(57)【要約】【課題】試験に関する設定項目の選択／非選択の状態を任意に切替える際における操作性の向上を図る。【解決手段】半導体試験装置と、操作入力装置と、試験に関する設定項目の選択／非選択の状態を表すと共に当該状態を切替えるための操作アイコンを設定項目の数に応じて表示する表示装置と、操作入力装置によって操作アイコンに対する選択／非選択の切替操作が行われた場合に、切替操作が行われた操作アイコンに対応する設定項目の選択／非選択の状態を切替えると共に設定項目の状態を半導体試験装置に通知する制御装置とを備える半導体試験システムであって、制御装置は、表示装置の表示画面上における所定の文字入力領域に、操作入力装置によって設定項目の各々に割り当てられた番号が入力された場合、当該入力された番号に対応する設定項目を選択状態または非選択状態のいずれかに一括して切替える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置と、操作入力装置と、試験に関する設定項目の選択／非選択の状態を表すと共に当該状態を切替えるための操作アイコンを前記設定項目の数に応じて表示する表示装置と、前記操作入力装置によって前記操作アイコンに対する選択／非選択の切替操作が行われた場合に、前記切替操作が行われた操作アイコンに対応する設定項目の選択／非選択の状態を切替えると共に前記設定項目の状態を前記半導体試験装置に通知する制御装置とを備える半導体試験システムであって、
前記制御装置は、前記表示装置の表示画面上における所定の文字入力領域に、前記操作入力装置によって前記設定項目の各々に割り当てられた番号が入力された場合、当該入力された番号に対応する設定項目を選択状態または非選択状態のいずれかに一括して切替えることを特徴とする半導体試験システム。
【請求項２】
前記制御装置は、前記操作入力装置によって前記文字入力領域に前記番号が入力された際に、隣合う番号間に連番であることを表す記号が含まれていた場合、前記隣合う番号の範囲に含まれる全ての番号に対応する設定項目を選択状態または非選択状態のいずれかに一括して切替えることを特徴とする請求項１記載の半導体試験システム。
【請求項３】
前記操作入力装置によって前記文字入力領域に入力された前記番号の履歴情報を記憶する記憶装置を備え、
前記制御装置は、前記履歴情報を前記表示画面上における履歴情報表示領域に表示するように前記表示装置を制御すると共に、前記操作入力装置によって前記履歴情報の中から所定の番号履歴が選択された場合、当該選択された番号履歴に含まれる全ての番号に対応する設定項目を選択状態または非選択状態のいずれかに一括して切替えることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体試験システム。
【請求項４】
前記制御装置は、前記操作入力装置によって前記操作アイコンに対する選択／非選択の切替操作が行われた場合、前記切替操作が行われた操作アイコンに対応する設定項目の選択／非選択の状態を切替えると共に、選択状態または非選択状態のいずれかに切替えられた設定項目に対応する番号を前記文字入力領域に表示するように前記表示装置を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の半導体試験システム。
【請求項５】
前記被試験デバイスの選択／非選択を前記試験に関する設定項目とし、
前記番号として前記複数の被試験デバイスの各々に割り当てられた番号を用いることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の半導体試験システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の被試験デバイスを試験するための半導体試験システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、メモリテスタやＩＣテスタ等の半導体試験装置は、被試験デバイス（以下、ＤＵＴと称す）である半導体集積回路に試験信号を印加して得られる信号と予め定められている期待値とが一致している（パス）か否か（フェイル）を判定することにより、ＤＵＴが良品か不良品かを試験するものである。このような半導体試験装置と、ユーザからの操作入力の受付やユーザへの試験に関する情報の表示を行うためのＧＵＩ(Graphical User Interface)を組み合わせて半導体試験システムを構築することが一般的である（下記特許文献１参照）。
【０００３】
従来では、例えば、ユーザが複数のＤＵＴの中から実際に試験対象としたいＤＵＴを任意に選択する場合、図６に示すように、ディスプレイ画面上に試験可能なＤＵＴの個数分のスイッチアイコン５０を表示し、その中から試験対象としたいＤＵＴの番号に対応するスイッチアイコン５０を、マウス等のポインティングデバイスの操作によって表示画面上で押すことにより、実際に試験対象としたいＤＵＴを選択していた。なお、図６において、網掛け部分はマウス操作によって押されたスイッチアイコン５０、つまり選択されたＤＵＴを指している。
【０００４】
また、従来では、上記のような多数のスイッチ操作を簡略化するために、全てのＤＵＴの一括選択や一括選択解除、あるいは一部のグループのＤＵＴの一括選択や一括選択解除などを指示するためのアイコンを別に用意することで、操作性の向上を図っていた。
【特許文献１】特開２００４−１１７０５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、半導体試験装置が同時に試験可能な最大ＤＵＴ数は増加傾向にあり、現在では数百個のＤＵＴを同時に試験可能であるのが一般的である。このため、非常に多数のスイッチアイコンをディスプレイ画面上に表示する必要があるが、マウス等のポインティングデバイスによってＤＵＴ選択の組み合わせを自由に設定することは、ユーザにとって非常に手間のかかる作業となっていた。また、全てのＤＵＴのスイッチ状態（選択／非選択状態）を一度に画面上に表示すると、多くの面積を占有して半導体試験装置の操作の妨げになる場合があり、その場合、スイッチアイコンを表示するウィンドウを小さくしてスイッチアイコンを部分的に表示し、スクロールバー等で移動しながらスイッチ状態を確認する他なく、このような確認作業もユーザにとって非常に手間のかかるものであった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、試験に関する設定項目の選択／非選択の状態を任意に切替える際における操作性の向上を図ると共に、設定項目の状態を容易に確認することの可能な半導体試験システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明では、半導体試験システムに係る第１の解決手段として、複数の被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置と、操作入力装置と、試験に関する設定項目の選択／非選択の状態を表すと共に当該状態を切替えるための操作アイコンを前記設定項目の数に応じて表示する表示装置と、前記操作入力装置によって前記操作アイコンに対する選択／非選択の切替操作が行われた場合に、前記切替操作が行われた操作アイコンに対応する設定項目の選択／非選択の状態を切替えると共に前記設定項目の状態を前記半導体試験装置に通知する制御装置とを備える半導体試験システムであって、前記制御装置は、前記表示装置の表示画面上における所定の文字入力領域に、前記操作入力装置によって前記設定項目の各々に割り当てられた番号が入力された場合、当該入力された番号に対応する設定項目を選択状態または非選択状態のいずれかに一括して切替えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明では、半導体試験システムに係る第２の解決手段として、上記第１の解決手段において、前記制御装置は、前記操作入力装置によって前記文字入力領域に前記番号が入力された際に、隣合う番号間に連番であることを表す記号が含まれていた場合、前記隣合う番号の範囲に含まれる全ての番号に対応する設定項目を選択状態または非選択状態のいずれかに一括して切替えることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明では、半導体試験システムに係る第３の解決手段として、上記第１または第２の解決手段において、前記制御装置は、前記操作入力装置によって前記操作アイコンに対する選択／非選択の切替操作が行われた場合、前記切替操作が行われた操作アイコンに対応する設定項目の選択／非選択の状態を切替えると共に、選択状態または非選択状態のいずれかに切替えられた設定項目に対応する番号を前記文字入力領域に表示するように前記表示装置を制御することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明では、半導体試験システムに係る第４の解決手段として、上記第１〜第３のいずれかの解決手段において、前記操作入力装置によって前記文字入力領域に入力された前記番号の履歴情報を記憶する記憶装置を備え、前記制御装置は、前記履歴情報を前記表示画面上における履歴情報表示領域に表示するように前記表示装置を制御すると共に、前記操作入力装置によって前記履歴情報の中から所定の番号履歴が選択された場合、当該選択された番号履歴に含まれる全ての番号に対応する設定項目を選択状態または非選択状態のいずれかに一括して切替えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明では、半導体試験システムに係る第５の解決手段として、上記第１〜第４のいずれかの解決手段において、前記被試験デバイスの選択／非選択を前記試験に関する設定項目とし、前記番号として前記複数の被試験デバイスの各々に割り当てられた番号を用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る半導体試験システムは、表示装置の表示画面上における所定の文字入力領域に、操作入力装置によって設定項目の各々に割り当てられた番号が入力された場合、当該入力された番号に対応する設定項目を選択状態または非選択状態のいずれかに一括して切替える制御装置を備える。
つまり、ユーザは、選択状態または非選択状態に一括して切替えたい設定項目に対応する番号を、操作入力装置によって表示画面上における文字入力領域に入力するだけで良く、従来のようにマウス等のポインティングデバイスによって、設定項目の切替用の操作アイコンを１つずつ操作する必要がない。
また、表示画面上における文字入力領域に入力された番号は、選択状態または非選択状態の設定項目を示しているため、従来のようにユーザは操作アイコンの表示をわざわざ確認する必要はなく、文字入力領域に表示されている番号を確認するだけで良い。
従って、本発明に係る半導体試験システムによれば、試験に関する設定項目の選択／非選択の状態を任意に切替える際における操作性の向上を図ることが可能であると共に、設定項目の状態を容易に確認することが可能であり、特に設定項目の数が増大するほど、この効果は顕著となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る半導体試験システムの構成概略図である。図１に示すように、本実施形態に係る半導体試験システムは、半導体試験装置１、操作入力装置２、制御装置３、表示装置４及び記憶装置５とから構成されている。なお、操作入力装置２、制御装置３、表示装置４及び記憶装置５は、ユーザからの操作入力を受け付け、ユーザへの試験に関する情報の表示を行うＧＵＩ(Graphical User Interface)を構成するものである。
【００１４】
半導体試験装置１は、例えばメモリテスタやＩＣテスタ等であり、ＤＵＴ（被試験デバイス）に試験信号を印加して得られる信号と予め定められている期待値とが一致している（パス）か否か（フェイル）を判定することにより、複数のＤＵＴの良否判定試験を並列的に行うものである。この半導体試験装置１は、タイミング発生器やフォーマッタ、ドライバ、コンパレータ等の回路が設けられ、ＤＵＴと各種信号の送受信を行うピンエレクトロニクスカードが実装されたテストヘッドや、ＤＵＴを搭載するためのテストボード、テストタイミングの基本となるクロック信号を発生するレート発生器、各種のデータパターンを生成するアルゴリズミックパターンジェネレータ（ＡＬＰＧ）、試験結果（フェイルの発生状況）を記憶するフェイルメモリ、各種データの履歴を記憶するデータログメモリなどから構成されている。このような半導体試験装置１は、既に公知であるので詳細な説明は省略する。
【００１５】
操作入力装置２は、文字入力キーや数値入力キー、ファンクションキー等の各種操作キーが配置されたキーボード２ａと、ポインティングデバイスであるマウス２ｂとから構成されている。これらキーボード２ａ及びマウス２ｂは、ユーザによる操作入力に応じた操作信号を制御装置３に出力する。
【００１６】
制御装置３は、記憶装置５におけるプログラム記憶部５ａに記憶されている制御プログラムを実行し、操作入力装置２から入力される操作信号と、半導体試験装置１から入力される試験に関する情報（フェイルメモリの内容やデータログメモリの内容など）とに基づいて、表示装置４及び半導体試験装置１を制御する。具体的には、制御装置３は、試験に関する情報を表示するための画像データや、ＤＵＴの選択／非選択の状態を表すと共に当該状態を切替えるためのスイッチアイコンをＤＵＴの数に応じて表示するための画像データを生成し、これら画像データを表示装置４に出力する。上記のスイッチアイコンは、ユーザが実際に試験対象としたいＤＵＴを任意に選択するための操作アイコンであり、ＤＵＴの各々には番号（以下、ＤＵＴ番号と称す）が割り当てられており、スイッチアイコンは上記ＤＵＴ番号に対応して設けられている。
【００１７】
また、制御装置３は、マウス２ｂによって上記スイッチアイコンに対する選択／非選択の切替操作（表示装置４の表示画面上でスイッチアイコンを押す操作）が行われた場合に、切替操作が行われたスイッチアイコンに対応するＤＵＴの選択／非選択の状態を切替えると共に、各ＤＵＴの選択／非選択の状態を半導体試験装置１に通知する。
【００１８】
さらに、制御装置３は、本実施形態における特徴的な動作として、表示装置４の表示画面上における所定の文字入力領域（以下、ＤＵＴ番号入力領域と称す）に、キーボード２ａの操作によってＤＵＴ番号が入力された場合、当該入力されたＤＵＴ番号に対応するＤＵＴの選択／非選択の状態を、選択状態に一括して切替える。なお、このような制御装置３の動作の詳細については後述する。
【００１９】
表示装置４は、例えば液晶ディスプレイであり、制御装置３から入力される画像データに応じた画像を表示する。記憶装置５は、例えばＨＤＤ(Hard Disk Drive)であり、制御装置３によって実行される制御プログラムや各種のアプリケーションプログラムを予め記憶しているプログラム記憶部５ａと、制御装置３の制御の下、ＤＵＴ番号と選択／非選択の状態を示すフラグとの対応関係を記憶するＤＵＴ番号／状態記憶部５ｂと、制御装置３の制御の下、キーボード２ａによって表示装置４の表示画面上におけるＤＵＴ番号入力領域に入力されたＤＵＴ番号の履歴情報を記憶する番号履歴記憶部５ｃとを有している。なお、上記フラグは非選択状態の場合に「０」、選択状態の場合に「１」にセットされる。
【００２０】
次に、上記のように構成された本実施形態に係る半導体試験システムにおける制御装置３の動作、特にユーザが複数のＤＵＴの中から実際に試験対象としたいＤＵＴを任意に選択する場合の動作について詳細に説明する。
【００２１】
図２は、表示装置４における表示画面の一例を示すものであり、符号１０は、ＤＵＴの選択／非選択の状態を表すと共に当該状態を切替えるためのスイッチアイコンを示し、符号２０はＤＵＴ番号入力領域を示している。図２の例では、ＤＵＴの数が２５６個の場合を想定しており、つまりＤＵＴ番号は「１」〜「２５６」までが割り当てられている。また、図２では、全てのスイッチアイコン１０が非選択状態（全てのＤＵＴが非選択状態）の場合を示している。この場合、ＤＵＴ番号／状態記憶部５ｂでは、全てのＤＵＴ番号に対応するフラグが「０」にセットされることになる。
【００２２】
ここで、例えば、図３に示すように、ユーザによるキーボード２ａの操作によって、ＤＵＴ番号入力領域２０に、「１、３、１１５、２３１」が入力された場合を想定する。この場合、制御装置３は、ＤＵＴ番号「１」、「３」、「１１５」、「２３１」に対応するＤＵＴの選択／非選択の状態を選択状態に一括して切替え、各ＤＵＴの選択／非選択の状態を半導体試験装置１に通知する。具体的には、制御装置３は、図３に示すように、ＤＵＴ番号「１」、「３」、「１１５」、「２３１」に対応するスイッチアイコン１０の表示を選択状態（網掛け部分）に切り替えると共に、ＤＵＴ番号／状態記憶部５ｂの記憶内容を更新する（ＤＵＴ番号「１」、「３」、「１１５」、「２３１」に対応するフラグを「１」にセットする）。
【００２３】
このように、ユーザは、選択状態に一括して切替えたいＤＵＴに対応する番号を、キーボード２ａによって表示画面上におけるＤＵＴ番号入力領域２０に入力するだけで良く、従来のようにマウス等のポインティングデバイスによって、スイッチアイコン１０を１つずつ操作する必要がない。特に、ＤＵＴが多数の場合、マウス等のポインティングデバイスを使用すると、上記のように、「１１５」や「２３１」などのＤＵＴ番号に対応するスイッチアイコン１０を探すだけでも非常に手間のかかる作業となるが、本実施形態では、所望のＤＵＴ番号を入力するだけで良い。
また、表示画面上におけるＤＵＴ番号入力領域２０に入力されたＤＵＴ番号は、選択状態のＤＵＴを示しているため、従来のようにユーザはスイッチアイコン１０の表示をわざわざ確認する必要はなく、ＤＵＴ番号入力領域２０に表示されている番号を確認するだけで良い。
【００２４】
続いて、図４に示すように、ユーザによるキーボード２ａの操作によって、ＤＵＴ番号入力領域２０に、隣合うＤＵＴ番号間に連番であることを表す記号（例えばハイフン「−」）が含まれている「１−２５６」が入力された場合を想定する。この場合、制御装置３は、隣合うＤＵＴ番号「１」と「２５６」との範囲に含まれる全てのＤＵＴ番号に対応するＤＵＴの選択／非選択の状態を選択状態に一括して切替え、各ＤＵＴの選択／非選択の状態を半導体試験装置１に通知する。具体的には、制御装置３は、図４に示すように、ＤＵＴ番号「１」〜「２５６」に対応する全てのスイッチアイコン１０の表示を選択状態に切り替えると共に、ＤＵＴ番号／状態記憶部５ｂの記憶内容を更新する（ＤＵＴ番号「１」〜「２５６」に対応する全てのフラグを「１」にセットする）。
【００２５】
つまり、ユーザは、連続したＤＵＴ番号に対応するＤＵＴを選択状態に一括して切替えたい場合、連番の最小番号と最大番号との間にハイフン「−」を入力するだけで良く、１つずつＤＵＴ番号を入力する必要はない。なお、本実施形態では、連番であることを表す記号をハイフン「−」としたが、これに限定されず、他の記号を用いても良い。また、例えば、「３１、３２、４７、４８、５０−２００」という連番と個別番号との組み合わせや、「５０−１５０、２００−２５６」という連番のみの組み合わせで、ＤＵＴ番号を入力しても良い。
【００２６】
さらに、制御装置３は、ＤＵＴ番号入力領域２０に入力されたＤＵＴ番号の履歴情報を、記憶装置５の番号履歴記憶部５ｃに記録しており、図５に示すように、履歴情報を表示画面上における履歴情報表示領域３０に表示するように表示装置４を制御すると共に、マウス２ｂの操作によって履歴情報の中から所定の番号履歴が選択された場合、当該選択された番号履歴に含まれる全ての番号に対応するＤＵＴを選択状態に一括して切替える機能を有している。図５の例では、履歴情報の中から「１」、「３」、「１１５」、「２３１」の番号履歴が選択された場合を示している。
【００２７】
つまり、ユーザは、過去に入力したＤＵＴ番号と、同一の組み合わせのＤＵＴ番号を入力する場合、上記のように履歴情報表示領域３０に表示される履歴情報の中から所望の番号履歴を選択することにより、容易にＤＵＴ番号の再入力操作を行うことができる。なお、このような履歴情報の記録及び表示は、一般的なＧＵＩが備えるコンボボックスと呼ばれる機能を利用して実現することが可能である。
【００２８】
以上のように、本実施形態に係る半導体試験システムによれば、ユーザが複数のＤＵＴの中から実際に試験対象としたいＤＵＴを任意に選択する際における操作性の向上を図ることが可能であると共に、ＤＵＴの選択／非選択の状態を容易に確認することが可能であり、特にＤＵＴの数が増大するほど、この効果は顕著となる。
【００２９】
なお、本実施形態では、従来と同様に、マウス２ｂによってスイッチアイコン１０の切替操作（表示画面上でスイッチアイコン１０を押す）を行うことで、ＤＵＴの選択／非選択の状態を個別に切替えることもできるが、この場合、切替操作が行われたスイッチアイコン１０に対応するＤＵＴの選択／非選択の状態を切替えると共に、選択状態に切替えられたＤＵＴに対応する番号をＤＵＴ番号入力領域２０に表示するように表示装置４を制御する機能を制御装置３に持たせても良い。このような機能を備えることにより、切替操作がＤＵＴ番号入力かスイッチアイコン操作かを問わず、常にＤＵＴ番号入力領域２０に正確な情報（つまり選択状態のＤＵＴ番号）を表示させることができる。
【００３０】
また、上記実施形態では、ＤＵＴ番号入力領域２０に、キーボード２ａの操作によってＤＵＴ番号が入力された場合、当該入力されたＤＵＴ番号に対応するＤＵＴの選択／非選択の状態を、選択状態に一括して切替えるものとしたが、これに限らず、入力されたＤＵＴ番号に対応するＤＵＴの選択／非選択の状態を、非選択状態に一括して切替えるような構成としても良い。
【００３１】
また、上記実施形態では、ＤＵＴの選択／非選択を試験に関する設定項目とし、ＤＵＴの各々に割り当てられたＤＵＴ番号を用いた場合を例示したが、半導体試験システムではＤＵＴ選択以外にも、選択／非選択のスイッチ状の設定項目、例えばテストプログラムのフラグ設定やファンクション設定などがあり、これらを設定項目として本発明を適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態に係る半導体試験システムの構成概略図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る半導体試験システムの動作に関する第１説明図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る半導体試験システムの動作に関する第２説明図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る半導体試験システムの動作に関する第３説明図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る半導体試験システムの動作に関する第４説明図である。
【図６】従来技術の説明図である。
【符号の説明】
【００３３】
１…半導体試験装置、２…操作入力装置、３…制御装置、４…表示装置、５…記憶装置、２ａ…キーボード、２ｂ…マウス、５ａ…プログラム記憶部、５ｂ…ＤＵＴ番号／状態記憶部、５ｃ…番号履歴記憶部、１０…スイッチアイコン、２０…ＤＵＴ番号入力領域、３０…履歴情報表示領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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