(57)【要約】【課題】簡単な構造でしかも、気泡の停留を視認し易く該気泡を容易に除去することのできるパターン形成装置を提供する。【解決手段】インクタンクと液滴吐出ヘッド３０のポートＰＯに、透明の逆Ｕ字状管路３１を連結し、その逆Ｕ字状管路３１上の頂上部３１ｃに気泡捕集管路３２設ける。逆Ｕ字状管路の頂上部３１ｃを通る金属インクＦ中に含まれた気泡Ｂは、気泡捕集管路３２に案内され集められ、液滴吐出ヘッド３０には送り込まれない。【選択図】図７
2009178658.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留部に収容した機能材料を含んだ機能液を、供給流路を介して液滴吐出ヘッドに供給し
、該液滴吐出ヘッドにて前記機能液の液滴を基板に吐出して前記基板にパターンを形成す
るパターン形成装置であって、
前記貯留部と前記液滴吐出ヘッドとの間に設けられた前記供給流路中に、透明の逆Ｕ字
状管路を設け、その逆Ｕ字状管路上の頂上部に透明の気泡捕集管路を分岐させるとともに
、前記逆Ｕ字状管路及び気泡捕集管路の内側面を撥水性したことを特徴とするパターン形
成装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成装置において、
前記機能液に含まれる機能材料は、銀微粒子であることを特徴とするパターン形成装置
。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のパターン形成装置において、
前記基板は、下面に支持シートが貼着されたセラミック粒子と樹脂とから構成されるグ
リーンシートであることを特徴とするパターン形成装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１に記載のパターン形成装置において、
前記逆Ｕ字状管路の頂上部より上流側には、加熱手段が設けられていることを特徴とす
るパターン形成装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１に記載のパターン形成装置において、
前記逆Ｕ字状管路上の頂上部から分岐した気泡捕集管路の先端開口部は、ゴム栓にて封
止されていることを特徴とするパターン形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット方式のパターン形成装置を使用して機能を液滴として吐出させて
基板上に線状のパターンを形成することが知られている（例えば、特許文献１）。
一般に、この種のパターン形成装置は、ステージに載置した基板と、機能材料を含有し
た機能液を液滴として基板に吐出する液滴吐出ヘッドと、基板（ステージ）と液滴吐出ヘ
ッドを２次元的に相対移動させる機構を備えている。そして、液滴吐出ヘッドから吐出さ
せた液滴を基板表面の任意の位置に配置させる。このとき、基板表面に順次配置される各
液滴について、その液滴の濡れ拡がる範囲が互いに重なるように液滴を順次配置すること
により、基板表面に隙間無く機能液で覆われた線状パターンを形成することができる。
【０００３】
ところで、インク貯留部から液滴吐出ヘッドに供給される機能液中には気泡が含まれる
。この気泡は、吐出ヘッドに供給されると、ドット抜け等の不具合が生じ、線状のパター
ンを精細に形成することできない。
【０００４】
そこで、パターン形成中に、液状体中の気泡が液滴吐出ヘッドが供給されないように、
装置が種々提案されていた（例えば、特許文献２、３）。
【特許文献１】特開２００５−３４８３５号  公報
【特許文献２】特開２００６−１２００  公報
【特許文献３】特開２００６−１９８９０８号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２、３等で示す装置は、構造が複雑で大型であって組み付けも
容易でなかった。しかも、装置が透明な筐体であっても装置内に気泡が停留していること
が視認し難く、機能液の色によっては、気泡が停留していることが視認することができず
、停留している場合の対策が遅れる問題があった。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、構造が簡単で
、しかも、気泡の停留を視認し易く該気泡を容易に除去することのできるパターン形成装
置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のパターン形成装置は、貯留部に収容した機能材料を含んだ機能液を、供給流路
を介して液滴吐出ヘッドに供給し、該液滴吐出ヘッドにて前記機能液の液滴を基板に吐出
して前記基板にパターンを形成するパターン形成装置であって、前記貯留部と前記液滴吐
出ヘッドとの間に設けられた前記供給流路中に、透明の逆Ｕ字状管路を設け、その逆Ｕ字
状管路上の頂上部に透明の気泡捕集管路を分岐させるとともに、前記逆Ｕ字状管路及び気
泡捕集管路の内側面を撥水性した。
【０００８】
本発明のパターン形成装置によれば、機能液は供給流路を介して貯留部から液滴吐出ヘ
ッドに供給される。機能液中に含まれた気泡は、供給流路中に設けた逆Ｕ字状管路の頂上
部に溜まり下方にある液滴吐出ヘッドには送り込まれない。そして、逆Ｕ字状管路の頂上
部で溜まる気泡は、該頂上部から分岐した気泡捕集管路に案内され集められる。このとき
、透明の逆Ｕ字状管路及び気泡捕集管路は、内側面が撥水性を有していて気泡が管路の内
面に接触し難いため、管に溜まった気泡の存在が容易に視認でき、気泡の発生及び除去の
タイミングを確実に知ることができる。
【０００９】
しかも、該頂上部から分岐した気泡捕集管路は、逆Ｕ字状管路の頂上部から分岐させる
だけの簡単な構成で形成できる。
このパターン形成装置において、前記機能液に含まれる機能材料は、銀微粒子であって
もよい。
【００１０】
このパターン形成装置によれば、銀微粒子を含んだ液状体は黒色であるため気泡が視認
し難いが、はっきり視認できる。
このパターン形成装置において、前記基板は、下面に支持シートが貼着されたセラミッ
ク粒子と樹脂とから構成されるグリーンシートであってもよい。
【００１１】
このパターン形成装置によれば、気泡によるドット抜けもなく液滴吐出ヘッドは液滴を
吐出することから、グリーンシートに高精細なパターンを形成することができる。
このパターン形成装置において、前記逆Ｕ字状管路の頂上部より上流側には、加熱手段
が設けてもよい。
【００１２】
このパターン形成装置によれば、機能液が加熱されることによって、機能液中に溶けて
いる気体も膨張し気泡となって頂上部から気泡捕集管路に効率よく捕集される。
このパターン形成装置において、前記逆Ｕ字状管路上の頂上部から分岐した気泡捕集管
路の先端開口部は、ゴム栓にて封止さてもよい。
【００１３】
このパターン形成装置によれば、気泡捕集管路に案内された気泡は、先端開口部を封止
したゴム栓の下面に集められる。そして、ゴム栓に注射針を刺せばゴム栓の下面に集めら
れた気泡を抜くことができる。その結果、気泡捕集管路から気泡が頂上部側へ溢れて、吐
出ヘッドに気泡が流れたり、機能液の供給を阻害することを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図７に従って説明する。図１は、本発明
の製造方法を用いて製造したセラミック多層基板からなる回路モジュールの断面図である
。
【００１５】
図１において、回路モジュール１０は、セラミック多層基板としての低温焼成セラミッ
ク（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics ）多層基板１１と、ＬＴＣＣ多層基
板１１に接続された半導体チップ１２とを有する。
【００１６】
ＬＴＣＣ多層基板１１は、複数のＬＴＣＣ基板１３を有する。各ＬＴＣＣ基板１３は、
それぞれ基板としてのグリーンシートの焼結体であって、厚みが数十μ〜数百μｍで形成
されている。各ＬＴＣＣ基板１３には、それぞれ抵抗素子、容量素子、コイル素子等の各
種の内部素子１４と、各内部素子１４に電気的に接続する内部配線１５とが形成されると
ともに、それぞれスタックビア構造やサーマルビア構造を成すビア配線１６が形成されて
いる。
【００１７】
そして、内部素子１４、内部配線１５、及びビア配線１６は、それぞれ銀や銀合金など
の金属微粒子の焼結体であって、図２に示すパターン形成装置としての液滴吐出装置２０
を利用した配線パターン形成方法によって形成される。
【００１８】
図２は、液滴吐出装置２０を説明する全体斜視図である。
図２において、液滴吐出装置２０は、直方体形状に形成された基台２１を有している。
基台２１の上面には、その長手方向（Ｙ矢印方向）に沿って延びる一対の案内溝２２が形
成されている。案内溝２２の上方には、案内溝２２に沿ってＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向
に移動するステージ２３が備えられている。
【００１９】
ステージ２３は、その上面に焼成前の基板としてのグリーンシート４Ｇを載置する。ス
テージ２３に載置されるグリーンシート４Ｇは、裏面に支持シートとしてのキャリアフィ
ルム４Ｆが剥離可能に貼着されている。
【００２０】
キャリアフィルム４Ｆは、描画工程やその後の各種工程においてグリーンシート４Ｇを
支持するためのフィルムであり、例えばグリーンシート４Ｇとの剥離性や各工程における
機械的耐性に優れたプラスチックフィルムを用いることができる。キャリアフィルム４Ｆ
には、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィル
ム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムを用いることができる。
【００２１】
グリーンシート４Ｇは、ガラスセラミック粉末やバインダ等を含むガラスセラミック組
成物からなる層である。グリーンシート４Ｇの膜厚は、回路素子１４としてコンデンサ素
子を形成する場合に数十μｍで形成され、他の層においては１００μｍ〜２００μｍで形
成される。このグリーンシート４Ｇは、ドクターブレード法やリバースロールコータ法等
のシート成形法を用い、分散媒でスラリー化したガラスセラミック組成物をキャリアフィ
ルム４Ｆの上に塗布し、該塗布膜をハンドリング可能な状態に乾燥することによって得ら
れる。
【００２２】
分散媒としては、例えば界面活性剤やシランカップリング剤等を用いることができ、ガ
ラスセラミック粉末を均一に分散させるものであれば良い。
ガラスセラミック粉末は、０．１μｍ〜５μｍの平均粒径を有する粉末であり、例えば
アルミナやフォルステライト等のセラミック粉末にホウ珪酸系ガラスを混合したガラス複
合セラミックを用いることができる。また、ガラスセラミック粉末としては、ＺｎＯ−Ｍ
ｇＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系の結晶化ガラスを用いた結晶化ガラスセラミック、ＢａＯ
−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系セラミック粉末やＡｌ２Ｏ３−ＣａＯ−ＳｉＯ２−ＭｇＯ−Ｂ
２Ｏ３系セラミック粉末等を用いた非ガラス系セラミックを用いても良い。
【００２３】
バインダは、ガラスセラミック粉末の結合剤としての機能を有し、後工程の焼成工程で
分解して容易に除去できる有機高分子である。バインダとしては、例えばブチラール系、
アクリル系、セルロース系等のバインダ樹脂を用いることができる。アクリル系のバイン
ダ樹脂としては、例えばアルキル（メタ）アクリレート、アルコキシアルキル（メタ）ア
クリレート、ポリアルキレングリコール（メタ）アクリレート、シクロアルキル（メタ）
アクリレート等の（メタ）アクリレート化合物の単独重合体を用いることができる。また
、アクリル系のバインダ樹脂としては、該（メタ）アクリレート化合物の２種以上から得
られる共重合体、あるいは（メタ）アクリレート化合物と不飽和カルボン酸類等の他の共
重合性単量体から得られる共重合体を用いることができる。
【００２４】
なお、バインダは、例えばアジピン酸エステル系可塑剤、ジオクチルフタレート（ＤＯ
Ｐ）、ジブチルフタレート（ＤＢＰ）フタル酸エステル系可塑剤、グリコールエステル系
可塑剤等の可塑剤を含有しても良い。
【００２５】
ステージ２３の上面２３ａには、ラバーヒータＨが配設されている。ステージ２３に載
置されたグリーンシート４Ｇは、ラバーヒータＨにて所定の温度に加熱されるようになっ
ている。そして、ステージ２３に載置されたグリーンシート４Ｇは、同ステージ２３に対
して位置決め固定されて、グリーンシート４ＧをＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に搬送する
。
【００２６】
図２に示すように、基台２１には、Ｙ矢印方向と直交する方向（Ｘ矢印方向）に跨ぐ門
型のガイド部材２５が架設されている。ガイド部材２５の上側には、Ｘ矢印方向に延びる
インクタンク２６が配設されている。貯留部としてのインクタンク２６は、機能液として
の金属インクＦ（図５参照）を貯留している。インクタンク２６に貯留された金属インク
Ｆは供給流路を構成する供給チューブＴを介してキャリッジ２９に設けた液滴吐出ヘッド
（以下単に、吐出ヘッドという。）３０に所定の圧力で供給されるようになっている。そ
して、吐出ヘッド３０に供給された金属インクＦは、吐出ヘッド３０から液滴Ｆｂ（図５
参照）となってグリーンシート４Ｇに向かって吐出されるようになっている。
【００２７】
金属インクＦは、機能材料としての金属微粒子、例えば粒径が数ｎｍの金属微粒子を溶
媒に分散させた分散系金属インクを用いることができる。
金属インクＦに使用する金属微粒子としては、例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、銅（
Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、パラジウム（Ｐｄ）、マンガン（Ｍｎ）、チタン（Ｔｉ
）、タンタル（Ｔａ）、及びニッケル（Ｎｉ）などの材料の他、これらの酸化物、並びに
超電導体の微粒子などが用いられる。金属微粒子の粒径は１ｎｍ以上０．１μｍ以下であ
ることが好ましい。０．１μｍより大きいと吐出ヘッド３０の吐出ノズルＮに目詰まりが
生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと金属微粒子に対する分散剤の体積比が大
きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。
【００２８】
分散媒としては、上記の金属微粒子を分散できるもので凝集を起こさないものであれば
特に限定されない。例えば水系溶媒のほか、メタノール、エタノール、プロパノール、ブ
タノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラ
デカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロ
ナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、
またエチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、グリセリン
、1，３−プロパンジオールなどのポリオール類、ポリエチレングリコール、エチレング
リコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコール
メチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコール
ジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエ
タン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテル系化合物、
さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジ
メチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノン、乳酸エチルなどの極性
化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法
への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好
ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。
【００２９】
グリーンシート４Ｇに着弾した金属インクＦは、その表面側から溶媒あるいは分散媒の
一部が蒸発する。このとき、ラバーヒータＨにてグリーンシート４Ｇが加熱されているこ
とから溶媒あるいは分散媒の蒸発は促進される。
【００３０】
そして、グリーンシート４Ｇに着弾した金属インクＦは、乾燥とともにその表面の外縁
から増粘し、つまり、中央部に比べて外周部における固形分（粒子）濃度が速く飽和濃度
に達することから表面の外縁から増粘していく。外縁の増粘した金属インクＦは、グリー
ンシート４Ｇの面方向に沿う自身の濡れ広がりを停止する（ピニングする）。ピニングさ
れた状態の金属インクＦは、グリーンシート４Ｇに固定され重ね打ちされても、グリーン
シート４Ｇに固定状態になっており、液滴Ｆｂの外径が変化しなくなっているため、次の
液滴Ｆｂに引き寄せられることはない。
【００３１】
ガイド部材２５には、そのＸ矢印方向略全幅にわたって、Ｘ矢印方向に延びる上下一対
のガイドレール２８が形成されている。上下一対のガイドレール２８には、キャリッジ２
９が取り付けられている。キャリッジ２９は、ガイドレール２８に案内されてＸ矢印方向
及び反Ｘ矢印方向に移動する。キャリッジ２９には、液滴吐出ヘッド本体としての液滴吐
出ヘッド３０が搭載されている。
【００３２】
図３は吐出ヘッド３０とキャリッジ２９の取付状態を説明するための要部分解斜視図を
示し、図４は吐出ヘッド３０をグリーンシート４Ｇ側から見た斜視図を示し、図５は吐出
ヘッド３０をＹ方向からみた要部断面図を示す。図６は吐出ヘッド３０をＸ方向からみた
要部断面図を示す。図７は逆Ｕ字状管路の拡大一部断面図を示す。
【００３３】
図３に示すように、吐出ヘッド３０は、吐出ヘッド本体３０ａがＹ方向に長い直方体形
状であって、その上面３０ｂに一対のポートＰ０が設けられている。ポートＰ０は、図６
に示すように、供給チューブＴを介して供給されてくるインクタンク２６の金属インクＦ
を、吐出ヘッド本体３０ａ内に導入する。
【００３４】
詳述すると、一対のポートＰ０には、それぞれ抜き差し可能に逆Ｕ字状管路３１の下流
端部３１ｂが連結されている。逆Ｕ字状管路３１は、逆Ｕ字状をなし、Ｕ字状に屈曲げし
た部分（頂上部３１ｃ）が上側に、両端の下流端部３１ｂ及び上流端部３１ａが下側にな
るようにポートＰ０に連結される。
【００３５】
一対の逆Ｕ字状管路３１は、上流端部３１ａが分岐チューブＴ１に抜き差し可能に連結
され、その分岐チューブＴ１は、前記供給チューブＴに連結されている。従って、インク
タンク２６に貯留された金属インクＦは、供給チューブＴ、分岐チューブＴ１、逆Ｕ字状
管路３１を経由して吐出ヘッド３０に供給される。
【００３６】
逆Ｕ字状管路３１の頂上部３１ｃには、上方に向かって分岐した気泡捕集管路３２が一
体的に設けられている。図７に示すように、気泡捕集管路３２の先端開口部には、その開
口部内側で塞ぐ（栓をする）ゴム栓３３が取着されている。ゴム栓３３は、開口部から抜
けないように気泡捕集管路３２の開口部外側に固着した抜け止め部材３４に係止されてい
る。
【００３７】
抜け止め部材３４は、ゴム栓３３の外表面の一部が露出するように開口穴３４ａが形成
されている。
気泡捕集管路３２を一体に設けた逆Ｕ字状管路３１は、透明の樹脂で形成され、内部を
流れる金属インクＦが視認できるようになっている。気泡捕集管路３２を含む逆Ｕ字状管
路３１内は、表面処理されて撥水性に表面改質され、金属インクＦに含まれる気泡Ｂが管
路３１，３２の内側面に張り付くように付着して、気泡Ｂの形を成さなくなるのを防止す
る。
【００３８】
そして、逆Ｕ字状管路３１を上流端部３１ａから下流端部３１ｂに向かって流れる金属
インクＦに、気泡Ｂが含まれているとき、逆Ｕ字状管路３１の内面が撥水処理されている
ため内面に付着することなくスムーズに流れる。気泡Ｂは、気泡捕集管路３２が分岐した
逆Ｕ字状管路３１の頂上部３１ｃの位置に到達すると、浮力により気泡捕集管路３２に導
かれる。そして、気泡捕集管路３２を塞ぐゴム栓３３の下側には、気泡Ｂが集積する。や
がて、気泡捕集管路３２内には大きな気泡溜まりＬＢができる。
【００３９】
気泡捕集管路３２内にできた気泡溜まりＬＢは、注射器を使って抜く。つまり、抜け止
め部材３４の開口穴３４ａからゴム栓３３に注射器の針を差し込む。針が気泡捕集管路３
２内の気泡溜まりＬＢまで到達したとき、注射器を操作して、気泡捕集管路３２内の気泡
Ｂを吸引し抜く。
【００４０】
従って、吐出ヘッド３０に到達する前に、気泡Ｂは気泡捕集管路３２に捕集される。そ
の結果、吐出ヘッド本体３０ａには、気泡Ｂが除去された金属インクＦが供給される。
また、図３に示すように、吐出ヘッド本体３０ａの上部側面には、フランジ３０ｃが形
成されている。そして、吐出ヘッド３０は、キャリッジ２９の支持板３５に形成したＹ方
向に長い長方形の貫通穴３６に対して上方から貫挿させる。このとき、吐出ヘッド３０に
形成したフランジ３０ｃは、抜け止めの役目を果たすとともに、図示しない、ネジ等で支
持板３５と連結固定される連結部の役目を果たす。つまり、吐出ヘッド３０は、支持板３
５に形成した貫通穴３６を上方（反Ｚ方向）から貫挿させてフランジ３０ｃをネジ（図示
せず）で支持板３５に固定することによって、キャリッジ２９に取着される。
【００４１】
キャリッジ２９の支持板３５から突出した吐出ヘッド本体３０ａの下側には、ノズルプ
レート３７が固着されている。図５に示すように、ノズルプレート３７は、その下面（ノ
ズル形成面３７ａ）がグリーンシート４Ｇの吐出面４Ｇａと略平行に形成されている。ノ
ズルプレート３７は、グリーンシート４Ｇが吐出ヘッド３０の直下に位置するとき、ノズ
ル形成面３７ａとグリーンシート４Ｇの吐出面４Ｇａとの間の距離（プラテンギャップ）
を所定の距離に保持する。
【００４２】
図４において、ノズル形成面３７ａには、Ｙ方向に沿って配列された複数のノズルＮか
らなるノズル列が形成されている。ノズル列には、それぞれ１インチ当たりに１８０個の
ノズルＮが形成されている。なお、図４では、説明の都合上、一列当り数を省略して記載
している。また、本実施例では、ノズル列は、一列であるが、複数列であってもよい。
【００４３】
図５に示すように、各ノズルＮの上側には、ポートＰ０に連通するキャビティ３８が形
成されている。キャビティ３８は、インクタンク２６からの金属インクＦを、ポートＰ０
を介して収容して、対応するノズルＮに金属インクＦを供給する。キャビティ３８の上側
には、上下方向に振動してキャビティ３８内の容積を拡大及び縮小する振動板３９が固着
されている。振動板３９の上側には、ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺが配設されている
。圧電素子ＰＺは、上下方向に収縮及び伸張して振動板３９を上下方向に振動させる。上
下方向に振動する振動板３９は、金属インクＦを所定サイズの液滴Ｆｂにして対応するノ
ズルＮから吐出させる。吐出された液滴Ｆｂは、対応するノズルＮの反Ｚ方向に飛行して
、グリーンシート４Ｇの吐出面４Ｇａに着弾する。これによって、吐出面４Ｇａに内部配
線１５を形成のための金属インクＦよりなる液状配線パターンＰＬが描画される。
【００４４】
次に、上記のように構成した実施形態の作用を以下に記載する。
今、吐出ヘッド３０を、Ｘ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復動させるとともに、ステー
ジ２３をＹ矢印方向に搬送させ、吐出ヘッド３０の往復動中に液滴Ｆｂを予め容易された
データに基づいて所定のタイミングで吐出させる動作を繰り返す。これによって、グリー
ンシート４Ｇ上には、着弾した液滴Ｆｂによる内部配線１５の液状配線パターンＰＬが描
画される。
【００４５】
この液状配線パターンＰＬが描画中、インクタンク２６に貯留された金属インクＦは、
吐出ヘッド３０に供給される。この供給される金属インクＦに、気泡Ｂが含まれていると
き、逆Ｕ字状管路３１の頂上部３１ｃに設けた気泡捕集管路３２に導かれ捕集される。
【００４６】
吐出ヘッド３０のキャビティ３８には、気泡Ｂが除去された金属インクＦが供給される
。その結果、気泡Ｂによるドット抜け等の不具合を未然に防止できる。
また、気泡捕集管路３２に捕集された気泡Ｂが集積し大きな気泡溜まりＬＢができた時
には、ゴム栓３３に注射器の針を差し込み、気泡捕集管路３２内の気泡Ｂを吸引し抜くこ
とによって気泡溜まりＬＢは除去することによって気泡Ｂが気泡捕集管路３２から溢れて
吐出ヘッド３０に供給されることはない。
【００４７】
次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、インクタンク２６と液滴吐出ヘッド３０との間に設けら
れた供給チューブＴ、分岐供給チューブＴ１とともに、透明の逆Ｕ字状管路３１を設け、
その逆Ｕ字状管路３１上の頂上部３１ｃに気泡捕集管路３２設け、逆Ｕ字状管路の頂上部
３１ｃで溜まる気泡Ｂを、気泡捕集管路３２に案内し集めるようにした。
【００４８】
従って、金属インクＦ中に含まれた気泡Ｂは、気泡捕集管路３２内に溜まり下方にある
液滴吐出ヘッド３０には送り込まれない。その結果、気泡Ｂが液滴吐出ヘッド３０に供給
されないことから、ドット抜けが発生せず、グリーンシート４Ｇに高精細の液状配線パタ
ーンＰＬを描画できる。
【００４９】
（２）上記実施形態によれば、逆Ｕ字状管路３１及び気泡捕集管路３２を透明な材質に
するとともに、逆Ｕ字状管路３１及び気泡捕集管路３２の内側面を撥水性した。従って、
逆Ｕ字状管路３１及び気泡捕集管路３２に沿って流れる気泡Ｂは、管路３１，３２の内面
に接触し難いため、黒色の金属インクＦ中に発生する見づらい気泡Ｂの存在が容易に視認
でき、気泡Ｂの発生及び除去のタイミングを確実に知ることができる。
【００５０】
（３）上記実施形態によれば、気泡捕集管路３２は、逆Ｕ字状管路３１の頂上部３１ｃ
から分岐させて形成しただけなので、簡単な構成で形成できる。
（４）上記実施形態によれば、気泡捕集管路３２の先端開口部を、ゴム栓３３にて封止
した。従って、ゴム栓３３の下面に集められた、即ち、気泡捕集管路３２に溜まった気泡
Ｂを、ゴム栓３３に注射針を刺して抜くことができる。その結果、気泡捕集管路３２から
気泡Ｂが溢れて吐出ヘッド３０に送られたり、吐出ヘッド３０への金属インクＦの供給を
阻害することを防ぐことができる。
【００５１】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態において、図８に示すように、前記逆Ｕ字状管路３１であって、その頂
上部３１ｃより上流側に、加熱手段としてのラバーヒータＲＨを貼着する。そして、同ラ
バーヒータＲＨにて、供給されてくる金属インクＦを加熱するようにしてもよい。金属イ
ンクＦが加熱されることによって、金属インクＦ中に溶けている気体も膨張し気泡Ｂとな
って頂上部３１ｃから気泡捕集管路３２に効率よく捕集することができる。
【００５２】
・上記実施形態では、機能液を、金属インクＦとして具体化した。これに限らず、例え
ば、液晶材料を含有した機能液に具体化してもよい。つまり、パターンを形成するための
吐出させる機能液であればよい。
【００５３】
・上記実施形態では、基板を、グリーンシート４Ｇに具体化した。これに限らず、例え
は、基板を、ガラス基板、ポリイミド基板、ガラエポ基板などに具体化してもよい。
・上記実施形態では、ゴム栓３３が抜けないように、気泡捕集管路３２の開口部外側に
抜け止め部材３４を固着したが、これを省略してもよい。
【００５４】
・上記実施形態では、液滴吐出手段を、圧電素子駆動方式の液滴吐出ヘッド３０に具体
化した。これに限らず、液滴吐出ヘッドを、抵抗加熱方式や静電駆動方式の吐出ヘッドに
具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】回路モジュールの側断面図。
【図２】液滴吐出装置の全体斜視図。
【図３】液滴吐出ヘッドとキャリッジの取付状態を説明する要部分解斜視図。
【図４】滴液吐出ヘッドをグリーンシート側から見た斜視図。
【図５】液滴吐出ヘッドをＹ方向からみた要部断面図。
【図６】液滴吐出ヘッドをＸ方向からみた要部断面図。
【図７】逆Ｕ字状管路の拡大一部断面図。
【図８】液滴吐出ヘッドの別例を説明するための要部断面図。
【符号の説明】
【００５６】
４Ｇ…基板としてのグリーンシート、４Ｆ…キャリアフィルム、２０…液滴吐出装置、
３０…液滴吐出ヘッド、３１…逆Ｕ字状管路、３１ｃ…頂上部、３２…気泡捕集管路、３
３…ゴム栓、３７…ノズルプレート、５０…制御装置、５６…ペルチェ素子駆動回路、Ｆ
…金属インク、Ｆｂ…液滴、Ｂ…気泡、ＢＬ…気泡溜まり、ＲＨ…ラバーヒータ、Ｔ…供
給チューブ、Ｔ１…分岐チューブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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