(57)【要約】【課題】複数のノズルの内面形状の均一化を図りつつ、ボード上のノズル壁と天板とを確実に接着することができるインクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】温度上昇に伴って固体から液状に軟化した後に硬化する接着材を用いて、ボード上のノズル壁と天板とを接着する。それらを接着する際には接着材を加熱し、単位時間当たりの温度上昇率を時点Ｐ２において増加させる。時点Ｐ２における温度よりも低い温度は、接着材が軟化する軟化領域３０２の温度範囲に含まれる。【選択図】図５
2009196273.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボードの上面に形成された複数のノズル壁の上面に天板の下面が接着され、前記ボードの上面、前記ノズル壁の側面、および前記天板の下面によって囲まれる複数のノズルが形成されたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記ノズル壁の上面と前記天板の下面との間に、温度上昇に伴って固体から液状に軟化した後に硬化する接着材を介在させる工程と、
前記ボードと前記天板を互いに接近させる方向に加圧して、前記ノズル壁の上面と前記天板の下面との間に所定の接触圧を掛けつつ、前記接着材を加熱して温度を上昇させることにより、前記接着材を固体から液状に軟化させた後に硬化させて、前記ノズル壁の上面と前記天板の下面とを接着させる工程と、
を含み、
前記接着材を加熱する際に、第１の温度において単位時間当たりの温度上昇率を増大させ、
少なくとも前記第１の温度よりも低い温度は、前記接着材が軟化する軟化領域の温度範囲に含まれる
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記接着材を加熱する際には、前記第１の温度よりも低い第２の温度において、単位時間当たりの温度上昇率を減少させ、
前記第１の温度と前記第２の温度との間の温度範囲内に、前記軟化領域の温度範囲が含まれる
ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第１および第２の温度の内の少なくとも一方は、前記軟化領域の温度範囲に含まれることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第１および第２の温度は、前記軟化領域の温度範囲に含まれる同一温度であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記接着材が前記軟化領域の状態にあるときに、前記所定の接触圧により、前記ノズル壁の上面と前記天板の下面との間に介在する前記接着材の部分を前記ノズル内に押し出すことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記ノズル内に押し出された前記接着材の部分は、最下端の位置と、前記ノズル壁の側面から離れる位置と、が一致するように、前記ノズル壁の側面に沿って下方に流れて硬化することを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記接着材は、前記ノズル壁の成形材料と同一の感光性樹脂であることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記複数のノズル壁は、リソグラフィプロセスによって前記ボード上に形成することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記ボードは、前記ノズルからインクを吐出させるための吐出エネルギー発生素子としての電気熱変換体が形成されたヒータボードであることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
ボードの上面に形成された複数のノズル壁の上面と、天板の下面と、が接着材により接着されて、前記ボードの上面、前記ノズル壁の側面、および前記天板の下面によって囲まれる複数のノズルが形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記ノズル壁の上面と前記天板の下面との間から前記ノズル内に押し出されて硬化した前記接着材の部分は、その最下端の位置と、前記ノズル壁の側面から離れる位置と、が一致するように、前記ノズル壁の側面に沿って下方に延在する
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
前記接着材は、前記ノズル壁の成形材料と同一の感光性樹脂であることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のノズル壁が形成されたボードと、天板と、を接着することによって、複数のノズルが形成されるインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、低騒音、低ランニングコストで、装置の小型化が容易であり、記録画像のカラー化も容易である。このような観点から、インクジェット記録装置は、プリンタ、複写機、およびファクシミリ等の機能を有する記録装置、あるいはコンピュータやワードプロセッサ等を含む複合型電子機器およびワークステーションなどの出力機器として、広く普及している。インクジェット記録装置は、記録情報に基づいて、紙、布、プラスチックシート、およびＯＨＰ用シート等の記録媒体に向けてインクを吐出することにより、画像を記録する。特に、産業用のインクジェット記録装置においては、多種多様な記録媒体に対する記録の要求が高まっている。近年、これらの要求に応えるための開発が進み、通常の記録媒体である紙や樹脂薄板などの他に、布、皮革、不織布、更には金属等を記録媒体とすることができる記録装置も使用されるようになっている。
【０００３】
インクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドは、種々の方式によりインクをインク滴として吐出する。特に、インクを吐出するためのエネルギーとして熱を利用するインクジェット記録ヘッドは、ノズルを高密度に配置するマルチノズル化が比較的容易であって、高解像度で高画質の画像を高速に記録することができる。このような熱エネルギーを利用してインクを吐出する方式のインクジェット記録ヘッドは、複数のインク吐出口の個々に連通する複数のインク流路のそれぞれに、電気熱変換体（ヒータ）を備えている。そして、記録信号に応じて電気熱変換体を発熱させ、その熱エネルギーによってインク流路内のインクを発泡させることにより、その発泡エネルギーを利用してインク吐出口からインクを吐出させることができる。
【０００４】
インクジェット記録ヘッドは、ノズルを精細に形成することが要求されるため、感光性樹脂を使用して半導体プロセスにより製造されている。感光性樹脂を使用したフォトリソグラフィプロセスによる製造方法においては、閉じられた空間（以下、「閉空間」ともいう）を有する部分を形成することが不可能である。そのため、閉空間を形成する場合には、予めフォトリソグラフィプロセスにより製造された部材を互いに接合する方法が採られている。それらの部材を接合して閉空間を形成するためには、それらの部材の接合部分の高い密閉性が要求される。インクジェット記録ヘッドにおけるノズルのように、同一形状の部分を複数形成するためには、接合部分の精度自体も要求される。また、半導体プロセス工程において高温下におかれる場合には、熱による変形や反り等による接合部分の剥がれや浮きなどを確実に防止する手段を講じる必要がある。
【０００５】
一般に、インクジェット記録ヘッドにおけるノズルは、ボードと天板とを接着することにより形成される。ボードには、ノズルの底面と側面となる部分がフォトリソグラフィプロセスにより予め形成されており、また天板には、ノズルの天井となる部分が別のプロセスにより予め形成されている。これらのボードと天板は、精度よく位置合わせされた上、接着材により接着される。また、フォトリソグラフィプロセスにおいて用いる感光性樹脂が完全硬化するためには、２００℃という高熱が必要となる。したがって接着材には、そのような高温に耐えることが要求される。接着材の線膨張係数がノズルの形成部材と異なる場合には、ボードと天板との接合部分の変形によって反りや剥がれが生じることがないような対策を講じる必要がある。また、インクジェット記録ヘッドの製造プロセス中において、ある程度の負荷がボードと天板との接合部分に掛かっても、それらの接合部分に剥がれなどが生じないように、それらの接合強度を確保することが必要となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のインクジェット記録ヘッドにおけるボードと天板は、熱硬化性の接着材もしくは感光性の接着材によって接合されている。熱硬化性の接着材を使用した場合には、それが必要以外の部分にまで流れ出して、安定した接合ができなくなったり、ノズルの形状が不均一となるおそれがある。しかも、熱硬化性の接着材は、ノズルの形成部材と異なる材質で線膨張係数が異なるために、高温下において接合部分に応力や歪が生じて変形するおそれがある。ボードと天板を安定して接合することができずに、ノズルの形状が不均一になった場合には、ノズルから吐出されるインクの吐出方向および吐出量が不均一となって、画像の記録品位が損なわれるおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、複数のノズルの内面形状の均一化を図りつつ、ボード上のノズル壁と天板とを確実に接着することができるインクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、ボードの上面に形成された複数のノズル壁の上面に天板の下面が接着され、前記ボードの上面、前記ノズル壁の側面、および前記天板の下面によって囲まれる複数のノズルが形成されたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズル壁の上面と前記天板の下面との間に、温度上昇に伴って固体から液状に軟化した後に硬化する接着材を介在させる工程と、前記ボードと前記天板を互いに接近させる方向に加圧して、前記ノズル壁の上面と前記天板の下面との間に所定の接触圧を掛けつつ、前記接着材を加熱して温度を上昇させることにより、前記接着材を固体から液状に軟化させた後に硬化させて、前記ノズル壁の上面と前記天板の下面とを接着させる工程と、を含み、前記接着材を加熱する際に、第１の温度において単位時間当たりの温度上昇率を増大させ、少なくとも前記第１の温度よりも低い温度は、前記接着材が軟化する軟化領域の温度範囲に含まれることを特徴とする。
【０００９】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、ボードの上面に形成された複数のノズル壁の上面と、天板の下面と、が接着材により接着されて、前記ボードの上面、前記ノズル壁の側面、および前記天板の下面によって囲まれる複数のノズルが形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記ノズル壁の上面と前記天板の下面との間から前記ノズル内に押し出されて硬化した前記接着材の部分は、その最下端の位置と、前記ノズル壁の側面から離れる位置と、が一致するように、前記ノズル壁の側面に沿って下方に延在することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、温度上昇に伴って固体から液状に軟化した後に硬化する接着材を用いて、ボード上のノズル壁と天板とを接着する際に、その接着材が軟化する軟化領域の温度範囲と、単位時間当たりの温度上昇率を増加させるときの温度と、を関連付ける。すなわち、軟化領域の温度範囲に、単位時間当たりの温度上昇率を増加させるときの温度よりも低い温度が含まれるように、接着材を加熱する。これにより軟化領域の温度範囲内に、単位時間当たりの温度上昇率を増加させる前の温度、つまり温度上昇率が比較的小さいときの温度が含まれることになる。
【００１１】
したがって、接着材が軟化領域の温度範囲にある時間を長くして、その軟化状態を長時間維持することができ、この結果、軟化状態の接着材に対してノズル壁の上面を充分に入り込ませて、ノズル壁と天板との接着強度を高めることができる。
【００１２】
また、ノズル壁の上面と天板との間から押し出された軟化状態の接着材の部分は、ノズル壁の側面に沿ってスムーズに移動させてから、安定した形態を成すように硬化させることができる。この結果、複数のノズルの内面形状を均一化することができる。したがって、複数のノズルから吐出されるインクの吐出方向および吐出量を均一化して、高品位の画像を記録することができる。ノズル壁の上面と天板との間から押し出された接着材の部分は、その最下端の位置と、ノズル壁の側面から離れる位置と、が一致するように、ノズル壁の側面に沿って下方に延在させることができる。
【００１３】
また接着材として、ノズル壁の成形材料と同一の感光性樹脂を用いることにより、ノズルを形成する部材の線膨張係数の違いによる反り等の変形を防止することができる。ノズル壁は、リソグラフィプロセスによってボード上に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施形態の詳細を説明する。  
（第１の実施形態）
図１は、本発明の一実施形態におけるインクジェット記録ヘッド１０１の外観斜視図である。本例の記録ヘッド１０１は、いわゆるフルラインタイプのインクジェット記録装置に用いられる長尺な記録ヘッドとしての適用例であり、図１のようなヘッドユニットとしてユニット化されている。
【００１５】
１０２は、記録ヘッド１０１に信号を送るための制御部、１０３は、後述する複数のノズルが配列されるノズルチップ部である。ノズルのピッチは、記録解像度に対応する固定ピッチである。１０４は、不図示のインクタンクからのインクをノズル内に供給するためのインク供給部である。インク供給部１０４は、ノズル内に生じた気泡を除去するために、インクタンクと記録ヘッド１０１との間においてインクを循環させる循環経路を形成することができる。１０５は、ノズルチップ部１０３を固定・保持するためのベースプレートであり、ノズルチップ部１０３において発生した熱を逃がす役割も担っている。１０６は、記録ヘッド１０１をインクジェット記録装置に搭載するための接続部品である。
【００１６】
図２は、ノズルチップ部１０３のノズル部分を説明するための拡大斜視図であり、図１のＩＩ円部の拡大図に対応する。図３は、ノズルの形状などを単純化したノズル部分の模式的な斜視図である。
【００１７】
１１５はヒータボードであり、複数のインク流路１０７の側面を形成するノズル壁１０８と、それぞれのインク流路１０７の底面１１６と、が感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィプロセスにより形成されている。またヒータボード１１５には、それぞれのインク流路１０７内に位置するヒータ（電気熱変換体）１１１が形成されている。１０９は、エッチング処理により形成されたシリコン製の天板であり、接着層１１６によってノズル壁１０８の上面に接合される。接着層１１６は、ノズル壁１０８および底面１１６と同一の感光性樹脂材料によって形成される。このように、ヒータボード１１５と天板１０９とを接合することにより、接着層１１６、ノズル壁１０８、および底面１１６によって囲まれた閉空間がインク流路１０７として形成される。複数のインク流路１０７のそれぞれの一端には、吐出口形成面１１３において開口する吐出口１１２が形成されている。インク流路１０７と吐出口１１２とを合わせて「ノズル」ともいう。複数のインク流路１０７のそれぞれの他端は共通液室１１０に連通しており、その共通液室１１０には、天板１０９に形成された供給口を通してインクが供給される。
【００１８】
本例の記録ヘッド１０１は、吐出エネルギー発生素子としてヒータ１１１を用いることによって、吐出口１１２からインクを吐出する。すなわち、ヒータ１１１の発熱によりインク流路１０７内のインクを発泡させ、その発泡エネルギーを利用して、インク流路１０７内のインクを吐出口１１２から吐出させる。吐出エネルギー発生素子としては、ピエゾ素子などを用いることもできる。
【００１９】
また、本例の記録ヘッド１０１には、ヒータ１１１の発熱によって生じるインク中の気泡の成長方向を規制する可動体１１４が備えられている。図３においては、可動体１１４の図示を省略している。この可動体１１４は１枚の金属板によって形成されており、共通液室１１０内に位置する基端部１１４Ａがヒータボード１１５上に固定され、櫛歯状に形成された自由端１１４Ｂがインク流路１０７内に位置している。また可動体１１４の基端部１１４Ａには、インクの出入りを許容する複数の孔が形成されている。インクをヒータ１１１の発熱により生じたインク中の気泡は、可動体１１４の自由端１１４Ｂの変形を伴って吐出口１１２に向かう方向に成長する。これにより、インクの発泡エネルギーをより有効に利用して、インクの吐出効率を向上させることができる。また可動体１１４には、インク流路１０７内に残留する微細な泡をインクと共に吐出口１１２から効率よく排出する機能もあり、これにより、記録ヘッド１０１におけるインクの吐出性能を良好に維持することができる。しかし、この可動体１１４は必ずしも備える必要はない。
【００２０】
図４は、感光性樹脂の特性として、温度と弾性率との関係を説明するための図であり、その感光性樹脂は接着層１１６を成す接着材として用いられる。本実施例では、５μｍ厚の感光性樹脂のドライフィルム（東京応化工業株式会社製；ＴＭＭＲ−ＤＦ）を用いている。しかし、厚さが均等に形成されるものであればこの限りではなく、液状の感光性樹脂をスピンコートなどによって形成しフィルム状に加工したものであれば同様の効果が得られる。
【００２１】
曲線３０１は、感光性樹脂の温度に伴う弾性率の変化曲線であり、領域３０２において軟化する。接着層１１６を成す感光性樹脂は、常温時にはドライフィルムとしてシート状に形成されていて、その常温時における弾性率は１２から１３ＭＰａ程度である。領域（以下、「軟化領域」という）３０２においては、その弾性率が１から３ＭＰａであり、シート状の感光性樹脂を立てたときに、その自重によって垂れる程度の軟度となる。軟化領域３０２を超えた高温状態に移行したときに、その感光性樹脂の弾性率は１４ＭＰａとなり、その硬度はかなりの高くなる。
【００２２】
図５は、ノズル壁１０８と天板１０９とを接合するときの接合時間と接合温度との関係の説明図である。
【００２３】
ノズル壁１０８と天板１０９とを接着する際には、まず、それらの間に感光性樹脂のドライフィルムを介在させて、それらのノズル壁１０８の上に天板１０９を精度よく位置決めする。そして、それらの接着部に一定の圧力が加わるように天板１０９から４Ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を掛けてから、図５中実線の曲線４０２のように接着温度を常温から２００℃まで上昇させる。つまり、ヒータボード１１５と天板１０９を互いに接近させる方向に加圧して、ノズル壁１０８の上面と天板１０９の下面との間に所定の接触圧を掛けつつ、接着温度を上昇させる。その接着温度は、前述した軟化領域３０２の温度を通過してから２００℃に達する。その際には、曲線４０２を描くように接着温度を上昇させて、軟化領域３０２の温度の通過に要する時間を長くする。これにより感光性樹脂は、比較的長い時間、軟化状態に維持されることになる。本例の場合は、接着温度が軟化領域３０２内の温度にまで上昇した時点ｔ１において接着温度を一定に維持し、その後の時点ｔ２から接着温度を再び上昇させる。したがって曲線４０２には、時点ｔ１において接着温度の上昇率が急激に減少する減少点Ｐ１と、時点ｔ２において接着温度の上昇率が急激に増加する増加点Ｐ２と、が生じる。つまり、減少点Ｐ１においては接着温度の上昇率がプラスから”０”に変化し、増加点Ｐ２においては接着温度の上昇率が”０”からプラスに変化する。接着温度が２００℃に達した後は、その接着温度を一定時間維持して、感光性樹脂の硬化を完全なものとする。
【００２４】
このように感光性樹脂の軟化状態を長時間維持することにより、ノズル壁１０８と天板１０９とを接着工程において、ノズル壁１０８の上面と天板１０９との間に介在する感光性樹脂の軟化状態が長い時間維持される。この結果、軟化状態の感光性樹脂は、ノズル壁１０８の上面と天板１０９との接着部においてほぼ完全に押し潰される。つまり、感光性樹脂が充分に軟化するために、その感光性樹脂の中にノズル壁１０８の上面がほぼ完全に突っ込まれて、ノズル壁１０８と天板１０９との接着部から感光性樹脂が押し出されることになる。この結果、図６のようにインク流路１０７の上面となる接着層１１６が形成される。ノズル壁１０８は、互いに隣接するインク流路１０７の上面となる接着層１１６の間に挟まれることになり、ノズル壁１０８と天板１０９との接着強度が増大する。ノズル壁１０８と天板１０９との接着部から押し出されずに、それらの接着部に残る感光性樹脂は、不図示の薄い接着層を形成する。この接着層は、ノズル壁１０８と天板１０９との接着強度をさらに増大させる。また、ノズル壁１０８と天板１０９との接着部は、比較的長い時間を掛けて軟化状態の感光性樹脂を押し潰すため、それらの接着部に加える圧力は小さくてもよい。
【００２５】
接着層１１６の両側部分１１６Ａは、ノズル壁１０８の上面と天板１０９との間から押し出された感光性樹脂がノズル壁１０８の側面に沿って下方に安定的に流れることにより、図６のような左右対称的なほぼ三角形状に形成される。つまり両側部分１１６Ａは、下方に向かうにしたがって、ノズル壁１０８の側面に密着したまま図６中左右方向の幅が漸次小さく変化するほぼ三角形状となる。そのため、両側部分１１６Ａがノズル壁１０８の側面から離れる位置と、両側部分１１６Ａの最下端またはそれに近い部分の位置と、がほぼ一致して、それらが同じ位置Ｐ１０となる。また、両側部分１１６Ａの内面１１６Ａ−１は、接着層１１６から位置Ｐ１０に向かってほぼ直線的に延在する平面を形成することになる。その内面１１６Ａ−１は、図６のように、その全体または一部に、ノズル壁１０８の側面に向かって若干凹むような曲面を含むこともある。いずれにしても内面１１６Ａ−１は、接着層１１６から位置Ｐ１０に向かうにしたがって、ノズル壁１０８の内面に漸次接近する面を形成し、両側部分１１６Ａの形状は、図６のように単純なほぼ三角形状に安定する。このように、両側部分１１６Ａがノズル壁１０８の側面から離れる位置と、両側部分１１６Ａの最下端の位置と、を実質的に一致させることにより、両側部分１１６Ａの形状が安定する。
【００２６】
このように、インク流路１０７内に位置する接着層１１６の両側部分１１６Ａの形状が安定することにより、それぞれのインク流路１０７からインクを安定的に吐出することができる。つまり、それぞれのノズルの形状および吐出口１１２の開口面積を均一化し、それぞれのノズルからのインクの吐出方向や吐出量のバラツキを抑えて、記録ヘッド１０１におけるインクの吐出性能を向上させることができる。
【００２７】
（第１の比較例）
次に第１の比較例として、図５中２点鎖線の曲線４０１のように、接着温度を常温から２００℃まで上昇させた場合について説明する。
【００２８】
まず、ノズル壁１０８の上に天板１０９との間に感光性樹脂のドライフィルムを介在させて、それらのノズル壁１０８の上に天板１０９を精度よく位置決めする。その後、一定の圧力を掛けてから、図５中の曲線４０１のように、接着温度を常温から２００℃まで上昇させた。その接着温度の上昇勾配は一定とした。したがって曲線４０１は、接着温度の上昇率が接着時間の経過と共に減少する傾向はあるものの、接着温度の上昇率が増加するような増加点Ｐ２はない。そして、接着温度が２００℃に達した後、その温度を一定時間維持して感光性樹脂の硬化を完全のものとした。
【００２９】
曲線４０１が軟化領域３０２を通過する際、感光性樹脂が軟化状態となるものの、その軟化状態の期間が短いために、ノズル壁１０８の上面は感光性樹脂内に完全に入り込まない。そのため、ノズル壁１０８の上面が感光性樹脂内に完全に入り込まないまま、その感光性樹脂が硬化して、図７のように樹脂剤層１１６が形成されることになる。結果的に、硬化した接着層１１６の間にノズル壁１０８が充分に挟まれず、ノズル壁１０８と天板１０９との接着強度が小さくなるおそれがある。
【００３０】
（第２の比較例）
前述した第１の比較例において、軟化領域３０２を外れた接着温度のときに、ノズル壁１０８と天板１０９との間の接着圧力を増して感光性樹脂内にノズル壁１０８の上面を強制的に押し込んでみた。この場合には、図８のように、硬化した接着層１１６の両側部分１１６Ａの形状が不安定となった。すなわち、両側部分１１６Ａがノズル壁１０８の側面から離れる位置Ｐ１１と、両端部分１１６Ａの下端の位置Ｐ１２と、が大きくずれる。そのため両端部分１１６Ａの下端は、ノズル壁１０８の内面から離れて下方に膨出した形状となる。つまり両端部分１１６Ａの内面１１６Ａ−１は、接着層１１６から位置Ｐ１２に向かって下方に湾曲する曲面を形成し、さらに、その位置Ｐ１２から位置Ｐ１１に向かって上方に湾曲する曲面を形成することになる。
【００３１】
このように、両側部分１１６Ａがノズル壁１０８の側面から離れる位置Ｐ１１と、両側部分１１６Ａの下端の位置Ｐ１２と、が一致しないため、内面１１６Ａ−１が前述した図６のような単純なほぼ三角形状とならない。そのため、両端部分１１６Ａの形状が不安定となり、左右の対称性が損なわれるおそれがある。その結果、それぞれのノズルからのインクの吐出方向や吐出量のバラツキが生じるおそれがある。
【００３２】
（他の実施形態）
前述した図５の接着温度の上昇曲線４０２においては、減少点Ｐ１と増加点Ｐ２との間の接着温度の上昇率を”０”とした。しかし、減少点Ｐ１と増加点Ｐ２との間の接着温度の上昇率は必ずしも”０”にする必要はなく、図９中実線の曲線４０３のように、プラスの上昇率であってもよい。Ｔ１は減少点にＰ１における接着温度（第２の温度）、Ｔ２は増加点Ｐ２における接着温度（第１の温度）である。前述した図５の上昇曲線４０２においては、それらの接着温度Ｔ１，Ｔ２は同一温度となる。また、図９中２点鎖線の曲線４０４のように、減少点Ｐ１と増加点Ｐ２が軟化領域３０２の温度の範囲内に存在させずに、それらのＰ１，Ｐ２が軟化領域３０２の温度範囲の前後にあってもよい。また、それらの点Ｐ１，Ｐ２の少なくとも一方が軟化領域３０２の温度範囲に含まれてもよい。
【００３３】
本発明は、要は、ノズル壁１０８と天板１０９とを接着する際に、軟化領域３０２の温度の通過に要する時間を長くするように、接着温度を上昇させることができればよい。前述したように、接着温度の上昇率が増加する増加点がない曲線４０１（図５中の２点鎖線）の場合には、軟化領域３０２の温度範囲の通過時間が短くなってしまう。仮に、その曲線４０１によって、軟化領域３０２の温度範囲の通過時間を長くしようとした場合には、図１０中２点鎖線の曲線４０５のように、接着温度が２００℃に達するまでの時間が長くなって接着処理に掛かる時間が長くなってしまう。したがって図１０中実線の曲線４０６のように、接着温度の上昇率の増加点Ｐ２を含む曲線を描くように接着温度を制御することにより、軟化領域３０２の温度範囲の通過時間を長くしつつ、接着処理に掛かる時間を短縮することができる。軟化領域３０２は、少なくとも増加点Ｐ２の前にあればよく、その増加点Ｐ２を含んでもよい。また曲線４０６には、前述したような接着温度の上昇率が大きく減少する減少点がなくてもよい。
【００３４】
また、前述した接着温度の上昇曲線は、ノズル壁１０８と天板１０９との接着部分における感光性樹脂の温度変化を示すものであり、その上昇曲線を描くように接着部分を加熱する方法は特定されない。
【００３５】
また本発明は、ボードの上面に形成された複数のノズル壁の上面に天板の下面が接着され、ボードの上面、ノズル壁の側面、および天板の下面によって囲まれる複数のノズルが形成されたインクジェット記録ヘッドに対して、広くて適用することができる。したがって、インクジェット記録ヘッドの構成は前述した実施形態のみに特定されず、いわゆるシリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドなどであってもよい。また、インクの吐出方式は、電気熱変換体（ヒータ）の他、ピエゾ素子などの吐出エネルギー発生素子を用いた種々の吐出方式を採用することができる。
【００３６】
また、ノズル壁の上面と天板の下面とを接着させるための接着材は、温度上昇に伴って固体から液状に軟化した後に硬化する接着材であればよく、感光性樹脂以外の材料を用いることもできる。要は、ノズル壁の上面と天板の下面との間に所定の接触圧を掛けつつ、接着材を加熱して温度を上昇させることにより、接着材を固体から液状に軟化させた後に硬化させて、ノズル壁の上面と前記天板の下面とを接着させることができればよい。
【００３７】
接着材を加熱する際には、第１の温度（増加点Ｐ２における接着温度Ｔ２）において単位時間当たりの温度上昇率を増大させ、少なくとも第１の温度よりも低い温度は接着材の軟化領域の温度範囲に含ませればよい。また接着材を加熱する際には、第１の温度よりも低い第２の温度（減少点Ｐ１における接着温度Ｔ１）において、単位時間当たりの温度上昇率を減少させ、第１の温度と第２の温度との間の温度範囲内に、軟化領域の温度範囲を含ませてもよい。第１および第２の温度の内の少なくとも一方は、軟化領域の温度範囲に含ませてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図２】図１のインクジェット記録ヘッドにおけるノズル部分の拡大斜視図である。
【図３】図２におけるノズル部分の構成の概念図である。
【図４】図２のノズル部分に用いる接着材の温度特性の説明図である。
【図５】図２のノズル部分の接着時における接着温度の制御例の説明図である。
【図６】図２のノズル部分の接着後における要部の拡大斜視図である。
【図７】第１の比較例の接着工程により接着されたノズル部分の要部の拡大斜視図である。
【図８】第２の比較例の接着工程により接着されたノズル部分の要部の拡大斜視図である。
【図９】図２のノズル部分の接着時における接着温度の他の制御例の説明図である。
【図１０】図２のノズル部分の接着時における接着温度のさらに他の制御例の説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０１    インクジェット記録ヘッド
１０３    ノズルチップ部
１０７    インク流路
１０８    ノズル壁
１０９    天板
１１１    電気熱変換体（吐出エネルギー発生素子）
１１２    吐出口
１１５    ヒータボード（ボード）
１１６    接着層
１１６Ａ    両端部
３０２    軟化領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2009196273.tif 000008
【図７】
2009196273.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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