(57)【要約】【課題】スキュー測定時間を短くする。【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに対して信号を出力する複数のドライバと、複数のドライバのそれぞれから複数の信号のそれぞれを出力させる出力制御部と、複数の信号を合成した合成信号に基づいて、複数のドライバのそれぞれから出力された複数の信号のスキューを算出する算出部と、スキューに応じて、複数のドライバのそれぞれから出力される信号の出力タイミングを調整する調整部と、を備える試験装置を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに対して信号を出力する複数のドライバと、
前記複数のドライバのそれぞれから複数の信号のそれぞれを出力させる出力制御部と、
前記複数の信号を合成した合成信号に基づいて、前記複数のドライバのそれぞれから出力された複数の信号のスキューを算出する算出部と、
前記スキューに応じて、前記複数のドライバのそれぞれから出力される信号の出力タイミングを調整する調整部と、
を備える試験装置。
【請求項２】
前記出力制御部は、前記複数のドライバから互いに初期位相が異なる複数の信号を出力させ、
前記算出部は、前記合成信号を時分割して、前記複数の信号に対応する複数の信号成分を抽出し、抽出した前記複数の信号成分のそれぞれの位相に基づき前記スキューを算出する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記出力制御部は、前記複数のドライバから互いに異なる周波数の前記複数の信号を出力させ、
前記算出部は、前記合成信号を周波数分割して、前記複数の信号に対応する複数の信号成分を抽出し、抽出した前記複数の信号成分のそれぞれの位相に基づき前記スキューを算出する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項４】
前記出力制御部は、前記複数のドライバから互いに異なる符号パターンの前記複数の信号を出力させ、
前記算出部は、前記合成信号から、前記複数の信号に対応する複数の符号パターンの複数の信号成分を抽出し、抽出した前記複数の信号成分のそれぞれの位相に基づき前記スキューを算出する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項５】
前記複数のドライバから前記被試験デバイスへ信号を伝送する複数の伝送線路から前記複数の信号を受けて、前記合成信号を出力する合成部を更に備える請求項１に記載の試験装置。
【請求項６】
前記合成部は、それぞれの一方の端が前記複数の伝送線路のそれぞれに接続され、それぞれの他方の端が共通に接続された複数の抵抗を有し、
前記算出部は、前記複数の抵抗の前記他方の端から前記合成信号の電圧波形を取得し、取得した前記合成信号の電圧波形に基づき前記複数の信号のスキューを算出する
請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記合成部は、前記被試験デバイスに代えてパフォーマンスボードに載置されるダミーデバイスに設けられ、前記パフォーマンスボードの前記被試験デバイスへの複数の信号出力端から前記複数の信号を受ける
請求項５に記載の試験装置。
【請求項８】
前記合成部は、前記被試験デバイスが載置されるパフォーマンスボードに代えてテストヘッドに装着される診断ボードに設けられ、テストヘッドの前記パフォーマンスボードへの複数の信号出力端から前記複数の信号を受ける
請求項５に記載の試験装置。
【請求項９】
前記合成部は、テストヘッドに設けられ、前記複数のドライバの信号出力端から前記複数の信号を受ける
請求項５に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記出力制御部は、前記合成部により合成される前記複数の信号を出力する前記複数のドライバのうち、選択された２以上の前記ドライバから前記信号を出力させ、
前記算出部は、前記合成信号に基づき、選択された２以上の前記ドライバから出力された２以上の信号のスキューを算出する
請求項５に記載の試験装置。
【請求項１１】
複数のドライバから出力される複数の信号のスキューを測定するスキュー測定装置であって、
前記複数のドライバのそれぞれから複数の信号のそれぞれを出力させる出力制御部と、
前記複数の信号を合成した合成信号に基づいて、前記複数のドライバのそれぞれから出力された複数の信号のスキューを算出する算出部と、
を備えるスキュー測定装置。
【請求項１２】
被試験デバイスを試験する試験装置に備えられた複数のドライバから出力される複数の信号のスキューを測定する場合において、前記被試験デバイスに代えてパフォーマンスボードに載置されるデバイスであって、
前記複数のドライバから前記被試験デバイスへ信号を伝送する複数の伝送線路における、前記パフォーマンスボードの前記被試験デバイスへの複数の信号出力端から前記複数の信号を受けて、合成する合成部
を備えるデバイス。
【請求項１３】
被試験デバイスを試験する試験装置に備えられた複数のドライバから出力される複数の信号のスキューを測定する場合において、前記被試験デバイスが載置されるパフォーマンスボードに代えてテストヘッドに装着されるボードであって、
前記複数のドライバから前記被試験デバイスへ信号を伝送する複数の伝送線路における、テストヘッドの前記パフォーマンスボードへの複数の信号出力端から前記複数の信号を受けて、合成する合成部
を備えるボード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置、スキュー測定装置、デバイスおよびボードに関する。特に本発明は、複数のドライバから出力される複数の信号のスキューを測定する試験装置、スキュー測定装置、デバイスおよびボードに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス等の被試験デバイスを試験する試験装置は、伝送線路上の所定点（例えば被試験デバイスの入力端）において複数の試験信号の位相を一致させる調整（スキュー調整）がされる。例えば、特許文献１には、自動接触装置がプローブをソケットの各ピンに順次に接触させ、プローブが検出した信号の位相に基づきスキュー調整がされる試験装置が記載されている。
【特許文献１】特開２００１−１８３４１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、近年、試験装置は、同時に試験が可能な被試験デバイスのピン数（チャネル数）が増加している。例えば、試験装置は、２０００チャネルのピンを同時に試験することができる。しかし、チャネル数が増加した場合、試験装置は、スキュー調整のために費やされる時間も増加する。
【０００４】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置、スキュー測定装置、デバイスおよびボードを提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに対して信号を出力する複数のドライバと、複数のドライバのそれぞれから複数の信号のそれぞれを出力させる出力制御部と、複数の信号を合成した合成信号に基づいて、複数のドライバのそれぞれから出力された複数の信号のスキューを算出する算出部と、スキューに応じて、複数のドライバのそれぞれから出力される信号の出力タイミングを調整する調整部と、を備える試験装置を提供する。
【０００６】
本発明の第２の形態においては、複数のドライバから出力される複数の信号のスキューを測定するスキュー測定装置であって、複数のドライバのそれぞれから複数の信号のそれぞれを出力させる出力制御部と、複数の信号を合成した合成信号に基づいて、複数のドライバのそれぞれから出力された複数の信号のスキューを算出する算出部と、を備えるスキュー測定装置を提供する。
【０００７】
本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置に備えられた複数のドライバから出力される複数の信号のスキューを測定する場合において、被試験デバイスに代えてパフォーマンスボードに載置されるデバイスであって、複数のドライバから被試験デバイスへ信号を伝送する複数の伝送線路における、パフォーマンスボードの被試験デバイスへの複数の信号出力端から複数の信号を受けて、合成する合成部を備えるデバイスを提供する。
【０００８】
本発明の第４の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置に備えられた複数のドライバから出力される複数の信号のスキューを測定する場合において、被試験デバイスが載置されるパフォーマンスボードに代えてテストヘッドに装着されるボードであって、複数のドライバから被試験デバイスへ信号を伝送する複数の伝送線路における、テストヘッドのパフォーマンスボードへの複数の信号出力端から複数の信号を受けて、合成する合成部を備えるボードを提供する。
【０００９】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１１】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。試験装置１０は、テストヘッド１２と、パフォーマンスボード１４とを備える。
【００１２】
テストヘッド１２は、被試験デバイスに対して試験信号を与える。さらに、テストヘッド１２は、試験信号が与えられたことに応じて被試験デバイスから出力された応答信号を受けて、被試験デバイスの良否を判定する。
【００１３】
パフォーマンスボード１４は、テストヘッド１２に装着される。さらに、パフォーマンスボード１４は、テストヘッド１２に装着された状態において、被試験デバイスが載置される。そして、パフォーマンスボード１４は、載置された被試験デバイスの複数のピンとテストヘッド１２の複数の入出力端子との間を、複数の伝送経路を介して接続する。
【００１４】
また、試験装置１０は、複数のタイミング発生部２２と、複数の信号生成部２４と、複数のドライバ２６と、複数の調整部２８と、出力制御部３０と、合成部３２と、算出部３４と、設定部３６とを備える。
【００１５】
複数のタイミング発生部２２は、複数のチャネルに対応して設けられる。複数のタイミング発生部２２は、一例として、テストヘッド１２に内蔵される。各タイミング発生部２２は、対応するチャネルの伝送経路に出力すべき試験信号の基準となるタイミング信号を発生する。
【００１６】
複数の信号生成部２４は、複数のチャネルに対応して設けられる。複数の信号生成部２４は、一例として、テストヘッド１２に内蔵される。各信号生成部２４は、対応するチャネルのタイミング発生部２２から出力されたタイミング信号に基づき、被試験デバイスに供給すべき試験信号を生成する。
【００１７】
複数のドライバ２６は、複数のチャネルに対応して設けられる。複数のドライバ２６は、一例として、テストヘッド１２に内蔵される。各ドライバ２６は、対するチャネルの信号生成部２４により生成された試験信号を、対応するチャネルの伝送経路を介して、被試験デバイスの対応するピンに出力する。
【００１８】
複数の調整部２８は、複数のチャネルに対応して設けられる。複数の調整部２８は、一例として、テストヘッド１２に内蔵される。
【００１９】
各調整部２８は、スキュー調整量が設定部３６により設定される。各調整部２８は、対応するチャネルの試験信号の出力タイミングを調整する。より詳しくは、各調整部２８は、対応するチャネルの試験信号の出力タイミングを、指定されたタイミングからスキュー調整量に応じた時間分、変化させる（遅らせるまたは進ませる）。各調整部２８は、一例として、タイミング信号をタイミング調整量分遅延して、試験信号の出力タイミングを変化させてよい。また、各調整部２８は、一例として、指定された出力タイミングを表すタイミングデータにスキュー調整量を加算または減算して、試験信号の出力タイミングを変化させてよい。
【００２０】
出力制御部３０は、キャリブレーション時において、複数のドライバ２６のそれぞれから複数の測定用信号のそれぞれを出力させる。出力制御部３０は、一例として、各信号生成部２４に対して、波形パターンおよび出力タイミングを指定するデータを与えてよい。これにより、各ドライバ２６は、指定された波形パターンの測定用信号を指定されたタイミングに出力することができる。
【００２１】
また、出力制御部３０は、複数のドライバ２６から、互いに異なる複数の測定用信号を出力させる。出力制御部３０は、一例として、複数のドライバ２６から、複数の測定用信号を互いに異なる時間に出力させてよい。また、出力制御部３０は、一例として、複数のドライバ２６から、互いに異なる周波数の複数の測定用信号を出力させてよい。出力制御部３０は、一例として、複数のドライバ２６から、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号を出力させてよい。
【００２２】
合成部３２は、キャリブレーション時において、複数のドライバ２６から被試験デバイスへ信号を伝送する複数の伝送線路から、複数の測定用信号を受ける。そして、合成部３２は、複数の測定用信号を合成した合成信号を出力する。合成部３２は、一例として、複数の測定用信号を加算した合成信号を出力してよい。
【００２３】
合成部３２は、一例として、キャリブレーション時において、被試験デバイスに代えてパフォーマンスボード１４に載置されるダミーデバイス４０に設けられてよい。この場合、合成部３２は、パフォーマンスボード１４の被試験デバイスへの複数の信号出力端から複数の測定用信号を受ける。そして、合成部３２は、複数の測定用信号を合成した合成信号を信号線を介して算出部３４に対して供給する。
【００２４】
算出部３４は、キャリブレーション時において、合成信号に基づいて、複数のドライバ２６のそれぞれから出力された複数の測定用信号のそれぞれのスキューを算出する。すなわち、算出部３４は、合成信号に基づいて、合成部３２が測定用信号を取得した伝送経路上の点において、測定用信号が基準時刻からどれだけ遅延しているかを示す遅延時間を、複数の測定用信号のそれぞれについて算出する。
【００２５】
算出部３４は、一例として、合成信号から、複数の測定用信号のそれぞれに対応した信号成分を抽出する。算出部３４は、例えば、時分割、周波数分割または符号パターンに応じた分割をして、合成信号から複数の信号成分を抽出する。そして、算出部３４は、抽出した複数の信号成分のそれぞれの位相（基準位相からの位相差）を検出して、検出した位相に応じた遅延時間をスキューとして算出する。
【００２６】
設定部３６は、算出部３４により算出されたスキューに応じて、複数のドライバ２６のそれぞれから出力される信号の出力タイミングを設定する。より詳しくは、設定部３６は、キャリブレーション時において、複数の調整部２８のそれぞれに対して、対応するドライバ２６から出力させた測定用信号のスキューに基づくスキュー調整量を設定する。設定部３６は、一例として、出力タイミングが同時刻に設定された複数の試験信号の位相が、伝送経路上の所定点（例えば、被試験デバイスの入力端）において一致するように、複数の調整部２８のそれぞれに対してスキュー調整量を設定してよい。
【００２７】
以上のような試験装置１０は、複数の信号のそれぞれのスキューを一括して測定することができる。これにより、試験装置１０は、複数の信号のそれぞれのスキューを別個に測定しなくてよいので、スキュー測定時間を短くすることができる。
【００２８】
図２は、合成部３２の構成の一例および算出部３４の構成の一例を、複数のドライバ２６とともに示す。合成部３２は、一例として、複数の抵抗４２を有してよい。
【００２９】
複数の抵抗４２は、複数のチャネルに対応して設けられる。複数の抵抗４２は、一例として、それぞれが同一の抵抗値を有してよい。
【００３０】
複数の抵抗４２のそれぞれは、一方の端が、対応するチャネルのドライバ２６から被試験デバイスへ信号を伝送する伝送線路に接続される。複数の各抵抗４２のそれぞれは、一例として、一方の端が、パフォーマンスボード１４の被試験デバイスへの信号出力端に接続されてよい。
【００３１】
また、複数の抵抗４２のそれぞれは、他方の端が、当該合成部３２の出力端に、共通に接続される。このような合成部３２は、複数の抵抗４２の一方の端側から、複数の測定用信号を受ける。そして、このような合成部３２は、複数の抵抗４２の他方の端側から、複数の測定用信号の電圧値を合成した合成信号を出力する。
【００３２】
例えば、各抵抗４２の抵抗値をＲｉ、算出部３４の入力インピーダンスをＺｍ、複数の抵抗４２の数をｎ個（ｎは、２以上の整数。）とする。そして、一の抵抗４２の一方の端に電圧Ｖｉが与えられ、他の抵抗４２の一方の端にリファレンス電位（例えばコモン電位）が与えられている場合において、複数の抵抗４２の他方の端の電圧Ｖｏは、次の式（１）により表される。
【００３３】
【数１】
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【００３４】
そして、複数のドライバ２６から同時に測定用信号が出力された場合、合成部３２は、各抵抗４２の一方の端に与えられた電圧を加算した電圧の合成信号を出力する。なお、各抵抗４２は、一例として、ドライバ２６から当該合成部３２までの伝送線路の抵抗値Ｚｏと同一の抵抗値であってよい。これにより、各抵抗４２は、対応するドライバ２６から出力された測定用信号を終端することができる。
【００３５】
また、算出部３４は、一例として、デジタイザ４４と、演算部４６とを有してよい。デジタイザ４４は、合成部３２から出力された合成信号を、所定サンプリング周期でサンプリングしてデジタル化する。デジタイザ４４は、一例として、合成信号の電圧波形を取得してデジタル化してよい。
【００３６】
算出部３４は、デジタイザ４４から出力された合成信号を表すデータ系列に基づき、複数のドライバ２６から出力された複数の測定用信号のそれぞれのスキューを演算する。算出部３４は、一例として、合成信号の電圧波形を表すデータ系列に基づき複数の測定用信号のそれぞれのスキューを演算してよい。このような算出部３４は、デジタル演算により、複数の測定用信号のそれぞれのスキューを演算することができる。
【００３７】
図３は、互いに初期位相が異なる複数の測定用信号の一例を示す。出力制御部３０は、一例として、複数のドライバ２６から互いに初期位相が異なる複数の測定用信号を出力させてよい。出力制御部３０は、一例として、図３の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）に示されるように、複数の測定用信号を、互いに異なる時間に複数のドライバ２６から出力させてよい。このような出力制御部３０は、合成しても互いに時間的に干渉しない複数の測定用信号を出力させることができる。
【００３８】
さらに、複数のドライバ２６から互いに初期位相が異なる複数の測定用信号が出力された場合、算出部３４は、一例として、合成信号を時分割して、複数の測定用信号に対応する複数の信号成分を抽出する。そして、算出部３４は、抽出した複数の信号成分のそれぞれの位相に基づきスキューを算出してよい。このような算出部３４は、互いに異なる初期位相の複数の測定用信号を合成した合成信号から、各測定用信号のスキューを算出することができる。
【００３９】
図４は、互いに初期位相が異なる複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの一例を示す。複数のドライバ２６から互いに初期位相が異なる複数の測定用信号が出力された場合、算出部３４は、一例として、ステップＳ１１〜ステップＳ１４の処理を実行してよい。
【００４０】
まず、算出部３４は、それぞれの測定用信号が含まれると予測される時間領域毎に合成信号を時分割して、複数の信号成分を抽出する（Ｓ１１）。続いて、算出部３４は、複数の測定用信号のうち一の測定用信号（対象測定用信号）を順次に選択して、ステップＳ１３の処理を実行する（Ｓ１２、Ｓ１４）。ステップＳ１３において、算出部３４は、対象測定用信号に対応する信号成分を、例えばＦＦＴ（Ｆａｓｔ  Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）により周波数分割して、基本波の位相を算出する。
【００４１】
そして、算出部３４は、全ての測定用信号についてステップＳ１３の処理を実行し終えると、ステップＳ１３において算出した位相に基づき各測定用信号のスキューを算出して、当該フローを終了する（Ｓ１４）。このようなステップＳ１１〜Ｓ１４を実行することにより、算出部３４は、複数のドライバ２６から互いに初期位相が異なる複数の測定用信号が出力された場合に、各測定用信号のスキューを算出することができる。
【００４２】
図５は、互いに異なる周波数の複数の測定用信号の一例を示す。出力制御部３０は、一例として、複数のドライバ２６から互いに異なる周波数の複数の測定用信号を出力させてよい。出力制御部３０は、一例として、図５の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）に示されるような、互いに異なる周波数の複数の測定用信号を、複数のドライバ２６から出力させてよい。このような出力制御部３０は、合成しても互いに周波数的に干渉しない複数の測定用信号を出力させることができる。
【００４３】
さらに、複数のドライバ２６から互いに異なる周波数の複数の測定用信号が出力された場合、算出部３４は、一例として、合成信号を周波数分割して、複数の測定用信号に対応する複数の信号成分を抽出する。そして、算出部３４は、抽出した複数の信号成分のそれぞれの位相に基づきスキューを算出してよい。このような算出部３４は、互いに異なる周波数の複数の測定用信号を合成した合成信号から、各測定用信号のスキューを算出することができる。
【００４４】
図６は、互いに異なる周波数の複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの一例を示す。複数のドライバ２６から互いに異なる周波数の複数の測定用信号が出力された場合、算出部３４は、一例として、ステップＳ２１〜ステップＳ２４の処理を実行してよい。
【００４５】
まず、算出部３４は、それぞれの測定用信号が含まれる周波数毎に合成信号を周波数分割して、複数の信号成分を抽出する（Ｓ２１）。算出部３４は、一例として、合成信号をＦＦＴにより周波数分割してよい。
【００４６】
続いて、算出部３４は、複数の測定用信号のうち一の測定用信号（対象測定用信号）を順次に選択して、ステップＳ２３の処理を実行する（Ｓ２２、Ｓ２４）。ステップＳ２３において、算出部３４は、対象測定用信号に対応する信号成分の基本波の位相を算出する。
【００４７】
そして、算出部３４は、全ての測定用信号についてステップＳ２３の処理を実行し終えると、ステップＳ２３において算出した位相に基づき各測定用信号のスキューを算出して、当該フローを終了する（Ｓ２４）。このようなステップＳ２１〜Ｓ２４を実行することにより、算出部３４は、複数のドライバ２６から互いに異なる周波数の複数の測定用信号が出力された場合に、各測定用信号のスキューを算出することができる。
【００４８】
図７は、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号の一例を示す。出力制御部３０は、一例として、複数のドライバ２６から互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号を出力させてよい。
【００４９】
出力制御部３０は、一例として、図５の（Ｆ）、（Ｇ）、（Ｈ）、（Ｉ）に示されるような複数の測定用信号を、複数のドライバ２６から出力させてよい。すなわち、出力制御部３０は、一例として、図５の（Ａ）に示されるような基本信号に、図５の（Ｂ）〜（Ｅ）に示される互いに異なる符号パターンを乗じた複数の測定用信号を、複数のドライバ２６から出力させてよい。このような出力制御部３０は、合成しても互いに符号的に干渉しない複数の測定用信号を出力させることができる。
【００５０】
さらに、複数のドライバ２６から互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号が出力された場合、算出部３４は、一例として、合成信号から、複数の測定用信号に対応する複数の符号パターンの複数の信号成分を抽出する。そして、算出部３４は、抽出した複数の信号成分のそれぞれの位相に基づきスキューを算出してよい。このような算出部３４は、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号を合成した合成信号から、各測定用信号のスキューを算出することができる。
【００５１】
図８は、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの第１例を示す。複数のドライバ２６から互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号が出力された場合、算出部３４は、一例として、ステップＳ３１〜ステップＳ３４の処理を実行してよい。
【００５２】
まず、算出部３４は、複数の測定用信号のうち一の測定用信号（対象測定用信号）を順次に選択して、ステップＳ３２およびステップＳ３３の処理を実行する（Ｓ３１、Ｓ３４）。ステップＳ３２において、算出部３４は、合成信号と、対象測定用信号の理想波形を表す理想信号との相関を表す相関信号を算出する。続いて、ステップＳ３３において、算出部３４は、相関信号を例えばＦＦＴにより周波数分割して、基本波の位相を算出する。
【００５３】
そして、算出部３４は、全ての測定用信号についてステップＳ３２およびＳ３３の処理を実行し終えると、ステップＳ３３において算出した位相に基づき各測定用信号のスキューを算出して、当該フローを終了する（Ｓ３４）。このようなステップＳ３１〜Ｓ３４を実行することにより、算出部３４は、複数のドライバ２６から互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号が出力された場合に、各測定用信号のスキューを算出することができる。
【００５４】
図９は、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの第２例を示す。複数のドライバ２６から互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号が出力された場合、算出部３４は、一例として、ステップＳ４１〜ステップＳ４４の処理を実行してよい。
【００５５】
まず、算出部３４は、複数の測定用信号のうち一の測定用信号（対象測定用信号）を順次に選択して、ステップＳ４２およびステップＳ４３の処理を実行する（Ｓ４１、Ｓ４４）。ステップＳ４２において、算出部３４は、合成信号と、対象測定用信号の理想波形を表す理想信号との相互相関値を、理想信号の位相をずらしながら算出する。なお、相互相関値は、例えば、合成信号と所定位相に設定された理想信号とを、同一時刻（同一サンプル位置）のサンプル値同士で乗算して、乗算結果を１周期分累積加算した値である。
【００５６】
続いて、ステップＳ４３において、算出部３４は、ステップＳ４２の算出結果から、相互相関値がピークとなる理想信号の位相をサーチして検出する。そして、算出部３４は、全ての測定用信号についてステップＳ４２およびＳ４３の処理を実行し終えると、ステップＳ４３において検出した位相に基づき各測定用信号のスキューを算出して、当該フローを終了する（Ｓ４４）。このようなステップＳ４１〜Ｓ４４を実行することにより、算出部３４は、複数のドライバ２６から互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号が出力された場合に、各測定用信号のスキューを算出することができる。
【００５７】
図１０は、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの第３例を示す。複数のドライバ２６から互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号が出力された場合、算出部３４は、一例として、ステップＳ５１〜ステップＳ５４の処理を実行してよい。
【００５８】
まず、算出部３４は、複数の測定用信号のそれぞれの理想波形を表す関数（理想波形関数）を生成する（Ｓ５１）。なお、理想波形関数は、遅延時間を変数として含む。
【００５９】
続いて、算出部３４は、ステップＳ５１で生成された複数の理想波形関数を合成した理想合成関数を生成する（Ｓ５２）。続いて、算出部３４は、合成信号と理想合成関数との二乗誤差を表す関数（二乗誤差関数）を生成する（Ｓ５３）。算出部３４は、一例として、下記式（２）に表されるような二乗誤差関数ε（ｔ）２を生成してよい。
【００６０】
【数２】
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【００６１】
式（２）において、Ｍは、合成信号のサンプリング点のポイント数を表す。ｎは、合成信号として合成される測定信号の数（チャネル数）を表す。Ｒｉ（ｋ＋Δｔｉ）は、ｉ番目の測定用信号に対応する理想波形関数を表す。Δｔｉは、ｉ番目の測定用信号に含まれる遅延時間（変数）を表す。Ｚ（ｋ）は、合成信号を表す。
【００６２】
続いて、算出部３４は、二乗誤差関数ε（ｔ）２が最小となる複数の変数（Δｔｉ＝遅延時間）の解を算出する（Ｓ５４）。算出部３４は、一例として、二乗誤差関数ε（ｔ）２を各変数Δｔｉについて偏微分した偏微分関数を算出して、偏微分関数＝０の条件を満たす複数の変数Δｔｉの解を算出してよい。
【００６３】
そして、算出部３４は、算出した各変数の解Δｔｉに基づき、各定用信号のスキューを算出して、当該フローを終了する（Ｓ５４）。このようなステップＳ５１〜Ｓ５４を実行することにより、算出部３４は、複数のドライバ２６から互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号が出力された場合に、各測定用信号のスキューを算出することができる。
【００６４】
図１１は、本実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図１に示した試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、略同一の構成および機能を採る部材については図面中に同一の符号を付け、相違点を除き説明を省略する。
【００６５】
本変形例に係る試験装置１０は、キャリブレーション時において、パフォーマンスボード１４に代えて診断ボード５０がテストヘッド１２に装着されてよい。この場合において、合成部３２は、診断ボード５０に設けられ、テストヘッド１２のパフォーマンスボード１４への複数の信号出力端から複数の測定用信号を受ける。
【００６６】
そして、合成部３２は、複数の測定用信号を合成した合成信号を算出部３４に与える。このような本変形例に係る試験装置１０によれば、テストヘッド１２からパフォーマンスボード１４への複数の信号出力端において、各測定用信号のスキューを測定することができる。
【００６７】
図１２は、本実施形態の第２変形例に係る試験装置１０の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図１に示した試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、略同一の構成および機能を採る部材については図面中に同一の符号を付け、相違点を除き説明を省略する。
【００６８】
本変形例に係る試験装置１０は、合成部３２をテストヘッド１２の内部に備える。この場合において、合成部３２は、複数のドライバ２６の信号出力端から複数の測定用信号を受ける。
【００６９】
そして、合成部３２は、複数の測定用信号を合成した合成信号を算出部３４に与える。このような本変形例に係る試験装置１０によれば、ドライバ２６の出力端において、各測定用信号のスキューを測定することができる。
【００７０】
図１３は、本実施形態の第３変形例に係る試験装置１０の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図１に示した試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、略同一の構成および機能を採る部材については図面中に同一の符号を付け、相違点を除き説明を省略する。
【００７１】
本変形例に係る出力制御部３０は、合成部３２により合成される複数の測定用信号を出力する複数のドライバ２６のうち、選択された２以上のドライバ２６から信号を出力させてよい。すなわち、出力制御部３０は、合成部３２が接続された複数のドライバ２６のうち一部のドライバ２６から測定用信号を出力させ、他のドライバ２６から測定用信号を出力させなくてよい。出力制御部３０は、一例として、測定用信号を出力させない他のドライバ２６から、基準電圧（例えば、コモン電圧）を出力させてもよい。そして、算出部３４は、合成部３２により合成された合成信号に基づき、選択された２以上のドライバ２６から出力された測定用信号のスキューを算出する。
【００７２】
このような試験装置１０によれば、信号線の切り替え等を行わなくても、スキューを測定すべき複数の測定用信号を選択することができる。これにより、試験装置１０は、精度良くスキューを測定することができる。なお、試験装置１０は、スキューを測定すべき測定用信号を出力するドライバ２６と合成部３２とを接続し、スキューを測定しない測定用信号を出力するドライバ２６と合成部３２とを非接続とする複数のリレーを有する構成であってもよい。
【００７３】
図１４は、本実施形態の第４変形例に係る試験装置１０の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図１に示した試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、略同一の構成および機能を採る部材については図面中に同一の符号を付け、相違点を除き説明を省略する。
【００７４】
本変形例に係る試験装置１０は、複数のチャネルのそれぞれに対応してテストヘッド１２に内蔵された、ストローブ発生部６２、コンパレータ６４、判定部６６およびストローブ調整部６８を、更に備えてよい。
【００７５】
ストローブ発生部６２は、被試験デバイスから出力された応答信号の取込タイミングを示すストローブ信号を発生する。コンパレータ６４は、被試験デバイスから出力された応答信号の論理値を、対応するチャネルのストローブ発生部６２から出力されたストローブ信号のタイミングで取り込む。さらに、コンパレータ６４の入力端は、対応するチャネルのドライバ２６の出力端と共通に接続される。判定部６６は、対応するチャネルのコンパレータ６４により取り込まれた論理値を、期待値と一致するか否かを判定する。
【００７６】
ストローブ調整部６８は、ストローブ調整量が設定部３６により設定される。ストローブ調整部６８は、対応するチャネルの論理値の取り込みタイミングを、指定されたタイミングからストローブ調整量に応じた時間分、変化させる（遅らせるまたは進ませる）。ストローブ調整部６８は、一例として、ストローブ信号をストローブ調整量分遅延して、ストローブ信号のタイミングを変化させてよい。
【００７７】
設定部３６は、コンパレータ６４が応答信号を取得する取得タイミングを設定する。設定部３６は、一例として、ドライバ２６から出力される信号のスキュー調整が完了した後、ドライバ２６から所定波形の信号を出力させる。そして、設定部３６は、ドライバ２６から出力した所定波形の信号を、対応するチャネルのコンパレータ６４が目的のタイミングにおいて取り込むように、ストローブ調整量を設定する。このような試験装置１０は、複数のドライバ２６のスキューを調整するとともに、複数のコンパレータ６４の応答信号の取込タイミングを調整することができる。
【００７８】
さらに、試験装置１０は、複数のドライバ２６のスキューを、立上りエッジに対するスキューと、立下りエッジに対するスキューに分離して測定してよい。試験装置１０は、一例として、算出部３４が、複数のドライバ２６から出力された複数の測定用信号を、立上りエッジ部分と立下りエッジ部分とに分離して取り込んで、それぞれについて位相を測定してよい。これにより、試験装置１０によれば、立上りエッジと立下りエッジとで、伝送線路の遅延量が異なる場合であっても、被試験デバイスを精度良く試験することができる。
【００７９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。
【図２】図２は、合成部３２の構成の一例および算出部３４の構成の一例を、複数のドライバ２６とともに示す。
【図３】図３は、互いに異なる時間に出力された複数の測定用信号の一例を示す。
【図４】図４は、互いに異なる時間に出力された複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの一例を示す。
【図５】図５は、互いに異なる周波数の複数の測定用信号の一例を示す。
【図６】図６は、互いに異なる周波数の複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの一例を示す。
【図７】図７は、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号の一例を示す。
【図８】図８は、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの第１例を示す。
【図９】図９は、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの第２例を示す。
【図１０】図１０は、互いに異なる符号パターンの複数の測定用信号を出力させた場合の、算出部３４の処理フローの第３例を示す。
【図１１】図１１は、本実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成を示す。
【図１２】図１２は、本実施形態の第２変形例に係る試験装置１０の構成を示す。
【図１３】図１３は、本実施形態の第３変形例に係る試験装置１０の構成を示す。
【図１４】図１４は、本実施形態の第４変形例に係る試験装置１０の構成を示す。
【符号の説明】
【００８１】
１０  試験装置
１２  テストヘッド
１４  パフォーマンスボード
２２  タイミング発生部
２４  信号生成部
２６  ドライバ
２８  調整部
３０  出力制御部
３２  合成部
３４  算出部
３６  設定部
４０  ダミーデバイス
４２  抵抗
４４  デジタイザ
４６  演算部
５０  診断ボード
６２  ストローブ発生部
６４  コンパレータ
６６  判定部
６８  ストローブ調整部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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