(57)【要約】【課題】吐出口の周面の大部分を同じ濡れ性の材料により形成することにより、吐出方向がずれないように液体を安定的に吐出することができる液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録装置を提供すること。【解決手段】吐出口１８を形成する天板８の面に、吐出口１８を形成する基板１の面およびノズル壁５の面と同じ感光樹脂材料によって、ノズル壁５に接触しない凸部４を設ける【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に間隔をおいて配置された対の壁部の上面に天板を接合することにより、前記基板と、前記対の壁部と、前記天板と、によって囲まれる吐出口が形成され、前記吐出口から液体を吐出させるための吐出エネルギー発生手段を備える液体吐出ヘッドであって、
前記吐出口を形成する前記天板の面に、前記吐出口を形成する前記基板の面および前記壁部の面と同じ濡れ性の材料によって、前記壁部に接触しない凸部を設ける
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記凸部は、前記吐出口を形成する前記対の壁部の一方の面との間、および前記吐出口を形成する前記対の壁部の他方の面との間のそれぞれに、同じ大きさの隙間を形成することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記隙間に、前記材料と同じ濡れ性の接着材を充填したことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記材料は、同じ感光性樹脂材料であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記接着材は、前記壁部の上面と前記天板との接着の前に前記壁部の上面に付与されており、前記接着のために前記壁部の上面に前記天板が押し付けられることにより、前記隙間内に移動することを特徴とする請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記隙間の大きさは、前記壁部の上面から前記隙間内に移動する前記接着材の量に応じて設定することを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記隙間の大きさは、前記接着の前に前記壁部の上面に付与される前記接着材の量に応じて設定することを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記吐出エネルギー発生手段は、前記基板上に備えられた電気熱変換体を含むことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
基板上に間隔をおいて配置された対の壁部の上面に天板を接合することにより、前記基板と、前記対の壁部と、前記天板と、によって囲まれる吐出口が形成され、前記吐出口から液体を吐出させるための吐出エネルギー発生手段を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記吐出口を形成する前記天板の面に、前記吐出口を形成する前記基板の面および前記壁部の面と同じ濡れ性の材料によって凸部が設けられた天板を用意し、
前記凸部が前記壁部に接触しないように、前記壁部の上面に前記天板を接合する
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
液体のインクを吐出可能な記録ヘッドを用いて、記録媒体上に画像を記録するインクジェット記録装置において、
前記記録ヘッドとして、請求項１から８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを用いることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出口から液体を吐出可能な液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドの製造方法、および液体のインクを吐出可能な記録ヘッドを用いて画像を記録するインクジェット記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液体吐出ヘッドに形成された吐出口から記録液としてのインクを吐出することにより、記録を行なうインクジェット記録装置は、低騒音、高速記録などの点で優れた記録装置として知られている。このインクジェット記録装置については、近年の記録技術の進歩に伴い、より高速、高精細な記録が要求されるようになりつつある。そのため、吐出口の大きさがさらに微小になり、かつ吐出口がより高密度に形成されるようになってきた。
【０００３】
図１５から図１７は、従来の液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための図である。本例の液体吐出ヘッドは、素子基板２１に感光性樹脂材料により形成されたノズル壁２２上に、シリコン製の天板２３を溶着することにより、ノズルＮが形成される。本例のノズルＮにはヒータ（電気熱変換体）２４が備えられており、そのヒータ２４によってノズルＮ内のインクを発泡させることにより、その発泡エネルギーを利用して吐出口２５からインクを吐出する構成となっている。また、ノズル内には、インクの発泡方向を規制するための可動弁２６が備えられている。
【０００４】
図１５（ａ），図１６（ａ），図１７（ａ）は、製造段階における液体吐出ヘッドの断面を吐出口２７の方向から見た図である。図１５（ｂ），図１６（ｂ），図１７（ｂ）は、それぞれ図１５（ａ），図１６（ａ），図１７（ａ）のＸＶ−ＸＶ，ＸＶＩ−ＸＶＩ，ＸＶＩＩ−ＸＶＩＩに沿う断面図である。本例の場合、１つの素子基板２１上に２つ分の液体吐出ヘッドを構成し、それをラインＬに沿って切断することにより、それぞれの切断面に吐出口２５が形成される２つの液体吐出ヘッドを製造する。
【０００５】
図１５において、素子基板２１には、ヒータ２４、紫外線感光性樹脂フィルムのノズル底部２７、ノズル壁２２、および可動弁２６が備えられ、天板２３には、ノズル上部２８を形成する感光性樹脂フィルムがラミネートされている。そして、図１６にように、感光性樹脂フィルムのノズル上部２８をノズル壁２２に接着する。その際、天板２３とノズル壁２２との接着強度を向上させるために、天板２３に荷重を掛けてノズル壁２２に突き当て、ノズル壁２２の上面に位置するノズル上部２８部分を形成する感光性樹脂フィルムを吐出口側に垂れ込ませる。これにより、天板２３やノズル壁２２に対するノズル上部２７の接触面積を増やしている。その後、図１７のようにラインＬにそって切断することにより、２つの液体吐出ヘッドが製造される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、このように製造される従来の液体吐出ヘッドは、ノズル上部２７を形成する感光性樹脂フィルムの垂れ込み方の微細な管理ができないため、吐出口２５の形状が図１７（ａ）中の左右方向において異なるおそれがある。つまり、図１８のように、吐出口形状が左右非対称となるおそれがある。このように吐出口形状が左右非対象となった場合には、吐出口５の中心がヒータ２４の中心からずれてしまい、インクの吐出方向がずれて画像の記録品位が低下するおそれがある。ノズル上部２７を形成する感光性樹脂フィルムをノズル壁２２上面にラミネートして、その感光性樹脂フィルムの垂れ込み量を減らした場合には、図９に示すように、吐出口側に垂れ込む感光性樹脂フィルムがノズル壁２２に沿って広がってしまうおそれがある。それは、シリコン製の天板２８と比較して、感光性樹脂材料により形成されたノズル壁２２の濡れ性が高いためである。この場合には、吐出口２５における天板２３の面を感光性樹脂フィルムによって覆うことができなくなり、その天板２３の面が剥き出しになって、吐出口２５の周囲を同一材料により形成できなくなるおそれがある。吐出口２５を同一材料により形成できなくなった場合には、その吐出口２５を形成する複数の材料の濡れ性の違いから、インクの吐出方向がずれて画像の記録品位の低下を招くおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、吐出口の周面の大部分を同じ濡れ性の材料により形成することにより、吐出方向がずれないように液体を安定的に吐出することができる液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドは、基板上に間隔をおいて配置された対の壁部の上面に天板を接合することにより、前記基板と、前記対の壁部と、前記天板と、によって囲まれる吐出口が形成され、前記吐出口から液体を吐出させるための吐出エネルギー発生手段を備える液体吐出ヘッドであって、前記吐出口を形成する前記天板の面に、前記吐出口を形成する前記基板の面および前記壁部の面と同じ濡れ性の材料によって、前記壁部に接触しない凸部を設けることを特徴とする。
【０００９】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、基板上に間隔をおいて配置された対の壁部の上面に天板を接合することにより、前記基板と、前記対の壁部と、前記天板と、によって囲まれる吐出口が形成され、前記吐出口から液体を吐出させるための吐出エネルギー発生手段を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記吐出口を形成する前記天板の面に、前記吐出口を形成する前記基板の面および前記壁部の面と同じ濡れ性の材料によって凸部が設けられた天板を用意し、前記凸部が前記壁部に接触しないように、前記壁部の上面に前記天板を接合することを特徴とする。
【００１０】
本発明のインクジェット記録装置は、液体のインクを吐出可能な記録ヘッドを用いて、記録媒体上に画像を記録するインクジェット記録装置において、前記記録ヘッドとして、上記の液体吐出ヘッドを用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、吐出口を形成する基板の面および壁部の面と同じ濡れ性の材料によって、吐出口を形成する天板の面に、壁部と接触しない凸部を設けることにより、吐出口の周面の大部分を同じ濡れ性の材料により形成することができる。これにより、吐出方向がずれないように液体を安定的に吐出することができる。
【００１２】
また、凸部と壁部との間の隙間に、凸部と同じ材料の接着材を充填することにより、吐出口の周面の全てを同じ濡れ性の材料により形成することができる。これにより、吐出方向がずれないように液体をより安定的に吐出することができる。また、基板の壁部と天板とを接着する接着材が吐出口内に垂れ込む領域を、凸部と壁部との間の狭い隙間に規制することができる。これにより、接着材の比較的不安定な垂れ込みの形状が吐出口の断面形状に及ぼす影響を小さく抑えて、吐出口を所望の形状に形成することができ、この結果、液体をより安定的に吐出させることができる。また、接着材が接する凸部と壁部の面を大きくして、充分な接着力を確保することができる。
【００１３】
また、凸部の両側のそれぞれに同じ大きさの隙間を形成することにより、それらの隙間に接着材を均等に充填させて、凸部を通る中心線を中心として吐出口を左右対称形状とすることができる。これにより、吐出方向がずれないように、液体をより安定的に吐出することができる。また、接着材が充填される隙間を同じ濡れ性の凸部と壁部により形成することにより、その隙間に沿って接着材を偏りなく充填することができる。
【００１４】
また、インクジェット記録ヘッドに用いられる記録ヘッドとして、本発明の液体吐出ヘッドを用いることにより、インクを安定的に吐出して、高品位の画像を記録することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。  
図１は、本発明の液体吐出ヘッドにおけるノズル近傍部分の一部切欠きの斜視図である。ヒータボード（基板）１には、液体を加熱発泡するためのヒータ（電気熱変換体）２が複数配置されている。本例のヒータ２は、チッ化タンタル等の抵抗体により形成され、厚さは０．０１〜０．５μｍ、シート抵抗は単位正方形当たり１０〜３００Ωである。ヒータ２には、通電のためのアルミニウム等の電極（図示せず）が接続されており、その電極の一方は、通電を制御するためのスイッチングトランジスタ（図示せず）が接続されている。スイッチトランジスタは、制御用のゲート素子等の回路からなるＩＣによって駆動が制御され、液体吐出ヘッドの外部からの信号によって、所定の駆動パターンにしたがってヒータ２を駆動する。
【００１６】
それぞれのヒータ２に対応する流路は、その一端が吐出口１８に連通し、その他端が共通液室１６に連通されており、吐出口１８共にノズル１４を形成している。ノズル１４は、後述するように、ヒータボード１と、ノズル壁（壁部）５と、厚さ５〜１０μｍ程度のノズル底部３と、ノズル上部７と、天板８にパターンニングされた凸部４と、により囲まれて、管状に形成されている。可動弁６は、その自由端９が吐出口１８の方向に向くように、その支点部１０が共通液室１６内内の弁支持部材１１に取り付けられている。その弁支持部材１１は、弁台座１２によってヒータボード１に取り付けられる。天板８は、異方性エッチング等により形成されたインク供給開口１７を備えており、そのインク供給開口１７を通して、外部からの液体が共通液室１６内に導入される。共通液室１６からノズル１４に供給された液体は、ノズル１４内の所定の位置に配置されたヒータ２によって加熱されて発泡する。その発泡に伴ってノズル１４内の液体が移動する同時に、可動弁６が変位して、液体の流れ方向を規制する。この結果、吐出口１８から液体が吐出される。
【００１７】
図２（ａ），図３（ａ），図４（ａ），図５（ａ），図６（ａ），図７（ａ），図８（ａ），図９（ａ），図１０（ａ）は、製造段階における液体吐出ヘッドの断面を吐出口１８の方向から見た図である。図２（ｂ），図３（ｂ），図４（ｂ），図５（ｂ），図６（ｂ）は、それぞれ、図２（ａ），図３（ａ），図４（ａ），図５（ａ），図６（ａ）のＩＩ−ＩＩ，ＩＩＩ−ＩＩＩ，ＩＶ−ＩＶ，Ｖ−Ｖ，ＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。同様に、図７（ｂ），図８（ｂ），図９（ｂ），図１０（ｂ）は、それぞれ、図７（ａ），図８（ａ），図９（ａ），図１０（ａ）のＶＩＩ−ＶＩＩ，ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ，ＩＸ−ＩＸ，Ｘ−Ｘ線に沿う断面図である。本例の場合、１つのヒータボード１上に２つ分の液体吐出ヘッドを構成し、それをラインＬに沿って切断することにより、それぞれの切断面に吐出口１８が形成される２つの液体吐出ヘッドを製造する。
【００１８】
本例においては、図２（ａ），（ｂ）に示すように、素子基板（シリコンウエハ）上に、半導体製造工程において用いるものと同様の製造装置を用いてハフニュウムボライドやチッ化タンタル等からなるヒータ２を形成することにより、ヒータボード１を製作する。次に、後述する感光性樹脂フィルムＤＦ１との密着性の向上を目的として、ヒータボード１の表面に洗浄を施す。さらに、密着性の向上を目的として、ヒータボード１の表面に紫外線−オゾン等による表面改質を行った後、例えば、その改質された表面上に、シランカップリング剤をエチルアルコールで１重量％に希釈した液をスピンコートする。
【００１９】
次に、ヒータボード１の表面を洗浄してから、図３（ａ），（ｂ）に示すように、密着性が向上したヒータボード１上に紫外線感光樹脂フィルムＤＦ１をラミネートする。次に、図４（ａ），（ｂ）に示すように、ノズル底部３、および可動弁６を接着するための弁台座１２として残す感光性樹脂フィルムＤＦ１の部分に、フォトマスク１５Ａを介して紫外線を照射する。
【００２０】
次に、図５（ａ），（ｂ）に示すように、紫外線感光性樹脂フィルムＤＦ２をラミネートする。そして、図６（ａ），（ｂ）に示すように、ノズル壁５として残す感光性樹脂フィルムＤＦ２の部分に、フォトマスク１５Ｂを介して紫外線を照射する。次に、図７（ａ），（ｂ）に示すように、キシレンとブチルセルソルブアセテートとの混合液からなる現像液によって紫外線感光樹脂フィルムＤＦ１，ＤＦ２を現像する。すなわち、それらの未露光部分を融解させ、露光して硬化した部分をノズル底部３，弁台座１２，ノズル壁５として形成する。その後、図８（ａ），（ｂ）のように、弁台座１２に可動弁６を接着剤等によって固定する。
【００２１】
天板８としては、図８（ａ），（ｂ）のように、凸部４が設けられたものを用意する。その凸部４は、感光性樹脂フィルムを材料として予め設けておく。そして、ノズル壁５の上面に、ノズル上部７を形成するための感光性樹脂フィルムＤＦ３をラミネートしてから、図９（ａ），（ｂ）のように、ノズル壁５の上面に天板８を接着する。凸部４は隣接するノズル壁５同士の間に位置し、凸部４とノズル壁５との間には、図１１のように、１つのノズルに対して、同じ大きさの２つの隙間２５が左右対称的に形成される。隙間２５を形成する凸部４とノズル壁５は、いずれも感光性樹脂材料によって形成されているため、ノズル上部７を形成するための感光性樹脂フィルムＤＦ３は、凸部４とノズル壁５の対向面のそれぞれに沿ってバランスよく垂れ込む。したがって感光性樹脂フィルムＤＦ３は、１つのノズルにおける左右２つの隙間２５内に均等に充填されて、図９（ａ），（ｂ）のように凸部４の両側にノズル上部７を左右対称的に形成する。
【００２２】
図１２および図１３において、ｔは感光性樹脂フィルムＤＦ３の厚み、ｓはノズル壁５の幅、Ｙは凸部４の高さ、Ｙは隙間２５の幅であり、これらは下式の関係にある。  
Ｘ・Ｙ＝ｔ・ｓ／２
このように、隙間２５の断面積Ｚ（Ｘ・Ｙ）は、吐出口１８を形成するノズル壁５と天板８との接触面の幅ｓと、吐出口１８を形成するためにラミネートされる感光性樹脂フィルムＤＦ３の厚みｔと、から決定することができる。このように隙間２５の大きさを決定することにより、それぞれの隙間２５に適量の感光性樹脂フィルムＤＦ３が埋め込まれることになる。
【００２３】
このようにして、２つの液体吐出ヘッドの吐出口を一体的に付き合わせたような構造体を製作した後、図１０（ａ），（ｂ）のように、その構造体をラインＬに沿って切断することにより２つの液体吐出ヘッドに分ける。その切断には、例えば、厚さ０．０５mmのダイヤモンドブレードを取り付けたダイシングマシンを用いることができる。その後、分離された液体吐出ヘッドの吐出口１８が形成される面（吐出口面）を一定の圧力を掛けながら研磨して、その吐出口面を平滑化する。
【００２４】
このように本例においては、吐出口１８の周囲を同一材料（感光性樹脂材料）によって構成することができる上、ノズル上部７が凸部４とノズル壁５に接触する面積が大きいために、それらの間の接着力も大きくすることができる。また、１つのノズルにおける左右２つの隙間２５内に、感光性樹脂フィルムＤＦ３が均等に充填されるため、吐出口１８を左右対称形状とすることができる。つまり、凸部４を通る中心線を中心として、吐出口１８を左右対称形状とすることができる。これらの結果、液体を安定的に吐出させて、高品位の画像を記録することができる。
【００２５】
図１４は、本発明の液体吐出ヘッドを適用可能なインクジェット記録装置の一例を説明するための正面図である。
【００２６】
１１０は前述した本発明の液体吐出ヘッドであり、６つのインクカートリッジ１１３から供給される異なるインクを吐出するために、６つ備えられている。給紙部１１６から供給される記録媒体としての用紙Ｐは、搬送部１１４によって矢印方向に搬送される。記録動作時には、液体吐出ヘッド１１０を用紙Ｐの表面と対向させ、用紙Ｐを矢印方向に搬送しつつ、液体吐出ヘッド１１０から用紙Ｐの表面に向かってインクを吐出する。これにより、用紙Ｐ上（記録媒体上）に画像を記録することができる。１１２は、液体吐出ヘッド１１０のインクの吐出状態を良好に維持するための回復ユニットである。
【００２７】
（他の実施形態）
吐出口は、基板上に間隔をおいて配置された対の壁部の上面に天板を接合することにより、基板と、対の壁部と、天板と、によって囲まれて形成されればよい。したがって、それらの天板、基板、壁部は、前述した天板８、ヒータボード（基板）、ノズル壁（壁部）５の構成にのみに特定されない。また、液体を吐出させるための吐出エネルギー発生手段は、前述したような電気熱変換体（ヒータ）２を用いる構成のみに特定されず、例えば、ピエゾ素子などを用いる構成であってもよい。
【００２８】
また、接着材は感光性樹脂フィルムＤＦ３のみに特定されず、種々の材料を用いることができ、要は、天板に設けられた凸部と、吐出口を形成する壁部（ノズル壁）の面と、の間の隙間に充填することができればよい。その接着材は、吐出口を形成する基板、壁部、凸部のそれぞれの面の形成材料と同じ濡れ性の材料、例えば同じ感光性樹脂材料とする。
【００２９】
また、前述した実施形態において、接着材は、壁部の上面と天板との接着の前に壁部の上面に付与されており、接着のために壁部の上面に天板が押し付けられることにより、隙間内に移動する。しかし、接着材を隙間内に充填することができればよく、接着材の充填方法は、必ずしも前述した実施形態のみに特定されない。
【００３０】
また、接着材が充填される隙間の大きさは、前述した実施形態のように、接着の前に壁部の上面に付与される接着材の量に応じて設定する他、壁部の上面から隙間内に移動する接着材の量に応じて設定してもよい。
【００３１】
また本発明は、液体吐出ヘッドを用いて種々の液体を吐出するための装置に対して広く適用することができ、その装置は、インクジェット記録装置のみに特定されない。また、そのインクジェット記録装置は、前述した実施形態のような所謂フルラインタイプのみに特定されず、所謂シリアルスキャンタイプなどであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドにおける吐出口周辺部分の一部切欠きの拡大斜視図である。
【図２】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図である。
【図８】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図９】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である。
【図１０】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。
【図１１】本発明の液体吐出ヘッドにおける吐出口の形状の説明図である。
【図１２】本発明の液体吐出ヘッドにおける天板の接合前の吐出口周辺部分の説明図である。
【図１３】本発明の液体吐出ヘッドにおける天板の接合後の吐出口周辺部分の説明図である。
【図１４】本発明の液体吐出ヘッドを適用可能なインクジェット記録装置の一例を説明するための正面図である。
【図１５】従来の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＸＶ−ＸＶ線に沿う断面図である。
【図１６】従来の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＸＶＩ−ＸＶＩ線に沿う断面図である。
【図１７】従来の液体吐出ヘッドの製造過程を説明するための断面図、（ｂ）は、（ａ）のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線に沿う断面図である。
【図１８】従来の液体吐出ヘッドにおける吐出口の形状の一例の説明図である。
【図１９】従来の液体吐出ヘッドにおける吐出口の形状の他の例の説明図である。
【符号の説明】
【００３３】
１    ヒータボード（基板）
３    ノズル底部
３    凸部
５    ノズル壁（壁部）
７    ノズル上部
８    天板
１４    ノズル
１８    吐出口
２５    隙間
ＤＦ１、ＤＦ２，ＤＦ３    紫外線感光性樹脂フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009006563.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2009006563.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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