(57)【要約】【課題】装置が大型化するのを抑制することが可能な電磁アクチュエータが提供する。【解決手段】電磁アクチュエータは、支持部１０１と対向し、支持部１０１の位置Ｐ１と位置Ｐ２との間を移動する第１の可動部１０５と、第１の可動部１０５の磁石部１０４と、支持部１０１に設けられ、磁石部１０４に対して第１の可動部１０５を移動させる磁界を発生するコイル１０２ａ，１０２ｂとを有する。支持部１０９と対向する第２の可動部１０８と、第２の可動部１０８の磁石部１０７と、支持部１０９に設けられ、磁石部１０７に対して第２の可動部１０８を移動させる磁界を発生するコイル１１０ａ，１１０ｂとを有する。そして、第２の可動部１０８は、第１の可動部１０５の移動方向に沿って対向して設けられ、第１の可動部１０５が位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動する際、第１の可動部１０５の移動に連動して位置Ｐ２から位置Ｐ１に移動するように構成される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の支持部と、
前記第１の支持部と対向して設けられ、前記第１の支持部の第１の位置と第２の位置との間を移動する第１の可動部と、
前記第１の支持部と前記第１の可動部の一方に設けられた第１の磁石部と、
前記第１の支持部と前記第１の可動部の他方に設けられ、前記第１の磁石部に対して前記第１の可動部を移動させる磁界を発生する第１の電流線と、
前記第１の可動部の移動方向に沿って互いに対向して設けられ、前記第１の可動部が前記第１の位置から前記第２の位置に移動する際、前記第１の可動部の移動に連動して前記第２の位置から前記第１の位置に移動する第２の可動部と、
を備える、電磁アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１の磁石部が前記第１の可動部に設けられ、前記第１の電流線が前記第１の支持部に設けられた請求項１に記載の電磁アクチュエータであって、
前記第２の可動部は第２の磁石部を有し、
前記第２の磁石部および前記第１の磁石部はいずれも単極磁石により構成され、前記第２の磁石部と前記第１の磁石部の対向面が同じ磁極となっていることを特徴とした電磁アクチュエータ。
【請求項３】
前記第２の可動部と対向して設けられた第２の支持部と、
前記第２の支持部と前記第２の可動部の一方に設けられた第２の磁石部と、
前記第２の支持部と前記第２の可動部の他方に設けられ、前記第２の磁石部に対して前記第２の可動部を移動させる磁界を発生する第２の電流線と、
を備えることを特徴とした請求項１に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項４】
前記第１の磁石部が前記第１の支持部に設けられ、前記第１の電流線が前記第１の可動部に設けられた請求項１に記載の電磁アクチュエータであって、
前記第１の磁石部は、複数の単極磁石により構成され、前記第１の電流線とＳ極の面が対向する領域とＮ極の面が対向する領域を有し、
前記第２の可動部は、前記第１の磁石部と対向して設けられ、前記第１の磁石部に対して前記第１の電流線と反対の磁界を発生する第２の電流線を有していることを特徴とした電磁アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁アクチュエータに関し、特に永久磁石とコイルとの間で作用する電磁力を利用して、永久磁石を有する可動部を駆動させる電磁アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光の光路上にある可動物を移動させるアクチュエータを含むデバイスとしては、たとえば、光ピックアップが考えられる。光ピックアップには、対物レンズ、コリメータレンズ、減光フィルタ、及び光路スイッチングミラーなどのアクチュエータによる移動動作が必要な部品が搭載されている。近年、光ピックアップには、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ  Ｄｉｓｃ、ＢＤ  Ｄｉｓｃなどの多彩な光ディスクに記録・再生する必要性から、光ピックアップに含まれる部品の点数が多くなるので、光ピックアップの体積が大きくなるという問題がある。また、光ディスクドライブは、ポータブルＤＶＤプレーヤーやモバイルＰＣなどにも搭載されており、光ピックアップの小型化および薄型化が望まれている。
【０００３】
このような光ピックアップに搭載されているアクチュエータとしては、従来、エレクトレットを用いた静電気力によるアクチュエータが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
上記特許文献１に記載の静電気力によるアクチュエータは、第１の光透過性部材と、第２の光透過性部材と、第３の光透過性部材とを備えており、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材との間には、赤外光を遮断する特性を有する第１フィルムが配置され、第２の光透過性部材と第３の光透過性部材との間には、可視光の透過量を低減する特性を有する第２フィルムが配置されている。また、第１フィルムと第２フィルムとには、それぞれ、複数のエレクトレット部分が備えられている。また、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材とには、それぞれ、第１フィルムと第２フィルムとに設けられた複数のエレクトレット部分に対向する面に複数の電極が設けられている。上記特許文献１に記載の静電気力によるアクチュエータでは、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材とに設けられる複数の電極と、第１フィルムと第２フィルムとに設けられる複数のエレクトレット部位との間の静電気力によって、第１フィルムと第２フィルムとを移動することが可能となっている。
【特許文献１】特開２００５−９９２０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載の静電気力によるアクチュエータでは、第１フィルムと第２フィルムとを移動させる駆動力として、第１フィルムと第２フィルムとに設けられた複数のエレクトレット部分と、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材とに設けられる複数の電極との間の静電気力を用いているため、第１フィルムと第２フィルムとを動かすためには、百ボルト以上の高電圧が必要となる。このため、特別な昇圧回路を別途設ける必要があり、アクチュエータが大型化するという問題点があった。特に、第１フィルムと第２フィルムとを移動させる駆動機構（エレクトレット部分と電極）をそれぞれ独立して設けているため、アクチュエータの大型化がより顕著となっている。
【０００６】
本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置が大型化するのを抑制することが可能な電磁アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る電磁アクチュエータは、第１の支持部と、第１の支持部と対向して設けられ、第１の支持部の第１の位置と第２の位置との間を移動する第１の可動部と、第１の支持部と第１の可動部の一方に設けられた第１の磁石部と、第１の支持部と第１の可動部の他方に設けられ、第１の磁石部に対して第１の可動部を移動させる磁界を発生する第１の電流線と、第１の可動部の移動方向に沿って互いに対向して設けられ、第１の可動部が第１の位置から第２の位置に移動する際、第１の可動部の移動に連動して第２の位置から第１の位置に移動する第２の可動部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、装置が大型化するのを抑制することが可能な電磁アクチュエータが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を具現化した実施形態について図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１０】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態に係る電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ１００）を示した概略側面図である。図２は図１の減光フィルタアクチュエータの概略断面図であり、図２（Ａ）は図１中のＸ−Ｘ線に沿った断面、図２（Ｂ）はＹ−Ｙ線に沿った断面に相当する。なお、図１は図２（Ａ）のＢ１方向を見た状態である。また、図３および図４は図２（Ａ）の減光フィルタアクチュエータの各層（Ａ層〜Ｄ層）に対応する概略上面図であり、Ａ層およびＤ層は図２（Ａ）のＢ２方向を見た状態、Ｂ層およびＣ層はＢ１方向を見た状態で示している。
【００１１】
第１実施形態における減光フィルタアクチュエータ１００は、図１および図２に示すように、第１の支持部１０１と、この第１の支持部１０１と対向して設けられ、第１の支持部１０１の第１の位置Ｐ１側（レーザ光の光路上に対応する位置）と第２の位置Ｐ２側（レーザ光の光路から外れた位置）との間を移動する第１の可動部１０５と、第１の可動部１０５を構成する減光フィルタ１０３および第１の磁石部１０４と、第１の支持部１０１に設けられ、第１の磁石部１０４に対して第１の可動部１０５を移動させる磁界を発生する第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂと、を有する。また、第２の支持部１０９と、この第２の支持部１０９と対向して設けられた第２の可動部１０８と、第２の可動部１０８を構成するガラス板１０６および第２の磁石部１０７と、第２の支持部１０９に設けられ、第２の磁石部１０７に対して第２の可動部１０８を移動させる磁界を発生する第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂと、を有する。そして、第２の可動部１０８は、第１の可動部１０５の移動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って互いに対向して設けられ、第１の可動部１０５が第１の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２に移動する際、第１の可動部１０５の移動に連動して第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１に移動するように構成される。
【００１２】
具体的には以下の通りである。
【００１３】
第１実施形態における減光フィルタアクチュエータ１００は、図２（Ａ）に示すように、第１の支持部１０１を有するＡ層、第２の支持部１０９を有するＢ層、第１の可動部１０５を有するＣ層、及び第２の可動部１０８を有するＤ層から構成される。
【００１４】
Ａ層は、図３（Ａ）に示すように、主として第１の支持部１０１と第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂとにより構成される。第１の支持部１０１はプリント基板からなり、この第１の支持部１０１にはレーザ光を通すための開口部１０１ａが設けられている。そして、この開口部１０１ａは、図１および図２（Ｂ）に示すように、第２の支持部１０９の開口部１０９ａと法線方向（Ｂ１方向およびＢ２方向）に対して重なり合っている。
【００１５】
第１の支持部１０１には、開口部１０１ａを挟んで上下それぞれに第１の可動部１０５を駆動するための２つのコイル（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂ）が設けられている。上下それぞれのコイルは第１の可動部１０５の移動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って第１の支持部１０１の表面に配置されている。なお、第１の可動部１０５を駆動するためのコイルは移動方向に沿って直線上に２つ以上あればよい。また、各コイル（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂ）は銅からなる平面コイルにより構成されている。平面コイルを用いることにより、コイルの薄型化を促進することが可能となる。
【００１６】
Ｂ層は、図３（Ｂ）に示すように、主として第２の支持部１０９と第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂとにより構成される。第２の支持部１０９はプリント基板からなり、この第２の支持部１０９にはレーザ光を通すための開口部１０９ａが設けられている。そして、この開口部１０９ａは、図１および図２（Ｂ）に示すように、第１の支持部１０１の開口部１０１ａと法線方向（Ｂ１方向およびＢ２方向）に対して重なり合っている。
【００１７】
第２の支持部１０９には、開口部１０９ａを挟んで上下それぞれに第２の可動部１０８を駆動するための２つのコイル（第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂ）が設けられている。上下それぞれのコイルは第２の可動部１０８の移動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って第２の支持部１０９の表面に配置されている。なお、第２の可動部１０８を駆動するためのコイルは移動方向に沿って直線上に２つ以上あればよい。また、第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂと同様、各コイル（第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂ）は、銅からなる平面コイルにより構成されている。
【００１８】
そして、図１および図２に示すように、第１の支持部１０１の各コイル（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂ）と、第２の支持部１０９の各コイル（第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂ）とは、コイル毎に法線方向（Ｂ１方向およびＢ２方向）に対して重なり合うように対向して配置されている。
【００１９】
Ｃ層は、図４（Ａ）に示すように、主として減光フィルタ１０３および第１の磁石部１０４からなる第１の可動部１０５と、こうした第１の可動部１０５（および第２の可動部１０８）のガイド枠として機能する壁部１１１と、により構成される。
【００２０】
第１の可動部１０５の減光フィルタ１０３には、ガラス板をベース基板として、その表面にフッ素（Ｆ）、マグネシウム（Ｍｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、及びクロム（Ｃｒ）を含むレーザ光吸収材料からなる遮光領域（図示せず）が形成されている。この遮光領域が減光フィルタアクチュエータにおける減光フィルタとして機能し、第１の可動部１０５に入射されるレーザ光を所定の光量にまで減光する。そして、減光フィルタ１０３の上下にはそれぞれ単極磁石（ネオジウムボロン磁石）からなる第１の磁石部１０４が取り付けられている。こうした第１の磁石部１０４は磁石の厚み方向（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂに発生する磁界と同一の方向）に着磁され、第１の磁石部１０４の磁極面（Ｎ極を有する面）が第１の支持部１０１の表面に配置された各コイル（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂ）と対向するように設置されている。なお、上下の第１の磁石部１０４には同一の寸法・規格のものを採用している。
【００２１】
壁部１１１は、樹脂からなり、図２に示すように、第１の支持部１０１と第２の支持部１０９との間に挟まれ、第１の支持部１０１および第２の支持部１０９の周縁を囲むように形成されている。この壁部１１１には、図２（Ｂ）に示すように、第１の可動部１０５を移動させるためのガイドとして機能する凹部１１１ａが形成されている。そして、図４（Ａ）に示すように、壁部１１１内に上記のように構成された第１の可動部１０５が配置される。そして、各コイル（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂ）への印加電流を制御
することにより、第１の可動部１０５（第１の可動部１０５の減光フィルタ１０３）がコイル（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂ）の配列方向（壁部１１１の凹部１１１ａ）に沿って２つの位置（減光フィルタ１０３が光路上の位置および光路から外れた位置）間を移動するようになっている。
【００２２】
Ｄ層は、図４（Ｂ）に示すように、主としてガラス板１０６および第２の磁石部１０７からなる第２の可動部１０８と、こうした第２の可動部１０８（および第１の可動部１０５）のガイド枠として機能する壁部１１１と、により構成される。なお、ガラス板１０６は、第２の可動部１０８に入射されるレーザ光をそのまま透過する。
【００２３】
第２の可動部１０８のガラス板１０６の上下にはそれぞれ単極磁石（ネオジウムボロン磁石）からなる第２の磁石部１０７が取り付けられている。こうした第２の磁石部１０７は磁石の厚み方向（第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂに発生する磁界と同一の方向）に着磁され、第２の磁石部１０７の磁極面（Ｎ極を有する面）が第２の支持部１０９上に配置された各コイル（第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂ）と対向するように設置されている。なお、上下の第２の磁石部１０７には同一の寸法・規格のものを採用している。また、第１の磁石部１０４とも同一の寸法・規格のものを採用している。
【００２４】
壁部１１１には、図２（Ｂ）に示すように、第２の可動部１０８を移動させるためのガイドとして機能する凹部１１１ｂが形成されている。この凹部１１１ｂは凹部１１１ａと互いに並列に設けられている。そして、図４（Ｂ）に示すように、壁部１１１内に上記のように構成された第２の可動部１０８が配置される。そして、第１の可動部１０５の移動に連動するように各コイル（第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂ）への印加電流を制御することにより、第２の可動部１０８（第２の可動部１０５のガラス板１０６）が第１の可動部１０５の移動に連動して、コイル（第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂ）の配列方向（壁部１１１の凹部１１１ａ）に沿って２つの位置（ガラス板１０６が光路上の位置および光路から外れた位置）間を移動するようになっている。
【００２５】
そして、図２（Ａ）に示すように、第２の可動部１０８と第１の可動部１０５とは互いに対向して配置され、第１の可動部１０５の第１の磁石部１０４と、第２の可動部１０８の第２の磁石部１０７とは、各磁石部の対向面が同じＳ極となるように配置されている。
【００２６】
以上のように、本発明の第１実施形態の電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ１００）が構成される。
【００２７】
なお、第１の支持部１０１は本発明の「第１の支持部」、第１の可動部１０５は本発明の「第１の可動部」、第１の磁石部１０４は本発明の「第１の磁石部」、第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂは本発明の「第１の電流線」、第２の支持部１０９は本発明の「第２の支持部」、第２の可動部１０８は本発明の「第２の可動部」、第２の磁石部１０７は本発明の「第２の磁石部」、第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂは本発明の「第２の電流線」、第１の位置Ｐ１は本発明の「第１の位置」、及び第２の位置Ｐ２は本発明の「第２の位置」の一例である。
【００２８】
次に、第１実施形態による減光フィルタアクチュエータ１００の動作（第１の可動部の第１の位置Ｐ１側から第２の位置Ｐ２側への移動）について説明する。図５および図６は第１実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略断面図である。
【００２９】
まず、図５（Ａ）に示すように、第１の可動部１０５が減光フィルタアクチュエータ１００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）、且つ、第２の可動部１０８が減光フィルタアクチュエータ１００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣
接する状態）において、第１のコイル１０２ａにＢ１方向にＳ極からＮ極への磁界が発生する電流を流すとともに、第１のコイル１０２ｂにＢ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する電流を流す。これにより、第１の磁石部１０４のＮ極と第１のコイル１０２ａに発生するＮ極との間で斥力が働く。また、第１の磁石部１０４のＮ極と第１のコイル１０２ｂに発生するＳ極との間で引力が働く。この結果、第１の可動部１０５に作用する引力により、第１の可動部１０５はＡ２方向に移動を開始する。
【００３０】
一方、第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂへの電流を流すのに合わせて第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂに電流を流す。具体的には、第２のコイル１１０ａにＢ１方向にＳ極からＮ極への磁界が発生する電流を流すとともに、第２のコイル１１０ｂにＢ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する電流を流す。これにより、第２の磁石部１０７のＮ極と第２のコイル１１０ａに発生するＳ極との間で引力が働く。また、第２の磁石部１０７のＮ極と第２のコイル１１０ｂに発生するＮ極との間で斥力が働く。この結果、第２の可動部１０８に作用する引力により、第２の可動部１０８は第１の可動部１０５の移動に連動してＡ１方向に移動を開始する。
【００３１】
そして、図５（Ｂ）に示すように、第１の可動部１０５が減光フィルタアクチュエータ１００の第１の位置Ｐ１から移動した状態（第２の可動部１０８が減光フィルタアクチュエータ１００の第２の位置Ｐ２から移動した状態）においては、第１の可動部１０５に作用する引力と斥力により、第１の可動部１０５はＡ２方向にさらに移動するとともに、第２の可動部１０８に作用する引力と斥力により、第２の可動部１０８は第１の可動部１０５の移動に連動してＡ１方向にさらに移動する。
【００３２】
そして、図６（Ａ）に示すように、第１の可動部１０５に作用する斥力により、第１の可動部１０５は減光フィルタアクチュエータ１００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）にまで移動するとともに、第２の可動部１０８に作用する斥力により、第２の可動部１０８は第１の可動部１０５の移動に連動して減光フィルタアクチュエータ１００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）にまで移動する。
【００３３】
そして、第１の可動部１０５の第１の磁石部１０４と、第２の可動部１０８の第２の磁石部１０７とは、各磁石部の対向面が同じＳ極となるように配置されているので、図６（Ｂ）に示すように、第１の可動部１０５がＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）、且つ、第２の可動部１０８がＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）において、各コイル（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂ、第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂ）に電流を流さない状態（電源ＯＦＦ）でも、第１の磁石部１０４と第２の磁石部１０７との間の磁力（斥力）によって両可動部が固定された状態に保持される。
【００３４】
一方、上記とは反対方向への移動（第１の可動部１０５の第２の位置Ｐ２側から第１の位置Ｐ１側への移動）に関しても対応する同様の電流制御により行うことができる。
【００３５】
このようにして、第１実施形態における減光フィルタアクチュエータ１００では、それぞれのコイルと磁石部との間に発生する電磁力（引力および斥力）により、レーザ光の光路上の位置（第１の位置Ｐ１側）あるいはレーザ光の光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２側）に対して第１の可動部１０５（減光フィルタ１０３）と第２の可動部２０８（ガラス板１０６）の切り替え（入れ替え）を行う。
【００３６】
本発明の第１実施形態に係る電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ１００）によれば、以下の効果を得ることができる。
【００３７】
（１）第１の支持部１０１の第１の可動部１０５と対向する表面に電磁石として機能する２つのコイル（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂ）を形成し、第１の可動部１０５
の第１の支持部１０１の各コイルと対向する表面に第１の磁石部１０４を配置したことによって、第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂに電流を流すことで発生する磁界と第１の磁石部１０４との間に電磁力（引力または斥力）を引き起こし、第１の可動部１０５を移動させることができる。こうした駆動では、従来の静電気力を用いて第１の可動部１０５を移動する場合と異なり、第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂに流す電圧を昇圧する必要がないので、昇圧回路を別途設ける必要がない。これにより、減光フィルタアクチュエータ１００が大型化するのを抑制することができる。
【００３８】
（２）第２の支持部１０９の第２の可動部１０８と対向する表面に電磁石として機能する２つのコイル（第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂ）を形成し、第２の可動部１０８の第２の支持部１０９の各コイルと対向する表面に第２の磁石部１０７を配置したことによって、第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂに電流を流すことで発生する磁界と第２の磁石部１０７との間に電磁力（引力または斥力）を引き起こし、第２の可動部１０８を移動させることができる。こうした駆動では、従来の静電気力を用いて第２の可動部１０８を移動する場合と異なり、第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂに流す電圧を昇圧する必要がないので、昇圧回路を別途設ける必要がない。これにより、減光フィルタアクチュエータ１００が大型化するのを抑制することができる。
【００３９】
（３）第２の可動部１０８を、第１の可動部１０５の移動方向に沿って第１の可動部１０５と対向して配置し、第１の可動部１０５の移動と連動して第１の可動部１０５の移動方向と相反する方向に移動するようにしたことで、レーザ光の光路を横切る位置（第１の位置Ｐ１側）あるいはレーザ光の光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２側）への第１の可動部１０５と第２の可動部１０８の入れ替え動作の応答性が向上する。
【００４０】
（４）第２の可動部１０８を第１の可動部１０５の移動方向に沿って第１の可動部１０５と対向して配置し、第１の可動部１０５の第１の磁石部１０４と第２の可動部１０８の第２の磁石部１０７との対向面を同じ磁極（Ｓ極）としたことで、第１の可動部１０５が第２の位置Ｐ２側に移動した際（第２の可動部１０８が第１の位置Ｐ１側に移動した際）には、第１の磁石部１０４と第２の磁石部１０７との間に働く磁力（斥力）によって、第１の可動部１０５および第２の可動部１０８をその位置に保持することができる。特に、各コイル（第１のコイル１０２ａおよび１０２ｂ、第２のコイル１１０ａおよび１１０ｂ）に電流を流さない状態でも第１の可動部１０５および第２の可動部１０８をその位置に保持することができるので、装置の大型化が抑制された減光フィルタアクチュエータ１００の消費電力を削減することができる。また、別途各可動部の保持機構を設ける必要がないため、装置の大型化をさらに抑制することができるとともに、こうした装置の低コスト化を図ることができる。
【００４１】
（５）各磁石部（第１の磁石部１０４および第２の磁石部２０７）に単極磁石（ネオジウムボロン磁石）を用いたことで、コイルに生じる磁界との間に推力（引力または斥力）を生じさせる磁力を同一とすると、多極着磁された複数の永久磁石（多極磁石）を用いる場合に比べて磁石部の小面積化（小型化）を容易に図ることができる。このため、装置の大型化が抑制された減光フィルタアクチュエータ１００のさらなる小型化を実現することができる。これは、多極磁石を小型化・薄型化する場合には、多極着磁する永久磁石の個々を小型化・薄型化する必要があり、これにより個々の永久磁石の磁力が急激に減少し、多極磁石全体としてもコイルに生じる磁界との間に推力を生じさせる磁力を得ることが困難となるためである。
【００４２】
（第２実施形態）
図７は本発明の第２実施形態に係る電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ２００）の主要な構成を示した模式図である。図８（Ａ）は減光フィルタアクチュエータ
の概略側面図、図８（Ｂ）は減光フィルタアクチュエータの概略上面図である。なお、図８（Ａ）は図７のＢ１方向を見た状態、図８（Ｂ）は図８（Ａ）の第２の支持部２０９がない状態で示している。
【００４３】
第２実施形態における減光フィルタアクチュエータ２００は、図７に示すように、主として２つの磁石部（第１の磁石部２０４ａおよび２０４ｂ）を有する第１の支持部２０１と、こうした第１の支持部２０１の上の２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を移動可能に保持され、且つ、互いに平行に移動する２つの可動部（第１の可動部２０５および第２の可動部２０８）とから構成される。
【００４４】
具体的には以下の通りである。
【００４５】
第１の支持部２０１には、図８（Ａ）に示すように、第１の可動部２０５および第２の可動部２０８の移動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って２つの磁石部（第１の磁石部２０４ａおよび２０４ｂ）が極性を反転して配置されている。ここで、各磁石部には、単極磁石（ネオジウムボロン磁石）が採用され、第１の磁石部２０４ａの上面がＳ極、第１の磁石部２０４ｂの上面がＮ極となっている。第１の磁石部２０４ａと第１の磁石部２０４ｂの寸法・規格は同一のものが採用されている。なお、第１の支持部２０１はアクチュエータ内で固定されている。
【００４６】
第１の可動部２０５は、図８に示すように、第１の基板２１２ａと、この第１の基板２１２ａの下面に設けられた第１のコイル２０２と、上面上に設けられた減光フィルタ２０３と、から構成される。
【００４７】
第１のコイル２０２は、銅からなる１層の平面コイルにより構成されている。第１のコイル２０２は、各磁石部（第１の磁石部２０４ａおよび２０４ｂ）と対向して設けられ、電流を流すことにより第１の磁石部２０４ａまたは第１の磁石部２０４ｂの磁極面に対して第１の可動部２０５を移動させる磁界を発生する。
【００４８】
減光フィルタ２０３は、第１のコイル２０２と各磁石部との対向面と垂直な方向（Ｃ１方向およびＣ２方向）に延在し、第１の可動部２０５が光路上の位置（第１の位置Ｐ１）に移動した際に、光路を横切るように配置されている。減光フィルタ２０３には、第１実施形態と同様のレーザ光吸収材料からなる遮光領域（図示せず）が形成されている。この遮光領域が減光フィルタアクチュエータ２００における減光フィルタとして機能し、第１の可動部２０５に入射されるレーザ光を所定の光量にまで減光する。
【００４９】
第２の可動部２０８は、図８に示すように、第２の基板２１２ｂと、この第２の基板２１２ｂの下面に設けられた第２のコイル２１０と、上面上に設けられたガラス板２０６と、から構成されている。
【００５０】
第２のコイル２１０は、第１のコイル２０２と同様、銅からなる１層の平面コイルにより構成されている。ここでは、両コイルには同一の寸法・規格のものが採用されている。第２のコイル２１０は、各磁石部（第１の磁石部２０４ａおよび２０４ｂ）と対向して設けられ、電流を流すことにより第１の磁石部２０４ａまたは第１の磁石部２０４ｂの磁極面に対して第２の可動部２０８を移動させる磁界を発生する。この際、第１のコイル２０２と反対方向の電流を流すことにより、第２の可動部２０８は第１の可動部２０５の移動と反対方向へ移動する。
【００５１】
ガラス板２０６は、第２のコイル２１０と各磁石部との対向面と垂直な方向（Ｃ１方向およびＣ２方向）に延在し、第２の可動部２０８が光路上の位置（第１の位置Ｐ１）に移動した際に、光路を横切るように配置されている。ガラス板２０６は、第２の可動部２０
８に入射されるレーザ光をそのまま透過する。
【００５２】
第１の可動部２０５および第２の可動部２０８は、第２の支持部２０９に設けられたガイド枠として機能する凹部にそれぞれはめ込まれ、互いに平行に設けられている。
【００５３】
そして、第２実施形態の減光フィルタアクチュエータ１００では、各コイル（第１のコイル２０２および第２のコイル２１０）への印加電流を制御することにより、各可動部（第１の可動部２０５および第２の可動部２０８）が凹部に沿って２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を入れ替わるように移動するようになっている。たとえば、第２の可動部２０８は、第１の可動部２０５が光路上の位置（第１の位置Ｐ１）から光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２）に移動する際、第１の可動部２０５の移動に連動して第１の可動部２０５と反対方向に移動（第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１に移動）する。
【００５４】
以上のように、本発明の第２実施形態の電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ２００）が構成される。
【００５５】
なお、第１の支持部２０１は本発明の「第１の支持部」、第１の可動部２０５は本発明の「第１の可動部」、第１の磁石部２０４ａおよび２０４ｂは本発明の「第１の磁石部」、第１のコイル２０２は本発明の「第１の電流線」、第２の可動部２０８は本発明の「第２の可動部」、第２のコイル２１０は本発明の「第２の電流線」、第１の位置Ｐ１は本発明の「第１の位置」、第２の位置Ｐ２は本発明の「第２の位置」第１の磁石部２０４ａは本発明の「Ｓ極の面を有する領域」、及び第１の磁石部２０４ｂは本発明の「Ｎ極の面を有する領域」の一例である。
【００５６】
次に、第２実施形態による減光フィルタアクチュエータ２００の動作（第１の可動部の第１の位置Ｐ１側から第２の位置Ｐ２側への移動）について説明する。
【００５７】
まず、図８に示すように、第１の可動部２０５が減光フィルタアクチュエータ２００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）、且つ、第２の可動部２０８が減光フィルタアクチュエータ２００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）において、第１のコイル２０２にＣ１方向にＳ極からＮ極への磁界が発生する電流を流すとともに、第２のコイル２１０にＣ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する電流を流す。これにより、第１の可動部２０５においては、第１のコイル２０２に発生するＳ極と第１の磁石部２０４ａのＳ極との間で斥力が働くとともに、第１の磁石部２０４ｂのＮ極との間で引力が働く。この結果、第１の可動部２０５に作用する引力および斥力により、第１の可動部２０５は減光フィルタアクチュエータ２００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）にまで移動する。また、第２の可動部２０８においては、第２のコイル２１０に発生するＮ極と第１の磁石部２０４ｂのＮ極との間で斥力が働くとともに、第１の磁石部２０４ａのＳ極との間で引力が働く。この結果、第２の可動部２０８に作用する引力および斥力により、第１の可動部２０５の移動と連動して第２の可動部２０８は減光フィルタアクチュエータ２００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）にまで移動する。
【００５８】
一方、上記とは反対方向への移動（第１の可動部２０５の第２の位置Ｐ２側から第１の位置Ｐ１側への移動）に関しても対応する同様の電流制御により行うことができる。
【００５９】
このようにして、第２実施形態における減光フィルタアクチュエータ２００は、それぞれのコイルと磁石部との間に発生する電磁力（引力および斥力）により、レーザ光の光路上の位置（第１の位置Ｐ１側）あるいはレーザ光の光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２側）に対して第１の可動部２０５（減光フィルタ２０３）と第２の可動部２０８（ガラス板２０６）の切り替え（入れ替え）を行う。
【００６０】
本発明の第２実施形態に係る電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ２００
）によれば、上記（３）および（５）の効果に加え、以下の効果を得ることができる。
【００６１】
（６）第１の支持部２０１の第１の磁石部２０４ａおよび２０４ｂと対向する第１の可動部２０５および第２の可動部２０８の表面（第１の基板２１２ａおよび第２の基板２１２ｂの下面）に、電磁石として機能し、互いに異なる磁極を発生するようにしたコイル（第１のコイル２０２および第２のコイル２１０）を配置したことによって、第１のコイル２０２および第２のコイル２１０に電流を流すことで発生する磁界と第１の磁石部２０４ａおよび２０４ｂとの間に電磁力（引力または斥力）を引き起こすことができるので、第１の可動部２０５と第２の可動部２０８とを相反する方向に連動して移動させることができる。こうした駆動では、従来の静電気力を用いて第１の可動部２０５および第２の可動部２０８を移動する場合と異なり、第１の可動部２０５の第１のコイル２０２および第２の可動部２０８の第２のコイル２１０に流す電圧を昇圧する必要がないので、昇圧回路を別途設ける必要がない。これにより、減光フィルタアクチュエータ２００が大型化するのを抑制することができる。
【００６２】
（７）コイルと磁石部との対向面と垂直な方向に減光フィルタ２０３およびガラス板２０６を設けたことで、各可動部の駆動力を増加するためにコイルや磁石部の占有面積を増加する場合でもアクチュエータの高さの増大を抑制することができる。
【００６３】
（第３実施形態）
図９は本発明の第３実施形態に係る電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ３００）の主要な構成を示した模式図である。
【００６４】
第３実施形態における減光フィルタアクチュエータ３００は、図９に示すように、第１の支持部３０１と、この第１の支持部３０１と対向して設けられ、第１の支持部３０１の第１の位置Ｐ１（レーザ光の光路上に対応する位置）と第２の位置Ｐ２（レーザ光の光路から外れた位置）との間を移動する第１の可動部３０５と、第１の可動部３０５を構成する減光フィルタ３０３および第１の磁石部３０４と、第１の支持部３０１に設けられ、第１の磁石部３０４に対して第１の可動部３０５を移動させる磁界を発生する第１のコイル３０２ａおよび３０２ｂと、を有する。ここで、各コイル（第１のコイル３０２ａおよび３０２ｂ）は、単極磁石（ネオジウムボロン磁石）からなる第１の磁石部３０４のＮ極の面と対向している。なお、各コイル（第１のコイル３０２ａおよび３０２ｂ）への電流制御を行うために、第１の支持部３０１には外部引き出し用のフレキシブル端子３１４が接続されている。
【００６５】
また、第１の可動部３０５の第１の支持部３０１と対向する面側とは反対の面側において、第１の可動部３０５の移動方向に沿って第１の可動部３０５と対向して設けられた第２の可動部３０８と、第２の可動部３０８を構成するガラス板３０６および第２の磁石部３０７と、を有する。第２の可動部３０８の第２の磁石部３０７は、第１の可動部３０５の第１の磁石部３０４と同様、単極磁石（ネオジウムボロン磁石）が採用され、第２の磁石部３０７は、第１の磁石部３０４と対向面が同じＳ極となるように配置されている。そして、第２の可動部３０８は、第１の可動部３０５の第１の磁石部３０４との間に作用する磁力（斥力）を利用して移動する。
【００６６】
ここで、第３実施形態における第１の可動部３０５の移動は、第１の可動部３０５の上下に設けられたガイド枠３１４ａが、これを貫通するガイド軸３１３ａに沿って移動することにより行われる。こうしたガイド軸３１３ａは、基板３１２上の左右両端に設けられた壁部３１１との間に駆動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って設けられ、壁部３１１にその両端が固定されている。
【００６７】
また、第２の可動部３０８の移動は、第２の可動部３０８の上下に設けられたガイド枠
３１４ｂが、これを貫通するガイド軸３１３ｂに沿って移動することにより行われる。こうしたガイド軸３１３ｂは、基板３１２上の左右両端に設けられた壁部３１１からの突出部３１１ａとの間に駆動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って設けられ、壁部３１１の突出部３１１ａにその両端が固定されている。
【００６８】
以上のように、本発明の第３実施形態の電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ３００）が構成される。
【００６９】
なお、第１の支持部３０１は本発明の「第１の支持部」、第１の可動部３０５は本発明の「第１の可動部」、第１の磁石部３０４は本発明の「第１の磁石部」、第１のコイル３０２ａおよび３０２ｂは本発明の「第１の電流線」、第２の可動部３０８は本発明の「第２の可動部」、第２の磁石部３０７は本発明の「第２の磁石部」、第１の位置Ｐ１は本発明の「第１の位置」、及び第２の位置Ｐ２は本発明の「第２の位置」の一例である。
【００７０】
次に、第３実施形態による減光フィルタアクチュエータ３００の動作（第１の可動部の第１の位置Ｐ１側から第２の位置Ｐ２側への移動）について説明する。図１０および図１１は第３実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略断面図である。
【００７１】
まず、図１０（Ａ）に示すように、第１の可動部３０５が減光フィルタアクチュエータ３００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）、且つ、第２の可動部３０８が減光フィルタアクチュエータ３００のＡ２方向に寄った状態（第４の位置Ｐ４に隣接する状態）において、第１のコイル３０２ａにＢ１方向にＳ極からＮ極への磁界が発生する電流を流すとともに、第１のコイル３０２ｂにＢ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する電流を流す。これにより、第１の磁石部３０４のＮ極と第１のコイル３０２ａに発生するＮ極との間で斥力が働く。また、第１の磁石部３０４のＮ極と第１のコイル３０２ｂに発生するＳ極との間で引力が働く。この結果、第１の可動部３０５に作用する引力により、第１の可動部３０５はＡ２方向に移動を開始する。
【００７２】
そして、図１０（Ｂ）に示すように、第１の可動部３０５が減光フィルタアクチュエータ３００の第１の位置Ｐ１から移動した状態においては、第１の可動部３０５に作用する引力と斥力により、第１の可動部３０５はＡ２方向にさらに移動する。
【００７３】
そして、図１０（Ｃ）に示すように、第１の可動部３０５に作用する斥力により、第１の可動部３０５は減光フィルタアクチュエータ３００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）にまで移動する。こうした状態において、第１の可動部３０５の第１の磁石部３０４と第２の可動部３０８の第２の磁石部３０７とは磁石部の対向面が同じＳ極となるように配置されているので、磁石部間に作用する磁力（斥力）により、第２の可動部３０８はＡ２方向に移動を開始する。なお、第１の可動部３０５に対しては第１のコイル３０２ａとの間で斥力が作用しているので、第２の可動部３０８のみが選択的に移動する。
【００７４】
そして、図１１（Ａ）に示すように、第２の可動部３０８に作用する磁力（斥力）により、第２の可動部３０８は減光フィルタアクチュエータ３００のＡ１方向に寄った状態（第３の位置Ｐ３に隣接する状態）にまで移動する。
【００７５】
そして、第１の可動部３０５の第１の磁石部３０４と、第２の可動部３０８の第２の磁石部３０７とは、各磁石部の対向面が同じＳ極となるように配置されているので、図１１（Ｂ）に示すように、第１の可動部３０５がＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）、且つ、第２の可動部３０８がＡ１方向に寄った状態（第３の位置Ｐ３に隣接する状態）において、各コイル（第１のコイル３０２ａおよび３０２ｂ）に電流を流さ
ない状態（電源ＯＦＦ）でも、第１の磁石部３０４と第２の磁石部３０７との間の磁力（斥力）によって両可動部が固定された状態に維持される。
【００７６】
一方、上記とは反対方向への移動（第１の可動部３０５の第２の位置Ｐ２側から第１の位置Ｐ１側への移動）に関しても対応する同様の電流制御により行うことができる。
【００７７】
このようにして、第３実施形態における減光フィルタアクチュエータ３００は、第１の可動部３０５の第１の磁石部３０４と各コイルとの間に発生する電磁力（引力および斥力）により、第１の可動部３０５が第１の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２に移動する際、第２の可動部３０８は、第１の可動部３０５の移動に連動して第２の位置Ｐ２側（第４の位置Ｐ４）から第１の位置Ｐ１側（第３の位置Ｐ３）に移動する。これにより、レーザ光の光路上の位置（第１の位置Ｐ１）あるいはレーザ光の光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２）に対して第１の可動部３０５（減光フィルタ３０３）と第２の可動部３０８（ガラス板３０６）の切り替え（入れ替え）が行われる。
【００７８】
本発明の第３実施形態に係る電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ３００）によれば、上記（１）および（３）〜（５）の効果に加え、以下の効果を得ることができる。
【００７９】
（８）第２の可動部３０８を駆動するためのコイルを設ける必要がないので、第１実施形態に比べ、電磁アクチュエータのさらなる小型化を図ることができる。
【００８０】
（９）第２の可動部３０８を、第１の可動部３０５の第１の磁石部３０４との間に生じる磁力（斥力）により第１の可動部３０５の移動と連動して駆動するようにしたことで、装置の大型化が抑制された減光フィルタアクチュエータ３００の消費電力を削減することができる。
【００８１】
（１０）第１実施形態において可動部の上下に配置していたコイルを、可動部の一方のみとしたことで、可動部に占めるコイル（磁石部）の占有面積を削減することができ、電磁アクチュエータの高さの低減（小型化）を図ることができる。
【００８２】
（第４実施形態）
図１２は本発明の第４実施形態に係る電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ４００）の主要な構成を示した模式図である。図１３（Ａ）は減光フィルタアクチュエータの概略側面図、図１３（Ｂ）は減光フィルタアクチュエータの概略上面図である。なお、図１３（Ａ）は図１２のＢ１方向を見た状態、図１３（Ｂ）はガイド枠４１４ａおよび４１４ｂなどがない状態で示している。
【００８３】
第４実施形態における減光フィルタアクチュエータ４００は、図１２および図１３に示すように、主として、コイル４０２ａ〜４０２ｃを有する第１の可動部４０５と、磁石部４０７を有し、第１の可動部４０５の移動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って第１の可動部４０５と平行に移動する第２の可動部４０８と、から構成される。
【００８４】
具体的には以下の通りである。
【００８５】
第１の可動部４０５は、減光フィルタ４０３と、移動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に直線状に配置された３つのコイル４０２ａ〜４０２ｃを有する基板４１２と、第１の可動部４０５の上下に設けられたガイド枠４１４ａと、を有する。ここで、基板４１２は、第１の可動部４０５の第２の可動部４０８と対向する面側に配置される。また、各コイル（コイル４０２ａ〜４０２ｃ）は、適宜選択して電流を流すことにより磁石部４０７の磁極面に対して第１の可動部４０５および第２の可動部４０８を移動させる磁界を発生する。なお、各コイルへの電流制御を行うために、基板４１２には外部引き出し用のフレキシブル端子４１４が接続されている。
【００８６】
第１の可動部４０５の移動は、第３実施形態と同様、上下のガイド枠４１４ａが、これを貫通するガイド軸４１３ａに沿って移動することにより行われる。こうしたガイド軸４１３ａは、第１の支持部４０１上の左右両端に設けられた壁部４１１と左側の壁部４１１からの突出部（フレキシブル端子４１４が壁部４１１と第１の可動部４０５との間に挟まれるのを防止するための突出部）４１１ａとの間に移動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って設けられ、壁部４１１と突出部４１１ａとにその端部が固定されている。
【００８７】
第２の可動部４０８は、ガラス板４０６と、第１の可動部４０５のコイル４０２ａ〜４０２ｃと対向して配置された磁石部４０７と、第２の可動部４０８の上下に設けられたガイド枠４１４ｂと、を有する。ここで、磁石部４０７は、単極磁石（ネオジウムボロン磁石）からなり、第２の可動部４０８の第１の可動部４０５と対向する面側に配置される。
【００８８】
第２の可動部４０８の移動は、第３実施形態と同様、上下のガイド枠４１４ｂが、これを貫通するガイド軸４１３ｂに沿って移動することにより行われる。こうしたガイド軸４１３ｂは、第１の支持部４０１上の左右両端に設けられた壁部４１１との間に移動方向（Ａ１方向またはＡ２方向）に沿って設けられ、壁部４１１にその両端が固定されている。
【００８９】
そして、第４実施形態の減光フィルタアクチュエータ４００では、各コイル（コイル４０２ａ〜４０２ｃ）と磁石部４０７との間に作用する電磁力（引力または斥力）により、第１の可動部４０５および第２の可動部４０８は、第１の支持部４０１の第１の位置Ｐ１（レーザ光の光路上に対応する位置）と第２の位置Ｐ２（レーザ光の光路から外れた位置）との間を移動するように構成される。詳細には、第２の可動部４０８は、第１の可動部４０５が第１の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２に移動する際、第１の可動部４０５の移動に連動して第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１に移動するように構成される。
【００９０】
以上のように、本発明の第４実施形態の電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ４００）が構成される。
【００９１】
次に、第４実施形態による減光フィルタアクチュエータ４００の動作（第１の可動部の第１の位置Ｐ１側から第２の位置Ｐ２側への移動）について説明する。図１４〜図１６は第４実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略断面図である。
【００９２】
まず、図１４（Ａ）に示すように、第１の可動部４０５が減光フィルタアクチュエータ４００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）、且つ、第２の可動部４０８が減光フィルタアクチュエータ４００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）において、第１の可動部４０５のコイル４０２ｃにＢ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する電流を流すとともに、コイル４０２ａおよび４０２ｂには電流を流さない。これにより、第２の可動部４０８の磁石部４０７のＮ極とコイル４０２ｃに発生するＳ極との間で引力が働く。この結果、第１の可動部４０５と第２の可動部４０８との間に作用する引力により、第１の可動部４０５はＡ２方向に移動を開始するとともに、これと連動して第２の可動部４０８はＡ１方向に移動を開始する。
【００９３】
そして、図１４（Ｂ）に示すように、第２の可動部４０８が第１の可動部４０５のコイル４０２ｃを覆う位置にまで移動した状態において、電流を流すコイルを切り替え、第１の可動部４０５のコイル４０２ｂにＢ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する電流を流すとともに、コイル４０２ａおよび４０２ｃには電流を流さない。これにより、第２の可動部４０８の磁石部４０７のＮ極とコイル４０２ｂに発生するＳ極との間で引力が働く。この結果、第１の可動部４０５と第２の可動部４０８との間に作用する引力により、第１の可動部４０５はＡ２方向にさらに移動するとともに、これと連動して第２の可動部４０
８はＡ１方向にさらに移動する。
【００９４】
そして、図１４（Ｃ）に示すように、第２の可動部４０８が第１の可動部４０５のコイル４０２ｂを覆う位置にまで移動した状態において、電流を流すコイルを切り替え、第１の可動部４０５のコイル４０２ａにＢ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する電流を流すとともに、コイル４０２ｂおよび４０２ｃには電流を流さない。これにより、第２の可動部４０８の磁石部４０７のＮ極とコイル４０２ａに発生するＳ極との間で引力が働く。この結果、第１の可動部４０５と第２の可動部４０８との間に作用する引力により、第１の可動部４０５はＡ２方向にさらに移動するとともに、これと連動して第２の可動部４０８はＡ１方向にさらに移動する。そして、図１５（Ａ）に示すように、第２の可動部４０８が第１の可動部４０５のコイル４０２ａを覆う位置にまで第１の可動部４０５および第２の可動部４０８は移動する。
【００９５】
次に、図１５（Ｂ）に示すように、電流を流すコイルを切り替え、第１の可動部４０５のコイル４０２ｃにＢ１方向にＳ極からＮ極への磁界が発生する電流を流すとともに、コイル４０２ａおよび４０２ｂには電流を流さない。これにより、第２の可動部４０８の磁石部４０７のＮ極とコイル４０２ｃに発生するＮ極との間で斥力が働く。この結果、第１の可動部４０５と第２の可動部４０８との間に作用する斥力により、第１の可動部４０５はＡ２方向にさらに移動するとともに、これと連動して第２の可動部４０８はＡ１方向にさらに移動する。
【００９６】
そして、図１５（Ｃ）に示すように、第２の可動部４０８が第１の可動部４０５のコイル４０２ｃの上方から離れた位置にまで移動した状態において、電流を流すコイルを切り替え、第１の可動部４０５のコイル４０２ｂにＢ１方向にＳ極からＮ極への磁界が発生する電流を流すとともに、コイル４０２ａおよび４０２ｃには電流を流さない。これにより、第２の可動部４０８の磁石部４０７のＮ極とコイル４０２ｂに発生するＮ極との間で斥力が働く。この結果、第１の可動部４０５と第２の可動部４０８との間に作用する斥力により、第１の可動部４０５はＡ２方向にさらに移動するとともに、これと連動して第２の可動部４０８はＡ１方向にさらに移動する。
【００９７】
そして、図１６（Ａ）に示すように、第２の可動部４０８が第１の可動部４０５のコイル４０２ｂの上方から離れた位置にまで移動した状態において、電流を流すコイルを切り替え、第１の可動部４０５のコイル４０２ａにＢ１方向にＳ極からＮ極への磁界が発生する電流を流すとともに、コイル４０２ｂおよび４０２ｃには電流を流さない。これにより、第２の可動部４０８の磁石部４０７のＮ極とコイル４０２ａに発生するＮ極との間で斥力が働く。この結果、第１の可動部４０５と第２の可動部４０８との間に作用する斥力により、第１の可動部４０５はＡ２方向にさらに移動するとともに、これと連動して第２の可動部４０８はＡ１方向にさらに移動する。
【００９８】
そして、図１６（Ｂ）に示すように、第１の可動部４０５と第２の可動部４０８との間に作用する斥力により、第１の可動部４０５は減光フィルタアクチュエータ４００のＡ２方向に寄った状態（第２の位置Ｐ２に隣接する状態）にまで移動するとともに、第２の可動部４０８は減光フィルタアクチュエータ４００のＡ１方向に寄った状態（第１の位置Ｐ１に隣接する状態）にまで移動する。
【００９９】
一方、上記とは反対方向への移動（第１の可動部４０５の第２の位置Ｐ２側から第１の位置Ｐ１側への移動）に関しても対応する同様の電流制御により行うことができる。
【０１００】
このようにして、第４実施形態における減光フィルタアクチュエータ４００は、第１の可動部４０５の各コイル（コイル４０２ａ〜４０２ｃ）と磁石部４０７との間に発生する電磁力（引力および斥力）により、第１の可動部４０５が第１の位置Ｐ１から第２の位置
Ｐ２に移動する際、第２の可動部４０８は、第１の可動部４０５の移動に連動して第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１に移動する。これにより、レーザ光の光路上の位置（第１の位置Ｐ１）あるいはレーザ光の光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２）に対して第１の可動部４０５（減光フィルタ４０３）と第２の可動部４０８（ガラス板４０６）の切り替え（入れ替え）が行われる。
【０１０１】
本発明の第４実施形態に係る電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ４００）によれば、以下の効果を得ることができる。
【０１０２】
（１１）第１の可動部４０５の第２の可動部４０８と対向する表面に電磁石として機能する３つのコイル（コイル４０２ａ〜４０２ｃ）を形成し、第２の可動部４０８の各コイルと対向する表面に磁石部４０７を配置したことによって、各コイルに電流を流すことで発生する磁界と磁石部４０７との間に電磁力（引力または斥力）を引き起こすことができるので、第１の可動部４０５および第２の可動部４０８を移動させることができる。こうした駆動では、従来の静電気力を用いて第１の可動部４０５および第２の可動部４０８を移動する場合と異なり、各コイルに流す電圧を昇圧する必要がないので、昇圧回路を別途設ける必要がない。これにより、減光フィルタアクチュエータ４００が大型化するのを抑制することができる。
【０１０３】
（１２）第１実施形態のように、第１の可動部を駆動するための駆動機構と第２の可動部を駆動するための駆動機構とをそれぞれ設ける必要がないので、電磁アクチュエータのさらなる小型化を図ることができる。
【０１０４】
（１３）第２の可動部４０８は、第１の可動部４０５の移動と連動して第１の可動部４０５の移動方向と相反する方向に移動するので、レーザ光の光路を横切る位置（第１の位置Ｐ１側）あるいはレーザ光の光路から外れた位置（第２の位置Ｐ２側）への第１の可動部４０５と第２の可動部４０８の入れ替え動作の応答性が向上する。
【０１０５】
（１４）磁石部４０７に単極磁石（ネオジウムボロン磁石）を用いたことで、コイルに生じる磁界との間に推力（引力または斥力）を生じさせる磁力を同一とすると、第１実施形態と同様、多極着磁された複数の永久磁石（多極磁石）を用いる場合に比べて磁石部の小面積化（小型化）を容易に図ることができる。このため、装置の大型化が抑制された減光フィルタアクチュエータ４００のさらなる小型化を実現することができる。
【０１０６】
（１５）第１実施形態において可動部の上下に配置していたコイルを、可動部の一方のみとしたことで、可動部に占めるコイル（磁石部）の占有面積を削減することができ、電磁アクチュエータの高さの低減（小型化）を図ることができる。
【０１０７】
（１６）各コイル（コイル４０２ａ〜４０２ｃ）のうち、少なくとも１つのコイルに選択的に電流を流すことにより発生する磁界と、磁石部４０７との間に働く電磁力（引力または斥力）により、第１の可動部４０５および第２の可動部４０８を移動させるようにしたことで、コイルに流す電流の方向を変化させることによりコイルに発生する磁界の方向を変化させることができるので、第１の可動部４０５（あるいは第２の可動部４０８）の移動する方向を変化させることができる。
【０１０８】
なお、第１の可動部４０５は下記（Ａ）の「第１の可動部」、第２の可動部４０８は下記（Ａ）の「第２の可動部」、コイル４０２ａ〜４０２ｃは下記（Ａ）の「電流線」、及び磁石部４０７は下記（Ａ）の「磁石部」の一例である。第１の位置Ｐ１は下記（Ｃ）の「第１の位置」および第２の位置Ｐ２は下記（Ｃ）の「第２の位置」の一例である。
【０１０９】
次に、本発明の上記第４実施形態から把握できる請求項以外の技術思想を、その効果と
ともに記載する。
【０１１０】
（Ａ）第１の可動部とこれと対向して設けられた第２の可動部とを有する電磁アクチュエータであって、前記第１の可動部の前記第２の可動部と対向する面に複数の電流線が形成され、前記第２の可動部に、前記電流線に電流を流すことで発生する磁界と引力または斥力が生成する磁石部が配置されている、電磁アクチュエータ。
【０１１１】
このように構成することで、上記（１１）および（１２）の効果を享受することができる。
【０１１２】
（Ｂ）前記複数の電流線のうち、少なくとも１つの前記電流線に電流を流すことにより発生する磁界と、前記磁石部との間に働く引力または斥力により、前記第１の可動部および前記第２の可動部を移動させるよう構成されている、上記（Ａ）に記載の電磁アクチュエータ。
【０１１３】
このように構成することで、さらに上記（１６）の効果を享受することができる。
【０１１４】
（Ｃ）前記第１の可動部および前記第２の可動部は、第１の支持部の第１の位置と第２の位置との間を移動するように設けられ、前記第２の可動部は、前記第１の可動部が前記第１の位置から前記第２の位置に移動する際、前記第１の可動部の移動に連動して前記第２の位置から前記第１の位置に移動することを特徴とした上記（Ａ）または（Ｂ）に記載の電磁アクチュエータ。
【０１１５】
このように構成することで、さらに上記（１３）の効果を享受することができる。
【０１１６】
（第５実施形態）
第１〜第４実施形態においては、２つの可動部に対して減光フィルタとガラス板をそれぞれ取り付けた例を示したが、第５実施形態では、２つの可動部に対して互いに異なる機能を有する光学素子（半波長板）をそれぞれ取り付けた例を説明する。
【０１１７】
図１７は本発明の第５実施形態に係る電磁アクチュエータ（光路スイッチミラーアクチュエータ５００）の主要な構成図である。
【０１１８】
第５実施形態における光路スイッチミラーアクチュエータ５００は、図１７に示すように、主として、２つの可動部（第１の可動部５０５および第２の可動部５０８）を有する半波長板切替部５１０と、偏光ビームスプリッタ５２０と、全反射ミラー５３０とを有する。
【０１１９】
半波長板切替部５１０には、第１〜第４実施形態におけるアクチュエータ機構が採用され、所定の位置（光路上）に対して２つの可動部（第１の可動部５０５および第２の可動部５０８）の切り替えを行う。
【０１２０】
第１の可動部５０５には、Ｓ波（偏光板の入射面に垂直な電場成分を有する光）をそのまま透過し、Ｐ波（偏光板の入射面に平行な電場成分を有する光）を、半波長位相をずらしてＳ波に変換する第１の半波長板（図示せず）が取り付けられている。一方、第２の可動部５０８には、Ｐ波をそのまま透過し、Ｓ波をＰ波に変換する第２の半波長板（図示せず）が取り付けられている。第１の半波長板および第２の半波長板は、結晶軸を板面に対して９０°回転したものと、回転しないものとでそれぞれ構成される。なお、各可動部の具体的な構成は、第１〜第４実施形態においえる減光フィルタとガラス板の組み合わせを、第１の半波長板と第２の半波長板の組み合わせに置換した構成となっている。
【０１２１】
半波長板切替部５１０では、図１７に示すように、第１の半波長板を有する第１の可動部５０５が光路上に位置する場合には、半導体レーザから出射されたレーザ光（Ｓ波とＰ波の両方の成分を有する光）のＳ波のみが透過して、偏光ビームスプリッタ５２０に入射される。一方、第２の半波長板を有する第２の可動部５０８が光路上に位置する場合には
、半導体レーザから出射されたレーザ光のＰ波のみが透過して、偏光ビームスプリッタ５２０に入射される。
【０１２２】
偏光ビームスプリッタ５２０は、入射された光に対して、Ｓ波を透過し、Ｐ波を反射する素子である。したがって、Ｓ波のみが入射された場合には入射光は全て透過し、全反射ミラー５３０に入射される。一方、Ｐ波のみが入射された場合には入射光は全て反射し、全反射ミラー５３０には光は入射されない。なお、偏光ビームスプリッタ５２０で反射された光（レーザ光）はＢＤ（ブルーレイディスク）用ディスクの光路のレーザ光源となる。
【０１２３】
全反射ミラー５３０は、入射された光に対して、その光を全反射するミラーである。なお、ここで反射された光（レーザ光）はＨＤ  ＤＶＤ用ディスクの光路のレーザ光源となる。
【０１２４】
以上のように、本発明の第５実施形態の電磁アクチュエータ（光路スイッチミラーアクチュエータ５００）が構成され、用途（ＢＤ用とＨＤ  ＤＶＤ用）に合わせて光路を２つに切り替えている。
【０１２５】
本発明の第５実施形態に係る電磁アクチュエータ（光路スイッチミラーアクチュエータ５００）によれば、採用する第１〜第４実施形態のアクチュエータ機構に対応した効果を得ることができることに加え、さらに以下の効果を得ることができる。
【０１２６】
（１７）レーザ光の光路を反射により９０°曲げるための光学素子（偏光ビームスプリッタ５２０および全反射ミラー５３０）をそれぞれ固定した状態で光路の切り替えを行うことが可能となるので、従来のように光学素子自体が移動して切り替えを行う場合に比べて、こうした移動に起因した光軸ずれによるスイッチング精度の劣化が抑制される。このため、スイッチング信頼性の向上した光路スイッチミラーアクチュエータ５００とすることができる。また、従来のスイッチング精度と同じレベルを確保するのであれば、こうした光路スイッチミラーアクチュエータ５００を光ピックアップ装置に搭載する際の取り付けマージンが増加するので、製造歩留まりが向上し、低コスト化を図ることができる。
【０１２７】
（光ピックアップ装置）
図１８は本実施形態の電磁アクチュエータを備えた光ピックアップ装置の構成を示す概略図である。まず、図１８を参照して光ピックアップ装置１００１の構成について説明する。
【０１２８】
光ピックアップ装置１００１は、図１８に示すように、半導体レーザ１００２および１００３と、減光フィルタ１００４と、光路切替部１００５と、ダイクロイックビームスプリッタ１００６と、偏光ビームスプリッタ１００７および１００８と、コリメータレンズ１００９および１０１０と、１／４波長板１０１１および１０１２と、対物レンズ１０１３および１０１４と、受光レンズ１０１５および１０１６と、受光センサ１０１７および１０１８とを備えている。この光ピックアップ装置１００１は、ＢＤ（ブルーレイディスク）規格の光ディスク１０３０ａと、ＨＤ  ＤＶＤ規格（ＣＤ規格およびＤＶＤ規格）の光ディスク１０３０ｂ（１０３０ｃおよび１０３０ｄ）とに対して書き込みおよび読み出しを行うことが可能なように構成されている。
【０１２９】
半導体レーザ１００２は約４０５ｎｍの波長を有する青紫色のレーザ光を出射するために設けられている。この半導体レーザ１００２は、ＢＤ規格の光ディスク１０３０ａおよびＨＤ  ＤＶＤ規格の光ディスク１０３０ｂに対して書き込みおよび読み出しが行われる際にレーザ光を出射するように構成されている。
【０１３０】
半導体レーザ１００３は約６５０ｎｍの波長を有する赤色のレーザ光および約７８５ｎｍの波長を有する近赤外領域のレーザ光の２波長のレーザ光を出射するために設けられている。この半導体レーザ１００３は、ＣＤ規格の光ディスク１０３０ｃに対して書き込みおよび読み出しが行われる際に、約７８５ｎｍの波長を有するレーザ光を出射するとともに、ＤＶＤ規格のディスク１０３０ｄに対して書き込みおよび読み出しが行われる際に、約６５０ｎｍの波長を有するレーザ光を出射するように構成されている。
【０１３１】
減光フィルタ１００４は、上記第１〜第４実施形態の減光フィルタアクチュエータ１００〜４００のいずれかのアクチュエータ機構により、レーザ光の光軸方向と垂直な方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を移動可能に構成されている。また、減光フィルタ１００４は、読み出し時に光路上の位置に配置されるとともに、書き込み時に光路から外れた位置に配置されるように構成されている。すなわち、減光フィルタ１００４は読み出し時にのみ半導体レーザ１００２から出射されたレーザ光の強度を小さくするために設けられている。
【０１３２】
光路切替部１００５には、上記第５実施形態の光路スイッチミラーアクチュエータ５００が採用され、半導体レーザ１００２から出射されたレーザ光を対物レンズ１０１３または１０１４のいずれか一方に選択的に入射させるために設けられている。
【０１３３】
ダイクロイックビームスプリッタ１００６は、半導体レーザ１００２から出射されたレーザ光を透過するとともに、半導体レーザ１００３から出射されたレーザ光を反射するために設けられている。これにより、半導体レーザ１００２から出射したレーザ光を対物レンズ１０１４に入射させることが可能であるとともに、半導体レーザ１００３から出射したレーザ光を対物レンズ１０１４に入射させることが可能である。
【０１３４】
偏光ビームスプリッタ１００７および１００８は、それぞれ光ディスク１０３０ａおよび１０３０ｂ（１０３０ｃおよび１０３０ｄ）に向かうＡ１方向のレーザ光を透過するとともに、光ディスク１０３０ａおよび１０３０ｂ（１０３０ｃおよび１０３０ｄ）から戻ってくるＡ２方向のレーザ光を反射するために設けられている。
【０１３５】
コリメータレンズ１００９および１０１０は光軸方向（Ａ１方向およびＡ２方向）に移動可能に構成されている。また、コリメータレンズ１００９および１０１０は、レーザ光を所定のビーム径を有する平行光とするとともに、レーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。
【０１３６】
１／４波長板１０１１および１１１２は、光ディスク１０３０ａおよび１０３０ｂ（１０３０ｃおよび１０３０ｄ）に向かうＡ１方向のレーザ光を直線偏光から円偏光に変換するとともに、光ディスク１０３０ａおよび１０３０ｂ（１０３０ｃおよび１０３０ｄ）から戻ってくるＡ２方向のレーザ光を、円偏光から光ディスク１０３０ａおよび１０３０ｂ（１０３０ｃおよび１０３０ｄ）に向かうＡ１方向のレーザ光とは直交する直線偏光に変換するために設けられている。
【０１３７】
対物レンズ１０１３および１０１４は光軸方向（Ａ１方向およびＡ２方向）および光軸方向と垂直な方向（Ｂ１方向およびＢ２方向）に移動可能に構成されている。また、対物レンズ１０１３および１０１４はレーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。
【０１３８】
受光レンズ１０１５および１０１６は、それぞれ偏光ビームスプリッタ１００７および１００８により反射されたレーザ光を受光センサ１０１７および１０１８に集光するために設けられている。
【０１３９】
本発明の減光フィルタアクチュエータを備えた光ピックアップ装置によれば、以下の効果を得ることができる。
【０１４０】
（１８）減光フィルタ１００４および光路切替部１００５に対応するアクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ１００〜４００および光路スイッチミラーアクチュエータ５００）が大型化するのを抑制することができるので、こうしたアクチュエータを備える光ピックアップ装置１００１が大型化することを抑制することができる。
【０１４１】
（１９）減光フィルタ１００４に対応するアクチュエータおよび光路切替部１００５に対応するアクチュエータに同一のアクチュエータ機構（駆動機構）を採用する場合には、各可動部に取り付ける光学素子（減光フィルタとガラス板、他）のみを変更した構成とすることで、両者の駆動制御を同一の制御回路で実現することが可能となる。このため、光ピックアップ装置１００１における制御回路が簡素化され、こうした装置の低コスト化を図ることができる。
【０１４２】
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形を加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施形態も本発明の範囲に含まれうるものである。
【０１４３】
上記第１実施形態では、第１の支持部に第１のコイルを設け、第１の可動部に第１の磁石部を設けた例を示したが、本発明はこれに限らない。第２実施形態のように、第１の支持部に第１の磁石部を設け、第１の可動部に第１のコイルを設けるようにしてもよい。また、第２の支持部に第２の磁石部を設け、第２の可動部に第２のコイルを設けるようにしてもよい。こうした場合にも上記（４）以外の効果を享受することができる。
【０１４４】
上記第１実施形態において、ガイド枠として機能する壁部１１１の凹部１１１ａの表面および凹部１１１ｂの表面に対して低摩擦材料を形成しておいてもよい。こうした低摩擦材料としては、炭素系材料であるダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）やフラーレンなど、フッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）など、ポリオレフィン樹脂であるポリエチレン、ポリプロピレンなど、チタン系材料であるチタン、窒化チタン、酸化チタンなど、が挙げられる。このような構成とした場合には、各可動部と壁部１１１とが接触した際の摩擦抵抗がさらに低減されるために、上記効果をより顕著に享受することができる。
【０１４５】
上記第１〜第４実施形態では、単極磁石としてネオジウムボロン磁石を採用した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、ネオジウムボロン磁石の代わりに磁性材料または電流線を採用してもよい。この場合にも上記効果を享受することができる。
【０１４６】
上記第１〜第４実施形態では、支持部または基板に１層の平面コイルからなるコイルを設けた例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、２層以上の平面コイルからなるコイルを支持部または基板上あるいは内に設けてもよい。この場合にも上記効果を享受することができるとともに、さらに、可動部に対して低電流または小面積でも所定の駆動力を得ることが可能となる。
【０１４７】
上記第５実施形態では、レーザ光が、半波長板切替部の表面の法線方向に入射する例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、半波長板切替部の表面の法線方向に対してずらして入射させてもよい。これにより、半波長板切替部によって反射されたレーザ光により、光源の光の強度が揺らぐことを低減することができる。
【０１４８】
上記光ピックアップ装置では、装置が大型化することを抑制可能な電磁アクチュエータとして減光フィルタアクチュエータと光路スイッチミラーアクチュエータの両方を採用した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、減光フィルタアクチュエータと光路スイッチミラーアクチュエータのいずれか一方を採用してもよい。この場合にも光ピックアップ装置が大型化することが抑制される。
【０１４９】
本発明の電磁アクチュエータは、光ピックアップ装置に限らず、半導体製造装置、液晶製造装置、工作機械などの精密装置の駆動機構に適用することで、大型化が抑制された精密装置を容易に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１５０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る減光フィルタアクチュエータの概略側面図。
【図２】（Ａ）図１中のＸ−Ｘ線に沿った減光フィルタアクチュエータの概略断面図、（Ｂ）図１中のＹ−Ｙ線に沿った減光フィルタアクチュエータの概略断面図。
【図３】（Ａ）図２（Ａ）の減光フィルタアクチュエータのＡ層に対応する概略上面図、（Ｂ）図２（Ａ）中の減光フィルタアクチュエータのＢ層に対応する概略上面図。
【図４】（Ａ）図２（Ａ）の減光フィルタアクチュエータのＣ層に対応する概略上面図、（Ｂ）図２（Ａ）中の減光フィルタアクチュエータのＤ層に対応する概略上面図。
【図５】（Ａ），（Ｂ）第１実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略断面図。
【図６】（Ａ），（Ｂ）第１実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略断面図。
【図７】本発明の第２実施形態に係る減光フィルタアクチュエータの主要な構成を示した模式図。
【図８】（Ａ）図７の減光フィルタアクチュエータの概略側面図、（Ｂ）図７の減光フィルタアクチュエータの概略上面図。
【図９】本発明の第３実施形態に係る減光フィルタアクチュエータの主要な構成を示した模式図。
【図１０】（Ａ）〜（Ｃ）第３実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略側面図および概略上面図。
【図１１】（Ａ），（Ｂ）第３実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略側面図および概略上面図。
【図１２】本発明の第４実施形態に係る減光フィルタアクチュエータの主要な構成を示した模式図。
【図１３】（Ａ）図１２の減光フィルタアクチュエータの概略側面図、（Ｂ）図１３の減光フィルタアクチュエータの概略上面図。
【図１４】（Ａ）〜（Ｃ）第４実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略上面図。
【図１５】（Ａ）〜（Ｃ）第４実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略上面図。
【図１６】（Ａ），（Ｂ）第４実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための概略上面図。
【図１７】本発明の第５実施形態に係る光路スイッチミラーアクチュエータの主要な構成図。
【図１８】本実施形態に係る電磁アクチュエータを備えた光ピックアップ装置の構成を示した概略図。
【符号の説明】
【０１５１】
１０１  第１の支持部、１０１ａ  開口部、１０２ａ，１０２ｂ  第１の電流線、１０３  減光フィルタ、１０４  第１の磁石部、１０５  第１の可動部、１０６  ガラス板、
１０７  第２の磁石部、１０８  第２の可動部、１０９  第２の支持部、１０９ａ  開口部、１１０ａ，１１０ｂ  第２の電流線、１１１  壁部、１１１ａ，１１１ｂ  凹部。
【図１】
2009112129.tif 000003
【図２】
2009112129.tif 000004
【図３】
2009112129.tif 000005
【図４】
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【図５】
2009112129.tif 000007
【図６】
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【図７】
2009112129.tif 000009
【図８】
2009112129.tif 000010
【図９】
2009112129.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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