(57)【要約】【課題】製造装置のメンテナンスの実施時期を自動的に検出できる製造プロセスの監視方法を提供する。【解決手段】ＬＳＩの製造装置から出力された測定信号に対してウェーブレット変換を行い、複数の周波数帯についてウェーブレット変換信号を求める（Ｓ３）。そして、全ての周波数帯についてのウェーブレット変換信号が閾値以上である場合には、製造装置のメンテナンスが行われたと判定し、それ以外の場合には、メンテナンスが行われていないと判定する（Ｓ４）。メンテナンスが行われたと判定した場合には、アラームを発報せず（Ｓ５）、メンテナンス後に出力された測定信号に基づいて新たな管理範囲を設定する（Ｓ６）。一方、メンテナンスが行われていないと判定した場合には、測定信号が管理範囲内にあるか否かを判定し（Ｓ７）、管理範囲内にない場合には、製造装置に異常が発生したと判定してアラームを発報する（Ｓ８）。【選択図】図３
2009054766.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の製造装置から出力された測定信号に対してウェーブレット変換を行い、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号を求める変換工程と、
前記複数の周波数帯のウェーブレット変換信号のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値以上である場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われたと判定し、それ以外の場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われていないと判定するメンテナンス判定工程と、
前記測定信号が管理範囲内にあるか否かを判定する異常検出工程と、
を備え、
前記メンテナンスが行われたと判定した場合には、アラームを発報せず、前記メンテナンスより後に出力された前記測定信号に基づいて新たな管理範囲を設定し、
前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にある場合には、前記製造装置は正常であると判定してアラームを発報せず、
前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にない場合には、前記製造装置に異常が発生したと判定してアラームを発報することを特徴とする製造プロセスの監視方法。
【請求項２】
前記測定信号には複数の種類があり、
前記メンテナンス判定工程において、全ての種類の前記測定信号について、前記複数の周波数帯のウェーブレット変換信号のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が前記閾値以上である場合に、前記メンテナンスが行われたと判定することを特徴とする請求項１記載の製造プロセスの監視方法。
【請求項３】
前記測定信号の平均値及び標準偏差を算出する工程をさらに備え、
前記平均値及び前記標準偏差に基づいて、前記管理範囲を決定することを特徴とする請求項１または２に記載の製造プロセスの監視方法。
【請求項４】
前記製品が半導体装置であり、請求項１〜３のいずれか１つに記載の方法によって製造プロセスの監視を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
製品の製造装置から出力された測定信号に基づいて、前記製造装置に異常が発生したか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段が前記製造装置に異常が発生したと判定したときに、アラームを発報する発報手段と、
を備え、
前記判定手段は、
前記測定信号に対してウェーブレット変換を行い、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号を求め、
前記複数の周波数帯のウェーブレット変換信号のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値以上である場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われたと判定し、それ以外の場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われていないと判定し、
前記測定信号が管理範囲内にあるか否かを判定し、
前記メンテナンスが行われたと判定した場合には、前記メンテナンスより後に出力された前記測定信号に基づいて新たな管理範囲を設定し、
前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にある場合には、前記製造装置は正常であると判定し、
前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にない場合には、前記製造装置に異常が発生したと判定することを特徴とする製造プロセスの監視装置。
【請求項６】
前記測定信号には複数の種類があり、
前記判定手段は、全ての種類の前記測定信号について、前記複数の周波数帯のウェーブレット変換信号のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が前記閾値以上である場合に、前記メンテナンスが行われたと判定することを特徴とする請求項５記載の製造プロセスの監視装置。
【請求項７】
前記判定手段は、
前記測定信号の平均値及び標準偏差を算出し、
前記平均値及び前記標準偏差に基づいて、前記管理範囲を決定することを特徴とする請求項５または６に記載の製造プロセスの監視装置。
【請求項８】
コンピューターに、
製品の製造装置から出力された測定信号に対してウェーブレット変換を行い、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号を求める変換手順と、
前記複数の周波数帯のウェーブレット変換信号のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値以上である場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われたと判定し、それ以外の場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われていないと判定するメンテナンス判定手順と、
前記測定信号が管理範囲内にあるか否かを判定するＳＰＣ手順と、
を実行させ、
前記メンテナンスが行われたと判定した場合には、アラームを発報させず、前記メンテナンスより後に出力された前記測定信号に基づいて新たな管理範囲を設定させ、
前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にある場合には、前記製造装置は正常であると判定させてアラームを発報させず、
前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にない場合には、前記製造装置に異常が発生したと判定させてアラームを発報させることを特徴とする製造プロセスの監視プログラム。
【請求項９】
前記測定信号には複数の種類があり、
前記コンピューターに、
前記メンテナンス判定手順において、全ての種類の前記測定信号について、前記複数の周波数帯のウェーブレット変換信号のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が前記閾値以上である場合に、前記メンテナンスが行われたと判定させることを特徴とする請求項８記載の製造プロセスの監視プログラム。
【請求項１０】
前記コンピューターに、
前記測定信号の平均値及び標準偏差を算出する手順をさらに実行させ、
前記平均値及び前記標準偏差に基づいて、前記管理範囲を決定させることを特徴とする請求項８または９に記載の製造プロセスの監視プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造プロセスの監視方法、監視装置及び監視プログラム並びに半導体装置の製造方法に関し、特に、製品の製造装置から出力された測定信号に基づいて、製造装置における異常の発生を監視する製造プロセスの監視方法、監視装置及び監視プログラム、並びにこの監視方法を適用した半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体装置の製造ラインにおいては、各製造装置から出力される測定信号に基づいて、各製造装置における異常の発生を監視している。例えば、測定信号の履歴から平均値μ及び標準偏差σを求め、（μ±３σ）の値を管理限界と定め、測定信号がこの管理限界を超えた場合に一律にアラームを発報し、製造装置の点検を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
しかしながら、製造装置によっては、パーツの交換又はクリーニング等のメンテナンスを施した場合にも、測定信号が変動して管理限界を超えてしまう場合がある。上述の従来の方法では、このような場合にもアラームが発報されてしまい、その結果、不要な装置点検が行われるという問題がある。
【０００４】
この問題の回避策として、メンテナンス担当者が装置点検担当者に、各製造装置におけるメンテナンスの実施タイミングの情報を伝えるという方法が考えられる。しかしながら、半導体装置の製造ラインにおいては、製造装置の数が数百〜数千と膨大であるため、この方法では、メンテナンスの実施を装置点検担当者がリアルタイムに把握することは困難である。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−６５８８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、製造装置のメンテナンスの実施時期を自動的に検出できる製造プロセスの監視方法、監視装置及び監視プログラム並びに半導体装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、製品の製造装置から出力された測定信号に対してウェーブレット変換を行い、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号を求める変換工程と、前記複数の周波数帯のウェーブレット変換信号のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値以上である場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われたと判定し、それ以外の場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われていないと判定するメンテナンス判定工程と、前記測定信号が管理範囲内にあるか否かを判定する異常検出工程と、を備え、前記メンテナンスが行われたと判定した場合には、アラームを発報せず、前記メンテナンスより後に出力された前記測定信号に基づいて新たな管理範囲を設定し、前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にある場合には、前記製造装置は正常であると判定してアラームを発報せず、前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にない場合には、前記製造装置に異常が発生したと判定してアラームを発報することを特徴とする製造プロセスの監視方法が提供される。
【０００８】
本発明の他の一態様によれば、前記製品が半導体装置であり、前述の方法によって製造プロセスの監視を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【０００９】
本発明の更に他の一態様によれば、製品の製造装置から出力された測定信号に基づいて、前記製造装置に異常が発生したか否かを判定する判定手段と、前記判定手段が前記製造装置に異常が発生したと判定したときに、アラームを発報する発報手段と、を備え、前記判定手段は、前記測定信号に対してウェーブレット変換を行い、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号を求め、前記複数の周波数帯のウェーブレット変換信号のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値以上である場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われたと判定し、それ以外の場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われていないと判定し、前記測定信号が管理範囲内にあるか否かを判定し、前記メンテナンスが行われたと判定した場合には、前記メンテナンスより後に出力された前記測定信号に基づいて新たな管理範囲を設定し、前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にある場合には、前記製造装置は正常であると判定し、前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にない場合には、前記製造装置に異常が発生したと判定することを特徴とする製造プロセスの監視装置が提供される。
【００１０】
本発明の更に他の一態様によれば、コンピューターに、製品の製造装置から出力された測定信号に対してウェーブレット変換を行い、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号を求める変換手順と、前記複数の周波数帯のウェーブレット変換信号のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値以上である場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われたと判定し、それ以外の場合には、前記製造装置のメンテナンスが行われていないと判定するメンテナンス判定手順と、前記測定信号が管理範囲内にあるか否かを判定するＳＰＣ手順と、を実行させ、前記メンテナンスが行われたと判定した場合には、アラームを発報させず、前記メンテナンスより後に出力された前記測定信号に基づいて新たな管理範囲を設定させ、前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にある場合には、前記製造装置は正常であると判定させてアラームを発報させず、前記メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、前記測定信号が前記管理範囲内にない場合には、前記製造装置に異常が発生したと判定させてアラームを発報させることを特徴とする製造プロセスの監視プログラムが提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、製造装置のメンテナンスの実施時期を自動的に検出できる製造プロセスの監視方法、監視装置及び監視プログラム並びに半導体装置の製造方法を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る製造プロセスの監視システムを例示するブロック図である。
図１に示すように、本実施形態に係る監視システム１においては、製品を製造する製造装置２が設けられている。なお、本明細書において「製品」というときは、製造装置において所定の処理がなされた後の部材をいい、いわゆる完成品の他に中間製品も含むものとする。製造装置２は、例えば、大規模集積回路（ＬＳＩ：Large Scale Integrated circuit）等の半導体装置を製造するための製造ラインの一部を構成する装置である。製造装置２は、この製造装置２が実施する処理の条件、例えば、チャンバー内の温度又は圧力等を一定時間毎に測定し、これらの測定値を測定信号として出力する。
【００１３】
また、監視システム１には、監視装置３が設けられている。監視装置３は、製造装置２が実施するＬＳＩの製造プロセスに異常が発生していないかどうかを監視する製造プロセスの監視装置である。監視装置３においては、製造装置２から出力された測定信号が入力され、この測定信号に基づいて製造装置２に異常が発生したか否かを判定する判定手段４が設けられている。また、監視装置３には、判定手段４が製造装置２に異常が発生したと判定したときに、アラームを発報する発報手段５が設けられている。なお、説明の便宜上、図１においては製造装置２が１台しか示されていないが、監視システム１には複数台の製造装置２が設けられており、１台の監視装置３が複数台の製造装置２を監視してもよい。
【００１４】
更に、監視システム１には、端末コンピューター６が設けられている。端末コンピューター６は製造装置２の装置点検担当者が使用するものである。端末コンピューター６には監視装置３から出力されたアラームが入力され、アラームが入力されたときに、これを表示する。
【００１５】
次に、上述の如く構成された本実施形態に係る監視装置の動作、すなわち、本実施形態に係る製造プロセスの監視方法について説明する。
図２（ａ）〜（ｈ）は、横軸に時間をとり、縦軸に測定信号又はそのウェーブレット変換信号をとって、測定信号の履歴又はそれに対応するウェーブレット変換信号の変化を例示するグラフ図である。
図２（ａ）の縦軸は圧力を示す測定信号を表わし、（ｂ）の縦軸はその高周波のウェーブレット変換信号を表わし、（ｃ）の縦軸はその中周波のウェーブレット変換信号を表わし、（ｄ）の縦軸はその低周波のウェーブレット変換信号を表わす。また、図２（ｅ）の縦軸は温度を示す測定信号を表わし、（ｆ）の縦軸はその高周波のウェーブレット変換信号を表わし、（ｇ）の縦軸はその中周波のウェーブレット変換信号を表わし、（ｈ）の縦軸はその低周波のウェーブレット変換信号を表わす。図２の各図において、横軸（時間軸）の値は共通である。また、図２には、「高周波」、「中周波」、「低周波」の３つの周波数帯のウェーブレット変換信号のみを示しているが、周波数帯の数は３つに限定されず、４つ以上であってもよい。
また、図３は、本実施形態に係る製造プロセスの監視方法を例示するフローチャート図である。
【００１６】
図２（ａ）及び（ｅ）に示すように、製造装置２からは、時刻ｔにおけるチャンバー内の圧力を示す測定信号Ｐ（ｔ）、及び、時刻ｔにおけるチャンバー内の温度を示す測定信号Ｔ（ｔ）が、監視装置３に対して出力されている。時刻ｔの値は、一定の間隔で配列された離散的な値をとり、例えば、１秒ごとの値をとる。図２に示す時刻ｔ０は、製造装置２に対してメンテナンスが実施された時刻である。メンテナンスとは、例えば、製造装置２のパーツ交換又はクリーニング等である。
【００１７】
図２（ａ）及び（ｅ）に示すように、メンテナンスの実施タイミングよりも前の期間、すなわち、ｔ＜ｔ０の期間においては、測定信号Ｐ（ｔ）及びＴ（ｔ）は、それぞれの平均値を中心とした所定の範囲内にほぼ収まっている。例えば、測定信号Ｐ（ｔ）の平均値をμＰとし、標準偏差をσＰとしたとき、測定信号Ｐ（ｔ）は（μＰ−３σＰ）〜（μＰ＋３σＰ）の範囲内にほぼ収まっている。そこで、監視装置３は、この範囲を管理範囲として設定し、ＳＰＣ（Statistical Process Control：統計的工程管理）を行う。すなわち、測定信号が管理範囲から外れたときに、製造装置２に異常が発生したと判定し、端末コンピューター６に対してアラームを発報する。
【００１８】
しかしながら、時刻ｔ０において製造装置２に対してメンテナンスが実施されると、測定信号Ｐ（ｔ）及びＴ（ｔ）は、それぞれ、大きく、不連続的に且つ不可逆的に変化する。そして、メンテナンスの実施タイミングより後の期間、すなわち、ｔ０＜ｔの期間においては、測定信号Ｐ（ｔ）及びＴ（ｔ）は、それぞれ、新たな範囲内で安定する。一般に、メンテナンス後の期間において測定信号が安定する範囲は、メンテナンス前の期間において測定信号が安定していた範囲とは大きく異なるため、メンテナンス前の平均値及び標準偏差に基づいて設定された管理範囲により、メンテナンス後も引き続きＳＰＣを行うと、メンテナンス時刻ｔ０において製造装置２に異常が発生したと判定され、アラームが発報されてしまう。しかし、実際には製造装置２に異常は発生しておらず、点検も必要としていないため、このアラームは虚報となる。
【００１９】
そこで、本実施形態においては、測定信号が変動したときに、これがメンテナンスに起因するものか否かを判定し、メンテナンスに起因するものであると判定したときには、アラームを発報しないようにする。また、メンテナンス後の測定信号に基づいて新たに管理範囲を設定し、以後はこの新たな管理範囲に基づいてＳＰＣを実施する。
【００２０】
測定信号の変動がメンテナンスに起因するものか否かの判定は、測定信号をウェーブレット変換することにより行う。図２（ａ）及び（ｅ）に示すように、測定信号が時刻ｔ０において大幅且つ不連続的に変化すると、図２（ｂ）〜（ｄ）、（ｆ）〜（ｈ）に示すように、これらの測定信号のウェーブレット変換信号が、全ての周波数において高い値をとる。従って、全てのウェーブレット変換信号が閾値以上の値をとったときに、メンテナンスが実施されたと推定することができる。
【００２１】
以下、上述の本実施形態に係る監視方法、すなわち、メンテナンスの有無を判定した上でＳＰＣを行う監視方法を実現するアルゴリズムの具体例について説明する。
図１に示す監視システム１において、製造装置２は連続して製品を製造し、チャンバー内の圧力及び温度を逐次測定し、時刻ｔにおけるチャンバー内の圧力を表わす測定信号Ｐ（ｔ）及び温度を表わす測定信号Ｔ（ｔ）を、監視装置３に対して逐次出力している。この状態において、監視装置３は、以下のように動作する。
【００２２】
先ず、図３のステップＳ１に示すように、過去の測定信号Ｐ（ｔ）及びＴ（ｔ）の履歴から、測定信号Ｐ（ｔ）の平均値μＰ及び標準偏差σＰ、並びに測定信号Ｔ（ｔ）の平均値μＴ及び標準偏差σＴを算出する。そして、これらの平均値及び標準偏差に基づいて、測定信号の管理範囲を設定する。例えば、測定信号Ｐ（ｔ）の管理範囲を（μＰ−３σＰ）〜（μＰ＋３σＰ）とし、測定信号Ｔ（ｔ）の管理範囲を（μＴ−３σＴ）〜（μＴ＋３σＴ）とする。また、測定信号Ｐ（ｔ）をウェーブレット変換し、得られたウェーブレット変換信号に基づいて閾値αＰを決定する。更に、測定信号Ｔ（ｔ）をウェーブレット変換し、得られたウェーブレット変換信号に基づいて閾値αＴを決定する。このとき、閾値αＰ及びαＴは、製造装置２のメンテナンスが実施されたときに、一定数以上、例えば、全ての周波数についてのウェーブレット変換信号が、この閾値αＰ及びαＴを超えるような値とする。
【００２３】
この状態で、図３のステップＳ２並びに図２（ａ）及び（ｅ）に示すように、製造装置２から、時刻ｔにおける測定信号Ｐ（ｔ）及び測定信号Ｔを読み込む。
【００２４】
次に、ステップＳ３に示すように、時刻ｔまでの一定の期間に読み込まれた測定信号Ｐ（ｔ）及びＴ（ｔ）に対して逐次ウェーブレット変換を行い、図２（ｂ）〜（ｄ）、（ｆ）〜（ｈ）に示すように、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号ＷＰ（ｔ，ｆ）及びＷＴ（ｔ，ｆ）を求める。ＷＰ（ｔ，ｆ）は、時刻ｔまでの測定信号Ｐ（ｔ）について求められた周波数ｆのウェーブレット変換信号であり、ＷＴ（ｔ，ｆ）は、時刻ｔまでの測定信号Ｔ（ｔ）について求められた周波数ｆのウェーブレット変換信号である。
【００２５】
次に、ステップＳ４に示すように、製造装置２についてメンテナンスが実施されたか否かの判定を行う。具体的には、ウェーブレット変換信号ＷＰ（ｔ，ｆ）を閾値αＰと比較すると共に、ウェーブレット変換信号ＷＴ（ｔ，ｆ）を閾値αＴと比較する。そして、図２に示すように、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号ＷＰ（ｔ，ｆ）のうち、一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値αＰ以上であり、且つ、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号ＷＴ（ｔ，ｆ）のうち、一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値αＴ以上である場合に、時刻ｔにおいて製造装置２のメンテナンスが行われたと判定する。例えば、全ての周波数ｆに対してウェーブレット変換信号ＷＰ（ｔ，ｆ）がαＰ以上であり、且つ、全ての周波数ｆに対してウェーブレット変換信号ＷＴ（ｔ，ｆ）がαＴ以上である場合に、メンテナンスが行われたと判定する。一方、上記以外の場合には、製造装置２のメンテナンスが行われていないと判定する。
【００２６】
ステップＳ４において、製造装置２のメンテナンスが行われたと判定した場合には、ステップＳ５に示すように、メンテナンスが実施された時刻ｔ０から数えて数点が測定される間、すなわち、時刻ｔ０から数単位時間が経過するまでは、測定信号が管理限界を超えていても、アラームを発報しない。そして、ステップＳ６に示すように、メンテナンスの実施時刻ｔ０よりも後に出力された測定信号Ｐ（ｔ）及びＴ（ｔ）について、平均値μＰ、μＴ及び標準偏差σＰ、σＴを算出する。これにより、メンテナンスより後に出力された測定信号に基づいて新たな管理範囲を設定する。その後、ステップＳ９に進む。
【００２７】
一方、ステップＳ４において、メンテナンスが行われていないと判定した場合は、ステップＳ７に示すように、測定信号が管理範囲内にあるか否かを判定する。すなわち、
｜Ｐ（ｔ）−μＰ｜＞３σＰ
又は
｜Ｔ（ｔ）−μＴ｜＞３σＴ
であれば、製造装置２に異常が発生したと判断し、それ以外の場合は、製造装置２は正常であると判断する。
【００２８】
ステップＳ７において、製造装置２に異常が発生したと判断した場合には、ステップＳ８に進み、アラームを発報する。例えば、監視装置３が端末コンピューター６に対して警告のメールを送信する。これにより、製造装置２の点検担当者の注意を喚起する。その後、ステップＳ９に進む。
【００２９】
一方、ステップＳ７において、製造装置２が正常であると判断した場合には、ステップＳ８は経由せずに、すなわち、アラームは発報せずに、ステップＳ９に進む。
【００３０】
そして、製造装置２の監視を続行する場合には、ステップＳ９からステップ１０に進み、時刻ｔの値を１だけ増加させ、ステップＳ２に戻る。以後、上述の工程を繰り返す。このような工程により、半導体装置、例えば、ＬＳＩを製造することができる。すなわち、本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、前述の方法によって製造プロセスの監視を行う製造方法である。
【００３１】
次に、本実施形態の効果について説明する。
上述の如く、製造装置に対してメンテナンスを実施した場合、メンテナンスの前後で測定信号が大きく且つ不連続的に変化する場合がある。このような場合、測定信号のウェーブレット変換信号は、測定信号が急激に変化した時刻において、全周波数帯で高い値を示す。また、この製造装置が複数の種類の測定信号を出力している場合には、全ての測定信号が同時に変化する。一方、製造装置に異常が発生したときには、多くの場合、測定信号の変化は連続的であるか、又は突発的であり、すぐに元の水準に戻る。また、複数種類の測定信号が出力されている場合には、一部の測定信号のみが変化する。このため、製造装置に異常が発生したときには、全ての測定信号の全周波数帯のウェーブレット変換信号が、同時に高い値をとることはない。
【００３２】
従って、本実施形態においては、全てのウェーブレット変換信号、又は一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値以上となっているかどうかを調べることにより、メンテナンスが実施されたか否かを推定することができる。そして、メンテナンスが実施されておらず、且つ、測定信号が管理範囲から外れた場合のみに、アラームを発報することにより、メンテナンスに起因する虚報の発生を防止し、製造装置に異常が発生したときにのみ、的確にアラームを発報することができる。このように、本実施形態によれば、測定信号に基づいて、製造装置のメンテナンスの実施時期を自動的に検出することができ、メンテナンスの有無に拘わらず、虚報の発生確率を一定にすることができる。この結果、半導体装置を効率的に製造することができる。
【００３３】
なお、監視装置３の判定手段４及び発報手段５は専用のハードウェアにより構成されていてもよいが、監視装置３は、図３に示す一連の監視作業を、例えば、プログラムを実行することにより実施することもできる。この場合、監視装置３にはコンピューターが内蔵されており、監視装置３には、このコンピューターに以下の手順（１）〜（３）を実行させるプログラムが格納されている。
【００３４】
（１）製造装置２から出力された測定信号に対してウェーブレット変換を行い、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号Ｗ（ｆ，ｔ）を求める変換手順（ステップＳ３）。
（２）複数の周波数帯のウェーブレット変換信号Ｗ（ｆ，ｔ）のうち一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値α以上である場合には、製造装置２のメンテナンスが行われたと判定し、それ以外の場合には、製造装置２のメンテナンスが行われていないと判定するメンテナンス判定手順（ステップＳ４）。
（３）測定信号が管理範囲内にあるか否かを判定するＳＰＣ手順（ステップ７）。
【００３５】
そして、このプログラムは、コンピューターに、製造装置２のメンテナンスが行われたと判定した場合には、アラームを発報させず（ステップＳ５）、メンテナンスより後に出力された測定信号に基づいて新たな管理範囲を設定させ（ステップＳ６）、メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、測定信号が管理範囲内にある場合には、製造装置２は正常であると判定させてアラームを発報させず、メンテナンスが行われていないと判定した場合であって、測定信号が管理範囲内にない場合には、製造装置２に異常が発生したと判定させてアラームを発報させる（ステップＳ８）。
【００３６】
また、測定信号に複数の種類、例えば、圧力を示す測定信号Ｐ（ｔ）及び温度を示す測定信号Ｔ（ｔ）がある場合には、このプログラムは、監視装置３のコンピューターに、上述のメンテナンス判定手順において、全ての種類の測定信号について、複数の周波数帯のウェーブレット変換信号Ｗ（ｆ，ｔ）のうち一定数以上、例えば全てのウェーブレット変換信号が閾値α以上である場合に、製造装置２のメンテナンスが行われたと判定させる。
【００３７】
更に、このプログラムは、監視装置３のコンピューターに、測定信号の平均値及び標準偏差を算出する手順をさらに実行させ、この平均値及び標準偏差に基づいて、管理範囲を決定させてもよい。
【００３８】
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。例えば、前述の実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更、又は、工程の追加、削除若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
【００３９】
例えば、前述の実施形態においては、製造装置が圧力を示す測定信号Ｐ（ｔ）及び温度を示す測定信号Ｔ（ｔ）を出力する例を示したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、製造装置は１種類又は３種類以上の測定信号を出力してもよい。製造装置が複数種類以上の測定信号を出力する場合には、メンテナンスの有無を判定する工程（図３のステップＳ４）においては、全ての種類のウェーブレット変換信号Ｗについて、一定数以上のウェーブレット変換信号が閾値α以上である場合に、製造装置のメンテナンスが行われたと判定し、製造装置の異常を判定する工程（図３のステップＳ７）においては、１種類以上のウェーブレット変換信号Ｗについて、一定数以上のウェーブレット変換信号が管理範囲から外れた場合に、製造装置に異常が発生したと判定すればよい。
【００４０】
また、前述の実施形態においては、測定信号の管理範囲を（μ±３σ）の範囲とする例を示したが、本発明はこれに限定されず、管理範囲は、製造プロセスの特性、製造装置の性能及び測定信号のばらつきの傾向等に応じて、適当に設定すればよい。
【００４１】
更に、前述の実施形態においては、監視装置３がアラームを端末コンピューター６に対して出力する例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、監視装置３がアラームを音声出力又は画面表示してもよく、印刷装置にプリントアウトさせてもよい。
【００４２】
更にまた、前述の実施形態においては、監視装置３がＬＳＩの製造プロセスを監視する例を示したが、本発明はこれに限定されず、本発明はあらゆる製品の製造プロセスに対して適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態に係る製造プロセスの監視システムを例示するブロック図である。
【図２】（ａ）〜（ｈ）は、横軸に時間をとり、縦軸に測定信号又はそのウェーブレット変換信号をとって、測定信号の履歴又はそれに対応するウェーブレット変換信号の変化を例示するグラフ図である。
【図３】本実施形態に係る製造プロセスの監視方法を例示するフローチャート図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  監視システム、２  製造装置、３  監視装置、４  判定手段、５  発報手段、６  端末コンピューター
【図１】
2009054766.tif 000003
【図２】
2009054766.tif 000004
【図３】
2009054766.tif 000005