(57)【要約】【課題】簡易な機構であっても、精度良く且つ信頼度の高い形状測定を行うことができる形状測定装置を提供することである。【解決手段】位置測定手段（ＣＰＵ８１、位置測定プログラム８３ｂ４）によって、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定し、拡大倍率情報抽出手段（ＣＰＵ８１、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５）によって、位置測定手段によって測定された球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量に基づき、補正量記憶手段（補正量データテーブル８３ａ）から当該ずれ量に対応した拡大倍率情報を抽出し、断面形状補正手段（ＣＰＵ８１、断面形状補正プログラム８３ｂ６）によって、拡大倍率情報抽出手段により抽出された拡大倍率情報に基づき、断面形状算出手段（ＣＰＵ８１、断面形状算出プログラム８３ｂ１）により算出された一断面形状を補正する。【選択図】図１
2009192296.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転対称体である被測定物体の断面形状を測定して当該被測定物体の形状を測定する形状測定装置において、
前記被測定物体を所定の基準位置に保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された被測定物体に光を照射するための光源部と、
前記保持手段に保持された被測定物体に前記光源部から出力された光が照射されてできる写像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された写像の光強度分布より前記被測定物体の一断面形状を算出する断面形状算出手段と、
前記被測定物体の回転対称軸回りに前記被測定物体を所定の角度で回転させる回転手段と、
前記回転手段により前記被測定物体を所定の角度で回転させる度に前記断面形状算出手段により前記被測定物体の一断面形状を算出し、算出された前記被測定物体の複数の断面形状により当該被測定物体の形状を測定する形状測定手段と、
を備え、
前記断面形状算出手段は、
前記被測定物体の前記基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶した補正量記憶手段と、
前記被測定物体の前記基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する位置測定手段と、
前記位置測定手段によって測定された前記被測定物体の前記基準位置からの光軸方向のずれ量に基づき、前記補正量記憶手段から当該ずれ量に対応した拡大倍率情報を抽出する拡大倍率情報抽出手段と、
前記拡大倍率情報抽出手段により抽出された拡大倍率情報に基づき、前記断面形状算出手段により算出された一断面形状を補正する断面形状補正手段と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。
【請求項２】
前記光源部から出力される光の光軸方向に前記被測定物体を移動させる移動機構を備え、
前記補正量記憶手段は、
前記移動機構により、前記被測定物体を前記基準位置から光軸方向に所定の移動量を移動させる度に前記断面形状算出手段により前記被測定物体の一断面形状を算出し、当該被測定物体の移動量及び当該断面形状算出手段により算出された前記被測定物体の一断面形状の寸法に基づき、前記断面形状を測定する際に焦点のずれを補正するための前記被測定物体の前記基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶することを特徴とする請求項１に記載の形状測定装置。
【請求項３】
回転対称体である被測定物体の断面形状を測定して当該被測定物体の形状を測定する形状測定装置において、
前記被測定物体を所定の基準位置に保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された被測定物体に光を照射するための光源部と、
前記光源部から出力される光の光軸方向に前記被測定物体を移動させる移動機構と、
前記保持手段に保持された被測定物体に前記光源部から出力された光が照射されてできる写像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された写像の光強度分布より前記被測定物体の一断面形状を算出する断面形状算出手段と、
前記被測定物体の回転対称軸回りに前記被測定物体を所定の角度で回転させる回転手段と、
前記回転手段により前記被測定物体を所定の角度で回転させる度に前記断面形状算出手段により前記被測定物体の一断面形状を算出し、算出された前記被測定物体の複数の断面形状により当該被測定物体の形状を測定する形状測定手段と、
を備え、
前記断面形状算出手段は、
前記被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する位置測定手段を備えることを特徴とする形状測定装置。
【請求項４】
前記光源部から出力される光の光軸方向に対して交差する方向から前記被測定物体を撮像する第２撮像手段と、
前記第２撮像手段によって撮像された写像の光強度分布より前記被測定物体の一断面形状を算出する第２断面形状算出手段と、
前記第２断面形状算出手段により算出された断面形状に基づき、前記被測定物体の中心位置を算出する中心位置算出手段と、
を備え、
前記位置測定手段は、
前記中心位置算出手段により算出された前記被測定物体の中心位置に基づき、前記被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の形状測定装置。
【請求項５】
前記被測定物体は、球体であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形状測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、微細加工技術が進歩しており、例えば、小さな球体（直径が１〜２mm以下）が加工された際、この小さな球体の真球度を測定するためには微細な先端球を有する測定子が必要となり、かかる測定子を加工するためのプローブ（測定子）加工方法及び加工機が考えられている（特許文献１参照）。
ところが、かかる微細な先端球を有する測定子を加工することができても、加工された測定子の微細な先端球の真球度を測定することまでは行うことができず、かかる先端球の真球度測定は、今後、発展が期待される微小なプロービングシステムの高精度化の鍵となっていた。
そして、かかる微細な先端球の真球度測定方法として、例えば、図９に示すように、被測定物体（先端球）に取り付けられたステムを回転軸として、当該被測定物体を回転させ、順次、被測定物体の断面形状を測定し、測定された複数の断面形状を合成して得られた形状に基づき真球度を測定する方法が考えられている。
しかし、この方法では、図１０に示すように、回転軸として用いられるステムの回転誤差、偏心が形状測定にとって大きな誤差要因となる。特に、微小な被測定物体を測定するためには高倍率の光学系を用いる必要があることから、被写界深度が浅くなる。そのため、数μｍの偏心でも大きな誤差要因となる。
そこで、かかる誤差を取り除く手段として、光学系にテレセントリックレンズを用いた技術や種々のオートフォーカス技術が利用されている。
【特許文献１】特開２００５−９６０３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、テレセントリシティ（光軸に対する主光線の平行度）の良好なテレセントリックレンズを用いた場合でも、サブピクセル処理などによって物体寸法を求める際には誤差を無視することができない場合が多く、また、オートフォーカス技術を用いた場合でも、オートフォーカスの精度が甘く、正確な断面形状を得ることができなかったため、精度良く且つ信頼度の高い形状測定を行うことができないという問題があった。
【０００４】
本発明の目的は、より精度の高い形状測定を行うことができる形状測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、
回転対称体である被測定物体の断面形状を測定して当該被測定物体の形状を測定する形状測定装置において、
前記被測定物体を所定の基準位置に保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された被測定物体に光を照射するための光源部と、
前記保持手段に保持された被測定物体に前記光源部から出力された光が照射されてできる写像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された写像の光強度分布より前記被測定物体の一断面形状を算出する断面形状算出手段と、
前記被測定物体の回転対称軸回りに前記被測定物体を所定の角度で回転させる回転手段と、
前記回転手段により前記被測定物体を所定の角度で回転させる度に前記断面形状算出手段により前記被測定物体の一断面形状を算出し、算出された前記被測定物体の複数の断面形状により当該被測定物体の形状を測定する形状測定手段と、
を備え、
前記断面形状算出手段は、
前記被測定物体の前記基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶した補正量記憶手段と、
前記被測定物体の前記基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する位置測定手段と、
前記位置測定手段によって測定された前記被測定物体の前記基準位置からの光軸方向のずれ量に基づき、前記補正量記憶手段から当該ずれ量に対応した拡大倍率情報を抽出する拡大倍率情報抽出手段と、
前記拡大倍率情報抽出手段により抽出された拡大倍率情報に基づき、前記断面形状算出手段により算出された一断面形状を補正する断面形状補正手段と、
を備えることを特徴とする。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の形状測定装置において、
前記光源部から出力される光の光軸方向に前記被測定物体を移動させる移動機構を備え、
前記補正量記憶手段は、
前記移動機構により、前記被測定物体を前記基準位置から光軸方向に所定の移動量を移動させる度に前記断面形状算出手段により前記被測定物体の一断面形状を算出し、当該被測定物体の移動量及び当該断面形状算出手段により算出された前記被測定物体の一断面形状の寸法に基づき、前記断面形状を測定する際に焦点のずれを補正するための前記被測定物体の前記基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶することを特徴とする。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、
回転対称体である被測定物体の断面形状を測定して当該被測定物体の形状を測定する形状測定装置において、
前記被測定物体を所定の基準位置に保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された被測定物体に光を照射するための光源部と、
前記光源部から出力される光の光軸方向に前記被測定物体を移動させる移動機構と、
前記保持手段に保持された被測定物体に前記光源部から出力された光が照射されてできる写像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された写像の光強度分布より前記被測定物体の一断面形状を算出する断面形状算出手段と、
前記被測定物体の回転対称軸回りに前記被測定物体を所定の角度で回転させる回転手段と、
前記回転手段により前記被測定物体を所定の角度で回転させる度に前記断面形状算出手段により前記被測定物体の一断面形状を算出し、算出された前記被測定物体の複数の断面形状により当該被測定物体の形状を測定する形状測定手段と、
を備え、
前記断面形状算出手段は、
前記被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する位置測定手段を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の形状測定装置において、
前記光源部から出力される光の光軸方向に対して交差する方向から前記被測定物体を撮像する第２撮像手段と、
前記第２撮像手段によって撮像された写像の光強度分布より前記被測定物体の一断面形状を算出する第２断面形状算出手段と、
前記第２断面形状算出手段により算出された断面形状に基づき、前記被測定物体の中心位置を算出する中心位置算出手段と、
を備え、
前記位置測定手段は、
前記中心位置算出手段により算出された前記被測定物体の中心位置に基づき、前記被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することを特徴とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の形状測定装置において、
前記被測定物体は、球体であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、被測定物体を所定の基準位置に保持する保持手段と、保持手段に保持された被測定物体に光を照射するための光源部と、保持手段に保持された被測定物体に光源部から出力された光が照射されてできる写像を撮像する撮像手段と、撮像手段によって撮像された写像の光強度分布より被測定物体の一断面形状を算出する断面形状算出手段と、被測定物体の回転対称軸回りに被測定物体を所定の角度で回転させる回転手段と、回転手段により被測定物体を所定の角度で回転させる度に断面形状算出手段により被測定物体の一断面形状を算出し、算出された被測定物体の複数の断面形状により当該被測定物体の形状を測定する形状測定手段と、を備え、断面形状算出手段が備える補正量記憶手段によって、被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶することができ、断面形状算出手段が備える位置測定手段によって、被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができ、断面形状算出手段が備える拡大倍率情報抽出手段によって、位置測定手段によって測定された被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量に基づき、補正量記憶手段から当該ずれ量に対応した拡大倍率情報を抽出することができ、断面形状算出手段が備える断面形状補正手段によって、拡大倍率情報抽出手段により抽出された拡大倍率情報に基づき、断面形状算出手段により算出された一断面形状を補正することができる。
従って、回転手段によって被測定物体の回転対称軸回りに被測定物体を回転させた際に、回転運動の誤差や偏心の誤差によって、被測定物体が基準位置からずれ、断面形状算出手段によって算出される被測定物体の断面形状に誤差が生じた場合であっても、被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量に基づき、断面形状を補正することができることとなり、より精度の高い形状測定を行うことができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、光源部から出力される光の光軸方向に被測定物体を移動させる移動機構を備え、補正量記憶手段によって、移動機構により、被測定物体を基準位置から光軸方向に所定の移動量を移動させる度に断面形状算出手段により被測定物体の一断面形状を算出し、当該被測定物体の移動量及び当該断面形状算出手段により算出された被測定物体の一断面形状の寸法に基づき、断面形状を測定する際に焦点のずれを補正するための被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶することができる。
従って、実際に形状測定の対象となる被測定物体に基づいて、焦点のずれを補正するための被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶することができることとなり、より一層精度の高い形状測定を行うことができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、被測定物体を所定の基準位置に保持する保持手段と、保持手段に保持された被測定物体に光を照射するための光源部と、光源部から出力される光の光軸方向に被測定物体を移動させる移動機構と、保持手段に保持された被測定物体に光源部から出力された光が照射されてできる写像を撮像する撮像手段と、撮像手段によって撮像された写像の光強度分布より被測定物体の一断面形状を算出する断面形状算出手段と、被測定物体の回転対称軸回りに被測定物体を所定の角度で回転させる回転手段と、回転手段により被測定物体を所定の角度で回転させる度に断面形状算出手段により被測定物体の一断面形状を算出し、算出された被測定物体の複数の断面形状により当該被測定物体の形状を測定する形状測定手段と、を備え、断面形状算出手段が備える位置測定手段によって、被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができる。
従って、回転手段によって被測定物体の回転対称軸回りに被測定物体を回転させた際に、回転運動の誤差や偏心の誤差によって、被測定物体が基準位置からずれた場合であっても、位置測定手段によって、被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定し、測定されたずれ量に基づいて、被測定物体が基準位置に一致するように、移動機構により、被測定物体を移動させることができるので、より精度の高い形状測定を行うことができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１〜３の何れか一項に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、第２撮像手段によって、光源部から出力される光の光軸方向に対して交差する方向から被測定物体を撮像することができ、第２断面形状算出手段によって、第２撮像手段によって撮像された写像の光強度分布より被測定物体の一断面形状を算出することができ、中心位置算出手段によって、第２断面形状算出手段により算出された断面形状に基づき、被測定物体の中心位置を算出することができ、位置測定手段によって、中心位置算出手段により算出された被測定物体の中心位置に基づき、被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができる。
従って、回転手段によって被測定物体の回転対称軸回りに被測定物体を回転させた際に、回転運動の誤差や偏心の誤差によって、被測定物体が基準位置からずれた場合であっても、光源部から出力される光の光軸方向に対して交差する方向から被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができることとなり、当該ずれ量に基づき、被測定物体を回転させた際の回転運動の誤差や偏心の誤差を好適に補正することができる。
【００１４】
請求項５に記載の発明によれば、請求項１〜４の何れか一項に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、球体についても、より精度の高い形状測定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明に係る形状測定装置について、図面を用いて具体的な態様を説明する。なお、本実施形態においては、被測定物体として、球体を例に挙げて説明する。
【００１６】
＜第１実施形態＞
第１実施形態における形状測定装置１００は、図１に示すように、光源部１０と、球体（被測定物体）２００を移動させる移動機構２０と、球体２００を回転支持する回転テーブル３０と、球体２００を第１撮像部５０に結像させるための第１対物レンズ４０と、球体２００を撮像する第１撮像部５０と、球体２００を第２撮像部７０に結像させるための第２対物レンズ６０と、球体２００を撮像する第２撮像部７０と、画像処理部８０と、を備え、光源部１０から照射される光の光軸に沿って順に、球体２００と、第１対物レンズ４０と、第１撮像部５０と、が配置されるともに、この光軸方向に対して交差する方向、且つ、光軸上に配置された球体２００の上方に第２対物レンズ６０と、第２撮像部７０と、が配置されている。
【００１７】
光源部１０は、例えば、図１に示すように、白色光を出力する点光源を用い、球体２００に白色光を照射する。なお、光源部１０は、かかる点光源に限らず、面光源であっても良く、また、放電灯、発光ダイオード、レーザーなどによって、光を発生させても良い。
【００１８】
移動機構２０は、例えば、図１に示すように、ベース２１と、ベース２１の上面に設置されたスライダ２２と、を備えており、ＣＰＵ８１による駆動制御によって、駆動源（図示省略）により駆動力を発生させ、スライダ２２を光源部１０からの光の光軸（ｚ軸）方向に沿って移動させることができるとともに、所定の基準位置に位置調整を行うことができる。
ここで、「所定の基準位置」とは、移動機構２０における機械原点、原点オフセット機能を有する場合の電気原点等をいう。
また、移動機構２０は、球体２００を保持可能な回転テーブル３０を載置することができるように構成されており、移動機構２０は、球体２００を所定の基準位置に保持する保持手段として機能する。
【００１９】
回転テーブル３０は、例えば、図１に示すように、スライダ２２の上面に配置されており、スライダ２２の上面に垂直な軸（ｙ軸）を中心として回転可能に配置されている。
具体的には、回転テーブル３０は、コレットチャック等の把持部（図示省略）を備えており、かかる把持部により球体２００と一体成形された軸部２０１が把持された際、軸部２０１が光源部１０の光軸に対して直角となるように配置され、軸部２０１を回転軸として球体２００を回転させることができ、これにより、回転テーブル３０は、回転手段として機能する。
また、回転テーブル３０は、エンコーダ（図示省略）を備えており、回転角度の制御を行うことができる。
【００２０】
第１対物レンズ４０は、例えば、図１に示すように、光源部１０から照射される光の光軸上において、球体２００と第１撮像部５０の撮像面との間に配置されており、球体２００の写像を第１撮像部５０の撮像面に結像させるために用いられる。
【００２１】
第１撮像部５０は、例えば、ＣＣＤカメラが用いられ、第１対物レンズ４０を通して写像を撮像する。
具体的には、図１に示すように、光源部１０から出力された光が、球体２００を照射してできる写像を、第１対物レンズ４０を通して撮像する。
第１撮像部５０は、かかるＣＣＤカメラを用いて写像を撮像することによって、撮像手段として機能する。
【００２２】
第２対物レンズ６０は、例えば、図１に示すように、光源部１０から照射される光の光軸に対して交差する方向、且つ、光軸上に配置された球体２００の上方に配置されている。
具体的には、第２対物レンズ６０は、光源部１０から照射される光の光軸に対して交差する方向において、球体２００と第２撮像部７０の撮像面との間に配置されており、球体２００の写像を第２撮像部７０の撮像面に結像させるために用いられる。
【００２３】
第２撮像部７０は、例えば、ＣＣＤカメラが用いられ、第２対物レンズ６０を通して写像を撮像する。
具体的には、図１に示すように、第２撮像部７０は、第２対物レンズ６０と同様に、光源部１０から照射される光の光軸に対して交差する方向、且つ、光軸上に配置された球体２００の上方に配置され、光源部１０から出力された光が、球体２００を照射してできる写像を、第２対物レンズ６０を通して撮像する。
第２撮像部７０は、かかるＣＣＤカメラを用いて写像を撮像することによって、第２撮像手段として機能する。
【００２４】
画像処理部８０は、例えば、図１に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）８１、ＲＡＭ（Random Access Memory）８２、記憶部８３、画像処理結果を示す表示部８４等を備えて構成され、記憶部８３に記憶された所定のプログラムが実行されることにより、所定の動作を行うため予め設定された所定の動作条件に基づく各部の動作制御を行う機能を有する。
【００２５】
ＣＰＵ８１は、例えば、記憶部８３に格納された処理プログラム等を読み出して、ＲＡＭ８２に展開して実行することにより、球体２００の画像処理等を行う。
【００２６】
ＲＡＭ８２は、ＣＰＵ８１により実行された処理プログラム等を、ＲＡＭ８２内のプログラム格納領域に展開するとともに、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等をデータ格納領域に格納する。
【００２７】
記憶部８３は、例えば、プログラムやデータ等が予め記憶されている記憶媒体（図示省略）を有しており、この記憶媒体は、例えば、半導体メモリ等で構成されている。また、記憶部８３は、ＣＰＵ８１が画像処理を行うための各種データ、各種処理プログラム、これらプログラムの実行により処理されたデータ等を記憶する。より具体的には、記憶部８３は、例えば、図１に示すように、補正量データテーブル８３ａ、断面形状算出プログラム８３ｂ１、第２断面形状算出プログラム８３ｂ２、中心位置算出プログラム８３ｂ３、位置測定プログラム８３ｂ４、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５、断面形状補正プログラム８３ｂ６、形状測定プログラム８３ｂ７等を格納している。
【００２８】
補正量データテーブル８３ａは、球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶したテーブルである。
具体的には、補正量データテーブル８３ａは、例えば、図２に示すように、形状測定を行う球体２００を所定の基準位置に設定した際、ＣＰＵ８１が断面形状算出プログラム８３ｂ１を実行することにより球体２００の一断面形状を算出し、その後、球体２００を当該基準位置から移動機構２０によって光軸方向に、例えば±５μｍ移動させる毎に、ＣＰＵ８１が断面形状算出プログラム８３ｂ１を実行することにより球体２００の一断面形状を算出し、このときの球体２００の当該基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した当該球体２００の一断面形状の拡大倍率情報を記憶したテーブルである。
より具体的には、例えば、図３に示すように、球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した当該球体２００の一断面形状の拡大倍率情報としての直径変化量を記憶する。
これにより、補正量データテーブル８３ａは、補正量記憶手段として機能する。
【００２９】
断面形状算出プログラム８３ｂ１は、ＣＰＵ８１に、球体２００の一断面形状を算出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、断面形状算出プログラム８３ｂ１を実行することにより、第１撮像部５０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する。
ＣＰＵ８１は、かかる断面形状算出プログラム８３ｂ１を実行することで、断面形状算出手段として機能する。
【００３０】
第２断面形状算出プログラム８３ｂ２は、ＣＰＵ８１に、球体２００の一断面形状を算出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、第２断面形状算出プログラム８３ｂ２を実行することにより、第２撮像部７０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する。
ＣＰＵ８１は、かかる第２断面形状算出プログラム８３ｂ２を実行することで、第２断面形状算出手段として機能する。
【００３１】
中心位置算出プログラム８３ｂ３は、ＣＰＵ８１に、球体２００の中心位置を算出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、中心位置算出プログラム８３ｂ３を実行することにより、第２断面形状算出プログラム８３ｂ２の実行により算出された一断面形状に基づき、球体２００の中心位置を算出する。
ＣＰＵ８１は、かかる中心位置算出プログラム８３ｂ３を実行することで、中心位置算出手段として機能する。
【００３２】
位置測定プログラム８３ｂ４は、ＣＰＵ８１に、球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、位置測定プログラム８３ｂ４を実行することにより、球体２００の中心位置に基づき、球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する。
より具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、第２断面形状算出プログラム８３ｂ２を実行することにより、第２撮像部７０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する。そして、ＣＰＵ８１は、中心位置算出プログラム８３ｂ３を実行することにより、第２断面形状算出プログラム８３ｂ２の実行により算出された一断面形状に基づき、球体２００の中心位置を算出することによって、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する。
ＣＰＵ８１は、かかる位置測定プログラム８３ｂ４を実行することで、位置測定手段として機能する。
【００３３】
拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５は、ＣＰＵ８１に、補正量データテーブル８３ａから所定の拡大倍率情報を抽出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５を実行することによって、位置測定プログラム８３ｂ４の実行により測定された球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を補正量データテーブル８３ａから抽出する。
より具体的には、図３を例として説明すると、例えば、ＣＰＵ８１が位置測定プログラム８３ｂ４を実行することにより測定された球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量がマイナス２５μｍであった場合には、ＣＰＵ８１は、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５を実行することによって、ずれ量マイナス２５μｍに対応した拡大倍率情報としての直径変化パラメーター値（0.5）を抽出することとなる。
ＣＰＵ８１は、かかる拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５を実行することで、拡大倍率情報抽出手段として機能する。
【００３４】
断面形状補正プログラム８３ｂ６は、ＣＰＵ８１に、球体２００の一断面形状を補正する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、断面形状補正プログラム８３ｂ６を実行することにより、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５を実行することにより抽出された拡大倍率情報に基づき、断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行により算出された一断面形状を補正する。
より具体的には、例えば、上述のように、ＣＰＵ８１が拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５を実行することによって、拡大倍率情報として直径変化パラメーター値を抽出した場合、ＣＰＵ８１は、断面形状補正プログラム８３ｂ６を実行することにより、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５の実行により抽出された直径変化パラメーター値を所定の補正式にあてはめ、断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行により算出された球体２００の一断面形状における直径の値を補正する。
ＣＰＵ８１は、かかる断面形状補正プログラム８３ｂ６を実行することで、断面形状補正手段として機能する。
【００３５】
形状測定プログラム８３ｂ７は、ＣＰＵ８１に、球体２００の形状を測定する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、形状測定プログラム８３ｂ７を実行することにより、回転テーブル３０により球体２００を所定の角度で回転させる度に断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行により球体２００の一断面形状を算出し、図４に示すように、算出された球体２００の複数の断面形状それぞれについて中心位置（円の中心）を求める。そして、各中心位置が合致するように断面形状を合成して得られた立体形状に基づき、球体２００の形状を測定する。
ＣＰＵ８１は、かかる形状測定プログラム８３ｂ７を実行することで、形状測定手段として機能する。
【００３６】
〔補正データテーブル取得方法〕
次に、第１実施形態における形状測定装置１００の補正量データテーブル８３ａの取得方法について、図５を参照して説明する。
【００３７】
まず、ステップＳ１において、例えば、図２に示すように、回転テーブル３０に取り付けた球体２００を所定の基準位置に設定する。
【００３８】
次いで、ステップＳ２において、ＣＰＵ８１は、断面形状算出プログラム８３ｂ１を実行することによって、球体２００の基準となる一断面形状（例えば、直径）を算出する。
【００３９】
次いで、ステップＳ３において、ＣＰＵ８１は、移動機構２０のスライダ２２を駆動させ、球体２００を所定の基準位置から所定の移動量（例えば、±５μｍ）を移動させ、ステップＳ４において、ＣＰＵ８１は、再度、断面形状算出プログラム８３ｂ１を実行することによって、球体２００の一断面形状を算出する。
【００４０】
次いで、ステップＳ５において、ＣＰＵ８１は、所定の基準位置から積算して所定距離（例えば、±３５μｍ）を移動したと判断した場合（ステップＳ５；Ｙｅｓ）、ステップＳ６へ移行する。一方、所定の基準位置から積算して所定距離を移動していないと判断した場合（ステップＳ５；Ｎｏ）、ステップＳ３へ戻る。
【００４１】
次いで、ステップＳ６において、ＣＰＵ８１は、所定の基準位置から移動された夫々の位置において断面形状算出プログラム８３ｂ１を実行することにより算出された球体２００の一断面形状に基づき、球体２００の当該基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した球体２００の一断面形状の拡大倍率情報を記憶して本処理を終了する。
【００４２】
〔形状測定処理〕
次に、第１実施形態における形状測定装置１００による球体２００の形状測定方法について、図６を参照して説明する。
【００４３】
まず、ステップＳ１１において、例えば、図１に示すように、回転テーブル３０に取り付けた球体２００を所定の基準位置に設定する。
【００４４】
次いで、ステップＳ１２において、ＣＰＵ８１は、断面形状算出プログラム８３ｂ１を実行することによって、球体２００の一断面形状を算出する。
【００４５】
次いで、ステップＳ１３において、ＣＰＵ８１は、回転テーブル３０を所定の角度で回転させ、ステップＳ１４において、ＣＰＵ８１は、再度、断面形状算出プログラム８３ｂ１を実行することによって、球体２００の一断面形状を算出する。
【００４６】
次いで、ステップＳ１５において、ＣＰＵ８１は、位置測定プログラム８３ｂ４を実行することにより、球体２００の中心位置に基づき、球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する。
より具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、第２断面形状算出プログラム８３ｂ２を実行することにより、第２撮像部７０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する。そして、ＣＰＵ８１は、中心位置算出プログラム８３ｂ３を実行することにより、第２断面形状算出プログラム８３ｂ２の実行により算出された一断面形状に基づき、球体２００の中心位置を算出することによって、球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する。
【００４７】
次いで、ステップＳ１６において、ＣＰＵ８１は、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５を実行することによって、位置測定プログラム８３ｂ４の実行により測定された球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を補正量データテーブル８３ａから抽出する。
【００４８】
次いで、ステップＳ１７において、ＣＰＵ８１は、断面形状補正プログラム８３ｂ６を実行することによって、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５を実行することにより抽出された拡大倍率情報に基づき、断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行により算出された一断面形状を補正する。
【００４９】
次いで、ステップＳ１８において、ＣＰＵ８１は、球体２００の断面形状を取得し終えたか否かを判断し、ＣＰＵ８１が、球体２００の断面形状を取得し終えたと判断した場合（ステップＳ１８；Ｙｅｓ）、ステップＳ１９へ移行する。一方、球体２００の断面形状を取得し終えていないと判断した場合（ステップＳ１８；Ｎｏ）、ステップＳ１３へ戻る。
【００５０】
次いで、ステップＳ１９において、ＣＰＵ８１は、形状測定プログラム８３ｂ７を実行することにより、回転テーブル３０により球体２００を所定の角度で回転させる度に断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行により球体２００の一断面形状を算出し、図４に示すように、算出された球体２００の複数の断面形状により球体２００の形状を測定して本処理を終了する。
【００５１】
このように、第１実施形態の形状測定装置１００によれば、球体２００を所定の基準位置に保持する移動機構２０と、移動機構２０に保持された球体２００に光を照射するための光源部１０と、移動機構２０に保持された球体２００に光源部１０から出力された光が照射されてできる写像を撮像する第１撮像部５０と、第１撮像部５０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する断面形状算出プログラム８３ｂ１と、球体２００の回転対称軸回りに球体２００を所定の角度で回転させる回転テーブル３０と、回転テーブル３０により球体２００を所定の角度で回転させる度に断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行により球体２００の一断面形状を算出し、算出された球体２００の複数の断面形状により当該球体２００の形状を測定する形状測定プログラム８３ｂ７と、を備え、補正量データテーブル８３ａによって、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶することができ、ＣＰＵ８１は、位置測定プログラム８３ｂ４を実行することによって、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができ、ＣＰＵ８１は、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５を実行することによって、位置測定プログラム８３ｂ４の実行によって測定された球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量に基づき、補正量データテーブル８３ａから当該ずれ量に対応した拡大倍率情報を抽出することができ、ＣＰＵ８１は、断面形状補正プログラム８３ｂ６を実行することによって、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５の実行により抽出された拡大倍率情報に基づき、断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行により算出された一断面形状を補正することができる。
従って、回転テーブル３０によって球体２００の回転対称軸回りに球体２００を回転させた際に、回転運動の誤差や偏心の誤差によって、球体２００が基準位置からずれ、断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行によって算出される球体２００の断面形状に誤差が生じた場合であっても、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量に基づき、断面形状を補正することができることとなり、より精度の高い形状測定を行うことができる。
また、光源部１０から出力される光の光軸方向に球体２００を移動させる移動機構２０を備え、補正量データテーブル８３ａによって、移動機構２０により、球体２００を基準位置から光軸方向に所定の移動量を移動させる度に断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行により球体２００の一断面形状を算出し、当該球体２００の移動量及び当該断面形状算出プログラム８３ｂ１の実行により算出された球体２００の一断面形状の寸法に基づき、断面形状を測定する際に焦点のずれを補正するための球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶することができる。
従って、実際に形状測定の対象となる球体２００に基づいて、焦点のずれを補正するための被測定物体の基準位置からの光軸方向のずれ量に対応した拡大倍率情報を記憶することができることとなり、より一層精度の高い形状測定を行うことができる。
さらに、第２撮像部７０によって、光源部１０から出力される光の光軸方向に対して交差する方向から球体２００を撮像することができ、ＣＰＵ８１は、第２断面形状算出プログラム８３ｂ２を実行することによって、第２撮像部７０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出することができ、ＣＰＵ８１は、中心位置算出プログラム８３ｂ３を実行することによって、第２断面形状算出プログラム８３ｂ２の実行により算出された断面形状に基づき、球体２００の中心位置を算出することができ、位置測定プログラム８３ｂ４の実行によって、中心位置算出プログラム８３ｂ３の実行により算出された球体２００の中心位置に基づき、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができる。
従って、回転テーブル３０によって球体２００の回転対称軸回りに球体２００を回転させた際に、回転運動の誤差や偏心の誤差によって、球体２００が基準位置からずれた場合であっても、光源部１０から出力される光の光軸方向に対して交差する方向から球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができることとなり、当該ずれ量に基づき、球体２００を回転させた際の回転運動の誤差や偏心の誤差を好適に補正することができる。
【００５２】
＜第２実施形態＞
次に、本発明に係る第２実施形態の形状測定装置３００について、図７を参照して説明する。第２実施形態の基本的構成は、第１実施形態と同様であり、第１実施形態の構成と異なる部分について説明する。
【００５３】
画像処理部３８０は、例えば、図５に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）８１、ＲＡＭ（Random Access Memory）８２、記憶部３８３、画像処理結果を示す表示部８４等を備えて構成され、記憶部３８３に記憶された所定のプログラムが実行されることにより、所定の動作を行うため予め設定された所定の動作条件に基づく各部の動作制御を行う機能を有する。
【００５４】
記憶部３８３は、例えば、プログラムやデータ等が予め記憶されている記憶媒体（図示省略）を有しており、この記憶媒体は、例えば、半導体メモリ等で構成されている。また、記憶部３８３は、ＣＰＵ８１が画像処理を行うための各種データ、各種処理プログラム、これらプログラムの実行により処理されたデータ等を記憶する。より具体的には、記憶部３８３は、例えば、図７に示すように、断面形状算出プログラム３８３ｂ１、第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２、中心位置算出プログラム３８３ｂ３、位置測定プログラム３８３ｂ４、駆動制御プログラム３８３ｂ５、形状測定プログラム３８３ｂ６等を格納している。
【００５５】
断面形状算出プログラム３８３ｂ１は、ＣＰＵ８１に、球体２００の一断面形状を算出する機能を実現させるプログラムである。
具合的には、例えば、ＣＰＵ８１は、断面形状算出プログラム３８３ｂ１を実行することにより、第１撮像部５０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する。
ＣＰＵ８１は、かかる断面形状算出プログラム３８３ｂ１を実行することで、断面形状算出手段として機能する。
【００５６】
第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２は、ＣＰＵ８１に、球体２００の一断面形状を算出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２を実行することにより、第２撮像部７０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する。
ＣＰＵ８１は、かかる第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２を実行することで、第２断面形状算出手段として機能する。
【００５７】
中心位置算出プログラム３８３ｂ３は、ＣＰＵ８１に、球体２００の中心位置を算出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、中心位置算出プログラム３８３ｂ３を実行することにより、第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２の実行により算出された一断面形状に基づき、球体２００の中心位置を算出する。
ＣＰＵ８１は、かかる中心位置算出プログラム３８３ｂ３を実行することで、中心位置算出手段として機能する。
【００５８】
位置測定プログラム３８３ｂ４は、ＣＰＵ８１に、球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、位置測定プログラム３８３ｂ４を実行することにより、球体２００の中心位置に基づき、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する。
より具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、後述する第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２を実行することにより、第２撮像部７０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する。そして、ＣＰＵ８１は、中心位置算出プログラム３８３ｂ３を実行することにより、第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２の実行により算出された一断面形状に基づき、球体２００の中心位置を算出することによって、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する。
ＣＰＵ８１は、かかる位置測定プログラム３８３ｂ４を実行することで、位置測定手段として機能する。
【００５９】
駆動制御プログラム３８３ｂ５は、ＣＰＵ８１に、移動機構２０のスライダ２２を所定位置に駆動制御する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、駆動制御プログラム３８３ｂ５を実行することにより、位置測定プログラム３８３ｂ４の実行により測定された球体２００の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量に基づいて、球体２００が所定の基準位置に一致するように移動機構２０のスライダ２２を駆動させる。
【００６０】
形状測定プログラム３８３ｂ６は、ＣＰＵ８１に、球体２００の形状を測定する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、形状測定プログラム３８３ｂ６を実行することにより、回転テーブル３０により球体２００を所定の角度で回転させる度に断面形状算出プログラム３８３ｂ１の実行により球体２００の一断面形状を算出し、図４に示すように、算出された球体２００の複数の断面形状それぞれについて中心位置（円の中心）を求める。そして、各中心位置が合致するように断面形状を合成して得られた立体形状に基づき、球体２００の形状を測定する。
ＣＰＵ８１は、かかる形状測定プログラム３８３ｂ６を実行することで、形状測定手段として機能する。
【００６１】
〔形状測定処理〕
次に、第２実施形態における形状測定装置３００による球体２００の形状測定方法について、図８を参照して説明する。
【００６２】
まず、ステップＳ２１において、例えば、図５に示すように、回転テーブル３０に取り付けた球体２００を所定の基準位置に設定する。
【００６３】
次いで、ステップＳ２２において、ＣＰＵ８１は、断面形状算出プログラム３８３ｂ１を実行することによって、球体２００の一断面形状を算出する。
【００６４】
次いで、ステップＳ２３において、ＣＰＵ８１は、回転テーブル３０を所定の角度で回転させる。
【００６５】
次いで、ステップＳ２４において、ＣＰＵ８１は、位置測定プログラム３８３ｂ４を実行することにより、球体２００の中心位置に基づき、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する。
より具体的には、例えば、ＣＰＵ８１は、第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２を実行することにより、第２撮像部７０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する。そして、ＣＰＵ８１は、中心位置算出プログラム３８３ｂ３を実行することにより、第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２の実行により算出された一断面形状に基づき、球体２００の中心位置を算出することによって、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定する。
【００６６】
次いで、ステップＳ２５において、ＣＰＵ８１は、駆動制御プログラム３８３ｂ５を実行することによって、位置測定プログラム３８３ｂ４の実行により測定された球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量に基づいて、球体２００が基準位置に一致するように移動機構２０のスライダ２２を駆動させる。
【００６７】
次いで、ステップＳ２６において、ＣＰＵ８１は、再度、断面形状算出プログラム３８３ｂ１を実行することによって、球体２００の一断面形状を算出する。
【００６８】
次いで、ステップＳ２７において、ＣＰＵ８１は、球体２００の断面形状を取得し終えたか否かを判断し、ＣＰＵ８１が、球体２００の断面形状を取得し終えたと判断した場合（ステップＳ２７；Ｙｅｓ）、ステップＳ２８へ移行する。一方、球体２００の断面形状を取得し終えていないと判断した場合（ステップＳ２７；Ｎｏ）、ステップＳ２３へ戻る。
【００６９】
次いで、ステップＳ２８において、ＣＰＵ８１は、形状測定プログラム３８３ｂ６を実行することにより、回転テーブル３０により球体２００を所定の角度で回転させる度に断面形状算出プログラム３８３ｂ１の実行により球体２００の一断面形状を算出し、図４に示すように、算出された球体２００の複数の断面形状により球体２００の形状を測定して本処理を終了する。
【００７０】
このように、第２実施形態の形状測定装置３００によれば、球体２００を所定の基準位置に保持する移動機構２０と、移動機構２０に保持された球体２００に光を照射するための光源部１０と、光源部１０から出力される光の光軸方向に球体２００を移動させる移動機構２０と、移動機構２０に保持された球体２００に光源部１０から出力された光が照射されてできる写像を撮像する第１撮像部５０と、第１撮像部５０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出する断面形状算出プログラム３８３ｂ１と、球体２００の回転対称軸回りに球体２００を所定の角度で回転させる回転テーブル３０と、回転テーブル３０により球体２００を所定の角度で回転させる度に断面形状算出プログラム３８３ｂ１の実行により球体２００の一断面形状を算出し、算出された球体２００の複数の断面形状により当該球体２００の形状を測定する形状測定プログラム３８３ｂ６と、を備え、ＣＰＵ８１は、位置測定プログラム３８３ｂ４を実行することによって、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができ、ＣＰＵ８１は、駆動制御プログラム３８３ｂ５を実行することによって、位置測定プログラム３８３ｂ４の実行によって測定されたずれ量に基づいて、球体２００が基準位置に一致するように移動機構２０を駆動させることができる。
従って、回転テーブル３０によって球体２００の回転対称軸回りに球体２００を回転させた際に、回転運動の誤差や偏心の誤差によって、球体２００が基準位置からずれた場合であっても、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定し、測定されたずれ量に基づいて、球体２００が基準位置に一致するように移動機構２０を駆動させることができるので、より精度の高い形状測定を行うことができる。
また、第２撮像部７０によって、光源部１０から出力される光の光軸方向に対して交差する方向から球体２００を撮像することができ、ＣＰＵ８１は、第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２を実行することによって、第２撮像部７０によって撮像された写像の光強度分布より球体２００の一断面形状を算出することができ、ＣＰＵ８１は、中心位置算出プログラム３８３ｂ３を実行することによって、第２断面形状算出プログラム３８３ｂ２の実行により算出された断面形状に基づき、球体２００の中心位置を算出することができ、位置測定プログラム３８３ｂ４の実行によって、中心位置算出プログラム３８３ｂ３の実行により算出された球体２００の中心位置に基づき、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができる。
従って、回転テーブル３０によって球体２００の回転対称軸回りに球体２００を回転させた際に、回転運動の誤差や偏心の誤差によって、球体２００が基準位置からずれた場合であっても、光源部１０から出力される光の光軸方向に対して交差する方向から球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定することができることとなり、当該ずれ量に基づき、球体２００を回転させた際の回転運動の誤差や偏心の誤差を好適に補正することができる。
【００７１】
なお、本発明は、以上の実施の形態に限定されるものではなく、被測定物体は、回転対称体であれば良く、円筒、円錐などであっても良い。
また、第２撮像手段の配置は、光源部から出力される光の光軸方向に対して交差する方向に限らず、被測定物体の光軸方向の移動量を測定できる位置であれば良い。
また、位置測定手段によって測定された被測定物体の所定の基準位置からの光軸方向のずれ量が予め設定された閾値を超えた場合、当該ずれ量が予め設定された閾値を超えた旨を報知する報知手段を備える設計であっても良い。
【００７２】
また、第２実施形態において、球体２００が基準位置に一致するように、球体２００を移動させる場合、駆動制御プログラム３８３ｂ５を実行することによって、移動機構２０を駆動させる設計としたが、これに限らず、位置測定プログラム３８３ｂ４の実行によって測定されたずれ量に基づいて、球体２００が基準位置に一致するように、手動で移動機構２０を駆動させても良い。
また、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明に係る第１実施形態の形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明に係る第１実施形態の形状測定装置において補正量データテーブルを取得する方法を説明する概略図である。
【図３】本発明に係る第１実施形態の形状測定装置における補正量データテーブルの一例を示す図である。
【図４】本発明に係る形状測定装置において形状測定方法を示す概念図である。
【図５】本発明に係る第１実施形態の形状測定装置における補正量データテーブル取得方法を示すフローチャート図である。
【図６】本発明に係る第１実施形態の形状測定装置における形状測定方法を示すフローチャート図である。
【図７】本発明に係る第２実施形態の形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図８】本発明に係る第２実施形態の形状測定装置における形状測定方法を示すフローチャート図である。
【図９】従来技術における形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図１０】従来技術における形状測定装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【００７４】
１０        光源部
２０        移動機構（保持手段）
３０        回転テーブル（回転手段）
４０        第１対物レンズ
５０        第１撮像部（撮像手段）
６０        第２対物レンズ
７０        第２撮像部（第２撮像手段）
８０        画像処理部
８１        ＣＰＵ（断面形状算出手段、第２断面形状算出手段、中心位置算出手段、位置測定手段、拡大倍率情報抽出手段、断面形状補正手段、形状測定手段）
８３        記憶部
８３ａ      補正量データテーブル（補正量記憶手段）
８３ｂ１    断面形状算出プログラム（断面形状算出手段）
８３ｂ２    第２断面形状算出プログラム（第２断面形状算出手段）
８３ｂ３    中心位置算出プログラム（中心位置算出手段）
８３ｂ４    位置測定プログラム（位置測定手段）
８３ｂ５    拡大倍率情報抽出プログラム（拡大倍率情報抽出手段）
８３ｂ６    断面形状補正プログラム（断面形状補正手段）
８３ｂ７    形状測定プログラム（形状測定手段）
１００      形状測定装置（第１実施形態）
２００      球体（被測定物体）
３００      形状測定装置（第２実施形態）
３８０      画像処理部
３８３      記憶部
３８３ｂ１  断面形状算出プログラム（断面形状算出手段）
３８３ｂ２  第２断面形状算出プログラム（第２断面形状算出手段）
３８３ｂ３  中心位置算出プログラム（中心位置算出手段）
３８３ｂ４  位置測定プログラム（位置測定手段）
３８３ｂ５  駆動制御プログラム
３８３ｂ６  形状測定プログラム（形状測定手段）
【図１】
2009192296.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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