(57)【要約】【課題】従来のディスク搬送用バスケットを用いた洗浄方法により洗浄処理を行ったディスクの外周側に多く発生するパーティクル付着等の凸欠陥を低減できるようにしたディスク搬送用バスケットを提供する。【解決手段】自動洗浄乾燥装置等で使用される、磁気記録ディスク用基板または磁気記録ディスクを多数枚収容するためのディスク搬送用バスケットである。このディスク搬送用バスケットのディスク保持部はディスクの端面部分を保持する溝部１５ａを有する。この溝部１５ａの開き角度が鈍角、例えば１１０〜１２０度である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動洗浄乾燥装置等で使用する、磁気記録ディスク用基板または磁気記録ディスクを多数枚収容するためのディスク搬送用バスケットであって、該ディスク搬送用バスケットのディスク保持部はディスクの端面部分を保持する溝部を有し、ディスク保持部のうち少なくともディスクの下端部分を保持するディスク保持部に形成した溝部の開き角度が鈍角であることを特徴とするディスク搬送用バスケット。
【請求項２】
前記溝部の開き角度が１１０度〜１２０度の範囲であることを特徴とする請求項１に記載のディスク搬送用バスケット。
【請求項３】
前記溝部の形状がＲ形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載のディスク搬送用バスケット。
【請求項４】
ディスク搬送用バスケットの少なくともディスク保持部は樹脂製であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載のディスク搬送用バスケット。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一に記載のディスク搬送用バスケットに磁気記録ディスク用基板または磁気記録ディスクを収容して洗浄をおこなうことを特徴とする磁気記録ディスク等の洗浄方法。
【請求項６】
周波数１２０ｋＨｚ〜４００ｋＨｚの超音波を付与することを特徴とする請求項５に記載の磁気記録ディスク等の洗浄方法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の洗浄方法による洗浄工程を含むことを特徴とする磁気記録ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動洗浄乾燥装置等で使用される、磁気記録ディスク用基板または磁気記録ディスクを多数枚収容するためのディスク搬送用バスケット、該バスケットを用いた磁気記録ディスク等の洗浄方法、及び磁気記録ディスクの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、ハードディスクドライブ（HDD）では60Gbit／inch２以上の情報記録密度が要求されるようになってきた。これは一つに、HDDが従来のコンピュータ用記憶装置としてのニーズに加えて、携帯電話やナビゲーションシステム、デジタルカメラ等に搭載されるようになってきたことと関係がある。
これらの新規用途の場合、HDDを搭載する筐体スペースがコンピュータに比べて著しく小さいので、HDDを小型化する必要がある。このためには、HDDに搭載する磁気ディスクの径を小径化する必要がある。例えば、コンピュータ用途では3.5インチ型や2.5インチ型の磁気ディスクを用いることが出来たが、上記新規用途の場合では、これよりも小径の、例えば0.8インチ型〜1.8インチ型などの小径磁気ディスクが用いられる。このように磁気ディスクを小径化した場合であっても一定以上の情報容量を格納させる必要があるので、勢い、情報記録密度の向上に拍車がかかることになる。
【０００３】
また、限られたディスク面積を有効に利用するために、従来のCSS（Contact Start and Stop）方式に代えてLUL（Load Unload：ロードアンロード）方式のHDDが用いられるようになってきた。LUL方式では、HDDの停止時には、磁気ヘッドを磁気ディスクの外に位置するランプと呼ばれる傾斜台に退避させておき、起動動作時には磁気ディスクが回転開始した後に、磁気ヘッドをランプから磁気ディスク上に滑動させ、浮上飛行させて記録再生を行なう。停止動作時には磁気ヘッドを磁気ディスク外のランプに退避させたのち、磁気ディスクの回転を停止する。この一連の動作はLUL動作と呼ばれる。LUL方式HDD用の磁気ディスクでは、CSS方式のような磁気ヘッドとの接触摺動用領域（CSS領域）を設ける必要がなく、記録再生領域を拡大させることができ、高情報容量化にとって好ましいからである。
【０００４】
このような状況の下で情報記録密度を向上させるためには、磁気ヘッドの浮上量を低減させることにより、スペーシングロスを限りなく低減する必要がある。１平方インチ当り６０ギガビット以上の情報記録密度を達成するためには、磁気ヘッドの浮上量は10nm以下にする必要がある。LUL方式ではCSS方式と異なり、磁気ディスク面上にCSS用の凸凹形状を設ける必要が無く、磁気ディスク面上を極めて平滑化することが可能となる。よってLUL方式用磁気ディスクでは、CSS方式に比べて磁気ヘッド浮上量を一段と低下させることができるので、記録信号の高S/N比化を図ることができ、磁気ディスク装置の高記録容量化に資することができるという利点もある。
【０００５】
最近のLUL方式の導入に伴う、磁気ヘッド浮上量の一段の低下により、10nm以下の極低浮上量においても、磁気ディスクが安定して動作することが求められるようになってきた。
このように、磁気ディスクの記録容量は年々増加の一途をたどっており、それに伴って磁気ヘッドの浮上量も10nmを切るまでに至っている。この領域では磁気ディスク上のごく小さな欠陥（ディフェクト）でも信頼性に多大な影響を及ぼす。これまで、磁気ディスク及びそのガラス基板表面の清浄度は、光学系表面分析装置（ＯＳＡ）等を用いた欠陥検査によって評価されてきた。とりわけ近年、磁気ディスクは面内磁気記録方式から垂直磁気記録方式に移行しており、磁気ディスクの大容量化、それに伴うフライングハイトの低下が強く要求されている。
【０００６】
ところで、ディスク状のガラス基板上に磁性層を成膜した磁気記録ディスクの製造工程では、ガラス基板の研磨工程の後の洗浄処理工程、スパッタ成膜後の磁気記録ディスクの洗浄処理工程が実施される。洗浄処理工程では、多数枚のガラスディスクあるいは磁気記録ディスクを専用のディスク搬送用バスケットに収容し、バスケットごと洗浄槽の中に浸漬させて洗浄を行うが、洗浄処理の前後においても搬送用バスケットごと搬送される。
【０００７】
なお、特許文献１には、耐酸性を有するガラスからなる基板ホルダーでガラス基板を保持して液処理、例えば洗浄処理を行う方法が開示されている。
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−２５４５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図２は、従来、自動洗浄乾燥装置等で使用されている、磁気記録ディスク１を多数枚収容した状態のディスク搬送用バスケット１０の（ａ）側面図及び（ｂ）正面図を示したものである。
ディスク搬送用バスケット１０は、左右２枚の側壁板１１と１２が、これら側壁板間に設置された複数本のディスク保持用ロッド１３，１４によって所定の間隔を保持した状態で構成されている。複数本の保持用ロッド１３は上方の，保持用ロッド１４は下方のそれぞれ所定の位置に配置されており、保持用ロッド１３，１４の各両端はそれぞれ左右の側壁板１１，１２に軸留めされている。各ディスク１は、その両側端面と下端面とをそれぞれ保持する上記保持用ロッド１３，１４によって垂直方向に立てた状態で保持され、上記保持用ロッド１３，１４の各軸方向には溝部１３ａ，１４ａがそれぞれ多数形成されており、この溝部１３ａ，１４ａによって各ディスク１は互いに接触しないように所定の間隔を保ってディスク搬送用バスケット１０内に収容できるように構成されている。
【００１０】
なお、上記磁気記録ディスク１は、図６に示すように、中央に円孔を有するディスク状に形成され、表裏２つの主表面１１，１１と、その間に形成された端面１２からなり、該端面１２は、上記主表面と連続する２つの面取面１２ｂ、１２ｂとその間の側壁面１２ａからなる。また、磁気記録ディスク用基板も同様な形状である。
【００１１】
磁気記録ディスクの製造における洗浄処理工程において、磁気記録ディスク１を多数枚収容した状態の上記搬送用バスケット１０は、図３に示すように、洗浄液２１を収容する洗浄槽２０中に浸漬され、洗浄槽２０の下部に設置された超音波振動子２２によって超音波振動２３を付加しながら行う洗浄処理に供される。また、自動洗浄乾燥装置などの場合は、磁気記録ディスクを収容した状態の上記搬送用バスケット１０ごと例えばコンベアの搬送ローラ上を搬送される。
本発明者の検討によると、上記のような洗浄方法により洗浄処理、乾燥を行った磁気記録ディスク表面の凸欠陥発生率がディスクの外周側に多いことが判明した。また、ディスクの外周側には洗浄乾燥残りと考えられる染みが残ってしまう場合がある（図５参照）。
【００１２】
磁気記録ディスク表面の凸欠陥、例えばパーティクルが付着したままだと、低フライングハイト化の阻害やサーマルアスペリティ（ＴＡ）の原因となる。また、成膜前のディスク基板表面にパーティクルが付着すると成膜時の欠陥となってしまう。つまり、これらのパーティクルがディスク基板上に付着したまま、磁性層等を成膜すると、磁気記録ディスク表面に微小な突起が形成され、低フライングハイト化の阻害やサーマルアスペリティ（ＴＡ）の原因となる。
なお、前記特許文献１に開示された洗浄方法によると、基板を保持する基板ホルダーをガラスで構成しているため、同じくガラス製の基板との接触により微小なガラス破片等のパーティクルが発生するおそれがあり、本発明者が見出した上記のような課題を解決することにはつながらない。
【００１３】
本発明はこのような従来技術の問題点に鑑みなされたもので、その目的とするところは、従来のディスク搬送用バスケットを用いた洗浄方法により洗浄処理を行ったディスクの外周側に多く発生するパーティクル付着等の凸欠陥を低減できるようにしたディスク搬送用バスケット、該バスケットを用いた磁気記録ディスク等の洗浄方法、及び磁気記録ディスクの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者は上記課題を解決すべく、ディスク搬送用バスケットのディスク保持部の構造に着目し、さらに鋭意検討した結果、本発明を完成した。
すなわち、本発明は以下の構成を有する発明である。
（発明の構成１）
自動洗浄乾燥装置等で使用する、磁気記録ディスク用基板または磁気記録ディスクを多数枚収容するためのディスク搬送用バスケットであって、該ディスク搬送用バスケットのディスク保持部はディスクの端面部分を保持する溝部を有し、ディスク保持部のうち少なくともディスクの下端部分を保持するディスク保持部に形成した溝部の開き角度が鈍角であることを特徴とするディスク搬送用バスケット。
【００１５】
（発明の構成２）
前記溝部の開き角度が１１０度〜１２０度の範囲であることを特徴とする構成１に記載のディスク搬送用バスケット。
（発明の構成３）
前記溝部の形状がＲ形状であることを特徴とする構成１又は２に記載のディスク搬送用バスケット。
【００１６】
（発明の構成４）
ディスク搬送用バスケットの少なくともディスク保持部は樹脂製であることを特徴とする構成１乃至３のいずれか一に記載のディスク搬送用バスケット。
（発明の構成５）
構成１乃至４のいずれか一に記載のディスク搬送用バスケットに磁気記録ディスク用基板または磁気記録ディスクを収容して洗浄をおこなうことを特徴とする磁気記録ディスク等の洗浄方法。
【００１７】
（発明の構成６）
周波数１２０ｋＨｚ〜４００ｋＨｚの超音波を付与することを特徴とする構成５に記載の磁気記録ディスク等の洗浄方法。
（発明の構成７）
構成５又は６に記載の洗浄方法による洗浄工程を含むことを特徴とする磁気記録ディスクの製造方法。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のディスク搬送用バスケットによれば、従来のディスク搬送用バスケットを用いた洗浄方法により洗浄処理を行ったディスクの外周側に多く発生するパーティクル付着等の凸欠陥を低減することができる。
また、本発明のディスク搬送用バスケットを用いた磁気記録ディスク等の洗浄方法により、凸欠陥を低減でき、磁気記録ディスク等の表面の清浄度を向上させることができる。さらに、低表面欠陥で、低フライングハイト化に対応できる磁気記録ディスクを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための最良の形態について詳述する。
図１は、本発明に係るディスク搬送用バスケットのディスク保持部の構造を示す（ａ）正面図および（ｂ）側面図である。
なお、図４は、従来のディスク搬送用バスケットのディスク保持部の構造を示す（ａ）正面図および（ｂ）側面図であるが、適宜図４と対比しながら本発明を説明する。
また、本発明に係るディスク搬送用バスケットの全体的な構成は、前述の図２に示すものと同様であるので、ここでは重複説明は省略する。
【００２０】
本発明に係るディスク搬送用バスケットは、ディスクを保持するディスク保持用ロッドを有し、このディスク保持用ロッドはディスクの端面部分を保持する溝部を有するが、このディスク保持用ロッドのうち少なくともディスクの下端部分を保持するディスク保持用ロッド１５の溝部（谷部）１５ａは、その開き角度が鈍角となるように形成されている（図１（ｂ）参照）。このように、ディスク保持用ロッド１５の溝部１５ａの傾斜面の開き角度が鈍角であることにより、ディスク１の端面部分と溝部１５ａとの接触部（図中のＣの領域）に発生する表面張力を低減させることができる。この表面張力が発生しにくくなることで、洗浄液がディスク１の端面部分と溝部１５ａとの接触部に入り込み易くなり、ディスクの外周側においても良好な洗浄作用が得られる。
【００２１】
これに対して、従来の構成では、図４（ｂ）に示すように、ディスクの下端を保持するディスク保持用ロッド１４の溝部１４ａの傾斜面の開き角度は略９０度（あるいはそれ未満）であることにより、とくにディスク端面の面取面が溝部１４ａの傾斜面に接触するようになり、ディスク１の端面部分と溝部１４ａとの接触部（図中のＢの領域）に表面張力が発生し、洗浄液がディスク１の端面部分と溝部１４ａとの接触部に入り込むのを阻害し、良好な洗浄作用が得られなくなる。このため、従来の構成では、ディスクの特に外周側で洗浄残りによる凸欠陥が発生しやすくなるものと考えられる。
【００２２】
本発明においては、上述のように、ディスク保持用ロッド１５の溝部１５ａの傾斜面の開き角度が鈍角であればよいが、特に１１０〜１２０度の範囲であることが好ましい。１１０度未満であると、ディスク１の端面部分と溝部１５ａとの接触部に発生する表面張力を低減させる作用が小さくなる。また、１２０度よりも大きいと、ディスクの端面部分を保持する作用が低下し、ディスクのがたつきが生じる。
【００２３】
また、本発明においては、上記溝部１５ａの形状がＲ形状であることが好ましい。このように溝部１５ａの形状がＲ形状であることにより、溝部の表面張力による洗浄残りの発生を低減することが可能になる。
【００２４】
また、本発明のディスク搬送用バスケットにおいては、ディスク１の下端部を保持するディスク保持用ロッド１５を正面側から見た形状を略菱形形状としている（図１（ａ）参照）。洗浄中に、洗浄槽下部より超音波振動を付加した場合、ディスク保持用ロッド１５で保持されるディスク１の下端部においてもロッド１５に邪魔されずに良好な超音波による作用が得られる。
【００２５】
これに対して、従来の構成では、図４（ａ）に示すように、ディスク保持用ロッド１４で保持されるディスク１の下端部においては、該ロッド１４に邪魔されて超音波による作用が十分に得られなくなる。そのため、従来の構成では、ディスク保持用ロッド１４で保持されるディスク１の下端部（図中のＡの領域）では、超音波作用が薄れ、結果的に洗浄残りを発生させる要因の一つとなるものと考えられる。
【００２６】
なお、本発明においては、図１（ａ）に示すように、ディスク１の下端部を保持するディスク保持用ロッド１５を正面側から見た形状を一例として略菱形形状としているが、もちろんこの形状に限定する必要は無く、下方からの超音波の作用を妨げないような形状であれば構わない。
【００２７】
また、本発明に関する上記の説明では、ディスクの下端部を保持する保持用ロッド１５及びその溝部１５ａの構成上の特徴について説明したが、ディスクの両端部分をそれぞれ保持する保持用ロッド１３に関しても、上記保持用ロッド１５と同様の構成とすることは本発明には好適である。
【００２８】
また、本発明のディスク搬送用バスケットの少なくともディスク保持部である上記ディスク保持用ロッド１３，１５は樹脂製であることが望ましい。樹脂製とすることにより、ディスク保持部でのディスクとの接触によるパーティクル等の発生を抑制することができるからである。
【００２９】
また、本発明のディスク搬送用バスケットを用いた洗浄方法では、純水洗浄の後、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）による洗浄を行うことが好適であるが、ディスク表面の純水をＩＰＡとスムースに置換させるためには、通常では超音波振動による外力を加えることが望ましい。この際、超音波によるディスク等への影響（ダメージ）を考慮する必要があるが、低周波であると、ディスク、特に磁性層への悪影響が懸念される。逆に高周波であると、バスケットのディスク保持部（樹脂製）への悪影響が懸念される。そこで、洗浄工程において超音波振動を付加する場合、周波数１２０ｋＨｚ〜４００ｋＨｚ程度の範囲内の超音波を付与することが好適である。
【００３０】
以上説明したように、本発明のディスク搬送用バスケットによれば、従来のディスク搬送用バスケットを用いた洗浄方法により洗浄処理を行った場合のディスクの外周側に多く発生していたパーティクル付着等の凸欠陥を低減することができる。
【００３１】
また、このような本発明のディスク搬送用バスケットを用いた磁気記録ディスク等の洗浄方法により、パーティクル等の凸欠陥を低減でき、磁気記録ディスク等の表面の清浄度を向上させることができる。また、本発明によれば、ディスク表面を清浄な状態に形成できるので、パーティクル付着等に起因する磁気記録ディスク等への悪影響の問題を有効に解決することが可能になる。そして、低表面欠陥で、低フライングハイト化に対応でき、しかも信頼性の高い磁気記録ディスクを安定的に製造することができる。
したがって、本発明によるディスク搬送用バスケットを用いる洗浄工程が含まれる磁気記録ディスクの製造方法は好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明によるディスク搬送用バスケットのディスク保持部の構造を示す（ａ）正面図および（ｂ）側面図である。
【図２】磁気記録ディスクを多数枚収容したディスク搬送用バスケットの（ａ）側面図及び（ｂ）正面図である。
【図３】ディスク搬送用バスケットを洗浄槽内に浸漬させて洗浄を行っている状態の側面図である。
【図４】従来のディスク搬送用バスケットのディスク保持部の構造を示す（ａ）正面図および（ｂ）側面図である。
【図５】表面検査装置で観察した従来の洗浄後のディスク表面を示す写真である。
【図６】磁気記録ディスクの一部断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  磁気記録ディスク
２  主表面
３  端面
１０  ディスク搬送用バスケット
１３，１４，１５  ディスク保持用ロッド
１３ａ，１４ａ，１５ａ  溝部
２０  洗浄槽
２２  超音波振動子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図５】
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