(57)【要約】【課題】本発明の目的は、明度およびコントラスト比に優れたカラーフィルターの製造方法を提供すること、明度およびコントラスト比に優れたカラーフィルターを提供すること、また、該カラーフィルターを備えた画像表示装置、電子機器を提供すること。【解決手段】本発明のカラーフィルターの製造方法は、基板１１を準備する基板準備工程と、基板１１上に、着色部形成用の材料で構成された塗膜を形成し、フォトリソグラフィー法を用いて、各色の着色部１２を形成する着色部形成工程と、インクジェット方式により、遮光材料を含む遮光部形成用材料のインク３を隣接する着色部１２間に付与するインク付与工程と、インク３を乾燥させることにより、インク３から溶剤を除去し、固形状の遮光部１３とする遮光部形成工程とを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数色の着色部を備えたカラーフィルターの製造方法であって、
基板を準備する基板準備工程と、
前記基板上にフォトリソグラフィー法を用いて複数色の着色部を形成する着色部形成工程と、
前記基板上の隣接する前記着色部間に、遮光材料を含むインクをインクジェット方式で付与するインク付与工程と、
吐出された前記インクを乾燥させて、遮光部を形成する遮光部形成工程とを有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項２】
前記カラーフィルターは、前記複数色の着色部として、赤色、緑色、および青色の着色部を有するものであり、
前記複数色の着色部は、フォトリソグラフィー法を用いて、緑色の着色部、赤色の着色部、青色の着色部の順に形成される請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項３】
複数種の着色剤を含む着色部形成用組成物を用いて、前記複数色の着色部のうち少なくとも一色の着色部を形成する請求項１または２に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項４】
前記カラーフィルターは、前記複数色の着色部として、緑色の着色部を有し、
前記緑色の着色部は、着色剤として、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６のうち少なくとも一方を含む緑色着色部形成用組成物を用いて形成されたものである請求項１ないし３のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項５】
前記緑色着色部形成用組成物は、着色剤として、さらにＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、およびＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９から選択される少なくとも一種を含むものである請求項４に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項６】
前記カラーフィルターは、前記複数色の着色部として、赤色の着色部を有し、
前記赤色の着色部は、着色剤として、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４のうち少なくとも一方を含む赤色着色部形成用組成物を用いて形成されたものである請求項１ないし５に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項７】
前記赤色着色部形成用組成物は、着色剤として、さらにＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、およびＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９から選択される少なくとも一種を含むものである請求項６に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項８】
前記カラーフィルターは、前記複数色の着色部として、青色の着色部を有し、
前記青色の着色部は、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３とを含む青色着色部形成用組成物を用いて形成されたものである請求項１ないし７のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項９】
前記インクは、カーボンブラックを含む遮光材料と、当該遮光材料を分散させる分散媒と、バインダー樹脂とを含むものである請求項１ないし８のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法を用いて製造されたことを特徴とするカラーフィルター。
【請求項１１】
前記遮光部の高さは、前記複数色の着色部の高さよりも低いものである請求項１０に記載のカラーフィルター。
【請求項１２】
請求項１１に記載のカラーフィルターを備えたことを特徴とする画像表示装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の画像表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置、および、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー表示を行う液晶表示装置（ＬＣＤ）等には、一般に、カラーフィルターが用いられている。
このようなカラーフィルターの製造方法としては、近年、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を用いて、カラーフィルターの着色部を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような方法は、カラーフィルター基板上にフォトリソグラフィー法を用いて遮光部を形成し、遮光部で囲まれた領域に着色部形成用の材料（着色部形成用組成物）の液滴（インク）を吐出し、乾燥、固化させることにより着色部を形成するものである。かかる方法では、着色部形成用の材料（着色部形成用組成物）の液滴の吐出位置等の制御が容易で、着色部形成用組成物の無駄を少なくすることができるため、環境への負荷を低減することができ、また、製造コストも抑制することができる。
ところが、従来、インクジェットヘッドを用いたカラーフィルターの製造方法では、形成される着色部の表面が、凹凸を有するものであり、十分に平坦なものでなかった。このように、形成される着色部が平坦にならない場合、カラーフィルターを用いた画像表示装置の明度やコントラスト比が高いものとならない問題があった。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３７２６１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、明度およびコントラスト比に優れたカラーフィルターの製造方法を提供すること、明度およびコントラスト比に優れたカラーフィルターを提供すること、また、該カラーフィルターを備えた画像表示装置、電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は下記の本発明により達成される。
本発明のカラーフィルターの製造方法は、複数色の着色部を備えたカラーフィルターの製造方法であって、
基板を準備する基板準備工程と、
前記基板上にフォトリソグラフィー法を用いて複数色の着色部を形成する着色部形成工程と、
前記基板上の隣接する前記着色部間に、遮光材料を含むインクをインクジェット方式で付与するインク付与工程と、
吐出された前記インクを乾燥させて、遮光部を形成する遮光部形成工程とを有することを特徴とする。
これにより、明度およびコントラスト比に優れたカラーフィルターを製造することができる。
【０００６】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記カラーフィルターは、前記複数色の着色部として、赤色、緑色、および青色の着色部を有するものであり、
前記複数色の着色部は、フォトリソグラフィー法を用いて、緑色の着色部、赤色の着色部、青色の着色部の順に形成されることが好ましい。
これにより、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、および青色（Ｂ）の３色（ＲＧＢ）で１画素を構成するフルカラー表示のカラーフィルターを、各色の着色部が特に平坦なものとして製造することができ、得られるカラーフィルターは、明度、コントラスト比が特に優れたものとなる。
【０００７】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、複数種の着色剤を含む着色部形成用組成物を用いて、前記複数色の着色部のうち少なくとも一色の着色部を形成することが好ましい。
これにより、得られるカラーフィルターの明度、コントラスト比を優れたものとしながらも、色彩のバリエーションが豊富なカラーフィルターを容易に得ることができる。
【０００８】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記カラーフィルターは、前記複数色の着色部として、緑色の着色部を有し、
前記緑色の着色部は、着色剤として、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６のうち少なくとも一方を含む緑色着色部形成用組成物を用いて形成されたものであることが好ましい。
これにより、得られるカラーフィルターは、緑色の着色部の明度、コントラスト比が特に高いものとなる。
【０００９】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記緑色着色部形成用組成物は、着色剤として、さらにＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、およびＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９から選択される少なくとも一種を含むものであることが好ましい。
これにより、得られるカラーフィルターは、緑色の着色部の明度、コントラスト比が特に高いものとなるとともに、色再現範囲がより広いものとなる。
【００１０】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記カラーフィルターは、前記複数色の着色部として、赤色の着色部を有し、
前記赤色の着色部は、着色剤として、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４のうち少なくとも一方を含む赤色着色部形成用組成物を用いて形成されたものであることが好ましい。
これにより、得られるカラーフィルターは、赤色の着色部の明度、コントラスト比が特に高いものとなる。
【００１１】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記赤色着色部形成用組成物は、着色剤として、さらにＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、およびＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９から選択される少なくとも一種を含むものであることが好ましい。
これにより、得られるカラーフィルターは、赤色の着色部の明度、コントラスト比が特に高いものとなるとともに、色再現範囲がより広いものとなる。
【００１２】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記カラーフィルターは、前記複数色の着色部として、青色の着色部を有し、
前記青色の着色部は、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３とを含む青色着色部形成用組成物を用いて形成されたものであることが好ましい。
これにより、得られるカラーフィルターは、青色の着色部の明度、コントラスト比が特に高いものとなるとともに、色再現範囲がより広いものとなる。
【００１３】
本発明のカラーフィルターの製造方法では、前記インクは、カーボンブラックを含む遮光材料と、当該遮光材料を分散させる分散媒と、バインダー樹脂とを含むものであることが好ましい。
これにより、得られるカラーフィルターのコントラスト比をさらに優れたものとすることができる。
【００１４】
本発明のカラーフィルターは、本発明のカラーフィルターの製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、明度およびコントラスト比に優れたカラーフィルターを提供することができる。
本発明のカラーフィルターでは、前記遮光部の高さは、前記複数色の着色部の高さよりも低いものであることが好ましい。
これにより、カラーフィルターの明度は特に優れたものとなる。
【００１５】
本発明の画像表示装置は、本発明のカラーフィルターを備えたことを特徴とする。
これにより、表示部に、明度およびコントラスト比に優れたカラーフィルターを備えた画像表示装置を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の画像表示装置を備えたことを特徴とする。
これにより、表示部に、明度およびコントラスト比に優れたカラーフィルターを備えた電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明のカラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置、および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて説明する。
まず、本発明のカラーフィルターの製造方法を説明するのに先立って、本発明のカラーフィルターの製造方法を用いて製造されるカラーフィルターについて説明する。
《カラーフィルター》
図１は、本発明のカラーフィルターの好適な実施形態を示す断面図である。
図１に示すように、カラーフィルター１は、基板１１と、着色部１２とを備えている。着色部１２としては、互いに異なる色の第１の着色部１２Ａ、第２の着色部１２Ｂ、および第３の着色部１２Ｃが設けられている。そして、隣接する着色部１２の間には、遮光部１３が設けられている。
【００１７】
＜基板＞
基板１１は、光透過性を有する板状の部材で、着色部１２、遮光部１３を保持する機能を有している。
基板１１は、実質的に透明な材料で構成されたものであるのが好ましい。これにより、カラーフィルター１を透過する光により、より鮮明な画像を形成することができる。
【００１８】
また、基板１１は、耐熱性、機械的強度に優れたものであるのが好ましい。これにより、例えば、カラーフィルター１の製造時に加わる熱による変形等を確実に防止することができる。このような条件を満足する基板１１の構成材料としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ノルボルネン系開環重合体やその水素添加物等が挙げられる。
【００１９】
＜着色部＞
着色部１２（１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ）は、着色剤、感光性樹脂等を含む着色部形成用組成物を用いて、後述するようなフォトリソグラフィー法を用いて形成されたものである。
このような着色部１２は、その表面が平坦なものとなっている。そのため、カラーフィルター１の明度、コントラスト比を優れたものとすることができる。
【００２０】
各着色部１２は、後述する遮光部１３により囲まれた領域に設けられている。
第１の着色部１２Ａ、第２の着色部１２Ｂ、および第３の着色部１２Ｃは、互いに異なる色のものである。例えば、第１の着色部１２Ａを緑色フィルター領域（Ｇ）、第２の着色部１２Ｂを赤色フィルター領域（Ｒ）、第３の着色部１２Ｃを青色フィルター領域（Ｂ）とすることができる。そして、一組の異なる色の着色部１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃで１画素を構成している。そして、カラーフィルター１においては、その横方向および縦方向に、着色部１２が所定数配置されている。例えば、カラーフィルター１が、ハイビジョン用のカラーフィルターである場合には１３６６×７６８個の画素が配置されており、フルハイビジョン用のカラーフィルターである場合には１９２０×１０８０個の画素が配置されており、スーパーハイビジョン用のカラーフィルターである場合には７６８０×４３２０個の画素が配置されている。なお、カラーフィルター１は、例えば、有効領域外に予備の画素を備えたものであってもよい。
【００２１】
＜遮光部＞
隣接する着色部１２の間には、遮光部（バンク）１３が設けられている。
本発明において、遮光部１３は、遮光性を有する材料で構成されたものである。これにより、コントラストに優れた画像を表示することができる。遮光部（遮光部）１３の色は、特に限定されないが、黒色であるのが好ましい。これにより、表示される画像のコントラストを特に優れたものとすることができる。
【００２２】
このような遮光部１３は、後述するように、各色の着色部１２をフォトリソグラフィー法を用いて形成した後に、インクジェット方式により、形成された着色部１２間に遮光部形成用の材料（遮光部形成用組成物）の液滴を吐出し、乾燥、固化することにより形成されるものである。これにより、カラーフィルター１の明度、コントラスト比を優れたものとすることができる。また、カラーフィルター１は、着色部１２の発色性に優れたものとなる。
【００２３】
また、後述するようなカラーフィルターの製造方法を用いることにより、製造されるカラーフィルター１の遮光部１３の高さは、着色部１２の高さよりも低くすることができる。一般に、着色部および遮光部の表面上には、共通電極が形成されるため、着色部と遮光部の高さはそれぞれ同じ高さであるのが好ましいが、カラーフィルター１の遮光部１３の高さが着色部１２の高さよりも低いと、カラーフィルター１は、さらに高い明度を有するものとなる。また、このようなカラーフィルター１を備える画像表示装置は、より鮮明な画像表示を行うことができるものとなる。
なお、遮光部１３の構成材料については、カラーフィルターの製造方法において詳述する。
【００２４】
《カラーフィルターの製造方法》
次に、上述したようなカラーフィルター１の製造方法の好適な実施形態について説明する。
図２は、カラーフィルターの製造方法を示す断面図、図３は、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置を示す斜視図、図４は、図３に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図、図５は、図３に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面を示す図、図６は、図３に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図である。
【００２５】
図２に示すように、本実施形態では、基板１１を準備する基板準備工程（１ａ）と、基板１１上に、着色部形成用の材料（着色部形成用組成物）で構成された塗膜を形成し、フォトマスクを介して光を照射する感光（露光）処理、現像処理を行うフォトリソグラフィー法を用いて、各色の着色部１２を形成する着色部形成工程（１ｂ、１ｃ、１ｄ）と、インクジェット方式により、遮光材料を含む遮光部形成用材料（遮光部部形成用組成物）のインク（液滴）３を隣接する着色部１２間に付与するインク付与工程（１ｅ）と、インク３を乾燥させることにより、インク３から溶剤（分散媒）を除去し、固形状の遮光部（遮光部）１３とする遮光部形成工程（１ｆ）とを有している。
【００２６】
＜基板準備工程＞
まず、基板１１を準備する（１ａ）。
基板１１を構成する材料としては、上述したような材料を用いることができる。また、本工程で準備する基板１１は、洗浄処理が施されたものであるのが好ましい。また、本工程で準備する基板１１は、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理が施されたものであってもよい。
【００２７】
＜着色部形成工程＞
次に、基板１１上に各色の着色部１２（１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ）を、フォトリソグラフィー法を用いて形成する。
まず、着色部形成用の材料（着色部形成用組成物）を基板１１の一方の面のほぼ全体に付与し、塗膜２０を形成する。
【００２８】
フォトリソグラフィー法を用いた着色部１２の形成方法では、第１の着色部１２Ａ形成用の材料（着色部１２Ａ形成用材料）を基板１１の一方の面のほぼ全面に付与し、塗膜２０（２０Ａ）を形成する（１ｂ）。このようにして形成された塗膜２０（２０Ａ）に対して、フォトマスクを介して放射線を付与し（露光処理）、現像処理を経て第１の着色部１２Ａを形成する（１ｃ）。その後、第１の着色部１２Ａが形成された基板１１上に、上記と同様にして第２の着色部１２Ｂ、第３の着色部１２Ｃを順次形成し、基板１１上に着色部１２（１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ）が設けられる（１ｄ）。
このような着色部形成用組成物としては、特に限定されないが、着色剤、感光性樹脂、官能性モノマー、重合開始剤を含むものが挙げられる。
着色剤としては、顔料、染料が挙げられ、形成すべき着色部の色調に応じて、顔料、染料、またはこれらの混合物を用いることができる。
【００２９】
顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２１，２２，２３，３０，３１，３２，３７，３８，４０，４１，４２，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９：１，４９：２，５０：１，５２：１，５３：１，５７，５７：１，５７：２，５８：２，５８：４，６０：１，６３：１，６３：２，６４：１，８１，８１：１，８３，８８，９０：１，９７，１０１，１０２，１０４，１０５，１０６，１０８，１０８：１，１１２，１１３，１１４，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５１，１６６，１６８，１７０，１７１，１７２，１７４，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８０，１８５，１８７，１８８，１９０，１９３，１９４，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１５，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４３，２４５，２５４，２５５，２６４，２６５；Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，１５，１７，１８，１９，２６，５０，５８；Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１７：１，１８，６０，２７，２８，２９，３５，３６，６０，８０；Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１，３，１２，１３，１４，１５，１６，１７，２０，２４，３１，３４，３５，３５：１，３７，３７：１，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６５，７１，７３，７４，８１，８３，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１６，１１７，１１９，１２０，１２６，１２７，１２８，１２９，１３８，１３９，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１５７，１６６，１６８，１７５，１８０，１８４，１８５；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１，３，１４，１６，１９，２３，２９，３２，３６，３８，５０；Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１，５，１３，１４，１６，１７，２０，２０：１，２４，３４，３６，３８，４０，４３，４６，４９，５１，６１，６３，６４，７１，７３，１０４；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン７，１１，２３，２５，３３；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１，７や、これらの誘導体等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３０】
染料としては、例えば、アゾ染料、アントラキノン染料、縮合多環芳香族カルボニル染料、インジゴイド染料、カルボニウム染料、フタロシアニン染料、メチン，ポリメチン染料等が挙げられる。染料の具体例としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド２，４，９，２３，２６，２８，３１，３９，６２，６３，７２，７５，７６，７９，８０，８１，８３，８４，８９，９２，９５，１１１，１７３，１８４，２０７，２１１，２１２，２１４，２１８，２２１，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２３２，２３３，２４０，２４１，２４２，２４３，２４７；Ｃ．Ｉ．アシッドレッド３５，４２，５１，５２，５７，６２，８０，８２，１１１，１１４，１１８，１１９，１２７，１２８，１３１，１４３，１４５，１５１，１５４，１５７，１５８，２１１，２４９，２５４，２５７，２６１，２６３，２６６，２８９，２９９，３０１，３０５，３１９，３３６，３３７，３６１，３９６，３９７；Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド３，１３，１７，１９，２１，２２，２３，２４，２９，３５，３７，４０，４１，４３，４５，４９，５５；Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１２，１３，１４，１５，１８，２２，２３，２４，２５，２７，２９，３５，３６，３８，３９，４５，４６；Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット７，９，４７，４８，５１，６６，９０，９３，９４，９５，９８，１００，１０１；Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット５，９，１１，３４，４３，４７，４８，５１，７５，９０，１０３，１２６；Ｃ．Ｉ．リアクティブバイオレット１，３，４，５，６，７，８，９，１６，１７，２２，２３，２４，２６，２７，３３，３４；Ｃ．Ｉ．ベーシックバイオレット１，２，３，７，１０，１５，１６，２０，２１，２５，２７，２８，３５，３７，３９，４０，４８；Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー８，９，１１，１２，２７，２８，２９，３３，３５，３９，４１，４４，５０，５３，５８，５９，６８，８７，９３，９５，９６，９８，１００，１０６，１０８，１０９，１１０，１３０，１４２，１４４，１６１，１６３；Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１７，１９，２３，２５，３９，４０，４２，４４，４９，５０，６１，６４，７６，７９，１１０，１２７，１３５，１４３，１５１，１５９，１６９，１７４，１９０，１９５，１９６，１９７，１９９，２１８，２１９，２２２，２２７；Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー２，３，１３，１４，１５，１７，１８，２３，２４，２５，２６，２７，２９，３５，３７，４１，４２；Ｃ．Ｉ．ベーシックイエロー１，２，４，１１，１３，１４，１５，１９，２１，２３，２４，２５，２８，２９，３２，３６，３９，４０；Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１６；Ｃ．Ｉ．アシッドブルー９，４５，８０，８３，９０，１８５；Ｃ．Ｉ．ベーシックオレンジ２１，２３等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３１】
上述したような顔料、染料の中でも、着色剤として、顔料を用いるのが好ましい。顔料は、同じ着色剤として用いられる染料に比べて、耐湿性、耐光性等の観点から有利である。
また、着色部形成用組成物は、着色剤として、上述したような複数種の着色剤を含むものであるのが好ましい。これにより、カラーフィルター１の色再現範囲をさらに広いものとすることができる。また、一般に、インクジェット方式で着色部形成用組成物を吐出して着色部を形成するようなカラーフィルターの製造方法では、着色剤として２種以上の顔料および／または染料を含むインクを用いると、インクの分散性が低下し、増粘する。このようなインクでは、長期間にわたって安定した液滴吐出を行うことができない。これに対して、フォトリソグラフィー法を用いて着色部を形成する本発明のカラーフィルターの製造方法では、基板１１上のほぼ全面に対して着色部形成用組成物を塗布するものであるため、着色部形成用組成物が増粘しても、十分に均一な塗膜２０を形成することができる。
【００３２】
特に、緑色の着色部を構成する着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６のうちのいずれかを含むものであるのが好ましい。このような材料は、発色性に優れており、緑色の着色部の明度を特に高いものとすることができる。また、これらの材料の中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８は、特に発色性に優れており、緑色の着色部を構成する着色剤として特に好適である。
【００３３】
また、緑色の着色部は、着色剤として、上述したＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８、および／またはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６に加えて、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、およびＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９から選択される少なくとも一種を含むものであるのが好ましい。これにより、カラーフィルターの色再現範囲をさらに広くすることができる。
【００３４】
また、特に、赤色の着色部を構成する着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン２５４のうちのいずれかを含むものであるのが好ましい。このような材料は、発色性に優れており、赤色の着色部の明度を特に高いものとすることができる。
また、赤色の着色部は、着色剤として、上述したＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、および／またはＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４に加えて、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、およびＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９から選択される少なくとも一種を含むものであるのが好ましい。これにより、カラーフィルターの色再現範囲をさらに広くすることができる。
【００３５】
また、特に、青色の着色部を構成する着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３とを含むものが好ましい。これにより、青色の着色部の明度を特に高いものとすることができる。
また、感光性樹脂としては、特に限定されないが、塗膜２０を露光処理した後に、炭酸ナトリウム等の無機アルカリや、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等の有機アルカリ等のアルカリ現像液を用いて現像処理を行う観点から、アルカリ現像液溶解性を有する材料が好ましい。このような材料としては、アクリル樹脂が挙げられる。また、アクリル樹脂の中でも、（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸エステルとを共重合して得られるカルボキシル基含有アクリル樹脂がより好ましい。これにより、着色部形成用組成物中での着色剤の分散性を特に優れたものとすることができ、形成される着色部の明度を特に優れたものとすることができる。また、着色剤として、顔料を用いた場合には、感光性樹脂と顔料との高い親和性により、現像処理時に、顔料が基板上に残留する現像残さを確実に防止することができる。これにより、カラーフィルターのコントラスト比をさらに優れたものとすることができる。
【００３６】
また、官能性モノマーとしては、例えば、主鎖に炭素―炭素二重結合（Ｃ＝Ｃ）を有するラジカル重合性のモノマーや、オキシラン基を有するカチオン重合性のモノマー等が挙げられる。これらの中でも、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、（メタ）アクリルアミド等の高沸点ビニルモノマーが好ましい。このようなビニルモノマーは、着色部形成用組成物中に含まれる感光性樹脂を好適に溶解させることができるため、着色部形成用組成物の粘度を低下させ、形成される塗膜２０の厚さをより均一なものとすることができる。
【００３７】
また、重合開始剤としては、放射線が付与されると、光反応を開始させる活性種を生成するような各種ラジカル重合開始剤、各種カチオン重合開始剤を用いることができる。
また、上述したような材料を基板１１上に均一に塗布するために、着色部形成用組成物は、溶剤を含んでいてもよい。このような溶剤としては、芳香族系、アルコール系、グリコール系、エステル系、ケトン系の各種溶剤を、使用する着色剤、感光性樹脂に応じて適宜選択して用いることができる。
【００３８】
以上のような材料で構成された着色部形成用組成物を基板１１上に塗布する。
このような着色生成用組成物の塗布には、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター等を用いるのが好ましい。これにより、基板１１上に着色部形成用組成物を均一な厚さで塗布することができる。その結果、得られる塗膜２０の膜厚は均一なものとなる。
なお、基板１１上に着色部形成用組成物を付与した後、必要に応じて、プリベーク処理を行ってもよい。プリベーク処理は、例えば、加熱温度：５０〜１５０℃、加熱時間：３０〜６００秒という条件で行うことができる。
【００３９】
その後、フォトマスクを介して、放射線を照射（露光）して、ポストエキスポジャーベーク処理（ＰＥＢ）を行い、さらに、アルカリ現像液を用いた現像処理を行うことにより、第１の着色部１２Ａが形成される（１ｃ）。ＰＥＢは、例えば、加熱温度：５０〜１５０℃、加熱時間：３０〜６００秒、放射線照射強度：１〜５００ｍＪ／ｃｍ２という条件で行うことができる。また、現像処理は、例えば、液盛り法、ディッピング法、振動浸漬法等により行うことができ、現像処理時間は、例えば、１０〜３００秒とすることができる。また、現像処理の後、必要に応じて、ポストベーク処理を行ってもよい。ポストベーク処理は、例えば、加熱温度：１５０〜２８０℃、加熱時間：３〜１２０分という条件で行うことができる。
【００４０】
その後、上記と同様にして、第２の着色部１２Ｂ、第３の着色部１２Ｃを順次形成する（１ｄ）。なお、本実施形態では、第１の着色部１２Ａとして緑色（Ｇ）の着色部、第２の着色部１２Ｂとして赤色（Ｒ）の着色部、第３の着色部１２Ｃとして青色（Ｂ）の着色部をそれぞれ形成した。
このようにして形成される各色の着色部１２はそれぞれが独立して密着しないように形成されたものである。このようにして形成される着色部１２は、基板１１上に島状に形成されている。
【００４１】
また、上述したように、本実施形態では、緑色の着色部（第１の着色部１２Ａ）、赤色の着色部（第２の着色部１２Ｂ）、青色の着色部（第３の着色部１２Ｃ）の順に各色の着色部を形成するものである。各色の着色部中に含まれる着色剤の含有量は、各色の着色剤自体の発色性によりそれぞれ異なるものであり、一般的に、緑色の着色部、赤色の着色部、青色の着色部の順に少なくなる。そのため、各色の着色部形成用組成物中の着色剤含有量、および固形分（着色剤、感光性樹脂等）濃度は、緑色のものが最も高く、赤色のもの、青色のものの順に低くなる。本実施形態では、固形分濃度が低く、より粘度が低い着色部形成用組成物をより後から塗布することにより、全ての色の着色部１２を確実に均一な厚さで形成することができる。
【００４２】
また、このようにして形成された着色部１２に対して、撥液処理を行ってもよい。これにより、後述するインク付与工程において、基板１１上に遮光部形成用材料で構成されたインク３を吐出する際に、インク３を隣接する着色部１２間に均一に濡れ広がらせることができる。また、最終的に得られるカラーフィルター１において、着色部１２上に遮光材料が付着するのを確実に防止することができ、よりコントラストの高い画像表示が可能となる。このような撥液処理としては、特に限定されないが、例えば、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング等を好適に用いることができる。
【００４３】
＜インク付与工程＞
次に、基板１１上に形成された隣接する着色部１２間に遮光材料を含む遮光部形成用材料（遮光部形成用組成物）のインク３を付与する（１ｅ）。
上述したように、着色部１２は、基板１１上に島状に形成されたものである。したがって、隣接する着色部１２間に付与されたインク３は、基板１１上の各着色部１２間を埋めるように海状に濡れ広がる。このため、インク３の厚さを、基板１１上で均一なものとすることができる。結果として、形成される遮光部１３の厚さも均一なものとすることができ、製造されるカラーフィルター１の明度、コントラスト比を特に優れたものとすることができる。また、このように、インク３は自己組織的に基板１１上で均一な厚さを保持するため、遮光部１３の製造工程を簡素化することができる。
【００４４】
このような遮光部形成用組成物（インク３）は、遮光材料と、遮光材料を分散させる分散媒と、バインダー樹脂とを含むものである。
遮光材料としては、遮光性を有する材料であれば特に限定されないが、例えば、カーボンブラック、グラファイト、チタンブラック、酸化鉄等の金属酸化物、硫化ビスマス等の金属硫化物等、ペリレンブラック等の有機顔料等が挙げられるが、遮光性、遮光部形成用組成物中の分散性等の点でカーボンブラックが好ましい。
【００４５】
また、分散媒としては、例えば、エステル化合物、エーテル化合物、ヒドロキシケトン、炭酸ジエステル、環状アミド化合物等を用いることができ、中でも、（１）多価アルコール（例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、グリセリン等）の縮合物としてのエーテル（多価アルコールエーテル）や、多価アルコールまたは多価アルコールエーテルのアルキルエーテル（例えば、メチルエーテル、エチルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル等）、エステル（例えば、ホルメート、アセテート、プロピオネート等）、（２）多価カルボン酸（例えば、こはく酸、グルタル酸等）のエステル（例えば、メチルエステル等）、（３）分子内に少なくとも１つの水酸基と少なくとも１つのカルボキシル基とを有する化合物（ヒドロキシ酸）のエーテル、エステル等、（４）多価アルコールとホスゲンとの反応で得られるような化学構造を有する炭酸ジエステルが好ましい。液性媒体を構成する液体として用いることのできる化合物としては、例えば、２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、４−メチル−１，３−ジオキソラン−２−オン、ビス（２−ブトキシエチル）エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジｎ−ブチレート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、１，６−ジアセトキシヘキサン、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ブトキシプロパノール、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、オクタン酸エチル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、酢酸シクロヘキシル、こはく酸ジエチル、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、こはく酸ジメチル、１−ブトキシ−２−プロパノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシ−ｎ−ブチルアセテート、ジアセチン、ジプロピレングリコールｎ−プロピルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ブチルグリコレート、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールｎ−ブチルエーテル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、ビス（２−プロポキシエチル）エーテル、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエチルエーテル、トリエチレングリコールエチルメチルエーテル、トリエチレングリコールエチルプロピルエーテル、トリエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ｎ−ノニルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール２−エチルヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、またはトリプロピレングリコールｎ−ブチルエーテル等が挙げられ、これらから選択される少なくとも一種の溶剤を用いることができる。
【００４６】
また、遮光部形成用組成物は、バインダー樹脂を含むものである。このようなバインダー樹脂としては、各種熱可塑性樹脂、各種熱硬化性樹脂、および各種光硬化性樹脂等を用いることができるが、多官能性分子が重合したアクリル樹脂や、エポキシ系樹脂であるのが好ましい。これらの樹脂材料は、硬度が高いものであるとともに、熱収縮量が小さい。このため、着色部の基板への密着性を特に優れたものとすることができる。
【００４７】
また、遮光部形成用組成物は、必要に応じて、遮光材料の分散性を向上させる分散剤を含むものであってもよい。このような分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤が挙げられる。界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンｎ−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンｎ−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類；ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類；ソルビタン脂肪酸エステル類；脂肪酸変性ポリエステル類；３級アミン変性ポリウレタン類；ポリエチレンイミン類等のほか、以下商品名で、ＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄社化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファック（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー・ジャパン（株）製）、ソルスパース３０００，５０００，１１２００，１２０００，１３２４０，１３６５０，１３９４０，１６０００，１７０００，１８０００，２００００，２１０００，２２０００，２４０００ＳＣ，２４０００ＧＲ（日本ルブリゾール（株）製）、サーフィノール、ダイノール（エアープロダクト社製）等が挙げられる。
【００４８】
このようなインク３の吐出は、図３〜図６に示すような液滴吐出装置を用いて行う。
図３に示すように、本工程で用いる液滴吐出装置１００は、インク３を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、チューブ１１０を介してタンク１０１からインク３が供給される吐出走査部１０２とを備える。吐出走査部１０２は、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１４をキャリッジ１０５に搭載してなる液滴吐出手段１０３と、液滴吐出手段１０３の位置を制御する第１位置制御装置１０４（移動手段）と、前記工程で遮光部１３が形成された基板１１（以下、単に「基板１１」とも言う。）を保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御装置１０８（移動手段）と、制御手段１１２とを備えている。タンク１０１と、液滴吐出手段１０３における複数の液滴吐出ヘッド１１４とは、チューブ１１０で連結されており、タンク１０１から複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれにインク３が圧縮空気によって供給される。
【００４９】
第１位置制御装置１０４は、制御手段１１２からの信号に応じて、液滴吐出手段１０３をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで液滴吐出手段１０３を回転させる機能も有する。本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。第２位置制御装置１０８は、制御手段１１２からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させる。さらに、第２位置制御装置１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有する。
【００５０】
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、基板１１をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
上述のように、液滴吐出手段１０３は、第１位置制御装置１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、第２位置制御装置１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対する液滴吐出ヘッド１１４の相対位置が変わる（ステージ１０６に保持された基板１１と、液液滴吐出手段１０３とが相対的に移動する）。
制御手段１１２は、インク３を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。
【００５１】
図４に示すように、液滴吐出手段１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数の液滴吐出ヘッド１１４と、これらの液滴吐出ヘッド１１４を保持するキャリッジ１０５とを有している。本実施形態では、液滴吐出手段１０３に保持される液滴吐出ヘッド１１４の数は８個である。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、後述する複数のノズル１１８が設けられた底面を有している。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４のこの底面の形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する多角形である。液滴吐出手段１０３に保持された液滴吐出ヘッド１１４の底面はステージ１０６側を向いており、さらに、液滴吐出ヘッド１１４の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とに平行である。
【００５２】
図５に示すように、液滴吐出ヘッド１１４は、Ｘ軸方向に並んだ複数のノズル１１８を有する。これら複数のノズル１１８は、液滴吐出ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰが所定の値となるように配置されている。ノズルピッチＨＸＰの具体的な値は、特に限定されないが、例えば、５０〜９０μｍとすることができる。ここで、「液滴吐出ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰ」は、液滴吐出ヘッド１１４におけるノズル１１８のすべてをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
【００５３】
本実施形態では、液滴吐出ヘッド１１４における複数のノズル１１８は、ともにＸ軸方向に延びるノズル列１１６Ａと、ノズル列１１６Ｂとをなす。ノズル列１１６Ａと、ノズル列１１６Ｂとは、間隔を空けて並行に配置されている。そして、本実施形態においては、ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれにおいて、９０個のノズル１１８が一定間隔ＬＮＰでＸ軸方向に一列に並んでいる。ＬＮＰの具体的な値は、特に限定されないが、１００〜１８０μｍとすることができる。
ノズル列１１６Ｂの位置は、ノズル列１１６Ａの位置に対して、ノズルピッチＬＮＰの半分の長さだけＸ軸方向の正の方向（図５の右方向）にずれている。このため、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰは、ノズル列１１６Ａ（またはノズル列１１６Ｂ）のノズルピッチＬＮＰの半分の長さである。
【００５４】
したがって、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズル線密度は、ノズル列１１６Ａ（またはノズル列１１６Ｂ）のノズル線密度の２倍である。なお、本明細書において「Ｘ軸方向のノズル線密度」とは、複数のノズルをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像の単位長さ当たりの数に相当する。もちろん、液滴吐出ヘッド１１４が含むノズル列の数は、２つだけに限定されない。液滴吐出ヘッド１１４はＭ個のノズル列を含んでもよい。ここで、Ｍは１以上の自然数である。この場合には、Ｍ個のノズル列のそれぞれにおいて複数のノズル１１８は、ノズルピッチＨＸＰのＭ倍の長さのピッチで並ぶ。さらに、Ｍが２以上の自然数の場合には、Ｍ個のノズル列のうちの一つに対して、他の（Ｍ−１）個のノズル列は、ノズルピッチＨＸＰのｉ倍の長さだけ重複無くＸ軸方向にずれている。ここで、ｉは１から（Ｍ−１）までの自然数である。
【００５５】
さて、本実施形態では、ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれが９０個のノズル１１８からなるため、１つの液滴吐出ヘッド１１４は１８０個のノズル１１８を有する。ただし、ノズル列１１６Ａの両端のそれぞれ５ノズルは「休止ノズル」として設定されている。同様に、ノズル列１１６Ｂの両端のそれぞれ５ノズルも「休止ノズル」として設定されている。そして、これら２０個の「休止ノズル」からはインク３が吐出されない。このため、液滴吐出ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、１６０個のノズル１１８がインク３を吐出するノズルとして機能する。
【００５６】
図４に示すように、液滴吐出手段１０３においては、複数個の上記液滴吐出ヘッド１１４がＸ軸方向に沿って２列に配置されている。一方の列の液滴吐出ヘッド１１４と他方の列の液滴吐出ヘッド１１４とは、休止ノズル分を考慮して、Ｙ軸方向から見て一部重なるように配置されている。これにより、液滴吐出手段１０３においては、基板１１のＸ軸方向の寸法分の長さに渡り、インク３を吐出するノズル１１８が前記ノズルピッチＨＸＰでＸ軸方向に連続するように構成されている。
本実施形態の液滴吐出手段１０３では、基板１１のＸ軸方向の寸法分の長さ全体をカバーするように液滴吐出ヘッド１１４を配置しているが、本発明における液滴吐出手段は、基板１１のＸ軸方向の寸法分の長さの一部をカバーするようにものでもよい。
【００５７】
図に示すように、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給されるインク３が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００５８】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の遮光部１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の遮光部１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の遮光部１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９からインク３が供給される。
【００５９】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８からインク３が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向にインク３が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。
【００６０】
また、ノズルプレート１２８は、ステンレスで構成された基材と、基材を覆うようにして設けられ主としてシリカ化合物で構成されたシリカ膜と、シリカ膜を覆うようにして設けられ、フルオロアルキル化合物を含む撥液膜とによって構成されている。
また、シリカ膜は、撥液膜とステンレスの基材とを密着させる機能を有するとともに、ステンレスの基材を保護する機能を有する。
【００６１】
制御手段１１２（図３参照）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル１１８から吐出されるインク３の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル１１８毎に制御されてもよい。また、制御手段１１２は、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル１１８と、吐出動作を行わないノズル１１８とを設定することでもできる。
【００６２】
本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４とを含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの液滴吐出ヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。
上記のような液滴吐出装置１００を用いて、基板１１上の着色部１２間にインク３を付与する。上記のような装置を用いることにより、着色部１２上にインク３を付着させることなく、選択された位置に効率良くインク３を付与することができる。これにより、得られるカラーフィルターの明度、コントラスト比を確実に高いものとすることができる。
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１４は、駆動素子として、ピエゾ素子の代わりに静電アクチュエータを用いるものでもよい。また、液滴吐出ヘッド１１４は、駆動素子として電気熱変換素子を用い、この電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して遮光部形成用組成物（インク）を吐出する構成であってもよい。
【００６３】
＜遮光部（遮光部）形成工程＞
次に、基板１１上に付与されたインク３を乾燥させ、分散媒を除去することにより、遮光部１３が形成される（１ｆ）。これにより、カラーフィルター１が得られる。このように、本発明において、遮光部１３は着色部１２を形成した後にインクジェット方式でインク３を吐出することにより形成されるものである。これにより、前述した着色部形成工程において、着色部形成用組成物をフォトマスクを介して露光する際に、フォトマスクの位置がずれ、着色部１２の形成位置がずれた場合でも、遮光部１３と着色部１２とが重なるのを確実に防止することができる。これにより、カラーフィルター１の生産性（歩留まり）を向上させることができる。また、上述したように、遮光部１３と着色部１２とが重ならない上に、各色の着色部１２の表面は確実に平坦なものとなる。その結果、カラーフィルター１の明度、コントラスト比を優れたものとすることができる。
また、このように、インク３を乾燥させて形成される遮光部１３の高さは、溶媒が除去されることにより、着色部１２の高さよりも低くすることができる。これにより、カラーフィルター１の色度をより高いものとすることができる。
【００６４】
本工程は、通常、加熱により行う。
本工程での加熱温度は、特に限定されないが、５０〜２６０℃であるのが好ましく、８０〜２４０℃であるのがより好ましい。これにより、インク３の対流をより抑えながら、インク３から好適に分散媒を除去できる。
また、本工程においては、例えば、活性エネルギー線の照射や、インク３が付与された基板１１を減圧環境下に置く等の処理を行ってもよい。例えば、遮光部形成用組成物中のバインダー樹脂として光硬化性樹脂材料を用いた場合には、活性エネルギー線を照射することにより、光硬化性樹脂材料の硬化反応を効率よく進行させたり、加熱温度を比較的低いものとした場合であっても、光硬化性樹脂材料の硬化反応を確実に進行させることができ、基板１１等への悪影響の発生がより確実に防止される等の効果が得られる。活性エネルギー線としては、種々の波長の光線、例えば、紫外線、Ｘ線、ｇ線、ｉ線、エキシマレーザー等を使用することができる。また、インク３が付与された基板１１を減圧環境下に置くことにより、加熱温度を比較的低いものとした場合であっても、分散媒を確実に除去することができ、基板１１、先に形成した着色部１２等への悪影響の発生がより確実に防止される。
【００６５】
以上のようにして、隣接する着色部１２間に遮光部１３が設けられたカラーフィルター１が得られる。上述したように、このようにして形成される遮光部１３の厚さは、均一なものとなる。
また、以下に示すような方法を用いることにより、基板１１全面にわたって、遮光部１３の厚さをより均一なものとすることができる。
【００６６】
図１１は、カラーフィルター基板上の着色部のパターンの一例を示す平面図である。
図１１に示す構成は、着色部１２が形成された基板１１を平面視した際に、遮光部形成用材料で構成されたインク３が基板１１の外部に濡れ広がるのを防止するための外周部の隔壁１４と、互いに基板１１の中心で直交するような１行１列の着色部間の隔壁１５が設けられており、着色部１２は、基板１１上において外周部の隔壁１４と着色部間の隔壁１５とによって４つの区画に分割されている。なお、外周部の隔壁１４および着色部間の隔壁１５の幅は、いずれも十分に狭く、各色の着色部１２により表示される画像のコントラストに影響を及ぼさない幅で設けられている。
【００６７】
このような外周部の隔壁１４および着色部間の隔壁１５は、着色部１２を構成するいずれかの色（赤、緑、青）の着色部形成用材料を用いて形成されたものであり、上述した着色部形成工程において、各色の着色部１２を形成するのと同時にフォトリソ法を用いて形成することができる。なお、図１１の構成においては、一例として、着色部間の隔壁１５が、青色の着色部形成用材料を用いて、青色の着色部１２Ｃと同時にフォトリソ法を用いて形成されたものである。
【００６８】
このように、基板１１上に隔壁（外周部の隔壁１４および着色部間の隔壁１５）が設けられることにより、インク付与工程において、各区画に吐出されたインク３は、それぞれの区画外に流出することがないため、インク３を乾燥させて形成される遮光部１３の厚さは、より均一なものとなる。これにより、最終的に得られるカラーフィルター１の明度、コントラスト比を特に優れたものとすることができる。また、図１１に示す構成のように、複数の区画に分割された基板１１上にインク３を付与するため、例えば、基板１１として、厚さにばらつきを有するようなものを用いた場合でも、形成される遮光部１３が場所によって厚さが異なるといった不具合をより確実に防止することができる。
【００６９】
《画像表示装置》
次に、カラーフィルター１を有する画像表示装置（電気光学装置）である液晶表示装置の好適な実施形態について説明する。
図７は、液晶表示装置の好適な実施形態を示す断面図である。同図に示すように、液晶表示装置６０は、カラーフィルター１と、カラーフィルター１の着色部１２が設けられた面側に配された基板（対向基板）６６と、カラーフィルター１と基板６６との間の空隙に封入された液晶よりなる液晶層６２と、カラーフィルター１の基板１１の液晶層６２に対向する面とは反対の面側（図７中下側）に設けられた偏光板６７と、基板６６の液晶層６２に対向する面とは反対の面側（図７中上側）に設けられた偏光板６８とを有している。そして、カラーフィルター１の着色部１２および遮光部１３が設けられた面（着色部１２および遮光部１３の基板１１に対向する面とは反対の面）には、共通電極６１が設けられており、基板（対向基板）６６の液晶層６２、カラーフィルター１に対向する面には、カラーフィルター１の各着色部１２に対応する位置に、マトリクス状に、画素電極６５が配されている。さらに、共通電極６１と液晶層６２との間には配向膜６４が設けられ、基板６６（画素電極６５）と液晶層６２との間には配向膜６３が設けられている。
【００７０】
基板６６は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えば、ガラス基板である。
共通電極６１、画素電極６５は、可視光に対して光透過性を有する材料で構成されたものであり、例えば、ＩＴＯ等で構成されている。
また、図中省略しているが、各画素電極６５に対応するように、複数のスイッチング素子（例えば、ＴＦＴ：薄膜トランジスタ）が設けられている。そして、各着色部１２に対応する各画素電極６５について、共通電極６１との間での電圧の印加状態を制御することにより、各着色部１２（各画素電極６５）に対応する領域での、光の透過性を制御することができる。
【００７１】
液晶表示装置６０では、図示しないバックライトから発せられた光が、偏光板６８側（図７中上側）から入射するようになっている。そして、液晶層６２を透過し、カラーフィルター１の各着色部１２（１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ）に入射した光は、各着色部１２（１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ）に対応する色の光として、偏光板６７（図７中下側）から出射する。
【００７２】
《電子機器》
前述したようなカラーフィルター１を有する液晶表示装置等の画像表示装置（電気光学装置）１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図８は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【００７３】
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が画像表示装置１０００を備えている。
【００７４】
図９は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、画像表示装置１０００を表示部に備えている。
【００７５】
図１０は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００７６】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、画像表示装置１０００が表示部に設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
【００７７】
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。
【００７８】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
【００７９】
なお、本発明の電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビ（例えば、液晶テレビ）や、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。中でも、テレビは、近年の表示部の大型化の傾向が顕著であるが、このような大型の表示部（例えば、対角線長８０ｃｍ以上の表示部）を有する電子機器では、従来のカラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターを適用した場合、色むら、濃度むら等の問題を特に生じ易かったが、本発明を適用すれば、このような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、上記のような大型の表示部を有する電子機器に適用した場合に、本発明の効果は、より顕著に発揮される。
【００８０】
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、上述した実施形態では、着色部形成工程において、緑色の着色部、赤色の着色部、青色の着色部の順に形成する場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、各色の着色部を任意の順で形成してもよい。
【００８１】
また、カラーフィルター、画像表示装置、電子機器を構成する各部は、同様の機能を発揮する任意のものと置換、または、その他の構成を追加することもできる。例えば、本発明のカラーフィルターにおいては、着色部の基板に対向する面とは反対の面側に、着色部を被覆する保護膜が設けられていてもよい。これにより、着色部の損傷や劣化等をより効果的に防止することができる。
また、前述した実施形態では、カラーフィルターが、光の三原色に対応する３種（３色）の着色部を備える場合について中心的に説明したが、着色部の色は、これら３種に限定されるものではない。例えば、本発明のカラーフィルターは、４種以上の着色部を備えるものであってもよい。
【実施例】
【００８２】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
［１］カラーフィルターの製造
（実施例１）
まず、両面にナトリウムイオンの溶出を防止するシリカ（ＳｉＯ２）膜が形成されたソーダガラス製の基板（Ｇ５サイズ：１１００×１３００ｍｍ）を用意し、洗浄処理を施した。
【００８３】
次に、緑色の着色部形成用組成物を、基板上に付与し、塗膜を形成する。なお、このような緑色の着色部形成用組成物は、以下のようにして得られる。まず、２−ヒドロキシエチルメタアクリレート：２０重量部と、メチルメタアクリレート：５０重量部と、メタクリル酸：１５重量部を、シクロヘキサノン：３００重量部に添加し混合した。その後、アゾイソブチロニトリル：０．５重量部を加え、窒素雰囲気化で、温度：６０℃の条件で１０時間反応させた。その後、反応生成物を含む上記の溶液をｎ−ヘキサン中で沈殿精製、減圧乾燥し、反応生成物を得た。次に、このようにして得られた反応生成物：２０重量部をシクロヘキサノン：１００重量部に溶かし、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８：１３．５重量部と、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８：１．５重量部とを添加し、３本ロールで十分に混練し、緑色の着色部形成用組成物を得た。
このようにして得られた緑色の着色部形成用組成物を、１０００ｒｐｍ、６０秒の条件でスピンコート法により、洗浄済の基板の一方の面の全体に付与し塗膜を形成した。
【００８４】
次に、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒という条件でプリベーク処理を行った。
その後、フォトマスクを介して、放射線を照射して、ポストエキスポジャーベーク処理（ＰＥＢ）を行い、引き続き、アルカリ現像液を用いた現像処理を行い、さらに、ポストベーク処理を行うことにより、緑色の着色部を形成した。ＰＥＢは、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒、放射線照射強度：１５０ｍＪ／ｃｍ２という条件で行った。また、現像処理は、例えば、振動浸漬法により行った。現像処理時間は、６０秒とした。また、ポストベーク処理は、加熱温度：１５０℃、加熱時間：５分という条件で行った。形成された着色部の平均厚さは、２．１μｍであった。
【００８５】
その後、緑色の着色部形成用組成物の代わりに赤色の着色部形成用組成物を用いて、上記と同様にして赤色の着色部を形成した。さらに、その後、赤色の着色部形成用組成物の代わりに青色の着色部形成用組成物を用いて、上記と同様にして赤色の着色部を形成した。なお、赤色の着色部形成用組成物は、上述した反応生成物：１６重量部をシクロヘキサノン：１００重量部に溶かし、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４：９重量部と、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８：１重量部とを添加し、３本ロールで十分に混練することにより得られるものである。また、青色の着色部形成用組成物は、上述した反応生成物：１２重量部をシクロヘキサノン：１００重量部に溶かし、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５:６：７重量部と、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３：０．８重量部とを添加し、３本ロールで十分に混練することにより得られるものである。
【００８６】
次に、形成された着色部に対してプラズマ処理を行い、撥液性を付与した後、図３〜図６に示すような液滴吐出装置を用いて、隣接する着色部間に、遮光部形成用組成物の液滴（インク）を吐出した。
このような遮光部形成用組成物（インク）としては、以下のようにして製造したものを用いた。
【００８７】
まず、樹脂材料としての樹脂Ｌを以下のようにして合成した。
四つ口フラスコに、ｎ−ヘキサン：３２０重量部、メタアクリル酸：８６重量部、トリエチルアミン：１１１重量部を投入した後、この四つ口フラスコに、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口を取り付けた。この四つ口フラスコを、氷水で冷却しつつ、トリメチルクロルシラン：１２０重量部を滴下した。この際、反応系内の温度が２５℃以下となるようにした。その後、２５℃で１時間反応を続けた。次に、トリエチルアミンの塩酸塩を濾別し、得られたろ液から減圧下でｎ−ヘキサンを除去した後、減圧蒸留にて精製し、シリルアセテート構造を有するエチレン性不飽和単量体を得た。
【００８８】
次に、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口が取り付けられ、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート：１００重量部を仕込んだ四つ口フラスコを用意した。この四つ口フラスコ内のジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを攪拌しつつ６０℃まで昇温した後、上記エチレン性不飽和単量体：２７重量部と、メタアクリル酸グリシジル：３０重量部と、スチレン：３８重量部と、２，２′−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：６重量部との混合物を１時間かけて滴下した。滴下後６０℃にて１時間保持した後、２，２′−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：０．０８重量部を加え、さらに６０℃で６時間反応させ、その後、未反応のモノマーを減圧処理により除去することにより、エポキシ構造を有するエポキシ系樹脂としての樹脂Ｌの溶液を得た。
【００８９】
一方、５０重量部のジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを用意し、これに、分散剤としてのディスパロンＤＡ−７０３−５０（楠本化成社製）：３．６重量部、フローレンＤＯＰＡ−２２（共栄化学社製）：１．２重量部と、カーボンブラック：６重量部とを添加した。その後、ビーズミル（ジルコニアビーズ：０．６５ｍｍ使用）へ導入し、顔料の粉砕を行い、顔料分散液を得た。
【００９０】
その後、上記樹脂Ｌの溶液：４．４重量部と、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート：１２重量部、顔料分散液：８３．６量部とを混合することにより、遮光部形成用組成物を調製した。
その後、ホットプレート上にて６０℃で３０分間の加熱処理を施し、さらに２００℃のオーブン内で１時間加熱処理を施すことにより、遮光部が形成された。これにより、図１に示すようなカラーフィルターが得られた。なお、カラーフィルター１の遮光部の平均厚さは、２．０μｍであった。
上記のような方法を用いて、５０００枚のカラーフィルターを製造した。
【００９１】
（実施例２）
まず、両面にナトリウムイオンの溶出を防止するシリカ（ＳｉＯ２）膜が形成されたソーダガラス製の基板（Ｇ５サイズ：１１００×１３００ｍｍ）を用意し、洗浄処理を施した。
次に、青色の着色部形成用組成物を、基板上に付与し、塗膜を形成する。なお、このような緑色の着色部形成用組成物は、以下のようにして得られる。まず、２−ヒドロキシエチルメタアクリレート：２０重量部と、メチルメタアクリレート：５０重量部と、メタクリル酸：１５重量部を、シクロヘキサノン：３００重量部に添加し混合した。その後、アゾイソブチロニトリル：０．５重量部を加え、窒素雰囲気化で、温度：６０℃の条件で１０時間反応させた。その後、反応生成物を含む上記の溶液をｎ−ヘキサン中で沈殿精製、減圧乾燥し、反応生成物を得た。次に、このようにして得られた反応生成物：２０重量部をシクロヘキサノン：１００重量部に溶かし、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６：７重量部と、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３：０．８重量部とを添加し、３本ロールで十分に混練し、緑色の着色部形成用組成物を得た。
このようにして得られた青色の着色部形成用組成物を、１０００ｒｐｍ、６０秒の条件でスピンコート法により、洗浄済の基板の一方の面の全体に付与し塗膜を形成した。
【００９２】
次に、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒という条件でプリベーク処理を行った。
その後、フォトマスクを介して、放射線を照射して、ポストエキスポジャーベーク処理（ＰＥＢ）を行い、引き続き、アルカリ現像液を用いた現像処理を行い、さらに、ポストベーク処理を行うことにより、緑色の着色部を形成した。ＰＥＢは、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒、放射線照射強度：１５０ｍＪ／ｃｍ２という条件で行った。また、現像処理は、例えば、振動浸漬法により行った。現像処理時間は、６０秒とした。また、ポストベーク処理は、加熱温度：１５０℃、加熱時間：５分という条件で行った。形成された着色部の平均厚さは、２．１μｍであった。
【００９３】
その後、青色の着色部形成用組成物の代わりに赤色の着色部形成用組成物を用いて、上記と同様にして赤色の着色部を形成した。さらに、その後、赤色の着色部形成用組成物の代わりに緑色の着色部形成用組成物を用いて、上記と同様にして緑色の着色部を形成した。なお、赤色の着色部形成用組成物は、上述した反応生成物：１６重量部をシクロヘキサノン：１００重量部に溶かし、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４：９重量部と、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８：１重量部とを添加し、３本ロールで十分に混練することにより得られるものである。また、緑色の着色部形成用組成物は、上述した反応生成物：１２重量部をシクロヘキサノン：１００重量部に溶かし、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８：１３．５重量部と、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８：１．５重量部とを添加し、３本ロールで十分に混練することにより得られるものである。
その後、形成された着色部に対してプラズマ処理を行い、撥液性を付与した後、実施例１と同様にして、遮光部を形成し、図１に示すようなカラーフィルターが得られた。なお、カラーフィルター１の遮光部の平均厚さは、２．０μｍであった。
上記のような方法を用いて、５０００枚のカラーフィルターを製造した。
【００９４】
（実施例３）
本実施例では、前述した図１１に示すような構成のカラーフィルターを製造する。
まず、両面にナトリウムイオンの溶出を防止するシリカ（ＳｉＯ２）膜が形成されたソーダガラス製の基板１１（Ｇ５サイズ：１１００×１３００ｍｍ）を用意し、洗浄処理を施した。
【００９５】
次に、基板１１上に各色の着色部１２を形成する。
まず、緑色の着色部形成用組成物を、基板１１上に付与し、塗膜を形成する。なお、このような塗膜は、前記実施例１と同様の緑色の着色部形成用組成物および方法を用いて形成した。
次に、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒という条件でプリベーク処理を行った。
【００９６】
その後、フォトマスクを介して、放射線を照射して、ポストエキスポジャーベーク処理（ＰＥＢ）を行い、引き続き、アルカリ現像液を用いた現像処理を行い、さらに、ポストベーク処理を行った。これにより、緑色の着色部１２Ａと、基板１１上の外周部に、後述する遮光部形成用組成物が基板１１から流れるのを防止するための外周部の隔壁１４とが形成される。なお、ＰＥＢは、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒、放射線照射強度：１５０ｍＪ／ｃｍ２という条件で行った。また、現像処理は、例えば、振動浸漬法により行った。現像処理時間は、６０秒とした。また、ポストベーク処理は、加熱温度：１５０℃、加熱時間：５分という条件で行った。形成された着色部の平均厚さは、２．１μｍであった。
【００９７】
その後、緑色の着色部形成用組成物の代わりに、赤色の着色部形成用組成物を用いて、上記と同様にして赤色の着色部１２Ｂを形成した。さらに、その後、赤色の着色部形成用組成物の代わりに青色の着色部形成用組成物を用いて、上記と同様にして青色の着色部１２Ｃを形成するとともに、図１１に示すように、基板１１の中心で直交するような１行１列の着色部間の隔壁１５を形成する。なお、赤色の着色部形成用組成物、青色の着色部形成用組成物としては、それぞれ、前記実施例１と同様にして得られる赤色の着色部形成用組成物、青色の着色部形成用組成物を用いた。このようにして形成された着色部は、個々の着色部の平均寸法が、５４０×３００μｍであった。また、平面視した際に、外周部の隔壁１４の平均幅は、２０μｍであり、着色部間の隔壁１５の平均幅は、１０μｍであった。
【００９８】
その後、形成された着色部に対してプラズマ処理を行い、撥液性を付与した後、実施例１と同様にして、遮光部を形成し、図１に示すようなカラーフィルターが得られた。なお、カラーフィルター１の遮光部の平均厚さは、２．０μｍであった。このようにして得られるカラーフィルターは、遮光部の厚さが、ばらつきがなく、特に均一なものであるとともに、上述した外周部の隔壁１４で囲まれた領域外に遮光部形成用材料の付着が認められないものであった。
上記のような方法を用いて、５０００枚のカラーフィルターを製造した。
【００９９】
（比較例１）
まず、両面にナトリウムイオンの溶出を防止するシリカ（ＳｉＯ２）膜が形成されたソーダガラス製の基板（Ｇ５サイズ：１１００×１３００ｍｍ）を用意し、洗浄処理を施した。
次に、カーボンブラックを含む遮光部形成用の感放射線性組成物を、洗浄済の基板の一方の面の全体に付与し、塗膜を形成した。
【０１００】
次に、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒という条件でプリベーク処理を行った。
その後、フォトマスクを介して、放射線を照射して、ポストエキスポジャーベーク処理（ＰＥＢ）を行い、引き続き、アルカリ現像液を用いた現像処理を行い、さらに、ポストベーク処理を行うことにより、遮光部を形成した。ＰＥＢは、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒、放射線照射強度：１５０ｍＪ／ｃｍ２という条件で行った。また、現像処理は、例えば、振動浸漬法により行った。現像処理時間は、６０秒とした。また、ポストベーク処理は、加熱温度：１５０℃、加熱時間：５分という条件で行った。形成された遮光部の平均厚さは、２．１μｍであった。
【０１０１】
次に、緑色の着色部形成用組成物を、基板上に付与し、塗膜を形成する。なお、このような緑色の着色部形成用組成物は、以下のようにして得られる。まず、２−ヒドロキシエチルメタアクリレート：２０重量部と、メチルメタアクリレート：５０重量部と、メタクリル酸：１５重量部を、シクロヘキサノン：３００重量部に添加し混合した。その後、アゾイソブチロニトリル：０．５重量部を加え、窒素雰囲気化で、温度：６０℃の条件で１０時間反応させた。その後、反応生成物を含む上記の溶液をｎ−ヘキサン中で沈殿精製、減圧乾燥し、反応生成物を得た。次に、このようにして得られた反応生成物：２０重量部をシクロヘキサノン：１００重量部に溶かし、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８：１３．５重量部と、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８：１．５重量部とを添加し、３本ロールで十分に混練し、緑色の着色部形成用組成物を得た。
このようにして得られた緑色の着色部形成用組成物を、１０００ｒｐｍ、６０秒の条件でスピンコート法により、洗浄済の基板の一方の面の全体に付与し塗膜を形成した。
【０１０２】
次に、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒という条件でプリベーク処理を行った。
その後、フォトマスクを介して、放射線を照射して、ポストエキスポジャーベーク処理（ＰＥＢ）を行い、引き続き、アルカリ現像液を用いた現像処理を行い、さらに、ポストベーク処理を行うことにより、緑色の着色部を形成した。ＰＥＢは、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒、放射線照射強度：１５０ｍＪ／ｃｍ２という条件で行った。また、現像処理は、例えば、振動浸漬法により行った。現像処理時間は、６０秒とした。また、ポストベーク処理は、加熱温度：１５０℃、加熱時間：５分という条件で行った。形成された着色部の平均厚さは、２．１μｍであった。
【０１０３】
その後、緑色の着色部形成用組成物の代わりに赤色の着色部形成用組成物を用いて、上記と同様にして赤色の着色部を形成した。さらに、その後、赤色の着色部形成用組成物の代わりに青色の着色部形成用組成物を用いて、上記と同様にして赤色の着色部を形成した。なお、赤色の着色部形成用組成物は、上述した反応生成物：１６重量部をシクロヘキサノン：１００重量部に溶かし、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４：９重量部と、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８：１重量部とを添加し、３本ロールで十分に混練することにより得られるものである。また、青色の着色部形成用組成物は、上述した反応生成物：１２重量部をシクロヘキサノン：１００重量部に溶かし、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６：７重量部と、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３：０．８重量部とを添加し、３本ロールで十分に混練することにより得られるものである。
上記のような方法を用いて、５０００枚のカラーフィルターを製造した。
【０１０４】
（比較例２）
カラーフィルターの製造に先立ち、着色部形成用のインク（カラーフィルター用インク）を調整した。
＜樹脂ａの合成＞
四つ口フラスコに、ｎ−ヘキサン：３２０重量部、メタアクリル酸：８６重量部、トリエチルアミン：１１１重量部を投入した後、この四つ口フラスコに、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口を取り付けた。この四つ口フラスコを、氷水で冷却しつつ、トリメチルクロルシラン：１２０重量部を滴下した。この際、反応系内の温度が２５℃以下となるようにした。その後、２５℃で１時間反応を続けた。次に、トリエチルアミンの塩酸塩を濾別し、得られたろ液から減圧下でｎ−ヘキサンを除去した後、減圧蒸留にて精製し、シリルアセテート構造を有するエチレン性不飽和単量体を得た。
【０１０５】
次に、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口が取り付けられ、溶媒としての２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート：１００重量部を仕込んだ四つ口フラスコを用意した。この四つ口フラスコ内の２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテートを攪拌しつつ６０℃まで昇温した後、上記エチレン性不飽和単量体：２７重量部と、メタアクリル酸グリシジル：３０重量部と、スチレン：３８重量部と、２，２′−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：６重量部との混合物を１時間かけて滴下した。滴下後６０℃にて１時間保持した後、２，２′−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：０．０８重量部を加え、さらに５０℃で２５分間反応させ、その後、未反応のモノマーを減圧処理により除去することにより、シリルアセテート構造とエポキシ構造とを有するエポキシ系樹脂としての樹脂ａの溶液を得た。
【０１０６】
＜カラーフィルター用インクの調整＞
まず、１００重量部の２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート（液性媒体）を用意し、これに、分散剤としてのＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１（ビックケミー・ジャパン社製、シアメリド環を有する化合物）：４．９重量部と、着色剤としてのＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６：１０．５重量部とを添加した。その後、ビーズミル（ジルコニアビーズ：０．６５ｍｍ使用）へ導入し、顔料の粉砕を行い、顔料分散液を得た。
【０１０７】
その後、上記樹脂ａの溶液と、顔料分散液とを混合することにより、緑色のカラーフィルター用インク（グリーンインク（Ｇインク））を調製した。グリーンインク中におけるＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、ならびにＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０が混在した系の平均粒径は、いずれも、１６０ｎｍであった。
また、着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６の代わりにＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４を用いた以外は、グリーンインクと同様にして赤色のカラーフィルター用インク（レッドインク（Ｒインク））を調製した。レッドインク中におけるＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、およびＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０が混在した粒子の平均粒径は、いずれも、１６０ｎｍであった。
【０１０８】
また、着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６の代わりにＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を用いた以外は、グリーンインクと同様にして青色のカラーフィルター用インク（ブルーインク（Ｂインク））を調製した。ブルーインク中におけるＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６の平均粒径は、１６０ｎｍであった。
これにより、上記のような３種のインク（カラーフィルター用インク）からなるカラーフィルター用インクセットが得られた。
【０１０９】
その後、このようにして得られた３色のインクを用いて、カラーフィルターを製造する。
まず、両面にナトリウムイオンの溶出を防止するシリカ（ＳｉＯ２）膜が形成されたソーダガラス製の基板（Ｇ５サイズ：１１００×１３００ｍｍ）を用意し、洗浄処理を施した。
【０１１０】
次に、カーボンブラックを含む遮光部形成用の感放射線性組成物を、洗浄済の基板の一方の面の全体に付与し、塗膜を形成した。
次に、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒という条件でプリベーク処理を行った。
その後、フォトマスクを介して、放射線を照射して、ポストエキスポジャーベーク処理（ＰＥＢ）を行い、引き続き、アルカリ現像液を用いた現像処理を行い、さらに、ポストベーク処理を行うことにより、遮光部を形成した。ＰＥＢは、加熱温度：１１０℃、加熱時間：１２０秒、放射線照射強度：１５０ｍＪ／ｃｍ２という条件で行った。また、現像処理は、例えば、振動浸漬法により行った。現像処理時間は、６０秒とした。また、ポストベーク処理は、加熱温度：１５０℃、加熱時間：５分という条件で行った。形成された遮光部の平均厚さは、２．１μｍであった。
【０１１１】
次に、図３〜図６に示すような液滴吐出装置を用いて、隔壁で囲まれた領域としてのセル内に、カラーフィルター用インクを吐出した。この際、３色のカラーフィルター用インクを用い、各色のカラーフィルター用インクが混色しないようにした。
その後、ホットプレート上にて１００℃で１０分間の加熱処理を施し、さらに２００℃のオーブン内で１時間加熱処理を施すことにより、３色の着色部が形成された。これにより、図１に示すようなカラーフィルターが得られた。
上記のような方法を用いて、５０００枚のカラーフィルターを製造した。
【０１１２】
［２］カラーフィルターの評価
上記のようにして得られた各カラーフィルターを用いて、以下のような評価を行った。
［２．１］色むら、濃度むら
前記各実施例および各比較例のカラーフィルター用インク（インクセット）を用いて製造されたカラーフィルターのうち、それぞれ、５０００枚目に製造されたカラーフィルターを用いて、同条件で図７に示すような液晶表示装置を製造した。
これらの液晶表示装置を用いて、暗室で、赤色の単色表示、緑色の単色表示、青色の単色表示、白色の単色表示を行った状態で目視による観察を行い、各部位での色むら、濃度むらの発生状況を、以下の５段階の基準に従い、評価した。
【０１１３】
Ａ：色むら、濃度むらが全く認められない。
Ｂ：色むら、濃度むらがほとんど認められない。
Ｃ：色むら、濃度むらがわずかに認められる。
Ｄ：色むら、濃度むらがはっきりと認められる。
Ｅ：色むら、濃度むらが顕著に認められる。
【０１１４】
［２．２］コントラスト比の評価
［２．１］で製造した前記各実施例および各比較例の液晶表示装置について、下記に示すような評価を行った。液晶表示装置を用いて、赤色の単色表示、緑色の単色表示、青色の単色表示を行い、コントラストテスター（壺坂電機社製、ＣＴ−１）を用いて、淡色表示を行っていない場合と比較してのコントラスト比（ＣＲ）を求め、下記のようにして評価を行った。
【０１１５】
赤色の単色表示の場合、以下の３段階の基準に従い、評価した。
Ａ：ＣＲが３２００以上。
Ｂ：ＣＲが２０００以上３２００未満。
Ｃ：ＣＲが２０００未満。
【０１１６】
緑色の単色表示の場合、以下の３段階の基準に従い、評価した。
Ａ：ＣＲが１１０００以上。
Ｂ：ＣＲが５５００以上１１０００未満。
Ｃ：ＣＲが５５００未満。
【０１１７】
青色の単色表示の場合、以下の３段階の基準に従い、評価した。
Ａ：ＣＲが２９００以上。
Ｂ：ＣＲが２６００以上２９００未満。
Ｃ：ＣＲが２６００未満。
【０１１８】
［２．３］明度の評価
［２．１］で製造した前記各実施例および各比較例の液晶表示装置について、下記に示すような評価を行った。液晶表示装置について、赤色の単色表示、緑色の単色表示、青色の単色表示を行い、色度計（ミノルタ社製、ＣＭ−３７００ｄ）を用いて、ｘｙＹ表色法による三刺激値を求め、以下の５段階の基準に従い、評価した。
【０１１９】
Ａ：明度Ｙが６１．０以上。
Ｂ：明度Ｙが５９．０以上６１．０未満。
Ｃ：明度Ｙが５７．０以上５９．０未満。
Ｄ：明度Ｙが５５．５以上５７．０未満。
Ｅ：明度Ｙが５５．５未満。
なお、上記の各評価においては、各カラーフィルターについて、同様の条件で観察、測定を行った。
これらの結果を、表１に示す。
【０１２０】
【表１】
2009282096.tif 000003
【０１２１】
表１から明らかなように、本発明では、得られたカラーフィルターは、明度、コントラスト比に優れたものであった。また、本発明のカラーフィルターは、色むら、濃度むら、光漏れの発生が抑制されていた。これに対し、各比較例では、満足な結果が得られなかった。また、本発明で得られたカラーフィルターは、各比較例で得られたカラーフィルターに比べて、鮮明なものであった。
また、市販の液晶テレビを分解し、液晶表示装置部分を、上記のようにして製造したものと交換して、上記と同様の評価を行ったところ、上記と同様な結果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明のカラーフィルターの好適な実施形態を示す断面図である。
【図２】カラーフィルターの製造方法を示す断面図である。
【図３】カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置を示す斜視図である。
【図４】図３に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図である。
【図５】図３に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面を示す図である。
【図６】図３に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図７】液晶表示装置の実施形態を示す断面図である。
【図８】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図９】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１０】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１１】カラーフィルター基板上の着色部のパターンの一例を示す平面図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１…カラーフィルター  １１…基板  １２…着色部  １２Ａ…第１の着色部  １２Ｂ…第２の着色部  １２Ｃ…第３の着色部  １３…遮光部  １４…外周部の隔壁  １５…着色部間の隔壁  ２０、２０Ａ…塗膜  ３…インク  ６０…液晶表示装置  ６１…共通電極  ６２…液晶層  ６３、６４…配向膜  ６５…画素電極  ６６…基板（対向基板）  ６７、６８…偏光板  １００…液滴吐出装置  １０１…タンク  １０２…吐出走査部  １０３…液滴吐出手段  １０４…第１位置制御装置  １０５…キャリッジ  １０６…ステージ  １０８…第２位置制御装置  １１０…チューブ  １１２…制御手段  １１４…液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）  １１６Ａ、１１６Ｂ…ノズル列  １１８…ノズル  １２０…キャビティ  １２２…遮光部  １２４…振動子  １２４Ａ、１２４Ｂ…電極  １２４Ｃ…ピエゾ素子  １２６…振動板  １２７…吐出部  １２８…ノズルプレート  １２９…液たまり  １３０…供給口  １３１…孔  １０００…画像表示装置  １１００…パーソナルコンピュータ  １１０２…キーボード  １１０４…本体部  １１０６…表示ユニット  １２００…携帯電話機  １２０２…操作ボタン  １２０４…受話口  １２０６…送話口  １３００…ディジタルスチルカメラ  １３０２…ケース（ボディー）  １３０４…受光ユニット  １３０６…シャッタボタン  １３０８…回路基板  １３１２…ビデオ信号出力端子  １３１４…データ通信用の入出力端子  １４３０…テレビモニタ  １４４０…パーソナルコンピュータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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