(57)【要約】【課題】メンテナンス時等におけるフィルタの着脱を容易にするものであり、またフィルタとの気密を得やすいファンフィルタユニットを提供する。【解決手段】箱形状のチャンバー４の上部に吸込口を有し、ファン１とモータ２からなるファンユニット３を前記チャンバー４に内蔵し、前記ファンユニット３の吹出側にフィルタ５を配設し、前記チャンバー４のフィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料（６）を有しており、前記フィルタ５のチャンバー取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料で有しており、前記チャンバー４と前記フィルタ５の着脱を磁力により可能としたものである。【選択図】図１
2009210180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料を有しており、前記フィルタのチャンバー取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料で有しており、前記チャンバーと前記フィルタの着脱を磁力により可能としたファンフィルタユニット。
【請求項２】
箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、電気により磁力を発生する部材を有しており、フィルタのチャンバー取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料で有しており、前記チャンバーと前記フィルタの着脱を電磁力により可能としたファンフィルタユニット。
【請求項３】
箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタのチャンバーおよびフィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を磁力により可能としたファンフィルタユニット。
【請求項４】
箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのケミカルフィルタ取り付け面およびケミカルフィルタの集塵フィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記集塵フィルタの吸込側フィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を磁力により可能としたファンフィルタユニット。
【請求項５】
箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのケミカルフィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタのチャンバーおよび集塵フィルタ取り付け面は、ファンモータを駆動させている電気をチャンバーよりケーブルによって給電され、その電気により磁力を発生する部材を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を電磁力により可能としたファンフィルタユニット。
【請求項６】
箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのケミカルフィルタ取り付け面およびケミカルフィルタの集塵フィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記集塵フィルタの吸込側フィルタ取り付け面は、ファンモータを駆動させている電気をチャンバーよりケーブルによって給電され、その電気により磁力を発生する部材を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を電磁力により可能としたファンフィルタユニット。
【請求項７】
ファンモータを駆動させている電気をフィルタとの接合面で給電し、その電気により磁力を発生する部材を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を電磁力により可能とした請求項５および６記載のファンフィルタユニット。
【請求項８】
フィルタ取り付け面の全面に磁性を有しており、チャンバーまたはケミカルフィルタの取り付け面全面にて磁力により接合している請求項１から７記載のいずれか１項記載のファンフィルタユニット。
【請求項９】
チャンバーとフィルタを連結する部材を有した請求項２、５、６、または７いずれか１項記載のファンフィルタユニット。
【請求項１０】
チャンバーとフィルタに鍵状の構成を有した請求項２、５、６、または７いずれか１項記載のファンフィルタユニット。
【請求項１１】
最下段にある集塵フィルタの吹出側に磁力の有無により視認できる表示手段を設けた請求項２および５から９記載のいずれか１項記載のファンフィルタユニット。
【請求項１２】
最下段にある集塵フィルタの吹出側に吹出面の風速を平均化する部材を、磁性に反応し吸着される材料で構成することにより前記部材の着脱を磁力により可能とした請求項１から１１記載のいずれか１項記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの、清浄空間を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のフィルタの着脱において、螺旋で取り付ける構成や保持具を設ける構成としている。
【特許文献１】特開平８−１２１８５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の構成では、フィルタの着脱において、螺旋での取り付けは構成部品が複数個必要となり着脱に時間が掛かる課題があり、また保持具を設ける構成では、清浄空間を必要とする場合に気密性を得にくいと共に、構成が複雑となる課題がある。
【０００４】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、メンテナンス時等におけるフィルタの着脱を容易にするものであり、またフィルタとの気密を得やすいファンフィルタユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料を有しており、前記フィルタのチャンバー取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料で有しており、前記チャンバーと前記フィルタの着脱を磁力により可能としたものである。
【０００６】
また他の手段は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、電気により磁力を発生する部材を有しており、フィルタのチャンバー取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料で有しており、前記チャンバーと前記フィルタの着脱を電磁力により可能としたものである。
【０００７】
また他の手段は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタのチャンバーおよびフィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を磁力により可能としたものである。
【０００８】
また他の手段は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのケミカルフィルタ取り付け面およびケミカルフィルタの集塵フィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記集塵フィルタの吸込側フィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を磁力により可能としたものである。
【０００９】
また他の手段は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのケミカルフィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタのチャンバーおよびフィルタ取り付け面は、ファンモータを駆動させている電気をチャンバーよりケーブルによって給電され、その電気により磁力を発生する部材を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を電磁力により可能としたものである。
【００１０】
また他の手段は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのケミカルフィルタ取り付け面およびケミカルフィルタの集塵フィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記集塵フィルタの吸込側フィルタ取り付け面は、ファンモータを駆動させている電気をチャンバーよりケーブルによって給電され、その電気により磁力を発生する部材を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を電磁力により可能としたものである。
【００１１】
また他の手段は、ファンモータを駆動させている電気をフィルタとの接合面で給電し、その電気により磁力を発生する部材を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を電磁力により可能としたものである。
【００１２】
また他の手段は、フィルタ取り付け面の全面に磁性を有しており、チャンバーまたはケミカルフィルタの取り付け面全面にて磁力により接合するものである。
【００１３】
また他の手段は、給電の停止により電気による磁力が無くなったことでフィルタが脱落しないように、チャンバーとフィルタを連結する部材を有したものである。
【００１４】
また他の手段は、給電の停止により電気による磁力が無くなったことでフィルタが脱落しないように、チャンバーとフィルタに鍵状の構成を有したものである。
【００１５】
また他の手段は、最下段にある集塵フィルタの吹出側に磁力の有無により視認できる表示手段を設けたものである。
【００１６】
また他の手段は、最下段にある集塵フィルタの吹出側に吹出面の風速を平均化する部材を、磁性に反応し吸着される材料で構成することにより前記部材の着脱を磁力により可能としたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、メンテナンス等におけるフィルタの着脱作業を容易にできる効果のあるファンフィルタユニットを得られる。
【００１８】
また、電源の入り切りによりフィルタの着脱作業を大きな力を必要とせずにできる効果が得られる。
【００１９】
また、ケミカルフィルタや集塵フィルタが多段層となっても、フィルタの取り付けを短時間で容易にできる効果が得られる。
【００２０】
また、ケミカルフィルタや集塵フィルタが多段層となっても、最下段にあるフィルタを脱着することで、フィルタの取り付けを短時間で容易にできる効果が得られる。
【００２１】
また、ケミカルフィルタや集塵フィルタが多段層となっても、フィルタの取り付けを電源の入り切りによって、大きな力を必要とせずにできる効果が得られる。
【００２２】
また、ケミカルフィルタや集塵フィルタが多段層となっても、最下段にあるフィルタの取り付けを電源の入り切りによって、大きな力を必要とせずフィルタの取り付けを短時間で容易にできる効果が得られる。
【００２３】
また、接合面での給電とすることで給電用の構成部品を要せずに、電源の入り切りによりフィルタの着脱作業ができる効果が得られる。
【００２４】
また、フィルタ取り付け面の全面に磁性を有することで、接合面の気密を向上できる効果が得られる。
【００２５】
また、連結部材を用いることでフィルタの脱落を防止できる効果が得られる。
【００２６】
また、別部材を用いる事無くフィルタの脱落を防止できる効果が得られる。
【００２７】
また、磁力の有無を視認できることで、ファンモータが駆動していることが吹出側から確認できる効果が得られる。
【００２８】
また、風速を平均化する部材を磁力により着脱できる効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明の請求項１記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料を有しており、前記フィルタのチャンバー取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料で有しており、前記チャンバーと前記フィルタの着脱を磁力により可能としたものであり、メンテナンス等におけるフィルタの着脱作業を容易にできるという作用を有する。
【００３０】
また本発明の請求項２記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、電気により磁力を発生する部材を有しており、フィルタのチャンバー取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料で有しており、前記チャンバーと前記フィルタの着脱を電磁力により可能としたものであり、電源の入り切りによりフィルタの着脱作業を大きな力を必要とせずにできるという作用を有する。
【００３１】
また本発明の請求項３記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタのチャンバーおよびフィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を磁力により可能としたものであり、ケミカルフィルタや集塵フィルタが多段層となっても、フィルタの取り付けを短時間で容易にできるという作用を有する。
【００３２】
また本発明の請求項４記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのケミカルフィルタ取り付け面およびケミカルフィルタの集塵フィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記集塵フィルタの吸込側フィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を磁力により可能としたものであり、ケミカルフィルタや集塵フィルタが多段層となっても、最下段にあるフィルタを脱着することで、フィルタの取り付けを短時間で容易にできるという作用を有する。
【００３３】
また本発明の請求項５記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのフィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタのチャンバーおよびフィルタ取り付け面は、ファンモータを駆動させている電気をチャンバーよりケーブルによって給電され、その電気により磁力を発生する部材を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を電磁力により可能としたものであり、ケミカルフィルタや集塵フィルタが多段層となっても、フィルタの取り付けを電源の入り切りによって、大きな力を必要とせずにできるという作用を有する。
【００３４】
また本発明の請求項６記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側最下段に集塵フィルタを配設し、前記チャンバーと前記集塵フィルタの間にはケミカルフィルタを挟持し、前記チャンバーのケミカルフィルタ取り付け面およびケミカルフィルタの集塵フィルタ取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料を有しており、前記集塵フィルタの吸込側フィルタ取り付け面は、ファンモータを駆動させている電気をチャンバーよりケーブルによって給電され、その電気により磁力を発生する部材を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を電磁力により可能としたものであり、ケミカルフィルタや集塵フィルタが多段層となっても、最下段にあるフィルタの取り付けを電源の入り切りによって、大きな力を必要とせずフィルタの取り付けを短時間で容易にできるという作用を有する。
【００３５】
また本発明の請求項７記載の発明は、ファンモータを駆動させている電気をフィルタとの接合面で給電し、その電気により磁力を発生する部材を有しており、前記ケミカルフィルタおよび前記集塵フィルタの着脱を電磁力により可能としたものであり、接合面での給電とすることで給電用の構成部品を要せずに、電源の入り切りによりフィルタの着脱作業ができるという作用を有する。
【００３６】
また本発明の請求項８記載の発明は、フィルタ取り付け面の全面に磁性を有しており、チャンバーまたはケミカルフィルタの取り付け面全面にて磁力により接合するものであり、フィルタ取り付け面の全面に磁性を有することで、接合面の気密を向上できるという作用を有する。
【００３７】
また本発明の請求項９記載の発明は、給電の停止により電気による磁力が無くなったことでフィルタが脱落しないように、チャンバーとフィルタを連結する部材を有したものであり、連結部材を用いることでフィルタの脱落を防止できるという作用を有する。
【００３８】
また本発明の請求項１０記載の発明は、給電の停止により電気による磁力が無くなったことでフィルタが脱落しないように、チャンバーとフィルタに鍵状の構成を有したものであり、別部材を用いる事無くフィルタの脱落を防止できるという作用を有する。
【００３９】
また本発明の請求項１１記載の発明は、最下段にある集塵フィルタの吹出側に磁力の有無により視認できる表示手段を設けたものであり、磁力の有無を視認できることで、ファンモータが駆動していることが吹出側から確認できるという作用を有する。
【００４０】
また本発明の請求項１２記載の発明は、最下段にある集塵フィルタの吹出側に吹出面の風速を平均化する部材を、磁性に反応し吸着される材料で構成することにより前記部材の着脱を磁力により可能としたものである、風速を平均化する部材を磁力により着脱できるという作用を有する。
【００４１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４２】
（実施の形態１）
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態によるファンフィルタユニットは、ファン１とモータ２からなるファンユニット３を上部に吸込口を有した箱形状のチャンバー４に内蔵し、ファンユニット３の吹出側となる下方にはフィルタ５を設けている。フィルタ５は波形状に折曲して形成された濾材５ａと、濾材５ａを枠体５ｂの内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体５ｂとを備えている。チャンバー４のフィルタ５取り付け面は、永久磁力のある材料としての磁石６を有しており、フィルタ５のチャンバー４取り付け面を含む枠体５ｂは、磁性に反応し吸着される材料としての鋼板製で構成される。
【００４３】
上記構成において、フィルタ５の着脱の際に、螺旋や工具を用いることなく、チャンバー４にフィルタ５を取り付け、取り外すことができる。
【００４４】
なお、本実施の形態では、フィルタ５の枠体５ｂに磁石６を有したが、チャンバー４のフィルタ５取り付け面に磁石６を有し、枠体５ｂを磁性に反応し吸着される材料にかえてもよく、その作用効果に差異を生じない。
【００４５】
（実施の形態２）
実施の形態１と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図２に示すように、チャンバー４のフィルタ５取り付け面は、電気により磁力を発生する部材としての電磁石７を有しており、フィルタ５のチャンバー４取り付け面を含む枠体５ｂは、磁性に反応し吸着される材料としての鋼板製で構成されたものである。電源の入り切りによる電磁力の発生によりフィルタ５の着脱をすることができる。
【００４６】
（実施の形態３）
図３に示すように、本発明の第３の実施の形態によるファンフィルタユニットは、ファン１とモータ２からなるファンユニット３を上部に吸込口を有した箱形状のチャンバー４に内蔵し、ファンユニット３の吹出側最下段に集塵フィルタ８を設けており、チャンバー４と集塵フィルタ８との間にはケミカルフィルタ９を挟持している。集塵フィルタ８およびケミカルフィルタ９は濾材８ａ、９ａと、濾材８ａ、９ａを保持した枠体８ｂ、９ｂとを備えている。チャンバー４のケミカルフィルタ９取り付け面およびケミカルフィルタ９の集塵フィルタ８取り付け面は永久磁力のある材料としての磁石６を有しており、ケミカルフィルタ９のチャンバー４取り付け面を含む枠体９ｂおよび集塵フィルタ８のケミカルフィルタ９取り付け面を含む枠体８ｂは、磁性に反応し吸着される材料としての鋼板製で構成される。
【００４７】
上記構成において、ケミカルフィルタ９や集塵フィルタ８が多段層となっても構成部品を増やすことなく磁力によって、ケミカルフィルタ９や集塵フィルタ８を取り付け、取り外すことができる。
【００４８】
（実施の形態４）
実施の形態３と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図４に示すように、チャンバー４およびケミカルフィルタ９の枠体９ｂは、磁性に反応し吸着される材料としての鋼板製で構成されており、集塵フィルタ８の吸込側フィルタ取り付け面は、永久磁力のある材料としての強力な磁石１０を有したもので構成される。
【００４９】
上記構成において、ケミカルフィルタ９および集塵フィルタ８の着脱を磁力により可能としたものであり、ケミカルフィルタ９や集塵フィルタ８が多段層となっても、最下段にあるフィルタのみを着脱することで、多段層となったフィルタの取り付けを短時間で容易にできる。
【００５０】
（実施の形態５）
図５に示すように、本発明の第５の実施の形態によるファンフィルタユニットは、ファン１とモータ２からなるファンユニット３を上部に吸込口を有した箱形状のチャンバー４に内蔵し、ファンユニット３の吹出側最下段に集塵フィルタ８を設けており、チャンバー４と集塵フィルタ８との間にはケミカルフィルタ９を挟持している。集塵フィルタ８およびケミカルフィルタ９は濾材８ａ、９ａと、濾材８ａ、９ａを保持した枠体８ｂ、９ｂとを備えている。チャンバー４は、磁性に反応し吸着される材料としての鋼板製で構成されており、ケミカルフィルタ９のチャンバー４取り付け面および集塵フィルタ８のケミカルフィルタ９取り付け面は、モータ２を駆動させている電気をケーブル１１によって給電し磁力を発生する部材としての電磁石７を有したもので構成される。
【００５１】
上記構成において、ケミカルフィルタ９および集塵フィルタ８の着脱を電磁力により可能としたものであり、ケミカルフィルタ９や集塵フィルタ８が多段層となっても、各フィルタの取り付けを電源の入り切りによって、大きな力を必要とせずにできる。
【００５２】
（実施の形態６）
実施の形態５と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図６に示すように、チャンバー４およびケミカルフィルタ９の枠体９ｂは、磁性に反応し吸着される材料としての鋼板製で構成されており、集塵フィルタ８の吸込側フィルタ取り付け面は、モータ２を駆動させている電気をケーブル１１によって給電し磁力を発生する部材としての強力な電磁石１２を有したもので構成される。
【００５３】
上記構成において、ケミカルフィルタ９および集塵フィルタ８の着脱を電磁力により可能としたものであり、ケミカルフィルタ９や集塵フィルタ８が多段層となっても、最下段にあるフィルタの取り付けを電源の入り切りによって、大きな力を必要とせず多段層となったフィルタの取り付けを短時間で容易にできる。
【００５４】
（実施の形態７）
実施の形態５と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図７に示すように、モータ２を駆動させている電気を各層のフィルタとの接合面で給電し、その電気により磁力を発生する部材としての給電付電磁石１３を有したもので構成される。
【００５５】
上記構成において、ケミカルフィルタ９および集塵フィルタ８の着脱を電磁力により可能としたものであり、接合面での給電とすることで給電用の構成部品を要せずに、電源の入り切りによりフィルタの着脱作業ができる。
【００５６】
（実施の形態８）
図８に示すように、本発明の第８の実施の形態によるファンフィルタユニットは、ファン１とモータ２からなるファンユニット３を上部に吸込口を有した箱形状のチャンバー４に内蔵し、ファンユニット３の吹出側最下段に集塵フィルタ８を設けており、チャンバー４と集塵フィルタ８との間にはケミカルフィルタ９を挟持している。集塵フィルタ８およびケミカルフィルタ９は濾材８ａ、９ａと、濾材８ａ、９ａを保持した枠体８ｂ、９ｂとを備えている。
【００５７】
チャンバー４およびケミカルフィルタ９の集塵フィルタ８取り付け面は、磁性に反応し吸着される材料としての鋼板製で構成されており、ケミカルフィルタ９のチャンバー４取り付け面および集塵フィルタ８のケミカルフィルタ９取り付け面は、永久磁力のある材料としての磁石６を接合面全面に有したもので構成される。
【００５８】
上記構成において、各層のフィルタ取り付け面の全面に磁性を有することで、接合面の気密を向上し接合面にある気密のためのパッキン１４を薄肉にできる。
【００５９】
（実施の形態９）
実施の形態２と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図９に示すように、給電の停止により電気による磁力がなくなることで、フィルタ５が脱落しないよう、チャンバー４とフィルタ５を連結する部材としてのチェーン１５を有したもので構成される。
【００６０】
上記構成において、連結部材を用いることでフィルタ５の脱落を防止することができる。
【００６１】
（実施の形態１０）
実施の形態２と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図１０に示すように、給電の停止により電気による磁力がなくなることで、フィルタ５が脱落しないよう、チャンバー４のフィルタ５取り付け面に突出形状部４ａを有しており、またフィルタ５の枠体５ｂはコの字形状部５ｃを有しており、フィルタ５を取り付けるときに突出形状部４ａにコの字形状部５ｃをスライドさせて嵌め込むようにする。
【００６２】
上記構成において、構成部品を増やすことなく、フィルタの脱落を容易に防止できる。
【００６３】
（実施の形態１１）
実施の形態２と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図１１に示すように、フィルタ５の枠体５ｂの吹出側に、磁力の有無により視認できる表示手段としての中空で中に砂鉄１６ａが容積の半分程度を封入した砂鉄表示機１６を貼り付けた構成である。
【００６４】
上記構成において、磁力が発生しているとき、つまり通電状態は砂鉄１６ａが枠体５ｂに寄せ付けられ、また非通電状態は磁力の発生が無く砂鉄１６ａが下方（吹出側）にある状態となり砂鉄１６ａの動きにより色の違いがおこることで視認が可能となり、吹出側より通電の有無を確認できる。
【００６５】
（実施の形態１２）
実施の形態１と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図１２に示すように、フィルタ５の吹出側に、吹出面の風速を平均化する部材としての拡散パネル１７を有しており、拡散パネル１７は磁性に反応し吸着される材料としての鋼板製で構成される。
【００６６】
上記構成において、拡散パネル１７の着脱を磁力により可能としたものであり、施工のときなど風速を平均化する必要性に応じて、構成部品を要することなく着脱できる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
風路内の状況把握するセンサーを任意（希望）位置へ配置させつつ、ファンフィルタユニット下方に一体化させることにより、ばらばらなセッティングが不要となり、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とし、省施工を必要とするクリーンルームや製造装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルタユニットの断面図
【図２】本発明の実施の形態２のファンフィルタユニットの断面図
【図３】本発明の実施の形態３のファンフィルタユニットの断面図
【図４】本発明の実施の形態４のファンフィルタユニットの断面図
【図５】本発明の実施の形態５のファンフィルタユニットの断面図
【図６】本発明の実施の形態６のファンフィルタユニットの断面図
【図７】本発明の実施の形態７のファンフィルタユニットの断面図
【図８】本発明の実施の形態８のファンフィルタユニットの断面図
【図９】本発明の実施の形態９のファンフィルタユニットの断面図
【図１０】本発明の実施の形態１０のファンフィルタユニットの断面図
【図１１】本発明の実施の形態１１のファンフィルタユニットの断面図
【図１２】本発明の実施の形態１２のファンフィルタユニットの断面図
【符号の説明】
【００６９】
１      ファン
２      モータ
３      ファンユニット
４      チャンバー
４ａ    突出形状部
５      フィルタ
５ａ    濾材
５ｂ    枠体
５ｃ    コの字形状部
６      磁石
７      電磁石
８      集塵フィルタ
８ａ    濾材
８ｂ    枠体
９      ケミカルフィルタ
９ａ    濾材
９ｂ    枠体
１０    磁石
１１    ケーブル
１２    電磁石
１３    給電付電磁石
１４    パッキン
１５    チェーン
１６    砂鉄表示機
１６ａ  砂鉄
１７    拡散パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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