(57)【要約】【課題】アーマチュア部が水平方向に移動するのを規制する移動規制部が破損するのを防止することができるマイクロリレーを提供する。【解決手段】矩形枠状のフレーム部３１及びフレーム部３１に対して揺動可能なアーマチュア部３０を有するアーマチュアブロック３と、アーマチュア部３０の磁性体保持部３０ａに結合した磁性体３２と、磁性体３２を吸引することでアーマチュア部３０を揺動させる電磁石装置２と、電磁石装置２を収納するボディ１とを備え、アーマチュアブロック３は、アーマチュア部３０が揺動軸Ｘと直交する方向に移動するのを規制する移動規制部５を備え、移動規制部５は、フレーム部３１に形成された凹部５０とアーマチュア部３０に形成された凸部５１とが嵌合して構成され、凹部５０及び凸部５１を何れも互いに対向する角部が鈍角となるように形成した。【選択図】図１
2009252554.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられたマイクロリレーであって、アーマチュアブロックは、アーマチュア部がその揺動する軸と直交する方向に移動するのを規制する移動規制部を備え、移動規制部は、フレーム部及びアーマチュア部の対向する部位の何れか一方に形成された凸部と他方に形成された凹部とが嵌合して構成され、凹部及び凸部は、何れも互いに対向する角部が鈍角となるように形成されたことを特徴とするマイクロリレー。
【請求項２】
コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられたマイクロリレーであって、アーマチュアブロックは、アーマチュア部がその揺動する軸と直交する方向に移動するのを規制する移動規制部を備え、移動規制部は、フレーム部及びアーマチュア部の対向する部位の何れか一方に形成された凸部と他方に形成された凹部とが嵌合して構成され、凹部及び凸部は何れも互いに対向する部位が湾曲するように形成されたことを特徴とするマイクロリレー。
【請求項３】
前記凹部は、フレーム部から突設された一対の第１の突片に囲まれた空間から成り、凸部は、アーマチュア部から突設された第２の突片から成り、第１の突片のフレーム部側の前記軸と直交する方向における幅寸法と、第２の突片のアーマチュア部側の前記軸と直交する方向における幅寸法とを略同一としたことを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロリレー。
【請求項４】
前記凸部の前記軸と直交する方向における両側には、一端がアーマチュア部に連結されるとともに他端がフレーム部に連結された弾性変形可能な蛇行部から成る弾性部がそれぞれ設けられ、凹部は、その前記軸と直交する方向における幅寸法が凸部の前記軸と直交する方向における幅寸法よりも大きくなるように形成されたことを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロリレー。
【請求項５】
前記凹部は、その厚み寸法が凸部の厚み寸法よりも大きくなるように形成されたことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のマイクロリレー。
【請求項６】
前記凸部は、その厚み寸法が凹部の厚み寸法よりも大きくなるように形成されたことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のマイクロリレー。
【請求項７】
前記支点突起は、凸部の周縁と一体に形成され且つボディと対向する部位がボディに近づくにつれて断面積が小さくなるテーパ状に形成されたことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のマイクロリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロリレーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体プロセスを用いて製造されるマイクロリレーとして、電磁石装置を備え、磁性体が取り付けられ且つ可動接点が設けられたアーマチュア部を電磁石装置の磁力によって駆動することにより可動接点を固定接点に接離させる電磁式のマイクロリレーが提供されており、例えば特許文献１に開示されているようなものがある。この従来例は、図６に示すように、矩形枠状のフレーム部３１及びフレーム部３１に対して揺動可能なアーマチュア部３０を有するアーマチュアブロック３と、アーマチュア部３０に結合した磁性体３２と、磁性体３２を吸引することでアーマチュア部３０を揺動させる電磁石装置２と、電磁石装置２を収納するとともにアーマチュアブロック３のフレーム部３１に結合するボディ１とを備える。尚、以下の説明では図６における上下を上下方向と定めるものとする。
【０００３】
ボディ１は、ボディ本体１ａと、ボディ本体１ａの上面に結合する薄膜１ｂとから成る。ボディ本体１ａは、ガラスから成る略直方体状であって、四隅の近傍にはそれぞれスルーホール１０ａ〜１０ｄが厚み方向に貫設されている。各スルーホール１０ａ〜１０ｄの内面には、それぞれ導電膜１１ａ〜１１ｄが設けられている。各導電膜１１ａ〜１１ｄは、それぞれ例えばクロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、銅、金、又はこれらの合金から成り、めっき、蒸着、スパッタリング等により形成されている。各スルーホール１０ａ〜１０ｄの厚み方向における両端の開口部周辺には、それぞれ導電膜１１ａ〜１１ｄに電気的に接続されたランド１２が設けられ、ボディ１の下面側の各ランド１２には、それぞれプリント配線板（図示せず）への表面実装に用いられるバンプ１３が設けられている。各バンプ１３は、それぞれ例えば金、銀、銅、はんだ等の導電性材料から成り、スルーホール１０ａ〜１０ｄを塞ぐ形でランド１２に載せられ、熱溶着によって結合されている。
【０００４】
ボディ本体１ａの上面には、それぞれランド１２と一対一に電気的に接続された２対の固定接点１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂが設けられている。これら固定接点１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂは、それぞれ例えばクロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、銅、金、又はこれらの合金から成る。
【０００５】
ボディ本体１ａの中央部には、略十字型の貫通穴１６が厚み方向に貫設されており、該貫通穴１６の開口を覆う形で薄膜１ｂがボディ本体１ａの上面に接合されている。薄膜１ｂはシリコン又はガラスから成り、エッチング又は研磨によって５〜５０μｍ程度、好ましくは２０μｍ程度の厚さ寸法に形成されている。薄膜１ｂの下側には、電磁石装置２が収納される収納部１８が形成されている。貫通穴１６の内面は、上方に向かって貫通穴１６の断面積が徐々に小さくなるように傾斜しており、電磁石装置２が収納し易くなっている。
【０００６】
電磁石装置２は、ヨーク２０と、永久磁石２１と、コイル２２ａ，２２ｂと、基板２３とから成る。ヨーク２０は、電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工或いは鋳造加工することにより、略矩形状の中央片２０ａの長手方向の両端から、略矩形状の脚片２０ｂ，２０ｃがそれぞれ上方に立ち上がった断面略コ字状に形成されている。永久磁石２１は略直方体状であって、互いに直交する磁極面が互いに異なる極となるように着磁されている。永久磁石２１は、ヨーク２０の中央片２０ａの上面の略中央に一方の磁極面を当接させて取り付けられており、他方の磁極面は脚片２０ｂ，２０ｃの先端面と略面一となっている。コイル２２ａ，２２ｂは、それぞれ脚片２０ｂ，２０ｃと永久磁石２１との間で中央片２０ａに直接巻回されている。基板２３は略矩形状であり、その長手方向をヨーク２０の中央片２０ａの長手方向に直交させる向きで中央片２０ａの下面に接合されている。基板２３の下面の長手方向の両端部には、それぞれ導電膜（図示せず）が設けられ、該導電膜にコイル２２ａ，２２ｂの両端がそれぞれ電気的に接続されている。また、各導電膜上には、それぞれプリント配線板への表面実装に用いられるバンプ（図示せず）が設けられている。電磁石装置２は、ヨーク２０の中央片２０ａの長手方向とボディ１の長手方向とを一致させて収納部１８に収納され、電磁石装置２と収納部１８の内面との間に合成樹脂（図示せず）を充填することでボディ１に保持されている。
【０００７】
アーマチュアブロック３は、５０〜３００μｍ程度、好ましくは２００μｍ程度の厚さ寸法を有するシリコン基板をエッチングして形成され、アーマチュア部３０と、アーマチュア部３０の全周を包囲してアーマチュア部３０を支持するフレーム部３１とを一体に備える。アーマチュア部３０の下面には、図７に示すように略矩形状の磁性体３２が接合される。
【０００８】
アーマチュア部３０は、図６，７に示すように、下面（図７における上面）に磁性体３２が接合される略矩形状の磁性体保持部３０ａと、下面に可動接点３３ａ，３３ｂが固着される可動接点部３０ｂとから成る。可動接点部３０ｂは、磁性体保持部３０ａの長手方向の両側において、弾性を有する連結部３４を介して磁性体保持部３０ａに支持されている。磁性体保持部３０ａは、その短手方向の両側が弾性を有する弾性部３５を介してフレーム部３１に支持されている。弾性部３５は、磁性体保持部３０ａの短手方向の両側に２個ずつ、計４個設けられており、それぞれ一端が磁性体保持部３０ａの短手方向の端面に連結されるとともに他端がフレーム部３１の内周面に連結されている。尚、弾性部３５は、その厚み寸法をフレーム部３１の厚み寸法よりも小さくしている。
【０００９】
磁性体保持部３０ａの長手方向の略中央部であって短手方向の両端には、それぞれ延設部３６を磁性体保持部３０ａの短手方向へ突設してあり、延設部３６の下面には、それぞれ支点突起３６ｂが下方へ突設されている。更に、磁性体保持部３０ａの四隅には、それぞれ第二の延設部３８が延設されており、各第二の延設部３８の下面には、それぞれ突起３８ａが下方へ突設されている。尚、アーマチュア部３０は厚み寸法がフレーム部３１の厚み寸法よりも小さくなるように形成され、突起３８ａの下面及び磁性体３２の下面がフレーム部３１の下面よりも上側に位置するようになっている。
【００１０】
磁性体３２は、電磁軟鉄、電磁ステンレス、パーマロイ、フェライト等の磁性材料を機械加工して形成され、例えば、その上面と磁性体保持部３０ａの下面との間に低融点ガラスを介在させた状態で加熱して低融点ガラスを溶融させた後、冷却することで磁性体保持部３０ａの下面に結合される。
【００１１】
アーマチュアブロック３は、例えばフレーム部３１の下面がボディ１の上面に陽極接合されることによってボディ１に結合される。ここにおいて、支点突起３６ｂはボディ１の上面に当接し、アーマチュア部３０は支点突起３６ｂを支点として支点突起３６ｂ同士を結ぶ直線を軸（以下、「揺動軸Ｘ」と呼ぶ）とする揺動が可能となっている。また、各可動接点３３ａ，３３ｂはそれぞれ１組の固定接点１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂに対向し、突起３８ａの先端面はボディ１の上面に離間して対向する。更に、磁性体３２は、上方から見てアーマチュア部３０の揺動軸Ｘを挟んで互いに異なる側に位置する各部が、互いに異なる脚片２０ｂ，２０ｃの先端面に対しそれぞれ薄膜１ｂを挟んで対向する。
【００１２】
アーマチュアブロック３の上側は、例えばパイレックス（登録商標）のような耐熱ガラスから成る略直方体状のカバー４によって覆われる。カバー４は、例えば陽極接合によってフレーム部３１の上面に接合され、カバー４の下面には、アーマチュア部３０の可動範囲を確保するための凹部（図示せず）が設けられている。
【００１３】
以下、上記従来例の動作を説明する。コイル２２ａ，２２ｂに通電すると、磁性体３２が通電方向に応じた一方の脚片２０ｂに吸引され、アーマチュア部３０は揺動軸Ｘを軸として揺動し、一方の可動接点３３ａを一対の固定接点１４ａ，１４ｂに接触導通させる。ここにおいて、固定接点１４ａ，１４ｂ間は可動接点３３ａを介して電気的に接続される。この時、可動接点３３ａの固定接点１４ａ，１４ｂに対する接触圧は連結部３４の弾性により適度に保たれている。また、突起３８ａがボディ１の上面に当接することにより、アーマチュア部３０の可動範囲が制限され、磁性体３２と薄膜１ｂとの接触による破損が防止されている。コイル２２ａ，２２ｂへの通電を停止すると、永久磁石２１→磁性体３２→脚片２０ｂ→永久磁石２１という閉磁路を通る磁束により、アーマチュア部３０の姿勢が維持される。
【００１４】
次に、コイル２２ａ，２２ｂへの通電方向を逆にすると、弾性部３５の弾性力と、磁性体３２が他方の脚片２０ｃに吸引される力とにより、アーマチュア部３０は揺動軸Ｘを軸として上記と反対側へ揺動し、他方の可動接点３３ｂを別の一対の固定接点１５ａ，１５ｂに接触導通させる。ここにおいて、固定接点１５ａ，１５ｂ間は可動接点３３ｂを介して電気的に接続される。コイル２２ａ，２２ｂへの通電を停止すると、永久磁石２１→磁性体３２→脚片２０ｃ→永久磁石２１という閉磁路を通る磁束により、アーマチュア部３０の姿勢が維持される。
【特許文献１】特開２００５−５０７６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ところで、上記従来例では、図６（ａ）に示すように、磁性体保持部３０ａの各延設部３６の先端にそれぞれ凸部３６ａを突設している。更に、フレーム部３１の内周面において延設部３６の先端面に対向する各部には、それぞれ延設部３７が内側へ突設され、各延設部３７の先端面にはそれぞれ磁性体保持部３０ａの凸部３６ａが挿入される凹部３７ａが設けられている。而して、図６（ｂ）に示すように、凸部３６ａと凹部３７ａとが嵌合することでフレーム部３１に対してアーマチュア部３０が揺動軸Ｘと直交する方向に移動するのを規制する移動規制部を構成しており、振動や衝撃によってアーマチュア部３０が揺動軸Ｘと直交する方向にぐらつくのを防止している。
【００１６】
しかしながら、上記従来例では、過度な振動や衝撃が与えられた場合に凸部３６ａ又は凹部３７ａが破損し、アーマチュア部３０が揺動軸Ｘと直交する方向にぐらつくのを防止する効果が損なわれてしまうという問題があった。
【００１７】
本発明は、上記の点に鑑みて為されたもので、アーマチュア部がその揺動する軸と直交する方向に移動するのを規制する移動規制部が破損するのを防止することができるマイクロリレーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
請求項１の発明は、上記目的を達成するために、コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられたマイクロリレーであって、アーマチュアブロックは、アーマチュア部がその揺動する軸と直交する方向に移動するのを規制する移動規制部を備え、移動規制部は、フレーム部及びアーマチュア部の対向する部位の何れか一方に形成された凸部と他方に形成された凹部とが嵌合して構成され、凹部及び凸部は、何れも互いに対向する角部が鈍角となるように形成されたことを特徴とする。
【００１９】
請求項２の発明は、上記目的を達成するために、コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられたマイクロリレーであって、アーマチュアブロックは、アーマチュア部がその揺動する軸と直交する方向に移動するのを規制する移動規制部を備え、移動規制部は、フレーム部及びアーマチュア部の対向する部位の何れか一方に形成された凸部と他方に形成された凹部とが嵌合して構成され、凹部及び凸部は何れも互いに対向する部位が湾曲するように形成されたことを特徴とする。
【００２０】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、凹部は、フレーム部から突設された一対の第１の突片に囲まれた空間から成り、凸部は、アーマチュア部から突設された第２の突片から成り、第１の突片のフレーム部側の前記軸と直交する方向における幅寸法と、第２の突片のアーマチュア部側の前記軸と直交する方向における幅寸法とを略同一としたことを特徴とする。
【００２１】
請求項４の発明は、請求項１又は２の発明において、凹部は、その幅寸法が凸部の幅寸法よりも大きくなるように形成されたことを特徴とする。
【００２２】
請求項５の発明は、請求項１乃至４の何れか１項の発明において、凹部は、その厚み寸法が凸部の厚み寸法よりも大きくなるように形成されたことを特徴とする。
【００２３】
請求項６の発明は、請求項１乃至４の何れか１項の発明において、凸部は、その厚み寸法が凹部の厚み寸法よりも大きくなるように形成されたことを特徴とする。
【００２４】
請求項７の発明は、請求項１乃至４の何れか１項の発明において、支点突起は、凸部の周縁と一体に形成され且つボディと対向する部位がボディに近づくにつれて断面積が小さくなるテーパ状に形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
請求項１の発明によれば、振動や衝撃が与えられて凹部及び凸部が接触する際に発生する応力が凹部及び凸部の各角部に集中しても、各角部が鈍角に形成されていることから応力を緩和することができるので、移動規制部の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができ、したがって移動規制部が破損するのを防止することができる。
【００２６】
請求項２の発明によれば、振動や衝撃が与えられても凹部及び凸部の互いに対向する部位が湾曲して形成されていることから、凹部及び凸部が接触する際に発生する応力を緩和することができるので、移動規制部の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができ、したがって移動規制部が破損するのを防止することができる。
【００２７】
請求項３の発明によれば、第１の切片及び第２の切片の振動や衝撃に対する耐久性を略同一とすることができ、移動規制部の前記軸と直交する方向における幅寸法を同一として比較した場合に最も耐久性を高めることができる。
【００２８】
請求項４の発明によれば、凸部の前記軸と直交する方向における幅寸法を大きくする必要がないので、弾性部のばね定数の変化を最小限にしつつ移動規制部の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができる。
【００２９】
請求項５の発明によれば、移動規制部の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができる。
【００３０】
請求項６の発明によれば、移動規制部の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができる。
【００３１】
請求項７の発明によれば、移動規制部の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができ、また、支点突起がボディに摺動し易くなるためにアーマチュア部を安定して動作させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明に係るマイクロリレーの各実施形態について図面を用いて説明する。但し、各実施形態の基本的な構成は従来例と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略するものとする。また、以下の各実施形態の説明では、図１（ａ）における紙面手前側を上方向、紙面奥側を下方向と定めるものとする。
【００３３】
（実施形態１）
以下、本発明に係るマイクロリレーの実施形態１について図面を用いて説明する。本実施形態は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、アーマチュア部３０の揺動軸Ｘ上であって揺動軸Ｘの軸方向における両端部に、凹部５０と凸部５１とが嵌合して構成される移動規制部５が設けられている。凹部５０は、フレーム部３１から揺動軸Ｘと直交する方向に所定の間隔を空けて突設された一対の第１の突片５０ａに囲まれた部位から成り、第１の突片５０ａは何れも第２の突片５１と対向する部位が第２の突片５１に向かうにつれて拡開するように傾斜して形成されている。凸部５１は、アーマチュア部３０から突設された第２の突片５１ａから成り、第２の突片５１ａは第１の突片５０ａに向かうにつれて幅狭となるように傾斜して形成されている。このため、凹部５０及び凸部５１は、何れも互いに対向する角部が鈍角となっている。
【００３４】
上述のように、振動や衝撃が与えられて凹部５０及び凸部５１が接触する際に発生する応力が凹部５０及び凸部５１の各角部に集中しても、各角部が鈍角に形成されていることから応力を緩和することができるので、移動規制部５の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができ、したがって移動規制部５が破損するのを防止することができる。
【００３５】
ところで、図２（ａ），（ｂ）に示すように、第１の突片５０ａを何れも第２の突片５１と対向する部位が湾曲するように形成するとともに、第２の突片５１を略半円形状に形成し、凹部５０及び凸部５１の互いに対向する部位が湾曲するように形成しても構わない。この場合にも、上記と同様に振動や衝撃が与えられても凹部５０及び凸部５１の互いに対向する部位が湾曲して形成されていることから、凹部５０及び凸部５１が接触する際に発生する応力を緩和することができるので、移動規制部５の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができ、したがって移動規制部５が破損するのを防止することができる。
【００３６】
尚、図１（ｂ），図２（ｂ）に示すように、第１の突片５０ａのフレーム部３１側の揺動軸Ｘと直交する方向における幅寸法Ｌ１（図２（ｂ）においては、第１の突片５０ａのフレーム部３１と連結された角部から第１の突片５０ａの湾曲部までの最短距離）と、第２の突片５１ａのアーマチュア部３０側の揺動軸Ｘと直交する方向における幅寸法Ｌ２とを略同一とするのが望ましい。このように構成することで、第１の切片５０ａ及び第２の切片５１ａの振動や衝撃に対する耐久性を略同一とすることができ、移動規制部５の揺動軸Ｘと直交する方向における幅寸法を同一として比較した場合に最も耐久性を高めることができる。
【００３７】
（実施形態２）
以下、本発明に係るマイクロリレーの実施形態２について図面を用いて説明する。本実施形態は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、実施形態１と比較して凹部５０の揺動軸Ｘと直交する方向における幅寸法Ｌ３を大きくしたことに特徴がある。例えば、移動規制部５の振動や衝撃に対する耐久性を高めるために移動規制部５全体の揺動軸Ｘと直交する方向における幅寸法を大きくした場合、移動規制部５の前記幅寸法が大きくなるのに伴って第２の突片５１ａのアーマチュア部３０側の前記幅寸法Ｌ２も大きくなり、結果として第２の突片５１ａの前記幅方向の両側に設けられた弾性部３５の前記幅寸法を小さくしなければならない。弾性部３５の前記幅寸法が小さくなると、弾性部３５の設計の自由度が低くなり、ばね定数が大きく変化して弾性部３５の弾性が失われてしまうという問題があった。
【００３８】
そこで、本実施形態では、図３（ｂ）に示すように、第２の突片５１ａのアーマチュア部３０側の前記幅寸法Ｌ２を変更することなく凹部５０の前記幅寸法Ｌ３を大きくすれば、弾性部３５の前記幅寸法を小さくする必要が無いので、弾性部３５のばね定数の変化を最小限にしつつ移動規制部５の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができる。
【００３９】
（実施形態３）
以下、本発明に係るマイクロリレーの実施形態３について図面を用いて説明する。本実施形態は、図４（ａ）に示すように、実施形態２において凹部５０の厚み寸法をフレーム部３１の厚み寸法と略同一の大きさとすることで、凹部５０の厚み寸法を凸部５１の厚み寸法よりも大きくしたことに特徴がある。このように構成することで、凹部５０と凸部５１とが接触する際の凹部５０の強度を高めることができ、結果として移動規制部５の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができる。尚、図４（ｂ）に示すように、実施形態２において凸部５１の厚み寸法をフレーム部３１の厚み寸法と略同一の大きさとすることで、凸部５１の厚み寸法が凹部５０の厚み寸法よりも大きくなるように構成しても構わない。この場合には、凹部５０と凸部５１とが接触する際の凸部５１の強度を高めることができ、結果として移動規制部５の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができる。
【００４０】
（実施形態４）
以下、本発明に係るマイクロリレーの実施形態４について図面を用いて説明する。本実施形態は、図５に示すように、実施形態２において支点突起３６ｂを凸部５１の周縁と一体に形成するとともに、ボディ１と対向する部位がボディ１に近づくにつれて断面積が小さくなるテーパ状に形成したことに特徴がある。このように構成することで、凹部５０と凸部５１とが接触する際の凸部５１の強度を高めることができ、結果として移動規制部５の振動や衝撃に対する耐久性を高めることができる。また、支点突起３６ｂがボディ１に摺動し易くなるためにアーマチュア部３０を安定して動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係るマイクロリレーの実施形態１を示す図で、（ａ）はアーマチュアブロックの平面図で、（ｂ）は移動規制部の拡大図である。
【図２】同上の移動規制部の他の構成を示す図で、（ａ）はアーマチュアブロックの平面図で、（ｂ）は移動規制部の拡大図である。
【図３】本発明に係るマイクロリレーの実施形態２を示す図で、（ａ）はアーマチュアブロックの平面図で、（ｂ）は移動規制部の拡大図である。
【図４】本発明に係るマイクロリレーの実施形態３を示す移動規制部の拡大図で、（ａ）は凹部の厚み寸法を大きくした場合を示す図で、（ｂ）は凸部の厚み寸法を大きくした場合を示す図である。
【図５】本発明に係るマイクロリレーの実施形態４を示す移動規制部の拡大図である。
【図６】従来のマイクロリレーを示す図で、（ａ）は分解斜視図で、（ｂ）は移動規制部の拡大図である。
【図７】同上のアーマチュアブロックを示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  ボディ
２  電磁石装置
３  アーマチュアブロック
３０  アーマチュア部
３１  フレーム部
３２  磁性体
５  移動規制部
５０  凹部
５１  凸部
【図１】
2009252554.tif 000003
【図２】
2009252554.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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