(57)【要約】【課題】小型化された液体吐出基板と支持部材の液体供給穴近傍の接着封止信頼性の向上を図る。【解決手段】液体吐出基板１００の液体供給口１０２より支持部材１０の液体供給穴１１が大きく設定され、支持部材１０の液体供給穴１１の稜線部１２を含む開口内壁面が、液体吐出基板１００と支持部材１０を固定する接着剤５０または封止剤で覆われている。【選択図】図６
2009006552.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録液を供給する液体供給口と、該液体供給口から供給された記録液を吐出するための吐出口と、該記録液を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段とを備えた液体吐出基板と、
該液体吐出基板を支持する支持面を有し、前記液体吐出基板に液体を供給する液体供給穴を備えた支持部材とを有し、
前記液体吐出基板の前記液体供給口と前記支持部材の前記液体供給穴とが互いに連通され、前記液体供給口と前記液体供給穴の連結部周囲が封止剤により封止されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記支持部材の前記液体供給穴の開口は、前記液体吐出基板の前記液体供給口の開口よりも大きく、かつ、前記支持部材の前記液体吐出基板を配置する側の前記液体供給穴の稜線部を含む内壁部は前記封止剤により覆われていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記液体吐出基板の前記支持面に支持される側の面に設けられた電極と前記支持部材の前記支持面に設けられた電極とが互いに電気的な接続部材で接合されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
記録液を供給する液体供給口と、該液体供給口から供給された記録液を吐出するための吐出口と、該記録液を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段と、該吐出エネルギー発生手段に電力と駆動信号を供給するための第１の電極端子とを備えた液体吐出基板と、
該液体吐出基板を支持する支持面を有し、該支持面に前記第１の電極端子と接続する第２の電極端子を備えた支持部材とを有し、
前記支持部材は、導体配線とビアホールとが設けられたセラミックシートを複数枚積層してなり、前記支持面から、該支持面とは反対側の面あるいは前記支持部材の側面へ、前記液体吐出基板の前記液体供給口と連通して記録液を供給する液体供給穴が貫通し、前記液体吐出基板の前記液体供給口と前記液体供給穴とは互いに連通され、前記液体供給口と前記液体供給穴の連結部周囲が封止剤により封止されている記録ヘッドにおいて、
前記支持部材の最表層セラミックシートに形成された前記液体供給穴の開口は、前記液体吐出基板の前記液体供給口の開口よりも大きく、かつ、その最表層セラミックシートに形成された前記液体供給穴は、少なくともその直下の層のセラミックシートに形成された前記液体供給穴の開口より大きく、
さらに、前記液体吐出基板の前記液体供給口と連通している前記最表層セラミックシートの前記液体供給穴における稜線部を含む内壁部は前記封止剤により覆われていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記液体吐出基板の前記第１の電極端子は、前記液体吐出基板における前記支持部材と対向する面に設けられていることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記液体吐出基板の前記液体供給口の稜線部が前記支持部材の前記液体吐出基板を配置する側の前記液体供給穴の内側にあることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドが搭載されたインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の記録液（以下、まとめて「インク」と呼ぶ）を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置、この記録装置に適用されるインクジェット記録ヘッドに関するものである。なお、本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドの一種として、電気熱変換素子が発生するエネルギーを利用してインク滴を吐出させる記録ヘッドが知られている。この種のヘッドでは図２２，２３に示すように、シリコン製の液体吐出基板１００が樹脂やセラミック材料で形成された支持部材１０上に載置されて一体化されている。液体吐出基板１００は、インク滴が吐出される吐出口１０７と、吐出口１０７から吐出されるインクが一時的に貯留される液室１０９と、液室１０９に連通した液体供給口１０２と、液室１０９内のインクに吐出エネルギーを与える電気熱変換素子１０３を備える。
【０００３】
より具体的には、液体吐出基板１００の裏面（支持部材に支持される側の面）と支持部材１０の表面（液体吐出基板を支持する支持面）とが接着剤５０により直接接合されている。そして、接着剤５０の対向する界面６０によって形成されたインク流路を介して、液体吐出基板１００の液体供給口１０２が、支持部材１０に設けられている液体供給穴１１に連通している。このような構成は特許文献１や特許文献２に記載されている。
【０００４】
また、特許文献３には、図２４に示すように支持部材２００の表面側に形成した電気配線層の表面電極端子２０２と、液体吐出基板１００の裏面側に形成した電極層とをバンプ１０５等を用いて直接接合することで、電気的な接続を行う構成も記載されている。
【特許文献１】特開平１０−４４４２０号公報
【特許文献２】特開平１１−１３８８１４号公報
【特許文献３】特開平１１−１９２７０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年では、インクジェット記録装置の価格の低下が著しく、インクジェット記録ヘッドをいかに安く作るかが課題となっている。液体吐出基板は一般的にφ6〜8インチ程度のシリコンウェハで液体吐出エネルギー発生素子や液体流路を形成した後に必要な大きさに切り出して使用されるため、低コスト化を図るには小型化が必要である。また一方で記録速度の高速化、記録品位の向上のために吐出口列を成す吐出口数および液体吐出エネルギー発生素子は多くなり長尺化の傾向にある。従って、液体吐出基板は長く、細く、小型化していく方向にある。さらに、液体吐出基板へ記録液を供給する構成部材や工程を削減することも行われている。
【０００６】
しかしながら、液体吐出基板を長く、細くしていった場合に上記のようなインクジェット記録ヘッドには、インクリークを引き起こしたり、さらに電気接続部腐食により電気的な接続不良を引き起こしたりする以下のような問題がある。
【０００７】
１）液体吐出基板と支持部材との接着信頼性の低下
図２３に示すように液体吐出基板１００は液体供給穴１１が形成された支持部材１０と接着されるので、液体吐出基板１００と支持部材１０の接着信頼性を確保すること（液体をリークさせないこと）が必要である。そのためには接着剤５０の材料選定や接着面積の確保すなわち、液体吐出基板１００の大きさや支持部材１０の液体供給穴の開口稜線部の形状が重要なポイントになる。もう少し詳しく説明すると、支持部材１０は一般的には樹脂の成形品やセラミックの成形品が用いられる。これらの場合、液体吐出基板１００との接着信頼性を得たり、性能を確保したりするために支持部材１０には、記録液体のダメージを受けないと共に低線線膨張率や高熱伝導率を有し、接着面の高平坦性が確保できる安価な材料が選定される。
【０００８】
支持部材１０が樹脂の成形品の場合にはフィラーが充填された比較的流動性の悪い樹脂材料が選択される場合が多い。従って、支持部材１０の液体供給穴１１の開口稜線部分に注目すると、図２５ａに示すように樹脂材料の充填が不十分で液体供給穴１１の稜線部１５が直角なエッジ形状にならず緩やかなＲ形状１６になる場合がある。あるいは、図２４ｂに示すように稜線部１５の一部に欠け１７が生じる場合がある。
【０００９】
一方、支持部材１０がセラミック材料の焼成品の場合には焼成時の収縮により液体吐出基板１００を接着する面の平坦性の確保が難しいため、一般的には焼成後に表面を研磨して使用される。そのため、支持部材１０の液体供給穴１１の稜線部に注目すると、図２４ｂに示すように液体供給穴１１の稜線部１５の一部に欠け１７が発生することがある。
【００１０】
以上のことから、図２６に示すように特に複数の液体供給口１０２を比較的近接して配置する場合には、支持部材１０の液体供給穴１１の稜線部１５の形状が悪い部分で液体吐出基板１００と支持部材１０との接着領域が狭くなってしまう。この図では符号ＩのＲ形状部や符号Ｊの欠け部から明らかである。例えば、液体吐出基板１００の複数の液体供給口１０２が１ｍｍ間隔で近接配置される。その上で、支持部材１０の液体供給穴１１の幅が０.３ｍｍ程度で穴の稜線部のＲ形状１６の半径が０.２ｍｍ程度であるとすると、接着幅が本来の接着幅に対して半分以下になってしまう。よって、この部分の接着信頼性が低下する虞がある。
【００１１】
２）記録液からの電気配線保護信頼性の低下
また、図２４に示した液体吐出基板１００の裏面と支持部材２００の表面とを直接バンプ１０５等で接合し電気接続を行う構成においては、液体吐出基板１００に形成された液体供給口１０２が、電気的な接続部材（バンプ１０５）とが非常に近接する。さらに、このバンプ１０５は、液体吐出基板１００を支持する支持部材２００に形成された液体供給穴２１０にも非常に近接している。したがって、この電気的な接続部を吐出用液体から完全に隔絶することが必要であるが、接着封止領域を確保することが非常に難しい。
【００１２】
そこで本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、液体吐出基板の支持部材との接着信頼性の向上、記録液からの電気配線保護信頼性の向上、製造コストの削減、および記録液供給性能の向上を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために本発明は、記録液を供給する液体供給口と、該液体供給口から供給された記録液を吐出するための吐出口と、該記録液を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段とを備えた液体吐出基板と、
該液体吐出基板を支持する支持面を有し、前記液体吐出基板に液体を供給する液体供給穴を備えた支持部材とを有し、
前記液体吐出基板の前記液体供給口と前記支持部材の前記液体供給穴とが互いに連通され、前記液体供給口と前記液体供給穴の連結部周囲が封止剤により封止されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記支持部材の前記液体供給穴の開口は、前記液体吐出基板の前記液体供給口の開口よりも大きく、かつ、前記支持部材の前記液体吐出基板を配置する側の前記液体供給穴の稜線部を含む内壁部は前記封止剤により覆われていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
上記特徴を有する本発明によれば、非常に細い液体吐出基板を支持部材に接着固定し配置する際に、インクリークや電気接続部の腐食等に対する極めて高い信頼性を備えた接合を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
（実施形態１）
図１は本発明の実施形態１の記録ヘッドを示す外観斜視図である。図２は図１の記録ヘッドに使用される液体吐出基板の概略斜視図であり、図３は図２の液体吐出基板を部分的に拡大した斜視図である。図４は図１のＡ部の拡大模式図である。図５ａは図４のＢ−Ｂ断面を示す模式図であり、図５ｂは図４のＣ−Ｃ断面を示す模式図であり、支持部材の、液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図を示している。
【００１７】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、図１〜図５に示すように、支持部材１０と、その支持部材１０の上に載置された（マウントされた）液体吐出基板１００とを備える。さらに、支持部材１０の液体吐出基板１００とは反対側に記録液供給部材３００が接合されている。
【００１８】
この記録ヘッドは、インクジェット記録装置本体に搭載されているキャリッジ（不図示）に設けられた位置決め手段及び電気的接点によって固定支持される。また、キャリッジは記録用紙の搬送方向と交差する方向に移動自在となっている。
【００１９】
液体吐出基板１００の表面には図３に示すようにインク等の記録液を吐出するための吐出口１０７が開口しており、複数並んだ吐出口１０７が複数列をなすことで、吐出口列１０８を形成している。液体吐出基板１００の裏面側には記録液を供給するための液体供給口１０２が、吐出口列１０８の長さとほぼ等しい長さで開口している。液体供給口１０２からの記録液は発泡室１０９（液室）に入り一時的に貯留され、吐出エネルギー発生手段として電気熱変換素子１０３によって、発泡室１０９内の記録液が発泡し、吐出口１０７から記録液滴の吐出が行われることとなる。また、液体吐出基板１００の端部には電気熱変換素子１０３等に電気的な信号を送るための複数の電極１０４が形成されていて配線部材のリードと接合される。この電気接合部は封止剤（不図示）で封止され、これにより記録液による腐食や耐衝撃などから保護される。
【００２０】
また、図５ａ及び図５ｂに示すように、液体吐出基板１００の裏面側には樹脂またはセラミックで構成されている支持部材１０が配置され、この支持部材１０には表面から裏面まで貫通した液体供給穴１１が形成されている。そして、液体吐出基板１００の液体供給口１０２と支持部材１０の液体供給穴１１とは互いに連通するように位置決めされ、液体供給口１０２と液体供給穴１１の連結部周囲が接着剤５０（もしくは封止剤）で接着固定される。
【００２１】
このような記録ヘッドでは、不図示のインク供給源より記録液が支持部材１０の液体供給穴１１から液体吐出基板１００の液体供給口１０２へそして、液体吐出基板１００の発泡室１０９に供給される。
【００２２】
次に本実施形態の特徴について述べる。
【００２３】
図５ａ及び図５ｂに示すように、液体吐出基板１００の液体供給口１０２の短手側の穴幅をＷ１ａ、長手側の穴幅をＷ1ｂとし、支持部材１０の液体供給穴１１の短手側の穴幅をＷ２ａ、長手側の穴幅をＷ2ｂとすると、以下のような関係となっている。
Ｗ１a＜Ｗ２a    Ｗ1ｂ＜Ｗ2ｂ
【００２４】
液体吐出基板１００は、接着剤５０が所定の位置に所定量塗布された支持部材１０上に配置され、その後接着剤５０を硬化されることにより固定される。このとき、接着剤５０は液体吐出基板１００と支持部材１０の間に広がり、液体吐出基板１００の液体供給口１０２や支持部材１０の液体供給穴１１の部分まで達する。たとえば、液体吐出基板１００の液体供給口１０２の短手寸法W1aを60μｍ、長手寸法W1bを25mm、支持部材１０の液体供給穴１１の短手寸法W2aを200μｍ、長手寸法W2bを25.3ｍｍとする。そして、液体吐出基板１００と支持部材１０の間隔を20μｍ程度とし、接着剤５０の粘度を100Pa・ｓ前後、チクソ比を1.1程度とした場合に良好な結果が得られた。この場合、接着剤５０は液体吐出基板１００と支持部材１０の間で広がるが、液体吐出基板１００側の接着剤５０は液体供給口１０２の稜線部まで達する。接着剤は、接着剤自身の粘性と、液体吐出基板１００と支持部材１０との間のギャップにより形成されるメニスカス力により、その稜線部にとどまる。この一方で、液体吐出基板１００の液体供給口１０２の開口寸法が支持部材１０の液体供給穴１１の開口寸法より小さく、さらに液体供給口１０２の稜線部が液体供給穴１１の内側に覆い被さるように（迫り出すように）構成されている。これにより、支持部材１０側の接着剤５０は、迫り出した部分の接着剤自身の重さとメニスカスの力とのバランスにより、液体供給穴１１の稜線部１２を乗り越えて液体供給穴１１の内壁面まで達する。つまり、液体吐出基板１００と支持部材１０との間の接着剤５０は、液体供給口１０２と液体供給穴１１の内壁面とを結ぶメニスカスを形成してとどまる。このように、支持基板１０側の接着剤５０は支持基板１０の液体供給穴１１の稜線部１２を含んで液体供給穴１１の内壁面を覆う形状となる。
【００２５】
よって、図６に示すように支持部材１０の液体供給穴１１の稜線部の形状が悪く欠け１７等があったとしても、その部分は接着剤５０が完全に覆っている。その結果、支持部材１０の液体供給穴１１近傍の接着領域を狭めることなく、また液体供給穴１１の内壁面も接着領域として使用されるため、十分な接着領域が得られる。よって、液体吐出基板がきわめて細く小型化された場合に液体吐出基板１００と支持部材１０の接着領域が非常に少なくなり接着信頼性の確保が難しくなるが、本発明の構成において液体吐出基板１００と支持基板１０の接着信頼性を十分確保することができる。
【００２６】
（実施形態２）
図７は本発明の実施形態２のインクジェット記録ヘッドを示す外観斜視図であり、図８は図７の立体配線付き支持部材（セラミックシートを積層し立体的に電気配線を形成してなる支持部材）の外観傾斜図である。図９は図８の立体配線付き支持部材上に図２の液体吐出基板が載置された状態の外観平面模式図である。
【００２７】
図１０は図９のＤ−Ｄ断面を示す模式図であり、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ駆動電力を供給する電極近傍における断面図である。図１１ａは図９のＥ−Ｅ断面を示す模式図で、また図１１ｂは図９のＦ−Ｆ断面を示す模式図であり、立体配線付き支持部材の液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図を示している。
【００２８】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、図７〜図１１ａ及び図１１ｂに示すように、立体配線付き支持部材２００と、その立体配線付き支持部材２００の上に載置された（マウントされた）液体吐出基板１００とを備える。さらに、立体配線付き支持部材２００の液体吐出基板１００とは反対側に、記録液供給部材３００が接着剤３０１で接合されている。
【００２９】
立体配線付き支持部材２００は、図１０〜図１１ａ及び図１１ｂに示すように、セラミックシート２０１が複数枚積層されることで構成されている。立体配線付き支持部材２００の表面には液体吐出基板１００へ駆動信号を供給するための表面電極端子２０２（第２の電極端子）が形成されており、側面には本体から電気信号を受け取るための側面電極端子２０３が形成されている（図８）。また、これらの電極端子どうしは、立体配線付き支持部材２００の内部を引き回された内部導体配線２０４および、導体が充填されたビア２０５（ビアホール）によって接続されている。液体吐出基板１００の裏面電極端子１１１（第１の電極端子）と立体配線付き支持基板２００の表面電極端子２０２（第２の電極端子）はバンプ１０５により電気的に接合される。さらに、この電気接合部が封止剤２０６（あるいは接着剤）により封止され、これにより記録液による腐食や耐衝撃などから保護されている。
【００３０】
また、図１１ａ及び図１１ｂに示すように、立体配線付き支持部材２００には表面から裏面まで貫通した液体供給穴２０７が形成されている。立体配線付き支持部材２００と接合される記録液供給部材３００にも液体供給口（不図示）が形成されている。これにより、それぞれの部材の液体供給口が接合され連通することで、不図示の液体供給源から記録液が、記録液供給部材３００の液体供給口を通って立体配線付き支持部材２００の液体供給穴２０７に入る。さらに、液体吐出基板１００の液体供給口１０２を通ることで、液体吐出基板１００の発泡室１０９に記録液が供給される。
【００３１】
立体配線付き支持部材２００として用いるセラミックスの材料としては、記録液に対して化学的に安定なものであればよい。さらに、液体吐出基板１００が吐出により発生する熱を放出できることができればなお良い。そのようなものとしてアルミナ、窒化アルミニウム、ムライトなどが挙げられる。立体配線付き支持部材２００に用いる配線材料としては、先に記述したセラミックスと密着性があるものであれば良い。例えば、Ｗ、Ｍｏ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔ-Ｐｄなどが挙げられる。
【００３２】
立体配線付き支持部材２００の表面電極端子２０２と液体吐出基板１００の裏面電極端子１１１との電気接合部は封止剤（あるいは接着剤）２０６により封止され、これにより液体供給穴２０７からの記録液と完全に隔絶されている。また、液体吐出基板１００の液体供給口１０２の外周は封止剤２０６により、完全に密閉されており、液体吐出基板１００の外部と隔絶されていて、記録液の外部への不要なリークを防止している。
【００３３】
また、本実施形態において、液体吐出基板１００の裏面電極端子１１１と立体配線付き支持部材２００の表面電極端子２０２との接合には、金バンプのような金属バンプ１５による接合を用いている。しかし、この接合には導電性接着剤による接合や熱硬化性接着剤により電極同士を互いに圧接する方法を用いても良い。また、熱硬化性接着剤が導電粒子を含んでいても構わない。
【００３４】
なお、本実施形態では、１個の記録ヘッドあたり、１個の液体吐出基板が搭載される構成であり、液体吐出基板の吐出口列は２列１組である（図３）。しかし、複数組の吐出口列を備えた液体吐出基板を用いた記録ヘッドに適用してもよい。
【００３５】
次に本実施形態の特徴について述べる。
【００３６】
図１１ａ及び図１１ｂに示すように、液体吐出基板１００の液体供給口１０２の短手側の穴幅をＷ１ａ、長手側の穴幅をＷ1ｂ、立体配線付き支持部材２００の液体供給穴２０７の短手側の穴幅をＷ２ａ、長手側の穴幅をＷ2ｂとすると、以下の関係となっている。
Ｗ１a＜Ｗ２a    Ｗ1ｂ＜Ｗ2ｂ
【００３７】
液体吐出基板１００は封止剤２０６が所定の位置に所定量塗布された立体配線付支持部材２００上に配置される。もしくは、液体吐出基板１００が立体配線付支持部材２００上に配置固定された後に、封止剤２０６を液体吐出基板１００の外周から液体吐出基板１００と立体配線付支持部材２００の間へ流し込み、封止剤２０６が硬化される。このとき、どちらの場合も封止剤２０６は液体吐出基板１００と立体配線付支持部材２００の間に広がり、液体吐出基板１００の液体供給口１０２や立体配線付支持部材２００の液体供給穴２０７の部分まで達する。たとえば、液体吐出基板１００の液体供給口１０２の短手寸法W1aを60μｍ、長手寸法W1bを25mm、立体配線付支持部材２００の液体供給穴２０７の短手寸法W2aを200μｍ、長手寸法W2bを25.3ｍｍとする。そして、液体吐出基板１００と支持部材１０の間隔を20μｍ程度とし、接着剤２０６の粘度を100Pa・ｓ前後、チクソ比を1.1程度とした場合に良好な結果が得られた。この場合、接着剤２０６は液体吐出基板１００と立体配線付支持部材２００の間で広がるが、液体吐出基板１００側の接着剤２０６は液体供給口１０２の稜線部まで達する。接着剤は、接着剤自身の粘性と、液体吐出基板１００と立体配線付支持部材２００との間のギャップにより形成されるメニスカス力により、その稜線部にとどまる。この一方で、液体吐出基板１００の液体供給口１０２の開口寸法が立体配線付支持部材２００の液体供給穴２０７の開口寸法より小さく、さらに液体供給口１０２の稜線部が液体供給穴２０７の内側に覆い被さるように（迫り出すように）構成されている。これにより、立体配線付支持部材２００側の接着剤２０６は、迫り出した部分の接着剤自身の重さとメニスカスの力とのバランスにより、液体供給穴２０７の稜線部１２を乗り越えて液体供給穴２０７の内壁面（内壁部）まで達する。つまり、液体吐出基板１００と立体配線付支持部材２００との間の接着剤２０６は、液体供給口１０２と液体供給穴２０７の内壁面とを結ぶメニスカスを形成してとどまる。このように、封止剤２０６は立体配線付支持基板２００の液体供給穴２０７の稜線部１２を含んで液体供給穴２０７の内壁面を覆う形状となる。
【００３８】
このとき、液体供給穴２０７の稜線部１２から、バンプ１０５による接続を行うための表面電極端子２０２までの距離はきわめて近い。また、立体配線付支持部材２００はセラミック材料で形成されているため、液体供給穴２０７の稜線部１２は欠けが生じやすい。しかしながら、本実施形態では実施形態１と同様に、立体配線付支持部材２００の液体供給穴２０７の稜線部１２の欠け部分１７を接着剤２０６で完全に覆うことができる。その結果、立体配線付支持部材２００の液体供給穴２０７近傍の接着領域を狭めることなく、また、液体供給穴２０７の内壁面も接着領域として使用されるため、十分な接着領域が得られる。よって、液体吐出基板がきわめて細く小型化された場合においてはさらに液体供給穴２０7の稜線部１２と表面電極端子２０２との距離が極めて近くなるが、十分な接着領域を確保し、高い接着信頼性が得られる。
【００３９】
また、図１２ａ及び図１２ｂに示すように、立体配線付き支持部材２００の最上層（最表層セラミックシート）における液体供給穴の幅Ｗ２a,Ｗ２ｂに対して第二層以下の層の供給穴幅を大きくしても良い。この場合においても本実施形態と同様に、最上層の液体供給穴２０７の内壁面は封止剤２０６で覆うことができる。
【００４０】
この構成の場合は最上層とその直下の第二層で液体供給穴幅が異なるため、穴幅が変わる部分の段差により液体供給穴の内壁面２０７を伝わってきた封止剤２０６をメニスカス力により止めることができる。従って、確実に液体供給穴２０７の内壁面を封止剤２０６で覆うことが可能となる。
【００４１】
以上より、図１３に示すように立体配線付き支持部材２００を構成している各層の液体供給穴２０７について、たとえば最上層の穴幅に対して第二層の穴幅が大きければ、第３層，第４層の穴幅は自由に設定することができる。
【００４２】
また、図１４ａ及び図１４ｂに示すように、積層構造の支持部材ではなく単一部材で形成された支持部材４００の表面に表面電極端子２０２を形成し、この電極にバンプ１０５を介して液体吐出基板１００を接合する構成においても同様に本発明を適用できる。
【００４３】
（実施形態３）
図１５〜図２０は本発明の実施形態３のインクジェット記録ヘッドを示す図であり、立体配線付き支持部材２００の液体吐出基板１００へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図を示している。
【００４４】
上述した実施形態２では、液体吐出基板１００の液体供給口１０２より立体配線付き支持部材２００の液体供給穴２０７を大きくした。そして、立体配線付き支持部材２００の最上層、すなわち液体吐出基板の支持面における液体供給口の稜線部１２を含む液体供給穴２０７の内壁面を封止剤２０６で覆っている。以上の点は同じであるが、本実施形態では、立体配線付き支持部材２００の液体供給穴２０７における最上層の穴幅に対して、最上層に接する第二層の液体供給穴２０７の穴幅を小さくした。
【００４５】
液体吐出基板１００の液体供給口１０２の短手側の穴幅をＷ１ａ、立体配線付支持基板２００の最上層における液体供給穴２０７の短手側の穴幅をＷ２ａ、第二層の液体供給穴２０７の短手側の穴幅をＷ３ａとすると、以下の関係が成り立つ。
Ｗ１ａ＜Ｗ２ａ＞Ｗ３ａ
【００４６】
このような関係にすることで、まずこれまでの実施形態で述べたのと同様の効果が得られる。さらに、本実施形態では、図１５ａ，１５ｂ〜図１７に示すように、封止剤２０６が立体配線付支持部材２００の液体供給穴２０７の稜線部１２を覆いさらに最上層の液体供給穴２０７の内壁面を伝わって入り込む。そして、その封止剤２０６は立体配線付支持部材２００の開口幅が変化している部分（第二層の上面）で止まる。そのため、封止剤２０６は液体供給穴２０７の稜線部１２及び内壁面を完全に覆う良好な形状を有することができる。
【００４７】
尚、立体配線付支持部材２００の液体供給穴幅においては、図１５ａ，１５ｂに示すように最上層の液体供給穴２０７の穴幅Ｗ２ａ，Ｗ２ｂよりも第二層の液体供給穴２０７の穴幅Ｗ３ａ，Ｗ３ｂが小ければ第三層以下の穴幅は自由に設定することができる。従って、図１６に示すように、第三層以下の液体供給穴が短手方向にずれてもよい。
【００４８】
また、図１７ａ及び図１７ｂに示すように最上層の液体供給穴２０７の穴幅よりも第二層の液体供給穴２０７の穴幅を小さくする。その上で、第三層の穴幅は短手方向では第二層よりも大きくし、長手方向では第二層よりも小さくし、さらに第三層の穴幅は短手方向では第三層と同一幅とし、長手方向では第三層よりも小さくしてもよい。このような形状にすることにより液体吐出基板１００への液体の供給性能を向上させることが可能となる。当然、図１８に示すように単一の支持部材４００の表面に表面電極端子２０２を形成し、この電極にバンプ１０５を介して液体吐出基板１００を接合する構成においても同様に本発明を適用できる。
【００４９】
さらに、図１９、図２０ａ及び図２０ｂに示すように、ひとつの基板に複数の液体供給口が形成された液体吐出基板１００においても同様に本発明を適用できる。
【００５０】
上記いずれの構成においても液体吐出基板と支持部材との接着封止信頼性を十分に確保することができる。
【００５１】
（実施形態４）
次に、本発明の実施形態４として、上述したような記録ヘッドを搭載可能な液体吐出記録装置（インクジェット記録装置）について説明する。図２１は、本発明のインクジェット記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明図である。
【００５２】
図２１に示す記録装置において、上述した実施形態によるインクジェット記録ヘッド５０１がキャリッジ５０２に位置決めして交換可能に搭載されている。キャリッジ５０２には、記録ヘッド５０１上の電気接続部を介して各吐出口列に駆動信号等を伝達するための電気接続部（不図示）が設けられている。
【００５３】
キャリッジ５０２は、主走査方向に延在して装置本体に設置されたガイドシャフト５０３に沿って往復移動可能に案内支持されている。
【００５４】
キャリッジのホームポジションには、記録ヘッド５０１のインク吐出口が形成された前面を塞ぐキャップ（不図示）が配置される。キャップは記録ヘッド５０１のインク吐出性能維持回復のための吸引回復を行うために用いられる。キャップの近傍には、液体吐出基板１００のインク吐出口１０７が開口した面を摺擦してそこに付着しているインク等を除去するためのクリーニングブレード（不図示）が設けられている。
【００５５】
記録用紙やプラスチック薄板等の記録媒体５０４は、オートシートフィーダ（以後ＡＳＦ）５０５から一枚ずつ分離給紙され、記録ヘッド５０１の吐出口面と対向する位置（記録位置）を通って搬送（副走査）される。
【００５６】
なお、記録媒体５０４は、記録位置において、その裏面をプラテン（不図示）により支持されている。この場合、キャリッジ５０２に搭載された記録ヘッド５０１は、それらの吐出口面がキャリッジ５０２から下方へ突出して上流側及び下流側にある２組の搬送ローラ対の間で記録媒体５０４と平行になるように保持されている。
【００５７】
記録ヘッド５０１は、各吐出口列における吐出口の並び方向が上述したキャリッジ５０２の走査方向に対して交差する方向になるようにキャリッジ５０２に搭載されており、これらの吐出口列から液体を吐出して記録を行う。
【００５８】
上述の実施形態では、熱エネルギーを利用してインクを吐出するために、熱エネルギーを発生する電気熱変換素子を備えていたが、もちろん本発明は、振動素子によってインクを吐出する等、その他の吐出方式を適用したものであってもよい。
【００５９】
なお、本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施形態１の記録ヘッドを示す外観斜視図である。
【図２】図１の記録ヘッドに使用される液体吐出基板の概略斜視図である。
【図３】図２の液体吐出基板を部分的に拡大した斜視図である。
【図４】図１のＡ部を拡大した模式図である。
【図５ａ】図４のＢ−Ｂ断面を示す模式図であり、本発明の実施形態１の液体吐出基板と支持部材との接合構成を示す図である。
【図５ｂ】図４のＣ−Ｃ断面を示す模式図であり、本発明の実施形態１の液体吐出基板と支持部材との接合構成を示す図である。
【図６】図４のＢ−Ｂ断面を示す模式図であり、本発明の実施形態１で支持部材の液体供給穴の稜線部に欠けがある場合の接合構成を示す図である。
【図７】本発明の実施形態２の記録ヘッドを示す外観斜視図である。
【図８】図７の立体配線付き支持部材の外観傾斜図である。
【図９】図７の立体配線付き支持部材上に図２の液体吐出基板が載置された状態の外観平面図である。
【図１０】図９のＤ−Ｄ断面を示す模式図であり、本発明の実施形態２の液体吐出基板と立体配線付支持部材との電気接合構成を示す図である。
【図１１ａ】本発明の実施形態２の液体吐出基板と立体配線付支持部材との接合構成を示す短手方向断面図である。
【図１１ｂ】本発明の実施形態２の液体吐出基板と支持部材との接合構成を示す長手方向断面図である。
【図１２ａ】本発明の実施形態２の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す短手方向断面図である。
【図１２ｂ】本発明の実施形態２の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す長手方向断面図である。
【図１３】本発明の実施形態２の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す短手方向断面図である。
【図１４ａ】本発明の実施形態２の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す短手方向断面図である。
【図１４ｂ】本発明の実施形態２の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す長手方向断面図である。
【図１５ａ】本発明の実施形態３を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す短手方向断面図である。
【図１５ｂ】本発明の実施形態３の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す長手方向断面図である。
【図１６】本発明の実施形態３の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す短手方向断面図である。
【図１７ａ】本発明の実施形態３の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す短手方向断面図である。
【図１７ｂ】本発明の実施形態３の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す長手方向断面図である。
【図１８】本発明の実施形態３の別の構成を示し、立体配線付支持部材と液体吐出基板の接合構成を示す短手方向断面図である。
【図１９】本発明の実施形態３の別の構成を示し、支持部材へ複数の液体供給口を有する液体吐出基板が載置された状態の外観平面図である。
【図２０ａ】図１８のＧ−Ｇ断面を示す模式図であり、本発明の実施形態３の液体吐出基板と支持部材との接合構成を示す図である。
【図２０ｂ】図１８のＨ−Ｈ断面を示す模式図であり、本発明の実施形態３の液体吐出基板と支持部材との接合構成を示す図である。
【図２１】本発明のインクジェット記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明図である。
【図２２】従来例を示す記録ヘッドの外観斜視図である。
【図２３】図２２のＨ−Ｈ断面図である。
【図２４】別の従来例を示す記録ヘッドの構成を示す模式断面図である。
【図２５ａ】従来例の支持部材の液体供給穴の状態を示す模式断面図である。
【図２５ｂ】従来例の支持部材の液体供給穴の状態を示す模式断面図である。
【図２６】従来例の液体吐出基板と支持部材の接合状態を示す模式断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０    支持部材
１１、２０７    液体供給穴
１２    液体供給穴の稜線部
５０、２０６    接着剤（封止剤）
１００    液体吐出基板
１０２    液体供給口
１０３    電気熱変換素子
１０７    吐出口
１０８    吐出口列
１１１    裏面電極端子
２００    立体配線付き支持部材
２０１    セラミックシート
２０２    表面電極端子
２０３    側面電極端子
２０４    内部導体配線
２０５    ビア
【図１】
2009006552.tif 000003
【図２】
2009006552.tif 000004
【図３】
2009006552.tif 000005
【図４】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
2009006552.tif 000008
【図６】
2009006552.tif 000009
【図７】
2009006552.tif 000010
【図８】
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【図９】
2009006552.tif 000012
【図１０】
2009006552.tif 000013
【図１１ａ】
2009006552.tif 000014
【図１１ｂ】
2009006552.tif 000015
【図１２ａ】
2009006552.tif 000016
【図１２ｂ】
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【図１３】
2009006552.tif 000018
【図１４ａ】
2009006552.tif 000019
【図１４ｂ】
2009006552.tif 000020
【図１５ａ】
2009006552.tif 000021
【図１５ｂ】
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【図１６】
2009006552.tif 000023
【図１７ａ】
2009006552.tif 000024
【図１７ｂ】
2009006552.tif 000025
【図１８】
2009006552.tif 000026
【図１９】
2009006552.tif 000027
【図２０ａ】
2009006552.tif 000028
【図２０ｂ】
2009006552.tif 000029
【図２１】
2009006552.tif 000030
【図２２】
2009006552.tif 000031
【図２３】
2009006552.tif 000032
【図２４】
2009006552.tif 000033
【図２５ａ】
2009006552.tif 000034
【図２５ｂ】
2009006552.tif 000035
【図２６】
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