(57)【要約】【課題】  ワークＷに掛かる張力を一定に保ち、且つワークのパターン形成面に異物を付着させないで確実にワークを搬送する搬送装置を提供する。【解決手段】  搬送装置は、第１面に感光材が塗布された長尺状のワークを搬送する搬送装置である。長尺状のワーク（Ｗ）が巻き回されている供給リール（２）と、供給リールから送られたワークの感光材を感光させる感光処理部（２０）と、感光処理部で感光されたワークを巻き取る巻き取りリール（５）と、供給リールから巻き取りリールに至るまで、ワーク（Ｗ）の第１面以外に接触してワークを搬送する搬送補助手段と、を備える。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面に感光材が塗布された長尺状のワークを搬送する搬送装置であって、
前記長尺状のワークが巻き回されている供給リールと、
前記供給リールから送られた前記ワークの感光材を感光させる感光処理部と、
前記感光処理部で感光された前記ワークを巻き取る巻き取りリールと、
前記供給リールから巻き取りリールに至るまで、前記ワークの第１面以外に接触して前記ワークを搬送する搬送補助手段と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記搬送補助手段は、前記感光処理部において前記ワークを鉛直方向に送ることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記感光処理部は、前記感光材に電子回路基板を露光することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記搬送補助手段は、前記供給リールから前記感光処理部に至る搬送経路に設けられた第１搬送補助手段と、前記感光処理部から前記巻き取りリールに至る搬送経路に設けられた第２搬送補助手段を含むことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記第１搬送補助手段は、前記ワークの上方からの送風と前記ワークの自重とによって前記供給リールと前記感光処理部の間の張力を調整する第１張力調整手段を有し、
前記第２搬送補助手段は、前記巻き取りリールを中心として前記感光処理部の反対側に配置されるとともに前記ワークの上方からの送風と前記ワークの自重とによって前記供給リールと前記感光処理部の間の張力を調整する第２張力調整手段を有することを特徴とする請求項４のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記第１搬送補助手段は、前記ワークの上方からの送風と前記ワークの自重とによって前記供給リールと前記感光処理部の間の張力を調整する第１張力調整手段を有し、
前記第２搬送補助手段は、前記巻き取りリールを中心として前記感光処理部の反対側に配置されるとともに前記ワークの第１面の反対側の第２面を天井向きに加圧する手段を有することを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記第１搬送補助手段は、前記ワークの上方からの送風と前記ワークの自重とによって前記供給リールと前記感光処理部との間の張力を調整する第１張力調整手段を有し、
前記第２搬送補助手段は、前記巻き取りリールと前記感光処理部との間に配置され、前記ワークの第１面の反対側の第２面を地面向きに加圧する手段を有することを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、供給側からテープ状のワークを処理ステージに搬送し、当該処理ステージで処理されたワークを巻き取り側に搬送するための搬送装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
一般に、携帯電話、モバイル機器等の各種の小型電気機器に用いられる電子回路基板（プリント回路基板）のベース素材は、軽薄短小であるので、その製造工程において、厚板状の材料で取り扱うことが難しく、薄い高精度のフィルム状態の長尺テープ（以下、「ワーク」という）で取り扱わざるを得なくなっている。このようなワークにおいて、実際に使用されている素材は、従来、０．１ｍｍ程度の厚みであったが、ここ数年で０．０５ｍｍ以下０．０３ｍｍ前後と薄型化の傾向に拍車がかかり、さらに、最近では、厚みだけでなく、回路形成する幅が１５０〜２５０ｍｍと薄く幅広なテープ状のワークが流用されている。
【０００３】
このようなテープ状のワークから電子回路基板を製造する場合に、ワークの搬送にまつわる問題が発生しており、この問題を解消する搬送機構として、ワークを水平な状態で搬送する水平搬送式の搬送機構が知られている（特許文献１）。更に電子回路が細密になってきたために、露光ステージにおける撓み及び異物が重要な問題になってきている。そこで、特許文献１では、搬送機構において、露光ステージにワークを余分な張力をかけずに送って静定するために、ワークの張力を調整するいわゆるエアダンサ機構を開示している。また、特許文献２又は特許文献３は、空中の塵埃等がワークやマスクに付着するのを防止して解像度を上げるために、露光ステージを鉛直にしてワークを鉛直方向に搬送させる搬送機構を開示している。
【特許文献１】特許第２８３６７８７号公報
【特許文献２】特開２００５−３２６５５０号公報
【特許文献３】特開２００７−３１４３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の搬送機構では、以下のような問題が存在していた。例えば、特許文献２の搬送機構では、露光ステージの前後の位置で、ワークの両面を挟持する押えローラで保持して、マスクと光学系とワークとがスムーズに一致できるようにしているが、ワークの両面を挟持することで、ワークに必要以上の負荷がかかるという問題点がある。
【０００５】
また、特許文献３では、感光材が塗布された、即ち露光光が照射された面が接触して巻き取りリール回転部に至ることになり、汚れや部分的な損傷など、感光した感光材に悪影響を及ぼすおそれがあった。
【０００６】
従って、ワークを搬送する搬送装置において、供給リールから処理ステージに至る間の搬送と、処理ステージ後巻き取りリールに至るまでの搬送にて発生する張力を一定に保ち、且つワークに描画の解像度等の品質を劣化させる塵埃を付着させないように清浄度を確保して、確実にワークを搬送することが求められている。本発明は特に処理ステージから巻き取りリールに至るまでの搬送において、ワークに掛かる張力を一定に保ち、且つワークのパターン形成面に塵埃を付着させないで、確実にワークを搬送する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、ワークに掛かる張力を一定に保ち、且つワークのパターン形成面に塵埃などの異物を付着させないで、確実にワークを搬送する搬送装置を提供する。
【０００８】
第１の観点の搬送装置は、第１面に感光材が塗布された長尺状のワークを搬送する。この搬送装置は、長尺状のワークが巻き回されている供給リールと、供給リールから送られたワークの感光材を感光させる感光処理部と、感光処理部で感光されたワークを巻き取る巻き取りリールと、供給リールから巻き取りリールに至るまで、ワークの第１面以外に接触してワークを搬送する搬送補助手段と、を備える。
この構成により、搬送装置は感光材が塗布された第１面を傷つけたりすることがない。
【０００９】
第２の観点の搬送装置は、搬送補助手段は、感光処理部においてワークを鉛直方向に送る。
この構成により、ワークに異物が付着するおそれを少なくすることができる。
【００１０】
第３の観点の搬送装置の感光処理部は、感光材に電子回路基板を露光する。
本搬送装置は特に可撓性のフレキシブル基板の製作に適している。
【００１１】
第４の観点の搬送装置の搬送補助手段は、供給リールから感光処理部に至る搬送経路に設けられた第１搬送補助手段と、感光処理部から巻き取りリールに至る搬送経路に設けられた第２搬送補助手段を含む。
露光処理部に正確にワークを１コマごとに送るような場合には、供給リールから感光処理部に至る搬送経路と感光処理部から巻き取りリールに至る搬送経路とに、それぞれ第１搬送補助手段と第２搬送補助手段とを配置することが好ましい。
【００１２】
第５の観点の搬送装置は、第４の観点において、第１搬送補助手段は、ワークの上方からの送風とワークの自重とによって供給リールと感光処理部の間の張力を調整する第１張力調整手段を有し、第２搬送補助手段は、巻き取りリールを中心として感光処理部の反対側に配置されるとともにワークの上方からの送風とワークの自重とによって供給リールと感光処理部の間の張力を調整する第２張力調整手段を有する。
【００１３】
第６の観点の搬送装置は、第４の観点において、第１搬送補助手段は、ワークの上方からの送風とワークの自重とによって供給リールと感光処理部の間の張力を調整する第１張力調整手段を有し、第２搬送補助手段は、巻き取りリールを中心として感光処理部の反対側に配置されるとともにワークの第１面の反対側の第２面を天井向きに加圧する手段を有する。
【００１４】
第７の観点の搬送装置は、第４の観点において、第１搬送補助手段は、ワークの上方からの送風とワークの自重とによって供給リールと感光処理部との間の張力を調整する第１張力調整手段を有し、第２搬送補助手段は、巻き取りリールと感光処理部との間に配置され、ワークの第１面の反対側の第２面を地面向きに加圧する手段を有する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る搬送装置は、供給リールから処理ステージを経由して巻き取りリールに至るまで、感光材が塗布されている面には一切触れずにワークを搬送できる。また、搬送装置は、ワークの感光材を塗布している面にガイドローラなどの搬送補助手段が接触しないので、感光材に異物が混入することが無く、感光材の変形、摩擦による変質等のおそれが無い。このため、感光材は良好な反応が期待でき、ゆえに良好なパターン形成が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
《第１実施形態》
以下に、本発明の実施形態であるワーク露光搬送装置１００について説明する。図１は露光部１０と搬送部ＣＶとで構成されているワーク露光搬送装置１００の全体斜視図であり、図２は搬送部ＣＶの側面図である。以下はワーク露光搬送装置１００の露光部１０及び搬送部ＣＶについて説明する。
【００１７】
＜露光部１０の構成＞
図１に示すように、露光部１０は、搬送部ＣＶによって１コマずつ搬送されるワークＷに、マスクＭＫのパターンを１ブロックずつ露光する。この露光部１０は、水銀ランプなどの光源系１１と、この光源系１１の光軸上に配置するマスクＭＫを保持するマスク保持枠１２と、このマスク保持枠１２から所定距離を空けて配置される投影光学系１３とを備えている。
【００１８】
マスク保持枠１２は、マスクＭＫを鉛直方向に立てた状態で保持する支持枠であり、投影光学系１３に対向するように設置されている。マスク保持枠１２は、マスクＭＫを投影光学系１３の入射光軸に対して直交する鉛直方向に移動させるための駆動機構を有している。マスクＭＫには、フィルム状のワークＷに投影する１ブロック分の電子回路パターン及びアライメントマーク等が描画されている。
【００１９】
投影光学系１３は、入射光及び出射光の光軸がレンズ中心に一致するように設けられた入射側凸レンズ１３ａ及び出射側凸レンズ１３ｂを備えている。この投影光学系１３は、例えばダイソン光学系又は縮小投影光学系が使用され、マスクＭＫの回路パターンが、入射側凸レンズ１３ａと出射側凸レンズ１３ｂとを透過して出射側凸レンズ１３ｂから出射しフィルム状のワークＷに照射される。
【００２０】
感光処理部２０は、この投影光学系１３から送られてくる照射光の光路上に配置された露光ステージ２１と、露光に先行してワークＷのアライメントマーク（図示せず）とマスクＭＫのアライメントマーク（図示せず）とを観察するカメラ２２とを備えている。
【００２１】
感光処理部２０の露光ステージ２１は、図示しない真空ポンプの配管が接続されており、フィルム状のワークＷを吸着して固定するように構成されている。露光ステージ２１では、フィルム状のワークＷが１ブロックごとに搬送され、フィルム状のワークＷとマスクＭＫとの位置合わせが終了した後、露光が行われるようになっている。鉛直方向の露光ステージ２１は、ワークＷに異物が付着することを防ぐとともに、マスクＭＫも鉛直方向に向いているのでマスクＭＫにも異物が付着するおそれが少なくなる。
【００２２】
カメラ２２は、フィルム状のワークＷのアライメントマークとマスクＭＫのアライメントマークとを観察するため、ハーフミラー及びＣＣＤ等で構成されている。このカメラ２２は露光時には退避して、光路から外れた位置に配置されるようになっている。
【００２３】
＜搬送部ＣＶの構成＞
次に、搬送部ＣＶの構成について説明する。
図１及び図２に示すように、搬送部ＣＶは、フィルム状のワークＷが供給リール２から感光処理部２０に至る搬送経路に設けられた第１搬送補助手段としてワーク供給系３０と、感光処理部２０から巻き取りリール５に至る第２搬送補助手段としてワーク巻き取り系４０とを備えている。ワーク供給系３０は、ワークＷの供給リール２と、供給ガイドローラ３１（３１ａ，３１ｂ）と、第１搬送ローラ３２とで構成されている。本実施形態のワーク巻き取り系４０は、第２搬送ローラ４２と、巻き取りガイドローラ４１（４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ）と、巻き取りリール５とで構成されている。
【００２４】
供給リール２から第１搬送ローラ３２までの間において、ワークＷは、感光材が塗布されている面を天井方向（＋Ｚ方向）に向けた状態で、全体的に略斜め下方向に搬送される。第１搬送ローラ３２から第２搬送ローラ４２の間において、ワークＷは、鉛直下方向に搬送される。第２搬送ローラ４２から巻き取りガイドローラ４１ａの間において、ワークＷはほぼ水平方向に搬送される。巻き取りガイドローラ４１ａから巻き取りガイドローラ４１ｂまでの間において、ワークＷは鉛直上方向に搬送される。
【００２５】
供給リール２は、搬送方向の下流側の供給ガイドローラ３１ａより高い位置に配置されている。この供給リール２は、例えば、巻き回し部分の直径が７５０ｍｍのものからなり、左右の縁にフランジ部（図示せず）を有する。供給ガイドローラ３１ａは、供給リール２の斜め下方に配置され、供給ガイドローラ３１ｂと同等の高さ、又はやや高い位置に配置され、かつ、第１張力調整手段３３の開口部より上方に配置されている。第１張力調整手段３３は、供給ガイドローラ３１ａと供給ガイドローラ３１ｂとの間で垂れ下がるワークＷを収納できる位置に設けられている。
【００２６】
第１張力調整手段３３は、供給リール２と第１搬送ローラ３２との間に配置され、供給リール２から供給されたワークＷに張力を掛け、ワークＷの弛みを吸収する手段である。この第１張力調整手段３３は、供給リール２から送り出されたワークＷが、供給リール２と供給ガイドローラ３１ａとの間、及び供給ガイドローラ３１ｂと第１搬送ローラ３２との間を搬送されるときに、過度の負荷や弛みが発生しないように、自重でＵ字状に弛むようにして、張力を調整している。また第１張力調整手段３３は、Ｕ字状に弛んだワークＷの搬送方向にほぼ直交するように複数の円筒状ローラ３９を並列に組み合わせて、ワークＷが搬送できる直方体状の空間を形成している。つまり、第１張力調整手段３３は、ワークＷが幅方向（Ｘ方向）に移動すると、円筒状ローラ３９の外周面に当接するため、ワークＷの幅方向の移動を規制することができる。また供給ガイドローラ３１ａと供給ガイドローラ３１ｂのほぼ中間には、下方に向けて圧縮空気もしくはブロワーによる送風を吹き出す第１送風ノズルＮ１を設けている。この第１送風ノズルＮ１の風量によって第１張力調整手段３３内のワークＷが必要な張力がかかっているため、搬送時にワークＷは上下振動することなく、安定して搬送される。
【００２７】
供給ガイドローラ３１ｂは、供給ガイドローラ３１ａと同等又はやや低い位置に配置されると共に、第１搬送ローラ３２より高い位置に配設されている。第１搬送ローラ３２と第２搬送ローラ４２とは、鉛直方向に略一直線に配置されている。第１搬送ローラ３２を通過するワークＷは、供給ガイドローラ３１ｂから斜め下方向に向かって搬送され、さらに第１搬送ローラ３２に巻き掛けられて、鉛直方向の露光ステージ２１に向けて方向転換され、第２搬送ローラ４２へと向かう。第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２はワークＷを一コマずつ搬送する。この第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２の駆動及び構造については詳細を後述する。
【００２８】
露光ステージ２１は、第１搬送ローラ３２と第２搬送ローラ４２との間の中間位置に配置されている。この露光ステージ２１は不図示の吸着機構を有しており、露光の際にはワークＷを１コマずつ吸着する。ワークＷの一方の面に塗布された感光材は、マスクＭＫのパターンが投影光学系１３を介して露光される。露光されたワークＷは第２搬送ローラ４２に至り、そこから巻き取りガイドローラ４１ａの間においてほぼ水平方向に搬送され、そして巻き取りガイドローラ４１ｂの間において鉛直上方向に搬送される。
【００２９】
巻き取りリール５の中心をＹＺ座標の原点“０”とすると、ワーク巻き取り系４０は−Ｙ領域に巻き取りガイドローラ４１と第２張力調整手段４３とを配設し、これらの手段を経由して、ワークＷは巻き取りリール５に巻き取られて回収される。なお巻き取りリール５は、図示しない駆動軸がモータ等で駆動されることで図２において反時計回りに回転するようになっている。
【００３０】
第２搬送ローラ４２を通過したワークＷは、感光材が塗布されている面を地面方向に維持して、−Ｙ領域までほぼ水平方向に移動し、巻き取りガイドローラ４１ａに至る。この巻き取りガイドローラ４１ａにて進行方向を鉛直上方（＋Ｚ方向）に変える。更に＋Ｚ方向にある巻き取りガイドローラ４１ｂにて、ワークＷの搬送方向を変更し、さらに第２張力調整手段４３にてワークＷに掛かる張力を調整する。
【００３１】
第２張力調整手段４３は、巻き取りガイドローラ４１ｃと巻き取りガイドローラ４１ｄとの間でワークＷを収納する。第２張力調整手段４３は、第２搬送ローラ４２から巻き取りリール５までの間のワークＷの弛みを吸収する手段である。第２張力調整手段４３の搬送方向の上流側には巻き取りガイドローラ４１ｃが配置され、第２張力調整手段４３の搬送方向の下流側には巻き取りガイドローラ４１ｄが配置されている。この第２張力調整手段４３は、例えば、第１張力調整手段３３と同じ構成からなる。すなわち、第２張力調整手段４３は、Ｕ字状に弛んだワークＷの搬送方向にほぼ直交するように複数の円筒状ローラ４９を並列に組み合わせて、ワークＷが搬送できる直方体状の空間を形成している。また巻き取りガイドローラ４１ｃ及び巻き取りガイドローラ４１ｄの中央上方に、第２送風ノズルＮ２が設置されている。巻き取りガイドローラ４１ｃから送り込まれたワークＷは、第２張力調整手段４３に投入され、ワークＷの自重と第２送風ノズルＮ２からの送風によって、直方体状の空間内でＵ字状に張力をかけられ、巻き取りガイドローラ４１ｄに向けて搬送される。
【００３２】
搬送部ＣＶは供給リール２から巻き取りリール５までの間で、ワークＷの感光材が塗布されている面に接触していない。つまり、ワークＷの感光材が塗布された面は第１搬送補助手段（ワーク供給系３０）及び第２搬送補助手段（ワーク巻き取り系４０）に接触せずに搬送される。
【００３３】
本実施形態で用いる供給ガイドローラ３１及び巻き取りガイドローラ４１は同一構造で自由回転し、ワークＷがずれないよう次のローラまでを案内する補助ローラである。これら供給ガイドローラ３１及び巻き取りガイドローラ４１は、ワークＷが幅方向にずれないようにフランジを設けていても良いが基本的に不要である。第１張力調整手段３３の円筒状ローラ３９及び第２張力調整手段４３の円筒状ローラ４９によって、ワークＷの幅方向の移動が規制されているからである。ワークＷが幅方向に移動した場合であっても、ワークＷの端面が円筒状ローラ３９又は円筒状ローラ４９に接するのみでワークＷの感光材が塗布された面は、供給ガイドローラ３１、円筒状ローラ３９、巻き取りガイドローラ４１又は円筒状ローラ４９に接することはない。
【００３４】
＜搬送ローラの構造＞
次に露光ステージ２１の上下に設置した第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２について説明する。図３（ａ）は図２の第１搬送ローラ３２を示す拡大構成図である。図３（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２は同様な構成であり、取り付け位置が露光ステージ２１の上下に違うだけである。このため第１搬送ローラ３２を代表して説明する。
【００３５】
図３（ａ）に示す第１搬送ローラ３２は、ワークＷを供給ガイドローラ３１ｂから露光ステージ２１に向けて搬送させるローラであり、この第１搬送ローラ３２をモータＭ２によって間欠的に回転駆動させてワークＷを１コマずつ搬送させる。図３（ｂ）で示すように第１搬送ローラ３２は、ワークＷを第１搬送ローラ３２のローラ表面３７に吸着させる吸着孔３４を有すると共に、吸着孔３４を介してワークＷを吸着するための吸引配管３５が接続されている。このため、ワークＷの感光材が塗布されている面Ｗ（ＥＸ）の反対面Ｗ（ＮＥ）がローラ表面３７の吸着孔３４で吸着される。第１搬送ローラ３２の回転でワークＷは回転量分だけ搬送され、ワークＷとローラ表面３７とが空回りしない。
【００３６】
第１搬送ローラ３２は、モータＭ２によって回転する回転軸３６に固定されてワークＷを搬送させる中空状の回転体であり、軸方向の両端にフランジ部３８を有したボビン形状である。第１搬送ローラ３２は、少なくともワークＷが巻き掛けられるローラ表面３７が、ワークＷの微振動を吸収し易くするために、緩衝性を有する軟質樹脂等の合成樹脂によって成形されている。そのローラ表面３７には、多数の吸着孔３４が穿設されている。なお、ローラ表面３７は、ステンレスその他金属であっても構わない。
【００３７】
この第１搬送ローラ３２は、第１搬送ローラ３２を回転させるためのモータＭ２と、このモータＭ２及びモータ軸Ｍ２ａと、モータ軸Ｍ２ａに連結した吸引配管３５を形成する回転軸３６とによって構成されている。吸引配管３５は吸気路３５ａと吸引ポンプ（図示せず）に接続された排気管３５ｂとで構成されている。
【００３８】
回転軸３６は、モータＭ２の回転を第１搬送ローラ３２に伝達して第１搬送ローラ３２を回転させる軸の役目と、第１搬送ローラ３２内のエアを吸引ポンプ（図示せず）につなげるための配管の役目と、を果たす部材である。回転軸３６は、一端にモータ軸Ｍ２ａが接続され、他端部に吸引配管３５の排気管３５ｂが設けられている。回転軸３６は、中央部に、第１搬送ローラ３２内のエアを吸引する吸引口３５ｃが穿設され、吸気路３５ａの端部に、排気管３５ｂにエアを排出するための吐出口３５ｄが設けられて、吸引口３５ｃから吐出口３５ｄにかけて中空状になっている。
【００３９】
図３に示すモータＭ２は、第１搬送ローラ３２に巻き掛けたワークＷを間欠的に搬送させるために、第１搬送ローラ３２を回転させるものである。モータＭ２は、制御装置に電気的に接続されて、回転が制御される。
【００４０】
吸引配管３５は、第１搬送ローラ３２のローラ表面３７に巻き掛けられたワークＷを吸引ポンプ（図示せず）の吸引力によって吸引してローラ表面３７に密着させる。吸引配管３５は排気管３５ｂから吸引ポンプで吸引することにより、吸気路３５ａを介して吸着孔３４からワークＷを吸引してローラ表面３７に密着させる。第１搬送ローラ３２は、このように樹脂製のローラ表面３７と吸引配管３５とを備えて、ワークＷを空気の負圧でローラ表面３７に吸着させながら円滑に搬送できる。なお、図３ではワークＷに接しない部分にカバーＣＶを設けることにより、負圧がワークＷにかかり易いようにしている。このカバーＣＶを設けることにより弱い真空吸引でもワークＷを吸引できる。カバーＣＶを設けない場合には、吸引力を強める必要がある。
【００４１】
＜搬送機構のフローチャート＞
図４は、本実施形態のワーク露光搬送装置１００のフローチャートである。
ステップＳ１では加工前の新しい素材であるワークＷが供給リール２にセットされる。ワークＷは図２に示すようにワーク供給系３０及びワーク巻き取り系４０にそれぞれ巻き掛ける。なお、第１張力調整手段３３及び第２張力調整手段４３ではワークＷは直方体状の空間内にＵ字状に弛ませてセットされる。
【００４２】
ステップＳ２では露光部１０及び搬送部ＣＶが起動される。光源系１１の水銀ランプは電源供給とともに点灯するが、図示しないシャッタ機構により水銀ランプからの光は遮断された状態になっている。また、吸引ポンプ（図示せず）も駆動して第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２のローラ表面３７がワークＷを吸着させるとともに、第１張力調整手段３３の送風ノズルＮ１及び第２張力調整手段４３の送風ノズルＮ２から圧縮空気もしくはブロワーによる静圧空気の送風を始める。
【００４３】
ステップＳ３では、第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２に配置された搬送駆動用のモータＭ２が駆動し、供給リール２、第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２によってワークＷが１ブロックずつ供給される。供給リール２は供給リール２に設けられたモータ（不図示）が回転することにより、ワークＷが引きだされる。ワークＷは、供給リール２から斜め下方に送られて、自重がかかった状態で供給ガイドローラ３１ａに巻き掛けるように受けられる。
【００４４】
ステップＳ４では、自重によって第１張力調整手段３３の直方状の空間内に送られたワークＷが供給ガイドローラ３１ｂへ搬送される。第１張力調整手段３３に入ったワークＷはワークＷの自重と送風ノズルＮ１により適度な張力を保ちながら供給ガイドローラ３１ｂへ搬送される。
【００４５】
ステップＳ５では、吸着孔３４によってワークＷをローラ表面３７に吸着させた状態でモータＭ２が回転する。つまり、第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２が、ワークＷの１コマを鉛直下方向に方向転換して搬送させる。
【００４６】
ステップＳ６では、１コマ分のワークＷが露光ステージ２１で吸着され、露光処理される。露光ステージ２１はワークＷの１コマを吸着して静止させ、投影光学系１３と露光ステージ２１との間に移動したカメラ２２がワークＷの露光部分に表示されたアライメントマーク（図示せず）とマスクＭＫのアライメントマーク（図示せず）とを撮像する。
【００４７】
ステップＳ７では、ワークＷのアライメントマークとマスクＭＫのアライメントマークとの位置ずれ量がしきい値以下であるか否かを判断する。位置ずれ量がしきい値以下であればステップＳ９に進み、位置ずれ量がしきい値より大きければステップＳ８に進む。
【００４８】
ステップＳ８では、位置ずれ量がしきい値よりも小さくなるようにマスクＭＫを支持する支持手段の駆動機構でマスクＭＫを移動させる。そして、再びステップＳ７に進む。
【００４９】
ステップＳ９では、ワークＷとマスクＭＫとが位置調整されているため、図示しないシャッタ機構が開放され、光源系１１からの露光光がワークＷの感光材が塗布された面を照射し、マスクＭＫのパターンがワークＷに転写される。
【００５０】
ステップＳ１０において、露光されたワークＷは巻き取りガイドローラ４１を介して第２張力調整手段４３に搬送される。つまり、露光ステージ２１を通過したワークＷは、第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２の駆動とともに鉛直下方向に引かれながら略水平方向（−Ｙ方向）に搬送方向が変換され、巻き取りガイドローラ４１ａを介して鉛直上方向（＋Ｚ方向）に方向を変える。さらにワークＷは巻き取りガイドローラ４１ｂを介して略水平方向（＋Ｙ方向）に方向を変えて、巻き取りガイドローラ４１ｃを伝わり第２張力調整手段４３に送られる。
【００５１】
ステップＳ１１において、第２張力調整手段４３で張力が調整されたワークＷは、第２張力調整手段４３から巻き取りガイドローラ４１ｄでワークＷを受け、巻き取りリール５で回収される。
【００５２】
このように本搬送機構は、第１搬送ローラ３２及び第２搬送ローラ４２により、露光ステージ２１におけるワークＷの上下方向の送り量を調整することができ、かつ、供給リール２から巻き取りリール５に至るまでの搬送において、ワークＷに掛かる張力を一定に保ち、且つワークＷのパターン形成面を一切触れることなく巻き取ることができる。
【００５３】
《第２実施形態》
本実施形態では第２張力調整手段４３の第１変形例４３Ａを図５に示す。なお、図５では第１実施形態で示した第１搬送補助手段のワーク供給系３０が同一であるため省略して、第２搬送補助手段のワーク巻き取り系４０のみを図示してある。また、図２と同様に巻き取りローラ５の中心をＹＺ座標の“０”地点とし、同じ参照番号については同じ構造又は機能を有している。
【００５４】
本実施形態のワークＷは露光ステージ２１（図２参照）を通過した後、第１実施形態と同様にワーク巻き取り系４０の第２搬送ローラ４２の吸着孔３４（図３参照）によってローラ表面３７に吸着され、―Ｙ方向で且つ略水平方向に搬送方向が変換されて、−Ｙ領域に進んだ位置にある巻き取りガイドローラ４１ａにて搬送方向を天井方向（＋Ｚ方向）に変えて搬送され、巻き取りガイドローラ４１ａの上方に位置する巻き取りガイドローラ４１ｂによってワークＷの搬送方向を水平もしくは水平よりやや下方で且つ＋Ｙ方向に変える。
【００５５】
巻き取りガイドローラ４１ｂにて搬送方向を＋Ｙ方向に変更したワークＷは、巻き取りガイドローラ４１ｃを介して巻き取りローラ５に送られる。巻き取りガイドローラ４１ｃはその中心軸をショックアブソーバ４４にて支えられ、ワークＷが搬送されるときに巻き取りガイドローラ４１ｃの軸に掛かるワークＷの張力による地面方向（−Ｚ方向）に掛かる荷重を軽減して、巻き取りローラ５に向けてワークＷを搬送させる。ショックアブソーバ４４付きの巻き取りガイドローラ４１ｃが第２実施形態の第２張力調整手段４３の第１変形例４３Ａとなる。本実施形態の巻き取りリール５は、図示しない駆動軸がモータ等で駆動されることで図５において反時計回りに回転するようになっている。巻き取りリール５は、ワーク供給系３０から搬送されたフィルム状のワークＷを巻き取ることで回収する。
【００５６】
周知の技術であるショックアブソーバ４４はスプリングとグリース等をシリンダーに組み込んだ構造で、これらスプリングとグリース等の粘性を利用して振動、衝撃を緩衝する機器である。本実施形態ではショックアブソーバ４４を設置することによりワークＷの張力を天地方向（Ｚ軸）に荷重変化させることで、巻き取りローラ５がワークＷを巻き取るときに生じる張力を調整することができる。
【００５７】
本実施形態のワークＷは供給リール２から巻き取りリール５までの間で、ワークＷの感光材が塗布されている面に接触する部材がない。つまり、ワークＷの感光材が塗布された面は第１搬送補助手段（ワーク供給系３０）及び第２搬送補助手段（ワーク巻き取り系４０）に接触せずに搬送される。
【００５８】
《第３実施形態》
第３実施形態は第２搬送補助手段を省スペース化する実施形態である。図６（ａ）は第２張力調整手段４３の第２変形例４３Ｂを示す図である。本実施形態においても第１実施形態で示した第１搬送補助手段のワーク供給系３０が同一であるため省略して、第２搬送補助手段のワーク巻き取り系４０のみを図示してある。また、図２と同様に巻き取りローラ５の中心をＹＺ座標の“０”地点とし、同じ参照番号については同じ構造又は機能とする。
【００５９】
第２搬送ローラ４２にて搬送方向を−Ｙ方向に変更したワークＷは、巻き取りガイドローラ４１ａ及び巻き取りガイドローラ４１ｂを介して巻き取りローラ５に巻き取られる。巻き取りガイドローラ４１ａの中心軸は第２実施形態で示したと同様なショックアブソーバ４４で支えられている。ショックアブソーバ４４付きの巻き取りガイドローラ４１ａを用いることで本実施形態の第２張力調整手段４３の第２変形例４３Ｂとなる。第２変形例４３ＢはワークＷを地面方向（−Ｚ方向）への張力を調整することができる。
【００６０】
第３実施形態の巻き取りリール５は、第２実施形態と同様に駆動軸がモータ等で駆動されることで時計回りに回転するようになっている。巻き取りリール５は、ワーク供給系３０から搬送されたフィルム状のワークＷを巻き取ることで回収する。
【００６１】
第３実施形態では、第１実施形態及び第２実施形態と比べ−Ｙ領域にワークＷの搬送経路がせり出すことがなく搬送することができるため、従来装置と同等な装置の大きさ（設置スペース）に抑えることができる。
【００６２】
図６（ｂ）は第２張力調整手段４３の第３変形例４３Ｃを示す図である。スプリング付きのテコ４５でワークＷを地面方向（−Ｚ方向）に圧力をかけて、ワークＷが搬送されるときに張力を調整している。なおテコの支点は搬送するワークＷの上方、巻き取りローラ５側でも構わない。
【００６３】
第３実施形態のワークＷも供給リール２から巻き取りリール５までの間で、ワークＷの感光材が塗布されている面に接触する部材がない。つまり、ワークＷの感光材が塗布された面は第１搬送補助手段（ワーク供給系３０）及び第２搬送補助手段（ワーク巻き取り系４０）に接触せずに搬送される。
【００６４】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，これも当然本発明の技術的範囲に属するものと解釈される。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】ワーク露光搬送装置１００の全体斜視図である。
【図２】ワーク露光搬送装置１００の搬送部ＣＶの側面図である。
【図３】（ａ）は第１搬送ローラ３２を拡大した側面図である。  （ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図４】ワーク露光搬送装置１００のフローチャートである。
【図５】第２張力調整手段４３にショックアブソーバ４４を用いた図である。
【図６】（ａ）は第２張力調整手段４３の第２変形例４３Ｂを示す図であり、省スペース化を図った図である。  （ｂ）は第２張力調整手段４３の第３変形例４３Ｃを示す図であり、省スペース化を図った図である。
【符号の説明】
【００６６】
２        供給リール
５        巻き取りリール
１０      露光部
１１      光源系
１２      マスク保持枠
１３      投影光学系
１３ａ    入射側凸レンズ
１３ｂ    出射側凸レンズ
２０      感光処理部
２１      露光ステージ
２２      カメラ
３０      ワーク供給系
３１      供給ガイドローラ
３２      第１搬送ローラ
３３      第１張力調整領域
３４      吸着孔
３５      吸引配管
３５ａ    吸気路、３５ｂ    排気管、３５ｃ    吸引口、３５ｄ    吐出口
３６      回転軸
３７      ローラ表面
３９      円筒状ローラ
４０      ワーク巻き取り系
４１      巻き取りガイドローラ
４２      第２搬送ローラ
４３      第２張力調整手段
４４      ショックアブソーバ
４５      スプリング付きのテコ
１００    ワーク露光搬送装置
ＣＶ      搬送部
Ｎ１      第１送風ノズル、Ｎ２      第２送風ノズル
Ｍ２      モータ
ＭＫ      マスク
Ｗ        ワーク  （Ｗ（ＥＸ）  感光材が塗布されたパターン面、Ｗ（ＮＥ）  感光材が塗布されていない面）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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