(57)【要約】【課題】ヒータを簡単な構造とすることができ、均一なガラス層を形成することが可能な塗布装置を提供する。【解決手段】液状の常温硬化ガラスＧを回転するガラス基板Ｂ上に滴下することで、均一なガラス層を形成する塗布装置１０において、ガラス基板Ｂを搭載して回転するターンテーブル１２と、ターンテーブル１２の下方からターンテーブル１２の下面を加熱するヒータ１５と、ヒータ１５の周囲を囲う熱防護部１６とを備えた。この熱防護部１６は、ヒータ１５の周囲を囲う円筒形状の壁部１６ａと、壁部１６ａの下部に、内側に突出した形成された環状凸部１６ｂとを備えている。熱防護部１６は、壁部１６ａがターンテーブル１２の下面の外周縁部に配設されていることで、熱防護部１６とターンテーブル１２とが一体に形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状の常温硬化ガラスを回転する基板上に滴下することで、均一なガラス層を形成する塗布装置において、
前記基板を搭載して回転するターンテーブルと、
前記ターンテーブルの下方から前記ターンテーブルの下面を加熱するヒータと、
前記ヒータの周囲を囲う熱防護部と
を備えたことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記熱防護部と前記ターンテーブルとは、一体に形成されていることを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項３】
前記熱防護部と前記ターンテーブルとは、別体に形成されていることを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項４】
前記熱防護部は、前記ヒータの周囲を囲う円筒形状の壁部と、前記壁部の下部に、内側に向かって突出した環状凸部とを備えたことを特徴とする請求項２または３記載の塗布装置。
【請求項５】
前記熱防護部は、前記ヒータの周囲を囲う円筒形状の壁部と、前記壁部の下部に、前記ヒータの下面全体を覆う底床部とを備えたことを特徴とする請求項３記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンコート法にて液状の常温硬化ガラスを基板に滴下して均一なガラス層を形成する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スピンコート法にて液状部材を基板上に均一に塗布する塗布装置が知られている。例えば、図６に示す発光装置１００では、発光素子１０１ａおよびサブマウント素子１０１ｂとで構成された複合素子１０１を保護する目的で設けられたフロントカバー１０４の作製に用いられる。この発光装置１００は、複合素子１０１が、凹状に形成されたパッケージ１０２の底部に搭載され、樹脂封止部１０３により封止されている。フロントカバー１０４は、板ガラスであるベース板１０４ａに、液状の常温硬化ガラスを塗布して硬化させる手順を繰り返すことで、ベース板１０４ａ上に複数のガラス層１０４ｂ〜１０４ｄが形成されている。このように、フロントカバー１０４は、板厚を厚くすることで、強度の向上が図られている。
【０００３】
常温硬化ガラスは、常温でも硬化するが、効率よくガラス層１０４ｂ〜１０４ｄを積層するために、塗布した液状の常温硬化ガラスを熱することで、硬化時間の短縮が図られている。
【０００４】
塗布装置は、常温硬化ガラス材を塗布してガラス層を積層する以外に、例えば、特許文献１〜３に樹脂材料を塗布するものが知られている。
【０００５】
特許文献１に記載の円盤状記録媒体への保護層の回転塗布装置は、円盤状記録媒体が載せられたターンテーブルにリング状の溝が設けられ、この溝に発熱体としてのニクロム線が一様に設けられ、円盤状記録媒体の外周端部を加熱することで、遠心力により円盤状記録媒体の外周端部に移動した塗布液の粘度を低下させて、外周端部の保護層のふくらみ量を減少させるものである。
【０００６】
特許文献２に記載の回転塗布装置は、スピンコート用ターンテーブルの内周部にペルチェ素子を配置して冷却するようにし、中周部分から外周部分にはヒータを配置して外周部分が中周部分よりも温度が高くなるようにすることで、円盤状基板の外周部分に必要以上の塗料の広がりを防止すると共に、外周部分での塗料の広がり速度を速くして、余分な塗料を振り切って、均一な塗膜層を形成するようにしたものである。
【０００７】
特許文献３に記載のレジスト塗布装置は、基板を固定する回転テーブルと、レジストが周囲に飛散するのを防ぐための防塵壁と、基板の裏面に高圧のガスを吹き付けるための高圧ガス吹き付けノズルとを備えており、回転テーブルの裏面に高圧ガスを噴射することで、回転テーブルの中央付近から基板の外周方向まで高速で高圧ガスが流れ、防塵壁から跳ね返った余分なレジストが基板に付着することを防止しつつ、温度調整された高圧ガスにより、基板の温度を適正に調整するものである。
【特許文献１】特開平５−２０７１８号公報
【特許文献２】特開平５−１８５０１４号公報
【特許文献３】特開平１０−２６１５７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１，２に記載されているような従来の塗布装置においては、回転するターンテーブルに加熱するヒータが設けられているので、ヒータの構造が複雑となるおそれがある。つまり、従来の塗布装置においては、ターンテーブルと共に回転するヒータと、回転しない電源供給部分とを形成する必要があるため、部品点数が多くなり、コストが増大してしまう。また、回転に伴う摩擦により摩耗した部品の交換などを頻繁に行う必要がある。
【０００９】
また、特許文献３に記載の従来の塗布装置では、温度調整された高圧ガスがターンテーブルの中央付近から基板の外周方向へ向かって流れるため、高圧ガスが基板を回り込んで滴下するレジストまで到達するおそれがある。レジストでは、温度調整された高圧ガスに曝されても影響が少ないかもしれないが、常温硬化ガラスでは、加熱により硬化速度が促進されるので、液状の常温硬化ガラスを滴下して、ガラス層を形成している最中に、温度調整された高圧ガスに曝されると、表面の粘性が高まってしまい、均一なガラス層を形成することが困難になる。
【００１０】
そこで本発明は、ヒータを簡単な構造とすることができ、均一なガラス層を形成することが可能な塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の塗布装置は、基板を搭載して回転するターンテーブルの下方からターンテーブルの下面を加熱するヒータが設けられていると共に、このヒータの周囲を囲う熱防護部が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、ターンテーブルを加熱するヒータが、ターンテーブルと共に回転しない構造となっているので、ヒータの構造を簡単に構成することができる。また、熱防護部がヒータの周囲を囲うように設けられているので、液状の常温硬化ガラスが滴下してガラス層を形成している最中に、粘性が高まってしまうことが防止できる。従って、基板にガラス層を均一に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本願の第１の発明は、液状の常温硬化ガラスを回転する基板上に滴下することで、均一なガラス層を形成する塗布装置において、基板を搭載して回転するターンテーブルと、ターンテーブルの下方からターンテーブルの下面を加熱するヒータと、ヒータの周囲を囲う熱防護部とを備えたことを特徴としたものである。
【００１４】
本発明の塗布装置は、ターンテーブルの下面を加熱するヒータが、ターンテーブルの下方にあるので、ターンテーブルと共に回転しない構造となっている。従って、ヒータの構造を簡単に構成することができると共に、ヒータには摩耗する部品がないので、メンテナンスも容易である。また、熱防護部がヒータの周囲を囲うように設けられているので、ヒータからの熱はターンテーブルの上面側に滴下される液状の常温硬化ガラスに伝熱しにくいので、液状の常温硬化ガラスが滴下してガラス層を形成している最中に、粘性が高まってしまうことが防止できる。
【００１５】
本願の第２の発明は、第１の発明において、熱防護部とターンテーブルとは、一体に形成されていることを特徴としたものである。
【００１６】
第２の発明においては、熱防護部とターンテーブルとを一体に形成することで、熱防護部とターンテーブルとの間の隙間をなくすことができる。従って、ヒータからの熱が、ターンテーブルの下面を加熱した後に、ターンテーブルの外周縁部からターンテーブルの上面側に回り込むことを熱防護部が阻止するので、液状の常温硬化ガラスが滴下してガラス層を形成している最中に、粘性が高まってしまうことを効果的に防止することができる。
【００１７】
本願の第３の発明は、第１の発明において、熱防護部とターンテーブルとは、別体に形成されていることを特徴としたものである。
【００１８】
第３の発明においては、熱防護部とターンテーブルとを別体とすることで、熱防護部の荷重がターンテーブルに掛からないため、ターンテーブルへの負荷を軽減することができる。従って、ターンテーブルを回転させる駆動部や、回転するターンテーブルを停止する制動部などへの負担を軽減することができるので、小型の駆動部としたり、簡易な制動部としたりすることが可能である。
【００１９】
本願の第４の発明は、第２または第３の発明において、熱防護部は、ヒータの周囲を囲う円筒形状の壁部と、壁部の下部に、内側に向かって突出した環状凸部とを備えたことを特徴としたものである。
【００２０】
第４の発明においては、ヒータからの熱が、ターンテーブルと壁部とで囲まれた空間を加熱した後に壁部の下端から回り込んで周囲に広がることを、壁部の下部に内側に突出した環状凸部が妨げるので、液状の常温硬化ガラスが滴下してガラス層を形成している最中に、粘性が高まってしまうことを、より効果的に防止することができる。
【００２１】
本願の第５の発明は、第３の発明において、熱防護部は、ヒータの周囲を囲う円筒形状の壁部と、壁部の下部に、ヒータの下面全体を覆う底床部とを備えたことを特徴としたものである。
【００２２】
本願の第５の発明においては、ヒータの周囲を囲う円筒形状の壁部の下部に、ヒータの下面全体を覆う底床部が設けられた熱防護部とすることで、ヒータは上方がターンテーブルで、周囲が壁部で、下方は底床部に囲まれた状態となる。従って、ヒータからの熱は、この囲まれた空間内から外へ流出しにくいので、ターンテーブルの上面に熱が回り込み難くすることができる。
【００２３】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１に係る塗布装置を、図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態１に係る断面図である。図２は、図１に示す塗布装置のヒータの平面図である。
【００２４】
図１に示すように、塗布装置１０は、スピンコート法にて液状の常温硬化ガラスＧを基板である円盤状に形成されたガラス基板Ｂに滴下して均一なガラス層を形成するものである。塗布装置１０は、液状の常温硬化ガラスＧを滴下する供給ノズル１１と、ガラス基板Ｂを搭載するターンテーブル１２と、ターンテーブル１２を回転させる駆動モータ１３と、ガラス基板Ｂをターンテーブル１２に吸着させる真空ポンプ１４と、ターンテーブル１２を加熱するヒータ１５と、ヒータ１５の周囲を囲う熱防護部１６とを備えている。
【００２５】
供給ノズル１１は、液状の常温硬化ガラスＧを滴下して均一にガラス基板Ｂ上に広がらせるために、ターンテーブル１２の中心に滴下口１１ａが位置している。
【００２６】
ターンテーブル１２は、ガラス基板Ｂと同じ大きさに形成されている。ターンテーブル１２は、ヒータ１５からの熱を効率よくガラス基板Ｂへ伝えるために、金属でも熱伝導率が高いものとするのが望ましい。本実施の形態１では、ターンテーブル１２をカーボン製か、軽量なアルミ製としている。ターンテーブル１２をアルミ製とする場合には、防錆加工を施すのが望ましい。ターンテーブル１２の大きさは、ヒータ１５からの熱をガラス基板Ｂ全体に伝熱するためと、ガラス基板Ｂから飛び散った液状の常温硬化ガラスＧがガラス基板Ｂの裏側面に付着しないように、ガラス基板Ｂと同じ大きさか、またはガラス基板Ｂより大きい方が望ましい。ターンテーブル１２は、駆動モータ１３によって回転するシャフト１７が下面の中心に接続されることで支持されている。
【００２７】
また、ターンテーブル１２の上面には、ガラス基板Ｂを吸引するための吸引口１２ａが分散して上面全体に設けられている。この吸引口１２ａは、ターンテーブル１２の中心部分１２ｂに向かって集約するように配設された吸引路１２ｃに連通している。そして、吸引路１２ｃは、シャフト１７を挿通した状態で配設された連通管１８に接続されている。連通管１８は、基端部が真空ポンプ１４に接続されている。
【００２８】
ヒータ１５は、円盤状の発熱板１５ａと、発熱板１５ａに電圧を印加する２本の電極１５ｂとで形成されている。発熱板１５ａは、図２に示すように、中央にシャフト１７と連通管１８とを挿通するための貫通孔１５ａｘが形成されている。また、発熱板１５ａには、電極１５ｂからそれぞれ渦巻き状に配設された螺旋状のニクロム線１５ａｙが設けられている。このヒータ１５は、図示しない制御装置で通電量を制御することで１００℃から３００℃の温度範囲で調整される。なお、図２においては、ニクロム線１５ａｙを、便宜上、螺旋状としていない。
【００２９】
図１に示すように、熱防護部１６は、ヒータ１５の周囲を囲う円筒形状の壁部１６ａと、壁部１６ａの下部に、内側に突出して形成された環状凸部１６ｂとを備えている。熱防護部１６は、壁部１６ａがターンテーブル１２の下面の外周縁部に配設されていることで、熱防護部１６とターンテーブル１２とが一体に形成されている。つまり、熱防護部１６とターンテーブル１２との間には隙間がない状態なので、ターンテーブル１２の回転に伴って熱防護部１６も回転する。熱防護部１６は、ヒータ１５からの熱によって温度が上昇して、供給ノズル１１の滴下口１１ａ付近の周囲温度に影響を与えてしまわないように、断熱性を有するのが望ましいが、少なくともターンテーブル１２より熱伝導率が低い材質のものであれば、ヒータ１５からの熱は、ターンテーブル１２へ伝熱する熱量よりも熱防護部１６へ伝熱する熱量を少なくすることができるので、採用することができる。
【００３０】
熱防護部１６は、ヒータ１５からの熱が上昇してターンテーブル１２の上面側に伝わり難くすることができればよいので、少なくとも、ヒータ１５を囲うように円筒形状に形成された壁部１６ａを有していればよいが、熱防護部１６の下方からの回り込みを少なくするためには環状凸部１６ｂが壁部１６ａの下部に設けられているのが望ましい。
【００３１】
以上のように構成された本発明の実施の形態１に係る塗布装置１０の使用状態について、図１および図２に基づいて説明する。なお、本実施の形態では、図６に示す発光装置１００のフロントカバー１０４を製造する方法を説明する。
【００３２】
図２に示すように、まず、ヒータ１５に通電することでヒータ１５が発熱を開始する。ヒータ１５は、ターンテーブル１２と熱防護部１６との間の空間を熱することにより、ターンテーブル１２の下面が熱せられる。ターンテーブル１２と熱防護部１６との間の空間が熱せられるが、熱防護部１６とターンテーブル１２との間は隙間がないので、熱せられた空気は、ターンテーブル１２の外周縁部から上面側へ回り込みにくい。また、熱防護部１６には、壁部１６ａの下端に環状凸部１６ｂが設けられているので、熱せられた空気が環状凸部１６ｂを回り込みにくい状態である。
【００３３】
このように、熱防護部１６とターンテーブル１２とを一体に形成することで、ヒータ１５からの熱がターンテーブルの下面を加熱した後に、ターンテーブル１２の外周縁部からターンテーブルの上面側に回り込むことを熱防護部１６が阻止するので、液状の常温硬化ガラスＧが滴下してガラス層を形成している最中に、粘性が高まってしまうことを効果的に防止することができる。
【００３４】
ヒータ１５からの熱は、ターンテーブル１２の下面を加熱することで、徐々にターンテーブル１２の上面側に伝熱して全体の温度が上昇する。次に、ターンテーブル１２上にガラス基板Ｂを載置する。
【００３５】
このガラス基板Ｂは、厚みが約０．２ｍｍ〜約０．５ｍｍの透明な板ガラスで形成され、図６に示す発光装置１００のベース板１０４ａとなるもので、蛍光体などは含有していない。本実施の形態では、ベース板１０４ａとして、配光特性を調整するために屈折率が約２の高屈折率ガラスを使用しているが、フロントカバー１０４の基材としての強度が確保できればよいので、通常の板ガラス（例えばソーダガラス、硼珪酸ガラス等の一般的なもの）とすることができる。また、ガラス基板Ｂを、板ガラスを加熱し、表面を、均一に、かつ急激に冷却することで形成される強化ガラスや、光学的に精度が求められる場合には光学ガラス、機械的な強度が求められる場合には高強度ガラスなど、用途によって適宜選定することができる。
【００３６】
次に、真空ポンプ１４を作動させ、ガラス基板Ｂをターンテーブル１２に吸着させる。駆動モータ１３を作動させることで、ターンテーブル１２が回転して、ターンテーブル１２上のガラス基板Ｂが回転する。所定の回転数となったところで、供給ノズル１１から液状の常温硬化ガラスＧをガラス基板Ｂへ滴下する。
【００３７】
液状の常温硬化ガラスＧは、主成分である金属アルコキシドに、アルキルシラン、ヒドロキシルシラン、シリコーンモノマー、セラミック前駆体ポリマー（ポリシラザン）等が添加されている。また、液状の常温硬化ガラスＧには、発光素子１０１ａからの照射光により、例えば黄色に発光する蛍光体が含有されると共に、硬化すると屈折率１．８となるような、例えばチタンなどの重金属が添加されている。液状の常温硬化ガラスＧに黄色に発光する蛍光体を含有することで、青色に発光する発光素子１０１ａとすれば白色の発光装置１００とすることができる。
【００３８】
回転するガラス基板Ｂに滴下された液状の常温硬化ガラスＧは、遠心力によって回転するガラス基板Ｂの中央から外周側へ広がっていく。ターンテーブル１２を介して加熱されたガラス基板Ｂに滴下された液状の常温硬化ガラスＧは、この加熱により硬化が促進されることで、薄いガラス層となる。
【００３９】
このようにして、ヒータ１５によりターンテーブル１２を下面から加熱して液状の常温硬化ガラスＧの硬化を促進させつつ、滴下する液状の常温硬化ガラスＧへの熱の影響を排除することで、ガラス基板Ｂ上に均一なガラス層を形成することができる。
【００４０】
ガラス基板Ｂ上に一層目のガラス層が形成できれば、順次、この手順を繰り返し、ガラス層を形成する。そして、ガラス層が積層されたガラス基板Ｂを所定の大きさにダイシングすることで、フロントカバー１０４とする。
【００４１】
ガラス層を積層する際には、滴下する液状の常温硬化ガラスＧとして、添加するチタンなどの重金属の量を調整して、屈折率がガラス基板Ｂより徐々に少なくなるようにする。そうすることで、ガラス層が積層されたガラス基板Ｂをフロントカバー１０４としたときに、発光素子１０１ａの照射光が進行するに従って、屈折率が段々と大きくなるようにすることができる。屈折率が段々と大きくなるようなフロントカバー１０４とすることで、照射光が外側に進行するに従って徐々に集光する方向へ屈折するので、照射範囲を狭くすることができる。
【００４２】
このように本実施の形態に係る塗布装置１０は、ヒータ１５が、ターンテーブル１２と共に回転しない構造となっているので、ヒータ１５を、発熱するニクロム線１５ａｙに電極１５ｂを単に接続しただけの簡単な構成とすることができる。また、ヒータ１５には、ターンテーブル１２の回転に伴って摩耗する部品がないので、メンテナンスも容易である。
【００４３】
また、ヒータ１５の周囲全体が熱防護部１６によって囲まれているので、ガラス基板Ｂから遠心力によって飛び散った液状の常温硬化ガラスＧが塗布装置１０全体を囲う防護壁に反射して跳ね返ったとしても、液状の常温硬化ガラスＧがヒータ１５に付着してしまうことを防止できる。従って、ヒータ１５のニクロム線１５ａｙなどに付着して、熱効率が低下したり、付着した液状の常温硬化ガラスＧが燃焼することで劣化してしまったりすることが防止できる。
【００４４】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係る塗布装置を、図３および図４に基づいて説明する。図３は、本発明の実施の形態２に係る塗布装置を示す断面図である。図４は、図３に示す塗布装置の熱防護部の平面図である。なお、図３においては、図１と同じ構成のものは同符号を付して説明を省略する。
【００４５】
図３に示すように、本実施の形態２に係る塗布装置２０は、熱防護部２１とターンテーブル１２とが別体に形成され、ヒータ１５の周囲を囲う円筒形状の壁部２１ａの下部に、ヒータ１５の下面全体を覆う底床部２１ｂとを備えたことを特徴としている。
【００４６】
熱防護部２１は、図示しない支持部によって支持され、底床部２１ｂは、図４に示すように、平面視して円形状に形成され、電極１５ｂと、シャフト１７および連通管１８とを挿通する貫通孔２１ｂｘ，２１ｂｙが設けられている。
【００４７】
熱防護部２１とターンテーブル１２とが別体に形成されていることで、熱防護部２１とターンテーブル１２との間には隙間Ｓができている。この隙間Ｓは、ヒータ１５からの熱が周囲に広がりにくいように狭い方が望ましい。また、この隙間Ｓを埋めるように、ターンテーブル１２が回転するとターンテーブル１２の下面の外周縁部に摺動する摺動部材を、熱防護部２１の上端部に設けるようにしてもよい。
【００４８】
このように、ヒータ１５によりターンテーブル１２を下面から加熱することで、ガラス基板Ｂ上に滴下した液状の常温硬化ガラスＧの硬化を促進させることができる。また、熱防護部２１とターンテーブル１２とを別体とすることで、熱防護部２１の荷重がターンテーブル１２に掛からないため、ターンテーブル１２に掛かる負荷を軽減することができる。従って、ターンテーブル１２を回転させる駆動モータ１３や、回転するターンテーブル１２を停止する図示しない制動部などへの負担を軽減することができるので、小型の駆動モータとしたり、簡易な制動部としたりすることが可能である。
【００４９】
また、熱防護部２１とターンテーブル１２とが別体に形成されていても、ヒータ１５の周囲全体が熱防護部２１によって囲まれているので、ガラス基板Ｂから遠心力によって飛び散った液状の常温硬化ガラスＧが塗布装置２０全体を囲う防護壁に反射して跳ね返ったとしても、液状の常温硬化ガラスＧがヒータ１５に付着してしまうことを防止できる。
【００５０】
また、ヒータ１５の周囲を囲う円筒形状の壁部２１ａの下部に、ヒータ１５の下面全体を覆う底床部２１ｂが設けられた熱防護部２１とすることで、ヒータ１５は、上方がターンテーブル１２により、周囲が壁部２１ａにより、下方が底床部２１ｂにより囲まれた状態となる。従って、ヒータ１５からの熱は、この囲まれた空間内から外へ流れ難いので、ターンテーブル１２の上面に熱が回り込み難くすることができる。
【００５１】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３に係る塗布装置を、図５に基づいて説明する。図５は、本発明の実施の形態３に係る塗布装置を示す断面図である。なお、図５においては、図１および図２と同じ構成のものは同符号を付して説明を省略する。
【００５２】
図５に示すように、塗布装置３０には、ヒータ１５の周囲に、縦長の円筒形状に形成された熱防護部３１が設けられている。
【００５３】
このように、縦長の円筒形状に形成された熱防護部３１としても、ヒータ１５は上方がターンテーブル１２により、周囲が熱防護部３１により囲まれた状態となる。従って、ヒータ１５からの熱は、この囲まれた空間内から外へ対流しにくいので、ターンテーブル１２の上面に熱を回り込み難くすることができる。
【００５４】
また、熱防護部３１とターンテーブル１２とが別体に形成されているので、熱防護部３１の荷重がターンテーブル１２に掛からないため、ターンテーブル１２に掛かる負荷を軽減することができる。従って、ターンテーブル１２を回転させる駆動モータ１３や、回転するターンテーブル１２を停止する図示しない制動部などへの負担を軽減することができるので、小型の駆動モータとしたり、簡易な制動部としたりすることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、ヒータを簡単な構造とすることができ、均一なガラス層を形成することが可能なので、スピンコート法にて液状の常温硬化ガラスを基板に滴下して均一なガラス層を形成する塗布装置に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施の形態１に係る断面図
【図２】図１に示す塗布装置のヒータの平面図
【図３】本発明の実施の形態２に係る塗布装置を示す断面図
【図４】図３に示す塗布装置の熱防護部の平面図
【図５】本発明の実施の形態３に係る塗布装置を示す断面図
【図６】発光装置を示す断面図
【符号の説明】
【００５７】
１０  塗布装置
１１  供給ノズル
１１ａ  滴下口
１２  ターンテーブル
１２ａ  吸引口
１３  駆動モータ
１４  真空ポンプ
１５  ヒータ
１５ａ  発熱板
１５ａｘ  貫通孔
１５ａｙ  ニクロム線
１５ｂ  電極
１６  熱防護部
１６ａ  壁部
１６ｂ  環状凸部
１７  シャフト
１８  連通管
２０  塗布装置
２１  熱防護部
２１ａ  壁部
２１ｂ  底床部
２１ｂｘ，２１ｂｙ  貫通孔
３０  塗布装置
３１  熱防護部
Ｂ  ガラス基板
Ｇ  液状の常温硬化ガラス
【図１】
2009178693.tif 000003
【図２】
2009178693.tif 000004
【図３】
2009178693.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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