(57)【要約】【課題】ガラス基板を傾斜搬送して現像を行う現像にて、ガラス基板のサイズが大型化しても、面内現像均一性の良好なカラーフィルタを製造する現像方法、現像装置を提供する。【解決手段】傾斜下部（谷側）ｂに吐出する現像液の吐出圧力が、傾斜上部（山側）側ａに吐出する現像液の吐出圧力よりも高いこと。複数の現像チャンバーで構成される際に第一現像チャンバーにて傾斜下部（谷側）の吐出圧力が高いこと。斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも２倍高く、傾斜下部（谷側）の現像シャワーノズル４２数が前記式（１）により算出された割合（％）であること。上記現像方法を用いた現像装置。【選択図】図５
2009128867.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像装置を用いた現像方法において、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも高いことを特徴とする現像方法。
【請求項２】
前記現像装置の現像チャンバーが、複数の現像チャンバーで構成され、ガラス基板の表面への最初の現像を行う第一現像チャンバーにおいてのみ、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも高いことを特徴とする請求項１記載の現像方法。
【請求項３】
前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも２倍高く、且つ現像スプレイの全現像シャワーノズル数１００％に対し、傾斜下部（谷側）の現像シャワーノズル数が、下記式（１）により算出された割合（％）であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の現像方法。
【数１】
2009128867.tif 000007
【請求項４】
ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像装置において、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも高いことを特徴とする現像装置。
【請求項５】
前記現像装置の現像チャンバーが、複数の現像チャンバーで構成され、ガラス基板の表面への最初の現像を行う第一現像チャンバーにおいてのみ、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも高いことを特徴とする請求項４記載の現像装置。
【請求項６】
前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも２倍高く、且つ現像スプレイの全現像シャワーノズル数１００％に対し、傾斜下部（谷側）の現像シャワーノズル数が、下記式（１）により算出された割合（％）であることを特徴とする請求項４又は請求項５記載の現像装置。
【数２】
2009128867.tif 000008
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造の現像に関するものであり、特に、ガラス基板の傾斜処理による現像方法において、ガラス基板のサイズが、例えば、２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像方法及び現像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置用カラーフィルタの製造に用いられる現像装置としては、ガラス基板を枚葉で水平搬送してウエット処理を行う現像装置が広く用いられてきた。
しかし、マザーガラスのサイズが大型化するにつれ、スプレイノズルの揺動とガラス基板の揺動によってガラス基板上の液置換効率、すなわち、ガラス基板上の液をガラス基板外へ払い落とす際に十分な効率を得ることは次第に困難なものとなってきた。また、液置換効率の悪化は純水置換における純水使用量の増加を招いていた。
【０００３】
このため、第５世代（ガラス基板のサイズ、例えば、１１００×１３００ｍｍ）以上の大型ガラス基板でのカラーフィルタの製造に用いられる現像装置としては、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態を保ったままでウエット処理を行う現像装置が用いられるようになった。
ガラス基板を傾斜処理すると、重力による液流がガラス基板上に生じ、基本的にはガラス基板上の液滞留がなくなり、現像液の置換効率、及び純水の置換効率が向上したものとなる。
【０００４】
図１は、傾斜処理を行う現像装置の一例を示す平面図である。図１に示すように、この現像装置（１０）は、現像を行う現像チャンバー（２０）と水洗を行う水洗チャンバー（３０）で構成されている。
ガラス基板（図示せず）は、図１中、矢印で示すように、現像装置（１０）の左方から搬送され、現像チャンバー（２０）にて現像、水洗チャンバー（３０）にて水洗が行われ、次工程へと搬送される。
【０００５】
図２は、現像チャンバー（２０）の内部における現像スプレイ（２３）とガラス基板（１）の関係を説明する平面図である。また、図３は、図２中、白太矢印で示す方向からの搬送ローラー（２４）と現像スプレイ（２３）とガラス基板（１）の関係を説明する側面図である。図３中、白太矢印で示す方向からの上面が、図２に相当する。
【０００６】
図２及び図３に示すように、搬送ローラー（２４）は、ガラス基板（１）の搬送方向の幅方向に傾斜して設けられている。図２中、左方から搬送ローラー（２４）に搬送されたガラス基板（１）は、搬送されるガラス基板（１）の幅方向の左辺を傾斜上部（山側）（ａ）とし、右辺を傾斜下部（谷側）（ｂ）として傾斜搬送され、傾斜状態を保ったまま処理が行われる例である。
【０００７】
現像スプレイ（２３）は、ガラス基板（１）の搬送路の上方に、搬送ローラー（２４）の傾斜角度（θ）と同一の傾斜角度で、すなわち、搬送ローラー（２４）の軸方向と平行に設けられている。現像スプレイ（２３）の幅方向（Ｙ軸方向）には、複数個の現像シャワーノズル（２２）が一直線状に設けられ、この一直線状の列が搬送路の方向（Ｘ軸方向）に複数列設けられている。
現像シャワーノズル（２２）は現像スプレイ（２３）の下面に設けられているが、説明上、図２では実線で表している。
現像スプレイ（２３）は、傾斜搬送されてくるガラス基板（１）の表面に向け、現像シャワーノズル（２２）から現像液を吐出し、現像が行われる。
【０００８】
現像を傾斜処理で行うことによって、図３に矢印で示すように、ガラス基板（１）の表面に吐出された現像液は、ガラス基板上に滞留することはなくなり、現像液は傾斜下部（谷側）（ｂ）へ流れ、ガラス基板の表面には常に新しい現像液が供給される。
これにより、現像時間は短縮され、また、面内現像均一性（面内線幅均一性）は向上したものとなる。
【０００９】
しかしながら、液晶表示装置用カラーフィルタを製造するマザーガラスのサイズが更に大型化して、第８世代（ガラス基板のサイズ、例えば、２１６０×２４６０ｍｍ）の大型ガラス基板になると、従来の構造による現像装置を用いたのでは、面内現像均一性（面内線幅均一性）を保つことが困難なものとなってきた。
【００１０】
これは、ガラス基板の第８世代への大型化により、新しい現像液がガラス基板に、特に傾斜下部（谷側）（ｂ）に効率よく供給することができなくなり、ガラス基板の幅方向の現像液の置換効率が悪化し、例えば、傾斜下部（谷側）（ｂ）では線幅が太くなるといった、ガラス基板の幅方向の傾斜上部（山側）と傾斜下部（谷側）とで線幅バラツキが大きくなるためである。
【００１１】
また、傾斜下部（谷側）（ｂ）では、傾斜上部（山側）（ａ）から流れてくる現像液によって現像液の液膜が厚くなるが、ガラス基板の長さ方向（搬送方向）の先端部（図４に示す符号（ｄ））から末端部（図４に示す符号（ｆ））にいくほど先端部からの現像液で液膜が厚くなる。このため、末端部（ｆ）にいくほど新しい現像液が効率よく供給することができなくなり、線幅バラツキが大きくなる。そして傾斜下部（谷側）（ｂ）の末端部（ｆ）においては線幅は極大となる（図４中、×印〜×××印）。
【特許文献１】特開平８−１２０４６８号公報
【特許文献２】特願２００７−１７０１３１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態のまま現像及び水洗を行う現像方法において、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像方法を提供することを課題とする。
【００１３】
また、本発明は、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態のまま現像及び水洗を行う現像装置において、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明における第一の発明は、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像装置を用いた現像方法において、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐
出圧力よりも高いことを特徴とする現像方法である。
【００１５】
また、本発明は、上記発明による現像方法において、前記現像装置の現像チャンバーが、複数の現像チャンバーで構成され、ガラス基板の表面への最初の現像を行う第一現像チャンバーにおいてのみ、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも高いことを特徴とする現像方法である。
【００１６】
また、本発明は、上記発明による現像方法において、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも２倍高く、且つ現像スプレイの全現像シャワーノズル数１００％に対し、傾斜下部（谷側）の現像シャワーノズル数が、下記式（１）により算出された割合（％）であることを特徴とする現像方法である。
【００１７】
【数３】
2009128867.tif 000003
本発明における第二の発明は、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像装置において、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも高いことを特徴とする現像装置である。
【００１８】
また、本発明は、上記発明による現像装置において、前記現像装置の現像チャンバーが、複数の現像チャンバーで構成され、ガラス基板の表面への最初の現像を行う第一現像チャンバーにおいてのみ、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも高いことを特徴とする現像装置である。
【００１９】
また、本発明は、上記発明による現像装置において、前記ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力よりも２倍高く、且つ現像スプレイの全現像シャワーノズル数１００％に対し、傾斜下部（谷側）の現像シャワーノズル数が、下記式（１）により算出された割合（％）であることを特徴とする現像装置である。
【００２０】
【数４】
2009128867.tif 000004
【発明の効果】
【００２１】
本発明における第一の発明は、ガラス基板を傾斜処理する現像方法において、ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力より高いので、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像方法となる。
また、本発明は、上記現像方法において、傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力より２倍高く、且つ前記式（１）により算出された割合（％）であるので、面内線幅均一性がより良好な現像方法となる。
【００２２】
本発明における第二の発明は、ガラス基板を傾斜処理する現像装置において、ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力より高いので、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像装置となる。
また、本発明は、上記現像装置において、傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力より２倍高く、且つ前記式（１）により算出された割合（％）であるので、面内線幅均一性がより良好な現像装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明者は、ガラス基板が第８世代へと大型化することにより、ガラス基板の幅方向の現像液の置換効率が悪化し、ガラス基板の幅方向の傾斜上部（山側）と傾斜下部（谷側）とで線幅バラツキが大きくなる状態を精査した結果、ガラス基板の幅方向が大きくなると、傾斜下部（谷側）には傾斜上部（山側）から流れてきた現像液が液膜として滞留し、新たに吐出された現像液がガラス基板の表面にあたりにくい状況にあることを見出した。
【００２４】
また、傾斜下部（谷側）では、ガラス基板の長さ方向（搬送方向）の先端部から末端部にいくほど先端部からの現像液で液膜が厚く滞留する。このため、末端部にいくほど新たに吐出された現像液がガラス基板の表面にあたりにくい状況にあることを見出した。
【００２５】
図５は、本発明による現像方法において用いられる現像装置の一例の、現像チャンバー（２０）内部における現像スプレイ（４３）とガラス基板（１）の関係を説明する平面図である。図５に示すように、現像スプレイ（４３）は、ガラス基板（１）の搬送路の上方に、搬送ローラー（２４）の傾斜角度と同一の傾斜角度で、すなわち、搬送ローラー（２４）の軸方向と平行に設けられている。現像スプレイ（４３）の幅方向（Ｙ軸方向）には、複数個の現像シャワーノズルが一直線状に設けられ、この一直線状の列が搬送路の方向（Ｘ軸方向）に複数列設けられている。
現像スプレイは、傾斜搬送されてくるガラス基板（１）の表面に向け、現像シャワーノズルから現像液を吐出し、現像が行われる。
【００２６】
一直線状に設けられる現像シャワーノズルは、ガラス基板（１）の傾斜下部（谷側）に対応した現像シャワーノズル（４２）と、ガラス基板（１）の該傾斜下部（谷側）よりも傾斜上部（山側）側に対応した現像シャワーノズル（２２）とで構成されている。
現像シャワーノズル（４２）が吐出する現像液の吐出圧力は、現像シャワーノズル（２２）が吐出する現像液の吐出圧力より高いものとなっている。この現像シャワーノズル（４２）の吐出圧力は、現像シャワーノズル（２２）の吐出圧力より２倍程度高いものが好ましい。
【００２７】
また、図５に示す現像装置の一例における搬送ローラー（２４）及び現像スプレイ（４３）の水平面からの傾斜角度は、６°であることからして、前記式（１）により算出された傾斜下部（谷側）に対応した現像シャワーノズル（４２）を２５％としたものである。図５において、Ｙ軸方向の現像シャワーノズル（２２）数（Ｂ）と現像シャワーノズル（４２）数（Ｃ）との和（Ａ）に対して、Ｃ／Ａ≒２５％としたものである。
【００２８】
本発明における現像スプレイ（４３）を用いることによって、ガラス基板（１）の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力より高くなり、傾斜上部（山側）から流れてきた現像液が液膜として傾斜下部（谷側）に滞留していても、新たに吐出された現像液がガラス基板の表面に効率よく供給することができ、ガラス基板の幅方向の傾斜上部（山側）と傾斜下部（谷側）とで線幅バラツキを小さくすることができる。
【００２９】
また、傾斜下部（谷側）では、ガラス基板の長さ方向（搬送方向）の先端部から末端部にいくほど現像液の液膜が厚く滞留していても、新たに吐出された現像液がガラス基板の表面に効率よく供給することができ、長さ方向（搬送方向）での線幅バラツキを小さくすることができるものとなる。
【００３０】
具体的には、図５に示す現像スプレイ（４３）を用いることによって、ガラス基板の線幅バラツキは大幅に減少した結果が得られている。表１に示すように、図２に示す従来の現像スプレイ（２３）を用いた際のガラス基板の線幅の範囲は、３．２２μｍであったものが、現像スプレイ（４３）を用いた実施例にては、範囲１．２４μｍと大幅に向上したものが得られている。
尚、使用したガラス基板は、図６に示すように、幅（Ｗ）２１６０×長さ（Ｌ）２４６０ｍｍのサイズのものであり、測定点はｐ〜ｔの５ヵ所である。測定値を表２に示す。
【００３１】
【表１】
2009128867.tif 000005
【００３２】
【表２】
2009128867.tif 000006
また、請求項２に係わる発明は、現像装置の現像チャンバーが複数の現像チャンバーで構成される際に、ガラス基板の表面への最初の現像を行う第一現像チャンバーにおいてのみ、ガラス基板の傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力が、該傾斜下部（谷側）の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出圧力より高くしたことを特徴としている。最初の第一現像チャンバーにおいて傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力を高めておくことによって、第一現像チャンバー以降においては傾斜下部（谷側）に吐出する現像液の吐出圧力を高めなくとも、概ね、線幅バラツキの小さい良好な結果が得られている。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】傾斜処理を行う現像装置の一例を示す平面図である。
【図２】現像チャンバーの内部における現像スプレイとガラス基板の関係を説明する平面図である。
【図３】図２中、白太矢印で示す方向からの搬送ローラーと現像スプレイとガラス基板の関係を説明する側面図である。
【図４】傾斜下部（谷側）での現像液の液膜の説明図である。
【図５】本発明による現像方法において用いられる現像装置の一例の、現像スプレイとガラス基板の関係を説明する平面図である。
【図６】ガラス基板の測定点の説明図である。
【符号の説明】
【００３４】
１・・・ガラス基板
１０・・・現像装置
２０・・・現像チャンバー
２２、４２・・・現像シャワーノズル
２３、４３・・・現像スプレイ
２４・・・搬送ローラー
３０・・・水洗チャンバー
４３・・・本発明における現像スプレイ
【図１】
2009128867.tif 000009
【図２】
2009128867.tif 000010
【図３】
2009128867.tif 000011
【図４】
2009128867.tif 000012
【図５】
2009128867.tif 000013
【図６】
2009128867.tif 000014