(57)【要約】【課題】  仕様と異なるパフォーマンスボードの誤装着を防止できるパフォーマンスボード識別装置を提供する。【解決手段】      複数のヘッド実装カードが内蔵されるテストヘッドと、このテストヘッドと接続されるパフォーマンスボートとを備えたパフォーマンスボード識別装置において、  接続された前記パフォーマンスボードが、前記テストヘッドに内蔵された複数の前記ヘッド実装カードの組み合わせに基づく仕様と一致しないときは、前記テストヘッドに前記パフォーマンスボードをロックしないように制御するコントローラを備える。【選択図】                    図１
2009210311.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヘッド実装カードが内蔵されるテストヘッドと、このテストヘッドと接続されるパフォーマンスボートとを備えたパフォーマンスボード識別装置において、
接続される前記パフォーマンスボードが、前記テストヘッドに内蔵された複数の前記ヘッド実装カードの組み合わせに基づく仕様と一致しないときは、エラー表示を行なうコントローラを備えたことを特徴とするパフォーマンスボード識別装置。
【請求項２】
複数の前記ヘッド実装カードのコネクタの取り付け位置を統一したことを特徴とする請求項１記載のパフォーマンスボード識別装置。
【請求項３】
前記パフォーマンスボードはパフォーマンスボードの種別を判別するためのパフォーマンスボード種別設定回路を備え、
前記テストヘッドはこのパフォーマンスボード種別設定回路が実装された位置に基づいて接続されたパフォーマンスボードの種別を判別するパフォーマンスボード実装・種別検出回路を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のパフォーマンスボード識別装置。
【請求項４】
前記コントローラは、前記パフォーマンスボード実装・種別検出回路から出力されるパフォーマンスボードの種別に関する情報と、前記ヘッド実装カードから出力されるヘッド実装カードを識別するための信号とを比較することによって両者が一致するか否かを判断することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のパフォーマンスボード識別装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置のパフォーマンスボードの識別装置に関し、特に、仕様と異なるパフォーマンスボードの誤装着を防止できるパフォーマンスボード識別装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体試験装置は、被試験対象（以下ＤＵＴともいう）であるＩＣ、ＬＳＩ等に試験信号を与えることにより得られるＤＵＴの出力に基づき、ＤＵＴの良否の判定を行なうものである。このような半導体試験装置に関連する先行技術文献には次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３２１２３８号公報
【０００４】
ところで、このような半導体試験装置を用いてＤＵＴの良否判定を行なう際には、パフォーマンスボードと呼ばれる接続具を介し、半導体試験装置のテストヘッドをＤＵＴに接続することが行われている。
【０００５】
また、このパフォーマンスボードは、ＤＵＴの性質により、例えばＤＵＴに対してパワーを出力するものや、テストパタンを出力するものの他、レベル出力に用いられるもの等が存在する。しかし、このように要求される機能が複数存在するものの、同一種類のパフォーマンスボードでは、これらの機能のすべてを実現することはできないため、複数の種類の中から適切なものが選ばれて実装される。
【０００６】
以下、図面を参照して従来のパフォーマンスボード識別装置を説明する。図８は、従来のパフォーマンスボード識別装置の構成図である。パフォーマンスボード１は、図示しない電気部品が実装され、ＤＵＴの性質に基づいた種々の機能が搭載されたものであり、複数の種類の中から適切なものが実装されて使用される。また、パフォーマンスボードの下面（テストヘッド２側）には、ヘッド側コネクタ１２が、そして図示しないピンエレクトロニクスカード側にはカード側コネクタ１１が設けられている。
【０００７】
テストヘッド２には、図９に示すとおり多数のテストヘッド実装カード２２が設けられている他、パフォーマンスボードロックスイッチ５、パフォーマンスボード昇降機構（リフタ）６、パフォーマンスボードロック機構７、パフォーマンスボード実装検出回路３１、パフォーマンスボード昇降検出回路６１、パフォーマンスボードロック検出回路７１が設けられている。なお、パフォーマンスボード昇降機構６はエアシリンダ等で構成されている。
【０００８】
また、図９のヘッド実装カード２２は、ユーザー毎に構成が異なる場合があり、また納入後もＤＵＴが変更された場合には構成が変更される場合がある。また、テストヘッドの上面（パフォーマンスボード１側）には、パフォーマンスボード１と接続するためのヘッド側コネクタ２１が設けられている。
【０００９】
再び図８に戻り説明する。シーケンスコントロール回路４は、テストヘッド２に実装されたパフォーマンスボード実装検出回路３１等から出力された信号に基づいて、パフォーマンスボード１とテストヘッド２を接続するための制御を行なう。制御の具体的な内容については次の動作説明で行う。
【００１０】
図８の動作を説明する。図１０は、図８の動作を説明するためのフローチャートである。パフォーマンスボード１がテストヘッド２に実装されると、パフォーマンスボード実装検出回路３１が実装を検知し、制御線３３を介して実装が検出された旨の信号がシーケンスコントロール回路４に入力される（ステップＡ１、ステップＡ２）。
【００１１】
作業者は、パフォーマンスボード１をテストヘッド２に実装後、パフォーマンスボードロックスイッチ５をオンさせる（ステップＡ３）。パフォーマンスボードロックスイッチ５がオンされると制御線５１を介してロックされた旨の信号がシーケンスコントロール回路４に入力される。
【００１２】
シーケンスコントロール回路４は、制御線４１を介してパフォーマンスボード１を降下させる旨の信号をパフォーマンスボード昇降機構６へ出力する（ステップＡ４）。パフォーマンスボード昇降機構６は、制御線４１を介してパフォーマンスボードを降下させる旨の信号を受けると、昇降機構を動作させる。この動作により、パフォーマンスボード１は所定の位置まで下降する。
【００１３】
リフタの下降が完了すると、パフォーマンスボード昇降検出回路６１がメカニカルな昇降状態を検知し、制御線６２を介してパフォーマンスボード１の下降が完了した旨の信号をシーケンスコントロール回路４に出力する（ステップＡ５）。ただし、リフタの下降が確認できない場合にはパフォーマンスボードロックスイッチ５が押されているかの判断となる（ステップＡ８）。
【００１４】
シーケンスコントロール回路４は、制御線４２を介してパフォーマンスボード１をロックする旨の信号をパフォーマンスボードロック機構７に出力する。パフォーマンスボードロック機構７は、この信号を受けて図示しないコネクタロック機構を動作させる（ステップＡ６）。
【００１５】
コネクタロック機構が動作すると、ヘッド側コネクタ１２とヘッド側コネクタ２１がロックする。ロック動作が完了すると、パフォーマンスボードロック検出回路７１がロック状態を検知し、制御線７２を介してロックを検知した旨の信号をシーケンスコントロール回路４に対して出力し接続動作が完了する（ステップＡ７）。
【００１６】
このように、パフォーマンスボード１は、シーケンスコントロール回路４の制御に基づいてテストヘッド２と接続される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
ところで、作業者は、ヘッド実装カード２２が仕様に基づいて実装されているかを確認した後にテストヘッ２にパフォーマンスボード１を接続している。
【００１８】
しかし、従来はヘッド実装カード２２が仕様どおり実装されていることを作業者が目視により確認していたため、作業者による見間違えが発生し、その結果、パフォーマンスボードを実装する際にコネクタの形状が合わず破損したり、たとえコネクタは嵌合できても仕様と一致していないためにＤＵＴの測定ができなかったりする場合がある。
【００１９】
本発明は、これらの問題点に鑑みてなされたものであり、仕様と異なるパフォーマンスボードの誤装着を防止できるパフォーマンスボード識別装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
このような課題を達成するために請求項１記載の発明は、
複数のヘッド実装カードが内蔵されるテストヘッドと、このテストヘッドと接続されるパフォーマンスボートとを備えたパフォーマンスボード識別装置において、
接続される前記パフォーマンスボードが、前記テストヘッドに内蔵された複数の前記ヘッド実装カードの組み合わせに基づく仕様と一致しないときは、エラー表示を行なうコントローラを備えたことを特徴とするパフォーマンスボード識別装置。
【００２１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のパフォーマンスボード識別装置において、複数の前記ヘッド実装カードのコネクタの取り付け位置を統一する。
【００２２】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２に記載のパフォーマンスボード識別装置において、
前記パフォーマンスボードはパフォーマンスボードの種別を判別するためのパフォーマンスボード種別設定回路を備え、
前記テストヘッドはこのパフォーマンスボード種別設定回路が実装された位置に基づいて接続されたパフォーマンスボードの種別を判別するパフォーマンスボード実装・種別検出回路を備える。
【００２３】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のパフォーマンスボード識別装置において、
前記コントローラは、前記パフォーマンスボード実装・種別検出回路から出力されるパフォーマンスボードの種別に関する情報と、前記ヘッド実装カードから出力されるヘッド実装カードを識別するための信号とを比較することによって両者が一致するか否かを判断する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明では、次のような効果がある。作業者が搭載したパフォーマンスボードとテストヘッドの組み合わせが仕様と一致しなければ、両者がロックされず、また、その後の測定作業に移行できないようにしたので、パフォーマンスボードの誤装着を防止できる。
【００２５】
また、ヘッド実装カードの形状を全て統一したので、コネクタ破損が生じない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明のパフォーマンスボード識別装置の構成例について図１を参照して説明するが、図８と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。パフォーマンスボード１には、パフォーマンスボード種別設定回路１３が新たに設けられている。
【００２７】
また、テストヘッド２には、パフォーマンスボード実装検出回路３１の代わりにパフォーマンスボード実装・種別検出回路３６が設けられている。制御部８は、比較部８２とメモリ８３を備える。メモリ８３には、テストヘッド２から出力される識別情報が記憶され、この識別情報とパフォーマンスボード実装・種別検出回路３６から出力された情報が比較部８２で比較される。また、制御部８とシーケンスコントロール回路４でコントローラ８５を構成する。
【００２８】
図２の構成を説明する。ヘッド実装カード２２には、ヘッド側コネクタ１２と嵌合するコネクタ２１と、ヘッド実装カード識別信号出力回路２３が設けられており、この実装されたカードを識別するための信号が制御線２４を介して出力される。また、ヘッド側コネクタ２１が実装される位置は、各ヘッド実装カード２２で総て同じとする。
【００２９】
つづいて、図３の構成を説明する。パフォーマンスボード種別設定回路１３は、パフォーマンスボード１のテストヘッド２側に設けられるが、パフォーマンスボード１の種類によって設けられている位置がそれぞれ異なる。また、パフォーマンスボード種別設定回路１３は機構部品等で構成される。パフォーマンスボード実装・種別検出回路３６は、複数のフォトスイッチ３４とエンコーダで構成される。
【００３０】
そして、どのフォトスイッチ３４にパフォーマンスボード種別設定回路１３が挿入されたかにより、パフォーマンスボード１の種別を検出し、エンコーダ３５が制御線３３を介してパフォーマンスボードの種類に関する情報を出力する。
【００３１】
次に、図１の動作について図４を参照して説明する。ここで、図４は図１のフローチャートである。まず、制御部８は、図２のヘッド実装カード識別信号出力回路２３から制御線２４を介して出力される識別情報を読み込んでメモリ８３に記憶する（ステップＢ１）。
【００３２】
パフォーマンスボード１が搭載されると、図３のパフォーマンスボード実装・種別検出回路３６内のいずれかのフォトスイッチ３４が反応する。この情報を、エンコーダ回路３５が制御線３３を介してとして制御部８へ出力する（ステップＢ２）。
【００３３】
制御部８は、比較部８２で制御線３３を介して入力された情報と、総てのヘッド実装カード２２から制御線２４を介して出力される識別情報との比較判定を行う（ステップＢ３）。そして、比較判定を行った結果、情報が一致しなかった場合は、図示しない表示装置にエラー表示を行い、パフォーマンスボード１をテストヘッド２に接続する作業は行わない。なお、表示装置にエラー表示を行なう代わりにエラーを知らせる旨のブザーを鳴らしても良い。
【００３４】
一方、一致した場合には、制御部８は制御線８１を介してその旨の信号をシーケンスコントロール回路４に出力する。
【００３５】
シーケンスコントロール回路４は、制御線８１を介して両者が一致した旨の信号が入力されると、リフタの位置を調整しパフォーマンスボード１をテストヘッド２に接続させる動作を行う（ステップＢ４）。なお、接続させるシーケンスは従来方式と同様である。
【００３６】
作業者は、パフォーマンスボード１がテストヘッド２に実装されたのを確認した後に、パフォーマンスボードロックスイッチ５をオンさせる。パフォーマンススイッチ５がオンされると制御線５１を介してロックされた旨の信号がシーケンスコントロール回路４に入力される。シーケンスコントロール回路４は、制御線４１を介してリフタを下降させる旨の信号をパフォーマンスボード昇降機構６へ出力する。
【００３７】
パフォーマンスボード昇降機構６は、制御線４１を介してその旨の信号を受信し、昇降機構を動作させる。パフォーマンスボード１はパフォーマンスボード昇降機構６により指定位置まで下降する（ステップＢ６）。
【００３８】
また、下降が完了すると、パフォーマンスボード昇降検出回路６１がメカニカルな昇降状態を検知し（ステップＢ６１）、制御線６２を介してパフォーマンスボード１の下降が完了した旨の信号をシーケンスコントロール回路４に出力する。一方、下降が検出されない場合にはパフォーマンスボードロックスイッチ５が押されたか否かの判断を行なう（ステップＢ９）。
【００３９】
シーケンスコントロール回路４は、制御線４２を介してパフォーマンスボードをロックする旨の信号をパフォーマンスボードロック機構７へ出力する。パフォーマンスボードロック機構７は、制御線４２を介してこの信号を受信し、図示しないコネクタロック機構を動作させる（ステップＢ７）。
【００４０】
コネクタロック機構が動作すると、パフォーマンスボード１上のヘッド側コネクタ１２とテストヘッド２側のヘッド側コネクタ２１がロックする。パフォーマンスボードロック検出回路７１は、ロック状態を検知すると、制御線７２を介してロックを検知した旨の信号をシーケンスコントロール回路４に出力し、接続動作が完了する（ステップＢ８）。
【００４１】
このように、パフォーマンスボード１の種類毎に異なった位置に種別設定回路１３を設けると共に、識別情報が記憶されたヘッド実装カード識別信号出力回路２３を設けたので、仕様と異なるパフォーマンスボードをテストヘッドに装着しようとしてもエラーが表示される。
【００４２】
また、ヘッド側コネクタ２１を実装する位置を各ヘッド実装カード２２で共通としたので、仮に仕様と異なるパフォーマンスボードをテストヘッドに装着した場合であっても、コネクタ同士は勘合するので、コネクタが破損することはない。
【００４３】
次に、図５を参照して本発明の応用例を説明する。また、図５の構成で使用されているテストヘッド２に内蔵された図示しないヘッド実装カード２２（図２で説明）と、パフォーマンスボード実装・種別検出回路３６（図３で説明）の構成については、それぞれ図２、図３と同様なので説明を省略する。
【００４４】
また、図５の構成としては、パフォーマンスボード１に、カードロック機構１４、カードロック検出回路１５、パフォーマンスボード種別信号出力回路１６を新たに設けているが、これらの構成の説明は後述する動作説明において併せて行なう。
【００４５】
図５の動作を説明する。まず、テストヘッド２とパフォーマンスボード１を接続する。接続完了後に、ヘッド実装カード２２から制御線２４を介して出力された識別情報とパフォーマンスボード種別信号出力回路９から制御線９１を介して出力される情報を比較する。
【００４６】
そして、比較の結果が一致しない場合には、シーケンスコントロール回路４は、接続外部機器１１０に対してカードロックEN信号４６を出力しない。また、接続外部機器１１０は、カードロックEN信号４６が認識できない場合、シーケンスコントロール回路４に対してカード１００とパフォーマンスボード１を接続させる要求信号（カードロック要求信号１１１）を出力しない。
【００４７】
一方、比較結果が一致した場合、次の動作に以降する。接続外部機器１１０よりカード１００の認識信号（カード識別信号１１２）が、シーケンスコントロール回路４に入力される。なお、カード識別信号１１２は、カード１００に予め種別設定をしたメモリ等を設けこのメモリの内容を読み取って認識したり、カード１０を接続外部機器１１に取付ける際に機構部品位置を変えることで認識したりしてもよい。
【００４８】
シーケンスコントロール回路４は、カード識別信号１１２が入力されるとその情報を、制御線４４を介して制御部８に送信する。制御部８に設けられた比較部８は、この制御線４４を介して入力された情報と、ヘッド実装カード２２から制御線２４を介して入力される情報と、パフォーマンスボード種別信号出力回路１６から制御線９１を介して出力される情報を比較する。
【００４９】
そして、これらの情報が不一致の場合、上述したようにカードロックEN信号４６は送信されない。一方、これらの情報が一致した場合には、制御部８よりシーケンスコントロール回路４に制御線８１を介して情報が一致した旨の信号が送られる。
【００５０】
総ての情報が一致した状態で、接続外部機器１１０からカードロック要求信号１１１がシーケンスコントロール回路４に出力されると、シーケンスコントロール回路４はカードロック機構１４に制御線４５を介してカード１００をロックする旨の信号を出力する。
【００５１】
カードロック機構１４は、カード側コネクタ１１とカード側コネクタ１０１の接続をロックし、カードロック検出回路１５は、このロックの状態を検出してその旨を、制御線１２２を介してシーケンスコントロール回路４に出力する。
【００５２】
シーケンスコントロール回路４は、制御線１２２を介してこの旨の信号を受けて、接続外部機器１１０にカードロック完了信号４７を出力し、パフォーマンスボード１とカード１００の接続が完了する。
【００５３】
このように、パフォーマンスボード種別信号出力回路１６をパフォーマンスボード内に実装することで、テストヘッド２の内部に図３で説明したフォトスイッチ３４等の検出回路を必要としない。また、フォトカプラ３４を必要としないので、テストヘッド２の構成の多様化によりヘッド実装カード２２の種類が増加しても、改造が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明によるパフォーマンスボード識別装置の構成図である。
【図２】本発明のヘッド実装カードの構成図である。
【図３】パフォーマンスボードとパフォーマンスボード実装・種別検出回路の接続状態を説明するための図面である。
【図４】図１のフローチャートである。
【図５】本発明の応用例の構成図である。
【図６】図５のフローチャートである。
【図７】図５のフローチャートである。
【図８】従来のパフォーマンスボード識別装置の構成図である。
【図９】テストヘッド２の構成図である。
【図１０】図８のフローチャートである。
【符号の説明】
【００５５】
１        パフォーマンスボード
２        テストヘッド
４        シーケンスコントロール回路
５        パフォーマンスボードロックスイッチ
６        パフォーマンスボード昇降機構
７        パフォーマンスボードロック機構
８        制御部
１２      ヘッド側コネクタ
１３      パフォーマンスボード種別設定回路
１４      カードロック機構
１５      カードロック検出回路
１６      パフォーマンスボード種別信号出力回路
２１      ヘッド側コネクタ
３６      パフォーマンスボード実装検出回路
６１      パフォーマンスボード昇降検出回路
７１      パフォーマンスボードロック検出回路
８２      比較部
８３      メモリ
１１０    接続外部機器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009210311.tif 000009
【図８】
2009210311.tif 000010
【図９】
2009210311.tif 000011
【図１０】
2009210311.tif 000012