(57)【要約】【課題】クリーンルームに入室しないでもクリーンルーム内の物を取り扱えるようするために、外部から作業を行える作業用空間が設けられたクリーンルーム、及びその作業用空間を確保するために用いられる防塵シートの交換方法を提供する。【解決手段】居室内に隔壁で区画されたクリーンルーム１であって、その隔壁１５に形成された作業用開口部１７から外側に、防塵シート２１を張設することで、作業用空間３０が確保される。防塵シート２１は、作業用開口部１７を封止するように設けられ、その全体は支持体４０により支持される。また、防塵シート２１は、一部に覗き窓用の透明部を備えており、外部からクリーンルーム内の作業用空間３０を観察することができるようになっている。【選択図】図２
2009052785.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
居室内に隔壁で区画されたクリーンルームにおいて、
前記隔壁に形成された作業用開口部と、
少なくとも一部に覗き窓用の透明部を備え、前記作業用開口部に該開口部を封止するように設けられ、作業用開口部の外側に作業用空間を確保する防塵シートと、
該防塵シートにより前記作業用空間が確保された際、防塵シートを支持する支持体と、を備えたことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
請求項１に記載のクリーンルームにおいて、
前記透明部を含む一部の領域が、前記作業用空間側に凹む凹部とされ、この凹部から作業用空間内を覗き込み可能とされたことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のクリーンルームにおいて、
前記防塵シートには、作業者の手指が挿入可能な開口部が開設されるとともに、この開口部に、前記作業用空間内に差し入れられる作業用手袋の手袋口部が取り付けられたことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のクリーンルームにおいて、
一端が前記支持体に設けられる一方、他端が前記一部の領域の一端と着脱自在に連結される凹部形成具を備え、
この凹部形成具により前記一部の領域が前記作業用空間内に引っ張られることで前記凹部が形成されることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一つに記載のクリーンルームにおいて、
前記防塵シートは、その周縁が、前記作業用開口部の周縁に設けられるシールド枠により作業用開口部の周縁に着脱自在とされた状態で前記作業用開口部に設けられたことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか一つに記載のクリーンルームにおいて、
前記防塵シートの周縁が、前記作業用開口部の周縁に設けられる第１シールド枠で前記作業用開口部の周縁に着脱自在とされると共に、前記防塵シートの周縁のうち前記第１シールド枠の外側に延出した部分が、前記第１シールド枠の外側に配置される第２シールド枠で前記作業用開口部の周縁に着脱自在とされ、
前記防塵シートの周縁と前記作業用開口部の周縁とが前記２つのシールド枠で密着されたことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項７】
請求項５に記載のクリーンルームの防塵シートを新しい防塵シートと交換する方法であって、
前記作業用開口部の全体をシールドカバーで覆ってクリーンルームの気密性を保持した状態で作業用開口部から防塵シートを取り外し次いで新しい防塵シートを作業用開口部に装着した後、前記シールドカバーを取り外すことを特徴とするクリーンルームの防塵シートの交換方法。
【請求項８】
請求項６に記載のクリーンルームの防塵シートを新しい防塵シートに交換する方法であって、
古い防塵シートを前記作業用開口部に装着している前記第１シールド枠と前記第２シールド枠のうち、前記第２シールド枠を取り外して古い防塵シートが前記第１シールド枠でのみ装着された状態とし、次いで、新しい防塵シートの周縁を前記第２シールド枠で前記作業用開口部の周縁に装着して前記第１シールド枠を含めた前記作業用開口部全体を新しい防塵シートで封止し、その後、前記第１シールド枠と古い防塵シートを前記作業用開口部から取り外し、前記新しい防塵シートを新しい第１シールド枠で前記作業用開口部の周縁に装着すると共に、前記新しい防塵シートで前記作業用開口部の外側に作業用空間を確保することを特徴とするクリーンルームの防塵シートを交換する方法。
【請求項９】
請求項８に記載の防塵シートを交換する方法であって、
新しい防塵シートの周縁を前記作業用開口部の周縁に前記第２シールド枠で装着して前記第１シールド枠を含めた前記作業用開口部全体を封止する際、前記新しい防塵シートでクリーンルーム内方側から前記作業用開口部全体を覆うことを特徴とするクリーンルームの防塵シートを交換する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部から、クリーンルーム内の物を取り扱えるようにするために設けられた作業用空間が確保されたクリーンルームと、その作業用空間を確保するために用いられる防塵シートの交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子、液晶デバイス、その他の電子デバイスは、空気中に浮遊する塵や埃が品質に影響を与えるため、クリーンルームで製造・開発が行われる。
【０００３】
クリーンルームは、取り扱う製品によって、クリーンルーム内の浮遊微粒子量や浮遊微生物量が所定レベル以下となるようにクリーン度が管理される。そのため、クリーンルームには、要求レベルに応じて空気清浄装置が付設され、常に清浄な空気が流通するように設計されている。また、作業者の作業衣に付着した塵埃等、作業者の出入りと共に持ち込まれる塵埃の流入を防止するために、クリーンルームの入り口には、作業衣の付着した防塵を除去するためのエアシャワー装置が付設されている。
【０００４】
クリーンルームのクリーン度を低下させる原因は、外気に含まれる塵埃の流入や作業衣に付着して持ち込まれる塵埃だけでなく、作業者の衣服等からの塵埃の発生もある。そのため、クリーンルームへの入室の際には、作業者は防塵フード、防塵衣、防塵マスクの着用が義務付けられている。また、クリーンルーム内では、通常に用いられる筆記用具の使用は制限され、防塵処理した特別仕様の筆記用具を用いるように求められている。
【０００５】
ところで、このようにクリーン度が管理されているクリーンルーム内では、電子デバイスの製造や検査のために種々の治具が用いられているが、これらの治具の故障したときは、修理の最中に塵埃が発生するため、その治具を外部に搬出してから修理することが通常である。しかしながら、治具を搬出することや、治具を修理したあと搬入する際に行われる洗浄が面倒であった。
【０００６】
そこで、クリーンルーム内に、クリーンルームに治具を修理するための専用の治具修理室を設置したクリーンルームが提案されている（特許文献１）。この治具修理室は、クリーンルーム内の一部の領域を隔壁で仕切ることにより設けられ、そして、その治具修理室に清浄な空気を導入するための手段が設けられると共に、塵埃で汚染された空気を治具修理室の外側へ排出するための手段が設けられ、修理により汚染された空気が入れ換えられる構造とされている。これにより、治具をクリーンルームの外部に搬出しないで修理でき、その場で治具自体を洗浄すると共に治具修理室自体の空気を入れ換えることができるので、クリーンルーム内のクリーン度を低下させることなく直ぐに治具を修理し元の場所に戻すことができる。
【特許文献１】特開平０４−３４４０４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、治具の修理のように塵埃が発生する作業を、治具修理室のようなクリーンルーム内に特別に区画した場所で行うことは、作業の効率化に寄与していた。
【０００８】
しかしながら、このような治具の修理以外にも、通常行われている作業以外の作業がある。例えば、部品の交換等の簡単な治具の修理、研究開発のためのデータ取り、外観確認等の作業等がある。このような作業では、治具の修理のように塵埃が発生することは少ないが、他の要因でクリーンルームのクリーン度が低下するという問題があった。以下、この点について説明する。
【０００９】
部品の交換等の簡単な治具の修理、研究開発のためのデータ取り、外観確認等の作業では、それぞれ個別に頻繁に行われる作業であり、通常はクリーンルーム内で作業しない部外者が行う作業であるため、通常より、塵埃の発生源である作業者の入室者数が多くなる。そのため、これらの作業は、クリーンルームのクリーン度を低下させる要因となっていた。
【００１０】
また、これらの作業は、部外者がクリーンルームに入室して作業を行うことが多いが、入室の都度、部外者は、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを着用しなければならず、大変面倒であった。また、このような作業の中には、短時間で済むはずの作業も多々あったが、担当者はその作業を行うために、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを着用しなければならないため、大変時間がかかるという問題もあった。
【００１１】
また、部品の交換等の簡単な治具の修理、研究開発のためのデータ取り、外観確認等の作業は、一回きりの作業はなく数回〜数十回に亘って行われることも多いため、各作業者の作業時間帯が重なってしまう場合もあり、このような場合でも各人がその作業を行えるようにするために、防塵衣、防塵フードを多数、用意しなければならないといった問題もあった。
【００１２】
更に、防塵衣や防塵フードは、塵埃が発生しないように特殊加工されているため高価であり、またクリーニング費用も通常の着衣と比較し費用がかかるため、多数の防塵衣や防塵フードを用意し、常に着衣できるように維持するには、相当の費用がかかるという問題もあった。
【００１３】
また、防塵マスクは使い捨てであり、クリーンルームへ入室するには防塵マスクの着用が義務付けられているため、どのような作業でも、クリーンルームへの入室の都度、高価な防塵マスクが捨てられることとなり、防塵マスクの１個当たりの使用率（実際の着用時間と着用可能時間との比率）という観点からすれば、非常に無駄が多いという問題もあった。
【００１４】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、クリーンルームに入室しないでもクリーンルーム内の物を取り扱えるようするために、外部から作業を行える作業用空間が設けられたクリーンルーム、及びその作業用空間を確保するために用いられる防塵シートの交換方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係るクリーンルームは、居室内に隔壁で区画されたクリーンルームにおいて、前記隔壁に形成された作業用開口部と、少なくとも一部に覗き窓用の透明部を備え、前記作業用開口部に該開口部を封止するように設けられ、作業用開口部の外側に作業用空間を確保する防塵シートと、この防塵シートにより前記作業用空間が確保された際、防塵シートを支持する支持体と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
このクリーンルームによれば、隔壁に形成された作業用開口部から外側に作業用空間が形成され、その作業用空間を確保する防塵シートには、透明部が設けられているので、その作業用空間内に置かれた物を、透明部から観察することができる。従って、クリーンルームに入室することなく、クリーンルーム内の物を観察することができる。また、作業用開口部の外側に作業用空間を設けたことにより、作業用空間に配置されたものを間近に或いは手に取るように観察することができる。また、試作品等の観察のみを行う作業のためだけの理由で、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを着用してクリーンルームに入室する必要がなくなるので、その観察の作業を完了するまでにかかる総合的な時間を短縮することができる。また、試作品等の観察だけを目的としてクリーンルームに入室する作業者の人数は減少することから、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを予備として確保しておく必要がなくなり、この結果、防塵衣や防塵フードの予備数量を削減することができ、また、予備の防塵衣や防塵フードを清潔に維持するクリーニング費用も削減できる。また、クリーンルームに入室する際に使用される防塵マスクの使用量も削減することができる。
【００１７】
また、本発明に係るクリーンルームでは、前記透明部を含む一部の領域が、前記作業用空間側に凹む凹部とされ、この凹部から作業用空間内を覗き込み可能とされたことを特徴としてもよい。
【００１８】
この構成によれば、透明部を含む領域が作業用空間側に凹んでいることから、作業用空間側に凹んだ距離分、作業用空間に配置された物に接近することができるので、外側にいる作業者は、より接近してクリーンルーム内の物を観察することができる。
【００１９】
また、本発明に係るクリーンルームでは、前記防塵シートには、作業者の手指が挿入可能な開口部が開設されるとともに、この開口部に、前記作業用空間内に差し入れられる作業用手袋の手袋口部が取り付けられたことを特徴としてもよい。
【００２０】
この構成によれば、作業用手袋を介して実際に手でクリーンルーム内にある物に触ることができる。従って、実際に物に触って行う作業であっても、クリーンルームに入室せずに、その作業を行うことができるので、その作業にあたって、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを着用及び脱衣する時間を省くことができ、結果的に、作業を完了するまでにかかる総合的な時間を短縮することができる。また、その作業を行う作業者のために、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを用意する必要もなくなり、多数の防塵衣や防塵フードを用意する必要もなく、常に着衣できるように維持するクリーニング費用も削減できる。また、防塵マスクの使用を削減することもできる。
【００２１】
また、本発明に係るクリーンルームでは、一端が前記支持体に設けられる一方、他端が前記一部の領域の一端と着脱自在に連結される凹部形成具を備え、この凹部形成具により前記一部の領域が前記作業用空間内に引っ張られることで前記凹部が形成されることを特徴としてもよい。
【００２２】
この構成によれば、凹部形成具の他端を、透明部を含む一部の領域の一端と連結するだけで凹部を形成することができ、凹部の形成を簡単且つ迅速化することができる。
【００２３】
また、本発明に係るクリーンルームでは、上記のいずれか一つのクリーンルームにおいて、前記防塵シートは、その周縁が、前記作業用開口部の周縁に設けられるシールド枠により作業用開口部の周縁に着脱自在とされた状態で前記作業用開口部に設けられたことを特徴としてもよい。
【００２４】
この構成によれば、防塵シートを作業用開口部から簡単に取り外すことができるので、防塵シートが汚染された場合であっても、簡単に、新しい防塵シートと交換することができる。
【００２５】
また、本発明に係るクリーンルームでは、上記のいずれか一つのクリーンルームにおいて、前記防塵シートの周縁が、前記作業用開口部の周縁に設けられる第１シールド枠で前記作業用開口部の周縁に着脱自在とされると共に、前記防塵シートの周縁のうち前記第１シールド枠の外側に延出した部分が、前記第１シールド枠の外側に配置される第２シールド枠で前記作業用開口部の周縁に着脱自在とされ、前記防塵シートの周縁と前記作業用開口部の周縁とが前記２つのシールド枠で密着されたことを特徴としてもよい。
【００２６】
この構成によれば、作業用開口部の周縁と防塵シートの周縁とが、２つのシールド枠で着脱自在に密着されているので、クリーンルームの気密性を更に向上させることができる。
【００２７】
本発明に係るクリーンルームにおける、防塵シートの交換方法は、前記作業用開口部の全体をシールドカバーで覆ってクリーンルームの気密性を保持した状態で作業用開口部から防塵シートを取り外し次いで新しい防塵シートを作業用開口部に装着した後、前記シールドカバーを取り外すことを特徴とする。
【００２８】
この方法によれば、古い防塵シートを取り外す前に、予めシールドカバーで作業用開口部を覆ってクリーンルームの気密性が保持された状態とされ、その後、古い防塵シートと新しい防塵シートとを取り替えられるので、クリーンルームのクリーン度を低下させないで防塵シートを交換することできる。
【００２９】
また、本発明に係るクリーンルームのうち、作業用開口部の周縁と防塵シートの周縁とを２つのシールド枠で密着させたクリーンルームにおける防塵シートの交換方法は、古い防塵シートを前記作業用開口部に装着している前記第１シールド枠と前記第２シールド枠のうち、前記第２シールド枠を取り外して古い防塵シートが前記第１シールド枠でのみ装着された状態とし、次いで、新しい防塵シートの周縁を前記第２シールド枠で前記作業用開口部の周縁に装着して前記第１シールド枠を含めた前記作業用開口部全体を新しい防塵シートで封止し、その後、前記第１シールド枠と古い防塵シートを前記作業用開口部から取り外し、前記新しい防塵シートを新しい第１シールド枠で前記作業用開口部の周縁に装着すると共に、前記新しい防塵シートで前記作業用開口部の外側に作業用空間を確保することを特徴とする。
【００３０】
この方法によれば、古い防塵シートを取り外す前に、新しい防塵シートで作業用開口部を覆ってクリーンルームの気密性が保持された状態とし、その後、古い防塵シートを取り外し、その新しい防塵シートで作業用開口部の外側に作業用空間を確保することから、作業用開口部を封止するためだけにシールドカバーを用いる必要もなく、且つクリーンルームのクリーン度を低下させないで、防塵シートの交換を行うことができる。
【００３１】
また、上記の防塵シートの交換方法では、新しい防塵シートの周縁を前記作業用開口部の周縁に前記第２シールド枠で装着して前記第１シールド枠を含めた前記作業用開口部全体を封止する際、前記新しい防塵シートでクリーンルーム内方側から前記作業用開口部全体を覆うことを特徴としてもよい。
【００３２】
この方法によれば、新しい防塵シートにより作業用開口部全体を封止する際、クリーンルーム内方側から作業用開口部全体を覆うことから、新しい防塵シートと古い防塵シートの間に内包される空気はクリーンルーム内の清浄な空気であり、新しい防塵シートにより作業用空間が確保される際には、清浄な空気が外側に出されるだけであるので、確実に、クリーンルームのクリーン度を低下させないで、防塵シートの交換を行うことができる。すなわち、仮に、新しい防塵シートにより作業用開口部全体を封止する際、クリーンルーム外側から作業用開口部全体を覆った場合は、新しい防塵シートと古い防塵シートの間にはクリーンルーム外の清浄でない空気が内包されることとなり、古い防塵シートを取り外したときには、その内包された空気がクリーンルーム内に入ってしまうので、クリーンルームのクリーン度が低下してしまうこととなるが、本方法を取ることにより、このようなクリーン度の低下が生じることもない。
【発明の効果】
【００３３】
本発明に係るクリーンルームによれば、居室内を区画する隔壁に形成された作業用開口部と、少なくとも一部に覗き窓用の透明部を備え、作業用開口部にこの開口部を封止するように設けられ、作業用開口部の外側に作業用空間を確保する防塵シートと、この防塵シートにより作業用空間が確保された際、防塵シートを支持する支持体と、を備えていることから、隔壁の作業用開口部から外側に設けられた作業用空間内に置かれた物を、透明部から観察することができるので、クリーンルームに入室することなく、クリーンルーム内の物を観察することができる。また、作業用開口部の外側に作業用空間を設けたことにより、作業用空間に配置されたものを間近に或いは手に取るように観察することができる。従って、試作品等の観察のみを行う作業のためだけの理由で、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを着用してクリーンルームに入室する必要がなくなるので、その観察の作業を完了するまでにかかる総合的な時間を短縮することができる。また、観察のみを行う作業者のために、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを予備として確保しておく必要がなくなるので、防塵衣や防塵フードの予備数量を削減することができる。また、予備の防塵衣や防塵フードを清潔に維持するクリーニング費用も削減できる。また、クリーンルームに入室する際に使用される防塵マスクの使用量も削減することができる。
【００３４】
本発明に係るクリーンルームの防塵シートの交換方法によれば、古い防塵シートを取り外す前に、予めシールドカバーで作業用開口部を覆ってクリーンルームの気密性が保持された状態とされ、その後、古い防塵シートと新しい防塵シートとを取り替えられるので、クリーンルームのクリーン度を低下させないで防塵シートを交換することできる。
【００３５】
本発明に係るクリーンルームのうち、作業用開口部の周縁と防塵シートの周縁とを２つのシールド枠で密着させたクリーンルームにおける防塵シートの交換方法によれば、古い防塵シートを取り外す前に、新しい防塵シートで作業用開口部を覆ってクリーンルームの気密性が保持された状態とし、そのあと、古い防塵シートを取り外し、その新しい防塵シートで作業用開口部の外側に作業用空間を確保することから、作業用開口部をシールドするためだけにシールドカバーを用いる必要もなく、且つクリーンルームのクリーン度を低下させないで、防塵シートの交換を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３７】
＜クリーンルームについて＞
図１は、本実施の形態に係るクリーンルームの全体を示す平面図である。
【００３８】
本実施の形態に係るクリーンルーム１は、主に、クリーン度の高い第１ルーム１１と、クリーン度の低い第２ルーム１２から構成されている。第１ルーム１１と第２ルーム１２は、エアシャワーが備えられた連絡通路１３により、連結されている。また、第２ルーム１２には、エアシャワーが設けられた入室口１４が設けられている。
【００３９】
なお、クリーンルーム１の第１ルーム１１、第２ルーム１２とも、一般居室の一部の領域を隔壁１５で区画して設けられており、隔壁１５により、第１ルーム１１又は第２ルーム１２と、一般居室とが仕切られた構造となっている。一般居室は、防塵衣や防塵フードを着衣しなくても入室できる部屋である。
【００４０】
第１ルーム１１は、クリーンルーム１内で実施する主たる作業が行われる部屋である。例えば、半導体製品の製造のためのクリーンルーム１にあっては、第１ルーム１１には、半導体製品の製造工程順に各行程で用いられる製造装置１８、１８・・が配置され、半導体製品の製造工程ラインが構築されている。また、第１ルーム１１では、当該半導体製品の製造において要求されるクリーンレベルに、室内の空気が管理される。
【００４１】
第２ルーム１２は、第１ルーム１１で製造された試験品の特性確認、第１ルーム１１で使用されていた治具の修理などの作業を行う部屋である。また、第２ルーム１２では、第１ルーム１１よりもクリーンレベルが低く管理されている。
【００４２】
また、上記したように、第１ルーム１１と第２ルーム１２とは連絡通路１３で連結されているが、空気が自由に流通しないように構成されている。具体的には、第２ルーム１２は第１ルーム１１より気圧が低く設定され、第１ルーム１１から第２ルーム１２へと空気が流れるようにされている。つまり、第２ルーム１２のクリーン度の低い空気が、第１ルーム１１には流れ込まないようにされている。また、第２ルーム１２から第１ルーム１１への作業者の移動により、第１ルーム１１のクリーン度が低下しないように、作業者が連絡通路１３に入室したときに自動的にエアシャワーが稼動するようになっている。
【００４３】
なお、図１では、第２ルーム１２の室数は２つであるが、室数は限定されることはない。また、同図では、第２ルーム１２の端部には一般居室から出入りできる入室口１４が設けられた例を示しているが、この入室口１４は第１ルーム１１に設けてもよい。また、第１ルーム１１や第２ルーム１２にパスボックスを設けてもよい。このようにすれば、取り扱う製品や治具を、簡単に、第１ルーム１１又は第２ルーム１２と一般居室との間で搬出入することができる。
【００４４】
第１ルーム１１と第２ルーム１２に隣接する一般居室は、第２ルーム１２よりも更に気圧が低く設定され、第１ルーム１１や第２ルーム１２へ空気が流入しないようにされている。以上のように、クリーンルーム１は、第１ルーム１１、第２ルーム１２、一般居室の順に気圧が低く設定され、これにより、クリーン度の低い部屋からクリーン度の高い部屋への空気の流入を防止し、クリーン度の高い部屋が汚染されることを防止している。
【００４５】
次に、第２ルーム１２に設けられた作業用空間について説明する。作業用空間は、第２ルーム１２の隔壁１５から外側に空間を確保するように防塵シートを張設して設けられる。ここで、第２ルーム１２から外側に防塵シートを張設して形成された部分を、作業用空間部という。
【００４６】
図２は、本実施の形態に係るクリーンルームの第２ルームに防塵シートにより設けられた作業用空間部を横方向からみた断面図である。図３は、本実施の形態に係るクリーンルームの第２ルームの作業用空間部を折り畳んだ状態の断面図である。図４は、防塵シートの正面図である。図５は、防塵シートを支持するための支持体の側面図である。
【００４７】
作業用空間３０は、第２ルーム１２の隔壁１５から外側に、室内の空間が拡張するように設けられた、作業を行うための空間であり、第２ルーム１２で作業する作業者がそこで作業できるのみならず、クリーンルーム１の外側からでも、その場所に置かれた物を観察したり、取り扱ったりすることができるように形成された空間である。この作業用空間３０は、第２ルーム１２から外側に防塵シート２１を張設して形成された作業用空間部２０により確保される。
【００４８】
作業用空間部２０は、作業用開口部１７の外側に作業用空間３０を確保すると共に、第２ルーム１２の隔壁１５に形成された作業用開口部１７を封止する防塵シート２１と、この作業用空間３０が確保された状態で防塵シート２１を支持する支持体４０とから構成される。なお、作業用空間部２０は、第２ルーム１２に設けることに限定されるものではなく、第１ルーム１１に設けてもよい。
【００４９】
以下、具体的に作業用空間部２０について詳述する。
【００５０】
第２ルーム１２の隔壁１５には、作業者が製品や、製品を検査するための治具等を取り出すことができる程度の作業用開口部（開口部）１７が形成されている。この作業用開口部１７の周縁には凸状枠５１が形成されている。具体的には、凸状枠５１は、その作業用開口部１７の周縁の内側壁から突出した状態で、作業用開口部１７全体を囲むように形成されている。また、この凸状枠５１の外周には、第２シールド枠５３が取り外し自在に装着されている。更に、この凸状枠５１の内周には、第１シールド枠５２が取り外し自在に装着されている。また、第１シールド枠５２は、作業用開口部１７を挿通させることができる大きさに設定されている。具体的には、第１シールド枠５２の一辺の長さが、作業用開口部１７の対角線の長さ寸法より短く設定されている。
【００５１】
作業用開口部１７には、この作業用開口部１７の外側に作業用空間３０を確保するように防塵シート２１が張設される。このようにして防塵シート２１を張設して形成された部分が作業用空間部２０である。
【００５２】
防塵シート２１は、第２ルーム１２の気密性が維持されるように、作業用開口部１７に取り付けられる。具体的には、防塵シート２１の周縁は、第１シールド枠５２と、凸状枠５１と、第２シールド枠５３に挟持され、作業用開口部１７の周縁と密着するように押圧され、これにより、作業用開口部１７を封止し、外気が流入しないようにされている。
【００５３】
また、防塵シート２１は、作業用空間３０を確保するために袋状に形成された空間形成部２２と、空間形成部２２の開口部の周縁に延在して設けられた周縁部２７とから構成されている。周縁部２７は、第１シールド枠５２、凸状枠５１、第２シールド枠５３に挟持される部分である。
【００５４】
空間形成部２２は、防塵性のシート、例えば、ポリエステルシートにより形成されている。また、空間形成部２２の天面には、内方（防塵シート２１を作業用開口部１７に張設した状態でクリーンルーム１に向かう側）に凹ませた凹部２３が形成されている。
【００５５】
凹部２３は、空間形成部２２の下面（防塵シート２１を作業用開口部１７に張設して作業用空間部２０を形成したときに、下側に配置される面）が覗き込めるように、少なくとも一部分が透明になっている。なお、凹部２３の一部分を透明とするのではなく、凹部２３全体を透明にしてもよい。又、防塵シート２１全体を透明にしてもよい。なお、以下、防塵シート２１において、透明な部分を透明部ともいう。
【００５６】
また、凹部２３は、その端部２４を引張ることにより所定の形状をなすものとされている。例えば、凹部２３は、その開口部周縁２８が矩形とされると共に、その矩形の対向する２辺のそれぞれから立ち上げられた両斜面が衝合する形状（以下、テント形状ともいう。）とされ、そして、その衝合部２９の両端２４，２４を引張ることでテント形状が形成されるものとされる。また、凹部２３の凹んだ部分の大きさは、例えば、作業者８０の顔全体が十分に入る程度の寸法とされ、作業者８０がこの凹部２３から作業用空間３０を覗き込めるようにされる。
【００５７】
なお、凹部２３は、その端部２４を引張ることにより所定の形状をなすものとするのではなく、形状が固定している透明プラスチックなどにより形成してもよい。この場合は、凹部２３を形作るために用いられる凹部形成具４１（後述）は必要とされない。また、透明プラスチックは、その面が平滑であるため、視認性が良好であるというメリットがある。
【００５８】
防塵シート２１の空間形成部２２の周縁部２７は、気密性、防塵性、柔軟性、弾力性を備えたシートにより形成されている。例えば、防塵シートに樹脂やゴムを塗布して密着性を高めたシート、複数種類の防塵シートを積層し弾力性の高い樹脂を塗布して形成されたシート等が用いられる。このような材質で形成することにより、作業用開口部１７と防塵シート２１との間の隙間の形成を防止し、第２ルーム１２の気密性を向上させることができる。
【００５９】
また、防塵シート２１には、凹部２３の下方部に、作業者８０の手指を挿入することができる、ゴムシートからなる作業用手袋２５が２つ設けられている。具体的には、防塵シート２１の凹部２３の下方部に、作業者の手指が挿入可能な開口部が開設され、この開口部に、作業用手袋２５の手袋口部２６が取り付けられる。
【００６０】
このような防塵シート２１を用いることにより、作業用開口部１７から外側に作業用空間３０が形成される。具体的には、防塵シート２１の空間形成部２２が、作業用開口部１７から外側に突出するように配置され、その空間形成部２２の内側に支持体４０が配置され、そして、空間形成部２２のシートが支持体４０に沿わせて張られ、これにより、作業用空間３０が作業用開口部１７の外側に確保される。
【００６１】
支持体４０は、上記のように、防塵シート２１の空間形成部２２を作業用開口部１７から突出させた状態に支持するものである。具体的には、支持体４０は、相当強度のプラスチックフレームやステンレスフレームにより立方体状又は直方体状に形成された枠体であり、その枠体の底面に、平坦な鉄製の土台４５が備え付けられて構成される。
【００６２】
また、支持体４０には、テント状の凹部２３の衝合部２９の両端のそれぞれを個別に引張るための凹部形成具４１が２個、備え付けられている。凹部形成具４１は、棒状であって、その一端４２は、回動自在に支持体４０に固定され、他端４３は、凹部２３の衝合部２９の両端の一方と着脱自在に連結されるものとして、構成される。凹部形成具４１の他端４３に設けられた、凹部２３と連結する連結部は、例えば、ワニ口クリップのように挟持できるものなど、凹部２３の一端に連結又は係合されるものにより構成される。
【００６３】
また、凹部形成具４１の長さは、凹部形成具４１の他端を凹部２３の一端２４に連結させたとき、凹部形成具４１と凹部２３とが相互に引張られた状態となり、凹部２３が張設されるように設定されている。具体的には、凹部２３が上記のテント状のものである場合は、凹部形成具４１の長さは、凹部２３の衝合部２９の一端２４から、この一端２４に対向する支持体４０までの距離とほぼ同一の長さとされる。
【００６４】
このように、支持体４０により支持され、防塵シート２１により形成された作業用空間部２０は、その下側に配置された作業台６１の上に載置される。この作業台６１は、作業用椅子６２と共に、外側から、すなわち、居室側から、配置される。作業台６１は、作業用空間部２０を下側から支持するものであり、そして、第２ルーム１２の外側にいる作業者８０が、この作業台６１の上で作業するために用いられるものである。また、作業台６１の作業面には、支持体４０の土台４５を固定するための固定用磁石６３が設けられている。これにより、支持体４０が動かないように固定される。
【００６５】
なお、作業用空間部２０の下側に、作業台６１を配置するのではなく、支持体４０のみで、作業用空間部２０全体を支持する構成としてもよい。この場合は、支持体４０には、支持体４０自体が隔壁１５に固定される固定手段が設けられる。
【００６６】
作業用空間部２０が使用されない場合は、図３に示すように、支持体４０が取り外され、防塵シート２１が蛇腹上に折り畳まれる。そして、折り畳まれた作業用空間部２０の全体が、第２ルーム１２の外側と内側から、シールドカバー７１により封じ込められる。
【００６７】
シールドカバー７１は、作業用開口部１７から外気が第２ルーム１２内に流入しないように作業用空間部２０の全体を完全にシールドするものであり、その周縁は、作業用開口部１７の周縁の壁に密着するシールド樹脂により縁取りされている。また、シールドカバー７１は、作業用開口部１７の周縁の壁から取り外し自在とされている。また、シールドカバー７１には開閉式窓を設けてもよい。
【００６８】
このような構成にすれば、作業用空間部２０を完全に封止することができるので、第２ルーム１２への外気の流入を確実に防止することができる。従って、長期間、作業用空間部２０を使用しない場合であっても、シールドカバー７１を用いることで作業用空間部２０を完全に封止することができるので、第２ルーム１２の気密性を長期にわたって確保することができる。
【００６９】
次に、外部の作業者が上記の作業用空間部２０を用いて作業する方法を説明する。
【００７０】
外側にいる作業者は、まず、外側のシールドカバー７１を取り外す。そして、防塵シート２１の下側に作業台６１を配置し、折り畳まれた防塵シート２１を引き伸ばす。
【００７１】
第２ルーム内にいる作業者は、内側のシールドカバー７１を取り外す。そして、作業用開口部１７から防塵シート２１の空間形成部２２を外側に張り出させると共に、支持体４０をその空間形成部２２の内側に配置しつつ、防塵シート２１を支持体４０に沿わせ、作業用空間部２０を形成する。そして、防塵シート２１の凹部２３を張設するために、凹部形成具４１の連結部を凹部２３の端部２４に連結する。
【００７２】
作業用空間部２０を形成した後、第２ルーム内にいる作業者は、外側にいる作業者が取り扱おうとする物を作業用空間３０に配置する。例えば、第２ルーム１２に常備されている顕微鏡と試作品を土台４５の上に配置する。
【００７３】
作業用空間３０に用意された物は、凹部２３の透明部ごしに、外側にいる作業者８０により確認される。凹部２３は、第２ルーム１２側の内方に凹んでいるため、外側にいる作業者８０であっても、その物を上方から覗き込むことができる。また、防塵シート２１には、作業用手袋２５が設けられているため、外側にいる作業者８０が第２ルーム１２内にあるものを実際に取り扱うことができる。例えば、用意された顕微鏡で試作品を観察するために、試作品を顕微鏡のステージに置いたり、顕微鏡の倍率や焦点の調整をしたりすることができる。
【００７４】
なお、外側にいる作業者が作業用手袋２５に腕を挿入する場合、クリーンルーム用手袋やインナー手袋を装着してから、作業用手袋２５に腕を挿入することが好ましい。このような方法によれば、作業用手袋２５の汚れを防止することができ、これにより、作業用手袋２５の汚れだけの原因で、防塵シート２１の交換をする必要がなくなる。
【００７５】
以上のクリーンルーム１によれば、隔壁１５に形成された作業用開口部１７から外側に作業用空間３０が形成され、その作業用空間３０を確保する防塵シート２１には、透明部が設けられているので、その作業用空間３０内に置かれた物を、透明部から観察することができる。従って、クリーンルーム１に入室することなく、クリーンルーム１内の物を観察することができる。また、作業用開口部１７の外側に作業用空間３０を設けたことにより、作業用空間３０に配置されたものを間近に或いは手に取るように観察することができる。また、試作品等の観察のみを行う作業のためだけの理由で、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを着用してクリーンルーム１に入室する必要がなくなるので、その観察の作業を完了するまでにかかる総合的な時間を短縮することができる。また、これにより、試作品等の観察だけを目的としてクリーンルーム１に入室する作業者の人数は減少することから、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを予備として確保しておく必要がなくなり、この結果、防塵衣や防塵フードの予備数量を削減することができ、また、予備の防塵衣や防塵フードを清潔に維持するクリーニング費用も削減できる。また、クリーンルーム１に入室する際に使用される防塵マスクの使用量も削減することができる。そして、作業者がクリーンルーム１に入室しなくても作業ができるということから、作業者のクリーンルーム１内への入室頻度を減少させることができ、これにより、クリーンルーム１内の空気が汚染される頻度も少なくなるので、結果的に、クリーンルーム１のクリーン度を安定化させることができる。
【００７６】
また、透明部は防塵シート２１の凹部２３に設けられているので、作業用空間３０側に凹んだ距離分、作業用空間３０に配置された物に接近することができるので、外側にいる作業者は、より接近してクリーンルーム１内にある物を観察することができる。
【００７７】
また、作業用手袋２５を介して実際に手でクリーンルーム１内にある物に触ることができる。従って、実際に物に触って行う作業であっても、クリーンルーム１に入室せずに、その作業を行うことができるので、その作業にあたって、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを着用及び脱衣する時間を省くことができ、結果的に、作業を完了するまでにかかる総合的な時間を短縮することができる。また、その作業を行う作業者のために、防塵衣、防塵フード、防塵マスクを用意する必要もなくなり、多数の防塵衣や防塵フードを用意する必要もなく、常に着衣できるように維持するクリーニング費用も削減できる。また、防塵マスクの使用を削減することもできる。
【００７８】
また、作業用空間部２０を構成する支持体４０には、凹部２３を形成するための凹部形成具４１が設けられており、凹部形成具４１の他端を、透明部を含む一部の領域の一端２４（凹部２３がテント状である場合はその衝合部２９の両端２４，２４）と連結するだけで凹部２３を形成することができるので、凹部２３の形成を簡単且つ迅速化することができる。
【００７９】
さらに、防塵シート２１は、その周縁が作業用開口部１７の周縁にシールド枠に着脱自在としてその作業用開口部１７に設けられたことから、防塵シート２１を作業用開口部１７から簡単に取り外すことができるので、防塵シート２１が汚染された場合であっても、簡単に、新しい防塵シート２１と交換することができる。
【００８０】
また、作業用開口部１７の周縁と防塵シート２１の周縁とが、２つのシールド枠で着脱自在に密着され、２重に押さえられているので、クリーンルーム１の気密性を更に向上させることができる。
【００８１】
そして、作業用開口部１７の封止構造は、第２シールド枠５３を取り外しても、第１シールド枠５２により防塵シート２１と作業用開口部１７の周縁とを封着させることができる構造、すなわち、第１シールド枠５２のみでクリーンルーム１の気密性を保持することができる構造とされていることから、防塵シート２１を交換する際には、古い防塵シート２１を第１シールド枠５２だけで作業用開口部１７に装着させると共に、新たな防塵シート２１を作業用開口部１７の周縁に装着させた状態とした後、古い防塵シート２１を取り外すことが可能である。すなわち、このような、作業用開口部１７の封止構造によれば、クリーンルーム１の気密性を保持した状態で防塵シート２１を交換することができる。
【００８２】
また、作業用空間部２０は、クリーンルーム１内に作業専用ルームを設置することと比較すれば、空気の清浄装置等を設ける必要もなく、極めて少ない初期費用で構築できる。また、作業用空間３０は、作業用開口部１７の外側に設けられることから、クリーンルーム１の室内空間を狭めることもない。
【００８３】
また、本実施の形態で示したクリーンルーム１は、クリーン度が高く設定された第１ルーム１１と、第１ルーム１１よりクリーン度が低く設定された第２ルーム１２からなり、この第２ルーム１２に、作業用空間部２０を設けた構成とされている。このような構成により、仮に、作業用空間部２０で空気漏れが発生したとしても、一般居室からの空気の流入は第２ルーム１２内に留まるので、第１ルーム１１の空気の汚染は防止される。
【００８４】
＜クリーンルームの防塵シートの交換方法について＞
防塵シート２１は、定期的に又は防塵シート２１が汚染されたときに、新しい防塵シート２１に交換される。例えば、作業用空間部２０を用いて作業が行われる場合は、クリーンルーム１の外側から作業者が、防塵シート２１の作業用手袋２５に手指を挿入するので、特に、作業用手袋２５が手垢などで汚れることが多い。この場合は、防塵シート２１が取り外され、洗浄される。
【００８５】
また、作業用手袋２５を介して、クリーンルーム１内の試作品や治具を取り扱うので、作業用手袋２５は磨耗によりその表面が劣化することがある。作業用手袋２５の劣化が生じると、その表面から粉塵が発生するため、防塵シート２１自体を取り替える必要がある。この場合は、新しい防塵シート２１に交換される。
【００８６】
以下、防塵シート２１の交換方法について説明する。
【００８７】
図６は、新しい防塵シートと新しい第１シールド枠が第２ルームに準備された状態を示した概略図である。
【００８８】
まず、新しい防塵シート２１ａと新しい第１シールド枠５２ａが準備される。新しい第１シールド枠５２ａが準備される理由は、後述するように、防塵シート２１の交換の際に古い第１シールド枠５２が外部に取り出されるためである。
【００８９】
図７は、凹部形成具と凹部との連結が解除された状態を示した概略図である。図８は、支持体が防塵シートから取り外された状態を示した概略図である。図９は、防塵シートの周縁を固定した第２シールド枠が取り外された状態を示した概略図である。図１０は、防塵シートのうち、凸状枠の外側に密着した状態にあった部分が引き剥がされた状態を示した概略図である。
【００９０】
防塵シート２１を交換するときには、凹部形成具４１と、防塵シート２１の凹部２３との連結が解除され、支持体４０が防塵シート２１から取り外される。その後、第２シールド枠５３が作業用開口部１７の周縁から取り外される。そして、防塵シート２１のうち、凸状枠５１の外側に密着した状態にあった部分が引き剥がされ、凸状枠５１の外側に新しい防塵シート２１ａの周縁を密着させ得る状態とされる。
【００９１】
図１１は、新しい防塵シートの周縁が凸状枠の外側周縁に密着した状態を示した概略図である。図１２は、新しい防塵シートの周縁が作業用開口部に第２シールド枠で押さえられた状態を示した概略図である。
【００９２】
新しい防塵シート２１ａが作業用開口部１７の周縁に取り付けられる。具体的には、新しい防塵シート２１ａの周縁を凸状枠５１の外側周縁に密着させ、第２シールド枠５３を凸状枠５１の外側に装着する。
【００９３】
このように、古い防塵シート２１を作業用開口部１７に取り付けた状態のままで、新しい防塵シート２１ａの取り付けられるので、外気がクリーンルーム１内に流入することなく、防塵シート２１を交換することができる。
【００９４】
図１３は、第１シールド枠が取り外された状態を示した概略図である。図１４は、第１シールド枠と防塵シートとが作業用開口部の外側に取り出された状態を示した概略図である。
【００９５】
新しい防塵シート２１ａを取り付けた後、第１シールド枠５２を取り外し、この第１シールド枠５２と防塵シート２１を外側に取り出す。第１シールド枠５２は、その一辺の長さが作業用開口部１７の対角線の長さよりも短く設定されているため、容易に第１シールド枠５２を取り出すことができる。
【００９６】
なお、新しい防塵シート２１ａを取り付けたときには、第１シールド枠５２は、新しい防塵シート２１ａと古い防塵シート２１により形成された閉塞空間に配置されてしまうこととなり、第１シールド枠５２は外部から直接手で触ることができない状態となる。従って、第１シールド枠５２は、防塵シート２１を介して取り外されることとなる。そのため、第１シールド枠５２は、防塵シート２１を介してでも、作業用開口部１７の周縁から簡単に取り外し可能な構造とされている。例えば、第１シールド枠５２は、作業用開口部１７の周縁に設けられたレバーの回動により、着脱自在なものとされる。または、第１シールド枠５２は、凸状枠５１にネジにより係合させる構成としてもよい。この場合は、新しい防塵シート２１ａを作業用開口部１７に取り付ける前に、予めネジを緩める作業が行われる。
【００９７】
図１５は、新しい防塵シートの空間形成部が作業用開口部の外側に出された状態を示した概略図である。図１６は、新しい第１シールド枠が凸状枠の内周に装着された状態を示した概略図である。図１７は、新しい防塵シートの空間形成部の内側に支持体が配置され、防塵シートが支持体に沿って張られ、作業用空間部が形成された状態を示した概略図である。図１８は、凹部形成具の連結部が凹部の一端に連結されて、凹部が形成された状態を示した概略図である。
【００９８】
新しい防塵シート２１ａの空間形成部２２は、作業用開口部１７の外側に出される。そして、凸状枠５１の内周に、新しい第１シールド枠５２ａが装着される。更に、防塵シート２１の空間形成部２２の内側に支持体４０が配置され、防塵シート２１が支持体４０に沿って張られ、作業用空間部２０が形成される。そして、凹部形成具４１の連結部が凹部２３の一端２４に連結され、凹部２３が形成される。
【００９９】
図１９は、古い防塵シートと古い第１シールド枠が洗浄された状態で、第２ルーム内に保管された状態を示した概略図である。
【０１００】
古い防塵シート２１と第１シールド枠５２は、洗浄され、クリーンルーム１内で保管されることとなる。
【０１０１】
以上のような防塵シート２１の交換方法によれば、古い防塵シート２１を取り外す前に、新しい防塵シート２１ａで作業用開口部１７を覆ってクリーンルーム１の気密性が保持された状態とし、その後、古い防塵シート２１を取り外し、その新しい防塵シート２１ａで作業用開口部１７の外側に作業用空間３０を確保することから、クリーンルーム１の気密性を保持しながら、防塵シート２１の交換を行うことができる。また、作業用開口部１７をシールドするためだけに、シールドカバー７１（後述）を用いる必要もなく、且つクリーンルーム１のクリーン度を低下させないで、防塵シート２１の交換を行うことができる。
【０１０２】
また、新しい防塵シート２１ａにより作業用開口部１７全体を封止する際、クリーンルーム１内方側から作業用開口部１７全体を覆うことから、新しい防塵シート２１ａと古い防塵シート２１の間に内包される空気はクリーンルーム１内の清浄な空気であり、新しい防塵シート２１ａにより作業用空間３０が確保される際には、清浄な空気が外側に出されるだけであるので、クリーンルーム１のクリーン度を低下させないで、防塵シート２１の交換を行うことができる。すなわち、仮に、新しい防塵シート２１ａにより作業用開口部１７全体を封止する際、クリーンルーム１外側から作業用開口部１７全体を覆った場合は、新しい防塵シート２１ａと古い防塵シート２１の間にはクリーンルーム１外の清浄でない空気が内包されることとなり、古い防塵シート２１を取り外したときには、その内包された空気がクリーンルーム１内に入ってしまうので、クリーンルーム１のクリーン度が低下してしまうこととなるが、本方法を取ることにより、このようなクリーン度の低下が生じることもない。
【０１０３】
次に、上記の防塵シート２１の交換方法とは別の防塵シート２１の交換方法について説明する。上記の防塵シート２１の交換方法は、防塵シート２１が２つのシールド枠（第１シールド枠５２と第２シールド枠５３）により装着された作業用空間部２０にのみ適用される方法であるが、次に示す方法は、防塵シート２１の装着構造に拠らずに、適用されるものである。
【０１０４】
まず、図３に示したようなシールドカバー７１を作業用開口部１７にクリーンルーム１の外側から装着される。これにより、作業用開口部１７から防塵シート２１を取り外しても、外部からクリーンルーム１内に外気が入らないようにされる。その後、古い防塵シート２１が取り外され、外側に搬出されると共に、新しい防塵シート２１ａが取り付けられる。そして、シールドカバー７１が取り外される。
【０１０５】
このような防塵シート２１の交換方法によれば、古い防塵シート２１を取り外す前に、予めシールドカバー７１で作業用開口部１７を覆ってクリーンルーム１の気密性が保持された状態とされ、その後、古い防塵シート２１と新しい防塵シート２１ａとを取り替えられるので、クリーンルーム１のクリーン度を殆ど低下させないで防塵シート２１を交換することできる。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】本実施の形態に係るクリーンルームの全体を示す平面図である。
【図２】本実施の形態に係るクリーンルームの第２ルームに防塵シートにより設けられた作業用空間部を横方向からみた断面図である。
【図３】本実施の形態に係るクリーンルームの第２ルームの作業用空間部を折り畳んだ状態の断面図である。
【図４】防塵シートの正面図である。
【図５】防塵シートを支持するための支持体の側面図である。
【図６】新しい防塵シートと新しい第１シールド枠が第２ルームに準備された状態を示した概略図である。
【図７】凹部形成具と凹部との連結が解除された状態を示した概略図である。
【図８】支持体が防塵シートから取り外された状態を示した概略図である。
【図９】防塵シートの周縁を固定した第２シールド枠が取り外された状態を示した概略図である。
【図１０】防塵シートのうち、凸状枠の外側に密着した状態にあった部分が引き剥がされた状態を示した概略図である。
【図１１】新しい防塵シートの周縁が凸状枠の外側周縁に密着した状態を示した概略図である。
【図１２】新しい防塵シートの周縁が作業用開口部に第２シールド枠で押さえられた状態を示した概略図である。
【図１３】第１シールド枠が取り外された状態を示した概略図である。
【図１４】第１シールド枠と防塵シートとが作業用開口部の外側に取り出された状態を示した概略図である。
【図１５】新しい防塵シートの空間形成部が作業用開口部の外側に出された状態を示した概略図である。
【図１６】新しい第１シールド枠が凸状枠の内周に装着された状態を示した概略図である。
【図１７】新しい防塵シートの空間形成部の内側に支持体が配置され、防塵シートが支持体に沿って張られ、作業用空間部が形成された状態を示した概略図である。
【図１８】凹部形成具の連結部が凹部の一端に連結されて、凹部が形成された状態を示した概略図である。
【図１９】古い防塵シートと古い第１シールド枠が洗浄された状態で、第２ルーム内に保管された状態を示した概略図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１            クリーンルーム
１１          第１ルーム
１２          第２ルーム
１５          隔壁
１７          作業用開口部
２０          作業用空間部
２１          防塵シート
２３          凹部
２５          作業用手袋
２６          手袋口部
３０          作業用空間
４０          支持体
４１          凹部形成具
５１          凸状枠
５２          第１シールド枠
５３          第２シールド枠
６１          作業台
７１          シールドカバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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