(57)【要約】【課題】特定形状を有する集積受動デバイスと、基板上への、その機械的、電気的接続を実現するための構築と搭載に関する方法を提供する。【解決手段】或る部品と部品組立物が表面搭載可能デバイスの実装に関係する。特別の形状をした集積受動デバイスは、基板上の電気的経路への簡単な搭載と同時接続を実現する。特定形状を有するフィルタ・デバイスは、搭載用および接地／電源接続用機能を備えたメッキした側面を有する。薄膜フィルタはシリコン・ウェーハ上に構築され、溝を造るために上面から切断される。溝は、Ｖ字形状またはその他の形状を持ち、導電性材料でメッキされる。ウェーハの裏面を溝が遮断されるまで研磨することによって、個別素片が分離される。メッキされた溝は、フィルタ回路にとって接地あるいは電源接続点として働く。メッキされた溝の斜面は、半田付けまたは導電性エポキシを用いて、個別素片を搭載用の表面に固定するために用いられる。【選択図】図１
2009105873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に少なくとも１つの導電性配線部を有する印刷回路基板と、
対向する上面と底面、第１と第２の側面、および第１と第２の終端面によって特徴付けられる電子デバイスであって、回路と、前記電子デバイスの前記上面上に形成された前記回路に対するそれぞれ第１と第２の接続点の少なくとも１つとを備えた電子デバイスと、
前記電子デバイスの前記底面から、前記電子デバイスの前記第１の側面に沿って、前記電子デバイスの前記上面上まで伸びているメッキ材料の第１の部分であって、前記電子デバイスの前記上面上の前記少なくとも１つの第１の接続点に電気的接続を形成することを特徴とするメッキ材料の第１の部分と、
前記電子デバイスの前記底面から、前記電子デバイスの前記第２の側面に沿って、前記電子デバイスの前記上面上まで伸びているメッキ材料の第２の部分であって、前記電子デバイスの前記上面上の前記少なくとも１つの第２の接続点に電気的接続を形成することを特徴とするメッキ材料の第２の部分と、
前記印刷回路基板へ前記電子デバイスを搭載するため、および、前記メッキ材料の第１および第２の部分を前記印刷回路基板上に位置する少なくとも１つの導電性配線部に電気的に接続するために、前記印刷回路基板と前記電子デバイスとの間に位置した導電性エポキシの少なくとも１つの部分と
を備えることを特徴とする集積電子部品。
【請求項２】
前記回路は、少なくとも１つのインダクタと少なくとも１つのキャパシタを含む集積化薄膜フィルタを備えることを特徴とする請求項１に記載の集積電子部品。
【請求項３】
前記回路は、キャパシタ、インダクタ、抵抗器、フィルタ、増幅器、および発振器のうちの少なくとも１つを備えることを特徴とする請求項１に記載の集積電子部品。
【請求項４】
前記電子デバイスの前記第１と第２の側面のそれぞれは、前記電子デバイスの前記上面から前記電子デバイスの前記底面へ向けて外側に傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の集積電子部品。
【請求項５】
前記メッキ材料の第１の部分は、前記電子デバイスの前記第１の側面をほぼ覆い、
前記メッキ材料の第２の部分は、前記電子デバイスの前記第２の側面をほぼ覆うことを特徴とする請求項１に記載の集積電子部品。
【請求項６】
前記印刷回路基板上の少なくとも１つの導電性配線部のうちの選択されたものは、前記回路の前記少なくとも１つの第１と第２の接続点のうちの選択されたものへ接地接続を提供することを特徴とする請求項１に記載の集積電子部品。
【請求項７】
前記印刷回路基板上の少なくとも１つの導電性配線部のうちの選択されたものは、前記回路の前記少なくとも１つの第１と第２の接続点のうちの選択されたものへ電源接続を提供することを特徴とする請求項１に記載の集積電子部品。
【請求項８】
前記回路は、それぞれの入力端子および出力端子を更に備え、
前記印刷回路基板は、前記回路の前記それぞれの入力端子および出力端子が電気的に接続されるそれぞれの端子パッドを含むことを特徴とする請求項１に記載の集積電子部品。
【請求項９】
前記回路の前記入力端子を前記印刷回路基板上の前記端子パッドの１つに電気的に結合させるための第１のワイヤ・ボンド接続と、
前記回路の前記出力端子を前記印刷回路基板上の前記端子パッドの１つに電気的に結合させるための第２のワイヤ・ボンド接続と
を更に備えることを特徴とする請求項８に記載の集積電子部品。
【請求項１０】
表面実装電子部品であって、
対向する上面と底面、第１と第２の側面、および第１と第２の終端面によって特徴付けられる基板と、
前記基板の前記上面上に形成され、第１と第２の対向する接続点の少なくとも１つの対を含む回路と、
前記基板の前記上面に沿って前記少なくとも１つの第１の接続点上に形成され、また、前記基板の前記上面から、前記基板の前記第１の側面に沿って、前記基板の前記底面へ伸びているメッキ材料の第１の部分と、
前記基板の前記上面に沿って前記少なくとも１つの第２の接続点上に形成され、また、前記基板の前記上面から、前記基板の前記第２の側面に沿って、前記基板の前記底面へ伸びているメッキ材料の第２の部分と、
を備え、前記電子部品が回路環境内に搭載される場合に、前記メッキ材料の第１と第２の部分が、それぞれ、前記電子部品に対する機械的および電気的接続を実現するように構成されていることを特徴とする表面実装電子部品。
【請求項１１】
前記回路は、少なくとも１つのインダクタと少なくとも１つのキャパシタを含む集積化薄膜フィルタを備えることを特徴とする請求項１０に記載の表面実装電子部品。
【請求項１２】
前記回路は、キャパシタ、インダクタ、抵抗器、フィルタ、増幅器、および発振器のうちの少なくとも１つを備えることを特徴とする請求項１０に記載の表面実装電子部品。
【請求項１３】
前記基板の前記第１と第２の側面のそれぞれは、前記基板の前記上面から、前記基板の前記底面へ向かって外側に傾斜していることを特徴とする請求項１０に記載の表面実装電子部品。
【請求項１４】
前記メッキ材料の第１の部分は、前記基板の前記第１の側面をほぼ覆い、
前記メッキ材料の第２の部分は、前記基板の前記第２の側面をほぼ覆うことを特徴とする請求項１０に記載の表面実装電子部品。
【請求項１５】
前記基板の前記第１と第２の側面は、前記基板の前記第１と第２の終端面よりも長いことを特徴とする請求項１０に記載の表面実装電子部品。
【請求項１６】
前記第１と第２の対向する接続点のうちの選定物は、前記回路に電気的な接地接続を実現するために構成されていることを特徴とする請求項１０に記載の表面実装電子部品。
【請求項１７】
前記第１と第２の対向する接続点のうちの選定物は、前記回路に電気的な電源接続を実現するために構成されていることを特徴とする請求項１０に記載の表面実装電子部品。
【請求項１８】
電子部品を作る方法であって、
それぞれ上面と底面で特徴付けられる基板を提供するステップと、
前記基板の前記上面上に、それぞれの回路が少なくとも１つの接続点を備えたことを特徴とする複数のそれぞれの回路を形成するステップと、
前記基板の前記上面内の複数のそれぞれの回路のうちの選定物の間に少なくとも１つの溝を形成するステップであって、前記少なくとも１つの溝が、前記基板の前記底面の方向へ前記基板を途中まで通過するようにして形成されることを特徴とする溝を形成するステップと、
前記基板の前記上面に沿ってそれぞれの領域を金属被覆するステップであって、各金属被覆された領域は、或る溝を亘って前記溝に隣接する、前記基板の前記上面の１つ以上の部分へ伸びて、更にそれぞれの回路に関係する少なくとも１つの接続点と接触するように伸びていることを特徴とする金属被覆するステップと、
前記複数のそれぞれの回路を分離するステップと、
を備えたことを特徴とする方法。
【請求項１９】
前記複数のそれぞれの回路を分離する前記ステップは、１つ以上は前記基板を完全に通過して切断するステップを含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記基板の前記底面を研磨するステップを更に備えることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
前記複数のそれぞれの回路を分離する前記ステップは、前記研磨するステップを含み、
前記研磨するステップは、前記少なくとも１つの溝の底部に達するまで続けられることを特徴とする請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記研磨するステップは、
前記基板の前記上面を下にして接着剤で被覆された材料の上に置くステップと、
前記基板の露出した底面を研磨するステップと
を含むことを特徴とする請求項２０に記載の方法。
【請求項２３】
前記少なくとも１つの溝を形成する前記ステップは、ダイシング・ソーで溝をカットするステップを含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２４】
前記少なくとも１つの溝を形成する前記ステップは、Ｖ字型の溝、長方形の溝、多重階段型の溝、半円形の溝のうちの１つをカットするステップを含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２５】
前記それぞれの領域に金属膜を被覆する前記ステップは、導電性金属をメッキするステップを含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２６】
前記それぞれの回路の１つ以上は、少なくとも１つのインダクタと少なくとも１つのキャパシタを含む薄膜フィルタを備えることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２７】
前記基板の上に形成された、選択された回路は、キャパシタ、インダクタ、抵抗器、フィルタ、増幅器、および発振器のうちの１つ以上を備えることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２８】
前記複数のそれぞれの回路は、前記基板の前記上面上に複数の回路の複数の行がアレイ状に形成され、
前記溝は、前記基板の前記上面上に、複数の回路の複数の行のそれぞれの間に形成されることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２９】
前記それぞれの回路は、対向する接続点の少なくとも１つの対を備え、
前記各接続点は、前記基板の前記上面に沿って所与の回路から隣接する溝のほうへ伸び、
前記対向する接続点の少なくとも１つの対のそれぞれの対向する接続点は、前記基板の前記上面に沿って形成された金属膜被覆のそれぞれの領域の別々の１つと接していることを特徴とする請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記それぞれの回路は、対向する長辺と対向する短辺によって特徴付けられ、前記複数の回路の複数の行のそれぞれは、或る行の回路のそれぞれの前記長辺がほぼ直線的に配列するように形成され、各溝は、前記回路の前記長辺に沿って形成されることを特徴とする請求項２８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示技術は、特定形状を有する集積受動デバイス（shaped integrated passive device）と、それに対応する方法に関し、より具体的には、特定形状を有する受動デバイスを基板上に、機械的および電気的接続の両方を実現するように構築して搭載することに関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷回路基板および他の基板上への電子部品の高密度搭載（mounting）は、電子産業においては一般的である。複数の層を有する小型セラミック表面搭載型キャパシタは、携帯電話器、ネットワーク・ルータ、コンピュータなどの電子デバイスにおいて用いられている。これらデバイスのサイズを大幅に減少して、尚、所望の電気的動作特性を可能にするためには、これらデバイスの製造技術は正確でなければならない。
【０００３】
最近では、回路基板上に搭載可能な形の更なるタイプの部品や色々な準回路（sub-circuit）を提供することが望まれるようになってきた。いくつかの米国特許は電子部品の製造および搭載技術の色々な側面を志向している。例えば、特許文献１（Vindasius等、発明の名称：「Conductive Epoxy Flip-Chip on Chip」）は、複数の積層されたチップのそれぞれが、傾斜した絶縁性の縁を備え、そこで多くのチップが導電性エポキシを経由して相互接続される、チップ‐オン‐チップ搭載装置を示している。特許文献２（Ervasti、発明の名称：「Filter」）は、後側に接地ポテンシャル領域を含む接続基板上に製作される多段フィルタを示している。
【０００４】
別の公開資料には、非特許文献１（Semiconductor Manufacturing Magazine、2004年11月号に掲載された「Silicon Micro-Machining as an Enabling Technology for Advanced Device Packaging」）がある。また、別の特許文献としては、特許文献３（Fjelstad等、発明の名称：「Microelectronic Assemblies Having Compliant Layers」）、特許文献４（Marcoux等、発明の名称：「Integrated Passive Components and Package With Posts」）、特許文献５（DiStefano等、発明の名称：「Semiconductor Chip Connection Components With Adhesives and Methods of Making Same」）、特許文献６（Tostado等、発明の名称：「Semiconductor Package Having a Ground or Power Ring and a Metal Substrate」）、特許文献７（Tai等、発明の名称：「Integrated Circuit Chip-and-Substrate Assembly」）、および特許文献８（Sokola等、発明の名称：「Ceramic Bandpass Filter」）がある。
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６，２７１，５９８号明細書
【特許文献２】米国特許第６，５９４，１３５号明細書
【特許文献３】米国特許第７，１１２，８７９号明細書
【特許文献４】米国特許第６，９５４，１３０号明細書
【特許文献５】米国特許第６，２０２，２９９号明細書
【特許文献６】米国特許第５，８７７，５５１号明細書
【特許文献７】米国特許第４，６７０，７７０号明細書
【特許文献８】米国特許第４，４３１，９７７号明細書
【非特許文献１】“Silicon Micro-Machining as an Enabling Technology for Advanced Device Packaging”, Semiconductor Manufacturing Magazine, Nov.2004
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
暫くの間、色々な電子部品の設計は小型化と新規または既存の応用への部品の取り込みの容易さという、産業界の一般的な傾向によって方向付けされてきた。そのような観点から、非常に優れた動作特性を持つより小さな電子部品に対するニーズが存在する。例えば、ある種の応用分野は、容量性、誘導性、および／または抵抗性の特性またはその組み合わせを含む色々な特性を示す受動デバイスを用いることを必要とするが、そのようなデバイスには、回路基板上で占有する（「不動産（real estate）」として知られる）空間の量に関して厳しい制限がある。そのようなデバイスまたはその組み合わせが、そのような回路基板に物理的および電気的に取り付ける容易さが最も大きく、かつ「不動産（real estate）」を占有する量が最も少ないように構成されることが重要である。
【０００７】
表面搭載受動デバイス（surface mount passive device）と組立物（assembly）の色々な実装法が開発されてきたが、本主題の技術によって以下に表現される所望の特性の全てを満たす設計は出現してこなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本主題は、集積受動デバイスの或る側面に関する上記の問題点や他の問題点のいくつかを認識して対処するものである。従って、広く言えば、本開示技術の或る実施形態の目的は、表面搭載可能デバイスの実装に関して、或る部品および部品組立物に対する改良された設計を提供することである。
【０００９】
本主題の或る典型的な実施形態の側面は、印刷回路基板または他の搭載用の基板上の選択された電気的経路に簡単に搭載し、同時に接続することを可能とする、特別の形状を有する集積受動デバイスを提供することに関するものである。他の側面において、本主題は、より一般的には、メッキされた側面が搭載機能と接地／電源接続機能を提供することを特徴とする、特定形状を有し、メッキされた側面を有するフィルタ・デバイスに関するものである。
【００１０】
本主題の他の典型的な実施形態の側面は、表面搭載デバイスから、該デバイスが搭載される印刷回路基板上の回路または配線への或る信号経路の電気的接続を改良することである。
【００１１】
本主題の他の実施形態の更なる側面は、表面搭載型のデバイスを用いることに関する製造方法の発展を提供するものである。
【００１２】
また更に、本技術はここに開示され、および／または論じられるデバイスと構造に適用できるばかりでなく、対応する方法にも等しく適用できるものであると理解すべきである。
【００１３】
他の典型的な側面では、本主題は、より具体的には、シリコン・ウェーハ上に構築された薄膜フィルタに関係する。ここに構築される典型的なデバイスでは、フィルタの構築後に、該シリコン・ウェーハは、角度付ダイシング・ソーで上面からカットされて上面内にＶ字型溝を形成することが好適である。次に、Ｖ字型溝は、導電性材料でメッキすることが好適であり、該溝が中断されるまでウェーハの裏面を研磨することによって個別の素片（piece）に分離される。有利なことには、メッキされた溝はフィルタ回路に対する接地または電源接続点として役に立つだけでなく、メッキされた溝の金属被覆された傾斜を用いて素片を支持基板に（半田または導電性エポキシを用いて）固定するように、個別の素片を搭載用表面に固定するので、搭載の機能を提供するものでもある。
【００１４】
更に、本記述は、薄膜フィルタとして具現化される表面搭載可能な、特定形状を有する受動デバイスの製作と、改良された表面搭載の方法を可能にする特定の構成に主に関係するものであるが、そのような受動部品の記述は、本技術を制限するものではないということを厳密に理解すべきである。例えば、本技術は個別の抵抗器、キャパシタ、またはインダクタ素子または、色々な組み合わせで構成されるそのような素子を複数含む回路に適用できる。それ故に、本主題は、抵抗性および／または容量性梯子構成、抵抗性および／または容量性行列構成、および色々な他の受動素子の組み合わせを含むがこれに限定されることはない組み合わせを期待するものである。
【００１５】
更に、本主題の或る側面は、個別の能動部品またはその受動部品との組み合わせに適用できるということを理解すべきである。例えば、増幅器、発振器、および他の機能ブロック組立物を含むがこれに限定することはない能動素子の組み合わせは、本技術から利益を受けることが出来るであろう。
【００１６】
１つの典型的な実施形態は、集積電子部品に関するものであり、その上に少なくとも１つの導電性配線部を有する印刷回路基板と；対向する上面と底面、第１と第２の側面および第１と第２の終端面で特徴付けられる電子デバイスであって、該電子デバイスは、回路と、該電子デバイスの該上面上に形成される該回路に対する少なくとも１つのそれぞれの第１と第２の接続点を備えている電子デバイスと；該電子デバイスの該底面から、該電子デバイスの該第１の側面に沿って、該電子デバイスの該上面上へ伸びているメッキ材料の第１の部分であって、該メッキ材料の第１の部分は、該電子デバイスの該上面上の少なくとも１つの第１の接続点に電気的接続を形成することを特徴とするメッキ材料の第１の部分と；該電子デバイスの該底面から、該電子デバイスの該第２の側面に沿って、該電子デバイスの該上面上へ伸びているメッキ材料の第２の部分であって、該メッキ材料の第２の部分は、該電子デバイスの該上面上の少なくとも１つの第２の接続点に電気的接続を形成することを特徴とするメッキ材料の第２の部分と；印刷回路基板へ該電子デバイスを搭載するため、および、該メッキ材料の第１および第２の部分を該印刷回路基板上に位置する少なくとも１つの導電性配線部に電気的に接続するために、該印刷回路基板と該電子デバイスとの間に位置する導電性エポキシの少なくとも１つの部分とを備えている。
【００１７】
上記の典型的な実施形態の色々な代替例の中で、該回路は少なくとも１つのインダクタおよび少なくとも１つのキャパシタを含む集積化薄膜フィルタを備えてもよく、または、キャパシタ、インダクタ、抵抗器、フィルタ、増幅器、および発振器の少なくとも１つを備えてもよい。
【００１８】
他の典型的な代替構成では、該電子デバイスの該第１と第２の側面のそれぞれは、該電子デバイスの該上面から該電子デバイスの該底面に対して外側に傾斜していてもよい。
【００１９】
他の代替例では、該メッキ材料の第１の部分は、該電子デバイスの該第１の側面をほぼ被覆し、該メッキ材料の第２の部分は、該電子デバイスの該第２の側面をほぼ被覆してもよい。
【００２０】
他の典型的な代替構成では、該印刷回路基板上の少なくとも１つの導電性配線部のうちの選定物は、該回路に対する該少なくとも１つの第１と第２の接続点のうちの選定物へ接地接続（ground connection）を実現し、および／または、該印刷回路基板上の該少なくとも１つの導電性配線部のうちの選定物は、該回路に対する該少なくとも１つの第１と第２の接続点のうちの選定物へ電源接続を実現してもよい。
【００２１】
上記の典型的な集積電子部品のいくつかの代替例では、該回路は、それぞれの入出力端子をさらに備えてもよい。また該印刷回路基板は、該回路の該それぞれの入出力端子が電気的に接続されるそれぞれの端子パッドを含んでもよい。そのような代替例では、例えば、該回路の該入力端子を該印刷回路基板上の該端子パッドの１つに電気的に接続するための第１のワイヤ・ボンド接続と、該回路の該出力端子を該印刷回路基板上の該端子パッドの１つに電気的に接続するための第２のワイヤ・ボンド接続とを含む、更なる任意選択の特徴が実装されてもよい。
【００２２】
本主題の他の典型的な実施形態では、表面実装電子部品は、対向する上面と底面、第１と第２の側面、および第１と第２の終端面を特徴とする基板と、該基板の該上面上に形成され、第１と第２の対向する接続点の少なくとも１対を含んでいる回路と、該基板の該上面に沿って該少なくとも１つの第１の接続点上に形成され、また該基板の該上面から、該基板の該第１の側面に沿って、該基板の該底面まで伸びているメッキ材料の第１の部分と、該基板の該上面に沿って該少なくとも１つの第２の接続点上に形成され、また該基板の該上面から、該基板の該第２の側面に沿って、該基板の該底面まで伸びているメッキ材料の第２の部分とを備えてもよい。前記の典型的な実施形態では、該電子部品が回路環境内に搭載される場合に、該メッキ材料の第１と第２の部分は、該電子部品に対して機械的および電気的接続を実現するように、それぞれ構成されることが好適である。
【００２３】
本主題は、対応する方法にも適用可能であるということを理解すべきである。例えば、典型的な方法の１つは、電子部品を作る方法に関するものであり、それぞれの上面と底面によって特徴付けられる基板を備える工程と、各回路が少なくとも１つの接続点を備えることを特徴とする、該基板の該上面上に複数のそれぞれの回路を形成する工程と、該基板の該上面内で、該複数のそれぞれの回路のうちの選定物の間に少なくとも１つの溝を形成する工程であって、該少なくとも１つの溝は該基板を通って該基板の該底面へ向かう方向の途中まで形成されることを特徴とする形成工程と、該基板の該上面に沿ってそれぞれの領域を金属被覆する工程であって、各金属被覆された領域は所与の溝を跨いで、該所与の溝に隣接する該基板の該上面の１つ以上の部分上に伸びて、更にそれぞれの回路に関係する少なくとも１つの接続点と接触することを特徴とする金属被覆する工程と、複数のそれぞれの回路を分離する工程とを備えていることを特徴とする。
【００２４】
上記の典型的な方法の代替例では、複数のそれぞれの回路を分離する該工程は、該基板を完全に通過する１つ以上の切断線を形成する工程を含んでもよい。
【００２５】
他の代替例では、該方法は、該基板の該底面を研磨する工程を更に備えてもよい。該代替例では、該複数のそれぞれの回路を分離する該工程は、該少なくとも１つの溝の底部に届くまで続けられる該研磨工程を含んでもよい。
【００２６】
他の代替例では、該研磨工程は、該基板の該上面を下向きにして接着剤被覆材料の上に置く工程と、該基板の該露出した底面を研磨する工程を含んでもよい。
【００２７】
さらに、他の代替方法では、少なくとも１つの溝を形成する該工程は、ダイシング・ソーで溝を掘削する工程を備えてもよい。更には、少なくとも１つの溝を形成する該工程は、代替として、Ｖ字型形状をした溝、長方形溝、多重階段型溝、および半円形溝のうちの１つを掘削する工程を備えてもよい。
【００２８】
他の典型的な代替の方法では、それぞれの領域を金属被覆する該工程は、導電性金属をメッキする工程を含んでもよい。また、該それぞれの回路の１つ以上は、少なくとも１つのインダクタおよび少なくとも１つのキャパシタを含んでいる薄膜フィルタを備えてもよい。該基板上に形成された選択された回路は、キャパシタ、インダクタ、抵抗器、フィルタ、増幅器、および発振器のうちの１つ以上を含んでもよい。なお、更なる代替例では、複数のそれぞれの回路は、複数の回路の複数の行のアレイ状に、該基板の該上面上に形成されてもよい。溝（groove）は、該基板の該上面上であって、複数の回路の各行の間に形成されてもよい。
【００２９】
本主題の更なる目的と利点は、以下の詳細な説明で述べられ、当業者には明らかになるだろう。また、特に図示され、参照され、論じられた特徴物および／またはその工程に対する改良と変形が、開示された技術の色々な実施形態と利用の中で、その趣旨と技術範囲を逸脱することなしに、現在の記述内容に依って実行されるであろうということは、当業者には更に理解されるべきである。このような変形は、図示され、参照され、あるいは論じられたものと等価な手段、工程、特徴物、または材料の置き換えと、色々な部品、特徴、工程またはその他の機能、操作、または位置の逆転とを含むが、それに限定されることはない。
【００３０】
更に、本技術の様々な実施形態は、様々な好適な実施形態と同様に、（図には示されないか、または詳細な説明には述べられなかった特徴物、構成，またはその工程の組合せを含んで）ここで開示された工程、特徴物、または素子、またはそれらと等価なものの色々な組合せ、または構成を含んでもよいということを理解すべきである。
【００３１】
参照符号は、本明細書および添付の図面において繰り返し用いられるが、これは本主題の同じ、または類似の特徴物、素子、または工程を表すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
「課題を解決するための手段」の欄で論じたように、本主題は、具体的には集積受動デバイスと関連技術と製造方法の或る側面に関するものである。より具体的には、本主題は、受動および能動デバイスの両方およびその組合せに対する、搭載工程（mounting）および電気的接続技術における改良形を提供するために設計された、特定形状を有する集積受動デバイスの改良形と関連する構築方法とに関するものである。
【００３３】
開示される技術の側面の選択された組合せは、本主題の複数の異なる実施形態に対応するものである。注意すべきことは、ここに提供され、論じられる典型的な実施形態のそれぞれは、本主題を制限しようとするものではないということである。１つの実施形態の部分として示され、あるいは記述される特徴物または工程は、更なる実施形態を生むために、他の実施形態の側面と組み合わせて用いられてもよい。更には、或る特徴物は、同じまたは同様の機能を果たすが、明確には言及されていない同様のデバイスまたは特徴物と入れ替えてもよい。
【００３４】
さて、特定形状を有する集積受動薄膜フィルタ・デバイス１００の典型的な例を含む好適な実施形態を詳しく参照する。添付の図面を参照すると、図１は、本技術によって構築される、一般的には受動薄膜フィルタ・デバイス１００と呼ばれる典型的な例の右側面、上面、および後面の斜視図を示す。
【００３５】
典型的な受動薄膜フィルタ・デバイス１００は、図２に概略的に示されるような多極型フィルタ回路２００に対応するものでもよい。多極型フィルタ回路２００は、一般にシリコン・ウェーハ１１０、若しくは、高抵抗シリコン、ガラス、水晶、または任意の他の絶縁性材料を含むがこれに限定されることはない他の適当な基板材料上に、当業者にはよく知られている、シリコン上にデバイスを構築する技術を用いて構築される。そのような構築技術はよく知られており、本主題の特別な部分を形成するものではないので、ここでは更に記述することはしない。
【００３６】
図１と図２の比較から観測されるように、典型的な受動薄膜フィルタ・デバイス１００は、ここではっきり限定して同定される選択された個別の典型的なものだけでも、例えば、インダクタ１１２と１１４およびキャパシタ１１６と１１８を含む多数の部品を含む。典型的な特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイス１００に関連して、提供されるフィルタの正確な形は本技術を限定するものではなく、むしろ本技術を用いることによって提供できるデバイスの種類とその正確な形状の例に過ぎないものであるということは理解すべきである。
【００３７】
図１と図２を更に参照すると、多極型フィルタ回路２００に対して、典型的な入力端子１２０と典型的な出力端子１２２が備えられているということが注目される。更に、多数の接地接続または参照点１３０、１３２、１３４、および１３６が備えられている。多極型フィルタ回路２００を形成する部品と関連して、接地接続または参照点１３０、１３２、１３４、および１３６が存在することは、本技術によって構築される特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイス１００の特定の物理的な構成が、有利でありかつ以前には知られていない搭載技術と電気的接続機能の複合機能を提供するものであるという点で、本主題にとって重要である。
【００３８】
より具体的には、図１からわかるように、接地接続または参照点１３０、１３２、および１３４、１３６のそれぞれの対は、特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイス１００のそれぞれの部分１５０および１５２上に形成され、上面１４６およびそれぞれの傾斜した側面１４２、１４４上に形成されるメッキ材料によって直接一緒に電気的に接続される。接地接続または参照点１３０、１３２、１３４、および１３６のこのような電気的接続は、同様の種類のデバイスを含む以前の接続の方法よりも大きく進歩している。
【００３９】
本技術の開発の前は、多数の点１３０、１３２、１３４、および１３６を接続するために多重ワイヤ・ボンド接続法が必要とされたであろう。このような多重接続ワイヤ・ボンディング技術は、製造の労力と時間に多大の経費を必要とするが、結果として、ボンディング接触抵抗におけるばらつきや、ワイヤ・ボンドのリードの長さのばらつきが接地または他の接続に対するインダクタンスのばらつきとなり、これにより製造上の問題が起こる多数の点と搭載されたデバイスの電気的特性に影響を与える多数の機会を生じることになる。
【００４０】
本技術によって構築されたデバイスは、遥かに改良された機能と特性を提供することによって、このような潜在的な問題点を全て回避している。より明確には、特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイス１００の典型的な実施形態の側面部分１４２、１４４は、上面１４６から底面１４８へ向かって外側に傾斜しているということを注目すべきである。しかしながら、図５ｂを参照して以下に更に記述するように、側面部分１４２、１４４の代替形状が可能であるということを理解すべきである。このような傾斜した構成を実現するための典型的な方法は、図４−７に関連して以下により完全に論じられよう。
【００４１】
傾斜した側面部分１４２、１４４を備えることは、本主題の或る実施形態の有利な側面を表す。より具体的には、傾斜した側面部分１４２、１４４は、フィルタ２００の選択された部品に対して電気的接続点を提供するだけでなく、出来上がった特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイス１００に対する簡単な搭載機能をも提供するように導電性メッキされている。導電性メッキ材料は金メッキまたは他の適当な導電性材料に対応するものでもよく、どの材料を選択するかは更なる論議をしなくても当業者にはよく知られている。
【００４２】
図３に示されるように、本主題の典型的な完成した特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイス１００は、代表的な導電性エポキシ３１０によって典型的な印刷回路基板３００または他の適当な基板上へ搭載してもよい。導電性エポキシ３１０は、図３に示される参照領域３１２において受動薄膜フィルタ・デバイス１００の下に伸びていて、機械的および電気的接続が印刷回路基板３００の選択された部分との間で実装される。図３に示すように、受動薄膜フィルタ・デバイス１００は、また特には、傾斜した側面１４２、１４４上に形成された導電性メッキは、印刷回路基板３００上の、例えば、それぞれの導電性配線部３３０、３３２のそれぞれに機械的および電気的に接続されてもよい。
【００４３】
導電性エポキシ３１０がデバイス１００の下に拡がっている典型的な構成では、導電性配線部３３０、３３２は、一緒になって導電性エポキシ３１０の部分３１２によって電気的に接続されてもよい。代替例としては、導電性エポキシ３１０は、導電性配線部３３０、３３２間では電気的接続が完成しないように、メッキした傾斜した側面１４２、１４４の端部だけに置かれてもよい。現在記述している典型的な実施形態にあるように、導電性配線部３３０、３３２が、図示のように薄膜フィルタ・デバイス１００に対して接地または参照接続を提供するように設計されている場合には、配線部３３０、３３２の電気的接続は適当でよい。実際、配線部３３０、３３２は、実際には基板上にて接続されているか、または単一配線部に対応してもよい。
【００４４】
デバイス１００が、抵抗器および／またはキャパシタの組合せからなる行列または梯子型の構成(または、尚代替として、前記したような能動デバイス構成)を含む代替種類のデバイスに対応する場合の、また本主題による代替の実施形態では、配線部３３０、３３２は、動作電力をデバイス１００に提供している電源レールに対応してもよく、それ故に一緒に接続されるべきではない。そのような例では、当業者には容易に理解されるであろうように、導電性エポキシ３１０は、傾斜した側面１４２、１４４および底面１４８の接続部に隣接した領域にのみ塗布すればよい。
【００４５】
図３を更に参照すると、薄膜フィルタ・デバイス１００の入力端子１２０は、印刷回路基板３００上の端子パッド３２０にワイヤ・ボンド接続２２０のような方法で接続されるということがわかる。端子パッド３２０は、今度は、印刷回路基板３００上の（明瞭にするために、ここでは図示していないが）他の部品または回路へ接続される。同様に、薄膜フィルタ・デバイス１００の出力端子１２２は、出力端子パッド３２２へワイヤ・ボンド接続２２２のような方法で接続される。入力端子パッド３２０に関連したのと同様の様式で、出力端子パッド３２２は、印刷回路基板３００上の（ここでは図示していない）更なる部品または回路へも接続される。
【００４６】
図３を更に参照するとわかるように、薄膜フィルタ・デバイス１００の機械的および電気的接続は、本技術によって導電性エポキシ３１０および２本のワイヤ・ボンドを用いることによって簡単にかつ効率的に実現される。以前は、同様のフィルタまたは他のデバイスの搭載方法は、本主題による導電性エポキシとメッキされた傾斜による技術によって提供される接続の等価な代替法を実現するために、多くの更なるワイヤ・ボンドを必要としたであろう。
【００４７】
前に言及したように、本主題の１つの重要な側面は、本主題の実施によって得られる電気的特性の改良に関するものである。より明確には、以前は必要であった複数のワイヤ・ボンドを除去することにより、接続線のインダクタンスと抵抗の変動の低減または除去が、本主題の適用によって実現される。特に、以前には用いられたワイヤ・ボンドによって生じる不要なインダクタンスの除去は、換言すれば、フィルタの高周波特性における重要なる改良になる。
【００４８】
図４、図５ａ、図６、および図７を参照して、本技術による典型的な薄膜フィルタ・デバイス１００を構築するための典型的な方法を説明する。図４に見られるように、代表して４１０、４２０で示されている数個の薄膜フィルタは、シリコン・ウェーハ４００上に、当業者にはよく知られた技術を用いて構築される。実際は、ウェーハ４００上に同時に構築された多くの、図示された６個以上のデバイスがあるということは理解すべきである。
【００４９】
本主題の典型的な実施形態によって、多数の薄膜フィルタ４１０、４２０の形成に続いて、Ｖ字形状の溝５１０、５１２、５１４、および５１６（図５ａ参照）が、薄膜フィルタ４１０、４２０の長いほうの側面に沿って、例えば角度付きダイシング・ソーを用いるなどしてカットされ、または形成される。図５ａに示されるように、Ｖ字形状の溝５１０、５１２、５１４、および５１６は、シリコン基板４００を通して途中まで形成される。図６に示される金属被覆形成工程が次に用いられて、Ｖ字形状の溝およびシリコン基板４００の上面１４６の部分１５０、１５２を金属被覆する。金属被覆部分１５０、１５２は、シリコン基板４００の上面１４６を十分に広がって、図１と図２を参照して前に論じたように、接地接続または参照点１３０、１３２、１３４、および１３６と接触し、電気的に接続する。
【００５０】
図５ｂを参照すると、本主題の趣旨と技術範囲を逸脱することなしに、他の溝形状を用いてもよいということが理解される。これに照らして、本主題の第２の典型的な実施形態の一部分が図５ｂに示されているが、そこでは長方形の溝５１０'、５１２'が提供されている。更に理解すべきことは、適当な溝は、多くの形状で実現されてもよいので、溝の正確な形状は、本主題を限定するものではないということである。非制限的な更なる例としては、多重階段型溝、半円形溝またはその他の形状を含んでもよい。溝として必要なことは、単に、基板の途中まで貫くように構成され、前記のようにメッキまたは金属被覆を行うように構成されることである。
【００５１】
個別の特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイス１００を製造する最終工程は、シリコン基板４００を裏面研磨する工程と、例えば図６の切断線６−６で示したような、基板４００を通る１つ以上の直線または他の適当な切断部を導入する工程を必要とする。裏面研磨工程は、すなわち、研磨によってシリコン基板４００の裏側の一部分を除去する工程であるが、基板４００を、表面を下向きにして接着剤で被覆された材料上に配置し、その後、露出した裏面を研磨することによって達成される。そのような研磨は、一般的に（図６の）線６００で示すように、Ｖ字形状の溝５１０、５１２、５１４、および５１６の底部に到達するまで続けられる。次に、図６の線６−６に沿った最後の切断が行われて、個別の特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイス１００を分離する。完成形は図７に示される。
【００５２】
本主題は、特定の実施形態に関して詳しく記述したが、当業者は上記を理解すると直ちにこれら実施形態の改造と追加、変形およびまたは等価物を考えて本技術を適用しようとするであろうということは理解されるであろう。従って、本開示の技術範囲は、例示するためだけであり、制限しようとするものではなく、主題の開示内容は、当業者には容易に明らかとなるであろうところの本主題に対する改良、変形、および／または追加を含むことを排除するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本技術による典型的な受動薄膜フィルタ・デバイスの一般的な上面、側面、および後面を示す斜視図である。
【図２】図１に示された典型的なフィルタ構造の電気的回路の概略図である。
【図３】本技術により基板上に構築され搭載される、特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイスの一般的な上面、側面、および後面を示す斜視図である。
【図４】本技術によって構築される特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイスの構築の一段階を表す、一般的な上面、側面、および後面を示す斜視図である。
【図５ａ】本技術によって構築される特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイスの構築の一段階を表す、一般的な上面、側面、および後面を示す斜視図である。
【図５ｂ】代替例の長方形の溝構造を示す、図５ａの部分的に構築された特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイスを示す代替の実施形態の部分図である。
【図６】本技術によって構築される特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイスの構築の一段階を表す、一般的な上面、側面、および後面を示す斜視図である。
【図７】本技術によって構築される特定形状を有する受動薄膜フィルタ・デバイスの構築の一段階を表す、一般的な上面、側面、および後面を示す斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【外国語明細書】
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