(57)【要約】【課題】化学気相蒸着工程に適用でき、内部の電極配列が複数の基板の装着に対応できる基板固定ケースを提供する。【解決手段】ケース１１は、底部に導電部１２を有し、頂部に複数の固定ユニット１６を有し、導電部１２は互いに平行する複数の第一溝部１４と複数の第二溝部１５とを有する。固定ユニット１６は第一溝部１４と第二溝部１５の上方に位置付けられ、第二溝部１５の内部に絶縁ユニット１７を有する。複数の第一電極板２１は、底部が別々に第一溝部１４に嵌め込まれ、頂部が別々に固定ユニット１６に固定されている。複数の第二電極板３１は、底部が別々に絶縁ユニット１７に固定され、頂部が別々に固定ユニット１６に固定されている。複数の支持ユニット４１は、第一電極板２１の底部の両面および第二電極板３１の底部の両面に別々に装着され、基板を装着可能な制限空間が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板の支持に用いられる電極配列を有し、
底部に少なくとも一つの導電部を有し、頂部に複数の固定ユニットを有し、前記導電部は互いに平行する複数の第一溝部と複数の第二溝部とを有し、前記第一溝部と前記第二溝部は互いに一定の距離を置いて交互に配置され、前記固定ユニットは前記第一溝部と前記第二溝部の上方に位置付けられ、前記第二溝部の内部に絶縁ユニットを有するケースと、
底部が別々に前記第一溝部に嵌め込まれ、頂部が別々に前記固定ユニットに固定されている複数の第一電極板と、
底部が別々に前記絶縁ユニットに固定され、頂部が別々に前記固定ユニットに固定されている複数の第二電極板と、
基板の支持に用いられ、前記第一電極板の底部の両面および前記第二電極板の底部の両面に別々に装着され、前記固定ユニットと向かい合うことにより、基板を装着可能な制限空間が形成されている複数の支持ユニットと、
を備えることを特徴とする基板固定ケース。
【請求項２】
前記絶縁ユニットは、収容溝部を有し、前記第二電極板は前記収容溝部の中に嵌め込まれていることを特徴とする請求項１記載の基板固定ケース。
【請求項３】
前記固定ユニットは、両側から下へ延伸して形成されているストッパーを有し、前記第一電極板と前記第二電極板は前記固定ユニットの二つの前記ストッパーの間に位置付けられていることを特徴とする請求項１記載の基板固定ケース。
【請求項４】
前記第一電極板と前記第二電極板のあらゆる電極板の両面に基板が別々に装着されると、前記電極板の両面に位置する前記基板は前記固定ユニットの二つの前記ストッパーによって制限されることを特徴とする請求項３記載の基板固定ケース。
【請求項５】
前記支持ユニットは、外側から上に延伸して形成されている壁部を有することを特徴とする請求項１記載の基板固定ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物を置くための固定ケースに関し、特に、電極配列を有する基板固定ケースに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
周知の基板固定ケースは、固定ケースに数多くの基板を直立させて配列するか、基板を積み重ねることが可能である。固定ケースは、基板の収容に用いられるため、内部に収容格または収容空間を有する。
アモルファスシリコン系の薄膜太陽電池の製造過程における最も重要な部分は、アモルファスシリコン薄膜であるとされる。その生成方法は、プラズマ化学気相蒸着法（Plasma-Enhance Chemical Vapor Deposition、ＰＥＣＶＤ）を採用することが一般的である。生成チャンバー内に単一の基板を装着し、そののち、化学気相蒸着を行うことが現今の製造工程であるのに対し、複数の基板に化学気相蒸着を同時に行うことを可能にする製造工程およびそれに対応して複数の基板を載せることを可能にする固定ケースはまだ提案されていない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の主な目的は、化学気相蒸着工程に適用し、かつ複数の基板を載せることを可能にする電極配列を有する基板固定ケースを提供することである。
本発明のもう一つの目的は、内部の電極配列が複数の基板の装着に対応し、電極配列を有する基板固定ケースを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上述の目的を達成するために、本発明による基板固定ケースは、複数の基板を載せるため、ケース、複数の第一電極板、複数の第二電極板および複数の支持ユニットを備える。ケースは、底部に導電部を有し、導電部は互いに平行する複数の第一溝部と複数の第二溝部を有し、第一溝部と第二溝部は互いに一定の距離を置いて交互に配置される。かつケースは、頂部に第一溝部と第二溝部の上方に位置する複数の固定ユニットを有し、第二溝部は内部に絶縁ユニットを有する。第一電極板は、底部が第一溝部に別々に嵌め込まれ、頂部が固定ユニットに別々に固定される。第二電極板は、底部が絶縁ユニットに別々に固定され、頂部が固定ユニットに別々に固定される。支持ユニットは、第一電極板の底部の両面および第二電極板の底部の両面に別々に装着される。支持ユニットと固定ユニットは、互いに向かい合って基板を装着可能な制限空間を形成する。支持ユニットは、基板の支持に用いられる。これにより、本発明は、内部の電極配列が複数の基板の装着に対応し、複数の基板を載せることが可能なだけでなく、化学気相蒸着工程に適用することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
以下、本発明の構造と特徴を説明するため、実施形態を図面に基づいて説明を進める。
図１から図４に示すように、本発明の一実施形態による基板固定ケース１０は、ケース１１、複数の第一電極板２１、複数の第二電極板３１および複数の支持ユニット４１から構成される。
ケース１１は、底部に複数の導電部１２を有し、導電部１２は互いに平行する複数の第一溝部１４と複数の第二溝部１５を有し、第一溝部１４と第二溝部１５は互いに一定の距離を置いて交互に配置される。かつケース１１は、頂部に第一溝部１４と第二溝部１５の上方に位置する複数の固定ユニット１６を有する。第二溝部１５は、内部に絶縁ユニット１７を有し、絶縁ユニット１７は収容溝部１７１を有する。固定ユニット１６は、両側から下に延伸して形成されているストッパー１８を有する。
【０００６】
第一電極板２１は、底部が別々に第一溝部１４に嵌め込まれ、頂部が別々に固定ユニット１６に固定され、かつ固定ユニット１６の二つのストッパー１８の間に位置付けられる。
第二電極板３１は、底部が別々に絶縁ユニット１７の収容溝部１７１に固定され、頂部が別々に固定ユニット１６に固定され、かつ固定ユニット１６の二つのストッパー１８の間に位置付けられる。
【０００７】
支持ユニット４１は、第一電極板２１の底部の両面および第二電極板３１の底端の両面に別々に装着される。支持ユニット４１は、外側から上に延伸して形成されている壁部４２を有する。本実施形態では、支持ユニット４１は輪体である。支持ユニット４１と固定ユニット１６は、互いに向かい合って基板を装着可能な制限空間を形成する。支持ユニット４１は、基板の支持に用いられる。第一電極板２１と第二電極板３１の両面に基板（図中未表示）を装着すれば、固定ユニット１６の二つのストッパー１８および壁部４２によって第一電極板２１と第二電極板３１の両面に位置する基板を制限することが可能である。
【０００８】
上述した通り、本実施形態は、内部に複数の第一電極板２１と第二電極板３１を有し、かつ第一電極板２１と第二電極板３１の両面に基板を固定可能な構造を別々に有する。図５に示すように、複数の基板９９を本実施形態に装着すれば、複数の基板９９は支持ユニット４１の支持、壁部４２の制限およびストッパー１８の固定を受ける。これにより、本実施形態は、内部に複数の基板９９を固定し、かつ基板９９の間に一定の距離を置くことにより、基板９９を第一電極板２１と第二電極板３１に対応するように配列することが可能なだけでなく、複数の基板９９を載せた上で気相蒸着工程を進めることが可能である。
【０００９】
上述した説明により、本発明が達成する効果は次の通りである。
一、本発明は、複数の基板を載せることが可能なだけでなく、化学気相蒸着工程に適用することが可能である。
二、本発明は内部に複数の電極板を配置し、電極板の両側に基板を別々に装着するため、複数の基板の装着に適用し、かつ複数枚での化学気相蒸着工程を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態による基板固定ケースを示す正面図である。
【図２】本発明の一実施形態による基板固定ケースの導電部と絶縁ユニットの関係を示す模式図である。
【図３】本発明の一実施形態による基板固定ケースの底部と第二電極板の連結関係を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態による基板固定ケースの第二電極板を示す斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態による基板固定ケースの使用状態を示す模式図である。
【符号の説明】
【００１１】
１０：基板固定ケース、１１：ケース、１２：導電部、１４：第一溝部、１５：第二溝部、１６：固定ユニット、１７：絶縁ユニット、１８：ストッパー、２１：第一電極板、３１：第二電極板、４１：支持ユニット、４２：壁部、９９：基板、１７１：収容溝部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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