(57)【要約】【課題】水を噴霧する構造部品が絶縁できており、高電圧の帯電部が衝突部のみの容易な構造にでき、かつ、コロナ放電させず水を噴霧し衝突エネルギーで微細化すると同時に水に帯電させるため、オゾンを含まない安全なイオン化粒子を供給することができること。【解決手段】水などの液体を微細化する微細化手段と高電圧回路手段で微細化液体をイオン化するイオン発生装置において、水などの液体を噴霧する噴霧手段と対向して平板状の衝突部を設け、前記衝突部は高電圧回路の電極を兼ね備え、かつ、装置から絶縁されて取り付けた構造として、帯電部が噴霧手段にはなく衝突部にしたため、絶縁構造が容易、かつ、コンパクトでコロナ放電を用いずイオン化微粒子を発生することが得られる。【選択図】図１
2009123643.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水などの液体を微細化する微細化手段と高電圧回路手段で微細化液体をイオン化するイオン発生装置において、水などの液体を噴霧する噴霧手段と対向して平板状の衝突部を設け、前記衝突部は高電圧回路の電極を兼ね備え、かつ、装置から絶縁されて取り付けた構造としたことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項２】
前記電極を兼ね備えた衝突部が曲面または網目形状の構造としたことを特徴とする請求項１記載のイオン発生装置。
【請求項３】
偶数個の衝突部を備え、半数の衝突部にプラス電圧を、残りの衝突部にマイナス電圧を印加することを特徴とする請求項１または２に記載のイオン発生装置。
【請求項４】
前記噴霧手段は水滴を滴下させ衝突部での衝突で微細化する構造としたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のイオン発生装置。
【請求項５】
前記噴霧手段がスプレーノズルにより微細化され、かつ、衝突部での衝突でさらに微細化する構造としたことを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載のイオン発生装置。
【請求項６】
偶数個の衝突部を備え、半数の衝突部にプラス電圧を印加することを特徴とする請求項４または５記載のイオン発生装置。
【請求項７】
水などの液体を微細化する微細化手段と高電圧回路手段で微細化液体をイオン化するイオン発生装置において、イオン化微細液体を搬出する送風手段と、水などの液体を噴霧する噴霧手段と対向して平板状の衝突部を設け、前記衝突部は高電圧回路の電極を兼ね備えた構造としたことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項８】
前記電極を兼ね備えた衝突部が曲面または網目形状の構造としたことを特徴とする請求項７記載のイオン発生装置。
【請求項９】
偶数個の衝突部を備え、半数の衝突部にプラス電圧を、残りの衝突部にマイナス電圧を印加することを特徴とする請求項７または８に記載のイオン発生装置。
【請求項１０】
前記噴霧手段は水滴を滴下させ衝突部での衝突で微細化する構造としたことを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載のイオン発生装置。
【請求項１１】
前記噴霧手段がスプレーノズルにより微細化され、かつ、衝突部での衝突でさらに微細化する構造としたことを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載のイオン発生装置。
【請求項１２】
偶数個の衝突部を備え、半数の衝突部にプラス電圧を印加することを特徴とする請求項１０または１１記載のイオン発生装置。
【請求項１３】
前記送風手段に加熱手段を設けたことを特徴とする請求項７〜１２のいずれかに記載のイオン発生装置。
【請求項１４】
プラス帯電した微細水滴とマイナス帯電した微細水滴の風路がそれぞれ独立した構造としたことを特徴とする請求項７〜１３のいずれかに記載のイオン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームを初め、電子部品を製造する工場での静電気を除去するためのイオン発生装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のイオン発生装置は、液体噴霧部であるノズルを放電電極とし高電圧を印加し、液体にプラスまたはマイナスの電位を与え後に噴霧し、噴霧部から所定間隔をとり対向電極を設け空中でイオン化する構造がよく知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
以下、その構造について図６を参照しながら説明する。
【０００４】
図に示すように、イオン発生装置１０１の内部に放電電極１０２と下方に所定間隔を離して対向電極１０３が設けられ、両電極に高圧電源１０４が接続されている。両電極（放電電極１０２、対向電極１０３）は、送風機１０８の運転によって上方から下方へ空気が流れる空気風路１０５の内部に設けられている。また、空気風路１０５の外部の水タンク１０６から水管１０７が空気風路内に導かれ、水管１０７の先端に高圧電源１０４のプラス極が接続されることにより放電電極１０２となる構造としたものである。
【特許文献１】特開２００２−２０３６５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来のイオン発生装置では、供給する水や水タンクが電気的に水管と繋がった構造となっており、水管の先端に高電圧を印加することで水タンクも高電位になり、高電圧部すなわち感電する危険性のある部分が大きくなり、絶縁構造するために装置全体が大きなものになる。また、多くのイオンを発生できるように水を微細化するために、水を高圧力にする構成部品も電気的に接続されることになり、絶縁部を設け、帯電しないようにするには複雑な構造が必要である。
【０００６】
また、他のイオン発生装置の方式ではコロナ放電式があり、空気中に高電圧を印加して、コロナ放電により空気中の分子をイオン化させイオンを発生するものもあるが、人体に対して危険なオゾンの発生を防止することが出来ていないのである。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、水を噴霧する構造部品が絶縁できており、高電圧の帯電部が衝突部のみの容易な構造にでき、かつ、コロナ放電させず水を噴霧し衝突エネルギーで微細化すると同時に水に帯電させるため、オゾンを含まない安全なイオン化粒子を供給することができるイオン発生装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のイオン発生装置は上記目的を達成するために、水などの液体を微細化する微細化手段と高電圧回路手段で微細化液体をイオン化するイオン発生装置において、水などの液体を噴霧する噴霧手段と対向して平板状の衝突部を設け、前記衝突部は高電圧回路の電極を兼ね備え、かつ、装置から絶縁されて取り付けた構造としたことを特徴としたものである。
【０００９】
この手段により高圧帯電部を機能上必要な部分に限定でき、絶縁構造が容易で、コンパクト性を向上することができるイオン発生装置が得られる。
【００１０】
また他の手段は、前記電極を兼ね備えた衝突部が曲面または網目形状の構造としたことを特徴としたものである。
【００１１】
これにより、衝突により水の微細化が促進されることで、多量のイオン発生を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００１２】
また他の手段は前記噴霧手段と前記電極を兼ね備えた衝突部をプラス電圧とマイナス電圧と一対をなし複数個設けた構造としたことを特徴としたものである。
【００１３】
これによりプラス帯電とマイナス帯電の微細水滴を発生させることで、静電気帯電によるワークを電気的に中和できる空間を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００１４】
また他の手段は、前記噴霧手段は水滴を滴下させ衝突部での衝突で微細化する構造としたことを特徴としたものである。
【００１５】
これにより落下エネルギーを衝突エネルギーに替えることにより、水の微細化が促進され多量のイオン発生を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００１６】
また他の手段は、前記噴霧手段がスプレーノズルにより微細化され、かつ、衝突部での衝突でさらに微細化する構造としたものである。
【００１７】
これによりスプレー圧の運動エネルギーを衝突エネルギーに替えることにより、水の微細化が促進され多量のイオン発生を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００１８】
また他の手段は、一対をなす前記衝突部の電極において、プラス電極のみプラス電圧を印加することを特徴ととしたものである。
【００１９】
これにより滴下およびスプレー噴霧での微細化は、高電圧の印加なしでもマイナス帯電の粒子が多く発生し、プラス帯電の高圧電源のみを設けることとで装置の小型化を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００２０】
また他の手段は、水などの液体を微細化する微細化手段と高電圧回路手段で微細化液体をイオン化し、イオン化微細液体を搬出する送風手段を設けたイオン発生装置において、水などの液体を噴霧する噴霧手段と対向して平板状の衝突部を設け、前記衝突部は高電圧回路の電極を兼ね備えた構造としたことを特徴としたものである。
【００２１】
これにより高圧帯電部を機能上必要な部分に限定でき、絶縁構造が容易で、小型化することができ、イオン化した微粒子を搬送することで、静電気帯電したワークまで届き電気的に中和できる微細水滴を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００２２】
また他の手段は、前記電極を兼ね備えた衝突部が曲面または網目形状の構造としたものである。
【００２３】
これにより衝突により水の微細化が促進されることで、多量のイオン発生させイオン化した微粒子を搬送することで、静電気帯電したワークまで届き電気的に中和できる微細水滴を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００２４】
また他の手段は、前記噴霧手段と前記電極を兼ね備えた衝突部をプラス電圧とマイナス電圧と一対をなし複数個設けた構造としたことを特徴としたものである。
【００２５】
これによりプラス帯電とマイナス帯電の微細水滴を発生させ、イオン化した微粒子を搬送することで、静電気帯電したワークまで届き電気的に中和できる微細水滴を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００２６】
また他の手段は、前記噴霧手段は水滴を滴下させ衝突部での衝突で微細化する構造としたことを特徴としたものである。
【００２７】
これにより落下エネルギーを衝突エネルギーに替えることにより、水の微細化が促進され多量のイオンが発生し、イオン化した微粒子を搬送することで、静電気帯電したワークまで届き電気的に中和できる微細水滴を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００２８】
また他の手段は、前記噴霧手段がスプレーノズルにより微細化され、かつ、衝突部での衝突でさらに微細化する構造としたことを特徴としたものである。
【００２９】
これによりスプレー圧の運動エネルギーを衝突エネルギーに替えることにより、水の微細化が促進され多量のイオンが発生し、イオン化した微粒子を搬送することで、静電気帯電したワークまで届き電気的に中和できる微細水滴を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００３０】
また他の手段は、一対をなす前記衝突部の電極において、プラス電極のみプラス電圧を印加することを特徴としたものである。
【００３１】
これにより滴下およびスプレー噴霧での微細化は、高電圧の印加なしでもマイナス帯電の粒子が多く発生し、プラス帯電の高圧電源のみを設けることとで装置が小型化でき、イオン化した微粒子を搬送することで、静電気帯電したワークまで届き電気的に中和できる微細水滴を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００３２】
また他の手段は、前記送風手段に加熱手段を設けたことを特徴としたものである。
【００３３】
これにより送風される空気を加熱することができ、帯電した微細水滴を気化させ、より多くのイオン化した微粒子を搬送することで、静電気帯電したワークまで届き電気的に中和できる微細水滴を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【００３４】
また他の手段は、プラス帯電した微細水滴とマイナス帯電した微細水滴の風路がそれぞれ独立した構造としたことを特徴としたものである。
【００３５】
これによりプラス帯電した微細粒子とマイナス帯電した微細粒子が直接接しないため、イオン化した微粒子を長時間すなわち長距離まで搬送することで、静電気帯電したワークまで届き電気的に中和できる微細水滴を提供することができるイオン発生装置が得られる。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、高電圧を印加する部分が衝突部のみで、絶縁構造が容易になり、微細水滴を発生させる構造部分も完全に高電圧印加部分から絶縁されており、水の加圧が容易なイオン発生装置を提供できる。
【００３７】
また、コロナ放電させず水を噴霧し衝突エネルギーで微細化すると同時に水に帯電させるため、オゾンを含まない安全なイオン化粒子を供給することができるイオン発生装置を提供できる。
【００３８】
また、微細水滴に帯電させるため寿命が長く静電気除去に効果のあるイオン発生装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
本発明は、水などの液体を微細化する微細化手段と高電圧回路手段で微細化液体をイオン化するイオン発生装置において、水などの液体を噴霧する噴霧手段と対向して平板状の衝突部を設け、前記衝突部は高電圧回路の電極を兼ね備え、かつ、装置から絶縁されて取り付けた構造としたことを特徴とするものであり、噴霧により微細化された水が衝突部に衝突し、さらに水が微細化し、同時に衝突部に衝突することで水の微細化粒子は帯電され多量のイオン化微粒子の発生が可能という作用を有する。
【００４０】
また、請求項２記載の発明は前記電極を兼ね備えた衝突部が曲面または網目形状の構造としたことを特徴とするものであり、噴霧された水が曲面または網目形状のため、衝突した水が衝突部で膜状になりにくく微細化が促進され多量のイオン化微粒子の発生が可能という作用を有する。
【００４１】
また、請求項３記載の発明は、前記噴霧手段と前記電極を兼ね備えた衝突部をプラス電圧とマイナス電圧と一対をなし複数個設けた構造としたことを特徴とするものであり、プラス電圧が印加された衝突部に噴霧された微細化水滴が衝突し、プラス帯電した水滴が発生し、他の衝突部ではマイナス電圧が印加され、同様にマイナス帯電した水滴を同時に発生することが可能という作用を有する。
【００４２】
また、請求項４記載の発明は、前記噴霧手段は水滴を滴下させ衝突部での衝突で微細化する構造としたことを特徴とするものであり、噴霧部から水滴として不連続的に滴下させ、落下時のエネルギーを衝突部での衝突により衝突エネルギーに変換し、水滴の微細化が促進され多量のイオン化微粒子の発生が可能という作用を有する。
【００４３】
また、請求項５記載の発明は、前記噴霧手段がスプレーノズルにより微細化され、かつ、衝突部での衝突でさらに微細化する構造としたことを特徴とするのであり、スプレーノズルにより微細化され、かつ、不連続的な水滴が速度（運動）エネルギーをもって噴霧され衝突部での衝突により衝突エネルギーに変換し、水滴の微細化が促進され多量のイオン化微粒子の発生が可能という作用を有する。
【００４４】
また、請求項６記載の発明は、一対をなす前記衝突部の電極において、プラス電極のみプラス電圧を印加することを特徴とすものであり、プラス電圧が印加された衝突部に噴霧された微細化水滴が衝突し、プラス帯電した水滴が発生し、高電圧が印加されていない衝突部ではレナード効果によりマイナス帯電した水滴を同時に発生することが可能という作用を有する。
【００４５】
また、請求項７記載の発明は、水などの液体を微細化する微細化手段と高電圧回路手段で微細化液体をイオン化し、イオン化微細液体を搬出する送風手段を設けたイオン発生装置において、水などの液体を噴霧する噴霧手段と対向して平板状の衝突部を設け、前記衝突部は高電圧回路の電極を兼ね備えた構造としたことを特徴とするものであり、噴霧により微細化された水が衝突部に衝突し、さらに水が微細化し、同時に衝突部に衝突することで水の微細化粒子は帯電され多量に発生したイオン化微粒子を送風により搬送することが可能という作用を有する。
【００４６】
また、請求項８記載の発明は、前記電極を兼ね備えた衝突部が曲面または網目形状の構造としたことを特徴とするものであり、噴霧された水が曲面または網目形状のため、衝突した水が衝突部で膜状になりにくく微細化が促進され多量に発生したイオン化微粒子を送風により搬送することが可能という作用を有する。
【００４７】
また、請求項９記載の発明は、前記噴霧手段と前記電極を兼ね備えた衝突部をプラス電圧とマイナス電圧と一対をなし複数個設けた構造としたことを特徴とするものであり、プラス電圧が印加された衝突部に噴霧された微細化水滴が衝突し、プラス帯電した水滴が発生し、他の衝突部ではマイナス電圧が印加され、同様にマイナス帯電した水滴を同時に発生したイオン化微粒子を送風により搬送することが可能という作用を有する。
【００４８】
また、請求項１０記載の発明は、前記噴霧手段は水滴を滴下させ衝突部での衝突で微細化する構造としたことを特徴とするものであり、噴霧部から水滴として不連続的に滴下させ、水滴の運動エネルギーが衝突部での衝突により衝突エネルギーに変換し、水滴の微細化が促進され多量に発生したイオン化微粒子を送風により搬送することが可能という作用を有する。
【００４９】
また、請求項１１記載の発明は、前記噴霧手段がスプレーノズルにより微細化され、かつ、衝突部での衝突でさらに微細化する構造としたことを特徴とするものであり、スプレーノズルにより微細化され、かつ、不連続的な水滴が速度（運動）エネルギーをもって噴霧され衝突部での衝突により衝突エネルギーに変換し、水滴の微細化が促進され多量に発生したイオン化微粒子を送風により搬送することが可能という作用を有する。
【００５０】
また、請求項１２記載の発明は、一対をなす前記衝突部の電極において、プラス電極のみプラス電圧を印加することを特徴とするものであり、プラス電圧が印加された衝突部に噴霧された微細化水滴が衝突し、プラス帯電した水滴が発生し、高電圧が印加されていない衝突部ではレナード効果によりマイナス帯電した水滴を同時に発生したイオン化微粒子を送風により搬送することが可能という作用を有する。
【００５１】
また、請求項１３記載の発明は、前記送風手段に加熱手段を設けたことを特徴とするものであり、送風手段で送られる空気を加熱手段で加熱することで、相対湿度が下がり、噴霧された微細水滴が気化し易く、空気中に多くの帯電した水分を含むことができ、多量に発生したイオン化微粒子を送風により搬送することが可能という作用を有する。
【００５２】
また、請求項１４記載の発明は、  プラス帯電した微細水滴とマイナス帯電した微細水滴の風路がそれぞれ独立した構造としたことを特徴とするものであり、噴霧された水滴が衝突部で、微細化およびプラス帯電、または、マイナス帯電された微細水滴をプラス帯電とマイナス帯電とで風路をそれぞれ独立させ、プラス帯電とマイナス帯電が接触して電気的に中和することなく多量に発生したイオン化微粒子を送風により搬送することが可能という作用を有する。
【００５３】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【実施例】
【００５４】
以下、本発明の衝突部を電極として利用したイオン発生装置の一実施例を図面に基づいて説明する。
【００５５】
（実施例１）
図１に示すように、イオン発生装置１の全体構成は、水などの液体を噴霧する噴霧手段２として液体を噴霧する噴霧口３がイオン発生装置１の内部の設けられ、噴霧口３は一定量の液体を搬送するポンプ４に接続されており、断続的に水滴５とし滴下できる量がポンプ４より送られる。噴霧口３に対向した真下に円盤形状の衝突部６を設け、衝突部６は絶縁材７を介して、イオン発生装置１の内部に固定されている。なお、絶縁材７は電気的に絶縁することができ、衝突部６を支える強度があれば、プラスチック樹脂やゴムでも構わない。さらに、衝突部６は高電圧回路である高電圧電源９のプラス側と接続され、衝突部６は電極１１も兼ねている。なお、高電圧電源９はアースされている。高電圧電源９より直流で数ボルトから数キロボルトのプラス電圧を衝突部６印加しているので水滴５が衝突すると水滴の運動エネルギーが衝突エネルギーに変換され微細化水滴１２が発生すると同時に微細化水滴１２は印加されている極性（衝突部の極性）と同極性・電圧に帯電することができる。
【００５６】
また、高電圧電源は、静電気除去のためプラス電荷とマイナス電荷とを交互に与えた方が除電効果のある場合は、交流電源としても良い。
【００５７】
また、噴霧手段２はスプレーノズル（図示せず）により水を加圧し微細化噴霧できるものを用いても構わない。
【００５８】
上記構成によれば、高電圧が印加され帯電している部分は衝突部６と衝突により発生した微細化水滴１２だけとなり、噴霧口３やポンプ４まで高電圧部になることはなく絶縁構造が容易でかつ装置としてコンパクトにできるという効果があり、また、コロナ放電でないため人体に影響のあるオゾンを発生することなくイオン化微粒子を発生できるという効果がある。
【００５９】
（実施例２）
以下、本発明のイオン発生装置の他の実施例を図面に基づいて説明する。なお、上記実施例と同一機能を有する構成には同一符号を付して説明を省略する。また下記の実施例で図示しないその他の構成については上記実施例と同様の構成をしている。
【００６０】
図２に示すように、衝突部６´の形状は円盤状の平板でなく、凸面形状となっており、水滴５が噴霧口３より滴下され、凸面形状の衝突部６に衝突する。水滴５は凸面形状の衝突部６´にぶつかって、より面積が広がって膜厚が薄くなるため表面張力により微細化できるようにしている。
【００６１】
上記構成によれば、噴霧口３から噴霧された水滴５がさらに微細化水滴１２になると同時にプラス帯電しているので多量のイオン微粒子が発生するという効果がある。
【００６２】
なお、衝突部６´を網目形状にしても水滴５は曲面に衝突するため同様な微細化が促進される。
【００６３】
（実施例３）
図３に示すように、イオン発生装置１の内部に水などの液体を噴霧する噴霧手段２として液体を噴霧する噴霧口３ａ、３ｂを複数設け、それぞれの噴霧口３ａ、３ｂに対向して真下に円盤形状の衝突部６ａ、６ｂを設け、衝突部６ａ、６ｂは絶縁材７ａ、７ｂを介して、イオン発生装置１の内部に固定されている。さらに、衝突部６ａは高電圧回路である高電圧電源９ａのプラス側と接続され、衝突部６ａはプラス電極１１ａも兼ねている。同様に衝突部６ｂは高電圧電源９ｂのマイナス側と接続され、衝突部６ｂはマイナス電極１１ｂも兼ねている。なお、高電圧電源９ａ、９ｂはアースされている。それぞれの高電圧電源９ａ、９ｂにより直流で数ボルトから数キロボルトの電圧を衝突部６ａ、６ｂ印加しているので水滴５ａ、５ｂが衝突すると水滴の運動エネルギーが落衝突エネルギーに変換され微細化水滴１２ａ、１２ｂが発生すると同時に微細化水滴１２ａ、１２ｂは印加されている極性（衝突部の極性）と同極性・電圧に帯電することができる。
【００６４】
上記構成によれば、プラス帯電とマイナス帯電の微細化水滴１２ａ、１２ｂが同時に発生させることができるため、電気的な中和するのに必要な両極性のイオン化微粒子の発生が可能で静電気除去作用効果は向上する。
【００６５】
なお、衝突部６ａ、６ｂには、実施例２で用いたような凸面形状、あるいは、網目形状の衝突部を用いても良い。
【００６６】
（実施例４）
図４に示すように、イオン発生装置１の空気取り入れ口側に送風機手段である送風機２２を設け、送風することにより帯電した微細化水滴１２を必要な場所まで空気搬送でき効果があり、さらに加熱手段として空気を加熱できるヒーター２４を設けた構造としており、空気を加熱することで、微細水滴１２が気化し易く、多量のイオン化微粒子を発生するという効果もある。
【００６７】
（実施例５）
図５に示すように、イオン発生装置１の内部に仕切部３１を設け、プラス帯電発生風路３２ａとマイナス帯電発生風路３２ｂを独立して設けることにより、それぞれプラスまたはマイナスに帯電した微細化水滴１２が空気搬送中に結合し電気的に中和することなく微細化水滴１２を必要な場所まで搬送できるという効果がある。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、静電気を除去するためイオン発生により電気的に中和させ、高性能の静電気除電が必要である技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施例１のイオン発生装置の内部構造を示す同イオン発生装置の断面図
【図２】本発明の実施例２のイオン発生装置の衝突部の一事例を示す断面図
【図３】本発明の実施例３のイオン発生装置の衝突部を複数設けた構造の同イオン発生装置の断面図
【図４】本発明の実施例４のイオン発生装置に送風手段および加熱手段を付加した同イオン発生装置の断面図
【図５】本発明の実施例５のイオン発生装置の風路を独立構造にした同イオン発生装置の断面図
【図６】従来のイオン発生装置の内部構造を示す同イオン発生装置の断面図
【符号の説明】
【００７０】
１      イオン発生装置
２      噴霧手段
６      衝突部
７      絶縁材
９      高電圧電源
１１    電極
２２    送風機
２４    ヒーター
３１    仕切部
３２ａ  プラス帯電発生風路
３２ｂ  マイナス帯電発生風路
【図１】
2009123643.tif 000003
【図２】
2009123643.tif 000004
【図３】
2009123643.tif 000005
【図４】
2009123643.tif 000006
【図５】
2009123643.tif 000007
【図６】
2009123643.tif 000008