(57)【要約】【課題】マスクに形成されたパターンが精度良く被露光基板に露光されるための被露光基板載置部品及び露光装置を提供する。【解決手段】透明基板と、透明基板上の縁側一周に設けられた気密保持枠体と、透明基板の気密保持枠体が設けられた側に対向して設けられる可撓性シートと、可撓性シートを、可撓性シートの縁側から、弾性部材の弾性力により面一に引張支持する支持枠体とを有し、透明基板と前記気密保持枠体と前記可撓性シートにより構成される気密空間において、気密空間の空気を吸引した際には、可撓性シートが弾性部材の弾性力に抗して透明基板側に密着されるように構成された被露光部材載置部品により、可撓性シートを被露光部材に密着させる。【選択図】図１
2009157076.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板と、
透明基板上に一周して設けられた気密保持枠体と、
前記透明基板の気密保持枠体が設けられた側に対向して配置される可撓性シートと、
前記可撓性シートの各縁の近傍を、弾性部材の弾性力により当該可撓性シートの外側に引張しながら支持する支持枠体とを有し、
前記透明基板と前記気密保持枠体と前記可撓性シートとを重ねることで構成される気密空間内に被露光部材を載置して、その気密空間の空気を吸引することで、前記可撓性シートが透明基板側に密着されて、前記被露光部材の露光が可能な状態に保持することを特徴とする被露光部材載置部品。
【請求項２】
前記支持枠体は、前記可撓性シートの縁の一周をほぼ均等に支持することを特徴とする請求項１記載の被露光部材載置部品。
【請求項３】
前記可撓性シートの縁部に、ほぼ均等な間隔で複数の透孔を設け、
前記支持枠体に、前記外側に引張させる力が働くように弾性体を介して取り付けられた支持部材を、前記複数の透孔に対応した位置に設け、
前記可撓性シートの縁部の複数の透孔のそれぞれに、前記支持枠体の支持部材を挿通させて支持することを特徴とする請求項２記載の被露光部材載置部品。
【請求項４】
被露光部材載置部品を設置する設置部と、
光源と、
前記光源からの光を被露光部材載置部品に入射させる露光部と、
前記設置部と光源と露光部とを一体に格納する筐体とから構成された露光装置であって、
前記被露光部材載置部品は、
透明基板と、
透明基板上に一周して設けられた気密保持枠体と、
前記透明基板の気密保持枠体が設けられた側に対向して配置される可撓性シートと、
前記可撓性シートの各縁の近傍を、弾性部材の弾性力により当該可撓性シートの外側に引張しながら支持する支持枠体とを有し、
前記透明基板と前記気密保持枠体と前記可撓性シートとを重ねることで構成される気密空間内に被露光部材を載置して、その気密空間の空気を吸引することで、前記可撓性シートが透明基板側に密着されて、前記被露光部材の前記露光部による露光が可能な状態に保持する
ことを特徴とする露光装置。
【請求項５】
前記支持枠体は、前記可撓性シートの縁の一周をほぼ均等に支持することを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記可撓性シートの縁部に、ほぼ均等な間隔で複数の透孔を設け、
前記支持枠体に、前記外側に引張させる力が働くように弾性体を介して取り付けられた支持部材を、前記複数の透孔に対応した位置に設け、
前記可撓性シートの縁部の複数の透孔のそれぞれに、前記支持枠体の支持部材を挿通させて支持することを特徴とする請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
透明基板上に載置した被露光部材の表面を覆い、前記透明基板上に前記被露光部材を密着させるための露光装置用可撓性シートであって、
前記可撓性シートの縁部に、ほぼ均等な間隔で複数の透孔を設け、
前記それぞれの透孔の周囲に、補強部材を取り付け、
前記補強部材で補強されたそれぞれの透孔に、前記可撓性シートの縁よりも外側に引張力が働いている前記露光装置側の支持部材を挿通させることで前記露光装置に装着されることを特徴とする露光装置用可撓性シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被露光基板とマスクとを、真空密着して載置する被露光部材載置部品及びそれを用いた露光装置、並びにその露光装置に取り付けられる可撓性シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリント回路基板や、半導体基板等の製造においては、基板上に、感光性の材料であるフォトレジストを塗布し、基板上にフォトレジストが塗布された被露光基板上に配線回路のパターンが形成されたマスクを載せ、上部から露光することにより基板上に配線回路のパターンを転写する工程がある。
従来、このような基板上にパターンを転写する露光工程において、マスクのパターンを精度良く基板上に露光するためにさまざまな提案がなされている。
【０００３】
特許文献１には、原板（マスク）及び感光板（被露光基板）を下方から支持する可撓性シートと、シートの上方に配置された枠体と、枠体に対して移動可能に設けられた透光板と、シート及び透光板の間を減圧状態にするための減圧手段とを備えた露光装置が記載されている。この露光装置では、可撓性シートと、枠体に移動可能に取り付けられる透光板とで、原板及び感光板を挟持し、透光板と可撓性シート間を減圧することにより、原板と感光板とを密着させることができる。また、この構成では、焼き付け（露光）時の枠体の歪みに起因して透光板が歪んでしまい、結果的に感光板に転写される像が歪んでしまうのを防ぐために、透光板が枠体に対して移動可能とされている。すなわち、透光板を枠体に対して移動可能とすることにより、透光板が枠体の歪みを受けにくくなるため、露光時の像の歪みを減少できるとされている。
【０００４】
また、従来例として、図８に上部にマスクが配置された被露光基板を内部に密着して保持する被露光基板載置部品の要部における概略断面構成を示す。図８Ａに示すように、従来の露光装置に用いられている被露光部材載置部品は、主に透明基板１００と、透明な可撓性シート１０２とから構成される。透明な可撓性シートは、マイラー（商標）などと称されるものである。可撓性シート１０２の縁側一周は、可撓性シート１０２を上部から支持する支持枠体１０１に固定されており、支持枠体１０１で囲まれる範囲において、可撓性シート１０２がたるまないように張られた状態とされている。可撓性シート１０２の支持枠体１０１への固定は、支持枠体１０１の側面に形成されている溝に可撓性シート１０２の縁部を嵌め込み、可撓性シート１０２を嵌め込んだ溝にさらに嵌め込み部材１０５を嵌め込み、固定することによりなされる。このように、可撓性シート１０２の縁側一周が嵌め込み部材１０５により支持枠体１０２にしっかりと固定されるので、一度張られた可撓性シート１０２の面はゆるむことがない。また、透明基板１００上の縁側一周に、土手状にゴム等よりなる気密保持枠体１０４が形成されている。この被露光部材載置部品においては、透明基板１００と気密保持枠体１０４と可撓性シート１０２に囲まれる空間は気密に保持される。そして、透明基板１００の気密保持枠体１０４で囲まれる領域の端の方には、空気を吸引する吸引孔１０３が設けられている。
【０００５】
このような構成の被露光部材載置部品において、透明基板１００上の気密保持枠体１０４で囲まれた領域に、マスクと被露光基板の積層体により構成される被露光部材を載置し、透明基板１００に設けられた吸引孔１０３から内部の空気を吸引する。図８においては、被露光部材の図示は省略する。吸引孔１０３から空気を吸引することにより、密閉空間が徐々に真空状態になり、図８Ｂで示すように、可撓性シート１０２が透明基板１００側に密着されるようになる。そして、更に空気を吸引することより、図８Ｃに示すように、可撓性シート１０２は、透明基板１００側に密着される。そして、可撓性シート１０２が透明基板１００側に密着されることにより、被露光部材載置部品内部の被露光基板及び被露光基板上に配置されたマスクが互いに密着される。そして、被露光基板とマスクが密着された状態において、露光装置により露光される。
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２７０９２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の被露光部材載置部品を用いた真空引きの工程では、いわゆるエアー溜まりがない状態でうまく真空引きすることが難しいという問題点がある。
【０００８】
例えば、図８Ｂ，Ｃで示したように、従来の被露光部材載置部品では、真空引きする工程において、吸引孔１０３が設けられている位置から可撓性シート１０２が透明基板１００側に密着していく。これにより吸引孔１０３に近い位置の可撓性シート１０２に特に負荷が掛かり、可撓性シート１０２の張力のバランスが崩れるので、吸引孔１０３から遠い部分、この場合は、中央に近い部分において、可撓性シート１０２が透明基板１００側に密着される際に空気が残ってしまう。可撓性シート１０２と上部にマスクが配置された被露光基板との間にこの残留した空気によりエアー溜まり１０７ができてしまうと、露光の際に、その部分だけ光が平行に届かないため、被露光基板に転写される像がぼやけてしまう原因となる。従来は、この空気を除くために、エアー溜まり１０７の部分を、へらでのばしたりする作業が行われていた。へらを使ってエアー溜まりを無くす作業は、可撓性シート１０２の表面をへらで擦る作業であり、かなりの力仕事であるとともに時間もかかる作業であり、多大な労力と時間を必要とするという問題があった。
【０００９】
本発明は、上述の点に鑑み、マスクに形成されたパターンが精度良く被露光基板に露光されるための被露光基板載置部品及び露光装置、並びにその露光装置に使用される可撓性シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の被露光部材載置部品は、透明基板と、透明基板上に一周して設けられた気密保持枠体と、透明基板の気密保持枠体が設けられた側に対向して配置される可撓性シートと、可撓性シートの各縁の近傍を弾性部材の弾性力により当該可撓性シートの外側に引張しながら支持する支持枠体とを有し、透明基板と気密保持枠体と可撓性シートとを重ねることで構成される気密空間内に被露光部材を載置して、その気密空間の空気を吸引することで、可撓性シートが透明基板側に密着されて、被露光部材の露光が可能な状態に保持するように構成されたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の被露光部材載置部品では、透明基板上に被露光部材が載置され、その上部に可撓性シートが配置される。そして、被露光部材が保持される透明基板と可撓性シート間は、気密保持枠体により気密性が保持される。この被露光部材載置部品では、透明基板上に載置された被露光基板上に密着される可撓性シートは、弾性部材の弾性力により各縁部が外側に引っ張られた状態となる。このため、気密空間の空気を吸引する際に、可撓性シートの全面には均一な張力が加わるので、可撓性シートが不均一に伸びるのを阻止することができる。
【００１２】
また、本発明の露光装置は、被露光部材載置部品を設置する設置部と、光源と、光源からの光を被露光部材載置部品に入射させる露光部と、設置部と光源と露光部とを一体に格納する筐体とから構成された露光装置であって、被露光部材載置部品は、透明基板と、透明基板上に一周して設けられた気密保持枠体と、透明基板の気密保持枠体が設けられた側に対向して配置される可撓性シートと、可撓性シートの各縁の近傍を弾性部材の弾性力により当該可撓性シートの外側に引張しながら支持する支持枠体とを有し、透明基板と気密保持枠体と可撓性シートとを重ねることで構成される気密空間内に被露光部材を載置して、その気密空間の空気を吸引することで、可撓性シートが透明基板側に密着されて、被露光部材の露光部による露光が可能な状態に保持する構成を特徴とする。
【００１３】
本発明の露光装置は、透明基板上に被露光部材が載置され、その上部に可撓性シートが配置される。そして、被露光部材が保持される透明基板と可撓性シート間は、気密保持枠体により気密性が保持される。この被露光部材載置部品では、透明基板上に載置された被露光基板上に密着される可撓性シートは、弾性部材の弾性力により各縁部が外側に引っ張られた状態となる。このため、気密空間の空気を吸引する際に、可撓性シートの全面には均一な張力が加わるので、可撓性シートが不均一に伸びるのを阻止することができる。従って、透明基板上に載置された被露光部材上に、可撓性シートがエアー溜まりの無い状態で密着させることが可能となる。
【００１４】
また、本発明の露光装置用可撓性シートは、透明基板上に載置した被露光部材の表面を覆い、透明基板上に被露光部材を密着させるための露光装置用可撓性シートであって、可撓性シートの縁部に、ほぼ均等な間隔で複数の透孔を設け、それぞれの透孔の周囲に、補強部材を取り付け、補強部材で補強されたそれぞれの透孔に、可撓性シートの縁よりも外側に引張力が働いている露光装置側の支持部材を挿通させることで露光装置に装着される構成としたことを特徴とする。
【００１５】
本発明の露光装置用可撓性シートを露光装置に装着させることで、露光装置の透明基板上に、可撓性シートが撓みのない適正な状態で配置され、露光装置用可撓性シートをエアー溜まりの無い状態で透明基板上の被露光部材に密着させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、弾性部材の弾性力により撓みが全くない状態に配置された可撓性シートが透明基板側に密着されるようになるので、エアー溜まりが発生することが無く、可撓性シートが密着される。従って、マスクに形成されたパターンが精度良く被露光基板に露光される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図１〜図７を参照して本発明の一実施の形態の例を説明する。
【００１８】
図１に、本発明の一実施形態に係る被露光部材載置部品１の分解斜視図を示す。図１に示した被露光部材載置部品１は、後述する図７に示した露光装置で露光する際に、被露光部材を載置するために使用される。
本実施形態例の被露光基板載置部品１は、例えばガラスやアクリルからなる透明基板２と、透明基板２上に形成される気密保持枠体７と、透明基板２上に気密保持枠体７を介して配置される透明な可撓性シート３と、可撓性シート３を上部から支持する支持枠体４とから構成され、さらに、透明基板２を支持するための第１の外枠５と、支持枠体４に支持された可撓性シート３を、第１の外枠５に支持された透明基板２に対して開閉自在に支持するための第２の外枠６とから構成されている。
【００１９】
図２に、本実施形態例の被露光部材載置部品１を組み立てたときの概略構成図を示し、図３Ａ，Ｂに、本実施形態例の被露光部材載置部品１を組み立てたときの要部の拡大平面図及び、そのＡ−Ａ線に沿う断面図である。図３Ａ，Ｂにおいて、第１の外枠５及び第２の外枠６の図示は省略する。図１〜図３を用いて、本実施形態例における被露光部材載置部品１の構成の詳細を説明する。
【００２０】
透明基板２は、例えば、３０ｃｍ〜８０ｃｍ角のガラス板、もしくはアクリル板から構成される。そして、透明基板２上の縁側一周には、図１に示すように、ゴム材からなる土手状の気密保持枠体７が形成される。図１では気密保持枠体７の断面形状を説明するために、気密保持枠体７の一部を切断して示してあるが、実際には気密保持枠体７は一周連続して設けてある。土手状の気密保持枠体７の高さは、被露光基板とマスクの積層体より構成される被露光部材の高さよりも高ければよい。この土手状に形成された気密保持枠体７は、可撓性シート３と透明基板２間に形成される空間の気密性を保持し、気密保持枠体７と可撓性シート３と透明基板２で囲まれた領域は気密空間２６を構成する。本実施形態例では、この気密空間２６に、積層された被露光部材が載置された状態で、後述した露光装置５０に装着されて露光される。また、透明基板２の気密保持枠体７で囲まれた領域内には、気密空間２６を真空引きするときに使用される吸引口２２が、図３Ｂに示すように形成されている。
【００２１】
可撓性シート３は、例えば、ポリエチレン等の透明なシートからなり、透明基板２と同程度の大きさのシートが用いられる。また、可撓性シート３の厚みは、例えば、１２０μｍのものが用いられる。そして、可撓性シート３の端辺には、複数個のネジ穴８となる透孔が均等に設けられており、このネジ穴８を用いて、支持枠体４に上部から支持される。本実施形態例においては、可撓性シート３の縦辺に３つずつ、横辺に４つずつのネジ穴８が形成されている。
【００２２】
ここで、図４及び図５を参照して、可撓性シート３に設けたネジ穴８を使用して、支持枠体４側に可撓性シート３が取付けられる構成について説明する。
図４に示すように、可撓性シート３のそれぞれのネジ穴８には、シートの上下から補強金具３１，３２で挟むようにしてある。補強金具３１，３２は、中央にネジ１９を通すための穴３１ａ，３２ａが設けられた円盤状のものである。この例では、図４に示すように、穴３１ａ，３２ａの径を、可撓性シート３のネジ穴８よりも若干小さな径として、補強金具３１，３２どうしが直接的に接して、ネジ穴８の配置箇所の周囲に取付けられ、ネジ穴８を補強する構成としてある。
【００２３】
このように補強金具３１，３２がネジ穴８に取付けられることで、図３に示した固定軸１８にネジ１９を使用して可撓性シート３を取付けることができる。固定軸１８の構成については後述する。図５に示すように、固定軸１８の内部には、ネジ螺合用穴１８ａが設けてあり、補強金具３１，３２内の穴３１ａ，３２ａを挿通させたネジ１９を、そのネジ螺合用穴１８ａに螺合させて、可撓性シート３を支持枠体４側に支持させる。
【００２４】
図２及び図３の説明に戻ると、可撓性シート３を上部から支持する支持枠体４は、図３Ｂに示すように断面形状がコ字状であり、底部１０とその面端が底部１０に対して垂直に接曲した支持片１１，１２とを有して形成される。この支持枠体４の底部１０外面が可撓性シート３に接するように配置される。また、この支持枠体４は、透明基板２上に形成された気密保持枠体７の上部に位置するように、可撓性シート３上に配置される。可撓性シート３のそれぞれのネジ穴８に対応する支持枠体４の位置には、可撓性シート３を支持枠体４に支持するための支持部材である金具９が１セットずつ構成されている。本実施形態例では、可撓性シート３の縦辺に３つ、横辺に４つずつのネジ穴８が形成されているので、支持枠体４においても、縦辺に３箇所、横辺に４箇所ずつの金具９が均等に設けられている。
【００２５】
本実施形態例において、１つのネジ穴８に対応する１セットの金具９は、支持枠体４のコ字状の溝に架かる２本の案内軸１４と、２本の案内軸１４に沿って摺動可能なように取り付けられた可動部材１５と、可動部材１５と支持枠体４の内側に位置する一方の支持片１２との間の案内軸１４に介挿された弾性部材１３と、支持枠体４の他方の支持片１１の孔を介してコ字状の溝内の可動部材１５に固着保持された第１の固定軸１６と、第１の固定軸１６の端部に連結され、可撓性シート３のネジ穴８に固定される第２の固定軸１８とから構成される。第１の固定軸１６と第２の固定軸１８は連結部１７で連結されている。
【００２６】
まず、２本の案内軸１４は支持枠体４のコ字状の溝を構成する支持片１１，１２間に架けて構成されており、２本の支持片１１，１２の他方の端部は、支持枠体４の外側に位置する支持片１１，１４に構成された孔を貫通して、ボルト２１で固定される。また、これらの案内軸１４は、可撓性シート３に設けられたネジ穴８の両側に位置する支持枠体４の溝内に固定される。
【００２７】
また、案内軸１４上を摺動可能に取り付けられる可動部材１５は、例えば長方形状の角体からなり、長方形の長手方向に３つの貫通孔が形成されている。この可動部材１５において、両端の貫通孔には、２本の案内軸１４がそれぞれ貫通される。このように、２本の案内軸１４が可動部材１５の貫通孔に貫通されることにより、可動部材１５は、２本の案内軸１４上において摺動可能になる。本実施形態例では、２本の案内軸１４に可動部材１５が取り付けられるので、可動部材１５がぶれること無く、２本の案内軸１４が配置された方向に沿って平行に摺動する。
【００２８】
そして、可動部材１５と、支持枠体４の内側に位置する一方の支持片１２との間の案内軸１４には、それぞれ弾性部材１３が介挿されている。この弾性部材１３は、定常状態からは圧縮されて案内軸１４上に介挿されており、案内軸１４上の可動部材１５を、支持枠体４の外側の支持片１１側に押圧するようになされている。弾性部材１３としては、例えば、圧縮バネなどが用いられる。
【００２９】
第１の固定軸１６は、支持枠体４の外側の支持片１１に形成された貫通孔を貫通するとともに、可動部材１５に形成された３つの貫通孔のうちの真ん中に形成された貫通孔に貫通され、第１の固定軸１６の一方の端部は、ボルト２０により可動部材１５に固定される。また、第１の固定軸１６の他方の端部は、支持枠体４の外側において連結部１７に固定され、第２の固定軸１８と連結される。
【００３０】
一方の端部が連結部１７に固定された第２の固定軸１８の長手方向と、第１の固定軸１６の長手方向とは９０度の角度を有するようになされており、第２の固定軸１８は、支持枠体４に支持される可撓性シート３の平面に対して垂直になるように固定されている。そして、第２の固定軸１８の他方の端部には、可撓性シート３を固定するネジ１９が挿入されて、可撓性シート３が保持される点は、既に図５を用いて説明した通りである。
【００３１】
このような金具９により、可撓性シート３のそれぞれのネジ穴８の位置で、可撓性シート３は支持枠体４に引張支持される。このとき、可撓性シート３は、支持枠体４が囲む領域内において、一面がたるまずに、均一な張力を有するように張られている。本実施形態例においては、縦辺３つ、横辺４つずつのネジ穴８及び金具９により、バランス良く可撓性シート３が支持枠体４に引張支持されている。
【００３２】
本実施形態例においては、上部に気密保持枠体７が形成された透明基板２上に、可撓性シート３を支持した支持枠体４が重なる。透明基板２上の気密保持枠体７は、支持枠体４の下方に重なるように構成されているので、可撓性シート３は、コ字状の支持枠体４の底部１０外面と、気密保持枠体７上面に狭持されることになる。そして、気密保持枠体７が可撓性シート３と密着されることにより、気密保持枠体７で囲まれた領域は、可撓性シート３と透明基板２間で気密に保たれる。
【００３３】
気密保持枠体７が形成された透明基板２は、第１の外枠５に保持される。また、可撓性シート３を均一に引張支持した支持枠体４は、第２の外枠６に保持される。第１の外枠５及び第２の外枠６はそれぞれ、気密保持枠体７及び支持枠体４において囲まれた領域が開口されたものである。第１の外枠５と第２の外枠６は、図２で示すように、枠の一辺において、蝶番２７により固定される。また、第２の外枠６において、蝶番２７に固定される一辺に対向する辺には、把持部２３が形成される。このように、第２の外枠６は、第１の外枠５に対して、把持部２３が形成されている側が開閉自在になるように構成される。第２の外枠６が第１の外枠５に対して閉じているときは、第１の外枠５及び第２の外枠６に形成された留め具２４，２５により互いに接合される。また、第２の外枠６を第１の外枠５に対して閉じたときは、第１の外枠５に保持された透明基板２上の気密保持枠体７上に、可撓性シート３が密着されるように構成される。
本実施形態例では、第２の外枠６を開閉することにより、所望の被露光部材を透明基板２上に随時載置することができる。
【００３４】
このような構成の被露光部材載置部品１では、透明基板２上に、被露光基板上部にマスクが積層された被露光部材を載置し、吸引孔２２から気密空間２６内の空気を吸引することにより被露光部材に可撓性シート３が密着される。
【００３５】
図６に、本実施形態例の被露光部材載置部品１における気密空間２６内の空気の吸引過程を示し、可撓性シート３が透明基板２側に密着する様子を模式的に示す。実際には、透明基板２上にマスクと被露光基板の積層体で構成される被露光部材を載置して気密空間２６を吸引する構成であるが、図６では、簡単のため、被露光部材の図示、及び、第１、第２の外枠５，６の図示を省略する。
【００３６】
図６Ａは、初期状態における被露光部材載置部品１の概略断面構成である。初期状態において、被露光部材載置部品１の可撓性シートは、支持枠体４に引張支持されて面一に張られた状態である。
【００３７】
次に、図６Ａに被露光部材載置部品１の吸引孔２２より、気密空間２６の空気を少し吸引した状態を示す。空気を吸引すると、気密空間２６の圧力が低下するので、図６Ｂに示すように、可撓性シート３は、透明基板２側にひき寄せられる。このように、可撓性シート３が透明基板２側に引き寄せられた場合、可撓性シート３には全体的に、可撓性シート３の端部から中央部に向う、矢印ａで示す方向に張力が生じる。この張力が生じると、ネジ穴８部分も矢印ａで示す方向に引っ張られ、ネジ穴８の位置が可撓性シート３の中央部に向う方向に移動する。ネジ穴８には、第２の固定軸１８が固定されており、第２の固定軸１８には、第１の固定軸１６が連結されているので、ネジ穴８の位置の移動は、第１、第２の固定軸１８，１６を介して、支持枠体４の溝内にある可動部材１５を矢印ａ’で示す方向に連動させる。そうすると、この可動部材１５は、案内軸１４上を摺動し、弾性部材１３の矢印ｂ方向に対する弾性力に抗して、弾性部材１３を矢印ａ’方向に押圧する。
【００３８】
そして、図６Ｃに示すように、さらに吸引孔２２より気密空間２６の空気を吸引して、可撓性シート３が透明基板２側に密着するまで吸引を続ける。そうすると、図６Ｂで示した状態から更に、可撓性シート３が矢印ａで示す方向に引っ張られ、ネジ穴８も矢印ａ’で示す方向に移動し、図６Ｃに示す状態となる。このときも、支持枠体４の溝内にある可動部材１５は案内軸１４上を摺動し、弾性部材１３の矢印ｂ方向に対する弾性力に抗して、弾性部材１３を矢印ａ’方に押圧する。
すなわち、図６Ｂ、図６Ｃからわかるように、可撓性シート３は弾性部材１３の矢印ｂで示す方向にはたらく弾性力に抗して透明基板２側に密着されるように引っ張られる。
【００３９】
本実施形態例の被露光部材載置部品１においては、気密空間２６の空気を吸引して可撓性シート３を透明基板２側に密着させる工程において、可撓性シート３が弾性部材１３の弾性力に抗して透明基板２側に引っ張られる。このため、可撓性シート３が透明基板２側に密着するように可撓性シート３に働く張力と、支持枠体４に設けられた弾性部材１３の弾性力は、反対方向の力を有するので、可撓性シート３が透明基板２に密着するように可撓性シート３に係る張力は、弾性力により抑制される。すなわち、密閉空間２６の空気の吸引により、可撓性シート３にかかる急激な張力によるシートの急激な伸びが、弾性力により低減される。また、支持枠体４において、縦辺３箇所、横辺４箇所ずつ弾性部材１５が均等に設けられているので、可撓性シート３には四方向から弾性力がはたらく。このため、可撓性シート３が透明基板２に密着するように可撓性シート３に係る張力は、可撓性シート３の面内においてバランスよく抑制される。そして、弾性部材１３の弾性力は、可撓性シート３が透明基板２側に密着する際に可撓性シート３にかかる急な張力によるシートの不均一な伸びを緩和させることができるので、可撓性シート３が透明基板２側に密着する際に、エアー溜まりができてしまうのを防ぐことができる。
【００４０】
従来は、可撓性シート３が空気の吸引により急激に引っ張られると、吸引孔２２付近の可撓性シートが先に透明基板２側に密着してしまい、中心部に図８に示したエアー溜まりができてしまう問題があった。また、可撓性シートにかかる急な張力は、可撓性シート内の張力のバランスを崩してしまう原因ともなり、この場合も、エアー溜まりができてしまう問題が起こる。
これに対して、本実施形態例の被露光部材載置部品１では、気密空間２６の空気を吸引した場合、可撓性シート３には、可撓性シート３が透明基板２側に密着するようにはたらく張力と、弾性部材１３による張力とが反対方向にはたらく。このため、可撓性シート３の面内の張力は、バランスが保たれた状態で透明基板２側に密着される。そして、このように可撓性シート３の面内の張力のバランスが保たれた状態で透明基板２側に密着されることにより、可撓性シート３は、エアー溜まりを残すことなく、透明基板２側に密着される。
【００４１】
次に、図７に、本実施形態例の被露光部材載置部品を用いた露光装置の概略構成を示す。
【００４２】
露光装置５０は、例えば、被露光部材としてプリント回路基板や、半導体基板を透明基板上に載置した被露光部材載置部品を設置して、露光装置内に被露光部材載置部品を挿入するための設置部５３と、図示されない光源と、光源からの光を被露光部材載置部品１上側に入射するように反射させる露光部５４と、それらを一体に格納する為の筐体５１とから構成される。
【００４３】
設置部５３は、被露光部材載置部品１を両側から支持できるローラ５５が設けられており、これらのローラ５５が駆動されることにより、被露光部材載置部品１は、筐体５１内部の露光部５４の下側に位置するように搬送される。
また、露光部５４には、反射ミラー５６が設けられており、この反射ミラー５６により、光源からの光が被露光部材載置部品１の上部に入射するように、光路が変化される。露光部５４により光源からの光が反射されて被露光部材載置部品１上に照射されることにより、被露光部材載置部品１では、可撓性シート３を介して、被露光部材が露光される。
【００４４】
本実施形態例の被露光部材載置部品１では、可撓性シート３が透明基板２側に撓むときに可撓性シート３にかかる張力を緩和する弾性部材１３が設けられているので、可撓性シート３は被露光部材上にエアー溜まりなく密着する。このため、被露光部材において、マスクが被露光基板上に精度良く密着され、かつ、被露光基板上に密着される可撓性シートはエアー溜まりなく、密着される。そして、露光装置５０にこの被露光部材載置部品１を用いた場合は、エアー溜まりが原因となる露光時の光の回折等がなくなり、被露光部材上に露光光が平行に到達するため、被露光基板上に転写されるマスクパターンの歪みが低減される。そして、可撓性シート３により、マスクと被露光基板が密着されているため、精度よくマスクパターンが被露光基板に転写される。また、エアー溜まりが全く発生しないために、従来必要であった可撓性シートの表面をへらで擦る作業が不要になり、露光作業時の作業性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態例に係る被露光部材載置部品の分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態例に係る被露光部材載置部品を組み立てたときの概略構成図である。
【図３】Ａ，Ｂ  本発明の一実施形態例に係る被露光部材載置部品の要部における平面図及びそのＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】本発明の一実施形態例に係る可撓性シートとそのシートに取付けられる補強金具を示す要部の斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態例に係る可撓性シートのネジ止め状態を示す部分断面図である。
【図６】Ａ〜Ｂ  本発明の一実施形態例に係る被露光部材載置部品において、内部の空気を吸引処理した際の説明図である。
【図７】本発明の一実施形態例に係る被露光部材載置部品を用いた露光装置の概略構成図である。
【図８】従来例の被露光部材載置部品の要部の概略断面構成及びその説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
１・・被露光部材載置部品、２・・透明基板、３・・可撓性シート、４・・支持枠体、５・・第１の外枠、６・・第２の外枠、７・・気密保持枠体、８・・ネジ穴、９・・金具、１０・・底部、１１，１２・・支持片、１３・・弾性部材、１４・・案内軸、１５・・可動部材、１６・・第１の固定軸、１７・・連結部、１８・・第２の固定軸、１８ａ・・ネジ螺合用穴、１９・・ネジ、２０、２１・・ボルト、２２・・吸引孔、２３・・把持部、２４，２５・・留め具、２６・・気密空間、２７・・蝶番、３１，３２・・補強金具、３１ａ，３２ａ・・穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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