(57)【要約】【課題】保持具から基板を取り外すことなく基板の両面に塗布液を塗布でき、かつ基板の厚みにばらつきがあっても、塗布液を均一に塗布することが可能な塗布装置を提供する。【解決手段】角基板１０両面に塗布液を塗布するための塗布装置であって、角基板１０を保持する保持具２は、角基板１０の一面全体を露出する第１開口部Ｈ１が設けられた第１保持具部本体２１１と、一面を第１開口部Ｈ１の周囲平面と同一平面に固定するため、角基板１０に当接する当接部２１３ａ、および反対側から押圧して角基板１０を固定する押圧部２１３ｂとを備えた第１保持具部２１と、他面全体を露出する第２開口部Ｈ２が設けられた第２保持具部本体２２１を備えた第２保持具部２２とを重ね合わせて、他面が第２開口部Ｈ２の周囲平面と同一平面になるように、第１保持具部２１と第２保持具部２２の間隔をねじ２３による内周壁部２２２への押圧で固定することで調整するようにした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する保持具と、前記保持具が搭載されるテーブルと、前記基板面上に塗布液を吐出する塗布部とを備えた塗布装置であって、
前記保持具は、
前記基板の一面全体を露出する第１開口部が設けられた第１保持具部本体と、前記基板の一面を前記第１開口部の周囲平面と同一平面に固定する基板固定部とを備えた第１保持具部と、
前記基板の他面全体を露出する第２開口部が設けられた第２保持具部本体を備えた第２保持具部と
を重ね合わせて、前記基板の他面が前記第２開口部の周囲平面と同一平面になるように、前記第１保持具部と前記第２保持具部との間隔を厚み調整部により調整するようにしたことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記基板固定部は、
前記第１保持具部本体に固定され、少なくとも前記基板の一端面に当接する当接部と、
前記基板の一端面と反対側となる他端面を押圧して前記基板を前記当接部側に寄せて挟み込む押圧部とを備えたことを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項３】
前記当接部は、両端部に連結孔が設けられ、
前記押圧部は、前記連結孔に嵌め込む連結部材と、前記連結部材が挿通する貫通孔が両端部に設けられ、前記連結部材が前記貫通孔を挿通した状態で前記当接部と連結することで内側面全体が、前記基板の外周面を囲う周壁面となる連結具とを備えたことを特徴とする請求項２記載の塗布装置。
【請求項４】
前記当接部は、前記基板の一端面を含む周囲全体を囲う周壁面が形成され、
前記押圧部は、前記周壁面と前記基板の他端面との間を押圧することで、前記基板を当接部側に挟み込む押圧部材であることを特徴とする請求項２記載の塗布装置。
【請求項５】
前記保持具には、両側に、前記基板の塗布面を反転するための治具の接続部として凸部または凹部が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかの項に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記保持具は、前記第１開口部および前記第２開口部が四辺形状に形成されると共に、平面視した外形が円形状に形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかの項に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記テーブルには、前記保持具を位置決めする凹部が形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかの項に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記テーブルには、前記保持具を配置した状態で前記基板に対応する位置に凹部が形成されていることを特徴とする１から７のいずれかの項に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の両面に塗布液を塗布するに好適な塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に塗布液を塗布する塗布方式として、塗布液を吹き付けながらノズルが直線的に基板面上を移動することで塗布するスキャン方式がある。例えば、特許文献１に記載の基板処理装置は、基板をテーブル上に真空吸着して保持し、液供給ヘッドをレールに沿って一軸方向にスライドさせながらこの液供給ヘッドからレジスト液を供給して基板の表面にレジスト液の薄膜を形成するようにスリットコーターを構成したものである。
【０００３】
また、塗布方式としてスキャン方式の他に、高速で回転させた基板に塗布液を滴下することで、基板中心から外側に向かって遠心力により塗布液を均一に塗布するスピンコート方式がある。スピンコート方式は、円形基板では均一に塗布することができるが、角基板では角部に塗布液が溜まりやすい。その点を考慮した塗布装置が、例えば、特許文献２に記載されている。
【０００４】
この特許文献２に記載された回転塗布装置は、角基板であるマスクブランクスを装着した状態で回転するホルダの中央部に、深さがマスクブランクスの厚さとほぼ同一のキャビティが形成されたものである。この回転塗布装置によりマスクブランクスに塗布液を塗布する場合には、キャビティにマスクブランクスを収納することで、マスクブランクスの角部の表面とホルダの表面とが同一直線上となるような平坦度が得られるので、マスクブランクスの角部近傍にレジストを滞留させることなく、全面にわたって均一に塗布液を分散させることができる。
【０００５】
以上のような基板へのレジスト塗布については、その両面に対して、同じ条件で塗布膜を形成したいという要請がある。例えば、特許文献３には、かかる両面塗布を可能とする保持具として、両面塗布用の基板ホルダが開示されている。この基板ホルダは、四辺形状のレンズ基板を保持するために、四辺形状の保持孔を有する平板枠状のもので、厚みがレンズ基板の厚さとほぼ等しく形成されている。レンズ基板の表裏いずれの面でも基板ホルダと面一とすることで、レンズ基板の角部近傍に塗布液であるレジストを滞留させることなく、表裏いずれの面ともにレジスト層を均一に形成することができる。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１２７１０号公報
【特許文献２】特開昭６２−９５１７２号公報
【特許文献３】特開２００７−５２２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献３に記載の基板ホルダでは、保持するレンズ基板の厚みにばらつきがあると、四辺形状のレンズ基板の角部にレジスト液が滞留するおそれがある。これは、基板ホルダの厚みは、レンズ基板の厚さとほぼ等しく形成されているとあるが、レンズ基板の厚みにはばらつきがあるので、レンズ基板の一方の面に合わせて基板ホルダに保持させた場合、レンズ基板が基板ホルダより薄ければ、レンズ基板の他方の面が保持孔の開口面より低い位置となってしまい、保持孔の周壁がレジスト液を堰き止めてしまうので、レンズ基板の縁部全体にレジスト液が滞留してしまう。
つまり、ガラス基板の他方の面と基板ホルダとが同一平面とならないと、スキャン方式であっても、スピンコート方式であっても、レンズ基板面上に、レジスト液を均一に塗布することは困難である。
【０００８】
そこで本発明は、保持具から基板を取り外すことなく基板の両面に塗布液を塗布でき、かつ基板の厚みにばらつきがあっても、塗布液を均一に塗布することが可能な塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の塗布装置は、基板を保持する保持具と、前記保持具が搭載されるテーブルと、前記基板面上に塗布液を吐出する塗布部とを備えた塗布装置であって、前記保持具は、前記基板の一面全体を露出する第１開口部が設けられた第１保持具部本体と、前記基板の一面を前記第１開口部の周囲平面と同一平面に固定する基板固定部とを備えた第１保持具部と、前記基板の他面全体を露出する第２開口部が設けられた第２保持具部本体を備えた第２保持具部とを重ね合わせて、前記基板の他面が前記第２開口部の周囲平面と同一平面になるように、前記第１保持具部と前記第２保持具部との間隔を厚み調整部により調整するようにしたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の塗布装置は、保持具に基板を保持させた状態で、テーブルに搭載し、塗布部から吐出される塗布液を塗布するものである。基板を保持する保持具は、第１保持具部と第２保持具部とを重ね合わせることで形成される。基板をこの保持具に保持する場合には、まず、基板の一面全体を第１開口部から露出させつつ、基板の一面と第１開口部の周囲平面とを同一平面にした状態で、基板固定部により基板を固定する。そして、第２保持具部本体の第２開口部を基板の他面に位置合わせして、第１保持具部と第２保持具部とを重ね合わせる。このときに、厚み調整部により、基板の他面が第２開口部の周囲平面と同一平面となるように第１保持具部と第２保持具部との間隔を調整する。そうすることで、基板の厚みにばらつきがあっても、基板の一面および他面を露出させつつ、基板の両面と第１開口部および第２開口部の周囲平面とを同一平面とすることができる。
【００１１】
前記基板固定部は、前記第１保持具部本体に固定され、少なくとも前記基板の一端面に当接する当接部と、前記基板の一端面と反対側となる他端面を押圧して前記基板を前記当接部側に寄せて挟み込む押圧部とを備えたものである。
第１保持具部本体に固定された当接部が少なくとも基板の一端面に当接し、この一端面とは反対側となる他端面を押圧部が押圧して、基板を挟み込むように当接部側に寄せて固定する。そうすることで、基板の大きさにばらつきがあっても、基板の両面を露出させた状態で、第１保持具部本体に基板を固定することができる。
【００１２】
前記当接部は、両端部に連結孔が設けられ、前記押圧部は、前記連結孔に嵌め込む連結部材と、前記連結部材が挿通する貫通孔が両端部に設けられ、前記連結部材が前記貫通孔を挿通した状態で前記当接部と連結することで内側面全体が、前記基板の外周面を囲う周壁面となる連結具とを備えたものとすることができる。
当接部に基板の一端面を当接させ、押圧部の連結部により基板を押圧しながら、連結具の両端部に設けられた貫通孔に連結部材を挿通させ、更に当接部の両端部に設けられた連結孔に嵌め込む。当接部と連結具とは、その内周面全体で、基板の一端面と他端面だけでなく、基板の外周面を囲っているので、基板のずれを防止できる。
【００１３】
また、前記当接部は、前記基板の一端面を含む周囲全体を囲う周壁面が形成され、前記押圧部は、前記周壁面と前記基板の他端面との間を押圧することで、前記基板を当接部側に挟み込む押圧部材とすることもできる。
当接部を基板の周囲全体を囲う周壁面が形成されたものとし、押圧部を、周壁面と基板の他端面との間を押圧するようにしたものとすれば、周壁面内で基板を挟み込むように固定することができるので、基板のずれを防止できる。
【００１４】
前記保持具の両側に、前記基板の塗布面を反転するための治具の接続部として凸部または凹部が設けられていると、作業者が、基板の塗布面を一面から他面へ、あるいは他面から一面へ表裏反転させる場合に、保持具を直接手で触ることなく反転させることができる。また、基板の塗布面の反転に治具を用いることで、保持具の表裏反転の自動化も容易である。
【００１５】
前記保持具は、前記第１開口部および前記第２開口部が四辺形状に形成されると共に、平面視した外形が円形状に形成されているようにすると、四辺形状の基板を保持具に保持させたときに、基板の角部に塗布液が滞留してしまうことを防止することができる。また、保持具の外形が平面視して円形状に形成されていることで、スピンコート方式で基板に塗布液を塗布する場合には、保持具が高速で回転しても気流の乱れが発生しにくい。従って、気流の乱れにより塗布が不均一にならず、基板に塗布液を均一に塗布することができる。
【００１６】
前記テーブルには、前記保持具を位置決めする凹部が形成されているのが望ましい、テーブルに形成された凹部に合わせて基板を保持させた保持具を搭載することで、容易に基板を位置決めすることができる。
【００１７】
また、前記テーブルには、前記保持具を配置した状態で前記基板に対応する位置に凹部が形成されているのが望ましい。基板を保持させた保持具をテーブルに搭載する際に、テーブル面と基板面とが接触すると、テーブル面に付着した塵埃が塗布液を塗布する基板面に付着するおそれがある。保持具を配置した状態で基板に対応するテーブルの位置に、凹部が形成されていると、テーブル面と基板面とが接触しないので、塵埃が転移してしまうことを防止することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の塗布装置によれば、第１保持具部の第１開口部の周囲平面を、基板の一面と同一面となるように基板固定部で固定した後に、第２保持具部本体の第２開口部を基板の他面に位置合わせし、厚み調整部により、基板の他面が第２開口部の周囲平面と同一平面となるように第１保持具部と第２保持具部との間隔を調整して重ね合わせることで、基板の一面および他面を露出させつつ、基板の両面と第１開口部および第２開口部との周囲平面とを同一平面とすることができるので、保持具から基板を取り外すことなく基板の両面に塗布液を塗布でき、かつ基板の厚みにばらつきがあっても、塗布液を均一に塗布することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１に係る塗布装置を、図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態１に係る塗布装置を示す図である。図２は、本発明の実施の形態に係る保持具を示す斜視図である。図３は、図２に示す保持具の分解斜視図である。図４は、図３に示す保持具の第１保持具部の平面図である。図５は、図２に示す保持具のＡ−Ａ線断面図である。
【００２０】
図１に示すように塗布装置１は、角基板１０の表面にレジスト液をスピンコート方式にて塗布するもので、角基板１０を保持する金属製の保持具２と、保持具２を吸着して真空固定するチャックテーブル３と、レジスト液を滴下するノズル４とを備えている。なお、図１においては、チャックテーブル３を回転駆動するモータ、保持具２を吸引して真空固定する吸引装置、ノズル４へレジスト液を供給する供給装置、およびこれらを制御する制御装置などは図示していない。
【００２１】
角基板１０は、例えば、対角線が５インチ（約１２．７ｃｍ）で、厚みが３ｍｍの四辺形状に形成されたガラス基板である。
【００２２】
図２に示すように、保持具２は、中央部に角基板１０を保持した状態で、チャックテーブル３（図１参照）に配置されるもので、耐腐食性を考慮すればステンレス製とするのが望ましく、軽量化を図るのであればアルミ製とするのが望ましい。保持具２は、第１保持具部２１と、第２保持具部２２と、第１保持具部２１および第２保持具部２２を連結する厚み調整用ねじ２３とを備えている。保持具２は、第１保持具部２１と第２保持具部２２とを重ね合わせることで円盤状に形成されている。
【００２３】
図３から図５に示すように、第１保持具部２１は、板厚が、例えば約１ｍｍの円形状に形成されると共に、中央部に角基板１０を配置したときに、その一面全体を露出するように形成された四辺形状の第１開口部Ｈ１が設けられた第１保持具部本体２１１と、第１保持具部本体２１１の周縁部に、外周に沿って設けられた外周壁部２１２と、角基板１０を固定する基板固定部２１３とを備えている。
【００２４】
第１保持具部本体２１１の第１開口部Ｈ１は、角基板１０の一面全体を露出させるために角基板１０と同じ大きさ、同じ形状に形成されている。この第１開口部Ｈ１の周囲平面（第１保持具部本体２１１の一面全体）が、チャックテーブル３により吸引される吸着面Ｋ１となる。外周壁部２１２は、第１保持具部本体２１１の吸着面Ｋ１とは反対側の面に設けられている。
【００２５】
この外周壁部２１２には、第１保持具部本体２１１の両端部となる直径方向に対向する位置に凹部２１２ａ，２１２ａが設けられている。この凹部２１２ａは、保持具２全体をこの凹部２１２ａと凹部２１２ａを軸に、表裏反転させて角基板１０の塗布面を反転させるための治具の接続部として機能する挿入孔である。
【００２６】
また、外周壁部２１２には、貫通孔の内周面にねじ溝が形成された厚み調整用ねじ２３用のねじ孔２１２ｂ，２１２が半周ごとに２ヵ所設けられている。
【００２７】
基板固定部２１３は、第１保持具部本体２１１と一体的に形成されることで固定されたＬ字状の当接部２１３ａと、第１保持具部本体２１１とは別体で、Ｌ字状に形成された押圧部２１３ｂ、および当接部２１３ａに押圧部２１３ｂを連結して固定する連結部材である２本の基板固定用ねじ２１３ｃで構成される連結具２１３ｘとを備えている。
【００２８】
当接部２１３ａは、第１開口部Ｈ１の隣接する二辺に沿って、第１開口部Ｈ１に面して隙間無く配置されている。当接部２１３ａには、Ｌ字の両端部のそれぞれに、上部が切り欠かれた薄板部２１３ａｘが形成されている。また、当接部２１３ａには、この薄板部２１３ａｘの中央部に、内周面にねじ溝が形成され、基板固定用ねじ２１３ｃがねじ込まれる連結孔であるねじ孔２１３ａｙが設けられている。
【００２９】
押圧部２１３ｂは、当接部２１３ａが形成された第１開口部Ｈ１の二辺に対向する二辺に配置されるものである。押圧部２１３ｂには、Ｌ字の両端部のそれぞれに、下部が切り欠かれることで当接部２１３ａの薄板部２１３ａｘに重ね合わされる薄板部２１３ｂｘが形成されている。薄板部２１３ｂｘには、基板固定用ねじ２１３ｃが挿通する貫通孔２１３ｂｙが設けられている。この貫通孔２１３ｂｙの直径は、基板固定用ねじ２１３ｃのねじ部２１３ｃｘよりも大きく、頭部２１３ｃｙよりも小さく形成されている。
【００３０】
第２保持具部２２は、板厚が、例えば約１ｍｍの円形状に形成されると共に、中央部に角基板１０を配置したときに、その一面全体を露出するように四辺形状の第２開口部Ｈ２が設けられた第２保持具部本体２２１と、第２保持具部本体２２１の周縁部に外周に沿って設けられた内周壁部２２２とを備えている。第２保持具部本体２２１と内周壁部２２２とは一体的に形成されている。
【００３１】
第２保持具部本体２２１の第２開口部Ｈ２は、角基板１０を配置したときに、その一面全体を露出させるために角基板１０と同じ大きさ、同じ形状に形成されている。この第２開口部Ｈ２の周囲平面（第２保持具部本体２２１の一面全体）が、チャックテーブル３により吸引される吸着面Ｋ２となる。内周壁部２２２は、第２保持具部本体２２１の吸着面Ｋ２とは反対側の面に設けられ、第１保持具部２１に重ね合わせたときに、第１保持具部２１の外周壁部２１２の内側に位置させるために、直径が外周壁部２１２よりも小さく形成されている。
【００３２】
内周壁部２２２と外周壁部２１２との高さは、第１保持具部２１と第２保持具部２２とを隙間無く重ね合わせた場合の保持具２全体の厚みが、最も薄く形成されたときの角基板１０の厚みよりも薄く形成されている。また、厚みが最も厚く形成されたときの角基板１０に合わせて、第１保持具部２１と第２保持具部２２との間隔を調整することで保持具２の厚みを調整した場合に、内周壁部２２２と外周壁部２１２との重なり合いに、厚み調整用ねじ２３を内周壁部２２２に突き当てることができるように、内周壁部２２２と外周壁部２１２とが形成されている。この内周壁部２２２と外周壁部２１２と厚み調整用ねじ２３とで、第１保持具部２１と第２保持具部２２との間隔を調整する厚み調整部が構成されている。
【００３３】
次に、チャックテーブル３について、図１に基づいて説明する。チャックテーブル３は、保持具２が搭載されるテーブル本体３１の搭載面には、保持具２を位置決めする位置決め凹部３１１が形成されている。この位置決め凹部３１１は、平面視して円形状に形成され、保持具２と同じ外形に形成されている。
【００３４】
テーブル本体３１には、第１保持具部本体２１１の第１開口部Ｈ１の周囲平面および第２保持具部本体２２１の第２開口部Ｈ２の周囲平面を吸着面Ｋ１，Ｋ２として吸引する吸引孔３１２が設けられている。この吸引孔３１２は、テーブル本体３１内を通り、回転軸３２の軸線に沿って形成された吸引路３３によって吸引装置（図示せず）に繋がっている。
【００３５】
位置決め凹部３１１内には、角基板１０より広く、位置決め凹部３１１から更に掘り下げたような保護用凹部３１３が形成されている。この保護用凹部３１３が、保持具２を位置決め凹部３１１に配置した状態で、角基板１０に対応する位置に形成されていることで、角基板１０の一面全体がチャックテーブル３に接触してしまうことを回避している。
ノズル４は、溶液供給装置から送液されたレジスト液を角基板１０上に吐出する塗布部として機能し、このノズル４の先端は、角基板１０の中心にレジスト液を滴下するように配置されている。
【００３６】
以上のように構成された本発明の実施の形態１に係る塗布装置１について、使用状態を説明する。まず、本実施の形態１に係る保持具２に角基板１０を装着するための調整方法について図２から図５に基づいて説明する。
【００３７】
まず、第１保持具部２１を、吸着面Ｋ１を下に、外周壁部２１２が上を向くように、上面が平らなテーブルに載置する。次に、角基板１０の一の角部を当接部２１３ａの内側の角部Ｃ１に突き当てて配置する。そして、押圧部２１３ｂの内側の角部Ｃ２を角基板１０一の角部と対角となる他の角部に合わせ、押圧部２１３ｂの薄板部２１３ｂｘを、当接部２１３ａの薄板部２１３ａｘに載せる。
【００３８】
次に、基板固定用ねじ２１３ｃのねじ部２１３ｃｘを、押圧部２１３ｂの薄板部２１３ｂｘに形成された貫通孔２１３ｂｙに挿通させて、当接部２１３ａの薄板部２１３ａｘに形成されたねじ孔２１３ａｙに嵌め込んで、当接部２１３ａと押圧部２１３ｂとを連結する。その際に、押圧部２１３ｂで角基板１０を強く挟み込むように、角基板１０を当接部２１３ａの角部Ｃ１に突き当てながら、基板固定用ねじ２１３ｃをねじ孔２１３ａｙにねじ込むことで、基板固定用ねじ２１３ｃの頭部２１３ｃｙが押圧部２１３ｂを押圧して押圧部２１３ｂを第１保持具部２１に固定する。
【００３９】
貫通孔２１３ｂｙの直径は、基板固定用ねじ２１３ｃのねじ部２１３ｃｘよりも大きく、頭部２１３ｃｙよりも小さく形成されているので、基板固定用ねじ２１３ｃをねじ込むことにより、基板固定用ねじ２１３ｃの頭部２１３ｃｙが押圧部２１３ｂの貫通孔２１３ｂｙの開口周囲を押圧することで、押圧部２１３ｂは当接部２１３ａに固定される。このように当接部２１３ａと押圧部２１３ｂとを連結することで、当接部２１３ａと押圧部２１３ｂとの内側面全体が角基板１０の外周を囲う周壁面となるので、角基板１０がずれてしまうことが防止できる。また、第１保持具部２１と角基板１０とを上面が平らなテーブルに載置して、角基板１０を第１保持具部２１に固定しているので、第１開口部Ｈ１により露出した角基板１０の一面は、第１開口部Ｈ１の周囲平面、つまり第１保持具部本体２１１の一面全体と同一平面とすることができる。
【００４０】
次に、第２保持具部２２を、吸着面Ｋ２を下に、内周壁部２２２が上を向くように、上面が平らなテーブルに載置する。角基板１０を保持した第１保持具部２１を第２保持具部２２に、角基板１０を第２保持具部２２の第２開口部Ｈ２に合わせながら重ねる。
【００４１】
角基板１０は第２保持具部２２の第２開口部Ｈ２により露出しているので、角基板１０を保持した第１保持具部２１は角基板１０により支持された状態となる。この状態で、第１保持具部２１の外周壁部２１２に設けられた一方のねじ孔２１２ｂに厚み調整用ねじ２３をねじ込む。また、他方のねじ孔２１２ｂにも厚み調整用ねじ２３をねじ込む。ねじ孔２１２ｂ，２１２ｂは貫通孔なので、厚み調整用ねじ２３がねじ込まれることで、厚み調整用ねじ２３の先端がねじ孔２１２ｂを通過して第２保持具部２２の内周壁部２２２に到達して、内周壁部２２２を押圧する。厚み調整用ねじ２３が内周壁部２２２を押圧することで、外周壁部２１２と内周壁部２２２との厚み方向の位置ずれが規制され、第１保持具部２１と第２保持具部２２とが連結固定される。角基板１０の他面は、平たいテーブルに接しているので、第２開口部Ｈ２の周囲平面、つまり第２保持具部本体２２１の一面全体と同一平面となっている。
【００４２】
このように、角基板１０の厚みに応じて第１保持具部２１と第２保持具部２２との間隔が調整できるので、角基板１０の厚みにばらつきがあっても、角基板１０の両面を露出させつつ、角基板１０の両面を周囲平面と同一平面とすることができる。
【００４３】
次に、図１に示すように、角基板１０を保持した保持具２をチャックテーブル３に配置する。
チャックテーブル３に保持具２を配置するときには、テーブル本体３１の位置決め凹部３１１に配置することで、確実に角基板１０の中心を、ノズル４が滴下する位置に合わせることができる。位置決め凹部３１１には、更に一段掘り下げたような保護用凹部３１３が設けられているので、角基板１０が直接テーブル本体３１と接触しない。従って、テーブル本体３１に付着した塵埃などが角基板１０に転移してしまうことが防止できる。
【００４４】
まず、第１保持具部２１を下側に、第２保持具部２２を上側にしてチャックテーブル３に配置する。
吸引装置を稼働させることで、吸引装置が第１保持具部２１の第１開口部Ｈ１の周囲平面を吸引孔３１２を介して吸引して、保持具２はチャックテーブル３に真空固定される。そして、回転軸３２を回転させるモータを稼働させることで、角基板１０は保持具２に保持された状態で回転する。
【００４５】
保持具２は、内周壁部２２２の内側には、空洞が形成されているため、保持具２全体の重量を軽減することができる。従って、チャックテーブル３を回転させるモータへの負担を軽減することができる。
【００４６】
ノズル４からレジスト液を滴下すると、レジスト液は角基板１０の他面全体に拡がっていく。角基板１０は四辺形状に形成されているが、角基板１０と同じ大きさ、同じ形状に形成された第２開口部Ｈ２の周囲平面と同一平面に形成されているので、回転する角基板１０の角部による乱流が発生しない。従って、レジスト液の塗布に偏りが発生してしまうことが防止できる。
【００４７】
角基板１０の他面側の塗布が完了すると、レジスト液の供給を停止すると共に吸引装置およびモータの稼働を停止して、保持具２の表裏を反転させるための治具の先端を、外周壁部２１２に設けられた凹部２１２ａ，２１２ａに挿入して、保持具２を持ち上げる。そして、第１保持具部２１を上側に、第２保持具部２２を下側に反転させて、チャックテーブル３の位置決め凹部３１１に再度配置することで、保持具２を直接手で触ることなく反転させることができる。
【００４８】
レジスト液が塗布された角基板１０の他面側を下にして、保持具２の表裏を反転させて位置決め凹部３１１に配置しても、位置決め凹部３１１には、更に一段掘り下げたような保護用凹部３１３が設けられているので、角基板１０が直接テーブル本体３１と接触することはない。従って、レジスト液が塗布された角基板１０の他面に、テーブル本体３１に付着した塵埃などが付着したり、未硬化状態のレジスト液面に損傷を与えたりしまうことが防止できる。
【００４９】
角基板１０の他面側にレジスト液を塗布したときと同様に、角基板１０の一面側にもレジスト液を塗布する。そして、角基板１０の一面側の塗布が完了すればレジスト液の供給を停止すると共に吸引装置およびモータの稼働を停止して、保持具２を表裏反転させたときに使用した治具によりチャックテーブル３から保持具２を取り出す。取り出した保持具２に角基板１０を保持させたままベーク処理を施すことで、角基板１０の両面に塗布されたレジスト液を硬化させる。
【００５０】
このように角基板１０の一面全体を露出する第１開口部Ｈ１が設けられた第１保持具部２１と、他面全体を露出する第２開口部Ｈ２が設けられた第２保持具部２２とを重ね合わせた保持具２により、保持具２から角基板１０を取り外すことなく、角基板１０の両面全体にレジスト液を容易に塗布することができる。
【００５１】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係る塗布装置を図６および図７に基づいて説明する。図６は、本発明の実施の形態２に係る保持具を示す分解斜視図である。図７は、図６に示す保持具のＢ−Ｂ線断面図である。なお、本実施の形態２に係る塗布装置は、チャックテーブル３は実施の形態１と同じものが採用できるので説明を省略する。
【００５２】
本発明の実施の形態２に係る保持具５は、中央部に角基板１０を保持した状態で、チャックテーブル３（図１参照）に配置されるもので、第１保持具部５１と、第２保持具部５２と、厚み調整用ねじ５３とを備えている。保持具５は、第１保持具部５１と第２保持具部５２とを重ね合わせることで円盤状に形成される。
【００５３】
第１保持具部５１は、円形状に形成されると共に、中央部に角基板１０を配置したときに、その一面全体を露出するように形成された四辺形状の第１開口部Ｈ３が設けられた第１保持具部本体５１１と、第１保持具部本体５１１の中央部に、第１開口部Ｈ３の周囲に沿って角基板１０の周囲全体を囲うように形成され、当接部として機能する内枠部５１２と、角基板１０を押圧することで押圧部として機能する基板固定用ねじ５１３とを備えている。この内枠部５１２と基板固定用ねじ５１３とで、基板固定部が構成されている。
【００５４】
第１保持具部本体５１１の第１開口部Ｈ３は、角基板１０の一面全体を露出させるために角基板１０と同じ大きさ、同じ形状に形成されている。この第１開口部Ｈ３の周囲平面が、チャックテーブル３の吸着面Ｋ３となる。内枠部５１２は、第１保持具部本体５１１の吸着面Ｋ３とは反対側の面に設けられ、貫通孔の内周面にねじ溝が形成された基板固定用ねじ５１３用のねじ孔５１２ａ，５１２ａが形成されている。
【００５５】
第２保持具部５２は、円形状に形成されると共に、中央部に角基板１０を配置したときに、その一面全体を露出するように四辺形状の第２開口部Ｈ４が設けられた第２保持具部本体５２１と、内枠部５１２の周囲全体を囲うように形成された外枠部５２２とを備えている。
【００５６】
外枠部５２２には、貫通孔の内周面にねじ溝が形成され、厚み調整用ねじ５３がねじ込まれる連結用のねじ孔５２２ａ，５２２ａが設けられている。
【００５７】
内枠部５１２と外枠部５２２との高さは、第１保持具部５１と第２保持具部５２とを隙間無く重ね合わせた場合の保持具５全体の厚みが、最も薄く形成されたときの角基板１０の厚みよりも薄く形成されている。また、厚みが最も厚く形成されたときの角基板１０に合わせて、保持具５の厚みを調整した場合に、外枠部５２２と重なり合う内枠部５１２に、厚み調整用ねじ５３を突き当てることができるように、内枠部５１２と外枠部５２２とが形成されている。この内枠部５１２と外枠部５２２と厚み調整用ねじ５３とで、第１保持具部５１と第２保持具部５２との間隔を調整する厚み調整部が構成されている。
【００５８】
以上のように構成された本発明の実施の形態２に係る保持具５の使用状態について説明する。
まず、第１保持具部５１を、吸着面Ｋ３を下に、内枠部５１２が上を向くように、上面が平らなテーブルに載置する。次に、角基板１０の一の角部を内枠部５１２の内側の角部Ｃ３に突き当てて配置する。そして、基板固定用ねじ５１３，５１３をねじ孔５１２ａ，５１２ａに嵌め込むことで、角基板１０は内枠部５１２の角部Ｃ３に寄せられ、基板固定用ねじ５１３と内枠部５１２の内壁面との間で挟み込まれて角基板１０が固定される。従って、内枠部５１２内で角基板１０がずれてしまうことが防止できる。基板固定用ねじ５１３は、内枠部５１２のねじ孔５１２ａを介して角基板１０を押圧できればよいので、内枠部５１２の厚みより少し長い程度の長さのねじでよい。従って、基板固定用ねじ５１３として、長さの長いねじを準備しなくてもよいので、保持具５全体の軽量化を図ることができる。
【００５９】
角基板１０は、平らなテーブルに、第１保持具部５１と共に載置されていた状態で、第１保持具部５１に固定されるので、第１開口部Ｈ３により露出した角基板１０の一面は、第１開口部Ｈ３の周囲平面、つまり第１保持具部本体５１１の一面全体と同一平面となる。
【００６０】
次に、第２保持具部５２を、吸着面Ｋ４を下に、外枠部５２２が上を向くように、上面が平らなテーブルに載置する。角基板１０を保持した第１保持具部５１を第２保持具部５２に、角基板１０を第２保持具部５２の第２開口部Ｈ４に合わせながら重ねる。
【００６１】
角基板１０は第２保持具部５２の第２開口部Ｈ４により露出しているので、角基板１０を保持した第１保持具部５１は、角基板１０によりテーブルの平面上で支持された状態となる。この状態で、第２保持具部５２の外枠部５２２に設けられた一方のねじ孔５２２ａに厚み調整用ねじ５３をねじ込む。また、他方のねじ孔５２２ａにも厚み調整用ねじ５３をねじ込む。厚み調整用ねじ５３がねじ込まれることで、厚み調整用ねじ５３の先端がねじ孔５２２ａを通過して第１保持具部５１の内枠部５１２に到達して、内枠部５１２を押圧する。厚み調整用ねじ５３が内枠部５１２を押圧することで、外枠部５２２と内枠部５１２との位置ずれが規制され、第１保持具部５１と第２保持具部５２とが連結固定される。角基板１０の他面は、平たいテーブルに接しているので、第２開口部Ｈ４の周囲平面、第２保持具部本体５２１の一面全体と同一平面となっている。
【００６２】
このように、角基板１０の厚みに応じて第１保持具部５１と第２保持具部５２との間隔が調整できるので、角基板１０の厚みにばらつきがあっても、角基板１０の両面を露出させつつ、角基板１０の両面を周囲平面と同一平面とすることができる。
【００６３】
第１保持具部５１には内枠部５１２が、第２保持具部５２には外枠部５２２が、それぞれ中央部のみに形成され、それぞれの中央部以外の第１保持具部本体５１１と第２保持具部本体５２１との間は隙間となっているので、保持具５全体の重量を軽減することができる。従って、チャックテーブル３を回転させるモータへの負担を軽減することができるので、塗布装置全体の小型化を図ることができる。
【００６４】
次に、角基板１０を押圧して内枠部５１２に固定する基板固定部の変形例を、図８および図９に基づいて説明する。図８は、本発明の実施の形態２に係る保持具の基板固定部の第１変形例を示す図であり、（Ａ）は第１保持具部の平面図、（Ｂ）は第１保持具部の側面図である。図９は、本発明の実施の形態２に係る保持具の基板固定部の第２変形例を示す図であり、（Ａ）は第１保持具部の平面図、（Ｂ）は第１保持具部の側面図である。なお、図８および図９においては、図６および図７と同じ構成のものは同符号を付して説明を省略する。
【００６５】
図８に示すように、第１変形例における第１保持具部５１は、角基板１０を、四辺形状に形成された内枠部５１２ｘに固定するために、２本の線状楔５１４が、角基板１０と内枠部５１２ｘとの間に押圧部材としてＬ字状に嵌め込まれている。
線状楔５１４は、一方が角基板１０の一辺と同じ長さに形成され、他方が角基板１０の一辺の長さと一方の線状楔５１４の幅との合計の長さに形成されている。
角基板１０を内枠部５１２ｘに配置する場合には、角基板１０を内枠部５１２ｘの角部Ｃ４に突き当てることでできる角基板１０と内枠部５１２ｘとのＬ字状の隙間に、この線状楔５１４をそれぞれ嵌め込むことで、角基板１０と内枠部５１２ｘとの間を押圧するので、角基板１０を内枠部５１２ｘに固定することができる。
【００６６】
また、図９に示すように、第２変形例における第１保持具部５１は、角基板１０を内枠部５１２ｘに固定するために、２本の板ばね５１５が、角基板１０と内枠部５１２ｘとの間に押圧部材としてＬ字状に嵌め込まれている。
板ばね５１５は、中央部が角基板１０側に凸形状となるように撓ませた状態で、板ばね固定用ねじ５１６により内枠部５１２ｘの内側面に両端部が固定されている。
角基板１０を内枠部５１２ｘに配置する場合には、Ｌ字状に配置されたそれぞれの板ばね５１５を角基板１０で押しながら板ばね５１５の膨らみを凹ませて内枠部５１２ｘ内に角基板１０を入れる。そうすることで、板ばね５１５が、角基板１０と内枠部５１２ｘとの間を押圧するので、角基板１０を内枠部５１２ｘの角部Ｃ５に突き当てることで固定することができる。
【００６７】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３に係る塗布装置を図１０および図１１に基づいて説明する。図１０は、本発明の実施の形態３に係る保持具を示す分解斜視図である。図１１は、図１０に示す保持具のＣ−Ｃ線断面図である。なお、本実施の形態３に係る塗布装置は、チャックテーブル３は実施の形態１と同じものが採用できるので説明を省略する。
【００６８】
図１０および図１１に示す本実施の形態３に係る保持具６は、実施の形態２に係る保持具５（図６および図７参照）の内枠部５１２および外枠部５２２の外形が円形状に形成されている以外は、ほぼ同様である。
保持具６は、中央部に角基板１０を保持した状態で、チャックテーブル３（図１参照）に配置されるもので、第１保持具部６１と、第２保持具部６２と、厚み調整用ねじ６３とを備えている。保持具６は、第１保持具部６１と第２保持具部６２とを重ね合わせることで円盤状に形成される。
【００６９】
第１保持具部６１は、円形状に形成され、角基板１０を配置したときに、その一面全体を露出する第１開口部Ｈ５が設けられた第１保持具部本体６１１と、角基板１０の周囲全体を囲うように形成された内枠部６１２と、内枠部６１２に配置された角基板１０を固定する基板固定用ねじ６１３とを備えている。
この内枠部６１２の外形は、実施の形態２の内枠部５１２の外形が四辺形状に形成されているのに対し、円形状に形成されている。第１保持具部本体６１１と内枠部６１２とを一体的に形成する場合、内枠部６１２は、第１保持具部本体６１１と同じ直径を有する円盤状部材を回転させながら円盤状部材の外周から第１保持具部本体６１１の厚み分ほど残して切削し、不要な部分を取り除くことで形成することができる。従って、内枠部６１２の中心から外周面までの距離を均一に精度よく形成することができる。
【００７０】
第１保持具部本体６１１の第１開口部Ｈ５は、角基板１０の一面全体を露出させるために角基板１０と同じ大きさ、同じ形状に形成されている。この第１開口部Ｈ５の周囲平面が、チャックテーブル３の吸着面Ｋ５となる。内枠部６１２には、貫通孔の内周面にねじ溝が形成された基板固定用のねじ孔６１２ａが形成されている。
【００７１】
第２保持具部６２は、円形状に形成されると共に、中央部に角基板１０が配置されたときに、その一面全体を露出する四辺形状の第２開口部Ｈ６が設けられた第２保持具部本体６２１と、内枠部６１２全体を囲うように形成された円形状の外枠部６２２とを備えている。
【００７２】
外枠部６２２には、貫通孔の内周面にねじ溝が形成され、厚み調整用ねじ６３がねじ込まれる連結用のねじ孔６２２ａが設けられている。この外枠部６２２も、内枠部６１２と同様に形成することができるので、外枠部６２２の中心から外周面までの距離を均一に精度よく形成することができる。従って、内枠部６１２との嵌め合い精度を高くすることができる。
【００７３】
このように、本実施の形態３に係る保持具６は、内枠部６１２の外形を円形状に形成し、外枠部６２２を円形枠状に形成しても、実施の形態２に係る保持具５と同様の効果を得ることができる。
【００７４】
以上のように、本発明の実施の形態１〜３に係る保持具２，５，６は、角基板１０を取り外すことなく角基板１０の両面にレジスト液を塗布でき、かつ角基板１０の厚みにばらつきがあっても、レジスト液を均一に塗布することができる。また、保持具２，５，６に角基板１０を装着したままの状態でベーク処理を施すことができるので、両塗布面の硬化を一度で行うことができる。従って、角基板１０を片面ずつベークしていた従来の方法と比較して、レジスト液に含まれる感光剤成分へのダメージを軽減するこができ、時間の短縮を図ることができる。更に、角基板１０の両面を感光させるための露出時間などの調整を両面で同じとすることができるので、作業品質を高めることができる。
【００７５】
また、例えば、角基板１０を保持する保持具が四辺形状であったり、五角形であったりして角部が形成されていると、保持具が回転することで保持具の角部により乱流が発生し、角基板１０の塗布面に滴下され拡がるレジスト液の均一性を阻害する要因となる。本実施の形態１〜３に係る保持具２，５，６は、円盤状に形成されているので、保持具２，５，６が高速で回転しても気流の乱れが発生しにくい。従って、レジスト液を角基板１０に均一に塗布することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、スピンコート方式で塗布液を基板面に塗布する塗布装置に適用することができる。特に、本発明は、塗布液の硬化に２度のベーク処理を施す必要がないので、レジスト液を塗布する塗布装置に最適である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の実施の形態１に係る塗布装置を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る保持具を示す斜視図である。
【図３】図２に示す保持具の分解斜視図である。
【図４】図３に示す保持具の第１保持具部の平面図である。
【図５】図２に示す保持具のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る保持具を示す分解斜視図である。
【図７】図６に示す保持具のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】本発明の実施の形態２に係る保持具の基板固定部の第１変形例を示す図であり、（Ａ）は第１保持具部の平面図、（Ｂ）は第１保持具部の側面図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係る保持具の基板固定部の第２変形例を示す図であり、（Ａ）は第１保持具部の平面図、（Ｂ）は第１保持具部の側面図である。
【図１０】本発明の実施の形態３に係る保持具を示す分解斜視図である。
【図１１】図１０に示す保持具のＣ−Ｃ線断面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１  塗布装置
２  保持具
２１  第１保持具部
２１１  第１保持具部本体
２１２  外周壁部
２１２ａ  凹部
２１２ｂ  ねじ孔
２１３  基板固定部
２１３ａ  当接部
２１３ａｘ  薄板部
２１３ａｙ  ねじ孔
２１３ｂ  押圧部
２１３ｂｘ  薄板部
２１３ｂｙ  貫通孔
２１３ｃ  基板固定用ねじ
２１３ｃｘ  ねじ部
２１３ｃｙ  頭部
２１３ｘ  連結具
２２  第２保持具部
２２１  第２保持具部本体
２２２  内周壁部
２３  厚み調整用ねじ
３  チャックテーブル
３１  テーブル本体
３１１  位置決め凹部
３１２  吸引孔
３１３  保護用凹部
４  ノズル
５  保持具
５１  第１保持具部
５１１  第１保持具部本体
５１２  内枠部
５１２ａ  ねじ孔
５１２ｘ  内枠部
５１３  基板固定用ねじ
５１４  線状楔
５１５  板ばね
５１６  板ばね固定用ねじ
５２  第２保持具部
５２１  第２保持具部本体
５２２  外枠部
５２２ａ  ねじ孔
５３  厚み調整用ねじ
６  保持具
６１  第１保持具部
６１１  第１保持具部本体
６１２  内枠部
６１２ａ  ねじ孔
６１３  基板固定用ねじ
６２  第２保持具部
６２１  第２保持具部本体
６２２  外枠部
６２２ａ  ねじ孔
６３  厚み調整用ねじ
１０  角基板
Ｃ１〜Ｃ６  角部
Ｈ１，Ｈ３，Ｈ５  第１開口部
Ｈ２，Ｈ４，Ｈ６  第２開口部
Ｋ１〜Ｋ６  吸着面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009004581.tif 000009
【図８】
2009004581.tif 000010
【図９】
2009004581.tif 000011
【図１０】
2009004581.tif 000012
【図１１】
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