(57)【要約】 【課題】  可とう性を有するシート状部材の側面に付着したダストを確実に除去することができるダスト除去方法およびダスト除去装置を提供する。【解決手段】  第１工程で、除去開始時点での当接状態として、シート側法線１４と除去側法線１５との成す角度θが９０度より大きく、かつ１８０度未満となるように当接させる。次に、第２工程で、シート状部材１１の側面の厚み方向に沿うように、角度θが除去開始時点の角度から小さくなるように、かつ角度θが０度より大きく、かつ９０度未満となるように除去ユニット１２を回転させる。最後に、第３工程で、除去面１３をシート状部材１１から離反して除去処理を終了する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状部材の側面に付着したダストを、除去面を備えた除去ユニットを前記側面に当接させて除去するダスト除去方法であって、
前記除去面の法線と、シート状部材の主面の法線との成す角度θが９０度より大きく、かつ１８０度未満となるように、シート状部材の側部に除去ユニットの除去面を当接させる第１工程と、
前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記角度θが小さくなるように、かつ０度より大きく９０度未満となるように前記シート状部材と前記除去ユニットとを相対的に移動させる第２工程と、
前記シート状部材から前記除去面を離反させる第３工程とを含むことを特徴とするダスト除去方法。
【請求項２】
前記第２工程では、前記シート状部材を固定した状態で、除去ユニットの除去面を移動させることを特徴とする請求項１に記載のダスト除去方法。
【請求項３】
シート状部材の側面に付着したダストを、除去面を備えた除去ユニットを前記側面に当接させて除去するダスト除去方法であって、
前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記シート状部材と前記除去面とを相対的に移動させて、前記シート状部材の中央部を上に凸方向または下に凸方向に変形させる第１工程と、
前記除去面を固定して前記シート状部材を挟持し、押圧部によって前記シート状部材の中央部を押圧して、前記第１工程とは反対方向に変形させる第２工程と、
前記シート状部材から前記除去面を離反させる第３工程とを含むことを特徴とするダスト除去方法。
【請求項４】
シート状部材の側面に付着したダストを、除去面を備えた除去ユニットを前記側面に当接させて除去するダスト除去装置であって、
前記シート状部材と前記除去面とが当接、離反可能に構成され、
前記除去ユニットは、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記除去面の法線と、シート状部材の主面の法線との成す角度θが０度より大きく１８０度未満となる範囲で前記除去面を移動可能に構成され、
前記除去面の法線と、シート状部材の主面の法線との成す角度θが９０度より大きく、かつ１８０度未満となるように、シート状部材の側部に除去ユニットの除去面を当接させ、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記角度θが小さくなるように、かつ０度より大きく９０度未満となるように前記シート状部材と前記除去ユニットとを相対的に移動させ、前記シート状部材から前記除去面を離反させることを特徴とするダスト除去装置。
【請求項５】
シート状部材の側面に付着したダストを、除去面を備えた除去ユニットを前記側面に当接させて除去するダスト除去装置であって、
前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記シート状部材の中央部を押圧して上に凸方向または下に凸方向に変形させる押圧部を備え、
前記シート状部材と前記除去面とが当接、離反可能に構成され、
前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記シート状部材と前記除去面とを相対的に移動させて、前記シート状部材の中央部を上に凸方向または下に凸方向に変形させ、前記除去面を固定して前記シート状部材を挟持し、押圧部によって前記シート状部材の中央部を押圧して、前記変更させる方向とは反対方向に変形させ、前記シート状部材から前記除去面を離反させることを特徴とするダスト除去装置。
【請求項６】
除去ユニットの除去面は、シート状部材のダスト除去対象となる側面全体よりも大きく形成されることを特徴とする請求項４または５に記載のダスト除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可とう性を有するシート状部材の側面に付着したダストを除去するためのダスト除去方法およびダスト除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶ディスプレイの製造過程においては、トランジスタやカラーフィルターが形成されたガラス基板に付着したダストは、表示品位を低下させてしまうため、洗浄工程を設けて基板の表裏面に付着したダストを除去している。このときの洗浄方法としては、薬液、純水などの液体を用いて洗い流すウェット洗浄方式や、ブラシやワイパーなどを基板の表面に当てて除去する方法、エアブローによりダストを吹き飛ばす方法、粘着ローラなどにダストを吸着して除去する方法などが用いられている。
【０００３】
これらのダストの除去方法は、液晶ディスプレイに用いられているガラス基板のように、剛性の強い材料で構成された部材については有効である。
【０００４】
一方、液晶ディスプレイにおいて用いられているバックライトユニットには、光を拡散させて明るさを均一にするための拡散シートや、光路を一定方向に進むように制御するためのプリズムシートなど、数種類のシート状部材が要素部品として構成されていて、これらは可とう性を有する樹脂材料で形成されている。
【０００５】
通常、これらの可とう性を有するシート状部材に付着したダストを除去するにあたっては、ウェット洗浄方式では洗浄、乾燥するために大掛かりな設備導入が必要であり、ブラシやワイパーを用いる方法では、シート状部材の表裏面にブラシやワイパーの接触傷を生じる可能性がある。また、エアブロー方式では、ダストを吹き飛ばすために高いエア圧が必要であるため、可とう性を有するような軽量のシート状部材には適用することが困難である。また、吹き飛ばされたダストの再付着を防止することも困難である。
【０００６】
これらの理由により、可とう性を有するシート状部材に適用されるダスト除去方式としては、粘着ローラによりダストを吸着させる方式が広く採用されている。
【０００７】
昨今では、液晶ディスプレイの高輝度化、高精細化が進むことにより、基板の表裏面のみならず、側面に付着したダストについても除去する必要が生じるようになってきている。
【０００８】
板状ワークの側面に付着したダストを除去する除塵装置としては、例えば特許文献１に記載されているように、ワークの側面に沿って接触可能な清掃ローラを設置して、清掃ローラをワークの側面に押圧して、ローラを回転させながら移動することにより、ワーク側面に付着したダストを除去するような除塵装置が提案されている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−１５２７１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、液晶ディスプレイのバックライトユニットに使われている光学シートなどのような可とう性を有するシート状部材の側面に付着したダストを、特許文献１に示されるような清掃ローラを側面に押圧して、ローラを回転させながら移動する装置で除去しようとすると、シート状部材の側面から圧力をかけることによりシート状部材に方向が一定でない変形が生じ、側面に清掃ローラが当接しない領域を生じさせてしまい、当接しない領域のダストを除去できない場合がある。
【００１１】
特にシート状部材を複数枚積層し、積層体の側面に付着したダストを除去しようとした場合には、シート状部材ごとに不定な変形が起こることでシート状部材間に空間が発生し、この空間にダストが入り込んで除去できなくなってしまう。
【００１２】
図８は、従来の技術によって、可とう性を有するシート状部材１１の側面に付着したダスト１７を除去する場合の模式図である。シート状部材１１は、複数のシート状部材１１ａを積層した積層体とする。
【００１３】
ダスト１７が付着したシート状部材１１の側面に対して垂直方向から除去ユニット１２の除去面１３を押し当てると（ａ）、横方向からの圧力により、シート状部材１１ａはそれぞれランダムな方向に変形を起こしてしまう（ｂ）。このため、隣接するシート状部材１１ａ同士が異なる方向に変形した場合は、シート状部材間に空間ができてしまい、ダストがその空間に押し込まれてしまったり、シート状部材１１の側面全体に除去ユニット１２が当接しきれない状態となり、除去ユニット１２で除去されたダスト１８と、除去されなかったダスト２２とが生じてしまう。
【００１４】
さらには、清掃ローラでは、シート状部材の側面を清掃ローラが回転しながら移動することによりダストを除去するため、シート状部材が大型化すると、シート状部材の辺の長さが長くなることで清掃ローラの移動距離が長くなり、ダストの除去に要する時間が増加してしまう、という課題がある。
【００１５】
本発明は、上述のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、可とう性を有するシート状部材の側面に付着したダストを確実に除去することができるダスト除去方法およびダスト除去装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、シート状部材の側面に付着したダストを、除去面を備えた除去ユニットを前記側面に当接させて除去するダスト除去方法であって、
前記除去面の法線と、シート状部材の主面の法線との成す角度θが９０度より大きく、かつ１８０度未満となるように、シート状部材の側部に除去ユニットの除去面を当接させる第１工程と、
前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記角度θが小さくなるように、かつ０度より大きく９０度未満となるように前記シート状部材と前記除去ユニットとを相対的に移動させる第２工程と、
前記シート状部材から前記除去面を離反させる第３工程とを含むことを特徴とするダスト除去方法である。
【００１７】
また本発明は、前記第２工程では、前記シート状部材を固定した状態で、除去ユニットの除去面を移動させることを特徴とする。
【００１８】
また本発明は、シート状部材の側面に付着したダストを、除去面を備えた除去ユニットを前記側面に当接させて除去するダスト除去方法であって、
前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記シート状部材と前記除去面とを相対的に移動させて、前記シート状部材の中央部を上に凸方向または下に凸方向に変形させる第１工程と、
前記除去面を固定して前記シート状部材を挟持し、押圧部によって前記シート状部材の中央部を押圧して、前記第１工程とは反対方向に変形させる第２工程と、
前記シート状部材から前記除去面を離反させる第３工程とを含むことを特徴とするダスト除去方法である。
【００１９】
また本発明は、シート状部材の側面に付着したダストを、除去面を備えた除去ユニットを前記側面に当接させて除去するダスト除去装置であって、
前記シート状部材と前記除去面とが当接、離反可能に構成され、
前記除去ユニットは、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記除去面の法線と、シート状部材の主面の法線との成す角度θが０度より大きく１８０度未満となる範囲で前記除去面を移動可能に構成され、
前記除去面の法線と、シート状部材の主面の法線との成す角度θが９０度より大きく、かつ１８０度未満となるように、シート状部材の側部に除去ユニットの除去面を当接させ、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記角度θが小さくなるように、かつ０度より大きく９０度未満となるように前記シート状部材と前記除去ユニットとを相対的に移動させ、前記シート状部材から前記除去面を離反させることを特徴とするダスト除去装置である。
【００２０】
また本発明は、シート状部材の側面に付着したダストを、除去面を備えた除去ユニットを前記側面に当接させて除去するダスト除去装置であって、
前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記シート状部材の中央部を押圧して上に凸方向または下に凸方向に変形させる押圧部を備え、
前記シート状部材と前記除去面とが当接、離反可能に構成され、
前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記シート状部材と前記除去面とを相対的に移動させて、前記シート状部材の中央部を上に凸方向または下に凸方向に変形させ、前記除去面を固定して前記シート状部材を挟持し、押圧部によって前記シート状部材の中央部を押圧して、前記変更させる方向とは反対方向に変形させ、前記シート状部材から前記除去面を離反させることを特徴とするダスト除去装置である。
【００２１】
また本発明は、除去ユニットの除去面は、シート状部材のダスト除去対象となる側面全体よりも大きく形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、まず第１工程で前記除去面の法線と、シート状部材の主面の法線との成す角度θが９０度より大きく、かつ１８０度未満となるように、シート状部材の側部に除去ユニットの除去面を当接させる。第２工程では、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記角度θが小さくなるように、かつ０度より大きく９０度未満となるように前記シート状部材と前記除去ユニットとを相対的に移動させる。第３工程では、前記シート状部材から前記除去面を離反させる。
【００２３】
第１工程の当接状態により、シート状部材の変形は複数枚重ね合わせた積層体であっても、全てが同じ方向に変形するため、シート状部材間に空間ができることはなく、当接によりダストがシート状部材間に押し込まれてしまうことがなくなる。第２工程のように相対移動させることで、シート状部材の側面の全体を除去面と確実に当接させることができるため、側面に付着したダストを確実に除去することができる。
【００２４】
さらに、第３工程で除去面が離反するまでシート状部材の変形が同一方向となるので、シート状部材間に空間を生じることない。
【００２５】
以上のように、可とう性を有するシート状部材であっても、側面に付着した異物を確実に除去することが可能となる。
【００２６】
また本発明によれば、前記第２工程では、前記シート状部材を固定した状態で、除去ユニットの除去面を移動させる。
【００２７】
２つの法線のなす角度が前記規定範囲となるように除去ユニットを移動させることで、シート状部材の１側面全体を一度に処理することが可能となり、シート状部材が大型化したとしても、ダスト除去処理に要する時間を増大することがない。
【００２８】
また本発明によれば、第１工程では、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記シート状部材と前記除去面とを相対的に移動させて、前記シート状部材の中央部を上に凸方向または下に凸方向に変形させる。第２工程で前記除去面を固定して前記シート状部材を挟持し、押圧部によって前記シート状部材の中央部を押圧して、前記第１工程とは反対方向に変形させる。第３工程では、前記シート状部材から前記除去面を離反させる。
【００２９】
第１工程のように前記シート状部材を変形させることにより、シート状部材の変形は複数枚重ね合わせた積層体であっても、全てが同じ方向に変形するため、シート状部材間に空間ができることはなく、当接によりダストがシート状部材間に押し込まれてしまうことがなくなる。さらに第２工程で、前記第１工程とは反対方向に変形させることで、シート状部材の側面の全体を除去面と確実に当接させることができるため、側面に付着したダストを確実に除去することができる。
【００３０】
また本発明によれば、除去ユニットは、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記除去面の法線と、シート状部材の主面の法線との成す角度θが０度より大きく１８０度未満となる範囲で前記除去面を移動可能に構成される。
【００３１】
このような除去ユニットを用いて、除去ユニットの除去面の法線と、シート状部材の主面の法線との成す角度θが９０度より大きく、かつ１８０度未満となるように、シート状部材の側部に除去ユニットの除去面を当接させ、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記角度θが小さくなるように、かつ０度より大きく９０度未満となるように前記シート状部材と前記除去ユニットとを相対的に移動させ、前記シート状部材から前記除去面を離反させる。
【００３２】
これにより、最初の当接状態では、シート状部材の変形は複数枚重ね合わせた積層体であっても、全てが同じ方向に変形するため、シート状部材間に空間ができることはなく、当接によりダストがシート状部材間に押し込まれてしまうことがなくなる。続いて前記シート状部材と前記除去ユニットとを相対移動させることで、シート状部材の側面の全体を除去面と確実に当接させることができるため、側面に付着したダストを確実に除去することができる。
【００３３】
また本発明によれば、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記シート状部材の中央部を押圧して上に凸方向または下に凸方向に変形させる押圧部を備える。
【００３４】
このような押圧部を用いて、前記シート状部材と前記除去面とが当接した状態で、前記シート状部材と前記除去面とを相対的に移動させて、前記シート状部材の中央部を上に凸方向または下に凸方向に変形させ、前記除去面を固定して前記シート状部材を挟持し、押圧部によって前記シート状部材の中央部を押圧して、前記変形させる方向とは反対方向に変形させ、前記シート状部材から前記除去面を離反させる。
【００３５】
これにより、前記シート状部材の中央部を所定の方向に変形させることで、シート状部材の変形は複数枚重ね合わせた積層体であっても、全てが同じ方向に変形するため、シート状部材間に空間ができることはなく、当接によりダストがシート状部材間に押し込まれてしまうことがなくなる。次に最初の方向とは反対方向に変形させることで、シート状部材の側面の全体を除去面と確実に当接させることができるため、側面に付着したダストを確実に除去することができる。
【００３６】
また本発明によれば、除去ユニットの除去面を、シート状部材のダスト除去対象となる側面全体よりも大きく形成する。
【００３７】
これにより、シート状部材の大きさによらず、側面全体のダストが除去できるため、シート状部材が大型化しても除去処理に要する時間を増加させることが無い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
図１は、本発明の第１実施形態であるダスト除去方法を示す斜視図である。図２は、第１実施形態の動作を示す模式図である。
【００３９】
なお、以下に示す図２、図３においては、シート状部材１１の一方側面を１つの除去ユニット１２で除去する方法について説明したが、図１に示すように、反対側の他方側面に対しても同時に除去を行うことが可能である。
【００４０】
たとえば、２本の除去ユニット１２とシート状部材１１を回転させる回転機構とを準備して、対向する２辺を処理した後に、回転機構によりシート状部材側を９０°回転させて、残りの２辺を処理する方法や、４本の除去ユニット１２と、シート状部材１１又は除去ユニット１２の可動機構を準備して、２辺を処理した後に、残りの２辺を処理する位置まで可動機構によりシート状部材１１又は除去ユニット１２を移動させて処理する方法がある。
【００４１】
本実施形態では、可とう性を有するシート状部材１１の側面に、除去ユニット１２の除去面１３を当接させ、シート状部材１１への当接角度を変化させることで側面のダストを除去する。
【００４２】
除去ユニット１２は、シート状部材１１の長辺よりも長い辺と、シート状部材１１の厚みよりも長い辺とで構成される平面状で、ダストを吸着して除去するための除去面１３を有している。除去ユニット１２は、このような除去面１３を有しており、除去面１３のシート状部材１１への当接角度が変化可能な構成であればどのような構成であってもよい。本実施形態では、除去面１３を一側面として有する直方体形状の部材を２つ用い、除去面１３を対向するように設置する。除去面１３の間隔は、シート状部材１１の一辺と同程度であり、２つの除去ユニット１２は、シート状部材１１を側面方向から挟み込むようにして設置される。シート状部材１１は、その一方面が下方から支持されるようにして図示しないステージなどの載置台に固定されていればよく、除去ユニット１２によって挟持されて固定される必要はない。
【００４３】
図２（ａ）は、除去ユニット１２による除去開始時点での除去面１３の当接状態を示している。
【００４４】
本発明において除去面１３の当接状態は、除去面１３の法線（除去側法線）と、シート状部材１１の主面の法線（シート側法線）との成す角度によって規定する。
【００４５】
具体的には、第１工程で、除去開始時点での当接状態として、シート側法線１４と除去側法線１５との成す角度θが９０度より大きく、かつ１８０度未満となるように当接させる。
【００４６】
次に、第２工程で、シート状部材１１の側面の厚み方向に沿うように、角度θが除去開始時点の角度から小さくなるように除去面１３を回転させる。回転後の当接状態、すなわち除去終了時での除去面１３の当接状態は、角度θが０度より大きく、かつ９０度未満となるような状態である。
【００４７】
最後に、第３工程で、除去面１３をシート状部材１１から離反して除去処理を終了する。
【００４８】
ここで、シート状部材１１の用途は、特に限定されるものではないが、たとえば液晶ディスプレイ装置に搭載されるバックライトユニットを構成する光学部品として用いられる。したがってシート状部材１１を構成する各シート状部材１１ａは、光学シート素材から打抜かれる光学シート片であり、たとえば合成樹脂などの材料より成る。また、除去面１３は、ブチルゴムやシリコンゴムなどの粘着性を有する材料より成る。
【００４９】
図３は、第１実施形態において、複数重ね合わされた積層体としてシート状部材１１の側面に付着したダストが除去される様子を示す模式図である。
【００５０】
まず、除去開始時において、シート側法線１４と除去側法線１５とが成す角度θが、９０度より大きく、１８０度未満となる角度で除去面１３をシート状部材１１の側面に当接すると、除去面１３が当接したシート状部材１１の側部には、下方向への力がかかり、図３（ａ）に示すように、側部が下方に曲がったように変形する。このとき、各シート状部材１１ａは、全て同一方向へ力がかかるため、変形する方向は一定となり、シート状部材間に空間が生じることは無い。
【００５１】
次に、シート側法線１４と除去側法線１５との成す角度θが、より小さくなる方向へ除去面１３を回転変位させる。
【００５２】
図３（ｂ）は、シート側法線１４と除去側法線１５との成す角度θが９０度となった状態の図である。このような中間状態において、シート状部材１１には、不定の変形が生じないので、シート状部材１１ａ間に空間が生じたり、シート状部材１１の側面に除去面１３が接触しない領域が発生することもなくなる。
【００５３】
したがって、図３（ｂ）に示すような中間状態において、シート状部材１１ａ間にダストが押し込まれることがなく、除去面１３は、シート状部材１１の側面に隙間なく接触することができ、側面に付着しているダスト１７を吸着して確実に除去することができる。
【００５４】
最終的には、図３（ｃ）に示すように、シート側法線１４と除去側法線１５が成す角度θが０度より大きく、９０度未満となるような角度まで変位させる。このとき、除去面１３が、当接したシート状部材１１の側部には、上方向への力がかかり、側部が上方に曲がったように変形する。このとき、各シート状部材１１ａの側面は、全て同一方向へ力がかかるため、変形する方向は一定となり、側面の大部分が除去面１３から離反する。これによって、シート状部材１１の側面に付着していたダストは、除去ユニット１２へと確実に除去される。
【００５５】
吸着されたダスト１８は、除去面１３よりも粘着力の強い再生用の転写面を、除去面１３に押し当てて吸着されたダスト１８を転写させることで除去面１３から取り除かれ、除去ユニット１２は再利用される。再生用の転写面は、一定周期でアルコールなどを用いて洗浄する。
【００５６】
本発明において、除去面１３の大きさを、シート状部材１１のダスト除去対象となる側面全体よりも大きくすることにより、上記のように除去面１３を回転させるような一連の動作を行うだけで、シート状部材１１の側面全てに除去面１３を当接させることができる。また除去ユニット１２を、シート状部材１１の１辺に沿って移動させることもないので、シート状部材１１が大型化したとしても、ダスト除去処理に要する時間が、増加することも無い。
【００５７】
このような第１実施形態では、シート状部材１１の端部のみを変形させることでダスト除去を行うので、可とう性を有する材料の中でも、比較的硬い材料にも対応することができ、幅広い材料に適用できる。
【００５８】
以下では、本発明の第２実施形態について説明する。
図４は、本発明の第２実施形態であるダスト除去方法を示す斜視図である。図５は、第２実施形態の動作を示す模式図である。
【００５９】
除去ユニット１２自身の構成は、第１実施形態の構成と同じで、シート状部材１１の長辺よりも長い辺と、シート状部材１１の厚みよりも長い辺とで構成される平面状で、ダストを吸着して除去するための除去面１３を有している。
【００６０】
図５（ａ）は、除去ユニット１２による除去開始直前の状態を示している。
シート状部材１１は、ステージ２１上に下方から支持されて載置される。ステージ２１の中央部、すなわち載置されたシート状部材１１の中央部には、除去ユニット１２の長手方向に沿ってスリットが設けられ、スリットを通して上昇用プッシャーピン１９を上下方向に移動可能に構成される。
【００６１】
押圧部である上昇用プッシャーピン１９は、除去ユニット１２の長手方向に延びる略角柱状の部材で構成され、シート状部材１１に当接してシート状部材１１の中央部を押し上げる当接部は、外方に突き出た円柱面状の凸部として構成される。
【００６２】
押圧部である下降用プッシャーピン２０は、当接部の位置が上昇用プッシャーピン１９と反対である以外は同様の構成であり、上下動のストロークが上昇用プッシャーピン１９よりも上方である。
【００６３】
シート状部材１１の上方より、下降用プッシャーピン２０を下降させ、上昇用プッシャーピン１９と下降用プッシャーピン２０とでシート状部材１１の中央部を挟持する。
【００６４】
図５（ｂ）は、除去ユニット１２による除去開始直後の状態を示している。
第１工程で、シート状部材１１の側面に、シート側法線と除去側法線とが直交するように、すなわちシート状部材１１の側面に対して垂直な方向から除去ユニット１２の除去面１３を当接させる。
【００６５】
シート状部材１１の大きさ、材質などによって異なるが、除去面１３を当接させた状態での除去面１３の間隔は、たとえばシート状部材１１の除去面１３が当接されていない辺の長さが６０ｍｍのときに両側からそれぞれ２ｍｍ程度内側となるように、すなわち除去面１３の間隔が５６ｍｍ程度とすることで保持が可能となる。
【００６６】
除去面１３の当接と同時に、上昇用プッシャーピン１９および下降用プッシャーピン２０で挟持した状態でシート状部材１１の中央部を上方に押し上げる。これにより、シート状部材１１は、除去面１３より加えられる横方向からの押圧力と、上昇用プッシャーピン１９および下降用プッシャーピン２０より加えられる下方向からの押し上げ力によって、中央部が上に凸状の形状に変形する。
【００６７】
この後、シート状部材１１を載置していたステージ２１を下降させると、シート状部材１１は、上下方向には上昇用プッシャーピン１９および下降用プッシャーピン２０で挟持され、横方向には両側の除去ユニット１２によって挟持された状態となる。
【００６８】
次に、第２工程では図５（ｃ）に示すように、上昇用プッシャーピン１９および下降用プッシャーピン２０で挟持した状態でシート状部材１１の中央部を下方に押し下げると、シート状部材１１は、上に凸状から凹状（下に凸状）の形状にさらに変形する。
【００６９】
最後に、第３工程で、除去面１３をシート状部材１１から離反して除去処理を終了する。
【００７０】
図６は、第２実施形態において、シート状部材１１の側面に付着したダストが除去される様子を示す模式図である。
【００７１】
シート状部材１１の側面に対して垂直方向から除去ユニット１２の除去面１３を当接させて、シート状部材１１の下方より上昇用プッシャーピン１９を押し上げてシート状部材１１を上に凸状に変形させると、図６（ａ）に示すようにシート状部材１１の側部は、下方に曲がったように変形する。
【００７２】
このとき、積層されたシート状部材１１の中央部は、全て上に凸方向へ変形しているため、それぞれのシート状部材１１ａの変形方向が一定となり、シート状部材間に空間が生じることがなく、シート状部材１１の側面に除去面１３が接触しない領域が発生することもなくなる。
【００７３】
次に、シート状部材１１の上方より下降用プッシャーピン２０を下降させて、シート状部材１１を上に凸状から凹状（下に凸状）に形状を変形させると、図６（ｂ）に示すようにシート状部材１１の側部は、上方に曲がったように変形する。
【００７４】
このとき、積層されたシート状部材１１の中央部は、全て下に凸方向へ変形しているため、それぞれのシート状部材１１ａの変形方向が一定となり、シート状部材間に空間が生じることがなく、シート状部材１１の側面に除去面１３が接触しない領域が発生することもなくなる。
【００７５】
このように、シート状部材１１を上に凸状から凹状（下に凸状）に変形させることにより、重ね合わされたシート状部材１１の間に空間が生じることがないため、シート状部材１１の側面に付着したダスト１７は、シート状部材１１ａ間に押し込まれることはなくなる。
【００７６】
本発明において、除去面１３の大きさを、シート状部材１１のダスト除去対象となる側面全体よりも大きくすることにより、シート状部材１１の中央部を上下方向に変形させる一連の動作を行うだけで、除去面１３をシート状部材１１の側面全体に当接させることができる。また除去ユニット１２を、シート状部材１１の１辺に沿って移動させることもないので、シート状部材１１が大型化したとしても、ダスト除去処理に要する時間が増加することも無くなる。
【００７７】
また、第２実施形態の変形例として以下のような第３実施形態も実施可能である。
図７は、第３実施形態の動作を示す模式図である。
【００７８】
上記の第２実施形態において、図５（ｂ）に示したように、上昇用プッシャーピン１９でシート状部材１１の中央部を上に凸方向へ変形させたのち、図７（ａ）に示すように、上方から下降用プッシャーピン２０を下降させてシート状部材１１の中央部を、上昇用プッシャーピン１９と下降用プッシャーピン２０とで挟み込むように固定する。
【００７９】
中央部を２つのプッシャーピンで固定した状態で、図７（ｂ）に示すように、除去ユニット１２の間隔を一定に保持したまま、２つの除去ユニット１２を上昇させる。
【００８０】
このように上昇用プッシャーピン１９と下降用プッシャーピン２０とを固定して、シート状部材１１の中央部を拘束したまま除去ユニット１２を上昇させることで、シート状部材１１の除去面１３に当接している側部は、第２実施形態と同様に図６に示すような変形を起こして側面のダストが除去される。
【００８１】
除去ユニット１２を固定したまま、２つのプッシャーピンを交互に動かすことによってダストを除去する第２実施形態と、２つのプッシャーピンで中央部を固定したまま、除去ユニット１２を動かす第３実施形態とは、シート状部材１１と除去ユニット１２との相対的な移動関係は同じであるから、第２実施形態と第３実施形態とは、同じ効果が当然得られる。したがって、移動機構に応じていずれかの実施形態を選択すればよく、たとえば、ステージ２１を移動させたくないような場合は、第３実施形態を選択すればよい。
【００８２】
なお、上記では最初に上昇用プッシャーピン１９で上に凸方向へ変形させ、その後に下降用プッシャーピン２０で下に凸方向へと変形させているが、これに限らず最初に下降用プッシャーピン２０で下に凸方向へと変形させ、その後に上昇用プッシャーピン１９で上に凸方向へ変形させても同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の第１実施形態であるダスト除去方法を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態の動作を示す模式図である。
【図３】第１実施形態において、複数重ね合わされた積層体としてシート状部材１１の側面に付着したダストが除去される様子を示す模式図である。
【図４】本発明の第２実施形態であるダスト除去方法を示す斜視図である。
【図５】第２実施形態の動作を示す模式図である。
【図６】第２実施形態において、シート状部材１１の側面に付着したダストが除去される様子を示す模式図である。
【図７】第３実施形態の動作を示す模式図である。
【図８】従来の技術によって、可とう性を有するシート状部材１１の側面に付着したダスト１７を除去する場合の模式図である。
【符号の説明】
【００８４】
１１  シート状部材
１２  除去ユニット
１３  除去面
１４  シート側法線
１５  除去側法線
１７  シート状部材の側面に付着したダスト
１８  シート状部材の側面から除去されたダスト
１９  上昇用プッシャーピン
２０  下降用プッシャーピン
２１  ステージ
２２  除去されなかったダスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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