(57)【要約】      （修正有）【課題】求める画像の精度を得る印刷技術を作る事により、電子部品等を作成する手段としての印刷法の可能性を広げること。【解決手段】印刷版１の所定の位置の板厚を変え、冷却を加え縮小した後に張力を加え板の伸び差によって画像２の形状、位置を相対的に変化させ、マスク、印刷版１、印刷機の転写等における歪を矯正し求める画像２の精度をえる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板又は金属シートによって構成される印刷版において、該印刷版の所定部分の板厚を変化させ、印刷版に張力を加え、板厚に相応して印刷版面に有る画像の形状、位置を変化させた印刷版
【請求項２】
印刷版の所定部分の板厚を変化させるにおいて、印刷版の表面又は裏面にスリット（溝）を設けること特徴とする請求項１
【請求項３】
印刷版に張力を加える方法として、該印刷版の周辺部を剛体フレームに固着し、該印刷版を冷却し熱収縮によって張力を加えることを特徴とする請求項１及び２
【請求項４】
印刷版に張力を加える方法として、該印刷版の周辺部を剛体フレームに吊着し、該印刷版を冷却し熱収縮によって張力を加えることを特徴とする請求項１及び２
【請求項５】
請求項３及び４における印刷版を取り付け画像の形状、位置を変化させる印刷機
【請求項６】
請求項５における印刷機を用い画像の形状、位置をを変化させる印刷法
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】電機部品等製作に必要とする画像形成を印刷法によって作る為の高寸法精度を得る為の印刷版、印刷機及び印刷法に関するもの。
【背景技術】
【０００２】印刷法により画像形成の試みが行われているが、印刷機、印刷版等の寸法的精度の限界があり、印刷物の画像の歪みが大きな問題となり印刷法の使用において限界を呈している。【０００３】  印刷版自体の製造における歪。又、印刷機においても転写上の歪みがあり、特に大型化を指向する際においてその使用範囲が限定されている。その為この歪に対策を施した印刷法の出現が望まれている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】本案は印刷版、印刷機に工夫を行い画像の歪みを矯正し、大型化も含め印刷法による画像精度を向上し、ホトリソグラフィ法によって形成された画像の精度と同等のものを得る事を課題として考案した。
【課題を解決する為の手段】
【０００５】本案は、絶対的画像寸法を求めるのではなく、先画像もしくは得ようとする画像に合わせ込んだ画像を得ることとする。その手段として、先画像を計測し、印刷機の転写歪、版の歪を考慮し、版自体を矯正し求める画像を得るものとする。
【０００６】このプロセスを図５において説明する。出来上がった印刷版を試し刷りする（図５−▲１▼）。試し刷りを計測する（図５−▲２▼）。刷ろうとする基板面に有る先画像を計測する（図５−▲３▼）。両者の計測値を基に印刷版の裏面に相応のスリットを入れ版の板厚を変える（図５ー▲４▼）。該版を使い印刷する（図５−▲５▼）。
【０００７】試し刷りを行わない方法として図６に説明する。印刷版を直接計測する（図６−▲１▼）。刷ろうとする基板面に有る先画像を計測する（図６−▲２▼）。両者の計測値に加え、予め把握している印刷機の転写歪量を考慮し印刷版の裏面に相応のスリットを入れ版の板厚を変える（図６ー▲３▼）。該版を使い印刷する（図６−▲４▼）。
【０００８】  版の矯正手段の原理を説明する。印刷版を金属板とし、部分的に印刷版の（裏面にスリットを入れるなど）板厚を変え、周辺部に張力を掛ける事において板厚に逆比例して板が延びる原理を利用して行う。
【０００９】  張力をかける手段とし、印刷版の周辺部を剛体のフレーム（図３）を使用して固定し、冷却により縮小させる方法。張力機構付き剛体フレーム（図４）を用いて張力をかける方法がある。
【発明の効果】
【００１０】精度の絶対値を求めること無く、求める形状に合わせこむことを基本原理として居る為、印刷機、印刷版、マスク等に強い精度を求めることが無いため、市販されている廉価材料、廉価技術が使用可能となる。
【００１１】▲１▼印刷機の製造コストが低くなる。
印刷機の精度を出すために、高価な加工材料を使い高精度の加工技術が必要となっているが、本案では印刷機への加工精度の要求は和らげられ、製造コストが抑えられる。
【００１２】▲２▼廉価な印刷版が使用できる。
精度を求める印刷に使用する印刷版はガラス板をエッチングなどして特別に作るのが一般的であるが、本案では版材メーカーが汎用品として供給している廉価型のＰＳ版（金属板面に予め感材が塗布され、使用に際してはマスク露光、現像によって印刷版が出来る）を使用する事が出来る
【００１３】▲３▼高価なマスクが不要になる
従来、ホトリソグラフィによって高精度の画像を得る為には石英等の高価なマスクと高価な高精度のカメラを必要としていたが、本案では版材メーカーが供給するレーザーで直描する（ＣＴＰ）ＰＳ版を使用できる。その為マスク、カメラを不要とするプロセスを確立できる。
【発明を実施する為の最良の形態】
【００１４】▲１▼被印刷体にすでに形成されている先画像を検査機により検査、先画像の状況を計測。
▲２▼印刷版の製造時に起こる歪状況を計測。
▲３▼印刷機の転写時におきる画像歪量を計測する。
【００１５】▲４▼先画像の計測値、印刷版の歪状況、印刷機の個性値（画像歪量）を考慮して印刷版を補正（矯正）する。
補正にあたって、印刷版の画像補正部の板厚を加工し相応に変化、印刷版を剛体フレームに固定、剛体フレームごと印刷版を印刷機版定盤面にセット、
【００１６】印刷版を冷却し張力（もしくは剛体フレームの張力機能により印刷版に張力）をかけ、印刷版の板厚に逆比例して板が延びる原理を用いて画像の形状、位置の変化を行う。▲４▼補正した印刷版により求める形状（先画像に合わせ込んだ）印刷画像を得る。
【実施例１】
【００１７】印刷版を作る。印刷版（１）を東レのＰＳ版を使用する事とし、平行光源（１７）を用いた露光機を使用しマスク（１４）とＰＳ版を非接触で露光する。この時版面の画像をマスク上の画像より通常温度に戻した時により大きく作る為、ＰＳ版の設置盤（１５）は所定温度に冷却する。【００１８】先画像付被印刷基板（１６）面にすでに形成されているの形状を計測する。
製作されたＰＳ版の周辺部を印刷版の収縮応力に耐えられる剛体フレーム（３−１）にビズで固着し、試し刷り基板（９）に試し刷り（試刷）し、画像を計測する。
先画像、試し刷り画像を考慮して相当部分の（版の板厚を変化させる為）版裏面に相当の深さ、量のスリットを入れる。標準的な標準スリット（４）、小さく入れた小スリット（４−ｓ）、大きい大スリット（４−１）等スリットの入れ方については、諸々のケースを想定し予めデーター、計算式を準備して行う。【００１９】剛体フレーム付印刷版（８）を印刷機の冷却付き版定盤に装備し印刷版の露光時の温度に冷却して印刷する。
このことにより先画像付被印刷基板に有る先画像に見当があった画像の重ね刷りが出来る。
【実施例２】
【００２０】印刷版を作るプロセスは実施例１と同じ。
印刷機にテスト版用いて印刷機の転写時に起こる転写歪を予め計測する事により実施例１における試し刷りを廃止、印刷版面の画像を直接計測し歪状況（版画像）を把握する。【００２１】先画像付被印刷基板（１６）面にすでに形成されている先画像の形状と該版画像とを予め計測されている印刷機の転写歪を考慮し相当部分の版裏面にスリットを入れる。以後のプロセスは実施例１と同じとする。
【実施例３】
【００２２】実施例１、２で作られたスリット入りの印刷版を張力機構付剛体フレーム（３−２）に固定する。このことにより冷却による収縮力によって生まれる張力に加え張力機構（７）を使用する事でより自由な画像調整が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００２３】現在、写真法（フォトリソ法）で画像形成しているプロセスに対し、印刷法によりより廉価なプロセスとして利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】マスク露光により印刷版作成時の本案原理説明図  ▲１▼  冷却された設置盤に印刷版を置き冷却しながらマスクで露光の図。▲２▼  露光後冷却盤から印刷版をはずし常温へ、通常画像ａ、ｂ、ｃ、ｄが拡大画像ａ’、ｂ’、ｃ’、ｄ’に伸びた説明図
【図２】印刷版画像矯正原理説明図  ▲１▼  図１により製作された印刷版の図  ▲２▼  剛体フレームに印刷版を取り付け、剛体フレーム付印刷版の図  ▲３▼  所定の計算の下、裏面にスリットを入れた剛体フレーム付印刷版の図  ▲４▼  剛体フレームに取り付けた印刷版を印刷機の印刷定盤にセットした図  ▲５▼  印刷定盤を冷却し印刷版に張力をかけた事によって、拡大画像が通常画像に、画像の位置が（画像ｃを画像ｂ側へ）移動した図
【図３】印刷版を剛体フレームに固着した図  ａ）説明平面図  ｂ）説明側面図
【図４】印刷版を張力機構付き剛体フレームに取り付けた図  ａ）説明平面図  ｂ）説明側面図
【図５】試し刷りを用いた、本案使用説明図  ▲１▼  剛体フレーム付印刷版を用いて、試し刷り基板に試刷りを行う図  ▲２▼  試刷りを検査機で計測し、印刷機の画像転写歪と印刷版の製造歪の合計歪状況を把握する図  ▲３▼  （先画像あり）被印刷基板の先画像状況を計測する（合わせ込むターゲット画像計測する）  ▲４▼  印刷機と印刷版の合計歪状況と先画像状況を考慮し剛体フレーム付印刷版の裏面に  印刷版裏面スリッターでスリットを入れる図  ▲５▼  スリット入り印刷版により被印刷基板の先画像合わせ込んで印刷する図
【図６】印刷機の画像転写歪量を予め計測し、試し刷りを廃した本案使用説明図  ▲１▼  剛体フレーム付印刷版を計測し印刷版の製造歪状況を把握する図  ▲２▼  先画像付被印刷基板の先画像状況を計測する図  ▲３▼  予め分かっている印刷機の歪状況、印刷版の歪状況と先画像状況を考慮し剛体フレーム付印刷版の裏面に、印刷版裏面スリッターでスリットを入れる図  ▲４▼  スリット入り印刷版により被印刷基板の先画像に合わせ込んで印刷する図
【図７】▲１▼  張力機構付剛体フレーム部分拡大図  ▲２▼  張力機構付剛体フレームに版を取り付け定盤にセットした説明図
【符号の説明】
１  印刷版        ２  画像        ａ  ｂ  ｃ  ｄ  通常画像
ａ’  ｂ’  ｃ’  ｄ’  拡大画像          ３−１  剛体フレーム
３−２  張力機構付剛体フレーム      ４  標準スリット
４−ｓ  小スリット      ４−１  大スリット
５  定盤      ５−１  非冷却定盤      ５−２  冷却定盤
７  張力機構    ８  剛体フレーム付印刷版
８−ｓ  剛体フレーム付裏面スリット入り印刷版    ９  試し刷り基板
１０  印刷機    １１  印刷版検査機    １２  基板検査機
１３  印刷版裏面スリッター      １４  マスク      １５  設置盤
１６  先画像付被印刷基板        １７  平行光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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