(57)【要約】【課題】適切なクランプ力が容易に得られ、クランプ力が変化せず、テープ状デバイスのセットが容易なハンドラのテープクランパーを実現する。【解決手段】テープ状デバイスをプッシャプレートと挟持するテープクランプ本体を具備するハンドラのテープクランパーにおいて、前記テープクランプ本体を駆動するエアシリンダーと、このエアシリンダーに空気圧を供給すると共に空気設定圧を調節することでテープクランプ本体のクランプ力を変更する空気設定圧調節手段とを具備したことを特徴とするハンドラのテープクランパーである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ状デバイスをプッシャプレートと挟持するテープクランプ本体を具備するハンドラのテープクランパーにおいて、
前記テープクランプ本体を駆動するエアシリンダーと、
このエアシリンダーに空気圧を供給すると共に空気設定圧を調節することでテープクランプ本体のクランプ力を変更する空気設定圧調節手段と
を具備したことを特徴とするハンドラのテープクランパー。
【請求項２】
前記空気設定圧調節手段は、電空レギュレータが使用されたこと
を特徴とする請求項１記載のハンドラのテープクランパー。
【請求項３】
前記テープ状デバイスセット時にプッシャプレートとテープクランプ本体との間隔を広げるように前記エアシリンダーへの供給空気圧の供給方向を切り換える供給空気圧切換手段
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のハンドラのテープクランパー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハンドラのテープクランパーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハンドラのテープクランパーに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００2−３２８１５１号公報
【０００４】
図４は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図、図５は図４の要部構成説明図、図６は図４の動作説明図である。
図４において、テープ状デバイス用オートハンドラは、リールに巻かれたテープ状デバイスを自動的に測定位置まで逐次搬送し、ＩＣテスタのテスト結果にもとづいて選別する装置である。
【０００５】
１はテープ状デバイス、２Ａは供給リール、２Ｂは収容リール、３Ａは第１のスプロケット、３Ｂは第４のスプロケット、４Ａは第１のプーリ、４Ｂは第２のプーリ、５Ａと５Ｂはガイド、６Ａは第１のテンションプーリ、６Ｂは第２のテンションプーリ、７Ａは第２のスプロケット、７Ｂは第３のスプロケット、８はテープクランプ本体、９はプッシャプレート、１０はプッシャ、１１はパンチユニット、１２はプローブカード、１２Ａはプローブ、１３はアタッチメントユニット、１４はテストヘッド、１５，１５Ａ，１５Ｂはカメラ、１５Ｃは画像処理装置である。
【０００６】
図４では、供給リール２Ａに巻かれたテープ状デバイス１を収容リール２Ｂが巻き取る。
プッシャプレート９の両翼には第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂが配置され、第２のスプロケット７Ａと第３のスプロケット７Ｂは同期回転してテープ状デバイス１を走行させる。  プッシャプレート９の下面にはテープクランプ本体８が配置され、テープ状デバイス１はプッシャプレート９とテープクランプ本体８間を走行する。
【０００７】
プッシャ１０はプッシャプレート９を昇降させる。
プッシャ１０は、テープクランプ本体８とプッシャプレート９で保持されたテープ状デバイス１を降下させ、前記テープ状デバイス１をプローブカード１２に接触させて試験する。
【０００８】
図４のプローブカード１２はプッシャプレート９と対向する形で装置に保持される。
プローブカード１２とアタッチメントユニット１３は機械的または電気的に分離可能に接続される。
ＩＣテスタのテストヘッド１４は、上部にアタッチメントユニット１３を配置する。
【０００９】
図５は、テープクランプ本体８とプッシャプレート９とプッシャ１０との要部構成説明図である。
テープクランプ本体８はプッシャプレート９に対向して設けられ、プッシャ１０にシャフト１０Ａとばね１０Ｂとを介して支持されている。
【００１０】
図４では、テープ状デバイス１は第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂが同期して回転することによりテープ状デバイス１のピッチ分送られ、供給リール２Ａからテンションプーリ６Ａ、第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂ、テンションプーリ６Ｂ、収容リール２Ｂの順に移動する。
【００１１】
第１のプーリ４Ａは第１のスプロケット３Ａと第１のテンションプーリ６Ａ間に配置され、第２のプーリ４Ｂは第４のスプロケット３Ｂとテンションプーリ６Ｂ間に配置される。
第１・第２のプーリ４Ａ・４Ｂは回転中心が固定され、円周面が転動してテープ状デバイス１を案内する。
【００１２】
ガイド５Ａは第１のプーリ４Ａと第１のテンションプーリ６Ａ間に配置され、ガイド５Ｂは第２のテンションプーリ６Ｂと第２のプーリ４Ｂ間に配置される。
ガイド５Ａ・５Ｂはテープ状デバイス１を介在させ、テープ状デバイス１を案内する。
【００１３】
図４では、テープ状デバイス１の屈曲や波うちを防止するためテープ状デバイス１にある程度の張力をかける。
すなわち、第１のテンションプーリ６Ａは、第１のプーリ４Ａと第２のスプロケット７Ａ間に配置され、テープ状デバイス１を上昇方向に押圧する。
第２のテンションプーリ６Ｂは、第３のスプロケット７Ｂと第２のプーリ４Ｂ間に配置され、テープ状デバイス１を上昇方向に押圧する。
【００１４】
ガイド５Ａは回転中心を固定し、第１のプーリ４Ａ第１のとテンションプーリ６Ａ間に配置され、テープ状デバイス１を案内する。
ガイド５Ｂは回転中心を固定し、テンションプーリ６Ｂと第２のプーリ４Ｂ間に配置され、テープ状デバイス１を案内する。
パンチユニット１１はガイド５Ｂと第２のプーリ４Ｂ間に配置される。
【００１５】
カメラ１５Ａは第１のプーリ４Ａとガイド５Ａ間に配置され、カメラ１５Ｂはパンチユニット１１と第２のプーリ４Ｂ間に配置される。
カメラ１５Ａとカメラ１５Ｂは画像処理装置１５Ｃに接続する。
【００１６】
カメラ１５Ａは測定前のテープ状デバイス１を撮像し、撮像データを画像処理装置１５Ｃに送出する。
カメラ１５Ｂはテープ状デバイス１を撮像し、カメラ１５Ａによる画像データと比較照合またはパンチユニット１１の打ち抜き指令と比較照合する。
【００１７】
カメラ１５はテストヘッド１４の下方に配置され、テストヘッド１４の中央中空穴を通して、テープ状デバイス１の画像を認識する。
カメラ１５は画像処理装置１５Ｃと接続され、テープ状デバイス１の接触位置を補正演算する。
【００１８】
以上の構成において、動作を説明する。
第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂで位置決めされたテープ状デバイス１は、テープクランプ本体８とプッシャプレート９により固定される。
次に、矢印Ａに示す如く、プッシャ１０はテープクランプ本体８とプッシャプレート９を一体にしてテープ状デバイス１を、プローブカード１２のプローブ１２Ａにテープ状デバイス１が接触しない程度まで下降させる。
【００１９】
この場合、図６に示す如く、プッシャプレート９がテープクランプ本体８を押し下げながら下降する。
このとき、テープクランプ本体８上部に取り付けられたばね１０Ｂの力で、テープ状デバイス１をプッシャプレート９とテープクランプ本体８で挟み込み、テープ状デバイス１の位置がずれないようにする。また、テープ状デバイス１をクランプすることでテープ状デバイス１の歪みを矯正できる。
【００２０】
即ち、プッシャプレート９とテープクランプ本体８とでテープ状デバイス１をクランプした後、プッシャプレート９とテープクランプ本体８とは、所定距離下降する。
プッシャプレート９は、図示しないモータやボールネジ駆動などにより駆動され、下降する。
カメラ１５はテープ状デバイス１の画像データを取り込み、テープ状デバイス１の位置の補正量を算出する。
【００２１】
画像データを取り込み後、テープ状デバイス１の位置を補正後、テープ状デバイス１をプローブカード１２のプローブ１２Ａに接触するように下降させる。
次に、テープ状デバイス１がプローブ１２Ａに接触した状態で、ＩＣテスタ側にオートハンドラからテストスタート要求信号を送る。
テストが終了するとプッシャプレート９とプッシャ１０は上昇し、第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂが回転して次のテープ状デバイス１が送られる。
【００２２】
図４では、第１・第２・第３・第４のスプロケット３Ａ・７Ａ・７Ｂ・３Ｂが反時計方向に同期して回転することにより、テープ状デバイス１は図４の左側から右側に送られていく。
【００２３】
図４では、テープ状デバイス１に無理な力が加わらないようにしているので、プッシャプレート９が降下前には、第２・第３のスプロケット７Ａ・７Ｂ間のテープ状デバイス１はたわんでいる。
テープ状デバイス１のたわみをとって測定するため、図４では、第３のスプロケット７Ｂの回転を停止し、第２のスプロケット７Ａを時計方法に逆回転する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
このような装置においては、以下の間題点がある。
ばね１０Ｂを交換しないと、テープ状デバイス１のクランプ力の変更ができない。
したがって、テープ状デバイス１の種類に応じて、適切なクランプ力を得ようとすれば、その度に、適切なばねに取り替えねばならず、セッティングが大変である。
【００２５】
ばね１０Ｂは縮むほど力が強くなるので、プッシャプレート９の下降量によって、クランプ力が変化してしまう。
ばね１０Ｂでは、クランプ力を変化させずに、大きなストロークを得ることは難しく、テープクランパ本体８とプッシャプレート９とのストロークが狭く、テープ状デバイス１のセットが難しい。
ストロークを広げる為には、別の機構を付加する必要がある。
【００２６】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、適切なクランプ力が容易に得られ、クランプ力が変化せず、テープ状デバイスのセットが容易なハンドラのテープクランパーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のハンドラのテープクランパーにおいては、
テープ状デバイスをプッシャプレートと挟持するテープクランプ本体を具備するハンドラのテープクランパーにおいて、前記テープクランプ本体を駆動するエアシリンダーと、このエアシリンダーに空気圧を供給すると共に空気設定圧を調節することでテープクランプ本体のクランプ力を変更する空気設定圧調節手段とを具備したことを特徴とする。
【００２８】
本発明の請求項２のハンドラのテープクランパーにおいては、請求項１記載のハンドラのテープクランパーにおいて、
前記空気設定圧調節手段は、電空レギュレータが使用されたことを特徴とする。
【００２９】
本発明の請求項３のハンドラのテープクランパーにおいては、請求項１又は請求項２記載のハンドラのテープクランパーにおいて、
テープ状デバイスセット時にプッシャプレートとテープクランプ本体との間隔を広げるように前記エアシリンダーへの供給空気圧の供給方向を切り換える供給空気圧切換手段を具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
テープ状デバイスをクランプする力はシリンダに供給されているエアーの圧力により決まり、このエアーの圧力を空気設定圧調節手段により制御し、その設定を変更することで、テープ状デバイスの種類に応じて適切なクランプ力を得ることができるハンドラのクランパーが得られる。
テープクランプ本体が下降移動してもクランプ力が変化しないハンドラのテープクランパーが得られる。
【００３１】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
空気設定圧調節手段は、電空レギュレータが使用されたので、簡潔確実に空気設定圧調節ができるハンドラのテープクランパーが得られる。
【００３２】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
テープ状デバイスのセット時にプッシャプレートとテープクランプ本体との間隔を広げるように、エアシリンダーへの供給空気圧の供給方向を切り換える供給空気圧切換手段が設けられたので、プッシャプレートとテープクランプ本体との間隔を広げることができて、テープ状デバイスのセットが容易にできるハンドラのテープクランパーが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２，図３は図１の動作説明図である。
図において、図４と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図４との相違部分のみ説明する。
【００３４】
図１において、エアシリンダー３１は、テープクランプ本体８を駆動する。
この場合は、プッシャ１０に設けられ、シャフト１０Ａを介してテープクランプ本体８を駆動している。
空気設定圧調節手段３２は、エアシリンダー３１に空気圧を供給すると共に、空気設定圧を調節することでテープクランプ本体８のクランプ力を変更する。
【００３５】
この場合は、空気設定圧調節手段３２は、電空レギュレータ３２が使用されている。
供給空気圧切換手段３３は、エアシリンダー３１と空気設定圧調節手段３２との間に設けられ、テープ状デバイスのセット時に、プッシャプレート９とテープクランプ本体８との間隔を広げるように、エアシリンダー３１への供給空気圧の供給方向を切り換える。
【００３６】
以上の構成において、テープ状デバイス１をクランプする為、プッシャプレート９が下降する。
このとき、エアシリンダ３１には、図２に示す如く、ピストン３１１が矢印Ｂ方向に動作するようにエアーが供給されている。
【００３７】
プッシャプレート９が下降した状態で、テープ状デバイス１はプッシャプレート９とテープクランプ本体８にてクランプされる。
このときのクランプ力は、エアシリンダ３１に供給されているエアーの圧力により決定され、一定の変動しないクランプ力が働く。
【００３８】
次に、テープ状デバイス１のセット時には、図３に示す如く、供給空気圧切換手段３３により、ピストン３１１が矢印Ｃ方向に動作するようにエアーが切換供給される。
テープクランパー本体８のみが下降する。
この結果、図３に示す如く、プッシャプレート９とテープクランプ本体８との間隔Ｄを広げることができて、テープ状デバイスのセットが容易にできる。
【００３９】
この結果、
テープ状デバイス１をクランプする力はシリンダ３１に供給されているエアーの圧力により決まり、このエアーの圧力を空気設定圧調節手段３２により制御し、その設定圧を変更することで、テープ状デバイスの種類に応じて適切なクランプ力を得ることができるハンドラのテープクランパーが得られる。
【００４０】
テープクランプ本体８が下降移動しても、クランプ力が変化しないハンドラのテープクランパーが得られる。
空気圧一定の場合のシリンダの推力は一定の為、プッシャプレート９の下降量が変化してもクランプ力は変化しないからである。
【００４１】
空気設定圧調節手段３２は、電空レギュレータ３２が使用されたので、簡潔確実に空気設定圧調節ができるハンドラのテープクランパーが得られる。
【００４２】
テープ状デバイスのセット時にプッシャプレート９とテープクランプ本体８との間隔Ｄを広げるように、エアシリンダー３１への供給空気圧の供給方向を切り換える供給空気圧切換手段３３が設けられたので、プッシャプレート９とテープクランプ本体８との間隔Ｄを広げることができて、テープ状デバイスのセットが容易にできるハンドラのクランパーが得られる。
【００４３】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図５】図４の要部構成説明図である。
【図６】図５の動作説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１      テープ状デバイス
２Ａ    供給リール
２Ｂ    収容リール
３Ａ    第１のスプロケット
３Ｂ    第４のスプロケット
４Ａ    第１のプーリ
４Ｂ    第２のプーリ
５Ａ    ガイド
５Ｂ    ガイド
６Ａ    第１のテンションプーリ
６Ｂ    第２のテンションプーリ
７Ａ    第２のスプロケット
７Ｂ    第３のスプロケット
８      テープクランプ本体
９      プッシャプレート
１０    プッシャ
１０Ａ  シャフト
１０Ｂ  ばね
１１    パンチユニット
１２    プローブカード
１２Ａ  プローブ
１３    アタッチメントユニット
１４    テストヘッド
１５    カメラ
１５Ａ  カメラ
１５Ｂ  カメラ
１５Ｃ  画像処理装置
３１    エアシリンダー
３１１  ピストン
３２    空気設定圧調節手段
３３    供給空気圧切換手段
Ｄ      間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2009210493.tif 000006
【図５】
2009210493.tif 000007
【図６】
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