(57)【要約】【課題】電気接触子の厚さが薄い場合であっても、簡易な組立作業で、電気接触子を精度良く配置することが可能な検査治具を提供すること。【解決手段】検査対象物の電気的特性を検査するための検査冶具は、導電性およびバネ性を有する薄板で形成されるとともに検査対象物に接触する対象接触部２ａを先端側に有する電気接触子２と、電気接触子２の後端部２ｂが接触する電極３と、電気接触子２が遊びのある状態で配置される配置孔４ａが複数形成される配置部材４とを備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の電気的特性を検査するための検査冶具において、
導電性およびバネ性を有する薄板で形成されるとともに上記検査対象物に接触する対象接触部を先端側に有する電気接触子と、上記電気接触子の後端部が接触する電極と、上記電気接触子が遊びのある状態で配置される配置孔が複数形成される配置部材とを備えることを特徴とする検査冶具。
【請求項２】
前記電気接触子は、前記対象接触部が形成される先端側幅狭部と、上記先端側幅狭部よりも幅の広い先端側幅広部とを先端側に備え、
前記配置孔の端部は、上記先端側幅狭部よりも大きく、かつ、上記先端側幅広部よりも小さく形成され、上記先端側幅狭部が配置される幅狭部配置孔となっていることを特徴とする請求項１記載の検査冶具。
【請求項３】
前記配置孔は、略丸孔状に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の検査冶具。
【請求項４】
前記配置孔の内周面には、径方向外側に向かって窪む凹部が形成され、
前記電気接触子は、上記凹部に係合する係合部を備えることを特徴とする請求項３記載の検査冶具。
【請求項５】
前記電気接触子の先端側には、先端に向かって前記電気接触子の厚さが薄くなるように傾斜する傾斜部が形成されていることを特徴とする請求項１から４いずれかに記載の検査冶具。
【請求項６】
１個の前記配置孔には、２枚の前記電気接触子が配置されていることを特徴とする請求項１から５いずれかに記載の検査冶具。
【請求項７】
前記電気接触子は、前記電極に接触する電極接触部が形成される後端側幅狭部と、上記後端側幅狭部よりも幅の広い後端側幅広部とを後端側に備え、
上記後端側幅狭部は、前記電気接触子の幅方向における上記後端側幅広部の中心位置からずれた位置に配置されていることを特徴とする請求項６記載の検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板や電子部品等の電気的特性を検査するための検査冶具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、回路基板の配線パターンあるいはＩＣ等の集積回路の短絡や断線等の異常を発見するための電気的検査には、検査対象物に接触する電気接触子を備える検査冶具が使用されている。この種の検査冶具では、一般的に、線状に形成された接触ピンが電気接触子として使用されている。また、電気接触子として、板バネを用いた検査冶具も知られている（たとえば、特許文献１および２参照）。
【０００３】
特許文献１および２に記載された電気接触子は、２枚の板体と板体間を繋ぐ帯状物とから構成されている。この電気接触子では、一方の板体の端部が検査対象物に接触し、この一方の板体が検査対象物に接触すると、帯状物が弾性変形する。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１７０３６０号公報
【特許文献２】特開２００４−１４４６６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、検査対象物となる回路基板の配線パターンの複雑化や集積回路の高集積化等に伴って、電気接触子が接触する検査対象物側の検査用端子の配置ピッチが狭くなってきている。ここで、板バネを電気接触子として用いる検査冶具では、電気接触子である板バネの厚さを薄くすることで、板バネの厚さ方向での電気接触子の配置ピッチを狭くすることが可能になる。そのため、この検査冶具を用いれば、検査対象物の検査用端子の配置ピッチが狭くなっても、検査対象物の適切な電気的検査を行うことが可能になる。
【０００６】
しかしながら、検査用端子の配置ピッチが狭い場合には、電気接触子を精度良く配置しないと、検査対象物の精度の高い電気的検査が困難になる。また、電気接触子の厚さが薄くなると、電気接触子を精度良く配置する組立作業が煩雑となる。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、電気接触子の厚さが薄い場合であっても、簡易な組立作業で、電気接触子を精度良く配置することが可能な検査治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明は、検査対象物の電気的特性を検査するための検査冶具において、導電性およびバネ性を有する薄板で形成されるとともに検査対象物に接触する対象接触部を先端側に有する電気接触子と、電気接触子の後端部が接触する電極と、電気接触子が遊びのある状態で配置される配置孔が複数形成される配置部材とを備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の検査冶具では、配置部材に、電気接触子が遊びのある状態で配置される配置孔が複数形成されている。そのため、本発明では、配置部材に精度良く複数の配置孔を形成することで、電気接触子を精度良く配置することが可能になる。また、電気接触子と配置孔との間には遊びがあるため、配置孔内に電気接触子を容易に配置することができる。その結果、本発明では、電気接触子の厚さが薄い場合であっても、簡易な組立作業で、電気接触子を精度良く配置することが可能になる。
【００１０】
本発明において、電気接触子は、対象接触部が形成される先端側幅狭部と、先端側幅狭部よりも幅の広い先端側幅広部とを先端側に備え、配置孔の端部は、先端側幅狭部よりも大きく、かつ、先端側幅広部よりも小さく形成され、先端側幅狭部が配置される幅狭部配置孔となっていることが好ましい。このように構成すると、先端側幅狭部と先端側幅広部との境界部分、および、幅狭部配置孔によって、先端側における配置部材からの電気接触子の抜けを防止することができる。
【００１１】
本発明において、配置孔は、略丸孔状に形成されていることが好ましい。このように構成すると、ドリル等を用いた切削加工によって、配置孔を形成することができるため、配置孔の加工が容易になる。
【００１２】
本発明において、配置孔の内周面には、径方向外側に向かって窪む凹部が形成され、電気接触子は、凹部に係合する係合部を備えることが好ましい。このように構成すると、配置孔の加工を容易にするため、配置孔が略丸孔状に形成される場合であっても、配置孔内での電気接触子の回転を防止することができる。
【００１３】
本発明において、電気接触子の先端側には、先端に向かって電気接触子の厚さが薄くなるように傾斜する傾斜部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、検査対象物に対する電気接触子の接触面積を減らして、検査対象物に対する電気接触子の接触圧を高くすることができる。そのため、電気接触子を検査対象物に確実に接触させることが可能になる。
【００１４】
本発明において、１個の配置孔には、２枚の電気接触子が配置されていることが好ましい。このように構成すると、検査対象物側の１個の検査用端子に２枚の電気接触子を接触させて検査を行ういわゆる４端子検査を行うことが可能になる。
【００１５】
本発明において、電気接触子は、電極に接触する電極接触部が形成される後端側幅狭部と、後端側幅狭部よりも幅の広い後端側幅広部とを後端側に備え、後端側幅狭部は、電気接触子の幅方向における後端側幅広部の中心位置からずれた位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、１個の配置孔に、２枚の電気接触子が配置される場合であっても、電極間の距離を離すことが可能になる。そのため、電極の配置ピッチを広くすることができ、電極の配置が容易になる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明の検査冶具では、電気接触子の厚さが薄い場合であっても、簡易な組立作業で、電気接触子を精度良く配置することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
［実施の形態１］
（検査冶具の構成）
図１は、本発明の実施の形態１にかかる検査冶具１を示す正面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から検査冶具１を示す図である。図３は、図１に示す検査冶具１の内部構造を説明するための拡大断面図である。図４は、図３のＦ−Ｆ方向から電気接触子２および配置部材４を示す拡大図である。図５は、図３のＧ方向から電気接触子２の先端側幅狭部２ｃを示す拡大図である。なお、図２では、一部の電気接触子２および配置孔４ａにのみ符号を付している。
【００１９】
本形態の検査治具１は、回路基板やＩＣ等の検査対象物（図示省略）の電気的特性を検査して、検査対象物の短絡や断線等の異常を発見するための電気的検査に用いられる。特に、本形態の検査冶具１は、検査対象物に形成される検査用端子の配置ピッチが狭い検査対象物の検査に適している。
【００２０】
この検査治具１は、図１〜図３に示すように、検査対象物の検査用端子に接触する先端部２ａを有する複数の電気接触子２（以下、「接触子２」とする。）と、接触子２の後端部２ｂのそれぞれが接触する複数の電極３と、複数の接触子２がそれぞれ１枚ずつ配置される配置孔４ａが複数形成された配置部材４と、電極３を保持する電極保持部材５と、検査冶具１が搭載される検査装置（図示省略）の本体部と検査治具１とを電気的に接続するための配線部６とを備えている。配線部６は、複数の導線７（図３参照）によって構成されている。
【００２１】
接触子２は、導電性およびバネ性を有する薄板で形成されている。たとえば、接触子２は、ニッケル系銅合金等の銅系金属の薄板で形成されている。この接触子２は、非常に薄くかつ非常に小さく形成されている。たとえば、接触子２の厚さ（図３の紙面垂直方向の厚さ）は２０μｍ〜５０μｍ程度であり、接触子２の幅（図３の左右方向の幅）は１００μｍ〜１５０μｍ程度であり、接触子２の長さ（図３の上下方向の長さ）は１ｍｍ〜１．５ｍｍ程度である。
【００２２】
上述のように、接触子２の先端部２ａが検査用端子に接触し、後端部２ｂが電極３に接触する。すなわち、本形態では、先端部２ａは、検査対象物に接触する対象接触部であり、後端部２ｂは、電極３に接触する電極接触部である。また、先端部２ａおよび後端部２ｂは、接触子２の厚さ方向から見たときの形状が半円弧状となるように形成されている。
【００２３】
図３に示すように、接触子２の先端側および後端側の幅は狭くなっている。すなわち、接触子２は、先端部２ａを含む先端側幅狭部２ｃと、先端側幅狭部２ｃよりも幅の広い先端側幅広部２ｄとを先端側に備え、後端部２ｂを含む後端側幅狭部２ｅと、後端側幅狭部２ｅよりも幅の広い後端側幅広部２ｆとを後端側に備えている。本形態では、先端側幅広部２ｄの幅方向の略中心位置から先端側に突出するように先端側幅狭部２ｃが形成されており、先端側幅広部２ｄと先端側幅狭部２ｃとの境界部分には段部２ｇが形成されている。同様に、後端側幅広部２ｆの幅方向の略中心位置から後端側に突出するように後端側幅狭部２ｅが形成されており、後端側幅広部２ｆと後端側幅狭部２ｅとの境界部分には段部２ｈが形成されている。
【００２４】
先端側幅広部２ｄと後端側幅広部２ｆとは、先端側幅広部２ｄおよび後端側幅広部２ｆよりも幅の狭い帯状部分がその幅方向で直角状に折れ曲がるとともに略ジグザグ状に配置されて形成された連結部２ｊによって連結されている。先端部２ａが検査対象物に接触すると、この連結部２ｊが図３の上下方向に撓むようになっている。また、図３に示すように、先端側幅広部２ｄの幅と、後端側幅広部２ｆの幅と、連結部２ｊの幅とは略等しくなっている。
【００２５】
また、接触子２の先端側には、図５に示すように、先端部２ａに向かって接触子２の厚さが次第に薄くなるように傾斜する傾斜部２ｋが形成されている。
【００２６】
配置部材４は、絶縁性材料によってブロック状に形成されている。この配置部材４には、上述のように、複数の配置孔４ａが形成されている。具体的には、配置部材４には、図１の上下方向に貫通する配置孔４ａが複数形成されている。なお、図２では、便宜上、縦方向および横方向に所定ピッチで均等に配置孔４ａが形成された配置部材４を図示しているが、実際には、検査対象物の検査用端子の配置に対応するように、複数の配置孔４ａが配置部材４に形成されている。
【００２７】
配置孔４ａは、略丸孔状に形成されている。すなわち、図３の上下方向から見たときの配置孔４ａの形状は円形状となっている。具体的には、配置孔４ａは、端部（図３の下端部）に形成され先端側幅狭部２ｃの一部が配置される小径孔４ｂと、小径孔４ｂより内径が大きく、先端側幅広部２ｄ、後端側幅狭部２ｅ、後端側幅広部２ｆおよび連結部２ｊが配置される大径孔４ｃとから構成されている。すなわち、配置孔４ａの端部は、先端側幅狭部２ｃが配置される幅狭部配置孔としての小径孔４ｂとなっている。また、小径部４ｂと大径孔４ｃとの境界部分には、段部４ｄが形成されている。
【００２８】
本形態では、配置孔４ａの内径は、先端側幅広部２ｄ、後端側幅広部２ｆおよび連結部２ｊの幅よりも若干、大きくなっている。また、幅狭部配置孔４ｂは、接触子２の先端側幅狭部２ｃよりも若干大きく、かつ、先端側幅広部２ｄよりも小さく形成されている。すなわち、幅狭部配置孔４ｂの内径は、先端側幅狭部２ｃの幅よりも若干大きく、かつ、先端側幅広部２ｄの幅も小さくなっている。そのため、接触子２は、遊びのある状態で配置孔４ａの内部に配置されている。すなわち、配置孔４ａ内に配置された接触子２と配置孔４ａの内周面との間には隙間がある。
【００２９】
また、配置孔４ａ内に配置され、後端部２ｂが電極３に接触する接触子２の先端側は、配置部材４の端面（具体的には、図３における下端面）４ｅから突出している。すなわち、図３に示すように、先端部２ａを含む先端側幅狭部２ｃの先端側は、端面４ｅから突出している。たとえば、端面４ｅからの先端側幅狭部２ｃの先端側の突出量は、１００μｍである。
【００３０】
電極保持部材５は、配置部材４と同様に、絶縁性材料によってブロック状に形成されている。この電極保持部材５は、ネジ等の固定手段によって配置部材４に固定されている。
【００３１】
本形態では、配線部６を構成する複数の導線７のそれぞれの先端部分が電極３となっている。具体的には、図３に示すように、導線７の先端部分が電極保持部材５に接着固定されており、電極保持部材５に接着固定された部分が電極３となっている。この電極３は、配置孔４ａの径方向の中心位置と電極３の径方向の中心位置とが略一致するように、電極保持部材５に保持されている。また、電極３には、１枚の接触子２の後端部２ｂが接触している。
【００３２】
導線７は、たとえば、銅線の回りに絶縁層となる絶縁被膜（図示省略）が形成されたエナメル線である。この導線７の先端（図３における電極３の下端面、すなわち、接触子２の後端部２ｂの接触面）には、所定のメッキ層が形成されている。
【００３３】
以上のように構成された検査冶具１は、以下のように製造される。
【００３４】
まず、電鋳またはエッチング等によって接触子２を形成する。あるいは、レーザ加工またはワイヤー放電加工で接触子２を形成する。また、ダイシングソー等を用いた切削加工で配置部材４の外形を形成するとともに、ドリル等を用いて配置孔４ａを配置部材４に形成する。同様に、ダイシングソー等を用いた切削加工で電極保持部材５の外形を形成するとともに、ドリル等を用いて導線７の先端側が挿通される貫通孔を電極保持部材５に形成する。また、電極保持部材５に導線７の先端側を接着固定し、電極３を形成する。
【００３５】
その後、図３における上面側から複数の配置孔４ａのそれぞれに接触子２を挿入する。その後、電極３が接触子２の後端部２ｂに接触するように、電極保持部材５を配置部材４に固定して、検査冶具１が完成する。
【００３６】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、接触子２が遊びのある状態で配置される配置孔４ａが配置部材４に複数形成されている。そのため、ドリル等を用いた簡易な加工で、配置部材４に精度良く複数の配置孔４ａを形成することで、検査冶具１では、接触子２を精度良く配置することができる。また、接触子２と配置孔４ａとの間に遊びがあるため、配置孔４ａ内に接触子２を容易に配置することができる。その結果、本形態では、接触子２の厚さが薄い場合であっても、簡易な組立作業で、接触子２を精度良く配置することができる。また、接触子２と配置孔４ａとの間に遊びがあるため、接触子２の交換作業を行う必要性が生じても、その交換作業を容易に行うことができる。
【００３７】
本形態では、接触子２は先端側に、先端側幅狭部２ｃと先端側幅広部２ｄとを備え、先端側幅狭部２ｃの一部が配置される小径孔４ｂの径は、先端側幅狭部２ｃの幅よりも大きく、かつ、先端側幅広部２ｄの幅よりも小さく形成されている。そのため、接触子２の段部２ｇと配置孔４ａの段部４ｄとによって、先端側における配置部材４からの接触子２の抜けを防止することができる。
【００３８】
本形態では、配置孔４ａは、略丸孔状に形成されている。そのため、ドリル等を用いた切削加工によって、容易に配置孔４ａを形成することができる。
【００３９】
本形態では、接触子２の先端側には、先端に向かって接触子２の厚さが薄くなるように傾斜する傾斜部２ｋが形成されている。そのため、検査対象物に対する接触子２の接触面積を減らして、検査対象物に対する接触子２の接触圧を高くすることができる。その結果、接触子２を検査対象物に確実に接触させることが可能になる。
【００４０】
［実施の形態２］
（検査冶具の構成）
図６は、本発明の実施の形態２にかかる検査冶具の内部構造を説明するための拡大断面図である。図７は、図６のＨ−Ｈ方向から電極保持部材５を取り外した状態を示す図である。図８は、図６に示す電気接触子１２の正面図である。図９は、図６のＪ方向から電気接触子１２の先端側幅狭部１２ｃを示す拡大図である。
【００４１】
実施の形態１では、上述のように、１個の配置孔４ａに１枚の接触子２が配置されている。これに対して、実施の形態２の検査冶具は、検査対象物の１個の検査用端子に２枚の電気接触子１２（以下、「接触子１２」とする。）を接触させて検査を行ういわゆる４端子検査に用いられるため、実施の形態２では、配置部材１４に形成された複数の配置孔１４ａのそれぞれには、２枚の接触子１２が配置されており、この点が実施の形態１と実施の形態２との大きな相違点である。以下、この相違点を中心に実施の形態２にかかる検査冶具の構成を説明する。
【００４２】
実施の形態１と同様に、本形態の検査冶具は、検査対象物の検査用端子に接触する先端部１２ａを有する複数の接触子１２と、接触子１２の後端部１２ｂのそれぞれが接触する複数の電極３と、複数の接触子１２がそれぞれ２枚ずつ配置される配置孔１４ａが複数形成された配置部材１４と、電極保持部材５と、配線部６とを備えている。
【００４３】
接触子１２は、接触子２と同様に、導電性およびバネ性を有する薄板で形成されるとともに、非常に薄くかつ非常に小さく形成されている。また、本形態では、先端部１２ａは、検査対象物の接触する対象接触部であり、後端部１２ｂは、電極３に接触する電極接触部である。
【００４４】
図８に示すように、接触子１２の先端側および後端側の幅は狭くなっている。すなわち、接触子１２は、先端側幅狭部２ｃに相当する先端側幅狭部１２ｃと、先端側幅広部２ｄに相当する先端側幅広部１２ｄとを先端側に備え、後端側幅狭部２ｅに相当する後端側幅狭部１２ｅと、後端側幅広部２ｆに相当する後端側幅広部１２ｆとを後端側に備えている。先端側幅狭部１２ｃは、先端側幅広部１２ｄの幅方向の略中心位置から先端側に突出するように形成されている。先端側幅広部１２ｄと先端側幅狭部１２ｃとの境界部分には段部１２ｇが形成されている。一方、本形態では、後端側幅狭部１２ｅは、後端側幅広部１２ｆの幅方向端（図８の右端）から後端側に突出するように形成されている。すなわち、後端側幅狭部１２ｅは、接触子１２の幅方向における後端側幅広部１２ｆの中心位置からずれた位置に配置されている。後端側幅広部１２ｆと後端側幅狭部１２ｅとの境界部分には段部１２ｈが形成されている。
【００４５】
先端側幅広部１２ｄと後端側幅広部１２ｆとは、上述の連結部２ｊと同様に形成された連結部１２ｊによって連結されている。本形態では、図８に示すように、先端側幅広部１２ｄの幅と連結部１２ｊの幅とは略等しくなっているが、後端側幅広部１２ｆの幅は、先端側幅広部１２ｄおよび連結部１２ｊの幅よりも広くなっている。具体的には、図８に示すように、接触子１２の幅方向における後端側幅広部１２ｆの一方の端面（図８の左端面）は、先端側幅広部１２ｄおよび連結部１２ｊの一方の端面と同一面となっており、後端側幅広部１２ｆの他方の端面（図８の右端面）は、先端側幅広部１２ｄおよび連結部１２ｊの他方の端面よりも幅方向（具体的には、右方向）に突出している。この突出した部分は、後述する凹部１４ｆに配置され、凹部１４ｆに係合する係合部１２ｍとなっている。
【００４６】
接触子２と同様に、接触子１２の先端側には、傾斜部１２ｋが形成されている（図９参照）。また、１個の配置孔１４ａに配置される２枚の接触子１２のうちの１枚の表面には、絶縁性の被膜１８が形成されている（図７、図９参照）。具体的には、傾斜部１２ｋが形成されていない側の接触子１２の表面に被膜１８が形成されている。なお、１個の配置孔１４ａに配置される２枚の接触子１２の表面に被膜１８が形成されても良い。
【００４７】
配置部材１４は、配置部材４と同様に、絶縁性材料によってブロック状に形成されている。また、配置部材１４には、配置孔４ａと同様に配置孔１４ａが複数形成されている。すなわち、配置孔１４ａは、略丸孔状に形成されるとともに、小径孔４ｂに相当する小径孔１４ｂと、大径孔４ｃに相当する大径孔１４ｃとから構成されている。小径部１４ｂと大径孔１４ｃとの境界部分には、段部１４ｄが形成されている。
【００４８】
また、配置孔１４ａの内周面には、径方向外側に向かって窪む凹部１４ｆが形成されている。具体的には、図７等に示すように半円筒状に窪む凹部１４ｆが、図６における大径孔１４ｃの上端から上下方向の所定の範囲で、かつ、略１８０°ピッチで２箇所に形成されている。この凹部１４ｆには、係合部１２ｍが配置されており、係合部１２ｍは、凹部１４ｆに係合可能となっている。
【００４９】
実施の形態１と同様に、本形態でも、接触子１２は、遊びのある状態で配置孔１４ａの内部に配置されている。また、凹部１４ｆに配置された係合部１２ｍと凹部１４ｆとの間にも隙間がある。
【００５０】
上述のように、本形態では、１個の配置孔１４ａに２枚の接触子１２が配置されている。具体的には、図６、図７に示すように、２箇所に形成された凹部１４ｆのうちの一方の凹部１４ｆに一方の接触子１２の係合部１２ｍが係合し、他方の凹部１４ｆに他方の接触子１２の係合部１２ｍが係合した状態で、２枚の接触子１２が１個の配置孔１４ａに配置されている。そのため、配置孔１４ａの径方向において、２枚の接触子１２の後端部１２ｂは互いに離れた位置に配置されている。
【００５１】
また、図９に示すように、傾斜部１２ｋが形成されていない面を対向させた状態で（すなわち、被膜１８が２枚の接触子１２の間に配置される状態で）、２枚の接触子１２が１個の配置孔１４ａに配置されている。そのため、先端部１２ａが検査対象物に接触すると、１個の配置孔１４ａに配置された２枚の接触子１２は短絡することなく、かつ、個別に撓む。
【００５２】
図６に示すように、１個の配置孔１４ａに配置される２枚の接触子１２の後端部１２ｂのそれぞれが電極３に接触するように、２個の電極３が電極保持部材５に保持されている。すなわち、１個の配置孔１４ａに対応するように、２個の電極３が電極保持部材５に固定されている。
【００５３】
（本形態の主な効果）
本形態の検査治具は以上のように構成されているため、実施の形態１の検査治具１が有する効果に加え、以下の効果を有する。すなわち、本形態では、配置孔１４ａの内周面に、径方向外側に向かって窪む凹部１４ｆが形成され、接触子１２の係合部１２ｍが凹部１４ｆに係合している。そのため、配置孔１４ａの加工を容易にするため、配置孔１４ａが略丸孔状に形成される場合であっても、配置孔１４ａ内での接触子１２の回転を防止することができる。その結果、後端側幅狭部１２ｅが、接触子１２の幅方向における後端側幅広部１２ｆの中心位置からずれた位置に配置されている場合であっても、後端部１２ｂと電極３とを確実に接触させることができる。
【００５４】
また、本形態では、後端側幅狭部１２ｅが、接触子１２の幅方向における後端側幅広部１２ｆの中心位置からずれた位置に配置されており、２枚の接触子１２の後端部１２ｂは互いに離れた位置に配置されている。そのため、１個の配置孔１４ａに２枚の接触子１２が配置される場合であっても、１個の配置孔１４ａに対応するように固定される２個の電極３間の距離を離すことができる。すなわち、電極３の配置ピッチを広くすることができ、電極３の配置が容易になる。
【００５５】
また、本形態では、１個の配置孔１４ａに２枚の接触子１２が配置されているため、上述のように、４端子検査が可能になる。
【００５６】
［他の実施の形態］
上述した実施の形態１では、先端側幅広部２ｄと後端側幅広部２ｆとは、先端側幅広部２ｄおよび後端側幅広部２ｆよりも幅の狭い帯状部分がその幅方向で直角状に折れ曲がるとともに略ジグザグ状に配置されて形成された連結部２ｊによって連結されている。この他にもたとえば、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示す接触子２２、３２のように、先端側幅広部２２ｄ、３２ｄと後端側幅広部２２ｆ、３２ｆとは、先端側幅広部２２ｄ、３２ｄおよび後端側幅広部２２ｆ、３２ｆよりも幅の狭い帯状部分がその幅方向で曲線状に折れ曲がるとともに略ジグザグ状に配置されて形成された連結部２２ｊ、３２ｊによって連結されても良い。この場合には、図１０（Ａ）に示すように、連結部２２ｊの幅が、先端側幅広部２２ｄおよび後端側幅広部２２ｆの幅と同じであっても良いし、図１０（Ｂ）に示すように、連結部３２ｊの幅が、先端側幅広部３２ｄおよび後端側幅広部３２ｆの幅より狭くても良い。
【００５７】
また、図１０（Ｃ）に示す接触子４２のように、先端側幅広部４２ｄと後端側幅広部４２ｆとは、先端側幅広部４２ｄおよび後端側幅広部４２ｆよりも幅の狭い帯状部分が略Ｕ形状に形成された連結部４２ｊによって連結されても良い。
【００５８】
さらに、図１０（Ｄ）、（Ｅ）に示す接触子５２、６２のように、先端側幅広部５２ｄ、６２ｄと後端側幅広部５２ｆ、６２ｆとは、先端側幅広部５２ｄ、６２ｄおよび後端側幅広部５２ｆ、６２ｆよりも幅の狭い２本の帯状部分で構成される連結部５２ｊ、６２ｊによって連結されても良い。この場合には、図１０（Ｄ）に示すように、２本の帯状部分は、接触子５２の幅方向外側に向かって膨らむ曲線状に形成されても良いし、図１０（Ｅ）に示すように、２本の帯状部分は、接触子６２の幅方向内側に向かって窪む曲線状に形成されても良い。
【００５９】
さらにまた、図１０（Ｆ）に示す接触子７２のように、先端側幅広部７２ｄと後端側幅広部７２ｆとは、先端側幅広部７２ｄおよび後端側幅広部７２ｆよりも幅の狭い直線状の帯状部分で構成される連結部７２ｊによって連結されても良い。
【００６０】
上述した実施の形態１では、後端側幅狭部２ｅは、後端側幅広部２ｆの幅方向の略中心位置から後端側に突出するように形成されている。この他にもたとえば、図１０（Ｇ）に示す接触子８２のように、後端側幅狭部８２ｅが、後端側幅広部８２ｆの幅方向端から後端側に突出するように形成されても良い。また、実施の形態１にかかる検査冶具１において、実施の形態２で説明した接触子１２を用いても良いし、実施の形態２にかかる検査冶具において、図１０（Ｇ）に示す接触子８２を用いても良い。
【００６１】
上述した実施の形態１では、接触子２は後端側に、後端側幅狭部２ｅと後端側幅広部２ｆとを備えている。この他にもたとえば、図１１（Ａ）に示すように、接触子２が後端側幅狭部２ｅを備えずに、接触子２の厚さ方向から見たときの形状が半円弧状となるように後端側幅広部２ｆの後端部分が形成されても良い。
【００６２】
また、図１１（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、接触子２が後端側幅狭部２ｅを備えずに、接触子２の厚さ方向から見たときの形状が三角形状になるように後端側幅広部２ｆの後端部分が形成されても良い。この場合には、図１１（Ｂ）に示すように、後端側幅広部２ｆの幅方向の中心部が後端側へ突出しても良いし、図１１（Ｃ）に示すように、後端側幅広部２ｆの幅方向の端部が後端側へ突出しても良い。また、図１１（Ｃ）のように形成された後端側幅広部１２ｆを備える接触子１２を実施の形態２の検査冶具に用いても良い。また、図１１（Ｂ）、（Ｃ）に示す接触子２の後端側の形状を接触子２の先端側に適用しても良い。
【００６３】
上述した形態では、接触子２、１２の厚さ方向から見たときの形状が半円弧状となるように、先端部２ａ、１２ａが形成されている。この他にもたとえば、図１２（Ａ）に示すように、接触子２、１２の厚さ方向から見たときの形状が直線状となるように、先端部２ａ、１２ａが形成されても良いし、図１２（Ｂ）に示すように、接触子２、１２の厚さ方向から見たときの形状が幅方向の中心部分が窪むＶ形状となるように、先端部２ａ、１２ａが形成されても良い。
【００６４】
上述した実施の形態１では、配置部材４は、１個のブロック状部材で構成されている。この他にもたとえば、図１３に示すように、配置部材２４は、２個のブロック状部材で構成されても良い。すなわち、配置部材２４は、図示上下方向に分割された第１配置部材２５と第２配置部材２６との２個のブロック状部材で構成されても良い。この場合には、図１３に示すように、第１配置部材２５には、先端側幅狭部２ｃの一部が配置される小径孔２５ｂと、小径孔２５ｂより内径が大きく、先端側幅広部２ｄおよび連結部２ｊの一部が配置される大径孔２５ｃとが形成され、第２配置部材２６には、後端側幅狭部２ｅが配置される小径孔２６ｂと、小径孔２６ｂより内径が大きく、後端側幅広部２ｆおよび連結部２ｊの一部が配置される大径孔２６ｃとが形成されている。この場合には、これらの小径孔２５ｂ、２６ｂと大径孔２５ｃ、２６ｃとから配置孔２４ａが構成されている。
【００６５】
また、この場合には、小径部２５ｂと大径孔２５ｃとの境界部分に形成される段部２５ｄによって、先端側における配置部材２４からの接触子２の抜けが防止され、小径部２６ｂと大径孔２６ｃとの境界部分に形成される段部２６ｄによって、後端側における配置部材２４からの接触子２の抜けが防止される。
【００６６】
同様に、実施の形態２の検査治具においても、２個のブロック状部材で構成された配置部材を用いても良い。
【００６７】
上述した形態では、配置孔４ａ、１４ａは、略丸孔状に形成されている。この他にもたとえば、配置孔４ａ、１４ａは、角孔状や溝状に形成されても良い。また、上述した形態では、導線７の先端部分が電極３となっており、この電極３が電極保持部材５に保持されている。この他にもたとえば、プリント基板上に電極３を形成しても良い。この場合には、電極３が形成されるプリント基板が配置部材４、１４に固定される。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる検査冶具を示す正面図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ方向から検査冶具を示す図である。
【図３】図１に示す検査冶具の内部構造を説明するための拡大断面図である。
【図４】図３のＦ−Ｆ方向から電気接触子および配置部材を示す拡大図である。
【図５】図３のＧ方向から電気接触子の先端側幅狭部を示す拡大図である。
【図６】本発明の実施の形態２にかかる検査冶具の内部構造を説明するための拡大断面図である。
【図７】図６のＨ−Ｈ方向から電極保持部材を取り外した状態を示す図である。
【図８】図６に示す電気接触子の正面図である。
【図９】図６のＪ方向から電気接触子の先端側幅狭部を示す拡大図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態にかかる電気接触子の正面図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態にかかる電気接触子の後端側部分を示す拡大図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態にかかる電気接触子の先端側部分を示す拡大図である。
【図１３】本発明の他の実施の形態にかかる配置部材を説明するための拡大断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１  検査冶具
２、１２、２２、３２、４２、５２、６２、７２、８２  接触子（電気接触子）
２ａ、１２ａ  先端部（対象接触部）
２ｂ、１２ｂ  後端部（電極接触部）
２ｃ、１２ｃ  先端側幅狭部
２ｄ、１２ｄ、２２ｄ、３２ｄ、４２ｄ、５２ｄ、６２ｄ、７２ｄ  先端側幅広部
２ｋ、１２ｋ  傾斜部
３  電極
４、１４、２４  配置部材
４ａ、１４ａ、２４ａ  配置孔
４ｂ、１４ｂ、２５ｂ  小径孔（幅狭部配置孔）
１２ｅ、８２ｅ  後端側幅狭部
１２ｆ、８２ｆ  後端側幅広部
１２ｍ  係合部
１４ｆ  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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