(57)【要約】【課題】半導体装置の放電ノイズに基づく誤動作が、伝導ノイズと放射ノイズとのどちらの影響が大きいかを特定する電磁耐性評価方法を提供する。【解決手段】本発明の電磁耐性評価方法は、配線基板（３０）に実装された半導体装置（３１）の電磁耐性評価方法であって、半導体装置（３１）を動作させ、半導体装置（３１）の外部から第１放電ノイズを印加し、第１放電ノイズに基づく半導体装置（３１）の第１誤動作の情報を出力し、導電性シールド（４０）を用いて半導体装置（３１）を覆い、導電性シールド（４０）を含む配線基板（３０）に第２放電ノイズを印加し、第２放電ノイズに基づく導電性シールド（４０）で覆われた半導体装置（３１）の第２誤動作の情報を出力して、配線基板（３０）に実装された半導体装置（３１）の電磁耐性評価を行う。【選択図】図３
2009186444.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板に実装された半導体装置の電磁耐性評価方法であって、
前記半導体装置を動作させ、
前記半導体装置の外部から第１放電ノイズを印加し、
前記第１放電ノイズに基づく前記半導体装置の第１誤動作の情報を出力し、
導電性シールドを用いて前記半導体装置を覆い、
前記導電性シールドを含む前記配線基板に第２放電ノイズを印加し、
前記第２放電ノイズに基づく前記導電性シールドで覆われた前記半導体装置の第２誤動作の情報を出力して、
配線基板に実装された半導体装置の電磁耐性評価を行う電磁耐性評価方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電磁耐性評価方法であって、
前記第１誤動作の情報と前記第１放電ノイズの放電電圧とに基づいて前記半導体装置の第１ノイズ耐量を求め、
前記第２誤動作の情報と前記第２放電ノイズの放電電圧とに基づいて前記導電性シールドで覆われた前記半導体装置の第２ノイズ耐量を求める
電磁耐性評価方法。
【請求項３】
請求項２に記載の電磁耐性評価方法であって、
更に、前記第１ノイズ耐量と前記第２ノイズ耐量とを比較する
電磁耐性評価方法。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の電磁耐性評価方法であって、
前記半導体装置はプログラムを有し、
前記配線基板は、前記プログラムの実行結果を出力する結果出力部と、前記半導体装置と配線を介して接続される印加部とを備え、
前記半導体装置の動作は前記プログラムを実行することによりなされ、
前記第１放電ノイズの印加は前記印加部になされ、
前記結果出力部が前記第１誤動作の情報を出力し、
前記第２放電ノイズの印加は前記印加部になされ、
前記結果出力部が前記第２誤動作の情報を出力する
電磁耐性評価方法。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の電磁耐性評価方法であって、
前記導電性シールドを用いて前記半導体装置を覆うことは、
リード線を介して前記導電性シールドを前記配線基板の外部の基準電位供給部に接続すること
を含む
電磁耐性評価方法。
【請求項６】
半導体装置と前記半導体装置の動作結果を出力する結果出力部とを有する配線基板と、
前記半導体装置の外部から放電ノイズを印加する放電部と
を具備し、
前記配線基板は、
前記半導体装置を覆って前記放電ノイズの印加に基づく放射ノイズを遮断する導電性シールド
を備え、前記導電性シールドは前記半導体装置を覆って前記放射ノイズを遮断することと、覆わずに前記放射ノイズに曝すことを切替え可能であり、前記結果出力部は前記導電性シールドが前記半導体装置を覆っていないときの第１放電ノイズに基づく前記半導体装置の第１誤動作の情報と、前記導電性シールドが前記半導体装置を覆うときの第２放電ノイズに基づく前記半導体装置の第２誤動作の情報とを出力する
電磁耐性評価装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電磁耐性評価装置であって、
前記配線基板は、
前記半導体装置と配線を介して接続し、前記放電ノイズが印加される印加部
を備える
電磁耐性評価装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の電磁耐性評価装置であって、
前記配線基板の外部の基準電位供給部と、
前記導電性シールドと前記基準電位供給部とを接続するリード線と、
を更に備える
電磁耐性評価装置。
【請求項９】
請求項６乃至８の何れか一項に記載の電磁耐性評価装置であって、
前記半導体装置はプログラムを有し、
前記結果出力部は前記プログラムの実行結果を出力する
電磁耐性評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁耐性評価方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
遊戯装置（パチンコ）用に使用される半導体装置は、電磁ノイズ等が非常に多い半導体装置にとって劣悪な環境下に置かれる場合が多い。また、遊戯装置の他にも、静電気ノイズ、電磁界ノイズ等に起因する電子機器の誤動作が問題になっている。そのような中で、電磁ノイズに対する評価方法が考えられている。
【０００３】
特許文献１には、様々な屋内環境に対する各種の電波通信特性を測定、評価することの可能な電磁環境評価方法及びシステム装置が提案されている。図１は、特許文献１の電磁環境評価システム装置の概略構成を示す一部縦断側面図である。図１を参照すると、電磁環境評価システム装置は、現実屋内空間を構成する際に適用される建築材料とそれぞれ材質的に等価の可換壁材６、可換天井材７及び可換床材８を組み合わせてなり、かつ、その外周面の全領域に外界との電磁的な連続性を遮断する電波吸収体９を設定してなる理想屋内空間構成体１を設ける。理想屋内空間構成体１の任意の二点間電波の送受信（送信機２、送信アンテナ３、受信機４、受信アンテナ５）を行って各種電波通信特性を測定する。この測定結果に基づき、可換壁材６、可換天井材７及び可換床材８の材質の組み合わせにより決定付けられる理想屋内空間の電磁環境や、各種構造物の種別、材質及び配置場所により決定付けられる理想屋内空間の電磁環境を正確に評価することが出来るというものである。
【０００４】
特許文献２には、静電破壊試験に関する技術が開示されている。図２は、特許文献２の静電破壊試験の模式構成図である。図２を参照すると、この静電破壊試験装置は、絶縁テーブル１０の上に試験対象である磁器テープ１１を信号記録面を上面に向けて載置し、ＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなどのＭＲヘッド１２を所定の圧力で押圧する。ヘッドの押圧位置から所定の距離を離間した位置で、ＥＳＤガン（ＥＳＤシミュレータ）１３から静電気１４を発生させ、磁気テープ１１に放電する。このときのＭＲヘッド１２から流れるＥＳＤ電流ＩＥＳＤをプローブ１５を介して高速オシロスコープ１６により測定するというものである。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２３１００３号公報
【特許文献２】特開２００４−２５３０８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
遊戯装置（パチンコ）用等の半導体装置は、使用される外部環境から大きな電磁ノイズを受け誤動作を起こす虞があり、その対策が要求されている。誤動作の原因追求のためには、これらの電磁ノイズが伝導ノイズによるものなのか、放射ノイズによるものなのかを切り分ける必要がある。特許文献１及び２の技術は公開されているものの、誤動作を起こす電磁ノイズの原因の切り分けのための手法や装置については知られていない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下に、発明を実施するための最良の形態（実施例）で使用される符号を括弧付きで用いて、課題を解決するための手段を記載する。この符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための最良の形態・実施例の記載との対応を明らかにするために付加されたものであり、特許請求の範囲に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【０００８】
本発明の電磁耐性評価方法は、配線基板（３０）に実装された半導体装置（３１）の電磁耐性評価方法であって、半導体装置（３１）を動作させ、半導体装置（３１）の外部から第１放電ノイズを印加し、第１放電ノイズに基づく半導体装置（３１）の第１誤動作の情報を出力し、導電性シールド（４０）を用いて半導体装置（３１）を覆い、導電性シールド（４０）を含む配線基板（３０）に第２放電ノイズを印加し、第２放電ノイズに基づく導電性シールド（４０）で覆われた半導体装置（３１）の第２誤動作の情報を出力して、配線基板（３０）に実装された半導体装置（３１）の電磁耐性評価を行う。このような電磁耐性評価方法は、導電性シールド（４０）が半導体装置（３１）に誤動作を引き起こす放電ノイズのうちの放射ノイズを遮断した中で、電磁耐性評価を行うことが出来る。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の電磁耐性評価方法は、半導体装置の放電ノイズに基づく誤動作が、伝導ノイズと放射ノイズとのどちらの影響が大きいかを評価することができ、誤動作の原因追求の特定につなげることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態による電磁耐性評価方法を説明する。
【００１１】
本発明の電磁耐性評価方法の実施の形態を説明する。図３は、本発明の電磁耐性評価方法を実施する電磁耐性評価装置１００の構成例を示した斜視図である。図３を参照すると、本発明の実施の形態による電磁耐性評価装置１００は、放電部２０と、配線基板３０と、導電性シールド４０と、基準電位供給部５０と、支柱６０と、リード線７０とを具備する。
【００１２】
放電部２０はＥＳＤガンなどからなり、放電電圧の調整機能、放電回数の設定機能及び表示機能を有する。放電部２０は、設定に基づく放電電圧の放電ノイズを設定された印加回数で配線基板３０へ印加する。配線基板３０は、放電部２０から任意の放電電圧の放電ノイズを印加される。導電性シールド４０は、銅、アルミ、鉄などの高い誘電率と高い透磁率とを有する材料などからなり、空中を伝播する放射ノイズを遮断することができる。基準電位供給部５０は、配線基板３０の電位を安定化させるために備わる。支柱６０は、配線基板３０と基準電位供給部５０とが接触しないように支持する。リード線７０は、放電部２０によって印加された後の導電性シールド４０の電位を安定化させるために、導電性シールド４０と基準電位供給部５０とを接続する。
【００１３】
配線基板３０は、半導体装置３１と、印加部３２と、電源部３３と、配線基板ＧＮＤ部３４と、発振器部３５と、リセット部３６と、結果出力部３７とを含む。配線基板３０は、本発明の電磁耐性評価を実施するにあたり、実装する配線基板と半導体装置３１のみを変えた評価専用の配線基板とのどちらでもよい。
【００１４】
半導体装置３１は、本発明の電磁耐性評価を行う対象である。半導体装置３１は、プログラムとプログラムを格納する記憶部を含む。半導体装置３１は、正常な処理動作が実行されていることを確かめるために発振器部３５から供給されるクロック信号とリセット部３６から供給されるリセット信号とに基づきプログラムを実行し、プログラムの結果を結果出力部３７へ提供する。印加部３２は、放電部２０が放電ノイズを印加する場所である。印加部３２は、配線基板３０上の任意の場所に設けることが出来る。電源部３３は電源を取得し、配線基板３０へ電源を供給する端子である。配線基板ＧＮＤ部３４は、配線基板３０の電源のグランド端子である。発振器１０６は、配線基板３０に電源が供給されると半導体装置３１へクロック信号を与える。発振器１０６は、放電部２０からの放電ノイズの影響を受けないように配線基板の裏面に配置される。リセット部３６は、半導体装置３１にリセット信号を提供する。リセット部３６からリセット信号が提供されると、半導体装置３１に含まれるプログラムの実行が開始する。結果出力部３７は、半導体装置３１が実行するプログラムの実行結果を出力する。実行結果としては、半導体装置３１が正常に処理動作していることを示す正常動作の情報と、誤動作を示す誤動作の情報を含む。結果出力部３７は、ＬＥＤ等のユーザが認識出来るように出力するものが例示される。例えば、結果出力部３７がＬＥＤであるとすると、半導体装置３１に含まれるプログラムは正常動作の情報としてＬＥＤを点滅させ、誤動作の情報としてＬＥＤが消灯又は点灯するようにプログラムされている方法が例示される。ユーザは、結果出力部３７が出力する実行結果に従って、半導体装置３１が正常の動作であるか、又は誤動作であるかを認識することが出来る。
【００１５】
導電性シールド４０は、放電部２０が印加部３２へ放電ノイズを印加した際に、半導体装置３１に対する空中を伝播する放射ノイズを遮断する。導電性シールド４０は、半導体装置３１を覆うことで放射ノイズを半導体装置３１に到達しにくくすることが出来る。導電性シールド４０の大きさ及び形は、配線基板３０からはみ出さず半導体装置３１を覆うことが出来るものであればどのようなものでよい。導電性シールド４０は、半導体装置３１を覆うことと覆わないことの切替えが出来る。切替えは、ユーザが手動で設置することによって行われる。導電性シールド４０が、半導体装置３１を覆っている場合は放射ノイズを遮断し、覆っていない場合は放射ノイズに曝される。即ち、本発明の電磁耐性評価装置１００は、半導体装置３１を導電性シールド４０で覆う場合と覆わない場合との二つを測定することで、半導体装置３１が放電ノイズで誤動作を引き起こした場合に、誤動作は放射ノイズの影響が強いのか配線基板３０を伝導する伝導ノイズの影響が強いのかを判定することを可能にする。
【００１６】
図４は、導電性シールド４０が半導体装置３１を覆っていないときの本発明の電磁耐性評価装置１００の部分断面図である。図５は、導電性シールド４０が半導体装置３１を覆っているときの本発明の電磁耐性評価装置１００の部分断面図である。図４及び図５を参照して、本発明の電磁耐性評価装置１００における半導体装置３１の誤動作が、伝導ノイズと放射ノイズとのどちらの影響に基づくものかを判定する方法を説明する。図４を参照すると、半導体装置３１と印加部３２とは、配線３８を介して接続している。放電部２０から印加部３２へ放電ノイズが印加されると、伝導ノイズＡは配線３８を伝導して半導体装置３１のパッケージ部３１ａに到達する。さらに、伝導ノイズＡは、半導体装置３１の内部配線３１ｂへ侵入する。また、放射ノイズＢは、空中を伝播し半導体装置３１のパッケージ部３１ａに到達し、内部配線３１ｂに侵入する。半導体装置３１は、侵入したこれら放電ノイズによって誤動作を引き起こす虞がある。
【００１７】
図５を参照すると、伝導ノイズＡは図４と同様に配線３８を伝導し半導体装置３１へ到達する。しかし図５では、導電性シールド４０が半導体装置３１を覆っているため、放射ノイズＢは遮断され半導体装置３１に到達しにくくなる。つまり、放射ノイズの影響を受けない状態での電磁耐性評価を行うことが出来る。また、導電性シールド４０は非接触部４１を含んでいる。非接触部４１は、導電性シールド４０と配線３８とが接触しないように構成されたものである。非接触部４１は、例えば非導電性のコーティング材が導電性シールド４０の配線基板３０との接地面に施される方法や、導電性シールド４０の配線基板３０との接触面が切り欠きされて、配線３８と接触しないように構成する方法などが可能である。
【００１８】
図６は、図５に示した本発明の電磁耐性評価装置１００の部分断面図にリード線７０を加えた断面図である。本発明の電磁耐性評価装置１００は、導電性シールド４０と基準電位供給部５０とをリード線で接続することも出来る。図６を参照すると、導電性シールド４０と基準電位供給部５０とをリード線７０が接続している。導電性シールド４０と基準電位供給部５０とをリード線７０で接続することによって、導電性シールド４０を電位的に安定化させるため、より正確な電磁耐性評価が可能となる。
【００１９】
図７は、放射ノイズが載りやすい波長λ（ｍ）と配線３８の長さ（ｍ）の関係を示した図である。配線長がλ／２に比例するとき放射ノイズは配線３８に乗りやすくなる。
【００２０】
図８は、本発明の電磁耐性評価方法の実施の形態による処理動作を示したフローチャートである。図８を参照して、本発明の実施の形態による処理動作を説明する。
【００２１】
半導体装置３１が導電性シールド４０に覆われていない状態で、配線基板３０の電源部３３は外部から電源を供給される。発振器３５は、電源が供給されると半導体装置３１にクロック信号を供給する。クロック信号が供給されている状態でリセット部３６を動作させると、半導体装置３１は内部に含まれるプログラムを実行する。結果出力部３７は、半導体装置３１に含まれるプログラムの実行結果を出力する。本説明では結果出力部３７はＬＥＤであるとする。実行結果は、正常に処理動作していることを示す正常動作の情報（ＬＥＤ点滅とする）と、誤動作を示す誤動作の情報（ＬＥＤ点灯及びＬＥＤ消灯とする）を含む。ユーザは、ＬＥＤの点滅を確認し半導体装置３１が正常動作であることを判断する（ステップＳ０１）。
【００２２】
放電部２０は、ユーザ操作によって配線基板３０の印加部３２に任意の放電ノイズを印加する。結果出力部３７は、任意の放電ノイズが印加された後の半導体装置３１の実行結果を出力する。ここでユーザは、ＬＥＤが点灯又は消灯する誤動作の情報を確認すると、誤動作を引き起こした放電ノイズの放電電圧を確認する。確認した放電電圧に基づき、半導体装置３１のノイズ耐量１を取得する（ステップＳ０２）。ノイズ耐量１は、半導体装置３１が導電性シールド４０によって覆われていない場合のノイズ耐量を示す。
【００２３】
ここで、ノイズ耐量の算出方法を説明する。図９は、ノイズ耐量の算出方法を示したフローチャートである。図９のステップＳ１０は、図８のステップＳ０１と同様である。評価対象の半導体装置３１は、内部に有するプログラムを実行する。結果出力部３７は半導体装置３１のプログラムの実行結果を出力する。ユーザは、結果出力部３７のＬＥＤの点滅を確認し半導体装置３１の正常動作を判断する（ステップＳ１０）。
【００２４】
放電部２０は、ユーザ入力によって印加する放電ノイズの放電電圧ｖ（ｋＶ）と、最大印加回数Ｎとを設定される（ステップＳ１１）。放電部２０は、設定された放電電圧ｖ（ｋＶ）を放電部２０から配線基板３０の印加部３２へ印加する（ステップＳ１２）。
【００２５】
配線基板３０の結果出力部３７は、放電電圧ｖ（ｋＶ）の放電ノイズが印加された後の半導体装置３１の実行結果を出力する。ユーザは、実行結果が正常動作の情報（ＬＥＤの点滅）と誤動作の情報（ＬＥＤの点灯又は消灯）とのどちらであるかを判定する（ステップＳ１３）。
【００２６】
結果出力部３７の出力情報が誤動作の情報（ＬＥＤの点灯又は消灯）である場合は、ユーザは誤動作の情報に基づき誤動作を起こした放電ノイズの放電電圧ｖ（ｋＶ）から１（ｋＶ）を引いた値をノイズ耐量に決定する（ステップＳ１４）。
【００２７】
結果出力部３７の出力情報が正常動作の情報（ＬＥＤ点滅）である場合は、ユーザは再び放電部２０に同じ放電電圧の放電ノイズを印加させるコマンドを入力する。放電部２０は同じ放電電圧の放電ノイズを印加させるコマンドを取得すると、放電電圧ｖ（ｋＶ）の印加回数ｎが最大印加回数Ｎに到達したかどうかを判定する（ステップＳ１５）。放電部２０が一定の回数の放電ノイズを与えている最中に結果出力部３７の出力情報を取得する方法でもよい。
【００２８】
放電部２０は、放電電圧ｖ（ｋＶ）の放電ノイズの印加回数ｎが最大印加回数Ｎに到達していない場合、印加回数に１を加える（ステップＳ１６）。
【００２９】
放電部２０は、放電電圧ｖ（ｋＶ）の放電ノイズの印加回数ｎが最大印加回数Ｎに到達した場合、印加を行わない。ユーザは、放電電圧ｖ（ｋＶ）を上げるか否かを判定する（ステップＳ１７）。
【００３０】
ユーザが放電電圧ｖ（ｋＶ）を上げると判定した場合、放電電圧ｖ（ｋＶ）に１（ｋＶ）加える（ステップＳ１８）。
【００３１】
ユーザが放電電圧ｖ（ｋＶ）を上げないと判定した場合、放電電圧ｖ（ｋＶ）をノイズ耐量に決定する（ステップＳ１９）。以上、ノイズ耐量の算出方法について説明したが、放電ノイズの放電電圧ｖ（ｋＶ）の電圧を上げる単位は１（ｋＶ）に限るものではない。
【００３２】
図８を参照して、次に、ユーザは導電性シールド４０を用いて半導体装置３１を覆う。導電性シールド４０で覆われた半導体装置３１は、ステップＳ０１と同様に電源が供給されると、発振器部３５よりクロック信号が供給される。リセット部３６の動作によって、半導体装置３１に含まれるプログラムを実行し、結果出力部３７はプログラムの実行結果を放電受容制御部３２へ出力する。ユーザは、結果出力部３７から提供された情報が正常動作の情報（ＬＥＤ点滅）であることを確認する（ステップＳ０３）。
【００３３】
ステップＳ０２及び図９のフローチャート同様にノイズ耐量２を取得する。ノイズ耐量２は、導電性シールド４０で覆われた半導体装置３１のノイズ耐量である（ステップＳ０４）。
【００３４】
ユーザは、ノイズ耐量１とノイズ耐量２とを比較する（ステップＳ０５）。ノイズ耐量１とノイズ耐量２とが等しい場合は、導電性シールド４０による放射ノイズの遮断効果は少なく、誤動作の原因は伝導ノイズとして特定される（ステップＳ０６）。ノイズ耐量２がノイズ耐量１よりも大きい場合は、導電性シールド４０による放射ノイズの遮断効果が大きいことがわかり、誤動作の原因は放射ノイズとして特定される（ステップＳ０７）。ノイズ耐量１がノイズ耐量２よりも大きい場合は、伝導ノイズと放射ノイズとの影響の関係性がはっきりしない（ステップＳ０８）。半導体装置３１の動作状態、放電状態、導電性シールド４０への帯電状態など他の原因を調べる（ステップＳ０９）。
【００３５】
本発明の電磁耐性評価方法及び電磁耐性評価装置１００は、評価対象の半導体装置３１が放電ノイズによって誤動作を生じてしまう場合に、誤動作の原因が配線基板３０を伝導する伝導ノイズと空中を伝播する放射ノイズとのどちらの影響が大きいのかを評価することが出来る。何故なら、半導体装置３１を放射ノイズから導電性シールド４０によって遮断することで放射ノイズの影響を排除することが出来るからである。このように誤動作の原因を特定することによって、配線基板３０と半導体装置３１とのどちらを対処すれば良いかが明確になり半導体装置の開発をより効率的に経済的に行うことが可能となる。
【００３６】
本発明の実施の形態では、半導体装置３１の具体例として半導体集積回路などが挙げられる。また、半導体装置３１はプログラムを有する例を示しているが半導体装置３１はプログラムを含まずハードウエアで実現されるものでもよい。その場合、リセット部３６のリセット信号によって、ハードウエアの動作が実行され、実行結果が結果出力部３７に出力される。結果出力部３７の構成例は上述したＬＥＤ等が例示できる。配線基板３０は、具体例としてプリント基板が例示されるが、半導体装置を動作させる部品と配線等を実装出来るものであればよい。印加部３２は、導電性を有する金属部材等が挙げられるがこれに限るものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】図１は、特許文献１の電磁環境評価システム装置の概略構成を示す一部縦断側面図である。
【図２】図２は、特許文献２の静電破壊試験の模式構成図である。
【図３】図３は、本発明の電磁耐性評価装置１００の構成例を示した斜視図である。
【図４】図４は、導電性シールド４０が半導体装置３１を覆っていないときの本発明の電磁耐性評価装置１００の部分断面図である。
【図５】図５は、導電性シールド４０が半導体装置３１を覆っているときの本発明の電磁耐性評価装置１００の部分断面図である。
【図６】図６は、図５に示した本発明の電磁耐性評価装置１００の部分断面図にリード線７０を加えた断面図である。
【図７】図７は、放射ノイズが載りやすい波長λ（ｍ）と配線３８の長さ（ｍ）の関係を示した図である。
【図８】図８は、本発明の電磁耐性評価方法の実施の形態による処理動作を示したフローチャートである。
【図９】図９は、本発明の電磁耐性評価方法のノイズ耐量を求める方法を示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００３８】
１      理想屋内空間構成体
２      送信機
３      送信アンテナ
４      受信機
５      受信アンテナ
６      可換壁材
７      可換天井材
８      可換床材
９      電波吸収体
１０    絶縁テーブル
１１    磁気テープ
１２    ＭＲヘッド
１３    ＥＳＤガン
１４    静電気
１５    プローブ
１６    高速オシロスコープ
２０    放電部
３０    配線基板
３１    半導体装置
３１ａ  パッケージ部
３１ｂ  内部配線
３２    印加部
３３    電源部
３４    配線基板ＧＮＤ部
３５    発振器部
３６    リセット部
３７    結果出力部
３８    配線
４０    導電性シールド
４１    非接触部
５０    基準電位供給部
６０    支柱
７０    リード線
【図１】
2009186444.tif 000003
【図２】
2009186444.tif 000004
【図３】
2009186444.tif 000005
【図４】
2009186444.tif 000006
【図５】
2009186444.tif 000007
【図６】
2009186444.tif 000008
【図７】
2009186444.tif 000009
【図８】
2009186444.tif 000010
【図９】
2009186444.tif 000011