(57)【要約】      （修正有）【課題】ヘッドを小型化することができると共に、液体の漏出を確実に防止してコストを低減することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】フィルタ取付部材３１及び供給体３２は、フィルタ３３側の液体供給路３６のぞれぞれを囲む相対向する領域に、当該フィルタ３３と当接するフィルタ挟持部をそれぞれ具備し、フィルタ取付部材３１、供給体３２及びフィルタ３３を、当該フィルタ３３の連結部４４に対応する位置に充填孔２０２が設けられた金型２００に載置し、充填孔２０２から溶融樹脂を充填することにより前記フィルタ取付部材及び前記供給体の外周を覆ってフィルタ取付部材３１、供給体３２及びフィルタ３３を固定するアウター部３４を一体成形により形成し、同時に前記連結部を切断して形成され且つフィルタ本体４４の間を仕切る仕切り部４７を形成する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する液体貯留手段から供給された液体を噴射するノズル開口を有するヘッド本体と、該ヘッド本体の複数のノズル開口群毎に前記液体を供給する複数の液体供給路が設けられた供給部材とを具備し、前記供給部材が、前記液体供給路が設けられた第１及び第２供給部材と、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に設けられたフィルタとを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
複数の前記液体供給路に対応する複数のフィルタ本体部とこれらを連結する連結部とからなる連結フィルタを用意し、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に前記連結フィルタのフィルタ本体部が挟持された状態で、前記連結フィルタの前記連結部に対応する位置から溶融樹脂を充填することにより前記連結部を切断し、該充填時に前記第１供給部材、前記第２供給部材及び前記フィルタを固定するアウター部を一体成形により形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記溶融樹脂を充填する金型の前記フィルタの連結部に対応する領域には前記フィルタ本体部の間を仕切る仕切り部を成形するキャビティである仕切り部成形部が形成され、前記連結フィルタを金型に載置した際には連結部が前記仕切り部成形部内に浮いた状態となることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記連結フィルタの連結部の少なくとも一部は、前記フィルタ本体部より細い帯状部材により形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記連結フィルタの連結部には、溶融樹脂の圧力による切断を容易にする切り込みが形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記連結フィルタの連結部は、溶融樹脂の熱により溶融する材料で形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記連結部には、前記溶融樹脂が充填される充填孔に対応する領域に貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記フィルタを前記液体供給路の周縁部のフィルタ挟持部に対応する外形を有するものとし、前記アウター部が、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間の間隙の前記フィルタの外周端面まで連続して延設するようにすることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填された液体貯留手段であるインクカートリッジから、このインクカートリッジに着脱可能に挿入されるインク供給体となるインク供給針及びインクカートリッジが保持されるカートリッジケース等の供給部材に形成されたインク流路を介してヘッド本体にインクが供給され、ヘッド本体に設けられた圧電素子等の圧力発生手段を駆動させることによりヘッド本体に供給されたインクがノズルから吐出される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジのインク内に存在する気泡、あるいはインクカートリッジを着脱する際にインク内に混入した気泡がヘッド本体に供給されてしまうと、この気泡によるドット抜け等の吐出不良が発生するという問題がある。このような問題を解決するために、インクカートリッジに挿入されるインク供給針と供給部材との間にインク内の気泡やゴミ等を除去するためのフィルタを設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、このようなフィルタと供給部材とは、熱溶着等により固定され、インク供給針と供給部材とは超音波溶着等により固定されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２１１１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
小さなフィルタを流路毎に別々に用意をして取り付ける場合、取り扱いにくいため、複数の流路に亘るフィルタを用いようという対応が考えられる。しかしこの場合、フィルタを通じて異なる流路を流れる液体が流出してしまう可能性があった。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、取り扱いが容易な複数の流路に亘るフィルタを用いても液体の流出を防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を解決する本発明の態様は、液体を貯留する液体貯留手段から供給された液体を噴射するノズル開口を有するヘッド本体と、該ヘッド本体の複数のノズル開口群毎に前記液体を供給する複数の液体供給路が設けられた供給部材とを具備し、前記供給部材が、前記液体供給路が設けられた第１及び第２供給部材と、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に設けられたフィルタとを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、複数の前記液体供給路に対応する複数のフィルタ本体部とこれらを連結する連結部とからなる連結フィルタを用意し、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に前記連結フィルタのフィルタ本体部が挟持された状態で、前記連結フィルタの前記連結部に対応する位置から溶融樹脂を充填することにより前記連結部を切断し、該充填時に前記第１供給部材、前記第２供給部材及び前記フィルタを固定するアウター部を一体成形により形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【０００９】
かかる態様では、アウター部によって、第１供給部材、フィルタ及び第２供給部材を固定して一体化することで、第１供給部材と第２供給部材にフィルタをそれぞれ個別に溶着するための領域が不要となり、フィルタの有効面積を広げて隣り合う供給体の間隔を短くすることができ、ヘッドを小型化することができる。また、ヘッドの小型化を図るためにフィルタの面積を小さくする必要がなく、動圧が上がるのを防止して圧電素子や発熱素子等の圧力発生手段を駆動する駆動電圧を上げる必要がなくなる。さらに、アウター部によって供給体と供給部材との間に隙間が発生するのを確実に防止し且つ連結部を切断して形成した仕切り部によって液体供給部毎のフィルタ本体を完全に仕切ることができ、隙間から液体が漏出するのを確実に防止し且つ液体供給路間の漏洩を防止することができる。また、第１供給部材及び第２供給部材にフィルタをそれぞれ個別に固定する必要がなく、製造コストを低減することができる。
【００１０】
ここで、前記溶融樹脂を充填する金型の前記連結フィルタの連結部に対応する領域には前記フィルタ本体部の間を仕切る仕切り部を成形するキャビティである仕切り部成形部が形成され、前記連結フィルタを金型に載置した際には連結部が前記仕切り部成形部内に浮いた状態となるのが好ましい。これによれば、溶融樹脂の圧力により連結部がより確実に切断され、フィルタの間の仕切り部により完全に仕切ることができる。
【００１１】
また、前記連結フィルタの連結部の少なくとも一部は、前記フィルタ本体より細い帯状部材により形成されているのが好ましい。これによれば、アウター部を一体成形により形成した際に、連結部を溶融樹脂によりより確実に切断し易く、仕切り部によりフィルタの間をより確実に仕切ることができる。
【００１２】
また、前記連結フィルタの連結部には、溶融樹脂の圧力による切断を容易にする切り込みが形成されているのが好ましい。これによれば、溶融樹脂の圧力により切り込みの箇所で連結部をより確実に切断して仕切り部を成形することができ、仕切り部によりフィルタの間をより確実に仕切ることができる。
【００１３】
また、前記連結フィルタの連結部は、溶融樹脂の熱により溶融する材料で形成されているのが好ましい。これによれば、溶融樹脂の熱により連結部を溶融することにより連結部をより確実に切断して仕切り部を成形することができ、仕切り部によりフィルタの間をより確実に仕切ることができる。
【００１４】
また、前記連結部には、前記溶融樹脂が充填される充填孔に対応する領域に貫通孔が設けられているのが好ましい。
【００１５】
また、前記フィルタを前記フィルタ挟持部に対応する外形を有するものとし、前記アウター部が、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間の間隙の前記フィルタの外周端面まで連続して延設するようにする。これによれば、フィルタの周縁部を最小面積としてアウター部によってフィルタの外周端面を覆うようにし且つ第１供給部材と第２供給部材ととの間に隙間が発生するのを確実に防止して、隙間から液体が漏出するのをより確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの製造方法により製造された液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【００１７】
まず、記録ヘッド１１の構成について説明する。図１に示すように、記録ヘッド１１は、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３が固定されるカートリッジケース等の供給部材３０と、供給部材３０のインクカートリッジ１３とは反対側の面に固定されたヘッド本体２２０と、ヘッド本体２２０の液体噴射面側に設けられたカバーヘッド２４０とを具備する。
【００１８】
ここで、供給部材３０について詳細に説明する。なお、図２は、供給部材の上面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′断面図、図４は、フィルタを説明する説明図である。
【００１９】
図３に示すように、第１供給部材及び第２供給部材でフィルタを挟持したものであり、本実施形態では第１供給部材及び第２供給部材の何れか一方に相当する流路の下流側の供給部材本体３１と、供給部材本体３１の流路上流側に設けられた第１供給部材及び第２供給部材の他方である供給針３２と、供給部材本体３１と供給針３２との間に設けられたフィルタ３３と、供給部材本体３１と供給針３２の外周に設けられたアウター部３４とを具備する。
【００２０】
供給部材３０は、一方面に上述したインクカートリッジ１３（請求項に記載の「液体貯留手段」に相当）がそれぞれ装着される供給体形成部３５を有する。勿論、この供給体形成部３５には、直接インクカートリッジ１３が装着されるものではなく、液体貯留手段からチューブを介して供給体形成部３５にインクが導かれる態様のものであってもよい。
【００２１】
また、供給部材本体３１には、後述するフィルタ３３よりも下流側にあって、一端が各供給体形成部３５に開口し、他端がヘッド本体２２０側に開口して、インクカートリッジ１３からのインクをヘッド本体２２０に供給するための液体供給路３６が設けられている。なお、液体供給路３６は、供給部材本体３１の長手方向に並設されて複数設けられており、液体供給路３６は、インクの色毎に設けられたインクカートリッジ１３に対してそれぞれ独立して設けられている。
【００２２】
また、供給部材本体３１の供給体形成部３５には、各液体供給路３６が開口する領域の周囲に亘って突起部３７が設けられている。そして、この突起部３７と供給針３２との間でフィルタ３３を挟持するようになっている。
【００２３】
供給体となる供給針３２は、供給部材本体３１の表面（供給体形成部３５）に固定されるものであり、液体供給路３６に連通する貫通路３８を有する。この供給針３２は、インクカートリッジ１３から供給されたインクを供給部材本体３１に供給するための部材である。
【００２４】
また、供給針３２は、供給部材本体３１側の端部近傍にフランジ部３９を有する。フランジ部３９には、供給部材本体３１の突起部３７に対応する領域に凸部４０が設けられており、この供給針３２の凸部４０と供給部材本体３１の突起部３７との間でフィルタを挟持する。
【００２５】
なお、本実施形態では、２つの供給針３２を一体化することにより、２つの液体供給路に対して２つの供給針３２が一体化された１つの部材が設けられている。すなわち、本実施形態では、図２に示すように、１０個の液体供給路３６（図示なし）に対して５つの部材が設けられていることになる。
【００２６】
また、供給針３２の貫通路３８の液体供給路３６との接続領域には、他の領域よりも内径の大きい空間、すなわち、幅広部であるフィルタ室４１が設けられている。このフィルタ室４１は、例えば、本実施形態では、供給部材本体３１側ほど内径が大きくなるように形成されている。なお、このフィルタ室４１は、フィルタ３３の面積を大きくしてインクが通過する際の抵抗をできるだけ小さくするために、貫通路３８の他の領域よりも大きい内径で形成されている。
【００２７】
フィルタ３３は、例えば、金属が細かく編みこまれたシート状のものであり、供給部材本体３１と供給針３２とで挟持されている。また、本実施形態では、フィルタ３３は、供給部材本体３１と供給針３２とで挟持される領域の外側に突出する大きさを有する。すなわち、フィルタ３３は、供給部材本体３１の突起部３７と供給針３２の凸部４０とで画成された外側の凹部４２内に突出するように設けられており、供給部材本体３１の突起部３７と供給針３２の凸部４０とがフィルタ３３を挟持するフィルタ挟持部となる。
【００２８】
このようなフィルタ３３は、複数の液体供給路３６毎に連続する形状を有する。本実施形態では、図４にその外形形状を示すように、２つの液体供給路３６に対応する連結フィルタ４３を用いるようにした。ここで、連結フィルタ４３は、２つの液体供給路３６に対応する２つのフィルタ本体部４４（アウター部３４成形後にフィルタ３３となる）と、これらを連結する細い帯状の連結部４５とを有し、連結フィルタ４３の連結部４５には、本実施形態ではミシン目からなる切り込み４６が設けられている。
【００２９】
このように連結フィルタ４３の連結部４５に切り込み４６を設けることによって、アウター部３４の成形の際に充填される溶融樹脂により連結部４５が切り込み４６の部分で切断され、フィルタ本体部４４が分離されてフィルタ３３となり、アウター部３４と同時に成形される仕切り部４７によりフィルタ３３が確実に仕切られるようになる。この点については後で詳述する。
【００３０】
アウター部３４は、供給部材本体３１と供給針３２との外周に一体成形により形成された樹脂からなる。本実施形態では、複数の供給針３２と供給部材本体３１との境界の周囲に亘って１つのアウター部３４を設けるようにした。
【００３１】
このようなアウター部３４は、供給部材本体３１と供給針３２との外周に、供給部材本体３１及び供給針３２の端面と、供給部材本体３１及び供給針３２のフィルタ３３とは反対側の面とに亘って設けられている。これにより、供給部材本体３１と供給針３２とが固定されて一体化している。すなわち、アウター部３４は、供給部材本体３１の突起部３７と、供給針３２の凸部４０とで画成された凹部４２内に充填されて形成されており、凹部４２内に突出したフィルタ３３を挟んだ状態で設けられている。
【００３２】
このように、一体成形により形成されたアウター部３４によって、供給部材本体３１、供給針３２及びフィルタ３３を一体化することで、供給部材本体３１に供給針３２及びフィルタ３３を溶着するための領域が不要となり、隣り合う供給針３２の間隔を短くすることができ、ヘッドを小型化することができる。また、ヘッドの小型化を図るためにフィルタ３３の面積を小さくする必要がなく、動圧が上がるのを防止して圧電素子３００を駆動する駆動電圧を上げる必要がなくなる。さらに、アウター部３４と共にフィルタ３３の間を仕切る仕切り部４７を形成することで、液体供給路３６間を確実に隔離して両者間の液体漏れを確実に防止することができる。
【００３３】
また、アウター部３４を用いることで、供給部材本体３１にフィルタ３３と供給針３２とを同時に固定することができるため、供給部材本体３１にフィルタ３３及び供給針３２をそれぞれ固定する必要がなくなり、製造コストを低くすることができる。
【００３４】
さらに、供給部材本体３１と供給針３２とをアウター部３４によって固定するため、供給部材本体３１と供給針３２との間に隙間が発生するのを防止して、隙間からインクが漏出するのを防止することができる。
【００３５】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッド１１、特に供給部材３０の製造方法について詳細に説明する。なお、図５及び図６は、供給部材の製造方法を示す断面図である。
【００３６】
まず、図５（ａ）に示すように、供給部材本体３１と供給針３２との間に連結フィルタ４３を挟持させる。すなわち、供給部材本体３１の突起部３７と供給針３２の凸部４０とを連結フィルタ４３のフィルタ本体部４４を介在させた状態で当接させる。
【００３７】
次に、図５（ｂ）に示すように、供給部材本体３１と供給針３２との境界の外周に亘って金型２００を嵌合する。金型２００は、上下に分割された部材からなり、内部にアウター部３４が形成されるキャビティ２０１及び仕切り部４７が形成されるキャビティ２０２が設けられている。また、金型２００には、キャビティ２０２に対応する領域に溶融樹脂を充填するための充填孔２０３が設けれら、これが外部から溶融樹脂を充填するゲートと連通している。
【００３８】
そして、図６に示すように、アウター部３４を一体成形により形成して供給部材３０を形成する。具体的には、溶融した樹脂を金型２００の充填孔２０３を介してキャビティ２０２並びにキャビティ２０１に充填する。これにより溶融樹脂が充填孔２０３に対向してキャビティ２０２内に浮いた状態で載置されている連結部４５に衝突し、溶融樹脂の圧力により連結部４５が切り込み４６で切断され、仕切り部４７が成形される。また、キャビティ２０２を介してキャビティ２０１に流れた溶融樹脂によりアウター部３４が成形される。また、このとき、キャビティ２０１、２０２内に充填された溶融樹脂は、フィルタ本体部４４の微細孔内にも充填され、供給部材本体３１の突起部３７と供給針３２の凸部４０との間の領域、すなわち、フィルタ本体部４４が供給部材本体３１と供給針３２とで挟持される領域に亘って充填される。
【００３９】
これにより、アウター部３４は、液体供給路３６の周囲に亘って設けられて、供給部材本体３１、供給針３２及びフィルタ３３を固定して一体化する。また、液体供給路３６毎にフィルタ３３が分離され、仕切り部４７により確実に仕切られて隔離されるので、液体供給路３６の間で液漏れが生じることはない。
【００４０】
なお、上述したように、本実施形態の連結フィルタ４３の連結部４５が充填される樹脂の圧力により切断されつため、金型２００のキャビティ２０１内で樹脂がフィルタ３３の上下方向に流動し易く、溶融された樹脂を容易に金型２００内に充填することができる。また、連結部４５に貫通孔を設けて溶融樹脂がフィルタ３３の下側にさらに容易に入り込みやすくしてもよい。何れにしても、供給部材本体３１の突起部３７と供給針３２の凸部４０との間の領域に亘って樹脂を充填して、アウター部３４によって液体供給路３６を封止することができる。
【００４１】
このように形成された供給部材３０は、供給部材本体３１にフィルタ３３及び供給針３２をそれぞれ溶着する工程が不要となり、アウター部３４を一体成形により形成する一工程で供給部材本体３１、供給針３２及びフィルタ３３を固定して一体化することができる。したがって、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。
【００４２】
また、このような供給部材３０の液体供給路３６の他方側、すなわち、供給針３２とは反対側にはヘッド本体２２０が設けられている。ここで、ヘッド本体２２０について説明する。なお、図７は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図８は、ヘッド本体の断面図である。
【００４３】
図示するように、ヘッド本体２２０を構成する流路形成基板６０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板６０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室６２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室６２の長手方向外側には、後述するリザーバ形成基板８０に設けられるリザーバ部８１と連通し、各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部６３が形成されている。また、連通部６３は、インク供給路６４を介して各圧力発生室６２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板６０に形成された液体流路として、圧力発生室６２、連通部６３及びインク供給路６４が設けられている。
【００４４】
また、流路形成基板６０の開口面側には、ノズル開口７１が形成されたノズルプレート７０が接着剤４００を介して固着されている。具体的には、複数のヘッド本体２２０に対応するように複数のノズルプレート７０が設けられており、当該ノズルプレート７０は後で詳述するカバーヘッド２４０の露出開口部２４１よりも若干広い面積を有してカバーヘッド２４０と重畳する領域で接着剤等によって固定されている。なお、ノズルプレート７０のノズル開口７１は、各圧力発生室６２のインク供給路６４とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態では、流路形成基板６０に圧力発生室６２が並設された列を２列設けたため、１つのヘッド本体２２０にノズル開口７１の並設されたノズル列７１Ａが２列設けられている。そして、本実施形態では、このノズルプレート７０のノズル開口７１が開口する面が液体噴射面Ａとなっている。このようなノズルプレート７０としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。
【００４５】
一方、流路形成基板６０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。
【００４６】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板６０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部８１を有するリザーバ形成基板８０が接合されている。このリザーバ部８１は、本実施形態では、リザーバ形成基板８０を厚さ方向に貫通して圧力発生室６２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板６０の連通部６３と連通されて各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００４７】
また、リザーバ形成基板８０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部８２が設けられている。
【００４８】
さらに、リザーバ形成基板８０上には、各圧電素子３００を駆動するための半導体集積回路（ＩＣ）等からなる駆動回路１１０が設けられている。この駆動回路１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動回路１１０の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００４９】
また、このようなリザーバ形成基板８０上には、コンプライアンス基板１４０が接合されている。コンプライアンス基板１４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口１４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板１４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口１４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部１４３となっており、リザーバ１００は、可撓部１４３により封止されている。この可撓部１４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスを与えている。また、コンプライアンス基板１４０上には、ヘッドケース２３０が固定されている。
【００５０】
ヘッドケース２３０は、インク導入口１４４に連通すると共に供給部材３０の液体供給路３６に連通して、供給部材３０からのインクをインク導入口１４４に供給するインク供給連通路２３１が設けられている。このヘッドケース２３０には、コンプライアンス基板１４０の可撓部１４３に対向する領域に溝部２３２が形成され、可撓部１４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、リザーバ形成基板８０上に設けられた駆動回路１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動回路保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動回路保持部２３３を挿通して駆動回路１１０と接続されている。
【００５１】
また、ヘッドケース２３０を介して供給部材３０に保持されたヘッド本体２２０は、図７に示すように、４つのヘッド本体２２０の液体噴射面側を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０によって相対的に位置決めされて保持されている。カバーヘッド２４０は、ノズル開口７１を露出する露出開口部２４１と、露出開口部２４１を画成すると共にヘッド本体２２０の液体噴射面の少なくともノズル列７１Ａの並設されたノズル開口７１の両端部側に接合される接合部２４２とを具備する。
【００５２】
接合部２４２は、本実施形態では、複数のヘッド本体２２０に亘って液体噴射面の外周に沿って設けられた枠部２４３と、隣接するヘッド本体２２０の間に延設されて露出開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されており、枠部２４３及び梁部２４４がヘッド本体２２０の液体噴射面、すなわちノズルプレート７０の表面に接合されている。
【００５３】
また、カバーヘッド２４０には、ヘッド本体２２０の液体噴射面の側面側に、液体噴射面の外周縁部に亘って屈曲するように延設された側壁部２４５が設けられている。
【００５４】
このようにカバーヘッド２４０は、接合部２４２をヘッド本体２２０の液体噴射面に接着するようにしたため、液体噴射面とカバーヘッド２４０との段差を減少させることができ、液体噴射面のワイピングや吸引動作などを行っても、液体噴射面にインクが残留するのを防止することができる。また、梁部２４４によって隣接するヘッド本体２２０の間が塞がれているため、隣接するヘッド本体２２０の間にインクが侵入することがなく、圧電素子３００や駆動回路１１０などのインクによる劣化及び破壊を防止することができる。また、ヘッド本体２２０の液体噴射面とカバーヘッド２４０との間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体Ｓが入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。さらに、側壁部２４５が、複数のヘッド本体２２０の外周縁部を覆うことで、ヘッド本体２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。また、カバーヘッド２４０に、ヘッド本体２２０の液体噴射面と接合される接合部２４２を設けるようにしたため、複数のヘッド本体２２０の各ノズル列７１Ａをカバーヘッド２４０に対して高精度に位置決めして接合することができる。
【００５５】
このようなカバーヘッド２４０としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料が挙げられ、金属板をプレス加工により形成してもよく、成形により形成するようにしてもよい。また、カバーヘッド２４０を導電性の金属材料とすることで、接地することができる。なお、カバーヘッド２４０とノズルプレート７０との接合は、特に限定されず、例えば、熱硬化性のエポキシ系接着剤や、紫外線硬化型の接着剤による接着などが挙げられる。
【００５６】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１１は、インクカートリッジ１３からのインクを液体供給路３６から取り込み、インク供給連通路２３１及びインク導入口１４４を介して、リザーバ１００からノズル開口７１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１１０からの記録信号に従い、各圧力発生室６２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室６２内の圧力が高まりノズル開口７１からインク滴が吐出する。
【００５７】
（実施形態２）
図９には、実施形態２に係る連結フィルタの外観形状及び供給部材の製造途中の平面を示す。本実施形態の供給部材３０Ａは、連結フィルタ４３Ａのフィルタ本体部４４Ａを液体供給路３６の周縁部のフィルタ３３Ａを挟持する領域に相当する大きさとし、その外周端面に接触するように樹脂が侵入してアウター部３４を形成するようにした。これにより、フィルタ３３Ａの外周端部がアウター部３４Ａを介して確実に封止され、供給部材本体３１、供給針３２及びフィルタ３３Ａが確実に一体化される。
【００５８】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００５９】
例えば、上述した実施形態では、フィルタ取付部材で供給部材本体３１全体を構成したが、供給部材本体３１をフィルタ３３側とヘッド本体２２０側とで分割し、フィルタ３３側の部材をフィルタ取付部材としてフィルタ３３及び供給針３２と一体化してもよい。なお、この場合には、一体化した部材にヘッド本体２２０側の供給部材本体３１を組み付けて供給部材３０を構成することになる。
【００６０】
また、上述した実施形態では、２つの液体供給路３６に対応する２連の連結フィルタを用いてもよいが、例えば、１０個の液体供給路３６を封止するフィルタを連結したものとしてもよい。図１０にはこのような１０連の連結フィルタの一例を示す。この連結フィルタ４３Ｂは、上述した２つの液体供給路３６に対応するフィルタ本体部４４Ｂを連結部４５Ｂで連結したものを連結部４８Ｂで５つ連結し、連結部４５Ｂに切り込み４６Ｂを設けたものである。また、アウター部を形成する樹脂の充填のし易さのために、各連結部４５Ｂ、４８Ｂに貫通孔４９を設けている。勿論、貫通孔４９は設けなくてもよい。
【００６１】
また、上述した実施形態では、フィルタの切り込みをミシン目としたが、金型２００への載置作業の際の作業性のために一体になっており且つ溶融樹脂の圧力で破断するものであれば、不連続の切り込みや貫通孔などでもよく、特にその形状は限定されない。また、連結部を切り離してフィルタ本体部を分割するものであれば、切り込みはフィルタ本体部の端部に設けてもよい。図１１はこのようなフィルタの一例である。連結フィルタ４３Ｃは、フィルタ本体部４４Ｃと連結部４５Ｃとを具備し、フィルタ本体部４４Ｃの端部に切り込み４６Ｃが設けられている。
【００６２】
なお、フィルタは、連結部が溶融樹脂の充填により切り離されるものであれば、切り込みは必ずしも必要なく、例えば、連結部を上述したものよりさらに細い帯状のものとすれば、切り込みを不要とする状態が実現される。
【００６３】
さらに、連結部が溶融樹脂の充填により切り離されるフィルタとして連結部を溶融樹脂と同材料又はこれより低溶融点の樹脂などの材料で形成してもよい。これにより、溶融樹脂の熱により連結部が溶融してフィルタ本体が分離されることになる。
【００６４】
また、上述した実施形態では、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３を供給部材３０に着脱自在となるように設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、液体貯留手段として、インクタンク等を記録ヘッド１１とは異なる位置に設け、液体貯留手段と記録ヘッド１１とをチューブなどの供給管を介して接続するようにしてもよい。すなわち、上述した実施形態では、供給体として針状の供給針３２を例示したが、供給体は、針状のものに限定されるものではない。
【００６５】
また、述した実施形態では、連結部に対向する充填孔を設けたが、他の領域にも充填孔を設けてもよく、これらを一つのゲートに連通するようにしてもよいが、連通部に対向する充填孔には連結部を切断する圧力を有する溶融樹脂が流れ込むように設計するのが好ましい。
【００６６】
また、フィルタの連結部４５と仕切り部４７の形状は一致しなくてもよく、例えば、図９に示す実施形態において、連結フィルタ４３の連結部４５よりも仕切り部４７が連結部４５の幅方向へ幅広となるようにしてもよい。この場合、連結フィルタ４３の連結部４５がより容易に切断しやすくなりまた、周囲への樹脂の回り込みが容易となる。
【００６７】
さらに、上述した実施形態では、複数の液体供給路３６に対して１つのヘッド本体２２０が設けられた構成を例示したが、インクの色毎に複数のヘッド本体を設けるようにしてもよい。このような場合には、各液体供給路３６が、各ヘッド本体に連通する、すなわち、各液体供給路３６が、各ヘッド本体に設けられたノズル開口が並設されたノズル列毎に連通するように設けられていてもよい。もちろん、液体供給路３６は、ノズル列毎に連通しなくてもよく、１つの液体供給路３６が複数のノズル列に連通していてもよく、また、１列のノズル列を２つに分け、それぞれに液体供給路３６が連通していてもよい。すなわち、液体供給路３６は、複数のノズル開口からなるノズル開口群に連通していればよい。
【００６８】
また、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド１１を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る供給部材の上面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る供給部材の断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る供給部材のフィルタの平面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る供給部材の製造方法を示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る供給部材の製造方法を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係るヘッド本体を示す分解斜視図である。
【図８】本発明の実施形態１に係るヘッド本体を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態２に係るフィルタ及び供給部材の上面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係るフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態に係るフィルタの他の例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ３０  供給部材、  ３１  供給部材本体、  ３２  供給針（供給体）、  ３３  フィルタ、  ３４，３４Ａ  アウター部、  ３５  供給体形成部（表面）、  ４３  連結フィルタ、４４，４４Ａ〜４４Ｃ  フィルタ本体部、  ４５  連結部、４７  仕切り部、２００  金型、  ２２０  ヘッド本体、  ２４０  カバーヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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