(57)【要約】【課題】基板検査装置において、エアの消費量を抑えると共に、安定してガラス基板を搬送する。【解決手段】ガラス基板１０を検査する基板検査装置１において、搬送路２と、この搬送路２に沿ってガラス基板１０を搬送する搬送部材３と、搬送部材３に設けられ、ガラス基板１０側にエアを噴出する基板側開口部３ａと、搬送部材３に設けられ、搬送路２側にエアを噴出する搬送路側開口部３ｄと、基板側開口部３ａ及び搬送側開口部３ｄにエアを供給するエア供給部と、を備える構成とする。【選択図】図３
2009263066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を検査する基板検査装置において、
搬送路と、
前記搬送路に沿って前記ガラス基板を搬送する搬送部材と、
前記搬送部材に設けられ、前記ガラス基板側にエアを噴出する基板側開口部と、
前記搬送部材に設けられ、前記搬送路側にエアを噴出する搬送路側開口部と、
前記基板側開口部及び前記搬送側開口部にエアを供給するエア供給部と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記搬送部材の基板側開口部は、前記ガラス基板側にエアを噴出することができるのに加え、前記ガラス基板側からエアを吸引することもできる、
ことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記基板側開口部からエアを吸引するエア吸引部を更に備えることを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記搬送部材の基板側開口部と前記エア供給部及び前記エア吸引部との間に、前記基板側開口部におけるエアの噴出と吸引とを切り換える切替部を更に備えることを特徴とする請求項３記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記搬送路の片側に配置され、前記搬送部材を前記搬送路に沿って移動させる搬送軸を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項４記載のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記搬送路を挟んで両側に配置され、前記搬送部材を前記搬送路に沿って移動させる２つの搬送軸を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項４記載のいずれか1項記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記搬送部材を貫通して前記ガラス基板の受け渡しを行う位置と前記搬送路内に収納される位置とに移動するリフトピンを更に備えることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記搬送部材は、略鉛直方向に傾けた前記ガラス基板を搬送することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板を検査する基板検査装置に関し、更に詳しくは、ガラス基板を搬送する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイなどのガラス基板を検査する検査工程において、ガラス基板を搬送する際には、基板検査装置における基板搬送部のベース部に設けられた浮上ステージからガラス基板に向けてエアを吹き付け、ガラス基板を浮上ステージから浮上させた非接触状態でガラス基板を吸着部により保持し、ガラス基板を保持した吸着部を移動させることによりガラス基板を搬送する手法が採られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１記載の基板検査装置では、ガラス基板を搬送する搬送路全面に複数の孔が形成されており、これら孔からエアを噴出させることで搬送路上にガラス基板を浮上させるようにしている。
【特許文献１】特開２００７−１１２６２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１記載の基板検査装置のように搬送路全面からエアを噴出させる構成の場合、ガラス基板が搬送路上に位置していない時も、常に搬送路全面でエアを噴出させることになるため、エアの消費量が膨大になるという問題がある。
【０００５】
また、上記特許文献１記載の基板検査装置では、搬送路上にガラス基板を浮上させ、ガラス基板のみ移動させるため、ガラス基板自体の反り、うねり等によって搬送路との接触が発生した場合に、ガラス基板が破損するという問題もある。
【０００６】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、エアの消費量を抑えることができると共に、ガラス基板の破損を防ぐことができる基板検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の基板検査装置は、ガラス基板を検査する基板検査装置において、搬送路と、上記搬送路に沿って上記ガラス基板を搬送する搬送部材と、上記搬送部材に設けられ、上記ガラス基板側にエアを噴出する基板側開口部と、上記搬送部材に設けられ、上記搬送路側にエアを噴出する搬送路側開口部と、上記基板側開口部及び上記搬送側開口部にエアを供給するエア供給部と、を備える構成とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、搬送路に沿ってガラス基板を搬送する搬送部材は、ガラス基板側及び搬送路側にエアを噴出する。
そのため、搬送路全面からエアを噴出させる場合に比較してエアの消費量が抑えられる。また、搬送部材はガラス基板と共に移動するため、ガラス基板が搬送路に接触した場合にもガラス基板が破損するのを防ぐことができる。また、ガラス基板側にもエアを噴出させて、搬送部材から浮上させているため、ガラス基板の受け渡し時、搬送部材に密着することがなく、ガラス基板が破損するのも防ぐことができる。
【０００９】
よって、本発明によれば、エアの消費量を抑えることができると共に、ガラス基板の破損を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態に係る基板検査装置について、図面を参照しながら説明する。
＜第１実施形態＞
図１及び図２は、本発明の第１実施形態に係る基板検査装置１の概略構成を示す斜視図及び側面図である。
【００１１】
図３は、上記基板検査装置１の搬送部材３の内部構成を示す概略断面図である。
図４は、上記基板検査装置１のエア配管を示す概略図である。
基板検査装置１は、搬送路２、搬送部材３、搬送軸４、プラチェーン５、搬送軸ベース６等から構成され、ガラス基板１０を搬送し、検査をするための装置である。ガラス基板１０の検査としては、撮像手段によるミクロ検査や目視によるマクロ検査等が挙げられるが、後述する基板検査装置１によるガラス基板１０の搬送は、いずれの検査を行う場合にも適用可能である。
【００１２】
図３に示すように、搬送部材３の上面には、基板１０側にエアを噴出又は吸引するための基板側開口部３ａと、搬送路３側にエアを噴出するための搬送路側開口部３ｂとが、それぞれ一定間隔で形成されている。
【００１３】
また、搬送部材３の内部には、基板側開口部３ａに連通する基板側エア通路３ｃ、及び、搬送路側開口部３ｂに連通する搬送路側エア通路３ｄが形成されている。
基板側エア通路３ｃは、プラチェーン５を介して図示しないエア供給手段及びエア吸引手段に接続されている。一方、搬送路側エア通路３ｄは、プラチェーン５を介して図示しないエア供給手段のみに接続されている。なお、基板側エア通路３ｃ、及び、搬送路側開口部３ｂに連通する搬送路側エア通路３ｄにエアを供給する手段は、共通であっても、別々であってもよい。
【００１４】
なお、プラチェーン５は、搬送部材３が移動をしても、それに伴い形状を変化させることで、内部の図示しないエア通路を、搬送部材３とエア供給手段或いはエア吸引手段とに連通させている。
【００１５】
搬送部材３は、その底面の端部において、ガラス基板１０の搬送方向（矢印Ｄ）と平行に延びる単一の搬送軸４に固定されている。搬送軸４は、リニアモータ等、搬送部材３をガラス基板１０の搬送方向（矢印Ｄ）に移動させる機能を有し、搬送路２の片側のみに配置された搬送軸ベース６上を移動することにより、搬送部材３を搬送路２に沿って移動させる。これにより、ガラス基板１０も搬送方向（矢印Ｄ）に移動することになる。
【００１６】
また、搬送部材３を搬送路２に沿って移動させる搬送軸４は、搬送路２の片側のみに配置されている。そのため、搬送路２の両側に搬送軸４及び搬送軸ベース６を配置する場合のように２つの搬送軸ベース６間での平行度の調整を要することがなく、また、基板検査装置１の小型化を図ることもできる。
【００１７】
なお、ガラス基板１０を搬送部材３から噴出されるエアにより浮上させる場合、ガラス基板１０を所定位置又は所定高さに保持する図示しない保持部材を搬送部材３に設けることで、エアによる浮上時、ガラス基板を安定に搬送部材３上に位置させることができる。
【００１８】
図４に示すように、搬送部材３と浮上エア系統（エア供給手段）及び吸着エア系統（エア吸引手段）との間には電磁弁７，８（切替部）が配置されている。これら電磁弁７，８の開閉を切り替えることで、基板側開口部３ａにおけるエアの噴出と吸引とを切り替えることができる。
【００１９】
以上説明した第１実施形態では、搬送路２に沿ってガラス基板１０を搬送する搬送部材３は、ガラス基板１０側及び搬送路２側にエアを噴出する。そのため、搬送路２全面からエアを噴出させる場合に比較してエアの消費量が抑えられる。また、搬送部材３はガラス基板１０と共に移動するため、ガラス基板１０が搬送路２に接触した場合にもガラス基板１０が破損するのを防ぐことができる。また、ガラス基板の受け渡し時、ガラス基板１０側にエアを噴出させることで、搬送部材３からガラス基板１０を浮上させることができ、スムーズな受け渡しができる。よって、本実施形態によれば、エアの消費量を抑えることができると共に、ガラス基板１０の破損を防ぐことができる。
【００２０】
また、本実施形態では、搬送部材３は、浮上エア系統の電磁弁７と吸着エア系統の電磁弁８との開閉を切り換えることで、ガラス基板１０側にエアを噴出することができるのに加え、ガラス基板１０側からエアを吸引することもできる。
【００２１】
そのため、例えば、ガラス基板の受け渡し時、ガラス基板１０を搬送部材３上に載置する際には基板側開口部３ａからエアを噴出させ、ガラス基板の受け渡しを行ない、その後ガラス基板を搬送部材３上に位置させた後は、基板側開口部３ａからエアを吸引することにより、ガラス基板１０の破損を防ぎながらガラス基板１０を確実に保持するようにすることができる。更には、ガラス基板１０の検査態様、種類等に応じて、エアの噴出によりガラス基板１０を搬送部材３上で浮上させるか、エアの吸引によりガラス基板１０を搬送部材３に接触状態で保持させるかを選択することもできる。
【００２２】
なお、本実施形態では、搬送軸４及び搬送軸ベース６を搬送路２の片側のみに配置する例について説明したが、搬送軸４及び搬送軸ベース６は搬送路２の両側に配置するようにすることも可能である。その場合には、搬送部材３を、搬送路２を挟んだ両側から支持することができるため、搬送部材３に生じる撓み、ひいてはガラス基板１に生じる撓みを抑えることができる。
【００２３】
＜第２実施形態＞
本実施形態の基板検査装置１１は、ガラス基板１０の受け渡しのためのリフトピン６及びそれに伴う構成を除いて上記第１実施形態の基板検査装置１と概ね同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００２４】
図５及び図６は、本発明の第２実施形態に係る基板検査装置１１の概略構成を示す斜視図である。
図７及び図８は、上記基板検査装置１１の概略構成を示す側面図である。
【００２５】
基板検査装置１１は、搬送路１２、搬送部材１３、搬送軸１４、プラチェーン１５、搬送軸ベース１６、リフトピン１７、リフトピン上下軸１８、リフトピンベース１９等から構成され、ガラス基板１０を搬送し、検査を行うための装置である。本実施形態においても、ガラス基板１０の検査としては、撮像手段によるミクロ検査や目視によるマクロ検査等、いずれの検査を行う場合にも適用可能である。
【００２６】
本実施形態の搬送部材１３も、図示しないが、上記第１実施形態の搬送部材３と同様に、図３に示すような基板側開口部３ａ、搬送路側開口部３ｂ、基板側エア通路３ｃ及び搬送路側エア通路３ｄが形成されているものとする。
【００２７】
但し、搬送路１２及び搬送部材１３は、複数のリフトピン貫通孔１２ａ，１３ｅが形成されている点で上記第１実施形態の搬送路２及び搬送部材３と相違する。また、搬送部材１３には、図示しないが、図３に示すような基板側エア通路３ｃ及び搬送路側エア通路３ｄが形成されているため、これら基板側エア通路３ｃ及び搬送路側エア通路３ｄはリフトピン貫通孔１３ｅと連通しないように形成されている。なお、リフトピン貫通孔１２ａ，１３ｅは、後述するリフトピン１７が互いに均等間隔をもってガラス基板１０を支持することができるように、互いに均等間隔をもって形成されるようにするとよいが、均等間隔でなくても搬送部材１３上で、ガラス基板１０を保持できればよい。
【００２８】
搬送路１２の内部には、リフトピンベース１９が配置されている。そして、リフトピンベース１９には、リフトピン上下軸１８が上下動自在に設けられている。このリフトピン上下軸１８は、複数のリフトピン１７の下端に固定されている。
【００２９】
図６に示すように、ガラス基板１０が図示しないローダ装置等により搬送部材１３上に搬送されてくる際には、リフトピン上下軸１８を上昇させ、リフトピン１７を、搬送路１２及び搬送部材１３の貫通孔１２ａ，１３ｅを貫通して搬送部材１３から突出する位置まで上昇させる。
【００３０】
そして、図７に示すようにリフトピン１７上にガラス基板１０を受け取った後、リフトピン上下軸１８はゆっくりと下降し、ガラス基板１０を搬送部材１３上に載置する。この載置されたガラス基板１０には、搬送部材１３によりエアを噴出するようにすることも吸引するようにすることも可能である。
【００３１】
ガラス基板１０が搬送部材１３上に載置された後には、搬送部材１３の移動を妨げないよう、図８に示すように、リフトピン上下軸１８により、リフトピン１７を搬送路１２内に収納される位置まで下降させる。
【００３２】
なお、リフトピンベース１９、リフトピン上下軸１８、リフトピン１７は、ガラス基板１０の受け渡し位置のみに設けてもよいし、搬送部材１３と共に移動するようにしてもよい。
【００３３】
以上説明した第２実施形態においても、搬送部材１３は、ガラス基板１０側及び搬送路１２側にエアを噴出する。そのため、搬送路１２全面からエアを噴出させる場合に比較してエアの消費量が抑えられる。また、搬送部材１３はガラス基板１０と共に移動するため、ガラス基板１０が搬送路１２に接触した場合にもガラス基板１０が破損するのを防ぐことができる。よって、本実施形態によっても、エアの消費量を抑えることができると共に、ガラス基板１０の破損を防ぐことができる。
【００３４】
また、本実施形態では、リフトピン上下軸１８は、リフトピン１７を、搬送部材１３及び搬送路１２を貫通してガラス基板１０の受け渡しを行う位置（図６及び図７）と、搬送路１３内に収納される位置（図８）とに移動させる。そのため、搬送部材１３からガラス基板１０側にエアを噴出させている場合には、搬送部材１３とガラス基板１０とは、ガラス基板１０の受け渡し時においても接触することがなく、したがって、ガラス基板１０の破損をより有効に防ぎながらガラス基板１０の受け渡しを行うことができる。
【００３５】
＜第３実施形態＞
本実施形態の基板検査装置２１は、略鉛直方向に傾けたガラス基板１０を搬送する点を除いて、上記第１実施形態の基板検査装置１と概ね同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００３６】
図９は、本発明の第３実施形態に係る基板検査装置２１を示す斜視図である。
基板検査装置２１は、搬送路２２、搬送部材２３、搬送軸２４、プラチェーン２５、搬送軸ベース２６等から構成され、ガラス基板１０を検査位置まで搬送し、検査を行うための装置である。本実施形態においても、ガラス基板１０の検査としては、撮像手段によるミクロ検査や目視によるマクロ検査等、いずれの検査を行う場合にも適用可能である。
【００３７】
本実施形態の搬送部材２３も、図示しないが、上記第１実施形態の搬送部材３と同様に、図３に示すような基板側開口部３ａ、搬送路側開口部３ｂ、基板側エア通路３ｃ及び搬送路側エア通路３ｄが形成されているものとする。
【００３８】
また、搬送部材２３は、ガラス基板１０と対向する搬送面が鉛直面となっている。そして、搬送路２２も、搬送部材２３と対向する搬送面が鉛直面となっている。
搬送軸２４は、搬送路２２の上面或いは上方を搬送軸ベース２６に沿って移動することにより、搬送部材２３を移動させている。
【００３９】
なお、本実施形態では、鉛直方向に傾けたガラス基板１０の搬送を行うため、搬送部材２３からエアを噴出させる場合には、ガラス基板１０を所定位置に保持する図示しない例えば上部を保持する保持部材を設ける必要がある。
【００４０】
また、搬送部材２３からエアを吸引する場合にも、エアの吸引のみでガラス基板１０を搬送部材２３に保持するのはエアの消費量が増加するため、ガラス基板１０の例えば上部を保持する保持部材を設けるとよい。
【００４１】
以上説明した第３実施形態においても、搬送部材２３は、ガラス基板１０側及び搬送路２２側にエアを噴出する。そのため、搬送路２２全面からエアを噴出させる場合に比較してエアの消費量が抑えられる。また、搬送部材２３がガラス基板１０と共に移動するため、ガラス基板１０が搬送路２２に接触した場合にもガラス基板１０が破損するのを防ぐことができる。よって、本実施形態によっても、エアの消費量を抑えることができると共に、ガラス基板１０の破損を防ぐことができる。
【００４２】
また、本実施形態では、搬送部材２３は、略鉛直方向に傾けたガラス基板１０を搬送している。そのため、搬送部材２３、搬送路２２、搬送軸ベース２６等を縦長に構成することができ、したがって、基板検査装置２１のフットプリントを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置の概略構成を示す側面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置の搬送部材の内部構成を示す概略断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置のエア配管を示す概略図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す斜視図（その１）である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す斜視図（その２）である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す側面図（その１）である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す側面図（その２）である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４４】
１      基板検査装置
２      搬送路
３      搬送部材
３ａ      基板側開口部
３ｂ      搬送路側開口部
３ｃ      基板側エア通路
３ｄ      搬送路側エア通路
４      搬送軸
５      プラチェーン
６      搬送軸ベース
７，８      電磁弁
１０      ガラス基板
１１      基板検査装置
１２      搬送路
１２ａ      リフトピン貫通孔
１３      搬送部材
１３ｅ      リフトピン貫通孔
１４      搬送軸
１５      プラチェーン
１６      搬送軸ベース
１７      リフトピン
１８      リフトピン上下軸
１９      リフトピンベース
２１      基板検査装置
２２      搬送路
２３      搬送部材
２４      搬送軸
２５      プラチェーン
２６      搬送軸ベース
【図１】
2009263066.tif 000003
【図２】
2009263066.tif 000004
【図３】
2009263066.tif 000005
【図５】
2009263066.tif 000006
【図６】
2009263066.tif 000007
【図７】
2009263066.tif 000008
【図８】
2009263066.tif 000009
【図９】
2009263066.tif 000010
【図４】
2009263066.tif 000011