(57)【要約】【課題】  フィルム状のワークＴを弛ませた箇所で、ワークＴの幅方向の位置を規制するとともにワークＴが摩擦なく送り出すことができる搬送装置を提供する。【解決手段】  搬送装置（ＦＥ）は、所定幅の長尺のフィルム状のワーク（Ｔ）を巻回した供給リール（２）と、供給リールから送り出された長尺のフィルム状のワークを巻き取る巻取リール（５）と、供給リールから巻取リールまでの間に配置され、長尺のフィルム状のワークに弛み領域を持たせる第１ガイドローラ（３２ａ）及び第２ガイドローラ（３２ｂ）と、第１ガイドローラと第２ガイドローラとの間で長尺のフィルム状のワークに弛みを持たせたワークの所定幅方向の少なくとも一方の端部と交差するように配置し、ワークの送り方向に回転可能な回転ガイド（２１）と、を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定幅の長尺のフィルム状のワークを巻回した供給リールと、
前記供給リールから送り出された前記長尺のフィルム状のワークを巻き取る巻取リールと、
前記供給リールから前記巻取リールまでの間に配置され、前記長尺のフィルム状のワークに弛み領域を持たせる第１ガイドローラ及び第２ガイドローラと、
前記第１ガイドローラと第２ガイドローラとの間で前記長尺のフィルム状のワークに弛みを持たせ、このワークの所定幅方向の少なくとも一方の端部と交差するように配置し、前記ワークの送り方向に回転可能な回転ガイドと、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記弛み領域で、前記ワークの上からワークに対してエアを吹き付けるノズルを備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第１ガイドローラ及び第２ガイドローラの両側にはフランジが形成されておらず、前記回転ガイドは、前記ワークの所定幅方向の両端部に配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記弛み領域に配置され、前記ワークの弛み状態を検出する弛み検出部と、
前記弛み検出部からの信号に基づき、前記第１ガイドローラ、前記第２ガイドローラ、前記供給リール又は巻取リールの少なくともいずれかの回転量を制御する回転量制御部と、
を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記回転ガイドを保持するローラ保持部と、
前記ローラ保持部を前記ワークの所定幅方向に距離を調節する調節部と、
を備えることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記回転ガイドは、前記第１ガイドローラ及び前記第２ガイドローラから前記ワークの弛みの最下点までの途中で、前記前記ワークの端部と交差する軸基準で回転することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記回転ガイドは前記ワークの弛みの最下点と交差するように、鉛直方向に伸びる軸基準で回転することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記長尺のフィルム状のワークは、レジストが塗布されたフィルム又はこのフィルムと対面するように巻き回された保護シートを含むことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記供給リールは、前記ワークに対面するように巻き回された前記保護シートを送り出し、前記巻取リールは前記ワークと前記保護シートを巻き取り、
前記供給リールから前記巻取リールまでの間に配置され、前記保護シートに弛み領域を持たせる第３ガイドローラ及び第４ガイドローラと、
前記第３ガイドローラと第４ガイドローラとの間で前記保護シートに弛みを持たせ、前記保護シートの所定幅方向の少なくとも一方の端部と交差するように配置した第２回転ガイドと、
を備えることを特徴とする請求項８に記載の搬送装置。
【請求項１０】
所定幅の長尺のフィルム状のレジストが塗布されたワークを１ブロックずつ送り方向に送りながら、露光ステージで前記１ブロックごとに前記ワークを紫外光で露光する露光装置において、
前記長尺のフィルム状のワークを巻回した供給リールと、
前記供給リールから送り出された前記長尺のフィルム状のワークを巻き取る巻取リールと、
前記供給リールから前記巻取リールまでの間に配置され、前記長尺のフィルム状のワークに弛み領域を持たせる第１ガイドローラ及び第２ガイドローラと、
前記第１ガイドローラと第２ガイドローラとの間で前記長尺のフィルム状のワークに弛みを持たせ、このワークの所定幅方向の少なくとも一方の端部と交差するように配置した回転ガイドと、
を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
前記弛み領域に配置され、前記ワークの弛み状態を検出する弛み検出部と、
前記弛み検出部からの信号に基づき、前記第１ガイドローラ、前記第２ガイドローラ、前記供給リール又は巻取リールの少なくともいずれかの回転量を制御する回転量制御部と、
を備えることを特徴とする請求項１０に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を搭載する長尺のフィルム状のワークの搬送装置及びその搬送装置を備える露光装置に係り、特にフィルム状のワークが弛んだ領域（撓み領域）でワークを保護する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品を搭載するプリント基板は薄層化しており、利用範囲の拡大に伴って、その寸法も厚さ２０〜１００μｍ、幅１００〜２５０ｍｍと多様化している。このような基板は、取扱いの容易さや生産性の高さから、長尺のフィルム状のワークとして形成されている。  このフィルム状のワークは、長尺であるために、露光・洗浄・エッチング・検査・組立等の各処理工程間は、リールに巻回された状態で取り扱われている。
【０００３】
特許文献１は、このような長尺のフィルム状のワークから電子回路基板を製造する露光装置を開示している。フィルム状のワークは、搬送の途中に弛んで左右の縁が反る問題点が発生するため、確実にワークをハンドリングできるようにしてワークを水平な状態で搬送している。特許文献１に開示される搬送装置は、紫外光を使ってマスクのパターンをフィルム状のワークに露光する露光装置に組み込まれており、ワークを１コマずつ間欠的に露光ステージに搬送できるように構成されている。
【０００４】
そして搬送装置は、露光ステージにワークを余分な張力をかけずに静定するために、長尺のフィルム状のワークの一部をＵ字型に垂れ下げている。Ｕ字型に垂れ下げる領域に張力を調整するため、複数の吸引孔が形成された箱体が設けられており、その吸引孔からワークを吸引してワークの張力を調整している。
【特許文献１】特許第３６６３４２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された搬送装置では、箱体の内側側面にワークの端面が接触し、ワークを損傷せしめると共にワーク張力を不安定にすることになる。このため、ワークに負荷をかけない搬送方法が要求されていた。
【０００６】
また、巻き取りリールに巻き回されるワークは、その表面に異物が付着することを防止するため、ワークと略同形状の保護シートが介装されるようになっている。このような保護シートに対しても、保護シートの端面が箱体に接触してしまうことを防ぐ必要があるとともに、ワークと保護シートとを正確に重ね合わせて巻き取りリールで巻き取る必要性がある。
【０００７】
そこで、本発明では、これらの問題点を解消し、長尺のフィルム状のワークに負荷をかけることなく安定した状態で搬送することが可能な搬送装置を提供し、さらに、ワークと保護シートとをバランスよく巻取ることができる搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
これらの課題を解決するため、第一の観点の搬送装置は、所定幅の長尺のフィルム状のワークを巻回した供給リールと、供給リールから送り出された長尺のフィルム状のワークを巻き取る巻取リールと、供給リールから巻取リールまでの間に配置され、長尺のフィルム状のワークに弛み領域を持たせる第１ガイドローラ及び第２ガイドローラと、第１ガイドローラと第２ガイドローラとの間で長尺のフィルム状のワークに弛みを持たせこのワークの所定幅方向の少なくとも一方の端部と交差するように配置し、ワークの送り方向に回転可能な回転ガイドと、を備える。
【０００９】
このような構成によれば、第１ガイドローラと第２ガイドローラとの間でワークが弛んだ領域において、回転ガイドがワークの幅方向の位置を規制することができる。
そして、回転ガイドがワークの送り方向に回転できるため、ワークの端面が回転ローラに接触しても、ワークが損傷することがなくまたワークの張力を安定させることができる。
【００１０】
第二の観点の搬送装置は、弛み領域で、ワークの上からワークに対してエアを吹き付けるノズルを備える。
このような構成によれば、ワークに一定の張力を与えることができるとともに、弛んだワークの弛み量を正確に把握することができる。
【００１１】
第三の観点の搬送装置は、第１ガイドローラ及び第２ガイドローラの両側にはフランジが形成されておらず、回転ガイドはワークの所定幅方向の両端部に配置されている。
このような構成によれば、ガイドローラにフランジを設ける必要がなく製造コストが下がるとともに、フランジにワークの端面が接触してワークが損傷したりまたワークの張力が不安定になったりすることがない。
【００１２】
第四の観点では、弛み領域に配置され、ワークの弛み状態を検出する弛み検出部と、弛み検出部からの信号に基づき、第１ガイドローラ、第２ガイドローラ、供給リール又は巻取リールの少なくともいずれかの回転量を制御する回転量制御部と、を備える。
このような構成によれば、フィルム状のワークＴの弛み量を一定にすることができる。そのため回転ガイドの回転方向とワークの送り方向とをほぼ一致させることができる。
【００１３】
第五の観点では、回転ガイドを保持するローラ保持部と、ローラ保持部をワークの所定幅方向に距離を調節する調節部と、を備える。
ワークの幅は８０ｍｍ程度から２５０ｍｍ程度あるが、本構成によれば、ワークの幅に合わせて回転ガイドの位置を調整できるため、ワークを所定範囲内に規制できる。
【００１４】
第六の観点では、回転ガイドは、第１ガイドローラ及び第２ガイドローラからワークの弛みの最下点までの途中で、回転ガイドはワークの端部と交差する軸基準で回転する。
このような構成によれば、ワークの端部と交差する箇所が左右２箇所以上になるため、安定してワークの幅方向を規制することができる。
【００１５】
第七の観点では、回転ガイドはワークの弛みの最下点と交差するように、鉛直方向に伸びる軸基準で回転する。
このような構成によれば、弛んだワークの最下点の一箇所でワークの幅方向を規制することができるため、コストを低減することができる。
【００１６】
第八の観点では、長尺のフィルム状のワークは、レジストが塗布されたフィルム又はこのフィルムと対面するように巻き回された保護シートを含む。
搬送装置はレジストが塗布されたフィルム又は保護シートの搬送に適している。
【００１７】
第九の観点では、供給リールは、ワークに対面するように巻き回された保護シートを送り出し、巻取リールはワークと保護シートを巻き取り、供給リールから巻取リールまでの間に配置され、保護シートに弛み領域を持たせる第３ガイドローラ及び第４ガイドローラと、第３ガイドローラと第４ガイドローラとの間で保護シートに弛みを持たせ、保護シートの所定幅方向の少なくとも一方の端部と交差するように配置した第２回転ガイドと、を備える。
このような構成によれば、供給リールから巻取リールまで安定してワークと保護シートとを飯総することができる。
【００１８】
第十の観点の露光装置は、所定幅の長尺のフィルム状のレジストが塗布されたワークを１ブロックずつ送り方向に送りながら、露光ステージで１ブロックごとにワークを紫外光で露光する露光装置において、長尺のフィルム状のワークを巻回した供給リールと、供給リールから送り出された長尺のフィルム状のワークを巻き取る巻取リールと、供給リールから巻取リールまでの間に配置され、長尺のフィルム状のワークに弛み領域を持たせる第１ガイドローラ及び第２ガイドローラと、第１ガイドローラと第２ガイドローラとの間で長尺のフィルム状のワークに弛みを持たせこのワークの所定幅方向の少なくとも一方の端部と交差するように配置した回転ガイドと、を備える。
露光ステージに１ブロックごとワークを送っているとワークが幅方向にずれたりするが、そのワークの端部を損傷することなくまた張力を安定したまま、ワークを露光ステージに搬送することができる。
【００１９】
第十一の観点では、弛み領域に配置され、ワークの弛み状態を検出する弛み検出部と、弛み検出部からの信号に基づき、第１ガイドローラ、第２ガイドローラ、供給リール又は巻取リールの少なくともいずれかの回転量を制御する回転量制御部と、を備える。
フィルム状のワークＴの弛み量を一定にすることができる。そのため回転ガイドの回転方向とワークの送り方向とをほぼ一致させることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る搬送装置又は露光装置によれば、ワークの端部を損傷することなくまたワークに負荷をかけないで搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る搬送部ＦＥと露光部を有する露光装置１００の全体斜視図であり、図２は、本実施形態に係る搬送部ＦＥと露光部ＥＸを示す概略図である。
【００２２】
図１に示すように、本実施形態に係る露光装置１００は、送り出すフィルム状のワークＴと保護シートＳのうち、フィルム状のワークＴのみを露光部ＥＸの露光ステージ１４に搬送する装置である。まず、フィルム状のワークＴと保護シートＳ、露光装置１００について順番に説明する。
【００２３】
＜フィルム状のワークＴ、保護シートＳの構成＞
フィルム状のワークＴは、露光、洗浄、エッチング、検査等の各処理工程を経て電子部品を搭載するフレキシブルプリント基板となる。ここでは、露光工程において露光部ＥＸにかけられるフィルム状のワークとして説明するが、フィルム状のワークＴは有機ＥＬ基板などの表示装置の基板であってもよい。このフィルム状のワークＴは、例えば、幅２５０ｍｍ、厚み２５μｍ、長さ２００ｍの寸法を有している。
また、保護シートＳは、フィルム状のワークＴの表面を保護する薄い紙などで形成されたシートであり、リールに巻回されるフィルム状のワークＴの間に介装されるものである。この保護シートＳは、フィルム状のワークＴと略同一の形状に形成されている。
【００２４】
＜露光装置１００の構成＞
露光部ＥＸは、搬送部ＦＥによって１単位である１ブロックずつ搬送されるフィルム状のワークＴに、マスクＭのパターンを露光する装置である。この露光部ＥＸは、光源系１１と、この光源系の光軸上に配置するマスクＭを保持するマスク保持枠１２と、このマスク保持枠１２から所定距離を空けて配置される投影光学系１３とを備えている。さらに露光部ＥＸは、この投影光学系１３から送られてくる照射光の光路上に配置された露光ステージ１４と、露光に先行してフィルム状のワークＴのアライメントマーク（図示せず）とマスクＭのアライメントマーク（図示せず）とを観察するカメラ１５とを備えている。
【００２５】
マスク保持枠１２は、マスクＭを鉛直方向に立てた状態で保持する支持枠であり、投影光学系１３に対向するように設置されている。マスク保持枠１２は、マスクＭを投影光学系１３の入射光軸に対して直交する垂直方向に移動させるための駆動機構を有している。マスクＭには、フィルム状のワークＴに投影する１ブロック分の回路パターン及びアライメントマーク等が描画されている。
【００２６】
投影光学系１３は、入射光および出射光の光軸がレンズ中心に一致するように設けられた入射側凸レンズ１３ａおよび出射側凸レンズ１３ｂを備えている。この投影光学系１３は、例えばダイソン光学系又は縮小投影光学系が使用され、マスクＭの回路パターンが、入射側凸レンズ１３ａと出射側凸レンズ１３ｂとを透過して出射側凸レンズ１３ｂから出射しフィルム状のワークＴに照射される。
【００２７】
露光ステージ１４は、図示しない真空ポンプの配管が接続されており、フィルム状のワークＴを吸着して固定するように構成されている。露光ステージ１４では、フィルム状のワークＴが１ブロック搬送され、フィルム状のワークＴとマスクＭの位置合わせが終了した後、露光が行われるようになっている。
【００２８】
カメラ１５は、フィルム状のワークＴのアライメントマークとマスクＭのアライメントマークとを観察するため、ハーフミラーおよびＣＣＤ等で構成されている。このカメラ１５は露光時には退避して、光路から外れた位置に配置されるようになっている。
【００２９】
＜搬送部ＦＥの構成＞
次に、搬送部ＦＥの構成について説明する。
図１および図２に示すように、搬送部ＦＥは、供給リール２と、フィルム状のワークＴが搬送されるワーク搬送系３０と、保護シートＳが搬送される保護シート搬送系４０と、巻取リール５とを備えている。
【００３０】
≪供給リール２と巻取リール５≫
供給リール２には、フィルム状のワークＴが巻回されるとともに、このフィルム状のワークＴに対面するように保護シートＳが巻回されている。この供給リール２は、例えば、直径６００ｍｍのリールである。この供給リール２は、図示しない駆動軸がモータ等で駆動され、時計回りに回転するようになっている。これにより、供給リール２から送り出されたフィルム状のワークＴと保護シートＳは、ワーク搬送系３０と保護シート搬送系４０とを介して、巻取リール５に至るようになっている。
【００３１】
巻取リール５は、供給リール２の下方に配置され、図示しない駆動軸がモータ等で駆動されることで時計回りに回転するようになっている。巻取リール５は、ワーク搬送系３０から搬送されたフィルム状のワークＴと保護シート搬送系４０から搬送された保護シートＳとを同時に巻き取る。
【００３２】
供給リール２から送り出されるフィルム状のワークＴは、露光ステージ１４でアライメントマークにより位置決めされて正確に送り出すために、Ｕ字型に垂れ下がった領域である第１張力調整領域３１を設けることが必要である。また、露光ステージ１４から巻取リール５へと送り出されるワークＴも、過度な張力がワークＴにかからぬようにＵ字型に垂れ下がった領域である第２張力調整領域３３を設けることが必要である。保護シートＳは、ワークＴと同時に巻き取られるためＵ字型に垂れ下がった領域である第３張力調整領域４１を設けることが必要である。
【００３３】
＜第１実施形態＞
≪ワーク搬送系３０≫
図２に示すように、フィルム状のワーク搬送系３０は、供給リール２から露光部ＥＸを経由して巻取リール５に至るフィルム状のワークＴを搬送する系である。
【００３４】
第１張力調整領域３１は、一対のガイドローラ３２ａ，３２ｂとの間に設けられたフィルム状のワークＴの張力を調整する領域である。第１張力調整領域３１では、一対のガイドローラ３２ａ，３２ｂに巻き掛けられたフィルム状のワークＴを自重でＵ字形に弛ませることで、露光部ＥＸに送られるフィルム状のワークＴの張力を調整するようになっている。これにより、フィルム状のワークＴに過度の負荷や弛みが発生しないようになっている。
【００３５】
一対のガイドローラ３２ａ，３２ｂは、不図示のベアリングと円筒部とから構成され、円筒部はフランジ部を有していない。この円筒部は樹脂又はステンレスなどの金属によって形成されている。
第１張力調整領域３１には、一対のガイドローラ３２ａ，３２ｂの中間に回転軸が垂直方向に伸びる第１回転ガイド２１が設けられている。第１回転ガイド２１の回転軸は自重でＵ字形に弛んだワークＴの最下点付近に配置されている。第１回転ガイド２１について詳細は後述する。
【００３６】
ステージガイドローラ３４ａ，３４ｂは、露光ステージ１４の上方および下方に配置されており、フィルム状のワークＴを露光部ＥＸの露光ステージ１４のステージ面に案内するようになっている。
【００３７】
図２に示すように、第２張力調整領域３３は、第１張力調整領域３１の下方に配置されており、一対のガイドローラ３６ａ，３６ｂの間に設けられたフィルム状のワークＴの張力を調整する領域である。第１張力調整領域３１では、一対のガイドローラ３２ａ，３２ｂに巻き掛けられたフィルム状のワークＴを自重でＵ字形に弛ませることで、巻取リール５に搬送されるフィルム状のワークＴの張力を調整するようになっている。これにより、フィルム状のワークＴに過度の負荷や弛みが発生しないようになっている。ガイドローラ３６ａ，３６ｂも、ガイドローラ３２ａ，３２ｂと同様な構成になっている。
【００３８】
第２張力調整領域３３には、一対のガイドローラ３６ａ，３６ｂの中間に回転軸が垂直方向に伸びる第２回転ガイド２３が設けられている。第２回転ガイド２３の回転軸は自重でＵ字形に弛んだワークＴの最下点付近に配置されている。第２回転ガイド２３も第１回転ガイド２１と同じ構成である。
【００３９】
≪保護シート搬送系４０≫
保護シート搬送系４０は、供給リール２からフィルム状のワーク搬送系３０が送り出されるとは異なる方向に保護シートＳを送り出す。保護シートＳに塵埃が付着していたとしても、その塵埃がフィルム状のワーク搬送系３０に設けられた露光部ＥＸの露光ステージ１４に飛散することを防止することができる。この保護シート搬送系４０は、第３張力調整領域４１を有している。
【００４０】
第３張力調整領域４１は、供給リール２の左斜め下方に配置された一対のガイドローラ４２ａ，４２ｂの間に保護シートＳの張力を調整する領域である。第３張力調整領域４１では、ガイドローラ４２ａ，４２ｂに巻き掛けられた保護シートＳを自重によりＵ字形に弛ませることで、巻取リール５に搬送される保護シートＳの張力を調整するようになっている。これにより、保護シートＳに過度の負荷や弛みが発生しないようになっている。なお、第３張力調整領域４１は、第１張力調整領域３１および第２張力調整領域３３よりも保護シートＳを長めに弛ませることができるように構成されている。
【００４１】
第３張力調整領域４１には、一対のガイドローラ４２ａ，４２ｂの中間に回転軸が垂直方向に伸びる第３回転ガイド２５が設けられている。第３回転ガイド２５の回転軸も自重でＵ字形に弛んだワークＴの最下点付近に配置されている。第３回転ガイド２５も第１回転ガイド２１と同じ構成であるが、保護シートＳを長めに弛ませるために第３回転ガイド２５の軸長さが長くなっている。
【００４２】
≪第１実施形態の張力弛緩領域≫
図３は、第１実施形態に係る第１張力調整領域３１を示す概略図である。図３（ａ）はその正面図であり、（ｂ）は断面図である。
上述したように、テープ搬送系３０に第１張力調整領域３１及び第２張力調整領域３３並びに保護シート搬送系４０に第３張力調整領域４１が設けられている。これらの張力調整領域における構造は全く相似であり、特にテープ搬送系３０の第１張力調整領域３１及び第２張力調整領域３３は大きさも同じ構成となる。このため、第２張力調整領域３３及び第３張力調整領域４１の説明を割愛する。
【００４３】
図３（ａ）に示すように、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂの間において、フィルム状のワークＴは自重でＵ字形に弛ませてある。ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂは高さ方向（Ｚ方向）にほぼ同じ位置に配置してある。このため、ガイドローラ３２ａとガイドローラ３２ｂとの水平方向（Ｙ方向）の中央付近にフィルム状のワークＴは最下点がくる。ガイドローラ３２ｂの高さが、ガイドローラ３２ａの高さよりも多少低くてもよい。
【００４４】
また、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂは樹脂又は金属性のローラに回転軸を取り付けた構造であり、またローラは同一直径でありローラの両側にフランジなどを形成する必要はない。ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂはステッピングモータなど回転量を制御できるモータ３２Ｍに接続されており、不図示のベアリングなどを介して回転する。
【００４５】
第１張力調整領域３１にはエアノズルＡＮが配置されており、エアノズルＡＮはちょうどフィルム状のワークＴは最下点に向けて圧縮空気を噴出できる位置に配置されている。エアノズルＡＮは１本でも複数本でもよいが、フィルム状のワークＴの幅に合わせてちょうどワークＴの最下点に均等に圧縮空気を噴出できるように、エアノズルＡＮはＹ方向に位置を移動できるように構成することが望ましい。薄いフィルム状のワークＴでも、フィルム状のワークＴの弛みがきれいなＵ字形となるとともに必要な張力を与えることができ、さらに以下に説明するセンサなどによって弛み量を正確に観察できる。
【００４６】
図３（ａ）に示すように、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂの下には、一対のセンサプレート２６が配置されている。センサプレート２６はフィルム状のワークＴの弛み状態を確認するため高さ方向（Ｚ方向）に少なくとも４つの光電センサ（Ｓ１〜Ｓ４）が配置されており、一方が発光型のセンサであり他方が受光型のセンサである。これらの光電センサ（Ｓ１〜Ｓ４）はフィルム状のワークＴの弛み状態を観察している。
【００４７】
一番上の光電センサＳ１は、フィルム状のワークＴの弛みが少なくなり、これ以上弛みが少なくとなると搬送部ＦＥの動作が停止する。また、一番下の光電センサＳ４は、フィルム状のワークＴの弛みが多くなり、これ以上弛みが多くなると搬送部ＦＥの動作が停止する。光電センサＳ２は、フィルム状のワークＴの弛みが少なくなりつつあることを検出する。また、光電センサＳ３は、フィルム状のワークＴの弛みが多くなりつつあることを検出する。フィルム状のワークＴの弛み量が観察できるものであればセンサの種類は問わない。
【００４８】
図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、ガイドローラ３２ａとガイドローラ３２ｂとから弛んだワークＴの最下点で、且つワークＴの両側に第１回転ガイド２１が配置されている。第１回転ガイド２１のワークＴの内側の最外周は、ワークＴがガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂより外側にはみ出ないように、ガイドローラの端部より内側に配置されている。このため、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂにフランジなどがなくても、ワークＴは第１回転ガイド２１の最外周の内側に規制されている。またこの第１回転ガイド２１は、ワークＴの両端部から数ｍｍ離れて配置されている。第１張力調整領域３１で正常にフィルム状のワークＴが弛んでいる場合には、ワークＴの端部は第１回転ガイド２１に接触することはない。
【００４９】
第１回転ガイド２１は弛んだワークＴの最下点から垂直に伸び、第１回転ガイド２１の上端は前述の光電センサＳ１まで伸びており、下端は前述の光電センサＳ４まで伸びている。ワークＴの最下点では、ワークＴが送り出される方向と第１回転ガイド２１の回転方向とがほぼ一致している。第１回転ガイド２１は、直径φＬ１（例えばφ２２ｍｍ）の樹脂若しくは金属製の中空ローラ２１Ｒを直径φＬ２（例えばφ１５ｍｍ）の回転軸２２に結合した構造になっている。この中空ローラ２１Ｒと回転軸２２との間には、中空ローラ２１Ｒがよどみなく回転するように樹脂もしくは金属のブッシュを挿入しておいてもよい。この第１回転ガイド２１の両回転軸２２はガイド支持フレーム２８で支えられている。
【００５０】
ガイド支持フレーム２８には調整孔２８ａが形成されており、この調整孔２８ａに第１回転ガイド２１の回転軸２２が嵌め込まれている。この調整孔２８ａはワークＴの幅方向（Ｘ方向）に長孔に形成されている。つまり、ワークＴの幅に合わせて第１回転ガイド２１が調整可能となっており、調整後に、ボルトＢＴによってガイド支持フレーム２８と回転軸２２とが固定される。調整孔２８ａとボルトＢＴとによってガイド支持フレーム２８の位置を手動で調整するのではなく、モータとリニアガイドによって電動で位置調整できるようにしてもよい。
【００５１】
本実施形態では中空ローラ２１Ｒと回転軸２２との間に回転しやすいようにブッシュを挿入したが、中空ローラ２１Ｒと回転軸２２とを一体の構造にしても良い。この場合には、回転軸２２とボルトＢＴとの間にベアリング又はブッシュなどの回転機構を設ける必要がある。また、中空ローラ２１Ｒは所定の固定長さであってもよいが、中空ローラ２１Ｒが二重又は三重になっており高さ方向（Ｚ方向）に調整できるような例えば多重筒状の構造としておいてもよい。
【００５２】
≪張力弛緩領域における回転ガイドの調整≫
搬送部ＦＥに装着するワークＴの幅に応じて、回転ガイド２１がガイド支持フレーム２８の長孔の調整孔２８ａに沿ってボルトＢＴで仮固定される。この一対の回転ガイド２１の幅（Ｘ方向）は、搬送するワークＴの幅より若干広めに調整されている。その後、ワークＴがＵ字型になるように自重で弛ませる。この自重でＵ字型に弛んだ状態で、ワークＴが一対の回転ガイド２１の間に配置されていることが確認されたら、仮固定した回転ガイド２１がボルトＢＴで完全に固定される。次にエアノズルＡＮがワークＴは最下点に向けて圧縮空気を噴出し、フィルム状のワークＴに所定の張力を加える。この状態でフィルム状のワークＴの最下点が光電センサＳ２と光電センサＳ４との間になるように、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂを回転させてワークＴの弛み量を調整する。その後、搬送部ＦＥ及び露光部ＥＸの動作が開始される。
【００５３】
＜露光部ＥＸおよび搬送部ＦＥの動作＞
再び図２を使って露光部ＥＸおよび搬送部ＦＥの動作を説明する。供給リール２から送り出されたフィルム状のワークＴは、右斜め下方の第１張力調整領域３１に搬送される。フィルム状のワークＴは、第１張力調整領域３１ではガイドローラ３２ａ，３２ｂによって張力が調整されて、ステージガイドローラ３４ａに向かう。ステージガイドローラ３４ａ，３４ｂがフィルム状のワークＴを保持する位置を調整し、露光ステージ１４上でカメラ１５が１ブロックのワークＴの位置をアライメントする。
【００５４】
露光する１ブロックごとの搬送・停止を繰り返すと、搬送度合いが少しずつ変化してカメラ１５の視野を外れてワークＴが搬送される問題が生じることがあるが、第１張力調整領域３１でフィルム状のワークＴの張力を調整することで、ワークＴの送り方向の位置ずれを解消できる。また、ワークＴの送り方向だけでなくワークＴの幅方向にも位置がずれてくるが、ワークＴの幅方向の位置ずれは、一対の回転ガイド２１で所定範囲に規制することができる。つまり、ワークＴが幅方向に位置ずれして蛇行したりした場合にワークＴが回転ガイド２１に接触すると、回転ガイド２１の中空ローラ２１Ｒは搬送方向に回転してワークＴの位置を規制する。ワークＴが回転ガイド２１に接触した場合に回転ガイド２１が回転するためワークＴの端部が損傷することがなく、またワークＴの片側の端部が金属箱などの固定物に接する際の片側の端部のみに生じる摩擦などがなくなるためのワークＴの張力が案定する。従って、露光部ＥＸに搬送されまでにフィルム状のワークＴの張力の不均衡を防止することができる。
【００５５】
そして、フィルム状のワークＴは、露光部ＥＸの露光ステージ１４で一時的に真空吸着されて固定され、投影光学系１３から露光光を照射される。これにより、フィルム状のワークＴの露光が完了する。そして、露光処理がなされたフィルム状のワークＴは、次のフィルム状のワークの露光処理に影響しない位置まで搬送される。
【００５６】
続けて、フィルム状のワークＴは、下側のステージガイドローラ３４ｂとガイドローラ３６ａに案内されることで、左斜め上方向に搬送方向が変換され、第２張力調整領域３３に搬送される。フィルム状のワークＴは、第２張力調整領域３３で保護シートＳときれいに重なり合うように調整されてから巻取リール５に巻き取られる。
【００５７】
フィルム状のワークＴの張力は、露光処理でフィルム状のワークＴの位置を制御されたり、フィルム状のワークＴ間に保護シートＳを介装したりすることで、不均一になるが、本実施形態では、第２張力調整領域３３で、フィルム状のワークＴの張力が調整されているので、フィルム状のワークＴの巻取りを安定して行うことができる。また、これにより、巻取リール５での巻姿を楕円状ではなく、円形にすることができる。
【００５８】
一方、供給リール２から送り出された保護シートＳは第３張力調整領域４１に搬送される。保護シートＳは、第３張力調整領域４１でガイドローラ４２ａ，４２ｂによってその張力を調整されてから巻取リール５に向かう。幅方向の位置が調整された保護シートＳは、フィルム状のワークＴ間に介装されるように、フィルム状のワークＴとともに巻取リール５に巻き取られる。このようにして、フィルム状のワークＴと保護シートＳとが均一な張力の下で巻取リール５に巻き取られる。これにより、両者の巻取りバランスを良好に保持することができる。
【００５９】
保護シートＳを送り出すときに保護シートＳに張力を強くかけると、肝心のフィルム状のワークＴの送り出し量に影響し、露光処理後のフィルム状のワークＴを安定して巻き取ることができなくなる。しかし、本実施形態では、第３張力調整領域４１でフィルム状のワークＴの張力を調整するので、巻取リール５の巻取り動作に影響を与えないようにすることができる。
【００６０】
フィルム状のワークＴは、露光部ＥＸに搬送される前に、第１張力調整領域３１により張力を調整されているため、品質の高い露光処理を行うことができ、品質の高い製品を安定して製造することができる。また、第２張力調整領域３３と第３張力調整領域４１により、均一な張力に調整されたフィルム状のワークＴと保護シートＳが、巻取リール５に巻き取られるため、安定した張力の下で、両者の巻取りバランスを良好にすることができる。また、フィルム状のワークＴと保護シートＳとが幅方向にきれいに一致して巻き取ることができる。
【００６１】
＜第２実施形態＞
図４は、フィルム状のワーク搬送系３０が供給リール２から露光部ＥＸを経由して巻取リール５に至るフィルム状のワークＴを搬送する系を示した図である。第１実施形態と同じ部材には同じ符号を付し、第１実施形態と異なる箇所を説明する。
【００６２】
第１張力調整領域３１には、一対のガイドローラ３２ａ，３２ｂの中間に回転軸が垂直方向に伸びる第４回転ガイド６１が設けられている。第４回転ガイド６１の回転軸はガイドローラ３２ａ，３２ｂとワークＴの最下点との中間に配置されている。第４回転ガイド６１について詳細は後述する。
【００６３】
図４に示すように、第２張力調整領域３３は、第１張力調整領域３１の下方に配置されており、一対のガイドローラ３６ａ，３６ｂの間に設けられたフィルム状のワークＴの張力を調整する。第２張力調整領域３３には、一対のガイドローラ３６ａ，３６ｂの中間に回転軸が垂直方向に伸びる第５回転ガイド６３が設けられている。第５回転ガイド６３の回転軸はガイドローラ３６ａ，３６ｂとワークＴの最下点との中間に配置されている。
【００６４】
≪保護シート搬送系４０≫
【００６５】
第３張力調整領域４１には、一対のガイドローラ４２ａ，４２ｂの中間に回転軸が垂直方向に伸びる第６回転ガイド６５が設けられている。第６回転ガイド６５の回転軸もガイドローラ４２ａ，４２ｂとワークＴの最下点との中間に配置されている。第６回転ガイド６５も第４回転ガイド６１と同じ構成であるが、保護シートＳを長めに弛ませるために第６回転ガイド６５の軸長さが長くなっている。
【００６６】
≪第２実施形態の張力弛緩領域≫
図５は、第２実施形態に係る第１張力調整領域３１を示す概略図である。図５（ａ）はその正面図であり、（ｂ）は断面図である。
第１張力調整領域３１、第２張力調整領域３３及び第３張力調整領域４１における構造は全く相似であるため、第２張力調整領域３３及び第３張力調整領域４１の説明を割愛する。
【００６７】
図５（ａ）に示すように、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂの間において、フィルム状のワークＴは自重でＵ字形に弛ませてある。ガイドローラ３２ａとガイドローラ３２ｂとの水平方向（Ｙ方向）の中央付近にフィルム状のワークＴは最下点がくる。ガイドローラ３２ｂの高さが、ガイドローラ３２ａの高さよりも多少低くてもよい。
【００６８】
また、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂは同一直径でありローラの両側にフランジなどを形成する必要はない。ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂはステッピングモータなど回転量を制御できるモータ３２Ｍに接続されており、不図示のベアリングなどを介して回転する。
【００６９】
第１張力調整領域３１にはエアノズルＡＮが配置されており、エアノズルＡＮはちょうどフィルム状のワークＴは最下点に向けて圧縮空気を噴出できる位置に配置されている。エアノズルＡＮは１本でも複数本でもよい。
【００７０】
図５（ａ）に示すように、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂの下には、一対のセンサプレート２６が配置されている。センサプレート２６はフィルム状のワークＴの弛み状態を確認するため高さ方向（Ｚ方向）に少なくとも４つの光電センサ（Ｓ１〜Ｓ４）が配置されている。光電センサＳは第１実施形態と同じようにフィルム状のワークＴの弛み量が観察できる。
【００７１】
図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、ガイドローラ３２ａ又はガイドローラ３２ｂからワークＴの最下点までの途中で且つワークＴの両側に第４回転ガイド６１が配置されている。第４回転ガイド６１のワークＴの内側の最外周は、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂの端部より内側に配置されている。このため、ガイドローラ３２ａ及びガイドローラ３２ｂにフランジなどがなくても、ワークＴは第４回転ガイド６１の最外周の内側に規制されている。またこの第４回転ガイド６１は、ワークＴの両端部から数ｍｍ離れて配置されている。第１張力調整領域３１で正常にフィルム状のワークＴが弛んでいる場合には、ワークＴの端部は第４回転ガイド６１に接触することはない。
【００７２】
第４回転ガイド６１の回転軸は、ガイドローラ３２ａ又はガイドローラ３２ｂからワークＴの最下点までに弛んでいるワークＴと交差するように伸びている。このため、第４回転ガイド６１の回転軸は水平面から約１０度から３０度ぐらいまで上方に傾いた角度に伸びている。そのため中空ローラ６１Ｒの回転する方向にワークＴが送り出される。
【００７３】
また、ガイドローラ３２ａによるワークＴの送り量が少なくなったりすると弛み量が少なくなり第４回点ガイド６１から外れてしまうおそれがある。このため、第４回転ガイド６１の軸方向の長さは上方にいくに従って長くして、下方から上方までの各第４回点ガイド６１はほぼガイドローラ３２ａとガイドローラ３２ｂとの間まで伸びている。なお、光電センサＳ２と光電センサＳ３との間隔を短くし、ワークＴの弛み量がほぼ一定にできるならば、第４回転ガイド６１の軸方向の長さはすべて同じ長さであっても問題ない。
【００７４】
図５（ａ）では片側に第４回転ガイド６１が同じ角度で４列並んでいるが、５列でも３列でもよく、また各列の回転軸が異なる角度であってもよい。第４回転ガイド６１は、樹脂若しくは金属製の中空ローラ６１Ｒを回転軸６２に結合した構造になっている。この中空ローラ６１Ｒと回転軸６２との間には、中空ローラ６１Ｒがよどみなく回転するように樹脂もしくは金属のブッシュを挿入しておいてもよい。この第４回転ガイド６１の回転軸６２はガイド支持フレーム６８で支えられている。
【００７５】
ガイド支持フレーム６８には不図示の調整孔が形成されており、この調整孔に第４回転ガイド６１の回転軸６２が嵌め込まれている。そして、ワークＴの幅に合わせて第４回転ガイド６１が調整可能となっており、調整後に、ボルトＢＴによってガイド支持フレーム６８と回転軸６２とが固定される。ボルトではなく、モータとリニアガイドによって電動で位置調整できるようにしてもよい。
【００７６】
≪第３実施形態の張力弛緩領域≫
図６Ａ及び図６Ｂは、第３実施形態に係る第１張力調整領域３１を示す概略図である。図６Ａ（ａ）はその正面図であり、（ｂ）は断面図であり、図６Ｂ（ｃ）は側面図である。
第１張力調整領域３１、第２張力調整領域３３及び第３張力調整領域４１における構造は全く相似であるため、第２張力調整領域３３及び第３張力調整領域４１の説明を割愛する。また、第２実施形態と異なる点を説明する。
【００７７】
図６Ａ（ｂ）及び図６Ｂ（ｃ）に示すように、ガイドローラ３２ｃ及びガイドローラ３２ｄはＸ方向の一端側にフランジ３２ｆを形成している。第３実施形態では第７回転ガイド７１が片側にのみ配置されているので、第７回転ガイド７１が配置されていない片側にフランジ３２ｆを形成することで、フランジ３２ｆがワークＴを規制している。他方側には固定フレーム７７が配置されている。
【００７８】
図６Ａに示すように、ガイドローラ３２ｃ又はガイドローラ３２ｄからワークＴの最下点までの途中に第７回転ガイド７１が配置されている。図６Ｂに示すように、第７回転ガイド７１のワークＴの内側の最外周は、ワークＴの片側の端部から内側に数ｍｍ離れて配置されている。
【００７９】
図６Ａでは、第７回転ガイド７１の軸方向は、ガイドローラ３２ｃ又はガイドローラ３２ｄからワークＴの最下点までに弛んでいるワークＴと交差するように水平に伸びている。つまり、第７回転ガイド７１の回転軸７２は水平面であり、この回転軸７２は例えば直径φ１０ｍｍである。第７回転ガイド７１の中空ローラ７１Ｒは例えば直径φ２２ｍｍである。この中空ローラ７１Ｒは樹脂もしくは摺動抵抗がなく且つ磨耗しにくいクロム膜等をコートされたステンレス鋼である。
【００８０】
第７回転ガイド７１の中央部は、中空ローラ７１Ｒの直径がφ２０ｍｍと細くしたり又は回転軸７２のみが配置されるようにしたりする。なぜならワークＴの最下点付近はワークＴがほぼ水平方向に送り出されるため、中空ローラ７１Ｒの回転方向と直交してしまい摩擦がワークＴの端面に生じるからである。
φ１０ｍｍの回転軸７２と外径φ２２ｍｍの中空ローラ７１Ｒとの間にはベアリングを介して自由に回転できる構造としても良い。また回転軸７２とガイド支持フレーム７８との間にベアリングを装着しても構わない。
【００８１】
図６Ｃに示すように、ガイド支持フレーム７８は４本のロッド７９（図６Ｂでは２本のロッドが見える）に接続されており、４本のロッド７９の他方側は固定フレーム７７に固定されている。４本のロッド７９にはネジ部が長い調整ボルトＡＢＴとナットＮＴが取り付けられており、調整ボルトＡＢＴをＸ方向に回転させることでガイド支持フレーム７８の位置が移動する。その後ナットＮＴで締めることにより、ガイド支持フレーム７８の位置を固定する。このようにして、ワークＴの幅に合わせて第７回転ガイド７１が調整可能となっている。もちろん電動で位置調整できるようにしてもよい。
【００８２】
図７（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態の変形例に係る搬送装置および露光装置の一部を示す概略図である。第１実施形態から第３実施形態では、搬送部ＦＥにおいて供給リール２と巻取リール５をそれぞれ時計回りに回転させる構成としたが、各リールの回転方向は限定されるものではない。
【００８３】
図７（ａ）に示すように、搬送部ＦＥ１において、供給リール２Ａを時計回り、巻取リール５Ａを反時計回りに回転させる構成してもよい。また、図７（ｂ）に示すように、搬送部ＦＥ２において、供給リール２Ｂおよび巻取リール５Ｂをともに反時計回りに回転させる構成としてもよい。さらに、図７（ｃ）に示すように、搬送部ＦＥ３において、供給リール２Ｃを反時計回り、巻取リール５Ｃを時計回りに回転させる構成としてもよい。
【００８４】
以上、本実施形態に係る搬送部ＦＥについて説明したが、本発明は実施形態に限定されず種々の形態で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】第１実施形態に係る露光装置を示す全体斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る搬送部ＦＥを示す概略図である。
【図３】（ａ）は、第１実施形態に係る第１張力調整領域３１を示す正面図であり、（ｂ）はその断面図である。
【図４】第２実施形態に係る搬送部ＦＥを示す概略図である。
【図５】（ａ）は、第２実施形態に係る第１張力調整領域３１を示す正面図であり、（ｂ）はその断面図である。
【図６Ａ】（ａ）は、第３実施形態に係る第１張力調整領域３１を示す正面図であり、（ｂ）はその断面図である。
【図６Ｂ】第３実施形態に係る第１張力調整領域３１を示す側面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、第１実施形態の変形例に係る搬送部を示す概略図である。
【符号の説明】
【００８６】
２，２Ａ，２Ｂ、２Ｃ    供給リール
５，５Ａ，５Ｂ、５Ｃ    巻取リール
２１，２３，２５    第１回転ガイド，第２回転ガイド，第３回転ガイド
２１Ｒ，６１Ｒ，７１Ｒ，中空ローラ
２２，６２，７２  回転軸
３０        フィルム状のワーク搬送系
３１        第１張力調整領域
３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ  ガイドローラ
３２ｆ  フランジ
３４ａ，３２ｂ  ステージガイドローラ
３３    第２張力調整領域
３６ａ，３６ｂ  ガイドローラ
４０      保護シート搬送系
４１    第３張力調整領域
４２ａ，４２ｂ  ガイドローラ
５１ａ，５１ｂ  第１、第２センサ
６１，６３，６５    第４回転ガイド，第５回転ガイド，第６回転ガイド
７１  第７回転ガイド
ＢＴ      ボルト
ＥＸ      露光部
ＦＥ      搬送部
Ｓ      保護シート
Ｔ      フィルム状のワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
2009149427.tif 000009
【図７】
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