(57)【要約】【課題】  ノズルプレートと接合部材とが高精度に位置決め固定され、且つノズルプレートの除電を良好に行うことができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】  液体噴射ヘッド２００のノズルプレート２０８と前記接合部材３００とが、それぞれ導電材料からなると共に、これらノズルプレート２０８と接合部材３００とが、突起部を有する導電性部材３５１と接着剤とからなる導電性接着層３５０を介して接合され、且つ前記ノズルプレート２０８と前記接合部材３００とがそれぞれ当該導電性部材を介して電気的に接続されている【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが形成されたノズルプレートを有する液体噴射ヘッド本体と、前記ノズルに対応する領域に開口を有し前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズルプレート側に接着される接合部材とを有し、
前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズルプレートと前記接合部材とがそれぞれ導電材料からなると共に、これらノズルプレートと接合部材とが、突起部を有する導電性部材と接着剤とからなる導電性接着層を介して接合され、且つ、当該導電性部材の突起部が前記ノズルプレートと前記接合部材に刺さった状態で保持されてこれらノズルプレートと接合部材とが電気的に接続されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記導電性部材が、球状又は略球状の基材に尖端を有する突起部を設けて構成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記導電性部材が、平板状の基材に尖端を有する突起部を設けて構成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記導電性部材が、金属材料で形成されたもの、又は前記導電性部材の表面に金属材料がコーティングされたものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記導電性接着層が、大きさの異なる複数種類の導電性部材を含有していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記ノズルプレートが前記接合部材側の表面に絶縁性膜を有し、前記導電性部材の前記突起部が前記ノズルプレートの絶縁性膜を貫通して前記ノズルプレートに刺さった状態で保持されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項８】
ノズルが複数形成されたノズルプレートを液体噴射ヘッド本体に設けた後に、前記ノズルに対応する位置に開口が設けられた接合部材の所定の位置に、突起部を有する導電性部材と接着剤からなる導電性接着層を設け、前記ノズルプレートと前記接合部材とを接合するに際し、
接合部材をノズルプレート側に面押しして、導電性接着層に含有される導電性部材の突起部をノズルプレート及び接合部材に刺してその状態で保持しながら接着剤を乾燥させることにより、前記ノズルプレートと前記接合部材とを接合することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレートに穿設されたノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置に関し、特に、ノズルと連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板上に設けられた圧電素子の変位によりノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子、あるいは発熱素子等によって液体に圧力を付与することで、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。また、このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、インクに圧力を付与するための圧力変換素子等を有するインク室本体上に、インク滴が吐出されるノズルを有するノズルプレートが接合され、このノズルプレート上に、例えば、接着剤等からなる接着層を介して接合部材である保護プレートが接合されている。
【０００３】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、記録紙などの記録媒体や外部からの静電気によってインクジェット式記録ヘッドを構成する金属部品が帯電し、インクに圧力を付与するための圧力変換素子等や、この圧力変換素子等を駆動するためのドライバＩＣ等が破壊されてしまう虞がある。そこで、例えば特許文献１に記載されたインクジェット式記録ヘッドでは、この帯電を防止すべく、接着剤に導電性の粒状固体を混合し、ノズルプレートと保護プレートとの導通を図ることができるように構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１５３５６号公報（第６図、段落００３０等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載のインクジェット式記録ヘッドの場合、粒状固体を接着剤に混合することで簡易に帯電防止をすることができるという利点があるが、その反面、粒状固体を含有することで、位置決め後、その位置を保持することが難しい場合があるという問題がある。即ち、ノズルプレートと保護プレートとは、接着剤塗布後、高精度に位置決めされた後に接着剤の乾燥前に貼り合わせて固着させることにより、高精度な位置決めを保持している。しかし、接着剤に、球状であるため移動しやすい粒状固体が存在することで、接着剤乾燥前のわずかな振動によりその位置がずれて両プレートが固定されてしまうことがある。このような位置ずれは、液滴の良好な吐出を妨げ、結果として印刷品質の低下を招いてしまう場合があるという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、ノズルプレートと接合部材とが高精度に位置決めされた後にその位置を保持し固定できる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、複数のノズルが形成されたノズルプレートを有する液体噴射ヘッド本体と、前記ノズルに対応する領域に開口を有し前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズルプレート側に接着される接合部材とを有し、前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズルプレートと前記接合部材とがそれぞれ導電材料からなると共に、これらノズルプレートと接合部材とが、突起部を有する導電性部材と接着剤とからなる導電性接着層を介して接合され、且つ、当該導電性部材の突起部が前記ノズルプレートと前記接合部材に刺さった状態で保持されてこれらノズルプレートと接合部材とが電気的に接続されることを特徴とする。
【０００９】
本発明の液体噴射ヘッドでは、接着剤に含有される導電性部材が突起部を有し、この突起部が、ノズルプレート、接合部材に刺さってこの状態で保持されることで、導電性部材が移動することを防止できるので、位置決め後、その位置を保持することが可能である。従って、本発明の液体噴射ヘッドは、ノズルプレート及び接合部材が高精度に位置決めされた状態を保持できるので、液体噴射装置に用いた場合に印刷性能が良い。
【００１０】
ここで、前記導電性部材が、球状又は略球状の基材に尖端を有する突起部を設けて構成されているか、平板状の基材に尖端を有する突起部を設けて構成されていれば、位置決め後に簡易にその位置を保持することができる。
【００１１】
この場合、前記導電性部材が、金属材料で形成されたもの、又はその表面に金属材料がコーティングされたものであることが好ましい。これにより、導電性部材によってノズルプレートと接合部材とが電気的により確実に接続されると共に、適度な剛性を得ることができるので突起部がノズルプレート等に刺さって位置決め後に導電性部材が移動することを防止できる。
【００１２】
また、前記導電性接着層が、大きさの異なる複数種類の導電性部材を含有していることが好ましい。ノズルプレートと接合部材との位置決め調整が容易となり、両者がより高精度に位置決めされて接合されるため、印刷品質がさらに向上するからである。
【００１３】
また、本発明の好適な実施態様としては、前記ノズルプレートは前記接合部材側の表面に絶縁性膜を有し、前記導電性部材の前記突起部が前記ノズルプレートの絶縁性膜を貫通して前記ノズルプレートに刺さった状態で保持されていることがあげられる。
【００１４】
本発明の液体噴射装置は、前記液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする。前記液体噴射ヘッドを具備することで、ノズルプレート及び接合部材が位置決めされた位置を保持して液滴を良好に吐出することができ且つ静電気による不良の発生を防止し、信頼性及び耐久性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
【００１５】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、ノズルが複数形成されたノズルプレートを液体噴射ヘッド本体に設けた後に、前記ノズルに対応する位置に開口が設けられた接合部材の所定の位置に、突起部を有する導電性部材と接着剤からなる導電性接着層を設け、前記ノズルプレートと前記接合部材とを接合するに際し、接合部材をノズルプレート側に面押しして、導電性接着層に含有される導電性部材の突起部をノズルプレート及び接合部材に刺してその状態で保持しながら接着剤を乾燥させることにより、前記ノズルプレートと前記接合部材とを接合することを特徴とする。このように、位置決め後、ノズルプレート及び接合部材に導電性部材の突起部を刺してその状態で保持しながら接着剤を乾燥させることで、ノズルプレート及び接合部材は位置決め後の位置を保持することが可能である。従って、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法により製造された液体噴射ヘッドは、液滴を良好に吐出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの組立斜視図であり、図３は、その要部断面図である。
【００１７】
図示するように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッドという）は、カートリッジケース１００と、インクジェット式記録ヘッド本体２００（以下、記録ヘッド本体という）と、固定板３００と、カバーヘッド４００とで構成されている。カートリッジケース１００は、インク供給手段であるインクカートリッジ（図示なし）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部１０１を有する。また、カートリッジケース１００の底面には、一端が各カートリッジ装着部１０１に開口し、他端が記録ヘッド本体２００側に開口する複数のインク連通路１０２が設けられている。さらに、カートリッジ装着部１０１のインク連通路１０２の開口部分には、インクカートリッジに挿入されるインク供給針１０３が固定されている。
【００１８】
このようなカートリッジケース１００の底面側には、所定間隔で位置決めされた複数、本実施形態では４つの記録ヘッド本体２００が固定されている。これら記録ヘッド本体２００は、本実施形態では、各色のインクに対応して設けられ、固定板３００に位置決め接着された状態でカートリッジケース１００の底面側に設けられている。
【００１９】
ここで、記録ヘッド本体２００の構成について説明する。図４は、記録ヘッド本体の分解斜視図であり、図５は、記録ヘッド本体の断面図である。図４及び図５に示すように、記録ヘッド本体２００を構成する流路形成基板２０１は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には酸化膜である弾性膜２０２が形成されている。この流路形成基板２０１には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の圧力発生室２０３が形成されている。例えば、本実施形態では、流路形成基板２０１に、圧力発生室２０３が幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室２０３の長手方向外側には、後述する保護基板に設けられるリザーバ部と連通し、各圧力発生室２０３の共通のインク室となるリザーバ２０４を構成する連通部２０５が形成されている。また、連通部２０５は、インク供給路２０６を介して各圧力発生室２０３の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。
【００２０】
また、流路形成基板２０１の開口面側には、各圧力発生室２０３のインク供給路２０６とは反対側で連通するノズル２０７が穿設されたノズルプレート２０８が接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。このノズルプレート２０８は、例えば、金属材料等の導電材料によって形成されており、本実施形態では、ノズルプレート２０８の材料として、ステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いている。また、ノズルプレート２０８には、インクの吐出特性の劣化を防ぐべく、固定板３００側に絶縁性膜としての撥水膜が設けられていてもよい。この場合には、後述する導電性部材３５１の突起部３５３は、この撥水膜を貫通してノズルプレートに刺さった状態で保持される。
【００２１】
一方、流路形成基板２０１の表面に形成された弾性膜２０２上には、例えば、白金、イリジウム等の金属材料からなる下電極膜と、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層と、例えば、イリジウム等の金属材料からなる上電極膜とからなる圧電素子２１２が形成されている。
【００２２】
さらに、このような圧電素子２１２が形成された流路形成基板２０１上には、圧電素子２１２に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部２１３を有する保護基板２１４が接合されている。また、この保護基板２１４には、上述したように流路形成基板２０１の連通部２０５と連通されて各圧力発生室２０３の共通のインク室となるリザーバ２０４を構成するリザーバ部２１５が形成されている。
【００２３】
また、保護基板２１４上には、各圧電素子２１２を駆動するための駆動ＩＣ２１６が実装されている。この駆動ＩＣ２１６の各端子は、図示しないが、ボンディングワイヤ等を介して各圧電素子２１２の個別電極から引き出されたリード電極と接続されている。そして、駆動ＩＣ２１６の各端子には、図１に示すような、フレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線２１７が接続され、この外部配線２１７を介して印刷信号等の各種信号が供給されるようになっている。
【００２４】
さらに、保護基板２１４上のリザーバ２０４に対応する領域には、コンプライアンス基板２１８が接合されている。このコンプライアンス基板２１８には、リザーバ２０４に対応する領域に、他の領域よりも厚さが薄く可撓部２１９が設けられており、リザーバ２０４内の圧力変化が、この可撓部２１９が変形することで吸収されるようになっている。また、コンプライアンス基板２１８には、リザーバ２０４に連通するインク導入口２２０が形成されている。
【００２５】
さらに、コンプライアンス基板２１８上には、このインク導入口２２０に連通すると共にカートリッジケース１００のインク連通路１０２に連通するインク供給連通路２２１が設けられたヘッドケース２２２が接合されている。そして、これらインク連通路１０２、インク供給連通路２２１及びインク導入口２２０を介してインクがリザーバ２０４内に供給されるようになっている。またこのヘッドケース２２２には、駆動ＩＣ２１６に対向する領域に、厚さ方向に貫通する駆動ＩＣ保持部２２３が設けられており、図示しないが、この駆動ＩＣ保持部２２３内には各駆動ＩＣ２１６を覆うようにポッティング剤が充填される。
【００２６】
なお、このような記録ヘッド本体２００は、リザーバ２０４からノズル２０７に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ２１６からの記録信号に従い、圧力発生室２０３に対応するそれぞれの圧電素子２１２に電圧を印加し、弾性膜２０２及び圧電素子２１２をたわみ変形させて各圧力発生室２０３内のインクに圧力を付与することにより、ノズル２０７からインク滴を吐出させる。
【００２７】
そして、このような記録ヘッド本体２００は、図６に示すように、所定間隔で高精度に位置決めされた状態で固定板３００に接着固定されている。この固定板３００には、ノズル２０７を露出する露出開口部３０１が、例えば、各記録ヘッド本体２００に対応して設けられており、各記録ヘッド本体２００を構成するノズルプレート２０８の周縁部に導電性接着層３５０によって接合されている。また、固定板３００は、ノズルプレート２０８と同様に、例えば、金属材料等の導電材料からなる。なお、本実施形態では、固定板３００の材料として、ノズルプレート２０８と同一の材料であるステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いている。すなわち、ノズルプレート２０８と固定板３００とは、何れも導電性を有している。また、固定板３００の形成方法は、特に限定されないが、プレス加工によって形成すればよい。
【００２８】
また、各記録ヘッド本体２００のノズルプレート２０８と固定板３００とを接着する導電性接着層３５０は、樹脂材料等を主剤とする接着剤と導電性を有する材料からなる導電性部材３５１とを含有するものであり、図中では接着剤に導電性部材３５１が混練されてなる。各ノズルプレート２０８と固定板３００とはこの導電性接着層３５０を介して導通が図られている。すなわち、各ノズルプレート２０８と固定板３００とは、この導電性部材３５１を介して電気的に接続されている。
【００２９】
この導電性接着層３５０に含まれる導電性部材３５１について詳細に説明する。導電性部材３５１は、図７に示すように球状の基材３５２に円錐状の突起部３５３を有するものである。そして、この導電性部材３５１は、突起部３５３が各ノズルプレート２０８と固定板３００とに刺さった状態で保持されている。即ち、位置決め後、ノズルプレート２０８が設けられた記録ヘッド本体２００に対して導電性接着層３５０が形成された固定板３００を面押し（押圧）して接合すると、導電性部材３５１の突起部３５３が各ノズルプレート２０８と固定板３００とに刺さり、導電性部材３５１はこの状態で保持（係止）されているのである。このように突起部３５３を有することで導電性部材３５１が各ノズルプレート２０８と固定板３００とに刺さった状態で保持され、導電性部材３５１を介して両プレートは移動しない。そしてその後、導電性接着層３５０の接着剤が乾燥して、各ノズルプレート２０８と固定板３００とは固着されるため、各ノズルプレート２０８と固定板３００とは位置決めによるその位置を保持された状態で固着される。従って、位置ずれがないために、本実施形態におけるインクジェット式記録ヘッドは吐出特性に優れている。
【００３０】
導電性部材３５１は、突起を有した形状であればどのようなものでもよい。即ち、突起部３５３は円錐状であるが、ノズルプレート２０８又は固定板３００に突起部３５３が刺さりこの状態で保持されることが可能であるように尖端を有するものであればどのような形状でもよい。例えば角錐状でもよい。また、突起部３５３の高さは本実施形態では異なるものとしているが、略同一としてもよい。さらにまた、基材３５２は球状としたが、例えば楕円体状や、一部が面取りされているような略球状のものを用いてもよい。
【００３１】
また、本実施形態では、導電性部材３５１としては、突起部３５３を含む大きさが５〜１０μｍ程度の異なる複数種類の導電性部材３５１が含有されている。このように大きさの異なる複数種類の導電性部材３５１を有する場合には、ノズルプレート２０８のみ、又は固定板３００にのみ刺さってこの状態で保持されるものもあるが、隣接する各導電性部材３５１間を介して導通をとることができる。
【００３２】
導電性部材３５１は、ノズルプレート２０８と固定板３００との接合時に、ノズルプレート２０８、又は固定板３００に突起部が刺さることができるような剛性を有し、かつ、導電性を有する材料から構成されていることが好ましい。例えば、金属材料等の導電材料で形成されたものであってもよいし、絶縁材料からなる基材の表面に金属材料等の導電材料をコーティングしたものであってもよい。本実施形態では、二酸化シリコン（シリカ）からなる球状の基材表面に金（Ａｕ）をコーティングしたものを用いている。
【００３３】
また、導電性接着層３５０の主剤は、特に限定されないが、インクに対する耐性（耐インク性）を有するものであることが好ましく、例えば、エポキシ樹脂が好適に用いられる。また、この導電性接着層３５０の抵抗値は１０Ω以下、特に２Ω以下となっていることが好ましく、導電性接着層３５０の抵抗値は、導電性部材３５１の含有量によって調整すればよい。例えば、本実施形態の場合、導電性部材３５１を２ｗｔ％程度含有させることで、導電性接着層３５０の抵抗値は２Ωよりも大幅に低い値となっていた。
【００３４】
このように突起部３５３がノズルプレート２０８と固定板３００とに刺さってこの状態で保持されることで、これらノズルプレート２０８と固定板３００とをより電気的に良好に接続することができる。そして、固定板３００は、図示しないグランドラインと電気的に接続されているため、例えば、紙送りによる摩擦等によってもノズルプレート２０８が帯電することがない。したがって、ノズルプレート２０８の帯電、すなわち、ノズルプレート２０８に蓄積された静電気によって、圧電素子２１２等が破壊されてしまうのを確実に防止することができる。
【００３５】
また、ノズルプレート２０８と固定板３００との間隔は、実質的に導電性接着層３５０に含まれる導電性部材３５１の直径によって決まるが、両者を接合する際の面押しによる加圧力を変化させることで、これらの間隔、すなわち導電性接着層３５０の厚さを調整することができる。特に、本実施形態では、導電性接着層３５０に直径の異なる複数種類の導電性部材３５１を含有させているため、ノズルプレート２０８と固定板３００との間隔をより容易に調整することができる。また、ノズルプレート２０８と固定板３００との面方向での位置合わせも容易に行うことができる。
【００３６】
これにより、各記録ヘッド本体２００のノズルプレート２０８と固定板３００とを高精度に位置決めして、各ノズル２０７と記録媒体との距離を略均一とすることができる。すなわち、ノズル２０７の位置にかかわらず各ノズル２０７から記録媒体までのインク滴の飛行距離を略一定とすることができる。したがって、印刷品質が大幅に向上する。
【００３７】
さらに、導電性部材３５１を含有することによって、導電性接着層３５０は少なくとも最大の導電性部材３５１の球状の基材３５２の直径以上の厚さで形成されるため、導電性接着層３５０の接着剤の流れ出し量が大幅に抑えられるため、意図しない場所に導電性接着層３５０が付着することによる弊害の発生を防止することができる。
【００３８】
そして、このように固定板３００に固定された複数の記録ヘッド本体２００の周囲には、図１及び図２に示すように、これら複数の記録ヘッド本体２００を、インク等から保護するためのカバーヘッド４００が設けられている。このカバーヘッド４００は、固定板３００の露出開口部３０１に対応して開口部４０１を有するが、それ以外の領域では実質的に記録ヘッド本体２００を覆って設けられている。
【００３９】
カバーヘッド４００の材料は、特に限定されず、ノズルプレート２０８等と同様に、例えば、金属材料等の導電性材料を用いてもよい。導電性材料を用いてカバーヘッド４００を形成した場合、固定板３００とカバーヘッド４００とを電気的に接続し、カバーヘッド４００にグランドラインを接続するようにしてもよい。また、このような構成とする場合には、ノズルプレート２０８と固定板３００との接合と同様に、導電性接着層を用いてカバーヘッド４００と固定板３００とを接合するのが望ましい。
【００４０】
このようなカバーヘッド４００は、本実施形態では、記録ヘッド本体２００が固定されたカートリッジケース１００に固定されている。詳しくは、図２及び図３に示すように、カバーヘッド４００は、記録ヘッド本体２００側の端部にフランジ部４０２を有し、このフランジ部４０２には、当該フランジ部４０２を貫通する固定孔４０３が設けられている。一方、カートリッジケース１００の記録ヘッド本体２００側の面には、カバーヘッド４００の固定孔４０３に対応する位置に突起部１０４が設けられている。そして、このカートリッジケース１００の突起部１０４をカバーヘッド４００の固定孔４０３に挿入し、この突起部１０４の先端を加熱してかしめることによって、カバーヘッド４００をカートリッジケース１００に固定している。
【００４１】
なお、このような構成の記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図８に示すように、記録ヘッド本体を有する記録ヘッド１Ａ及び１Ｂには、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられてキャリッジ３に搭載される。記録ヘッド１Ａ，１Ｂが搭載されたキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１Ａ，１Ｂが搭載されたキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００４２】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。本発明の別の実施形態を図９及び図１０を用いて以下説明する。この別の実施の形態は、導電性部材３５１とは異なる形状の別の導電性部材３５４を用いている点が上述した実施形態とは異なるものであり、その他の点については同一の構成であるので説明を省略する。図９は記録ヘッドの要部を示す断面図であり、図１０は、導電性部材を説明するための図である。なお、図９及び図１０において図１〜８に記載したものと同一の構成要素については同一の符号を付してある。
【００４３】
図９によれば、導電性接着層３５０中には別の導電性部材３５４が含まれている。別の導電性部材３５４は、導電性部材３５１と同様の材料からなるものであるが、図１０（ａ）に示すように平板状の基材３５５に、１以上の突起部３５６が設けられてなるものである。ここで、突起部３５６は、各ノズルプレート２０８と固定板３００とに刺さり、この状態で保持されて各ノズルプレート２０８と固定板３００とを電気的に接続できるような高さで設けられている。即ち、この別の導電性部材３５４も、突起部３５６が設けられていることで、固定板３００に対して加圧された後、突起部３５６がノズルプレート２０８、固定板３００に刺さりこの状態で保持（係止）されるので、導電性部材３５４は各ノズルプレート２０８と固定板３００とを電気的に接続しやすい。かつ、突起部３５６を有することで、導電性部材３５４が移動しにくく、各ノズルプレート２０８と固定板３００との位置決めによる位置を保持できる。
【００４４】
基材３５５は、本実施形態では四角い平板状としたが、平板状でなくでも、平面から構成されている多面体状、円盤状や楕円盤状であってもよい。
【００４５】
このような別の導電性部材３５４を用いる場合には、固定板３００に接着剤が塗布された後、接着剤上の所定位置に部分的に配置すればよい。例えば、図１０（ｂ）は、別の導電性部材３５４の配置を説明するための固定板の上面図であるが、固定板３００に接着剤で描画したのちに、接着剤の所定位置に別の導電性部材３５４を配置して導電性接着層３５０とすることができる。このように部分的に別の導電性部材３５４が配置されても十分に帯電防止をすることができる。また、この場合、配置する位置によって異なる大きさの別の導電性部材３５４を用いても良い。そして、別の導電性部材３５４の配置後、固定板３００とノズルプレート２０８とを、固定板３００を面押しして接合し、別の導電性部材３５４の突起部３５６を固定板３００とノズルプレート２０８とに刺さった状態を保持しながら、接着剤が乾燥することにより固定板３００とノズルプレート２０８とを固着する。
【００４６】
また、上述の各実施形態では、それぞれ、導電性接着層３５０に、大きさの異なる複数種類の導電性部材３５１、３５４を意図的に含有させるようにしたが、勿論、この導電性接着層３５０には、略均一な大きさの導電性部材を含有させるようにしてもよい。このような導電性接着層３５０であっても、ノズルプレート２０８と固定板３００（接合部材）とを高精度に位置決めして良好に接合することができる。
【００４７】
さらにまた、導電性部材３５１及び３５４を含有する導電性接着層３５０を用いることも可能である。
【００４８】
さらにまた、例えば、上述の実施形態では、各記録ヘッド本体２００のノズルプレート２０８に接合される接合部材として、固定板３００を例示したが、接合部材はこれに限定されず、例えば、カバーヘッド４００が接合部材として機能するようにしてもよい。すなわち、固定板３００を設けずに、各記録ヘッド本体２００を導電材料からなるカバーヘッド４００に導電性接着層３５０を介して接合するようにしてもよい。
【００４９】
なお、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドを例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの組立斜視図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッド本体の分解斜視図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッド本体の断面図である。
【図６】実施形態１に係る記録ヘッドの要部を示す断面図である。
【図７】実施形態１に係る導電性部材を説明するための図である。
【図８】実施形態１に係る記録装置の概略図である。
【図９】別の実施形態に係る記録ヘッドの要部を示す断面図である。
【図１０】別の実施形態にかかる導電性部材を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  記録ヘッド、  １００  カートリッジケース、  ２００  記録ヘッド本体、  ２０８  ノズルプレート、  ３００  固定板、  ３５０  導電性接着層、  ３５１  導電性部材、  ４００  カバーヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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