(57)【要約】【課題】樹脂の硬化時における収縮力及び収縮変位を同時に効率よく測定可能な測定装置を得る。【解決手段】  第１の部材Ａと第２の部材Ｂのそれぞれの対向面に溶融状態の樹脂Ｃを配置し、樹脂Ｃが硬化する際の挙動を測定する測定装置。樹脂Ｃが硬化する際の収縮力を測定するロードセル１０に第２の部材Ｂを固定し、基板８上に第１の部材Ａを所定の拘束力にて取り付ける。樹脂Ｃの硬化中における収縮変位量はレーザ変位計２０にて測定され、収縮力はロードセル１０にて測定される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の部材と第２の部材のそれぞれの対向面に溶融状態の樹脂を配置し、該樹脂が硬化する際の挙動を測定する測定装置であって、
前記樹脂が硬化する際の収縮力を測定する力測定手段と、
前記樹脂が硬化する際の収縮による変位を測定する変位測定手段と、
を備えたことを特徴とする測定装置。
【請求項２】
第１の部材は基板に固定され、第２の部材は前記力測定手段に固定され、第１の部材と第２の部材はそれぞれ１以上の略平行に対向する対向面を有し、かつ、第１の部材と第２の部材とは互いに接触していないこと、を特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記力測定手段は１以上の測定方向を有し、その測定方向の少なくとも１方向は前記対向面の法線方向と略平行であること、を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の測定装置。
【請求項４】
前記力測定手段は１以上の測定方向を有し、その測定方向の少なくとも１方向は前記対向面の法線方向と略垂直であること、を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の測定装置。
【請求項５】
前記変位測定手段は１以上の測定方向を有し、その測定方向の少なくとも１方向は前記対向面の法線方向と略平行であること、を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の測定装置。
【請求項６】
前記変位測定手段は１以上の測定方向を有し、その測定方向の少なくとも１方向は前記対向面の法線方向と略垂直であること、を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の測定装置。
【請求項７】
前記基板は第１の部材を拘束する拘束手段を備え、該拘束手段は第１の部材の拘束力を可変であること、を特徴とする請求項２ないし請求項６のいずれかに記載の測定装置。
【請求項８】
前記対向面で形成される隙間に配置された樹脂に光を照射する手段を備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の測定装置。
【請求項９】
前記対向面で形成される隙間に配置された樹脂に熱を加える手段を備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１０】
前記力測定手段は第２の部材をその自重と釣り合う鉛直方向の力を発生させるものであることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１１】
前記力測定手段及び前記変位測定手段の少なくとも一方は測定値を連続して出力できることを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１２】
第１の部材は前記基板上に着脱可能なスペーサを介して拘束されていることを特徴とする請求項２ないし請求項１１のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１３】
前記力測定手段はストレインゲージを用いたロードセルであることを特徴とする請求項１ないし請求項１２のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１４】
前記変位測定手段は非接触式のセンサであることを特徴とする請求項１ないし請求項１３のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１５】
第１の部材及び第２の部材の少なくとも一方は線膨脹係数が２０×１０-6／℃以下であることを特徴とする請求項１ないし請求項１４のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１６】
第１の部材及び第２の部材の少なくとも一方はヤング率が１５０ＧＰａ以上であることを特徴とする請求項１ないし請求項１５のいずれかに記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置、特に、樹脂が硬化する際の収縮挙動を測定するための測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザダイオードやレンズなどの光学素子やセンサ類など組立て時に高精度な位置決めを要求される部品を樹脂（接着剤）で固定する場合には、樹脂が硬化する際の収縮挙動を評価しておく必要がある。一般的な従来の樹脂の収縮挙動の測定方法は、硬化前後の体積の変化を利用したものである。それゆえ、収縮力の測定ができないばかりか、硬化中の挙動を連続的に測定することはできなかった。
【０００３】
ところで、デジタル複写機、プリンタに搭載される露光装置や光ピックアップなどの光学系に含まれる光学素子や各種センサの空間的な位置決めには、部品点数の削減や組立て性の向上のために、光学素子を３次元的に調整後、樹脂接着剤で位置を保持する工法が用いられるようになっている。以下、この工法を３次元精密接着工法と称する。
【０００４】
３次元精密接着工法では、部品の調整しろを樹脂の厚み方向にも持たせている。よって、２次元的に接着固定していた従来の接着工法に比べ、硬化収縮の影響がでやすい。特に、部品を保持する保持力によって、樹脂の硬化前後の収縮に起因する位置ずれ量に差が生じる。しかし、従来の評価方法では収縮力を測定できなかったため、部品の保持力が位置ずれ量に与える影響を測定できなかった。また、３次元精密接着工法を用いた場合、接着固定構造が樹脂の硬化中あるいは硬化後の位置精度に大きな影響を及ぼす。
【０００５】
このような組立て精度に影響を及ぼす接着固定構造、保持方法や保持する荷重を変化させたときの位置ずれ量、収縮力の測定はできなかった。特に、硬化中の挙動を連続的に測定できないので、硬化反応が完了しているかどうかの判断ができない。よって、従来では、硬化条件を種々に変化させて、それらの接着強度を測定するという代替評価を行わざるを得なかった。
【０００６】
また、収縮量については、樹脂で固定された部品に対して外部からの拘束力の影響による実際の位置ずれ量と従来での方法で求めた収縮量との間で乖離が生じていた。さらに、従来の方法で求められる収縮率は体積の変化から求めた体積収縮率であるため、樹脂が全ての方向に均等に収縮した場合を想定している。しかし、現実には、部品の保持構造との関連で全ての方向に均等に収縮力が作用するわけではない。従って、保持構造によっては測定された収縮率と部品の位置ずれ量に差が生じることになる。また、部品と樹脂との界面では、樹脂が収縮できないため、樹脂は内部応力を残した状態で部品と結合されている。
【０００７】
そこで、樹脂による部品の接着固定では、このような種々の問題点を有するため、現実の保持構造のモデルを作製して外部から所定の保持力が加わった状態で樹脂を硬化させ、硬化する際の挙動を連続的に測定することが必要になる。
【０００８】
特許文献１には、二つの容器と圧力計で構成した硬化収縮率の測定装置、及び、硬化前後の比重の変化を利用し、硬化前後の圧力計の測定値の変化から容積の変化を求め、収縮率を求める収縮率測定方法が記載されている。しかし、この装置及び方法では、収縮力を測定することはできない。
【０００９】
特許文献２には、振動を利用した硬化挙動観測装置、及び、接着剤硬化中の板状部材のソリ量を連続的に挙動観察する方法が記載されている。しかし、この装置及び方法では、収縮力を測定することはできない。
【００１０】
非特許文献１には、ストレインゲージを用いて接着剤の収縮力を測定し、ノギスで接着剤の収縮量を測定する測定方法が記載されている。しかし、収縮率と収縮量を同時に測定することはないので、非効率的である。
【特許文献１】特開平７−３３３０３４号公報
【特許文献２】特開２００４−３４０８１０号公報
【非特許文献１】日本建築学会構造系論文集第５８３号１７−２２頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
そこで、本発明の目的は、樹脂の硬化時における収縮力及び収縮変位を同時に効率よく測定可能な測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
以上の目的を達成するため、本発明に係る測定装置は、
第１の部材と第２の部材のそれぞれの対向面に溶融状態の樹脂を配置し、該樹脂が硬化する際の挙動を測定する測定装置であって、
前記樹脂が硬化する際の収縮力を測定する力測定手段と、
前記樹脂が硬化する際の収縮による変位を測定する変位測定手段と、
を備えたことを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る測定装置においては、樹脂で接着固定するためのモデルとして用意された第１及び第２の部材を用いて、力測定手段と変位測定手段にて収縮力及び収縮量を同時に測定することができる。測定結果は部品の設計にフィードバックされることになり、樹脂の硬化収縮による部品の組立て精度誤差を極めて小さくできる。
【００１４】
本発明に係る測定装置にあっては、第１の部材は基板に固定され、第２の部材は前記力測定手段に固定され、第１の部材と第２の部材はそれぞれ１以上の略平行に対向する対向面を有し、かつ、第１の部材と第２の部材とは互いに接触していないことが好ましい。対向面の隙間に所定厚みの樹脂膜が形成され、対向面の間隔を調整することで、樹脂の厚みを変化させて測定ができる。
【００１５】
前記力測定手段は１以上の測定方向を有し、その測定方向の少なくとも１方向は前記対向面の法線方向と略平行又は略垂直であってもよい。樹脂の膜厚方向の収縮力又は膜厚と垂直な方向の収縮力を測定できる。
【００１６】
前記変位測定手段は１以上の測定方向を有し、その測定方向の少なくとも１方向は前記対向面の法線方向と略平行又は略垂直であってもよい。樹脂の膜厚方向の収縮量・位置ずれ量又は膜厚と垂直な方向の収縮量・位置ずれ量を測定できる。
【００１７】
また、前記基板は第１の部材を拘束する拘束手段を備え、該拘束手段は第１の部材の拘束力を可変であることが好ましい。拘束力を変化させたときの収縮挙動を測定できる。
【００１８】
前記対向面で形成される隙間に配置された樹脂に光を照射する手段を備えていてもよい。紫外線などの光硬化型の樹脂を測定の対象とすることができる。また、前記対向面で形成される隙間に配置された樹脂に熱を加える手段を備えていてもよい。熱硬化型の樹脂を測定の対象とすることができる。
【００１９】
前記力測定手段は第２の部材をその自重と釣り合う鉛直方向の力を発生させるものであることが好ましい。自重の影響を排除した収縮挙動の測定が可能となる。
【００２０】
前記力測定手段及び前記変位測定手段の少なくとも一方は測定値を連続して出力できることが好ましい。硬化中の測定値を連続的にモニタすることができ、硬化度の判定を容易に行うことができる。
【００２１】
また、第１の部材は前記基板上に着脱可能なスペーサを介して拘束されていてもよい。スペーサを取り去ることで、第１の部材を基板と接触しない状態にでき、第１の部材に対する拘束力を排除したときの収縮力及び収縮変位を測定できる。
【００２２】
前記力測定手段はストレインゲージを用いたロードセルであってもよい。静的荷重を測定するときのドリフトがなく、速度の遅い収縮でも正確に測定できる。また、前記変位測定手段は非接触式のセンサであってもよい。非接触式であれば、樹脂部分に余分な力が加わることはなく、変位測定誤差を減らすことができる。
【００２３】
第１の部材及び第２の部材の少なくとも一方は線膨脹係数が２０×１０-6／℃以下であることが好ましい。熱による変形が抑えられ、測定誤差を減らすことができる。また、第１の部材及び第２の部材の少なくとも一方はヤング率が１５０ＧＰａ以上であることが好ましい。収縮力による変形が抑えられ、測定誤差を減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明に係る測定装置の実施例について、添付図面を参照して説明する。なお、各図面において、同一の部材、部分に対しては共通した符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２５】
図１に本発明の一実施例である測定装置の模式的な構成と測定回路を示す。この測定装置は、樹脂で固定するためのモデルとして用意された第１の部材Ａと第２の部材Ｂとの対向面間に溶融状態の紫外線硬化型の樹脂Ｃを配置し、樹脂Ｃが硬化する際の挙動を測定するものであり、樹脂Ｃが硬化する際の収縮力を測定する力測定手段としてロードセル１０、樹脂Ｃが硬化する際の収縮による変位を測定する変位測定手段としてレーザ変位計２０を備えている。ロードセル１０及びレーザ変位計２０はいずれもよく知られたものである。
【００２６】
測定装置は、さらに、樹脂Ｃを硬化させるために紫外線を照射する紫外線照射器３０とそのコントローラ３１を備えている。紫外線硬化型の樹脂としては、例えば、アクリル系あるいはエポキシ系のものが使用される。
【００２７】
図２に示すように、第１の部材Ａはベース部１と垂直部２と該垂直部２から水平方向に突出した突部３とから構成されている。第２の部材Ｂは前記突部３よりも一回り大きい凹部５を有している。第１の部材Ａは、測定装置の基板８上にねじ１１によって位置を決められ、かつ、基板８上に設けたねじ１１に巻回したコイルばね１２にて拘束力が設定される。第２の部材Ｂは基板８上に取り付けたロードセル１０に固定されている。第１及び第２の部材Ａ，Ｂに関しては、基板８上にセットすることで、突部と凹部とで平行な４面が構成される。
【００２８】
溶融状態の樹脂Ｃは第１の部材Ａの突部３上の位置Ｄに所定量が塗布され、突部３を第２の部材Ｂの凹部５に挿入することにより、第１及び第２の部材Ａ，Ｂの対向面に配置される。第１及び第２の部材Ａ，Ｂには樹脂Ｃを硬化させるための紫外線を照射するための穴４，６が形成され、該穴４，６を通じて紫外線が樹脂Ｃに照射される。なお、対向面は両側にも開放されており、両側から紫外線を照射することもできる。
【００２９】
また、第１の部材Ａと第２の部材Ｂとは互いに接触していない。対向面の隙間に所定厚みの樹脂Ｃが塗布され、対向面の間隔を調整することで、樹脂Ｃの厚みを変化させて収縮力及び収縮変位を測定することができる。
【００３０】
本測定装置においては、紫外線の照射による樹脂Ｃの硬化に起因する第１の部材Ａの変位をレーザ変位計２０で連続的に測定するとともに、第２の部材Ｂを通じてロードセル１０で収縮力を連続的に測定する。この測定結果は部品の設計にフィードバックされることになり、樹脂の硬化収縮による部品の組立て精度誤差を極めて小さくできる。
【００３１】
測定回路４０は、レーザ変位計２０の検出データが入力されるセンサアンプ４１と、ロードセル１０の検出データが入力される歪アンプ４２と、それぞれのデータをモニタ及び記録するデータロガー４３とで構成されている。なお、データの記録には、データロガー４３に代えて、Ａ／Ｄ変換ボードを介してパーソナルコンピュータに取り込むようにしてもよい。あるいは、デジタルストレージオシロスコープを用いてもよい。さらには、Ａ／Ｄ変換器、処理回路を設けて測定データをメモリに取り込んでもよい。
【００３２】
レーザ変位計２０及びロードセル１０は検出データを連続して出力する。それゆえ、硬化中の測定値を連続的にモニタすることができ、硬化度の判定を容易に行うことができる。
【００３３】
試料となる樹脂は、前述のアクリル系、エポキシ系などの光（紫外線）硬化型以外に熱硬化型であったり、瞬間接着剤であってもよい。熱硬化型であれば、紫外線照射器３０に代えて加熱手段を設けることになる。
【００３４】
第１及び第２の部材Ａ，Ｂに関しては、樹脂の硬化時に発熱したり加熱される場合もあるので、線膨脹係数が低いほうが好ましく、具体的には２０×１０-6／℃以下であることが好ましい。熱による変形が抑えられ、測定誤差を減らすことができる。また、樹脂の収縮力による変形を抑えるために、第１の部材Ａ及び第２の部材Ｂはヤング率が高いほうが好ましく、具体的には１５０ＧＰａ以上であることが好ましい。収縮力による変形が抑えられ、測定誤差を減らすことができる。本実施例では、第１及び第２の部材Ａ，Ｂとして、ＳＵＳ３０４を用いた。ＳＵＳ３０４の線膨脹係数は１７．３×１０-6／℃、ヤング率は１９７ＧＰａである。
【００３５】
第１の部材Ａに対する拘束力に関しては、ねじ１１を基板８に対して進退させることでコイルばね１２のばね力を変化させ調整することができる。コイルばね１２自体をばね定数の異なるものと交換してもよい。本実施例においては、コイルばね１２を用いた拘束手段によって、拘束力を異ならせた場合の樹脂の収縮挙動を測定できる。拘束手段としては、コイルばね１２以外に、錘を用いてもよく、あるいは、エアシリンダ、油圧シリンダ、電動モータで荷重を付与するようにしてもよい。
【００３６】
また、第１の部材Ａは基板８上に着脱可能なスペーサ１３（図３参照）を介して拘束されていてもよい。スペーサ１３は前記ねじ１１の外周部に嵌合可能な凹部１３ａを有し、予め基板８と第１の部材Ａとの間に挿入しておき、樹脂Ｃが硬化した後にスペーサ１３を取り去ることで、第１の部材Ａを基板８と接触しない状態にする。これにて、第１の部材Ａに対する拘束力を排除したときの収縮力及び収縮変位を測定できる。
【００３７】
レーザ変位計２０としては、株式会社キーエンス製共焦点スキャン型レーザ変位センサＬＴ−９０１０を好適に用いることができる。本実施例では、第１及び第２の部材Ａ，Ｂのそれぞれ上面を同一高さに設定し、レーザ変位計２０にて第１及び第２の部材Ａ，Ｂの上面の変位量を同時に測定している。第２の部材Ｂは、ロードセル１０に完全に固定されて変位をほとんど生じないのであるが、ロードセル１０の剛性が有限であるため、第２の部材Ｂにも微小な変位が生じる。第１の部材Ａの変位に対して第２の部材Ｂの変位が無視できない量であれば、第１及び第２の部材Ａ，Ｂの変位量の差を求め、第１の部材Ａの実質的な変位量とすることが好ましい。なお、熱による変形が問題にならないのであれば、第１の部材Ａのみで変位量を求めてもよい。
【００３８】
変位測定手段としては非接触式が好ましい。非接触式であれば、樹脂に余分な力が加わることはなく、変位測定誤差を減らすことができる。前記共焦点方式以外に、三角測量方式、静電容量型変位計などを使用することができる。また、変位測定手段は、測定力が樹脂の収縮力に対して十分小さい場合は、接触式であってもよく、電気マイクロメータ又は差動変圧器などであってもよい。
【００３９】
レーザ変位計２０による測定位置は、測定結果からアッベ誤差を少なくするため、樹脂Ｃのなるべく真上に設定することが望ましい。
【００４０】
一方、樹脂Ｃの種類によって硬化挙動は準静的な現象となる。力測定手段として用いる力センサは、主に、圧電素子式とストレインゲージ式とがある。圧電素子式のものは、準静的な現象を測定した場合、測定中に電荷が放電してしまうため、測定値に誤差が生じる。そのため、ストレインゲージ式のロードセルを使用することが好ましい。ストレインゲージを用いたロードセルでは、静的荷重を測定するときのドリフトがなく、速度の遅い収縮でも正確に測定できる。
【００４１】
また、ロードセル１０の剛性は高いほうが好ましいが、剛性が高くなるにつれて力検出信号のＳ／Ｎ比が悪化する。よって、剛性が高く、必要なＳ／Ｎ比を保障できるセンサを選定する必要がある。歪ゲージ式のロードセル及び力センサとしては、共和電業株式会社製ＬＵＲ−Ａ−２ｋＮＳＡＩ、株式会社ナノコントロール製ＧＳ１１０、ＧＳ１２０、ＧＳ２００などを好適に用いることができる。
【００４２】
さらに、力測定手段は第２の部材Ｂをその自重と釣り合う鉛直方向の力を発生する機能を有していることが好ましい。第２の部材Ｂの自重による影響を排除した収縮挙動の測定が可能となる。
【００４３】
次に、前記測定装置による測定例を図４及び図５のグラフに示す。図４は、レーザ変位計２０の検出出力である変位量を示している。第１及び第２の部材Ａ，Ｂの対向面の隙間を０．７ｍｍとし、協立化学産業株式会社製ワールドロック８８４０Ｌを１２ｍｇ塗布し、紫外線照度７０ｍＷで４５秒照射して硬化させた。第１の部材Ａに対する下方への拘束力はゼロとした。また、紫外線照射器３０はウシオ電機社製高圧水銀ランプ式紫外線照射器ＳＰ−５を用いた。
【００４４】
図５のデータは、ロードセル１０の検出出力である収縮力を示している。第１及び第２の部材Ａ，Ｂの対向面の隙間を０．５ｍｍとし、前記同様の樹脂を紫外線照度７０ｍＷで４５秒照射して硬化させた。第１の部材Ａに対する下方への拘束力は１００Ｎとした。
【００４５】
次に、本発明に係る測定装置による測定の対象となる種々の接着固定構造について図６〜図１７を参照して説明する。これらは複写機やプリンタなどの画像露光装置の光源ユニットであり、レーザダイオード７１を保持する放熱機能を有するホルダ５０，５１と集光光学素子７２，７３を保持するホルダ６０，６１，６２とを樹脂で接着固定する構造である。これらの接着固定構造をモデルとして前記測定装置によって樹脂Ｃが硬化する際の挙動を測定／評価し、設計にフィードバックすることがきる。
【００４６】
図６は、ホルダ５０，６０を２箇所の樹脂Ｃで固定した構造である。ホルダ５０が第１の部材Ａに相当し、ホルダ６０が第２の部材Ｂに相当する。図７は、前記ホルダ５０への樹脂Ｃの配置位置を種々に変更した例を示す。図８に示すように、樹脂Ｃを連続的に重ねて環状に配置したモデルであってもよい。また、図９に示すように、樹脂Ｃを上下で非対象に配置したモデルであってもよい。
【００４７】
図１０〜図１５は、レーザダイオード７１を取り付けた折曲げ部を有するホルダ５１と集光光学素子７２を取り付けたホルダ６１との接着固定構造を示す。各図において、Ｘは光軸方向、Ｙは主走査方向、Ｚは副走査方向を示している。
【００４８】
図１０は、ホルダ５１の両端折曲げ部５１ｂとホルダ６１の両側面６１ａの隙間に樹脂を配置した接着固定構造である。図１１は、ホルダ５１の垂直部分５１ａの下部と上部折曲げ部５１ｃ及びホルダ６１の端面６１ｂと上面６１ｃの隙間に樹脂Ｃを配置した接着固定構造である。図１２は、ホルダ５１の垂直部分５１ａに２箇所と上下の折曲げ部５１ｃ，５１ｄ及びホルダ６１の端面６１ｂと上下面６１ｃ，６１ｄの隙間に樹脂Ｃを配置した接着固定構造である。図１３は、ホルダ６１の凹部６１ｅにホルダ５１の折曲げ部５１ｃ，５１ｄを挿入し、樹脂Ｃを配置した接着固定構造である。
【００４９】
図１４は、ホルダ６１の上下面６１ｃ，６１ｄに凹部６１ｆを形成し、該凹部６１ｆを含めてホルダ５１の上下折曲げ部５１ｃ，５１ｄとホルダ６１の上下面６１ｃ，６１ｄの隙間に樹脂Ｃを配置した接着固定構造である。図１５は、ホルダ６１の上下面６１ｃ，６１ｄに凸部６１ｇを形成し、該凸部６１ｇとホルダ５１の上下折曲げ部５１ｃ，５１ｄの間の隙間に樹脂Ｃを配置した接着固定構造である。
【００５０】
図１６は、集光光学素子（コリメータレンズ）７３を保持したホルダ６２の端面に凸部６２ａを形成し、該凸部６２ａとレーザダイオード７１を保持したホルダ５０との間に樹脂Ｃを配置した接着固定構造である。図１７は、ホルダ５０に折曲げ部５０ａを形成し、該折曲げ部５０ａと凸部６２ａとの隙間に樹脂Ｃを配置した構造である。
【００５１】
（他の実施例）
なお、本発明に係る測定装置は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施例である測定装置の模式的構成図である。
【図２】被測定モデルである第１及び第２の部材を示す斜視図である。
【図３】拘束力を解除するためのスペーサを示す斜視図である。
【図４】前記測定装置による変位量のデータを示すグラフである。
【図５】前記測定装置による収縮力のデータを示すグラフである。
【図６】接着固定構造の他の例を示し、（Ａ）は断面図、（Ｂ）は正面図である。
【図７】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）はそれぞれ接着固定構造の他の例を示す斜視図である。
【図８】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ接着固定構造の他の例を示す斜視図である。
【図９】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）はそれぞれ接着固定構造の他の例を示す斜視図である。
【図１０】接着固定構造の他の例を示し、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）は正面図である。
【図１１】接着固定構造の他の例を示す正面図である。
【図１２】接着固定構造の他の例を示す正面図である。
【図１３】接着固定構造の他の例を示す正面図である。
【図１４】接着固定構造の他の例を示す正面図である。
【図１５】接着固定構造の他の例を示す正面図である。
【図１６】接着固定構造の他の例を示す斜視図である。
【図１７】接着固定構造の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５３】
Ａ…第１の部材
Ｂ…第２の部材
Ｃ…樹脂
８…基板
１０…ロードセル（力測定手段）
１２…コイルばね（拘束手段）
１３…スペーサ
２０…レーザ変位計（変位測定手段）
３０…紫外線照射器
４０…測定回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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