(57)【要約】【課題】試料の測定時の輝度・色度のばらつき誤差を低減する。【解決手段】試料から発光された光源の輝度及び色度を測定するための光学測定装置において、前記試料に測定用の電流を印加することで発光したサンプル光源を光ファイバーから出力させる光源出力部と、前記光源出力部から得られるサンプル光源を、等色関数フィルタを用いて輝度及び色度に対する所定数のサンプル光を取得するためのフィルタ部と、前記フィルタ部から得られるサンプル光を撮像し画像を取得する撮像部とを有し、前記フィルタ部は、入力される前記サンプル光を所定数に分割し、分割したそれぞれの光源に対して異なるフィルタを通過させ、前記撮像部は、複数のサンプル発光画像を同時に撮像することにより、上記課題を解決する。【選択図】図２
2009052890.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料から発光された光源の輝度及び色度を測定するための光学測定装置において、
前記試料に測定用の電流を印加することで発光したサンプル光源を光ファイバーから出力させる光源出力部と、
前記光源出力部から得られるサンプル光源を、等色関数フィルタを用いて輝度及び色度に対する所定数のサンプル光を取得するためのフィルタ部と、
前記フィルタ部から得られるサンプル光を撮像し画像を取得する撮像部とを有し、
前記フィルタ部は、入力される前記サンプル光を所定数に分割し、分割したそれぞれの光源に対して異なるフィルタを通過させ、前記撮像部は、複数のサンプル発光画像を同時に撮像することを特徴とする光学測定装置。
【請求項２】
前記フィルタ部は、
４角錐プリズムを有し、前記プリズムは、入力される前記サンプル光の光軸に対して所定の傾きを有する面に前記等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを取り付けることを特徴とする請求項１に記載の光学測定装置。
【請求項３】
前記フィルタ部は、
４角錐プリズムを有し、前記プリズムは、入力される前記サンプル光の光軸に対して垂直な底面に前記等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを取り付けることを特徴とする請求項１に記載の光学測定装置。
【請求項４】
試料から発光された光源の輝度及び色度を測定するための光学測定方法において、
前記試料に測定用の電流を印加することで発光したサンプル光源を光ファイバーから出力させる光源出力ステップと、
前記光源出力ステップから得られるサンプル光源を、等色関数フィルタを用いて輝度及び色度に対する所定数のサンプル光を取得するためのフィルタステップと、
前記フィルタステップから得られるサンプル光を撮像し画像を取得する撮像ステップとを有し、
前記フィルタステップは、入力される前記サンプル光を所定数に分割し、分割したそれぞれの光源に対して異なるフィルタを通過させ、前記撮像ステップは、複数のサンプル発光画像を同時に撮像することを特徴とする光学測定方法。
【請求項５】
前記フィルタステップは、
４角錐プリズムを有し、前記プリズムは、入力される前記サンプル光の光軸に対して所定の傾きを有する面に前記等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを取り付けることを特徴とする請求項４に記載の光学測定方法。
【請求項６】
前記フィルタステップは、
４角錐プリズムを有し、前記プリズムは、入力される前記サンプル光の光軸に対して垂直な底面に前記等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを取り付けることを特徴とする請求項４に記載の光学測定方法。
【請求項７】
前記請求項１乃至３の何れか１項に記載の光学測定装置を備え、試料の信頼性を評価する信頼性評価システムにおいて、
少なくとも１つからなる試料からサンプル光源を取得する試料情報取得部と、
前記試料に電流を供給する電源部と、
前記光学測定装置により得られる前記サンプル発光画像から信頼性評価結果を取得するための評価制御装置と、
少なくとも評価結果を表示するモニタとを有することを特徴とする信頼性評価システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学測定装置、光学測定方法、及び該装置を備えた信頼性評価システムに係り、特に試料の評価における輝度・色度のばらつき誤差を低減するための光学測定装置、光学測定方法、及び該装置を備えた信頼性評価システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば有機エレクトロルミネッセンス（ｏｒｇａｎｉｃ  ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ、有機ＥＬ）は、有機物中に注入された電子と正孔の再結合によって生じた励起子によって発光する現象であり、このような発光型の素子は、原理的に発光効率や画質や薄型化、消費電力に関して、例えば表示画面パネル等の活用が期待されている。
【０００３】
このような、有機ＥＬを用いた表示画面パネルの製造過程において、有機層における発光層のホスト、ゲスト材料の混合後の色味を含む発光輝度、有機層の各層における材料判定及び膜厚調整等の有機ＥＬ開発における評価工程が必要となり、このような評価工程には、有機ＥＬ素子等における発光輝度及び色度、あるいは経時変化に伴う駆動電圧の変化を評価する評価装置が用いられ、量産に伴う有機ＥＬパネル等の評価がなされる。
【０００４】
このような評価装置は、例えば、有機ＥＬパネルをステージ上に配設し、この有機ＥＬパネルに定電流を与え、それぞれに取り付けられた測定部（少なくとも発光輝度及び色度を検出する計測手段）によって、有機ＥＬ素子の発光輝度及び色度を計測し、サンプルとして作製された有機ＥＬ素子特性を計測するものであり、このための評価装置が存在する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
また、有機ＥＬ等の信頼性の評価装置は、サンプル（試料）の輝度・色度を測定する際に、サンプルの発光を、等色関数（三刺激値）を基づくフィルタを用いて測定する方法が知られている（等色関数については、例えば非特許文献１等参照。）。
【０００６】
等色関数フィルタは、有機ＥＬ、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、及びＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）の発色特性、ランプ等の発光特性、その他光デバイスの測色用、輝度、色度の面内ムラ、コントラスト評価用に用いられる。
【０００７】
ここで、等色関数フィルタは、等色関数Ｘ，Ｙ，Ｚ用の３つのフィルタ（Ｘフィルタ、Ｙフィルタ、Ｚフィルタ）を用いてＣＩＥ（国際照明委員会）等色関数によるＲ，Ｇ，Ｂ各色の数値を取得し評価を行う。なお、非特許文献１に示すように、Ｘフィルタには、２つの頂点が存在するため、波長の違いによりＸ１フィルタとＸ２フィルタとに分けることができる。したがって、実際には、ＣＩＥ等色関数を満たすようなＸ（Ｘ１，Ｘ２）フィルタ，Ｙフィルタ、Ｚフィルタを用いる。
【０００８】
等色関数フィルタを用いることで、各層の膜厚が異なる任意の多層膜で成膜されるため、受光素子の感度補正等による微妙な波形の補正が自由に行うことができ薄膜設計等が可能となる。
【０００９】
上述した等色関数フィルタを用いる場合には、光学測定装置内に予め設定されたフィルタを設置して、試料から発光した光をフィルタに通過させ、サンプル発光画像を取得する。ここで、図１は、従来における評価対象画像の取得例を示す図である。
【００１０】
図１（ａ）に示す回転フィルタユニット１１には、Ｘ１、Ｘ２、Ｙ、Ｚのぞれぞれのフィルタ１２−１〜１２−４が設けられている。ここで、サンプル光を通過する位置にフィルタ１２−１〜１２−４の何れか１つを、回転フィルタユニット１１を回転させる等により位置付け、サンプル光を通過させ、通過させたサンプル光をカメラ等の撮像部により撮影し、更にその撮像部から撮影されたサンプル発光画像を画像表示用のモニタ１３上に表示する。
【００１１】
また、上述の処理を残りの３つのフィルタに対して順次行い、それぞれの試料のサンプル発光画像を取得する。つまり、従来では、回転ステージ１１によりフィルタ１２−１〜１２−４を回転させ、１フィルタ毎に測定を行っていく。
【００１２】
また、色度ｘ，ｙ及び輝度Ｌはそれぞれ「色度ｘ＝Ｘ／Ｘ＋Ｙ＋Ｚ」、「色度ｙ＝Ｙ／Ｘ＋Ｙ＋Ｚ」、「輝度Ｌ＝Ｙ」として求めることができる。これにより、輝度・色度に対して見た目での評価が可能となる。
【特許文献１】特開２００４−１０３４８４号公報
【非特許文献１】末田哲夫，「オプトロニクス活用のための光学部品の使い方と留意点（増補改訂版）」，株式会社オプトロニクス社発行，平成９年１０月１０日増補改定版第５刷，ｐ．２０５  図−２．１１８（ＣＩＥ  １９３１  ＸＹＺ表色系の等色関数）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、上述した評価装置は、例えば、同一条件及び同一材料によって形成される有機ＥＬ素子（試料）が、広域に配列されているような場合や複数個所に存在する場合には、有機ＥＬ素子の測定地点（発光部）を１地点毎に計測する必要が生じる。このような計測方法を用いる評価装置においては、全ての測定地点に定電流を供給し、有機ＥＬ素子をステージ上に載置し、ステージ等の移動によって予め決定された各測定地点を１地点毎に順次計測するものであった。
【００１４】
しかしながら、高温になると駆動電圧が低下するとともに発光輝度も低下する傾向にある有機ＥＬ素子は、例えば最初の測定地点と、最後の測定地点とは、定電流が与えられる時間が異なり、更に各測定ポイントにおける有機ＥＬ素子に電流印加することで温度差が生じる。したがって、同一条件によって計測できなくなり、評価工程における計測データとしては信頼性に欠けるといった問題点を有していた。
【００１５】
また、上述のような等色関数フィルタは、Ｘ１、Ｘ２、Ｙ、Ｚの合計４つが必要となるため、フィルタを回転させながら、１つ毎に測定を行っているために時間がかかり、特に不安定なサンプル（試料）では測定結果にばらつきと誤差が生じてしまっていた。
【００１６】
本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、試料の評価における輝度・色度のばらつき誤差を低減するための光学測定装置、光学測定方法、及び該装置を備えた信頼性評価システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述の目的を達成するために、本発明は、試料から発光された光源の輝度及び色度を測定するための光学測定装置において、前記試料に測定用の電流を印加することで発光したサンプル光源を光ファイバーから出力させる光源出力部と、前記光源出力部から得られるサンプル光源を、等色関数フィルタを用いて輝度及び色度に対する所定数のサンプル光を取得するためのフィルタ部と、前記フィルタ部から得られるサンプル光を撮像し画像を取得する撮像部とを有し、前記フィルタ部は、入力される前記サンプル光を所定数に分割し、分割したそれぞれの光源に対して異なるフィルタを通過させ、前記撮像部は、複数のサンプル発光画像を同時に撮像することを特徴とする。これにより、輝度・色度の測定時間を短縮することができる。したがって、試料の測定時の輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。
【００１８】
更に、前記フィルタ部は、４角錐プリズムを有し、前記プリズムは、入力される前記サンプル光の光軸に対して所定の傾きを有する面に前記等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを取り付けることが好ましい。これにより、容易な構成で同時に複数の異なるサンプル光を取得することができる。したがって、輝度・色度の測定時間を短縮することができる。また、時間経過に伴う温度差等がなく、輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。
【００１９】
更に、前記フィルタ部は、４角錐プリズムを有し、前記プリズムは、入力される前記サンプル光の光軸に対して垂直な底面に前記等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを取り付けることが好ましい。これにより、容易な構成で同時に複数の異なるサンプル光を取得することができる。したがって、輝度・色度の測定時間を短縮することができる。また、時間経過に伴う温度差等がなく、輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。
【００２０】
また本発明は、試料から発光された光源の輝度及び色度を測定するための光学測定方法において、前記試料に測定用の電流を印加することで発光したサンプル光源を光ファイバーから出力させる光源出力ステップと、前記光源出力ステップから得られるサンプル光源を、等色関数フィルタを用いて輝度及び色度に対する所定数のサンプル光を取得するためのフィルタステップと、前記フィルタステップから得られるサンプル光を撮像し画像を取得する撮像ステップとを有し、前記フィルタステップは、入力される前記サンプル光を所定数に分割し、分割したそれぞれの光源に対して異なるフィルタを通過させ、前記撮像ステップは、複数のサンプル発光画像を同時に撮像することを特徴とする。これにより、輝度・色度の測定時間を短縮することができる。したがって、試料の測定時の輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。
【００２１】
更に、前記フィルタステップは、４角錐プリズムを有し、前記プリズムは、入力される前記サンプル光の光軸に対して所定の傾きを有する面に前記等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを取り付けることが好ましい。これにより、容易な構成で同時に複数の異なるサンプル光を取得することができる。したがって、輝度・色度の測定時間を短縮することができる。また、時間経過に伴う温度差等がなく、輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。
【００２２】
更に、前記フィルタステップは、４角錐プリズムを有し、前記プリズムは、入力される前記サンプル光の光軸に対して垂直な底面に前記等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを取り付けることが好ましい。これにより、容易な構成で同時に複数の異なるサンプル光を取得することができる。したがって、輝度・色度の測定時間を短縮することができる。また、時間経過に伴う温度差等がなく、輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。
【００２３】
また本発明は、前記請求項１乃至３の何れか１項に記載の光学測定装置を備え、試料の信頼性を評価する信頼性評価システムにおいて、少なくとも１つからなる試料からサンプル光源を取得する試料情報取得部と、前記試料に電流を供給する電源部と、前記光学測定装置により得られる前記サンプル発光画像から信頼性評価結果を取得するための評価制御装置と、少なくとも評価結果を表示するモニタとを有することを特徴とする。これにより、評価対象である試料の輝度・色度の測定時間を短縮することができる。したがって、評価対象である試料の測定時の輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、輝度・色度の測定時間を短縮することができる。したがって、試料の測定時の輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
<本発明の概要>
本発明は、例えば、有機ＥＬ素子等の試料（サンプル）の評価における輝度・色度を測定するために、試料に電流を供給することで発光されるサンプル光源を所定数に分割し、分割したサンプル光をそれぞれＸ１フィルタ、Ｘ２フィルタ、Ｙフィルタ、Ｚフィルタからなる等色関数フィルタに通過させて４つのフィルタからのサンプル発光画像を同時に取得する。これにより、輝度・色度の測定時間を短縮することができ、試料の測定時の輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。したがって、例えば試料の輝度や色度、電圧、電流、又は時間に対する輝度の劣化率を高精度に測定することができる。
【００２６】
以下に、上述したような特徴を有する本発明における光学測定装置、光学測定方法、及び該装置を備えた信頼性評価システムを好適に実施した形態について、図面を用いて詳細に説明する。
【００２７】
<光学測定装置>
図２は、本発明における光学測定装置の一例を示す図である。図２に示す光学測定装置２０は、光源出力部２１と、フィルタユニット２２と、フィルタ駆動部２３と、ＸＹＺ補正フィルタ部２４と、撮像部２５と、制御部２６とを有するよう構成されている。
【００２８】
光源出力部２１は、輝度や色度の評価を行うためのサンプル光３０を出力する。なお、光源出力部２１は、例えば光ファイバーを束ねたファイバーバンドル等を用いることができる。フィルタユニット２２は、ＮＤ（Ｎｅｕｔｒａｌ  Ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタ等のフィルタ３１を少なくとも１つ（例えば、図２においては４つ）有している。また、各フィルタ３１−１〜３１−４は、それぞれ異なる量の光を減らして調整する効果を有するフィルタであり、所望する光量のサンプル光がＸＹＺ補正フィルタ部２４に入力されるように減光等による調整を行う。また、フィルタ駆動部２３は、フィルタユニット２２を駆動させ、回転によりフィルタ３１−１〜３１−４のうち所定のフィルタをサンプル光が通過できるように位置付ける。
【００２９】
また、ＸＹＺ補正フィルタ部２４は、フィルタユニット２２に設けられたフィルタ３１を通過したサンプル光３０を所定数（本実施形態では４分割）に分割すると同時に、それぞれのサンプル光を上述した等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタ（Ｘ１フィルタ、Ｘ２フィルタ、Ｙフィルタ、Ｚフィルタ）の何れかに通過させる。ここで、ＸＹＺ補正フィルタ部２４として、例えば４分割する場合には、４角錐プリズムを用いることができる。図３は、ＸＹＺ補正フィルタ部の一構成例を示す図である。
【００３０】
図３では、ＸＹＺ補正フィルタ部２４の一例として４角錐プリズムを用いている。４角錐プリズムは、入力されたサンプル光３０を４分割にさせる。更に、４角錐プリズムは、分割したサンプル光がそれぞれＸ１フィルタ、Ｘ２フィルタ、Ｙフィルタ、Ｚフィルタの何れかを通過させるように等色関数フィルタ３２−１〜３２−４を所定位置に取り付け１度に複数のサンプル発光画像を取得する。
【００３１】
なお、等色関数フィルタ３２−１〜３２−４の取り付け方としては、例えば、図３（ａ）に示すように、例えば、サンプル光の光軸に対して所定の傾きを有する面（図３（ａ）における三角形状の面）に等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを取り付けてもよく、また光軸に対して垂直な底面（図３（ｂ）における四角形状の面）に等色関数フィルタとしてそれぞれ異なるフィルタを、分割した光がそれぞれ通過するような適切な位置に取り付けてもよい。
【００３２】
なお、取り付ける等色関数フィルタ３２−１〜３２−４は、４角錐プリズムの所定の面を通過するときの光の形状に合わせ、それよりやや大きな形状とする。
【００３３】
また、フィルタユニット２２に設けられた所定のフィルタ３１を通過したサンプル光３０は、４角錐プリズムの頂点に光の中心（光軸）がくるように照射することで、サンプル光が４つに等分割することができ、それぞれの等色関数フィルタ３２−１〜３２−４を通過したサンプル光を取得することができる。
【００３４】
また、図２における撮像部２５は、ＸＹＺ補正フィルタ部２４を通過した４つのサンプル光を受光し、各フィルタサンプル発光画像（Ｘ１フィルタサンプル発光画像、Ｘ２フィルタサンプル発光画像、Ｙフィルタサンプル発光画像、Ｚフィルタサンプル発光画像）を取得する。なお、撮像部２５は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ）カメラ等からなる。
【００３５】
また、撮像部２５は、取得した画像に対してフォーマット変換や画像分析等の所定の画像処理を行う外部の画像処理装置や、画像を蓄積する蓄積装置、画像等の測定結果を表示するモニタ等に出力してもよく、また撮像部２５内部に設けられた記憶部に記憶しておいてもよい。
【００３６】
また、図２における制御部２６は、光学測定装置２０の各構成全体の制御を行う。具体的には、制御部２６は、フィルタ駆動部２３によりフィルタユニット２２に設けた所定のフィルタ３１をサンプル光３０が通過するように適切な位置に移動させたり、撮像部２５により、ＸＹＺ補正フィルタ部２４を通過した４種類のサンプル光を取得させる等の処理を行う。また、制御部２６は、測定結果から、色度ｘ，ｙ及び輝度Ｌを測定する。具体的には、上述したように、「色度ｘ＝Ｘ／Ｘ＋Ｙ＋Ｚ」、「色度ｙ＝Ｙ／Ｘ＋Ｙ＋Ｚ」、「輝度Ｌ＝Ｙ」として求めることができる。これにより、輝度・色度に対して見た目での評価が可能となる。
【００３７】
ここで、図４は、本実施形態における評価対象画像の取得例を示す図である。図４（ａ）に示すＸＹＺ補正フィルタ部２４には、Ｘ１、Ｘ２、Ｙ、Ｚのぞれぞれのフィルタ３２−１〜３２−４が設けられている。ここで、サンプル光を通過する位置にフィルタ３２−１〜３２−４を位置付け、サンプル光を通過させ、通過させたサンプル光をカメラ等の撮像部２５により撮影し、更にその撮像部２５から撮影されたサンプル発光画像を図４（ｂ）に示すような画像表示用のモニタ３３上に表示する。
【００３８】
したがって、サンプル光源に対してフィルタ３２−１〜３２−４を全て通過させて、試料（サンプル）のサンプル発光画像（Ｘ１フィルタサンプル発光画像、Ｘ２フィルタサンプル発光画像、Ｙフィルタサンプル発光画像、Ｚフィルタサンプル発光画像）を取得する。したがって、全フィルタの測定を同時に行うことができる。
【００３９】
なお、モニタ３３に表示するサンプル発光画像のレイアウトやサンプル発光画像数についてはこの限りではなく、サンプル発光画像数については少なくとも２つが表示されていればよい。
【００４０】
これにより、同時に各フィルタの測定ができ、時間の経過や温度差、環境等が原因によるばらつき、誤差を低減することができる。また、測定時間を約１／４短縮することができる。
【００４１】
なお、上述の光学測定装置２０は、例えば信頼性評価システム等に適用することができる。
【００４２】
<光学測定装置２０を備えた信頼性評価システム>
次に、光学測定装置２０を備えた信頼性評価システムについて、図を用いて説明する。図５は、本実施形態における信頼性評価システムの一構成例を示す図である。図５に示す信頼性評価システム４０は、一例として有機ＥＬ素子が所定の位置に設置されたパネル及び駆動回路等からなり、各有機ＥＬ素子をサンプル（試料）として発光時の輝度・色度の評価を行うシステムについて説明するが、本発明における有機ＥＬの信頼性評価システムの適用例は、これに限定されるものではない。
【００４３】
図５に示す信頼性評価システム４０は、モニタ４１と、評価制御装置４２と、分配器４３と、少なくとも１つからなる試料情報取得部４４−１〜４４−ｎと、電源部４５と、上述した光学測定装置２０とを有するよう構成されている。また、評価制御装置４２は、画像処理部５１と、システム制御部５２と、通信インタフェース部５３と、蓄積部５４とを有するよう構成されている。なお、光学測定装置２０においては、上述した各部構成をそのまま用いているため、ここでの詳細な説明は省略する。
【００４４】
モニタ４１は、評価制御装置４２から得られる評価結果や実際に撮像部２５から取得した画像を表示させる。また、モニタ４１には、評価制御装置４２からの信頼性評価システム４０における評価処理時の開始や終了のメッセージやエラー発生時のメッセージ、光学測定結果等を表示することができる。また、モニタ４１にスピーカ等の音声出力機能等を有していてもよく、音声により評価処理の開始や終了、エラー発生等をユーザ等に通知することができる。
【００４５】
また、評価制御装置４２は、信頼性評価システム４０における各構成全体を制御する。具体的には、評価制御装置４２における画像処理部５１は、撮像部２５から得られるフィルタサンプル発光画像からモニタ４１に表示するための画像を生成して、モニタ４１に出力する。このとき、画像処理部５１は、処理した画像を蓄積部５４に蓄積してもよく、また、複数時間測定した結果を平均化処理してモニタ４１等に出力してもよい。更に、画像処理部５１は、システム制御部５２からの制御情報に基づいて、評価処理時の開始や終了のメッセージやエラー発生時のメッセージをモニタ４１に表示するための処理を行い、モニタ４１に出力する。
【００４６】
また、システム制御部５２は、制御部２６に光学測定装置２０における光学測定の制御情報を生成して出力したり、撮像部２５から取得した画像に対するフォーマット変換や画像分析等の所定の画像処理を画像処理部にさせたり、複数ある試料情報取得部４４−１〜４４−ｎのうち、どの試料情報取得部における有機ＥＬ素子によって表示を行う有機ＥＬディスプレイパネル及び駆動回路の評価を行うかを少なくとも１つ選択し、その選択による電源部４５における電源の分配等の制御を通信ネットワーク部５３により分配器４３に出力させる等の制御を行う。
【００４７】
また、通信ネットワーク部５３は、他の機能構成各部との接続を行い、データや制御信号の送受信を可能にする。通信ネットワーク部５３は、例えば、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  Ｓｅｒｉａｌ  Ｂｕｓ）やＤＶＩ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｉｓｕａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）等からなる。また、蓄積部５３は、光学測定結果や撮像部２５にて撮影した画像等を蓄積する。
【００４８】
分配器４３は、評価制御装置４２からの制御情報により複数ある試料情報取得部４４−１〜４４−ｎのうち、選択された１又は複数の試料情報取得部に対してのみ、処理を実行させるための制御情報を出力する。
【００４９】
試料情報取得部４４−１〜４４−ｎは、例えば評価対象である有機ＥＬ素子等に電流を印加して発光させ、そのサンプル発光を評価対象の有機ＥＬ素子の対応する位置に配置させた光ファイバー５５により受光して光学測定装置２０に出力する。また、電源部４５は、試料情報取得部４４−１〜４４−ｎの少なくとも１箇所に所定の電流を供給する。
【００５０】
なお、有機ＥＬ素子の有機薄膜に定電圧を印加して発光させる場合、その発光輝度は、温度変化や経時変化等により大きく変動するが、例えば、定電流を流して発光させる場合には、発光輝度の変動は小さい。そこで、例えば、本実施形態における有機ＥＬディスプレイパネルの駆動回路には定電流回路を設け、各有機ＥＬ素子に定電流を供給させる。
【００５１】
上述した信頼性評価システム４０の構成により、評価対象である試料の輝度・色度の測定時間を短縮することができる。したがって、評価対象である試料の測定時の輝度・色度のばらつき誤差を低減することができる。
【００５２】
<測定結果例>
次に、従来手法と本発明手法とのシミュレーションによる測定結果の比較例について図を用いて説明する。図６は、従来手法と本発明手法との測定結果の一例を説明するための図である。
【００５３】
まず、図６（ａ）に示す測定時間比較においては、従来の測定時間が１２秒に対して本実施形態を適用することで測定時間が３秒となり、１／４の時間短縮が実現される。つまり、従来手法の測定では、４種類ある等色関数フィルタの１つの測定が３秒であるため、４つでは１２秒測定時間がかかる。しかしながら、本発明手法を適用することで同時に４種類ある等色関数フィルタの測定が可能となるため、１回（点）測定時での測定時間は９秒短縮されることになる。
【００５４】
また、図６（ｂ）に示す従来の測定精度の検証（シミュレーション測定）においては、ある１つの等色関数フィルタから次の等色関数フィルタに移動する間で、光量が５％減少する光源を測定したと仮定した場合、測定色度ｘの正しい測定値（理論値）が０．２７３８に対して、フィルタ４枚移動時測定値は０．２９１２となり、また測定色度ｙの正しい測定値が０．２３０８に対して、フィルタ４枚移動時測定値は０．２３３３となる。したがって、正しい測定値との測定色度の差（絶対値表示）は、図６（ｃ）に示すように、色度ｘの測定色度差が０．０１７４で、色度ｙの測定色度差が０．００２５となる。
【００５５】
ここで、有機ＥＬ信頼性評価装置は、確度が０．００５以下に収まることが仕様となっているため、条件を満たしていない。つまり、光量が変化する光源の測定時では、従来の等色関数フィルタを回転させて測定する手法では、測定時間が長いため、確度が仕様に満たない場合が考えられる。
【００５６】
そこで、本発明手法により、例えば４角錐プリズムを使用して１回でフィルタ４枚の測定を同時に行うことで、測定時間を短縮して測定を行い測定色度の確度を上げることができる。
【００５７】
上述したように本発明によれば、輝度・色度の測定時間を短縮することができる。したがって、試料の測定時の輝度・色度のばらつき誤差を低減することができ、例えば試料の輝度や色度、電圧、電流、又は時間に対する輝度の劣化率を高精度に測定することができる。なお、本発明における光学測定装置は、例えば、有機ＥＬの他にもＬＣＤ、ＰＤＰ、ＦＥＤ、及びＬＥＤの発色特性、ランプ等の発光特性、その他光デバイスの測色用、輝度、色度の面内ムラ、コントラスト評価用の測定装置として適用することができる。
【００５８】
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】従来における評価対象画像の取得例を示す図である。
【図２】本発明における光学測定装置の一例を示す図である。
【図３】ＸＹＺ補正フィルタ部の一構成例を示す図である。
【図４】本実施形態における評価対象画像の取得例を示す図である。
【図５】本実施形態における信頼性評価システムの一構成例を示す図である。
【図６】従来手法と本発明手法との測定結果の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
【００６０】
１１  回転フィルタユニット
１２，３１  フィルタ
１３，３３，４１  モニタ
２０  光学測定装置
２１  光源出力部
２２  フィルタユニット
２３  フィルタ駆動部
２４  ＸＹＺ補正フィルタ部
２５  撮像部
２６  制御部
３２  等色関数フィルタ
４０  信頼性評価システム
４２  評価制御装置
４３  分配器
４４  試料情報取得部
４５  電源部
５１  画像処理部
５２  システム制御部
５３  通信インタフェース部
５４  蓄積部
５５  光ファイバー
【図１】
2009052890.tif 000003
【図２】
2009052890.tif 000004
【図３】
2009052890.tif 000005
【図４】
2009052890.tif 000006
【図５】
2009052890.tif 000007
【図６】
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