(57)【要約】  【課題】接続装置の表示順と接続装置の表示有無をユーザ毎に設定・変更可能にする仕組みを提供する。  【解決手段】基板を処理する基板処理装置１０と、該基板処理装置１０に接続される群管理装置２０とで構成される基板処理システム１であって、前記群管理システム２０は、システムパラメータファイル内の接続装置情報及びユーザパラメータファイル内のユーザ表示情報とをメモリに展開する初期化部４と、前記ユーザ表示情報と前記接続装置情報を照合してユーザ毎に予め設定されている表示対象の基板処理装置１０を決定する判定部５と、前記判定部５により決定された基板処理装置１０に関する情報を表示する表示部３と、を有する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置に接続される群管理装置とで構成される基板処理システムであって、
前記群管理システムは、
システムパラメータファイル内の接続装置情報及びユーザパラメータファイル内のユーザ表示情報とをメモリに展開する初期化部と、
前記ユーザ表示情報と前記接続装置情報を照合してユーザ毎に予め設定されている表示対象の基板処理装置を決定する判定部と、
前記判定部により決定された基板処理装置に関する所定の情報を表示する表示部と、
を有する基板処理システム。
【請求項２】
前記内部メモリに展開されている前記ユーザ表示情報とともに該ユーザ表示情報を格納していた前記ユーザパラメータファイルを変更する設定部を更に設け、
前記表示部に入力された前記ユーザ表示情報の変更情報を受付けると、前記設定部は、該変更情報に基づいて前記ユーザ表示情報を更新する請求項１記載の基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等の基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置の生産履歴や稼動状態を閲覧する群管理装置で構成される基板処理システムに関し、特に、該群管理装置に接続されている基板処理装置を表示する機能に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板処理システムでは、接続された基板処理装置を一覧形式で順番に表示しており、接続されている基板処理装置が増えれば増えるほど表示する数が無駄に多くなっていた。このように、複数台の基板処理装置が接続されている場合、ユーザが選択したい装置が末端に登録されていると、当該装置を選択するまでに多くの操作が必要になっていた。
【０００３】
また、一覧表示では接続装置順のため、ユーザ毎に表示させたい装置が異なっていても、全装置を表示させた後、選択して絞って表示していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は従来技術の問題点である、接続装置の表示順と接続装置の表示有無をユーザ毎に設定・変更可能にする仕組みを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の特徴とするところは、基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置に接続される群管理装置とで構成される基板処理システムであって、前記群管理システムは、システムパラメータファイル内の接続装置情報及びユーザパラメータファイル内のユーザ表示情報とをメモリに展開する初期化部と、前記ユーザ表示情報と前記接続装置情報を照合してユーザ毎に予め設定されている表示対象の基板処理装置を決定する判定部と、前記判定部により決定された基板処理装置に関する所定の情報を表示する表示部と、を有することにある。
【０００６】
本発明の第２の特徴とするところは、第１の特徴において、内部メモリに展開されているユーザ表示情報とともに該ユーザ表示情報を格納していたユーザパラメータファイルを変更する設定部を設け、前記表示部に入力された前記ユーザ表示情報の変更情報を受付けると、前記設定部は、該変更情報に基づいて前記ユーザ表示情報を更新することにある。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ユーザ毎に参照したい装置を選択したり、並べ替えたりすることで、必要最小限の情報を的確に収集することができ、また、ユーザが装置の状況を参照する際に、作業時間の短縮を図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、本発明の一実施形態に係る基板処理システムの構成、及び動作について、図を用いて説明する。まず、図１を用いて、本発明の一実施形態に係る基板処理システムの構成について説明する。
【０００９】
図１に示すとおり、基板処理システムは、基板に処理を行う少なくとも一台以上の基板処理装置１０と、基板処理装置１０に接続される群管理装置２０とを備える。尚、基板処理装置１０と群管理装置２０との接続は、通信ケーブル等による直接接続であっても良いし、構内回線を介したネットワーク接続でも良いし、インターネットや専用線網などの広域回線を介したネットワーク接続であっても良い。また、基板処理装置１０は、基板を処理するための基板処理系１００と、基板処理系１００に接続された基板処理装置用コントローラ２４０と、基板処理装置用コントローラ２４０に接続された操作端末２４１を備え、群管理装置２０は、ネットワーク等を解して基板処理装置１０に接続される群管理装置コントローラ２１と、群管理装置コントローラ２１に接続され、ユーザ（保守員）が群管理装置を操作する際に用いる入出力装置である操作端末２２とを備える。
【００１０】
本発明を実施するための最良の形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（IC）の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。
【００１１】
図９および１０に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の基板処理系１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【００１２】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００１３】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。  ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００１４】
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａおよびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）および脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００１５】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００１６】
図９に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側と反対側である右側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給フアンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５およびウエハ移載装置１２５ａに流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【００１７】
図９に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００１８】
次に、本発明の基板処理系１００の動作について説明する。
図９および１０に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００１９】
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（ウエハチャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。
【００２０】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載装置１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５ないしロードポート１１４から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００２１】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が炉口シャッタ１４７によって開放される。続いて、ウェハ２００を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。
【００２２】
ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体１１１の外部へ払出される。
【００２３】
次に図２を用いて、本願発明における群管理装置２０のフローについて詳述する。
【００２４】
図２において、本願発明の群管理装置２０は、システムパラメータファイルを格納する第一の格納手段２ａと、ユーザパラメータファイルを格納する第二の格納手段２ｂと、前記システムパラメータファイル内の接続装置情報及び前記ユーザパラメータファイル内のユーザ表示情報とを内部メモリ７に展開する初期化部４と、ユーザ毎に予め設定されている基板処理装置１０を前記ユーザ表示情報に基づいて判定する判定部５と、前記ユーザ表示情報に基づいて判定された基板処理装置１０に関する所定の情報を表示する表示部３と、前記内部メモリ７に展開されている情報を更新する設定部６と、操作画面やキーボード等の入力手段とを備えた操作部（操作端末）２２とで構成される。
【００２５】
尚、本願発明は、群管理装置コントローラ（制御手段）２１より群管理装置２０で処理されるプログラムフローを実行することにより実現される。
【００２６】
具体的に、以下プログラム処理フローの流れを説明する。
【００２７】
（１）基板処理システム１起動時に、初期化部４がシステムパラメータファイルとユーザパラメータファイルを内部メモリに展開することで、システムパラメータファイル内の接続装置情報とユーザパラメータファイル内のユーザ表示情報が初期化される。
【００２８】
（２）群管理装置２０（モニタサーバ）起動後、画面表示時に判定部５が、前記ユーザ表示情報と前記接続装置情報とを照合してユーザ毎に表示対象の基板処理装置１０を決定する。
【００２９】
（３）表示部３を経由して操作部２２に前記基板処理装置１０に関する情報を群管理装置２０の操作画面に表示する。
【００３０】
（４）ユーザが前記操作画面に表示される前記基板処理装置１０に関する情報を変更する場合、キーボード等の入力手段を用いて設定等の入力を行い、該入力を設定部６が受付けると、内部メモリに展開されているユーザ表示情報を更新し、更に、ユーザパラメータファイルを更新する。
【００３１】
以下、図３〜図８を用いて、基板処理システムにおける基板処理装置管理方法を説明する。
【００３２】
図３は初期設定時における基板処理装置をＮ台接続したときの郡管理装置の操作画面を示す。図４は、図３におけるユーザ表示情報と装置接続情報との関連を示す。図５は、初期設定時のユーザ表示情報である表示順を変更したときの群管理装置の操作画面を示す。図６は、図５におけるユーザ表示情報と装置接続情報の関連を示す。図７は、装置１以外を削除した場合の群管理装置の操作画面を示す。図８は、図７におけるユーザ表示情報と装置接続情報との関連を示す。
【００３３】
図３及び図４に示されるように初期設定時は、装置接続順に表示される。ここで、図４に示されるユーザ表示情報はユーザが表示させる装置情報（基板処理装置１０に関するデータ）を設定するテーブルである。図４のように、ユーザ表示情報として先頭の１から順に２，３〜Ｎが設定されているので、判定部５は、該ユーザ表示情報を参照することで、該当する基板処理装置１０の表示設定を可能にしている。
【００３４】
図５は、図４に示されるユーザ表示情報を変更した際に操作画面に表示される一例を示す。この例のように基板処理装置１０の表示設定を変更するには、図６のようにユーザ表示情報を設定することで実現できる。これにより、ユーザ表示情報の先頭に４が設定され、その後に１，２，３，５〜Ｎが設定されているので、判定部５が、このユーザ表示情報を参照し、装置接続情報と照合すること表示対象の基板処理装置１０が決定され、その後、前記表示対象の基板処理装置１０は表示部３より操作部２２の操作画面に表示される。
【００３５】
図７には、装置１しか表示されていない。つまり、装置１以外を全て削除した（表示対象から外した）場合に表示される群管理装置２０の操作画面を示す。この操作画面は、図８のように、ユーザ表示情報で先頭に１のみ設定され、その他は０に設定されている。これにより、先頭に装置１のみを表示し、以下を全て未表示とすることができる。
【００３６】
このように本実施形態において、ユーザ表示情報テーブルを更新するだけで、群管理装置２０に表示させる基板処理装置１０を管理することができる。従って、ユーザは必要な装置情報を取得することができるので、データの解析などの作業効率が良くなる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理システムの概略構成図
【図２】本発明の実施形態に係る群管理装置におけるプログラム処理フローを示した図
【図３】初期設定時における基板処理装置をＮ台接続したときの郡管理装置の操作画面。
【図４】初期設定時におけるユーザ表示情報と装置接続情報との関連を示す図
【図５】初期設定時におけるユーザ表示情報を変更したときの群管理装置の操作画面の一例を示す図
【図６】図５におけるユーザ表示情報と装置接続情報との関連を示す図
【図７】初期設定時におけるユーザ表示情報を変更したときの群管理装置の操作画面の他の例を示す図
【図８】図７におけるユーザ表示情報と装置接続情報との関連を示す図
【図９】本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す平面透視図
【図１０】本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す側面透視図
【符号の説明】
【００３８】
１  基板処理システム
２  格納手段
２ａ  第一の格納手段
２ｂ  第二の格納手段
３  表示部
４  初期化部
５  判定部
６  設定部
７  内部メモリ
１０  基板処理装置
２０  群管理装置
２１  群管理装置コントローラ
２２  操作端末（操作部）
１００  基板処理系
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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