(57)【要約】【課題】穴の形状を測定するにあたり、測定時間を長引かせずに測定することができる形状測定装置、形状測定方法を提供する。【解決手段】円筒状の形状を有するワークの形状を測定する形状測定方法であって、前記ワークの形状を検出し、前記ワークが載せられる搭載盤を回転させながら、前記センサを前記ワークの回転軸方向に移動させ、移動される前記センサから出力される検出データを記憶部に書き込み、前記記憶部に書き込まれた検出データを参照し、前記ワークの１回転に応じた区間の区間データを抽出し、前記抽出した区間データに基づいて、前記ワークの形状を演算することを特徴とする。【選択図】図１
2009058394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形状の一部に特徴形状が形成されたワークの形状を測定する形状測定装置であって、
前記ワークの特徴形状を含む測定面の形状を検出する検出するセンサと、
前記センサから出力される検出データを記憶する検出データ記憶部と、
前記検出データ記憶部に記憶された検出データを参照し、前記特徴形状の位置に対応する検出データに基づいて、前記ワークの１回転に応じた区間の区間データを抽出する区間データ抽出部と
前記抽出部が抽出した区間データに基づいて、前記ワークの形状を演算する形状演算部と、
を有することを特徴とする形状測定装置。
【請求項２】
前記センサは、前記ワークが載せられた搭載盤が回転することによって、前記ワークの測定面の形状を測定することを特徴とする請求項１記載の形状測定装置。
【請求項３】
前記ワークが載せられる搭載盤を回転させながら、前記センサを前記ワークの回転軸方向に移動させるセンサ移動制御部を有し、
前記検出データ記憶部は、前記センサ移動制御部によって移動されるセンサから出力される検出データを記憶する
ことを特徴とする請求項１または請求項２記載の形状測定装置。
【請求項４】
前記センサは、前記ワークの外周または内周を検出することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の形状測定装置。
【請求項５】
円筒状の形状を有するワークの形状を測定する形状測定方法であって、
前記ワークの形状を検出し、
前記ワークが載せられる搭載盤を回転させながら、前記センサを前記ワークの回転軸方向に移動させ、
前記移動されるセンサから出力される検出データを記憶部に書き込み、
前記記憶部に書き込まれた検出データを参照し、前記ワークの１回転に応じた区間の区間データを抽出し、
前記抽出した区間データに基づいて、前記ワークの形状を演算する
ことを特徴とする形状測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円の形状の一部に特徴形状を有するワークの形状を測定する形状測定装置、形状測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被加工物（以下、被加工物と称す）の加工形状を測定する測定装置がある。このワークには、様々な加工がなされるが、例えばワークに略円筒形状の穴が加工され、他の棒状部材等を取り付けることがある。このような場合、穴の形状が円筒形状に精度良く形成されることが望ましい。そこで、この穴形状を測定し、必要に応じて再度加工が行われる場合もある。
このような穴形状を測定する場合、例えば、下記の特許文献１に記載された穴形状測定装置が適用可能である。この特許文献１に記載された穴形状測定装置においては、センサを穴形状の円筒の中に挿入した状態でワークを１回転させて測定する。このワークの回転軸方向に対して円筒形状がある程度の長さがある場合には、１回の測定が終わると、ワークの回転を停止させ、次の測定面の位置までセンサを中心軸方向に移動させて停止させ、再度ワークを１回転分回転させて測定を行う。
【特許文献１】特開平８−１４８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上述した特許文献１に示す穴形状測定装置においては、１つの測定面において測定する場合、ワークが１回転したことを検出するために、回転検出センサ（例えば、ロータリエンコーダ）を設けなければならないという問題がある。
また、１つの測定面において測定を行った後、ワークを停止させてセンサを上方あるいは下方に移動させて、再度ワークを回転させる必要があり、ワークに長い穴が形成されている場合には、測定する対象箇所が増えると、測定する毎にワークの回転と停止を繰り返す必要があり、測定時間が長くなってしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、穴形状を測定するにあたり、ワークの回転角度を検出するセンサを設けることなく、また、測定時間を長引かせずに測定することができる形状測定装置、形状測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決するために、本発明は、円筒形状の一部に特徴形状が形成されたワークの形状を測定する形状測定装置であって、前記ワークの特徴形状を含む測定面の形状を検出する検出するセンサと、前記センサから出力される検出データを記憶する検出データ記憶部と、前記検出データ記憶部に記憶された検出データを参照し、前記特徴形状の位置に対応する検出データに基づいて、前記ワークの１回転に応じた区間の区間データを抽出する区間データ抽出部と、前記抽出部が抽出した区間データに基づいて、前記ワークの形状を演算する形状演算部と、を有することを特徴とする。
【０００６】
また、本発明は、上述の形状測定装置において、前記センサは、前記ワークが載せられた搭載盤が回転することによって、前記ワークの測定面の形状を測定することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、上述の形状測定装置において、前記ワークが載せられる搭載盤を回転させながら、前記センサを前記ワークの回転軸方向に移動させるセンサ移動制御部を有し、前記検出データ記憶部は、前記センサ移動制御部によって移動されるセンサから出力される検出データを記憶することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、上述の形状測定装置において、前記センサは、前記ワークの外周または内周を検出することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、円筒状の形状を有するワークの形状を測定する形状測定方法であって、前記ワークの形状を検出し、前記ワークが載せられる搭載盤を回転させながら、前記センサを前記ワークの回転軸方向に移動させ、前記移動されるセンサから出力される検出データを記憶部に書き込み、前記記憶部に書き込まれた検出データを参照し、前記ワークの１回転に応じた区間の区間データを抽出し、前記抽出した区間データに基づいて、前記ワークの形状を演算することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、この発明によれば、ワークの形状を検出し、ワークが載せられる搭載盤を回転させながら、センサをワークの回転軸方向に移動させ、移動されるセンサから出力される検出データを記憶部に書き込み、記憶部に書き込まれた検出データを参照し、前記ワークの１回転に応じた区間の区間データを抽出し、抽出した区間データに基づいて、前記ワークの形状を演算するようにした。これにより、従来のように、１回の測定毎にワークの回転と停止を行う必要がなくなり、螺旋状に測定することで連続的に測定を行うことができ測定時間を長引かせることなく、かつ、精度よく測定することができる。
また、１回転を検出するセンサを別途設ける必要がない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態による形状測定装置について図面を参照して説明する。図１は、この発明の一実施形態による形状測定装置１の構成を示す概略構成図である。
この図において、加工装置１０は、ワークを加工する砥石２０が回転軸を介して連結されているとともに、連絡部材３０を介してセンサ４０が取り付けられている。また、この加工装置１０には、コンピュータ５０が接続されている。
ワーク６０は、例えば、円筒状の被加工物であり、その被加工物の中心軸方向に円筒状の穴が形成されている。この穴に連結軸などの棒状部材が挿入され、連結軸に固定される。ここでは、ワークの長手方向にある程度の長さがあるものであると、棒状部材とワーク６０との接触面積が広くなるが、円筒状の穴の一部に中心軸から離れる方向に凹部８０が設けられていることによって、不必要に棒状部材がワークに当接しないようになっており、棒状部材を円滑に挿入することが可能となっている。ここでは、凹部８０以外の内周面と棒状部材とが固定できる面積が確保できれば、凹部８０の中心軸方向における長さは、適宜変更可能である。
【００１２】
また、ワーク６０には、図２に示すように、穴形状の内周側であって、中心軸に向かって略平行に特徴形状となるキー溝８１が形成されている。このキー溝８０が挿入される棒状部材の凸部と嵌合することにより、ワークに対し棒状部材が回転してしまわないように固定される。この特徴形状とは、ワークの回転軸方向に形成された形状であり、キー溝に限らず、凸部が設けられてもよく、また、これらの特徴形状が複数設けられてもよい。
【００１３】
図１に戻り、搭載盤７０は、加工する対象となるワーク６０が載せられるものであり、コンピュータ５０からの指示に応じた回転速度で、搭載されたワーク６０を、ワーク６０の中心軸に対して垂直となる面において回転させる。
加工装置１０は、略円筒形状の穴が形成され、回転されたワークに対し、回転状態にある砥石２０を当該穴に挿入して、穴形状の内周を研削し、円筒状の穴を形成する。
【００１４】
センサ４０は、ワーク６０の穴に挿入され、回転させたワークの測定対象面との距離（間隙）を測定することによって、ワーク６０の形状を検出する。ここでは、ワーク６０の穴形状の内周面に挿入されるが、外周面に沿ってセンサ４０を上下方向に移動させることによって、外周面の形状を測定することも可能である。
このセンサ４０としては、測定対象面との距離を測定する機能を有するものであり、測定対象面に当接して形状を測定する接触型センサ、または測定対象面に対して非接触で形状を測定する非接触型センサのいずれでも適用することが可能である。ただし、測定対象面に、上述したようなキー溝が設けられている場合は、接触型センサで計測すると、ワーク６０が回転してキー溝の段差の部分がセンサ部分に到来した時に、センサが跳ね上がることが原因で、当接しなくなる時もあり、測定精度が下がってしまうので、非接触型センサを適用することが望ましい。
ここで、非接触型センサとしては、光を検出する光センサや、渦電流を検出する渦電流センサ、静電容量を検出する静電容量センサなどが挙げられる。ワーク６０を加工または測定する際に液体を使用する環境においては、渦電流センサを用いることが望ましい。
【００１５】
コンピュータ５０は、搭載盤７０を回転させる制御を行う機能、加工装置１０に制御信号を出力して砥石２０による加工の制御を行う機能、センサ４０からの出力を受けてワーク６０の形状を演算する機能を有する。以下、このコンピュータ５０について、図３を用いてさらに説明する。
【００１６】
図３は、コンピュータ５０の機能を説明するための概略ブロック図である。
搭載盤回転制御部１００は、測定対象に応じて指定される回転速度で搭載盤７０を回転させる。
加工制御部１１０は、砥石２０をワーク６０の研削対象位置まで移動させ、砥石２０を垂直方向に移動させつつ、ワーク６０を研削する。
センサ移動制御部１２０は、ワーク６０の形状測定を行う場合に、ワーク６０の測定対象部位までセンサ４０を移動させ、搭載盤７０を回転させた状態でセンサ４０にて形状の検出を行う。ここでは、搭載盤７０を回転させながら、センサ４０をワーク６０の回転軸方向（垂直方向）に移動させるようにすることで、測定対象面を螺旋に沿って検出を行うことが可能となる。
検出データ取得部１３０は、センサ４０から出力される検出データを取得する。なお、センサ４０の出力がアナログ信号である場合には、このアナログ信号を取り込んでデジタル値に変換する。
検出データ収集部１４０は、検出データ取得部１３０から出力される検出データを取り込んで順次検出データ記憶部１５０に記憶する。
検出データ記憶部１５０は、検出データ収集部１４０から出力される検出データを記憶する。
【００１７】
区間データ抽出部１６０は、検出データ記憶部１５０に記憶された検出データに基づいて、ワークの１回転に応じた区間に含まれる検出データを区間データとして抽出する。この抽出は、周期的に現れる波形の特徴点を検出し、その検出した特徴点間を１つの区間として検出して抽出される。
また、区間データ抽出部１６０は、抽出した区間データから、特徴形状の位置に相当する検出データと、特徴形状の位置に相当する検出データ以外の検出データとを分類する検出データ分類部１６１を有する。
【００１８】
形状演算部１７０は、区間データ抽出部１６０において抽出された区間データに基づいて、ワークの形状を演算する。
真円度演算部１７１は、ワークの円筒形状となる円の形状の真円度を演算する。
同軸度演算部１７２は、ワークの中心軸方向の複数の位置における各区間データに基づいて、それぞれの円を対象とした同軸度を演算する。同軸度とは、第１の基準断面と第２の基準断面のそれぞれの円の中心を結んだ直線から、他の測定断面の円の中心までの距離の最大値である。
【００１９】
円筒度演算部１７３は、円筒度を演算する。ここで、円筒度とは、第１の基準断面と第２の基準断面の中心を結んだ直線から、他の測定断面の中心までの距離のうち、最大値と最小値との差である（一番外側の円と一番内側の円との半径の差である）。
同心度演算部１７４は、ワークの中心軸方向の複数の位置における各区間データに基づいて、各円の同心度を演算する。
【００２０】
データ出力部１８０は、表示装置、印刷装置などであり、形状演算部１７０によって演算された結果を画面上に表示したり、印刷媒体に印刷して出力する。
【００２１】
次に、上述した実施形態における形状測定装置１の動作について説明する。
コンピュータ５０は、ワーク６０が載せられた搭載盤７０を搭載盤回転制御部１００によって回転させながら、加工制御部１００によって砥石２０の位置を制御し、ワーク６０の中心軸方向に沿って上昇と下降を繰り返し、ワーク６０の内周を研削する。この研削する際に砥石２０を移動させる位置は、座標データとして、予めコンピュータ５０内の記憶装置に記憶されており、この座標データに従って移動させる。
【００２２】
研削が終了した後、形状測定の指示がコンピュータ５０に入力されると、コンピュータ５０は、砥石２０をワーク６０の穴形状の中から引き抜いた後、ワーク６０が載せられた搭載盤７０を搭載盤回転制御部１００によって回転させた状態において、センサ移動制御部１２０によってワーク６０の穴形状に沿って、センサ４０を移動させる。ここでは、例えば、図４に示すように、センサ４０をワーク６０の中心軸方向に沿って移動させる。例えば、ワーク６０の上面側から（図４（ａ））、ワーク６０の下面側に向かって移動させる（図４（ｂ））。
【００２３】
このとき、センサ４０は、ワーク６０の上面側から下面側に移動しつつ、形状を測定し、その結果となる検出データをコンピュータ５０に出力する。この検出データは、検出データ取得部１３０によって取得されたのち、検出データ収集部１４０によって検出データ記憶部１５０に記憶される。
このとき、検出データ記憶部１５０に記憶される検出データの一例を図５を用いて説明する。図５（ａ）は、検出データ記憶部１５０に記憶されたデータを波形によって示す波形図である。この波形図とワーク６０の測定位置関係は、図５（ｂ）のように、ワークの上面側の内周面に相当する区間Ａ、凹部に相当する区間Ｂ、ワークの下側の内周面に相当する区間Ｃの３つに分類される。各区間において、波形のピークとなる点（例えば、点Ｄ）が複数あり、これらは、ワーク６０の内周面に設けられたキー溝の位置に対応する。
【００２４】
ワークの内周面と凹部との境界については、例えば、図５の波形の一部を拡大して図６に示すと、この図６に示すように、区間データ抽出部１６０が、ピークとなる点Ｄの間を１区間とし、その１区間におけるピーク以外の変位が略平坦となる位置における変位の値（例えば符号Ｅ）と、隣接する１区間のピーク以外の変位が略平坦となる位置（例えば符号Ｆ）とを比較し、その差（例えば、符号Ｇ）が予め決められた基準値以上になった場合に、その区間の間に境界があるものとして検出する。
【００２５】
また、区間データ抽出部１６０は、各ピークとなる点Ｄを検出し、その検出した点Ｄと、となりあう点Ｄとの間を１つの区間として検出する。ここでは、ワーク６０が回転してキー溝が検出される毎に、このキー溝の位置がピークとなる点Ｄとして周期的に検出されるので、この点Ｄに基づいて、１区間を検出することができる。この図６においては、符号ａで示す位置と符号ｂで示す位置の間が１つの区間（円筒の３６０度）となる。
そして、区間データ抽出部１６０は、この１区間の検出データを抽出し、形状演算部１７０に出力する。
【００２６】
形状演算部１７０は、この区間データに基づいて、形状の演算を行う。ここでは、区間データに含まれるＮ個の各検出データｍｉを（１≦ｉ≦Ｎ）から、円の形状を計算する。この計算は、以下の通りに行われる。
ここでは、ｒｂを基準円径（予め入力される値）、ｍｉを検出データとし、円形の座標上に表すと、
ｘｉ＝（ｒｂ＋ｍｉ）ｃｏｓ（θｉ）      ・・・（１）
ｙｉ＝（ｒｂ＋ｍｉ）ｓｉｎ（θｉ）      ・・・（２）
として表される（図７参照）。
【００２７】
そして、上記式（１）および（２）で求めたｘｉ、ｙｉからその円の中心座標（ｘ０、ｙ０）と半径ｒ０を演算すると、
（ｘｉ−ｘ０）２＋（ｙｉ−ｙ０）２＝ｒ０      ・・・（３）
収束判定基準ｅを１．０×１０−３、収束ループ最大回数ｉｃｎｔｍａｘを１０、ループカウンタｉｎｃｔを１とし、初期値としてｘ０を０．０、ｙ０
を０．０、ｒ０をｒｂとする。そして、ｉを１、・・・、Ｎについて、ｄｉ、ｄｘｉ、ｄｙｉ、ｄｒｉを下記の（４）〜（７）式にて計算する。
【数１】
2009058394.tif 000003
【００２８】
そして、以下の行列式（式（８））をメモリ等の記憶部から読み出す。
【数２】
2009058394.tif 000004
【００２９】
そして、以下の式（９）にてｄｅを演算する。
【数３】
2009058394.tif 000005
そして、上記の式（８）を用いて、以下の計算をする。ここでの結果は、３行１列のＤＸが算出される。
ＤＸ＝（Ｊ・Ｔｔ）−１・Ｊ・Ｄ      ・・・（１０）
そして、
【数４】
2009058394.tif 000006
とし、ｘ０に（ｘ０＋ｄｘ）を、ｙ０に（ｙ０＋ｄｙ）を、ｒ０に（ｒ０＋ｄｒ）を代入し、
上記式（４）〜式（７）における計算に戻り、以下、ｄｅ＜ｅまたはｉｎｃｔ＜ｉｃｎｔｍａｘの条件が成立するまで計算を繰り返す。
これにより、中心座標（ｘ０、ｙ０）と半径ｒ０について算出することが可能となる。
【００３０】
次に、上記演算にて算出された円の半径のうち、最小値となる半径の値ｒｍｉｎと、最大値となる半径の値ｒｍａｘを算出する。この算出は、
【数５】
2009058394.tif 000007
の最小値、
【数６】
2009058394.tif 000008
の最大値として算出することが可能である。
【００３１】
次に、形状演算部１７０は、真円度を
ｒｍａｘ−ｒｍｉｎ
なる式にて算出する。
そして、形状演算部１７０は、同軸度を演算する。すなわち、基準断面の中心座標から穴の軸を下記の式（１１）によって定義し、測定した断面の中心と軸との距離を式（１２）に従って計算し、計算した距離の最大値を同軸度とする。ここでは、ワーク６０の上面側において測定した１区間における円の平面を基準断面１、ワーク６０の下面側において測定した１区間における円の平面を基準断面２とし、それぞれ基準断面の円の中心を結んだ直線から各測定断面の円の中心までの距離の最大値を同軸度として算出する。
【数７】
2009058394.tif 000009
【００３２】
次に、形状演算部１７０は、同筒度を計算する。
ここでは、基準断面の中心座標からの穴の軸を下記の式（１３）にて定義し、測定した断面の中心と軸との距離を下記の式（１４）にて計算し、
計算した距離の最大値と最小値との差を円筒度とする。
【数８】
2009058394.tif 000010
【００３３】
さらに、形状演算部１７０は、同心度を演算する。ここでは、搭載盤７０の回転に平行な軸から測定断面の中心位置までの距離のうち、最大となるものを検出することにより行われる。以上のように、穴形状の測定が行われる。
【００３４】
図８は、ワーク６０の穴形状を測定した測定結果を区間毎に区切り、その結果、ワークの凹部８０よりも上面側の位置ａ、ｂと、ワーク６０の凹部よりも下面側の位置ｃ、ｄの測定結果をそれぞれ表したものである。このように、穴の形状を測定することができた。
また、上述した検出データを元に、３次元画像によって、その穴形状をデータ出力部１８０によって表示することも可能である。データ出力部１８０によって表示された場合における画面例を図９に示す。ここでは、キー溝、凹部、穴形状について、視覚的に把握することができる。
【００３５】
なお、上述した実施形態において、センサ４０を垂直方向に移動させて計測する場合について説明したが、図１０に示すように、水平面方向にワーク６０の中心軸が向くようにし、このワーク６０を回転させつつ、砥石２０にて研削し（図９（ａ））、その後、砥石２０の回転軸と同軸上に設けられたセンサ４０をワーク６０の穴に挿入し、水平方向に移動させながら測定するようにしてもよい。
【００３６】
次に、第２の実施形態について説明する。この実施形態においては、ワーク６０を回転させた状態において、センサ４０を移動させない状態において測定する。
このときの測定結果の波形を図１１（ａ）に示す。ここでは、複数の測定箇所の波形を重ねて表している。
この場合、キー溝に対応する位置については、センサ４０からキー溝の表面までの距離が大きくなるため、センサによって検出される変位が小さい値となり、キー溝に対応する測定箇所においては、その波形が落ち込んだ形状となっている。ここで、波形図と内周面の対応関係は図１０（ｂ）の符号ａ〜ｆと対応する。
このように、センサを移動させない状態において測定しても、キー溝に対応する位置について検出し、この位置に基づいて、１区間を検出することが可能である。
【００３７】
次に、第３の実施形態ついて説明する。ここでは、ワーク６０を回転させない状態において、センサ４０を垂直方向に移動させて穴形状を測定した場合について説明する。図１２は、第３の実施形態における測定結果を示す波形図である。ここでは、区間Ａについては、凹部８０に対応しており、区間Ｂはワーク６０の上面側から凹部８０まで垂直に移動したときの区間であり、区間Ｃはワーク６０の下面側から凹部８０までの間について垂直に移動させたときの区間である。
【００３８】
なお、上記実施形態によれば、加工機上で穴形状の測定を行うことができる。例えば、加工装置とセンサ４０とを別々の装置で構成すると、加工機で加工した後に、ワークを取り外し、測定器に取り付けて測定する。そして測定後に再度加工しようとすると、加工機にワークを再度取り付ける必要がある。そうすると、取り付けと取り外しの手間がかかる。
また、測定機から取り外して測定器に取り付ける際、測定機の回転軸にワークの穴の中心位置を合わせなければならず、この位置合わせ作業の負担が大きい。中心位置のずれを補正することも考えられるが、ずれが大きいと、測定精度が低下してしまうという問題が生じる。
そこで、本実施形態においては、加工機上で穴形状を測定するものでる。これにより、加工機と測定器間におけるワークの取り外しおよび取り付けの作業を無くすことができ、また、位置合わせの手間を省くことができ、位置合わせの際に中心のずれを防ぐことができるので、測定精度を向上させることができる。また、測定結果を参照しながら、必要に応じて、再加工を行うことも可能である。
【００３９】
円筒部材に設けられた穴の内周面を測定する場合について説明したが、円筒部材の外周面を測定することも可能である。このとき、外周面に沿った検出をセンサによって行えばよい。
【００４０】
また、上述した実施形態においては、キー溝の位置そのものについては、キー溝を検出するためのセンサを別途設ける必要がなく、キー溝の位置を検出して、穴の真円度等を検出することができる。また、螺旋状に計測することが可能であるので、ワーク６０が１回転したか否かを検出するセンサも別途設ける必要がない。
【００４１】
なお、上述した実施形態においては、１区間を検出し、形状を測定するようにした。例えば、従来では、測定対象の穴の中に、穴とほぼ同じ大きさであって、空気を噴出するシリンダを挿入し、穴とシリンダの隙間の空気圧を検出することによって、穴形状を測定するエアマイクロ式の測定装置がある。しかし、このエアマイクロ式の測定だと、その測定面における円の平均化された半径について測定することができるが、測定面までシリンダを移動させるのは、通常手作業で行われているため、穴形状の中心軸方向の距離について精度よく測定することができず、全体の穴形状そのものを測定することができない。
また、エアマイクロ式の測定では、測定面が円の形状をしている場合には、穴がテーパ状の形状（上下方向において径の大きさが異なる場合）であっても、その測定面における円の形状を測定することができるものの、穴形状の測定面の一部に特徴形状を有するワークについては、特徴形状によっては、圧縮空気の流れが乱れ、精度良く測定することができないという問題がある。
【００４２】
また、接触式センサを用いた真円度測定器においては、多少湾曲したような穴形状であっても、その穴形状に沿った測定が可能であるが、穴形状に凹部やキー溝等の段差を有する特徴形状があると、穴形状に沿って当接させた状態で測定する接触型センサを用いると、その特徴形状が段差によって接触式センサが跳ね上がってしまう場合があり、段差に沿った測定を精度良く行うことができない。しかし、上述した実施形態においては、非接触で測定を行うことができるので、測定対象に特徴形状があったとしても、精度よく測定することが可能となる。
【００４３】
また、図１におけるコンピュータ５０の機能を実現するためのプログラムをコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより穴形状の測定を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
【００４４】
また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。
また、「コンピュータで読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータで読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【００４５】
以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】この発明の一実施形態による形状測定装置１の構成を示す概略構成図である。
【図２】ワークの内周面の形状について説明するための図面である。
【図３】コンピュータ５０の機能を説明するための概略ブロック図である。
【図４】形状を測定する際にセンサ４０を移動させる様子について説明するための図面である。
【図５】検出データ記憶部１５０に記憶される検出データの一例を示す波形図である。
【図６】検出データの区間について説明するための図面である。
【図７】座標について説明するための図面である。
【図８】ワーク６０の穴形状を測定した測定結果を示す図面である。
【図９】データ出力部１８０によって検出データを表示した場合における一例を示す図面である。
【図１０】センサ４０を水平方向に移動させながら測定する場合について説明するための図面である。
【図１１】第２の実施形態について説明するための図面である。
【図１２】第３の実施形態について説明するための図面である。
【符号の説明】
【００４７】
１  形状測定装置                      ２０  砥石
４０  センサ                          ６０  ワーク
７０  搭載盤                          ８０  凹部
８１  キー溝
【図１】
2009058394.tif 000011
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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