(57)【要約】      （修正有）【課題】混色の発生を防止し、色再現性を向上可能なカラーフィルタの製造方法、固体撮像装置の製造方法、表示装置の製造方法、リンス液を提供する。【解決手段】露光された感光性着色膜を現像する現像処理工程と、前記現像処理工程によって現像された感光性着色膜にリンス液を被覆することによって、その感光性着色膜に対して表面処理を実施する表面処理工程とを含み、前記表面処理工程においては、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、前記リンス液として用いる、カラーフィルタの製造方法、固体撮像装置の製造方法、表示装置の製造方法、リンス液。【選択図】図２
2009294448.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光された感光性着色膜を現像する現像処理工程と、
前記現像処理工程によって現像された感光性着色膜に、リンス液を被覆することによって、前記感光性着色膜に対して表面処理を実施する表面処理工程と
を含み、
前記表面処理工程においては、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、前記リンス液として用いる、
カラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記リンス液は、前記ノニオン系界面活性剤として窒素元素を含むものが加えられている、
請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記リンス液は、ポリオキシエチレンアルキルアミン型の界面活性剤を、前記ノニオン系界面活性剤として、さらに含む、
請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記ノニオン系界面活性剤が前記水溶液にて０．００５体積％以上，０．０２体積％以下の濃度になるように添加されている、
請求項３に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
カラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造工程
を備え、
前記カラーフィルタ製造工程は、
露光された感光性着色膜を現像する現像処理工程と、
前記現像処理工程によって現像された感光性着色膜に、リンス液を被覆することによって、前記感光性着色膜に対して表面処理を実施する表面処理工程と
を含み、
前記表面処理工程においては、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、前記リンス液として用いる、
固体撮像装置の製造方法。
【請求項６】
カラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造工程
を備え、
前記カラーフィルタ製造工程は、
露光された感光性着色膜を現像する現像処理工程と、
前記現像処理工程によって現像された感光性着色膜に、リンス液を被覆することによって、前記感光性着色膜に対して表面処理を実施する表面処理工程と
を含み、
前記表面処理工程においては、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、前記リンス液として用いる、
表示装置の製造方法。
【請求項７】
現像された感光性着色膜について表面処理を実施する際に被覆させるリンス液であり、
当該リンス液は、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液である、
リンス液。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの製造方法，固体撮像装置の製造方法、表示装置の製造方法、リンス液に関する。特に、現像された感光性着色膜にリンス液を被覆することによって、その感光性着色膜に対して表面処理を実施し、その感光性着色膜を用いてカラーフィルタを形成する、カラーフィルタの製造方法、固体撮像装置の製造方法、表示装置の製造方法に関する。また、感光性着色膜に対して表面処理を実施する際に用いるリンス液に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体撮像装置、液晶表示装置などの装置に用いられているカラーフィルタは、感光性着色膜を成膜し、その感光性着色膜を露光した後に、その露光された感光性着色膜を現像することによって形成される。
【０００３】
具体的には、感光性着色膜の成膜工程においては、顔料や染料などの着色剤を含むフォトレジスト材料の塗布液を、たとえば、回転塗布法によって塗布した後、ベーキング処理を実施する。ここでは、フォトレジスト材料として、たとえば、化学増幅型レジストを用いる。
【０００４】
そして、露光工程では、カラーフィルタの設計パターンに対応するようにマスクパターンが形成されたフォトマスクを、たとえば、ｉ線で照明し、その照明されたフォトマスクにおいて生ずるマスクパターン像を、その成膜された感光性着色膜に投影して転写する。
【０００５】
そして、現像処理工程では、その露光によって設計パターンが潜像された感光性着色膜を、現像液を用いて現像することで、実像化する。たとえば、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌ  ａｍｍｏｎｉｕｍ  ｈｙｄｒｏｏｘｉｄｅ）などの塩基性有機化合物が溶解された有機アルカリ水溶液を、現像液として用いる（たとえば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２３８２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記においては、感光性着色膜の「耐溶剤性」が十分でない場合がある。そして、これに起因して、混色が発生し、色再現性が悪化する場合がある。
【０００８】
図６は、カラーフィルタにおいて混色が発生する様子を示す断面図である。
【０００９】
カラーフィルタを形成する場合においては、図６（ａ）に示すように、たとえば、緑色の着色剤を含む感光性着色膜ＰＲｇを基板Ｗの表面に成膜する。
【００１０】
つぎに、図６（ｂ）に示すように、上記のような露光工程および現像工程を経て、この感光性着色膜ＰＲｇを緑色フィルタ層ＣＦｇにパターン加工する。
【００１１】
つぎに、図６（ｃ）に示すように、たとえば、赤色の着色剤を含む感光性着色膜ＰＲｒを、基板Ｗの表面に成膜する。
【００１２】
その後、図６（ｄ）に示すように、上記のような露光工程および現像工程を経て、この感光性着色膜ＰＲｒを赤色フィルタ層ＣＦｒにパターン加工する。
【００１３】
上記において、図６（ｃ）に示すように、赤色の着色剤を含む感光性着色膜ＰＲｒを、基板Ｗの表面に成膜する際には、その成膜する際に用いた塗布液の溶剤によって、緑色フィルタ層ＣＦｇが溶解し、着色剤が感光性着色膜ＰＲｒに混ざる場合がある。
【００１４】
このため、緑色フィルタ層ＣＦｇと赤色フィルタ層ＣＦｒとの間において混色が発生する場合がある。これは、現像処理工程の実施によってパターン加工されたフィルタ層が、十分に硬化されていないために、「耐溶剤性」が十分でないことに起因すると考えられる。
【００１５】
図示を省略しているが、上記の後に、青色の着色剤を含む感光性着色膜を、基板Ｗの表面に成膜後、露光工程および現像工程を経て、青色フィルタ層にパターン加工する場合にも、同様に、混色が発生する。
【００１６】
したがって、本発明は、混色の発生を防止し、色再現性を向上可能なカラーフィルタの製造方法、固体撮像装置の製造方法、表示装置の製造方法、リンス液を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、露光された感光性着色膜を現像する現像処理工程と、前記現像処理工程によって現像された感光性着色膜に、リンス液を被覆することによって、前記感光性着色膜に対して表面処理を実施する表面処理工程とを含み、前記表面処理工程においては、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、前記リンス液として用いる。
【００１８】
本発明の固体撮像装置の製造方法は、カラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造工程を備え、前記カラーフィルタ製造工程は、露光された感光性着色膜を現像する現像処理工程と、前記現像処理工程によって現像された感光性着色膜に、リンス液を被覆することによって、前記感光性着色膜に対して表面処理を実施する表面処理工程とを含み、前記表面処理工程においては、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、前記リンス液として用いる。
【００１９】
本発明の表示装置の製造方法は、カラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造工程を備え、前記カラーフィルタ製造工程は、露光された感光性着色膜を現像する現像処理工程と、前記現像処理工程によって現像された感光性着色膜に、リンス液を被覆することによって、前記感光性着色膜に対して表面処理を実施する表面処理工程とを含み、前記表面処理工程においては、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、前記リンス液として用いる。
【００２０】
本発明のリンス液は、現像された感光性着色膜について表面処理を実施する際に被覆させるリンス液であり、当該リンス液は、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液である。
【００２１】
本発明においては、現像された感光性着色膜に、リンス液を被覆することによって、その感光性着色膜に対して表面処理を実施する。ここでは、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、リンス液として用いて、表面処理を実施する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、混色の発生を防止し、色再現性を向上可能なカラーフィルタの製造方法、固体撮像装置の製造方法、表示装置の製造方法、リンス液を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（装置）
図１は、本発明に係る実施形態において、現像処理装置１を示す図である。
【００２４】
図１に示すように、現像処理装置１は、いわゆるスピン現像装置であって、基板収容部１１と、基板支持部２１と、現像液供給部３１と、洗浄液供給部４１と、リンス液供給部５１とを有する。
【００２５】
各部について、順次、説明する。
【００２６】
基板収容部１１は、図１に示すように、内部に収容空間１１ａを備える容器であって、現像処理が実施される基板Ｗを、その収容空間１１ａに収容する。
【００２７】
本実施形態においては、基板収容部１１は、図１に示すように、基板Ｗを、その収容空間１１ａにて収容する。ここでは、撮像素子が一方の面に形成された基板Ｗであって、染料内添型の感光性着色膜が、その一方の面に成膜された後に、パターン露光がされた基板Ｗを、この収容空間１１ａにて収容する。たとえば、ＣＣＤなどの固体撮像素子においてカラーフィルタ層をパターン加工するために、染料内添型の感光性着色膜が形成された基板Ｗを収容する。
【００２８】
また、基板収容部１１においては、容器の底部に排液口１１ｂが設けられており、現像処理にて用いられた現像液や、洗浄処理にて用いられた洗浄液が、この排液口１１ｂから外部へ排出されるように構成されている。
【００２９】
基板支持部２１は、図１に示すように、スピンチャック２１１と、駆動モータ２１２とを含み、制御部（図示なし）から出力された制御信号に基づいて各部が動作する。
【００３０】
この基板支持部２１において、スピンチャック２１２は、基板収容部１１の収容空間１１ａにおいて、基板Ｗにて感光性着色膜が形成されていない他方の面を、支持面にて真空吸着することにより、基板Ｗを固定し支持する。具体的には、基板Ｗの面が、水平方向ｘｙに沿うように、支持する。
【００３１】
そして、駆動モータ２１２は、その基板Ｗを支持しているスピンチャック２１１の支持面に対して垂直な方向を、回転軸として、スピンチャック２１１を回転させる。つまり、鉛直方向ｚを回転軸にして、基板Ｗを支持しているスピンチャック２１１を回転させる。
【００３２】
現像液供給部３１は、図１に示すように、現像液タンク３１１と、現像液フィルター３１２と、現像液バルブ３１３と、現像液吐出ノズル３１４とを含む。
【００３３】
この現像液供給部３１においては、現像液タンク３１１と現像液フィルター３１２と現像液バルブ３１３と現像液吐出ノズル３１４とが、順次、配管によって連結されている。そして、現像液供給部３１は、現像液タンク３１１が保管している現像液ＤＦを、現像液フィルター３１２と現像液バルブ３１３と現像液吐出ノズル３１４とに、配管を介して順次供給する。
【００３４】
ここでは、現像液供給部３１は、制御部（図示なし）から出力された制御信号に基づいて、窒素ボンベ（図示なし）から窒素ガスを現像液タンク３１１の内部に供給し、現像液タンク３１１の内部を加圧する。これにより、現像液供給部３１は、現像液タンク３１１が内部に保管している現像液ＤＦを現像液フィルター３１２へ供給する。
【００３５】
そして、現像液供給部３１においては、その現像液ＤＦに含まれる異物を現像液フィルター３１２によって除去して、現像液バルブ３１３へ供給する。その後、その現像液フィルター３１２を介して供給された現像液ＤＦを、現像液バルブ３１３が流量を調整して現像液吐出ノズル３１４へ供給する。そして、基板支持部２１が支持している基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面に、その現像液ＤＦを現像液吐出ノズル３１４が吐出する。
【００３６】
この現像液ＤＦとしては、塩基性有機化合物を水に溶解させることにより生成されるアルカリ系水溶液を用いる。
【００３７】
具体的には、塩基性有機化合物としては、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド，トリエタノールアミン，ジエタノールアミン，ブチルアミン，フェニルヒドラジンなどが好適に用いられる。この含有量としては、塩基性有機化合物が、体積比で０．０１％以上，３．０％以下の濃度になるように調製することが好適である。
【００３８】
洗浄液供給部４１は、図１に示すように、洗浄液タンク４１１を含む。また、この他に、第１，第２，第３の洗浄液フィルター４１２ａ，４１２ｂ、４１２ｃと、第１，第２，第３の洗浄液バルブ４１３ａ，４１３ｂ，４１３ｃと、第１，第２，第３の洗浄液吐出ノズル４１４ａ，４１４ｂ，４１４ｃとを含む。
【００３９】
洗浄液供給部４１においては、各部が配管によって連結されている。具体的には、洗浄液タンク４１１と、第１，第２，第３の洗浄液フィルター４１２ａ，４１２ｂ，４１２ｃのそれぞれとが、配管によって連結されている。そして、第１，第２，第３の洗浄液フィルター４１２ａ，４１２ｂ，４１２ｃのそれぞれと、第１，第２，第３の洗浄液バルブ４１３ａ，４１３ｂ，４１３ｃのそれぞれとが、順次、配管によって連結されている。そして、第１，第２，第３の洗浄液バルブ４１３ａ，４１３ｂ，４１３ｃのそれぞれと、第１，第２，第３の洗浄液吐出ノズル４１４ａ，４１４ｂ，４１４ｃのそれぞれとが、順次、配管によって連結されている。
【００４０】
この洗浄液供給部４１は、洗浄液タンク４１１が保管している洗浄液ＣＬを、各部に供給する。
【００４１】
ここでは、制御部（図示なし）から出力される制御信号に基づいて、窒素ボンベ（図示なし）から窒素ガスを洗浄液タンク４１１の内部に供給し、洗浄液タンク４１１の内部を加圧する。これにより、洗浄液タンク４１１が内部に保管している洗浄液ＣＬを、第１，第２，第３の洗浄液フィルター４１２ａ，４１２ｂ，４１２ｃのそれぞれへ供給する。
【００４２】
そして、その洗浄液ＣＬに含まれる異物を第１，第２，第３の洗浄液フィルター４１２ａ，４１２ｂ，４１２ｃのそれぞれが除去し、第１，第２，第３の洗浄液バルブ４１３ａ，４１３ｂ，４１３ｃのそれぞれへ供給する。
その後、その第１，第２，第３の洗浄液フィルター４１２ａ，４１２ｂ、４１２ｃから供給された洗浄液ＣＬを、第１，第２，第３の洗浄液バルブ４１３ａ，４１３ｂ，４１３ｃのそれぞれが流量を調整する。そして、第１，第２，第３の洗浄液吐出ノズル４１４ａ，４１４ｂ，４１４ｃのそれぞれへ供給する。
【００４３】
そして、基板支持部２１が支持している基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面に、その供給された洗浄液ＣＬを、第１と第２の洗浄液吐出ノズル４１４ａ，４１４ｂのそれぞれが吐出する。
【００４４】
また、基板支持部２１が支持している基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されていない反対側の面に、その供給された洗浄液ＣＬを、第３の洗浄液吐出ノズル４１４ｃが吐出する。
【００４５】
本実施形態においては、この洗浄液ＣＬとして、純水を吐出する。
【００４６】
リンス液供給部５１は、リンス液タンク５１１と、リンス液フィルター５１２と、リンス液バルブ５１３と、リンス液吐出ノズル５１４とを含む。
【００４７】
このリンス液供給部５１においては、リンス液タンク５１１とリンス液フィルター５１２とリンス液バルブ５１３とリンス液吐出ノズル５１４とが、順次、配管によって連結されている。そして、リンス液供給部５１は、リンス液タンク５１１が保管しているリンス液ＲＬを、リンス液フィルター５１２とリンス液バルブ５１３とリンス液吐出ノズル５１４とに、配管を介して順次供給する。
【００４８】
ここでは、リンス液供給部５１は、制御部（図示なし）から出力された制御信号に基づいて、窒素ボンベ（図示なし）から窒素ガスをリンス液タンク５１１の内部に供給し、リンス液タンク５１１の内部を加圧する。これにより、リンス液供給部５１は、リンス液タンク５１１が内部に保管しているリンス液ＲＬをリンス液フィルター５１２へ供給する。
【００４９】
そして、リンス液供給部５１においては、そのリンス液ＲＬに含まれる異物をリンス液フィルター５１２によって除去して、リンス液バルブ５１３へ供給する。その後、そのリンス液フィルター５１２を介して供給されたリンス液ＲＬを、リンス液バルブ５１３が流量を調整してリンス液吐出ノズル５１４へ供給する。そして、基板支持部２１が支持している基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面に、そのリンス液ＲＬをリンス液吐出ノズル５１４が吐出する。
【００５０】
このリンス液ＲＬとしては、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を用いる。
【００５１】
このノニオン系界面活性剤としては、たとえば、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマー、脂肪酸ジエタノールアミド、ポリオキシエチレンアルキルアミンエーテルなどが好適であって、それぞれを単一、もしくは、混合して利用することができる。
【００５２】
ノニオン系界面活性剤を用いることによって、感光性着色膜の硬化を促進することができるため、感光性着色膜の「耐溶剤性」に関して、好適な結果を得ることができる。このため、これに起因して、複数色の感光性着色膜によってカラーフィルタを形成する際に、その複数色の感光性着色膜において混色が発生することを抑制することができる。
【００５３】
詳細については後述するが、窒素元素を含有するノニオン系界面活性剤を用いることが好適である。
【００５４】
特に、ポリオキシエチレンアルキルアミン型のノニオン系界面活性剤を、ノニオン系界面活性剤として、さらに添加することにより、「耐溶剤性」に関して、より好適な結果を得ることができる。これは、ノニオン系界面活性剤が窒素元素を含有しているので、感光性着色膜の表面において酸素を遮断可能であるため、感光性着色膜の硬化を促進させるためであると考えられる。
【００５５】
ここでは、ポリオキシエチレンアルキルアミン型のノニオン系界面活性剤を、水溶液にて、０．００５体積％以上，０．０２体積％以下の濃度になるように添加することが好ましい。
【００５６】
この濃度が、上記の範囲を下回る場合には、耐溶剤性向上が十分でないなどの不具合が生ずる場合がある。
【００５７】
一方で、この濃度が、上記の範囲を超える場合には、耐溶剤性には有効である一方で、感光性着色膜に対する洗浄性が過多になり、膜減りやパターン剥がれなどの不具合が生ずる場合がある。
【００５８】
（動作）
以下より、上記の現像処理装置１を用いて、カラーフィルタを製造する方法について説明する。
【００５９】
図２は、本発明にかかる実施形態において、カラーフィルタを製造する際の動作を示すフロー図である。
【００６０】
カラーフィルタを製造する際においては、図２に示す各工程の実施に先立って、感光性着色膜を成膜する。
【００６１】
ここでは、着色剤として染料を含むフォトレジスト材料（感光性樹脂材料）の塗布液を、たとえば、回転塗布法によって基板Ｗの面に塗布する。
【００６２】
フォトレジスト材料としては、アルカリ可溶性樹脂を使用することができる。特に、フェノール性水酸基を有する樹脂を用いることが、好ましい。具体的には、ノボラック樹脂、ポリビニル樹脂などを使用することができる。ノボラック樹脂としては、たとえば、ｐ−クレゾールノボラック樹脂、ｍ−クレゾールノボラック樹脂、ｐ−クレゾールとｍ−クレゾールとのノボラック樹脂などが挙げられる。また、ポリビニル樹脂としては、たとえば、ｐ−ビニルフェノール（ｐ−ヒドロキシスチレンともいう）などのビニルフェノール重合体が挙げられる。
【００６３】
また、染料としては、たとえば、アゾ系，フタロシアニン系，インジゴ系，アントラキノン系などの有機染料や、その他、無機染料を使用することができる。
【００６４】
そして、この染料を含むフォトレジスト材料の塗布液が塗布された基板Ｗについてベーキング処理を実施する。
【００６５】
たとえば、ホットプレートを用いて、所定の処理温度，処理時間の下で、ベーキング処理を実施する。
【００６６】
その後、その成膜した感光性着色膜を露光する。
【００６７】
ここでは、たとえば、ステッパーを用いて、感光性着色膜の露光を実施する。
【００６８】
具体的には、カラーフィルタの設計パターンに対応するようにマスクパターンが形成されたフォトマスクを、たとえば、ｉ線で照明し、その照明されたフォトマスクにおいて生ずるマスクパターン像を、その成膜された感光性着色膜に投影して転写する。
【００６９】
そして、このように感光性着色膜をパターン露光した後に、図２に示すように、現像処理装置１を用いて現像処理を実施する。
【００７０】
まず、図２に示すように、第１工程（Ｓ１１）において、基板Ｗを支持する。
【００７１】
ここでは、上記のように露光された感光性着色膜が成膜されている基板Ｗを、たとえば、ロボットアーム（図示無し）が基板収容部１１の収容空間１１ａに移動して収容する。
【００７２】
そして、その基板Ｗにて感光性着色膜が形成されていない他方の面を、基板支持部２１のスピンチャック２１２が支持面にて真空吸着することにより、基板Ｗを固定し支持する。
【００７３】
つぎに、図２に示すように、第２工程（Ｓ２１）において、第１の現像処理を実施する。
【００７４】
ここでは、現像液供給部３１において、現像液タンク３１１が内部に保管している現像液ＤＦを、現像液フィルター３１２と現像液バルブ３１３とを介して現像液吐出ノズル３１４へ供給する。
【００７５】
そして、現像液吐出ノズル３１４が、その供給された現像液ＤＦを、基板支持部２１のスピンチャック２１２が支持している基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面に吐出する。
【００７６】
本実施形態においては、上述したように、アルカリ系水溶液を現像液ＤＦとして用いる。
【００７７】
そして、この時、その基板Ｗを支持しているスピンチャック２１１の支持面に対して垂直な方向を回転軸として、基板支持部２１の駆動モータ２１２がスピンチャック２１１を回転させる。
【００７８】
ここでは、現像液ＤＦを吐出させたままの状態にて、まず、たとえば、高い回転数の条件で基板Ｗを回転させた後、低い回転数の条件に変更して基板Ｗを回転させる。このようにすることにより、基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面の全体に、現像液ＤＦを延在させて、回転塗布する。
【００７９】
つぎに、図２に示すように、第３工程（Ｓ３１）において、第２の現像処理を実施する。
【００８０】
ここでは、上記の第１の現像処理と同様にして、第２の現像処理を実施する。
【００８１】
つぎに、図２に示すように、第４工程（Ｓ４１）において、第１の洗浄処理を実施する。
【００８２】
ここでは、基板支持部２１が、所定の回転数で基板Ｗを回転させている状態において、洗浄液供給部４１が、基板支持部２１によって支持されている基板Ｗに洗浄液ＣＬを供給することにより、基板Ｗを洗浄する。
【００８３】
具体的には、基板支持部２１が支持している基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている表面に、第２の洗浄液吐出ノズル４１４ｂから洗浄液ＣＬを吐出する。たとえば、純水を洗浄液ＣＬとして吐出することにより、基板Ｗの表面を洗浄する。
【００８４】
つぎに、図２に示すように、第５工程（Ｓ５１）において、表面処理を実施する。
【００８５】
ここでは、リンス液供給部５１において、リンス液タンク５１１が内部に保管しているリンス液ＲＬを、リンス液フィルター５１２とリンス液バルブ５１３とを介してリンス液吐出ノズル５１４へ供給する。
【００８６】
そして、リンス液吐出ノズル５１４が、その供給されたリンス液ＲＬを、基板支持部２１のスピンチャック２１２が支持している基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面に吐出する。
【００８７】
本実施形態においては、上述したように、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、このリンス液ＲＦとして用いる。
【００８８】
そして、この時、その基板Ｗを支持しているスピンチャック２１１の支持面に対して垂直な方向を回転軸として、基板支持部２１の駆動モータ２１２がスピンチャック２１１を回転させる。
【００８９】
ここでは、リンス液ＲＬを吐出させたままの状態にて、まず、たとえば、高い回転数の条件で基板Ｗを回転させた後、低い回転数の条件に変更して基板Ｗを回転させる。このようにすることにより、基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面の全体に、リンス液ＲＬを延在させる。
【００９０】
そして、一定時間、静止状態とする。
【００９１】
つぎに、図２に示すように、第６工程（Ｓ６１）において、第２の洗浄処理を実施する。
【００９２】
ここでは、基板支持部２１が、所定の回転数で基板Ｗを回転させている状態において、洗浄液供給部４１が、基板支持部２１によって支持されている基板Ｗに洗浄液ＣＬを供給することにより、基板Ｗを洗浄する。
【００９３】
具体的には、基板支持部２１が支持している基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている表面に、第１と第２の洗浄液吐出ノズル４１４ａ，４１４ｂのそれぞれが洗浄液ＣＬを吐出する。そして、これと共に、基板支持部２１が支持している基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されていない裏面に、その供給された洗浄液ＣＬを、第３の洗浄液吐出ノズル４１４ｃが吐出する。たとえば、純水を洗浄液ＣＬとして吐出することにより、基板Ｗの表面と裏面との両面を洗浄する。
【００９４】
つぎに、図２に示すように、第７工程（Ｓ７１）においては、スピンドライ処理を実施する。
【００９５】
ここでは、基板Ｗを支持しているスピンチャック２１１の支持面に対して垂直な方向を回転軸として、基板支持部２１の駆動モータ２１２が所定の回転条件で、スピンチャック２１１を回転させる。これにより、基板Ｗの表面に付着している洗浄液ＣＬを、遠心力によって除去する。
【００９６】
上記のように各処理を実施することによって、感光性着色膜をパターン加工して、たとえば、３原色のカラーフィルタ層のうち、一のカラーフィルタ層を形成する。
【００９７】
図３は、本発明にかかる実施形態において形成されるカラーフィルタの要部を示す図である。
【００９８】
図３に示すように、たとえば、緑色フィルタ層ＣＦｇを基板Ｗの表面に形成する。ここでは、図３に示すように、断面形状がテーパー状になるように、緑色フィルタ層ＣＦｇがパターン加工されて形成される。また、ここでは、平面形状が矩形形状になるように、緑色フィルタ層ＣＦｇが形成される。
【００９９】
そして、上記と同様な処理を繰返し実施して、３原色のカラーフィルタのうち、他の色のカラーフィルタを、順次、形成する。
【０１００】
たとえば、緑色フィルタ層を被覆するように、赤色の着色剤を含む感光性着色膜（図示なし）を、基板の表面の全面に成膜する。その後、その感光性着色膜を、上記のようにしてパターン加工し、赤色フィルタ層を形成する。
【０１０１】
その後、たとえば、緑色フィルタ層および赤色フィルタ層を被覆するように、青色の着色剤を含む感光性着色膜（図示なし）を、基板の表面の全面に成膜する。そして、その後、その感光性着色膜を、上記のようにしてパターン加工し、青色フィルタ層を形成する。
【０１０２】
このようにして、赤、青、緑の３原色のカラーフィルタを形成する。たとえば、赤、青、緑の３原色のカラーフィルタがベイヤー配列になるように形成する。
【０１０３】
（実施例）
以下より、本発明に係る実施例について説明する。
【０１０４】
図４は、本発明にかかる実施例を示す図である。
【０１０５】
図４に示すように、実施例１〜９、比較例１に対応するように、現像処理を実施し、カラーフィルタを製造した。そして、各特性について測定した。
【０１０６】
（実施例１）
まず、着色剤として染料を含むフォトレジスト材料の塗布液を下記の組成比で調合後、その調合した塗布液を回転塗布法によって基板の表面に塗布した。
【０１０７】
ここでは、下記のように、赤フィルター用塗布液を調合後に、その塗布液を基板に塗布した。
【０１０８】
［赤フィルター用塗布液］
・フォトレジスト樹脂：ポリ−ｐ−ビニルフェノール（ｐ−ヒドロキシスチレン）
（商品名：マルカリンカーＭ（丸善石油化学（株）製，重量平均分子量Ｍｗ＝１６００〜２４２００）                                                        １８重量部
・熱硬化剤：（材料名：ヘキサメトキシメチルメラミン                  ３重量部
・染料：マゼンタ染料，イエロー染料                                  ９重量部
・溶剤：乳酸エチル                                                  １００重量部
【０１０９】
つぎに、ベーキング処理を実施した。
【０１１０】
ここでは、ホットプレートを用いて、９０℃の処理温度，６０秒間の処理時間の下、各塗布液が塗布された基板Ｗについて、ベーキング処理を実施し、１．０μｍの厚さの感光性着色膜を成膜させた。
【０１１１】
つぎに、ステッパーを用いて、その成膜した感光性着色膜をパターン露光した。
【０１１２】
ここでは、以下に示す露光条件にて感光性着色膜をパターン露光した。
【０１１３】
［露光条件］
・露光機：Ｎｉｋｏｎ  ＮＳＲ  ｉ９Ｃ（ニコン製）
・露光波長：３６５ｎｍ（ｉ線）
・露光量：３０００ｍｓｅｃ
【０１１４】
つぎに、パターン露光した感光性着色膜を、上述した現像処理装置１を用いて現像処理した。
【０１１５】
まず、上記の第１工程（Ｓ１１）に示したように、基板Ｗを支持した。
【０１１６】
そして、上記の第２工程（Ｓ２１）に示したように、第１の現像処理を実施した。
【０１１７】
ここでは、アルカリ水溶液にノニオン系界面活性剤が添加された現像液ＤＦを、下記の組成比で調合後、その調合した現像液を、基板Ｗの面に供給することによって、この第１の現像処理を実施した。
【０１１８】
第１の現像処理においては、現像液ＤＦを吐出させたままの状態にて、まず、７００ｒｐｍの回転数，３ｓｅｃの回転時間の条件で基板Ｗを回転させた後、３０ｒｐｍの回転数，３ｓｅｃの回転時間の条件に変更して基板Ｗを回転させた。このようにすることにより、基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面の全体に、現像液ＤＦを延在させて回転塗布した。
【０１１９】
［現像液］
・塩基性有機化合物：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド  ３．０体積％
・水                                                          ９７．０体積％
・調合温度  ２５℃
【０１２０】
そして、上記の第３工程（Ｓ３１）に示したように、第２の現像処理を実施した。
【０１２１】
ここでは、上記の第１の現像処理と同様にして、この第２の現像処理を実施した。
【０１２２】
すなわち、現像液ＤＦを吐出させたままの状態にて、まず、７００ｒｐｍの回転数，３ｓｅｃの回転時間の条件で基板Ｗを回転させた後、３０ｒｐｍの回転数，３ｓｅｃの回転時間の条件に変更して基板Ｗを回転させた。このようにすることにより、基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面の全体に、現像液ＤＦを延在させて回転塗布した。
【０１２３】
そして、上記の第４工程（Ｓ４１）に示したように、第１の洗浄処理を実施した。
【０１２４】
ここでは、５００ｒｐｍの回転数で基板Ｗを回転させている状態において、２０秒間、純水を洗浄液ＣＬとして基板Ｗに供給することにより、基板Ｗを洗浄した。
【０１２５】
そして、上記の第５工程（Ｓ５１）に示したように、表面処理を実施した。
【０１２６】
ここでは、ノニオン系界面活性剤を含むリンス液ＲＬを、下記の組成比で調合後、その調合したリンス液ＲＬを、基板Ｗの面に供給することによって、この表面処理を実施した。
【０１２７】
この表面処理においては、リンス液ＲＬを吐出させたままの状態にて、まず、７００ｒｐｍの回転数，３ｓｅｃの回転時間の条件で基板Ｗを回転させた後、３０ｒｐｍの回転数，３ｓｅｃの回転時間の条件に変更して基板Ｗを回転させた。このようにすることにより、基板Ｗにおいて感光性着色膜が形成されている面の全体に、リンス液ＲＬを延在させて回転塗布した。
【０１２８】
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマー（商品名エパン（登録商標）４１０，第一工業製薬製）
（特性値：疎水基分子量１２００／親水基含有率１０％）
０．３２体積％
・水                                                        ９９．６８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１２９】
そして、上記の第６工程（Ｓ６１）に示したように、第２の洗浄処理を実施した。
【０１３０】
ここでは、１２００ｒｐｍの回転数で基板Ｗを回転させている状態において、１５秒間、純水を洗浄液ＣＬとして基板Ｗに供給することにより、基板Ｗを洗浄した。
【０１３１】
そして、上記の第７工程（Ｓ７１）に示したように、スピンドライ処理を実施した。
【０１３２】
ここでは、たとえば、４０００ｒｐｍの回転数，１２ｓｅｃの回転時間の条件で、基板Ｗを回転させることにより、基板Ｗの表面に付着している洗浄液ＣＬを、遠心力によって除去した。
【０１３３】
（実施例２）
本実施例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１と同様にして、現像処理を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマー（商品名エパン（登録商標）４２０，第一工業製薬製）
（特性値：疎水基分子量１２００／親水基含有率２０％）
０．３２体積％
・水                                                        ９９．６８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１３４】
（実施例３）
本実施例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１と同様にして、現像処理を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマー（商品名エパン（登録商標）４５０，第一工業製薬製）
（特性値：疎水基分子量１２００／親水基含有率５０％）
０．３２体積％
・水                                                        ９９．６８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１３５】
（実施例４）
本実施例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１と同様にして、現像処理を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマー（商品名エパン（登録商標）４８５，第一工業製薬製）
（特性値：疎水基分子量１２００／親水基含有率８５％）
０．３２体積％
・水                                                        ９９．６８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１３６】
（実施例５）
本実施例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１と同様にして、現像処理を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマー（商品名エパン（登録商標）６１０，第一工業製薬製）
（特性値：疎水基分子量１７５０／親水基含有率  １０％）
０．３２体積％
・水                                                        ９９．６８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１３７】
（実施例６）
本実施例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１と同様にして、現像処理を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマー（商品名エパン（登録商標）６８０，第一工業製薬製）
（特性値：疎水基分子量１７５０／親水基含有率  ８０％）
０．３２体積％
・水                                                        ９９．６８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１３８】
（実施例７）
本実施例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１と同様にして、現像処理を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：脂肪酸ジエタノールアミド（商品名ダイヤナール（登録商標）ＣＤＥ，第一工業製薬製）
０．３２体積％
・水                                                        ９９．６８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１３９】
（実施例８）
本実施例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１と同様にして、現像処理を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：脂肪酸ジエタノールアミド（商品名ダイヤナール（登録商標）３００，第一工業製薬製）
０．３２体積％
・水                                                        ９９．６８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１４０】
（実施例９）
本実施例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１と同様にして、現像処理を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンアルキルアミンエーテル
（商品名アミラジン（登録商標），第一工業製薬製）
０．３２体積％
・水                                                        ９９．６８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１４１】
（比較例１）
本比較例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）を実施せずに、カラーフィルタの形成を実施した。この点を除き、実施例１と同様である。
【０１４２】
上記の各実施例、比較例について、図４に示すように、「パターン形状」と、「残渣」と「耐溶剤性」のそれぞれの結果を測定した。
【０１４３】
ここでは、「パターン形状」と、「残渣」とについては、現像処理することによって形成した各カラーフィルタ層をＳＥＭ（１０×１０３倍）にて写真撮影し、官能評価によって、各特性を評価した。
【０１４４】
「パターン形状」については、以下に示す基準に基づいて、官能評価を実施した。
【０１４５】
◎：矩形性に特に優れること（パターン側壁がほぼ垂直に保たれていること）
○：矩形性に優れること（パターン側壁が垂直から順テーパー形状の間に保たれていること）
△：矩形性をほぼ保持していること（若干矩形性に劣るが許容範囲）
×：矩形性を保持していないこと（パターン残膜が低いこと、または、もしくはパターン剥離があること）
【０１４６】
また、「残渣」については、以下に示す基準に基づいて、官能評価した。
【０１４７】
○：残渣が全く無いこと
△：残渣がほぼ無いこと（パターン端部に僅かながら残渣が確認されること）
×：残渣が多数存在すること（パターン端部以外にも残渣が確認されること）
【０１４８】
一方で、「耐溶剤性」については、以下のような方法にて測定した。つまり、フィルターを形成するための塗布液を基板上に塗布後、ベーキング処理を施すことで、感光性着色膜を形成した。そして、現像処理の実施後、その基板を溶剤に浸漬させることによって、感光性着色膜を溶解させた。ここでは、フィルターを形成するための塗布液において溶剤として含まれる「乳酸エチル」に浸漬した。そして、その溶解量を、感光性着色膜の残膜測定（膜厚測定）を実施することによって確認した。これにより、溶剤に対する堅牢性を判断することができる。つまり、残膜率が高いほど、溶剤に対する耐性が高く、膜の堅牢性が高いことが判る。
【０１４９】
この図４に示すように、実施例１から９においては、ノニオン系界面活性剤を含むリンス液を使用して、感光性着色膜について表面処理を実施している。これに対して、比較例１においては、この表面処理を実施していない。
【０１５０】
このため、実施例１から９は、図４に示すように、比較例１に対して、「耐溶剤性」について高い数値を示しており、「耐溶剤性」の結果が良好である。
【０１５１】
一般的に高分子の重合反応（硬化）の阻害要因として、酸素の存在が挙げられている。しかし、本実施例のように、ノニオン系界面活性剤を含むリンス液によって、感光性着色膜について表面処理を実施し、感光性着色膜の表面をノニオン系界面活性剤で被覆することで、感光性着色膜への酸素を遮断することができたと考えられる。このため、上記のように、「耐溶剤性」について、良好な結果が得られると考えられる。
【０１５２】
また、上記の実施例において、実施例９は、ポリオキシエチレンアルキルアミンエーテルを、ノニオン系界面活性剤として含むリンス液を使用して、表面処理を実施している。
【０１５３】
この実施例９においては、他の実施例１〜８と比較して、「耐溶剤性」について高い数値を示しており、「耐溶剤性」の結果が良好である。これは、ポリオキシエチレンアルキルアミンエーテルが、窒素元素を含むノニオン系界面活性剤であるために、感光性着色膜への酸素を遮断する機能が効果的に発現することに起因すると考えられる。
【０１５４】
また、実施例９においては、感光性着色膜をパターン加工して形成したカラーフィルタ層の「パターン形状」が好適であると共に、その周囲の「残渣」の結果が好適である。
【０１５５】
なお、ノニオン系以外の界面活性剤を使用して、上記の表面処理を実施した場合には、ノニオン系界面活性剤の場合と比較して、多量に界面活性剤を含ませなければ、「耐溶剤性」を向上させることができない。そして、その場合には、好適な「パターン形状」を実現することが困難である。
【０１５６】
図５は、本発明にかかる実施例を示す図である。
【０１５７】
図５に示すように、実施例１０〜１２、比較例２に対応するように、カラーフィルタを製造した。そして、各特性について測定した。
【０１５８】
（実施例１０）
まず、赤フィルター用塗布液を上記のように調合すると共に、下記のように、緑フィルター用塗布液、青フィルター用塗布液を調合した。その後、各塗布液を用いて、カラーフィルタを製造するために、上記の実施例と同様にして、各処理工程を実施した。
【０１５９】
［緑フィルター用塗布液］
・フォトレジスト樹脂：ポリ−ｐ−ビニルフェノール（ｐ−ヒドロキシスチレン）
（商品名：マルカリンカーＭ（丸善石油化学（株）製，重量平均分子量Ｍｗ＝１６００〜２４２００）                                                    １９．５重量部
・熱硬化剤：（材料名：ヘキサメトキシメチルメラミン）                  ３重量部
・染料：シアン染料，イエロー染料                                  ７．５重量部
・溶剤：乳酸エチル                                                １００重量部
【０１６０】
［青フィルター用塗布液］
・フォトレジスト樹脂：ポリ−ｐ−ビニルフェノール（ｐ−ヒドロキシスチレン）
（商品名：マルカリンカーＭ（丸善石油化学（株）製，重量平均分子量Ｍｗ＝１６００〜２４２００）                                                      ２１重量部
・熱硬化剤：（材料名：ヘキサメトキシメチルメラミン                  ３重量部
・染料：シアン染料                                                １６重量部
・溶剤：乳酸エチル                                              １００重量部
【０１６１】
本実施例においては、実施例１と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１と同様にして、各処理工程を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンアルキルアミンエーテル
（商品名アミラジン（登録商標），第一工業製薬製）
０．００５体積％
・水                                                        ９９．９９５体積％
・調合温度  ２５℃
【０１６２】
そして、本実施例においては、実施例１と同様に、赤フィルターについて、「パターン形状」と、「残渣」と「耐溶剤性」のそれぞれの結果を測定した。
【０１６３】
また、この他に、青フィルターおよび緑フィルターのそれぞれの場合について、「パターン形状」と、「残渣」と「耐溶剤性」のそれぞれの結果を測定した。
【０１６４】
（実施例１１）
本実施例においては、実施例１０と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１０と同様にして、各処理工程を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンアルキルアミンエーテル
（商品名アミラジン（登録商標），第一工業製薬製）
０．０２体積％
・水                                                        ９９．９８体積％
・調合温度  ２５℃
【０１６５】
（実施例１２）
本実施例においては、実施例１０と異なり、第５工程（Ｓ５１）の実施において、下記の組成のリンス液ＲＬを用いて、表面処理を実施した。この点を除き、実施例１０と同様にして、各処理工程を実施した。
［リンス液］
・ノニオン系界面活性剤：ポリオキシエチレンアルキルアミンエーテル
（商品名アミラジン（登録商標），第一工業製薬製）
０．０８体積％
・水                                                        ９９．９２体積％
・調合温度  ２５℃
【０１６６】
（比較例２）
本比較例においては、実施例１０と異なり、第５工程（Ｓ５１）を実施せずに、カラーフィルタの形成を実施した。この点を除き、実施例１０と同様である。
【０１６７】
図５に示すように、実施例１０，１１，１２は、比較例２に対して、「耐溶剤性」について高い数値を示しており、「耐溶剤性」の結果が良好である。そして、実施例１０，１１は、実施例１２に対して、「パターン形状」の結果が、特に好適である。
【０１６８】
このため、この結果から判るように、ポリオキシエチレンアルキルアミン型のノニオン系界面活性剤を、水溶液にて、０．００５体積％以上，０．０２体積％以下の濃度になるように添加することが好ましい。
【０１６９】
以上のように、本実施形態は、現像された感光性着色膜にリンス液を被覆することによって、その感光性着色膜に対して表面処理を実施する際に、ノニオン系界面活性剤が加えられた水溶液を、このリンス液として用いている。このため、本実施形態は、感光性着色膜の表面をノニオン系界面活性剤で被覆することで、感光性着色膜への酸素を遮断することができると考えられるので、「耐溶剤性」について、良好な結果が得られる。したがって、本実施形態は、混色の発生を防止し、色再現性を向上可能なカラーフィルタを製造することができる。
【０１７０】
また、本実施形態においては、リンス液ＲＬは、ノニオン系界面活性剤として窒素元素を含むものが加えられている。ここでは、ポリオキシエチレンアルキルアミン型の界面活性剤を、このノニオン系界面活性剤として含んでいる。このため、本実施形態は、「耐溶剤性」について、より良好な結果が得られる。
【０１７１】
また、本実施形態においては、ノニオン系界面活性剤が水溶液にて０．００５体積％以上，０．０２体積％以下の濃度になるように添加されたリンス液を用いることで、感光性着色膜の「パターン形状」について、良好な結果を得ることができる。
【０１７２】
なお、本発明の実施に際しては、上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変形形態を採用することができる。
【０１７３】
たとえば、上記の実施形態においては、二回の現像処理を実施する場合について説明したが、これに限定されない。たとえば、一回の現像処理を実施する場合に適用してもよい。さらに、三回以上の現像処理を実施する場合について適用しても良い。
【０１７４】
また、上記の実施形態においては、カラーフィルタを構成する感光性樹脂として、ポリ−ｐ−ビニルフェノールを使用する場合の結果を、実施例として示したが、これに限定されない。ノボラック樹脂、および、他のポリビニル樹脂など、他の感光性樹脂においても、同様な効果を得ることができる。たとえば、商品名ＨＰＲ２０４ＥＳＺ−２３ＣＰ（富士フィルム社製）を用いた場合においても、同様な結果が得られている。
【０１７５】
また、上記の実施形態においては、着色剤として染料を用いる場合を、実施例として示したが、これに限定されない。着色剤として、顔料を用いる場合においても、同様な効果を得ることができる。
【０１７６】
また、上記の実施形態においては、基板に固体撮像素子を形成後、その固体撮像素子へ入射する光を着色するカラーフィルタを上記のように形成することによって、固体撮像装置を製造する場合について例示したが、これに限定されない。たとえば、液晶パネルのカラーフィルタ基板を製造する際に適用して液晶表示装置を製造する場合など、表示装置の製造においても、好適である。そして、上記のようにして製造した固体撮像装置、表示装置を、各種の電子機器において用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１７７】
【図１】図１は、本発明に係る実施形態において、現像処理装置１を示す図である。
【図２】図２は、本発明にかかる実施形態において、カラーフィルタを製造する際の動作を示すフロー図である。
【図３】図３は、本発明にかかる実施形態において形成されるカラーフィルタの要部を示す図である。
【図４】図４は、本発明にかかる実施例を示す図である。
【図５】図５は、本発明にかかる実施例を示す図である。
【図６】図６は、カラーフィルタにおいて混色が発生する様子を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１７８】
１：現像処理装置，１１：基板収容部，２１：基板支持部，３１：現像液供給部，４１：洗浄液供給部，５１：リンス液供給部５１，Ｗ：基板，ＤＦ：現像液，ＣＬ：洗浄液，ＲＬ：リンス液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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