(57)【要約】【課題】研削水などの異物の侵入を十分に抑制できるシール性能を有し、なおかつ構成の複雑化、高コスト化を抑制するスピンドル装置を提供する。【解決手段】工具Ａを回転軸２０により回転させるスピンドル装置１において、ハウジング１０の内部に設けられ回転軸２０を駆動するモータ２１と、ハウジング１０の内部において回転軸２０を回転自在に支持するエア軸受２２と、ハウジング１０の開口部Ｂに設けられ当該ハウジング１０との間にハウジング１０の内部と外部を連通する隙間Ｄを形成し、なおかつ回転軸２０により回転可能で、工具Ａが固定される回転フランジ２３と、モータ２１を冷却するための冷却用エアをハウジング１０の内部に導入するためのエア導入部５０、５２と、ハウジング１０の内部に供給された冷却用エアを隙間Ｄに供給し、当該隙間Ｄからハウジング１０の外部に流出させるためのエア流路６０と、を有する。【選択図】図１
2009279673.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
工具を回転軸により回転させるスピンドル装置であって、
工具側の一端面に開口部が形成され、中心軸上に前記回転軸が配置されたハウジングと、
前記ハウジングの内部に設けられ、前記回転軸を回転駆動するモータと、
前記ハウジングの内部において当該ハウジングと前記回転軸との間に介在され、前記回転軸を回転自在に支持する軸受と、
前記ハウジングの開口部に設けられ、当該ハウジングとの間にハウジングの内部と外部を連通する隙間を形成し、なおかつ前記回転軸により回転可能で、前記工具が固定される回転体と、
前記モータを冷却するための冷却用気体を前記ハウジングの内部に導入するための気体導入部と、
前記ハウジングの内部に供給された前記冷却用気体を、前記ハウジングと回転体の隙間に供給し、当該隙間から前記ハウジングの外部に流出させるための気体流路と、を有することを特徴とする、スピンドル装置。
【請求項２】
前記軸受は、静圧気体軸受であり、
前記静圧気体軸受から排出される軸受用気体を、前記気体流路の冷却用気体に合流させるための他の気体流路をさらに有することを特徴とする、請求項１に記載のスピンドル装置。
【請求項３】
前記気体流路は、ハウジングの壁内を通るように形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載のスピンドル装置。
【請求項４】
前記モータは、前記軸受に対して工具側の反対側に設けられ、
前記気体導入部は、前記ハウジングにおける前記軸受と前記モータの間に設けられ、
前記ハウジングにおける前記気体流路の気体流入口は、前記モータに対して工具側の反対側に設けられていることを特徴とする、請求項３に記載のスピンドル装置。
【請求項５】
前記気体流路は、ハウジングの外部を通るように形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載のスピンドル装置。
【請求項６】
前記ハウジングには、ハウジングの内部の異物を除去する穴が設けられていることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のスピンドル装置。
【請求項７】
前記穴は、前記気体流路に通じており、
前記穴には、取り外し自在な栓が設けられていることを特徴とする、請求項６に記載のスピンドル装置。
【請求項８】
工具により加工される被加工物に露出する部分にハウジングの外部から内部に通じる隙間が形成されているスピンドル装置において、ハウジングの内部に異物が侵入することを抑制する方法であって、
工具を駆動させるハウジング内部のモータを冷却するためにハウジングの内部に供給された冷却用気体を、前記隙間に供給し、当該隙間からハウジングの外部に流出させることを特徴とする、スピンドル装置の異物侵入抑制方法。
【請求項９】
工具を回転させる回転軸を支持するハウジング内部の静圧気体軸受から排出される軸受用気体を、前記冷却用気体に合流させ、前記隙間に供給することを特徴とする、請求項８に記載のスピンドル装置の異物侵入抑制方法。
【請求項１０】
前記スピンドル装置は、工具を回転させる回転軸と、工具側の一端面に開口部が形成され、中心軸上に前記回転軸が配置されたハウジングと、前記ハウジングの内部に設けられ、前記回転軸を回転駆動するモータと、前記ハウジングの内部において当該ハウジングと前記回転軸との間に介在され、前記回転軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記ハウジングの開口部に設けられ、前記回転軸により回転可能で前記工具が固定される回転体と、を有し、前記ハウジングと回転体との間にハウジングの内部と外部を連通する前記隙間が形成されていることを特徴とする、請求項８又は９に記載のスピンドル装置の異物侵入抑制方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンドル装置及びスピンドル装置の異物侵入抑制方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばシリコンウェハ、ガラス、セラミック等の脆性材の研削加工などには、一般的に工具を回転軸により回転させるスピンドル装置が用いられている。スピンドル装置は、例えば図５に示すようにハウジング２００の内部に、回転軸２０１を回転駆動するモータ２０２や、回転軸２０１を支持する軸受２０３を備えている。また、スピンドル装置は、ハウジング２００の開口部に、回転軸２０１により回転する回転フランジ２０４を備え、その回転フランジ２０４の外側に工具２０５が取り付けられている。また、スピンドル装置では、内部のモータ２０２が発熱し、当該熱により回転軸２０１の温度が変動し回転軸２０１の長さ等が変動すると、加工精度の低下を招く。このため、スピンドル装置には、例えばハウジング２００内のモータ２０２のある領域に冷却エアが給排気されモータ２０２が冷却されるものがある。
【０００３】
ところで、スピンドル装置を用いてシリコンウェハなどの脆性材の研削加工を行う際には、粒子状の切粉が発生し、当該切粉が研削水に混入する。この切粉が混入した研削水は、スピンドル装置の被加工物に露出する部分の隙間、例えば上述の工具２０５が取り付けられた回転フランジ２０４とハウジング２００との隙間からハウジング２００の内部に侵入する可能性がある。ハウジング２００の内部に研削水が侵入すると、乾燥時に切粉が固着、堆積し、軸受２０３やモータ２０２の故障の原因となる。このため、従来より、ハウジングの工具側にカバーを設けるなどして、研削水がハウジングの内部に侵入することを抑制しようとしていたが、この方法では、研削水の侵入を十分に抑制できていなかった。
【０００４】
そこで、スピンドル内への異物の流入を防止するシール用気体供給部及びシール用気体流路を設けるスピンドルが提案されている（特許文献１参照）。この方法によれば、隙間にシール用気体のエアを供給してシール性能を向上し、研削水がハウジング内に侵入することを抑制できる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３３６８２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記方法によれば、スピンドルの外部から大流量のエアを供給する必要があるため、例えばエアを供給するポンプなどの装置やその制御装置などが新たに必要になり、スピンドル装置の構成が複雑化し、コストが高くなる。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、研削水などの異物の侵入を十分に抑制できるシール性能を有し、なおかつ構成の複雑化、高コスト化を抑制できるスピンドル装置を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明は、工具を回転軸により回転させるスピンドル装置であって、工具側の一端面に開口部が形成され、中心軸上に前記回転軸が配置されたハウジングと、前記ハウジングの内部に設けられ、前記回転軸を回転駆動するモータと、前記ハウジングの内部において当該ハウジングと前記回転軸との間に介在され、前記回転軸を回転自在に支持する軸受と、前記ハウジングの開口部に設けられ、当該ハウジングとの間にハウジングの内部と外部を連通する隙間を形成し、なおかつ前記回転軸により回転可能で、前記工具が固定される回転体と、前記モータを冷却するための冷却用気体を前記ハウジングの内部に導入するための気体導入部と、前記ハウジングの内部に供給された前記冷却用気体を、前記ハウジングと回転体の隙間に供給し、当該隙間から前記ハウジングの外部に流出させるための気体流路と、を有することを特徴とする。なお、上記「回転体」は、回転軸と一体であっても別体であってもよい。
【０００９】
本発明によれば、モータの冷却用気体を、回転体とハウジングの隙間に供給し、当該隙間からハウジングの外部に流出するので、回転体とハウジングの隙間からの異物の侵入を十分に抑制できる。また、モータの冷却用気体を用いて異物の侵入を抑制できるので、新たに気体供給装置などを設ける必要がなく、スピンドル装置の構造の複雑化や高コスト化を抑制できる。
【００１０】
前記軸受は、静圧気体軸受であり、前記スピンドル装置は、前記静圧気体軸受から排出される軸受用気体を、前記気体流路の冷却用気体に合流させるための他の気体流路をさらに有していてもよい。かかる場合、静圧気体軸受が用いられるため、高い回転精度で、低振動のスピンドル装置を実現できる。これにより、スピンドル装置の加工精度を向上できる。そして、軸受用気体と冷却用気体を合流させて、回転体とハウジングの隙間に供給できるので、当該隙間から大流量の気体を流出させることができ、異物の侵入をより十分に抑制できる。
【００１１】
前記気体流路は、ハウジングの壁内を通るように形成されていてもよい。かかる場合、冷却用気体によりハウジングも冷却できるので、例えばモータの熱によるハウジングの温度上昇も抑制できる。この結果、ハウジングの温度上昇により軸受や回転軸の温度が変動して回転軸の長さ等が変動することを抑制できる。よって、スピンドル装置の加工精度を向上できる。
【００１２】
前記モータは、前記軸受に対して工具側の反対側に設けられ、前記気体導入部は、前記ハウジングにおける前記軸受と前記モータの間に設けられ、前記ハウジングにおける前記気体流路の気体流入口は、前記モータに対して工具側の反対側に設けられていてもよい。かかる場合、冷却用気体が、ハウジングの内部においてモータの工具側からその反対側に流れ、その後、ハウジングの壁内の気体流路においてモータに対して工具の反対側から工具側に流れることになる。この結果、冷却用気体がモータの周辺を２回通過することになり、モータの熱を効果的に除去できる。
【００１３】
前記気体流路は、ハウジングの外部を通るように形成されていてもよい。かかる場合、ハウジングの壁内に流路を形成するよりも、低コスト化できる。
【００１４】
前記ハウジングには、ハウジングの内部の異物を除去する穴が設けられてもよい。かかる場合、何らかの原因で異物がハウジングの内部に侵入した場合には、穴を通じて異物を除去できる。
【００１５】
前記穴は、前記気体流路に通じており、前記穴には、取り外し自在な栓が設けられていてもよい。かかる場合、気体流路を通る気体が穴から漏れて回転体とハウジングの隙間からの気体の流出量が減少することを防止できる。
【００１６】
別の観点による本発明は、工具により加工される被加工物に露出する部分にハウジングの外部から内部に通じる隙間が形成されているスピンドル装置において、ハウジングの内部に異物が侵入することを抑制する方法であって、工具を駆動させるハウジング内部のモータを冷却するためにハウジングの内部に供給された冷却用気体を、前記隙間に供給し、当該隙間からハウジングの外部に流出させることを特徴とする。
【００１７】
本発明によれば、スピンドル装置の被加工物に露出する部分の隙間からの異物の侵入を十分に抑制できる。また、モータの冷却用気体を用いて異物の侵入を抑制できるので、新たに気体供給装置などを設ける必要がなく、スピンドル装置の構造の複雑化や高コスト化を抑制できる。
【００１８】
また、工具を回転させる回転軸を支持するハウジング内部の静圧気体軸受から排出される軸受用気体を、前記冷却用気体に合流させ、前記隙間に供給するようにしてもよい。かかる場合、軸受用気体と冷却用気体を合流させて、隙間に供給できるので、当該隙間から大流量の気体を流出させることができ、異物の侵入をより十分に抑制できる。
【００１９】
なお、前記異物侵入抑制方法におけるスピンドル装置は、工具を回転させる回転軸と、工具側の一端面に開口部が形成され、中心軸上に前記回転軸が配置されたハウジングと、前記ハウジングの内部に設けられ、前記回転軸を回転駆動するモータと、前記ハウジングの内部において当該ハウジングと前記回転軸との間に介在され、前記回転軸を回転自在に支持する静圧気体軸受と、前記ハウジングの開口部に設けられ、前記回転軸により回転可能で前記工具が固定される回転体と、を有し、前記ハウジングと回転体との間にハウジングの内部と外部を連通する前記隙間が形成されていてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、異物の侵入を十分に抑制できるのでスピンドル装置の信頼性を向上できる。また、スピンドル装置の構造の複雑化や高コスト化を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るスピンドル装置１の構成の概略を示す説明図である。
【００２２】
スピンドル装置１は、全体を覆うハウジング１０を備えている。ハウジング１０は、筒状に形成され、工具Ａ側（前方側）の一端面に開口部Ｂが形成されている。また、ハウジング１０の工具Ａと反対側（後方側）の一端面は閉鎖されている。ハウジング１０の内部には、ハウジング１０の中心軸上に配置された回転軸２０と、回転軸２０を直接的に回転駆動するモータ２１と、ハウジング１０の内周面と回転軸２０との間に介在され、回転軸２０を回転自在に支持する静圧気体軸受としてのエア軸受２２が設けられている。ハウジング１０の開口部Ｂには、回転軸２０により回転される回転体としての回転フランジ２３が設けられている。なお、ハウジング１０は、例えば開口部Ｂを形成し回転フランジ２３を覆うシールリング１０ａ、エア軸受２２を覆うスピンドルハウジング１０ｂと、モータ２１を覆うモータブラケット１０ｃにより構成されている。
【００２３】
回転フランジ２３は、例えば回転軸２０より径が大きい円盤状に形成され、ハウジング１０の開口部Ｂをほぼ閉鎖している。回転フランジ２３は、後方側の面の中心部に回転軸２０が接続され、前方側の面に工具Ａが固定される。ハウジング１０のシールリング１０ａは、回転フランジ２３の外周面に近づくように内側に突出した環状の突条部３０が形成されている。この突条部３０と回転フランジ２３と間には、工具Ａにより加工される被加工物に面し、ハウジング１０の内部と外部を連通する隙間Ｄが形成されている。
【００２４】
なお、突条部３０の内周面の中央付近には、例えばシールリング１０ａの周方向に沿った環状の凹部３１が形成されており、隙間Ｄを通じてハウジング１０の外部から内部に侵入しようとする異物をここで回収することもできる。
【００２５】
モータ２１は、ハウジング１０の後方側の端部に設けられている。モータ２１は、回転軸２０の外側面に固定されたロータ４０と、当該ロータ４０の周囲を覆うようにモータブラケット１０ｃの内側面に固定されたステータ４１を有しており、給電によりステータ４１に対しロータ４０を回転させ、回転軸２０を回転できる。
【００２６】
ステータ４１と接触するモータブラケット１０ｃの内周面には、周方向に環状の溝４２が形成されている。溝４２には、モータブラケット１０ｃの外部に通じる冷却水流入孔４３と、冷却水流出孔４４が接続されている。これらの溝４２、冷却水流入孔４３及び冷却水流出孔４４により、冷却水の流路が形成され、外部の冷却水を冷却水流入孔４３から流入し、溝４２を通過させてモータ２１を冷却し、冷却水流出孔４４から排出することができる。
【００２７】
また、エア軸受２２とモータ２１との間のモータブラケット１０ｃの内周面には、冷却用気体としての冷却用エアの導入を行う環状のエア導入リング５０が設けられている。エア導入リング５０の内部には、外周面から中心方向に延びてその後モータ２１のある後方側の側面に連通するエア導入流路５１が形成されている。モータブラケット１０ｃには、エア導入流路５１に通じるエア導入孔５２が形成されている。これにより、外部からエア導入孔５２とエア導入リング５０のエア導入流路５１を通じて、モータブラケット１０ｃの内部に冷却用エアを供給できる。また、冷却用エアをモータ２１の前方側から後方側に向けて供給できる。なお、本実施の形態では、例えばエア導入リング５０とエア導入孔５２により冷却用気体導入部が構成されている。
【００２８】
例えばモータブラケット１０ｃにおけるモータ２１よりも後方側の下部には、気体流路としてのエア流路６０のエア流入口６０ａが形成されている。エア流路６０は、モータブラケット１０ｃとスピンドルハウジング１０ｂの壁内を通って前方側のシールリング１０ａに通じている。シールリング１０ａの突条部３０の後方側の内周面には、エア流出口６０ｂが形成されており、エア流路６０は、このエア流出口６０ｂに通じている。エア流出口６０ｂが開口するシールリング１０ａの内側には、隙間Ｄに通じるエア拡散部６０ｃが形成されている。エア拡散部６０ｃは、例えばシールリング１０ａの内周面に沿って環状に形成されている。これにより、モータブラケット１０ｃの内部の冷却用エアをエア流入口６０ａから流入し、エア流路６０を通ってエア流出口６０ｂからエア拡散部６０ｃに供給し、さらに回転フランジ２３と突条部３０との隙間Ｄからハウジング１０の外部に冷却用エアを流出できる。
【００２９】
エア軸受２２は、回転軸２０の軸方向に２つ並列して設けられている。ハウジング１０のスピンドルハウジング１０ｂには、外部からエア軸受２２に軸受用気体としての軸受用エアを供給する軸受用エア供給流路７０が形成されている。この軸受用エアの供給により、エア軸受２２と回転軸２０との間の空間Ｃに軸受用エアがエア軸受２２の隙間から排出され、回転軸２０がエア軸受２２に非接触で支持された状態で回転できる。また、スピンドルハウジング１０ｂには、空間Ｃからエア流路６０に通じる他の気体流路としてのエア流路７１が形成されている。このエア流路７１により、エア軸受２２から排出された軸受用エアをエア流路６０の冷却用エアに合流させ、回転フランジ２３とシールリング１０ａとの隙間Ｄに、大流量のエアを供給できる。
【００３０】
次に、以上のように構成されたスピンドル装置１の動作について説明する。例えばシリコンウェハなどを研削加工する際には、先ず回転フランジ２３に研削工具Ａが取り付けられる。続いて、給電によりモータ２１が駆動し、回転軸２０が回転される。この際、軸受用エア供給流路７０には、軸受用エアが供給され、回転軸２０がエア軸受２２により非接触で支持されて回転される。
【００３１】
そして、モータ２１を冷却するために、冷却水導入孔４３から溝４２に冷却水が導入される。また、エア導入孔５２とエア導入流路５１を通じてモータブラケット１０ｃの内部に冷却用エアが導入される。この冷却用エアは、モータ２１とエア軸受２２との間の位置からモータ２１側に向けて導入される。導入された冷却用エアは、モータ２１の周辺を通過し、モータ２１の後方のエア流入口６０ａに流入する。冷却用エアは、ハウジング１０の壁内のエア流路６０を通ってエア流出口６０ｂからシールリング１０ａの内側のエア拡散部６０ｃに送られる。また、エア軸受２２に供給された軸受用エアは、エア流路７１を通じてエア流路６０に排出され、冷却用エアと合流して、同じくシールリング１０ａの内側のエア拡散部６０ｃに送られる。
【００３２】
エア拡散部６０ｃの冷却用エアと軸受用エアは、回転フランジ２３の外周面に沿って拡散され、ハウジング１０の内部から、回転フランジ２３とシールリング１０ａの突条部３０との隙間Ｄを通過し、ハウジング１０の外部に噴出される。そして、隙間Ｄからエアが噴出された状態で、回転軸２０の回転により研削工具Ａが回転され、研削工具Ａにより被加工物が研削加工される。
【００３３】
以上の実施の形態によれば、モータ２１の冷却用気体を、回転フランジ２３とシールリング１０ａの隙間Ｄに供給し当該隙間Ｄからハウジング１０の外部に流出させるので、例えば研削加工で用いられる研削水等の異物が隙間Ｄを通じてハウジング１０の内部に侵入することを十分に抑制できる。これにより、研削水に含まれる切粉がハウジング１０の内部に侵入しエア軸受２２やモータ２１を破損することを防止できる。また、モータ２１の冷却用エアを用いてハウジング１０の内部への異物の侵入を抑制するので、新たにエアの供給装置等を設ける必要がなく、スピンドル装置１の構成の複雑化、高コスト化を抑制できる。
【００３４】
また、スピンドルハウジング１０ｂに、エア流路７１を形成し、エア軸受２２から排出される軸受用エアをエア流路６０の冷却用エアに合流させるので、大流量のエアを回転フランジ２３とシールリング１０ａとの隙間Ｄに供給することができる。これにより、シール性能がさらに向上し、異物の侵入をより十分に抑制できる。
【００３５】
さらに、エア流路６０は、ハウジング１０の壁内を通るように形成されているので、例えば冷却用エアによりハウジング１０も冷却でき、モータ２１の熱によるハウジング１０の温度上昇も抑制できる。この結果、ハウジング１０の温度上昇によりエア軸受２２や回転軸２０の温度が変動して回転軸２０の長さ等が変動することを抑制できる。よって、スピンドル装置１の加工精度を向上できる。
【００３６】
特に、上記実施の形態では、冷却用エアのエア導入孔５２やエア導入リング５０が、ハウジング１０のエア軸受２２とモータ２１の間に設けられ、エア流路６０のエア流入口６０ａが、モータ２１の後方側に設けられている。このため、ハウジング１０の内部では、冷却用エアが前方から後方に向かって流れ、エア流路６０では、モータ２１の後方からモータ２１の側方を通ってモータ２１の前方側に流れる。このため、例えば冷却用エアが行きと帰りで２回モータ２１の熱を除去することができ、モータ２１を効果的に冷却できる。
【００３７】
以上の実施の形態では、エア流路６０がハウジング１０の壁内を通過していたが、ハウジング１０の外部を通るようにしてもよい。図２は、かかる一例を示すものあり、気体流路としてのエア流路９０は、エア流入口９０ａからモータブラケット１０ｃを貫通し、その後エアホース９０ｄによりハウジング１０の外部を通ってシールリング１０ａに通じる。その後、エア流路９０は、シールリング１０ａを貫通してエア流出口９０ｂに通じ、ハウジング１０ａの内側のエア拡散部９０ｃと隙間Ｄに通じている。なお、上記実施の形態と同一部材については同じ符号を用いて説明を省略する。
【００３８】
かかる例によれば、エア流路９０がハウジング１０の外部を通るので、ハウジング１０の壁内に流路を形成するよりも、低コスト化が図られる。
【００３９】
以上の実施の形態で記載したスピンドル装置１において、ハウジング１０に、ハウジング１０の内部の異物を除去する穴が設けられていてもよい。図３は、かかる一例を示すものであり、例えばシールリング１０ａの下部に、突条部３０の内周面の凹部３１から外周面に通じるドレイン抜き穴１００が形成される。これにより、何らかの原因で研削水等の異物がシールリング１０ａの内部に侵入した場合には、ドレイン抜き穴１００を通じて異物を除去できる。
【００４０】
ドレイン抜き穴１００は、突条部３０以外の他の位置に形成されていてもよく、例えば図４に示すようにドレイン抜き穴１００は、シールリング１０ａの下部の突条部３０の後方側に設けられ、エア流路６０に開口し内側のエア拡散部６０ｃに通じるものであってもよい。また、ドレイン抜き穴１００には、取り外し自在な栓１０１が設けられていてもよい。こうすることにより、異物の除去時以外は、栓１０１によりドレイン抜き穴１００を封鎖し、例えばエアがドレイン抜き穴１００から漏れて隙間Ｄへのエアの供給量が減少することを防止できる。よって、隙間Ｄから外部に流出されるエアを大流量に維持できる。
【００４１】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に相到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】スピンドル装置の構成の概略を示す説明図である。
【図２】ハウジングの外部を通るエア流路が形成されたスピンドル装置の説明図である。
【図３】ドレイン抜き穴が形成されたスピンドル装置の説明図である。
【図４】ドレイン抜き穴に栓が取り付けられたスピンドル装置の説明図である。
【図５】改良前のスピンドル装置の模式図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  スピンドル装置
１０  ハウジング
２０  回転軸
２１  モータ
２２  エア軸受
２３  回転フランジ
５０  エア導入リング
５２  エア導入孔
６０  エア流路
Ａ  工具
Ｂ  開口部
Ｄ  隙間
【図１】
2009279673.tif 000003
【図２】
2009279673.tif 000004
【図３】
2009279673.tif 000005
【図４】
2009279673.tif 000006
【図５】
2009279673.tif 000007