(57)【要約】      （修正有）【課題】ポリマ本来の性能を発揮させやすく、幅広い用途に適用させやすい接合膜およびその製造方法を提供する。【解決手段】分子構造中に極性基を有さないポリマより形成されたポリマ膜１０ｂの表面と、金属膜１０ａの表面とが接合されてなる接合膜Ｓとする。この接合膜は、分子構造中に極性基を有さないポリマとこのポリマを溶解可能な有機溶剤とを含有するポリマ膜と、金属膜とを積層する工程と、得られた積層膜を加熱・加圧し、ポリマ膜と金属膜とを接合させる工程とを経ることにより製造することができる。上記ポリオレフィンとしては、環状ポリオレフィンを好適に用いることができる。【選択図】図１
2009143078.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
分子構造中に極性基を有さないポリマより形成されたポリマ膜の表面と、金属膜の表面とが接合されてなることを特徴とする接合膜。
【請求項２】
前記ポリマは、ポリオレフィンを含むことを特徴とする請求項１に記載の接合膜。
【請求項３】
前記ポリオレフィンは、環状ポリオレフィンであることを特徴とする請求項２に記載の接合膜。
【請求項４】
９０°ピール強度が、０．１ｇ／ｃｍ２以上であることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の接合膜。
【請求項５】
分子構造中に極性基を有さないポリマとこのポリマを溶解可能な有機溶剤とを含有するポリマ膜と、金属膜とを積層する工程と、
得られた積層膜を加熱・加圧し、ポリマ膜と金属膜とを接合させる工程と、
を有することを特徴とする接合膜の製造方法。
【請求項６】
前記加熱時の温度は、前記有機溶剤の沸点以下であることを特徴とする請求項５に記載の接合膜の製造方法。
【請求項７】
前記ポリマは、ポリオレフィンを含むことを特徴とする請求項５または６に記載の接合膜の製造方法。
【請求項８】
前記ポリオレフィンは、環状ポリオレフィンであることを特徴とする請求項７に記載の接合膜の製造方法。
【請求項９】
得られた接合膜中に残留する残留有機溶剤の含有量を低減させる工程をさらに有することを特徴とする請求項５から８の何れかに記載の接合膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合膜およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、様々な分野において、ポリマ膜と金属膜とが接合された接合膜が使用されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、プリント基板に好適な接合膜として、エステル基、カルボニル基、水酸基などの極性基を含有する環状ポリオレフィン膜を製造した後、この膜の片面にスパッタリング法にて金属膜を成膜することにより、環状ポリオレフィン膜と金属膜とを接合させた接合膜、その製造方法が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、包装用途に好適な接合膜として、環状ポリオレフィン膜と金属膜を含む多層膜とを接着剤を介して接合させた接合膜、その製造方法が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３０１０８８号公報
【特許文献２】特開２００４−１３６４７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術は以下の点で問題があった。
【０００７】
すなわち、特許文献１の技術では、ポリマ膜と金属膜とを接合するにあたり、極性基を含有する特殊なポリマ膜を製造しなければならない。そのため、接合を可能にするために導入した極性基の種類等によっては、主体となるポリマ本来の性能が損なわれ、接合膜の用途に制約が生じることが懸念される。
【０００８】
また、極性基を含有するポリマ膜をわざわざ製造せねばならず、既存のポリマを使用することができない。
【０００９】
一方、特許文献２の技術では、ポリマ膜と金属膜とを接合するのに接着剤を介在させる必要がある。そのため、接着剤の材質等によっては、接合膜の使用環境・条件が制約され、接合膜の用途が限定されるおそれがある。
【００１０】
また、接着剤を介在させる工程が増加するため、接合膜の製造工程が複雑化するといった問題も発生する。
【００１１】
本発明は、上記問題を鑑みてなされたもので、本発明が解決しようとする課題は、従来に比較して、ポリマ本来の性能を発揮させやすく、幅広い用途に適用させやすい接合膜を提供することにある。また、上記接合膜を比較的簡便に製造することが可能な製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明者らは種々の実験を行い、鋭意検討を重ねた。その結果、極性基を有さないポリマ単独では金属との接合が困難であるが、極性基を有さないポリマと有機溶剤とを共存させれば、ポリマと金属とを接合させることが可能になり、さらに接合後は、有機溶剤がなくても、ポリマと金属との密着性を保持することができるとの知見を得るに至った。本発明は、主にこのような知見に基いてなされたものである。
【００１３】
すなわち、本発明に係る接合膜は、分子構造中に極性基を有さないポリマより形成されたポリマ膜の表面と、金属膜の表面とが接合されてなることを要旨とする。
【００１４】
ここで、上記ポリマは、ポリオレフィンを含んでいることが好ましい。
【００１５】
この際、上記ポリオレフィンは、環状ポリオレフィンであることが好ましい。
【００１６】
また、上記接合膜は、９０°ピール強度が０．１ｇ／ｃｍ２以上であることが好ましい。
【００１７】
一方、本発明に係る接合膜の製造方法は、分子構造中に極性基を有さないポリマとこのポリマを溶解可能な有機溶剤とを含有するポリマ膜と、金属膜とを積層する工程と、得られた積層膜を加熱・加圧し、ポリマ膜と金属膜とを接合させる工程とを有することを要旨とする。
【００１８】
ここで、上記加熱時の温度は、上記有機溶剤の沸点以下であることが好ましい。
【００１９】
また、上記ポリマは、ポリオレフィンを含んでいることが好ましい。
【００２０】
この際、上記ポリオレフィンは、環状ポリオレフィンであることが好ましい。
【００２１】
また、上記製造方法は、得られた接合膜中に残留する残留有機溶剤の含有量を低減させる工程をさらに有していることが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る接合膜は、分子構造中に極性基を有さないポリマより形成されたポリマ膜の表面と、金属膜の表面とが、直接接合されている。
【００２３】
本発明に係る接合膜によれば、金属膜と接合させるために、ポリマ膜を構成するポリマとして、極性基を導入した特殊なポリマを用いていない。そのため、ポリマ本来の性能を発揮させやすく、極性基に起因して用途に制約が生じることがない。また、接合のために接着剤を使用していないので、接着剤により使用環境・条件が制約され難く、その分、幅広い用途に適用させやすい。また、当該接合膜の薄膜化も可能である。
【００２４】
ここで、上記ポリマがポリオレフィンを含んでいる場合には、次の利点がある。極性基を有さないポリオレフィンは、比較的入手が容易であり、また、材料選択の自由度も大きい。そのため、用途に応じて種々の特性を有する材料を選択することが可能となり、機能性に優れた接合膜を得やすくなる。
【００２５】
また、上記ポリオレフィンが環状ポリオレフィンである場合には、透明性、防湿性、耐熱性などに優れる。そのため、光学部品、電子部品、自動車部品、包装材などの用途に、上記接合膜を好適に適用することができる。
【００２６】
また、上記接合膜の９０°ピール強度が０．１ｇ／ｃｍ２以上である場合には、十分な密着性を有する接合膜とすることができる。
【００２７】
一方、本発明に係る接合膜の製造方法は、分子構造中に極性基を有さないポリマと有機溶剤とを含有するポリマ膜と、金属膜とを積層した後、加熱加圧して両者を接合させる。
【００２８】
上記製造方法によれば、金属膜と接合させるために、ポリマ膜を構成するポリマを新たに単量体合成レベルから検討する必要がなく、既存のポリマを利用することができる。また、ポリマ膜と金属膜とを接合するのに接着剤を介在させる必要がないので、製造工程を増加させることもない。
【００２９】
したがって、従来の製造方法に比較して、ポリマ膜と金属膜との密着性の良好な接合膜を比較的簡便に得ることができる。
【００３０】
ここで、上記加熱時の温度が有機溶剤の沸点以下である場合には、ポリマ膜中の有機溶剤を揮発させ難くなる。そのため、接合に有機溶剤を関与させやすくなり、ポリマ膜と金属膜との密着性を確保しやすくなる。
【００３１】
また、上記ポリマがポリオレフィンを含んでいる場合には、次の利点がある。極性基を有さないポリオレフィンは、比較的入手が容易であり、材料選択の自由度も大きい。そのため、用途に応じて種々の特性を有する材料を選択することで、機能性に優れた接合膜を製造することが可能になる。
【００３２】
また、上記ポリオレフィンが環状ポリオレフィンである場合には、透明性、防湿性、耐熱性などに優れる。そのため、光学部品、電子部品、自動車部品、包装材などの用途に好適な接合膜を製造することが可能になる。
【００３３】
また、得られた接合膜中に残留する残留有機溶剤の含有量を低減させる工程を有する場合には、各種用途に適用した際に、残留有機溶剤に起因する不具合を低減することが可能になる。なお、接合後に有機溶剤の含有量が低下しても、ポリマ膜と金属膜との密着性は保持することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
本実施形態に係る接合膜（以下、「本接合膜」ということがある。）、本実施形態に係る接合膜の製造方法（以下、「本製造方法」ということがある。）について詳細に説明する。
【００３５】
１．本接合膜
本接合膜は、ポリマ膜の表面と金属膜の表面とが接合されてなる。
【００３６】
ここで、ポリマ膜は、分子構造中に極性基を有さないポリマより形成されている。
【００３７】
従来、ポリマ膜と金属膜とを密着させるため、ポリマ膜を形成するポリマとして、分子構造中にエステル基、カルボニル基、水酸基などの極性基が導入されたポリマが用いられていた。
【００３８】
しかし、本接合膜は、後述する本製造方法を好適に用いることで、ポリマが極性基を有していなくても、金属膜との密着が可能である。
【００３９】
分子構造中に極性基を有さないポリマとしては、具体的には、例えば、分子構造中に極性基を有さないポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィンなどを例示することができる。これらは１種または２種以上含まれていても良い。ポリオレフィンは、反応性に乏しく、溶剤に対して変性し難い。また、比較的入手が容易であり、材料選択の自由度も大きい。そのため、用途に応じて種々の特性を有する材料を選択することができ、機能性に優れた接合膜を得やすく好適である。
【００４０】
上記ポリオレフィンのうち、好ましくは、環状ポリオレフィンであると良い。透明性、防湿性、耐熱性などに優れ、光学部品、電子部品、自動車部品、包装材などの用途に好適な接合膜が得られるからである。
【００４１】
ポリマ膜は、有機溶剤を含んでいても良いし、含んでいなくても良い。有機溶剤は、後述する本製造方法を適用した場合に含有されうる。もっとも、当初有機溶剤を含有していても、その後に本接合膜を真空乾燥等した場合には、有機溶剤をほぼ含まないようにすることもできる。
【００４２】
ポリマ膜は、各種用途に適用した際に、有機溶剤に起因する不具合を低減しやすくなるなどの観点から、好ましくは、有機溶剤をほとんど含んでいないことが好ましい。
【００４３】
なお、ポリマ膜が有機溶剤を含有するか否かは、ガスクロマトグラフィーにより有機溶剤のピークの有無を確認するなどの方法により判別することができる。
【００４４】
ポリマ膜は、上記ポリマ以外に、酸化防止剤、防湿剤などの各種の添加剤を必要に応じて１種または２種以上含有していても良い。
【００４５】
ポリマ膜の膜厚は、本接合膜の用途などに応じて選択することができる。
【００４６】
ポリマ膜の膜厚の下限は、膜強度、膜の平滑性などの観点から、好ましくは、１００Å以上、より好ましくは、５００Å以上、さらに好ましくは２０００Å以上であると良い。なお、ポリマ膜の膜厚の上限は、特に限定されるものではない。
【００４７】
上記金属膜は、何れの金属（合金を含む）より形成されていても良く、用途などを考慮して選択することができる。
【００４８】
金属膜を形成する金属としては、具体的には、例えば、Ａｌ、Ａｌ合金、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ｍｇ、Ｍｇ合金、Ａｇ、Ａｇ合金などを例示することができる。
【００４９】
金属膜の膜厚は、本接合膜の用途などに応じて選択することができる。
【００５０】
金属膜の膜厚の下限は、膜強度、膜の平滑性などの観点から、好ましくは、１００Å以上、より好ましくは、５００Å以上、さらに好ましくは、２０００Å以上であると良い。なお、金属膜の膜厚の上限は、特に限定されるものではない。
【００５１】
本接合膜は、十分な密着性を確保するなどの観点から、その９０°ピール強度が、好ましくは、０．１ｇ／ｃｍ２以上、より好ましくは、０．１５ｇ／ｃｍ２以上あると良い。
【００５２】
なお、上記９０°ピール強度とは、後述する実施例で説明する方法により測定される値である。
【００５３】
本接合膜の用途は、特に限定されるものではない。本接合膜は、例えば、光学部品、電気・電子部品、自動車部品、包装材等の用途に適用することが可能である。
【００５４】
２．本製造方法
本製造方法は、以下の積層工程と接合工程とを少なくとも有している。
【００５５】
本製造工程において、積層工程は、分子構造中に極性基を有さないポリマとこのポリマを溶解可能な有機溶剤とを含有するポリマ膜と、金属膜とを積層する工程である。
【００５６】
ここで、分子構造中に極性基を有さないポリマとこのポリマを溶解可能な有機溶剤とを含有するポリマ膜は、例えば、以下の方法により準備することができる。
【００５７】
具体的には、分子構造中に極性基を有さないポリマを、このポリマを溶解可能な有機溶剤に溶解させて溶液とし、各種コーティング法を用いて、適当な支持基材の表面に上記溶液を膜状に塗工し、必要に応じて乾燥させる方法などを例示することができる。
【００５８】
これ以外にも、分子構造中に極性基を有さないポリマを膜状に成形し、この成形膜に上記有機溶剤を含浸させたり、上記有機溶剤を金属膜との接合面に塗布したりし、必要に応じて乾燥させる方法なども採用することができる。
【００５９】
但し、乾燥を行う場合、接合に有機溶剤を関与させるため、ポリマ膜中に有機溶剤が残存可能な条件で行う必要がある。
【００６０】
上記有機溶剤は、用いるポリマの種類、溶剤の沸点などを考慮して決定することができる。上記有機溶剤としては、具体的には、例えば、トルエン、キシレン、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンなどを例示することができる。これらは１種または２種以上混合されていても良い。
【００６１】
また、上記支持基材は、ポリマ膜を支障なく成膜することができれば、特に限定されるものではない。上記支持基材の材質としては、具体的には、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリアリレート、ポリスチレン（ＰＳ）などの各種高分子フィルム、ガラス基板などを例示することができる。
【００６２】
また、上記ポリマ膜の成膜や有機溶剤の塗布は、スピンコート法、キャスト法、スプレー法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、刷毛塗り法などの各種のコーティング法を適用することができる。
【００６３】
一方、金属膜は、例えば、以下の方法により準備することができる。
【００６４】
具体的には、上述した適当な支持基材の表面に、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ＭＢＥ法、レーザーアブレーション法などといった物理的気相成長法（ＰＶＤ）、熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法などといった化学的気相成長法（ＣＶＤ）などの気相法、電解めっき法、無電解めっき法、ゾルゲル法などの液相法などを適用し、金属膜を成膜する方法などを例示することができる。
【００６５】
そして、この積層工程では、準備したポリマ膜の表面と、金属膜の表面とが接するように重ね合わせ、これにより積層膜を形成する。
【００６６】
次に、本製造工程において、接合工程は、得られた積層膜を加熱・加圧し、ポリマ膜と金属膜とを接合させる工程である。
【００６７】
ここで、上記加熱・加圧方法は、特に限定されるものではない。上記加熱・加圧方法としては、具体的には、例えば、熱ラミネート法、熱プレス法などを例示することができる。好ましくは、長尺な接合膜を得やすいなどの観点から、熱ラミネート法を好適に採用することができる。
【００６８】
上記加熱・加圧条件は、ポリマ膜の材質、密着性の確保のしやすさなどを考慮して選択することができる。
【００６９】
上記加熱時の加熱温度は、好ましくは、用いた有機溶剤の沸点以下であると良い。ポリマ膜中の有機溶剤を揮発させ難くなるため、接合に有機溶剤を関与させやすくなり、ポリマ膜と金属膜との密着性を確保しやすくなるからである。
【００７０】
上記加圧力としては、密着力保持、形状保持などの観点から、好ましくは、０．１〜１０ＭＰａ、より好ましくは、１〜５ＭＰａ、さらに好ましくは、２〜３ＭＰａなどを例示することができる。
【００７１】
本製造方法では、基本的には、以上の工程を経れば、本接合膜を得ることができる。以上の工程を経て得られる接合膜は、場合によっては、膜中に有機溶剤が残留していることがある。
【００７２】
残留有機溶剤は、他材を腐食・溶解させたり、あるいは、ブルームしたりすることが考えられる。
【００７３】
そのため、本製造方法は、必要に応じて、上記接合工程の後に、得られた接合膜中に残留する残留有機溶剤の含有量を低減させる工程を有していると良い。
【００７４】
接合膜中の残留有機溶剤を低減させる方法としては、具体的には、例えば、接合膜を真空乾燥させる方法、ホットプレートなどの加熱源に近接または接触させて乾燥させる方法などを例示することができる。
【００７５】
この際、乾燥条件は、用いた有機溶剤の種類などに応じて適宜決定すれば良い。
【００７６】
なお、接合後に接合膜中の有機溶剤の含有量を低下させても、ポリマ膜と金属膜との密着性は保持することができる。
【実施例】
【００７７】
以下、実施例および比較例を用いて本発明を詳細に説明する。
【００７８】
１．接合膜の作製
（実施例１）
先ず、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリン（沸点２０７℃）に環状ポリオレフィン（日本ゼオン（株）製、「ＺＥＯＮＯＲ（登録商標）１０２０Ｒ」）を溶解させ、４質量％の環状ポリオレフィンを含む溶液を調製した。
【００７９】
次いで、スピンコート法を用いて、予め洗浄されたガラス基板上に上記溶液を塗工し、環状ポリオレフィン膜を成膜した。この際、上記スピンコートは、２５００ｒｐｍで６０秒間回転させることにより行った。また、上記成膜後、大気中にて、１３０℃で３０分間乾燥させた。
【００８０】
なお、得られた環状ポリオレフィン膜について、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンの存在をガスクロマトグラフィーにて確認したところ、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンのピークが確認された。
【００８１】
以上により、有機溶剤として１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンを含む環状ポリオレフィン膜（膜厚１００ｎｍ）を準備した。
【００８２】
次に、Ａｌ膜として、アルミニウム箔（膜厚１２μｍ）を準備した。
【００８３】
そして、上記準備した環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜とを、両膜同士が接するように重ね合わせ、積層膜を形成した。
【００８４】
その後、得られた積層膜を、一対の加熱・加圧ロール間を通過させることにより加熱・加圧し、環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜とが接合された実施例１に係る接合膜を得た。
【００８５】
なお、上記加熱・加圧は、加熱温度１６０℃、加圧力２．０ＭＰａ、通過速度１０ｍｍ／分の条件で、上記積層膜を加熱・加圧することにより行った。
【００８６】
（実施例２）
実施例１に係る接合膜の作製において、スピンコートによる環状ポリオレフィン膜を成膜後、この膜を、大気中にて１３０℃で３０分間乾燥させ、さらに、２５℃、雰囲気圧力０．１ＭＰａにて６０分間真空乾燥させた以外は同様にして、環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜とが接合された、実施例２に係る接合膜を得た。
【００８７】
なお、上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜について、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンの存在をガスクロマトグラフィーにて確認したところ、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンのピークが確認された。
【００８８】
（実施例３）
実施例１に係る接合膜の作製において、スピンコートによる環状ポリオレフィン膜を成膜後、この膜を、大気中にて１３０℃で３０分間乾燥させ、さらに、６０℃、雰囲気圧力０．１ＭＰａにて６０分間真空乾燥させた以外は同様にして、環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜とが接合された、実施例３に係る接合膜を得た。
【００８９】
なお、上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜について、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンの存在をガスクロマトグラフィーにて確認したところ、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンのピークが確認された。
【００９０】
（実施例４）
実施例１に係る接合膜の作製において、Ｃｕ膜として、銅箔（膜厚２０μｍ）を準備した点以外は同様にして、環状ポリオレフィン膜とＣｕ膜とが接合された、実施例４に係る接合膜を得た。
【００９１】
（実施例５）
実施例１に係る接合膜の作製において、スピンコートによる環状ポリオレフィン膜を成膜後、この膜を、大気中にて１３０℃で３０分間乾燥させ、さらに、２５℃、雰囲気圧力０．１ＭＰａにて６０分間真空乾燥させた点、Ｃｕ膜として銅箔（膜厚２０μｍ）を準備した点以外は同様にして、環状ポリオレフィン膜とＣｕ膜とが接合された、実施例５に係る接合膜を得た。
【００９２】
なお、上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜について、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンの存在をガスクロマトグラフィーにて確認したところ、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンのピークが確認された。
【００９３】
（実施例６）
実施例１に係る接合膜の作製において、スピンコートによる環状ポリオレフィン膜を成膜後、この膜を、大気中にて１３０℃で３０分間乾燥させ、さらに、６０℃、雰囲気圧力０．１ＭＰａにて６０分間真空乾燥させた点、Ｃｕ膜として銅箔（膜厚２０μｍ）を準備した点以外は同様にして、環状ポリオレフィン膜とＣｕ膜とが接合された、実施例６に係る接合膜を得た。
【００９４】
なお、上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜について、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンの存在をガスクロマトグラフィーにて確認したところ、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンのピークが確認された。
【００９５】
（実施例７）
キシレン（沸点１３０〜１５０℃）に環状ポリオレフィン（日本ゼオン（株）製、「ＺＥＯＮＯＲ（登録商標）１０２０Ｒ」）を溶解させ、４質量％の環状ポリオレフィンを含む溶液を調製した。
【００９６】
次いで、スピンコート法を用いて、予め洗浄されたガラス基板上に上記溶液を塗工し、環状ポリオレフィン膜を成膜した。この際、上記スピンコートは、２５００ｒｐｍで６０秒間回転させることにより行った。また、上記成膜後、大気中にて、１００℃で１分間乾燥させた。
【００９７】
なお、得られた環状ポリオレフィン膜について、キシレンの存在をガスクロマトグラフィーにて確認したところ、キシレンのピークが確認された。
【００９８】
以上により、有機溶剤としてキシレンを含む環状ポリオレフィン膜（膜厚１００ｎｍ）を準備した。
【００９９】
次に、Ａｌ膜として、アルミニウム箔（膜厚１２μｍ）を準備した。
【０１００】
そして、上記準備した環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜とを、両膜同士が接するように重ね合わせ、積層膜を形成した。
【０１０１】
その後、得られた積層膜を、一対の加熱・加圧ロール間を通過させることにより加熱・加圧し、環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜とが接合された実施例７に係る接合膜を得た。
【０１０２】
なお、上記加熱・加圧は、加熱温度１６０℃、加圧力２．０ＭＰａ、通過速度１０ｍｍ／分の条件で、上記積層膜を加熱・加圧することにより行った。
【０１０３】
（比較例１）
実施例１に係る接合膜の作製において、スピンコートによる環状ポリオレフィン膜を成膜後、この膜を、大気中にて１３０℃で３０分間乾燥させ、さらに、１３０℃、雰囲気圧力０．１ＭＰａにて６０分間真空乾燥させた。上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜について、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンの存在をガスクロマトグラフィーにて確認したところ、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンのピークは全く確認されなかった。
【０１０４】
その後、実施例１に係る接合膜の作製と同様にして、上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜との接合を試みた。
【０１０５】
しかしながら、ロール通過後に、Ａｌ膜が浮き上がってしまい、環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜とを密着させることができなかった。
【０１０６】
（比較例２）
実施例１に係る接合膜の作製において、スピンコートによる環状ポリオレフィン膜を成膜後、この膜を、大気中にて１３０℃で３０分間乾燥させ、さらに、１３０℃、雰囲気圧力０．１ＭＰａにて６０分間真空乾燥させた。上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜について、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンの存在をガスクロマトグラフィーにて確認したところ、１，２，３，４−テトラヒドロナフタリンのピークは全く確認されなかった。
【０１０７】
その後、実施例１に係る接合膜の作製において、Ｃｕ膜として銅箔（膜厚２０μｍ）を準備し、上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜とＣｕ膜との接合を試みた。
【０１０８】
しかしながら、ロール通過後に、Ｃｕ膜自体が浮き上がってしまい、環状ポリオレフィン膜とＣｕ膜とを密着させることができなかった。
【０１０９】
（比較例３）
実施例７に係る接合膜の作製において、スピンコートによる環状ポリオレフィン膜を成膜後、この膜を、１００℃、雰囲気圧力０．１ＭＰａにて６０分間真空乾燥させた。上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜について、キシレンの存在をガスクロマトグラフィーにて確認したところ、キシレンのピークは全く確認されなかった。
【０１１０】
その後、実施例１に係る接合膜の作製と同様にして、上記真空乾燥後の環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜との接合を試みた。
【０１１１】
しかしながら、ロール通過後に、Ａｌ膜が浮き上がってしまい、環状ポリオレフィン膜とＡｌ膜とを密着させることができなかった。
【０１１２】
２．接合膜の密着性評価
得られた各接合膜について、環状ポリオレフィン膜と金属膜（Ａｌ膜、Ｃｕ膜）との密着性を次のようにして測定した。
【０１１３】
図１は、密着力の測定方法を模式的に示した図である。
【０１１４】
図１に示すように、接合膜試料Ｓ（２５ｍｍ角、１０ａは金属膜＜アルミニウム箔または銅箔＞、１０ｂはポリマ膜、１２ｂはガラス基板）の金属膜１０ａの端部に、接続テープ１４（（株）寺岡製作所製、「ポリエステルテープ」）を介して、ＰＥＴフィルム１６（幅２３ｍｍ×長さ７２ｍｍ×厚み１００μｍ）の一端を接続する。
【０１１５】
その後、上記ＰＥＴフィルム１６の他端側表面に１ｇの錘Ｗを固定した後、接合膜試料Ｓを静かに持ち上げる。接合膜試料Ｓが剥離しなかった場合には、さらに１ｇの錘Ｗを追加する。この動作を接合膜試料Ｓが剥離するまで繰り返す。
【０１１６】
そして、接合膜試料Ｓが剥離する際の錘Ｗの質量にＰＥＴフィルム１６の質量を加え、この合計質量を金属膜１０ａの面積で割った値を、接合膜の９０°ピール強度（ｇ／ｃｍ２）とした。
【０１１７】
表１に、各接合膜の構成と密着力の測定結果をまとめて示す。
【０１１８】
【表１】
2009143078.tif 000003
【０１１９】
表１によれば、実施例に係る接合膜は、ポリマ膜を構成するポリマが極性基を有しておらず、さらに接着剤も用いていないにも関わらず、ポリマ膜と金属膜とが接合できていることが確認できた。この結果から、実施例に係る接合膜は、ポリマ本来の性能を発揮させやすく、また、幅広い用途に適用させやすいと言える。
【０１２０】
また、実施例に係る接合膜同士を比較すると、接合時に、ポリマ膜中に含まれる有機溶剤の含有量が多いほど、密着力を高くすることができることが分かる。
【０１２１】
また、実施例に係る接合膜の製造方法は、ポリマを有機溶剤に溶解してポリマ膜を成膜し、この有機溶剤を含むポリマ膜と金属膜と重ね合わせて加熱・加圧するといった簡便な方法で、密着性に優れた接合膜が得られることが確認できた。
【０１２２】
なお、各実施例に係る接合膜について、残留有機溶剤のピークが確認されない条件で真空乾燥（実施例１〜６は１３０℃、実施例７は１００℃で、雰囲気圧力０．１ＭＰａにて６０分間）を行ったが、何れの接合膜も密着力を保持できていた。
【０１２３】
このことから、接合後に残留有機溶剤の含有量を低減させれば、密着性を確保しつつ、各種用途に適用したときに、他材を腐食・溶解させるなどの残留有機溶剤に起因する不具合を低減させることが可能であることが分かった。
【０１２４】
以上、本発明は上記実施形態、実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変が可能なものである。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】密着力の測定方法を模式的に示した図である。
【図１】
2009143078.tif 000004