(57)【要約】【課題】光スイッチにおいて、ドリフトを抑制してミラー角度の経時変動を抑制しつつ、出力光ファイバへの入射光量を所定の範囲内に調節すること。【解決手段】光スイッチ５０は、入力光ファイバ及び複数の出力光ファイバからなる光ファイバアレイと、第一の基板に第一の支持梁３を介して回転可能に支持された可動枠２と、可動枠２に第二の梁５を介して回転可能に支持された可動ミラー４と、可動枠２及び可動ミラー４を静電駆動する電極とを備える。この光スイッチ５０は、可動枠２が所定角度回転した際にその可動枠２を第二の基板１１と接触させてその可動枠２の傾斜位置決めを行い、可動枠２を第二の基板１１に接触させた状態で、可動ミラー４を回転させて出力光ファイバへの入射光量を調節するように構成している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導出口と、複数の光導入口があり、
第一の基板に第一の梁を介して回転可能に支持された可動枠と、
前記可動枠に第二の梁を介して回転可能に支持された可動ミラーと、
前記可動枠及び前記可動ミラーを回転させる駆動手段を備え、
前記光導出口から出た光は、可動ミラーに形成された反射面で反射して、
前期光導入口に導かれ、前記可動枠を回転させて前記反射面の角度を変えることで、
光導入口を切り替える光スイッチであって、
前記可動枠が回転した際に第二の基板と接触して傾斜角度の保持を行い、
前記可動ミラーを前記可動枠と独立して回転させることにより、前記光導入口へ導かれる光量を調整することを特徴とする光スイッチ。
【請求項２】
請求項１において、前記駆動手段に静電駆動を用いたことを特徴とする光スイッチ。
【請求項３】
請求項２おいて、前記第二の基板上に前記可動枠と、前記可動ミラーを静電引力で引きつけて駆動させる駆動電極を形成したことを特徴とする光スイッチ。
【請求項４】
請求項１において、
前記光導出口および前記光導入口は、それぞれ、光ファイバとその先に配置されたコリメートレンズの組み合わせで構成され、導出光ファイバから、導出コリメートレンズ、前記可動ミラーの反射面、導入コリメートレンズ、導入光ファイバの順で光が伝達することを特徴とする光スイッチ。
【請求項５】
請求項１において、
前記光導出口および前記光導入口は、
それぞれ、光ファイバとその先に配置されたコリメートレンズの組み合わせと、1つのシリンドリカルレンズで構成され、導出光ファイバから、導出コリメートレンズ、シリンドリカルレンズ、前記可動ミラーの反射面、シリンドリカルレンズ、導入コリメートレンズ、導入光ファイバの順で光が伝達し、前記光ファイバは互いに略並行に配置されたことを特徴とする光スイッチ。
【請求項６】
請求項１において、前記可動枠の回転軸と、前記可動ミラーの回転軸を略直交に配置したことを特徴とする光スイッチ。
【請求項７】
請求項１において、前記第二の基板の前記第一の基板と対向する面に、前記可動枠の傾斜位置決めの支点となる突起を形成したことを特徴とする光スイッチ。
【請求項８】
請求項１において、前記可動枠の前記第二の基板と対向する面に、前記可動枠の傾斜位置決めの支点となる突起を形成したことを特徴とする光スイッチ。
【請求項９】
請求項３において、前記光導入口に入射した光量をモニターし、このモニターした光量に基づいて前記駆動電極に印加する電圧を制御して、前記可動ミラーの傾き角度を変更し、前記光導入口への光量を調整することを特徴とする光スイッチ。
【請求項１０】
請求項１に記載の光スイッチを光スイッチユニットとして、前記光スイッチユニットを複数配列し、各光スイッチユニットに対応する前記可動枠および前記可動ミラーが1つの第一の基板上に形成されていることを特徴とするアレイ型光スイッチ。
【請求項１１】
請求項６に記載の光スイッチを光スイッチユニットとして、前記光スイッチユニットを複数配列し、各光スイッチユニットに対応する前記シリンドリカルレンズは、1つのシリンドリカルレンズで構成されていることを特徴とするアレイ型光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光デバイス及びこれに用いるミラーデバイスに係わり、特に、光通信システム等において用いられ、可動ミラーを備える光スイッチに好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
光通信網に用いられる光スイッチでは、小型の可動ミラーを用いて光の経路を切り替えるタイプの光スイッチが提案されている。
【０００３】
出願人は、特開２００６−３０９１５２号公報（特許文献１）において、１入力の光信号を２出力に切り替える光スイッチについて出願している。この光スイッチでは、電極パターンが形成された半導体基板と、ミラーが接触することにより、ミラーの角度保持を行う。ミラーは可動支持部材を持ち、ミラーの下方の半導体基板に形成された電極パターンとの間に発生する静電引力によってミラーの角度は変更される。また、半導体基板には、突起が形成されており、ミラー反射面裏面と、突起が接触することにより角度保持を行う。
【０００４】
特開２００４−２４００１１号公報（特許文献２）に、2軸のミラーを用いて光信号を切り替える光スイッチが提案されている。この光スイッチでは、支持部材を介して半導体基板の上に離間して支持された枠部材と、この枠部材の開口領域内で少なくとも一対の連結部材を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に支持された板状の開口領域を有する可動枠と、この可動枠の開口領域内に配置され、一対のミラー連結部材を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に可動枠に支持されて反射部が設けられたミラーとを備える。また、可動枠及びミラーを導電材料から構成して可動電極とし、ミラーの下方の半導体基板上にミラーの回動動作を制御するための制御電極部（固定電極）を形成している。そして、制御電極部と可動電極との間に所定の電位差を生じさせることにより、制御電極部と可動電極とに電荷を誘導し、これらの電荷にクーロン力を作用させることで、可動枠及びミラーを回動させ、反射光の方向を変更して光信号の切り替えを行う。
【０００５】
【特許文献１】特願２００６−３０９１５２号公報
【特許文献２】特開２００４−２４００１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
可動ミラーを用いて切り替えを行う光スイッチにおいては、光結合が得られる位置にミラーの角度を調整し、その角度を保ち続けることが必要である。
【０００７】
また、切り替え後に伝達される光の強度は所定の範囲内に収めることが望ましく、特に複数のユニット（チャネル）を有する場合にはユニット（チャネル）ごとに反射光の光量を所定の範囲内に収めることが強く望まれている。
【０００８】
特許文献１では、電極基板とミラーを接触させてミラーの角度保持を行うことにより、ミラー角度の経時変動、すなわちドリフト現象を抑制し、ミラー角度一定を実現している。しかし、各チャネルに入力される光強度が異なる場合において、光強度を所定の範囲内に調節するために、各チャネルの出力光の光強度を変更することは困難である。
【０００９】
特許文献２では、駆動電位に応じてミラー回転角度を連続的に制御できるので、ミラー角度を微小変化させることにより、出力光の光強度を変化させて各チャネルにおける出力光の光強度を所定の範囲内に調節できるが、ドリフト現象が発生する可能性があり、ミラーの角度を保ち続けることが難しいという課題がある。
【００１０】
本発明の目的は、ミラー角度のドリフト現象を抑制しつつ、各チャネルの出力光の光強度を所定の範囲内に調節できる光スイッチを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述の目的を達成するための本発明の光スイッチは、以下のように構成される。
（１）光導出口と、複数の光導入口があり、
第一の基板に第一の梁を介して回転可能に支持された可動枠と、
前記可動枠に第二の梁を介して回転可能に支持された可動ミラーと、
前記可動枠及び前記可動ミラーを回転させる駆動手段を備え、
前記光導出口から出た光は、可動ミラーに形成された反射面で反射して、
前期光導入口に導かれ、前記可動枠を回転させて前記反射面の角度を変えることで、
光導入口を切り替える光スイッチであって、
前記可動枠が回転した際に第二の基板と接触して傾斜角度の保持を行い、
前記可動ミラーを前記可動枠と独立して回転させることにより、前記光導入口へ導かれる光量を調整する。
【００１２】
光導入口を切り替えるための可動枠と、光導入口に導かれる光の強度を調整するための可動ミラーを別に設けており、光導入口切り替え時には、可動枠を第二の基板と接触させて傾斜角度を一定に保持することができ、一方、光強度の調整は、可動ミラーの角度を連続的に変化させて行う。ドリフトがミラーの最大振り角に対してある比率で起こるとすると、光導入口の切り替えに用いる振り角の大きいミラーで光強度を調整しようとすると、ドリフトも大きくなってしまう。一方本発明では、切り替えに用いる可動枠は固定した状態で、独立した可動ミラーが光強度の調節を担う構成であり、光強度の調整に必要な可動ミラーの角度変化量は微小で良いため、ドリフト現象も微小となる。よって、ミラー角度のドリフトを抑制しつつ、光強度を所定の範囲内に調節できる。
（２）また好ましくは、前記駆動手段は静電駆動を用いる。
（３）また好ましくは、前記第二の基板上に、前記可動枠および前記可動ミラーを静電引力で引きつけて駆動させる駆動電極を形成する。
【００１３】
可動枠および可動ミラーと、駆動電極との間に適度な電位差を与えることで、可動枠は第二の基板に接触するまで引きつけて傾斜させ、可動ミラーは電位差に応じた傾斜角度に連続的に調整することができる。
（４）また好ましくは、前記光導出口および前記光導入口は、それぞれ、光ファイバとその先に配置されたコリメートレンズの組み合わせで構成され、導出光ファイバから、導出コリメートレンズ、前記可動ミラーの反射面、導入コリメートレンズ、導入光ファイバの順で光が伝達するようにする。
【００１４】
光はコリメートレンズにより平行ビームとなって伝達し、少ない損失で光導入口に導くことができる。
（５）また好ましくは、前記光導出口および前記光導入口は、それぞれ、光ファイバとその先に配置されたコリメートレンズの組み合わせと、1つのシリンドリカルレンズで構成され、導出光ファイバから、導出コリメートレンズ、シリンドリカルレンズ、前記可動ミラーの反射面、シリンドリカルレンズ、導入コリメートレンズ、導入光ファイバの順で光が伝達するようにする。
シリンドリカルレンズとは、曲線の断面を押し出した形のレンズで、押し出し方向と垂直の方向に導入および導出光ファイバを配列することで、シリンドリカルレンズを通過する際に光路が曲げられ、光ファイバは互いに略並行に配置することができるので、光ファイバの配列がしやすくなる。また複数のコリメータレンズの光軸が揃うので、一括で形成しやすい。
（６）また好ましくは、前記可動枠の回転軸と、前記可動ミラーの回転軸を略直交に配置する。
【００１５】
可動ミラーの回転方向を、光導入口の切り替えに用いる可動枠の回転方向と異なる方向にすることで、光を導入したくない光導入口に光が入るのを、より確実に防ぐことができる。
（７）また好ましくは、前記第二の基板の前記第一の基板と対向する面に、前記可動枠の傾斜位置決めの支点となる突起を形成する。
【００１６】
突起と第二の基板の突起がない部分とで可動枠が接触することにより、第一の基板に対して傾斜した状態で、可動枠の角度を固定することができる。
（８）また前記突起は、前記可動枠の前記第二の基板と対向する面に形成してもよい。
（９）また好ましくは、前記光導入口に入射した光量をモニターし、このモニターした光量に基づいて前記駆動電極に印加する電圧を制御して、前記可動ミラーの傾き角度を変更し、前記光導入口への光量を調整する。
こうした構成により、光強度が常時ある範囲内に収まるように制御することができる。
（１０）前記の光スイッチを光スイッチユニットとして、前記光スイッチユニットを複数配列し、アレイ型光スイッチを構成することができる。その際、各光スイッチユニットに対応する前記可動枠および前記可動ミラーは1つの第一の基板上に形成されることが好ましい。個々に形成した基板を配列するよりも、製造プロセスを簡略化できる。
（１１）前記シリンドリカルレンズを用いた構成の光スイッチユニットを複数配列したアレイ型光スイッチを構成することができる。各光スイッチユニットに対応する前記シリンドリカルレンズは、1つのシリンドリカルレンズで構成されることが好ましい。構成部材を削減して、組み立て作業も軽減できる。
【発明の効果】
【００１７】
係る本発明の光スイッチを用いると、光信号を複数の光導入口に切り替えるとともに、ミラー角度のドリフトを抑制しつつ、光強度を所定の範囲内に調節できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の複数の実施形態について図を用いて説明する。各実施形態の図における同一符号は同一物または相当物を示す。なお、本発明は、それぞれの実施形態を適宜に組み合わせることにより、さらに効果的なものとすることを含む。
【００１９】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態の光デバイスの１例である光スイッチを図１から図７を用いて説明する。
【００２０】
まず、本実施形態の光スイッチ50の全体に関して、図１及び図２を参照して説明する。図１は本実施形態の光スイッチの１チャネル分のミラー構造を示す平面図であり、図２は図１のA-B断面に対応する光スイッチの構成図である。
【００２１】
光スイッチ50に対応する光ファイバ７を配列したファイバアレイ８、コリメートレンズ17を配列したコリメートレンズアレイ９、シリンドリカルレンズ１０、ミラー基板１（第一の基板、可動枠２、可動ミラー４）、電極基板１１（可動枠電極１２、１３、ミラー電極１８、グランド電極１９（図７参照））、スペーサ１６を備えて構成されている。この光スイッチ５０は、２軸回転ミラーを用いた静電駆動型の１入力・２出力、光量の調節機能付き光スイッチの例である。また、ミラー基板１、スペーサ１６、電極基板１１からなる構成をミラーデバイス５５とする。
【００２２】
光ファイバ７は、１本の入力光ファイバ７ｃ及び複数（図示例では２本）の出力光ファイバ７a、７bで構成され、ファイバアレイ８により平行に配置されている。換言すると、光ファイバ７は、入力光ファイバ７ｃ、出力光ファイバ７ｂ、７aの順に直線状に整列されている。
【００２３】
コリメートレンズ１７は、入力光ファイバ７ｃに対応するコリメートレンズ１７ｃ及び出力光ファイバ７a、７ｂに対応する複数（図示例では２本）のコリメートレンズ１７a、１７ｂで構成され、コリメートレンズアレイ９により平行（直線状）に配列されている。
【００２４】
シリンドリカルレンズ１０は、コリメートレンズ１７と可動ミラー４との間に配置され、入力光ファイバ７ｃ及び入力コリメートレンズ１７ｃを通して照射された光を可動ミラー４に導き、可動ミラー４で反射された光を出力コリメートレンズ１７a、１７ｂ及び出力光ファイバ１７a、１７ｂへと導く。
【００２５】
ミラー基板１と電極基板１１とはスペーサ１６を介して重ね合わせて配置されている。なお、電極基板１１を作製する際に、スペーサ部分を段差として作製してもよい。
【００２６】
可動枠２は、ミラー基板１に折れ曲がり状のミアンダ梁３（第一の梁）を介して回転可能に支持されている。可動枠２は、外形が矩形状であり、枠の内部に矩形状の開口を有している。ミラー基板１と可動枠２との接続は、衝撃に耐えられる範囲で剛性を下げて駆動電圧を低下させて消費電力を小さくするために、ミアンダ梁３が２つ用いられている。この２つのミアンダ梁３は可動枠２の長辺を構成する両側部分に接続されている。なお、ミアンダ梁３の代わりに直梁を用いてもよい。
【００２７】
可動ミラー４は可動枠２に支持梁５（第２の梁）を介して回転可能に支持されている。可動ミラー４は、可動枠２の開口内に配置されている。可動枠２と可動ミラー４との接続は直梁構造の支持梁５が２つ用いられている。この２つの支持梁５は可動ミラー４の短辺を構成する両側部分に接続されている。これによって、可動枠２の回転軸と可動ミラー４の回転軸とが直交する構造となる。支持梁５は、ドリフトに対する感度を下げるために、ミアンダ梁３よりも剛性を高くしたほうが良いが、本発明は支持梁５の剛性をミアンダ梁３の剛性以下としても適用可能である。なお、可動ミラー４のシリンドリカルレンズ側の面には、光学反射面１００が形成されている。  
可動枠２及び可動ミラー４は導電性材料で形成され、可動枠２及び可動ミラー４を静電駆動する一方の電極を兼ねている。なお、可動枠２及び可動ミラー４を導電性材料で形成せずに、可動枠２及び可動ミラー４の電極基板１１側の面に電極を設けるようにしてもよい。
【００２８】
可動枠２及び可動ミラー４の加工は、SF6ガスを用いるドライエッチングで行っているが、その他の方法、例えばKOH（水酸化カリウム）などのアルカリ溶液ウエットエッチングを用いてもよいし、両方を組み合わせて加工するようにしてもよい。
【００２９】
ミラー基板１、ミアンダ梁３、可動枠２、支持梁５及び可動ミラー４はSOIウエハから一体に形成されている。SOIウエハとは、厚いSi層（支持層）にSi酸化層を介して薄いSi層（活性層）を積層した構成のウエハである。支持層をエッチング加工していくとSi酸化膜層でエッチングストップできることを利用して、ミアンダ梁３及び支持梁５は活性層の厚さに形成でき、梁の厚さを揃えて、剛性を所定のばらつき内に抑えることができる。なお、ミラー基板、ミアンダ梁３、可動枠２、支持梁５及び可動ミラー４をバルクのシリコンウエハを用いて作製しても構わないし、その他の材料を用いても構わない。また、可動ミラー４の高さと可動枠２の高さは、異なっていても同じでも構わない。
【００３０】
可動枠電極１２、１３は、可動枠２を静電駆動するためのものであり、電極基板１１の可動枠に対向する位置に設けられている。可動枠電極１2、１３は、可動枠２の両側端部に対応して設けられている。
【００３１】
可動ミラー電極１８、１９は、可動ミラー４を静電駆動するためのものであり、電極基板１１の可動ミラーに対向するように、可動枠用突起１４及び可動枠電極１２、１３の領域を除いて設けられている。
【００３２】
可動枠用突起１４は、可動枠２が所定角度回転して電極基板１１と接触して傾斜して位置決めされた状態の支点を構成するものであり、電極基板１１から２つ突出して形成されている。これら２つの可動枠用突起１４は、可動枠２の両側のミアンダ梁３で支持された部分に、可動枠２の回転中心線と合致するように形成されている。なお、可動枠２をある角度に一定に保てるのであれば、可動枠用突起１４の位置や数を変更しても構わない。
【００３３】
次に、光スイッチ５０の動作および詳細構造について図1から図７を参照しながら説明する。図３は図１の光スイッチの可動枠の第一の姿勢を示す断面図、図４は図１の光スイッチの可動枠の第二の姿勢を示す断面図、図５は図１の光スイッチの可動枠の第一の姿勢を示す斜視図、図６は図１の光スイッチの可動枠の第二の姿勢を示す斜視図、図７は図１の光スイッチのミラー構造を含む電極パターンの構造を示す図である。
【００３４】
入力光ファイバ７ｃから出射され、コリメートレンズ７ｃでコリメートされた光は、図２に示すように、シリンドリカルレンズ１０によって曲げられ、可動ミラー４の光学反射面１００で反射される。この反射された光は、シリンドリカルレンズ１０を通り、出力コリメートレンズ１７a、１７ｂで集光され、出力光ファイバ７a、７ｂに到達する。
【００３５】
可動枠２は、入力ファイバ７ｃから第一の出力光ファイバ７ｂへの光路を形成する第一の姿勢（図２、図３、図５参照）と、入力ファイバ７ｃから第二の出力光ファイバ７aへの光路を形成する第二の姿勢（図２、図４、図６参照）をとる。すなわち、可動ミラー４が第一の姿勢をとるとき入力光ファイバ７ｃから出射された光は、図２の実線に示すように可動ミラー４で反射されて第一の出力ファイバ７ｂに到達し、可動ミラー４が第二の姿勢をとるとき入力光ファイバ７ｃから出射された光は、図２の破線に示すように可動ミラー４で反射されて第二の出力ファイバ７aに到達する。
【００３６】
可動枠電極１２に電圧を印加することにより、可動枠２は静電引力を受けてミアンダ梁３の支持部を回転軸として回転され、図２、図３及び図５に示すように、可動枠２の一端側部６０が電極基板１１に接触されると共に、可動枠２の中央部が可動枠用突起１４と接触した傾斜状態となる。これによって、可動枠２は一側端部と中央部とを支点として傾斜状態が維持される。従って、この状態の可動枠２の角度位置決めのこれらの支点の位置及び高さによって一定に定められる。ここで、中央部の支点は２つの可動枠用突起１４で構成されているので、可動枠２の傾斜は一方向に特定され、可動枠２のたわみによる傾斜方向に交差する方向への傾斜を阻止できる。たわみを防止することにより反射面の歪みによる反射効率の低下を阻止できる。
【００３７】
また、可動枠電極１３に電圧を印加することにより、可動枠２は静電引力を受けてミアンダ梁３の支持部を回転軸として前述の逆向きに回転され、図４及び図６に示すように、可動枠２の他端側部が電極基板１１に接触されると共に、可動枠２の中央部が可動枠用突起１４と接触した傾斜状態となる。これによって、可動枠２は一他側端部と中央部とを支点として傾斜状態が維持される。従って、この状態の可動枠２の角度位置決めのこれらの支点の位置及び高さによって一定に定められる。ここで、中央部の支点は２つの可動枠用突起１４で構成されているので、可動枠２の傾斜は一方向に特定され、可動枠２のたわみによる傾斜方向に交差する方向への傾斜を阻止できる。たわみを防止することにより反射面の歪みによる反射効率の低下を阻止できる。
【００３８】
このように、可動枠電極１２と可動枠電極１３との電圧の印加を切り換える事により、図２の実線に示す光路から破線に示す光路に切り換えることができ、光ファイバへの光路のスイッチングを行うことができる。
【００３９】
なお、可動枠２が電極基板１１と接触した時に短絡を阻止するため、図７に示すように、可動枠電極１２、１３が可動枠２と接触しないように形成されている。すなわち、可動枠電極１２、１３の中央部に非電極部分１５０が形成されている。帯電を阻止するために、非電極部分１５０は、例えばミラーを−極とした場合にグランドとすることが望ましいが、電極パターンを形成しないか、絶縁物質を塗付するか、突起を設けるなどして構成してもよい。
【００４０】
また、光ファイバ７とコリメートレンズアレイ９とシリンドリカルレンズ１０との中心を通る軸と、ミラーデバイス１５の非電圧印加状態における可動ミラー４の法線とが、所定の角度θをもって交差している。
【００４１】
可動枠２を傾斜させた状態で可動ミラー電極１８に電圧を印加すると、可動ミラー４の可動ミラー電極１８側の端部が可動ミラー電極１８に近づくように傾く。それに伴い、出力光ファイバ７a、７ｂへの光の入射位置および角度が微小に変化することにより、入射光量を調節することができる。
【００４２】
その具体的な調整は、例えば、出力光ファイバ７a、７ｂに入射した光の量を、その先に設置した光モニター（図示せず）でモニターしながら、光量が望みの値になるように可動ミラー電極１８に印加する電圧を調節することによって行う。この調節はユニット（チャネル）ごとに行う。
【００４３】
なお、可動ミラー電極１８だけでなく、可動ミラーを反対側に傾けるための可動ミラー電極１９も設置することで、入射光量の調節範囲を広げることができる。本実施形態の光スイッチは、各部品を組み立て、固定した状態で、出力光ファイバに入射する光量が最大になるようにアライメントされていることが望ましいが、実際には多少のずれを生じる。アレイタイプであればすべてのチャネルで高精度にアライメントすることは困難である。よって、可動ミラー４の角度をチャネルごとに調整して、各チャネルの入射光量が最大になる位置にアライメントした状態から使用することが望ましい。各チャネルの光量を一定に調節する場合には、最小光量のチャネルに合わせるため、アライメントずれの大きいチャネルを組立後に調整できる利点は大きい。
【００４４】
上記の入射光量が最大となるポイントが、全てのチャネルで、可動ミラー２を可動ミラー電極１８側に傾斜する方向にあれば、可動ミラー電極１８のみで、上記最大位置への調整、およびその後の光量調整を行うことができる。しかし、反対方向に傾斜する必要のあるチャネルを含む場合は、可動ミラー電極１９も必要である。その場合、全てのチャネルの可動ミラー電極１９に一括でバイアス電圧を与えて、予め可動ミラー４を傾斜させておくことで、調整領域を可動ミラー電極１８側のみに限定でき、制御が必要な電極の数を減らすことができる。
【００４５】
本実施形態によれば、出力信号に対してチャネルごとの光量を調節でき、かつドリフトを抑制した光スイッチを提供することができる。
（第２〜第６実施形態）
次に、本発明の第２〜第６実施形態について図８〜図１３を用いて説明する。この第２〜第６実施形態は、以下に述べる点で第１実施形態と相違するものであり、その他の点については第１の実施形態と基本的には同一である。
【００４６】
（第２実施形態）
図８に示す第２実施形態では、可動ミラー４の支持梁５の軸が可動枠２の中心を通らない構成である。すなわち、支持梁５が可動ミラー４及び可動枠２の中心より偏心した位置で接続されている。また、可動ミラー電極１８は、可動ミラー４の下全体に配置している。この第２の実施形態によれば、可動ミラー４に対する可動ミラー電極１８の面積が大きくなるので、低電圧での駆動が可能となる。
【００４７】
（第３実施形態）
図９に示す第３実施形態では、可動枠２が傾いた場合に、電界が可動枠２の角部に集中するのを避けるために、可動枠２の角部を削除した構成であり、可動ミラー４のプルインをしにくくすることができる。
【００４８】
（第４実施形態）
図１０に示す第４実施形態では、可動枠２と可動枠用突起１４とを接触させて組立てた構成であり、可動枠２と、駆動電極間の距離を短くすることにより、駆動電圧を低くすることができる。
【００４９】
（第５実施形態）
図１１に示す第５実施形態では、可動枠２と突起１４との間に僅かなギャップδを形成して組立てた構成であり、これによって、可動枠２の傾斜方向の切り替えの度に、可動枠２と突起１４が一旦離れ、接触位置がリセットされるので、接触位置を常に一定に保つことができ、可動枠２の傾斜角度を一定に保つことができる。なお、ギャップδがあまりに大きいと駆動電圧が高くなるため、ギャップδは20μm以下が望ましい。
（第６実施形態）
図１２及び図１３に示す第６実施形態では、可動ミラー４が可動ミラー電極１８と接触することを防ぐため及び可動ミラー４の最大傾斜角度を特定するために、可動ミラー４の両端部に対応して２つの突起１４１を形成している。この突起１４１は、可動枠２の傾き動作を妨げないように、突起１４よりも低くしている。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の第１実施形態の光スイッチのミラー構造を示す平面図である。
【図２】図１のA-Bを断面した光スイッチの構成図である。
【図３】図１の光スイッチの可動枠の第一の姿勢を示す断面図である。
【図４】図１の光スイッチの第二の姿勢を示す断面図である。
【図５】図１の光スイッチの可動枠の第一の姿勢を示す傾斜図である。
【図６】図１の光スイッチの可動枠の第二の姿勢を示す傾斜図である。
【図７】図１のミラー構造を含む電極パターンを示すの平面図である。
【図８】本発明の第２実施形態の光スイッチのミラー構造を含む電極パターンを示す平面図である。
【図９】本発明の第３実施形態の光スイッチのミラー構造を示す平面図である。
【図１０】本発明の第４実施形態の光スイッチのミラー構造を示す断面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態の光スイッチのミラー構造を示す断面図である。
【図１２】本発明の第６実施形態の光スイッチのミラー構造を示す平面図である。
【図１３】本発明の第６実施形態の光スイッチのミラー構造を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１…ミラー基板（第一の基板）、２…可動枠、３…ミアンダ梁（第一の梁）、４…可動枠、５…支持梁（第二の梁）、７…光ファイバ、８…ファイバアレイ、９…コリメートレンズアレイ、１０…シリンドリカルレンズ、１１…電極基板（第二の基板）、１２、１３…可動枠電極、１４…可動枠用突起、１６…スペーサ、１７コリメートレンズ、１８…可動ミラー電極、１９…グランド用電極、５０…光スイッチ、１００…光学反射面、１４１…可動ミラー用突起、１５０…非電極部分。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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