(57)【要約】【課題】例えば、温度分布を均一化しつつ、発熱板の気流による振えを抑制して、信頼性を向上させる。【解決手段】引張りばね５３は、保持体取付板６４を上部側に向けて引っ張るように付勢され、可動保持体６１が上部側に引っ張られ、金属ヒータ２８の曲折部３７が金属ヒータ２８の外方に向けて引っ張られる。加熱時に、金属ヒータ２８が熱膨張によって伸長すると、可動保持体６１とともに曲折部３７も、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂの長さ方向に沿って外方へ向けて移動し、金属ヒータ２８の湾曲（撓み）が防止され、空気の通流によって、金属ヒータ２８が振えることが防止される。【選択図】図１
2009101333.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着剤に排ガスを通して、該排ガス中に含まれる有害な揮発性物質を吸着除去する排ガス処理装置に組み込まれて用いられ、気体を加熱し、該加熱気体を劣化が進んだ前記吸着剤に通すことで、吸着揮発性物質を前記吸着剤から脱離させて、前記吸着剤を再生するための加熱装置であって、
縁部に有面突起を持つ貫通孔が多数穿設された波型の金属板からなり、電流が流されて面全体が発熱することで、接触する気体を加熱する発熱板と、
前記発熱板を任意の方向に引っ張って保持する弾性保持手段とを備え、
前記弾性保持手段は、前記発熱体の熱膨張時の応力を吸収した後も、熱膨張した前記発熱板を前記任意の方向に引っ張り続ける態様に、その引張り性が調整されている
ことを特徴とする排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置。
【請求項２】
前記金属板が、複数部位で曲折されることによって、複数の前記発熱板が形成されていることを特徴とする請求項１記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置。
【請求項３】
前記金属板の前記曲折部位の内側に配置されて前記金属板が巻き付けられ、前記発熱板が納着される容器に対して変位可能な柱状の可動保持体と、前記可動保持体の両端部に固定される取付け板と、一方の端部が前記取付け板に固定され、他方の端部が前記容器の内壁に固定された前記弾性保持手段としての引張りばねとを有してなることを特徴とする請求項２記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置。
【請求項４】
前記金属板の一方の側部の前記曲折部位の内側には、前記可動保持体が配置され、他方の側部の前記曲折部位の内側には、前記容器に固定され、前記金属板が巻き付けられる柱状の固定保持体が配置されていることを特徴とする請求項３記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置。
【請求項５】
前記可動保持体及び前記固定保持体は、互いに隣接する前記発熱板同士が、所定の間隔を開けて、互いに平行となるように、配置されていることを特徴とする請求項４記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置。
【請求項６】
複数の前記発熱板が並列配置されてなる通電発熱体が、空気の通流方向に沿って、容器内に複数配置され、前記通電発熱体は、隣接する前記通電発熱体に対して、互いの前記通電発熱体の少なくとも一部の前記発熱板の長さ方向が互いに交差するように配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１に記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置。
【請求項７】
吸着剤に排ガスを通して、該排ガス中に含まれる有害な揮発性物質を吸着除去する排ガス処理装置に組み込まれて用いられ、気体を加熱し、該加熱気体を劣化が進んだ前記吸着剤に通すことで、吸着揮発性物質を前記吸着剤から脱離させて、前記吸着剤を再生するための加熱装置であって、
縁部に有面突起を持つ貫通孔が多数穿設された波型の金属板からなり、電流が流されて面全体が発熱することで、接触する気体を加熱する帯状発熱板が多層に巻き上げられてなる通電発熱体が、気体の通流方向に沿って複数配置され、かつ、前記複数の通電発熱体は電気的に接続され、各前記通電発熱体の外周部に、前記通電発熱体に電力を供給するための電源が接続されることを特徴とする排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置。
【請求項８】
前記通流方向に沿って互いに隣接する前記通電発熱体同士は、半径方向に沿った中央部又は中間部で電気的に接続されていることを特徴とする請求項７記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置。
【請求項９】
吸着剤に排ガスを通して、該排ガス中に含まれる有害な揮発性物質を吸着除去する排ガス処理装置であって、
第１の流路上に配置され、前記吸着剤を含む吸着処理部と、前記揮発性物質を分解する触媒を含む分解処理部と、前記吸着剤及び前記触媒を加熱するための請求項１乃至８のいずれか１に記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置と、
前記第１の流路と、前記排ガスを、前記吸着処理部、前記分解処理部及び前記加熱装置を循環的に通流させるための閉じた第２の流路とを切り換えるための流路切換手段とを備え、
該流路切換手段によって、前記第１の流路が選択されると、流入口から前記排ガスが流入し、前記吸着剤によって前記排ガスに含まれる前記揮発性物質が吸着除去されて、流出口から排出され、
前記第２の流路が選択されると、前記流入口及び前記流出口が遮断され、前記第２の流路に沿って、前記加熱装置によって加熱された前記排ガスが循環して、前記吸着剤が加熱されて該吸着剤によって吸着された前記揮発性物質が脱離されて前記吸着剤が再生され、かつ、前記触媒が活性化されて、脱離された前記揮発性物質が分解処理される
ことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１０】
吸着剤に排ガスを通して、該排ガス中に含まれる有害な揮発性物質を吸着除去する排ガス処理方法であって、
前記吸着剤を含む吸着処理部と、前記揮発性物質を分解する触媒を含む分解処理部と、前記吸着剤及び前記触媒を加熱するための請求項１乃至８のいずれか１に記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置とを配置し、
前記吸着処理部が配置された第１の流路と、前記排ガスを、前記吸着処理部、前記分解処理部及び前記加熱装置を循環的に通流させるための閉じた第２の流路とを切り換える流路切換工程と、
該流路切換工程で、前記第１の流路が選択されると、流入口から前記排ガスが流入し、前記吸着剤によって前記排ガスに含まれる前記揮発性物質が吸着除去されて、流出口から排出される吸着処理工程と、
前記流路切換工程で、前記第２の流路が選択されると、前記流入口及び前記流出口が遮断され、前記第２の流路に沿って、前記加熱装置によって加熱された前記排ガスが循環して、前記吸着剤が加熱されて該吸着剤によって吸着された前記揮発性物質が脱離されて前記吸着剤が再生され、かつ、前記触媒が活性化されて、脱離された前記揮発性物質が分解処理される分解処理工程とを含む
ことを特徴とする排ガス処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置、該加熱装置を備えた排ガス処理装置及び排ガス処理方法に係り、例えば、塗装工場や印刷工場等で発生する揮発性有機化合物（ＶＯＣ：Volatile Organic Compounds）を処理するための排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置、該加熱装置を備えた排ガス処理装置及び排ガス処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、塗装工場や印刷工場、化学工場から排出される排ガスには、トルエン、キシレン、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、クロロホルム、パラジクロロベンゼン、スチレン等の有機排ガスとしてのＶＯＣが含まれ、工場の作業員や、近隣の住民への健康障害、住環境における悪臭問題等を引き起こしている。
さらに、ＶＯＣが大気中に放出されることによって、オゾンや有機過酸化硝酸塩等の光化学オキシダントが合成され、酸性雨や地球温暖化の一つの原因となっている。
【０００３】
工場排ガス規制や、工場内の環境改善の要求に対応するために、ＶＯＣを除去するための排ガス処理方法として、吸着法や、燃焼法、薬剤洗浄法等が提案されている。
例えば、工場内のＶＯＣ発生源から吸気された排ガスは、上記排ガス処理方法を用いて、ＶＯＣが除去され、清浄化されて建物外に排出される。
【０００４】
上記排ガス処理方法のうち、吸着法では、空気の通流経路上に、加熱装置と吸着剤と触媒とを配置し、使用時に、吸着剤によって、空気に含まれる揮発性化合物を吸着除去する。
吸着法では、吸着剤に吸着された揮発性化合物を、加熱によって脱離させて吸着剤を再生する再生処理が不可欠である。すなわち、再生時には、吸着剤から揮発性化合物を脱離させ、触媒によって脱離させた揮発性化合物を分解処理する。ここで、触媒は、加熱によって活性化される。
【０００５】
このように、吸着剤は、再生時には、揮発性化合物を脱離させるために、高温まで加熱されなければならないとともに、比較的低温で吸着機能を発揮するので、使用時には、再生後、すばやく冷却されなければならない。
したがって、加熱装置の発熱体には、通流させる空気をすばやく加熱するとともに、冷却もすばやくなされる機能が求められる。
【０００６】
加熱装置においては、例えば、縁部に突起を持つ貫通孔が多数穿設されている長尺な帯状の金属板をロール状（渦巻き状）に巻き上げてなる金属多孔体を、金属ヒータ（発熱体）として用いる技術が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
ここで、帯状の金属板の両端部、すなわち、ロール状の金属ヒータの中心部と、外周部とには、それぞれ電極が取り着けられ、両電極間に電源が接続されて、抵抗体としての金属ヒータに通電され、金属ヒータが発熱する。
【０００７】
しかしながら、このような加熱装置では、例えば、通流される空気を、安定的に確実に加熱することができず、信頼性が損われてしまうという問題があった。
例えば、ロール状の金属ヒータの中心部側に、電流が集中して流れるために、周縁部に比べて中心部側が高温となり、温度分布が偏ってしまう（不均一となってしまう）。
【０００８】
このため、波型金属板をジグザグ状に曲折させて、複数の板状の発熱領域が、層状空間を隔てて並列配置されるように金属ヒータを構成し、温度分布の偏りを低減する技術が提案されている。
【特許文献１】特開２００２−４７９１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
解決しようとする問題点は、上記従来技術の加熱装置では、例えば、通流させる空気によって、波型金属板からなる発熱板が振えて、騒音を発生させ、かつ、金属ヒータの劣化を早めて、信頼性が損われてしまうという点である。
すなわち、加熱時に、発熱板が熱膨張によって伸長すると、撓んでしまい、気流によって、金属板の振えが一層激しくなる。このため、騒音を発生させるとともに、金属ヒータの劣化を早めることとなってしまう。
【００１０】
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、例えば、温度分布を均一化しつつ、発熱板の気流による振えを抑制して、信頼性を向上させることができる排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置、該加熱装置を備えた排ガス処理装置及び排ガス処理方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、吸着剤に排ガスを通して、該排ガス中に含まれる有害な揮発性物質を吸着除去する排ガス処理装置に組み込まれて用いられ、気体を加熱し、該加熱気体を劣化が進んだ上記吸着剤に通すことで、吸着揮発性物質を上記吸着剤から脱離させて、上記吸着剤を再生するための加熱装置に係り、縁部に有面突起を持つ貫通孔が多数穿設された波型の金属板からなり、電流が流されて面全体が発熱することで、接触する気体を加熱する発熱板と、上記発熱板を任意の方向に引っ張って保持する弾性保持手段とを備え、上記弾性保持手段は、上記発熱体の熱膨張時の応力を吸収した後も、熱膨張した上記発熱板を上記任意の方向に引っ張り続ける態様に、その引張り性が調整されていることを特徴としている。
【００１２】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置に係り、上記金属板が、複数部位で曲折されることによって、複数の上記発熱板が形成されていることを特徴としている。
【００１３】
また、請求項３記載の発明は、請求項２記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置に係り、上記金属板の上記曲折部位の内側に配置されて上記金属板が巻き付けられ、上記発熱板が納着される容器に対して変位可能な柱状の可動保持体と、上記可動保持体の両端部に固定される取付け板と、一方の端部が上記取付け板に固定され、他方の端部が上記容器の内壁に固定された上記弾性保持手段としての引張りばねとを有してなることを特徴としている。
【００１４】
また、請求項４記載の発明は、請求項３記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置に係り、上記金属板の一方の側部の上記曲折部位の内側には、上記可動保持体が配置され、他方の側部の上記曲折部位の内側には、上記容器に固定され、上記金属板が巻き付けられる柱状の固定保持体が配置されていることを特徴としている。
【００１５】
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置に係り、上記可動保持体及び上記固定保持体は、互いに隣接する上記発熱板同士が、所定の間隔を開けて、互いに平行となるように、配置されていることを特徴としている。
【００１６】
また、請求項６記載の発明は、請求項１乃至５のいずれか１に記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置に係り、複数の上記発熱板が並列配置されてなる通電発熱体が、空気の通流方向に沿って、容器内に複数配置され、上記通電発熱体は、隣接する上記通電発熱体に対して、互いの上記通電発熱体の少なくとも一部の上記発熱板の長さ方向が互いに交差するように配置されていることを特徴としている。
【００１７】
また、請求項７記載の発明は、吸着剤に排ガスを通して、該排ガス中に含まれる有害な揮発性物質を吸着除去する排ガス処理装置に組み込まれて用いられ、気体を加熱し、該加熱気体を劣化が進んだ上記吸着剤に通すことで、吸着揮発性物質を上記吸着剤から脱離させて、上記吸着剤を再生するための加熱装置に係り、縁部に有面突起を持つ貫通孔が多数穿設された波型の金属板からなり、電流が流されて面全体が発熱することで、接触する気体を加熱する帯状発熱板が多層に巻き上げられてなる通電発熱体が、気体の通流方向に沿って複数配置され、かつ、上記複数の通電発熱体は電気的に接続され、各上記通電発熱体の外周部に、上記通電発熱体に電力を供給するための電源が接続されることを特徴としている。
【００１８】
また、請求項８記載の発明は、請求項７記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置に係り、上記通流方向に沿って互いに隣接する上記通電発熱体同士は、半径方向に沿った中央部又は中間部で電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項９記載の発明は、吸着剤に排ガスを通して、該排ガス中に含まれる有害な揮発性物質を吸着除去する排ガス処理装置に係り、第１の流路上に配置され、上記吸着剤を含む吸着処理部と、上記揮発性物質を分解する触媒を含む分解処理部と、上記吸着剤及び上記触媒を加熱するための請求項１乃至８のいずれか１に記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置と、上記第１の流路と、上記排ガスを、上記吸着処理部、上記分解処理部及び上記加熱装置を循環的に通流させるための閉じた第２の流路とを切り換えるための流路切換手段とを備え、該流路切換手段によって、上記第１の流路が選択されると、流入口から上記排ガスが流入し、上記吸着剤によって上記排ガスに含まれる上記揮発性物質が吸着除去されて、流出口から排出され、上記第２の流路が選択されると、上記流入口及び上記流出口が遮断され、上記第２の流路に沿って、上記加熱装置によって加熱された上記排ガスが循環して、上記吸着剤が加熱されて該吸着剤によって吸着された上記揮発性物質が脱離されて上記吸着剤が再生され、かつ、上記触媒が活性化されて、脱離された上記揮発性物質が分解処理されることを特徴としている。
【００２０】
また、請求項１０記載の発明は、吸着剤に排ガスを通して、該排ガス中に含まれる有害な揮発性物質を吸着除去する排ガス処理方法に係り、上記揮発性物質を吸着する吸着剤を含む吸着処理部と、上記揮発性物質を分解する触媒を含む分解処理部と、上記吸着剤及び上記触媒を加熱するための請求項１乃至８のいずれか１に記載の排ガス処理装置に組み込まれて用いられる加熱装置とを配置し、上記吸着処理部が配置された第１の流路と、上記排ガスを、上記吸着処理部、上記分解処理部及び上記排ガス処理装置再生用加熱装置を循環的に通流させるための閉じた第２の流路とを切り換える流路切換工程と、該流路切換工程で、上記第１の流路が選択されると、流入口から上記排ガスが流入し、上記吸着剤によって上記排ガスに含まれる上記揮発性物質が吸着除去されて、流出口から排出される吸着処理工程と、上記流路切換工程で、上記第２の流路が選択されると、上記流入口及び上記流出口が遮断され、上記第２の流路に沿って、上記排ガス処理装置再生用加熱装置によって加熱された上記排ガスが循環して、上記吸着剤が加熱されて該吸着剤によって吸着された上記揮発性物質が脱離されて上記吸着剤が再生され、かつ、上記触媒が活性化されて、脱離された上記揮発性物質が分解処理される分解処理工程とを含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
この発明の構成によれば、縁部に有面突起を持つ貫通孔が多数穿設された波型の金属板からなり、電流が流されて面全体が発熱することで、接触する気体を加熱する発熱板と、発熱板を任意の方向に引っ張って保持する弾性保持手段とを配置し、弾性保持手段は、発熱体の熱膨張時の応力を吸収した後も、熱膨張した発熱板を任意の方向に引っ張り続ける態様に、その引張り性が調整されているので、例えば、温度分布を均一化しつつ、発熱板の気流による振えを抑制して、信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
縁部に有面突起を持つ貫通孔が多数穿設された波型の金属板からなり、電流が流されて面全体が発熱することで、接触する気体を加熱する発熱板と、発熱板を任意の方向に引っ張って保持する弾性保持手段とを配置し、弾性保持手段は、発熱体の熱膨張時の応力を吸収した後も、熱膨張した発熱板を任意の方向に引っ張り続ける態様に、その引張り性が調整されていることによって、例えば、温度分布を均一化しつつ、発熱板の気流による振えを抑制して、信頼性を向上させるという目的を実現した。
【実施例１】
【００２３】
図１は、この発明の第１の実施例であるＶＯＣ除去装置のＶＯＣ処理部のヒータユニットの構成を示す正面図、図２は、同ＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図、図３は、同ＶＯＣ除去装置の構成を示す側面図、図４は、同ヒータユニットの構成を示す斜視図、図５は、図１のＡ−Ａ線に沿った断面図、図６は、同ヒータユニットの金属ヒータが可動保持体によって保持される様子を一部破断して示す斜視図、図７は、同ヒータユニットの中間保持体の構成を一部破断して示す断面図、図８は、図１のＢ部を拡大して示す拡大断面図、図９は、同ヒータユニットの金属ヒータの構成を示す斜視図、図１０は、同ＶＯＣ除去装置の構成を示すブロック図、図１１は、同ＶＯＣ除去装置の監視・制御装置の構成を示す正面図、また、図１２及び図１３は、同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【００２４】
この例のＶＯＣ除去装置１は、図２に示すように、例えば、印刷工場や塗装工場等の建物内の印刷機等のＶＯＣ発生源Ｓから、ＶＯＣを含む空気を吸気口２を介して吸気して、排出口３から建物外へ排出するまでの排気経路の途中に組み込まれ、発生したＶＯＣを除去して清浄な空気を排出するために用いられる。
すなわち、吸気口２から吸気ブロワ４によって吸気されて排気ダクト５を通流してＶＯＣ除去装置１においてＶＯＣが除去され浄化された空気は、排気ダクト６を通流して排出口３から建物外へ排出される。
【００２５】
このＶＯＣ除去装置１は、図２及び図３に示すように、ＶＯＣを含む空気が通流されてＶＯＣを除去して排出するＶＯＣ処理部８と、ＶＯＣ処理部８の上流側端部及び下流側端部に取り付けられた流入口管９及び流出口管１１と、吸着剤の再生時に循環経路を構成し、両端がそれぞれ流入口管９と流出口管１１に接続された分岐管１２と、分岐管１２の所定の部位に配置され、吸着剤の再生時に循環経路に沿って空気を通流させるための再生用ブロワ１３と、流入口管９の上流側端部に設けられた入口側ダンパ１４と、流出口管１１の下流側端部に設けられた出口側ダンパ１５と、分岐管１２の流入口管９側の端部に設けられた再生用ダンパ１６と、ＶＯＣ処理部８の下流側端部（触媒担持部２６の下流側）に配置され、熱電対からなる温度検出部１７と、ＶＯＣ処理部８の上流側（吸着除去部２４の上流側）及び下流側（触媒担持部２６の下流側）に配置されＶＯＣの濃度を検出するための入口側ＶＯＣ検出部１８、及び出口側ＶＯＣ検出部１９と、ＶＯＣ濃度を監視すると共に、ＶＯＣ処理部８を構成する金属ヒータ２８、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６を制御するための監視・制御装置２１とがユニット化されて概略構成されている。
【００２６】
ＶＯＣ除去装置１は、上流側及び下流側でそれぞれ排気ダクト５，６に接続される。なお、ＶＯＣ除去装置１は、例えば、図３に示すように、架台２２に取り付けられて配置されている。
この例では、工場稼働時間帯には、吸気ブロワ４が運転され、ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全開、再生用ダンパ１６が全閉とされ、再生用ブロワ１３が停止された状態で、ＶＯＣ処理部８にＶＯＣを含んだ排ガスが導入され、ＶＯＣ吸着除去工程が実施されて、浄化された空気が排出口３から排出される（図１２参照）。
【００２７】
また、工場終業（休業）時間帯には、吸気ブロワ４が停止され、ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全閉、再生用ダンパ１６が全開とされ、再生用ブロワ１３が運転され、かつ、ＶＯＣ処理部８を構成する加熱部２５がオンとされて、流入口管９→ＶＯＣ処理部８→流出口管１１→分岐管１２→流入口管９の向きに、循環経路に沿って、加熱された空気が循環されて、ＶＯＣ処理部８を構成する吸着除去部２４の吸着剤及び触媒担持部２６の触媒が加熱され、ＶＯＣが吸着剤から脱離（脱着）して吸着剤が再生されると共に、触媒が活性化されてＶＯＣの分解が促進される再生工程と、再生用ダンパ１６が全閉とされ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全開とされ、再生用ブロワ１３が停止され、かつ、加熱部２５がオフとされて、浄化された空気が排出口３から排出される排出工程と、特に吸着除去部２４の吸着剤が冷却される冷却工程とが実施される（図１３参照）。
【００２８】
ＶＯＣ処理部８は、ＶＯＣを吸着して除去するための吸着剤からなる吸着除去部（吸着器）２４と、図１に示すようなヒータユニット２３が複数配置されてなる加熱部２５と、ＶＯＣの分解を促進するための触媒担持部２６とが容器２７内に格納されて概略構成されている。
吸着除去部２４は、例えば、疎水性ゼオライトがハニカム構造状に成形されてなる吸着剤を有している。
触媒担持部２６は、例えば、金属製のハニカム構造体に白金等の酸化触媒が担持されてなっている。
なお、この例では、ＳＶ（Space Velocity）値（単位時間に単位体積の吸着剤（触媒）を通過するガス量）は、所定値（例えば、略４７０００［１／ｈｒ]）以下に設定される。
【００２９】
加熱部２５は、再生工程で、通流させる空気を加熱し、吸着除去部２４及び触媒担持部２６を加熱させることによって、吸着剤からＶＯＣを脱離させると共に、触媒を活性化させる。
加熱部２５は、この例では、複数（例えば４基）のヒータユニット２３，２３，…が、空気の通流方向Ｆに直交する平面上に配置されて構成されている。
【００３０】
各ヒータユニット２３は、図９に示すような所定の幅（例えば、略５０ｍｍ）の帯状の波型金属板２９が複数部位でジグザグ状に曲折されてなる金属ヒータ２８（例えば、５ｋＷ）が、図１、図４及び図５に示すように、一端側（入口側）の層状空間から空気を流入させ、他端側（出口側）の層状空間から空気を流出させる態様で（すなわち、金属ヒータ２８の幅方向に略平行な方向に沿って空気が通流されるように）、略角筒状の筐体３３内に、取付部材３４を用いて弾性的に取り付けられ、かつ、筐体３３の周側面を囲むように、金属ヒータ２８から発せられた熱の外部への放散を抑制するための断熱部３５が配置されて概略構成されている。
【００３１】
金属ヒータ２８は、帯状金属平板（例えば、厚さ略４０μｍのＳＵＳ３０４（C：0.08%以下,Si:1.00%以下,Mn:2.00%以下,P:0.045%以下,S:0.030%以下,Ni:8.00%〜10.50%,Cr:18.00%〜20.00%）等のステンレス鋼板が好ましい。）に、例えば、プレス加工、ローラプレス加工等を施すことで、図８及び図９に示すように、縁部に有面突起ｐa，ｐbを持つ多数の四角形状の貫通孔Ｈa、Ｈb、…が穿設されている長手方向波型の波型金属板２９を形成し、このようにして得られた波型金属板２９を長手方向に向けて、ジグザグ状に曲折させて作製される。
【００３２】
すなわち、金属ヒータ２８は、図１及び図４に示すように、巨視的に見て略平面状の発熱領域３６ａ，３６ａ，３６ｂ，３６ｂ，…と、曲折部３７，３７，…とを有している。最外側の発熱領域３６ａ，３６ａ以外の発熱領域３６ｂ，３６ｂ，…では、互いに隣接する発熱領域３６ｂ，３６ｂ同士が、互いに平行で、かつ、一定の間隔で配置され、発熱領域３６ｂ，３６ｂ間には、空気が通流される層状空間３８，３８，…が形成されている。
ここで、発熱領域３６ｂ，３６ｂ同士の間隔は、２０ｍｍ以下（好ましくは、１５ｍｍ以下）の範囲で設定される。この例では、略１０ｍｍに設定されている。
【００３３】
この例では、貫通孔Ｈa、Ｈbは、列状の起伏を構成する谷部及び山部に設けられ、かつ、上記有面突起ｐa，ｐbの略全部又は過半数が、図９において、山部では下方に谷部では上方に相当する列状凹部３１側に設けられている。
すなわち、波型金属板２９に穿設されている貫通孔Ｈaは、同図において、縁部に裏面から表面側へ向けて折曲されて突起する互いに対向する４つの有面突起ｐaを持っている。また、貫通孔Ｈbは、表面から裏面側へ向けて折曲されて突起する互いに対向する４つの有面突起ｐbを持っている。
この例では、貫通孔Ｈa（Ｈb）の縁部を構成する４辺のうち、空気の流れの上流側と下流側の２辺には、三角形状の有面突起ｐa（ｐb）が立設され、他の２辺には、台形状の有面突起ｐa（ｐb）が立設されている。
【００３４】
ここで、貫通孔Ｈa、Ｈbが設けられていることによって、空気の発熱領域３６ｂの厚さ方向（正面側から見て横方向）への移動が可能となり、空気が、金属ヒータ２８に接触する確率が高められる。
また、多数の貫通孔Ｈa，Ｈbが設けられていることによって、発熱体に相応しい電気抵抗が得られる。すなわち、長さ、幅及び厚さが同一の貫通孔無しの金属板に比べて、抵抗値が高められる。
【００３５】
また、有面突起ｐa，ｐbが設けられていることによって、貫通孔Ｈa、Ｈbが設けられたことによる接触面積の減少が補填され、空気が金属ヒータ２８に接触する確率が高められる。また、金属板が波型とされることで、空気との接触面積がさらに増加する。
【００３６】
このように、有面突起ｐa（ｐb）付きの貫通孔Ｈa（Ｈb）が設けられていることによって、空気は、金属ヒータ２８に触れ易くなり、金属ヒータ２８との間で効率的に熱の授受がなされる。したがって、再生時には、空気は、迅速に加熱されるとともに、冷却時には、金属ヒータ２８は迅速に冷却される。
【００３７】
筐体３３は、図１、図４及び図５に示すように、それぞれ、入口側開口３９ａ及び出口側開口４１ａが形成された入口側枠体３９及び出口側枠体４１と、入口側枠体３９と出口側枠体４１とを所定の間隔を保つように結合する複数の平板状部材からなる胴部４２とを有している。
入口側枠体３９は、入口側開口３９ａが形成された断面ロ字状の平板部４３と、平板部４３の周縁から立設された周縁壁部４４とを有している。
【００３８】
また、出口側枠体４１は、出口側開口４１ａが形成された断面ロ字状の平板部４５と、平板部４５の周縁から立設された周縁壁部４６とを有している。入口側枠体３９と出口側枠体４１とは、略同一の寸法形状を有し、それぞれの周縁壁部が空気の通流方向Ｆに沿って筐体３３の外方を向くように配置されている。
【００３９】
また、入口側枠体３９（出口側枠体４１）の平板部４３（４５）の上部の中央部及び隅部には、図５に示すように、雌ねじ部４７（４８），４９（５１）が形成されている。また、上部側の周縁壁部４４の両端部には、引張りばね５３の一方の端部を係止するための係止用リブ５２，５２が突設されている。
係止用リブ５２には、引張りばね５３の端部を挿通するための挿通孔５２ａが形成されている。出口側枠体４１の上部側の周縁壁部４６の両端部にも、引張りばね５３の一方の端部を係止するための係止用リブが突設されている。
【００４０】
また、平板部４３（４５）の下部の入口側開口３９ａ（出口側開口４１ａ）近傍には、固定保持体５４の雄ねじ部５４ｂを挿通するための複数の挿通孔５５ｂ（５６ｂ）が所定のピッチで列状に形成されている。この例では、ピッチ（挿通孔５５ｂ（５６ｂ）の中心間の間隔）は、円柱部５４ａの直径の略２倍に設定されている。
【００４１】
胴部４２は、図１に示すように、共に平板状部材からなる上板部５７、下板部５８、及び左右一対の側板部５９，５９とが、断面正方形状の空洞が形成されるように、組み合されてなっている。
入口側枠体３９と出口側枠体４１とは、上板部５７、下板部５８、及び一対の側板部５９，５９が、周縁壁部４４，４６の外面にボルト又は雄ねじ等の固定具を用いて固定されることによって、結合されている。なお、筐体３３は、前後左右対称な形状に組み立てられている。
【００４２】
取付部材３４は、共に、金属ヒータ２８を曲折部３７が外方に向けて引っ張られた状態で筐体３３に取り付けるための円柱状の複数の可動保持体６１，６１，…、及び円柱状の複数の固定保持体５４，５４，…と、金属ヒータ２８の両端部を固定するための絶縁体からなる一対の端部固定部６２，６２と、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ａ（３６ｂ）の中間部の厚さ方向に沿った変位を抑えるための一対の中間保持体６３，６３と、可動保持体６１を変位可能なように平板部４３（４５）の上部に取り付けるための一対の保持体取付板６４，６５と、一端部が保持体取付板６４（６５）の対向壁部６８（６９）に、他端が上側の周縁壁部４４（４６）にそれぞれ取り付けられたコイル状の引張りばね５３とを含んでいる。
【００４３】
この例では、可動保持体６１は、筐体３３の空洞の上縁部（ヒータユニット２３を正面側から見て分岐管１２が配設された側）に列状に配置される。可動保持体６１は、図６に示すように、金属ヒータ２８の曲折部３７の内側が側壁の外側領域に巻き付けられる所定の直径の円柱部６１ａと、円柱部６１ａの両端に形成された雄ねじ部６１ｂ，６１ｂとを有している。
ここで、円柱部６１ａの直径は、２０ｍｍ以下（好ましくは、１５ｍｍ以下）の範囲で設定される。この例では、略１０ｍｍに設定されている。
【００４４】
可動保持体６１は、雄ねじ部６１ｂに螺合するナット等の固定具を用いて、保持体取付板６４，６５に固定される。また、可動保持体６１は、金属ヒータ２８の曲折部３７を引っ張った状態で、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ａ（３６ｂ）の長さ方向（正面側から見て上下方向）に沿って所定の範囲で変位可能なように配置される。
筐体３３内には、可動保持体６１が、金属ヒータ２８の曲折部３７とともに変位するために必要な空間（クリアランス）が確保されている。
【００４５】
また、固定保持体５４は、筐体３３の空洞の下縁部に位置を固定されて列状に配置される。固定保持体５４は、金属ヒータ２８の曲折部３７の内側が側壁の外側領域に巻き付けられる所定の直径の円柱部５４ａと、円柱部５４ａの両端に形成された雄ねじ部５４ｂ，５４ｂとを有している。
ここで、円柱部５４ａの直径は、２０ｍｍ以下（好ましくは、１５ｍｍ以下）の範囲で設定される。この例では、略１０ｍｍに設定されている。
【００４６】
また、保持体取付板６４（６５）は、平板部４３（４５）の上面を摺動可能な長尺な平板状の基部６６（６７）と、基部６６（６７）の入口側開口３９ａ（出口側開口４１ａ）の中心側の周縁から立設され、上部側の周縁壁部４４（４６）に対向するように配置される対向壁部６８（６９）とを有している。
【００４７】
また、基部６６には、図１及び図５に示すように、可動保持体６１の雄ねじ部６１ｂを挿通するための複数の挿通孔６６ａ，６６ａ，…が列状に所定のピッチで形成され、中央部及び両側部には、ボルト等の固定具の雄ねじ部が挿通される長孔６６ｂ，６６ｃが形成されている。
また、基部６７にも、可動保持体６１の雄ねじ部６１ｂを挿通するための複数の挿通孔６７ａ，６７ａ，…が列状に所定のピッチで形成され、中央部には、ボルト等の固定具の雄ねじ部が挿通される長孔６７ｂが形成されている。両側部にも、雄ねじ部が挿通される長孔が形成されている。
【００４８】
この例では、挿通孔５５ａ（５６ａ），６６ａ（６７ａ），５５ｂ（５６ｂ）のピッチ（挿通孔の中心間の間隔）は、円柱部６１ａ，５４ａの直径の略２倍に設定されている（この例では、略２０ｍｍとされている。）。
また、可動保持体６１の雄ねじ部６１ｂを挿通するための挿通孔５５ａ（５６ａ），６６ａ（６７ａ）は、固定保持体５４の雄ねじ部５４ｂを挿通するための挿通孔５５ｂ（５６ｂ）の配置位置に対してピッチ／２の幅ずらした状態で（すなわち、挿通孔５５ａ（５６ａ），６６ａ（６７ａ）が、発熱領域３６ｂの厚さ方向に沿って、挿通孔５５ｂ（５６ｂ），５５ｂ（５６ｂ）間に配置されるように）配置される。
【００４９】
また、一対の平板部４３，４５間には、長孔６６ｂ（６７ｂ）に挿通される固定具７０の雄ねじ部と螺合する雌ねじ部７１ｂ，７１ｂが両端部に形成された円柱状の結合部材７１が配置され、固定具７０の雄ねじ部が、雌ねじ部７１ｂと螺合することによって、保持体取付板６４（６５）は平板部４３（４５）に、発熱領域３６ｂの長さ方向（ヒータユニット２３の正面側から見て縦方向）に沿って変位可能なように取り付けられる。
【００５０】
この例では、可動保持体６１及び固定保持体５４が、円柱部６１ａ，５４ａの直径の略２倍のピッチで配列され、発熱領域３６ｂの厚さ方向（ヒータユニット２３の正面側から見て横方向）に沿って、可動保持体６１が、固定保持体５４に対して、ピッチ／２ずらした状態で配置されることによって、可動保持体６１及び固定保持体５４に巻き付けられる金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂにおいて、互いに隣接する発熱領域３６ｂ，３６ｂ同士は、互いに平行で、かつ、一定の間隔で配置されることとなる。
【００５１】
また、各端部固定部６２は、入口側枠体３９の平板部４３の正面側から見て両下隅部に、両平板部４３，４５によって挟まれた状態で、固定具によって固定されている。また、端部固定部６２には、その外側面に取り付けられた板状部材７２を介して、電極端子が取り付けられている。
【００５２】
また、各中間保持体６３は、図７に示すように、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂが通される複数の溝部６３ａが櫛状に形成された角棒状の絶縁体からなり、両端部が入口側枠体３９（出口側枠体４１）の平板部４３（４５）の両側の中間部に固定具を用いて固定されている。
【００５３】
中間保持体６３が、各溝部６３ａで、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂの中間部が押えられることによって、空気の通流による金属ヒータ２８の振えが抑制され、かつ、発熱領域３６ｂのその厚さ方向（ヒータユニット２３の正面側から見て横方向）の変位が抑制される。
【００５４】
また、可動保持体６１及び固定保持体５４の端部において、金属ヒータ２８と筐体３３との間には、熱の放散を抑制するための断熱性の石英ガラスを用いた帯状の断熱体７３（７４），７５（７６）が配置されている。なお、保持体取付板と断熱体との間には、平板部と厚さが略等しい長尺な平板状の介挿板７７が介挿されている。
【００５５】
断熱体７３（７４），７５（７６）によって、熱の放散が抑制されるとともに、例えば、引張りばね５３が加熱されて、引張りばね５３の力学的特性に悪影響が及ぶことが防止される。
なお、可動保持体６１，６１，…の端部、及び固定保持体５４，５４，…の端部は電気的に接続され、金属ヒータ２８の上部側及び下部側の曲折部３７，３７，…が接続されている。これによって、発熱領域３６ｂ，３６ｂ，…は、電気的に並列接続されている。
【００５６】
また、各引張りばね５３は、両端部は、円弧状に湾曲され、それぞれ、入口側枠体３９に設けられた係止用リブ５２の挿入孔５２ａ、及び保持体取付板６４の対向壁部６８の挿入孔６８ａに挿入されて係止される。出口側枠体４１においても、係止用リブの挿入孔、及び保持体取付板６５の対向壁部６９の挿入孔に挿入されて係止される。引張りばね５３は、保持体取付板６４，６５を上部側に向けて引っ張るように付勢される。
【００５７】
すなわち、引張りばね５３は、伸びた状態で配置されることによって、弾性エネルギが蓄積されて、元の状態に戻ろうとする復元力が働き、保持体取付板６４，６５を上部側に向けて引っ張る。
ここで、引張りばね５３は、金属ヒータ２８の熱膨張時の伸びを吸収した後も（応力を吸収した後も）、熱膨張した金属ヒータ２８を、発熱領域３６ｂの長さ方向に沿って引っ張り続けるように、その引っ張り性が調整されて配置されている。
これによって、可動保持体６１は、上部側に向けて引っ張られ、金属ヒータ２８の曲折部３７が外方に引っ張られる。
【００５８】
したがって、加熱時に、金属ヒータ２８が熱膨張によって伸長すると、可動保持体６１とともに曲折部３７も、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂの長さ方向に沿って外方へ向けて変位して、伸びが吸収され、金属ヒータ２８の湾曲（撓み）が防止され、空気の通流によって、金属ヒータ２８が振えることが防止される。
また、断熱部３５は、図１に示すように、共に、ロックウール等からなる断熱材が外形略直方体状の箱体内に収納されてなる上部断熱部７８、下部断熱部７９、及び一対の側部断熱部８１，８１とを含んでいる。
【００５９】
なお、再生時にヒータユニット２３（金属ヒータ２８の層状空間）を通流させる空気の風速は、所定の範囲内の値に設定される。この風速の適正範囲は、要求される処理量（加熱すべき空気の量）及び熱効率に基づいて決められる。
すなわち、風速を大きくすれば、熱効率は上昇する一方、温度上昇が不足し、処理量が限られるため、適正な風速として、１［ｍ／ｓ］〜１０［ｍ／ｓ］（この例では、６．９５［ｍ／ｓ］）に設定する。
【００６０】
実用的な風速として、６．９５［ｍ／ｓ］（空間平均値）、周囲温度（気温）が、２４．５［℃］の場合の熱効率を求めたところ、略０．７となり、従来技術における値（一般には、０．３〜０．５程度）に比べ、大幅に向上されており、しかも、十分な量の加熱処理が達成されていることがわかった。
【００６１】
なお、熱効率の算出は、空気を通流させるダクトの横断面を複数領域に分割して（例えば９分割）、分割領域毎に、空気の風速及び温度を計測して行った。すなわち、単位時間に通過する空気の量と、加熱による温度上昇分（気温との温度差）と、空気の比熱（定圧比熱）とから、空気が受け取った熱量を分割領域毎に求め、これらの総計に基づいて出力を算出し、この出力の入力に対する比として、熱効率を求めた。
【００６２】
入口側ＶＯＣ検出部１８及び出口側ＶＯＣ検出部１９は、試料ガスが導かれる測定室内に、例えば、電気抵抗式の半導体センサが、ＶＯＣセンサとして配置されて概略構成されている。
ここで、試料ガスは、エアポンプによって吸引されて排気経路（容器２７）から分岐されて吸気管を経由して測定室へ導入され、排気管を経由して排気経路へ戻される。
【００６３】
また、吸気管には、電磁弁が設けられ、この電磁弁の開閉によって一定量の試料ガスが測定室内に導入される。なお、この例では、測定前に、測定室内に清浄な空気（ＶＯＣを含まない空気）が導入されてゼロ点調整が行われる。また、測定室内に校正用ガスが導入されて定期的に校正がなされる。
【００６４】
監視・制御装置２１は、図１０に示すように、ＣＰＵ等からなり、監視・制御装置本体の構成各部を制御する主制御部８３と、主制御部８３が実行する処理プログラムや各種データ等を記憶するための記憶部８４と、運転／停止操作や、ＶＯＣ濃度表示等を行うための操作・表示部８５と、計時部８６と、金属ヒータ２８の温度を制御するヒータ制御部８７と、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６を駆動するモータ駆動部８８とを有してなっている。
【００６５】
なお、主制御部８３は、入口側ＶＯＣ検出部１８及び入口側ＶＯＣ検出部１９や、ヒータ制御部８７のデジタル調温器、操作・表示部８５のデジタル表示器等と、ＲＳ−２３２Ｃ回路部やＲＳ−４８５回路部を含む入出力制御部を介して、信号の授受を行う。
【００６６】
主制御部８３は、記憶部８４に記憶された各種処理プログラムを実行し、記憶部８４に確保された各種レジスタやフラグを用いて、構成各部を制御し、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、ヒータ制御処理を含む流路切換制御処理等を実行する。
【００６７】
主制御部８３は、ＶＯＣ濃度情報取得処理で、入口側ＶＯＣ検出部１８及び出口側ＶＯＣ検出部１９から、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度情報を取得する。
主制御部８３は、ＶＯＣ除去率算出処理で、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度に基づいて、濃度差（出口側のＶＯＣ濃度Ｎbと入口側のＶＯＣ濃度Ｎaとの差（Ｎa−Ｎb））の入口側のＶＯＣ濃度に対する割合（（（Ｎa−Ｎb）／Ｎa）×１００（％））を、ＶＯＣ除去率として算出する。
【００６８】
判定処理は、再生要否判定処理と、再生終了判定処理と、劣化状態判定処理とを含んでいる。
主制御部８３は、再生要否判定処理で、例えば、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行う。すなわち、主制御部８３は、算出したＶＯＣ除去率が、基準除去率以下の場合に、再生処理要と判定する。
なお、予め設定した基準濃度（出口側のＶＯＣ濃度）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行っても良い。
【００６９】
主制御部８３は、再生終了判定処理で、予め設定された再生時間（例えば、略２０min）に基づいて、再生終了の適否の判定を行う。すなわち、主制御部８３は、再生処理開始から、設定された再生時間経過したと判断すると、再生終了すべきとの判定を行う。
【００７０】
主制御部８３は、劣化状態判定処理で、予め設定した再生直後の基準除去率（例えば、７０％）に基づいて、劣化状態の判定（交換の要否判定）を行う。すなわち、主制御部８３は、算出したＶＯＣ除去率が、基準除去率以下の場合に、交換要と判定する。
なお、予め設定した再生直後の濃度（出口側のＶＯＣ濃度）に基づいて、劣化状態の判定を行っても良い。
【００７１】
主制御部８３は、表示制御処理で、図１１に示すように、デジタル表示器９１に、例えば、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度、並びにＶＯＣ除去率を表示させる。
主制御部８３は、警報出力処理で、再生要否判定処理で再生処理開始要の判定がなされると、再生警告表示／再生実行ボタン９４の表示灯を点灯させ、再生終了判定処理で再生終了の判定がなされると、再生終了表示／再生停止ボタン９５の表示灯を点灯させ、劣化状態判定処理で、吸着剤交換要の判定がなされると、例えば、警告表示灯９３を点灯させる。
【００７２】
主制御部８３は、再生警告表示／再生実行ボタン９４が押下されると、図１０及び図１３に示すように、流路切換制御処理で、モータ駆動部８８を介して、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全閉、再生用ダンパ１６を全開とさせ、再生用ブロワ１３を駆動させ、かつ、ヒータ制御部８７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を開始させる。
また、主制御部８３は、再生時間が経過すると、又は再生終了表示／再生停止ボタン９５が押下されると、図１０及び図１２に示すように、モータ駆動８８を介して、再生用ダンパ１６を全閉とさせ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全開とさせ、再生用ブロワ１３を停止させ、かつ、ヒータ制御部８７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を停止させる。
なお、主制御部８３は、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５、及び再生用ダンパ１６の切換時間を監視して、故障の診断を行う。
【００７３】
流路切換制御処理は、ヒータ制御処理を含み、主制御部８３は、ヒータ制御処理で、温度検出部１７によって検知された温度と、設定された再生温度（例えば、略２００℃）とに基づいて、金属ヒータ２８に供給される電力を制御する。
また、主制御部８３は、ＶＯＣ濃度が爆発限界の例えば、１／５を越えないように、金属ヒータ２８に供給される電力を制御する。また、主制御部８３は、金属ヒータ２８を保護するために、金属ヒータ２８に供給される最大電力を管理する。
【００７４】
記憶部８４は、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の半導体メモリ等からなり、主制御部８３が実行するＶＯＣ濃度取得処理プログラムや、ＶＯＣ除去率算出処理プログラム、判定処理プログラム、表示制御処理プログラム、警報出力処理プログラム、流路切換制御処理プログラム等の各種処理プログラム等が記憶されたプログラム記憶領域と、測定情報や設定情報等の各種情報が記憶された情報記憶領域とを有している。
【００７５】
測定情報は、測定されたＶＯＣ濃度情報及びガス温度情報や、時刻、再生処理における再生開始からの経過時間、再生回数等を含んでいる。なお、ＶＯＣ濃度情報として、ｐｐｍＣ換算値（濃度［ｐｐｍ］に分子式中の炭素原子数を乗じた値）を含む。
設定情報は、再生時間、再生温度（再生時のガスの温度）、再生要否判定時の基準除去率、再生要否判定時の基準濃度、劣化判定時の基準除去率（警報出力時の除去率）、劣化判定時の基準濃度、基準時間（例えば、警報出力を行うべき再生開始からの経過時間）、基準再生回数（警報出力を行うべき再生回数）のほか、装置ＩＤ番号を含んでいる。
【００７６】
操作・表示部８５は、図１１に示すように、液晶パネル等からなり、入口側ＶＯＣ濃度、出口側ＶＯＣ濃度及びＶＯＣ除去率等の測定値や、各種メッセージ等を表示するデジタル表示器９１と、電源表示灯９２と、警告表示灯９３と、再生警告表示／再生実行ボタン９４と、再生終了表示／再生停止ボタン９５と、警告ブザー９６と、電源スイッチ９７と、非常停止ボタン９８とを有している。
ヒータ制御部８７は、デジタル調温器を含んでいる。また、モータ駆動部８８は、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６のモータを制御する。
【００７７】
次に、図１２及び図１３を参照して、この例のＶＯＣ除去装置１の動作について説明する。
工場稼働時間帯には、図１２に示すように、吸気ブロワ４が運転され、ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全開、再生用ダンパ１６が全閉とされ、再生用ブロワ１３が停止され、かつ、加熱部２５がオフとされた状態で、ＶＯＣ処理部８にＶＯＣを含んだ排ガスが導入され、ＶＯＣ吸着除去工程が実施されて、吸着剤によってＶＯＣが吸着され、浄化された空気が排出口３から排出される。
【００７８】
主制御部８３は、入口側ＶＯＣ検出部１８及び出口側ＶＯＣ検出部１９から、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度情報を取得する。
次に、主制御部８３は、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度に基づいて、濃度差（出口側のＶＯＣ濃度Ｎbと入口側のＶＯＣ濃度Ｎaとの差（Ｎa−Ｎb））の入口側のＶＯＣ濃度に対する割合（（（Ｎa−Ｎb）／Ｎa）×１００（％））を、ＶＯＣ除去率として算出する。
【００７９】
主制御部８３は、デジタル表示器９１に、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度、並びにＶＯＣ除去率を表示させる。
また、主制御部８３は、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行い、再生処理開始要の判定がなされると、再生警告表示／再生実行ボタン９４の表示灯を点灯させる。
【００８０】
また、工場終業（休業）時間帯には、図１３に示すように、吸気ブロワ４が停止され、主制御部８３は、再生警告表示／再生実行ボタン９４が押下されると、モータ駆動部８８を介して、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全閉、再生用ダンパ１６を全開とさせ、再生用ブロワ１３を駆動させ、かつ、ヒータ制御部８７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を開始させる。
主制御部８３は、温度検出部１７によって検知された温度と、設定された再生温度（例えば、略２００℃）とに基づいて、金属ヒータ２８に供給される電力を制御する。
【００８１】
ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全閉、再生用ダンパ１６が全開とされ、再生用ブロワ１３が運転され、かつ、ＶＯＣ処理部８を構成する加熱部２５がオンとされて、流入口管９→ＶＯＣ処理部８→流出口管１１→分岐管１２→流入口管９の向き（図１３において反時計周り）に、循環経路に沿って、加熱された空気が循環されて、ＶＯＣ処理部８を構成する吸着除去部２４の吸着剤及び触媒担持部２６の触媒が加熱され、ＶＯＣが吸着剤から脱離されて吸着剤が再生されると共に、触媒が活性化されて、ＶＯＣがＨ２ＯとＣＯ２とに分解される。
【００８２】
金属ヒータ２８に電力が供給されると、図１及び図４に示すような各発熱領域３６ａ、各発熱領域３６ｂにおいて、一方の側と他方の側との間で電流が流されて面全体が発熱し（表面は、例えば、略７００［℃］）、接触する空気を加熱する（例えば、略３００［℃］）。
ここで、金属ヒータ２８には、図８及び図９に示すように、有面突起ｐa（ｐb）付きの貫通孔Ｈa（Ｈb）が設けられていることによって、空気は、金属ヒータ２８に触れ易くなるので、金属ヒータ２８との間で効率的に熱の授受がなされ、空気は迅速に加熱され、吸着除去部２４の吸着剤、及び触媒充填部２６の触媒は、迅速に加熱される。
【００８３】
また、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂにおいて、互いに隣接する発熱領域３６ｂ，３６ｂ同士は、互いに平行で、かつ、一定の間隔で配置されていることによって、従来技術に比べ、空気は、通流する金属ヒータ２８の場所に関わらず、略均一に加熱される。
【００８４】
また、発熱にともなって、金属ヒータ２８が熱膨張によって伸長すると、引張りばね５３によって、可動保持体６１ともに曲折部３７も、金属ヒータ２８の各層の長さ方向に沿って外方へ向けて変位し、金属ヒータ２８の湾曲（撓み）が防止される。したがって、空気の通流によって、金属ヒータ２８が振えることが防止される。
【００８５】
また、中間保持体６３が各溝部６３ａで、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂの中間部を押えて、発熱領域３６ｂ，３６ｂ間の離隔が保たれ、不用意な接触が防止されるとともに、空気の通流による金属ヒータ２８の振えがさらに抑制される。
【００８６】
主制御部８３は、再生終了判定処理で再生終了の判定をがなされると、再生終了表示／再生停止ボタン９５の表示灯を点灯させる。
主制御部８３は、再生時間が経過すると、又は再生終了表示／再生停止ボタン９５が押下されると、モータ駆動部８８を介して、再生用ダンパ１６を全閉とさせ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全開とさせ、再生用ブロワ１３を停止させ、かつ、ヒータ制御部８７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を停止させる。この後、吸気ブロワ４が運転される。
【００８７】
こうして、浄化された空気が排出口３から排出される。また、加熱部２５の金属フィルタ２８には、空気が通流されて冷却され、さらに、吸着除去部２４の吸着剤が冷却される（例えば、３０℃以下とされる。）。
ここで、加熱部２５の金属ヒータ２８は、例えば、常温の空気が通流されることにより、金属ヒータ２８は迅速に冷却される。
【００８８】
このように、この例の構成によれば、金属ヒータ２８において、波型金属板２９に有面突起ｐa（ｐb）付きの貫通孔Ｈa（Ｈb）が設けられていることによって、空気は、金属ヒータ２８に触れ易くなるので、金属ヒータ２８との間で効率的に熱の授受がなされる。
すなわち、効率的に熱交換がなされる。したがって、再生時には、空気を、迅速に加熱し、冷却時には、金属ヒータ２８を迅速に冷却することができる。しかも、圧力損失を抑制することができる。
【００８９】
こうして、加熱部２５の金属ヒータ２８が、再生時には、迅速に高温まで加熱されて、通流される空気を迅速に高温まで加熱することによって、吸着除去部２４の吸着剤を加熱して、吸着剤からは揮発性化合物を脱離させ、触媒充填部２６の触媒も加熱によって活性化させて、触媒に、脱離した揮発性化合物を分解処理させることができる。
しかも、金属ヒータ２８は、すばやく冷却され、吸着剤の再生後、再び吸着剤による吸着除去処理に迅速に移行することができる。
【００９０】
また、貫通孔Ｈa、Ｈbが設けられていることによって、長さ、幅及び厚さが同一の貫通孔無しの金属板に比べて、抵抗値が高められる。
また、金属ヒータ２８は、絶縁体を介したり、絶縁体によって被覆されることなく、露出状態で配置されるので、一段と熱効率を向上させることができる。
【００９１】
また、金属ヒータ２８は、波型金属板２９をジグザグ状に曲折されているので、例えば、発熱領域間の接触又は非接触の部位を、正確にかつ自在に設定することができ、発熱量を確実に制御することでき、ヒータとしての特性（品質）を安定化させ、信頼性を向上させることができる。
【００９２】
また、可動保持体６１及び固定保持体５４が、円柱部６１ａ，５４ａの直径の略２倍のピッチで配列され、かつ、発熱領域３６ｂの厚さ方向（ヒータユニット２３の正面側から見て横方向）に沿って、可動保持体６１が、固定保持体５４に対して、ピッチ／２ずらした状態で配置されているので、可動保持体６１及び固定保持体５４に巻き付けられる金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂにおいて、互いに隣接する発熱領域３６ｂ，３６ｂ同士は、互いに平行で、かつ、一定の間隔で配置されている。
したがって、従来技術に比べ、空気を、通流する金属ヒータ２８の場所に関わらず、略均一に加熱することができる。すなわち、空間的な温度分布を均一化させ、再生時に、吸着部除去部２４の吸着剤を確実に加熱することができ、信頼性を向上させることができる。
【００９３】
また、引張りばね５３が、両端部が、それぞれ、入口側枠体３９（出口側枠体４１）に設けられた係止用リブと、保持体取付板６４（６５）の対向壁部６８（６９）とに係止され、保持体取付板６４（６５）を上部側に向けて引っ張るように付勢されているので、可動保持体６１が上部側に向けて引っ張られ、金属ヒータ２８の曲折部３７が金属ヒータ２８の外方に引っ張られる。
【００９４】
したがって、加熱時に、金属ヒータ２８が熱膨張によって伸長すると、可動保持体６１とともに曲折部３７も、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂの長さ方向に沿って外方へ向けて移動し、金属ヒータ２８の熱膨張による湾曲（撓み）が防止され、空気の通流によって、金属ヒータ２８が振えることが防止される。
【００９５】
これによって、金属ヒータ２８の振えによる騒音等を抑制することができるとともに、金属ヒータ２８の筐体３３に対する取付状態を維持し、金属ヒータ２８の劣化を抑制し、長寿命化を図ることができ、一段と信頼性を向上させることができる。
【００９６】
また、中間保持体６３が各溝部６３ａで、金属ヒータ２８の各発熱領域３６ｂの中間部を押えるので、空気の通流による金属ヒータ２８の振えを一段と確実に抑制することができるとともに、発熱領域３６ｂのその厚さ方向（ヒータユニット２３の正面側から見て横方向）の変位を抑制して、互いに隣接する発熱領域３６ｂ，３６ｂ同士の不用意な接触を防止し、発熱領域３６ｂ，３６ｂ間の離隔を保って、空気の通流する金属ヒータ２８の部位に依らない略均一な加熱に寄与することができる。
【実施例２】
【００９７】
図１４は、この発明の第２の実施例であるＶＯＣ除去装置のヒータユニットの要部の構成を一部破断して示す斜視図、また、図１５は、同ヒータユニットを構成を説明するための正面図である。
この例の装置構成が、上記した第１の実施例のそれと大きく異なるところは、加熱部で、ヒータユニットを空気の通流方向に沿って２段に配置し、前段及び後段のヒータユニットの間で、発熱領域の長さ方向が略直交するように、正面側から見て井型状に配置した点である。
【００９８】
これ以外の構成は、上述した第１の実施例の構成と略同一であるので、第１の実施例と同一の構成要素については、図１４において、図４で用いた符号と同一の符号を用いて、その説明を簡略にする。
【００９９】
この例のＶＯＣ除去装置のＶＯＣ処理部を構成する加熱部２５Ａは、図１４に示すように、空気の通流方向Ｆに沿って上流側に配置されたヒータユニット１０１と、下流側に配置されたヒータユニット１０２とを有している。
ヒータユニット１０１（１０２）は、所定の幅の帯状の波型金属板がジグザグ状に曲折されてなる金属ヒータ１０３（１０４）が、一端側（入口側）の層状空間から空気を流入させ、他端側（出口側）の層状空間から空気を流出させる態様で略角筒状の筐体内に、取付部材を用いて弾性的に取り付けられて概略構成されている。
【０１００】
金属ヒータ１０３（１０４）は、同図に示すように、巨視的に見て略平面状の発熱領域１０５（１０６），１０５（１０６），…と、曲折部１０７（１０８），１０７（１０８），…とを有している。最外の発熱領域１０５（１０６），１０５（１０６）以外の発熱領域１０５（１０６），１０５（１０６），…では、互いに隣接する発熱領域１０５（１０６），１０５（１０６）同士が、互いに平行で、かつ、一定の間隔で配置され、発熱領域１０５（１０６），１０５（１０６）間には、空気が通流される層状空間１０９（１１１），１０９（１１１）が形成されている。
【０１０１】
この例では、発熱領域１０５と発熱領域１０６とは、長さ方向が直交するように配置されている。すなわち、図１４及び図１５に示すように、正面側から見て、発熱領域１０５，１０５，…、発熱領域１０６，１０６，…が略格子状に配置されている。
【０１０２】
これにより、ヒータユニット１０１において、層状空間１０９を通流して、発熱領域１０５、１０５によって加熱された空気は、ヒータユニット１０２に流入すると、層状空間１０９に略直交する方向に沿って形成された層状空間１１１を通流し、平面視で発熱領域１０５、１０５に略直交する発熱領域１０６、１０６によって、加熱される。
【０１０３】
この例の構成によれば、上述した第１の実施例と略同様の効果を得ることができる。
加えて、温度分布を一段と均一化することができる。
【実施例３】
【０１０４】
図１６は、この発明の第３の実施例であるＶＯＣ除去装置の加熱部の構成を説明するための説明図、図１７は、同加熱部のヒータユニットの金属ヒータの構成を説明するための斜視図、また、図１８は、同金属ヒータの構成を説明するための正面図である。
この例の装置構成が、上記した第１の実施例のそれと大きく異なるところは、加熱部の金属ヒータを、金属板を渦巻き状に巻き上げて作製し、かつ、ヒータユニットを空気の通流方向に沿って２段に配置した点である。
【０１０５】
また、各ヒータユニットにおいて、金属ヒータの中心部と外周部とに電極を設け、前段及び後段のヒータユニット同士を、中心部で電気的に接続するとともに、半径方向に沿った中間部でも接続可能としている。ここで、前段及び後段のヒータユニットの金属ヒータの中間部で、時間的に接続と切断とを繰り返し、加熱温度の空間的な偏りを低減している。
【０１０６】
この例のＶＯＣ除去装置のＶＯＣ処理部を構成する加熱部２５Ｂは、図１６に示すように、空気の通流方向Ｆに沿って上流側に配置されたヒータユニット１１３と、下流側に配置されたヒータユニット１１４とを有している。
ヒータユニット１１３（１１４）は、図１７及び図１８に示すように、所定の幅の帯状の波型金属板１１５と平板状の平型金属板１１６とが重ねられた状態で、渦巻き状に巻き上げられて多層構造とされてなる金属ヒータ１１７（１１８）が、一端側（入口側）の層間隙間から空気を流入させ、他端側（出口側）の層間隙間から空気を流出させる態様で略円筒状の筐体内に取り付けられて概略構成されている。
【０１０７】
波型金属板１１５は、帯状金属平板に、例えばプレス加工、ローラプレス加工等を施すことで、図１７及び図１８に示すように、縁部に有面突起ｐa，ｐbを持つ多数の四角形状の貫通孔Ｈa、Ｈb、…が穿設されて長手方向波型に形成される。また、平型金属板１１６は、帯状金属平板に、多数の円形状の貫通孔Ｍa、Ｍa，…が穿設されて形成される。
【０１０８】
また、金属ヒータ１１７，１１８の外周部には、それぞれ、一方の電極部１１９，１２１が設けられ、金属ヒータ１１７，１１８の中心部には、共通の電極部１２２が配置されている。電極部１１９，１２１には、電源１２３が接続されている。
また、金属ヒータ１１７，１１８の半径方向に沿った中間部の所定の部位と、電極部１２２との間には、それぞれ、スイッチ部１２４，１２５が配置されて、電極部１２２と中間部の所定の部位との接続が可能とされている。
【０１０９】
監視・制御装置を構成する制御部は、スイッチ部１２４，１２５を制御して、予め設定された所定のタイミングで、オン／オフさせる。スイッチ部１２４，１２５がオン状態となると、金属ヒータ１１７，１１８の中心部近傍を流れる電流が減少し、中心部近傍からの発熱量が減少する。これによって、中間部や周縁部の加熱温度に近づき、全体として、温度分布が均一化される。
【０１１０】
この例の構成によれば、金属ヒータ１１７（１１８）には、有面突起ｐa（ｐb）付きの貫通孔Ｈa（Ｈb）が設けられていることによって、空気は、金属ヒータ１１７（１１８）に触れ易くなるので、金属ヒータ１１７（１１８）との間で効率的に熱の授受がなされる。すなわち、効率的に熱交換がなされる。したがって、再生時には、空気を、迅速に加熱し、冷却時には、金属ヒータ２８を迅速に冷却することができる。
【０１１１】
また、金属ヒータ１１７（１１８）の半径方向に沿った中間部の所定の部位と、電極部１２２との間には、スイッチ部１２４（１２５）が配置されて、予め設定された所定のタイミングでオン／オフされ、電極部１２２と中間部の所定の部位との接続／切断されるので、金属ヒータ１１７（１１８）の場所による温度の偏りを低減することができる。
すなわち、空間的な温度分布を均一化させ、再生時に、吸着除去部の吸着剤を確実に加熱することができ、信頼性を向上させることができる。
【実施例４】
【０１１２】
図１９は、この発明の第４の実施例であるＶＯＣ除去装置の加熱部の構成を説明するための説明図である。
この例の装置構成が、上記した第３の実施例のそれと大きく異なるところは、前段及び後段のヒータユニット同士を、中心部で電気的に接続せずに、前段及び後段のヒータユニットの金属ヒータの半径方向に沿った中間部の所定の部位で固定的に接続した点である。
【０１１３】
これ以外の構成は、上述した第３の実施例の構成と略同一であるので、第３の実施例と同一の構成要素については、図１９において、図１６で用いた符号と同一の符号を用いて、その説明を簡略にする。
【０１１４】
このＶＯＣ除去装置のＶＯＣ処理部を構成する加熱部２５Ｃは、図１９に示すように、空気の通流方向Ｆに沿って上流側に配置されたヒータユニット１１３Ｃと、下流側に配置されたヒータユニット１１４Ｃとを有している。
ヒータユニット１１３Ｃ（１１４Ｃ）は、所定の幅の帯状の波型金属板と平板状の平型金属板とが重ねられた状態で、渦巻き状に巻き上げられて多層構造とされてなる金属ヒータ１１７Ｃ（１１８Ｃ）が、一端側（入口側）の層間隙間から空気を流入させ、他端側（出口側）の層間隙間から空気を流出させる態様で略円筒状の筐体内に取り付けられて概略構成されている。
【０１１５】
また、図１６に示すように、金属ヒータ１１７Ｃ，１１８Ｃの外周部には、それぞれ、一方の電極部１１９Ｃ，１２１Ｃが設けられ、金属ヒータ１１７Ｃ，１１８Ｃの中心部には、それぞれ、電極部１２６，１２７が配置されている。電極部１１９Ｃ，１２１Ｃには、電源１２３が接続されている。
【０１１６】
また、金属ヒータ１１７Ｃ，１１８Ｃの中心から半径方向に沿って所定の距離の中間部１２８，１２９同士は、略円環状の接続部材１３１によって電気的に接続されている。
これによって、金属ヒータ１１７Ｃ，１１８Ｃの中心部近傍を流れる電流が減少し、中心部近傍からの発熱量が減少する。
【０１１７】
この例の構成によれば、金属ヒータ１１７Ｃ（１１８Ｃ）には、有面突起付きの貫通孔が設けられていることによって、空気は、金属ヒータ１１７Ｃ（１１８Ｃ）に触れ易くなるので、金属ヒータ１１７Ｃ（１１８Ｃ）との間で効率的に熱の授受がなされる。
【０１１８】
また、金属ヒータ１１７Ｃ，１１８Ｃの中心から半径方向に沿って所定の距離の中間部１２８，１２９同士を、接続部材１３１によって電気的に接続したので、金属ヒータ１１７，１１８の中心部近傍へ電流が集中することを抑制し、空間的な温度分布を均一化させることができ、信頼性を向上させることができる。
また、第３の実施例に比べて、主制御部の構成を簡略化することができる。
【０１１９】
以上、この発明の実施例を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。
例えば、上述した実施例では、コイル状の引張りばねで、金属板を外方へ向けて引っ張る場合について述べたが、板ばねを用いても良い。
【０１２０】
また、弾性保持手段として、ゴム部材を用いても良い。ゴム部材を用いることによって、熱伝導を抑制することができる。この場合、断熱部材を省略しても良い。
また、引張りばねを、例えば、ボルトを介して筐体に取り着けて、復元力を調整可能としても良い。また、可動保持体を廃して、金属板の折曲部位に引張りばねの一端部を直接取着し、金属板を引っ張るようにしても良い。
【０１２１】
すなわち、金属板を、ジグザグ状に曲折された状態で、引張りばねを介して筐体に取り付け、引張りばねの一方の端部を金属板の曲折部位に取着し、引張りばねの他方の端部を筐体の内壁に取着するようにしても良い。
また、発熱体としての金属板を、弾性保持手段としての引張りばねによって引っ張る方向としては、発熱領域の長さ方向に沿った右方向、左方向に限らず、上方向、下方向も含む任意の方向とすることができる。
【０１２２】
また、金属ヒータの各発熱領域の中間部を絶縁性の中間保持体の溝部に差し込んで発熱領域同士の離隔を維持する場合について述べたが、金属ヒータの各発熱領域の中間部に、ヒータユニットの正面側から見て横方向に沿って中心が一致するように嵌入孔を形成し、嵌入孔に絶縁性の棒状部材を嵌入させて、金属板を固定するようにしても良い。ここで、棒状部材は、中空であっても良いし、少なくとも外表面が絶縁層であれば良い。
この場合、金属ヒータの両側部の曲折部に、可動保持体を配置して、両側に引っ張るように構成しても良い。
【０１２３】
また、金属ヒータの隣接する発熱領域同士の離隔は一定としなくても良いし、発熱領域同士は、必ずしも平行としなくても良い。また、隣接する発熱領域同士で、一部接触させても良いし、重ね合わせるようにしても良い。
また、曲折部で、円弧状に折曲させる場合について述べたが、例えば、鋭角に折り曲げても良い。
【０１２４】
また、金属板の両端部は、固定しても良いし、例えば、金属板の端部を巻取軸部に巻き付け、巻取軸部に所定のトルクを与えて、金属板を引っ張るようにしても良い。また、可動保持体及び固定保持体は、中空部材であっても中実部材であっても良い。
【０１２５】
また、長尺な金属板を複数部位で曲折させて、空気が通流される複数の層状空間を形成する場合について述べたが、例えば、複数毎の金属板を所定の離隔を保つように互いに平行に並列配置して、複数の層状空間を形成するようにしても良い。この場合、各金属板を別々に引っ張っても良いし、両側部で連結して、纏めて引っ張るようにしても良い。
また、有面突起が、山部では上方に、谷部では下方に相当する列状凹部側に設けられるように貫通孔を形成するようにしても良い。
【０１２６】
また、ヒータユニットは、４基に限らず、５基以上空気の通流方向に直交する平面上に配置しても良いし、３基以下としても良い。配置形状も流路の断面形状に合わせて、略正方形状としても良いし長方形状としても良い。
また、加熱部は、循環経路に沿って、吸着除去部の前段側に配置しても良いし、触媒担持部の後段側に配置しても良いし、複数箇所に配置しても良い。
【０１２７】
また、円柱状の可動保持体及び固定保持体に代えて、所定の幅の角柱状の部材又は平板状の部材を配置しても良い。また、可動保持体及び固定保持体は、回転可能であっても固定されていても良い。
また、触媒担持部と、加熱部とは、必ずしも、吸着除去部の近傍に配置されていなくても良く、例えば、触媒担持部及び加熱部を、分岐管内に配置するようにしても良いし、両方に配置しても良い。
【０１２８】
また、第１の実施例で、ヒータユニットを複数並べて用いる場合に、ヒータユニット毎に断熱部を設けても良いし、断熱部を共通としても良い。
また、第１の実施例で、可動保持体の端部同士、及び固定保持体の端部同士を電気的に接続し、金属ヒータの上部及び下部の曲折部同士を接続する場合について述べたが、全ての可動保持体の端部同士、固定保持体の端部同士を電気的に絶縁するようにしても良いし、一部接続するようにしても良い。これによって、金属ヒータ全体の抵抗値を調整することができる。
【０１２９】
また、第１の実施例で、温度に応じて、自動的に可動保持体の端部同士、固定保持体の端部同士を電気的に接続又は絶縁して、金属ヒータ全体の抵抗値を変化させて、発熱量を制御するようにしても良い。
また、第１の実施例で、ＶＯＣ処理部は、２基に限らず、３基以上設けても良い。この場合に、同時に複数基で、吸着除去処理を行っても良いし、同時に複数基で、再生処理を行っても良い。
【０１３０】
また、第２の実施例では、２つのヒータユニットを通流方向に沿って各発熱領域が平面視で井形状に配置する場合について述べたが、単一のヒータユニットで、金属ヒータを井形状に複数段配置するようにしても良い。
また、隣接するヒータユニット同士で、金属板の各発熱領域の幅方向を略同一として、厚さ方向にずらして、配置するようにしても良い。
【０１３１】
また、第４の実施例で、加熱部の両金属ヒータを中間部で接続し、温度分布を均一化する場合について述べたが、中間部の接続位置を切換可能としても良い。また、中間部の接続位置は、複数であっても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１３２】
塗装工場や、印刷工場、化学工場等のほか、事務所や店舗、住宅等で、悪臭が発生する場所に設置されるＶＯＣ除去装置において用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３３】
【図１】この発明の第１の実施例であるＶＯＣ除去装置のＶＯＣ処理部のヒータユニットの構成を示す正面図である。
【図２】同ＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
【図３】同ＶＯＣ除去装置の構成を示す側面図である。
【図４】同ヒータユニットの構成を示す斜視図である。
【図５】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図６】同ヒータユニットの金属ヒータが可動保持体によって保持される様子を一部破断して示す斜視図である。
【図７】同ヒータユニットの中間保持体の構成を一部破断して示す断面図である。
【図８】図１のＢ部を拡大して示す拡大断面図である。
【図９】同ヒータユニットの金属ヒータの構成を示す斜視図である。
【図１０】同ＶＯＣ除去装置の構成を示すブロック図である。
【図１１】同ＶＯＣ除去装置の監視・制御装置の構成を示す正面図である。
【図１２】同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【図１３】同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【図１４】この発明の第２の実施例であるＶＯＣ除去装置のヒータユニットの要部の構成を一部破断して示す斜視図である。
【図１５】同ヒータユニットを構成を説明するための正面図である。
【図１６】この発明の第３の実施例であるＶＯＣ除去装置の加熱部の構成を説明するための説明図である。
【図１７】同加熱部のヒータユニットの金属ヒータの構成を説明するための斜視図である。
【図１８】同金属ヒータの構成を説明するための正面図である。
【図１９】この発明の第４の実施例であるＶＯＣ除去装置の加熱部の構成を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【０１３４】
１      ＶＯＣ除去装置（排ガス処理装置）
８      ＶＯＣ処理部
１４      入口側ダンパ（流路切換手段の一部）
１５      出口側ダンパ（流路切換手段の一部）
１６      再生用ダンパ（流路切換手段の一部）
２３      ヒータユニット
２４      吸着除去部（吸着処理部）
２５，２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ      加熱部（加熱装置）
２６      触媒充填部（分解処理部）
２８      金属ヒータ
２９      波型金属板（金属板）
３３      筐体（容器）
３６ａ，３６ｂ，１０５，１０６    発熱領域（発熱板）
３７      曲折部（曲折部位）
３８      層状空間
５３      引張りばね（弾性保持手段）
５４      固定保持体
６１      可動保持体
６３      中間保持体
６４，６５      保持体取付板（取付け板）
１０３，１０４      金属ヒータ（通電発熱体）
１１５      波型金属板（帯状発熱板）
１１６      平型金属板（帯状発熱板）
１１７，１１８，１１７Ｃ，１１８Ｃ      金属ヒータ（通電発熱体）
Ｈa，Ｈb      貫通孔
ｐa，ｐb      有面突起
【図１】
2009101333.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2009101333.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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