(57)【要約】【課題】異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が挟持具に付着、残存することが少なく、ＡＣＦ貼付の位置ずれ等の故障が発生しない挟持具及びフィルム貼り付け装置の提供。【解決手段】フィルムを挟持する上チャック６と下チャック７を有するフィルム挟持具であって、該上チャックと下チャックには、互いに嵌合するようにそれぞれに突起部８又は凹部１１が対となって配置され、さらに該突起部の一部又は全部の端面に真空系に連通可能な開口９を具備する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムを挟持する上チャックと下チャックを有するフィルム挟持具であって、
該上チャックと下チャックには、互いに嵌合するようにそれぞれに突起部又は凹部が対となって配置され、さらに一部又は全部の該突起部の端面に真空系に連通可能な開口を具備することを特徴とするフィルム挟持具。
【請求項２】
一部又は全部の前記突起部の端面に、ブロー系に連通可能な開口を具備することを特徴とする、請求項１に記載のフィルム挟持具。
【請求項３】
一部又は全部の前記凹部の端面に、真空系に連通可能な開口を具備することを特徴とする、請求項１又は２に記載のフィルム挟持具。
【請求項４】
一部又は全部の前記凹部の端面に、真空系又はブロー系に選択的に連通可能な開口を具備することを特徴とする、請求項１又は２に記載のフィルム挟持具。
【請求項５】
前記突起部及び／又は凹部の前記開口に連通された前記真空系又はブロー系又は共用系に上限リミッタ付圧力計又は下限リミッタ付流量計を備えることを特徴とする、請求項２〜４のいずれか一に記載のフィルム挟持具。
【請求項６】
フィルムを挟持して引き出す移動チャックを備えるフィルム貼り付け装置であって、請求項１〜５のいずれか一に記載のフィルム挟持具を該移動チャックに備えることを特徴とするフィルム貼り付け装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一に記載のフィルム挟持具を、前記フィルムを固定する固定チャックに備えることを特徴とする、請求項６に記載のフィルム貼り付け装置。
【請求項８】
前記フィルムがＡＣＦ及びセパレータからなるフィルムであって、該ＡＣＦ側の前記移動チャック及び固定チャックに前記突起部を有し、該セパレータ側の前記移動チャック及び固定チャックに前記凹部を有することを特徴とする、請求項６又は７に記載のフィルム貼り付け装置。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか一に記載のフィルム貼り付け装置でＡＣＦを貼付することを特徴とする表示装置。
【請求項１０】
前記表示装置は液晶表示装置であることを特徴とする、請求項９に記載の表示装置。
【請求項１１】
セパレータに貼付したフィルム状ＡＣＦを基板又は表示パネルに貼り付けるＡＣＦの貼り付け方法であって、
フィルムを挟持する上チャックと下チャックにそれぞれに突起部又は凹部が互いに嵌合するように対となって配置され、さらに一部又は全部の該突起部の端面に真空系に連通可能な開口を具備するフィルム挟持具を用いて該フィルム状ＡＣＦを貼り付ける、ＡＣＦの貼り付け方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の方法を用いてフィルム状ＡＣＦを貼り付けた基板と表示パネルを圧着することを特徴とする、表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セパレータ付きフィルム貼り付け装置の移動チャックの挟持具及び移動チャックを有するセパレータ付フィルムの貼り付け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
異方性導電フィルム（Anisotropic Conductive Film,ＡＣＦ）は、接着剤中に導電性微粒子を均一に分散したフィルム状接着剤であり、回路基板間に配置して熱と圧力を数秒加えることで、電極同士の電気的接続と機械的接着とを行うことができる接続材料である。このＡＣＦは、液晶表示装置やプラズマディスプレイ装置などのフラットパネルディスプレイ（表示装置）のガラス基板と、これに画像信号を送るドライバＩＣとを電気的に接続する材料として用いられている。
【０００３】
例えば液晶表示装置の製造方法は、ガラス板を２枚張り合わせ中に液晶を注入したものに偏光板を貼り付けたＬＣＤパネルの端子部に、ＡＣＦを貼り付ける。ＡＣＦを貼り付けたＬＣＤパネルにＴＣＰ（ＣＯＦ等）を圧着する。ＴＣＰ（ＣＯＦ等）を圧着したＴＣＰ（ＣＯＦ）付きＬＣＤパネルにＡＣＦを貼り付けた基板を圧着する。最後に、前記の基板まで圧着したＬＣＤパネルとバックライト及びシールド板を組み立てたモジュール（完成品）を液晶表示装置という。
【０００４】
ＡＣＦをＬＣＤパネル等に貼り付けるためには、セパレータに貼付したフィルム状ＡＣＦ（以下一般に「セパレータ付きフィルム」という。）を必要量だけ引き出して貼り付けるＡＣＦ貼り付け装置が用いられるが、そこでは所定量のセパレータ付きフィルムを正確に引き出す必要がある。そのため、図５に示すように移動チャック１でセパレータ付きフィルムを挟み込んで正確に必要量だけ引き出す技術が用いられる（例えば特許文献１、４）。引き出されたセパレータ付きフィルムは固定チャック２で固定され、さらに吸引ブロック３で吸引される。
【０００５】
しかし一般的なＡＣＦ貼り付け装置を用いた表示装置の製造において、ＡＣＦ圧接部（ＡＣＦと表示装置とを接触させ、加熱・加圧しながら挟み込むことで表示装置にＡＣＦを貼り付ける部分）にて圧接されなかったＡＣＦが移動チャックのセパレータ挟持位置（引き出し開始位置）のセパレータに残留することが、生産装置の稼働率面から無視できない頻度で発生する。その原因はＡＣＦの位置ずれやＡＣＦの貼付不良等である。ＡＣＦは粘着性を持つため、下チャックと接触してセパレータと共に移動チャックで挟持されると、移動チャック開放時に下チャックから離れることは甚だ困難である。
【０００６】
このようにＡＣＦが貼り付いたままのセパレータを下チャックから引き剥がすには、吸引ブロックの吸引力を強く設定すれば良いが、セパレータが切断したり、固定チャックからセパレータからずれたりする問題を顕在化させる可能性もある。また、下チャックにセパレータが貼り付いた状態で移動チャックが引き出し開始位置までスライドすると、セパレータが移動チャックに絡み付いて切れてしまう事故が発生する。
【０００７】
そのため特許文献２では、セパレータ付きフィルムを上下から挟み込んで引き出す部材の上下の接触表面に互いに直交する方向に細長い壁状の突起（又は溝）を持たせ、ＡＣＦと接触する面積を減少させてこの問題を解決しようとしている。
【０００８】
また特許文献３では、ＡＣＦをチャックするチャック爪部からガスを吹き出すことでＡＣＦを分離する方法が開示されている。
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−３５７８５９号公報
【特許文献２】特開２００２−３２４８２２号公報
【特許文献３】特開平０９−００６２５１号公報
【特許文献４】特許第２７８５３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献２の方法では、分離テープへの接触方法が点挟持となっているため、分離テープの保持状態が不安定であり、分離テープのすべりが発生することでＡＣＦの貼付ずれ等の故障が発生する可能性が残る。また、バー状に形成した複数個の壁状の突起で挟み込むために、分離テープとの接触面が未だ十分小さいとはいえない。
【００１１】
特許文献３の方法では、チャック部材とＡＣＦの接触面積が大きい状態は改善されず、ＡＣＦの残留が生じやすいという問題が残っている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の視点において、フィルムを挟持する上チャックと下チャックを有するフィルム挟持具であって、該上チャックと下チャックには、互いに嵌合するようにそれぞれに突起部又は凹部が対となって配置され、さらに一部又は全部の該突起部の端面に真空系に連通可能な開口を具備することを特徴とする。すなわち、下チャックに突起部を設ける場合は上チャックの対応する位置に凹部を、上チャックに突起部を設ける場合は下チャックの対応する位置に凹部を設ける。
【００１３】
一部又は全部の前記突起部の端面にブロー系に連通可能な開口を具備することが好ましい。
【００１４】
また、一部又は全部の前記凹部の端面に、真空系に連通可能な開口を具備することが好ましい。
【００１５】
また、一部又は全部の前記凹部の端面に、真空系又はブロー系に選択的に連通可能な開口を具備することが好ましい。
【００１６】
また、前記突起部及び／又は凹部の前記開口に連通された前記真空系又はブロー系又は共用系に上限リミッタ付圧力計又は下限リミッタ付流量計を備えることが好ましい。
【００１７】
本発明の第２の視点において、フィルムを挟持して引き出す移動チャックを備えるフィルム貼り付け装置であって、上記フィルム挟持具を該移動チャックに備えることを特徴とする。
【００１８】
また、上記フィルム挟持具をさらに前記フィルムを固定する固定チャックに備えることが好ましい。
【００１９】
また、前記フィルムがＡＣＦ及びセパレータからなるフィルムであって、該ＡＣＦ側の前記移動チャック及び固定チャックに前記突起部を有し、該セパレータ側の前記移動チャック及び固定チャックに前記凹部を有することが好ましい。
【００２０】
本発明の第３の視点において、液晶表示装置やプラズマディスプレイ装置などの表示装置であって、上記のフィルム貼り付け装置でＡＣＦを貼付したことを特徴とする。
【００２１】
本発明の第４の視点において、セパレータに貼付したフィルム状ＡＣＦを基板又は表示パネルに貼り付けるＡＣＦの貼り付け方法であって、フィルムを挟持する上チャックと下チャックにそれぞれに突起部又は凹部が互いに嵌合するように対となって配置され、さらに一部又は全部の該突起部の端面に真空系に連通可能な開口を具備するフィルム挟持具を用いて該フィルム状ＡＣＦを貼り付けることを特徴とする。また、その方法を用いてフィルム状ＡＣＦを貼り付けた基板と表示パネルを圧着することを特徴とする、表示装置の製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
嵌合する凹凸部の組合せでフィルムの挟持を行うため、ＡＣＦがチャック部に付着、残存することが少なく、かつフィルムを上下チャックの嵌合力と下チャック及び／又は上チャックの真空力で確実に保持しているので、移動チャックスライド時のセパレータ付ＡＣＦの滑りを防止し、ＡＣＦ貼付の位置ずれ等の故障が発生しない。すなわち残留ＡＣＦ等に起因した装置稼働率低下を回避できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の挟持具は、移動チャックの下チャックと上チャックでフィルムを挟み込み、セパレータ付きフィルムを引き出す構成となっており、さらに下チャックには複数の突起部が凹部に対応して凸状に、例えば上部をテーパ状にしたピンの形状で配置され、さらに、全部又は一部の突起部の端面に少なくとも真空系に連通する開口を有する。端面とは、フィルムに直接接触して挟み込む面であり、フィルムがない場合は突起部と上チャックの凹部とが互いに接する部分を示す。開口は、その開口面を多孔質材料又はメッシュ等で覆うこともできる。また上チャックには下チャックの突起部と嵌合する凹部が配置されている。
【００２４】
また、突起部の開口にはさらにブロー系を備えることもでき、さらに全部又は一部の凹部にもその端面（突起部端面に対応する部分）に同様に真空系及び／又はブロー系に連通する開口を備えることもできる。また、真空系又はブロー系又はその共用系に上限リミッタ付圧力計又は下限リミッタ付流量計を備えることもできる。
【実施例】
【００２５】
（実施例１）
本発明は、移動チャックを有するセパレータ付フィルム貼り付け装置全般に適用することが可能であるが、ここでは液晶表示装置やプラズマディスプレイ装置等の表示装置の製造の際に用いられるＡＣＦ貼り付け装置を一例として説明する。
【００２６】
まず、本発明で開示するＡＣＦ貼り付け装置の動作を、図１に示すＡＣＦ貼り付け装置全体概要図を用いて説明する。ＡＣＦ４は、圧接ヘッド１６とバックアップ１７とで、セパレータ５が貼付されたままのＡＣＦ４と表示装置１８とを接触させ、加熱・加圧しながら挟み込むことで表示装置に貼り付けされる。次に、移動チャック１はセパレータ５を引き出し開始位置で挟持し、スライドしてセパレータ５と共にＡＣＦ４を所望の長さだけ引き出す動作を行う。
【００２７】
そして、固定チャック２でセパレータ５を挟持した後、移動チャック１を開放する。その後、引き出されて撓んだセパレータ５を、移動チャックが開始位置までスライドする際に絡まない程度まで、吸引ブロック３で吸引し、張った状態とする。この動作によって、移動チャック１の開放によってチャックから剥離した（フリーになった）セパレータ５は固定チャック２で保持されることとなる。
【００２８】
最後に、移動チャック１はセパレータ５が付いたＡＣＦ４の引き出し開始位置までスライドし一連の動作が終了し、前記した動作を繰り返し行う。
【００２９】
次に、本発明の特徴部分である、移動チャックの挟持具の動作について図２を用いて詳細に説明する。図２（ａ）は移動チャック（上チャック６及び下チャック７）の一部の概略鳥瞰図であり、図２（ｂ）はその側面図である。
【００３０】
本発明の移動チャック１には、図２（ａ）に示すように下チャック７と上チャック６とが少なくとも配置されている。下チャック７には突起部（ピン）８が凸に、上チャック６には凹部１１が凹に形成され、図２（ｂ）に示すように例えば突起部８の上部をテーパ状にして、セパレータ５を挟んで互いに嵌合する構造及び配置構成となっている。
【００３１】
セパレータ５は、下チャック７に配置された突起部８と、上チャック６の凹部１１で挟持されると共に、突起部８の端面まで貫通する真空吸着穴（開口）９に連通された真空系を稼動させて吸引保持されている。すなわちセパレータ５は、突起部８と凹部１１の嵌合力に加え、端面からの真空力で確実に挟持されている。
【００３２】
このような構成により、移動チャック１をスライドして、セパレータ５及びＡＣＦ４を所望の長さだけ引き出す際のセパレータ５の保持状態が不安定であることに起因した滑り問題を解消することができる。その結果、ＡＣＦ貼付位置ずれ等の課題を克服することができる。
【００３３】
次に、固定チャック２でセパレータ５を挟持した後の、移動チャック１の開放動作について説明する。
【００３４】
移動チャック１の開放は、突起部８の開口の真空系を動作させたまま行うとよい。このようにすることで、セパレータ５を下チャック７に確実に引き付けることができる。そして、セパレータ５を下チャック７に確実に引き付けた状態で、真空を解除することでセパレータ５を開放する。
【００３５】
このように、突起部８の真空系を動作させた状態で移動チャック１を開放すれば、上チャックと大面積で接触するセパレータ５が貼り付いたままとなることはない。そして本発明は、移動チャック１開放後には、セパレータ５と突起部８の端面とが接触する構造であるため、下チャック７が平面形状である場合と比較して、セパレータ５と下チャック７が接触する面積が相対的に小さく、セパレータ５と下チャック７との剥離を容易ならしめる特徴を有する。
【００３６】
セパレータ５と下チャック７との剥離は、突起部８の真空系の動作を破壊することで行う。さらに、図２（ｂ）に示すように真空吸着穴９に真空系に加え、エアーを吹き込むブロー系機能を共用して接続しておけば、真空を解除した後に、ブローすることでセパレータ５の剥離をより確実化できる。真空系とブロー系は、図２（ｂ）に示すように制御ユニットから切替弁１２に制御ラインを通じて信号を送ることによって切り替えることができる。
【００３７】
本発明によれば、従来の課題であったセパレータの切断問題を解消することができる。すなわち、移動チャックの移動によって引き出され撓んだセパレータの撓みをなくすために吸引ブロックでセパレータが吸い込まれるが、従来法では、セパレータ自体を吸い込む力に加えセパレータを上チャック又は／及び下チャックから引き剥がす力が要求される。しかし、本発明では前記チャックからセパレータを剥離する力は要求されないからである。その結果として、吸引力に起因したセパレータの切断問題や固定チャックで保持されたセパレ−タのずれ等の問題を回避できる。
【００３８】
（実施例２）
次に実施例２について、図３を用いて説明する。図２と同様に、図３（ａ）は鳥瞰図、図３（ｂ）は側面図である。実施例１との差異は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように上チャック６に配置された凹部１１にも真空吸着穴１０を配置したことである。
【００３９】
真空吸着穴１０には実施例１と同様に、真空系のみが単独の構成、又は、真空系及びブロー系の双方が共用して接続される構成を選択することが可能である。突起部（ピン）８の端面まで貫通する真空吸着穴９の真空系及び凹部１１の端面まで貫通する真空吸着穴１０の真空系は、移動チャック１がセパレータ５を挟持し、開始位置からスライドさせる前に動作させるとよい。
【００４０】
このように上チャック６、下チャック７ともに真空を稼動させた状態で、移動チャック１をスライドさせて、セパレータ５及びＡＣＦ４を所望の長さ分だけ引き出す動作をすれば前記したセパレータ５の滑り課題をさらに確実に解消することができる。
【００４１】
次に、移動チャック１の開放動作を説明する。移動チャック１の開放は、下チャック７の突起部８の真空を動作させた状態で、まず上チャック６の凹部１１の真空を解除し、後に下チャック７の突起部８の真空を解除するのがよい。
【００４２】
前記に加え、上チャック６の凹部１１の真空を解除した後であって、下チャック７の突起部８の真空を解除する前に、凹部１１からブローすればさらによい。このようにすることでセパレータ５は上チャック６から確実に離れ下チャック７側に引き寄せられる。その後に、下チャック７の突起部８の真空を解除することで、セパレータ５が下チャック７から剥離する。そして、下チャック７の真空吸着穴１０からブローすればセパレータの剥離がより確実なものとなり、より良い効果がある。
【００４３】
本発明の実施例１及び実施例２では、下チャックが例えばピン状に凸形状を有しているため、セパレータとピンとの接触面積が小さく、たとえ下チャックの挟持位置にＡＣＦが存在したとしてもこれを剥離しやすい構造となっている。さらに、下チャックのピンからブローをするためより確実な剥離をすることができる。このように本発明は、残留ＡＣＦに起因した課題も解決することが可能である。
【００４４】
（実施例３）
第３の実施例を、図４を用いて説明する。実施例３は、図４（ｂ）に示すように実施例２の突起部（ピン）８に配置された真空吸着穴９に接続された真空及びブロー系に上限リミッタ付圧力計又は下限リミッタ付流量計を配置した点が実施例２とは異なっている。下チャック７の突起部８の真空を解除した後、圧力計の上限リミッタの動作、つまり真空が破れてある一定の圧力まで回復したことを確認することで、セパレータ５が下チャック７から剥離したことを容易に確認することができる。また、上限リミッタが動作しない場合は、その信号を装置の駆動系に伝達し移動チャック１のスライド動作を停止する構成とすることもできる。また、圧力計の代わりに下限リミッタ付流量計を採用した場合、下チャック７の突起部８の真空を解除しブローする際に流量計の下限リミッタの動作を確認することで、セパレータ５が下チャック７から剥離したことを容易に確認することができる。
【００４５】
（実施例４）
次に実施例４について説明する（図４（ｂ））。実施例１ないし実施例３では移動チャック１の挟持具に真空系及び／又はブロー系を適用したが、本実施例４では固定チャック２にこれらを適宜組み合わせて適用することができる。このようにすることで、挟持具にセパレータ５を挟持した際にセパレータ５が滑らず、更にチャック１、２からセパレータ５を確実に解放することが出来る。
【００４６】
上記実施例はＡＣＦフィルム貼り付け装置の移動チャックに適用した場合を示したが、もちろん前記チャックに限定するものではなく、フィルムを挟持する挟持具全般に適用することができる。
【００４７】
以上、本発明を上記実施例に即して説明したが、本発明は上記実施例の構成にのみ制限されるものでなく、本発明の範囲内で当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係るＡＣＦ貼り付け装置の一実施例の全体概略図である。
【図２】本発明の実施例１に係る挟持具の先端部の（ａ）概略鳥瞰図、（ｂ）その側面図である。
【図３】本発明の実施例２に係る挟持具の先端部の（ａ）概略鳥瞰図、（ｂ）その側面図である。
【図４】本発明の実施例３及び４に係る挟持具の先端部の（ａ）概略鳥瞰図、（ｂ）その側面図である。
【図５】（ａ）従来のＡＣＦ貼り付け装置の一例の全体概略図、（ｂ）移動チャック及び固定チャック部の拡大図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  移動チャック
２  固定チャック
３  吸引ブロック
４  異方性導電フィルム（ＡＣＦ）
５  セパレータ
６  上チャック
７  下チャック
８  突起部（ピン）
９  真空吸着穴（開口）
１０  真空吸着穴
１１  凹部
１２  切替弁
１６  圧接ヘッド
１７  バックアップ
１８  表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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