(57)【要約】【課題】潜像形成装置の光学素子における傷やゴミ等の有無等の異常を精度良く検出すること。【解決手段】レーザ光源（１）と、前記レーザ光源（１）から照射されたレーザ光を反射する反射面を有する反射光学系（２）と、前記反射光学系（２）で反射されたレーザ光が通過する通過光学系（３，４）と、前記通過光学系（３，４）を通過したレーザ光が出力される出力部（６）と、を有する光学装置（Ｒ）を検査する光学系検査装置（Ｕ）であって、前記出力部（６）の外方から前記反射光学系（２）に検査光を照射する検査光源（７，７′，７″）と、前記検査光源（７，７′，７″）から照射されて前記反射光学系（２）、通過光学系（３，４）および出力部（６）を通過して出力された検査光を測定する検査光測定装置（ＣＣ）と、を備えたことを特徴とする光学系検査装置（Ｕ）。【選択図】図２
2009058314.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、前記レーザ光源から照射されたレーザ光を反射する反射面を有する反射光学系と、前記反射光学系で反射されたレーザ光が通過する通過光学系と、前記通過光学系を通過したレーザ光が出力される出力部と、を有する光学装置を検査する光学系検査装置であって、
前記出力部の外方から前記反射光学系に検査光を照射する検査光源と、
前記検査光源から照射されて前記反射光学系、通過光学系および出力部を通過して出力された検査光を測定する検査光測定装置と、
を備えたことを特徴とする光学系検査装置。
【請求項２】
前記出力部から出力されたレーザ光が照射される予め設定された照射位置に配置された前記検査光測定装置、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の光学系検査装置。
【請求項３】
回転多面鏡により構成され、前記レーザ光源からのレーザ光を走査する前記反射光学系と、
前記反射光学系によりレーザ光が走査されるレーザ光走査領域を含む検査光通過領域を通過した検査光を測定する前記検査光測定装置と、
を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の光学系検査装置。
【請求項４】
前記検査光測定装置を前記光学装置に接近・離隔させて、前記検査光測定装置の焦点位置を調整する測定装置位置調整装置、
を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の光学系検査装置。
【請求項５】
測定した検査光を画像として撮像する撮像装置により構成された前記検査光測定装置、
を備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の光学系検査装置。
【請求項６】
撮像された画像を解析することにより、光学装置の光学系の異常を自動的に検査する光学系検査手段、
を備えたことを特徴とする請求項５に記載の光学系検査装置。
【請求項７】
前記検査光として平行光を照射する平行光源により構成された前記検査光源、
を備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の光学系検査装置。
【請求項８】
出力された検査光を前記検査光測定装置に対して集光する検査光学系、
を備えたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の光学系検査装置。
【請求項９】
前記検査光源から照射された検査光の一部を前記光学装置に向けて反射すると共に、前記光学装置から出力された検査光の一部を前記検査光測定装置に向けて透過させるハーフミラーを有する前記検査光学系、
を備えたことを特徴とする請求項８に記載の光学系検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光源と、前記レーザ光源から照射されたレーザ光を反射する反射面を有する反射光学系と、前記反射光学系で反射されたレーザ光が通過する通過光学系と、前記通過光学系を通過したレーザ光が出力される出力部と、を有する光学装置を検査する光学系検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電子写真方式を適用した複写機やプリンタ等の画像形成装置では、潜像形成装置、いわゆる、ＲＯＳにより感光体表面に静電潜像を形成し、現像、転写して画像を形成している。前記ＲＯＳとして、ポリゴンミラーでレーザ光を走査して潜像を形成するものが広く採用されている。このようなＲＯＳでは、ＬＤ（レーザダイオード）等の光源から出射されたビームをポリゴンミラー（回転多面体鏡）により反射させ、反射した前記ビームをｆθレンズ、シリンドリカルレンズ、またはミラー等に入射させて、所望のビーム径、ビームプロファイル（ビームのエネルギー分布）にして、前記感光体表面に結像させている。したがって、前記画像形成装置では、前記感光体表面に結像されたビームの光量分布状態に応じて静電潜像が形成される。
このとき、前記画像形成装置では、前記回転多面体鏡、前記ｆθレンズ、前記シリンドリカルレンズ、前記ミラー等の光学素子について、前記ビームが通過する位置に傷が付いていたり、ホコリ等の異物が付着していたりした場合、画像欠陥等の不具合が発生するという問題がある。したがって、前記光学素子について不具合がないかを前記画像形成装置の出荷前に事前に検査する必要がある。
【０００３】
前記光学素子を検査するための技術として、例えば、下記の従来技術（Ｊ01）が公知である。
（Ｊ01）特許文献１（特開２００４−５３４６０号公報）記載の技術
特許文献１には、光源としてのＬＤユニット（２）から出射したビームを反射させる（ポリゴン）ミラー（１）と、反射させたビームを透過させて感光体表面上の位置として想定される結像位置（４）で結像させるｆθレンズ（３ａ）とを有する光源素子を検査する光学系検査装置について記載されている。特許文献１では、前記光学系検査装置は、前記結像位置（４）よりビーム進行方向前方に配置されて、前記結像位置（４）を一方の焦点とする検査用レンズ（７）と、前記検査用レンズ（７）を挟んで前記結像位置（４）と共役な焦点である像点位置（１０）に配置された２次元ＣＣＤカメラ（８）とによって構成されている。すなわち、前記結像位置（４）は、前記ｆθレンズ（３ａ）と前記検査用レンズ（７）とによって挟まれた位置に配置されており、前記２次元ＣＣＤカメラ（８）の受光面は、前記検査用レンズ（７）よりビーム進行方向前方の前記像点位置（１０）に配置されている。
【０００４】
特許文献１では、前記結像位置（４）からビーム進行方向前方に進行して拡散する前記ビームを前記検査用レンズ（７）に入射させる。また、前記検査用レンズ（７）に入射された前記ビームは、前記検査用レンズ（７）によって前記像点位置（１０）で再結像され、前記２次元ＣＣＤカメラ（８）で画像として観察される。したがって、観察された画像に基づいて画像欠陥等の不具合を検出する技術が記載されている。
また、特許文献１では、前記検査用レンズ（７）および前記２次元ＣＣＤ（８）をビーム進行方向に移動させるレンズ移動ステージ（１６）およびカメラ移動ステージ（１９）により、前記検査用レンズ（７）の焦点位置をビーム進行方向後方の前記ｆθレンズ（３ａ）の位置まで移動させたり、前記２次元ＣＣＤカメラ（８）で観察される前記画像の倍率を調節したりする。この結果、前記結像位置（４）の画像に不具合を検出した場合に、光路上のどの位置で前記不具合が発生したかを特定する技術が記載されている。
さらに、特許文献１には、検査用レンズ（７）および前記２次元ＣＣＤ（８）を、前記ビームが前記ミラー（１）によって走査される主走査方向に移動させる主走査方向移動ステージ（２６）により、前記主走査方向の全域に渡って検査する技術が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−５３４６０号公報（「００４７」〜「００７０」、図１〜図１７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
（従来技術の問題点）
前記従来技術（Ｊ01）では、ＲＯＳ（光学素子）の光源であるＬＤユニット（２）から出射され、ポリゴンミラー（１）で走査されたビームが検査対象であるため、検査時にビームが通過する領域（走査域）しか検査していない。したがって、前記従来技術（Ｊ01）では、組立て時や運搬時、使用時等で検査段階で走査域になかったホコリ等の異物が何らかの影響で走査域に移動した場合や、出荷後の環境の変化によって前記ビームの走査域が検査段階から変化し、前記異物が付着していたり傷が付いていたりした検査されていない領域が走査域となった場合には、検査段階で検出できず出荷後に画像欠陥等の不具合が発生してしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、前述の事情に鑑み、次の記載内容（Ｏ01）を技術的課題とする。
（Ｏ01）潜像形成装置の光学素子における傷やゴミ等の有無等の異常を精度良く検出すること。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記技術的課題を解決するために、請求項１記載の発明の光学系検査装置は、
レーザ光源と、前記レーザ光源から照射されたレーザ光を反射する反射面を有する反射光学系と、前記反射光学系で反射されたレーザ光が通過する通過光学系と、前記通過光学系を通過したレーザ光が出力される出力部と、を有する光学装置を検査する光学系検査装置であって、
前記出力部の外方から前記反射光学系に検査光を照射する検査光源と、
前記検査光源から照射されて前記反射光学系、通過光学系および出力部を通過して出力された検査光を測定する検査光測定装置と、
を備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光学系検査装置において、
前記出力部から出力されたレーザ光が照射される予め設定された照射位置に配置された前記検査光測定装置、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の光学系検査装置において、
回転多面鏡により構成され、前記レーザ光源からのレーザ光を走査する前記反射光学系と、
前記反射光学系によりレーザ光が走査されるレーザ光走査領域を含む検査光通過領域を通過した検査光を測定する前記検査光測定装置と、
を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の光学系検査装置において、
前記検査光測定装置を前記光学装置に接近・離隔させて、前記検査光測定装置の焦点位置を調整する測定装置位置調整装置、
を備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載の光学系検査装置において、
測定した検査光を画像として撮像する撮像装置により構成された前記検査光測定装置、
を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の光学系検査装置において、
撮像された画像を解析することにより、光学装置の光学系の異常を自動的に検査する光学系検査手段、
を備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項１ないし６のいずれかに記載の光学系検査装置において、
前記検査光として平行光を照射する平行光源により構成された前記検査光源、
を備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項１ないし７のいずれかに記載の光学系検査装置において、
出力された検査光を前記検査光測定装置に対して集光する検査光学系、
を備えたことを特徴とする。
【００１６】
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の光学系検査装置において、
前記検査光源から照射された検査光の一部を前記光学装置に向けて反射すると共に、前記光学装置から出力された検査光の一部を前記検査光測定装置に向けて透過させるハーフミラーを有する前記検査光学系、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に記載の発明によれば、前記検査光源により、前記出力部の外方から前記反射光学系に照射され、前記反射光学系、通過光学系および出力部を通過して出力された前記検査光が測定される。したがって、前記検査光源が前記光学装置のレーザ光源より調節し易いため、前記光学装置のレーザ光源を使用して、レーザ光源のレーザ光が通過する領域だけしか検査できない場合に比べて、前記光学装置における傷やゴミ等の有無等の異常が精度良く検出される。
請求項２に記載の発明によれば、前記照射位置に配置された前記検査光測定装置で前記検査光が測定される。この結果、本発明の構成を有しない場合に比べて、前記光学装置により前記レーザ光が照射される位置における異常が精度良く検出される。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、前記検査光測定装置により、前記レーザ光走査領域を含む前記検査光通過領域を通過した検査光が測定される。
請求項４に記載の発明によれば、前記測定装置位置調整装置により、前記検査光測定装置の焦点位置が調整される。この結果、異常のある位置に焦点位置を合わせることができ、異常のある位置を特定することができる。
請求項５に記載の発明によれば、前記撮像装置により構成された前記検査光測定装置により、測定した検査光が画像として撮像される。
請求項６に記載の発明によれば、前記光学系検査手段によって、光学装置の光学系の異常が自動的に検査される。
【００１９】
請求項７に記載の発明によれば、前記平行光源により照射される平行光で前記光学装置が検査される。この結果、前記平行光により光路内における光の拡散や散乱等の影響が低減されるため、検査光が平行光でない場合に比べて、前記光学装置に傷やゴミ等の有無等の異常がある場合には、前記検査光測定装置で測定された検査光（平行光）に前記異常の影響が現れ易くなり、前記異常が精度良く検出される。
請求項８に記載の発明によれば、前記検査光学系により、出力された検査光を前記検査光測定装置に対して集光できる。したがって、前記検査光測定装置を走査せずに前記検査光が測定される。
請求項９に記載の発明によれば、前記ハーフミラーにより、前記光学装置に入力される検査光の反射と、前記光学装置から出力された検査光の透過とが行われる。したがって、前記ハーフミラーにより、前記検査光の入力と出力との光路が共通化されるため、本発明の光学系検査装置の省スペース化・コンパクト化される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【実施例１】
【００２１】
図１は本発明の実施例１の光学系検査装置を備えた光学系検査システムの全体説明図である。
図２は本発明の実施例１の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図である。
図１において、実施例１の光学系検査システムＳは、画像形成装置の像保持体表面に潜像を形成する潜像形成装置（光学装置）Ｒ、いわゆる、ＲＯＳ（Raster Output Scanner，Raster Optical Scanner）と、前記潜像形成装置Ｒの検査を行う光学系検査装置Ｕとを有する。
【００２２】
図１、図２において、実施例１の前記潜像形成装置Ｒは、前記潜像形成装置Ｒのレーザ光源の一例としてのレーザダイオード１と、回転多面鏡の一例としてのポリゴンミラー（反射光学系）２とを有する。前記レーザダイオード１から出射されるレーザ光は、前記ポリゴンミラー２の各反射面によって反射され、前記ポリゴンミラー２の回転によって走査される。前記ポリゴンミラー２の各反射面で反射された前記レーザ光は、ｆθレンズ（通過光学系）３および前記ｆθレンズ３の前方（＋Ｘ方向）に配置されたシリンドリカルレンズ（通過光学系）４を透過する。前記シリンドリカルレンズ４を透過した前記レーザ光は、ＲＯＳ窓としてのウィンドウ（出力部）６を透過して前記潜像形成装置Ｒから出射され、前記像保持体表面が配置される潜像形成位置Ｐ１（図２参照）に照射されて、潜像が形成される。また、前記潜像形成装置Ｒは、潜像を形成する時に、潜像の書込開始タイミングを検出するために、前記レーザダイオード１から出射されて前記ポリゴンミラー２の反射面で反射したレーザ光を検出するレーザ光検出センサＳＮ１を有する。
【００２３】
実施例１の前記潜像形成装置Ｒでは、前記ポリゴンミラー２、前記ｆθレンズ３、前記シリンドリカルレンズ４によって光学系（２＋３＋４）が構成されている。なお、前記光学系（２＋３＋４）の前記ｆθレンズ３および前記シリンドリカルレンズ４は、前記ポリゴンミラー２により前記レーザ光が走査される方向、いわゆる、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って長く形成されている。また、前記潜像形成位置Ｐ１において、前記潜像形成装置Ｒのレーザダイオード１からのレーザ光により潜像が形成される範囲に対応して、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる長さＬ０の潜像形成領域（照射位置）ＡＲ０が設定されている。また、前記ポリゴンミラー２の反射面と、前記潜像形成領域ＡＲ０との間には、前記レーザダイオード１からの潜像形成用のレーザ光が前記ポリゴンミラー２の反射面で反射され、前記ｆθレンズ３および前記シリンドリカルレンズ４を透過する潜像形成用レーザ光反射透過領域（レーザ光走査領域）ＳＰ０が設定されている。
【００２４】
また、実施例１の前記光学系検査装置Ｕは、前記潜像形成位置Ｐ１近傍に配置された光学系検査装置本体Ｕ１と、ユーザが操作可能な端末としてのクライアントパソコン（パーソナルコンピュータ）ＰＣとを有する。
実施例１の前記光学系検査装置本体Ｕ１は、前記光学系（２＋３＋４）に対して前記潜像形成位置Ｐ１側から検査光を照射するための検査光照射装置Ａを有する。
図２において、検査光照射装置Ａは、前記検査光を照射する検査光源（平行光源）７と、入射する前記検査光をほぼ等しい光量で反射・透過するハーフミラー（検査光学系）８とを有する。なお、前記ハーフミラー８により、前記検査光の入力と出力との光路が共通化されるため、前記光学系検査装置本体Ｕ１の省スペース化・コンパクト化が可能となる。
【００２５】
実施例１では、前記検査光源７の検査光として平行光、いわゆる、コリメート光が使用されている。また、前記検査光源７は、前記検査光を左方向（−Ｙ方向）に照射し、照射された前記検査光は、前記ハーフミラー８により前記光学系（２＋３＋４）が配置された後方（−Ｘ方向）に反射される。なお、前記検査光のビーム径は、前記レーザダイオード１のレーザ光のビーム径よりも大径に設定されており、実施例１では、前記ポリゴンミラー２の上下方向（Ｚ軸方向）の幅とほぼ同様となるように予め設定されている。この結果、前記ポリゴンミラー２の回転により、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含んだ広い領域である検査用平行光反射透過領域（検査光通過領域）ＳＰ１に前記検査光源７の検査光が照射される。また、前記潜像形成位置Ｐ１において、前記検査光源７からの検査光を前記光学系（２＋３＋４）が走査できる範囲に対応して、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる長さＬ１の検査領域ＡＲ１が設定されている。なお、実施例１では、前記検査領域ＡＲ１の長さＬ１は、前記潜像形成領域ＡＲ０の長さＬ０以上となるよう予め設定されている（Ｌ１≧Ｌ０）。
【００２６】
また、前記光学系（２＋３＋４）に投光され、前記ポリゴンミラー２で反射された前記検査光は、前記ｆθレンズ３、前記シリンドリカルレンズ４、前記ウィンドウ６を透過し、前記ハーフミラー８を透過してＣＣＤ（Charge Coupled Device：電荷結合素子）型の固体撮像素子（検査光測定装置、撮像装置）ＣＣで受光される。実施例１の前記固体撮像素子ＣＣは、受光部９を有しており、前記受光部９で受光した前記検査光を撮像して画像として記憶する。
また、前記固体撮像素子ＣＣは、二次元エリアセンサとしての２Ｄ−ＣＣＤによって構成されており、大径の前記検査光を二次元画像として撮像できる。なお、実施例１の前記固体撮像素子ＣＣは、２Ｄ−ＣＣＤによって構成されているが、これに限定されず、一次元ラインセンサとしてのＬＩＮＥ−ＣＣＤによって構成することも可能である。この場合、前記２Ｄ−ＣＣＤと同様の画像を撮像するために、前記ＬＩＮＥ−ＣＣＤを上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能としたり、前記ＬＩＮＥ−ＣＣＤを上下方向（Ｚ軸方向）に複数配置したりすることも可能である。
【００２７】
また、図１において、前記検査光照射装置Ａおよび前記固体撮像素子ＣＣは、前後方向（Ｘ軸方向）、すなわち、前記固体撮像素子ＣＣの焦点深度方向にスライド移動可能な深度方向移動ステージ（測定装置位置調整装置）１２に固定支持されている。また、前記深度方向移動ステージ１２は、水平面（ＸＹ平面）で回転可能な回転テーブル１３に支持されており、前記回転テーブル１３は、左右方向（Ｙ軸方向）、すなわち、前記主走査方向にスライド移動可能な主走査方向移動ステージ１４に支持されている。
したがって、実施例１の前記光学系検査装置本体Ｕ１では、前記各ステージ１２，１４をＸ軸方向、Ｙ軸方向にスライド移動させることにより、前記検査光照射装置Ａおよび前記固体撮像素子ＣＣを水平面（ＸＹ平面）の任意の位置に配置できる。また、前記回転テーブル１３を回転させることにより、前記検査光が前記光学系（２＋３＋４）に入射する方向（固体撮像素子ＣＣが光学系（２＋３＋４）を通過した検査光を撮像する方向）を前記水平面内（ＸＹ平面）の任意の方向に設定できる。なお、実施例１では、前記深度方向移動ステージ１２で前記固体撮像素子ＣＣを焦点深度方向（Ｘ軸方向）にスライド移動させることにより、前記固体撮像素子ＣＣの焦点位置を移動させている。
【００２８】
また、前記クライアントパソコンＰＣは、コンピュータ装置により構成されており、コンピュータ本体Ｈ１と、ディスプレイＨ２と、キーボードＨ３やマウスＨ４等の入力装置、図示しないＨＤドライブ（ハードディスクドライブ）、ＣＤドライブ（コンパクトディスクドライブ）等により構成されている。また、前記クライアントパソコンＰＣは、制御ケーブルＣＡ１，ＣＡ２を介して、前記潜像形成装置Ｒおよび前記光学系検査装置本体Ｕ１と接続されている。
【００２９】
（実施例１のクライアントパソコンＰＣの制御部の説明）
図３は本発明の実施例１のクライアントパソコンの制御部が備えている各機能をブロック図（機能ブロック図）で示した図である。
図３において、クライアントパソコンＰＣのコンピュータ本体Ｈ１は、外部との信号の入出力および入出力信号レベルの調節等を行うＩ／Ｏ（入出力インターフェース）、必要な処理を行うためのプログラムおよびデータ等が記憶されたＲＯＭ（リードオンリーメモリ）、必要なデータを一時的に記憶するためのＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、ハードディスクやＲＯＭ等に記憶されたプログラムに応じた処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）、ならびにクロック発振器等を有している。
前記構成のクライアントパソコンＰＣは、前記ハードディスクやＲＯＭ等に記憶されたプログラムを実行することにより種々の機能を実現することができる。
【００３０】
前記クライアントパソコンＰＣの前記ハードディスクドライブには、クライアントパソコンの基本動作を制御する基本ソフト（オペレーティングシステム）ＯＳや、アプリケーションプログラムとしての光学系検査プログラムＡＰ１、その他の図示しないソフトウェア（文書作成ソフトウェアや製図ソフトウェア等）が記憶されている。
【００３１】
（光学系検査プログラムＡＰ１）
光学系検査プログラムＡＰ１は、下記の機能手段（プログラムモジュール）を有する。
Ｃ１：検査光照射撮像制御手段
検査光照射撮像制御手段Ｃ１は、検査光撮像位置制御手段Ｃ１Ａと、検査光撮像方向制御手段Ｃ１Ｂと、検査光照射手段Ｃ１Ｃと、光学系画像記憶手段Ｃ１Ｄと、レンズ透過範囲照射撮像手段Ｃ１Ｅとを有し、前記検査光照射装置Ａおよび前記固体撮像素子ＣＣによる検査光の照射・撮像を制御する。実施例１の前記検査光照射撮像制御手段Ｃ１は、前記検査領域ＡＲ１（図２参照）の各位置から大径の検査光を照射し、前記光学系（２＋３＋４）を透過・反射させた前記検査光の各画像を撮像する。
【００３２】
すなわち、実施例１の前記検査光照射撮像制御手段Ｃ１は、前記検査光照射装置Ａおよび前記固体撮像素子ＣＣをスライド移動・回転させ、前記検査光の照射・撮像を繰り返すことにより、前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１を通過した前記検査光の画像を撮像する。具体的には、前記ｆθレンズ３および前記シリンドリカルレンズ４において、前記検査光源７の検査光が透過する全ての範囲の各画像を撮像するレンズ透過範囲照射撮像処理を実行する。
【００３３】
Ｃ１Ａ：検査光撮像位置制御手段
検査光撮像位置制御手段Ｃ１Ａは、前記固体撮像素子ＣＣが前記光学系（２＋３＋４）を通過した検査光を撮像する位置を制御する。実施例１の前記検査光撮像位置制御手段Ｃ１Ａは、前記各ステージ１２，１４のＸ軸方向、Ｙ軸方向に対するスライド移動を制御して、水平面（ＸＹ平面）における前記検査光照射装置Ａおよび前記固体撮像素子ＣＣの位置を制御する。
具体的には、前記検査光撮像位置制御手段Ｃ１Ａは、前記レンズ透過範囲照射撮像処理を実行する場合、前記主走査方向移動ステージ１４により前記検査光照射装置Ａおよび前記固体撮像素子ＣＣの位置を、撮像が実行される度に所定の距離（例えば、検査光の直径や半径）だけ右方向（＋Ｙ方向）にスライド移動させる処理を繰り返して、前記検査領域ＡＲ１の左端から右端まで移動させる。
【００３４】
Ｃ１Ｂ：検査光撮像方向制御手段
検査光撮像方向制御手段Ｃ１Ｂは、前記固体撮像素子ＣＣが前記光学系（２＋３＋４）を通過した検査光を撮像する方向を制御する。実施例１の前記検査光撮像方向制御手段Ｃ１Ｂは、前記回転テーブル１３の回転を制御して、前記水平面内（ＸＹ平面）における前記固体撮像素子ＣＣが光学系（２＋３＋４）を通過した検査光を撮像する方向を制御する。
具体的には、前記検査光撮像方向制御手段Ｃ１Ｂは、前記レンズ透過範囲照射撮像処理を実行する場合、前記主走査方向移動ステージ１４のスライド移動の度に前記回転テーブル１３によって、前記検査光の照射方向が前記ポリゴンミラー２に向かうように、前記検査光照射装置Ａおよび前記固体撮像素子ＣＣを回転させる処理を繰り返す。
【００３５】
Ｃ１Ｃ：検査光照射制御手段
検査光照射手段Ｃ１Ｃは、前記検査光照射装置Ａの検査光源７による検査光の照射を制御する。
Ｃ１Ｄ：光学系画像記憶手段
光学系画像記憶手段Ｃ１Ｄは、前記固体撮像素子ＣＣの受光部９から受光した検査光、すなわち、前記光学系（２＋３＋４）を通過した検査光を撮像して画像として記憶する。なお、前記ポリゴンミラー２を回転させた状態で前記検査光を撮像した場合、前記ポリゴンミラー２の回転が非常に高速であり、撮像間隔（シャッタースピード）に比べて十分高速であるため、厳密には間欠的に前記受光部９に反射光が入射されるが、前記受光部９では連続的な光として感知される。
【００３６】
Ｃ１Ｅ：レンズ透過範囲照射撮像手段
レンズ透過範囲照射撮像手段Ｃ１Ｅは、前記各手段Ｃ１Ａ〜Ｃ１Ｄを制御して、前記ｆθレンズ３および前記シリンドリカルレンズ４において、前記検査光源７の検査光が透過する全ての範囲の各画像を撮像する前記レンズ透過範囲照射撮像処理を実行する。実施例１の前記レンズ透過範囲照射撮像手段Ｃ１Ｅは、前記ポリゴンミラー２を回転させた状態で、前記検査領域ＡＲ１の各位置で、前記各画像を撮像することにより、前記検査光源７の検査光が透過する全ての範囲の各画像を撮像する。なお、前記レンズ透過範囲照射撮像処理において、前記固体撮像素子ＣＣの受光部９の焦点位置は、前記潜像形成位置Ｐ１となるように予め設定されている。
【００３７】
Ｃ２：ポリゴンミラー回転制御手段
ポリゴンミラー回転制御手段Ｃ２は、前記潜像形成装置Ｒのポリゴンミラー２の回転を制御する。実施例１の前記ポリゴンミラー回転制御手段Ｃ２は、前記レンズ透過範囲照射撮像処理を実行する場合に、前記ポリゴンミラー２を回転させる。
Ｃ３：光学系検査手段
光学系検査手段Ｃ３は、光学系欠陥判別手段Ｃ３Ａと、欠陥発生位置検出手段Ｃ３Ｂと、欠陥画像記憶手段Ｃ３Ｃと、判別結果表示手段Ｃ３Ｄとを有し、前記光学系画像記憶手段Ｃ１Ｄに記憶された検査光の画像に基づいて、前記光学系３，４を検査する光学系検査処理を実行する。
【００３８】
Ｃ３Ａ：光学系欠陥判別手段
光学系欠陥判別手段Ｃ３Ａは、前記光学系画像記憶手段Ｃ１Ｄに記憶された全ての画像に基づいて、前記光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否か、例えば、ホコリ等の異物が付着していたり、傷が付いていたりするか否かを判別することにより、前記光学系３，４の検査を行う。実施例１の前記光学系欠陥判別手段Ｃ３Ａは、前記光学系画像記憶手段Ｃ１Ｄに記憶された各画像の画像解析を行う。実施例１の前記検査光は、前記固体撮像素子ＣＣの受光部９では連続的な光として感知された状態で撮像されている。また、ホコリ等の異物や傷が付いていた場合、前記各画像には、何らかの影が現れた状態で撮像されている。したがって、前記光学系欠陥判別手段Ｃ３Ａは、前記各画像の中に何らかの影が存在するか否かを判別することにより、前記光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かを判別する。
なお、実施例１では、前記検査光が平行光であるため、光路内における光の拡散や散乱等の影響を低減できる。このため、実施例１では、前記検査光が平行光でない場合に比べて、前記潜像形成位置Ｐ１が前記異物や傷が付いていた位置から離れていても、撮像された検査光の画像に何らかの影が現れ易くなる。したがって、前記光学系欠陥判別手段Ｃ３Ａは、前記光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かを精度良く判別できる。
【００３９】
Ｃ３Ｂ：欠陥発生位置検出手段
欠陥発生位置検出手段Ｃ３Ｂは、前記光学系欠陥判別手段Ｃ３Ａによって画像欠陥の原因となるものが存在すると判別された場合に、前記検査光の光路上で前記原因が発生した位置である欠陥発生位置を検出する。
実施例１の前記欠陥発生位置検出手段Ｃ３Ｂは、まず、前記各手段Ｃ１Ａ〜Ｃ１Ｃを制御して、影が存在する画像を撮像した位置において、前記深度方向移動ステージ１２を焦点深度方向（Ｘ軸方向）にスライド移動させる。すなわち、前記焦点位置を、前記潜像形成位置Ｐ１から後方（−Ｘ方向）の光学系（２＋３＋４）側に移動させる。そして、焦点が合った位置、すなわち、影の画像が最も鮮明になった位置を前記欠陥発生位置として検出する。これにより、どの部材３，４，６のどの位置に欠陥（傷、ホコリ等の異物）があるのかを検出できる。
【００４０】
Ｃ３Ｃ：欠陥画像記憶手段
欠陥画像記憶手段Ｃ３Ｃは、前記欠陥発生位置検出手段Ｃ３Ｂによって検出した前記欠陥発生位置の検査光を撮像して画像として記憶する。
Ｃ３Ｄ：判別結果表示手段
判別結果表示手段Ｃ３Ｄは、前記光学系欠陥判別手段Ｃ３Ａの判別結果をディスプレイＨ２に表示する。実施例１の前記判別結果表示手段Ｃ３Ｄは、前記光学系３，４が正常であると判別された場合、検査結果が正常であることを表示する。また、前記判別結果表示手段Ｃ３Ｄは、前記光学系３，４が異常であると判別された場合、検査結果が異常であることと、前記影の画像の検出位置と、前記欠陥発生位置と、前記欠陥画像記憶手段Ｃ３Ｃに記憶された前記欠陥発生位置における検査光の画像とを表示する。
【００４１】
（実施例１のフローチャートの説明）
次に、実施例１のクライアントパソコンＰＣの光学系検査プログラムＡＰ１の処理の流れをフローチャートを使用して説明する。
（実施例１のメイン処理のフローチャートの説明）
図４は本発明の実施例１の光学系検査プログラムのメイン処理のフローチャートである。
図４のフローチャートの各ＳＴ（ステップ）の処理は、前記クライアントパソコンＰＣのＲＯＭ等に記憶されたプログラムに従って行われる。また、この処理は前記クライアントパソコンＰＣの他の各種処理と並行してマルチタスクで実行される。
【００４２】
図４に示すフローチャートは前記光学系検査プログラムＡＰ１の起動により開始される。
図４のＳＴ１において、入力装置（Ｈ３＋Ｈ４）によるユーザの入力に基づいて、光学系３，４の検査を開始するか否かを判別する。イエス（Ｙ）の場合はＳＴ２に移り、ノー（Ｎ）の場合はＳＴ１を繰り返す。
ＳＴ２において、ポリゴンミラー２の回転を開始する。そして、ＳＴ３に移る。
ＳＴ３において、ｆθレンズ３およびシリンドリカルレンズ４において、前記検査光源７の検査光が透過する全ての範囲の各画像を撮像するレンズ透過範囲照射撮像処理（後述する図５のフローチャート参照）を実行する。そして、ＳＴ４に移る。
ＳＴ４において、光学系画像記憶手段Ｃ１Ｄに記憶された検査光の画像に基づいて、光学系３，４を検査する光学系検査処理（後述する図６のフローチャート参照）を実行する。そして、ＳＴ５に移る。
ＳＴ５において、ポリゴンミラー２の回転を終了する。そして、ＳＴ１に戻る。
【００４３】
（実施例１のレンズ透過範囲照射撮像処理のフローチャートの説明）
図５は本発明の実施例１の光学系検査プログラムのレンズ透過範囲照射撮像処理のフローチャートであり、図４のＳＴ３のサブルーチンの説明図である。
図５のＳＴ１１において、主走査方向移動ステージ１４により、検査光照射装置Ａおよび固体撮像素子ＣＣの位置を検査領域ＡＲ１の左端に移動させる。そして、ＳＴ１２に移る。
ＳＴ１２において、回転テーブル１３により、検査光の照射方向がポリゴンミラー２に向かうように検査光照射装置Ａおよび固体撮像素子ＣＣを回転させる。そして、ＳＴ１３に移る。
ＳＴ１３において、深度方向移動ステージ１２により、検査光照射装置Ａおよび固体撮像素子ＣＣの位置を焦点深度方向に移動させて固体撮像素子ＣＣの焦点を潜像形成位置Ｐ１に合わせる。そして、ＳＴ１４に移る。
【００４４】
ＳＴ１４において、光学系（２＋３＋４）に検査光を照射し、光学系（２＋３＋４）を通過した検査光を画像として記憶する。なお、ポリゴンミラー２の回転が撮像間隔（シャッタースピード）に比べて十分高速であるため、厳密には間欠的に固体撮像素子ＣＣの受光部９に反射光が入射されるが、受光部９では連続的な光として感知されて撮像される。そして、ＳＴ１５に移る。
ＳＴ１５において、検査光照射装置Ａおよび固体撮像素子ＣＣの位置が検査領域ＡＲ１の右端であるか否かを判別する。ノー（Ｎ）の場合はＳＴ１６に移り、イエス（Ｙ）の場合はレンズ透過範囲照射撮像処理を終了し、図４のメイン処理に戻る。
ＳＴ１６において、主走査方向移動ステージ１４により検査光照射装置Ａおよび固体撮像素子ＣＣの位置を所定の距離（例えば、検査光の直径や半径）だけ右方向（＋Ｙ方向）に移動させる。そして、ＳＴ１２に戻る。
【００４５】
（実施例１の光学系検査処理のフローチャートの説明）
図６は本発明の実施例１の光学系検査プログラムの光学系検査処理のフローチャートであり、図４のＳＴ４のサブルーチンの説明図である。
図６のＳＴ２１において、画像解析により、光学系画像記憶手段Ｃ２Ｄに記憶された全ての画像に何らかの影が存在するか否かを判別することにより、光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かを判別する。イエス（Ｙ）の場合はＳＴ２２に移り、ノー（Ｎ）の場合はＳＴ２６に移る。
ＳＴ２２において、影が存在する画像の位置に移動し、検査光を照射する。そして、ＳＴ２３に移る。
ＳＴ２３において、深度方向移動ステージ１２により、検査光照射装置Ａおよび固体撮像素子ＣＣの位置を焦点深度方向に移動させて、固体撮像素子ＣＣの焦点が合った位置、すなわち、影の画像が最も鮮明になった位置を前記欠陥発生位置として検出することで、どの部材３，４，６のどの位置に欠陥（傷、ホコリ等の異物）があるのかを検出する。そして、ＳＴ２４に移る。
ＳＴ２４において、欠陥発生位置の検査光を撮像して画像として記憶する。そして、ＳＴ２５に移る。
ＳＴ２５において、光学系３，４が異常であると判定し、検査結果が異常であることと、影の画像の検出位置と、前記欠陥発生位置と、前記欠陥画像記憶手段Ｃ３Ｃに記憶された前記欠陥発生位置における検査光の画像とをディスプレイＨ２に表示する。そして、光学系検査処理を終了し、図４のメイン処理に戻る。
ＳＴ２６において、光学系３，４が正常であると判定し、検査結果が正常であることをディスプレイＨ２に表示する。そして、光学系検査処理を終了し、図４のメイン処理に戻る。
【００４６】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１の光学系検査システムＳでは、前記クライアントパソコンＰＣの光学系検査プログラムＡＰ１によって前記光学系検査装置本体Ｕ１が制御され、前記潜像形成装置Ｒの光学系（２＋３＋４）に対して、前記潜像形成装置Ｒの外側の前記潜像形成位置Ｐ１（図２参照）から、前記検査光源７による大径の前記検査光が照射・撮像される（図４のＳＴ３、図５のＳＴ１１〜ＳＴ１６参照）。
ここで、前記検査光源７による検査光は、前記潜像形成装置Ｒのレーザダイオード１によるレーザ光、すなわち、画像形成装置の潜像形成処理で実際に使用されるレーザ光より大径に設定された平行光であり、具体的には、前記ポリゴンミラー２の上下方向（Ｚ軸方向）の幅とほぼ同様となるように設定されている。したがって、実施例１の前記検査光は、画像形成用のレーザ光が前記ポリゴンミラー２で反射される領域や、前記ｆθレンズ３および前記シリンドリカルレンズ４を透過する領域（潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０）を含んだ広い領域（検査用平行光反射透過領域ＳＰ１）に照射される。
【００４７】
なお、実施例１では、前記検査光源７と前記レーザダイオード１の位置が異なるため、前記検査光（平行光）と潜像形成用のレーザ光の光路は厳密には異なる。しかしながら、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含んだ前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１を前記検査光（平行光）が通過し、前記潜像形成位置Ｐ１で前記潜像形成領域ＡＲ０の長さ以上の前記検査領域ＡＲ１の検査光（平行光）の画像を撮像し、傷やゴミ等の有無が精度良く検出される（図６のＳＴ２１〜ＳＴ２４参照）。よって、前記レーザダイオード１からの画像形成用のレーザ光が照射される前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０に付着したゴミや傷だけでなく、振動や外力等により、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０の外から領域内に移行する可能性のあるゴミや傷も精度良く検出される。
【００４８】
また、実施例１の光学系検査システムＳでは、前記潜像形成装置Ｒの外側に配置された前記検査光源７からの検査光で検査される（図１、図２参照）。したがって、前記レーザダイオード１からの画像形成用のレーザ光で検査できる領域、すなわち、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０よりも広い前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１が検査されると共に、前記検査光に基づいて、前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１が容易に調節される。例えば、前記検査光のビーム径が調節されることにより、前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１が容易に調節される。
また、実施例１の光学系検査システムＳでは、前記光学系検査処理（図４のＳＴ４、図６のＳＴ２１〜ＳＴ２６参照）により、前記検査領域ＡＲ１で撮像された前記検査光（平行光）の各画像に基づいて、光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かを自動的に判別される（図６のＳＴ２１参照）。さらに、実施例１では、前記光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在すると判別された場合、どの部材３，４，６のどの位置に欠陥（傷、ホコリ等の異物）があるかについても自動的に検出される（図６のＳＴ２２，ＳＴ２３参照）。
【実施例２】
【００４９】
図７は本発明の実施例２の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例１の図２に対応する説明図である。
次に本発明の実施例２の光学系検査システムＳの説明を行うが、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
【００５０】
図７において、本発明の実施例２の前記潜像形成位置Ｐ１には、前記検査領域ＡＲ１の左端から右端にかけて、前記潜像形成装置Ｒの光学系（２＋３＋４）を反射・透過した前記検査光を、前方（＋Ｘ方向）の前記固体撮像素子ＣＣの受光部９に集光する集光光学系（検査光学系）２１が設けられている。
また、実施例２の光学系検査装置本体Ｕ１は、実施例１のように前記潜像形成位置Ｐ１近傍に配置されておらず、前記光学系検査装置本体Ｕ１の検査光照射装置Ａおよび固体撮像素子ＣＣは、前記集光光学系２１を透過した前記検査光が集光される位置である検査光集光位置Ｐ２に配置されている。なお、実施例２の前記検査光集光位置Ｐ２は、前記潜像形成位置Ｐ１から距離ｄ１だけ前方（＋Ｘ方向）に離れている。また、実施例２の光学系検査装置本体Ｕ１は、前記回転テーブル１３および前記主走査方向移動ステージ１４が省略されている。また、実施例２の前記固体撮像素子ＣＣは、実施例１と同様に、焦点位置が前記潜像形成位置Ｐ１となるように予め設定されている。
【００５１】
実施例２の光学系検査システムＳでは、前記光学系（２＋３＋４）を検査する場合、前記ポリゴンミラー２を回転させた状態で、前記検査光集光位置Ｐ２から前記検査光を後方（−Ｘ方向）に照射する。前記光学系（２＋３＋４）に投光された前記検査光は、（前記集光光学系２１、前記ウィンドウ６、）前記シリンドリカルレンズ４、前記ｆθレンズ３の順に透過して前記ポリゴンミラー２の各反射面で反射される。また、反射された前記検査光は、回転する前記ポリゴンミラー２により、前記検査領域ＡＲ１の左端から右端まで走査され、走査された前記検査光は、前記集光光学系２１に入射する。そして、前記集光光学系２１に入射した前記検査光は、前記固体撮像素子ＣＣの受光部９に集光され、前記固体撮像素子ＣＣによって画像として記憶される。なお、実施例２では、ポリゴンミラー２の回転が撮像間隔（シャッタースピード）に比べて非常に高速であり、前記受光部９では前記検査光が連続的な光として感知されるため、前記検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光の画像が記憶される。また、実施例２の光学系検査システムＳでは、大径の前記検査光を前記検査光集光位置Ｐ２から照射することにより、実施例１の光学系検査システムＳと同様に、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含んだ前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１を、前記検査光が通過できるように予め設定されている。
【００５２】
（実施例２のクライアントパソコンＰＣの制御部の説明）
図８は本発明の実施例２のクライアントパソコンの制御部が備えている各機能をブロック図（機能ブロック図）で示した図であり、実施例１の図３に対応する説明図である。
【００５３】
（光学系検査プログラムＡＰ１）
実施例２の光学系検査プログラムＡＰ１は、実施例１の検査光照射撮像制御手段Ｃ１および光学系検査手段Ｃ３に替えて、検査光照射撮像制御手段Ｃ１′および光学系検査手段Ｃ３′を有する。
Ｃ１′：検査光照射撮像制御手段
検査光照射撮像制御手段Ｃ１′は、実施例１の前記検査光照射撮像制御手段Ｃ１に比べて前記検査光照射方向制御手段Ｃ１Ｂと、前記レンズ透過範囲照射撮像手段Ｃ１Ｅとが省略されており、前記検査光撮像位置制御手段Ｃ１Ａに替えて検査光撮像位置制御手段Ｃ１Ａ′を有している。前記検査光照射撮像制御手段Ｃ１′は、前記検査光照射装置Ａによる検査光の照射および前記固体撮像素子ＣＣによる検査光の撮像を制御する。
【００５４】
実施例２の前記検査光照射撮像制御手段Ｃ１′は、前記ポリゴンミラー２を回転させた状態で、前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１を通過した前記検査光の画像を撮像する。なお、実施例２では、ポリゴンミラー２の回転が撮像間隔（シャッタースピード）に比べて非常に高速であり、前記固体撮像素子ＣＣの受光部９では前記検査光が連続的な光として感知される。また、前記集光光学系２１により、前記光学系（２＋３＋４）を通過した前記検査光が、前記潜像形成位置Ｐ１の検査領域ＡＲ１全域を走査された後、前記検査光集光位置Ｐ２に集光される。この結果、前記検査光照射撮像制御手段Ｃ１′では、前記検査領域ＡＲ１全域を走査された前記検査光の画像が撮像される。
Ｃ１Ａ′：検査光撮像位置制御手段
検査光撮像位置制御手段Ｃ１Ａ′は、前記深度方向移動ステージ１２の前後方向（Ｘ軸方向）に対するスライド移動を制御して前記検査光照射装置Ａおよび前記固体撮像素子ＣＣの位置を制御する。
【００５５】
Ｃ３′：光学系検査手段
光学系検査手段Ｃ３′は、欠陥発生位置検出手段Ｃ３Ｂと、欠陥画像記憶手段Ｃ３Ｃとが省略されており、判別結果表示手段Ｃ３Ｄに替えて判別結果表示手段Ｃ３Ｄ′を有している。実施例２の前記光学系検査手段Ｃ３′は、前記光学系画像記憶手段Ｃ１Ｄに記憶された前記画像（前記検査領域ＡＲ１全域を走査された前記検査光の画像）に基づいて、前記光学系３，４を検査する光学系検査処理を実行する。
Ｃ３Ｄ′：判別結果表示手段
判別結果表示手段Ｃ３Ｄは、前記光学系欠陥判別手段Ｃ３Ａの判別結果をディスプレイＨ２に表示する。実施例２の前記判別結果表示手段Ｃ３Ｄ′は、前記光学系３，４が正常であると判別された場合、検査結果が正常であることを表示し、前記光学系３，４が異常であると判別された場合、検査結果が異常であることと、前記光学系画像記憶手段Ｃ１Ｄに記憶された前記画像とを表示する。
【００５６】
（実施例２のフローチャートの説明）
次に、実施例２のクライアントパソコンＰＣの光学系検査プログラムＡＰ１の処理の流れをフローチャートを使用して説明する。
（実施例２のメイン処理のフローチャートの説明）
図９は本発明の実施例２の光学系検査プログラムのメイン処理のフローチャートであり、実施例１の図４に対応する説明図である。
図９において、実施例２のクライアントパソコンＰＣの光学系検査プログラムＡＰ１のフローチャートでは、図４の実施例１のメイン処理のフローチャートに対して、ＳＴ３およびＳＴ４に替えてＳＴ３′およびＳＴ４′を実行するだけで、その他の処理であるＳＴ１、ＳＴ２およびＳＴ５は、対応する図４の各処理と同様であるため、その他の処理については詳細な説明を省略する。
図９のＳＴ３′において、検査光集光位置Ｐ２から検査光を照射し、検査用平行光反射透過領域ＳＰ１を通過し、潜像形成位置Ｐ１の検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光の画像を撮像する検査光照射撮像処理（後述する図１０のフローチャート参照）を実行する。そして、ＳＴ４′に移る。
ＳＴ４′において、光学系画像記憶手段Ｃ１Ｄに記憶された検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光の画像に基づいて、光学系３，４を検査する光学系検査処理（後述する図１１のフローチャート参照）を実行する。そして、ＳＴ５に移る。
【００５７】
（実施例２の検査光照射撮像処理のフローチャートの説明）
図１０は本発明の実施例２の光学系検査プログラムの検査光照射撮像処理のフローチャートであり、図９のＳＴ３′のサブルーチンの説明図である。
図１０のＳＴ３１において、深度方向移動ステージ１２により、検査光照射装置Ａおよび固体撮像素子ＣＣの位置を前後方向に移動させて、固体撮像素子ＣＣの受光部９を検査光集光位置Ｐ２に移動し、焦点を潜像形成位置Ｐ１に合わせる。そして、ＳＴ３２に移る。
ＳＴ３２において、検査光集光位置Ｐ２から、光学系（２＋３＋４）に検査光を照射し、検査用平行光反射透過領域ＳＰ１を通過して検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光の画像を撮像する。そして、検査光照射撮像処理を終了し、図９のメイン処理に戻る。
【００５８】
（実施例２の光学系検査処理のフローチャートの説明）
図１１は本発明の実施例２の光学系検査プログラムの光学系検査処理のフローチャートであり、図９のＳＴ４′のサブルーチンの説明図である。
図１１のＳＴ４１において、画像解析により、光学系画像記憶手段Ｃ２Ｄに記憶された画像（検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光の画像）に何らかの影が存在するか否かを判別することにより、光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かを判別する。イエス（Ｙ）の場合はＳＴ４２に移り、ノー（Ｎ）の場合はＳＴ４３に移る。
ＳＴ４２において、光学系３，４が異常であると判定し、検査結果が異常であることと、影が存在する画像とをディスプレイＨ２に表示する。そして、光学系検査処理を終了し、図９のメイン処理に戻る。
ＳＴ４３において、光学系３，４が正常であると判定し、検査結果が正常であることをディスプレイＨ２に表示する。そして、光学系検査処理を終了し、図９のメイン処理に戻る。
【００５９】
（実施例２の作用）
前記構成を備えた実施例２の光学系検査システムＳでは、前記光学系（２＋３＋４）に対して、前記潜像形成装置Ｒの外側の前記検査光集光位置Ｐ２（図７参照）から、前記検査光源７による大径の検査光（平行光）が照射・撮像される（図９のＳＴ２′、図１０のＳＴ３１，ＳＴ３２参照）。
また、実施例２の光学系検査システムＳでは、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含んだ前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１を通過した前記検査光（平行光）の各画像が撮像される。なお、前記光学系（２＋３＋４）を通過した前記検査光（平行光）は、前記検査領域ＡＲ１全域に配置された前記集光光学系２１に入射し、前記固体撮像素子ＣＣの受光部９に集光され、前記検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光の画像として記憶される（図１０のＳＴ３２参照）。
したがって、実施例２の光学系検査システムＳでは、実施例１のように、前記検査光照射装置Ａおよび前記固体撮像素子ＣＣの水平面（ＸＹ平面）上の位置や前記検査光を照射する方向を変更せずに、前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１を通過した前記検査光（平行光）が撮像されると共に、前記画像に何らかの影があるか否かを検出することにより、光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かが簡易に且つ精度良く判別される（図９のＳＴ４′、図１１のＳＴ４１参照）。
【実施例３】
【００６０】
図１２は本発明の実施例３の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例１の図２に対応する説明図である。
次に本発明の実施例３の光学系検査システムＳの説明を行うが、この実施例３の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施例３は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図１２において、本発明の実施例３の光学系検査装置本体Ｕ１は、前記検査光照射装置Ａに替えて、検査光照射装置Ａ′を有する。実施例３の検査光照射装置Ａ′は、前記検査光源７および前記ハーフミラー８に替えて、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる検査光源（検査光源、照明光源）７′およびハーフミラー（検査光学系）８′を有する。
【００６１】
前記検査光源７′は、前記ウィンドウ６が配置された位置と前記潜像形成位置Ｐ１との間に設定された検査光照射位置Ｐ３の上方（＋Ｚ方向）に配置されている。なお、実施例１の前記検査光源７がスポット状の平行光を照射するのに対して、実施例３の前記検査光源７′は、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる面状の平行光を照射する。すなわち、前記検査光源７′は、面発光型の照明光源（平行光源）であり、下方（−Ｚ方向）の前記検査光照射位置Ｐ３に配置された前記ハーフミラー８′の左右方向（Ｙ軸方向）全域に渡って前記検査光（面状の平行光）を照射する。また、前記ハーフミラー８′は、左右方向（Ｙ軸方向）に長い長方形状に形成されており、上下方向（Ｚ軸方向）に対して傾斜して配置されている。よって、前記ハーフミラー８′は、前記検査光源７′からの検査光の一部を反射させて後方（−Ｘ方向）の前記ポリゴンミラー２に照射させると共に、前記ポリゴンミラー２で反射した検査光の一部を前方（＋Ｘ方向）に透過させる。前記ハーフミラー８′を透過した検査光は、前記潜像形成位置Ｐ１において前記固体撮像素子ＣＣにより検出される。よって、実施例３の前記光学系検査装置Ｕは、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含む前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１（図２参照）に対応する検査用平行光反射透過領域ＳＰ１′を通過した前記検査光を撮像して検査する。
【００６２】
（実施例３のクライアントパソコンＰＣの制御部およびフローチャートの説明）
実施例３では、前記光学系（２＋３＋４）に対して、実施例１の前記検査光源７によるスポット状の平行光に替えて、前記検査光照射位置Ｐ３（図１２参照）の上方（＋Ｚ方向）に配置された前記検査光源７′による面状の平行光が照射される。これに応じて、実施例３の検査光照射制御手段Ｃ１Ｃは、前記検査光源７′を制御して前記検査光の照射を制御する。なお、実施例３のその他の処理については、実施例１と同様であるため、ブロック図およびフローチャートによる詳細な説明を省略する。
【００６３】
（実施例３の作用）
前記構成を備えた実施例３の光学系検査システムＳでは、前記光学系（２＋３＋４）に対して、前記潜像形成装置Ｒの外側の前記検査光照射位置Ｐ３（図１２参照）の上方（＋Ｚ方向）から、前記検査光源７′による検査光（面状の平行光）が照射される。また、前記ポリゴンミラー２により反射された前記検査光（平行光）は、前記検査領域ＡＲ１の左端から右端にかけてスライド移動する前記固体撮像素子ＣＣの受光部９で受光され、画像として記憶される。したがって、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含んだ前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１′を通過した前記検査光（平行光）の各画像が撮像されると共に、傷やゴミ等の有無が精度良く検出される。よって、前記レーザダイオード１からの画像形成用のレーザ光が照射される前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０に付着したゴミや傷だけでなく、振動や外力等により、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０の外から領域内に移行する可能性のあるゴミや傷も精度良く検出される。
その他、実施例３の光学系検査システムＳでは、実施例１の光学系検査システムＳと同様の作用効果を奏する。
【実施例４】
【００６４】
図１３は本発明の実施例４の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例２の図７に対応する説明図である。
次に本発明の実施例４の光学系検査システムＳの説明を行うが、この実施例４の説明において、前記実施例２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施例４は、下記の点で前記実施例２と相違しているが、他の点では前記実施例２と同様に構成されている。
図１３において、本発明の実施例４の検査光照射装置Ａ′は、実施例２の前記検査光源７および前記ハーフミラー８に替えて、実施例３の前記検査光源７′および前記ハーフミラー８′を有する。
【００６５】
（実施例４のクライアントパソコンＰＣの制御部およびフローチャートの説明）
実施例４の検査光照射制御手段Ｃ１Ｃは、実施例３の検査光照射制御手段Ｃ１Ｃと同様に、前記検査光源７′を制御して前記検査光の照射を制御する。すなわち、実施例４では、実施例３と同様に、前記検査光源７′による面状の平行光を前記光学系（２＋３＋４）に照射するだけで、その他の処理については、実施例２と同様であるため、ブロック図およびフローチャートによる詳細な説明を省略する。
【００６６】
（実施例４の作用）
前記構成を備えた実施例４の光学系検査システムＳでは、前記光学系（２＋３＋４）に対して、前記潜像形成装置Ｒの外側の前記検査光照射位置Ｐ３（図１３参照）の上方（＋Ｚ方向）から、前記検査光源７′による検査光（面状の平行光）が照射される。また、前記ポリゴンミラー２で反射された前記検査光（平行光）は、前記検査領域ＡＲ１の左端から右端にかけて配置された前記集光光学系２１に入射し、前記固体撮像素子ＣＣの受光部９に集光され、前記検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光（平行光）の画像として記憶される。したがって、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含んだ前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１′を通過した前記画像が撮像されると共に、前記画像に何らかの影があるか否かを検出することにより、光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かが簡易に且つ精度良く判別される。
その他、実施例４の光学系検査システムＳでは、実施例２の光学系検査システムＳと同様の作用効果を奏する。
【実施例５】
【００６７】
図１４は本発明の実施例５の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例４の図１３に対応する説明図である。
次に本発明の実施例５の光学系検査システムＳの説明を行うが、この実施例５の説明において、前記実施例４の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施例５は、下記の点で前記実施例４と相違しているが、他の点では前記実施例４と同様に構成されている。
【００６８】
図１４において、本発明の実施例５の検査光集光位置Ｐ２′は、実施例４の前記検査光集光位置Ｐ２とは異なり、前記潜像形成位置Ｐ１から距離ｄ１′だけ上方（＋Ｚ方向）に離れた位置に設定されている。すなわち、実施例５の光学系検査装置本体Ｕ１は、前記潜像形成位置Ｐ１から距離ｄ１′だけ上方（＋Ｚ方向）に離れた前記検査光集光位置Ｐ２′に配置されている。また、実施例５の光学系検査装置本体Ｕ１では、前記固体撮像素子ＣＣの撮像方向が下向きとなるように配置されている。また、前記固体撮像素子ＣＣを移動させる実施例５の深度方向移動ステージ（図示せず）は、前後方向（Ｘ軸方向）ではなく、上下方向（Ｚ軸方向）に対してスライド移動可能に支持されている。
また、実施例５の前記潜像形成位置Ｐ１には、実施例４の集光光学系２１に替えて、回転する前記ポリゴンミラー２で反射され、前記潜像形成位置Ｐ１の検査領域ＡＲ１に到達した前記検査光を上方（＋Ｘ方向）の前記受光部９に集光する集光光学系（検査光学系）２１′が設けられている。
【００６９】
（実施例５のクライアントパソコンＰＣの制御部およびフローチャートの説明）
実施例５の検査光照射位置制御手段Ｃ１Ａ′は、実施例４の検査光照射位置制御手段Ｃ１Ａ′が前記深度方向移動ステージ（図示せず）を前後方向（Ｘ軸方向）に移動させるのに対して、前記深度方向移動ステージ１２を上下方向（Ｚ軸方向）にスライド移動させる（図１１のＳＴ４１参照）。すなわち、実施例５では、前記深度方向移動ステージ１２を、前後方向（Ｘ軸方向）ではなく上下方向（Ｚ軸方向）にスライド移動させ、前記固体撮像素子ＣＣの位置を移動させる処理が異なるだけであり、その他の処理については実施例４と同様であるため、ブロック図およびフローチャートによる詳細な説明を省略する。
【００７０】
（実施例５の作用）
前記構成を備えた実施例５の光学系検査システムＳでは、前記光学系（２＋３＋４）に対して、前記潜像形成装置Ｒの外側の前記検査光照射位置Ｐ３（図１４参照）の上方（＋Ｚ方向）から、前記検査光源７′による検査光（面状の平行光）が照射され、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含んだ前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１′を通過する。また、前記各反射面の全域で反射された前記検査光（平行光）は、前記検査領域ＡＲ１の全域に配置された前記集光光学系２１′に入射し、前記集光光学系２１′の上方（＋Ｚ方向）の前記検査光集光位置Ｐ２′に配置された前記固体撮像素子ＣＣの受光部９に集光され、前記検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光（平行光）の画像として記憶される。よって、前記画像に何らかの影があるか否かを検出することにより、光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かが簡易に且つ精度良く判別される。
その他、実施例５の光学系検査システムＳでは、実施例４の光学系検査システムＳと同様の作用効果を奏する。
【実施例６】
【００７１】
図１５は本発明の実施例６の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例５の図１４に対応する説明図である。
次に本発明の実施例６の光学系検査システムＳの説明を行うが、この実施例６の説明において、前記実施例５の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施例６は、下記の点で前記実施例５と相違しているが、他の点では前記実施例５と同様に構成されている。
図１５において、本発明の実施例６の検査光照射装置Ａ″は、実施例５の前記検査光源７′に替えて、実施例１，２の検査光源７と同様の検査光源７″と、実施例３〜５のハーフミラー８′とを有する。前記検査光源７″は、実施例５の前記検査光源７′と同様に、前記検査光照射位置Ｐ３の上方（＋Ｚ方向）に配置されている。
【００７２】
実施例６の光学系検査システムＳでは、前記光学系（２＋３＋４）を検査する場合、前記ポリゴンミラー２を回転させた状態で、前記検査光源７″による検査光を下方（−Ｚ方向）の前記ハーフミラー８′に照射し、前記ハーフミラー８′が前記検査光の一部を反射させて後方（−Ｘ方向）の前記ポリゴンミラー２に照射させる。なお、実施例６の光学系検査システムＳでは、実施例２と同様に、大径の前記検査光が前記光学系（２＋３＋４）に対して照射された場合、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含んだ検査用平行光反射透過領域ＳＰ１″を通過できるように予め設定されている。
【００７３】
（実施例６のクライアントパソコンＰＣの制御部およびフローチャートの説明）
実施例６の光学系検査システムＳは、実施例２の光学系検査システムＳと比べて、前記検査光照射装置Ａ″と前記固体撮像素子ＣＣが配置された位置が異なるだけで、前記検査光源７″による検査光が後方（−Ｘ方向）の前記光学系（２＋３＋４）に照射される処理については実施例２と同様である。すなわち、実施例６の検査光照射撮像処理は、実施例２の検査光照射撮像処理（図１０のＳＴ３１，ＳＴ３２参照）と同様である。したがって、実施例６のブロック図およびフローチャートは、実施例２と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００７４】
（実施例６の作用）
前記構成を備えた実施例６の光学系検査システムＳでは、前記光学系（２＋３＋４）に対して、前記潜像形成装置Ｒの外側に設定された前記検査光照射位置Ｐ３（図１５参照）の上方（＋Ｚ方向）から、前記検査光源７″による大径の検査光が照射され、前記潜像形成用レーザ光反射透過領域ＳＰ０を含んだ前記検査用平行光反射透過領域ＳＰ１を通過した前記検査光（平行光）の各画像が撮像される。なお、前記各反射面で反射された前記検査光（平行光）は、前記検査領域ＡＲ１の全域に配置された前記集光光学系２１′に入射し、前記集光光学系２１′の上方（＋Ｚ方向）の前記検査光集光位置Ｐ２′に配置された前記固体撮像素子ＣＣの受光部９に集光され、前記検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光（平行光）の画像として記憶される。よって、前記画像に何らかの影があるか否かを検出することにより、光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かが簡易に且つ精度良く判別される。
その他、実施例６の光学系検査システムＳでは、実施例５の光学系検査システムＳと同様の作用効果を奏する。
【００７５】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例（Ｈ01）〜（Ｈ06）を下記に例示する。
（Ｈ01）本発明の実施例の光学系検査システムＳでは、前記光学系検査装置Ｕは、前記光学系検査装置本体Ｕ１と、前記クライアントパソコンＰＣとが別体で構成されているが、これに限定されず、例えば、前記光学系検査装置本体Ｕ１に前記クライアントパソコンＰＣの制御部を内蔵させることも可能である。
【００７６】
（Ｈ02）本発明の実施例の前記光学系検査装置本体Ｕ１は、スキャナ光源と固体撮像素子とを有する従来公知のスキャナユニット、例えば、複合機等のイメージスキャナを流用することにより構成することも可能である。したがって、本発明の光学系検査システムＳのために新たに特別な装置を準備しなくても、既存の装置を流用して前記潜像形成装置Ｒの光学系（２＋３＋４）を検査することが可能である。
（Ｈ03）本発明の実施例では、検査対象である前記潜像形成装置Ｒの光学系（２＋３＋４）が、前記ポリゴンミラー２、前記ｆθレンズ３、前記シリンドリカルレンズ４によって構成されているが、これに限定されず、前記ｆθレンズ３または前記シリンドリカルレンズ４が省略された光学系についても検査することが可能である。
【００７７】
（Ｈ04）本発明の実施例では、前記クライアントパソコンＰＣの光学系検査プログラムＡＰ１の光学系検査手段Ｃ３によって、光学系（２＋３＋４）に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かが自動的に判別されたが（図６のＳＴ２１、図１１のＳＴ４１参照）、これに限定されず、前記光学系検査手段Ｃ３については省略することも可能である。この場合、例えば、光学系検査プログラムＡＰ１は、撮像されて光学系画像記憶手段Ｃ２Ｄに記憶された各画像をディスプレイＨ２に表示するだけで、前記光学系（２＋３＋４）に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かをユーザに判別させることにより検査することも可能である。
（Ｈ05）本発明の実施例１、３では、主走査方向移動ステージ１４により、前記固体撮像素子ＣＣの位置を、検査領域ＡＲ１の左端から、右方向（＋Ｙ方向）に移動させているが（図５のＳＴ１１、ＳＴ１５、ＳＴ１６参照）、これに限定されず、検査領域ＡＲ１の右端から、左方向（−Ｙ方向）に移動させることも可能である。
【００７８】
（Ｈ06）本発明の実施例２、４、５、６では、前記集光光学系２１，２１′により、前記光学系（２＋３＋４）を通過した検査光が集光され、撮像された画像（検査領域ＡＲ１全域を走査された検査光（平行光）の画像）について、何らかの影があるか否かを検出することにより、光学系３，４に画像欠陥の原因となるものが存在するか否かを自動的に判別するが（図１１のＳＴ４１〜ＳＴ４３参照）、例えば、前記回転テーブル１３および前記主走査方向移動ステージ１４等を設け、実施例１、３と同様の制御（図６のＳＴ２２〜ＳＴ２４参照）を行うことにより、実施例１、３と同様に、どの部材３，４，６のどの位置（欠陥発生位置）に欠陥（傷、ホコリ等の異物）があるかについて自動的に検出する処理（図６のＳＴ２２〜ＳＴ２４参照）を追加することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】図１は本発明の実施例１の光学系検査装置を備えた光学系検査システムの全体説明図である。
【図２】図２は本発明の実施例１の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図である。
【図３】図３は本発明の実施例１のクライアントパソコンの制御部が備えている各機能をブロック図（機能ブロック図）で示した図である。
【図４】図４は本発明の実施例１の光学系検査プログラムのメイン処理のフローチャートである。
【図５】図５は本発明の実施例１の光学系検査プログラムのレンズ透過範囲照射撮像処理のフローチャートであり、図４のＳＴ３のサブルーチンの説明図である。
【図６】図６は本発明の実施例１の光学系検査プログラムの光学系検査処理のフローチャートであり、図４のＳＴ４のサブルーチンの説明図である。
【図７】図７は本発明の実施例２の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例１の図２に対応する説明図である。
【図８】図８は本発明の実施例２のクライアントパソコンの制御部が備えている各機能をブロック図（機能ブロック図）で示した図であり、実施例１の図３に対応する説明図である。
【図９】図９は本発明の実施例２の光学系検査プログラムのメイン処理のフローチャートであり、実施例１の図４に対応する説明図である。
【図１０】図１０は本発明の実施例２の光学系検査プログラムの検査光照射撮像処理のフローチャートであり、図９のＳＴ３′のサブルーチンの説明図である。
【図１１】図１１は本発明の実施例２の光学系検査プログラムの光学系検査処理のフローチャートであり、図９のＳＴ４′のサブルーチンの説明図である。
【図１２】図１２は本発明の実施例３の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例１の図２に対応する説明図である。
【図１３】図１３は本発明の実施例４の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例２の図７に対応する説明図である。
【図１４】図１４は本発明の実施例５の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例４の図１３に対応する説明図である。
【図１５】図１５は本発明の実施例６の光学系検査装置が潜像形成装置を検査している状態の拡大説明図であり、実施例５の図１４に対応する説明図である。
【符号の説明】
【００８０】
１…レーザ光源、
２…反射光学系、回転多面鏡、
３，４…通過光学系、
（２＋３＋４）…、光学系、
６…出力部、
７，７′，７″…検査光源、平行光源、
８，８′，２１，２１′検査光学系、
８，８′…ハーフミラー、
１２…測定装置位置調整装置、
ＣＣ…検査光測定装置、撮像装置、
ＡＲ０…照射位置、
Ｃ３…光学系検査手段、
ＳＰ０…レーザ光走査領域、
ＳＰ１…検査光通過領域、
Ｒ…光学装置、
Ｕ…光学系検査装置。
【図１】
2009058314.tif 000003
【図２】
2009058314.tif 000004
【図３】
2009058314.tif 000005
【図４】
2009058314.tif 000006
【図５】
2009058314.tif 000007
【図６】
2009058314.tif 000008
【図７】
2009058314.tif 000009
【図８】
2009058314.tif 000010
【図９】
2009058314.tif 000011
【図１０】
2009058314.tif 000012
【図１１】
2009058314.tif 000013
【図１２】
2009058314.tif 000014
【図１３】
2009058314.tif 000015
【図１４】
2009058314.tif 000016
【図１５】
2009058314.tif 000017