(57)【要約】【課題】液体吐出に利用されるエネルギを発生する素子が複数形成された基板と、この基板に設けられ、素子間に位置して個々の前記液路を仕切る隔壁と共通液室を区画する枠とを有する仕切り部と、天板とを具え、仕切り部の上面を接着層を介して天板の接合面に接合することで形成される液体吐出ヘッドにおいて、接合に要する圧力および接着材の押し出し量を低減し、かつ接着効果を確保できるようにする。【解決手段】仕切り部（３７）の上面に、これより寸法の小さい上面を有して天板（３９）の接合面に当接する突き当て部（４２）を設ける一方、その突き当て部の高さと実質的に等しい厚みの接着層（４０）を天板の接合面に設ける。そして、突き当て部を接着層に侵入させて天板の接合面に当接させると同時に、接着層と仕切り部の上面とが接触するようにする。【選択図】図７
2009196272.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するために利用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子が複数形成された基板と、天板とが接合されることで、先端が吐出口となる複数の液路および該複数の液路に連通する共通液室が形成されている液体吐出ヘッドにおいて、
前記基板に設けられ、前記エネルギ発生素子間に位置して個々の前記液路を仕切る隔壁と前記共通液室を区画する枠とを有する仕切り部と、
該仕切り部の上面に設けられ、該上面より寸法の小さい上面を有して前記天板の接合面に当接する突き当て部と、
前記仕切り部の上面と前記天板の接合面とを接着する接着層と、
を具えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記接着層は前記天板の接合面に予め設けられ、当該接着層の厚みと、前記仕切り部の上面からの前記突き当て部の高さとが実質的に等しいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記基板上、前記隔壁間に位置して前記吐出口の一部を画成する吐出口補完層を具え、前記仕切り部と、前記突き当て部と、前記接着層と、前記吐出口補完層とを同一材料で形成することにより、前記吐出口が前記同一材料でなる部分で囲まれていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記接着層は、ドライフィルム化した感光性樹脂で形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記突き当て部は、前記仕切り部の上面に沿ったリブの形態を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記突き当て部は、前記仕切り部の上面に分散して設けられた突起の形態を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
液体を吐出するために利用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子が複数形成された基板と、天板とが接合されることで、先端が吐出口となる複数の液路および該複数の液路に連通する共通液室が形成される液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記基板に、前記エネルギ発生素子間に位置して個々の前記液路を仕切る隔壁と前記共通液室を区画する枠とを有する仕切り部を設ける工程と、
該仕切り部の上面に、該上面より寸法の小さい上面を有して前記天板の接合面に当接する突き当て部を設ける工程と、
前記天板の接合面に接着層を設ける工程と、
前記突き当て部を前記接着層に侵入させて前記天板の接合面に当接させるとともに、前記接着層と前記仕切り部の上面とを接触させる工程と、
を具えたことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記天板の接合面に設けられる前記接着層の厚みと、前記仕切り部の上面からの前記突き当て部の高さとが実質的に等しいことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。特に本発明は、液体を吐出するために利用されるエネルギを発生する素子が複数形成された基板と、天板とが接合されることで、複数の吐出口ないし液路およびこれに連通する共通液室が形成される液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリント装置などに用いられる液体吐出ヘッドは、液路に満たされた液体であるインクを吐出させるために利用される吐出エネルギを発生するエネルギ発生素子を有している。そして、インク供給口から共通液室を介してインクを液路に導き、ここでインクにエネルギ発生素子からエネルギを作用させ、これに応じて液路先端の吐出口からインクを例えば滴として吐出させ、そのインクによりプリント媒体上にドットを形成してプリントが行われるよう構成されている。中でも、熱エネルギを利用してインクを吐出する液体吐出ヘッドは、吐出口、液路およびエネルギ発生素子である発熱素子を高密度に多数配列することが可能である。そしてこのような高密度化によって、プリント装置の全体的なコンパクト化が容易であることや、高解像度および高画質の画像を高速度にて得られ、しかもカラー化が容易であることなどの利点から、パーソナルまたはオフィスユースのプリント装置に適用されている。
【０００３】
このような装置に用いられる液体吐出ヘッド（インクジェットヘッド）は、例えば特許文献１に示されている。
【０００４】
図１０はそのような従来の液体吐出ヘッドの概略構造を模式的に示す断面図である。図示の液体吐出ヘッド８は、液体を滴として吐出するために利用されるエネルギ発生素子１が図面と直交する方向に所定間隔で配列された基板２を具える。基板２上には、隣接するエネルギ発生素子１間に配設され、個々の液路６を仕切る隔壁３ａと共通液室７の枠３ｂとを有する仕切り部３が配置される。さらに、この仕切り部３を介し、共通液室７内に液体を供給するための液体供給穴４ａを有する天板４を基板２に接合することで、先端側が吐出口５に連通する複数の液路６と、液路６の基端側にあって各液路６にインクを供給するための共通液室７とが形成される。
【０００５】
このような液体吐出ヘッド８において、仕切り部３を介して天板４を基板２に接合するにあたり、仕切り部３と天板４との間に、接着材としての接着層９が配される。例えば特許文献１では、仕切り部３の上面に設けた上部保護層に接着層を塗布した後、天板をこの接着層に重ね合わせて一体的に接合することが提案されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−５７９８５号公報
【特許文献２】特開２００７−０１５２１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような従来の液体吐出ヘッド８においては、接着層９内に仕切り部３（ないしは上部保護層）を差し込むようにして接合が行われることになる。従って、特に仕切り部３（ないしは上部保護層）の上面の面積が大きい場合、接合に要する圧力の増大を招くなど、接合が容易でなくなるという問題点があった。また、当該差し込みを行う分だけ吐出口外方等へ接着材が押し出されることとなるが、接着層９内への各仕切り壁３ａの差し込み量が一様でないと、接着材の押し出し量も一様でなくなることにより、吐出口５の形状が不安定となることもあった。
【０００８】
この問題を解決するために、粘度の小さい接着材を使用したり、接着層９の厚みを薄くしたりすることなども考えられるが、接着層９を安定して存させることが困難になることが懸念される。
【０００９】
本発明の目的は、上述した問題を解決し、基板と天板との接合に要する圧力および接着材の押し出し量を低減し、かつ接着効果を確保できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そのために、本発明は、液体を吐出するために利用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子が複数形成された基板と、天板とが接合されることで、先端が吐出口となる複数の液路および該複数の液路に連通する共通液室が形成されている液体吐出ヘッドにおいて、
前記基板に設けられ、前記エネルギ発生素子間に位置して個々の前記液路を仕切る隔壁と前記共通液室を区画する枠とを有する仕切り部と、
該仕切り部の上面に設けられ、該上面より寸法の小さい上面を有して前記天板の接合面に当接する突き当て部と、
前記仕切り部の上面と前記天板の接合面とを接着する接着層と、
を具えたことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、液体を吐出するために利用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子が複数形成された基板と、天板とが接合されることで、先端が吐出口となる複数の液路および該複数の液路に連通する共通液室が形成される液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記基板に、前記エネルギ発生素子間に位置して個々の前記液路を仕切る隔壁と前記共通液室を区画する枠とを有する仕切り部を設ける工程と、
該仕切り部の上面に、該上面より寸法の小さい上面を有して前記天板の接合面に当接する突き当て部を設ける工程と、
前記天板の接合面に接着層を設ける工程と、
前記突き当て部を前記接着層に侵入させて前記天板の接合面に当接させるとともに、、前記接着層と前記仕切り部の上面とを接触させる工程と、
を具えたことを特徴とする。
【００１２】
これらにおいて、前記接着層の厚みと、前記仕切り部の上面からの前記突き当て部の高さとが実質的に等しいものとすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、仕切り部の上面に、これより小さい寸法の上面をもって天板の接合面に当接する突き当て部を有する構成としたことにより、突き当て部の高さを接着層の厚みと実質的に等しくすれば、突き当て部の上面と天板の接合面との当接と同時に、突き当て部の肩部すなわち仕切り部の上面が接着層が接触する。従って、接着効果を確保しつつ、接合に要する圧力を小さくすることができるとともに、接着材の押し出し量を低減することができるので、吐出口の形状を安定させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。  
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを適用可能なインクジェットプリント装置の概略構成を示す模式的斜視図である。また、図２はこのプリント装置に適用される液体吐出ヘッドを吐出口側から見た模式的斜視図である。
【００１５】
本実施形態のインクジェットプリント装置１０は、プリント媒体２０の搬送方向Ｙ（副走査方向）と交差する方向Ｘ（主走査方向）に延在する長尺な液体吐出ヘッド１３Ｋ、１３Ｃ、１３Ｍおよび１３Ｙを用いる。液体吐出ヘッド１３Ｋ、１３Ｃ、１３Ｍおよび１３Ｙは、それぞれ、ブラック、シアン、マゼンタおよびイエローの各色インクに対応しており、図１のインクジェットプリント装置はフルカラープリントが可能なものである。液体吐出ヘッド１３Ｋ、１３Ｃ、１３Ｍおよび１３Ｙは、ブラックインク、シアンインク、マゼンタインクおよびイエローインクをそれぞれ貯留したインクタンク１１Ｋ、１１Ｃ、１１Ｍおよび１１Ｙから、接続配管１２を介してインク供給を受ける。なお以下では、液体吐出ヘッド１３Ｋ、１３Ｃ、１３Ｍおよび１３Ｙは、色を特定しない場合には符号１３で総括的に参照される。
【００１６】
液体吐出ヘッド１３は、制御装置１４によって作動が制御されるヘッド移動手段１９により、図１の上下方向に昇降し得るようになっている。また、液体吐出ヘッド１３の側方には、プリント媒体２０に対するプリント動作に先立ち、各吐出口に連通する液路内に存在する増粘インクなどを吐出口から排出させる回復処理を行うためのヘッドキャップ２３が配置されている。すなわち回復処理時には、液体吐出ヘッド１３をプリント媒体との対向位置から上昇させる。その後、制御装置１４によって作動が制御されるキャップ移動手段２４によりキャップ２３を液体吐出ヘッド１３の直下に移動させ、インク吐出口から排出される廃インクを受けることができるようになっている。
【００１７】
プリント媒体２０を搬送する搬送用ベルト１７は、ベルト駆動モータ２５に連結された駆動ローラに架け渡され、制御装置１４に接続されるモータドライバ２７によってその作動が切り替えられる。液体吐出ヘッド１３と対向する領域の搬送用ベルト１７の裏面側にはプラテン１８が配設され、搬送用ベルト１７の搬送面ないしはプリント媒体２０の被プリント面を平坦に規制する。また、搬送用ベルト１７の上流側には、付加的な構成として、搬送用ベルト１７を帯電させることにより、プリント媒体２０を搬送用ベルト１７に密着させるための帯電器２８を設けることができる。この帯電器２８は制御装置１４に接続される帯電器ドライバ２９によって、その通電のオン／オフが切り換えられる。搬送用ベルト１７の上にプリント媒体Ｐを供給するための一対の送給ローラ３０には、これらを駆動回転させるための送給用モータ３１が連結される。この送給用モータ３１は、制御装置１４に接続されるモータドライバ３２によって作動が切り換えられる。従って、プリント媒体２０に対するプリント動作を行う場合には、帯電器２８を作動させると同時に搬送用ベルト１７を駆動し、さらに送給ローラ３０によってプリント媒体２０を搬送用ベルト１７上に載置させる。そして、搬送用ベルト１７によってＹ方向に搬送されるプリント媒体２０に対し、液体吐出ヘッド１３によってカラー画像がプリントされる。なお、２７はヘッドドライバであり、インク吐出に利用されるエネルギを発生する素子（例えばインクに膜沸騰を生じさせる発熱素子の駆動を制御する。
【００１８】
図２は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１３のノズル近傍を示す一部破断斜視図である。また、図３（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、液体吐出ヘッド１３を吐出口側から見た模式的正面図および液路の長手方向に沿った断面で示す模式的断面図である。
【００１９】
本実施形態における液体吐出ヘッド１３は、供給穴３８を介して液体であるインクが供給される共通液室３３と、基端がこの共通液室３３にそれぞれ連通すると共に先端部が吐出口２２となった複数の液路２１とを有する。各吐出口２２は、液体吐出ヘッド１３のプラテン１８と対向する面に、プリント媒体２０の搬送方向と直交する方向に一直線状に配列した状態で開口している。
【００２０】
平滑なベースプレート３５上に配置された基板３６には、液滴（インク滴）を吐出するために利用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子１６が所定間隔で設けられている。ここで、基板３６は、シリコンウエハでなる基体上に、半導体製造技術を援用して、エネルギ発生素子１６となる発熱素子を形成したものとすることができる。発熱素子は、通電に応じ液路２１に存在する液体（インク）を加熱沸騰させることで吐出口２２からインクを吐出させる熱エネルギを発生する。また、基体には、エネルギ発生素子１６に選択的に通電を行うためのスイッチングトランジスタ等の半導体素子でなる駆動回路を予め作り込こんでおくことができる。
【００２１】
基板３６上には、隣接するエネルギ発生素子１６間に配設され、個々の液路２１を仕切る隔壁３７ａと共通液室３３を区画する枠３７ｂとを有する仕切り部３７が配置される。本実施形態において、仕切り部３７の上面には、後述する接着層４０内に侵入し、天板３９側の接合面と当接する突き当て部４２が設けられている。この突き当て部４２は仕切り部３７と同一材料にて形成され、その上面は、仕切り部３７の上面より小さい寸法を有している。本実施形態の突き当て部４２は、液路に直交する断面が矩形状のリブの形態である。また、基板３６上、各液路２１の吐出口２２の下部となる部分には、隔壁３７ａと隣接して、仕切り部３７と同一材料にて、吐出口２２の当該部分を限界する吐出口補完層４１が設けられる。この吐出口補完層４１は、吐出口周囲を構造的に補強するための部材として機能させることも可能である。
【００２２】
本実施形態において、仕切り部３７を介し、共通液室３３内に液体を供給するための液体供給穴３８を有する天板３９を基板３６に接合することで、先端側が吐出口２２に連通する複数の液路２１と、液路２１の基端側にあって各液路２１にインクを供給するための共通液室３３とが形成される。天板３９を基板３６に接合するにあたっては、天板３９と仕切り部３７の間に、接着材としての接着層４０が配される。この接着層４０の厚みと、仕切り部３７の上面からの突き当て部４２の高さとは実質的に等しい。
【００２３】
なお、以上の構成において、ベースプレート３５は、本実施形態では発熱素子としたエネルギ発生素子１６の継続的安定動作をもたらすような放熱および蓄熱特性を有するセラミックスなどで形成される。
【００２４】
また、仕切り部３７は、感光性樹脂を用い、これをフォトリソグラフィにより、個々の液路２１に対する仕切り壁３７ａとなる部分と同時に共通液室３３の枠３７ｂとなる部分を形成することで作製される。
【００２５】
また、天板３９は、基板３６を構成するものと同様のシリコンウェハを用い、これに異方性エッチングにより液体供給穴３８を形成したものを用いることができる。このように基板３６と同様のシリコンウェハを用いて天板３９を形成した場合、基板３６に対して天板３９の熱変形量を等しくすることができるため、エネルギ発生素子１６の発熱に伴って発生する液体吐出ヘッド１３の反りやこれによって生ずる剥離などの不具合の発生を抑制することができる。
【００２６】
また、接着層４０には、ドライフィルム化した感光性樹脂、例えば東京応化工業株式会社製のＴＭＭＲなどを採用することができる。
【００２７】
さらに、吐出口補完層４１および突き当て部４２は、仕切り部３７と同一の感光性樹脂にて形成される。これによって、接着層４０を含め吐出口２２の内壁がすべて同一材料にて形成されることとなり、吐出口２２の熱的な安定性を確保して良好な液体吐出を行うことができるようになる。なお、吐出口補完層４１は、エネルギ発生素子１６よりも液路２１の下流側、つまり吐出口２２側に形成すればよく、基板３６の全面にわたって形成する必要はない。
【００２８】
図４〜図７を用い、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１３の製造工程を説明する。なお、これらの図の（ａ）は吐出口となる部分の側から見た模式的正面図であり、（ｂ）は液路となる部分に沿った断面で示す模式的断面図である。
【００２９】
まず、ベースプレート３５上にエネルギ発生素子１６が形成された基板３６を搭載し、この基板３６上に吐出口補完層４１となる感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィにより所定形状に成形する。さらに、この吐出口補完層４１にマスキングを施して再度感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィによって仕切り壁３７ａおよび共通液室３３の枠３７ｂをもつ仕切り部３７を成形する（図４（ａ），（ｂ））。
【００３０】
次に、突き当て部４２となるドライフィルム化した感光性樹脂４２ａを仕切り部３７の上面にテンティングによって貼り付け、フォトマスク４４を用いたフォトリソグラフィ（図５（ａ）、（ｂ））により、仕切り部３７の上面に突き当て部４２を形成する（（図６（ａ），（ｂ）））。
【００３１】
さらに、異方性エッチングにより液体供給穴３８が形成された天板３９側の接合面に、ドライフィルム化した感光性樹脂をテンティングによって貼り付け、その後カバーシートを剥がす。これにより、天板３９の接合面と当接した部分だけ感光性樹脂は接着層４０として残り、その他の部分はカバーシートと共に剥がれる。この際、接着層４０に用いるドライフィルム化した感光性樹脂は、突き当て部４２と同じ厚みのものを用いる。そして、接着層４０に光を照射した後、天板３９をこの接着層４０を介して仕切り部３７および突き当て部４２に一体的に接合する（（図７（ａ），（ｂ）））。この際、突き当て部４２は接着層４０内に侵入して行き、天板３９の接合面に当接する。また、本実施形態では、接着層４０の厚みと、突き当て部４２の高さとは等しいので、当該当接とほぼ同時に、突き当て部４２の肩部すなわち仕切り部３７の上面が接着層と接触する。この状態で加熱を行い、接着層４０を硬化させることにより、図３（ａ），（ｂ））に示すような液体吐出ヘッド１３が得られる。
【００３２】
本実施形態では、まず基本的に、仕切り部３７の上面に、これより小さい寸法の上面をもつ突き当て部４２を設け、この突き当て部４２の上面が天板３９の接合面に当接するようにしている。このため、突き当て部４２の高さを接着層４０の厚みと等しくすれば、突き当て部４２の上面と天板３９の接合面との当接と同時に、突き当て部４２の肩部すなわち仕切り部３７の上面が接着層４０に接触することになる。すなわち、従来のように仕切り部の上面の全面を接着層に差し込んで天板の接合面に当接させる場合に比して、接合に要する圧力（接合圧力）を小さくすることができる。また、接着材の押し出し量を低減することができるので、吐出口の形状を安定させることが可能となる。
【００３３】
ここで、突き当て部４２の高さをｈ、接着層４０の厚みをｔとしたとき、ｈ＜ｔの場合には、突き当て部４２の上面と天板３９の接合面とが当接する前に、突き当て部４２の肩部すなわち仕切り部３７の上面が接着層４０に接触する。この場合、突き当て部４２の上面と天板３９の接合面とを当接させるにはさらに高い接合圧力を要することになる。また、押し出し量の低減効果も小さくなってしまう。
【００３４】
一方、ｈ＞ｔの場合には、突き当て部４２の上面と天板３９の接合面とが当接したときに、突き当て部４２の肩部すなわち仕切り部３７の上面が接着層４０に接触しておらず、接着効果が期待できないものとなってしまう。
【００３５】
従って、ｈ＝ｔとすること、すなわち突き当て部４２の高さを接着層４０の厚みと等しくすることは、接合圧力および接着材の押し出し量を低減し、かつ接着効果を確保する上で好ましいものである。しかしこれらの効果が得られるのであれば、必ずしもｈ＝ｔでなくてもよい。すなわち、接合圧力および押し出し量の低減効果が期待できる範囲であれば、突き当て部４２の高さは接着層４０の厚みより若干小さくてもよい。また、突き当て部４２の侵入に伴う接着材の押し出しにより仕切り部３７の上面における接着層が厚くなり、所要の接着効果が得られるのであれば、突き当て部４２の高さは接着層４０の厚みより若干大きくてもよい。すなわち、突き当て部４２の高さと接着層４０の厚みとが「実質的に等しい」とは、ｈ＝ｔの場合のみならず、上記効果が得られるようなある程度の許容範囲をも含めて言うものである。
【００３６】
また、接着層４０としては、エポキシ系接着剤、シリコーン系接着剤など種々の接着材または接着剤を用いることができるが、本実施形態のようにドライフィルム化した感光性樹脂を用いれば、ヘッド形成時に用いる他の材料、例えば仕切り部３７の形成材料と共用できるため、廉価にして簡単な構成の液体吐出ヘッドを得ることができる。
【００３７】
さらに、本実施形態によれば、突き当て部４２および接着層４０を仕切り部３７と同一材料にて形成している。また、吐出口２２の一部を限界する吐出口補完層を設け、これについても仕切り部３７と同一材料にて形成している。このため、吐出口の内壁はすべて同一材料にて形成されることから、熱的な変形に伴う吐出口からの液滴の吐出状態の変化を抑制することができる。また、吐出口周囲の濡れ性を均一化し、液滴吐出方向の偏向（よれ）を抑制することが可能となる。
【００３８】
（他の実施形態）
本発明は、以上のような実施形態のみに限らず、特許請求の範囲に記載された本発明の概念に包含される範囲で適宜の変更や修正が可能である。
【００３９】
例えば、上述の実施形態では、突き当て部４２を、液路に直交する断面が矩形状のリブの形態とした。しかし接合圧力および接着材の押し出し量を低減し、かつ接着効果を確保するという所期の目的を達成し得るものであれば、適宜の形態とすることができる。
【００４０】
図８は本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１３を構成する基板３６を、液路の長手方向と直交する断面で示す模式図である。本実施形態における突き当て部１４２は、接合される天板３９に向かう方向にテーパをもって形成されている。すなわち、本実施形態における突き当て部１４２は、断面が台形状のリブの形態を有している。その他の構成要素および製造工程は第１の実施形態と同様のものを採用できる。本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果が得られることに加え、突き当て部１４２が、接合される天板３９に向かう方向にテーパをもっていることから、接合時における接着層４０内への侵入がより円滑に行われ、接合がより容易となる。
【００４１】
図９は本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１３を構成する基板３６を、液路の長手方向に沿った断面で示す模式図である。本実施形態における突き当て部２４２は、仕切り部３７の上面に沿って連続するリブの形態ではなく、細かいブロックに分けられて形成されている。すなわち、本実施形態における突き当て部２４２は、仕切り部３７の上面に分散して配置された突起の形態を有している。その他の構成要素および製造工程は第１の実施形態と同様のものを採用できる。本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果が得られることに加え、接合時における接着層４０内への侵入がより円滑に行われ、接合がより容易となる。
【００４２】
（その他）
本発明は、液体を吐出するために利用されるエネルギ発生素子が複数形成された基板と、天板とを接合することで複数の吐出口ないし液路およびこれに連通する共通液室が形成される液体吐出ヘッドであれば、エネルギ発生素子の種類によらず適用が可能である。しかし本発明は、液体の吐出を行わせるために利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段（例えば電気熱変換体やレーザ光など）を具え、この熱エネルギにより液体の状態変化を生起させるインクジェット方式の液体吐出ヘッドにおいて優れた効果をもたらすものである。かかる方式の液体吐出ヘッドは、半導体製造技術を援用して基板を製造でき、プリントの高密度化および高精細化が達成できるからである。
【００４３】
ここで「プリント」とは、文字や図形など有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広くプリント媒体上に画像，模様，パターンなどを形成したり、あるいはエッチングなどのようなプリント媒体の加工を行う場合も包含する。
【００４４】
また「プリント媒体」とは、一般的なプリント装置で用いられる紙片のみならず、布帛，樹脂フィルム，金属板，ガラス，セラミックス，木材，皮革など、液体を受容可能なものであればいかなるものでもよい。また、シート状物体のほか、三次元立体、例えば球体や円筒体などでもよい。
【００４５】
さらに「液体」とは、上記「プリント」の定義と同様広く解釈されるべきもので、プリント媒体上に付与されることによって、画像，模様，パターンなどの形成，エッチングなどのプリント媒体の加工，あるいはインクの処理、例えばプリント媒体に付与されるインク中の色材の凝固や不溶化に供され得る液体を指し、プリントに関して用いられるあらゆる液体を包含する。
【００４６】
従って、例えば、プリント媒体の種類やプリントモードに応じてインクのプリント性を調整するための処理液（プリント性向上液）を単独でまたはインクと共にプリント媒体に吐出するような型式の液体吐出ヘッドに対しても本発明は適用可能である。
【００４７】
加えて、上述の実施形態では所謂ラインヘッド形態の液体吐出ヘッドに本発明を適用した例について説明した。かかるラインヘッドとしては、一体的に形成された長尺な１個の液体吐出ヘッドとして構成されるものであってもよいし、比較的短尺の複数の液体吐出ヘッドの組合せによって構成されるものであってもよい。また、そのようなラインヘッドのみならず、プリント媒体の搬送方向に対して交差する方向に走査移動するキャリッジに搭載される所謂シリアルプリンタに搭載される形態の液体吐出ヘッドに対しても本発明は有効に適用できるのは言うまでもない。
【００４８】
さらに加えて、本発明の液体吐出ヘッドを適用できる画像形成装置の形態としては、コンピュータや光ディスク装置などの情報処理機器の出力端末として用いられるもののほか、リーダなどと組合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装置や捺染装置、あるいはエッチング装置の形態を採るものなどであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを適用可能なインクジェットプリント装置の概略構成を示す模式的斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを吐出口側から見た模式的斜視図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを吐出口側から見た模式的正面図および液路の長手方向に沿った断面で示す模式的断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造工程を説明するための図であり、（ａ）は吐出口となる部分の側から見た模式的正面図、（ｂ）は液路となる部分に沿った断面で示す模式的断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造工程を説明するための図であり、（ａ）は吐出口となる部分の側から見た模式的正面図、（ｂ）は液路となる部分に沿った断面で示す模式的断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造工程を説明するための図であり、（ａ）は吐出口となる部分の側から見た模式的正面図、（ｂ）は液路となる部分に沿った断面で示す模式的断面図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造工程を説明するための図であり、（ａ）は吐出口となる部分の側から見た模式的正面図、（ｂ）は液路となる部分に沿った断面で示す模式的断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する基板を、液路の長手方向と直交する断面で示す模式図である。
【図９】本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する基板を、液路の長手方向に沿った断面で示す模式図である。
【図１０】従来の液体吐出ヘッドの概略構造を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１３  液体吐出ヘッド
１６  エネルギ発生素子
２１  液路
２２  吐出口
３３  共通液室
３６  基板
３７  仕切り部
３７ａ  隔壁
３７ｂ  液室枠
３８  液体供給穴
３９  天板
４０  接着層
４１  吐出口補完層
４２、１４２、２４２  突き当て部
４２ａ  感光性樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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