(57)【要約】【課題】光表示面などの対象面上で、用途に応じた多様な態様で偏向光を走査することができる光走査装置を提供する。【解決手段】光走査装置は、第1及び第2の光ビーム103、104を供給する光源装置101、102と、光偏向器と、光偏向器の両側に設けられた第1及び第2の固定ミラー105、106を有する。光偏向器は、揺動可能な可動子107を有し、且つ、可動子107の両面に第1及び第2の光偏向素子107a、107bが設けられる。第1の光ビーム103は可動子の第1の光偏向素子107aで偏向され、この偏向光は、第1及び第2の固定ミラーの少なくとも一方で反射され、対象面108上で第1の走査を行なう。第2の光ビームは可動子の第2の光偏向素子107bで偏向され、この偏向光は、第1及び第2の固定ミラーの少なくとも他方で反射され、対象面108上で第2の走査を行なう。【選択図】図1
2009210947.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第1及び第2の光ビームを供給する光源装置と、光偏向器と、該光偏向器を挟む両側の位置に夫々設けられた第1及び第2の固定ミラーを有する光走査装置であって、
前記光偏向器は、揺動軸を中心に揺動運動可能な可動子を有し、且つ、前記可動子の両面に第1及び第2の光偏向素子が設けられ、
第1の光ビームは前記可動子の第1の光偏向素子で偏向され、該偏向光は、前記第1及び第2の固定ミラーの少なくとも一方で反射され、対象面上において第1の走査を行ない、
第2の光ビームは前記可動子の第2の光偏向素子で偏向され、該偏向光は、前記第1及び第2の固定ミラーの少なくとも他方で反射され、対象面上において第2の走査を行なうことを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記光偏向器は、1次元的又は2次元的に光偏向を行なうことを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
【請求項３】
前記第1の走査と第2の走査は、同一の前記対象面上で同一時間において同一方向に行なわれることを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査装置。
【請求項４】
前記第1の走査と第2の走査は、重なって、或いは前記同一方向又は該同一方向に直角な方向にずれて行なわれることを特徴とする請求項3に記載の光走査装置。
【請求項５】
前記第1の光ビームと第2の光ビームは、夫々、前記第1及び第2の固定ミラーで少なくとも1回反射され、該第1及び第2の固定ミラーで反射される回数の合計が偶数であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の光走査装置。
【請求項６】
前記光偏向器は1次元的に光偏向を行なう光偏向器であると共に、1次元的に光偏向を行なう他の光偏向器を更に有し、
該他の光偏向器により、前記第1の走査と第2の走査と交差する方向に走査が行なわれることで2次元的な走査が行なわれることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の光走査装置。
【請求項７】
請求項1乃至6の何れか1項に記載の光走査装置を有し、前記第1の光ビーム及び第2の光ビームは、共に同色の光、又は異なる色の光であることを特徴とする光学機器。
【請求項８】
請求項1乃至6の何れか1項に記載の光走査装置を有し、前記第1の光ビームは第1の色の光からなり、前記第2の光ビームは、前記第1の色とは異なる第2及び第3の色の光の合成光からなることを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置の技術分野に関連する技術に関する。また、本発明は、こうした光偏向装置を用いた、レーザービームプリンタ（LBP）、デジタル複写機などの電子写真方式の画像形成装置、走査型ディスプレイなどの画像表示装置、バーコードリーダ等の光学機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複写機、レーザービームプリンタ、バーコードリーダ、レーザ光を走査して映像を光照射面に投影する画像表示装置などの光学機器において、光走査装置が用いられている。一般に、機械的に光走査を行なう光走査装置としては、回転多面鏡からなるポリゴンミラーや、揺動型反射鏡からなるガルバノミラーなどが知られている。特にガルバノミラータイプは、マイクロメカニクス技術によって、シリコン基板を用いた共振型光走査装置が開発されており、小型化、軽量化、低コスト化が期待できる。そして、この様な共振型光走査装置を利用した画像表示装置が提案されている。
【０００３】
共振型光走査装置を利用した画像表示するディスプレイについては、次の様な提案がある（特許文献1参照）。図8は、その代表的な構成例を示す図である。この例では、映像信号によって変調された光ビーム19、20を出力する光源2、3と、第1の光ビーム19を正弦波の態様で水平走査する第1の共振型光走査装置6が配置されている。また、前記正弦波と逆位相の正弦波の態様で第2の光ビーム20を水平走査する第2の共振型光走査装置7が配置されている。第1の光走査装置6と第2の光走査装置7に光ビームを走査線毎に交互に入力する様に制御する制御手段により、第1の光走査装置6から出力される第1の光ビーム19と第2の光走査装置7から出力される第2の光ビーム20とを合成することができる。更に、垂直走査する垂直走査手段14を備え、合成された光を2次元に走査してスクリーン17上に画像を表示する。
【０００４】
また、次の様な提案もある（特許文献2参照）。ここでは、光反射面を反射ミラー部（揺動運動可能な可動子）の両面に設けた共振型光走査装置を用いている。そして、前記両面で反射される2光路の反射光が、反射ミラー部の往復動で、光照射面上の始点と終点とを互いに逆にして、逆方向に走査される。互いに逆方向に走査される結果、走査の帰線時間をなくす、又は自由に調節できる一方向の走査光による表示装置となっている。
【特許文献１】特開2002−357783号公報
【特許文献２】特開2001−91889号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の特許文献1では、第1の共振型光走査装置と第2の共振型光走査装置の別々の光走査装置を逆位相で駆動させて画像表示装置を構成している。しかし、別々の共振型光走査装置の共振周波数を等しく作製することは困難である。そのため、駆動の共振周波数が異なる2つの光走査装置を逆位相で精度良く制御することは容易ではない。また、2つの光走査装置を夫々逆位相で駆動させるためのアンプと反転アンプを必要とするため、制御回路が複雑になり易い。
【０００６】
また、上述の特許文献2では、反射ミラー部の一方の側に固定ミラーがあるのみで、2光路の反射光の走査態様を多様に制御することは容易とは言えない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題に鑑み、本発明の光走査装置は、少なくとも第1及び第2の光ビームを供給する光源装置と、光偏向器と、該光偏向器を挟む両側の位置に夫々設けられた第1及び第2の固定ミラーを有する。光偏向器は、揺動軸を中心に揺動運動可能な可動子を有し、且つ、可動子の両面に第1及び第2の光偏向素子が設けられる。第1の光ビームは可動子の第1の光偏向素子で偏向され、該偏向光は、第1及び第2の固定ミラーの少なくとも一方で反射され、対象面上において第1の走査を行なう。また、第2の光ビームは可動子の第2の光偏向素子で偏向され、該偏向光は、第1及び第2の固定ミラーの少なくとも他方で反射され、対象面上において第2の走査を行なう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、両面に第1及び第2の光偏向素子を備える可動子を含む光偏向器が、少なくとも2つの光ビームを偏向し、該複数の偏向光を、夫々、光偏向器の両側に設けられた固定ミラーで反射して走査する。これにより、夫々の偏向光を、光表示面などの対象面上で、用途に応じた多様な態様で走査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の基本構成と原理を説明する。本発明による光走査装置の実施形態は、基本的に、少なくとも第1及び第2の光ビームを供給する光源装置と、光偏向器と、該光偏向器を挟む両側の位置に夫々設けられた第1及び第2の固定ミラーを有する。光偏向器は、揺動軸を中心に揺動運動可能な平行平板などからなる可動子を有し、且つ、可動子の両面に反射面などの第1及び第2の光偏向素子が設けられる。光偏向器は、可動子が揺動運動するとき、第1の光ビームを可動子の第1の光偏向素子で偏向し、該第1の偏向光を第1及び第2の固定ミラーの少なくとも一方で反射し、表示用スクリーンや感光体などの対象面上において第1の走査を行なう。この一方の固定ミラーは、前記第1の偏向光の進行する側にある平板状、または曲面状（2次元偏向において、同一方向に走査をする場合は、片側のミラーを曲面状にして、走査方向を揃える必要がある。）などの形状を持つ固定ミラーである。同時に、光偏向器は、第2の光ビームを可動子の第2の光偏向素子で偏向し、該第2の偏向光を第1及び第2の固定ミラーの少なくとも他方で反射し、対象面上において第2の走査を行なう。この他方の固定ミラーは、前記第2の偏向光の進行する側にある平板状、または曲面状などの形状を持つ固定ミラーである。
【００１０】
前記複数の走査は多様な態様で行うことができる。例えば、前記第1の走査と第2の走査を、同一の対象面上で、同一時間において同一方向に行うことができる。複数の走査は、重ねて行うこともできるし、該同一方向に直角な方向に間隔を置いて並行して行うこともできる。また、複数の走査は、同一方向ではあっても該方向にずれた位置で行うこともできる。この場合、一方の走査の終点が他方の走査の始点に来る様にずらして、複数の走査が同一方向に直列的に繋がった単一の走査となる様にもできる。更には、複数の走査は、異なる対象面上において行うこともできる。この様に、両面に光偏向素子を備える揺動運動可能な可動子を含む光偏向器と、偏向器の両側に設けられる固定ミラーを用いることにより、複数の偏向光を、対象面上で、用途に応じた多様な態様で走査することができる。
【００１１】
以下、本発明による一実施形態について図面を用いて説明する。本実施形態を説明するための構成図を図1に示す。本実施形態の光走査装置を含む装置は、光源装置を構成する第1及び第2の光源101、102、光偏向器を成す揺動軸を中心に揺動運動可能な可動子107、該光偏向器を挟む位置にある第1及び第2の固定ミラー105、106を有する。可動子107の両面には、夫々、第1及び第2の光偏向素子である第1及び第2の反射面107a 、107bが設けられている。第1の光源101からの第1の光ビーム103は、揺動する可動子107の第1の反射面107aで偏向される。該偏向光は、第1の固定ミラー105で1回だけ反射されて対象面である光表示面108上に導かれ、光表示面108において第1の走査が行なわれる。第2の光源102からの第2の光ビーム104は、可動子107の第2の反射面107bで偏向される。該偏向光は、第2の固定ミラー106で1回だけ反射されて光表示面108上に導かれ、光表示面108上において第2の走査が行なわれる。
【００１２】
ここにおいて、可動子107を矢印の方向に駆動させた場合、第1の反射面107aで反射された光は、第1の固定ミラー105上では矢印の向きに走査される。そして、第1の固定ミラー105で反射された光は、光表示面108上では矢印の向きの水平方向に走査されて第1の走査を行なう。また、第2の反射面107bで反射された光は、第2の固定ミラー106上では矢印の向きに走査される。本実施形態では、第2の固定ミラー106で反射された光も、光表示面108上では矢印の向きの水平方向に走査され、第1の走査と同一方向に同一時間において第2の走査を行なう。
【００１３】
その結果、可動子107の第1の反射面107aと第2の反射面107bに入射される夫々の光ビームを、光表示面108上で精度良く、同一時間において同一方向に走査することができる。前記第1の走査と第2の走査は、重なって、或いは前記同一方向又は該同一方向に直角な方向にずれて行なうことができる。第1の光源101と第2の光源102が同一波長の光（同色の光）を発し該光が重なって走査される場合には、2つの光源の出力を足し合わせることができるので、輝度が略2倍の画像表示装置を提供できる。使用する光源には、LD、LEDなどが考えられる。また、第1の光源101と第2の光源102が違う波長の光（異なる色の光）を発する場合、一般にダイクロイックミラーなどで同一光軸にする場合と比較すると、夫々の光の光量の損失が殆どなく高輝度の画像表示装置を提供できる。
【００１４】
ここで用いる光走査装置の光偏向器は、例えばガルバノミラーやマイクロミラーなどを用いることができる。マイクロミラーは、半導体製造プロセスなどの、フォトリソグラフィやエッチング加工を単結晶シリコン平板に施すことによって作製することができる。また、光走査装置は、駆動手段を有することによって可動子107に駆動力を与え、可動子107を揺動させる。駆動手段としては、電磁駆動型・静電駆動型・圧電駆動型などが考えられる。電磁駆動の場合は、例えば可動子に永久磁石を設け、この永久磁石に磁場を印加するコイルを可動子の近傍に配置してもよいし、永久磁石とコイルをこれとは逆の配置としてもよい。静電駆動の場合は、可動子に電極を形成し、この電極との間に静電力を働かせる様な電極を可動子の近傍に形成する。圧電駆動の場合は、圧電素子を可動子や可動子の支持部に設けて駆動力を印加する。
【００１５】
前記光表示面を感光体に置き換えることにより、本実施例の構成を画像形成装置に適用することもできる。この場合、光ビームは、例えば、所望の画像に応じて適切にオン、オフされながら、前記走査方向と平行に伸びる軸の回りに回転する感光ドラム108上に照射される。これにより、感光ドラム108上に電位の2次元パターンが形成される。そして、該パターンに応じてトナーを感光ドラム108上に付着させ、付着させたトナーを必要に応じて転写ベルトを介して記録媒体（不図示）上に転写する。最後にトナーの定着等の処理を行って、記録媒体上に画像が形成される。
【００１６】
前記実施形態では、光偏向器の可動子の両面の反射面で複数の光ビームを反射し、該反射光を夫々固定ミラーで反射して走査することができる。その結果、両面に入射される夫々の光を対象面上で精度良く、例えば、同一時間において同一方向に走査することができる。少なくとも2つの光源が同一波長の光の場合には、高輝度の画像表示装置や鮮明な画像を形成可能な画像形成装置を提供することができる。また、異なる波長の光の場合には、ダイクロイックミラーなどによって同一光軸上にする際に用いるダイクロイックミラーの数を減らすことができ、安価で高輝度な画像表示装置を提供できる。更に、1つの光偏向器で構成されているため、反転アンプなどは使用しなくてよく、制御回路を複雑でなくすることができる。
【実施例】
【００１７】
以下、具体的な実施例を説明する。
（第1実施例）
図1と図2は本発明の第1実施例である装置を説明するための構成図である。図1の概略構成は、上述した通りである。図2には、具体的な光走査装置の1次元的に光偏向を行なう光偏向器の斜視図を示す。
【００１８】
本実施例の光走査装置の光偏向器1101では、ねじりバネ1103によって、ねじり軸を中心にねじり振動自在に、可動子1102が支持部1104に対して弾性支持される。可動子1102の両面には第1の反射面1107と第2の反射面1108が設けられ、電極パッド1105に電圧を印加すると駆動コイル1106に電流が流れる。その結果、駆動コイル1106に流れる電流と永久磁石1109が発生する磁界との相互作用によって生じるローレンツ力により、ねじりバネ1103のねじり軸を中心軸として可動子1102が揺動運動を行ない、光が偏向される。この光偏向器1101は、単結晶シリコンの平板を半導体製造プロセスによって加工することで作製でき、永久磁石1109は光偏向器1101の外側に配置される。そのため、可動子1102の両面の第1の反射面1107と第2の反射面1108に入射する光を広角に偏向することが可能となる。
【００１９】
図1の構成を備える本実施例を適用した画像表示装置では、例えば、第1の光源101と第2の光源102を赤色レーザとし、これらからの光を、夫々、可動子107の第1の反射面107aと第2の反射面107bに入射させる。可動子107を矢印の方向に駆動させた場合、第1の反射面107aで反射された光は、第1の固定ミラー105上では矢印の向きに走査される。第1の固定ミラー105で反射した光は、光表示面108上では矢印の向きの水平方向に第1の走査を行なう。また、第2の反射面107bで反射された光は、第2の固定ミラー106上では矢印の向きに走査される。第2の固定ミラー106で反射した光は、光表示面108上では第1の走査と重なって同一方向に同一時間において第2の走査を行なう。その結果、夫々の光ビームを光表示面108上で精度良く、同一時間において同一方向に走査することができるため、2つの光源101、102の出力を足し合わせられ、輝度が略2倍の画像表示装置を提供できる。また、1つの光偏向器1101で構成されているため、反転アンプなどは使用しなくてよい。上述した様に、本実施例の構成は画像形成装置などにも適用できる。
【００２０】
本実施例は種々に変更することができる。図1の構成では、中立位置の可動子に対して2つの固定ミラーを面対称に配置し、各固定ミラーで光ビームを1回だけ反射させている。しかし、固定ミラーの配置角度や固定ミラーでの光ビーム反射回数などを適切に設定することで、2つの光ビームを同一時間において逆方向に走査したり、並行して平行に走査したりすること等もできる。
【００２１】
また、図1の紙面に垂直な方向に他の光源を並列的に配置して、平行な複数の走査を高い輝度で並列的に同時に行うこともでき、より高速な画像表示や画像形成を行なうこともできる。或いは、1つの光源からの光ビームを分岐して複数の光ビームを生成し、これらを可動子の両面の異なる反射面で偏向し、夫々、2つの固定ミラーを介して異なる対象面上に導き、別個の走査を実行する様なこともできる。
【００２２】
更に、1つの光偏向器を図7に示す様な2次元的な光偏向が可能な光偏向器に置き換えれば、対象面上において2次元的に光ビームを走査して2次元的な画像を表示することなどもできる。ただし、2つの光ビームを同一の方向に2次元的に偏向することを可能にする場合は、図1の第1の固定ミラー105または第2の固定ミラーのどちらか一方を曲面状のミラーにする必要がある。図7(a)に示す2次元光偏向器は、可動子602の両面に反射面が設けられ、別の可動子であるジンバル601と、支持体604と、ジンバル601上に配置されるコイル（不図示）と、磁場発生手段である永久磁石（不図示）を有する。こうしたコイルと永久磁石の配置については、図2の構成と同様に行なわれ得るが、可動子602の2次元的な揺動を安定的に実現する様に、コイルの配置位置や数や巻き方向、永久磁石の数や磁極方向などを適切に設計するとよい。ジンバル601は、可動子602を第1の梁状のトーションバー603により第1の回転軸（上下方向に伸びる鎖線で示す）の回りにねじり回転可能に支持する。支持体604は、ジンバル601を第2の梁状のトーションバー605により第1の回転軸と角度（ここでは直角）を成す第2の回転軸（左右方向に伸びる鎖線で示す）の回りにねじり回転可能に支持する。前記永久磁石は、可動子602をジンバル601に対してねじり回転させ、且つジンバル601を支持体604に対してねじり回転させるために、前記コイルに磁場を作用させる。
【００２３】
図7(b)は、可動子602の2次元的な揺動運動において第2の梁状のトーションバー605がねじれている様子を示す。第1実施例でも、前記実施形態のところで述べた効果と同様な効果が得られる。
【００２４】
（第2実施例）
図3は、本発明の第2実施例である装置を説明するための構成図である。図1と略同様の構成であり、同様の機能を持つ要素は同符号で示す。
【００２５】
本実施例において、第1の光源101から出力される第1の光ビーム103は、光走査装置の光偏向器の可動子107の第1の反射面107aに入射し、第2の光源102から出力される第2の光ビーム104は、可動子107の第2の反射面107bに入射する。可動子107を矢印の方向に駆動させた場合、第1の反射面107aで反射された光は、第1の固定ミラー305上を矢印105aの位置で該矢印の向きに走査される。更に、該反射光は、第2の固定ミラー306上で矢印106bの位置で該矢印の向きに走査され、光表示面108上で矢印の向きに第1の走査を行なう。
【００２６】
一方、前記可動子107の第2の反射面107bで反射された光は、第2の固定ミラー306上を矢印106aの位置で該矢印の向きに走査される。更に、該反射光は、第1の固定ミラー305上を矢印105bの位置で該矢印の向きに走査され、光表示面108上では第1の走査と同一方向に同一時間において第2の走査を行なう。この様に、可動子107の反射面107a、107bで偏向される光が固定ミラー305、306で反射される回数の合計を4回にする。このことにより、夫々の光ビーム103、104を光表示面108上で精度良く、同一時間において同一方向に走査することができる。
【００２７】
本実施例でも、中立位置の可動子107に対する固定ミラー105、106の設置角度が同一になっている。この様な構成の場合には、反射回数を増やすことにより、各固定ミラーで1回だけ反射させるよりも、光走査角度を広げることができる。図3では固定ミラー305、306での反射回数が合わせて4回の場合を示したが、6回、8回と、偶数回の反射であるならば、光表示面108上で精度良く、同一時間において同一方向の走査をすることができる。この様に、本実施例では、前記第1の光ビームと第2の光ビームを、夫々、前記第1及び第2の固定ミラーで少なくとも1回反射し、該第1及び第2の固定ミラーで反射される回数の合計が偶数である様にする。本実施例において、その他の点は、前記実施形態や第1実施例と同様である。本実施例においては、2枚の固定ミラー305、306を用いたが、反射するたびに、更に別のミラーを用いることによって、反射する角度をより多様な形態にすることができる。
【００２８】
（第3実施例）
図4は、本発明の第3実施例である装置を説明するための構成図である。図1と略同様の構成であり、同様の機能を持つ要素は同符号で示す。
【００２９】
本実施例では、図1の構成に加え、光ビームを垂直方向に走査する手段である他の光偏向器109を備える。光偏向器109も、図2に示す様な構成で実現できるが、ここでは可動子が前記走査方向に長く伸びた形状を持ち、その一方の面に反射面が設けられ、その揺動運動の周波数は光偏向器107の揺動周波数より小さい。この光偏向器109により、図1に示した光表示面108上で、水平方向に第1の走査をする第1の光ビームと第2の走査をする第2の光ビームとを合成すると共に、更に、垂直方向の走査を行なう。その結果、光表示面108上で2つの光源101、102の出力を足し合わせることができ、輝度が略2倍の2次元走査が可能な画像表示装置を提供することができる。
【００３０】
この様に、本実施例では、光偏向器107は1次元的に光偏向を行なう光偏向器であると共に、1次元的に光偏向を行なう他の光偏向器109を更に備える。そして、該他の光偏向器109により、前記第1の走査と第2の走査と交差する方向に走査が行なわれることで2次元的な走査が行なわれる。本実施例において、その他の点は、前記実施形態や実施例と同様である。
【００３１】
（第4実施例）
図5は、本発明の第4実施例である画像表示装置を説明するための構成図である。本実施例において、第1の光源201から出力される第1のビーム211は、光走査装置の可動子207の第1の反射面207aに入射する。また、第2の光源202から出力される第2のビーム212と第3の光源203から出力される第3のビーム213とは、ダイクロイックミラー204で同一光軸上の光ビーム214になる様にされる。
【００３２】
可動子207を矢印の方向に駆動させた場合、第1の反射面207aで反射された光ビームは、第1の固定ミラー205上で矢印の向きに走査される。更に、第1の固定ミラー205で反射された光ビームは、光表示面208上では矢印の向きの水平方向に第1の走査を行なう。一方、第2の反射面207bで反射された光は、第2の固定ミラー206上では矢印の向きに走査される。更に、第2の固定ミラー206で反射された光は、光表示面208上では第1の走査と同一方向に同一時間において第2の走査を行なう。
【００３３】
これにより、第1の光源201と第2の光源202と第3の光源203が違う波長の光を出力する場合には、一般的に2つのダイクロイックミラーなどで同一光軸にするが、それと比較すると、使用するダイクロイックミラーの数を1つ減らすことができる。その結果、画像表示装置を比較的安価に構成することができ、各光源の光量の損失を低減できる。また、光源を赤色、青色、緑色のレーザとした場合、各光源の位置はどこでもよい。ただし、輝度が小さいレーザを第1の光源201とするのが好適であり、これによりこの光源のパワーロスを少なくできて、更に高輝度の画像表示装置を実現することができる。この様に、本実施例の画像表示装置である光学機器では、第1の光ビームは第1の色のビーム211からなり、第2の光ビームは、第1の色とは異なる第2及び第3の色のビーム212、213の合成光からなって、夫々、第1の走査と第2の走査を行なう。
【００３４】
図示していないが、光源を増やすことによって、更に輝度を上げることも可能である。更に、第4実施例の場合でも、第3実施例と同様に垂直方向の走査を実行する手段を備え、高輝度の2次元走査が可能な画像表示装置を提供することができる。
【００３５】
（第5実施例）
図6は、本発明の第5実施例である装置を説明するための構成図である。図1と略同様の構成であり、同様の機能を持つ要素は同符号で示す。
【００３６】
本実施例では、第1の固定ミラー405と第2の固定ミラー406の配置角度や大きさなどを次の様な動作ができるように設定する。ここでは、対象面408上の複数の走査は、同一方向ではあっても該方向にずれた位置で行なわれる様にする。すなわち、第1の固定ミラー405を介する一方の走査の終点が、第2の固定ミラー406を介する他方の走査の始点に来る様にずらして、2つの走査が同一方向に直列的に繋がった単一の走査となる様に設計される。この様に、同一時間において同一方向ではあるが該方向にずらして繋がった走査を行なうことで、より広い範囲に渡る走査を実現できる。この場合、画像信号による光源101、102の変調を適切に制御して1走査線毎に連続した画像が形成される様にすれば、走査幅を広げた画像表示や画像形成を実行できる装置を提供することができる。ここでも、第3実施例と同様に垂直方向の走査を実行する手段を備え、2次元走査が可能な画像表示装置などを提供することができる。この様に、上述した各実施例は、技術的に可能な範囲で、種々に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明による実施形態と第1実施例を説明する構成図。
【図２】第1実施例の光走査装置の光偏向器を示す斜視図。
【図３】本発明による第2実施例を説明する構成図。
【図４】本発明による第3実施例を説明する構成図。
【図５】本発明による第4実施例を説明する構成図。
【図６】本発明による第5実施例を説明する構成図。
【図７】2次元の光偏向を行う2次元光偏向器を説明する構成図。
【図８】従来例を示す構成図。
【符号の説明】
【００３８】
101、201  光源装置（第1の光源）
102、202  光源装置（第2の光源）
103、211  第1の光ビーム
104、214  第2の光ビーム
105、205、305、405  第1の固定ミラー
106、206、306、406  第2の固定ミラー
107、207、602、1102  可動子
107a、207a、1107  第1の光偏向素子（第1の反射面）
107b、207b、1108  第2の光偏向素子（第2の反射面）
108、208、408  対象面（光表示面）
109  他の光偏向器（垂直方向に走査する手段）
1101  光偏向器
1103  ねじりバネ
1106  駆動手段（コイル）
1109  駆動手段（永久磁石）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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