(57)【要約】【課題】良好な特性の有機ＥＬ素子を低コストで製造する。【解決手段】第１電極３側にモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第１有機材料を液相法で配して第１材料膜４１０を形成し、次いで第１材料膜４１０の下層側が不溶化状態となるように重合させるとともに、第１材料膜４１０の上層側が未不溶化状態を保持するように重合させ、次いで第１材料膜４１０上にモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第２有機材料を液相法で配して第２材料膜４３０を形成し、次いで第２材料膜４３０の下層側と第１材料膜４１０の上層側とを共に重合させて、第１材料膜４１０の下層側を第１有機層４１とするとともに、第１有機層４１上に第１有機材料と第２有機材料との共重合体からなる中間有機層４２を形成し、かつ中間有機層４２上の第２材料膜４３０を、少なくとも第２有機層の一部として形成する。【選択図】図２
2009087601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極及び第２電極の間に、有機ＥＬ材料からなる有機発光層を含む複数の有機層を有する有機機能層を備えた有機ＥＬ素子の製造方法であって、
第１電極を形成する工程と、
前記第１電極上に有機機能層を形成する工程と、
前記有機機能層上に第２電極を形成する工程と、を備え、
前記有機機能層を形成する工程は、前記第１電極側にモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第１有機材料を液相法で配して第１材料膜を形成するプロセスと、
前記第１材料膜の下層側を重合させて不溶化状態とするとともに、該第１材料膜の上層側を前記下層側よりも重合度が低くなり未不溶化状態が保持されるように重合させる第１重合プロセスと、
前記第１重合プロセスの後に、前記第１材料膜上に前記第１有機材料と異なるモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第２有機材料を液相法で配して第２材料膜を形成するプロセスと、
前記第２材料膜の下層側と前記第１材料膜の上層側とを共に重合させて、前記第１材料膜の下層側を第１有機層とするとともに、該第１有機層上に前記第１有機材料と前記第２有機材料との共重合体からなる中間有機層を形成し、かつ前記中間有機層上の前記第２材料膜を、少なくとも第２有機層の一部として形成する第２重合プロセスと、を有することを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項２】
前記有機機能層を形成する工程では、前記第１有機材料及び／又は前記第２有機材料を配する液相法として、液滴吐出法を用いることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項３】
前記有機機能層を形成する工程では、前記第１電極側から前記第１材料膜及び／又は前記第２材料膜を加熱して、前記第１材料膜及び／又は前記第２材料膜を熱重合させることを特徴とする請求項１又は２に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項４】
前記有機機能層を形成する工程では、前記第１有機材料としてビニル基を有する有機材料を用いるとともに、前記第２有機材料としてビニル基を有する有機材料を用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項５】
前記有機機能層を形成する工程では、触媒を用いることなく前記第１有機材料を重合させるとともに、触媒を用いることなく前記第２有機材料を重合させることを特徴とする請求項４に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項６】
前記有機機能層を形成する工程では、前記第２重合プロセスにおいて、前記第２材料膜の下層側を重合させて不溶化状態とするとともに、該第２材料膜の上層側を前記下層側よりも重合度が低くなり未不溶化状態が保持されるように重合させ、前記第２重合プロセスの後に、該第２材料膜上に前記第２有機材料を液相法で配した後、配した第２有機材料を含む前記第２材料膜を重合させて、第２有機層を形成することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項７】
第１電極と、
前記第１電極に対向する第２電極と、
前記第１電極及び前記第２電極の間に挟持された有機ＥＬ材料からなる有機発光層を含む複数の有機層を有する有機機能層と、を備え、
前記有機機能層は、前記有機層として少なくとも、モノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第１有機材料が液相法で配され重合されてなる第１有機層と、前記第１有機材料と異なるモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第２有機材料が液相法で配され重合されてなる第２有機層と、前記第１有機層と第２有機層との間に設けられ、前記第１有機材料と前記第２有機材料とが共重合されてなる中間有機層と、を有することを特徴とする有機ＥＬ素子。
【請求項８】
請求項７に記載の有機ＥＬ素子を備え、該有機ＥＬ素子が発光素子として機能することを特徴とする有機ＥＬ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ素子の製造方法、有機ＥＬ素子、有機ＥＬ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子と正孔との再結合により発光が生じる現象を用いた発光素子として、有機ＥＬ素子が知られている。有機ＥＬ素子は、正孔を供給する陽極及び電子を供給する陰極の間に、有機ＥＬ材料からなる有機発光層を含む有機機能層を有するものであり、供給された正孔及び電子が有機発光層内で再結合して発光するようになっている。
【０００３】
従来、有機ＥＬ素子の有機機能層は、有機低分子系材料を蒸着法で成膜した複数の有機層、あるいは有機高分子系材料をスピンコート法やインクジェット法等の液相法を用いて成膜した複数の有機層から構成されていた。インクジェット法で有機高分子材料を成膜する場合には、高分子材料を溶媒で溶解ないし分散させてから吐出を行う。この場合、溶液の粘度には最適な範囲が存在し、この範囲内で吐出を行うことで、安定且つ均一な成膜が可能となる。また一般的に、ヘッドの吐出ノズルに詰まりが生じることなく安定的に吐出できる溶液粘度として、１〜３ｗｔ％の溶液において２〜２０ｃｐｓ程度が好ましく、特に７〜１０ｃｐｓ程度が良いとされている。
【０００４】
しかしながら、使用する高分子材料の中には高粘度のものがあり、安定した吐出が得られない場合があった。また、高粘度の高分子材料を溶媒で希釈し、粘度を低下させてから使用する方法も考えられるが、その場合、材料の濃度が薄くなってしまうため、所望の膜厚が得られず、結果として多重塗布する必要性が生じるため、製造効率が低下し、使用する溶媒の量も増大してしまうという問題が発生する。
そこで近年、有機層の形成方法として、モノマーを液相法や気相法（蒸着法）で配するとともに重合させてポリマー化し有機層とする方法が考えられている（例えば特許文献１、２）。
【０００５】
特許文献１では、ＰＥＤＯＴ（ポリエチレンジオキシチオフェン）のモノマーであるＥＤＯＴと塩化鉄III等の重合触媒とを液滴吐出法で吐出し、基板上で重合させて有機層を形成している。液滴吐出法を用いれば、材料の無駄が少なく、簡便にかつ高精細に膜パターンを形成することができるので、有機ＥＬ素子を低コストで製造することができる。また、液滴吐出法においては、吐出ノズルから材料溶液を安定に吐出させるために材料溶液の粘度調整が重要であるが、モノマーは比較的低粘度であるためモノマーを溶質とすることで材料溶液の粘度調整が容易化される。
【０００６】
また、特許文献２では、正孔輸送性ビニルモノマーや電子輸送性ビニルモノマー等を真空蒸着法で成膜しており、成膜時にエネルギー照射することによりモノマーを重合させて有機層を形成している。通常同様に形成された複数の有機層は、有機層間が物理的な吸着力により接合されているので層間の密着性が不十分であったが、モノマーを重合させることにより有機層間が化学結合するようになるので、層間の密着性を向上させることができる。有機層間の密着性が向上すると、有機層界面の熱的あるいは化学的に安定化が図られ、有機ＥＬ素子の特性が向上すると考えられる。
【特許文献１】特開２００５−１００８９４号公報
【特許文献２】特開２００４−１０３４０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、このような方法においても、良好な有機ＥＬ素子を低コストで製造するためには改善点があった。すなわち、特許文献１の方法では、重合に用いた重合触媒が有機ＥＬ素子内に残留するため、この残留物が有機ＥＬ素子の発光特性低下や短寿命化の原因となるおそれがある。また、特許文献２の方法では、エネルギー照射により重合するような官能基を有するモノマーを、蒸着法で成膜することは極めて困難であると考えられる。つまり、例えば蒸着前に材料が変化（劣化）してしまったり、材料を気化させる際にるつぼ内でモノマーが重合してしまったりするおそれがある。材料が劣化したりモノマーが重合したりして材料が変質すると、材料コストの増加や、変質した材料が成膜部に付着することによる有機ＥＬ素子の特性低下、信頼性低下等の不都合を生じてしまう。
【０００８】
本発明は、前記の事情に鑑み成されたものであって、良質な有機ＥＬ素子を提供することを目的の一つとする。また、この有機ＥＬ素子を低コストで製造可能な製造方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、第１電極及び第２電極の間に、有機ＥＬ材料からなる有機発光層を含む複数の有機層を有する有機機能層を備えた有機ＥＬ素子の製造方法であって、第１電極を形成する工程と、前記第１電極上に有機機能層を形成する工程と、前記有機機能層上に第２電極を形成する工程と、を備え、前記有機機能層を形成する工程は、前記第１電極側にモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第１有機材料を液相法で配して第１材料膜を形成するプロセスと、前記第１材料膜の下層側を重合させて不溶化状態とするとともに、該第１材料膜の上層側を前記下層側よりも重合度が低くなり未不溶化状態が保持されるように重合させる第１重合プロセスと、前記第１重合プロセスの後に、前記第１材料膜上に前記第１有機材料と異なるモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第２有機材料を液相法で配して第２材料膜を形成するプロセスと、前記第２材料膜の下層側と前記第１材料膜の上層側とを共に重合させて、前記第１材料膜の下層側を第１有機層とするとともに、該第１有機層上に前記第１有機材料と前記第２有機材料との共重合体からなる中間有機層を形成し、かつ前記中間有機層上の前記第２材料膜を、少なくとも第２有機層の一部として形成する第２重合プロセスと、を有することを特徴とする。
【００１０】
このようにすれば、第１重合プロセスで第１材料膜の下層側を不溶化状態、すなわち第２有機材料に不溶な状態としており、少なくとも不溶化状態とした部分の第１有機層は第２有機材料を不純物として含有しない。したがって、不溶化状態とした部分の第１有機層は所定の特性となり、第１有機層の特性安定化が図られる。よって、これを有する有機機能層を良好な特性とすることができ、これを備えた有機ＥＬ素子を良好な特性とすることができる。
【００１１】
また、第１重合プロセスで第１材料膜の上層側を未不溶化状態としているので、この上に第２材料膜を形成すると、第１材料膜の上層側では、第２材料膜との界面部分において第１有機材料と第２有機材料とが相溶する。そして、第２重合プロセスで前記第２材料膜の下層側と前記第１材料膜の上層側とを共に重合させると、前記相溶した部分は、第１有機材料間の重合により第１材料膜の下層側と化学結合（共有結合）するとともに、第２有機材料間の重合により第２材料膜の上層側と化学結合し、かつ第１有機材料と第２有機材料とが共重合した中間有機層となる。したがって、第１有機層と化学結合するとともに第２有機層とも化学結合した中間有機層を形成することができ、第１有機層と第２有機層との間の密着性が極めて良好となる。よって、良好な特性の有機機能層とすることができる。
【００１２】
なお、本発明で言う不溶化状態とは、膜上に溶液を配した際に、膜が該溶液に対して不溶である状態を指す。例えば、モノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第１有機材料が重合した膜上に、モノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかを溶媒に溶解させた溶液（第２有機材料）を配した際に、第１有機材料が重合した膜が第２有機材料に含まれる溶媒に溶解しない状態が不溶化状態である。
また、未不溶化状態とは、膜上に溶液を配した際に、膜が該溶液に対して溶解する状態を指す。
【００１３】
蒸着法等の気相法でモノマーを含有する材料を配する場合には、蒸着前に材料が劣化することや、モノマーを気化させる熱エネルギー等によりモノマーが重合してしまうことがある。材料の劣化、あるいはモノマーの重合により材料が変質すると、良好に蒸着が行えなくなる。
ところが本発明では、液相法で第１、第２有機材料を配するので、第１、第２有機材料を配する際に材料が変質することが防止される。したがって、第１、第２有機材料の無駄が増えることが防止され、材料コストの増加を防止することができる。また、変質した材料が、製造過程における有機ＥＬ素子の中間体に付着することによる有機ＥＬ素子の特性低下や信頼性低下、あるいは歩留り低下等が防止される。このようにして、良好な特性の有機ＥＬ素子を低コストで製造することができる。
【００１４】
また、前記有機機能層を形成する工程では、前記第１有機材料及び／又は前記第２有機材料を配する液相法として、液滴吐出法を用いることが好ましい。
液滴吐出法を用いれば、所定の量の材料を配することができるので、前記第１有機材料及び／又は前記第２有機材料の無駄をなくすことができ、材料コストの増加が抑制される。また、所定位置に材料を配することができるので、膜パターンを形成する場合にパターニングするプロセスが不要となり、プロセスコストを低くすることができる。このようにして、有機ＥＬ素子を低コストで製造することができる。
【００１５】
また、本発明ではモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる有機材料を用いるので、高粘度の有機材料を用いる場合よりも、有機材料を溶媒に溶解させた溶液の粘度調整が容易化され、液滴吐出法に適した粘度の溶液とすることができる。なおポリマーを用いる場合は、ポリマー溶液として低粘度のものを用いるのが好ましく、例えば１〜３ｗｔ％の溶液において２〜２０ｃｐｓ程度が好ましく、特に７〜１０ｃｐｓ程度であるポリマーを用いることが好ましい。したがって、液滴（溶液）を吐出する吐出ヘッドに詰りを生じることなく安定して溶液を吐出させることができ、良好に有機機能層を形成することができる。よって、良好な有機機能層とすることができ、良好な特性の有機ＥＬ素子を前記したように低コストで製造することができる。
【００１６】
また、前記有機機能層を形成する工程では、前記第１電極側から前記第１材料膜及び／又は前記第２材料膜を加熱して、前記第１材料膜及び／又は前記第２材料膜を熱重合させることが好ましい。
このようにすれば、第１材料膜の第１電極側すなわち下層側は上層側よりも高温となるので、下層側では上層側よりも熱重合が促進される。したがって、確実に上層側の重合度を下層側の重合度以下とすることができ、第１材料膜の重合度を高精度かつ容易に制御することが可能となる。また、第１材料膜上に形成する第２材料膜等についても、その下地となる第１材料膜側が高温となるので、第１材料膜と同様に重合度を高精度にかつ容易に制御することが可能となる。
【００１７】
また、前記有機機能層を形成する工程では、前記第１有機材料としてビニル基を有する有機材料を用いるとともに、前記第２有機材料としてビニル基を有する有機材料を用いることが好ましく、この場合には、触媒を用いることなく前記第１有機材料を重合させるとともに、触媒を用いることなく前記第２有機材料を重合させることが好ましい。
このようにすれば、第１、第２有機材料は共に反応性が高いビニル基を有しているので、これらを良好に共重合させることができ、良好な中間有機層を形成することができる。
また、反応性が高いビニル基を有する有機材料は、容易かつ迅速に重合させることができるので、プロセス効率を向上させることができ、効率よく有機ＥＬ素子を製造することができる、また、容易に重合させることができるので重合触媒を用いる必要がなく、重合触媒を用いないことにより、これが有機機能層に残留して有機ＥＬ素子の特性を低下させることがなくなる。したがって、良好な有機機能層とすることができ、良好な特性かつ高信頼性の有機ＥＬ素子とすることができる。
【００１８】
また、前記有機機能層を形成する工程では、前記第２重合プロセスにおいて、前記第２材料膜の下層側を重合させて不溶化状態とするとともに、該第２材料膜の上層側を前記下層側よりも重合度が低くなり未不溶化状態が保持されるように重合させ、前記第２重合プロセスの後に、該第２材料膜上に前記第２有機材料を液相法で配した後、配した第２有機材料を含む前記第２材料膜を重合させて、第２有機層を形成することが好ましい。
このようにすれば、少なくとも後に配した第２有機材料は、第１有機材料と混ざり合うことがない。したがって、後に配した第２有機材料を重合させた部分の第２有機層は、第１有機材料を不純物として含有しないので所定の特性となり、第２有機層の特性安定化が図られる。よって、良好な有機機能層とすることができる。
【００１９】
本発明の有機ＥＬ素子は、第１電極と、前記第１電極に対向する第２電極と、前記第１電極及び前記第２電極の間に挟持された有機ＥＬ材料からなる有機発光層を含む複数の有機層を有する有機機能層と、を備え、前記有機機能層は、前記有機層として少なくとも、モノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第１有機材料が液相法で配され重合されてなる第１有機層と、前記第１有機材料と異なるモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる第２有機材料が液相法で配され重合されてなる第２有機層と、前記第１有機層と第２有機層との間に設けられ、前記第１有機材料と前記第２有機材料とが共重合されてなる中間有機層と、を有することを特徴とする。
このようにすれば、第１有機材料と前記第２有機材料とが共重合されてなる中間有機層は、第１有機材料からなる第１有機層側と良好に接合するとともに、第２有機材料からなる第２有機層側とも良好に接合するので、第１有機層と第２有機層との間の剥離が防止され、高信頼性の有機ＥＬ素子となる。また、第１有機層側と第２有機層側とが良好に接合しているので、これら有機層間でキャリアが良好に移動可能となり、有機ＥＬ素子の発光特性や電気特性が向上する。また、第１有機層側と第２有機層側とが良好に接合しこれら有機層間に空隙等が極めて少ないので、通電時にキャリアが空隙周辺に滞ることによる局所的な帯電等が防止され、第１、第２有機層間の化学的な安定化が図られる。これにより、第１、第２有機層間の有機物が分解すること等による有機ＥＬ素子の劣化が防止され、長寿命の有機ＥＬ素子となる。
【００２０】
本発明の有機ＥＬ装置は、上記の有機ＥＬ素子を備え、該有機ＥＬ素子が発光素子として機能することを特徴とする。
前記のように、本発明の有機ＥＬ素子は良好な特性となっているので、これを備えた本発明の有機ＥＬ装置も良好な特性となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を分かりやすく示すために、図面中の構造はその寸法や縮尺を実際の構造に対して異ならせて示す場合がある。
【００２２】
［有機ＥＬ素子］
図１は、本実施形態の有機ＥＬ素子を模式的に示す概略構成図である。有機ＥＬ素子１は、透明基板２上に設けられており、透明基板２上に順次形成された陽極（第１電極）３、有機機能層４、陰極（第２電極）５を備えて構成されている。
【００２３】
有機機能層４は複数の有機層を有するものであり、本実施形態では前記有機層として、陽極３上に順次形成された正孔注入層（第１有機層）４１、第１中間有機層４２、正孔輸送層（第２有機層）４３、第２中間有機層４４、及び有機発光層（第３有機層）４５を備えて構成されている。なお、有機ＥＬ素子１は、本実施形態では、有機発光層４５で発光した光を陽極３側から取り出す発光素子となっている。
【００２４】
陽極３は、仕事関数が高い（例えば５ｅＶ以上）導電材料、具体的にはＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等からなっており、陽極３から有機機能層４に正孔（キャリア）が効率的に供給されるようになっている。また、ＩＴＯは透光性を有する材料であり、有機発光層４５の発光光を陽極３側から取り出すことが可能となっている。
陰極５は、仕事関数が低い（例えば４ｅＶ以下）材料からなっている。仕事関数が低い材料としては、カルシウムやマグネシウム、ナトリウム、リチウム金属、又はこれらの金属化合物であるフッ化カルシウム等の金属フッ化物や酸化リチウム等の金属酸化物、アセチルアセトナトカルシウム等の有機金属錯体等が挙げられる。本実施形態では、有機機能層４上に図示略のフッ化リチウム層、カルシウム層、及びアルミニウム層が順次形成された多層構造となっている。フッ化リチウム層やカルシウム層は、有機機能層４に電子を注入する電子注入層、あるいは有機機能層４に電子を輸送する電子輸送層等として機能するようになっており、アルミニウム層は陰極５を低抵抗化するとともに有機発光層４５での発光光を陽極３側へ反射する反射層としても機能するようになっている。
【００２５】
正孔注入層４１は、モノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる有機材料が重合されてなるものであり、本実施形態では、前記モノマーとして正孔注入性のビニル基含有モノマーを用いている。正孔注入性のビニル基含有モノマーとしては、アミン骨格誘導体、チオフェン誘導体、ピロール誘導体、フェニル誘導体等があげられ、ここでは下記の式（１）に示すようなアミン骨格誘導体のトリフェニルアミン（以下、第１モノマーと称す）を用いている。
【００２６】
【化１】
2009087601.tif 000003
【００２７】
正孔輸送層４３は、モノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる有機材料が重合されてなるものであり、本実施形態では、前記モノマーとして下記の式（２）に示すような正孔輸送性のビニル基含有モノマー（以下、第２モノマーと称す）を用いている。
【００２８】
【化２】
2009087601.tif 000004
【００２９】
第１中間有機層４２は、前記第１モノマーと前記第２モノマーとが共重合された共重合体からなるものである。また、正孔注入層４１と第１中間有機層４２との間、及び第１中間有機層４２と正孔輸送層４３との間は共有結合で結合されており、したがってこれら有機層は実質的にその間に界面を有することなく、吸着力等よりも格段に強い密着力で良好に密着したものとなっている。
【００３０】
有機発光層４５は、モノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかからなる有機材料が重合されてなるものであり、本実施形態では、前記モノマーとして下記の式（３）に示すような発光性のビニル基含有モノマー（以下、第３モノマーと称す）を用いている。
【００３１】
【化３】
2009087601.tif 000005
【００３２】
第２中間有機層４４は、前記第２モノマーと前記第３モノマーとが共重合された共重合体からなるものである。また、正孔輸送層４３と第２中間有機層４４との間、及び第２中間有機層４４と有機発光層４５との間は共有結合で結合されており、したがってこれら有機層は実質的にその間に界面を有することなく、吸着力等よりも格段に強い密着力で良好に密着したものとなっている。
【００３３】
以上のような構成により、陽極３と陰極５との間に電圧が印加されると、陽極３から有機機能層４側に正孔（キャリア）が供給され、この正孔は正孔注入層４１、第１中間有機層４２、正孔輸送層４３、第２中間有機層４４を介して有機発光層４５に運ばれる。また、陰極５から有機発光層４５に電子（キャリア）が供給され、有機発光層４５内で前記正孔と前記電子とが再結合する。この再結合の際に放出されたエネルギーにより、励起子が生成し、この励起子が基底状態に戻る際に蛍光や燐光という形でエネルギーを放出する。
有機発光層４５で発光した光（蛍光や燐光）は、陽極３側及び陰極５側に向かう。陰極５側に向かう光は陰極５の前記アルミニウム層で反射されて陽極３側に向かうようになる。このように有機発光層４５の発光光は、陽極３側から取り出し可能となっている。
【００３４】
なお、透光性を有する陰極を採用して、陰極側から発光光を取り出す構成としてもよく、この場合には陽極３の透明基板２側に反射板を設けることにより、有機発光層４５から陽極３側に向かう発光光を陰極側から取り出すことができる。
【００３５】
次に、本発明に係る有機ＥＬ素子の製造方法の一実施形態を、前記有機ＥＬ素子１を製造する方法を例に説明する。図２（ａ）〜（ｆ）、図３（ａ）〜（ｅ）は、有機ＥＬ素子１の製造方法を模式的に示す断面工程図である。なお、本実施形態では、第１有機層（正孔注入層）、第２有機層（正孔輸送層）に加えて、第３有機層（有機発光層）の形成にも本発明の方法を適用している。
【００３６】
まず、例えば透明基板２（図１参照）上にＩＴＯを蒸着法やスパッタリング法等で成膜して、第１電極（陽極）３を形成する。また、予め前記した正孔注入性のモノマーを溶媒に溶解させた第１有機材料を、陽極３上に液相法で配する。
前記溶媒としては、芳香族炭化水素、イソプロピルアルコール（ Ｉ Ｐ Ａ ） 、ノルマルブタノール、γ − ブチロラクトン、Ｎ− メチルピロリドン（ Ｎ Ｍ Ｐ ） 、ジメチルホルムアミド（ Ｄ Ｍ Ｆ ） 、ヘキサメチルホスソルアミド（ Ｈ Ｍ Ｐ Ａ ） 、ジメチルスルホキシド（ Ｄ Ｍ Ｓ Ｏ ） 、１ ， ３ − ジメチル− ２ − イミダゾリジノン（ Ｄ Ｍ Ｉ ） およびその誘導体、カルビト− ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグリコールエーテル類等を用いることができる。
本実施形態では、前記の式（１）に示した第１モノマーをトリメチルベンゼン（溶媒）に溶解させて第１有機材料とする。また、本実施形態では、前記液相法としてインクジェット法（液滴吐出法）を採用し、溶液を吐出する吐出ノズルを有する液相液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を用いて、第１有機材料を配する。
【００３７】
具体的には、図２（ａ）に示すように、第１有機材料を充填した液滴吐出ヘッド５０を、吐出ノズル５１が陽極３側を向くように透明基板２に対向させる。そして、例えば液滴吐出ヘッド５０と透明基板２との相対位置を変化させるとともに、一滴の液量が制御された第１有機材料の液滴４１０ａを吐出ノズル５１から吐出し、陽極３上に配して第１材料膜４１０を形成する。
【００３８】
ここで、第１モノマー等のモノマーあるいはオリゴマーは、正孔注入層の形成に通常用いられる有機高分子系材料よりも分子量が小さいため、溶液の粘度調整が容易であり、少量の溶媒で低粘度の溶液とすることができる。また有機材料としてポリマーを用いる場合であっても、ポリマー溶液として低粘度のもの、例えば１〜３ｗｔ％の溶液において２〜２０ｃｐｓ程度が好ましく、特に７〜１０ｃｐｓ程度であるポリマーを用いれば粘度の調整は比較的容易であるため、少量の溶媒で低粘度の溶液とすることができる。低粘度の溶液とすることで、液滴吐出装置の吐出ノズル５１に詰り等を生じることがなくなり、液滴吐出装置に安定して吐出動作させることができる。このようにして、所定の位置に正確な量の第１有機材料を配することができる。
【００３９】
次に、例えば加熱処理により、第１材料膜４１０に含まれるトリメチルベンゼン（溶媒）を蒸発させるとともに、第１材料膜４１０に含まれる第１モノマーを熱重合させる（第１重合プロセス）。第１重合プロセスは、加熱温度や加熱時間等を管理することにより第１材料膜４１０の厚さ方向における重合度を制御して行い、第１材料膜４１０の下層側が後述する第２有機材料に対して不溶となるように重合度を高くし、かつ上層側が第２有機材料の溶媒に対して可溶となるように重合度を低くする。また、第１モノマーは、ビニル基含有モノマーであり重合触媒等を用いなくとも良好に重合させることができるので、本実施形態では重合触媒を用いずに重合させる。
なお、本発明では、第１有機材料に含まれる溶媒を蒸発・乾燥させるとともに、第１有機材料に含まれるモノマー、オリゴマー及びポリマーのいずれかを重合させることを、単に第１有機材料を重合させると称する場合がある。また、膜中に含まれる第１有機材料を重合させることを、該膜を重合させると称する場合もある。
【００４０】
具体的には、図２（ｂ）に示すように、例えば窒素雰囲気中で、透明基板２が１８０℃程度となるように陽極３側を１０〜６０分程度加熱して、重合させる。陽極３側からの加熱手段としては、例えばホットプレートによる加熱や、ランプを用いた光照射加熱等が用いられる。陽極３側から加熱すれば、第１材料膜４１０の下層側が上層側よりも高温になるため、第１材料膜の重合度は下層側から上層側に向うにつれて低くなる。したがって、加熱時間を管理すること等により、前記のような所望の重合度にすることができる。また、前記したように、第１有機材料に含まれる溶媒を少量とすることで、溶媒を迅速に蒸発させることができ、かつ重合された膜中に溶媒が残留することが防止される。
このようにして、第１材料膜４１０の下層側から９０％程度の厚さ（例えば３０ｎｍ）までを不溶化状態の不溶化層４１１とし、上層側から１０％程度の厚さまでを未不溶化状態の未不溶化層４１２とする。
【００４１】
次に、図２（ｃ）に示すように、予め正孔輸送性のモノマーを溶媒に溶解させた第２有機材料を、第１材料膜４１０の未不溶化層４１２上に液相法で配する。ここでは、第２有機材料として、前記の式（２）に示した第２モノマーをトリメチルベンゼン（溶媒）に溶解させた溶液を用いる。なお、溶媒としては、第１材料膜４１０の不溶化層４１１が不溶となるものを、例えば第１有機材料用の溶媒として前記したものから適宜選択して用いることができる。
【００４２】
このように調製した第２有機材料を、第１有機材料と同様に液滴吐出法で未不溶化層４１２上に配して、第２材料膜４３０を形成する。第２モノマーも、正孔輸送層の材料として通常用いられる有機高分子系材料よりも分子量が小さいので、第１有機材料と同様に、吐出に適した粘度の溶液とすることができ、良好に配することができる。ここで、不溶化層４１１は、第２有機材料の溶媒に対して不溶となっており不溶化層４１１内に第２有機材料が浸透しないので、第２有機材料を不純物として含まないようにとなっている。また、未不溶化層４１２は、第２有機材料に可溶となっているので、その上層側の第２材料膜との界面部分が、第１有機材料と第２有機材料とが相溶した第１混合層４２０となる。また、第１材料膜４１０の不溶化層４１１と、第１混合層４２０との間は、微量の第２有機材料を含有した未不溶化層４１３となる。
【００４３】
次に、図２（ｄ）に示すように、未不溶化層４１３と、第１混合層４２０と、第２材料膜４３１の下層側と、を共に重合させ、陽極３上に正孔注入層（第１有機層）４１を形成するとともに、正孔注入層４１上に第１中間有機層４２を形成する（第２重合プロセス）。具体的には、例えば窒素雰囲気中で、透明基板２が１８０℃程度となるように陽極３側を１０〜６０分程度加熱して、重合させる。未不溶化層４１３は、重合が進行することにより不溶化層４１５となるとともに、第１モノマーの重合、すなわち化学結合（共有結合）により不溶化層４１１側と結合する。このようにして、明確な界面なく連続した不溶化層４１１、４１５からなる正孔注入層４１を形成することができる。前記したように、重合触媒を用いないで重合させているので、重合触媒を不純物として含有しない正孔注入層４１を形成することができる。
【００４４】
また、第１混合層４２０に含まれた第１モノマーと第２モノマーとが共重合することにより、その共重合体からなる第１中間有機層４２を形成することができる。ここで、第１混合層４２０に含まれた第１モノマーが未不溶化層４１３側の第１モノマーと重合することにより、第１中間有機層４２は、第１有機層４１の不溶化層４１５側と第１モノマーの重合（共有結合）により結合する。また、第１混合層４２０に含まれた第２モノマーが第２材料膜４３０側の第２モノマーと重合することにより、第１中間有機層４２は、第２材料膜４３０側と第２モノマーの重合（共有結合）により結合する。
【００４５】
また、前記のように未不溶化層４１３及び第１混合層４２０を重合させるとともに、第２材料膜４３０も重合させる。なお、第２材料膜４３０の第２モノマーを完全に重合させて第２有機層（正孔輸送層）とすることもできるが、本実施形態では、第１有機材料の混入をより抑制した正孔輸送層４３を形成するために、正孔輸送層４３を複数段階に分けて形成する。その１段階目として、第２重合プロセスでは、第２材料膜４３０の下層側を不溶化状態としこれを正孔輸送層４３（図１参照）の一部とする。具体的には、第２材料膜４３０は、下層側が第２有機材料に対して不溶となるように重合度を高くし、かつ上層側が第２有機材料の溶媒に対して可溶となるように重合度を低くする。このようにして、第２材料膜４３０の下層側から９０％程度の厚さ（例えば１０ｎｍ）までを不溶化状態の不溶化層４３１とし、上層側から１０％程度の厚さまでを未不溶化状態の未不溶化層４３２とする。
【００４６】
次に、図２（ｅ）に示すように、第２材料膜４３０の未不溶化層４３２上に、第２有機材料を液滴吐出法等の液相法で配して副第２材料膜４３３を形成する。第２材料膜４３０の不溶化層４３１は、微量の第１モノマーを含有しているが、この層を第２有機材料に対して不溶としているので、第１モノマーが第２材料膜４３０の未不溶化層４３２側に溶け出すことが防止される。そのため、未不溶化層４３２上の副第２材料膜４３３は、第１モノマーを不純物として含有しないものとなる。
【００４７】
次に、図２（ｆ）に示すように、例えば窒素雰囲気中で透明基板２が１８０℃程度となるように陽極３側を１０〜６０分程度加熱して、第２材料膜４３０及び副第２材料膜４３３に含まれる溶媒を蒸発させるとともに、これらの膜に含まれる第２モノマーを重合させる。ここで、第２材料膜４３０は、後述する第３有機材料に対して不溶となるように重合度を高くする。また、副第２材料膜４３３は、下層側が第３有機材料の溶媒に対して不溶となるように重合度を低くするとともに、上層側が第３有機材料の溶媒に対して可溶となるように重合度を低くする。このようにして、第２材料膜４３０の未不溶化層４３２を未不溶化状態とし、これと第２材料膜４３０の不溶化層４３１とからなる不溶化層４３４とする。また、副第２材料膜４３３の下層側から９０％程度の厚さ（例えば１０ｎｍ）までを不溶化状態の不溶化層４３５とし、上層側から１０％程度の厚さまでを未不溶化状態の未不溶化層４３６とする。
【００４８】
次に、図３（ａ）に示すように、予め発光性のモノマーを溶媒に溶解させた第３有機材料を、副第２材料膜４３３の未不溶化層４３６上に液相法で配する。ここでは、第３有機材料として、前記の式（３）に示した第３モノマーをトリメチルベンゼン（溶媒）に溶解させた溶液を用いる。なお、溶媒としては、副第２材料膜４３５の不溶化層４１１が不溶となるものを、例えば第１有機材料用の溶媒として前記したものから適宜選択して用いることができる。
【００４９】
このように調製した第３有機材料を、第１有機材料と同様に液滴吐出法で副第２材料膜の未不溶化層４３６上に配して、第３材料膜４５０を形成する。第３モノマーも、有機発光層の材料として通常用いられる有機高分子系材料よりも分子量が小さいので、第１有機材料と同様に、吐出に適した粘度の溶液とすることができ、良好に配することができる。ここで、副第２材料膜４３３の不溶化層４３５は、第３有機材料の溶媒に対して不溶となっているので、第３有機材料を不純物として含まないものとなる。また、副第２材料膜４３３の未不溶化層４３６は、第３有機材料に可溶としているので、その上層側が第２有機材料と第３有機材料とが相溶した第２混合層４４０となる。また、副第２材料膜４３３の不溶化層４３５と、第２混合層４４０との間は、微量の第３有機材料を含有した未不溶化層４３７となる。
【００５０】
次に、図３（ｂ）に示すように、未不溶化層４３７と、第２混合層４４０と、第３材料膜４５０の下層側と、を共に重合させ、陽極３上に正孔輸送層４３を形成するとともに、第２有機層４３上に第２中間有機層４４を形成する。具体的には、例えば窒素雰囲気中で、透明基板２が１８０℃程度となるように陽極３側を１０〜６０分程度加熱して、重合させる。未不溶化層４３７は、重合が進行することにより不溶化層４３８となるとともに、不溶化層４３５側と第２モノマーの重合（共有結合）により結合する。このようにして、明確な界面なく連続した不溶化層４３４、４３５、４３８からなる正孔輸送層４３を形成することができる。
【００５１】
また、第２混合層４４０に含まれた第２モノマーと第３モノマーとが共重合することにより、その共重合体からなる第２中間有機層４４を形成することができる。ここで、第２混合層４４０に含まれた第２モノマーが未不溶化層４３７側の第２モノマーと重合することにより、第２中間有機層４４は、正孔輸送層４３の不溶化層４３８側と第２モノマーの重合（共有結合）により結合する。また、第２混合層４４０に含まれた第３モノマーが第３材料膜４５０側の第３モノマーと重合することにより、第２中間有機層４４は、第３材料膜４５０側と第３モノマーの重合（共有結合）により結合する。
【００５２】
また、本実施形態では、第２有機材料が混入しない第３有機層（有機発光層）４５を形成するために、正孔輸送層４３と同様に有機発光層４５も複数段階に分けて形成する。その１段階目として、ここでは第３材料膜４５０の下層側を不溶化状態としこれを有機発光層４５の一部とする。具体的には、第３材料膜４５０は、下層側が第３有機材料に対して不溶となるように重合度を高くし、かつ上層側が第３有機材料の溶媒に対して可溶となるように重合度を低くする。このようにして、第２材料膜４５０の下層側から９０％程度の厚さ（例えば１０ｎｍ）までを不溶化状態の不溶化層４５１とし、上層側から１０％程度の厚さまでを未不溶化状態の未不溶化層４５２とする。
【００５３】
次に、図３（ｃ）に示すように、第３材料膜４５０の未不溶化層４５２上に、第３有機材料を液滴吐出法等の液相法で配して副第３材料膜４５３を形成する。第３材料膜４５０の不溶化層４５１は、微量の第２モノマーを含有しているが、この層を第２有機材料に対して不溶としているので、第２モノマーが第３材料膜４５０の未不溶化層４５２側に溶け出すことが防止される。そのため、未不溶化層４５２上の副第３材料膜４５３は、第２モノマーを不純物として含有しないものとなる。
【００５４】
次に、図３（ｄ）に示すように、例えば窒素雰囲気中で透明基板２が１８０℃程度となるように陽極３側を１０〜６０分程度加熱して、第３材料膜４５０及び副第３材料膜４５３に含まれる溶媒を蒸発させるとともに、これらの膜に含まれる第３モノマーを重合させる。これにより、第３材料膜４５０の未不溶化層４５２が不溶化層４５４となり、副第３材料膜４５５が極めて不純物の少ない不溶化層４５４となる。このようして、明確な界面なく連続した不溶化層４５１、４５２、４５３からなる有機発光層４５を形成することができる。有機発光層４５の厚さとしては、例えば５０ｎｍ程度とする。
【００５５】
次に、図３（ｅ）に示すように、有機発光層４５層上に陰極５を形成する。具体的には、例えば真空度が１０−６Ｔｏｒｒ（１．３３．×１０−４Ｐａ）の真空雰囲気で、真空蒸着法を用いて有機発光層４５上に、フッ化リチウム、カルシウム、アルミニウムを順次成膜し、これらの膜からなる多層構造の陰極５を形成する。それぞれの層厚としては、例えばフッ化リチウム層が４ｎｍ程度、カルシウム層が１０ｎｍ程度、アルミニウム層が２００ｎｍ程度とする。
また、以上のようにして、有機ＥＬ素子１が得られる。
【００５６】
［実施例］
次に、本発明の有機ＥＬ素子の特性について、本発明とは異なる製造方法で得られたもの（比較例）と比較した結果を説明する。本発明の有機ＥＬ素子としては、前記実施形態の製造方法で得られた有機ＥＬ素子１を実施例とする。また、比較例の有機ＥＬ素子としては、実施例と同じ有機材料（第１、第２、第３有機材料）を用いて製造したものを比較例とする。比較例が実施例と異なるのは、それぞれの第１有機材料を配した後にこれを完全に重合させて有機層を形成した後、その上層に次に有機層を形成する点である。すなわち、比較例は、未不溶化層を形成せずに製造した有機ＥＬ素子の例である。
【００５７】
以上のような、実施例及び比較例を、それぞれ初期輝度が８００ｃｄ／ｃｍ２となるように定電流駆動し、電流効率及び輝度の半減時間を測定した。下記の表は、その測定結果を示す表である。なお、下記の表では比較のために、比較例の値を１として規格化した値で、電流効率及び輝度の半減時間を示している。これにより、実施例は比較例よりも、電流効率及び半減時間が格段に優れていることが分かる。これは、本発明を適用することにより、有機層と有機層とが共有結合により結合するようになり、有機層間で良好な密着性が得られたため、これが高効率化・長寿命化に寄与したと考えられる。
【００５８】
【表１】
2009087601.tif 000006
【００５９】
以上のような製造方法によれば、第１材料膜４１０の上層側を未不溶化層４１２とし、この未不溶化層４１２の上層側を第１混合層４２０として、第１材料膜４１０の上層側と第１混合層４２０と第２材料膜４３０の下層側と共に重合させるので、正孔注入層４１と第１中間有機層４２とが共有結合により結合されるとともに、第１中間有機層４２と第２有機層（正孔輸送層）４３とが共有結合により結合される。したがって、これら有機層間の密着力が、物理的な吸着力による密着力よりも格段に改善され、良好な有機機能層４とすることができる。よって、これを有する有機機能層を良好な特性とすることができ、これを備えた有機ＥＬ素子を良好な特性とすることができる。
【００６０】
また、第１材料膜４１０の下層側を不溶化層４１１とした後に、第２有機材料を配するので、不溶化層４１１に第２有機材料が混入することが無く、所定の特性の第１有機層（正孔注入層）４１を形成することができる。よって、有機機能層４の特性安定化が図られ、これを備えた有機ＥＬ素子を良好な特性とすることができる。
【００６１】
また、液相法でモノマーを含有する有機材料（第１、第２、第３有機材料）を配するので、配する際に有機材料が変質することない。したがって、有機材料の無駄が増えることによる材料コストの増加や、変質した有機材料が異物となり有機ＥＬ素子１の特性低下や信頼性低下、歩留り低下等を生じさせることがない。よって、良好な有機ＥＬ素子を低コストで製造することができる。
【００６２】
以上のようにして得られた本発明の有機ＥＬ素子は、複数の有機層を有する有機機能層４において、有機層間の密着性が良好となっているので、有機層間をキャリアが良好に移動可能となっている。そのため、前記実施例に示したように電気効率が良好な有機ＥＬ素子となっており、しかも有機層間にキャリアが滞ることによる有機層の劣化等が低減されるので、長寿命化の有機ＥＬ素子となっている。
【００６３】
なお、前記実施形態では、電子注入（輸送）性の層を有する陰極５としたが、陰極と有機機能層との間に、有機材料からなる電子注入（輸送）層を設けるようにしてもよい。この場合には、電子注入（輸送）層も本発明の方法を適用して形成することができ、本発明の効果を得ることができる。
また、前記実施形態では、正孔注入層４１、正孔輸送層４３、有機発光層４５を本発明の方法で形成したが、少なくとも２以上の有機層が本発明の方法により形成されていれば、その効果を得ることができる。例えば、正孔注入層４１及び正孔輸送層４３を本発明の方法で形成した後、有機高分子系材料からなる有機発光層を形成するようにしてもよい。このようにすれば、有機発光層の材料の選択自由度が高まるので、有機発光層の発光色等の設計が容易化される。
【００６４】
［有機ＥＬ表示装置］
次に、本発明の有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ装置の一実施形態である有機ＥＬ表示装置について説明する。図４は、有機ＥＬ素子を画素としてマトリクス状に備えた有機ＥＬ表示装置２００の概略構成図である。
【００６５】
有機ＥＬ表示装置１００は、基体２０上に、回路素子としての薄膜トランジスタを含む回路素子部３０、陽極である画素電極（第１電極）３、有機発光層を含む有機機能層４、陰極である対向電極（第２電極）５、及び封止部６等を備えている。
【００６６】
基体２０としては、例えば、ガラス基板が用いられる。本発明における基板としては、ガラス基板の他に、シリコン基板、石英基板、セラミックス基板、金属基板、プラスチック基板、プラスチックフィルム基板等、電気光学装置や回路基板に用いられる公知の様々な基板が適用される。
【００６７】
基体２０上には、発光領域としての複数の画素領域Ａがマトリクス状に配列されており、カラー表示を行う場合、例えば、赤（Ｒｅｄ）、緑（Ｇｒｅｅｎ）、青（Ｂｌｕｅ）の各色に対応する画素領域Ａが所定の配列で形成される。各画素領域Ａには、画素電極３が配置され、その近傍には信号線３２、共通給電線３３、走査線３１及び図示しない他の画素電極用の走査線等が配置されている。画素領域Ａの平面形状は、図に示す矩形の他に、円形、長円形など任意の形状が適用可能である。
【００６８】
封止部６は、水や酸素の侵入を防いで対向電極５あるいは有機機能層４の酸化を防止するものであり、基体２０に貼り合わされる封止基板（又は封止缶）６１を含む。封止基板６１は、ガラスや金属等からなり、基体２０と封止基板６１とはシール剤を介して貼り合わされている。基体２０の内側には乾燥剤が配置されており、基板間に形成された空間には不活性ガスを充填した不活性ガス充填層６２が形成されている。
【００６９】
画素領域Ａには、走査線３１を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用の第１の薄膜トランジスタ３４と、この薄膜トランジスタ３４を介して信号線３２から供給される画像信号を保持する保持容量ｃａｐと、保持容量ｃａｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給される駆動用の第２の薄膜トランジスタ４５と、この薄膜トランジスタ４５を介して共通給電線３３に電気的に接続したときに共通給電線３３から駆動電流が流れ込む画素電極３と、画素電極３と対向電極５との間に挟み込まれる有機機能層４とが設けられている。有機機能層４は有機発光層を含み、発光素子である有機ＥＬ素子１は、画素電極３、対向電極５、及び有機機能層４等を含んで構成される。
【００７０】
画素領域Ａでは、走査線３１が駆動されて第１の薄膜トランジスタ３４がオンになると、そのときの信号線３２の電位が保持容量ｃａｐに保持され、この保持容量ｃａｐの状態に応じて、第２の薄膜トランジスタ３５の導通状態が決まる。また、第２の薄膜トランジスタ３５のチャネルを介して共通給電線３３から画素電極３に電流が流れ、さらに有機機能層４を通じて対向電極５に電流が流れる。そして、このときの電流量に応じて、有機機能層４が発光する。
【００７１】
有機ＥＬ表示装置１００においては、有機機能層４から基体２０側に発した光が、回路素子部３０及び基体２０を透過して基体２０の下側（観測者側）に射出されるとともに、有機機能層４から基体２０の反対側に発した光が対向電極５により反射されて、その光が回路素子部３０及び基体２０を透過して基体２０の下側（観測者側）に射出される（ボトムエミッション型）。なお、対向電極５として、透明な材料を用いることにより対向電極側から発光する光を射出させることもできる（トップエミッション型）。この場合、対向電極用の透明な材料としては、ＩＴＯ、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｎｉ、もしくはＰｄを用いることができる。
【００７２】
この有機ＥＬ表示装置１００は、画素領域Ａに形成された有機ＥＬ素子１が、本発明の有機ＥＬ素子の構造を備えている。前記したように本発明の有機ＥＬ素子は、電流効率等の特性が良好であるので、優れた特性の有機ＥＬ表示装置となる。また、本発明の有機ＥＬ素子は、長寿命のものであるので、長寿命の有機ＥＬ表示装置となる。
【００７３】
なお、本発明の有機ＥＬ素子は、有機ＥＬ表示装置の他にも、プリンターヘッドや照明装置等の発光素子としても用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の有機ＥＬ素子を示す側断面構成図である。
【図２】（ａ）〜（ｆ）は、本発明の製造方法を模式的に示す断面工程図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の製造方法を模式的に示す断面工程図である。
【図４】本発明の有機ＥＬ装置を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００７５】
１・・・有機ＥＬ素子、３・・・陽極（第１電極）、４・・・有機機能層、４１・・・正孔注入層（第１有機層）、４２・・・第１中間有機層（中間有機層）、４３・・・正孔輸送層（第２有機層）、４４・・・第２中間有機層（中間有機層）、４５・・・有機発光層、５・・・陰極（第２電極）
【図１】
2009087601.tif 000007
【図２】
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【図３】
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【図４】
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