(57)【要約】【課題】光学記録媒体の作製において、中間層からスタンパを剥離する際、成形基板またはスタンパを引き上げるか突上げるが、成形基板またはスタンパの剛性が低いとこれらの変形が大きくなっても十分な力が剥離する箇所にかからない恐れがある。【解決手段】本発明は、記録層が２層の光学記録媒体の場合は成形基板より内径が小さく、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用いて、成形基板上に第１記録層を形成し、第１記録層の上に中間層となる樹脂をスピン塗布などで供給した後、スタンパの凹凸形状面を中間層に貼り合せた状態で中間層を硬化させ、次にスタンパをピンで突き上げることでスタンパを中間層から剥離し、中間層の凹凸形状面に第２記録層を形成し、その上に光透過層を形成するものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法であって、
一主面に溝またはピットの凹凸形状を有し、中心孔を有する環状円盤形状の基板の凹凸形状形成面上に第１記録層を形成する工程と、
上記第１記録層の上に中間層を形成する樹脂材料を塗布する工程と、
前記基板より小さい中心孔を有する環状形状であって、一主面に溝またはピットの凹凸形状を有するスタンパを、凹凸形状形成面を前記中間層を形成する樹脂材料に貼り合せた後に、樹脂材料を硬化させて凹凸形状を転写した中間層を形成する工程と
前記スタンパと前記中間層とを剥離する工程と、
前記中間層の凹凸形状形成面上に第２記録層を形成する工程と、
前記第２記録層の上に光透過層を形成する工程とを有し、
前記スタンパとして、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用い、
前記基板の内径より小さく前記スタンパの内径より大きい外径の円柱状のピンを用いて、前記基板側から前記スタンパ側に突き出して前記スタンパと前記中間層とを剥離する光学記録媒体の製造方法。
【請求項２】
少なくとも２層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法であって、
一主面に溝またはピットの凹凸形状を有し、中心孔を有する環状円盤形状の基板の凹凸形状形成面上に第１記録層を形成する工程と、
前記第１記録層の上に中間層を形成する樹脂材料を塗布する工程と、
前記基板より小さい中心孔を有する環状形状であって、一主面に溝またはピットの凹凸形状を有するスタンパの凹凸形成面上に第２記録層を形成する工程と
前記スタンパの凹凸形成面を前記中間層を形成する樹脂材料に貼り合せた後に、樹脂材料を硬化させて中間層を形成する工程と
前記スタンパと前記第２記録層とを剥離する工程と、
前記第２記録層の上に光透過層を形成する工程とを有し、
前記スタンパとして、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用い、
前記基板の内径より小さく前記スタンパの内径より大きい外径の円柱状のピンを用いて、前記基板側から前記スタンパ側に突き出して前記スタンパと前記第２記録層とを剥離する光学記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記スタンパの内周にある環状凸部の平坦部の直径をＤ１、根元の厚みが厚くなる包絡線状の直径をＤ２、内孔径をＤｓ、
剥離用のピンの平坦部の直径をＤ４、外径をＤ５、
ディスクのクランプ領域の内径をＤ６、外径をＤ７、
ディスクのデータ領域の内径をＤ８とすると、
Ｄｓ＜Ｄ４＜Ｄ５＜Ｄ６＜Ｄ１＜Ｄ７＜Ｄ２＜Ｄ８
の関係を満たし、
前記スタンパの直径Ｄ１より内周での厚みを１ｍｍ以上、直径Ｄ２より外周での厚みを０．６ｍｍ以下とする請求項１または２記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項４】
中間層形成領域の内周端と外周端のうち少なくとも内周端に対応した位置に環状溝を有するスタンパを用い、中間層を形成する樹脂材料をスタンパまたは基板の塗布する際に中間層形成領域より大きい内径から小さい外径の範囲に塗布し、スタンパと基板とを貼り合せてスタンパに形成された溝まで中間層を形成する樹脂材料を延展する請求項１または２記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項５】
少なくとも２層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法であって、
一主面に溝またはピットの凹凸形状を有し、中心孔を有する環状円盤形状の基板の凹凸形状形成面上に第１記録層を形成する工程と、
前記第１記録層の上に中間層を形成する樹脂材料を塗布する工程と、
前記基板より小さい中心孔を有する環状形状であって、一主面に溝またはピットの凹凸形状を有するスタンパを、凹凸形状形成面を前記中間層を形成する樹脂材料に貼り合せた後に、樹脂材料を硬化させて凹凸形状を転写した中間層を形成する工程と
前記スタンパと前記中間層とを剥離する工程と、
前記中間層の凹凸形状形成面上に第２記録層を形成する工程と、
前記第２記録層の上に光透過層を形成する工程とを有し、
前記スタンパとして、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、凹凸形成面に環状に凹で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用い、
前記基板の内径より小さく前記スタンパの内径より大きい外径の円柱状のピンを用いて、前記基板側から前記スタンパ側に突き出して前記スタンパと前記中間層とを剥離する光学記録媒体の製造方法。
【請求項６】
少なくとも２層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法であって、
一主面に溝またはピットの凹凸形状を有し、中心孔を有する環状円盤形状の基板の凹凸形状形成面上に第１記録層を形成する工程と、
前記第１記録層の上に中間層を形成する樹脂材料を塗布する工程と、
前記基板より小さい中心孔を有する環状形状であって、一主面に溝またはピットの凹凸形状を有するスタンパの凹凸形成面上に第２記録層を形成する工程と
前記スタンパの凹凸形成面を前記中間層を形成する樹脂材料に貼り合せた後に、樹脂材料を硬化させて中間層を形成する工程と
前記スタンパと前記第２記録層とを剥離する工程と、
前記第２記録層の上に光透過層を形成する工程とを有し、
前記スタンパとして、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、凹凸形成面に環状に凹で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用い、
前記基板の内径より小さく前記スタンパの内径より大きい外径の円柱状のピンを用いて、前記基板側から前記スタンパ側に突き出して前記スタンパと前記第２記録層とを剥離する光学記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記スタンパの内周にある環状凸部の平坦部の直径をＤ１、根元の厚みが厚くなる包絡線状の直径をＤ２、環状凸部の反対面にある環状凹部の平坦部の直径をＤ３、内孔径をＤｓ、
剥離用のピンの平坦部の直径をＤ４、外径をＤ５、
ディスクのクランプ領域の内径をＤ６、外径をＤ７、
ディスクのデータ領域の内径をＤ８とすると、
Ｄｓ＜Ｄ４＜Ｄ３＜Ｄ５＜Ｄ６＜Ｄ１＜Ｄ７＜Ｄ２＜Ｄ８
の関係を満たし、
前記スタンパの直径Ｄ１より内周での厚みを１ｍｍ以上、直径Ｄ２より外周での厚みを０．６ｍｍ以下とする請求項５または６記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項８】
内周の環状凹部の縁外径を中間層形成領域の内径にしたスタンパを用い、中間層を形成する樹脂材料をスタンパまたは基板の塗布する際に中間層形成領域より大きい内径から小さい外径の範囲に塗布し、スタンパと基板とを貼り合せてスタンパに形成された環状凹部端まで中間層を形成する樹脂材料を延展する請求項５または６記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項９】
中間層形成領域の外周端に対応した位置に環状溝を有するスタンパを用い、中間層を形成する樹脂材料をスタンパまたは基板の塗布する際に中間層形成領域より大きい内径から小さい外径の範囲に塗布し、スタンパと基板とを貼り合せてスタンパに形成された溝まで中間層を形成する樹脂材料を延展する請求項５または６記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
スタンパに設けた中間層形成領域の内周端または外周端に設けた溝や環状凹部の断面傾きは４５度以上とする請求項４、８、９いずれか１項に記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
複数の中間層を形成する場合に中間層の数のスタンパの凹凸形成面の内周にある環状凹みの径または溝の径を下に形成する中間層のスタンパほど小さくする請求項４、８、９いずれか１項に記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
複数の中間層を形成する場合に中間層の数のスタンパの凹凸形成面の内周にある環状凹みの径または溝の径を下に形成する中間層のスタンパほど大きくする請求項４、８、９いずれか１項に記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項１３】
少なくとも２層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法であって、
一主面に溝またはピットの凹凸形状を有し、中心孔を有する環状円盤形状の基板の凹凸形状形成面上に第１記録層を形成する工程と、
前記第１記録層の上に中間層を形成する樹脂材料を塗布する工程と、
前記基板より小さい中心孔を有する環状形状であって、一主面に溝またはピットの凹凸形状を有するスタンパを、凹凸形状形成面を前記中間層を形成する樹脂材料に貼り合せた後に、樹脂材料を硬化させて凹凸形状を転写した中間層を形成する工程と
前記スタンパと前記中間層とを剥離する工程と、
前記中間層の凹凸形状形成面上に第２記録層を形成する工程と、
前記第２記録層の上に光透過層を形成する工程とを有し、
前記スタンパとして、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、凹凸形成面に環状に凹で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用い、
前記基板の内径より小さく前記スタンパの内径より大きい外径であり、前記スタンパと前記中間層とを剥離しない状態で、前記スタンパと前記中間層との間に、側面に一周連続で設けた気体吹出し口を配することができる円柱状のピンを用いて、
ピンの気体吹出し口から気体の吹出しを始めた後に前記基板側から前記スタンパ側に突き出して前記スタンパと前記中間層とを剥離する光学記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
少なくとも２層の光学記録層を有する光学記録媒体の製造方法であって、
一主面に溝またはピットの凹凸形状を有し、中心孔を有する環状円盤形状の基板の凹凸形状形成面上に第１記録層を形成する工程と、
前記第１記録層の上に中間層を形成する樹脂材料を塗布する工程と、
前記基板より小さい中心孔を有する環状形状であって、一主面に溝またはピットの凹凸形状を有するスタンパの凹凸形成面上に第２記録層を形成する工程と
前記スタンパの凹凸形成面を前記中間層を形成する樹脂材料に貼り合せた後に、樹脂材料を硬化させて中間層を形成する工程と
前記スタンパと前記第２記録層とを剥離する工程と、
前記第２記録層の上に光透過層を形成する工程とを有し、
前記スタンパとして、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、凹凸形成面に環状に凹で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用い、
前記基板の内径より小さく前記スタンパの内径より大きい外径であり、前記スタンパと前記第２記録層とを剥離しない状態で、前記スタンパと前記第２記録層との間に、側面に一周連続で設けた気体吹出し口を配することができる円柱状のピンを用いて、
ピンの気体吹出し口から気体の吹出しを始めた後に前記基板側から前記スタンパ側に突き出して前記スタンパと前記第２記録層とを剥離する光学記録媒体の製造方法。
【請求項１５】
ピンの気体吹出し口から放出する気体の圧力を剥離が開始される圧力より低く、剥離開始後の剥離が継続される圧力より高くする請求項１３または１４に記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項１６】
気体は乾燥した空気か窒素とする請求項１３または１４に記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項１７】
気体は除電処理されている請求項１３または１４に記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項１８】
先端の稜を丸くしたピンを用いる請求項１、２、５、６、１３、１４に記載のうちの少なくとも１つである光学記録媒体の製造方法。
【請求項１９】
先端面にスタンパの内孔の端部をよけた凹みを設けたピンを用いる請求項１、２、５、６、１３、１４に記載のうちの少なくとも１つである光学記録媒体の製造方法。
【請求項２０】
先端面にボールベアリングを３個以上設けたピンを用いる請求項１、２、５、６、１３、１４に記載のうちの少なくとも１つである光学記録媒体の製造方法。
【請求項２１】
スタンパの内孔でスタンパの凹凸形成面側の端部を丸くし、スタンパの内孔と嵌合するテーパを有する突起部を有するピンを用いる請求項１、２、５、６、１３、１４に記載のうちの少なくとも１つである光学記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学記録媒体の製造方法、特に光学記録層を複数層有する光学記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学記録媒体では情報の容量を多くするため、１面当たりの情報の密度を上げたり、多層にして光学記録媒体１枚当たりの容量を上げる方法が検討されている。１面当たりの情報密度を上げるには使用するレーザの波長を短くする以外では対物レンズの開口数を大きくする必要がある。この場合、対物レンズと光学記録媒体の記録層との距離が短くなる。また、光学記録媒体が傾いた場合の収差の影響を低減するためにも光学記録媒体の記録層上に設けられる光透過層の厚みは薄くする必要がある。
【０００３】
従来、ほとんどの場合において、光学記録媒体の基板は生産性の観点から樹脂が用いられ、射出成形法で作製されてきた。しかし、今のところ、射出成形法で作製できる基板の最小厚みはせいぜい０．３ｍｍである。近年開発が進んでいるブルーレイ・ディスクでは光透過層は単層の場合で０．１ｍｍであるため、この光透過層は樹脂シートや紫外線硬化樹脂を用いて作製されている。
【０００４】
光学記録層を複数有する光学記録媒体のうち、光学記録層が２層の場合を示す。
【０００５】
図１３（ａ）において、１０１は成形基板であり、片面に溝あるいはピットの凹凸形状を射出成形法で作製する。そして、その上に第１記録層１０２を形成する。さらに、中間層１０３となる樹脂をスピン塗布などで供給した後、溝あるいはピットの凹凸形状を有するスタンパ１０４を中間層１０３に押し当てた状態で硬化させ、中間層１０３の表面に凹凸形状を転写する。次に図１３（ｂ）のように、スタンパ１０４を中間層１０３から剥離する。そして、図１３（ｃ）のように、中間層１０３の凹凸形状面に第２記録層１０５を形成し、その上に光透過層１０６を形成する（例えば、特許文献１）。
【０００６】
図１４（ａ）では、成形基板１０１上に第１記録層１０２を形成し、中間層１０３となる樹脂を供給する。スタンパ１０４上には予め第２記録層１０５を形成しておく。その後、成形基板１０１とスタンパ１０４とを中間層１０３を挟んで接触させた状態で、中間層１０３を硬化させる。次に図１４（ｂ）のように、スタンパ１０４を第２記録層１０５が中間層１０３上に残るように剥離し、図１４（ｃ）のように第２記録層の上に光透過層１０６を形成する（例えば、特許文献２）。
【０００７】
スタンパ１０４を中間層１０３あるいは第２記録層１０５から剥離する方法としては、図１５（ａ）に示すように成形基板１０１の内側あるいは外側からフックで引き上げる方法（例えば、特許文献１）と図１５（ｂ）のように成形基板１０１の内側をピン１０８で突上げる方法（例えば、特許文献３）がある。また、内側をピン１０８で突上げる方法では、ピン１０８に気体の吹出し口が設けられ、成形基板１０１をピン１０８で突上げた後に気体を吹出して剥離した面への塵の付着を防止する提案されている（例えば、特許文献４）。
【０００８】
また、スタンパには金属製のものと樹脂製のものとが提案されている。
【特許文献１】特開２００３−２０３４０２号公報
【特許文献２】特開２００３−２２８８９１号公報
【特許文献３】特開平２−１６６６４５号公報
【特許文献４】特許第２８２２２５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
複数の記録層を形成して光学記録媒体の容量を増やすためには、スタンパの凹凸形状を転写させた樹脂からなる中間層を形成した後に、中間層からスタンパを剥離するか、あるいはスタンパ上に記録層を形成した後に中間層を形成し、スタンパの凹凸形状と共に記録層も中間層上に残るようにスタンパ上に形成した記録層からスタンパを剥離する必要がある。この剥離の際には、成形基板またはスタンパをフックで引き上げるかピンで突上げる。そして、剥離したい中間層とスタンパとの間、あるいはスタンパ上に成形した記録層とスタンパとの間の面に沿ってせん断力が発生し、剥離がフックかピンのある側から他方に進む。
【００１０】
しかし、フックで引き上げられるかピンで突上げられる成形基板またはスタンパの剛性が低いとこれらの変形が大きくなっても十分な力が剥離する箇所にかからないため剥離が十分できない恐れがある。また、剥離が行われてもフックまたはピンで成形基板またはスタンパが擦れるため塵を生じ、次に中間層を介して記録層を積層する際や光透過層を形成する際に記録層や中間層や光透過層の中に欠陥を引き起こすという課題がある。
【００１１】
反対にフックで引き上げられるかピンで突上げられる成形基板またはスタンパの剛性が高いと変形は小さいが、剥離したい中間層とスタンパとの間、あるいはスタンパ上に成形した記録層とスタンパとの間の面に沿った方向に働く剥離に必要なせん断力を発生させるためにはフックやピンに大きな力を働かせる必要があり、また、面内で内周から外周へ、あるいは外周から内周へと一様な剥離が行われにくいという課題があった。
【００１２】
本発明は、かかる課題を鑑みてなされたものであり、複数の記録層からなる光学記録媒体を製造する際に中間層あるいはスタンパ上に形成した記録層からスタンパを一方向に一様に確実に剥離でき、かつ、剥離による記録層または中間層または光透過層の欠陥の発生を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するために、本発明の実施の形態１で記録層が２層の光学記録媒体の場合は成形基板より内径が小さく、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用いて、成形基板上に第１記録層を形成し、第１記録層の上に中間層となる樹脂をスピン塗布などで供給した後、スタンパの凹凸形状面を中間層に貼り合せた状態で中間層を硬化させ、次にスタンパをピンで突き上げることでスタンパを中間層から剥離し、中間層の凹凸形状面に第２記録層を形成し、その上に光透過層を形成するものである。
【００１４】
本発明の実施の形態２で記録層が２層の光学記録媒体の場合は成形基板より内径が小さく、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用いて、成形基板上に第１記録層を形成し、第１記録層の上に中間層となる樹脂をスピン塗布などで供給した後、第２記録層を凹凸形状面に形成したスタンパの凹凸形状面を中間層に貼り合わせた状態で中間層を硬化させ、次にスタンパをピンで突き上げることでスタンパを第２記録層から剥離し、その上に光透過層を形成するものである。
【００１５】
本発明の実施の形態３で記録層が２層の光学記録媒体の場合は成形基板より内径が小さく、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、凹凸形成面に環状に凹で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用いて、成形基板上に第１記録層を形成し、第１記録層の上に中間層となる樹脂をスピン塗布などで供給した後、スタンパの凹凸形状面を中間層に貼り合せた状態で中間層を硬化させ、次にスタンパをピンで突き上げることでスタンパを中間層から剥離し、中間層の凹凸形状面に第２記録層を形成し、その上に光透過層を形成するものである。
【００１６】
本発明の実施の形態４で記録層が２層の光学記録媒体の場合は成形基板より内径が小さく、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、凹凸形成面に環状に凹で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用いて、成形基板上に第１記録層を形成し、第１記録層の上に中間層となる樹脂をスピン塗布などで供給した後、第２記録層を凹凸形状面に形成したスタンパの凹凸形状面を中間層に貼り合わせた状態で中間層を硬化させ、次にスタンパをピンで突き上げることでスタンパを第２記録層から剥離し、その上に光透過層を形成するものである。
【００１７】
本発明の実施の形態５で記録層が２層の光学記録媒体の場合は成形基板より内径が小さく、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、凹凸形成面に環状に凹で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用いて、成形基板上に第１記録層を形成し、第１記録層の上に中間層となる樹脂をスピン塗布などで供給した後、スタンパの凹凸形状面を中間層に貼り合せた状態で中間層を硬化させ、ピンの側面に一周連続で設けた気体吹出し口から気体を吹出して気体でスタンパと中間層との間に剥離方向の力が働いた状態でスタンパをピンで突き上げることでスタンパを中間層から剥離し、中間層の凹凸形状面に第２記録層を形成し、その上に光透過層を形成するものである。
【００１８】
本発明の実施の形態６で記録層が２層の光学記録媒体の場合は成形基板より内径が小さく、内周では凹凸形成面と反対側に環状に凸で、凹凸形成面に環状に凹で、厚みが外周より内周で厚い樹脂からなるスタンパを用いて、成形基板上に第１記録層を形成し、第１記録層の上に中間層となる樹脂をスピン塗布などで供給した後、第２記録層を凹凸形状面に形成したスタンパの凹凸形状面を中間層に貼り合わせた状態で中間層を硬化させ、ピンの側面に一周連続で設けた気体吹出し口から気体を吹出して気体でスタンパと第２記録層との間に剥離方向の力が働いた状態でスタンパをピンで突き上げることでスタンパを第２記録層から剥離し、その上に光透過層を形成するものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、スタンパと中間層からスタンパを剥離、あるいはスタンパ上に形成した記録層からスタンパを剥離するためにスタンパをピンで突き上げる場合に、スタンパの内周の剛性が従来より高くなって変形しにくくなるためピンからスタンパに力が十分に伝わる。また、スタンパの外周は薄いので剥離に必要なせん断力を生じるだけの変形が起こり、確実に剥離が行える。また、スタンパとピンとが擦れて移動する距離は少なくなるため塵の発生が抑制される。そこで、塵に起因する中間層や光透過層の中の欠陥が低減される。
【００２０】
また、ピンの側面から吹出す気体がピンの突出しによって剥離するスタンパと中間層との間あるいはスタンパ上に形成した記録層とスタンパとの間で剥離方向に周方向で均等に力がかかることで剥離の偏りが抑制される。また、剥離に必要なピンによる突き上げ量を抑制できるのでスタンパの変形が低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明にかかる光ディスク基板の形成方法の実施の形態について図を用いて順次説明する。
【００２２】
（実施の形態１）
図１（ａ）と（ｂ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１のスタンパと中間層との剥離工程の様子を示した断面図であり、図１（ｃ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１の完成ディスクを示した断面図である。
【００２３】
図１（ａ）では射出成形法で形成された成形基板１の溝あるいはピットの凹凸形状形成面に第１記録層２があり、第１記録層２の上に中間層３があり、中間層３上にスタンパ４が溝あるいはピットの凹凸形状形成面を対向させて重なっている。
【００２４】
第１記録層２は、たとえば、スパッタ装置等の成膜装置を用いて形成する。中間層３となる樹脂はスピン法や印刷法を用いて第１記録層２の上に塗る。中間層３の樹脂は、樹脂が紫外線硬化樹脂の場合は紫外線の照射によって、樹脂が嫌気性樹脂の場合は窒素雰囲気で、それぞれ、硬化が進む。
【００２５】
スタンパ４は樹脂からなり射出成形法により形成される。樹脂はポリカーボネートかポリオレフィンである。スタンパ４は溝あるいはピットの凹凸形状形成面と反対側に内周で環状に凸になっており、中心孔が成形基板１のものより小さく、内周で外周より厚みがある。スタンパの内周と外周との厚みの変化は連続的である。
【００２６】
図１（ａ）は中間層３が硬化した後で、中間層３とスタンパ４とを剥離する前の状態を示していて、成形基板１の中心孔からスタンパ４側にピン５が挿入され、スタンパ４上にはスタンパ４を保持移動させるハンドリング機構の吸着盤６があり、スタンパ４を保持している。
【００２７】
図１（ｂ）ではスタンパ４の内側をピン５で突き上げることでスタンパ４と中間層３とを剥離している状態を示している。
【００２８】
ピン５によってスタンパ４は突き上げられるが、内周での厚みが厚いため剛性が高くなって反り変形する量が少なくなる。そこで、スタンパ４と中間層３との剥離がピン５の突き上げと共に開始され、ピン５とスタンパ４とが擦れる量も少なくなる。そこで、この擦れによって発生する塵は抑制される。そこで、塵に起因する中間層や光透過層の中の欠陥が低減される。また、スタンパの反り変形が減少するのでスタンパ４上の凹凸形状と中間層３上に転写された凹凸形状とが略垂直方向に剥離させるので、凹凸形状そのものの変形の恐れも抑制される。
【００２９】
スタンパ４の外周は内周より薄い。そこで、スタンパ４の外周では内周より剛性が低い。そこで、スタンパ４と中間層３との剥離に必要なせん断力を生じるだけの変形が起こり、確実に剥離が行える。
【００３０】
図８にスタンパ４の形状寸法とピン５の寸法を示す。スタンパの内周にある環状凸部の平坦部の直径をＤ１、根元の厚みが厚くなる包絡線状の直径をＤ２、中心孔径をＤｓ、剥離用のピン５の平坦部の直径をＤ４、外径をＤ５、ディスクのクランプ領域の内径をＤ６、外径をＤ７、ディスクのデータ領域の内径をＤ８とすると、
Ｄｓ＜Ｄ４＜Ｄ５＜Ｄ６＜Ｄ１＜Ｄ７＜Ｄ２＜Ｄ８
の関係を満たす必要がある。
【００３１】
スタンパ４を射出成形で作製する場合、厚みに差があると冷却速度に差が生じて厚み差がある境界で微小な変形が発生する可能性がある。そこで、この厚みの差がある境界は凹凸形成領域には設けないことが好ましいからである。
【００３２】
また、ピン５の突出し力がスタンパ４に十分伝わるためにはピン５の直径より広い範囲でスタンパ４が均一に厚い必要があるためである。スタンパ上面が平坦であることはスタンパ４を吸着盤６で吸引保持するためにも必要である。
【００３３】
直径１２ｃｍの光学記録媒体の場合に、ポリカーボネート製のスタンパで調べると、スタンパの直径Ｄ１より内周での厚みは１ｍｍ以上が必要であり、直径Ｄ２より外周での厚みは０．６ｍｍ以下、好ましくは０．４ｍｍ以下であった。
【００３４】
ピン５はスタンパ４との擦れを少なくすることから高い滑り性が要求される。そこで、材料としてはステンレス鋼、ポリアセタール、ポリアミド、ポリテトラフルオロエチレン等がよい。また、ステンレス鋼の表面にフッ素を添加したＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）やニッケル等にポリテトラフルオロエチレンの微粒子を入れたものを形成したもの等が好ましい。
【００３５】
光学記録媒体にするには、図１（ｃ）に示すように、この後、中間層３の凹凸形状面に第２記録層７を形成し、その上に光透過層８を形成する。
【００３６】
（実施の形態２）
図２（ａ）と（ｂ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態２の中間層形成工程の様子を示した断面図であり、図２（ｃ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態２の中間層とスタンパとの剥離工程の開始状態を示した断面図である。
【００３７】
図２（ａ）では射出成形法で形成された成形基板１の溝あるいはピットの凹凸形状形成面に第１記録層２があり、スタンパ４の溝あるいはピットの凹凸形状形成面に中間層３を形成する樹脂が塗布された状態で、スタンパ４の凹凸形状形成面と成形基板１の凹凸形状形成面とが位置合せピン９を介して対向している。中間層３を形成する樹脂は印刷法で塗布する。スタンパ４と成形基板１とは凹凸形状形成面にある溝あるいはピットと中心孔とが同心円状に形成させているので位置合せピン９によってスタンパ４と成形基板１との中心孔の軸が揃うことでスタンパ４上と成形基板１上にある溝あるいはピット同士が同心円状に揃う。
【００３８】
スタンパ４は樹脂からなり射出成形法により形成される。樹脂はポリカーボネートかポリオレフィンである。スタンパ４は溝あるいはピットの凹凸形状形成面と反対側に内周で環状に凸になっており、中心孔が成形基板１のものより小さく、内周で外周より厚みがある。スタンパの内周と外周との厚みの変化は連続的である。また、スタンパ４の溝あるいはピットの凹凸形状形成面の内周と外周には環状溝が形成されている。
【００３９】
図２（ｂ）はスタンパ４と成形基板１とを凹凸形状形成面同士を重ねて中間層３がスタンパ４上に設けられた内周と外周の環状溝まで延展させたのちに、紫外線硬化樹脂からなる中間層３を紫外線ランプ１０でスタンパ４側から照射して硬化させた状態を示している。もちろん、紫外線ランプ１０を成形基板１側に配して成形基板１側から照射してもよいし、スタンパ４側と成形基板１側の両側から照射しても構わない。
【００４０】
図２（ｃ）は中間層３を硬化させた後に、スタンパ４から成形基板１までを一体でスタンパ４と中間層３との剥離ステージに移動させて、成形基板１の中心孔からピン５をスタンパ４側に突出して剥離を開始した状態を示している。
【００４１】
ピン５によってスタンパ４は突き上げられるが、内周での厚みが厚いため剛性が高くなって反り変形する量が少なくなる。そこで、スタンパ４と中間層３との剥離がピン５の突き上げと共に開始され、ピン５とスタンパ４とが擦れる量も少なくなる。そこで、この擦れによって発生する塵は抑制される。そこで、塵に起因する中間層や光透過層の中の欠陥が低減される。また、スタンパの反り変形が減少するのでスタンパ４上の凹凸形状と中間層３上に転写された凹凸形状とが略垂直方向に剥離させるので、凹凸形状そのものの変形の恐れも抑制される。
【００４２】
スタンパ４の外周は内周より薄い。そこで、スタンパ４の外周では内周より剛性が低い。そこで、スタンパ４と中間層３との剥離に必要なせん断力を生じるだけの変形が起こり、確実に剥離が行える。
【００４３】
図８にスタンパ４の形状寸法とピン５の寸法を示す。スタンパの内周にある環状凸部の平坦部の直径をＤ１、根元の厚みが厚くなる包絡線状の直径をＤ２、中心孔径をＤｓ、剥離用のピン５の平坦部の直径をＤ４、外径をＤ５、ディスクのクランプ領域の内径をＤ６、外径をＤ７、ディスクのデータ領域の内径をＤ８とすると、
Ｄｓ＜Ｄ４＜Ｄ５＜Ｄ６＜Ｄ１＜Ｄ７＜Ｄ２＜Ｄ８
の関係を満たす必要がある。
【００４４】
スタンパ４を射出成形で作製する場合、厚みに差があると冷却速度に差が生じて厚み差がある境界で微小な変形が発生する可能性がある。そこで、この厚みの差がある境界は凹凸形成領域には設けないことが好ましいからである。
【００４５】
また、ピン５の突出し力がスタンパ４に十分伝わるためにはピン５の直径より広い範囲でスタンパ４が均一に厚い必要があるためである。スタンパ上面が平坦であることはスタンパ４を吸着盤６で吸引保持するためにも必要である。
【００４６】
直径１２ｃｍの光学記録媒体の場合に、ポリカーボネート製のスタンパで調べると、スタンパの直径Ｄ１より内周での厚みは１ｍｍ以上が必要であり、直径Ｄ２より外周での厚みは０．６ｍｍ以下、好ましくは０．４ｍｍ以下であった。
【００４７】
（実施の形態３）
図３（ａ）と（ｂ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態３の中間層形成工程の様子を示した断面図であり、図３（ｃ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態３の第２記録層とスタンパとの剥離工程の開始状態を示した断面図である。
【００４８】
図３（ａ）では射出成形法で形成された成形基板１の溝あるいはピットの凹凸形状形成面に第１記録層２があり、スタンパ４の溝あるいはピットの凹凸形状形成面に第２記録層７が形成された上に中間層３を形成する樹脂が塗布された状態で、スタンパ４の凹凸形状形成面と成形基板１の凹凸形状形成面とが位置合せピン９を介して対向している。中間層３を形成する樹脂は印刷法で塗布する。スタンパ４と成形基板１とは凹凸形状形成面にある溝あるいはピットと中心孔とが同心円状に形成させているので位置合せピン９によってスタンパ４と成形基板１との中心孔の軸が揃うことでスタンパ４上と成形基板１上にある溝あるいはピット同士が同心円状に揃う。
【００４９】
スタンパ４は樹脂からなり射出成形法により形成される。樹脂はポリカーボネートかポリオレフィンである。スタンパ４は溝あるいはピットの凹凸形状形成面と反対側に内周で環状に凸になっており、中心孔が成形基板１のものより小さく、内周で外周より厚みがある。スタンパの内周と外周との厚みの変化は連続的である。また、スタンパ４の溝あるいはピットの凹凸形状形成面の内周と外周には環状溝が形成されている。
【００５０】
図３（ｂ）はスタンパ４と成形基板１とを凹凸形状形成面同士を重ねて中間層３がスタンパ４上に設けられた内周と外周の環状溝まで延展させたのちに、紫外線硬化樹脂からなる中間層３を紫外線ランプ１０でスタンパ４側から照射して硬化させた状態を示している。もちろん、紫外線ランプ１０を成形基板１側に配して成形基板１側から照射してもよいし、スタンパ４側と成形基板１側の両側から照射しても構わない。
【００５１】
図３（ｃ）は中間層３を硬化させた後に、スタンパ４から成形基板１までを一体でスタンパ４と中間層３との剥離ステージに移動させて、成形基板１の中心孔からピン５をスタンパ４側に突出して剥離を開始した状態を示している。
【００５２】
ピン５によってスタンパ４は突き上げられるが、内周での厚みが厚いため剛性が高くなって反り変形する量が少なくなる。そこで、スタンパ４と第２記録層７との剥離がピン５の突き上げと共に開始され、ピン５とスタンパ４とが擦れる量も少なくなる。そこで、この擦れによって発生する塵は抑制される。そこで、塵に起因する中間層や光透過層の中の欠陥が低減される。また、スタンパの反り変形が減少するのでスタンパ４上の凹凸形状と中間層３上に転写された凹凸形状とが略垂直方向に剥離させるので、凹凸形状そのものの変形の恐れも抑制される。
【００５３】
スタンパ４の外周は内周より薄い。そこで、スタンパ４の外周では内周より剛性が低い。そこで、スタンパ４と中間層３との剥離に必要なせん断力を生じるだけの変形が起こり、確実に剥離が行える。
【００５４】
図８にスタンパ４の形状寸法とピン５の寸法を示す。スタンパの内周にある環状凸部の平坦部の直径をＤ１、根元の厚みが厚くなる包絡線状の直径をＤ２、中心孔径をＤｓ、剥離用のピン５の平坦部の直径をＤ４、外径をＤ５、ディスクのクランプ領域の内径をＤ６、外径をＤ７、ディスクのデータ領域の内径をＤ８とすると、
Ｄｓ＜Ｄ４＜Ｄ５＜Ｄ６＜Ｄ１＜Ｄ７＜Ｄ２＜Ｄ８
の関係を満たす必要がある。
【００５５】
スタンパ４を射出成形で作製する場合、厚みに差があると冷却速度に差が生じて厚み差がある境界で微小な変形が発生する可能性がある。そこで、この厚みの差がある境界は凹凸形成領域には設けないことが好ましいからである。
【００５６】
また、ピン５の突出し力がスタンパ４に十分伝わるためにはピン５の直径より広い範囲でスタンパ４が均一に厚い必要があるためである。スタンパ上面が平坦であることはスタンパ４を吸着盤６で吸引保持するためにも必要である。
【００５７】
直径１２ｃｍの光学記録媒体の場合に、ポリカーボネート製のスタンパで調べると、スタンパの直径Ｄ１より内周での厚みは１ｍｍ以上が必要であり、直径Ｄ２より外周での厚みは０．６ｍｍ以下、好ましくは０．４ｍｍ以下であった。
【００５８】
（実施の形態４）
図４（ａ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態４の中間層形成工程の様子を示した断面図であり、図４（ｂ）と（ｃ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態４の中間層とスタンパとの剥離工程を示した断面図である。
【００５９】
図４（ａ）では射出成形法で形成された成形基板１の溝あるいはピットの凹凸形状形成面に第１記録層２があり、第１記録層２の上に中間層３を形成する樹脂が塗布された状態で、スタンパ４の凹凸形状形成面と成形基板１の凹凸形状形成面とが位置合せピン９を介して対向している。中間層３を形成する樹脂は印刷法で塗布する。スタンパ４と成形基板１とは凹凸形状形成面にある溝あるいはピットと中心孔とが同心円状に形成させているので位置合せピン９によってスタンパ４と成形基板１との中心孔の軸が揃うことでスタンパ４上と成形基板１上にある溝あるいはピット同士が同心円状に揃う。
【００６０】
スタンパ４は樹脂からなり射出成形法により形成される。樹脂はポリカーボネートかポリオレフィンである。スタンパ４は溝あるいはピットの凹凸形状形成面と反対側に内周で環状に凸になっており、溝あるいはピットの凹凸形状形成面に環状に凹になっており、中心孔が成形基板１のものより小さく、内周で外周より厚みがある。スタンパの内周と外周との厚みの変化は連続的である。また、スタンパ４の溝あるいはピットの凹凸形状形成面の外周には環状溝が形成されている。
【００６１】
スタンパ４と成形基板１とを凹凸形状形成面同士を重ねて中間層３がスタンパ４上に設けられた内周の凹部と外周の環状溝まで延展させたのちに、中間層３を硬化させる。
【００６２】
図４（ｂ）は中間層３を硬化させた後に、スタンパ４から成形基板１までを一体でスタンパ４と中間層３との剥離ステージに移動させて、成形基板１の中心孔からピン５をスタンパ４側に突出して剥離を開始する前の状態を示している。
【００６３】
図４（ｃ）は成形基板１の中心孔からピン５をスタンパ４側に突出して剥離を開始した状態を示している。
【００６４】
ピン５によってスタンパ４は突き上げられるが、内周での厚みが厚いため剛性が高くなって反り変形する量が少なくなる。そこで、スタンパ４と第２記録層７との剥離がピン５の突き上げと共に開始され、ピン５とスタンパ４とが擦れる量も少なくなる。そこで、この擦れによって発生する塵は抑制される。そこで、塵に起因する中間層や光透過層の中の欠陥が低減される。また、スタンパの反り変形が減少するのでスタンパ４上の凹凸形状と中間層３上に転写された凹凸形状とが略垂直方向に剥離させるので、凹凸形状そのものの変形の恐れも抑制される。
【００６５】
スタンパ４の外周は内周より薄い。そこで、スタンパ４の外周では内周より剛性が低い。そこで、スタンパ４と中間層３との剥離に必要なせん断力を生じるだけの変形が起こり、確実に剥離が行える。
【００６６】
図８にスタンパ４の形状寸法とピン５の寸法を示す。スタンパの内周にある環状凸部の平坦部の直径をＤ１、根元の厚みが厚くなる包絡線状の直径をＤ２、環状凹部の平坦部の直径をＤ３、中心孔径をＤｓ、剥離用のピン５の平坦部の直径をＤ４、外径をＤ５、ディスクのクランプ領域の内径をＤ６、外径をＤ７、ディスクのデータ領域の内径をＤ８とすると、
Ｄｓ＜Ｄ４＜Ｄ３＜Ｄ５＜Ｄ６＜Ｄ１＜Ｄ７＜Ｄ２＜Ｄ８
の関係を満たす必要がある。
【００６７】
スタンパ４を射出成形で作製する場合、厚みに差があると冷却速度に差が生じて厚み差がある境界で微小な変形が発生する可能性がある。そこで、この厚みの差がある境界は凹凸形成領域には設けないことが好ましいからである。
【００６８】
また、ピン５の突出し力がスタンパ４に十分伝わるためにはピン５の直径より広い範囲でスタンパ４が均一に厚い必要があるためである。スタンパ上面が平坦であることはスタンパ４を吸着盤６で吸引保持するためにも必要である。
【００６９】
直径１２ｃｍの光学記録媒体の場合に、ポリカーボネート製のスタンパで調べると、スタンパの直径Ｄ１より内周での厚みは１ｍｍ以上が必要であり、直径Ｄ２より外周での厚みは０．６ｍｍ以下、好ましくは０．４ｍｍ以下であった。
【００７０】
（実施の形態５）
図５（ａ）と（ｂ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態５の中間層とスタンパとの剥離工程を示した断面図である。
【００７１】
図５（ａ）および（ｂ）と図４（ｂ）および（ｃ）と比べるとスタンパ４と中間層３とを剥離する際に突出すピン５の先端中央部にテーパを持った突出部があり、ピン５の突出部がスタンパ４の中心孔に挿入される。また、スタンパ４の中心孔のピン５側の端部が丸い構造で、ピン５の突出部が挿入されやすい構造になっている。また、スタンパ４の外径が成形基板１と略同等である。
【００７２】
ピン５の先端がスタンパ４の中心孔に挿入されているためピン５が突出してスタンパ４と中間層３との剥離が行われる際に径方向の動きが抑制され周方向で剥離がより一様になる。
【００７３】
スタンパ４の外径が小さいのでスタンパ４を作製するのに必要な樹脂量が抑制できる。
【００７４】
ピン５によってスタンパ４は突き上げられるが、内周での厚みが厚いため剛性が高くなって反り変形する量が少なくなる。そこで、スタンパ４と第２記録層７との剥離がピン５の突き上げと共に開始され、ピン５とスタンパ４とが擦れる量も少なくなる。そこで、この擦れによって発生する塵は抑制される。そこで、塵に起因する中間層や光透過層の中の欠陥が低減される。また、スタンパの反り変形が減少するのでスタンパ４上の凹凸形状と中間層３上に転写された凹凸形状とが略垂直方向に剥離させるので、凹凸形状そのものの変形の恐れも抑制される。
【００７５】
スタンパ４の外周は内周より薄い。そこで、スタンパ４の外周では内周より剛性が低い。そこで、スタンパ４と中間層３との剥離に必要なせん断力を生じるだけの変形が起こり、確実に剥離が行える。
【００７６】
（実施の形態６）
図６（ａ）と（ｂ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態６の中間層とスタンパとの剥離工程を示した断面図である。
【００７７】
図６（ａ）および（ｂ）と図４（ｂ）および（ｃ）と比べるとスタンパ４と中間層３とを剥離する際に突出すピン５の構造が異なる。実施の形態６に用いるスタンパ４と中間層３とを隔離するピンには側面に一周連続で設けた気体吹出し口を配しており、スタンパ４と中間層３とを剥離する前にピン５に設けた気体吹出し口から気体を吹出してスタンパ４と中間層３との剥離面に力を加えることができる。
【００７８】
このピン５に設けた気体吹き出し口は一周連続になっているため気体の流量、圧力がどの周方向でも均一になる。
【００７９】
ピン５の構造例を図７に示す。図７の左半分は下方からの気体が流れる溝がある箇所の断面を示し、図７の右半分は下方からの気体が流れる溝がない箇所の断面を示している。ピン５は大きく２重構造となっており、溝を通じて気体が下方から上方に流れる。この溝は周方向に均等に配置されており、２つ以上必要である。一旦下方から上がってきた気体は周方向に設けた溝で周方向に流れる。そして、周方向の溝の上方では周方向で均一の隙間を通って上方に気体が流れ、周方向に連続に設けられた気体吹出し口から気体が周方向に均一に流れる。気体には空気が安価な不活性ガスである窒素が好ましい。また、樹脂は帯電して塵をひきつけやすいため除電処理をした気体がより好ましい。
【００８０】
剥離は開始時に最も大きな力が必要である。そこで、気体の圧力を剥離が開始される圧力より低く、剥離開始後の剥離が継続される圧力より高く設定する。
【００８１】
そして、ピン５を突出すことで剥離が開始され、その後、周方向に均一にかかった気体の圧力で剥離が継続されるので、スタンパ４をピン５で突上げる量を抑制することができる。ピン５とスタンパ４とが擦れる量も少なくなる。そこで、この擦れによって発生する塵は抑制される。そこで、塵に起因する中間層や光透過層の中の欠陥が低減される。また、スタンパの反り変形が減少するのでスタンパ４上の凹凸形状と中間層３上に転写された凹凸形状とが略垂直方向に剥離させるので、凹凸形状そのものの変形の恐れも抑制される。
【００８２】
スタンパ４の外周は内周より薄い。そこで、スタンパ４の外周では内周より剛性が低い。そこで、スタンパ４と中間層３との剥離に必要なせん断力を生じるだけの変形が起こり、確実に剥離が行える。
【００８３】
図８にスタンパ４の形状寸法とピン５の寸法を示す。スタンパの内周にある環状凸部の平坦部の直径をＤ１、根元の厚みが厚くなる包絡線状の直径をＤ２、環状凹部の平坦部の直径をＤ３、中心孔径をＤｓ、剥離用のピン５の平坦部の直径をＤ４、外径をＤ５、ディスクのクランプ領域の内径をＤ６、外径をＤ７、ディスクのデータ領域の内径をＤ８とすると、
Ｄｓ＜Ｄ４＜Ｄ３＜Ｄ５＜Ｄ６＜Ｄ１＜Ｄ７＜Ｄ２＜Ｄ８
の関係を満たす必要がある。
【００８４】
スタンパ４を射出成形で作製する場合、厚みに差があると冷却速度に差が生じて厚み差がある境界で微小な変形が発生する可能性がある。そこで、この厚みの差がある境界は凹凸形成領域には設けないことが好ましいからである。
【００８５】
また、ピン５の突出し力がスタンパ４に十分伝わるためにはピン５の直径より広い範囲でスタンパ４が均一に厚い必要があるためである。スタンパ上面が平坦であることはスタンパ４を吸着盤６で吸引保持するためにも必要である。
【００８６】
直径１２ｃｍの光学記録媒体の場合に、ポリカーボネート製のスタンパで調べると、スタンパの直径Ｄ１より内周での厚みは１ｍｍ以上が必要であり、直径Ｄ２より外周での厚みは０．６ｍｍ以下、好ましくは０．４ｍｍ以下であった。
【００８７】
（実施の形態７）
図９は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態７の中間層とスタンパとの剥離工程を示した断面図である。
【００８８】
ここではピン５の形状がスタンパ４の中心孔の端をよけた凹みを有している。
【００８９】
この結果、ピン５がスタンパ４の中心孔の端に当たって塵を発生する可能性がなくなる。
【００９０】
（実施の形態８）
図１０は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態８の中間層とスタンパとの剥離工程を示した断面図である。ここではピン５の形状がスタンパ４の中心孔の端をよけた凹みを有している。
【００９１】
したがって実施の形態７と同様に、ピン５がスタンパ４の中心孔の端に当たって塵を発生する可能性がなくなる。また、スタンパ４の中心孔のピン５側端部が丸く、ピン５の先端中央部に突出部がこのスタンパ４の中心孔にテーパを有して挿入されている。これは実施の形態５と同様に、ピン５の先端がスタンパ４の中心孔に挿入されているためピン５が突出してスタンパ４と中間層３との剥離が行われる際に径方向の動きが抑制され周方向で剥離がより一様になる。
【００９２】
（実施の形態９）
図１１は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態９の中間層とスタンパとの剥離工程を示した断面図である。ここで、ピン５ではスタンパ４の中心孔の端をよけた凹みを有している上に、ボールベアリングがスタンパ４との接触面に配されている。
【００９３】
これにより、スタンパ４とピン５との擦れを低減することができる。したがって、塵の発生を低減できる。
【００９４】
図１２は中間層を３層有する光学記録媒体の部分断面図を示す。光学記録媒体の内周部において、中間層の位置が基板上から上段にいくにつれて、図１２（ａ）では大きい径に、図１２（ｂ）では小さい径に、順次ずれている。このように各中間層の位置がずれることで端近傍での厚み精度が良好にできる。
【００９５】
中間層３の内径はスタンパ４に設けた環状溝や環状凹部の径で決まる。そこで、具体的には、この径を中間層ごとに変えればよい。
【産業上の利用可能性】
【００９６】
本発明の技術は、ＣＤ、ＤＶＤ、ＢＤ等の光学記録媒体の製造に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】（ａ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離前の状態を示す主要断面図（ｂ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図（ｃ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１で作製された光記録媒体を示す図
【図２】（ａ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態２の中間層形成工程での重ね合わせの状態を示す主要断面図（ｂ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態２の中間層形成工程で中間層材料を硬化させるところを示す主要断面図（ｃ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態２のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図
【図３】（ａ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態３の中間層形成工程での重ね合わせの状態を示す主要断面図（ｂ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態３の中間層形成工程で中間層材料を硬化させるところを示す主要断面図（ｃ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態３のスタンパから第２記録層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図
【図４】（ａ）は本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態４の中間層形成工程での重ね合わせの状態を示す主要断面図（ｂ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態４のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離前の状態を示す主要断面図（ｃ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態４のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図
【図５】（ａ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態５のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離前の状態を示す主要断面図（ｂ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態５のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図
【図６】（ａ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態６のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離前の状態を示す主要断面図（ｂ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態６のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図
【図７】本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態６の剥離工程で用いるピンの断面構造図
【図８】（ａ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１から３に使用のスタンパとスタンパを突出すピンの寸法図（ｂ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態４から６に使用のスタンパの寸法図
【図９】本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態７のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図
【図１０】本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態８のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図
【図１１】本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態９のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図
【図１２】（ａ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１０で形成した光学記録媒体の内周部断面図（ｂ）本発明の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１１で形成した光学記録媒体の内周部断面図
【図１３】（ａ）従来の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１の中間層形成工程での重ね合わせの状態を示す断面図（ｂ）従来の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１の中間層形成工程で中間層硬化後にスタンパを中間層から剥離した状態を示す断面図（ｃ）従来の光学記録媒体の製造方法の実施の形態１で作製した光学記録媒体の断面図
【図１４】（ａ）従来の光学記録媒体の製造方法の実施の形態２の中間層形成工程での重ね合わせの状態を示す断面図（ｂ）従来の光学記録媒体の製造方法の実施の形態２の中間層形成工程で中間層硬化後にスタンパを第２記録層から剥離した状態を示す断面図（ｃ）従来の光学記録媒体の製造方法の実施の形態２で作製した光学記録媒体の断面図
【図１５】（ａ）従来の光学記録媒体の製造方法の実施の形態３のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図（ｂ）従来の光学記録媒体の製造方法の実施の形態４のスタンパから中間層を剥離する工程での剥離中の状態を示す主要断面図
【符号の説明】
【００９８】
１，１０１    成形基板
２，１０２    第１記録層
３，１０３    中間層
４，１０４    スタンパ
５，１０８    ピン
６    吸着盤
７，１０５    第２記録層
８，１０６    光透過層
９    位置出しピン
１０    紫外線ランプ
１１    ボールベラリング
１０７    フック
【図１】
2009252262.tif 000003
【図２】
2009252262.tif 000004
【図３】
2009252262.tif 000005
【図４】
2009252262.tif 000006
【図５】
2009252262.tif 000007
【図６】
2009252262.tif 000008
【図７】
2009252262.tif 000009
【図８】
2009252262.tif 000010
【図９】
2009252262.tif 000011
【図１０】
2009252262.tif 000012
【図１１】
2009252262.tif 000013
【図１２】
2009252262.tif 000014
【図１３】
2009252262.tif 000015
【図１４】
2009252262.tif 000016
【図１５】
2009252262.tif 000017