(57)【要約】【課題】フィルタ部分からの液体の漏出を防止でき且つ製造工程を簡略化することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】供給部材３４と供給体３２との間に配されたフィルタ３３を加熱した状態で供給部材３４と供給体３２とをフィルタ３３に向かって押圧し、フィルタ３３の熱によって供給部材３４と供給体３４とを熱溶着することで、供給部材３４及び供給体３２とフィルタ３３とを一体化する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する液体貯留手段から供給された液体を噴射するノズルを有するヘッド本体と、前記液体供給手段から該ヘッド本体の複数のノズル群毎に前記液体を供給する液体供給路が設けられた樹脂材料からなる供給部材と、該供給部材の前記液体供給路の一端側に設けられて前記液体貯留手段の液体を前記供給部材に供給する樹脂材料からなる供給体と、前記供給部材と前記供給体との間に設けられたフィルタとを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記供給部材と前記供給体との間に配された前記フィルタを加熱した状態で前記供給部材と前記供給体とを前記フィルタに向かって押圧し、当該フィルタの熱によって前記供給部材と前記供給体とを熱溶着することで、前記供給部材及び前記供給体と前記フィルタとを一体化することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記供給部材及び前記供給体の少なくとも何れか一方に設けられた溶着突起を前記フィルタの熱によって溶融させることで、前記供給部材及び前記供給体と前記フィルタとを一体化することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記溶着突起が前記供給部材に設けられた第１の溶着突起と前記供給体に設けられた第２の溶着突起とを含むと共に、前記第１の溶着突起と前記第２の溶着突起とが前記フィルタの面内方向で異なる位置に設けられており、
前記第１の溶着突起と前記第２の溶着突起とを前記フィルタの熱によってそれぞれ溶融させることで、前記供給部材及び前記供給体と前記フィルタとを一体化することを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記液体噴射ヘッドが、前記供給部材と前記供給体との外周に一体成型により設けられて前記供給部材と前記供給体とを固定するアウター部をさらに具備するものであり、
前記供給部材及び前記供給体と前記フィルタとを前記アウター部材を形成するための金型内で一体化した後、前記アウター部を形成することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
液体を貯留する液体貯留手段から供給された液体を噴射するノズルを有するヘッド本体と、前記液体供給手段から該ヘッド本体の複数のノズル群毎に前記液体を供給する液体供給路が設けられた樹脂材料からなる供給部材と、該供給部材の前記液体供給路の一端側に設けられて前記液体貯留手段の液体を前記供給部材に供給する樹脂材料からなる供給体と、前記供給部材と前記供給体との間に設けられたフィルタとを具備し、
前記供給部材と前記供給体と前記フィルタとが、当該フィルタの微細孔内に入り込んだ前記供給部材又は前記供給体を構成する樹脂材料によって一体化されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填された液体貯留手段であるインクカートリッジから、このインクカートリッジに着脱可能に挿入されるインク供給体であるインク供給針及びインクカートリッジが保持されるカートリッジケース等の供給部材に形成されたインク流路を介してヘッド本体にインクが供給され、ヘッド本体に設けられた圧電素子等の圧力発生手段を駆動させることによりヘッド本体に供給されたインクがノズルから吐出される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジのインク内に存在する気泡、あるいはインクカートリッジを着脱する際にインク内に混入した気泡がヘッド本体に供給されてしまうと、この気泡によるドット抜け等の吐出不良が発生するという問題がある。このような問題を解決するために、インクカートリッジに挿入されるインク供給針と供給部材との間にインク内の気泡やゴミ等を除去するためのフィルタを設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ここで、特許文献１に記載の構成では、供給部材と、フィルタ及びインク供給針とがそれぞれ超音波溶着等により固定されて、これら供給部材、フィルタ及びインク供給針の各部材が一体化されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２１１１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このように各部材を超音波溶着等によって固定しようとすると、供給部材とインク供給針（供給体）及びフィルタとをそれぞれ個別に固定しなければならないため、製造工程が煩雑化してしまうという問題もある。また供給部材には、インク供給針（供給体）及びフィルタをそれぞれ個別に溶着するための領域を確保する必要があり、それに伴いヘッドが大型化してしまうという問題がある。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、フィルタ部分からの液体の漏出を防止でき且つ製造工程を簡略化することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、液体を貯留する液体貯留手段から供給された液体を噴射するノズルを有するヘッド本体と、前記液体供給手段から該ヘッド本体の複数のノズル群毎に前記液体を供給する液体供給路が設けられた樹脂材料からなる供給部材と、該供給部材の前記液体供給路の一端側に設けられて前記液体貯留手段の液体を前記供給部材に供給する樹脂材料からなる供給体と、前記供給部材と前記供給体との間に設けられたフィルタとを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記供給部材と前記供給体との間に配された前記フィルタを加熱した状態で前記供給部材と前記供給体とを前記フィルタに向かって押圧し、当該フィルタの熱によって前記供給部材と前記供給体とを熱溶着することで、前記供給部材及び前記供給体と前記フィルタとを一体化することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００１０】
かかる本発明では、フィルタの熱により溶融した樹脂材料（供給部材又は供給体）が、フィルタの微細孔内に入り込むことで、供給部材、供給体及びフィルタが一体化される。このように微細孔内に入り込んだ樹脂材料によってフィルタが液体供給路毎にシールされることで、フィルタのシール性が向上する。すなわち、液体供給路のフィルタ部分からの液体の漏出を防止することができる。また供給部材、供給体及びフィルタを同時に一体化することができるため、製造工程が簡略化される。
【００１１】
ここで、前記供給部材及び前記供給体の少なくとも何れか一方に設けられた溶着突起を前記フィルタの熱によって溶融させることで、前記供給部材及び前記供給体と前記フィルタとを一体化することが好ましい。特に、前記溶着突起が前記供給部材に設けられた第１の溶着突起と前記供給体に設けられた第２の溶着突起とを含むと共に、前記第１の溶着突起と前記第２の溶着突起とが前記フィルタの面内方向で異なる位置に設けられており、前記第１の溶着突起と前記第２の溶着突起とを前記フィルタの熱によってそれぞれ溶融させることで、前記供給部材及び前記供給体と前記フィルタとを一体化することが好ましい。
【００１２】
このように溶着突起を溶融させて、供給部材及び供給体とフィルタとを一体化することで、溶融した樹脂材料がフィルタの微細孔に確実に入り込みフィルタのシール性がさらに向上する。特に、フィルタの面内方向で異なる位置に設けられた第１の溶着突起と第２の溶着突起と溶融させて各部材を一体化することで、フィルタが二重にシールされるため、フィルタのシール性がさらに向上する。
【００１３】
また、前記液体噴射ヘッドが、前記供給部材と前記供給体との外周に一体成型により設けられて前記供給部材と前記供給体とを固定するアウター部をさらに具備するものであり、前記供給部材及び前記供給体と前記フィルタとを前記アウター部材を形成するための金型内で一体化した後、前記アウター部を形成することが好ましい。これにより、製造工程を簡略化しつつ液体供給路からの液体の漏出をより確実に防止することができる。
【００１４】
また本発明は、液体を貯留する液体貯留手段から供給された液体を噴射するノズルを有するヘッド本体と、前記液体供給手段から該ヘッド本体の複数のノズル群毎に前記液体を供給する液体供給路が設けられた樹脂材料からなる供給部材と、該供給部材の前記液体供給路の一端側に設けられて前記液体貯留手段の液体を前記供給部材に供給する樹脂材料からなる供給体と、前記供給部材と前記供給体との間に設けられたフィルタとを具備し、前記供給部材と前記供給体と前記フィルタとが、当該フィルタの微細孔内に入り込んだ前記供給部材又は前記供給体を構成する樹脂材料によって一体化されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００１５】
かかる本発明では、フィルタの微細孔内に入り込んだ樹脂材料によって各部材が一体化されると共にフィルタが良好にシールされる。したがって、液体供給路からの液体の漏出を防止することができる。
【００１６】
さらに本発明は、このような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、小型化を図ると共に信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図である。また図３は、インクジェット式記録ヘッドの要部断面図であり、図４は、インクジェット式記録ヘッドの一部を模式的に示す拡大断面図である。
【００１８】
本発明のインクジェット式記録装置１０は、図１に示すように、インク滴を吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドとも言う）１１がキャリッジ１２に固定され、この記録ヘッド１１には、ブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留された液体貯留手段であるインクカートリッジ１３がそれぞれ着脱可能に固定されている。
【００１９】
記録ヘッド１１が搭載されたキャリッジ１２は、装置本体１４に取り付けられたキャリッジ軸１５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モータ１６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１７を介してキャリッジ１２に伝達されることで、キャリッジ１２はキャリッジ軸１５に沿って移動される。一方、装置本体１４にはキャリッジ軸１５に沿ってプラテン１８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン１８上を搬送されるようになっている。
【００２０】
また、キャリッジ１２のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸１５の一方の端部近傍には、記録ヘッド１１のノズル形成面を封止するキャップ部材１９を有するキャッピング装置２０が設けられている。このキャップ部材１９によってノズル開口が形成されたノズル形成面を封止することにより、インクの乾燥を防止している。また、このキャップ部材１９は、フラッシング動作時のインク受けとしても機能する。
【００２１】
記録ヘッド１１は、図２及び図３に示すように、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３に挿入される複数のインク供給針３１を有する供給体３２と、この供給体３２がフィルタ３３を介して固定されるカートリッジケース３４（「供給部材」に相当）と、カートリッジケース３４の供給体３２とは反対側の面に固定されたヘッド本体２２０と、ヘッド本体２２０をカートリッジケース３４に固定するためのカバーヘッド２４０とを具備する。
【００２２】
カートリッジケース３４は樹脂材料からなり、図３に示すように、一端が供給体３２の各インク供給針３１側に開口し他端がヘッド本体２２０側に開口してインクカートリッジ１３からのインクをヘッド本体２２０に供給するためのインク供給路３５を有する。なおインク供給路３５は、インクの色毎に設けられたインクカートリッジ１３に対してそれぞれ独立して設けられている。
【００２３】
供給体３２は、カートリッジケース３４と同様の樹脂材料で形成されており、複数、例えば、２つのインク供給針３１を一体的に有する。本実施形態では、カートリッジケース３４に１０本のインク供給路が形成されているため、５つの供給体３２がカートリッジケース３４に固定されている（図２参照）。各インク供給針３１には、カートリッジケース３４の各インク供給路３５に連通する貫通路３６を有する。各インク供給針３１はインクカートリッジ１３に挿入され、インクカートリッジ１３内のインクが貫通路３６からフィルタ３３を介してカートリッジケース３４のインク供給路３５に供給されるようになっている。
【００２４】
カートリッジケース３４の供給体３２側の面には、各インク供給路３５が開口する領域の周囲に亘って突起部３７が設けられている。一方、供給体３２の各インク供給針３１の周囲にも、同様に、突起部３８が設けられている。そして、これらカートリッジケース３４の突起部３７と供給体３２の突起部３８との間にフィルタ３３が挟持されている。詳しくは後述するが、これらカートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３は、熱溶着により一体化されている。
【００２５】
さらに本実施形態では、カートリッジケース３４と供給体３２との外周部及び各インク供給針３１の周縁部にはアウター部３９が設けられており、カートリッジケース３４と供給体３２とはこのアウター部３９によっても固定されている。このアウター部３９は樹脂材料からなり一体成型により形成されている。
【００２６】
なお、インク供給針３１の貫通路３６のインク供給路３５との接続領域には、貫通路３６の他の領域よりも内径の大きい空間であるフィルタ室４０が設けられている。このフィルタ室４０は、例えば、本実施形態では、カートリッジケース３４側ほど内径が大きくなるように形成されている。なおフィルタ室４０は、フィルタ３３の面積を大きく確保してインクが通過する際の抵抗をできるだけ小さくするために、貫通路３６の他の領域よりも大きい内径で形成されている。
【００２７】
カートリッジケース３４と供給体３２との間に配されるフィルタ３３は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料が細かく編みこまれたシート状の部材であり、カートリッジケース３４及び供給体３２と一体化されている。具体的には、図４に模式的に示すように、カートリッジケース３４を構成する樹脂材料がフィルタ３３の微細孔３３ａ内に入り込み、この微細孔３３ａ内に入り込んだ樹脂材料によってカートリッジケース３４と供給体３２とが一体化され、さらにカートリッジケース３４及び供給体３２とフィルタ３３とが一体化されている。
【００２８】
このようにフィルタ３３の微細孔３３ａ内に入り込んだ樹脂材料によって、カートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３が一体化されていることで、フィルタ３３が良好にシールされる。すなわち、フィルタ３３の微細孔３３ａ内に入り込んだ樹脂材料によってインク供給路３５のフィルタ部分のシール性が向上するため、インク供給路３５からのインクの漏出を防止することができる。またこのように熱溶着することで、カートリッジケース３４に、フィルタ３３を溶着するスペースと供給体３２を溶着するスペースとを別々に確保する必要がなくなるため、ヘッドの小型化を図ることができる。
【００２９】
さらに本実施形態では、カートリッジケース３４と供給体３２とをアウター部３９によって固定するようにしているので、カートリッジケース３４と供給体３２とを良好に密着させることができ、カートリッジケース３４と供給体３２との隙間からインクが漏出するのをより確実に防止することができる。
【００３０】
なお、フィルタ３３は、各インク供給路３５に対応して独立して設けられていてもよいが、複数のインク供給路３５に連続するものであってもよい。例えば、本実施形態では、フィルタ３３は、全てのインク供給路３５に対向する領域に連続して設けられている。そして、本実施形態では、フィルタ３３が供給体３２のインク供給針３１の間に設けられる充填孔４１及びこれに連通してカートリッジケース３４に設けられる連通孔４２部分にも連続的に設けられている。さらにフィルタ３３は、カートリッジケース３４の突起部３７と供給体３２の突起部３８とで画成される凹部４３内に突出する大きさで形成されている。そして、上述したアウター部３９がこの充填孔４１、連通孔４２及び凹部４３内にも形成されており、カートリッジケース３４及び供給体３２とフィルタ３３とは、このアウター部３９によっても一体化されている。このようにアウター部３９によってフィルタ３３をカートリッジケース３４及び供給体３２と一体化しておくことで、フィルタ３３のよれや剥がれ等が発生するのを防止することができる。
【００３１】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッドの製造方法、具体的には、カートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３の固定方法について説明する。なお、図５及び図６は、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【００３２】
まず、図５（ａ）に示すように、カートリッジケース３４と供給体３２との間に、フィルタ３３を配置し、このフィルタ３３を所定温度に加熱した状態でカートリッジケース３４及び供給体３２をフィルタ３３に向かって押圧する。ここで本実施形態では、供給体３２の突起部の表面には、溶着突起４４が各インク供給針３１（貫通路３６）の周囲に亘って設けられている。そして、所定温度に加熱されたフィルタ３３に溶着突起４４が当接することで溶着突起４４（樹脂材料）がフィルタ３３の熱によって溶融する。またカートリッジケース３４のフィルタ３３に当接した部分も若干溶融する。そして溶融した樹脂材料がフィルタ３３の微細孔３３ａ内に入り込み、入り込んだ樹脂材料によって供給体３２とカートリッジケース３４とが一体化されると共に、これらカートリッジケース３４及び供給体３２とフィルタ３３とが一体化される（図４参照）。その後、フィルタ３３の微細孔３３ａ内に樹脂材料が十分に入り込んだ状態でフィルタ３３を冷却して溶融した樹脂材料を固化させることで、図５（ｂ）に示すように、カートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３が一体化される。
【００３３】
このように、フィルタ３３を加熱しておき、その熱で熱溶着することによってカートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３を一体化することにより、一工程でこれらカートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３を一体化することができる。したがって、各部材を別々に固定するのに比べて、製造工程が大幅に簡略化される。また、上述したようにフィルタ３３のシール性が向上し、インク供給路３５からのインクの漏出を防止することができる。
【００３４】
なお、フィルタ３３の加熱方法は特に限定されるものではない。また予め加熱しておいたフィルタ３３をカートリッジケース３４と供給体３２とで挟むようにしてもよいし、カートリッジケース３４と供給体３２との間にフィルタ３３を挟んだ状態で、フィルタ３３を加熱するようにしてもよい。また、フィルタ３３の材料として金属材料を例示しているが、フィルタ３３の材料は、比較的容易に加熱することができる材料であればよく、例えば、セラミックス等を用いてもよい。
【００３５】
その後は、図６（ａ）に示すように、カートリッジケース３４及び各供給体３２の外周部分に金型２００を嵌合する。この金型２００は、上下に分割された部材からなり、内部にアウター部３９が形成されるキャビティ２０１が設けられている。また、金型２００には、キャビティ２０１と外部とを連通するゲート２０２が設けられている。
【００３６】
そして、図６（ｂ）に示すように、アウター部３９を一体成型により形成する。具体的には、溶融した樹脂材料を金型２００のゲート２０２を介してキャビティ２０１内に充填することでアウター部３９を成形する。
【００３７】
なお、本実施形態では、カートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３を熱溶着により一体化した後、これらカートリッジケース３４及び供給体３２に金型２００を嵌合するようにしたが、例えば、カートリッジケース３４及び供給体３２に予め金型２００を嵌合した状態でカートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３を熱溶着により一体化するようにしてもよい。これにより、カートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３を一体化する工程と、アウター部３９を形成する工程とを一連の工程として実施することができるため、製造工程がさらに簡略化されると共に寸法精度が向上する。
【００３８】
また、本実施形態では、フィルタ３３をカートリッジケース３４の突起部３７全面に当接させるようにしたが、例えば、図７（ａ）に示すように、カートリッジケース３４の突起部３７の表面に、供給体３２の溶着突起４４に対向する領域のみに突出する凸部４５を設けておき、フィルタ３３をこの凸部４５で支持するようにしてもよい。これにより、フィルタ３３のシール性がさらに向上する。すなわち、このような凸部４５を有するカートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３を熱溶着によって一体化すると、図７（ｂ）に示すように、溶着突起４４が溶融した樹脂がフィルタ３３の微細孔３３ａ内だけでなく凸部４５の周囲にまで流れ込みより強固に固定されるため、フィルタ３３のシール性がさらに向上する。
【００３９】
また本実施形態では、供給体３２のみに溶着突起４４が設けられていたが、これに限定されず、例えば、カートリッジケース３４のみに溶着突起が設けられていてもよい。勿論、カートリッジケース３４と供給体３２とのそれぞれに溶着突起が設けられていてもよい。例えば、図８（ａ）に示すように、カートリッジケース３４に第１の溶着突起４６が設けられていると共に、供給体３２に第２の溶着突起４７が設けられていてもよい。この場合、第１の溶着突起４６と第２の溶着突起４７とは、フィルタ３３の面内方向において異なる位置に設けられていることが望ましい。すなわち、第１の溶着突起４６と第２の溶着突起４７とは、インク供給路３５の周囲に同心円状に配されていることが好ましい。これにより、フィルタ３３のシール性がさらに向上する。すなわち、このようなカートリッジケース３４、供給体３２及びフィルタ３３を熱溶着によって一体化することで、図８（ｂ）に示すように、第１の溶着突起４６が溶融した樹脂材料がフィルタ３３の微細孔３３ａ内に入り込んだ第１のシール部４８と、第２の溶着突起４７が溶融した樹脂材料が入り込んだ第２のシール部４９とが形成される。そして、フィルタ３３がこれら第１のシール部４８及び第２のシール部４９によって二重にシールされるため、シール性がさらに向上する。
【００４０】
なおこのように一体化されたカートリッジケース３４の供給体３２とは反対側の面には、上述したようにヘッド本体２２０が設けられている。ここで、ヘッド本体２２０について説明する。なお、図９は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図１０は、ヘッド本体の断面図である。
【００４１】
図示するように、ヘッド本体２２０を構成する流路形成基板６０の一方面には弾性膜５０が形成されている。流路形成基板６０には、複数の隔壁によって区画された圧力発生室６２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室６２の長手方向外側には、後述するリザーバ形成基板８０に設けられるリザーバ部８１と連通し、各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部６３が形成されている。また、連通部６３は、インク供給部６４を介して各圧力発生室６２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。
【００４２】
また、流路形成基板６０の開口面側には、ノズル７１が形成されたノズルプレート７０が接着剤４００を介して固着されている。具体的には、複数のヘッド本体２２０に対応するように複数のノズルプレート７０が設けられており、このノズルプレート７０はカバーヘッド２４０の露出開口部２４１よりも若干広い面積を有してカバーヘッド２４０と重畳する領域で接着剤等によって固定されている。一方、流路形成基板６０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子３００が形成されている。
【００４３】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板６０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部８１を有するリザーバ形成基板８０が接合されている。このリザーバ部８１は、本実施形態では、リザーバ形成基板８０を厚さ方向に貫通して圧力発生室６２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板６０の連通部６３と連通されて各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。またリザーバ形成基板８０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部８２が設けられている。
【００４４】
さらに、リザーバ形成基板８０上には、各圧電素子３００を駆動するための半導体集積回路（ＩＣ）等からなる駆動回路１１０が設けられている。この駆動回路１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。
【００４５】
このようなリザーバ形成基板８０上には、コンプライアンス基板１４０が接合されている。コンプライアンス基板１４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口１４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板１４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口１４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部１４３となっており、リザーバ１００は、可撓部１４３により封止されている。この可撓部１４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスを与えている。さらにコンプライアンス基板１４０上には、ヘッドケース２３０が固定されている。
【００４６】
ヘッドケース２３０は、インク導入口１４４に連通すると共にカートリッジケース３４のインク供給路３５に連通して、カートリッジケース３４からのインクをインク導入口１４４に供給するインク供給連通路２３１が設けられている。このヘッドケース２３０には、コンプライアンス基板１４０の可撓部１４３に対向する領域に溝部２３２が形成され、可撓部１４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、リザーバ形成基板８０上に設けられた駆動回路１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動回路保持部２３３が設けられており、外部配線１１１が、駆動回路保持部２３３を挿通して駆動回路１１０と接続されている。
【００４７】
そして、ヘッドケース２３０を介してカートリッジケース３４に保持されたヘッド本体２２０は、４つのヘッド本体２２０の液体噴射面側を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０によって相対的に位置決めされて保持されている（図２参照）。
【００４８】
以上説明した本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１１では、インクカートリッジ１３からのインクをインク供給路から取り込み、インク供給連通路２３１及びインク導入口１４４を介して、リザーバ１００からノズル７１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１１０からの記録信号に従い、各圧力発生室６２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室６２内の圧力が高まりノズル７１からインク滴が吐出する。
【００４９】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、発明の主旨を逸脱しない範囲であれば、上述の実施形態に限定されるものではない。
【００５０】
例えば、上述した実施形態では、液体貯留手段として、カートリッジケース３４に着脱自在に固定されるインクカートリッジを例示したが、液体貯留手段の構成は特に限定されず、例えば、記録ヘッド１１とは異なる位置に配されて記録ヘッド１１とチューブなどの供給管を介して接続されるインクタンク等であってもよい。すなわち、上述した実施形態では、供給体３２として針状のインク供給針３１を具備する構成を例示したが、供給体３２の構成は、特に限定されるものではない。
【００５１】
また、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドを例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの一部を模式的に示す拡大断面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図６】実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図７】記録ヘッドの製造方法の他の例を示す拡大断面図である。
【図８】記録ヘッドの製造方法の他の例を示す拡大断面図である。
【図９】実施形態１に係るヘッド本体を示す分解斜視図である。
【図１０】実施形態１に係るヘッド本体を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０  インクジェット式記録装置、  １１  インクジェット式記録ヘッド（記録ヘッド）、  ３１  インク供給針、  ３２  供給体、  ３３  フィルタ、  ３３ａ  微細孔、  ３４  カートリッジケース、  ３５  インク供給路、  ３６  貫通路、  ３７，３８  突起部、  ３９  アウター部、  ４４  溶着突起、  ４５  凸部、  ４６  第１の溶着突起、  ４７  第２の溶着突起、  ４８  第１のシール部、  ４９  第２のシール部、  ２００  金型、  ２２０  ヘッド本体、  ２３０  ヘッドケース、  ２４０  カバーヘッド、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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