(57)【要約】【課題】  メタルハライド発光管や超高圧水銀発光管は、いずれも光線の出射方向を水平又は垂直方向のみの限定利用しか出来ず、また照度バラツキ等もあり、照明・露光産業界での利用方法に限界が生じていた。【解決手段】  発光管電極軸を略水平に維持した状態で光線の出射方向を水平方向及び垂直方向の任意の角度に調整させ、複数個以上の反射鏡外周端部の一部の凹部と、反射鏡固定具の一部の凸部が、それぞれに整合組合することにより、照度差整合をもできる事を特徴とした光源装置を利用する照明装置。【選択図】図１−３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともガラス材より放熱効果が大なる素材で形成された反射鏡基材部に、発光管電極軸を該反射鏡基材部からの出射光軸に略直角に配置した光源装置を搭載した照明装置であって、該光源装置は該反射鏡開放面外周端勘合部と光線通過用任意貫通穴付き光源ホルダ外周配置の対勘合部が取り付き接合する構造を有し、一対の回転保持具が装備されたアングルを備えた光源装置２となし、該光源発光管電極軸を略水平に維持した状態で、該光源装置２の光線出射方向を水平方向及び垂直方向等任意の角度に調整できる事を特徴とした出射角度自在にして照度整合のできる照明装置。
【請求項２】
少なくともガラス材より放熱効果が大なる素材で形成された反射鏡基材部に、発光管電極軸を該反射鏡基材部からの出射光軸に略直角に配置した光源装置を一単位又は複数個以上搭載した照明装置であって、該光源装置はそれぞれの該反射鏡開放面外周端勘合部とそれぞれの光線通過用任意貫通穴付き光源ホルダ外周配置の対勘合部が取り付き接合する構造を有して、予め所望の領域に集光する目的で傾斜加工された前記光源ホルダに固着、更に光源ホルダは多灯固定フレームに固着され、該光源発光管電極軸を略水平に維持した状態で、前記傾斜加工された光源ホルダにより光線出射方向を所望の領域に向け照射される事を特徴とする出射角度自在にして照度整合のできる照明装置。
【請求項３】
請求項１，２記載の照明装置は、前記光源装置及び前記光源装置２の発光管電極軸をそれぞれ略水平に維持した状態で１単位もしくは複数個で該前記光源装置及び前記光源装置２の光線出射方向を、略真下方向に位置する所望の領域に向け光線を出射するように配置した事を特徴とする照明装置。
【請求項４】
請求項１から３記載の照明装置は、前記光源装置等の反射鏡基材を自然空冷もしくは微風冷却で発光管の最適点灯状態を制御し、該反射鏡温度検知機構と併せて、複数個の前記光源装置の各々の風量を調節可能とした事を特徴とする照明装置。
【請求項５】
請求項１から４記載の照明装置は、所望の領域にレンズやフライアイレンズ群等を配置し、該レンズやフライアイレンズ群等に前記１単位もしくは複数個の光源装置２から出射する光線を集光、又は照射するように配置した事を特徴とする照明装置。
【請求項６】
請求項１から５記載の照明装置からなり、前記光源装置及び前記光源装置２から出射される紫外光線によりマスクパターンを形成する露光装置。
【請求項７】
請求項１から６記載の照明装置であって、発光管電極軸略水平維持機構・光軸位置変更機構や焦点位置変更機構を有し、瞬時照度（光量）増減機能と瞬時照射方向変更機能を備えた照明装置。
【請求項８】
前記光源装置及び前記光源装置２の反射鏡外周端部の一部に少なくとも複数個以上の勘合部が設けられ、一方光線通過用任意貫通穴付き光源ホルダ外周配置の対勘合部にもすくなくとも複数個以上の勘合部を設け、該反射鏡勘合部のそれぞれに整合組合されることによりいわゆる照明装置（前記光源ホルダ）とランプ（反射鏡側）との照度差整合出来ることを特徴とする照明装置。
【請求項９】
請求項１から８記載の照明装置からなり、前記反射鏡勘合部と前記光線通過用任意貫通穴付き光源ホルダ外周配置の対勘合部が、それぞれに整合組合されることにより、簡単に光軸合わせと固定位置決めが出来る事を特徴する照明装置。
【請求項１０】
請求項１から９記載の照明装置からなり、前記反射鏡勘合部と前記光線通過用任意貫通穴付き光源ホルダ外周配置の対勘合部が、それぞれに整合組合されることにより、あらかじめ組合せ定義した、特殊仕様区分や仕向地別仕様区分が出来る事を特徴とする照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、主として可視光を利用する照明装置、主として紫外光部分を利用した接着剤硬化用やマスクパターン露光工程等に供せられる照明装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  メタルハライドランプや超高圧水銀ランプ等いわゆる高輝度ランプは、可視光部分を利用した液晶プロジェクター・背面投射型プロジェクション・店舗照明やファイバー照明として各利用されている。又、紫外光部分を利用した接着剤硬化用や露光工程用等にも利用されている。
特に最近の液晶カラーテレビやプラズマテレビ大型化の要望に対しては、液晶カラーフイルター基板やプラズマデスプレイ基板も又大型化を必要とされ、これら露光工程には高効率で小型光源装置の必要に迫られ、従来光源装置自体の出力を高める事や、複数個以上の光源装置を用いて全体の出力や効率を高める努力がなされている。【０００３】  以下図５〜図７を参照して、本発明の背景技術について詳細説明する。
図５に示す従来光源ランプ７の構成は、反射鏡７−１ａ、発光管７−１ｂに、フイルター兼用飛散防止前面ガラスやリード線付電源入力コネクター等７−１ｃから構成され、光軸と並行に配置された前記発光管には、所定の電力が前記電源コネクターより勿論供給される。【０００４】  前記ランプ７の点灯方式には、交流点灯方式や直流点灯方式があるが、アノード電極とカソード電極（ＡＣ点灯の場合は両極）と接続され、前記電源入力コネクタから所定の電力が供給され前記電極両極間で光軸と並行（本図のように水平に設置された場合は水平方向）のアーク放電が電極間に起り点灯する。
尚、前記ランプのアーク放電は水平方向が最も安定・長時間維持でき、その傾き限度は上下１０度以内と言われ設置方法が限定されている。【０００５】  更に一般的なメタルハライドランプや超高圧水銀ランプとして特徴付けられる点灯中の発光管内部は３０００℃、２００気圧もの高温・高圧となり常に破損・爆発の危険にさらされている。【０００６】  前記ランプ７を安全に点灯維持、破損防止や爆発防止のためには、７−１ｂＡ発光管上下部、同前後部７−１ｂＢの最適温度管理を必要とし、前記７−１ａ反射鏡開放部のへの冷却流の調整や正しい発光管設置角度の選定等が必須条件で、勿論誤れば即破損・爆発の原因となり使用条件に制限が加えられている。【０００７】  図５−１は、特に産業界で要望の強い垂直照射方式の概略使用例を示す。
光軸７ＸＦと７ＸＢに並行設置構成の従来ランプでは、破損・爆発の原因を取り除く為に本図のようにランプ７は、光軸７ＸＦと７ＸＢを水平（光軸と並行）に配置、プリズムや反射鏡７−２ａ用いて、所望の照射面７−２ｂに垂直照射する方法が取られる。【０００８】  多灯式露光用光源装置概略図６及び図６−１では、複数個以上のランプ７を露光用光源装置として利用する目的で、ランプ７を金属筺体に所定の球曲面に沿わせ並置、且つ各々から発せられ、光軸方向が略垂直となるよう配置された支持筐体７−１ｎ、ダクト７−１ｐを設けた背面カバー７−１ｅに保持され装着されて構成されている。
一般的には紫外光等の光路７−１ｄ進行方向前方にはフライアイレンズ群７−１ｇが設けられている。勿論、前記露光用に供する各ランプ７は、反射鏡皮膜処理やランプ反射鏡前面部に、おおよそ４５０ナノメータ以上の可視光をカットすべく皮膜処理されたフイルター兼飛散防止前面ガラス等を固着されており、前記支持筐体７−１ｎ内部に適宜に装着され配置構成される。【０００９】  図７は、露光用光源として一般的に採用されている露光装置の概略光路図を表す。
光源装置から発光された紫外光等の光路７−１ｄは、適宜配置され或いは直接に光路向きを自在に得るための、フライアイレンズ群７−１ｇを通過し、適宜光路変更用の第一反射鏡７−１ｈ、第二反射鏡７−１ｊ等により、露光面７−１ｋに到達し、任意に必要な露光照度を得られる構成とされている。【００１０】  以上の構成においても、前記露光用ランプ７を各々点灯、ランプ固定と冷却に供される支持筺体７−１ｎ内部の空冷は勿論、支持筐体７−１ｎ背面部に設けられたダクト７−１ｐからは、前記発光管７−１ｂを安全に点灯維持させ発光管上下部７−１ｂＡ、同前後部７−１ｂＢ各部位の最適温度を得るべく適切な風量を吸引又は吹きつけする送風装置等を適宜配置、更に支持筐体７−１ｎの一部または全部を水冷とするべく冷却水循環ポンプ等が適宜配置装備されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】  光源出力を高め且つ環境保護や省エネルギ政策にも適合し、ハロゲンランプ等の従来光源に比べ１０倍以上の輝度を有すると言われているメタルハライド発光管や超高圧水銀発光管を利用し種々の提案が勿論なされているが、かかる現況下、垂直照射等必要な光路を得るためには、少なくとも一個以上のプリズムや反射鏡を装備する必要があり、光路通過の為の特別な空間を必要とし使用上大きな障壁となり且つ非経済的でもあり、前記いずれも光源光線の出射方向は水平のみの限定利用しか出来ず、利用拡大に支障をきたしていた。【００１２】  更に前記メタルハライド発光管や超高圧水銀発光管は、高圧・高温ランプでもあり個体差も大きく、又それぞれ駆動電源も同じく個体差が大きい光源である。これら光源を照明装置として、単体又は複数個以上で使用するには全体的な照度を一定に保つ必要があり、一定照度品質維持された状態で供せられるべき本照明装置には、効率的な製造手段と効果的な照度基準の統一運用・管理手段の解決も必要である。【００１３】  更に本発明は以上のかかる課題を解決すると共に、前記高輝度発光管等を使用し、例えば日本国・特開２００５−２３４４７１等を基本に、効果的な応用方法と搭載技術の新規発明により、照度一定品質維持や光線出射角度自在の照明装置を供給する目的、及び合理的経済価格に添う可視光照明装置や紫外光照明装置等を提供する事にある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】  少なくともガラス材より放熱効果が大なる素材で形成された反射鏡、一例としていわゆるダイカスト法により形成されたアルミニュム基材で構成した反射鏡と、発光管からなる光源を搭載し、前記発光管と反射鏡からなる放熱効果大なる光源を１単位とし、これら光源を一単位又は複数個以上搭載し構成、所望の領域に任意角度で照射又は所望の領域にレンズやフライアイレンズ群等を配置し、該光源装置から出射する光線で、直射又は該レンズやフライアイレンズ群等の前面を照射するように該光源の各々の出射方向を調整する。【００１５】  照明装置の内部に設けられた光源ホルダの一部には複数個以上の凸部が設けられ、反射鏡外周端部には複数個以上の凹部が設けられ、前記凹凸部のそれぞれに整合組合されることにより、あらかじめ組合せ定義した仕様に合致させるものである。
【発明の効果】
【００１６】  請求項１から６記載の発明によれば、プリズムや反射鏡不要でも、垂直光路且つ直射状態で使用でき、容易に水平、垂直方向で照射や露光が可能となる。
また、一単位又は複数個以上で構成された光源から垂直設置型（略直下光路）で出射された紫外光等光路は（フライアイレンズ群或いは任意の照射面積を得るためのレンズ等を除き）、極めて高価な光路角度変更用第一反射鏡、第二反射鏡等をすくなくとも不要とし、部品点数の削減且つ大幅なコストダウンが可能である。
また、それぞれの光源に発光管電極軸略水平維持機構・光軸位置変更機構や焦点位置変更機構を備える事により、瞬時に照度（光量）増減や照射方向変更ができ、生産効率の増大に結びつき且つ経済的でもある。
また、稼動中の既露光用照明装置や、中古露光用照明装置の光源部代替としても基本的な改造なくして搭載できる。
また、安価なＦＡＮにより微風や自然風で単体でも充分な放熱効果が得られ、安定的な照射や露光が可能であり、従来の水冷装置、ダクトや排気装置をも不要とし、部品点数の削減且つ大幅なコストダウン並びに据付角度を自在に設定できる。
また、大きな球曲率もつ支持筺体をも不要とし、勿論大幅なコストダウンが可能である。【００１７】  反射鏡外周端部の複数個以上の凹部と照明装置内部の光源ホルダの複数個以上の凸部は、凹凸のそれぞれに整合組合されることにより、光源のそれぞれの駆動電源と発光管固体との照度差を整合でき、より簡単に光軸合わせができ、あらかじめ組合せ定義した特殊仕様区分や仕向地別仕様区分が簡単にでき、光源交換時は、本照明装置指定以外の光源を装着不能し、破裂・破損からの危険を回避できる照明装置として供せられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】    反射鏡開放面外周端凹部と光線通過用任意貫通穴付き光源ホルダ外周配置の凸部が取り付き接合する構造を有し、一対の回転保持具が装備されたコ字状アングルを備えた光源装置を１単位とし、これら光源を１単位又は複数個以上搭載し構成、略真下向けに並置した光源装置からの出射光は直接所望の領域に照射、又は所望の領域にフライアイレンズ群を配置し、該光源から出射する光線で、該フライアイレンズ群等の前面を照射するように該光源の各々の出射方向を調整することが出来る形態である。【００１９】  前記反射鏡外周端部の一部の少なくとも複数個以上の凹部と、照明装置内光源ホルダの一部の少なくとも複数個以上の凸部を構成することにより、複数以上の組み合わせにより、それぞれの照度差整合ができる形態である。
【実施例】
【００２０】  図１から図４までは、本発明における設置角度自在にして照度整合のできる照明装置の実施例を示す概略図である。
本件発明の用途は、主として可視光を利用する店舗照明用、ファイバー照明用光源、夜間作業用光源装置、更に主として紫外光部分を利用した接着剤硬化用や紫外光を露光用に利用する液晶カラーフイルター、プラズマデスプレイ、プリント基板等の産業界用途におけるマスクパターン露光工程等に供せられる。
特に本件発明では前記露光工程用照明装置の構成例について説明する。【００２１】  図１は本発明に供せられる光源の斜視図、図１−１は、図１光源のＹ−Ｙ断面に光源ホルダ１−３を具備した断面図である。以下図１−１構成による光源を、光源装置１と称す。
光源装置１は、反射鏡１−１ａ、発光管１−１ｂ、フイルター兼用飛散防止前面ガラスやリード線付電源入力コネクター等１−１ｃからなり、勿論照射光を得るための所定の電源部や制御部からのコントロールは接続装備されている。
少なくともガラス材より放熱効果が大なる素材で形成された光源装置１は、発光管上下部１−１ｂＡ、同前後部１−１ｂＢ各部の最適温度を適切な仕様内温度にてコントロールさせるため、反射鏡１−１ａ内の発光管１−１ｂの一対の電極部は勿論、発光管１−１ｂを取り巻く周囲の冷却流風向風量を調整可能な構造とし、更に光源装置１に適宜もうけられたフイン１−１ｅは自然空冷又は微風程度でも発光管１−１ｂ、１−１ｂＡ発光管上下部、１−１ｂＢ同前後部各部の最適温度を長時間一定に維持させる温度検知機構と適宜の温度管理風量風向調整をもって供される構造としてある。【００２２】  更に、本発明による図１−１の光源装置１は、１−１ａ反射鏡基材部に一対の発光管１−１ｂ電極軸が、光軸１ＸＦと１ＸＢに略直角（図１−１では紙面に略垂直）に配置されている。即ち図１及び図１−１は、前記発光管電極軸を略水平に維持した状態で、光線１−１ｄの出射方向を水平方向に設置した構成例である。【００２３】  更に図１及び図１−１では、光源装置１の一部の反射鏡１−１ａの開放面外周端部の一部に複数個の凹部１−２−１、１−２−２、１−２−３、１−２−４・・・が適宜設けられ、図１−１断面図で示す如く前記凹部に整合組合させるべく適宜大きさの光線通過用任意貫通穴付き光源ホルダ１−３の外周部には複数個の凸部１−３ａ−１、（以下１−３ａ−２、１−３ａ−３、１−３ａ−４は図示省略）・・・もまた適宜設けられ、前記光源装置１の装備の際にはそれぞれの凹凸部（勘合部）が整合組み合わされ、反射鏡１−１ａ及び光源ホルダ１−３の共通の中心線上（勿論光源の中心線上）に光軸（１ＸＦ−１ＸＢ）が設定され且つ前期光源及び前記光源ホルダ１−３は着脱可能に固着装備されている。【００２４】  以上の構成において図１−２及び図１−３には、前述した障壁なく下方（垂直）に照射できる光源装置２の構成例を示してある。
図１−２は、前記光源装置１をコ字状アングル１−４と一対の回転保持具等１−４ａにより固着装備し、１−４ｂ矢印に示す如く回転角度自在に設置できる構成とし、本図ではまさに水平照射できる状況の光源装置例を示している。（但し前記光源ホルダ１−３は図示省略）。尚１−４アングル形状は、コ字状に限らず一対のＬ字上アングル等の任意形状でも良い事は言うまでもない。【００２５】  更に図１−３は、一対の回転保持具１−３ｂ付き前記光源ホルダ１−３に整合組み合わされた光源をコ字状アングル１−４に搭載し、前記光源装置１と一体構成された状態を示す光源装置２の実施例である。
本図は勿論、図１−２で説明した前記１−４ｂ矢印の回転角度を９０度（下方に垂直）とした状態の断面図を示しており、光線１−１ｄは所望の照射面１−１ｋに垂直直射到達している。
前記記載の通り光源装置２は該光源発光管電極軸を略水平に維持した状態で、該光源反射鏡開放面を下方に向け垂直に照射することになり、光路変更の為に特別な前記プリズムや反射鏡を装備する必要がなく、課題であった光軸と並行設置上下１０度以内の制約になんら規制される事なく必要な光路を得ることができる実施例である。【００２６】  更に本発明によれば、任意の所望の角度で照射したい場合には、該光源発光管電極軸を略水平に維持した状態で、前述の光源装置２と一体の前記回転保持具等により、例えば前記１−４ｂ矢印に示す如く回転角度を所望の角度に調整することにより、光線１−１ｄ出射角度を自在に任意調整ができる照明装置ともなり前述の課題を解決できる。【００２７】  前記構成例における反射鏡開放面外周端の凹部１−２−１、・・・の形状は、貫通穴や切欠き等とし、光源ホルダの凸部１−３ａ−１・・・の形状もまた、前記貫通穴や切欠き等に適合すべく突起物或いは雌雄ネジ構成の雄ネジ先でも良く、固定又は適宜のねじ込み調整で着脱自在としそれぞれに適宜組み合わせすることもできる。
更に複数個の前記雄ネジ゛構成によれば、それぞれの光源の微妙な光軸調整機構としても応用できる特徴がある。
更に前記構成例における前述の凹凸部（勘合部）設置場所は、前記光源装置反射鏡部と前記光源ホルダの対部が、それぞれに取り付き接合する場所ならどこでも良い。【００２８】  前記凹部１−２−１と前記凸部１−３ａ−１の凹凸（勘合部）組み合わせは、反射鏡外周端部１−２−１を凸部、光源ホルダ１−３ａ−１を凹部構成とすることも差し支えない。
また、前記凹部１−２−１と前記凸部１−３ａ−１の凹凸組み合わせでは、使用しない凹部は耐熱性の樹脂やセメントあるいは前記反射鏡と同質の基材で穴埋めし、凸部は適宜追加・削除し、それぞれに整合組み合わせできる事はいうまでもない。
勿論前記凹凸構成は、前記光源装置は勿論、従来ガラス反射鏡や金属・樹脂反射鏡の組み合わせにも応用できる。【００２９】  さて前述で、いわゆる発光効率の高いメタルハラドランプや超高圧水銀ランプの性能、特に照度的には個体差も大きくバラツキが生じていると説明したが、この種のランプ製造業者では、一般的に照度は上下１０％以内の出荷基準が妥当であり限界でもある。一方、駆動電源についても、特にランプ電圧とランプ電流とで制御するいわゆる電力制御方式の駆動電源でも、その出力バラツキも又１０％以内の出荷基準が妥当であり限界でもある。【００３０】  以上の開発製造技術背景の中で、特に複数個以上の光源を照明装置として照度一定品質を得るためには、いわゆる光源の照度ランク付けと、いわゆる照明装置（特に駆動電源側）の照度ランク付け・整合を必要とする。【００３１】  例えば、中間照度を１００とし、上限照度１１０、下限照度を９０として得られた光原、及び中間照度をえられる照明装置を１００、上限照度を得られる照明装置を１１０、下限照度を得られる照明装置を９０とする。
更に前記凹部１−２−３を中間照度を１００の光源に適合、更に前記凹部１−２−４を上限照度を１１０の光源に適合、更に前記凹部１−２−２を下限照度を９０の光源にそれぞれ適合させるべく分類するとして、以下の使用配列例となる。
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以上の通り、前記反射鏡外周端凹部１−２−１・・・と前記光源ホルダ凸部１−３ａ−１・・・の構成による整合組み合わせは、それぞれの個体差バラツキを解消し、製造管理上も、更には出荷後の運営・管理にも有効に機能し、市場には照度一定の品質で供せられる実施例である。【００３２】  従来は、光源、いわゆるランプの最外周部と、通常一組の凹凸部構成で光軸と位置合わせをしてきたが、寸法精度も充分に取れず光軸ズレの原因にもなっていた。
本発明によれば、勿論全ての前記光源の光軸は、前記光源の複数の凹部１−２−１・・・、前記光源ホルダの複数の凸部１−３ａ−１・・・いずれをそれぞれに整合しても光軸は変わらぬよう構成されているので、複数のそれぞれの凹凸部を利用する事により、寸法精度も充分に取れ、ズレが少なく簡単に光軸合わせ及び固定位置決めも行う事もできる。【００３３】  更に本考案の照明装置は、顧客特殊仕様（カスタム仕様）区分や、いわゆる１００ボルト地域や２００ボルト地域等区分して出荷要求される場合には、前記複数の凹部と前記複数の凸部を活用、あらかじめ組合せ定義しておくことにより、製造・運用・安全管理に便宜を与えるものである。【００３４】  本件照明装置においても、光源寿命（いわゆるランプ寿命）や・破損が生じ、本照明装置指定光源（いわゆる指定交換ランプ）と取替え点灯することになるが、指定光源以外の類似の形状を持つ光源が市場に出回まわる事にもなる。
これらの光源が間違って装着された場合、照度バラツキや、不整合により破裂・破損の原因ともなり重大な支障をきたす。
然るに本発発明によれば、本照明装置指定以外の光源においては、前記光源ホルダの凸部が整合されず装着不能となる事は言うまでもなく、破裂・破損の危険を回避する安全面からも有意義な設置角度自在にして照度整合のできる照明装置である。【００３５】  図１−４には、いわゆる複数個の光源を用い水平・垂直の出射角度を考慮して設計した光源装置の斜視図を示し、１−５多灯式固定フレーム例１に具備される。
即ち前記光源は、前記光源ホルダ１−３と類似装着方法により複数個以上を装着できる構成とし、それぞれの光源の光線通過用任意貫通穴１−３ｔ周辺部に設けられた前記凸部１−３ａ−１・・・には、勿論それぞれの前記光源装置１の凹部１−２−１・・・に適合され着脱自在に装着され点灯する。
図１−５は図１−４に前記光源装置１又は前記光源装置２等を装着した断面図を示している。
本図に示す通り該光源装置の発光管電極軸を略水平に維持した状態で照射、２−１ｋ照射面には水平に照射している。
勿論垂直照射が必用な場合は、１−５多灯式固定フレーム例１開放面を下方（垂直）に傾け照射するだけで、該光源装置の発光管電極軸を略水平に維持した状態で下方（垂直直射）照射できる事は言うもでもない。【００３６】  前述してきた超高圧水銀ランプ等を利用した従来の照明装置の全部又は光源部は、全て固定方式であるといっても過言ではなく、水平・垂直自在の照明装置への切望は大なるものがあった。
本発明によれば、図１−２及び図１−３で詳細説明した如く、１−５多灯式固定フレーム例１の開放面を下方（垂直）に傾けるだけで所望の領域に照射でき、前述のプリズムや反射鏡７−２ａは全く不要で、しかも前記照射光は直射状態で光量減衰の生じない高効率直射方法の実施例ともなる。
勿論本発明は前記多灯式固定フレーム例１の開放面を他の装置と兼用、或いは不要とし、前記複数の光源装置を装着するだけでも良く、更に前述の光源装置２の複数個の組み合わせによれば、任意の出射角度をそれぞれ自在にえられ且つ照度整合のできる照明装置ともなる。【００３７】  図２は、前述の露光等高エネルギを要する紫外光照明装置用としての実施例断面図である。
本実施例は複数個の光源を用い所望の領域に照射又は集光する目的で、１−６ｔ多灯光源ホルダ例１に固着、多灯光源ホルダ例１は更に１−７多灯固定フレーム例２に固着され光源装置一体構成としある。
前記複数個の光源は、それぞれ予め所望の領域に照射すべく任意形状に傾斜加工された前記光源ホルダ１−６ｔに装着され、それぞれの光線１−１ｄは前方のレンズやフライアイレンズ群１−６ｇに照射又は集光する。
図３は、いわゆる野球場や競技場用等照明用としての実施例断面図である。
本実施例は複数個の光源を、所望の領域に照射すべく任意形状に加工された１−６ｔ−１他の多灯光源ホルダ例２に固着、他の多灯光源ホルダ例２は更に１−７−１他の多灯固定フレーム例３に固着され光源装置一体構成としてある。
前記複数個の光源は、それぞれ予め所望の領域に照射すべく任意形状の前記１−６ｔ−１他の多灯光源ホルダ例２に装着され、それぞれの光線１−１ｄは前方フレネルレンズ等１−６ｇ−１に広域照射している。
勿論上記光源装置の構成例は、全ての光源装置を同一方向に照射する目的であるが、更に任意方向に光線出射可能な前記光源装置２を用いる事により、一部又はランダムに又は全部をそれぞれの方向に自在設置できる構成となり、便宜でもあり、微妙な照度差調整や偏光解消もまた可能となり更なる用途別展開ができる事も言うまでもない。【００３８】  図４は、露光用用途として前記図５、図６で示した装置構成に代わる本発明実施例を示す。
即ち本発明実施例では、例えば図２で説明した如く１−７多灯固定フレーム例２を１単位とした１ユニット又は複数ユニット以上で構成した光源部筺体３を構成してある。
前記光源部筺体３は、露光照明装置等の一部に具備され、所定の位置から所望の領域に傾け照射、即ち本図のように垂直に照射させ、紫外光等の光路１−１ｄをレンズやフライアイレンズ群１−６ｇに集光させれば照射面２−１ｋに到達し露光する。
前記は本発明の特徴である垂直設置型（略直下光路）の典型的な実施例ともなり、大きな課題であった水平設置型の従来使用方法や、光軸と並行配置のいわゆる水平方向（光軸）上下１０度以内に限定制約される事がなく、本発明の意図するいわゆる設置角度自在にして照度整合のできる照明装置として供する事ができ、少単位でのユニット化することにより量産化も図られコストダウンに結びつき、且つ軽量化も図られることにより寿命到達光源や破裂・破損時の交換作業をも簡単にできる便宜さもある。
勿論、前述の１−７多灯固定フレーム例２のユニット化に限らずとも、複数個以上の前記光源装置の一体構成（例えば図５及び図６並の使用個数でも良い）で、充分な目的を達する事は言うまでもない。【００３９】  又、超高圧水銀ランプ等は初期点灯時から寿命末期である約２０００時間経経過後ではおおよそ４０％光量（照度）減衰があるのが一般的であり、通常は８０％前後の一定光量（照度）にすべく設定調整しながら露光装置等の運営管理がなされている。
然るに本発明にかかる超小型にして照度整合及び据付角自在型の照明装置を用いることにより、一部の光源装置を初期不点灯として配置し、点灯時間経過と共に点灯数を増やし、総合的に照度一定を保つ事も、また照度増減も自在に構成できるものである。【００４０】  更に、露光すべき素材の種類により照射強度や照射方向を変える必要がある場合には、従来は別々の露光装置に素材を移動、又は別途工程を追加するなど露光装置も複雑化・大型化し非効率的で非経済的でもあった。
然るに本発明によれば、短時間での照度増減や照射方向変更には前述光源装置２や或いは光源装置の一部のそれぞれに、前記発光管の電極軸を略水平に維持できる機構並びに光軸位置変更機構や焦点位置変更機構を任意追加構成する事により照度減とし或いは照度増し又は照射方向変更等、瞬時に照度増減機能と照射方向変更機能を併せ持つ照明装置として供せられ生産効率の増大に結びつき且つ経済的でもある。【００４１】  以上の説明の通り本発明による照明装置は、前述のように稼動中の既露光用光源装置や、中古露光用光源装置代替としても大きな改造なくして安価に搭載できる事も大きな特徴である。【００４２】  更に、垂直設置型（略直下光路）の利点を、図４を用いて説明すれば、垂直設置型（略直下光路）で発光された紫外光等の光路１−１ｄは、レンズやフライアイレンズ群１−６ｇを除き、少なくとも極めて高価な第一反射鏡、第二反射鏡等不要として、露光面２−１ｋに到達し、任意に必要な露光照度を得られ、部品点数の削減且つ大幅なコストダウンは言うまでもない据付角度自在型証明装置である。【００４３】  更に、昨今の露光装置全体に対する産業界の要望は、安価で、小型・高効率光量・照度を得られる露光用光源装置である事、従って図５、６を用いて説明したランプ７を金属筺体に所定の曲面に沿わせ並置、且つ各々から発せられ、光軸方向が略垂直となるよう配置された支持筐体７−１ｎ内部の高熱を放熱するための循環ポンプを含む水冷装置や・送風機等付帯設備を必要とするダクト７−１ｐを設けた背面カバー７−１ｅや排気装置が必要であった。
従来ランプ７に代わる前述の光源装置２は単体でも、小型は勿論微風や自然風で充分な放熱効果が得られ、且つ高効率光量・照度を得られるよう構成されている為、垂直設置（略直下光路）可能に並置された１単位又は複数個以上の前記光源装置の構成は、前述した高価な付帯設備が不要となり、部品点数の削減且つ大幅なコストダウンは言うまでもない照明装置である。【００４４】  更に、図５、６を用いて説明したランプ７を金属筺体に所定の曲面に沿わせ並置され、放熱効果を引き出す為には、各ランプの光軸をフライアイレンズ群に集光する為に、大きな球曲率をもったアルミニュム材などでの構成を余儀なくされているが、加工には大型工作機械等を必要とし、その加工代も極めて高価であった。
本発明による前記光源装置は、単独での小型は勿論微風や自然風でも高効率の光量・照度を得られるよう構成されているので、特に複数個以上の光源装置を使用する場合は、前述の光源ホルダや多灯固定フレームを所望所定の傾斜角度を持たせる簡単な構造だけで光軸は任意に所望の位置に調整でき、それぞれの光源装置をフライアイレンズ群に任意に傾け集光させる簡単な構造だけで良く、部品点数の削減且つ大幅なコストダウンは言うまでもない設置角度自在にして照度整合のできる照明装置である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明による光源装置の斜視図を示す。
【図１−１】本発明による光源装置１のＹ−Ｙ面断面に光源ホルダを具備した実施例断図である。
【図１−２】本発明による図１−１光源装置機能を具備し、コ字状アングルと一対の回転保持具等より回転角度自在に設置できる光源装置の構成例を示す実施例斜視図である。
【図１−３】本発明による光源装置で、図１−２実施例に加え、前記光源装置と一体構成された状態且つ一対の回転保持具付き光源ホルダを備えた光源装置２の実施例断面図である。
【図１−４】本発明による光源装置を複数個以上用い、水平・垂直等予め出射角度を考慮して設計した照明装置の斜視図を示す。
【図１−５】本発明による図１−４に光源装置２等を装着した断面図を示す。
【図２】本発明による露光等高エネルギを要する紫外光照明装置用としての実施例断面図である。
【図３】本発明による、いわゆる野球場や競技場用等照明用としての実施例断面図である。
【図４】露光用用途として前記図５、図６で示した装置構成に代わる本発明実施例を示す概略光路図である。
【図５】従来光源ランプ示す断面図である。
【図５−１】従来の下方（垂直）照射実施例としての概略図である。
【図６】従来の多灯式光源装置を示す実施例としての正面を示した概略図である。
【図６−１】従来の多灯式光源装置を示す実施例としての断面を示した概略図である。
【図７】従来の露光装置の概略光路図を表す概略図である。
【符号の説明】
【００４６】〔図１〕〔図１−１〕〔図１−２〕〔図１−３〕〔図１−４〕〔図１−５〕
１            光源装置１
１−１ａ      反射鏡
１−１ｂ      発光管
１−１ｂＡ    同上・上下部
１−１ｂＢ    同上・前後部
１−１ｃ      リード線付電力入力コネクタ等
１−１ｄ      紫外光等の光路
１−１ｅ      フイン
１−１ｋ      照射面
１ＸＦ        光軸
１ＸＢ        光軸
１Ｘ          水平方向線
１Ｙ          垂直方向線
１−２−１    反射鏡凹部１
１−２−２    反射鏡凹部２
１−２−３    反射鏡凹部３
１−２−４    反射鏡凹部４
１−３        光源ホルダ例１
１−３ａ−１  反射鏡固定具凸部１
１−３ａ−２  反射鏡固定具凸部２
１−３ａ−３  反射鏡固定具凸部３
１−３ａ−４  反射鏡固定具凸部４
１−３ｂ      一対の回転保持具等
１−３ｔ      光線通過用任意貫通穴
１−４        コ字状アングル
１−４ａ      一対の回転保持具等
１−４ｂ      回転方向を示す矢印
１−５        多灯式固定フレーム例１
〔図２〕〔図３〕
１−６ｔ      多灯光源ホルダ例１
１−６ｔ−１  他の多灯光源ホルダ例２
１−６ｇ      レンズやフライアイレンズ群
１−６ｇ−１  フレネルレンズ等
１−７        多灯固定フレーム例２
１−７−１    他の多灯固定フレーム例３
〔図１−３〕〔図４〕
２            光源装置２
２−１ｋ      照射面
３            光源部筺体
〔図５〕〔図５−１〕〔図６〕〔図６−１〕〔図７〕
７            従来ランプ
７−１ａ      反射鏡
７−１ｂ      発光管
７−１ｂＡ    同上・上下部
７−１ｂＢ    同上・前後部
７−１ｃ      リード線付電力入力コネクタ等
７−１ｄ      紫外光等の光路
７−１ｅ      背面カバー
７−１ｇ      フライアイレンズ群
７−１ｈ      第一反射鏡
７−１ｊ      第二反射鏡
７−１ｋ      露光面
７−１ｎ      支持筐体
７−１ｐ      ダクト
７ＸＦ        光軸
７ＸＢ        光軸
７−２ａ      プリズムや反射鏡
７−２ｂ      照射面
【図１】
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【図１−１】
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【図１−２】
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【図１−３】
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【図１−４】
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【図１−５】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図５−１】
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【図６】
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【図６−１】
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【図７】
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