(57)【要約】【課題】検査装置において、小型なばねを用いて微小構造体へばね力を十分に且つ確実に与えること及び微小構造体をクランプ機構へ着脱する際のばねの変形量を確保すること。【解決手段】検査装置は、微小構造体７をクランプするクランプ機構８と、クランプ機構を支持する検査装置本体とを備える。クランプ機構８は、微小構造体７の一側に当接してばね力を与えるばね１と、微小構造体７の他側に当接して位置決めするストッパ６とを備える。ばね１は、微小構造体７に当接される押圧部１４と、検査装置本体側に支持される支持部１７と、ばね力を発生するばね力発生部１５とを備える。ばね力発生部１５は、微小構造体７がクランプされた際に圧縮される圧縮部１８及び引っ張られる引っ張り部１９と、圧縮部１８と引っ張り部１９とを接続する連結部１６とからなる。【選択図】図２
2009230814.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小構造体をクランプするクランプ機構と、前記クランプ機構を支持する検査装置本体とを備え、
前記クランプ機構は、前記微小構造体の一側に当接して当該微小構造体にばね力を与えるばねと、前記微小構造体の他側に当接して当該微小構造体を位置決めするストッパとを備え、
前記ばねは、前記微小構造体に当接される押圧部と、前記検査装置本体側に支持される支持部と、前記押圧部と前記支持部との間に介在され、ばね力を発生するばね力発生部とを備えた検査装置において、
前記ばね力発生部は、前記微小構造体がクランプされた際に圧縮される圧縮部及び引っ張られる引っ張り部と、前記圧縮部と前記引っ張り部とを接続する連結部とから構成されることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１において、前記押圧部、前記支持部及び前記ばね力発生部は一枚の薄板で一体に形成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項２において、前記圧縮部及び前記引っ張り部は薄板の平面内において複数回湾曲させた形状であることを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項３において、前記押圧部、前記支持部及び前記ばね力発生部は、実質的に平坦に形成されると共に前記ストッパの前記微小構造体への当接位置と同じ高さに設置されていることを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項３において、前記圧縮部は前記押圧部の反当接面側から延びて前記連結部の中央に接続され、前記引っ張り部は前記連結部の両端から前記圧縮部に沿って延びる一対の引っ張り部で形成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項６】
請求項５において、前記圧縮部は一対の圧縮部で形成され、前記一対の圧縮部及び前記一対の引っ張り部はその中心線に対して対称に設けられていることを特徴とする検査装置。
【請求項７】
請求項４において、前記ばねは一枚の実質的に平坦なステンレス鋼からリソグラフィとエッチングとを組み合わせ製作されたものであることを特徴とする検査装置。
【請求項８】
請求項２において、前記微小構造体は、矩形のブロックで形成され、磁気ディスクのデータの記録／再生用の磁気ヘッド素子を有し且つストッパ側の側面に前記磁気ヘッド素子の複数の電極端子を有するスライダで構成され、前記ストッパは前記電極端子に当接する一対のコンタクトプローブで兼用されていることを特徴とする検査装置。
【請求項９】
請求項８において、前記一対のコンタクトプローブとは別のコンタクトプローブを備え、前記別のコンタクトプローブはスライダがクランプされた際に弾性変形されて前記電極端子に当接されることを特徴とする検査装置。
【請求項１０】
請求項２において、前記ストッパは前記微小構造体のストッパ側の側面両側の角部に当接し且つ当該微小構造体が押圧される方向に間隔が狭くなる一対の傾斜面で形成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項１１】
請求項１０において、前記ストッパは前記支持部で形成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項１２】
微小構造体の一側に当接して当該微小構造体にばね力を与えるばねと、前記微小構造体の他側に当接して当該微小構造体を位置決めするストッパとを備え、
前記ばねは、前記微小構造体に当接される押圧部と、支持部と、前記押圧部と前記支持部との間に介在され、ばね力を発生するばね力発生部とを備えたクランプ機構において、
前記ばね力発生部は、前記微小構造体がクランプされた際に圧縮される圧縮部及び引っ張られる引っ張り部と、前記圧縮部と前記引っ張り部とを接続する連結部とから構成されることを特徴とするクランプ機構。
【請求項１３】
微小構造体をクランプするクランプ機構と、前記クランプ機構を支持する検査装置本体とを備え、
前記クランプ機構は、前記微小構造体の一側に当接して当該微小構造体にばね力を与えるばねと、前記微小構造体の他側に当接して当該微小構造体を位置決めするストッパと、前記微小構造体の他側に当接する複数のコンタクトプローブとを備え、
前記微小構造体は、矩形のブロック形状から成り、磁気ディスクのデータの記録／再生用の磁気ヘッド素子を有し且つストッパ側の側面に前記磁気ヘッド素子の複数の電極端子を有するスライダで構成され、
前記複数のコンタクトプローブの各々は前記複数の電極端子の各々と当接して電気的に接続され、
前記ばねは、前記微小構造体に当接される押圧部と、前記検査装置本体側に支持される支持部と、前記押圧部と前記支持部との間に介在され、ばね力を発生するばね力発生部とを備えた検査装置において、
前記ストッパは前記微小構造体のストッパ側の側面両側の角部に当接し且つ当該微小構造体が押圧される方向に間隔が狭くなる一対の傾斜面で形成されていることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置及びクランプ機構に係り、特にスライダや発光ダイオードチップ（以下、ＬＥＤチップと略す）などの微小構造体の特性を検査する検査装置及びこれに用いるクランプ機構に好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクのデータの記録／再生に使用される磁気ヘッド素子を備えたスライダは、磁気ディスク装置へ組込まれる前に、スライダの特性が検査されている（例えば、特開２００２−２１４３７４号公報（特許文献１））。係る検査は、回転する磁気ディスク上でスライダを浮上させながら、磁気ディスクのデータの記録／再生処理を行うため、サスペンションとスライダとをアセンブルして構成されたヘッド・ジンバル・アセンブリ（以下、ＨＧＡと略す）を用いて行われている。このＨＧＡは、接着剤やはんだなどを用いて、スライダをサスペンション上に接着して組立てられているため、検査結果が不良と判定された場合には、ＨＧＡごと廃棄処分されている。
【０００３】
しかしながら、今後、磁気ディスク装置の高記録密度化に伴い、ＨＧＡには、複雑な回路パターンを搭載したサスペンションや、スライダの位置制御のためのアクチュエータなど、高機能な部品が適用されるようになると予想される。従って、ＨＧＡの状態で検査を行う従来の方法では、これらの部品及び組立て作業等のコストが無駄になるという問題がある。
【０００４】
そこで、近年、スライダをＨＧＡとして組立てる前の状態、つまり、スライダ単体で検査する方法が検討されている。これを実現するためには、スライダの着脱が容易に行え、且つ、スライダ検査時の衝撃等でスライダが脱落しないようなクランプ機構を備えたスライダ検査装置が必要となる。このような検査装置のスライダ支持装置として、薄板からリソグラフィとエッチングとを組み合わせた方法で製造されたばねを用い、このばねのばね力によりスライダをばねとストッパとの間にクランプすることが検討されている（例えば、特開２００７−３０５２０９号公報（特許文献２））。この特許文献２のスライダ支持装置（クランプ機構）は、ばね性を有する金属板からなるフレキシャを備えている。このフレキシャは、タングを含むジンバル部と、スライダの長さ方向の一方の端部を支持する第１の支持部（ストッパ）と、スライダの他方の端部を支持する第２の支持部（押圧部）と、一対の平面ばね（ばね力発生部）からなるばね部を有している。この平面ばねは、エッチングによって、フレキシャの面方向に山と谷を交互に形成したものであり、引張り荷重を与えた状態において支持部間にスライダを挿入できる長さに伸張し、引張り荷重を与えない状態において支持部間にスライダを挟み込むことのできる長さまで縮むようにしたものである。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２１４３７４号公報
【特許文献２】特開２００７−３０５２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
スライダ検査装置では、回転する磁気ディスク上でスライダを浮上させながら検査を行うため、スライダがスライダ支持装置（クランプ機構）から外れないようにばね力を十分に且つ確実に与えるとともに、スライダをスライダ支持装置（クランプ機構）へ着脱する際のばねの変形量を確保し、コンタクトプローブとスライダに形成された電極端子との位置を正確に合わせる必要がある。
【０００７】
しかし、特許文献２のスライダ支持装置では、一対の平面ばねのみによってばね力を設定しているので、スライダへばね力を十分に且つ確実に与えること、スライダをクランプ機構へ着脱する際のばねの変形量を確保することを両立させることが難しいという問題がある。即ち、薄板状のばねにおいて、必要な変形量を得るためには、板厚を薄くすることが考えられるが、治具等を用いてばねに荷重を与えて変形させる際や、荷重を解除してスライダにばね力を与える際に、ばねの変形方向が目標方向から外れて反りやすくなると共にスライダへのばね力十分に与えることができないという問題がある。一方、スライダへばね力を十分に且つ確実に与えるためにある程度の厚さを持つ薄板を用いてばねを形成することが考えられるが、必要な変形量を得るためにばね全体の寸法が大きくなってしまうという問題がある。
【０００８】
また、特許文献２のスライダ支持装置では、コンタクトプローブとスライダに形成された電極端子との位置を正確に合わせることについては配慮されていない。近年の磁気ディスク装置の高記録密度化に伴うスライダの小型化(１ｍｍ角程度)によって、スライダの電極端子間のピッチが狭くなり、コンタクトプローブとの正確な位置合わせが特に重要となっている。
【０００９】
本発明の目的は、小型なばねを用いて微小構造体へばね力を十分に且つ確実に与えること及び微小構造体をクランプ機構へ着脱する際のばねの変形量を確保することができる検査装置及びクランプ機構を提供することにある。
【００１０】
本発明の別の目的は、コンタクトプローブとスライダに形成された電極端子との位置を正確に合わせることができる検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述の目的を達成するための本発明の第１の態様は、微小構造体をクランプするクランプ機構と、前記クランプ機構を支持する検査装置本体とを備え、前記クランプ機構は、前記微小構造体の一側に当接して当該微小構造体にばね力を与えるばねと、前記微小構造体の他側に当接して当該微小構造体を位置決めするストッパとを備え、前記ばねは、前記微小構造体に当接される押圧部と、前記検査装置本体側に支持される支持部と、前記押圧部と前記支持部との間に介在され、ばね力を発生するばね力発生部とを備えた検査装置において、前記ばね力発生部は、前記微小構造体がクランプされた際に圧縮される圧縮部及び引っ張られる引っ張り部と、前記圧縮部と前記引っ張り部とを接続する連結部とから構成されることにある。
【００１２】
係る本発明の第１の態様におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。
（１）前記押圧部、前記支持部及び前記ばね力発生部は一枚の薄板で一体に形成されていること。
（２）前記（１）において、前記圧縮部及び前記引っ張り部は薄板の平面内において複数回湾曲させた形状であること。
（３）前記（２）において、前記押圧部、前記支持部及び前記ばね力発生部は、実質的に平坦に形成されると共に前記ストッパの前記微小構造体への当接位置と同じ高さに設置されていること。
（４）前記（２）において、前記圧縮部は前記押圧部の反当接面側から延びて前記連結部の中央に接続され、前記引っ張り部は前記連結部の両端から前記圧縮部に沿って延びる一対の引っ張り部で形成されていること。
（５）前記（４）において、前記圧縮部は一対の圧縮部で形成され、前記一対の圧縮部及び前記一対の引っ張り部はその中心線に対して対称に設けられていること。
（６）前記（３）において、前記ばねは一枚の実質的に平坦なステンレス鋼からリソグラフィとエッチングとを組み合わせ製作されたものであること。
（７）前記（１）において、前記微小構造体は、矩形のブロックで形成され、磁気ディスクのデータの記録／再生用の磁気ヘッド素子を有し且つストッパ側の側面に前記磁気ヘッド素子の複数の電極端子を有するスライダで構成され、前記ストッパは前記電極端子に当接する一対のコンタクトプローブで兼用されていること。
（８）前記（７）において、前記一対のコンタクトプローブとは別のコンタクトプローブを備え、前記別のコンタクトプローブはスライダがクランプされた際に弾性変形されて前記電極端子に当接されること。
（９）前記（１）において、前記ストッパは前記微小構造体のストッパ側の側面両側の角部に当接し且つ当該微小構造体が押圧される方向に間隔が狭くなる一対の傾斜面で形成されていること。
（１０）前記（９）において、前記ストッパは前記支持部で形成されていること。
【００１３】
また、本発明の第２の態様は、微小構造体の一側に当接して当該微小構造体にばね力を与えるばねと、前記微小構造体の他側に当接して当該微小構造体を位置決めするストッパとを備え、前記ばねは、前記微小構造体に当接される押圧部と、支持部と、前記押圧部と前記支持部との間に介在され、ばね力を発生するばね力発生部とを備えたクランプ機構において、前記ばね力発生部は、前記微小構造体がクランプされた際に圧縮される圧縮部及び引っ張られる引っ張り部と、前記圧縮部と前記引っ張り部とを接続する連結部とから構成されることにある。
【００１４】
また、前述の別の目的を達成するための本発明の第３の態様は、微小構造体をクランプするクランプ機構と、前記クランプ機構を支持する検査装置本体とを備え、前記クランプ機構は、前記微小構造体の一側に当接して当該微小構造体にばね力を与えるばねと、前記微小構造体の他側に当接して当該微小構造体を位置決めするストッパと、前記微小構造体の他側に当接する複数のコンタクトプローブとを備え、前記微小構造体は、矩形のブロック形状から成り、磁気ディスクのデータの記録／再生用の磁気ヘッド素子を有し且つストッパ側の側面に前記磁気ヘッド素子の複数の電極端子を有するスライダで構成され、前記複数のコンタクトプローブの各々は前記複数の電極端子の各々と当接して電気的に接続され、前記ばねは、前記微小構造体に当接される押圧部と、前記検査装置本体側に支持される支持部と、前記押圧部と前記支持部との間に介在され、ばね力を発生するばね力発生部とを備えた検査装置において、前記ストッパは前記微小構造体のストッパ側の側面両側の角部に当接し且つ当該微小構造体が押圧される方向に間隔が狭くなる一対の傾斜面で形成されていることにある。
【発明の効果】
【００１５】
係る本発明の第１の態様の検査装置及び第２の態様のクランプ機構によれば、小型なばねを用いて微小構造体へばね力を十分に且つ確実に与えること及び微小構造体をクランプ機構へ着脱する際のばねの変形量を確保することができる。
【００１６】
また、係る本発明の第３の態様の検査装置によれば、コンタクトプローブとスライダに形成された電極端子との位置を正確に合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の複数の実施形態について図を用いて説明する。各実施形態の図における同一符号は同一物または相当物を示す。
【００１８】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態のスライダ検査装置を図１から図６を用いて説明する。
【００１９】
まず、本実施形態のスライダ検査装置５０の全体に関して図１を参照しながら説明する。図１は本発明の第１実施形態の検査装置５０の斜視図である。
【００２０】
スライダ検査装置５０は、微小構造体であるスライダ７（図２参照）をクランプするクランプ機構８と、クランプ機構８を支持する検査装置本体２１とを備えて構成されている。
【００２１】
検査装置本体２１は、台座２２の上に、粗動ステージ装置２３、微動ステージ装置２５、固定治具２６、サスペンション２７、磁気ディスク２８、磁気ディスク回転機構２９を搭載した構成から成る。
【００２２】
微動ステージ装置２５は粗動ステージ装置２３のテーブル２４上に固定されている。この微動ステージ装置２５は、粗動テーブル装置２２の動作により、図１の矢印で示したテーブル２４の動作方向へのストロークの大きな動きを可能としている。微動ステージ装置２５には、固定治具２６を介して固定したサスペンション２７の一側が固定されている。このサスペンション２７の先端には、スライダ７をクランプするクランプ機構８が搭載されている。このクランプ機構８によってクランプされるスライダ７の位置は、微動ステージ装置２５により磁気ディスク回転機構２９に載置した磁気ディスク２８上において精密に位置決めされる。サスペンション２７は、クランプ機構８を固定して支持するとともに、スライダ７を磁気ディスク２８上で浮上させるため、磁気ディスク２８に対してスライダ７に垂直方向の荷重を与えている。
【００２３】
検査装置５０は、このような構成とすることで、回転する磁気ディスク２８上でスライダ７の位置決めを行いながらスライダ７を浮上させ、スライダ７の特性検査を行うことができる。
【００２４】
次に、図２から図６を参照しながら、クランプ機構８及びスライダ７を具体的に説明する。図２は図１のクランプ機構８の斜視図、図３は図２のクランプ機構８をＡ方向からみた側面図、図４は図２のベース２の斜視図、図５は図２スライダ７の斜視図、図６は図２のばね１の平面図である。
【００２５】
クランプ機構８は、図２及び図３に示すように、ばね１、ベース２、プローブユニット３とから成っている。ばね１とプローブユニット３は、ベース２上に固定されている。ベース２はサスペンション２７の先端に固定されている。
【００２６】
ベース２は、図４に示すように、スライダ７を搭載するスライダ搭載部１２と、ばね１の一側端部を固定して支持するばね支持部１３と、プローブユニット３を固定して支持するプローブ支持部３０とを備えて構成されている。スライダ搭載部１２は、平面から見て四角形の薄板で形成され、その平坦な上面にスライダ７が搭載される。ばね支持部１３及びプローブ支持部３０はスライダ搭載部１２の前側に配置されている。プローブ支持部３０の上面はスライダ搭載部１２の上面と同一平面となっている。ばね支持部１３はプローブ支持部３０の左右両側に配置された一対のばね支持部で構成されている。このばね支持部１３はスライダ搭載部１２及びプローブ支持部３０より一段高いばね搭載面を有する。このばね支持部１３は横から見てＬ字状に形成されている。
【００２７】
スライダ７は、図５に示すように、矩形のブロックで形成され、磁気ディスクのデータの記録／再生用の磁気ヘッド素子（図示せず）と、プローブ側（ストッパ側）の面である前面１０に露出する電極端子１１とを備えて構成されている。電極端子１１は複数の電極端子で構成され、これらの電極端子１１はスライダ７の高さ方向の中心より低い位置で左右に並置されている。電極端子１１は磁気ヘッド素子に接続された端子である。
【００２８】
また、スライダ７は、図２及び図３に示すように、スライダ搭載部１２上に搭載され、その上面が磁気ディスク上で浮上させるための浮上面９となる。スライダ７がスライダ搭載部１２上に搭載された状態で、各電極端子１１とプローブユニット３の各コンタクトプローブ５、６とが相対し、電気的に接続される。
【００２９】
ばね１はスライダ７の一側に当接してスライダ７にばね力を与えるものである。このばね１は、一枚の薄板から実質的に平坦に形成されており、図２、図３及び図５に示すように、検査装置本体側に支持される支持部１７と、スライダ基板７に当接して押圧する押圧部１４と、押圧部１４と支持部１７との間に介在され、押圧部１４が変位されることによってばね力を発生するばね力発生部１５と、から成っている。ばね１が実質的に平坦に形成されることにより、ばね力発生部１５の変形方向及び押圧部１４の押圧方向が一致することとなり、スライダ７を確実にクランプすることができる。
【００３０】
ばね力発生部１５は圧縮部１８と引っ張り部１９と連結部１６とから成り、実質的に平坦に形成されている。連結部１６は圧縮部１８の一側の端と引っ張り部１９の一側の端との間に介在されて設けられている。押圧部１４は圧縮部１８の他側の端に接続され、支持部１７は引っ張り部１９の他側の端に接続されている。具体的には、圧縮部１８は押圧部の反当接面側から延びて連結部１６の中央に接続された一対の圧縮部で形成され、引っ張り部１９は連結部１６の両端から圧縮部１８に沿って延びる一対の引っ張り部で形成されている。係る構成によれば、小型なばね１を用いてスライダ基板７へばね力を十分に且つ確実に与えること及びスライダ基板７をクランプ機構８へ着脱する際のばね１の変形量を確保することができる。
【００３１】
支持部１７は、ベース２のばね支持部１３に、例えば接着剤を用いて固定されている。ベース２のばね支持部１３とスライダ搭載部１２とは段差を設けているため、図２及び図３に示すように、ばね１の支持部１７を除く各部１４、１５と、ベース２のスライダ当細部１２との間に隙間を設けることができる。よって、ばね１の押圧部１４に荷重を与える際、ベース２のスライダ搭載部１２と接触することなく、変形させることができる。押圧部１４は、スライダ７の電極端子１１が形成された側面と逆側の側面に当接され、ばね力をスライダ７へ与える。この押圧部１４の押圧高さは、コンタクトプローブ５、６が電極端子１１に当接する高さと一致している。これにより、スライダ７を確実にクランプすることができる。
【００３２】
ばね１の圧縮部１８と引っ張り部１９は、平面内においてＵ字形に複数回、折り曲げた形状から成り、荷重を与えられた際、これらが変形することで、ばねとして作用させることができる。ここで、押圧部１４に図６で示す矢印Ｂの方向へ荷重が与えられると、圧縮部１８は押圧部１４と連結部１６との間で、縮む方向へ変形し、同時に、引っ張り部１９は支持部１７と連結部１６との間で伸びる方向へ変形する。更に、連結部１６の幅Ｄは、圧縮部１８の幅Ｃ及び引っ張り部１９の幅Ｅよりも広くしているため、押圧部１４から圧縮部１８を介して連結部１６へ与えられた荷重を、引っ張り部１９を伸ばす方向の荷重にすることができる。
【００３３】
なお、図６に示すように、スライダ７と当接する押圧部１４の面である背面の平面方向の長さは、スライダ７の横幅の長さよりも長くなるように形成されており、当接面におけるスライダ７が直接に当接しない両端の領域に治具等を用いて、矢印Ｂ方向に荷重を与えることができる。
【００３４】
ばね１は、一枚の平坦な薄板を用いて一体形成されており、上記に示したような微細で複雑な形状であっても、例えば、リソグラフィとエッチングとを組み合わせた製造方法で、容易に製造することができる。また、ばねの材料は、一般的なものを用いることができ、本実施例では、ステンレス鋼を用いている。
【００３５】
スライダ７は検査時に回転する磁気ディスク上で浮上させる必要がある。このため、図２に示すように、ばね１の高さ位置がスライダの浮上面９の高さ位置よりも低くなるよう、ばね１はスライダ７の厚さよりも薄い板（例えば０．２ｍｍ以下）を用いて形成されている。一方、ばね１の厚さが薄すぎると、ばね１を変形させた際に、ばね１がスライダ７の浮上面９あるいはスライダ搭載部１２の方向へ反ってしまう恐れがある。これを防ぐには、ばね１の厚さは０．０５ｍｍ以上であることが好ましい。これらのことから、ばね１の厚さは０．０５ｍｍから０．２ｍｍの範囲内にあることが好ましく、本実施形態では厚さ０．１ｍｍの薄板を用いている。
【００３６】
プローブユニット３は、図２に示すように、表面に金属配線層が形成された絶縁シート４（例えば、フレキシブルプリント配線基板）と、ばね性を付与したコンタクトプローブ５と、ばね性を有さないコンタクトプローブ６とから成る。これら二種類のコンタクトプローブ５、６は、絶縁シート４の配線層上に各々接続され、スライダ７の電極端子１１に相対するように、並列に配置されている。ここで、コンタクトプローブ５、６の合計数は検査するスライダ７の電極端子１１と同じ数が配置されている。
【００３７】
絶縁シート４上に配列されたコンタクトプローブ５、６のうち、両端の二個は、ばね性を有さないコンタクトプローブ６が配置され、これらに挟まれた中央部分には、ばね性が付与された複数のコンタクトプローブ５が配置されている。更に、ばね性が付与されたコンタクトプローブ５の先端部、つまり、スライダ７の電極端子１１と接する部分は、両端に配置されたコンタクトプローブ６の先端部の位置に対して、スライダ７寄りになるように配置されている。このような構成とすることで、両端に配置された一対のコンタクトプローブ６は、ばね力に抗するようにスライダ７を支持して位置決めでき、つまりストッパとして機能させることができる。また、中央部に配置したばね性が付与されたコンタクトプローブ５は、その先端部がコンタクトプローブ６の先端部よりもスライダ７の方向へ寄っているため、スライダ７がクランプされた際に弾性変形されて電極端子１１に当接されることとなり、コンタクトプローブ５、６の配置ばらつきを吸収することができる。
【００３８】
スライダ７を搭載する前の、ばね１を変形させていない状態においては、ベース２上でのばね１とプローブユニット３の位置は、ばね１の押圧部１４のスライダの側面に当接する面とコンタクトプローブ６の先端部との間の長さが、スライダ７の長さよりも短くなるように設定されている。ここで、図６で示す矢印Ｂの方向へ押圧部１４に荷重を与えると、ばね１の圧縮部１８と引っ張り部１９の伸縮により、押圧部１４のスライダの側面と当接する面と、コンタクトプローブ６の先端部との間の長さは、スライダ７の長さよりも長くなり、スライダ７を搭載することができるようになる。スライダ７を搭載後、矢印Ｂ方向の荷重を解除すると、ばね力によって、スライダ７はコンタクトプローブ６とばね１の押圧部１４との間でクランプされる。なお、コンタクトプローブ５によるスライダ７の電極端子１１への接触荷重の合計は、ばね力よりも小さくなるように設計されている。
【００３９】
なお、コンタクトプローブ５、６の構成は、ここで示したものに限らず、例えば、フレキシブルプリント配線基板において、先端部の絶縁シートを取除いた配線層なども、コンタクトプローブとして用いることができる。このようなコンタクトプローブを用いた場合は、両端のコンタクトプローブにはブロック等を配置し、ストッパとして機能するよう絶縁シート上で固定される。
【００４０】
上述したように、ばね１の圧縮部１８と引っ張り部１９とを、連結部１６を介して形成することにより、変形量が大きく、小型なばね１を実現することができる。具体的には０．０５ｍｍ程度の変形量を得ることが可能である。このようなばね１を用いることで、スライダ７をクランプするクランプ機構８が実現できる。
【００４１】
本実施形態によれば、寸法が小さく、スライダ搭載時の位置合わせが容易なクランプ機構を提供できるため、スライダ単体での特性を精度よく検査することができる。よって、サスペンションの部品コスト、組立てコスト等の無駄を省くことが可能になる。
【００４２】
なお、本実施形態では、微小構造体としてスライダ７を用いた場合について説明したが、スライダ７以外の微小構造体、例えばＬＥＤチップ等もクランプすることが可能である。ＬＥＤチップは、チップ表面に発光素子や電極等が形成されており、チップ搬送等を行う際には、これらに傷等がつかないようにクランプする必要がある。本実施形態のクランプ機構は、チップの側面を当接させてクランプできるため、チップの表面に傷をつけることなく、クランプすることができる。なお、チップを搬送するためにクランプ機構８を用いる場合、プローブユニット３は不要であるため、クランプ機構８はばね１とベース２のみでよく、チップはばね１の押圧部１４と支持部１７との間でクランプされる。
【００４３】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図７を用いて説明する。図７は本発明の第２実施形態のスライダ検査装置に用いるクランプ機構の平面図である。この第２実施形態は、次に述べる点で第１実施形態と相違するものであり、その他の点については第１実施形態と基本的には同一であるので、重複する説明を省略する。
【００４４】
この第２実施形態では、ばね１の支持部１７の一部にストッパ部２０を設け、このストッパ部２０をスライダ７の面１０の両側部分に当接するようにしたものである。これによって、プローブユニット３に配置するコンタクトプローブ５、６は全てばね性が付与されたコンタクトプローブを用いることができる。
【００４５】
また、この第２実施形態では、スライダ７の電極端子１１と、コンタクトプローブ５及びコンタクトプローブ６との位置合わせを容易にするため、ばね１にストッパ部２０を形成している。前記ストッパ部２０は、図７に示すクランプ機構８の中心軸Ｆに対して、左右対象な一対から成り、両ストッパ部２０の間の距離は、ばね１の押圧部１４からプローブユニット３の方向へ向かって短くなっている。治具を用いてばね１の押圧部１４に荷重を与え、ばね１を変形させてスライダ７をベース２上に搭載した後、押圧部１４に与えていた荷重を解除すると、スライダ７の側面が押圧部１４によって押され、スライダ７はプローブユニット３の方向へ移動する。このとき、中心軸Ｆと同方向のスライダ７の中心軸位置が、クランプ機構８の中心軸Ｆに対して横方向にずれていた場合、スライダ７の角部が、前記ストッパ部２０に当接する。そのため、ストッパ部２０に沿って、スライダ７はプローブユニット３の方向へ移動すると同時に、中心軸Ｆに対して垂直の方向へも移動する。このようなストッパ部２０を設けることで、スライダ７をクランプ機構８へクランプすると同時に、位置合わせを容易に行うことができる。
【００４６】
なお、ストッパ部２０の形状は図７に示したような湾曲形状に限るものではなく、直線形状でもよい。また、ストッパ部２０はこの第２実施形態で示したものに限らず、例えばばね１と別部材で形成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態の検査装置の斜視図である。
【図２】図１のクランプ機構の斜視図である。
【図３】図２のクランプ機構をＡ方向からみた側面図である。
【図４】図２のベースの斜視図である。
【図５】図２スライダの斜視図である。
【図６】図２のばねの平面図である。
【図７】本発明の第２実施形態のスライダ検査装置に用いるクランプ機構の平面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…ばね、２…ベース、３…プローブユニット、４…絶縁シート、５…コンタクトプローブ、６…コンタクトプローブ（ストッパ）、７…スライダ（微小構造体）、８…クランプ機構、９…浮上面（上面）、１０…前面、１１…電極端子、１２…スライダ搭載部、１３…ばね支持部、１４…押圧部、１５…ばね力発生部、１６…連結部、１７…支持部、１８…圧縮部、１９…引っ張り部、２０…ストッパ部、２１…検査装置本体、２２…台座、２３…粗動ステージ装置、２４…テーブル、２５…微動ステージ装置、２６…固定治具、２７…サスペンション、２８…磁気ディスク、２９…磁気ディスク回転機構、３０…プローブ支持部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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