(57)【要約】【課題】透明基板上に樹脂ブラックマトリクスと着色画素が形成されたカラーフィルタ上にオーバーコート層を形成する際に、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部の突起の影響が残らない表面平坦性の優れたオーバーコート層を形成することのできるカラーフィルタ用オーバーコート層の形成方法を提供すること。【解決手段】樹脂ブラックマトリクス、着色画素が形成されたカラーフィルタ上にオーバーコート層を形成する際に、ハーフトーンマスクを用いて突起段差部上の膜厚を選択的に低下させたオーバーコート層を形成する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に樹脂ブラックマトリクスと着色画素とこれらを被覆するオーバーコート層とを有するカラーフィルタの製造方法において、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部上のオーバーコート層を、該重なり部上を除くオーバーコート層より薄く形成する現像工程を含むことを特徴とする表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
現像工程が、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部上のオーバーコート層を、該重なり部上を除くオーバーコート層より薄く形成するとともに、カラーフィルタの有効画面に近接する外周部からオーバーコート層を除去し、透明基板の表面を露出する現像工程であることを特徴とする請求項１に記載の表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部とその上のオーバーコート層を含めた膜層の透明基板表面までの膜厚が、ブラックマトリクス開口部の着色画素とオーバーコート層とで形成された画素開口中央部の膜層の透明基板表面までの膜厚に対して、±０．１５μｍの範囲内に設定することを特徴とする請求項１または２に記載の表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
オーバーコート層が、透明基板上に感光性のアルカリ可溶性樹脂を塗布膜として形成し、前記現像工程に先立って、該塗布膜を樹脂ブラックマトリクスのパターンに対応するハーフトーンマスクを用いて露光した後、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部上のオーバーコート層を、該重なり部上を除くオーバーコート層より薄く形成する現像工程により形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法で製造された表示装置用カラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置用カラーフィルタに関するものであり、特に、カラーフィルタ上に表面平坦性の優れたオーバーコート層を形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、平面型ディスプレイ装置が多く使われるようになってきており、中でもＬＣＤ（液晶表示装置）を初めとする平面型表示装置では、特にカラーフィルタを使用して色表示を行う多色カラータイプがテレビ、モニタ、携帯端末等の表示パネルに利用が進んでいる。多色カラー化のために一般にマイクロセル構造のカラーフィルタが多用され、カラーフィルタは表示パネルの表示品質を決める重要な役割を担っている。カラーフィルタはガラス板やプラスチック板などの透明基板上に所定の複数色の着色画素を形成している。
【０００３】
図１及び図２は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を示した断面模式図であり、ガラス基板１０，２０上にブラックマトリクス１１，２１、及び着色画素１２，２２が形成されたものである。図１と図２の差はブラックマトリクスの差に基づくものである。ブラックマトリクスは、光漏れによるコントラストの低下を防ぐ目的で着色画素間や着色画素の形成領域の近傍外側に設けられる遮光膜パターンである。図１では、クロム、酸化クロムなどの金属および・または金属化合物の金属系蒸着薄膜をパターニングする方法でブラックマトリクス１１を形成しており、図２では、カーボンブラックなどの黒色顔料を分散させた感光性樹脂を用い、通常のフォトリソグラフィー法によってブラックマトリクス２１を形成している。このような樹脂をベースに形成されたブラックマトリックスを樹脂ブラックマトリクスと称する。
【０００４】
また、着色画素１２，２２としては、一般的に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色のそれぞれの色を有する画素パターンが繰り返し規則的に平面配列される。通常は、着色感光性樹脂の塗布、露光、現像、ベイクの一連のフォトリソグラフィー法による工程を各色ごとに順次行い、パターニングする。
【０００５】
従来の液晶表示装置では、上記金属系の蒸着薄膜を用いたブラックマトリクスを使用していたが、近年では製造コスト低減や環境負荷の抑制、及び液晶画面としての低反射率化を目的として樹脂ブラックマトリクスが広く用いられるようになってきている。しかし、樹脂ブラックマトリクスは、クロムなどの金属を用いたブラックマトリクスのように、薄膜での高い遮光性を得ることはできず、充分な遮光性を得るための膜厚は、たとえば、従来の金属系の蒸着薄膜の場合が０．１〜０．２μｍ程度で良かったのに対して、樹脂ブラックマトリクスの場合には０．５〜２．５μｍと厚くする必要がある。そのため、図２に示すように、樹脂ブラックマトリクス２１上にその端部を重ねて形成された着色画素２２は、端部がブラックマトリクス上にて突起２３となる。この突起２３は、高さＡで示すように、画素中央部と画素端部との段差に相当するものであり、カラーフィルタの表面を凹凸のあるものとし、カラーフィルタ表面の平坦性を悪化させるものである。
【０００６】
このような突起のある、表面の平坦性が悪化したカラーフィルタを液晶表示装置に用いると、突起の影響によって液晶分子の配向が乱され、表示品質を低下させることになる。液晶以外の平面型表示装置にカラーフィルタを使用する場合にも、表面の平坦性の悪化は後の工程に悪影響を及ぼすとともに、表示品質の低下につながる。このため、従来より、カラーフィルタ上に透明な樹脂層を均一に形成して、表面の平坦性を改良する手段が用いられてきた。図３は、突起３３のあるカラーフィルタ上に透明な樹脂層であるオーバーコート層３４を形成したタイプの、従来のカラーフィルタの断面模式図である。オーバーコート層３４は、カラーフィルタ最表面の平坦性を向上させるとともに、着色画素の耐湿性、耐薬品性などを補い、更には着色画素から液晶中への不純物の溶出を防止して表示駆動時の品質を安定にすることなどを目的として設けられる。
【０００７】
例えば、図３において、厚さ１．０μｍのブラックマトリクス３１上に、厚さ１．８μｍの着色画素３２を形成した際には、突起３３の高さ（凹凸の高さの差。図２の段差Ａで示す突起の高さと同じ。）は１．０μｍ程度のものとなるが、このような段差Ａを有するカラーフィルタ上に、熱流動性のある樹脂を用いて厚さ１．５μｍ程度のオーバーコート層３４を設けると、塗布後のベーキングによって流動し、表面の平坦性はある程度は向上したものとなる。
【０００８】
しかし、単にオーバーコート層３４を設けるだけでは表面を完全に平坦にすることはできず、オーバーコート層３４の表面には、図３に示すオーバーコート層の段差Ｂが、およそ０．２〜０．５μｍ程度に残り、高い表示品質が要求される液晶表示装置用の表面平坦性としては不十分である。また、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部の突起２３を緩和する方策として、樹脂ブラックマトリクスの断面形状を丸くする技術（特許文献１）や樹脂ブラックマトリクスのパターンエッヂにテーパを持たせる技術（特許文献２）がある。しかしながら、樹脂ブラックマトリクスの断面形状を変える方法では、いずれも、線幅方向の膜厚変化にともなう遮光性の局部的低下やエッヂ近傍の密着力低下の問題がある上、樹脂ブラックマトリクスの平面形状の悪化も付随的に伴うため、好ましい方策とは言えない。
【特許文献１】特公平６−７９０８９号公報
【特許文献２】特許第３２２８１３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明における課題は、上述した問題に鑑みてなされたものである。その目的とするところは、透明基板上に樹脂ブラックマトリクス、着色画素が形成されたカラーフィルタ上にオーバーコート層を形成する際に、着色画素の端部に形成されてしまう突起の段差が高いカラーフィルタであっても、表面平坦性の優れたオーバーコート層を形成することのできるカラーフィルタ用オーバーコート層の形成方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に係わる本発明は、上記課題を解決するため、透明基板上に樹脂ブラックマトリクスと着色画素とこれらを被覆するオーバーコート層とを有するカラーフィルタの製造方法において、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部上のオーバーコート層を、該重なり部上を除くオーバーコート層より薄く形成する現像工程を含むことを特徴とする表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
【００１１】
請求項２に係わる本発明は、現像工程が、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部上のオーバーコート層を、該重なり部上を除くオーバーコート層より薄く形成するとともに、カラーフィルタの有効画面に近接する外周部からオーバーコート層を除去し、透明基板の表面を露出する現像工程であることを特徴とする請求項１に記載の表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
【００１２】
請求項３に係わる本発明は、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部とその上のオーバーコート層を含めた膜層の透明基板表面までの膜厚が、ブラックマトリクス開口部の着色画素とオーバーコート層とで形成された画素開口中央部の膜層の透明基板表面までの膜厚に対して、±０．１５μｍの範囲内に設定することを特徴とする請求項１または２に記載の表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
【００１３】
請求項４に係わる本発明は、オーバーコート層が、透明基板上に感光性のアルカリ可溶性樹脂を塗布膜として形成し、前記現像工程に先立って、該塗布膜を樹脂ブラックマトリクスのパターンに対応するハーフトーンマスクを用いて露光した後、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部上のオーバーコート層を、該重なり部上を除くオーバーコート層より薄く形成する現像工程により形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
【００１４】
請求項５に係わる本発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法で製造された表示装置用カラーフィルタである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のカラーフィルタの製造方法により、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部上のオーバーコート層を、該重なり部上を除くオーバーコート層より薄く形成することができるので、該重なり部の突起が比較的大きい場合であっても、オーバーコート層の最表面の平坦性を損ねることなく、高品質のカラーフィルタを提供できる。
【００１６】
また、本発明のカラーフィルタの製造方法により、オーバーコート層の平坦性を良くするとともに、カラーフィルタの有効画面に近接する外周部からオーバーコート層を除去することができるので、カラーフィルタの信頼性を高めることができる。
【００１７】
また、本発明の製造方法によるオーバーコート層の平坦性に関しては、着色画素とオーバーコート層の積層構成である画素中央部の膜厚（透明基板の表面からオーバーコート表面までの膜厚）に対し、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部上のオーバーコート表面までの膜厚の差を±０．１５μｍ以内に抑えることができる。画素中央部と樹脂ブラックマトリクス上との段差を可視光の波長（赤色の波長は約０．６μｍ）の１／４（０．１５μｍ）以下とすることにより、カラーフィルタを液晶表示装置に用いる場合に、液晶層のギャップムラに起因する着色をなくすることができる。
【００１８】
また、本発明は、樹脂ブラックマトリクスと着色画素との重なり部上のオーバーコート層の盛り上がり部分を選択的に現像除去するために、ハーフトーンマスクを使った露光方法を好適に用いることができ、工程上の負荷を特に大きくかけることなく、高い平坦化効果を得ることができる。
【００１９】
さらに本発明によるカラーフィルタは、高平坦性による高品質性と周辺部の無機清浄性による高信頼性とを兼ね備えることができるため、本発明のカラーフィルタを備えた表示装置の高品質性と高信頼性に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明の実施の形態を図面に従って詳細に説明する。図４は、本発明によるカラーフィルタ用オーバーコート層の形成方法によって形成されたオーバーコート層の一実施例を示す断面模式図である。図４に示すように、本発明によって形成されたオーバーコート層４４は、透明基板４０上に樹脂ブラックマトリクス４１、着色画素４２が形成されたカラーフィルタ上に形成されたものである。着色画素４２は、その端部を樹脂ブラックマトリクスに重ねて形成されているので、段差が高い突起４３を有している。しかし、オーバーコート層４４の表面の平坦性は優れたものとなっている。
【００２１】
本発明に用いる透明基板４０としては、ガラスやプラスチック板やプラスチックフィルムなどを用いることができる。一般的には熱膨張率が小さく、高温での寸法精度に優れている無アルカリガラスが広く用いられている。
【００２２】
透明基板４０上に設けられる樹脂ブラックマトリクス４１としては、カーボンブラックや金属酸化物などの遮光性微粒子を分散させた感光性樹脂を用いることができ、通常のフォトリソグラフィー法によって形成する方法などが知られている。また、染色方式により樹脂を黒化する方法も可能である。
【００２３】
本発明に用いられる着色画素４２は、カラー表示に必要な構成であれば特に限定されず、加法混色であれば赤、青および緑の３色、減法混色であればシアン、マゼンタおよびイエローの３色が使用可能である。各着色画素とも顔料分散レジストを用い、フォトリソグラフィー法によって所定のパターン形状に形成することができる。即ち、１つのフィルタ色の顔料を含んだ顔料分散レジストを透明基板上に塗布し、パターン露光、現像を行うことで１色目の着色画素の形成を行う。これを３色繰り返すことによって、目的とする着色画素を得ることが可能である。着色画素を形成する方法は、上記の顔料分散レジストを用いる方法に限定される訳ではなく、非感光性の着色樹脂をエッチングレジストを用いて選択的にエッチングする方法や、染色技術を利用したパターン染色法など、従来より知られている各種の方法が可能である。
【００２４】
本発明で用いる平坦化オーバーコート層４４の材料は、例えば、アクリル樹脂などを使用するアルカリ可溶性の感光性樹脂であり、樹脂ブラックマトリクスと着色画素から成る領域全体の上に塗布し、露光、現像、ベイクを行うことでオーバーコート層の形成を行う。本発明において用いるオーバーコート材料は、露光部が現像により溶解されるポジ型、未露光部が現像により溶解されるネガ型のいずれのタイプも適用可能であるが、以下の説明では、ネガ型の感光性樹脂を用いるオーバーコート材料の例について述べる。感光性樹脂は少なくとも３６５ｎｍに感光性のあるものであれば特に限定されるものではないが、特に３６５ｎｍ以下に吸収極大をもつ感光性成分を含むものがより好ましい。本発明の平坦化オーバーコート層４４の形成において、このような材料とハーフトーンマスクを組み合わせて使用することによって、樹脂ブラックマトリクス上の突起と開口部上とでは露光量および露光波長の違いがより大きくなるため、オーバーコート層の部分的な膜厚制御がより容易となる。
【００２５】
なお、本発明で用いる平坦化オーバーコート層４４は、樹脂ブラックマトリクス４１と着色画素４２との重なり部に発生する突起４３とその上のオーバーコート層を含めた膜層の透明基板表面までの膜厚が、ブラックマトリクス開口部の着色画素４２とオーバーコート層とで形成された画素開口中央部の膜層の透明基板表面までの膜厚と完全に等しくなることが望ましいが、多少の差が生じる場合でも、±０．１５μｍの範囲内に収まるように製造条件を設定する。画素中央部と樹脂ブラックマトリクス上との段差を可視光の波長（赤色の波長は約０．６μｍ）の１／４（０．１５μｍ）以下とすることにより、カラーフィルタを液晶表示装置に用いる場合に、液晶層のギャップムラに起因する着色をなくすることができるようにするためである。
【００２６】
図５（イ）〜（ニ）は、本発明によるカラーフィルタ用オーバーコート層の形成方法の工程を示す説明図である。先ず、図５（イ）に示すように、透明基板５０上に樹脂ブラックマトリクス５１、着色画素５２が形成された、突起５３を有するカラーフィルタ上に、ネガ型感光性樹脂を用いて、オーバーコート塗布膜５４を設ける。オーバーコート塗布膜５４を設けることによって、突起５３の高さ（段差ａ）は、オーバーコート塗布膜５４の表面では段差ｂのように緩和されたものとなる。
【００２７】
次に、図５（ロ）に示すように、オーバーコート層の形成に用いるフォトマスクにおいて、樹脂ブラックマトリクス５１のパターン対応部（樹脂ブラックマトリクスの画線部分）を半透過性のハーフトーンとした、ハーフトーンマスク５５を用いて、このオーバーコート塗布膜５４上に紫外線５８を露光する。ハーフトーンマスクは、透過領域５６、半透過領域５７、を少なくとも有し、必要に応じて遮光領域（図示せず）を加えて構成される。カラーフィルタのオーバーコート層を形成する部位に対応するハーフトーンマスク５５の部位は透過領域５６及び半透過領域５７で構成されている。このようなフォトマスクを介して、塗布膜５４に紫外線５８を照射すると、遮光領域は全く未露光、透過領域は全露光、半透過領域は透過領域と比較して露光量が小さい状態となり、現像液に対する溶解度が異なる３種類の領域を形成できる。すなわち、ネガ型感光性樹脂のオーバーコート塗布膜５４に対して、現像工程で、未露光部分は全て溶解し、全露光部分は最大限の未溶解残留があり、小露光部分は前２者の中間の溶解挙動を示す。
【００２８】
なお、以下、本発明を詳述するにあたって、オーバーコート層の露光に用いるマスクをハーフトーンマスクで例示するが、本発明はハーフトーンマスクに限定するものでない。白黒２値の微細パターンの集合体の面積率を適宜選択してハーフトーンマスクと同様の半透過効果を得るグレートーンマスクを用いる方法、白黒の２値の通常マスクを用い、マスクと透明基板上の塗布膜との距離を調整してハーフトーンと同様の露光量減少効果を付与する方法、あるいは、露光強度を変えたレーザー光にて描画する方法、さらには波長選択の効果のあるフォトマスクを用いる、これらの露光方法に空間変調素子を併用する方法など種々の露光方法の適用が可能である。
【００２９】
露光工程に続いて、図５（ハ）に示すように、現像液５９を用いて、オーバーコート塗布膜５４表面の盛り上がり部分（オーバーコート塗布膜表面の段差ｂ）を選択的に現像除去する。ネガ型の感光性樹脂においては、全露光領域のオーバーコート塗布膜は溶解性が小さくなり、未露光領域のオーバーコート塗布膜は全て溶解する。また、半透過領域のオーバーコート塗布膜は一部が溶解し、全露光領域よりも小さい膜厚のオーバーコート層が形成される。すなわち、オーバーコート塗布膜５４の選択的現像により、突起５３の上を覆うオーバーコート塗布膜は平坦開口部の着色画素５２上のオーバーコート塗布膜よりも溶解性が大きく、その結果、突起５３の段差を吸収した平坦な表面を有する平坦化オーバーコート層５４’（後述の図５（ニ））が形成される。
【００３０】
本発明で用いるハーフトーンマスクとしては、クロムや酸化クロムなどの単層膜の膜厚を部分的に変化させたフォトマスクや、これら同一の金属を含む膜を多層積層させ、単層部分で半透過領域、積層部分で遮光領域が形成されたフォトマスク、半透過領域形成材料としてＩＴＯ薄膜、あるいはＴｉ、Ｗを含む化合物薄膜、あるいはＴｉ、Ｍｏを含む化合物薄膜等を用いたフォトマスクなどが用いられる。本発明においては、オーバーコート層の膜厚の観点から、ハーフトーンマスクの半透過領域の光透過率は、波長３００〜３４０ｎｍにおいて０％以上４５％以下、３４０〜３７０ｎｍにおいて５％以上７５％以下、３７０〜５００ｎｍにおいて２５％以上１００％以下であることが好ましい。
【００３１】
現像により、突起上のオーバーコート層の膜厚調整（選択的現像による平坦化改善）を行った後、ベーキングを行い、塗布膜を硬化させ、図５（ニ）に示す、表面の平滑性の優れた平坦化オーバーコート層５４’を得る。本発明は、上記のようにしてオーバーコート層を形成するので、段差の高い突起５３を有するカラーフィルタであっても、平坦性の優れたオーバーコート層を形成することができる。
【００３２】
図６は本発明によるカラーフィルタ用オーバーコート層の形成方法によって形成されたオーバーコート層の他の実施例を示す断面模式図である。平坦化と併せて、オーバーコートの不要な部分の平坦化オーバーコート層５４’を除去するものである。カラーフィルタの有効画面に近接する外周部の平坦化オーバーコート層除去部分６４を、仮想的に表示するための鎖線により囲む領域で図示する。マスク（図示せず）の遮光領域は、表示装置に対応するカラーフィルタの有効画面に近接する外周部のオーバーコート塗布膜５４を現像
で除去する領域に対応し、ガラス基板表面６０を露出する目的で用いる。すなわち、ネガ型の感光性樹脂であるオーバーコート塗布膜５４の未露光部分のオーバーコート層は、現像により除去される。その結果、有効画面に近接する外周部のオーバーコート層が除去されて、表示装置を組み立てる際のシール性に悪影響を与える可能性のある樹脂成分をシール部に相当する部分に残さないので、表示装置の信頼性を一層高めることになる。
【００３３】
図７に本発明のカラーフィルタを平面模式図で示す。着色画素の色配列の一例を部分的に示すが配列はこれに限定されない。平坦化オーバーコート層４４が鎖線で表される領域の内側の最前面に形成され、その外周部にはガラス基板表面６０が露出する。樹脂ブラックマトリクス５１の各画素開口部を取り巻く画線部に着色画素の端部が重なり突起を生じるが、さらにその上に平坦化オーバーコート層４４がかぶさる領域６３は、開口部上の着色画素と平坦化オーバーコート層とのみの領域６２との間に段差をつくらない。
【００３４】
以下、実施例を以て本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
【実施例１】
【００３５】
無アルカリガラス基板上に、膜厚１．０μｍの樹脂ブラックマトリクスと膜厚１．８μｍのＲ、Ｇ、Ｂの３色の着色画素を形成したカラーフィルタを作製した。このカラーフィルタの着色画素の段差は、約１．０μｍであった。次に、上記カラーフィルタ上に、オーバーコート層形成用組成物として、下記の光硬化性樹脂組成物をスピンコートした。
【００３６】
（アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の調整）
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）１４０ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）３０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）３０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）４ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）溶液を得た。
【００３７】
（光硬化性樹脂組成物の調整）
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）：１００重量部
エチレン性不飽和化合物（Ｂ）
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（分子量５３５）：２００重量部
光重合開始剤（Ｃ）イルガキュアー９０７：１０重量部
上記（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に、シクロヘキサノン：７００重量部  を加えて混合した。
【００３８】
次に、９０℃で５分間乾燥した後、開口部においては透過領域、樹脂ブラックマトリクスパターンに対応した半透過領域を有するフォトマスクを用い、この塗布膜の全面に２００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線露光を行った。また、このハーフトーンマスク半透過領域の光透過率は、波長３００〜３４０ｎｍにおいて０％以上２０％以下、３４０〜３７０ｎｍにおいて５％以上４０％以下、３７０〜５００ｎｍにおいて２０％以上１００％以下である。
【００３９】
続いて、スプレー現像にて塗布膜の現像を行った。ここでの塗布膜のハーフエッチングの後、２３０℃・３０分のベーキングをオーブンにて行い、表面平坦性の優れたオーバーコート層をカラーフィルタ上に設けた。得られたオーバーコート層の表面の段差は、約０．０５μｍの優れたものであった。
【実施例２】
【００４０】
オーバーコート層の形成に用いたハーフトーンマスクの半透過領域の光透過率が、波長３００〜３４０ｎｍにおいて０％以上３０％以下、３４０〜３７０ｎｍにおいて１０％以上６０％以下、３７０〜５００ｎｍにおいて３０％以上１００％以下である以外は実施例
１と同様の方法でカラーフィルタを形成した。得られたオーバーコート層の表面の段差は、着色画素中央部膜厚に対して＋０．１μｍの良好なものであった。
【実施例３】
【００４１】
＜比較例１＞
オーバーコート層の形成に、透過領域、遮光領域のみを有するフォトマスクを用いる以外は実施例１と同様の方法でカラーフィルタを形成した。得られたオーバーコート層の表面の段差は、約０．２５μｍ程度で平坦性としては不十分なものであった。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】金属系薄膜を用いたブラックマトリクスで遮光部を形成したカラーフィルタの一例を示した断面模式図である。
【図２】樹脂ブラックマトリクスで遮光部を形成したカラーフィルタの一例を示した断面模式図である。
【図３】オーバーコート層を形成した従来のカラーフィルタの断面模式図である。
【図４】本発明によるカラーフィルタ用オーバーコート層の形成方法によって形成されたオーバーコート層の一実施例を示す断面模式図である。
【図５】（イ）〜（ニ）は、本発明のカラーフィルタ用オーバーコート層の形成方法の工程を示す説明図である。
【図６】本発明によるカラーフィルタ用オーバーコート層の形成方法によって形成されたオーバーコート層の他の実施例を示す断面模式図である。
【図７】本発明のカラーフィルタを示す平面模式図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０、２０、３０、４０、５０…ガラス基板
１１…金属薄膜ブラックマトリクス
２１、３１、４１、５１…樹脂ブラックマトリクス
１２、２２、３２、４２、５２…着色画素
２３、３３、４３、５３…突起
３４…オーバーコート層
４４、５４’…平坦化オーバーコート層
５４…オーバーコート塗布膜
５５…ハーフトーンマスク
５６…透過領域
５７…半透過領域
５８…紫外線
５９…現像液
６０・・・ガラス基板表面
６２・・・着色画素＋平坦化オーバーコート層
６３・・・樹脂ブラックマトリクス＋着色画素＋平坦化オーバーコート層
６４・・・カラーフィルタ有効画面に近接する外周部の平坦化オーバーコート層除去部分
Ａ、ａ…突起の高さ（段差）
Ｂ…オーバーコート層の段差
ｂ…オーバーコート塗布膜表面の段差
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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