(57)【要約】【課題】共通液室を形成するプレートの積層枚数を少なく抑え、且つ、共通液室内の流路抵抗増大を抑制しつつ、複数枚のプレートの良好な接合を実現することが可能な、液体移送装置及び液体移送装置の製造方法を提供すること。【解決手段】流路ユニット３１は、マニホールド流路５１の一部をなすマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂがそれぞれ設けられた２枚のマニホールドプレート４４，４５を含む、複数枚のプレート４１〜４７の積層体を有する。そして、２枚のマニホールドプレート４４，４５には、マニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの側壁面から内側に突出する第１突出部６４と第２突出部６５がそれぞれ形成されている。さらに、２枚のマニホールドプレート４４，４５とが積層された状態で、第１突出部６４と第２突出部６５が、それらの先端部のみで互いに重なって接している。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
共通液室とこの共通液室から分岐する複数の個別流路が形成された流路ユニットと、前記複数の個別流路内の液体に移送のためのエネルギーをそれぞれ付与するエネルギー付与手段を備え、
前記流路ユニットは、前記共通液室の一部をなす液室形成孔がそれぞれ設けられた少なくとも２枚の、第１共通液室プレートと第２共通液室プレートを含む、複数枚のプレートの積層体を有し、
前記第１共通液室プレートに、その液室形成孔の側壁面から内側に突出する第１突出部が形成されるとともに、同じく前記第２共通液室プレートにも、その液室形成孔の側壁面から内側に突出する第２突出部が形成され、
前記第１共通液室プレートと前記第２共通液室プレートとが積層された状態で、前記第１突出部と前記第２突出部とが、それらの先端部のみで互いに重なって接していることを特徴とする液体移送装置。
【請求項２】
前記第１突出部及び前記第２突出部の、先端部以外の部分には、前記先端部よりも厚みの薄い薄肉部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
【請求項３】
前記２枚の共通液室プレートにそれぞれ形成された前記液室形成孔は、共に所定の一方向に沿って延在しており、
前記２枚の共通液室プレートに設けられた前記第１突出部及び前記第２突出部は、対応する前記液室形成孔の、前記所定の一方向と直交する幅方向に関して互いに反対側の側壁面からそれぞれ突出していることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体移送装置。
【請求項４】
前記第１突出部及び前記第２突出部は、対応する前記液室形成孔の側壁面から、前記液室形成孔の幅方向と平行にそれぞれ突出していることを特徴とする請求項３に記載の液体移送装置。
【請求項５】
前記第１突出部及び前記第２突出部は、前記液室形成孔の側壁面から、前記液室形成孔の幅方向に対して液体流動方向下流側に傾斜した方向にそれぞれ突出していることを特徴とする請求項３に記載の液体移送装置。
【請求項６】
前記第１突出部及び前記第２突出部の先端部は、前記液室形成孔の幅方向における中央位置において互いに接していることを特徴とする請求項３〜５の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項７】
前記複数枚のプレートがそれぞれ金属製のプレートであり、
これら複数枚のプレートは、積層状態で金属拡散接合によって接合されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項８】
共通液室とこの共通液室から分岐する複数の個別流路が形成された流路ユニットと、前記複数の個別流路内の液体に移送のためのエネルギーをそれぞれ付与するエネルギー付与手段を備えた、液体移送装置の製造方法であって、
流路ユニットを構成する複数枚のプレートに、前記共通液室及び前記複数の個別流路となる孔をそれぞれ形成する流路形成工程と、
前記複数枚のプレートを積層する積層工程と、
積層状態の前記複数枚のプレートを接合する接合工程とを有し、
前記流路形成工程において、前記複数枚のプレートに含まれる少なくとも２枚の第１共通液室プレートと第２共通液室プレートの各々に、前記共通液室の一部をなす液室形成孔と、前記液室形成孔の側壁面から内側へ突出する第１突出部及び第２突出部とを形成し、
前記積層工程において、前記２枚の共通液室プレートを、前記第１突出部と前記第２突出部とが、それらの先端部のみにおいて互いに重なって接するように積層した後、
前記接合工程において、前記２枚の共通液室プレートを含む前記複数枚のプレートを加圧しながら接合することを特徴とする液体移送装置の製造方法。
【請求項９】
前記複数枚のプレートがそれぞれ金属製のプレートであり、
前記接合工程において、前記複数枚のプレートを金属拡散接合によって接合することを特徴とする請求項８に記載の液体移送装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体移送装置及び液体移送装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、共通液室（マニホールド）と、この共通液室から分岐した複数の個別流路とを有し、各個別流路内の液体にそれぞれ圧力を付与して液体移送を行うように構成された、液体移送装置が、様々な分野で広く用いられている。その中でも、共通液室や複数の個別流路などの液体流路が形成される流路構造体（流路ユニット）が、液体流路の一部をなす孔がそれぞれ形成された複数枚のプレートの積層体で構成されているものがある。
【０００３】
特許文献１には、マニホールド流路（共通インク室）と、このマニホールド流路から分岐して圧力室を経由して複数のノズルに至る複数の個別インク流路とを含む流路ユニットを備え、個別インク流路の先端に位置するノズルからインクの液滴を噴射するように構成された、インクジェットヘッドが記載されている。このインクジェットヘッドの流路ユニットは、ノズルが形成された合成樹脂性のプレートと、圧力室や共通インク室など、ノズルに連通するインク流路の一部分をそれぞれ形成する複数枚の金属プレートからなり、これら複数枚のプレートが積層状態で互いに接合されている。この特許文献１では、流路ユニットを構成する複数枚のプレートを接合する方法として、これら複数枚のプレートに対して接着剤を塗布し、加熱・加圧することで、プレート間を接合している。
【０００４】
また、特許文献２のインクジェットヘッドの流路ユニットは、圧力室や共通インク室など、インク流路の一部分をそれぞれ形成する複数枚の金属プレートからなり、これら複数枚の金属プレートは積層状態で互いに接合されていて、この複数枚の金属プレートを接合する方法として、これら複数枚の金属プレートに対して高温条件下で積層方向に強い圧力を加えることで、プレート間で金属原子を相互に拡散させることによって接合する、金属拡散接合が採用されている。
【０００５】
ところで、流路ユニット内に設けられたインク流路の中でも、複数の個別インク流路の分岐元（インク供給元）となるマニホールド流路は、多量のインクを貯留することができるように、通常、かなり大きな容積を必要とする。それゆえ、共通インク室を形成する孔は開口面積の大きな孔となるのが一般的である。しかし、特許文献１および２のように加圧をすることで積層した複数枚のプレートを接合するときには、接合される複数枚のプレートの中に、このような開口面積の大きい孔が形成されたプレートが存在していると、この孔と対向する領域において上下に位置するプレートに圧力が作用しにくく、その結果、この領域におけるプレート間の接合が不十分になる。特に、特許文献２のような金属拡散接合の場合、強い圧力を積層方向に加えて金属原子をプレート間で拡散させて一度に積層接合させる必要があるため、この領域におけるプレート間にはより高い接合性が求められる。
【０００６】
そこで、特許文献２のインクジェットヘッドにおいては、マニホールド流路を形成する複数枚のマニホールドプレートにそれぞれ設けられる複数の孔の、開口面積がそれぞれ異なっており、さらに、プレート積層方向に関して一端側（上側）に位置するマニホールドプレートほど、孔の開口面積が小さくなっている。このように構成されることによって、マニホールド流路と対向する領域においても各プレートに圧力が作用しやすくなり、この領域におけるプレート間の接合が良好になる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２５６３６号公報
【特許文献２】特開２００５−２２１３７号公報（図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、前記特許文献２のインクジェットヘッドにおいては、マニホールド流路を形成する複数枚のマニホールドプレートのうち、一部のプレートに形成される孔の開口面積が小さくなっているため、その分、マニホールド流路の容積が小さくなってしまう。従って、マニホールド流路の容積をある程度確保しようとすると、マニホールドプレートの積層枚数を増やす必要があり、厚み増加によるヘッドの大型化やコストアップを招く。また、積層される複数枚のマニホールドプレート間で孔の開口面積が異なっていると、これらの孔によって形成されたマニホールド流路の流路断面形状が複雑な形状になり、流路抵抗が大きくなるという問題もある。
【０００９】
本発明の目的は、共通液室を形成するプレートの積層枚数を少なく抑え、且つ、共通液室内の流路抵抗増大を抑制しつつ、複数枚のプレートの良好な接合を実現することが可能な、液体移送装置及び液体移送装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明の液体移送装置は、共通液室とこの共通液室から分岐する複数の個別流路が形成された流路ユニットと、前記複数の個別流路内の液体に移送のためのエネルギーをそれぞれ付与するエネルギー付与手段を備え、
前記流路ユニットは、前記共通液室の一部をなす液室形成孔がそれぞれ設けられた少なくとも２枚の、第１共通液室プレートと第２共通液室プレートを含む、複数枚のプレートの積層体を有し、
前記第１共通液室プレートに、その液室形成孔の側壁面から内側に突出する第１突出部が形成されるとともに、同じく前記第２共通液室プレートにも、その液室形成孔の側壁面から内側に突出する第２突出部が形成され、前記第１共通液室プレートと前記第２共通液室プレートとが積層された状態で、前記第１突出部と前記第２突出部とが、それらの先端部のみで互いに重なって接していることを特徴とするものである。
【００１１】
この構成によれば、第１共通液室プレートと第２共通液室プレートの、２枚の共通液室プレートが積層されたときに、これら２枚の共通液室プレートのそれぞれにおいて、液室形成孔の側壁面のいずれかから内側に突出するように設けられた第１突出部と第２突出部が、それらの先端部において重なって接する。そのため、２枚の共通液室プレートを含む複数枚のプレートが、接合時に積層方向に加圧されたときに、液室形成孔と対向する領域において、第１突出部と第２突出部が、積層方向上下に位置するプレートを支える構造となる。従って、第１突出部と第２突出部を介して各プレートに圧力が伝わり、複数枚のプレートの接合を良好に行うことができる。
【００１２】
また、第１突出部及び第２突出部は、液室形成孔の側壁面全域にわたって設けられる必要はなく、側壁面の一部分にのみ設けられるだけでも、上下のプレートを支える効果を十分に発揮する。従って、第１突出部及び第２突出部が共通液室内に存在することによって、共通液室の容積が大きく減少してしまうことはなく、共通液室の容積確保のために共通液室プレートの枚数を増加させる必要は特に生じない。また、２つの突出部はそれらの先端部のみで重なって接し、先端部以外の部分では接しないことから、共通液室内にこれらの突出部が突出して設けられることによる共通液室の流路断面積（プレート面に直交する断面における流路面積）の減少、即ち、流路抵抗増大を極力抑えることができる。
【００１３】
第２の発明の液体移送装置は、前記第１の発明において、前記第１突出部及び前記第２突出部の、先端部以外の部分には、前記先端部よりも厚みの薄い薄肉部が設けられていることを特徴とするものである。
【００１４】
この構成によれば、第１突出部及び第２突出部の、互いに接しない先端部以外の部分の肉厚が薄くなっているため、その分、共通液室の流路断面積が大きくなり、第１突出部と第２突出部が設けられることによって、共通液室内の流路抵抗が増大するのを抑えることができる。
【００１５】
第３の発明の液体移送装置は、前記第１又は第２の発明において、前記２枚の共通液室プレートにそれぞれ形成された前記液室形成孔は、共に所定の一方向に沿って延在しており、前記２枚の共通液室プレートに設けられた前記第１突出部及び前記第２突出部は、対応する前記液室形成孔の、前記所定の一方向と直交する幅方向に関して互いに反対側の側壁面からそれぞれ突出していることを特徴とするものである。
【００１６】
２枚の共通液室プレートに設けられた第１突出部と第２突出部が、液室形成孔の幅方向両側のいずれかからそれぞれ突出しているため、共通液室内における液体の流れが幅方向両側で対称になりやすいことから、共通液室内に偏流が発生するのが抑制される。また、接合時に積層方向に加圧されたときに、積層して形成される共通液室の幅方向の側壁面を両側から支える構造であるので、側壁面が加圧により倒れたりしないように剛性を保持できる。
【００１７】
第４の発明の液体移送装置は、前記第３の発明において、前記第１突出部及び前記第２突出部は、対応する前記液室形成孔の側壁面から、前記液室形成孔の幅方向と平行にそれぞれ突出していることを特徴とするものである。
【００１８】
このように、第１突出部と第２突出部が、共通液室（液室形成孔）の幅方向両側から幅方向に平行に突出することで、共通液室内における液体の流れが幅方向両側に関して一層対称になりやすく、共通液室内の偏流が一層抑制される。
【００１９】
第５の発明の液体移送装置は、前記第３の発明において、前記第１突出部及び前記第２突出部は、前記液室形成孔の側壁面から、前記液室形成孔の幅方向に対して液体流動方向下流側に傾斜した方向にそれぞれ突出していることを特徴とするものである。
【００２０】
このように、第１突出部と第２突出部が、共通液室（液室形成孔）の幅方向に対して、共通液室を流れる液体の流動方向下流側に傾斜した方向にそれぞれ突出することで、共通液室を上流側から下流側へ液体がスムーズに流れるようになり、第１突出部と第２突出部が設けられることによる流路抵抗の増大が抑えられる。
【００２１】
第６の発明の液体移送装置は、前記第３〜第５の何れかの発明において、前記２つの突出部の先端部は、前記液室形成孔の幅方向における中央位置において互いに接していることを特徴とするものである。
【００２２】
このように、第１突出部と第２突出部の先端部が、共通液室の幅方向中央位置で接することにより、共通液室内における液体の流れが幅方向両側に関して一層対称になりやすく、共通液室内の偏流が一層抑制される。また、接合時に各プレート面に対して加圧された力が、面全体で均等に分布して圧力を伝えやすくなるため、複数枚のプレートの接合を良好に行うことができる。
【００２３】
第７の発明の液体移送装置は、前記第１〜第６の何れかの発明において、前記複数枚のプレートがそれぞれ金属製のプレートであり、これら複数枚のプレートは、積層状態で金属拡散接合によって接合されていることを特徴とするものである。
【００２４】
このように、金属拡散接合によって複数枚の金属プレートを接合する場合には、他の接合方法（例えば、接着剤接合）の場合と比べて、かなり高い圧力をプレートに作用させる必要があることから、各プレートに圧力を確実に伝えることが可能となる、本発明は特に適している。
【００２５】
第８の発明の液体移送装置の製造方法は、共通液室とこの共通液室から分岐する複数の個別流路が形成された流路ユニットと、前記複数の個別流路内の液体に移送のためのエネルギーをそれぞれ付与するエネルギー付与手段を備えた、液体移送装置の製造方法であって、
流路ユニットを構成する複数枚のプレートに、前記共通液室及び前記複数の個別流路となる孔をそれぞれ形成する流路形成工程と、前記複数枚のプレートを積層する積層工程と、積層状態の前記複数枚のプレートを接合する接合工程とを有し、
前記流路形成工程において、前記複数枚のプレートに含まれる少なくとも２枚の第１共通液室プレートと第２共通液室プレートの各々に、前記共通液室の一部をなす液室形成孔と、前記液室形成孔の側壁面から内側へ突出する第１突出部及び第２突出部とを形成し、
前記積層工程において、前記２枚の共通液室プレートを、前記第１突出部と前記第２突出部とが、それらの先端部のみにおいて互いに重なって接するように積層した後、前記接合工程において、前記２枚の共通液室プレートを含む前記複数枚のプレートを加圧しながら接合することを特徴とするものである。
【００２６】
本発明によれば、第１共通液室プレートと第２共通液室プレートの液室形成孔に設けられた第１突出部と第２突出部が、それらの先端部において互いに重なって接するように、複数枚のプレートを積層させた後、複数枚のプレートを加圧しながら接合する。このとき、共通液室と対向する領域において、第１突出部と第２突出部を介して各プレートに圧力が伝わるため、複数枚のプレートの接合を良好に行うことができる。
【００２７】
また、第１突出部及び第２突出部は、液室形成孔の側壁面全域にわたって設けられる必要はなく、側壁面の一部分にのみ設けられるだけでも、上下のプレートを支える効果を十分に発揮する。従って、第１突出部及び第２突出部が共通液室内に存在することによって、共通液室の容積が大きく減少してしまうことはなく、共通液室の容積確保のために共通液室プレートの枚数を増加させる必要は特に生じない。また、２つの突出部はそれらの先端部のみで接し、先端部以外の部分では接しないことから、共通液室内にこれらの突出部が突出して設けられることによる共通液室の流路断面積の減少、即ち、流路抵抗の増大を極力抑えることができる。
【００２８】
第９の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第８の発明において、前記複数枚のプレートがそれぞれ金属製のプレートであり、前記接合工程において、前記複数枚のプレートを金属拡散接合によって接合することを特徴とするものである。
【００２９】
金属拡散接合によって複数枚の金属プレートを接合する場合には、他の接合方法（例えば、接着剤接合）の場合と比べて、かなり高い圧力をプレートに作用させる必要があることから、各プレートに圧力を確実に伝えることが可能となる、本発明は特に適している。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、流路ユニットを構成する複数枚のプレートを接合するために、２枚の共通液室プレートを含む複数枚のプレートが積層方向に加圧されたときに、共通液室と対向する領域において、第１突出部と第２突出部を介して各プレートに圧力が伝わるため、複数枚のプレートの接合を良好に行うことができる。
【００３１】
また、第１突出部及び第２突出部は、液室形成孔の側壁面全域にわたって設けられる必要はなく、側壁面の一部分にのみ設けられるだけでも、上下のプレートを支える効果を十分に発揮する。従って、第１突出部及び第２突出部が共通液室内に存在することによって、共通液室の容積が大きく減少してしまうことはなく、共通液室の容積確保のために共通液室プレートの枚数を増加させる必要は特に生じない。また、２つの突出部はそれらの先端部のみで互いに重なって接し、先端部以外の部分では接しないことから、共通液室内にこれらの突出部が突出して設けられることによる共通液室の流路断面積の減少、即ち、流路抵抗増大を極力抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、インクをノズルまで移送するとともにこのノズルから記録用紙に対してインクの液滴を噴射させる、インクジェットプリンタ用のインクジェットヘッドに本発明の液体移送装置を適用した一例である。
【００３３】
まず、本実施形態のインクジェットヘッド（液体移送装置）を備えたインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。この図１に示すように、プリンタ１は、一方向に沿って往復移動可能に構成されたキャリッジ２と、このキャリッジ２に搭載されたインクジェットヘッド３及びサブタンク４ａ〜４ｄと、インクジェットヘッド３で使用されるインクを貯留するインクカートリッジ５ａ〜５ｄと、記録用紙Ｐを図１の紙送り方向に搬送する搬送機構６等を備えている。
【００３４】
キャリッジ２は、図１の左右方向（走査方向）に平行に延びる２本のガイド軸１７に沿って往復移動可能に構成されている。また、キャリッジ２には、無端ベルト１８が連結されており、キャリッジ駆動モータ１９によって無端ベルト１８が走行駆動されたときに、キャリッジ２は、無端ベルト１８の走行に伴って左右方向に移動するようになっている。
【００３５】
このキャリッジ２には、インクジェットヘッド３と４つのサブタンク４ａ〜４ｄが搭載されている。インクジェットヘッド３は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に多数の液滴噴射用ノズル５４（図２参照）を備えている。また、４つのサブタンク４ａ〜４ｄは、走査方向に沿って並べて配置されており、これら４つのサブタンク４ａ〜４ｄにはチューブジョイント２０が一体的に設けられている。そして、チューブジョイント２０に連結された可撓性のチューブ１１によって、４つのサブタンク４ａ〜４ｄと４つのインクカートリッジ５ａ〜５ｄとがそれぞれ接続されている。
【００３６】
４つのインクカートリッジ５ａ〜５ｄには、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの、４色のインクがそれぞれ貯留されており、これらのインクカートリッジ５ａ〜５ｄは、ホルダ１０に着脱自在に装着されている。
【００３７】
４つのインクカートリッジ５ａ〜５ｄに貯留された４色のインクは、４本のチューブ１１を介して４つのサブタンク４ａ〜４ｄに供給され、サブタンク４ａ〜４ｄにおいて一時的に貯留された後、インクジェットヘッド３に供給される。そして、インクジェットヘッド３は、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動しつつ、その下面に設けられた多数のノズル５４（図２参照）から、搬送機構６により図１の下方（紙送り方向）に搬送される記録用紙Ｐにインクの液滴を噴射する。
【００３８】
搬送機構６は、インクジェットヘッド３よりも紙送り方向上流側に配置された給紙ローラ２５と、インクジェットヘッド３よりも紙送り方向下流側に配置された排紙ローラ２６とを有する。給紙ローラ２５と排紙ローラ２６は、それぞれ、給紙モータ２７と排紙モータ２８により回転駆動される。そして、この搬送機構６は、給紙ローラ２５により、記録用紙Ｐを図１の上方からインクジェットヘッド３に供給するとともに、排紙ローラ２６により、インクジェットヘッド３によって画像や文字等が記録された記録用紙Ｐを図１の下方へ排出するように構成されている。
【００３９】
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２はインクジェットヘッドの分解斜視図、図３はインクジェットヘッドの一部拡大平面図、図４は図３のIV-IV線断面図である。尚、以下のインクジェットヘッド３の説明においては、図２における上下方向（プレートの積層方向）を上下方向と定義する。
【００４０】
図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３は、多数のノズル５４や圧力室５３を含むインク流路が形成された流路ユニット３１と、この流路ユニット３１の上面に配置され、圧力室５３内のインクにノズル５４から噴射させるためのエネルギーを付与する圧電アクチュエータ３２（エネルギー付与手段）とを備えている。
【００４１】
流路ユニット３１は、キャビティプレート４１、ベースプレート４２、アパーチャプレート４３、２枚のマニホールドプレート４４，４５、ダンパープレート４６、カバープレート４７、及び、ノズルプレート４８の、計８枚のプレート４１〜４８の積層体からなる。８枚のプレート４１〜４８のうち、最下層のノズルプレート４８は、ポリイミド等の合成樹脂材料で形成され、残り７枚のプレート４１〜４７は、それぞれ、ステンレス板やニッケル合金鋼板などの金属プレートとなっている。尚、後で詳細に説明するが、７枚の金属プレート４１〜４７は金属拡散接合により互いに接合され、合成樹脂製のノズルプレート４８は、カバープレート４７に接着剤で接合される。
【００４２】
流路ユニット３１には、前述した４つのサブタンク４ａ〜４ｄにそれぞれ接続される４つのインク供給口５０ａ、５０ｂ、５０ｃと、これら４つのインク供給口５０ａ〜５０ｃに連通したマニホールド流路５１（マニホールド形成孔５１ａ，５１ｂ）とが設けられ、さらに、マニホールド流路５１から分岐して、アパーチャ５２、及び、圧力室５３を介してノズル５４に至る個別インク流路が多数設けられている。
【００４３】
図２〜図４に示すように、流路ユニット３１の最下層のノズルプレート４８には、インクの液滴をそれぞれ噴射する複数のノズル５４が、紙送り方向に配列して穿設されているとともに、走査方向に５列並べて配置されている。尚、使用されるインクの種類が４色であるのに対して、ノズル５４の配列が５列あるのは、使用頻度の最も高いブラックインクを吐出するノズル５４のみが２列に配列されているためである。
【００４４】
一方、最上層に位置するキャビティプレート４１には、複数のノズル５４にそれぞれ対応した複数の圧力室５３が貫通形成されている。各圧力室５３は、走査方向を長手方向とする略矩形の平面形状を有し、その上側に圧電アクチュエータ３２と下側のベースプレート４２とが積層されたときに、圧力室５３が形成される。そして、複数の圧力室５３は紙送り方向に配列されて、５列の圧力室列をなしている。尚、５列の圧力室列のうち、２列は使用頻度の最も高いブラックインクが供給される圧力室５３の列であり、残りの３列は、イエロー、シアン、マゼンタの３色カラーインクがそれぞれ供給される圧力室５３の列である。さらに、キャビティプレート４１の紙送り方向の一端部（図２における左側の端部）には、サブタンク４ａ〜４ｄから供給された４色のインクをマニホールド流路５１に供給する４つのインク供給口５０ａが走査方向に並んで形成されている。
【００４５】
ベースプレート４２には、圧力室５３の長手方向の両端部にそれぞれ連通する貫通孔５６，５７と、インク供給口５０ａに連通するインク供給孔５０ｂが形成されている。
【００４６】
アパーチャプレート４３には、ベースプレート４２の貫通孔５６に連通するとともに圧力室５３の長手方向に沿って延びる、絞り流路としてのアパーチャ５２と、貫通孔５７に連通する貫通孔５８と、インク供給孔５０ｂに連通するインク供給孔５０ｃがそれぞれ形成されている。
【００４７】
マニホールドプレート４４，４５には、紙送り方向に延在し、それぞれマニホールド流路５１（共通液室）の一部をなすマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂ（液室形成孔）が、圧力室５３の列に対応して５つずつ形成されている。そして、これら２種類のマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂが上下に重なった状態で、アパーチャプレート４３とダンパープレート４６によって上下両側から塞がれることにより、マニホールド流路５１が形成される。尚、流路ユニット３１に設けられた５つのマニホールド流路５１のうち、２つはブラックインク用の２列の圧力室列に対応し、残り３つのマニホールド流路５１は、カラーインク用の３列の圧力室列に対応している。また、図２に示すように、マニホールド流路５１を形成する２種類のマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂは、アパーチャプレート４３のインク供給孔５０ｃと重なる位置まで延設されて、インク供給孔５０ｃに連通している。
【００４８】
さらに、２枚のマニホールドプレート４４，４５には、アパーチャプレート４３の貫通孔５８に連なる貫通孔５９，６０がそれぞれ形成されている。
【００４９】
さらに、これら２枚のマニホールドプレート４４，４５には、後述するように、積層状態の７枚の金属プレート４１〜４８を積層方向に加圧しながら金属拡散接合によって接合する際に、孔面積の大きいマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂと対向する領域において、良好なプレート間接合を実現するための構成が設けられている。
【００５０】
図５は、積層された２枚のマニホールドプレートの一部拡大上面図、図６は、図５のVI-VI線断面図である。図２、図３、図５、及び、図６に示すように、２枚のマニホールドプレート４４，４５のうち、上層のマニホールドプレート４４（第１共通液室プレート）には、マニホールド形成孔５１ａの一方の側壁面（図２の走査方向手前側の壁）から、プレート４４の面方向に沿って孔５１ａの内側に突出する第１突出部６４が、マニホールド形成孔５１ａの長手方向（紙送り方向）に適当間隔を空けて４つ形成されている。一方、下層のマニホールドプレート４５（第２共通液室プレート）にも、そのマニホールド形成孔５１ｂの一方の側壁面（図２の走査方向奥側の壁）から、孔５１ｂの内側に突出する第２突出部６５が、マニホールド形成孔５１ｂの長手方向に前記第１突出部６４と同じ間隔を空けて４つ形成されている。
【００５１】
より詳細には、図５、図６にあるように、上層のマニホールドプレート４４に設けられた第１突出部６４は、マニホールド形成孔５１ａの一方の側壁面（図５、図６の右側の側壁面）から、マニホールド形成孔５１ａの幅方向（孔５１ａの延在方向である紙送り方向と直交する方向）に関する中央位置まで、幅方向に対してインク流動方向下流側に傾斜した方向に沿って突出している。ここでいうインク流動方向は、インク供給口５０ａ〜５０ｃからマニホールド流路５１（マニホールド形成孔５１ａ，５１ｂ）にインクが供給され、圧力室５３へ分岐するときのマニホールド流路５１内をインクが流れる方向で、図２の紙送り方向の左側が上流側、右側側が下流側である。
【００５２】
一方、下層のマニホールドプレート４５に設けられた第２突出部６５は、マニホールド形成孔５１ｂの、第１突出部６４とは反対側の側壁面（図５、図６の左側の側壁面）から、マニホールド形成孔５１ｂの幅方向に関する中央位置まで、幅方向に対してインク流動方向下流側に傾斜した方向に沿って突出している。
【００５３】
そして、図６に示すように、２枚のマニホールドプレート４４，４５が積層された状態では、第１突出部６４と第２突出部６５とが、それらの先端部のみで上下に重なって接する。従って、金属拡散接合時に、７枚の金属プレート４１〜４７が積層方向に関して加圧されたときに、マニホールド流路５１と対向する領域において、マニホールドプレート４４，４５の上下に位置する他のプレートが、第１突出部６４と第２突出部６５によって積層方向に支えられることになり、各プレートに圧力が伝わりやすくなる。
【００５４】
また、第１突出部６４と第２突出部６５はマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの側壁面全域にわたって設けられる必要はなく、図２に示すように、側壁面の４カ所に間隔を空けて設けられるだけで、上下のプレートを支える効果を十分に発揮する。従って、第１突出部６４及び第２突出部６５がマニホールド流路５１内に存在することによって、マニホールド流路５１の容積が大きく減少することはなく、容積確保のためにマニホールドプレートの枚数を増加させる必要はない。また、２つの突出部６４，６５はそれらの先端部のみで上下方向に重なって接しており、先端部以外の部分では接しないことから、図６に示すように、第１突出部６４の下側と第２突出部６５の上側にそれぞれ流路が確保される。従って、第１突出部６４及び第２突出部６５が設けられることによる、マニホールド流路５１の流路断面積（プレート面に直交する断面における流路面積）の減少、即ち、流路抵抗の増大を極力抑えることができる。
【００５５】
また、図５に示すように、第１突出部６４と第２突出部６５は、対応する２つのマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの反対側の側壁面からそれぞれ内側に突出している。そのため、接合時に積層方向に加圧されたときに、積層して形成されるマニホールド流路５１の幅方向の側壁面を両側から支える構造であるので、側壁面が加圧により倒れたりしないように剛性を保持できる。また、第１突出部６４と第２突出部６５の先端部は、マニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの幅方向中央位置において上下に重なって接している。そのため、マニホールド流路５１のインクの流れが幅方向両側で対称になりやすく、マニホールド流路５１内の偏流発生が抑制される。また、接合時にプレート面に対して加圧された力が、面全体で均等に分布して圧力を伝えやすくなるため、プレート間の接合を良好に行うことができる。また、第１突出部６４と第２突出部６５は、それぞれ、マニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの幅方向に対して、マニホールド流路５１内におけるインク流動方向下流側に傾斜している。これにより、マニホールド流路５１内に突出する第１突出部６４と第２突出部６５が、このマニホールド流路５１を上流側から下流側へ向かうインクの流れの障害になりにくく、インクがスムーズに流れるようになり、流路抵抗増大が抑制される。
【００５６】
図２及び図４に戻って、ダンパープレート４６の下面の、平面視で５つのマニホールド流路５１とそれぞれ重なる位置には、ハーフエッチングにより凹部６１が形成されている。つまり、ダンパープレート４６は、凹部６１が形成された部分において厚みが局所的に薄くなっており、この薄肉部分が、マニホールド流路５１内の圧力変動を減衰させるダンパー部として働く。また、ダンパープレート４６には、マニホールドプレート４５の貫通孔６０に連なる貫通孔６２も形成されている。カバープレート４７には、ダンパープレート４６の貫通孔６２とノズルプレート４８に形成されたノズル５４とを連通させる貫通孔６３が形成されている。
【００５７】
以上説明した８枚のプレート４１〜４８が積層した状態で接合されることにより、流路ユニット３１内に、インク供給孔５０ａからマニホールド流路５１に至るインク流路と、マニホールド流路５１から分岐してアパーチャ５２及び圧力室５３を経由してノズル５４に至る、多数の個別インク流路が形成されている。
【００５８】
次に、圧電アクチュエータ３２について説明する。図３、図４に示すように、圧電アクチュエータ３２は、複数の圧力室５３を覆うように流路ユニット３１の上面に接合された振動板７０と、この振動板７０の上面に配置された圧電層７１と、圧電層７１の上面に配置された複数の個別電極７２と、圧電層７１の下面に配置された共通電極７３とを備えている。
【００５９】
振動板７０と圧電層７１は、共に、圧電材料（例えば、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料）により、略矩形の平面形状を有するシート状に形成されている。そして、振動板７０と圧電層７１は、互いに積層された状態で、流路ユニット３１上面に複数の圧力室５３を覆うように連続的に配置されている。また、上層に位置する圧電層７１は、予めその厚み方向に分極されている。一方、振動板７０は、圧電層７１とは違って分極処理は施されていない。
【００６０】
複数の個別電極７２は、それぞれ、圧力室５３よりも一回り小さい略矩形の平面形状を有し、圧電層７１の上面の、複数の圧力室５３の略中央部と対向する領域に配置されている。また、共通電極７３は、振動板７０と圧電層７１の間において、それらの表面のほぼ全域にわたって形成されている。
【００６１】
図２に示すように、圧電アクチュエータ３２の圧電層７１の上面には、本体側の基板から送信された印字データに従って、圧電アクチュエータ３２を駆動するドライバＩＣ８０が実装されている。このドライバＩＣ８０は、前述した複数の個別電極７２と、圧電層７１の上面に形成された配線を介して接続されている。そして、このドライバＩＣ８０から、複数の個別電極７２のそれぞれに対して、所定の駆動電位とグランド電位の一方が選択的に付与されるようになっている。一方、共通電極７３は、ドライバＩＣ８０内のグランド線に接続されることにより、常にグランド電位に保持されている。尚、ドライバＩＣ８０は、フレキシブル配線基板（ＦＰＣ）等に実装され、そのフレキシブル配線基板が圧電アクチュエータ３２と電気的かつ機械的に接合されて、本体側と接続されていてもよい。
【００６２】
このように、振動板７０と圧電層７１は、共に、全ての圧力室５３を共通に覆うように配置された、圧電材料からなる層であるが、上層に位置する圧電層７１は、圧力室５３と対向する領域において個別電極７２と共通電極７３に上下両側から挟まれた構成となっている。即ち、この圧電層７１は、個別電極７２に所定の駆動電位が付与されたときに、厚み方向の電界が印加されて圧電歪みが生じる、活性層として働く。一方、下層に位置する振動板７０は、個別電極７２と共通電極７３に挟まれた構成となっておらず、この振動板７０は、圧電材料で構成されているものの、実際には圧電歪みが生じない非活性層である。
【００６３】
以上の圧電アクチュエータ３２の、インク噴射時における動作について説明する。
ドライバＩＣ８０から、ある個別電極７２に対して駆動電位が付与されると、この駆動電位が付与された個別電極７２と、グランド電位に保持されている共通電極７３との間に電位差が生じ、これらの電極７２，７３間に挟まれた圧電層７１の部分に厚み方向に電界が印加される。この電界の方向は圧電層７１の分極方向と平行であるので、この圧電層７１は、電界が印加された部分において厚み方向に伸びて面方向に収縮する。一方、非活性層である振動板７０は、圧力室５３の周囲領域においてキャビティプレート４１に固定されていることから、上層の圧電層７１が面方向に収縮することによって、下層の振動板７０は、圧力室５３と対向する領域において、圧力室５３側に凸となるように変形する（ユニモルフ変形）。このとき、圧力室５３の容積が減少することから、その内部のインクの圧力が上昇し、圧力室５３に連通するノズル５４からインクの液滴が吐出される。
【００６４】
尚、この圧電アクチュエータ３２によって、ある圧力室５３内のインクに圧力が付与されたときに、圧力室５３で発生した圧力波がノズル５４と反対側のマニホールド流路５１に伝播し、マニホールド流路５１を介して、隣接する別の圧力室５３に伝わってしまうと（クロストークの発生）、伝播した圧力波の影響を受けて、その別の圧力室５３の駆動特性（ノズル５４の液滴噴射特性）が変化してしまう。しかし、本実施形態においては、マニホールド流路５１内に突出するように設けられた、前述の第１突出部６４と第２突出部６５が、マニホールド流路５１を介して実現される、隣接圧力室間のクロストーク（流体的クロストーク）を抑制する役割も担っている。
【００６５】
即ち、図６に示すように、マニホールド流路５１内の、第１突出部６４と第２突出部６５が設けられた部分では、流路断面積が局所的に狭められている。そのため、ある圧力室５３からマニホールド流路５１内に伝播した圧力波は、その一部が第１突出部６４と第２突出部６５で反射するとともに、この反射波が残りの圧力波と干渉することにより、このマニホールド流路５１内で弱められる。従って、マニホールド流路５１から圧力室５３に向けて圧力波が伝播するのが抑制される。
【００６６】
次に、本実施形態のインクジェットヘッド３の製造方法について説明する。尚、本実施形態においては、図７（ａ）に示すように、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２とを、それぞれ別々の工程で作製し、その後で、図７（ｂ）に示すように、流路ユニット３１の上面に圧電アクチュエータ３２を接着することによって、インクジェットヘッド３を製造している。
【００６７】
（流路ユニット作製工程）
最初に、流路ユニット３１の作製工程について主に図８を参照して説明する。まず、流路ユニット３１を構成する８枚のプレート４１〜４８のそれぞれに、ノズル５４、圧力室５３、アパーチャ５２、マニホールド５１等のインク流路となる孔を形成する（流路形成工程）。
【００６８】
ここで、ポリイミドなどの合成樹脂材料で形成されたノズルプレート４８については、レーザー加工等によって複数のノズル５４を穿設する。一方、７枚の金属プレート４１〜４７については、エッチングなどによって、圧力室５３、アパーチャ５２、マニホールド５１等となる孔を形成する。このとき、２枚のマニホールドプレート４４，４５には、マニホールド形成孔５１ａ，５１ｂと、マニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの側壁面から内側に突出する４つの第１突出部６４と４つの第２突出部６５を、同時に形成する。
【００６９】
次に、図８（ａ）に示すように、それらの内部にマニホールド流路５１や多数の個別インク流路が形成されるように、７枚の金属プレート４１〜４７を図示しない位置合わせマーク等で位置合わせして積層させる（積層工程）。このとき、２枚のマニホールドプレート４４，４５を、第１突出部６４と第２突出部６５とが、それらの先端部のみにおいて上下方向に互いに重なって接するように積層する。
【００７０】
さらに、図８（ｂ）に示すように、積層状態の７枚のプレート４１〜４７を金属拡散接合により接合する（接合工程）。即ち、高温条件下（例えば１０００℃程度）で、７枚のプレート４１〜４７を積層方向に加圧することにより、プレート間で金属原子を相互に拡散させて接合する。
【００７１】
ところで、金属拡散接合において、各プレート間での金属原子の拡散を確実に生じさせて良好な接合を行うためには、各プレートにかなり大きな圧力を作用させなければならないが、孔面積の大きなマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂと対向する領域においては、外部からの押圧力に対抗してプレートを支える力が生じにくく、各プレートに十分な圧力が作用しなくなる虞がある。しかし、前述したように、２枚のマニホールドプレート４４，４５のマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂからそれぞれ突出するように設けられた第１突出部６４と第２突出部６５が、それらの先端部において上下に重なって接している。そのため、マニホールド流路５１と対向する領域において、第１突出部６４と第２突出部６５が、マニホールドプレート４４，４５の上下に位置するプレートを支える構造となり、第１突出部６４と第２突出部６５を介して、各プレートに圧力が伝わりやすくなる。従って、孔面積の大きなマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂと対向する領域においても各プレートを十分に大きな圧力を作用させることができるため、プレート間の接合を良好に行うことができる。
【００７２】
次に、図８（ｃ）に示すように、接合工程で得られた７枚の金属プレート４１〜４７からなる積層体の、下面（カバープレート４７の下面）に、合成樹脂製のノズルプレート４８を接着剤で接合する。これにより、計８枚のプレート４１〜４８からなる流路ユニット３１の作製が完了する。
なお、上述の製造方法では、ノズルプレート４８のみを、拡散接合にて積層された積層体の下面に接着剤で接合しているが、ノズル５４に連通するインク流路の一部となる孔が形成された金属製のベースプレート４７に対し、ノズル５４が未加工の合成樹脂製のノズルプレート４８を接着剤で接合し、ベースプレート４７に形成された孔を介してレーザー光でノズルプレート４８にノズル５４を穿設した後、ベースプレート４７とノズルプレート４８の２枚組の積層体と、他の６枚の金属プレート４１〜４６を拡散接合にて接合した積層体とを接着剤で接合して流路ユニット３１を作成してもよい。
また、ノズルプレート４８が合成樹脂製のプレートに限ることはなく、８枚のプレート４１〜４８全てが金属製のプレートであってもよく、この場合は、拡散接合による接合工程を用いることで、より本発明の構成が適している。
【００７３】
（圧電アクチュエータ作製工程）
次に、圧電アクチュエータ３２の作製工程について説明する。まず、未焼成のグリーンシートを２枚用意し、圧電層７１（活性層）となる一方のグリーンシートの両面に、複数の個別電極７２と共通電極７３をそれぞれスクリーン印刷等の方法により形成する。次に、図７（ａ）に示すように、振動板７０及び圧電層７１となる２枚のグリーンシートを、共通電極７３が両者の間に挟まれるように重ねてから、２枚のグリーンシートを高温で焼成することにより、圧電アクチュエータ３２を得る。
【００７４】
（アクチュエータ接着工程）
最後に、図７（ｂ）に示すように、流路ユニット作製工程で得られた流路ユニット３１の、キャビティプレート４１の上面に、圧電アクチュエータ作製工程で得られた圧電アクチュエータ３２を、接着剤で接合する。これにより、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２を備えたインクジェットヘッド３の製造工程が完了する。
【００７５】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００７６】
（変更形態１）
図９、図１０に示すように、２枚のマニホールドプレート４４，４５にそれぞれ形成された第１突出部６４と第２突出部６５の、互いに接する先端部以外の部分に凹部６４ａ，６５ａがそれぞれ形成されることによって、突出部６４，６５に、先端部よりも厚みの薄い薄肉部６４ｂ，６５ｂが設けられてもよい。この場合には、薄肉部６４ｂ，６５ｂ（凹部６４ａ，６５ａ）が突出部に形成された分、マニホールド流路５１の流路断面積が大きくなるため、第１突出部６４と第２突出部６５が設けられることによって、マニホールド流路５１の流路抵抗が増大するのを抑えることができる。
【００７７】
（変更形態２）
上述した変更形態１（図１０）においては、２つの突出部６４，６５に薄肉部６４ｂ，６５ｂを形成するためにそれぞれ設けられる凹部６４ａ，６５ａは、対面する他方の突出部と反対側の面に設けられているが、図１１に示すように、対面する他方の突出部側の面に設けられてもよい。
【００７８】
（変更形態３）
図１２に示すように、第１突出部６４及び第２突出部６５が、対応するマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの側壁面から、これらマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの幅方向と平行にそれぞれ突出していてもよい。この場合でも、マニホールド流路５１内のインクの流れが幅方向両側で対称になりやすいことから、マニホールド流路５１内の偏流発生が抑制される。
【００７９】
（変更形態４）
第１突出部６４と第２突出部６５が、対応するマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの反対側の側壁面からそれぞれ突出している必要は必ずしもなく、図１３、図１４に示すように、第１突出部６４と第２突出部６５が、対応するマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂの、同じ側にある側壁面（図では右側の側壁面）からそれぞれ突出していてもよい。
【００８０】
（変更形態５）
マニホールド形成孔が設けられるマニホールドプレートの枚数は、２枚に限られるものではなく、３枚以上であってもよい。例えば、図１５、図１６に示すように、マニホールド流路５１が３枚のマニホールドプレート４４，４５，９０によって形成されている場合には、これら３枚のマニホールドプレート４４，４５，９０に、マニホールド形成孔５１ａ，５１ｂ，５１ｃの側壁面から内側へそれぞれ突出する３つの突出部６４，６５，６６が設けられ、３つの突出部６４，６５，６６がそれらの先端部のみにおいて重なって接するように構成されてもよい。
また、突出部は、マニホールド孔側壁面から内側に向けて、必ずしも直線状に突出する必要なく、流路抵抗を阻害しない程度に湾曲したり、カギ状であってもよい。また、突出部を設ける幅や、マニホールド孔の延在方向において配置する突出部の数やその配置位置は適宜変更可能である。
【００８１】
（変更形態６）
前記実施形態は、各プレートに積層方向に大きな圧力を作用させる必要のある、金属拡散接合によって複数枚の金属プレートを接合する場合を例に挙げて説明したが、金属拡散接合以外の接合方法によって積層プレートを接合する場合においても本発明を適用できる。例えば、接着剤を用いて複数枚のプレートを接合する場合には、複数枚のプレートの接合面のそれぞれに、エポキシ系接着剤などの熱硬化性接着剤を塗布、または接着シートを貼るなどしてから、複数枚のプレートを積層し、接着剤の硬化温度以上の温度条件下で複数枚のプレートを積層方向に加圧しながら接合する。このような場合でも、孔面積の大きなマニホールド形成孔と対向する領域においては、加圧が不十分になってプレート間に隙間が生じたり、マニホールド形成孔の側壁面が加圧によって倒れるるなどして、接着不良が発生しやすいことから、突出部をマニホールド形成孔に有した本発明を適用することは十分に有効である。
なお、突出部を有する複数枚のマニホールドプレートの接合面に接着剤が全面に塗布または貼付される場合など、マニホールド形成孔内の突出部の接合面に付着した接着剤が、マニホールド流路内のインクに触れることが考えられる場合は、接着剤はインクに対して浸食しないものを選択するのがよい。
【００８２】
以上、本発明の実施の形態として、インク流路内のインクに圧力を付与してノズルから噴射させる、インクジェットヘッドに本発明を適用した例を挙げて説明したが、本発明の適用対象は、このようなインクジェットヘッドに限られるものではない。即ち、インク以外の液体、例えば、薬液や化学溶液等の液体を、外部への液滴噴射以外の目的で所定の位置まで移送する、様々な分野で使用される液体移送装置に本発明を適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本実施形態に係るインクジェットプリンタの概略平面図である。
【図２】インクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図３】インクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図４】図３のIV-IV線断面図である。
【図５】積層された２枚のマニホールドプレートの一部拡大上面図である。
【図６】図５のVI-VI線断面図である。
【図７】インクジェットヘッドの製造工程を示す図であり、（ａ）は流路ユニットと圧電アクチュエータの接着前の状態を示す図、（ｂ）は接着後の状態を示す図である。
【図８】流路ユニット作製工程を示す図であり、（ａ）は積層工程、（ｂ）は接合工程、（ｃ）はノズルプレートの接着工程をそれぞれ示す。
【図９】変更形態１に係るマニホールドプレートの一部拡大上面図である。
【図１０】図９のX-X線断面図である。
【図１１】変更形態２に係るマニホールドプレートの図１０相当の断面図である。
【図１２】変更形態３に係るマニホールドプレートの一部拡大上面図である。
【図１３】変更形態４に係るマニホールドプレートの一部拡大上面図である。
【図１４】図１３のXIV-XIV線断面図である。
【図１５】変更形態５に係るマニホールドプレートの一部拡大上面図である。
【図１６】図１５のXVI-XVI線断面図である。
【符号の説明】
【００８４】
３  インクジェットヘッド
３１  流路ユニット
３２  圧電アクチュエータ
４１  キャビティプレート
４２  ベースプレート
４３  アパーチャプレート
４４  マニホールドプレート（第１共通液室プレート）
４５  マニホールドプレート（第２共通液室プレート）
４６  ダンパープレート
４７  カバープレート
４８  ノズルプレート
５１  マニホールド（共通液室）
５１ａ，５１ｂ  マニホールド形成孔（液室形成孔）
６４  第１突出部
６４ｂ  薄肉部
６５  第２突出部
６５ｂ  薄肉部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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