(57)【要約】【課題】高温室１２内全体を均一かつ効率良く照明することができて高温室１２内を容易に視認することができ、また熱影響を最小限に抑えることができて長期信頼性を保つことができ、さらに、意匠性にも優れた高温装置照明システムを提供する。【解決手段】チャンバ１１内に略密閉状態の高温室１２が形成された高温装置１において、高温室１２の内部照明用として、光源部２１と、この光源部２１からの光を導光して発光する導光発光部２２とを備え、導光発光部２２はチャンバ１１の高温室１２を形成する互いに対向する隔壁１１ａ，１１ｂ間にわたって架設され、光源部２１は導光発光部２２の架設方向の端面と対向した隔壁１１ａ，１１ｂの内部に配設されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内に略密閉状態の高温室が形成された高温装置における前記高温室内部を照明する高温装置照明システムであって、光源部と、この光源部からの光を導光して発光する導光発光部とを備え、前記導光発光部は前記チャンバの高温室を形成する互いに対向する隔壁間にわたって架設され、前記光源部は前記導光発光部の架設方向の少なくとも一方端面と対向した隔壁内部に配設されていることを特徴とする高温装置照明システム。
【請求項２】
前記導光発光部は、当該導光発光部の架設方向に沿った隔壁の略全体を覆う形状を有するとともに、この隔壁に対して一体的に接合されていることを特徴とする請求項１記載の高温装置照明システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバ内に略密閉状態の高温室が形成された高温装置において、高温室内部を照明するための高温装置照明システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、各種の材料や半導体デバイスといった工業製品についてその特性調査を実施する際には、エイジングの効果を短時間で確認するために促進試験が行われることがある。この促進試験を行う場合、チャンバ内に略密閉状態の高温室が形成された高温装置が適用され、高温室内に被試験物を配置して所定の温度サイクルの下で各種項目の試験が実施される。
【０００３】
ところで、このような高温装置を用いて促進試験を行う場合、高温室内に配置された被試験物の運転状態を目視で容易に観察できるようにするため、観察窓とともに高温室内を照明する照明器具が必要となる。この場合、高温装置の高温室内に、単純に蛍光灯や白熱ランプ等の照明器具を配置すると、これらの照明器具が熱影響を直接に受けて短時間の内に故障するなどの不具合を生じる。
【０００４】
そこで、このような熱影響を避けるために、従来、例えば図１０および図１１に示すように、チャンバ１１に設けた観察窓１４に近接して照明器具２を配置し、観察窓１４を通して高温室１２内を照明するようにしている。なお、図中、符号１３は温度制御盤の収納配置部、１６は操作パネル、１７は扉の把手である。
【０００５】
ところが、このように、照明器具２をチャンバ１１の外部に配置した構成であると、観察窓１４にはめ込まれたガラス板等の透明仕切板によって照明光が反射されるので、観察窓１４を通して高温室１２内を視認し難く、また、高温室内部を照明する効率が低下する。しかも、観察窓１４に近接して照明器具２が配置さていると意匠性も良くない。
【０００６】
一方、他の従来技術では、チャンバ１１の隔壁を内外に貫通する貫通穴を設け、この貫通穴にライトガイドを挿通し、チャンバ１１外部に設けた光源からの光をライトガイドを通じてチャンバ１１内に導入することで高温室１２内を照明できるようにした装置も提案されている（例えば、下記の特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２５０８２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献１記載の従来技術のように、チャンバ外部に設けた光源からの光をライトガイドを通じてチャンバ内に導入する構成の場合、観察窓に設けた透明仕切板によって照明光が反射される恐れはないものの、高温室内の照明領域が限られるので、高温室全体を均一に照明することができず、高温室内に配置された被試験物の運転状態を全体的に確認するのに手間取ることになる。
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、高温室内全体を均一かつ効率良く照明することができて観察窓を通して高温室内を容易に視認することができ、しかも、熱影響を最小限に抑えることができて長期信頼性を保つことができ、さらに、意匠性にも優れた高温装置照明システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明の請求項１記載の高温装置照明システムにあっては、チャンバ内に略密閉状態の高温室が形成された高温装置において、高温室内部を照明するに際して、光源部と、この光源部からの光を導光して発光する導光発光部とを備え、前記導光発光部は、前記チャンバの高温室を形成する互いに対向する隔壁間にわたって架設され、前記光源部は、前記導光発光部の架設方向の少なくとも一方端面と対向した隔壁内部に配設されていることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項２記載の高温装置照明システムにあっては、請求項１記載の発明の構成において、前記導光発光部は、前記導光発光部は、当該導光発光部の架設方向に沿った隔壁の略全体を覆う形状を有するとともに、この隔壁に対して一体的に接合されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の発明に係る高温装置照明システムによれば、導光発光部は高温室内に臨んだ状態でチャンバの互いに対向する隔壁間にわたって装着されているので、高温室内全体を均一かつ効率良く照明することができ、観察窓を通して高温室内の運転状態を容易に視認することができる。しかも、光源部は隔壁内部に配設されているので、光源部が熱影響を受けるのを最小限に抑えることができて長期信頼性を保つことができる。また、光源部や導光発光部はチャンバ外部に露出していなので、外観がすっきりとして意匠性も向上する。
【００１２】
また、請求項２記載の発明に係る高温装置照明システムよれば、導光発光部は、チャンバの隔壁の略全体を覆って隔壁に対して一体的に接合されているので、壁面全体が発光し、高温室内を一層均一かつ効率良く照明することができ、このためさらに高温室内の運転状態の視認が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳しく説明する。
【００１４】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１における高温装置照明システムの構成を示す正面断面図、図２は同システムの側面断面図、図３は同システムの照明器具の要部を示す縦断面図、図４は図３のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図１０および図１１に示した従来技術と対応する構成部分には同一の符号を付す。
【００１５】
この実施の形態１の高温装置照明システムは、高温装置１と照明器具２とを備える。ここに、高温装置１は、チャンバ１１内に略密閉状態の高温室１２が形成されるとともに、この高温室１２の下部には高温室１２の温度制御用の図示しない温度制御盤が配置された収納配置部１３が設けられ、さらに、高温室１２を構成するチャンバ１１の一つの隔壁には観察窓１４が設けられている。なお、チャンバ１１の高温室１２内に臨む内面は、熱放射効率を高めるために例えばステンレス鋼を鏡面仕上げするなどして形成されている。
【００１６】
一方、照明器具２は、高温室１２内部を照明するもので、左右一対の光源部２１と、これらの光源部２１からの光を導光して発光する導光発光部２２とを有する。各光源部２１は、本例では、ＬＥＤからなる光源と、各光源の光を反射する凹面状の反射ミラーとからなり、これらの光源部２１はチャンバ１１の高温室１２を構成する互いに対向する左右の隔壁１１ａ，１１ｂ内の天井側上部に埋設されている。
【００１７】
また、導光発光部２２は、円筒状に形成された導光チューブ２６を有し、この導光チューブ２６の内周側の一部には光拡散用の拡散シート２７が円弧状に貼り付けられ、また、導光チューブ２６の外周側には、その一部に外部への漏れ光を反射する反射シート２８が円弧状に貼り付けられ、さらに、その外周側には導光チューブ２６と同心状に円筒状の外郭部材２９が設けられている。
【００１８】
そして、この導光発光部２２は、拡散シート２７と反射シート２８の内周面側が高温室１２の内方側に向くように配置された状態で、高温室１２内を通してチャンバ１１の互いに対向する隔壁１１ａ，１１ｂ間にわたって架設されており、その架設方向の各端面が隔壁１１ａ，１１ｂ内に配置された各光源部２１と対向している。
【００１９】
したがって、この照明器具２においては、各光源部２１から出射された光が導光発光部２２の導光チューブ２６内に導入されると、入射角度の小さい光は導光チューブ２６の内面によって反射されつつ軸方向に沿って伝搬される。また、拡散シート２７で拡散反射された光の内、入射角度の小さい光は導光チューブ２６の内面によって反射されつつ同じく軸方向に沿って伝搬されるが、入射角度の大きい光は外部への漏れ光として発光し、その漏れ光の内の一部は反射シート２８で反射されて導光チューブ２６および外郭部材２９を通過して高温室１２の内方側に向けて放射される。
【００２０】
このように、この実施の形態１の高温装置照明システムによれば、導光発光部２２は高温室１２内に臨んだ状態でチャンバ１１の互いに対向する隔壁１１ａ，１１ｂ間にわたって装着されているので、高温室１２内全体を均一かつ効率良く照明することができ、観察窓１４を通して高温室１２内の運転状態を容易に視認することができる。しかも、光源部２１は隔壁１１ａ，１１ｂの内部に配設されているので、光源部２１が熱影響を受けるのを最小限に抑えることができて長期信頼性を保つことができる。また、光源部２１や導光発光部２２はチャンバ１１外部に露出していなので、外観がすっきりとして意匠性も向上する。
【００２１】
（実施の形態２）
図５は本発明の実施の形態２における高温装置照明システムの構成を示す正面断面図、図６は同システムの側面断面図、図７は同システムの要部を拡大して示す正面断面図であり、図１ないし図４に示した実施の形態１と対応する構成部分には同一の符号を付す。
【００２２】
この実施の形態２の高温装置照明システムは、照明器具２の構成が実施の形態１の場合と異なる。すなわち、この実施の形態２の照明器具２は、光源部２１と、この光源部２１からの光を導光して発光する導光発光部２２とを備える。
【００２３】
各光源部２１は、本例では、ＬＥＤからなる複数の光源２３と、これらの光源２３の光を反射する凹面状の反射ミラー２４とからなり、各光源２３はチャンバ１１の高温室１２を構成する互いに対向する左右の各隔壁１１ａ，１１ｂ内の天井側上部において奥行き方向に沿って順次埋設されている。
【００２４】
また、導光発光部２２は、チャンバ１１の天井側の隔壁１１ｃの略全体を覆う大きさに形成されたもので、ガラスやアクリル樹脂などでできた平板状の導光板３１と、この導光板３１を覆う拡散フィルム３２と、この拡散フィルム３２を覆う耐熱性の透明パネル３３とを順次積層して構成されている。そして、この導光発光部２２は、透明パネル３３側が高温室１２の内方側に向くように配置された状態で、高温室１２を構成するチャンバ１１の互いに対向する隔壁１１ａ，１１ｂ間にわたって架設されており、その架設方向の各端面が隔壁内の各光源部２１と対向している。さらに、この導光発光部２２の導光板３１はチャンバ１１の天井側の隔壁１１ｃに対して一体的に接合されている。
【００２５】
したがって、この照明器具２においては、光源部２１から出射された光が導光発光部２２の導光板３１内に導入されると、入射角度の小さい光は導光板３１内で反射されつつその端部まで伝搬される。また、拡散フィルム３２で拡散反射された光の内、入射角度の小さい光は導光板３１内で反射されつつその端部まで伝搬されるが、入射角度の大きい光は外部への漏れ光として発光し、その漏れ光の内の一部は拡散フィルム３２および透明パネル３３を通過して高温室１２の内方側に向けて放射される。また、チャンバ１１の高温室１２内に臨む各内面は、熱放射効率を高めるために通常鏡面状に形成されているので、漏れ光の一部は、天井側の隔壁１１ｃの内面で反射されて同じく拡散フィルム３２および透明パネル３３を通過して高温室１２の内方側に向けて放射される。
【００２６】
このように、この実施の形態２の高温装置照明システムよれば、導光発光部２２は、チャンバ１１の天井側の隔壁１１ｃの略全体を覆って一体的に接合されているので、天井の略全体が発光し、高温室１２内を一層均一かつ効率良く照明することができ、このため、さらに高温室１２内の運転状態の視認が容易となる。
【００２７】
なお、上記の実施の形態２では、チャンバ１１の天井側にのみ照明器具２を配置しているが、これに限らず、例えば図８に示すように、天井側の照明器具２に対向した底部側にも照明器具２を配置することもできる。あるいは、図９に示すようにチャンバ１１の高温室１２の左右側部の互いに対向する箇所に照明器具２を配置した構成とすることも可能である。また、この実施の形態２では、光源２３としてＬＥＤを使用しているが、隔壁の幅方向に沿って管状の蛍光灯を配置することも可能である。さらに、実施の形態２では、導光発光部２２の導光板３１は平板状に形成されているが、蒲鉾形に盛り上がった形状のものであってもよい。
【００２８】
また、上記の実施の形態１，２では、互いに対向する隔壁１１ａ，１１ｂのそれぞれに光源部２１を設けているが、高温室１２内を十分な明るさに発光保持できるのであれば、隔壁１１ａ，１１ｂの片側にのみ光源部２１を設けることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態１における高温装置照明システムの構成を示す正面断面図である。
【図２】同システムの側面断面図である。
【図３】同システムの照明器具の要部を示す縦断面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２における高温装置照明システムの構成を示す正面断面図である。
【図６】同システムの側面断面図である。
【図７】同システムの要部を拡大して示す正面断面図である。
【図８】本発明の実施の形態２における高温装置照明システムの構成の変形例を示す正面断面図である。
【図９】本発明の実施の形態２における高温装置照明システムの構成の他の変形例を示す正面断面図である。
【図１０】従来の高温装置照明システムの構成を示す斜視図である。
【図１１】同システムの構成を示す側面断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１    高温装置
１１    チャンバ
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ  隔壁
１４    観察窓
２    照明器具
２１    光源部
２２    導光発光部
２３    光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2009105018.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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