(57)【要約】【課題】複数個のワークを一列状に整列させ、列ごとにピッチ変換して移載する際に、複数の異なるピッチ変換によってワークを移載することを可能とし、製品切り換えによる切り換え作業を容易にし、ピッチ変換搬送装置の製作コストを削減する。【解決手段】ワークの配置ピッチが異なる少なくとも２つの搬送位置間で、ワークを一列に整列させて移載するピッチ変換搬送装置であって、板体の一端辺側から他端辺側に向けて連通し、前記一端辺から他端辺の任意の位置における溝配置ピッチを異なる配置として複数のガイド溝６２が形成された板カム６０と、前記各々のガイド溝６２に沿って移動自在にガイド溝６２に係合して装着された、ワーク支持用のアタッチメント７８と、前記板カム６０と前記アタッチメント７８を、前記板カム６０の一端辺から他端辺に向かう方向に平行なカム動作方向に、相対的に移動させる移動機構とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの配置ピッチが異なる少なくとも２つの搬送位置間で、ワークを一列に整列させて移載するピッチ変換搬送装置であって、
前記ワークをピッチ変換させるピッチ変換部と、該ピッチ変換部を前記搬送位置間で搬送する搬送機構とを備え、
前記ピッチ変換部は、
板体の一端辺側から他端辺側に向けて連通し、前記一端辺から他端辺の任意の位置における溝配置ピッチを異なる配置として複数のガイド溝が形成された板カムと、
前記各々のガイド溝に沿って移動自在にガイド溝に係合して装着された、ワーク支持用のアタッチメントと、
前記板カムと前記アタッチメントを、前記板カムの一端辺から他端辺に向かう方向に平行なカム動作方向に、相対的に移動させる移動機構とを備えていることを特徴とするピッチ変換搬送装置。
【請求項２】
前記ガイド溝には、前記板カムと前記アタッチメントを前記カム動作方向に相対的に移動させた際に、前記アタッチメントの移動位置を位置決めして、アタッチメントの配置ピッチを段階的に規定する複数の停止位置が設けられていることを特徴とする請求項１記載のピッチ変換搬送装置。
【請求項３】
前記板カムと前記アタッチメントを前記カム動作方向に相対的に移動させた際に、前記アタッチメントを一列にガイドするガイド手段が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載のピッチ変換搬送装置。
【請求項４】
前記ガイド手段として、前記カム動作方向に直交する向きにのみ前記アタッチメントの移動方向を許容するスライドガイドを設け、該スライドガイドに前記アタッチメントを係合させたことを特徴とする請求項３記載のピッチ変換搬送装置。
【請求項５】
前記アタッチメントは、前記ガイド溝に移動自在に係合するガイド軸を備えるスライドアームと、該スライドアームに固定され前記スライドガイドに係合するガイドプレートと、ワークを吸着支持する吸着パッドとを備えていることを特徴とする請求項４記載のピッチ変換搬送装置。
【請求項６】
ワークを一列に整列させて移載するピッチ変換搬送装置においてワークのピッチ変換に用いられるピッチ変換部であって、
板体の一端辺側から他端辺側に向けて連通し、前記一端辺から他端辺の任意の位置における溝配置ピッチを異なる配置として複数のガイド溝が形成された板カムと、
前記各々のガイド溝に沿って移動自在にガイド溝に係合して装着された、ワーク支持用のアタッチメントと、
前記板カムと前記アタッチメントを、前記板カムの一端辺から他端辺に向かう方向に平行なカム動作方向に、相対的に移動させる移動機構とを備えていることを特徴とするピッチ変換部。
【請求項７】
前記ガイド溝には、前記板カムと前記アタッチメントを前記カム動作方向に相対的に移動させた際に、前記アタッチメントの移動位置を位置決めして、アタッチメントの配置ピッチを段階的に規定する複数の停止位置が設けられていることを特徴とする請求項６記載のピッチ変換部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はピッチ変換搬送装置に関し、より詳細には、ワークを一列に整列した状態で移載する際に、ワーク間のピッチを変換して移載するピッチ変換搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造工程で用いられるめっき装置では、個片に形成された被めっき品をめっき治具に整列してめっきを施した後、めっき治具からトレイにめっき品を収納する操作がなされる。めっき治具は被めっき品を整列して支持するためのもので、電解めっきの場合は被めっき品に給電ピンを接触させてめっきが施される。このため、めっき後にめっき治具上で被めっき品が位置ずれすることがあり、めっき治具からめっき品をトレイに移しかえる際には、整列ステージを利用してめっき品を整列させてからトレイに移送している。整列ステージでめっき品を整列させる方法としては、整列ピンを使用して整列させる方法がある（特許文献１参照）。
【０００３】
図５（ａ）は、めっき治具１０と整列ステージ２０と収納用のトレイ３０の平面配置、図５（ｂ）は側面配置を示す。
図５（ａ）に示すように、めっき治具１０にはワークをセットするセット枠部１２が縦横に整列して配置され、トレイ３０にもワークを収納するセット部３２が縦横に整列して設けられている。トレイ３０における一列分のセット部３２の配置数は、めっき治具１０における一列分のワーク１４の配置数と同数であり、図５（ｂ）に示すように、吸着ヘッド４０によって、めっき治具１０から整列ステージ２０へ、整列ステージ２０からトレイ３０へ１列ずつワーク１４が移載される。
図５に示した例では、整列ステージ２０におけるワーク１４の配置ピッチにくらべてトレイ３０におけるセット部３２の配置ピッチが狭くなっているから、整列ステージ２０からトレイ３０にワーク１４を移載する際には、ワーク１４間のピッチを変換して移載する必要がある。
【０００４】
なお、整列ステージ２０には、ワーク１４を整列させて位置決めする位置決めピン２２が設けられている。位置決めピン２２は先端部が円錐形に形成され、整列ステージ２０におけるワーク１４の各々の配列位置に、複数本の位置決めピン２２により配列位置を囲むように配置されている。ワーク１４が若干位置ずれして移載された場合でも、位置決めピン２２の円錐形に形成された外側面によってワーク１４がガイドされ、所定位置に整列して配置される。
【０００５】
図６に、ワーク１４をめっき治具１０から整列ステージ２０に移載するときの吸着ヘッド４０の構成を示す。吸着ヘッド４０には、めっき治具１０における各々のセット枠部１２の配置に合わせて吸着パッド４２が設けられている。めっき治具１０から整列ステージ２０へ移載する際にはワーク１４の配置ピッチは変わらないから、吸着パッド４２の配置間隔は固定されている。吸着ヘッド４０には各々の吸着パッド４２にエア接続するエア配管を接続するチャック部４４が設けられる。
【０００６】
図７は、整列ステージ２０からトレイ３０にピッチ変換してワーク１４を移載する際に用いる吸着ヘッド５０の構成を示す。吸着ヘッド５０は、吸着パッド４２の配置ピッチが可変となるように形成されている。すなわち、吸着パッド４２を支持する支持部４５を支持板４６に固定したスライドガイド４７に摺動自在に係合させ、隣り合った支持部４５間に離間間隔を可変としてガイドする連結アーム４８が設けられている。支持部４５のうち、基端部の支持部４５ａは支持板４６に固定され、列端の支持部４５ｂはエアシリンダ５２の駆動ヘッド５２ａに連繋される。
【０００７】
エアシリンダ５２は、駆動ヘッド５２ａがスライドガイド４７の長手方向と平行に突出入するように支持板４６に固設されている。
図７（ｂ）は、エアシリンダ５２の駆動ヘッド５２ａが突出位置にある状態であり、図７（ａ）は駆動ヘッド５２ａが引き込み位置にある状態である。図７（ｂ）は支持部４５が開き位置にある状態で整列ステージ２０からワーク１４をピックアップする状態での配置、図７（ａ）は、支持部４５が閉じ位置にある状態でトレイ３０にワーク１４を移載する配置を示す。
この吸着ヘッド５０では、エアシリンダ５２により支持部４５が開き位置にある状態と、支持部４５が閉じ位置にある状態とを切り換えることにより、ピッチ変換してワーク１４を整列ステージ２０からトレイ３０に移載可能としている。
【特許文献１】特開２００４−１７６１２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図７に示す吸着ヘッド５０は支持板４６における支持部４５の配置ピッチを可変とすることにより、整列ステージ２０とトレイ３０とにおけるワーク１４の配置位置に合わせてワーク１４を移載可能としたものであるが、吸着ヘッド５０の移載動作は、整列ステージ２０とトレイ３０におけるワーク１４の配置ピッチの関係があらかじめ決められている単一のピッチ変換での移載操作に対応したもので、たとえばトレイ３０としてセット部３２の配置間隔が異なる製品を使用するような場合には、この製品に合わせた吸着ヘッド５０に付け替えして使用しなければならない。
【０００９】
したがって、図７に示すような構成を備える吸着ヘッド５０を使用する場合は、トレイ３０におけるセット部３２の配置ピッチが異なるごとに、整列ステージ２０とトレイ３０とのワーク１４の配置ピッチに合わせて別個に吸着ヘッド５０を製作して用意しておく必要があり、いくつかの吸着ヘッド５０を用意するという煩雑さと、異なるトレイ３０にワーク１４を収納する際には、そのつど、吸着ヘッド５０を交換して装着しなおすという作業上の煩雑さがある。
【００１０】
本発明は、これらの課題を解決すべくなされたものであり、複数個のワークを一列状に整列させ、列ごとにピッチ変換して移載する場合に、複数の異なるピッチ変換によってワークを移載することを可能とし、製品切り換えの際に吸着ヘッドを交換するといった作業上の煩雑さを解消し、移載装置の製造コストを削減することを可能にするピッチ変換搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明は次の構成を備える。
すなわち、ワークの配置ピッチが異なる少なくとも２つの搬送位置間で、ワークを一列に整列させて移載するピッチ変換搬送装置であって、前記ワークをピッチ変換させるピッチ変換部と、該ピッチ変換部を前記搬送位置間で搬送する搬送機構とを備え、前記ピッチ変換部は、板体の一端辺側から他端辺側に向けて連通し、前記一端辺から他端辺の任意の位置における溝配置ピッチを異なる配置として複数のガイド溝が形成された板カムと、前記各々のガイド溝に沿って移動自在にガイド溝に係合して装着された、ワーク支持用のアタッチメントと、前記板カムと前記アタッチメントを、前記板カムの一端辺から他端辺に向かう方向に平行なカム動作方向に、相対的に移動させる移動機構とを備えていることを特徴とする。
【００１２】
また、前記ガイド溝には、前記板カムと前記アタッチメントを前記カム動作方向に相対的に移動させた際に、前記アタッチメントの移動位置を位置決めして、アタッチメントの配置ピッチを段階的に規定する複数の停止位置が設けられていることにより、板カムとアタッチメントとを相対的に移動させてアタッチメントの配置ピッチを変換して移載する際に、より確実にピッチ変換して移載することができる。
また、前記板カムと前記アタッチメントを前記カム動作方向に相対的に移動させた際に、前記アタッチメントを一列にガイドするガイド手段が設けられていることによって、より正確にアタッチメントを列状に配置して移載することができる。
【００１３】
また、前記ガイド手段として、前記カム動作方向に直交する向きにのみ前記アタッチメントの移動方向を許容するスライドガイドを設け、該スライドガイドに前記アタッチメントを係合させることによって、前記板カムとアタッチメントを相対的に移動させた際に、確実にアタッチメントの列方向からの位置ずれを防止して、移載することができる。
また、前記アタッチメントは、前記ガイド溝に移動自在に係合するガイド軸を備えるスライドアームと、該スライドアームに固定され前記スライドガイドに係合するガイドプレートと、ワークを吸着支持する吸着パッドとによって構成することができる。
【００１４】
また、ワークを一列に整列させて移載するピッチ変換搬送装置においてワークのピッチ変換に用いられるピッチ変換部であって、板体の一端辺側から他端辺側に向けて連通し、前記一端辺から他端辺の任意の位置における溝配置ピッチを異なる配置として複数のガイド溝が形成された板カムと、前記各々のガイド溝に沿って移動自在にガイド溝に係合して装着された、ワーク支持用のアタッチメントと、前記板カムと前記アタッチメントを、前記板カムの一端辺から他端辺に向かう方向に平行なカム動作方向に、相対的に移動させる移動機構とを備えていることを特徴とする。
また、前記ガイド溝には、前記板カムと前記アタッチメントを前記カム動作方向に相対的に移動させた際に、前記アタッチメントの移動位置を位置決めして、アタッチメントの配置ピッチを段階的に規定する複数の停止位置が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るピッチ変換搬送装置は、ピッチ変換してワークを移載するピッチ変換部として、ガイド溝を備えた板カムと、ガイド溝に係合させたワーク支持用のアタッチメントを備えた構成とすることにより、板カムとアタッチメントを相対的にカム動作方向に移動させるだけでアタッチメントの配置ピッチを変換することができ、複数のピッチ変換操作に容易に対応することが可能となり、製品切り換えの際にピッチ変換用の吸着ヘッドを交換するといった操作を不要とし、作業性を改善することができ、ピッチ変換装置の製作コストを削減することを可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面とともに詳細に説明する。
（ピッチ変換搬送装置）
図１（ａ）は、本発明に係るピッチ変換搬送装置の一例として、ワークを吸着支持する吸着パッドをピッチ変換する機構を備えた装置の主要部の構成を示す平面図、図１（ｂ）は側面図である。
本実施形態のピッチ変換搬送装置は、板カム６０を利用して吸着パッド４２の配置間隔を変換可能としたピッチ変換部を備えていることを特徴とする。
【００１７】
図１は、ピッチ変換部１００の構成を示す。ピッチ変換部１００は、板カム６０と、板カム６０の下面に取り付けられた、ワークを吸着支持するアタッチメント７８とを備える。アタッチメント７８は、板カム６０に摺動自在に取り付けられたスライドアーム７２と、スライドアーム７２の前端に固定されたガイドプレート７４と、ガイドプレート７４の下端から前方に向けて延設された支持アーム７６と、支持アーム７６に固定された吸着パッド７０とを備える。
【００１８】
板カム６０の下面側には凹溝状に複数本のガイド溝６２が形成されている。本実施形態では、図１（ａ）に示すように、板カム６０に７本のガイド溝６２を形成している。アタッチメント７８は各々のガイド溝６２に一つずつ装着される。
ガイド溝６２は、板体に形成された板カム６０の一端辺側から他端辺側に向けて連通するように設けられるとともに、板カム６０の一端側から他端側に向かうにしたがって、ガイド溝６２の相互の間隔が徐々に広がるようにガイド溝６０の平面形状が設定されている。なお、板カム６０に形成するガイド溝６０は図示例とは逆に、板カム６０の一端辺側を広間隔に、他端辺側を狭間隔に設計することももちろん可能である。
【００１９】
各々のガイド溝６２の両端位置と、中途位置の２個所、合わせて４個所にスライドアーム７２（アタッチメント７８）の停止位置Ａ〜Ｄが設定されている。これらの停止位置Ａ〜Ｄではスライドアーム７２の基端に設けられたガイド軸７２ａがクリック的に停止するように、ガイド溝６２が平面配置でわずかに屈曲する形状に設けられている。
【００２０】
アタッチメント７８は、板カム６０に設けられたガイド溝６２にスライドアーム７２の基端に設けられたガイド軸７２ａを移動自在にかつ抜け止めして係合することによって取り付けられている。ガイド軸７２ａはスライドアーム７２に対して回動自在である。スライドアーム７２の上面は板カム６０の下面に摺接し、スライドアーム７２は板カム６０の下面に面接触した状態で、板カム６０が進退動する際に、板カム６０の板面に対して相対的に摺動する。
【００２１】
スライドアーム７２の前端に設けられたガイドプレート７４はスライドアーム７２の延出方向に対して直交する下向きに延出する。このガイドプレート７４にスライドガイド８０が係合する。
図３にガイドプレート７４とスライドガイド８０とが係合する構成を示す。図３（ａ）が平面図、図３（ｂ）が正面図である。スライドガイド８０は板カム６０と略同幅に左右方向に延設され、ガイドプレート７４は、スライドガイド８０の長手方向にスライド自在に取り付けられたスライドブロック８２に固定されている。すなわち、アタッチメント７８はガイドプレート７４、スライドブロック８２を介してスライドガイド８０に移動自在に支持されている。スライドガイド８０およびスライドブロック８２がガイド手段を構成する。
【００２２】
このようにアタッチメント７８をスライドガイド８０に係合させて取り付けたことにより、アタッチメント７８は横方向の動きについては許容（非拘束）され、前後方向の動きが規制（拘束）される。
スライドガイド８０は、板カム６０の前後方向の動きに対して直交する向きをガイド方向（長手方向）として基体に固定され、板カム６０に設けられたガイド溝６２にアタッチメント７８を係合させ、スライドガイド８０に共通に各々のアタッチメント７８を係合させることによって、図１（ａ）に示すように、アタッチメント７８は横方向に一列に配列される。
【００２３】
支持アーム７６はガイドプレート７４の下端に、先端が前方に延出するように固定され、支持アーム７６の前端にパッド部を下方に向けて吸着パッド７０が支持されている。吸着パッド７０の上部にはエア配管を接続するポート７１が設けられている。ポート７１にはエアの吸引、排気をなすエア機構に接続する配管が接続される。
【００２４】
板カム６０にはアタッチメント７８に対して板カム６０を前後方向に進退動させる移動機構（不図示）が設けられる。板カム６０は前後方向にのみ進退動するように移動方向が規制される。板カム６０にガイド部材を取り付けて板カム６０の移動方向を規制してもよいし、移動機構自体に板カム６０の移動方向を規制する手段を設けてもよい。
なお、本明細書において前後方向とは、板カム６０が進退動する方向（図１（ａ）の矢印の方向）であり、横方向とは前後方向に対して直交する方向であり、板カム６０が進退動する方向がカム動作方向である。
【００２５】
板カム６０を進退動させる移動機構は、板カム６０に設けられたガイド溝６２におけるガイド軸７２ａの停止位置Ａ〜Ｄの位置に合わせて段階的に板カム６０の移動位置を位置決めするように制御される。
図４に、板カム６０の移動機構としての駆動源９０を取り付けた例の側面図を示す。板カム６０の他端辺に駆動源９０によって板カム６０の面方向と平行に押動される駆動ロッド９２が連結されている。駆動源９０を構成する駆動機構には、ストッパ付きのエアシリンダあるいはサーボモータ等の、駆動ロッド９２の移動位置が所定位置に位置決めされる駆動機構が好適に用いられる。
【００２６】
ピッチ変換搬送装置は、上述したピッチ変換部１００と、ピッチ変換部１００を整列ステージとトレイとの間のような２つの搬送位置間で搬送する搬送機構とを備える。
この搬送機構はワークの搬送位置に位置合わせしてピッチ変換部１００を移動操作するものである。ピッチ変換部１００を所定の搬送位置に移動し、ピッチ変換部１００によってワークを吸着、解放する操作を併用することによって、任意の移載操作を行うことができる。搬送機構によってピッチ変換部１００を移送させる搬送位置は２つの位置間に限るものではなく、３つ以上の複数の搬送位置を設定し、これらの搬送位置間でワークを移載させるように制御することもできる。
【００２７】
（ピッチ変換操作）
図１（ａ）は、移動機構により、板カム６０を前後方向の最も後退した位置に移動させた状態を示す。この状態においては、アタッチメント７８のスライドアーム７２に設けられたガイド軸７２ａは、ガイド溝６２の最前端の停止位置Ａに係合する。この停止位置Ａでは、ガイド溝６２の間隔がもっとも狭く設定され、隣り合ったアタッチメント７８はもっとも接近した状態になる。
【００２８】
図２は、移動機構により板カム６０を前方に一段階移動させ、スライドアーム７２のガイド軸７２ａをガイド溝６２の停止位置Ｂに係合させた状態である。停止位置Ｂでは、ガイド溝６２の間隔が停止位置Ａよりも一段階広がるから、アタッチメント７８の配置ピッチは図１の状態から一段階広がった状態になる。
前述したように、ガイドプレート７４がスライドガイド８０に係合し、アタッチメント７８は横方向への移動のみが許容され、前後方向へは変位しないように拘束されているから、板カム６０の移動とともにガイド溝６２に沿ってガイド軸７２ａが移動し、アタッチメント７８のピッチが変換される。
【００２９】
図４は、駆動源９０によって板カム６０が移動する状態を示すもので、図４（ａ）は板カム６０が後退位置にある状態、図４（ｂ）は板カム６０が図４（ａ）の状態から前方向に押動された状態を示す。スライドガイド８０は基体に固定されており、アタッチメント７８はスライドガイド８０にガイドされて横方向に移動する。
【００３０】
本実施形態では板カム６０に４つの停止位置Ａ〜Ｄを設定しているから、それぞれの停止位置に合わせて板カム６０を進退動させることによってアタッチメント７８の配置ピッチが４通りに変換される。これらのピッチパターンのうち、停止位置Ａでの配置ピッチが最も狭く、停止位置Ｂ→Ｃ→Ｄとなるにしたがってピッチ間隔が広がる。こうして、本実施形態においては、板カム６０の停止位置を選択することにより、アタッチメント７８のピッチ間隔を４つのピッチパターンから選択することができる。
【００３１】
たとえば、図３に示す、整列ステージ２０からトレイ３０にワーク１４を移載する場合には、板カム６０の停止位置Ｂにおける吸着パッド７０の配置ピッチを整列ステージ２０におけるワーク１４の配置ピッチに一致させ、板カム６０の停止位置Ａにおける吸着パッド７０の配置ピッチをトレイ３０のセット部３２の配置ピッチに一致させておき、搬送機構によりピッチ変換部１００を整列ステージ２０とトレイ３０との間で搬送するとともに、板カム６０を停止位置Ｂと停止位置Ａとの間で進退動させることによりピッチ変換してワーク１４を移載することができる。
【００３２】
板カム６０に形成するガイド溝６２の配置間隔、配置数は適宜設計することが可能であり、また、板カム６０の停止位置についても適宜設計することが可能であるから、搬送対象品、搬送方法に合わせて適宜板カム６０を設計することによって種々のワークの移載操作に対応することができる。
図３に示す例では、整列ステージ２０でのワーク１４の配置ピッチ、トレイ３０のセット部３２の配置ピッチが製品によって異なる場合は、これらの異種製品の配置ピッチをすべて包含する（反映する）ように板カム６０に設けるガイド溝６２と停止位置を設計しておくことにより、製品切り換えに際しては、板カム６０の進退動位置を制御するだけで、製品に合わせてワークをピッチ変換させて移載することが可能となる。
【００３３】
板カム６０の停止位置を適宜選択してピッチ変換する方法であれば、製品切り換えの場合でも、そのつど吸着ヘッドを付け替えるといった必要がなく、板カム６０の動作を制御するだけで対応することができるから、作業性が向上し、多種製品に汎用的にピッチ変換部１００を対応させるように設計することで、ピッチ変換搬送装置の製作コストを削減することが可能になる。
【００３４】
図３に示す例では、整列ステージ２０とトレイ３０との間で配置ピッチを変換してワーク１４を移載したが、めっき治具１０と整列ステージ２０との間でピッチ変換して移載する必要がある場合にももちろん適用できる。また、めっき治具１０と整列ステージ２０とトレイ３０の配置ピッチがすべて異なる場合でも、板カム６０における停止位置を３段階に切り換えるように制御して、３つの搬送位置間で移載操作を行うことも可能である。
【００３５】
また、上記実施形態では、板カム６０に装着したアタッチメント７８のすべてにワークを吸着して搬送する例について説明したが、場合によっては、板カム６０に装着されたアタッチメント７８のいくつかを選択して、その選択したアタッチメント７８のみにワークを吸着させて移載するといった制御も可能である。アタッチメント７８の配置ピッチ、あるいは移載するワークの数によっては、すべてのアタッチメント７８にワークを吸着させずに移載するという選択も可能だからである。
【００３６】
なお、板カム６０とアタッチメント７８との配置位置関係は相対的であるから、板カム６０を移動させるかわりに、アタッチメント７８を板カム６０に対して移動させてピッチ変換することも可能である。本実施形態では、アタッチメント７８のガイドプレート７４をスライドガイド８０に係合させてアタッチメント７８は前後方向に不動としているが、アタッチメント７８を前後方向に移動させる際は、板カム６０を固定し、スライドガイド８０を前後方向に平行移動させればよい。
【００３７】
また、本発明に係るピッチ変換搬送装置は、ピッチ変換部１００とピッチ変換部１００を搬送する搬送機構から構成されるから、ピッチ変換部１００と搬送機構との組み合わせによって、前述しためっき作業でのワーク１４の移載操作に限らず、種々のワークの移載操作に利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係るピッチ変換搬送装置の主要部の構成を示す平面図（ａ）および側面図（ｂ）である。
【図２】ピッチ変換搬送装置のピッチ変換部の作用を示す平面図（ａ）および側面図（ｂ）である。
【図３】アタッチメントをスライドガイドに係合する構成を示す平面図（ａ）および正面図（ｂ）である。
【図４】板カムを移動させる移動機構の構成を示す側面図である。
【図５】ワークをピッチ変換して移載するめっき治具、整列ステージ、トレイの平面配置（ａ）と移載動作（ｂ）を示す説明図である。
【図６】ワークを移載する吸着ヘッドの例を示す正面図である。
【図７】ワークを移載する吸着ヘッドの例を示す正面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  めっき治具
１４  ワーク
２０  整列ステージ
３０  トレイ
３２  セット部
４０  吸着ヘッド
４５  支持部
４８  連結アーム
５０  吸着ヘッド
６０  板カム
６２  ガイド溝
７０  吸着パッド
７２  スライドアーム
７２ａ  ガイド軸
７４  ガイドプレート
７６  支持アーム
７８  アタッチメント
８０  スライドガイド
８２  スライドブロック
９０  駆動源
９２  駆動ロッド
１００  ピッチ変換部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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