(57)【要約】【課題】槽内の温度分布を完全に均一にすることは実質不可能であり、少なからず温度差が生ずる。また、１つのエージング対象物においても部分的に温度差が生ずることも起こり得る。このような場合、表示欠陥がない表示パネルであることを保証できない表示パネルが発生してしまう。【解決手段】ラバーヒータ３は加熱電圧生成部３０から出力される電圧が印加されることによって、ヒータ部分全面が発熱する。この結果、表示領域は、ほぼ均一の温度に加熱される確率が高くなる。ラバーヒータ３の下側には、所定の空間を隔てて冷却手段となるペルチェ素子４が配置されている。ペルチェ素子４は冷却電圧生成部４０から出力される電圧が印加されることによって、ラバーヒータ３と対向する面が、表面温度の下がる冷却面となるように構成されている。この結果、表示領域は、ほぼ均一の温度に冷却される確率が高くなる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネル１枚ずつ、当該表示パネルの表示状態を検査するパネル検査装置であって、
前記表示パネルを加熱する加熱手段と、
前記表示パネルの加熱後、前記表示パネルを冷却する冷却手段と、
前記表示パネルの表示状態を検査する検査画像を、前記表示パネルの加熱時に表示する検査画像表示手段と、
を備えたことを特徴とするパネル検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパネル検査装置であって、
前記冷却手段は、前記加熱手段による前記表示パネルの加熱時は、前記表示パネルおよび前記加熱手段から遠ざかり、当該冷却手段による前記表示パネルの冷却時は、前記表示パネルに近づくように構成された手段であることを特徴とするパネル検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のパネル検査装置であって、
前記加熱手段と前記冷却手段とは、前記表示パネルに対して互いに反対側に位置することを特徴とするパネル検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載のパネル検査装置であって、
前記冷却手段は、重力方向において前記加熱手段よりも上側に位置することを特徴とするパネル検査装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載のパネル検査装置であって、
前記加熱手段および前記冷却手段は、前記表示パネルの表示領域全面を加熱および冷却する手段であることを特徴とするパネル検査装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載のパネル検査装置であって、
前記加熱手段は、ラバーヒータを有する手段であることを特徴とするパネル検査装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載のパネル検査装置であって、
前記冷却手段は、ペルチェ素子を有する手段であることを特徴とするパネル検査装置。
【請求項８】
表示パネル１枚ずつ、当該表示パネルの表示状態を検査するパネル検査方法であって、
前記表示パネルを加熱する加熱工程と、
前記表示パネルの加熱後、前記表示パネルを冷却する冷却工程と、
前記表示パネルの表示状態を検査する検査画像を、前記表示パネルの加熱時に表示する検査画像表示工程と、
を有することを特徴とするパネル検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネル１枚ずつ、当該表示パネルの表示状態を検査するパネル検査装置およびパネル検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄型の自発光素子であるエレクトロルミネッセンス素子（ＥＬ素子）を表示素子として形成した表示パネルが多く使われるようになってきた。ＥＬ素子は、発光材料によって形成された発光層を陽極と陰極とで挟み、これらの電極間に電流を流すことによって発光層から発光光を射出するものである。
【０００３】
このような表示パネルを電子機器等に組み込んで使用する場合は、組み込む表示パネルが、形成された総てのＥＬ素子が発光する表示欠陥がない表示パネルであることを保証する必要がある。そこで、まずＥＬ素子が常温において総て発光するか否かを検査するパネル検査のあとに、表示パネルの品質を加速評価するため、各ＥＬ素子を発光させた状態で表示パネルを所定の時間高温中に放置する所謂通電エージングを行う。そして、通電エージング後において、総てのＥＬ素子が発光するか否かを確認して、組み込む表示パネルが、総てのＥＬ素子が発光する表示欠陥がない表示パネルであることを保証していた。
【０００４】
ところで、通電エージングにおいては、通常エージング装置と呼ばれる槽内に、複数の表示パネルを設置して高温中に放置することが行われる。このとき、総ての表示パネルの温度が、通電エージングのための設定温度になる必要がある。このため、例えば、特許文献１には、槽内の温度分布を高精度に制御する技術が開示され、エージング対象物の温度を設定値に近づける工夫が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−３４３４９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示された技術においても、空気を媒体として加熱を行うため、槽内の温度分布を完全に均一にすることは実質不可能であり、エージング対象物間において少なからず温度差が生ずる。また、１つのエージング対象物においても部分的に温度差が生ずることも起こり得る。このような場合、エージング対象物が上述した表示パネルであった場合、すべての表示パネルが同じ温度で通電エージングされないために、形成された総てのＥＬ素子が発光する表示欠陥がない表示パネルであることを保証できない表示パネルが発生してしまう。
【０００７】
また、通常は多くの表示パネルを一度に通電エージングするため、槽内の空気容量が大きく、槽内の温度が常温から設定温度になるまでに長い時間を要する。このような場合、通電エージングに要するトータル時間が長くなり、表示パネルが、表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでに時間がかかることになる。この結果、電子機器への組み込みが遅くなってしまうという不具合が生じる。また、通電エージングの結果を、表示パネルの製造工程にフィードバックする必要がある場合は、フィードバックが遅くなってしまうことになる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］表示パネル１枚ずつ、当該表示パネルの表示状態を検査するパネル検査装置であって、前記表示パネルを加熱する加熱手段と、前記表示パネルの加熱後、前記表示パネルを冷却する冷却手段と、前記表示パネルの表示状態を検査する検査画像を、前記表示パネルの加熱時に表示する検査画像表示手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、表示パネル１枚ずつ、検査画像を表示して表示状態を検査するパネル検査装置において、加熱によって表示パネルを高温にできると共に、冷却によって加熱状態を素早く常温状態に戻すことができる。従って、表示パネルの表示状態を検査した後、直ちに通電エージングを行うことが可能となる。また、表示パネル１枚に対して加熱と冷却を行うので、表示パネルの温度を設定温度に制御することが容易であるとともに、設定温度に到達するまでの時間を短くすることができる。この結果、通電エージングに要する時間が長くなることを抑制できるので、表示パネルが、表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでの時間を短くすることができる。
【００１１】
［適用例２］上記パネル検査装置であって、前記冷却手段は、前記加熱手段による前記表示パネルの加熱時は、前記表示パネルおよび前記加熱手段から遠ざかり、当該冷却手段による前記表示パネルの冷却時は、前記表示パネルに近づくように構成された手段であることを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、加熱時は冷却手段を加熱手段および表示パネルから遠ざけるので、冷却手段の温度上昇を抑制し、冷却を効果的に行うことができる。この結果、表示パネルを常温に素早く戻すことができる。
【００１３】
［適用例３］上記パネル検査装置であって、前記加熱手段と前記冷却手段とは、前記表示パネルに対して互いに反対側に位置することを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、例えば加熱は表示パネルの下側から、冷却は表示パネルの上側からというように、加熱および冷却を、表示パネルの両面でそれぞれ直接行うので、表示パネルに対して加熱および冷却を効果的に行うことができる。この結果、表示パネルの温度を設定温度から常温に素早く戻すことができる。
【００１５】
［適用例４］上記パネル検査装置であって、前記冷却手段は、重力方向において前記加熱手段よりも上側に位置することを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、冷却を重力方向において上側から行うことで、冷気が重力方向に下がる性質を有するため、表示パネルの冷却を効果的に行うことが期待できる。この結果、表示パネルの温度を設定温度から常温に素早く戻すことが期待できる。
【００１７】
［適用例５］上記パネル検査装置であって、前記加熱手段および前記冷却手段は、前記表示パネルの表示領域全面を加熱および冷却する手段であることを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、表示領域全面を加熱または冷却するので、表示パネルの表示領域内での温度差が生じにくく、表示領域全面においてほぼ均一な温度にて通電エージングを行うことができる。
【００１９】
［適用例６］上記パネル検査装置であって、前記加熱手段は、ラバーヒータを有する手段であることを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、通電によって容易に加熱を行うことができるので、温度制御が容易であり、ひいては通電エージングに要する時間も短くすることができる。また、ラバーヒータによって加熱手段を薄く形成できるので、パネル検査装置が薄くできるという効果を奏する。
【００２１】
［適用例７］上記パネル検査装置であって、前記冷却手段は、ペルチェ素子を有する手段であることを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、通電によって容易に冷却を行うことができるので、温度制御が容易となり、ひいては通電エージングに要する時間も短くすることができる。また、ペルチェ素子によって冷却手段を薄く形成できるので、パネル検査装置が薄くできるという効果を奏する。
【００２３】
［適用例８］表示パネル１枚ずつ、当該表示パネルの表示状態を検査するパネル検査方法であって、前記表示パネルを加熱する加熱工程と、前記表示パネルの加熱後、前記表示パネルを冷却する冷却工程と、前記表示パネルの表示状態を検査する検査画像を、前記表示パネルの加熱時に表示する検査画像表示工程と、を有することを特徴とする。
【００２４】
この方法によれば、表示パネル１枚ずつ、検査画像を表示して表示状態を検査するパネル検査において、加熱によって表示パネルを高温にできると共に、冷却によって加熱状態を素早く常温状態に戻すことができる。従って、表示パネルの表示状態を検査するとともに、通電エージングを同時に行うことが可能となる。また、表示パネル１枚に対して加熱と冷却を行うので、表示パネルの温度を設定温度に制御することが容易であるとともに、設定温度に到達するまでの時間を短くすることができる。この結果、通電エージングに要する時間が長くなることを抑制できるので、表示パネルが、表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでの時間を短くすることができる。なお、このパネル検査方法は、上記適用例のパネル検査装置の構成に対応する工程を追加してもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。図１は、本実施例のパネル検査装置１０の概要を示す構成図である。パネル検査装置１０は、表示パネルをセットするためのパネルセット台１と、検査画像を表示するための画像信号を表示パネルに印加するためのプローブ２Ｐが複数設けられたプローブ台２とを備えている。そして、表示パネルをパネルセット台１にセットしたのちプローブ台２を表示パネルの方向に下げ、表示パネルに設けられた図示しない複数の端子に、プローブ２Ｐの先端をそれぞれ押し当てて電気的な導通をとり、画像信号をプローブ２Ｐを介して表示パネルに入力する。この結果、表示パネルの表示領域には、画像信号によって検査画像が表示される。なお、本実施例では、表示素子は有機ＥＬ素子であるものとする。また、検査画像の表示面側は、図示するように図面上側であり、以降の説明において、これを表示パネルの表面側とも呼ぶことにする。
【００２６】
本実施例のパネル検査装置１０は、表示パネルの表示領域に検査画像を表示させた状態において、表示パネルの表示面側と反対の裏面側（図面下方向）から表示パネルを加熱および冷却するべく、図示しない加熱手段および冷却手段が構成されている。つまり、パネル検査装置１０は、表示パネルを加熱または冷却しながら、表示パネルの表示状態をパネル検査者が目視等で確認することができるように構成されている。
【００２７】
次に、図２を用いて、加熱手段および冷却手段について詳しく説明する。図２は、パネル検査装置１０の全体構成を示す模式図である。図示するように、表示パネルの裏面側（図面下方向）には、加熱手段となるラバーヒータ３が、接着剤等によってパネルセット台１に当接して固着されている。なお、パネルセット台１は、本実施例では金属製のほぼ平板（例えば、ステンレス鋼板）で形成されている。
【００２８】
ラバーヒータ３は、図示しない電気配線を通して加熱電圧生成部３０から出力される電圧（または電流）が印加されることによって、全面が発熱する。そこで、ラバーヒータ３は、少なくとも表示パネルの表示領域と同じ形状にすることで、表示パネルの表示領域全面を、パネルセット台１を介して加熱できるように構成されている。この結果、表示領域は、ほぼ均一の温度に加熱される確率が高い。
【００２９】
ラバーヒータ３の下側には、所定の空間を隔てて冷却手段となるペルチェ素子４が配置されている。ペルチェ素子４は、図示しない電気配線を通して冷却電圧生成部４０から出力される電圧（または電流）が印加されることによって、ラバーヒータ３と対向する面が、表面温度の下がる冷却面となるように構成されている。そこで、ペルチェ素子４は、少なくとも表示パネルの表示領域と同じ形状にすることで、表示パネルの表示領域全面を冷却できるように構成されている。この結果、表示領域は、ほぼ均一の温度に冷却される確率が高い。
【００３０】
ペルチェ素子４の冷却面と反対側の面は、所謂ペルチェ効果によって温度が上昇するため、放熱のためのヒートシンク５が接着等によって固着されている。また、放熱量を多くするためにヒートシンク５にはフィン５Ｆが複数形成されている。もとより、ヒートシンク５は、熱伝導率の大きな銅やアルミニウムといった金属材料で形成されている。
【００３１】
ヒートシンク５に対してペルチェ素子４と反対側となる図面下側であって、ヒートシンク５の端部において、ヒートシンク５を図面上下（図中、矢印Ｓ）方向に昇降移動する移動手段、すなわち、アクチュエータ６と、このアクチュエータ６によって図面上下方向に移動する押し部６ａとが設けられている。
【００３２】
アクチュエータ６は、図示しない電気配線を通して昇降電圧生成部６０から出力される電圧（または電流）が印加されることによって動作し、押し部６ａを押し上げてヒートシンク５を上昇させる。その結果、ペルチェ素子４の冷却面は、ラバーヒータ３に当接し、ラバーヒータ３を介して表示パネルの表示領域全体を冷却する。従って、表示パネルの表示領域全面の温度を下げることができるので、表示領域は、ほぼ均一の温度に冷却される確率が高い。なお、押し部６ａは、昇降電圧生成部６０から出力される電圧（または電流）が印加されることによって降下し、ヒートシンク５を元に位置に戻すことも行う。なお、このような昇降する移動手段としては、例えばボールねじと回転モータが採用できる。
【００３３】
また、同じくヒートシンク５に対してペルチェ素子４と反対側となる図面下側には、フィン５Ｆに対して送風するための送風ファン７が配置されている。送風ファン７は、図示しない電気配線を通してファン電圧生成部７０から出力される電圧（または電流）が印加されることによって動作し、表示パネルの冷却時においてフィン５Ｆに対して送風する。その結果、ヒートシンク５による放熱量を多くすることができるので、ラバーヒータ３を介して表示パネルの表示領域全体の温度を素早く安定して下げることができる。従って、表示領域の温度降下が速くなることから、設定温度から常温に到達するまでの時間を短くすることができる。なお、ヒートシンク５から放熱が充分行われる場合は、フィン５Ｆや送風ファン７は必ずしも設ける必要はない。
【００３４】
次に、以上のように構成されたパネル検査装置１０において行われる加熱および冷却動作を含めたパネル検査、すなわち通電エージング検査について説明する。なお、検査画像生成部２０、加熱電圧生成部３０、冷却電圧生成部４０、昇降電圧生成部６０、ファン電圧生成部７０は、制御部１００によってそれぞれ制御され、所定の電圧（または電流）を出力することによって、加熱および冷却動作を含めた一連の通電エージング検査を実行する。
【００３５】
まず、パネル検査者は、検査対象となる１枚の表示パネルをパネルセット台１にセットし、プローブ台２を下げてプローブ２Ｐを表示パネルの端子に押し当てる。そして、パネル検査装置１０の一部に設けられた図示しないスイッチボタンを押して、通電エージング検査を開始させる。
【００３６】
検査が開始されると、まず、制御部１００は、加熱電圧生成部３０を制御し、ラバーヒータ３に電圧を印加して発熱させ、表示パネル全体を加熱する。そして、表示パネルの表示領域全体の温度が設定温度になったところで、検査画像生成部２０を制御して、画像信号をプローブ２Ｐを介して表示パネルに出力して検査画像を表示させる。
【００３７】
次に、制御部１００は、ラバーヒータ３に印加する電圧を制御して、通電エージングとして定められた時間、表示領域の温度を設定温度に維持する。具体的には、表示パネルに取り付けた図示しない温度センサーによって表示パネルの表示領域の温度を測定し、測定した温度を監視しながら、ラバーヒータ３に印加する電圧を制御して発熱量を制御することによって行う。もとより、設定温度は所定の温度範囲を有しており、制御部１００は、この温度範囲内になるように加熱電圧生成部３０を制御する。ちなみに、本実施例では、設定温度は５５℃±５℃である。
【００３８】
次に、通電エージングとして定められた時間が経過したら、制御部１００は、加熱電圧生成部３０からの電圧出力を中止してラバーヒータ３の発熱を中止するとともに、検査画像生成部２０からの画像信号の出力を中止して検査画像の表示を中止する。これと同時に、冷却電圧生成部４０を制御し、ペルチェ素子４に電圧を印加して冷却面の温度を下げ、さらに昇降電圧生成部６０を制御してアクチュエータ６を動作させ、押し部６ａを上昇させて冷却面をラバーヒータ３の下面に当接させる。また、同時にファン電圧生成部７０を制御して送風ファン７を動作させ、フィン５Ｆに送風する。
【００３９】
このとき、制御部１００は、表示パネルに取り付けた図示しない温度センサーによって表示パネルの表示領域の温度を測定し、測定した温度を監視しながら、表示領域の温度が常温になるまで冷却動作を継続する。ちなみに、本実施例では、常温は２５℃±２℃である。
【００４０】
そして、常温に戻ったら、制御部１００は、冷却電圧生成部４０とファン電圧生成部７０からの電圧出力を中止し、さらに昇降電圧生成部６０を制御してアクチュエータ６を動作させ、押し部６ａを降下させて元の位置に戻す。これは、次の表示パネルについて加熱および冷却動作を行うために、元の状態にするためである。つまり、ペルチェ素子４の冷却面をラバーヒータ３から離しておくことによって、ラバーヒータ３による発熱によって冷却面が加熱されてしまうことを抑制するためである。こうして、一連の通電エージング検査についての動作が終了する。
【００４１】
その後、制御部１００は、表示パネルが常温に戻ったタイミングで、検査画像生成部２０を制御して、表示パネルに再び検査画像を表示させる。パネル検査者は、表示された検査画像を目視確認してパネル検査を行い、そのパネルが、表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定する。
【００４２】
さて、このような本実施例による通電エージング検査は、空気を媒体とすることなく、表示パネルに対して直接加熱および冷却を行うものである。従って、表示パネルの設定温度までの温度上昇、および常温までの温度降下を速めることができるので、前述したエージング装置と呼ばれる槽内で通電エージングを行う従来の検査方法に比べて、表示パネルが表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでの検査時間を短くすることができる。これを図３を用いて説明する。
【００４３】
図３は、通電エージング検査における表示パネルの温度と経過時間との関係を示すグラフである。グラフＡ（実線）は、本実施例での通電エージング検査における表示パネルの温度と経過時間との関係を示すグラフであり、グラフＢ（破線）は、従来のエージング装置での通電エージング検査における表示パネルの温度と経過時間との関係を示すグラフである。図示するように、どちらも通電エージングの継続時間は同じであるが、通電エージングのための設定温度（５５℃）に到達するまでの時間、および設定温度から常温（２５℃）に戻るまでの時間が異なる。
【００４４】
まず、従来のエージング装置を用いる検査では、グラフＢに示すように、エージング装置の槽内の空気を温度上昇あるいは温度降下させる必要があるため、槽内の空気容量に起因して、温度上昇および温度降下に相当な時間を要する。さらに、複数の表示パネルに対して一度に通電エージング検査を行うため、エージング装置に複数の表示パネルをセットするための準備時間が必要となる。また、表示パネルをエージング装置にセットする際、表示パネルにフレキシブル基板（ＦＰＣ）などの接続基板を取り付ける場合もあり、この場合は、この取り付け作業のための時間が準備作業時間としてさらに必要となる。この結果、表示パネルが表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでには、経過時間ＴＢを要する。
【００４５】
これに対して、本実施例の通電エージング検査は、グラフＡに示すように、空気を介することなく加熱および冷却を行うことから、グラフＢに比べて温度上昇および温度降下が速くなる。従って、表示パネルが表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでの経過時間は、経過時間ＴＢよりも短い経過時間ＴＡで済む。
【００４６】
上述したように、本実施例によれば、表示パネル１枚ずつ、加熱によって表示パネルを設定温度（高温）にできると共に、冷却によって加熱状態を素早く常温（低温）に戻すことができる。従って、表示パネルの表示状態を検査したあと、引き続き直ちに通電エージング検査を行うことが可能となる。また、表示パネル１枚に対して加熱と冷却を行うので、表示パネルの温度を設定温度に制御することが容易であるとともに、設定温度に到達するまでの時間を短くすることができる。この結果、通電エージング検査に要する時間が長くなることを抑制できるので、表示パネルが、表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでの時間を短くすることができる。
【００４７】
また、加熱手段となるラバーヒータ３および冷却手段となるペルチェ素子４は、表示パネルの表示領域全面をそれぞれ加熱および冷却するので、表示パネルの表示領域内での温度差が生じにくく、表示領域全面においてほぼ均一な温度にて通電エージングを行うことが可能である。
【００４８】
以上、本発明について、実施例を用いて説明したが、本発明はこうした実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において様々な形態で実施し得ることは勿論である。以下変形例を挙げて説明する。
【００４９】
（第１変形例）
上記実施例では、加熱手段となるラバーヒータ３と冷却手段となるペルチェ素子４（およびヒートシンク５と送風ファン７）を、いずれも表示パネルの裏面側（図面下側）に配置したが、必ずしもこれに限るものでないことは勿論である。例えば、冷却手段を表示パネルの表面側に配置することとしてもよい。これを、図４を用いて説明する。
【００５０】
図４は、冷却手段であるペルチェ素子４、ヒートシンク５、送風ファン７が表示パネルに対してラバーヒータ３と反対側となる表面側（図面上側）に配置されたものである。従って、ペルチェ素子４の上側はヒートシンク５に固着され、さらにヒートシンク５の上側には、送風ファン７が配置されている。
【００５１】
ペルチェ素子４は、上記実施例と同様に、ヒートシンク５の端部に設けられたアクチュエータ６によって矢印Ｓの方向に昇降移動する。そして、冷却時は表示パネル上を覆い、表示パネルが常温に戻った時点で表示パネルから離れて元の位置に戻る。また、図４においては図示しないが、上記実施例と同様、制御部１００が形成され、ラバーヒータ３、ペルチェ素子４、アクチュエータ６、送風ファン７にそれぞれ所定の電圧を印加して動作させる。
【００５２】
さて、このように冷却手段が表示パネルの表面側に配置された本変形例によれば、以下の効果を奏する。すなわち、上記実施例では、表示パネルの冷却時、ラバーヒータ３を介して表示パネルを冷却した。このため、空気層は介していないが、ラバーヒータ３を介して冷却するために、冷却効果が落ちるという課題がある。これに対して本変形例では、ペルチェ素子４を、直接表示パネルに接触させることができるので、冷却効果が落ちることが抑制される。従って、表示パネルにおける表示領域の温度を、素早く冷やすことができるので、表示パネルが、表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでの時間を短くすることができる。
【００５３】
さらに、本変形例において、表示パネルの表面側を、重力方向において上側にすることが好ましい。こうすれば、冷気は重力方向において下側に下降するため、表示パネルを効果的に冷却することが可能となる。従って、表示パネルにおける表示領域の温度を、さらに素早く冷やすことが期待できるので、表示パネルが、表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでの時間をさらに短くすることが期待できる。
【００５４】
なお、本変形例では、表示パネルの冷却時は、表示領域が冷却手段によって覆われて表示状態を見ることが出来ないが、冷却終了時は、冷却手段は表示パネルから離れるため、表示状態の検査は可能である。
【００５５】
（第２変形例）
上記実施例では、加熱手段をラバーヒータ３にて、冷却手段をペルチェ素子４（およびヒートシンク５と送風ファン７）にて、それぞれ異なる部材によって形成したが、必ずしもこれに限るものでないことは勿論である。例えば、加熱手段と冷却手段とを、同じ部材で形成することとしてもよい。これを、図５を用いて説明する。
【００５６】
図５は、加熱手段と冷却手段とをペルチェ素子４で形成した場合を示したものである。ペルチェ素子４の上側はパネルセット台１に接着等によって固着され、ペルチェ素子４の下側はヒートシンク５に接着等によって固着されている。そしてヒートシンク５の下側には、送風ファン７が配置されている。
【００５７】
ペルチェ素子４は、図示しない電気配線を通して加熱冷却電圧生成部５０から出力される電圧（または電流）の印加方向によって、周知のようにパネルセット台１と対向する面が、表面温度が上がる加熱面となったり、表面温度が下がる冷却面となったりする素子である。そこで、ペルチェ素子４を、少なくとも表示パネルの表示領域と同じ形状にすることで、表示パネルの表示領域全面を加熱または冷却できるように構成する。
【００５８】
なお、送風ファン７は、ペルチェ素子４を加熱手段として使用するときは、加熱面の温度を高くするためにヒートシンク５を冷やさないように動作を中止し、逆に、ペルチェ素子４を冷却手段として使用するときは、冷却面の温度を低くするためにヒートシンク５からの放熱を多くするために動作させることが好ましい。従って、本変形例における制御部１００は、図示するように検査画像生成部２０と加熱冷却電圧生成部５０とファン電圧生成部７０を制御して、上述した動作を行う。
【００５９】
このように加熱手段と冷却手段とを同じ部材で形成した本変形例によれば、以下の効果を奏する。すなわち、上記実施例では、ペルチェ素子４を固着したヒートシンク５を表示パネルの冷却時に昇降動作させるため、昇降手段を必要とした。このため、パネル検査装置１０の構成が複雑になるという課題がある。これに対して本変形例では、ペルチェ素子４を、加熱と冷却の双方の手段を兼用させるので、ペルチェ素子４をパネルセット台１に常に固着した状態で使用することができる。従って、ペルチェ素子４の昇降手段を必要としないので、パネル検査装置１０の構造が複雑にならずに済む。また、昇降時間が不要であるので、表示パネルにおける表示領域の温度を、素早く冷やすことができる。この結果、表示パネルが、表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでの時間をさらに短くすることが期待できる。
【００６０】
（第３変形例）
上記実施例では、通電エージング検査における表示パネルの設定温度を５５℃±５℃としたが、上記した加熱および冷却手段を用いることによって、表示パネルに対する温度制御を素早く行うことが可能であることから、検査温度を高くすることとしてもよい。
【００６１】
例えば、表示パネルに対してこのような高温状態を長く続けると、表示パネルに対して損傷を与えるリスクがあるため、通電エージング検査の温度をパネルが損傷を受けない継続温度（ここでは５５℃）とした。しかしながら、上述したように空気層を介することなく加熱手段と冷却手段とによって素早く温度上昇および温度降下を制御することができるので、表示パネルの損傷を抑制することが可能である。
【００６２】
例えば、図６に示した通電エージング検査における表示パネルの温度と経過時間との関係を示すグラフＣのように、通電エージング検査時の温度５５℃を９０℃±１０℃程度の高温エージングとしてもよい。こうすれば、通電エージング検査における温度加速係数が大きくなるので、グラフＡ（破線）で示した上記実施例における通電エージング検査に要する経過時間ＴＡを、経過時間ＴＣまで短くすることができる。従って、表示パネルが、表示欠陥のない保証できる表示パネルであるか否かを特定するまでの時間を短くすることができる。
【００６３】
なお、高温エージング時間を、表示パネルの損傷を与えない継続時間としたとき、継続時間が通電エージング検査時間として不足する場合は、これを必要な回数繰り返して、トータルの通電エージング時間を長くするようにすればよい。
【００６４】
（その他の変形例）
上記実施例では、プローブ２Ｐを介して表示パネルに画像信号を印加して検査画像を表示したが、これ以外の方法によって画像信号を印加することとしてもよい。例えば、表示パネルの端子にＦＰＣを半田付けや導電膜などによって固着し、このＦＰＣを介して画像信号を印加することとしてもよい。
【００６５】
上記実施例において言及しなかったが、通常表示パネルの端子ピッチは相当に狭く、端子ピッチに合わせて複数のプローブを形成することは技術的な難易度が高い。そこで、接続端子となる導体部分が、表示パネルの端子と正対するようにパターニングされたＦＰＣを表示パネルに電気的導通を取って固着しておき、このＦＰＣを介して画像信号を表示パネルの端子に入力してもよい。こうすれば、ＦＰＣを表示パネルに固着するだけで、表示パネルの総ての端子との電気的な接続がとれるため、複数のプローブを形成する必要がない。従って、通電エージング検査後に、保証できない表示パネルが発生した場合は、表示パネルに加えてＦＰＣとＦＰＣの固着作業が損失となるものの、パネル検査装置の構成が簡略され、また検査時における表示パネルのセッティング作業が容易になる。
【００６６】
また、上記実施例では、加熱および冷却動作を含む通電エージング検査を、制御部１００によって制御することとしたが、これに限らず、パネル検査者が、検査画像生成部２０やそれぞれの電圧生成部（３０，４０，６０，７０）を操作して、加熱および冷却動作を行うこととしてもよい。この場合、パネル検査装置１０には、それぞれの電圧生成部（３０，４０，６０，７０）を制御するための操作ボタンやスイッチを設け、パネル検査者が操作できるようにすればよい。また、ヒートシンク５の昇降も、アクチュエータ６を用いず、パネル検査者が手動で行うこととしてもよい。
【００６７】
また、上記実施例では、表示パネルの温度を温度センサーで検出することとしたが、これに限らず、温度センサーを用いないこととしてもよい。例えば、加熱手段あるいは冷却手段について、予め表示パネルを設定温度にしたり常温に戻したりするための印加電圧と印加時間を予め調べておき、この調べた印加電圧と印加時間に基づいて、制御部１００が制御を行うこととすればよい。
【００６８】
また、上記実施例では、表示パネルの温度を温度センサーで検出することとしたが、これに限らず、温度センサーを用いないこととしてもよい。例えば、加熱手段あるいは冷却手段について、表示パネルを設定温度にしたり常温に戻したりするための印加電圧と印加時間を予め調べておき、この調べた印加電圧と印加時間に基づいて、制御部１００が制御を行うこととすればよい。
【００６９】
また、上記実施例では、エレクトロルミネッセンス素子として有機ＥＬ素子を形成することとして説明したが、必ずしもこれに限るものでないことは勿論である。例えば、無機ＥＬ素子であっても差し支えない。
【００７０】
また、上記実施例では、表示素子としてエレクトロルミネッセンス素子を形成する場合を説明したが、自発光素子として機能するものであれば、必ずしもこれに限るものでないことは勿論である。例えば、発光ダイオードを表示素子としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の一実施例となるパネル検査装置の概要を示す構成図。
【図２】本実施例のパネル検査装置の全体構成を示す模式図。
【図３】通電エージング検査における表示パネルの温度と経過時間との関係を示すグラフ。
【図４】第１変形例のパネル検査装置の構成を示す模式図。
【図５】第２変形例のパネル検査装置の全体構成を示す模式図。
【図６】第３変形例の通電エージング検査における表示パネルの温度と経過時間との関係を示すグラフ。
【符号の説明】
【００７２】
１…パネルセット台、２…プローブ台、２Ｐ…プローブ、３…ラバーヒータ、４…ペルチェ素子、５…ヒートシンク、５Ｆ…フィン、６…アクチュエータ、６ａ…押し部、７…送風ファン、１０…パネル検査装置、２０…検査画像生成部、３０…加熱電圧生成部、４０…冷却電圧生成部、５０…加熱冷却電圧生成部、６０…昇降電圧生成部、７０…ファン電圧生成部、１００…制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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