(57)【要約】  【課題】  液体吐出孔周囲に力を加えることなく、液体吐出孔周囲の液体を取り除くことのできる液体吐出ヘッドを提供する。  【解決手段】  複数の液体流路と該複数の液体流路とそれぞれ複数の液体加圧室を介して連通した複数の液体吐出孔が設けられた液体吐出孔面を有する流路部材と、前記液体加圧室内の液体を加圧する液体加圧装置とを備える液体吐出装置であって、前記流路部材は、前記液体吐出孔面に設けられた複数の大気吸引孔と該複数の大気吸引孔に連通した複数の大気流路を有し、該複数の大気流路中の大気を吸引する吸引装置を備える液体吐出装置を用いる。  【選択図】図２
2009051188.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の液体流路および該複数の液体流路にそれぞれ複数の液体加圧室を介して連通した、液体吐出孔面に形成された複数の液体吐出孔を有する流路部材と、前記液体加圧室内の液体を加圧する液体加圧装置とを備える液体吐出装置であって、前記流路部材は、前記液体吐出孔面に前記液体吐出孔に近接して設けられた複数の大気吸引孔と、該複数の複数の大気吸引孔にそれぞれ複数の大気流路を介して連通した吸引装置とを有しており、該吸引装置により前記複数の大気吸引孔の周囲の大気を吸引することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記液体流路の一部分と前記大気流路の一部分とが振動板を介して対向していることを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記液体吐出孔およびそれに近接して設けられた前記大気吸引孔は、前記液体吐出孔面に形成された窪み部に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置に関し、特に、文字や画像の記録に用いるインクジェット式プリンタに搭載される液体吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した記録装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも、広く利用されている。
【０００３】
このようなインクジェット記録方式の記録装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが、印刷ヘッドとして搭載されており、この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒーターを備え、ヒーターによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、インク滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔よりインク滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
このようなインクジェット記録方式の記録装置では、インクを吐出する際にインクの一部がインク吐出孔の周囲に残ったり、一旦、吐出したインクの一部がミストになってインク吐出孔の付近に付着したりすることがあった。インク吐出孔の周囲にインクが付着していると、付着したインクの影響により吐出されるインクの方向や速度が変わり、インクの着弾点の位置が変わってインクによる記録の品質が悪くなることがあった。
【０００５】
そして、付着したインクを取り除くために、樹脂製のワイパーによりワイピングを行なうことが知られている。また、インク吐出孔の周囲に撥水膜を形成し、インクが付着しにくくすることが知られえている（例えば特許文献１を参照。）。
【特許文献１】特開２００６−２０５７１５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の液体吐出ヘッドは、液体の除去ができるものの、ワイパーを稼動させるには印刷を止めて行なわなければならず、記録装置の稼働率が悪くなるという問題があった。
【０００７】
また、ワインピングでは初期には液体の除去ができるものの、ワイピングする際に液体吐出孔周囲に力が頻繁に加わるため、ワイピングを繰り返すうちに液体吐出孔周囲の撥水膜が徐々に劣化し、液体吐出孔周囲に液体が付着する頻度が高くなり、それに対応するためワイピングの頻度を高くしなければならなくなるという問題もあった。
【０００８】
したがって、本発明の目的は、液体吐出孔周囲に力を加えることなく、液体吐出孔周囲の液体を取り除くことのできる液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体吐出装置は、複数の液体流路および該複数の液体流路にそれぞれ複数の液体加圧室を介して連通した、液体吐出孔面に形成された複数の液体吐出孔を有する流路部材と、前記液体加圧室内の液体を加圧する液体加圧装置とを備える液体吐出装置であって、前記流路部材は、前記液体吐出孔面に前記液体吐出孔に近接して設けられた複数の大気吸引孔と、該複数の複数の大気吸引孔にそれぞれ複数の大気流路を介して連通した吸引装置とを有しており、該吸引装置により前記複数の大気吸引孔の周囲の大気を吸引することを特徴とする。
【００１０】
また、前記液体流路の一部分と前記大気流路の一部分とが振動板を介して対向していることが好ましい。
【００１１】
また、前記液体吐出孔およびそれに近接して設けられた前記大気吸引孔は、前記液体吐出孔面に形成された窪み部に形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の液体吐出装置によれば、複数の液体流路および該複数の液体流路にそれぞれ複数の液体加圧室を介して連通した、液体吐出孔面に形成された複数の液体吐出孔を有する流路部材と、前記液体加圧室内の液体を加圧する液体加圧装置とを備える液体吐出装置であって、前記流路部材は、前記液体吐出孔面に前記液体吐出孔に近接して設けられた複数の大気吸引孔と、該複数の複数の大気吸引孔にそれぞれ複数の大気流路を介して連通した吸引装置とを有しており、該吸引装置により前記複数の大気吸引孔の周囲の大気を吸引することにより、液体吐出孔に力を加えることなく、液体吐出孔周囲に付着した液体を取り除くことができる。
【００１３】
また、前記液体流路の一部分と前記大気流路の一部分とが振動板を介して対向している場合、大気流路が液体を吐出する際のダンパーとして働くため液体の吐出を安定して行なうことができる。また、これらの働きを大気流路で共通して行なうため、流路部材内に必要な体積が少なくでき、液体吐出孔の間隔を短くすることができる。
【００１４】
また、前記液体吐出孔およびそれに近接して設けられた前記大気吸引孔は、前記液体吐出孔面に形成された窪み部に形成されている場合、同じ流量の大気の吸引で、前記液体吐出孔の周囲の液体を効率よく取り除くことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の液体吐出装置の一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本実施形態にかかる液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドの上面図である。
【００１７】
液体吐出ヘッド１３は、流路部材４と、流路部材４上に積層された液体加圧装置である圧電アクチュエータ２１とを有している。圧電アクチュエータ２１は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。また、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線のそれぞれに沿って２個ずつ、つまり合計４個の圧電アクチュエータ２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータ２１の斜辺同士は、流路部材４の幅方向について部分的にオーバーラップしている。
【００１８】
流路部材４の内部には液体流路５が形成されている。流路部材４の上面には液体流路５の開口５ｂが形成されている。液体流路５の開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。液体流路５の開口５ｂは、４個の圧電アクチュエータ２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。液体流路５には開口５ｂを通じて液体タンク（図示せず）から液体が供給されるようになっている。
【００１９】
また、流路部材４の内部には大気流路８が形成されている。流路部材４の上面には大気流路８の開口８ｂが形成されている。大気流路の開口８ｂは、各圧電アクチュエータ２１の短辺側に１個ずつ、合計４個形成されている。大気流路の開口８は、４個の圧電アクチュエータ２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。大気流路８は開口８ｂを通じて吸引装置（図示せず）に通じており、吸引装置を作動させることにより、大気流路８を通じて後述の大気吸引孔８ａの周囲の空気を吸引できるようになっている。
【００２０】
図２（ａ）は、図１の本実施形態にかかる液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッド１３の部分縦断面図である。流路部材４には、複数の液体吐出孔１がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に配置されており、図２（ａ）は１個の液体吐出孔１の周囲の断面図である。
【００２１】
流路部材４には、複数の液体流路５とこれら複数の液体流路５とそれぞれ複数の液体加圧室６を介して連通した複数の液体吐出孔１がマトリクス状に配置されている。液体加圧室６もマトリクス状に配置されている。複数の液体吐出孔１は流路部材４の下面である液体吐出孔面７に形成されている。
【００２２】
流路部材４の液体吐出孔面７には、複数の大気吸引孔８ａがマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されており、大気流路８および大気流路の開口８ｂを通じて吸引装置（図示せず）につながっている。大気吸引孔８ａは液体吐出孔１に近接して設けられている。
【００２３】
圧電アクチュエータ２１は、流路部材４側から圧電セラミック層２１ａ、共通電極２３ａ、圧電セラミック層２１ｂおよび駆動電極２３ｂがこの順序で積層されて構成されている。圧電アクチェータ２１は複数の液体加圧室６を覆うように積層されており、駆動電極２３ｂは各液体加圧室６それぞれの直上に位置するように設けられている。駆動電極２３ｂは１００個／ｃｍ２以上設けることが可能である。各駆動電極２３ｂには接続電極２３ｃが接続され、接続電極２３ｃは直下の流路部材４に液体加圧室６などが形成されていない部分まで形成され、外部回路（図示せず）と電気的に接続される。
【００２４】
そして、圧電セラミック層２１ａ、共通電極２３ａ、圧電セラミック層２１ｂおよび駆動電極２３ｂから変位素子２５が構成され、接続電極２３ｃに外部回路から駆動電圧を印加すると、変位素子２５が変位し、液体加圧室６の体積が変化し、液体加圧室６内の液体が液体吐出孔１から吐出される。この際、圧電セラミック層２１ａは振動板として働く。
【００２５】
液体吐出孔１から吐出されて減った分の液体は、液体タンク（図示せず）から液体流路の開口５ｂ、液体流路５を通じて液体加圧室６に供給される。
【００２６】
ここで、液体の吐出を繰り返し行なうと、液体の一部が液体吐出孔１の周囲に残ったり、一旦、吐出した液体の一部がミストになって液体吐出孔１の付近に付着したりすることがあり、付着した液体の影響により、吐出される液体の方向や速度が変わり、液体の着弾点の位置が変わることがある。そのような際に、吸引装置を働かせ、大気吸引孔８ａから大気（空気）を吸引することにより、液体吐出孔１の周囲に付着した液体を取り除き、正常な吐出状態にすることができる。大気の吸引は、付着した液体の影響の影響が出ないように吸引を定期的に行なったり、ミストの付着を防止するために、常に弱く吸引を続けてもよい。
【００２７】
外部の制御装置により吸引をオン・オフさせることにより、液体を吐出する際には、大気の吸引を止め、液体の吐出方向や速度が変動を抑制できる。また、吸引により液体の除去は、ワイパーの移動などの大きな機械的動作を伴わないので、極めて短時間で行なえ、液体吐出装置の非稼働時間を短くできる。
【００２８】
液体吐出孔１周囲に付着した液体の吸引を効果的に行なうため、大気吸引孔８ａは各液体吐出孔１の近くに設けることが好ましいく、液体吐出孔１の孔の端と大気吸引孔８ａの孔の端との距離は３００μｍ以下であることが好ましい。
【００２９】
吸引された液体は、大気流路８を通って液体流路４の外に吸引される。１個の圧電アクチュエータ２１下部の流路部材４に設けられた大気流路８は、流路部材４内で集合し、各圧電アクチュエータ２１の近くに設けられた大気流路の開口８ｂにつながっている。各圧電アクチュエータ２１毎に大気流路の開口８ｂを設けることで、各大気吸引孔８ａの吸引流量のバラツキを少なくできる。吸引された液体は、吸引装置と流路部材４の間に設けたトラップにより回収できるようにしてもよい。
【００３０】
液体加圧室６のマトリクス状の配置は、格子状の配置以外に、千鳥状の配置など、２次元的かつ規則的なものでもよい。千鳥状の配置では、各液体加圧室６間の距離を大きくできるので、クロストークを減らすために好ましい。
【００３１】
続いて、本発明の液体吐出装置の他の実施形態について説明する。
【００３２】
液体吐出装置全体の構成は、図１で示したものと同様であるため、図２（ｂ）で示した液体吐出ヘッドの部分縦断面図により液体吐出口１０１の周囲の構成を説明する。
【００３３】
流路部材１０４には、複数の液体流路１０５とこれら複数の液体流路１０５とそれぞれ複数の液体加圧室１０６を介して連通した複数の液体吐出孔１０１がマトリクス状に配置されている。複数の液体吐出孔１０１は流路部材１０４の下面である液体吐出孔面１０７に形成されている。
【００３４】
流路部材１０４の液体吐出孔面１０７には複数の大気吸引孔１０８ａがマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されており、大気流路１０８および大気流路の開口を通じて吸引装置（図示せず）につながっている。
【００３５】
液体流路１０５の一部と大気流路１０８の一部とは振動板１０９を介して対向している。
【００３６】
圧電アクチュエータ１２１は、流路部材１０４側から圧電セラミック層１２１ａ、共通電極１２３ａ、圧電セラミック層１２１ｂおよび駆動電極１２３ｂがこの順序で積層されて構成されている。圧電アクチェータ１２１は複数の液体加圧室１０６を覆うように積層されており、駆動電極１２３ｂは各液体加圧室１０６それぞれの直上に位置するように設けられている。駆動電極１２３ｂは１００個／ｃｍ２以上設けることが可能である。各駆動電極１２３ｂには接続電極１２３ｃが接続され、接続電極１２３ｃは直下の流路部材１０４に液体加圧室１０６などが形成されていない部分まで形成され、外部回路（図示せず）と電気的に接続される。
【００３７】
そして、圧電セラミック層１２１ａ、共通電極１２３ａ、圧電セラミック層１２１ｂおよび駆動電極１２３ｂから変位素子１２５が構成され、接続電極１２３ｃに外部回路から駆動電圧を印加すると、変位素子１２５が変位し、液体加圧室１０６の体積が変化し、液体加圧室１０６内の液体が液体吐出孔１０１から吐出される。この際、圧電セラミック層１２１ａは振動板として働く。
【００３８】
液体吐出孔１０１から多量の液体を吐出する際に、液体流路１０４の流路抵抗が大きいと、液体の供給が間に合わず、液体が吐出できなくってしまうことがあるが、液体流路１０５の一部を振動板１０９とすることで、一時的に液体の供給が間に合わない時に、振動板１０９が変形し、液体流路１０５の体積が小さくなることにより、その分の液体が吐出できるようになる。
【００３９】
振動板１０９を、樹脂あるいは金属の薄板とすることで、変形を大きくできる。
【００４０】
このような振動板１０９の変形量を大きくするためには、振動板１０９の液体流路１０５とは反対側の空隙を大気と連通したものにすることが好ましいが、大気と連通していると、大気から侵入したミストがたまり、振動板１０９の変形を阻害することがあった。
【００４１】
本発明の液体吐出装置によれば、大気流路１０８は、大気の吸引とダンパーの両方の共通の働きをするため、流路部材１０４内に設けられる構造に必要な体積を小さくでき、液体吐出孔１０１の間隔を短くすることができる。また、吸引装置を働かせることにより、大気流路１０８内の液体を取り除くことができるため、大気流路１０８が大気とつながっていても、液体のミストにより、振動板１０９の変形が阻害されることを抑制できる。
【００４２】
続いて、本発明の液体吐出装置の他の実施形態について説明する。
【００４３】
液体吐出装置全体の構成は、図１で示したものと同様であるため、図２（ｃ）で示した液体吐出ヘッドの部分縦断面図により液体吐出口２０１の周囲の構成を説明する。
【００４４】
流路部材２０４には、複数の液体流路２０５とこれら複数の液体流路２０５とそれぞれ複数の液体加圧室２０６を介して連通した複数の液体吐出孔２０１がマトリクス状に配置されている。複数の液体吐出孔２０１は流路部材２０４の下面である液体吐出孔面２０７に形成されている。ここで流路部材２０４の下面から連続的な面のことである。
【００４５】
流路部材２０４の液体吐出孔面２０７には複数の大気吸引孔２０８ａがマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されており、大気流路２０８および大気流路の開口を通じて吸引装置（図示せず）につながっている。
【００４６】
液体吐出孔２０１および大気吸引孔２０８は、液体吐出孔面２０７に形成された窪み部２１１、具体的には流路部材２０４を構成するプレート２０４ａ〜２０４ｋのうちの流路部材の内部にあるプレート２０４ａに形成されている。さらに、大気吸引孔２０８の直下は流路部材２０４を構成するプレート２０４ｌで覆われている。そして、液体吐出孔２０１から吐出された液滴は、プレート２０４ｋ、２０４ｌの壁面とは接触せず飛翔していく。
【００４７】
これは、別の言い方をすれば基の大気流路２０８から延長された大気流路の中に液体吐出孔２０１が形成されてているということである。
【００４８】
液体流路２０５の一部と大気流路２０８の一部とは振動板２０９を介して対向している。
【００４９】
圧電アクチュエータ２２１は、流路部材２０４側から圧電セラミック層２２１ａ、共通電極２２３ａ、圧電セラミック層２２１ｂおよび駆動電極２２３ｂがこの順序で積層されて構成されている。圧電アクチェータ２２１は複数の液体加圧室２０６を覆うように積層されており、駆動電極２２３ｂは各液体加圧室２０６それぞれの直上に位置するように設けられている。駆動電極２２３ｂは１００個／ｃｍ２以上設けることが可能である。各駆動電極２２３ｂには接続電極２２３ｃが接続され、接続電極２２３ｃは直下の流路部材２０４に液体加圧室２０６などが形成されていない部分まで形成され、外部回路（図示せず）と電気的に接続される。
【００５０】
そして、圧電セラミック層２２１ａ、共通電極２２３ａ、圧電セラミック層２２１ｂおよび駆動電極２２３ｂから変位素子２２５が構成され、接続電極２２３ｃに外部回路から駆動電圧を印加すると、変位素子２２５が変位し、液体加圧室２０６の体積が変化し、液体加圧室２０６内の液体が液体吐出孔２０１から吐出される。この際、圧電セラミック層２２１ａは振動板として働く。
【００５１】
液体吐出孔２０１および大気吸引孔２０８が液体吐出孔面２０７に形成された窪み部に形成されていることにより、液体吐出孔２０１の周囲に付着した液体を効率的に吸引することができる。さらに、大気吸引孔２０８の直下はプレート２０４ｌで覆われており、プレート２０４ｌの開口は液体吐出孔２０１から吐出される液滴の軌道の周囲だけになっているため、大気吸引孔２０８に吸引される空気は液体吐出孔２０１の表面付近を流れ、液体吐出孔２０１の周囲に付着した液体を効率的に吸引することができる。
【００５２】
以上、液体加圧装置が圧電方式である液体吐出装置について説明したが、液体加圧装置はサーマルヘッド方式など他の方式のものでもよい。
【００５３】
次に、本発明の液体吐出装置の製造方法について図１および図２（a）で示した液体吐出ヘッドを例として説明する。図２（ｂ）および図２（ｃ）で示した液体吐出ヘッドについても同様に製造できる。
【００５４】
ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミックスと有機組成物からなるテープの成形を行ない、複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極２３ａとなる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を挿入する。
【００５５】
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後有機金ペーストを用いて焼成体表面に駆動電極２３ｂを印刷して焼成した後、Ａｇペーストを用いてランド２３ｃを印刷し、焼成する。
【００５６】
次に、流路部材４は圧延法等により得られプレート４ａ〜４ｉに、液体吐出孔１、液体加圧室６、液体流路５および大気流路８はエッチングにより所定の形状に加工されて設けられる。この流路部材４は、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。
【００５７】
圧電アクチュエータ２１と流路部材４とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ２１や流路部材４への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ２１と流路部材４とを加熱接合することができ、これにより液体吐出ヘッド１３を得ることができる。これにさらに、大気流路の開口８ｂに吸引装置を接続することで本発明の液体吐出装置が作製できる。
【００５８】
以上、本発明の一実施形態について示したが、本発明は上述した実施形態のみに限らず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更や改良したものにも適用できることは言うまでもない。
【００５９】
以下、実施例を挙げて本発明について詳細に説明するが、本発明は以下の実施例のみに限定されるものではない。
【実施例】
【００６０】
図１および、図２（ａ）に示した液体吐出ヘッドを作製した。すなわち、平均粒径が０．５μｍのＰｂＺｒＴｉＯ３系粉末を、バインダおよび有機溶剤とともに混合して圧電材料のスラリーを調合し、しかる後に、得られたスラリーを用いてロールコータ法で厚み３０μｍのグリーンシートを作製した。
【００６１】
一方、Ａｇ−Ｐｄ粉末を、混合比が質量比でＡｇ：Ｐｄ＝７：３となるように配合し、有機粘結剤と溶媒とを所定量混合して導電性ペーストを調製した。
【００６２】
次に、この導電性ペーストを塗布したグリーンシートおよび電極ペーストを塗布していないグリーンシートを積層し、熱を加えて圧着して母体積層体を形成し、この母体積層体を切断して積層体を形成し、酸素雰囲気中、１０００℃で２時間保持して焼成を行なって、圧電アクチュエータ本体を形成した。
【００６３】
次に、この圧電アクチュエータ本体の一方の表面にＡｕを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷して７５０℃で焼付けを行なって駆動電極部を形成した。
【００６４】
さらに、Ａｇを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷して６００℃で焼付けを行なって外部回路との電気的に接続される接続電極を形成し、圧電アクチュエータ２１を完成させた。
【００６５】
次に、Ｆｅ−Ｃｒ系の合金を圧延法によりプレート状にし、エッチングにより所定形状の液体吐出孔１、液体加圧室６、液体流路５および大気流路８を形成しプレート４ａ〜４ｉを作製した。これらを、エポキシ樹脂で接合して流路部材４を作製し、さらにエポキシ系接着剤で圧電アクチュエータ２１を接合し、図１に示した液体吐出トヘッド１３を得た。さらに、これに吸引装置を接続し、液体吐出装置を得た。
【００６６】
同様にして図２（ｂ）および図２（ｃ）に示した液体吐出ヘッドを作製し、これに吸引装置を接続し、液体吐出装置を得た。
【００６７】
これらの液体吐出装置は、吸引装置を作動させることにより、液体吐出孔周囲の液体を除去でき、液体の吐出を繰り返しても安定した速度や方向で液体吐出孔から液滴を吐出させることができた。また、図２（ｂ）および図２（ｃ）で示した液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置では、より突発的な液体の吐出させる動作をさせても、液体の吐出が途切れることがなかった。さらに、図２（ｃ）で示した液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置では、より少ない大気の吸引量でも、安定して液体吐出孔周囲の液体を除去できた。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の一実施形態にかかる液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドを示す上面図である。
【図２】（ａ）は図１に示した液体吐出ヘッドの部分縦段面図である。（ｂ）は本発明の別の一実施形態にかかる液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドの部分縦段面図である。（ｃ）は本発明のさらに別の一実施形態にかかる液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドの部分縦段面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１、１０１、２０１・・・液体吐出孔
４、１０４、２０４・・・流路部材
４ａ〜４ｉ、１０４ａ〜１０４ｊ、２０４〜２０４ｋ・・・プレート
５、１０５、２０５・・・液体流路
５ｂ・・・液体流路の開口
６、１０６、２０６・・・液体加圧室
７、１０７、２０７・・・液体吐出孔面
８、１０８、２０８・・・大気流路
８ａ、１０８ａ、２０８ａ・・・大気吸引孔
８ｂ・・・大気流路の開口
１０９、２０９・・・振動板
２１１・・・窪み部
１３、１１３、２１３・・・液体吐出ヘッド
２１、１２１、２２１・・・圧電アクチュエータ
２１ａ、１２１ａ、２２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ、１２１ｂ、２２１ｂ・・・圧電セラミック層
２３ａ、１２３ａ、２２３ａ・・・共通電極
２３ｂ、１２３ｂ、２２３ｂ・・・駆動電極
２３ｃ、１２３ｃ、２２３ｃ・・・接続電極
２５、１２５、２２５・・・変位素子
【図１】
2009051188.tif 000003
【図２】
2009051188.tif 000004