(57)【要約】【課題】アーマチュア部と補強部材とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部の反りを低減することのできるマイクロリレー及びマイクロリレーの製造方法を提供する。【解決手段】矩形枠状のフレーム部３１及びフレーム部３１に対して揺動可能なアーマチュア部３０を有するアーマチュアブロック３と、アーマチュア部３０の磁性体保持部３０ａに結合した磁性体３２と、磁性体３２を吸引することでアーマチュア部３０を揺動させる電磁石装置２と、電磁石装置２を収納するボディ１と、磁性体保持部３０ａの磁性体３２と反対側の面に接合される補強部材５とを備え、磁性体保持部３０ａの長手方向における略中央部に接合される略矩形状の第１の補強部５０と、磁性体保持部３０ａの長手方向における両端部にそれぞれ接合される略矩形状の第２の補強部５１とから補強部材５を構成し、第１の補強部５０と第２の補強部５１とを互いに離間して配設した。【選択図】図１
2009252464.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられ、アーマチュア部の前記一面と反対側の面においてアーマチュア部に接合される補強部材を備えたマイクロリレーであって、補強部材は、少なくともアーマチュア部の揺動する軸と直交する方向における略中央部と両端部とにそれぞれ接合されて互いに離間して配設される複数の補強部から成ることを特徴とするマイクロリレー。
【請求項２】
前記補強部は、前記軸方向における幅寸法が補強部の幅寸法よりも幅狭であって各補強部と一体に形成されるとともに各補強部間を互いに連結する連結部を備えたことを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項３】
前記連結部は、前記軸と直交する方向における両端部に設けられた補強部と略中央部に設けられた補強部との間に各々一対ずつ設けられ、各対の連結部は前記両端部に設けられた補強部とアーマチュア部との接合箇所から離れた位置に設けられたことを特徴とする請求項２記載のマイクロリレー。
【請求項４】
前記補強部は、前記軸と直交する方向における両端部と、前記軸と直交する方向における略中央部であって且つ前記軸方向における両端部とにそれぞれ設けられ、連結部は弾性を有することを特徴とする請求項２記載のマイクロリレー。
【請求項５】
前記補強部材は、その厚み寸法がアーマチュア部の厚み寸法と略同一に形成されたことを特徴とする請求項２乃至４の何れか１項に記載のマイクロリレー。
【請求項６】
コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられ、アーマチュア部の前記一面と反対側の面においてアーマチュア部に接合される補強部材を備えたマイクロリレーであって、補強部材は、アーマチュア部の揺動する軸と直交する方向の長さが前記軸方向の長さよりも長く形成されるとともに、少なくとも前記軸と直交する方向における両端部で接合され、補強部材のアーマチュア部との接合面と反対側の一面に前記軸と直交する方向に亘って長尺の梁部が設けられたことを特徴とするマイクロリレー。
【請求項７】
コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられ、アーマチュア部の前記一面と反対側の面においてアーマチュア部に接合される補強部材を備え、補強部材がアーマチュア部の揺動する軸と直交する方向の長さが前記軸方向の長さよりも長く形成され且つ少なくともアーマチュア部の揺動する軸と直交する方向における略中央部と両端部とにそれぞれ接合されたマイクロリレーの製造方法であって、補強部材の厚み方向における両側からレーザ溶接する工程を有することを特徴とするマイクロリレーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロリレー及びマイクロリレーの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体プロセスを用いて製造されるマイクロリレーとして、電磁石装置を備え、磁性体が取り付けられ且つ可動接点が設けられたアーマチュア部を電磁石装置の磁力によって駆動することにより可動接点を固定接点に接離させる電磁式のマイクロリレーが提供されており、例えば特許文献１に開示されているようなものがある。この従来例は、図７に示すように、矩形枠状のフレーム部３１及びフレーム部３１に対して揺動可能なアーマチュア部３０を有するアーマチュアブロック３と、アーマチュア部３０に結合した磁性体３２と、磁性体３２を吸引することでアーマチュア部３０を揺動させる電磁石装置２と、電磁石装置２を収納するとともにアーマチュアブロック３のフレーム部３１に結合するボディ１とを備える。尚、以下の説明では図７における上下を上下方向と定めるものとする。
【０００３】
ボディ１は、ボディ本体１ａと、ボディ本体１ａの上面に結合する薄膜１ｂとから成る。ボディ本体１ａは、ガラスから成る略直方体状であって、四隅の近傍にはそれぞれスルーホール１０ａ〜１０ｄが厚み方向に貫設されている。各スルーホール１０ａ〜１０ｄの内面には、それぞれ導電膜１１ａ〜１１ｄが設けられている。各導電膜１１ａ〜１１ｄは、それぞれ例えばクロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、銅、金、又はこれらの合金から成り、めっき、蒸着、スパッタリング等により形成されている。各スルーホール１０ａ〜１０ｄの厚み方向における両端の開口部周辺には、それぞれ導電膜１１ａ〜１１ｄに電気的に接続されたランド１２が設けられ、ボディ１の下面側の各ランド１２には、それぞれプリント配線板（図示せず）への表面実装に用いられるバンプ１３が設けられている。各バンプ１３は、それぞれ例えば金、銀、銅、はんだ等の導電性材料から成り、スルーホール１０ａ〜１０ｄを塞ぐ形でランド１２に載せられ、熱溶着によって結合されている。
【０００４】
ボディ本体１ａの上面には、それぞれランド１２と一対一に電気的に接続された２対の固定接点１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂが設けられている。これら固定接点１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂは、それぞれ例えばクロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、銅、金、又はこれらの合金から成る。
【０００５】
ボディ本体１ａの中央部には、略十字型の貫通穴１６が厚み方向に貫設されており、該貫通穴１６の開口を覆う形で薄膜１ｂがボディ本体１ａの上面に接合されている。薄膜１ｂはシリコン又はガラスから成り、エッチング又は研磨によって５〜５０μｍ程度、好ましくは２０μｍ程度の厚さ寸法に形成されている。薄膜１ｂの下側には、電磁石装置２が収納される収納部１８が形成されている。貫通穴１６の内面は、上方に向かって貫通穴１６の断面積が徐々に小さくなるように傾斜しており、電磁石装置２が収納し易くなっている。
【０００６】
電磁石装置２は、ヨーク２０と、永久磁石２１と、コイル２２ａ，２２ｂと、基板２３とから成る。ヨーク２０は、電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工或いは鋳造加工することにより、略矩形状の中央片２０ａの長手方向の両端から、略矩形状の脚片２０ｂ，２０ｃがそれぞれ上方に立ち上がった断面略コ字状に形成されている。永久磁石２１は略直方体状であって、互いに直交する磁極面が互いに異なる極となるように着磁されている。永久磁石２１は、ヨーク２０の中央片２０ａの上面の略中央に一方の磁極面を当接させて取り付けられており、他方の磁極面は脚片２０ｂ，２０ｃの先端面と略面一となっている。コイル２２ａ，２２ｂは、それぞれ脚片２０ｂ，２０ｃと永久磁石２１との間で中央片２０ａに直接巻回されている。基板２３は略矩形状であり、その長手方向をヨーク２０の中央片２０ａの長手方向に直交させる向きで中央片２０ａの下面に接合されている。基板２３の下面の長手方向の両端部には、それぞれ導電膜（図示せず）が設けられ、該導電膜にコイル２２ａ，２２ｂの両端がそれぞれ電気的に接続されている。また、各導電膜上には、それぞれプリント配線板への表面実装に用いられるバンプ（図示せず）が設けられている。電磁石装置２は、ヨーク２０の中央片２０ａの長手方向とボディ１の長手方向とを一致させて収納部１８に収納され、電磁石装置２と収納部１８の内面との間に合成樹脂（図示せず）を充填することでボディ１に保持されている。
【０００７】
アーマチュアブロック３は、５０〜３００μｍ程度、好ましくは２００μｍ程度の厚さ寸法を有するシリコン基板をエッチングして形成され、アーマチュア部３０と、アーマチュア部３０の全周を包囲してアーマチュア部３０を支持するフレーム部３１とを一体に備える。アーマチュア部３０の下面には、図８に示すように略矩形状の磁性体３２が接合される。
【０００８】
アーマチュア部３０は、図７，８に示すように、下面（図８における上面）に磁性体３２が接合される略矩形状の磁性体保持部３０ａと、下面に可動接点３３ａ，３３ｂが固着される可動接点部３０ｂとから成る。可動接点部３０ｂは、磁性体保持部３０ａの長手方向の両側において、弾性を有する連結部３４を介して磁性体保持部３０ａに支持されている。磁性体保持部３０ａは、その短手方向の両側が弾性を有する弾性部３５を介してフレーム部３１に支持されている。弾性部３５は、磁性体保持部３０ａの短手方向の両側に２個ずつ、計４個設けられており、それぞれ一端が磁性体保持部３０ａの短手方向の端面に連結されるとともに他端がフレーム部３１の内周面に連結されている。尚、弾性部３５は、その厚み寸法をフレーム部３１の厚み寸法よりも小さくしている。
【０００９】
磁性体保持部３０ａの長手方向の略中央部であって短手方向の両端には、それぞれ延設部３６を磁性体保持部３０ａの短手方向へ突設してあり、各延設部３６の先端にはそれぞれ凸部３６ａを突設している。更に、フレーム部３１の内周面において延設部３６の先端面に対向する各部には、それぞれ延設部３７が内側へ突設され、各延設部３７の先端面にはそれぞれ磁性体保持部３０ａの凸部３６ａが挿入される凹部３７ａが設けられている。而して、凸部３６ａが凹部３７ａ内に位置することにより、フレーム部３１に対するアーマチュア部３０の移動が制限される。また、延設部３６の下面には、それぞれ支点突起３６ｂが下方へ突設されている。更に、磁性体保持部３０ａの四隅には、それぞれ第二の延設部３８が延設されており、各第二の延設部３８の下面には、それぞれ突起３８ａが下方へ突設されている。尚、アーマチュア部３０は厚み寸法がフレーム部３１の厚み寸法よりも小さくなるように形成され、突起３８ａの下面及び磁性体３２の下面がフレーム部３１の下面よりも上側に位置するようになっている。
【００１０】
磁性体３２は、電磁軟鉄、電磁ステンレス、パーマロイ、フェライト等の磁性材料を機械加工して形成され、例えば、その上面と磁性体保持部３０ａの下面との間に低融点ガラスを介在させた状態で加熱して低融点ガラスを溶融させた後、冷却することで磁性体保持部３０ａの下面に結合される。
【００１１】
アーマチュア部３０には、図８に示すように、長手方向の略中央部において２つの結合穴３９が短手方向に沿って貫設されており、また、該結合穴３９の上側の開口を覆うように補強部材５が結合されている。補強部材５は、長手方向がアーマチュア部３０の揺動軸に沿った細長い形状に形成されており、磁性体３２との間でアーマチュア部３０の磁性体保持部３０ａを挟み、アーマチュア部３０に接合するとともに結合穴３９を介して磁性体３２と結合することで、磁性体３２をアーマチュア部３０に保持する。また、補強部材５は、その長手方向の両端部がそれぞれ延設部３６の上面に当接している。而して、補強部材５は、支点突起３６ｂの突出方向である下方から見て支点突起３６ｂに重なる範囲と重ならない範囲とでアーマチュア部３０に当接することでアーマチュア部３０を補強している。
【００１２】
アーマチュアブロック３は、例えばフレーム部３１の下面がボディ１の上面に陽極接合されることによってボディ１に結合される。ここにおいて、支点突起３６ｂはボディ１の上面に当接し、アーマチュア部３０は支点突起３６ｂを支点として支点突起３６ｂ同士を結ぶ直線を軸（以下、「揺動軸Ｘ」と呼ぶ）とする揺動が可能となっている。また、各可動接点３３ａ，３３ｂはそれぞれ１組の固定接点１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂに対向し、突起３８ａの先端面はボディ１の上面に離間して対向する。更に、磁性体３２は、上方から見てアーマチュア部３０の揺動軸Ｘを挟んで互いに異なる側に位置する各部が、互いに異なる脚片２０ｂ，２０ｃの先端面に対しそれぞれ薄膜１ｂを挟んで対向する。
【００１３】
アーマチュアブロック３の上側は、例えばパイレックス（登録商標）のような耐熱ガラスから成る略直方体状のカバー４によって覆われる。カバー４は、例えば陽極接合によってフレーム部３１の上面に接合され、カバー４の下面には、アーマチュア部３０の可動範囲を確保するための凹部（図示せず）が設けられている。
【００１４】
以下、上記従来例の動作を説明する。コイル２２ａ，２２ｂに通電すると、磁性体３２が通電方向に応じた一方の脚片２０ｂに吸引され、アーマチュア部３０は揺動軸Ｘを軸として揺動し、一方の可動接点３３ａを一対の固定接点１４ａ，１４ｂに接触導通させる。ここにおいて、固定接点１４ａ，１４ｂ間は可動接点３３ａを介して電気的に接続される。この時、可動接点３３ａの固定接点１４ａ，１４ｂに対する接触圧は連結部３４の弾性により適度に保たれている。また、突起３８ａがボディ１の上面に当接することにより、アーマチュア部３０の可動範囲が制限され、磁性体３２と薄膜１ｂとの接触による破損が防止されている。コイル２２ａ，２２ｂへの通電を停止すると、永久磁石２１→磁性体３２→脚片２０ｂ→永久磁石２１という閉磁路を通る磁束により、アーマチュア部３０の姿勢が維持される。
【００１５】
次に、コイル２２ａ，２２ｂへの通電方向を逆にすると、弾性部３５の弾性力と、磁性体３２が他方の脚片２０ｃに吸引される力とにより、アーマチュア部３０は揺動軸Ｘを軸として上記と反対側へ揺動し、他方の可動接点３３ｂを別の一対の固定接点１５ａ，１５ｂに接触導通させる。ここにおいて、固定接点１５ａ，１５ｂ間は可動接点３３ｂを介して電気的に接続される。コイル２２ａ，２２ｂへの通電を停止すると、永久磁石２１→磁性体３２→脚片２０ｃ→永久磁石２１という閉磁路を通る磁束により、アーマチュア部３０の姿勢が維持される。
【特許文献１】特開２００６−２１００６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
ところで、上記従来例では、アーマチュア部３０の長手方向における略中央部を補強部材５と磁性体３２とで挟持しているため、アーマチュア部３０及び磁性体３２各々の長手方向の両端部が反ることでアーマチュア部３０と磁性体３２との間に隙間が生じてしまい、接点の開閉能力に影響を与える虞があった。そこで、本願発明者らは、図９に示すように、補強部材５をその長手方向の長さが短手方向の長さよりも長くなる寸法に形成するとともに、補強部材５の揺動軸Ｘ上で且つ短手方向における両端部からそれぞれ延設部３６と当接する略三角形状の延設片５ａを延設し、磁性体保持部３０ａの長手方向における両端部と、揺動軸Ｘ上で且つ短手方向における両端部とにそれぞれ貫設した結合穴３９を介して磁性体３２と補強部材５とを結合する構成を提案している。上述の構成を採用することで、アーマチュア部３０及び磁性体３２各々の長手方向の両端部の反りを低減して、アーマチュア部３０と磁性体３２との間に生じる隙間を小さくすることができる。
【００１７】
しかしながら、この場合では、アーマチュア部３０と磁性体３２との間の隙間を小さくすることはできるが、図１０（ｂ）に示すように、アーマチュア部３０と補強部材５とを複数箇所で接合することによって反りが大きくなり、アーマチュア部３０が変形するという問題があった。このようなアーマチュア部３０の変形は設計上意図されたものではなく、特性が設計値からずれる原因となる。
【００１８】
本発明は、上記の点に鑑みて為されたもので、アーマチュア部と補強部材とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部の反りを低減することのできるマイクロリレー及びマイクロリレーの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
請求項１の発明は、上記目的を達成するために、コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられ、アーマチュア部の前記一面と反対側の面においてアーマチュア部に接合される補強部材を備えたマイクロリレーであって、補強部材は、少なくともアーマチュア部の揺動する軸と直交する方向における略中央部と両端部とにそれぞれ接合されて互いに離間して配設される複数の補強部から成ることを特徴とする。
【００２０】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、補強部は、前記軸方向における幅寸法が補強部の幅寸法よりも幅狭であって各補強部と一体に形成されるとともに各補強部間を互いに連結する連結部を備えたことを特徴とする。
【００２１】
請求項３の発明は、請求項２の発明において、連結部は、前記軸と直交する方向における両端部に設けられた補強部と略中央部に設けられた補強部との間に各々一対ずつ設けられ、各対の連結部は前記両端部に設けられた補強部とアーマチュア部との接合箇所から離れた位置に設けられたことを特徴とする。
【００２２】
請求項４の発明は、請求項２の発明において、補強部は、前記軸と直交する方向における両端部と、前記軸と直交する方向における略中央部であって且つ前記軸方向における両端部とにそれぞれ設けられ、連結部は弾性を有することを特徴とする。
【００２３】
請求項５の発明は、請求項２乃至４の何れか１項の発明において、補強部材は、その厚み寸法がアーマチュア部の厚み寸法と略同一に形成されたことを特徴とする。
【００２４】
請求項６の発明は、上記目的を達成するために、コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられ、アーマチュア部の前記一面と反対側の面においてアーマチュア部に接合される補強部材を備えたマイクロリレーであって、補強部材は、アーマチュア部の揺動する軸と直交する方向の長さが前記軸方向の長さよりも長く形成されるとともに、少なくとも前記軸と直交する方向における両端部で接合され、補強部材のアーマチュア部との接合面と反対側の一面に前記軸と直交する方向に亘って長尺の梁部が設けられたことを特徴とする。
【００２５】
請求項７の発明は、上記目的を達成するために、コイルへの励磁電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置と、電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたボディと、ボディの前記一表面に結合される枠状のフレーム部及びフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュア部及びアーマチュア部に結合されて電磁石装置の電磁力によって吸引される磁性体及びアーマチュア部が揺動した際に固定接点と接離する可動接点を有するアーマチュアブロックとを備え、アーマチュア部のボディと対向する一面には、ボディに当接し且つアーマチュア部が揺動する際の支点となる支点突起が設けられ、アーマチュア部の前記一面と反対側の面においてアーマチュア部に接合される補強部材を備え、補強部材がアーマチュア部の揺動する軸と直交する方向の長さが前記軸方向の長さよりも長く形成され且つ少なくともアーマチュア部の揺動する軸と直交する方向における略中央部と両端部とにそれぞれ接合されたマイクロリレーの製造方法であって、補強部材の厚み方向における両側からレーザ溶接する工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
請求項１の発明によれば、アーマチュア部の揺動する軸と直交する方向における略中央部及び両端部を補強することで、アーマチュア部の前記軸と直交する方向における両端部の反りを低減してアーマチュア部と磁性体との間の隙間を小さくすることができ、また、補強部材を互いに離間して配設される複数の補強部で構成することでアーマチュア部と補強部材とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部及び磁性体の反りを低減することができる。
【００２７】
請求項２の発明によれば、各補強部を連結部を介して一体に形成することで、補強部を互いに離間して配設する場合と比較して補強部材を容易に位置決めすることができる。また、連結部の幅寸法を補強部の幅寸法よりも幅狭にすることによって連結部における強度を弱めることで、補強部材の強度を部分的に弱めてアーマチュア部と補強部材とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部及び磁性体の反りを低減することができる。
【００２８】
請求項３の発明によれば、接合箇所から離れた位置で補強部同士を連結することで、接合時の熱が連結部に与える影響を小さくすることができ、熱に起因する連結部の捩れ等の変形を抑制することができる。
【００２９】
請求項４の発明によれば、弾性を有する連結部によって補強部同士が連結されるので、接合時の捩れ等の変形を抑制することができる。
【００３０】
請求項５の発明によれば、補強部材とアーマチュア部との強度を略同一とするとともに連結部の強度をアーマチュア部の強度よりも弱くすることができるので、接合時の捩れ等の変形を連結部のみで抑制することができる。
【００３１】
請求項６の発明によれば、アーマチュア部の揺動する軸と直交する方向における両端部を補強することで、アーマチュア部の前記軸と直交する方向における両端部の反りを低減してアーマチュア部と磁性体との間の隙間を小さくすることができ、また、梁部によってアーマチュア部と補強部材とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部及び磁性体の反りを低減することができる。
【００３２】
請求項７の発明によれば、補強部材の厚み方向における両側それぞれで生じる反りを互いに相殺させることで、アーマチュア部と補強部材とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部及び磁性体の反りを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明に係るマイクロリレー及びマイクロリレーの製造方法の各実施形態について図面を用いて説明する。但し、各実施形態の基本的な構成は従来例と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略するものとする。また、以下の各実施形態の説明では、図１（ａ）における上下を上下方向と定めるものとする。
【００３４】
（実施形態１）
以下、本発明に係るマイクロリレーの実施形態１について図面を用いて説明する。本実施形態は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、アーマチュア部３０の磁性体保持部３０ａの長手方向における略中央部（揺動軸Ｘ上）に接合される略矩形状の第１の補強部５０と、磁性体保持部３０ａの長手方向における両端部にそれぞれ接合される略矩形状の第２の補強部５１とから補強部材５が構成され、第１の補強部５０と第２の補強部５１とは互いに離間して配設されている。第１の補強部５０及び第２の補強部５１は何れも磁性体３２と同じ材料から形成され、磁性体保持部３０ａの長手方向における略中央部及び両端部にそれぞれ貫設された結合穴３９を介して磁性体３２と接合される。
【００３５】
而して、磁性体保持部３０ａの長手方向における略中央部と両端部とにそれぞれ第１の補強部５０及び第２の補強部５１を配設してアーマチュア部３０の長手方向における略中央部及び両端部を補強することで、アーマチュア部３０の長手方向における両端部の反りを低減してアーマチュア部３０と磁性体３２との間の隙間を小さくすることができる。また、各補強部５０，５１が互いに離間して配設されているので、従来例のように補強部材５をアーマチュア部３０の長手方向に亘って配設する場合と比べて磁性体保持部３０ａと補強部材５とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部３０及び磁性体３２の反りを低減することができる。
【００３６】
（実施形態２）
以下、本発明に係るマイクロリレーの実施形態２について図面を用いて説明する。本実施形態は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、実施形態１において第１の補強部５０と一方の第２の補強部５１との間、及び第１の補強部５０と他方の第２の補強部５１との間に互いを連結する連結部５２が各々一体に形成されていることに特徴がある。尚、連結部５２の幅寸法（揺動軸Ｘ方向の長さ寸法）は、第２の補強部５１の幅寸法よりも幅狭に形成されている。
【００３７】
而して、磁性体保持部３０ａの長手方向における略中央部と両端部とにそれぞれ第１の補強部５０及び第２の補強部５１を配設してアーマチュア部３０の長手方向における略中央部及び両端部を補強することで、アーマチュア部３０の長手方向における両端部の反りを低減してアーマチュア部３０と磁性体３２との間の隙間を小さくすることができる。また、各補強部５０，５１を連結する連結部５２の幅寸法が幅狭に形成されていることから、連結部５２の強度が弱まって補強部材の強度を部分的に弱めることができ、従来例のように補強部材５をアーマチュア部３０の長手方向に亘って配設する場合と比べて磁性体保持部３０ａと補強部材５とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部３０及び磁性体３２の反りを低減することができる。更に、各補強部５０，５１同士を連結部５２で連結していることから補強部材５を１部品として扱うことができるため、実施形態１のように各補強部５０，５１を互いに離間して配設する場合と比較して容易に位置決めすることができる。
【００３８】
（実施形態３）
以下、本発明に係るマイクロリレーの実施形態３について図面を用いて説明する。本実施形態は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、実施形態１において第１の補強部５０と一方の第２の補強部５１との間、及び第１の補強部５０と他方の第２の補強部５１との間に互いを連結する連結部５２が一対ずつ各々一体に形成されていることに特徴がある。尚、連結部５２の幅寸法は、第２の補強部５１の幅寸法よりも幅狭に形成されている。また、第２の補強部５１は何れも実施形態１と比べて揺動軸Ｘ方向に延長して形成されており、揺動軸Ｘ方向における両端部、即ち、第２の補強部５１の磁性体保持部３０ａとの接合箇所から離れた位置に連結部５２が一体に形成されている。
【００３９】
而して、実施形態１，２と同様に、アーマチュア部３０と磁性体３２との間の隙間を小さくし且つ磁性体保持部３０ａと補強部材５とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部３０及び磁性体３２の反りを低減する効果を奏することができるとともに、第２の補強部５１の接合箇所から離れた位置で各補強部５０，５１同士を連結することで、接合時の熱が連結部５２に与える影響を小さくすることができ、熱に起因する連結部５２の捩れ等の変形を抑制することができる。
【００４０】
（実施形態４）
以下、本発明に係るマイクロリレーの実施形態４について図面を用いて説明する。本実施形態は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、磁性体保持部３０ａの揺動軸Ｘ上で且つ短手方向における両端部で延設部３６とそれぞれ接合される略三角形状の第１の補強部５０と、磁性体保持部３０ａの長手方向における両端部にそれぞれ接合される略矩形状の第２の補強部５１とから補強部材５が構成され、各第１の補強部５０と一方の第２の補強部５１との間、及び各第１の補強部５０と他方の第２の補強部５１との間に互いを連結する連結部５２が一対ずつ各々一体に形成されていることに特徴がある。尚、連結部５２の幅寸法は、第２の補強部５１の幅寸法よりも幅狭に形成されるとともに、弾性を有している。
【００４１】
而して、実施形態１，２と同様に、アーマチュア部３０と磁性体３２との間の隙間を小さくし且つ磁性体保持部３０ａと補強部材５とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部３０及び磁性体３２の反りを低減する効果を奏することができるとともに、弾性を有する連結部５２によって各補強部５０，５１同士が連結されるので、接合時の捩れ等の変形を抑制することができる。
【００４２】
尚、上記実施形態２〜４においては、各補強部５０，５１をその厚み寸法がアーマチュア部３０の厚み寸法と略同一となるように形成するのが望ましい。この場合、補強部材５とアーマチュア部３０との強度を略同一とするとともに連結部５２の強度をアーマチュア部３０の強度よりも弱くすることができるので、接合時の捩れ等の変形を連結部５２のみで抑制することができる。
【００４３】
（実施形態５）
以下、本発明に係るマイクロリレーの実施形態５について図面を用いて説明する。本実施形態は、図５に示すように、補強部材５は、揺動軸Ｘと直交する方向の長さが揺動軸Ｘ方向の長さよりも長く形成されるとともに、少なくとも揺動軸Ｘと直交する方向における両端部で接合され、補強部材５の磁性体保持部３０ａとの接合面と反対側の面に揺動軸Ｘと直交する方向に亘って長尺棒状の梁部５３が配設されている。
【００４４】
而して、従来例と同様に補強部材５によってアーマチュア部３０の長手方向における両端部の反りを低減してアーマチュア部３０と磁性体３２との間の隙間を小さくするとともに、補強部材５の長手方向に亘って配設された梁部５３によって、磁性体保持部３０ａと補強部材５とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部３０の反りを低減することができる。
【００４５】
（実施形態６）
以下、本発明に係るマイクロリレーの製造方法の実施形態６について図面を用いて説明する。本実施形態は、従来例と同様のマイクロリレーを製造する製造工程において、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、補強部材５と磁性体３２とを結合穴３９を介してレーザ溶接によって結合する際に、補強部材５の厚み方向における両側から、即ち、補強部材５を挟んだアーマチュア部３０の反対側と磁性体３２を挟んだアーマチュア部３０の反対側とからレーザ溶接を行う工程を有することを特徴とする。
【００４６】
而して、一方の側からレーザ溶接を行うことで生じる補強部材５、アーマチュア部３０、磁性体３２全体の反りを他方の側からもレーザ溶接を行うことで相殺することができるので、磁性体保持部３０ａと補強部材５とを複数箇所で接合することに起因するアーマチュア部３０及び磁性体３２の反りを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係るマイクロリレーの実施形態１を示す図で、（ａ）はアーマチュアブロックの全体斜視図で、（ｂ）はアーマチュアブロックの分解斜視図である。
【図２】本発明に係るマイクロリレーの実施形態２を示す図で、（ａ）はアーマチュアブロックの全体斜視図で、（ｂ）はアーマチュアブロックの分解斜視図である。
【図３】本発明に係るマイクロリレーの実施形態３を示す図で、（ａ）はアーマチュアブロックの全体斜視図で、（ｂ）はアーマチュアブロックの分解斜視図である。
【図４】本発明に係るマイクロリレーの実施形態４を示す図で、（ａ）はアーマチュアブロックの全体斜視図で、（ｂ）はアーマチュアブロックの分解斜視図である。
【図５】本発明に係るマイクロリレーの実施形態５を示すアーマチュアブロックの全体斜視図である。
【図６】本発明に係るマイクロリレーの製造方法の実施形態６を示す図で、（ａ）は溶接前の状態を示す断面図で、（ｂ）は補強部材の片側を溶接した状態を示す断面図で、（ｃ）は補強部材の両側を溶接した状態を示す断面図である。
【図７】従来のマイクロリレーを示す分解斜視図である。
【図８】同上のアーマチュアブロックを示す分解斜視図である。
【図９】同上の補強部材の他の構成を示すアーマチュアブロックの平面図である。
【図１０】（ａ）は同上の補強部材に反りが生じる前の状態を示す断面図で、（ｂ）は同上の補強部材に反りが生じた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  ボディ
２  電磁石装置
３  アーマチュアブロック
３０  アーマチュア部
３１  フレーム部
３２  磁性体
５  補強部材
５０  第１の補強部
５１  第２の補強部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009252464.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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