(57)【要約】【課題】生産性の低下を招くことなくインクの濡れ拡がりを防止することのできる配向膜の製造方法と、この方法を用いた液晶表示装置の製造方法とを提供する。【解決手段】溶媒に配向膜材料を溶解させた材料液Ｌ１を液滴吐出法で基板Ｐ上に配し、配向膜を形成する配向膜の製造方法である。基板Ｐ上の、配向膜の形成領域Ｃを囲む外周領域に、材料液Ｌ２に対して相分離を起こす有機溶媒からなる外郭材料Ｌ１を液滴吐出法で配する工程と、基板Ｐ上の、配向膜の形成領域に材料液Ｌ２を液滴吐出法で配する工程と、基板Ｐ上に外郭材料Ｌ２と材料液Ｌ１とを共に配した後、これら外郭材料Ｌ２と材料液Ｌ１とを乾燥処理して配向膜を形成するとともに外郭材料を除去する工程と、を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶媒に配向膜材料を溶解させた材料液を液滴吐出法で基板上に配し、配向膜を形成する配向膜の製造方法であって、
前記基板上の、前記配向膜の形成領域を囲む外周領域に、前記材料液に対して相分離を起こす有機溶媒からなる外郭材料を液滴吐出法で配する工程と、
前記基板上の、前記配向膜の形成領域に前記材料液を液滴吐出法で配する工程と、
前記基板上に前記外郭材料と前記材料液とを共に配した後、これら外郭材料と材料液とを乾燥処理して配向膜を形成するとともに外郭材料を除去する工程と、
を有することを特徴とする配向膜の製造方法。
【請求項２】
前記外郭材料となる有機溶媒として、その沸点が、前記材料液中の前記溶媒の沸点と同じかそれより高いものを用いることを特徴とする請求項１記載の配向膜の製造方法。
【請求項３】
前記外郭材料を液滴吐出法で配する工程の後に、前記材料液を液滴吐出法で配する工程を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の配向膜の製造方法。
【請求項４】
前記基板上に外郭材料を配する工程での液滴吐出法として、インクジェット法を用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の配向膜の製造方法。
【請求項５】
配向膜を形成する工程を、請求項１〜４のいずれか一項に記載した配向膜の製造方法で行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶表示装置における配向膜の製造方法及び液晶表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示装置用の配向膜の製造方法としては、フレキソ印刷方式が一般的であった。しかし、近年では、テレビ等の表示装置の大型化、ならびに材料の使用量削減の観点から、インクジェット法に代表される液滴吐出方式が採用されるようになってきている。
液滴吐出方式としてインクジェット法による塗布技術を用い、配向膜の形成材料であるポリイミドインク（ＰＩインク）を基板に塗布する場合、このＰＩインクの吐出性を確保するため、その粘度を数ｍＰａ・ｓ〜約１５ｍＰａ・ｓ程度の低粘度にする必要がある。  
【０００３】
ところが、このように低粘度であることから、ＰＩインクを基板上に塗布すると、ＰＩインクはその直後に基板上で濡れ拡がってしまう。その結果、塗布領域の中央部とエッジ部との間で塗布厚ムラによる膜厚差（膜厚ムラ）を生じ、これに起因して液晶表示装置に表示ムラを生じさせ、表示品質を低下させてしまう。したがって、配向膜を所望の寸法に形成するには、インクの濡れ拡がりを考慮したビットマップ設計が必要になる。
【０００４】
また、従来では、このようなビットマップ設計を不要にできる配向膜の製造方法として、狙い寸法の外周部に隔壁（土手部）を形成し、この隔壁によってＰＩインクの濡れ拡がりを防止し、薄膜の面内均一性の向上を図った方法が提案されている（特許文献１参照）。この方法では、土手部を形成する工程と土手部内を塗布する工程とで略同一組成のインクを使用するため、土手部の形成時にインクの濡れ性を低下させる表面処理を行い、土手部内の形成時に濡れ性を向上させる表面処理を行うようにしている。
また、他の方法として、基板上のシール部に囲まれた膜形成領域に成膜する際に、膜形成領域に対して、インクを１．３倍以上の面積で塗布する方法が提案されている（特許文献２参照）。この方法は、実験的にインクの塗布面積を求めた方法である。
【特許文献１】特開２００３−１２６７６０号公報
【特許文献２】特開２００６−２０８５４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術では、配向膜を成膜する際に、基板に対して二度表面処理を行う必要があるため、生産性が低いといった課題がある。さらに、土手部形成工程で塗布されるインクと、土手部内に塗布されるインクとが接触するため、これらの間の相互作用が問題となる可能性もある。
また、特許文献２の技術では、実験的にインクの塗布面積を１．３倍以上と求めているため、適用範囲が限定されてしまう可能性が高い。
【０００６】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、生産性の低下を招くことなくインクの濡れ拡がりを防止することのできる配向膜の製造方法と、この方法を用いた液晶表示装置の製造方法とを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため本発明の配向膜の製造方法は、溶媒に配向膜材料を溶解させた材料液を液滴吐出法で基板上に配し、配向膜を形成する配向膜の製造方法であって、
前記基板上の、前記配向膜の形成領域を囲む外周領域に、前記材料液に対して相分離を起こす有機溶媒からなる外郭材料を液滴吐出法で配する工程と、
前記基板上の、前記配向膜の形成領域に前記材料液を液滴吐出法で配する工程と、
前記基板上に前記外郭材料と前記材料液とを共に配した後、これら外郭材料と材料液とを乾燥処理して配向膜を形成するとともに外郭材料を除去する工程と、
を有することを特徴としている。
【０００８】
この配向膜の製造方法によれば、材料液に対して相分離を起こす有機溶媒からなる外郭材料を、配向膜の形成領域を囲む外周領域に配するので、この外郭材料に囲まれる形成領域上の材料液は、外郭材料によってその外側に濡れ拡がることが抑えられる。すなわち、外郭材料が隔壁として機能することで、前記材料液は外郭材料の外側に流れ出ることが防止される。したがって、濡れ拡がりを考慮したビットマップ設計をすることなく、濡れ拡がりによる膜厚ムラを防止することができ、これにより、面内が均一な薄膜を得ることができる。
また、基板に対しての表面処理を行うことなく、しかも、各材料の乾燥も一工程で行うため、生産性の向上を図ることができる。
さらに、外郭材料として、材料液に対して相分離を起こす有機溶媒を用いているので、外郭材料が材料液に混ざることによって相互作用を引き起こすおそれがない。また、外郭材料は乾燥時に気化して基板上から除かれるので、この外郭材料が材料液から得られる配向膜の性状を変化させるといったおそれもない。
また、実験的に材料液（インク）の塗布面積を求めるといったこともしていないので、適用範囲が広くなる。
【０００９】
また、前記の配向膜の製造方法においては、前記外郭材料となる有機溶媒として、その沸点が、前記材料液中の前記溶媒の沸点と同じかそれより高いものを用いるのが好ましい。
このようにすれば、外郭材料と材料液とを熱処理した際、外郭材料が先に全部気化してしまうことが抑えられ、したがって、外郭材料が先に気化してしまうことで材料液が前記形成領域の外側に濡れ拡がってしまうことが確実に防止される。
【００１０】
また、前記の配向膜の製造方法においては、前記外郭材料を液滴吐出法で配する工程の後に、前記材料液を液滴吐出法で配する工程を行うのが好ましい。
このようにすれば、材料液が前記形成領域の外側に濡れ拡がってしまうことが、外郭材料によって確実に防止される。
【００１１】
また、前記の配向膜の製造方法においては、前記基板上に外郭材料を配する工程での液滴吐出法として、インクジェット法を用いるのが好ましい。
このようにすれば、外郭材料を、配向膜の形成領域を囲む外周領域上により正確に、しかも所望の量だけ配することが可能になる。
【００１２】
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、配向膜を形成する工程を、前記の配向膜の製造方法で行うことを特徴としている。
この液晶表示装置の製造方法によれば、前記の配向膜の製造方法で配向膜を形成するので、配向膜の膜厚ムラを防止することができ、また、生産性の向上を図ることもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を詳しく説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１４】
（成膜装置）
まず、本発明の配向膜の製造方法の説明に先立ち、本発明に用いられる成膜装置について説明する。
図１は、本発明の製造方法に好適に用いられる成膜装置の一例の、概略構成を示す図であり、図１中符号１０は成膜装置である。この成膜装置１０は、液滴吐出法の一つであるインクジェット法によって配向膜の形成材料である材料液を基板Ｐ上に吐出し、配向膜を形成するためのもので、ベース３１と、基板移動手段３２と、ヘッド移動手段３３と、液滴吐出ヘッド３４と、液体供給部３５と、制御装置４０とを備えて構成されている。なお、本例の成膜装置１０では、液滴吐出ヘッド３４を二つ備えており、したがってこの液滴吐出ヘッド３４を移動させるヘッド移動手段３３も二つ備えている。
ベース３１の上には、基板移動手段３２と、二つヘッド移動手段３３とが設置されている。また、成膜装置１０は、不図示のクリーニングユニットと、キャッピングユニットとを備えている。
【００１５】
基板移動手段３２は、ベース３１上にＹ軸方向に沿うガイドレール３６を有したもので、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。
スライダ３７上にはステージ３９が固定されており、このステージ３９は、基板Ｐを位置決めして保持するためのものである。すなわち、このステージ３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｐをステージ３９の上に吸着保持するように構成されている。基板Ｐは、例えばステージ３９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。
【００１６】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂを備え、この走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを備え、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に液滴吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ４２を移動可能に保持している。キャリッジ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより液滴吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるように構成されている。
【００１７】
なお、本例では、前記したように同一構成のヘッド移動手段３３が二つ備えられており、これら二つのヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側において間隔を開けて前後に配設されている。
また、前記のキャリッジ４２は、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向、すなわちＸ軸方向に、例えば、１μｍ単位で移動可能になっている。キャリッジ４２のこのような移動はコンピュータ等からなる制御装置４０によって制御可能に構成されている。
制御装置４０は、液滴吐出ヘッド３４の位置情報、すなわち液滴吐出ヘッド３４のガイドレール３３ｄ、３３ｄ上での位置（Ｘ座標）とそのときの各ノズルの位置（Ｘ座標）とを検知して記憶するものである。
【００１８】
液滴吐出ヘッド３４は、二つのヘッド移動手段３３のキャリッジ４２に、取付部４３を介してそれぞれに回動可能に取り付けられたものである。取付部４３にはモータ４４が設けられており、液滴吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ４４に連結している。このような構成のもとに、液滴吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ４４も制御装置４０に接続されており、これによって液滴吐出ヘッド３４はその周方向への回動が、制御装置４０に制御されるようになっている。
【００１９】
ここで、液滴吐出ヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部は液状体で満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５から液状体を噴射するためのノズル１８が縦横に整列させられた状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６に液状体を供給するための孔１９が形成されている。
【００２０】
また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、アクチュエータとして機能するもので、一対の電極２１を有し、これら電極２１、２１間に通電されると外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、増大した容積分に相当する液状体が、液溜まり１６から供給口１７を介して空間１５内に流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル１８から基板に向けて液状体の液滴２２が吐出される。
【００２１】
このような構成からなる液滴吐出ヘッド３４は、その底面形状が略矩形状のもので、多数のノズル１８を一列に整列配置させたものである。
また、液滴吐出ヘッド３４としては、前記の圧電素子２０を用いたピエゾジェットタイプ以外にも、例えばエネルギー発生素子として電気熱変換体を用いる方式などを採用することができる。
【００２２】
図１に示すように液体供給部３５は、配向膜の材料液Ｌ１が充填された供給容器４５Ａと、外郭材料Ｌ２が充填された供給容器４５Ｂと、供給容器４５Ａから一方の液滴吐出ヘッド３４に材料液Ｌ１を送るためのインク供給チューブ４６Ａと、供給容器４５Ｂから他方の液滴吐出ヘッド３４に外郭材料Ｌ２を送るためのインク供給チューブ４６Ｂとを備えたものである。
【００２３】
ここで、本例では、配向膜の材料液（材料インク）Ｌ１として、溶媒に液晶分子の配向を規制する配向膜の材料を溶解させたものが用いられる。配向膜の材料としては、例えばポリイミドが用いられる。また、この配向膜の材料を溶解する溶媒としては、γ−ブチロラクトン（ＧＢＬ）、ブチルセロソルブ（ＢＣ）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）等の有機溶剤が用いられる。なお、このような材料インクＬ１としては、市販のものとして、例えばＪＳＲ社製のＡＬ−６０６１を、前記液滴吐出ヘッド３４での吐出が可能になるように、溶媒で希釈したものが使用可能である。希釈用の溶媒としては、前記のＧＢＬ、ＢＣ、ＮＭＰなどが使用可能である。
【００２４】
一方、外郭材料Ｌ２としては、前記材料液Ｌ１に対して相分離を起こす有機溶媒が用いられる。このような有機溶媒としては、例えばフッ素系の不活性溶剤であるフロリナートが好適に用いられる。フロリナートとして具体的には、３Ｍ社製のフロリナートＦＣ−７０（沸点２１５℃）、フロリナートＦＣ−４３（沸点１７４℃）、フロリナートＦＣ−４０（沸点１５５℃）、ノベックＨＦＥ７６００（沸点１３１℃）などが挙げられる。
【００２５】
（配向膜の製造方法）
次に、本発明の配向膜の製造方法の一実施形態について説明する。本実施形態では、基板Ｐとして透明基板上に絶縁膜、ＴＦＴ、電極及び配線等が形成された液晶表示装置の素子基板を用意し、前記の成膜装置１０を用いて基板Ｐ上に前述の材料液Ｌ１を吐出し、配向膜を製造するようにしている。
【００２６】
まず、図１に示すように、ステージ３９上に基板Ｐを位置決めピンにより位置決めして配置し、吸着保持手段により基板Ｐをステージ３９の上に吸着保持する。これにより、基板Ｐは、ステージ３９上に正確に位置決めされた状態で保持される。
次に、基板移動手段３２及びヘッド移動手段３３により、外郭材料Ｌ２を吐出する側の液滴吐出ヘッド３４を基板Ｐに対して相対的に移動させ、かつ、取付部４３のモータ４４を作動させて、外郭材料Ｌ２を吐出する側の液滴吐出ヘッド３４を基板Ｐに対する初期位置に配置する。
【００２７】
続いて、図３（ａ）の側面図に示すように、この液滴吐出ヘッド３４から基板Ｐ上に外郭材料Ｌ２を吐出する。そして、再度基板移動手段３２とヘッド移動手段３３とを作動させ、液滴吐出ヘッド３４を基板Ｐに対して相対的に移動させつつ、外郭材料Ｌ２の吐出を行う。これにより、図３（ｂ）の平面図に示すように、配向膜の形成領域Ｃを囲む外周領域Ｅに外郭材料Ｌ２を吐出し、これによって矩形枠状の外郭５を形成する。その際、液滴吐出ヘッド３４によって外郭材料Ｌ２をインクジェット法で吐出しているので、外郭材料Ｌ２を、外周領域Ｅ上により正確に、しかも所望の量だけ配することができる。
【００２８】
ここで、この外郭５を形成する外郭材料Ｌ２としては、本実施形態では前記した３Ｍ社製のフロリナートＦＣが用いられる。このフロリナートは、フッ素系不活性溶剤であり、沸点が２１５℃のものである。このフロリナートは、不活性であることから、他の有機溶媒との相溶性が極めて低いものとなっている。したがって、基板Ｐの表面に対しても濡れ性が悪く、濡れ拡がることがないため、図３（ａ）に示したように枠状の状態を保持するようになっている。なお、この外郭材料Ｌ２からなる外郭５については、その高さが、後述する材料液Ｌ１からなる配向膜層の厚さより高く（厚く）なるように形成するのが好ましく、本実施形態では、配向膜層の厚さより十分に高く（厚く）なるように形成している。ただし、実際には材料液Ｌ１が外郭材料Ｌ２を乗り越えることはないので、配向膜層の厚さより薄くすることも可能である。
【００２９】
次いで、材料液Ｌ１を吐出するべく、この材料液Ｌ１を吐出する側の液滴吐出ヘッド３４を移動させるヘッド移動手段３３と、基板移動手段３２とを作動させ、液滴吐出ヘッド３４を基板Ｐに対して相対的に移動させることにより、液滴吐出ヘッド３４を基板Ｐに対する初期位置に配置する。
続いて、図４（ａ）に示すように、基板Ｐ上に液滴吐出ヘッド３４から材料液Ｌ１を吐出する。そして、再度基板移動手段３２とヘッド移動手段３３とを作動させ、液滴吐出ヘッド３４を基板Ｐに対して相対的に移動させつつ、材料液Ｌ１の吐出を行う。これにより、図４（ｂ）に示すように配向膜の形成領域Ｃ、すなわち、矩形枠状の外郭５に囲まれた領域に材料液Ｌ１を配し、配向膜層６を形成する。
【００３０】
この配向膜層６を形成する材料液Ｌ１としては、本実施形態では前記したように、ＪＳＲ社製のＡＬ−６０６１を、前記液滴吐出ヘッド３４での吐出が可能になるように、溶媒で希釈したものを用いる。例えば、固形分濃度を３．５ｗｔ％とし、これを溶媒としてＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）［沸点；２０４℃］とブチルセロソルブ（ＢＣ）［沸点；１７０℃］とで溶解（希釈）したものを用いる。なお、溶媒組成としては、（ＮＭＰ／ＢＣ）＝（５０／５０）とする。この材料液Ｌ１にあっては、溶媒（有機溶剤）の沸点が１７０℃から２０４℃であり、前記のフロリナート（外郭材料Ｌ１）の沸点（２１５℃）より低くなっている。
【００３１】
このようにして材料液Ｌ１を配すると、この材料液Ｌ１は基板Ｐに対してある程度濡れ拡がることから、形成領域Ｃ全体に濡れ拡がって均一な層を形成する。しかし、形成領域Ｃの外周には外郭５が形成されており、この外郭５を形成する外郭材料Ｌ２は材料液Ｌ１に対して相分離を起こす有機溶媒（フロリナート）からなっているため、この外郭５によってその外側に濡れ拡がることを抑えることができる。すなわち、外郭５が隔壁として機能することで、材料液Ｌ２は外郭５の外側に流れ出ることが防止される。
【００３２】
なお、この外郭５は、前述したようにその高さが配向膜層６の厚さより高く（厚く）なっているので、この隔壁５０に囲まれた材料液Ｌ２は、隔壁５０を乗り越えてその外側に流れ出ることが確実に防止される。ただし、外郭５の高さを配向膜層６の厚さより薄く（低く）しても、外郭材料Ｌ２は不活性なフロリナートからなっており、材料液Ｌ１に対して撥液性を発揮することから、実際には材料液Ｌ１が外郭材料Ｌ２を乗り越えないのは、前述した通りである。
【００３３】
また、外郭材料Ｌ２として、材料液Ｌ１に対して相分離を起こす有機溶媒（フロリナート）を用いており、特にフロリナートが不活性であって他の有機溶媒との相溶性が極めて低いことから、材料液Ｌ１に対しても互いに混じる合うことがなく、したがって、この外郭材料Ｌ２が材料液Ｌ１に混ざることによって相互作用を引き起こすおそれがない。
なお、これら材料液Ｌ１からなる配向膜層６と外郭材料Ｌ２からなる外郭５とは、いずれも有機溶媒の沸点が１７０℃以上と高いので、常温では乾燥がそれほど早く進むことはなく、したがって、液状の状態のままに保持される。
【００３４】
次いで、これら材料液Ｌ１からなる配向膜層６と外郭材料Ｌ２からなる外郭５とを、例えば６０℃〜８０℃程度で数分間程度加熱処理する。すると、本実施形態では、材料液Ｌ１の溶媒の沸点の方が外郭材料Ｌ２の沸点より低いので、配向膜層６中の溶媒が先に気化して除去され、図５（ａ）、（ｂ）に示すようにその溶質であるポリイミドが析出し、厚さ３０〜１００ｎｍ程度にのポリイミドからなる配向膜７が得られる。そして、その後外郭材料Ｌ２も気化する。すると、この外郭材料Ｌ２は溶剤のみから形成されているので、図５（ａ）、（ｂ）に示したようにこの外郭材料Ｌ２は基板Ｐ上から全て除かれるようになる。
【００３５】
したがって、このような乾燥処理（熱処理）により、基板Ｐ上の所望領域、すなわち配向膜の形成領域Ｃに、配向膜７を設計寸法通りに形成することができる。
このような配向膜の製造方法によれば、前記したように外郭材料Ｌ２からなる外郭５を隔壁として機能させることにより、材料液Ｌ２が外郭５の外側に流れ出るのを防止しているので、濡れ拡がりを考慮したビットマップ設計をすることなく、濡れ拡がりによる膜厚ムラを防止することができる。したがって、面内が均一な配向膜（薄膜）７を得ることができる。
【００３６】
また、基板Ｐに対しての表面処理を行うことなく、しかも、配向膜層６（材料液Ｌ１）、外郭５（外郭材料Ｌ２）の乾燥（熱処理）も一工程で行うため、従来に比べて生産性の向上を図ることができる。
さらに、外郭材料Ｌ２として、材料液Ｌ１に対して相分離を起こす有機溶媒を用いているので、外郭材料Ｌ２が材料液に混ざることによって相互作用を引き起こすおそれがない。また、外郭材料Ｌ２を乾燥時に気化させて基板Ｐ上から除去するので、この外郭材料Ｌ２が材料液Ｌ１から得られる配向膜７の性状を変化させるといったおそれもない。したがって良好な膜質の配向膜７を形成することができる。
また、実験的に材料液（インク）の塗布面積を求めるといったこともしていないので、適用範囲が広くなる。
【００３７】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では外郭材料Ｌ２として、その沸点が材料液Ｌ１中の溶媒の沸点より高いものを用いたが、本発明は、外郭材料Ｌ２として、その沸点が材料液Ｌ１中の溶媒の沸点と同じかそれより低いものを用いることもできる。その場合、乾燥時（熱処理時）において外郭材料Ｌ２が材料液Ｌ２中の溶媒とほぼ同じかこれより先に気化して除去される。しかし、そのときには材料液Ｌ１も溶媒の気化が進んでおり、材料液Ｌ１は高粘度になってほとんど流動性が失われているので、形成領域Ｃの外側に流れ出ることがほとんどなく、したがって、濡れ拡がりによる膜厚ムラが防止されるようになる。
【００３８】
また、前記実施形態では、基板Ｐ上に外郭材料Ｌ２を配した後、材料液Ｌ１を配するようにしたが、本発明においては、これら外郭材料Ｌ２と材料液Ｌ１との吐出順を逆にしたり、あるいは二つの液滴吐出ヘッド３４から同時に吐出するようにしてもよい。具体的には、材料液Ｌ１について特にその形成領域Ｃにおける中央部への吐出と、外郭材料Ｌ２の吐出とを同時にあるいは前後して行い、その後、これら外郭材料Ｌ２と材料液Ｌ１との間を埋めるように、形成領域Ｃにおける周辺部への吐出を行うようにしてもよい。このようにしても、外郭５（外郭材料Ｌ２）が隔壁として機能することにより、材料液Ｌ２が外郭５の外側に流れ出るのを防止することができる。
【００３９】
また、前記実施形態では、材料液Ｌ１の吐出や外郭材料Ｌ２の吐出に前記成膜装置１０を用い、したがって、液滴吐出法として特にインクジェット法を用いて吐出を行うようにしたが、本発明はインクジェット法に限定されることなく、例えばディスペンサによって液滴吐出を行うようにしてもよい。
【００４０】
次に、このような配向膜の製造方法を配向膜の形成工程として備えた、液晶表示装置の製造方法について説明する。図６は、本実施形態により製造される液晶表示装置の断面の概略を示す図である。
図６に示す液晶表示装置５１は、パッシブマトリクス方式の半透過反射型カラー液晶表示装置である。この液晶表示装置５１は、ガラス、プラスチック等からなる矩形平板形状の下基板５２ａと、上基板５２ｂとがシール材及びスペーサ（図示せず）を介して対向配置され、この下基板５２ａと上基板５２ｂとの間に液晶層５６が挟持されている。
【００４１】
下基板５２ａと液晶層５６との間には、下基板５２ａの側から複数のセグメント電極５８及び液晶配向膜６０が形成されている。セグメント電極５８は、図６に示すように、ストライプ状に形成されており、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）等の透明導電膜により形成されている。なお、液晶配向膜６０は、前記した配向膜の製造方法によって形成されてなる配向膜７からなっている。
【００４２】
また、上基板５２ｂと液晶層５６との間には、上基板５２ｂ側から順に、カラーフィルタ６２、オーバーコート膜６６、コモン電極６８及び液晶配向膜７０が形成されている。カラーフィルタ６２は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂから構成されており、カラーフィルタ６２を構成する各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂの間（境界）には、樹脂ブラックや光の反射率が低いクロム（Ｃｒ）等の金属により構成されるブラックマトリクス６４が形成されている。なお、カラーフィルタ６２を構成する各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂは下基板５２ａに形成されているセグメント電極５８に対向して配置されている。
【００４３】
オーバーコート膜６６は、各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂ間の段差を平坦化すると共に各色素層の表面を保護するものであり、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコン酸化膜等の無機膜により形成されている。
コモン電極６８は、ＩＴＯ等の透明導電膜から形成されており、下基板５２ａに形成されているセグメント電極５８と直交する位置にストライプ状に形成されている。
また、液晶配向膜７０は、前記液晶配向膜６０と同様に、前記した配向膜の製造方法によって形成されてなる配向膜７からなっている。
【００４４】
このような構成からなる液晶表示装置５１を製造するに際して、特に液晶配向膜６０、７０を形成するには、図３、図４、図５に示した方法を用いて行う。すなわち、下基板５２ａ上、および上基板５２ｂ上のそれぞれの外周領域Ｅに外郭材料Ｌ２を配し、次いでこの外郭材料Ｌ２に囲まれてなる形成領域Ｃに材料液Ｌ１を配する。その後、これら材料液Ｌ１と外郭材料Ｌ２とを共に乾燥（加熱処理）し、液晶配向膜６０、７０（配向膜７）を形成するとともに、外郭材料Ｌ２を除去する。
【００４５】
このようにして液晶配向膜６０、７０（配向膜７）を形成すれば、前述したように濡れ拡がりを考慮したビットマップ設計をすることなく、濡れ拡がりによる膜厚ムラを防止することができる。したがって、面内が均一な液晶配向膜６０、７０（配向膜７）を得ることができる。
よって、この液晶表示装置の製造方法によれば、液晶配向膜６０、７０（配向膜７）の膜厚ムラを防止することができ、また、生産性の向上を図ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の製造方法に係る成膜装置の一例の概略構成図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は液滴吐出ヘッドの概略構成を説明するための図である。
【図３】（ａ）は配向膜の製造方法を説明するための側面図、（ｂ）は平面図である。
【図４】（ａ）は配向膜の製造方法を説明するための側面図、（ｂ）は平面図である。
【図５】（ａ）は配向膜の製造方法を説明するための側面図、（ｂ）は平面図である。
【図６】本発明に係る液晶表示装置の概略構成を示す側断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
Ｌ１…材料液、Ｌ２…外郭材料、Ｐ…基板、Ｃ…形成領域、Ｅ…外周領域、５…外郭、６…配向膜層、７…配向膜、３４…液滴吐出ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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