(57)【要約】      （修正有）【課題】構造を簡単化にして漏水を確実に検知することができる基板処理装置を提供する。【解決手段】クラスタ装置の通水管４０に設置された管継手４１の漏水を検知する漏水検知装置５０は、カバー５１と紐状の漏水センサ５２を備えている。カバー５１は多孔質樹脂のような柔軟性や浸透性の材料により四角形シート形状に形成する。紐状の漏水センサ５２はカバー５１の一主面に対角線上に敷設する。漏水センサ５２を管継手４１の外周側に配置してカバー５１を管継手４１外周に巻き着けると、漏水センサ５２は管継手４１外周に螺旋状に巻き着いた状態になる。漏水はカバー５１に受けられて浸透する。漏水が管継手４１のいずれの場所で発生したとしても、漏水センサ５２は漏水を検知できる。漏水センサ５２の検知に基づいて、漏水検知装置５０は漏水発生情報を出力する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収容する容器と、
前記容器を冷却するための冷却媒体を流す第一流路と、
前記第一流路に接続され、前記冷却媒体を流す第二流路と、
前記第一流路と前記第二流路との接続部を覆うカバーと、
前記カバーに設けられた漏水センサと、
を有する基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に関する。
例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）の製造方法において、半導体素子を含む集積回路が作り込まれる半導体ウエハ（以下、ウエハという。）にＭＯＳＦＥＴ（金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ）のゲートスタック構造を形成するのに利用して有効なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＭＯＳＦＥＴのゲートスタック構造は、複数のステップを経て形成される。
この際、各ステップをそれぞれ実施する複数のチャンバをクラスタ化することにより、ウエハが各ステップ間を移行する際に、ウエハが大気に曝されないように構成した基板処理装置がある。
この基板処理装置においては、次のような場所と目的で冷却水による冷却を実施するのが、一般的である。
（１）チャンバを形成する筐体を常温に戻すための冷却。
（２）ウエハを載置する台を冷却してウエハを強制冷却するためのクーリングユニット。
（３）処理ユニットから熱を受けるウエハ移載室のシールリングの劣化を防止するための冷却。
（４）ウエハ移載装置の磁気シール装置を保護するための冷却。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
冷却水による冷却を実施する基板処理装置においては、漏水が発生すると、電気機器、電気配線等に破損等の悪影響が及ぶ可能性があるため、漏水を検知する必要がある。
また、装置が設置されている床等の漏水による劣化を最小限に抑えることにも、漏水の検知は役立つ。
【０００４】
本発明の目的は、構造を簡単化にして漏水を確実に検知することができる基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記した課題を解決するための手段のうち代表的なものは、次の通りである。
（１）基板を収容する容器と、
前記容器を冷却するための冷却媒体を流す第一流路と、
前記第一流路に接続され、前記冷却媒体を流す第二流路と、
前記第一流路と前記第二流路との接続部を覆うカバーと、
前記カバーに設けられた漏水センサと、
を有する基板処理装置。
（２）基板を収容する容器と、
前記容器を冷却するための冷却媒体を流す第一流路と、
前記第一流路に接続され、前記冷却媒体を流して前記容器を冷却する第二流路と、
前記接続部を覆うカバーと、
前記カバーに設けられた漏水センサと、
を有する基板処理装置。
（３）前記カバーは、流路と平行な方向に切れ目が入っていることを特徴とする前記（１）に記載の基板処理装置。
（４）前記漏水センサは、前記接続部の全周を覆うように前記カバーが設けられていることを特徴とする前記（１）に記載の基板処理装置。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【０００７】
本実施の形態において、本発明に係る基板処理装置は、図１に示されているように、クラスタ装置として構成されている。
なお、本実施の形態に係るクラスタ装置においては、基板としてのウエハ２を搬送するためのウエハ搬送用キャリア（収納容器）としては、ＦＯＵＰ（front opening unified pod 。以下、ポッドという。）１が使用されている。
【０００８】
図１に示されているように、クラスタ装置１０は第一ウエハ移載室１１を備えており、第一ウエハ移載室（以下、負圧移載室という。）１１は大気圧未満の圧力（負圧）に耐える構造に構成されている。負圧移載室１１の筐体（以下、負圧移載室筐体という。）１２は、平面視が七角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
負圧移載室１１の中央部にはウエハ移載装置１３が設置されており、ウエハ移載装置（以下、負圧移載装置という。）１３は負圧下においてウエハ２を移載することができる。負圧移載装置１３はスカラ形ロボット（selective compliance assembly robot arm ＳＣＡＲＡ）によって構成されている。
【０００９】
負圧移載室筐体１２の７枚の側壁のうち長い側壁には、搬入用予備室（以下、搬入室という。）１４と搬出用予備室（以下、搬出室という。）１５とがそれぞれ隣接して連結されている。
搬入室１４の筐体と搬出室１５の筐体とは、それぞれ平面視が略菱形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されているとともに、負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。
【００１０】
搬入室１４および搬出室１５の負圧移載室１１と反対側には、第二ウエハ移載室１６が隣接して連結されており、第二ウエハ移載室（以下、正圧移載室という。）１６は大気圧以上の圧力（以下、正圧という。）を維持可能な構造に構成されている。正圧移載室１６の筐体は平面視が横長の長方形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
搬入室１４と正圧移載室１６との境にはゲートバルブ１７Ａが設置されており、搬入室１４と負圧移載室１１との間にはゲートバルブ１７Ｂが設置されている。
搬出室１５と正圧移載室１６との境にはゲートバルブ１８Ａが設置されており、搬出室１５と負圧移載室１１との間にはゲートバルブ１８Ｂが設置されている。
正圧移載室１６には第二ウエハ移載装置１９が設置されており、第二ウエハ移載装置（以下、正圧移載装置という。）１９は正圧下でウエハ２を移載することができる。正圧移載装置１９はスカラ形ロボットによって構成されている。
正圧移載装置１９は正圧移載室１６に設置されたエレベータによって昇降されるとともに、リニアアクチュエータによって左右方向に往復移動される。
正圧移載室１６の左側端部にはノッチ合わせ装置２０が設置されている。
【００１１】
正圧移載室１６の正面壁には三つのウエハ搬入搬出口２１、２２、２３が、隣合わせに並べられて開設されており、これらのウエハ搬入搬出口２１、２２、２３はウエハ２を正圧移載室１６に対して搬入搬出し得るように設定されている。
これらのウエハ搬入搬出口２１、２２、２３にはポッドオープナ２４がそれぞれ設置されている。
ポッドオープナ２４はポッド１を載置する載置台２５と、載置台２５に載置されたポッド１のキャップを着脱するキャップ着脱機構２６とを備えている。キャップ着脱機構２６は載置台２５に載置されたポッド１のキャップを着脱することにより、ポッド１のウエハ出し入れ口を開閉する。
ポッドオープナ２４の載置台２５に対してはポッド１が、図示しない工程内搬送装置（ＲＧＶ）によって供給および排出される。
【００１２】
図１に示されているように、負圧移載室筐体１２の７枚の側壁のうち正圧移載室１６と反対側に位置する３枚の側壁には、第一処理ユニット３１と第二処理ユニット３２と第三処理ユニット３３とがそれぞれ隣接して連結されている。
第一処理ユニット３１と負圧移載室１１との間にはゲートバルブ３１Ａが設置されている。第二処理ユニット３２と負圧移載室１１との間にはゲートバルブ３２Ａが設置されている。第三処理ユニット３３と負圧移載室１１との間にはゲートバルブ３３Ａが設置されている。
また、負圧移載室筐体１２における７枚の側壁のうちの他の２枚の側壁には、第一クーリングユニット３５と、第二クーリングユニット３６とがそれぞれ連結されている。
第一クーリングユニット３５および第二クーリングユニット３６はいずれも処理済みのウエハ２を冷却する。
【００１３】
クラスタ装置１０は後述するシーケンスフローを統括的に制御するためのコントローラ３７を備えている。
【００１４】
図２に示されているように、クラスタ装置１０には冷却媒体としての冷却水を流す通水管４０が、第一処理ユニット３１のゲートバルブ３１Ａ、第二処理ユニット３２のゲートバルブ３２Ａ、第三処理ユニット３３のゲートバルブ３３Ａおよび負圧移載装置１３の磁気シール装置（図示せず）に配管されている。また、通水管４０は第一クーリングユニット３５および第二クーリングユニット３６にも配管されている。
通水管４０のゲートバルブ３１Ａ、３２Ａ、３３Ａや第一クーリングユニット３５および第二クーリングユニット３６における所定の場所には、接続部としての管継手４１がそれぞれ配置されている。各管継手４１には漏水検知装置５０が設置されている。
【００１５】
図３は管継手の漏水検知装置を示している。
図３に示された管継手４１は第一流路を形成する一次側管４２と、第二流路を形成する二次側管４３とを流体的に連結している。また、管継手は二次側管４３と冷却水を排出する冷却排出ラインも連結している。
例えば、一次側管４２は通水管４０の上流側に接続されており、二次側管４３はウエハを収容する筐体である第一処理ユニット３１のゲートバルブ３１Ａを冷却するように配管されている。
漏水検知装置５０はカバー５１および漏水センサ５２を備えている。
カバー５１は管継手に巻きつけが可能な程度の柔軟性を持つ材料であって、多孔質樹脂のような浸透性を有する材料もしくはゴム等の材料が使用されて、図３（ｃ）に示されているように、管継手４１の表面を被覆可能な大きさの四角形シート形状に形成されている。
図３（ａ）および図３（ｂ）に示されているように、四角形シート形状のカバー５１は管継手４１の外周に巻き着けられることにより、管継手４１を被覆するように装着される。管継手４１に巻き着けられた四角形シート形状のカバー５１は、流路と平行な方向に切れ目５０ａを生じている。
図３（ｃ）に示されているように、四角形シート形状のカバー５１には、紐状の漏水センサ５２が主面において少なくとも１つの対角線上に敷設されている。この漏水センサの敷設位置は、厳密に対角線上である必要はなく、流路と平行方向でない特定の角度をもって、傾いて敷設されていればよい。つまり、紐状の漏水センサが漏水部の全周に行き渡ればよい。
四角形シート形状のカバー５１が管継手４１の外周に巻き着けられる際に、漏水センサ５２は管継手４１の外周側に配置される。すなわち、漏水センサ５２は管継手４１の外周の四角形シート形状のカバー５１が管継手４１の外周に巻き着けられた状態において、漏水センサ５２は管継手４１の外周面に接触しているとともに、管継手４１の外周に螺旋状に巻き着いた状態になっている。
なお、紐状の漏水センサ５２は漏水を電気的に検知するものであり、紐状に形成されており、全長において漏水を検知することができる。漏水検知装置５０は漏水センサ５２の検知に基づいて、漏水発生情報を出力する。
紐状の漏水センサ５２の内部には、２本の導線が平行して通っており、漏水により導線間の抵抗値がしきい値以下になることで検知することができる。漏水センサ５２に接続する漏水検知装置５０は抵抗値のしきい値をもっており、しきい値以下のとき、漏水検知装置５０よりコントローラ３７に漏水検知情報を送る。また、漏水検知装置５０からの漏水検知情報は、電源遮断できる安全リレー回路に出力し、電源を遮断する場合もある。
【００１６】
次に、漏水検知装置５０の作用を説明する。
万一、管継手４１に漏水が発生すると、漏水はカバー５１に浸透する。
紐状の漏水センサ５２は管継手４１の外周に螺旋状に巻き着いた状態になっているので、漏水が管継手４１のいずれの場所で発生したとしても漏水を検知することができる。
漏水センサ５２の検知に基づいて、漏水検知装置５０は漏水発生情報を出力する。
クラスタ装置１０のコントローラ３７は漏水発生情報の出力に基づいて、漏電対策等の対策を発令する。
【００１７】
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【００１８】
（１）管継手をカバーで被覆することにより、漏水の行き先を制限し、漏水の早期検知が可能であるとともに、漏水の拡散を防止することができるので、漏水発生に伴う二次的障害の発生を防止することができる。
【００１９】
（２）カバーに漏水センサを敷設しカバーを管継手外周に巻き着けるように構成することにより、通水管に施工された管継手であっても簡単に設置することができるので、漏水検知装置を施工済みの通水管に後から設置することができる。
【００２０】
（３）カバーに漏水センサを敷設しカバーを管継手外周に巻き着けるように構成することにより、管継手の下に漏水受皿を置いて受皿に漏水センサを設置する場合に比べて、フットプリントを小さくすることができるので、通水管の下に漏水受皿を置くスペースがない場合であっても、漏水検知装置を設置することができる。
【００２１】
（４）カバーに漏水センサを敷設しカバーを管継手外周に巻き着けるように構成することにより、管継手に紐状の漏水センサを直接巻き着け結束バンドによって固定する場合に比べて、施工者による仕上がり精度のばらつきを防止することができるので、漏水検知装置の品質や信頼性を向上させることができる。
【００２２】
（５）四角形のカバーに紐状の漏水センサを対角線上に敷設しカバーを管継手外周に巻き着けるように構成することにより、紐状の漏水センサが管継手外周に螺旋状に巻き着いた状態になり、漏水が管継手のいずれの場所で発生したとしても漏水を検知することができるので、管継手の設置姿勢が水平である場合に限らず、垂直や斜めの場合であっても、漏水検知装置を設置することができる。
【００２３】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
【００２４】
前記実施の形態においては、第一流路と第二流路との接続部である管継手に漏水検知装置を設置する場合について説明したが、第一流路と第二流路との接続部である溶接部の外周に漏水検知装置を設置する場合等にも適用することができる。
【００２５】
以上の説明ではクラスタ装置に適用した場合について説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、枚葉式基板処理装置やバッチ式基板処理装置等の基板処理装置全般に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態であるクラスタ装置を示す平面断面図である。
【図２】クラスタ装置の通水管の配管を示すレイアウト図である。
【図３】管継手の漏水検知装置を示しており、（ａ）は斜視図、（ｂ）は縦断面図、（ｃ）は漏水センサが敷設された主面側を示すカバーの展開図である。
【符号の説明】
【００２７】
１…ポッド、２…ウエハ（被処理基板）、
１０…クラスタ装置（基板処理装置）、１１…負圧移載室（基板移載室）、１２…負圧移載室筐体（容器）、１３…負圧移載装置（ウエハ移載装置）、１４…搬入室（搬入用予備室）、１５…搬出室（搬出用予備室）、１６…正圧移載室（ウエハ移載室）、１７Ａ、１７Ｂ、１８Ａ、１８Ｂ…ゲートバルブ、１９…正圧移載装置（ウエハ移載装置）、２０…ノッチ合わせ装置、２１、２２、２３…ウエハ搬入搬出口、２４…ポッドオープナ、２５…載置台、２６…キャップ着脱機構、３１…第一処理ユニット、３２…第二処理ユニット、３３…第三処理ユニット、３１Ａ、３２Ａ、３３Ａ…ゲートバルブ、３４…第四処理ユニット、３５…第一クーリングユニット、３６…第二クーリングユニット、３７…コントローラ、
４０…通水管、４１…管継手（接続部）、４２…一次側管（第一流路）、４３…二次側管（第二流路）、
５０…漏水検知装置、５０ａ…切れ目、５１…カバー、５２…漏水センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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