(57)【要約】 【課題】  大きな比重と耐食性があり、かつ、圧電素子との接着強度を強固にした錘を有する信頼性の高い電気機械変換アクチュエータおよびその電気機械変換アクチュエータを用いた移動速度が大きく良好なレンズ駆動が可能なレンズモジュールを提供する。【解決手段】  磁石１と圧電素子３と錘２とからなり、圧電素子３の一端に錘２が接着され、圧電素子３の他端に磁石１が接着されて構成されている。錘２の組成がＷ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｆｅ：１．０％以下、または、Ｗ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｃｏ：２．０％以下であり、錘２が焼結方法により製造され、錘２の圧電素子３との接着面の平均表面粗さＲａが０．１μｍより大きく６０μｍ未満である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石と圧電素子と錘とからなり、前記圧電素子の一端に前記錘が接着され、前記圧電素子の他端に前記磁石が接着されて構成された電気機械変換アクチュエータにおいて、前記錘の組成がＷ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｆｅ：１．０％以下、または、Ｗ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｃｏ：２．０％以下であり、前記錘が焼結方法により製造され、前記錘の前記圧電素子との接着面の平均表面粗さＲａが０．１μｍより大きく６０μｍ未満であることを特徴とする電気機械変換アクチュエータ。
【請求項２】
内周にレンズを備えた円筒状のレンズホルダと、前記レンズホルダを前記レンズの光軸方向に移動させる電気機械変換アクチュエータと、前記レンズホルダと前記電気機械変換アクチュエータを収容する筐体とを備え、前記電気機械変換アクチュエータは、磁石と圧電素子と錘とからなり、前記圧電素子の一端に前記錘が接着され、前記圧電素子の他端に前記磁石が接着され、前記錘は前記筐体に固定され、前記圧電素子で発生する振動により前記磁石を振動させ、該磁石の振動を駆動力として前記レンズホルダの一部に設置された前記磁石に対して吸着可能な材質から成る移動体を摺動駆動することにより前記レンズホルダを移動させる機能を有するレンズモジュールであって、前記錘の組成がＷ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｆｅ：１．０％以下、または、Ｗ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｃｏ：２．０％以下であり、前記錘が焼結方法により製造され、前記錘の前記圧電素子との接着面の平均表面粗さＲａが０．１μｍより大きく６０μｍ未満であることを特徴とするレンズモジュール。
【請求項３】
前記筐体の形状は前記レンズホルダの側面を１ｍｍ以下の隙間を介して内接する直方体形状であり、前記錘の前記筐体に固定される部分の面形状は三角形または台形であることを特徴とする請求項２に記載のレンズモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は携帯電話、デジタルスチルカメラ等のカメラレンズ駆動機構に用いられる電気機械変換アクチュエータおよびその電気機械変換アクチュエータを用いたレンズモジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータは様々な分野の産業機器、民生機器に使用されている。その中で圧電素子を電気機械変換素子として用いた電気機械変換アクチュエータは、位置決めを高精度に行うことができるという特徴を生かし、多くの機器に用いられている。通常、圧電素子をアクチュエータとして用いる場合、変位方向の一端を固定端として固定し、他端部分を移動させる対象物に何らかの方法で結合させて使用する。上記の固定端が動いてしまうとその分だけ圧電素子の他端での変位量が減少する変位漏れが生じ、対象物の移動量が減少してしまうため、駆動効率が低下する。これを防ぎ固定端の変位を小さくするために、圧電素子の固定端を重さのある部材すなわち錘に接着してアクチュエータを構成し、それを筐体などの基材に接着して使用する場合が多い。
【０００３】
また、カメラにオートフォーカスやズーム機能を持たせるためには、光軸に沿って光学レンズを微小に移動させる機構が必要であり、近年、デジタルカメラやカメラ付き携帯電話にみられるように、機器の小型化が急速に進み、それに伴って電磁式のモーターによる方法の代わりに、圧電素子を用いた電気機械変換アクチュエータによるレンズ駆動装置が提案されている。例えば、特許文献１には、圧電素子に結合され、これと共に変位する駆動部材に被駆動部材を摩擦結合して成る駆動機構を備えた駆動装置であって、駆動部材と被駆動部材とを摩擦結合するための押圧力を付与する手段として、磁石を用いたものが示されている。
【０００４】
特許文献１の駆動装置よりさらに小型で安定な駆動を可能とする方法として、図６に示すレンズ駆動装置を用いたレンズモジュールの構造が考えられる。図６はレンズモジュールの基本構成を示したもので、図６（ａ）は上面方向からの外観平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＣ−Ｃ線方向における側面断面図である。図６において、内周にレンズ６０を備えた円筒状のレンズホルダ６３と、レンズホルダ６３をレンズの光軸方向に移動させる電気機械変換アクチュエータと、レンズホルダ６３と電気機械変換アクチュエータを収容するハウジング６４とを備え、電気機械変換アクチュエータは、磁石６２と圧電素子６１と錘６９とからなり、圧電素子６１の一端に錘６９が接着され、圧電素子６１の他端に磁石６２が接着され、錘６９はハウジング６４に固定され、圧電素子６１で発生する振動により磁石６２を振動させ、磁石６２の振動を駆動力としてレンズホルダ６３の一部に設置された磁石６２に対して吸着可能な材質から成る移動体６５を摺動駆動することによりレンズホルダ６３を移動させる機能を有している。なお、レンズホルダ６３は、チルトあるいは回転防止のために、ガイドピン６６に移動可能に支持されている。
【０００５】
圧電素子６１に伸長時と縮小時とでは異なる速度で伸縮する電圧を印加し、磁石６２を光軸と平行に振動させ、移動体６５を伸縮方向へ移動させることで、レンズホルダ６３を光軸方向に移動させることができる。
【０００６】
上記のようなカメラ機構に用いられるアクチュエータにも当然小型化が要求されるため、錘６９には重さを極力大きくするように比重の大きい組成の材料が使用されている。その中でタングステンは比重１９．３ｇ/ｃｃと非常に大きく、錘の材料に適しており、従来タングステンを主成分としたタングステン合金が錘の材料に用いられている。
【０００７】
しかしながらタングステン合金は非常に酸化されやすく、耐食性に問題がある。そのため、特許文献２には、タングステン合金を圧電素子などによる電気機械変換アクチュエータの錘の材料として用いる場合、錘の表面にＮｉメッキを施して、耐食性を向上させる方法が記載されている。
【０００８】
一方、特許文献３には、小型振動発生装置の回転軸に固定される錘として、タングステン合金の材料組成が、Ｗ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｆｅ：１．０％以下もしくはＷ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｃｏ：２．０％以下、の範囲の材料が示され、このタングステン合金は比重が大きく、耐食性が良好でＮｉめっきが不要であることが記載されている。
【０００９】
【特許文献１】特開平７−２７４５４６号公報
【特許文献２】特開２００５−２１８２４４号公報
【特許文献３】特開平７−１６６２８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献２に示されるようにタングステン合金にＮｉメッキを施す場合、その分の製造費用が発生するのでコストが高くなってしまう。またＮｉメッキは小型部材になると表面を平坦にすることが難しくなるので接着面の平坦性が得難くなる。さらに圧電素子との接着を接着剤により行う場合、Ｎｉメッキ面は通常の金属表面より接着剤に対する接着力が劣るため、接着強度が低下する問題がある。それを克服するために接着剤の量を増やし、圧電素子の側面にも接着剤が付着するようにして接着強度を大きくしているが、それにより圧電素子の動きが拘束され、変位量が減少したり、はみ出した接着剤が部材固定用治具にまではみ出し、治具からの取り出しが困難になる等の問題がある。
【００１１】
一方、特許文献３に示されたタングステン合金材料はＮｉメッキが不要であるが、これを錘部材として圧電素子による電気機械変換アクチュエータに用いる場合、特許文献３の場合のように圧電素子にかしめて取り付けることはできなく、接着固定が不可欠である。しかし、このタングステン合金も錘として圧電素子と接着する場合、十分な接着強度が得られなく、信頼性が不十分であるという問題がある。
【００１２】
本発明の課題は、上記の問題点を解決し、大きな比重と耐食性があり、かつ、圧電素子との接着強度を強固にした錘を有する信頼性の高い電気機械変換アクチュエータおよびその電気機械変換アクチュエータを用いた移動速度が大きく良好なレンズ駆動が可能なレンズモジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明による電気機械変換アクチュエータは、磁石と圧電素子と錘とからなり、前記圧電素子の一端に前記錘が接着され、前記圧電素子の他端に前記磁石が接着されて構成された電気機械変換アクチュエータにおいて、前記錘の組成がＷ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｆｅ：１．０％以下、または、Ｗ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｃｏ：２．０％以下であり、前記錘が焼結方法により製造され、前記錘の前記圧電素子との接着面の平均表面粗さＲａが０．１μｍより大きく６０μｍ未満であることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明によるレンズモジュールは、内周にレンズを備えた円筒状のレンズホルダと、前記レンズホルダを前記レンズの光軸方向に移動させる電気機械変換アクチュエータと、前記レンズホルダと前記電気機械変換アクチュエータを収容する筐体とを備え、前記電気機械変換アクチュエータは、磁石と圧電素子と錘とからなり、前記圧電素子の一端に前記錘が接着され、前記圧電素子の他端に前記磁石が接着され、前記錘は前記筐体に固定され、前記圧電素子で発生する振動により前記磁石を振動させ、該磁石の振動を駆動力として前記レンズホルダの一部に設置された前記磁石に対して吸着可能な材質から成る移動体を摺動駆動することにより前記レンズホルダを移動させる機能を有するレンズモジュールであって、前記錘の組成がＷ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｆｅ：１．０％以下、または、Ｗ：８５％以上９８％以下、Ｎｉ：１％以上１２％以下、Ｍｏ：０．１％以上２．０％以下、Ｃｏ：２．０％以下であり、前記錘が焼結方法により製造され、前記錘の前記圧電素子との接着面の平均表面粗さＲａが０．１μｍより大きく６０μｍ未満であることを特徴とする。
【００１５】
また、前記筐体の形状は前記レンズホルダの側面を１ｍｍ以下の隙間を介して内接する直方体形状であり、前記錘の前記筐体に固定される部分の面形状は三角形または台形であってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では磁石と圧電素子と錘からなり、圧電素子の一端に錘を、他端に磁石を接着して構成された電気機械変換アクチュエータにおいて、比重が大きく、Ｎｉメッキしなくても耐食性が良好である上記組成のタングステン合金を錘の材料として用い、その錘の圧電素子との接着面の平均表面粗さＲａを０．１μｍより大きく６０μｍ未満とすることにより圧電素子と錘との強固な接着強度が得られる。
【００１７】
この結果、高温高湿環境下でも安定で、Ｎｉメッキが不要で製造コストを低くすることができる錘を有し、圧電素子と錘との強固な接着が容易に得られ、十分な信頼性を備える電気機械変換アクチュエータが可能となる。
【００１８】
以上のように、本発明により、大きな比重と耐食性があり、かつ、圧電素子との接着強度を強固にした錘を有する信頼性の高い電気機械変換アクチュエータおよびその電気機械変換アクチュエータを用いた移動速度が大きく良好なレンズ駆動が可能なレンズモジュールが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。
【００２０】
図１は、本発明による電気機械変換アクチュエータの一実施例を示す斜視図であり、測定のため電気機械変換アクチュエータを基板上に固定したときの斜視図である。図１において、本実施例の電気機械変換アクチュエータは磁石１と圧電素子３と錘２とからなり、圧電素子３の一端に錘２が接着され、圧電素子３の他端に磁石１が接着されて構成されて基板４上に固定されている。
【００２１】
本実施例に使用する錘２の作製方法を以下に述べる。まず所定の組成になるように各金属粉末を秤量し、混合する。この混合粉末を任意の形状に金型でプレスし、これを水素雰囲気中で焼成し、焼結タングステン合金試料を得る。その後、図１の形状に切断し、圧電素子との接着面を研磨して錘２を得る。
【００２２】
ここで、本発明の効果を確認するために、圧電素子との接着面の表面の材質および表面粗さが本発明の範囲である実施例の試料および本発明の範囲外まで変えた比較例の試料を作製し、接着強度試験を行った。また、タングステン合金の組成についても本発明の範囲および本発明の範囲外まで変えた比較例の試料を別途作製し、耐食性および電気機械変換アクチュエータとしての変位量の評価を行った。
【００２３】
先ず、接着強度試験用の試料としては錘の形状として２ｍｍ×２ｍｍ×５ｍｍの角柱を用い、この角柱の２ｍｍ×２ｍｍの端面に圧電素子の角柱（１ｍｍ×１ｍｍ×５ｍｍ）の端面を熱硬化型エポキシ系接着剤により接着した試験片を作製した。錘の組成としてはＷ９０重量％、Ｎｉ８重量％、Ｍｏ１．５重量％、Ｆｅ０．５重量％のものを用い、その接着面の粗さを変えたものを作製した。また、比較例の一つとしてタングステン−ニッケル合金にＮｉメッキを施した上記錘と同一形状の錘を作製し同様に試験片を作製した。接着硬化は１００℃で１時間保持しておこなった。
【００２４】
図２は接着強度試験方法を示す図であり、上記試験片を図２に示すように、錘９を治具１０によって固定し、圧電素子１１の接着部１２から３ｍｍ離れた点を圧電素子１１の長さ方向に垂直な方向から押し、接着部分の破断する荷重を測定した。荷重速度は２ｍｍ／ｍｉｎでおこなった。表１に上記の接着強度試験の結果を示す。
【００２５】
【表１】
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【００２６】
表１からわかるように、上記組成のタングステン合金の場合には、錘の表面粗さＲａが０．１μｍ以下または６０μｍ以上である比較例の場合、接着強度はＮｉメッキを施した錘の場合と同等もしくはそれ以下となり、接着面の表面粗さＲａを０．１μｍより大きく６０μｍ未満とすることで、Ｎｉメッキしたタングステン−ニッケル合金の錘より大きな接着強度が得られることがわかる。Ｗ−Ｎｉ−Ｍｏ−Ｃｏ系合金の本発明の組成範囲にある合金でも同様な接着面の表面粗さＲａと接着強度の関係が得られた。また焼結後の研磨加工しない状態の面でも、表面粗さＲａを０．１μｍより大きく６０μｍ未満とするように焼結条件を設定して作製した場合には、接着強度はＮｉメッキ品に比較し大きいという結果が得られた。
【００２７】
本発明の上記効果は、Ｒａが０．１μｍより大きく６０μｍ未満の範囲では微細な接着表面の凹凸が接着剤との接触面積を大きくしていると共に、荷重方向と垂直方向に凹凸があるためその凹部に入った接着剤部分が、荷重を受けているためと考えられる。Ｒａが０．１μｍ以下では荷重を受けるほどの凹凸部がなく、また６０μｍ以上では凹凸が大きいため凹凸の数量が少なく強度が低下したものと推測できる。
【００２８】
次に、電気機械変換アクチュエータの錘の耐食性および電気機械変換アクチュエータとしての変位量の評価を行った。評価用試料は板状の錘上に断面１ｍｍ×１ｍｍ、高さ１．５ｍｍの積層型の圧電素子を熱硬化型エポキシ系接着剤により接着し、さらに１ｍｍ×１ｍｍ×１．５ｍｍの磁石を圧電素子の上面に接着し電気機械変換アクチュエータを構成した。変位量を測定するために、上記電気機械変換アクチュエータの錘の下面を１０ｍｍ×１０ｍｍ×１ｍｍのプラスチック板に熱硬化型エポキシ系接着剤により接着し評価用試料を作製した。ここで、錘の圧電素子との接着面の表面粗さＲａは０．３μｍに加工し、本発明の効果を確認するために、錘のタングステン合金の組成については本発明の範囲および本発明の範囲外まで変えた比較例の試料およびタングステン―ニッケル合金にＮｉメッキを施した試料も作製した。
【００２９】
耐食性の評価は、温度８５℃、湿度８５％の条件で５００時間保持する恒温恒湿試験を行い、試験後に取出した試料の錘の表面を観察し、腐食していないか外観を観察することにより行った。
【００３０】
図３はアクチュエータとしての変位量の評価方法を示す図である。図３に示すように、作製した評価用試料のプラスチック板３４を平坦な台３０上に設置し、発振器３８とアンプ３７を用いて圧電素子３３を駆動し、磁石３１の上面の変位をレーザー変位計３６により測定した。駆動条件は周波数１００ｋＨｚ、駆動電圧±１Ｖの正弦波で行った。
【００３１】
変位減少率は、図３と同様な評価系で圧電素子単体を台３０上に設置して測定したときの変位量に対し、圧電素子に錘と磁石を接着してアクチュエータを構成した時の磁石の上面での変位量を測定し、その減少率で評価した。
【００３２】
表２に錘の組成がＷ−Ｎｉ−Ｍｏ−Ｆｅ合金からなる場合の恒温恒湿試験による錘の表面状態、および変位減少率、上記の接着強度試験と同様な試料と評価方法により測定した圧電素子との接着部の破断強度の評価結果をまとめて示す。
【００３３】
【表２】
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【００３４】
表２より、本発明の範囲では破断強度が大きく、変位減少率が少なく、恒温恒湿試験後も外観の変化がないという結果が得られた。
【００３５】
それに対しタングステン量が８５％未満もしくは９８％より大きい試料では変位減少率が大きい結果となった。ニッケル量が１％未満もしくは１２％より大きい試料でも変位減少率が大きい結果となった。モリブデン量が０．１％未満では高温高湿後に錆が発生し、破断強度も小さい結果となった。またモリブデン量が２％以上の試料では変位減少率が大きい結果となった。鉄が１％より大きい試料では恒温恒湿後に錆が発生し、破断強度が小さくなった。また、Ｎｉメッキを施した試料は破断荷重が小さい結果となった。
【００３６】
表３に、錘の組成がＷ−Ｎｉ−Ｍｏ−Ｃｏ合金からなる場合の同様な評価結果を示す。
【００３７】
【表３】
2009165317.tif 000005
【００３８】
表３より、本発明の範囲では破断強度が大きく、変位減少率が少なく、恒温恒湿試験後も外観に変化がない結果が得られた。それに対しタングステン量が８５％未満もしくは９８％より大きい試料では変位減少率が大きい結果となった。ニッケル量が１％未満もしくは１２％より大きい試料でも変位減少率が大きい結果となった。モリブデン量が０．１％未満では高温高湿後に錆が発生し、破断荷重も小さい結果となった。またモリブデン量が２％以上の試料では変位減少率が大きい結果となった。コバルトが２％より大きい試料では恒温恒湿後に錆が発生し、破断強度が小さくなった。
【００３９】
図４は本発明によるレンズモジュールの一実施例を示す図であり、レンズモジュールの基本構成を示したもので、図４（ａ）は上面方向からの外観平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ線方向における側面断面図である。図４において、内周にレンズ４４を備えた円筒状のレンズホルダ４５と、レンズホルダ４５をレンズ４４の光軸方向に移動させる電気機械変換アクチュエータと、レンズホルダ４５と電気機械変換アクチュエータを収容するハウジング４３とを備え、電気機械変換アクチュエータは、磁石４１と圧電素子４７と錘４９とからなり、圧電素子４７の一端に錘４９が接着され、圧電素子４７の他端に磁石４１が接着され、錘４９はハウジング４３に固定され、圧電素子４７で発生する振動により磁石４１を振動させ、磁石４１の振動を駆動力としてレンズホルダ４３の一部に設置された磁石４１に対して吸着可能な材質から成る移動体４６を摺動駆動することによりレンズホルダ４５を移動させる機能を有している。
【００４０】
現状のカメラモジュールサイズを考慮するとハウジング４３およびレンズホルダ４５はできるだけ小型化する必要があり、このため、ハウジング４３の形状はレンズホルダ４５の側面を１ｍｍ以下の隙間を介して内接する直方体形状であることが望ましい。また、本実施例の電気機械アクチュエータにおいても、圧電素子４７の小型化と共に、錘４９も小型化、低背化が必要であり、錘４９は高さ１．０ｍｍ以下が望ましい。また錘４９は磁石４１と移動体４６との摺動を妨げないように、摺動面よりアクチュエータの内側に位置することが望ましい。よって錘４９の摺動面に対して垂直方向の長さはハウジング４３の内側の角から磁石摺動面までの距離よりも短いことが望ましい。この結果、錘４９の形状としてはアクチュエータをハウジング４３の角に配置することを考慮すると、なるべく形状を大きくし、重さを大きくするため、変位方向に対し垂直な方向での面形状は三角形もしくは台形が望ましい。そこで本実施例においては錘４９の上記形状を一辺の長さが２ｍｍの直角二等辺三角形の形状とし、高さは１ｍｍとした。ハウジング４３は外形１０×１０×７ｍｍである。
【００４１】
本実施例においてはアクチュエータを構成する錘４９の材料組成はＷ９０重量％、Ｎｉ８重量％、Ｍｏ１．５重量％、Ｆｅ０．５重量％のものを用いた。また、比較のため表３の結果で変位減衰量が大きいＷ９９重量％、Ｎｉ０．５重量％、Ｍｏ０．３重量％、Ｆｅ０．２重量％の組成を用いた錘を使用したアクチュエータによるレンズモジュールも製作し評価した。錘４９の圧電素子４７との接着面の表面粗さＲａは０．３μｍとした。ハウジング４３にアクチュエータの錘４９をエポキシ系熱硬化型接着剤により固定した。
【００４２】
磁石との摺動部には磁石に吸着する鋼板が移動体４６としてレンズホルダ４５側に設置されている。レンズホルダ４５は略円筒形で、この内周側にレンズ４４を保持しており、レンズ４４は、円筒の中心軸方向とレンズの光軸とが一致するように取り付けてある。
【００４３】
図５はレンズモジュールの評価系を示す構成図であり、発振器３８とアンプ３７を用いて圧電素子４７を駆動し、レンズホルダ４５の上面の上昇時の変位をレーザー変位計により測定し、移動速度を算出した。駆動条件は周波数１００ｋＨｚ、駆動電圧±１Ｖである。駆動電圧波形は三角波で行い、電圧増加時間と電圧減少時間の比率は７：３とした。測定結果を表４に示す。
【００４４】
【表４】
2009165317.tif 000006
【００４５】
本実施例のレンズモジュールでは移動速度が４．５ｍｍ／ｓｅｃであったのに対し、変位減少率が大きかった比較例は２．５ｍｍ／ｓｅｃと小さな値となった。これより本発明のレンズモジュールでは、アクチュエータの変位減少率が少ないため移動速度を大きくでき、良好なレンズ駆動が得られる。
【００４６】
以上より、本発明により、高温高湿環境下でも安定で、Ｎｉメッキが不要で製造コストを低くすることができる錘を有し、圧電素子と錘との強固な接着が容易に得られ、十分な信頼性を備える電気機械変換アクチュエータが可能となり、その電気機械変換アクチュエータを用いた移動速度が大きく良好なレンズ駆動が可能なレンズモジュールが得られる。
【００４７】
なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではないことは言うまでもなく、目的に応じて磁石や圧電素子、錘の形状や寸法、配置、移動体やレンズホルダ、ハウジングの材質、形状などを選択、設計することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明による電気機械変換アクチュエータの一実施例を示す斜視図。
【図２】接着強度試験方法を示す図。
【図３】アクチュエータとしての変位量の評価方法を示す図。
【図４】本発明によるレンズモジュールの一実施例を示す図、図４（ａ）は上面方向からの外観平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ線方向における側面断面図。
【図５】レンズモジュールの評価系を示す構成図。
【図６】小型で安定な駆動を可能とするレンズモジュールの基本構成を示す図、図６（ａ）は上面方向からの外観平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＣ−Ｃ線方向における側面断面図。
【符号の説明】
【００４９】
１、３１、４１、６２    磁石
２、９、４９、６９    錘
３、１１、３３、４７、６１    圧電素子
４    基板
１０    治具
１２    接着部
３０    台
３４    プラスチック板
３６    レーザー変位計
３７    アンプ
３８    発振器
４３、６４    ハウジング
４４、６０    レンズ
４５、６３    レンズホルダ
４６、６５    移動体
６６    ガイドピン
【図１】
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【図２】
2009165317.tif 000008
【図３】
2009165317.tif 000009
【図４】
2009165317.tif 000010
【図５】
2009165317.tif 000011
【図６】
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