(57)【要約】【課題】多色カラーフィルタを製造する場合でも、複数工程の処理すべき基板がカラーフィルタ製造装置内を混在して流れる中で、搬送先の変更が必要になった場合でも、搬送先切替を人手で行うことなく、かつ、カラーフィルタ製造装置の設置面積の増大を押さえることが出来、効率的にカラーフィルタを製造することが出来るカラーフィルタ製造装置。【解決手段】カラーフィルタ用基板に対して、各種処理を行う複数種の処理別処理手段と複数個の個別処理手段が配置され、前記基板の搬送先を制御する制御手段を有し、個別処理手段によって処理されるカラーフィルタ製造装置であって、前記制御手段は搬送先制御情報を記憶させる記憶手段と、前記搬送先制御情報に基づき搬送先の個別処理手段を選択する搬送先選択手段を有し、前記搬送手段及び前記個別処理手段からの処理状況情報に基づき搬送先設定情報を変更することを特徴とするカラーフィルタ製造装置。【選択図】図３
2009282363.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ用基板に対して、各種処理を行う複数種の処理別処理手段が処理すべき基板の流れ方向に対して直列に搬送手段を介して配置され、前記処理別処理手段は前記処理に応じて複数個の個別処理手段が処理すべき基板の流れ方向に対して並列に配置されたものであり、前記基板の搬送先を制御する制御手段を有し、前記基板が前記制御手段によって選択された前記個別処理手段に搬送され処理されるカラーフィルタ製造装置であって、前記制御手段は搬送先制御情報を記憶させる記憶手段と、前記搬送先制御情報に基づき搬送先の個別処理手段を選択する搬送先選択手段を有し、前記搬送先制御情報は搬送先設定情報と搬送処理状況情報と個別処理状況情報を有し、前記搬送処理状況情報と前記個別処理状況情報に基づき、搬送先設定情報を変更することを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項２】
前記搬送処理状況情報は、基板工程情報と基板位置情報を含むことを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項３】
前記個別処理状況情報は、個別処理手段故障情報と個別処理手段基板滞留情報を含むことを特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項４】
前記基板工程情報は、前記基板の位置が変わる毎にトラッキングされることを特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルタ製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス製、プラスチック製の基板上に、カラー表示画素としての四角形、多角形ドット、ストライプ状などの規則的形状パターンのレッドパターン、グリーンパターン、ブルーパターンからなる３色の着色パターンを形成してカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
前記カラーフィルタの製造工程においては、近年では塵、異物対策、及びミスロス防止のため、製造工程での流れ作業として、全自動に近い製造装置で行われるようになってきている。
【０００３】
しかし、カラーフィルタ製造装置では、顔料などの着色剤を含有した感光性樹脂を用いて、基板上にパターンを形成していく場合に、基板洗浄工程、基板乾燥工程、基板への感光性樹脂塗布工程、塗布された感光性樹脂乾燥工程、プリベーク処理工程、パターン露光工程、現像処理工程、洗浄工程、ポストベーク処理工程といった一連のパターン形成処理工程をレッドパターン、グリーンパターン、ブルーパターンの三色のパターン形成をするためには最低３回繰り返す（さらに近年では前記各色のパターン間のブラックパターンを前記工程によってパターン形成処理することが多くなっている）ことにより、カラーフィルタを製造している。
【０００４】
前記各処理工程の処理装置は一般的には直列に配置され、１枚のガラス基板がこれらの複数の処理装置に順次供給されるため、全体の処理工程が長く、製造ラインは直列に長いものとなっている。
【０００５】
さらに、現状においては前記一連のパターン形成処理工程において、各工程に要する時間は各処理装置とも皆同一ではなく、さらに各色毎に異なるため、パターン形成処理の製造装置におけるカラーフィルタ基板の搬送スピードを同一スピードとした場合は、一連のパターン形成処理工程における各工程に要する各処理装置の長さには、長短の相違が生じる。
【０００６】
現状においては、前記一連のパターン形成処理工程における各工程に要する所要時間は、形成するパターンの色によって異なり、所要時間の長いもの、いわゆる処理スピードの遅いものと、所要時間の早いものとで、大きな差が生じる場合がある。
【０００７】
そのため、たとえ一連のパターン形成処理工程に配置された各処理装置が、いかに製造能率が良好であったとしても、その一連のパターン形成処理工程での最も長時間を要する処理装置によって、基板の搬送速度における律速状態が形成されてしまい、残りの他の工程に影響を及ぼし、その結果、全体の製造速度及び製造能率を低下させる要因となる。
【０００８】
さらに、一連のパターン形成処理工程に配備された製造装置を構成する装置の内、ただ1つの装置に故障が発生した場合でも、製造ライン全体が停止してしまう不都合が生じる結果となる。
【０００９】
また、前記製造装置に配置される装置は数が多く、広い配置スペースが必要な事や装置に多額な費用を要するといった問題もある。
【００１０】
そこで、前記製造速度及び製造能率の低下の問題を解決するために、以下の発明がなさ
れている。
【００１１】
一つは、一連のパターン形成処理工程に配置された装置、すなわち基板洗浄工程、基板乾燥工程、基板への感光性樹脂塗布工程、塗布された感光性樹脂乾燥工程、プリベーク処理工程、パターン露光工程、現像処理工程、洗浄工程、ポストベーク処理工程といった一連のパターン形成処理工程のうち処理速度の最も遅い律速装置を基板の流れに対して複数個を並列配置する発明がなされている（特許文献１参照）。
【００１２】
さらに別の発明は、一連のパターン形成処理工程に配置された製造装置を構成する装置の内、処理速度が最も速い処理装置にあわせて、処理速度が遅い処理装置を複数個直列配置し、さらに前記直列配置された処理装置にバイパスの搬送装置を設けた別の発明がなされている（特許文献２）。
【００１３】
しかしながら、前記２つの発明において、基板の搬送速度における律速状態による製造装置全体の製造速度及び製造能率を低下させる問題は解決出来るが、全体の処理工程が長く製造装置は直列に長いものとなり、また、1つの処理装置に故障が発生した場合には、製造装置全体が停止してしまうといった問題は解決出来ない。
【００１４】
また、前記一連のパターン形成処理工程に各種処理を行う処理装置を配置したカラーフィルタ製造装置とは処理装置の配置が異なる別のカラーフィルタ製造装置が実用されている。
【００１５】
前記カラーフィルタ製造装置は、処理すべき基板の流れに対して、洗浄、コート、露光、現像、ベークといった複数種の処理別処理手段を搬送装置を介して直列に配置し、さらに処理に応じた第１の洗浄、第２の洗浄といった個別処理手段を並列に配置したカラーフィルタ製造装置である。
【００１６】
前記カラーフィルタ製造装置の問題は、レッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）、ブルー（Ｂ）工程の複数の基板が混在し、前記基板は分岐・合流を繰り返すため、前記基板を各搬送装置毎にどの搬送先に搬送するのかを制御する必要がある。そのため、各工程の各基板の搬送先を搬送装置毎に予め設定するが、個別処理手段のいずれかに故障が発生した場合や、各個別処理手段内の基板の滞留枚数が一定以上の枚数になった場合には搬送先を切り替える必要があり、切り替えは人手で行われているために、時間と労力の無駄が発生する問題がある。
【００１７】
以下に先行技術文献を示す。
【特許文献１】特許第３０２７９０８号  公報
【特許文献２】特開平７−２８１１７０号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明は多色カラーフィルタを製造する場合でもカラーフィルタ製造装置の設置面積の増大を押さえることが出来、かつ、効率的にカラーフィルタを製造することが出来るカラーフィルタ製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の請求項１にかかる発明は、カラーフィルタ用基板に対して、各種処理を行う複数種の処理別処理手段が処理すべき基板の流れ方向に対して直列に搬送手段を介して配置され、前記処理別処理手段は前記処理に応じて複数個の個別処理手段が処理すべき基板の流れ方向に対して並列に配置されたものであり、前記基板の搬送先を制御する制御手段を
有し、前記基板が前記制御手段によって選択された前記個別処理手段に搬送され処理されるカラーフィルタ製造装置であって、前記制御手段は搬送先制御情報を記憶させる記憶手段と、前記搬送先制御情報に基づき搬送先の個別処理手段を選択する搬送先選択手段を有し、前記搬送先制御情報は搬送先設定情報と搬送処理状況情報と個別処理状況情報を有し、前記搬送処理状況情報と前記個別処理状況情報に基づき、搬送先設定情報を変更することを特徴とするカラーフィルタ製造装置である。
【００２０】
本発明の請求項２にかかる発明は、前記搬送処理状況情報は、基板工程情報と基板位置情報を含むことを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ製造装置である。
【００２１】
本発明の請求項３にかかる発明は、前記個別処理状況情報は、個別処理手段故障情報と個別処理手段基板滞留情報を含むことを特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルタ製造装置である。
【００２２】
本発明の請求項４にかかる発明は、前記基板工程情報は、前記基板の位置が変わる毎にトラッキングされることを特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルタ製造装置である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のカラーフィルタ製造装置によれば、多色カラーフィルタを製造する場合でもカラーフィルタ製造装置の設置面積の増大を押さえることが出来る。
【００２４】
更に、効率的にカラーフィルタを製造することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明のカラーフィルタ製造装置の最良の形態について図１〜図４を用いて説明する。
【００２６】
図１は本発明に係わるカラーフィルタ製造装置の配置の一例を示す図、図２は制御手段の概略を説明するための図、図３は搬送先制御情報を記憶させる記憶手段を説明するための図、図４は基板工程情報のトラッキングを説明するための図である。
【００２７】
図1に示されるカラーフィルタ製造装置は、パターン形成処理すべきカラーフィルタ基板に対して、各種処理を行う複数種の処理別処理手段１０１〜処理別処理手段１０６が処理すべき基板の流れ方向に搬送手段としての搬送装置１〜搬送装置６を介して直列に配置され、前記処理別処理手段は前記処理に応じて複数の個別処理手段（洗浄１、洗浄２）、（コート１、コート２）、（露光１、露光２、露光３）、（現像１、現像２、現像３）、（ベーク１、ベーク２、ベーク３）、（ＵＬＤ１、ＵＬＤ２、ＵＬＤ３）が処理すべき基板の流れ方向に対して並列に配置されている。前記処理別処理手段のうち他の処理別処理手段に比較して処理速度が速く１台で処理が済む場合は、処理速度が速い個別処理手段を複数台配置する必要はない。
【００２８】
以下の説明では、カラーフィルタのパターン形成処理は、レッド（Ｒ）→グリーン（Ｇ）→ブルー（Ｂ）の順で行われる場合について説明するが、この順序に限定されるものではない。前記の順でパターン形成処理を行う場合、パターン形成処理される基板は先ず、レッドパターンを形成するための工程であるＲ工程に投入され、ローダ１（ＬＤ１）またはローダ２（ＬＤ２）によって搬送装置１に載せられる。搬送装置１は基板の搬送先設定に従い、洗浄１または洗浄２に基板を搬送する。洗浄された基板は次に搬送装置２に載せられ、搬送装置２は基板を搬送先設定に従い、コート１またはコート２に搬送する。コートされた基板は次に適宜検査された後、搬送装置３によって露光１または露光２または露光３に搬送され、露光される。同じように搬送装置４、現像１または現像２または現像３、適宜検査、搬送装置５、ベーク１またはベーク２またはベーク３、搬送装置６を経てレッドパターンのパターン形成処理が終了し搬送装置１に再び乗せられ次のグリーンパターンを形成する為の工程であるＧ工程に入れられる。
【００２９】
Ｇ工程ではＲ工程と同様、前記基板は洗浄、搬送装置２、コート、適宜検査、搬送装置３、露光、搬送装置４、現像、適宜検査、搬送装置５、ベーク、搬送装置６を経てグリーンパターンのパターン形成処理行われ、搬送装置１に再び載せられ、次のブルーパターンを形成する為の工程であるＢ工程に入れられる。
【００３０】
Ｂ工程では前記基板はＲ工程、Ｇ工程と同様、洗浄、搬送装置２、コート、適宜検査、搬送装置３、露光、搬送装置４、現像、適宜検査、搬送装置５、ベークを経てブルーパターンのパターン形成処理が行われる。
【００３１】
レッド、グリーン、ブルーの３色のパターン形成処理された前記基板は、搬送装置６によって検査、修正に搬送され、検査、修正された結果によってアンローダＵＬＤ１またはＵＬＤ２またはＵＬＤ３にアンロードされる。
【００３２】
パターン形成処理される基板は、搬送装置によって次の処理別処理手段に搬送される時、後で述べる搬送先制御情報に基づき搬送先の個別処理手段を選択する搬送先選択手段によって搬送先が選択されるが、カラーフィルタ製造装置を動作させる前に、制御手段の端末１０の画面上で搬送装置毎に搬送先は設定される。ここで設定した搬送先設定情報は搬送先制御情報の一部として記憶手段に記憶される。
【００３３】
レッドパターンを形成処理する工程であるＲ工程、グリーンパターンを形成処理するＧ工程、ブルーパターンを形成処理する工程であるＢ工程の各工程の処理されるべき基板の搬送装置毎の前記搬送先設定情報の一例を表１に示す。
【００３４】
【表１】
2009282363.tif 000003
【００３５】
表１に示すように、搬送装置（搬送装置１〜搬送装置６）毎に正規搬送先と予備搬送先が初期搬送先設定される。
【００３６】
正規搬送先は、後に述べるように個別処理手段毎に故障発生や基板滞留枚数が搬送先切替条件として設定され、個別処理手段が前記搬送先切替条件に合致しない状況下にある限り基板が搬送される搬送先である。
【００３７】
一方、予備搬送先は、個別処理手段の処理状況が前記搬送先切替条件に合致した場合に、正規搬送先に代わって変更される搬送先である。
【００３８】
設定されたこれらの情報は、搬送先設定情報として記憶手段に記憶され、搬送先制御情報の一部として用いられる。搬送先を設定する場合は、過去製造したものと同じカラーフィルタを製造する時には、その時の設定を記憶手段２０に記憶しておき、引用しても良い。
【００３９】
表１の搬送先設定例では、Ｒ工程の基板は、洗浄１→コート１→露光１→現像１→ベーク１→搬送装置１の搬送先が設定される。Ｇ工程の基板は洗浄２→コート２→露光２→現像２→ベーク２→搬送装置１の搬送先が設定される。Ｂ工程の基板は洗浄１→コート１→露光３→現像３→ベーク３→検査、修正の搬送先が設定され、基板は前期搬送先設定の例に従って個別処理手段に搬送される。
【００４０】
図２を用いて制御手段について説明をする。制御手段は、搬送先制御情報を記憶させる記憶手段２０と前記搬送先制御情報に基づき搬送先の個別処理手段を選択する搬送先選択手段６０を含む。
【００４１】
制御手段の端末１０、記憶手段２０、搬送先選択手段６０、搬送装置３０−１〜３０−Ｎ及び個別処理手段４０−１〜４０−nはシステムネットワーク５０で結ばれている。
【００４２】
発明を実施するための本形態では、搬送装置の台数を示すＮは図１に示す搬送装置１〜搬送装置６の合計６個の搬送装置数であって、個別処理手段４０−１〜４０−nの台数を示すｎは図１の点線で囲まれた各個別処理手段、すなわち洗浄１〜ＵＬＤ３の合計１６個の個別処理手段数である。
【００４３】
制御手段の端末１０によって前記記憶手段２０、搬送先選択手段６０、と搬送装置３０−１〜３０−Ｎ及び個別処理手段４０−１〜４０−n間の情報通信が行われ、さらに初期搬送先設定や後で述べるように搬送先切替条件設定や搬送先変更通知情報出力が行われる。
【００４４】
制御手段の端末１０で設定された前記初期搬送先設定された情報や前記搬送先切替条件設定された情報は端末１０または搬送先選択手段６０が所持しており、また、搬送先が変更された場合には、搬送先変更通知情報が端末１０または搬送先選択手段６０に記憶され、搬送装置３０−１〜３０−Ｎ及び個別処理手段４０−１〜４０−nは前記搬送先変更通知情報を読み取ることが出来る。
【００４５】
更に、搬送先変更通知情報は制御手段の端末１０の画面に表示され、カラーフィルタ製造装置のオペレータは表示された画面を見て、故障した個別処理手段の復旧に着手することが出来る。
【００４６】
搬送先切替条件は個別処理手段毎に設定された個別処理手段の切替条件のことであって、個別処理手段の例えば洗浄１の切替条件は、故障時または滞留基板枚数が２枚以上になった場合のいずれかの場合を切替条件として設定される情報であって、制御手段の端末１０で設定され、記憶手段２０に記憶される。
【００４７】
個別処理手段が前記切替条件と合致した場合は、搬送先設定情報が予備搬送先に変更されるが、予備搬送先に変更される例をＲ工程とＢ工程の搬送先である洗浄１の場合で説明する。
【００４８】
前記洗浄１の切替条件は故障時または滞留基板枚数が２枚以上になったいずれかの場合を切替条件として設定される情報であって、記憶手段２０に記憶されている。洗浄１が故障あるいは滞留基板枚数２枚以上の場合は切り替え条件に合致し、表１に示すように、搬送先は、搬送装置１のＲ工程及びＢ工程の予備搬送先として設定されている洗浄２に切り替えられ、搬送装置１の搬送先用アドレスのＲ工程及びＢ工程の搬送先設定情報が洗浄１から洗浄２に書き換えられる。前記のように搬送先設定情報が書き換えられた場合には、制御手段の端末１０の表示画面には搬送先変更通知情報が表示される。
【００４９】
搬送先変更通知情報が表示された画面の例を表２に示す。
【００５０】
【表２】
2009282363.tif 000004
【００５１】
前記のようにＲ工程及びＢ工程の搬送先が洗浄１から洗浄２に書き換えられると、洗浄２はＲ工程とＧ工程さらにはＢ工程の洗浄を受け持つことになるが、洗浄２は、情報授受
部を介し記憶手段２０に記憶されているＲ工程及びＢ工程の搬送装置１の搬送先が洗浄２に変更されていることを読み込み、Ｒ工程、Ｇ工程、Ｂ工程のすべての各工程の洗浄が動作制御部の制御によって行われる。
【００５２】
搬送装置３０−１〜３０−Ｎは、情報授受部を通じて、記憶手段２０に記憶されている搬送先設定情報と処理されるべき基板の工程を表す基板工程情報を読み込み、さらに処理されるべき基板の搬送装置内での存在位置を表す基板位置情報をネットワーク５０を介して制御手段の端末１０に送る。搬送装置３０−１〜３０−Ｎの動作制御部の制御によって、基板を搬送先に設定された個別処理手段４０−１〜４０−ｎのいずれかに搬送する。
【００５３】
個別処理手段４０−１〜４０−nは情報授受部を通じて次に搬送されてくる基板の基板工程情報と基板位置情報を含む搬送処理状況情報を記憶手段２０から読み込み、さらに自らの個別処理手段故障情報及び個別処理手段基板滞留情報を含む個別処理状況情報をネットワークを介して制御手段の端末１０に送る。送られた前記個別処理手段故障情報及び個別処理手段基板滞留情報は、記憶手段２０に記憶される。個別処理手段４０−１〜４０−nでは情報授受部を通じて前記記憶手段２０から読み込んだ基板工程情報と基板位置情報から個別処理手段の直前に搬送されている基板のＲ工程／Ｇ工程／Ｂ工程の別を認識し、前記個別処理手段の動作制御部は処理すべき基板の工程に応じたレッドまたはグリーンまたはブルーパターン形成処理を行う。
【００５４】
図３を用いて、搬送装置１を例に本発明の実施形態に係わる基板の搬送先制御情報について説明する。搬送先制御情報は、基板の搬送先が設定された搬送先設定情報と、基板工程情報と基板位置情報を含む搬送処理状況情報と、個別処理手段故障情報と個別処理手段基板滞留情報を含む個別処理状況情報を有し、記憶手段２０に記憶される。
【００５５】
上記搬送先制御情報のうち、搬送処理状況情報と個別処理状況情報は、搬送装置（３−１〜３０−Ｎ）及び個別処理手段（４０−１〜４０−ｎ）の情報授受部によって記憶手段２０に記憶される。搬送先設定情報は、搬送先選択手段６０が個別処理状況情報と搬送先切替条件から判断し、記憶手段２０に記憶される。
【００５６】
記憶手段２０に記憶される前記各情報すなわち、搬送先設定情報と基板工程情報、基板位置情報と個別処理手段故障情報、個別処理手段基板滞留情報は各搬送装置毎に記憶されるアドレスが規定され、前記アドレスは搬送先情報アドレス、基板工程情報アドレス、個別処理状況情報アドレスに細分化されて規定される。
【００５７】
前記のように規定された各アドレスの内、搬送先情報アドレスには搬送先設定情報が書き込まれる。すなわちＲ工程、Ｇ工程、Ｂ工程の搬送先がＢｉｔ情報で書き込まれる。例えば洗浄１は「０１」、洗浄２は「１０」で書込まれる。
【００５８】
基板工程情報アドレスには搬送装置１内を搬送されている基板の搬送装置１内での基板工程情報が書込まれる。基板工程情報アドレスは、搬送装置内の基板の搬送方向に位置を分割し、該分割数に応じたアドレスが規定される。例えば搬送装置１の流れ方向の長さが３ｍで基板の流れ方向の長さが１ｍの場合は、搬送装置１内に最大３枚の基板を搬送することが可能であるが、この場合、搬送装置１内を３つの位置に分割した３つのアドレスすなわち、基板位置１情報と基板位置２情報と基板位置３情報の各アドレスが規定され、該各アドレスには搬送装置１内の該位置に存在する基板の基板工程情報が書き込まれる。前記基板工程情報アドレスは基板位置情報として使われる。
【００５９】
前記搬送装置１の場合、基板が搬送装置に載せられ基板の流れ方向先端部が０ｍから１ｍの位置にある時は、基板位置１情報アドレスにその基板の基板工程情報（Ｒ工程／Ｇ工
程／Ｂ工程）が書き込まれる。例えばＲ工程の基板の場合はＲ工程情報のＢｉｔ情報「０１」が、Ｇ工程の基板の場合はＧ工程情報のＢｉｔ情報「１０」が、Ｂ工程の基板の場合はＢ工程情報のＢｉｔ情報「１１」が書き込まれる。更に１ｍ〜２ｍに移動した時は基板位置２情報アドレスに基板工程情報が書き込まれる。同じように２ｍ〜３ｍに移動した時は基板位置３情報アドレスに基板工程情報が書き込まれる。本例では搬送装置１内の基板の流れ方向を３つの位置に分割したが分割数はこれに限定されるものではない。また、基板の位置の検出は例えば光センサー等を使った公知技術を適宜採用すればよい。基板工程情報アドレスに書き込まれる工程情報は、搬送装置内の基板の移動と共に記憶手段に書き換えられる。
【００６０】
このようにして、搬送装置１内を搬送される基板の移動とともに工程情報がトラッキングされるため、搬送装置１〜搬送装置６のすべての搬送装置内において基板工程情報アドレスに基板工程情報が書き込まれ、該基板工程情報と前記基板工程情報が書き込まれた基板工程情報アドレスを含む搬送装置処理状況情報によって、処理すべき基板のすべてが、どの工程にあって、どの搬送装置内のどの位置に存在しているかが認識される。
【００６１】
個別処理状況情報アドレスには次の搬送先の個別処理手段、すなわち図３の搬送装置１の例では個別処理手段（１）に洗浄１の個別処理手段故障情報が故障情報アドレスに、さらに個別処理手段基板滞留情報が基板滞留アドレスに、及び個別処理手段（２）に洗浄２の個別処理手段故障情報が故障情報アドレスに、さらに個別処理手段基板滞留情報が基板滞留アドレスにＢｉｔ情報で、例えば、正常運転の場合は「００１」、故障発生の場合は「０１０」で、待機中の場合は「１００」で書き込まれる。
【００６２】
Ｒ工程の基板が洗浄１→コート１→適宜行われる検査→露光１→現像１→適宜行われる検査→ベーク１の各処理が行われた後、搬送装置６を経て次に搬送装置１の載せられると、該基板の工程情報はＧ工程情報となって搬送装置１の基板工程情報アドレスの基板位置１情報アドレスに基板のＧ工程情報としてＢｉｔ情報「１０」が書き込まれる。
【００６３】
同様に、Ｇ工程の基板の各処理がされた後、搬送装置６を経て次に搬送装置１の載せられると、該基板の基板工程情報はＢ工程情報となって搬送装置１の基板位置情報アドレスの基板位置１情報アドレスに基板のＢ工程情報としてＢｉｔ情報「１１」が書き込まれる。
【００６４】
このようにして、基板が搬送装置６を通過し搬送装置１に載せられる度に、その基板の工程情報（Ｒ工程／Ｇ工程／Ｂ工程）は書き換えられ、記憶手段に記憶され、搬送装置１の基板工程情報アドレスの基板位置１情報として工程情報が書き込まれる。
【００６５】
前記基板工程情報の前記トラッキングについて、図４を用いて説明する。図３で前述した搬送装置１（基板の流れ方向の長さが３ｍ）の例で説明する。図４において搬送装置１内の位置すなわち、基板搬送方向に３分割し、それぞれを基板位置１、基板位置２、基板位置３とし、基板工程情報が書き込まれるアドレスとして、それぞれ基板位置１情報アドレス、基板位置２情報アドレス、基板位置３情報アドレスが規定されている。時刻1の状態では基板位置1にはＲ工程の基板が、基板位置２にはＢ工程の基板が、基板位置３にはＧ工程の基板が搬送中であった場合、前記基板位置１情報アドレスにはＲ工程を示すＢｉｔ情報「０１」が、基板位置２情報アドレスにはＢ工程を示すＢｉｔ情報「１１」が、基板位置３情報アドレスにはＧ工程を示すＢｉｔ情報「１０」が書き込まれる。
【００６６】
次に前記各基板が移動し、時刻２において基板位置２にはＲ工程の基板が、基板位置３にはＢ工程の基板が位置し、また基板位置１には新たにＲ工程の基板が搬送された場合、前記各位置１〜３のアドレスには、Ｒ工程、Ｒ工程、Ｂ工程のビット情報である「０１」
「０１」「１１」が書き込まれる。
【００６７】
更に、時刻３においては前記各位置１〜３のアドレスには、Ｂ工程、Ｒ工程、Ｒ工程のビット情報である「１１」「０１」「０１」が書き込まれる。
【００６８】
すなわち基板の位置の移動（図４で実線矢印で示す）とともに、工程情報（点線矢印）は、基板位置１〜３情報用アドレスを変えて書き込まれる。
【００６９】
搬送装置（３−１〜３０−Ｎ）は記憶手段に記憶されている搬送先設定情報と搬送処理状況情報から搬送すべき個別処理手段を選択し、基板を搬送する。
【００７０】
このようにして本発明のカラーフィルタ製造装置によって、多色カラーフィルタを製造する場合でも、複数工程の処理すべき基板がカラーフィルタ製造装置内を混在して流れる中で、搬送先の変更が必要になった場合でも、搬送先切替を人手で行うことなく効率的にカラーフィルタを製造することが出来、かつ、カラーフィルタ製造装置の設置面積の増大を押さえることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明に係わるカラーフィルタ製造装置の配置の一例を示す説明図
【図２】本発明の実施形態に係わる制御手段の概略を示す説明図
【図３】本発明の実施形態に係わる基板の搬送先制御情報を示す説明図
【図４】基板工程情報のトラッキングを示す説明図
【符号の説明】
【００７２】
１０・・・基板の搬送先を制御する制御手段の端末
２０・・・搬送先制御情報を記憶させる記憶手段
３０−１〜３０−Ｎ・・・搬送装置
４０−１〜４０−ｎ・・・個別処理手段
５０・・・システムネットワーク
６０・・・搬送先選択手段
【図１】
2009282363.tif 000005
【図２】
2009282363.tif 000006
【図３】
2009282363.tif 000007
【図４】
2009282363.tif 000008