(57)【要約】【課題】振動アクチュエータを効率よく駆動する振動アクチュエータの駆動装置、レンズ鏡筒、カメラを提供する。【解決手段】電源部（１０１）が接続された１次側インダクタ部（１０５Ａ，１０５Ｂ）と、振動子に接続された２次側インダクタ部（１０６Ａ，１０６Ｂ）とを有するトランス部（１０４Ａ，１０４Ｂ）と、２次側インダクタ部（１０６Ａ，１０６Ｂ）と振動子（１１）との間における第１の方向に流れる電流（Ｉａ３）の通電状態を切り替える２次側第１切り替え部（１３０Ａ，１３０Ｂ）と、２次側インダクタ部（１０６Ａ，１０６Ｂ）と振動子（１１）との間における第１の方向とは反対方向である第２の方向（Ｉａ４）に流れる電流の通電状態を切り替える２次側第２切り替え部（１４０Ａ，１４０Ｂ）とを備えた振動アクチュエータ（１０）の駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ）とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子を有した振動アクチュエータを駆動する振動アクチュエータの駆動装置であって、
電源部が接続された１次側インダクタ部と、前記振動子に接続された２次側インダクタ部とを有するトランス部と、
前記２次側インダクタ部と前記振動子との間における第１の方向に流れる電流の通電状態を切り替える２次側第１切り替え部と、
前記２次側インダクタ部と前記振動子との間における前記第１の方向とは反対方向である第２の方向に流れる電流の通電状態を切り替える２次側第２切り替え部と、
を備える振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記１次側インダクタ部と前記電源部との間における第１の方向に流れる電流の通電状態を切り替える１次側第１切り替え部と、
前記１次側インダクタ部と前記電源部との間における前記第１の方向とは反対方向である第２の方向に流れる電流の通電状態を切り替える１次側第２切り替え部と、
を備えることを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記振動子は、第１電極と、第２電極と、前記第１電極と対応して設けられた第１グラウンド電極と、前記第２電極と対応し前記第１グラウンド電極とは独立して設けられた第２グラウンド電極とを有すること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項４】
請求項３に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記トランス部は、前記第１電極に対して接続された第１電極用トランス部と、前記第２電極に対して接続された第２電極用トランス部とが設けられており、
前記２次側第１切り替え部及び前記２次側第２切り替え部は、前記第１グラウンド電極と前記第１電極用トランス部との間、及び、前記第２グラウンド電極と前記第２電極用トランス部との間のそれぞれに対して少なくとも１つずつ配置されていること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項５】
請求項２から請求項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記２次側第１切り替え部と前記２次側第２切り替え部、及び、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部は、電流を流すＯＮ状態と電流を遮断するＯＦＦ状態とに切り替え可能であって、
前記２次側第１切り替え部は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの一方がＯＮ状態となるよりも前にＯＦＦ状態となり、
前記２次側第２切り替え部は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの他方がＯＮ状態となるよりも前にＯＦＦ状態となること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項６】
請求項５に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記２次側第１切り替え部は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの一方がＯＦＦ状態となるのと同時又はそれよりも前にＯＮ状態となり、
前記２次側第２切り替え部は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの他方がＯＦＦ状態となるのと同時又はそれよりも前にＯＮ状態となること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項７】
振動子を有した振動アクチュエータを駆動する振動アクチュエータの駆動装置であって、
電源部が接続された１次側インダクタ部と、前記振動子に接続された２次側インダクタ部とを有するトランス部と、
前記１次側インダクタ部と前記電源部との間における第１の方向に流れる電流の通電状態を切り替える１次側第１切り替え部と、
前記１次側インダクタ部と前記電源部との間における第１の方向とは反対方向である第２の方向に流れる電流の通電状態を切り替える１次側第２切り替え部と、
前記２次側インダクタ部と前記振動子との間に流れる電流の通電状態を切り替える２次側切り替え部と、
を備える振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項８】
請求項７に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記振動子は、第１電極と、第２電極と、前記第１電極及び前記第２電極に対応したグラウンド電極とを有すること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項９】
請求項８に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記トランス部は、前記第１電極に対して接続された第１電極用トランス部と、前記第２電極に対して接続された第２電極用トランス部とが設けられており、
前記２次側切り替え部は、前記グラウンド電極と前記第１電極用トランス部との間、及び、前記グラウンド電極と前記第２電極用トランス部との間のそれぞれに対して少なくとも１つずつ配置されていること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記トランス部は、前記第１電極に対して接続された第１電極用トランス部と、前記第２電極に対して接続された第２電極用トランス部とが設けられており、
前記２次側切り替え部は、前記第１電極と前記第１電極用トランス部との間、及び、前記第２電極と前記第２電極用トランス部との間のそれぞれに対して少なくとも１つずつ配置されていること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項１１】
請求項７から請求項１０までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記２次側切り替え部、及び、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とは、電流を流すＯＮ状態と電流を遮断するＯＦＦ状態とに切り替え可能であって、
前記２次側切り替え部は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの一方がＯＮ状態となるのと同時又はそれよりも前にＯＦＦ状態となること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記２次側切り替え部は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの一方がＯＦＦ状態となるのと同時又はそれよりも前にＯＮ状態となること、
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータの駆動装置を備えたレンズ鏡筒。
【請求項１４】
請求項１から請求項１２までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータの駆動装置を備えたカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子の振動を利用した振動アクチュエータの駆動装置、レンズ鏡筒、カメラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動アクチュエータの駆動時に、供給電流の大きさに応じてパルス信号の制御を行なう技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
振動アクチュエータにおける振動子の機械的な共振周波数ｆｒと、振動アクチュエータが安定して駆動する最高駆動速度となる駆動周波数ｆ１と、振動アクチュエータが回転を始める駆動周波数ｆ０との関係は、一般にｆｒ＜ｆ１＜ｆ０となる。一方、トランスを使用した振動アクチュエータの駆動回路において、トランスの二次側巻線のインダクタンスＬと、振動アクチュエータの振動子の静電容量Ｃによる共振周波数ｆｃ＝１／｛２π√（ＬＣ）｝であるが、ｆｃ＝ｆ０となるようにＬとＣを整合させることが望ましい。
【特許文献１】特開平９−２７１１７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、振動アクチュエータの特性によってはｆ０とｆ１間の周波数帯域が広くなる場合がある。ｆｃ＝ｆ０とした場合、駆動周波数をｆ０から低くしていくとトランスと振動アクチュエータの振動子間で自由振動を起こし、振動アクチュエータの駆動電圧波形が乱れ、入力電力が増大する等の問題が生じる。さらに、振動アクチュエータの特性によっては、一定以上の駆動電圧を印加しても熱エネルギとなり、効率が落ちる場合がある。
【０００４】
本発明の課題は、振動アクチュエータを効率よく駆動する振動アクチュエータの駆動装置、レンズ鏡筒、カメラを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。
なお、本発明をわかりやすく説明するために実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明するが、本発明は、これに限定されるものでなく、後述の実施形態の構成を適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させてもよい。さらに、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。
【０００６】
請求項１の発明は、振動子（１１）を有した振動アクチュエータ（１０）を駆動する振動アクチュエータの駆動装置であって、電源部（１０１）が接続された１次側インダクタ部（１０５Ａ，１０５Ｂ）と、前記振動子に接続された２次側インダクタ部（１０６Ａ，１０６Ｂ）とを有するトランス部（１０４Ａ，１０４Ｂ）と、前記２次側インダクタ部と前記振動子との間における第１の方向に流れる電流（Ｉａ３）の通電状態を切り替える２次側第１切り替え部（１３０Ａ，１３０Ｂ）と、前記２次側インダクタ部と前記振動子との間における前記第１の方向とは反対方向である第２の方向（Ｉａ４）に流れる電流の通電状態を切り替える２次側第２切り替え部（１４０Ａ，１４０Ｂ）と、を備える振動アクチュエータの駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ）である。
請求項２の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記１次側インダクタ部（１０５Ａ，１０５Ｂ）と前記電源部（１０１）との間における第１の方向に流れる電流（Ｉａ１）の通電状態を切り替える１次側第１切り替え部（１１０Ａ，１１０Ｂ）と、前記１次側インダクタ部と前記電源部との間における前記第１の方向とは反対方向である第２の方向に流れる電流（Ｉａ２）の通電状態を切り替える１次側第２切り替え部（１２０Ａ，１２０Ｂ）と、を備えることを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ）である。
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記振動子（１１）は、第１電極（１２Ａ）と、第２電極（１２Ｂ）と、前記第１電極と対応して設けられた第１グラウンド電極（１３Ａ）と、前記第２電極と対応し前記第１グラウンド電極とは独立して設けられた第２グラウンド電極（１３Ｂ）とを有すること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ）である。
請求項４の発明は、請求項３に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記トランス部（１０４Ａ，１０４Ｂ）は、前記第１電極（１２Ａ）に対して接続された第１電極用トランス部（１０４Ａ）と、前記第２電極（１２Ｂ）に対して接続された第２電極用トランス部（１０４Ｂ）とが設けられており、前記２次側第１切り替え部（１３０Ａ，１３０Ｂ）及び前記２次側第２切り替え部（１４０Ａ，１４０Ｂ）は、前記第１グラウンド電極（１３Ａ）と前記第１電極用トランス部との間、及び、前記第２グラウンド電極（１３Ｂ）と前記第２電極用トランス部との間のそれぞれに対して少なくとも１つずつ配置されていること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ）である。
請求項５の発明は、請求項２から請求項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記２次側第１切り替え部（１３０Ａ，１３０Ｂ）と前記２次側第２切り替え部（１４０Ａ，１４０Ｂ）、及び、前記１次側第１切り替え部（１１０Ａ，１１０Ｂ）と前記１次側第２切り替え部（１２０Ａ，１２０Ｂ）は、電流を流すＯＮ状態と電流を遮断するＯＦＦ状態とに切り替え可能であって、前記２次側第１切り替え部は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの一方がＯＮ状態となるよりも前にＯＦＦ状態となり、前記２次側第２切り替え部は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの他方がＯＮ状態となるよりも前にＯＦＦ状態となること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ）である。
請求項６の発明は、請求項５に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記２次側第１切り替え部（１３０Ａ，１３０Ｂ）は、前記１次側第１切り替え部（１１０Ａ，１１０Ｂ）と前記１次側第２切り替え部（１２０Ａ，１２０Ｂ）とのうちの一方がＯＦＦ状態となるのと同時又はそれよりも前にＯＮ状態となり、前記２次側第２切り替え部（１４０Ａ，１４０Ｂ）は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの他方がＯＦＦ状態となるのと同時又はそれよりも前にＯＮ状態となること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ）である。
【０００７】
請求項７の発明は、振動子（２２）を有した振動アクチュエータ（２０）を駆動する振動アクチュエータの駆動装置であって、電源部（２０１）が接続された１次側インダクタ部（２０５Ａ，２０５Ｂ）と、前記振動子に接続された２次側インダクタ部（２０６Ａ，２０６Ｂ）とを有するトランス部（２０４Ａ，２０４Ｂ）と、前記１次側インダクタ部と前記電源部との間における第１の方向に流れる電流（Ｉａ１）の通電状態を切り替える１次側第１切り替え部（２１０Ａ，２１０Ｂ）と、前記１次側インダクタ部と前記電源部との間における第１の方向とは反対方向である第２の方向に流れる電流（Ｉａ２）の通電状態を切り替える１次側第２切り替え部（２２０Ａ，２２０Ｂ）と、前記２次側インダクタ部と前記振動子との間に流れる電流（Ｉａ３−２）の通電状態を切り替える２次側切り替え部（２３０Ａ，２３０Ｂ）と、を備える振動アクチュエータの駆動装置（２０１，２０２，２０３Ａ，２０３Ｂ）である。
請求項８の発明は、請求項７に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記振動子（２２）は、第１電極（２２Ａ）と、第２電極（２２Ｂ）と、前記第１電極及び前記第２電極に対応したグラウンド電極（２３）とを有すること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（２０１，２０２，２０３Ａ，２０３Ｂ）である。
請求項９の発明は、請求項８に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記トランス部（２０４Ａ，２０４Ｂ）は、前記第１電極（２２Ａ）に対して接続された第１電極用トランス部（２０４Ａ）と、前記第２電極（２２Ｂ）に対して接続された第２電極用トランス部（２０４Ｂ）とが設けられており、前記２次側切り替え部（２３０Ａ，２３０Ｂ）は、前記グラウンド電極と前記第１電極用トランス部との間、及び、前記グラウンド電極と前記第２電極用トランス部との間のそれぞれに対して少なくとも１つずつ配置されていること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（２０１，２０２，２０３Ａ，２０３Ｂ）である。
請求項１０の発明は、請求項８に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記トランス部（２０４Ａ，２０４Ｂ）は、前記第１電極（２２Ａ）に対して接続された第１電極用トランス部（２０４Ａ）と、前記第２電極（２２Ｂ）に対して接続された第２電極用トランス部（２０４Ｂ）とが設けられており、前記２次側切り替え部（２３０Ａ，２３０Ｂ）は、前記第１電極と前記第１電極用トランス部との間、及び、前記第２電極と前記第２電極用トランス部との間のそれぞれに対して少なくとも１つずつ配置されていること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（２０１，２０２，２０３Ａ，２０３Ｂ）である。
請求項１１の発明は、請求項７から請求項１０までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記２次側切り替え部（２３０Ａ，２３０Ｂ）、及び、前記１次側第１切り替え部（２１０Ａ，２１０Ｂ）と前記１次側第２切り替え部（２２０Ａ，２２０Ｂ）とは、電流を流すＯＮ状態と電流を遮断するＯＦＦ状態とに切り替え可能であって、前記２次側切り替え部は、前記１次側第１切り替え部と前記１次側第２切り替え部とのうちの一方がＯＮ状態となるのと同時又はそれよりも前にＯＦＦ状態となること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（２０１，２０２，２０３Ａ，２０３Ｂ）である。
請求項１２の発明は、請求項１１に記載の振動アクチュエータの駆動装置において、前記２次側切り替え部（２３０Ａ，２３０Ｂ）は、前記１次側第１切り替え部（２１０Ａ，２１０Ｂ）と前記１次側第２切り替え部（２２０Ａ，２２０Ｂ）とのうちの一方がＯＦＦ状態となるのと同時又はそれよりも前にＯＮ状態となること、を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置（２０１，２０２，２０３Ａ，２０３Ｂ）である。
【０００８】
請求項１３の発明は、請求項１から請求項１２までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２０）の駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ，２０１，２０２，２０３Ａ，２０３Ｂ）を備えたレンズ鏡筒（３）である。
請求項１４の発明は、請求項１から請求項１２までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２０）の駆動装置（１０１，１０２，１０３Ａ，１０３Ｂ，２０１，２０２，２０３Ａ，２０３Ｂ）を備えたカメラ（１）である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、振動アクチュエータを効率よく駆動できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下、振動アクチュエータの実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本実施形態では、振動アクチュエータとして、超音波の振動域を利用した超音波モータを例にとって説明する。
図１は、第１実施形態のカメラ１を説明する図である。
本実施形態のカメラシステム１は、撮像素子４を有するカメラボディ２と、レンズ５を有するレンズ鏡筒３とを備えている。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。
【００１１】
レンズ鏡筒３は、レンズ５、カム筒６、超音波モータ１０等を備えている。本実施形態では、超音波モータ１０は、カメラシステム１のフォーカス動作時にレンズ５を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１０から得られた駆動力は、カム筒６に伝えられる。レンズ５は、カム筒６に保持されており、超音波モータ１０の駆動力により、光軸方向へ移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。
【００１２】
図２は、第１実施形態の超音波モータとその駆動装置の構成を示す図である。
本実施形態の超音波モータ１０は、円環状の振動子と円環状の不図示の相対移動部材（回転子あるいは移動子とも言う）を有し、相対移動部材が回転して回転出力を得ることができる。振動子は、円環状の不図示の弾性体とこの弾性体に接合された圧電体１１（１１Ａ，１１Ｂ）を有している。
圧電体１１は、電気エネルギを機械エネルギに変換する電気機械エネルギ変換素子であり、例えば、圧電素子や電歪素子等が用いられる。圧電体１１は、略円環形状の部材であり、弾性体の周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）の電気信号が入力される範囲に分かれている。図２では、このＡ相部分の圧電体を１１Ａ、Ｂ相部分の圧電体を１１Ｂとして示している。各相には、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられており、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔があくように設けてある。この圧電体１１は、例えば、接着材を用いて弾性体と接合されている。
【００１３】
圧電体１１の一方の面には、各相の分極された要素毎に駆動電圧を印加できるように電極１２Ａ，１２Ｂが形成されている。また、圧電体１１の他方の面には、Ａ相、Ｂ相それぞれに対して、独立したグラウンド電極１３Ａ，１３Ｂが形成されている。
【００１４】
本実施形態では、上述の超音波モータ１０を駆動する駆動装置として、直流電源回路１０１と、パルス生成回路１０２と、駆動回路１０３Ａ，１０３Ｂとを備えている。
直流電源回路１０１は、駆動回路１０３Ａ，１０３Ｂに接続され、これらに直流の電流を供給する。図２では、直流電源回路１０１は、駆動回路１０３Ａに対して電流Ｉａを供給し、駆動回路１０３Ｂに対して電流Ｉｂを供給するものとして示している。
パルス生成回路１０２は、不図示の制御部と、駆動回路１０３Ａ，１０３Ｂとに接続されている。パルス生成回路１０２は、不図示の制御部から、超音波モータ１０を駆動する駆動周波数の指示を受け、その駆動周波数で超音波モータ１０を駆動するために必要なパルス信号を駆動回路１０３Ａ，１０３Ｂに対して出力する。パルス生成回路１０２からは、駆動回路１０３Ａに対してパルス信号Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４が出力され、駆動回路１０３Ｂに対してパルス信号Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４が出力される。
【００１５】
駆動回路１０３Ａ，１０３Ｂは、それぞれ、Ａ相用、Ｂ相用の駆動回路である。Ａ相とＢ相とは、それぞれに供給される駆動信号の位相がＡ相とＢ相とで９０度ずれている他は、実質的に同一である。したがって、駆動回路１０３Ａと駆動回路１０３Ｂとは、それぞれがパルス生成回路１０２から得るパルス信号Ａ１〜Ａ４とパルス信号Ｂ１〜Ｂ４との位相が９０度ずれている点を除き、同様な形態をしており、駆動回路が関係する超音波モータ１０の動作についても、同様な動作を行なう。よって、以下の説明では、特に言及しない限り、Ａ相に関する部分についてのみ説明を行ない、Ｂ相に関する部分についての説明は省略する。なお、Ａ相に関する要素には、符号の末尾にＡを付し、Ｂ相に関する要素には、符号の末尾にＢを付した。これらの互いの番号が共通する構成、例えば、後述する１次側第１スイッチ部１１０Ａと１次側第１スイッチ部１１０Ｂとは、それぞれがＡ相用、Ｂ相用である他は、同一の形態をしているものである。
【００１６】
駆動回路１０３Ａは、トランス１０４Ａと、１次側第１スイッチ部１１０Ａと、１次側第２スイッチ部１２０Ａと、２次側第１スイッチ部１３０Ａと、２次側第２スイッチ部１４０Ａとを有している。
【００１７】
トランス１０４Ａは、１次側インダクタ部１０５Ａと２次側インダクタ部１０６Ａとが一対でトランスを形成しており、超音波モータ１０に印加する駆動電圧を昇圧している。１次側インダクタ部１０５Ａは、直流電源回路１０１に接続されている。また、２次側インダクタ部１０６Ａは、超音波モータ１０の電極１２Ａに接続されている。２次側インダクタ部１０６Ａは、超音波モータ１０の駆動回路としては、駆動信号を生成するＬＣ並列共振回路のインダクタ成分となる。
【００１８】
１次側第１スイッチ部１１０Ａは、ＭＯＳＦＥＴ（Metal  Oxide  Semiconductor  FET）１１１Ａと、ダイオード１１２Ａとを有している。ＭＯＳＦＥＴ１１１Ａのゲート端子には、パルス生成回路１０２からパルス信号Ａ１が入力される。ＭＯＳＦＥＴ１１１Ａに入力されるパルス信号Ａ１がロー（Ｌｏｗ）の場合にＭＯＳＦＥＴ１１１Ａは、電流Ｉａ１を遮断し、ハイ（Ｈｉｇｈ）の場合に通電可能な状態となる。このように、１次側第１スイッチ部１１０Ａは、パルス信号Ａ１によって、電流Ｉａ１の通電（ＯＮ）状態と非通電（ＯＦＦ）状態とが切り替わるスイッチ部として機能する。ここで、電流Ｉａ１は、トランス１０４Ａから１次側第１スイッチ部１１０Ａ方向へと流れる電流である。
【００１９】
一方、１次側第２スイッチ部１２０Ａは、ＭＯＳＦＥＴ１２１Ａと、ダイオード１２２Ａとを有している。ＭＯＳＦＥＴ１２１Ａのゲート端子には、パルス生成回路１０２からパルス信号Ａ２が入力される。１次側第２スイッチ部１２０Ａは、１次側第１スイッチ部１１０Ａと同様に動作して、パルス信号Ａ２によって、電流Ｉａ２の通電（ＯＮ）状態と非通電（ＯＦＦ）状態とが切り替わるスイッチ部として機能する。ただし、１次側第２スイッチ部１２０Ａが通電と遮断とを切り替えるのは、トランス１０４Ａから１次側第２スイッチ部１２０Ａ方向へと流れる電流Ｉａ２である。すなわち、電流Ｉａ２は、トランス１０４Ａの１次側インダクタ部１０５Ａを、電流Ｉａ１とは逆の方向に流れる電流である。
【００２０】
２次側第１スイッチ部１３０Ａは、ＭＯＳＦＥＴ１３１Ａと、ダイオード１３２Ａとを有し、トランス１０４Ａの２次側インダクタ部１０６Ａと圧電体（１１Ａ）のグラウンド電極１３Ａとの間に接続されている。ＭＯＳＦＥＴ１３１Ａのゲート端子には、パルス生成回路１０２からパルス信号Ａ３が入力される。ＭＯＳＦＥＴ１３１Ａに入力されるパルス信号Ａ３がロー（Ｌｏｗ）の場合にＭＯＳＦＥＴ１３１Ａは、電流Ｉａ３を遮断し、ハイ（Ｈｉｇｈ）の場合に通電可能な状態となる。このように、２次側第１スイッチ部１３０Ａは、パルス信号Ａ３によって、電流Ｉａ３の通電（ＯＮ）状態と非通電（ＯＦＦ）状態とが切り替わるスイッチ部として機能する。ここで、電流Ｉａ３は、トランス１０４Ａから２次側第１スイッチ部１３０Ａ方向へと流れる電流である。
【００２１】
２次側第２スイッチ部１４０Ａは、ＭＯＳＦＥＴ１４１Ａと、ダイオード１４２Ａとを有し、トランス１０４Ａの２次側インダクタ部１０６Ａと圧電体（１１Ａ）のグラウンド電極１３Ａとの間に２次側第１スイッチ部１３０Ａと直列に接続されている。ＭＯＳＦＥＴ１４１Ａのゲート端子には、パルス生成回路１０２からパルス信号Ａ４が入力される。ＭＯＳＦＥＴ１４１Ａに入力されるパルス信号Ａ４がロー（Ｌｏｗ）の場合にＭＯＳＦＥＴ１４１Ａは、電流Ｉａ４を遮断し、ハイ（Ｈｉｇｈ）の場合に通電可能な状態となる。このように、２次側第２スイッチ部１４０Ａは、パルス信号Ａ４によって、電流Ｉａ４の通電（ＯＮ）状態と非通電（ＯＦＦ）状態とが切り替わるスイッチ部として機能する。ここで、電流Ｉａ４は、グラウンド電極１３Ａから２次側第２スイッチ部１４０Ａ方向へと流れる電流である。すなわち、電流Ｉａ４は、トランス１０４Ａの２次側インダクタ部１０６Ａを、電流Ｉａ３とは逆の方向に流れる電流である。
【００２２】
図３は、第１実施形態の超音波モータ駆動時のタイミングチャートである。
第１実施形態では、パルス生成回路１０２から出力されるパルス信号Ａ１，Ａ３により、２次側第１スイッチ部１３０Ａ及び２次側第２スイッチ部１４０Ａがトランス１０４Ａの２次側インダクタ部１０６Ａを流れる電流を適切な時期に切断している。これにより、圧電体１１Ａに加わる電圧波形に生じる乱れを防止している。以下に、この動作について説明するが、その前に、２次側第１スイッチ部１３０Ａ及び２次側第２スイッチ部１４０Ａを設けない場合の電圧波形の乱れについて、比較例として挙げて説明する。
【００２３】
図４は、比較例の超音波モータとその駆動装置の構成を示す図である。
比較例の超音波モータ５０は、グラウンド電極５３がＡ相用とＢ相用とで共通となっている点が、第１実施形態の超音波モータ１０と異なっている。そして、超音波モータ１０は、各相の分極された要素毎に駆動電圧を印加できるように形成された電極５２Ａ，５２Ｂが、トランス５０４Ａ，５０４Ｂに接続されている。比較例の直流電源回路５０１は、第１実施形態の直流電源回路１０１と同様な構成をしている。比較例のパルス生成回路５０２は、第１実施形態のパルス生成回路１０２が出力するパルス信号Ａ３，Ａ４に相当する信号を出力しない点が、第１実施形態のパルス生成回路１０２異なっている。
【００２４】
比較例の駆動回路５０３Ａ、及び、駆動回路５０３Ｂは、それぞれ、第１実施形態の２次側第１スイッチ部１３０Ａと２次側第２スイッチ部１４０Ａ、及び、２次側第１スイッチ部１３０Ｂと２次側第２スイッチ部１４０Ｂを備えていない点が、第１実施形態の駆動回路１０３Ａ及び駆動回路１０３Ｂと異なっている。
【００２５】
図５は、比較例において超音波モータが回転を始める周波数（ｆ０）で駆動されているときのＡ相側のタイミングチャートである。
ｔ１において、パルス信号Ａ１をハイにすると、電流Ｉａ１が流れ始める。この電流により、トランス５０４Ａの１次側インダクタ部５０５Ａにエネルギが蓄えられる。
ｔ２において、パルス信号Ａ１をローにすることにより、１次側インダクタ部５０５Ａに対してエネルギを蓄えるように作用していた直流電源回路５０１からの電流が遮断され、１次側インダクタ部５０５Ａに蓄えられていたエネルギが急速に開放される。これに応じて、２次側インダクタ部５０６Ａに電流Ｉａ３が流れると共に圧電体５１Ａに対して駆動電圧（図５におけるＶｍａ−１）が印加される。
【００２６】
ｔ１から所定の位相差を設けて間隔を開けたｔ３において、パルス信号Ａ２をハイにすると、先ほどの電流Ｉａ１とは反対方向に電流Ｉａ２が流れ、トランス５０４Ａの１次側インダクタ部５０５Ａにエネルギが蓄えられる。
ｔ４において、パルス信号Ａ２をローにすることにより、１次側インダクタ部５０５Ａに対してエネルギを蓄えるように作用していた直流電源回路５０１からの電流が遮断され、１次側インダクタ部５０５Ａに蓄えられていたエネルギがｔ２の時点とは逆方向に急速に開放される。これに応じて、１次側インダクタ部５０６Ａに電流Ｉａ４が流れると共に圧電体５１Ａに対して駆動電圧（図５におけるＶｍａ−２）が印加される。
ここで、パルス信号Ａ１とパルス信号Ａ２とは、１８０度位相差が有り、１次側第１スイッチ部５１０Ａと１次側第２スイッチ部５２０Ａとにより、トランス５０４Ａに対して両者が交互に逆方向の電流を流すように、いわゆるプッシュプル駆動する。
【００２７】
図５の駆動状態は、トランス５０４Ａの２次側インダクタ部５０６Ａのインダクタンスと、超音波モータ５０の圧電体５１Ａの静電容量とによる共振周波数に近い駆動周波数で駆動している場合である。
しかし、駆動速度を上げる場合、駆動周波数を低くする、すなわち、ｔ１からｔ３の間隔を広げる。
図６は、比較例において超音波モータが最高回転数となる周波数（ｆ１）で駆動されているときのタイミングチャートである。
図６のような場合、駆動周波数と上記共振周波数とが離れることとなる。これにより、ｔ１，ｔ３直後に圧電体５１Ａに対して印加される駆動電圧（図６におけるＶｍａ−３，４）が乱れてしまう。これは、上記共振周波数でトランス５０４Ａの２次側インダクタ部５０６Ａと圧電体５１Ａとの間で発生しているエネルギの自由振動によるものであるが、駆動周波数とずれた周波数で自由振動してしまうことから、電圧波形の乱れが生じているのである。
電圧波形が乱れることにより、電流Ｉａが増大しており、消費電力が多くなってしまう。また、圧電体５１Ａの振動状態も所望の状態とすることが困難となり、安定した駆動が困難になるおそれがある。
【００２８】
図３に戻って、第１実施形態では、比較例の場合に生じていた電圧波形の乱れが生じないように、所定の期間だけトランス５０４Ａの２次側インダクタ部５０６Ａを流れる電流を遮断して、トランス５０４Ａの２次側に発生する自由振動を抑制している。
図３において、パルス信号Ａ１，Ａ２は、上述の比較例の場合と同じように発生させ、トランス１０４Ａをプッシュプル駆動する。ｔ１からｔ２までは、１次側第１スイッチ部１１０ＡをＯＮとし、トランス１０４Ａの１次側インダクタ部１０５Ａに流れた電流Ｉａ１をエネルギとして蓄える期間である。よって、ｔ１からｔ２までの期間を変化させることにより、圧電体１１Ａへ印加される電圧波形Ｖｍａを最適化できる。
【００２９】
本実施形態では、電圧波形Ｖｍａ−５が発生していく過程において、ｔ３よりも前のｔ３’でパルス信号Ａ４をローにする。このパルス信号Ａ４をローにすることにより、２次側第２スイッチ部１４０Ａが電流Ｉａ４を遮断する。そして、ｔ４でパルス信号Ａ２がローとなるのと同時にパルス信号Ａ４がハイとなり、通電可能な状態となる。このｔ３’からｔ４までの間は、電流Ｉａ４が遮断されているので、電圧波形Ｖｍａ−５において、トランス１０４Ａの２次側に生じる自由振動を防止できる。これと同様に、パルス信号Ａ３は、ｔ１’からｔ２の間でローとなり、２次側第１スイッチ部１３０Ａが電流Ｉａ３を遮断する。これにより、電圧波形Ｖｍａ−６において、トランス１０４Ａの２次側に生じる自由振動を防止できる。
なお、ｔ１’、ｔ３’は、電流Ｉａが負に変わるポイントである。ｔ１’からｔ２までの期間、及び、ｔ３’からｔ４までの期間は、超音波モータ１０の駆動周波数帯域が狭い場合には、固定値としてもよい。ただし、駆動周波数帯域が広くなってくると、駆動周波数によって変化させる必要がある。
【００３０】
ここで、パルス信号Ａ３をハイからローに切り替える時点は、電圧波形Ｖｍａ−６が極大値となる時点以前であることが望ましい。この理由は、電圧波形Ｖｍａ−６が極大値となる時点は、トランス１０４Ａの１次側インダクタ部１０５Ａに蓄えられていたエネルギによる、圧電体１１Ａへの駆動電圧の印加が終わる時点であり、以降は圧電体１１Ａからトランス１０４Ａへ電流が逆流（ＬＣ共振による自由振動）するので、効率が悪くなるからである。
つまり、パルス信号Ａ３をハイからローに切り替える時点が、電圧波形Ｖｍａ−６が極大値となる時点よりパルス信号Ａ１をローからハイに切り替える時点に近づくほど、圧電体電圧Ｖｍａと回路電流Ｉａの波形が、図６の波形に近くなり、好ましくない。
以上のことから、パルス信号Ａ３をハイからローに切り替える時点は、パルス信号Ａ２をハイからローに切り替える時点より後で、電圧波形Ｖｍａ−６が極大値となる時点以前であればよい。すなわち、回路電流Ｉａが流れていない期間にパルス信号Ａ３をハイからローに切り替えることとなる。
同様に、パルス信号Ａ４をハイからローに切り替える時点は、パルス信号Ａ１をハイからローに切り替える時点より後で、電圧波形Ｖｍａ−５が極小値となる時点以前であることが望ましい。
【００３１】
一方、パルス信号Ａ３をローからハイに切り替える時点は、パルス信号Ａ１をハイからローへ切り替える時点以前が望ましく、同時であることがより望ましい。これと同様に、パルス信号Ａ４をローからハイに切り替える時点は、パルス信号Ａ２をハイからローへ切り替える時点以前が望ましく、同時であることがより望ましい。これは、パルス信号Ａ１をハイからローへ切り替える時点、及びパルス信号Ａ２をハイからローへ切り替える時点からは、トランス１０４Ａと圧電体１１Ａとからなる共振回路を利用した駆動電圧の印加が行なわれる必要があるからであり、この時点で２次側の通電を遮断してしまうと、エネルギを有効に活用できなくなるからである。また、この駆動電圧の印加が開始される時点（すなわち、パルス信号Ａ１をハイからローへ切り替える時点、及び、パルス信号Ａ２をハイからローへ切り替える時点）の直前までは、不要な自由振動を防止することが望ましいからである。
【００３２】
第１実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）電流Ｉａ３の通電状態を切り替える２次側第１スイッチ部１３０Ａと、電流Ｉａ３とは反対方向に流れる電流Ｉａ４の通電状態を切り替える２次側第２スイッチ部１４０Ａとを備えるので、トランス１０４Ａの２次側の自由振動を防止できる。したがって、消費電流を抑制し、効率よく駆動を行える。Ｂ相側も同様である。
【００３３】
（２）電流Ｉａ１の通電状態を切り替える１次側第１スイッチ部１１０Ａと、電流Ｉａ１とは反対方向に流れる電流Ｉａ２の通電状態を切り替える１次側第２スイッチ部１２０Ａとを備えるので、プッシュプル駆動を行なうことができ、より効率の高い駆動を行える。Ｂ相側も同様である。
【００３４】
（３）Ａ相用の電極１２Ａと対応して設けられたＡ相用のグラウンド電極１３Ａと、Ｂ相用の電極１２Ｂと対応しＡ相用のグラウンド電極１３Ａとは独立して設けられたＢ相用のグラウンド電極１３Ｂとを有した圧電体１１を備えた超音波モータ１０を駆動し、２次側第１スイッチ部１３０Ａ及び２次側第２スイッチ部１４０Ａは、Ａ相用のグラウンド電極１３ＡとＡ相用のトランス１０４Ａとの間に設けられ、２次側第１スイッチ部１３０Ｂ及び２次側第２スイッチ部１４０Ｂは、Ｂ相用のグラウンド電極１３ＢとＢ相用のトランス１０４Ｂとの間に設けられているので、駆動電圧波形の正負両方向において波形の乱れを防止できる。
【００３５】
（４）パルス信号Ａ３をハイからローに切り替える時点は、パルス信号Ａ２をハイからローに切り替える時点より後で、電圧波形Ｖｍａ−６が極大値となる時点以前としたので、圧電体電圧Ｖｍａの波形の乱れを防止できる。そのため、回路電流Ｉａの増大も防止でき、消費電力が多くなることもない。Ｂ相側も同様である。
【００３６】
（５）パルス信号Ａ３をローからハイに切り替える時点は、パルス信号Ａ１をハイからローへ切り替える時点と同時とし、パルス信号Ａ４をローからハイに切り替える時点は、パルス信号Ａ２をハイからローへ切り替える時点と同時としたので、エネルギを無駄にすることなく利用でき、かつ、不要な自由振動を防止できる。Ｂ相側も同様である。
【００３７】
（第２実施形態）
図７は、第２実施形態の超音波モータとその駆動装置の構成を示す図である。
第２実施形態は、超音波モータ２０の構成が異なる点と、トランス２０４Ａ及びトランス２０４Ｂの２次側には、それぞれ２次側スイッチ部２３０Ａ及び２次側スイッチ部２３０Ｂが設けられ、第１実施形態の２次側第２スイッチ部１４０Ａ，１４０Ｂに相当する構成を備えていない点が、第１実施形態と異なっている他は、第１実施形態と同様な形態である。よって、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、符号の後半に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
【００３８】
第２実施形態の超音波モータ２０は、圧電体２１（２１Ａ，２１Ｂ）と電極２２Ａ，２２Ｂとグラウンド電極２３とを備えている。圧電体２１と電極２２Ａ，２２Ｂとは、第１実施形態の圧電体１１と電極１２Ａ，１２Ｂと同様であるが、第２実施形態の超音波モータ２０は、グラウンド電極２３がＡ相用とＢ相用とで共通となっている点が、第１実施形態の超音波モータ１０と異なっている。
【００３９】
第２実施形態は、超音波モータ２０を駆動する駆動装置として、直流電源回路２０１と、パルス生成回路２０２と、駆動回路２０３Ａ，２０３Ｂとを備えている。
パルス生成回路２０２は、駆動回路２０３Ａに対してパルス信号Ａ１，Ａ２，Ａ３を出力し、駆動回路２０３Ｂに対してパルス信号Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を出力する。
【００４０】
駆動回路２０３Ａ，２０３Ｂは、それぞれ、Ａ相用、Ｂ相用の駆動回路である。
駆動回路２０３Ａは、トランス２０４Ａと、１次側第１スイッチ部２１０Ａと、１次側第２スイッチ部２２０Ａと、２次側スイッチ部２３０Ａとを有している。
トランス２０４Ａと、１次側第１スイッチ部２１０Ａと、１次側第２スイッチ部２２０Ａとは、第１実施形態のトランス１０４Ａと、１次側第１スイッチ部１１０Ａと、１次側第２スイッチ部１２０Ａと同様な形態をしている。
【００４１】
２次側スイッチ部２３０Ａは、ＭＯＳＦＥＴ２３１Ａと、ダイオード２３２Ａとを有し、トランス２０４Ａの２次側インダクタ部２０６Ａが圧電体２１Ａの電極２２Ａに接続されている側とは反対側において２次側インダクタ部２０６Ａに接続されている。すなわち、２次側スイッチ部２３０Ａは、トランス２０４Ａの２次側インダクタ部２０６Ａとグラウンド電極２３との間に接続されている。
なお、本実施形態では、２次側スイッチ部２３０Ａを、トランス２０４Ａの２次側インダクタ部２０６Ａとグラウンド電極２３との間に接続したが、トランス２０４Ａの２次側インダクタ部２０６Ａと電極２０Ａの間に接続してもよい。２次側スイッチ部２３０Ａは、電極２０Ａとグラウンド電極２３との間を流れる電流を遮断することが目的であるから、電極２０Ａとグラウンド電極２３との間のどこか１点で遮断できるように接続すればよい。しかしながら、２次側スイッチ部２３０Ａのゲート端子の制御回路を簡略化するためには、図７のように、２次側スイッチ部２３０Ａを、トランス２０４Ａの２次側インダクタ部２０６Ａとグラウンド電極２３との間に接続することが好ましい。以上は、Ｂ相側についても同様である。
ＭＯＳＦＥＴ２３１Ａのゲート端子には、パルス生成回路２０２からパルス信号Ａ３が入力される。ＭＯＳＦＥＴ２３１Ａに入力されるパルス信号Ａ３がロー（Ｌｏｗ）の場合にＭＯＳＦＥＴ２３１Ａは、電流Ｉａ３−２を遮断し、ハイ（Ｈｉｇｈ）の場合に通電可能な状態となる。このように、２次側スイッチ部２３０Ａは、パルス信号Ａ３によって、電流Ｉａ３−２の通電（ＯＮ）状態と非通電（ＯＦＦ）状態とが切り替わるスイッチ部として機能する。ここで、電流Ｉａ３−２は、トランス２０４Ａから２次側スイッチ部２３０Ａ方向へと流れる電流である。
【００４２】
図８は、第２実施形態の超音波モータ駆動時のタイミングチャートである。
パルス信号Ａ１，Ａ２は、先に説明した第１実施形態の場合と同じように発生させ、トランス２０４Ａをプッシュプル駆動する。
第２実施形態では、パルス信号Ａ２をローとしたことにより生じる電圧波形Ｖｍａ−８の駆動電圧が圧電体２１Ａに印加されるときに、パルス信号Ａ３をローとして、電圧波形Ｖｍａ−８が自由振動により乱れることを防止している。具体的には、電圧波形Ｖｍａ−８が発生していく過程において、ｔ１よりも前のｔ１’でパルス信号Ａ３をローにする。このパルス信号Ａ３をローにすることにより、２次側スイッチ部２３０Ａが電流Ｉａ３−２を遮断する。そして、ｔ２でパルス信号Ａ１がローとなるのと同時にパルス信号Ａ３がハイとなり、通電可能な状態となる。このｔ１’からｔ２までの間は、電流Ｉａ３−２が遮断されているので、電圧波形Ｖｍａ−８において、トランス２０４Ａの２次側に生じる自由振動を防止できる。
ここで、パルス信号Ａ３をハイからローに切り替える時点と、パルス信号Ａ３をローからハイに切り替える時点は、第１実施形態と同様にして決めるとよい。
【００４３】
第２実施形態では、パルス信号Ａ１をローとしたことにより生じる電圧波形Ｖｍａ−７の駆動電圧が圧電体２１Ａに印加されるときには、トランス２０４Ａの２次側に生じる自由振動を許容している。しかし、電圧波形Ｖｍａ−８について自由振動を防止しているので、消費電流を抑え、効率よい駆動を行なう効果を得ることができる。また、第２実施形態では、グラウンド電極２３がＡ相とＢ相とで共通とする構造となっているので、第１実施形態のようにＡ相とＢ相とで独立したグラウンド電極を設ける場合よりも、圧電体２１の振動を効率よく弾性体に伝えることができる。また、超音波モータ２０の製造を容易に行なうことができる。
【００４４】
第２実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）電流Ｉａ１の通電状態を切り替える１次側第１スイッチ部２１０Ａと、電流Ｉａ１とは反対方向に流れる電流Ｉａ２の通電状態を切り替える１次側第２スイッチ部２２０Ａとを備え、さらに、電流Ｉａ３−２の通電状態を切り替える２次側スイッチ部２３０Ａを備えるので、プッシュプル駆動を行ないながら、トランス２０４Ａの２次側の自由振動を防止できる。したがって、消費電流を抑制し、効率よく駆動を行える。Ｂ相側も同様である。
【００４５】
（２）超音波モータ２０は、Ａ相用の電極２２Ａ及びＢ相用の電極２２Ｂに対応したグラウンド電極２３を有しており、２次側スイッチ部２３０Ａ、２３０Ｂは、Ａ相用のトランス２０４Ａとグラウンド電極２３との間（あるいは、Ａ相用のトランス２０４ＡとＡ相用の電極２２Ａとの間）、及び、Ｂ相用のトランス２０４Ｂとグラウンド電極２３との間（あるいは、Ｂ相用のトランス２０４ＢとＢ相用の電極２２Ｂとの間）に配置されているので、Ａ相とＢ相の双方について電圧波形の乱れを防止できる。また、共通のグラウンド電極２３としたことから、圧電体２１の振動を効率よく弾性体に伝えることができ、駆動効率を高めることができ、さらに、超音波モータ２０の製造が容易である。
【００４６】
（３）パルス信号Ａ３をハイからローに切り替える時点は、パルス信号Ａ２をハイからローに切り替える時点より後で、電圧波形Ｖｍａ−６が極大値となる時点以前としたので、圧電体電圧Ｖｍａの波形の乱れを防止できる。そのため、回路電流Ｉａの増大も防止でき、消費電力が多くなることもない。Ｂ相側も同様である。
【００４７】
（４）パルス信号Ａ３をローからハイに切り替える時点は、パルス信号Ａ１をハイからローへ切り替える時点と同時としたので、エネルギを無駄にすることなく利用でき、かつ、不要な自由振動を防止できる。Ｂ相側も同様である。
【００４８】
（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の範囲内である。
（１）各実施形態において、２次側第１スイッチ部１３０Ａと、２次側第２スイッチ部１４０Ａ、及び、２次側スイッチ部２３０Ａは、通電可能なＯＮ状態と遮断するＯＦＦ状態とを切り替えるスイッチとしたが、これに限らず、例えば、通電可能な電流値を制限するような形態で通電状態を切り替えてもよい。
【００４９】
（２）各実施形態において、回転駆動力を出力する超音波モータ１０，２０を駆動する例を挙げて説明したが、これに限らず、例えば、相対移動部材が直進移動を行なうリニア形のアクチュエータであってもよい。
【００５０】
（３）各実施形態において、超音波領域の振動を用いる超音波モータ１０，２０を例に挙げて説明したが、これに限らず、超音波以外の振動を用いる振動アクチュエータに適用してもよい。
【００５１】
（４）本実施形態において、超音波モータ１０，２０は、カメラ１のフォーカス動作時のレンズの駆動源として用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、カメラ１のズーム動作時の駆動源としてもよいし、カメラの撮像系の一部を駆動して手振れを補正する手振れ補正機構の駆動源として用いてもよい。また、複写機の駆動部、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部、時計の駆動装置等に用いてもよい。
なお、第１実施形態、第２実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した各実施形態によって限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】第１実施形態のカメラ１を説明する図である。
【図２】第１実施形態の超音波モータとその駆動装置の構成を示す図である。
【図３】第１実施形態の超音波モータ駆動時のタイミングチャートである。
【図４】比較例の超音波モータとその駆動装置の構成を示す図である。
【図５】比較例において超音波モータが回転を始める周波数（ｆ０）で駆動されているときのＡ相側のタイミングチャートである。
【図６】比較例において超音波モータが最高回転数となる周波数（ｆ１）で駆動されているときのタイミングチャートである。
【図７】第２実施形態の超音波モータとその駆動装置の構成を示す図である。
【図８】第２実施形態の超音波モータ駆動時のタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００５３】
１０，２０：超音波モータ、１１，２１：圧電体、１２Ａ，１２Ｂ，２２Ａ，２２Ｂ：電極、１３Ａ，１３Ｂ，２３：グラウンド電極、１０４Ａ，１０４Ｂ，２０４Ａ，２０４Ｂ：トランス、１０５Ａ，１０５Ｂ，２０５Ａ，２０５Ｂ：１次側インダクタ部、１０６Ａ，１０６Ｂ，２０６Ａ，２０６Ｂ：２次側インダクタ部、１１０Ａ，１１０Ｂ，２１０Ａ，２１０Ｂ：１次側第１スイッチ部、１２０Ａ，１２０Ｂ，２２０Ａ，２２０Ｂ：１次側第２スイッチ部、１３０Ａ，１３０Ｂ：２次側第１スイッチ部、１４０Ａ，１４０Ｂ：２次側第２スイッチ部、２３０Ａ，２３０Ｂ：２次側スイッチ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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