(57)【要約】【課題】フィルタの変形や目詰まりを防止してフィルタ性能を向上することができると共に小型化が可能な液体供給部材及び液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】複数の孔が設けられたフィルタ２２０を通過した液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、前記フィルタ２２０が配置された液体溜まり部２１１が設けられ、前記フィルタ２２０が筒形状を有するフィルタ部２２１と、該フィルタ部２２１の一方の開口部を塞ぎ孔を有しない蓋部材２２２とを具備し、当該フィルタ部２２１の他方が、前記液体溜まり部２１１を形成する溜まり部材２１０に固定されて、前記液体溜まり部２１１に連通する一方の流路２１２は前記フィルタ２２０の外側に連通させ、前記液体液体溜まり部２１１に連通する他方の流路２１３は前記フィルタ２２０の内側に連通させる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の孔が設けられたフィルタを通過した液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記フィルタが配置された液体溜まり部が設けられ、
前記フィルタが筒形状を有するフィルタ部と、該フィルタ部の一方の開口部を塞ぎ孔を有しない蓋部材とを具備し、当該フィルタ部の他方が、前記液体溜まり部を形成する溜まり部材に固定されて、
前記液体溜まり部に連通する一方の流路は前記フィルタの外側に連通し、前記液体液体溜まり部に連通する他方の流路は前記フィルタの内側に連通していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記フィルタ部は、他方が前記液体溜まり部の下流路側に固定されて、前記フィルタ部の外側から内側に向かって液体を通過させるように配置されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記フィルタ部は、他方が前記液体溜まり部の上流路側に固定されて、前記フィルタ部の内側から外側に向かって液体を通過させるように配置されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記溜まり部材には、前記流路の開口の周囲に設けられ前記液体溜まり部内に突出する突出部が設けられていると共に、該突出部の先端部には、前記フィルタ部の他方が固定されていることを特徴とする請求項２又は３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記蓋部材の前記フィルタ部側には、凹形状の異物受けが設けられていることを特徴とする請求項２又は３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記フィルタ部が、板状部材を円筒形状に変形させたフィルタ本体と、該フィルタ本体の両端部を固定した固定部とで構成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
フィルタを通過した液体を噴射する液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドから前記液体を噴射するように制御する制御部とを具備する液体噴射装置であって、
前記液体の流路には、複数の孔が設けられた前記フィルタが配置された液体溜まり部が設けられ、
前記フィルタが筒形状を有するフィルタ部と、該フィルタ部の一方の開口部を塞ぎ孔を有しない蓋部材とを具備し、当該フィルタ部の他方が、前記液体溜まり部を形成する溜まり部材に固定されて、
前記液体溜まり部に連通する一方の流路は前記フィルタの外側に連通し、前記液体液体溜まり部に連通する他方の流路は前記フィルタの内側に連通していることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが貯留されたインクカートリッジからのインクが、このインクカートリッジに挿入されるインク供給針及び流路を介してノズル開口に供給され、インクは、圧電素子等を駆動させることによりノズル開口から吐出される。
【０００３】
このような供給針中などの流路には、通常インク中のゴミや気泡等を除くためにフィルタが設けられる。このフィルタとしては、円筒形状を有する突起を設けたものや円錐形状としたものなどが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１３７０３２号公報
【特許文献２】特開２００７−１２５７７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のフィルタでは、インクの流圧によりフィルタ形状が変形し、所望のフィルタ特性を得ることができないという問題がある。
【０００６】
また、上述した従来の突起を設けたフィルタや円錐形状を有するフィルタは、形成するのが困難であるという問題がある。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、フィルタの変形を抑制してフィルタ性能を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、複数の孔が設けられたフィルタを通過した液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、前記フィルタが配置された液体溜まり部が設けられ、前記フィルタが筒形状を有するフィルタ部と、該フィルタ部の一方の開口部を塞ぎ孔を有しない蓋部材とを具備し、当該フィルタ部の他方が、前記液体溜まり部を形成する溜まり部材に固定されて、前記液体溜まり部に連通する一方の流路は前記フィルタの外側に連通し、前記液体液体溜まり部に連通する他方の流路は前記フィルタの内側に連通していることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フィルタ部を筒形状とすることで、フィルタ部の剛性を高めて、フィルタの変形を防止することができると共に、フィルタ部を厚くすることがなく、コストを低減することができる。また、フィルタ部をその軸方向が上流路から下流路に向かう方向に配置することで、フィルタ面に直接気泡が付着するのを防止して、気泡によるフィルタ面積の減少や液体噴射ヘッドの液体吐出不良を防止することができる。また、フィルタ部を筒形状とすることで、フィルタの設置面積を狭めることができ、小型化することができる。
【００１０】
ここで、前記フィルタ部は、他方が前記液体溜まり部の下流路側に固定されて、前記フィルタ部の外側から内側に向かって液体を通過させるように配置されていることが好ましい。これによれば、液体の圧力によってフィルタ部が外側から内側に向かって押圧されるため、フィルタ部の微細孔が広がるのを防止して、フィルタ部によって液体に含まれる異物を確実に除去できる。
【００１１】
また、前記フィルタ部を、他方が前記液体溜まり部の上流路側に固定されて、前記フィルタ部の内側から外側に向かって液体を通過させるように配置することもできる。
【００１２】
また、前記溜まり部材には、前記流路の開口の周囲に設けられ前記液体溜まり部内に突出する突出部が設けられていると共に、該突出部の先端部には、前記フィルタ部の他方が固定されていることが好ましい。これによれば、フィルタの他方を下流路側に固定した場合には、突出部の周囲に異物受けを設けることができ、フィルタ部に付着した異物を異物受けに入れてフィルタ部の目詰まりを防止することができる。また、フィルタの他方を上流路側に固定した場合には、突出部の周囲に気泡溜まりを設けることができ、気泡溜りに気泡を保持させて、フィルタ部に気泡が接触するのを抑制することができる。
【００１３】
また、前記蓋部材の前記フィルタ部側には、凹形状の異物受けが設けられていることが好ましい。これによれば、フィルタ部に付着した異物を蓋部材に設けられた異物受けに入れてフィルタ部の目詰まりを防止することができる。
【００１４】
また、前記フィルタ部が、板状部材を円筒形状に変形させたフィルタ本体と、該フィルタ本体の両端部を固定した固定部とで構成されていることが好ましい。これによれば、フィルタ本体を複雑な形状に変形する必要がなく、フィルタを容易に且つ低コストで製造することができる。
【００１５】
さらに、本発明の他の態様は、フィルタを通過した液体を噴射する液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドから前記液体を噴射するように制御する制御部とを具備する液体噴射装置であって、前記液体の流路には、複数の孔が設けられた前記フィルタが配置された液体溜まり部が設けられ、前記フィルタが筒形状を有するフィルタ部と、該フィルタ部の一方の開口部を塞ぎ孔を有しない蓋部材とを具備し、当該フィルタ部の他方が、前記液体溜まり部を形成する溜まり部材に固定されて、前記液体溜まり部に連通する一方の流路は前記フィルタの外側に連通し、前記液体液体溜まり部に連通する他方の流路は前記フィルタの内側に連通していることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、フィルタ部を筒形状とすることで、フィルタ部の剛性を高めて、フィルタの変形を防止することができると共に、フィルタ部を厚くすることがなく、コストを低減することができる。また、フィルタ部をその軸方向が上流路から下流路に向かう方向に配置することで、フィルタ面に直接気泡が付着するのを防止して、気泡によるフィルタ面積の減少や液体噴射ヘッドの液体吐出不良を防止することができる。また、フィルタ部を筒形状とすることで、フィルタの設置面積を狭めることができ、小型化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体供給部材の断面図であり、図２は、フィルタ部の斜視図である。
【００１７】
図１に示すように、液体供給部材２００は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドに設けられてインクジェット式記録ヘッドにインクを供給するものであり、液体溜まり部材２１０と、液体溜まり部材２１０の内部に設けられた円筒形状を有するフィルタ２２０とを具備する。
【００１８】
液体溜まり部材２１０は、先端が円錐状に設けられた円筒形状を有し、内部に液体が一時的に貯留される液体溜まり部２１１と、外部のインクカートリッジやインクタンクなどのインク貯留手段から液体溜まり部２１１にインクが供給される上流路２１２と、液体溜まり部２１１内のインクを詳しくは後述するインクジェット式記録ヘッドに供給する下流路２１３とが設けられている。
【００１９】
また、液体溜まり部材２１０は、上流路２１２が設けられた上流部材２１４と、下流路２１３が設けられた下流部材２１５との２つの部材が接合されて構成されている。このように液体溜まり部材２１０を２つの部材２１４、２１５で構成することで、液体溜まり部材２１０の製造を容易にすると共に、内部にフィルタ２２０を容易に配置することができる。
【００２０】
上流路２１２は、液体溜まり部材２１０の円錐状に設けられた先端面に開口するものである。また、下流路２１３は、液体溜まり部材２１０の上流路２１２とは反対側の底面側に開口するように設けられている。なお、液体供給部材２００を有する詳しくは後述するインクジェット式記録ヘッドを組み込んだ装置において、上流路２１２は下流路２１３よりも鉛直方向上側に位置する。
【００２１】
フィルタ２２０は、複数の微細孔が設けられた円筒形状を有するフィルタ部２２１と、フィルタ部２２１の円筒形状が開口する一端部側を塞ぐ蓋部材２２２とを具備する。
【００２２】
フィルタ部２２１は、図２に示すように、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属を細かく編みこむことで、複数の微細孔が設けられた板状のフィルタ本体２２３と、フィルタ本体２２３を円筒形状に変形させた状態で、両端部を固定する樹脂材料等からなる固定部２２４とで構成されている。このようなフィルタ部２２１は、複雑に折り曲げる必要が無く、板状のフィルタ本体２２３を円筒形状に変形させて固定部２２４で両端部を固定するだけで形成することができるため、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。
【００２３】
蓋部材２２２は、樹脂材料等からなり、円筒形状を有するフィルタ部２２１の一端部側に開口を塞ぐように設けられている。また、蓋部材２２２には、フィルタ部２２１の内側に凹形状の異物受け２２５が設けられている。
【００２４】
このようなフィルタ２２０は、円筒形状を有するフィルタ部２２１の蓋部材２２２が設けられた一端部とは反対側の他端部側が液体溜まり部材２１０の内面に固定されている。本実施形態では、フィルタ部２２１の蓋部材２２２とは反対側の他端部側を液体溜まり部材２１０の上流路２１２側の内面に固定するようにした。このように、フィルタ部２２１を上流路２１２側に固定することで、上流路２１２がフィルタ２２０の内部に連通する。すなわち、上流路２１２がフィルタ２２０の内側に連通し、下流路２１３がフィルタ２２０の外側に連通することで、上流路２１２と下流路２１３との間にフィルタ部２２１が介在するようになっている。したがって、上流路２１２から流入したインクは、フィルタ部２２１を内側から外側に向かって流れて、下流路２１３からインクジェット式記録ヘッドに供給される。
【００２５】
また、インクに含まれる異物は、フィルタ部２２１によって下流路２１３側への流出が防止される。すなわち、インクに含まれる異物は、フィルタ部２２１の内面に付着する。そして、インクの流れが止まると、異物はその重力により蓋部材２２２に設けられた異物受け２２５に入る。このように、筒形状のフィルタ２２０を鉛直方向に設けることによって、インクに含まれる異物をフィルタ部２２１のフィルタ面から異物受け２２５に入れることができるため、異物によってフィルタ部２２１の微細孔は塞がれにくく、フィルタ部２２１の有効面積が減少するのを抑制できる。
【００２６】
また、フィルタ部２２１を円筒形状に形成することによって、フィルタ部２２１をインクの上流路２１２から下流路２１３に流れる流れに対して垂直に設けるのに比べて、フィルタ部２２１の面積を広げることができる。これにより、液体供給部材２００の小型化を図ることができる。さらに、フィルタ部２２１を円筒形状とすることで、フィルタ部２２１の剛性を高めることができる。したがって、フィルタ部２２１の剛性を高めるために厚いフィルタ本体２２３を使用する必要がなく、コストを低減することができる。
【００２７】
このような液体供給部材２００は、本実施形態では、インクが貯留されたインクカートリッジ等のインク貯留手段の自己封止弁などに差し込まれる供給針として機能する。なお、液体供給部材２００は、インク貯留手段に直接接続されていなくてもよく、例えば、液体供給部材２００をインク貯留手段に接続されたインクチューブに接続するようにしてもよく、流路の途中にありさえすればその位置は問わない。
【００２８】
ここで、このような液体供給部材２００を有する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドＩについて説明する。なお、図３は、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図４は、インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００２９】
図３及び図４に示すように、流路形成基板１０は、本実施形態ではシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。
【００３０】
流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板のリザーバ部３１と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。
【００３１】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート２０は、例えばガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。
【００３２】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、下電極膜６０と圧電体層７０と上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエータ装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び下電極膜６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、下電極膜６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００３３】
圧電体層７０は、下電極膜６０上に形成される電気機械変換作用を示す圧電材料からなる。圧電体層７０は、ペロブスカイト構造の結晶膜を用いるのが好ましく、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。具体的には、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3）、ジルコニウム酸鉛（ＰｂＺｒＯ3）、チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ），ＴｉＯ3）ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3）又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ3）等を用いることができる。圧電体層７０の厚さについては、製造工程でクラックが発生しない程度に厚さを抑え、且つ十分な変位特性を呈する程度に厚く形成する。例えば、本実施形態では、圧電体層７０を１〜２μｍ前後の厚さで形成した。
【００３４】
また、圧電素子３００の個別電極である各上電極膜８０には、インク供給路１４側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜５５上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００３５】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、下電極膜６０、絶縁体膜５５及びリード電極９０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。また、流路形成基板１０の連通部１３を圧力発生室１２毎に複数に分割して、リザーバ部３１のみをリザーバとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１０と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、絶縁体膜５５等）にリザーバと各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設けるようにしてもよい。
【００３６】
また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００３７】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３８】
また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００３９】
また、保護基板３０上には、並設された圧電素子３００を駆動するための駆動回路１２０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、ボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。
【００４０】
また、このような保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。また、コンプライアンス基板４０には、リザーバ部３１に連通して外部からインクが供給されるインク導入口４４が設けられている。
【００４１】
さらに、保護基板３０及びコンプライアンス基板４０上には、ヘッドケース１３０が設けられている。ヘッドケース１３０は、インク導入口４４に連通すると共に液体供給部材２００の下流路２１３に連通して、液体供給部材２００からのインクをインク導入口４４に供給するインク供給連通路１３１が設けられている。また、ヘッドケース１３０には、コンプライアンス基板４０の開口部４３に対向する領域に溝部１３２が形成され、溝部１３２によって封止膜４１の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース１３０には、保護基板３０上に設けられた駆動回路１２０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動回路保持部１３３が設けられており、図示しない外部配線は、駆動回路保持部１３３を挿通して駆動回路１２０と接続されている。
【００４２】
そして、このヘッドケース１３０には、上述した液体供給部材２００が、その下流路２１３がインク供給連通路１３１に連通するように設けられている。
【００４３】
このように、本実施形態の液体供給部材２００は、フィルタ部２２１の面積を最大限に活用した状態で小型化することができるため、ヘッドケース１３０等の設置面積が狭い部材に設けることができる。
【００４４】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩでは、図示しない外部の貯留手段と接続した液体供給部材２００からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００４５】
（実施形態２）
図５は、本発明の実施形態２に係る液体供給部材の断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００４６】
図５に示すように、本実施形態の液体供給部材２００Ａは、液体溜まり部材２１０Ａとフィルタ２２０とを具備する。
【００４７】
液体溜まり部材２１０Ａは、上流路２１２が設けられた上流部材２１４Ａと、下流路２１３Ａが設けられた下流部材２１５Ａとで構成され、内部に液体溜まり部２１１が設けられている。
【００４８】
上流路２１２は、上述した実施形態１と同様に液体溜まり部材２１０Ａの円錐形状に設けられた先端面に開口するように設けられている。
【００４９】
下流路２１３Ａは、液体溜まり部材２１０Ａの上流路２１２とは反対側の底面に、液体溜まり部２１１内に突出して設けられた突出部２１６の先端面に開口するように設けられている。そして、液体溜まり部２１１には、突出部２１６の周囲に突出部２１６の先端面よりも下流路２１３Ａ側に凹形状に設けられた異物受け２２５Ａが設けられている。
【００５０】
フィルタ２２０は、円筒形状を有するフィルタ部２２１と、フィルタ部２２１の一端部を塞ぐ蓋部材２２２とで構成されている。
【００５１】
このようなフィルタ２２０は、円筒形状の開口する他端部側が、液体溜まり部材２１０Ａの突出部２１６の先端部に固定されている。これにより、下流路２１３Ａがフィルタ２２０の内側に連通し、上流路２１２がフィルタ２２０の外側に連通する。これにより、上流路２１２から流入したインクは、フィルタ部２２１を外側から内側に向かって流れ、下流路２１３Ａからインクジェット式記録ヘッドＩに供給される。
【００５２】
また、フィルタ２２０を下流路２１３Ａ側に固定することによって、フィルタ２２０の蓋部材２２２が、上流路２１２に相対向して、鉛直方向上側となるように配置される。これにより、インクに含まれる気泡が液体溜まり部２１１内に滞留したとしても、気泡は上流路２１２と蓋部材２２２との間に滞留して、フィルタ部２２１に直接接触することがない。ちなみに、気泡がフィルタ部２２１に付着すると、フィルタ部２２１の有効面積が狭くなりフィルタ機能が低下してしまうという問題や、インクジェット式記録ヘッドＩによるインク吐出などによる圧力変動によってフィルタ部２２１のフィルタ面に付着した気泡がインクジェット式記録ヘッドＩ内に流出し、インク吐出不良が発生してしまうという問題があるが、本実施形態では、気泡が直接フィルタ部２２１に付着しないようにすることで、フィルタ機能の低下やインク吐出不良が発生するのを確実に防止することができる。なお、液体溜まり部２１１内の気泡は、インクジェット式記録ヘッドＩのノズル開口２１からインクを吸引するクリーニング動作などによって、通常よりも高い圧力変動を発生させることで、フィルタ部２２１を通過させてノズル開口２１から排出させることができる。
【００５３】
また、本実施形態では、フィルタ部２２１の外側に異物受け２２５Ａを設けるようにしたため、上述した実施形態１と同様に、インクに含まれる異物を異物受け２２５Ａに入れてフィルタ本体２２３の目詰まりを防止することができる。
【００５４】
さらに、インクをフィルタ部２２１の外側から内側に向かって流れるようにすることで、インクによってフィルタ部２２１が内側に向かって押圧されることになる。このようなフィルタ部２２１は、実施形態１と同様に、ステンレス鋼を細かく編み込むことで形成されているため、フィルタ部２２１の編み込まれた微細孔がインクの圧力によって広がることがなく、フィルタ部２２１によって除去したい大きさの異物が、フィルタ部２２１を通過するのを防止することができる。すなわち、インクをフィルタ部２２１の内側から外側に向かって流れるようにすると、フィルタ部２２１の編み込まれた微細孔が広がり、所望の大きさの異物を除去することができなくなる。
【００５５】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、金属を細かく編み込んだフィルタ部２２１（フィルタ本体２２３）を例示したが、フィルタ部２２１は特にこれに限定されず、例えば、微細な単孔が設けられた金属板や不織布等であってもよい。
【００５６】
また、上述した実施形態２では、下流部材２１５Ａに突出部２１６を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、上流部材２１４、２１４Ａに突出部２１６を設け、この突出部２１６にフィルタ２２０を固定するようにしてもよい。この場合、上流部材２１４、２１４Ａに設けられた突出部２１６の周りは気泡溜まりとなって気泡がフィルタ２２０に接触することを抑えられる。
【００５７】
さらに、上述した実施形態１及び２では、フィルタ部２２１（フィルタ本体２２３）として、円筒形状のものを例示したが、フィルタ部２２１の断面形状は、円形状に限定されるものではなく、例えば、フィルタ部２２１の断面形状が、楕円形状、多角形状などであってもよい。
【００５８】
また、上述した実施形態１及び２では、液体供給部材２００、２００Ａをインクジェット式記録ヘッドＩのヘッドケース１３０に設けるようにしたが、例えば、ヘッドケース１３０上にインクカートリッジ等が保持されるカートリッジケースを設け、このカートリッジケースに液体供給部材２００、２００Ａを固定するようにしてもよい。すなわち、液体供給部材２００、２００Ａは、インクジェット式記録ヘッドＩにインクを供給可能であれば、何れの部材に固定してもよい。
【００５９】
さらに、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子３００を有するアクチュエータ装置を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエータ装置や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のアクチュエータ装置などを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエータなどを使用することができる。
【００６０】
また、これら実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００６１】
図６に示すように、インクジェット式記録ヘッドＩを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００６２】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。なお、図６に示すインクジェット式記録装置IIには、インクジェット式記録ヘッドＩのノズル開口２１からインクを吐出するように制御する制御部を図示していないが、制御部は、印刷信号の入力に伴って駆動回路１２０を介して選択的に圧電素子３００を駆動させて、インクジェット式記録ヘッドＩにインクの吐出を行わせる従来周知のものを用いることができる。
【００６３】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。勿論、このような液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置も特に限定されるものではない。なお、上述した例では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録ヘッドＩが搭載されたキャリッジ３を記録シートＳに対して移動させるインクジェット式記録装置IIを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、キャリッジ３を移動させずに装置本体に対してインクジェット式記録ヘッドＩが固定された、所謂ライン型の液体噴射装置であってもよい。また、上述した例では、フィルタ２２０（液体供給部材２００、２００Ａ）をインクジェット式記録ヘッドＩに設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、フィルタ２２０（液体供給部材２００、２００Ａ）をインクジェット式記録ヘッドＩとは別の場所に設けた液体噴射装置であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態１に係る液体供給部材の断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るフィルタ部の斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る液体供給部材の断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００６５】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  II  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給路、  １５  連通路、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３２  圧電素子保持部、  ３３  貫通孔、  ４０  コンプライアンス基板、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １００  リザーバ、  １２０  駆動回路、  １３０  ヘッドケース、  ２００、２００Ａ  液体供給部材、  ２１０、２１０Ａ  液体溜まり部材、  ２１１  液体溜まり部、  ２１２  上流路、  ２１３、２１３Ａ  下流路、  ２２０  フィルタ、  ２２１  フィルタ部、  ２２２  蓋部材、  ２２３  フィルタ本体、  ２２４  固定部、  ２２５、２２５Ａ  異物受け、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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