(57)【要約】      （修正有）【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の荷の入出庫が、ＯＨＴ等の搬送車との間で行われる保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を出入庫する。【解決手段】保管庫１０は、内部が複数段に分断されていると共に、荷３を出し入れ可能な出入口Ｈ１，Ｈ２が、複数段のうちの一の段に設けられている本体部と、本体部内に、複数段の各々において、荷を夫々載置可能である複数の載置部と、本体部内における出入口Ｈ１，Ｈ２に隣接する内部出入位置を含む鉛直空間内で上下移動可能であると共に、複数段の各々において、鉛直空間に隣接する一の載置部との間で荷が移載される上下移動手段１２と、本体部外における出入口Ｈ１，Ｈ２に隣接する外部出入位置に配置されており、内部出入位置にある上下移動手段１２との間で、且つ本体部外に敷設された搬送手段３０との間で、荷が移載される入出庫ポートＰ１，Ｐ２とを備える。【選択図】図１
2009196776.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段のうちの一の段に設けられている本体部と、
該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能であると共に、相互間で前記荷が夫々水平移動される複数の載置部と、
前記本体部内における前記出入口に隣接する内部出入位置を含む鉛直に延びる鉛直空間内で上下移動可能であると共に、前記複数段の各々において、前記複数の載置部のうち前記鉛直空間に隣接する一の載置部との間で前記荷が移載される上下移動手段と、
前記本体部外における前記出入口に隣接する外部出入位置に配置されており、前記内部出入位置にある前記上下移動手段との間で、前記出入口を介して前記荷が移載されると共に、前記本体部外に敷設された搬送手段との間で、前記荷が移載される入出庫ポートと
を備えることを特徴とする保管庫。
【請求項２】
前記複数の載置部は夫々、前記複数段の各々における前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の保管庫。
【請求項３】
前記本体部内に、前記複数段の各々における前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能な内部移動手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の保管庫。
【請求項４】
前記上下移動手段は更に、前記一の載置部との間で前記荷を水平移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の保管庫。
【請求項５】
前記複数段の各々において、前記上下移動手段と前記一の載置部との間で前記荷を水平移動する内側移載手段を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の保管庫。
【請求項６】
前記内部移動手段は更に、前記複数段の各々において、前記上下移動手段と前記一の載置部との間で前記荷を水平移動可能に構成されていることを特徴とする請求項３に記載の保管庫。
【請求項７】
前記入出庫ポートは、前記搬送手段との間で前記荷を水平移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の保管庫。
【請求項８】
前記入出庫ポートと前記搬送手段との間で前記荷を水平移動する外側移載手段を更に備えることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の保管庫。
【請求項９】
前記搬送手段は、前記本体部の側壁に沿って延びる経路を有し、
前記出入口は、前記一の段において、前記側壁に所定の水平距離を隔てて複数設けられており、
前記入出庫ポートは、前記出入口に対応して、前記側壁に沿って前記所定の水平距離を隔てて複数設けられている
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の保管庫。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の保管庫と、
前記搬送手段と
を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項１１】
前記搬送手段は、
前記本体部の側壁に沿って延びる経路と、
前記入出庫ポートに隣接する位置における前記経路の部分に、前記荷を支持するための支持部と、
該支持部における、少なくとも前記荷を載置するための範囲に対応する部分を、水平面内で回転可能な回転機構と
を備えることを特徴とする請求項１０に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばビークル等の搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）等の荷の入出庫が行われる保管庫、及び該保管庫を備える搬送システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の保管庫は、例えば複数の棚、並びに搬入ポート及び搬出ポートを備え、これら搬入ポート及び搬出ポートを介して、複数の棚に載置される或いは載置されているカセットの入出庫を行う（特許文献１参照）。
【０００３】
また、ＦＯＵＰアドバンスプレートアセンブリによりロードポートを昇降させることで、ＦＯＵＰをコンベアへ又はコンベアから移載可能である搬送システムがある（特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−０４９４５４号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ２００７／０９１５９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１の保管庫によれば、保管庫が多数の棚を備えており、多数の棚にて多数のカセットが収容又は載置可能である場合に、多数のカセットの入出庫は、搬入ポート及び搬出ポートの２つのポートだけを介して行われるので、搬送効率が低いという技術的課題がある。
【０００６】
また、上述した特許文献２の搬送システムによれば、ロードポートの昇降距離が比較的長い場合に、コンベアとの間で、１つのＦＯＵＰの移載が迅速に行われても、多数のＦＯＵＰの移載では、荷の数に比例してその昇降時間が増大してしまい、搬送効率が低下するという技術的課題がある。
【０００７】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、簡単な構成により効率良くカセットやＦＯＵＰ等の荷を入出庫することを可能ならしめる保管庫、このような保管庫を備える搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の保管庫は上記課題を解決するために、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段のうちの一の段に設けられている本体部と、該本体部内に、前記複数段の各々において、水平二方向に広がるように配列されており、前記荷を夫々収容又は載置可能であると共に、相互間で前記荷が夫々水平移動される複数の載置部と、前記本体部内における前記出入口に隣接する内部出入位置を含む鉛直に延びる鉛直空間内で上下移動可能であると共に、前記複数段の各々において、前記複数の載置部のうち前記鉛直空間に隣接する一の載置部との間で前記荷が移載される上下移動手段と、前記本体部外における前記出入口に隣接する外部出入位置に配置されており、前記内部出入位置にある前記上下移動手段との間で、前記出入口を介して前記荷が移載されると共に、前記本体部外に敷設された搬送手段との間で、前記荷が移載される入出庫ポートとを備える。
【０００９】
本発明の保管庫によれば、例えばビークル等の搬送車との間で、例えばＦＯＵＰ等の荷の入出庫が行われる。該搬送車は、例えばホイスト機構等の昇降手段を備えており、該昇降手段は、例えばグリッパ等の保持手段を備える。搬送車は、例えば軌道に沿って走行し、該保持手段により保持された荷を、当該保管庫や、例えば半導体素子製造用の製造装置、他の保管庫或いはストッカ等へ搬送する。搬送車は、入出庫の際に、昇降手段により保持手段又は保持手段により保持された荷を昇降させることで、当該保管庫や、製造装置等における入出庫ポートへ又は入出庫ポートから荷を移載する。
【００１０】
本発明の保管庫は、例えば比較的背の低い製造装置等の処理装置の上方に配置される。但し、該処理装置と軌道との間には、当該保管庫に対応する（即ち、当該保管庫を配置するための）空間が必要である。本発明は、例えば処理装置の上方で、本来利用されない空間を有効利用可能な保管庫でもある。
【００１１】
本発明の保管庫は、本体部と、複数の載置部と、上下移動手段と、入出庫ポートとを備える。本体部は、例えば筐体やフレーム等であり、その内部は、鉛直方向に複数段に分断されている。ここで「複数段」は、例えば該内部の高さ、実際には、上述した処理装置の上方の空間における上下方向の長さに対応しており、「複数段」の間隔は、例えば荷の高さよりも大きく設定されている。本発明は、例えば各段にグループや種類等を割り当て、各段に所定区分の荷を複数保管可能である。本発明は特に、連続して２つの荷が入庫又は出庫されたり、並びに入庫すべき荷が入庫された直後に出庫すべき荷が出庫される場合に、効率良く入出庫可能な保管庫である。また、このような保管庫は、ストッカと呼ばれてもよい。
【００１２】
複数段のうちの少なくとも一の段には、出入口が設けられている。本体部内において、該出入口に隣接する位置が、「内部出入位置」として設定されており、本体部外において、該出入口に隣接する位置が、「外部出入位置」として設定されている。また、内部出入位置を含む鉛直に延びる空間が、「鉛直空間」として設定されている。
【００１３】
複数段の各々における複数の載置部は、例えば軌道に平行な水平一方向と、軌道に直交する水平一方向との水平二方向に広がる範囲に配列されている。該複数の載置部は、例えば複数のローラからなるローラコンベアや、ベルトコンベア等のコンベアを備える。これらのコンベアにより、複数の載置部間で荷が水平移動（即ち、保管庫内搬送）される。複数の載置部のうち鉛直空間に隣接する載置部が、「一の載置部」として設定されている。
【００１４】
上下移動手段は、鉛直空間内で上下移動され、例えば複数段の各々において、一の載置部に対応する位置に移動される。この際に、上下移動手段と、いずれかの段における一の載置部との間で、荷が水平方向に移載される。
【００１５】
入出庫ポートは、外部出入位置に配置されており、一の段における内部出入位置にある上下移動手段との間で、又は搬送手段との間で、荷が水平方向に移載される。搬送手段は、例えば本体部外壁から所定距離を隔てて本体部外壁に沿って設けられている。入出庫ポートは、例えば搬送車から荷が移載される移載面を回動させる機構、スライドさせる機構、荷を該移載面と一の載置部との間で移載可能なロボットアーム、又は載置部と同じ若しくは異なるコンベア等を備える。
【００１６】
このような本発明の保管庫において、入庫時には、例えば入庫すべき荷が搬送車から、入出庫ポートへ移載（入庫）される。次に、上下移動手段が内部出入位置に移動され、入出庫ポートから上下移動手段へ荷が移載される。次に、上下移動手段が保管すべき段に対応する上下位置へ移動される。次に、上下移動手段から同段における一の載置部へ荷が移載される。すると、複数の載置部により、該一の載置部から、同段における所望の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。
【００１７】
出庫時には、例えば出庫すべき荷が所望の載置部から、同段における一の載置部へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。次に、上下移動手段が、出庫すべき荷を保管している段に対応する上下位置になければ、上下移動手段が、出庫すべき荷を保管している段に対応する上下位置へ移動される。次に、一の載置部により、荷が上下移動手段へ水平移動されると、上下移動手段が内部出入位置へ移動される。次に、上下移動手段から入出庫ポートへ荷が移載され、入出庫ポート上の荷が該入出庫ポートから搬送車へ移載（出庫）される。
【００１８】
上述した入庫動作及び出庫動作は、１つの入出庫ポートを介して行われるが、入庫時には、例えば搬送車から移載（入庫）された荷が、入庫直後に、入出庫ポートから、上下移動手段に移載され、入庫から僅かな時間で入出庫ポートが空荷の状態となるので、入出庫ポートにおける１つの荷に要する入庫時間が短縮される。また、出庫時には、例えば上下移動手段上の出庫すべき荷が入出庫ポートに移動された直後に、入出庫ポートから搬送車へ移載されれば、出庫すべき荷を載置してから僅かな時間で入出庫ポートが空荷の状態となるので、入出庫ポートにおける１つの荷に要する出庫時間が短縮される。
【００１９】
従って、本発明では、上下移動手段及びその後に移載される複数段の各々における一の載置部が、入庫直後又は出庫直前に、入庫された荷又は出庫すべき荷を載置するための仮の入出庫ポートとして機能する。これにより、本来の入出庫ポートは、搬送車又は上下移動手段との間で荷を受け渡しすればよいので、本来の入出庫ポートにおける１つの荷に要する入庫時間又は出庫時間が大幅に短縮される。
【００２０】
また、上下移動手段には、複数の載置部により連続して複数の荷を移載可能であり、複数段の各々において、入庫された荷又は出庫すべき荷が独立して保管庫内搬送される。このため、１台の搬送車による、入庫すべき荷が入庫された後に出庫すべき荷が出庫される一連の入出庫、並びに複数台の搬送車による連続した入庫又は出庫の際に、複数の荷（即ち、入庫された荷及び／又は出庫すべき荷）にかかる保管庫内搬送時間が最短に抑えられる。
【００２１】
以上のように、入出庫ポートにおける入庫時間及び出庫時間の短縮、並びに保管庫内搬送時間の最短化により、効率良く荷を入出庫することができる。
【００２２】
尚、本発明の保管庫は、例えば入出庫ポートを２つ以上備えてもよい。入出庫ポートを２つ備える場合に、例えば出入口に対応して設けられた一方の入出庫ポートが入庫専用のポートとして、他の出入口に対応して設けられた他方の入出庫ポートが出庫専用のポートとして機能する。これにより、入庫又は出庫専用のポートを介して、多数の荷を入庫又は出庫することができる。このような２つ入出庫ポートは、横並びに隣接して設けられてもよいし、両端又はその付近に相互に離れて設けられてもよい。
【００２３】
本発明の保管庫の一態様では、前記複数の載置部は夫々、前記複数段の各々における前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能に構成されている。
【００２４】
この態様によれば、複数の載置部は、例えば複数のローラからなるローラコンベアや、ベルトコンベア等のコンベアを備えており、これらのコンベアにより、相互間で荷を水平移動させることができる。
【００２５】
本発明の保管庫の他の態様では、前記本体部内に、前記複数段の各々における前記複数の載置部間で前記荷を水平移動可能な内部移動手段を更に備える。
【００２６】
この態様によれば、複数の載置部の各々は、例えば単に荷を収容又は載置可能である。内部移動手段は、例えば荷を載置部に代わってその底側から支持する支持部と、該支持部を水平移動させるロボットアーム等の移動機構とを備える。或いは、ローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベア機構により、載置部間で荷を移動する機構を備えてもよい。内部移動手段は、これらの機構により、複数の載置部間で支持部を水平移動させることで、荷を水平移動させることができる。
【００２７】
本発明の保管庫の他の態様では、前記上下移動手段は更に、前記一の載置部との間で前記荷を水平移動可能に構成されている。
【００２８】
この態様によれば、上下移動手段は、上下移動する機構に加えて、例えば入出庫ポートから荷が移載される移載面を回動させる機構、スライドさせる機構、荷を該移載面と入出庫ポートとの間で移載可能なロボットアーム、又は載置部と同じ若しくは異なるコンベア等を備える。上下移動手段は、これらの機構により、いずれかの段における一の載置部との間で、荷を水平移動させることができる。
【００２９】
本発明の保管庫の他の態様では、前記複数段の各々において、前記上下移動手段と前記一の載置部との間で前記荷を水平移動する内側移載手段を更に備える。
【００３０】
この態様によれば、上下移動手段は、例えば単に鉛直空間内で上下移動可能である。内側移載手段は、例えば入出庫ポートから荷が移載される移載面を回動させる機構、スライドさせる機構、荷を該移載面と入出庫ポートとの間で移載可能なロボットアーム、又は載置部と同じ若しくは異なるコンベア等を備える。内側移載手段は、これらの機構により、いずれかの段における一の載置部との間で、荷を水平移動させることができる。
【００３１】
この態様によれば、前記内部移動手段は更に、前記複数段の各々において、前記上下移動手段と前記一の載置部との間で前記荷を水平移動可能に構成されていてもよい。
【００３２】
このように構成すれば、内部移動手段は、例えば支持部と、移動機構とを備える。この場合に、内部移動手段は、上下移動手段と、いずれかの段における一の載置部との間で、支持部を水平移動させることで、荷を水平移動させることができる。
【００３３】
本発明の保管庫の他の態様では、前記入出庫ポートは、前記搬送手段との間で前記荷を水平移動可能に構成されている。
【００３４】
この態様によれば、入出庫ポートは、例えば搬送車又は上下移動手段又は搬送手段との間で、荷が移載される移載面を回動させる機構、スライドさせる機構、荷を該移載面と搬送車との間で移載可能なロボットアーム、又は載置部と同じ若しくは異なるコンベア等を備える。入出庫ポートは、このような機構により、搬送手段との間で荷を水平移動させることができる。
【００３５】
本発明の保管庫の他の態様では、前記入出庫ポートと前記搬送手段との間で前記荷を水平移動する外側移載手段を更に備える。
【００３６】
この態様によれば、入出庫ポートは、例えば単に荷を移載するための移載面である。外側移載手段は、例えば移載面を回動させる機構、スライドさせる機構、荷を該移載面と搬送手段との間で移載可能なロボットアーム、又は載置部と同じ若しくは異なるコンベア等を備える。外側移載手段は、このような機構により、搬送手段との間で荷を水平移動させることができる。
【００３７】
本発明の保管庫の他の態様では、前記搬送手段は、前記本体部の側壁に沿って延びる経路を有し、前記出入口は、前記一の段において、前記側壁に所定の水平距離を隔てて複数設けられており、前記入出庫ポートは、前記出入口に対応して、前記側壁に沿って前記所定の水平距離を隔てて複数設けられている。
【００３８】
この態様によれば、経路は、例えばコンベアにより搬送される荷の移動経路であり、入出庫ポートを介して本体部の側壁に沿って延びている部分を有する。入出庫ポートは、一の段に複数設けられた出入口に対応して複数設けられている。例えば、具体的には、複数の入出庫ポートのうち少なくとも１つの入出庫ポートを、入庫専用のポートとして、該入庫専用のポートを除いた複数の入出庫ポートのうち少なくとも１つの入出庫ポートを、出庫専用のポートとして機能させる。この場合に、保管庫内における荷の搬送距離が短くなり、複数段の各々において、保管庫内搬送時間が短縮される。また、複数の入出庫ポート、及び経路間で、複数の荷が同時期に移載される。よって、多数の荷を、同時期に効率良く入出庫することができる。
【００３９】
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、上述した保管庫と、前記搬送手段とを備える。
【００４０】
本発明の搬送システムによれば、例えば半導体素子製造の工場等内に敷設された搬送手段と、該搬送手段に沿って設置された保管庫との間で、該保管庫における入出庫ポートを介して荷を移載可能である。
【００４１】
本発明の搬送システムは、例えば上述した保管庫と、搬送手段とを備える。保管庫は、例えば外側移載手段を備えており、入出庫ポート及び搬送手段間で荷を水平移動（即ち、移載）させる。搬送手段は、例えばローラコンベア、ベルトコンベア等のコンベア機構であり、該コンベア機構を駆動して、入出庫ポートから移載された荷を、搬送路に沿って搬送する。
【００４２】
例えば入出庫ポートから搬送手段への移載時に、先ず、搬送手段における入出庫ポートに隣接する部分（以下、「搬送部分」と言う）の駆動が停止される。この際に、外側移載手段により、入出庫ポート上の荷が、入出庫ポートから搬送部分へ水平移動（即ち、移載）される。この後、搬送手段により、搬送部分の駆動が再開され、搬送部分上の荷が、搬送方向の下流側へ搬送される。
【００４３】
搬送手段から入出庫ポートへの移載時に、先ず、搬送手段により、搬送方向の上流側から搬送部分まで荷が搬送されると、該搬送部分の駆動が停止される。この際に、外側移載手段により、搬送部分上の荷が、搬送部分から入出庫ポートへ水平移動（即ち、移載）される。この後、搬送すべき荷があれば、搬送手段により、搬送部分の駆動が再開される。このように、入出庫ポート及び搬送手段間で、荷の移載が迅速に行われる。
【００４４】
以上のような移載動作により、入出庫ポート及び搬送手段間で、荷が迅速に移載されるので、搬送手段により搬送される荷について、効率良く入出庫することができる。
【００４５】
尚、本発明の搬送システムは、保管庫を備えるが、保管庫の代わりに、製造装置等の処理装置を適用してもよい。
【００４６】
本発明の搬送システムの他の態様によれば、前記搬送手段は、前記本体部の側壁に沿って延びる経路と、前記入出庫ポートに隣接する位置における前記経路の部分に、前記荷を支持するための支持部と、該支持部における、少なくとも前記荷を載置するための範囲に対応する部分を、水平面内で回転可能な回転機構とを備える。
【００４７】
この態様によれば、搬送手段は、経路と、支持部と、回転機構とを備える。経路において、例えば入出庫ポートに隣接する位置における部分が分断されている。支持部は、該分断された部分に、荷を支持可能である。回転機構は、例えばターンテーブル等を有し、支持部を水平面内で９０度回転可能である。例えばこのような回転機構を有する搬送手段について、支持部が水平面内で９０度左回転されるのに伴って、支持部上の荷が水平面内で９０度左回転され、該荷の移動方向が本体部（言い換えれば、入出庫ポート）側へ向けられる。この後、該支持部におけるコンベア機構が駆動されると、搬送手段上の荷が入出庫ポートに移動される。このように搬送手段を構成することで、搬送手段から最短経路で入出庫ポートへ移載することができる。
【００４８】
尚、本発明の搬送システムにおいても、上述した本発明の保管庫における各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００４９】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００５１】
実施形態に係る保管庫の構成について図１から図６を参照して説明する。
【００５２】
先ず、実施形態に係る保管庫を有する搬送システムの概要について図１を参照して説明する。ここに図１は、実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す。
【００５３】
図１において、搬送システム１００は、レール１と、ビークル２と、ストッカ１０と、コンベア３０と、コントローラ２０１とを備える。レール１は、ビークル２が走行するための軌道の役割を果たす。コントローラ２０１は、制御手段の一例としてプロセッサ、メモリ等を含んで構成され且つ搬送システム１００の各部と接続されており、半導体素子製造工程にて、ビークル２又はコンベア３０による並びにストッカ１０内外におけるＦＯＵＰ３の搬送や移載を、後に詳述するように管理又は制御する。
【００５４】
ビークル２は、搬送車の一例として、例えばリニアモータにより駆動されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）（天井走行車）である。ビークル２は、レール１に沿って走行すると共に、ストッカ１０や製造装置１０１、ＯＨＴバッファ、大型ストッカ等に、ＦＯＵＰ３を搬送する。ビークル２は、ホイスト機構２ａを有し、ＦＯＵＰ３を保持可能であると共に、保持しているＦＯＵＰ３を昇降可能である。ビークル２は、本実施形態では、ホイスト機構２ａによる縦移載により、入出庫ポートＰ１又はＰ２との間で、ＦＯＵＰ３を移載する。
【００５５】
ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「荷」の一例として、内部に、不図示の各種基板を複数収納可能である。ＦＯＵＰ３は、上面に、ホイスト機構２ａにより保持される鍔部４を有し、底面に、後述の位置決めピン１１ａに係合される不図示の凹部を有する。
【００５６】
ストッカ１０は、本体部１０ａと、入出庫ポートＰ１及びＰ２と、スライド機構１６と、保管庫内搬送部２０とを備える。
【００５７】
図２は、図１の保管庫の正面を図式的に示す。図２において、本体部１０ａは、４つの段Ｆ１〜Ｆ４に鉛直方向に均等に分断されている。４つの段Ｆ１〜Ｆ４のうち、本発明に係る「一の段」である最上段Ｆ１において、一側面（即ち、図１における前面）には、所定の水平距離を隔てて２つの開口Ｈ１及びＨ２が設けられている。各開口Ｈ１及びＨ２は、本発明に係る「出入口」の一例として、ＦＯＵＰ３を本体部１０ａの外内に出し入れ可能なサイズに形成されている。図３は、図１の搬送システムの上面を図式的に示す。図３において、２つの開口Ｈ１及びＨ２は、レール１（即ち、図３における一点鎖線Ｒ１）に沿って並んでいる。本体部１０ａの内部において、開口Ｈ１又はＨ２に隣接するエリアＩＮ１又はＩＮ２（即ち、図３において一点鎖線で示される）は、本発明に係る「内部出入位置」の一例として設定されており、エリアＩＮ１又はＩＮ２（即ち、図３において一点鎖線で示される）を含む鉛直に延びる空間Ｓ１又はＳ２（即ち、図２において一点鎖線で示される）は、本発明に係る「鉛直空間」の一例として設定されている。本体部１０ａの外部において、開口Ｈ１又はＨ２に隣接するエリアは、本発明に係る「外部出入位置」の一例として設定されており、このエリアには、入出庫ポートＰ１及びＰ２が配置されている。
【００５８】
ストッカ１０は、本実施形態では、２つの入出庫ポートＰ１及びＰ２を備えている。２つの入出庫ポートＰ１及びＰ２について、ビークル２における走行方向Ｄ１、及びコンベア３０における搬送方向Ｄ２の上流側に入出庫ポートＰ１が設置され、その下流側に入出庫ポートＰ２が設置されている。各入出庫ポートＰ１及びＰ２は、ビークル２及びコンベア３０により共用され、ビークル２とストッカ１０との間、及び／又はコンベア３０とストッカ１０との間で入出庫を行うためのポートである。各入出庫ポートＰ１及びＰ２は、中央部に、ビークル２又はコンベア３０との間でＦＯＵＰ３を移載するための移載面１１を設定している。移載面１１には、位置決めピン１１ａが取り付けられている。位置決めピン１１ａは、入出庫されるＦＯＵＰ３の凹部に係合される。コンベア３０において、入出庫ポートＰ１又はＰ２に隣接する位置には、エリアＣＶ１又はＣＶ２（即ち、図３において一点鎖線で示す）が設定されている。
【００５９】
スライド機構１６は、本発明に係る「外側移載手段」の一例として、入出庫ポートＰ１及びＰ２に対応して、複数設けられている。スライド機構１６は、入出庫ポートＰ１又はＰ２に対して、例えば回動帯１７と、不図示の一対のローラと、アクチュエータとを備える。回動帯１７は、輪状に形成されている。回動帯１７及び一対のローラは、輪状の回動帯１７が一対のローラを取り巻くように構成されている。回動帯１７の一部（以下、「回動帯部分」と言う）は、移載面１１として機能する。スライド機構１６は、アクチュエータを駆動して、一対のローラを回転させることで、回動帯１７を回動させる。この回動により、スライド機構１６は、入出庫ポートＰ１又はＰ２と、エリアＩＮ１又はＩＮ２との間でＦＯＵＰ３を水平移動させると共に、入出庫ポートＰ１又はＰ２と、後述するコンベア３０におけるエリアＣＶ１又はＣＶ２との間で、ＦＯＵＰ３を水平移動させる。
【００６０】
スライド機構１６による水平移動について図３を参照して詳しく説明する。具体的には、入出庫ポートＰ１又はＰ２から、エリアＩＮ１又はＩＮ２へＦＯＵＰ３を水平移動させる場合に、アクチュエータは、一対のローラを所定角度右回転させる。この回動に伴って、回動帯１７が所定距離右回動されると、移載面１１として機能する回動帯部分が、開口Ｈ１又はＨ２側の溝（即ち、図３における矢印Ｄ４が示す）に順に引き込まれ、一対のローラより下方へ配置される。これにより、移載面１１（即ち、入出庫ポートＰ１又はＰ２）上のＦＯＵＰ３が開口Ｈ１又はＨ２を介してエリアＩＮ１又はＩＮ２へ水平移動される。
【００６１】
エリアＩＮ１又はＩＮ２から、入出庫ポートＰ１又はＰ２へＦＯＵＰ３を水平移動させる場合に、アクチュエータは、エリアＩＮ１又はＩＮ２からのＦＯＵＰ３の移動に併せて、一対のローラを所定角度左回転させる。この回動に伴って、回動帯１７が所定距離左回動されると、回動帯部分が、開口Ｈ１又はＨ２側の溝（即ち、図３における矢印Ｄ５が示す箇所）から順に引き出され、一対のローラより上方へ配置されることで、移載面１１として機能する。これにより、エリアＩＮ１又はＩＮ２からのＦＯＵＰ３が開口Ｈ１又はＨ２を介して移載面１１へ水平移動され、入出庫ポートＰ１又はＰ２に載置される。この載置状態として、ＦＯＵＰ３の凹部が移載面１１の位置決めピン１１ａに係合されている。
【００６２】
他方、入出庫ポートＰ１又はＰ２から、エリアＣＶ１又はＣＶ２へＦＯＵＰ３を水平移動させる場合に、アクチュエータは、一対のローラを所定角度左回転させる。この回動に伴って、回動帯１７が所定距離左回動されると、回動帯部分が、コンベア３０側の溝（即ち、図３における矢印Ｄ５が示す）に順に引き込まれ、一対のローラより下方へ配置される。これにより、移載面１１（即ち、入出庫ポートＰ１又はＰ２）上のＦＯＵＰ３がエリアＣＶ１又はＣＶ２へ水平移動される。
【００６３】
エリアＣＶ１又はＣＶ２から、入出庫ポートＰ１又はＰ２へＦＯＵＰ３を水平移動させる場合に、アクチュエータは、エリアＣＶ１又はＣＶ２からのＦＯＵＰ３の移動に併せて、一対のローラを所定角度右回転させる。この回動に伴って、回動帯１７が所定距離右回動されると、回動帯部分が、コンベア３０側の溝（即ち、図３における矢印Ｄ５が示す箇所）から順に引き出され、一対のローラより上方へ配置されることで、移載面１１として機能する。これにより、エリアＣＶ１又はＣＶ２からのＦＯＵＰ３が移載面１１へ水平移動され、入出庫ポートＰ１又はＰ２に載置される。この載置状態として、ＦＯＵＰ３の凹部が移載面１１の位置決めピン１１ａに係合されている。
【００６４】
再び図１において、保管庫内搬送部２０は、本体部１０ａ内に、複数の載置部２１と、昇降機構１２とを備える。保管庫内搬送部２０は、複数の載置部２１を総括的に制御して、各段Ｆ１〜Ｆ４において、複数のＦＯＵＰ３を独立して搬送（即ち、保管庫内搬送）すると共に、昇降機構１２を上下移動させることで、複数段Ｆ１〜Ｆ４間で、複数のＦＯＵＰ３を相互に移動させる。本実施形態では、各段Ｆ１〜Ｆ４における複数の載置部２１について、２つの第１載置部２１ａ及び２１ｄが、本発明に係る「一の載置部」の一例として設定されている。
【００６５】
保管庫内搬送部２０の構成について図５及び図６を参照して詳しく説明する。図５は、実施形態に係る複数の載置部の配列を示し、図６は、図５の複数の載置部の回転後の状態を示す。図５及び図６は、具体的には、図２におけるＡ１−Ａ１断面に相当しており、ストッカ１０の最上段Ｆ１に配列される複数の載置部２１を示している。
【００６６】
図５において、保管庫内搬送部２０は、複数の載置部２１により、複数の載置部２１間でＦＯＵＰ３を水平移動させることで、各階Ｆ１〜Ｆ４において独立して保管庫内搬送を行う。複数の載置部２１は、各階Ｆ１〜Ｆ４において、空間Ｓ１及びＳ２を除くエリアＣ１（即ち、図５において太線で示される）に、水平二方向（即ち、図５における左右方向及び上下方向）に広がるように６つ配列されている。各載置部２１は、回転載置部２１ａ〜２１ｆであって、これら６つの回転載置部２１ａ〜２１ｆのうち、空間Ｓ１又はＳ２に隣接する２つの回転載置部は、第１載置部２１ａ及び２１ｄとして夫々設定されている。
【００６７】
複数の載置部２１は、本実施形態では、各段Ｆ１〜Ｆ４における６つの載置部２１の他に、空間Ｓ１及びＳ２の各々に、１つずつ配置されている。空間Ｓ１及びＳ２に配置されている２つの載置部２１は、複数段Ｆ１〜Ｆ４に共通の回転載置部２１ｏ及び２１ｐであり、昇降機構１２により、空間Ｓ１又はＳ２内で上下移動される。
【００６８】
昇降機構１２は、本発明に係る「上下移動手段」の一例として、空間Ｓ１及びＳ２に夫々設けられている。昇降機構１２は、空間Ｓ１又はＳ２に対して、例えば、不図示の、一対のレールと、支持部１３と、アクチュエータとを備える。一対のレールは、空間Ｓ１又はＳ２内に、その長手方向が鉛直方向と平行になるように取り付けられている。支持部１３は、空間Ｓ１又はＳ２における回転載置部２１ｏ又は２１ｐを支持する。支持部１３の一端部は、一対のレールに嵌合されている。昇降機構１２は、アクチュエータを駆動して、支持部１３を一対のレールに沿って上下移動させることで、回転載置部２１ｏ及び２１ｐの各々を、各段Ｆ１〜Ｆ４における第１載置部２１ａ又は２１ｄに対向する位置（以下、単に「各段Ｆ１〜Ｆ４に対応する位置」と言う）に独立して移動させる。昇降機構１２により各段Ｆ１〜Ｆ４に対応する位置に移動された２つの回転載置部２１ｏ及び２１ｐは、各段Ｆ１〜Ｆ４における第１載置部２１ａ又は２１ｄとの間で、ＦＯＵＰ３を独立して水平移動させる。また、最上段Ｆ１に対応する位置（即ち、エリアＩＮ１又はＩＮ２）に移動された２つの回転載置部２１ｏ及び２１ｐは、入出庫ポートＰ１又はＰ２との間で、開口Ｈ１又はＨ２を介してＦＯＵＰ３を独立して水平移動させる。
【００６９】
図５に示すように、２つの回転載置部２１ｏ及び２１ｐが、エリアＩＮ１又はＩＮ２にある場合に、８つの載置部２１（即ち、載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐ）は、相互間でＦＯＵＰ３を水平移動させる。８つの載置部２１の各々は、ローラ２３と、不図示のアクチュエータとを有する。ローラ２３は、アクチュエータにより回転される。ローラ２３の上面は、ＦＯＵＰ３が収容又は載置される載置面として機能する。ＦＯＵＰ３の水平移動について、具体的には、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｂに収容又は載置されている場合に、載置部２１ｂにおけるローラ２３が右回転されると、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｂの右隣りの載置部２１ｃへ水平移動される。また、この場合に、載置部２１ｂにおけるローラ２３が左回転されると、ＦＯＵＰ３が載置部２１ｂの左隣りの載置部２１ｅへ水平移動される。尚、各載置部２１は、ローラ２３の回転によるローラコンベア式移動を行うが、その他に、ベルト等の回動によるベルトコンベア式移動を行ってもよい。
【００７０】
８つの載置部２１、即ち、８つの回転載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐの各々は更に、ターンテーブル２４と、不図示のアクチュエータとを有し、ＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢を９０度回転させる。ターンテーブル２４は、ローラ２３の下方に配置されており、不図示の軸受けを介して、ローラ２３を固定している。ターンテーブル２４は、アクチュエータにより水平面内で９０度回転され、ローラ２３を水平面内で９０度回転させる。具体的には、図５の状態にある８つの回転載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐにおいて、ターンテーブル２４が９０度右回転されると、図６に示すように、ローラ２３が一体となって９０度右回転される。この回転により、回転載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐに収容又は載置されているＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢が９０度右回転される。また、ターンテーブル２４が９０度左回転されると、ローラ２３が一体となって９０度左回転される。この回転により、回転載置部２１ａ〜２１ｆ，２１ｏ及び２１ｐに収容又は載置されているＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢が９０度左回転される。
【００７１】
再び図１において、コンベア３０は、本発明に係る「搬送手段」の一例として、例えば経路Ｒ２及びＲ３と、複数のコンベア部分３１と、回転機構３２と、不図示の一対の支持壁と、アクチュエータとを備えており、経路Ｒ２又はＲ３（即ち、図１において一点鎖線で示される）に沿ってＦＯＵＰ３を搬送する。経路Ｒ２は、本体部１０ａの側壁（即ち、図１における正面）に沿って延びている。経路Ｒ３は、該側壁に対応する位置より下流側で、経路Ｒ２から直角に分岐された経路である。複数のコンベア部分３１は、一対の支持壁の内側に、経路Ｒ２に沿って且つ経路Ｒ２の両側に対を成すように取り付けられている。複数のコンベア部分３１の各々は、例えばキャタピラー（登録商標）式コンベアであり、本発明に係る「支持部」の一例として、ＦＯＵＰ３をその底面から支持する。一対のコンベア部分３１の各々は、ＦＯＵＰ３を１つ又は２つ載置可能に夫々構成されている。コンベア３０は、アクチュエータの駆動により、ＦＯＵＰ３が載置されている一対のコンベア部分３１を同時に回動させることで、ＦＯＵＰ３を、経路Ｒ２又はＲ３に沿った搬送方向Ｄ２又はＤ３へ搬送する。コンベア３０は、本実施形態では特に、後述する回転機構３２により回転された一対のコンベア部分３１を同時に回動させることで、ＦＯＵＰ３を、入出庫ポートＰ１又はＰ２へ水平移動させる。
【００７２】
再び図３において、複数のコンベア部分３１は、本実施形態では、第１コンベア部分３１ａと、第２コンベア部分３１ｂとから構成されている。第１コンベア部分３１ａについて、経路Ｒ２に沿った長さがＦＯＵＰ３を２つ載置可能に設定されており、第２コンベア部分３１ｂについて、該長さがＦＯＵＰ３を１つ載置可能に設定されている。
【００７３】
図３に示すように、エリアＣＶ１及びＣＶ２（即ち、図３に示される）には、一対の第２コンベア部分３１ｂが夫々配置されている。回転機構３２は、エリアＣＶ１及びＣＶ２（即ち、複数の一対の第２コンベア部分３１ｂ）に対応して、複数設けられている。回転機構３２は、ターンテーブル３２ａ又は３２ｂと、不図示のアクチュエータとを有し、ＦＯＵＰ３の移動方向及びその姿勢を９０度回転させる。ターンテーブル３２ａ又は３２ｂは、一対の第２コンベア部分３１ｂの下方に配置されており、不図示の固定部を介して、一対の第２コンベア部分３１ｂを固定している。図４は、図３の回転機構３２の回転後の状態を示す。図４に示すように、ターンテーブル３２ａ又は３２ｂは、アクチュエータにより水平面内で９０度回転され、一対の第２コンベア部分３１ｂを水平面内で９０度回転させる。
【００７４】
具体的には、図３の状態にあるターンテーブル３２ａ又は３２ｂが９０度左回転されると、図４に示すように、一対の第２コンベア部分３１ｂが一体となって９０度左回転され、一対の第２コンベア部分３１ｂの長手方向と、経路Ｒ２とが直交する。この場合に、一対の第２コンベア部分３１ｂに載置されているＦＯＵＰ３の前面が、入出庫ポートＰ１又はＰ２へ向けられ、エリアＣＶ１又はＣＶ２と、入出庫ポートＰ１又はＰ２との間でＦＯＵＰ３が水平移動可能な状態になる。また、図４の状態にあるターンテーブル３２ａ又は３２ｂが９０度右回転されると、図３に示すように、一対の第２コンベア部分３１ｂが一体となって９０度右回転され、一対の第２コンベア部分３１ｂの長手方向と、経路Ｒ２とが平行になる。この場合に、一対の第２コンベア部分３１ｂに載置されているＦＯＵＰ３の前面が経路Ｒ２の下流側へ向けられることで、エリアＣＶ１又はＣＶ２から、経路Ｒ２の下流側へＦＯＵＰ３が搬送可能な状態になる。
【００７５】
図１に示すように、回転機構３２は、エリアＣＶ１及びＣＶ２（即ち、図３に示される）の他に、経路Ｒ２が該経路Ｒ２及び経路Ｒ３に分岐する位置（即ち、図１において一点鎖線で示される分岐点ＰＴ１）にも配置されている。具体的には、分岐点ＰＴ１において、ターンテーブル３２ｃが図１の状態では、ＦＯＵＰ３の搬送方向が維持され、分岐点ＰＴ１より下流側でも経路Ｒ２に沿ってＦＯＵＰ３が搬送される。また、図１の状態にあるターンテーブル３２ｃが９０度右回転されると、一対の第２コンベア部分３１ｂが一体となって９０度右回転される。この場合に、一対の第２コンベア部分３１ｂに載置されているＦＯＵＰ３の前面が経路Ｒ３へ向けられることで、経路Ｒ３に沿ってＦＯＵＰ３が搬送可能な状態になる。
（搬送手段及び保管庫間の入出庫動作）
【００７６】
次に、本実施形態に係る搬送システムにおける、搬送手段及び保管庫間の入出庫動作ついて図１、図３、及び図５を参照して説明する。尚、以下の説明において、初期設定として、入出庫ポートＰ１が入庫専用のポートとして機能し、入出庫ポートＰ２が出庫専用のポートとして機能するように設定されている。
【００７７】
図１において、コンベア３０からストッカ１０への入庫時には、先ず、コントローラ２０１により、経路Ｒ２における、エリアＣＶ１（即ち、図３に示される）より上流側に、ストッカ１０に入庫すべきＦＯＵＰ３があることが検出される。すると、コンベア３０により、入庫すべきＦＯＵＰ３がエリアＣＶ１に向けて搬送され、エリアＣＶ１おける一対の第２コンベア部分３１ｂに載置される。この後、ターンテーブル３２ａが９０度左回転され、一対の第２コンベア部分３１ｂが９０度左回転される。これにより、一対の第２コンベア部分３１ｂが、移載面１１との間で水平移動（即ち、移載）可能な状態になる。すると、左回転された一対の第２コンベア部分３１ｂにより、入庫すべきＦＯＵＰ３がエリアＣＶ１から、入出庫ポートＰ１における移載面１１へ水平方向に移載（即ち、入庫）される。尚、移載面１１に対して、レール１（即ち、図３及び図５において一点鎖線Ｒ１で示される）に沿って走行するビークル２から、縦移載により入庫されてもよい。
【００７８】
続いて、回転載置部２１ｏが最上段Ｆ１におけるエリアＩＮ１（即ち、図３に示される）にない場合に、コンベア３０からの入庫に並行又は相前後して、昇降機構１２により、回転載置部２１ｏがエリアＩＮ１に上下移動される。すると、スライド機構１６により、移載面１１上のＦＯＵＰ３が、開口Ｈ１を介してエリアＩＮ１へ水平移動される。すると、昇降機構１２により、エリアＩＮ１における回転載置部２１ｏが、入庫されたＦＯＵＰ３を収容すべき段Ｆ２に対応する位置に上下移動される。この後、保管庫内搬送部２０により、回転載置部２１ｏにおけるローラ２３が回動され、回転載置部２１ｏ上のＦＯＵＰ３が、回転載置部２１ｏから第１載置部２１ａへ水平移動される。すると、第１載置部２１ａ上のＦＯＵＰ３が、所望の載置部２１へ移動（即ち、保管庫内搬送）される。これにより、一連の入庫動作が終了される。
【００７９】
ストッカ１０からコンベア３０への出庫時には、先ず、保管庫内搬送部２０により、所望の載置部２１上の出庫すべきＦＯＵＰ３が、第１載置部２１ｄに移動（即ち、保管庫内搬送）される。続いて、出庫すべきＦＯＵＰ３が載置されている段Ｆ２に対応する位置に、回転載置部２１ｐがない場合に、保管庫内搬送に並行又は相前後して、昇降機構１２により、回転載置部２１ｐが段Ｆ２に対応する位置に上下移動される。すると、保管庫内搬送部２０により、第１載置部２１ｄにおけるローラ２３が回転され、第１載置部２１ｄ上のＦＯＵＰ３が、段Ｆ２に対応する位置にある回転載置部２１ｐへ水平移動される。すると、昇降機構１２により、段Ｆ２にある回転載置部２１ｐが最上段Ｆ１におけるエリアＩＮ２（即ち、図３に示される）に上下移動される。すると、保管庫内搬送部２０により、回転載置部２１ｐにおけるローラ２３が回転され、回転載置部２１ｐ上のＦＯＵＰ３が、エリアＩＮ２から開口Ｈ２を介して入出庫ポートＰ２における移載面１１へ水平移動される。
【００８０】
続いて、コントローラ２０１により、経路Ｒ２のエリアＣＶ２（即ち、図３に示される）における一対の第２コンベア部分３１ｂに、ＦＯＵＰ３が載置されていないことが検出される。続いて、一対の第２コンベア部分３１ｂが経路Ｒ２と直交した状態にない場合に、ターンテーブル３２ａが９０度左回転され、一対の第２コンベア部分３１ｂが９０度左回転される。これにより、一対の第２コンベア部分３１ｂが、移載面１１との間でＦＯＵＰ３を水平移動（即ち、移載）可能な状態になる。
【００８１】
この後、スライド機構１６により、移載面１１上のＦＯＵＰ３が、左回転された一対の第２コンベア部分３１ｂへ水平方向に移載（即ち、出庫）される。尚、移載面１１上のＦＯＵＰ３は、レール１（即ち、図３及び図５において一点鎖線Ｒ１で示される）に沿って走行するビークル２により、縦移載により出庫されてもよい。
【００８２】
続いて、ターンテーブル３２ｂが９０度右回転され、出庫されたＦＯＵＰ３を載置している一対の第２コンベア部分３１ｂが、９０度右回転される。これにより、一対の第２コンベア部分３１ｂが、エリアＣＶ２から、経路Ｒ２の下流側へＦＯＵＰ３を搬送可能な状態になる。これにより、一連の出庫動作が終了される。
【００８３】
このように、本実施形態のストッカ１０を備える搬送システム１００によれば、入出庫ポートＰ１又はＰ２を介して、昇降機構１２により複数段Ｆ１〜Ｆ４間で上下移動される載置部２１ｏ又は２１ｐと、回転機構３２により回転される第２コンベア部分３１ｂとの間でＦＯＵＰ３を水平移動させるので、入出庫ポートＰ１及びＰ２を、入庫直後及び出庫直前に空荷の状態とすることができる。また、各段Ｆ１〜Ｆ４において保管庫内搬送を独立して行うので、複数のＦＯＵＰ３を短時間で保管庫内搬送することができる。これにより、入出庫ポートＰ１及びＰ２における１つのＦＯＵＰ３に要する入庫時間及び出庫時間が短縮されると共に、保管庫内搬送時間が最短されるので、効率良くＦＯＵＰ３を入出庫することができる。
【００８４】
尚、本実施形態では、コンベア３０は、複数のコンベア部分３１から構成されるが、複数のコンベア部分３１の代わりに、複数のローラを備えてもよい。
【００８５】
尚、本実施形態では、複数の載置部２１の各々が同じ面積を有しており、１つの載置部２１に１つのＦＯＵＰ３を収容又は載置可能であるが、例えば、複数のＦＯＵＰ３を収納又は載置可能である載置部を構成してもよい。
【００８６】
図７は、保管庫内搬送部１２０が備える複数の載置部１２１の配列を示す断面図である。図７において、保管庫内搬送部１２０は、８つのローラ１２３を有する２つの載置部１２１ｇ，１２１ｈを備える。図５に示される各載置部２１が、１つのＦＯＵＰ３を収容又は載置するのに対し、２つの載置部１２１ｇ及び１２１ｈの各々は、最大３つのＦＯＵＰ３を収容又は載置することができる。保管庫内搬送部１２０は、例えば載置部１２１ｂから所望の載置部１２１ｃへＦＯＵＰ３を移動する。この場合に、最短の搬送経路として、矢印Ｄ７が示す搬送経路を設定する。設定された搬送経路は、載置部１２１ｂから、載置部１２１ｈを介して所望の載置部１２１ｃに達する経路である。ＦＯＵＰ３が載置部１２１ｈを移動する際には、載置部１２１ｈにおける８つのローラ１２３が高速回転され、図５に示される２つの載置部２１（例えば、載置部２１ｂ及び２１ｃ）を移動するときよりも移動時間が短縮される。これにより、保管庫内搬送の搬送時間をより短縮することができると共に、本体部１１０ａ内に、より多くのＦＯＵＰ３を収容又は載置することができる。
【００８７】
尚、本実施形態では、複数の載置部２１が相互間でＦＯＵＰ３を水平移動可能に構成されるが、ＦＯＵＰ３を収容又は載置する複数の載置部とは別に、複数の載置部間でＦＯＵＰ３を水平移動させる内部移動機構を備えてもよい。
【００８８】
図８は、保管庫内搬送部４２０が備える複数の載置部４２１及び内部移動機構４３０を示す断面図である。図８において、載置部４２１は、図５に示される複数の載置部２１と同様に、水平二方向（即ち、図８における左右方向及び上下方向）に広がるように配列された８つの載置部４２１ａ〜４２１ｆ，４２１ｏ及び４２１ｐから構成されるが、図５の各載置部２１がローラ２３を有するのと異なり、８つの載置部４２１ａ〜４２１ｆ，４２１ｏ及び４２１ｐの各々は、ＦＯＵＰ３を収容又は載置する棚４２２を有する。棚４２２は、ＦＯＵＰ３の両端を支持するように、複数の棚部分４２３から構成される。
【００８９】
内部移動機構４３０は、本発明に係る「内部移動手段」の一例として、例えば支持板４３１と、支持板スライド部４３２と、移動部４３３と、移動レール４３４とを有し、言い換えればロボットアームにより移動可能な構成を有し、複数の載置部４２１間でＦＯＵＰ３を持ち上げることで、複数の載置部４２１間でのＦＯＵＰ３の水平移動を可能とする。支持板４３１は、各載置部４２１ａ〜４２１ｆ，４２１ｏ及び４２１ｐにおける一対の棚部分４２３間に配置可能なサイズに形成されており、水平移動する際に、一対の棚部分４２３の代わりに、ＦＯＵＰ３（詳細には、ＦＯＵＰ３の中央部）をその底側から支持する。支持板スライド部４３２は、支持板４３１を水平一方向（即ち、図８における上下方向）にスライド可能であり、例えば載置部４２１ｅに配置されている支持板４３１（即ち、図８において実線で示される）を、載置部４２１ｅの水平一方向（即ち、図８における下方向）に配置されている載置部４２１ｏへスライド（水平移動）させ、載置部４２１ｏに配置する（即ち、図８において二点鎖線で示される支持板４３１）。このような支持板スライド部４３２は、移動部４３３の上面に固定されている。移動部４３３は、支持板スライド部４３２のスライド方向と直交する水平一方向（即ち、図８における左右方向）に延びる移動レール４３４に沿って移動することで、支持板スライド部４３２を水平移動させる。この水平移動の際に、移動部４３４は、支持板スライド部４３２を昇降させる。具体的には、例えばいずれかの載置部４２１に収容又は載置されているＦＯＵＰ３を移動する際に、移動部４３４は、支持板４３１の高さが一対の棚部分４２３よりも高くなるように、支持板スライド部４３２を上昇させる。この上昇により、一対の棚部分４２３の代わりに、支持板４３１でＦＯＵＰ３を支持する。また、支持板４３１で支持しているＦＯＵＰ３をいずれかの載置部４２１に収納又は載置する際に、移動部４３４は、支持板４３１の高さが一対の棚部分４２３よりも低くなるように、支持板スライド部４３２を下降させる。この下降により、支持板４３１が支持しているＦＯＵＰ３をいずれかの載置部４２１における一対の棚部分４２３へ移載する。
【００９０】
このように、支持板スライド部４３３及び移動部４３４により、支持板４３１が複数の載置部４２１ａ〜４２１ｆ，４２１ｏ及び４２１ｐ間で水平移動されることで、ＦＯＵＰ３が複数の載置部４２１ａ〜４２１ｆ，４２１ｏ及び４２１ｐ間で水平移動される。従って、内部移動機構４３０により、本実施形態と同様に、保管庫内搬送の搬送時間を短縮することができる。
【００９１】
尚、本実施形態では、外側移載手段としてスライド機構１６を備えるが、スライド機構１６の代わりに、入出庫ポートＰ１又はＰ２を介して、本体部１０ａにおけるエリアＩＮ１又はＩＮ２と、コンベア３０におけるエリアＣＶ１又はＣＶ２との間を移動する機構を備えてもよい。
【００９２】
図９は、ストッカ３１０が備える移載機構３４０を示す断面図である。図９において、移載機構３４０は、支持板３４１と、移動部３４２とを備える。支持板３４１は、ＦＯＵＰ３をその底側から支持する。移動部３４２は、支持板３４１を、鉛直方向及び水平方向へ移動させる。
【００９３】
支持板３４１は、入出庫ポートＰ３１又はＰ３２に移動された際に（即ち、図９において実線で示される）、ビークル２から又はビークル２へＦＯＵＰ３を移載するための移載面としても機能する。エリアＩＮ３１及びＩＮ３２（即ち、載置部３２１ｏ及び３２１ｐ）における複数のローラ３２３は、移動された支持板３４１（即ち、図９のエリアＩＮ３１において二点鎖線で示される）に接触しないように構成されている。また、エリアＣＶ３１及びＣＶ３２における一対の第２コンベア部分３３１ｂは、移動された支持板３４１（即ち、図９のエリアＣＶ３１において二点鎖線で示される）に接触しないように構成されている。
【００９４】
移動部３４２は、このような構成により、支持板３４１を、エリアＩＮ３１及びＩＮ３２における複数のローラ３２３の上方と下方との間で移動させることで、支持板３４１と、エリアＩＮ３１又はＩＮ３２との間で、ＦＯＵＰ３を移載可能である。また、移動部３４２は、支持板３４１を、エリアＣＶ３１及びＣＶ３２における一対の第２コンベア部分３３１ｂの上方と下方との間で移動させることで、支持板３４１と、エリアＣＶ３１又はＣＶ３２との間で、ＦＯＵＰ３を移載可能である。これにより、移載機構３４０は、本体部３１０ａにおけるエリアＩＮ３１又はＩＮ３２と、コンベア３３０におけるエリアＣＶ３１又はＣＶ３２との間で、ＦＯＵＰ３を移載することができる。
【００９５】
加えて、図１０に示すように、ストッカ１０の各段を相互から独立したストッカ要素１０ｅとして予め構築しておき、これらを所望段数だけ積み重ねて、ストッカ１０を構築することも可能である。より具体的には、図１０（ａ）のように、例えばレール１とその下方に配置される製造装置１０１との間のスペースの高さＬ１が相対的に広い場合には、ストッカ要素１０ｅ（即ち、図１０（ａ）において点線で示される）を４段重ねることで、図１に示したのと同様の４段のストッカ１０を構築できる。或いは、図１０（ｂ）のように、例えばレール１とその下方に配置される製造装置５０１との間のスペースの高さＬ２が相対的に狭い場合には、ストッカ要素１０ｅ（即ち、図１０（ｂ）において点線で示される）を２段重ねることで、２段の、即ち比較的薄型のストッカ５０を構築できる。いずれの場合にも、ストッカ要素１０ｅを大量生産しておけば、任意の高さのスペースに合った高さのストッカを簡単に構築できるので、実践上大変有利である。
【００９６】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。
【図２】図１の保管庫の正面を図式的に示す正面図である。
【図３】図１の搬送システムを上面側から視た上面図である。
【図４】図３の回転機構の回転後の状態を示す上面図である。
【図５】実施形態に係る複数の載置部の配列を示す断面図である。
【図６】図５の複数の載置部の回転後の状態を示す断面図である。
【図７】図５の複数の載置部の変形例を示す断面図である。
【図８】本発明に係る内部移動手段の一例を示す断面図である。
【図９】本発明に係る外側移載手段の一例を示す断面図である。
【図１０】本発明に係る保管庫を複数積み重ねてなる保管庫セットの外観を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００９８】
１…レール、２…ビークル（天井走行車）、３…ＦＯＵＰ（荷）、１０…ストッカ（保管庫）、１２…昇降機構、１６…スライド機構、２１…載置部、３０…コンベア、３２…回転機構、１００…搬送システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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