(57)【要約】【課題】組立作業時に異物混入の機会を減らすことが出来る構造とする。【解決手段】光学素子（１，２，３，４，５）を収容する内側ケース（９）のフタ（７）を可視光に対して透明にすると共に内側ケース（９）をレーザ光に対して不透明な外側ケース（１０）に収容する。【効果】内側ケース（９）にフタ（７）をしたまま異物混入の検査を行うことが出来るので、異物混入の機会を減らすことが出来る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光学素子（１，２，３，４，５）を収容する内側ケース（９）の少なくともフタ（７）を可視光に対して透明にすると共に前記内側ケース（９）をレーザ光に対して不透明な外側ケース（１０）に収容したことを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ装置において、前記複数の光学素子（１，２，３，４，５）が、半導体レーザ（１）と、レンズ（２）と、固体レーザ媒質（３）と、非線形光学素子（４）と、出力ミラー（５）とであることを特徴とするレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ装置に関し、さらに詳しくは、組立作業時に異物混入の機会を減らすことが出来る構造としたレーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ装置では、半導体レーザなどの複数の光学素子がケースに収容され、異物が混入しないようにされている（特許文献１、２参照。）。
【特許文献１】特開２００５−１７４１０号公報
【特許文献２】特開２００５−３２７８４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のレーザ装置では、安全性の観点からレーザ光の漏れを防ぐために、ケース全体が可視光およびレーザ光に対して不透明にされている。このため、レーザ光の出力低下、ビーム形状の悪化をまねく異物（ゴミ）の混入有無の検査を、ケースのフタを外して行っている。
しかし、ケースのフタを外していると、そのフタを外している時間が異物混入の機会となってしまう問題点がある。
そこで、本発明の目的は、組立作業時に異物混入の機会を減らすことが出来る構造としたレーザ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の観点では、本発明は、複数の光学素子（１，２，３，４，５）を収容する内側ケース（９）の少なくともフタ（７）を可視光に対して透明にすると共に前記内側ケース（９）をレーザ光に対して不透明な外側ケース（１０）に収容したことを特徴とするレーザ装置を提供する。
上記第１の観点によるレーザ装置では、複数の光学素子（１，２，３，４，５）を収容する内側ケース（９）の少なくともフタ（７）を可視光に対して透明にしたので、内側ケース（９）にフタ（７）をしたまま異物混入の検査を行うことが出来る。よって、異物混入の機会を減らすことが出来る。また、内側ケース（９）をレーザ光に対して不透明な外側ケース（１０）に収容するため、レーザ光の漏れを防ぐことが出来て、安全性も確保できる。
【０００５】
第２の観点では、本発明は、前記第１の観点によるレーザ装置において、前記複数の光学素子（１，２，３，４，５）が、半導体レーザ（１）と、レンズ（２）と、固体レーザ媒質（３）と、非線形光学素子（４）と、出力ミラー（５）とであることを特徴とするレーザ装置を提供する。
上記第２の観点によるレーザ装置では、半導体レーザ（１）により固体レーザ媒質（３）を励起し出力ミラー（５）との間で構成される共振器にて基本波を発振させ、非線形光学素子（４）で波長変換し出力ミラー（５）を通して出力することが出来る。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のレーザ装置によれば、内側ケース（９）にフタ（７）をしたまま異物混入の検査を行うことが出来るので、異物混入の機会を減らすことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図に示す実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【０００８】
図１は、実施例１に係る半導体レーザ励起固体レーザ装置１００を示す説明図である。
この半導体レーザ励起固体レーザ装置１００は、励起レーザ光を発振する半導体レーザ１と、励起レーザ光を集光するレンズ２と、励起レーザ光により励起されて基本波を出力する固体レーザ媒質３と、基本波から第２高調波を出力する非線形光学素子４と、基本波を反射し第２高調波を透過する出力ミラー５と、半導体レーザ１〜出力ミラー５を収容する内側ケース９と、内側ケース９の透明フタ７と、内側ケース９の底面外側に設置されたサーモモジュール１１と、内側ケース９を収容する外側ケース１０と、外側ケース１０の不透明フタ６と、外側ケース１０の窓板８を具備している。
【０００９】
半導体レーザ１は、励起レーザ光の波長は例えば８０８．５ｎｍである。
【００１０】
固体レーザ媒質３は、例えばＮｄ：ＹＡＧやＮｄ：ＹＶＯ４である。Ｎｄ：ＹＡＧは、単結晶または微細結晶を焼結したセラミックである。固体レーザ媒質３の半導体レーザ側端面には励起レーザ光では高透過率、例えば波長１０６４ｎｍの基本波では高反射率のコーティングが施されている。反対側の端面は基本波に対するＡＲコートである。
固体レーザ媒質３の端面と出力ミラー５との間で共振器が構成され、例えば波長１０６４ｎｍの基本波が発振する。
【００１１】
非線形光学素子４は、擬似位相整合（ＱＰＭ）素子であり、ＬｉＮｂＯ３，ＬｉＴａＯ３，ＭｇＯ：ＬｉＮｂＯ３，ＭｇＯ：ＬｉＴａＯ３，ＫＮｂＯ３，ＫＴｉＯＰＯ４などに分極反転処理を施すことにより得られる。基本波は、非線形光学素子４で例えば波長５３２ｎｍの第２高調波に変換される。
【００１２】
出力ミラー５は、基本波を反射し、第２高調波を透過する。
【００１３】
内側ケース９、外側ケース１０および不透明フタ６は、アルミニウム製である。
透明フタ７は、可視光を透過するガラス（ＢＫ−７）製である。
窓板８は、レーザ光を透過するガラス製である。
【００１４】
図２は、半導体レーザ励起固体レーザ装置１００の組立手順を示すフロー図である。
ステップＰ１では、内側ケース９の内部に半導体レーザ１〜出力ミラー５を配設すると共に底面外側にサーモモジュール１１を装着する。
【００１５】
ステップＰ２では、内側ケース９に透明フタ７を装着する。
ステップＰ３では、透明フタ７を通して拡大鏡で内側ケース９内を観察し、異物があればステップＰ４へ進み、異物がなければステップＰ６へ進む。
【００１６】
ステップＰ４では、内側ケース９から透明フタ７を外す。
ステップＰ５では、内側ケース９内の異物を除去し、ステップＰ２に戻る。
【００１７】
ステップＰ６では、内側ケース９を外側ケース１０内に設置する。
ステップＰ７では、外側ケース１０に不透明フタ６を装着する。
ステップＰ８では、半導体レーザ励起固体レーザ装置１００を動作させて光学特性を観察し、光学特性が適正であれば終了し、不適正であればステップＰ９へ進む。
【００１８】
ステップＰ９では、外側ケース１０から不透明フタ６を外す。
ステップＰ１０では、外側ケース１０から内側ケース９を取り出す。
【００１９】
ステップＰ１１では、透明フタ７を通して拡大鏡で内側ケース９内を観察し、異物があればステップＰ４に戻り、異物がなければステップＰ１２へ進む。
【００２０】
ステップＰ１２では、内側ケース９から透明フタ７を外す。
ステップＰ１３では、内側ケース９内の半導体レーザ１〜出力ミラー５を配設し直し、ステップＰ２に戻る。
【００２１】
実施例１に係る半導体レーザ励起固体レーザ装置１００によれば、内側ケース９に部品を配設した後、直ちに内側ケース９に透明フタ７を装着し、透明フタ７を通して異物混入検査を行いうるので、異物混入の機会を減らすことが出来る。また、内側ケース９をレーザ光に対して不透明な外側ケース１０に収容し不透明フタ６を装着するため、レーザ光の漏れを防ぐことが出来て、安全性も確保できる。
【００２２】
−比較例−
図３は、半導体レーザ励起固体レーザ装置１００の内側ケース９のフタを不透明フタにした場合の組立手順を示すフロー図である。
ステップＪ１では、内側ケース９の内部に半導体レーザ１〜出力ミラー５を配設すると共に底面外側にサーモモジュール１１を装着する。
【００２３】
ステップＪ２では、拡大鏡で内側ケース９内を観察し、異物があればステップＪ３へ進み、異物がなければステップＪ４へ進む。
【００２４】
ステップＪ４では、内側ケース９に不透明フタを装着する。
ステップＪ５では、内側ケース９を外側ケース１０内に設置する。
ステップＪ６では、外側ケース１０に不透明フタ６を装着する。
ステップＪ７では、半導体レーザ励起固体レーザ装置を動作させて光学特性を観察し、光学特性が適正であれば終了し、不適正であればステップＪ８へ進む。
【００２５】
ステップＪ８では、外側ケース１０から不透明フタ６を外す。
ステップＪ９では、外側ケース１０から内側ケース９を取り出す。
ステップＪ１０では、内側ケース９から不透明フタを外す。
ステップＪ１１では、拡大鏡で内側ケース９内を観察し、異物があればステップＪ３に戻り、異物がなければステップＪ１２へ進む。
【００２６】
ステップＪ１２では、内側ケース９内の半導体レーザ１〜出力ミラー５を配設し直し、ステップＪ２に戻る。
【００２７】
比較例の組立手順では、ステップＪ２，Ｊ３，Ｊ４の最中に内側ケース９内に異物が混入しかねず、異物混入の機会が増えてしまう。また、異物の混入に気付かずにステップＪ４を終えてしまうと、異物混入のまま出荷されてしまう危険性もある。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明のレーザ装置は、バイオエンジニアリング分野や計測分野で利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施例１に係る半導体レーザ励起固体レーザ装置の構成説明図である。
【図２】実施例１に係る半導体レーザ励起固体レーザ装置の組立手順を示すフロー図である。
【図３】比較例における組立手順を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００３０】
１          半導体レーザ
２          レンズ
３          固体レーザ媒質
４          非線形光学素子
５          出力ミラー
６          不透明フタ
７          透明フタ
８          窓板
９          内側ケース
１０        外側ケース
１１        サーモモジュール
１００      半導体レーザ励起固体レーザ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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