納部１８に格納される（ステップＳ０９）。
【００３６】
この修正の実行中、実行監視部１７が実行状況を監視し、修正処理が正常終了したかどうかを判定する（ステップＳ１０）。
【００３７】
もし、修正処理の途中で異常が発生し、修正部１３の処理が異常終了した場合（ＮＯ）、実行監視部１７は、メールサーバ３２を介して利用者端末２の実行状況表示部２２へ異常警告を送信し、修正部１３による修正が異常終了したことを通知する（ステップＳ１１）。
【００３８】
これに対して、修正部１３による修正が正常に終了した場合（ＹＥＳ）、以降の処理は、利用者端末２のＯＰＣ補正・検証・修正実行指示部２１により指示された実行モードにより異なる。
【００３９】
そこで、ＯＰＣ補正・検証・修正実行指示部２１により指示された実行モードが（修正＋検証）モードであるか修正単独モードであるか、すなわち、検証のためのＯＰＣ補正の実行が必要であるかどうかをＯＰＣ補正・検証・修正実行制御部１４が判断し（ステップＳ１２）、ＯＰＣ補正の実行が必要である場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ０３へ戻って、以降の処理を実行する。
【００４０】
一方、指示された実行モードが修正単独モードであって、ＯＰＣ補正の実行が必要でない場合（ＮＯ）は、実行監視部１７が、メールサーバ３２を介して利用者端末２の実行状況表示部２２へ終了通知を送信し、指示された処理が正常終了したことを通知する（ステップＳ１３）。この終了通知には、検証および修正結果の概要が記載される。
【００４１】
また、修正部１３による修正が終了すると、実行結果格納部１８に格納されている検証結果および修正結果が、ＦＴＰサーバ３２を介して利用者端末２へ転送される（ステップＳ１４）。
【００４２】
転送された検証結果および修正結果は、利用者端末２の検証・修正結果格納部２３に格納される（ステップＳ１５）。
【００４３】
利用者端末２の利用者は、検証・修正結果格納部２３に格納された検証結果および修正結果を検証・修正結果表示部２５に表示させ、その内容を確認することができる（ステップＳ１６）。
【００４４】
これにより、利用者端末２の利用者は、ＯＰＣ補正処理によって発生したエラーの内容や、エラー対策のために修正されたレイアウトパターンを視覚的に確認することができる。このとき、設計データ格納部２４に格納されている設計レイアウトパターンを読み出して、検証結果あるいは修正結果と重ね合わせて表示することができる。これにより、設計レイアウトパターンのどこでエラーが発生し、そのレイアウトパターンがどのように修正されたかを容易に知ることができる。
【００４５】
このような実行結果の確認をもって、上述の一連のフローは終了する。
【００４６】
図４に、利用者端末２の実行状況表示部２２に表示される終了通知の例を示す。
【００４７】
図４（ａ）は、検証部１２による検証が正常に終了したときに通知される終了通知の例である。
【００４８】
この例は、検証部１２による検証でエラーが検出されたことを示す終了通知の例である。この場合、終了通知には、検出されたエラーの数、およびそれぞれのエラーの概要が記載されている。これにより、利用者はエラーの種類等の概要を知ることができる。
【００４９】
図４（ｂ）は、検証部１２による検証が正常に終了したときに通知される終了通知の例である。
【００５０】
この場合、終了通知には、検証部１２による検証で検出されたエラーに関する情報と、そのエラーに対する修正の内容が記載されている。
【００５１】
図５は、利用者端末２の検証・修正結果表示部２５に、検証部１２の検証結果を表示した例である。
【００５２】
この例では、検証部１２の検証で検出されたエラーの発生位置を示すエラー発生位置マーカを設計レイアウトパターンに重ね合わせて表示した例を示す。
【００５３】
このような表示により、利用者は、設計レイアウトパターンのどこでエラーが発生しているかを視覚的に把握することができる。
【００５４】
図６は、利用者端末２の検証・修正結果表示部２５に、修正部１３の修正結果を表示した例である。
【００５５】
この例では、修正部１３で修正されたレイアウトパターンを、対応する設計レイアウトパターンに重ね合わせて表示した例を示す。
【００５６】
このような表示により、利用者は、設計レイアウトパターンがどのように修正されたかを確認することができる。
【００５７】
このような本実施例によれば、利用者が共通に使用するＯＰＣ補正・検証・修正サーバ、および通信手段を通じてこのＯＰＣ補正・検証・修正サーバに接続される複数の利用者端末を設けられるので、各利用者はそれぞれの利用者端末において、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバへのＯＰＣ補正、検証および修正の実行の指示、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバからの検証結果および修正結果の受け取りと、その確認を行うことができる。
【００５８】
そのとき、ＯＰＣ補正結果に対する検証で検出されたエラー箇所のレイアウトパターンが、各利用者によりそれぞれ指定されたパターン修正用パラメータを用いて自動的に修正されるので、各利用者は、それぞれの設計レイアウトパターンの修正を効率よく実行することができる。
【００５９】
また、レイアウトパターンの修正に使用するパターン修正用パラメータが、予め、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバの記憶装置に格納されているので、各利用者がパターン修正用パラメータを作成しなくてもよく、作業時間を短縮することができる。
【００６０】
また、レイアウトパターンの修正結果を元の設計レイアウトパターンに重ね合わせて表示することができるので、利用者は、設計レイアウトパターンの修正内容を容易に確認することができる。
【実施例２】
【００６１】
図７は、本発明の実施例２に係るＯＰＣ自動修正システムにおけるＯＰＣ補正・検証・修正サーバの構成の例を示すブロック図である。
【００６２】
本実施例のＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１Ａは、図１に示した実施例１のＯＰＣ補正・検証・修正サーバ１に、さらに管理者認証部１００を追加したものである。なお、図７において、図１に示したブロックと同一の機能のブロックには、図１と同一の符号を付し、ここではその詳細な説明を省略する。
【００６３】
管理者認証部１００は、予め発行された管理者ＩＤを有するシステム管理者のみ、ライブラリ１５へのＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールの登録、および記憶装置１６へのパターン修正用パラメータの登録を許可する。
【００６４】
ライブラリ１５および記憶装置１６に格納されたパターン修正用パラメータは、総ての利用者に共通に使用されるため、その内容を正確に保つことが重要である。また、内容を更新したときにバージョン管理も厳重に行う必要がある。そこで、管理者認証部１００により、ライブラリ１５および記憶装置１６へのアクセスを管理し、ライブラリ１５およびパターン修正用パラメータの信頼性を確保する。
【００６５】
このライブラリ１３およびパターン修正用パラメータの更新は、例えば、新しい製造工程が開発されたり、新しい製造装置が導入されたりしたときに行われる。このような場合、その工程や装置に合わせたＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、ＯＰＣ検証用のレシピとルールおよびパターン修正用パラメータが作成され、十分な検証が行われた後に、管理者によってライブラリ１５および記憶装置１６へ登録される。その際、管理者認証部１００が、管理者に管理者ＩＤの入力を求め、正しい管理者ＩＤが入力されたときのみ、ライブラリ１５および記憶装置１６への新しいデータの登録を許可する。
【００６６】
このような本実施例によれば、ＯＰＣ補正・検証・修正サーバに搭載されるライブラリおよびパターン修正用パラメータが厳重に管理されるので、どの利用者がＯＰＣ補正、検証および修正を実行しても、その結果を一定の品質に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施例１に係るＯＰＣ自動修正システムの基本構成の例を示すブロック図。
【図２】本発明の実施例１に係るＯＰＣ自動修正システムの利用者端末の実行指示部の操作画面の例を示す図。
【図３】本発明の実施例１に係るＯＰＣ自動修正システムにおける処理フローの例を示すフロー図。
【図４】本発明の実施例１に係るＯＰＣ自動修正システムの利用者端末の実行状況表示部に表示される終了通知の例を示す図。
【図５】本発明の実施例１に係るＯＰＣ自動修正システムにおける検証結果表示の例を示す図。
【図６】本発明の実施例１に係るＯＰＣ自動修正システムにおける修正結果表示の例を示す図。
【図７】本発明の実施例２に係るＯＰＣ自動修正システムの基本構成の例を示すブロック図。
【符号の説明】
【００６８】
１、１Ａ  ＯＰＣ補正・検証・修正サーバ
１１  ＯＰＣ補正部
１２  検証部
１３  修正部
１４  ＯＰＣ補正・検証・修正実行制御部
１５  ライブラリ
１６  記憶装置
１７  実行監視部
１８  実行結果格納部
１９  設計データ格納部
１００  管理者認証部
２  利用者端末
２１  ＯＰＣ補正・検証・修正実行指示部
２２  実行状況表示部
２３  ＯＰＣ検証・修正結果格納部
２４  設計データ格納部
２５  ＯＰＣ検証・修正結果表示部
３１  ＦＴＰサーバ
３２  メールサーバ
４  通信回線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2009128602.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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