(57)【要約】【課題】距離補償増幅型の表面電位計において、測定に悪影響を与えることなく、測定窓からゴミが入らないようにする。【解決手段】被測定面Ｄに向けられる測定窓１１を有するシールドケース１０と、シールドケース１０内で測定窓１１を介して被測定面Ｄと対向する位置に配置された検知電極２０と、各々が圧電素子３２を有し被測定面Ｄと検知電極２０との間の電気力線をチョッピングする一対の振動片３１を含む音叉型チョッパ３０とを備えている表面電位計において、シールドケース１０内に、測定窓１１の内側から外側に向かう空気流を生成する送風手段として各振動片３１にフィン板を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定面に向けられる測定窓を有するシールドケースと、上記シールドケース内で上記測定窓を介して上記被測定面と対向する位置に配置された検知電極およびその出力アンプと、各々が圧電素子を有し上記被測定面と上記検知電極との間の電気力線をチョッピングする一対の振動片を含む音叉型チョッパおよびそのチョッパ駆動回路とを備えている表面電位計において、
上記シールドケース内に、上記測定窓の内側から外側に向かう空気流を生成する送風手段が設けられていることを特徴とする表面電位計。
【請求項２】
上記送風手段が上記振動片と一体に振動するフィン板からなることを特徴とする請求項１に記載の表面電位計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表面電位計に関し、さらに詳しく言えば、被測定面と検知電極との間の電気力線を機械的に振動するチョッパにて増減させる距離補償増幅型表面電位計におけるゴミ対策に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
表面電位計は、静電的な物体（被測定面）の表面電位を非接触で測定する場合に用いられ、音響機器の分野では、例えばエレクトレットコンデンサマイクロホンにおけるエレクトレット誘電体膜を有する固定極の表面電位の測定に用いられている。
【０００３】
非接触で測定することから、被測定面とプローブとの距離が測定に影響をおよぼすことになるが、距離補償増幅型表面電位計によれば、被測定面とプローブとの距離が多少変化しても、それに影響されない測定値を得ることができる。
【０００４】
距離補償増幅型表面電位計は、被測定面に向けられる測定窓を有するシールドケースと、シールドケース内で測定窓を介して被測定面と対向する位置に配置された検知電極と、各々が圧電素子を有する一対の振動片を含む音叉型チョッパとを含み、音叉型チョッパにて被測定面と検知電極との間の電気力線をチョッピングすることにより、被測定面の表面電位を測定する（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２０７９５８号公報（図７，図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、シールドケースに測定窓（開口部）が開けられているため、測定窓から入ったゴミが問題となる。すなわち、測定窓から入ったゴミによってチョッパ部分の動きが阻害されると、それが測定誤差としてあらわれる。
【０００７】
また、別の問題として、検知電極に接続される増幅器は、その入力インピーダンスがきわめて高いため、測定窓から入ったゴミに湿分が加わる等で漏洩電流が発生すると正確な測定が困難になる。
【０００８】
測定窓からのゴミの侵入を防止するには、測定窓にガラス等を取り付ければよいのであるが、そうすると被測定面と検知電極との間に誘電体が介在することになるため、適切な解決策ではない。
【０００９】
したがって、本発明の課題は、距離補償増幅型の表面電位計において、測定に悪影響を与えることなく、測定窓からゴミが入らないようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、被測定面に向けられる測定窓を有するシールドケースと、上記シールドケース内で上記測定窓を介して上記被測定面と対向する位置に配置された検知電極およびその出力アンプと、各々が圧電素子を有し上記被測定面と上記検知電極との間の電気力線をチョッピングする一対の振動片を含む音叉型チョッパおよびそのチョッパ駆動回路とを備えている表面電位計において、上記シールドケース内に、上記測定窓の内側から外側に向かう空気流を生成する送風手段が設けられていることを特徴としている。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１における上記送風手段が上記振動片と一体に振動するフィン板からなることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、シールドケース内に測定窓の内側から外側に向かう空気流を生成する送風手段が設けられているため、測定窓からのゴミの侵入を防止することができる。また、被測定面と検知電極との間には空気層のみが存在するため、測定に悪影響をおよぼすこともない。
【００１３】
請求項２に記載の発明によれば、送風手段として振動片と一体に振動するフィン板を用いることにより、モータ駆動によるファンをシールドケース内に設ける必要がなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、図１および図２により、本発明の実施形態について説明する。図１は本発明の実施形態に係る表面電位計の内部構造を示す斜視図、図２はこの表面電位計が備える音叉型チョッパを示す平面図である。
【００１５】
図１に示すように、この表面電位計は、距離補償増幅型の表面電位計であって、測定窓１１を有するシールドケース１０を備えている。測定に際しては、測定窓１１が被測定面Ｄに向けられるか、被測定面Ｄが測定窓１１と対向する位置に配置される。この実施形態において、被測定面Ｄは、エレクトレットコンデンサマイクロホンに用いられるエレクトレット誘電体膜を有する固定極の電極面である。
【００１６】
シールドケース１０内の基板１２上には、測定窓１１と対向する位置に検知電極２０が配置されている。検知電極２０には、インピーダンス変換器としてのプリアンプ２１が接続されている。
【００１７】
また、シールドケース１０内には、音叉型チョッパ３０が設けられている。図２を併せて参照して、音叉型チョッパ３０は、互いに平行に延びていて各一端側が連結板３４にて門形に一体に連結された左右一対の振動片３１，３１を備えている。
【００１８】
振動片３１，３１には、それぞれ圧電素子３２，３２が取り付けられている。振動片３１，３１の各他端側には、検知電極２０に対してほぼ平行なチョッパ板３１ａ，３１ａが形成され、このチョッパ板３１ａ，３１ａが検知電極２０と測定窓１１との間に配置される。
【００１９】
この表面電位計は、チョッパ駆動回路４０を備えている。チョッパ駆動回路４０より圧電素子３２，３２に交流電圧が加えられることにより、チョッパ板３１ａ，３１ａが、図１の矢印Ａに示すように、互いに接近・離反を繰り返すように振動する。
【００２０】
このチョッパ板３１ａ，３１ａの振動により、被測定面Ｄと検知電極２０との間の電気力線がチョッピングされ、被測定面Ｄの表面電位が測定される。なお、この測定原理は各種の文献に記載され公知であるため、ここでの説明は省略する。
【００２１】
本発明では、測定窓１１からシールドケース１０内へのゴミの侵入を防止するため、シールドケース１０内に、測定窓１１の内側から外側に向かう空気流を生成する送風手段を備える。
【００２２】
その送風手段は、モータ駆動によるファンが用いられてもよいが、この実施形態では、最良の形態として、音叉型チョッパ３０の振動片３１，３１の振動を利用して送風を起こすようにしている。
【００２３】
すなわち、振動片３１，３１の各内面側に、所定厚のスペーサ体３３ａ，３３ａを介してフィン板３３，３３を片持ち状に取り付ける。フィン板３３，３３の自由端側は、チョッパ板３１ａ，３１ａ側とする。フィン板３３，３３は、金属製，合成樹脂製のいずれであってもよいが、適度なしなやかさを有していることが好ましい。
【００２４】
これによれば、フィン板３３，３３（振動片３１，３１）が図１の矢印Ａ方向に振動するに伴って、フィン板３３，３３も同じく振動するため、シールドケース１０内で測定窓１１の内側から外側に向かう空気流が生成され、これにより、測定窓１１からシールドケース１０内へのゴミの侵入が防止される。
【００２５】
上記実施形態では、フィン板３３，３３による送風に振動片３１，３１の振動を利用しているが、別の実施形態として、振動片３１，３１の駆動用の圧電素子３２，３２とは別に、送風専用の圧電素子を設けて、その圧電素子により送風用のフィン板３３を駆動するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態に係る表面電位計の内部構造を示す斜視図。
【図２】上記表面電位計が備える音叉型チョッパを示す平面図。
【符号の説明】
【００２７】
１０  シールドケース
１１  測定窓
１２  基板
２０  検知電極
２１  プリアンプ
３０  音叉型チョッパ
３１  振動片
３１ａ  チョッパ板
３３  フィン板
４０  チョッパ駆動回路
【図１】
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【図２】
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