(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークどうしを貼合面に気泡が生じるのを防止しながら、無負荷状態のままで貼合でき、しかも一連の貼合処理を連続して行なえるワーク貼合装置を提供する。【解決手段】第１ワークと第２ワークを貼合位置へ搬送するコンベア装置２と、貼合位置へ搬送された第１ワークを、吸着保持する貼合テーブル４と、貼合テーブル４用のテーブル駆動構造とを備えている。コンベア装置２は、通気自在な搬送面を備えたコンベアベルト１０と、その駆動構造とで構成する。コンベアベルト１０の直線搬送面の内部に、両ワークを吸着保持する真空チャンバー５を配置し、その内部に接着ローラ６を配置する。以て、貼合位置において、貼合テーブル４に吸着保持された第１ワークと、コンベアベルト１０で搬送した第２ワークを隙間を介して正対させる。第２ワークを接着ローラ６で第１ワークに押し付けて両者を貼合する。【選択図】図１
2009280338.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ワーク（Ｗ１）および第２ワーク（Ｗ２）を貼合位置へ搬送するコンベア装置（２）と、
貼合位置へ搬送された第１ワーク（Ｗ１）を、コンベア装置（２）から受け取って吸着保持する貼合テーブル（４）と、
貼合テーブル（４）を、コンベア装置（２）の搬送方向下手側において、直線搬送面に沿って往復駆動するテーブル駆動構造とを備えており、
コンベア装置（２）は、通気自在な搬送面を備えていて、エンドレス状に移行案内されるコンベアベルト（１０）と、コンベアベルト（１０）を回転駆動する駆動構造を含んで構成されており、
コンベアベルト（１０）の直線搬送面の内部に、第１ワーク（Ｗ１）および第２ワーク（Ｗ２）を搬送面を介して吸着保持する真空チャンバー（５）が配置されて真空源（３０）と接続されており、
真空チャンバー（５）の内部に接着ローラ（６）が配置されており、
貼合位置において、貼合テーブル（４）に吸着保持された第１ワーク（Ｗ１）と、コンベアベルト（１０）で搬送された第２ワーク（Ｗ２）を隙間を介して正対させた状態で、第２ワーク（Ｗ２）を接着ローラ（６）で搬送面を介して第１ワーク（Ｗ１）に押し付けて、両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を貼合することを特徴とするワーク貼合装置。
【請求項２】
コンベアベルト（１０）が、スプロケットギヤ（１１）に巻き掛けられる一対のチェーン（１２）と、一対のチェーン（１２）の間に張設される通気自在なシルクスクリーン（１３）とで構成されており、
直線搬送面に沿って、チェーン（１２）の移動軌跡を直線状に規制するチェーンガイド（１４）が配置してある請求項１記載のワーク貼合装置。
【請求項３】
貼合テーブル（４）を支持する架台（３）がコンベア装置（２）を跨ぐ状態で交差配置されており、
架台（３）が、テーブル駆動構造で往復操作されるスライド台（２０）と、スライド台（２０）で搬送面に対して接近ないし離反する向きへスライド可能に支持される可動テーブル（２１）とで構成されており、
貼合テーブル（４）は、その吸着面（２５）がコンベアベルト（１０）の搬送面と対向する状態で可動テーブル（２１）に支持されており、
スライド台（２０）と可動テーブル（２１）との間に、可動テーブル（２１）および貼合テーブル（４）を前記搬送面に対して接離操作する操作構造（２３）が配置してある請求項１または２記載のワーク貼合装置。
【請求項４】
真空チャンバー（５）の内部に、接着ローラ（６）と、接着ローラ（６）を前記直線搬送面に沿って往復操作するローラー駆動構造と、第１ワーク（Ｗ１）および第２ワーク（Ｗ２）の重量をシルクスクリーン（１３）を介して支える複数の支持体（７）と、これらの支持体（７）を支持位置と退避位置とに変位操作する操作構造（３９）が設けられており、
接着ローラ（６）がローラー駆動構造で接着始端から接着終端へ向かって移動操作されるのに同調して、支持体（７）が操作構造（３９）で接着ローラ（６）の移動軌跡から退避操作できるように構成してある請求項１、２または３記載のワーク貼合装置。
【請求項５】
第１ワーク（Ｗ１）および第２ワーク（Ｗ２）を、通気自在なコンベアベルト（１０）の直線搬送面に載置する工程と、
直線搬送面の内部に配置した真空チャンバー（５）に真空圧を作用させて、第１ワーク（Ｗ１）および第２ワーク（Ｗ２）を吸着した状態で、貼合位置まで搬送する工程と、
貼合位置まで搬送された第１ワーク（Ｗ１）を、コンベア装置（２）から受け取って貼合テーブル（４）で吸着保持する工程と、
第２ワーク（Ｗ２）を貼合位置まで搬送して、貼合テーブル（４）で吸着保持した第１ワーク（Ｗ１）と隙間を介して正対させる工程と、
位置ずれ検知装置によって両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の位置ずれを検知し、位置ずれ検知装置からの検知信号に基づき位置調整装置を作動させて両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の位置ずれを矯正する工程と、
真空チャンバー（５）の内部に配置した接着ローラ（６）で、第２ワーク（Ｗ２）の一側縁をコンベアベルト（１０）を介して第１ワーク（Ｗ１）に押し付け、さらに、接着ローラ（６）を第２ワーク（Ｗ２）の他側縁へ向かって移行させて、第１ワーク（Ｗ１）と第２ワーク（Ｗ２）を貼合する工程と、
貼合された両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）をコンベア装置（２９）の搬送方向下手側へ排出する工程とからなるワーク貼合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状のワークどうしを貼合し、あるいは平板状のワークにシート状のワークを貼合するためのワーク貼合装置とワーク貼合方法に関する。本発明のワーク貼合装置は、例えば液晶基板やプラズマディスプレイ基板の外面に、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフイルム、紫外線シールドフイルムなどの機能性シートを貼合するのに用いられる。
【背景技術】
【０００２】
本発明のワーク貼合装置に関して、液晶セルの表裏両面に偏光板を同時に貼合するコンベア式の貼合装置が特許文献１に公知である。そこでは、偏光板を搬送する一対のコンベアと、液晶セルをコンベアの転回部分へ向かって送り出し操作する送り装置などで貼合装置を構成している。一対のコンベアは、それぞれの直線搬送面が面一になる状態で近接配置してあり、搬送面には偏光板を吸着固定するバキューム穴の一群が形成してある。
【０００３】
本発明のワーク貼合装置では、コンベアで搬送されるワークと、可動テーブルに保持されたワークとの位置ずれをＣＣＤカメラで検知し、位置調整装置によって可動テーブルの位置を調整して両ワークを位置決めするが、この種の位置調整装置は特許文献２に公知である。なお、特許文献２の貼合装置は、ガラス基板をシャーシに貼合するために使用される。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−２０７２２１号公報（段落番号００１５、図２）
【特許文献１】特開２００３−７６２９２号公報（段落番号００１７、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の貼合装置によれば、コンベアの転回点の間を通り抜ける液晶セルに、コンベアで吸着保持されて円弧状に変形した偏光板を貼合するので、変形応力が作用した状態の偏光板が液晶セルに貼合される。そのため、貼り付けられるワークの素材や種類によっては、適正な貼合結果が得られないことがある。例えば、小さな力で伸び変形しやすいフィルム状の機能性シートを貼り付けるような場合に、機能性シートに張力が作用してその特性が損なわれることがある。また、液晶セルと２個の偏光板とを搬送しながら貼合するので、液晶セルと各偏光板の貼合位置精度に限界があり、ワークどうしを高い位置精度で貼合するのに適さない。
【０００６】
本出願人は、枚葉状のワークを無負荷状態のままで、しかも高精度に位置決めした状態で貼合でき、さらに貼合面に気泡が生じるのを防止できる貼合装置を先に提案している。そこでは、吸着保持した機能性フィルムを液晶基板やプラズマディスプレイ基板に貼着する。機能性フィルムと基板ガラスとは、僅かな隙間を介して上下に正対する状態で保持しておき、この状態の基板ガラスの一側縁を接着ローラで機能性フィルムに押し付け、接着ローラを基板ガラスの他側縁へ向かって移行することにより両者を貼合し一体化する。
【０００７】
上記の貼合装置は、大サイズの液晶基板においても良好な貼合結果が得られている。しかし、基板ガラスおよび機能性フィルムを、調整テーブルおよび可動テーブルに１枚ずつ載置して貼合したのち、貼合後の基板ガラスを装置外へ取り出す必要があり、一連の貼合処理に多くの時間が掛かる点に問題がある。とくに、基板ガラスおよび機能性フィルムを各テーブルに１枚ずつ載置する準備作業に多くの時間が掛かっており、一連の貼合処理時間の半分以上を占めている。
【０００８】
本発明は上記の問題点を解消するために提案されたものであり、その目的は、枚葉状のワークを無負荷状態のままで貼合すること、貼合面に気泡が生じるのを防止できること、一連の貼合処理を短時間で連続して行なえることを、同時に実現できるワーク貼合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のワーク貼合装置は、第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を貼合位置へ搬送するコンベア装置２と、貼合位置へ搬送された第１ワークＷ１を、コンベア装置２から受け取って吸着保持する貼合テーブル４と、貼合テーブル４を、コンベア装置２の搬送方向下手側において、直線搬送面に沿って往復駆動するテーブル駆動構造とを備えている。コンベア装置２は、通気自在な搬送面を備えていて、エンドレス状に移行案内されるコンベアベルト１０と、コンベアベルト１０を回転駆動する駆動構造を含んで構成する。コンベアベルト１０の直線搬送面の内部に、第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を搬送面を介して吸着保持する真空チャンバー５を配置して真空源３０と接続する。真空チャンバー５の内部に接着ローラ６を配置する。以て、貼合位置において、貼合テーブル４に吸着保持された第１ワークＷ１と、コンベアベルト１０で搬送された第２ワークＷ２を隙間を介して正対させた状態で、第２ワークＷ２を接着ローラ６で搬送面を介して第１ワークＷ１に押し付けて、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合することを特徴とする。
【００１０】
コンベアベルト１０は、スプロケットギヤ１１に巻き掛けられる一対のチェーン１２と、一対のチェーン１２の間に張設される通気自在なシルクスクリーン１３とで構成し、直線搬送面に沿って、チェーン１２の移動軌跡を直線状に規制するチェーンガイド１４を配置する。
【００１１】
貼合テーブル４を支持する架台３をコンベア装置２を跨ぐ状態で交差配置する。架台３は、テーブル駆動構造で往復操作されるスライド台２０と、スライド台２０で搬送面に対して接近ないし離反する向きへスライド可能に支持される可動テーブル２１とで構成する。貼合テーブル４は、その吸着面２５がコンベアベルト１０の搬送面と対向する状態で可動テーブル２１で支持する。スライド台２０と可動テーブル２１との間に、可動テーブル２１および貼合テーブル４を搬送面に対して接離操作する操作構造２３を配置する。
【００１２】
真空チャンバー５の内部に、接着ローラ６と、接着ローラ６を直線搬送面に沿って往復操作するローラー駆動構造と、第１ワークＷ１および第２ワークＷ２の重量をシルクスクリーン１３を介して支える複数の支持体７と、これらの支持体７を支持位置と退避位置とに変位操作する操作構造３９を設ける。以て、接着ローラ６がローラー駆動構造で接着始端から接着終端へ向かって移動操作されるのに同調して、支持体７を操作構造３９で接着ローラ６の移動軌跡から退避操作できるように構成する。
【００１３】
本発明のワーク貼合方法は、以下の各工程を経て第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を貼合する。第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を、通気自在なコンベアベルト１０の直線搬送面に載置する工程。直線搬送面の内部に配置した真空チャンバー５に真空圧を作用させて、第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を吸着した状態で、貼合位置まで搬送する工程。貼合位置まで搬送された第１ワークＷ１を、コンベア装置２から受け取って貼合テーブル４で吸着保持する工程。第２ワークＷ２を貼合位置まで搬送して、貼合テーブル４で吸着保持した第１ワークＷ１と隙間を介して正対させる工程。位置ずれ検知装置によって両ワークＷ１・Ｗ２の位置ずれを検知し、位置ずれ検知装置からの検知信号に基づき位置調整装置を作動させて両ワークＷ１・Ｗ２の位置ずれを矯正する工程。真空チャンバー５の内部に配置した接着ローラ６で、第２ワークＷ２の一側縁をコンベアベルト１０を介して第１ワークＷ１に押し付け、さらに、接着ローラ６を第２ワークＷ２の他側縁へ向かって移行させて、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を貼合する工程。貼合された両ワークＷ１・Ｗ２をコンベア装置２の搬送方向下手側へ排出する工程。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、コンベア装置２と、貼合テーブル４と、テーブル駆動構造と、真空チャンバー５、および真空チャンバー５の内部に配置した接着ローラ６などでワーク貼合装置を構成し、貼合位置において、貼合テーブル４で吸着保持した第１ワークＷ１とコンベアベルト１０で搬送した第２ワークＷ２とを隙間を介して正対させて、第２ワークＷ２を接着ローラ６で第１ワークＷ１に押し付けて、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合できるようにした。
【００１５】
上記の貼合装置によれば、隙間を介して第１ワークＷ１と正対する第２ワークＷ２を、接着ローラ６で一端から他端へ向かって押し付けながら貼合するので、貼合面に空気が噛み込むのを防止しながら、両ワークＷ１・Ｗ２を無負荷状態で適正に貼合できる。また、第２ワークＷ２を貼合位置まで搬送し終わった時点から、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合し終わるまでの間に、次ぎの第１ワークＷ１をコンベアベルト１０の上面に載置して、一連の貼合処理を連続して行なうことができるので、貼合処理に要する時間を大幅に短縮してワーク積層体の生産性を向上できる。とくに、両ワークＷ１・Ｗ２をコンベアベルト１０の上面に交互に載置すればよいので、貼合準備に要する時間を著しく削減できる。
【００１６】
一対のチェーン１２と、両チェーン１２の間に張設される通気自在なシルクスクリーン１３とでコンベアベルト１０を構成し、直線搬送面に沿って、チェーン１２の移動軌跡を直線状に規制するチェーンガイド１４を配置すると、シルクスクリーン１３の張力や、貼合されるワークの重みで、一対のチェーン１２が互いに近づく向きに移動するのをチェーンガイド１４で規制できる。したがって、シルクスクリーン１３に載置した両ワークＷ１・Ｗ２が搬送途中にずれ動くのを規制して、貼合位置における両ワークＷ１・Ｗ２の位置決めをより簡便にしかも的確に行なえる。シルクスクリーン１３を介して両ワークＷ１・Ｗ２を吸着するので、自己保形性のないワークであっても位置決めした状態のままで搬送でき、この点でも両ワークＷ１・Ｗ２の位置決めを的確に行なえる。
【００１７】
スライド台２０と可動テーブル２１とで架台３を構成し、可動テーブル２１および貼合テーブル４を操作構造２３で搬送面に対して接離操作できるようにすると、貼合テーブル４で吸着保持した第１ワークＷ１と、コンベアベルト１０側に吸着保持した第２ワークＷ２とを対向させるときの隙間を、操作構造２３で常に適正な状態に保持できる。したがって、貼合対象の組み合わせが種々に変化するような場合でも、両ワークＷ１・Ｗ２の対向隙間を適正化して、両ワークＷ１・Ｗ２を適正に貼合できる。
【００１８】
真空チャンバー５の内部に、接着ローラ６と、ローラー駆動構造と、複数の支持体７とを配置する貼合装置によれば、第１ワークＷ１および第２ワークＷ２の重量を、シルクスクリーン１３を介して支持体７で支持するので、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合位置へ搬送するときにシルクスクリーン１３が撓み変形するのを防止できる。したがって、シルクスクリーン１３に載置した両ワークＷ１・Ｗ２が搬送途中にずれ動くのを規制して、貼合位置における両ワークＷ１・Ｗ２の位置決めをより簡便にしかも的確に行なえる。また、接着ローラ６が接着始端から接着終端へ向かって移動操作されるのに同調して、支持体７を操作構造３９で接着ローラ６の移動軌跡から退避操作するので、接着ローラ６による両ワークＷ１・Ｗ２の貼合を円滑に行なえる。
【００１９】
本発明のワーク貼合方法においても、上記と同様に第１ワークＷ１と正対する第２ワークＷ２を接着ローラ６で貼合する際に、貼合面に空気が噛み込むのを防止しながら、両ワークＷ１・Ｗ２を無負荷状態で適正に貼合できる。また、第２ワークＷ２を貼合位置まで搬送し終わった時点から、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合し終わるまでの間に、次ぎの第１ワークＷ１をコンベアベルト１０の上面に載置して、一連の貼合処理を連続して行なうことができるので、貼合処理に要する時間を大幅に短縮して、ワーク積層体を能率よく生産できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（実施例）  図１ないし図１０は本発明に係る貼合装置の実施例を示す。図１ないし図３において、貼合装置は機台１の上面に配置されるコンベア装置２と、コンベア装置２の上面に配置される架台３と、架台３の下面側に配置される貼合テーブル４と、後述するコンベアベルト１０の直線搬送面の内部に配置される真空チャンバー５と、真空チャンバー５の内部に配置される接着ローラ６、および左右一対の支持テーブル（支持体）７などで構成する。
【００２１】
互いに貼合される第１ワークＷ１および第２ワークＷ２は、液晶基板やプラズマディスプレイ基板に代表されるガラス基板や、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフイルム、紫外線シールドフイルムなどの機能性シートなどからなる。具体的な貼合例としては、ガラス基板に別のガラス基板を接着する場合、ガラス基板に機能性シートを接着する場合、機能性シートに別の機能性シートを接着する場合などがあるが、いずれの場合であっても上記の貼合装置によって、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を無負荷状態で好適に貼合できる。
【００２２】
以下では、第１ワークＷ１が機能性シートであり、第２ワークＷ２がガラス基板である場合について説明する。両ワークＷ１・Ｗ２の面積は同じであり、両ワークＷ１・Ｗ２の搬送方向両端あるいは対角隅部には、位置決め用の位置表示Ｍ１・Ｍ２が表示してある。例えば第１ワークＷ１には円形の位置表示Ｍ１が設けてあり、第２ワークＷ２には先の位置表示Ｍ１より直径寸法が小さな黒丸の位置表示Ｍ２が設けてある。
【００２３】
コンベア装置２は、前後に対向配置されるコンベアフレーム９・９と、両フレーム９・９の間でエンドレス状に移行案内されるコンベアベルト１０と、コンベアベルト１０をスプロケットギヤ１１を介して回転駆動する駆動構造などで構成し、先の両ワークＷ１・Ｗ２を一方向へ搬送する。コンベアベルト１０は、一対のスプロケットギヤ１１に巻き掛けられる一対のチェーン１２と、一対のチェーン１２の間に張設される通気自在なシルクスクリーン１３とで構成してある。図４に示すようにチェーン１２は、Ｈ字状のチェーンリンク１２ａを一文字状のチェーンリンク１２ｂで連結して無端状に構成してあり、Ｈ字状のチェーンリンク１２ａの前側あるいは後側に、スプロケットギヤ１１のギヤ歯と係合するギヤ軸１２ｃが突設してある。シルクスクリーン１３は、チェーンリンク１２ａと一体に形成した装着座１２ｄに、ボルト１７で押さえ金具を介して締結固定してある。
【００２４】
シルクスクリーン１３は、一対のチェーン１２の間に所定の張力を付与した状態で張設してある。そのため、コンベアベルト１０の直線搬送部において、一対のチェーン１２が互いに接近する向きに移動すると、シルクスクリーン１３がたるんでしまう。とくに、ワーク重量が大きい場合には、シルクスクリーン１３が大きくたるんでしまう。こうした、シルクスクリーン１３のたるみを規制するために、図５に示すようにチェーン１２を直線状に移行案内するチェーンガイド１４を直線搬送部に沿って配置し、コンベアフレーム９に固定している。チェーンガイド１４は、滑性に優れたプラスチック条材からなり、先の装着座１２ｄの突端面を受け止めてチェーン１２の移動を規制している。先のスプロケットギヤ１１のうち、搬送方向下手側に位置するスプロケットギヤ１１を、ステップモータ１５と、同モータ１５の回転動力を伝えるチェーン機構１６とからなる駆動構造で回転駆動できるようにしている。チェーン機構１６は、原動側および従動側のチェーンスプロケットと、両スプロケットに巻き掛けられるチェーンなどで構成する。
【００２５】
図３に示すように架台３は、コンベア装置２の上面を跨ぐ状態で交差配置する。架台３は、コンベアフレーム９の外面に設けたガイドレール１９で案内支持される前後一対のスライド台２０と、これらスライド台２０で支持される昇降テーブル２２とで門形に構成する。昇降テーブル２２は、スライド台２０に設けた左右一対のガイド軸２１で上下昇降可能に案内支持してあり、スライド台２０の上部に配置したエアーシリンダー（操作構造）２３で昇降操作される。昇降テーブル２２の下面に、貼合テーブル４が配置され、昇降テーブル２２の上面に両ワークＷ１・Ｗ２の貼合位置のずれを調整する位置調整装置が配置してある。
【００２６】
貼合テーブル４には真空チャンバー２４が設けてあり、その内部は通路を介して真空ポンプ（真空源）３０（図１参照）に連通してある。真空チャンバー２４の下面は、先の第１ワークＷ１を吸着する吸着面２５になっており、吸着面２５と真空チャンバー２４とは一群の通口を介して連通している。
【００２７】
貼合テーブル４をコンベアベルト１０の直線搬送面に沿って往復駆動するために、コンベアフレーム９の外面にテーブル駆動構造を設けている。テーブル駆動構造は、ステップモータ２６と、同モータ２６で正逆双方向へ回転駆動される送りねじ軸２７と、送りねじ軸２７に噛み合う雌ねじ体２８とからなる。雌ねじ体２８は架台３のスライド台２０に固定してある。架台３はテーブル駆動構造で往復駆動されて、コンベア装置２の搬送終端の上方の待機位置（図１に示す位置）と貼合位置との間を移動できる。
【００２８】
真空チャンバー５は、上向きに開口する直方体状の箱体からなり、その内部は通路を介して真空ポンプ３０に連通してある。真空ポンプ３０と真空チャンバー５・２４を連通する通路の中途部に設けた電磁弁を切り換えることにより、真空チャンバー５の内部に負圧を作用させて、第１・第２の両ワークＷ１・Ｗ２を吸着でき、あるいは真空チャンバー５・２４の内部を大気圧と同圧にできる。
【００２９】
接着ローラ６は、硬質ゴム製のローラ６ａと、ローラ６ａを回転自在に支持するローラ台６ｂとで構成してある。接着ローラ６は、真空チャンバー５の内底に設けたローラ駆動構造で直線搬送面に沿って往復駆動でき、さらに、ローラ駆動構造とローラ台６ｂとの間に設けた前後一対のエアーシリンダー（操作構造）３２で、下方の接着待機位置と、上方の接着位置との間を昇降操作できる。
【００３０】
ローラ駆動構造は、真空チャンバー５の内底に平行に配置される前後一対のガイドレール３３と、同レール３３でスライド案内されるスライドブロック３４と、ステップモータ３５を駆動源とするタイミングベルト機構３６などで構成する。タイミングベルト機構３６は、原動側および従動側のタイミングプーリと、両プーリに巻き掛けられるタイミングベルトなどで構成する。タイミングベルト機構３６のタイミングベルトの一個所にスライドブロック３４を連結することにより、タイミングベルトの往復移動に同行してスライドブロック３４を往復駆動できる。エアーシリンダー３２は、スライドブロック３４に組み付けられて、そのピストンロッドでローラ台６ｂを支持している。図１に示すように、常態における接着ローラ６は、コンベア装置２の搬送方向下手側の真空チャンバー５内に位置している。
【００３１】
先に説明したように第１ワークＷ１は機能性シートからなり、第２ワークＷ２はガラス基板からなる。そのため、第１ワークＷ１をシルクスクリーン１３に載置しても問題はないが、第２ワークＷ２をシルクスクリーン１３に載置した状態では、シルクスクリーン１３が第２ワークＷ２の重みで撓み変形してしまう。このようなシルクスクリーン１３の撓み変形を防ぐために支持テーブル７を設けている。支持テーブル７は、垂直に配置される４個のガイド軸３８で昇降自在に案内支持され、さらに真空チャンバー５の内底と支持テーブル７との間に配置したエアーシリンダー（操作構造）３９で、上方の支持位置（図６に示す位置）と下方の退避位置（図１０に示す位置）とに変位操作できる。
【００３２】
位置調整装置は、先に説明したテーブル駆動構造（左右調整構造）と、昇降テーブル２２の上面に設けた前後調整構造とで構成する。前後調整構造は、ステップモータ４１で回転駆動される送りねじ軸４２と、送りねじ軸４２で前後操作される雌ねじ体４３などで構成してある。先の貼合テーブル４は、雌ねじ体４３に固定した吊持軸４４で支持されている。したがって、前後調整構造で雌ねじ体４３を前後に移動操作し、さらにテーブル駆動構造で架台３を左右に移動操作することにより、貼合テーブル４を前後および左右方向へ調整移動操作して、両ワークＷ１・Ｗ２の位置ずれを矯正できる。
【００３３】
上記の位置調整装置を制御するために、図示していない位置ずれ検知装置が設けてある。位置ずれ検知装置は、貼合位置の上方２個所に配置したＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラの画像から位置ずれを認識するアライメントコントローラ、フォーカスコントローラ、およびモニターなどで構成してある。図７に示すようにＣＣＤカメラは位置表示Ｍ１・Ｍ２のずれを画像として取り込む。アライメントコントローラからの出力信号に従って、先の位置調整装置を駆動し、貼合テーブル４を前後および左右方向へ調整移動操作することにより、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２とを位置ずれのない状態で正確に正対させることができる。
【００３４】
次に、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の貼合手順を説明する。まず、図６に示すように第１ワークＷ１をシルクスクリーン１３の上面の搬送方向上手に載置し、真空チャンバー５に真空圧を作用させた状態で第１ワークＷ１を吸着保持して貼合位置（図７に示す位置）へと搬送する。さらに第２ワークＷ２をシルクスクリーン１３の上面の搬送方向上手に載置し、第２ワークＷ２を吸着保持する。このときの両ワークＷ１・Ｗ２は、それぞれ自動機によってシルクスクリーン１３上に載置されて、大まかに位置決めされている。
【００３５】
第１ワークＷ１が貼合位置まで搬送されると、それまでコンベア装置２の搬送終端の上方に待機していた架台３をテーブル駆動構造で駆動して、貼合テーブル４を第１ワークＷ１の真上の貼合位置に位置させる。この状態で、昇降テーブル２２をエアーシリンダー２３で下降操作して、図７に示すようにシルクスクリーン１３上の第１ワークＷ１を貼合テーブル４の吸着面２５で吸着する。つまり、第１ワークＷ１をコンベア装置から貼合テーブル４へ受け渡す。このとき、真空チャンバー５による吸着作用は停止され、貼合テーブル４側の真空チャンバー２４に限って真空圧を作用させる。第１ワークＷ１を受け取った貼合テーブル４は、昇降テーブル２２と共にエアーシリンダー２３で上昇操作されて、第２ワークＷ２の搬送を待つ。
【００３６】
第１ワークＷ１を貼合テーブル４へ受け渡すのと同時に、再び真空チャンバー５に真空圧を作用させた状態で第２ワークＷ２を貼合位置まで搬送する。これにより、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２は上下に正対するが、図７に示すように両者の位置精度は充分ではなく位置表示Ｍ１・Ｍ２はずれている。そこで、位置ずれ検知装置によって両ワークＷ１・Ｗ２の位置ずれを検知し、位置調整装置を作動させて両ワークＷ１・Ｗ２の位置表示Ｍ１・Ｍ２を一致させる。
【００３７】
詳しくは、図８に示すように第２ワークＷ２の位置表示Ｍ２が、第１ワークＷ１の位置表示Ｍ１の概ね中央に位置するように貼合テーブル４を調整操作する。この状態の第１ワークＷ１と第２ワークＷ２とは、位置ずれ調整と貼合に適した上下隙間を介して正対している。上下隙間の好適な値は、両ワークＷ１・Ｗ２の厚みや弾性率などによって異なるが、多くの場合は０．１〜５ｍｍの範囲内で選択するのが好ましく、この実施例の場合には２ｍｍとした。
【００３８】
位置ずれ調整が終わった時点で、図９に示すように接着ローラ６をエアーシリンダーで上方の接着位置へ上昇操作して、第２ワークＷ２の搬送方向下手側の側縁をシルクスクリーン１３を介して第２ワークＷ２に押し付ける。さらに、図１０に示すように接着ローラ６を第２ワークＷ２の搬送方向上手側の側縁へ向かって移行させて、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を貼合する。このとき、接着ローラ６の移動に先行して各支持テーブル７を順に下降操作して、支持テーブル７を接着ローラ６の移動軌跡の下方へ退避させる。図９において符号４６は第２ワークＷ２の上面に設けた接着剤層である。
【００３９】
接着ローラ６で第２ワークＷ２の搬送方向下手側の側縁を第２ワークＷ２に押し付けた状態では、図９に示すように第２ワークＷ２の殆どの部分は真空圧を受けてシルクスクリーン１３に吸着されており、そのため第２ワークＷ２は緩やかなＳ字状に弾性変形して搬送方向上手側へ向かって下り傾斜している。そのため、両ワークＷ１・Ｗ２は接着ローラ６の進行方向へ向かって常に開口した状態で貼合され、したがって貼合面に挟み込まれようとする空気を強制的に逃がしながら貼合できる。貼合終了後に、架台３をコンベア装置２の搬送終端へ復帰移動させ、貼合テーブル４の真空チャンバー２４への真空圧の供給を停止して、貼合された両ワークＷ１・Ｗ２を図示していない排出コンベアに渡す。
【００４０】
第２ワークＷ２を貼合位置まで搬送し終わった時点から、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合し終わるまでの間に、次ぎの第１ワークＷ１を上記と同様にシルクスクリーン１３の上面に載置し、再び貼合位置まで搬送する。さらに、第２ワークＷ２をシルクスクリーン１３の上面に載置し、貼合テーブル４を第１ワークＷ１の真上に位置させて、次ぎの貼合処理を上記と同様にして繰り返し行なう。
【００４１】
上記の貼合装置によれば、貼合面に空気が噛み込むのを防止しながら、両ワークＷ１・Ｗ２を無負荷状態で適正に貼合でき、さらに両ワークＷ１・Ｗ２どうしを高精度に位置決めした状態で貼合できる。また、第２ワークＷ２を貼合位置まで搬送し終わった時点から、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合し終わるまでの間に、次ぎの第１ワークＷ１をコンベアベルト１０の上面に載置して、一連の貼合処理を連続して行なうことができるので、貼合処理に要する時間を大幅に短縮して、ワーク積層体の生産性を向上できる。因みに、上記実施例の貼合装置はバッチ処理方式の従来の貼合装置に比べて、一連の貼合処理に要する時間を約３分の１にまで短縮できた。
【００４２】
以上の説明から理解できるように、本発明の貼合方法は、以下の工程に従って両ワークＷ１・Ｗ２を好適に貼合できる。
第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を、通気自在なコンベアベルト１０の直線搬送面に交互に載置する工程と、
直線搬送面の内部に配置した真空チャンバー５に真空圧を作用させて、第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を吸着した状態で、貼合位置まで搬送する工程と、
貼合位置まで搬送された第１ワークＷ１を、コンベア装置２から受け取って貼合テーブル４で吸着保持する工程と、
第２ワークＷ２を貼合位置まで搬送して、貼合テーブル４で吸着保持された第１ワークＷ１と正対させる工程と、
位置ずれ検知装置によって両ワークＷ１・Ｗ２の位置ずれを検知し、位置ずれ検知装置からの検知信号に基づき位置調整装置を作動させて両ワークＷ１・Ｗ２の位置ずれを矯正する工程と、  真空チャンバー５の内部に配置した接着ローラ６で、第２ワークＷ２の一側縁をコンベアベルト１０を介して第１ワークＷ１に押し付け、さらに、接着ローラ６を第２ワークＷ２の他側縁へ向かって移行させて、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を貼合する工程と、
貼合された両ワークＷ１・Ｗ２を、貼合テーブル４からコンベア装置２の搬送方向下手側へ排出する工程とを経て、一連の貼合処理を連続して行う。
【００４３】
上記の実施例では、通気自在な搬送面をシルクスクリーン１３で形成したがその必要はなく、金属メッシュ体で搬送面を形成することができる。また、チェーン１２はタイミングベルトで代替できる。支持体７はテーブル状である必要はなく、多数個の支持枠を直線搬送面に沿って格子状に配置して構成することができる。真空源３０は、排気能力が高い排気ファンで構成することができる。
【００４４】
上記の実施例では、コンベアベルト１０の上面側の直線搬送面で両ワークＷ１・Ｗ２の貼合を行なうようにしたが、その必要はなく、コンベアベルト１０の下面側の直線搬送面で貼合を行なうことができる。必要があれば、コンベアベルト１０直線搬送面を垂直面に沿わせ、あるいは傾斜させた状態で、両ワークＷ１・Ｗ２の貼合を行なうことができる。操作構造２３・３２・３９はエアーシリンダーである必要はなく、市販の電動シリンダーやソレノイドで構成することができる。接着剤層４６は両ワークＷ１・Ｗ２のいずれの側に設けてあってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】ワーク貼合装置の縦断正面図である。
【図２】ワーク貼合装置の一部破断平面図である。
【図３】ワーク貼合装置の縦断側面図である。
【図４】コンベア構造を示す一部破断平面図である。
【図５】チェーンの駆動構造を示す縦断面図である。
【図６】ワークの貼合手順を示す説明図である。
【図７】図６に連続するワークの貼合手順を示す説明図である。
【図８】図７に連続するワークの貼合手順を示す説明図である。
【図９】図８における貼合構造の詳細を示す説明図である。
【図１０】図８に連続するワークの貼合手順を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
２  コンベア装置
３  架台
４  貼合テーブル
５  真空チャンバー
６  接着ローラ
７  支持体
１０  コンベアベルト
１１  スプロケットギヤ
１２  チェーン
１３  シルクスクリーン
１４  チェーンガイド
２０  スライド台
２１  可動テーブル
２３  操作構造
２５  吸着面
３０  真空源
３９  操作構造
Ｗ１  第１ワーク
Ｗ２  第２ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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