(57)【要約】【課題】フラットパネルディスプレイ用の複数のパネル基板データを短時間で比較検証できるようにすること。【解決手段】ＣＰＵ７は、記憶部８のデータファイル記憶部５に記憶したレチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第２のパネル基板データを生成した後、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第１のパネル基板データ中の前記第２のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出し、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２パネル基板データとの差異を検証する。表示部１のパネル基板ウインドウ９に、前記検証した結果をグラフィック表示する。【選択図】  図１４
2009134335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のパネル基板データと、第２のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ及び前記レチクルレイアウトデータの座標情報とを記憶する記憶手段と、
前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、前記第２のパネル基板データを生成するパネル基板データ生成手段と、
前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、前記第１のパネル基板データ中の前記第２のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出する抽出手段と、
前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２パネル基板データとの差異を検証する検証手段と、
前記検証手段が検証した結果を表示する表示手段とを備えて成ることを特徴とするパネル基板データ検証システム。
【請求項２】
前記第１のパネル基板データと第２のパネル基板データは、線情報に幅が定義付けられた線データと長方形データと各頂点を記述した多角形データの少なくとも３種類から構成されると共にグリッド格子点の座標によって表わされたデータであり、
前記検証手段は、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２のパネル基板データの前記グリッド格子点同士の演算処理を施して差異を検証することにより、検証結果としての図形を生成し、
前記表示手段は前記図形を表示することを特徴とする請求項１記載のパネル基板データ検証システム。
【請求項３】
前記第１のパネル基板データと前記レチクルデータは、トランジスタ図形を定義する中間階層を有するか又は中間階層に対応する外部ライブラリとしてトランジスタ図形が定義され、
前記検証手段は、前記トランジスタ図形を展開することなく、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２のパネル基板データとの差異を検証することを特徴とする請求項１又は２記載のパネル基板データ検証システム。
【請求項４】
前記検証手段は、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２のパネル基板データの差異を検証する場合、論理ＸＯＲ処理または差分処理を行うことによって両パネル基板データ間における図形データの差異を抽出することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載のパネル基板データ検証システム。
【請求項５】
前記検証手段は、前記抽出した第１パネル基板データと前記第２のパネル基板データ間の差異検証をレイヤー単位に行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一に記載のパネル基板データ検証システム。
【請求項６】
前記検証手段は、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２のパネル基板データの差異を検証する場合、差異検証の対象とならなかった前記第１のパネル基板データ上の領域を算出することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一に記載のパネル基板データ検証システム。
【請求項７】
前記表示手段は前記検証結果を表示する検証結果ウインドウとダイアログボックスとを有すると共に、前記ダイアログボックス上にて前記エラーレイヤを指定する操作手段を有し、
前記表示手段は、前記ダイアログボックス上にてエラー個数を表示すると共に、前記指定手段によるエラーレイヤの指定に応答して当該レイヤのエラー図形情報を前記検証結果ウィンドウ上に表示することを特徴とする請求項６記載のパネル基板データ検証システム。
【請求項８】
コンピュータを、請求項１乃至７のいずれか一に記載のパネル基板データ検証システムとして機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ用パネル基板データの検証を行うパネル基板データ検証システム及びコンピュータを用いて前記パネル基板データ検証システムを構築するに適したプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ用のレチクルデータは、フラットパネルディスプレイのレイアウトデータ上にショット枠を規定することによって、当該ショット枠内のレイアウトデータを露光要素（繰り返し要素とも称する。）として切り出して作成される。繰り返し要素のレイアウトデータは、前記繰り返し要素を配置するフラットディスプレイパネル上の座標情報とともにパネル基板データとして保存される。
前記レチクルデータを用いてフラットパネルディスプレイを作成する場合、前記繰り返し要素のレイアウトデータと前記繰り返し要素の座標情報（パネル基板データ）を用いて、露光装置にてパネル基板上に転写される。
【０００３】
このようにして作成された第１のパネル基板データがあったとして、その後設計変更が生じレチクルデータを変更し第２のパネル基板データを作成した際において、要求仕様に基づいて変更した第２のパネル基板データの内容が、結果として正しく第１のデータ内容と異なっているかを判別するために、どの部分が変更されたか第１と第２のパネル基板データの差異部を比較検証する必要がある。
【０００４】
尚、レイアウトデータの比較検証としては、例えば特許文献１に示すように論理データとして示される結線情報とレイアウトデータの結線情報との比較検証を行う発明がある。しかしながら、特許文献１に記載された発明は、はレチクルデータや座標情報の特徴を利用したフラットパネルディスプレイのパネル基板データ同士の比較検証を述べるものではない。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２５９９４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、フラットパネルディスプレイ用の複数のパネル基板データを比較検証することを課題としている。
また、本発明は、コンピュータに実行させることにより、前記レチクル検証システムを構築するのに好適なレチクル検証用プログラムを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、第１のパネル基板データと、第２のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ及び前記レチクルレイアウトデータの座標情報とを記憶する記憶手段と、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、前記第２のパネル基板データを生成するパネル基板データ生成手段と、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、前記第１のパネル基板データ中の前記第２のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出する抽出手段と、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２パネル基板データとの差異を検証する検証手段と、前記検証手段が検証した結果を表示する表示手段とを備えて成ることを特徴とするパネル基板データ検証システムが提供される。
【０００８】
パネル基板データ生成手段は、記憶手段に記憶したレチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第２のパネル基板データを生成する。抽出手段は、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第１のパネル基板データ中の前記第２のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出する。検証手段は、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２パネル基板データとの差異を検証する。表示手段は、前記検証手段が検証した結果を表示する。
【０００９】
ここで、前記第１のパネル基板データと第２のパネル基板データは、線情報に幅が定義付けられた線データと長方形データと各頂点を記述した多角形データの少なくとも３種類から構成されると共にグリッド格子点の座標によって表わされたデータであり、前記検証手段は、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２のパネル基板データの前記グリッド格子点同士の演算処理を施して差異を検証することにより、検証結果としての図形を生成し、前記表示手段は前記図形を表示するように構成してもよい。
【００１０】
また、前記第１のパネル基板データと前記レチクルデータは、トランジスタ図形を定義する中間階層を有するか又は中間階層に対応する外部ライブラリとしてトランジスタ図形が定義され、前記検証手段は、前記トランジスタ図形を展開することなく、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２のパネル基板データとの差異を検証するように構成してもよい。
【００１１】
また、前記検証手段は、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２のパネル基板データの差異を検証する場合、論理ＸＯＲ処理または差分処理を行うことによって両パネル基板データ間における図形データの差異を抽出するように構成してもよい。
また、前記検証手段は、前記抽出した第１パネル基板データと前記第２のパネル基板データ間の差異検証をレイヤー単位に行うように構成してもよい。
【００１２】
また、前記検証手段は、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２のパネル基板データの差異を検証する場合、差異検証の対象とならなかった前記第１のパネル基板データ上の領域を算出するように構成してもよい。
また、前記表示手段は前記検証結果を表示する検証結果ウインドウとダイアログボックスとを有すると共に、前記ダイアログボックス上にて前記エラーレイヤを指定する指定手段を有し、前記表示手段は、前記ダイアログボックス上にてエラー個数を表示すると共に、前記指定手段によるエラーレイヤの指定に応答して当該レイヤのエラー図形情報を前記検証結果ウィンドウ上に表示するように構成してもよい。
【００１３】
また、本発明によれば、コンピュータを、前記いずれか一に記載のパネル基板データ検証システムとして機能させるためのプログラムが提供される。
コンピュータは、前記プログラムを実行することにより、前記いずれか一に記載のパネル基板データ検証システムとして機能する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るパネル基板データ検証システムは、フラットパネルディスプレイ用の複数のパネル基板データを比較検証することが可能である。
また、本発明に係るプログラムは、コンピュータに実行させることにより、前記パネル基板データ検証システムを構築するのに好適なパネル基板データ検証用プログラムを提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
先ず、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システム及びパネル基板データ検証用プログラムの概要を説明すると、本実施の形態は、作成された第１のパネル基板データがあったとして、その後設計変更が生じたためレチクルデータを変更して第２のパネル基板データを作成した際において、どの部分が変更されたかを知るために、第１のパネル基板データと第２のパネル基板データの差異部を判別するものである。これは、要求仕様に基づいて第１のパネル基板データを変更して得られた第２のパネル基板データの内容が、第１のパネル基板データの内容と正しく異なっているかを知りたいためである。
【００１６】
この際、第１のパネル基板データはパネル基板データとして入力し、第２のパネル基板データは新規なるデータであるから、基となるレチクルデータとレチクルデータにて記述されている繰り返し要素の配置情報を記述した座標情報を入力し、システム内部にて第２のパネル基板データを作成しつつ第１パネル基板データと第２のパネル基板データを比較検証することにより、変更部位を判別するようにしている。これは、新規に作成されたレチクルデータをそのまま利用できるため処理時間の短縮が図れること、及び、多くの場合において差異部は繰り返し要素の境界部にて生じやすいため処理単位を繰り返し要素とすることにより差異部を判別しやすくする効果があるからである。
【００１７】
以下、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システム及びパネル基板データ検証用プログラムについて詳細に説明する。
尚、詳細は後述するが、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムは、１台又は複数台のコンピュータ及び前記コンピュータが実行することによってパネルデータ検証システムを構築するパネルデータ検証用プログラムとによって構成されている。前記コンピュータは、レチクルデータ作成用プログラムを実行することによって、レチクルデータを作成するためのレチクルデータ作成システムとしても機能する。また、各図において、同一部分には同一符号を付している。
【００１８】
図１は、本発明の実施の形態におけるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用パネル基板とレチクルの関係を示す図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図である。
図１において、１０１はパネル基板、１０２は特性が保証された露光装置（図示せず）の露光領域、１０３は露光装置の露光可能領域、１０４は光源系機構、１０５は遮光系機構、１０６はレチクル、１０７は露光面である。ここでパネル基板１０１の材質は、ガラスやプラスティックフィルム等が使用可能である。
【００１９】
近年のフラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルに見られるように大型化され露光装置がパネル基板１０１を一括して露光できない（図１（ａ）の平面図参照）。従って何らかの形で露光領域を分割し、繰り返し露光を行う必要が出てくる。露光装置とパネル基板１０１の位置関係は、光源から見て光源系機構１０４、遮光系機構１０５、レチクル１０６、露光面１０７、パネル基板１０１となり、図１には記載されていないがこれにレンズ系機構が加わる（図１（ｂ）の側面図参照）。
尚、遮光系機構１０５とは、光源からの光を機械的に遮蔽するための長方形の機械的な機構である。
【００２０】
図２は、本発明の実施の形態におけるパネル基板上のパネル基板データとレチクル上のレチクルレイアウトデータとの関係を示す図である。
図２において、液晶パネル２０１は、ディスプレイパネル要素のパネル基板上のレイアウトを表すパネルレイアウトデータであるパネル基板データ２１１として、一種類の大型パネル基板データＡ１がパネル基板２１０上にひとつ存在する例である。液晶パネル２０１の場合には、パネル基板データＡ１を分割して、繰り返し構造をもつデータ群をショット枠２１３に対応付けて抽出し、これをレチクル２０５上に配置してレチクルレイアウトデータ２０６とする。
【００２１】
通常この場合には、パネル基板データＡ１の切断を伴う露光領域の分割が行われることになる。本実施の形態では、パネル基板データの各分割された要素（パネルレイアウト要素）に対応するレチクルレイアウトデータの各要素を、露光要素又は繰り返し要素と称する。レチクルレイアウトデータは、複数の露光要素によって構成されることになる。尚、２１２は特性が保証された露光領域である。
【００２２】
液晶パネル２０２は、パネル基板データとして、中型パネル基板データＡ２とＡ３が存在する場合である。この場合もパネル基板データＡ２とＡ３をパネル基板データの切断を伴う露光領域分割を行い、繰り返し構造をもつデータ群をショット枠２１３に対応付けて作成するのが通例である。
液晶パネル２０３は、パネル基板データとして、小型パネル基板データＡ４とＡ５がパネル基板上に複数配列された場合である。このような場合には複数のパネル基板データＡ４と複数のパネル基板データＡ５を各々ショット枠２１３に対応付けて生成し、該生成したレチクルレイアウトデータ２０６をレチクル２０５上に配置して露光の回数を減らす処理が必要となる。従って、通常この場合には露光領域の分割は必要であるがパネル基板データの切断は伴わない。
【００２３】
液晶パネル２０４は、中型パネル基板データＡ２と小型パネル基板データＡ４、Ａ５の３種類のパネル基板データがパネル基板上に存在する場合である。このような場合には、中型パネル基板データＡ２はパネル基板データの切断を伴う露光領域分割を行ってショット枠２１３に対応付けて生成し、小型レイアウトデータＡ４、Ａ５はパネル基板データの切断を伴わない露光領域分割を行ってショット枠２１３に対応付けて生成し、レチクルレイアウトデータ２０６とする。
【００２４】
このように、レチクルを作成する場合、パネル基板２１０のパネル基板データ２１１等から繰り返し構造をもつデータ群を抽出し、これをレチクル２０５上に複数のショット枠２１３として配置し、レチクルレイアウトデータを作成する。この際、共通性が高く、より大きなショット枠領域を抽出する。
いずれの場合においても露光装置シミュレーションを行う事により誤データがない事を確認する事が重要である。それはパネル基板データの切断を伴わない場合においても繰り返し配置を行う露光領域の分割は必ず必要であり、この繰り返し配置を指定する際にミスが生じやすいからである。尚、レチクルデータにおけるショット枠データはブラインド枠が設定された図形要素となり、これを露光要素、あるいは、繰り返し要素と称する。
【００２５】
本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムの検証処理について詳説する前に、先ずパネル基板データ検証システムを用いたレチクルデータの作成手順について概略説明する。
図３及び図４は、パネル基板データからレチクルデータを作成する際の一般的な処理手順を示す図であり、図３はパネル基板データ検証システム（レチクルを作成する時点ではレチクル作成システムとして機能させる。）の表示部１の表示内容を示す図、図４はレチクル作成システムを構成するＣＰＵ（図示せず）の処理手順を示すフローチャートである。
【００２６】
図３（ａ）にはパネル基板２１０上のパネル基板データ２１１を示し、同図（ｂ）にはパネル基板２１０上へのショット枠２１３の設定と、レチクル２０５上へのショット枠２１３の配置とを示し、同図（ｃ）にはパネル基板２１０上のパネル基板データ２１１の切断（例えばショット枠２１３に沿った切断）を行うことによる抽出、補正パターン（図示せず）生成及びブラインド枠（図示せず）生成を行う際の処理を示している。
【００２７】
また同図（ｄ）にはレチクル設計システムから出力されるレチクルの座標情報を示している。前記座標情報には、露光要素データである各ショット枠に対応するレチクルレイアウトデータ（本実施の形態では露光要素、あるいは、繰り返し要素とも称する。）の幅と高さの情報、繰り返し要素を繰り返して配置する位置の情報（繰り返し配置情報）が含まれている。
【００２８】
図３及び図４を用いてレチクルデータの作成処理について概略説明すると、レチクルデータを作成する場合、先ずＣＰＵは、パネル基板データ２１１を読み込み（ステップＳ４０１）、パネル基板２１０上でパネル基板データ２１１に対して複数のショット枠２１３を設定し、これをレチクル２０５上にショット枠２１３を配置してレチクルレイアウトデータ２０６を作成する（ステップＳ４０２）。
【００２９】
次に、ショット枠２１３に基づいて露光領域の分割を行う。この際、通常指定されたショット枠２１３の直下には配線データが存在するのでこれを切断しなければならない。ここでデータ切断部分に、前記切断部分よりも幅広のパターン（補正パターン）を生成させる場合（ステップＳ４０３、Ｓ４０４）と発生させない場合（ステップＳ４０５）がある。
補正パターンを発生させない場合にはショット枠２１３をオーバラップさせて定義した後、処理ステップＳ４０６へ移行する（ステップＳ４０５）。このように構成することにより、露光する際に、露光データそのものを多重露光させる事により、微小なズレによるデータの誤切断を防ぐことができる。
【００３０】
補正パターンを生成させる場合には補正パターン生成後、処理ステップＳ４０６に移行する（ステップＳ４０３、Ｓ４０４）。補正パターンを生成した場合、補正パターンそのものが多重露光されるのが一般的であり、結果として微小なズレによる誤切断が防止される。
処理ステップＳ４０２において、データの切断を伴わない露光領域の分割の場合には、直ちに、露光領域を囲む所定幅の枠（ブラインド枠）の生成処理（ステップＳ４０６）へ移る。
【００３１】
処理ステップＳ４０６のブラインド枠生成処理では、指定された幅でブラインド枠を生成する。補正パターンは配線パターンよりも幅広のパターンによって構成され、又、ブラインド枠はその内縁が前記補正パターンの外縁に対応するように構成される。
これにより、露光領域のデータとブラインド枠によって構成される露光要素（繰り返し要素）が作成される。露光要素は、ブラインド枠内縁のデータ、即ち、ショット枠２１３のデータを有している。また、前記露光要素に対応付けられた座標情報が作成される。
【００３２】
最後に、レチクルレイアウトデータ及び前記レチクルレイアウトデータに対応付けられた座標情報を出力して処理が終了する（ステップＳ４０７）。前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいてパネル基板データが生成されることになる。
ここで、レチクルレイアウトデータとは、露光要素の図形を定義する情報であり、図形データとして長方形図形、一筆書き図形、中心線に幅が定義された図形、及び、これら図形データを構成する中間モジュールから構成されるデータファイルである。レチクルレイアウトデータには、ブラインド枠の図形データ（ブラインド枠内縁の図形データ及びブラインド枠外縁の図形データ）が含まれている。
【００３３】
座標情報とは、前述したように、レチクルレイアウトデータに含まれる露光要素の露光位置を定義する情報であり、露光要素の名称と高さと幅と繰り返し配置情報（繰り返し回数と配置座標の情報）が記述されているテキストファイルである。
また、レチクルデータとは、前記レチクルレイアウトデータ及び座標情報によって構成される情報をいう。
【００３４】
図５は、パネル基板に形成されるパネル基板データの構造を示す図である。最上位のモジュールをトップモジュール５１１と称し、これが１つ存在する。他のモジュールはすべてこのトップモジュール５１１に隷属する。これがレイアウトデータ下位モジュール５１２〜５１５であり、これは階層化されていてもよい。モジュールが有するレイアウトデータとは、例えば液晶パネルの場合には、薄膜トランジスタや液晶ドライバ部の各トランジスタの配置データ５１６、配線データ５１７、スルーホール配置データ５１８がある。
【００３５】
これらのトランジスタ、配線、スルーホールは、名称（配置データはライブラリ名、配線データは配線タイプ名、スルーホールデータはスルーホール名）を持っており、その内容はライブラリファイル（配置モジュールライブラリ、配線タイプライブラリ、スルーホールライブラリ）５１９に格納されていて、ライブラリとは名称一致にて確認されることになる。
また、トランジスタデータは多用されるため、ライブラリ形式にてパネル基板データとは独立に管理される場合もある。
【００３６】
図６は、レチクルデータの構造を示す図である。基本的にはパネル基板データと同様な構造である。トップモジュール５２１は同様に１つ存在する。トップモジュール５２１の下には複数の繰り返し要素５２２、５２３が下位モジュールとして存在し、これがレチクルデータの基本単位となる。
露光要素である繰り返し要素を構成するデータとしては、まずは露光対象データとしてブラインド枠データ５２４、補正パターンデータ５２５、切断されたデータ及び切断対象とならなかったデータ５２６、ショット枠データ５２７がある。その他、繰り返し要素の幅と高さデータ５２８、繰り返し要素配置データ５２９、切断後のショット枠内レイアウト下位モジュールデータ５３０、配置データ５３５、スルーホールデータ５３６がある。
【００３７】
モジュールが有するレイアウトデータとは、パネル基板データと同様に、例えば液晶パネルの場合には、薄膜トランジスタや液晶ドライバ部の各トランジスタの配置データ５３１、配線データ５３２、スルーホールデータ５３３がある。これらのトランジスタ等の配置データ５３１、配線データ５３２、スルーホールデータ５３３は名称を持ち、その内容はライブラリファイル（配置モジュールライブラリ、配線タイプライブラリ、スルーホールライブラリ、アライメントマークライブラリ）５３４に格納されていて、ライブラリとは名称一致にて確認されることになる。
【００３８】
パネルの場合と同様であり、全てライブラリファイルにて名称一致をもって確定させるデータ構造となっている。また、露光時にはもはや使用しないがショット枠データも保有する。
また、トランジスタデータは多用されるためライブラリ形式にてレチクルデータとは独立に管理される場合もある。
【００３９】
図７は、レチクルレイアウトデータの物理層、各データクラス及び層コードの例をメタル１層と２層の場合において示すテーブルである。
例えばメタル１層（アルミ第１層）の場合、ショット枠データは層コード１０１、ブラインド枠データは層コード１０２、パターンデータは層コード１０４、補正パターンは層コード１０５という具合に、メタル２層（アルミ第２層）についても同様に規定され、各層コードを独立とし、独立に処理可能としている。これらの層コードは、各繰り返し要素において共通に使用される。即ち、物理層とデータクラスが同一であれば、各繰り返し要素間において層コードは共通である。
【００４０】
図６及び図７で示したレチクルのデータは最終的にファイル出力されるが、その内容は、長方形図形、一筆書き図形、中心線に幅が定義された図形、及び、これら図形データをまとめたモジュールを中間階層モジュールまたはライブラリモジュールとして有するモジュールから構成される。中間階層モジュールまたはライブラリモジュールとして活用されるのはトランジスタモジュールである。
【００４１】
トランジスタモジュールはその数が多く、展開して保有するとデータ量が膨大となるため、通常はライブラリモジュールとして中間階層定義された形式にて出力される。
ここで、図形データは、本実施の形態に関連する分野におけるデファクトスタンダードとして利用されるＧＤＳフォーマットに対比させれば、長方形図形はレクトアングル、一筆書き図形はバウンダリ、中心線に幅が定義された図形はパス、これら図形データをまとめたモジュールはセルと称されるものである。
【００４２】
図８は、レチクル作成システムが座標情報出力プログラムを実行することによって行う座標情報出力処理示す図であり、パネル基板及びレチクルに対する繰り返し要素の数値表現と配置規定を示している（アライメントマークを含む）。
図８において、８０１はパネル基板、８０２はパネル基板データ、８０３はパネル基板のＸＹ中心座標（本例では、４つのショット枠Ａの中心座標に一致している。）（０，０）、８０４はアライメントマーク（その座標はパネル基板８０１の中心座標（０，０）を基準とする座標（Ｘ０，Ｙ０）である。）である。
【００４３】
８０５、８０８、８１１はレチクル、８０７は特性が保証された露光領域である。また、８０６、８０９、８１０、８１２、８１３は、各々、ショット枠Ａ、Ｂ１、Ｃ１、Ｂ２、Ｃ２に対応する繰り返し要素である。
図８の例では、１つの繰り返し要素８０６がレチクル８０５に形成され、２つの繰り返し要素８０９、８１０がレチクル８０８に形成され、２つの繰り返し要素８１２、８１３がレチクル８１１に形成されている。
ブラインド枠まで含めた露光データが繰り返し要素８０６、８０９、８１０、８１２、８１３として各々レチクル８０５、８０８、８１１上に作成されることになる。即ち、繰り返し要素とは、ブラインド枠、切断されたデータ、補正パターン及び切断対象とならなかったデータから成る露光データにて構成される。これがショット情報の基本となる。
【００４４】
本実施の形態では、繰り返しがなくても繰り返し要素と称する。繰り返しがない場合の繰り返し数は０である。図８の例では、ショット枠Ａに対応する繰り返し要素８０６の数は２×２（＝４）（繰り返し回数は２×２−１）であり（これにより、繰り返し要素Ａの集合である繰り返し集合８１４が形成される。）、ショット枠Ｂ１、Ｃ１、Ｂ２、Ｃ２に対応する繰り返し要素８０９、８１０、８１２、８１３の繰り返し回数は０である。
各繰り返し要素は名称を持つ。各繰り返し要素は各繰り返し要素自体の座標中心に対して幅（Ｗ）と高さ（Ｈ）が与えられる。各繰り返し要素は、その繰り返し要素よって構成される繰り返し集合の中心座標を基準として配置される。図の例ではパネル基板８０１の中心座標（０，０）がこれに当たり、中心座標（０，０）を基準とする位置に配置される。
【００４５】
一方、レチクルのレイアウトデータとしては、各繰り返し要素はその中心位置がレチクルの中心座標の位置を基準とする座標に配置される。
アライメントマークについては、パネル基板８０１についてはパネル基板８０１の中心座標（０，０）を基準とする位置に配置され、レチクルについてはレチクルの中心座標を基準とする位置に配置される。アライメントマークについてはライブラリファイルにて格納定義されている。
【００４６】
図９も前記同様に、レチクル作成システムが座標情報出力プログラムを実行することによって行う座標情報出力処理示す図であり、座標情報出力の例を示している。図９に示すように、パネル基板８０１上のパネル基板データ８０２から繰り返し要素が配置された３つのレチクル８０５、８０８、８１１を生成する場合の出力結果を示している。
ここでは、露光ショット情報として、パネル基板上でのショット情報として繰り返し要素の名称と繰り返し数と幅と高さと配列指定された配置位置と、レチクル上でのショット情報として同繰り返し要素名称と幅と高さと配置位置とが座標情報としてユーザに提供される例を示している。
【００４７】
図１０〜図１２は、露光領域の分割処理方法を示す図で、２つの分割形態を示しており、図１１は図１０のパネル基板データ１００３を分割して切断する際に補正パターン１００４を生成する例、図１２は図１０のパネル基板データ１００３を分割して切断する際に補正パターンを生成しない例を示している。
即ち、補正パターン１００４を生成する場合、図１０及び図１１において、ショット枠１００２直下にてデータ（例えば配線データ）１００３を切断し、切断部位に所定長Δ分だけ伸張させた補正パターン１００４、１００４を連続的に生成する。このとき、補正パターン１００４は、前記切断部位よりも所定長内側の位置から、前記切断部位よりも所定長だけ幅広に構成してもよい。このようにして、２重露光を行う部位１００７に補正パターン１００４が形成される。
【００４８】
補正パターン１００４の外側位置とブラインド枠１００５の内側位置が所定量のオフセットを有して所定量重なるように、所定幅のブラインド枠１００５が形成される。以上のようにして、補正パターンを有する露光要素データが作成される。ブラインド枠１００５の内縁１００６はショット枠１００２より所定長Δ分だけ伸張した部位となる。ブラインド枠１００５の内縁は露光領域の外縁となる。
【００４９】
このように、補正パターン１００４を生成させて切断する場合、データ１００３の切断はショット枠１００２直下にて行われ、補正パターン１００４は隣接する露光要素の双方が露光される２重露光領域となり、隣接する露光要素によって形成されるパネル基板データは補正パターン１００４によって接続が確保されることになる。
一方、補正パターンを生成させずに切断する場合には、レイアウトデータをオーバラップさせる。オーバラップさせる場合、図１２に示すように、ショット枠１００２より所定長Δ分だけ伸張させた部分で切断する。隣接するショット枠１００１についても、同様に所定長Δ分だけ伸張させた部分で切断してレチクルが形成される。このようにして、２重露光を行う部位１００７にオーバラップ部１００８が形成される。
【００５０】
オーバラップ部１００８の外側位置とブラインド枠１００５の内側位置が所定量のオフセットを有して所定量重なるように、所定幅のブラインド枠１００５が形成される。以上のようにして、オーバラップ部１００８を有する露光要素データが作成される。ブラインド枠１００５の内縁１００６はショット枠１００２よりΔ分だけ伸張した部位となる。ブラインド枠１００５の内縁は露光領域の外縁となる。
【００５１】
図１３は、斜線部１３０１を有するショット枠１００２において切断した露光要素を示す図で、補正パターン１００４を形成した露光要素の例である。
図１３において、斜線部１３０１を有するショット枠１００２が設定できると繰り返し構造の抽出が容易に出来る場合があり効果的である。
補正パターン１００４、１００４は、切断された配線データ１００３の長さ方向に沿って内側方向と外側方向について所定の補正値が設定される。また、配線データ１００３の幅方向に対する補正パターン１００４、１００４の値は、配線データ１００３を挟む幅方向の両側について、各々、所定の補正値が設定される。ブラインド枠１００５の幅は水平方向Ｗｈと垂直方向Ｗｖにて指定可能である。
【００５２】
水平に切断した端部に対応する補正パターン１００４は矩形であり、斜線部１３０１に対応する補正パターン１００４は平行四辺形である。
図１３に示すように、内縁１００６に斜線部１３０１を含むブラインド枠１００５を持つような場合には、補正パターン１００４、１００４による２重露光がデータ切断部位には必要となる。
以上、図１〜図１３はレチクルレイアウトデータと座標情報がいかにして作成されるかについて説明しているものである。本実施の形態は、第２のパネル基板データのブラインド枠内縁にて第１のパネル基板データを切断し、これを前記ブラインド枠内縁に含まれるレチクルデータによって作成される第２のパネル基板データと比較してそれらの差異を検証するようにしている。
【００５３】
図１４は、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムの構成を示すブロック図で、コンピュータ及び前記コンピュータに実行させるプログラムによって構成した例である。
本実施の形態に係るパネル基板データ検証システムは、後述する全ての処理を行う中央処理装置（ＣＰＵ）７と、ＣＰＵ７上で走行する複数のプログラム群と、磁気ディスク装置や半導体メモリ等によって構成され前記プログラム群やデータを記憶する記憶部８と、キーボード２やマウス３によって構成された操作部１６と、液晶ディスプレイパネル等によって構成された表示部１を備えている。
【００５４】
表示部１上にはパネル基板１２上のパネル基板データの表示や操作（操作部１６によって操作する。）を行うためのパネル基板ウィンドウ９と、レチクル１３上のレチクルレイアウトデータの表示や操作を行うためのレチクルウィンドウ１０と、操作部１６による操作を指示するメニューウィンドウ１１の少なくも３つのウィンドウを表示するように構成される。
【００５５】
第１のパネル基板データを入力し、レチクルウィンドウ１０上に表示された第２のパネル基板データ用のレチクルデータ１３を座標情報に基づいて配置展開させる際に繰り返し要素のブラインド枠内縁（換言すれば、ショット枠）にて第１のパネル基板データを切断し、これとレチクルデータ１３に存在するブラインド枠内縁に含まれるレイアウトデータとの図形比較演算処理を加えて検証を行い、加えてエラー図形を表示する機能を加えればパネル基板データ検証システムとなる。ここでエラー図形を表示するウィンドウはパネル基板ウィンドウ９である。
【００５６】
パネル基板データ検証用プログラムの構成としては、第１ステップとして第１のパネル基板データの入力処理と第２のパネル基板データ作成のためのレチクルデータ及び該レチクルデータの座標情報の入力処理を行う入力処理部、第２ステップとして第１のパネル基板データの図形と第２のパネル基板データの図形のグリッド格子同士の所定演算処理とそれに伴う検証処理（即ち、選択したレチクルデータに含まれる図形のグリッド格子と前記レチクルデータに対応して切り出された第１パネル基板データの繰り返し要素の図形のグリッド格子同士の演算処理による検証処理を行う検証処理部）、第３ステップとして検証結果得られた図形の表示処理を行う検証結果表示部、の３段階の処理ステップを行う構成を備えている。
【００５７】
これらのプログラム機能は、すべてメニューウィンドウ１１上に表示されたコマンドを操作部１６によって操作することにより実行される。図形の表示ウィンドウとしては検証結果図形の表示であるパネル基板ウィンドウ９が少なくとも必要であり、入力部分と演算部分に関しては必ずしも図形表示機能は必要とはいえないが、操作確認上レチクルデータ図形表示機能はあった方が便利である。
【００５８】
ファイル構成としては、入力ファイルとして、第１のパネル基板データを格納したデータファイル、第２のパネル基板データ作成用のレチクルデータ及び該レチクルデータを格納した座標情報ファイルを備えている。また、出力ファイルとして検証結果えられた図形のデータを格納した検証結果図形ファイルを備えている。また、これらの他に、参照ファイルとしてライブラリファイルとルールファイルを備えている。
【００５９】
記憶部８は、ＣＰＵ７が実行する前記パネル基板データ検証用プログラム等のプログラムが記憶されのプログラム記憶部４、前記入出力データや処理途中の中間データ等のデータファイルを記憶するデータファイル記憶部５、前記ルールファイルやライブラリファイルといった参照ファイルを記憶する参照ファイル記憶部６を備えている。
このようにパネル基板データ検証システムが構成されている。
【００６０】
ここで、表示部１は表示手段を構成し、操作部１６は操作手段を構成し、記憶部８は記憶手段を構成している。また、ＣＰＵ７は、パネル基板データ生成手段、抽出手段、検証手段を構成している。
記憶手段は、第１のパネル基板データと、第２のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ及び前記レチクルレイアウトデータの座標情報とを記憶することができる。
【００６１】
パネル基板データ生成手段は、レチクルレイアウトデータ及びその座標情報に基づいて、第２のパネル基板データを生成することができる。
抽出手段は、レチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて、第１のパネル基板データ中の第２のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出することができる。
【００６２】
検証手段は、抽出した第１のパネル基板データと第２パネル基板データとの差異を検証することができる。
また、第１のパネル基板データと第２のパネル基板データは、線情報に幅が定義付けられた線データと長方形データと各頂点を記述した多角形データの少なくとも３種類から構成されると共にグリッド格子点の座標によって表わすことができ、この場合、検証手段は、抽出した第１のパネル基板データと第２のパネル基板データのグリッド格子点同士の演算処理を施して差異を検証することにより、検証結果としての図形を生成することができる。
【００６３】
また、第１のパネル基板データとレチクルデータは、トランジスタ図形を定義する中間階層を有するか又は中間階層に対応する外部ライブラリとしてトランジスタ図形が定義されるように構成することができ、この場合、検証手段は、トランジスタ図形を展開することなく、抽出した第１のパネル基板データと第２のパネル基板データとの差異を検証することができる。
【００６４】
また、検証手段は、抽出した第１のパネル基板データと第２のパネル基板データの差異を検証する場合、論理ＸＯＲ処理または差分処理を行うことによって両パネル基板データ間における図形データの差異を抽出することができる。
また、検証手段は、抽出した第１パネル基板データと第２のパネル基板データ間の差異検証をレイヤー単位に行うことができる。
また、検証手段は、抽出した第１のパネル基板データと第２のパネル基板データの差異を検証する場合、差異検証の対象とならなかった第１のパネル基板データ上の領域を算出することができる。
【００６５】
表示手段は、検証手段が検証した結果を表示することができる。また、表示手段は、検証結果としての図形を表示することができる。また、表示手段は、検証結果を表示する検証結果ウインドウとダイアログボックスとを有し、前記ダイアログボックス上にてエラー個数を表示すると共に、操作手段によるエラーレイヤの指定に応答して当該レイヤのエラー図形情報を前記検証結果ウィンドウ上に表示することができる。
操作手段は、ダイアログボックス上にてエラーレイヤを指定することができる。
【００６６】
また、図１４に示したシステムは、記憶部８にレチクル作成システム用のプログラムを記憶して該プログラムをＣＰＵ７に実行させることにより、前述したレチクル作成システムとして機能させることができる。
レチクル作成システムとして機能する場合、前記表示手段、操作手段、記憶手段は次のように機能することができる。
例えば、表示手段は、少なくとも、パネル基板のパネル基板データを表示するパネル基板ウインドウ、レチクルレイアウトデータを表示するレチクルウインドウ及び前記操作手段のコマンドを表示するメニューウインドウを表示することができる。
【００６７】
操作手段は、メニューウインドウに表示されるコマンドを選択して入力する。これにより、パネル基板のパネル基板データ上に設定されたショット枠に対して繰り返し配列を指定する等の操作を行うことができる。
記憶手段は、主記憶装置及び外部記憶装置として機能することができる。記憶手段には、パネル基板データを切断可能な条件、補正パターンの幅及びブラインド枠間の最小距離を含む生成条件を記憶することができる。また、記憶手段には、操作手段によって設定した生成条件を記憶することができる。
【００６８】
また、ＣＰＵ７は、レチクル作成システムの場合、レチクルデータ生成手段、繰り返し検証手段、ブラインド枠間隔検証手段を構成している。レチクルデータ生成手段は、前記操作手段によって前記パネル基板ウィンドウ上に設定されたショット枠に対応するパネル基板データを切り取って部分パネル基板データとして抽出し、前記部分パネル基板データに切断データが含まれる場合には該切断データの端部に補正パターンを形成すると共に、内縁が前記補正パターンの外縁に対応するブラインド枠を形成することにより、前記部分パネル基板データに対応する露光要素データを前記レチクルウインドウ上に生成することができる。また、レチクルデータ生成手段は、前記生成条件を満足するように前記露光要素データを生成することができる。
【００６９】
前記レチクルデータ生成手段は、前記操作手段によって前記パネル基板ウィンドウ上に設定されたショット枠に対応するパネル基板データを切り取って部分パネル基板データとして抽出する抽出手段、前記部分パネル基板データに切断データが含まれる場合には該切断データの端部に補正パターンを形成する補正パターン生成手段、及び、内縁が前記補正パターンの外縁に対応するブラインド枠を形成するブラインド枠生成手段を有し、前記部分パネル基板データに対応する露光要素データを前記レチクルウインドウ上に生成することができる。
【００７０】
図１５は、２つのパネル基板データの差異、即ち、２つのパネル基板の露光データの差異を検証する処理手順を示す説明図である。
図１５において、記憶部８のデータファイル記憶部５に記憶した第１のパネル基板データ１５１はＣＰＵ７にそのまま入力される。
一方、第２パネル基板データ１５４については、データファイル記憶部５に記憶したレチクルレイアウトデータ１５２とその座標情報１５３をＣＰＵ７入力し、ＣＰＵ７がレチクルレイアウトデータ１５２と座標情報１５３に基づいて第２のパネル基板データ１５４を生成する。レチクルレイアウトデータ１５２は複数の露光要素（繰り返し要素）１５５を有している。
【００７１】
ＣＰＵ７による第１、第２パネル基板データ１５１、１５４の比較検証処理は、第２のパネル基板データ１５４を完全に作成してから行うことも可能であるが、第２のパネル基板データ１５４を部分的に作成しながら当該作成した部分について順次比較検証するようにすることも可能である。後者の方法によって比較検証する場合には、第２のパネル基板データ１５４中の１つの繰り返し要素（例えば１２／Ａ１＿１）を読み込む毎に、該第２のパネル基板データ１５４に対応する第１のパネル基板データ１５１の部分（例えば１２／Ａ１＿１）を切断して抽出し、比較検証する。処理内容としては、いずれの処理方法も図１５によって示す処理と等価である。
【００７２】
即ち、ＣＰＵ７は、入力された第１のパネル基板データ１５１と、レチクルレイアウトデータ１５２及び座標情報１５３に基づいて生成した第２のパネル基板データ１５４について、第２のパネル基板データ１５４において配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁にて第１のパネル基板データ１５１を切り出すことによって抽出し、抽出した両者のパネル基板データ（露光データ）について比較検証処理を行う（処理ステップＳ１５１）。
【００７３】
ここで、比較検証は、第１パネル基板データ１５１と第２パネル基板データ１５４の排他的論理和（ＸＯＲ）処理の結果と第１又は第２のパネルデータとのＡＮＤ処理、又は、第１、第２パネル基板データ１５１、１５４間の差分算出の演算処理を行う。これらの論理処理または差分処理はすべてグリッド格子点同士の演算処理である。これにより、第１、第２パネル基板データ１５１、１５４の片側にしか存在しないデータ（片側露光データ）が検出された場合には、両データが一致していないということであるためエラーデータとして表示処理する。
【００７４】
第１、第２パネル基板データ１５１、１５４のいずれにデータが存在するのかについては、ＸＯＲの場合には続いてＡＮＤ処理を施し、差分演算の場合にはプラスマイナスの符号により判断できる。これらの結果はエラーデータとして表示されることになる。
第１のパネル基板データ１５１をＡ、第２のパネル基板データ１５４をＢとして、第１、第２パネル基板データ１５１、１５４の差分データ（Ａ−Ｂ）を表示する場合（前述したように、ＸＯＲを用いて差分と等価なことをするには、ＸＯＲの結果と、第１又は第２パネル基板データ１５１、１５４とのＡＮＤをとればよい。）、前記差分が正のときには、第１パネル基板データ１５１にあるが第２パネル基板データ１５４には存在しない露光データとして表示する。前記差分が負のときには、第２パネル基板データ１５４にあるが第１パネル基板データ１５１には存在しない露光データとして表示する（ステップ１５２）。
【００７５】
図１６は、２つのパネル基板データ中の露光データの差異を検証するフローチャートであり、ＣＰＵ７が記憶部８のプログラム記憶部４に記憶されたパネル基板データ検証用プログラムを実行することによって行う処理を示している。
図１６において、記憶部８のデータファイル部５から入力される第１のパネル基板データ１６１及び第２のパネル基板用のレチクルレイアウトデータ１６２は所謂ＧＤＳフォーマットによるデータ表現でグリッド格子による表現形式であり中間階層構造を許す形式である。即ち、第１のパネル基板データ１６１及びレチクルレイアウトデータ１６２の図形データは、座標値が既知の点であり所定間隔に位置する複数のグリッド格子点の座標によって表現されたデータである。レチクルレイアウトデータには、フラットパネルディスプレイ露光用レチクルに含まれる露光要素の図形データやブラインド枠内縁の図形データが含まれている。
【００７６】
通常中間階層としてはトランジスタ階層が取られる。場合によってはトランジスタ階層は外部ライブラリとしてパネル基板データやレチクルデータファイルとは別途装着される場合もある。しかしながら別途装着されていても実質的には中間階層と同等である。レチクルデータファイルに記載されている繰り返し要素の繰り返し配置を記述した座標情報データは、通常テキストファイルである。
また、入力データである第２のパネル基板データ用の座標情報データ１６３は、レチクルレイアウトデータ１６２の繰り返し要素の繰り返し配置位置を記述したデータであり、テキストファイルによって構成されている。前記座標情報には、グリッド格子点の座標によって表され、ディスプレイパネル上の露光要素の露光位置やブラインド枠内縁の位置を表す情報が含まれている。
【００７７】
ＣＰＵ７の処理は、プログラム記憶部４に記憶した入力処理プログラムを実行することによってデータファイル記憶部５からデータ１６１〜１６３を読み込んで所定のテーブルを作成する入力処理部（ステップＳ１６１）、検証処理プログラムを実行することによって図形と図形のグリッド格子同士の比較演算処理による検証を行う検証処理部（ステップＳ１６２〜Ｓ１６５）、及び、検証結果を表示する表示処理部（ステップＳ１６６）の３部にて構成される。
【００７８】
入力処理部（ステップＳ１６１）では、入力データとして第１パネル基板データ１６１、第２パネル基板データ用のレチクルデータ１６２及び該レチクルレイアウトデータ１６２の座標情報データ１６３があり、この際パネル基板データ１６１とレチクルレイアウトデータ１６２にトランジスタ中間階層があればこれは展開しないで中間階層を保持したままとする。
【００７９】
ここで、座標情報１６３をスキャンして、配置された第２パネル基板データの繰り返し要素のブラインド枠内縁に基づいて、前記繰り返し要素と空間的に接するパネル基板データ１６１が容易にピックアップ出来るテーブル（後述する図２２のテーブル１）を、第１のパネル基板データ１６１に対して作成する。また、第１のパネル基板データ１６１についてはトランジスタ中間階層を有している場合には、比較演算時間削減のため中間階層を維持しながら最下層まで容易にピックアップ出来るテーブル（後述する図２４のテーブル２）を持った形態にて作成する。これはレチクルレイアウトデータ１６２についても同様な構造がとられる。これにより、比較演算処理を高速化することが可能であるばかりでなくデータ量削減等も可能になる。
【００８０】
これ以降、図形の演算処理による検証処理部その１（ステップＳ１６４）に入る。演算処理は論理演算または差分演算である。論理演算の場合はＸＯＲとＡＮＤであり（前述したように、第１のパネル基板データと第２のパネル基板データのＸＯＲをとった結果と、第１のパネル基板データ又は第２のパネル基板データとのＡＮＤをとる。）、代わりに差分演算を適用してもよい。この論理演算処理または差分処理はすべてグリッド格子同士の演算処理である。
【００８１】
第２のパネル基板データの配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁にて第１のパネル基板データ１６１を切断して抽出し、これと前記配置された繰り返し要素ブラインド枠内縁内に存在する前記第２のパネル基板データとの比較演算処理を行う。
この際、切断線上にトランジスタ階層が存在すればこれを展開する。また、トランジスタ階層が両者に存在すればトランジスタ同士にて比較演算処理を行い、一致すればそのトランジスタライブラリについてはエラーが無いのでそれ以降の検証は行わない。勿論、エラーがあった場合でもそのトランジスタライブラリについては存在するエラーが確認されたので、やはりそれ以降の検証を行う必要はない。
【００８２】
これにより検証時間の大幅な短縮が得られる。これは、液晶パネル等に見られるようなトランジスタアレイが前提となるレイアウトにおいては極めて効果大であるといえる。片側（第１パネル基板１６１側又は第２パネル基板側）にのみデータが存在する結果はエラーデータ（片側露光エラー図形データ）として認識されて、記憶部８のデータファイル記憶部５に格納される。
【００８３】
次の検証処理その２（ステップＳ１６５）は、すべての配置された繰り返し要素にて比較演算処理が終えたあと（ステップＳ１６３）、比較演算対象とならなかった第１のパネル基板データ１６１領域が存在するかを検証するものである。そのような領域が存在し且つそこに第１のパネル基板データ１６１が存在すれば、それは第１のパネル基板データ１６１側に存在するエラーデータ（非対象領域エラー図形データ）としてデータファイル部５に格納される。このように、抽出した第１のパネル基板データと第２のパネル基板データの差異を検証する場合、差異検証の対象とならなかった第１のパネル基板データ上の領域を算出することにより、エラーデータを検出する。
【００８４】
ここで重要なのは、処理ステップＳ１６３〜Ｓ１６５の論理処理または差分処理の演算処理部はレイヤ単位にて処理され（ステップＳ１６２）、作成されるエラーデータもデータファイル記憶部５にレイヤ単位にて格納されて行くということである。これは、露光はフラットパネルディスプレイのレイヤ単位において行われるのでレイヤ単位にて検証しなければならないからである。加えて、表示の際にもレイヤ単位となるからエラーデータをレイヤ単位にて格納させておいた方がアクセス時間が早くなるからである。
最後に演算処理した結果の図形を表示する表示処理部があり、ＣＰＵ７は表示部１に、片側露光エラー図形や検証対象とならなかった非対象領域エラー図形の表示（エラー表示）を行う（ステップＳ１６６）。ＣＰＵ７は表示部１のパネル基板ウインドウ９に前記エラー表示を行わせる。
【００８５】
尚、ＣＰＵ７は、処理結果を表示部１に表示させる場合、エラーか否かの判定基準が記憶部８に設定されているときにはエラー表示データのみを表示させ、エラーか否かの判定基準が設定されていないときには単純に処理結果を表示させるように構成してもよい。また、ＣＰＵ７は、処理結果を表示部１に表示させる場合、必ずしも図形を表示する必要はなく、文字等によってエラー内容、あるいは、エラーか否かの判断を行わない場合には単に処理結果を表示するように構成してもよい。
【００８６】
図１７及び図１８は、第１のパネル基板データを、第２のパネル基板データの基となるレチクルレイアウトデータの繰り返し要素内縁によって切り出して抽出する処理を示す説明図である。
図１７及び図１８において、１７１は第２のパネル基板データ用のレチクルレイアウトデータ、１７２はブラインド枠、１７３はブラインド枠内縁である。第２のパネル基板データの繰り返し要素内には、レチクル作成時にブラインド枠１７２によって既に切り出されたデータがレチクルレイアウトデータ１７１として存在している。
【００８７】
図１８に示すように、第２パネル基板データ用の座標情報に基づいて、第２パネル基板データのブラインド枠内縁１７３を、第２パネル基板データ用の座標情報に対応する第１のパネル基板データ１８１の位置に重ねて配置し、ブラインド枠内縁１７３を超えるデータがあれば切断する。尚、図１８において、ラインデータ１８３は中心線と幅によって定まる図形データであり、前記中心線と幅が定義されている。レクトデータ１８４は対角線上の２点の座標によって定まる四角形の図形データであり、一方の対角線上の２点の座標が定義されている。また、バウンダリデータ１８５は複数の頂点の座標によって定義され、前記定義された各頂点を通る直線によって囲まれた多角形の図形データであり、図１８の例では４点の座標を指定することによって台形状の多角形が規定されている。
【００８８】
通常、比較対象となる第１パネル基板データ１８１も何らかのレチクルデータにて作成されたのであるから、第１パネル基板データ１８１は繰り返し要素にて切断されている。従って本実施の形態では、大幅に異なったパネル基板データ同士を比較するのではなく、主として元のパネル基板データをマイナーチェンジするような場合の検証により好適であり、基本的に同等であり多少異なる部分の差異を検出して検証する場合により好適である。即ち、第１のパネル基板データ１８１の繰り返し要素と、第２のパネル基板データの繰り返し要素のブラインド枠内縁１７３の位置及び形状が同じで、各ブラインド枠１７２内のレイアウトデータが少し異なるような場合に、第１、第２パネル基板の各繰り返し要素同士を単純に比較演算処理すればよいため、比較演算処理が簡単になり、より好適である。
【００８９】
しかしながら、第１のパネル基板データが第２のパネル基板データの基となるレチクルデータに記述されている繰り返し要素にて切断されて作成された保証は勿論無く、必要に応じて、第２パネル基板データの繰り返し要素に対応するように第１のパネル基板データの切断が必要となる。図１９、図２０は、第１パネル基板データを、第２パネル基板用ブラインド枠によって切り出す際の処理を示す説明図である。
【００９０】
図１９及び図２０において、第２パネル基板データ用の座標情報に基づいて、第２パネル基板データのブラインド枠内縁１７３を、第２パネル基板データ用の座標情報に対応する第１のパネル基板データ１９１の位置に重ねて配置し、ブラインド枠内縁１７３を超えるデータがあれば切断する。図１９の例では、ラインデータ１８３がブラインド枠内縁１７３によって切断されるが、レクトデータ１９４及び場生んだりデータ１９５は切断されない。これにより、図２０に示すように第１パネル基板データを、ブラインド枠内縁１７３に沿って切り出したレイアウトデータが得られる。
【００９１】
尚、比較すべき領域はブラインド枠内縁にて切り出された領域であり、これは図１１、図１２に示すごとく周辺部には、２重露光を行う領域を含んでいる。従って、この周辺部の２重露光領域については複数回比較検証されることになる。たとえ複数回比較検証処理されるとしても、第２のパネル基板データの基となるレチクルデータは既に作成されており、これを利用する方が処理時間上有利である。
【００９２】
図２１は、比較演算を高速に処理するためのテーブル１（詳細は図２２参照）を作成する際のデータの関係を示している。即ち、第１のパネル基板データの各データ（レクトアングル等の各図形データ）からは各データを規定するＸＹ座標の最大値及び最小値（Ｍｉｎ／Ｍａｘ）（図形データを囲む符号２１００、２１０１で示す四角形の角）を算出しておき、第２のパネル基板データの配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁２１０５のＸＹ座標の最大値及び最小値（Ｍｉｎ／Ｍａｘ）と重なるデータ領域があれば両者は関連する可能性があるので、これを利用して両者の関係を高速に索引できるようにするためのテーブル１にデータを登録する処理を例示している。
尚、図２１の例では、（Ｘ，Ｙ）座標のＸ値及びＹ値の双方が最大となる点を最大値（Ｍａｘ）とし、Ｘ値及びＹ値の双方が最小となる点を最小値（Ｍｉｎ）としている。バウンダリデータ２１０２の場合、点Ａの座標が最小値で点Ｂの座標が最大値である。
【００９３】
各第１パネル基板データの露光データからＭｉｎ／Ｍａｘを算出して領域を決定し、第２パネル基板データの配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁２１０５より作成された領域のＭｉｎ／Ｍａｘによって定まる領域と重なる可能性があるか否かを判別する。
露光データがレクトアングル２１０４やパス２１０３での場合これらの図形の角がＭａｘ／Ｍｉｎに相当するためＭｉｎ／Ｍａｘは簡単に求まり、バウンダリデータ２１０２の場合には各角のデータからＭｉｎ、Ｍａｘを求めることになる。ブラインド枠は通常バウンダリで記述されるから、やはりこれも各角のデータ関係を計算してブラインド枠内側のＭｉｎ／Ｍａｘを算出することになる。
【００９４】
図２２は、第２のパネル基板データの配置された繰り返し要素データと第１のパネル基板データに存在する露光データとの関係を示すポインタテーブル（テーブル１）２２０１である。即ち、第２のパネル基板データの配置された繰り返し要素のブラインド枠内縁ＨとＷより作成された領域に重なる可能性のある第１パネル基板データの露光データを示すテーブルである。
アドレス、インスタンス名（各データ要素の固有名称）、繰り返し要素名は、すべて第２のパネル基板データの配置された繰り返し要素に関するものである。算出された関連するデータ数とは、図２１で算出されたＭｉｎ／Ｍａｘによって関連する可能性のある第１のパネル基板データの図形データの数である。第２データへのポインタとは、第２パネル基板データの配置された繰り返し要素２２０２へのポインタである（即ち、これは配置されたレチクル単位にデータが纏まっている。）。
【００９５】
チェインへのポインタとは、図２１で述べた比較参照の結果２つのＭｉｎ／Ｍａｘがオーバラップしている第１の露光データへのポインタであり、これは纏まっている保証はないのでチェインポインタとなっている。チェインポインタとは、データがメモリ上に離散的に存在している時に、データそのものへのポインタと次のデータへのポインタを示す２重構造を利用する一般的なやり方である。図２２の例では、チェインのポインタは次のチェインのポインタ２２０３に連結され、第１の露光データへのポインタ２２０４はＭａｘ／Ｍｉｎ２２０５で示す第１の露光データより作成されたバウンダリデータに連結されている。次のチェインポインタ２２０３は、算出された関連するデータ数に相当して繋がるように構成される。全く同一構造のテーブルが新しいパネル基板データに対しても作成される。
【００９６】
このように、あらかじめ比較対照となりうる第１のパネル基板データの対照を絞っておくことにより、各レイヤー単位での処理において比較対照が絞られるので処理時間が短縮される。このようなテーブル１を両パネル基板データに対して作成することも可能であるが、第２のパネル基板データの場合には読み込んだレチクルデータ単位にて処理すれば充分なので、纏まっている保証のない第１の露光データに対して多少複雑なチェインポインタのテーブル１をひとつ作っておけばよい。これは本実施の形態の特徴の１つでもある。
【００９７】
即ち、本発明はふたつのパネル基板データの比較検証に特化しており、第２のパネル基板データはレチクルからその場で展開作成されるものであるから、レチクル単位にて比較検証を行ってゆけばよい特徴を有する。第１のパネル基板データも、もちろん作成されたときはレチクルから展開作成されたものであるが、製造上の比較検証の意味からすれば、実際にパネルを製造した第１のパネル基板データそのものと新たに作成されたレチクルとの比較検証を行うことが重要である。
【００９８】
図２３は、第１パネル基板データのデータ構造を示す図である。レチクルレイアウトデータと座標情報から作成される第２パネル基板データや前記第２パネル基板データ作成用のレチクルレイアウトデータも同様のデータ構造を有している。また、図２４は、図２３のデータ構造に対応するテーブル２を示す図で、階層化構造を維持したテーブル構造を示している。
【００９９】
先ず、図２３及び図２４の概要を説明すると、繰り返し要素は中間階層を有する場合があり多くの場合これはトランジスタ階層である。このトランジスタ階層を展開してしまうとデータ量が膨大となるため、本実施の形態では中間階層をあらかじめ展開するのではなく中間階層のままポインタ構造にてデータをライブラリとして保持し、必要に応じて展開する動的な処理を行っている。これにより、比較すべきトランジスタ同士が一旦比較されてしまえば、それ以降の処理において比較する必要がなくなるので処理時間の大幅な短縮が図れる。
【０１００】
尚、２つの異なる中間階層に同一のより下位なる中間階層が出現したとしても、これは共通化しない手法を採用している。これは、着目している繰り返し要素に出現したトランジスタが他の繰り返し要素に出現したとしても着目した要素のみにて完全に展開できるようにした為である。図２３及び図２４の例では、ＴＲ１とＴＲ２が異なる繰り返し要素に出現しているが独立にテーブル登録されている例が示してある。
【０１０１】
次に図２３、図２４に沿って説明すると、図２３において、階層構造の最上位に唯一位置するトップモジュール１８１の下層には、配置された繰り返し要素１８２、１８８が設けられている。配置された繰り返し要素１８２、１８８は、例えば、トランジスタ階層である。
配置された繰り返し要素１８２の下層には、図形データ１８３、トランジスタ（ＴＲ１）１８４及び図形データ１８５から成る直列階層構造、及び、トランジスタ（ＴＲ２）１８６及び図形データ１８７から成る直列階層構造が並列に設けられている。
配置された繰り返し要素１８８の下層には、図形データ１８９、トランジスタ（ＴＲ１）１９０及び図形データ１９１から成る直列階層構造、及び、トランジスタ（ＴＲ２）１９２及び図形データ１９３から成る直列階層構造が並列に設けられている。
【０１０２】
また、図２４において、前記テーブルは、アドレス、インスタンス名、繰り返し要素名又はライブラリ名、図形データへのポインタ、中間階層モジュールインスタンス名、中間階層モジュールライブラリ名、及び、中間階層モジュールライブラリへのポインタを有している。
繰り返し要素は中間階層を有する場合があり、多くの場合これはトランジスタ階層である。このトランジスタ階層を展開してしまうとデータ量が膨大となるため、本実施の形態では中間階層を予め展開するのではなく中間階層のままポインタ構造にてデータをライブラリとして保持し、必要に応じて展開する動的（ダイナミック）な処理を行っている。
【０１０３】
但し、ふたつの異なる中間階層に同一のより下位なる中間階層が出現したとしても、これは共通化しない手法を採用している。これは、着目している繰り返し要素に出現したトランジスタが他の繰り返し要素に出現したとしても、着目した要素のみにて完全に展開できるようにした為である。図１９では、トランジスタＴＲ１とＴＲ２が異なる繰り返し要素に出現しているが、独立にテーブル登録されている例が示してある。
【０１０４】
次に、図形の論理処理または差分処理と検証処理について説明する。
図２５は、第２パネル基板データのブラインド枠内縁によって第１パネル基板データを切り出し、前記切り出した第１パネル基板データと前記ブラインド枠に対応する第２パネル基板データとを比較検証する処理の説明図である。本例では片側露光領域検出のための図形論理処理または図形差分処理を示している。
【０１０５】
第１のパネル基板データ２５０１のレクトアングルデータ２５０４と第２のパネル基板データ２５０２のレクトアングルデータ２５０５は同一であるが、両者のパスデータ２５０６、２５０７には差異がある場合の例である。
第１のパネル基板データ２５０１と第２のパネル基板データ２５０２の比較演算証（ＸＯＲ処理又は差分処理）を行うことにより、検証結果図形データ２５０３が得られる。
【０１０６】
検証結果図形データ２５０３には、第１のパネル基板データ２５０１と第２のパネル基板データ２５０２の一方に存在する図形領域２５０８、２５０９が含まれることになる。尚、このときの比較演算処理は、前述したように、各図形データに対応するグリッド格子点同士の比較演算処理によって行われる。
検証結果である検証結果図形データ２５０３は、そのまま表示部１のパネル基板ウインドウ９に表示される。
【０１０７】
図２６は図２５と同様の処理をグリッド格子点２６００によって表現した図であり、パスデータをグリッド格子点によって表現している。また、図２７は比較演算検証した場合の論理値表である。
図２６において、第１のパネル基板データ２６０１のパスデータ２６０４と第２のパネル基板データ２６０２のパスデータ２６０５に差異がある場合の例である。
【０１０８】
第１のパネル基板データ２６０１と第２のパネル基板データ２６０２の比較演算証（ＸＯＲ処理又は差分処理）を行うことにより、グリッド格子点によって表した検証結果図形データ２６０３が得られる。検証結果図形データ２６０３には、第１のパネル基板データ２６０１と第２のパネル基板データ２６０２の一方に存在する図形領域２６０６、２６０７が含まれることになる。尚、このときの比較演算処理は、前述したように、グリッド格子点同士の比較演算処理によって行われる。
検証結果である検証結果図形データ２６０３は、そのまま表示部１のパネル基板ウインドウ９に表示される。
【０１０９】
差分処理では符号によりデータが第１パネル基板データ（Ｌ）にあるのか第２パネル基板データ（Ｒ）にあるのかが判定できる。論理処理の場合にはＸＯＲをとることにより差異があることは確認できるが、ＬにあるのかＲにあるのかは判別できない。図には示していないが、ＸＯＲの結果をＬ、Ｒ各々とＡＮＤ処理し、ＬとのＡＮＤ処理結果に“１”が存在すればＬ側に存在するエラーデータであり、ＲとのＡＮＤ処理結果に“１”が存在すればＲ側に存在するエラーデータである。
差分結果は符号を有しており単なる論理処理より情報量が多く、ＸＯＲ結果にて差分処理と完全に同等な情報を得ようとすれば、ＸＯＲ処理の後にＡＮＤ処理が必要ということになる。纏めれば、論理処理の場合であればＸＯＲとＡＮＤ処理、差分処理の場合には差分処理によって情報として完全等価な検証結果が得られる。
【０１１０】
第１、第２パネル基板データＬ、Ｒの各グリッド格子点に対するＸＯＲ処理の定義を図２７（ｂ）に示し、第１、第２パネル基板データＬ、Ｒの各グリッド格子点を用いた（Ｌ−Ｒ）差分処理の定義を同図（ｂ）に示す。
○は論理値０であり、パネル基板データＬ、Ｒの両方に露光するデータが存在するか、あるいは、パネル基板データＬ、Ｒの両方に露光するデータが存在しないグリッド格子点を表している。また、●は論理値１であり、パネル基板データＬ、Ｒのいずれか片側に露光するデータが存在するグリッド格子点を表している。また、正●はパネル基板データＬに露光するデータが存在する場合を表し、負●はパネル基板データＲに露光するデータが存在する場合を表している。
【０１１１】
このようにして、片側領域にのみ存在する露光されるグリッド格子点が検出される。差分処理の場合は、正負の符号によって、露光される格子点がどちら側に存在していたのかの情報も付加されることになる。このように、ＸＯＲの場合には結果は差異があることのみが判明するが、差分の場合には正負の符号によりどちらの領域に露光データが片側存在していたかの情報まで付加できるので便利である。
ＸＯＲまたは差分処理をした結果、論理１の場合そのグリッド格子点は露光データが片側にのみ存在する図形データを示し、論理０の場合は露光データは両側に存在するかもしくは両側に存在しないグリッド格子点を示す。
【０１１２】
図２８及び図２９は、検証結果のグラフィック表示について説明する説明図で、図２８は表示部１に表示されるダイアログボックス４３１を示す図、図２９は表示部１のパネル基板ウインドウ９に表示されるグラフィックデータ形式のエラー表示を示す図で、グリッド格子点形式の表示である。
検証条件等の設定は、操作部１６によってダイアログボックス４３１内の操作ボタンを操作することによって設定する。例えば、検証はすべてレイヤ単位に行われるので、操作部１６から、ダイアログボック４３１にて表示したいレイヤの指定をおこない、続いて表示したいエラータイプを指定して検索を指示する。
【０１１３】
ここで、表示したいエラータイプとは、第１パネル基板データ又は第２パネル基板データの一方のみに露光データが存在する片側露光領域、比較検証しなかった非対象領域が存在する場合の非対象領域の２種類である。各エラータイプは操作部１６によって表示する色を指定することが可能である。図２９では、●は前記５種類のエラー中のいずれかのエラーを有するグリッド格子点（エラーグリッド格子点）を表し、○は前記エラーを有しないグリッド格子点を表している。
【０１１４】
ＣＰＵ７は操作部１６によってエラータイプ等が指定されると、設定された条件に基づいて、エラー箇所が何箇所あるかを表示部１に表示する。
続いて、ユーザが操作部１６によって表示操作領域４３２内の各操作ボタンを操作して、エラーの箇所を次、前、最初、最後、と指示すればその際にパネル基板ウィンドウ９に表示されているエラー領域に対して、指示された内容が表示される。
エラー箇所は何箇所も表示されることが通例であり、例えば、その次を指定すれば、そこで表示されている解像度において上方左側を始点とし右側に移動し右側に領域が無いようであれば下方左側にジャンプして表示を行う。また拡大、縮小が指示されればその時に表示されている中心座標に対して拡大または縮小したグラフィックデータを表示する。
【０１１５】
図３０は、検出されたエラー図形のデータ構造を示す図である。エラーデータは、トップモジュール４５１に、エラーモジュール４５２、４５４、４５６、４５８のモジュール名を自動生成されてリンクされる。エラーとなる図形データ４５３、４５５、４５７、４５９は、各エラーモジュール４５２、４５４、４５６、４５８の直下にリンクされる。エラーモジュール４５２、４５４、４５６、４５８はインスタンス名もライブラリ名も同一であり、従って、同じ形状をしたエラーデータであっても共有化はされない。これはエラーはパネル基板において基本的には独立に発生するからである。
【０１１６】
以上述べたように、本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムは、ＣＰＵ７は、データファイル記憶部５に記憶したレチクルレイアウトデータ及び座標情報に基づいて第２のパネル基板データを生成し、前記レチクルレイアウトデータに含まれるブラインド枠内縁の情報及び前記座標情報に基づいて第１のパネル基板データ中の前記第２のパネル基板データに対応する領域のパネル基板データを抽出し、前記抽出した第１のパネル基板データと前記第２パネル基板データとの差異を検証し、表示部１のパネル基板ウインドウ９に前記検証した結果をグラフィック表示するようにしている。
【０１１７】
したがって、第１のパネル基板データと新規に作成される第２のパネル基板データとの比較検証を、第２のパネル基板データを作成するレチクルレイアウトデータと座標情報を用いて行うことができる。
これにより、設計変更したレチクルによって作成される第２のパネル基板データ内容が既存の第１のパネル基板データに対してどのように異なるかの差異がグラフィックにて検証できるので、第１、第２のパネル基板データの差異や、第１のパネル基板データ用のレチクルデータと第１のパネル基板データ用のレチクルデータとの差異を簡単な構成で容易に把握できるという効果を奏する。
【０１１８】
また、設計変更の内容が容易に確認できるので、製造前等において変更内容を容易に確認でき、極めて有効である。。
また、フィールド障害においても、すなわち製造後においても、第１の既存パネル基板のデータが第２のレチクルデータと座標情報から作成されたのか否かを検証することができるので、問題切り分けが重要となるフィールド障害解析に欠かせない機能が実現できる。即ち、製造前後において極めて有効な検証機能を実現することができる。
【０１１９】
また、本実施の形態によれば、表示部１、操作部１６、ＣＰＵ７及び記憶部８を有するコンピュータに実行させることによって前記パネル基板データ検証システムを構築するパネル基板データ検証用プログラムを提供することが可能になる。また、前記効果を奏するパネル基板データ検証方法が提供される。
尚、前記実施の形態では、１つのコンピュータを用いてパネル基板データ検証システムを構築するようにしたが、複数のコンピュータを用いて構築するようにしてもよい。この場合、前記各プログラムは、システム構成に応じて適宜分割した構成とすることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１２０】
液晶ディスプレイをはじめとしてＥＬディスプレイ等の各種ディスプレイのパネル基板データの検証を行うパネル基板データ検証システムに利用可能である。また、コンピュータを、各種ディスプレイのパネル基板データの検証を行うパネル基板データ検証システムとして機能させるプログラムに利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】本発明の実施の形態におけるフラットパネルディスプレイ用パネル基板とレチクルとの関係を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるパネル基板上のパネル基板データとレチクル上のレチクルレイアウトデータの関係を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態においてレチクルデータを生成する際の全体的な表示内容を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態においてレチクルデータを生成する際の全体的な処理を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施の形態におけるパネル基板データの構造を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態におけるレチクルデータの構造を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態におけるレチクルデータのテーブルである。
【図８】本発明の実施の形態における座標情報出力処理示す図である。
【図９】本発明の実施の形態における座標情報出力処理示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態における露光領域の分割処理方法を示す説明図である。
【図１１】本発明の実施の形態における露光領域の分割処理方法を示す説明図である。
【図１２】本発明の実施の形態における露光領域の分割処理方法を示す説明図である。
【図１３】本発明の実施の形態における露光要素を示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムのブロック図である。
【図１５】本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムのパネル基板データの差異検証処理手順を示す説明図である。
【図１６】本発明の実施の形態に係るパネル基板データ検証システムの処理を示すフローチャートである。
【図１７】本発明の実施の形態におけるパネル基板データの切り出し処理を示す説明図である。
【図１８】本発明の実施の形態におけるパネル基板データの切り出し処理を示す説明図である。
【図１９】本発明の実施の形態におけるパネル基板データの切り出し処理を示す説明図である。
【図２０】本発明の実施の形態におけるパネル基板データの切り出し処理を示す説明図である。
【図２１】本発明の実施の形態におけるテーブル作成処理の説明図である。
【図２２】本発明の実施の形態で使用するテーブルを示す図である。
【図２３】本発明の実施の形態におけるパネル基板データのデータ構造を示す図である。
【図２４】本発明の実施の形態で使用するテーブルを示す図である。
【図２５】本発明の実施の形態におけるパネル基板データの検証処理を示す説明図である。
【図２６】本発明の実施の形態におけるパネル基板データの検証処理を示す説明図である。
【図２７】本発明の実施の形態における排他的論理和処理及び差分処理の論理値表である。
【図２８】本発明の実施の形態における検証結果の説明図である。
【図２９】本発明の実施の形態における検証結果の説明図である。
【図３０】本発明の実施の形態において検出されたエラー図形のデータ構造を示す図である。
【符号の説明】
【０１２２】
１・・・表示部
２・・・キーボード
３・・・マウス
４・・・プログラム記憶部
５・・・データファイル記憶部
６・・・ファイル記憶部
７・・・ＣＰＵ
８・・・記憶部
９・・・パネル基板ウインドウ
１０・・・レチクルウインドウ
１１・・・メニューウインドウ
１２、１０１、２１０、８０１・・・パネル基板
１３、２０５、８０５、８０８、８１１・・・レチクル
１６・・・操作部
１０２、２１２・・・露光領域
１０３・・・露光可能領域
１０４・・・光源系機構
１０５・・・遮光系機構
１０７・・・露光面
１５１、１５４・・・パネル基板データ
１５２、１６２、２０６・・・レチクルレイアウトデータ
１５３・・・座標情報
１５５、８０６、８０９、８１０、８１２、８１３・・・繰り返し要素（露光要素）
２０１〜２０４・・・液晶パネル
１６１、２１１、８０２、１００３・・・パネル基板データ
１６３・・・座標情報
２１３、１００２・・・ショット枠
４３１・ダイアログボックス
４３２・・・表示操作領域
８０４・・・アライメントマーク
１００４・・・補正パターン
１００５・・・ブラインド枠
１００６・・・ブラインド枠内縁
１００７・・・２重露光を行う部位
１００８・・・オーバラップ部
１３０１・・・斜線部
２６００・・・グリッド格子点
【図１】
2009134335.tif 000003
【図２】
2009134335.tif 000004
【図３】
2009134335.tif 000005
【図４】
2009134335.tif 000006
【図５】
2009134335.tif 000007
【図６】
2009134335.tif 000008
【図７】
2009134335.tif 000009
【図８】
2009134335.tif 000010
【図９】
2009134335.tif 000011
【図１０】
2009134335.tif 000012
【図１１】
2009134335.tif 000013
【図１２】
2009134335.tif 000014
【図１３】
2009134335.tif 000015
【図１４】
2009134335.tif 000016
【図１５】
2009134335.tif 000017
【図１６】
2009134335.tif 000018
【図１７】
2009134335.tif 000019
【図１８】
2009134335.tif 000020
【図１９】
2009134335.tif 000021
【図２０】
2009134335.tif 000022
【図２１】
2009134335.tif 000023
【図２２】
2009134335.tif 000024
【図２３】
2009134335.tif 000025
【図２４】
2009134335.tif 000026
【図２５】
2009134335.tif 000027
【図２６】
2009134335.tif 000028
【図２７】
2009134335.tif 000029
【図２８】
2009134335.tif 000030
【図２９】
2009134335.tif 000031
【図３０】
2009134335.tif 000032