(57)【要約】【課題】セラミックグリーンシート積層体に設ける押圧溝にクラックや、形状不良の発生を防止できる押圧溝形成用スリット刃を提供する。【解決手段】長手方向一方の端部に沿って切り刃１１を設け、その先端を複数個の個片体が配列する集合体からなるセラミックグリーンシート積層体１２の表面に押し当てて押圧溝１３を形成した後、これを焼成して分割溝１９を設けるための押圧溝１３を形成するのに用いられる押圧溝形成用スリット刃１０において、切り刃先端１５が断面視して厚み方向中心線上に設けられ、そこから長方形状板体のそれぞれの主面１６、１６ａに延設する刃面１７、１７ａの中心線に対するそれぞれの角度が１０°以上の差を有する異なる角度からなると共に、切り刃の先端部の全体の角度が１０°を超え、６０°以下からなり、所望する部位の押圧溝１３を形成するのに用いられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長方形状板体の長手方向一方の端部に沿って切り刃を設け、該切り刃先端を複数個の個片体が配列する集合体からなるセラミックグリーンシート積層体の表面に押し当てて押圧溝を形成した後、前記セラミックグリーンシート積層体を焼成して分割溝を設けるセラミック基板を形成するための前記押圧溝を形成するのに用いられる押圧溝形成用スリット刃において、
前記切り刃先端が断面視して厚み方向中心線上に設けられ、前記切り刃先端から前記長方形状板体のそれぞれの主面に延設する刃面の前記中心線に対するそれぞれの角度が１０°以上の差を有する異なる角度からなると共に、前記切り刃の先端部の全体の角度が１０°を超え、６０°以下からなり、前記セラミックグリーンシート積層体の所望する部位の前記押圧溝を形成するのに用いられることを特徴とする押圧溝形成用スリット刃。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数個の個片体が配列する集合体からなるセラミックグリーンシート積層体の表面に個片体の外形形状になるように切り刃先端で押圧して区画する押圧溝を設け、セラミックグリーンシート積層体を焼成してそれぞれの個片体に分割するための分割溝を有するセラミック基板を形成するのに用いられる押圧溝形成用スリット刃に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体素子、水晶振動子、圧電素子等の電子部品を搭載させ収納するためのセラミック基板は、電子部品を搭載させた装置、例えば、携帯電話や、パソコン等の装置の小型化、高信頼性化等の要求に伴い、ますます軽薄短小化、高信頼性化等への対応が迫られている。これに対応するため、セラミック基板の形成には、従来からアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等の複数枚の大型四角形シート状のセラミックグリーンシートが用いられ、これにタングステン（Ｗ）や、モリブデン（Ｍｏ）等の高融点金属で導体配線パターンを形成している。そして、導体配線パターンが形成された複数枚のセラミックグリーンシートは、重ね合わされて温度と、圧力をかけて接合されて積層体に形成している。このセラミックグリーンシート積層体は、シート内に個片体の焼成前のセラミック基板が複数個配列する集合体からなっている。この個片体が複数個配列する集合体からなるセラミックグリーンシート積層体の表面には、長方形板体の長手方向一方の端部に沿って設ける切り刃先端を有する押圧溝形成用スリット刃を押し当てて、個片体の外形形状になるように区画する断面視してＶ形状の押圧溝を形成している。
【０００３】
図５（Ａ）に示すように、従来の押圧溝形成用スリット刃５０による押圧溝５１の形成では、断面視して切り刃先端５２を長方形板体の厚み方向中心線上に設け、中心線に対するそれぞれの刃面５３、５３ａとの角度を等分とし、切り刃先端５２を頂点とする全体の角度を１０°〜６０°程度となる二等辺三角形の形状をした先端部を有する押圧溝形成用スリット刃５０が用いられている。そして、押圧溝５１は、押圧溝形成用スリット刃５０の切り刃先端５２をセラミックグリーンシート積層体５４に当接させ、更に刃面５３、５３ａで押圧しながら刃面５３、５３ａの途中までの先端部をセラミックグリーンシート積層体５４に挿入させて形成している。従って、この押圧溝５１は、押圧溝形成用スリット刃５０の二等辺三角形の形状をした先端部でセラミックグリーンシート積層体５４を等分に横方向に押し広げながら形成される。また、上記の押圧溝形成用スリット刃５０による押圧溝５１の形成では、複数本の押圧溝形成用スリット刃５０が並列して設けられた押圧型が用いられている。
【０００４】
しかしながら、図５（Ｂ）に示すように、この押圧型による多数個の個片体からなる集合体の最外側の押圧溝５１の形成においては、押圧溝形成用スリット刃５０のセラミックグリーンシート積層体５４への進入と共に、外側横方向への押し広げによるセラミックグリーンシート積層体５４の弾性変形領域に超過が発生する。そして、更に、セラミックグリーンシート積層体５４は、塑性変形領域となり、やがて、これも超えて集合体の最外側の押圧溝５１のＶ字先端にクラック５５の発生を起こさせることとなっている。
【０００５】
また、図６（Ａ）に示すように、従来の押圧溝形成用スリット刃５０による押圧溝５１の形成では、それぞれの個片体に電子部品を搭載させ収納するための凹状のキャビティ部５６を設けた多数個の個片体の集合体からなるセラミックグリーンシート積層体５４を個片体にするために１対の押圧溝形成用スリット刃５０が複数組並列して設けられた押圧型が用いられている。そして、押圧溝５１は、上記と同様にして形成されている。
【０００６】
しかしながら、図６（Ｂ）に示すように、キャビティ部５６を設けた多数個の個片体の集合体からなるセラミックグリーンシート積層体５４のそれぞれのキャビティ部５６近傍への押圧溝５１の形成においては、押圧溝形成用スリット刃５０のセラミックグリーンシート積層体５４への進入と共に、横方向への押し広げによるセラミックグリーンシート積層体５４の弾性変形領域に超過が発生する。特に、このセラミックグリーンシート積層体５４の弾性変形領域に超過は、キャビティ部５６側が空洞となっているので、横方向への押し広げが容易であることで発生している。そして、更に、セラミックグリーンシート積層体５４は、塑性変形領域となり、やがて、これも超えてキャビティ部５６の壁面５７が変形するような形状不良の発生を起こさせることとなっている。
【０００７】
セラミックグリーンシートに設ける押圧溝の内部にクラックが発生するのを防止するためのスリット刃には、切り刃の先端部の刃先角度を５０°以上とするとともに、切り刃の先端部近傍の厚みを０．４ｍｍ以下の薄肉部とするものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
また、分割溝を有するセラミック基板の製造方法に用いられるスリット刃には、シート状セラミック成形体に設ける押圧溝の内部にクラックが発生するのを防止するために、先端にフラット面を設けたスリット刃が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
【特許文献１】実開平６−３１９８９号公報
【特許文献２】特開平７−２４０５７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前述したような従来の押圧溝形成用スリット刃は、次のような問題がある。
（１）従来の押圧溝形成用スリット刃や、実開平６−３１９８９号公報や、特開平７−２４０５７１号公報で開示される押圧溝形成用スリット刃は、複数本の押圧溝形成用スリット刃が並列して設けられた押圧型の最外側の押圧溝以外の内部側の押圧溝を形成する場合には、隣接する押圧溝形成用スリット刃による横方向への押し広げによって、弾性変形領域への進行が阻止でき、クラックの発生を防止することができる。しかしながら、最外側の押圧溝は、例え、実開平６−３１９８９号公報や、特開平７−２４０５７１号公報で開示される押圧溝形成用スリット刃を用いたとしても、従来の押圧溝形成用スリット刃を用いた場合と同様に、セラミックグリーンシート積層体への進入と共に、外側横方向への押し広げによるセラミックグリーンシート積層体の弾性変形領域に超過が発生すると共に、塑性変形領域となり、やがて、これも超えて集合体の最外側の押圧溝のＶ字先端のセラミックグリーンシート積層体にクラックの発生を起こさせている。これにより、焼成後の外周部のセラミック基板は、分割溝に沿った形状が得られなくなっている。
（２）また、例え、実開平６−３１９８９号公報や、特開平７−２４０５７１号公報で開示される押圧溝形成用スリット刃を用いたとしても、キャビティ部を設けた多数個の個片体の集合体からなるセラミックグリーンシート積層体のそれぞれのキャビティ部近傍への押圧溝の形成においては、押圧溝形成用スリット刃のセラミックグリーンシート積層体への進入と共に、横方向への押し広げによるセラミックグリーンシート積層体の弾性変形領域に超過が発生している。特に、このセラミックグリーンシート積層体の弾性変形領域に超過は、キャビティ部側が空洞となっているので、横方向への押し広げが容易であることから発生している。そして、更に、セラミックグリーンシート積層体は、塑性変形領域となり、やがて、これも超えてキャビティ部の壁面が変形するような形状不良の発生を起こさせている。これにより、キャビティ部を有する焼成後のセラミック基板は、正規のキャビティ部寸法が得られなっかったり、分割溝に沿った形状が得られなくなっている。
【００１０】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、セラミックグリーンシート積層体に設ける押圧溝にクラックや、形状不良の発生を防止できる押圧溝形成用スリット刃を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的に沿う本発明に係る押圧溝形成用スリット刃は、長方形状板体の長手方向一方の端部に沿って切り刃を設け、切り刃先端を複数個の個片体が配列する集合体からなるセラミックグリーンシート積層体の表面に押し当てて押圧溝を形成した後、セラミックグリーンシート積層体を焼成して分割溝を設けるための押圧溝を形成するのに用いられる押圧溝形成用スリット刃において、切り刃先端が断面視して厚み方向中心線上に設けられ、切り刃先端から長方形状板体のそれぞれの主面に延設する刃面の中心線に対するそれぞれの角度が１０°以上の差を有する異なる角度からなると共に、切り刃の先端部の全体の角度が１０°を超え、６０°以下からなり、セラミックグリーンシート積層体の所望する部位の押圧溝を形成するのに用いられる。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の押圧溝形成用スリット刃は、切り刃先端が断面視して厚み方向中心線上に設けられ、切り刃先端から長方形状板体のそれぞれの主面に延設する刃面の中心線に対するそれぞれの角度が１０°以上の差を有する異なる角度からなると共に、切り刃の先端部の全体の角度が１０°を超え、６０°以下からなり、セラミックグリーンシート積層体の所望する部位の押圧溝を形成するのに用いられるので、セラミックグリーンシート積層体の所望する部位である最外側の押圧溝形成にこの押圧溝形成用スリット刃の角度の急な鋭角側の刃面がセラミックグリーンシート積層体の外周側になるようにして形成することで押圧溝形成用スリット刃のセラミックグリーンシート積層体への進入と共に、外周側横方向への押し広げを緩和でき、セラミックグリーンシート積層体の弾性変形領域の超過を防止でき、塑性変形領域の発生、更には、押圧溝のＶ字先端にクラックが発生するのを防止することができる。また、キャビティ部を設けた多数個の個片体の集合体からなるセラミックグリーンシート積層体の所望する部位のそれぞれのキャビティ部近傍への押圧溝の形成においては、この押圧溝形成用スリット刃の角度の急な鋭角側の刃面がセラミックグリーンシート積層体のキャビティ部側になるようにして形成することで押圧溝形成用スリット刃のセラミックグリーンシート積層体への進入と共に、キャビティ部側横方向への押し広げを緩和でき、セラミックグリーンシート積層体の弾性変形領域の超過を防止でき、塑性変形領域の発生、更には、キャビティ部の壁面が変形するような形状不良が発生するのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施するための最良の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図１（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る押圧溝形成用スリット刃の斜視図、断面図、図２（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ同押圧溝形成用スリット刃を用いて押圧溝を形成する説明図、図３（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ同押圧溝形成用スリット刃を用いる実施例１の説明図、図４（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ同押圧溝形成用スリット刃を用いる実施例２の説明図である。
【００１４】
図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、本発明の一実施の形態に係る押圧溝形成用スリット刃１０は、長方形状板体の長手方向一方の端部に沿って切り刃１１を設けている。そして、図２（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、複数個の個片体が配列する集合体からなるセラミックグリーンシート積層体１２の所望する部位に形成される押圧溝１３は、所望する部位の位置に押圧溝形成用スリット刃１０を立設させて一体化された押圧型１４の切り刃１１の切り刃先端１５をこのセラミックグリーンシート積層体１２の表面に押し当ててることで形成している。押圧溝１３が形成されたセラミックグリーンシート積層体１２は、セラミックの焼結温度で焼成して分割溝１９、１９ａ（図３（Ｃ）、図４（Ｃ）参照）を設けた複数個の個片体が配列するセラミック基板集合体２０、２０ａ（図３（Ｃ）、図４（Ｃ）参照）としている。そして、更に、セラミック基板集合体２０、２０ａは、それぞれの分割溝１９、１９ａで分割することで、個片体のセラミック基板２１，２１ａ（図３（Ｄ）、図４（Ｄ）参照）としている。
【００１５】
上記のセラミック基板の形成のためのセラミックグリーンシート積層体１２は、従来から使用しているアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等のセラミックからなる複数枚の大型四角形シート状のセラミックグリーンシートを用いている。そして、これらセラミックグリーンシートには、タングステン（Ｗ）や、モリブデン（Ｍｏ）等の高融点金属の導体ペーストを用いてスクリーン印刷で導体配線パターンを形成した後、複数枚のこれらのセラミックグリーンシートを重ね合わせて温度と、圧力をかけて接合してセラミックグリーンシート積層体１２を形成している。このセラミックグリーンシート積層体１２は、シート内に個片体の焼成前のセラミック基板が複数個配列する集合体からなっている。
【００１６】
分割溝１９、１９ａを設けるセラミック基板集合体２０、２０ａを形成するための所望の部位の押圧溝１３を形成するのに用いられる上記の押圧溝形成用スリット刃１０は、切り刃先端１５が断面視して厚み方向の中心線上に設けられている。また、この押圧溝形成用スリット刃１０は、切り刃先端１５から長方形状板体のそれぞれの主面１６に延設する刃面１７と、主面１６ａに延設する刃面１７ａの中心線に対するそれぞれの角度α、βが１０°以上の差、即ち、｜α−β｜≧１０°を有する異なる角度の角度αと、角度βからなっている。これと共に、この押圧溝形成用スリット刃１０は、切り刃１１の先端部の全体の角度γが１０°を超え、６０°以下、即ち、６０°≧γ＝α＋β＞１０°からなっている。そして、この押圧溝形成用スリット刃１０は、セラミックグリーンシート積層体１２の所望する部位の押圧溝１３を形成するのに用いられている。
【００１７】
上記の押圧溝形成用スリット刃１０は、切り刃先端１５が断面視して厚み方向の中心線上にあることで、切り刃１１の先端部が山なりを形成し、セラミックグリーンシート積層体１２両側のそれぞれに押し広げる度合いに違いを持たせながら押し広げて押圧溝１３を形成することができる。上記の押圧溝形成用スリット刃１０は、中心線に対するそれぞれの角度α、βの差が１０°を下まわる場合には、角度α、βの差が小さくなりセラミックグリーンシート積層体１２両側のそれぞれに押し広げる度合いに差がなくなり従来に近いスリット刃となって、押圧溝１３のクラックや、形状不良の発生を防止することができなくなる。また、押圧溝形成用スリット刃１０は、切り刃１１の先端部の全体の角度γが１０°以下の場合には、先端部の角度が鋭角になりすぎて横方向への押し広げによるセラミックグリーンシート積層体１２の弾性変形が小さく、押圧溝１３のＶ字状先端部がセラミックグリーンシート積層体１２の焼成時に溶着するので、焼成後の正常な分割溝１９、１９ａからの分割が困難となる。更に、押圧溝形成用スリット刃１０は、切り刃１１の先端部の全体の角度γが６０°を超える場合には、先端部の角度が鈍角になりすぎて横方向への押し広げによるセラミックグリーンシート積層体１２の弾性変形領域の超過が発生し、塑性変形領域の発生、更には、押圧溝１３のＶ字先端のクラックや、キャビティ部２２（図４（Ａ）参照）の壁面が変形するような形状不良の発生を防止することができなくなる。
【実施例１】
【００１８】
図３（Ａ）〜（Ｄ）を参照しながら、本発明の一実施の形態に係る押圧溝形成用スリット刃１０を用いる実施例１を説明する。
図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、複数個の個片体が連接して配列する集合体からなるセラミックグリーンシート積層体１２に個片体にするための押圧溝１３、１３ａを形成する場合には、集合体の最外側にこの押圧溝形成用スリット刃１０を用いて押圧溝１３を形成している。そして、個片体の隣接間には、切り刃の先端部が二等辺三角形の形状をした従来から使用していた押圧溝形成用スリット刃１８を用いて押圧溝１３ａを形成している。この押圧溝１３、１３ａの形成には、押圧溝形成用スリット刃１０と、従来から使用していた押圧溝形成用スリット刃１８を立設させた押圧型１４ａを用いている。この押圧型１４ａによる押圧溝１３の形成には、押圧溝形成用スリット刃１０の中心線に対する角度の急な鋭角側の刃面、例えば、刃面１７がセラミックグリーンシート積層体１２の外周側になるようにしている。これにより、セラミックグリーンシート積層体１２の外周側の押圧溝１３は、押圧溝形成用スリット刃１０のセラミックグリーンシート積層体１２への進入と共に、外周側横方向への押し広げを緩和でき、セラミックグリーンシート積層体１２の弾性変形領域の超過を防止でき、塑性変形領域の発生、更には、押圧溝１３のＶ字先端にクラックが発生するのを防止することができる。
【００１９】
また、押圧溝１３ａの形成においては、従来の切り刃の先端部が二等辺三角形の形状をした押圧溝形成用スリット刃１８の切り刃の先端部の中心線に対する角度を、押圧溝形成用スリット刃１０の中心線に対する角度の鈍角側の角度と同等程度にするのがよい。これにより、押圧溝１３ａは、押圧溝形成用スリット刃１０と、隣接する従来の押圧溝形成用スリット刃１８のセラミックグリーンシート積層体１２への進入、及び隣接間同士の従来の押圧溝形成用スリット刃１８のセラミックグリーンシート積層体１２への進入に当たって互いに横方向への押し広げを相殺させて緩和でき、セラミックグリーンシート積層体１２の弾性変形領域の超過、塑性変形領域の発生を防止して、安定した押圧溝１３ａを形成することができる。なお、押圧溝１３、１３ａは、通常、セラミックグリーンシート積層体１２の両主面から対向させてそれぞれ形成されている。
【００２０】
次に、図３（Ｃ）に示すように、押圧溝１３，１３ａが形成されたセラミックグリーンシート積層体１２は、これに形成されている導体配線パターンの高融点金属と、セラミックグリーンシートを、例えば、セラミックグリーンシートがアルミナからなる場合には還元雰囲気中の約１５５０℃程度の温度で同時焼成している。これにより、個片体に分割するための分割溝１９を設けたセラミック基板集合体２０を得ている。そして、図３（Ｄ）に示すように、セラミック基板集合体２０は、分割溝１９に沿って分割することで、個片体のセラミック基板２１を作製している。
【実施例２】
【００２１】
図４（Ａ）〜（Ｄ）を参照しながら、本発明の一実施の形態に係る押圧溝形成用スリット刃１０を用いる実施例２を説明する。
図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、複数個の個片体のそれぞれに電子部品を搭載させ収納するための凹状のキャビティ部２２を設けた多数個の個片体が連接して配列するの集合体からなるセラミックグリーンシート積層体１２ａに個片体にするための押圧溝１３ｂを形成する場合には、それぞれの個片体とするためにこの押圧溝形成用スリット刃１０を用いて押圧溝１３ｂを形成している。このセラミックグリーンシート積層体１２ａからそれぞれの個片体を形成するには、個片体の外形となる部分に相対向する１対の押圧溝形成用スリット刃１０が複数組並列して設けられた押圧型１４ｂを用いている。この押圧型１４ｂによる押圧溝１３ｂの形成には、押圧溝形成用スリット刃１０の中心線に対する角度の急な鋭角側の刃面、例えば、刃面１７がセラミックグリーンシート積層体１２ａのそれぞれの個片体のキャビティ部２２側になるようにしている。これにより、この押圧溝形成用スリット刃１０の角度の急な鋭角側の刃面１７側がセラミックグリーンシート積層体１２ａへの進入と共に、キャビティ部２２側横方向への押し広げを緩和でき、セラミックグリーンシート積層体１２ａの弾性変形領域の超過を防止でき、塑性変形領域の発生、更には、キャビティ部２２の壁面が変形するような形状不良が発生するのを防止することができる。
【００２２】
また、押圧溝１３ｂの形成においては、隣接する個片体を形成するための押圧溝形成用スリット刃１０との相対向する押圧溝形成用スリット刃１０の中心線に対する角度の鈍角側の刃面、例えば、刃面１７ａのセラミックグリーンシート積層体１２ａへの進入に当たって互いに横方向への押し広げを相殺させて緩和でき、セラミックグリーンシート積層体１２ａの弾性変形領域の超過、塑性変形領域の発生を防止して、安定した押圧溝１３ｂを形成することができる。なお、押圧溝１３ｂは、通常、セラミックグリーンシート積層体１２の両主面から対向させてそれぞれ形成されている。また、セラミックグリーンシート積層体１２ｂの外周部には、個片体を形成するための押圧溝１３ｂとは別に押圧溝１３ｂを設けるのがよい。この押圧溝１３ｂは、押圧溝形成用スリット刃１０の中心線に対する角度の急な鋭角側の刃面、例えば、刃面１７がセラミックグリーンシート積層体１２ｂの外周側になるようにしている。これにより、セラミックグリーンシート積層体１２ｂの外周側の押圧溝１３ｂは、押圧溝形成用スリット刃１０のセラミックグリーンシート積層体１２ｂへの進入と共に、外周側横方向への押し広げを緩和できると共に、隣接する個片体を形成するための押圧溝形成用スリット刃１０の中心線に対する角度の鈍角側の刃面１７ａによる横方向への押し広げを緩和させることができる。
【００２３】
次に、図４（Ｃ）に示すように、押圧溝１３ｂが形成されたセラミックグリーンシート積層体１２ｂは、これに形成されている導体配線パターンの高融点金属と、セラミックグリーンシートを、例えば、セラミックグリーンシートがアルミナからなる場合には還元雰囲気中の約１５５０℃程度の温度で同時焼成している。これにより、個片体に分割するための分割溝１９ａを設けたセラミック基板集合体２０ａを得ている。そして、図４（Ｄ）に示すように、セラミック基板集合体２０ａは、分割溝１９ａに沿って分割することで、個片体のセラミック基板２１ａを作製している。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明の押圧溝形成用スリット刃は、半導体素子や、水晶振動子等の電子部品素子を実装させて、小型で、高信頼性が要求される、例えば、携帯電話や、ノートブック型のパソコン等の電子装置に組み込まれて用いるための信頼性の高いセラミック基板を形成するために用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る押圧溝形成用スリット刃の斜視図、断面図である。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ同押圧溝形成用スリット刃を用いて押圧溝を形成する説明図である。
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ同押圧溝形成用スリット刃を用いる実施例１の説明図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ同押圧溝形成用スリット刃を用いる実施例２の説明図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ従来の押圧溝形成用スリット刃を用いて押圧溝を形成する説明図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ従来の押圧溝形成用スリット刃を用いて他の押圧溝を形成する説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０：押圧溝形成用スリット刃、１１：切り刃、１２、１２ａ：セラミックグリーンシート積層体、１３、１３ａ、１３ｂ：押圧溝、１４、１４ａ、１４ｂ：押圧型、１５：切り刃先端、１６、１６ａ：主面、１７、１７ａ：刃面、１８：（従来の）押圧溝形成用スリット刃、１９、１９ａ：分割溝、２０、２０ａ：セラミック基板集合体、２１、２１ａ：セラミック基板、２２：キャビティ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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