(57)【要約】【課題】複数のランプを光源に用いながらも、対象面に対してむらなく紫外線を照射することができる紫外線照射装置を提供する。【解決手段】発光回路６は、各キセノンランプ７から放射される紫外線の強度をそれぞれ検出するセンサ８と、実際に対象面に対して紫外線を照射する前に予め光源５を発光させる予備発光時にセンサ８で検出された紫外線の強度に基づいて、複数本のキセノンランプ７において放射される紫外線の強度が一律となるように各コンデンサＣ１に蓄積される電荷量をそれぞれ調整する電荷量調整手段９とを有する。電荷量調整手段９は、予備発光時に検出された紫外線強度が規定値よりも大きいキセノンランプ７に関しては、バイアス回路１０から各コンデンサＣ１の負極側に印加されるバイアス電圧を大きくすることでコンデンサＣ１に蓄積される電荷量を少なくする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象面に沿う平面内で並設された複数のキセノンランプを有し、対象面に紫外線を照射する光源と、各キセノンランプとそれぞれ並列に接続された複数個のコンデンサを有し、コンデンサに蓄積された電荷をキセノンランプに流すことで前記複数のキセノンランプを一斉に発光させる発光回路とを備え、発光回路は、各キセノンランプから放射される紫外線の強度をそれぞれ検出するセンサと、対象面に紫外線を照射する前に光源を発光させる予備発光を行い、前記予備発光時にセンサで検出された紫外線の強度に基づいて、前記複数のキセノンランプにおいて放射される紫外線の強度が一律となるように各コンデンサに蓄積される電荷量をそれぞれ調整する電荷量調整手段とを有することを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
前記発光回路は、前記複数のキセノンランプにおいて１回の発光における紫外線の光量が一律となるように、前記センサで検出される紫外線の光量に基づいて、前記コンデンサに蓄積された電荷を各キセノンランプに流す時間の長さをそれぞれ調整する時間調整手段を有することを特徴とする請求項１記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
前記発光回路は、前記予備発光時に前記センサで紫外線が検出されたタイミングに基づいて、前記複数のキセノンランプが発光を開始するタイミングが同時になるように、前記コンデンサに蓄積された電荷を各キセノンランプに流し始めるタイミングをそれぞれ調整するタイミング調整手段を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の紫外線照射装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象面に対して紫外線を照射する紫外線照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＣＤやＤＶＤ等の光記録媒体を製造する工程には、紫外線硬化性の接着剤を用いて２枚のディスク基板を貼り合わせる工程が含まれている。そのため、光記録媒体の製造に際しては、対象面（光記録媒体の一表面）に紫外線を照射することで接着剤を硬化させる紫外線照射装置が必要となる。
【０００３】
この種の紫外線照射装置は、紫外線を照射する光源（たとえばキセノンランプ）を光源として備え、光源を前記対象面に対向させた状態で光源を発光させることにより前記接着剤を硬化させる。
【０００４】
ここにおいて、接着剤の硬化むらをなくすことが求められるので、たとえば図８に示すように光記録媒体よりも大きい直径を有する螺旋状に形成されたランプ７’を光源として用いることで、対象面全域に均一に紫外線を照射できるようにした紫外線照射装置が提案されている（たとえば特許文献１参照）。
【０００５】
ところで、引用文献１に記載されているような特殊な形状の（ここでは螺旋状）のランプ７’は、光記録媒体の形状等の仕様に合わせて設計される専用品であって、たとえば光記録媒体の仕様変更に伴い対象面に照射する紫外線強度の向上が要求されても、容易に紫外線の放射強度を向上できるものではない。
【０００６】
そこで、たとえば直管形のランプを対象面に沿う平面内で幅方向に複数並設し、対象面の全域で紫外線の照度が均一となるように前記複数のランプを同時に発光させることが考えられる。この構成では、ランプの本数を増やすことで光源から放射される紫外線強度の向上を図ることができるので、対象面に照射する紫外線の強度を容易に向上することができる。
【特許文献１】特表２００２−５２８８４６号公報（第４〜６頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上述したように複数のランプを同時に発光させる場合、ランプの個体差等に起因してランプごとに放射される紫外線の強度にばらつきがあると、対象面において紫外線の照度にむらが生じるという問題がある。
【０００８】
本発明は上記事由に鑑みてなされたものであって、複数のランプを光源に用いながらも、対象面に対してむらなく紫外線を照射することができる紫外線照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、対象面に沿う平面内で並設された複数のキセノンランプを有し、対象面に紫外線を照射する光源と、各キセノンランプとそれぞれ並列に接続された複数個のコンデンサを有し、コンデンサに蓄積された電荷をキセノンランプに流すことで前記複数のキセノンランプを一斉に発光させる発光回路とを備え、発光回路が、各キセノンランプから放射される紫外線の強度をそれぞれ検出するセンサと、対象面に紫外線を照射する前に光源を発光させる予備発光を行い、前記予備発光時にセンサで検出された紫外線の強度に基づいて、前記複数のキセノンランプにおいて放射される紫外線の強度が一律となるように各コンデンサに蓄積される電荷量をそれぞれ調整する電荷量調整手段とを有することを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、発光回路は、対象面に紫外線を照射する前に光源を発光させる予備発光を行い、予備発光時にセンサで検出された紫外線の強度に基づいて、前記複数のキセノンランプにおいて放射される紫外線の強度が一律となるように各コンデンサに蓄積される電荷量をそれぞれ調整する電荷量調整手段を有するので、複数のキセノンランプを光源に用いながらも、これら複数のキセノンランプにおける紫外線の強度のばらつきを抑えることにより、対象面に対してむらなく紫外線を照射することができる。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記発光回路が、前記複数のキセノンランプにおいて１回の発光における紫外線の光量が一律となるように、前記センサで検出される紫外線の光量に基づいて、前記コンデンサに蓄積された電荷を各キセノンランプに流す時間の長さをそれぞれ調整する時間調整手段を有することを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、時間調整手段が、コンデンサに蓄積された電荷を各キセノンランプに流す時間の長さをそれぞれ調整することにより、複数のキセノンランプにおいて１回の発光における紫外線の光量を一律とすることができるので、対象面に照射する紫外線の光量を対象面の全域で均一とすることができる。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明において、前記発光回路が、前記予備発光時に前記センサで紫外線が検出されたタイミングに基づいて、前記複数のキセノンランプが発光を開始するタイミングが同時になるように、前記コンデンサに蓄積された電荷を各キセノンランプに流し始めるタイミングをそれぞれ調整するタイミング調整手段を有することを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、タイミング調整手段が、コンデンサに蓄積された電荷を各キセノンランプに流す始めるタイミングをそれぞれ調整することにより、複数のキセノンランプが発光を開始するタイミングを同時にすることができるので、対象面に対する紫外線の照射を対象面の全域で同時に開始することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、複数のランプを光源に用いながらも、対象面に対してむらなく紫外線を照射することができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下の各実施形態では、ＣＤやＤＶＤ等の光記録媒体の製造に際し、紫外線硬化性の接着剤を用いて２枚の円板状のディスク基板を貼り合わせる工程で用いられる紫外線照射装置について説明するが、これに限らず、本発明は、たとえばブルーレイディスクの製造やその他の用途で使用される紫外線照射装置にも適用することができる。
【００１７】
（実施形態１）
本実施形態の紫外線照射装置１は、図２に示すように、光記録媒体２が載置される載置台３と、載置台３に載置された光記録媒体２の一表面（以下、対象面４という）と対向するように載置台３の上方に配置され、対象面４に対して紫外線を照射する光源５と、光源５を発光させる発光回路６（図１参照）とを備えている。
【００１８】
光源５は、直管形の管内にキセノン（Ｘｅ）ガスが封入されたロングアーク形キセノンランプ７を、対象面４に沿う面内で幅方向に複数本並設することで構成される。これら複数本のキセノンランプ７は、図示しない筐体によって保持される。以下、キセノンランプ７が並ぶ方向を横方向Ｘ、キセノンランプ７の軸方向を縦方向Ｙという。
【００１９】
ここで、キセノンランプ７は横方向Ｘに等間隔で配列されており、複数本のキセノンランプ７が配置される範囲は、横方向Ｘと縦方向Ｙとの両方向において少なくとも対象面（光記録媒体２の一表面）４より広く設定される。
【００２０】
発光回路６は、図１に示すように高圧の直流電圧が印加される入力端子Ｔｐ，Ｔｍ間において各キセノンランプ７とそれぞれ並列に接続されたコンデンサＣ１を有し、コンデンサＣ１にチャージされた電荷を、外部からのトリガ信号に応じてキセノンランプ７の一対の電極７ａ，７ｂ間に流すことによって、キセノンランプ７をカメラのフラッシュと同様に瞬間的に発光させるものである。
【００２１】
具体的に説明すると、発光回路６はキセノンランプ７と並列に接続された抵抗Ｒ１およびサイリスタＴｈ１の直列回路と、サイリスタＴｈ１と並列に接続されたトランスＴ１の１次巻線ｎ１およびコンデンサＣ２の直列回路とを備える。ここで、トランスＴ１の２次巻線ｎ２は、キセノンランプ７に近接配置された電極７ｃとキセノンランプ７の一方の電極７ｂとの間に接続される。しかして、サイリスタＴｈ１のゲート端子にトリガ信号が与えられてサイリスタＴｈ１がオンすると、サイリスタＴｈ１がオフの状態でコンデンサＣ２にチャージされた電荷がトランスＴ１の１次巻線ｎ１に流れ、これにより、トランスＴ１の２次巻線ｎ２からキセノンランプ７に高圧のトリガ電圧が印加され、コンデンサＣ１にチャージされた電荷がキセノンランプ７の一対の電極７ａ，７ｂ間に流れ始めることとなる。
【００２２】
上述した発光回路６は、対象面４の全域で紫外線の照度が均一となるように複数本のキセノンランプ７を一斉に発光させ、これにより、対象面４に対してむらなく紫外線を照射することができる。なお、図１では１本のキセノンランプ７に対応する回路構成のみを図示しているが、実際には、図１と同様の回路が各キセノンランプ７ごとに設けられ、且つ前記複数本のキセノンランプ７が一斉に発光するように各サイリスタＴｈ１にトリガ信号を与えるタイミングが互いに関連付けられているものとする。
【００２３】
上記構成の紫外線照射装置１を用いれば、光記録媒体２を構成する２枚のディスク基板（図示せず）を紫外線硬化性の接着剤を挟んで重ね合わせた状態で載置台３上に載置し、光源５を発光させることによって接着剤を紫外線により硬化させることができる。なお、各ディスク基板はそれぞれ光記録媒体２の読書き用のレーザ光を透過させる透明樹脂材料（たとえばポリカーボネート）から形成されており、したがって、紫外線照射装置１からの紫外線はディスク基板を透過して接着剤に照射することとなる。
【００２４】
また、本実施形態の紫外線照射装置１は、図３（ａ）に示すように紫外線を反射する反射板Ｒｅｆを対象面４との間に光源５を介在させる位置に備え、光源５から後方（図の上方）に放射された紫外線が反射板Ｒｅｆにて対象面４に向けて反射されるように構成されている。
【００２５】
ここに、反射板Ｒｅｆは、縦方向Ｙに直交する断面が、図３（ａ）に示すように各キセノンランプ７に対応する位置でそれぞれ対象面４側に凸となり、且つ隣接する２本のキセノンランプ７の中間に対応する位置でそれぞれ対象面４と反対側に凸となる形に湾曲している。つまり、反射板Ｒｅｆにおける対象面４側の一面は、横方向Ｘにおいて起伏を繰り返す連続した曲面を成す。これにより、各キセノンランプ７から放射され反射板Ｒｅｆにて反射された紫外線は、主として図３（ａ）に破線で示すように対象面４上において隣接する２本のキセノンランプ７の中間付近に対応する位置に照射されることとなる。
【００２６】
しかして、対象面４のうち、横方向Ｘにおいて各キセノンランプ７に対応する位置には主として光源５からの直接光が照射し、隣接する２本のキセノンランプ７の中間付近に対応する位置には主として反射板Ｒｅｆでの反射光が照射することで、図３（ｂ）に示すように対象面４の全域において紫外線の照度が略均一となる。なお、図３（ｂ）では、縦軸を照度、横軸を横方向Ｘの位置として、図３（ａ）に示す対象面４上における各キセノンランプ７からの紫外線（反射板での反射光を含む）の照度を表している。
【００２７】
このように、本実施形態では光源５の後方に反射板Ｒｅｆを設けることで、光源５から後方に放射された紫外線も反射板Ｒｅｆで反射して対象面４に照射させるようにしてあるから、光源５から放射される紫外線の利用効率が高くなる。
【００２８】
ところで、上述したように光源５として複数本のキセノンランプ７を用いる場合、キセノンランプ７の個体差等によりキセノンランプ７ごとに紫外線の放射強度のばらつきがあると、対象面４において紫外線の照度にむらが生じることとなる。そこで、本実施形態では、キセノンランプ７ごとに放射される紫外線の強度のばらつきを抑えるように、以下の構成を採用している。
【００２９】
すなわち、発光回路６は、図４に示すように各キセノンランプ７から放射される紫外線の強度をそれぞれ検出する複数のセンサ８と、センサ８で検出された紫外線の強度に基づいて、複数本のキセノンランプ７において放射される紫外線の強度が一律となるように各コンデンサＣ１に蓄積される電荷量をそれぞれ調整する電荷量調整手段９とを有する。電荷量調整手段９は、実際に対象面４に対して紫外線を照射する前に予め光源５を発光（以下、予備発光という）させるように各サイリスタＴｈ１にトリガ信号を与えるトリガ部９ａと、予備発光時にセンサ８で検出された紫外線強度に基づいて複数本のキセノンランプ７間における紫外線強度のばらつきを判断する判断部９ｂと、判断部９ｂでの判断結果を用いて前記紫外線強度のばらつきをなくすように各コンデンサＣ１に蓄積される電荷量をそれぞれ調整する制御部９ｃとを具備している。
【００３０】
センサ８は、図３（ａ）に示すように反射板Ｒｅｆの裏面側（キセノンランプ７と反対側）であって、各キセノンランプ７における縦方向Ｙの中央部に対応する位置にそれぞれ配設されている。反射板Ｒｅｆのうち各センサ８に対応する部位にはそれぞれ孔が形成され、この孔を通して各キセノンランプ７から照射する紫外線が各々に対応するセンサ８でそれぞれ検出されることとなる。そのため、予備発光時において複数本のキセノンランプ７を一斉に発光させても、各センサ８はそれぞれ対応するキセノンランプ７から照射される紫外線強度を個別に検出することができる。ただし、予備発光時においては各キセノンランプ７を１本ずつ発光させるようにしてもよい。
【００３１】
さらに詳しく説明すると、ここでは図１に示すように各コンデンサＣ１の負極側の一端と負極側の入力端子Ｔｍとの間にバイアス電圧を印加するバイアス回路１０がそれぞれ設けられており、電荷量調整手段９は、予備発光時に検出された紫外線強度が規定値よりも大きいキセノンランプ７に関しては、当該キセノンランプ７と並列接続されたコンデンサＣ１にかかる前記バイアス電圧を大きくすることで、当該コンデンサＣ１に蓄積される電荷量を少なくする。コンデンサＣ１に蓄積される電荷量が低減すると、当該コンデンサＣ１に蓄積された電荷によって発光するキセノンランプ７からの紫外線強度は低下することとなるから、結果的に、実際に対象面４に対して紫外線を照射する際には、複数本のキセノンランプ７からの紫外線の強度を規定値に揃えることができる。
【００３２】
なお、ここでは前記バイアス電圧がキセノンランプ７に印加されることがないように、コンデンサＣ１の充電時と放電時とでコンデンサＣ１の充放電経路を切り替える切替手段１１を設けてある。切替手段１１は、コンデンサＣ１の放電時にはコンデンサＣ１の負極側の一端をバイアス回路１０を介して入力端子Ｔｍに接続し、コンデンサＣ１の放電時にはコンデンサＣ１の負極側の一端を直接入力端子Ｔｍに接続する。
【００３３】
以上説明した本実施形態の構成によれば、光源５として、特殊な形状のランプでなく一般的に普及している直管形のキセノンランプ７を採用しながらも、対象面４の全域で紫外線の照度が均一とすることができ、対象面４に対してむらなく紫外線を照射することで接着剤の硬化むらをなくすことができるという利点がある。また、電荷量調整手段９が、予備発光時にセンサ８で検出された紫外線強度に基づいて、複数本のキセノンランプ７において紫外線の放射強度が一律となるように各コンデンサＣ１に蓄積される電荷量をそれぞれ調整しているから、キセノンランプ７ごとに放射される紫外線の強度のばらつきを抑えることができる。
【００３４】
（実施形態２）
本実施形態の紫外線照射装置１は、図５に示すようにセンサ８で検出される紫外線の光量に基づいて、複数本のキセノンランプ７において１回の発光により放射される紫外線の光量が一律となるように各コンデンサＣ１に蓄積された電荷を各キセノンランプ７に流す時間の長さをそれぞれ調整する時間調整手段１２を発光回路６に設けた点が実施形態１の紫外線照射装置１と相違する。
【００３５】
具体的に説明すると、時間調整手段１２は、各キセノンランプ７と並設に接続された低インピーダンスのアレスタ（バイパス管）１３をそれぞれ有するものであって、センサによって検出された紫外線強度の積算値（つまり光量）が所定値に達すると、前記アレスタ１３をトリガすることによって、それまでキセノンランプ７に流れていたコンデンサＣ１の放電電流をアレスタ１３でバイパスしキセノンランプ７を強制的に消灯する。図５の例では、時間調整手段１２はキセノンランプ７と並列に接続された抵抗Ｒ２およびサイリスタＴｈ２の直列回路と、サイリスタＴｈ２と並列に接続されたトランスＴ２の１次巻線およびコンデンサＣ３の直列回路とを備え、サイリスタＴｈ２のオン時に流れるコンデンサＣ３の放電電流によってアレスタ１３がトリガされるように構成される。ここで、サイリスタＴｈ２のゲート端子−カソード端子間には、センサ８の出力を積算する積算回路１４が接続されており、センサ８出力の積算値が所定値に達するとサイリスタＴｈ２がオンする。
【００３６】
以上説明した本実施形態の構成によれば、１回の発光において複数のキセノンランプ７からそれぞれ放射される紫外線の光量を一律に揃えることができるので、キセノンランプ７ごとに放射される紫外線の光量がばらつくことを防止でき、対象面４に照射する紫外線の光量を対象面４の全域で均一にすることが可能である。
【００３７】
その他の構成および機能は実施形態１と同様である。
【００３８】
（実施形態３）
本実施形態の紫外線照射装置１は、予備発光時にセンサ８で紫外線が検出されたタイミングに基づいて、複数本のキセノンランプ７が発光を開始するタイミングが同一タイミングとなるように各コンデンサＣ１に蓄積された電荷を各キセノンランプ７に流し始めるタイミングをそれぞれ調整するタイミング調整手段（図示せず）を発光回路６に設けた点が実施形態１の紫外線照射装置１と相違する。
【００３９】
具体的には、タイミング調整手段は、予備発光時にサイリスタＴｈ１にトリガ信号を与えてからセンサ８で紫外線が検出されるまでに要した時間（以下、応答時間という）を各キセノンランプ７ごとに測定し、応答時間が基準値よりも長いキセノンランプ７に関しては応答時間と基準値との差分だけトリガ信号を与えるタイミングを早め、一方、応答時間が基準値よりも短いキセノンランプ７に関しては応答時間と基準値との差分だけトリガ信号を与えるタイミングを遅延させる。したがって、実際に対象面４に対して紫外線を照射する際には、複数本のキセノンランプ７において発光を開始するタイミングを合わせることができる。
【００４０】
この構成によれば、複数本のキセノンランプ７において発光を開始するタイミングのばらつきを抑制することができ、結果的に、対象面４に対して紫外線が照射するタイミングのばらつきを抑制することができるという利点がある。
【００４１】
その他の構成および機能は実施形態１と同様である。
【００４２】
（実施形態４）
本実施形態の紫外線照射装置１は、反射板Ｒｅｆの形状が実施形態１の紫外線照射装置１と相違する。
【００４３】
本実施形態では、反射板Ｒｅｆは、縦方向Ｙに直交する断面が図６（ａ）に示すように各キセノンランプ７を囲む形状の楕円の一部を成している。ここに、各キセノンランプ７は対象面４に直交する方向（図６（ａ）の上下方向）において反射板Ｒｅｆの高さ寸法内に配置されている。これにより、各キセノンランプ７から放射された反射板Ｒｅｆにて反射された紫外線は、図６（ａ）に破線で示すように各キセノンランプ７の直下で集光されることとなる。
【００４４】
ここで、対象面４の手前に集光点が位置するように対象面４と反射板Ｒｅｆとの位置関係を設定すれば、反射板Ｒｅｆでの反射光は対象面４上で横方向Ｘに拡散することとなり、図６（ｂ）に示すように対象面４の全域において紫外線の照度が略均一となる。なお、図６（ｂ）では、縦軸を照度、横軸を横方向Ｘの位置として、図６（ａ）の対象面４上における各キセノンランプ７からの紫外線（反射板Ｒｅｆでの反射光を含む）の照度を表している。
【００４５】
その他の構成および機能は実施形態１と同様である。
【００４６】
（実施形態５）
本実施形態の紫外線照射装置１は、図７（ａ）に示すように複数本のキセノンランプ７を軸方向（縦方向Ｙ）に並設して光源５を構成した点が実施形態１の紫外線照射装置１と相違する。
【００４７】
ここにおいて、各キセノンランプ７の軸方向の各端部は、電極７ａ，７ｂが配設されているため、中央部に比べて紫外線の放射強度が小さくなる。そこで、本実施形態では、軸方向の各端部が対象面４から離れる向きに曲げられた形状のキセノンランプ７を採用している。すなわち、キセノンランプ７は、上記のような形状を有することから、一般的な直管形のキセノンランプ７（図２参照）に比べて、縦方向Ｙにおいて全長Ｌ１に対する発光長Ｌ２の比率が大きくなる。これにより、本実施形態の各キセノンランプ７は、直管形のキセノンランプ７に比べて、図７（ｂ）に示すように縦方向Ｙにおける紫外線の放射強度の分布がよい。
【００４８】
本実施形態の紫外線照射装置１は、上記のように紫外線放射強度の分布のよいキセノンランプ７が上記縦方向Ｙに一列に並んで設置されるので、隣接する２本のキセノンランプ７の継目部分で紫外線の放射強度が小さくなることを回避でき、対象面４上においては上記縦方向Ｙに対して長い範囲で紫外線の照射量の均一性を高めることができる。
【００４９】
図７（ａ）の例では、各キセノンランプ７から放射される紫外線強度を検出するセンサ８は、反射板Ｒｅｆの裏面側（キセノンランプ７と反対側）であって、各キセノンランプ７における縦方向Ｙの中央部に対応する位置にそれぞれ配設されている。
【００５０】
その他の構成および機能は実施形態１と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態１の構成を示す概略回路図である。
【図２】同上の構成を示す概略斜視図である。
【図３】同上の構成を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は対象面上の照度を表す説明図である。
【図４】同上の概略構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施形態２の構成を示す概略回路図である。
【図６】本発明の実施形態４の構成を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は対象面上の照度を表す説明図である。
【図７】本発明の実施形態５の構成を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は対象面上の照度を表す説明図である。
【図８】従来例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  紫外線照射装置
４  対象面
５  光源
６  発光装置
７  キセノンランプ
８  センサ
９  電荷量調整手段
１２  時間調整手段
Ｃ１  コンデンサ 
【図１】
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【図２】
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【図３】
2009262051.tif 000005
【図４】
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【図５】
2009262051.tif 000007
【図６】
2009262051.tif 000008
【図７】
2009262051.tif 000009
【図８】
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