(57)【要約】【課題】透明な基板上に不透明な膜を成膜させた被検体に生じた突起がどの段階で生じた異常によるものかを特定する。【解決手段】第１カメラ１２により、被検体５０の成膜表面に生じる突起５２の有無をその成膜表面側から検査する。第１工程で突起５２が検出された場合に、その突起５２の位置において、第２カメラ１６により、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部を観察する。突起５２が検出された場合において、前記界面部に異常が検出されたときに突起５２の原因が透明な基板５４上に生じた異常にあると判定でき、その異常が成膜前に生じたと判断できる。突起５２が検出された場合において、前記界面部に異常が検出されなかったときに突起５２の原因が不透明な膜５６の膜内に生じた異常にあると判定でき、その異常が成膜中に生じたと判断できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な基板上に１層以上の不透明な膜が成膜された被検体を観察する観察方法において、
前記被検体の成膜表面に生じる突起の有無をその成膜表面側から検査する第１工程と、
前記第１工程で前記突起が検出された場合に、該突起の位置において、前記成膜表面とは反対の反対面側から前記透明な基板と前記不透明な膜との界面部を観察する第２工程と、
を備えたことを特徴とする観察方法。
【請求項２】
前記第１工程で前記突起が検出された場合において前記第２工程で前記界面部に異常が検出されたときに前記突起の原因が基板上に生じた異常にあると判定し、
前記第１工程で前記突起が検出された場合において前記第２工程で前記界面部に異常が検出されなかったときに前記突起の原因が前記不透明な膜の膜内に生じた異常にあると判定する第３工程と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の観察方法。
【請求項３】
透明な基板上に１層以上の不透明な膜が成膜される被検体を観察する観察方法において、
成膜前の前記被検体の表面に生じる凸部の有無を検査する第１工程と
成膜がなされた被検体の成膜表面に生じる突起の有無を成膜表面側から検査する第２工程と、
前記第２工程で前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記第１工程で検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記第２工程で前記突起が検出された場合において前記第１工程で前記凸部が検出されなかったときに、該突起の位置において、前記成膜表面とは反対の反対面側から前記透明な基板と前記不透明な膜との界面部を観察する第３工程と、
を備えたことを特徴とする観察方法。
【請求項４】
前記第２工程で前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記第１工程で検出された凸部の位置が一致するときに、前記突起の原因が前記第１工程における検査前に基板上に生じた凸部にあると判定し、
前記第２工程で前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記第１工程で検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記第２工程で前記突起が検出された場合において前記第１工程で前記凸部が検出されなかったときに、前記第３工程で前記界面部に異常が検出された場合に前記突起の原因が前記第１工程における検査後に基板上に生じた異常にあると判定し、
前記第２工程で前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記第１工程で検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記第２工程で前記突起が検出された場合において前記第１工程で前記凸部が検出されなかったときに、前記第３工程で前記界面部に異常が検出されなかった場合に前記突起の原因が前記不透明な膜の膜内に生じた異常であると判定する第４工程と、
を備えたことを特徴とする請求項３に記載の観察方法。
【請求項５】
透明な基板上に１層以上の不透明な膜が成膜された被検体を観察する観察装置において、
前記被検体の成膜表面に生じる突起の有無をその成膜表面側から検査する検査手段と、
前記検査手段により突起が検出された場合に、該突起の位置において、前記成膜表面とは反対の反対面側から前記透明な基板と前記不透明な膜との界面部を観察する観察手段と、
を備えたことを特徴とする観察装置。
【請求項６】
前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記観察手段により前記界面部に異常が検出されたときに前記突起の原因が基板上に生じた異常にあると判定し、
前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記観察手段により前記界面部に異常が検出されなかったときに前記突起の原因が前記不透明な膜の膜内に生じた異常にあると判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする請求項５に記載の観察装置。
【請求項７】
透明な基板上に１層以上の不透明な膜が成膜される被検体を観察する観察装置において、
成膜前の前記被検体の表面に生じる凸部の有無を検査する成膜前検査手段と
成膜がなされた被検体の成膜表面に生じる突起の有無を成膜表面側から検査する検査手段と、
前記検査手段により前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記成膜前検査手段により検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記成膜前検査手段により前記凸部が検出されなかったときに、該突起の位置において、前記成膜表面とは反対の反対面側から前記透明な基板と前記不透明な膜との界面部を観察する観察手段と、
を備えたことを特徴とする観察装置。
【請求項８】
前記検査手段により前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記成膜前検査手段により検出された凸部の位置が一致するときに、前記突起の原因が前記成膜前検査手段の検査前に基板上に生じた凸部にあると判定し、
前記検査手段により前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記成膜前検査手段により検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記成膜前検査手段により前記凸部が検出されなかったときに、前記観察手段により前記界面部に異常が検出された場合に前記突起の原因が前記成膜前検査手段の検査後に基板上に生じた異常にあると判定し、
前記検査手段により前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記成膜前検査手段により検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記成膜前検査手段により前記凸部が検出されなかったときに、前記観察手段により前記界面部に異常が検出されなかった場合に前記突起の原因が前記不透明な膜の膜内に生じた異常であると判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする請求項７に記載の観察装置。
【請求項９】
前記検査手段は、前記被検体が置かれるステージに対して垂直方向であって前記被検体の成膜表面の上方に配置された第１カメラで構成され、
前記観察手段は、前記被検体の前記基板の下方に、前記第１カメラと同軸上に配置された第２カメラで構成されたことを特徴とする請求項５〜８のいずれか１項に記載の観察装置。
【請求項１０】
前記検査手段により突起が検出された場合に、その突起に成膜表面側からマーキングが可能なマーキング手段を備えたことを特徴とする請求項５〜９のいずれか１項に記載の観察装置。
【請求項１１】
前記マーキング手段は、レーザーを用いてマーキングすることを特徴とする請求項１０に記載の観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体の欠陥の発見等に用いられる観察方法及びその観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検体の欠陥の発見等に用いられる観察方法としては、特許文献１に開示される観察方法が公知である。特許文献１の観察方法では、集積回路被検体の欠陥部分を突き止めるための裏面放出型顕微鏡検査を用いて、裏面観察を行う。
【特許文献１】特開２００３−１３３５７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１の観察方法は、透明な基板上に不透明な膜を成膜させた被検体を対象とする観察方法ではない。
【０００４】
また、透明な基板上に不透明な膜を成膜させた被検体に、欠陥たる表面突起が発見された場合に、該突起が基板上にもともと有った欠陥（ゴミ等）が原因であるときは、成膜前の基板検査を実施することで判る。
【０００５】
それに対して、基板上にもともと無かった欠陥については、成膜中に発生したのか、それとも、組み立て工程（基板搬送、マスクセット等)に原因があるかが不明であった。
【０００６】
被検体の欠陥低減させていくうえでは、被検体に生じた突起がどの段階で生じた異常によるものか突き止めることが重要となる。
【０００７】
本発明は、上記事実を考慮し、透明な基板上に不透明な膜を成膜させた被検体に生じた突起がどの段階で生じた異常によるものかを特定できる観察方法及び観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１に係る観察方法は、透明な基板上に１層以上の不透明な膜が成膜された被検体を観察する観察方法において、前記被検体の成膜表面に生じる突起の有無をその成膜表面側から検査する第１工程と、前記第１工程で前記突起が検出された場合に、該突起の位置において、前記成膜表面とは反対の反対面側から前記透明な基板と前記不透明な膜との界面部を観察する第２工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、第１工程において、被検体の成膜表面に生じる突起の有無をその成膜表面側から検査する。第２工程では、第１工程で突起が検出された場合に該突起の位置において、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板と不透明な膜との界面部を観察する。
【００１０】
この観察の結果、透明な基板と不透明な膜との界面部に異常が検出されたときは、基板上に生じた異常が突起の原因と判定でき、その異常が成膜前に生じたと判断できる。
【００１１】
また、この観察の結果、透明な基板と不透明な膜との界面部に異常が検出されなかったときには、不透明な膜の膜内に生じた異常が突起の原因と判定でき、その異常が成膜中に生じたと判断できる。
【００１２】
このように、請求項１に係る観察方法によれば、被検体に生じた突起が、どの段階で生じた異常によるものかを特定できる。
【００１３】
本発明の請求項２に係る観察方法は、請求項１の構成において、前記第１工程で前記突起が検出された場合において前記第２工程で前記界面部に異常が検出されたときに前記突起の原因が基板上に生じた異常にあると判定し、前記第１工程で前記突起が検出された場合において前記第２工程で前記界面部に異常が検出されなかったときに前記突起の原因が前記不透明な膜の膜内に生じた異常にあると判定する第３工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、第３工程で、第１工程で突起が検出された場合において第２工程で界面部に異常が検出されたときに突起の原因が基板上に生じた異常にあると判定し、第１工程で突起が検出された場合において第２工程で界面部に異常が検出されなかったときに突起の原因が不透明な膜の膜内に生じた異常にあると判定する。
【００１５】
第３工程で、突起の原因が基板上に生じた異常にあると判定された場合には、その異常が成膜前に生じたと判断できる。また、第３工程で、突起の原因が不透明な膜の膜内に生じた異常にあると判定された場合は、その異常が成膜中に生じたと判断できる。
【００１６】
このように、請求項２に係る観察方法によれば、被検体に生じた突起が、どの段階で生じた異常によるものかを特定できる。
【００１７】
本発明の請求項３に係る観察方法は、透明な基板上に１層以上の不透明な膜が成膜される被検体を観察する観察方法において、成膜前の前記被検体の表面に生じる凸部の有無を検査する第１工程と成膜がなされた被検体の成膜表面に生じる突起の有無を成膜表面側から検査する第２工程と、前記第２工程で前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記第１工程で検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記第２工程で前記突起が検出された場合において前記第１工程で前記凸部が検出されなかったときに、該突起の位置において、前記成膜表面とは反対の反対面側から前記透明な基板と前記不透明な膜との界面部を観察する第３工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、第１工程で、成膜前の被検体の表面に生じる凸部の有無を検査する。
第２工程では、成膜がなされた被検体の成膜表面に生じる突起の有無を成膜表面側から検査する。
【００１９】
第３工程では、第２工程で突起が検出された場合において該突起の位置と第１工程で検出された凸部の位置とが異なるとき及び第２工程で突起が検出された場合において第１工程で凸部が検出されなかったときに、該突起の位置において、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板と不透明な膜との界面部を観察する。
【００２０】
第２工程で突起が検出された場合において該突起の位置と第１工程で検出された凸部の位置が一致するときは、突起の原因が第１工程における検査前に基板上に生じた凸部にあると判定でき、その異常が第１工程における検査前に生じたと判断できる。
【００２１】
また、第３工程の観察の結果、透明な基板と不透明な膜との界面部に異常が検出されたときは、第１工程における検査後に基板上に生じた異常が突起の原因と判定でき、その異常が第１工程における検査後であって成膜前に生じたと判断できる。
【００２２】
さらに、第３工程の観察の結果、透明な基板と不透明な膜との界面部に異常が検出されなかったときには、不透明な膜の膜内に生じた異常が突起の原因と判定でき、その異常が成膜中に生じたと判断できる。
【００２３】
このように、請求項３に係る観察方法によれば、被検体に生じた突起が、どの段階で生じたか異常によるものかを特定できる。
【００２４】
本発明の請求項４に係る観察方法は、請求項３の構成において、前記第２工程で前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記第１工程で検出された凸部の位置が一致するときに、前記突起の原因が前記第１工程における検査前に基板上に生じた凸部にあると判定し、前記第２工程で前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記第１工程で検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記第２工程で前記突起が検出された場合において前記第１工程で前記凸部が検出されなかったときに、前記第３工程で前記界面部に異常が検出された場合に前記突起の原因が前記第１工程における検査後に基板上に生じた異常にあると判定し、前記第２工程で前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記第１工程で検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記第２工程で前記突起が検出された場合において前記第１工程で前記凸部が検出されなかったときに、前記第３工程で前記界面部に異常が検出されなかった場合に前記突起の原因が前記不透明な膜の膜内に生じた異常であると判定する第４工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、第４工程で、第２工程で突起が検出された場合において該突起の位置と第１工程で検出された凸部の位置が一致するときに、突起の原因が第１工程における検査前に基板上に生じた凸部にあると判定し、第２工程で突起が検出された場合において該突起の位置と第１工程で検出された凸部の位置とが異なるとき及び第２工程で突起が検出された場合において第１工程で凸部が検出されなかったときに、第３工程で界面部に異常が検出された場合に突起の原因が第１工程における検査後に基板上に生じた異常にあると判定し、第２工程で突起が検出された場合において該突起の位置と第１工程で検出された凸部の位置とが異なるとき及び第２工程で突起が検出された場合において第１工程で凸部が検出されなかったときに、第３工程で界面部に異常が検出されなかった場合に突起の原因が不透明な膜の膜内に生じた異常であると判定する。
【００２６】
第４工程で、突起の原因が第１工程における検査前に基板上に生じた凸部にあると判定された場合には、その異常が第１工程における検査前に生じた判断できる。
【００２７】
また、第４工程で、第１工程における検査後に基板上に生じた異常が突起の原因と判定された場合には、その異常が第１工程における検査後であって成膜前に生じたと判断できる。
【００２８】
さらに、第４工程で、不透明な膜の膜内に生じた異常が突起の原因と判定された場合は、その異常が成膜中に生じたと判断できる。
【００２９】
このように、請求項４に係る観察方法によれば、被検体に生じた突起が、どの段階で生じた異常によるものかを特定できる。
【００３０】
本発明の請求項５に係る観察装置は、透明な基板上に１層以上の不透明な膜が成膜された被検体を観察する観察装置において、前記被検体の成膜表面に生じる突起の有無をその成膜表面側から検査する検査手段と、前記検査手段により突起が検出された場合に、該突起の位置において、前記成膜表面とは反対の反対面側から前記透明な基板と前記不透明な膜との界面部を観察する観察手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３１】
この構成によれば、検査手段が、被検体の成膜表面に生じる突起の有無をその成膜表面側から検査する。検査手段により突起が検出された場合に、観察手段が、該突起の位置において、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板と不透明な膜との界面部を観察する。
【００３２】
この観察の結果、透明な基板と不透明な膜との界面部に異常が検出されたときは、基板上に生じた異常が突起の原因と判定でき、その異常が成膜前に生じたと判断できる。
【００３３】
また、この観察の結果、透明な基板と不透明な膜との界面部に異常が検出されなかったときには、不透明な膜の膜内に生じた異常が突起の原因と判定でき、その異常が成膜中に生じたと判断できる。
【００３４】
このように、請求項５に係る観察方法によれば、被検体に生じた突起が、どの段階で生じた異常によるものかを特定できる。
【００３５】
本発明の請求項６に係る観察装置は、請求項５の構成において、前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記観察手段により前記界面部に異常が検出されたときに前記突起の原因が基板上に生じた異常にあると判定し、前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記観察手段により前記界面部に異常が検出されなかったときに前記突起の原因が前記不透明な膜の膜内に生じた異常にあると判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３６】
この構成によれば、判定手段は、検査手段により突起が検出された場合において観察手段により界面部に異常が検出されたときに突起の原因が基板上に生じた異常にあると判定し、検査手段により突起が検出された場合において観察手段により界面部に異常が検出されなかったときに突起の原因が不透明な膜の膜内に生じた異常にあると判定する。
【００３７】
判定手段により突起の原因が基板上に生じた異常にあると判定された場合には、その異常が成膜前に生じたと判断できる。また、判定手段により突起の原因が不透明な膜の膜内に生じた異常にあると判定された場合は、その異常が成膜中に生じたと判断できる。
【００３８】
このように、請求項５に係る観察方法によれば、被検体に生じた突起が、どの段階で生じた異常によるものかを特定できる。
【００３９】
本発明の請求項７に係る観察装置は、透明な基板上に１層以上の不透明な膜が成膜される被検体を観察する観察装置において、成膜前の前記被検体の表面に生じる凸部の有無を検査する成膜前検査手段と成膜がなされた被検体の成膜表面に生じる突起の有無を成膜表面側から検査する検査手段と、前記検査手段により前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記成膜前検査手段により検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記成膜前検査手段により前記凸部が検出されなかったときに、該突起の位置において、前記成膜表面とは反対の反対面側から前記透明な基板と前記不透明な膜との界面部を観察する観察手段と、を備えたことを特徴とする。
【００４０】
この構成によれば、成膜前検査手段が、成膜前の被検体の表面に生じる凸部の有無を検査する。検査手段が、成膜がなされた被検体の成膜表面に生じる突起の有無を成膜表面側から検査する。
【００４１】
検査手段により突起が検出された場合において該突起の位置と成膜前検査手段により検出された凸部の位置とが異なるとき及び検査手段で突起が検出された場合において成膜前検査手段により凸部が検出されなかったときに、該突起の位置において、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板と不透明な膜との界面部を観察する。
【００４２】
検査手段により突起が検出された場合において該突起の位置と成膜前検査手段で検出された凸部の位置が一致するときは、突起の原因が成膜前検査手段の検査前に基板上に生じた凸部にあると判定でき、その異常が成膜前検査手段の検査前に生じたと判断できる。
【００４３】
また、観察手段の観察の結果、透明な基板と不透明な膜との界面部に異常が検出されたときは、成膜前検査手段の検査後に基板上に生じた異常が突起の原因と判定でき、その異常が成膜前検査手段の検査後であって成膜前に生じたと判断できる。
【００４４】
さらに、観察手段の観察の結果、透明な基板と不透明な膜との界面部に異常が検出されなかったときには、不透明な膜の膜内に生じた異常が突起の原因と判定でき、その異常が成膜中に生じたと判断できる。
【００４５】
このように、請求項７に係る観察方法によれば、被検体に生じた突起が、どの段階で生じたか異常によるものかを特定できる。
【００４６】
本発明の請求項８に係る観察装置は、請求項７の構成において、前記検査手段により前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記成膜前検査手段により検出された凸部の位置が一致するときに、前記突起の原因が前記成膜前検査手段の検査前に基板上に生じた凸部にあると判定し、前記検査手段により前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記成膜前検査手段により検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記成膜前検査手段により前記凸部が検出されなかったときに、前記観察手段により前記界面部に異常が検出された場合に前記突起の原因が前記成膜前検査手段の検査後に基板上に生じた異常にあると判定し、前記検査手段により前記突起が検出された場合において該突起の位置と前記成膜前検査手段により検出された凸部の位置とが異なるとき及び前記検査手段により前記突起が検出された場合において前記成膜前検査手段により前記凸部が検出されなかったときに、前記観察手段により前記界面部に異常が検出されなかった場合に前記突起の原因が前記不透明な膜の膜内に生じた異常であると判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
【００４７】
この構成によれば、判定手段は、検査手段により突起が検出された場合において該突起の位置と成膜前検査手段により検出された凸部の位置が一致するときに、突起の原因が成膜前検査手段の検査前に基板上に生じた凸部にあると判定し、検査手段により突起が検出された場合において該突起の位置と成膜前検査手段により検出された凸部の位置とが異なるとき及び検査手段により突起が検出された場合において成膜前検査手段により凸部が検出されなかったときに、観察手段により界面部に異常が検出された場合に突起の原因が成膜前検査手段の検査後に基板上に生じた異常にあると判定し、検査手段により突起が検出された場合において該突起の位置と成膜前検査手段により検出された凸部の位置とが異なるとき及び検査手段により突起が検出された場合において成膜前検査手段により凸部が検出されなかったときに、観察手段により界面部に異常が検出されなかった場合に突起の原因が不透明な膜の膜内に生じた異常であると判定する。
【００４８】
判定手段により突起の原因が第１工程における検査前に基板上に生じた凸部にあると判定された場合には、その異常が第１工程における検査前に生じた判断できる。
【００４９】
また、判定手段により第１工程における検査後に基板上に生じた異常が突起の原因と判定された場合には、その異常が第１工程における検査後であって成膜前に生じたと判断できる。
【００５０】
さらに、判定手段により不透明な膜の膜内に生じた異常が突起の原因と判定された場合は、その異常が成膜中に生じたと判断できる。
【００５１】
このように、請求項８に係る観察方法によれば、被検体に生じた突起が、どの段階で生じた異常によるものかを特定できる。
【００５２】
本発明の請求項９に係る観察装置は、請求項５〜８のいずれか１項の構成において、前記検査手段は、前記被検体が置かれるステージに対して垂直方向であって前記被検体の成膜表面の上方に配置された第１カメラで構成され、前記観察手段は、前記被検体の前記基板の下方に、前記第１カメラと同軸上に配置された第２カメラで構成されたことを特徴とする。
【００５３】
この構成によれば、被検体の不透明な膜側に第１カメラが配置され、被検体の透明な基板側に第２カメラが配置されており、被検体を反転させることなく、被検体の観察ができる。
【００５４】
また、請求項９の構成によれば、第２カメラは、第１カメラの同軸上に配置されているので、第１カメラにより突起が検出された場合に、第２カメラを移動させることなく、第２カメラは突起のある位置に位置するので、観察の迅速化が図れる。
【００５５】
本発明の請求項１０に係る観察装置は、請求項５〜９のいずれか１項の構成において、前記検査手段により突起が検出された場合に、その突起に成膜表面側からマーキングが可能なマーキング手段を備えたことを特徴とする。
【００５６】
この構成によれば、突起がマーキングされるので突起の位置が明確になり、突起以外の被検体の欠陥を発見する際に役立つ。
【００５７】
本発明の請求項１１に係る観察装置は、請求項１０の構成において、前記マーキング手段は、レーザーを用いてマーキングすることを特徴とする。
【００５８】
この構成によれば、レーザーを用いてマーキングするので、簡易にマーキングができる。
【発明の効果】
【００５９】
本発明は、上記構成としたので、透明な基板上に不透明な膜を成膜させた被検体に生じた突起がどの段階で生じた異常によるものかを特定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６０】
以下に、本発明に係る観察装置の実施形態の一例を図面に基づき説明する。
（観察装置の構成）
本実施形態に係る観察装置１０は、透明な基板５４上に１層以上の不透明な膜５６が成膜された被検体５０を観察する装置であり、被検体５０を置くためのステージ（図示省略）を有している。このステージには、不透明な膜５６が成膜された成膜表面を上向きにした状態で被検体５０が置かれる。
【００６１】
被検体５０としては、例えば、マンモグラフィ等の放射線検出器に用いられる、放射線を検出するための放射線検出基板が該当する。この放射線検出基板における透明な基板５４としては、例えば、ガラス基板が該当し、不透明な膜５６としては、例えば、放射線の照射を受けることにより導電性を呈する光導電層が該当する。この光導電層としては、例えば、アモルファスSeが該当する。
【００６２】
また、透明な基板５４への不透明な膜５６の成膜は、例えば、蒸着により行われる。また、透明な基板５４とは、表面上の欠陥が、裏面側から観察可能な基板を指し、不透明な膜５６とは、表面上の欠陥が裏面側から観察不可能な膜を指す。
【００６３】
観察装置１０は、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、被検体５０の成膜表面に生じた突起５２の有無をその成膜表面側から検査する検査手段の一例として、第１カメラ１２を備えている。この第１カメラ１２は、光学顕微鏡で構成され、ステージに対して垂直方向であって、ステージに置かれた被検体５０の成膜表面の上方に配置されている。これにより、第１カメラ１２は、不透明な膜５６側から被検体５０を撮像できる。
【００６４】
第１カメラ１２には、図１（Ｂ）に示すように、第１カメラ１２を移動させる移動機構２０が設けられている。この移動機構２０は、図１（Ｂ）におけるＹ方向に第１カメラ１２を案内する案内部材２０Ａと、図１（Ｂ）おけるＸ方向に第１カメラ１２を案内する案内部材２０Ｂとを備えており、第１カメラ１２に移動力を付与して案内部材２０Ａ及び案内部材２０Ｂに沿って移動させる。
【００６５】
また、第１カメラ１２には、図１（Ａ）に示すように、第１カメラ１２を駆動制御する制御部１４が接続されている。この制御部１４が第１カメラ１２を駆動することで撮像された画像が制御部１４に送られ、制御部１４は、その画像を解析することにより、欠陥たる突起５２の有無を判断する。なお、制御部１４は、撮像された突起のうち、所定サイズを超えるものを欠陥たる突起５２と判断するように構成されている。
【００６６】
また、制御部１４は、移動機構２０にも接続されており、移動機構２０を駆動制御して、第１カメラ１２をＸ方向及びＹ方向における所定位置に移動させる。制御部１４は、Ｘ方向及びＹ方向における第１カメラ１２の位置情報（座標情報）を有しており、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合に、第１カメラ１２の位置情報から、突起５２の位置（座標）を特定するようになっている。
【００６７】
さらに、本実施形態に係る観察装置１０は、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合に、制御部１４が特定した突起５２の位置において、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部を観察する観察手段の一例として、第２カメラ１６が第１カメラ１２の同軸上に設けられている。この第２カメラ１６は光学顕微鏡で構成され、ステージに対して垂直方向であって、ステージに置かれた被検体５０の透明な基板５４の下方に配置されている。
【００６８】
これにより、第２カメラ１６は、透明な基板５４側から被検体５０を撮像可能となり、透明な基板５４側から撮像することにより、透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部が撮像できる。
【００６９】
第２カメラ１６は、第１カメラ１２に連結されており、移動機構２０により移動する第１カメラ１２と一体に移動するようになっている。なお、第２カメラ１６は、別途、第１カメラ１２とは異なる移動機構を有し、第１カメラ１２と同期して移動する構成としても良い。
【００７０】
第２カメラ１６にも、制御部１４が接続されており、制御部１４が第２カメラ１６を駆動制御する。この制御部１４が第２カメラ１６を駆動することで撮像された画像が制御部１４に送られ、制御部１４は、その画像を解析することにより、透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部が観察される。制御部１４は、その界面部を観察してその界面部に異常があるか否かを判断する。
【００７１】
制御部１４は、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合において第２カメラ１６により、透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部に異常が検出されたときに、突起５２の原因が透明な基板５４上に生じた異常にあると判定し、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合において第２カメラ１６により透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部に異常が検出されなかったときに突起５２の原因が不透明な膜５６の膜内に生じた異常であると判定するようになっている。
【００７２】
また、観察装置１０は、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合に、その突起５２に成膜表面側からマーキングが可能なマーキング手段としてのマーキング装置２２を備えている。マーキング装置２２は、レーザーを用いて突起５２にマーキングするようになっている。
【００７３】
なお、観察装置１０の検査手段としては、第１カメラ１２に替えて、図２（Ａ）（Ｂ）に示すように、ラインセンサ１３を用いても良い。
【００７４】
この構成においても、ラインセンサ１３を移動させる移動機構２１が設けられている。この移動機構２１は、図２（Ｂ）におけるＸ方向にラインセンサ１３を案内する案内部材２１Ａを備えており、ラインセンサ１３に移動力を付与して案内部材２１Ａに沿って移動させる。
【００７５】
また、ラインセンサ１３には、ラインセンサ１３を駆動制御する制御部１４が接続されている。この制御部１４がラインセンサ１３を駆動することで、被検体５０に照射され被検体５０で反射した反射光の反射率情報が制御部１４に送られ、制御部１４は、反射光の反射率を解析することにより、欠陥たる突起５２の有無を判断する。
【００７６】
また、制御部１４は、移動機構２１にも接続されており、移動機構２１を駆動制御して、ラインセンサ１３をＸ方向における所定位置に移動させる。制御部１４は、図２（Ｂ）におけるＸ方向におけるラインセンサ１３の位置情報を有すると共に、ラインセンサ１３の長手方向（Ｙ方向）の位置に対応した反射光の反射率情報を有しており、ラインセンサ１３により突起５２が検出された場合に、ラインセンサ１３の位置情報及びラインセンサ１３の長手方向（Ｙ方向）の位置に対応した反射光の反射率情報から、突起５２の位置（座標）を特定するようになっている。
【００７７】
さらに、観察装置１０の検査手段として、ラインセンサ１３及び第１カメラ１２を併用する構成であってもよい。この構成では、例えば、ラインセンサ１３により被検体５０の全体を検査してから、ラインセンサ１３により突起５２が有りとされた被検体５０の位置において、第１カメラ１２により個別的にラインセンサ１３よりも精度よく、突起５２を検査するようにすることができる。
【００７８】
また、第１カメラ１２、第２カメラ１６、ラインセンサ１３は、それらにおける光学波長が選択可能であることが望ましく、また、光学波長が５３０ｎｍ以下に設定できることが望ましい。これにより、被検体５０へのダメージを低減できる。
【００７９】
（観察装置を用いた観察方法）
次に、観察装置１０を用いた観察方法を説明する。
【００８０】
観察装置１０を用いた観察方法では、まず、第１工程において、第１カメラ１２により、被検体５０の成膜表面に生じる突起５２の有無をその成膜表面側から検査すると共に、突起５２を検出した場合に、突起５２の位置を特定する。なお、観察装置１０では、制御部１４は、第１カメラ１２の位置情報を有しているので、第１カメラ１２により、突起５２が検出された時点で、突起５２の位置（座標）が特定される。
【００８１】
次に、第２工程では、第１工程で突起５２が検出された場合に、その突起５２の位置において、第２カメラ１６により、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部を観察する。
【００８２】
次に、第３工程では、第１工程で突起５２が検出された場合において第２工程で透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部に異常が検出されたときに、突起５２の原因が透明な基板５４上に生じた異常にあると判定し、第１工程で突起５２が検出された場合において第２工程で透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部に異常が検出されなかったときに突起５２の原因が不透明な膜５６の膜内に生じた異常にあると判定する。
【００８３】
第３工程において、突起５２の原因が透明な基板５４上に生じた異常にあると判定された場合には、その異常が成膜前に生じたと判断できる。成膜前に生じた異常とは、例えば、透明な基板５４の作成時に生じた異常であり、透明な基板５４上に形成された凸部Ａが該当する。また、成膜前に生じた異常とは、例えば、透明な基板５４を成膜装置に搬送する搬送時や、蒸着におけるマスクセット時に生じた異常であり、透明な基板５４上に付着したゴミ等が該当する。
【００８４】
また、第３工程において、突起５２の原因が不透明な膜５６の膜内に生じた異常にあると判定された場合は、その異常が成膜中に生じたと判断できる。成膜中に生じた異常とは、例えば、蒸着中の突沸によるものが該当する。
【００８５】
このように、観察装置１０を用いた観察方法によれば、被検体５０に生じた欠陥たる突起５２が、どの段階で生じた異常によるものかを特定できる。
【００８６】
なお、図中のＡは、透明な基板５４を作成したときに透明な基板５４上に生じた異常（凸部）を示し、図中のＢは、透明な基板５４を作成したときにはなかったが、不透明な膜５６を成膜する前に透明な基板５４上に生じた異常を示し、図中のＣは、不透明な膜５６を成膜する成膜中に不透明な膜５６の膜内に生じた異常を示す。
【００８７】
また、本実施形態に係る観察装置１０によれば、被検体５０の表面（不透明な膜５６）側に第１カメラ１２が配置され、被検体５０の裏面（透明な基板５４）側に第２カメラ１６が配置されており、被検体５０を反転させることなく、被検体５０の観察ができる。
【００８８】
また、本実施形態に係る観察装置１０によれば、第２カメラ１６は、第１カメラ１２の同軸上に配置されているので、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合に、第２カメラ１６を移動させることなく、第２カメラ１６は突起５２のある位置に位置するので、観察の迅速化が図れる。
【００８９】
また、本実施形態に係る観察装置１０によれば、突起５２をマーキングできるので、突起５２の位置が明確になり、突起５２以外の被検体５０の欠陥を発見する際に役立つ。
【００９０】
（観察装置１０の変形例）
変形例に係る観察装置１００は、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、観察装置１０と同様に、第１カメラ１２、第２カメラ１６、制御部１４及び移動機構２０を備えている。この構成に加えて、変形例に係る観察装置１００は、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、成膜前の被検体５０（透明な基板５４）の表面に生じる凸部の有無を検査する成膜前検査手段の一例として、第３カメラ３３を有している。
【００９１】
この第３カメラ３３は、光学顕微鏡で構成されている。第３カメラ３３には、図４（Ｂ）に示すように、第３カメラ３３を移動させる移動機構３０が設けられている。この移動機構３０は、図４（Ｂ）におけるＹ方向に第３カメラ３３を案内する案内部材３０Ａと、図４（Ｂ）おけるＸ方向に第３カメラ３３を案内する案内部材３０Ｂとを備えており、第３カメラ３３に移動力を付与して案内部材３０Ａ及び案内部材３０Ｂに沿って移動させる。
【００９２】
また、第３カメラ３３には、第３カメラ３３を駆動制御する制御部１４が接続されている。この制御部１４が第３カメラ３３を駆動することで撮像された画像が制御部１４に送られ、制御部１４は、その画像を解析することにより、凸部Ａの有無を判断する。
【００９３】
また、制御部１４は、移動機構３０にも接続されており、移動機構３０を駆動制御して、第３カメラ３３をＸ方向及びＹ方向における所定位置に移動させる。制御部１４は、Ｘ方向及びＹ方向における第３カメラ３３の位置情報（座標情報）を有しており、第３カメラ３３により凸部Ａが検出された場合に、第３カメラ３３の位置情報から、凸部Ａの位置（座標）を特定するようになっている。なお、観察装置１００における成膜前検査手段として、第１カメラ１２を用いても良い。
【００９４】
また、観察装置１００においては、第２カメラ１６は、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合において突起５２の位置と第３カメラ３３により検出された凸部Ａの位置とが異なるとき及び第１カメラ１２により突起５２が検出された場合において第３カメラ３３により凸部Ａが検出されなかったときに、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部を観察するようになっている。
【００９５】
さらに、観察装置１００においては、制御部１４は、以下のように構成されている。すなわち、制御部１４は、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合において突起５２の位置と第３カメラ３３により検出された凸部Ａの位置が一致するときに、突起５２の原因が第３カメラ３３の検査前に透明な基板５４上に生じた凸部Ａにあると判定する。
【００９６】
また、制御部１４は、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合において突起５２の位置と第３カメラ３３により検出された凸部Ａの位置とが異なるとき及び第１カメラ１２により突起５２が検出された場合において第３カメラ３３により凸部Ａが検出されなかったときに、第２カメラ１６により透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部に異常が検出された場合に突起５２の原因が第３カメラ３３の検査後に透明な基板５４上に生じた異常にあると判定する。
【００９７】
さらに、制御部１４、第１カメラ１２により突起５２が検出された場合において突起５２の位置と第３カメラ３３により検出された凸部Ａの位置とが異なるとき及び第１カメラ１２により突起５２が検出された場合において第３カメラ３３により凸部Ａが検出されなかったときに、第２カメラ１６により透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部に異常が検出されなかった場合に突起５２の原因が不透明な膜５６の膜内に生じた異常であると判定する。
【００９８】
（変形例に係る観察装置１００を用いた観察方法）
次に、変形例に係る観察装置１００を用いた観察方法を説明する。
【００９９】
観察装置１００を用いた観察方法では、まず、第１工程において、第３カメラ３３により、成膜前の被検体５０の表面に生じる凸部Ａの有無を検査する。
【０１００】
次に、第２工程では、第１カメラ１２により、被検体５０の成膜表面に生じる突起５２の有無をその成膜表面側から検査すると共に、突起５２を検出した場合に、突起５２の位置を特定する。なお、観察装置１００では、制御部１４は、第１カメラ１２の位置情報を有しているので、第１カメラ１２により、突起５２が検出された時点で、突起５２の位置（座標）が特定される。
【０１０１】
次に、第３工程では、第２工程で突起５２が検出された場合において突起５２の位置と第１工程で検出された凸部Ａの位置とが異なるとき及び第２工程で突起５２が検出された場合において第１工程で凸部Ａが検出されなかったときに、その突起５２の位置において、第２カメラ１６により、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部を観察する。
【０１０２】
次に、第４工程では、第２工程で突起５２が検出された場合において突起５２の位置と第１工程で検出された凸部Ａの位置が一致するときに、突起５２の原因が第１工程における検査前に基板上に生じた凸部Ａにあると判定する。
【０１０３】
また、第４工程では、第２工程で突起５２が検出された場合において突起５２の位置と第１工程で検出された凸部Ａの位置とが異なるとき及び第２工程で突起５２が検出された場合において第１工程で凸部Ａが検出されなかったときに、第３工程で、透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部に異常が検出された場合に突起５２の原因が第１工程における検査後に透明な基板５４上に生じた異常にあると判定する。
【０１０４】
また、第４工程では、第２工程で突起５２が検出された場合において突起５２の位置と第１工程で検出された凸部Ａの位置とが異なるとき及び第２工程で突起５２が検出された場合において第１工程で凸部Ａが検出されなかったときに、第３工程で透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部に異常が検出されなかった場合に突起５２の原因が不透明な膜５６の膜内に生じた異常であると判定する。
【０１０５】
第４工程において、突起５２の原因が第１工程における検査前に透明な基板５４上に生じた凸部Ａにあると判定された場合には、その異常が第１工程における検査前に生じた判断できる。第１工程における検査前に生じた異常とは、例えば、透明な基板５４の作成時に生じた異常であり、透明な基板５４上に形成された凸部Ａが該当する。
【０１０６】
また、第４工程において、第１工程における検査後に透明な基板５４上に生じた異常が突起５２の原因と判定された場合には、その異常が第１工程における検査後であって成膜前に生じたと判断できる。第１工程における検査後であって成膜前に生じたとは、例えば、透明な基板５４を成膜装置に搬送する搬送時や、蒸着におけるマスクセット時に生じた異常であり、透明な基板５４上に付着したゴミ等が該当する。
【０１０７】
さらに、第４工程において、不透明な膜５６の膜内に生じた異常が突起の原因と判定された場合は、その異常が成膜中に生じたと判断できる。成膜中に生じた異常とは、例えば、蒸着中の突沸によるものが該当する。
【０１０８】
このように、観察装置１００を用いた観察方法によれば、被検体５０に生じた欠陥たる突起５２が、どの段階で生じた異常によるものかを特定できる。
【０１０９】
本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、種々の変形、変更、改良が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】図１は、本実施形態に係る観察装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る観察装置に用いられるラインセンサの構成を示す概略図である。
【図３】図３は、変形例に係る観察装置の構成を示す概略図である。
【図４】図４は、変形例に係る観察装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１０   観察装置
１２   第１カメラ（検査手段）
１３   ラインセンサ
１４   制御部（判定手段）
１６   第２カメラ
２２   マーキング装置（マーキング手段）
３３   第３カメラ（成膜前検査手段）
５０   被検体
５２   突起
５４   透明な基板
５６   不透明な膜
１００ 観察装置
Ａ     凸部
【図１】
2009210300.tif 000003
【図２】
2009210300.tif 000004
【図３】
2009210300.tif 000005
【図４】
2009210300.tif 000006