(57)【要約】【課題】小さい平均粒径に分散可能で、分散性、分散安定性等が良好なインジウム類微粒子分散体の製造方法を提供することにあり、またその製造方法を使用して製造されたインジウム類微粒子分散体、更には、そのインジウム類微粒子分散体に対して溶媒置換を施したインジウム類微粒子分散液を提供すること。【解決手段】インジウム類の気体を低蒸気圧液体に接触させることによって、インジウム類微粒子が該低蒸気圧液体に分散された分散体を製造する方法であって、該低蒸気圧液体中にソルビタンモノオレートを溶解させておくことを特徴とするインジウム類微粒子分散体の製造方法、その製造方法を使用して製造されたインジウム類微粒子分散体、及びそのインジウム類微粒子分散体に対して溶媒置換を施したインジウム類微粒子分散液。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インジウム類の気体を低蒸気圧液体に接触させることによって、インジウム類微粒子が該低蒸気圧液体に分散された分散体を製造する方法であって、該低蒸気圧液体中にソルビタンモノオレートを溶解させておくことを特徴とするインジウム類微粒子分散体の製造方法。
【請求項２】
インジウム類の気体の該低蒸気圧液体への接触を、１０−４Ｐａ〜１０−１Ｐａの範囲の圧力下で行なう請求項１記載のインジウム類微粒子分散体の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のインジウム類微粒子分散体の製造方法を使用して製造されたことを特徴とするインジウム類微粒子分散体。
【請求項４】
体積分布メジアン径（Ｄ５０）５０ｎｍ以下でインジウム類微粒子が分散されている請求項３記載のインジウム類微粒子分散体。
【請求項５】
請求項３又は請求項４記載のインジウム類微粒子分散体中の低蒸気圧液体を、他の分散媒に置換したものであることを特徴とするインジウム類微粒子分散液。
【請求項６】
体積分布メジアン径（Ｄ５０）５０ｎｍ以下でインジウム類微粒子が分散されている請求項５記載のインジウム類微粒子分散液。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インジウム類微粒子分散体の製造方法に関し、更に詳しくは、特定の方法でインジウム類の分散体を製造する際に、分散媒に特定の化合物を溶解させておくことにより、インジウム類微粒子の分散性が大幅に改善されたインジウム類微粒子分散体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属微粒子分散液は、ＩＣ基板、半導体素子等の配線、半導体モジュールの層間接続、透明導電膜の形成、金属と非金属との接合、液のコロイド色を利用した色フィルター等に広く用いられている。
【０００３】
一般に、金属微粒子分散液の製造方法としては、金属塩、金属錯体等の金属化合物の水溶液を、還元剤で還元して金属微粒子の分散液を得る方法が従来から広く知られている。しかしながら、このような化学的方法では、還元されずに残留した物質や還元反応による不純物が含有された微粒子分散液しか調製できず、その用途が限定されたものとなっていた。また、この方法に関しては、使用する還元剤の種類、使用する物質の純度、保護コロイドの有無、調製時のｐＨや温度等を変化させることによって、分散性を向上させる方法が多く検討されているが、何れも充分な分散安定性を得られるまでには至っていなかった。
【０００４】
以上のような化学的方法とは異なり、スパークエロージョン法、ガス中蒸発法、真空蒸着法等の物理的方法が知られている。
【０００５】
スパークエロージョン法は、分散させたい金属を電極として用い、分散媒中で電極間に放電を発生させることによって、金属微粒子分散液を製造する方法である。しかしながら、この方法では、分散媒中に電気良導体である界面活性剤を含有させておくことが難しいため、微粒子の凝集を抑制することができない等の場合があった。
【０００６】
ガス中蒸発法は、０．１〜３０Ｔｏｒｒ（ｍｍＨｇ）（１．３×１０１Ｐａ〜４×１０３Ｐａ）の不活性気体の存在下に、分散させたい金属蒸気を発生させ、気相中で微粒子を生成させ、生成した直後に、それを溶媒に捕集して微粒子分散液を製造する方法である（特許文献１参照）。また、不活性気体中に常温で液体である有機物の気体を共存させておくことによって、その有機物中に分散された微粒子を得て、その後溶媒交換等をして微粒子分散液を製造する方法も知られている。
【０００７】
しかしながら、これらガス中蒸発法では、平均粒径をそろえることが困難であった。すなわち、発生した金属の蒸気は、不活性気体原子との衝突によって冷却されて微粒子を形成するが、発生した微粒子は再び不活性気体中で会合しクラスターを形成しやすい等の、気体と気体との接触に起因する問題点があった。
【０００８】
真空蒸着法は、界面活性剤で表面が覆われた油の表面に金属を蒸着させ、金属原子等が凝集して微粒子が形成されると同時に、その微粒子を界面活性剤で保護して微粒子同士の会合を防止し、微粒子が油中に分散された分散体を得る方法である（特許文献２参照）。この方法では、微粒子が直接液体中に生成するので、上記ガス中蒸発法で問題となる、気体と気体との接触に起因する問題点、微粒子同士の会合等は生じ難い。
【０００９】
しかしながら、真空蒸着法における上記界面活性剤については、殆ど研究がなされておらず、特許文献１等に記載のガス中蒸発法で用いられる界面活性剤に関する技術の真空蒸着法への適用は全くできず、また、特許文献２で真空蒸着法における界面活性剤として用いられているコハク酸イミドポリアミンでも、インジウム類微粒子分散液の使用分野において、金属微粒子同士が低温での加熱で融着し難い（低温焼結性に劣る）等の問題点が依然としてあった。
【００１０】
更に、該金属がインジウム類である場合にも、かかる問題点が顕著であり、従って、比較的優れた方法である真空蒸着法を用いても、インジウム類微粒子分散液に、充分な分散性や分散安定性を付与するまでには至っていなかった。
【００１１】
【特許文献１】特開２００２−１２１６０６号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ２００５／０９９９４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は上記背景技術に鑑みてなされたものであり、その課題は、小さな平均粒径で分散が可能で、分散性、分散安定性、高濃度分散性等が良好な、インジウム類微粒子分散体の製造方法を提供することにあり、また、その製造方法を使用して製造されたインジウム類微粒子分散体、更には、そのインジウム類微粒子分散体に対して溶媒置換を施したインジウム類微粒子分散液を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者は、上記の課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、インジウム類微粒子の分散体を特定の方法で製造するに際し、分散媒に特定の界面活性剤を溶解させておくことにより、分散性等が改善されることを見出して本発明を完成するに至った。
【００１４】
具体的には、金属の微粒子分散液を製造できる真空蒸着法において、それに用いる低蒸気圧液体中にソルビタンモノオレートを溶解させておくと、特に該金属がインジウムの場合には、分散性や分散安定性が極めて顕著に改善されることを見出した。すなわち、インジウム類の場合には、界面活性剤としてソルビタンモノオレートを用いると両者の相乗効果が大きく、特に良好な微粒子分散体や微粒子分散液が得られることを見出して本発明を完成するに至った。
【００１５】
すなわち本発明は、インジウム類の気体を低蒸気圧液体に接触させることによって、インジウム類微粒子が該低蒸気圧液体に分散された分散体を製造する方法であって、該低蒸気圧液体中にソルビタンモノオレートを溶解させておくことを特徴とするインジウム類微粒子分散体の製造方法を提供するものである。
【００１６】
また、本発明は、上記製造方法を使用して製造されたインジウム類微粒子分散体を提供するものである。
【００１７】
また、本発明は、上記の「インジウム類微粒子分散体」中の低蒸気圧液体を、他の分散媒に置換したものであることを特徴とするインジウム類微粒子分散液を提供するものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、極めて小さな体積分布メジアン径（Ｄ５０）を有するインジウム類微粒子にまで分散が可能であり、また、小粒径に分散しても、分散性に優れ、インジウム類微粒子の凝集がなく、分散安定性にも優れた「インジウム類微粒子分散体」を提供することができる。また、金属微粒子同士が低温での加熱で融着し易く（低温焼結性に優れ）、銀類微粒子等の他の金属微粒子の分散液と混合して使用することもできる。また、得られたインジウム類微粒子分散体を溶媒置換することによって、分散性に優れた「インジウム類微粒子分散液」を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明について説明するが、本発明は、以下の実施の具体的形態に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内で任意に変形できるものである。
【００２０】
本発明は、インジウム類の気体を、低蒸気圧液体に接触させることによって、該インジウム類微粒子が該低蒸気圧液体に分散された分散体を製造する方法に関するものである。
【００２１】
本発明の製造方法で分散される「インジウム類」としては、加熱によって気体になるものであれば特に限定はない。また、本願における「インジウム類」とは、インジウム金属単体、インジウム合金、インジウム化合物、インジウム混合物等が含まれる。具体的には、例えば、インジウム金属単体；スズ、銀、銅、ビスマス等の金属との合金であるインジウム合金；酸化インジウム、硫酸インジウム、リン化インジウム等のインジウム化合物；アルミニウム、チタン、バナジウム、マンガン、スズ、鉄、コバルト、ニッケル、銅、ガリウム、ゲルマニウム、ストロンチウム、ニオブ、モリブデン、パラジウム、銀、アンチモン、バリウム、ハフニウム、タンタル、タングステン、希土類元素等の元素若しくはそれらの酸化物との混合物である「インジウム金属単体若しくはインジウム化合物と、他の元素（の化合物）との混合物」等が挙げられる。
【００２２】
これらの中でも、純度９９％以上のインジウム金属単体；
錫−インジウム合金、錫−銀−インジウム合金、錫−ビスマス−インジウム合金、錫−銀−銅−インジウム合金、錫−銀−ビスマス−インジウム合金、錫−銀−銅−ビスマス−インジウム合金等の「インジウム合金」；
酸化インジウム錫等の「インジウム金属と他の金属との混合物」；
三塩化インジウム、酸化インジウム、硫酸インジウム、リン化インジウム等の「インジウム化合物」；
が好ましい。
【００２３】
インジウム類を気体にする方法は特に限定はされず、公知の加熱方法でインジウム類を加熱する。加熱温度も気体状態にできるために充分な温度であれば特に限定はなく、また、インジウム類の種類によっても異なるが、２００〜２０００℃が好ましく、４００〜１８００℃がより好ましく、６００〜１６００℃が特に好ましく、８００〜１４００℃が更に好ましい。
【００２４】
本発明においては、インジウム類の気体を、後述する低蒸気圧液体に接触させて分散体を形成させるが、その際、インジウム類の気体中に、ヘリウム、アルゴン、窒素等の不活性気体；分散媒、分散助剤等の有機物気体等を共存させることを排除するものではないが、分子を液体に接触させて、液相界面で分散状態を作る本発明の作用原理から、それらを共存させる必要性はない。好ましくは、上記不活性気体を共存させない方がよい。
【００２５】
インジウム類の気体を、後述する低蒸気圧液体に接触させて分散体を形成させる際の圧力は特に限定はないが、１０−１Ｐａ以下であることが好ましい。
【００２６】
これらの点で、０．１〜３０Ｔｏｒｒ（ｍｍＨｇ）（１．３×１０１Ｐａ〜４×１０３Ｐａ）の圧力下で、不活性気体との相互作用によってインジウム類の蒸気を凝集させて、気体中でインジウム類微粒子を生成させる前記したガス中蒸発法とは、本発明は全く異なる技術思想によるものである。
【００２７】
本発明において、上記圧力は１０−１Ｐａ以下であることが好ましく、１０−２Ｐａ以下であることが特に好ましい。また、１０−４Ｐａ以上であることが好ましく、１０−３Ｐａ以上であることが特に好ましい。圧力が大き過ぎる、すなわち真空度が悪いと、加熱温度を高くする必要がある点、そこに介在する気体の影響がでてインジウム類微粒子が変質する点等の問題が生じる場合がある。圧力が小さ過ぎる、すなわち真空度を不必要に高くすると、低蒸気圧液体が揮発したり、生産性が落ちたり、真空ポンプに負荷がかかり過ぎたりする場合がある。
【００２８】
本発明においては、「インジウム類の気体」を、低蒸気圧液体に接触させることによって、それを該低蒸気圧液体中に分散させる。「低蒸気圧液体」とは、分散時の温度で低蒸気圧であって、１０−３Ｐａで実質的に揮発しない液体をいう。低蒸気圧でないと、蒸発して「インジウム類の気体」と気体同士で相互作用をして分散性に悪影響を与える場合がある。その蒸気圧は、好ましくは、２５℃で、１０−１０Ｐａ〜１０−５Ｐａ、特に好ましくは、２５℃で、１０−８Ｐａ〜１０−６Ｐａである。かかる低蒸気圧液体の１気圧での沸点は特に限定はないが、上記と同じ理由で、１８０℃以上が好ましく、２００℃以上がより好ましく、２２０℃以上が特に好ましく、２４０℃以上が更に好ましい。
【００２９】
具体的には、例えば、アルキルナフタレン、エチレンオレフィン共重合体等の脂肪族及び／又は芳香族炭化水素類；アルキルジフェニルエーテル、ポリフェニルエーテル、ポリアルキルフェニルエーテル等の芳香族エーテル類；シリコーン油、ポリアルキルシロキサン等のシロキサン化合物類；フルオロカーボン油類；多価アルコール類等が挙げられる。ここで、上記アルキル基としては特に限定はないが、炭素数４〜２４個のものが好ましく、８〜２２個のものがより好ましく、１２〜２０個のものが特に好ましい。また、「脂肪族及び／又は芳香族炭化水素類」である場合には、炭素数の合計が１４以上であることが好ましく、２０以上であることがより好ましく、２５以上であることが特に好ましい。これらは１種又は２種以上を混合して用いられる。また、低蒸気圧液体として、市販の拡散ポンプ油も好ましく用いられる。
【００３０】
本発明のインジウム類微粒子分散体の製造方法においては、インジウム類の気体を低蒸気圧液体に接触させることによって、その気体が固体のインジウム類微粒子になって上記該低蒸気圧液体中に分散されるが、その際、該低蒸気圧液体中にソルビタンモノオレートを溶解させておくことを特徴とする。ソルビタンモノオレートを溶解させておくことによって、体積分布メジアン径（Ｄ５０）の小さい分散粒子を形成させることができ、また、小粒径でも分散性、分散安定性、高濃度分散性等が優れた分散体を得ることができる。
【００３１】
本発明においては、上記低蒸気圧液体中にソルビタンモノオレートが溶解されていればよく、ソルビタンモノオレートの濃度は特に限定はなく適宜調節可能である。好ましくは、低蒸気圧液体１００質量部に対して、ソルビタンモノオレート０．３〜５０質量部であり、１〜２０質量部がより好ましく、３〜１０質量部が特に好ましい。ソルビタンモノオレートが少な過ぎると、分散性が不足し、良好に分散できない場合があり、一方、多過ぎると低蒸気圧液体の粘度が高くなり、回転ドラムの回転による「新しい低蒸気圧液体の膜」が出にくくなる場合がある。
【００３２】
ソルビタンモノオレートとしては、ソルビタンとオレイン酸（オクタデセン酸）とのモノエステルであればその製造方法等は特に限定なく、公知の方法で得られるものが使用できる。ソルビタン、ソルビタンジオレート、ソルビタントリオレート及び／又はソルビタンテトラオレートが混入してもよいが、ソルビタンモノオレートを主成分とするものであることが好ましい。ここで「主成分とするもの」とは、ソルビタンモノオレートの含有割合が、５０モル％以上であるものをいい、好ましくは７０モル％以上、特に好ましくは８０モル％以上、更に好ましくは９０モル％以上であるものである。
【００３３】
本発明のインジウム類微粒子分散体の製造方法によると、インジウム類の気体が液体の界面に蒸着され液中に取り込まれ、体積分布メジアン径（Ｄ５０）がナノオーダーのインジウム類微粒子が生成するものであり、そこで使用される界面活性剤としてのソルビタンモノオレートは、液中への取り込み、液中でのインジウム類微粒子の生成、インジウム類微粒子の体積分布メジアン径（Ｄ５０）の制御、インジウム類微粒子同士の会合の抑制等に直接関与していると考えられる。従って、界面活性剤としてのソルビタンモノオレートの役割・効果が極めて特殊であるので、一般的なインジウム類微粒子の分散性改良に用いられる界面活性剤の知見・技術は殆ど役に立たない。すなわち、他の微粒子分散液の製造方法において知られている界面活性剤の本発明への単なる転用、公知の分散剤の本発明への単なる転用はできない。
【００３４】
また、磁性紛（強磁性体紛）の分散技術は、本発明には応用できないものである。すなわち、強磁性を有するということは、その粒子が結晶性を有するということであり、そこまで大きい粒子の分散技術は、それより極めて小さい粒径のインジウム類微粒子の形成や分散が必要な本発明には応用できないものである。
【００３５】
本発明のインジウム類微粒子分散体の製造方法を用いると、体積分布メジアン径（Ｄ５０）５０ｎｍ以下で分散された分散体を極めて分散性よく安定に製造できる。また、体積分布メジアン径（Ｄ５０）２０ｎｍ以下でも安定に分散でき、更には、体積分布メジアン径（Ｄ５０）１０ｎｍ以下でも分散できる。従って、本発明の製造方法を使用して得られるインジウム類微粒子分散体中のインジウム類微粒子の体積分布メジアン径（Ｄ５０）は、通常１〜１００ｎｍ、好ましくは２〜５０ｎｍ、より好ましくは３〜２０ｎｍ、特に好ましくは４〜１５ｎｍ、更に好ましくは５〜１０ｎｍである。体積分布メジアン径（Ｄ５０）は小さいほど本発明の製造方法の効果を発揮し易いので好ましい。
【００３６】
本発明における「体積分布メジアン径（Ｄ５０）」は、（株）日立ハイテクノロジーズ社製、電界放射型走査電子顕微鏡（Ｓ−４８００）に、専用の明視野ＳＴＥＭ試料台とオプション検出器を取り付けることで、走査透過電子顕微鏡（以下、「ＳＴＥＭ」と略記する）として使用できるようにし、２０万倍のＳＴＥＭ写真を撮り、下記のソフトウェアに取り込み、写真上で任意に数百個から２千個程度のインジウム類微粒子を選び、それぞれの直径を測定し、体積基準の分布から体積で５０％累積粒子径として求めた。
【００３７】
ＳＴＥＭに供する測定試料は、微粒子分散液を、トルエンで適宜希釈調製し、コロジオン膜貼付メッシュに滴下して調製した。また、ＳＴＥＭ写真から体積基準の粒径分布や体積分布メジアン径（Ｄ５０）を求めるときには、（株）マウンテック社製の画像解析式粒度分布測定ソフトウェア「Ｍａｃ−Ｖｉｅｗ  Ｖｅｒ．４」を用いた。
【００３８】
本発明の製造方法によって製造されたインジウム類微粒子分散体中のインジウム類微粒子の濃度は特に限定はないが、インジウム類微粒子分散体１００質量部に対して、１〜９０質量部が好ましく、１０〜８０質量部がより好ましく、２０〜７０質量部が特に好ましい。本発明を使用すれば、高濃度のインジウム類微粒子分散体が得られる。
【００３９】
本発明のインジウム類微粒子分散体の製造方法について、図１に示す製造装置を例に更に詳しく説明する。ただし、図１は、本発明に用いられる具体的装置の一例であり、本発明は図１に示す装置を用いたものには限定されない。
【００４０】
図１において、チャンバー（１）は、固定軸（２）の回りに回転するドラム状であり、固定軸（２）を通してチャンバー（１）の内部が高真空に排気される構造になっている。チャンバー（１）には、エステル系界面活性剤が溶解された低蒸気圧液体（３）が入れてあり、ドラム状のチャンバー（１）の回転によって、チャンバー（１）の内壁に、ソルビタンモノオレートが溶解された低蒸気圧液体（３）の膜（４）が形成される。チャンバー（１）の内部には、インジウム類（５）を入れる容器（６）が固定されている。インジウム類（５）は、抵抗線に電流を流す等して所定温度まで加熱され、気体となってチャンバー（１）の中に放出される。
【００４１】
チャンバー（１）の外壁は、水流（８）で全体が冷却されている。加熱された「インジウム類（５）」から真空中に放出された原子（９）は、ソルビタンモノオレートが溶解された低蒸気圧液体（３）の膜（４）の表面から取り込まれ、インジウム類微粒子（１０）が形成される。次いで、かかるインジウム類微粒子（１０）が分散された低蒸気圧液体（３）は、チャンバー（１）の回転に伴ってチャンバー（１）の底部にある低蒸気圧液体（３）の中に輸送され、同時に、新しい「低蒸気圧液体（３）の膜（４）」がチャンバー（１）の上部に供給される。
【００４２】
この過程を継続することによって、チャンバー（１）の底部にある低蒸気圧液体（３）は、インジウム類（５）が高濃度に分散した分散体になっていく。
【００４３】
本発明においては、インジウム類の気体が、ソルビタンモノオレートが溶解された低蒸気圧液体中に直接取り込まれることによってインジウム類微粒子分散体が製造される。本発明は、以下の作用・原理には限定されないが、以下のように考えられる。すなわち、インジウム類の気体は、気相で凝集せずに直接低蒸気圧液体中に取り込まれ、低蒸気圧液体中で原子の凝集が起こり、ある程度の体積分布メジアン径（Ｄ５０）を有するようになった時点で、その凝集粒子はソルビタンモノオレートによって取り囲まれ、ナノオーダーのインジウム類微粒子として安定化するものと考えられる。その際、特にソルビタンモノオレートを用いると、凝集粒子をより素早く包み込み、互いの会合をより強く抑制し、ナノオーダーのインジウム類微粒子としてより安定化させるものと考えられる。
【００４４】
本発明の製造方法を使用して得られたインジウム類微粒子分散体は、分散媒に上記低蒸気圧液体が用いられているが、分散媒に上記低蒸気圧液体が用いられていると、その後の用途にとって不適当な場合は、かかる「インジウム類微粒子分散体」中の低蒸気圧液体を、他の分散媒に置換して、「インジウム類微粒子分散液」を調製することが好ましい。すなわち、上記低蒸気圧液体は分散性の観点から好適なものが使用されるが、その後、そのインジウム類微粒子が用いられる用途に応じて好適な「他の分散媒」に置換されることが好ましい。
【００４５】
「他の分散媒」としては特に限定はなく、分散液の用途に応じて選択できる。例えば、トルエン、キシレン、ｎ−ヘキサン等の炭化水素系溶媒；酢酸エチル等のエステル系溶媒；プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル等のグリコール系溶媒；アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒等が挙げられる。これらは１種で又は２種以上混合して用いられる。
【００４６】
低蒸気圧液体を、他の分散媒に置換する方法としては、公知の溶媒置換・分散媒置換の方法が用いられる。本発明で得られたインジウム類微粒子は分散媒を置換しても、分散媒置換中も、その後の分散液保存中も安定に分散状態を保つことができる。
【００４７】
本発明のインジウム類微粒子分散体の製造方法を用いると、分散媒を置換することによって、体積分布メジアン径（Ｄ５０）５０ｎｍ以下で分散されたインジウム類微粒子分散液を極めて分散性よく安定に製造できる。また、体積分布メジアン径（Ｄ５０）２０ｎｍ以下でも製造可能であり、更には体積分布メジアン径（Ｄ５０）１５ｎｍ以下でも製造可能である。従って、本発明の製造方法を使用して得られるインジウム類微粒子分散液中のインジウム類微粒子の体積分布メジアン径（Ｄ５０）は、通常１〜１００ｎｍ、好ましくは２〜５０ｎｍ、より好ましくは３〜２０ｎｍ、特に好ましくは４〜１５ｎｍ、更に好ましくは５〜１０ｎｍである。
【実施例】
【００４８】
以下に、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明は、その要旨を超えない限りこれらの実施例に限定されるものではない。
【００４９】
実施例１
低蒸気圧液体としてライオン拡散ポンプ油（Ａ）（ライオン社製）３８０ｇを用い、それにソルビタンモノオレートとしてレオドールＳＰ−Ｏ１０Ｖ（花王社製）（固形分１００％）を２０ｇ添加し攪拌した。ライオン拡散ポンプ油（Ａ）は、炭素数１２〜１６個のアルキル基を有するアルキルナフタレンである。また、レオドールＳＰ−Ｏ１０Ｖは、ソルビタンモノオレートを９０モル％以上含有するソルビタン脂肪酸エステルである。
【００５０】
図１に示す装置を用いてインジウム微粒子分散体を製造した。容器（６）内に、インジウム粒（住友金属鉱山製：純度９９．９９％）を１０ｇ入れ、回転ドラム式のチャンバー（１）内に上記液体を入れた。真空ポンプで吸引することによって、チャンバー（１）内の圧力を、１０−３Ｐａに到達させた。次いで、チャンバー（１）を水流（７）で冷却させながら回転させ、容器（６）の下部に設けたヒーターに電流を流し、インジウム粒が溶解・蒸発するまで、その電流値を上昇させた。
【００５１】
インジウム粒は溶解し、インジウムの気体は、分散媒面（ソルビタンモノオレートが溶解された低蒸気圧液体（３）の膜（４）の表面）に接触し、ソルビタンモノオレートに取り込まれることで、インジウム微粒子分散体が形成された。
【００５２】
図２に示す前記した２０万倍のＳＴＥＭ写真、及び図３に示す前記した方法で測定した、縦軸が体積頻度と体積累積の粒径分布より、粒径２〜２０ｎｍ程度の粒子が凝集することなく分散されていることが確認できた。体積分布メジアン径（Ｄ５０）は９．０７ｎｍであった。
【００５３】
比較例１
実施例１において、レオドールＳＰ−Ｏ１０Ｖに代えて、アジスパーＰＡ１１１（味の素ファインテクノ社製）（有効成分１００％）を用いた以外は、実施例１と同様の方法でインジウム微粒子分散体を得た。アジスパーＰＡ１１１は、高級脂肪酸エステルである。
【００５４】
同様の２０万倍のＳＴＥＭ写真の観察により、粒径３０〜１００ｎｍ程度の粒子が分散されていることが確認できた（図４）。体積分布メジアン径（Ｄ５０）は７２．１ｎｍであった（図５）。
【００５５】
比較例２
実施例１において、レオドールＳＰ−Ｏ１０Ｖに代えて、イオネットＳ８５（三洋化成工業社製）（固形分１００％）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で行なった。イオネットＳ８５は、ソルビタントリオレートを主成分とするソルビタン脂肪酸エステルである。
【００５６】
低蒸気圧液体中でインジウム微粒子が沈降、堆積していることが目視で観察でき、良好な分散体ができなかった。
【００５７】
上記結果から明らかなように、実施例１では、ソルビタンモノオレートを用いたため、インジウム微粒子同士の会合が抑制され、良好な分散性と分散安定性を有するインジウム微粒子分散体を得ることができた。
【００５８】
一方、ソルビタンモノオレートを使用しないもの（比較例１及び比較例２）では、実施例１に比べ、全て分散性、分散安定性が悪かった。
【００５９】
実施例２
実施例１で得られたインジウム類微粒子分散体中のライオン拡散ポンプ油（Ａ）（炭素数１２〜１６個のアルキル基を有するアルキルナフタレン）を、トルエンに分散媒置換してインジウム類微粒子分散液を得た。このインジウム類微粒子分散液中には、インジウム微粒子が良好に分散されていた。同様の２０万倍のＳＴＥＭ写真の観察により、粒径２〜２０ｎｍ程度の粒子が凝集することなく分散されていることが確認できた。体積分布メジアン径（Ｄ５０）は１０．４ｎｍであった。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明のインジウム類微粒子分散体の製造方法を使用して得られた分散体、分散液は、ＩＣ基板、半導体素子等の配線、半導体モジュールの層間接続、透明導電膜の形成、金属と非金属との接合、液のコロイド色を利用した色フィルター等に広く利用されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明のインジウム類微粒子分散体の製造方法に使用される装置の一例の概略断面図である。
【図２】実施例１で製造された、インジウム微粒子分散体中のインジウム微粒子のＳＴＥＭ写真である（倍率２０万倍）。
【図３】実施例１で製造された、インジウム微粒子分散体中のインジウム微粒子の、縦軸が体積頻度、体積累積の粒度分布図である。
【図４】比較例１で製造された、インジウム微粒子分散体中のインジウム微粒子のＳＴＥＭ写真である（倍率２０万倍）。
【図５】比較例１で製造された、インジウム微粒子分散体中のインジウム微粒子の、縦軸が体積頻度、体積累積の粒度分布図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  チャンバー
２  固定軸
３  ソルビタンモノオレートが溶解された低蒸気圧液体
４  ソルビタンモノオレートが溶解された低蒸気圧液体の膜
５  インジウム類
６  容器
７  水流
８  回転方向
９  インジウム類の原子又は分子
１０  インジウム類微粒子
【図１】
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【図３】
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【図５】
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【図２】
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【図４】
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