(57)【要約】【課題】画素周辺記録型素子（ＩＳＩＳ）から読み出した画素の並び替えを不要にする。【解決手段】縦方向にＮ周期、横方向にＭ周期配置されたＮ×Ｍ個のフォトダイオードと、前記横方向の１周期毎に縦に並んだＮ個のフォトダイオードとｖ段間隔で直接もしくは間接的に接続されたｖ×Ｎ段以上の垂直転送路をＭ本と、前記Ｍ本の垂直転送路のそれぞれの一端とｈ段間隔で接続されたｈ×Ｍ段以上の水平転送路と、を備えたＩＳＩＳ＿ＣＣＤから電荷を読み出す際に、前記Ｍ本の垂直転送路はそれぞれ、接続されたフォトダイオードから電荷を受け入れるたびに、ｖ段転送動作を行うとともに１個のフォトダイオードに対応する撮像電荷を前記水平転送路に移送し、その後、前記水平転送路が、移送された前記撮像電荷にｈ段の間隔を保ったままｈ×Ｍ段以上の転送を行ってライン読み出しを行うようにする。【選択図】  図６
2009218858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦方向にＮ周期、横方向にＭ周期配置されたＮ×Ｍ個のフォトダイオードと、前記横方向の１周期毎に縦に並んだＮ個のフォトダイオードとｖ（ｖは２以上の整数）段間隔で直接もしくは間接的に接続されたｖ×Ｎ段以上の垂直転送路をＭ本と、前記Ｍ本の垂直転送路のそれぞれの一端とｈ（ｈは２以上の整数）段間隔で接続されたｈ×Ｍ段以上の水平転送路と、を備え、当該水平転送路を通して前記複数のフォトダイオードからの電荷を読み出すＩＳＩＳ＿ＣＣＤを用いた画素周辺記録型撮像装置であって、
前記水平転送路から、前記配置の縦方向の１周期毎に、横に並んだＭ個のフォトダイオードの電荷を、当該横の並びの順番を保って読み出すことを特徴とする画素周辺記録型撮像装置。
【請求項２】
前記Ｍ本の垂直転送路はそれぞれ、接続されたフォトダイオードから電荷を受け入れるたびに、ｖ段転送動作を行うとともに、１個のフォトダイオードに対応する撮像電荷を前記水平転送路に移送し、
その後前記水平転送路が、移送された前記撮像電荷にｈ段の間隔を保ったままｈ×Ｍ段以上の転送を行ってライン読み出しを行うことを特長とする請求項１に記載の画素周辺記録型撮像装置。
【請求項３】
前記ｈ段間隔の撮像電荷の間の段で転送された電荷の信号を用いて黒信号を生成し、前記撮像電荷から当該黒信号を減算する直流再生手段を備えたことを特長とする請求項２に記載の画素周辺記録型撮像装置。
【請求項４】
フォトダイオードの配列が横方向にＬ×Ｍ周期の周期性を有するように、前記Ｍ周期の横方向の配列を更にＬ周期設け、Ｌ個の前記水平転送路から同時に並列に読み出すことを特徴とする請求項２に記載の画素周辺記録型撮像装置。
【請求項５】
前記Ｎ個のフォトダイオードと前記垂直転送路との間にｓ（ｓは２以上の整数）段のメモリ用転送路をそれぞれ設け、前記メモリ用転送路を垂直転送路よりも高速で転送動作させて、ｓフレームの高速動画撮影を行うことを特徴とする請求項２に記載の画素周辺記録型撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画素周辺記録型撮像装置に関し、特にＩＳＩＳ（In-situ
Storage Image Sensor）型ＣＣＤ（以下、ISIS_CCDと称す）を用いた高速度撮影カメラ等の画素周辺記録型撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術として、特許文献１、２のようなISIS_CCDや、非特許文献１のようなISIS_CCDを用いた高速度撮影カメラが知られている。非特許文献１のカメラは、通常の照明の下で、１００万フレーム／秒という超高速で１４４フレームの動画撮影を行うことができるものである。
【０００３】
図１及び図２は、ISIS_CCDを使用した従来の単板カラーの高速度カメラにおける画素読み出しを説明する模式図である。
ISIS_CCDには、フォトダイオードが縦方向にN個、横方向にM個周期的に並べて配置されている。各フォトダイオードには単板カラー用の色フィルターがＣＣＤ前面に取付けられているので、各画素は規則的（例えばベイヤ配列）に所定の色信号を検出するようになっている。
【０００４】
ここで、最上行（第Ｎ行）に注目すると、各フォトダイオードからは、ｓ段の斜め転送路が伸び、更にその先（出力側）にｖ段分の垂直転送路が結合している。
このような構造が行数だけ縦方向に繰り返されており、ｖ段の垂直転送路は実際にはＮ×ｖ段の転送路として連続的に構成され、ｖ段単位で各列の斜め転送路からの電荷が合流できるようになっている。
転送路の各段には独立した電荷を保持できるので、ｖ段分の垂直転送路にまで電荷を格納することで、一度の高速度撮影で連続撮影できるフレーム数をｓ＋ｖと多くできる。このｓ＋ｖ段分の転送路を以下、メモリ兼転送路と称す。
【０００５】
図１は、高速度撮影が終了した時点の状態を例示しており、各フォトダイオードでフレーム周期で光電変換された信号電荷が、メモリ兼転送路の各段に格納されている。つまり、転送路にはその段数分のフレーム毎の情報を持った電荷が並んでいる状態となっている。
ここで、最下行（第１行）に注目すると、左端の緑の画素から読み出された電荷が、第１列垂直転送路にG110，G111，G112，…，G11vの順番に格納されている。同様に２列目の垂直転送路にはR120〜R12v、Ｍ列目の垂直転送路にはG1M0〜G1Mvが順番に格納されている。なお、これらの信号電荷の表記は、１文字目が画素の色、２文字目が画素の垂直方向のインデックス（１〜Ｎ）、３文字目が画素の水平方向のインデックス（１〜Ｎ）、４文字目が転送路での段数のインデックス（斜め：０〜Ｓ、垂直：０〜ｖ、水平：０〜ｈ）を示す。
Ｍ本の垂直転送路のそれぞれの最下部は、ｈ×Ｍ段の水平転送路とｈ段間隔で結合されている。水平転送路の先にはｅ段の空転送路が接続され、更にその先にＦＤＡ（Floating Diffusion Amplifier）が接続されている。
【０００６】
図２は、垂直転送路に格納した信号電荷を水平転送路に移動させている状態を示している。信号電荷は、垂直転送路から水平転送路にｈ段数分だけ電荷を転送されている。この後、水平転送路と空転送路を（ｈ×Ｍ）＋ｅ回転送動作させれば、空転送路のｅ段を通ってＦＤＡ経由で電気信号として出力される。
つまり水平転送路は、ｈフレーム分の信号電荷を一度に転送し、それをＦＤＡにより電気信号として出力している。この電気信号は、空間的に隣り合うフォトダイオードから生成された電荷が、時間的に隣り合うような信号になっていない。したがって、出力後に時間順序の再配列が必要となる。
【０００７】
図３は、図１及び図２で説明した画素読み出しのタイミングチャートである。図中のＰＧ１，ＰＧ２は露光、Ａ１〜Ａ４は斜め転送、Ｂ１〜Ｂ４は垂直転送（Ｂ１，Ｂ３はＡ１，Ａ３と兼用または独立）、Ｃ１〜Ｃ４は水平転送を行うパルスである。図８におけるＴＧは、垂直転送路から水平転送路に電荷を転送するときの移送ゲートパルスである。
通常ＴＧはＢ４パルスと共通にできるので、本図では省略してある。
【０００８】
図３において、録画期間内で録画が完了し、読出し期間で読出しを行う。
［ステップＳ１０１］
まず録画期間において録画を開始すると、ＰＧパルスによりフォトダイオードで光電変換した電荷を斜め転送路に取り出すとともに、斜め転送パルス（Ａパルス）により順次転送する。ｓ回の露出及び転送により斜め転送路の最後段まで電荷が溜まると、次の電荷がファトダイオードから転送された時点で最後段の電荷はＣＣＤの基板にはき捨てられる。
取り込み開始となる外部トリガ信号（図示せず）が入力されるまでこの録画状態が続く。これにより直前のｓフレーム分の電荷が常に蓄えらた状態となる。外部トリガ信号が与えられた後も、所定のフレーム数に相当する段数だけ上記録画状態の動作を続ける。
【０００９】
［ステップＳ１０２］
外部トリガ信号から所定のフレーム数経過すると、Ａパルスと同じ周波数の垂直転送パルス（Ｂパルス）がｖ回与えられ、斜め転送路からの電荷ははき捨てられずに垂直転送路に導かれ、垂直転送路のｖ段分だけ電荷を転送し、録画期間は終了する。これにより、垂直転送路はｖ×Ｎ個の電荷で満たされる。図１は、この時点の状態に相当する。
【００１０】
［ステップＳ１０３］
次の読出し期間では、まず、Ｂ１〜Ｂ４を１パルス駆動する毎にＣ１〜Ｃ４及びＴＧを１パルス駆動することで、図１の垂直転送路に格納された電荷を１段づつ水平転送路に送り出す動作を行う。この動作をｈ回繰り返すことでｈ段分の電荷を水平転送路に転送する。この間、ＰＧパルスや、Ａ２、Ａ４パルスは停止している。図２は、このｈ段垂直水平転送が終わった状態に相当する。
【００１１】
［ステップＳ１０４］
次に、Ｃ１〜Ｃ４のパルスを空転送路の分を含め、（ｈ×Ｍ）＋ｅ回駆動し、水平転送路内の電荷をＦＤＡを経由して外部に出力する。
【００１２】
［ステップＳ１０５］
ステップＳ１０３とＳ１０４を、垂直転送路のｖ×Ｎ段分の電荷が全て転送しきるまで繰り返す。
【００１３】
［ステップＳ１０６］
上記ステップＳ１０５により垂直転送路が空になったら、再度ステップＳ１０２と同様の動作を行い、Ａパルス及びＢパルスをｖ回駆動して、斜め転送路に残っている電荷を垂直転送路にｖ段分転送する。そしてステップＳ１０４からＳ１０５と同様の動作を行う。
【００１４】
［ステップＳ１０７］
斜め転送路が空になるまで、上記ステップＳ１０６を繰り返す。
【００１５】
図４は、従来の画素周辺記録型撮像装置の構成図である。
１は、撮像素子であるISIS_CCDである。
２は、ISIS_CCD１に上述の各パルスを与えるタイミングジェネレータである。
３は、ISIS_CCD１のＦＤＡからの信号を相関２重サンプリングし、所定の増幅率で増幅するＣＤＳ（Correlated Double Sampling）アンプである。
４は、ＣＤＳアンプ３からの信号を量子化するＡＤＣ（Analog
to Digital Converter）である。
５は、ISIS_CCD１から時間及び空間的に分断されて読み出された信号を、フレーム単位の信号に並べ替える再配列処理部である。
６は、再配列処理部５により再配列される途中の信号や、再配列後のフレーム画像を記憶するＳＤＲＡＭ（Synchronous Dynamic Random Access Memory）である。
【特許文献１】米国特許第５３５５１６５号明細書
【特許文献２】特開２０００−１６５７５０号公報
【非特許文献１】北村和也、外１０名，「３０万画素超高速度高感度カメラ」，高速度撮影とフォトニクスに関する総合シンポジウム２００５，2-1（2005）、インターネット＜URL：http://mars.rist.u-tokai.ac.jp/2-1.pdf＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
上述したように、ISIS_CCDは垂直および水平転送路の段数が固定であるので、その段数分の電荷で転送路が一杯になると、一度ISIS_CCDの外部に出力しなければならない。この時の画素信号の並びはフレーム毎の並びである。
【００１７】
ところが、ＦＤＡより出力される電荷は隣接する電荷の影響を受け易く、特に水平転送路の最初の電荷（図１や図２のG110）はその前段の空転送路（電荷の無い状態）の影響で、ＦＤＡ出力時にレベルが下がり、黒っぽい映像信号となってしまう。また、最初の電荷以外でも、例えば転送する段階で、R120はG11hの影響で２行目１段目の最初のフレームに１行目ｈ段目のｈフレーム目の情報が混入すると、フレーム間クロストークが発生する。このように時間または空間的に隣接しない（相関性の低い）クロストークは、信号処理を用いても除去が困難である。
【００１８】
ＣＣＤにおいて一般的な現象として、水平転送路からＦＤＡを経由して出力される最初の画素に相当する電気信号が、それに続く信号よりもレベルが下がるという現象が水平転送毎に起こる。これは最初の電荷が転送される転送路が空の状態、つまり黒信号であるので、その影響でレベルがさがるというものである。
水平転送路を複数に分割して並列に読み出し動作するようにしたISIS_CCDの場合、読み出すチャネル毎にレベル低下が点状ノイズとして現れ、後段での分離が難しい。
【００１９】
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、同一フレーム情報でない電荷を隣接させて転送することによって起こる、再配列処理や、フレーム間クロストーク、転送初期のレベル低下の影響などを排除した画素周辺記録型撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
縦方向にＮ周期、横方向にＭ周期配置されたＮ×Ｍ個のフォトダイオードと、前記横方向の１周期毎に縦に並んだＮ個のフォトダイオードとｖ（ｖは２以上の整数）段間隔で直接もしくは間接的に接続されたｖ×Ｎ段以上の垂直転送路をＭ本と、前記Ｍ本の垂直転送路のそれぞれの一端とｈ（ｈは２以上の整数）段間隔で接続されたｈ×Ｍ段以上の水平転送路と、を備え、当該水平転送路を通して前記複数のフォトダイオードからの電荷を読み出すＩＳＩＳ＿ＣＣＤを用いた画素周辺記録型撮像装置であって、
前記水平転送路から、前記配置の縦方向の１周期毎に、横に並んだＭ個のフォトダイオードの電荷を、当該横の並びの順番を保って読み出すことを特徴とする画素周辺記録型撮像装置。
【００２１】
前記Ｍ本の垂直転送路はそれぞれ、接続されたフォトダイオードから電荷を受け入れるたびに、ｖ段転送動作を行うとともに、１個のフォトダイオードに対応する撮像電荷を前記水平転送路に移送し、
その後前記水平転送路が、移送された前記撮像電荷にｈ段の間隔を保ったままｈ×Ｍ段以上の転送を行ってライン読み出しを行うことを特長とする請求項１に記載の画素周辺記録型撮像装置。
【００２２】
前記ｈ段間隔の撮像電荷の間の段で転送された電荷の信号を用いて黒信号を生成し、前記撮像電荷から当該黒信号を減算する直流再生手段を備えたことを特長とする請求項２に記載の画素周辺記録型撮像装置。
【００２３】
フォトダイオードの配列が横方向にＬ×Ｍ周期の周期性を有するように、前記Ｍ周期の横方向の配列を更にＬ周期設け、Ｌ個の前記水平転送路から同時に並列に読み出すことを特徴とする請求項２に記載の画素周辺記録型撮像装置。
【００２４】
前記Ｎ個のフォトダイオードと前記垂直転送路との間にｓ（ｓは２以上の整数）段のメモリ用転送路をそれぞれ設け、前記メモリ用転送路を垂直転送路よりも高速で転送動作させて、ｓフレームの高速動画撮影を行うことを特徴とする請求項２に記載の画素周辺記録型撮像装置。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、
１）ISIS_CCDから読み出した信号の再配列が不要となる。
２）フレーム間クロストークが発生しない。
３）水平転送の最初の信号のレベルが下がる点状ノイズが発生しない。
４）画素毎の転送による黒信号の変動を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図５及び図６は、本実施形態に係る高速度カメラにおける画素読み出しを説明する模式図であり、従来の模式図である図１及び図２にそれぞれ対応する。
【００２７】
図５は、撮影期間が終了した直後の状態を示しており、各フォトダイオードで光電変換された信号電荷が、メモリ兼転送路に格納された状態を示している。ただし、垂直転送路の全てではなく１段分の電荷のみ格納している点で、従来の図１と異なる。
この垂直転送路に格納された１段分の電荷は、各フォトダイオードで光電変換された１フレーム目の（最初の）信号電荷である。
【００２８】
図６は、図３の状態から垂直転送路をｖ段分転送動作させて、水平転送路に格納した状態を示している。この時、水平転送路に格納した電荷は、１フレーム目の信号電荷である。この状態では、水平転送路上の信号電荷は互いにｈ段離れているので、隣接電荷による影響がない。
また、水平転送路上の電荷は、空間的に隣合うフォトダイオードで光電変換した同一フレームの信号電荷であるので、ＦＤＡを経由して出力した場合に時間的順序の再配列を行う必要がない。
【００２９】
最初の水平転送は、１行目のフォトダイオードで光電変換された１フレーム目の信号電荷である。次に水平転送路で転送される電荷は、２行目のフォトダイオードで光電変換された１フレーム目に信号電荷である。同様に３行目、４行目、…、Ｎ行目と繰り返すことで、全画素の１フレーム目の信号が取り出せる。つまり、水平転送は水平方向に並ぶフォトダイオードを１ラインとした場合、ライン読み出しに相当する。
【００３０】
垂直転送路の電荷を全て出力したら、各段の斜め転送路にある電荷を１段だけ垂直転送路に転送する。この電荷は各フォトダイオードで光電変換された２フレーム目の信号電荷となる。以後同様に垂直、水平転送を行えば全フレームの信号が、ライン毎、フレーム毎に読み出せる。
【００３１】
以上のように水平転送路上の信号電荷は、水平転送路のｈ段分の間隔があるので、ＦＤＡを経由して電気信号として出力した後で、各信号の間にあるｈ−１個の電荷に相当する空の信号部分をサンプルすることで、黒信号の平均値を取得できる。この値と次にサンプルするフォトダイオードで光電変換した本来の電荷に相当する電気信号との差をとることで、転送における黒信号の変動を抑えることが可能となる。
【００３２】
図７は、本例の高速度カメラにおける画素読み出しのタイミングチャートである。録画期間内で録画が完了し、読出し期間で読出しを行う。
［ステップＳ２０１］
録画期間内では、まず、従来のステップＳ１０１と同じ動作を行う。
【００３３】
［ステップＳ２０２］
ステップＳ２０１の後、斜め転送と垂直転送を１回だけ行う。すなわちＳ１０２ではｖ回与えていたＡパルスとＢパルスを１回だけ与える。また、Ｂ４パルスと同波形のＴＧパルスも与える。図５は、この時点の状態に相当する。
【００３４】
［ステップＳ２０３］
読出し期間では、従来と同様に垂直転送パルスＢ１〜Ｂ４を１パルス駆動する毎に水平転送パルスＣ１〜Ｃ４（及びＴＧパルス）を１パルス駆動して、垂直転送路に格納された電荷を水平転送路に送る駆動を行う。ただし、与えるパルス数は、ｈ回ではなくｖ回である。またパルスの周波数が、録画期間（超高速撮影を想定）よりも低くなっている。
前述ように垂直転送路ｖ段の最初の１段目にしか信号電荷がないので、ｖ≧ｈの場合でも水平転送路にｖ段数の電荷転送を行っても、図６のように隣の列からの電荷に混ざることはなく、必ずｈ段分の間隔があく。つまり、ｖとｈの関係は任意に選べる。
【００３５】
［ステップＳ２０４］
ステップＳ２０３の後、ステップＳ１０４と同じ動作を行う。すなわち、Ｃ１〜Ｃ４のパルスを（ｈ×Ｍ）＋ｅ回駆動し、各列の水平転送路に転送されたＭ個の電荷をＦＤＡ経由で外部に出力する。
これにより、外部に出力した信号は、従来のように１ピクセル毎に電荷の信号が並んでいるのではなく、水平転送路のｈ段間隔おきに撮像した電荷の信号が現れる。撮像した電荷の信号の間にある空の部分は、後述するように黒信号として利用する。
【００３６】
［ステップＳ２０５］
ステップＳ２０３とＳ２０４を、垂直転送路上にあるＮ個の電荷が全て転送しきるまで繰り返す。
【００３７】
［ステップＳ２０６］
上記ステップＳ２０５により垂直転送路が空になったら、再度ステップＳ２０２と同様の動作を行い、各フォトダイオードにつながっている斜め転送路からＡ１〜Ａ４パルスを１回駆動して、空になった垂直転送路に残りの電荷を１段分転送する。このとき垂直転送路には同時にＮ行分の電荷が転送されたことになる。その後ステップＳ２０３からＳ２０５と同様の動作を行う。
【００３８】
［ステップＳ１０８］
斜め転送路が空になるまで、上記ステップＳ２０６を繰り返す。
【００３９】
なお、フレーム数が最長ｓ＋ｖに制限される超高速撮影（メモリ録画）ではなく、持続的な連続撮影を行う場合、上記ステップＳ２０１からＳ２０５までを繰り返せばよい。その際、Ｓ２０１ではＰＧパルスを１回、Ａパルスをｓ回与えるようにする。
【００４０】
図８は、ＴＧパルスを用いた方法による一例を示した画素読み出しのタイミングチャートである。
本例では、垂直転送路から水平転送路に電荷を転送するときのみＴＧパルスでゲートを開くようにしている。つまり、ＴＧパルスでゲートが開いたときだけ垂直転送路の電荷を水平転送路に転送するので、水平転送路はその電荷を出力するときのみ駆動させればよい。
【００４１】
したがって、図８は、ＴＧパルス波形、及びステップＳ２０３における水平転送パルス以外は、図７と同一である。
なお、ＴＧパルスを使用する場合であっても、水平転送パルスのＣ１〜Ｃ４は、図６と同様に与えてもよい。
本実施形態（図７や図８）では、超高速撮影で撮像したｓフレーム数の電荷を、垂直および水平転送路へ高速に転送する必要がないので、転送による信号劣化の少ない垂直転送路を容易に実現できる。
【００４２】
また、他の変形例として、水平転送時の電荷の間隔をｈ／ｎ（ｎは２以上の整数）とし、１回の水平転送でｎライン分の情報を転送するようにしてもよい。これは図７において、ステップＳ２０３の垂直から水平に電荷を転送するＢ１〜Ｂ４のパルス駆動をｖ×Ｎ回行う間に、水平転送パル駆動をｖ回行えば、水平転送路にはｈ／ｎ間隔で電荷が転送されることになる。
【００４３】
図９は、本実施形態に係る高速度カメラの構成図である。従来と同じ構成には同一の符号を付して説明を省略する。
タイミングジェネレータ２の代わりに、図７や図８に示したようなパルスを生成するタイミングジェネレータ２２を備えている。また再配列処理部５の代わりに、直流再生手段としての遅延器２３と加算器２４を新たに備えている。
なおＡＤＣ４は、従来と同様、水平パルスと同じサンプルレートでＡ／Ｄ変換を行う。
【００４４】
遅延器２３は、フォトダイオードで撮像された電荷が入っていないタイミングでＡ／Ｄ変換された１ないし複数の信号を記憶し、黒信号として出力する。この信号は、ｈサンプル間隔で現れる撮像電荷信号に対し、その近傍の１ないし複数の信号から生成され、その電荷信号に対する黒レベルを表している。例えば、撮像電荷信号の直前の複数の信号を算術平均して、黒信号を得ることができる。また、撮像電荷信号の直後の数サンプル（残像電荷などが含まれている）を加算して足しこめばリニアリティの改善が見込めるが、その際に用いる黒信号は、加算サンプル数に応じたゲインとする。
加算器２４は、ｈサンプル周期でＡＤＣから出力される撮像電荷信号から、遅延器２３が出力する黒信号を減算することで、本来の直流成分を再生する。
【００４５】
以上説明した実施形態では、水平転送路は１本のみ備えたが、例えば図５等の構成を更に横方向にＬ（Ｌは整数）回繰り返し、Ｌ本の水平転送路から並列読み出しするようにしてもよい。直流再生手段により、読み出し初期のレベル低下の影響を排除し、並列読み出しした画像を継ぎ目無く合成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】ISIS_CCDの従来の画素読み出し（撮影直後）を説明する図
【図２】ISIS_CCDの従来の画素読み出し（水平転送中）を説明する図
【図３】図１及び図２で説明した画素読み出しのタイミングチャート
【図４】従来の画素周辺記録型撮像装置の構成図
【図５】本発明の実施形態のISIS_CCDの画素読み出し（撮影直後）を説明する図
【図６】本発明の実施形態のISIS_CCDの画素読み出し（水平転送中）を説明する図
【図７】図５及び図６で説明した画素読み出しのタイミングチャート
【図８】他の実施形態に係る画素読み出しのタイミングチャート
【図９】本発明の実施形態に係る高速度カメラの構成図
【符号の説明】
【００４７】
１：ISIS_CCD、
２，２２：タイミングジェネレータ、
３：ＣＤＳアンプ、
４：ＡＤＣ、
５：再配列処理部、
６：ＳＤＲＡＭ、
２３：遅延器、２４：加算器。
【図１】
2009218858.tif 000003
【図２】
2009218858.tif 000004
【図３】
2009218858.tif 000005
【図４】
2009218858.tif 000006
【図５】
2009218858.tif 000007
【図６】
2009218858.tif 000008
【図７】
2009218858.tif 000009
【図８】
2009218858.tif 000010
【図９】
2009218858.tif 000011