(57)【要約】【課題】光ピックアップ、共焦点顕微鏡、レーザポインタ等のレンズと光センサや半導体レーザ等の光学部品とを具備した光学装置において、レンズと光学部品との位置関係の調整及び光学部品の状態を観察することのできる光学装置の検査方法を提供する。【解決手段】レンズ及び光学部品を具備した光学装置の全体又は一部から成り、前記レンズ及び前記光学部品を具備した検査対象に、光学装置の運用時にレンズを透過する光と同じ広がり角でレンズに入射し、レンズの口径に一致する或いはそれ以上の口径を有する状態でレンズに入射する光を照射し、光学部品に照明光を当てて、光学部品を観察する。【選択図】図１
2009187603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ及び光学部品を具備した光学装置の全体又は一部から成り、前記レンズ及び前記光学部品を具備した検査対象に、前記光学装置の運用時に前記レンズを透過する光と同じ広がり角で前記レンズに入射し、前記レンズの口径に一致する或いはそれ以上の口径を有する状態で前記レンズに入射する光を照射し、前記光学部品に照明光を当てて、前記光学部品を観察することを特徴とする光学装置の検査方法。
【請求項２】
レンズ及び光学部品を具備した光学装置の全体又は一部から成り、前記レンズ及び前記光学部品を具備した検査対象に光を照射し、前記光が前記レンズを透過して、前記光学部品で結像するようになっていると共に、前記光学部品に照明光を当てて、前記光学部品を観察することを特徴とする光学装置の検査方法。
【請求項３】
前記光学部品が、発光部品、受光部品、スクリーン又はピンホールである請求項１又は２に記載の光学装置の検査方法。
【請求項４】
前記光学部品の観察は、前記光学部品からの観察光を結像光学系により結像して、結像した前記光学部品の像を受光して検出する請求項１乃至３のいずれかに記載の光学装置の検査方法。
【請求項５】
対物レンズ装着前の光学装置である光ピックアップのコリメータレンズに、前記光ピックアップのレーザダイオードから照射されるレーザ光と同一の波長のコリメートされたレーザ光を照射して、前記光ピックアップのフォトディテクタが前記レーザ光を受光するようにし、前記フォトディテクタの受光面に照明光を当てて、前記フォトディテクタの受光面を観察することを特徴とする光学装置の検査方法。
【請求項６】
前記フォトディテクタの受光面の観察は、前記フォトディテクタの受光面からの観察光を結像光学系により結像して、結像した前記フォトディテクタの受光面の像を受光して検出する請求項５に記載の光学装置の検査方法。
【請求項７】
前記照明光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記フォトディテクタの受光面を照明し、前記フォトディテクタの受光面からの観察光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記観察部に到達するようになっている請求項５又は６に記載の光学装置の検査方法。
【請求項８】
前記照明光が光ファイバにより誘導されて前記フォトディテクタの受光面を照明し、前記フォトディテクタの受光面からの観察光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記観察部に到達するようになっている請求項５又は６に記載の光学装置の検査方法。
【請求項９】
前記コリメートされたレーザ光は、レーザダイオードによって照射された前記光ピックアップのレーザダイオードから照射されるレーザ光と同一の波長のレーザ光を、前記光ピックアップのコリメータレンズと同一の口径のコリメータレンズに通すことによって生成される請求項５乃至８のいずれかに記載の光学装置の検査方法。
【請求項１０】
前記コリメートされたレーザ光が、前記光ピックアップのレーザダイオードと同一の波長のレーザ光を照射するレーザダイオードと、前記光ピックアップのコリメータレンズと同一の口径のコリメータレンズを具備した光ピックアップによって生成される請求項５乃至８のいずれかに記載の光学装置の検査方法。
【請求項１１】
前記照明光が微分干渉照明による照明光であり、前記観察が微分干渉観察である請求項１乃至１０のいずれかに記載の光学装置の検査方法。
【請求項１２】
前記照明光が暗視野照明による照明光であり、前記観察が暗視野観察である請求項１乃至１０のいずれかに記載の光学装置の検査方法。
【請求項１３】
レンズ及び光学部品を具備した光学装置の全体又は一部から成り、前記レンズ及び前記光学部品を具備した検査対象と、前記光学装置の運用時に前記レンズを透過する光と同じ広がり角で前記レンズに入射し、前記レンズの口径に一致する或いはそれ以上の口径を有した状態で前記レンズに入射する光を前記検査対象に照射する光照射部と、前記光学部品に照明光を当てるための照明部と、前記光学部品を観察する観察部とを具備したことを特徴とする光学装置の検査装置。
【請求項１４】
レンズ及び光学部品を具備した光学装置の全体又は一部から成り、前記レンズ及び前記光学部品を具備した検査対象と、前記レンズを透過して前記光学部品で結像する光を照射する光照射部と、前記光学部品に照明光を当てるための照明部と、前記光学部品を観察する観察部とを具備したことを特徴とする光学装置の検査装置。
【請求項１５】
前記光学部品が、発光部品、受光部品、スクリーン又はピンホールである請求項１３又は１４に記載の光学装置の検査装置。
【請求項１６】
前記観察部が、前記光学部品からの観察光を結像するための結像光学系と、結像した前記光学部品の像を受光する光検出部とを具備している請求項１３乃至１５のいずれかに記載の光学装置の検査装置。
【請求項１７】
対物レンズ装着前の光学装置である光ピックアップと、前記光ピックアップのコリメータレンズに、前記光ピックアップのレーザダイオードから照射されるレーザ光と同一の波長のコリメートされたレーザ光を照射して、前記光ピックアップのフォトディテクタに前記レーザ光を受光されるようにするコリメートレーザ光照射部と、前記フォトディテクタの受光面に照明光を当てるための照明部と、前記フォトディテクタの受光面を観察する観察部とを具備したことを特徴とする光学装置の検査装置。
【請求項１８】
前記観察部が、前記フォトディテクタの受光面からの観察光を結像するための結像光学系と、結像した前記フォトディテクタの受光面の像を受光する光検出部とを具備している請求項１７に記載の光学装置の検査装置。
【請求項１９】
前記照明部の照明光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記フォトディテクタの受光面を照明し、前記フォトディテクタの受光面からの観察光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記観察部に到達するようになっている請求項１７又は１８に記載の光学装置の検査装置。
【請求項２０】
前記照明部の照明光が光ファイバにより誘導されて前記フォトディテクタの受光面を照明し、前記フォトディテクタの受光面からの観察光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記観察部に到達するようになっている請求項１７又は１８に記載の光学装置の検査装置。
【請求項２１】
前記コリメートレーザ光照射部が、前記レーザ光を照射するレーザダイオードと、前記レーザ光をコリメートする前記光ピックアップのコリメータレンズと同一の口径のコリメータレンズとを具備する請求項１７乃至２０のいずれかに記載の光学装置の検査装置。
【請求項２２】
前記コリメートレーザ光照射部が、前記光ピックアップのレーザダイオードと同一の波長のレーザ光を照射するレーザダイオードと、前記光ピックアップのコリメータレンズと同一の口径を有するコリメータレンズとを具備した、対物レンズ装着前の光ピックアップである請求項１７乃至２０のいずれかに記載の光学装置の検査装置。
【請求項２３】
前記照明部が微分干渉照明を行うことによって、前記観察部が微分干渉観察を行うようになっている請求項１３乃至２２のいずれかに記載の光学装置の検査装置。
【請求項２４】
前記照明部が暗視野照明を行うことによって、前記観察部が暗視野観察を行うようになっている請求項１３乃至２２のいずれかに記載の光学装置の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ピックアップ、共焦点顕微鏡、レーザポインタ等の、レンズと光センサや半導体レーザ等の光学部品とを具備した光学装置の検査方法及び光学装置の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ネットワークの高速化や地上波デジタル放送の開始、ハードディスクの大容量化などを背景に、コンテンツ保存用としてＣＤやＤＶＤ等の光ディスクの需要が拡大すると考えられている。ＣＤやＤＶＤ等の光ディスクに記録されている情報の読み取り、及び光ディスクへの情報の書き込みは光ピックアップによって行われる。
【０００３】
光ピックアップの一般的な構成を図７に示す。図７に示されるように、光ピックアップ１は、レーザ光を照射するレーザダイオード２と、レーザ光を反射又は透過するビームスプリッタ３と、レーザ光をコリメートする（視準する）コリメータレンズ４と、レーザ光の焦点を光ディスク１０に形成するための対物レンズ５と、光ディスク１０で反射されたレーザ光を受光するフォトディテクタ６とを具備している。
【０００４】
光ピックアップ１は、光ディスク１０に記録されている情報の読み取り及び光ディスク１０への情報の書き込みを行う際に、先ずレーザダイオード２からレーザ光１１Ａを照射する。レーザ光１１Ａはビームスプリッタ３で反射されレーザ光１１Ｂとなり、コリメータレンズ４に入射してコリメートされたレーザ光１１Ｃとなる。コリメートされたレーザ光１１Ｃは対物レンズ５に入射して、レーザ光１１Ｄとなり、光ディスク１０に焦点を形成する。そして、レーザ光１１Ｄは光ディスク１０の情報記録面で反射されレーザ光１１Ｅとなり、対物レンズ５及びコリメータレンズ４を経て、ビームスプリッタ３を透過してフォトディテクタ６に受光される。
【０００５】
光ピックアップ１と光ディスク１０によって形成される光学系は共焦点光学系であり、レーザダイオード２から照射されるレーザ光１１が光ディスク１０の情報記録面上に焦点を形成し、その焦点から反射したレーザ光１１Ｅがフォトディテクタ６の中心に像を形成するようになっている。
【０００６】
この光ピックアップにおいて、光ディスクに記録されている情報の読み取り及び光ディスクへの情報の書き込みを行うためには、光ピックアップからのレーザ光の焦点が光ディスクの情報記録面上の正確な位置に形成される必要がある。光ピックアップからのレーザ光の焦点を光ディスクの情報記録面上に形成するようにするための制御は、フォーカシングサーボ制御と呼ばれる。フォーカシングサーボ制御の方式としては、例えば「非点収差法」や「スポットサイズ法」がある。光ピックアップからのレーザ光の焦点位置を、光ディスクの情報記録面上のトラック上に合わせるための制御は、トラッキングサーボ制御と呼ばれる。
【０００７】
このような光ピックアップの品質管理において、フォトディテクタの受光面上に埃や傷が無いこと、及び光ディスクからの反射光の焦点がフォトディテクタ上の正確な位置に形成されていることの管理が特に重要である。従来この光ピックアップの品質管理は、テスト信号が記録された光ディスクを光ピックアップで再生し、出力信号のエラー率が高い光ピックアップを不良品とすることによって行っていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上記のテスト信号が記録された光ディスクを用いた光ピックアップの品質管理方法では、出力信号のエラー率が高くなる原因が、フォトディテクタの取り付け位置の不良によるものなのか、焦点を形成するための光ピックアップの光学部品の不良によるものなのか、フォトディテクタ表面上の埃や傷によるものなのか、電気系統のノイズによるものなのか特定できない。また、フォトディテクタの取り付け位置に問題があった場合に、光ディスクから反射したレーザ光の焦点の位置をフォトディテクタの中心に合わせるためのフォトディテクタの位置の調整は、出力信号を参考にした手探りのような方法で行われていた。
【０００９】
本発明は上述のような事情によりなされたものであり、本発明の目的は、光ピックアップ、共焦点顕微鏡、レーザポインタ等のレンズと発光部品又は受光部品の光学部品とを具備した光学装置において、レンズと光学部品との位置関係の調整及び光学部品の状態を観察することのできる光学装置の検査方法及び光学装置の検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は光学装置の検査方法に関し、本発明の目的は、レンズ及び光学部品を具備した光学装置の全体又は一部から成り、前記レンズ及び前記光学部品を具備した検査対象に、前記光学装置の運用時に前記レンズを透過する光と同じ広がり角で前記レンズに入射し、前記レンズの口径に一致する或いはそれ以上の口径を有する状態で前記レンズに入射する光を照射し、前記光学部品に照明光を当てて、前記光学部品を観察することによって達成される。
【００１１】
本発明は光学装置の検査方法に関し、本発明の目的は、レンズ及び光学部品を具備した光学装置の全体又は一部から成り、前記レンズ及び前記光学部品を具備した検査対象に光を照射し、前記光が前記レンズを透過して、前記光学部品で結像するようになっていると共に、前記光学部品に照明光を当てて、前記光学部品を観察することによって達成される。
【００１２】
本発明の上記目的は、前記光学部品が、発光部品、受光部品、スクリーン又はピンホールであることによって、或いは前記光学部品の観察は、前記光学部品からの観察光を結像光学系により結像して、結像した前記光学部品の像を受光して検出することによって、より効果的に達成される。
【００１３】
本発明は光学装置の検査方法に関し、本発明の目的は、対物レンズ装着前の光学装置である光ピックアップのコリメータレンズに、前記光ピックアップのレーザダイオードから照射されるレーザ光と同一の波長のコリメートされたレーザ光を照射して、前記光ピックアップのフォトディテクタが前記レーザ光を受光するようにし、前記フォトディテクタの受光面に照明光を当てて、前記フォトディテクタの受光面を観察することによって達成される。
【００１４】
本発明の上記目的は、前記フォトディテクタの受光面の観察は、前記フォトディテクタの受光面からの観察光を結像光学系により結像して、結像した前記フォトディテクタの受光面の像を受光して検出することによって、或いは前記照明光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記フォトディテクタの受光面を照明し、前記フォトディテクタの受光面からの観察光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記観察部に到達するようになっていることによって、或いは前記照明光が光ファイバにより誘導されて前記フォトディテクタの受光面を照明し、前記フォトディテクタの受光面からの観察光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記観察部に到達するようになっていることによって、或いは前記コリメートされたレーザ光は、レーザダイオードによって照射された前記光ピックアップのレーザダイオードから照射されるレーザ光と同一の波長のレーザ光を、前記光ピックアップのコリメータレンズと同一の口径のコリメータレンズに通すことによって生成されることによって、或いは前記コリメートされたレーザ光が、前記光ピックアップのレーザダイオードと同一の波長のレーザ光を照射するレーザダイオードと、前記光ピックアップのコリメータレンズと同一の口径のコリメータレンズを具備した光ピックアップによって生成されることによって、或いは前記照明光が微分干渉照明による照明光であり、前記観察が微分干渉観察であることによって、或いは前記照明光が暗視野照明による照明光であり、前記観察が暗視野観察であることによって、より効果的に達成される。
【００１５】
本発明は光学装置の検査装置に関し、本発明の目的は、レンズ及び光学部品を具備した光学装置の全体又は一部から成り、前記レンズ及び前記光学部品を具備した検査対象と、前記光学装置の運用時に前記レンズを透過する光と同じ広がり角で前記レンズに入射し、前記レンズの口径に一致する或いはそれ以上の口径を有した状態で前記レンズに入射する光を前記検査対象に照射する光照射部と、前記光学部品に照明光を当てるための照明部と、前記光学部品を観察する観察部とを具備したことによって達成される。
【００１６】
本発明は光学装置の検査装置に関し、本発明の目的は、レンズ及び光学部品を具備した光学装置の全体又は一部から成り、前記レンズ及び前記光学部品を具備した検査対象と、前記レンズを透過して前記光学部品で結像する光を照射する光照射部と、前記光学部品に照明光を当てるための照明部と、前記光学部品を観察する観察部とを具備したことによって達成される。
【００１７】
本発明の上記目的は、前記光学部品が、発光部品、受光部品、スクリーン又はピンホールであることによって、或いは前記観察部が、前記光学部品からの観察光を結像するための結像光学系と、結像した前記光学部品の像を受光する光検出部とを具備していることによって、より効果的に達成される。
【００１８】
本発明は光学装置の検査装置に関し、本発明の上記目的は、対物レンズ装着前の光学装置である光ピックアップと、前記光ピックアップのコリメータレンズに、前記光ピックアップのレーザダイオードから照射されるレーザ光と同一の波長のコリメートされたレーザ光を照射して、前記光ピックアップのフォトディテクタに前記レーザ光を受光されるようにするコリメートレーザ光照射部と、前記フォトディテクタの受光面に照明光を当てるための照明部と、前記フォトディテクタの受光面を観察する観察部とを具備したことによって達成される。
【００１９】
本発明の上記目的は、前記観察部が、前記フォトディテクタの受光面からの観察光を結像するための結像光学系と、結像した前記フォトディテクタの受光面の像を受光する光検出部とを具備していることによって、或いは前記照明部の照明光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記フォトディテクタの受光面を照明し、前記フォトディテクタの受光面からの観察光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記観察部に到達するようになっていることによって、或いは前記照明部の照明光が光ファイバにより誘導されて前記フォトディテクタの受光面を照明し、前記フォトディテクタの受光面からの観察光が前記レーザ光と同一の光軸を通って前記観察部に到達するようになっていることによって、或いは前記コリメートレーザ光照射部が、前記レーザ光を照射するレーザダイオードと、前記レーザ光をコリメートする前記光ピックアップのコリメータレンズと同一の口径のコリメータレンズとを具備することによって、或いは前記コリメートレーザ光照射部が、前記光ピックアップのレーザダイオードと同一の波長のレーザ光を照射するレーザダイオードと、前記光ピックアップのコリメータレンズと同一の口径を有するコリメータレンズとを具備した、対物レンズ装着前の光ピックアップであることによって、或いは前記照明部が微分干渉照明を行うことによって、前記観察部が微分干渉観察を行うようになっていることによって、或いは前記照明部が暗視野照明を行うことによって、前記観察部が暗視野観察を行うようになっていることによって、より効果的に達成される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、光ピックアップ、共焦点顕微鏡、レーザポインタ等のレンズと発光部品又は受光部品の光学部品とを具備した光学装置において、光学部品に光を照射し、照明光を当てて観察することによって、光学部品とレンズとの位置関係の調整及び光学部品の状態を観察することができる。
【００２１】
光学装置が光ピックアップである場合には、フォトディテクタの取り付け位置の不良、焦点を生成する光学部品の不良、フォトディテクタ受光面上の埃や傷、電気系統の不良等、光ピックアップの異常の原因を特定することができる。
【００２２】
また、光学部品の照明を微分干渉照明にすることによって、光学部品の微小な段差を明るく観察することができる。光学部品の照明を暗視野照明にすることによって、通常の照明観察より高い分解能が得られるようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明に係る光学装置の検査方法及び光学装置の検査装置によれば、光学装置は光ピックアップ、共焦点顕微鏡、レーザポインタ等で、レンズと発光部品又は受光部品の光学部品とを具備しており、光学装置のレンズと光学部品とを具備した検査対象に、光を照射し、レンズを透過して光学部品に結像させるようにすると共に、光学部品に照明光を当てて、光学部品を観察する。このようにすることによって、レンズと光学部品との位置関係の調整及び光学部品の状態を観察することができる。
【００２４】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２５】
本発明における光学装置は、光ピックアップ、共焦点顕微鏡、レーザポインタ等の、レンズと光センサや半導体レーザ等の光学部品とを具備している光学装置である。
【００２６】
図１は、本発明に係る光学装置の検査装置の構成例を示す図である。
【００２７】
図１に示されるように、本発明に係る光学装置の検査装置は、検査対象となる光学装置の全体又は一部から成る、レンズ１０１と光学部品１０２とを具備した検査対象１００と、検査対象１００に光を照射する光照射部１１０と、光学部品１０２に照明光１２１を当てる照明部１２０と、光学部品を観察する観察部１３０とを具備している。
【００２８】
検査対象１００は、光学装置の全体又は一部から成り、光学装置が光ピックアップである場合は対物レンズ装着前の光ピックアップ、光学装置が共焦点顕微鏡の場合は共焦点顕微鏡の受光部に対応する。光学部品１０２は発光部品又は受光部品であり、フォトダイオード、ＣＣＤ等の光センサ全般、半導体レーザ、固体レーザ、発光ダイオード、スクリーン又はピンホール等が対象となる。ここでスクリーンは像を投影する板状又は膜状の部品である。また、ピンホールは小さな径の穴が開いた光学部品で、穴を通り抜けた光のみを観察するようになっており、共焦点顕微鏡等に用いられる。
【００２９】
光照射部１１０は、光１１１Ａを検査対象１００のレンズ１０１に照射する。レンズ１０１を透過した光１１１Ｂは、光学部品１０２で結像する。光１１１Ａは、検査対象の光学装置の運用時にレンズ１０１を透過する光Ｌと同じ広がり角でレンズ１０１に入射するようにする。即ち、光Ｌが光１１１Ａと同じ方向を向いている場合、光１１１Ａは光Ｌがレンズ１０１に入射するときの広がり角と同じ広がり角でレンズ１０１に入射し、光Ｌが光１１１Ａと逆方向を向いている場合、光１１１Ａは光Ｌがレンズ１０１を出射するときの広がり角と同じ広がり角でレンズ１０１に入射する。また、光１１１Ａは、レンズ１０１の口径と一致する或いはそれ以上の口径を有した状態で、レンズ１０１に入射するようにする。
【００３０】
従って、光学装置の運用時にレンズ１０１を透過する光Ｌの広がり角に応じて、光照射部が照射する光１１１Ａを、レンズ１０１に向って広がる発散光、コリメートされた光（平行光）、レンズ１０１に向って集光する光にする必要がある。コリメートされた光を照射する光学装置としては、例えば無限光学系を採用した光ピックアップがある。発散光を照射する光学装置としては、例えば有限光学系を採用した光ピックアップ、マイクロレンズ内蔵型半導体レーザがある。カメラモジュールに関しては、設計によって発散光を照射するもの、集光する光を照射するものとがある。
【００３１】
照明部１２０は、光学部品１０２を落射照明する。図１に示される実施形態では、照明部１２０から発せられる照明光１２１は、ハーフミラー１１２で反射され、光１１１Ａと同一の光軸を通り、レンズ１０１を透過して、光学部品１０２を照明するようになっている。
【００３２】
観察部１３０は、光学部品１０２からの観察光１３３を光検出部１３２に結像するための結像光学系１３１と、結像した像を検出する光検出部１３２とを具備している。図１に示される実施形態では、観察光１３３はレンズ１０１を透過し、ハーフミラー１１３で反射され、観察部１３０に受光されるようになっている。
【００３３】
光検出部１３２で検出された像を観察することによって、光学部品１０２とレンズ１０１との位置関係の調整、及び光学部品１０２の状態を観察することができる。
【００３４】
なお、光照射部１１０が照射する光１１１Ａの波長は、検査対象となる光学装置が光ピックアップの場合は高い精度が要求されるため、光ピックアップのレーザダイオードが照射するレーザ光と同一の波長である必要がある。一方、検査対象となる光学装置がレーザポインタの場合にはあまり高い精度が要求されないため、光照射部１１０が照射する光１１１Ａの波長は、レーザポインタの照射するレーザ光の波長と同程度で良い。
【００３５】
図２は、光学装置が光ピックアップである場合の本発明の実施形態を示す図である。
【００３６】
図２に示される実施形態では、光学装置の検査装置は、対物レンズ装着前の光ピックアップ１と、光ピックアップ１のレーザダイオード２によって照射されるレーザ光と同一の波長のコリメートされたレーザ光２３Ｂを光ピックアップ１に照射するコリメートレーザ光照射部２０と、光ピックアップ１のフォトディテクタ６の受光面に照明光３１を当てる照明部３０と、フォトディテクタ６の受光面からの観察光４３を受光する観察部４０とを具備している。照明部３０からの照明光３１は、ハーフミラー２４によって反射され、レーザ光２３Ｂと同一の光軸を通り、フォトディテクタ６の受光面を照明するようになっている。また、フォトディテクタ６の受光面からの観察光４３は、レーザ光２３Ｂと同一の光軸を通り、ハーフミラー２５で反射され、観察部４０に受光されるようになっている。なお、ハーフミラー２４及びハーフミラー２５は、ビームスプリッタでも良い。
【００３７】
対物レンズ装着前の光ピックアップ１は、レーザ光を照射するレーザダイオード２と、レーザ光を反射又は透過するビームスプリッタ３と、レーザ光をコリメートするコリメータレンズ４と、レーザ光を受光するためのフォトディテクタ６とを具備している。
【００３８】
コリメートレーザ光照射部２０は、光ピックアップ１のレーザダイオード２が照射するレーザ光と同一の波長のレーザ光を照射するレーザダイオード２１と、レーザダイオード２１から照射されたレーザ光をコリメートされたレーザ光にするコリメータレンズ２２とを具備している。コリメータレンズ２２の口径は、光ピックアップ１のコリメータレンズ４の口径と同一にする。
【００３９】
照明部３０は、光ピックアップ１のフォトディテクタ６を落射照明する。照明部３０は、例えば図３に示されるような構成を有する落射照明光学系を備えている。図３の落射照明光学系は、照明光３１を発する光源３２と、コレクタレンズ３３と、開口絞り３４と、視野絞り３５と、視野レンズ３６とから成る。光源３２から発せられた照明光３１は、開口絞り３４の位置に光源像を結び、これを２次光源として、視野絞り３５及び視野レンズ３６を経て、外部に発せられる。
【００４０】
観察部４０は、フォトディテクタ６からの観察光４３を光検出部４２に結像するための結像光学系４１と、ＣＣＤ等から成る光検出部４２とを具備している。
【００４１】
このような光ピックアップ検査装置において、対物レンズ装着前の光ピックアップ１の検査をする際に、先ずコリメートレーザ光照射部２０のレーザダイオード２１からレーザ光２３Ａを照射する。レーザ光２３Ａはコリメータレンズ２２によってコリメートされたレーザ光２３Ｂとなり、ハーフミラー２４及びハーフミラー２５を透過して、光ピックアップ１のコリメータレンズ４を通ってレーザ光２３Ｃとなる。レーザ光２３Ｃは、ビームスプリッタ３を透過してフォトディテクタ６の受光面に結像される。
【００４２】
照明部３０は照明光３１を発し、照明光３１はハーフミラー２４で反射され、レーザ光２３Ｂと同一の光軸を通り、ハーフミラー２５、コリメータレンズ４及びビームスプリッタ３を透過し、フォトディテクタ６の受光面を照明する。照明されたフォトディテクタ６の受光面からの観察光４３は、ビームスプリッタ３及びコリメータレンズ４を透過し、レーザ光２３Ｂと同一の光軸を通り、ハーフミラー２５で反射される。反射された観察光４３は、結像光学系４１を通り光検出部４２に結像される。
【００４３】
観察部４０の光検出部４２で検出される、フォトディテクタ６の受光面の像を図４に示す。図４（Ａ）は照明部３０からの照明光３１をフォトディテクタ６の受光面に当てなかった場合の、フォトディテクタ６の受光面の像を示しており、図４（Ｂ）は照明部３０からの照明光３１をフォトディテクタ６の受光面に当てた場合の、フォトディテクタ６の受光面の像を示している。照明光３１を当てなかった場合の像である図４（Ａ）には、真っ暗な背景の中にレーザ光２３Ｃのスポット像４４Ａのみが観察される。一方、照明光３１を当てた場合の像である図４（Ｂ）には、レーザ光２３Ｃのスポット像４４Ｂと、フォトディテクタ６の受光面の形状４５が観察され、フォトディテクタ６の受光面に埃がある場合は、図４（Ｂ）に示されるように埃４６が観察される。なお、図４（Ｂ）はフォトディテクタの受光面が４分割になっている場合を示している。
【００４４】
図４（Ｂ）に示されるように、フォトディテクタ６の受光面に照明光３１を当てて受光面の像を観察することによって、スポット像４４Ｂと受光面との位置関係を確認することができ、フォトディテクタ６の取り付け位置に不良があるかどうかを確認することができる。この像から、スポット像４４Ｂの位置がフォトディテクタ６の受光面の中心になるように調整することができる。また、スポット像４４Ｂの歪みの有無から、光ピックアップ１のレーザ光２３Ｃの焦点を生成する光学部品に不良があるかどうかを確認することができる。更に、フォトディテクタ６の受光面の像を観察することによって、フォトディテクタ６の受光面に埃や傷が有るかどうかを確認することがきる。フォトディテクタ６の受光面の像及び光ピックアップ１に問題が無いにも拘らず、出力信号に不具合が有る場合には、電気系統に不良が有ると判断することができる。
【００４５】
なお、照明部３０の照明は、微分干渉プリズムを用いることによって微分干渉照明にして、観察部４０で微分干渉観察をするようにしても良い。微分干渉照明では、照明光を微分干渉プリズムによって２つの偏光成分に分離して、フォトディテクタ６の受光面の微小な段差を明るく観察することができる。また、鋭敏色板を利用することにより、微小な段差をさらに感度を上げて観察することができる。その他、照明部３０の照明を暗視野照明にして、観察部４０で暗視野観察を行うようにしても良い。暗視野観察は、照明光が直接観察光学系に入らないようにする公知の観察方法であり、通常の照明観察より高い分解能が得られる。
【００４６】
図１に示される光学装置の検査装置において、微分干渉照明による微分干渉観察、或いは暗視野照明による暗視野観察を行うようにしても良い。
【００４７】
図５は、光学装置が光ピックアップである場合の光学装置の検査装置において、照明部３０の照明光３１を光ファイバ３２で誘導するようにした場合の実施形態を示す図である。図２に示される実施形態と同様に、光ピックアップ１のレーザダイオード２によって照射されるレーザ光と同一の波長のコリメートされたレーザ光２３Ｂが、コリメートレーザ光照射部２０から対物レンズ装着前の光ピックアップ１のコリメータレンズ４に照射され、コリメータレンズ４を通ったレーザ光２３Ｃは、フォトディテクタ６の受光面に結像する。照明部３０から発せられた照明光３１は、光ファイバ３２によって誘導される。光ファイバ３２から発せられた照明光３１は、レーザ光２３Ｂの光軸の外側から発せられるが、一定の広がりをもっているためフォトディテクタ６の受光面を照明することができる。そして、フォトディテクタ６の受光面からの観察光４３が、レーザ光２３Ｂと同一の光軸を通ってハーフミラー２５で反射され、観察部４０の結像光学系４１を経て光検出部４２に受光される。受光面の像を観察することによって、図２に示される実施形態と同様に、光ピックアップ１の異常の有無を確認でき、異常が有る場合は異常の原因を特定することができる。
【００４８】
図２に示される光学装置の検査装置において、図６に示されるように、コリメータレーザ光照射部２０から照射されるレーザ光２３Ｂをハーフミラー２６で反射して、反射されたレーザ光２３Ｂが光ピックアップ１のコリメータレンズ４に入射して、コリメータレンズ４から出射したレーザ光２３Ｃがフォトディテクタ６の受光面に結像するようにしても良い。
【００４９】
また、図２、図５及び図６に示される光学装置の検査装置において、コリメートレーザ光照射部２０に、検査対象となる光ピックアップ１のレーザダイオード２と同一の波長のレーザ光を照射するレーザダイオードと、光ピックアップ１のコリメータレンズ４と同一の口径のコリメータレンズを具備した、対物レンズ装着前の光ピックアップを用いても良い。このようにすることによって、コリメートレーザ光照射部２０のために特別にレーザダイオードとコリメータレンズを用意しなくても、検査対象となる対物レンズ装着前の光ピックアップを２つ用意することによって、光ピックアップの検査を行うことができる。そのため、検査対象となる光ピックアップ１に応じて、コリメートレーザ光照射部２０のレーザダイオードとコリメータレンズを変更する必要はなくなる。
【００５０】
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係る光学装置の検査装置の構成例を示す図である。
【図２】光学装置が光ピックアップである場合の本発明の実施形態を示す図である。
【図３】照明部の落射照明光学系の構成例を示す図である。
【図４】観察部で検出される光ピックアップのフォトディテクタの受光面の像を示す図である。
【図５】光学装置が光ピックアップである場合の光学装置の検査装置において、照明部の照明光を光ファイバで誘導するようにした場合の本発明の実施形態を示す図である。
【図６】本発明の別の実施形態の例を示す図である。
【図７】光ピックアップの一般的な構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００５２】
１                              光ピックアップ
２、２１                        レーザダイオード
３                              ビームスプリッタ
４、２２                        コリメータレンズ
６                              フォトディテクタ
２０                            コリメートレーザ光照射部
２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ          レーザ光
２４、２５、２６、１１２、１１３    ハーフミラー
３０、１２０                    照明部
３１、１２１                    照明光
３２                            光ファイバ
４０、１３０                    観察部
４１、１３１                    結像光学系
４２、１３２                    光検出部
４３、１３３                    観察光
４４Ａ、４４Ｂ                  スポット像
４５                            フォトディテクタの受光面の形状
４６                            埃
１００                          検査対象
１０１                          レンズ
１０２                          光学部品
１１０                          光照射部
１１１Ａ、１１１Ｂ              光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図４】
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