(57)【要約】【課題】外圧型成型ベローズを小型化するという課題があった。【解決手段】複数の山を有する成型ベローズの使用方法であって、山の谷部及び山部の間を構成する側壁部が外側に凸状に膨らんだ形状を、成型ベローズの外側に流体圧力を負荷して内側に凸状に膨らませるステップと、内側に凸状に膨らんだ側壁部が互いに接触しない変位で成型ベローズを圧縮又は伸張するステップと、を有する。【選択図】図５
2009052628.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の山を有する成型ベローズの使用方法であって、
前記山の谷部及び山部の間を構成する側壁部が外側に凸状に膨らんだ形状を、前記成型ベローズの外側に流体圧力を負荷して内側に凸状に膨らませるステップと、
前記内側に凸状に膨らんだ側壁部が互いに接触しない変位で前記成型ベローズを圧縮又は伸張するステップと、
を有することを特徴とする成型ベローズの使用方法。
【請求項２】
前記圧縮又は伸張ステップは、前記成型ベローズの圧縮変位量を伸張変位量以下にすることで、前記内側に凸状に膨らんだ側壁部が互いに接触しないように圧縮又は伸張するステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
複数の山を有する成型ベローズであって、前記山の谷部および山部の間を構成し、かつ、前記山の外側に流体圧力を負荷して内側に凸状に膨らんだ形状を有する側壁部を有する成型ベローズと、
前記成型ベローズを外部に配置する真空容器と、
前記成型ベローズの内側に気密接合することで前記真空容器内に貫通し、先端部に可動電極を備え、且つ、前記内側に凸状に膨らんだ側壁部が互いに接触しない変位で前記成型ベローズを圧縮又は伸張することで該可動電極を移動させる可動リード棒と、
前記真空容器内で前記可動電極に対向方向に配置され、かつ、前記可動リード棒の移動により前記可動電極と接続又は解離する固定電極と、
を有することを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
前記成型ベローズの圧縮又は伸張は、前記成型ベローズの圧縮変位量を伸張変位量以下にすることで、前記内側に凸状に膨らんだ側壁部が互いに接触しないように圧縮又は伸張する請求項３に記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成型ベローズの使用方法及びその成型ベローズを有する真空バルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
成型ベローズは、金属素材で筒(パイプ)をつくり、その金属パイプを金型に入れ、金属パイプの内側に高圧流体を導入することで成型加工した金属性の伸縮管であり、その山を複数設けることで伸縮性、気密性、バネ性を持たせた、気体又は液体の気密封止シール部材として、配管用伸縮継手、メカニカルシール、真空バルブ等、様々な用途で使用されている。
【０００３】
また、成型ベローズが使用される真空遮断器用真空バルブは、絶縁性ガスが封入されるガス絶縁開閉装置（以下「ＧＩＳ」と言う。）の中においても、絶縁性ガスよりも真空の方が遮断性能が高いため、使用される場合がある。その場合、絶縁性ガスは圧力が高い（例えば０．３ＭＰａ以上）ため、真空遮断器用真空バルブに使用される成型ベローズは、その高い圧力に耐える構造的特徴を有する必要がある。
【０００４】
以下に、真空バルブに使用される成型ベローズの例として、内側に高圧流体を通す場合の成型ベローズである内圧型成型ベローズを、図１を用いて説明する。
図１に示す真空バルブでは、絶縁筒１と固定側フランジ２と可動側フランジ３から真空容器が構成され、内圧型成型ベローズ１０により可動電極６の移動と真空保持の気密構造が確保される。絶縁筒１の一端部は固定側フランジ２により封着され、他端部には可動側フランジ３が封着されている。内圧型成型ベローズ１０は、絶縁筒１内に入り込んだ状態で、先端部が可動リード棒７に封着され、基端部が可動側フランジ３に封着されている。固定電極５は固定リード棒４の先端に固定され、固定リード棒４は固定側フランジ２を貫通し封着されている。先端に可動電極６を固着した可動リード棒７は内圧型成型ベローズ１０を貫通しており、固定電極５と可動電極６を接触・解離するために、矢印１８のように可動電極６を平行移動させる。
【０００５】
このような内圧型成型ベローズは、大気中仕様（０．１ＭＰａ）の通常の真空バルブには採用される。しかし、内圧型成型ベローズ内側１１の圧力が、ＧＩＳの絶縁性能を向上させるためＧＩＳ内に封入されたＳＦ６ガスなどの絶縁性ガスの圧力が０．３ＭＰａ以上の高圧になり、かつ、内圧型成型ベローズ外側１２の圧力が真空となるように、成型ベローズの内側と外側で差圧が大きい場合、半径方向への不均一な変形が生じ、更に谷部１４が反転して山部１３のように変形するという座屈現象を生じることが知られている。そのため、内圧型成型ベローズは、成型ベローズ内側の圧力が高くなるケースでは極端に寿命が短くなる。
【０００６】
そこで高気圧ガスに耐える成型ベローズには、高差圧に対しても座屈し難い成型ベローズとして外圧型の成型ベローズが用いられる。図２は、ＧＩＳ内に設置された真空バルブに採用される外圧型成型ベローズを示す図である。図２に示す真空バルブ３０は、絶縁筒１と固定側フランジ２と可動側フランジ３から真空容器が構成され、外圧型成型ベローズ２０により可動電極６の移動と真空保持の気密構造が確保される。絶縁筒１の一端部は固定側フランジ２により封着され、他端部には可動側フランジ３が封着されている。外圧型成型ベローズ２０は、真空容器外に配置され、その基端部は可動側フランジ３に封着され、他端部は先端に可動電極６を固着した可動リード棒７を貫通させて封着されている。即ち、外圧型成型ベローズ２０が絶縁筒１内に外付けされた状態で、その先端部である可動電極６が可動リード棒７に固定されている。可動リード棒７は、可とう導体２６そして導体２７を介して高圧回路に接続されている集電装置２５に接続され、さらに、可動リード棒７は、リンク２８を介して図示しない操作器で駆動される。固定電極５は固定リード棒４の先端に固定され、固定リード棒４は固定側フランジ２を貫通し封着されている。操作器で駆動することで、可動リード棒７は、矢印１８のように動き、そして、可動電極６を平行移動することで、固定電極５と可動電極６は、接触・解離する。
【０００７】
真空バルブ３０は、ＳＦ６ガスなどの絶縁性ガスをその内部に封入したＧＩＳ内に、設置されているため、外圧型成型ベローズ内側２１の圧力が真空になり、外圧型成型ベローズ外側２２の圧力が絶縁性ガスの圧力０．３ＭＰａ以上の高圧になる。矢印１８の右方向に可動リード棒７が移動する解離動作を行う場合、外圧型成型ベローズ内側２１は真空であるため、上述したような変形は生じにくい。そのため、高圧の絶縁性ガスを充填したＧＩＳ内に、真空バルブ用の成型ベローズを設置する場合、外圧型成型ベローズが使用される（例えば、特許文献１）。
【０００８】
以下、成型ベローズの形状を図３を用いて説明する。
図３（ａ）は、外圧型成型ベローズの軸方向断面形状を示す図であり、（ｂ）は、外圧型成型ベローズが、外圧により側壁反転現象が生じた状態での圧縮伸張を示す図である。図３（ａ）に示す成型ベローズ４０は、金型にそって成型されることで、山部Ｍ１ａ、谷部Ｖ１ａ、側壁部Ｓ１ａを有し、山部Ｍ１ａ間のピッチＱと、山の高さＷが決まる。また、成型ベローズ４０は、成型時にパイプに生じた残留応力が駆動力となり、弾性回復する変形であるスプリングバックが生じ、成型ベローズ４０の側壁部Ｓ１ａは、幅ｂで示すように外側に凸状に膨らんでいる。
【０００９】
図３（ｂ）に示す成型ベローズＣ１は、外圧がかかっていない状態の成型ベローズ４０を示す。Ｃ２は、外圧を過剰にかけることで、側壁の凸部を外側から内側に反転させ、かつ、圧縮させた状態の成型ベローズ形状である。図３（ｂ）に示すように、外圧型成型ベローズは、高気圧ガス中に置かれることで、成型ベローズの内側と外側の間に圧力差が生じると、山部が圧縮され谷部には拡張する力が加わり、更に圧力を上げていくと外側に凸であった外圧型成型ベローズの側壁が、内側に凸に変形する現象が生じる（以下、「側壁反転現象」と言う。）。このため、成型ベローズＣ２のように、側壁同士の接近部は外側から内側に移動し、内側の側壁は隣同士が接近する。
【００１０】
通常の外圧型成型ベローズは、このような側壁反転現象を避けるため、通常は板厚を厚く、山の高さを低くして、ピッチを広げ、山数を増す等により高耐圧力化する。つまり、通常の外圧型成型ベローズは、第１の設計条件として、高差圧により生じる側壁反転現象を回避するために板厚、山の高さ、ピッチ等の山の形状を決定し、次に、第２の設計条件として、必要な設計変位量から山数を決定するという順番で成型ベローズを設計している。そのため、第１の設計条件を無視して設計される非外圧型成型ベローズと比較して、通常の外圧型成型ベローズは、厚い板厚と、低い山により、一山当たりの変位量は小さくなるため、山の数が増加し、設計変位量に対してベローズ長が長くなる。つまり、通常の外圧型成型ベローズは、設計変位量に対して、差圧が大きくなるほどベローズ長が長くなる傾向がある。
【００１１】
しかしながら、そのようなベローズ長の長い外圧型成型ベローズを使用する真空バルブ等の機器は、外圧型成型ベローズの大型化により製作コストが高くなる不都合を生じるとともに、真空バルブ等を収納するＧＩＳ等の装置内における真空バルブの占有容積が大きくなり、装置の大形化を招き、装置全体の寸法を大きくし、かつ、装置の製作コストも高くするという不都合を生じていた。
【００１２】
【特許文献１】特開昭６０−２０５９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上述のような問題点に鑑み、本発明は、高差圧状態において成型ベローズに生じる側壁反転現象を許容し、成型ベローズの有する弾性変形を最大限利用することで、従来の加圧型成型ベローズと比較して薄い板厚、高い山、狭いピッチ、少ない山数等により成型ベローズを短縮化する成型ベローズを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために、本発明に係る複数の山を有する成型ベローズの使用方法は、山の谷部及び山部の間を構成する側壁部が外側に凸状に膨らんだ形状を、成型ベローズの外側に流体圧力を負荷して内側に凸状に膨らませるステップと、内側に凸状に膨らんだ側壁部が互いに接触しない変位で成型ベローズを圧縮又は伸張するステップと、を有することを特徴とする。
【００１５】
圧縮又は伸張するステップは、成型ベローズの圧縮変位量を伸張変位量以下にすることで、内側に凸状に膨らんだ側壁部が互いに接触しないように圧縮又は伸張するステップを含んでも良い。
【００１６】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る真空バルブは、複数の山を有する成型ベローズであって、山の谷部および山部の間を構成し、かつ、山の外側に流体圧力を負荷して内側に凸状に膨らんだ形状を有する側壁部を有する成型ベローズと、成型ベローズを外部に配置する真空容器と、成型ベローズの内側に気密接合することで真空容器内に貫通し、先端部に可動電極を備え、且つ、内側に凸状に膨らんだ側壁部が互いに接触しない変位で成型ベローズを圧縮又は伸張することで、可動電極を移動させる可動リード棒と、真空容器内で可動電極に対向方向に配置され、かつ、可動リード棒の移動により可動電極と接続又は解離する固定電極と、を有することを特徴とする。
【００１７】
また、成型ベローズの圧縮又は伸張は、成型ベローズの圧縮変位量を伸張変位量以下にすることで、内側に凸状に膨らんだ側壁部が互いに接触しないように圧縮又は伸張させても良い。
【発明の効果】
【００１８】
上記のように、本発明は、高差圧状態において成型ベローズに生じる側壁反転現象を許容し、成型ベローズの有する弾性変形変位を最大限利用することで、従来の加圧型成型ベローズと比較して薄い板厚、高い山、狭いピッチ、少ない山数等により成型ベローズを短縮化する外圧型成型ベローズを提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図４は、本発明に係る側壁反転成型ベローズを示す図である。
Ｃ１は、外圧がかかっていない状態の成型ベローズを示し、金型にそって成型されることで、山部Ｍ１ｂ、谷部Ｖ１ｂ、側壁部Ｓ１ｂを有し、山部Ｍ１ｂ間のピッチＱと、山の高さＷが決まる。また、成型ベローズは、成型時にパイプに生じた残留応力が駆動力となり、弾性回復する変形であるスプリングバックが生じ、成型ベローズの側壁部Ｓ１ｂは、幅ｂで示すように外側に凸に膨らんでいる。Ｃ２は、外圧をかけて、側壁部Ｓ１ｂを反転させ、かつ、圧縮させた状態のベローズ形状であり、Ｅ２は、Ｃ２から伸張させた場合の外圧型成型ベローズの形態である。
【００２０】
Ｃ３は、Ｃ２からさらに圧縮させた場合の外圧型成型ベローズの形態である。Ｃ３で示された状態では、反転した側壁部Ｓ１ｃが互いに密着しており、この状態でさらに外圧型成型ベローズを圧縮させる力をかけると、ベローズは圧縮せず、谷部Ｖ１ｃに応力がかかるため、外圧型成型ベローズの短寿命化を招くことになる。
したがって、本発明に係る成型ベローズの使用方法は、Ｃ２に示される側壁密着前の外圧型成型ベローズの圧縮状態と、Ｅ２に示される外圧型成型ベローズの伸張状態との間で圧縮伸張を繰り返す。
【００２１】
図５（ａ）は、本発明に係る側壁反転成型ベローズの形態を示す図であり、（ｂ）は、側壁部が外側に凸に膨らんだ通常の成型ベローズの形態を示す図である。
ベローズの山部は、金属パイプが最も延ばされた部分であるため、板厚が薄くてしなやかな（弾性変形範囲が大きい）状態となっており、反対にベローズの谷部は、パイプが延ばされた部分ではないため、板厚が厚くて剛性の高い状態となっている。また、図５（ｂ）に示される通常の成型ベローズ５５の側壁が外側に凸に膨らんだベローズを圧縮した場合の応力集中部は谷部Ｖ１ｄであり、谷部Ｖ１ｄは、上記のように圧縮方向に高い剛性があるため疲労破壊の原因となる応力集中が生じ易いが、通常の成型ベローズでは、圧縮側で大きな変位量で使用され、例えば、必要変位量に対して、圧縮時５７で６０％、伸張時５６で４０％程度の割合で使用される。
【００２２】
図５（ａ）に示すように、本発明に係る成型ベローズ５１は、通常の外圧型成型ベローズ５５と比較して、山が高く、及び／又は、薄い板厚であるため、成型ベローズが使用される所定の圧力をかけると、成型ベローズの外側と内側の圧力差により側壁が反転する。さらに、本発明に係る成型ベローズ５１は、通常の外圧型成型ベローズ５５と比較して、山が高く、及び／又は、板厚が薄いため、山部Ｍ１ｅ、谷部Ｖ１ｅ共に最大許容曲げ変形量が大きくなり、伸張時の成型ベローズ５２に示すように、一山当たりの変位量を大きくすることが可能である。そのため、成型ベローズの設計変位量に対して、通常の高圧型成型ベローズ５５よりも山の数を減少することが出来る。
【００２３】
一方で、本発明に係る圧縮時の側壁反転成型ベローズ５３は、側壁部が内側に膨らんでいるため、圧縮方向に対して側壁が接触しやすい。しかし、スプリングバックによる変形量は、自由長ピッチに対して２０％未満であるため、後述するように、通常の成型ベローズの圧縮側変位量６０％の場合でも、内壁が接触することは無い。ただし、本発明に係る側壁反転成型ベローズ５１は、一山当たりの許容変位量が大きくなるが、圧縮側の変位量は、最大許容曲げ変形量未満で側壁接触を避ける変位量とする必要がある。
また、内壁の接触を回避するためには、設計変位量の中間の値をベローズの自然長とせずに、側壁反転成型ベローズは、一山当たりの許容変位量が伸張側に大きいため、中間値を伸張側にシフトさせることで、圧縮側変位が小さく、伸張側変位が大きい使用が可能である。
【００２４】
下記、表１は、ＪＩＳ  Ｂ  ２３５２−２００５  付属書２  （参考）ベローズ形伸縮管継手の強度評価基準（３．４項  単層、補強リング無しベローズの強度計算（ＡＳＭＥ／ＡＮＳＩ  Ｂ  ３１．３  ＡＰＰＥＮＤＩＸ  Ｘ  準拠））に基づいて計算した成型ベローズの物性値である。
【００２５】
【表１】
2009052628.tif 000003
【００２６】
【表２】
2009052628.tif 000004
【００２７】
表１の右欄が、本発明に係る側壁反転が生じたと考えられる成型ベローズの物性値であり、左欄が、通常の成型ベローズに関する物性値である。この計算においては、表１右欄に示す成型ベローズの物性値において、ベローズ山の高さＷを、通常の成型ベローズと比較して高くし（７．７５ｍｍから１０．０ｍｍ）、ベローズの表面積を相対的に大きくした。それにより、圧力による軸方向曲げ応力（圧力による軸方向膜応力Ｓ３と圧力による軸方向曲げ応力Ｓ４の和）は、左欄のベローズのＳ３＋Ｓ４の値である６９５Ｎ／ｍｍ２から、右欄のベローズのＳ３＋Ｓ４の値である１２４３Ｎ／ｍｍ２へ大きくなり、そのＳ３＋Ｓ４が、表１のＳｈｂとＣｍの積により得られる許容応力１２００Ｎ／ｍｍ２を超えたため、表１右欄に示す成型ベローズは、側壁反転現象が生じていると考えられる。
【００２８】
また、表１右欄の成型ベローズは、表１左欄の成型ベローズと比してＳｔ（圧力とベローズの毎山全動きによる応力範囲）に大きな違いがないため（左欄が１３８８（Ｎ／ｍｍ２）に対して、右欄が１４６５（Ｎ／ｍｍ２））、表１右欄及び左欄に示す成型ベローズは、ベローズ寿命に大きな差はないと考えられる。
【００２９】
【表３】
2009052628.tif 000005
【００３０】
表２を用いて、表１で算定した結果に基づき計算した成型ベローズの変位を示す。表２の下行が、表１の右欄に示す側壁反転が生じたと考えられる成型ベローズの圧縮伸張の変位を示し、表２の上行が、表１の左欄に示す通常の成型ベローズの圧縮伸張の変位を示す。表１に示したように、側壁反転が生じたと考えられる成型ベローズは、通常の成型ベローズと比して、山の高さＷを大きくした（７．７５ｍｍから１０．０ｍｍ）ために山のピッチｑが小さくなり（４．３５ｍｍから４．２１ｍｍ）、ｘ全軸方向変位量４０ｍｍに対する必要な山の数Ｎも減少する（２３．０から２２．０）。そのため、表２に示すように、側壁反転が生じると考えられる成型ベローズは、通常の成型ベローズより、圧縮、自然長、伸張のそれぞれの長さが短小化していることがわかる。
以上より、表１及び表２で示したように、ＪＩＳに基づいて計算した成型ベローズの物性値から、成型ベローズの側壁反転現象を許容することで成型ベローズの圧縮、自然長、伸張のそれぞれの長さを短小化させることが可能であることがわかる。
【００３１】
さらに、上述したように、側壁反転成型ベローズでは、材料力学観点から側壁反転による山部谷部の形状の変化で一山当たりの最大許容曲げ変形量が通常の高圧型成型ベローズと比して大きくなるため、側壁反転成型ベローズの設計変位量に対する山の数は、通常の成型ベローズと比して少なくなる。しかし、ＪＩＳの計算式では、山部谷部の形状変化に基づく許容曲げ変形量の変化は考慮されていないため、実際の側壁反転成型ベローズは、表２に示す側壁反転が生じると考えられる成型ベローズの変位計算結果より、圧縮、自然長、伸張の全てにおいて小さくなることは明らかである。
【００３２】
図６は、本発明に係る側壁反転成型ベローズの耐久性を検証する実験装置を示す図である。この装置は、部材６３を中心として、側壁反転成型ベローズ６１ａと側壁反転成型ベローズ６１ｂが向かい合って接続されており、各々の側壁反転成型ベローズが真空バルブを模擬した真空容器６２ａと真空容器６２ｂに接続されている。これら２つの側壁反転成型ベローズを、図示しない駆動装置によって水平方向に一定の変位で往復動作させることで、側壁反転成型ベローズの耐久性実験を行う。
【００３３】
図７は、本発明に係る側壁反転成型ベローズの寿命を検討した実験結果を示すグラフを表す図である。このベローズ寿命の検討のために行った実験例を下記に示す。
【００３４】
実験例１
真空容器６１ｂに外圧型の成型ベローズ６１ｂ、全長１２２ｍｍ、金具長２９ｍｍ、ベローズ長Ｌｂ＝９３ｍｍ、ピッチｑ＝４．６７ｍｍ、山数Ｎ＝２０、山の高さＷ＝１０ｍｍ、ＱＷ値（ｑ／［２Ｗ］）＝０．２３３（ＱＷ値とは、ベローズの形状を示す指標となる数である。）、ＱＤＴ値（ｑ／［２．２√（Ｄｍｔｐ）］）＝０．７８、を付加して、ベローズ長Ｌｂから２７ｍｍ伸ばした状態で高圧容器内にセットし、０．７ＭＰａの絶縁性ガスを充気して側壁反転成型べローズとした後で、ストローク４０ｍｍ（伸張側２７ｍｍ、圧縮側１３ｍｍ）の連続伸縮試験をした。側壁反転成型ベローズの伸縮回数結果７１ｂは、５００００回（グラフ上でＮ＝１１）で亀裂発生し、同じＱＷ値の通常の高圧型成型ベローズの伸縮回数結果７２ｂと比べて、同等の耐久性を確認した。
【００３５】
実験例２
同様に外圧型の成型ベローズ６１ａを、ベローズ長Ｌｂ９３ｍｍから３２ｍｍまで圧縮し６１ｍｍとした状態で、０．７ＭＰａの絶縁性ガスを充気して側壁反転成型べローズとした後で、ストローク４０ｍｍ（伸張側８ｍｍ、圧縮側３２ｍｍ）の連続伸縮試験をした。側壁反転成型ベローズの伸縮回数結果７１ａは、４５００回（グラフ上でＮ＝１）で亀裂発生し、通常の高圧型成型ベローズの伸縮回数結果７１ｂと比べて、耐久性で劣ることを確認した。
【００３６】
表１に示したＪＩＳに基づく計算結果より、また、側壁反転が生じた成型ベローズは、通常の成型ベローズと比してＳｔ（圧力とベローズの毎山全動きによる応力範囲）に大きな違いがないためベローズ寿命に大きな差はないと考えられるが、実験例１からわかるように、側壁反転成型ベローズは、ベローズ長Ｌｂ（９３ｍｍ）に対して、伸張６７％（２７ｍｍ／４０ｍｍ）、圧縮側３３％（１３ｍｍ／４０ｍｍ）で使用した場合、圧縮側における側壁接触が生じないため、ベローズ寿命が、通常の高圧型成型ベローズとほぼ同じ結果となっており、側壁反転させた場合であってもベローズ寿命に大きな差は生じないことが実験により確認できた。
【００３７】
また、実験例２からわかるように、ベローズ長Ｌｂ（９３ｍｍ）に対して、圧縮８０％（３２ｍｍ／４０ｍｍ）、伸張側２０％（８ｍｍ／４０ｍｍ）で使用した場合、圧縮側における側壁接触が生じて、ベローズ寿命が、通常の高圧型成型ベローズより短くなっていることがわかる。したがって、側壁反転成型ベローズは、側壁接触が生じた場合、通常の成型ベローズより寿命が短くなることが実験により確認できた。
【００３８】
以上より、本発明に係る側壁反転成型ベローズは、高差圧状態においてベローズに生じる側壁反転現象を許容し圧縮伸張させ、圧縮側変位を側壁接触が生じない変位とすると共に伸張側により大きな変位をとることで、通常の成型ベローズと同等の寿命が得られる。そして、表１及び表２に関連して説明したように、本発明に係る側壁反転成型ベローズは、従来の加圧型成型ベローズと比較して高い山、少ない山数等により成型ベローズを短縮化可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
図３〜５に示す本発明に係る側壁反転成型ベローズは、図２に示す真空バルブ３０の成型ベローズ２０として適用可能であることはもちろんであるが、その適用は真空バルブ３０に限られるものではなく、成型ベローズの内外に差圧が生じ、シールが必要な配管用伸縮継手、メカニカルシール等のいかなるものに対しても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】内圧型成型ベローズを示す図である。
【図２】ＧＩＳ内に設置された真空バルブに採用される外圧型成型ベローズを示す図である。
【図３】成型ベローズの形状を示す図である。
【図４】本発明に係る側壁反転成型ベローズを示す図である。
【図５】（ａ）は、本発明に係る側壁反転成型ベローズの形態を示す図であり、（ｂ）は側壁部が外側に凸に膨らんだ通常の成型ベローズの形態を示す図である。
【図６】本発明に係る側壁反転成型ベローズの耐久性を検証する実験装置を示す図である。
【図７】本発明に係る側壁反転成型ベローズの寿命を検討した実験結果を示すグラフを表す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１    絶縁筒
２    固定側フランジ
３    可動側フランジ
４    固定リード棒
５    固定電極
６    可動電極
７    可動リード棒
１０    内圧型成型ベローズ
２０    外圧型成型ベローズ
２５    集電装置
２６    可とう導体
２７    導体
２８    リンク
３０    真空バルブ
４０    成型ベローズ
６１ａ、６１ｂ    側壁反転成型ベローズ
６２ａ、６２ｂ    真空容器
６３    部材
【図１】
2009052628.tif 000006
【図２】
2009052628.tif 000007
【図３】
2009052628.tif 000008
【図４】
2009052628.tif 000009
【図５】
2009052628.tif 000010
【図６】
2009052628.tif 000011
【図７】
2009052628.tif 000012