(57)【要約】      （修正有）【課題】ロック室で被処理体に付着する異物粒子数の低減とスループットの向上を両立させる真空処理装置の提供。【解決手段】真空室と、該真空室を減圧するための真空ポンプと、該真空ポンプと前記真空室を接続する排気ライン４１の途中に設けられたバルブ４３と、該バルブ４３の開度を制御する制御手段とを有し、前記制御手段は、前記真空室を大気雰囲気から減圧する際の減圧開始直後から減圧速度を実質的に一定に制御し、かつ、前記減圧速度が８０ｋＰａ／ｓ以下になるように前記バルブ４３の開度を調整するように構成し、OPEN速度が調整可能なバルブ４３により、制御コンピュータによって減圧速度を自動的に調整できる構成とする。【選択図】図１Ａ
2009252953.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空室と、該真空室を減圧するための真空ポンプと、該真空ポンプと前記真空室を接続する排気ラインの途中に設けられたバルブと、該バルブの開度を制御する制御手段とを有し、前記排気ラインは１本のラインのみで構成されており、前記排気ラインの途中に設置されるバルブは、１個のオープン速度可変型のバルブのみで構成されている真空処理装置において、
前記制御手段は、前記真空室を大気雰囲気から減圧する際の減圧開始直後から前記真空室の圧力が５０ｋＰａ付近までの減圧速度を実質的に一定に制御し、かつ、前記減圧速度が８０ｋＰａ／ｓ以下になるように前記バルブの開度を調整するように構成されている
ことを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記減圧速度は６０ｋＰａ／ｓ以上であることを特徴とする真空処理装置。
【請求項３】
真空処理室と大気搬送装置との間に配置されたロック室と、該ロック室を減圧するための真空ポンプと、該真空ポンプと前記ロック室を接続する排気ラインの途中に設けられたバルブと、該バルブの開度を制御する制御手段とを有し、前記排気ラインは１本のラインのみで構成されており、前記排気ラインの途中に設置されるバルブは、１個のオープン速度可変型のバルブのみで構成されている真空処理装置において、
前記制御手段は、前記ロック室内を大気雰囲気から減圧する際、前記ロック室内に被処理試料が存在する場合は、前記減圧速度を８０ｋＰａ／ｓ以下になるように前記バルブの開度を調整し、被処理試料が存在しない場合は、被処理試料が存在する場合に比べて、前記減圧速度を速く制御するように構成されている
ことを特徴とする真空処理装置。
【請求項４】
複数の真空処理室と大気搬送装置との間に配置されたロック室と、該ロック室を減圧するための真空ポンプと、該真空ポンプと前記ロック室を接続する排気ラインの途中に設けられたバルブと、該バルブの開度を制御する制御手段とを有し、前記排気ラインは１本のラインのみで構成されており、前記排気ラインの途中に設置される前記バルブは、１個のオープン速度可変型のバルブのみで構成され、前記複数の真空処理室を用いて複数の被処理試料を連続的に処理する真空処理装置において、
前記制御手段は、前記ロック室内を大気雰囲気から減圧する際、前記試料の搬送状況に応じて、前記ロック室内の減圧速度を変化させ、前記減圧速度が８０ｋＰａ／ｓ以下になるように前記バルブの開度を調整するように構成されたことを特徴とする真空処理装置。
【請求項５】
請求項４において、前記ロック室は、ロードロック室とアンロードロック室で構成されており、
前記ロードロック室及び前記アンロードロック室が各々前記１本の排気ラインのみで前記真空ポンプと接続されており、
前記各排気ラインの途中に夫々前記バルブが配置されていることを特徴とする真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空処理装置に係り、特に、被処理体の搬送のために大気雰囲気と真空雰囲気に切り替えられるロック室を備えた半導体製造装置や半導体製造装置に用いるのに適した真空処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
DRAMやマイクロプロセッサ等の半導体装置の製造工程において、プラズマエッチングやプラズマCVDが広く用いられている。半導体装置の製造における課題の１つに被処理体に付着する異物粒子数を低減することが挙げられる。例えばエッチング処理中やエッチング処理前に被処理体の微細パターン上に異物粒子が落下すると、その部位は局所的にエッチングが阻害される。その結果、断線などの不良が生じ歩留まり低下を引き起こす。そのため、半導体製造装置や半導体検査装置においては被処理体に異物粒子が付かないようにする方法が多数考案されている。
【０００３】
真空と大気とを切り替えるロック室おける真空引きに起因する急激な気流の流れによる異物発生防止に関しては、特許文献１に記載のように、バルブをゆっくり開けることによって、チャンバー内の急減圧を抑制するためのバルブが提案されている。このバルブは、１個で初期排気時の気流の乱れを防止しつつ本排気まで行なうことができるように構成されている。
【０００４】
また、特許文献２に記載のように、徐々に真空排気するための低排気コンダクタンスの低速排気ラインと、高排気コンダクタンスの高速排気ラインを設置して、真空排気開始時には低速排気ラインを用いて排気することにより、減圧速度が所定の値を超えないようにすることが提案されている。特許文献２には、閉状態又は開状態に２値制御可能な排気バルブと排気コンダクタンス制御バルブとを１つの排気ラインに直列に接続した構成例と、前記排気バルブと排気コンダクタンス制御バルブとを２つの排気ラインに並列に設置した例とが開示されている。
【０００５】
さらに、特許文献３には、処理室、搬送室及びロードロック室を備えたエッチング装置において、制御コンピュータにより、搬送室と処理室のガス供給量や排気速度を調節することにより、搬送室が処理室に対して所定の圧力で陽圧になるように圧力制御を行うと共に被処理体の搬送中に処理室内にガスを流して、被処理体に異物粒子が附着する量を抑制するようにしたものが開示されている。
【０００６】
図１８に、従来から知られている真空排気系の一例を示す。５１はベントライン、５２はベントラインに設けられたバルブ（以下、ベント用バルブ）、５３はレギュレーター、６１は真空搬送室、６３は大気搬送室、６５はロック室、７１、７２はゲートバルブである。ロック室６５に接続された排気ライン１４０とドライポンプ１４４との間に、真空引き開始時に低速（流量Ｑ１）で排気するための低速排気ライン１４１（点線に沿ったライン）と、ある程度減圧した後に高速（流量Ｑ２）で排気するための高速排気ライン１４２の２つの排気ラインが、並列に設置されている。高速排気ライン１４２に設置されたバルブ１４３及び低速排気ラインのバルブ１４５には開閉速度を調整する機能を有していないバルブが用いられている（以下、このような排気ライン構成を２段排気構造と呼ぶ）。
【０００７】
【特許文献１】特開平５−２３７３６１号公報
【特許文献２】特開平１１−４０５４９号公報
【特許文献３】特開２００６−２１６７１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
プラズマ処理装置などの真空処理装置ではマルチチャンバー化が進んでいる。これは被処理体を搬送するための１式の搬送系に対して複数の処理室を接続する方式である。マルチチャンバー化するメリットは、例えば製造装置１台あたりの被処理体の処理可能枚数が増加することにある。従って、搬送室に接続する処理室の数を１つから２→３→４と増加させた場合、単位時間あたりの被処理体の処理枚数は処理室が１つの場合に比べて２倍→３倍→４倍となることが望まれる。しかし、実際には処理室数を増加させても単位時間あたりの被処理体の処理可能枚数が期待ほど増加しない問題が生じている。その要因の１つとして、ロック室のスループット向上が難しいことが挙げられる。
【０００９】
例えば、図１８に示した従来例の２段排気構造において、ロック室６５では大気圧から真空へ減圧する真空引きと、真空から大気へ加圧するベントを行うが、ベント及び真空引きの速度を上げて排気時間を短くしようとすると、ロック室内での気流が速くなり、異物粒子の舞上げ量が増加する。そのため、安易に真空引きやベントの速度を上げることができず、これがロック室のスループット改善の障害となっている。
【００１０】
ここで、従来の２本の排気ラインを備えた２段排気構造では、排気時間を短くすることが難しいことの理由を、図１９、図２０を用いて説明する。
【００１１】
図１９（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に、２段排気構造の排気特性を示した。図１９の（A）はバルブの開度、図１９の（Ｂ）は排気系のコンダクタンス、図１９の（Ｃ）はロック室内の圧力の時間変化を示している。図１９の（A）において、β１は２段排気構造における低速排気ライン側のバルブ１４５の開閉タイミング、β２は２段排気構造における高速排気ライン側のバルブ１４３の開閉タイミングを示している。縦軸のCLOＳEは弁が全閉の状態、OPENは弁が全開の状態を示しているものとする。図１９の（Ｂ）において、r１は２段排気構造での低速排気ライン側のコンダクタンス、r２は高速排気ラインでのコンダクタンスを示している。
【００１２】
図１９の（Ｃ）には例えば３０Paに到達するまでの２段排気構造の排気曲線（ｂ１，ｂ２）を示した。即ち、時刻ｔ６において、低速排気ラインのバルブ１４５を開けてロック室の排気を開始し、ロック室の圧力が約５０ｋPaに到達した時刻ｔ７において、高速排気（大流量排気）ラインのバルブ１４３を開け、また、低流量排気ラインのバルブ１４５を閉じて高速排気ラインから排気するようにしている。
【００１３】
この２段排気構造では、２本の排気ラインにより例えば大気から真空に減圧する際、大気（１００ｋPa）から５０ｋPa程度の圧力までは低速排気ラインのみにより低速で排気し、その後、高速排気ラインのみで高速に排気するようにラインを切り替え制御している。この場合、例えば圧力が５０ｋPaに到達する直前において、２段排気構造での排気速度（図１９の（Ｃ）中の領域ＺＣ）は排気開始直後（領域ＺA）に比べて遅くなっている。これは、一般に排気コンダクタンスが固定の場合、圧力が下がると減圧速度が低下するためである。即ち、従来の２段排気構造において、１本の低速排気ラインで真空引きする際、図１９の（Ｂ）のr１で示したように排気ラインのコンダクタンスは一定のため、図１９の（Ｃ）に示す排気曲線（ｂ１）のように、ロック室内の圧力が低下するに伴って領域ＺＣの減圧速度は低下する。
【００１４】
一方、従来の２段排気構造での排気時間を短くしようとすると、図１９の（Ｃ）において、例えば真空引き開始直後（領域ＺAの部分）の排気曲線（ｂ１）の減圧速度が、異物を発生させない減圧速度（ＳＸの線の傾き）を超えてしまうという欠点がある。
【００１５】
また図２０には、従来の２段排気構造により真空引きを早くするため、極端な例として最初（時間ｔ６）から高速排気ラインで真空引きを行った排気曲線（ｂ３）を示している。図２０の（A）はバルブの開度、図２０の（Ｂ）はロック室内の圧力の時間変化を示している。
【００１６】
図２０の（Ｂ）から分かるように、最初から高速排気ラインで真空引きを行った場合、（ｂ３）で示したように例えば３０Paに到達するまでの時間（ｔ８）は、図１９の場合に比べて早くなるが、特に排気開始直後（図２０中の領域ＺAの部分）の排気曲線の傾きが、異物を発生させない減圧速度（ＳＸの線の傾き）よりも急激になっている。即ち異物発生リスクが非常に高くなる欠点がある。
【００１７】
また、真空排気の速度を早くしすぎるとロック室内の被処理体上に結露が生じたり、被処理体に形成された微細パターンのうち特にレジストパターンが急激なガスの流れによって倒れる問題も挙がっており、これらもスループット向上の妨げになっている。
【００１８】
特許文献２に記載された、２値制御可能な排気バルブと排気コンダクタンス制御バルブの組み合わせ構造でも、従来の２段排気構造と同様な問題がある。
【００１９】
また、特許文献１に記載のバルブは、その開度が全閉から全開となる時間を任意の範囲内で制御できるものであるが、スループット向上の観点でどのようにロック室の排気を制御すれば良いかについての開示はない。
【００２０】
本発明の目的は、ロック室のような真空雰囲気と大気雰囲気に切り替えられる真空室内で、被処理体に付着する異物粒子数の低減を図りつつ、スループットを向上も図ることのきる真空処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の代表的なものを示せば、次の通りである。すなわち、本発明は、真空室と、該真空室を減圧するための真空ポンプと、該真空ポンプと前記真空室を接続する排気ラインの途中に設けられたバルブと、該バルブの開度を制御する制御手段とを有し、前記排気ラインは１本のラインのみで構成されており、前記排気ラインの途中に設置されるバルブは、１個のオープン速度可変型のバルブのみで構成されている真空処理装置において、前記制御手段は、前記真空室を大気雰囲気から減圧する際の減圧開始直後から前記真空室の圧力が５０ｋＰａ付近までの減圧速度を実質的に一定に制御し、かつ、前記減圧速度が８０ｋＰａ／ｓ以下になるように前記バルブの開度を調整するように構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、排気速度を調整することによって真空引きに起因する異物粒子の発生を抑制すると共に、従来に比べて排気にかかる時間を大幅に短縮し、スループットを向上させることができ、半導体製造・検査装置の稼働率、生産性を上げることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００２４】
まず、図１Ａないし図１１により、本発明の第一の実施例になる真空処理装置を説明する。  
図１Ａは第一の実施例の真空処理装置に設けられたロック室の概要を示した図である。図１Ｂは第一の実施例の真空排気系に設置されたオープン速度可変型のバルブの構成例を示したものである。また、図２Ａは本発明の第一の実施例を適用したプラズマエッチング装置の全体構成例を示している。また、図２Ｂは図２Ａのプラズマエッチング装置を横から見たＢ−Ｂ断面を示している。なお、図２Ｂではプラズマ処理室は図示を省略した。さらに、図２Ｃは図２Ａの制御コンピュータの機能ブロックを示す図である。
【００２５】
図２Ａに示したように、本実施例のプラズマ処理装置では、真空搬送室６１に４つの真空処理室すなわちプラズマ処理室６０（６０−１〜６０−４）が接続されている。各プラズマ処理室には、減圧用の真空ポンプが接続されている。真空搬送ロボット６２を備えた真空搬送室６１と大気搬送ロボット６４を備えた大気搬送室６３は、２つのロック室６５（６５−１，６５−２）を介して接続されている。例えばロック室６５−１はロードロック室であり、ロック室６５−２はアンロードロック室として使用される。ここでロードロック室とは被処理体２を排気搬送室から真空搬送室へ搬入する際に用いられ、対して、アンロードロック室とは真空搬送室から大気搬送室へ被処理体２を搬出する際に用いられるものである。もちろん各ロック室がロードロックとアンロードロックを兼ねる使い方をしても良い。大気搬送ロボット６４は、ウエハステーション６７に置かれたフープ６８とウエハアライナー６６及びロック室６５との間で被処理体２を一枚毎搬送する。
【００２６】
図１Ａに示したように、ロック室６５には、減圧用の真空ポンプ（ドライポンプ）４４、及びこの真空ポンプとロック室を接続する排気ライン（４１，４２）の途中に設けられたオープン速度可変型バルブ４３を備えた真空排気系４０が設置されている。すなわち、ロック室６５−１及びロック室６５−２が各々１本の排気ライン（流量ＱA）のみで真空ポンプ４４と接続されており、各排気ラインの途中に夫々オープン速度可変型バルブ４３が配置されている。
【００２７】
また、ロック室には、ガスディフューザー８４と、ベント用バルブ５２とレギュレーター５３を備えたベントガス供給系５０が接続されている。３０は制御手段（制御コンピュータ）であり、オープン速度可変型バルブ４３、ベント用バルブ５２の開度を制御する。さらに、ロック室内の圧力を測定するため、圧力計５４が設置されている。
【００２８】
なお、ロック室６５−１とロック室６５−２とでは図１に示した基本構成について違いはない。その他、プラズマエッチング装置の具体的な構成に関しては、特許文献３の記載を援用する。
【００２９】
真空排気系に設置された排気バルブとしてのオープン速度可変型バルブ４３の構成例を、図１Ｂに示す。このバルブは、圧縮空気を用いて開閉動作させるタイプであり、１本の排気ライン（４１，４２）の屈曲部に設けられた内壁（弁座）４３１と弁体４３０とを備え、弁体の位置を調整することでコンダクタンスが制御される。図１Ｂは、オープン速度可変型バルブ４３が閉じている状態を示している。なお、排気バルブは、１個で１本の排気ラインのコンダクタンスが制御可能なものであれば良く、図１Ｂの構造に限定されないことは言うまでも無い。
【００３０】
オープン速度可変型バルブ４３を開ける際は、弁体４３０に接続されたピストン１６６に対して、シリンダー内のピストンの左側の領域（１６６Ａ）に圧縮空気を送り込むことにより、ピストン１６６が図中で右側に押され、弁体が右に動きバルブが開いた状態となる。逆にバルブを閉じる際は１６６Ａの領域に溜まっている圧縮空気を抜くことにより、バネ１６４がピストン１６６を図中で左方向に押し、弁体が閉じた状態となる。オープン速度可変型バルブ４３には圧縮空気配管１６３がスピードコントローラ１６０を介して接続されている。このスピードコントローラは、シリンダー内の１６６Ａの領域に供給される圧縮空気の流量を調整するものである。またスピードコントローラ１６０は制御モータ１６１によって調整できるようになっており、このモータによるスピードコントローラの制御はプラズマ処理装置全体を制御する制御コンピュータ３０によって行うようになっている。なお、図示は省略したが、弁体が閉じたときに弁体４３０とバルブの内壁４３１の接触面において、弁体側または内壁側にＯ−リングが設置されている方が望ましい。
【００３１】
制御コンピュータ３０は、演算処理装置でプログラムを実行することにより実現される各種の機能（ユニット）を備えている。すなわち、図２Ｃに示したように、真空処理装置における被処理体２の搬送や処理の全般を統括制御するプロセス制御ユニット３１、真空引き制御ユニット３２、ベント制御ユニット３３等を備えている。真空引き制御ユニット３２やベント制御ユニット３３は、プロセス制御ユニット３１の統括制御のもとに、ロック室の真空引きの制御やロック室のベントの制御を行なう。また、これらのプログラムを実行するために必要な各種データなどがメモリに保持されている。一例として、真空処理装置の装置基本パラメータ３４、バルブ仕様３５、被処理体に対する真空処理レシピ３６などが保持されている。制御コンピュータ３０のプロセス制御ユニット３１は、これらのデータを用いて、例えば、被処理体の搬送に伴いロック室の真空引きやベントを行なうタイミングに合わせて、オープン速度可変型バルブ４３の開度を制御する。
【００３２】
なお、真空引き制御ユニット３２やベント制御ユニット３３に必要な各種のパラメータの設定の例については、後の実施例で詳細に説明する。
【００３３】
制御コンピュータ３０は、ロック室内を大気雰囲気から減圧する際、ロック室内に被処理試料が存在する場合は、減圧速度が８０ｋＰａ／ｓ以下、６０ｋＰａ／ｓ以上の範囲となるように、オープン速度可変型バルブ４３の開度を調整する。一方、ロック室内に、被処理試料が存在しない場合は、被処理試料が存在する場合に比べて、減圧速度を速く、例えば８０ｋＰａ／ｓよりも大きくなるように、制御する。
【００３４】
制御コンピュータ３０により実行されるオープン速度可変型バルブ４３の制御の一例を、図３（図３Ａ，図３Ｂ）、図４（Ａ，Ｂ）を用いて説明する。図３Ａは、ロック室がロードロック室として機能している場合の制御フローを示している。また、図３Ｂは、ロック室がアンロードロックとして機能している場合の制御フローを示している。さらに、図４の（Ａ）はバルブの開度、図４の（Ｂ）はバルブのOPEN速度、即ち弁体の移動速度を示している。
【００３５】
以下、制御コンピュータ３０によるロック室６５を介したウエハの搬送動作について説明する。図３Ａには、大気側搬送系６３からロック室を介して真空搬送系（６１、６２）へウエハを輸送する、即ち、ロック室がロードロック室として機能している場合の真空引き制御ユニット３２やベント制御ユニット３３の動作フローを示した。
【００３６】
まず、ウエハを大気側搬系（圧力ＰＡ）からロック室６５内（圧力ＰＢ）に搬入するため、ロック室６５内を真空から大気へベントする。即ち、ベント制御ユニット３３が、ベントガスの供給量などのベントレシピを制御コンピュータ内のメモリから呼び出し（Ｓ３０２）、ベント用バルブ５２やレギュレーター５３を制御してロック室６５内にベントガスを供給する、すなわちベント処理を実行する（Ｓ３０４）。なお、ベントに際して、真空搬送室６１（圧力ＰＣ）とロック室６５間のゲートバルブ７２が開いていれば、ベントガスを供給する前に、ゲートバルブ７２を閉じるものとする。ロック室内が大気になったらゲートバルブ７１を開けてウエハを大気側搬送系からロック室内へ搬入し、ゲートバルブ７１を閉じる（Ｓ３０６）。その後、真空引きを行うために、真空引き制御ユニット３２がオープン速度可変型バルブの制御レシピをメモリから読み込む（Ｓ３０８）。そして、その制御レシピに従って真空引きを開始する（Ｓ３１０）。真空引き中は、圧力計５４でロック室内の圧力を測定しながら、圧力が所定の値（例えば３０Pa）に到達したかを監視し（Ｓ３１２）、所定の圧力に到達したら真空引き完了する（Ｓ３１４）。次に、真空搬送室とロック室の間のゲートバルブ７２を開けてウエハを真空搬送室側へ搬出する（Ｓ３１６）。ウエハを連続で大気搬送室から真空搬送室へ搬送する際は再び（Ｓ３０２）へ戻る。
【００３７】
ロック室がロードロックとして機能している場合は、図３Ａの（Ｓ３０６）から（Ｓ３１６）の間、ロック室内にウエハが有る状態となる。
【００３８】
そのため、（Ｓ３１４）において真空引きを完了した際は、オープン速度可変型バルブを閉じて、ロック室内の圧力がこれ以上低下しないようにする方が望ましい場合が多い。これに該当する場合として、真空搬送室の圧力を例えば３０Ｐａなどのある一定の圧力に制御している場合が挙げられる。
【００３９】
これは、特許文献３に示した技術に因るものであり、被処理体（ウエハ）の搬送中に処理室内にガスを流した状態を保持すると、被処理体の搬送中に被処理体に付着する異物数を低減させることができるためである。即ち、ガスの流れによって異物粒子の輸送を制御することにより、被処理体に異物粒子が付着しないようにすることができる。この場合、例えば処理室内の圧力は２０Ｐａとなっている。これに伴い、処理室から真空搬送室へ異物粒子や腐食性のガスが流入しないようにするため、及び処理室と真空搬送室の間にあるゲートバルブを開けた際に急激なガスの流れができないようにするため、真空搬送室の圧力は処理室の圧力に対して若干の陽圧とする。その圧力は例えば２５Ｐａとなる。そして、真空搬送室とロック室の間のゲートバルブ７２を開ける際に、真空処理室とロック室の差圧によって急激なガスの流れが発生し、異物粒子が舞い上がるのを抑制するためには、ロック室の圧力と真空搬送室の圧力の差圧は例えば１０Pa程度以下とするのが望ましい。なお、どちらが陽圧であるべきかは運用方法に依存する。例えば、単純に真空引き時間を短くするためには、ロック室の方が真空搬送室に対して若干陽圧の方が望ましい。従って、真空搬送室の圧力が２５Paである場合には、ロック室の圧力は例えば３０Ｐａとした状態でゲートバルブの開ければ、差圧による急激なガスの流れは発生しない。
【００４０】
逆に、例えば（Ｓ３１４）において、ロック室内の圧力が３０Ｐａに到達して真空引きの完了を検知しても、真空引き続けて例えば１Ｐａ以下までロック室内を減圧してしまうと、ロック室と搬送室の差圧は２５Ｐａ程度となる。この状態でゲートバルブ７２を開けると、この差圧によりガスの急激な流れが発生し、異物が舞い上がるリスクが高くなる。そのため、ロック室内の真空引きにおいて、ロック室内の圧力が例えば３０Ｐａとなり真空引き完了を検知したら、オープン速度可変型バルブを閉じてロック室内の真空引きを終了する方が望ましい。
【００４１】
次に、アンロードロックとして機能している場合について、図３Ｂを用いて説明する。真空搬送室からロック室へウエハを搬入するため、ゲートバルブ７２が閉まっている場合には、ゲートバルブ７２を開け、その後、真空搬送室からロック室内にウエハを搬入し、ゲートバルブ７２を閉じる（Ｓ３３６）。次に、ベント制御ユニット３３が、ベントレシピを読み込み（Ｓ３２２）、ベントを行う（Ｓ３２４）。ロック室内が大気圧になったらゲートバルブ７１を開けてウエハを大気側搬送系へ搬出し、その後ゲートバルブ７１を閉める（Ｓ３２６）。次に、ロック室内を真空引きするため、真空引き制御ユニット３２が真空引きのレシピを読み込み（Ｓ３２８）、オープン速度可変型バルブを開けて真空引きを行う（Ｓ３３０）。そして真空計でロック室内の圧力を測定し（Ｓ３３２）、所定の圧力に到達したら真空引き完了とする（Ｓ３３４）。なお、図３Ａでの説明同様、真空引き完了を検知したら、オープン速度可変型バルブを閉じ、真空引きを停止する方が望ましい。連続アンロードロック機能を実現する際は、再び（Ｓ３３６）へ戻る。
【００４２】
なお、図３Ｂに示したように、アンロードロックとして機能している場合は、真空引きの際、すなわち（Ｓ３２８）から（Ｓ３３４）の間、ロック室内にはウエハは無い。そのため、真空引きの際に異物粒子が内壁から剥離するなどして発生しても、直接ウエハを汚染する恐れはない。従って、この場合にはオープン速度可変型バルブのOPEN速度を上げて、真空引き時間を短くしてもよい。即ち、ロック室内のウエハの有無によって、オープン速度可変型バルブのＯＰＥＮ速度を増大させてもよい。なお、ロック室内にウエハが有るか無いかは、真空処理装置における被処理体２の搬送や処理の全般を統括制御するプロセス制御ユニット３１が、各種の制御情報に基づいて判定することができる。もちろんロック室にウエハが無い場合でも、ロック内壁等に付着している異物粒子を不用意に大量に剥離するのは望ましくない場合があり、必ずしも極端に急減圧する必要はない。
【００４３】
また、オープン速度可変型バルブのＯＰＥＮ速度の制御の他の例として、クリーニング効果を目的に、意図的に急減圧させることが有効である場合もある。例えば、アイドルタイム中には、通常のウエハ搬送時よりも急激な減圧を伴う真空引きと早い速度でのベントとを繰り返し行い、内壁に付着している異物を一旦舞い上がらせてロック室内の気体と一緒に真空ポンプ４４から排気することも有効である。
【００４４】
上記の通り、図３Ａの（Ｓ３１０）、図３Ｂ（Ｓ３３０）の各ステップにおいて、制御コンピュータ３０により、オープン速度可変型バルブ４３がOPENするときの弁体４３０の移動速度が調整される。
【００４５】
この具体的な例を、図４の（Ａ），（Ｂ）を用いて説明する。図４の（Ａ）はバルブの開度、図４の（Ｂ）はバルブのOPEN速度、即ち弁体の移動速度を示している。また、図５Ａにオープン速度可変型バルブ４３が開いている途中（全開状態の１／２の開度）の状態、図５Ｂにオープン速度可変型バルブ４３がほぼ全開状態のときの概要を示す。
【００４６】
本発明によれば、制御コンピュータ３０により制御されるスピードコントローラ１６０により、シリンダーの領域１６６Ａに供給される圧縮空気の流量を調整することにより、オープン速度可変型バルブは、図４中の特性ｆ２、ｆ３、ｆ４及びｆ１のように様々な任意のOPEN速度に調整される。なお、図４中の太い破線で示した特性ｆ１は図１８に示した通常のバルブの開閉速度と同等の速度を示したものである。通常のバルブはOPEN開始と同時に、弁体４３０は高速でOPEN位置へ移動し、バルブOPENが完了する。本発明オープン速度可変型バルブ４３の特性として、例えば、特性ｆ４は、図４中では最もスローにOPENする場合を示している。図４の（Ｂ）の特性ｆ４に示したように弁体の移動速度がゆっくりである場合、図４の（Ａ）に示したように弁体がCLOＳE位置（図１Ｂの状態＝ｔａ）からOPEN位置（図５Ｂの状態＝ｔｅ）になるまでの時間が長くなっている。即ち、OPEN時の弁体の移動速度（弁体のOPEN速度）が低速であるということは、CLOＳE状態からOPEN状態になるまでにかかる時間が長いと言うことを意味している。
【００４７】
ここで、オープン速度可変型バルブ４３を用いることの利点について、図６〜図８を用いて説明する。ここでは特に、スループットの観点で従来の方法と比べたオープン速度可変型バルブの優位点を述べる。
【００４８】
図６に、図１Ａに示したオープン速度可変型バルブ排気構造と、図１８に示した２段排気構造の、動作特性の比較を示す。図６の（Ａ）はバルブの開度、図６の（Ｂ）は排気系のコンダクタンス、図６の（Ｃ）はロック室圧力の時間変化を示している。
【００４９】
図６の（Ａ）において、αの線はオープン速度可変型バルブの開度を示しており、縦軸のCLOＳEは図１Ｂの状態、OPENは図５Bの状態を示しているものとする。時刻ｔ１においてオープン速度可変型バルブが開き始め、時間の経過に比例してバルブの開度が増し、時刻ｔ６において全開となり、その後、全開状態を維持している。β１、β２は２段排気構造における低速排気ライン側のバルブ１４５、高速排気ライン側のバルブ１４３の開閉タイミングを示している。
【００５０】
図６の（Ｂ）において、ｑはオープン速度可変型バルブ排気構造でのコンダクタンス、r１は２段排気構造での低速排気ライン側のコンダクタンス、r２は高速排気ラインでのコンダクタンスを示している。
【００５１】
図６の（Ｃ）において、実線ａ1はオープン速度可変型バルブ構造での排気曲線を示している。また、図６の（Ｃ）中の太い破線ＳXは、異物発生を抑えるのに必要な減圧速度（排気曲線の傾き）を示しており、排気曲線の傾きが太線ＳXよりも急になると異物発生のリスクが急激に増加する指標として示している。ＳXの傾きの値は例えば８０ｋPa／ｓである。
【００５２】
また、図６の（Ｃ）において、破線（ｂ１，ｂ２）は、比較のために示した２段排気構造における排気曲線であり、ここでは５０ｋPaで高速排気と低速排気を切り替えた場合を示した（図１９に示したものと同様である）。この破線のうちb１の部分はスロー排気ラインで排気し、b２の部分は高速排気ラインで排気している。図６の（Ｃ）中の点線の丸で囲んだ領域ＺAの部分は真空排気開始直後の排気曲線を指し示している。
【００５３】
本発明では、まず、真空排気時直後に異物を発生させないようにするため、排気時直後の排気特性、すなわち領域ＺＡの傾きが、太い破線ＳXと同じになるようにした。一方で、本発明のオープン速度可変型バルブ排気方式では、５０ｋPa付近での排気速度（図６（Ｃ）中の領域ＺB）は排気開始直後（領域ＺA）と比べて大きな違いはない。これは、図６の（Ａ）におけるαに示したように、バルブの弁体が徐々にOPENする（例えばロック室の圧力が約５０ｋPaに到達したｔ２においてバルブの開度が図５Ａの状態になっている）ため、図６の（Ｂ）のｑに示したように、排気コンダクタンスが徐々に大きくなり、ロック室内の圧力が下がっても減圧速度が大きく低下しないことによるものである。
【００５４】
前にも述べた通り、２段排気構造での排気速度（図６の（Ｃ）中の領域ＺＣ）は、例えば圧力が５０ｋPaに到達する直前において、排気開始直後（領域ＺA）に比べて遅くなっている。
【００５５】
そのため、本発明のオープン速度可変型バルブ排気構造で５０ｋPaに達した時間ｔ２は、２段排気構造で５０ｋPaに到達した時間ｔ３よりも早くなっている。さらに、例えば３０Paまで真空引きするのにかかる時間は、オープン速度可変型バルブ構造でｔ４、２段排気構造でｔ５とすると、ｔ５とｔ４の差はおおむねｔ３とｔ２の差に近い値となり、この時間差分だけオープン速度可変型バルブ構造の方が早く所定の真空引きを行うことができる。
【００５６】
本発明によるスループットの向上について、図７により説明する。図７の（Ａ）にバルブの開度、（Ｂ）にロック室内の圧力の時間変化を示している。図７に示したように、本発明では真空室を大気雰囲気から減圧する際に、減圧開始直後から真空室の圧力が５０ＫＰａ付近まで低速で排気する。この場合、この圧力範囲における減圧速度が、異物を発生させない減圧速度（ＳＸの線の傾き）ぎりぎりになるように、制御コンピュータ３０によって、オープン速度可変型バルブ４３の開度の上限値α1を調整するのが望ましい。また、スループットを考慮して、開度の下限値α２を調整する。即ち、異物発生リスクを回避しつつ、スループットを向上させるように、開度をα1〜α２の範囲で調整し、（領域ＺA）から（領域ＺB）までの減圧速度を、８０ｋPa／ｓ（ａ1）〜６０ＫＰａ／ｓ（ａ2）の範囲とする。
【００５７】
なお、図７の（A）では、バルブの開度αが直線で表示されているが、実質的に直線に近い非直線、例えば直線を中心に±１０％の範囲内で変動する特性であっても良い。
【００５８】
次に、図８は、ロック室がアンロードロックとして機能しており、ロック室内にウエハが無い場合における、真空引きの際の、オープン速度可変型バルブの制御特性の一例を示している。真空引きの際に異物粒子が直接ウエハを汚染する恐れはない場合には、オープン速度可変型バルブのOPEN速度を例えば図４に示した特性ｆ２のように早くすると、排気コンダクタンスの増大がｑ3のように早くなり、排気曲線ａ3の傾きが太い破線ＳXよりも急になるようすることで、真空引き時間を短くすることができる。例えば、時刻ｔ６においてオープン速度可変型バルブを全開となるように制御し、３０Paまで真空引きするのにかかる時間を時刻ｔ7まで短縮させることもできる。
【００５９】
以上より、従来の２段排気構造よりも本発明のオープン速度可変型バルブ排気構造の方が、異物を発生させないような排気速度を保ちながらも、真空引き時間を短縮できるメリットがあることが分かる。
【００６０】
次に、図９Ａ〜図１１を用いて、本発明のオープン速度可変型バルブ４３の開度特性の設定の根拠について述べる。図９Ａ、図９Ｂはスピードコントローラ１６０を調整してバルブのOPEN速度を変化させたときの、ロック室の真空引き中の圧力変化の例を示している。図９Ａは真空引き開始から約８秒間の圧力変化を示しており、図９Ｂは図９Ａにおいて真空引き開始から１秒間の短い時間の圧力変化を拡大して示したものである。図９Ａ、図９Ｂは共に、横軸は真空排気開始からの経過時間、縦軸は真空計５４にて測定したロック室内の圧力を示している。
【００６１】
図９Ａ、図９ＢにはA〜Dまで４種類の排気曲線が示されており、図９Ａ，図９Ｂ中の括弧内の数値は１００ｋPa（大気圧）から５０ｋPaまでの減圧速度を示している。大気圧から５０ｋPaまでの減圧速度はＡが１８０ｋPa／ｓ、Bが１１０ｋPa／ｓ、Cが８０ｋPa／ｓ、Dが６０ｋPa／ｓである。
【００６２】
このような減圧速度の違いは、スピードコントローラ１６０によって圧縮空気の流量調整を行なうことにより得ることができる。図９Ａ、図９Ｂでは減圧速度を３倍程度変化させているが、もちろんこれは実験で実施した範囲の値であって、減圧速度をより大きく変化させることが可能であることは言うまでもない。また図９Ａから分かるように、スピードコントローラ１６０の設定を変えて大気圧付近での減圧速度を６０ｋPa／ｓ以上の範囲で変化させても、大気から例えば約５ｋPa以下に到達するまでの時間はおおむね８秒であり、時間変化は１秒以内でわずかである。そのため、大気圧から５０ｋPa付近までの減圧速度を変化させても、ロック室の真空引きに関するスループットはほとんど変化しないことがわかる。なお、減圧速度を、６０ｋPa／ｓよりもさらに遅くすると、スループットの低下に影響が表れる。
【００６３】
図１０には、図９Ａ、図９Ｂに示した真空引き条件において、ウエハに付着した異物粒子の数を測定した実験結果を示した。図１０中のA〜Dの記号は図９Ａ、図９ＢにおけるA〜Dの条件に対応している。横軸は１００ｋＰａから５０ｋＰａへ減圧するまでの減圧速度、縦軸は異物数を示しており減圧速度が１８０ｋＰａ／ｓのとき（条件Ａ）の異物数を１として規格化して示した。異物数の測定はロック室においてベントと真空排気を繰り返し行い、ウエハに付着した異物粒子数を面板検査装置によってカウントした。
【００６４】
図１０から分かるように、減圧速度を１８０ｋPa／ｓから８０ｋPa／ｓへ低下させることによって、ウエハに付着する異物数を８０%以上低減することができ、減圧速度を６０ｋPa／ｓへ低下させると異物数を９０%以上低減することができることがわかる。しかも、前記のとおり、減圧速度を６０ｋPa／ｓ以上の範囲で低下させてもロック室の真空引きに関するスループットはほとんど変化しない。従って、５０ｋPaまでの減圧速度は８０ｋPa／ｓ〜６０ＫＰａ／ｓの範囲になるように制御するのが望ましい。
【００６５】
次に、異物粒子低減の観点で減圧速度を調整すべき圧力領域について述べる。図１１は二段排気構造において、ロック室内でウエハに付着した異物粒子数の低速排気−高速排気切り替え圧力依存性を示している。横軸は低速排気から高速排気（大流量排気）へ切り替えた圧力、縦軸はウエハに付着した異物数を示している。図１１から分かるように５０ｋPaまで低速で排気した場合、大気圧状態から１００ｋPaまでいきなり高速で排気した場合に比べてウエハに付着した異物粒子数は約８０%減少した。即ち、真空排気に起因してウエハに付着する異物粒子数を低減させるためには、大気圧に近い高圧ほど、減圧速度を遅くすることが重要であることがわかる。より具体的には、真空室を大気雰囲気から減圧する際に、減圧開始直後から真空室の圧力が５０ＫＰａ付近まで低速で排気し、かつ、この圧力範囲における減圧速度が８０ｋPa／ｓ〜６０kＰａ／ｓの範囲となるように、制御コンピュータ３０によって、オープン速度可変型バルブ４３の開度を調整するのが望ましい。
【００６６】
本発明は大気圧に近い領域での減圧速度の調整を特に容易にできるようにしたことに特徴があり、これにより、容易に異物数を低減させることができる。
【００６７】
以上述べたように、本発明によれば、オープン速度可変型バルブを採用してロック室の排気速度を調整することによって、真空引きに起因する異物粒子の発生を抑制すると共に、従来に比べて排気にかかる時間を大幅に短縮し、スループットを向上させることができ、半導体製造・検査装置の稼働率、生産性を上げることが可能となる。
【実施例２】
【００６８】
なお、実施例１では、オープン速度可変型バルブ４３の一例として圧縮空気を用い、スピードコントローラによって弁体の移動速度を調整する方式のものを挙げたが、弁体の移動速度が調整可能なバルブであれば、バルブの開閉制御方法が圧縮空気以外であってもよい。
【００６９】
そこでオープン速度可変型バルブの他の例を図１２に示す。図１２に示したオープン速度可変型バルブ４３は弁体４３０をモータ１６１で直接制御できるようになっている。モータに接続されたギア１６８−１が回転すると、平型ギア１６８−２に接続されたシャフト１６７が図１２中で左右に動き、これにより弁体４３０が開閉する。モータ１６１は制御コンピュータ３０に接続されており、バルブの開閉速度を調整できるようになっている。この例でも、真空室を大気雰囲気から減圧する際に、減圧開始直後から真空室の圧力が５０ＫＰａ付近まで低速で排気し、かつ、この圧力範囲における減圧速度が８０ｋPa／ｓ〜６０ＫＰａ／ｓの範囲となるように、制御コンピュータ３０によって、オープン速度可変型バルブ４３の開度を調整するのが望ましい。
【００７０】
また、弁体の形状を例えば台形型にすることにより、弁体が閉じたときに弁体４３０とバルブの内壁４３１の接触面（図１２中の４３５の領域）の面積をできるだけ大きくすれば、オープン速度可変型時に弁体がCLOＳE位置から少し右に動いても、排気コンダクタンスが急激に大きくなるのを防止することが可能になり、詳細に排気速度を調整できるようになるメリットがある。
【実施例３】
【００７１】
次に、本発明におけるオープン速度可変型バルブによるロック室の減圧速度の調整方法、すなわち、オープン速度可変型バルブを制御するログラムを実行するためのデータとしてメモリに保持される各種データの取得方法について述べる。
【００７２】
ロック室の減圧速度は、弁体の移動速度（OPEN速度）だけでなく、真空チャンバー側の容積や、排気ラインの配管の容積、ポンプの排気能力に依存する。そのため、減圧速度の調整は、装置組み立て後に弁体の移動速度の調整により行う。
【００７３】
本発明ではこれを制御コンピュータ３０によって調整できようにした。バルブOPEN速度の調整例を、図１３、図１４を用いて説明する。  
図１３は、オープン速度可変型バルブのバルブOPEN速度の調整順序を示したものである。まずロードロック室の容積やバルブの型式、排気系の排気能力、目標となる減圧速度（例えば減圧速度６×１０４Pa／ｓ以下且つ排気時間１５ｓ）などの数値を制御コンピュータ３０に入力する（Ｓ１３０２）。ロック室の容積や排気系の排気能力等の数値は大まかな値であっても良い。次に、入力された数値を元にバルブのＯＰＥＮ速度を制御コンピュータ３０が算出する（Ｓ１３０４）。次に実際に真空引きを行い、圧力変化を圧力計５４にて測定する（Ｓ１３０６）。次に、測定した圧力変化と設定した圧力変化を比較する（Ｓ１３０８）。圧力変化の測定結果が所定の値の範囲内にあれば設定を完了し（Ｓ１３１０）、所定の範囲内に無ければ、バルブのOPEN速度を調整し、再度真空引きを行って排気速度を測定する。
【００７４】
例えば、図１４の（A）に示したように、目標値（所定の値）に対して、減圧速度の測定値が速かった場合はバルブのＯＰＥＮ速度が遅くなるように調整し、図１４の（Ｂ）に示したように、目標値に対して減圧速度の測定値が遅かった場合は、バルブＯＰＥＮ速度を速めるように調整する。なお、減圧速度の所定の範囲とは、少なくとも図６の（Ｃ）に示した太い破線ＳXで示した減圧速度以下の値であり、且つ、その範囲内で例えば、できるだけ長い時間とする。
【００７５】
この理由は、減圧速度を遅くすると異物粒子の発生を抑制できるが、減圧速度を遅くしすぎると、真空引きにかかる時間が長くなり、スループットを低下させるためである。従って、減圧速度は、装置全体のスループットを低下させない範囲内でゆっくりとする方が望ましい。
【００７６】
本発明によれば、真空引きに起因する異物粒子の発生を抑制すると共に、スループットを向上させるように、オープン速度可変型バルブ、ひいてはロック室の圧力を制御することが可能となる。
【実施例４】
【００７７】
また、ベントにおいても、ベント速度を速くすると異物粒子が舞い上がり、搬送中の被処理体を汚染する恐れが有るため、ベントにかかる時間と排気にかかる時間の合計を考慮して、両者の値を決定しなければならない。
【００７８】
次に、排気時間許容値、及びベント時間の許容値の決定方法の例、すなわち、オープン速度可変型バルブを制御するログラムを実行するためのデータとしてメモリに保持される各種データの取得方法を、図１５を用いて説明する。
【００７９】
図１５は、制御コンピュータ３０内に組み込まれたプログラムにおいて、排気時間及びベント時間の計算方法を簡単に示したものである。図１５中の括弧内の数値は一例である。
【００８０】
まず、エッチングレシピを読み込み、処理室での被処理体１枚あたりの処理時間を計算する（Ｓ１５０２）。また、装置パラーメータとして稼働する処理室数をレシピ設定または装置基本パラメータ等から読み込む（Ｓ１５０４）。さらに、ロック室への搬入及び搬出にかかる時間等、搬送にかかる時間も装置基本パラメータ等から読み込む（Ｓ１５０６）。
【００８１】
次に、処理時間と処理室数、搬送時間からロック室に必要なスループットを計算する（Ｓ１５０８）。例えばエッチング時間１２０秒、同時稼働する処理室数が４つであれば、３０秒に１枚のウエハの処理が完了する。搬送ロボットによるウエハのロック室への搬入と搬出にかかる搬送時間が５秒とすると、ウエハを滞りなく処理・搬送するためにはロック室でのスループット（ここでは真空引きとベント時間の合計とする）は、２５秒以下でなければならない。
【００８２】
次に、ロック室に許容されるスループットをベント時間と真空引き時間に割り振る（Ｓ１５１０）。ベントガス供給系にガスディフューザーを用いて、ベントガスの特定方向の急激な流れを抑制している場合、一般にベント時間よりも真空引き時間の方を長くしても良い。ここでは例えばベント時間を１０秒、真空引き時間を１５秒とする。
【００８３】
ベント時間と真空引き時間の許容値を決定したら、次にベントガスの流量（Ｓ１５１２）とオープン速度可変型バルブのOPEN速度（Ｓ１５１４）を調整する。オープン速度可変型バルブの調整については図１３、図１４を用いて既に説明した通りである。以上により、真空引き、ベント速度の設定を完了し（Ｓ１５１６）、これらのデータは制御コンピュータ３０のメモリに記録され、制御に用いられるる。
【００８４】
なお、図１５には処理室内での被処理体の処理時間は例として１２０ｓの１つの値のみを示したが、複数の処理室において、複数の異なった処理を被処理体毎に別々に平行して行うような場合は、被処理体への処理の完了タイミングは一定とはならない場合が考えられる。即ち、ロック室のスループットとして求められる時間は一定でない場合がある。このような場合には、ウエハの搬送が滞らないように、被処理体毎に真空引きの時間やベント時間を変化させても良い。
【００８５】
次に、ベント時間の決定方法について次に図１６を用いて説明する。まずロードロック室の容積と、ベント時間の目標値を制御コンピュータ３０のプログラムが読み込む（Ｓ１６０２）。次に入力された数値を元にガス流量を算出する（Ｓ１６０４）。次に実際にベントを行い、ベント時間を測定する（Ｓ１６０６）。次に、測定したベント時間と目標値を比較する（Ｓ１６０８）。ベント時間が所定の値の範囲内にあれば設定を完了し、所定の範囲内に無ければ、ガス流量の調整とベント時間の測定を行って所定の範囲になるまで調整を繰り返す。このようにしてベント速度の設定を完了し（Ｓ１６１０）、これらのデータは制御コンピュータ３０のメモリに記録され、制御に用いられるる。
【００８６】
なお、本発明では、ベントガス供給系にレギュレーター５３を設置したため、レギュレーターの２次圧を調整することによりガス流量を調整するが、レギュレーターの代わりにマスフローコントローラを用いた場合は、ロック室の容積とベント時間の目標値から容易にベントガス流量を決めることができ、この場合、図１６に示したような調整と測定の繰り返しは不要となる。ただし、一般にマスフローコントローラの方がレギュレーターに比べて装置コストが高いデメリットがある。
【実施例５】
【００８７】
以上の説明ではオープン速度可変型バルブのＯＰＥＮ速度は自動で調整できるものを用いたが、手動でＯＰＥＮ速度を設定するものであってもよい。この場合、図１６に示したＯＰＥＮ速度の調整では、手動でバルブのOPEN速度を調整する必要があり手間がかかるデメリットがある。これをいくらか低減する方法として、バルブのＯＰＥＮ速度を目盛りで示すようにすると良い。その一例を図１７に示した。図１７に示したオープン速度可変型バルブ４３は、圧縮空気で開閉動作するバルブであり、スピードコントローラの調整がモータではなく手動としている点以外は図１Ｂと基本構成は同じである。図１７の例では、スピードコントローラのつまみ部分に目盛りが示してある。即ち、実機と同等の装置を用いて、排気速度を測定し、目盛りと排気速度の関係を調べておけば、装置を複数台製作した際、オープン速度可変型バルブの目盛りをすべて同じ値に設定すればよい。図１７に示したようなバルブには価格が安いメリットがある。
【実施例６】
【００８８】
また、以上の説明では、プラズマ処理装置を対象としていたが、本発明は、真空室を供えた試料の検査装置にも適用できる。すなわち、減圧用の真空ポンプが接続された試料検査用の真空室と、真空搬送系と大気搬送系とを備え、真空搬送系と大気搬送系がロック室を介して接続された検査装置において、ロック室がオープン速度可変型バルブを含む排気系を有しており、ロック室の減圧を行う際にオープン速度可変型バルブを既に述べた実施例と同様に、制御すれば良い。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１Ａ】本発明の第一の実施例の真空処理装置に設けられたロック室の概要を示した図である。
【図１Ｂ】第一の実施例の真空排気系に設置されたオープン速度可変型のバルブの構成例を示した図である。
【図２Ａ】本発明の第一の実施例を適用したプラズマエッチング装置の全体構成例を示す図である。
【図２Ｂ】図２Ａのプラズマエッチング装置を横から見たＢ−Ｂ断面を示す図である。
【図２Ｃ】図２Ａの制御コンピュータの機能ブロックを示す図である。
【図３Ａ】制御コンピュータにより実行されるオープン速度可変型バルブの制御の一例を示す図であり、ロック室がロードロック室として機能している場合の制御フローを示している。
【図３Ｂ】制御コンピュータにより実行されるオープン速度可変型バルブの制御の一例を示す図であり、ロック室がアンロードロックとして機能している場合の制御フローを示している。
【図４】本発明の第一の実施例におけるバルブの開度特性、及びバルブのOPEN速度即ち弁体の移動速度を示示す図である。
【図５Ａ】本発明の第一の実施例において、オープン速度可変型バルブが開いている途中（全開状態の１／２の開度）の状態を示す図である。
【図５Ｂ】本発明の第一の実施例において、オープン速度可変型バルブがほぼ全開状態のときの概要を示す図である。
【図６】本発明の第一の実施例のオープン速度可変型バルブ排気構造と、従来のバルブによる２段排気構造の、動作特性の比較を示す図である。
【図７】真空排気時における本発明によるスループットの向上について、説明する図である。
【図８】ロック室がアンロードロックとして機能しており、ロック室内にウエハが無い場合における、真空引きの際の、オープン速度可変型バルブの制御特性の一例を示している図である。
【図９Ａ】スピードコントローラを調整してバルブのOPEN速度を変化させたときの、ロック室の真空引き中の圧力変化の例を示しており、真空引き開始から約８秒間の圧力変化を示している。
【図９Ｂ】図９Ａにおいて真空引き開始から１秒間の短い時間の圧力変化を拡大して示した図である。
【図１０】図９Ａ、図９Ｂに示した真空引き条件において、ウエハに付着した異物粒子の数を測定した実験結果を示した図である。
【図１１】二段排気構造において、ロック室内でウエハに付着した異物粒子数の低速排気−高速排気切り替え圧力依存性を示した図である。
【図１２】本発明のオープン速度可変型バルブの他の例を示す図である。
【図１３】本発明のオープン速度可変型バルブのバルブOPEN速度の調整順序を示した図である。
【図１４】目標値（所定の値）に対して、減圧速度の測定値が速かった場合及び減圧速度の測定値が遅かった場合の調整法を示した図である。
【図１５】制御コンピュータ内に組み込まれたプログラムにおいて、排気時間及びベント時間の計算方法を簡単に示した図である。
【図１６】本発明のベント時間の決定方法について説明する図である。
【図１７】本発明のオープン速度可変型バルブの他の例を示す図である。
【図１８】従来から知られている真空排気系の一例を示す図である。
【図１９】従来の２段排気構造の排気特性を示す図であり、（Ａ）はバルブの開度、（Ｂ）は排気系のコンダクタンス、（Ｃ）はロック室内の圧力の時間変化を示している。
【図２０】従来の２段排気構造により真空引きを早くする場合の排気曲線を示すものであり、（Ａ）はバルブの開度、（Ｂ）はロック室内の圧力の時間変化を示している。
【符号の説明】
【００９０】
２：被処理体、３０：制御コンピュータ、４０：真空排気系、４１：排気ライン、４２：排気ライン、４３：オープン速度可変型バルブ、４４：真空ポンプ（ドライポンプ）、５０：ベント系、５２：ベント用バルブ、５３：レギュレーター、５４：真空計、６０：プラズマ処理室、６１：真空搬送室、６２：真空搬送ロボット、６３：大気搬送室、６４：大気搬送ロボット、６５：ロック室、６６：ウエハアライナー、６７：ウエハステーション、６８：フープ、８４：ガスディフューザー、
１６０：スピードコントローラ、１６１：モータ、４３０：弁体、１６３：圧縮空気配管、１６４：バネ、１６５：バネおさえ、１６６：ピストン、１６７：シャフト、１６８：ギア、１６９：調整つまみ、１７０：目盛り盤、４３６：O-リング。
【図１Ａ】
2009252953.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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