(57)【要約】      （修正有）【課題】回転スピンドルを回転規制を多数回実施しても回転スピンドルの回転バランスを損なうことがない回転工具を装着するスピンドルユニット機構を提供する。【解決手段】スピンドルユニット２のラジアル軸受６およびスラスト軸受８に高圧流体を供給する高圧流体供給手段１０とを具備する回転工具を装着するスピンドルユニット機構であって、ラジアル軸受６は弾性変形が可能な材料によって形成され内周面に該高圧流体供給手段１０と連通する複数の流体噴出孔６２が開口された円筒状の軸受スリーブ６からなっており、円筒状の軸受スリーブ６を選択的に弾性変形することにより縮径して内周面を回転スピンドル４の外周面を押圧せしめるスリーブ縮径手段を備えている。【選択図】図１
2009255220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、該スピンドルハウジングに配設され該回転スピンドルの外周面との間に流体層を形成して流体支持するラジアル軸受および該回転スピンドルの外周面に設けられたスラストプレートの側面を流体支持するスラスト軸受と、該回転スピンドルに取付けられ回転工具が装着されるマウンターと、該回転スピンドルを回転駆動する電動モータとを具備するスピンドルユニットと、
該スピンドルユニットの該ラジアル軸受および該スラスト軸受に高圧流体を供給する高圧流体供給手段と、を具備する回転工具を装着するスピンドルユニット機構であって、
該ラジアル軸受は弾性変形が可能な材料によって形成され内周面に該高圧流体供給手段と連通する複数の流体噴出孔が開口された円筒状の軸受スリーブからなっており、
該円筒状の軸受スリーブを選択的に弾性変形することにより縮径して該円筒状の軸受スリーブの内周面を該回転スピンドルの外周面に押圧せしめるスリーブ縮径手段を備えている、
ことを特徴とする回転工具を装着するスピンドルユニット機構。
【請求項２】
該スリーブ縮径手段は、該スピンドルハウジングに形成され該円筒状の軸受スリーブを収容するラジアル軸受凹部と、該ラジアル軸受凹部に選択的に高圧流体を導入せしめる高圧流体導入手段とからなっており、該ラジアル軸受凹部に導入された高圧流体を該軸受スリーブの外周面に作用せしめることにより該軸受スリーブを縮径せしめる、請求項１記載の回転工具を装着するスピンドルユニット機構。
【請求項３】
該軸受スリーブは、カーボンによって形成されている、請求項１又は２記載の回転工具を装着するスピンドルユニット機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置の切削ブレードや研削装置の研削ホイール等の回転工具を装着するスピンドルユニット機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。また、サファイヤ基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された光デバイスウエーハもストリートに沿って切断することにより個々の発光ダイオード、レーザーダイオード、CCD等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。
【０００３】
上述したウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、該回転スピンドルに取付けられたマウンターと、該マウンターに装着される切削ブレードと、回転スピンドルを回転駆動する電動モータを備えたスピンドルユニットを具備している。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００１−５４８０５号公報
【０００４】
また、上述したようにして分割されるウエーハは、ストリートに沿って切断する前に研削装置によって裏面が研削され、所定の厚さに加工される。ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持されたウエーハを研削する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段とを具備している。研削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、該回転スピンドルに取付けられたマウンターと、該マウンターに装着される研削ホイールと、回転スピンドルを回転駆動する電動モータを備えたスピンドルユニットを具備している。
（例えば、特許文献２参照。）
【特許文献２】特開２０００−６１８３６号公報
【０００５】
上述した切削装置の切削手段を構成するスピンドルユニットや研削装置の研削手段を構成するスピンドルユニットは、回転スピンドルがスピンドルハウジングに流体軸受機構によって回転自在に支持されている。このように構成されたスピンドルハウジングの回転スピンドルに取付けられたマウンターに装着される切削ブレードや研削ホイールは、磨耗したり破損した際には交換する。このとき、回転スピンドルが回動しないように規制する必要がある。このため従来は、スピンドルハウジングに径方向のピン穴を形成するととともに回転スピンドルの外周面に凹部を設け、上記ピン穴を挿通して配設されたロックピンを選択的に凹部に嵌合するようにした回動規制手段が設けられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
而して、上記回動規制手段においては、上記ロックピンの凹部への嵌合を多数回実施すると、回転スピンドルの外周面に設けられた凹部が変形したり磨耗して回転スピンドルの回転バランスが崩れるとともに、作動不良を引き起こすという問題がある。
【０００７】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、回転スピンドルの回転規制を多数回実施しても回転スピンドルの回転バランスを損なうことがない回転工具を装着するスピンドルユニット機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、該スピンドルハウジングに配設され該回転スピンドルの外周面との間に流体層を形成して流体支持するラジアル軸受および該回転スピンドルの外周面に設けられたスラストプレートの側面を流体支持するスラスト軸受と、該回転スピンドルに取付けられ回転工具が装着されるマウンターと、該回転スピンドルを回転駆動する電動モータとを具備するスピンドルユニットと、
該スピンドルユニットの該ラジアル軸受および該スラスト軸受に高圧流体を供給する高圧流体供給手段と、を具備する回転工具を装着するスピンドルユニット機構であって、
該ラジアル軸受は弾性変形が可能な材料によって形成され内周面に該高圧流体供給手段と連通する複数の流体噴出孔が開口された円筒状の軸受スリーブからなっており、
該円筒状の軸受スリーブを選択的に弾性変形することにより縮径して該円筒状の軸受スリーブの内周面を該回転スピンドルの外周面に押圧せしめるスリーブ縮径手段を備えている、
ことを特徴とする回転工具を装着するスピンドルユニット機構が提供される。
【０００９】
上記スリーブ縮径手段は、上記スピンドルハウジングに形成され円筒状の軸受スリーブを収容するラジアル軸受凹部と、ラジアル軸受凹部に選択的に高圧流体を導入する高圧流体導入手段とからなっており、ラジアル軸受凹部に導入された高圧流体を軸受スリーブの外周面に作用せしめることにより軸受スリーブを縮径せしめる。
また、上記軸受スリーブは、カーボンによって形成されていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、回転スピンドルを流体支持するラジアル軸受は弾性変形が可能な材料によって形成された円筒状の軸受スリーブからなっており、該円筒状の軸受スリーブを選択的に弾性変形することにより縮径して内周面を回転スピンドルの外周面に押圧せしめるスリーブ縮径手段を備えているので、スリーブ縮径手段を作動することにより円筒状の軸受スリーブが縮径し内周面が回転スピンドルの外周面を押圧して回転スピンドルの回転が規制される。従って、回転スピンドルに装着された回転工具を交換する際に回転スピンドルの回転を規制することにより、回転工具の交換を円滑にかつ確実に行うことができる。また、回転スピンドルの回転規制は、円筒状の軸受スリーブが弾性変形することにより縮径して内周面を回転スピンドルの外周面に押圧することにより実現するので、回転スピンドルが磨耗したり変形することがない。従って、回転スピンドルが磨耗したり変形することによって回転バランスが崩れたり作動不良を引き起こすという問題を解消することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に従って構成された回転工具を装着するスピンドルユニット機構の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１２】
図１には、回転工具としての切削ブレードを装着するスピンドルユニット機構の断面図が示されている。図１に示すスピンドルユニット機構を構成するスピンドルユニット２は、円筒状のスピンドルハウジング３と、該スピンドルハウジング３に回転自在に配設された回転スピンドル４と、該回転スピンドル４に取付けられたマウンター５と、回転スピンドル４を回転駆動するための電動モータ９を具備している。スピンドルユニット２を構成する回転スピンドル４は、図１において外周面に径方向に突出するスラストプレート４１が設けられており、その左端部がスピンドルハウジング２の左端より左方に突出して配設されている。回転スピンドル４の左端部にはテーパー部４２が形成され、該テーパー部４２よりも先端側には雄ネジ部４３が形成されている。このように形成された回転スピンドル４のテーパー部４２にマウンター５が嵌合される。そして、雄ネジ部４３に固定ナット５５を螺合することにより、マウンター５は回転スピンドル４のテーパー部４２に取付けられる。マウンター５は、環状のフランジ部５１と、該環状のフランジ部５１の中心部から側方に突出して形成された円筒状の装着部５２とからなっている。装着部５２は、切削ブレード５３を構成する基台５３１を支持する支持部５２１と、その先端部の外周面に形成された雄ネジ５２２を備えている。このように構成されたマウンター５の装着部５２に上記切削ブレード５３を構成する基台５３１が嵌合される。そして、雄ネジ５２２に挟持ナット５６を螺合することにより、切削ブレード５３は環状のフランジ部５１と挟持ナット５６によって挟持して固定される。なお、切削ブレード５３は、アルミニウムによって形成された環状の基台５３１と、該基台５３１の外周部側面に砥粒をニッケルメッキで固めた環状の砥石ブレード５３２とからなっている。
【００１３】
上記回転スピンドル４を回転自在に支持する円筒状のスピンドルハウジング３は、軸方向に貫通する軸穴３１を備えている。このスピンドルハウジング３に形成された軸穴３１を挿通して上記回転スピンドル４が配設される。スピンドルハウジング３に形成された軸穴３１の内周面には、その中央部に筒状のラジアル軸受凹部３２が形成されており、図１において左端部に上記回転スピンドル４に設けられたスラストプレート４１を収容する環状のスラスト軸受凹部３３が形成されている。
【００１４】
スピンドルハウジング３に形成された軸穴３１の中央部内周面に形成された筒状のラジアル軸受凹部３２には、上記回転スピンドル４の外周面を囲繞する円筒状のラジアル軸受６が配設されている。このラジアル軸受６は、弾性変形が可能な材料によって形成された円筒状の軸受スリーブからなり、その両端外周にはフランジ６１、６１が形成されている。なお、円筒状の軸受スリーブからなる軸受スリーブ６を形成する弾性変形が可能な材料としては、カーボンが望ましい。ラジアル軸受６には、内周面に開口する複数の流体噴出孔６２と、該複数の流体噴出孔６２と連通する連通路６３が形成されている。なお、ラジアル軸受６の内径は、回転スピンドル４の外径より１０〜５０μm大きい寸法に設定されている。従って、ラジアル軸受スリーブ６の内周面と回転スピンドル４の外周面との間には５〜２５μmの隙間が形成される。このように構成されたラジアル軸受スリーブ６が配設された筒状の凹部３２には、その両側壁とラジアル軸受スリーブ６のフランジ６１、６１との間に環状のシール部材７、７が配設されている。
【００１５】
また、スピンドルハウジング３に形成された軸穴３１の図１において左端部内周面に形成されたスラスト軸受凹部３３には、環状のスラスト軸受８が配設されている。環状のスラスト軸受８は、その内周面に上記回転スピンドル４に設けられたスラストプレート４１が侵入する環状のスラストプレート侵入凹部８１が形成されている。このように形成された環状のスラスト軸受８には、スラストプレート侵入凹部８１に開口する複数の流体噴出孔８２と、該複数の流体噴出孔８２と連通する連通路８３が形成されている。
【００１６】
一方、スピンドルハウジング３には、上記ラジアル軸受６に形成された連通路６３と後述する高圧流体供給手段とを連通する第１の高圧流体供給通路３４が設けられている。従って、後述する流体供給手段から高圧エアー、高圧水、高圧オイル等の高圧流体が第１の高圧流体供給通路３４に供給されると、ラジアル軸受６に形成された連通路６３を介して複数の流体噴出孔６２から高圧流体が噴出される。この結果、ラジアル軸受６の内周面と回転スピンドル４の外周面との間には高圧流体によって流体層が形成され、回転スピンドル４は流体層によって回転自在に流体支持される。
【００１７】
また、スピンドルハウジング３には、上記環状のスラスト軸受８に形成された連通路８３と後述する高圧流体供給手段とを連通する第２の高圧流体供給通路３５が設けられている。従って、後述する高圧流体供給手段から高圧エアー等の高圧流体が第２の高圧流体供給通路３５に供給されると、スラスト軸受８に形成された連通路８３を介して複数の流体噴出孔８２から高圧流体がスラストプレート侵入凹部８１に噴出される。この結果、スラスト軸受８とスラストプレート４１の両側面との間に高圧流体によって流体層が形成され、スラストプレート４１は流体層によって流体支持される。
【００１８】
また、スピンドルハウジング３には、上記筒状のラジアル軸受凹部３２と後述する高圧流体供給手段とを連通する第３の高圧流体供給通路３６が設けられている。従って、後述する高圧流体供給手段から高圧エアー、高圧水、高圧オイル等の高圧流体が第３の高圧流体供給通路３６に供給されると、ラジアル軸受凹部３２に高圧流体が流入する。この結果、ラジアル軸受凹部３２に配設されたラジアル軸受６の外周面に高圧流体が作用するため、図２に示すようにラジアル軸受６が弾性変形して縮径し、その内周面が回転スピンドル４の外周面を押圧して、回転スピンドル４の回転を規制する。
【００１９】
図１に戻って説明すると、上記回転スピンドル４を回転駆動するための電動モータ９は、永久磁石式モータによって構成されている。永久磁石式の電動モータ９は、回転スピンドル４の上端部に形成されたモータ装着部４３に装着された永久磁石からなるロータ９１と、該ロータ９１の外周側においてスピンドルハウジング４に配設されたステータコイル９２とからなっている。このように構成された電動モータ９は、ステータコイル９２に交流電力を印加することによりロータ９１が回転し、該ロータ９１を装着した回転スピンドル４を回転せしめる。
【００２０】
図示の実施形態におけるスピンドルユニット機構は、上記ラジアル軸受６およびスラスト軸受８に流体を供給する高圧流体供給手段１０を具備している。高圧流体供給手段１０は、高圧エアー、高圧水、高圧オイル等の高圧流体源１０１と、該高圧流体源１０１と上記スピンドルハウジング４に形成された第１の高圧流体供給通路３４および第２の高圧流体供給通路３５とを接続する配管１０２と、上記第３の高圧流体供給通路３６とを接続する配管１０３と、配管１０２に配設された電磁弁付きリリーフ弁１０４と、配管１０２に配設された電磁開閉弁１０５と、電磁弁付きリリーフ弁１０４および電磁開閉弁１０５を制御する制御手段１０６からなっている。なお、上記高圧流体源１０１は、例えば圧力が１Mpaの高圧流体を供給する。一方、電磁弁付きリリーフ弁１０４は、図示の実施形態においては除勢(OFF)されている状態においては閉路しており、附勢(ON)されると高圧流体源１０１から供給される高圧流体の圧力を減圧するように構成されており、図示の実施形態においては高圧流体源１０１から供給される高圧流体の圧力（例えば１Mpa）が例えば０．５Mpaになるように設定されている。また、電磁開閉弁１０５は、図示の実施形態においては除勢(OFF)されている状態においては閉路しており、附勢(ON)されると開路するように構成されている。
【００２１】
図示の実施形態における流体供給手段１０は以上のように構成されており、電磁弁付きリリーフ弁１０４が附勢(ON)されると、高圧流体源１０１から供給される高圧流体の圧力（例えば１Mpa）が例えば０．５Mpaに減圧され、この減圧された高圧流体が配管１０２を介してスピンドルハウジング３に形成された第１の高圧流体供給通路３４およびに第２の高圧流体供給通路３５に導入される。第１の高圧流体供給通路３４に導入された高圧流体は、ラジアル軸受スリーブ６に形成された連通路６３を介して複数の流体噴出孔６２から噴出される。この結果、上述したようにラジアル軸受６の内周面と回転スピンドル４の外周面との間には高圧流体によって流体層が形成され、回転スピンドル４は流体層によって回転自在に流体支持される。一方、第２の高圧流体供給通路３５に導入された高圧流体は、スラスト軸受８に形成された連通路８３を介して複数の流体噴出孔８２から高圧流体がスラストプレート侵入凹部８１に噴出される。この結果、上述したようにスラスト軸受８とスラストプレート４１の両側面との間に高圧流体によって流体層が形成され、スラストプレート４１は流体層によって流体支持される。
【００２２】
上述したように回転スピンドル４が流体支持された状態で電動モータ９を駆動し、回転スピンドル４を回転せしめる。この結果、回転スピンドル４の先端に取付けられたマウンター５１に装着されている切削ブレード５３が回転せしめられ、切削作業を実施することができる。
【００２３】
次に、切削ブレード５３が磨耗したり破損し、切削ブレード５３を交換する作業について説明する。
切削ブレード５３の交換作業を実施するには回転スピンドル４の回動を規制する必要があり、このため先ず制御手段１０６は流体供給手段１０の電磁開閉弁１０４を附勢(ON)する。この結果、電磁開閉弁１０５が開路され、高圧流体源１０１の高圧流体が配管１０３を介してスピンドルハウジング３に形成された第３の高圧流体供給通路３６に導入され、ラジアル軸受凹部３２に高圧流体が流入する。このようにしてラジアル軸受凹部３２に導入される高圧流体は、高圧流体源１０１の圧力（例えば１Mpa）の状態でラジアル軸受凹部３２に配設されたラジアル軸受６の外周面に作用するため、図２に示すようにラジアル軸受６が弾性変形して縮径し、その内周面が回転スピンドル４の外周面を押圧して、回転スピンドル４の回転を規制する。従って、ラジアル軸受凹部３２および該ラジアル軸受凹部３２に高圧流体を導入する流体供給手段１０は、円筒状の軸受スリーブを選択的に弾性変形することにより縮径して内周面を回転スピンドルの外周面に押圧せしめるスリーブ縮径手段として機能する。そして、電磁開閉弁１０４はラジアル軸受凹部３２に選択的に高圧流体を導入せしめる高圧流体導入手段として機能する。
【００２４】
このようにして回転スピンドル４の回転を規制した状態で、マウンター５の装着部５２に形成された雄ネジ５２２に螺合されている挟持ナット５６を外し、磨耗または破損した切削ブレード５３を装着部５２から取り出して、新しい切削ブレードを装着部５２に装着する。そして、雄ネジ５２２に挟持ナット５６を螺合することにより、交換した切削ブレードを環状のフランジ部５１と挟持ナット５６によって挟持して固定する。この切削ブレードを交換する際には上述したように回転スピンドル４の回転が規制されているので、挟持ナット５６の回転を円滑にかつ確実に行うことができる。なお、回転スピンドル４の回転規制は、上述したようにラジアル軸受６が弾性変形して縮径し、その内周面を回転スピンドル４の外周面に押圧することにより実現するので、回転スピンドル４が磨耗したり変形することがない。従って、回転スピンドル４が磨耗したり変形することによって回転バランスが崩れたり作動不良を引き起こすという問題が解消される。
【００２５】
次に、回転工具としての研削ホイールを装着するスピンドルユニット機構について、図３を参照して説明する。なお、図３に示すスピンドルユニット機構においては、スピンドルユニット２および高圧流体供給手段１０は上記図１に示すスピンドルユニット機構と実質的に同一であるため、同一部材には同一符号を付してその説明は省略する。
図３に示すスピンドルユニット機構は、回転スピンドル４の下端にマウンター５aが設けられている。このマウンター５aの下面に回転工具としての研削ホイール１１が取付けられる。研削ホイール１１は、円環状のホイール基台１１１と該ホイール基台１１１の下面に装着される複数の研削砥石１１２とからなっており、ホイール基台１１１がマウンター５aの下面に締結ボルト１２によって取付けられる。
【００２６】
図３に示すスピンドルユニット機構は以上のように構成されており、研削作業を実施する際には、高圧流体供給手段１０の電磁弁付きリリーフ弁１０４を附勢(ON)して、上述したように高圧流体をラジアル軸受６に形成された複数の流体噴出孔６２から噴出せしめることにより回転スピンドル４を回転自在に流体支持するとともに、スラスト軸受８のスラストプレート侵入凹部８１に噴出せしめることによりスラストプレート４１を流体支持する。このようにして回転スピンドル４を流体支持した状態で電動モータ９を駆動し、回転スピンドル４を回転せしめる。この結果、回転スピンドル４の先端に取付けられたマウンター５aに装着されている研削ホイール１１が回転せしめられ、研削作業を実施することができる。
【００２７】
次に、研削ホイール１１の研削砥石１１２が磨耗したり破損し、研削ホイール１１を交換する作業について説明する。
研削ホイール１１の交換作業を実施するには回転スピンドル４の回動を規制する必要があり、このため先ず上述したように高圧流体供給手段１０の電磁開閉弁１０５を附勢(ON)して、スピンドルハウジング３に形成されたラジアル軸受凹部３２に高圧流体が流入する。この結果、上述したようにラジアル軸受凹部３２に配設されたラジアル軸受６の外周面に高圧流体が作用してラジアル軸受６が弾性変形して縮径し、その内周面が回転スピンドル４の外周面を押圧して、回転スピンドル４の回転を規制する。このようにして回転スピンドル４の回転を規制した状態で、マウンター５aに締結ボルト１２によって装着されている磨耗または破損した研削ホイール１１を交換する。
【００２８】
上述した各実施形態においては、ラジアル軸受６およびスラスト軸受８とラジアル軸受凹部３２に同一の高圧流体源から高圧流体を供給する例を示したが、高圧流体源を分け、ラジアル軸受６およびスラスト軸受８には高圧エアー源から高圧エアーを供給し、ラジアル軸受凹部３２には高圧水源または高圧オイル源から高圧水または高圧オイルを導入するようにしてもよい。
【００２９】
次に、スリーブ縮径手段の他の実施形態について、図４を参照して説明する。なお、図４に示す実施形態においては、スリーブ縮径手段および回転工具以外の構成部材は上記図１および図３に示す実施形態と実質的に同一であるため、同一部材には同一符号を付して、その説明は省略する。
図４に示す実施形態におけるスリーブ縮径手段は、スピンドルハウジング３に形成されたラジアル軸受凹部３２の底面とラジアル軸受６の外周面との間に電圧を印加すると径方向に伸びる圧電素子１５を配設し、該圧電素子１５に選択的に電圧を印加するようにしたものである。即ち、圧電素子１５に電圧を印加する電源回路１６を制御手段１０６によって制御する。従って、制御手段１０６からの制御信号に基いて電源回路１６によって圧電素子１５に電圧が印加されると、圧電素子１５が径方向に伸びラジアル軸受６の外周面を押圧するため、ラジアル軸受６が縮径される。この結果、ラジアル軸受６の内周面が回転スピンドル４の外周面を押圧して、回転スピンドル４の回転が規制される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に従って構成されたスピンドルユニット機構の一実施形態を示す断面図。
【図２】図１に示すスピンドルユニット機構を構成するスリーブ縮径手段を作動した状態を示す説明図。
【図３】本発明に従って構成されたスピンドルユニット機構の他の実施形態を示す断面図。
【図４】図１に示すスピンドルユニット機構を構成するスリーブ縮径手段の他の実施形態を示す要部断面図。
【符号の説明】
【００３１】
２：スピンドルユニット
３：スピンドルハウジング
３１：軸穴
３２：ラジアル軸受凹部
３３：スラスト軸受凹部
４：回転スピンドル
４１：スラストプレート
５：マウンター
５３：切削ブレード
６：ラジアル軸受
８：スラスト軸受
９：電動モータ
１０：高圧流体供給手段
１０１：高圧流体源
１０４：電磁弁付きリリーフ弁
１０５：電磁開閉弁
１１：研削ホイール
１５：圧電素子
【図１】
2009255220.tif 000003
【図２】
2009255220.tif 000004
【図３】
2009255220.tif 000005
【図４】
2009255220.tif 000006