(57)【要約】【課題】装置全体の小型化を図り、コスト面でも有利な多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットを提供する。【解決手段】多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットは光源ユニット１０と、多チャンネルの測定ユニット２０と、受光処理ユニット３０とからなる。光源ユニット１０は励起光光源１、検出光光源２、励起光と検出光を合波する波長合波器３を備える。測定ユニット２０は光源ユニット１０からの励起光と検出光を照射レンズ１４を介して試料１７に照射し、試料１７中に形成された熱レンズを透過した検出光を受光ファイバ１６で受光する多チャンネルの光路を有する。光源ユニット１０と測定ユニット２０との接続部に光スイッチ１１が配置されており、光スイッチ１１は各光路を順次切り換える。受光処理ユニット３０は各光路の受光ファイバ１６で受光した検出光を、ＰＤ２１で光電変換し、処理して各試料の濃度を求める。【選択図】図１
2009210323.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起光の光源と、検出光の光源と、前記励起光と前記検出光を合波する合波器とを備えた光源ユニットと、
前記光源ユニットから出射された前記励起光と検出光を照射レンズを介して試料に照射し、前記励起光によって前記試料中に形成された熱レンズで発散又は集光した前記検出光を受光する測定ユニットと、
前記測定ユニットから伝搬された前記検出光を光電変換して処理する受光処理ユニット、とを有し、
前記測定ユニットを、それぞれ照射レンズを備えた複数の光路が並列に設けられた多チャンネル測定ユニットとし、
前記光源ユニットと前記多チャンネル測定ユニットとの接続部に光スイッチを配置し、該光スイッチは、合波された前記励起光及び前記検出光を前記並列に設けられた複数の光路に切り替えて順次各光路に配置された照射レンズを介して各試料に照射することを特徴とする多チャンネル熱レンズ分光分析ユニット。
【請求項２】
前記光源ユニットの前記合波器と前記光スイッチとの間、及び前記光スイッチと前記多チャンネル測定ユニットの各照射レンズとの間を、シングルモードの光ファイバで接続したことを特徴とする請求項１記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニット。
【請求項３】
前記各照射レンズは、それぞれ屈折率分布型レンズであることを特徴とする請求項１又は２記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニット。
【請求項４】
前記各照射レンズに対応して、それぞれマルチモードの光ファイバからなる受光ファイバを設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニット。
【請求項５】
前記合波器は、光の波長によって光を反射し、又は透過させる多層膜を備えていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニット。
【請求項６】
前記受光処理ユニットは、参照信号を使用して測定信号から特定の周波数成分を抽出するロックインアンプ及び高速フーリエ変換手段のいずれか一方を備えていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニット。
【請求項７】
励起光光源から励起光を出射する励起光出射工程と、
検出光光源から検出光を出射する検出光出射工程と、
前記励起光と前記検出光を合波する合波工程と、
合波された前記励起光及び前記検出光を並列接続された複数の光路に切り替えて順次各光路に配置された照射レンズを介して各試料に照射する照射工程と、
前記励起光が照射された前記試料中に形成された熱レンズを透過した前記検出光をそれぞれ受光する受光工程と、
前記各受光工程で受光した前記検出光を順次光電変換して処理し、前記各試料の濃度を検出する受光処理工程と、
を有することを特徴とする多チャンネル熱レンズ分光分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多チャンネル熱レンズ分光分析システム及び多チャンネル熱レンズ分光分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、化学反応の高速化や微少量での反応、オンサイト分析等の観点から、化学反応を微小空間で行うための集積化技術が注目されており、そのための研究が進められている。このような集積化技術の１つとして、マイクロチップ内部の微細流路で液体試料の混合、反応、分離、抽出、検出等を行うマイクロ化学システムがある。
【０００３】
マイクロ化学システムで用いられるマイクロチップは、例えば溝が形成されたガラス基板上に、試料注入及び排出用の小孔が溝の対応位置に配置された他のガラス基板を接合したものであり、接合後、溝部分が微細流路を形成するものである。
【０００４】
マイクロ化学システムにおいては、試料の量が微量であるので、試料の高感度な検出方法が必須となる。高感度な検出方法としては、例えば、熱レンズ効果を利用した光熱変換分光分析法を利用する熱レンズ分光分析法が挙げられる。
【０００５】
熱レンズ分光分析法は、マイクロチップ内部の微細な流路を流れる試料に集光するようにマイクロチップ表面に光を照射し、照射された光を試料中の溶質が吸収して熱エネルギを放出し、この熱エネルギによって溶媒が局所的に温度上昇することによって屈折率が変化するという光熱変換効果、即ち、熱レンズ効果を利用するものである。
【０００６】
具体的には、マイクロチップを顕微鏡の対物レンズの下方に配置し、励起光光源から出射され、例えば変調器によって所定の周波数で変調された所定波長の励起光を顕微鏡に入射させる。この励起光を顕微鏡の対物レンズを介してマイクロチップ内部の微細な流路内の試料溶液に集光照射する。このとき、集光照射された励起光の焦点位置は溶液試料中にあり、この焦点位置を中心として熱レンズが形成される。
【０００７】
一方、検出光光源から出射された波長が励起光と異なる検出光を顕微鏡に入射させ、この検出光を励起光と同様に顕微鏡の対物レンズによって集光する。
【０００８】
これによって、熱レンズが凹レンズの効果を有するときには、検出光は試料溶液を透過して発散し、熱レンズが凸レンズの効果を有するときには、検出光は試料溶液を透過して集光する。この発散又は集光した検出光が、例えば集光レンズとフィルタを介して検出器に受光され、検出器は、受光した光を測定信号として検出する。この測定信号の強度は、試料溶液において形成された熱レンズに対応したものとなる。
【０００９】
検出器によって検出された測定信号は、微小信号検出装置によって、試料溶液に対応する周波数成分が抽出され、抽出された周波数成分の強度を、ＰＣ等の情報処理装置によって分析し、試料溶液の濃度が求められる。なお、検出光は励起光と同じ波長のものでもよく、また、励起光が検出光を兼ねることもできる。
【００１０】
図２は、従来の熱レンズ分光分析システムの構成を概略的に示すブロック図である。
【００１１】
図２において、この熱レンズ分光分析システムは、光源ユニットと、測定ユニットと、受光処理ユニットに大別される。
【００１２】
光源ユニットは、励起光を出射する励起光光源３１、検出光を出射する検出光光源３２、及び励起光と検出光を合波する波長合波器３３を備える。
【００１３】
測定ユニットは、波長合波器３３にて合波された励起光及び検出光をマイクロチップ３５の試料に照射するプローブ３６を備えている。波長合波器３３とプローブ３６とは光ファイバ３４によって接続されている。
【００１４】
受光処理ユニットは、試料を透過した検出光を受光し、光電変換してその強度に応じた信号を出力する光電変換器（フォトダイオード）３８、フォトダイオード３８の後流に順次接続されたＩＶアンプ３９、ロックインアンプ４１及び情報処理装置（ＰＣ）４２を備えている。
【００１５】
励起光光源３１から出射された励起光は、波長合波器３３に入射し、該波長合波器３３の干渉フィルタ膜で反射して光ファイバ３４に入射する。一方、検出光光源３２から出射された検出光は、波長合波器３３に入射し、干渉フィルタ膜を透過して光ファイバ３４に入射し、励起光と合波する。
【００１６】
光ファイバ３４により伝搬された励起光及び検出光はプローブ３６を介してマイクロチップ３５の内部の微細流路に注入された試料に照射され、励起光により、試料内に熱レンズが形成されて熱レンズ効果が生じる。一方、試料に照射された検出光は、形成された熱レンズによって屈折する。熱レンズによって屈折した検出光は、波長フィルタ３７を介してフォトダイオード３８に入射し、ここで光電変換され、試料の濃度に対応する強度を有す周波数成分を有する電気信号となる。
【００１７】
得られた電気信号は、後流のＩＶアンプ３９に送られる。I V アンプ３９は電気信号を電流−電圧変換すると共に増幅し、測定信号として後流のロックインアンプ４１に出力する。ロックインアンプ４１は、例えば励起光光源３１から導電線４０を介して送られてくる一定周波数の参照信号を使って、複数の周波数やノイズが混在した測定信号から、参照信号に対応する周波数成分を抽出し、熱レンズ信号として後流のＰＣ４２に出力する。ＰＣ４２は、熱レンズ信号を処理して検出光に対応する試料の濃度を求める。
【００１８】
このような熱レンズ分光分析ユニットに関する従来技術が開示された文献として、例えば特許文献１が挙げられる。
【００１９】
ところで、このような１チャンネル用の熱レンズ分光分析ユニットは、複数のサンプルについて連続的に分析操作を行う連続分析には適しておらず、連続分析操作を行うためには、光源ユニット、測定ユニット及び受光処理ユニットを複数セットしたユニットを構築する必要がある。
【００２０】
図３は、図２の１チャンネル用熱レンズ分光分析ユニットを、複数、例えば３個並列に組み合わせた多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットの概略構成を示す図である。
【００２１】
図３において、この熱レンズ分光分析ユニットは、励起光光源３１、検出光光源３２及び波長合波器３３からなる光源ユニットと、プローブ３６を有する測定ユニットと、フォトダイオード３８、ＩＶアンプ３９、ロックインアンプ４１及び情報処理装置（ＰＣ）４２を有する受光処理ユニットが、それぞれ符号ａ〜ｃを付した３組として並設されている。
【特許文献１】特開平１０−２３２２１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
しかしながら、図３に示した多チャンネルの熱レンズ分光分析ユニットは、チャンネル数分の光学系及び電気系が必要となり、部品点数が多くなって装置が大掛かりになり、コストも嵩むという問題がある。
【００２３】
本発明の目的は、必要最小限の部品点数によって装置全体の小型化を図り、しかもコスト面でも有利な多チャンネル熱レンズ分光分析ユニット及び多チャンネル熱レンズ分光分析方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を達成するために、請求項１記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットは、励起光の光源と、検出光の光源と、前記励起光と前記検出光を合波する合波器とを備えた光源ユニットと、前記光源ユニットから出射された前記励起光と検出光を照射レンズを介して試料に照射し、前記励起光によって前記試料中に形成された熱レンズで発散又は集光した前記検出光を受光する測定ユニットと、前記測定ユニットから伝搬された前記検出光を光電変換して処理する受光処理ユニット、とを有し、前記測定ユニットを、それぞれ照射レンズを備えた複数の光路が並列に設けられた多チャンネル測定ユニットとし、前記光源ユニットと前記多チャンネル測定ユニットとの接続部に光スイッチを配置し、該光スイッチは、合波された前記励起光及び前記検出光を前記並列に設けられた複数の光路に切り替えて順次各光路に配置された照射レンズを介して各試料に照射することを特徴とする。
【００２５】
請求項２記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットは、請求項１に記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットにおいて、前記光源ユニットの前記合波器と前記光スイッチとの間、及び前記光スイッチと前記多チャンネル測定ユニットの各照射レンズとの間を、シングルモードの光ファイバで接続したことを特徴とする。
【００２６】
請求項３記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットは、請求項１又は２記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットにおいて、前記各照射レンズは、それぞれ屈折率分布型レンズであることを特徴とする。
【００２７】
請求項４記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットは、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットにおいて、前記各照射レンズに対応して、それぞれマルチモードの光ファイバからなる受光ファイバを設けたことを特徴とする。
【００２８】
請求項５記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットは、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットにおいて、前記合波器は、光の波長によって光を反射し、又は透過させる多層膜を備えていることを特徴とする。
【００２９】
請求項６記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットは、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットにおいて、前記受光処理ユニットは、参照信号を使用して測定信号から特定の周波数成分を抽出するロックインアンプ及び高速フーリエ変換手段のいずれか一方を備えていることを特徴とする。
【００３０】
上記目的を達成するために、請求項７記載の多チャンネル熱レンズ分光分析方法は、励起光光源から励起光を出射する励起光出射工程と、検出光光源から検出光を出射する検出光出射工程と、前記励起光と前記検出光を合波する合波工程と、合波された前記励起光及び前記検出光を並列接続された複数の光路に切り替えて順次各光路に配置された照射レンズを介して各試料に照射する照射工程と、前記励起光が照射された前記試料中に形成された熱レンズを透過した前記検出光をそれぞれ受光する受光工程と、前記各受光工程で受光した前記検出光を順次光電変換して処理し、前記各試料の濃度を検出する受光処理工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
請求項１に係る多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットによれば、光源ユニットと、測定ユニットと、受光処理ユニットとを有し、前記測定ユニットを複数の光路が並列に設けられた多チャンネル測定ユニットとし、前記光源ユニットと前記多チャンネル測定ユニットとの接続部に光スイッチを配置し、該光スイッチは、合波された前記励起光及び前記検出光を前記並列に設けられた複数の光路に切り替えて順次各光路に配置された照射レンズを介して各試料に照射するものとしたので、検出感度を低下することなく、光スイッチの位置情報を参照しながら、多チャンネルの各試料を効率よく、順次連続的に分析することができる。
【００３２】
請求項２に係る多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットによれば、光源ユニットの合波器と光スイッチとの間、及び光スイッチと多チャンネル測定ユニットの各照射レンズとの間を、シングルモードの光ファイバで接続したので、励起光と検出光を常に同軸とし、励起光をできるだけ絞って収差の少ない熱レンズを形成し、透過検出光の光量を多くして正確な測定が可能となる。
【００３３】
請求項３に係る多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットによれば、各照射レンズとして、それぞれ屈折率分布型レンズを用いたので、照射レンズを小型化することができ、これによって、多チャンネル熱レンズ分光分析ユニット全体の小型化を図ることができる。
【００３４】
請求項４に係る多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットによれば、各照射レンズに対応してマルチモードの光ファイバからなる受光ファイバを設けたので、各試料を透過した検出光を受光し易くなる。
【００３５】
請求項５に係る多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットによれば、合波器を、光の波長によって光を反射し、又は透過させる多層膜を備えているものとしたので、合波における損失が少なく、構成が簡単で、装置全体の小型化が容易となる。
【００３６】
請求項６に係る多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットによれば、受光処理ユニットが、参照信号を使用して測定信号から特定の周波数成分を抽出するロックインアンプ及び高速フーリエ変換手段のいずれか一方を備えているので、検出光に対応した試料の濃度を効率よく検出することができる。
【００３７】
請求項７に係る多チャンネル熱レンズ分光分析方法によれば、合波した励起光と検出光を並列接続された複数の光路に切り替えて順次各光路に配置された照射レンズを介して各試料に照射し、試料を透過した検出光をそれぞれ受光し、光電変換して処理するようにしたので、検出感度を低下することなく、多チャンネルの試料を効率よく連続的に分析することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳述する。
【００３９】
図１は、本発明の実施の形態に係る多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットの概略構成を示す図である。
【００４０】
図１において、この多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットは、１系統の光源ユニット１０と、多チャンネル、例えば８チャンネルの測定ユニット２０と、１系統の受光処理ユニット３０とから主として構成されている。
【００４１】
光源ユニット１０は、励起光光源１と、検出光光源２と、波長合波器３とを備える。波長合波器３は、２つの屈折率分布型ロッドレンズ、例えばセルフォックマイクロレンズ（ＳＭＬ、日本板硝子社の登録商標）が誘電体多層膜フィルタ（干渉フィルタ膜）を介して接合されたものであり、励起光光源１が光ファイバ４を介して一の屈折率分布型ロッドレンズに接続されており、検出光光源２が光ファイバ５を介して他の屈折率分布型ロッドレンズに接続されている。
【００４２】
測定ユニット２０における各光路は、それぞれ並列に接続されており、シングルモードの導光ファイバ１５ａ〜１５ｈと、これら導光ファイバ１５ａ〜１５ｈの一端にそれぞれ接続された屈折率分布型ロッドレンズからなるプローブ１４ａ〜１４ｈと、このプローブ１４ａ〜１４ｈにそれぞれ対向するようにマイクロチップ１２を介して配置された、例えばコア径２００μｍφマルチモードの受光ファイバ１６ａ〜１６ｈを備えている。各光路における各導光ファイバ１５ａ〜１５ｈの他端は、それぞれ光スイッチ１１に接続されており、光スイッチ１１は、例えばシングルモードの光ファイバ６によって導光ユニット１０の波長合波器３と接続されている。
【００４３】
各光路の各受光ファイバ１６ａ〜１６ｈは、それぞれ信号処理ユニット３０の光電変換器としてのフォトダイオード（ＰＤ）２１に接続されている。信号処理ユニット３０のフォトダイオード２１には、導電線２２を介して順次ＩＶアンプ２３、ロックインアンプ２４及び情報処理装置としてのＰＣ２５が接続されている。
【００４４】
光源ユニット１０の励起光光源１と信号処理ユニット３０のロックインアンプ２４とは、導電線２６によって接続されており、励起光光源１のドライバから必要な信号がロックインアンプ２４に送られる。
【００４５】
以下、このような構成の多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットの動作について説明する。
【００４６】
励起光光源１から出射された励起光は光ファイバ４内を伝搬して波長合波器３の一の屈折率分布型ロッドレンズに入射し、この屈折率分布型ロッドレンズ内を蛇行しながらビーム光が拡大する光ビームとなって他の一の屈折率分布型ロッドレンズとの接合面に配置された干渉フィルタ膜に入射し、ここで反射して光ビームとなって光ファイバ６に入射する。
【００４７】
一方、検出光光源２から出射された検出光は、光ファイバ５内を伝搬して波長合波器３の他の一の屈折率分布型ロッドレンズに入射し、この他の一の屈折率分布型ロッドレンズ内を蛇行しながらビーム径が拡大する光ビームとなって一の屈折率分布型ロッドレンズとの間に配置された干渉フィルタ膜に入射し、この干渉フィルタ膜を透過した後、光ビームとなって光ファイバ６に入射する。
【００４８】
波長合波器３で合波された励起光と検出光は、光ファイバ６内を伝搬して光スイッチ１１に入射し、光スイッチ１１の切り換えによって、例えば第１光路の光ファイバ１５ａに入射し、プローブ１４ａを経てマイクロチップ１２の例えば第１の試料１７ａに照射される。照射された励起光の焦点位置は溶液試料中にあり、この焦点位置を中心として試料内に熱レンズが形成されて熱レンズ効果が生じる。一方、試料内に照射された検出光は、励起光によって形成された熱レンズによって屈折し、試料濃度に対応する強度で、受光ファイバ１６ａによって受光され、フォトダイオード２１に入射する。
【００４９】
フォトダイオード２１に入射した検出光は、ここで、光電変換され、試料の濃度に対応する強度を有する周波数成分を含む電気信号としてＩＶアンプ２３に送られる。ＩＶアンプ２３に送られた検出光に対応する信号は、ここで、電流−電圧変換されると共に増幅され、測定信号として後流のロックインアンプ２４に送られる。
【００５０】
ロックインアンプ２４は、導電線２６を経て励起光光源１のドライバから送信される一定周波数の参照信号を参照して、複数の周波数成分やノイズが混在した測定信号から参照信号に対応する周波数成分の信号を抽出する。得られた周波数成分信号は、後流のＰＣ２５に送信され、ここで、信号処理されて、例えば第１の試料１７ａの濃度が求められる。
【００５１】
このようにして、マイクロチップ１２の第１の試料１７ａについての分析が終了した後、光スイッチ１１を切り替えて、光源ユニット１０から出射した励起光及び検出光を第２の光路の導光ファイバ１５ｂに入射させ、同様に第２の試料１７ｂを透過した検出光を受光、処理して第２の試料についての分析を行う。
【００５２】
以下、光スイッチ１１を切り替えて順次マイクロチップ１２の第３以降の試料１７ｃ〜１７ｈに励起光および検出光を照射し、試料内に形成された熱レンズを透過する検出光を受光し、検出光に基づく信号を時分割で処理して各チャンネルの試料濃度を測定する。
【００５３】
本実施の形態によれば、１つの光源ユニット１０を、光スイッチ１１を介して多チャンネルの測定ユニット２０に接続し、且つ、測定ユニット２０における各チャンネルに対応する受光ファイバ１６ａ〜１６ｈを信号処理ユニット３０のフォトダイオード（ＰＤ）２１に接続する構成としたので、装置全体を大型化させることなく、低コストで、多チャンネルの試料濃度を順次、連続的に測定することができる。
【００５４】
本実施の形態において、全チャンネルの測定に要する１周期分の測定時間は、光スイッチ１１のチャンネル切り替え時間およびロックインアンプ２４の信号処理速度が律速となる。光チャンネル１１としては、例えばＩＯＴｅｃｈ社の「ｅｏｌ１×８」が用いられ、この光スイッチにおける各チャンネル切り替え時間は、例えば２０ミリ秒である。従って、これに信号処理時間を加えた時間が各チャンネルにおける必要最低測定時間となり、必要最低測定時間にチャンネル数を乗じて得られた時間が１周期分の最低測定時間となる。
【００５５】
本実施の形態において、波長合波器３と光スイッチ１１とを接続する光ファイバ６及び測定ユニット２０の各光路における導光ファイバ１５ａ〜１５ｈとしてシングルモードの光ファイバを用いたことにより、励起光と検出光を常に同軸とし、励起光をできるだけ絞って収差の少ない熱レンズを形成し、これによって透過検出光の光量を多くして感度を向上することができる。
【００５６】
本実施の形態において、照射レンズ１４ａ〜１４ｈとして、屈折率分布型レンズを用いたことにより、照射レンズを小型化することができ、多チャンネル熱レンズ分光分析ユニット全体の小型化を図ることができる。
【００５７】
本実施の形態において、受光ファイバ１６ａ〜１６ｈとして、例えばコア径２００μｍφのマルチモードファイバを用いたことにより、試料を透過した検出光が受光し易くなる。なお、コア径の大きいマルチモードファイバをチャンネル数に対応する数だけＰＤ２１に並列接続するためには、相当のスペースを要するので、スペースとの兼ね合いで受光ファイバ径が決定される。なお、受光ファイバで検出光を受光することにより、光ファイバのコア径がピンホールの役割を果たすので、ＰＤ２１の前段にピンホールを配置する必要がなくなる。
【００５８】
本実施の形態において、波長合波器３が干渉フィルタ膜を有するものとしたので、合波における損失が少なく、構成が簡単で、装置全体の小型化が容易となる。
【００５９】
本実施の形態においては、光スイッチを切り替えることによって、１チャンネルごとに時系列的に検出光に対応する信号が得られるので、例えば高速フーリエ変換手段（ＦＦＴ）を用いて周波数分解する必要はないが、ロックインアンプ２４に代えてＦＦＴを設けることもできる。ＦＦＴは、例えばＰＣ２５のソフトウエアの一部として組み込まれる。ＦＦＴを用いる場合は、励起光の光源１から信号を取り出す必要がない。ＦＦＴは、参照信号を要することなく、周波数分解によって目的の信号を取り出すことができる。
【００６０】
本実施の形態は、光源ユニット１０と多チャンネルの測定ユニット２０との接続部に光スイッチ１１を配置したことにより、光スイッチを切り替えるだけで、光源から出射され合波された励起光及び検出光をそのままの光量で測定ユニットの各光路のプローブ１４ａ〜１４ｈまで伝搬することができるので、感度の高い測定が可能となる。なお、光源ユニット１０と多チャンネルの測定ユニット２０とを分配器を介して接続することもできるが、分配器を用いると、光源から出射された励起光及び検出光が分配器によって各光路に分配されてしまうので、本実施の形態に比べて検出感度が低下する。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】実施の形態に係る多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットの概略構成を示す図である。
【図２】従来の熱レンズ分光分析システムの構成を概略的に示すブロック図である。
【図３】図２の１チャンネル用熱レンズ分光分析ユニットを、複数、例えば３個並列に組み合わせた多チャンネル熱レンズ分光分析ユニットの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１    励起光光源
２    検出光光源
３    波長合波器
４、５、６    光ファイバ
１０    光源ユニット
１１    光スイッチ
１２    マイクロチップ
１４ａ〜１４ｈ    プローブ
１５ａ〜１５ｈ    導光ファイバ
１６ａ〜１６ｈ    受光ファイバ
１７ａ〜１７ｈ    試料
２０    測定ユニット
２１    フォトダイオード
２２    導電線
２３    ＩＶアンプ
２４    ロックインアンプ
２５    情報処理装置（ＰＣ）
２６    導電線
３０    受光処理ユニット
３１    励起光光源
３２    検出光光源
３３    波長合波器
３４    光ファイバ
３５    マイクロチップ
３６    プローブ
３７    波長フィルタ
３８    フォトダイオード
３９    ＩＶアンプ
４０    導電線
４１    ロックインアンプ
４２    情報処理装置（ＰＣ）
【図１】
2009210323.tif 000003
【図２】
2009210323.tif 000004
【図３】
2009210323.tif 000005