(57)【要約】【課題】製品に含まれている有用物を高い回収率で回収できるリサイクルシステム、リサイクル方法、及びリサイクルプログラムを提供する。【解決手段】リサイクルシステムは、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて、プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物の単位量中の有用物の比率を格納する不要物情報格納部と、工場識別子に対応する工場でのプロセス識別子に対応するプロセス工程の開始時期を取得する開始時期取得部と、開始時期取得部が取得した開始時期に応じて、材料から生じる不要物を回収する回収可能時期を決定する回収可能時期決定部と、決定した回収可能時期に回収する不要物の量を示す不要物量情報を取得する不要物量取得部と、不要物量取得部が取得した不要物量情報と不要物情報格納部が格納する有用物の比率とに応じて工場に供給する材料の値引率を算出する値引率算出部とを備える。【選択図】図１
2009134655.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品を製造する工場を識別する工場識別子及び前記工場でのプロセス工程を識別するプロセス識別子に対応づけて、前記プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物の単位量中の有用物の比率を格納する不要物情報格納部と、
前記工場識別子に対応する前記工場での前記プロセス識別子に対応する前記プロセス工程の開始時期を、前記工場識別子及び前記プロセス識別子に対応づけて取得する開始時期取得部と、
前記開始時期取得部が取得した前記開始時期に応じて、前記プロセス工程において用いられる前記材料から生じる前記不要物を回収する回収可能時期を決定する回収可能時期決定部と、
前記回収可能時期決定部が決定した前記回収可能時期に回収する前記不要物の量を示す不要物量情報を取得する不要物量取得部と、
前記不要物量取得部が取得した前記不要物量情報と前記不要物情報格納部が格納する前記有用物の比率とに応じて前記工場に供給する前記材料の値引率を算出する値引率算出部と
を備えるリサイクルシステム。
【請求項２】
前記開始時期取得部は、前記不要物中の前記有用物を抽出する抽出装置の抽出時期を更に取得し、
前記回収可能時期決定部は、前記開始時期取得部が取得した前記抽出時期と前記開始時期とに応じて前記回収可能時期を決定する
請求項１に記載のリサイクルシステム。
【請求項３】
前記不要物情報格納部は、前記工場識別子に対応づけて、複数の前記プロセス工程のそれぞれを識別する複数の前記プロセス識別子を格納し、
前記開始時期取得部は、複数の前記プロセス工程の前記開始時期を、複数の前記プロセス工程ごとに取得し、
前記回収可能時期決定部は、複数の前記プロセス工程のそれぞれにおいて用いられる前記材料から生じる前記不要物を回収する前記回収可能時期のそれぞれを、複数の前記プロセス工程のそれぞれから生じる前記不要物ごとに、前記不要物中の前記有用物を抽出する抽出装置の単位時間当たりの処理量に応じて決定する
請求項１又は２に記載のリサイクルシステム。
【請求項４】
前記不要物情報格納部は、前記プロセス識別子に対応づけて前記プロセス識別子で識別される前記プロセス工程の開始から前記不要物が回収されるまでの回収時間を更に格納し、
前記回収可能時期決定部は、前記不要物情報格納部が格納する前記回収時間と前記開始時期取得部が取得した前記開始時期とに応じて、前記回収可能時期を決定する
請求項１から３のいずれか１項に記載のリサイクルシステム。
【請求項５】
前記工場識別子で識別される前記工場ごとに、前記工場での前記プロセス工程の変更に応じて、前記不要物情報格納部が前記プロセス識別子に対応づけて格納する前記有用物の比率を更新するデータ更新部
を更に備える請求項１から４のいずれか１項に記載のリサイクルシステム。
【請求項６】
前記データ更新部は、
前記不要物中の前記有用物を抽出する抽出装置が、前記工場から前記回収可能時期に回収した前記不要物の単位量当たりから抽出した前記有用物の比率と、前記不要物情報格納部が前記プロセス識別子に対応づけて格納している前記有用物の比率とを比較する比率比較部と、
前記比率比較部の比較結果に応じて、前記不要物情報格納部が前記プロセス識別子に対応づけて格納する前記有用物の比率を更新するか否かを決定する更新可否決定部と、
前記更新可否決定部の決定結果に応じて、前記不要物情報格納部が格納する前記有用物の比率の更新を制御する更新制御部と
を有する請求項５に記載のリサイクルシステム。
【請求項７】
前記回収可能時期決定部が決定した前記回収可能時期に回収した前記不要物を一次精製装置において一次精製して得られる一次精製物中から前記有用物を抽出する抽出装置の抽出時期と前記不要物量取得部が取得した前記不要物量情報とに応じて、前記一次精製物の前記抽出装置への供給量を決定する供給量決定部
を更に備える請求項１から６のいずれか１項に記載のリサイクルシステム。
【請求項８】
工場を識別する工場識別子に対応する前記工場でのプロセス工程を識別するプロセス識別子に対応する前記プロセス工程の開始時期を、前記工場識別子及び前記プロセス識別子に対応づけて取得する開始時期取得段階と、
前記開始時期取得段階において取得された前記開始時期に応じて、前記プロセス工程において用いられる前記材料から生じる前記不要物を回収する回収可能時期を決定する回収可能時期決定段階と、
前記回収可能時期決定段階において決定された前記回収可能時期に回収した前記不要物の量を示す不要物量情報を取得する不要物量取得段階と、
前記不要物量取得段階において取得された前記不要物量情報と、前記工場識別子及び前記プロセス識別子に対応づけて前記プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物の単位量中の有用物の比率を格納する不要物情報格納部から取得した前記有用物の比率とに応じて前記工場に供給する前記材料の値引率を算出する値引率算出段階と
を備えるリサイクル方法。
【請求項９】
不要物中の有用物の比率に応じて工場に供給する材料の値引率を算出するリサイクルシステム用のリサイクルプログラムであって、前記リサイクルシステムを、
工場を識別する工場識別子及び前記工場でのプロセス工程を識別するプロセス識別子に対応づけて、前記プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物の単位量中の有用物の比率を格納する不要物情報格納部、
前記工場識別子に対応する前記工場での前記プロセス識別子に対応する前記プロセス工程の開始時期を、前記工場識別子及び前記プロセス識別子に対応づけて取得する開始時期取得部、
前記開始時期取得部が取得した前記開始時期に応じて、前記プロセス工程において用いられる前記材料から生じる前記不要物を回収する回収可能時期を決定する回収可能時期決定部、
前記回収可能時期決定部が決定した前記回収可能時期に回収した前記不要物の量を示す不要物量情報を取得する不要物量取得部、
前記不要物量取得部が取得した前記不要物量情報と前記不要物情報格納部が格納する前記有用物の比率とに応じて前記工場に供給する前記材料の値引率を算出する値引率算出部
として機能させるリサイクルプログラム。
【請求項１０】
廃棄物としての化合物屑中の有用材料の比率を格納する比率格納部と、
前記化合物屑の重量を取得する重量取得部と、
前記重量取得部が取得した前記重量に前記比率格納部が格納する前記比率を乗じて前記化合物屑中の前記有用材料の重量を判定する重量判定部と
を備えるリサイクルシステム。
【請求項１１】
前記重量判定部が判定した前記有用材料の重量に基づいて、前記有用材料を含んだ化合物の価格を決定する化合物価格決定部
を更に備える請求項１０に記載のリサイクルシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リサイクルシステム、リサイクル方法、及びリサイクルプログラムに関する。特に、本発明は、製品に含まれている有用物を、製品から高い回収率で回収するリサイクルシステム、リサイクル方法、及びリサイクルプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、様々な電子部品に埋蔵鉱量に限りのある材料、例えば、銅、鉛、亜鉛、金、銀、すず、ニッケル、マンガン、アンチモン、リチウム、インジウム、及びガリウム等を含んだ材料が用いられている。これらの材料の消費量は年々増加しており、将来的には、埋蔵鉱量の数倍以上の消費量が予測されている。このような状況下において、現状の資源利用の手法では、資源を利用することが今後困難になるという予測がある（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、例えば、電子デバイス等に用いられるＧａＡｓ系のガリウムについては、結晶用ガリウム、及びエピタキシャル成長用のガリウム等が存在する。そして、ガリウム系製品の生産工程で発生する工程スクラップ（例えば、ＧａＡｓ単結晶基板の製造工程において発生するＧａＡｓ屑）は、比較的高い回収率で回収されている（例えば、非特許文献２参照）。
【０００４】
【非特許文献１】独立行政法人  物質・材料研究機構、“２０５０年までに世界的な資源制約の壁”、［平成１９年１０月３０日検索］、インターネット（URL：http://www.nims.go.jp/jpn/news/press/press178.html）
【非特許文献２】（独）石油天然ガス・金属鉱物資源機構、“鉱物資源マテリアルフロー（平成１８年度調査レポート）”、［平成１９年１０月３０日検索］、インターネット（URL：http://www.jogmec.go.jp/mric_web/jouhou/material/2006/Ga.pdf）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、非特許文献２に記載されているように、一例とし、使用済みガリウム系製品（例えば、ＧａＡｓ単結晶基板を用いて製造される電子デバイス等）から回収されるＧａＡｓ系のスクラップの回収率は極めて低い。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、製品に含まれている有用物を、製品から高い回収率で回収することができるリサイクルシステム、リサイクル方法、及びリサイクルプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するため、製品を製造する工場を識別する工場識別子及び工場でのプロセス工程を識別するプロセス識別子に対応づけて、プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物の単位量中の有用物の比率を格納する不要物情報格納部と、工場識別子に対応する工場でのプロセス識別子に対応するプロセス工程の開始時期を、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて取得する開始時期取得部と、開始時期取得部が取得した開始時期に応じて、プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物を回収する回収可能時期を決定する回収可能時期決定部と、回収可能時期決定部が決定した回収可能時期に回収する不要物の量を示す不要物量情報を取得する不要物量取得部と、不要物量取得部が取得した不要物量情報と不要物情報格納部が格納する有用物の比率とに応じて工場に供給する材料の値引率を算出する値引率算出部とを備えるリサイクルシステムが提供される。
【０００８】
また、本発明は、上記目的を達成するため、工場を識別する工場識別子に対応する工場でのプロセス工程を識別するプロセス識別子に対応するプロセス工程の開始時期を、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて取得する開始時期取得段階と、開始時期取得段階において取得された開始時期に応じて、プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物を回収する回収可能時期を決定する回収可能時期決定段階と、回収可能時期決定段階において決定された回収可能時期に回収した不要物の量を示す不要物量情報を取得する不要物量取得段階と、不要物量取得段階において取得された不要物量情報と、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけてプロセス工程において用いられる材料から生じる不要物の単位量中の有用物の比率を格納する不要物情報格納部から取得した有用物の比率とに応じて工場に供給する材料の値引率を算出する値引率算出段階とを備えるリサイクル方法が提供される。
【０００９】
また、本発明は、上記目的を達成するため、不要物中の有用物の比率に応じて工場に供給する材料の値引率を算出するリサイクルシステム用のリサイクルプログラムであって、リサイクルシステムを、工場を識別する工場識別子及び工場でのプロセス工程を識別するプロセス識別子に対応づけて、プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物の単位量中の有用物の比率を格納する不要物情報格納部、工場識別子に対応する工場でのプロセス識別子に対応するプロセス工程の開始時期を、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて取得する開始時期取得部、開始時期取得部が取得した開始時期に応じて、プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物を回収する回収可能時期を決定する回収可能時期決定部、回収可能時期決定部が決定した回収可能時期に回収した不要物の量を示す不要物量情報を取得する不要物量取得部、不要物量取得部が取得した不要物量情報と不要物情報格納部が格納する前記有用物の比率とに応じて工場に供給する材料の値引率を算出する値引率算出部として機能させるリサイクルプログラムが提供される。
【００１０】
また、本発明は、上記目的を達成するため、廃棄物としての化合物屑中の有用材料の比率を格納する比率格納部と、化合物屑の重量を取得する重量取得部と、重量取得部が取得した重量に比率格納部が格納する比率を乗じて化合物屑中の有用材料の重量を判定する重量判定部とを備えるリサイクルシステムが提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のリサイクルシステム、リサイクル方法、及びリサイクルプログラムによれば、製品に含まれている有用物を、製品から高い回収率で回収することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るリサイクルシステムの概要図を示す。
【００１３】
本発明の第１の実施の形態に係るリサイクルシステム１ａは、製品を製造する工場４において生じた廃棄物を回収し、回収した廃棄物の重量から廃棄物中に含まれる有用物の量を判定し、判定した有用物の量に応じて製品の製造に要する材料の価格を自動的に設定して、設定した価格で材料を工場４に納入する。すなわち、本実施の形態に係るリサイクルシステム１ａは、廃棄物中の有用物の比率を予め格納した供給サーバー２０において、工場４から排出された廃棄物中に含まれる有用物を実際に抽出する前に、工場４から廃棄物を受け取った段階で、受け取った廃棄物中の有用物の量を判定して、工場４に新たに納入する材料の価格を決定することにより、新たな材料を工場４にタイムラグなしに納入する。
【００１４】
（リサイクルシステム１ａの構成の概要）
本発明の第１の実施の形態に係るリサイクルシステム１ａは、製品の原材料としての材料を供給する供給メーカー２に設置される供給サーバー２０と、供給メーカー２が供給する材料から製品を製造する工場４に設置される工場サーバー４０と、製品の製造において材料から生じた廃棄物としての不要物中の有用材料としての有用物を抽出するリサイクルメーカー３に設置されるリサイクルサーバー３０とを備える。ここで、工場４は、例えば、工場４ａ、・・・工場４ｚのように複数存在していてもよく、この場合、各工場に工場サーバー４０（例えば、工場４ａに工場サーバー４０ａ、工場４ｚに工場サーバー４０ｚ）がそれぞれ設置される。
【００１５】
供給サーバー２０とリサイクルサーバー３０と工場サーバー４０とはそれぞれ、インターネット、Ｗｉｄｅ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ（ＷＡＮ）、Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ（ＬＡＮ）、又はＶｉｒｔｕａｌ  Ｐｒｉｖａｔｅ  Ｎｅｔｗｏｒｋ（ＶＰＮ）等のネットワーク５を介して相互に通信可能に接続される。また、供給メーカー２は、原材料成長装置として、材料としての基板を成長する結晶成長装置２５と、工場４において生じた不要物及び結晶成長装置２５において生じた不要物を集積する不要物集積所２７とを有する。更に、リサイクルメーカー３は、不要物中の有用物を抽出する抽出装置３５を有する。
【００１６】
本実施の形態に係る製品は、化合物としての化合物半導体の単結晶基板を用いて形成される電子デバイスであり、一例として、発光ダイオード、半導体レーザ、電界効果トランジスタ、マイクロ波用電子デバイス等の電子デバイスである。また、本実施の形態に係る材料は、化合物半導体の単結晶基板であって、一例として、ＧａＡｓ単結晶基板、ＧａＰ単結晶基板、ＩｎＰ単結晶基板等の単結晶基板である。単結晶基板としては、ｎ型、又はｐ型のドーパントが所定の濃度ドーピングされている単結晶基板、又は不純物がドーピングされていないｉ型の単結晶基板が挙げられる。
【００１７】
なお、製品は電子デバイスに限らず、所定の材料を用いて製造される物品であって、その製造工程において有用物を含む不要物を廃棄物として排出する物品であれば、携帯電話、家電製品、自動車等の製品であってもよい。この場合、不要物は、携帯電話、家電製品、又は自動車等の廃材、すなわち、携帯電話に含まれる電子部品、家電製品に含まれる電子部品、ステンレス等の金属材料、ゴム、プラスチック等の合成樹脂材料、ガラス等の無機材料等である。そして、この場合の有用物は、携帯電話や家電製品中の電子部品自体、電子部品中の金等の貴金属材料、金属材料中の鉄等の金属材料等が、一例として挙げられる。
【００１８】
本実施の形態に係る不要物は、工場４において電子デバイスを製造する際に材料から生じる不要物であって、一例として、研削工程、研磨工程、チップ化工程等のデバイスプロセス工程において生じた化合物単結晶の屑及び又は破片である。なお、デバイスプロセス工程中に生じた欠損品から排出される屑を、不要物としてもよい。例えば、化合物屑としての化合物単結晶の屑は、ＧａＡｓ屑、ＧａＰ屑、ＩｎＰ屑等である。更に、本実施の形態に係る有用物は、不要物に含まれ、リサイクルにより新たに材料（例えば、化合物半導体の単結晶基板）を製造する際に用いられる有用物であって、一例として、金属Ｇａ、金属Ｉｎ等の金属材料である。また、不要物が、Ａｓ、Ｐ等の所定の化合物の場合、当該化合物中のＡｓ、Ｐ等の元素が有用物となる。
【００１９】
（リサイクルシステム１ａの動作の概要）
第１の実施の形態に係るリサイクルシステム１ａは、工場４における電子デバイスの製造プロセスの開始時期から自動的に決定される化合物屑としての化合物半導体屑が排出されるタイミングに応じて、工場４において生じた廃棄物としての化合物半導体屑を回収する。そして、回収した化合物半導体屑の重量から、工場４に納入する材料の値引率又は価格を自動的に決定する。
【００２０】
以下に説明する第１の実施の形態の動作の概要においては、一例として、材料をＧａＡｓ単結晶基板とし、不要物をＧａＡｓ屑とし、有用物をＧａＡｓ屑中のＧａとして説明する。
【００２１】
まず、リサイクルサーバー３０は、抽出装置３５の稼働時期を示す抽出時期としての稼働時期情報、及び抽出装置３５において単位時間当たり、又は１回の工程において処理できるＧａＡｓ屑の量を示す処理量情報を、ネットワーク５を介して供給サーバー２０に供給する（Ｓ５）。なお、処理量情報は、抽出装置３５が単位時間あたりに抽出できる金属Ｇａの量を示す情報を含んでいてもよい。また、リサイクルサーバー３０は、ＧａＡｓ屑中に含まれる不純物（ドーパント、研磨剤、及び／又は金属屑等）の種類に応じて決定される品位に対応づけて、抽出時期及び処理量情報を格納してもよい。供給サーバー２０は、抽出時期及び処理量情報を格納する。
【００２２】
工場サーバー４０ａは、工場４ａにおいてＧａＡｓ基板を用いたプロセス工程を開始する日時を示す開始時期を、ネットワーク５を介して供給サーバー２０に供給する（Ｓ１０）。同様にして、工場サーバー４０ｚは、工場４ｚにおける開始時期を、ネットワーク５を介して供給サーバー２０に供給する（Ｓ１２）。供給サーバー２０は、受け取った開始時期を工場ごとに対応づけて格納する。
【００２３】
供給サーバー２０は、工場サーバー４０ａから受け取った開始時期から工場４ａにおいてＧａＡｓ屑が排出される日時を示す回収可能時期を自動的に算出する（Ｓ２０）。また、供給サーバー２０は、工場サーバー４０ｚから受け取った開始時期から工場４ｚにおいてＧａＡｓ屑が排出される日時を示す回収可能時期を自動的に算出する（Ｓ２０）。なお、供給サーバー２０は、リサイクルメーカー３に供給するＧａＡｓ屑の量の平準化を図ることを目的として、予め格納している抽出時期及び処理量情報に基づいて、各工場４からＧａＡｓ屑を回収する回収可能時期を算出することもできる。
【００２４】
供給サーバー２０は、算出した回収可能時期に工場４ａから排出されるＧａＡｓ屑を回収すべく、回収業者にＧａＡｓ屑の回収を指示する。回収業者は、供給サーバー２０から受け取った指示に応じて、工場４ａからＧａＡｓ屑を回収する（Ｓ３０）。回収業者が回収したＧａＡｓ屑は、供給メーカー２の不要物集積所２７に集積される。同様にして、供給サーバー２０は、算出した回収可能時期に工場４ｚから排出されるＧａＡｓ屑を回収すべく、回収業者にＧａＡｓ屑の回収を指示する。回収業者が工場４ｚから回収したＧａＡｓ屑も、不要物集積所２７に集積される（Ｓ３２）。
【００２５】
供給サーバー２０は、不要物集積所２７に集積されたＧａＡｓ屑の重量を工場４及びプロセス工程ごとに自動的に取得する（Ｓ３５）。ここで、供給サーバー２０は、工場４ごとに所定のプロセス工程において排出されるＧａＡｓ屑中に含まれるＧａの比率を予め格納している。供給サーバー２０は、ＧａＡｓ屑の重量と、工場４のプロセス工程ごとに予め格納しているＧａＡｓ屑中に含まれるＧａの比率とから、工場４ａ、・・・工場４ｚから受け取ったＧａＡｓ屑中に含まれるＧａの重量を工場４のプロセス工程ごとに算出する。そして、供給サーバー２０は、算出したＧａの重量に基づいて、工場４ａ、・・・工場４ｚに納入するＧａＡｓ基板の値引率又は価格を工場４ごとに算出する（Ｓ４０）。そして、供給サーバー２０が算出した価格で、結晶成長装置２５において成長したＧａＡｓ単結晶基板を工場４に納入する（Ｓ５０、Ｓ５２）。
【００２６】
すなわち、本実施の形態においては、工場４からＧａＡｓ屑を回収して、回収したＧａＡｓ屑に含まれるＧａがリサイクルメーカー３において抽出される前に、工場４に納入するＧａＡｓ単結晶基板の価格を供給サーバー２０が自動的に決定する。これにより、工場４から回収したＧａＡｓ屑中に実際に含まれるＧａが抽出されるまで工場４へのＧａＡｓ単結晶基板の納入を待機することを要さないので、供給メーカー２は、ＧａＡｓ屑中に含まれるＧａの量に応じて決定した価格で、工場４へタイムラグなしにＧａＡｓ単結晶基板を納入できる。また、供給メーカー２に供給したＧａＡｓ屑の量に応じて供給メーカー２から工場４に新たに納入されるＧａＡｓ単結晶基板の価格が決定されるので、工場４において排出されたＧａＡｓ屑を供給メーカー２に供給しようとするインセンティブを、工場４側に与えることができる。
【００２７】
続いて、不要物集積所２７に集積されたＧａＡｓ屑は、リサイクルメーカー３に供給される（Ｓ６０）。この場合において、ＧａＡｓ屑は、工場４のデバイスプロセス工程ごとにそれぞれ対応づけて回収される。また、供給サーバー２０は、リサイクルメーカー３に供給されるＧａＡｓ屑の量を平準化すべく、抽出時期及び処理量情報に基づいてＧａＡｓ屑をリサイクルメーカー３に供給する日時及びＧａＡｓ屑の量を算出することもできる。
【００２８】
抽出装置３５は、回収したＧａＡｓ屑からＧａを金属Ｇａとして抽出する（Ｓ７０）。抽出装置３５において抽出された金属Ｇａは、供給メーカー２の結晶成長装置２５に供給される（Ｓ８０）。結晶成長装置２５は、受け取った金属Ｇａを用いて、ＧａＡｓ単結晶を成長する（Ｓ９０）。なお、結晶成長装置２５は、ＧａＡｓ屑から抽出された金属Ｇａだけではなく、鉱石から抽出・精製された金属Ｇａを用いることもできる。そして、供給メーカー２は、結晶成長装置２５において生産したＧａＡｓ単結晶基板を、在庫として保管する。
【００２９】
図２は、本発明の第１の実施の形態に係る供給サーバーの機能構成を示すブロック図である。
【００３０】
第１の実施の形態に係る供給サーバー２０は、ネットワーク５を通じて外部の工場サーバー４０及びリサイクルサーバー３０との間で情報を送受信するデータ送受信部２００と、工場４におけるプロセス工程において用いられる材料から生じる不要物中の有用物の比率を少なくとも格納する不要物情報格納部２２０と、不要物情報格納部２２０が格納している情報とデータ送受信部２００が受信した情報とに基づいて、不要物を回収する時期を決定すると共に不要物の回収を指示する情報をデータ送受信部２００に供給する回収制御ユニット２１０と、不要物の量を示す情報を取得する不要物量取得部２３０と、不要物情報格納部２２０が格納している情報と不要物量取得部２３０が取得した情報とから材料の値引率を算出する値引率算出部２４０とを有する。
【００３１】
また、本実施の形態に係る供給サーバー２０は、データ送受信部２００から受け取った情報に基づいて、不要物情報格納部２２０が格納している情報を更新するデータ更新部２５０と、不要物情報格納部２２０に情報を格納する入力部２６０と、値引率算出部２４０が算出した値引率を示す情報を出力する出力部２６５とを更に備える。
【００３２】
そして、回収制御ユニット２１０は、工場４におけるプロセス工程としてのデバイスプロセス工程が開始する時期を取得する開始時期取得部２１２と、開始時期取得部２１２が取得した時期と不要物情報格納部２２０が格納している情報とから不要物を回収する時期を決定する回収可能時期決定部２１４と、不要物を回収する時期を回収業者に供給する回収指示制御部２１６とを含む。また、データ更新部２５０は、リサイクルサーバー３０から受け取った不要物中の有用物の比率と不要物情報格納部２２０が予め格納している有用物の比率とを比較する比率比較部２５２と、比率比較部２５２の結果に応じて不要物情報格納部２２０が格納している情報の更新の可否を決定する更新可否決定部２５４と、更新可否決定部２５４の決定に応じて不要物情報格納部２２０が格納している情報を更新する更新制御部２５６とを含む。
【００３３】
具体的に、データ送受信部２００は、ネットワーク５を介して外部の工場サーバー４０から受け取った当該工場サーバー４０が格納しているプロセス工程の開始時期、及び外部のリサイクルサーバー３０から受け取った抽出装置３５の抽出時期と処理量情報とを、開始時期所得部２１２に供給する。また、データ送受信部２００は、ネットワーク５を介して外部のリサイクルサーバー３０から受け取った当該リサイクルサーバー３０が取得した有用物の実際の比率を、比率比較部２５２に供給する。更に、データ送受信部２００は、不要物集積所２７において取得された不要物の量を示す不要物量情報を、不要物量取得部２３０に供給する。
【００３４】
比率格納部としての不要物情報格納部２２０は、工場４を一意に識別する工場識別子、及び当該工場識別子で識別される工場４でのプロセス工程を一意に識別するプロセス識別子に対応づけて、当該プロセス工程において製造される製品に用いられる材料から生じる不要物の単位量中の有用物の比率を格納する。不要物情報格納部２２０は、工場識別子に対応づけて、複数のプロセス工程をそれぞれ識別する複数のプロセス識別子を格納することもできる。この場合、不要物情報格納部２２０は、複数のプロセス識別子で識別されるプロセス工程ごとに、有用物の比率を格納する。
【００３５】
更に、不要物情報格納部２２０は、プロセス識別子に対応づけて、プロセス識別子で識別されるプロセス工程の開始から不要物が回収されるまでの回収時間を格納する。不要物情報格納部２２０は、複数のプロセス識別子に対応づけて、複数のプロセス識別子で識別されるプロセス工程のそれぞれにおける回収時間を格納することもできる。なお、不要物情報格納部２２０が格納する回収時間は、秒、分、時間、日、週、及び／又は月単位で表される情報である。
【００３６】
また、不要物情報格納部２２０は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて、当該プロセス識別子で識別されるプロセス工程において用いられる材料の使用量、及びプロセス工程で使用される材料の単位量から生じる不要物の比率を格納することもできる。なお、不要物情報格納部２２０に最初に有用物の比率を格納する場合は、一例として、工場４において排出される不要物をサンプルとして取得して、サンプルとして取得した不要物を分析して得た有用物の比率を格納する。
【００３７】
不要部情報格納部２２０は、回収可能時期決定部２１４の働きかけに応じて、回収可能時期決定部２１４に工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて格納している回収時間を供給する。また、不要物情報格納部２２０は、値引率算出部２４０の働きかけに応じて、値引率算出部２４０に、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて格納している有用物の比率を供給する。更に、不要物情報格納部２２０は、比率比較部２５２の働きかけに応じて、比率比較部２５２に工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて格納している有用物の比率を供給する。
【００３８】
回収制御ユニット２１０が含む開始時期取得部２１２は、工場識別子に対応する工場４でのプロセス工程の開始時期を、工場識別子及びプロセス工程を識別するプロセス識別子に対応づけてデータ送受信部２００から取得する。開始時期は、一例として、プロセス工程の開始日及び／又は開始時を示す情報である。開始時期取得部２１２は、工場４において複数のプロセス工程が実施される場合、複数のプロセス工程のそれぞれの開始時期を、工場識別子及び複数のプロセス工程のそれぞれを識別する複数のプロセス識別子に対応づけて取得する。すなわち、開始時期取得部２１２は、複数のプロセス工程ごとに、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて開始時期を取得する。
【００３９】
また、開始時期取得部２１２は、抽出装置３５の抽出時期をデータ送受信部２００から取得する。開始時期取得部２１２は、取得した開始時期と抽出時期とを、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて回収可能時期決定部２１４に供給する。
【００４０】
回収可能時期決定部２１４は、開始時期取得部２１２から受け取った開始時期と不要物情報格納部２２０が格納している回収時間とに応じて、プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物を回収する回収可能時期を決定する。すなわち、回収可能時期決定部２１４は、開始時期を受け取ったことを契機として、不要物情報格納部２２０が格納している回収時間を参照して、プロセス工程において用いられる材料から生じる不要物を回収する回収可能時期を決定する。
【００４１】
回収可能時期決定部２１４は、一例として、開始時期に回収時間を加算することにより回収可能時期を決定する。すなわち、回収可能時期決定部２１４は、開始時期取得部２１２から受け取った工場識別子及びプロセス識別子を参照して、当該工場識別子及び当該プロセス識別子に対応づけて不要物情報格納部２２０が格納している回収時間を、不要物情報格納部２２０から取得する。そして、回収可能時期決定部２１４は、開始時期取得部２１２から受け取った開始時期に、不要物情報格納部２２０から取得した回収時間を加算して、回収可能時期を決定する。
【００４２】
また、回収可能時期決定部２１４は、開始時期取得部２１２が取得した抽出時期及び抽出装置３５において１回に処理できる不要物の量を示す処理量情報と、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけられている開始時期とに応じて、回収可能時期を決定することもできる。
【００４３】
すなわち、回収可能時期決定部２１４は、まず、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて不要物情報格納部２２０が格納している材料の使用量、及びプロセス工程において使用される材料の単位量から生じる不要物の比率を取得する。そして、回収可能時期決定部２１４は、プロセス工程１回あたりにおいて排出される不要物の量を算出する。続いて、回収可能時期決定部２１４は、処理量情報と算出した不要物の量とを比較して、処理量情報が示す不要物の量を満たすのに要するプロセス工程の回数を算出する。
【００４４】
そして、回収可能時期決定部２１４は、プロセス識別子に対応づけて不要物情報格納部２２０が格納している回収時間に算出した回数を乗じて得た値を開始時期に加算することにより、回収可能時期を決定することもできる。なお、回収可能時期決定部２１４は、算出したプロセス工程の回数が整数でない場合、繰り上げ処理を実施する。例えば、回収可能時期決定部２１４は、算出して得られたプロセス工程の回数が２．４回の場合、プロセス工程の回数を３回とする。なお、本実施の形態の変形例においては、回収可能時期決定部２１４は、算出したプロセス工程の回数が整数でない場合、繰り下げ処理を実施してもよい。
【００４５】
また、回収可能時期決定部２１４は、複数のプロセス工程のそれぞれにおいて用いられる材料から生じる不要物を回収する回収可能時期のそれぞれを、複数のプロセス工程のそれぞれから生じる不要物ごとに、抽出装置３５の単位時間当たりの処理量に応じて決定することもできる。なお、単位時間とは、分単位、時間単位、日単位、週単位、又は月単位のいずれであってもよい。
【００４６】
すなわち、回収可能時期決定部２１４は、まず、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて不要物情報格納部２２０が格納している材料の使用量、及びプロセス工程において使用される材料の単位量から生じる不要物の比率を、プロセス識別子のそれぞれごとに取得する。そして、回収可能時期決定部２１４は、複数のプロセス工程のそれぞれにおいて排出される不要物の量をそれぞれ算出する。続いて、回収可能時期決定部２１４は、処理量情報に含まれる抽出装置３５の単位時間当たりの処理量と算出した不要物の量のそれぞれとを比較する。
【００４７】
そして、回収可能時期決定部２１４は、プロセス工程ごとに、予め定められた時間で抽出装置３５が処理できる処理量の不要物を回収するのに要するプロセス工程の数を算出する。そして、回収可能時期決定部２１４は、算出した回数を各プロセス工程の回収時間に乗じて得た値を開始時期に加算することにより、プロセス工程ごとに回収可能時期を決定する。
【００４８】
例えば、抽出装置３５が単位時間あたりに処理できる不要物の量をａグラム、１回のプロセス工程において生じる不要物の量をｂグラム、予め定められた時間をｃ時間とすると、抽出装置３５がｃ時間に処理できる不要物の量はａｃグラムである。そして、ａｃグラムの不要物が排出されるプロセス工程の回数は、ａｃ／ｂ回である。よって、回収可能時期決定部２１４は、回収時間にａｃ／ｂを乗じて得た値を開始時期に加算することにより、プロセス工程ごとに回収可能時期を決定できる。回収可能時期決定部２１４は、決定した回収可能時期を回収指示制御部２１６に供給する。
【００４９】
回収指示制御部２１６は、回収可能時期を示す情報を、データ送受信部２００を介して回収業者のサーバーに供給する。すなわち、データ送受信部２００は、回収指示制御部２１６から受け取った回収可能時期を示す情報を、回収業者のサーバーに供給する。回収業者のサーバーは、回収可能時期を示す情報を受け取ったことを契機として、工場４で不要物が排出されるタイミングにおいて不要物を回収すべく、不要物の回収を手配する。なお、回収業者のサーバーは、回収業者のトラック等の輸送装置に搭載できる程度の小型のサーバーであってもよい。
【００５０】
不要物量取得部２３０は、回収可能時期に回収した不要物の量を示す不要物量情報を取得する。具体的に、不要物量取得部２３０は、不要物集積所２７に集積されたＧａＡｓ屑の重量を示す不要物量情報を取得する。例えば、不要物集積所２７には、集積されたＧａＡｓ屑の重量を計測する計測装置が設置されており、不要物量取得部２３０は、不要物集積所２７の計測装置と供給サーバー２０とを通信可能に接続するＬＡＮ等のネットワークを介して、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけられた不要物量情報を取得する。不要物量取得部２３０は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて、不要物量情報を値引率算出部２４０に供給する。
【００５１】
値引率算出部２４０は、不要物量情報と不要物情報格納部２２０が格納する有用物の比率とに応じて、当該不要物中に含まれる有用物を抽出装置３５が当該不要物から抽出する前に、工場４に供給する材料の値引率を算出する。具体的に、値引率算出部２４０は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて不要物情報格納部２２０が格納している有用物の比率を参照する。そして、値引率算出部２４０は、参照した有用物の比率を不要物量情報が示す不要物の量に乗じることにより、不要物に含まれている有用物の量を算出する。更に、値引率算出部２４０は、算出した有用物の量に応じて、工場識別子で識別される工場４に納入する材料の値引率及び／又は価格を決定する。不要物の量、及び有用物の比率が高いほど、値引率算出部２４０が算出する値引率は大きくなり、材料の価格は低下する。
【００５２】
値引率算出部２４０は、算出した値引率及び／又は価格を、出力部２６５及びデータ送受信部２００に供給する。データ送受信部２００は、値引率算出部２４０が算出した値引率及び／又は価格を、工場識別子で識別される工場サーバー４０に供給する。工場サーバー４０は、当該値引率及び／又は価格を受け取ることにより、工場４に供給される材料の価格を把握できる。
【００５３】
データ更新部２５０は、工場識別子で識別される工場４ごとに、工場４でのプロセス工程の変更に応じて、不要物情報格納部２２０がプロセス識別子に対応づけて格納する有用物の比率を更新する。具体的に、データ更新部２５０が含む比率比較部２５２は、回収可能時期に工場４から回収した不要物の単位量当たりから抽出装置３５が抽出した有用物の実際の比率と、不要物情報格納部２２０が工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて格納している有用物の過去の比率とを比較する。比率比較部２５２は、有用物の実際の比率と有用物の過去の比率（すなわち、不要物情報格納部２２０が格納している比率）とを用いて、両比率の差が予め定められた範囲に入るか否か、又は一致するか否かを比較する。そして、比率比較部２５２は、比較結果を更新可否決定部２５４に供給する。
【００５４】
更新可否決定部２５４は、比率比較部２５２から受け取った比較結果に応じて、不要物情報格納部２２０がプロセス識別子に対応づけて格納している有用物の比率を更新するか否かを決定する。具体的に、有用物の実際の比率と有用物の過去の比率との差が、予め定められた範囲に入るとの比較結果を比率比較部２５２から得た場合、更新可否決定部２５４は、不要物情報格納部２２０の情報を更新しない旨を決定する。一方、有用物の実際の比率と有用物の過去の比率との差が、予め定められた範囲に入らないとの比較結果を比率比較部２５２から得た場合、更新可否決定部２５４は、不要物情報格納部２２０の情報を更新する旨を決定する。更新可否決定部２５４は、決定結果を更新制御部２５６に供給する。
【００５５】
更新制御部２５６は、更新可否決定部２５４から受け取った決定結果に応じて、不要物情報格納部２２０が格納する有用物の比率の更新を制御する。すなわち、更新制御部２５６は、不要物情報格納部２２０の情報を更新しない旨を決定結果が示す場合、不要物情報格納部２２０が格納する有用物の比率を更新しない。一方、更新制御部２５６は、不要物情報格納部２２０の情報を更新する旨を決定結果が示す場合、不要物情報格納部２２０が格納する有用物の比率を、比率比較部２５２がデータ送受信部２００から受け取った有用物の実際の比率に置き換えることにより不要物情報格納部２２０の情報を更新する。
【００５６】
入力部２６０は、不要物情報格納部２２０が格納する所定の情報を不要物情報格納部２２０に入力する。具体的に、入力部２６０は、ネットワーク５を介して受け取った所定の情報を不要物情報格納部２２０に格納する。また、入力部２６０は、例えば、キーボード及びマウス等の入力装置であってもよい。更に、入力部２６０は、磁気記録媒体等の情報記録媒体に記録されている所定の情報を読み取って、不要物情報格納部２２０に読み取った情報を格納する情報読取り／書込み装置であってもよい。出力部２６５は、値引率算出部２４０が算出した算出結果を出力する。出力部２６５は、例えば、モニタ等の表示装置、プリンタ等の出力装置、又はスピーカー等の音声出力装置である。
【００５７】
図３は、本発明の第１の実施の形態に係る不要物情報格納部のデータ構成を示す。
【００５８】
不要物情報格納部２２０は、工場識別子としての工場ＩＤと、プロセス識別子としてのプロセスＩＤとに対応づけて、プロセスＩＤで識別されるプロセス工程において排出される不要物の単位量中の有用物の比率と、プロセスＩＤで識別されるプロセス工程において不要物が回収される時間、すなわち、プロセスの開始から不要物が回収されるまでの時間とを格納する第１の不要物情報格納部２２０ａを含む（図３（ａ））。
【００５９】
不要物の単位量中の有用物の比率は、具体的に、不要物が化合物半導体の屑である場合、化合物半導体中の所定の構成成分の比率である。一例として、化合物半導体の屑がＧａＡｓ屑である場合、有用物の比率はＧａＡｓ屑の単位量中に含まれるＧａの比率である。また、回収時間は、一例として、プロセスＩＤで識別されるプロセス工程の開始時点から、ＧａＡｓ屑が排出される時点までの時間である。
【００６０】
この場合に、電子デバイス等を製造するプロセス工程においてＧａＡｓ屑が多く排出されるのは、ＧａＡｓ単結晶基板のバックラップ工程、ポリッシュ工程等である。ここで、粒子径が所定値以下のＧａＡｓ屑は、水中に長期間存在すると水中に溶解する場合がある。したがって、バックラップ工程の後において、ＧａＡｓ屑を含む水を遠心分離して、ＧａＡｓ屑と水とを分離することが好ましい。よって、本実施の形態に係る回収時間は、プロセス工程の開始からＧａＡｓ屑と水との分離が終了するまでの時間であってもよい。
【００６１】
更に、不要物情報格納部２２０は、工場ＩＤに対応づけて、当該工場ＩＤで識別される工場に関する情報を格納する第２の不要物情報格納部２２０ｂを含む（図３（ｂ））。なお、工場に関する情報とは、例えば、工場が所属する企業名、工場名、工場の所在地（住所、及び／又は緯度経度情報）、電話番号等である。また、工場に関する情報として、不要物情報格納部２２０は、供給メーカー２の所在地と工場の所在地との間の最短の道路の経路を示す情報を格納することもできる。この場合、回収指示制御部２１６は、回収業者に、不要物の回収の指示と共に、不要物を排出する工場４と供給メーカー２との間の最短の道路の経路を示す情報を送信してもよい。
【００６２】
また、不要物情報格納部２２０は、プロセスＩＤに対応づけて、当該プロセスＩＤで識別されるプロセス工程において用いられる材料に関する材料情報、プロセス工程において排出される不要物の品位情報、プロセス工程において使用される材料使用量、及びプロセス工程において用いられる材料の単位量中から生じる不要物の比率（材料の単位量中の不要物の比率）を格納する第２の不要物情報格納部２２０ｃを含む（図３（ｃ））。
【００６３】
ここで、第３の不要物情報格納部２２０ｃが格納する材料情報とは、プロセス工程において用いられる材料の内容を示す情報であって、具体的には、材料の種類を示す情報である。第３の不要物情報格納部２２０ｃが格納する材料情報は、一例として、単結晶基板の種類、単結晶基板のドーパントの有無、及び単結晶基板のドーパント濃度等を示す情報である。
【００６４】
また、第３の不要物情報格納部２２０ｃが格納する品位情報は、プロセス工程において排出される不要物の品位を示す情報であり、不要物に含まれる不要物以外の物質、一例として、不要物が化合物半導体である場合、化合物半導体中のドーパントの種類及び／又は量、並びにバックラップ工程等において用いた研磨剤の種類及び／又は量に応じて決定される情報である。例えば、不要物がＧａＡｓ屑である場合、ＧａＡｓ屑中に含まれるドーパントの種類、ドーパントの量、及び研磨剤の量に応じて品位の工程が決定される。具体的には、ＧａＡｓ屑に含まれるドーパントの量及び研磨剤の量が多いほど、第３の風要物情報格納部２２０ｃは、プロセスＩＤに対応づけて低い品位を示す品位情報を格納する。また、一例として、ＧａＡｓ屑にドーパントが含まれている場合、ＧａＡｓ屑にドーパントが含まれていない場合に比べて、ドーパントが含まれているＧａＡｓ屑の品位の方が低い品位を示す品位情報が対応づけられる。
【００６５】
なお、回収可能時期決定部２１４は、プロセスＩＤで識別されるプロセス工程において用いられる材料ごと又は品位ごとに回収可能時期を決定することもできる。回収可能時期決定部２１４が材料ごと又は品位ごとに回収可能時期を決定することにより、不要物を材料ごと又は品位ごとに回収できる。これにより、抽出装置３５は、材料ごと又は品位ごとに予め定められた抽出方法によって不要物から有用物を抽出することができるので、複数の材料又は複数の品位が混入した不要物から有用物を抽出する場合に比べて、有用物を抽出するのに要するエネルギー及び手間を省くことができる。
【００６６】
図４は、本発明の第１の実施の形態に係るリサイクルサーバーの機能構成を示すブロック図である。
【００６７】
本実施の形態に係るリサイクルサーバー３０は、ネットワーク５を介して供給サーバー２０との間で情報を送受信するリサイクルメーカー側データ送受信部３００と、抽出装置３５が不要物を抽出する稼働時期を示す抽出時期を送信する抽出時期送信制御部３１０と、抽出装置３５の稼働時期を入力する指示入力部３３０と、抽出装置３５が不要物から抽出した有用物の比率を入力する比率情報入力部３４０と、入力された有用物の比率を供給サーバー２０に送信する比率情報送信制御部３２０とを有する。
【００６８】
具体的に、リサイクルメーカー側データ送受信部３００は、ネットワーク５を介して供給サーバー２０に、抽出時期及び比率情報を送信する。指示入力部３３０は、供給サーバー２０に抽出時期を示す情報を送信する指示を受けつけ、受けつけた指示を示す情報を抽出時期送信制御部３１０に供給する。なお、指示入力部３３０は、抽出装置３５の抽出時期を示す情報を入力してもよい。この場合、指示入力部３３０は、抽出時期を示す情報と共に、供給サーバー２０に抽出時期を示す情報を送信する指示を、抽出時期送信制御部３１０に供給する。
【００６９】
また、指示入力部３３０は、抽出装置３５が単位時間あたりに処理することができる不要物の量を示す処理量情報を入力する。指示入力部３３０は、抽出装置３５が処理することのできる不要物の種類ごと、又は不要物の品位等ごとに、処理情報を入力してもよい。この場合、指示入力部３３０は、処理量情報及び抽出時期を示す情報と共に、供給サーバー２０に処理量情報及び抽出時期を示す情報を送信する指示を、抽出時期送信制御部３１０に供給する。
【００７０】
抽出時期送信制御部３１０は、指示入力部３３０から受け取った指示に応じて、リサイクルメーカー側データ送受信部３００に抽出時期を示す情報を供給サーバー２０に対して送信させる。
【００７１】
比率情報入力部３４０は、抽出装置３５に導入した不要物の量と、導入した不要物から抽出装置３５が抽出した有用物の量とから、不要物の単位量中に含まれていた有用物の実際の比率を入力する。比率情報入力部３４０は、入力された有用物の実際の比率を比率情報送信制御部３２０に供給する。なお、この場合において、比率情報入力部３４０は、不要物を排出した工場４の工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて、有用物の実際の比率を比率情報送信制御部３２０に供給する。
【００７２】
比率情報送信制御部３２０は、比率情報入力部３４０から受け取った有用物の実際の比率を、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて、リサイクルメーカー側データ送受信部３００から供給サーバー２０に送信させる。
【００７３】
図５は、本発明の第１の実施の形態に係る工場サーバーの機能構成を示すブロック図である。
【００７４】
第１の実施の形態に係る工場サーバー４０は、供給サーバー２０との間でネットワーク５を介して情報を送受信する工場側データ送受信部４００と、工場４において製造される製品のプロセス工程に関する情報を工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて格納するプロセス工程情報格納部４２０と、プロセス工程の開始時期を供給サーバー２０に送信するプロセス開始時期送信制御部４１０と、プロセス工程に関する情報をプロセス工程情報格納部４２０に格納する情報入力部４５０と、プロセス工程情報格納部４２０が格納している情報が変更された場合に変更内容に関する情報を供給サーバー２０に送信する変更情報送信制御部４３０と、プロセス工程において排出される不要物の重量を計測する不要物量計測部４４０とを有する。
【００７５】
プロセス工程情報格納部４２０は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて、プロセス工程において用いられる材料を示す材料情報と、１回のプロセス工程において使用される材料の量を示す材料使用量と、１回のプロセス工程の開始から終了までに要する時間を示す工程時間と、プロセス工程の開始から不要物を回収するまでの時間を示す回収時間との各情報を格納する。プロセス工程情報格納部４２０は、プロセス開始時期送信制御部４１０の働きかけに応じて、プロセス識別子に対応づけて格納している情報をプロセス開始時期送信制御部４１０に供給する。
【００７６】
不要物量計測部４４０は、製品の製造工程としてのプロセス工程において排出される不要物の重量を計測する。不要物量計測部４４０は、１回のプロセス工程ごとに当該プロセス工程において排出される不要物の量を計測する。一例として、不要物がＧａＡｓ屑である場合、不要物量計測部４４０は、プロセス工程において生じたＧａＡｓ屑の重量を計測する。不要物量計測部４４０は、計測した不要物の量を示す情報を工場側データ送受信部４００に供給する。
【００７７】
なお、プロセス工程において排出される不要物の重量を供給メーカー２の不要物集積所２７において測定する場合は、不要物量計測部４４０は必須ではない。但し、複数回のプロセス工程を実施して、各プロセス工程において排出される不要物の量の合計値を用いて不要物の回収可能時期を供給サーバー２０が決定する場合、不要物量計測部４４０は、各プロセス工程において排出される不要物の量を示す情報を、プロセス工程において不要物が排出されるごとに供給サーバー２０に送信する。
【００７８】
プロセス開始時期送信制御部４１０は、プロセス工程が開始される時期である開始時期を、工場側データ送受信部４００から供給サーバー２０に送信させる。変更情報送信制御部４３０は、プロセス工程情報格納部４２０が格納している情報が変更されたか否かを監視して、情報が変更された場合、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて変更された情報を工場側データ送受信部４００から供給サーバー２０に送信させる。
【００７９】
情報入力部４５０は、プロセス工程情報格納部４２０が格納する材料情報と、材料使用量と、工程時間と、回収時間とを示す情報をそれぞれ入力することにより、これらの情報をプロセス工程情報格納部４２０に格納する。情報入力部４５０は、製造する製品が変更されるごとに変化するプロセス工程についてのこれらの情報を、プロセス工程が変化するごとに入力する。また、情報入力部４５０は、プロセス開始時期送信制御部４１０に、プロセス工程が開始される開始時期を入力することにより、プロセス開始時期送信制御部４１０に供給サーバー２０に対して開始時期を送信させることもできる。
【００８０】
工場側データ送受信部４００は、不要物量計測部４４０から受け取った不要物の量を示す情報と、プロセス開始時期送信制御部４１０から受け取った開始時期と、変更情報送信制御部４３０から受け取った情報とをそれぞれ、ネットワーク５を介して供給サーバー２０に送信する。
【００８１】
図６は、本発明の第１の実施の形態に係るプロセス工程情報格納部のデータ構成を示す。
【００８２】
プロセス工程情報格納部４２０は、プロセス識別子としてのプロセスＩＤに対応づけて、材料情報と、材料使用量と、工程時間と、回収時間とのそれぞれを示す情報を格納する。材料情報は、プロセスＩＤで識別されるプロセス工程において使用される材料に関する情報であって、具体的に、材料名及び材料の種類を示す情報である。例えば、プロセス工程において化合物半導体単結晶基板としてのＧａＡｓ基板を用いる場合、材料情報は、基板名（ＧａＡｓ基板である旨）、材料名としてのＧａＡｓ、導電型の種類（ｉ型、ｐ型、又はｎ型）、及びドーパントの種類（ｎ型用ドーパント、又はｐ型用ドーパント）のそれぞれを示す情報である。
【００８３】
また、材料使用量は、プロセスＩＤで識別されるプロセス工程の１回の工程において使用される材料の量を示す情報である。工程時間は、プロセスＩＤで識別される１回のプロセス工程の開始から終了までに要する時間を示す情報である。なお、工程時間の単位は、秒、分、時間、日、週、又は月等である。更に、回収時間は、プロセスＩＤで識別されるプロセス工程において、１回のプロセス工程の開始から不要物の回収が完了するまでに要する時間を示す情報である。
【００８４】
図７は、本発明の第１の実施の形態に係るリサイクルシステムの処理の流れの一例を示す。
【００８５】
図７においては、リサイクルシステム１ａの処理の流れの説明を簡略化するため、工場４が１つの場合を説明する。
【００８６】
まず、リサイクルメーカー３に設置されているリサイクルサーバー３０の抽出時期送信制御部３１０が、抽出装置３５の稼働時期を示す抽出時期を示す情報を、ネットワーク５を介して供給サーバー２０に送信する（抽出時期の送信：Ｓ１００）。供給サーバー２０のデータ送受信部２００は、抽出時期を示す情報を開始時期取得部２１２に供給する。
【００８７】
一方、工場４ａにおいては、製品の製造工程であるプロセス工程が開始される（プロセス開始：Ｓ１０５）。そして、工場４ａに設置されている工場サーバー４０ａのプロセス開始時期送信制御部４１０は、プロセス工程の開始時期を示す情報としての開始時期情報を、工場４ａを識別する工場識別子、及び開始したプロセス工程を識別するプロセス識別子に対応づけて供給サーバー２０に送信する。供給サーバー２０のデータ送受信部２００は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけられた開始時期情報を開始時期取得部２１２に供給する（開始時期情報の取得：Ｓ１１０）。
【００８８】
ここで、プロセス開始時期送信制御部４１０が供給サーバー２０に開始時期情報を送信するタイミングは、プロセス工程において不要物が回収される前であれば、プロセス工程が実際に開始された時点、又はプロセスが実際に開始される前の時点のいずれであってもよい。プロセス開始時期送信制御部４１０が、実際にプロセス工程が開始される前の時点で開始時期情報を送信する場合、開始時期情報が示すプロセス工程の開始時期は、プロセス工程が開始される予定の時期を示す開始予定時期である。
【００８９】
続いて、工場４ａにおいて、プロセス工程の進行に従い、プロセス工程に用いた材料から不要物が排出される（不要物排出：Ｓ１０７）。そして、排出された不要物は、工場４ａにおいて、所定の容器に保管される（不要物保管：Ｓ１０９）。なお、容器は、不要物が外部に漏出しないものであれば、その形状、大きさ、及び材質は問わない。
【００９０】
一方、供給サーバー２０の回収可能時期決定部２１４は、開始時期取得部２１２が取得した抽出時期及び／又は開始時期情報に基づいて、工場４ａから排出される不要物を回収する回収可能時期を決定する（回収可能時期決定：Ｓ１２０）。例えば、回収可能時期決定部２１４は、工場４において実施されるプロセス工程が１種類の場合、１回のプロセス工程において排出される不要物の量で、抽出装置３５において１回の処理で処理ができる不要物量を除算することにより、抽出装置３５において１回の処理で処理ができる不要物の量が集積されるのに要するプロセス工程の回数を算出する。そして、回収可能時期決定部２１４は、算出した回数を不要物情報格納部２２０が予め格納している回収時間に乗ずる。そして、回収可能時期決定部２１４は、乗じて算出した時間を開始時期情報が示す開始時期に加算することにより、回収可能時期を決定する。
【００９１】
また、工場４において実施されるプロセス工程が複数種類の場合、各プロセス工程において用いられる材料の種類は異なる場合が多い。したがって、この場合、回収可能時期決定部２１４は、各プロセス工程ごとに回収可能時期を決定してもよい。なお、回収可能時期決定部２１４は、工場４において実施されるプロセス工程が複数種類である場合であっても、各プロセス工程において排出される不要物の量の合計量を用いて、プロセス工程が１種類の場合と同様にして回収可能時期を決定してもよい。そして、回収指示制御部２１６は、回収可能時期決定部２１４が決定した回収可能時期に基づいて、回収業者に不要物の回収を指示する情報を、データ送受信部２００から送信する（回収指示：Ｓ１２５）。
【００９２】
回収業者は、供給サーバー２０から受信した回収可能時期に応じて、工場４ａにおいて保管されている不要物を格納した容器を回収する。そして、回収業者は、供給メーカー２の不要物集積所２７に回収した不要物を集積する（不要物の回収：Ｓ１３０）。続いて、回収された不要物の重量としての不要物量が、不要物集積所２７において計測される（不要物量取得：Ｓ１４０）。計測された不要物量を示す情報は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて、供給サーバー２０の不要物量取得部２３０に供給される。不要物量を示す情報は、一例として、不要物の重量を計測する計測器から供給サーバー２０に送信される。
【００９３】
なお、工場４ａにおいて不要物の重量が計測されている場合、不要物集積所２７において不要物の重量を計測することは要さない。この場合、工場４ａにおいて計測された不要物の重量を示す情報は、工場サーバー４０ａから供給サーバー２０に工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて送信される。そして、不要物量取得部２３０が、工場サーバー４０ａから送信された不要物の重量を示す情報を取得する。
【００９４】
続いて、値引率算出部２４０は、不要物量取得部２３０が取得した不要物量を示す情報と、不要物量を示す情報に対応づけられている工場識別子及びプロセス識別子に基づいて、値引率を算出する（割引率算出：Ｓ１６０）。すなわち、値引率算出部２４０は、不要物情報格納部２２０が工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて予め格納している有用物の比率を、不要物量取得部２３０が取得した情報が示す不要物量に乗じることにより、不要物中の有用物の量を判定する。そして、値引率算出部２４０は、判定結果に応じて、工場４ａに納入する材料の割引率又は値引率を決定する。
【００９５】
例えば、値引率算出部２４０は、不要物中の有用物の量と有用物の単位量当たりの価格（例えば、有用物の単位量の時価）とから、不要物から回収することのできる有用物の量に応じた価格を判定する。そして、値引率算出部２４０は、供給メーカー２が在庫として有している材料の価格から、判定した価格を減じることにより、工場４ａに新たに納入する材料の価格を決定する。
【００９６】
また、値引率算出部２４０は、不要物中の有用物の量と有用物の単位量当たりの価格とから、供給メーカー２が在庫として有している材料の価格に対する値引率を算出することもできる。この場合、値引率算出部２４０は、供給メーカー２が在庫として有している材料の価格に算出した値引率を乗じることにより、工場４ａに納入する材料の価格を決定する。供給メーカー２は、決定した価格で、在庫の材料を工場４ａに納入する（在庫材料の納入：Ｓ１７０）。
【００９７】
すなわち、供給サーバー２０は、工場４ａから回収した不要物中に実際に含まれる有用物が抽出装置３５において抽出される前に、不要物に含まれる有用物の量を判定する。そして、供給サーバー２０は、判定した結果に応じて工場４ａに新たに納入する材料の価格を決定した上で、供給メーカー２が既に在庫として所持している材料を、決定した価格で工場４ａに売却する。
【００９８】
工場４ａは、供給メーカー２から供給された新たな材料を用いてプロセス工程を継続するか否かを判断する。プロセス工程を継続する場合（プロセス継続の判断：Ｓ１９０：Ｙｅｓ）、再びプロセスが開始される（Ｓ１０５）。一方、プロセス工程を継続しない場合（プロセス継続の判断：Ｓ１９０：Ｎｏ）、プロセス工程は中断又は終了される。
【００９９】
一方、供給メーカー２の不要物集積所２７に集積された不要物は、供給メーカー２からリサイクルメーカー３に供給される（不要物の供給：Ｓ１５０）。供給メーカー２からリサイクルメーカー３に不要物を供給するタイミングは、不要物の量を示す情報を取得した後であれば、割引率算出部２４０における処理の前、又は割引率算出部２４０における処理の後のいずれであってもよい。
【０１００】
そして、リサイクルメーカー３の抽出装置３５は、供給メーカー２から供給された不要物から、当該不要物に含まれる有用物を抽出する（有用物抽出：Ｓ１５３）。ここで、抽出装置３５において抽出された有用物の量と抽出装置３５に投入された不要物の量とから、不要物中に実際に含まれていた有用物の比率が算出される。算出された有用物の比率は、比率情報入力部３４０からリサイクルサーバー３０に入力される。そして、比率情報送信制御部３２０は、入力された有用物の比率を、供給サーバー２０に送信する（有用物の比率の送信：Ｓ１５５）。供給サーバー２０のデータ更新部２５０は、リサイクルサーバー３０から受け取った有用物の比率に基づいて、不要物情報格納部２２０が格納している情報を更新する。
【０１０１】
続いて、リサイクルメーカー３は、抽出装置３５を用いて抽出した有用物を、供給メーカー２に納入する（有用物の納入：Ｓ１５７）。供給メーカー２は、リサイクルメーカー３から納入された有用物を用いて、材料を生産する（材料生産：Ｓ１８０）。一例として、有用物が金属Ｇａであり、材料がＧａＡｓ基板である場合、結晶成長装置２５においてＧａＡｓ単結晶のインゴットが製造される。そして、製造したインゴットから、材料としてのＧａＡｓ単結晶基板が生産される。なお、材料の生産時において生じた不要物（例えば、ＧａＡｓ単結晶基板の生産時に生じたＧａＡｓ屑）についても、不要物集積所２７に集積され、抽出装置３５において有用物が抽出される。
【０１０２】
図８は、本発明の第１の実施の形態に係るリサイクルシステムの処理の流れの一例を示す。
【０１０３】
図８においては、複数の工場４（例えば、工場４ａ、・・・工場４ｚ）が存在する場合の第１の実施の形態に係るリサイクルシステム１ａの処理の流れを示す。図７における説明と符号が同じステップは、図７と略同一の処理が実施されるので、詳細な説明は省略する。
【０１０４】
まず、工場４ａにおいて、プロセス工程が開始される（Ｓ１０５ａ）。そして、工場サーバー４０ａのプロセス開始時期送信制御部４１０は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけた開始時期情報を供給サーバー２０に送信する（Ｓ１１０ａ）。同様にして、工場４ｚの工場サーバー４０ｚも、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけた開始時期情報を供給サーバー２０に送信する（Ｓ１１０ｚ）。
【０１０５】
供給サーバー２０のデータ送受信部２００は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけられた開始時期情報を、工場サーバー４ａ、・・・工場サーバー４ｚからそれぞれ受信する。そして、データ送受信部２００は、各工場サーバー４０からそれぞれ受信した開始時期情報を、開始時期取得部２１２に供給する。続いて、回収可能時期決定部２１４は、開始時期取得部２１２が取得した複数の開始時期情報と不要物情報格納部２２０が格納している回収時間とに基づいて、各工場４から不要物を回収する回収可能時期を決定する（Ｓ１２０）。
【０１０６】
具体的に、回収可能時期決定部２１４は、複数の工場識別子及びプロセス識別子のそれぞれに対応づけて不要物情報格納部２２０が格納している回収時間を、不要物情報格納部２２０からそれぞれ取得する。そして、回収可能時期決定部２１４は、複数の工場識別子及びプロセス識別子のそれぞれに対応づけて取得した開始時期情報が示す開始時期のそれぞれに、複数の工場識別子及びプロセス識別子のそれぞれに対応する回収時間を加算することにより、回収可能時期をそれぞれ決定する。
【０１０７】
そして、回収指示制御部２１６は、回収可能時期決定部２１４が決定した複数の回収可能時期において複数の工場４のそれぞれから不要物を回収する旨の指示を、回収業者のサーバーに供給する。
【０１０８】
次に、回収業者は、工場４ａ、・・・工場４ｚのそれぞれから不要物を回収する（Ｓ１３０ａ、・・・Ｓ１３０ｚ）。不要物量取得部２３０は、各工場４から回収された不要物の重量を示す情報を、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけてそれぞれ取得する（Ｓ１４０ａ、・・・Ｓ１４０ｚ）。不要物量取得部２３０は、不要物が不要物集積所２７に収容されたタイミングで不要物の重量を示す情報を取得する。そして、値引率算出部２４０は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて、材料の値引率をそれぞれ決定する（Ｓ１６０ａ、・・・Ｓ１６０ｚ）。
【０１０９】
図９は、本発明の第１の実施の形態に係るリサイクルシステムのハードウェア構成の一例を示す。
【０１１０】
第１の実施の形態に係るリサイクルシステム１ａは、ＣＰＵ１５００と、グラフィックコントローラ１５２０と、Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ（ＲＡＭ）及び／又はＲｅａｄ−Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ（ＲＯＭ）等のメモリ１５３０と、データを記憶する記憶装置１５４０と、記録媒体からデータを読み込み及び／又は記録媒体にデータを書き込む読込み／書込み装置１５４５と、データを入力する入力装置１５６０と、外部の通信機器とデータを送受信する通信インターフェース１５５０と、ＣＰＵ１５００とグラフィックコントローラ１５２０とメモリ１５３０とを互いに通信可能に接続するノースブリッジ１５１２と、記憶装置１５４０と読込み／書込み装置１５４５と入力装置１５６０と通信インターフェース１５５０とを接続するサウスブリッジ１５１４とを備える。ここで、ノースブリッジ１５１２とサウスブリッジ１５１４とでチップセット１５１０が構成される。
【０１１１】
ノースブリッジ１５１２は、メモリ１５３０と、メモリ１５３０にアクセスして所定の処理を実行するＣＰＵ１５００と、外部の表示装置の表示を制御するグラフィックコントローラ１５２０とを相互に接続することにより、各構成要素間のデータの受け渡しを実行する。ＣＰＵ１５００は、メモリ１５３０に格納されたプログラムに基づいて動作して、各構成要素を制御する。グラフィックコントローラ１５２０は、メモリ１５３０内に設けられたバッファ上に一時的に蓄えられた画像データに基づいて、画像を外部の表示装置のモニタ上に表示させる。
【０１１２】
サウスブリッジ１５１４は、ノースブリッジ１５１２と、記憶装置１５４０と、読込み／書込み装置１５４５と、通信インターフェース１５５０とを接続する。記憶装置１５４０は、リサイクルシステム１ａのＣＰＵ１５００が使用するプログラムとデータとを格納する。記憶装置１５４０は、一例として、ハードディスクドライブである。読込み／書込み装置１５４５は、プログラム及び／又はデータを記憶している記憶媒体からプログラム及び／又はデータを読み取って、読み取ったプログラム及び／又はデータを記憶装置１５４０に格納する。読込み／書込み装置１５４５は、一例として、ＤＶＤ−ＲＯＭドライブ、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等である。
【０１１３】
また、通信インターフェース１５５０は、通信ネットワークを介して外部の装置とデータの送受信を実行する。そして、キーボード、マウス、タブレット、マイク等の入力装置１５６０は、所定のインターフェースを介してサウスブリッジ１５１４と接続する。そして、サウスブリッジ１５１４は、入力装置１５６０等からのデータをノースブリッジ１５１２に供給する。
【０１１４】
記憶装置１５４０に格納されるリサイクルプログラムは、磁気記録媒体、光学記録媒体等の記録媒体に格納され、利用者により記憶装置１５４０に提供される。リサイクルプログラムは、読込み／書込み装置１５４５において記録媒体から読みだされ、リサイクルシステム１ａの記憶装置１５４０に格納される。そして、記憶装置１５４０に格納されたリサイクルプログラムは、ＣＰＵ１５００により実行される。
【０１１５】
リサイクルシステム１ａにより実行されるリサイクルプログラムは、ＣＰＵ１５００に働きかけて、リサイクルシステム１ａを、図２から図８にかけて説明したデータ送受信部２００、回収制御ユニット２１０、不要物情報格納部２２０、不要物量取得部２３０、値引率算出部２４０、データ更新部２５０、入力部２６０、出力部２６５、リサイクルメーカー側データ送受信部３００、抽出時期送信制御部３１０、比率情報送信制御部３２０、指示入力部３３０、比率情報入力部３４０、工場側データ送受信部４００、プロセス開始時期送信制御部４１０、プロセス工程情報格納部４２０、変更情報送信制御部４３０、不要物量計測部４４０、及び情報入力部４５０として機能させる。
【０１１６】
（第１の実施の形態の効果）
第１の実施の形態に係るリサイクルシステム１ａは、複数の工場４のプロセス工程ごとに、プロセス工程において排出される不要物の単位量中の有用物の比率を供給サーバー２０が予め格納しているので、工場４から不要物を受け取った段階で、受け取った不要物中に含まれる有用物の量を判定できる。これにより、不要物から有用物を実際に抽出せずに不要物中の有用物の量に応じた値引を工場４に納入する材料の価格に反映することができる。したがって、本実施の形態に係るリサイクルシステム１ａは、工場４から受け取った不要物から有用物を抽出して、抽出した有用物を用いて材料を新たに製造することを要さないので、タイムラグなしに工場４に材料を納入することができる。
【０１１７】
また、第１の実施の形態に係るリサイクルシステム１ａにおいては、工場４から回収する不要物の量に応じて工場４に新たに納入する材料の価格を低減させることができるので、埋め立て処理等される廃棄物の量を低減させるインセンティブを工場４に与えることができる。これにより、本実施形態に係るリサイクルシステム１ａは、埋蔵鉱量が少ない有用物のリサイクル率を高めることができ、産業廃棄物の削減に寄与することができると共に、土壌中に有害物質が拡散・浸透することを防止できる。すなわち、本実施の形態に係るリサイクルシステム１ａによれば、製品に含まれる有用物を、高い回収率で回収すると共に、回収した有用物を更に材料に再生することができる。
【０１１８】
図１０は、本発明の第１の実施の形態の変形例に係る供給サーバーの機能構成を示すブロック図である。
【０１１９】
第１の実施の形態の変形例に係る供給サーバー２１は、第１の実施の形態に係る供給サーバー２０が有する不要物量取得部２３０と値引率算出部２４０とを有さない一方で、重量取得部２３２と重量判定部２３４と化合物価格決定部２４２とを有する点を除き、供給サーバー２０と略同一の構成を有する。したがって、相違点を除き、詳細な説明は省略する。
【０１２０】
第１の実施の形態の変形例に係るリサイクルシステムにおいては、工場４から所定の化合物の屑としての化合物屑が、不要物として排出される。そして、変形例に係るリサイクルシステムは、化合物屑の重量に含まれる有用材料の重量を判定することにより、有用材料を含んだ化合物の価格を自動的に決定する。化合物としては、一例として、ＧａＡｓ等の化合物半導体材料、複数の金属材料から形成される合金材料、プラスチック等の高分子材料、セラミックやガラス等の無機材料、有機材料、及びこれらの材料を少なくとも１種類含む複合材料が挙げられる。
【０１２１】
重量取得部２３２は、化合物屑の重量を取得する。具体的には、重量取得部２３２は、不要物集積所２７に集積された化合物屑の重量を示す情報を、例えば、重量を計測する計測器を介して取得する。重量取得部２３２は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて重量を示す情報を取得する。そして、重量取得部２３２は、取得した重量を示す情報を工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて、重量判定部２３４に供給する。
【０１２２】
重量判定部２３４は、重量取得部２３２から受け取った重量を示す情報に、比率格納部としての不要物情報格納部２２０が格納する有用材料の比率としての有用物の比率を乗じて、化合物屑中の有用物の重量を判定する。具体的に、重量判定部２３４は、工場識別子及びプロセス識別子に対応づけて不要物情報格納部２２０が格納している有用物の比率を参照する。そして、重量判定部２３４は、参照した比率を重量を示す情報に乗じて、化合物屑中の有用物の重量を判定する。重量判定部２３４は、判定結果を化合物価格決定部２４２に供給する。
【０１２３】
化合物価格決定部２４２は、重量判定部２３４が判定した有用物の重量に基づいて、有用物を含んだ化合物の価格を決定する。例えば、化合物価格決定部２４２は、インターネット等のネットワーク５を介して予め取得した有用物の単位量当たりの価格（例えば、時価又は有用物の供給業者による有用物の卸値）を、判定された有用物の重量に乗じることによって算出した額を、工場４に納入する化合物の値引前の価格から減じることによって、化合物の価格を決定する。化合物価格決定部２４２は、決定した化合物の価格を、データ送受信部２００及び出力部２６５に供給する。データ送受信部２００は、化合物の価格を工場サーバー４０に送信する。
【０１２４】
なお、変形例に係るリサイクルシステムにより実行されるリサイクルプログラムは、ＣＰＵ１５００、チップセット１５１０等に働きかけて、リサイクルシステムを、図９において説明した各構成要素に加えて、重量取得部２３２、重量判定部２３４、及び化合物価格決定部２４２として更に機能させてもよい。
【０１２５】
図１１は、本発明の第２の実施の形態に係るリサイクルシステムの概要を示す図である。
【０１２６】
第２の実施の形態に係るリサイクルシステム１ｂは、第１の実施の形態に係るリサイクルシステム１ａとは、供給メーカー２が、一次精製装置２８を更に備える点を除き略同一の構成を備える。したがって、相違点を除き、詳細な説明は省略する。
【０１２７】
供給メーカー２は、工場４から排出された不要物を一次精製する一次精製装置２８を有する。本実施形態に係るリサイクルシステム１ｂは、回収可能時期決定部２１４が決定した回収可能時期に工場４から回収した不要物を、一次精製装置２８において一次精製する。そして、一次精製した一次精製後の不要物である一次精製物を、抽出装置３５の処理能力に応じて、リサイクルメーカー３に供給する一次精製物の量を平準化して供給する。
【０１２８】
まず、リサイクルサーバー３０は、抽出装置３５の稼働時期情報としての抽出時期の情報及び処理量情報を、ネットワーク５を介して供給サーバー２２に供給する（Ｓ５）。供給サーバー２２は、抽出時期の情報及び処理量情報を格納する。工場サーバー４０ａは、プロセス工程を開始する開始時期を供給サーバー２２にネットワーク５を介して供給する（Ｓ１０）。同様にして、工場サーバー４０ｚは、工場４ｚにおける開始時期を供給サーバー２２にネットワーク５を介して供給する（Ｓ１２）。供給サーバー２２は、受け取った開始時期を工場４ごとに対応づけて格納する。
【０１２９】
供給サーバー２２は、工場サーバー４０ａから受け取った開始時期から工場４ａにおいて不要物が排出される回収可能時期を自動的に算出する（Ｓ２０）。また、供給サーバー２２は、工場サーバー４０ｚから受け取った開始時期から工場４ｚにおいて不要物が排出される回収可能時期を自動的に算出する（Ｓ２０）。
【０１３０】
供給サーバー２２は、算出した回収可能時期に基づいて、回収業者に不要物の回収を指示する。回収業者は、この指示に応じて、工場４ａ、・・・工場４ｚから不要物を回収する（Ｓ３０、Ｓ３２）。回収業者が回収した不要物は、不要物集積所２７に集積される。供給サーバー２２は、不要物集積所２７に集積された不要物の重量を工場４及びデバイスプロセス工程ごとに自動的に取得する（Ｓ３５）。そして、不要物集積所２７に集積された不要物を、一次精製装置２８に導入する（Ｓ３６）。
【０１３１】
供給サーバー２２は、一次精製物中から有用物を抽出する抽出装置３５の抽出時期と不要物量情報とに応じて、一次精製物の抽出装置３５への供給量を決定する（Ｓ３７）。具体的には、抽出装置３５において処理される一次精製物の量が平準化されるように、一次精製物のリサイクルメーカー３への供給量が決定される。そして、一次精製装置２８において一次精製された一次精製物は、決定された供給量ごとに所定の間隔で、リサイクルメーカー３に供給される（Ｓ６２）。
【０１３２】
図１２は、本発明の第２の実施の形態に係る供給サーバーの機能構成を示すブロック図である。
【０１３３】
第２の実施の形態に係る供給サーバー２２は、第１の実施の形態に係る供給サーバー２０と異なり、供給量決定部２７０及び抽出情報取得部２７５を更に有する点を除き、供給サーバー２０と略同一の構成要素を有する。したがって、相違点を除き、詳細な説明は省略する。
【０１３４】
抽出情報取得部２７５は、抽出装置３５が、一次精製物を処理することのできる日時を示す情報としての抽出時期を取得する。抽出情報取得部２７５は、取得した抽出時期を、供給量決定部２７０に供給する。供給量決定部２７０は、回収可能時期決定部２１４が決定した回収可能時期に回収した不要物を一次精製装置２８において一次精製して得られる一次精製物中から有用物を抽出する抽出装置３５の抽出時期と、不要物量取得部２３０が取得した不要物量情報とに応じて、一次精製物の抽出装置３５への供給量を決定する。供給量決定部２７０は、決定した供給量を示す情報を一次精製装置２８側に供給する。
【０１３５】
決定した供給量を示す情報を受け取った一次精製装置２８の側では、受け取った情報に応じて、決定した供給量に対応する量の一次精製物を、リサイクルメーカー３に供給する。ここで、供給量決定部２７０は、一例として、抽出装置３５が所定の間隔をおいて所定の量の一次精製物を処理する能力を有する場合、一次精製装置２８からリサイクルメーカー３に当該間隔ごとに当該量の一次精製物が供給されるように、供給量を決定する。
【０１３６】
（第２の実施の形態の効果）
第２の実施の形態に係るリサイクルシステム１ｂは、一次精製装置２８において不要物を一次精製することができる。これにより、リサイクルメーカー３に供給する不要物としての一次精製物の量を平準化して抽出装置３５に供給することができるので、抽出装置３５は、複数のプロセス工程から排出された不要物を、不要物ごとに処理することを要さない。したがって、本実施の形態に係るリサイクルシステム１ｂによれば、抽出装置３５において余分なエネルギーを消費することを要せず、リサイクルにおける省エネルギー化を実現できる。
【０１３７】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上記に記載した実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。
【図面の簡単な説明】
【０１３８】
【図１】第１の実施の形態に係るリサイクルシステムの概要図である。
【図２】第１の実施の形態に係る供給サーバーの機能構成ブロック図である。
【図３】第１の実施の形態に係る不要物情報格納部のデータ構成を示す図である。
【図４】第１の実施の形態に係るリサイクルサーバーの機能構成ブロック図である。
【図５】第１の実施の形態に係る工場サーバーの機能構成ブロック図である。
【図６】第１の実施の形態に係るプロセス工程情報格納部のデータ構成図である。
【図７】第１の実施の形態に係るリサイクルシステムの処理の流れを示す図である。
【図８】第１の実施の形態に係るリサイクルシステムの処理の流れを示す図である。
【図９】第１の実施の形態に係るリサイクルシステムのハードウェア構成図である。
【図１０】第１の実施の形態の変形例に係る供給サーバーの機能構成ブロック図である。
【図１１】第２の実施の形態に係るリサイクルシステムの概要図である。
【図１２】第２の実施の形態に係る供給サーバーの機能構成ブロック図である。
【符号の説明】
【０１３９】
１ａ、１ｂ  リサイクルシステム
２  供給メーカー
３  リサイクルメーカー
４、４ａ、４ｚ  工場
５  ネットワーク
２０、２１、２２  供給サーバー
２５  結晶成長装置
２７  不要物集積所
２８  一次精製装置
３０  リサイクルサーバー
３５  抽出装置
４０、４０ａ、４０ｚ  工場サーバー
２００  データ送受信部
２１０  回収制御ユニット
２１２  開始時期取得部
２１４  回収可能時期決定部
２１６  回収指示制御部
２２０  不要物情報格納部
２２０ａ  第１の不要物情報格納部
２２０ｂ  第２の不要物情報格納部
２２０ｃ  第３の不要物情報格納部
２３０  不要物量取得部
２３２  重量取得部
２３４  重量判定部
２４０  値引率算出部
２４２  化合物価格決定部
２５０  データ更新部
２５２  比率比較部
２５４  更新可否決定部
２５６  更新制御部
２６０  入力部
２６５  出力部
２７０  供給量決定部
２７５  抽出情報取得部
３００  リサイクルメーカー側データ送受信部
３１０  抽出時期送信制御部
３２０  比率情報送信制御部
３３０  指示入力部
３４０  比率情報入力部
４００  工場側データ送受信部
４１０  プロセス開始時期送信制御部
４２０  プロセス工程情報格納部
４３０  変更情報送信制御部
４４０  不要物量計測部
４５０  情報入力部
１５００  ＣＰＵ
１５１０  チップセット
１５１２  ノースブリッジ
１５１４  サウスブリッジ
１５２０  グラフィックコントローラ
１５３０  メモリ
１５４０  記憶装置
１５４５  読込み／書込み装置
１５５０  通信インターフェース
１５６０  入力装置
【図１】
2009134655.tif 000003
【図２】
2009134655.tif 000004
【図３】
2009134655.tif 000005
【図４】
2009134655.tif 000006
【図５】
2009134655.tif 000007
【図６】
2009134655.tif 000008
【図７】
2009134655.tif 000009
【図８】
2009134655.tif 000010
【図９】
2009134655.tif 000011
【図１０】
2009134655.tif 000012
【図１１】
2009134655.tif 000013
【図１２】
2009134655.tif 000014