(57)【要約】【課題】クリーンルームの空間を有効活用でき、クリーンルーム内のフロアーに空きスペースが無く、保管棚を設置できない場合にも増設が可能なストッカー装置を提供する。【解決手段】キャリア１を平面的に保管する保管棚１４を有する保管棚部１０と、保管棚部１０の上方に配設され、キャリア１をチャッキングするチャック機構８１、８２をＸＹ軸方向に駆動されるホイスト機構部８０を有する移載ハンドリング部５０と、前工程より保管棚部１０にキャリア１を搬送又は保管棚部１０よりキャリア１を次工程に搬送するホイスト装置１４２、１４３とを備え、保管棚部１０の枠体１３上に移載ハンドリング部５０の枠体５１が一体的に固定され、移載ハンドリング部５０の枠体５１は天井２に吊り下げられている。【選択図】      図１
2009051600.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を平面的に保管する保管棚を有する保管棚部と、この保管棚部の上方に配設され、被搬送物をチャッキングするチャック機構をＸＹ軸方向に駆動されるホイスト機構部を有する移載ハンドリング部と、前工程より前記保管棚部に被搬送物を搬送又は前記保管棚部より被搬送物を次工程に搬送するホイスト装置とを備え、前記チャック機構は、前記ホイスト装置より保管棚部の入出庫ポートに搬送された被搬送物を保管棚に移載又は保管棚上の被搬送物を入出庫ポートに搬送し、前記保管棚部の枠体上に前記移載ハンドリング部の枠体が一体的に固定され、前記移載ハンドリング部の枠体は天井に吊り下げられていることを特徴とするストッカー装置。
【請求項２】
前記入出庫ポートは、前記ホイスト装置と前記保管棚部とで被搬送物を受け渡しするホイスト装置との受け渡し部と、この受け渡し部に隣接し、前記ホイスト機構部で被搬送物を受け渡しするホイスト機構部の受け渡し部とを有し、前記入出庫ポートには、被搬送物を位置決め載置して前記ホイスト装置との受け渡し部と前記ホイスト機構部の受け渡し部とに往復駆動されるスライドテーブルを有することを特徴とする請求項１記載のストッカー装置。
【請求項３】
被搬送物を平面的に保管する保管棚を有し、天井に吊り下げられた保管棚部と、この保管棚部の上方で天井に支持して配設され、被搬送物をチャッキングするチャック機構をＸＹ軸方向に駆動されるホイスト機構部と、前工程より前記保管棚部に被搬送物を搬送又は前記保管棚部より被搬送物を次工程に搬送するホイスト装置とを備え、前記チャック機構は、前記ホイスト装置より保管棚部の入出庫ポートに搬送された被搬送物を保管棚に移載又は保管棚上の被搬送物を入出庫ポートに搬送することを特徴とするストッカー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリアを一時的に保管するストッカー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路、液晶表示装置などの製造はクリーンルーム内で行われ、例えば基板や半導体ウェハーの製品をキャリアに収納して各工程に送っている。前の工程から次の工程にキャリアを搬送する場合、時間調整等のためにストッカー装置に一時的に保管するようにしている。ストッカー装置は、キャリアを保管する保管棚と、保管棚にキャリアを受け渡すホイスト装置とからなっている。ホイスト装置には種々のタイプがあるが、天井搬送車を用いたものとして例えば特許文献１〜３等が挙げられる。
【特許文献１】特開２００４−１４７５０号公報
【特許文献２】特開２００５−１５０１２９号公報
【特許文献３】特開２００７−２２６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来技術は、保管棚が縦型であり、クリーンルームのフロアーに設置するものである。このため、クリーンルームのフロアーに空きスペースが無くては設置することができなかった。
【０００４】
本発明の課題は、クリーンルームの空間を有効活用でき、クリーンルーム内のフロアーに空きスペースが無く、保管棚を設置できない場合にも増設が可能なストッカー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、被搬送物を平面的に保管する保管棚を有する保管棚部と、この保管棚部の上方に配設され、被搬送物をチャッキングするチャック機構をＸＹ軸方向に駆動されるホイスト機構部を有する移載ハンドリング部と、前工程より前記保管棚部に被搬送物を搬送又は前記保管棚部より被搬送物を次工程に搬送するホイスト装置とを備え、前記チャック機構は、前記ホイスト装置より保管棚部の入出庫ポートに搬送された被搬送物を保管棚に移載又は保管棚上の被搬送物を入出庫ポートに搬送し、前記保管棚部の枠体上に前記移載ハンドリング部の枠体が一体的に固定され、前記移載ハンドリング部の枠体は天井に吊り下げられていることを特徴とする。
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、上記請求項１において、前記入出庫ポートは、前記ホイスト装置と前記保管棚部とで被搬送物を受け渡しするホイスト装置との受け渡し部と、この受け渡し部に隣接し、前記ホイスト機構部で被搬送物を受け渡しするホイスト機構部の受け渡し部とを有し、前記入出庫ポートには、被搬送物を位置決め載置して前記ホイスト装置との受け渡し部と前記ホイスト機構部の受け渡し部とに往復駆動されるスライドテーブルを有することを特徴とする。
【０００７】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、被搬送物を平面的に保管する保管棚を有し、天井に吊り下げられた保管棚部と、この保管棚部の上方で天井に支持して配設され、被搬送物をチャッキングするチャック機構をＸＹ軸方向に駆動されるホイスト機構部と、前工程より前記保管棚部に被搬送物を搬送又は前記保管棚部より被搬送物を次工程に搬送するホイスト装置とを備え、前記チャック機構は、前記ホイスト装置より保管棚部の入出庫ポートに搬送された被搬送物を保管棚に移載又は保管棚上の被搬送物を入出庫ポートに搬送することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１及び３によれば、保管棚は平面的に形成され、天井に吊り下げられているので、クリーンルームの空間を有効活用でき、クリーンルーム内のフロアーに空きスペースが無く、保管棚を設置できない場合にも増設が可能である。また、請求項２によれば、スライドテーブルでキャリアをホイスト装置との受け渡し部とホイスト機構部の受け渡し部とに搬送できるので、キャリアをスムーズに効率良く受け渡しすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明のストッカー装置の一実施の形態を図１乃至図５により説明する。本実施の形態は、図１及び図２に示すように、キャリア１を保管する保管棚部１０と、この保管棚部１０にキャリア１を受け渡す移載ハンドリング部５０と、保管棚部１０の入庫ポート１１Ａ、１１Ｂ及び出庫ポート１２Ａ、１２Ｂにキャリア１を受け渡すホイスト装置１４２、１４３とからなっている。そして、保管棚部１０及び移載ハンドリング部５０は天井２に吊るされている。
【００１０】
まず、保管棚部１０の構造について説明する。保管棚部１０は、上方が完全に開放し、周囲及び底部が枠組みされた枠体１３となっている。枠体１３は、高さがキャリア１より高く形成されており、内側がキャリア１の保管部分となっている。本実施の形態は、枠体１３の四隅の奥側が入庫ポート１１Ａ、１１Ｂとなっており、手前側が出庫ポート１２Ａ、１２Ｂとなっている。入出庫ポート１１Ａ、１１Ｂ及び１２Ａ、１２Ｂの内側部分は保管棚１４となっている。本実施の形態においては、保管棚１４は、Ｘ軸方向（横）に４個、Ｙ軸方向（縦）に１２個、合計４×１２＝４８個を載置できる棚となっている。
【００１１】
入出庫ポート１１Ａ、１１Ｂ及び１２Ａ、１２Ｂは、図３に示す構造となっている。なお、図３は出庫ポート１２Ａの部分を示すが、他の入出庫ポート１１Ａ、１１Ｂ及び１２Ｂも同様の構造となっている。入出庫ポート１１Ａ、１１Ｂ及び１２Ａ、１２Ｂには移動式のスライドテーブル２０が配設されている。キャリア１の底部には図示しない位置決め穴が形成されており、スライドテーブル２０には、キャリア１の位置決め穴に係合する位置決めピン２１と、キャリア１の在荷を検出する在荷センサー２２とが設けられている。スライドテーブル２０の下方両側部は、保管棚１４の方向に向けて平行に配設されたガイドレール２３、２４にスライド可能に嵌挿されており、ガイドレール２３、２４は枠体１３に固定されたレール固定板２５、２６に固定されている。外側のレール固定板２５の両端部上には、プーリブラケット２７、２８が固定されており、プーリブラケット２７、２８にはタイミングプーリ２９、３０が回転自在に支承されている。タイミングプーリ２９には、レール固定板２５に固定された駆動モータ３１の出力軸が連結されている。タイミングプーリ２９、３０には、両端がスライドテーブル２０に固定されたタイミングベルト３２が巻回されている。
【００１２】
スライドテーブル２０には位置決め検出板３３が固定されており、この位置決め検出板３３を検出するテーブル位置センサー３４、３５がレール固定板２５に固定されている。ここで、テーブル位置センサー３４は、キャリア１をスライドテーブル２０と図１に示すホイスト装置１４２、１４３とに受け渡す位置にスライドテーブル２０が位置した場合を検出するように設けられている。テーブル位置センサー３５は、キャリア１をスライドテーブル２０と後記する移載ハンドリング部５０のホイスト機構部８０とに受け渡す位置にスライドテーブル２０が位置した場合を検出するように設けられている。
【００１３】
図１及び図２に示す保管棚１４の枠体１３の底板上には、図４に示すように、４個のキャリア１を位置決め載置する固定テーブル４０が敷き詰められている。本実施の形態においては、保管棚１４は４８個の棚よりなるので、固定テーブル４０は１２個設けられている。固定テーブル４０には、キャリア１の位置決め穴に係合する位置決めピン４１と、キャリア１の在荷を検出する在荷センサー４２とが設けられている。
【００１４】
次に移載ハンドリング部５０の構造を図１、図２及び図６〜図８により説明する。図２に示すように、移載ハンドリング部５０の枠体５１は、下方が完全に開放し、周囲及び上部が枠組みされており、保管棚部１０の枠体１３の上端に固定されている。枠体５１は、入出庫ポート１１Ａ、１１Ｂ及び１２Ａ、１２Ｂの端部側のホイスト装置１４２、１４３の走行経路を除いた大きさとなっており、図１に示すように、吊り棒５２を介して天井２より吊り下げられている。
【００１５】
図２に示す枠体５１の奥側と手前側の内側で中間部には、図５に示すように、Ｙ軸方向に伸びたＹ軸ガイドレール５３、５４が固定されている。Ｙ軸ガイドレール５３、５４にはＹ軸スライダ５５、５６が摺動自在に嵌挿されている。Ｙ軸スライダ５５、５６には、Ｘ軸方向に伸びたＸ軸ガイドレール５７、５８が固定されており、Ｘ軸ガイドレール５７、５８には可動テーブル５９が摺動自在に嵌挿されている。
【００１６】
Ｙ軸スライダ５５、５６にはプーリ支持ブラケット６０、６１が固定されており、プーリ支持ブラケット６０、６１にはタイミングプーリ６２、６３が回転自在に支承されている。タイミングプーリ６２にはＹ軸スライダ５５に固定された駆動モータ６４の出力軸が連結されている。タイミングプーリ６２、６３には、両端が可動テーブル５９に固定されたタイミングベルト６５が巻回されている。従って、駆動モータ６４が駆動されると、可動テーブル５９はＸ軸ガイドレール５７、５８に沿ってタイミングベルト６５によってＸ軸方向に移動させられる。
【００１７】
Ｙ軸スライダ５６にはプーリ支持ブラケット７０が固定されており、プーリ支持ブラケット７０にはタイミングプーリ７１とアイドラプーリ７２、７３が回転自在に支承されている。タイミングプーリ７１にはＹ軸スライダ５６に固定された駆動モータ７４の出力軸が連結されている。タイミングプーリ７１に対応してＹ軸ガイドレール５４の両端部分にはベルト固定プレート７５、７６が固定されており、ベルト固定プレート７５、７６にはタイミングベルト７７の両端がそれぞれ固定されている。タイミングプーリ７１とアイドラプーリ７２、７３には、両端がベルト固定プレート７５、７６に固定されたタイミングベルト７７が掛け渡されている。従って、駆動モータ７４が駆動されると、可動テーブル５９はＹ軸方向に移動させられる。
【００１８】
可動テーブル５９にはホイスト機構部８０が固定されており、ホイスト機構部８０は、図６及び図７に示すように、キャリア１をチャッキングするチャック開閉機構部８１と、チャック開閉機構部８１を上下駆動させるチャック上下駆動部８２と、フラットケーブル機構部８３とからなっている。
【００１９】
チャック開閉機構部８１は、図６に示すように、チャック支持板８４の下面に平行に配設されたガイドレール８５、８６が固定されており、ガイドレール８５、８６にはスライダ８７、８８、８９及び９０、９１、９２が摺動自在に嵌挿されている。スライダ８７、８８、９０にはチャック固定板９３、９４が固定されており、スライダ８９、９１、９２はチャック固定板９５、９６が固定されている。チャック固定板９３、９４及び９５、９６には相対向して配設されたチャック９７、９８が固定されている。チャック９７、９８には位置検出板９９、１００が固定されており、位置検出板９９、１００に対応してチャック支持板８４にはチャック位置センサー１０１、１０２が固定されている。
【００２０】
チャック支持板８４のガイドレール８５、８６間には、チャック開閉モータ１０３が固定されており、チャック開閉モータ１０３の出力軸にはピニオン１０４が固定されている。チャック固定板９３、９６には、ピニオン１０４に噛合するラック１０５、１０６が固定されている。図６はチャック９７、９８が開放した状態を示す。この状態よりチャック開閉モータ１０３が駆動してピニオン１０４が矢印Ａ方向に回転すると、ラック１０５、１０６が相反する矢印Ｂ、Ｂ’方向に移動する。これにより、チャック固定板９３、９６を介してチャック９７、９８が閉じる方向に移動してキャリア１をチャックすることができる。この状態よりチャック開閉モータ１０３が前記と逆方向に回転すると、チャック９７、９８が開く方向に移動してチャックしているキャリア１を開放する。
【００２１】
次にチャック上下駆動部８２の構造を図７により説明する。図６に示すチャック支持板８４にはスチールベルト１１１、１１２の下端が固定されており、スチールベルト１１１、１１２の上端は上下駆動部支持板１１３の上方に配設されたベルト巻き取りリール１１４、１１５に巻回して固定されている。ベルト巻き取りリール１１４、１１５の軸部は、上下駆動部支持板１１３に固定された支持板１１６、１１７、１１７に回転自在に支承されており、ベルト巻き取りリール１１４、１１５の一方の軸部には、マイタギヤ１１８、１１９が固定されている。マイタギヤ１１８、１１９側には、ベルト巻き取りリール１１４、１１５の軸心に直角にギヤ軸１２０が配設されており、ギヤ軸１２０は上下駆動部支持板１１３に固定された支持板１２１、１２１、１２１に回転自在に支承されている。ギヤ軸１２０には、マイタギヤ１１８、１１９に噛合するマイタギヤ１２２、１２３と、後記するマイタギヤ１２５に噛合するマイタギヤ１２４が固定されている。マイタギヤ１２５は、上下駆動部支持板１１３に固定されたベルト巻き取り駆動モータ１２６の出力軸に固定されている。
【００２２】
図６及び図７は、チャック開閉機構部８１即ちチャック９７、９８が下降した状態を示す。この状態よりベルト巻き取り駆動モータ１２６が駆動してマイタギヤ１２５が矢印Ｃ方向に回転すると、マイタギヤ１２４、１２２、１２３が矢印Ｄ方向に回転し、マイタギヤ１１８、１１９が相反する矢印Ｅ、Ｅ’方向に回転する。これにより、ベルト巻き取りリール１１４、１１５がスチールベルト１１１、１１２を巻き上げ、チャック開閉機構部８１、即ちチャック９７、９８は上昇する。この状態より、ベルト巻き取り駆動モータ１２６が前記と逆方向に回転すると、前記と逆にチャック９７、９８は下降する。
【００２３】
次にフラットケーブル機構部８３の構造を図７及び図８により説明する。チャック開閉機構部８１は、前記したように、チャック上下駆動部８２によって上下動させられる。このため、チャック開閉機構部８１のチャック開閉モータ１０３を駆動する信号を配信するフラットケーブル１３０を巻き取るようになっている。配線が形成されたフラットケーブル１３０の一端には、図示しないコネクタが設けられており、このコネクタはチャック開閉モータ１０３の配線に接続されたコネクタに接続される。フラットケーブル１３０の他端は上下駆動部支持板１１３の上方に配設されたケーブル巻き取りリール１３１に巻回されている。
【００２４】
ケーブル巻き取りリール１３１の中心軸１３２は、チャック支持板８４に固定された支持板１３３に固定されている。中心軸１３２には板バネ１３４の一端が固定されており、板バネ１３４の他端はケーブル巻き取りリール１３１に固定されている。ケーブル巻き取りリール１３１には前記フラットケーブル１３０の他端部が固定され、フラットケーブル１３０の他端部には、コネクタ１３５を介してスリップリング１３６の回転側配線に接続され、スリップリング１３６の固定側配線１３７は図示しない制御部に接続されている。スリップリング１３６は支持板１３８に固定され、支持板１３８はチャック支持板８４に固定されている。
【００２５】
フラットケーブル１３０もチャック開閉機構部８１の上昇及び下降によって移動させられ、弛みが生じる。この弛みは板バネ１３４が巻き込まれることにより除かれる。即ち、フラットケーブル１３０の一端はケーブル巻き取りリール１３１に固定されているので、ケーブル巻き取りリール１３１が板バネ１３４の反時計方向に回転すると、フラットケーブル１３０が巻き取られる。
【００２６】
最後に、ホイスト装置１４２、１４３を図１により説明する。ホイスト装置１４２、１４３は、Ｘ軸方向に伸びて天井２に固定されたガイドレール１４４、１４５に沿って走行するようになっている。ホイスト装置１４２、１４３は、公知の構造であり、キャリア１をチャックするチャック部１４６が上下駆動されるようになっている。
【００２７】
次に作用について説明する。まず、ある工程が終り、ホイスト装置１４３で搬送してきたキャリア１を入庫ポート１１Ａに供給し、このキャリア１を保管棚１４に保管する場合について説明する。この場合、入庫ポート１１Ａのスライドテーブル２０は図２及び図３において右側に移動した状態にある。ホイスト装置１４３がガイドレール１４５に沿って移動して入庫ポート１１Ａの上方に位置すると、チャック部１４６が下降してキャリア１の図示しない位置決め穴を位置決めピン２１に位置決めする。次にチャック部１４６が開くことにより、キャリア１はスライドテーブル２０上に載置される。その後、ホイスト装置１４３は上昇する。
【００２８】
スライドテーブル２０上にキャリア１が載置されると、図３に示す在荷センサー２２がオンとなる。これにより、駆動モータ３１が駆動してタイミングベルト３２が回転し、スライドテーブル２０がガイドレール２３、２４に沿って入庫ポート１１Ａの左側のホイスト機構部８０への受け渡し位置に移動する。またスライドテーブル２０にキャリア１が載置されると同時に、図２に示す駆動モータ６４及び７４が駆動する。この状態においては、ホイスト機構部８０はチャック９７、９８が開き、また前記したようにベルト巻き取り駆動モータ１２６が矢印Ｃ方向に回転してスチールベルト１１１、１１２がベルト巻き取りリール１１４、１１５に巻き上げられてチャック９７、９８が上昇した状態にある。
【００２９】
駆動モータ６４が駆動すると、前記したようにタイミングプーリ６５が回転して可動テーブル５９と共にホイスト機構部８０がＸ軸方向に移動する。駆動モータ７４が駆動すると、前記したようにタイミングベルト７７が回転して可動テーブル５９と共にホイスト機構部８０がＹ軸方向に移動する。即ち、駆動モータ６４及び７４の駆動により、ホイスト機構部８０は任意の位置に移動させられる。駆動モータ６４及び７４が駆動してホイスト機構部８０は入庫ポート１１Ａの左側に位置しているスライドテーブル２０（スライドテーブル２０上には前記したようにキャリア１が載置されている）の上方に位置する。
【００３０】
次に上昇していたチャック９７、９８を下降させるために、前記したようにベルト巻き取り駆動モータ１２６が駆動してマイタギヤ１２５を矢印Ｃ方向と逆方向に回転させ、チャック９７、９８をスライドテーブル２０上のキャリア１をチャッキングする位置まで下降させる。続いてチャック開閉モータ１０３を駆動してピニオン１０４を矢印Ａ方向に回転させ、前記したようにチャック９７、９８を閉じる。これにより、スライドテーブル２０上のキャリア１はチャック９７、９８にチャッキングされる。
【００３１】
次にベルト巻き取り駆動モータ１２６が駆動してチャック９７、９８を上昇させた後、駆動モータ６４及び７４を駆動し、保管棚１４の固定テーブル４０上にキャリア１が載置されていない、即ち在荷センサー４２がオフとなっている固定テーブル４０上のキャリア１の載置位置の上方に移動する。続いてベルト巻き取り駆動モータ１２６が駆動してチャック９７、９８が下降してキャリア１の図示しない位置決め穴を位置決めピン４１に位置決めする。次にチャック開閉モータ１０３が駆動してチャック９７、９８が開いた後、チャック９７、９８はキャリア１を固定テーブル４０上に残して上昇する。これにより、保管棚１４へのキャリア１の保管が完了する。
【００３２】
次に保管棚１４に保管されているキャリア１を出庫ポート１２Ａ位置よりホイスト装置１４３に受け渡す場合について説明する。この動作は、前記した保管動作とほぼ同じであるので簡単に説明する。この場合、出庫ポート１２Ａのスライドテーブル２０は、駆動モータ３１の駆動によってホイスト機構部８０との受け渡し位置、即ち左側に移動させられている。チャック９７、９８は開き、また上昇した位置にある。ホイスト機構部８０がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動し、在荷センサー４２がオンとなっている固定テーブル４０上のキャリア１の上方に位置する。次にチャック９７、９８が下降した後に閉じ、キャリア１をチャッキングする。
【００３３】
チャック９７、９８が上昇した後、チャック９７、９８は出庫ポート１２Ａの左側の受け渡し位置に位置しているスライドテーブル２０の上方に移動させられる。次にチャック９７、９８が下降してチャック９７、９８でチャッキングしているキャリア１を出庫ポート１２Ａのスライドテーブル２０の位置決めピン２１に位置決めした後、チャック９７、９８が開く。これにより、キャリア１はスライドテーブル２０上に載置される。その後、チャック９７、９８は上昇する。続いてスライドテーブル２０はホイスト装置１４３と受け渡し位置である左側に移動して待機する。
【００３４】
次の工程からキャリア１の供給指令があると、ホイスト装置１４３は出庫ポート１２Ａの受け渡し位置で待機しているキャリア１の上方に移動する。続いて開いていた状態のチャック部１４６が下降した後に閉じ、キャリア１をチャッキングする。その後は、チャック部１４６は上昇し、ホイスト装置１４３はキャリア１を次工程に供給するために走行させられる。これにより、保管棚１４に保管されているキャリア１の次工程への搬送が完了する。
【００３５】
なお、上記説明は、ホイスト装置１４３から入庫ポート１１Ａにキャリア１を供給し、このキャリア１を入庫ポート１１Ａよりホイスト機構部８０で保管棚１４に保管する場合について説明した。この動作は、ホイスト装置１４３から入庫ポート１１Ｂにキャリア１を供給し、このキャリア１を入庫ポート１１Ｂよりホイスト機構部８０で保管棚１４に保管する場合も同様である。また同様に、上記説明は、保管棚１４に保管されているキャリア１をホイスト機構部８０で出庫ポート１２Ａに供給し、このキャリア１を出庫ポート１２Ａよりホイスト装置１４３に受け渡す場合について説明した。この動作は、保管棚１４に保管されているキャリア１をホイスト機構部８０で出庫ポート１２Ｂに供給し、このキャリア１を出庫ポート１２Ｂよりホイスト装置１４３に受け渡す場合も同様である。
【００３６】
また上記実施の形態においては、２個の入庫ポート１１Ａ、１１Ｂと、２個の出庫ポート１２Ａ、１２Ｂを設けた場合について説明したが、入庫ポートを１個又は２個以上、出庫ポートも１個又は２個以上設けてもよい。また入庫ポートと出庫ポートを兼用させ、１個の入出庫ポートとしてもよい。
【００３７】
また上記実施の形態においては、保管棚部１０の枠体１３に移載ハンドリング部５０の枠体５１を一体的に固定し、枠体５１は吊り棒５２を介して天井２に吊り下げた。本発明は、前記実施の形態の他に、保管棚部１０の枠体１３を天井２に直接吊り下げる。またチャック開閉機構部８１及びチャック上下駆動部８２を有するホイスト機構部８０を保管棚部１０の上方に配設し、ホイスト機構部８０を天井にＸＹ軸方向に駆動させるように設けてもよい。
【００３８】
このように、保管棚１０は平面的に形成され、天井２に吊り下げられているので、クリーンルームの空間を有効活用でき、クリーンルーム内のフロアーに空きスペースが無く、保管棚を設置できない場合にも増設が可能である。また、入出庫ポート１１Ａ、１１Ｂ及び１２Ａ、１２Ｂには、ホイスト装置１４２、１４３と保管棚部１０とでキャリア１を受け渡しするホイスト装置１４２、１４３との受け渡し部と、ホイスト機構部８０でキャリア１を受け渡しするホイスト機構部８０の受け渡し部とを有する。そして、キャリア１を位置決め載置してホイスト装置１４２、１４３との受け渡し部とホイスト機構部８０の受け渡し部とに往復駆動されるスライドテーブル２０を有する。即ち、スライドテーブル２０でキャリア１をホイスト装置１４２、１４３との受け渡し部とホイスト機構部８０の受け渡し部とに搬送できるので、キャリア１をスムーズに効率良く受け渡しすることができる。
【００３９】
図９は本発明のホイスト機構部８０のチャック上下駆動部８２の他の実施の形態を示す。前記実施の形態（図６及び図７）においては、チャック上下駆動部８２にスチールベルト１１１、１１２を用いた。本実施の形態は、スチールベルト１１１、１１２に代えてタイミングベルト１５０、１５１を用いた場合を示す。図６に示す可動テーブル５９には、２分割された上下駆動部支持板１５２、１５３が一定間隔離れて固定されており、対向端には上方に立ち上がった支持部１５２ａ、１５３ａが形成されている。支持部１５２ａ、１５３ａの内側部分には、ベルト巻き取りリール１５４、１５５が回転自在に支承されている。
【００４０】
ベルト巻き取りリール１５４、１５５の外側には、上下駆動部支持板１５２、１５３の支持部１５２ａ、１５３ａに巻き取りタイミングプーリ１５６、１５７が回転自在に支承されている。タイミングベルト１５０、１５１は、一端がチャック支持板８４（図６参照）に固定されており、他端は巻き取りタイミングプーリ１５６、１５７に掛けられてベルト巻き取りリール１５４、１５５に巻回して固定されている。タイミングベルト１５０、１５１が巻き取りタイミングプーリ１５６、１５７より離れないように、タイミングベルト１５０、１５１は押さえローラ１５８、１５９で巻き取りタイミングプーリ１５６、１５７に押さえ付けられている。
【００４１】
ベルト巻き取りリール１５４、１５５の軸部の一端には互いに噛合するギヤ１６０、１６１が固定されている。ベルト巻き取りリール１５４の軸部の他端には、スリップクラッチ１６２が固定されており、スリップクラッチ１６２はベルト巻き取りモータ１６３の出力軸に連結されている。ベルト巻き取りモータ１６３は上下駆動部支持板１５２に固定された支持板１６４に固定されている。ベルト巻き取りリール１５５の軸部の他端には、カップリング１６５を介してスリップリング１６６が固定されており、スリップリング１６６は上下駆動部支持板１５２に固定された支持板１６７に固定されている。
【００４２】
巻き取り駆動タイミングプーリ１５６の軸部の一端部にはマイタギヤ１７０が固定され、巻き取り駆動タイミングプーリ１５７の軸部の一端部にはマイタギヤ１７１、１７２が固定されている。マイタギヤ１７０、１７１にはマイタギヤ１７３、１７４が噛合しており、マイタギヤ１７３、１７４は回転軸１７５の両端部に固定されている。回転軸１７５は支持板１７６、１７７に回転自在に支承されており、支持板１７６、１７７は上下駆動部支持板１５３に固定されている。マイタギヤ１７２にはマイタギヤ１７８が噛合しており、マイタギヤ１７８は支持板１７７に固定されたベルト駆動モータ１７９の出力軸に固定されている。
【００４３】
図９はチャック９７、９８が上昇している状態を示す。チャック９７、９８を下降させる場合は、ベルト駆動モータ１７９が駆動してマイタギヤ１７８が矢印Ｆ方向に回転する。これにより、マイタギヤ１７１、１７２が矢印Ｇ方向、マイタギヤ１７３、１７４が矢印Ｆ方向に回転してマイタギヤ１７０が矢印Ｇ’方向に回転する。マイタギヤ１７０、１７１が矢印Ｇ’、Ｇ方向に回転すると、巻き取りタイミングプーリ１５６、１５７が矢印Ｇ’、Ｇ方向に回転してタイミングベルト１５０、１５１をベルト巻き取りリール１５４、１５５より繰り出し、チャック９７、９８が下降する。チャック９７、９８を上昇させる場合は、ベルト駆動モータ１７９がマイタギヤ１７８を前記と逆方向に回転させる。
【００４４】
ところで、ベルト巻き取りリール１６３はタイミングベルト１５０、１５１を常時ベルト巻き取りリール１５４、１５５に巻き込む方向に駆動させるようになっている。ベルト巻き取りリール１６３が駆動してスリップクラッチ１６２が矢印Ｈ方向に回転すると、ベルト巻き取りリール１５４及びギヤ１６０も矢印Ｈ方向に回転し、ギヤ１６１及びベルト巻き取りリール１５５は矢印Ｈ’方向に回転する。ベルト巻き取りリール１５４、１５５が矢印Ｈ、Ｈ’方向に回転すると、タイミングベルト１５０、１５１をベルト巻き取りリール１５４、１５５に巻き込み、ベルト巻き取りリール１５４と巻き取りタイミングプーリ１５６間、ベルト巻き取りリール１５５と巻き取りタイミングプーリ１５７間にはタイミングベルト１５０、１５１の弛みは生じない。前記したようにベルト巻き取りリール１５４、１５５よりタイミングベルト１５０、１５１を繰り出す場合には、スリップクラッチ１６２及びスリップリング１６６がスリップし、何ら支障を生じない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のストッカー装置の一実施の形態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。
【図２】天井より取外した状態のストッカー装置を示し、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は分解斜視図である。
【図３】入出庫ポート部分の斜視図である。
【図４】保管棚の固定テーブルの斜視図である。
【図５】ホイスト機構部の駆動部を示し、（ａ）は拡大斜視図、（ｂ）はＹ軸駆動部分の平面図、（ｃ）は（ｂ）の正面図である。
【図６】ホイスト機構部を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）はチャック開閉機構部の底面図である。
【図７】チャック上下駆動部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図８】ケーブル巻き取りリールの断面図である。
【図９】チャック上下駆動部の他の実施の形態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１    キャリア
２    天井
１０    保管棚部
１１Ａ、１１Ｂ    入庫ポート
１２Ａ、１２Ｂ    出庫ポート
１３    枠体
１４    保管棚
２０    スライドテーブル
２３、２４    ガイドレール
２９、３０    タイミングプーリ
３１    駆動モータ
３２    タイミングベルト
４０    固定テーブル
５０    移載ハンドリング部
５１    枠体
５２    吊り棒
５３、５４    Ｙ軸ガイドレール
５５、５６    Ｙ軸スライダ
５７、５８    Ｘ軸ガイドレール
５９    可動テーブル
６２、６３    タイミングプーリ
６４    駆動モータ
６５    タイミングベルト
７１    タイミングプーリ
７２、７３    アイドラプーリ
７４    駆動モータ
７５、７６    ベルト固定プレート
７７    タイミングベルト
８０    ホイスト機構部
８１    チャック開閉機構部
８２    チャック上下駆動部
８３    フラットケーブル機構部
１０３    チャック開閉モータ
１０４    ピニオン
１１１、１１２    スチールベルト
１１４、１１５    ベルト巻き取りリール
１２０、１２２、１２３、１２４、１２５    マイタギヤ
１２６    ベルト巻き取り駆動モータ
１３０    フラットケーブル
１３１    ケーブル巻き取りリール
１５４、１５５    ベルト巻き取りリール
１５６、１５７    巻き取りタイミングプーリ
１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７８    マイタギヤ
１７９    ベルト駆動モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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