(57)【要約】【課題】圧力室１１を区画形成する部材の剛性を向上させて圧力室内の液体に高い圧力を印加可能にしつつ、ノズル１２の流路抵抗の増大を防止することによって、吐出能力が大幅に向上した液体吐出ヘッド７及び液体吐出装置Ａを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド（ヘッド本体９１）は、液体が収容される圧力室１１を区画形成する圧力室壁部材１４及び、所定の方向に伸縮駆動することで、圧力室１１内の液体に圧力を印加するアクチュエータ１９を備える。圧力室１１は、アクチュエータ１９の伸縮方向に対向する対向区画壁と、対向しない非対向区画壁と、によって区画され、圧力室壁部材１４には、ノズル１２が、非対向区画壁において圧力室１１に連通すると共に、伸縮方向とは異なる方向に延びて形成される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が収容される圧力室を区画形成する圧力室壁部材、
前記圧力室部材に対して弾性部材を介して接合されて前記圧力室の一部を区画形成する加圧部材、及び、
所定の伸縮方向に伸縮駆動することで、前記加圧部材を介して弾性部材を前記伸縮方向に弾性変形させ、それによって前記圧力室内の前記液体に圧力を印加するアクチュエータ、を備え、
前記圧力室は、少なくとも前記伸縮方向に対向する対向区画壁と伸縮方向に対向しない非対向区画壁とによって区画されており、
前記圧力室壁部材には、前記アクチュエータの伸縮駆動に伴い前記圧力室内の液体を吐出するノズルが、前記非対向区画壁において前記圧力室に連通すると共に、前記伸縮方向とは異なる方向に延びて形成されている液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記ノズルは、前記伸縮方向に対し略直交する方向に延びて形成されている液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧力室壁部材には、前記圧力室を区画する圧力室用凹部が、前記加圧部材との接合側の面に開口して形成され、
前記圧力室壁部材において前記圧力室用凹部の開口側とは逆側の、前記対向区画壁を構成する部分は、前記ノズルが形成される非対向区画壁を構成する部分の肉厚に比べて分厚くされている液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記アクチュエータは、前記伸縮方向に直交する横断面の面積が前記圧力室の横断面積よりも大に構成されている液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧力室壁部材は、そのヤング率が０．１〜１０ＧＰａの材料で構成されている液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えている液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
記録紙に対してインク滴を吐出するインクジェット技術が、近年、エレクトロニクス分野を始めとした様々な分野の製造過程に利用されている。すなわち、液体吐出ヘッドから液体材料を吐出することによって、各種のデバイス製造過程におけるパターンの形成や均一薄膜の形成等が行われている。そうしたパターン形成等に用いられる液体吐出ヘッドには、さらなる小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が要求される。それらの要求を満たす吐出能力の高いヘッドを実現するには、圧力室内の液体に、より高い圧力を加える必要がある。
【０００３】
例えば特許文献１に開示されている液体吐出ヘッドは、液体が収容される圧力室を区画形成する圧力室壁部材と、前記圧力室の一部を区画する弾性区画部と、弾性区画部を伸縮変形させるように伸縮駆動するアクチュエータと、をその伸縮方向にこの順に積層することによって構成されている。この液体吐出ヘッドでは、圧力室を挟んでアクチュエータとは逆側に、伸縮方向に延びるノズルが設けられていて、弾性区画部が伸縮変形することによって圧力室内の液体に圧力が印加されたときには、液体がノズルを介して伸縮方向に吐出される。この構成の液体吐出ヘッドでは、アクチュエータの駆動により発生したエネルギーを、圧力室内の液体に印加する圧力へと効率的に変換して、その液体に高い圧力を印加することができる。
【特許文献１】特許第２７２１１２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、前記特許文献の液体吐出ヘッドの構成においては、圧力室を区画する部材、特に圧力室を区画する区画壁の内、前記伸縮方向に対向する区画壁（対向区画壁）は、アクチュエータの駆動により液体に圧力を印加する方向に対向することから、この対向区画室には高い圧力が付加される。ここで、対向区画壁を構成する部分の剛性が低いと、圧力室内の液体に高い圧力を印加しようとしても、その部分が変形してしまうことになる。それによって圧力室内に印加した圧力が逃げ、結果として液体に印加される圧力が低下してしまうことになる。
【０００５】
部材の剛性を高める方策の一つとして、肉厚を分厚くすることが挙げられ、前記の液体吐出ヘッドにおいては、対向区画壁の構成部分の肉厚を厚くすればよい。しかしながら、対向区画壁の構成部分には、前述したようにノズルが伸縮方向に延びて形成されていることから、この部分の肉厚を分厚くする分、ノズルの長さは長くなってしまう。これは、ノズルの流路抵抗の増大を招くこととなる。従って、対向区画壁の構成部分の肉厚を分厚くすることによって剛性が向上して、圧力室内の液体に対し高い圧力を印加することはできるようになるものの、ノズルの流路抵抗の増大により、高粘度の液体を小液滴で吐出することはできなくなってしまう。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、圧力室を区画形成する部材の剛性を向上させて圧力室内の液体に高い圧力を印加可能にしつつ、ノズルの流路抵抗の増大を防止することによって、吐出能力が大幅に向上した液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面によると、液体吐出ヘッドは、液体が収容される圧力室を区画形成する圧力室壁部材、前記圧力室部材に対して弾性部材を介して接合されて前記圧力室の一部を区画形成する加圧部材、及び、所定の伸縮方向に伸縮駆動することで、前記加圧部材を介して弾性部材を前記伸縮方向に弾性変形させ、それによって前記圧力室内の前記液体に圧力を印加するアクチュエータ、を備え、前記圧力室は、少なくとも前記伸縮方向に対向する対向区画壁と伸縮方向に対向しない非対向区画壁とによって区画されており、前記圧力室壁部材には、前記アクチュエータの伸縮駆動に伴い前記圧力室内の液体を吐出するノズルが、前記非対向区画壁において前記圧力室に連通すると共に、前記伸縮方向とは異なる方向に延びて形成されている。
【０００８】
この構成によると、圧力室壁部材に形成されるノズルは、非対向区画壁において圧力室に連通すると共に、アクチュエータの伸縮方向とは異なる方向に延びて形成されている。圧力室壁部材において対向区画壁を構成する部分にノズルが形成されないことから、この部分の肉厚を比較的分厚くすることが可能である。これに対し、ノズルが形成される非対向区画壁を構成する部分の肉厚は相対的に薄くすることができる。よって、ノズルの長さは比較的短くなり、流路抵抗の増大が抑制される。従って前記の液体吐出ヘッドでは、対向区画壁を構成する部分の肉厚を相対的に分厚くして、アクチュエータの伸縮駆動により加圧部材を介して弾性部材を弾性変形させる構成のヘッドにおいて、圧力室内の液体に高い圧力を印加可能にしつつ、ノズルの長さを比較的短くして流路抵抗の増大を抑制することで、ヘッドの吐出能力を高めることができる。すなわち、比較的高粘度の液体を小液滴で吐出することが可能になる。
【０００９】
前記ノズルは、前記伸縮方向に対し略直交する方向に延びて形成されている、としてもよい。こうすることで、ノズルの長さが最短になるため、流路抵抗を最小にして液体吐出ヘッドの吐出能力のさらなる向上が図られる。尚、「略直交」とは、直交（９０°）のみではなく、直交を含んだ所定の範囲を含む概念であり、例えば９０°に対して±３０°程度を含む。
【００１０】
前記圧力室壁部材には、前記圧力室を区画する圧力室用凹部が、前記加圧部材との接合側の面に開口して形成され、前記圧力室壁部材において前記圧力室用凹部の開口側とは逆側の、前記対向区画壁を構成する部分は、前記ノズルが形成される非対向区画壁を構成する部分の肉厚に比べて分厚くされている、としてもよい。
【００１１】
こうすることよって、圧力室壁部材における対向区画壁の構成部分の剛性として、十分な剛性が確保され、圧力室内の液体に対し、さらに高い圧力が印加可能になる。一方、圧力室壁部材における非対向区画壁の構成部分の肉厚が薄くなり、ノズルの流路抵抗がさらに低減する。
【００１２】
前記アクチュエータは、前記伸縮方向に直交する横断面の面積が前記圧力室の横断面積よりも大に構成されている、としてもよい。
【００１３】
液体吐出ヘッドに取り付けられるアクチュエータが、その横断面積が相対的に大きいアクチュエータである場合は、圧力室内の液体に対し高い圧力を印加可能な能力を有している。本構成では、対向区画壁を構成する部分の剛性が十分確保されているため、当該アクチュエータの能力を十分に発揮させて、圧力室内の液体に対し高い圧力を印加することが可能になる。
【００１４】
前記圧力室壁部材は、そのヤング率が０．１〜１０ＧＰａの材料で構成されている、としてもよい。
【００１５】
この構成の液体吐出ヘッドでは、圧力室壁部材を構成する材料の性質によって対向区画壁の構成部分の剛性を確保する（つまり、高剛性の材料を用いる）のではなく、その剛性を圧力室壁部材における対向区画壁の構成部分の肉厚によって確保する。このため、圧力室壁部材を構成する材料の選択の自由度が向上する。圧力室壁部材の材料として、例えば樹脂材料を利用することが可能であり、そうした場合、製造コストの低減化や、圧力室内に充填される液体に対する耐食性の点で有利になる。
【００１６】
本発明の他の側面によると、液体吐出装置は、前記の液体吐出ヘッドを備えている。このため、圧力室壁部材の剛性向上と、ノズルの流路抵抗の低減と、が合わさって液体吐出ヘッドの吐出能力が向上するため、吐出能力の高い液体吐出装置が実現する。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明によると、圧力室壁部材に形成されるノズルを、非対向区画壁において圧力室に連通させると共に、伸縮方向とは異なる方向に延びて形成することによって、対向区画壁を構成する部分の肉厚を分厚くして剛性を確保すると共に、ノズルの長さを比較的短くして流路抵抗の増大を抑制することができ、その結果、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置の吐出能力を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００１９】
図１は、液体吐出装置Ａの概略構成を示している。この液体吐出装置Ａは、一又は複数のヘッド本体（図２等参照）を備えた液体吐出ヘッド７と、被記録物４を支持するステージ３１と、を備えている。
【００２０】
液体吐出ヘッド７は、装置基台６に支持されたヘッド移動装置２によって主走査方向（図１に示すＸ方向）に往復移動し、ステージ３１は、同じく装置基台６に支持されたステージ移動装置３によって副走査方向（図１に示すＹ方向）に往復移動する。
【００２１】
ヘッド移動装置２は、液体吐出ヘッド７を支持するキャリッジ７ａを含む。キャリッジ７ａは、主走査方向に延びるキャリッジ軸７ｂにガイドされ、図示を省略する駆動源（例えばモータ）によって、主走査方向に往復移動する。
【００２２】
ステージ移動装置３は、主走査方向に所定間隔を開けて配置されかつ、それぞれ副走査方向に延びる２つのステージ軸３２，３２を含む。ステージ３１はこれらのステージ軸３２，３２にガイドされ、図示を省略する駆動源（例えばモータ）によって、副走査方向に往復移動する。
【００２３】
液体吐出装置Ａはこの構成によって、液体吐出ヘッド７とステージ３１上の被記録物４とを相対移動させながら、液体吐出ヘッド７（ヘッド本体）から被記録物４に向かって液体材料を吐出し、被記録物４上に所望のパターンや均一薄膜等を形成する。
【００２４】
図２，３に示すように、ヘッド本体９１は、液体材料が収容される圧力室１１と、その圧力室１１に連通するノズル１２とを備えている。このヘッド本体９１は、圧力室１１の側面及び底面を区画する圧力室壁部材１４と、圧力室１１の上面を区画する加圧部材１５及びそれを保持する保持部材１６と、アクチュエータ１９と、を積層した積層構造を有している。尚、以下においては、図２における上下方向をヘッド本体９１における上下方向、図２における左右方向をヘッド本体９１における水平方向と呼ぶ。
【００２５】
圧力室壁部材１４は、例えば約２．０ｍｍ厚の樹脂材料からなる板状部材であり、圧力室用凹部１４ａがその上面に開口して形成されている。圧力室用凹部１４ａは、その内周面及び底面によって、圧力室１１の側面及び底面を区画する凹部である。本実施形態では、その幅が約０．３ｍｍ、長さが約１．０ｍｍ、その深さが約０．２５ｍｍ程度に設定されている。ここで、圧力室用凹部１４ａの内周面によって構成される圧力室１１の側面は、後述するようにアクチュエータ１９の伸縮方向に対向しない非対向区画壁に対応し、圧力室用凹部１４ａの底面によって構成される圧力室１１の底面は、アクチュエータ１９の伸縮方向に対向する対向区画壁に対応する。そうして、圧力室壁部材１４において、圧力室用凹部１４ａの開口側とは逆側の、対向区画壁を構成する部分は、比較的厚肉にされている（図２のｔ参照）一方、圧力室１１を挟んだ水平方向両側の非対向区画壁を構成する部分は、比較的薄肉にされている。
【００２６】
圧力室壁部材１４にはまた、一側の側面から水平方向に延びて圧力室用凹部１４ａの内周面に連通する供給口１４ｂが形成されている。供給口１４ｂは、図示は省略する液体材料の供給源から圧力室１１内に、液体材料を供給するための孔である。
【００２７】
前記ノズル１２は、圧力室壁部材１４において、その他側の側面から水平方向に延びて圧力室用凹部１４ａの内周面に連通するように形成されている。ノズル１２は、径が略一定のストレート部１２ａと、ストレート部１２ａに連続すると共に、径が先端に向かって小さくなるテーパ部１２ｂと、から構成されている。ここで、ストレート部１２ａの径はφ０．１５ｍｍ程度、テーパ部１２ｂの先端開口の径はφ０．０３ｍｍ程度とすればよい。
【００２８】
尚、圧力室壁部材１４において、ノズル１２の先端開口が形成される側面には、液体材料の吐出安定性の観点から撥水膜を形成することが好ましい。こうした撥水膜は、公知の方法により形成することが可能である。
【００２９】
保持部材１６は、例えばその厚みが約０．３ｍｍの板状部材であり、前記圧力室壁部材１４の上面に対して接着層１８ａを介して接着されている。保持部材１６にはまた、所定の断面形状を有しかつ、その板厚方向に貫通した貫通孔１６ａが形成されている。貫通孔１６ａは、加圧部材１５が内挿される孔である。図３に示すように、保持部材１６を圧力室壁部材１４の上面に接着した状態において、圧力室壁部材１４の圧力室用凹部１４ａの中心位置と、保持部材１６の貫通孔１６ａの中心位置とは、互いに同じ位置となるように設定される。
【００３０】
この保持部材１６の上面は、図２においては図示しないヘッド本体９１の他の構成部材に固定されており、それによって保持部材１６は、アクチュエータ１９が駆動したときにも、変位しないようにされている。
【００３１】
保持部材１６と圧力室壁部材１４との間には、圧力室１１の側面の上端部を区画する弾性部材１８が介設されている。弾性部材１８は、後述するように、アクチュエータ１９の駆動に伴い加圧部材１５が上下方向に変位することで弾性的に伸縮変形して、圧力室１１の体積を変化させるための部材であり、図３に示すように略矩形の環状に形成される。弾性部材１８は、例えばその幅を約０．７ｍｍ、その長さを約１．４ｍｍとすればよい。またその厚みは０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍ程度、好適には０．０３ｍｍ程度とすればよい。弾性部材１８はまた、液体材料に対する耐食性を考慮して、例えば耐溶剤性のゴム、具体的にはフッ素ゴムやシリコンゴム等によって形成すればよい。
【００３２】
保持部材１６と圧力室壁部材１４とを互いに接合する接着層１８ａは、弾性部材１８の外周面を取り囲んでいる。これによって、接着層１８ａは、弾性部材１８が弾性変形するときに、その弾性部材１８が圧力室１１の外方に向かって逃げ変形することを規制するようになっている。
【００３３】
加圧部材１５は、例えばステンレス鋼やセラミック等の、比較的高剛性の材料によって構成された板状の部材である。その幅は例えば約０．５ｍｍ程度、その長さは約１．２ｍｍ程度とすればよい。加圧部材１５は、保持部材１６の貫通孔１６ａに内挿されて保持されることで弾性部材１８の上面に対し当接しており、圧力室１１の上面は、この加圧部材１５の下面によって区画される。加圧部材１５は、保持部材１６によって上下方向に変位可能に保持されており、アクチュエータ１９の駆動に伴い上下方向に変位することで、弾性部材１８を上下方向に伸縮変形させる。
【００３４】
加圧部材１５と保持部材１６の貫通孔との隙間には充填剤１６ｂが充填されている。この充填剤１６ｂは、加圧部材１５が積層方向に変位可能となるように弾性変形する。尚、充填剤１６ｂは、省略することも可能である。
【００３５】
アクチュエータ１９は、例えばその幅が０．５ｍｍ程度、その長さが１．１ｍｍ程度でかつその厚みが１．０ｍｍ程度の積層型圧電体からなる。アクチュエータ１９は、その下端が加圧部材１５の上面に対して接合されていると共に、その上端が、図示は省略する他の構成部材に固定されている。アクチュエータ１９は、図２では図示を省略する電極に電圧が印可されることによって、図２における上下方向に伸縮変形する（図２の白抜きの矢印参照）。アクチュエータ１９の伸縮駆動に伴い、加圧部材１５が図２における上下方向に変位し、それに伴い弾性部材１８が上下方向に伸縮変形することで、圧力室１１の体積が増減するようになっている。ここで、図３に示すように、アクチュエータ１９は、その横断面積が圧力室１１の横断面積よりも大とされており、このアクチュエータ１９は、圧力室１１内の液体に対し、比較的高い圧力を印加する能力を有している。
【００３６】
次に、上記構成のヘッド本体９１の動作について説明する。供給口１４ｂ、圧力室１１、及びノズル１２内のそれぞれに液体材料が充填された状態でアクチュエータ１９に所定の電圧を印可する。このことによって、アクチュエータ１９を伸長変形させる。
【００３７】
アクチュエータ１９の伸長変形に伴い加圧部材１５は下方に変位するため、弾性部材１８が収縮変形し、圧力室１１内の液体材料に対して圧力が印加される。そうして液体材料がノズル１２から押し出されて被記録物４に向かって、図２においては水平方向に液滴として吐出される。液滴は被記録物４にドット状に付着する。
【００３８】
アクチュエータ１９への電圧印加を解除することによって、伸長していたアクチュエータ１９が元に戻り、加圧部材１５が上方に変位して圧力室１１の体積が元に戻る。このときに、液体材料の供給源から供給口１４ｂを介して、液体材料が圧力室１１内に補充される。
【００３９】
このヘッド本体９１では、圧力室壁部材１４において、圧力室１１の底面（対向区画壁）を構成する部分の肉厚が比較的分厚く、それによって十分な剛性が確保されている。そのため、アクチュエータ１９を上下方向に伸縮駆動させて、圧力室１１内の液体に対し上下方向に圧力を印加したときでも、この部分に変形等が生じない。その結果、例えばアクチュエータ１９に高い電圧（例えば２０Ｖ）を印加して、圧力室１１内の液体材料に高い圧力を印加することが可能になる。
【００４０】
また、圧力室壁部材１４に形成するノズル１２は、アクチュエータ１９の伸縮方向に直交する水平方向に延びて、圧力室１１の側面（非対向区画壁）に連通している。このため、例えば図２に仮想線で示すように、ノズルを圧力室１１の底面を構成する部分にアクチュエータ１９の伸縮方向に延びるように形成する場合と比較して、その長さを大幅に短くすることができる。その結果、ノズル１２の流路抵抗を可及的に小さくすることができる。
【００４１】
従って、ヘッド本体９１の吐出能力が高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。前記構成のヘッド本体９１は、例えば粘度が５０ｃＰ（０．０５Ｐａ・ｓ）の高粘度液体を、約２０ｐｌ（ピコリットル）の小さい液滴量で吐出することが可能である。
【００４２】
ここで、アクチュエータ１９の駆動は、前記のようないわゆる押し引き駆動ではなくて、加圧部材１５を上方に変位させて液体材料を圧力室１１内に充填させた後に、その加圧部材１５を元に戻すことで、液体材料をノズル１２から吐出させる、いわゆる引き押し駆動としてもよい。
【００４３】
尚、液体吐出ヘッド７におけるヘッド本体の構成は、前記の構成に限定されるものではない。例えば、図４に示すような構成を採用してもよい。
【００４４】
すなわちこのヘッド本体９２は、圧力室壁部材１４、加圧部材１７、アクチュエータ１９を、この順番で積層して構成されている。
【００４５】
このヘッド本体９２においては、圧力室壁部材１４と加圧部材１７との間に、薄膜２０が介設されており、この薄膜２０によって圧力室１１の上面が区画される。薄膜２０は、例えば０．０１〜０．２ｍｍ厚の樹脂製のフィルムや、０．０５〜０．５ｍｍ厚の金属製の薄膜としてもよい。こうした薄膜２０を介在させる構成は、圧力室１１内の液体材料に対する耐食性を向上させる上で有利な構成である。
【００４６】
加圧部材１７は略板状の部材であって、その下面における圧力室用凹部１４ａの開口に対応する位置には、下方に突出する凸部１７ａが形成されている。
【００４７】
加圧部材１７と薄膜２０との間であって、前記加圧部材１７の凸部１７ａを除く範囲には、弾性部材２１が配設されている。この弾性部材２１は、上下方向に弾性的に伸縮変位することによって、加圧部材１７の上下方向の変位を許容する部材である。
【００４８】
そうして、アクチュエータ１９は加圧部材１７の上面に接合されており、ヘッド本体９２は、この構成によって、アクチュエータ１９を駆動させたときに、この弾性部材２１が弾性的に伸縮変形するようになり、それによって加圧部材１５が上下方向に変位して、圧力室１１の体積が変化するようになる。
【００４９】
この構成のヘッド本体９２においても、圧力室１１の底面（対向区画壁）を構成する部分の肉厚が比較的分厚く、十分な剛性が確保されているため、アクチュエータ１９の伸縮駆動によって圧力室１１内の液体材料に高い圧力を印加することが可能になる。また、圧力室壁部材１４に形成するノズル１２は、アクチュエータ１９の伸縮方向に直交する水平に延びて、圧力室１１の側面（非対向区画壁）に連通しているため、その長さを短くして、ノズル１２の流路抵抗を可及的に小さくすることができる。
【００５０】
その結果、ヘッド本体９２の吐出能力が高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。
【００５１】
尚、ノズル１２は、水平方向に延びて形成することに限らず、例えば液体吐出装置Ａの構成等に応じて、適宜その角度を調整するようにしてもよい。
【００５２】
また、圧力室壁部材１４の材料としては、樹脂材料に限らず、例えばステンレス鋼等の金属材料や、その他材料を用いることも可能である。
【００５３】
さらに、圧力室１１内の液体に対して圧力を印加するためのアクチュエータとしては、圧電体に限らず、例えば磁歪素子を採用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
以上説明したように、本発明は、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現するから、例えばフラットパネルディスプレイや回路基板等の各種デバイスの製造といったエレクトロニクス分野を始めとして、オプトエレクトロニクス分野、バイオ・メディカル分野等の各種の技術分野において、種々なパターンや均一薄膜等を形成する液体材料吐出ヘッド及び液体材料吐出装置として有用であると共に、インクを吐出することによって例えば記録紙等の記録媒体上に画像を形成するインク吐出ヘッド及び画像形成装置としても有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施形態に係る液体吐出装置を示す概略斜視図である。
【図２】実施形態に係るヘッド本体を示す縦断面図である。
【図３】前記ヘッド本体の平面図である。
【図４】他の実施形態に係るヘッド本体を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１１  圧力室
１２  ノズル
１４  圧力室壁部材
１４ａ  圧力室用凹部
１９  アクチュエータ
７    液体吐出ヘッド
９１  ヘッド本体
９２  ヘッド本体
Ａ    液体吐出装置
【図１】
2009051077.tif 000003
【図２】
2009051077.tif 000004
【図３】
2009051077.tif 000005
【図４】
2009051077.tif 000006