(57)【要約】【課題】圧電素子とベース部材との間を導通させるために全面を導電性接着剤で接合すると、組立の容易性や接合強度の確保が難しい。【解決手段】複数の圧電素子柱１２が配列されて形成された圧電素子部材２が導電性を有するベース部材３に接着剤層４を介して接合され、圧電素子部材２のベース部材３との接合面には複数の圧電素子柱１２に共通の共通電極２３ｂが設けられ、接合面の接着剤層４は、導電性粒子を含有し、共通電極２３ｂとベース部材４を導通させる第１の領域４１と、導電性粒子を含有しない第２の領域４２とを有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電素子柱が配列されて形成された圧電素子部材が導電性を有するベース部材に接着剤層を介して接合され、
前記圧電素子部材の前記ベース部材との接合面には前記複数の圧電素子柱に共通の共通電極が設けられ、
前記接合面の接着剤層は、導電性粒子を含有し、前記共通電極と前記ベース部材を導通させる第１の領域と、前記導電性粒子を含有しない第２の領域とを有する
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記第１の領域は前記第２の領域で囲まれていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記第１の領域は前記圧電素子柱の配列方向と直交する方向の両端部側が前記第２の領域で挟まれていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記第１の領域は前記圧電素子柱の配列方向の両端部側が前記第２の領域で挟まれていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、１つの前記ベース部材に複数の前記圧電素子部材が接合されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記導電性粒子は銀であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項６に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記導電性粒子は球状のものとフレーク状のものが混在していることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項８】
液滴を吐出する複数のノズルがそれぞれ連通する複数の液室を形成する流路部材と、
前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する振動板部材と、
前記振動板部材を変形させる圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、請求項１ないし７のいずれかに記載の圧電アクチュエータである
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。この液体吐出記録方式の画像形成装置は、記録ヘッドからラインク滴を、搬送される用紙に対して吐出して、画像形成（記録、印字、印写、印刷も同義語で使用する。）を行なうものであり、記録ヘッドが主走査方向に移動しながら液滴を吐出して画像を形成するシリアル型画像形成装置と、記録ヘッドが移動しない状態で液滴を吐出して画像を形成するライン型ヘッドを用いるライン型画像形成装置がある。
【０００３】
なお、本願において、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体にインクを着弾させて画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。また、「インク」とは、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。また、「用紙」とは、材質を紙に限定するものではなく、上述したＯＨＰシート、布なども含み、インク滴が付着されるものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含むものの総称として用いる。
【０００４】
液体吐出ヘッドとしては、液室内の液体であるインクを加圧する圧力を発生するための圧力発生手段（アクチュエータ手段）として、複数の圧電素子柱が配列された圧電素子部材がベース部材に接着剤層を介して接合された圧電アクチュエータを用いる圧電型ヘッドが知られている。
【０００５】
このように複数の圧電素子を用いた液体吐出ヘッドにおいて、複数の圧電素子に共通する共通電極の取り出し方法として、共通電極（ＣＯＭライン）をＦＰＣなどの給電部材の接合面と同一面に引き出す構成が一般的に採用されている。
【０００６】
また、特許文献１に記載されているように、金属からなるベース部材に、金属イオンにより重合を開始する嫌気性接着剤によって圧電素子部材を接合することが知られている。
【特許文献１】特開２００３−２１１６５８号公報
【０００７】
また、特許文献２に記載されているように、嫌気硬化性の絶縁性接着剤に導電性粒子を含有し、圧電素子と基材を接着することも知られている。
【特許文献２】特開平１０−３１５４８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述したように、共通電極（ＣＯＭライン）をＦＰＣなどの給電部材の接合面と同一面に引き出す構成によると、圧電素子部材の長さが実際の駆動領域よりも長くなったり、高さが高くなったりしてしまい、圧電アクチュエータの大型化、コスト高になる。また、ヘッドの長尺化、ライン化をコンパクトに実現するためには、複数のヘッドを並べるよりも、圧電素子部材を直線上に並べる方が良いのは明らかであるが、この場合、圧電素子部材の全長が駆動領域となるため、ＣＯＭラインの引きだしが困難となってしまうという課題がある。
【０００９】
また、圧電素子部材と圧電素子部材を固定するベース部材を導電性接着剤で接着して、ベース部材からＣＯＭラインを引き出す構成のように導電性接着剤を使用する場合、熱を与える必要があるため、線膨張係数の差により接合部の剥離が生じ、あるいは、圧電素子部材とベース部材の位置関係を保つことが困難であるという課題がある。
【００１０】
さらに、１つのベース部材上に複数の圧電素子部材を直線上に並べるアクチュエータ構成の場合、圧電素子部材間の位置を高精度に管理する必要があるため、圧電素子部材を位置決めした後、接着剤を即硬化できることが好ましい。
【００１１】
なお、上記特許文献１に記載の構成では、接合面全域において導電性粒子が含有されているため、接合面からはみ出した部分(空気に触れている部分)の接着剤に紫外線を照射したとしても、導電性粒子が紫外線を遮蔽し、最表面しか硬化しないことから、仮接合することができないという課題もある。
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、圧電素子とベース部材との間を導通させるとともに、組立が容易で、接合強度も確保できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するため、本発明に係る圧電アクチュエータは、
複数の圧電素子柱が配列されて形成された圧電素子部材が導電性を有するベース部材に接着剤層を介して接合され、
前記圧電素子部材の前記ベース部材との接合面には前記複数の圧電素子柱に共通の共通電極が設けられ、
前記接合面の接着剤層は、導電性粒子を含有し、前記共通電極と前記ベース部材を導通させる第１の領域と、前記導電性粒子を含有しない第２の領域とを有する
構成とした。
【００１４】
ここで、前記第１の領域は前記第２の領域で囲まれている構成、前記第１の領域は前記圧電素子柱の配列方向と直交する方向の両端部側が前記第２の領域で挟まれている構成、又は、前記第１の領域は前記圧電素子柱の配列方向の両端部側が前記第２の領域で挟まれている構成とできる。また、１つの前記ベース部材に複数の前記圧電素子部材が接合されている構成とできる。また、前記導電性粒子は銀である構成とでき、更に前記導電性粒子は球状のものとフレーク状のものが混在している構成とできる。
【００１５】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルがそれぞれ連通する複数の液室を形成する流路部材と、
前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する振動板部材と、
前記振動板部材を変形させる圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、請求項１ないし７のいずれかに記載の圧電アクチュエータである
構成とした。
【００１６】
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る圧電アクチュエータによれば、複数の圧電素子柱が配列されて形成された圧電素子部材が導電性を有するベース部材に接着剤層を介して接合され、圧電素子部材のベース部材との接合面には複数の圧電素子柱に共通の共通電極が設けられ、接合面の接着剤層は、導電性粒子を含有し、共通電極とベース部材を導通させる第１の領域と、導電性粒子を含有しない第２の領域とを有するので、第１の領域で圧電素子とベース部材とを導通させることができるとともに、第２の領域で圧電素子部材とベース部材とを容易に、接合強度を確保して接合することができる。
【００１８】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、本発明に係る圧電アクチュエータを備えるので、コンパクトで長尺のヘッドを得ることができる。
【００１９】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、長尺のヘッドを備えて高速記録化を図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る圧電アクチュエータの第１実施形態について図１ないし図５を参照して説明する。なお、図１は同圧電アクチュエータの模式的正面説明図、図２は図１の側面説明図、図３は同じく圧電素子部材の拡大側断面説明図、図４は図１のＡ部の拡大説明図、図５は図１の平面説明図である。
【００２１】
この圧電アクチュエータ１は、２本の圧電素子部材２、２を導電性のベース部材３に接着剤層４を介して接合して構成されている。なお、圧電素子部材２は櫛歯状（図４参照）に形成されているが、図１では図示を簡略化している（以下の図でも同じ）。
【００２２】
圧電素子部材２には、図４に示すように、ハーフカットダイシングによる溝加工を施して所要数の圧電素子柱１２が配列されて形成されている。この圧電素子部材２は、図３に示すように、ＰＺＴなどの圧電材料層２１と内部電極２２ａ、２２ｂとを交互に積層したものであり、内部電極２２ａ、２２ｂをそれぞれ端面に引き出して、この端面に形成された個別端面電極（外部電極）２３ａ、共通端面電極（外部電極）２３ｂにそれぞれ接続し、共通端面電極２３ｂはベース部材３との接合面（部材底面）まで回り込んで形成され（接合面部分に「２３ｂ１」の符号を付している。）、これらの端面電極（外部電極）２３ａ、２３ｂ間に電圧を印加することで積層方向の変位を生じる。
【００２３】
接着剤層４は、図２及び図５に示すように、導電性粒子が添加された紫外線（ＵＶ）嫌気接着剤からなる第１の領域４１と、導電性粒子が添加されていないＵＶ嫌気接着剤層からなる第２の領域４２とを有している。そして、ここでは、第２の領域４２は２つの圧電素子部材２の圧電素子柱１２の配列方向と直交する方向の外側に対応する領域に、第１の領域４１は２つの圧電素子部材２の圧電素子柱１２の配列方向と直交する方向の内側に対応する領域に、それぞれ設けられている。
【００２４】
なお、ベース部材３は、例えば長さ約３０ｍｍ、幅３ｍｍ、高さ７ｍｍの部材であり、圧電素子部材２は、長さ約３０ｍｍ、幅１．５ｍｍ、高さ１ｍｍの部材であり、２本の圧電素子２が０．３ｍｍ離れて接合している。
【００２５】
したがって、ベース部材３上の圧電素子部材２を接合固定するとき、第１の領域４１の導電性粒子を含有したＵＶ嫌気接着剤層と第２の領域４２の導電性粒子を含有しないＵＶ嫌気接着剤が存在するので、圧電素子部材２とベース部材３を接合後に紫外線硬化により位置ずれを抑えることができ、かつ、圧電素子部材２の共通電極２３ｂとベース部材３を導通させることができる。
【００２６】
このように、圧電素子部材とベース部材を接合する接着剤層は、導電性粒子を含有し、共通電極とベース部材を導通させる第１の領域と、導電性粒子を含有しない第２の領域とを有しているので、第１の領域で圧電素子とベース部材とを導通させることができるとともに、第２の領域で圧電素子部材とベース部材とを容易に、接合強度を確保して接合することができる。
【００２７】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第２実施形態について図６ないし図８を参照して説明する。なお、図６は同圧電アクチュエータの模式的正面説明図、図７は図６の側面説明図、図８は同じく平面説明図である。
ここでは、導電性粒子を含有するＵＶ嫌気接着剤からなる第１の領域４１の周囲に導電性粒子を含有しないＵＶ嫌気接着剤からなる第２の領域４２を配置している。このように、ＵＶ嫌気接着剤の第２の領域４２が導電性粒子を含有したＵＶ嫌気接着剤の第１の領域４１を囲んでいるので、圧電素子部材２とベース部材３の接合面外周を紫外線硬化することができる。
【００２８】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第３実施形態について図９ないし図１１を参照して説明する。なお、図９は同圧電アクチュエータの模式的正面説明図、図１０は図９の側面説明図、図１１は同じく平面説明図である。
ここでは、第２の領域４２内に第１の領域４１を点在させて、導電性粒子を含有するＵＶ嫌気接着剤からなる第１の領域４１の周囲に導電性粒子を含有しないＵＶ嫌気接着剤からなる第２の領域４２を配置している。このように、導電性粒子を含有しないＵＶ嫌気接着剤の第２の領域４２が導電性粒子を含有したＵＶ嫌気接着剤の第１の領域４１を囲んでいるので、圧電素子部材２とベース部材３の接合面外周を紫外線硬化することができる。
【００２９】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第４実施形態について図１２ないし図１４を参照して説明する。なお、図１２は同圧電アクチュエータの模式的正面説明図、図１３は図１２の側面説明図、図１４は同じく平面説明図である。
ここでは、１つの圧電素子部材２に対応して、圧電素子柱配列方向に沿って第２の領域４２、４２間に第１の領域４１を配置することで、圧電素子柱配列方向に沿う第１の領域４１に対して圧電素子柱の配列方向と直交する方向の両側に第２の領域４２、４２を配置している。このように、導電性粒子を含有しないＵＶ嫌気接着剤の第２の領域４２が導電性粒子を含有したＵＶ嫌気接着剤の第１の領域４１を挟みこんでいるので、充分な接合強度を確保することができる。
【００３０】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第５実施形態について図１５ないし図１７を参照して説明する。なお、図１５は同圧電アクチュエータの模式的正面説明図、図１６は図１５の側面説明図、図１７は同じく平面説明図である。
ここでは、１つの圧電素子部材２に対応して、圧電素子柱配列方向に沿って第１の領域４１を設けて配列方向両端部に第２の領域４２、４２を設けている。このように、導電性粒子を含有しないＵＶ嫌気接着剤の第２の領域４２が導電性粒子を含有したＵＶ嫌気接着剤の第１の領域４１を挟みこんでいるので、充分な接合強度を確保することができる。
【００３１】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第６実施形態について図１８ないし図２０を参照して説明する。なお、図１８は同圧電アクチュエータの模式的正面説明図、図１９は図１８の側面説明図、図２０は同じく平面説明図である。
ここでは、１つのベース部材３上に、１列当たり、複数（この例では６本）の圧電素子部材２を並べて接合配置している。例えば、ベース部材３の長さは約３００ｍｍ、圧電素子部材２の長さは約５０ｍｍとなっており、直線上につなげた圧電素子部材２，２の隙間は約１０μｍ程度である。これにより、長尺の圧電アクチュエータを得ることができる。
【００３２】
次に、これらの各実施形態における第１の領域を形成している導電性粒子を含有するＵＶ嫌気性接着剤について図２１及び図２２を参照して説明する。なお、図２１及び図２２は図１のＢ部の拡大模式的説明図である。
第１の領域４１において、導電性粒子４１ｂとして銀（Ａｇ）を使用しており、ＵＶ嫌気性接着剤４１ａに対して、重量比８０％の銀を添加している。この場合、図２１に示すように球状の銀の粒子４１ｂ１を添加することも、図２２に示すように、球状の銀の粒子４１ｂ１とフレーク状の銀の粒子４２ｂ２を混合して添加することもできる。
【００３３】
導電性粒子に銀を使用することで圧電素子部材とベース部材間を低抵抗にすることができる。また、導電性粒子として球状の銀とフレーク状の銀を混合して使用するので、銀の接触面積が大きくなり、攪拌性を損なわずに接合部（接続部）をより低抵抗にすることができる。
【００３４】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態について図２３ないし図２５を参照して説明する。なお、図２３は同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図２４は図２３のＡ−Ａ線に沿う液室長手方向（液室の並び方向と直交する方向）に沿う断面説明図、図２５は同じく液室短手方向（液室の並び方向）に沿う断面説明図である。
【００３５】
この液体吐出ヘッドは、ＳＵＳ基板で形成した流路基板（液室基板）１０１と、この流路基板１の下面に接合した振動板部材１０２と、流路基板１０１の上面に接合したノズル板１０３とを有し、これらによって液滴（液体の滴）を吐出するノズル１０４が連通する個別流路としての液室（以下「加圧液室」というが、圧力室、加圧室、流路などとも称される。）１０６、加圧液室１０６に液体であるインク（記録液）を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部１０７、複数の加圧液室１０６にインクを供給する共通液室１０８を形成している。なお、共通液室１０８には図示しないインクタンクから供給路を介して記録液が供給される。
【００３６】
ここで、流路基板１０１は、リストリクタプレート１０１Ａとチャンバーブレート１０１Ｂとを接着して構成している。この流路基板１０１は、ＳＵＳ基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜き（プレス）などの機械加工することで、各加圧液室６、流体抵抗部７、共通液室８などの開口をそれぞれ形成している。なお、流体抵抗部１０７は、リストリクタプレート１０１Ａの部分を開口し、チャンバーブレート１０１Ｂの部分を開口しないことで形成している。
【００３７】
振動板部材１０２は、流路基板１０１を構成するチャンバーブレート１０１Ｂに接着接合している。この振動板部材２は、例えば、ＳＵＳ基板などの金属部材１２１に金属部材２１よりも線膨張係数を大きく調製した樹脂を直接塗布（塗工）して加熱、固化させた樹脂層（樹脂部材）１２２を直接成膜して形成したものであり、樹脂層１２２で液室１０６の壁面となる変形可能な部分（振動板領域）１０２Ａを形成し、この振動板領域１０２Ａの液室１０６と反対側には金属部材１２１からなる島状の突起部（以下「島状凸部」ともいう。）１０２Ｂを形成している。また、この振動板部材１０２には流路基板１０１の液室間隔壁部１０６Ａに対応する位置には金属部材１２１による厚肉部１０２Ｄが形成（残存）されている。この他、振動板部材１０２は、樹脂層と金属部材とを接着剤で接合したもの、Ｎｉなどの電鋳で形成したものなどを用いることもできる。
【００３８】
ノズル板１０３は、各加圧液室１０６に対応して直径１０〜３０μｍの多数のノズル１０４を形成し、流路基板１０１のリストリクタプレート１０１Ａに接着剤接合している。このノズル板１０３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【００３９】
そして、振動板部材１０２の面外側（加圧液室１０６と反対面側）に本発明に係る圧電アクチュエータ１１０を配置している。この圧電アクチュエータ１１０は、前述した第６実施形態に係る圧電アクチュエータ１と同様に、複数個の圧電素子部材１１２を金属材料からなる導電性を有する１つのベース部材１１３に列状に並べて第１の領域及び第２の領域を有する接着剤層４を介して接合し、各圧電素子部材１１２に給電するＦＰＣなどで構成される給電部材１１５を備えている。
【００４０】
圧電素子部材１１２は、分断することのないスリット加工（溝加工）を施すなどして、偶数個の圧電素子柱１１２Ａ、１１２Ｂを、スリット溝１１５を介して、所定のピッチで形成し、隣り合う２つの圧電素子部材１１２の間隔もスリット溝１１５の溝幅として配置している。そして、圧電素子部材１１２の各圧電素子柱、１つおきに駆動する圧電素子柱（駆動圧電素子柱）１１２Ａと駆動しない圧電素子柱（非駆動圧電素子柱）１１２Ｂとして使用する。
【００４１】
この圧電アクチュエータ１１０の駆動圧電素子柱１１２Ａは振動板部材１０２の島状凸部１０２Ｂに接着剤接合し、非駆動圧電素子柱１１２Ｂは液室間隔壁部１０６Ａに対応する厚肉部１０２Ｄに接着剤接合している。
【００４２】
なお、圧電素子部材１１２は、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層とを交互に積層したものであり、前述した圧電素子部材２と同様に、内部電極を交互に端面の端面電極（外部電極）である図示しない個別電極及び共通電極にそれぞれ電気的に接続し、共通電極はベース部材１１３との接合面側まで形成されている。
【００４３】
この圧電定数がｄ３３（ｄ３３は内部電極面に垂直（厚み方向）の伸び縮みを指す。）である圧電素子部材１１２の駆動圧電素子柱１１２Ａの伸縮により振動板領域１０２Ａを変位させて液室１０６を収縮、膨張させるようになっている。圧電素子柱１１２Ａに駆動信号が印加され充電が行われると伸長し、また圧電素子柱１１２Ａに充電された電荷が放電すると反対方向に収縮する。
【００４４】
なお、圧電素子部材１１２（駆動圧電素子柱１１２Ａ）の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて加圧液室１０６内インクを加圧する構成とすることも、圧電素子部材１１２の圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて加圧液室１０６内インクを加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではｄ３３方向の変位を用いた構成をとっている。
【００４５】
さらに、振動板部材１０２の周囲にはフレーム部材１１７を接着剤で接合している。そして、このフレーム部材１１７には、振動板部材１０２の樹脂層１２２で構成した変形可能な部分としてのダイアフラム部１０２Ｃを介して共通液室１０８に隣接するバッファ室１１８を形成している。ダイアフラム部１０２Ｃは共通液室１０８及びバッファ室１１８の壁面を形成する。なお、バッファ室１１８は連通路１２０を介して大気と連通させている。
【００４６】
また、この液体吐出ヘッドでは、圧電素子部材１１２の圧電素子柱１１２Ａ、１１２Ｂは３００ｄｐｉの間隔で形成し、それが対向して２列に並んでいる構成としている。また、加圧液室１０６及びノズル１０４は１列１５０ｄｐｉの間隔で２列を千鳥状に並べて配置しており、３００ｄｐｉの解像度を１スキャンで得ることができる。
【００４７】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子部材１１２の駆動圧電素子柱１１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動圧電素子柱１１２Ａが収縮し、振動板部材１０２の振動板領域１０２Ａが下降して加圧液室１０６の容積が膨張することで、加圧液室１０６内にインクが流入し、その後駆動圧電素子柱１１２Ａに印加する電圧を上げて駆動圧電素子柱１１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板領域１０２Ａをノズル１０４方向に変形させて加圧液室１０６の容積／体積を収縮させることにより、加圧液室１０６内の記録液が加圧され、ノズル１０４から記録液の滴が吐出（噴射）される。
【００４８】
そして、駆動圧電素子柱１１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板領域１０２Ａが初期位置に復元し、加圧液室１０６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０８から加圧液室１０６内に記録液が充填される。そこで、ノズル１０４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。
【００４９】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。
【００５０】
このように、この液体吐出ヘッドは本発明に係る圧電アクチュエータを備えているので、コンパクトで長尺のヘッドを得ることができ、共通電極ラインの取り出しも容易になる。
【００５１】
次に、本発明に係る液体吐出装置を含む本発明に係る画像形成装置の一例について図２６を参照して説明する。なお、図２６は同装置の機構部全体の概略構成図である。
この画像形成装置は、装置本体２０１の内部に画像形成部２０２等を有し、装置本体２０１の下方側に多数枚の記録媒体（用紙）２０３を積載可能な給紙トレイ２０４を備え、この給紙トレイ２０４から給紙される用紙２０３を取り込み、搬送機構２０５によって用紙２０３を搬送しながら画像形成部２０２によって所要の画像を記録した後、装置本体２０１の側方に装着された排紙トレイ２０６に用紙２０３を排紙する。
【００５２】
また、装置本体２０１に対して着脱可能な両面ユニット２０７を備え、両面印刷を行うときには、一面（表面）印刷終了後、搬送機構２０５によって用紙２０３を逆方向に搬送しながら両面ユニット２０７内に取り込み、反転させて他面（裏面）を印刷可能面として再度搬送機構２０５に送り込み、他面（裏面）印刷終了後排紙トレイ２０６に用紙２０３を排紙する。
【００５３】
ここで、画像形成部２０２は、例えばブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の各色の液滴を吐出する、フルライン型の４個の本発明に係る液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド２１１ｋ、２１１ｃ、２１１ｍ、２１１ｙ（色を区別しないときには「記録ヘッド２１１」という。）を備え、各記録ヘッド２１１は液滴を吐出するノズルを形成したノズル面を下方に向けてヘッドホルダ２１３に装着している。
【００５４】
また、各記録ヘッド２１１に対応してヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構２１２ｋ、２１２ｃ、２１２ｍ、２１２ｙ（色を区別しないときには「維持回復機構２１２」という。）を備え、パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド２１１と維持回復機構２１２とを相対的に移動させて、記録ヘッド２１１のノズル面に維持回復機構２１２を構成するキャッピング部材などを対向させる。
【００５５】
なお、ここでは、記録ヘッド２１１は、用紙搬送方向上流側から、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの順に各色の液滴を吐出する配置としているが、配置及び色数はこれに限るものではない。また、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で設けた１又は複数のヘッドを用いることもできるし、ヘッドとこのヘッドに記録液を供給する記録液カートリッジを一体とすることも別体とすることもできる。
【００５６】
給紙トレイ２０４の用紙２０３は、給紙コロ（半月コロ）２２１と図示しない分離パッドによって１枚ずつ分離され装置本体２０１内に給紙され、搬送ガイド部材２２３のガイド面２２３ａに沿ってレジストローラ２２５と搬送ベルト２３３との間に送り込まれ、所定のタイミングでガイド部材２２６を介して搬送機構２０５の搬送ベルト２３３に送り込まれる。
【００５７】
また、搬送ガイド部材２２３には両面ユニット２０７から送り出される用紙２０３を案内するガイド面２２３ｂも形成されている。更に、両面印刷時に搬送機構２０５から戻される用紙２０３を両面ユニット２０７に案内するガイド部材２２７も配置している。
【００５８】
搬送機構２０５は、駆動ローラである搬送ローラ２３１と従動ローラ２３２との間に掛け渡した無端状の搬送ベルト２３３と、この搬送ベルト２３３を帯電させるための帯電ローラ２３４と、画像形成部２０２に対向する部分で搬送ベルト２３３の平面性を維持するプラテン部材２３５と、搬送ベルト２３３から送り出す用紙２０３を搬送ローラ２３１側に押し付ける押さえコロ２３６と、その他図示しないが、搬送ベルト２３３に付着した記録液（インク）を除去するためのクリーニング手段である多孔質体などからなるクリーニングローラなどを有している。
【００５９】
この搬送機構２０５の下流側には、画像が記録された用紙２０３を排紙トレイ２０６に送り出すための排紙ローラ２３８及び拍車２３９を備えている。
【００６０】
このように構成した画像形成装置において、搬送ベルト２３３は矢示方向に周回移動し、高電位の印加電圧が印加される帯電ローラ３３４と接触することで正に帯電される。この場合、帯電ローラ２３４の帯電電圧は所定の時間間隔で極性を切り替えることによって、搬送ベルト２３３を所定の帯電ピッチで帯電させる。
【００６１】
ここで、この高電位に帯電した搬送ベルト２３３上に用紙２０３が給送されると、用紙２０３内部が分極状態になり、搬送ベルト２３３上の電荷と逆極性の電荷が用紙２０３の搬送ベルト２３３と接触している面に誘電され、搬送ベルト２３３上の電荷と搬送される用紙２０３上に誘電された電荷同士が互いに静電的に引っ張り合い、用紙２０３は搬送ベルト２３３に静電的に吸着される。このようにして、搬送ベルト２３３に強力に吸着した用紙２０３は反りや凹凸が校正され、高度に平らな面が形成される。
【００６２】
そして、搬送ベルト２３３を周回させて用紙２０３を移動させ、記録ヘッド２１１から液滴を吐出することで、用紙２０３上に所要の画像が形成され、画像が記録された用紙２０３は排紙ローラ２３８によって排紙トレイ２０６に排紙される。
【００６３】
このように、この画像形成装置においては本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッドを備えているので、長尺ヘッドによる高速記録化を図れる。
【００６４】
なお、上記実施形態では本発明に係る画像形成装置としてライン型画像形成装置で説明しているが、記録ヘッドをキャリッジに搭載するシリアル型画像形成装置にも同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明に係る圧電アクチュエータの第１実施形態を示す模式的正面説明図である。
【図２】図１の側面説明図である。
【図３】同じく圧電素子部材の拡大側断面説明図である。
【図４】図１のＡ部の拡大説明図である。
【図５】図１の平面説明図である。
【図６】本発明に係る圧電アクチュエータの第２実施形態を示す模式的正面説明図である。
【図７】図６の側面説明図である。
【図８】同じく平面説明図である。
【図９】本発明に係る圧電アクチュエータの第３実施形態を示す模式的正面説明図である。
【図１０】図９の側面説明図である。
【図１１】同じく平面説明図である。
【図１２】本発明に係る圧電アクチュエータの第４実施形態を示す模式的正面説明図である。
【図１３】図１２の側面説明図である。
【図１４】同じく平面説明図である。
【図１５】本発明に係る圧電アクチュエータの第５実施形態を示す模式的正面説明図である。
【図１６】図１５の側面説明図である。
【図１７】同じく平面説明図である。
【図１８】本発明に係る圧電アクチュエータの第６実施形態を示す模式的正面説明図である。
【図１９】図１８の側面説明図である。
【図２０】同じく平面説明図である。
【図２１】導電性粒子を含有する第２の領域の接着剤層の説明に供する図１のＢ部の拡大模式的説明図である。
【図２２】同じく導電性粒子を含有する第２の領域の接着剤層の他の例の説明に供する図１のＢ部の拡大模式的説明図である。
【図２３】本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す外観斜視説明図である。
【図２４】図２３のＡ−Ａ線に沿う液室長手方向（液室の並び方向と直交する方向）に沿う断面説明図である。
【図２５】同じく液室短手方向（液室の並び方向）に沿う断面説明図である。
【図２６】本発明に係る液体吐出装置を含む本発明に係る画像形成装置の一例を示す全体構成説明図である。
【符号の説明】
【００６６】
１…圧電アクチュエータ
２…圧電素子部材
３…ベース部材
４…接着剤層
１２…圧電素子柱
２３ｂ…共通電極
４１…第１の領域
４１ａ…ＵＶ嫌気接着剤
４１ｂ…導電性粒子（銀）
４２…第２の領域
１０１…流路基板
１０２…振動板部材
１０３…ノズル板
１０４…ノズル
１０６…加圧液室
１１０…圧電アクチュエータ
２１１ｋ、２１１ｃ、２１１ｍ、２１１ｙ…記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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