(57)【要約】【課題】本発明は、加湿手段の運転に無駄を生じさせることなく、かつエネルギを浪費することなく、湿度制御を正確に行うことができる気化式加湿器を提供する。【解決手段】本発明の気化式加湿器１０は、加湿材２６のうち加湿に必要な加湿モジュールのみ給水して所望の湿度を得る。給水されていない加湿モジュールには、空気が単に通過するだけである。よって、気化式加湿器１０の出口１６からは、給水されて濡れた加湿モジュール（Wet Zone）を通過した加湿空気と、給水されていない加湿モジュール（Dry Zone）を通過した非加湿空気とが混合された空気が吹き出される。この混合量（混合比）を、給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄの開閉で制御して所望の湿度を得る。すなわち、露点計２４で検出された露点に基づき、バルブ制御部３６が給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄの開閉を給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄごとにフィードバック制御することで、所望の湿度を得る。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加湿手段の加湿材に空気を通過させることにより該空気を加湿する気化式加湿器において、
前記加湿材を、仕切り部材を介して複数の加湿モジュールに分割するとともに、分割した加湿モジュールごとにバルブ付きの給水手段を設け、前記バルブの開閉がバルブ毎に制御手段によって制御されることを特徴とする気化式加湿器。
【請求項２】
前記加湿材は、空気の通過方向に対して同厚となるように断面矩形状に構成され、又は空気の通過方向に対して厚さが徐々に異なるように断面略三角形形状に構成されている請求項１に記載の気化式加湿器。
【請求項３】
前記加湿手段を通過した空気の露点を検出する露点検出手段を設け、該露点検出手段によって検出された露点に基づいて前記制御手段が前記バルブの開閉をバルブごとに制御する請求項１、又は２に記載の気化式加湿器。
【請求項４】
前記空気を加熱／冷却するする加熱／冷却手段を備え、該加熱／冷却手段による加熱量を制御して所望の温度の空気を得る請求項１、２又は３のいずれかに記載の気化式加湿器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は気化式加湿器に係り、特にクリーンルーム等の精密機器製造工場において温湿度を制御するために設置される気化式加湿器に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム等の精密機器製造工場では、温度、湿度を一定に保つ必要があり、このような室内の温湿度制御を行う加湿装置として、特許文献１に開示された気化式加湿器が知られている。
【０００３】
この気化式加湿器は、ハウジングによって形成される空気流路の空気取入口側から空気排出口側に向けて、加熱コイル、気化式加湿器、冷却コイル、送風機、乾球温度センサ、及び露点温度センサが配置されて構成されている。
【０００４】
気化式加湿器は、給水管からの水を加湿材の上部に滴下して、加湿材の表面を濡れ面となるように水が表面に沿って流れるようにした加湿モジュールから構成され、露点温度センサによって検知される加湿後の露点が一定となるように加熱コイル、冷却コイルを制御して加湿が行われている。また、加熱コイル、冷却コイルは、露点温度センサが検知する露点温度に基づいて加熱冷却量が比例制御されている。
【０００５】
図６には、従来の気化式加湿器の一般的な構造が示されている。この気化式加湿器１は、ハウジングによって構成される空気流路２の上流端に空気取入口２Ａが形成されるとともに、空気流路２の下流端に温湿度調整された空気の空気排出口２Ｂが形成されている。そして、空気流路２には、上流側から下流側に向けて加熱／冷却コイル３、加湿材４、及び露点計５が配置されて構成され、露点計５が検知する露点温度に基づいて加熱／冷却コイル３の制御バルブの開閉を制御し、加熱冷却量を制御している。
【０００６】
この気化式加湿器１における加湿量制御は、空気取入口２Ａから流入した入口の空気の温度を加熱／冷却コイル３によって制御することで行っている。図７には、その制御方法を示した空気線図が示されている。同図には、入口の空気の温度を加熱し、この加熱した空気を加湿してターゲット湿度に制御することが示されている。
【特許文献１】特開２００１−３１７７９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、図７に示した加湿量制御方法では、気化式加湿器１がＯＮ／ＯＦＦ制御のみであり、外調機に付ける加湿器を想定すれば、入口付近の空気の湿度がターゲット湿度に近い春、秋といった中間期には、制御が非常に難しくなるという問題があった。
【０００８】
すなわち、図８に示すようにターゲットとする相対湿度を５０％としたとき、入口の湿度（初期値）が４０％であったとすると、加湿器はＯＮとなり、大量に加湿されることになる。その結果、出口の空気は５０％を大きく超えるため、加湿器はＯＦＦとなる。そして、少し時間が経つと、再び露点計の周りの湿度が直ぐに外気の４０％に戻り、加湿器は再びＯＮとなる。このように、ターゲット湿度と外気の湿度との差が小さい中間期では、図８の如く加湿器のＯＮ／ＯＦＦが頻繁に繰り返されることになり、加湿器の運転に無駄が生じるので好ましくない。
【０００９】
この問題を解決する第１の解決策として、加湿器の制御バルブのセンサ感度を低くすることが考えられる。これにより、湿度が多少低くても加湿器はＯＮにはならず、ＯＮ／ＯＦＦ制御によって湿度の値が上下にぶれてしまうのを防止することができる。
【００１０】
しかしながら、第１の解決策の場合、加湿器が一度ＯＮになると相当の加湿がなされてしまうので、適切な制御とは言い難い。
【００１１】
一方、第２の解決策として、図９の空気線図に示すように、まず、入口の空気（外気）を通常よりも過加熱し、次にその空気を加湿し、次いで、その加湿された高温の空気を冷却コイルによって除湿、冷却することにより、ターゲットとなる湿度に制御する方法が考えられる。この制御方法によれば、冷却による制御が加熱・加湿の制御よりも容易であるため、正確な制御が可能であるという利点がある。
【００１２】
しかしながら、第２の解決策では、過加熱に要するエネルギが膨大となるため、ランニングコストが増大するという欠点があった。
【００１３】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、加湿手段の運転に無駄を生じさせることなく、かつエネルギを浪費することなく、湿度制御を正確に行うことができる気化式加湿器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、前記目的を達成するために、加湿手段の加湿材に空気を通過させることにより該空気を加湿する気化式加湿器において、前記加湿材を、仕切り部材を介して複数の加湿モジュールに分割するとともに、分割した加湿モジュールごとにバルブ付きの給水手段を設け、前記バルブの開閉がバルブ毎に制御手段によって制御されることを特徴とする気化式加湿器を提供する。
【００１５】
本発明は、加湿に必要な加湿モジュールのみ給水して所望の湿度を得る。給水されていない加湿モジュールには、空気が単に通過するだけである。よって、気化式加湿器の出口からは、給水されて濡れた加湿モジュール（Wet Zone）を通過した加湿空気と、給水されていない加湿モジュール（Dry Zone）を通過した非加湿空気とが混合された空気が吹き出される。この混合量（混合比）をバルブの開閉で制御して所望の湿度を得る。よって、本発明の気化式加湿器によれば、加湿手段の運転に無駄を生じさせることなく、かつエネルギを浪費することなく、湿度制御を正確に行うことができる。
【００１６】
また、本発明によれば、前記加湿材は、空気の通過方向に対して同厚となるように断面矩形状に構成され、又は空気の通過方向に対して厚さが徐々に異なるように断面略三角形形状に構成されることが好ましい。
【００１７】
本発明によれば、加湿材の形状を上記断面矩形状に構成すれば、給水する加湿モジュールの数に応じて湿度が比例的に上下する。また、加湿材の形状を上記断面略三角形形状に構成すれば、給水する加湿モジュールの数に応じて湿度がカーブを描くように上下する。これらの加湿材は、気化式加湿器に取り込む外気の湿度環境に応じて選択される。
【００１８】
更に、本発明によれば、前記加湿手段を通過した空気の露点を検出する露点検出手段を設け、該露点検出手段によって検出された露点に基づいて前記制御手段が前記バルブの開閉をバルブごとに制御することが好ましい。
【００１９】
本発明によれば、露点検出手段で検出された露点に基づき、制御手段がバルブの開閉をバルブごとにフィードバック制御するので、所望の湿度を得ることができる。
【００２０】
更にまた、前記空気を加熱／冷却するする加熱／冷却手段を備え、該加熱／冷却手段による加熱量を制御して所望の温度の空気を得ることが好ましい。
【００２１】
これにより、本発明の気化式加湿器によれば、所望の温湿度の空気を室内に供給することができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上の如く、本発明に係る気化式加湿器によれば、加湿器の運転に無駄を生じさせることなく、かつエネルギを浪費することなく、湿度制御を正確に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下添付図面に従って、本発明に係る気化式加湿器の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２４】
図１は、実施の形態の気化式加湿器１０の構成を示したブロック図である。
【００２５】
同図に示す気化式加湿器１０は、ハウジングケースによって構成される加湿流路１２を備え、この加湿流路１２には、外気を取り入れる空気取入口１４と、温湿度調整された空調空気を室内に排出する空気排出口１６とがその端部に形成されている。また、加湿流路１２の上流側には、冷熱コイル１８が設けられ、この冷熱コイル１８に供給される冷熱媒体によって、加湿流路１２を流れる空気（外気）が所望の温度に冷却、又は加熱される。
【００２６】
冷熱例熱コイル１８に対して加湿流路１２の下流側には、温度計２０が設けられており、この温度計２０によって冷熱コイル１８を通過した空気の温度が測定される。そして、測定された空気の温度に基づいて冷熱コイル１８に供給される冷熱媒体の量、又は温度が不図示の制御手段によってフィードバック制御されている。この温度計２０に対して加湿流路１２の下流側には、第１の形態の加湿手段２２が設けられ、また、加湿手段２２に対して加湿流路１２の下流側には、露点計（露点検出手段）２４が設けられている。
【００２７】
第１の形態の加湿手段２２を構成する加湿材２６は、図２に示すように、取り込まれた外気の流れ方向Ａに対して直交する方向に配置されている。また、この加湿材２６は、外気の流れ方向Ａに沿った断面が矩形状に形成され、全域において同厚に構成されている。更に、加湿材２６は、４個の加湿モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄに縦方向に分割されており、隣接する加湿モジュール２６Ａ〜２６Ｄはセパレータ（仕切り部材）２８、２８…によって仕切られ、隣接する加湿モジュール２６Ａ〜２６Ｄからの水が浸入しないようになっている。なお、加湿材２６の分割数は４個に限定されるものではなく、２個以上であってもよいが、多数に分割することにより、後述する湿度制御が精細に行われる。
【００２８】
加湿手段２２を構成する給水部３０は、加湿モジュール２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄごとに給水を行う４台のノズル３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄを備えており、これらのノズル３０Ａ〜３０Ｄから水を滴下し、表面が濡れ面となった加湿モジュール２６Ａ〜２６Ｄに、加湿流路１２を流れる空気を通過させて加湿を行うように構成されている。なお、加湿モジュール２６Ａ〜２６Ｄから落下した余分な水は、加湿材２６の下方に配置されたドレンパン３２に溜められる。
【００２９】
また、給水部３０のノズル３０Ａ〜３０Ｄが設けられた給水管３１には、給水電磁弁（バルブ）３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ、３４Ｄがノズル３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄに対応して設けられている。すなわち、給水に対して上流側の給水電磁弁３４Ａが開放されるとノズル３０Ａから水が加湿モジュール２６Ａに供給され、給水電磁弁３４Ａ、３４Ｂが開放されるとノズル３０Ａ、３０Ｂから水が加湿モジュール２６Ａ、２６Ｂに供給される。同様に、給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｃが開放されるとノズル３０Ａ〜３０Ｃから水が加湿モジュール２６Ａ〜２６Ｃに供給され、給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄが開放されるとノズル３０Ａ〜３０Ｄから水が加湿モジュール２６Ａ〜２６Ｄに供給される。要するに、給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄの開閉を制御することにより、水が供給される加湿モジュール２６Ａ〜２６Ｄが選択され、これにより、水に濡れた加湿モジュール（Wet Zone）と、水が供給されない加湿モジュール（Dry Zone）とが一つの加湿材２６に形成される。
【００３０】
一方、給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄの開閉は、図１に示すバルブ制御部３６によって制御されている。このバルブ制御部３６は、露点計２４で検出された露点に基づいて、所望の湿度となるように給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄの開閉を制御する。
【００３１】
つまり、実施の形態の気化式加湿器１０は、加湿材２６のうち加湿に必要な加湿モジュールのみ給水して所望の湿度を得る。給水されていない加湿モジュールには、空気が単に通過するだけである。よって、気化式加湿器１０の出口１６からは、給水されて濡れた加湿モジュール（Wet Zone）を通過した加湿空気と、給水されていない加湿モジュール（Dry Zone）を通過した非加湿空気とが混合された空気が吹き出される。この混合量（混合比）を、給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄの開閉で制御して所望の湿度を得る。具体的には、露点計２４で検出された露点に基づき、バルブ制御部３６が給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄの開閉を給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄごとにフィードバック制御するので、所望の湿度を得ることができる。
【００３２】
以上の如く、実施の形態の気化式加湿器１０によれば、加湿手段２２が安定したＯＮ状態を維持して湿度調整を行うため、従来のように頻繁にＯＮ／ＯＦＦされる加湿手段と比較して、加湿手段２２の運転に無駄が発生せず、かつ冷熱コイル１８による過加熱も必要としないためエネルギを浪費することない。そして、加湿された空気と加湿されない空気との混合比を制御して湿度調整を行うため、湿度制御を正確に行うことができる。
【００３３】
また、実施の形態の気化式加湿器１０によれば、温度計２０で測定された空気の温度に基づいて、空気が所望の温度となるように冷熱コイル１８に供給される冷熱媒体の量、又は温度が不図示の制御手段によって制御されている。これにより、この気化式加湿器１０によれば、所望の温湿度の空気を室内に供給することができる。
【００３４】
図３には、第２の形態の加湿手段１２２が示され、図４には、第３の形態の加湿手段２２２がそれぞれ示されている。
【００３５】
これらの加湿手段１２２、２２２の加湿材１２６、２２６は、空気の通過方向Ａに対して厚さが徐々に異なるように断面略三角形形状に構成されている。
【００３６】
図３に示す加湿材１２６は、給水方向上流側から下流側に向けて厚さが徐々に厚くなるように構成され、図４に示す加湿材２２６は、給水方向上流側から下流側に向けて厚さが徐々に薄くなるように構成されている。
【００３７】
図３に示す加湿材１２６は、３個の加湿モジュール１２６Ａ、１２６Ｂ、１２６Ｃに縦方向に分割されており、隣接する加湿モジュール１２６Ａ〜１２６Ｃはセパレータ１２８、１２８によって仕切られている。また、図４に示す加湿材２２６は、６個の加湿モジュール２２６Ａ、２２６Ｂ、２２６Ｃ、２２６Ｄ、２２６Ｅ、２２６Ｆに縦方向に分割されており、隣接する加湿モジュール２２６Ａ〜２２６Ｆはセパレータ２２８、２２８…によって仕切られている。なお、加湿材１２６、２２６の分割数は上記数に限定されるものではない。
【００３８】
図３の加湿手段１２２の給水部１３０は、主管１３１に連結された３本の給水管１３３、１３３、１３３を備えている。これらの給水管１３３は下部に多数の噴射孔（不図示）が形成され、これらの噴射孔から加湿モジュール１２６Ａ〜１２６Ｃに向けて水が噴射されるように構成されている。また、これらの給水管１３３の基部には１個の給水電磁弁１３４Ａが設けられるとともに、各給水管１３３の上流側には給水電磁弁１３４Ｂがそれぞれ設けられ、各給水管１３３の下流側には給水電磁弁１３４Ｃがそれぞれ設けられている。
【００３９】
したがって、給水電磁弁１３４Ａが開放されると、給水電磁弁１３４Ａと各給水電磁弁１３４Ｂとの間の各給水管１３３に形成された噴射孔から水が噴射されるため、加湿材１２２の加湿モジュール１２６Ａに水が供給される。また、給水電磁弁１３４Ａ、及び各給水電磁弁１３４Ｂが開放されると、給水電磁弁１３４Ａと各給水電磁弁１３４Ｃとの間の各給水管１３３に形成された噴射孔から水が噴射されるため、加湿材１２２の加湿モジュール１２６Ａ、１２６Ｂに水が供給される。更に、給水電磁弁１３４Ａ、各給水電磁弁１３４Ｂ、及び各給水電磁弁１３４Ｃが開放されると、各給水管１３３の全てに形成された噴射孔から水が噴射されるため、加湿材１２２の加湿モジュール１２６Ａ〜１２６Ｃに水が供給される。すなわち、給水電磁弁１３４Ａ〜１３４Ｃの開閉を制御することにより、水が供給される加湿モジュール１２６Ａ〜１２６Ｃが選択され、これにより、水に濡れた加湿モジュール（Wet Zone）と、水が供給されない加湿モジュール（Dry Zone）とが一つの加湿材１２６に形成される。これらの給水電磁弁１３４Ａ〜１３４Ｃの開閉は、図１と同様にバルブ制御部（図３では不図示）によって制御されている。このバルブ制御部は、図１と同様に露点計２４で検出された露点に基づいて、所望の湿度となるように給水電磁弁１３４Ａ〜１３４Ｃの開閉を制御する。この第２の形態の加湿手段１２２においても、加湿材１２６のうち加湿に必要な加湿モジュールのみ給水して所望の湿度を得るものである。
【００４０】
図４の加湿手段２２２の給水部２３０は、下部に噴射孔２３１Ａ、２３１Ａ…が形成された円錐管２３１を備えている。これらの噴射孔２３１Ａ、２３１Ａ…から加湿モジュール２２６Ａ〜２２６Ｆに向けて水が噴射されるように構成されている。また、円錐管２３１の上流側から下流側に向けて給水電磁弁２３４Ａ、２３４Ｂ、２３４Ｃ、２３４Ｄ、２３４Ｅ、２３４Ｆが所定の間隔をもって設けられている。これらの給水電磁弁２３４Ａ〜２３４Ｆは、後述するように加湿モジュール２２６Ａ〜２２６Ｆに対応した位置に配置されている。
【００４１】
すなわち、給水電磁弁２３４Ａが開放されると、給水電磁弁２３４Ａと給水電磁弁２３４Ｂとの間の円錐管２３１に形成された噴射孔２３１Ａ、２３１Ａ…から水が噴射されるため、加湿材２２２の加湿モジュール２２６Ａに水が供給される。また、給水電磁弁２３４Ａ、２３４Ｂが開放されると、給水電磁弁２３４Ａと給水電磁弁２１３４Ｃとの間の噴射孔２３１Ａ、２３１Ａ…から水が噴射されるため、加湿モジュール２２６Ａ、２２６Ｂに水が供給される。更に、給水電磁弁２３４Ａ〜２３４Ｃが開放されると、給水電磁弁２３４Ａと給水電磁弁２３４Ｄとの間の噴射孔２３１Ａ、２３１Ａ…から水が噴射されるため、加湿モジュール２２６Ａ〜２２６Ｃに水が供給される。同様に、給水電磁弁２３４Ａ〜２３４Ｄが開放されると、給水電磁弁２３４Ａと給水電磁弁２３４Ｅとの間の噴射孔２３１Ａ、２３１Ａ…から水が噴射されるため、加湿モジュール２２６Ａ〜２２６Ｄに水が供給される。そして、給水電磁弁２３４Ａ〜２３４Ｅが開放されると、給水電磁弁２３４Ａと給水電磁弁２３４Ｆとの間の噴射孔２３１Ａ、２３１Ａ…から水が噴射されるため、加湿モジュール２２６Ａ〜２２６Ｅに水が供給される。そして最後に全ての給水電磁弁２３４Ａ〜２３４Ｆが開放されると、円錐管２３１の全ての噴射孔２３１Ａ、２３１Ａ…から水が噴射されるため、加湿モジュール２２６Ａ〜２２６Ｆに水が供給される。
【００４２】
つまり、給水電磁弁２３４Ａ〜２３４Ｆの開閉を制御することにより、水が供給される加湿モジュール２２６Ａ〜２２６Ｆが選択され、これにより、水に濡れた加湿モジュール（Wet Zone）と、水が供給されない加湿モジュール（Dry Zone）とが一つの加湿材２２６に形成される。これらの給水電磁弁２３４Ａ〜２３４Ｆの開閉は、図１と同様にバルブ制御部（図４では不図示）によって制御されている。このバルブ制御部は、図１と同様に露点計２４で検出された露点に基づいて、所望の湿度となるように給水電磁弁２３４Ａ〜２３４Ｆの開閉を制御する。この第３の形態の加湿手段２２２においても、加湿材２２６のうち加湿に必要な加湿モジュールのみ給水して所望の湿度を得るものである。
【００４３】
次に、図５に示したグラフについて説明する。
【００４４】
このグラフは、縦軸に出口付近の湿度をとり、横軸に開放された給水電磁弁の開度をとっている。この開度とは、例えば図２に示した４個の給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄを備えた加湿材２６について説明すると、給水電磁弁３４Ａのみ開放された場合を２５％、給水電磁弁３４Ａ、３４Ｂが開放された場合を５０％、給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｃが開放された場合を７５％、全ての給水電磁弁３４Ａ〜３４Ｄが開放された場合を１００％としている。
【００４５】
また、同グラフのＡ線は図２に示した加湿材２６、Ｂ線は図３に示した加湿材１２６、Ｃ線は図４に示した加湿材２２６をそれぞれ示している。
【００４６】
図２の加湿材２６の形状は、厚さが均一であるため、開度の具合は、そのまま濡れている加湿モジュールとそうでないものの表面積比に反映され、その比は出口の湿度として反映される。そのため、湿度の伸び率は図３、図４に示した加湿材１２６、２２６と比較して、開度に比例して伸びていく。
【００４７】
これに対して図３、図４に示した加湿材１２６、２２６の伸びは、加湿モジュールの厚さの違いによってＢ、Ｃ線の如くカーブを描くように変化する。例えば、図３の加湿材１２６の場合、開度の小さいときはWet Zoneを通過する少量の低湿度空気と、Dry Zoneを通過する大量の空気が混合して低湿度となる。開度が大きくなるに従って加湿材１２６の厚みが大きくなっていくので、高湿度の空気となっていく。図４の加湿材２２６の場合は、図３の加湿材１２６の逆の作用となる。
【００４８】
図２の加湿材２６の場合には、気化式加湿器をコンパクトにして湿度を比例・段階制御することが可能となる。また、水の使用量が減少するため、ランニングコストも削減することができる。
【００４９】
また、図３、図４の加湿材１２６、２２６によれば、図２の加湿材２６よりも更にコンパクト、かつ精密に湿度を比例・段階制御することが可能となる。また、図３の加湿材１２６は、外気が湿度の低い環境で制御する場合に有効であり、図４の加湿材２２６は、外気が湿度の高い環境で制御する場合に有効である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】実施の形態の気化式加湿器の構成を示したブロック図
【図２】第１の形態の加湿手段の構成を示した斜視図
【図３】第２の形態の加湿手段の構成を示した斜視図
【図４】第３の形態の加湿手段の構成を示した斜視図
【図５】給水電磁弁の開度に対する湿度の伸びを示したグラフ
【図６】従来の気化式加湿器の一般的な構造を示したブロック図
【図７】従来の気化式加湿器における加湿量制御方法の一例を説明した空気線図
【図８】ターゲット湿度を５０％としたときの加湿器のＯＮ／ＯＦＦを経時的に示した図
【図９】従来の気化式加湿器における加湿量制御方法の一例を説明した空気線図
【符号の説明】
【００５１】
１０…気化式加湿器、１２…加湿流路、１４…空気取入口、１６…空気排出口、１８…冷熱コイル、２０…温度計、２２…加湿手段、２４…露点計、２６…加湿材、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ…加湿モジュール、２８…セパレータ、３０…給水部、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ…ノズル、３１…給水管、３２…オイルパン、３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ、３４Ｄ…給水電磁弁、３６…バルブ制御部、１２２…加湿手段、１２６…加湿材、１２６Ａ、１２６Ｂ、１２６Ｃ…加湿モジュール、１２８…セパレータ、１３０…給水部、１３１…主管、１３３…給水管、１３４Ａ、１３４Ｂ、１３４Ｃ…給水電磁弁、２２２…加湿手段、２２６…加湿材、２２６Ａ、２２６Ｂ、２２６Ｃ、２２６Ｄ、２２６Ｅ、２２６Ｆ…加湿モジュール、２３０…給水部、２３１…円錐管、２３１Ａ…噴射孔、２３４Ａ、２３４Ｂ、２３４Ｃ、２３４Ｄ、２３４Ｅ、２３４Ｆ…給水電磁弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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