(57)【要約】【課題】良好に低音を再生可能な圧電スピーカーを提供すること。【解決手段】隔壁を挟んで一対となって配設される内部電極５ａ，５ｂのうち内部電極５ｂが複数の部分に分かれているハニカム型圧電／電歪素子１００をスピーカとして利用する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電／電歪体からなる隔壁が軸方向に貫通する複数のセルを区画し形成してなる柱状のハニカム構造部と、前記隔壁の表面を覆うように配設される内部電極と、を備え、
前記隔壁を挟んで一対となって配設される前記内部電極のうち少なくとも何れか一方が、前記軸方向において複数の部分に分かれているハニカム型圧電／電歪素子。
【請求項２】
前記複数のセルの全てが、同じ一方の端部で目封止されている請求項１に記載のハニカム型圧電／電歪素子。
【請求項３】
前記複数のセルのうち隣接するセルが、交互に、前記一方の端部とは反対の、他方の端部で目封止され、
前記軸方向において複数の部分に分かれている内部電極が、前記一方の端部で目封止され且つ他方の端部で目封止される前記セルを形成する隔壁の表面に配設されるとともに、
その軸方向において複数の部分に分かれている内部電極を電源に接続する配線が、その一方の端部で目封止され且つ他方の端部で目封止されるセル内に敷設される請求項２に記載のハニカム型圧電／電歪素子。
【請求項４】
前記セルの長手方向に垂直な断面形状が、角部を円弧状にした四角形である請求項１〜３の何れか一項に記載のハニカム型圧電／電歪素子。
【請求項５】
前記ハニカム構造部が、圧電／電歪材料を主成分とする成形用原料を押出成形して得られるハニカム成形体を焼成したものである請求項１〜４の何れか一項に記載のハニカム型圧電／電歪素子。
【請求項６】
前記ハニカム構造部が、圧電／電歪材料を主成分とするグリーンシートを積層して得られるハニカム成形体を焼成したものである請求項１〜４の何れか一項に記載のハニカム型圧電／電歪素子。
【請求項７】
前記隔壁を振動板として用い、前記セルを進行波形成空間として用い、セルの端部から音を発生させる請求項１〜６の何れか一項に記載のハニカム型圧電／電歪素子を用いた圧電／電歪スピーカー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハニカム型圧電／電歪素子と、それを用いた圧電／電歪スピーカーに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電スピーカーが普及してきている。この圧電スピーカーは、圧電性セラミックスが発現する共振現象を用いたスピーカーであり、従来のダイナミック型スピーカーに比して、薄小であり、消費電力が少ないという特徴を有するものである。
【０００３】
一方、複合化した携帯機器においては、デザイン性を重視した薄型化、音楽再生やテレビ視聴時における音質の向上、電池寿命の長時間化が求められている。そのため、上記の特徴を有する圧電スピーカーは、特に携帯機器向けに、その普及が進んでいる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、これまでの平面的な圧電ダイアフラムで構成された圧電スピーカーは、音量、音質において、ダイナミック型スピーカーに比して、大きく劣る。特に、既述の特徴を有することから、低音領域を原音に忠実に再生することが困難である。従って、圧電スピーカーが市場を広げるためには、その音質を、市場の要求に合致させることが必要である。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、良好に低音を再生可能な圧電スピーカーを提供することを課題とする。研究が重ねられた結果、以下の手段によって、この課題が解決されることが見出された。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
即ち、先ず、本発明によれば、圧電／電歪体からなる隔壁が軸方向に貫通する複数のセルを区画し形成してなる柱状のハニカム構造部と、隔壁の表面を覆うように配設される内部電極と、を備え、隔壁を挟んで一対となって配設される内部電極のうち少なくとも何れか一方が、軸方向において複数の部分に分かれているハニカム型圧電／電歪素子が提供される。
【０００７】
本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子においては、複数のセルの全てが、同じ一方の端部で目封止されていることが好ましい。この場合において、複数のセルのうち隣接するセルが、交互に、一方の端部とは反対の、他方の端部で目封止され、軸方向において複数の部分に分かれている内部電極が、一方の端部で目封止され且つ他方の端部で目封止されるセルを形成する隔壁の表面に配設されるとともに、その軸方向において複数の部分に分かれている内部電極を電源に接続する配線が、その一方の端部で目封止され且つ他方の端部で目封止されるセル内に敷設されることが好ましい。
【０００８】
上記の好ましい態様においては、複数のセルの全てが同じ一方の端部で目封止され、複数のセルのうち隣接するセルが交互に反対の他方の端部で目封止されるから、この他方の端部では、隣接するセルが交互に開いている（目封止されていない）ことになる。
【０００９】
本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子においては、セルの長手方向に垂直な断面形状が、角部を円弧状にした四角形であることが好ましい。
【００１０】
本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子においては、ハニカム構造部が、圧電／電歪材料を主成分とする成形用原料を押出成形して得られるハニカム成形体を焼成したものであることが好ましい。又は、本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子においては、ハニカム構造部が、圧電／電歪材料を主成分とするグリーンシートを積層して得られるハニカム成形体を焼成したものであることが好ましい。
【００１１】
次に、本発明によれば、隔壁を振動板として用い、セルを進行波形成空間として用い、セルの端部から音を発生させる上記した何れかのハニカム型圧電／電歪素子を用いた圧電／電歪スピーカーが提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る圧電／電歪スピーカーは、隔壁を挟んで一対となって配設される内部電極のうち少なくとも何れか一方が軸方向において複数の部分に分かれているハニカム型圧電／電歪素子を用いているので、そのハニカム型圧電／電歪素子の隔壁を、セル内に進行波が形成されるように、変形（脈動）させることが出来る。そして、開いているセルから音を発生させることが可能である。従って、従来の平面的な圧電ダイアフラムで構成された圧電スピーカーよりも、周波数の低い音波を発生させ易い。又、音波は、セルの長手方向（軸方向）に強い指向性を有するものとなるため、指向性の高いスピーカーとして好適なものとなる。
【００１３】
本発明に係る圧電／電歪スピーカーは、その好ましい態様において、軸方向において複数の部分に分かれている内部電極が一方の端部で目封止され且つ他方の端部で目封止されるセルを形成する隔壁の表面に配設されるとともに、その軸方向において複数の部分に分かれている内部電極を電源に接続する配線がその一方の端部で目封止され且つ他方の端部で目封止されるセル内に敷設されるハニカム型圧電／電歪素子を用いているので、配線のためのセルと、進行波を形成するためのセルと、を区別することが出来る。従って、配線が容易になるとともに、ノイズが発生し難くなって音質が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明について、適宜、図面を参酌しながら、実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されて解釈されるべきものではない。本発明に係る要旨を損なわない範囲で、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良、置換を加え得るものである。例えば、図面は、好適な本発明に係る実施の形態を表すものであるが、本発明は図面に表される態様や図面に示される情報により制限されない。本発明を実施し又は検証する上では、本明細書中に記述されたものと同様の手段若しくは均等な手段が適用され得るが、好適な手段は、以下に記述される手段である。
【００１５】
図１Ａ及び図１Ｂは、本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子の一の実施形態を模式的に示す図である。図１Ａは斜視図であり、図１Ｂは図１Ａの「部分Ａ」を切り出して拡大した斜視図である。又、図２は、本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子の他の実施形態を模式的に示す断面図であり、軸方向に平行な断面を示す図である。
【００１６】
図１Ａ及び図１Ｂに示されるハニカム型圧電／電歪素子１００は、軸方向（中心軸方向）Ｐに貫通する複数のセル２を、区画形成する隔壁３を有する柱状のハニカム構造部１と、セル２の内壁面４に、内壁面４全体を内側から覆うように配設された内部電極５とを備えるものである。セル２の内壁面４は、セル２を形成する隔壁３の表面であり、隔壁３は圧電／電歪体である。又、図２に表わされているように、ハニカム型圧電／電歪素子１００では、隔壁３を挟んで一対となって配設される内部電極５（内部電極５ａ，５ｂ）のうちの一方である内部電極５ｂが、軸方向Ｐにおいて複数の部分に分かれている。
【００１７】
図２に示されるハニカム型圧電／電歪素子３００は、ハニカム型圧電／電歪素子１００のセルに目封止を施したものである。ハニカム型圧電／電歪素子３００では、ハニカム型圧電／電歪素子１００のセル２の全てが、同じ一方の端部（図２において左側の端部）において目封止部１１によって目封止され、セル２のうち隣接するセルが、交互に、一方の端部とは反対の他方の端部（図２において右側の端部）において目封止部１１によって目封止されている。そして、複数の部分に分かれている内部電極５ｂは、両方の端部において目封止されているセル２を形成する隔壁３の表面（内壁面４）に配設され、複数の部分に分かれていない内部電極５ａは、片方（左側）の端部のみが目封止されているセル２を形成する隔壁３の表面（内壁面４）に配設されている。
【００１８】
ハニカム型圧電／電歪素子１００（又は、ハニカム型圧電／電歪素子３００に含まれるハニカム型圧電／電歪素子１００相当部分）は、隔壁３を挟んで隣接するセル２に配設された内部電極５（５ａ，５ｂ）間に電圧を印加して、隔壁３を変形させ、ひいてはハニカム構造部１を変形させることが可能なものである。隔壁３を挟んで配設された内部電極５ａ，５ｂ間に電圧を印加すると、その隔壁３を、厚さ方向（ｄ３３方向）に伸びるとともに厚さ方向に垂直な方向（ｄ３１方向）に縮むように変形させることが可能である。
【００１９】
図１Ｂに示されるように、ハニカム型圧電／電歪素子１００の中心軸方向Ｐは、隔壁３の厚さ方向に垂直な方向に該当するため、隔壁３は、矢印ａ１、ａ２で示される方向に縮むように変形する。又、ハニカム型圧電／電歪素子１００の中心軸方向Ｐに垂直な面（端面及び断面）における、隔壁３の厚さ方向に垂直な方向においても、隔壁３が、矢印ａ３、ａ４で示される方向、及び矢印ａ５、ａ６で示される方向に縮むように変形する。更に、ハニカム型圧電／電歪素子１００の中心軸方向Ｐに垂直な面（端面及び断面）における、隔壁３の厚さ方向では、隔壁３が、矢印ａ７、ａ８で示される方向に伸びるように変形する。このように、隔壁３は、その厚さ方向に伸び、厚さ方向に垂直な方向に縮むように変形する。
【００２０】
従って、例えば、分かれている内部電極５ｂに同じタイミングで電圧を印加すれば、隔壁３は、何れの部分でも同じ変形をするため、ハニカム型圧電／電歪素子１００は、全体的に、セル２の貫通する方向（中心軸方向Ｐ）に縮み、更にセル２の貫通する方向（中心軸方向Ｐ）に直交する面内において縮む。隔壁３は、厚さ方向に伸びるように変形するが、隔壁３の厚さ方向にはセル２の空間が形成されているため、隔壁３の厚さ方向の変形は、セル２の空間を狭めるように作用し、ハニカム型圧電／電歪素子１００の外部形状の変化への寄与は小さい。
【００２１】
一方、分かれている内部電極５ｂに異なるタイミングで電圧を印加すれば、異なるタイミングで電圧を印加されたそれぞれの内部電極５ｂによって挟まれた隔壁３の変形のタイミングもずれる。あるいは、分かれている内部電極５ｂに波形の異なる電圧を印加すれば、同様に、それぞれの内部電極５ｂによって挟まれた隔壁３は電圧の波形に応じて異なるタイミングで変形をすることになる。従って、これらのような電圧の印加によれば、ハニカム型圧電／電歪素子１００を全体的に縮ませるのではなく、隔壁３を脈動させることが可能である。
【００２２】
これらの作用は、ハニカム型圧電／電歪素子１００で構成されるハニカム型圧電／電歪素子３００でも、同様に発現する。従って、ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００は、隔壁３を振動板として用い、セル２を進行波形成空間として用いて、セル２の端部から音を発生させる圧電／電歪スピーカーとして利用することが出来る。特に、ハニカム型圧電／電歪素子３００は、セル２の一方の端部のみが開いているため、指向性の高いスピーカーとして好適である。
【００２３】
ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００を構成するハニカム構造部１は、隔壁３の最外周全体を囲むように外周壁６が配設されている。隔壁３は圧電／電歪体であるが、外周壁６は圧電／電歪体であってもよいし、他のセラミック材料であってもよい。
【００２４】
ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００の大きさは、用途によって適宜選択することが出来る。例えば、圧電／電歪スピーカーとして使用する場合には、断面積０．３〜１．５ｍｍ２、長さ３０〜８０ｍｍ程度であることが好ましい。
【００２５】
ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００の隔壁３の厚さは、用途によって適宜選択することが出来る。例えば、圧電／電歪スピーカーとして使用する場合には、２０〜５００μｍであることが好ましく、３０〜８０μｍであることが更に好ましく、３０〜５０μｍであることが特に好ましい。又、外周壁６を有する場合には、その厚さは５０〜２００μｍであることが好ましい。
【００２６】
ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００に形成されるセル２の数は、用途によって適宜選択することが出来る。例えば、圧電／電歪スピーカーとして使用する場合には、１０〜１０００が好ましく、４０〜５００が更に好ましい。
【００２７】
ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００において、ハニカム構造部１の中心軸に垂直な断面の形状は、図１Ａに示すように四角形であってもよいが、五角形、六角形等の他の多角形であってもよいし、円形、楕円形、トラック形状等の他の形状であってもよい。又、セル２の中心軸に垂直（長手方向に垂直）な断面の形状は、図１Ａに示すように四角形であってもよいが、五角形、六角形等の他の多角形であってもよいし、角部を円弧状にした四角形等の多角形、円形、楕円形、トラック形状等の他の形状であってもよい。「角部を円弧状にした四角形」というときは、セル２の長手方向に垂直な断面形状において、四箇所の角部（頂点に相当する部分）が、円弧状に丸く形成された四角形のことをいう。セルのこの様な形状は、セル内に配設された内部電極の、角部に相当する部分の電界集中を防止出来る点で好ましい。
【００２８】
ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００において、ハニカム構造部１は、圧電／電歪材料を主成分とする成形用原料を押出成形したものを焼成して形成したものであることが好ましい。これにより、ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００を、少ない工程で、効率的に作製することが出来、製造コストも安価にすることが可能となる。又、ハニカム構造部１を、圧電／電歪材料を主成分とするグリーンシートを積層したものを焼成して形成してもよい。ここで、「圧電／電歪材料を主成分とする」というときは、圧電／電歪材料の、成形原料を構成する粉体成分全体に対する含有率が、５０質量％を超えることをいう。
【００２９】
ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００において、内部電極５の厚さは、用途によって適宜選択することが出来る。例えば、圧電／電歪スピーカーとして使用する場合には、０．０５〜５μｍであることが好ましく、０．１〜１μｍであることが更に好ましく、０．１〜０．５μｍであることが特に好ましい。０．０５μｍより薄いと、電極の抵抗が高くなり、圧電／電歪体に十分な電界がかからないことがあり、５μｍより厚いと、不活性部として変位の阻害を無視出来ないことがある。
【００３０】
ハニカム型圧電／電歪素子３００では、内部電極５を電源に接続するための回路は、分かれていない内部電極５ａについては、目封止部１１によって構成することが出来る。即ち、導電性材料で目封止部１１を形成し、セル２を全て目封止した側（図２において左側）で目封止部１１どうしを接続し、目封止部１１に全ての内部電極５ａを接続し（図２を参照）、目封止部１１に電源を接続すればよい。分かれている内部電極５ｂについては、図２に示されるように、それぞれの内部電極５ｂに、シールされた配線１２を接続し、目封止部１１を貫通させることで、配線１２を電源に接続することが可能である。この場合、内部電極５ｂを電源に接続する配線１２は、両方の端部が目封止部１１で目封止されたセル２内に敷設されることになる。
【００３１】
目封止部１１の存在しないハニカム型圧電／電歪素子１００では、導電性材料によって外部電極を形成し、それに内部電極５ａを接続してもよい。ハニカム型圧電／電歪素子３００においても、目封止部１１を例えば隔壁３と同じ圧電／電歪材料で形成し、目封止部１１を絶縁性とした上で、同様に、別途、導電性材料によって外部電極を形成し、それに内部電極５ａを接続してもよい。
【００３２】
ハニカム型圧電／電歪素子３００において、目封止部１１の深さ（セル２内へ入り込む長さ）は、用途によって適宜設定することが出来る。例えば、圧電／電歪スピーカーとして使用する場合には、０．５〜５ｍｍが好ましい。又、圧電／電歪スピーカーとして使用する場合には、目封止部１１は、セル２の孔を完全に塞ぐように配設されることが好ましい。
【００３３】
ハニカム型圧電／電歪素子３００において、目封止部１１を緻密質とすれば、外界の水分など、素子の耐久性に悪影響を及ぼすものを排除出来るという利点がある。一方、多孔質の場合、セルの内部と外部で通気性があるため、外界の圧力変化などに対しての信頼性が高いという利点がある。圧電／電歪スピーカーとして使用する場合には、目封止部１１は緻密質であることが好ましい。
【００３４】
外部電極を設ける場合、その厚さは、用途によって適宜選択することが出来る。例えば、圧電／電歪スピーカーとして使用する場合には、０．１〜２０μｍが好ましい。
【００３５】
次に、本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子の材料について説明する。
【００３６】
ハニカム型圧電／電歪素子１００，３００を構成するハニカム構造部１の隔壁３は、圧電／電歪体である。圧電／電歪体を構成する圧電／電歪材料としては、電界誘起歪みを起こす材料であれば、特に限定されるものではなく、結晶質でも非晶質でもよく、又、半導体セラミック材料や強誘電体セラミック材料、あるいは反強誘電体セラミック材料でもよい。用途に応じて適宜選択し採用すればよい。又、分極処理が必要な材料であっても必要がない材料であってもよい。
【００３７】
具体的には、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、ニッケルタンタル酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸鉛、マグネシウムタングステン酸鉛、マグネシウムタンタル酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸ナトリウムビスマス、チタン酸ビスマスネオジウム（ＢＮＴ）、ニオブ酸ナトリウム、ニオブ酸カリウムナトリウム、タンタル酸ストロンチウムビスマス、銅タングステンバリウム、鉄酸ビスマス、あるいはこれらのうちの２種以上からなる複合酸化物等を挙げることが出来る。又、これらの材料には、ランタン、カルシウム、ストロンチウム、モリブデン、タングステン、バリウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン、セリウム、カドミウム、クロム、コバルト、アンチモン、鉄、イットリウム、タンタル、リチウム、ビスマス、スズ、銅等の酸化物が固溶されていてもよい。中でも、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛の複合酸化物を主成分として酸化ニッケルを含有してなる材料や、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛の複合酸化物を主成分とする材料が、大きな電界誘起歪が利用出来ることから、好ましい。ここで、主成分とは含有率が５０質量％を超える成分をいう。この場合、ニッケル成分として、酸化物換算で０．０５〜３質量％含有するものが特に好ましい。又、上記材料に、ビスマス酸リチウム、ゲルマニウム酸鉛等を添加した材料は、その圧電／電歪体の低温焼成を実現しつつ高い材料特性を発現出来るので好ましく、特に、上記ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、及びマグネシウムニオブ酸鉛の複合酸化物を主成分として酸化ニッケルを含有してなる材料であって、そのニッケル成分として、酸化物換算で０．０５〜３質量％含有し、且つゲルマニウム酸鉛を０．３〜４質量％添加した材料と；ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、及びニッケルニオブ酸鉛の複合酸化物を主成分とする材料であって、そのニッケル成分として、酸化物換算で０．０５〜３質量％含有し、且つゲルマニウム酸鉛を０．３〜４質量％添加した材料が望ましい。
【００３８】
内部電極５は、室温で固体であって、導電性の金属材料で構成されていることが好ましい。例えば、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウム、白金、金、鉛等を含有する金属単体又は合金が挙げられる。
【００３９】
外部電極を設ける場合、その材料は、室温で固体であって、導電性の金属で構成されていることが好ましい。例えば、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウム、白金、金、鉛等を含有する金属単体又は合金が挙げられる。
【００４０】
目封止部の材料は、室温で固体であって、導電性の金属を含有するものであることが好ましい。例えば、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウム、白金、金、鉛等を含有する金属単体又は合金を挙げることが出来る。
【００４１】
次に、本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子の製造方法について説明する。本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子は、例えば、以下のような方法により製造することが出来るが、本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子を製造する方法は、以下の方法に限定されることはない。ここでは、ハニカム型圧電／電歪素子３００を製造する方法について説明する。
【００４２】
先ず、ハニカム構造部１を成形するための坏土を形成する。これは、上述したハニカム構造部１の隔壁３の材料として挙げたものの原料を用い、その原料を混合、混練して坏土を形成するものである。例えば、チタン酸ジルコン酸鉛等の粉体原料に、水、有機溶媒等の分散媒、有機バインダ、分散剤等を加えて成形原料とし、これを混練し、粘土状の坏土を形成する。
【００４３】
有機バインダとしては、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシルメチルセルロース、ポリビニルアルコール等を使用することが出来る。これらは、一種単独で使用してもよいし、二種以上を組み合わせて使用してもよい。分散剤としては、エチレングリコール、出来ストリン、脂肪酸石鹸、ポリアルコール等を使用することが出来る。これらは、一種単独で使用してもよいし、二種以上を組み合わせて使用してもよい。分散媒として有機溶媒を用いる場合には、アルコールなどの有機溶媒を用いることが好ましい。有機溶媒としては、たとえば、テルピネオールを用いることが出来る。この場合、有機バインダとしてポリビニルブチラールを用いることも出来る。成形原料を混練して坏土を調製する方法としては特に制限はなく、例えば、ニーダー、真空土練機等を用いる方法を挙げることが出来る。
【００４４】
次に、得られた坏土を、ハニカム形状に成形してハニカム成形体を作製する。ハニカム成形体を作製する方法としては、特に制限はなく、押出成形、射出成形、プレス成形等の従来公知の成形法を用いることが出来る。中でも、上述のように調製した坏土を、所望のセル形状、隔壁厚さ、セル密度を有する口金を用いて押出成形する方法等を好適例として挙げることが出来る。又、原料と、バインダを含んだ有機溶媒とを混合したスラリーを作製し、ドクターブレード法等により成形して、セルを形成するための複数の貫通孔を設けたグリーンシートを作製し、得られたグリーンシートを積層することによりハニカム成形体を作製してもよい。
【００４５】
次に、得られたハニカム成形体を乾燥させて、ハニカム乾燥体を作製することが好ましい。乾燥の方法も特に制限はなく、例えば、熱風乾燥、マイクロ波乾燥、誘電乾燥、減圧乾燥、真空乾燥、凍結乾燥等の従来公知の乾燥法を用いることが出来る。中でも、成形体全体を迅速かつ均一に乾燥することが出来る点で、熱風乾燥と、マイクロ波乾燥又は誘電乾燥とを組み合わせた乾燥方法が好ましい。
【００４６】
次に、得られたハニカム乾燥体を本焼成する前に仮焼して仮焼体を作製してもよい。「仮焼」とは、ハニカム成形体中の有機物（有機バインダ、分散剤等）を燃焼させて除去する操作を意味する。仮焼温度は２００〜８００℃程度とすればよい。仮焼時間としては特に制限はないが、通常は、１０〜１００時間程度である。
【００４７】
次に、得られた仮焼体を焼成（本焼成）することによって、ハニカム構造部１を得ることが出来る。「本焼成」とは、仮焼体中の成形原料を焼結させて緻密化し、所定の強度を確保するための操作を意味する。焼成条件（温度・時間）は、成形原料の種類により異なるため、その種類に応じて適当な条件を選択すればよい。
【００４８】
次に、ハニカム構造部１のセル２の内壁面４（隔壁３の表面）に、内部電極５（５ａ，５ｂ）を配設する。内部電極５ａは内壁面４全体に配設し、内部電極５ｂは、複数に分けて内壁面４に配設する。内部電極５の配設方法としては、例えば、以下の方法で配設することが出来る。先ず、内部電極５の材料となる金属を粉末状にし、アルコールなどの溶媒や有機バインダ等を加えてスラリーとする。スラリー濃度としては、５０〜８０質量％が好ましい。又、スラリーの粘度としては、０．０５〜５０Ｐａ・ｓが好ましい。そして、内部電極５ａの場合には、スラリーにハニカム構造部１を浸漬してセル２の内壁面４にスラリーを付着させ、その後、６００〜９００℃で加熱することにより、内壁面４全体を覆うように膜状の内部電極５ａを配設することが出来る。この場合、スラリーをセル２の内壁面４に付着させるときに、隔壁側から吸引することにより、セル２の内壁面４に効率的にスラリーを付着させることが好ましい。内部電極５ｂの場合には、電極を形成しない部分にマスクとなる材料を付着させた上で、内部電極５ａと同様な方法で、セル２の内壁面４にスラリーを付着させる。上記方法のほか、メッキ、スパッタリングなども用いられる。
【００４９】
次に、内部電極５（５ａ，５ｂ）を配設したハニカム構造部１の一方の端面に目封止部１１を配設する。目封止部１１を配設する方法は、例えば、以下の通りである。先ず、上記目封止部１１に使用する金属原料の粉末、水又はアルコールなどの有機溶媒、及び有機バインダを含む目封止スラリー（又は、目封止ペースト）を、貯留容器に貯留しておく。スラリー濃度としては、５０〜９０質量％が好ましい。又、スラリーの粘度としては、５〜５０００Ｐａ・ｓが好ましい。そして、上記内部電極５を配設したハニカム構造部１の一方の端部を、貯留容器中に浸漬して、セル２の開口部に目封止スラリーを充填して目封止部１１を形成する。目封止部１１を設けないセル２がある場合には、それぞれの端部におけるセルのなかで、目封止部１１を設けないセル２にマスクを施せばよい。
【００５０】
尚、配線１２は、先端にハンダをつけた被覆導線を、ハニカム構造部１の端面から所定の位置まで挿入し、更にハニカム構造部１全体を加熱し、セル２内部でハンダ付けさせることによって、接続する。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子は、圧電／電歪スピーカーとして利用することが出来る。そして、その圧電／電歪スピーカーは、低音を良好に再生することが出来るので、従来のダイナミック型スピーカーに代わるスピーカーとして、好適に利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１Ａ】本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子の一実施形態を模式的に示す斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ａの部分Ａを切り出して拡大した斜視図である。
【図２】本発明に係るハニカム型圧電／電歪素子の他の実施形態を模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５３】
１：ハニカム構造部、２：セル、２ａ：角部、３：隔壁、４：内壁面、５，５ａ，５ｂ：内部電極、６：外周壁、７，７ａ，７ｂ：外部電極、１１：目封止部、１２：配線、１００，３００：ハニカム型圧電／電歪素子、Ａ：部分、ａ１，ａ２，ａ３，ａ４，ａ５，ａ６，ａ７，ａ８：矢印。
【図１Ａ】
2009295865.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図２】
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