(57)【要約】【課題】半導体装置に、熱応力に起因した反りが発生することを抑制する。【解決手段】本発明にかかる半導体装置は、実装基板１０と、実装基板１０の第１主面に形成された第１の凹部１２と、第１の凹部１２の底面に実装された第１の半導体チップ２０と、第１の凹部１２に充填された第１の樹脂層３０と、実装基板１０に設けられ、第１の半導体チップ２０及び第１の樹脂層３０を含む実装部分４０と実装基板１０の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する熱応力相殺部材とを備える。熱応力相殺部材は、例えば第２の凹部１４と、第２の凹部１４に充填された第２の樹脂層３２と、半導体チップ２２とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
実装基板と、
前記実装基板の第１主面に形成された第１の凹部と、
前記第１の凹部の底面に実装された第１の半導体チップと、
前記第１の凹部に充填された第１の樹脂層と、
前記実装基板に設けられ、前記第１の半導体チップ及び前記第１の樹脂層を含む実装部分と前記実装基板の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する熱応力相殺部材と、
を備える半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記熱応力相殺部材は、
前記実装基板の前記第１主面とは反対側の面である第２主面に形成され、前記実装基板に垂直な方向から見た場合に前記第１の凹部と少なくとも一部が重なっている第２の凹部と、
前記第２の凹部に充填された第２の樹脂層と、
を備える半導体装置。
【請求項３】
請求項２に記載の半導体装置において、
前記熱応力相殺部材は、前記第２の凹部の底面に実装され、前記実装基板に垂直な方向から見た場合に前記第１の半導体チップと少なくとも一部が重なっている基板を備える半導体装置。
【請求項４】
請求項３に記載の半導体装置において、
前記第２の凹部の平面形状及び深さは、前記第１の凹部と同じであり、
前記第１の半導体チップの平面形状は、前記基板と同じであり、
前記第２の樹脂層は前記第１の樹脂層と熱膨張率が同一の樹脂であり、
前記実装基板に垂直な方向から見た場合に、前記第１の凹部と前記第２の凹部は同一の位置にあり、かつ前記第１の半導体チップと前記基板は同一の位置にある半導体装置。
【請求項５】
請求項２、３、又は４に記載の半導体装置において、
前記基板は第２の半導体チップである半導体装置。
【請求項６】
請求項３に記載の半導体装置において、
前記第２の凹部を覆い、かつ前記基板の一面に接する放熱板と、
前記第２の凹部の底面と前記第１の凹部の底面の間に位置する前記実装基板を貫通しており、前記２つの底面それぞれで露出している熱伝導部材と、
を備え、
前記熱応力相殺部材は、前記実装部分、前記熱伝導部材、及び前記放熱板それぞれの熱膨張率と前記実装基板の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する半導体装置。
【請求項７】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記熱応力相殺部材は、
前記第１の凹部の上面を覆う第１の被覆部材と、
前記実装基板の前記第１主面とは反対側の面である第２主面に形成され、前記実装基板に垂直な方向から見た場合に前記第１の凹部と重なっている第２の凹部と、
前記第２の凹部の上面を覆う第２の被覆部材と、
を備える半導体装置。
【請求項８】
請求項７に記載の半導体装置において、
前記熱応力相殺部材は、前記第２の凹部の底面に実装された基板を備える半導体装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一つに記載の半導体装置において、
前記実装基板は、前記第１の凹部の下方に位置し、前記実装基板の本体より剛性が高い高剛性部材を有する半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップを実装基板に実装した半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な電子機器、携帯機器の小型化及び軽量化が進む中、それらに使用される半導体装置にも小型化、軽量化、及び薄型化が要求されている。さらに、電子機器等の高機能化及び高性能化への対応もあり、半導体装置のデータ入出力用外部端子の数も増加する傾向にある。そこで、小型及び薄型化が可能で、半導体装置の一面に外部端子を多数配置することができる表面実装型の半導体装置が広く用いられるようになってきた。このような表面実装型の半導体装置を配線基板に実装する場合、半導体装置はできるだけ平らな状態であることが望ましい。半導体装置に反りなどの湾曲があると、外部端子とそれに対応する配線基板のパッドとの間隔が離れるなどして接続が不十分となり、接続不良が発生する可能性がある。
【０００３】
図１６は、半導体装置の一例を示す図である。この半導体装置において、実装基板１００の上には半導体チップ１１０が電気的な接続をもって搭載されており、その上面全体が封止樹脂１２０で覆われている。実装基板１００の下面表面には、配線基板（図示せず）と接続するための外部端子１３０が設けられている。
【０００４】
図１６に示す半導体装置において、実装基板１００と封止樹脂１２０の熱膨張係数などの物性値が異なるため、温度負荷をかけた場合に各材料間の熱膨張（又は熱収縮）に差異が発生してしまう。そのため、実装基板１００の片面が伸びて、反対面が縮むという状態になり、図１７に示すように、半導体装置が反ってしまうという問題があった。なお、図１７の反りの方向は一例であり、逆方向の場合もある。
【０００５】
このように、半導体装置の反りは、主に半導体装置が多数の材料から構成されることに起因し、半導体装置に温度負荷が与えられた場合、各材料の物性値が異なることにより各材料の膨張、収縮に違いが出ることで発生する。
【０００６】
一方、特許文献１には、有機基板に搭載する素子を保護するための樹脂封止が原因とされる有機基板の湾曲を防止し、装置の信頼性を高めることを目的とした半導体装置が記載されている。この半導体装置において、有機基板の片面に搭載した半導体素子等は樹脂で封止されている。有機基板の反対面には、樹脂と同一の樹脂の層が形成されている。このように有機基板の両面に樹脂の層が形成されるため、樹脂の硬化時における収縮力が有機基板の両面に加えられ、有機基板の湾曲が防止される、とされている。またこの半導体装置において、素子と有機基板はワイヤで接続されている。
【特許文献１】実開平５−４４８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記した特許文献１に記載の半導体装置は、樹脂の硬化時における収縮力に起因した基板の湾曲を防止することを目的としている。このため、温度負荷をかけた際に有機基板（パッケージ基板）の上下部分に熱膨張（収縮）差が生じて、半導体パッケージが反る可能性があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、実装基板と、
前記実装基板の第１主面に形成された第１の凹部と、
前記第１の凹部の底面に実装された第１の半導体チップと、
前記第１の凹部に充填された第１の樹脂層と、
前記実装基板に設けられ、前記第１の半導体チップ及び前記第１の樹脂層を含む実装部分と前記実装基板の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する熱応力相殺部材と、
を備える半導体装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、熱応力相殺部材が、第１の半導体チップ及び第１の樹脂層からなる実装部分と実装基板の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する。このため、半導体装置に熱応力に起因した反りが発生することを抑制できる。また、熱応力相殺部材を調節することにより、熱応力に起因した反りをほぼ無くすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１１】
以下に説明する各実施形態において、半導体装置は、実装基板１０、実装基板１０に形成された第１の凹部１２、第１の半導体チップ２０、第１の樹脂層３０、並びに熱応力相殺部材を備える。第１の凹部１２は、実装基板１０の第１主面に形成されている。第１の半導体チップ２０は、第１の凹部１２の底面に実装されている。第１の樹脂層３０は、第１の凹部１２に充填されている。熱応力相殺部材は、第１の半導体チップ２０及び第１の樹脂層３０からなる実装部分４０と実装基板１０の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する。このため、半導体装置に熱応力に起因した反りが発生することを抑制できる。また、熱応力相殺部材の形態、形状、及び材質などを調節することにより、熱応力に起因した反りをほぼ無くすことができる。
【００１２】
第１の半導体チップ２０の外部端子（例えばバンプ）は、第１の凹部１２の底面に設けられ、この外部端子の下に位置するランドに直接接続している。
【００１３】
熱応力相殺部材は、実装基板１０の第１主面側の熱膨張係数と、第１主面とは反対側の面である第２主面側の熱膨張係数が互いに等しくなるような構造及び材料となっている。また、第１の半導体チップ２０は実装基板１０に電気的に接続されている。以下、各実施形態で具体的に説明する。
【００１４】
図１は、第１の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、図２は図１に示した半導体装置の平面図である。図１は、図２のＡ−Ａ´断面図である。この半導体装置において、応力緩和部材は、第２の凹部１４、第２の凹部１４の底面に実装された第２の半導体チップ２２、及び第２の凹部１４に充填された第２の樹脂層３２を有する。第２の凹部１４は、実装基板１０の第１主面とは反対側の面である第２主面に形成され、実装基板に垂直な方向から見た場合に第１の凹部１２と少なくとも一部が重なっている。また実装基板１０の第２主面には、半導体装置を配線基板（図示せず）に接続する外部端子５０が設けられている。
【００１５】
第２の半導体チップ２２の基板は、第１の半導体チップ２０の基板と同一の材料からなる。これら２つの基板は同じ厚さである。第２の半導体チップ２２の平面形状は、第１の半導体チップ２０の平面形状と略同じである。本図に示す例において第１の凹部１２の平面形状及び深さは、第２の凹部１４の平面形状及び深さと同じである。第２の樹脂層３２は、第１の樹脂層３０と熱膨張率が同じ樹脂（例えば同一の樹脂）である。そして、実装基板１０に垂直な方向から見た場合に、第１の凹部１２と第２の凹部１４は同一の位置にあり、かつ第１の半導体チップ２０と第２の半導体チップ２２は同一の位置にある。また、第１の凹部１２、第２の凹部１４、第１の半導体チップ２０、及び第２の半導体チップ２２それぞれの中心位置は、互いに同一の位置にあるのが好ましい。
【００１６】
この半導体装置によれば、半導体装置は上下に対称な構造になる。温度が上昇した場合には、半導体装置の第１主面側及び第２主面側が等しく熱膨張を行う。また、逆に温度を下降させた場合にも、半導体装置の第１主面側及び第２主面側は等しく熱収縮を行う。このため、半導体装置がほとんど反ることはなく、配線基板に半導体装置を実装する際に外部端子５０と配線基板との間で接続不良が生じることを抑制できる。
【００１７】
図３は、第２の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第１の実施形態における図１に相当している。本実施形態は、第２の半導体チップ２２の平面形状が第１の半導体チップ２０の平面形状と異なる点、及び第１の樹脂層３０と第２の樹脂層３２が異なる樹脂で形成されている点を除いて、第１の実施形態と同様である。実装基板１０に垂直な方向から見た場合、第２の半導体チップ２２の中心は第１の半導体チップ２０の中心と同じ位置にある。また本図に示す例において、第２の半導体チップ２２は第１の半導体チップ２０より大きい。
【００１８】
本実施形態において、第２の半導体チップ２２の平面形状が第１の半導体チップ２０の平面形状と異なるため、第１の半導体チップ２０に起因した熱応力によって第２の半導体チップ２２に起因した熱応力を相殺することはできない。しかし、第１の樹脂層３０と第２の樹脂層３２が異なる樹脂で形成されているため、樹脂の熱膨張係数差を適切な値にすることにより、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００１９】
なお、本実施形態において、第１の樹脂層３０と第２の樹脂層３２の樹脂を異ならせる代わりに、第１の凹部１２と第２の凹部１４の深さを変えても、同様の効果を得ることができる。また、第１の樹脂層３０と第２の樹脂層３２の樹脂を異ならせ、かつ第１の凹部１２と第２の凹部１４の深さを変えてもよい。
【００２０】
図４は、第３の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第２の実施形態における図３に相当している。本実施形態は、第２の半導体チップ２２の代わりにダミーチップとなる基板２４を用いている点を除いて、第２の実施形態と同様である。基板２４は、例えば第２の半導体チップ２２と同一の材料から形成されており、その厚さは、第２の半導体チップ２２の厚さ又は第２の半導体チップ２２の基板の厚さと同じである。
【００２１】
本実施形態によっても、第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、図５の変形例に示すように、本実施形態において外部端子５０は第２主面ではなく第１主面に設けられていてもよい。また基板２４の代わりに金属基板やセラミック基板を用いて熱応力を調節してもよい。また第１の実施形態において、第２の半導体チップ２２の代わりに基板２４を用いてもよい。この場合、第１の半導体チップ２０と基板２４の平面形状は同一であり、第１の半導体チップ２０の厚さ又は第１の半導体チップ２０の基板の厚さと基板２４の厚さは等しい。
【００２２】
図６は、第４の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第１の実施形態における図１に相当している。本実施形態は、第２の半導体チップ２２を備えていない点、及び第１の樹脂層３０と第２の樹脂層３２が異なる樹脂で形成されている点を除いて、第１の実施形態と同様である。
【００２３】
本実施形態によれば、第１の樹脂層３０と第２の樹脂層３２が異なる樹脂で形成されているため、第２の半導体チップ２２を供えていなくても樹脂の熱膨張係数差を適切な値にすることにより、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００２４】
なお、本実施形態において、第１の樹脂層３０と第２の樹脂層３２の樹脂を異ならせる代わりに、第１の凹部１２と第２の凹部１４の深さを変えても、第１の半導体チップ２０に起因した熱応力と第２の半導体チップ２２に起因した熱応力の差を相殺することができる。また、第１の樹脂層３０と第２の樹脂層３２の樹脂を異ならせ、かつ第１の凹部１２と第２の凹部１４の深さを変えてもよい。また、外部端子５０は、図７の変形例に示すように第２主面ではなく第１主面に設けられていてもよい。
【００２５】
図８は、第５の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第２の実施形態における図３に相当している。本実施形態は、実装基板１０が高剛性部材６０を有している点を除いて第２の実施形態と同様である。高剛性部材６０は、実装基板１０の本体より剛性が高い材料から形成された板状の部材であり、例えば金属板やセラミック版である。高剛性部材６０は、図８の断面で見た場合に、第１の凹部１２の下方の全面に位置している。詳細には、高剛性部材６０は、第１の凹部１２の底面と第２の凹部１４の底面の間（例えば中間）に位置している。
【００２６】
本実施形態によっても、第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第１の凹部１２の底面と第２の凹部１４の底面の間に高剛性部材６０が位置しているため、熱応力が生じても、半導体装置に生じる反りは小さくなる。従って、配線基板に半導体装置を実装する際に、外部端子５０と配線基板との間で接続不良が生じることをさらに抑制できる。
【００２７】
なお、第１、第３及び第４の実施形態において、本実施形態に示した高剛性部材６０を設けてもよい。
【００２８】
図９は、第６の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第３の実施形態における図４に相当している。本実施形態は、応力緩和部材の一部として被覆部材７０，７２を備えている点、及び第２の樹脂層３２を備えていない点を除いて、第３の実施形態と同様である。
【００２９】
被覆部材７０は、第１の凹部１２の上面を覆っている。被覆部材７０及び第１の凹部１２によって閉ざされている空間内には、第１の樹脂層３０が充填されている。
【００３０】
被覆部材７２は、第２の凹部１４を密閉している。被覆部材７２及び第２の凹部１４によって閉ざされている空間内には、窒素等の不活性ガスを充填するのが望ましい。
【００３１】
本実施形態によっても、被覆部材７０、基板２４、及び被覆部材７２それぞれの平面形状、厚さ、及び材料を調節することにより、第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３２】
なお、第２、第４、及び第５の実施形態において、本実施形態と同様に被覆部材７０，７２を備えていてもよい。
【００３３】
図１０は、第７の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第３の実施形態における図５に相当している。本実施形態は、以下の点を除いて、第３の実施形態の図５と同様である。
【００３４】
第２の凹部１４は、放熱板８０によって覆われている。放熱板８０は、例えば銅板やアルミニウム板である。基板２４の厚さは、第２の凹部１４の深さと略等しい。第１の凹部１２と第２の凹部１４の間に位置する実装基板１０には、複数の熱伝導部材８２が埋め込まれている。熱伝導部材８２は、実装基板１０より熱伝導率が高い材料（例えば銅を主成分とした金属系の材料）により形成されており、第１の凹部１２の底面から第２の凹部１４の底面まで貫通している貫通孔に埋め込まれている。熱伝導部材８２は、第１の凹部１２の底面から第２の凹部１４の底面それぞれで露出している。基板２４の一面は放熱板８０に接しており、他面は熱伝導部材８２に接している。
【００３５】
本実施形態によっても、第２の樹脂層３２、基板２４、及び放熱板８０それぞれの平面形状、厚さ、及び材料を調節することにより、第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第１の半導体チップ２０から発生した熱を、熱伝導部材８２及び基板２４を介して放熱板８０から放熱することができる。
【００３６】
なお本実施形態において、放熱板８０によって第２の凹部１４を密閉することができる場合には、第２の樹脂層３２を設けなくてもよい。また、基板２４の材料を銅やアルミニウムなどの金属にすると、第１の半導体チップ２０から発生した熱の放熱性が向上する。
【００３７】
また、図１１に示すように、熱伝導部材８２の代わりに熱伝導部材８４を設けてもよい。熱伝導部材８４は、第１の凹部１２と第２の凹部１４の間に位置する実装基板１０を上下に貫通する貫通孔８５の内側面、並びに第１の凹部１２の底面及び第２の凹部１４の底面のうち貫通孔８５の周囲に位置する領域に形成された導電性の膜であり、第１の半導体チップ２０及び基板２４それぞれに接している。熱伝導部材８４は、例えば銅膜であり、例えばめっき法により形成される。
【００３８】
また図１２に示すように、図１１と同様の熱伝導部材８４を設け、さらに熱伝導部材８４で囲まれた空間に熱伝導部材８６を埋め込んでもよい。熱伝導部材８６は例えば銅であり、例えば熱伝導性のペーストを熱伝導部材８４で囲まれた空間に埋め込むことにより形成される。熱伝導部材８６は、第１の半導体チップ２０及び基板２４それぞれに接している。
【００３９】
図１３は、第８の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第１の実施形態における図１に相当している。本実施形態は、第１の凹部１２の底面に複数の第１の半導体チップ２０が実装されている点、及び第２の凹部１４の底面に複数の第２の半導体チップ２２が実装されている点を除いて、第１の実施形態と同様の構成である。
【００４０】
第１の半導体チップ２０の数と第２の半導体チップ２２の数は同じであり、実装基板１０に垂直な方向から見た場合に、互いに同じ位置にある。同じ位置にある第１の半導体チップ２０と第２の半導体チップ２２は、平面形状が同じである。複数の第１の半導体チップ２０の平面形状は、互いに異なっていてもよい。
【００４１】
本実施形態によっても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第１の凹部１２及び第２の凹部１４をそれぞれ複数設ける必要がないため、第１の実施形態と比較して実装基板１０の製造コストを低くすることができる。
【００４２】
図１４は、第９の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第８の実施形態における図１３に相当している。本実施形態は、複数の第２の半導体チップ２２の代わりに基板２４を用いる点を除いて、第８の実施形態と同様である。基板２４は１枚であってもよいし、複数枚であってもよい。
【００４３】
本実施形態によっても、基板２４の位置、形状、大きさ、及び厚さを調節することにより、第８の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４４】
図１５は、第１０の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第１の実施形態における図１に相当している。本実施形態は、第１の凹部１２及び第２の凹部１４がそれぞれ複数かつ同数ずつ設けられている点を除いて、第１の実施形態と同様である。
【００４５】
各第１の凹部１２は、底部に第１の半導体チップ２０が実装されており、かつ第１の樹脂層３０が充填されている。各第２の凹部１４は、底部に第２の半導体チップ２２が実装されており、かつ第２の樹脂層３２が充填されている。実装基板１０に垂直な方向から見た場合、第１の凹部１２と第２の凹部１４は同じ位置にあり、かつ第１の半導体チップ２０と第２の半導体チップ２２も同じ位置にある。
【００４６】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、少なくとも一つの第２の半導体チップ２２を基板２４に置き換えてもよい。
【００４７】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】第１の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図２】図１に示した半導体装置の平面図である。
【図３】第２の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図４】第３の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図５】第３の実施形態にかかる半導体装置の変形例の断面図である。
【図６】第４の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図７】第４の実施形態にかかる半導体装置の変形例の断面図である。
【図８】第５の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図９】第６の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図１０】第７の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図１１】第７の実施形態の変形例の要部を示す断面図である。
【図１２】第７の実施形態の変形例の要部を示す断面図である。
【図１３】第８の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図１４】第９の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図１５】第１０の実施形態にかかる半導体装置の断面図である。
【図１６】半導体装置の一例を示す図である。
【図１７】半導体装置に生じる反りの一例を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０ 実装基板
１２ 第１の凹部
１４ 第２の凹部
２０ 第１の半導体チップ
２２ 第２の半導体チップ
２４ 基板
３０ 第１の樹脂層
３２ 第２の樹脂層
４０ 実装部分
５０ 外部端子
６０ 高剛性部材
７０ 被覆部材
７２ 被覆部材
８０ 放熱板
８２ 熱伝導部材
８４ 熱伝導部材
８５ 貫通孔
８６ 熱伝導部材
１００ 実装基板
１１０ 半導体チップ
１２０ 封止樹脂
１３０ 外部端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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