(57)【要約】【課題】ＥＥＳとＭＥＳ間における、装置データとコンテキストデータを紐付けたデータ連携を確実、容易にする。【解決手段】ホスト通信システム４は、半導体製造装置２にイベントが発生したとき、生産管理用ホストコンピュータ（ＭＥＳ）１にイベント報告を行う必要があるイベントデータのみをＭＥＳに伝送するＭＥＳ用イベントデータ４Ａの処理手段と、装置エンジニアリング用コンピュータ（ＥＥＳ）３にイベント報告を行う必要があるイベントデータのみを装置ＥＥＳ通信システム５に伝送するＥＥＳ用イベントデータ４Ｂの定義手段と処理手段とを備える。【選択図】図１
2009093589.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置と、前記半導体製造装置の生産管理の監視制御を行う生産管理用ホストコンピュータと、前記半導体製造装置の装置詳細データを収集する装置エンジニアリング用コンピュータと、前記半導体製造装置と前記生産管理用ホストコンピュータとの間でデータ通信を行うホスト通信システムと、前記半導体製造装置と前記装置エンジニアリング用コンピュータとの間でデータ通信を行う装置ＥＥＳ通信システムとを備えた半導体製造システムにおいて、
前記ホスト通信システムは、前記半導体製造装置にイベントが発生したとき、前記生産管理用ホストコンピュータにイベント報告を行う必要があるイベントデータのみを該生産管理用ホストコンピュータに伝送するＭＥＳ用イベントデータの処理手段と、
前記半導体製造装置にイベントが発生したとき、前記装置エンジニアリング用コンピュータにイベント報告を行う必要があるイベントデータのみを前記装置ＥＥＳ通信システムに伝送するＥＥＳ用イベントデータの定義手段と処理手段と、
を備えたことを特徴とする半導体製造システムのデータ連携方式。
【請求項２】
半導体製造装置と、前記半導体製造装置の生産管理の監視制御を行う生産管理用ホストコンピュータと、前記半導体製造装置の装置詳細データを収集する装置エンジニアリング用コンピュータと、前記半導体製造装置と前記生産管理用ホストコンピュータとの間でデータ通信を行うホスト通信システムと、前記半導体製造装置と前記装置エンジニアリング用コンピュータとの間でデータ通信を行う装置ＥＥＳ通信システムとを備えた半導体製造システムにおいて、
前記ホスト通信システムは、前記半導体製造装置にイベントが発生したとき、前記生産管理用ホストコンピュータにイベント報告を行う必要があるイベントデータのみを該生産管理用ホストコンピュータに伝送するＭＥＳ用イベントデータの処理手順と、
前記半導体製造装置にイベントが発生したとき、前記装置エンジニアリング用コンピュータにイベント報告を行う必要があるイベントデータのみを前記装置ＥＥＳ通信システムに伝送するＥＥＳ用イベントデータの定義手順と処理手順と、
を有することを特徴とする半導体製造システムのデータ連携方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造システムにおける半導体製造装置とＥＥＳ（装置エンジニアリング用コンピュータ）およびＭＥＳ（生産管理用ホストコンピュータ）間のデータ連携方式、およびデータ連携方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は半導体製造システムの構成図を示す。ＭＥＳ１は、半導体製造装置２に対し、生産の開始、中止などの生産管理の監視制御を行い、この監視制御において半導体製造装置２からはイベント（状態変化）、アラーム報告などの情報を取得する。ＥＥＳ３は、半導体製造装置２の設備機器の動作状態など、ＭＥＳ１で収集するデータよりも詳細な装置詳細データを収集し、この装置詳細データから半導体製造装置２の状態監視で早期異常検知を行う。ＭＥＳ１は、半導体製造装置２の制御において、半導体製造装置２で収集したデータをホスト通信で取得する。
【０００３】
半導体製造装置２とＭＥＳ１およびＥＥＳ３との間の情報通信の詳細を説明する。
【０００４】
ＭＥＳ１は、装置２に対する生産品（ウェハが収納されたカセットや、カセットに収納されたウェハの組み合わせ、生産レシピ等）に一意のＩＤを割り振り、どの製品に対する生産指示なのかを装置２に対して指示する。装置２は、現在の生産品がどのような状況なのかＭＥＳ１から与えられたＩＤを用いて、ＭＥＳ１へのイベント報告を行う。これらのＩＤがＭＥＳ１から与えられない場合には、オペレータが装置２に対してＩＤを設定する。これらのＩＤのことを一般的にコンテキストデータと呼ぶ。
【０００５】
ＥＥＳ３では、装置２内の各種センサデータ等、装置詳細データの収集を行い、ＭＥＳ１では生産品の歩留まり結果と対象生産品を製造したときのＥＥＳ３からの詳細データを含めた突き合せで、生産歩留まり解析を行う。
【０００６】
現状では、装置２からＭＥＳ１に報告するイベントをＥＥＳ３にも同時に報告し、ＥＥＳ３ではＭＥＳ１のイベントに内包しているコンテキストデータを用いて、装置データ（半導体製造装置で計測される各種データ）との紐付け（データ連携）をしている。
【０００７】
この種のデータ連携方式として、装置の作業基準データと作業結果データを用意し、作業結果データにはメンテナンス作業結果または品質管理データからなる作業情報を書き込み、作業情報と作業基準データとの比較を可能にするものがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−５０２３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
半導体製造装置２は、ＭＥＳ１との間でホスト通信システムを実装した上で、後付けでＥＥＳ３との間で装置ＥＥＳ通信システムを実装することが殆どであり、ホスト通信システムでＭＥＳ１に対して報告するイベントをモニタしてＥＥＳデータとして報告することが一般的である。このデータ連携方式では、以下の問題があった。
【０００９】
（１）ＥＥＳ３と装置２の通信がオフラインで生産を行った場合、ＥＥＳ３にはコンテキストデータが通知されないため、ＥＥＳ３では装置データとコンテキストデータとの紐付けが行えない。
【００１０】
（２）装置２が装置データをＥＥＳ３に報告するタイミングと、コンテキストデータを報告するタイミングの同期が取れていないため、装置データとコンテキストデータの紐付けに誤りが発生する場合がある。
【００１１】
（３）装置２とＭＥＳ１間のホスト通信システムと、装置２とＥＥＳ３間の装置ＥＥＳ通信システムは独立したソフトウェアであるため、既存のホスト通信システムは、後に設備されたＥＥＳ３で使用されることを考慮していない。この場合、装置データとコンテキストデータの紐付け情報を作成することが難しい。
【００１２】
（４）ＥＥＳ３で必要とされる装置データとＭＥＳ１が必要とする装置データは必ずしも一致しないため、装置データの解析を行う際、不足のデータが発生し得る。
【００１３】
本発明の目的は、ＥＥＳとＭＥＳ間における、装置データとコンテキストデータを紐付けたデータ連携を確実、容易にした半導体製造システムのデータ連携方式およびデータ連携方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、前記の課題を解決するため、ホスト通信システムには、ＭＥＳと半導体製造装置との間でイベントデータ通信を行なう機能構成に加えて、装置ＥＥＳ通信システムとの間でＥＥＳに必要なイベントデータ通信を行うデータ連携機能を設けたもので、以下の方式および方法を特徴とする。
【００１５】
（１）半導体製造装置と、前記半導体製造装置の生産管理の監視制御を行う生産管理用ホストコンピュータと、前記半導体製造装置の装置詳細データを収集する装置エンジニアリング用コンピュータと、前記半導体製造装置と前記生産管理用ホストコンピュータとの間でデータ通信を行うホスト通信システムと、前記半導体製造装置と前記装置エンジニアリング用コンピュータとの間でデータ通信を行う装置ＥＥＳ通信システムとを備えた半導体製造システムにおいて、
前記ホスト通信システムは、前記半導体製造装置にイベントが発生したとき、前記生産管理用ホストコンピュータにイベント報告を行う必要があるイベントデータのみを該生産管理用ホストコンピュータに伝送するＭＥＳ用イベントデータの処理手段と、
前記半導体製造装置にイベントが発生したとき、前記装置エンジニアリング用コンピュータにイベント報告を行う必要があるイベントデータのみを前記装置ＥＥＳ通信システムに伝送するＥＥＳ用イベントデータの定義手段と処理手段と、
を備えたことを特徴とする半導体製造システムのデータ連携方式。
【００１６】
（２）半導体製造装置と、前記半導体製造装置の生産管理の監視制御を行う生産管理用ホストコンピュータと、前記半導体製造装置の装置詳細データを収集する装置エンジニアリング用コンピュータと、前記半導体製造装置と前記生産管理用ホストコンピュータとの間でデータ通信を行うホスト通信システムと、前記半導体製造装置と前記装置エンジニアリング用コンピュータとの間でデータ通信を行う装置ＥＥＳ通信システムとを備えた半導体製造システムにおいて、
前記ホスト通信システムは、前記半導体製造装置にイベントが発生したとき、前記生産管理用ホストコンピュータにイベント報告を行う必要があるイベントデータのみを該生産管理用ホストコンピュータに伝送するＭＥＳ用イベントデータの処理手順と、
前記半導体製造装置にイベントが発生したとき、前記装置エンジニアリング用コンピュータにイベント報告を行う必要があるイベントデータのみを前記装置ＥＥＳ通信システムに伝送するＥＥＳ用イベントデータの定義手順と処理手順と、
を有することを特徴とする半導体製造システムのデータ連携方法。
【発明の効果】
【００１７】
以上のとおり、本発明によれば、ホスト通信システムには、ＭＥＳと半導体製造装置との間でイベントデータ通信を行なう機能構成に加えて、装置ＥＥＳ通信システムとの間でＥＥＳに必要なイベントデータ通信を行うデータ連携機能を設けたため、ＥＥＳとＭＥＳ間における、装置データとコンテキストデータを紐付けたデータ連携が確実、容易になる。
【００１８】
具体的には、
（１）ＥＥＳが必要とするコンテキストデータがＭＥＳの要否に関係なく取得できる。
【００１９】
（２）ＭＥＳとの通信がオフラインであっても、ＥＥＳが必要とするコンテキストデータを取得できる。
【００２０】
（３）ＭＥＳへのイベント報告をキャプチャーするよりもコンテキストデータ取得のタイミングが遅延なく行われるため、装置データとコンテキストデータの相関関係がより精度の高いものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の実施形態を示す半導体製造システムの構成図であり、ＭＥＳとＥＥＳ間のデータ連携部分を示す。
【００２２】
ホスト通信システム４は、ＭＥＳ１と半導体製造装置２との間でイベントデータ通信を行なう機能構成に加えて、装置ＥＥＳ通信システム５との間でＥＥＳ３に必要なイベントデータを通信するデータ連携機能を設ける。
【００２３】
このデータ連携機能を実現するため、ホスト通信システム４は、ＭＥＳ１にイベント報告を行うためのＭＥＳ用イベントデータ４Ａの処理機能に加えて、装置ＥＥＳ通信システム５にイベントを報告するＥＥＳ用イベントデータ４Ｂの定義機能と処理機能を設ける。装置ＥＥＳ通信システム５は、ホスト通信システム４からＥＥＳ用イベントデータを直接に受信してＥＥＳ３に送信する処理機能を設ける。これらイベントデータ４Ａおよび４Ｂによるデータ定義／管理には、ＭＥＳ１が装置２に対する生産品に一意に割り振るコンテキストデータ（ＩＤ）を基に行う。
【００２４】
図２は、ホスト通信システム４のイベントデータ処理フローを示す。半導体製造システムの稼動状態で、イベント（状態変化）が発生したとき（Ｓ１）、このイベントについてＭＥＳ１への報告が必要か否かを判定し（Ｓ２）、報告を必要とするときはＭＥＳ用イベントデータとしてコンテキストデータ（ＩＤ）を基に保存すると共に、ＭＥＳ１へのイベント報告を行う（Ｓ３）。次いで、発生したイベントについて、ＥＥＳ３への報告が必要か否かを判定し（Ｓ４）、報告を必要とするときはＥＥＳ用イベントデータとしてコンテキストデータ（ＩＤ）を基に保存すると共にＥＥＳ３へのイベント報告を行う（Ｓ５）。この報告は、装置ＥＥＳ通信システム５に格納しておき、必要に応じて装置ＥＥＳシステム５からＥＥＳ３への装置詳細データの一部として伝送することもできる。
【００２５】
したがって、ホスト通信システム４には、ＭＥＳ用イベントデータ４Ａの定義／処理機能とは別に、ＥＥＳ用イベントデータの定義／処理機能を設けておき、イベント発生時にはＭＥＳ用イベントデータとして報告すると共に、ＥＥＳへの報告が必要なイベントデータをＥＥＳ３に報告することができる。
【００２６】
なお、ＭＥＳ１が必要とするイベントデータとＥＥＳ３が必要とするイベントデータは、全てが同じデータ項目ではなく、ＭＥＳ１とＥＥＳ３がそれぞれ必要とするデータを振り分けたものになる。
【００２７】
本実施形態によれば、ＥＥＳとＭＥＳ間における以下のシステム運用形態にも、装置データとコンテキストデータを紐付けたデータ連携が確実、容易になる。
【００２８】
（１）ＥＥＳ３と装置２の通信がオフラインで生産を行った場合にも、ＥＥＳ３にはコンテキストデータを基にした装置データが報告されるため、ＥＥＳ３では装置データとコンテキストデータとの紐付けを行うことができる。
【００２９】
（２）装置２が装置データをＥＥＳ３に報告するタイミングと、コンテキストデータを報告するタイミングの同期が取れているため、装置データとコンテキストデータの紐付けに誤りが発生することはない。
【００３０】
（３）装置２とＭＥＳ１間のホスト通信システムと、装置２とＥＥＳ３間の装置ＥＥＳ通信システムは独立したソフトウェアであっても、装置データとコンテキストデータの紐付け情報の作成を不要にする。
【００３１】
（４）ＥＥＳ３で必要とされる装置データとＭＥＳ１が必要とする装置データを個別に定義／管理するため、装置データの解析に必要なデータ取得が確実になる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施形態を示すＭＥＳとＥＥＳ間のデータ連携部分。
【図２】ホスト通信システムのイベントデータ処理フロー。
【図３】半導体製造システムの構成図
【符号の説明】
【００３３】
１  ＭＥＳ（生産管理用ホストコンピュータ）
２  半導体製造装置
３  ＥＥＳ（装置エンジニアリング用コンピュータ）
４  ホスト通信システム
４Ａ  ＭＥＳ用イベントデータ
４Ｂ  ＥＥＳ用イベントデータ
５  装置ＥＥＳ通信システム
【図１】
2009093589.tif 000003
【図２】
2009093589.tif 000004
【図３】
2009093589.tif 000005