(57)【要約】【課題】レンズの表面に成膜する際に、曲率半径の小さい小径レンズに対しても均一な膜厚の膜を形成する。【解決手段】レンズＬを回転自在に支持する１個以上のレンズ支持部材３０が真空槽２内に設けられている。各レンズ支持部材３０は、レンズＬの中心軸の角度が個別に設定可能となっている。これにより、レンズ支持部材３０ごとに回転軸の角度を設定できることから、曲率半径の小さい小径レンズＬに対しても、均一な膜厚の膜を形成することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを回転自在に支持する１個以上のワーク支持手段が真空槽内に設けられ、前記ワーク支持手段に支持されたワークに成膜する成膜装置であって、
前記各ワーク支持手段は、前記ワークの中心軸の角度が個別に設定可能となっていることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
前記ワーク支持手段は、前記蒸発装置に対して相対的に公転自在となっていることを特徴とする請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記ワーク支持手段は、自在軸受を介して揺動自在に支持されていることを特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記ワーク支持手段は、複数個であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の成膜装置。
【請求項５】
真空蒸着装置であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の成膜装置。
【請求項６】
ワークを自転させた状態で当該ワークに成膜する成膜工程を有する成膜方法であって、
前記成膜工程に先立ち、ワークの中心軸の角度を当該ワークの曲率に応じて傾けることを特徴とする成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置および成膜方法に関し、特に、対物レンズなど曲率半径の小さい小径レンズの表面に成膜する際に適用するに好適な成膜装置および成膜方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズの表面に反射膜などを真空蒸着して成膜する際には、レンズの中心部と周辺部とで膜厚差が生じる事態を避けるべく、膜厚補正板で膜厚むらを制御する方法が一般に採用されている。そして、膜厚差が大きい場合には、レンズの外径と曲率から算出した係数別に蒸発源の配置を変えたり、同係数別の膜厚補正板を用いたりしていた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−７１６７１号公報（段落〔０００７〕〔００１９〕の欄、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、これらの方法では、レンズの外径および曲率に適用限界があり、特に曲率半径の小さい小径レンズについては、その中心部と周辺部との膜厚差を縮めることが困難である。その結果、レンズの中心部と周辺部とで反射率などの膜特性が異なったり、レンズの周辺部に膜剥がれが生じたりする恐れがあった。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑み、曲率半径の小さい小径レンズに対しても、均一な膜厚の膜を形成することが可能な成膜装置および成膜方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の成膜装置は、ワーク（Ｌ）を回転自在に支持する１個以上のワーク支持手段（３０）が真空槽（２）内に設けられ、前記ワーク支持手段に支持されたワークに成膜する成膜装置（１）であって、前記各ワーク支持手段は、前記ワークの中心軸の角度が個別に設定可能となっている成膜装置としたことを特徴とする。
【０００６】
本発明の第１の成膜方法は、ワーク（Ｌ）を自転させた状態で当該ワークに成膜する成膜工程を有する成膜方法であって、前記成膜工程に先立ち、ワークの中心軸の角度を当該ワークの曲率に応じて傾ける成膜方法としたことを特徴とする。
【０００７】
なお、本発明をわかりやすく説明するため、実施例を表す図面の符号に対応づけて説明したが、本発明が実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ワーク支持手段ごとに回転軸の角度を設定できることから、曲率半径の小さい小径レンズに対しても、均一な膜厚の膜を形成することが可能な成膜装置および成膜方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
［発明の実施の形態１］
【００１０】
図１乃至図６には、本発明の実施の形態１を示す。
【００１１】
まず、構成を説明する。
【００１２】
真空蒸着装置１は、図１に示すように、円筒状の真空槽（チャンバ）２を有しており、真空槽２の側壁には排気口３が形成されている。また、真空槽２の底面内側の中央部には蒸発装置４が載置されており、この蒸発装置４は、坩堝（るつぼ）５、電子ビーム式の蒸発源６、シャッター７から構成されている。ここで、坩堝５は真空槽２の底面内側の中央部に載置されており、坩堝５の近傍には蒸発源６が設置されている。さらに、坩堝５の上方にはシャッター７が開閉自在に設けられている。なお、蒸発装置４の位置は、後述するレンズ支持部材３０の軸心ＣＴ３の傾斜角度に対応して決定される。例えば、レンズ支持部材３０の軸心ＣＴ３の傾斜角度が４５°である場合、蒸発装置４は、このレンズ支持部材３０に装着される半球レンズＬの中心の下方４５°の範囲内に配置される。
【００１３】
また、真空槽２の天井面内側の中央部には、図１に示すように、円筒状の中心フレーム８が固着されており、中心フレーム８の内部空間には円柱状の膜厚制御センサ９が真空槽２の上方へ突出する形で埋め込まれている。また、中心フレーム８の周囲には、回転フレーム１０が固着されている。この回転フレーム１０は、図２および図３に示すように、八角筒状の筒体１０ａと、筒体１０ａの上端近傍に等角度間隔（４５°間隔）で放射状に延設された８枚の上部片１０ｂと、筒体１０ａの下端に等角度間隔（４５°間隔）で放射状に延設された８枚の下部片１０ｃとから一体に構成されている。
【００１４】
また、中心フレーム８の周囲には、図１および図２に示すように、駆動ベアリング１２を介して駆動ギア１３が軸心ＣＴ１を中心として回転自在に取り付けられている。なお、真空槽２の天井面外側には動力モーター１５が設置されており、動力モーター１５に通電することにより、駆動ギア１３を回転させることができる。
【００１５】
また、駆動ギア１３には、図１および図２に示すように、８つの動力伝達機構２０が、ベアリング２４を介して回転フレーム１０の上部片１０ｂに、軸心ＣＴ２を中心として回転自在に支持された形で取り付けられている。各動力伝達機構２０は、第１回転軸２１、平歯車からなる第１中間ギア２２、傘歯車（ベベルギア）からなる第２中間ギア２３から構成されている。ここで、第１回転軸２１は、図１に示すように、ベアリング２４に嵌着されており、第１回転軸２１の上端には第１中間ギア２２が嵌着されて駆動ギア１３に噛み合っている。一方、第１回転軸２１の下端には、図１および図３に示すように、第２中間ギア２３が着脱自在に嵌着されている。
【００１６】
また、動力伝達機構２０の下側には、図１および図６に示すように、レンズ支持部材３０が、自在軸受３２を介して回転フレーム１０の下部片１０ｃに、軸心ＣＴ３を中心として回転自在に、かつ矢印Ａ、Ｂ方向に揺動自在に支持された形で取り付けられている。レンズ支持部材３０は、第２回転軸３１、傘歯車（ベベルギア）からなる第３中間ギア３３、レンズ保持具３４から構成されている。また、自在軸受３２は、図６に示すように、ベアリングボックス３２ａ、ベアリング３２ｂおよびスライド溝３２ｃから構成されており、ベアリング３２ｂはベアリングボックス３２ａ内でスライド溝３２ｃに沿って矢印Ｍ、Ｎ方向に揺動自在に支持されている。
【００１７】
ここで、第２回転軸３１は、図１に示すように、ベアリング３２ｂに嵌着されており、第２回転軸３１の上端には、第３中間ギア３３が着脱自在に嵌着されて第２中間ギア２３に噛み合っている。一方、第２回転軸３１の下端にはレンズ保持具３４が取り付けられており、このレンズ保持具３４は、図５に示すように、円錐筒状の上部ホルダ３４ａ、リング状の下部ホルダ３４ｂ、複数個の止めねじ３４ｃ、ねじ山３４ｄから構成されている。ここで、上部ホルダ３４ａに半球レンズＬを装填し、この半球レンズＬを下部ホルダ３４ｂで押さえ込み、この下部ホルダ３４ｂを止めねじ３４ｃで上部ホルダ３４ａに止めつけることにより、レンズ保持具３４に半球レンズＬを保持することができる。また、ねじ山３４ｄを第２回転軸３１にねじ込むことにより、レンズ保持具３４を第２回転軸３１に固定することができる。
【００１８】
また、レンズ支持部材３０の下方には、図１に示すように、ドーム台座４０が真空槽２の側壁と中心フレーム８との間に水平に架け渡されて設置されている。ドーム台座４０の上側にはリングドーム４１が載置されており、リングドーム４１には、レンズ保持具３４に保持された半球レンズＬを蒸発装置４側に露出させるための丸孔４１ａが形成されている。また、ドーム台座４０の下方には膜厚補正板４５が配置されている。
【００１９】
さらに、回転フレーム１０の下部片１０ｃとリングドーム４１との間には、ヒーターパネル４２が真空槽２の側壁と中心フレーム８との間に水平に架け渡されて設置されており、ヒーターパネル４２上には断熱板４３が貼設されている。
【００２０】
次に、作用について説明する。
【００２１】
以上のような構成を有する真空蒸着装置１において、半球レンズＬの表面に反射膜などの膜を真空蒸着して成膜する際には、次の手順による。
【００２２】
まず、レンズ装着工程で、半球レンズＬをレンズ保持具３４に装着する。
【００２３】
次に、レンズ傾斜工程に移行し、半球レンズＬの曲率に応じてレンズ支持部材３０の軸心ＣＴ３を傾ける。それには、図６に示すように、第２中間ギア２３と第３中間ギア３３との組み合わせを交換する。つまり、第２中間ギア２３、第３中間ギア３３のいずれか一方または双方を交換する。その結果、第２回転軸３１、ひいてはレンズ支持部材３０の軸心ＣＴ３が傾斜する。そして、これに伴って半球レンズＬの中心軸も同じ角度だけ傾斜する。
【００２４】
なお、第２中間ギア２３と第３中間ギア３３との組み合わせの交換により、蒸発装置４から半球レンズＬまでの距離が大きく変わる場合は、第２中間ギア２３を第１回転軸２１の軸心方向（矢印Ｃ、Ｄ方向）に、第３中間ギア３３を第２回転軸３１の軸心方向（矢印Ｅ、Ｆ方向）に適宜移動させ、また、必要に応じて第２回転軸３１を交換することにより、蒸発装置４から半球レンズＬまでの距離があまり変わらないようにする。
【００２５】
こうして半球レンズＬの曲率に応じてレンズ支持部材３０の軸心ＣＴ３が傾いたところで、レンズ回転工程に移行し、レンズ支持部材３０を所定の回転速度（例えば、15.6ｒｐｍ）で自転させる。それには、動力モーター１５に通電して駆動ギア１３を回転させる。すると、それに伴って動力伝達機構２０が軸心ＣＴ２を中心として回転するため、レンズ支持部材３０、ひいては半球レンズＬが軸心ＣＴ３を中心として自転する。
【００２６】
次に、雰囲気調整工程に移行し、真空槽２内を蒸着雰囲気にする。それには、排気口３から吸引することにより、真空槽２内を所定の真空度（例えば、1.33×１０-2Ｐａ）に達するまで排気する。また、ヒーターパネル４２に通電して真空槽２内を加熱する。
【００２７】
こうして真空槽２内が蒸着雰囲気になったところで、成膜工程に移行し、蒸発源６から坩堝５内に膜材料を移し、電子ビームによって膜材料を加熱した後、シャッター７を開ける。すると、坩堝５から膜材料が蒸発し、真空槽２内を上方へ拡散した後、半球レンズＬの表面に衝突して付着する。その結果、半球レンズＬの表面に膜（単層膜）が形成される。
【００２８】
このとき、半球レンズＬは自転しているため、半球レンズＬの表面に形成される膜は半球レンズＬの周方向において均一となる。
【００２９】
また、レンズ支持部材３０の軸心ＣＴ３は半球レンズＬの曲率に応じて傾斜しているので、たとえ半球レンズＬの曲率半径が小さくても、半球レンズＬの中心部と周辺部とで膜厚差が生じる事態は発生せず、半球レンズＬの表面に形成される膜は半球レンズＬの半径方向においても均一となる。したがって、半球レンズＬの中心部と周辺部とで反射率などの膜特性が異なったり、半球レンズＬの周辺部に膜剥がれが生じたりする恐れはない。
【００３０】
そして、半球レンズＬの表面に形成される膜の膜厚は膜厚制御センサ９によって検出され、所定膜厚の膜が形成された時点で、この成膜工程を終わらせる。ここで、真空蒸着装置１による半球レンズＬの成膜作業が終了する。
【００３１】
この実施の形態１によれば、真空槽２内にヒーターパネル４２が設置されているため、真空槽２内を均熱化し、半球レンズＬの成膜作業を効率よく進めることができる。
【００３２】
しかも、このヒーターパネル４２の上側には断熱板４３が設けられているため、ヒーターパネル４２の熱が回転フレーム１０の下部片１０ｃより上側に伝わって各種の不具合（動力伝達機構２０の伝達ロスの増大その他）を惹起する心配はない。
［発明の実施の形態２］
【００３３】
図７には、本発明の実施の形態２を示す。
【００３４】
まず、構成を説明する。
【００３５】
真空蒸着装置１は、図７に示すように、円筒状の真空槽２を有しており、真空槽２の側壁には排気口３が形成されている。また、真空槽２の底面内側の中央部には蒸発装置４が載置されており、この蒸発装置４は、坩堝５、抵抗加熱式の蒸発源６、シャッター７から構成されている。ここで、坩堝５は真空槽２の底面内側の中央部に載置されており、坩堝５の近傍には蒸発源６が設置されている。さらに、坩堝５の上方にはシャッター７が開閉自在に設けられている。
【００３６】
また、真空槽２の天井面内側の中央部には、図７に示すように、円筒状の中心フレーム８が軸心ＣＴ４を中心として回転自在に取り付けられており、動力モーター（図示せず）に通電することにより、中心フレーム８を回転させることができる。また、中心フレーム８の内部空間には円柱状の膜厚制御センサ９が真空槽２の上方へ突出する形で埋め込まれており、中心フレーム８の外周にはドーム台座４０が水平に設置されている。ドーム台座４０の上側にはリングドーム４１が載置されており、リングドーム４１には、後述するレンズ保持具３４に保持された半球レンズＬを蒸発装置４側に露出させるための丸孔４１ａが形成されている。また、リングドーム４１の外周にはリング状のリング支持台４８が付設されており、リング支持台４８の下方にはリング状のボール受け台４６が、真空槽２の側壁内側に固定された形で配設されている。そして、これらのリング支持台４８、ボール受け台４６間には、多数個のセラミックボール４７が円周上に配置されて転動自在に介在している。さらに、リング支持台４８の上側には公転ギアリング４９が、軸心ＣＴ４を中心として回転自在に、かつ着脱自在に取り付けられている。
【００３７】
また、真空槽２の側壁外側には、図７に示すように、動力モーター１５が取り付けられており、動力モーター１５の回転軸には駆動ギア１３が嵌着されている。駆動ギア１３には動力伝達機構２０が、軸心ＣＴ５を中心として回転自在に支持された形で取り付けられており、動力伝達機構２０は、第１回転軸２１、平歯車からなる第１中間ギア２２、平歯車からなる第２中間ギア２３から構成されている。ここで、第１回転軸２１の上端には第１中間ギア２２が嵌着されて駆動ギア１３に噛み合っている。一方、第１回転軸２１の下端には第２中間ギア２３が嵌着されて公転ギアリング４９に噛み合っている。
【００３８】
また、公転ギアリング４９には、図７に示すように、レンズ支持部材３０が、自在軸受３２を介してリングドーム４１に、軸心ＣＴ６を中心として回転自在に、かつ揺動自在に支持された形で取り付けられている。レンズ支持部材３０は、第２回転軸３１、傘歯車からなる第３中間ギア３３、レンズ保持具３４から構成されている。また、自在軸受３２の構造は、上述した実施の形態１と同様である。
【００３９】
ここで、第２回転軸３１の上端には、図７に示すように、第３中間ギア３３が着脱自在に嵌着されて公転ギアリング４９に噛み合っている。一方、第２回転軸３１の下端にはレンズ保持具３４が取り付けられている。このレンズ保持具３４の構造は、上述した実施の形態１と同様である。
【００４０】
さらに、リングドーム４１の上方には、ヒーターパネル４２が設置されている。
【００４１】
次に、作用について説明する。
【００４２】
以上のような構成を有する真空蒸着装置１において、曲率半径５〜３０ｍｍ程度の小径の半球レンズＬの表面に反射膜などの膜を真空蒸着して成膜する際には、次の手順による。
【００４３】
まず、レンズ装着工程で、半球レンズＬをレンズ保持具３４に装着する。
【００４４】
次に、レンズ傾斜工程に移行し、半球レンズＬの曲率に応じてレンズ支持部材３０の軸心ＣＴ６を傾ける。それには、公転ギアリング４９と第３中間ギア３３との組み合わせを交換する。その結果、第２回転軸３１、ひいてはレンズ支持部材３０の軸心ＣＴ６が傾斜する。そして、これに伴って半球レンズＬの中心軸も同じ角度だけ傾斜する。
【００４５】
ここで、半球レンズＬの曲率と軸心ＣＴ６の傾斜角との関係は、上述した実施の形態１と同様である。
【００４６】
こうして半球レンズＬの曲率に応じてレンズ支持部材３０の軸心ＣＴ６が傾いたところで、レンズ公転工程に移行し、レンズ支持部材３０を所定の回転速度（例えば、6ｒｐｍ）で公転させる。それには、中心フレーム８を回転させる。すると、それに伴ってリングドーム４１およびリング支持台４８が軸心ＣＴ４を中心として回転するため、レンズ支持部材３０、ひいては半球レンズＬが軸心ＣＴ４を中心として公転する。
【００４７】
続いて、レンズ自転工程に移行し、レンズ支持部材３０を所定の回転速度（例えば、15.6ｒｐｍ）で自転させる。それには、動力モーター１５に通電して駆動ギア１３を回転させる。すると、それに伴って動力伝達機構２０が軸心ＣＴ５を中心として回転するため、レンズ支持部材３０、ひいては半球レンズＬが軸心ＣＴ６を中心として自転する。
【００４８】
これにより、半球レンズＬは、軸心ＣＴ４を中心として公転しつつ、軸心ＣＴ６を中心として自転した状態となる。
【００４９】
次に、雰囲気調整工程に移行し、上述した実施の形態１と同様の手順により、真空槽２内を蒸着雰囲気にする。
【００５０】
こうして真空槽２内が蒸着雰囲気になったところで、成膜工程に移行し、蒸発源６から坩堝５内に膜材料を移し、抵抗加熱によって膜材料を加熱した後、シャッター７を開ける。すると、坩堝５から膜材料が蒸発し、真空槽２内を上方へ拡散した後、半球レンズＬの表面に衝突して付着する。その結果、半球レンズＬの表面に膜（単層膜）が形成される。
【００５１】
このとき、半球レンズＬは自転しているため、半球レンズＬの表面に形成される膜は半球レンズＬの周方向において均一となる。
【００５２】
また、レンズ支持部材３０の軸心ＣＴ６は半球レンズＬの曲率に応じて傾斜しているので、たとえ半球レンズＬの曲率半径が小さくても、半球レンズＬの中心部と周辺部とで膜厚差が生じる事態は発生せず、半球レンズＬの表面に成膜される膜は半球レンズＬの半径方向においても均一となる。したがって、半球レンズＬの中心部と周辺部とで反射率などの膜特性が異なったり、半球レンズＬの周辺部に膜剥がれが生じたりする恐れはない。
【００５３】
さらに、半球レンズＬは公転しているため、真空槽２内において膜材料に拡散むらがあったとしても、半球レンズＬの膜厚を均一化することができる。
【００５４】
そして、半球レンズＬの表面に形成される膜の膜厚は膜厚制御センサ９によって検出され、所定膜厚の膜が形成された時点で、この成膜工程を終わらせる。ここで、真空蒸着装置１による半球レンズＬの成膜作業が終了する。
【００５５】
この実施の形態２によれば、真空槽２内にヒーターパネル４２が設置されているため、真空槽２内を均熱化し、半球レンズＬの成膜作業を効率よく進めることができる。
【００５６】
また、第１中間ギア２２は真空槽２の外部にあり、第２中間ギア２３は真空槽２の内部にあるため、動力モーター１５を真空槽２内に設ける必要がなくなる。したがって、動力モーター１５に耐真空性が不要となり、汎用の動力モーター１５を用いることができ、経済性に優れる。
【００５７】
さらに、リング支持台４８は、転動自在のセラミックボール４７を介してボール受け台４６上に支持されているので、レンズ公転工程において、レンズ支持部材３０の公転動作は円滑に行われる。
［発明のその他の実施の形態］
【００５８】
なお、上述した実施の形態１、２では、１個のレンズ支持部材３０を有する真空蒸着装置１について説明したが、駆動ギア１３の軸心ＣＴ１、中心フレーム８の軸心ＣＴ４を中心とする円周上に複数個（２個以上）のレンズ支持部材３０を等角度間隔で配設してもよい。レンズ支持部材３０が複数個である場合、複数個の半球レンズＬに同時に成膜することができるため、レンズ支持部材３０が１個である場合と比べて作業効率を大幅に向上させることが可能となる。
【００５９】
また、上述した実施の形態１、２では、レンズ支持部材３０の軸心ＣＴ３、ＣＴ６を傾けることにより、レンズ保持具３４に保持された半球レンズＬを傾斜させる場合について説明した。しかし、レンズ保持具３４に対する半球レンズＬの保持角度を変更することにより、半球レンズＬの中心軸を傾斜させることも可能である。要するに、複数個のレンズ支持部材３０において、半球レンズＬの中心軸の角度が個別に設定可能となっていればよい。
【００６０】
また、上述した実施の形態１、２では、成膜工程に先立って半球レンズＬの中心軸を傾ける場合について説明した。しかし、第３中間ギア３３として偏芯ギアを採用することにより、成膜工程において（成膜作業中に）、レンズ支持部材３０の自転に連動させて半球レンズＬの中心軸の傾斜角度を周期的に変更することもできる。
【００６１】
また、上述した実施の形態１、２では、半球レンズＬに成膜する場合について説明したが、半球レンズＬ以外のレンズ（例えば、ボールレンズ、平凸レンズ、両凸レンズ、平凹レンズ、両凹レンズ、円錐レンズなど）に成膜する場合にも同様に適用可能である。さらに、レンズ以外のワーク（例えば、方物面鏡、楕円鏡、プリズム、ペンタプリズム、ピラミッドプリズムなど）に成膜する場合にも同様に適用可能である。
【００６２】
さらに、上述した実施の形態１、２では、それぞれ電子ビーム式、抵抗加熱式の蒸発源６を備えた真空蒸着装置１について説明したが、蒸発源６の加熱溶解方式は、電子ビーム式や抵抗加熱式に限るわけではなく、高周波誘導式、レーザー式など種々の方式を採用することができる。
【００６３】
また、上述した実施の形態１、２では、成膜装置として真空蒸着装置１を取り上げて説明したが、真空蒸着装置１以外の成膜装置（例えば、スパッタ装置など）にも同様に適用可能である。
【００６４】
また、上述した実施の形態１、２では、半球レンズＬに単層膜を形成する場合について説明したが、単層膜のみならず多層膜を形成する場合にも同様に適用可能である。多層膜を形成する場合、膜厚むらが積み重なるため、ますます本発明の有用性が増大することになる。
【００６５】
また、上述した実施の形態１、２では、第１回転軸２１、第１中間ギア２２、第２中間ギア２３からなる動力伝達機構２０を用いる場合について説明したが、この動力伝達機構２０として、別の機構（例えば、遊星歯車機構など）を代用することもできる。
【００６６】
さらにまた、上述した実施の形態２では、真空槽２内でレンズ支持部材３０を公転させる場合について説明したが、レンズ支持部材３０を公転させる代わりに蒸発装置４を自転させても構わない。つまり、蒸発装置４に対してレンズ支持部材３０を相対的に公転させればよい。そして、蒸発装置４を自転させる場合は、レンズ支持部材３０を公転させる場合と比べて駆動エネルギーが少なくて済むので、省エネ性に優れる利点がある。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、特に他品種少量生産のレンズなどの光学素子に対する成膜に向いている。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の形態１に係る真空蒸着装置（自転タイプ）を示す断面図である。
【図２】図１に示す真空蒸着装置のII−II線による断面図である。
【図３】図１に示す真空蒸着装置のIII−III線による断面図である。
【図４】同実施の形態１に係るレンズ支持部材の正面図である。
【図５】同実施の形態１に係るレンズホルダを示す断面図である。
【図６】同実施の形態１に係るレンズ傾斜工程を示す模式図であって、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその平面図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係る真空蒸着装置（自公転タイプ）を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１……真空蒸着装置（成膜装置）
２……真空槽
３……排気口
４……蒸発装置
５……坩堝
６……蒸発源
７……シャッター
８……中心フレーム
９……膜厚制御センサ
１０……回転フレーム
１０ａ……筒体
１０ｂ……上部片
１０ｃ……下部片
１２……駆動ベアリング
１３……駆動ギア
１５……動力モーター
２０……動力伝達機構
２１……第１回転軸
２２……第１中間ギア
２３……第２中間ギア
２４……ベアリング
３０……レンズ支持部材（ワーク支持手段）
３１……第２回転軸
３２……自在軸受
３２ａ……ベアリングボックス
３２ｂ……ベアリング
３２ｃ……スライド溝
３３……第３中間ギア
３４……レンズ保持具
３４ａ……上部ホルダ
３４ｂ……下部ホルダ
３４ｃ……止めねじ
３４ｄ……ねじ山
４０……ドーム台座
４１……リングドーム
４１ａ……丸孔
４２……ヒーターパネル
４３……断熱板
４５……膜厚補正板
４６……ボール受け台
４７……セラミックボール
４８……リング支持台
４９……公転ギアリング
ＣＴ１、ＣＴ２、ＣＴ３、ＣＴ４、ＣＴ５、ＣＴ６……軸心
Ｌ……半球レンズ（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
2009084638.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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