(57)【要約】【課題】ノズルプレートにおけるワイプブレードの当接しない領域をなくし、良好なワイプクリーニング性能を維持することにより、長期的に初期の吐出性能を維持可能にして、信頼性および耐久性を高くできるインクジェット装置を提供する。【解決手段】インクジェット装置５０は、インクジェットヘッド２５と、このインクジェットヘッド２５に対して一方向（Ｘ方向）に相対的に移動するワイプブレード２２とを有する。上記インクジェットヘッド２５は、ヘッド本体部１と、このヘッド本体部１を挟むようにヘッド本体部１のＸ方向側に取り付けられた第１、第２のヘッド構成部１１ａ，１１ｂと、上記ヘッド本体部１と上記ヘッド構成部１１ａ，１１ｂとに跨って取り付けられたノズルプレート２１とを有する。上記ノズルプレート２１の一面２１ａにおける上記一方向（Ｘ方向）に直交する他方向の形状は、段差のない平坦な形状である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク溝を有するヘッド本体部と、
このヘッド本体部に取り付けられると共に上記インク溝に連通するノズル孔を有するノズルプレートと、
上記ノズルプレートに対して一方向に相対的に移動して上記ノズルプレートの一面を払拭するワイプブレードと
を備え、
上記ノズルプレートの上記一面における上記一方向に直交する他方向の形状は、段差のない平坦な形状であることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェット装置において、
上記ヘッド本体部の上記一方向側に、ヘッド構成部が取り付けられ、
上記ノズルプレートは、上記ヘッド本体部と上記ヘッド構成部とに跨って取り付けられていることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項３】
請求項２に記載のインクジェット装置において、
上記ヘッド本体部の上記ノズルプレート側の一面は、上記ヘッド構成部の上記ノズルプレート側の一面よりも、上記ノズルプレート側に突出していることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載のインクジェット装置において、
上記ヘッド構成部は、上記インク溝へのインクの供給または上記インク溝からのインクの排出の少なくとも一方を行うマニホールドを兼ねていることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一つに記載のインクジェット装置において、
上記ノズルプレートの上記一面の上記他方向の幅は、上記ヘッド本体部の上記他方向の幅以下であることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項６】
請求項１から５の何れか一つに記載のインクジェット装置において、
上記ヘッド本体部は、互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有する圧電基板を含み、
この隣り合う隔壁の間に、上記インク溝が形成され、このインク溝の内面に電極が設けられていることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項７】
請求項１から６の何れか一つに記載のインクジェット装置において、
上記ノズルプレートの上記一面における上記一方向の形状は、段差のない平坦な形状であることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項８】
請求項１から７の何れか一つに記載のインクジェット装置において、
上記ノズル孔は、複数存在し、この複数のノズル孔は、直線状に配列され、
上記ノズルプレートの上記一面における上記一方向は、上記ノズル孔の配列方向に、交差することを特徴とするインクジェット装置。
【請求項９】
請求項１から８の何れか一つに記載のインクジェット装置において、
上記ノズルプレートの上記一面の上記他方向の幅は、上記ワイプブレードの上記他方向の幅よりも、小さいことを特徴とするインクジェット装置。
【請求項１０】
請求項１から９の何れか一つに記載のインクジェット装置において、
上記ノズルプレートは、高分子材料からなることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項１１】
請求項１から１０の何れか一つに記載のインクジェット装置において、
上記ノズルプレートの厚みは、１００μｍ以下であることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項１２】
ヘッド本体部の一方向側にヘッド構成部を取り付け、上記ヘッド本体部と上記ヘッド構成部とに跨ってノズルプレートを取り付けて、インクジェットヘッドを組み立てる工程と、
ワイプブレードが上記インクジェットヘッドに対して上記一方向に相対的に移動して上記ノズルプレートの一面を払拭するように、上記インクジェットヘッドを配置する工程と
を備えることを特徴とするインクジェット装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェット装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、インクジェット装置は、インクジェットヘッドを有し、このインクジェットヘッドは、ノズルプレートを有し、このノズルプレートは、直線状に配列された複数のノズル孔を有している。
【０００３】
インクジェットヘッドは、さらに、インクをノズル孔に供給するとともに、ノズル孔からインク液滴が吐出されるようにインク液内に圧力パルスを発生させる手段を含み、数ｐＬから数十ｐＬ程度の微量なインク液滴を吐出することが可能である。
【０００４】
このようなインクジェット装置において、高精度の印刷を行うためには、ノズル孔から吐出されたインク液滴を精度よく被印刷体に配置することが必要である。そのためには、ノズル孔と被印刷体との相対位置を正確に制御する必要があるとともに、吐出するインク液滴量を制御し、さらに、微小化させること、および、インク液滴の吐出方向の正確な制御が必要である。
【０００５】
その中でも、インク液滴の吐出方向を正確に制御するためには、インク液滴をノズルプレートに対して垂直方向に吐出する必要がある。このためには、ノズル孔の加工精度が重要であり、エキシマレーザにより高精度加工が可能なポリイミドが一般的に用いられている。ポリイミドは、インクに対して膨潤、溶出などの化学変化を起こさないことが良く知られており、加工性および耐インク性の面からノズルプレートとして選択されている。
【０００６】
ノズルプレートの表面には、インクに対して撥液性を有する材料をコーティングするなどして、吐出時のノズルプレートとインク液滴との切れを安定にし、着弾精度を向上させている。
【０００７】
しかしながら、例えば、ノズル孔近傍にインク液滴や塵埃が付着しているような状態で吐出を行うと、新たに吐出されたインク液滴がそれらに接触する場合があり、そのような場合には吐出方向が変化してしまうことがある。
【０００８】
また、このような付着したインク液滴が乾燥した場合には、同様に吐出方向のヨレが引き起こされるとともに、さらには、ノズル孔自体が目詰まりを起こし、不吐出となるといった弊害を生じることがある。
【０００９】
また、ノズル孔に通じる流路内に発生した気泡や流路内から流れてきたゴミなどによっても、目詰まりによる不吐出や着弾精度の劣化が引き起こされる虞がある。
【００１０】
このような状態を回復、防止するために、インクジェットヘッドのノズルプレートをキャップ部材で密閉するように覆い、キャップ部材を介してポンプで吸引することにより、流路内に残留している気泡をインクとともにノズル孔から吸引除去したり、ノズルプレートに付着したインク液滴や塵埃などを除去したりするメンテナンスが行われている。
【００１１】
ただし、通常は、キャップ部材をインクジェットヘッドから取り外した際には、ノズルプレートにインク液滴が多数残留してしまう。このインク液滴がノズルプレートに残ったままであると、上記と同様にそれらが着弾劣化を引き起こす虞がある。
【００１２】
このため、キャップ部材を離脱後に、ゴムなどの弾性体で形成されたワイプブレードでノズル面を払拭することで、ノズルプレートに付着したインク液滴や塵埃、さらにインク吸引では取り切ることのできないインク液滴が乾燥、増粘したものなどを拭き取るワイプクリーニングが行われている。
【００１３】
したがって、ワイプブレードが払拭する部分にはインク液滴を残したくないため、撥液性のある材料で構成することが望ましく、通常は、ノズルプレートサイズをヘッドチップのノズル接着面よりも広げることが行われている。
【００１４】
ノズルプレートサイズをヘッドチップのノズル接着面よりも広げた場合、ノズルプレートは、ヘッドチップと他のインクジェットヘッド構成部品に跨って接着されることになる。
【００１５】
例えば、特許第３７５６５０６号公報（特許文献１）では、複数のヘッドチップとマニホールドに跨ってノズルプレートが接着されている。
【００１６】
一方、特開２００２−３３７３５０号公報（特許文献２）では、ヘッドチップとノズルキャップ接着面に跨って、ノズルプレートが接着されており、ノズルプレートは、ノズルキャップ接着面の外形形状よりも大きくなるように構成されている。
【００１７】
このように、ノズルプレートが、ヘッドチップと他のインクジェットヘッド構成部品とに跨って接着されている場合においては、ヘッドチップと他のインクジェットヘッド構成部品が面一で配置するのが理想的であるが、組み立てバラツキがあり、通常は、ヘッドチップが一番突出したように配置している。これは、ワイプブレードがノズルプレートを払拭する際に、一番重要なノズル孔付近にインク液滴を残したくないため、ヘッドチップ部分を確実にワイプするためである。
【００１８】
つまり、図１２に示すように、インクジェットヘッド１２５は、インクジェットヘッドチップ１００と、インクジェットヘッド構成部品１１１ａ、１１１ｂとを有する。このインクジェットヘッド構成部品１１１ａ、１１１ｂは、インクジェットヘッドチップ１００より低い位置に段差をもって配置されている。ノズル孔１２０を有するノズルプレート１２１は、インクジェットヘッドチップ１００とインクジェットヘッド構成部品１１１ａ、１１１ｂとに跨って、取り付けられている。
【特許文献１】特許第３７５６５０６号公報
【特許文献２】特開２００２−３３７３５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、上記従来のインクジェットヘッド１２５では、図１３に示すように、ワイプブレード１２２が固定されたブレードベース１２３が、インクジェットヘッド１２５に対して相対移動しノズルプレート１２１を払拭するときに、ワイプブレード１２２は、インクジェットヘッドチップ１００に相当する部分に、当接するが、インクジェットヘッド構成部品１１１ａ、１１１ｂとの段差部分には、ワイプブレード１２２が当接しない領域Ｇが存在する。
【００２０】
つまり、ワイプブレード１２２が、ノズルプレート１２１の一面に対して、Ｘ方向に移動するとき、ノズルプレート１２１の一面におけるＸ方向に直交するＹ方向の形状は、段差のある形状である。
【００２１】
したがって、ワイプブレード１２２が当接しない領域Ｇには、インク液滴や塵埃が残り、インク液滴が乾燥、増粘し、さらにノズル吸引や、吐出時の跳ね返りインクが付着し、次第にインク液滴が乾燥し、増粘した領域が拡大し、増粘したインクにより、ノズル孔１２０が詰まり、また、ワイプブレード１２２では取りきれない状態となり、新たに吐出されたインク液滴が固着したインクに接触することにより、着弾精度を劣化させる要因となっている。
【００２２】
そこで、この発明の課題は、ノズルプレートにおけるワイプブレードの当接しない領域をなくし、良好なワイプクリーニング性能を維持することにより、長期的に初期の吐出性能を維持可能にして、信頼性および耐久性を高くできるインクジェット装置およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記課題を解決するため、この発明のインクジェット装置は、
インク溝を有するヘッド本体部と、
このヘッド本体部に取り付けられると共に上記インク溝に連通するノズル孔を有するノズルプレートと、
上記ノズルプレートに対して一方向に相対的に移動して上記ノズルプレートの一面を払拭するワイプブレードと
を備え、
上記ノズルプレートの上記一面における上記一方向に直交する他方向の形状は、段差のない平坦な形状であることを特徴としている。
【００２４】
この発明のインクジェット装置によれば、上記ノズルプレートの上記一面における上記他方向の形状は、段差のない平坦な形状であるので、上記ワイプブレードは、上記ノズルプレートの上記一面の上記他方向の全体に接触できて、上記ワイプブレードは、常に、上記ノズルプレートの上記一面に接触した状態を保ちながら、払拭できる。
【００２５】
このように、上記ノズルプレートの上記一面にインク液滴を残すことなく払拭できて、上記ノズルプレートの上記ノズル孔から新たに吐出されたインク液滴は、固着したインク等に接触することなく、高精度な着弾精度を維持することが可能である。
【００２６】
したがって、ノズルプレートにおけるワイプブレードの当接しない領域をなくし、良好なワイプクリーニング性能を維持することにより、長期的に初期の吐出性能を維持可能にして、信頼性および耐久性を高くできる。
【００２７】
また、一実施形態のインクジェット装置では、
上記ヘッド本体部の上記一方向側に、ヘッド構成部が取り付けられ、
上記ノズルプレートは、上記ヘッド本体部と上記ヘッド構成部とに跨って取り付けられている。
【００２８】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ヘッド本体部の上記一方向側に、ヘッド構成部が取り付けられ、上記ノズルプレートは、上記ヘッド本体部と上記ヘッド構成部とに跨って取り付けられているので、上記ノズルプレートは、上記ヘッド本体部と上記ヘッド構成部との段差を覆うことができる。そして、上記一方向における上記ワイプブレードの上記一面の形状を、上記ワイプブレードが追従可能ななだらかな形状とすることで、上記ノズルプレートの上記一面のインク液滴を一層確実に払拭できる。
【００２９】
また、一実施形態のインクジェット装置では、上記ヘッド本体部の上記ノズルプレート側の一面は、上記ヘッド構成部の上記ノズルプレート側の一面よりも、上記ノズルプレート側に突出している。
【００３０】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ヘッド本体部の上記ノズルプレート側の一面は、上記ヘッド構成部の上記ノズルプレート側の一面よりも、上記ノズルプレート側に突出しているので、上記一方向における上記ノズルプレートの上記一面の形状は、凸形状となる。
【００３１】
したがって、上記ワイプブレードの上記ノズルプレートに対する接触圧力は、上記ノズル孔付近で、最大となるので、上記ノズル孔付近の固着したインク等を確実に掻き落とすことができる。
【００３２】
また、一実施形態のインクジェット装置では、上記ヘッド構成部は、上記インク溝へのインクの供給または上記インク溝からのインクの排出の少なくとも一方を行うマニホールドを兼ねている。
【００３３】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ヘッド構成部は、上記ノズルプレートを取り付ける以外に、上記マニホールドを兼ねているので、部品点数の低減となり、コストダウンを図ることができる。
【００３４】
また、一実施形態のインクジェット装置では、上記ノズルプレートの上記一面の上記他方向の幅は、上記ヘッド本体部の上記他方向の幅以下である。
【００３５】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ノズルプレートの上記一面の上記他方向の幅は、上記ヘッド本体部の上記他方向の幅以下であるので、上記他方向において、上記ノズルプレートは、上記ヘッド本体部以外の他の部材に取り付けられない。
【００３６】
したがって、上記他方向において、上記ノズルプレートは、上記ヘッド本体部と上記他の部材との段差の影響を受けず、上記他方向において上記ノズルプレートの上記一面を平坦な形状にできて、上記ノズルプレートの上記一面のインク液滴を一層確実に払拭できる。
【００３７】
また、一実施形態のインクジェット装置では、
上記ヘッド本体部は、互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有する圧電基板を含み、
この隣り合う隔壁の間に、上記インク溝が形成され、このインク溝の内面に電極が設けられている。
【００３８】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ヘッド本体部は、上記圧電基板を含むので、このヘッド本体部は、圧電材料のシェアモード変形を利用したインクジェット方式である。この方式は、圧電材料からなる隔壁に形成した電極を用いて、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を生じさせることで、シェアモードで隔壁を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利用して、インク滴を吐出するものであり、ノズルの高密度化、低消費電力化、高駆動周波数化に適している。
【００３９】
また、ウエハ状圧電基板に複数のヘッド本体部がレイアウトされた状態で溝加工を行って、圧電基板に複数のインク溝を形成することが可能であり、さらには、共通インク溝を圧電基板内に形成しておらず、ヘッド本体部のサイズを小さくすることができ、ウエハ状圧電基板１枚当たりからのヘッド本体部の取れ数を増やすことができる。その結果、インクジェットヘッドのコストダウンを図ることができる。
【００４０】
また、一実施形態のインクジェット装置では、上記ノズルプレートの上記一面における上記一方向の形状は、段差のない平坦な形状である。
【００４１】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ノズルプレートの上記一面における上記一方向の形状は、段差のない平坦な形状であるので、上記ノズルプレートの上記一面のインク液滴を一層確実に払拭できる。
【００４２】
また、一実施形態のインクジェット装置では、
上記ノズル孔は、複数存在し、この複数のノズル孔は、直線状に配列され、
上記ノズルプレートの上記一面における上記一方向は、上記ノズル孔の配列方向に、交差する。
【００４３】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ノズルプレートの上記一面における上記一方向は、上記ノズル孔の配列方向に、交差するので、上記ワイプブレードは、上記ノズル孔の配列方向に沿った方向に、相対的に移動しない。
【００４４】
したがって、ワイプ時間を短縮できる。例えば、通常ワイプ動作は、１ｍｍ/ｓｅｃ以下のワイプスピードでノズルプレートを払拭する。そして、上記ノズル孔の配列方向と直交する方向に沿って、上記ワイプブレードを相対的に移動すると、数秒でワイプを完了できる。これに対して、上記ノズル孔の配列方向に沿って、上記ワイプブレードを相対的に移動すると、１分以上のワイプ時間を要する場合があり、特に生産装置等に使用する場合、生産タクトを圧迫する恐れがある。
【００４５】
また、上記ワイプブレードに付着した固着インク等をノズル孔に掻き入れる恐れがない。これに対して、上記ノズル孔の配列方向に沿って、上記ワイプブレードを相対的に移動すると、上記ワイプブレードに付着した固着インク等をノズル孔に掻き入れる恐れがある。
【００４６】
また、一実施形態のインクジェット装置では、上記ノズルプレートの上記一面の上記他方向の幅は、上記ワイプブレードの上記他方向の幅よりも、小さい。
【００４７】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ノズルプレートの上記一面の上記他方向の幅は、上記ワイプブレードの上記他方向の幅よりも、小さいので、上記ノズルプレートの上記一面の幅方向の全体を、一層確実に払拭できる。
【００４８】
また、一実施形態のインクジェット装置では、上記ノズルプレートは、高分子材料からなる。
【００４９】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ノズルプレートは、高分子材料からなるので、発振波長が２００ｎｍ近辺の紫外光を用いるエキシマレーザ加工にて、ノズル孔を形成できて、加工精度に優れ、比較的簡便にノズル孔を形成することができる。
【００５０】
また、一実施形態のインクジェット装置では、上記ノズルプレートの厚みは、１００μｍ以下である。
【００５１】
この実施形態のインクジェット装置によれば、上記ノズルプレートの厚みは、１００μｍ以下であるので、上記ヘッド本体部と上記ヘッド構成部との５０μｍ程度の段差や、上記ヘッド本体部自体の５０μｍ程度の段差に対して、上記ノズルプレートが追従して変形できる。
【００５２】
また、この発明のインクジェット装置の製造方法は、
ヘッド本体部の一方向側にヘッド構成部を取り付け、上記ヘッド本体部と上記ヘッド構成部とに跨ってノズルプレートを取り付けて、インクジェットヘッドを組み立てる工程と、
ワイプブレードが上記インクジェットヘッドに対して上記一方向に相対的に移動して上記ノズルプレートの一面を払拭するように、上記インクジェットヘッドを配置する工程と
を備えることを特徴としている。
【００５３】
この発明のインクジェット装置の製造方法によれば、ヘッド本体部の一方向側にヘッド構成部を取り付け、ワイプブレードが上記一方向に相対的に移動するように、インクジェットヘッドを配置するので、上記ノズルプレートの上記一面の上記一方向の形状は、段差のある形状である一方、上記ノズルプレートの上記一面における上記一方向に直交する他方向の形状は、段差のない平坦な形状である。
【００５４】
そして、上記ワイプブレードは、上記ノズルプレートの上記一面の上記他方向の全体に接触できて、上記ワイプブレードは、常に、上記ノズルプレートの上記一面に接触した状態を保ちながら、払拭できる。
【００５５】
このように、上記ノズルプレートの上記一面にインク液滴を残すことなく払拭できて、上記ノズルプレートの上記ノズル孔から新たに吐出されたインク液滴は、固着したインク等に接触することなく、高精度な着弾精度を維持することが可能である。
【００５６】
したがって、ノズルプレートにおけるワイプブレードの当接しない領域をなくし、良好なワイプクリーニング性能を維持することにより、長期的に初期の吐出性能を維持可能にして、信頼性および耐久性を高くできる。
【発明の効果】
【００５７】
この発明のインクジェット装置によれば、上記ノズルプレートの上記一面における上記他方向の形状は、段差のない平坦な形状であるので、ノズルプレートにおけるワイプブレードの当接しない領域をなくし、良好なワイプクリーニング性能を維持することにより、長期的に初期の吐出性能を維持可能にして、信頼性および耐久性を高くできる。
【００５８】
この発明のインクジェット装置の製造方法によれば、ヘッド本体部の一方向側にヘッド構成部を取り付け、ワイプブレードが上記一方向に相対的に移動するように、インクジェットヘッドを配置するので、ノズルプレートにおけるワイプブレードの当接しない領域をなくし、良好なワイプクリーニング性能を維持することにより、長期的に初期の吐出性能を維持可能にして、信頼性および耐久性を高くできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５９】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００６０】
（第１の実施形態）
図１は、この発明のインクジェット装置の一実施形態である側面図を示している。図２は、インクジェット装置の斜視図を示している。
【００６１】
図１と図２に示すように、このインクジェット装置５０は、インクジェットヘッド２５と、このインクジェットヘッド２５に対して一方向（Ｘ方向）に相対的に移動するワイプブレード２２とを有する。
【００６２】
上記インクジェットヘッド２５は、ヘッド本体部１と、このヘッド本体部１を挟むようにヘッド本体部１のＸ方向側に取り付けられた第１、第２のヘッド構成部１１ａ，１１ｂと、上記ヘッド本体部１と上記ヘッド構成部１１ａ，１１ｂとに跨って取り付けられたノズルプレート２１とを有する。
【００６３】
上記ノズルプレート２１は、上記ヘッド本体部１のインク溝２に連通するノズル孔２０を有する。
【００６４】
上記ワイプブレード２２は、上記ノズルプレート２１に対してＸ方向に相対的に移動して、上記ノズルプレート２１の一面２１ａを払拭する。ワイプブレード２２は、ブレードベース２３に固定され、ブレードベース２３とともに、移動する。ノズルプレート２１の一面２１ａに、インク液滴や塵埃や含有微粒子などの付着物が堆積した場合、この付着物をワイプブレード２２により物理的に除去する。
【００６５】
上記ノズルプレート２１の一面２１ａにおける上記一方向（Ｘ方向）に直交する他方向（Ｙ方向）の形状は、段差のない平坦な形状である。言い換えると、Ｘ方向に直交する平面と上記ノズルプレート２１の一面２１ａとの交線は、段差のない直線である。なお、この段差のない平坦な形状は、少なくともワイプブレード２２による払拭領域内に、設ければよい。
【００６６】
上記ヘッド本体部１のノズルプレート２１側の一面は、上記ヘッド構成部１１ａ，１１ｂのノズルプレート２１側の一面よりも、ノズルプレート２１側に突出している。つまり、Ｘ方向におけるノズルプレート２１の一面２１ａの形状は、凸形状となる。また、Ｘ方向におけるノズルプレート２１の一面２１ａの形状は、ワイプブレード２２が追従可能ななだらか形状である。
【００６７】
上記ワイプブレード２２は、撓むように配置されて、ワイプ時にノズルプレート２１に対して押圧力を、付与する。
【００６８】
上記ノズルプレート２１の一面２１ａのＹ方向の幅は、上記ヘッド本体部１のＹ方向の幅以下である。また、上記ノズルプレート２１の一面２１ａのＹ方向の幅は、上記ワイプブレード２２のＹ方向の幅よりも、小さい。
【００６９】
上記ノズルプレート２１のノズル孔２０は、複数存在し、この複数のノズル孔２０は、直線状に配列され、ノズルプレート２１の一面２１ａにおけるＸ方向は、ノズル孔２０の配列方向に、交差している。つまり、ノズル孔２０の配列方向は、Ｘ方向に直交するＹ方向に一致している。なお、ノズル孔２０の配列方向は、Ｘ方向に平行でなければよく、Ｘ方向に交差していればよい。
【００７０】
図３は、インクジェットヘッド２５の斜視図であり、図４は、図３のノズルプレート２１の接着前の状態を示す斜視図であり、図５は、図４のヘッド本体部１とヘッド構成部１１ａ、１１ｂとを分離した状態を示す斜視図である。
【００７１】
図３〜図５に示すように、上記ヘッド本体部１は、圧電基板を含む。この圧電基板は、互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁３を有する。この隣り合う隔壁３，３の間に、インク溝２が形成され、このインク溝２の内面に電極４が設けられている。
【００７２】
つまり、インクジェットヘッド２５は、圧電材料のシェアモード変形を利用したインクジェット方式に分類される。この方式は、圧電材料からなる隔壁３の両側面に形成した電極４を用いて、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を生じさせることで、シェアモードで隔壁３を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利用して、インク滴を吐出するものであり、ノズルの高密度化、低消費電力化、高駆動周波数化に適している。
【００７３】
ヘッド本体部１には、配線基板１０が取り付けられ、この配線基板１０は、電極４を外部に引き出す。隔壁３の上面にノズルプレート２１が接着され、各ノズル孔２０は、各インク溝２に対応するように配置されている。
【００７４】
ヘッド本体部１に共通インク溝を形成しておらず、第１のヘッド構成部１１ａに、第１の共通インク溝５ａを形成し、第２のヘッド構成部１１ｂに、第２の共通インク溝５ｂを形成している。
【００７５】
第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂは、ヘッド本体部１と同等程度の長さを有し、ヘッド本体部１の両側面に接着されている。
【００７６】
第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂのそれぞれには、第１、第２の連通穴７ａ、７ｂが設けられ、この第１、第２の連通穴７ａ、７ｂは、それぞれ、第１、第２の共通インク溝５ａ，５ｂに連通している。
【００７７】
第１、第２の共通インク溝５ａ，５ｂは、インク溝２に連通している。つまり、第１、第２のヘッド構成部１１ａ，１１ｂは、インク溝２へのインクの供給またはインク溝２からのインクの排出の少なくとも一方を行うマニホールドを兼ねている。
【００７８】
ここで、ノズルプレート２１が、ヘッド本体部１の隔壁３とヘッド構成部１１ａ、１１ｂとに跨るように接着されるには、ノズルプレート２１の剛性が低く、ヘッド本体部１の隔壁３とヘッド構成部１１ａ、１１ｂとの間の約５０μｍ程度の段差を、ノズルプレート２１の変形により吸収しながら接着できる要件を満たす必要がある。また、ノズルプレート２１の基材は、紫外線エネルギーを吸収する高分子材料であることが好ましい。
【００７９】
ノズル孔２０は、一般的に、直径１０μｍ〜１００μｍと非常に小さな円形である。ノズル孔２０の直径のバラツキは、液滴の吐出体積のバラツキや吐出精度の劣化に繋がり、ノズル孔２０の形状のバラツキもまた吐出精度を劣化させるので、非常に高いノズル孔２０の加工精度が求められる。
【００８０】
また、ノズルプレート２１の基材の材質によっては、ＣＯ２レーザなどを用いた発熱を伴う加工を行うと、ノズル孔２０のエッジ部分が溶解するなど形状が劣化する恐れがあり、吐出精度に対して悪影響を及ぼす危険性がある。
【００８１】
これに対して、エキシマレーザは、発振波長が２００ｎｍ近辺の紫外光であり、熱を発生させることなく、加工材料を蒸発によって切除するというアブレーション作用による加工を行うことができるため、エッジのダレのないノズル孔２０を、きれいな円形に加工することができる。
【００８２】
このように、エキシマレーザ加工は、加工精度に優れ、また比較的簡便にノズル孔を形成することができるため、ノズル孔２０の加工に好適である。
【００８３】
このとき、ノズルプレート２１の基材として、紫外線エネルギー領域の波長を吸収する高分子材料を用いれば、エキシマレーザの加工精度を劣化させることなく、孔径や形状のそろったノズル孔２０を、より安定的に加工することができる。なお、このような高分子材料としては、例えば、ポリイミドフィルムやポリエーテルサルフォンなどが挙げられる。
【００８４】
ポリイミドは、インクに対して膨潤、溶出などの化学変化を起こさないことが良く知られており、加工性および耐インク性の面から、ノズルプレート２１に用いられている。
【００８５】
ヘッド本体部１の隔壁３とヘッド構成部１１ａ、１１ｂとの約５０μｍ程度の段差を、ノズルプレート２１の変形により吸収しながら接着させるためには、ポリイミドで作製したノズルプレート２１の厚みは、１００μｍ以下であることが望ましい。
【００８６】
１００μｍ以上のポリイミドで作製したノズルプレート２１では、剛性が高く、ノズル接着直後は、段差形状に沿って変形していたが、徐々に形状が回復し、段差部分がうまく接着されない。
【００８７】
接着剤粘度やタック性に影響されるが、１００μｍ以下のポリイミド厚さであれば、段差を吸収しながら接着できることを確認した。この実施形態では、５０μｍのポリイミドを基材としたノズルプレート２１に対して、孔径２５μｍのノズル孔２０を形成した。
【００８８】
次に、上記構成のインクジェットヘッド２５のインクの流れを説明する。
【００８９】
インクは、第１の連通穴７ａから第１のヘッド構成部１１ａの第１の共通インク溝５ａに流れ込み、ヘッド本体部１のインク溝２を通過し、一部のインクは、ノズルプレート２１のノズル孔２０から吐出され、残りのインクは、インク溝２を通過して、第２のヘッド構成部１１ｂの第２の共通インク溝５ｂに流れ込み、第２の連通穴７ｂから排出され、図示しないインクタンクへと回収され、常に、インクジェットヘッド２５内を循環する構成となっている。
【００９０】
このようにインクを循環する構成にすることにより、インク内に微粒子を含有するようなインクにおいても、インク溝２上に形成されたノズル孔２０直近までインクを循環することが可能であり、微粒子の浮遊、沈殿を防止し、安定したインク吐出を行うことが可能となる。
【００９１】
なお、インクの流れは、上述の反対方向からでもよく、第２の連通穴７ｂから第２のヘッド構成部１１ｂの第２の共通インク溝５ｂに流れ込み、ヘッド本体部１のインク溝２を通過し、一部のインクは、ノズルプレート２１のノズル孔２０から吐出され、残りのインクは、インク溝２を通過して、第１のヘッド構成部１１ａの第１の共通インク溝５ａに流れ込み、第１の連通穴７ａから排出され、図示しないインクタンクへと回収され、常に、インクジェットヘッド２５内を循環する構成であってもなんら問題ない。
【００９２】
次に、上記構成のインクジェット装置５０の作用を説明する。
【００９３】
インクジェットヘッド２５は、長期使用において、ノズルプレート２１にインク液滴や塵埃、及び含有微粒子などが堆積することがあり、そのような場合には、ノズルプレート２１のクリーニング動作が行われることが一般的である。クリーニング動作とは、キャップによりインクジェットヘッド２５内のインクや気泡を吸引するキャップ吸引動作と、ワイプブレード２２でノズルプレート２１を払拭するワイピング動作とが、含まれる。
【００９４】
ワイピング動作を説明すると、図２に示すように、ワイプブレード２２は、ブレードベース２３に支持され、弾性体で構成されている。ワイプブレード２２は、様々なインクに対しての耐薬品性を満足させるため、フッ素系の弾性ゴムを用いる場合が多い。
【００９５】
ノズルプレート２１に対して、ワイプブレード２２を押し付けて、ノズルプレート２１上を払拭するために、ワイプブレード２２の構成としては、通常、数ｍｍ程度の突き出し量で１ｍｍ程度の厚さを有するフッ素系の弾性ゴムプレートを、ノズル孔２０の配列方向である長手方向の長さ以上としている。ノズルプレート２１上を払拭する際にワイプブレード２２が撓むように配置させることで、ワイプブレード２２は、ワイプ時にノズルプレート２１に対して押圧力を付与し、常にワイプブレード２２の先端エッジをノズルプレート２１に対して線接触した状態で払拭している。
【００９６】
このように、ノズルプレート２１の長辺方向（Ｙ方向）の幅は、ワイプブレード２２の幅より狭くし、ワイプブレード２２の先端エッジを、ノズルプレート２１に当接させてワイプを行うことにより、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことが可能である。
【００９７】
これは、接着したノズルプレート２１のヘッド本体部１の長辺方向の断面形状が、ヘッド本体部１の長辺方向幅以下にノズルプレート２１が接着されている状態で平坦であり、ワイプブレード２２が当接しない領域がないためである。
【００９８】
ワイプ方向は、ノズル孔２０の配列方向と交差する方向に行うため、ワイプブレード２２は、ヘッド本体部１の短辺方向（Ｘ方向）の断面形状である凸状に変形した形状を、トレースする。
【００９９】
接着したノズルプレート２１の短辺方向（Ｘ方向）の断面形状において、ヘッド本体部１に対向する部分が、一番突出するように配置されている。ヘッド本体部１より１段低い位置にヘッド本体部１に相対するように、第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂが配置され、ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂに跨るようにノズルプレート２１が接着されている。
【０１００】
したがって、ノズルプレート２１の短辺方向の断面形状は、凸状に変形した形状となる。ワイプブレード２２は、ノズルプレート２１のノズル孔２０の配列方向と交差する方向（すなわち、ヘッド本体部１の短辺方向）にワイプを行い、ノズルプレート２１の短辺方向の断面形状である凸状に変形した形状をトレースするため、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができる。
【０１０１】
また、ノズルプレート２１の短辺方向にワイプを行うため、ワイプ時間を短縮することが可能である。通常、ワイプ動作は、１ｍｍ/ｓｅｃ以下のワイプスピードでノズル面（一面２１ａ）を払拭する。
【０１０２】
ノズルプレート２１の短辺方向（Ｘ方向）は、数秒でワイプを完了することができるが、ノズルプレート２１の長辺方向（Ｙ方向）であれば、１分以上のワイプ時間を要する場合があり、特に、生産装置等に使用する場合、生産タクトを圧迫する恐れがある。
【０１０３】
また、ノズルプレート２１の長辺方向にワイプを行った場合、ワイプブレード２２に付着した固着インク等を、複数のノズル孔２０に掻き入れる恐れがあり、ワイプブレード２２のワイプ方向は、ノズル孔２０の配列方向と交差する方向が望ましい。
【０１０４】
また、ワイプブレード２２がノズルプレート２１を払拭する際のどのタイミングにおいても、ワイプブレード２２とノズルプレート２１とが当接しない領域が存在せず、ワイプブレード２２は、ノズルプレート２１の全域に接触しながら、払拭する。このため、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができて、新たに吐出されたインク液滴は、固着したインク等に接触することなく、着弾精度を劣化させる要因にならない。
【０１０５】
ノズルプレート２１の短辺方向の断面形状は、ヘッド本体部１が一番突出するように配置され、ヘッド本体部１より１段低い位置にヘッド本体部１に対向するように第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂが配置され、ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂとに跨るように、ノズルプレート２１を接着することにより、ノズル吸引や吐出時の跳ね返りインクが付着した場合においても、ノズル孔２０の付近の当接圧が最大となるようにワイプブレードが変形し、固着したインクを掻き落とすことができ、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができる。
【０１０６】
次に、上記構成のインクジェット装置５０の製造方法について説明する。
【０１０７】
まず、図１と図２に示すように、ヘッド本体部１の一方向（Ｘ方向）側に、第１、第２のヘッド構成部１１ａ，１１ｂを取り付け、ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ，１１ｂとに跨ってノズルプレート２１を取り付けて、インクジェットヘッド２５を組み立てる。
【０１０８】
その後、ワイプブレード２２がインクジェットヘッド２５に対して一方向（Ｘ方向）に相対的に移動してノズルプレート２１の一面２１ａを払拭するように、インクジェットヘッド２５を配置する。
【０１０９】
次に、上記インクジェットヘッド２５の製造方法について説明する。
【０１１０】
まず、図６Ａに示すように、圧電基板１ａに対して、ダイシングブレード３０を、矢印方向に、移動して、複数のインク溝２を形成する。
【０１１１】
なお、圧電基板１ａは、例えば、外寸は６０×４ｍｍ、厚さが３ｍｍであり、分極方向の異なる０．１４ｍｍと２．７６ｍｍの２枚の圧電基板を貼り合わせることにより、形成されている。
【０１１２】
インク溝２は、深さが２６０μｍ、幅が８０μｍであり、隣接するインク溝２の間のピッチは、１６９μｍである。これにより、１５０ＤＰＩのノズル密度が、得られる。
【０１１３】
なお、説明しやすくするため、１つの圧電基板１ａについて溝加工を行ったが、実際は、ウエハ状圧電基板の状態で、溝加工され、ウエハ状圧電基板に複数の圧電基板１ａがレイアウトされた状態で、溝加工を行う。
【０１１４】
各圧電基板１ａは、ウエハ状圧電基板から、ダイシングマシンを利用して分割することにより得られる。したがって、ウエハ状圧電基板１枚当たりからの圧電基板１ａの取れ数は、各圧電基板１ａのサイズが大きくなるほど少なくなるので、ヘッド本体部１のコストが高くなる。
【０１１５】
しかし、共通インク溝５ａ，５ｂを圧電基板１ａ内に形成しておらず、ヘッド本体部１のサイズを小さくすることができ、ウエハ状圧電基板１枚当たりからの圧電基板１ａ（ヘッド本体部１）の取れ数を増やすことができる。その結果、インクジェットヘッド２５のコストダウンを図ることができる。例えば、ヘッド本体部１の取れ数は、１６チップ／ウエハである。
【０１１６】
次に、図６Ｂに示すように、圧電基板１ａの各インク溝２の内壁面に、蒸着、スパッタやメッキ法などを利用して、電極４を形成する。なお、電極４の形成時には、インク溝２の内壁面以外のヘッド本体部１の表面や側面にも、電極４が形成される。この状態では、隣接するインク溝２が短絡した状態となるため、電極４を形成した後、ダイシングマシンを利用して、圧電基板１ａの表面を厚さ２０μｍだけ研削加工し、圧電基板１ａの表面に形成された不要な電極４を除去する。
【０１１７】
この結果、圧電基板１ａの厚さは、３ｍｍから２．９８ｍｍ、また、インク溝２の深さは、２６０μｍから２４０μｍとなり、各インク溝２の内壁面とヘッド本体部１の側面とに、電極４が形成された状態となる。なお、研削加工により圧電基板１ａの裏面と表面との平行度のずれは、最大でも１μｍ以内に整えられる。
【０１１８】
その後、ヘッド本体部１の側面に対して、外部接続用端子部８を形成する。つまり、電極４の形成時には、ヘッド本体部１の側面にも電極４が形成されて、隣接するインク溝２が短絡した状態となるため、ダイシングマシンを利用してヘッド本体部１の側面を、厚さ５０μｍ程度のダイシングブレードで、５０μｍ程度の深さだけ溝加工し、ヘッド本体部１の側面に形成された電極を、インク溝２毎に分離する。
【０１１９】
他方のヘッド本体部１の側面は、ダイシングマシンを利用して不要な電極４を除去することで、隣接するインク溝２の絶縁を確保し、外部接続用端子部８を形成する。
【０１２０】
その後、図５に示すように、外部接続用端子部８に、外部基板としての配線基板１０を、図示しないＡＣＦ（異方性導電フィルム）を介して、接続する。
【０１２１】
これにより、ヘッド本体部１の各インク溝２に、画像データに基づいた電圧を印加することが可能となり、外部から駆動させることが可能となる。
【０１２２】
なお、外部基板との接続方法としては、ＡＣＦ（異方性導電フィルム）を用いた接続方法以外にも、外部基板のリードをヘッド本体部１の外部接続端子８に直接接続する方法や、外部基板のリードをヘッド本体部１の外部接続端子８にワイヤーボンディングする方法などがある。
【０１２３】
その後、各インク溝２の内壁面に形成された電極４を保護するために、（図示しない）電極保護膜を、約１０μｍの厚さで形成する。この電極保護膜は、その形成時に圧電基板１ａの表面および配線基板１０のあらゆる部分に付着するため、付着させる必要のない配線基板１０には、電極保護膜の形成に先だって予めマスキングテープ等でマスクし、付着防止を図る。
【０１２４】
そして、ヘッド本体部１に第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂを接着する。第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂは、アルミ、ステンレス、セラミクス、またはインクに対して耐性を有する樹脂材料等により、構成されている。
【０１２５】
第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂは、ヘッド本体部１を介して相対するように配置されており、ヘッド本体部１と同等の長さを有しており、この実施形態では、６０ｍｍとしている。
【０１２６】
また、第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂには、この一部分に、幅が１ｍｍ、深さが１ｍｍ程度で、長さが、インク溝２をカバーする長さ以上（例えば５０ｍｍ）の段差を設け、第１、第２の共通インク溝５ａ、５ｂを形成している。
【０１２７】
第１、第２の共通インク溝５ａ、５ｂと第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂの裏面とを、φ２ｍｍの第１、第２の連通穴７ａ、７ｂで貫通させている。第１、第２の共通インク溝５ａ、５ｂの何れか一方を、インクの供給側または排出側としている。
【０１２８】
このように、第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂを、ヘッド本体部１に対してインクの供給や排出を行う流路を形成するマニホールドとして、兼用することにより、インクジェットヘッド２５の部品数の低減となり、コストダウンに貢献する。
【０１２９】
なお、第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂは、一例であり、第１、第２の共通インク溝５ａ，５ｂの形状は、インクジェットヘッド２５内のインク循環性を考慮して、使用者が適宜選択すればよい。
【０１３０】
ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂとの接着においては、第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂは、図４に示すように、ヘッド本体部１の隔壁３とほぼ面一、またはヘッド本体部１が５０μｍ以下程度突出しているように位置調整を行い、ヘッド本体部１の両側面に接着された構成になっている。
【０１３１】
第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂは、ヘッド本体部１の側面に接着された状態で、第１、第２の共通インク溝５ａ、５ｂと配線基板１０とが完全に分離されるような構成であり、配線基板１０のＡＣＦのインクによる膨潤、電極間ショート等の問題を排除している。
【０１３２】
ここで、上記ノズルプレート２１の製造方法について説明する。
【０１３３】
まず、図７Ａに示すように、基材フィルム２６のインク吐出面側に撥水膜２７を成膜し、この撥水膜２７上に保護テープ２８を貼り付ける。
【０１３４】
基材フィルム２６は、ポリイミドフィルム、あるいは、ポリエーテルサルフォンなどの紫外線エネルギーを吸収する高分子材料からなる。撥水膜２７は、インクに対して撥水効果を有する。保護テープ２８は、撥水膜を保護する。
【０１３５】
その後、図７Ｂに示すように、ノズル孔に対応する位置に開口３０を有するノズル孔形成用マスク２９を用い、パルス制御されたエキシマレーザを照射する。
【０１３６】
この際、エキシマレーザが、基材フィルム２６および撥水膜２７を透過し、保護テープ２８の一部に達するまで照射される。これにより、基材フィルム２６を構成する高分子の分子結合が切断され、分子あるいは原子状態に分解して蒸発するというアブレーション加工によって、ノズル孔形成用マスク２９の開口３０に対応した位置に、基材フィルム２６および撥水膜２７を貫通するノズル孔２０が形成される。
【０１３７】
そして、図７Ｃに示すように、保護テープ２８を剥がした後、保護テープ粘着剤および加工時の残渣などを除去するため適宜洗浄を行って、ノズルプレート２１が作製される。
【０１３８】
エキシマレーザは、発振波長が２００ｎｍ近辺の紫外光であり、熱を発生させることなく、加工材料を蒸発によって切除するというアブレーション作用による加工を行うことができる。このため、エッジのダレのないノズル孔２０を、きれいな円形に加工することができる。
【０１３９】
エキシマレーザ加工は、加工精度に優れ、また比較的簡便にノズル孔２０を形成することができるため、ノズル孔の加工には、好適な加工方法である。そして、ノズルプレート２１の基材として、紫外線エネルギー領域の波長を吸収する高分子材料を用いているため、ノズル孔の加工に好適なエキシマレーザの加工精度を劣化させることなく、ノズル孔径、形状のそろったノズル孔をより安定的に加工することができる。
【０１４０】
その後、図３に示すように、ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂとに跨るように、ノズルプレート２１を接着して、インクジェットヘッド２５を作製する。
【０１４１】
上記構成のインクジェット装置によれば、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａにおける上記他方向（Ｙ方向）の形状は、段差のない平坦な形状であるので、上記ワイプブレード２２は、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａの上記他方向の全体に接触できて、上記ワイプブレード２２は、常に、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａに接触した状態を保ちながら、払拭できる。
【０１４２】
このように、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａにインク液滴を残すことなく払拭できて、上記ノズルプレート２１の上記ノズル孔２０から新たに吐出されたインク液滴は、固着したインク等に接触することなく、高精度な着弾精度を維持することが可能である。
【０１４３】
したがって、ノズルプレート２１におけるワイプブレード２２の当接しない領域をなくし、良好なワイプクリーニング性能を維持することにより、長期的に初期の吐出性能を維持可能にして、信頼性および耐久性を高くできる。
【０１４４】
また、上記ヘッド本体部１の上記一方向（Ｘ方向）側に、ヘッド構成部１１ａ，１１ｂが取り付けられ、上記ノズルプレート２１は、上記ヘッド本体部１と上記ヘッド構成部１１ａ，１１ｂとに跨って取り付けられているので、上記ノズルプレート２１は、上記ヘッド本体部１と上記ヘッド構成部１１ａ，１１ｂとの段差を覆うことができる。そして、上記一方向における上記ワイプブレード２２の上記一面２１ａの形状を、上記ワイプブレード２２が追従可能ななだらかな形状とすることで、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａのインク液滴を一層確実に払拭できる。
【０１４５】
また、上記ヘッド本体部１の上記ノズルプレート２１側の一面は、上記ヘッド構成部１１ａ，１１ｂの上記ノズルプレート２１側の一面よりも、上記ノズルプレート２１側に突出しているので、上記一方向における上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａの形状は、凸形状となる。
【０１４６】
したがって、上記ワイプブレード２２の上記ノズルプレート２１に対する接触圧力は、上記ノズル孔２０付近で、最大となるので、上記ノズル孔２０付近の固着したインク等を確実に掻き落とすことができる。
【０１４７】
また、上記ヘッド構成部１１ａ，１１ｂは、上記ノズルプレート２１を取り付ける以外に、上記マニホールドを兼ねているので、部品点数の低減となり、コストダウンを図ることができる。
【０１４８】
また、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａの上記他方向の幅は、上記ヘッド本体部１の上記他方向の幅以下であるので、上記他方向において、上記ノズルプレート２１は、上記ヘッド本体部１以外の他の部材に取り付けられない。
【０１４９】
したがって、上記他方向において、上記ノズルプレート２１は、上記ヘッド本体部１と上記他の部材との段差の影響を受けず、上記他方向において上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａを平坦な形状にできて、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａのインク液滴を一層確実に払拭できる。
【０１５０】
また、上記ヘッド本体部１は、上記圧電基板を含むので、このヘッド本体部１は、圧電材料のシェアモード変形を利用したインクジェット方式である。この方式は、圧電材料からなる隔壁３に形成した電極４を用いて、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を生じさせることで、シェアモードで隔壁３を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利用して、インク滴を吐出するものであり、ノズルの高密度化、低消費電力化、高駆動周波数化に適している。
【０１５１】
また、ウエハ状圧電基板に複数のヘッド本体部１がレイアウトされた状態で溝加工を行って、圧電基板に複数のインク溝２を形成することが可能であり、さらには、共通インク溝２を圧電基板内に形成しておらず、ヘッド本体部１のサイズを小さくすることができ、ウエハ状圧電基板１枚当たりからのヘッド本体部１の取れ数を増やすことができる。その結果、インクジェットヘッドのコストダウンを図ることができる。
【０１５２】
また、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａにおける上記一方向は、上記ノズル孔２０の配列方向に、交差するので、上記ワイプブレード２２は、上記ノズル孔２０の配列方向に沿った方向に、相対的に移動しない。
【０１５３】
したがって、ワイプ時間を短縮できる。例えば、通常ワイプ動作は、１ｍｍ/ｓｅｃ以下のワイプスピードでノズルプレート２１を払拭する。そして、上記ノズル孔２０の配列方向と直交する方向に沿って、上記ワイプブレード２２を相対的に移動すると、数秒でワイプを完了できる。これに対して、上記ノズル孔２０の配列方向に沿って、上記ワイプブレード２２を相対的に移動すると、１分以上のワイプ時間を要する場合があり、特に生産装置等に使用する場合、生産タクトを圧迫する恐れがある。
【０１５４】
また、上記ワイプブレード２２に付着した固着インク等をノズル孔２０に掻き入れる恐れがない。これに対して、上記ノズル孔２０の配列方向に沿って、上記ワイプブレード２２を相対的に移動すると、上記ワイプブレード２２に付着した固着インク等をノズル孔２０に掻き入れる恐れがある。
【０１５５】
また、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａの上記他方向の幅は、上記ワイプブレード２２の上記他方向の幅よりも、小さいので、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａの幅方向の全体を、一層確実に払拭できる。
【０１５６】
また、上記ノズルプレート２１は、高分子材料からなるので、発振波長が２００ｎｍ近辺の紫外光を用いるエキシマレーザ加工にて、ノズル孔２０を形成できて、加工精度に優れ、比較的簡便にノズル孔２０を形成することができる。
【０１５７】
また、上記ノズルプレート２１の厚みは、１００μｍ以下であるので、上記ヘッド本体部１と上記ヘッド構成部１１ａ，１１ｂとの５０μｍ程度の段差や、上記ヘッド本体部１自体の５０μｍ程度の段差に対して、上記ノズルプレート２１が追従して変形できる。
【０１５８】
上記構成のインクジェット装置の製造方法によれば、ヘッド本体部１の一方向側にヘッド構成部１１ａ，１１ｂを取り付け、ワイプブレード２２が上記一方向に相対的に移動するように、インクジェットヘッドを配置するので、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａの上記一方向の形状は、段差のある形状である一方、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａにおける上記一方向に直交する他方向の形状は、段差のない平坦な形状である。
【０１５９】
そして、上記ワイプブレード２２は、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａの上記他方向の全体に接触できて、上記ワイプブレード２２は、常に、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａに接触した状態を保ちながら、払拭できる。
【０１６０】
このように、上記ノズルプレート２１の上記一面２１ａにインク液滴を残すことなく払拭できて、上記ノズルプレート２１の上記ノズル孔２０から新たに吐出されたインク液滴は、固着したインク等に接触することなく、高精度な着弾精度を維持することが可能である。
【０１６１】
したがって、ノズルプレート２１におけるワイプブレード２２の当接しない領域をなくし、良好なワイプクリーニング性能を維持することにより、長期的に初期の吐出性能を維持可能にして、信頼性および耐久性を高くできる。
【０１６２】
（第２の実施形態）
図８Ａは、この発明のインクジェット装置の第２の実施形態を示している。上記第１の実施形態（図１）と相違する点を説明すると、この第２の実施形態では、ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂとの相対的な位置が相違する。なお、その他の構造は、上記第１の実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
【０１６３】
図８Ａに示すように、このインクジェットヘッド２２５では、第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂよりもヘッド本体部１がノズルプレート２１側に対して凹んでいる。ノズルプレート２１は、ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂとに跨るように、接着されている。
【０１６４】
ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂとの段差を覆うようにノズルプレート２１が接着されているため、ワイプブレード２２の払拭方向（Ｘ方向）のノズルプレート２１は、ワイプブレード２２が追従可能ななだらか形状変化を伴っている。
【０１６５】
ワイプブレード２２の払拭方向に対して直交方向のノズルプレート２１には、段差がない。
【０１６６】
したがって、ノズルプレート２１に対してワイプブレード２２が相対移動し、ノズルプレート２１の表面を払拭する場合、図１と同様に、ワイプブレード２２が撓むように配置させることで、ワイプ時にノズルプレート２１に対して当接圧力を付与し、常に、ワイプブレード２２の先端エッジを、ノズルプレート２１に対して線接触した状態で払拭することが可能で、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができる。
【０１６７】
（第３の実施形態）
図８Ｂは、この発明のインクジェット装置の第３の実施形態を示している。上記第１の実施形態（図１）と相違する点を説明すると、この第３の実施形態では、ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂとの相対的な位置が相違する。なお、その他の構造は、上記第１の実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
【０１６８】
図８Ｂに示すように、このインクジェットヘッド３２５では、第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂの段差の中間にヘッド本体部１が配置されている。ノズルプレート２１は、ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂとに跨るように、接着されている。
【０１６９】
ヘッド本体部１と第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂとの段差を覆うようにノズルプレート２１が接着されているため、ワイプブレード２２の払拭方向（Ｘ方向）のノズルプレート２１は、ワイプブレード２２が追従可能ななだらか形状変化を伴っている。
【０１７０】
ワイプブレード２２の払拭方向に対して直交方向のノズルプレート２１には、段差がない。
【０１７１】
したがって、ノズルプレート２１に対してワイプブレード２２が相対移動し、ノズルプレート２１の表面を払拭する場合、図１と同様に、ワイプブレード２２が撓むように配置させることで、ワイプ時にノズルプレート２１に対して当接圧力を付与し、常に、ワイプブレード２２の先端エッジを、ノズルプレート２１に対して線接触した状態で払拭することが可能で、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができる。
【０１７２】
（第４の実施形態）
図９Ａは、この発明のインクジェット装置の第４の実施形態を示している。上記第１の実施形態（図１）と相違する点を説明すると、この第４の実施形態では、ヘッド本体部２０１の構成が相違する。なお、その他の構造は、上記第１の実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
【０１７３】
図９Ａに示すように、このインクジェットヘッド４２５のヘッド本体部２０１は、ワイプブレード２２の払拭方向（Ｘ方向）において段差を有する。ノズルプレート２１は、ヘッド本体部２０１の段差を覆うように、接着されている。このインクジェットヘッド４２５では、図１の第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂがない。
【０１７４】
ヘッド本体部２０１の段差を覆うようにノズルプレート２１が接着されているため、ワイプブレード２２の払拭方向（Ｘ方向）のノズルプレート２１は、ワイプブレード２２が追従可能ななだらか形状変化を伴っている。
【０１７５】
ワイプブレード２２の払拭方向に対して直交方向のノズルプレート２１には、段差がない。
【０１７６】
したがって、ノズルプレート２１に対してワイプブレード２２が相対移動し、ノズルプレート２１の表面を払拭する場合、図１と同様に、ワイプブレード２２が撓むように配置させることで、ワイプ時にノズルプレート２１に対して当接圧力を付与し、常に、ワイプブレード２２の先端エッジを、ノズルプレート２１に対して線接触した状態で払拭することが可能で、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができる。
【０１７７】
（第５の実施形態）
図９Ｂは、この発明のインクジェット装置の第５の実施形態を示している。上記第１の実施形態（図１）と相違する点を説明すると、この第５の実施形態では、ヘッド本体部２０１の構成が相違する。なお、その他の構造は、上記第１の実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
【０１７８】
図９Ｂに示すように、このインクジェットヘッド５２５のヘッド本体部２０１は、ワイプブレード２２の払拭方向（Ｘ方向）において段差を有する。このインクジェットヘッド５２５では、図１の第１のヘッド構成部１１ａがない。
【０１７９】
ノズルプレート２１は、ヘッド本体部２０１の段差を覆うように、接着されている。また、ノズルプレート２１は、ヘッド本体部１と第２のヘッド構成部１１ｂとに跨るように、接着されている。
【０１８０】
ヘッド本体部２０１の段差、および、ヘッド本体部２０１と第２のヘッド構成部１１ｂとの段差を覆うように、ノズルプレート２１が接着されているため、ワイプブレード２２の払拭方向（Ｘ方向）のノズルプレート２１は、ワイプブレード２２が追従可能ななだらか形状変化を伴っている。
【０１８１】
ワイプブレード２２の払拭方向に対して直交方向のノズルプレート２１には、段差がない。
【０１８２】
したがって、ノズルプレート２１に対してワイプブレード２２が相対移動し、ノズルプレート２１の表面を払拭する場合、図１と同様に、ワイプブレード２２が撓むように配置させることで、ワイプ時にノズルプレート２１に対して当接圧力を付与し、常に、ワイプブレード２２の先端エッジを、ノズルプレート２１に対して線接触した状態で払拭することが可能で、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができる。
【０１８３】
（第６の実施形態）
図１０と図１１は、この発明のインクジェット装置の第６の実施形態を示している。図１０は、インクジェットヘッド６２５の斜視図を示し、図１１は、図１０のノズルプレート２１の接着前の状態を示す斜視図である。なお、上記第１実施形態（図４）と同一の役割を果たす部分には、同一番号を付して、説明を省略する。
【０１８４】
このインクジェットヘッド６２５は、ヘッド本体部１に接着される第３のヘッド構成部９を有する。この第３のヘッド構成部９は、開口部５を有する。この開口部５は、ヘッド本体部１の各インク溝２にインクを供給する共通インク溝の役割を果たす。
【０１８５】
第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂは、ヘッド本体部１および第３のヘッド構成部９を挟むように、取り付けられている。ノズルプレート２１は、ヘッド本体部１と第１、第２、第３のヘッド構成部９、１１ａ、１１ｂとに跨るように、接着される。
【０１８６】
接着したノズルプレート２１のヘッド本体部１の短辺方向（Ｘ方向）の断面形状は、ヘッド本体部１が一番突出したように配置され、ヘッド本体部１より１段低い位置に第１、第２のヘッド構成部１１ａ、１１ｂが、配置されている。したがって、ノズルプレート２１の短辺方向の断面形状は、凸状に変形した形状となる。
【０１８７】
接着したノズルプレート２１のヘッド本体部１の長辺方向（Ｙ方向）の断面形状は、平坦である。したがって、ワイプブレード２２がノズルプレート２１を払拭する際のどのタイミングにおいても、ワイプブレード２２とノズルプレート２１が当接しない領域が存在せず、ワイプブレード２２が、ノズルプレート２１の全域に接触しながら、払拭する。このため、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができ、新たに吐出されたインク液滴は、固着したインク等に接触することなく、着弾精度を劣化させる要因にならない。
【０１８８】
なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、ノズルプレート２１の一面２１ａにおける一方向（Ｘ方向）の形状は、段差のない平坦な形状であってもよい。したがって、ノズルプレート２１の一面２１ａのインク液滴を一層確実に払拭できる。
【０１８９】
また、インクジェットヘッドの構造は、圧電材料のシェアモード変形を利用したインクジェット方式に限定されず、積層型のインクジェットヘッドやサーマルインクジェットに分類されるインクジェットヘッドであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１９０】
【図１】本発明のインクジェット装置の第１実施形態を示す側面図である。
【図２】インクジェット装置の斜視図である。
【図３】インクジェットヘッドの斜視図である。
【図４】図３のノズルプレートの接着前の状態を示す斜視図である。
【図５】図４のヘッド本体部とヘッド構成部とを分離した状態を示す斜視図である。
【図６Ａ】ヘッド本体部の製造方法の第１工程を示す斜視図である。
【図６Ｂ】ヘッド本体部の製造方法の第２工程を示す斜視図である。
【図７Ａ】ノズルプレートの製造方法の第１工程を示す断面図である。
【図７Ｂ】ノズルプレートの製造方法の第２工程を示す断面図である。
【図７Ｃ】ノズルプレートの製造方法の第３工程を示す断面図である。
【図８Ａ】本発明のインクジェット装置の第２実施形態を示す側面図である。
【図８Ｂ】本発明のインクジェット装置の第３実施形態を示す側面図である。
【図９Ａ】本発明のインクジェット装置の第４実施形態を示す側面図である。
【図９Ｂ】本発明のインクジェット装置の第５実施形態を示す側面図である。
【図１０】本発明のインクジェット装置の第６実施形態を示す斜視図である。
【図１１】図１０のノズルプレートの接着前の状態を示す斜視図である。
【図１２】従来のインクジェットヘッドの斜視図である。
【図１３】従来のインクジェットヘッドをワイプブレードで払拭するワイピング動作を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１９１】
１、２０１  ヘッド本体部
１ａ  圧電基板
２  インク溝
３  隔壁
４  電極
５  開口部
５ａ  第１の共通インク溝
５ｂ  第２の共通インク溝
７ａ  第１の連通穴
７ｂ  第２の連通穴
８    外部接続用端子部
９  第３のヘッド構成部
１０  配線基板
１１ａ  第１のヘッド構成部
１１ｂ  第２のヘッド構成部
２０  ノズル孔
２１  ノズルプレート
２１ａ  一面
２２  ワイプブレード
２３  ブレードベース
２５、２２５、３２５、４２５、５２５、６２５  インクジェットヘッド
３０  ダイシングブレード
５０  インクジェット装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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