(57)【要約】【課題】  本願の目的は、冷却水による冷却効果を効果的に得られる高圧放電ランプ及びこれを具備した光照射装置を提供することである。【解決手段】  第１の発明に係る高圧放電ランプは、発光金属が封入された発光部と該発光部の両端から伸びる封止部とからなる放電管と、該発光部の内部で対向配置された電極と、該電極に電気的に接続されると共に封止部の両端から突出する外部リードと、からなる高圧放電ランプにおいて、該放電管を囲繞する外管を設け、該放電管と該外管との間に介在物を設け、該電極間の外方における該放電管と該外管との隙間が該介在物の厚み以下であることを特徴とする。【選択図】図３
2009252423.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光金属が封入された発光部と該発光部の両端から伸びる封止部とからなる放電管と、
該発光部の内部で対向配置された電極と、
該電極に電気的に接続されると共に封止部の両端から突出する外部リードと、
からなる高圧放電ランプにおいて、
該放電管を囲繞する外管を設け、
該放電管と該外管との間に介在物を設け、
該電極間の外方における該放電管と該外管との隙間が該介在物の厚み以下である
ことを特徴とする高圧放電ランプ。
【請求項２】
該介在物がカーボン，レニウム又はロジウムからなる部材，又はカーボン，レニウム，又はロジウムで表面コーティングされた部材からなる
ことを特徴とする請求項１に記載の高圧放電ランプ。
【請求項３】
該介在物が網状，コイル状又はリング状である
ことを特徴とする請求項１に記載の高圧放電ランプ。
【請求項４】
請求項１に記載の高圧放電ランプを具備し、
該高圧放電ランプを囲繞すると共に高圧放電ランプの外面に冷却水を流すジャケットを設けた
ことを特徴とする光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二重管構造を有する高圧放電ランプとこれを備えた光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
接着剤などの樹脂の硬化処理やプリント基板の露光処理のような紫外線を用いる装置には、高圧放電ランプを用いた光照射装置がある。このような光照射装置として特許文献１に記載されるものがあった。
図７は、特許文献１に記載される従来の光照射装置９１のための説明図であり、高圧放電ランプ９２の長手方向に沿った断面図である。
光照射装置９１は、後述する高圧放電ランプ９２を具えており、その長手方向に沿った外方にジャケット９３を配置したものである。ジャケット９３は、小径を有する円筒状の石英ガラス９３１と大径を有する円筒状の石英ガラス９３２とからなり、小径の石英ガラス９３１と大径の石英ガラス９３２の中心軸が一致するように構成される。ジャケット９３は冷却水Ｌの流路として機能するため、小径の石英ガラス９３１と大径の石英ガラス９３２の間に流路が形成されるように小径の石英ガラス９３１と大径の石英ガラス９３２との管軸方向の両端を封止される。さらに、ジャケット９３に冷却水Ｌを供給・排出するため、ジャケット９３の両端には冷却水Ｌの供給路・排出路となる管状の接続管が接続される。
ジャケット９３の中心軸に延在するように高圧放電ランプ９２が配置されるため、高圧放電ランプ９２は、その外周に円環状の支持部材９４が配置され、小径の石英ガラス９３１の内周面に支持される。
中心軸に延在するように高圧放電ランプ９２を配置したジャケット９３は、その管軸方向の両端を塞ぐように一対のキャップ９５，９６が配置される。一方のキャップ９５には、高圧放電ランプ９２を冷却するための冷却風Ｇが通る通気口９５１が設けられる。また、他方のキャップ９６には、高圧放電ランプ９２を冷却した冷却風Ｇを排気する排気口９６１が設けられる。
【０００３】
従来の光照射装置９１に用いられる高圧放電ランプ９２は、管状の石英ガラスからなる放電管９２１を具備し、その内部９２６に水銀などの発光金属と希ガスが封入される。放電管９２１の内部９２６には、一対の電極９２３が放電管９２１の中心軸に延在するように配置される。放電管９２１の管軸方向の両端は、外部リード９２５が突出する封止部９２２が形成される。封止部９２２には金属箔９２４が埋設され、電極９２３と外部リード９２５を電気的に接続される。
【０００４】
従来の高圧放電ランプ９１の外部リード９２５には図示しない電源が接続される。ランプ９２点灯時、給電された高圧放電ランプ９２は電極９２３間の放電による発熱によって高温となる。図７に示すように高圧放電ランプ９２の外方に配置されたジャケット９３の内部の流路に冷却水Ｌを流すことによって、高温になった高圧放電ランプ９２は冷却される。さらに、一方のキャップ９５の通気口９５１から空気を冷却風Ｇとして送風することにより、ジャケット９３の中心軸に延在するように配置された高圧放電ランプ９２が冷却風Ｇによって冷却され、他方のキャップ９６の排気口９６１から冷却風Ｇが排出される。
【０００５】
【特許文献１】特開平０６−２６７５１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の特許文献１に記載の技術には、冷却風Ｇを一方のキャップ９５の通気口９５１から他方のキャップ９６の排気口９６１に流すと放電管９２１の外周面での冷却量が異なってしまうという問題があった。すなわち、一方のキャップ９５の通気口９５１からは冷却風Ｇが導入されるので、一方のキャップ９５の通気口９５１の近くにある放電管９２１の外周面は、冷却量が大きい。これに対し、冷却風Ｇは高圧放電ランプ９２の熱を奪って流れて他方のキャップ９６から排気されるので、他方のキャップ９６の排気口９６１近くにある放電管９２１の外周面は冷却量が小さい。これにより、放電管９２１の外周面の温度分布が均一でないため、高圧放電ランプ９１の一方の端部は過度に冷却され、封入された水銀などの発光金属が未蒸発となって照度低下を招くことがあった。また、高圧放電ランプ９１の他方の端部は冷却が不十分になり、過熱によって破損することがあった。
【０００７】
このため、冷却風Ｇによる空冷をやめ、冷却水による冷却効果を高めることが考えられる。
冷却水による冷却効果を高める手段として、放電管の外周面に直接冷却水で冷却することが考えられる。これは、図７に記載のジャケット９３の小径の石英ガラス９３１を取り除き、大径の石英ガラス９３１と放電管９２１とで流路を構成し、その流路に冷却水を流すものである。しかしながら、冷却水は、冷却風と比較して冷却効果が極めて大きいものである。このため、放電管９２１の外面に冷却水を流すと、放電管９２１の内部で発光金属が未蒸発となってしまい、結局、照度低下を招いてしまう。冷却水の温度を上げることも考えられるが、冷却水の温度制御が必要となり、光照射装置が複雑になるといった新たな問題が発生する。
【０００８】
また、冷却水による冷却効果を高める手段の別の例として、図７のジャケット９３を構成する小径の石英ガラス９３１と放電管９２１とを密着させて、ジャケットの内部を流れる冷却水による冷却効果を高めることも考えられる。小径の石英ガラス９３１と放電管９２１とを密着させるために、放電管９２１の囲繞する小径の石英ガラス９３１を例えばバーナーのような加熱手段によって加熱し、小径の石英ガラス９３１を縮径させることで、放電管９２１の外周面に密着させる。このとき、加熱された小径の石英ガラス９３１は、放電管９２１と部分的に溶着するなどして密着される。
この小径の石英ガラス９３１の外面に冷却水を流すと、放電管９２１は小径の石英ガラス９３１を介して間接的に冷却される。ランプ点灯時において、放電管９２１は電極間の放電により加熱されるのに対し、放電管９２１に密着された小径の石英ガラス９３１は冷却水により冷却される。このため、ランプ点灯時において、放電管９２１は小径の石英ガラス９３１よりも膨張量が大きい。このとき、放電管９２１と小径の石英ガラス９３１とは密着されているので、放電管９３１の膨張が密着された小径の石英ガラス９３１に妨げられ、放電管９２１又は／及び小径の石英ガラス９３１に負荷がかかって、最終的に放電管９２１又は／及び小径の石英ガラス９３１が破損してしまった。
【０００９】
上述の理由から、特許文献１に記載の光照射装置９１において、ジャケット９３の小径の石英ガラス９３１と放電管９２１との密着を防止しつつ、その隙間を小さくすることで、ジャケット９３の内部を流れる冷却水による冷却効果を高めることが考えられる。
しかしながら、特許文献１に記載の光照射装置９１におけるジャケット９３の小径の石英ガラス９３１と放電管９２１との間の隙間が１ｍｍであることから、これよりもさらに近接配置を行なうためには以下の理由から困難であった。
まず、放電管９２１を構成する部材とジャケット９３を構成する部材は、共にガラス部材であることから、互いに対向する面に凹凸を有する。このため、例えば、ガラス部材の製造精度が±０．２ｍｍであった場合、ジャケット９３の小径の石英ガラス９３１の内径を放電管９２１の表面の外径に合わせて製造し、放電管９２１とジャケット９３の表面とを対向配置すると、互いの凸部分が接触し、互いの凹部分が対向配置されると、この凹部分が対向配置された隙間が最大で０．８ｍｍも空いてしまい、これ以上、隙間を小さくすることができなかった。０．８ｍｍの隙間の場合、ジャケット９３の内部を流れる冷却水による冷却効果を殆んど得ることができなかった。
【００１０】
そこで、本願の目的は、冷却水による冷却効果を効果的に得られる高圧放電ランプ及びこれを具備した光照射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
第１の発明に係る高圧放電ランプは、発光金属が封入された発光部と該発光部の両端から伸びる封止部とからなる放電管と、該発光部の内部で対向配置された電極と、該電極に電気的に接続されると共に封止部の両端から突出する外部リードと、からなる高圧放電ランプにおいて、該放電管を囲繞する外管を設け、該放電管と該外管との間に介在物を設け、該電極間の外方における該放電管と該外管との隙間が該介在物の厚み以下であることを特徴とする。
【００１２】
第２の発明に係る高圧放電ランプは、第１の発明に係る高圧放電ランプにおいて、該介在物がカーボン，レニウム又はロジウムからなる部材，又はカーボン，レニウム，又はロジウムで表面コーティングされた部材からなることを特徴とする。
【００１３】
第３の発明に係る高圧放電ランプは、第１の発明に係る高圧放電ランプにおいて、該介在物が網状，コイル状又はリング状であることを特徴とする。
【００１４】
第４の発明に係る光照射装置は、第１の発明に係る高圧放電ランプを具備し、該高圧放電ランプを囲繞すると共に高圧放電ランプの外面に冷却水を流すジャケットを設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
第１の発明に係る高圧放電ランプは、上記特徴により、外管の外方を流れる冷却水によって、電極間の外方における放電管を効果的に冷却することができる。
【００１６】
第２の発明に係る高圧放電ランプは、上記特徴により、高圧放電ランプが高温になって介在物が熱せられても外管に溶着されず、外管を構成する部材の線膨張率と介在物を構成する部材の線膨張率の差による高圧放電ランプの破損を防止できる。
【００１７】
第３の発明に係る高圧放電ランプは、上記特徴により、放電管の外面に介在物を設けることが簡便に行なうことができる。
【００１８】
第４の発明に係る光照射装置は、上記特徴により、ジャケットに冷却水を流すことによって、電極間の外方における放電管を均一に冷却することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明に係る光照射装置の第１の実施例を図１〜４を用いて説明する。
【００２０】
図１及び図２は本発明に係る光照射装置１の説明図である。図１は高圧放電ランプ２の長手方向に沿った断面図であり、図２は図１の高圧放電ランプ２の長手方向に対して直交する面に沿った断面図（図１のＡ−Ａ断面図）である。図２は、図１に示したものと同じものには同一の符号が付されている。
【００２１】
本発明に係る光照射装置１は、後述する二重管構造を有する棒状の高圧放電ランプ２が光源として用いられる。高圧放電ランプ２の外方には、高圧放電ランプ２を中心軸に延在するように円筒状のジャケット３が設けられる。これにより、図２に示すように高圧放電ランプ２の外周面とジャケット３の内周面の間に、周方向に伸びる流路３１が形成される。高圧放電ランプ２の外周面に位置する流路３１は、高圧放電ランプ２を冷却するため、図１に示すように、高圧放電ランプ２の長手方向に沿って設けられる。ジャケット３は紫外線を透過する例えば石英ガラスから形成される。
高圧放電ランプ２とジャケット３との間に形成された流路３１に冷却水Ｌを供給・排出するため、高圧放電ランプ２とジャケット３の両端には、内部に冷却水Ｌの流路４１５，４２５を有したＬ字状の流路形成部材４１，４２が配置される。
流路形成部材４１，４２は、大径の口締め部４１１，４２１と小径の口締め部４１２，４２２を有しており、各口締め部４１１，４１２，４２１，４２２にはＯリング４１３，４１４，４２３，４２４が設けられる。高圧放電ランプ２の長手方向において、ジャケット３は高圧放電ランプ２よりも短い。このため、高圧放電ランプ２とジャケット３の両端に配置された流路形成部材４１，４２は、大径の口締め部４１１，４２１のＯリング４１３，４２３を介してジャケット３の外周面を保持固定し、小径の口締め部４１２，４２２のＯリング４１４，４２４を介して高圧放電ランプ２の外周面を保持固定する。これにより、流路形成部材４１，４２の有する流路４１５，４２５は、高圧放電ランプ２とジャケット３との間に形成された流路３１に連続される。
【００２２】
光照射方向（図１及び図２において、高圧放電ランプ２からマスクＭに向かう方向）に対して高圧放電ランプ２の背面側には、図２に示すように、例えば高圧放電ランプ２の長手方向に対して直交する面に沿った断面が放物状の反射面５１を有する樋状の反射鏡５２が配置される。樋状の反射鏡５２は、その焦点を高圧放電ランプ２の中心軸に一致させ、高圧放電ランプ２の長手方向に沿うように配置される。反射鏡５２の反射面５１は、例えばチタニア及びシリカなどの異なる反射層を交互に蒸着させて形成した多層膜によって形成される。
【００２３】
光照射方向（図１及び図２において、高圧放電ランプ２からマスクＭに向かう方向）には、マスクステージ６に載置されたマスクＭが配置される。高圧放電ランプ２から照射された光及び反射面５１に反射された光はマスクＭを透って、ワークステージ７に載置された例えばレジスト等の感光剤が塗布された液晶パネルや半導体素子などのワークＷを照射する。
【００２４】
図３は、図１及び図２に示した光照射装置１に具備された高圧放電ランプ２の説明図である。図３（ａ）は高圧放電ランプ２の長手方向に沿った断面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）の点線の丸で囲った部分の拡大図である。
なお、図３は、図１に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
【００２５】
図１及び図２に示した本発明に係る光照射装置１に用いられる高圧放電ランプ２は、図３に示すように、棒状の放電管２１を覆うように棒状の外管２２が配置された二重管構造を有する。
【００２６】
放電管２１は、発光部２１１と発光部２１１の両端に設けられた封止部２１２とからなる。例えば石英ガラスからなる発光部２１１の内部２１４には、水銀などの発光金属と希ガスが封入され、長手方向の両端に一対の例えばタングステンからなる電極２３１，２３２が対向配置される。放電管２１の封止部２１２，２１３は、発光部２１１の長手方向の両端から伸びる例えば石英ガラスのパイプ体を溶融状態にして内部を減圧することにより形成されたものであり、すなわちシュリンクシール法により形成されたものである。封止部２１２，２１３の内部には電極２３１，２３２と外部リード２５１，２５２とを電気的に接続する例えばモリブデンからなる箔２４１，２４２が埋設される。
【００２７】
放電管２１の発光部２１１の外周面において、その内部に対向配置された電極間の径方向にある部分２１８に、図３（ｂ）に示す介在物２６が設けられる。さらに、放電管２１における電極間の径方向にある部分２１８の外方には、この介在物２６を介して外管２２が設けられる。このように介在物２６は、放電管２１と外管２２とに当接され、挟まれるように設けられる。
【００２８】
介在物２６を構成する部材は、少なくとも１５００℃以上の耐熱性を有する部材が用いられる。特に、カーボン，レニウム又はロジウムは、例えば石英ガラスようなガラス部材に溶着されないことから、介在物２６を構成する部材として好ましい。このため、介在物２６を構成する部材としては、カーボン，レニウム又はロジウムからなる部材や、例えばモリブデンのような金属部材の表面をカーボン，レニウム又はロジウムでコーティングした部材を用いることができる。
【００２９】
放電管２１を囲繞する外管２２は、図１に示すように、その外方にジャケット３が設けられることで、流路３１の一部を構成する。このため、放電管２１における電極間の径方向にある部分２１８は、ランプ点灯時、放電熱によって加熱されることから、少なくとも電極間の外方２１８に外管２２が設けられる。
【００３０】
外管２２は、次に説明する高圧放電ランプ２の製造方法を用いることで、図３（ｂ）に示すように屈曲されることで、介在物２６が当接していない位置で、放電管２１との隙間２７が介在物２６の肉厚２６１以下となる。
高圧放電ランプ２の製造方法のうち、放電管２１の外面に外管２２を設ける手順について、図４を用いて説明する。
【００３１】
図４は、図３に示した高圧放電ランプ２の製造方法の説明図である。図４（ａ）は、放電管２１の外面に介在物２６を設けた側面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）に示した放電管２１の外方に外管２２を設け、その外管２２を加熱する工程の説明図であり、図４に示した放電管２１の長手方向に対して直交する面の断面図である。図４（ｃ）は、図４（ｂ）の加熱工程後の完成した高圧放電ランプ２の図であり、高圧放電ランプ２の長手方向に対して直交する面の断面図である。図４は、図３に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
なお、図４においては、製造方法の説明の都合上、図３に図示した介在物２６よりも極端に大きく図示している。
【００３２】
図４（ａ）に示す放電管２１の外面には、例えばカーボンからなる炭素繊維を網状に構成した介在物２６が密着されて設けられる。
図４（ａ）の放電管２１の外方には、図４（ｂ）に示すように、介在物２６に当接しないような大径の内径を有した円筒状の外管２２が設けられる。この外管２２の両端には、外管２２をその中心軸に対して回転駆動させる図示しない駆動体が設けられる。さらに、外管２２は、その開放された両端から排気され、その内部が減圧状態になる。外管２２は、その内部が減圧された状態であると共に回転駆動された状態で、外管２２の外面は例えばバーナーなどの加熱手段８によって加熱されて軟化される。この加熱手段８による外管２２の加熱は、放電管２１の長手方向において、少なくとも電極間の径方向にある部分２１８で行なわれる。
【００３３】
外管２２は、加熱手段８により軟化されると、その内部が減圧状態なので、放電管２１に向かって縮径されていき、図４（ｃ）に示すように、外管２２の肉厚を厚くしつつ、外管２２と介在物２６とが当接するまで加熱される。このとき、外管２２は、介在物２６に当接された部分は、介在物２６を介して放電管２１に支持される。これに対し、外管２２における介在物２６に当接されない部分は、外管２２の加熱状態によって軟化状態が大きいとき、図４（ｃ）に示すように、放電管２１に向かって屈曲される。
このように、放電管２１と外管２２との間は、介在物２６を介する部分が介在物２６の肉厚２６１分の距離で構成され、介在物２６の存在しない隙間２７部分は、介在物２６の肉厚２６１分の距離又はそれ以下の距離となる。
【００３４】
なお、上記高圧放電ランプ２の一構成例を示すと、放電管２１の発光部２１１の内径寸法がφ３．４ｍｍ、放電管２１の発光部２１１の中央部２１１１の外径寸法がφ７．４ｍｍ、封止部２１２，２１３の外径寸法がφ６ｍｍ、放電管２１の全長が１５０ｍｍ、電極２３１，２３２間距離が１００ｍｍ、放電管２１の発光部２１１の内部２１４に位置される電極２３１，２３２部分の長さ１０ｍｍ、水銀の封入量が４４ｍｇ／ｃｍ３である。介在物の肉厚は０．５ｍｍ以下となるとき、外管２２の外径寸法がφ１０．５ｍｍ、外管２２の内径寸法がφ８．４ｍｍ以下である。このとき放電管２１と外管２２との隙間２７（介在物２６が位置しない部分）は、０．５ｍｍ以下となる。
２５０Ｗ／ｃｍ以上のように、ランプ入力が大きい場合、介在物２６の肉厚は０．０５ｍｍ以下であることが好ましい。これに伴い、放電管２１の発光部２１１の中央部２１１１の外径寸法が上述のようにφ７．４ｍｍのとき、外管２２の内径寸法はφ８．４ｍｍ以下になり、放電管２１と外管２２との隙間２７（介在物２６が位置しない部分）は、０．０５ｍｍ以下となる。
【００３５】
高圧放電ランプ２の封止部２１２，２１３から突出する外部リード２５１，２５２には図示しない電源に接続され、ランプ２点灯時、図示しない電源から給電された高圧放電ランプ２は、電極２３１，２３２間で放電が起きることによって点灯する。ランプ２点灯時、図１に示す一対の流路形成部材４１，４２には図示しないポンプが接続されており、ポンプによって一方の流路形成部材４１の内部の流路４１５に冷却水Ｌが供給される。冷却水Ｌは、一方の流路形成部材４１の内部の流路４１５に連通された高圧放電ランプ２の外面とジャケット３の内面との間の流路３１に供給される。ジャケット３の流路３１を流れる冷却水Ｌは、ジャケット３の流路３１に連通された他方の流路形成部材４２の内部の流路４２５へ排出される。
【００３６】
高圧放電ランプ２を冷却する冷却水Ｌの流路３１は、ジャケット３と高圧放電ランプ２の外管２２により構成される。この外管２２は、介在物２６によって、放電管２１との間の隙間２７が介在物２６の厚み２６１以下に構成される。このため、外管２２と放電管２１との間の隙間２７を保持しつつ、その隙間２７を介在物２６の厚み２６１以下にすることにより、電極２３１，２３２間の放電によって加熱された放電管２１は、外管２２の外周を流れる冷却水Ｌによって効果的に冷却することができる。
特に、介在物２６の厚み２６１を０．０５ｍｍ以下にすることにより、ランプ入力が大きな高圧放電ランプ２において良好な冷却効果が得られる。
また、外管２２と放電管２１とは、介在物２６とを介して隙間２７が設けられることにより、ランプ点灯時において、加熱された放電管２１の膨張は、外管２２に妨げられないので、放電管２１と外管２２とが破損されることを防止できる。
【００３７】
放電管２１と外管２２との間に設ける介在物２６の部材によっては、外管２２と介在物２６とが溶着されることがある。このとき、ランプ点灯時のように、介在物２６が加熱された放電管２１からの伝熱を受けるとともに、外管２２が冷却水で冷却される場合、介在物２６の膨張量と外管２２の膨張量との違いによって介在物２６又は／及び外管２２が破損されることがあった。特に、外管２２と介在物２６とが溶着された状態で、外管２２を構成する部材の線膨張率と介在物２６を構成する部材の線膨張率とが異なる場合には、破損が多い。
このため、介在物２６を構成する部材が、カーボン，レニウム又はロジウムからなる部材や、カーボン，レニウム又はロジウムで表面コーティングした部材であるとともに、外管２２を構成する部材が例えば石英ガラスのようなガラス部材であることで、カーボン，レニウム又はロジウムがガラス部材に溶着しないことから、介在物２６を構成する部材の線膨張率と外管２２を構成する部材の線膨張率の違いによる破損を防止することができる。
【００３８】
このような高圧放電ランプ２の放電管２１の内部２１４の電極２３１，２３２間での放電によって、発光金属から紫外線が照射される。放電管２１を透過した紫外線は、介在物２６間の網目からなる開口部を通過し、外管２２を透過する。高圧放電ランプ２から照射される紫外線には、光照射方向に向かうものと反射面５１に向かうものがある。反射面５１に向かった紫外線は、反射面５１によって反射されることで、光照射方向に向かって照射される。このため、高圧放電ランプ２からの紫外線は結果的に光照射方向に照射される。光照射方向に向かった紫外線は、マスクＭを透ってワークステージ７に載置されたワークＷを照射することができる。
【００３９】
上述の高圧放電ランプ２を構成する介在物２６は、図４（ａ）に示すように網状構造のものを示したが、図５に示す構造のものも用いることができる。
【００４０】
図５は、放電管２１の外周に設ける介在物２６の構造を示した側面図である。図５（ａ）はコイル状構造のものであり、図５（ｂ）はリング状構造のものである。図５は、図４に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
なお、図５は外管２２を省略した高圧放電ランプ２の説明図である。また、図５においては、説明の都合上、図３に図示した介在物よりも極端に大きく図示している。
【００４１】
図５は、介在物２６の構造がコイル状又はリング状である点で、図４（ａ）と相違する。図５の説明として、図４（ａ）との相違点について述べる。
【００４２】
図５（ａ）は、放電管２１の外面に、線状の介在物２６を放電管２１の長手方向に向かって巻き回すように設けられる。このとき、介在物２６を設ける範囲として、図３（ａ）を用いて説明したように、放電管２１の外周面における電極間の径方向の部分２１８である。
図５（ｂ）は、放電管２１の外面に、線状の介在物２６を巻き回してコイル状に構成し、外管の長手方向において複数設けられる。
【００４３】
介在物２６の構造をコイル状やリング状に加え、既述の網状に構成することにより、介在物２６が放電管２１の外周面に密着させることができることから、図４を用いて説明した製造方法を簡便に行なうことができる。
【００４４】
これら介在物２６を設ける範囲については、放電熱の伝熱を受け易い電極間の外方（図３における符号２１８）に位置する放電管２１の外周面であるが、外管２２の外周を流れる冷却水の冷却効果を得るために、この範囲の全てに一様に介在物２６を設けることが好ましい。
しかしながら、介在物２６が放電管２１の内部２１４で生成した紫外線を遮光する場合があることから、介在物２６を極力少なく設けたい場合がある。このため、少なくとも介在物２６を設けなくてはならない構成について、図６を用いて説明する。
【００４５】
図６（ａ）は、高圧放電ランプ２の長手方向に対して直交する面の断面図であり、図６（ｂ）は高圧放電ランプ２の長手方向に沿った断面図である。図６は、図３に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
なお、図６（ａ）においては、説明上、図３に示した介在物２６よりも極端に大きく図示している。
【００４６】
図６（ａ）に示すように、放電管２１と外管２２との間に介在物２６の肉厚２６１以下の隙間２７を設けるためには、放電管２１の外周面において、少なくとも互いに離間した３箇所に設ける必要がある。
さらに、この離間した３箇所の介在物２６の集合は、高圧放電ランプ２の長手方向において、少なくとも電極２３１，２３２間の中央から各電極２３１，２３２に向かった範囲（図６（ｂ）に示す電極２３１，２３２間の中央から各電極２３１，２３２に向かう紙面右側の範囲２１８２と紙面左側の範囲２１８１）にそれぞれ設ける必要がある。すなわち、最低でも６箇所の介在物２６が必要である。
【００４７】
上述のように、電極２３１，２３２間の中央から各電極に向かう範囲２１８１，２１８２に、少なくとも３箇所の介在物２６の集合を設けたことにより、放電管２１の外周面は介在物２６を介することで外管２２の内周面を保持することができる。
【００４８】
なお、上述の高圧放電ランプ２は水銀と希ガスが封入されたものに限定されるものではなく、発光金属に水銀と共に金属ハロゲン化物（ヨウ化鉄）が封入され、希ガスとしてアルゴンが封入されたものであってもかまわない。
【００４９】
また、放電管２１の封止方法は、石英ガラスのパイプ体を溶融状態にして圧潰するピンチシール法により形成してもかまわない。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に係る光照射装置の説明図である。
【図２】本発明に係る光照射装置の説明図である。
【図３】本発明に係る高圧放電ランプの説明図である。
【図４】本発明に係る高圧放電ランプの製造方法の説明図である。
【図５】本発明に係る高圧放電ランプを構成する介在物の構造例の説明図である。
【図６】本発明に係る高圧放電ランプを構成する介在物の設ける範囲の説明図である。
【図７】従来に係る光照射装置の説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１        光照射装置
２        高圧放電ランプ
２１      放電管
２１１    発光部
２１２    一方の封止部
２１３    他方の封止部
２１４    発光部の内部
２１８    電極間の径方向にある部分
２２      外管
２３１    一方の電極
２３２    他方の電極
２４１    一方の箔
２４２    他方の箔
２５１    一方の外部リード
２５２    他方の外部リード
２６      介在物
２６１    介在物の肉厚
２７      隙間
３        ジャケット
３１      流路
４１      一方の流路形成部材
４１１    大径の口締め部
４１２    小径の口締め部
４１３    Ｏリング
４１４    Ｏリング
４１５    流路
４２      他方の流路形成部材
４２１    大径の口締め部
４２２    小径の口締め部
４２３    Ｏリング
４２４    Ｏリング
４２５    流路
５１      反射面
５２      反射鏡
６        マスクステージ
７        ワークステージ
８        加熱手段
Ｌ        冷却水
Ｍ        マスク
Ｗ        ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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