(57)【要約】【課題】  屈折力を持つレンズを交換した際に発生する投影光学系の光学性能の変化を極力低減できる、レンズの交換方法を提供すること。【解決手段】  第１の投影光学系の屈折力を持つレンズの交換方法において、第１の投影光学系を通過した測定光の波面をその屈折力を持つレンズまたは原器レンズを取り付けて測定するステップと、第２の投影光学系を通過した測定光の波面を原器レンズまたは代替レンズを取り付けて測定するステップと、それらの測定結果に基いて代替レンズを加工するステップと、第１の投影光学系のその屈折力を持つレンズをその加工した代替レンズに交換するステップと、を設けた。【選択図】  図３
2009049192.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光光で照明された原版のパターンを基板に投影する投影光学系の、屈折力を持つ所定のレンズの交換方法であって、
第１の投影光学系に屈折力を持つ所定のレンズを取り付けて、その第１の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第１の測定結果を得るステップと、
前記第１の投影光学系に前記所定のレンズの原器レンズを取り付けて、その第１の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第２の測定結果を得るステップと、
露光装置本体に前記所定のレンズを取り付けた前記第１の投影光学系を搭載するステップと、
前記第１の投影光学系と同じ諸元を持つ第２の投影光学系に前記所定のレンズの代替レンズを取り付けて、その第２の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第３の測定結果を得るステップと、
前記第２の投影光学系に前記原器レンズを取り付けて、その第２の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第４の測定結果を得るステップと、
前記第１，第２の測定結果の差と前記第３，第４の測定結果の差との差に基いて、前記代替レンズを加工するステップと、
前記露光装置本体に搭載された前記第１の投影光学系から前記所定のレンズを取り外し、その第１の投影光学系にその加工された代替レンズを替わりに取り付けるステップと、
を有する
ことを特徴とする交換方法。
【請求項２】
前記最終レンズが取り付けられた前記第１の投影光学系を通過した測定光または前記露光光の波面を、その第１の投影光学系が前記露光装置本体に搭載された状態で測定し、第５の測定結果を得るステップを更に有し、
前記代替レンズを加工するステップにおいて、前記第１，第２の測定結果の差と前記第３，第４の測定結果の差との差および前記第５の測定結果に基いて、前記代替レンズを加工する
ことを特徴とする請求項１記載の交換方法。
【請求項３】
前記代替レンズが取り付けられた前記第１の投影光学系を通過した測定光または前記露光光の波面を、その第１の投影光学系が前記露光装置本体に搭載された状態で測定し、第６の測定結果を得るステップと、
前記第６の測定結果に基いて、前記代替レンズの位置を調整するステップと、
を更に有することを特徴とする請求項１または２記載の交換方法。
【請求項４】
所定のレンズ、前記原器レンズ、および前記代替レンズは、同じ形状であり、同じ材料からなり、
前記第１乃至第４の測定結果を得るステップにおいて、前記所定のレンズ，前記原器レンズ，および前記代替レンズの同じ領域を前記測定光が通過するように、前記測定光をそれぞれのレンズに入射させる
ことを特徴とする請求項１記載の交換方法。
【請求項５】
所定のレンズ、前記原器レンズ、および前記代替レンズは、同じ形状であり、同じ材料からなり、
前記第１乃至第５の測定結果を得るステップにおいて、前記所定のレンズ，前記原器レンズ，および前記代替レンズの同じ領域を前記測定光または前記露光光が通過するように、前記測定光または前記露光光をそれぞれのレンズに入射させる
ことを特徴とする請求項２記載の交換方法。
【請求項６】
前記測定光の波長は、前記露光光の波長と等しい
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の交換方法。
【請求項７】
前記露光装置は、液体を介して基板を露光する液浸露光装置であり、
前記所定のレンズは、前記液体と接する最終レンズである
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の交換方法。
【請求項８】
露光光で照明された原版のパターンを基板に投影する投影光学系の、屈折力を持つ所定のレンズの代替レンズの製造方法であって、
第１の投影光学系に屈折力を持つ所定のレンズを取り付けて、その第１の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第１の測定結果を得るステップと、
前記第１の投影光学系に前記所定のレンズの原器レンズを取り付けて、その第１の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第２の測定結果を得るステップと、
前記第１の投影光学系と同じ諸元を持つ第２の投影光学系に前記所定のレンズの代替レンズを取り付けて、その第２の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第３の測定結果を得るステップと、
前記第２の投影光学系に前記原器レンズを取り付けて、その第２の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第４の測定結果を得るステップと、
前記第１，第２の測定結果の差と前記第３，第４の測定結果の差との差に基いて、前記代替レンズを加工するステップと、
を有することを特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光光で照明された原版のパターンを基板に投影する投影光学系の、屈折力を持つレンズの交換方法およびそのレンズの代替レンズの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶デバイス等のデバイスの製造には、従来から投影露光装置が使用されている。そして、回路パターンの微細化の要求にともなって、投影光学系の解像度の向上が図られてきた。
【０００３】
一方、その解像度を維持するために、投影光学系のレンズの汚染に対する許容値が非常に小さくなってきている。投影光学系のレンズの表面に異物が付着すると、透過率が劣化したり、照度ムラが発生したりして、解像度が劣化してしまうためである。
【０００４】
そこで、従来は、投影光学系の光学素子を交換可能に構成し、その光学素子が汚れたらそれを交換していた。具体的には、投影光学系の最もウエハ側に平行平板を配置し、それを交換可能に構成していた。平行平板は交換によって取り付け誤差が生じても（位置がズレても）投影光学系の収差に与える影響が少ないためである。
【０００５】
なお、その平行平板の交換は、経時変化により発生した投影光学系の収差を低減するためにも行なわれていた。その平行平板の交換の工程を、図６のフローチャートを使用して説明する。
【０００６】
ユーザー先で露光装置の性能が低下すると、まず、露光装置に搭載された投影光学系Ｕの波面収差を測定する（ステップ６１）。次に、交換可能に投影光学系に設けられた平行平板を、露光装置に搭載された投影光学系Ｕから取り外す（ステップ６２）。その平行平板を露光装置のメーカーの製造工場へ戻し、製造工場にて平行平板の面形状を測定する（ステップ６３）。測定した面形状とステップ７１で測定した波面収差とに基いて、その波面収差を小さくするような平行平板の面形状（非球面形状）を算出し（ステップ６４）、その算出された面形状になるように代替用の平行平板を加工する（ステップ６５）。加工した新たな面形状を持つ代替用の平行平板をユーザー先に送り、その代替用の平行平板を露光装置に搭載された投影光学系Ｕに取り付ける（ステップ６６）。
【０００７】
なお、他にも、投影光学系の組み立て誤差を低減するために代替光学素子を使用すること等が提案されている（特許文献１乃至３参照）。
【特許文献１】特開２００６−２８７１４０号公報
【特許文献２】特開２００５−２６８４１２号公報
【特許文献３】特開２００３−２９１１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、液浸露光装置が市場に供給されている。液浸露光装置は、投影光学系の最終レンズとウエハとの間に液体（例えば、純水）を満たす構成になっている。そのため、液体と接している最終レンズに、ウエハ表面に塗布されたレジストから出た汚染物質が付着し、従来のドライの露光装置では発生しないようなくもりが最終レンズ表面に発生する可能性がある。
【０００９】
また、液浸露光装置は従来のドライの露光装置と比べると、最終レンズがウエハに非常に近接する構成になっている。そのため、ウエハの近傍では、露光光源からの露光光が集光して照度が高くなり、最終レンズの硝材の屈折率変化が起こり易くなり、投影光学系の光学性能が低下してしまう可能性がある。
【００１０】
したがって、その最終レンズのくもりや屈折率変化が投影光学系の光学性能に与える影響を取り除くために、最終レンズを定期的に交換する必要がある。
【００１１】
ところで、投影光学系の開口数ＮＡを大きくするためには、液浸露光装置の投影光学系の最終レンズを正の屈折力を有する凸レンズとすることが必要である。前述したように、交換する光学素子が平行平板であれば、交換にともなう取り付け誤差は投影光学系の光学性能にほとんど影響を与えない。しかし、屈折力を持つレンズの取り付け誤差（例えば、投影光学系の光軸方向の位置ズレ）が投影光学系の光学性能に与える影響は大きい。したがって、液浸露光装置の最終レンズは、非常に高い精度で取り付けられなければならない。
【００１２】
また、投影光学系が非常に高解像度である場合には、交換前の最終レンズと交換後の最終レンズ（代替レンズ）との形状（曲率，肉厚等）の差が、投影光学系の光学性能に与える影響は大きい。したがって、液浸露光装置の最終レンズの代替レンズは、非常に高い精度で加工されなければならない。
【００１３】
更に、投影光学系の開口数ＮＡが大きい場合、その投影光学系の外形を小さくするために最終レンズの曲率半径は小さく、つまり屈折力が大きくなるように設計される。このような屈折力の大きなレンズは厚い。レンズが厚くなると、レンズの偏芯やレンズ硝材の屈折率の不均一性によって投影光学系に発生する収差は大きくなる。平行平板では、その厚さを薄くすることによって、レンズの偏芯やレンズ硝材の屈折率の不均一性の影響を小さくすることが可能である。一方、液浸露光装置の最終レンズだと、平行平板のように薄くできないため、レンズの偏芯やレンズ硝材の屈折率の不均一性の影響を小さくすることができない。
【００１４】
そこで、本発明は、屈折力を持つレンズを交換した際に発生する投影光学系の光学性能の変化を極力低減できる、レンズの交換方法を提供することを例示的な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の一側面としてのレンズの交換方法は、露光光で照明された原版のパターンを基板に投影する投影光学系の、屈折力を持つ所定のレンズの交換方法であって、第１の投影光学系に屈折力を持つ所定のレンズを取り付けて、その第１の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第１の測定結果を得るステップと、前記第１の投影光学系に前記所定のレンズの原器レンズを取り付けて、その第１の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第２の測定結果を得るステップと、露光装置本体に前記所定のレンズを取り付けた前記第１の投影光学系を搭載するステップと、前記第１の投影光学系と同じ諸元を持つ第２の投影光学系に前記所定のレンズの代替レンズを取り付けて、その第２の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第３の測定結果を得るステップと、前記第２の投影光学系に前記原器レンズを取り付けて、その第２の投影光学系を通過した測定光の波面を測定し、第４の測定結果を得るステップと、前記第１，第２の測定結果の差と前記第３，第４の測定結果の差との差に基いて、前記代替レンズを加工するステップと、前記露光装置本体に搭載された前記第１の投影光学系から前記所定のレンズを取り外し、その第１の投影光学系にその加工された代替レンズを替わりに取り付けるステップと、を有することを特徴とする。
【００１６】
本発明の更なる目的またはその他の側面は、以下、添付の図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の一側面としてのレンズの交換方法によれば、屈折力を持つレンズを交換する際に発生する投影光学系の光学性能の変化を極力低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を添付の図面に基いて詳細に説明する。
【００１９】
露光装置の概略図を図１に示す。以下、同一または同等の構成部分については、同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。
【００２０】
照明光学系１は露光光源からの露光光でレチクルステージ３に載置されているレチクル２を照明する。投影光学系４とウエハ６との間には液体５が満たされている。投影光学系４は、液体５を介して、レチクル２に形成された回路パターンをウエハ６上に投影する。ウエハ６は、ウエハチャック７で保持されている。ウエハチャック７は、ウエハステージに固定されている。
【００２１】
投影光学系４は、屈折系または反射屈折系である。レチクル２は、原版であり、マスクと呼ばれることもある。本実施形態では、感光基板としてウエハ６を用いているが、ガラスプレートを代わりに用いることもできる。ウエハ６には、レジストが塗布されている。液体５としては、純水や有機液体を用いることができる。
【００２２】
投影光学系４の最終レンズ９の周辺の拡大図を図２に示す。
【００２３】
最終レンズ９は、平凸レンズである。ただし、液体５として高屈折率液体を用いる際には、最終レンズ９としてメニスカスレンズを用いる場合もある。最終レンズ９は、そのウエハ６側の平面（最終面）が液体５と接しているため、くもりが発生しやすい。また、最終レンズ９は、大きい屈折力を持ちウエハ６との間隔が狭くなるように設計されているため、前述したように露光光による屈折率変化（例えば、コンパクション）も発生しやすい。したがって、露光装置のユーザー先で、最終レンズを交換する必要がある。
【００２４】
現状の液浸露光装置に求められている投影光学系の波面収差は、ＲＭＳで表すと６．０ｍλ以下である。その場合の最終レンズの必要精度を図５に示す。図５は、最終レンズの曲率，肉厚，平均屈折率，および屈折率均一性の必要精度（許容誤差）を表したものである。なお、一般的な高精度レンズの曲率，肉厚，平均屈折率，および屈折率均一性の必要精度（許容誤差）を右端の列に表した。
【００２５】
一般的な高精度レンズの曲率の許容誤差は、Ｎｅｗｔｏｎで表すと３本程度である。これに対して最終レンズの曲率の許容誤差は、その１／１００の０．０３本である。また、市販されている肉厚測定器の測定精度は一般的に１．０ｕｍ程度であるが、最終レンズの肉厚の許容誤差はその測定精度より小さい。最終レンズの硝材の平均屈折率や屈折率均一性の許容誤差に関しても、一般的な高精度レンズと比較すると非常に厳しいことがわかる。
【００２６】
したがって、各項目の必要精度を全て満たす最終レンズを製作することは難しく、最終レンズの代替レンズを製作するのは更に難しいことがわかる。
【００２７】
しかし、後述するように、最終レンズおよびその代替レンズの光学性能を、透過波面を基準に保証することにより、それらの必要精度を緩和させることができる。
【００２８】
最終レンズ交換後の投影光学系の波面収差はＲＭＳで７ｍλまで許容できるとすると、交換により低下して良い波面収差は、以下のとおりとなる。
√（７２−６２）＝３．６
すなわち、投影光学系への取り付け誤差も含めた最終レンズ交換による波面収差の変化を、３．６ｍλ以下にすることにより、最終レンズ交換後の投影光学系の波面収差を７ｍλ以下にすることができる。
【００２９】
さらに、３．６ｍλ中、取り付け誤差分を抑えることにより、その多くを最終レンズの誤差分とすることができる。例えば、最終レンズの取り付け誤差を１ｍλにすることができると仮定すると、その場合、最終レンズの誤差分は、以下のとおりとなる。
√（３．６２−１２）＝３．５
すなわち、最終レンズとその代替レンズとの波面収差の差が３．５ｍλ以下になるように、代替レンズの面形状を加工することで、最終レンズを交換した後も投影光学系が必要精度を満たすようにすることができる。
【００３０】
以下、本実施形態の最終レンズ９の交換方法を図３のフローチャートを用いて説明する。
【００３１】
本実施形態では、最終レンズの光学性能をその表面形状や屈折率を基準に保証するのではなく、最終レンズの透過波面を基準に保証している。
【００３２】
まず、最終レンズ（所定のレンズ）Ｓと、最終レンズＳとほぼ同じ形状であり同じ材料からなる原器レンズＭを用意する（ステップ３１）。
【００３３】
投影光学系Ｕ１（第１の投影光学系）に最終レンズ（所定のレンズ）Ｓを取り付けて、その投影光学系を通過した測定光の波面を透過波面測定器で測定する。透過波面測定器は、投影光学系全体の波面収差を透過波面として測定するものである。レンズの取り付けには、取り付け時の位置ズレを透過波面測定器の測定リニアリティーの範囲内に抑えることが可能な取り付け工具を使用する（以下、レンズを投影光学系に取り付ける際には、常にこの工具を使用する。）。測定光としては、露光光源とは別光源からの光を用いても良いし、露光光源からの露光光を用いても良い。但し、測定光の波長は、露光光の波長と等しいことが好ましい。
【００３４】
測定により、最終レンズＳを取り付けたときの第１の測定結果を得ることができる。ここで測定した透過波面をＷａｂ＿Ｓ（Ｕ１）とする。
【００３５】
次に、投影光学系Ｕ１に最終レンズＳの代わりに原器レンズＭを取り付けて、その投影光学系Ｕ１を通過した測定光の波面を透過波面測定器で測定する。測定により、原器レンズＭを取り付けたときの第２の測定結果を得ることができる。ここで測定した透過波面をＷａｂ＿Ｍ（Ｕ１）とする。
【００３６】
そして、透過波面Ｗａｂ＿Ｓ（Ｕ１）と透過波面Ｗａｂ＿Ｍ（Ｕ１）の差分ＷＡ１を管理保存しておく（ステップ３２）。
【００３７】
差分ＷＡ１は、最終レンズＳと原器レンズＭの性能の差分情報を示す。最終レンズＳおよび原器レンズＭの取り付け誤差が原因で、透過波面に誤差成分が含まれる可能性がある。しかし、この透過波面の誤差成分は、あらかじめレンズの位置ズレ敏感度を計算しておき、その敏感度に基いて除去することができる。
【００３８】
最終レンズＳが取り付けられた投影光学系Ｕ１を露光装置本体に搭載し、露光装置をユーザーへ出荷する。
【００３９】
一方、投影光学系Ｕ１と同じ諸元を持つように設計された投影光学系（第２の投影光学系）Ｕｘに代替レンズＣを取り付け、その投影光学系を通過した測定光の波面を透過波面測定器で測定する。代替レンズＣは、最終レンズＳとほぼ同じ形状であり同じ材料からなる。測定により、代替レンズＣを取り付けたときの第３の測定結果を得ることができる。ここで測定した透過波面をＷａｂ＿Ｃ（Ｕｘ）とする。
【００４０】
更に、投影光学系Ｕｘに代替レンズＣの代わりに原器レンズＭを取り付け、その投影光学系を通過した測定光の波面を透過波面測定器で測定する。測定により、原器レンズＭを取り付けたときの第４の測定結果を得ることができる。ここで測定した透過波面をＷａｂ＿Ｍ（Ｕｘ）とする。なお、この投影光学系Ｕｘを用いた測定における測定条件は、前述の投影光学系Ｕ１を用いた測定におけるものと等しいことが好ましい。例えば、測定光の波長を、それらの両測定で互いに等しくすることが好ましい。また、それらの両測定において、最終レンズＳ，原器レンズＭ，および代替レンズＣの同じ領域を測定光が通過するように、測定光をそれらのレンズに入射させることが好ましい。
【００４１】
透過波面Ｗａｂ＿Ｃ（Ｕｘ）と透過波面Ｗａｂ＿Ｍ（Ｕｘ）の差分ＷＡ２を管理保存しておく（ステップ３３）。差分ＷＡ２は、代替レンズＣと原器レンズＭの性能の差分情報を示す。このとき代替レンズＣおよび原器レンズＭの取り付け誤差で生じる透過波面の誤差成分は、上述したのと同様な方法で除去することが可能である。
【００４２】
そして、差分ＷＡ１と差分ＷＡ２の差が許容値よりも小さい場合には、ユーザー先の最終レンズＳの交換時期が来たら、ユーザー先の投影光学系Ｕ１に取り付けられている最終レンズＳを代替レンズＣに交換する。
【００４３】
以上のように、最終レンズＳと代替レンズＣの性能の差を透過波面基準で表すことで、最終レンズＳと代替レンズＣの形状や屈折率等の個々の厳しい必要精度を緩和させることができる。形状誤差や屈折率誤差等の個々の誤差に基く最終レンズの性能への影響は、相殺される場合が多いからである。最終レンズの透過波面が必要精度を満たすのであれば、最終レンズの形状や屈折率等が必要精度を満たしてなかったとしても問題ない。
【００４４】
また、最終的に、投影光学系の波面収差が必要精度を満たすのであれば、最終レンズの透過波面が必要精度を必ずしも満たす必要はない。そのため、本実施例では、代替レンズの性能の保証のために、同じ諸元を持つように設計された投影光学系を使用している。
【００４５】
差分ＷＡ１と差分ＷＡ２の差が許容値よりも大きい場合には、以下の工程を行う。
【００４６】
まず、差分ＷＡ１と差分ＷＡ２の差を小さくするような代替レンズＣの凸面の面形状を算出する（ステップ３４）。
【００４７】
そして、算出された面形状となるように、代替レンズＣの凸面を加工する（ステップ３５）。
【００４８】
ステップ３１からステップ３５を経て製造された代替レンズＣが、どの投影光学系（本実施形態の場合は投影光学系Ｕ１）に取り付けてある最終レンズＳの代替レンズかわかるようにして、代替レンズＣを保管しておく。
【００４９】
ユーザー先の最終レンズＳの交換時期が来たら、ユーザー先の投影光学系Ｕ１に取り付けられている最終レンズＳを保管していた代替レンズＣに交換する（ステップ３６）。
【００５０】
次に、露光装置に搭載された投影光学系Ｕ１の波面収差を測定光または露光光を用いて測定し、測定結果（第６の測定結果）を取得する。そして、測定された波面収差が小さくなるように代替レンズＣの位置を微調整する（ステップ３７）。
【００５１】
最終レンズの取り付け誤差の許容値は、サブミクロン未満である。投影光学系の他のレンズに比べて、最終レンズは曲率半径が小さく偏芯敏感度が高い。したがって、サブミクロンの位置ズレでも、例えば、最終レンズが偏芯すると非点収差が２０ｍλ〜３０ｍλ程度も発生してしまう。
【００５２】
投影光学系の最終レンズ以外のレンズまたはミラーに位置調整機構を構成し、取り付け誤差に基く波面収差を補正することも可能である。しかし、その位置調整機構で補正できないぐらい大きな波面収差が最終レンズの取り付け誤差が原因で発生してしまった場合には、最終レンズの位置を調整するしかない。そのため、最終レンズの位置を高精度に調整する位置調整機構を設けることが好ましい。なお、位置調整機構としては、ピエゾアクチュエータを用いることができる。
【００５３】
なお、ユーザー先の投影光学系Ｕ１の波面収差に経時変化がある場合には、その波面収差も考慮して、代替レンズを加工してもよい。
【００５４】
つまり、ステップ３３とステップ３６の間に、図４のフローチャートに示す下記のステップ４１〜ステップ４３の工程を実行しても良い。
【００５５】
まず、露光装置本体に搭載された状態で投影光学系Ｕ１の波面収差を測定光または露光光を用いて測定し、測定結果（第５の測定結果）を取得する（ステップ４１）。この測定における測定光または露光光が通過する代替レンズＣ内の領域も、前述の透過波面の測定のときに測定光が通過する最終レンズＳ，原器レンズＭ，および代替レンズＣ内の領域と等しくなるように設定することが好ましい。なお、この際、投影光学系Ｕ１の（最終レンズを含む）レンズやミラーに設けられた位置調整機構で、そのレンズやミラーの位置や姿勢が投影光学系Ｕ１の波面収差がなるべく小さくなるように調整されていることが好ましい。
【００５６】
ステップ４１で測定された波面収差と、最終レンズの交換のために取得していた差分ＷＡ１と差分ＷＡ２の差に基く波面収差とを足し合わせ、それを低減するような代替レンズＣの凸面の面形状（非球面形状）を算出する（ステップ４２）。
【００５７】
そして、算出した面形状になるように、代替レンズＣを加工する（ステップ４３）。
【００５８】
以上、本実施形態のレンズの交換方法によれば、屈折力を持つ最終レンズを交換した際に発生する投影光学系の光学性能の変化を極力低減できる。また、本実施形態の代替レンズの製造方法によれば、交換しても投影光学系の光学性能に影響をあまり与えない、または、投影光学系の光学性能を改善する代替レンズを製造することが可能となる。
【００５９】
なお、本実施形態では、投影光学系の最終レンズを例として、好ましい屈折力を持つレンズの交換方法やその代替レンズの製造方法を説明した。しかし、投影光学系の最終レンズ以外のレンズやミラーに対しても、本実施形態と同様の方法を用いれば、本実施例と同様の効果を得ることができる。例えば、投影光学系の最もレチクル側のレンズに本実施形態と同様の方法を用いても良い。
【００６０】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】露光装置の図である。
【図２】図１の露光装置の最終レンズの周辺の図である。
【図３】レンズの交換に関するフローチャートである。
【図４】レンズの加工に関するフローチャートである。
【図５】最終レンズの必要精度を示す表である。
【図６】従来のレンズの交換に関するフローチャートである。
【符号の説明】
【００６２】
１  照明光学系
２  レチクル（原版）
３  レチクルステージ
４  投影光学系
５  液体
６  ウエハ（基板）
７  ウエハチャック
８  ウエハステージ
９  最終レンズ
【図１】
2009049192.tif 000003
【図２】
2009049192.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009049192.tif 000006
【図５】
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【図６】
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