(57)【要約】【課題】一段と安定かつ確実にフィルムロールを移動し得るフィルムロール用のリフター及びフィルムロール用コアを提供すること。【解決手段】互いに接近することによりフィルムロール用コア１１を把持する一対のフォーク部材７２、７３と、フォーク部材７２、７３に把持されたフィルムロール用コア１１の軸方向が少なくとも水平方向に向く状態と垂直方向に向く状態との間を遷移可能にフォーク部材７２、７３を回転させる回転機構部３３と、フォーク部材７２、７３を水平方向に移動させる水平移動機構部３２とを具備する構成とした。【選択図】図１
2009084016.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムが巻き取られたフィルムロール用コアを移動させるリフターであって、
互いに接近することにより前記フィルムロール用コアを把持する一対のフォーク部材と、
前記フォーク部材に把持されたフィルムロール用コアの軸方向が少なくとも水平方向に向く状態と垂直方向に向く状態との間を遷移可能に前記フォーク部材を回転させる回転機構部と、
前記フォーク部材を水平方向に移動させる水平移動機構部とを具備することを特徴とするリフター。
【請求項２】
前記フォーク部材、前記回転機構部及び前記水平移動機構部を支持するフレームの下部に設けられた走行用の第１の車輪部と、
前記フレームから互いに逆の外方向に延設された一対の張出し脚部と、
前記張出し脚部にそれぞれ設けられた転倒防止用の第２の車輪部とを具備することを特徴とする請求項１に記載のリフター。
【請求項３】
前記第２の車輪部と床面との間に間隙が形成されることを特徴とする請求項２に記載のリフター。
【請求項４】
前記フォーク部材は、
前記フィルムロール用コアを把持する溝部と、
前記溝部に設けられた緩衝材とを具備することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のリフター。
【請求項５】
前記一対のフォーク部材の接近間隔を制限するストッパと、
前記フォーク部材に設けられ、前記フィルムロール用コアを把持する溝部と、
前記溝部に設けられた緩衝材とを具備することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のリフター。
【請求項６】
前記溝部は、台形形状の凹部であることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のリフター。
【請求項７】
フィルムを巻き取るためのフィルムロール用コアであって、
フィルムが巻き付けられた際の該フィルムの端部位置とコア端部との間であって前記フィルムの端部位置及び前記コア端部から離間した位置にコア外周面から突出する突縁部が形成されたことを特徴とするフィルムロール用コア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムロールを水平に取り付けて、フィルムの巻き出し、巻き取りを行う横搬送装置と、フィルムロールを垂直に取り付けて、フィルムの巻き出し、巻き取りを行う縦搬送装置との間で、フィルムロールの移動、着脱、回転を行うためのリフター及びフィルムロール用コアに関する。
【背景技術】
【０００２】
地球温暖化問題に対する対策の一つとして、化石燃料に代わるエネルギーへの要望が高まっている。特に太陽電池は、その安全性と扱い易さから一般家庭にも導入されるようになっている。
【０００３】
代表的な太陽電池には、結晶シリコン太陽電池、多結晶シリコン太陽電池、アモルファスシリコン太陽電池、化合物半導体太陽電池等がある。この中でもアモルファスシリコン太陽電池や薄膜結晶シリコン太陽電池は、比較的低コストで大面積化が可能であるため、各方面で活発に研究開発が進められている。
【０００４】
近年、開発が進んでいるプラスチック基板に薄膜半導体を形成したアモルファスシリコン太陽電池モジュールは、ポリイミド等の耐熱樹脂フィルム基板上にアモルファスシリコン層、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）透明電極層及び金属膜の背面電極層からなる太陽電池を、ＥＶＡ（Ethylene-Vinyl Acetate）等の接着性樹脂フィルムで接着封止することにより形成される。アモルファスシリコン太陽電池は、生産工程の自動化が容易であり、量産に適した太陽電池である。
【０００５】
ポリイミド等の耐熱樹脂フィルム基板は、プラスチックや紙、アルミ等の円筒型コア材に巻き付けられたロール状で供給される。太陽電池の製造工程においては、フィルムロールを水平に取り付けて、フィルムの巻き出し、巻き取りを行う横搬送装置と、フィルムロールを垂直に取り付けて、フィルムの巻き出し、巻き取りを行う縦搬送装置とがあり、フィルム基板が巻き付けられたフィルムロールをこれらの間で移動させながら、成膜処理が進められる。
【０００６】
横（縦）搬送装置の間でフィルムロールを移動させるためには、横（縦）搬送装置からフィルムロールを取り外し（アンローディングし）、他の縦（横）搬送装置に取り付け（ローディング）する必要があり、この着脱方法としては、専用のローディング装置及びアンローディング装置を用いる方法、又は、手動式、油圧電動式のリフターと呼ばれる装置を用いる方法等がある。
【０００７】
専用のローディング装置やアンローディング装置を用いる場合、例えば横搬送装置同士の間でフィルムロールを移動させる場合には、ローディング装置及びアンローディング装置をコンパクトに設置し得るのに対して、横搬送装置と縦搬送装置との間でフィルムロールを移動させる場合、フィルムロールを９０°回転させる必要があり、そのような機構を持たせる分、ローディング装置及びアンローディング装置が大型化することを避け得ない。
【０００８】
一方、手動式又は電動式のリフターによってフィルムロールを移動させる場合、複数の設備間におけるフィルムロールの移動、着脱を同一のリフターで行うことができれば、リフターの数を低減できる分、設備費用を低減することができると考えられる。
【０００９】
回転機構のないリフターにより、フィルムロールを横搬送装置と縦搬送装置との間で移動させる場合、リフターによるフィルムの移動工程の他に、別途フィルムロール反転装置によりフィルムロールを９０°回転させる工程（反転工程）が必要となり、その分、移動工程に要する時間が長くなる。
【００１０】
かかる課題を解決するための一つの方策として、回転機構を追加したリフターが考えられている（特許文献１参照）。すなわち、図１４に示すように、このリフター１は、フィルムロール２を保持した状態で、これを回転機構部３によって９０°回転させるように構成されている。また、下部フレーム４には、車輪５が設けられており、リフター１全体の移動が可能となっている。
【特許文献１】特開２００６−２３２５４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、かかる構成の従来のリフター１においては、フィルムロール２を垂直方向に立てた状態では、荷重受け部６によってフィルムロール２の端面２ａを受けるようになっていることにより、フィルムロール２の質量をその端面２ａによって受けることとなり、端面２ａに傷や曲がりが発生し、フィルムロール２からフィルムを巻き出して成膜工程等を実行する際に、フィルムの蛇行、折れ又はしわが発生するおそれがある。
【００１２】
また、従来のリフター１においては、固定ベルト７を用いてフィルムロール２の腹部２ｂをクランプするようになっていることにより、例えば、成膜後のフィルムロール２の腹部２ｂを固定ベルト７によってクランプした場合、フィルムの成膜面に損傷を受ける可能性があり、損傷を受けたフィルムによって製造されたフィルム型太陽電池では、電流リーク等の不良の発生につながる恐れがある。
【００１３】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、一段と安定かつ確実にフィルムロールを移動し得るフィルムロール用のリフター及びフィルムロール用コアを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のリフターは、フィルムが巻き取られたフィルムロール用コアを移動させるリフターであって、互いに接近することにより前記フィルムロール用コアを把持する一対のフォーク部材と、前記フォーク部材に把持されたフィルムロール用コアの軸方向が少なくとも水平方向に向く状態と垂直方向に向く状態との間を遷移可能に前記フォーク部材を回転させる回転機構部と、前記フォーク部材を水平方向に移動させる水平移動機構部とを具備することを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、横搬送装置と縦搬送装置との間でフィルムロールを搬送するにつき、１台のリフターでフィルムロールの向き（水平方向、垂直方向）を変えることができると共に、フィルムロールの水平方向の位置を微調整しながらフィルムロールを搬送装置との間で受け渡すことができる。これにより、一段と容易にフィルムロールの着脱及び移動作業を行うことができる。
【００１６】
また本発明は、上記リフターにおいて、前記フォーク部材、前記回転機構部及び前記水平移動機構部を支持するフレームの下部に設けられた走行用の第１の車輪部と、前記フレームから互いに逆の外方向に延設された一対の張出し脚部と、前記張出し脚部にそれぞれ設けられた転倒防止用の第２の車輪部とを具備することを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、フィルムロールを移動させる際に、これを高揚程にリフトした場合であっても、リフターを第２の車輪部によって安定化させることができる。また、第２の車輪部によって安定化するので、第１の車輪部の配置間隔を狭くすることができ、その分、リフターの回転半径を小さくすることができる。これにより、リフターの操作性を向上し得ると共に、リフターによってフィルムロールを回転走行して移動させる搬送装置間のスペースを圧縮することができる。
【００１８】
また本発明は、上記リフターにおいて、前記第２の車輪部と床面との間に間隙が形成されることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、リフターを移動させる際に、床面の凹凸による床面から不要な反力が加わることを防止して、リフター走行時の安定性を向上させることができる。また、リフターの傾斜角度が大きくなった場合には、第２の車輪部によって反力を得て、リフターの転倒を防止することができる。
【００２０】
また本発明は、上記リフターにおいて、前記フォーク部材は、前記フィルムロール用コアを把持する溝部と、前記溝部に設けられた緩衝材とを具備することを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、フィルムロール用コアに過大な圧縮力が加わり変形することを防止することができる。
【００２２】
また本発明は、上記リフターにおいて、前記一対のフォーク部材の接近間隔を制限するストッパと、前記フォーク部材に設けられ、前記フィルムロール用コアを把持する溝部と、前記溝部に設けられた緩衝材とを具備することを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、フィルムロール用コアに過大な圧縮力が加わり変形することを防止することができる。
【００２４】
また本発明は、上記リフターにおいて、前記溝部は、台形形状の凹部であることを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、一対のフォーク部材に設けられた溝部のうちの一方の溝部でフィルムロール用コアの質量を支え、他方の溝部でフィルム用コアの位置決めをしながら、フィルムロール用コアを水平方向から垂直方向へ回転させることができ、回転中、フィルムロール用コアが安定位置に滑動し易くなると共に、滑動後には、２つの台形の溝部によって形成される六角形の孔部により、フィルムロール用コアに設けられた突縁部を確実に受けることができる。これにより、フィルムロール用コアにスクラッチ傷が発生することを防止し得ると共に、フィルムロール用コアの回転及び搬送装置との間の着脱作業を一段と容易に行うことができるようになる。
【００２６】
また本発明のフィルムロール用コアは、フィルムを巻き取るためのフィルムロール用コアであって、フィルムが巻き付けられた際の該フィルムの端部位置とコア端部との間であって前記フィルムの端部位置及び前記コア端部から離間した位置にコア外周面から突出する突縁部が形成されたことを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、突縁部によってフィルムロール用コアの質量を受けることができ、フィルムロール用コアに巻き付けられたフィルムの端面に損傷が発生することを防止することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、一段と安定かつ確実にフィルムロールを移動し得るフィルムロール用のリフター及びフィルムロール用コアを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の一実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係るフィルムロール用着脱リフター（以下、リフターと呼ぶ）２０を示し、図１（Ａ）は、リフター２０の正面図、図１（Ｂ）は側面図である。また、図２は、リフター２０の上面図である。
【００３０】
このリフター２０は、互いに接近することによりフィルムロール用のコア１１を把持する一対のクランプフォーク部材（フォーク部材）７２、７３と、クランプフォーク部材７２、７３に把持されたフィルムロール用のコア１１の軸方向が少なくとも水平方向に向く状態と垂直方向に向く状態との間を遷移可能にクランプフォーク部材７２、７３を回転させる回転機構部３３と、クランプフォーク部材７２、７３を水平方向に移動させる水平移動機構部３２とを備える。
【００３１】
このリフター２０によって移動されるフィルムロール１０は、円筒形状のコア１１に薄膜太陽電池を製造するためのポリイミド等の耐熱樹脂フィルム（以下、フィルムと呼ぶ）１２が巻き付けられたものである。コア１１は、プラスチック、紙又はアルミ等で形成され、その外周面には、突縁状のプレート（突縁部）１３ａ、１３ｂが嵌合、接着又は溶着等によって固定されている。プレート１３ａ、１３ｂの材質はコア１１と同等の材質又はそれ以外の種々の材質を用いることができ、コア１１への固定方法も嵌合、接着、溶着以外の方法であってもよい。プレート１３ａ及び１３ｂの取り付け位置は、コア１１に巻き付けられたフィルム１２の端部から離間した位置であって、かつ、コア１１の端部から離間した位置となっている。
【００３２】
図１及び図２に示すように、リフター２０においては、互いに平行に前後方向に延設された一対の前脚部２５と、この前脚部２５の後端部に立設されたマスト部（フレーム）２６とを有し、前脚部２５の前端部には、前輪２７ａ、２７ｂが前後進用固定輪として前脚部２５に支持され、マスト部２６の下部には後輪２８ａ、２８ｂが回転自在に支持されている。この後輪２８ａ、２８ｂは、首振り可能に支持された自在輪であり、対角の前輪（後輪２８ａに対して前輪２７ｂ、後輪２８ｂに対して前輪２７ａ）を支点として後輪２８ａ、２８ｂが首振りして回転するようになっている。これら前輪２７ａ、２７ｂと後輪２８ａ、２８ｂとによって走行用の第１の車輪部が構成される。
【００３３】
マスト部２６には、上下移動機構部３１が設けられ、上下移動機構部３１には、水平移動機構部３２が設けられ、水平移動機構部３２には回転機構部３３が設けられ、回転機構部３３にはクランプ機構部３４が設けられている。
【００３４】
図３は、リフター２０の上下移動機構部３１を示す正面図（図３（Ａ））及び側面図（図３（Ｂ）)である。図３に示すように、上下移動機構部３１においては、平板状の移動体４１がマスト部２６にガイドされて矢印ａで示す上下方向に移動可能となっている。この移動体４１には、チェーン４４の両端部が固定されており、このチェーン４４は、マスト部２６の上部に設けられたプーリ４２と下部に設けられたプーリ４３とに係合されている。プーリ４２は、歯車４５を介してハンドル部４６により回転可能に枢支されており、ハンドル部４６を回転させることにより、移動体４１をマスト部２６に沿って上下移動させることができるようになっている。
【００３５】
移動体４１の前面には、水平方向に延設されてなるガイド突起４７が設けられている。このガイド突起４７は、図４について後述する水平移動機構部３２の水平方向への移動をガイドするようになっている。また、移動体４１の前面には、後述する水平移動機構３２の送りねじ５２に螺合されるねじ軸受（ねじ軸用ナット）４９が形成された軸受部４８が固定されている。
【００３６】
図４は、リフター２０の水平移動機構部３２を示す正面図（図４（Ａ））及び側面図（図４（Ｂ））である。図４に示すように、水平移動機構部３２においては、フレーム状の移動体５１が移動体４１のガイド突起４７にガイドされて矢印ｂで示す水平方向に移動可能となっている。移動体５１には、送りねじ５２が回転自在に枢支されており、この送りねじ５２は、移動体４１に設けられたねじ軸受４９に螺合されている。これにより、送りねじ５２を回転させるためのハンドル部５３を回転させることにより、移動体５１をガイド突起４７に沿って水平方向へ移動させることができるようになっている。
【００３７】
図５は、リフター２０の回転機構部３３を示す正面図（図５（Ａ））及び側面図（図５（Ｂ））である。図５に示すように、回転機構部３３においては、円柱形状の回転体６１が前後方向の回転軸（図示せず）を中心に矢印ｃで示す方向に回転自在に枢支されており、回転体６１の一方の端部には、その外周面に突縁部６２が形成され、該突縁部６２に沿ってギア６３が形成されている。また、回転体６１は、円筒状のカバー６４の内部に設けられており、このカバー６４には、回転体６１を回転させるための操作軸６５が回転自在に枢支されている。操作軸６５の一方の端部にはギア６６が設けられており、このギア６６が回転体６１の突縁部６２に形成されたギア６３に歯合されている。これにより、操作軸６５の他方の端部に設けられたハンドル部６７を回転させることにより、回転体６１を回転させることができるようになっている。
【００３８】
回転体６１には、クランプ機構部３４が固定され、回転体６１と一体に回転するようになっている。すなわち、図１及び図２に示すように、クランプ機構部３４においては、回転機構部３３の回転体６１と一体に回転するようになされたフレーム７１を備え、このフレーム７１には、クランプフォーク部材７２、７３をガイドするためのガイド孔７４が形成されている。クランプフォーク部材７２、７３は、このガイド孔７４に沿って互いに接近する方向又は反対に離間する方向に移動可能となっている。
【００３９】
図６に示す通り、フレーム７１には、送りねじ７６が回転自在に支持されており、この送りねじ７６は、クランプフォーク部材７２、７３にそれぞれ形成されたねじ軸受（図示せず）に螺合されている。送りねじ７６においては、クランプフォーク部材７２が螺合されて移動する領域と、クランプフォーク部材７３が螺合されて移動する領域とで反対方向にねじが形成されている。これにより、送りねじ７６を回転させるためのハンドル部７７を回転させることにより、クランプフォーク部材７２、７３をガイド孔７４に沿って互いに接近する方向又は離間する方向に移動させることができるようになっている。すなわち、クランプ機構部３４においては、正ねじ、逆ねじを切ったスクリューシャフト２本に、対向するクランプフォーク部材７２、７３が各々セットされた状態で、リフター中央部において、スクリューシャフト同士を連結カプラーによりセットピン等で連結し一体化することにより送りねじ７６を構成している。このように、正ねじ、逆ねじが組み合わされたスクリューシャフトを用いることにより、片側のハンドル部７７の操作のみで両方のクランプフォーク部材７２、７３を同時移動させて対象ワーク（フィルムロール１０）をクランプ機構部３４の中心位置（すなわち、回転機構部３３の回転中心位置）でクランプすることが可能となる。このように、中心位置でクランプすることにより、対象ワークをクランプした状態で回転機構部３３によりクランプ機構部３４を回転させても、アンバランスな状態となることを防止することができる。なお、片側のハンドル部７７を操作している際、他方のハンドル部は空回りすることになるので、ハンドル部７７を着脱自在として不要な側のハンドル部を取り外すことができる。
【００４０】
クランプフォーク部材７２は、一方の端部（フォーク部７２ａ）と他方の端部（フォーク部７２ｂ）とが略平行となるように全体が略Ｕ字状に形成されている。また、クランプフォーク部材７３も同様にして、一方の端部（フォーク部７３ａ）と他方の端部（フォーク部７３ｂ）とが略平行となるように全体が略Ｕ字状に形成されている。クランプ機構部３４では、フォーク部７２ａとフォーク部７３ａとが対向し、フォーク部７２ｂとフォーク部７３ｂとが対向するように設けられ、クランプフォーク部材７２、７３が互いに接近する方向に移動した場合にフォーク部７２ａとフォーク部７３ａとが接近すると共に、フォーク部７２ｂとフォーク部７３ｂとが接近するようになっている。また、反対にクランプフォーク部材７２、７３が互いに離間する方向に移動した場合にフォーク部７２ａとフォーク部７３ａとが離間すると共に、フォーク部７２ｂとフォーク部７３ｂとが離間するようになっている。
【００４１】
フォーク部７２ａ、７３ａには、互いに対向する部分に半円形の凹状に形成されたフォーク溝７２ｃ、７３ｃが形成されており、このフォーク溝７２ｃ、７３ｃ間にフィルムロール１０のコア１１を挟んで挟持するようになっている。また、フォーク部７２ｂ、７３ｂにおいても同様にして、互いに対向する部分に凹状のフォーク溝が形成されており、このフォーク溝間にフィルムロール１０のコア１１を挟んで挟持するようになっている。
【００４２】
フォーク部７２ａと７２ｂとの間の距離、及びフォーク部７３ａと７３ｂとの間の距離は、それぞれ、フィルムロール１０のコア１１に設けられたプレート１３ａと１３ｂとの間の距離よりも大きく、コア１１の長さよりも小さくなるように形成されている。これにより、図１（Ａ）に示すように、フォーク部７２ａ、７２ｂとフォーク部７３ａ、７３ｂとによって、フィルムロール１０のコア１１を、プレート１３ａ、１３ｂが設けられた外側で挟持することができるようになっている。
【００４３】
因みに、上述したように、フィルムロール用のコア１１において、プレート１３ａ及び１３ｂの取り付け位置は、コア１１に巻き付けられたフィルム１２の端部から離間した位置であって、かつ、コア１１の端部から離間した位置となっている。これにより、プレート１３ａ、１３ｂとコア１１の端部との間でフィルムロール１０を把持することができ、フィルム１２の端部に傷が付くことを回避するようになっている。
【００４４】
リフター２０においては、クランプ機構部３４によってフィルムロール１０を挟持した状態で、回転機構部３３によってクランプ機構部３４を回転させることにより、クランプ機構部３４に挟持されたフィルムロール１０を回転させることができる。すなわち、図１に示すように、クランプ機構部３４によってフィルムロール１０を水平方向に挟持した状態において、回転機構部３３によってクランプ機構部３４を例えば矢印ｄ方向に回転させることにより、図６に示すように、クランプ機構部３４に挟持されたフィルムロール１０が斜めに保持された状態を介して、図７及び図８に示すように、フィルムロール１０が垂直に挟持された状態となる。なお、図７（Ａ）は、リフター２０の正面図、図７（Ｂ）は、リフター２０の側面図、図８は、リフター２０の上面図である。
【００４５】
以上説明したリフター２０を用いて、フィルムロール１０を移送する工程について説明する。フィルム１２をフィルムロール１０から巻き出し又は巻き取る搬送装置としては、フィルムロール１０をそのコア１１の向きが水平方向となるように取り付ける横搬送装置と、フィルムロール１０をそのコア１１の向きが垂直方向となるように取り付ける縦搬送装置とがある。ここでは、水平搬送装置に取り付けられているフィルムロール１０を、縦搬送装置に移送して受け渡す場合について説明する。なお、横搬送装置は、薄膜太陽電池の成膜工程に使用されるフィルムの巻き取り室に設置されており、縦搬送装置は、成膜工程におけるその後の工程に使用されるフィルムの巻き出し室に設置されているものとする。
【００４６】
図９（Ａ）に示すように、まず、リフター２０の回転機構部３３を操作することにより、クランプ機構部３４のクランプフォーク部材７２及び７３が上下に配置された状態にすると共に、上下移動機構部３１を操作することにより、クランプ機構部３４の高さを、横搬送装置（図示せず）からフィルムロール１０を受け取るための高さに調節する。また、クランプ機構部３４を操作することにより、クランプフォーク部材７２を上方へ移動させると共に、クランプフォーク部材７３を下方へ移動させる。これにより、フォーク部７２ａ、７２ｂと、フォーク部７３ａ、７３ｂとの間にフィルムロール１０のコア１１を挿入するための間隙が形成される。
【００４７】
この状態において、図９（Ｂ）に示すように、横搬送装置からフィルムロール１０をクランプ機構部３４の下側のフォーク部７３ａ、７３ｂのフォーク溝７３ｃに受け取る。この場合、クランプ機構部３４においては、横搬送装置に合わせて、フィルムロール１０を水平方向に支持する状態でこれを受け取ることができる。
【００４８】
そして、この状態において、クランプ機構部３４を操作することにより、フィルムロール１０を支持した下側のフォーク部７３ａ、７３ｂを上方に移動させると共に、上側のフォーク部７２ａ、７２ｂを下方に移動させる。これにより、図９（Ｃ）に示すように、フォーク部７２ａ及び７３ａによって、フィルムロール１０のコア１１の一方の端部が、フォーク部７２ａ及び７３ａの各フォーク溝７２ｃ及び７３ｃの間で挟持され、また、コア１１の他方の端部が、フォーク部７２ｂ及び７３ｂの各フォーク溝の間で挟持される。なお、フォーク部７２ａ、７３ａのフォーク溝７２ｃ、７３ｃと、フォーク部７２ｂ、７３ｂのフォーク溝とは、それぞれの溝の深さが、コア１１を挟持し得る程度に限定されている。これにより、フォーク部７２ａ、７２ｂとフォーク部７３ａ、７３ｂとを接近する方向に移動させた場合に、フォーク部７２ａ、７３ａのフォーク溝７２ｃ、７３ｃと、フォーク部７２ｂ、７３ｂのフォーク溝との間に形成される略円形の孔部において、コア１１が不用意に動くことを防止し得、確実にコア１１を挟持することができる。
【００４９】
またこの場合、フォーク部７２ａと７２ｂとの間の距離及びフォーク部７３ａと７３ｂとの間の距離は、フィルムロール１０のコア１１に固定されたプレート１３ａと１３ｂとの間の距離よりも大きく、かつコア１１の長さよりも小さくなっていることにより、コア１１の両端部近傍をプレート１３ａ、１３ｂの外側（コア１１の端部側）でクランプすることができる。
【００５０】
このようにして、クランプ機構部３４によってフィルムロール１０のコア１１を挟持した後、図６及び図７に示したように、回転機構部３３を操作することによって、クランプ機構部３４を矢印ｄ（図６、図７）で示す方向に９０°回転させる。これにより、リフター２０によるフィルムロール１０の移送先である縦搬送装置におけるフィルムロール１０の取り付け状態に合わせて、フィルムロール１０をそのコア１１の軸線が垂直方向を向くように保持することができる。
【００５１】
この場合、フィルムロール１０が水平状態から回転して垂直状態となる過程において、クランプ機構部３４にクランプされたフィルムロール１０は、コア１１の両端部近傍に固定された２つのプレート１３ａ、１３ｂのうち、回転に伴って下側となるプレート（例えば１３ａ（図６））がフォーク部７２ａ、７３ａに当接する方向（下向き）に徐々に滑り落ちることになる。そして、プレート１３ａがフォーク部７２ａ、７３ａに当接した状態で、このフォーク部７２ａ、７３ａによってプレート１３ａが支えられる。すなわち、プレート１３ａによってフィルムロール１０の質量が受け止められることとなる。従って、フィルムロール１０に巻き付けられたフィルム１２の端面にはフィルムロール１０の荷重がかからないことにより、該端面に傷や曲がり等が発生することを防止することができる。
【００５２】
そして、図７に示すように、回転機構部３３によって、フィルムロール１０がそのコア１１の軸方向が垂直方向となる状態とした後、上下移動機構部３１を操作することにより、クランプ機構部３４に挟持されたフィルムロール１０を、必要な揚程まで上昇させる。この状態で、リフター２０を手押し又は電動で走行させることにより、縦搬送装置が設置されているフィルムの巻き出し室へ搬入する。
【００５３】
リフター２０によりフィルムロール１０を巻き出し室へ搬入した後、クランプ機構部３４に挟持されているフィルムロール１０の水平位置を、水平移動機構３２の操作によって微調整することにより、巻き出し装置においてチャッキング可能な水平位置にフィルムロール１０を位置決めすることができる。このように、水平移動機構部３２によってフィルムロール１０の水平位置を微調整し得ることにより、リフター２０全体を前後方向に移動させながら徐々に水平位置を微調整するといった煩雑な手間を回避することができる。
【００５４】
かくして、以上説明した本実施の形態のリフター２０によれば、クランプ機構部３４にクランプされたフィルムロール１０を、回転機構部３３によって回転させることができることにより、横搬送装置及び縦搬送装置に対して同一のリフター２０によってフィルムロール１０の受け渡しを行うことができる。そして、このように回転機構部３３を設けた分、リフター２０の質量が増加した場合であっても、水平移動機構部３２によってフィルムロール１０の水平位置を微調整し得ることにより、リフター２０全体を少しずつ移動させながら位置合わせするといった煩雑な手間を回避して、一段と容易にフィルムロール１０の受け渡しを行うことが可能となる。
【００５５】
また、コア１１の軸方向が垂直方向となるようにフィルムロール１０をクランプした状態において、コア１１に固定されたプレート１３ａ、１３ｂによってフィルムロール１０の質量を受け止めることにより、フィルムロール１０のフィルム端面に損傷が発生することを防止することができ、この結果、フィルム１２を用いて製造された薄膜太陽電池の品質を向上させることができる。
【００５６】
なお、上述の第１の実施の形態においては、コア１１の両端近傍にそれぞれプレート１３ａ及び１３ｂを設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、回転機構部３３によってフィルムロール１０を回転させた場合に、下側となる端部が常に決まっている場合には、その側にのみプレート１３ａを設けるようにしてもよい。
【００５７】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係るリフターは、第１の実施の形態に係るリフター２０に対して、リフターの転倒防止用のアウトリガー車輪（張出し車輪）を設け、前輪２７ａ、２７ｂの間隔を狭くした点のみが異なる。従って、第２の実施の形態に係るリフター１２０を示す図１０及び図１１においては、第１の実施の形態のリフター２０を示す図１との対応部分に同一符号を付して、重複した説明を省略する。
【００５８】
図１０及び図１１に示すように、リフター１２０においては、一対の前脚部２５の間隔Ｗを、図１に示したリフター２０の構成に比べて狭く配置すると共に、各前脚部２５から互いに逆の外方向へ張出し脚部１２３ａ及び１２３ｂを設け、この張出し脚部１２３ａ、１２３ｂの各先端部に第２の車輪部として張出し車輪１２４ａ及び１２４ｂを設けた構成を有している。張出し車輪１２４ａ、１２４ｂの取り付け高さは、該張出し車輪１２４ａ、１２４ｂと床との間に１〔ｍｍ〕〜５〔ｍｍ〕のクリアランスが生じるような高さとなっている。
【００５９】
本実施の形態においては、張出し車輪１２４ａ、１２４ｂを設けることにより、図１０に示すように、クランプ機構部３４によってクランプされたフィルムロール１０を、回転機構部３３によってコア１１の軸方向が垂直方向となるように回転させた状態で、上下移動機構部３１によって高い位置に保持した場合であっても、十分な転倒防止機能を有することとなる。すなわち、前輪２７ａ、２７ｂと後輪２８ａ、２８ｂによって構成される第１の車輪部においては、前輪２７ａ、２７ｂと後輪２８ａ、２８ｂとの間に十分な間隔が設けられていることにより、前方に突出したフォーク部７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂによってフィルムロール１０をクランプした場合であっても、リフター１２０がフィルムロール１０の荷重によって前方に倒れることを防止しており、本実施の形態では、さらにこれに加えて、張出し車輪１２４ａ、１２４ｂによって側方への安定性を保つようになっている。
【００６０】
また、張出し車輪１２４ａ、１２４ｂを設けて十分な転倒防止機能持たせることにより、一対の前脚部２５の間隔Ｗを狭くすることができる。これにより、リフター１２０の回転半径を小さくすることができ、操作性を向上することができると共に、リフター１２０によってフィルムロール１０を受け渡す搬送装置（例えば横搬送装置と縦搬送装置）の間隔を狭くすることができる。従って、薄膜太陽電池の製造工程に係るスペースを一段と圧縮することが可能となる。なお、図１１に示すように、リフター１２０においては、前輪２７ａ、２７ｂは固定輪であり、後輪２８ａ、２８ｂは自在輪である。これにより、対角の前輪（後輪２８ａに対して前輪２７ｂ、後輪２８ｂに対して前輪２７ａ）を支点として後輪２８ａ、２８ｂがそれぞれ首振りして回転するようになっている。この場合、回転半径ｒは、リフター１２０の構造部分のうち、例えば前輪２７ｂの中心点Ｏを中心として、中心点Ｏから最も離れた部位Ｓを通る円弧までの距離が回転半径ｒとなる。この実施の形態のリフター１２０では、対角後輪（前輪２７ａに対して後輪２８ｂ、前輪２７ｂに対して後輪２８ａ）が中心点Ｏから最も離れた部位となっていることにより、図１１に示すように、前輪２８ｂを中心として見た場合に対角後輪２８ａの最も離れた位置Ｓを通る円弧までの距離が回転半径ｒとなる。なお、本実施の形態のリフター１２０では、後輪２８ａ、２８ｂが中心点Ｏから最も離れた部位Ｓとなっているが、リフターによっては他の構造部位が最も離れた部位となる場合もある。例えば、図１２は、他のリフターの一部を簡略的に示す上面図であり、このリフターにおいては、その構造部分であるフレーム１２６の角部が中心点Ｏから最も離れた部位Ｓとなっており、この場合には、このフレーム１２６の角部と中心点Ｏとの間の距離が回転半径ｒとなる。
【００６１】
因みに、近年、開発が進んでいる１〔ｍ〕幅程度のフィルムを使用した大面積アモルファスシリコン太陽電池を製造するための縦搬送装置を用いた製造設備では、排気抵抗や装置設置面積の低減を図るため、成膜用真空容器の下部に真空ポンプを設置することが望ましく、この場合には、リフター１２０によるフィルムロール１０の受け渡し対象となる搬送装置の高さが高くなり、リフター１２０によるフィルムロール１０の揚程は、例えば、１．５〔ｍ〕から２〔ｍ〕と高くなる。この場合、リフターの前脚部２５の間隔を広げることでリフターの転倒防止性を高める方法も考えられるが、このようにすると、リフターの回転半径が大きくなり、リフターの操作性が低下すると共に、リフターの可動スペースを大きくとる必要がある分、工場建屋面積が拡大することとなる。本実施の形態に係るリフター１２０を用いることにより、係る問題点を解決することが可能となる。
【００６２】
また、張出し車輪１２４ａ、１２４ｂと床との間に、１〔ｍｍ〕〜５〔ｍｍ〕のクリアランスを設けることにより、床面のうねりや凹凸による床面からの不要な反力が張出し車輪１２４ａ、１２４ｂを介してリフター１２０に加わることを防止することができる。これにより、リフター１２０の走行時における安定性を確保することができると共に、リフター１２０の傾斜角度が大きくなった場合には、張出し車輪１２４ａ、１２４ｂにより反力を得てリフター１２０の転倒を防止することができる。
【００６３】
なお、上述の第２の実施の形態においては、張出し脚部１２３ａ、１２３ｂを固定式とする場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、折りたたみ式として、フィルムロール１０を高揚程にリフトする場合においてのみ張出し車輪１２４ａ、１２４ｂを引き出して使用するようにしてもよい。このようにすれば、フィルムロール１０の揚程を低くして移送する場合には、リフター１２０の操作性を向上することができる。特に、長距離移動時にはフィルムロール１０の揚程を低くし、張出し車輪１２４ａ、１２４ｂを折りたたむことで、操作性良くフィルムロール１０を移送することができる。
【００６４】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係るリフターは、第１の実施の形態に係るリフター２０に対して、クランプ機構部３４のフォーク部７２ａ、７３ａに形成された凹状のフォーク溝７２ｃ、７３ｃの構成、及び一対のクランプフォーク部材７２及び７３（すなわちフォーク部７２ａ及び７３ａ（７２ｂ及び７３ｂ））が必要以上に接近しないように制限するストッパを設けた点のみが異なる。すなわち、図１３は、本実施の形態に係るリフターのフォーク部７２ａ、７３ａを示し、このフォーク部７２ａ、７３ａには、凹状のフォーク溝１７２ｃ、１７３ｃとして、台形形状の凹部が形成されている。そして、各フォーク溝１７２ｃ、１７３ｃには、クランプされるコア１１との接触部位に、低硬度の緩衝材１８１が設けられている。
【００６５】
また、フォーク部７２ａ（７２ｂ）には、フォーク部７３ａ（７３ｂ）と対向する位置にストッパ１７２ｄが形成されており、フォーク部７２ａ（７２ｂ）と７３ａ（７３ｂ）とを接近する方向に移動させた際に、フォーク部７２ａ（７２ｂ）と７３ａ（７３ｂ）とが必要以上に接近しないように制限されている。このストッパ１７２ｄによって、フォーク部７２ａ（７２ｂ）と７３ａ（７３ｂ）によるコア１１のクランプ（把持）寸法を制限するようになっている。なお、図１３においては、フォーク部７２ａ及び７３ａ側のみを示しているが、反対側のフォーク部７２ｂ及び７３ｂにおいても同様の構成を有しているものとする。
【００６６】
以上の構成において、図１３（Ａ）に示すように、フィルムロール１０のコア１１をフォーク部７２ａ(７２ｂ)のフォーク溝１７２ｃに載せ、クランプ機構部３４（図１）を操作することにより、フォーク部７２ａ（７２ｂ）及び７３ａ（７３ｂ）を互いに接近する方向に移動させる。そして、図１３（Ｂ）に示すように、コア１１がフォーク溝１７２ｃによって上下からクランプされた状態となると、ストッパ１７２ｄが対向するフォーク部７３ａに当接することにより、フォーク部７２ａ(７２ｂ)と７３ａ（７３ｂ）とがそれ以上接近しないように制限される。この制限状態においては、コア１１が緩衝材１８１の変形範囲内で挟持される。このように、緩衝材１８１及びストッパ１７２ｄを用いることにより、コア１１に過大な圧縮力が加わることを回避して、コア１１が変形することを防止することができる。
【００６７】
また、図１３（Ｂ）に示すように、コア１１がフォーク部７２ａ（７２ｂ）及び７３ａ(７３ｂ)によって挟持された状態においては、上下のフォーク溝１７２ｃによって六角形の孔部が形成される。この場合、下側のフォーク部７３ａ（７３ｂ）によってフィルムロール１０の質量を支え、上側のフォーク部７２ａ（７２ｂ）によってコア１１の位置決めを行いながら、回転機構部３３（図１）によってフィルムロール１０を９０°回転させてコア１１の軸方向が垂直方向となるようにすることにより、フィルムロール１０の回転中においては、コア１１が安定位置に滑動し易くなると共に、滑動後には、２つのフォーク溝１７２ｃによって形成される六角形の孔部によってコア１１の荷重受け用のプレート１３ａが確実に保持される。これにより、コア１１にスクラッチ傷が発生することを防止し得ると共に、フィルムロール１０の回転、着脱作業を一段と容易に行うことができる。
【００６８】
なお、上述の第３の実施の形態においては、フォーク部７２ａの一部にストッパ１７２ｄを設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、要は、フォーク部７２ａ（７２ｂ）と７３ａ（７３ｂ）との接近を制限するものであればよい。
【００６９】
（他の実施の形態）
なお、上述の第３の実施の形態においては、台形形状のフォーク溝１７２ｃ、１７３ｃに緩衝部材１８１を設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、図１について上述した第１の実施の形態に係る半円形状のフォーク溝７２ｃ、７３ｃに緩衝部材１８１を設けるようにしてもよい。
【００７０】
また、上述の第３の実施の形態においては、台形形状のフォーク溝１７２ｃ、１７３ｃに緩衝材１８１を設けた構成において、ストッパ１７２ｄを設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、図１について上述した第１の実施の形態に係る半円形状のフォーク溝７２ｃ、７３ｃを有する構成において、フォーク部７２、７３の必要以上の接近を制限するストッパを設けるようにしてもよい。また、この場合にフォーク溝７２ｃ、７３ｃに緩衝材１８１を設けるようにしてもよい。
【００７１】
また、上述の各実施の形態においては、フィルムロール１０のコア１１に円板形状のプレート１３ａ、１３ｂを設ける場合について述べたが、プレート１３ａ、１３ｂの形状はこれに限られるものではなく、要は、コア１１の外周面から突出した突縁形状であればよく、円形には限られない。また、コア１１の外周面の全周に亘って形成されていなくてもよい。
【００７２】
また、上述の第３の実施の形態においては、図１に示した第１の実施の形態の構成に対して、台形のフォーク溝１７２ｃ及びストッパ１７２ｄを設けた場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、図１０及び図１１に示した第２の実施の形態の構成に対して、台形のフォーク溝１７２ｃ及びストッパ１７２ｄを設けるようにしてもよい。
【００７３】
さらに、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、構成について適宜変更して実施することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、例えば、可撓性のあるフィルム基板上に光電変換層を形成してなる薄膜太陽電池を製造する設備に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかるリフターの構成を示す正面図及び側面図
【図２】図１のリフターの上面図
【図３】図１のリフターの上下移動機構部を示す正面図及び側面図
【図４】図１のリフターの水平移動機構部を示す正面図及び側面図
【図５】図１のリフターの回転機構部を示す正面図及び側面図
【図６】図１のリフターの回転機構部による回転動作の説明に供する正面図
【図７】図１のリフターによるフィルムロールの垂直把持状態を示す正面図及び側面図
【図８】図７の状態におけるリフターの上面図
【図９】図１のリフターのクランプ機構部による把持動作の説明に供する側面図
【図１０】本発明の第２の実施の形態にかかるリフターの構成を示す正面図及び側面図
【図１１】本発明の第２の実施の形態にかかるリフターの構成を示す上面図
【図１２】他のリフターの構成を示す上面図
【図１３】本発明の第３の実施の形態にかかるリフターのフォーク部の構成を示す側面図
【図１４】従来のリフターの構成を示す正面図
【符号の説明】
【００７６】
１、２０、１２０…リフター、１０…フィルムロール、１１…コア、１２…フィルム、１３ａ、１３ｂ…プレート、２５…前脚部、２６…マスト部、２７ａ、２７ｂ…前輪、２８ａ、２８ｂ…後輪、３１…上下移動機構部、３２…水平移動機構部、３３…回転機構部、３４…クランプ機構部、４１、５１…移動体、７２、７３…クランプフォーク部材、７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂ…フォーク部、７２ｃ、７３ｃ、１７２ｃ、１７３ｃ…フォーク溝、１２３ａ、１２３ｂ…張出し脚部、１２４ａ、１２４ｂ…張出し車輪、１８１…緩衝材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2009084016.tif 000013
【図１２】
2009084016.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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