(57)【要約】【課題】イオン注入装置におけるウェハの交換位置を制御するための基準位置の設定を正確に効率良く行う位置調整装置を提供する。【解決手段】回転する円板（２０）の指定位置（２２）を検出する毎に出力される第１パルスと、円板（２０）の回転と連動する回転軸（３０ａ）が１回転する毎に一つ出力される第２パルスと、回転軸（３０ａ）が１回転する毎に複数出力される第３パルスとを取得し、第１パルスと第２パルスとの間隔を第３パルスのパルス数に基づき計測する計測部（２）を具備する。【選択図】図２
2009266762.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する円板の指定位置を検出する毎に出力される第１パルスと、前記円板の回転と連動する回転軸が１回転する毎に一つ出力される第２パルスと、前記回転軸が１回転する毎に複数出力される第３パルスとを取得し、前記第１パルスと前記第２パルスとの間隔を前記第３パルスのパルス数に基づき計測する計測部
を具備する
位置調整装置。
【請求項２】
請求項１に記載の位置調整装置であって、
前記間隔は、前記第１パルスの立ち上がりから前記第２パルスの立ち上がりまでである
位置調整装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の位置調整装置であって、
前記間隔を所定の間隔にするために、前記第３パルスのパルス数に基づき、前記第２パルスを生成するタイミングを調整する信号を生成する調整信号生成部
を更に具備する
位置調整装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の位置調整装置であって、
前記第１パルスに基づき点灯する第１パルス表示部と、
前記第２パルスに基づき点灯する第２パルス表示部と、
前記取得期間の差を前記第３パルスのパルス数に基づいて表示する計測値表示部と、
を更に具備する
位置調整装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の位置調整装置を備える
イオン注入装置。
【請求項６】
（ａ）回転する円板の指定位置を検出する毎に出力される第１パルスと、前記円板の回転と連動する回転軸が１回転する毎に一つ出力される第２パルスとの間隔を、前記回転軸が１回転する毎に複数出力される第３パルスのパルス数に基づき計測するステップ
を具備する
位置調整方法。
【請求項７】
請求項６に記載の位置調整方法であって、
前記間隔は、前記第１パルスの立ち上がりから前記第２パルスの立ち上がりまでである
位置調整方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の位置調整方法であって、
（ｂ）前記間隔を所定の間隔にするために、前記第３パルスのパルス数に基づき、前記第２パルスを生成するタイミングを調整する信号を生成するステップ
を更に具備する
位置調整方法。
【請求項９】
請求項６乃至８の何れか一項に記載の位置調整方法であって、
（ｃ）前記第１パルスに基づき点灯するステップと、
（ｄ）前記第２パルスに基づき点灯するステップと、
（ｅ）前記間隔を前記第３パルスのパルス数に基づいて表示するステップ、
を更に具備する
位置調整方法。
【請求項１０】
請求項６乃至９の何れか一項に記載の方法をコンピュータに実行させる
位置調整プログラム。
【請求項１１】
請求項６乃至９の何れか一項に記載の位置調整方法を備える
ウェハ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置調整装置に関し、特にイオン注入装置の位置調整装置、方法、プログラム及びウェハ製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
バッチ処理型のイオン注入装置は、クランパを用いてウェハを交換する。ウェハを交換する際にウェハとクランパとの位置がずれてしまうと互いに接触し、ウェハにキズが発生したり接触に伴うパーティクルが発生してしまう。これらウェハのキズやパーティクルの防止のために、イオン注入装置はウェハを交換位置へ正確に制御する必要がある。
【０００３】
ウェハを交換位置へ正確に制御するためには、イオン注入装置に備わる回転制御装置の基準位置の設定が必要である。回転制御装置は、駆動力を与えるモータ部と、モータ部の駆動力によって回転するディスクと、モータ部と連動する回転軸の回転を符号化するエンコーダ等を備える。エンコーダは、ディスクの回転に連動する回転軸の指定位置が１回転する毎に一つのパルス（Ｚ相のパルス）を生成する。また、回転制御装置は回転するディスクの指定位置を検出する検出部を備え、検出部はディスクの指定位置を検出する毎にパルス（ディスクシンク信号のパルス）を生成する。基準位置は、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとが共にＨｉｇｈとなる、ディスクとエンコーダとの位置関係である。回転制御装置は、この基準位置に基づいてウェハを交換位置へ制御する。例えば、１枚目のウェハの交換位置は、基準位置から規定パルス数（コントローラ内部に設定された規定数であり変更不可）に基づき回転した位置とする。更に、その位置から規定パルス数に基づき回転した位置を２枚目のウェハの交換位置とする。３枚目以降も同様に行う。従って、この基準位置の設定が全てのウェハの交換位置に影響を及ぼす。
【０００４】
図１は、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとがオシロスコープで表示された例を示した図である。図１の（ａ）は、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとがともにＬｏｗであることを示している。図１の（ｂ）は、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとが共にＨｉｇｈであることを示している。基準位置の設定方法としては、ユーザは、まず図１の（ｂ）に示したディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとが共にＨｉｇｈとなる位置関係を探す。そして、規定パルス数に基づき回転した位置が正確な交換位置となるように、エンコーダの取り付け位置を回転方向に微調整してＺ相のパルスが生成される位置を調整し、基準位置を決定していた。
【０００５】
特許文献１には、ウェハ交換時の位置決め動作において、専用のセンサーを使用せずモータのフィードバック信号を使用するイオン打込装置が開示されている。このイオン打込装置は、円板を回転させるためのダイレクトドライブモータ（ＤＤモータ）と、インクリメンタルエンコーダ（エンコーダ）と、ＤＤモータを回転制御する制御ユニットから構成されている。制御ユニットは、円板を一定速度で回転させる速度制御と、ウェハ交換時にウェハを載せた円板を所定の位置に回転移動させる位置制御を有している。ウェハを載せた円板の位置制御は、エンコーダからの１回転毎に出力されるＺ相に基づくことを特徴としている。このようなイオン打込装置は、回転軸上にＤＤモータとエンコーダとが取り付けられたことで駆動伝達遅れがなくなり、ウェハ交換時の停止精度向上及び動作時間の短縮が出来るというものである。
【０００６】
特許文献２には、大径円板の周辺部に処理物を乗せる載荷台を複数配置して高速回転させたときに、所定の載荷台を指定位置に位置決めする位置決め装置が開示されている。この位置決め装置は、大径円板の各載荷台近傍に大径円板と共に回転可能に設けられ、各載荷台の位置を指示する第１目標部検出部と、第１目標部検出部と対向するように大径円板の近傍の固定位置に設置され、第１目標検出部の位置を検出して第１の位置検出信号を発生する第２目標検出部と、大径円板の回転軸に取り付けられ回転軸の位置を検出する第１軸部位置検出部と、回転する第１軸部位置検出部の位置を検出し回転軸の位置を表す第２の位置検出信号を発生する第２軸部位置検出部とを備える。特許文献２の位置決め装置は、第１及び第２の位置検出信号の一致を検出すると共に、一致結果に基づいて載荷台の位置決めを行うことを特徴としている。
【０００７】
【特許文献１】特開平５−７８８４１号公報
【特許文献２】特許第２９０９９３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
規定パルス数に基づき回転した位置が正確な交換位置となる基準位置の設定は、ユーザ各々の勘や経験に依存している。更に、参照する信号の変化は瞬時に起こるため、基準位置の設定に多大な時間（例えば２時間程度）を有していた。よって、イオン注入装置におけるウェハの交換位置を制御するための基準位置の設定を正確に効率良く行う位置調整装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以下に、発明を実施するための最良の形態で使用される符号を括弧付きで用いて、課題を解決するための手段を記載する。この符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための最良の形態の記載との対応を明らかにするために付加されたものであり、特許請求の範囲に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【００１０】
本発明の位置調整装置（１）は、回転する円板（２０）の指定位置（２２）を検出する毎に出力される第１パルスと、円板（２０）の回転と連動する回転軸（３０ａ）が１回転する毎に一つ出力される第２パルスと、回転軸（３０ａ）が１回転する毎に複数出力される第３パルスとを取得し、第１パルスと第２パルスとの間隔を第３パルスのパルス数に基づき計測する計測部（２）を具備する。このような位置調整装置（１）は、回転制御装置（１００）に備わる円板（２０）の指定位置（２２）と、円板（２０）と連動するエンコーダ（３０）の指定位置との間隔を、第３パルスのパルス数に基づき定量的に計測することが出来る。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の位置調整装置は、イオン注入装置におけるウェハの交換位置を制御するための基準位置の設定を正確に効率良く行うことを可能にする。従って、基準位置を設定するまでの作業労力の軽減効果や作業時間の短縮効果を有している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態による位置調整装置を説明する。
【００１３】
本発明の位置調整装置１の第１の実施の形態を説明する。図２は、本発明の位置調整装置１を含むイオン注入装置の構成例を示した図である。図２を参照すると、イオン注入装置は、回転制御装置１００と位置調整装置１とを具備する。回転制御装置１００は回転を制御し、回転に基づくパルスを生成する。位置調整装置１は、回転制御装置１００が生成するパルスを取得し、取得したパルスに基づいた計測を実行する。
【００１４】
回転制御装置１００は、モータ部１０と、回転軸１１と、ベルト１１ａと、ベルト１１ｂと、ディスク２０と、エンコーダ部３０と、検出部４０とを備える。
【００１５】
モータ部１０は、ベルト１１ａを介して回転軸１１を回転させる。モータ部１０の回転に係る制御機能等は既存の技術を用いるとし説明を省略する。また、モータ部１０はエンコーダ部３０が生成するパルスを取得し、回転速度などの制御を行うことも可能である。
【００１６】
回転軸１１は、モータ部１０の回転量に基づいて回転する。ディスク２０は、回転軸１１の回転に連動して回転する。ディスク２０は、円板の形状が好ましいがこれに限るものではない。
【００１７】
図３は、ディスク２０の構成例を示した図である。図３を参照すると、ディスク２０は、保持部２１と、位置指定部２２とを備える。保持部２１は、物品を固定できる構成であればよい。例えば、イオン注入装置などにおける保持部２１は、ウェハなどを保持する機能を有する。位置指定部２２は、ディスク２０の指定位置を示す。位置指定部２２は、検出部４０によって検出できればよい。例えば、位置指定部２２はディスク２０を貫通するスリットなどが一例として挙げられる。
【００１８】
エンコーダ部３０は、インクリメンタル型のロータリーエンコーダなどが例示され、回転を符号化し、回転に基づくパルスを生成する。エンコーダ部３０は、回転軸３０ａを備える。回転軸３０ａは、ベルト１１ｂを介して回転軸１１の回転に連動して回転する。即ち、モータ部１０及び回転軸１１と連動して回転し、その回転に基づくパルスを生成する。エンコーダ部３０は、回転軸３０ａの指定位置が１回転する毎に１つのパルス（Ｚ相のパルス）を生成する。更に、エンコーダ部３０は、回転軸３０ａが１回転する毎に複数のパルス（Ａ相のパルス及びＢ相のパルス）を生成する。Ａ相のパルスとＢ相のパルスは位相が１／４ずれて出力されることが好ましい。エンコーダ部３０は、生成したパルスを位置調整装置１へ提供する。また、エンコーダ部３０は、生成したパルスを回転制御に用いるためにモータ部１０へ提供してもよい。
【００１９】
検出部４０は、ディスク２０の位置指定部２２を検出する。検出部４０は、位置指定部４０を検出する毎にパルス（ディスクシンク信号のパルス）を生成する。例えば、位置指定部２２がスリットによって構成されている場合は、検出部４０は発光素子と受光素子を有する投受光型のセンサが例示される。この場合、検出部４０は発光素子から出た光を、スリットの間だけ受光素子によって受光し、この受光に基づいてパルスを生成する。検出部４０は、生成したパルスを位置調整装置１へ提供する。
【００２０】
位置調整装置１は、計測部２と、表示部３とを備える。計測部２は、エンコーダ部３０と検出部４０とからパルスを取得する。計測部２は、検出部４０から取得したディスクシンク信号のパルスとエンコーダ部３０から取得したＺ相のパルスとの間隔を、Ａ相及びＢ相のパルス数に基づき計測する。パルスの間隔は、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとが生成された間隔であり、即ちディスク２０の位置指定部２２とエンコーダ部３０の指定位置の位置関係に相当する。例えば、パルスの間隔は、ディスクシンク信号の立ち上がりからＺ相のパルスの立ち上がりまでが例示される。パルスの間隔の計測例を説明する。計測部２は、ディスクシンク信号のパルスの立ち上がりを取得するとＡ相及びＢ相のパルス数の計測状態となる。その後、計測部２が取得するＡ相及びＢ相のパルス数の計測を行う。計測部２は、Ｚ相のパルスの立ち上がりを取得するとＡ相及びＢ相のパルス数の計測を終了する。尚、計測部２は、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスの立ち上がりから立ち下がりまでを検出可能であり、立ち上がりの検出に限定するのもではない。計測部２は、計測して得られたパルス数を表示部３へ提供する。また、計測部２は、各パルスの情報を表示部３へ提供する。
【００２１】
図４は、計測部２がディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとの間隔をＡ相及びＢ相のパルスに基づいて計測するイメージ図である。図４を参照すると、ディスクシンク信号のパルスと、Ｚ相のパルスと、Ａ相の複数のパルスと、Ｂ相の複数のパルスとが時間経過と共に示されている。まず、計測部２はディスクシンク信号のパルスの立ち上がり（Ｄ）を検出する。計測部２は、ディスクシンク信号のパルスの立ち上がり（Ｄ）を検出した後、Ａ相及びＢ相のパルスを取得する毎にパルス数を計測する。そして、計測部２は、Ｚ相のパルスの立ち上がり（Ｚ）を取得すると、計測を終了する。図４の例では、計測部２はＡ相のパルスを２つ（Ｅ、Ｆ）と、Ｂ相のパルスを２つ（Ｇ、Ｈ）とを計測することになる。計測部２がＡ相のパルスとＢ相のパルスとの２つを計測する理由は、基準位置の設定精度を向上させるためである。例えば図４の例において、Ａ相のパルスとＢ相のパルスとが１／４位相がずれて出力されているとする。ディスクシンク信号のパルスの立ち上がり（Ｄ）がＡ相のパルスＥに重なり、Ｂ相のパルスＧに重ならない場合、計測部２はＡ相のパルスを１つ（Ｆ）とＢ相のパルスを２つ（Ｇ、Ｈ）とを計測することになる。即ち、計測部２は、Ａ相及びＢ相のパルス幅の半分の精度でパルスの間隔を検出していることになる。
【００２２】
表示部３は、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスの間隔を示すパルス数を取得し、ユーザが認識出来るように表示する。また、計測部２から各パルスの情報を取得し、ユーザが認識出来るよに表示する。例えば、ディスクシンク信号のパルスの情報を取得するとＬＥＤを点灯させるなどが例示される。
【００２３】
図５は、表示部３の表示例を示した図である。図５を参照すると、位置調整装置１の表示部３は、表示部３ａと、表示部３ｂと、表示部３ｃとを有する。表示部３ａは、ディスクシンク信号のパルスの情報を取得すると、ＬＥＤなどにより点灯する。表示部３ｂは、Ｚ相のパルスの情報を取得すると、ＬＥＤなどにより点灯する。表示部３ｃは、計測部２の計測結果をパルス数として表示する。尚、図５に示していないがＡ相及びＢ相のパルスを取得した情報も同様に表示することも出来る。
【００２４】
本発明の実施の形態による位置調整装置１は、コンピュータを用いて実現可能である。図６は、位置調整装置１の実施の形態における、ハードウエア構成例を示すブロック図である。図６を参照すると、本発明の位置調整装置１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ；中央処理装置）５０と、記憶装置６０と、入力装置７０と、出力装置８０と、各装置を接続するバス９０とを備えるコンピュータシステムで構成される。
【００２５】
ＣＰＵ５０は、記憶装置６０に格納されている本発明の位置調整装置１に係る演算処理及び制御処理を行う。記憶装置６０は、ハードディスクやメモリ等からなり、本発明に係る各機能や手段を実現するＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ等のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体から読み取られたプログラムや、入力装置７０から入力された信号やプログラム等をＣＰＵ５０が実行可能な形式で格納する。入力装置７０は、キーボード、マウスなどからなり、コマンド及び信号等が入力される。出力装置８０は、ディスプレイ、スピーカ及びＬＥＤなどからなり、ユーザに認識させることが出来る。尚、本発明はハードウエア構成例と示したものに限定されず、各部はハードウエアとソフトウエアとを単独又は組み合わせて実現することが出来る。
【００２６】
図７は、本発明の位置調整装置１を備えるイオン注入装置の第１の実施の形態による処理動作を示したフローチャートである。図７を参照して、本発明の第１の実施の形態による処理動作を説明する。
【００２７】
モータ部１０は、ベルト１１ａを介して回転軸１１を回転させる（ステップＳ０１）。
【００２８】
ディスク２０は、回転軸１１の回転に連動して回転する（ステップＳ０２）。回転軸３０ａは、ベルト１１ｂを介して回転軸１１に連動して回転する。
【００２９】
検出部４０は、ディスク２０の位置指定部２２を検出する。ここでは、検出部４０は投受光型のセンサであり、位置指定部２２はスリットであるとする。検出部４０は、発光素子から出た光をスリットの間だけ受光素子によって受光する。そして、検出部４０は、この受光に基づくパルス（ディスクシンク信号のパルス）を生成する。検出部４０は、生成したパルスを計測部２へ提供する（ステップＳ０３）。
【００３０】
エンコーダ部３０は、回転軸３０ａの回転に基づくパルスを生成する。エンコーダ部３０は、回転軸３０ａの指定位置が１回転する毎に１つのパルス（Ｚ相のパルス）を生成する。更に、エンコーダ部３０は回転軸３０ａが１回転する毎に複数のパルス（Ａ相のパルス及びＢ相のパルス）を生成する。Ａ相のパルスとＢ相のパルスとは位相が１／４ずれて出力される。エンコーダ部３０は、生成したパルスを計測部２へ提供する（ステップＳ０４）。
【００３１】
計測部２は、検出部４０からディスクシンク信号のパルスを取得する。計測部２は、ディスクシンク信号のパルスの立ち上がりを検出すると、エンコーダ部３０から取得するＡ相のパルス及びＢ相のパルス数を計測する。また、計測部２はディスクシンク信号のパルス取得すると、取得したパルスの情報を表示部３へ提供する。表示部３ａは、ディスクシンク信号のパルスの情報に基づき、ＬＥＤを点灯する。尚、計測部２はＡ相及びＢ相のパルスの情報を提供し、表示部３がＡ相及びＢ相のパルスの情報に基づきＬＥＤを点灯してもよい。計測部２は、エンコーダ部３０からＺ相のパルスを取得する。計測部２は、Ｚ相のパルスの立ち上がりを検出すると、Ａ相及びＢ相のパルス数の計測を終了する。また、計測部２は、Ｚ相のパルスの情報を表示部３へ提供する。表示部３ｂは、Ｚ相のパルスの情報に基づき、ＬＥＤを点灯する（ステップＳ０５）。
【００３２】
計測部２は、計測したパルス数を表示部へ提供する。表示部３ｃは、計測したパルス数をユーザが認識出来るように表示する（ステップＳ０６）。
【００３３】
本発明の第１の実施の形態による位置調整装置１は、回転制御装置１００に備わるディスク２０の位置指定部２２（ディスクシンク信号のパルス）と、ディスク２０と連動するエンコーダ部３０の指定位置（Ｚ相のパルス）との間隔をパルス数で定量的に表すことを可能にした。これによってユーザは、このパルス数を参照してエンコーダ部３０を調整し、二つの指定位置の間隔を容易に設定することが出来る。更に、二つの指定位置の間隔を設定して基準位置とした後で、例えば部品等を交換した場合の基準位置の再設定は、二つの指定位置の間隔が既に判明しているため再設定を効率良く行える。即ち、本発明の位置調整装置１は、各ユーザの経験差等によらず基準位置を設定するまでの労力の軽減効果や時間の短縮効果（例えば２時間掛かっていたものが１５分程度になる）を有している。また、ディスク２０の位置指定部２２と、ディスク２０と連動するエンコーダ部３０の指定位置との間隔をパルス数で定量的に表せることで、基準位置をより正確に調整できウェハ交換作業時のキズの発生やパーティクルの増加を著しく改善する効果を有している。
【００３４】
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。本発明の第２の実施の形態は、第１の実施の形態に、計測値２が計測したパルス数に基づいて自動でエンコーダ部３０を調整する機能を加えたものである。
【００３５】
図８は、本発明の第２の実施の形態による位置調整装置１を含む、イオン注入装置の構成例を示した図である。図８を参照すると、イオン注入装置は、位置調整装置１と回転制御装置１００とを具備する。
【００３６】
回転制御装置１００は、エンコーダ部３０以外の構成及び動作は第１の実施の形態と同様であるため説明を省略する。エンコーダ部３０は、Ｚ相のパルスを生成する指定位置を自動調整するための信号を位置調整装置１から取得する。自動調整するための信号は、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとの間隔を所定の間隔にするために、Ｚ相のパルスを生成するタイミングを調整する信号である。エンコーダ部３０は、自動調整するための信号に基づき、回転軸３０ａを機械的に調整する。回転軸３０ａの機械的な調整に係る技術は既存の方法を用いることとする。
【００３７】
位置調整装置１は、計測部２と、表示部３と、調整信号生成部４とを備える。計測部２と、表示部３とは、第１の実施の形態と同様であるため説明を省略する。調整信号生成部４は、計測部２よりディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとの間隔を計測したパルス数を取得する。調整信号生成部４は、計測部２から取得したパルス数と保持している所定のパルス数とに基づいて、Ｚ相のパルスを生成するタイミングを調整するための信号として、エンコーダ３０の位置を自動調整させる信号を生成し、エンコーダ部３０へ提供する。保持している所定のパルス数は、ユーザによって設定されたものでもよいし、基準位置として設定されたパルスの間隔を保持したものでもよい。
【００３８】
図９は、本発明の位置調整装置１を備えるイオン注入装置の第２の実施の形態による処理動作を示したフローチャートである。図９を参照して、本発明の第２の実施の形態による処理動作を説明する。
【００３９】
図７のステップＳ０１からステップＳ０６を実施した後、調整信号生成部４は、計測部２からディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとの間隔を計測したパルス数を取得する。調整信号生成部４は、計測部２から取得したパルス数と保持している所定のパルス数とに基づいて、エンコーダ３０の位置を自動調整させる信号を生成し、エンコーダ部３０へ提供する（ステップＳ０７）。
【００４０】
エンコーダ部３０は、調整信号生成部４から位置を自動調整する信号を取得する。エンコーダ部３０は、位置を自動調整する信号に基づき回転軸３０ａを回転方向に調整する。この調整によって、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとが所定の間隔に調整される（ステップＳ０８）。
【００４１】
本発明の第２の実施の形態は、計測したパルス数と所定のパルス数とに基づいて、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとが所定の間隔になるよう自動でエンコーダ部を調整することが出来る。エンコーダ部３０が自動調整できることによって、更に基準位置の設定を容易に行うことを可能にする。
【００４２】
本発明の位置調整装置１を備えるイオン注入装置に基づいてウェハを製造することが出来る。製造に係るその他の工程については、当業者に周知の方法を用いる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】図１は、ディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとがオシロスコープで表示された例を示した図である。
【図２】図２は、本発明の位置調整装置１を含むイオン注入装置の構成例を示した図である。
【図３】図３は、ディスク２０の構成例を示した図である。
【図４】図４は、計測部２がディスクシンク信号のパルスとＺ相のパルスとの間隔をＡ相及びＢ相のパルスに基づいて計測するイメージ図である。
【図５】図５は、表示部３の表示例を示した図である。
【図６】図６は、位置調整装置１の実施の形態における、ハードウエア構成例を示すブロック図である。
【図７】図７は、本発明の位置調整装置１を備えるイオン注入装置の第１の実施の形態による処理動作を示したフローチャートである。
【図８】図８は、本発明の第２の実施の形態による位置調整装置１を含む、イオン注入装置の構成例を示した図である。
【図９】図９は、本発明の位置調整装置１を備えるイオン注入装置の第２の実施の形態による処理動作を示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００４４】
１      位置調整装置
２      計測部
３      表示部
３ａ    表示部
３ｂ    表示部
３ｃ    表示部
１０    モータ部
１１    回転軸
１１ａ  ベルト
１１ｂ  ベルト
２０    ディスク
２１    保持部
２２    位置指定部
３０    エンコーダ部
３０ａ  回転軸
４０    検出部
５０    ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ；中央処理装置）
６０    記憶装置
７０    入力装置
８０    出力装置
９０    バス
１００  回転制御部
【図１】
2009266762.tif 000003
【図２】
2009266762.tif 000004
【図３】
2009266762.tif 000005
【図４】
2009266762.tif 000006
【図５】
2009266762.tif 000007
【図６】
2009266762.tif 000008
【図７】
2009266762.tif 000009
【図８】
2009266762.tif 000010
【図９】
2009266762.tif 000011