(57)【要約】【課題】流体軸受装置に組み込まれた状態における反りの発生を抑制して、流体軸受装置の信頼性を向上させることが可能なスラスト板およびこれを備えた流体軸受装置、スピンドルモータ、情報装置、並びにスラスト板の製造方法を提供する。【解決手段】流体軸受装置の軸の一端側に備えられ、軸の周囲に潤滑流体（オイル）を介して取り囲むように形成されたスリーブの一端を閉鎖するスラスト板において、軸に対向する面に設けられた動圧発生溝の形成によって生じる反りや組み立て時等に生じる反りを軽減するために、スラスト板の軸に対向する面とは反対の面に、レーザ被照射部が設けられている。【選択図】図３
2009030746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体軸受装置に含まれるスラスト板であって、
前記流体軸受装置に含まれる軸の一端側に前記軸の軸方向と略直行する方向に沿って設けられ、前記軸に対向する面とは反対側の面に、レーザ照射されたレーザ被照射部を備えたスラスト板。
【請求項２】
前記レーザ被照射部は、前記レーザの複数のスポット照射によって形成されている、
請求項１に記載のスラスト板。
【請求項３】
前記レーザ被照射部は、略中央部に設けられている、
請求項１または２に記載のスラスト板。
【請求項４】
前記レーザ被照射部は、識別コードとして形成される、
請求項１から３のいずれか１項に記載のスラスト板。
【請求項５】
前記識別コードは、ＱＲコードである、
請求項４に記載のスラスト板。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のスラスト板を備えた流体軸受装置。
【請求項７】
請求項６に記載の流体軸受装置を備えたスピンドルモータ。
【請求項８】
請求項７に記載のスピンドルモータを搭載した情報装置。
【請求項９】
流体軸受装置に含まれる軸の一端側に前記軸の軸方向と略直交する方向に沿って設けられるスラスト板の製造方法であって、
前記スラスト板の反りの状態を検査する第１工程と、
前記スラスト板の前記軸に対向する面と反対の面における、前記第１工程によって既知となった前記反りに対応する位置に、レーザを照射する第２工程と、
を含む、
スラスト板の製造方法。
【請求項１０】
前記第２工程においては、複数のスポット照射によって前記レーザを照射する、
請求項９に記載のスラスト板の製造方法。
【請求項１１】
前記第２工程において、前記レーザの出力、前記レーザのスポット径および前記レーザの照射時間の少なくとも１つによって制御を行う、
請求項９または１０に記載のスラスト板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体軸受装置に搭載されるスラスト板およびこれを備えた流体軸受装置、スピンドルモータ、情報装置、並びにスラスト板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、スピンドルモータなどに搭載される流体軸受装置は、筒状のスリーブに形成された軸受孔内に、外周に潤滑流体（オイル）を介して装填された軸を備えている。また、スリーブの一端には、潤滑流体の流出を防ぐためにスラスト板が設けられている。そして、回転時にスリーブやスラスト板に設けられた動圧発生溝に潤滑流体が流入して生じる動圧により、回転側の部材が軸を中心として固定側の部材に対して非接触状態で回転する。このような流体軸受装置では、その回転機構の特性により、軸が振れずに回転するためには、軸とスリーブおよびスラスト板とが一定の間隔を有して回転することが好ましい。このため、軸に対向配置されるスラスト板の表面が、スラスト板に対向する軸の端面に対して平行な平板であることが好適である。つまり、スラスト板に反りが生じていると、回転中に生じる動圧が安定しないため、浮上高さが安定しなかったり接触面の摩耗が進んだりする等の問題が発生するおそれがある。
【０００３】
特に、軸に対向するスラスト板の表面に動圧発生溝が形成されている場合には、溝の形成によってスラスト板内に内部応力が発生し、これによりスラスト板に反りが生じ易くなるという問題がある。そして、この反りによって、互いに対向する軸とスラスト板との間のスラスト軸受部において発生する動圧が不安定になり、流体軸受装置の正常な動作を維持することができなくなってしまう。
【０００４】
このような問題を解決するために、特許文献１には、動圧発生溝が形成されている面とは反対の面にも溝を形成して内部応力の偏りを調整したスラスト板の構成が開示されている。
【特許文献１】特開２００７−３２６２３号公報（平成１９年２月８日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記公報に開示されたスラスト板の構成では、以下のような問題を有している。
すなわち、スラスト板を単体で処理することができる状態においては、スラスト板の反りを軽減することが可能であるものの、流体軸受装置の底部分に、かしめや接着等によってスラスト板を装着する際に生じる反りまでは解消することができない。
【０００６】
本発明の課題は、流体軸受装置に組み込まれた状態における反りの発生を抑制して、流体軸受装置の信頼性を向上させることが可能なスラスト板およびこれを備えた流体軸受装置、スピンドルモータ、情報装置、並びにスラスト板の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明に係るスラスト板は、流体軸受装置に含まれるスラスト板であって、軸の一端側にこの軸の軸方向と略直行する方向に沿って設けられている。そして、このスラスト板は、軸に対して対向する面とは反対側の面に、レーザ被照射部を備えている。
【０００８】
ここでは、例えば、流体軸受装置の軸の一端側に備えられ、軸の周囲に潤滑流体（オイル）を介して取り囲むように形成されたスリーブの一端を閉鎖するスラスト板において、軸に対向する面に設けられた動圧発生溝の形成によって生じる反りや組み立て時等に生じる反りを軽減するために、以下の構成を採用している。具体的には、スラスト板の軸に対向する面とは反対の面に、レーザ被照射部が設けられている。
【０００９】
ここで、軸は、流体軸受装置の回転中心位置に設けられた棒状のシャフトである。レーザ被照射部とは、例えば、レーザフォーミングによって加工された領域である。レーザフォーミングとは、レーザが照射された領域の熱歪によって、スプリングバックの影響を受けずに金属の板材を非接触で曲げ加工する技術である。また、レーザ被照射部は、レーザマーキングによって加工された領域であってもよい。レーザマーキングとは、照射するレーザによって、被照射物の表面を融解したり、インクを焼き付けたりして、被照射物にマーキングする技術である。
【００１０】
このような構成によると、流体軸受装置の組み立て時にスラスト板に反りが生じた場合でも、流体軸受装置の外側に露出したスラスト板の一部にレーザ被照射部を形成することにより、スラスト板に生じた反りを軽減することができる。
【００１１】
したがって、互いに対向する軸とスラスト板との間隔が一定に保たれ、流体軸受装置の回転時に発生する動圧を安定させることができる。この結果、振れ回りの発生や接触部分の摩耗の進行等の問題を防止しつつ、スラスト板を備えた流体軸受装置の信頼性および寿命を向上させることができる。
【００１２】
第２の発明に係るスラスト板は、第１の発明に係るスラスト板であって、レーザ被照射部が、レーザの複数のスポット照射によって形成されている。
ここでは、レーザのスポット照射を複数個所に行うことで、レーザ被照射部を形成している。
【００１３】
ここで、レーザは、例えば、レーザ発生器に絞り機構を備えることによって、照射径を制御することができる。つまり、スポット照射とは、照射径を制限したレーザ照射である。また、スポット照射による被照射径は、レーザ発生器と被照射物との距離を調整することによっても制御することができる。なお、レーザの照射条件は、レーザ発生器の電流・電圧値などを調整することで制御することができる。
【００１４】
これにより、局所的に形成されたそれぞれのスポット被照射部（スポット照射された領域）は、スポット被照射部ごとに個別の照射条件によって形成されているため、スラスト板の微細な凹凸（局所的な反り）を平面化することが可能になる。
この結果、単一のレーザ照射と比較して、より高い平面度を有するスラスト板を得ることが可能になる。
【００１５】
第３の発明に係るスラスト板は、第１または第２の発明に係るスラスト板であって、レーザ被照射部が、略中央部に設けられている。
ここでは、レーザ被照射部が、レーザ照射面の中央部付近に設けられている。
ここで、スラスト板の反りは、動圧発生溝の形成領域や形、または流体軸受装置への取り付け手法などにより、このスラスト板の中央部付近に顕著に現れやすい傾向がある。
【００１６】
これにより、スラスト板の反りが顕著に現れる領域にレーザが集中的に照射されるため、効率的に反りを軽減することができる。
この結果、レーザの照射位置が予め設定された領域内に限定されるため、より効果的に反りが軽減されたスラスト板を得ることが可能になる。
【００１７】
第４の発明に係るスラスト板は、第１から第３の発明のいずれか一つに係るスラスト板であって、レーザ被照射部が、例えば、このスラスト板が組み込まれる流体軸受装置の識別コードとして形成される。
【００１８】
ここでは、レーザ被照射部が、識別コードの役割を果たす。例えば、レーザマーキングによってこのスラスト板の識別コードを形成する。
これにより、例えば、スラスト板の製造密番を表すコードを、流体軸受装置の組み立て後にスラスト板の面上に容易に形成することができる。また、レーザの照射によってスラスト板に対して非接触の状態で識別コードを刻印することができるため、廃材を出したり、インクなどの他の資材・資源を必要としたりしない。
したがって、製造工程におけるスループットの向上やコストの削減が可能になる。
【００１９】
第５の発明に係るスラスト板は、第４の発明に係るスラスト板であって、識別コードが、ＱＲコード（登録商標）である。
ここでは、スラスト板の露出側の表面に形成される識別コードとして、ＱＲコードを形成する。
ここで、ＱＲ（Ｑｕｉｃｋ  Ｒｅｓｐｏｎｓｅ）コードとは、微小点を縦横に並べたマトリックス型２次元コードである。このＱＲコードは、カナや漢字、数字、アルファベットなどの多種類の文字情報を記録することができる。
【００２０】
これにより、例えば、スラスト板やこのスラスト板を組み込んだ流体軸受装置の品番や製造密番などの識別番号を、レーザの照射によって詳細に刻印することが可能になる。
また、ＱＲコードは、情報に冗長性を持たせてあり、ＱＲコードの一部の領域が損失したり汚染によって読み取ることができない状態であったりしても、その情報を他の領域から復元することが可能である。したがって、スラスト板の表面が汚染されたり削り取られたりしても、従来よりも高い確率で識別コードを読み取ることが可能になる。
【００２１】
第６の発明に係る流体軸受装置は、第１から第５の発明のいずれか一つに係るスラスト板を備えている。
ここでは、上述したスラスト板を流体軸受装置に搭載している。
これにより、互いに対向するスラスト板と軸との間に形成されるスラスト軸受部において潤滑流体を介して発生する動圧を安定化させて、振れ回りを少なくすることができる。したがって、信頼性が高く、寿命の長い流体軸受装置を得ることができる。
【００２２】
第７の発明に係るスピンドルモータは、第６の発明に係る流体軸受装置を搭載している。
ここでは、上述した流体軸受装置を、スピンドルモータに搭載している。
これにより、スラスト板と軸との間のスラスト軸受部において発生する動圧を安定化させることができる、という上記と同様の効果を得ることができるため、振動および騒音が少ないスピンドルモータを得ることが可能になる。また、このようなスピンドルモータは、エネルギーの変換損失も少ないため、省エネルギー性に優れたスピンドルモータを得ることが可能になる。
【００２３】
第８の発明に係る情報装置は、第７の発明に係るスピンドルモータを搭載している。
ここでは、上述したスピンドルモータを、例えば、光磁気記録再生装置等の情報装置に搭載している。
これにより、静動性および信頼性が高い情報装置を得ることができる。
【００２４】
第９の発明に係るスラスト板の製造方法は、流体軸受装置に含まれる軸の一端側にこの軸の軸方向と略直交する方向に沿って設けられるスラスト板の製造方法であって、スラスト板の反りの状態を検査する第１工程と、スラスト板にレーザを照射する第２工程と、を含む。そして、第２工程におけるレーザの照射位置は、スラスト板の軸に対向する面とは反対の面における、第１工程によって既知となった反りに対応する位置である。
【００２５】
ここでは、スラスト板の反りの状態を検査する第１工程と、スラスト板の反りに対応した位置にレーザを照射する第２工程とを含む。
ここで、軸は、例えば、流体軸受装置の回転中心位置に設けられた棒状のシャフトである。レーザの照射とは、例えば、レーザフォーミングである。レーザフォーミングとは、レーザが照射された領域の熱歪によって、スプリングバックの影響を受けずに金属の板材を非接触で曲げ加工する技術である。また、レーザの照射とは、レーザマーキングであってもよい。レーザマーキングとは、照射するレーザによって、被照射物の表面を融解したり、インクを焼き付けたりして、被照射物にマーキングする技術である。
【００２６】
このような方法により、スラスト板が流体軸受装置に組み込まれた後であっても、そのスラスト板の反りを軽減することができる。また、スラスト板側に動圧発生溝が形成されている構成であっても、溝の形成によって生じた内部応力に起因するスラスト板の反りも同時に軽減することができる。
【００２７】
したがって、互いに対向する軸とスラスト板との間隔を一定に保つことができるため、スラスト板を備えた流体軸受装置の回転時に発生する動圧を安定化させることができる。この結果、このスラスト板を備えた流体軸受装置の信頼性を向上させ、かつ長寿命化が図れる。
【００２８】
第１０の発明に係るスラスト板の製造方法は、第９の発明に係るスラスト板の製造方法であって、第２工程においては、複数のスポット照射によってレーザを照射する。
ここで、レーザは、例えば、レーザ発生器に絞り機構を備えることによって、照射径を制御することができ、スポット照射とは、照射径を制限したレーザ照射である。また、被照射径は、レーザ発生器と被照射物との距離を調整することによっても制御することができる。なお、レーザの照射条件は、レーザ発生器の電流・電圧値などを調整することで制御することができる。
【００２９】
ここでは、レーザの照射が、レーザによる複数のスポット照射である。
これにより、局所的に照射されるそれぞれのスポット照射は、それぞれの照射条件を個別に設定することが可能になり、レーザフォーミングの自由度や調整度合いの幅を広げることが可能になる。
この結果、高い平面度を有するスラスト板の形成を精度よく行うことが可能になる。
【００３０】
第１１の発明に係るスラスト板の製造方法は、第９または第１０の発明に係るスラスト板の製造方法であって、第２工程において、レーザの出力、スポット径および照射時間の少なくとも１つによって制御を行う。
【００３１】
ここでは、レーザの出力とスポット径と照射時間とを制御する。なお、レーザの出力は、同一のレーザ発生装置においては、このレーザ発生装置にかかる電圧や電流によって調整することができる。また、スポット径は、レーザの出射位置と被照射物との距離や光学レンズによって調整することができる。
【００３２】
これにより、レーザフォーミングにおける温度勾配や高温となる領域の精密な制御が可能になる。
したがって、スラスト板に生じた反りに対して、高い加工精度の要求に対応することが可能な製造方法を得ることができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明に係るスラスト板によると、流体軸受装置に組み込まれた状態における反りの発生を抑制して、流体軸受装置の信頼性を向上させることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
本発明の一実施形態に係るスラストプレート（スラスト板）４を含む軸受部（流体軸受装置）７を搭載したスピンドルモータ８を含むＨＤＤ（情報装置）９について、図１〜図６を用いて説明すれば以下の通りである。
【００３５】
［ＨＤＤ９全体の構成］
本実施形態に係るＨＤＤ９は、図１に示すように、内部に、複数の記録再生ヘッド１０を含んでおり、スピンドルモータ８を搭載している。そして記録再生ヘッド１０によって記録媒体としての記録ディスクＤに対する情報の書き込み、あるいは既に書き込まれた情報の再生を行う。
【００３６】
ディスクＤは、ＨＤＤ９に取り付けられる直径が、例えば、０．８５インチ、１．０インチ１．８インチ、または２．５インチ等の円板状の記録媒体である。
スピンドルモータ８は、記録ディスクＤを回転駆動するための回転駆動源となる装置であって、主に、ロータマグネット１７、ステータコイル１８、ステータコア１９、磁気シールド板１１、ベース１５、ロータハブ１６および軸受部７などを備えている。
【００３７】
［スピンドルモータ８を構成する各部材の説明］
ロータマグネット１７は、隣接する磁極がＮ極、Ｓ極と交互に配置された円環状の部材であって、例えば、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系樹脂マグネットなどによって構成されており、ロータハブ１６のマグネット保持部に対して装着されている。
【００３８】
ステータコア１９は、径方向に沿ってほぼ等角度間隔で配置された複数の突極部を有しており、この突極部に対してそれぞれステータコイル１８が巻回される。そして、ステータコア１９は、径方向における内径側に対向して配置されたロータマグネット１７に対して、ステータコイル１８に電流を流すことで発生する磁束を付与することで、ロータマグネット１７に対して、回転力を付与する。
【００３９】
磁気シールド板１１は、ステータコア１９の上部を覆うように取り付けられており、外部への磁気漏れを防止するための、厚さ約０．１ｍｍの磁性を有するステンレス鋼材である。
【００４０】
ベース１５は、磁性を有するステンレス鋼材または鋼板によって形成されており、無電解ニッケルメッキを施して形成されて、スピンドルモータ８の静止側の部分を構成している。また、ベース１５の中心部分付近には、軸受部７が固定されている。
【００４１】
ロータハブ１６は、磁性材料性のステンレス鋼によって形成されており、後述するシャフト１の上端部に嵌合するように固定されてシャフト１と一体なって回転する。また、ロータハブ１６は、シャフト１の上端部が挿入される中央孔と、ロータマグネット１７が取り付けられるマグネット保持部と、記録ディスクＤが載置されるディスク載置面と、を有している。
【００４２】
軸受部７は、スピンドルモータ８に含まれる流体軸受装置であって、スピンドルモータ８における中央部付近に配置されている。
【００４３】
［軸受部７を構成する各部材の説明］
軸受部７は、図２に示すように、主に、シャフト１、スリーブ２、スラストフランジ３、スラストプレート４、カバー５などを含むように構成されている。
シャフト１は、軸受部７の回転軸となる部材であって、スリーブ２の軸受孔２ａ内に挿入されており、ステンレス鋼によって形成されている。
【００４４】
スリーブ２は、軸受孔２ａ内に挿入されたシャフト１およびスラストフランジ３を相対回転可能な状態で保持している。そして、スラストフランジ３におけるスラストプレート４との軸方向における対向面には、動圧を発生させるスラスト動圧発生溝（図示せず）が形成されており、スラストフランジ３とスラストプレート４との間にはスラスト動圧発生部が形成される。同様に、シャフト１とスリーブ２との半径方向対向面間には、動圧を発生させるラジアル動圧発生溝（図示せず）が形成されており、シャフト１とスリーブ２との間には、動圧を発生させるラジアル動圧発生部が形成される。そして、スリーブ２は、真鍮などの銅合金によって形成されており、表面には無電解ニッケルメッキが施されている。さらにスリーブ２は、軸方向においてスラストプレート４側の閉鎖端２ａｂと、その反対側の開口端２ａａ側とを連通させる連通孔６と、を有している。そして、スリーブ２の開口端２ａａ側には、スリーブ２の上端面との間に所定の隙間を形成するように、カバー５が取り付けられている。
【００４５】
スラストフランジ３は、シャフト１に対して一体加工、あるいは圧入または接着によって固定されており、ステンレス鋼によって形成されている。そして、スラストフランジ３は、スリーブ２における大径孔部２ａｃに嵌め込まれる。
【００４６】
スラストプレート４は、スリーブ２の軸方向における下端面（軸受部７の底部分）に取り付けられており、スリーブ２の閉鎖端を形成する。なお、スラストプレート４の構成については、後段にて詳述する。
【００４７】
カバー５は、スリーブ２の上端面（開口端２ａａ側）を覆うように取り付けられた略円盤状の部材であって、中央部分にシャフト１が挿入される開口部分を有している。
本実施形態では、上述した構成部材のうちスリーブ２の軸方向における開口端２ａａ側の端面とカバー５との間に形成される隙間部分であって、シャフト１の外周面側に、内周シール部１２を形成している。これにより、通常時において、軸受部７内に充填された潤滑流体（オイル）２０を毛管圧力によって軸受部７の内部へと吸引することで、内周開口部５ａから外部へと漏れ出してしまうことを防止している。なお、オイル２０としては、例えば、低粘度なエステルオイル等を用いることができる。
【００４８】
（スラストプレート４の構成）
スラストプレート４は、上述したように、スリーブ２の閉鎖端２ａｂを形成するように設けられており、略円板状の部材である。そして、スリーブ２の閉鎖端２ａｂ側に設けられた係止部２１によって、スラストプレート４の側端部４５が係止されて固定されている。
【００４９】
このスラストプレート４は、例えば、ＳＵＳ４２０Ｊ２（ＪＩＳ）等の焼き入れによる硬化処理を行いやすいマルテンサイト系ステンレス鋼によって形成される。また、図３（ａ）に示すように、スラストプレート４のスラストフランジ３に対向する面４１には、ヘリングボーン形状の動圧発生溝４４が形成されている。そして、図３（ｂ）に示すように動圧発生溝４４が形成されている面４１とは反対側の面４２の中央部付近には、レーザの照射によって形成されたレーザ被照射部４３が設けられている。なお、レーザ被照射部４３が形成されたスラストプレート４の面４２は、スピンドルモータ８の底部分において外部に露出した状態となっている。
【００５０】
レーザ被照射部４３は、図３（ｂ）に示すように、スラストプレート４の面４２の中央部付近に、レーザによる複数のスポット照射によって形成される。この複数のスポット照射によって形成されたそれぞれのスポット被照射部４３ａは、直径約５μｍのドット形状である。
【００５１】
［スラストプレート４の製造方法］
本実施形態のスラストプレート４は、図４のフローチャートに示す製造工程を経て製造される。
先ず、ステップＳ１では、スラストプレート４のブランクを形成する。このブランクの形成方法は、上述の材料（ＳＵＳ４２０Ｊ２）をプレス加工によって円板状に打ち抜き、その後、熱処理を加え、さらに表面を研磨する。
【００５２】
次に、ステップＳ２では、ステップＳ１で得られた円板状のブランクの一方の面４１に動圧発生溝４４を形成する。この動圧発生溝４４の形成方法は、先ず、面４1の表面に、レジストを塗布する。レジストが乾燥し固化した後、フォトリソグラフィー技術によって露光および現像を行う。その後、動圧発生溝４４の凹部分４４ａに対応する位置を所望の深さまでエッチングし、レジストを剥離する。このようにして図３（ａ）に示すような動圧発生溝４４が形成される。
【００５３】
次に、ステップＳ３では、ステップＳ２で得られたスラストプレート４が、スリーブ２の一方の端部（閉鎖端２ａｂ）に組み込まれる。ここでは、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、スリーブ２の端部に設けられた係止部２１によってスラストプレート４の側端部４５が係止される（かしめられる）。
【００５４】
ここで、ステップＳ１〜Ｓ３までの工程を経た状態のスラストプレート４には、動圧発生溝４４の形成による内部応力やスリーブ２への固定時に付与された外力等によって、図６に示すように、反りが生じている。そこで、ここまでの工程によって生じたスラストプレート４の反りを解消（軽減）するために、以下の工程によってスラストプレート４にレーザ照射を行う。
【００５５】
ステップＳ４では、スリーブ２に取り付けられたスラストプレート４の反りや凹凸を検査する。具体的には、レーザフォーカス方式の変位センサ（レーザフォーカス変位計）を用い、スラストプレート４の反りを計測する。
【００５６】
ステップＳ５では、ステップＳ４で得られた計測結果に基づいて、レーザのスポット照射によるレーザフォーミングを施し、スラストプレート４の反りを軽減する。ここでのスポット照射の照射条件は、レーザを発生する半導体レーザの出力３８００Ｗ（電圧２００Ｖ、電流１９Ａ）、スラストプレート４表面におけるスポット径５μｍ、照射時間０．００４秒／スポット、である。なお、ここで用いるレーザ装置は、当然に、レーザの出力や照射径を制御（スポット照射）することが可能であり、また、レーザの照射位置や照射スポット数、照射時間などを制御することも可能である。
【００５７】
ここで、レーザフォーミングの原理を簡単に説明すると、先ず、レーザが照射されることによって、スラスト板が局所的に加熱され、この加熱時間が非常に短いために、レーザ被照射部を中心に温度勾配が生じる。そして、この温度勾配に伴って、膨張率に差が生じる。また、同時に、降伏応力の低下度合いにも差が生じるため、温度が高い領域と温度が低い領域との間の領域が塑性変形を起こす。そして、温度勾配が解消される（室温に戻る）と、膨張していた領域が収縮して、結果として、スラストプレート４は、レーザが照射された側の面が凹むように変形する。
【００５８】
以上のステップＳ１〜Ｓ５を経ることによって、軸受部７に組み込まれた後であっても、装置の外部からレーザ照射を行うことで、平坦なスラストプレート４を形成することができる。
【００５９】
［実施例１］
本実施形態におけるスラストプレート４にレーザ被照射部４３（スポット被照射部４３ａ）が形成される前後において、それぞれの平面度を測定した結果を以下で説明する。ここで、平面度とは、物体が、距離ｔを隔てた２つの平行な平面の間に挟まれた状態において、この距離ｔの最小値である。測定したスラストプレート４は、直径が約６．５ｍｍ、厚さ０．４５ｍｍの円板形状である。
【００６０】
先ず、レーザ被照射部４３が形成される前、すなわちレーザフォーミングをスラストプレート４に施す前の状態では、平面度は、０．６６μｍであった。次に、このスラストプレート４にレーザフォーミングを施した。レーザフォーミングの照射条件は、出力３８００Ｗ、照射時間０．００４秒／スポット、照射（スポット）径５μｍ、である。このような条件の下で施されたレーザフォーミングによって、スラストプレート４の平面度は、０．２０μｍに変化した。
すなわち、レーザフォーミングの施行前後において、平面度が０．４６μｍ改善された。
【００６１】
このように、本実施例によると、サブマイクロメータレベルでの平面化が可能であることが示された。したがって、機械的な平面化と比較して高い精度での平行平板状のスラストプレート４を得ることが可能になる。
【００６２】
［本スラストプレート４の特徴］
（１）
本実施形態に係るスラストプレート４は、図３（ｂ）に示すように、スラストプレート４のシャフト１（スラストフランジ３）に対向する面４１とは反対側の面４２に、レーザフォーミングによって加工されたレーザ被照射部４３を備えている。
【００６３】
これにより、軸受部７の組み立て後であっても、外部に露出したスラストプレート４の一部にレーザを照射することで、スラストプレート４に生じた反りを軽減することができる。この結果、スラストフランジ３を含むシャフト１とスラストプレート４との間隔が一定に保たれ、軸受部７の回転時に発生する動圧を安定させることができる。また、レーザフォーミングは、非接触の加工方法であるため、スラストプレート４に傷をつけることなどがなく、かつ、スプリングバックの影響を受けることがない。この結果、回転中心が振れることのないため、静動性に優れ、信頼性が高い軸受部７を得ることができる。
【００６４】
（２）
本実施形態に係るスラストプレート４は、図３（ｂ）に示すように、面４２にレーザの複数のスポット照射によって形成された複数のスポット被照射部４３ａを備えている。
【００６５】
これにより、局所的に形成されたそれぞれのスポット被照射部４３ａは、スポット被照射部４３ａごとに個別の照射条件によって形成されているため、局所的な反りを平面化することが可能になる。この結果、単一のレーザ照射と比較して、より高い平面度を有するスラストプレート４を得ることが可能になる。
【００６６】
（３）
本実施形態に係るスラストプレート４は、図３（ｂ）に示すように、面４２の中央部付近にレーザ被照射部４３を備えている。
【００６７】
これにより、スリーブ２に対して取り付けられる際に外力が付与されることで生じた反りや、反対側の面におけるほぼ中央部付近に形成されている動圧発生溝４４によって生じた内部応力による反り等のように、結果的に、スラストプレート４の反りが顕著に現れる領域にレーサ被照射部４３を形成することで、効果的に反りを軽減することができる。
【００６８】
（４）
本実施形態に係る軸受部７は、図２に示すように、上述したスラストプレート４を搭載している。
【００６９】
これにより、上述したように、回転中心が振れない、静動性に優れ、信頼性が高い軸受部７を得ることができる。
【００７０】
（５）
本実施形態に係るスピンドルモータ８は、図１に示すように、上述した軸受部７を流体軸受装置として搭載している。
【００７１】
これにより、上述したように、回転中心が振れない、静動性に優れ、信頼性が高いスピンドルモータ８を得ることができる。
【００７２】
（６）
本実施形態に係るＨＤＤ９は、図１に示すように、上述したスピンドルモータ８を搭載している。
【００７３】
これにより、上述したように、回転中心が振れない、静動性に優れ、信頼性が高いＨＤＤ９を得ることができる。
【００７４】
（７）
本実施形態に係るスラストプレート４の製造方法は、図４に示すように、スラストプレート４の反りを測定するステップＳ４と、その反りを軽減するために、反りに対応した位置にレーザをスポット照射するステップＳ５と、を行う。
【００７５】
これにより、スラストプレート４が軸受部７に組み込まれた後であっても、スラストプレート４の反りを軽減することが可能であり、かつ、動圧発生溝４４の形成によって生じた内部応力によるスラストプレート４の反りも同時に軽減される。
【００７６】
したがって、上述のようにスラストプレート４の反りが軽減された結果、軸受部７の回転時における、動圧が安定し、軸とスラスト板との間隔が一定に保たれる。この結果、スラストプレート４を備えた軸受部７の信頼性を向上させ、かつ長寿命化が図れる
【００７７】
（８）
本実施形態に係るスラストプレート４の製造方法は、ステップＳ５においては、複数のスポット照射によって、レーザを照射する。
【００７８】
これにより、局所的に照射されるそれぞれのスポット照射は、それぞれの照射条件を個別に設定することが可能になり、レーザフォーミングの自由度や調整度合いの幅を広げることが可能になる。
この結果、高い平面度を有するスラストプレート４の形成を精度よく行うことが可能になる。
【００７９】
（９）
本実施形態に係るスラストプレート４の製造方法は、ステップＳ５において、レーザの照射条件は、出力３８００Ｗ、スポット径５μｍ、照射時間０．００４秒／スポットである。
【００８０】
これにより、レーザフォーミングにおける温度勾配や高温となる領域の精密な制御が可能になる。したがって、スラストプレート４に生じた反りに対して、高い加工精度の要求に対応することが可能な製造方法を得ることができる。
【００８１】
［他の実施形態］
以上、本発明の望ましい実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
（Ａ）
上記実施形態では、図３（ｂ）に示すように、スポット照射の照射位置が、スラストプレート４の中央部付近として説明した。しかし本発明はこれに限定されるものではない。
【００８２】
例えば、中央部付近に限らず、スラストプレート４に反りが生じている場所や反りの度合いが高い領域に、レーザのスポット照射を行ってもよい。つまり、図７（ａ）に示すように、局所的に反りが生じている場合、または、図７（ｂ）に示すように、反りの中心が偏在している場合などには、それぞれの反りの形状に対応した位置にレーザをスポット照射する。
【００８３】
これにより、中央部付近以外に反りが生じた場合であっても、その反りを軽減することが可能になる。したがって、例えば、動圧発生溝４４の形成やスラストプレート４のスリーブ２への取り付け以外の要因により生じた、中央部付近以外の反りにも、柔軟に対応することが可能となり、常に、平坦なスラストプレート４を得ることが可能になる。
【００８４】
（Ｂ）
上記実施形態では、レーザの照射が、スラストプレート４の反りを軽減するためのレーザフォーミングである例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００８５】
例えば、レーザによるマーキング（レーザマーキング）であってもよい。つまり、図８に示すように、ＱＲコード４７などの識別コードを、スラストプレート４の面４２上に形成したものであってもよい。また、ＱＲコード４７以外にも、数字やロゴマークなどであってもよい。
【００８６】
ここでのレーザマーキングは、レーザのビーム熱を利用して、物質の表面の焼き付け（酸化）や剥離などによってレーザの照射領域の光の反射率や色を変化させる。
これにより、例えば、スラストプレート４の製造密番を表すコードが、流体軸受装置の組み立て後であっても、スラストプレート４の面４２上に容易に形成することができる。また、スラストプレート４に非接触で識別コードを刻印することが可能になり、廃材を出したり、インクなどの他の資材・資源を必要としたりしない。したがって、製造工程におけるスループットの向上やコストの削減が可能になる。
【００８７】
また、特に、ＱＲコード４７を形成した場合は、このＱＲコード４７が有する情報の冗長性により、ＱＲコード４７の一部の領域が損失したり汚染によって読み取ることができない状態であったりしても、その情報を他の領域から復元することが可能である。したがって、スラストプレート４の表面が汚染されたり削り取られたりしても、従来よりも高い確率で識別コードを読み取ることが可能になる。
【００８８】
（Ｃ）
上記実施形態では、レーザ被照射部４３が、レーザによる複数のスポット照射である例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００８９】
例えば、図９に示すように、レーザ被照射部４３は、単一のレーザの照射を所望の長さおよび形状に走査させることによって形成したものであってもよい。
これによっても、スラストプレート４の反りに対応したレーザフォーミングを行うことが可能であり、その反りを軽減することが可能である。
【００９０】
（Ｄ）
上記実施形態では、スラストプレート４をスリーブ２に対して取り付ける際に、スリーブ２の端部２１に設けられた係止部２１によってスラストプレート４の側端部４５が係止される（かしめられる）例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９１】
例えば、スラストプレートの固定方法としては、かしめによる固定方法以外にも、接着による固定方法や圧入による固定方法、あるいは、これらを組み合わせた固定方法を採用してもよい。
【００９２】
（Ｅ）
上記実施形態では、スラストプレート４におけるスラストフランジ３に対向する面４１に動圧発生溝４４が形成されている例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９３】
例えば、スラストプレート側の面に動圧発生溝が形成されておらず、対向する軸側の面に動圧発生溝が形成されている構成であってもよい。
この場合でも、スラストプレートをスリーブに対して取り付ける際に生じた反りを、レーザの照射によって平滑化する、もしくは軸側の面の平面度に合うように調整することが可能であり、信頼性の高い流体軸受装置を構成することができる。
【００９４】
（Ｆ）
上記実施形態では、レーザ被照射部４３の直径が約５μｍである例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、直径が１０μｍ以上であってもよいし、５μｍ未満であってもよい。これは、照射するレーザのスポット径によって調整することが可能なものであり、また、レーザ発生装置とスラストプレート４との距離によっても調整可能である。
【００９５】
（Ｇ）
上記実施形態では、動圧発生溝４４の上面視におけるパターンを図３（ａ）に示すヘリングボーン形状である例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９６】
例えば、スパイラル形状等のような他の形状によって、動圧発生溝を形成してもよい。
（Ｈ）
上記実施形態では、図２に示すように、スラストプレート４がスリーブ２の一方の端部に直接取り付けられる構成を例に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９７】
例えば、図１０に示すように、スリーブ２の外周面側にブラケット５１を設け、このブラケット５１にスリーブ２を嵌め込む。そして、スラストプレート４は、ブラケット５１の一方の端部に設けられた係止部５２によって、スリーブ２の一方の端部に押し当てられて固定される構成であってもよい。
【００９８】
（Ｉ）
上記実施形態では、動圧発生溝４４の形成方法として、エッチングを例に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９９】
例えば、電解加工や電解エッチングやコイニングによって形成する形成方法であってもよい。
これによっても、上記実施形態と同様の動圧発生溝を形成することが可能である。
【０１００】
（Ｊ）
上記実施形態では、スラストプレート４の反りや凹凸を検査する測定方法として、レーザフォーカス変位計を例に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０１】
例えば、他の光学式や過電流式を用いた非接触式の測定方法あるいは接触型の段差計などを用いた測定方法であってもよい。
これらの方法は、検査対象（検査面積）の大きさや反りの具合などによって、それぞれ独自の優位性を有している。したがって、検査対象に適した測定方法を用いることができる。この結果、それぞれの測定方法において、効率的にスラストプレート４の反りを測定することが可能になる。
【０１０２】
（Ｋ）
上記実施形態では、スラストプレート４の反りの検査およびレーザの照射すなわち製造工程におけるステップＳ４およびステップＳ５を、スリーブ２にスラストプレート４を固定した後に行う例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、スラストプレート４をスリーブ２に固定する前に上記ステップＳ４・Ｓ５を行ってもよい。
【０１０３】
（Ｌ）
上記実施形態では、スラストプレート４のブランクの形成方法（ステップＳ１）として、材料（ＳＵＳ４２０Ｊ２）をプレス加工によって円板状に打ち抜く方法を例に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、材料を切削加工によって円板状に切削する方法であってもよい。
【０１０４】
（Ｍ）
上記実施形態では、スラストプレート４の反りの検査およびレーザの照射すなわち製造工程におけるステップＳ４およびステップＳ５を、スリーブ２にスラストプレート４を固定した後に行う例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０５】
例えば、同一の金型によって形成された複数のスラストプレート４の反りの傾向は、ほぼ同じであることが多い。そのためこのような同一の金型を用いて多数のスラストプレート４を形成（量産）する場合においては、形成された複数のスラストプレート４の中から所定数（例えば１つ）のスラストプレート４に対してのみ、反りの検査（ステップＳ４）を行う（サンプリングを行う）。そして、残りのスラストプレート４に対しても、そのサンプリングの結果に基づいたレーザ照射条件を適用してステップＳ５を行うようにしてもよい。
【０１０６】
これにより、同一の金型から多数のスラストプレート４を形成する場合、そのスラストプレート４の反りの検査回数を減らすことが可能になる。したがって、反りが軽減されたスラストプレート４を、効率的に量産することが可能になる。
【０１０７】
（Ｎ）
上記実施形態では、レーザのスポット照射の照射条件として、レーザを発生する半導体レーザの出力３８００Ｗ（電圧２００Ｖ、電流１９Ａ）、スラストプレート４表面におけるスポット径５μｍ、照射時間０．００４秒／スポット、を例に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、他の照射条件によってレーザ被照射部４３を形成してもよい。
【０１０８】
（Ｏ）
上記実施形態では、軸回転型のスピンドルモータ８に搭載された流体軸受装置（軸受部７）を例として挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、軸固定型のスピンドルモータに搭載される流体軸受装置に対して本発明を適用してもよい。
【０１０９】
（Ｐ）
なお、上記実施形態では、本発明に係る流体軸受装置が搭載されたスピンドルモータを含む情報装置としてＨＤＤ９を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１１０】
例えば、光磁気ディスク装置、光ディスク装置、フロッピー（登録商標）ディスク装置、ビデオカセットレコーダやデータストリーマに用いられる回転ヘッド装置、レーザスキャナやレーザプリンタなどに用いられるポリゴンモータ装置等のような、他の情報装置に対しても、本発明の適用は当然に可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１１１】
本発明に係るスラスト板の製造方法は、スラスト板が流体軸受装置への組み込み後でも平坦にすることができるという効果を奏することから、スラスト板の製造方法としてのみならず、製造工程によって変形してしまう部材の加工方法として広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るＨＤＤ内部の主要部分の構成を示す側面視断面図。
【図２】図１のＨＤＤに搭載された軸受部（流体軸受装置）の側面視断面図。
【図３】（ａ）は、図２の軸受部に備えられたスラストプレート（スラスト板）の上面視平面図。（ｂ）は、図２の軸受部に備えられたスラストプレートの下面視平面図。
【図４】本実施形態に係るスラストプレートの製造工程フローを示すチャート図。
【図５】（ａ）は、図４に示す製造工程のステップＳ３においてスラストプレートをかしめる前の状態を示す図。（ｂ）は、図４に示す製造工程のステップＳ３においてスラストプレートをかしめた後の状態を示す図。
【図６】図４に示す製造工程のステップＳ３後におけるスラストプレートの側面視図。
【図７】（ａ）は、本発明の他の実施形態に係る、スラストプレートの反りが局所的に生じた場合における、スラストプレートの反りとレーザの照射位置との対応関係を示す図。（ｂ）は、スラストプレートの反りの中心が偏在して生じた場合における、スラストプレートの反りとレーザの照射位置との対応関係を示す図。
【図８】本発明の他の実施形態に係るスラストプレートの下面視平面図。
【図９】本発明の他の実施形態に係るスラストプレートの下面視平面図。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る流体軸受装置の側面視断面図。
【符号の説明】
【０１１３】
１      シャフト（軸）
２      スリーブ
２ａ    軸受孔
２ａａ  開口端
２ａｂ  閉鎖端
２ａｃ  大径孔部
３      スラストフランジ
４      スラストレート（スラスト板）
５      カバー
５ａ    内周開口部
６      連通孔
７      軸受部（流体軸受装置）
８      スピンドルモータ
９      ＨＤＤ（情報装置）
１０    記録再生ヘッド
１１    磁気シールド板
１２    内周シール部
１５    ベース
１６    ロータハブ
１７    ロータマグネット
１８    ステータコイル
１９    ステータコア
２０    潤滑流体（オイル）
２１    係止部
４１    面
４２    面
４３    レーサ被照射部
４３ａ  スポット被照射部
４４    動圧発生溝
４４ａ  凹部分
４５    側端部
４７    ＱＲコード
５１    ブラケット
５２    係止部
【図１】
2009030746.tif 000003
【図２】
2009030746.tif 000004
【図３】
2009030746.tif 000005
【図４】
2009030746.tif 000006
【図５】
2009030746.tif 000007
【図６】
2009030746.tif 000008
【図７】
2009030746.tif 000009
【図８】
2009030746.tif 000010
【図９】
2009030746.tif 000011
【図１０】
2009030746.tif 000012