(57)【要約】【課題】より容易に、且つより短時間に、幅が狭く且つ深さが浅い浅溝を回転砥石の研削端面に形成することができる、カップ型回転砥石のドレッシング方法、及び当該ドレッシング方法を行うためのドレッサを提供する。【解決手段】砥石回転軸と所定距離離れてほぼ平行なドレッサ回転軸回りに回転するとともにドレッサ回転軸に直交する平面状のドレッサ端面Ｄｓと、ドレッサ回転軸から離れてドレッサ端面Ｄｓ上の任意の位置に突き出すように設けられた針状の溝加工ツルアＤｔと、を備えたドレッサＤＲを用い、カップ型回転砥石Ｔを砥石回転軸回りに回転させて、研削端面Ｔｓをドレッサ端面Ｄｓに接触させてドレッシングするとともに、ドレッサＤＲをドレッサ回転軸回りに回転させて、溝加工ツルアＤｔにて、研削端面Ｔｓの内壁側と外壁側とを連通する複数の溝を形成することで、研削端面Ｔｓのドレッシングと研削端面Ｔｓへの溝の形成とを同時に行う。【選択図】図３
2009184068.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円筒形状を有して砥石回転軸回りに回転するとともに前記砥石回転軸に直交する一方の端面である研削端面をワークに押し付けて研削する周方向に連続した回転砥石を備えたカップ型回転砥石のドレッシング方法であって、
前記砥石回転軸と所定距離離れてほぼ平行なドレッサ回転軸回りに回転するとともに前記ドレッサ回転軸に直交する平面状のドレッサ端面と、前記ドレッサ回転軸から離れて前記ドレッサ端面上の任意の位置に突き出すように設けられた針状の溝加工ツルアと、を備えたドレッサを用い、
前記カップ型回転砥石を前記砥石回転軸回りに回転させて、前記研削端面を前記ドレッサ端面に接触させてドレッシングするとともに、
更に、前記ドレッサを前記ドレッサ回転軸回りに回転させて、前記溝加工ツルアにて前記研削端面に、前記研削端面の内壁側と外壁側とを連通する複数の溝を形成することで、前記研削端面のドレッシングと前記研削端面への溝の形成とを同時に行う、
カップ型回転砥石のドレッシング方法。
【請求項２】
請求項１に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法であって、
前記カップ型回転砥石の回転数と、前記ドレッサの回転数との比を所定の回転数比に設定することで、前記研削端面への溝の数を設定する、
カップ型回転砥石のドレッシング方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法であって、
前記ドレッサ回転軸に対して前記砥石回転軸を相対的に僅かに傾斜させ、前記研削端面における前記ドレッサ端面に最も近接する個所及びその周囲のみを前記ドレッサ端面に接触させ、
前記ドレッサの回転毎に、前記溝加工ツルアを、前記ドレッサ端面に接触している前記研削端面またはその近傍を横切らせ、
前記溝加工ツルアにおける前記ドレッサ端面からの突出高さを、前記ドレッサ端面に接触している前記研削端面またはその近傍を横切る場合にのみ前記研削端面に接して溝を形成可能な高さに設定し、前記ドレッサの１回転で前記研削端面に１本の溝を形成する、
カップ型回転砥石のドレッシング方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法であって、
前記ドレッサを、前記カップ型回転砥石で研削するワークとほぼ同形状に構成し、
前記カップ型回転砥石をドレッシングするタイミング毎に、前記ワークの代わりに前記ドレッサを前記カップ型回転砥石で研削させることで、前記研削端面のドレッシングと前記研削端面への溝の形成とを同時に行う、
カップ型回転砥石のドレッシング方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法であって、
前記溝加工ツルアが着脱可能に構成された前記ドレッサを用いる、
カップ型回転砥石のドレッシング方法。
【請求項６】
略円筒形状を有して砥石回転軸回りに回転するとともに前記砥石回転軸に直交する一方の端面である研削端面をワークに押し付けて研削する周方向に連続した回転砥石を備えたカップ型回転砥石をドレッシングするドレッサにおいて、
前記砥石回転軸と所定距離離れてほぼ平行なドレッサ回転軸回りに回転するとともに前記ドレッサ回転軸に直交する平面状のドレッサ端面と、
前記ドレッサ回転軸から離れて前記ドレッサ端面上の任意の位置に突き出すように設けられた針状の溝加工ツルアと、を備え、
前記ドレッサ端面にて行う前記研削端面のドレッシングと、前記溝加工ツルアにて行う前記研削端面の内壁側と外壁側とを連通する複数の溝の形成と、を同時に行うことが可能な、
ドレッサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カップ型回転砥石のドレッシング方法、及びドレッサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば円盤状のシリコンウェハ等のワークＷの表面を研削（または研磨）する場合、図２に示すように、マウンタＴｂに固定されたカップ状の砥石ホルダＴｈの縁部に円筒状の回転砥石Ｔａを貼り付けたカップ型回転砥石Ｔを用い、ワークＷを回転させながらカップ型回転砥石Ｔを回転させて研削（または研磨）している。なお、以下では「研削または研磨」と同じ意味で「研削」と記載する。
カップ型回転砥石を用いてワークを研削する場合、発熱による研削焼け、面焼け等のワークへのダメージを回避する必要がある。そこで、特許文献１に記載された従来技術では、クーラントの供給に加えて、エア等のガスを噴出するノズルを用いて、カップ型回転砥石の内壁側から外壁側に向けて研削個所にガスを噴出させ、クーラントの冷却効果や研削抵抗低減効果を高くして研削している。そして、このクーラントを研削個所に行き渡らせるため、回転砥石の構成は、円弧形状の小さな研削砥石を所定間隔で複数並べた構成としており、隣り合う研削砥石の間の間隙を使って、より多くのクーラントが研削個所に行き渡るようにしている。
【特許文献１】特開平１１−２５４２８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、多量のクーラントを用いるのは環境上、好ましいものではなく、冷却効果が同等であれば、クーラント量は少ない方が好ましい。
特許文献１に記載された従来技術のように間隔をあけて円弧状の砥石小片を複数並べる構成では、その間隔と溝の深さ（高さ）が大きく、クーラントの散乱量が多くなり易い。また、砥石小片の剛性が低下して加工精度が悪化する可能性がある。
そこで、特許文献１に記載された砥石構造に対して、周方向に連続した円筒状の砥石で剛性を確保し、幅が狭く、深さが浅い（高さが低い）浅溝を、内壁側と外壁側を連通するように形成することで、加工精度と冷却効果を両立することが期待できるが、浅溝はすぐに磨耗で消滅してしまうため、定期的に浅溝の形成が必要であり、サイクルタイムが長くなる懸念がある。
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、より容易に、且つより短時間に、幅が狭く且つ深さが浅い浅溝を回転砥石の研削端面に形成することができる、カップ型回転砥石のドレッシング方法、及び当該ドレッシング方法を行うためのドレッサを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するための手段として、本発明の第１発明は、請求項１に記載されたとおりのカップ型回転砥石のドレッシング方法である。
請求項１に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法は、略円筒形状を有して砥石回転軸回りに回転するとともに前記砥石回転軸に直交する一方の端面である研削端面をワークに押し付けて研削する周方向に連続した回転砥石を備えたカップ型回転砥石のドレッシング方法である。
前記砥石回転軸と所定距離離れてほぼ平行なドレッサ回転軸回りに回転するとともに前記ドレッサ回転軸に直交する平面状のドレッサ端面と、前記ドレッサ回転軸から離れて前記ドレッサ端面上の任意の位置に突き出すように設けられた針状の溝加工ツルアと、を備えたドレッサを用いる。
そして、前記カップ型回転砥石を前記砥石回転軸回りに回転させて、前記研削端面を前記ドレッサ端面に接触させてドレッシングするとともに、更に、前記ドレッサを前記ドレッサ回転軸回りに回転させて、前記溝加工ツルアにて前記研削端面に、前記研削端面の内壁側と外壁側とを連通する複数の溝を形成することで、前記研削端面のドレッシングと前記研削端面への溝の形成とを同時に行う、カップ型回転砥石のドレッシング方法である。
【０００５】
また、本発明の第２発明は、請求項２に記載されたとおりのカップ型回転砥石のドレッシング方法である。
請求項２に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法は、請求項１に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法であって、前記カップ型回転砥石の回転数と、前記ドレッサの回転数との比を所定の回転数比に設定することで、前記研削端面への溝の数を設定する、カップ型回転砥石のドレッシング方法である。
【０００６】
また、本発明の第３発明は、請求項３に記載されたとおりのカップ型回転砥石のドレッシング方法である。
請求項３に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法は、請求項１または２に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法であって、前記ドレッサ回転軸に対して前記砥石回転軸を相対的に僅かに傾斜させ、前記研削端面における前記ドレッサ端面に最も近接する個所及びその周囲のみを前記ドレッサ端面に接触させる。
そして、前記ドレッサの回転毎に、前記溝加工ツルアを、前記ドレッサ端面に接触している前記研削端面またはその近傍を横切らせ、前記溝加工ツルアにおける前記ドレッサ端面からの突出高さを、前記ドレッサ端面に接触している前記研削端面またはその近傍を横切る場合にのみ前記研削端面に接して溝を形成可能な高さに設定し、前記ドレッサの１回転で前記研削端面に１本の溝を形成する、カップ型回転砥石のドレッシング方法である。
【０００７】
また、本発明の第４発明は、請求項４に記載されたとおりのカップ型回転砥石のドレッシング方法である。
請求項４に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法は、請求項１〜３のいずれかに記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法であって、前記ドレッサを、前記カップ型回転砥石で研削するワークとほぼ同形状に構成する。
そして、前記カップ型回転砥石をドレッシングするタイミング毎に、前記ワークの代わりに前記ドレッサを前記カップ型回転砥石で研削させることで、前記研削端面のドレッシングと前記研削端面への溝の形成とを同時に行う、カップ型回転砥石のドレッシング方法である。
【０００８】
また、本発明の第５発明は、請求項５に記載されたとおりのカップ型回転砥石のドレッシング方法である。
請求項５に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法は、請求項１〜４のいずれかに記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法であって、前記溝加工ツルアが着脱可能に構成された前記ドレッサを用いる、カップ型回転砥石のドレッシング方法である。
【０００９】
また、本発明の第６発明は、請求項６に記載されたとおりのドレッサである。
請求項６に記載のドレッサは、略円筒形状を有して砥石回転軸回りに回転するとともに前記砥石回転軸に直交する一方の端面である研削端面をワークに押し付けて研削する周方向に連続した回転砥石を備えたカップ型回転砥石をドレッシングするドレッサにおいて、前記砥石回転軸と所定距離離れてほぼ平行なドレッサ回転軸回りに回転するとともに前記ドレッサ回転軸に直交する平面状のドレッサ端面と、前記ドレッサ回転軸から離れて前記ドレッサ端面上の任意の位置に突き出すように設けられた針状の溝加工ツルアと、を備えている。
そして、前記ドレッサ端面にて行う前記研削端面のドレッシングと、前記溝加工ツルアにて行う前記研削端面の内壁側と外壁側とを連通する複数の溝の形成と、を同時に行うことが可能なドレッサである。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法を用いれば、もともと定期的に必要な研削端面のドレッシングと、新たに必要となった当該研削端面への浅溝の形成とを同時に行うことができるので、より短時間にドレッシングと浅溝の形成を行うことができる。
【００１１】
また、請求項２に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法によれば、研削端面に形成する浅溝の数（すなわち、浅溝の間隔）を容易に設定することができる。
【００１２】
また、請求項３に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法によれば、研削端面の外壁側から内壁側の方向、または内壁側から外壁側の方向、の一方の方向からのみ、ドレッサの１回転で１本の溝を形成することで、浅溝の深さと、浅溝の数（すなわち、浅溝の間隔）を、より適切に設定することができる。
【００１３】
また、請求項４に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法によれば、ドレッシング用の特別な設備を必要とせず、ワークとほぼ同形状のドレッサを用意するだけでよく、ワークを回転させる回転テーブルに特別な動作をさせる必要がない。また、カップ型回転砥石に特別な動作をさせる必要もなく、普段研削しているワークの場合と同様の動作をさせるだけで、ドレッシングと浅溝の形成を行うことができるので、非常に便利である。
【００１４】
また、請求項５に記載のカップ型回転砥石のドレッシング方法によれば、溝加工ツルアの交換が容易であり、用途（ワークの種類や回転砥石の種類等）に合わせて溝の幅や深さを変更することが容易である。
【００１５】
また、請求項６に記載のドレッサによれば、もともと定期的に必要な研削端面のドレッシングと、新たに必要となった当該研削端面への浅溝の形成とを同時に行うことができるドレッサを、適切に実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明のカップ型回転砥石のドレッシング方法を適用した平面研削盤１の一実施の形態の概略斜視図を示している。なお、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸が記載されている全ての図において、Ｚ軸方向は鉛直上向き方向を示しており、Ｘ軸方向とＹ軸方向は互いに直交する水平方向を示している。
【００１７】
●［平面研削盤１の構成（図１）］
図１に示すように、本実施の形態にて説明する平面研削盤１は、水平面と垂直面を有する基台２を有し、基台２の水平面で旋回するターンテーブル２０と、基台２の垂直面でガイドＧＺに沿ってＺ軸方向に往復移動可能な砥石駆動手段１０と、を備えている。
ターンテーブル２０には複数の回転テーブル３０が設けられている。図１の例において、ターンテーブル２０の旋回によって位置Ｔｉｎに到達した回転テーブル３０（Ｔｉｎ）には、図示省略するが、例えば、カセット等にて搬送されてきたワークＷがアーム等によって取り出されて載置され、吸引等によって回転テーブル３０（Ｔｉｎ）に保持される。
【００１８】
また、カップ型回転砥石Ｔの下方の位置Ｔｗに到達した回転テーブル３０（Ｔｗ）は、保持したワークＷをワーク回転軸回りに回転させる。そして、砥石駆動手段１０がワークＷに近接するようにＺ軸方向に移動して、砥石回転軸回りに回転するカップ型回転砥石ＴをワークＷに押し付け、ワークＷの表面を研削する。
また、位置Ｔｏｕｔに到達した回転テーブル３０（Ｔｏｕｔ）は、図示省略するが、例えば、回転を停止してワークＷの保持を解除し、アーム等がワークＷを取り上げ、次の工程に搬送するためのカセット等にワークＷを移動させる。
なお、図示省略するが、砥石駆動手段１０の昇降動作及び回転動作、ターンテーブル２０の旋回動作、回転テーブル３０の保持動作及び回転動作、アーム等の動作は、制御手段（ＮＣ制御装置等）からの制御信号に基づいて動作する。
【００１９】
●［カップ型回転砥石Ｔの構成とワークＷの研削方法（図２）］
次に、図２（Ａ）及び（Ｂ）を用いてカップ型回転砥石Ｔの構成について説明する。
カップ型回転砥石Ｔは、砥石駆動手段１０の回転する軸によって砥石回転軸ＴＺ回りに回転するマウンタＴｂに、周方向に連続した円筒状の回転砥石Ｔａを保持する砥石ホルダＴｈを固定している。なお、図２（Ａ）では、カップ型回転砥石Ｔと、砥石駆動手段１０の一部と、が断面図で示されている。砥石駆動手段１０の内部には、クーラント供給口Ｃｉｎから供給されたクーラントが流れるクーラント経路１０Ｃが設けられている。また、マウンタＴｂの内部には、クーラントを回転砥石Ｔａの方向に流す放射状に延びる複数のクーラント経路１０Ｂが設けられている。なお、クーラント経路１０Ｂは、砥石回転軸ＴＺから最も離れた位置で、径方向から９０度曲げたＺ軸方向へと延びている。
【００２０】
また、砥石ホルダＴｈの内部には、Ｚ軸方向に曲げられたクーラント経路１０Ｂの延長となるクーラント経路１０Ａが複数設けられている。このクーラント経路１０Ｃ、１０Ｂ、１０Ａにて、クーラント供給口Ｃｉｎから供給されるクーラントは、クーラント吐出口Ｃｏｕｔから吐出され、吐出されたクーラントは遠心力によって、カップ型回転砥石Ｔの内壁の最外周となる回転砥石Ｔａの内壁に到達する。
カップ型回転砥石Ｔの内壁部には、ノズルＮＣが設けられており、ガス供給口Ａｉｎから供給されるエア等のガスを、ガス噴出口Ａｏｕｔから噴出し、回転砥石Ｔａの内壁に到達したクーラントを、内壁側から外壁側に押し出す。
なお、回転砥石ＴａとワークＷは研削中は密着しているが、回転砥石Ｔａの研削端面Ｔｓ（回転砥石Ｔａにおける砥石回転軸ＴＺに直交する面）には、内壁側と外壁側とを連通する複数の溝（浅溝Ｔｍ）が設けられており、この浅溝Ｔｍからクーラントが押し出される。
【００２１】
例えば、浅溝Ｔｍの溝幅は数μｍ〜数１０μｍであり、溝深さＴｆは数１０μｍであり、円弧状の砥石小片を並べて形成する間隙よりも、非常に狭く、且つ浅い溝であるが、この程度の溝で冷却効果は充分得られることを確認した。これにより、クーラント量を大きく低減することができる。
しかし、浅溝Ｔｍは回転砥石Ｔａの研削端面Ｔｓの磨耗によって溝がなくなり、溝の再形成が必要となるタイミングが早い。また、溝の再形成が必要となる毎に、回転砥石Ｔａが固定された砥石ホルダＴｈをマウンタＴｂから取り外して、浅溝Ｔｍの形成用装置に取り付けて形成していたのでは、手間がかかりサイクルタイムが非常に長くなるので好ましくない。
【００２２】
そこで、回転砥石Ｔａ（砥石ホルダＴｈ）を取り外すことなく、ワークＷの代わりに浅溝形成用の治具（ドレッサＤＲ）を回転砥石Ｔａで研削することで、浅溝Ｔｍを容易に、且つ短時間で形成する。なお、本実施の形態では、浅溝Ｔｍの形成と同時に、研削端面Ｔｓの形成も行うことができ、研削端面Ｔｓのドレッシングと浅溝Ｔｍの形成とを同時に行い、砥石交換等の段取り換えもなく、より短時間に行うことができる。
また、周方向に連続した剛性の高い回転砥石Ｔａを用いるので、研削精度の低下を抑制することができる。
【００２３】
●［カップ型回転砥石Ｔのドレッシング方法（研削端面Ｔｓのドレッシングと浅溝Ｔｍの形成を同時に行う方法）（図３〜図５）］
次に、図３〜図５を用いて研削端面Ｔｓのドレッシング（成形）と浅溝Ｔｍの形成とを同時に行う方法について説明する。
まず、ワークＷの代わりに用いるドレッサＤＲについて図４を用いて説明する。
ドレッサＤＲの外観は、ワークＷとほぼ同形状であり、材質が異なる点と、針状の溝加工ツルアＤｔが突出している点が異なる。
本実施の形態では、ワークＷとしてシリコンウェハを例としたため、ドレッサＤＲの形状も、シリコンウェハと同形状にしている。
【００２４】
ドレッサＤＲは、研削端面Ｔｓを成形（ドレッシング）するための砥粒で形成された砥粒層Ｄａと、砥粒層Ｄａを保持する金属等で形成されたホイールＤＨにて構成されている。また、砥粒層Ｄａにおけるドレッサ回転軸ＤＺに直交するドレッサ端面Ｄｓには、ドレッサ回転軸ＤＺから離れた任意の位置に突き出すように設けられた針状の溝加工ツルアＤｔが設けられている。
例えば、溝加工ツルアＤｔの材質はダイヤモンドであり、６インチ径のシリコンウェハをワークＷとする場合であって、ワークＷを１個研削した際の回転砥石Ｔａの磨耗量が約０．１μｍの場合、ドレッシングサイクルをワーク５００個研削毎に設定し、溝加工ツルアＤｔの高さｈ（ドレッサ端面Ｄｓからの突出長さ）を５０μｍに設定する。
【００２５】
次に図３（Ａ）、（Ｂ）を用いて、ドレッシング時におけるドレッサＤＲとカップ型回転砥石Ｔとの位置関係等について説明する。図３（Ａ）はドレッサＤＲとカップ型回転砥石ＴをほぼＹ軸方向から見た図を示しており、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における状態を上から見てドレッサＤＲと回転砥石Ｔａを抽出した図である。なお、図３（Ｂ）におけるＡ方向から見た状態が、図３（Ａ）の状態である。
ここで、ワーク回転手段３２のワーク回転軸ＷＺと、ドレッサＤＲのドレッサ回転軸ＤＺとは一致させている。なお、砥石回転軸ＴＺとワーク回転軸ＷＺは所定距離離れてほぼ平行であるが、砥石回転軸ＴＺは、ワーク回転軸ＷＺに対して、僅かな傾斜角θにて相対的に傾斜している（図２（Ａ）に示す例では、この傾斜角θを省略しており、図３（Ａ）は説明のために実際よりも大きく傾けている）。
【００２６】
このため、ドレッサ端面Ｄｓと対向している研削端面Ｔｓの全ての領域がドレッサ端面Ｄｓと接するのでなく、傾斜角θによってドレッサ端面Ｄｓに最も近接する個所及びその周囲である領域Ｍがドレッサ端面Ｄｓに接触する。なお、この傾斜角θは、ワークＷの研削時の傾斜角と同等であり、ドレッシングのために特別な動作をさせているものではない。
以上に説明した状態にて、例えば、ドレッサＤＲが左回転、回転砥石Ｔａが左回転しているものとする。
なお、図３（Ｂ）において領域Ｍと研削端面Ｔｓは紙面に対して裏側である。
【００２７】
ここで図３（Ｂ）に示すように、ドレッサ端面Ｄｓ上の溝加工ツルアＤｔは、位置Ｐ１にて研削端面Ｔｓを外壁側から内壁側に横切り、位置Ｐ２にて研削端面Ｔｓを内壁側から外壁側に横切る。このとき、傾斜角θがゼロであれば、溝加工ツルアＤｔは、位置Ｐ１にて研削端面Ｔｓと接触して浅溝Ｔｍを形成し、位置Ｐ２でも研削端面Ｔｓに浅溝Ｔｍを形成することになる。しかし、傾斜角θによって、位置Ｐ２では溝加工ツルアＤｔは研削端面Ｔｓに届かず、浅溝Ｔｍを形成しない高さｈに設定されており、位置Ｐ１では溝加工ツルアＤｔは研削端面Ｔｓに届いて浅溝Ｔｍを形成する。このように、溝加工ツルアＤｔの突出高さｈを、ドレッサ端面Ｄｓに接触している研削端面Ｔｓ（領域Ｍ）またはその近傍を横切る場合にのみ浅溝Ｔｍを形成可能な高さに設定し、ドレッサＤＲの１回転で研削端面Ｔｓへの浅溝の形成が１本となるように設定している。
【００２８】
更に、カップ型回転砥石Ｔの回転数と、ドレッサＤＲの回転数との比を、研削端面Ｔｓに形成する浅溝Ｔｍの数に合わせて設定する。例えば、カップ型回転砥石Ｔの回転数：ドレッサＤＲの回転数＝１：１６に設定すると、カップ型回転砥石Ｔが１回転する間にドレッサＤＲが１６回転する（すなわち、溝加工ツルアＤｔが領域Ｍを１６回横切る）ので、図５に示すように１６本の浅溝Ｔｍを等間隔で形成することができる。
なお、傾斜角θをゼロにして、図３（Ｂ）に示す位置Ｐ１と位置Ｐ２の双方で浅溝Ｔｍを形成すると、２通りの円弧方向の浅溝が形成されてしまうが、本実施の形態では、位置Ｐ１のみで浅溝Ｔｍを形成するので、各浅溝Ｔｍを同一形状とすることができ、冷却効果にバラツキが発生することを抑制することができる。また、位置Ｐ１のみで浅溝Ｔｍを形成するので、溝加工ツルアＤｔは、ワーク回転軸ＷＺから離れていれば、ドレッサ端面Ｄｓ上の任意の位置にあればよく、上記の回転数比を適切に設定することで、等間隔の浅溝Ｔｍを容易に形成することができる。
【００２９】
以上に説明した本実施の形態では、もともと定期的（例えば５００個のワークＷを研削毎）に必要な研削端面Ｔｓのドレッシング時に、新たに必要となった研削端面Ｔｓへの浅溝Ｔｍの形成を同時に（ついでに）行う。このため、サイクルタイムは従来と同等で長くならず、砥石交換等の段取り換えも不要であり、ワークＷの代わりにドレッサＤＲをセットするだけでよいので、非常に容易である。
また、従来の間隙（隣り合う砥石小片の間隙）に対して浅溝Ｔｍを形成しているので、クーラント使用量を大きく低減できるとともに、周方向に連続した円筒状の剛性の高い回転砥石Ｔａにて、高い研削精度を確保することができる。
なお、溝加工ツルアＤｔをドレッサＤＲに対して着脱可能な構成とすることで、用途に合わせて（ワークの種類や回転砥石の種類等に合わせて）浅溝Ｔｍの幅や深さを所望するものに容易に変更することができる。
【００３０】
本発明のカップ型回転砥石のドレッシング方法、及びドレッサは、本実施の形態で説明したドレッシング方法、及びドレッサの形状、外観、構造等に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。
また、適用する工作機械は、本実施の形態にて説明した平面研削盤１に限定されるものではなく、種々の工作機械に適用することが可能であり、種々のワークに適用することが可能である。
また、本実施の形態の説明に用いた数値は一例であり、この数値に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明のカップ型回転砥石のドレッシング方法を適用した平面研削盤１の例を説明する図である。
【図２】カップ型回転砥石Ｔの構成とワークＷの研削方法を説明する図である。
【図３】カップ型回転砥石Ｔのドレッシング方法を説明する図である。
【図４】本発明のドレッサＤＲの例を説明する図である。
【図５】研削端面Ｔｓに形成された浅溝Ｔｍの例を説明する図である。
【符号の説明】
【００３２】
１        平面研削盤
２        基台
１０      砥石駆動手段
２０      ターンテーブル
３０      回転テーブル
３２      ワーク回転手段
ＤＲ      ドレッサ
Ｄａ      砥粒層
ＤＨ      ホイール
Ｄｓ      ドレッサ端面
Ｄｔ      溝加工ツルア
ＤＺ      ドレッサ回転軸
Ｔ        カップ型回転砥石
Ｔａ      回転砥石
Ｔｂ      マウンタ
Ｔｈ      砥石ホルダ
Ｔｍ      浅溝
Ｔｓ      研削端面
ＴＺ      砥石回転軸
Ｗ        ワーク
ＷＺ      ワーク回転軸
θ        傾斜角
【図１】
2009184068.tif 000003
【図２】
2009184068.tif 000004
【図３】
2009184068.tif 000005
【図４】
2009184068.tif 000006
【図５】
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