(57)【要約】【課題】発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器を有する局部発振信号発生装置を検査するための検査方法であって、安価な半導体検査装置を用いて実現可能であり且つ検査効率のよい検査方法を提供する。【解決手段】発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器１＿１〜１＿ｎを有する局部発振信号発生装置を検査するための検査方法であって、前記複数の電圧制御発振器１＿１〜１＿ｎの各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち一部のみ（例えばｆA，ｆB）を探索し、その探索結果を用いた演算によって得られた周波数ポイント（例えばｆD）の正常発振の有無を判定することにより、発振周波数可変域が隣接する電圧制御発振器同士において発振周波数可変域が規定以上重複していることを検査する検査方法。【選択図】図１
2009210340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器を有する局部発振信号発生装置を検査するための検査方法であって、
前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち一部のみを探索し、その探索結果を用いた演算によって得られた周波数ポイントでの正常発振の有無を判定することにより、発振周波数可変域が隣接する電圧制御発振器同士において発振周波数可変域が規定以上重複していることを検査することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち検査基準となる一つの電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のみを探索する請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
前記探索結果を用いた演算が、前記検査基準となる一つの電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数と、予め決められている必要重複周波数とを用いた演算である請求項２に記載の検査方法。
【請求項４】
前記探索結果を用いた演算が、前記検査基準となる一つの電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数と、予め決められている必要重複周波数とを用いた演算処理で得られる周波数に補正項を加算する演算である請求項３に記載の検査方法。
【請求項５】
前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち検査基準となる一つの電圧制御発振器についてのみ発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数を探索し、
前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち前記検査基準となる一つの電圧制御発振器以外の電圧制御発振器については発振周波数可変域の上端周波数又は下端周波数いずれか一方のみを探索する請求項１に記載の検査方法。
【請求項６】
前記探索結果を用いた演算が、前記検査基準となる一つの電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数と、予め決められている必要重複周波数とを用いた演算、及び、前記検査基準となる一つの電圧制御発振器以外の電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数又は下端周波数いずれか一方と、予め決められている必要重複周波数とを用いた演算である請求項５に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器を有する局部発振信号発生装置を検査するための検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
送受信装置などに搭載される局部発振信号発生装置の中には、発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器（以下、ＶＣＯ［Voltage Control Oscillator］ともいう）を有し、各ＶＣＯを適宜切り替えることで局部発振信号を広域に変化させることが可能なものがある。
【０００３】
上記のように複数のＶＣＯを有する局部発振信号発生装置の一般的な構成を図４に示す。図４に示す局部発振信号発生装置１００は、複数のＶＣＯ１＿１〜１＿ｎを有する発振回路１と、複数のＶＣＯ１＿１〜１＿ｎからの出力の内一つを選択するＶＣＯセレクタ２と、ＶＣＯセレクタ２で選択されたＶＣＯ出力の周波数を固定するための位相固定ループ回路（以下、ＰＬＬ［Phase Locked Loop］ともいう）３と、ＰＬＬ３の出力信号を平滑化した生成した制御電圧ＶＴを発振回路１に供給するループフィルタ回路４と、局部発振周波数の設定及び各部の制御を行う周波数設定・各部制御レジスタ５とを備えている。また、ＰＬＬ３は、ＶＣＯセレクタ２から出力される局部発振信号を所定分周比で分周するプルスケーラ３１と、周波数設定・各部制御レジスタ５による周波数設定に応じた第１分周比でプルスケーラ３１の出力信号を分周する第１分周器３２と、所定周波数の基準発振信号を出力する基準発振器３３と、周波数設定・各部制御レジスタ５による周波数設定に応じた第２分周比で基準発振信号を分周する第２分周器３４と、第１分周器３２から出力される第１分周信号と第２分周器３４から出力される第２分周信号の位相比較を行ってその位相差に応じたパルス信号を出力する位相比較器３５と、位相比較器３５から出力されるパルス信号を昇圧して得られる信号をループフィルタ回路４に出力するチャージポンプ３６とを有している。ＰＬＬ３の位相比較器３５は、ＶＣＯセレクタ２によって選択されたＶＣＯが正常に発振しているとき、Ｌｏｗレベルの信号又はＨｉｇｈレベルの信号であるロック信号Ｓ１を出力する。
【０００４】
図４に示す局部発振信号発生装置１００は、各ＶＣＯの発振周波数可変域の端部が互いに断絶していると、断絶している周波数域の局部発振信号を発生させることができず、正常に動作することができない(図５参照)。したがって、発振周波数可変域が隣接するＶＣＯ同士において、それぞれの発振周波数の端部を互いに重複させる必要があり、製品出荷時には、発振周波数可変域が隣接するＶＣＯ同士において、それぞれの発振周波数可変域の端部が互いに重複していることを検査によって確認する必要がある。
【０００５】
また、ＶＣＯの発振周波数可変域は、半導体製造プロセスのバラつきにより発振周波数可変域全体が上下することが知られている。従って、個々のＶＣＯの発振周波数可変域の端部を探索する場合、半導体製造プロセスのバラつきによる発振周波数可変域全体の変動を考慮して広範囲に探索を行う必要がある。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２３９７１９号公報（段落００３５乃至段落００４７、第２図、第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図４に示す局部発振信号発生装置１００を検査対象として、発振周波数可変域が隣接するＶＣＯ同士において、それぞれの発振周波数可変域の端部が互いに重複しているか否かを検査する方法として、プロセスバラつきにより想定され得る発振周波数可変域下端の最小値ｆMINよりも低い周波数（又はプロセスバラつきにより想定され得る発振周波数可変域上端の最大値ｆMAXよりも高い周波数）で検査を開始し、各ＶＣＯの低周波数側から高周波数側(又はその逆)へ一定の周波数間隔ｆｂで正常に発振しているかを確認し、正常に発振している周波数と発振していない周波数との境目すなわち発振周波数可変域の端部を探索して、発振周波数可変域の端部を求め、その後、発振周波数可変域が隣接するＶＣＯ同士において、それぞれの発振周波数可変域の端部が互いに重複しているかを判定する検査方法が挙げられる（図６参照）。
【０００８】
前述の通り、ＶＣＯの発振周波数可変域は、半導体製造プロセスのバラつきにより発振周波数可変域全体が上下するので、このことを考慮してＶＣＯの発振周波数可変域の端部を探索する必要があり、探索する周波数範囲が広範囲になってしまう。
【０００９】
また、所望の周波数を設定してからＶＣＯが安定して発振を開始するまでには一定の時間がかかるため、正常に発振しているかを確認する前に待機時間を要する。
【００１０】
また、検査精度を上げようとすると、正常に発振しているかを確認する周波数ポイント間の幅（一定の周波数間隔ｆｂ）を狭くする必要があるため、正常に発振しているかを確認する周波数ポイントが増大してしまう。
【００１１】
以上のことから、従来の検査方法（図６参照）では、検査時間が長くなる。検査時間が長くなると、検査効率が低下し、コストアップの要因になるという問題が有る。
【００１２】
そこで、本発明者等は、特許文献１において、発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器を有する局部発振信号発生装置を効率よく検査する方法を提案している。
【００１３】
本発明者等が特許文献１において提案している検査方法では、各ＶＣＯの発振周波数可変域の端点周波数を挟むように、その発振周波数を収束変化させながら、端点周波数を探索することで、探索周波数ポイントを減らし検査時間の短縮を図っている。より具体的には、まず、検査対象ＶＣＯのプロセスバラつきにより想定され得る発振周波数可変域下端の最小値よりも低い発振周波数ｆ０から周波数ｆａ毎に高くして、検査対象ＶＣＯの発振周波数が固定されたか否かを確認し、検査対象ＶＣＯの発振周波数が固定されたことを確認すると、確認したときの発振周波数から周波数ｆａ分低くした後、周波数ｆｂ（＜ｆａ）毎に高くして、検査対象ＶＣＯの発振周波数が固定されたか否かを確認することで、検査対象ＶＣＯの発振周波数可変域の下端周波数を検索し、次に、再び周波数ｆａ毎に高くして、検査対象ＶＣＯの発振周波数が固定されたか否かを確認し、検査対象ＶＣＯの発振周波数が固定されないことを確認すると、確認したときの発振周波数から周波数ｆａ分低くした後、周波数ｆｂ毎に高くして、検査対象ＶＣＯの発振周波数が固定されたか否かを確認することで、検査対象ＶＣＯの発振周波数可変域の上端周波数を検索することで、探索周波数ポイントを減らし検査時間の短縮を図っている（図７参照）。
【００１４】
しかし、本発明者等が特許文献１において提案している検査方法を実現するには、高価な半導体検査装置が必要となる。
【００１５】
一般的な半導体検査装置１１では、予め入出力信号を時系列で記述したデータ１２(以下、テストパタンという)を半導体検査装置１１内のテストパタン記憶領域１１Ａに展開し、テストパタン１２に従い検査対象の半導体装置である局部発振信号発生装置１０へ信号を入力する(図８参照)。図４に示す局部発振信号発生装置１００を検査対象とする場合、すなわち、局部発振信号発生装置１０を図４に示す局部発振信号発生装置１００とする場合は、局部発振信号発生装置１００内の周波数設定・各部制御レジスタ５に入力する信号Ｓ２をテストパタン１２の入力信号として用意し、半導体検査装置１１内の信号発生器１１Ｂからテストパタン１２に従い局部発振信号発生装置１００へ入力信号Ｓ２を送る。局部発振信号発生装置１００は、半導体検査装置１１から入力された信号Ｓ２に従い、周波数設定を行い正常に発振することができればロック信号Ｓ１を半導体検査装置１１へ送信し、半導体検査装置１１内の信号比較判定器１１Ｃで、ロック判定を実施する。
【００１６】
本発明者等が特許文献１において提案している検査方法を実現するためには、半導体検査装置１１で実行されるテストプログラム内に、前述した発振周波数を収束変化させるアルゴリズムを組み込む必要がある。高価な半導体装置であれば、高級プログラミング言語 (Ｃ言語など)環境が用意されているため、容易に実現可能であるが、安価な半導体検査装置では、そのような環境は用意されていない。また、オペレーティングシステムの制約から扱える変数の数や記憶領域が少ないこともあり、本発明者等が特許文献１において提案している検査方法を実現するために必要なアルゴリズムを半導体検査装置１１で実行されるテストプログラム内に組み込むことは困難である。
【００１７】
一方、安価な半導体検査装置単独では実行することが困難な検査アルゴリズムの全てまたは一部を実現する自己検査回路（以下、ＢＩＳＴ［Built in Self Test］回路という）を、予め局部発振信号発生装置内に組み込むことがある。このような局部発振信号発生装置の一般的な構成を図９に示す。なお、図９において図４と同一の部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。図９に示す局部発振信号発生装置１０１内のＢＩＳＴ回路６は、半導体検査装置２０１からの検査開始信号Ｓ３を入力し、その結果として得られる位相比較器３５からのロック信号Ｓ１を入力し、そのロック信号Ｓ１に基づいて検査結果信号Ｓ４を生成し、その検査結果信号Ｓ４を半導体検査装置２０１に出力する。
【００１８】
局部発振信号発生装置１０１に回路規模の制約が無い場合には、本発明者等が特許文献１において提案している検査方法を実現するために必要なアルゴリズムを図９に示す構成により実現することが可能である。
【００１９】
しかし、ＢＩＳＴ回路が半導体集積回路である局部発振信号発生装置内に組み込まれるため、局部発振信号発生装置の回路規模が増加する。また、ＢＩＳＴ回路自体の故障もＢＩＳＴ回路を組み込んでいる局部発振信号発生装置の不良と判定されるため、局部発振信号発生装置の歩留りが低下する可能性がある。
【００２０】
一般に、送受信装置などに搭載される局部発振信号発生装置は、低コスト要求が強いため、コストアップへ直結する回路規模の増加は認められにくい。そのため、本発明者等が特許文献１において提案している検査方法をＢＩＳＴ回路により実現することは現実的ではない。
【００２１】
本発明は、上記の状況に鑑み、発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器を有する局部発振信号発生装置を検査するための検査方法であって、安価な半導体検査装置を用いて実現可能であり且つ検査効率のよい検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記目的を達成するために本発明に係る検査方法は、発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器を有する局部発振信号発生装置を検査するための検査方法であって、前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち一部のみを探索し、その探索結果を用いた演算によって得られた周波数ポイントでの正常発振の有無を判定することにより、発振周波数可変域が隣接する電圧制御発振器同士において発振周波数可変域が規定以上重複していることを検査するようにしている。
【００２３】
このような検査方法によると、前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数全てを探索するのではなく、前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち一部のみを探索するので、大幅に検査時間を短縮することができる。また、このような検査方法によると、前記演算を簡単な演算処理（例えば簡単な加減算と乗算のみ）にすることができるので、簡単な検査アルゴリズムとなり、安価な半導体検査装置を用いて実現することができる。
【００２４】
また、前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち検査基準となる一つの電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のみを探索するようにしてもよい。この場合、前記探索結果を用いた演算が、前記検査基準となる一つの電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数と、予め決められている必要重複周波数とを用いた演算であるようにしてもよい。さらに、前記探索結果を用いた演算が、前記検査基準となる一つの電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数と、予め決められている必要重複周波数とを用いた演算処理で得られる周波数に補正項を加算する演算であることが望ましい。
【００２５】
また、前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち検査基準となる一つの電圧制御発振器についてのみ発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数を探索し、前記複数の電圧制御発振器の各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち前記検査基準となる一つの電圧制御発振器以外の電圧制御発振器については発振周波数可変域の上端周波数又は下端周波数いずれか一方のみを探索するようにしてもよい。この場合、前記探索結果を用いた演算が、前記検査基準となる一つの電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数と、予め決められている必要重複周波数とを用いた演算、及び、前記検査基準となる一つの電圧制御発振器以外の電圧制御発振器の発振周波数可変域の上端周波数又は下端周波数いずれか一方と、予め決められている必要重複周波数とを用いた演算であるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によると、安価な半導体検査装置を用いて実現可能であり且つ検査効率のよい検査方法を実現することができる。これにより、検査コストの削減に貢献することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明の実施形態について図面を参照して以下に説明する。本発明に係る検査方法は、例えば、図４に示す局部発振信号発生装置１００と半導体検査装置２００を用いて実施される。そこで、図４に示す局部発振信号発生装置１００と半導体検査装置２００を用いて本発明に係る検査方法を実施する場合について以下に説明する。
【００２８】
<第一実施形態>
本発明の第一実施形態に係る検査方法について図１及び図２を参照して説明する。最初に図１を参照して本発明の第一実施形態に係る検査方法の前半部分について説明する。本発明の第一実施形態に係る検査方法では、先ず、複数のＶＣＯ１＿１〜１＿ｎのうち最も低周波数側で発振するＶＣＯ１＿１に対して、従来の一般的な検査方法通り、発振周波数可変域の下端周波数ｆA及び上端周波数ｆBを探索する（ステップ＃１０）。すなわち、ＶＣＯ１＿１に対して、プロセスバラつきにより想定され得る発振周波数可変域下端の最小値よりも低い周波数で検査を開始し、低周波数側から高周波数側へ一定の周波数間隔ｆｂで正常に発振しているかを確認し、正常に発振している周波数と発振していない周波数との境目すなわち発振周波数可変域の端部を探索する（図６参照）。
【００２９】
次に、半導体検査装置２００は、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の上端周波数ｆBから最低限重複していなければならない周波数幅ｆCを減算して周波数ｆDを算出する（ステップ＃２０）。
【００３０】
次に、半導体検査装置２００からの信号Ｓ２に従って、局部発振信号発生装置１００のＶＣＯセレクタ２がＶＣＯ１＿２を選択し、局部発振信号発生装置１００の周波数設定・各部制御レジスタ５が局部発振周波数を周波数ｆDに設定する（ステップ＃３０）。そして、ＶＣＯ１＿２が周波数ｆDの局部発振信号を正常に発振しているかを、局部発振信号発生装置１００からのロック信号Ｓ１に基づいて半導体検査装置２００が判定する（ステップ＃４０）。
【００３１】
ＶＣＯ１＿２が周波数ｆDの局部発振信号を正常に発振していれば（ステップ＃４０のＹＥＳ）、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の上端周波数ｆBとＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の下端周波数ｆEとは規定幅（＝ｆC）以上重複しているため、ＰＡＳＳ判定となり、ＶＣＯ１＿２及びＶＣＯ１＿３の検査へ移行する。
【００３２】
他方、ＶＣＯ１＿２が周波数ｆDの局部発振信号を正常に発振していなければ（ステップ＃４０のＮＯ）、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の上端周波数ｆBとＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の下端周波数ｆEとの重複が無い或いは不十分であるため、ＦＡＩＬ判定となり、検査を終了する。
【００３３】
これにより、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の上端周波数ｆBとＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の下端周波数ｆEとが規定幅（＝ｆC）以上重複しているか検査することが可能となる。
【００３４】
従来の一般的な検査方法（図６参照）では、まずＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の下端周波数ｆA及び上端周波数ｆBを探索し、次に、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の下端周波数ｆEを探索する。さらに、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の上端周波数ｆBからＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の下端周波数ｆEを減算して重複周波数幅を求め、その求めた重複周波数幅が規定幅（＝ｆC）以上であればＰＡＳＳ判定、未満であればＦＡＩＬ判定としていた。
【００３５】
本発明の第一実施形態に係る検査方法では、少なくともＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の下端周波数ｆEを探索することなく、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の上端周波数ｆBとＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の下端周波数ｆEとが規定幅（＝ｆC）以上重複しているか検査することが可能である。これにより、従来の一般的な検査方法（図６参照）と比較して発振周波数可変域端部の探索回数を少なくとも１回減ずることができ、検査時間を短縮することが可能となる。
【００３６】
続いて図２を参照して本発明の第一実施形態に係る検査方法の後半部分について説明する。ここでは、先ず、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域幅が不足していないか検査した後、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の上端周波数とＶＣＯ１＿３の発振周波数可変域の下端周波数とが規定幅以上重複しているか検査する。
【００３７】
一般に、一つの半導体集積回路内に設けられる複数のＶＣＯの個々の発振周波数可変域幅の比は、設計パラメータによって決定され、半導体製造プロセスばらつきの影響を受けにくい。このため、複数のＶＣＯの発振周波数可変域幅がプロセスバラつきによって変化してもＶＣＯ間の発振周波数可変域幅の比は一定であるとみなすことができる。従って、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域幅が判明すれば、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域幅も求めることが可能である。
【００３８】
以上のことを考慮し、本実施形態では、ＶＣＯ１＿２及びＶＣＯ１＿３の検査を開始すると、半導体検査装置２００は、前述のＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の上端周波数ｆBから上端周波数ｆAを減ずることによってＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域幅Δ１を求め（ステップ＃５０）、更に、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域幅Δ１に係数ａ１を乗算してＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域幅Δ２を推定する（ステップ＃６０）。
【００３９】
一方、既に、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の下端周波数ｆEに近接する周波数ｆDは求められているから、半導体検査装置２００は、この周波数ｆDにＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域幅Δ２を加算し、端点周波数ｆFを求める（ステップ＃７０）。ここで、端点周波数ｆDは、端点周波数ｆEの近似値であるため、端点周波数ｆFが実際のＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の上端周波数をオーバーするおそれがある。そのため、半導体検査装置２００は、端点周波数ｆFから補正項ｆGを減算して、端点周波数ｆF’を求め（ステップ＃８０）、これをＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の上端周波数とする。尚、補正項ｆGについては、設計パラメータ及び実デバイスを詳細に評価し最適値を予め決めておく。
【００４０】
次に、半導体検査装置２００からの信号Ｓ２に従って、局部発振信号発生装置１００のＶＣＯセレクタ２がＶＣＯ１＿２を選択し、局部発振信号発生装置１００の周波数設定・各部制御レジスタ５が局部発振周波数を端点周波数ｆF’に設定する（ステップ＃９０）。そして、ＶＣＯ１＿２が端点周波数ｆF’の局部発振信号を正常に発振しているかを、局部発振信号発生装置１００からのロック信号Ｓ１に基づいて半導体検査装置２００が判定する（ステップ＃１００）。
【００４１】
ＶＣＯ１＿２が端点周波数ｆF’の局部発振信号を正常に発振していれば（ステップ＃１００のＹＥＳ）、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域幅Δ２が不足していないため、ＰＡＳＳ判定となり、端点周波数ｆF’から最低限重複していなければならない周波数幅ｆHを減算して周波数ｆIを算出する（ステップ＃１１０）。
【００４２】
他方、ＶＣＯ１＿２が端点周波数ｆF’の局部発振信号を正常に発振していなければ（ステップ＃１００のＮＯ）、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域幅Δ２が不足しているため、ＦＡＩＬ判定となり、検査を終了する。
【００４３】
そして、ＰＡＳＳ判定となり周波数ｆIを算出した場合、半導体検査装置２００からの信号Ｓ２に従って、局部発振信号発生装置１００のＶＣＯセレクタ２がＶＣＯ１＿３を選択し、局部発振信号発生装置１００の周波数設定・各部制御レジスタ５が局部発振周波数を周波数ｆIに設定する（ステップ＃１２０）。そして、ＶＣＯ１＿３が周波数ｆIの局部発振信号を正常に発振しているかを、局部発振信号発生装置１００からのロック信号Ｓ１に基づいて半導体検査装置２００が判定する（ステップ＃１３０）。
【００４４】
ＶＣＯ１＿３が周波数ｆIの局部発振信号を正常に発振していれば（ステップ＃１３０のＹＥＳ）、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の上端周波数ｆF’とＶＣＯ１＿３の発振周波数可変域の下端周波数ｆJとは規定幅（＝ｆH）以上に重複しているため、ＰＡＳＳ判定となり、ＶＣＯ１＿３及びＶＣＯ１＿４の検査へ移行する。
【００４５】
他方、ＶＣＯ１＿３が周波数ｆIの局部発振信号を正常に発振していなければ（ステップ＃１３０のＮＯ）、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の上端周波数ｆF’とＶＣＯ１＿３の発振周波数可変域の下端周波数ｆJとの重複が無い或いは不十分であるため、ＦＡＩＬ判定となり、検査を終了する。
【００４６】
以下、同様な手順でＶＣＯ１＿（ｎ−１）とＶＣＯ１＿ｎまでの発振周波数可変域が規定幅以上重複しているかを検査する。これにより、従来の一般的な検査方法（図６参照）と比較して発振周波数可変域端部の探索回数を、２ｎ回から２回へ減ずることが可能となり、検査時間を大幅に短縮することが可能である。また、簡単な加減算と乗算のみで発振を確認する周波数を求めることが可能であるから、半導体検査装置２００を安価な半導体検査装置としても検査可能である。
【００４７】
<第二実施形態>
本発明の第二実施形態に係る検査方法について図３を参照して説明する。なお、図３において図２と同一のステップには同一の符号を付している。
【００４８】
本発明の第一実施形態では、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の下端周波数ｆA及び上端周波数ｆBのみを探索し、以後は計算によって発振を確認する周波数を求めた。このため、前述した通り例えばＶＣＯ１＿２の周波数ｆDは実際の下端周波数ｆEの近似値となっており、補正項ｆGを必要とした。
【００４９】
しかしながら、設計上、発振周波数可変域が隣接するＶＣＯ同士の重複周波数幅が小さい場合、一定の補正項のみで検査周波数を決定してしまうと最適な検査周波数を求められず歩留を低下させてしまう可能性がある。また、第一実施形態では各ＶＣＯの発振周波数可変域幅の比は一定としたが、設計上そうでない可能性もある。
【００５０】
そこで、本実施形態では、各ＶＣＯの上限周波数に関しては従来と同様に探索を実施する。
【００５１】
先ず、本実施形態に係る検査方法の前半部分、すなわち、ＶＣＯ１＿１の発振周波数可変域の上端周波数ｆBとＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の下端周波数ｆEとが規定幅（＝ｆC）以上重複しているかを確認するまでの手順は、本発明の第一実施形態に係る検査方法の前半部分（図１参照）と同一である。
【００５２】
次に、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の上端周波数ｆFを、従来の一般的な検査方法通り、探索する（ステップ＃１１８）。すなわち、ＶＣＯ１＿２に対して、周波数ｆDで探索を開始し、低周波数側から高周波数側へ一定の周波数間隔ｆｂで正常に発振しているかを確認し、正常に発振している周波数と発振していない周波数との境目すなわち発振周波数可変域の端部を探索し（図６参照）、その境目の周波数をｆFとする。この場合、上端周波数ｆFはＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の上端周波数の真値であるから、第一実施形態のように補正をかける必要がない。
【００５３】
次に、半導体検査装置２００からの信号Ｓ２に従って、局部発振信号発生装置１００のＶＣＯセレクタ２がＶＣＯ１＿３を選択し、局部発振信号発生装置１００の周波数設定・各部制御レジスタ５が局部発振周波数を周波数ｆIに設定する（ステップ＃１２０）。そして、ＶＣＯ１＿３が周波数ｆIの局部発振信号を正常に発振しているかを、局部発振信号発生装置１００からのロック信号Ｓ１に基づいて半導体検査装置２００が判定する（ステップ＃１３０）。
【００５４】
ＶＣＯ１＿３が周波数ｆIの局部発振信号を正常に発振していれば（ステップ＃１３０のＹＥＳ）、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の上端周波数ｆFとＶＣＯ１＿３の発振周波数可変域の下端周波数ｆJとは規定幅（＝ｆH）以上に重複しているため、ＰＡＳＳ判定となり、ＶＣＯ１＿３及びＶＣＯ１＿４の検査へ移行する。
【００５５】
他方、ＶＣＯ１＿３が周波数ｆIの局部発振信号を正常に発振していなければ（ステップ＃１３０のＮＯ）、ＶＣＯ１＿２の発振周波数可変域の上端周波数ｆFとＶＣＯ１＿３の発振周波数可変域の下端周波数ｆJとの重複が無い或いは不十分であるため、ＦＡＩＬ判定となり、検査を終了する。
【００５６】
以下、同様な手順でＶＣＯ１＿（ｎ−１）とＶＣＯ１＿ｎまでの発振周波数可変域が規定幅以上重複しているかを検査する。これにより、各ＶＣＯの発振周波数可変域の上端周波数は真値が得られ、各ＶＣＯの発振周波数可変域幅の比が一定にならない場合でも歩留低下を招かずに効率よく検査することが可能となる。また、従来の一般的な検査方法（図６参照）と比較して発振周波数可変域端部の探索回数を、２ｎ回からｎ回へ減ずることが可能となり、検査時間を半分に短縮することが可能である。また、簡単な加減算と乗算のみで発振を確認する周波数を求めることが可能であるから、半導体検査装置２００を安価な半導体検査装置としても検査可能である。
【００５７】
<他の実施形態>
前述した本発明の第一実施形態及び第二実施形態では、ＶＣＯ１＿１を検査基準のＶＣＯとしＶＣＯ１＿１の低周波数側から検査を開始したが、これとは逆に、ＶＣＯ１＿ｎを検査基準のＶＣＯとしＶＣＯ１＿ｎの高周波数側から検査を開始し前述した本発明の第一実施形態又は第二実施形態と同様の手法を用いるようにしてもよい。また、若干アルゴリズムが複雑になるが、ＶＣＯ１＿ｋ（ｋは２以上（ｎ−１）以下の自然数）を検査基準のＶＣＯとし、ＶＣＯ１＿ｋの高周波数側に向かって前述した本発明の第一実施形態又は第二実施形態と同様の手法を用いてＶＣＯ１＿ｎまで検査する第１の検査と、ＶＣＯ１＿ｋの低周波数側に向かって前述した本発明の第一実施形態又は第二実施形態と同様の手法を用いてＶＣＯ１＿１まで検査する第２の検査とを行うようにすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】は、本発明の第一実施形態及び第二実施形態に係る検査方法の前半部分の概要を示す図である。
【図２】は、本発明の第一実施形態に係る検査方法の後半部分の概要を示す図である。
【図３】は、本発明の第二実施形態に係る検査方法の後半部分の概要を示す図である。
【図４】は、複数のＶＣＯを有する局部発振信号発生装置の一般的な構成を示す図である。
【図５】は、複数のＶＣＯの発振周波数可変域特性を示す図である。
【図６】は、従来の検査方法の概要を示す図である。
【図７】は、従来の他の検査方法の概要を示す図である。
【図８】は、検査方法の手順の概要を示す図である。
【図９】は、ＢＩＳＴ回路及び複数のＶＣＯを有する局部発振信号発生装置の一般的な構成を示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
１    発振回路
１＿１〜１＿ｎ    ＶＣＯ
２    ＶＣＯセレクタ
３    位相固定ループ回路
４    ループフィルタ回路
５    周波数設定・各部制御レジスタ
６    ＢＩＳＴ回路
１０    局部発振信号発生装置
１１    半導体検査装置
１１Ａ    テストパタン記憶領域
１１Ｂ    信号発生器
１１Ｃ    信号比較判定器
１２    テストパタン
１００、１０１    局部発振信号発生装置
２００、２０１    半導体検査装置
３１    プルスケーラ
３２    第１分周器
３３    基準発振器
３４    第２分周器
３５    位相比較器
３６    チャージポンプ
Ｓ１    ロック信号
Ｓ２    周波数設定・各部制御信号
Ｓ３    検査開始信号
Ｓ４    検査結果信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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