(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体製品製造排水のような低塩類濃度排水を、担体添加生物処理法を用いて低コストで安定的に処理する方法を提供する。【解決手段】ポリアクリル酸のように安価な吸水ゲル担体１５を生物処理槽１１に添加し、低塩類濃度排水を導入して生物処理する。低塩類濃度排水または生物処理槽１１に、二価カチオン物質および三価カチオン物質のどちらか一方または両方を添加して、吸水ゲル担体１５の大きさを制御する。二価カチオンおよび／または三価カチオンの供給源としては、これらカチオン物質を添加して凝集処理を行った凝集汚泥や凝集処理水を用いてもよい。また、逆浸透膜処理により排出される濃縮水を用いてもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸水ゲル担体を保持する生物処理槽に低塩類濃度排水を導入して生物処理する担体添加生物処理方法であって、
二価カチオン物質および三価カチオン物質のどちらか一方または両方を添加して前記生物処理を行う担体添加生物処理方法。
【請求項２】
低塩類濃度排水に含まれる二価カチオン物質および三価カチオン物質の合計濃度が１ｍｇ／Ｌ未満である請求項１に記載の担体添加生物処理方法。
【請求項３】
前記吸水ゲル担体は、ポリアクリル酸を主成分として含みネットワーク構造を有し、
前記二価カチオン物質は、カルシウム塩またはマグネシウム塩であり、
前記三価カチオン物質は、鉄塩またはアルミニウム塩である請求項１または２に記載の担体添加生物処理方法。
【請求項４】
前記二価カチオン物質は、カルシウムを添加して凝集処理をすることにより得られる凝集汚泥および凝集処理水の一方または両方を添加することにより添加され、
前記三価カチオン物質は、鉄塩またはアルミニウム塩を添加して凝集処理をすることにより得られる凝集汚泥を添加することにより添加される請求項３に記載の担体添加生物処理方法。
【請求項５】
逆浸透膜により得られる濃縮水を添加することにより、前記二価カチオン物質および三価カチオン物質のどちらか一方または両方を添加する請求項３に記載の担体添加生物処理方法。
【請求項６】
前記低塩類濃度排水は、半導体製造排水、またはフラットパネルディスプレイ製造排水である請求項２から５のいずれかに記載の担体添加生物処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸水ゲル担体を添加した生物処理槽に排水を導入して生物処理する担体添加生物処理法に関する。特に、ポリアクリル酸を主成分とする吸水ゲル担体を用いる担体添加生物処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、排水の生物処理において、生物処理槽に担体を添加する担体添加生物処理法が知られている。担体には微生物が保持され、担体を添加することで生物処理槽の微生物保持量を多くできる。担体には、多孔質粒状、筒状、繊維状等の様々な種類があり、担体を構成する材質も様々である。例えば、多孔質粒状担体としては、スポンジ、発泡ウレタン、活性炭、アンスラサイト等を材質とするものが多く、筒状担体はプラスチック製が多い。繊維状担体としては、セルロース、ポリエステル、ポリプロピレン等が、糸状またはフェルトのような布状で用いられている。
【０００３】
また、吸水性樹脂に微生物を含む液を吸収させ、吸水性樹脂をゲル化させた吸水ゲル担体も知られている（例えば特許文献１）。吸水ゲル担体の材料として用いられる吸水性樹脂としては、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、アクリルアミド、およびポリアクリル酸等が挙げられる。吸水ゲル担体は一般に、網目状の構造（ネットワーク構造）を有し、水分を吸収すると膨張する膨潤性を備える。
【０００４】
こうした吸水ゲル担体は安価で、中でもポリアクリル酸を主成分とする担体は製造コストが安い。このため、吸水ゲル担体を用いれば担体添加生物処理法に要する処理コストを低減できる。
【０００５】
ところで、半導体やフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等の精密電子部品の製造過程では、超純水が使用されている。超純水は不純物が極限まで取り除かれているため、超純水の使用場所から排出される排水の不純物濃度は一般的な産業排水や下水に比べて低い。また、超純水由来の排水に含まれる不純物の種類や濃度は、一般的な産業排水や下水に比べて偏っており、例えば塩類濃度は一般に低い。近年、こうした超純水由来の排水の処理にも担体添加生物処理を適用する方法が開発されている（例えば特許文献２）。
【特許文献１】特公平１−３０４７６号公報
【特許文献２】特開２０００−２４６２７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
担体を添加した生物処理槽で半導体等の製造過程で排出される排水を処理する場合、担体として吸水ゲル担体を用いれば、処理コストを低減することが期待できる。しかし、本発明者らが検討した結果、吸水ゲル担体を用いて半導体製造系の排水を処理する場合、吸水ゲル担体の大きさが変動することが判明した。吸水ゲル担体の大きさの変動幅は、数倍〜１００倍程度にも達し、このような大幅な変動を抑制しなければ、吸水ゲル担体を用いて半導体製造系の排水を処理することは難しい。
【０００７】
本発明は上記課題に対し、吸水ゲル担体の膨潤性の変動を抑制し、低コストで安定した担体添加生物処理を可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、二価または三価のカチオン物質を添加することで、吸水ゲル担体、特にポリアクリル酸を主成分とする担体の膨潤性をコントロールできることを見出し、本発明を完成させた。具体的には本発明は以下を提供する。
【０００９】
（１）  吸水ゲル担体を保持する生物処理槽に低塩類濃度排水を導入して生物処理する担体添加生物処理方法であって、  二価カチオン物質および三価カチオン物質のどちらか一方または両方を添加して前記生物処理を行う担体添加生物処理方法。
（２）低塩類濃度排水に含まれる二価カチオン物質および三価カチオン物質の合計濃度が１ｍｇ／Ｌ未満である（１）に記載の担体添加生物処理方法。
（３）前記吸水ゲル担体は、ポリアクリル酸を主成分として含みネットワーク構造を有し、  前記二価カチオン物質は、カルシウム塩またはマグネシウム塩であり、  前記三価カチオン物質は、鉄塩またはアルミニウム塩である（１）または（２）に記載の担体添加生物処理方法。
（４）前記二価カチオン物質は、カルシウムを添加して凝集処理をすることにより得られる凝集汚泥および凝集処理水の一方または両方を添加することにより添加され、  前記三価カチオン物質は、鉄塩またはアルミニウム塩を添加して凝集処理をすることにより得られる凝集汚泥を添加することにより添加される（３）に記載の担体添加生物処理方法。
（５）逆浸透膜により得られる濃縮水を添加することにより、前記二価カチオン物質および三価カチオン物質のどちらか一方または両方を添加する（３）に記載の担体添加生物処理方法。
（６）前記低塩類濃度排水は、半導体製造排水、またはフラットパネルディスプレイ製造排水である（２）から（５）のいずれかに記載の担体添加生物処理方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、吸水ゲル担体のサイズをコントロールして安定した処理を行うことができる。特に二価カチオンや三価カチオンをほとんど含まないような低塩類濃度排水を、ポリアクリル酸を主成分とする安価な吸水ゲル担体を用いて安定的に良好に処理できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明について図面を用いて詳細に説明する。以下、同一部材には同一符号を付し、説明を省略または簡略化する。図１は、本発明を適用した担体添加生物処理装置（以下、単に「処理装置」という）１の模式図である。処理装置１は、担体１５が添加された生物処理槽１１を中心に構成されている。
【００１２】
生物処理槽１１には原水管３１が接続され、原水管３１を介して低塩類濃度排水が導入される。本発明は、塩類の中でも特に二価カチオンおよび三価カチオンの濃度が少ない低塩類濃度排水に適用される場合に、その効果が明瞭である。具体的には、排水に含まれる二価カチオンと三価カチオンを合計してもそれらの濃度が１ｍｇ／Ｌ未満の排水の処理において優れた効果が認められる。低塩類濃度排水の具体例としては、メモリ等の半導体製品の製造工程から排出される半導体排水、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイパネルのようなＦＰＤ製造排水が挙げられる。
【００１３】
生物処理槽１１には、担体１５に固定化された活性汚泥が保持されている。生物処理槽１１は、酸素供給手段として散気管１８を有し、担体１５は散気管１８から吹き込まれる空気により流動する。ただし、生物処理槽１１はこれに限定されず、例えば散気管の代わりに攪拌機により槽内液を流動させ、嫌気的な条件で窒素除去を行うような生物処理槽であってもよい。
【００１４】
担体１５としては、吸水性樹脂を主成分とする吸水ゲル担体が用いられる。吸水性樹脂としては、水処理分野において微生物を固定化するために用いられる公知の物質を用いることができる。例えば、ＰＶＡ、ＰＥＧ、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸、アルギン酸等が挙げられる。特に、ポリアクリル酸を主成分とする吸水ゲル担体は、安価で、かつ、本発明により膨潤性が良好に制御されるため、好ましい。
【００１５】
本発明では、生物処理槽１１の槽内液の二価カチオンと三価カチオンの合計濃度を制御することで、生物処理槽１１に保持される吸水ゲル担体の大きさを制御する。二価カチオンの中ではＣａ２＋およびＭｇ２＋、三価カチオンの中ではＦｅ３+およびＡｌ３＋が吸水ゲル担体の大きさを左右する物質として適している。一方、本発明者らの知見によれば、カチオンでもＮａ＋やＫ＋のような一価のカチオンの濃度は吸水ゲル担体の大きさにほとんど影響しない。
【００１６】
吸水ゲル担体の大きさを制御するに際しては、低塩類濃度排水に含まれるこれらの二価カチオンおよび三価カチオンの合計濃度を考慮した上で、これら二価カチオンおよび三価カチオンのいずれか１種以上を添加する。カチオン物質は、生物処理槽１１に添加してもよく生物処理槽１１の前段（例えば原水管３１の途中）に添加してもよい。
【００１７】
半導体排水およびＦＰＤ排水は、一般に塩類をほとんど含まず（概ね０．０１〜０．１ｍｇ／Ｌ以下程度）、二価カチオンまたは三価カチオンの添加量を調整することで吸水ゲル担体の大きさを任意に制御できる。例えば、Ｃａ２＋とＭｇ２＋を、両者の合計濃度が０．５ｍｇ／Ｌ程度となるように添加すれば、両者の合計濃度を１ｍｇ／Ｌ程度となるように添加する場合に比べて吸水ゲル担体の大きさを数倍にすることができる。
【００１８】
吸水ゲル担体の大きさを制御する要因である二価カチオンおよび三価カチオンは、概ね、担体１５を保持する液のこれら物質の合計濃度が０．５〜２．５ｍｇ／Ｌ程度の範囲となるよう添加することが好ましい。ただし、吸水ゲル担体の大きさを制御するために添加する二価カチオンおよび三価カチオンのいずれか一方または両方（添加カチオン）の添加量は、吸水ゲル担体の材質や所望する大きさ、および低塩類濃度排水の塩類濃度によって異なる。このため、予備実験を行い、吸水ゲル担体を所望の大きさに維持できる場合の上記カチオンの合計濃度を求めるとともに、添加後の添加カチオンの合計濃度の下限値および上限値を求めておくとよい。以下、ゲル担体を所望の大きさに維持できる場合の添加カチオンの合計濃度が１ｍｇ／Ｌである場合を例に説明する。
【００１９】
添加カチオンの添加量には、目標とする添加量の±５０％程度の誤差はあってもよい。例えば、二価カチオンと三価カチオンの合計濃度を１ｍｇ／Ｌに維持したい場合、０．５ｍｇ／Ｌ〜１．５ｍｇ／Ｌ程度にすればよい。処理対象の低塩類濃度排水に二価カチオンと三価カチオンのどちらもがほとんど含まれない場合は、二価カチオン物質（Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋等）および三価カチオン物質（Ａｌ３＋、Ｆｅ３＋等）から添加するカチオン物質を１以上選んで、そのカチオン物質をほぼ一定量で添加すればよい。低塩類濃度排水に二価カチオンおよび三価カチオンのどちらかまたは両方が含まれる場合は、不足分を補うように添加すればよい。
【００２０】
例えば、三価カチオンが低塩類濃度排水にほとんど含まれない（０．１ｍｇ／Ｌ程度以下）一方、二価カチオンが含まれてその濃度が変動する場合、濃度変動に応じて添加量を調整する。具体的には、低塩類濃度排水のＣａ濃度が０〜０．１ｍｇ／Ｌの範囲で変動し、Ｍｇ濃度が０〜０．１ｍｇ／Ｌの範囲で変動する場合、低塩類濃度排水のＣａ濃度とＭｇ濃度の合計が１ｍｇ／Ｌ以下になればＣａ２＋（もしくはＭｇ２＋、または三価カチオン）を添加すればよい。添加カチオンの添加量は、低塩類濃度排水の塩類濃度によっても異なるものの、概ね０．８〜２．５ｍｇ／Ｌを添加すれば、生物処理槽１１の槽内液の二価カチオンおよび三価カチオンの合計濃度を上記範囲に維持できる。
【００２１】
このように、低塩類濃度排水の二価カチオンと三価カチオンの濃度を監視しながら、添加カチオンの添加量を調整すれば、吸水ゲル担体の大きさをほぼ一定に維持できる。ただし、吸水ゲル担体の膨潤および収縮はそれほど急激に進まないため、低塩類濃度排水の二価カチオンと三価カチオンの濃度を監視せずに、吸水ゲル担体の大きさの変化を観察して添加カチオンの添加量や添加タイミングを調整してもよい。例えば、担体１５が膨潤してきたら生物処理槽１１の槽内液の濃度が０．５〜２．５ｍｇ／Ｌとなるように添加カチオンを添加してもよい。担体１５の大きさの観察と添加カチオンの添加頻度は、生物処理槽１１の滞留時間によっても異なるが、一日に１回か２回程度とすれば足りる。
【００２２】
上記添加カチオンの供給源としては、工業薬品を用いてもよいが、超純水を製造する過程等で排出され上記カチオンを含む凝集汚泥や固液分離水を利用してもよい。具体的には、カルシウム化合物を添加して凝集処理を行う過程で排出される凝集汚泥や凝集処理水、アルミニウム塩または鉄塩を凝集剤として添加して凝集処理して得られる凝集汚泥を用いてもよい。図１では二価または三価のカチオン物質を凝集槽２１に添加し、沈殿槽２２で固液分離して得られる凝集汚泥を生物処理槽１１にカチオン供給源として添加している。
【００２３】
また、超純水製造過程では、上述した添加カチオンを含む市水や工水等を逆浸透膜で処理することにより濃縮水が得られる。濃縮水には、添加カチオンが濃縮されているため、この濃縮水を添加カチオンの供給源として利用してもよい。濃縮水や凝集汚泥、凝集処理水等を添加カチオンの供給源として用いる場合、これらに含まれる添加カチオン濃度を測定しておくとよい。
【００２４】
上記手段により、生物処理槽１１内の担体１５の大きさをコントロールすることで、ゲル担体が過剰に膨潤したり極度に縮小したりして微生物の保持力が弱まることを回避できる。よって、生物処理槽１１で安定した生物処理を行うことができる。生物処理槽１１からの流出水は、必要に応じて固液分離して処理水管３３から処理水として取り出す。
【実施例】
【００２５】
［実験例１］
まず、二価カチオンとしてカルシウムを用いてポリアクリル酸を主成分とする吸水性樹脂の膨張および収縮試験を行った。カルシウムとしては塩化カルシウムを用い、吸水性樹脂としては商品名「アクアパールＤＳＣ３０」（サンダイヤポリマー株式会社製）を用いた。まず、実験例１として上記吸水性樹脂３ｇを容量１Ｌのビーカーに入れた。カルシウムを添加してカルシウム濃度を１ｍｇ／Ｌにした超純水でこのビーカーを満たした。その結果、吸水性樹脂は吸水して３００ｍＬに膨潤した。
【００２６】
３００ｍＬまで膨潤した吸水性樹脂の入ったビーカーに、さらにＣａ２＋濃度が５ｍｇ／Ｌとなるようにさらにカルシウムを添加した。カルシウム添加後、３０分後に樹脂の体積を測定したところ、１０５ｍＬまで収縮した。
【００２７】
１０５ｍＬまで収縮した吸水性樹脂の入ったビーカーに、さらにカルシウムを添加してＣａ２＋濃度を１０ｍｇ／Ｌにした。この結果、樹脂は収縮して１００時間後には樹脂の体積が測定できない程になった。
【００２８】
［実験例２］
実験例１で収縮した吸水性樹脂をビーカーから取り出して超純水で洗浄した後、超純水に懸濁させた。懸濁直後は、吸水性樹脂にほとんど変化は認められなかったが、１００時間後には樹脂体積は１０ｍＬとなった。
【００２９】
そこで、樹脂を再びビーカーから取り出して超純水で洗浄した後、超純水を入れ換えたビーカーに入れるという洗浄を、２４時間おきに５回行った。その後、４８時間放置して樹脂体積を測定した結果、樹脂体積は６０ｍＬであった。
【００３０】
[実験例３]
実験例１および実験例２では、水の入れ替えがない状態で樹脂を浸漬させた液のＣａ２＋濃度を変化させた。その結果、Ｃａ２＋濃度が低いと樹脂は膨潤し、Ｃａ２＋濃度を高くすると樹脂が収縮することが示された。また、Ｃａ２＋濃度が高くなって極度に収縮した樹脂については、Ｃａ２＋濃度が低い水に漬けても膨潤しにくいことが示された。そこで次に、担体が添加された生物処理槽に連続通水を行うことを想定して実験例３を行った。
【００３１】
実験例３では、実験例１で用いた吸水性樹脂と同じ吸水性樹脂３ｇを容積１Ｌのジャーファメンターに入れ、水道水に浸漬してそのまま、２４時間放置した。水道水は、二価カチオンおよび三価カチオンとしてＣａ２＋、Ｍｇ２＋、Ａｌ３＋をそれぞれ０．３ｍｇ／Ｌ、０．２ｍｇ／Ｌ、０．１ｍｇ／Ｌ含んでいた。４８時間後、樹脂の体積を測定したところ、２５０ｍＬであった。
【００３２】
そこで、膨潤させた吸水性樹脂が入ったジャーファメンターに、カルシウムを添加してＣａ２＋濃度を０．８ｍｇ／Ｌにした超純水を連続通水した。ジャーファメンターは３０ｒｐｍ程度の最低速度で攪拌しながら通水したところ、２４時間後の樹脂の体積は２６０ｍＬ程度であった。
【００３３】
次に、超純水に対するカルシウムの添加量を増やし、超純水のＣａ２＋濃度を１ｍｇ／Ｌに上昇させた。その結果、２４時間経過後、樹脂の体積は一時的に収縮した後、収縮は止まり１６０ｍＬで安定した。そこで、カルシウムの添加量をさらに増やし、超純水のＣａ２＋濃度を５ｍｇ／Ｌに上昇させた。その結果、樹脂は収縮を続け、４８時間経過後には体積の測定が不可能な程、収縮した。
【００３４】
［実施例１］
図１に示す生物処理装置１を模した実験装置で実験を行った。生物処理槽１１として、容積１Ｌのジャーファメンターを用い、実験例１で用いた吸水性樹脂と同じ吸水性樹脂３ｇを吸水ゲル担体としてジャーファメンターに入れた。このジャーファメンターに、人工排水（ペプトン濃度１００ｍｇ／Ｌ、酵母エキス濃度２０ｍｇ／Ｌ）を１，８００ｍＬ入れた後、下水汚泥（１００ｍｇ−ＭＬＳＳ／Ｌ）２００ｍＬを添加した。この吸水ゲル担体が保持されたジャーファメンターに、合成排水を連続通水し、実施例１で用いたカルシウムをＣａ２＋濃度１ｍｇ／Ｌとなるように添加した。合成排水は、超純水にメタノール、酢酸ナトリウム、ポリペプトン、およびリン酸１水素ナトリウムを添加して調製し、ＢＯＤ濃度２５０ｍｇ−ＢＯＤ／Ｌ、３０ｍｇ−Ｎ／Ｌ、５ｍｇ―Ｐ／Ｎとした。合成排水の二価カチオンおよび三価カチオンの濃度は、どちらも０．１ｍｇ／Ｌ以下である。
【００３５】
上記条件での通水開始後、２日後に樹脂表面に微生物菌体が認められ、通水開始から１週間後には処理水管３３から取り出される処理水の溶解性ＢＯＤ濃度は５ｍｇ／Ｌとなり、良好な処理が行われた。この処理を１ヶ月間、継続したところ、吸水ゲル担体の体積は３５０ｍＬで安定し、処理水ＢＯＤ濃度は５ｍｇ／Ｌであった。
【００３６】
[実施例２]
実施例２として、実施例１においてカルシウムの添加量を増やして、ジャーファメンター内の液のＣａ２＋濃度が１．５ｍｇ／Ｌとなるようにした。その他の条件は実施例１と同様にしたところ、１ヶ月の試験期間中、吸水ゲル担体の体積は３００ｍＬで安定し、処理水ＢＯＤ濃度は５ｍｇ／Ｌ以下で安定していた。
【００３７】
[比較例１]
実施例１においてカルシウムを添加しなかった以外は実施例１と同じ条件で試験を行った。この比較例１では、１ヶ月の試験期間中、吸水ゲル担体の体積は７００ｍＬで、処理水ＢＯＤ濃度は４０ｍｇ／Ｌであった。
【００３８】
[比較例２]
比較例２では、実施例１においてカルシウムの添加量を増やして、ジャーファメンター内の液のＣａ２＋濃度が３ｍｇ／Ｌとなるようにした。その他の条件は実施例１と同様にしたところ、吸水ゲル担体は収縮し始め、通水開始から１カ月後の樹脂の体積は１３０ｍＬまで収縮した。その結果、処理水のＢＯＤ濃度は１００ｍｇ／Ｌとなった。
【００３９】
[実施例３]
実施例３として、実施例１においてカルシウムに代えてマグネシウムを用い、ジャーファメンター内の液のＭｇ２＋濃度が１ｍｇ／Ｌとなるようにした。その他の条件は実施例１と同様にしたところ、１ヶ月の試験期間中、吸水ゲル担体の体積は２５０ｍＬで、処理水のＢＯＤ濃度は５ｍｇ／Ｌ以下で良好な処理が行われた。
【００４０】
[比較例３]
実施例３においてマグネシウムの添加量を増やしてジャーファメンター内の液のＭｇ２＋濃度が３ｍｇ／Ｌとなるようにした。その他の条件は実施例３と同様にしたところ、吸水ゲル担体は収縮し始め、通水開始から１カ月後の樹脂の体積は１００ｍＬまで収縮した。その結果、処理水のＢＯＤ濃度は１２０ｍｇ／Ｌとなった。
【００４１】
[実施例４]
実施例４として、実施例１においてカルシウムに代えてポリ塩化アルミニウムを用い、ジャーファメンター内の液のＡｌ３＋濃度が１ｍｇ／Ｌとなるようにした。その他の条件は実施例１と同様にしたところ、１ヶ月の試験期間中、吸水ゲル担体の体積は２００ｍＬで、処理水のＢＯＤ濃度は５ｍｇ／Ｌ以下で良好な処理が行われた。
【００４２】
[比較例４]
実施例３においてポリ塩化アルミニウムの添加量を増やしてジャーファメンター内の液のＡｌ３＋濃度が３ｍｇ／Ｌとなるようにした。その他の条件は実施例４と同様にしたところ、吸水ゲル担体は収縮し始め、通水開始から１カ月後の樹脂の体積は８０ｍＬまで収縮した。その結果、処理水のＢＯＤ濃度は１２０ｍｇ／Ｌとなった。
【００４３】
以上の実験から、本発明によればカルシウムの添加量を変えることで、吸水ゲル担体の大きさを制御でき、吸水ゲル担体に適性に微生物を保持させ良好な処理が行えることが示された。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、半導体製造等の過程で排出される低塩類濃度排水の生物処理に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明が適用される一実施形態に係る生物処理装置の模式図。
【符号の説明】
【００４６】
１      生物処理装置
１１    生物処理槽
１５    吸水ゲル担体
２１    凝集槽
２２    沈殿槽
【図１】
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