(57)【要約】【課題】処理物を所定の箇所に集約することができる液処理装置を提供すること。【解決手段】剥離装置１は、部分剥離区間Ａと全体剥離・除去区間Ｂとを有し、部分剥離区間Ａは、ローラーとパドル４０とを備え、全体剥離・除去区間Ｂは、ローラーとシャワー部とを備えている。また、パドル４０は、剥離液５０が液槽部４２の両端からオーバーフローする２つの開口部を備える。このため、ガラス基板２０は剥離液５０が両縁部のみに浸されるので、中央部は剥離されず両端部が先に剥離し始める。そして、全体剥離・除去区間Ｂへと搬送され、剥離液５０がガラス基板２０の全体に噴射されるため、両縁部から中央部へとカバーフィルム２１の剥離を進行させ、カバーフィルム２１をガラス基板２０の中央部に集めることができるので、カバーフィルム２１が不規則に分散して滞留することを防ぐことができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の処理物に対して処理液を浸すことによって、前記処理物に化学反応処理を施す液処置装置において、
前記基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段の上側に設けられて前記搬送手段により搬送される前記基板に対して前記処理液を吐出する処理液吐出部を備え、
前記処理液吐出部は、前記処理液を前記搬送手段で搬送される前記基板上に吐出するための開口部を備え、前記開口部は前記基板上の一部に対向する部分の前記処理液吐出部に設けられる一方、前記基板上の他部に対向する部分の前記処理液吐出部には設けられないことを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液処理装置であって、前記処理液吐出部は前記処理液を溜める液槽部と、前記液槽部に設けられた前記開口部とを備え、前記開口部は前記基板上の一部に対向する前記液槽部に設けられる一方、前記基板上の他部に対向する前記液槽部には設けられないことを特徴とする液処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液処理装置であって、前記一部は前記基板上の搬送方向に沿った両縁部であり、前記他部は前記基板上の中央部であることを特徴とする液処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の液処理装置であって、前記処理液吐出部には、前記液槽部へ前記処理液を供給する処理液供給部が設けられ、前記処理液供給部から前記液槽部へ供給された前記処理液が前記液槽部内にてオーバーフローして前記開口部を介して前記基板上に吐出されることを特徴とする液処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の液処理装置であって、前記搬送方向における前記処理液吐出部の後側に、前記搬送手段の上側に設けられて前記基板の表面全体に前記処理液を吐出する複数のシャワー部を設けたことを特徴とする液処理装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の液処理装置であって、前記シャワー部は、前記搬送方向に対して反対方向に前記処理液を吐出する状態で設けられたことを特徴とする液処理装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の液処理装置であって、前記処理物はカバーフィルムであり、前記処理液は剥離液であり、前記化学反応処理により前記カバーフィルムが前記剥離液と反応して前記基板から剥離することを特徴とする液処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上の処理物に処理液を浸す液処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、例えば、プラズマディスプレイパネルや液晶ディスプレイパネルなどのディスプレイパネルの製造工程において、ガラス基板上に電極パターンを形成する際、例えばフォトリソグラフィ法などが用いられている。このフォトリソグラフィ法は、薄膜形成工程、現像処理工程、エッチング処理工程およびレジスト剥離工程の４工程を順に経ることにより、基板上にパターンを形成する方法である。
【０００３】
例えばフォトリソグラフィ法によりディスプレイパネルのガラス基板上に電極パターンを形成する場合、薄膜形成工程では、ガラス基板上の全領域にパターニングしたい電極材料の薄膜をスパッタリングなどの方法により形成し、さらに感光性材料であるレジスト層を一様に形成する。現像処理工程では、前工程で形成されたレジストに所望のパターンのUV光を照射・露光し、感光せずに硬化しないまま基板上に残ったレジストのみを現像液で除去することによって現像する。
【０００４】
これらの現像されたレジストパターンは、水洗、乾燥した後、基板とレジストとの密着性を向上させるためにポストベーク処理が施される。さらに、エッチング処理工程では、前工程で形成したレジストパターンをマスクとして、電極材料薄膜をエッチング処理液により除去する。
【０００５】
レジストはこのエッチング処理液に対して耐性を有するため、電極材料薄膜のレジストパターンに被覆されていない部分のみが除去され、ガラス基板が剥き出しになる。水洗、乾燥後に、レジスト剥離工程では、前工程で残されたレジストパターンがレジスト剥離液により除去され、水洗、乾燥処理が行われる。これにより、ガラス基板上には所望の電極材料のパターンのみが形成される。
【０００６】
従来、上述したようなレジスト等のカバーフィルムを剥離するために、カバーフィルムに被膜されたガラス基板に剥離液をシャワーノズルから噴射することにより、カバーフィルムと剥離液との間で化学反応を発生させてカバーフィルムを剥離している。このとき、シャワーノズルがガラス基板の上及びガラス基板の斜め横から噴射することによりカバーフィルムをガラス基板中央部に集めるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−１７５０９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１のような剥離装置の場合、剥離液の流れにより剥離したカバーフィルムをガラス基板中央部に集めるので、ガラス基板中央部に向かった剥離液の流れを発生させるためには各々のシャワーノズルの角度の調整が必要である。
また、カバーフィルムに被覆されたガラス基板はディスプレイパネルに用いられるので、その大きさは同一ではなく様々である。このため、剥離されるガラス基板の大きさが異なる度にシャワーノズルの角度調整が必要であり、かつ、困難であるという問題が一例として挙げられる。
【０００９】
本発明は、処理物を所定の箇所に集約することができる液処理装置を提供することを１つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、基板上の処理物に対して処理液を浸すことによって、前記処理物に化学反応処理を施す液処置装置において、前記基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段の上側に設けられて前記搬送手段により搬送される前記基板に対して前記処理液を吐出する処理液吐出部を備え、前記処理液吐出部は、前記処理液を前記搬送手段で搬送される前記基板上に吐出するための開口部を備え、前記開口部は前記基板上の一部に対向する部分の前記処理液吐出部に設けられる一方、前記基板上の他部に対向する部分の前記処理液吐出部には設けられないことを特徴とする液処理装置である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
以下、本発明の第１実施形態を図１から図４に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態の剥離装置の縦断面図である。図２は、前記実施形態の剥離装置の上面図である。図３は、前記実施形態のパドルを拡大した斜視図である。図４は、前記実施形態のパドルを拡大して示した正面図、上面図及び側面図である。
【００１３】
〔本発明の第１実施形態の剥離装置の構成〕
図１、図２に示したように、本発明の第１実施形態の液処理装置としての剥離装置１は、部分剥離区間Ａと、全体剥離・除去区間Ｂとを備えている。
この部分剥離区間Ａは、筐体１０内に基板としてガラス基板２０を搬送する搬送手段としての複数のローラー３０と、ガラス基板２０が筐体１０内へ入る入口に位置するローラー３０の上方に設けられたパドル４０とを備えている。このパドル４０は処理液としての剥離液５０をガラス基板２０に向けて噴射する処理液吐出部として機能する。
【００１４】
そして、筐体１０は、剥離処理によって廃棄されるカバーフィルム及び剥離液５０を筐体１０外へと排出する図示しない排水口と、この排水口へと当該廃棄物を誘導する傾斜部１１と、ガラス基板２０を搬入するスリット状に開口された搬入口１２とを備えている。
【００１５】
ガラス基板２０はガラス基板２０上に被覆されたカバーフィルム２１を備えている。ローラー３０は、ガラス基板２０を回転方向へと搬送する径大部３１と、図示しない軸受により軸支されることにより径大部３１を軸支する径小部３２と、隣接する２個の径大部３１を一体に連携するベルト部３３とを備えている。
【００１６】
パドル４０は、剥離液５０を供給する処理液供給部としての第一液供給部４１と、供給された剥離液５０を収容する略直方体箱状に形成された液槽部４２と、この液槽部４２からオーバーフローする剥離液５０をガラス基板２０へと誘導する誘導部４３とを備えている。
【００１７】
全体剥離・除去区間Ｂは、ガラス基板２０を部分剥離区間Ａから連続して搬送する複数のローラー３０と、これらのローラー３０の上方に設けられ剥離液５０をガラス基板２０に向けて噴射する複数のシャワー部６０と、ガラス基板２０を筐体１０外へと搬出するスリット状に開口された搬出口１３とを備えている。
【００１８】
そして、このシャワー部６０は、シャワー部６０へ剥離液５０を供給する第二液供給部６１と、供給された剥離液５０をガラス基板２０へと噴射するシャワーヘッド６２とを備えている。
また、シャワーヘッド６２の先端は、剥離液５０を線状に噴射する形状、例えば、外周が円錐状となっており、さらにガラス基板２０の搬送方向に対向する向きに設けられ、かつ、剥離したカバーフィルム２１がガラス基板２０の中央部に集約されるようにガラス基板２０の端縁部と対向するシャワーヘッド６２はガラス基板２０の中央に向かって設けられている。
なお、部分剥離区間Ａはガラス基板２０の搬送方向の上流側に位置し、全体剥離・除去区間Ｂはガラス基板２０の搬送方向の下流側に位置している。
【００１９】
図３、図４に示したように、パドル４０は、剥離液５０を供給する処理液供給部としての第一液供給部４１と、供給された剥離液５０を収容する略直方体状に形成された液槽部４２と、この液槽部４２からオーバーフローする剥離液５０をガラス基板２０へと誘導する誘導部４３と、剥離液５０のオーバーフローを一部規制する邪魔板４４と、剥離液５０を第一液供給部４１を介して液槽部４２へ搬送する液搬送部４５と、剥離液５０が液槽部４２からオーバーフローする２つの開口部４６とを備えている。
【００２０】
そして、第一液供給部４１は、液搬送部４５から延びる円筒状の配管であり液槽部４２の内部へと貫通しており、この貫通した部分の第一液供給部４１には配管外へ剥離液５０を吐出する吐出口４１Ａが設けられている。
【００２１】
液槽部４２は、上面が開口された略直方体状に形成されており、４つの側面のうち１つの側面は他の側面より高さ寸法が小さくなっている。そして、この側面と対向する側面の上辺から直方体外側へと垂直に突起した係合部４２Ａが設けられている。また、この係合部４２Ａが突起する側面は剥離装置１の筐体１０の内側壁面に当接され固定されており、係合部４２Ａは筐体１０の上方より当接し係合している（図１参照）。
【００２２】
誘導部４３は、液槽部４２の高さ寸法の小さい側面の上辺から直方体外側へ円弧状に延びて形成されている。この誘導部４３には、オーバーフローする剥離液５０を平滑にする液槽部４２の幅方向に延びた第一誘導板４３Ａと、この第一誘導板４３Ａの両端から垂直に突起した剥離液５０の幅方向への広がりを規制する第二誘導板４３Ｂとを備えている。
【００２３】
邪魔板４４は、その断面がＬ字状に形成された板状部材であり、幅広の平面と高さ寸法の小さい側面の内側とが当接し固定され、さらに他方の平面が液槽部４２の底面と当接し固定されて液槽部４２と一体に固定されている。また、この邪魔板４４は、加工が容易で剥離液５０などに対する耐薬性に優れた素材（例えば、塩化ビニル等）となっている。
【００２４】
開口部４６は、液槽部４２の高さ寸法の小さい側面の上辺のうち、邪魔板４４の突起により剥離液５０の吐出が規制されない箇所となっている。つまり、開口部４６は、液槽部４２の高さ寸法の小さい側面の上辺の中央部を除く両縁部に位置している。
【００２５】
〔本発明の第１実施形態の液処理方法〕
図１、図２に示したように、剥離装置１のローラー３０が回転することにより、ローラー３０に載置されるガラス基板２０は、搬入口１２から部分剥離区間Ａへと搬送される。そして、この搬送されたガラス基板２０の上に液槽部４２の２つの開口部４６からオーバーフローする剥離液５０が誘導部４３を伝って２本の滝状となって落下する。
【００２６】
このとき、２つの開口部４６からオーバーフローする剥離液５０はガラス基板２０の両縁部にのみ落下する。つまり、ガラス基板２０は両縁部のみ剥離液５０に浸され、その中央部には浸されないので、ガラス基板２０に被覆されたカバーフィルム２１は両端部から剥離し始める。
【００２７】
次に、両縁部のカバーフィルム２１の剥離が進行したガラス基板２０は全体剥離・除去区間Ｂへと搬送され、シャワーヘッド６２から噴出する剥離液５０がガラス基板２０の全体に噴射されるため、両縁部から中央部へとカバーフィルム２１の剥離が進行する。そして、剥離液５０の噴射圧力によりガラス基板２０の両縁部から中央部へと順にカバーフィルム２１が剥離することで、カバーフィルム２１はガラス基板２０の中央部に集められる。
【００２８】
ガラス基板２０の中央部に集められたカバーフィルム２１は、最終的に全て剥離が完了するとともに、纏まったままガラス基板２０から除去される。そして、除去されたカバーフィルム２１は、ローラー３０の隙間から筐体１０の傾斜部１１へと落下する。
その後は、使用済みの剥離液５０等の排水とともに傾斜部１１を流され、図示しない排水口へと廃棄される。
【００２９】
〔本発明の第１実施形態の剥離装置の作用効果〕
上記のような構成の第１実施形態によれば、以下の作用効果を奏することができる。
【００３０】
（１）本発明の第１実施形態の剥離装置１は、部分剥離区間Ａと、全体剥離・除去区間Ｂとを備えている。この部分剥離区間Ａは、ガラス基板２０を搬送する複数のローラー３０と、このローラー３０の上方に設けられた剥離液５０をガラス基板２０に向けて吐出する処理液吐出部としてのパドル４０とを備え、全体剥離・除去区間Ｂは、複数のローラー３０と、複数のシャワー部６０とを備えている。また、パドル４０は、剥離液５０が液槽部４２の両端からオーバーフローする２つの開口部４６を備えている。
【００３１】
このため、パドル４０の開口部４６から落下し浸される剥離液５０がガラス基板２０の両縁部のみとなるので、最初にガラス基板２０の両縁部のカバーフィルム２１が剥離され、中央部のカバーフィルム２１は剥離されず両端部が先に剥離し始める。
【００３２】
そして、両縁部のカバーフィルム２１の剥離が進行したガラス基板２０は全体剥離・除去区間Ｂへと搬送され、シャワーヘッド６２から剥離液５０がガラス基板２０の全体に噴射されるため、両縁部から中央部へとカバーフィルム２１の剥離が進行し、両縁部から中央部へと順にカバーフィルム２１が剥離・除去されることで、カバーフィルム２１をガラス基板２０の中央部に集めることができる。つまり、先に剥離液５０に浸されないガラス基板２０の箇所にカバーフィルム２１を集めることができる。
【００３３】
（２）このため、個々のシャワーヘッド６２の向きを調整することによりガラス基板２０の上に中央部へ向かう正確な剥離液の流れを作る必要がなく、大きさの異なるガラス基板２０に対してもシャワーヘッド６２の角度調整をする必要をなくすことができる。
【００３４】
（３）さらに、ガラス基板２０の中央部に集められたカバーフィルム２１は、最終的に全て剥離が完了するとともに、纏まったままガラス基板２０から除去される。そして、除去されたカバーフィルム２１は、ローラー３０の幅方向中央部の隙間から筐体１０の傾斜部１１へと落下する。その後は、使用済みの剥離液５０等の排水とともに傾斜部１１に沿って流され、図示しない排水口へと廃棄される。
【００３５】
このため、カバーフィルム２１がガラス基板２０の上を不規則に多方向に流出し、傾斜部１１の広域に分散して排水の流れを悪くすることで、カバーフィルム２１が滞留し大きな塊に成長してしまい排水口の詰まりの原因となることを防ぐことができる。
【００３６】
（４）パドル４０の邪魔板４４は、その断面がＬ字状に形成された板状部材であり、幅広の平面と高さ寸法の小さい側面の内側とが当接し固定され、さらに他方の平面が液槽部４２の底面と当接し固定されて液槽部４２と一体に固定されている。また、この邪魔板４４は、加工が容易で剥離液５０などに対する耐薬性に優れた素材（例えば、塩化ビニル等）となっている。そして、開口部４６は、液槽部４２の高さ寸法の小さい側面の上辺のうち、邪魔板４４の突起により剥離液５０の吐出が規制されない箇所となっている。
【００３７】
このため、邪魔板４４の幅を任意に設定可能であり、開口部４６の幅を任意に設定することができる。従って、ガラス基板２０上のカバーフィルム２１において、先に剥離液５０に浸したい領域を、簡易な方法で、かつ、任意に設定することができるので、製造工程における自由度を増大させることができる。
【００３８】
（５）パドル４０の誘導部４３は、液槽部４２の高さ寸法の小さい側面の上辺から直方体外側へ円弧状に延びて形成されている。  
このため、剥離液５０はパドル４０から落下してガラス基板２０を浸すので、シャワー噴射によるものに比べて、弱い圧力で均一に剥離液５０を吐出することができるので、剥離ムラや一度剥離したカバーフィルム２１の再付着を防止することができる。
【００３９】
（６）誘導部４３には、オーバーフローする剥離液５０を平滑にする液槽部４２の幅方向に延びた第一誘導板４３Ａと、この第一誘導板４３Ａの両端から垂直に突起した剥離液５０の幅方向への広がりを規制する第二誘導板４３Ｂとを備えている。
【００４０】
このため、液槽部４２からオーバーフローした剥離液５０は第二誘導板４３Ｂにより水平方向への広がりを規制され、第一誘導板４３Ａを伝ってガラス基板２０へ滝状となって落下するので、シャワー噴射によるものに比べて、所定の箇所に的確に剥離液５０を浸すことができる。
【００４１】
以下、本発明の第２実施形態を図５に基づいて説明する。
図５は、本発明の第２実施形態のパドルを拡大した斜視図である。
【００４２】
〔本発明の第２実施形態の剥離装置の構成〕
図５に示したように、本発明の第２実施形態の剥離装置１のパドル４０は、第一液供給部４１と、この第一液供給部４１に剥離液５０を搬送する液搬送部４５と、第一液供給部４１にスリット状に設けられた開口部４６とを備えている。
また、パドル４０を除く他の構成は前記第１実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００４３】
〔本発明の第２実施形態の剥離装置の作用効果〕
本発明の第２実施形態の剥離装置１は、前記第１実施形態の作用効果（１）〜（５）を奏することができる。
【００４４】
（７）パドル４０は、第一液供給部４１と、この第一液供給部４１に剥離液５０を搬送する液搬送部４５と、第一液供給部４１の両縁部にスリット状に設けられた開口部４６とを備えている。このため、より簡易な構成で前記第１実施形態の作用効果（１）〜（５）を奏することができ、装置の製造コストを削減することができる。
【００４５】
〔本発明の実施形態の剥離装置の変形例〕
本発明は目的を達成する範囲で変形してもよい。本発明の実施形態では、開口部４６をガラス基板２０の両縁部に対向する箇所としたが、これに限らず、それ以外の箇所に開口部４６を設ける構成としてもよい。
【００４６】
例えば、排水口の位置が剥離装置１の中央ではなく搬送方向の右側に設けられているような場合、搬送方向の左側にパドル４０の開口部４６を設けることでカバーフィルム２１を右側に集めて搬送方向の右側へ流出させることができる。すなわち、剥離装置１全体の構成に適応させて任意の位置にカバーフィルム２１を集めて流出させることができる。
【００４７】
例えば、排水口の位置が剥離装置１の中央ではなく搬送方向の左右両側に設けられているような場合、ガラス基板２０の中央部に対向する箇所にパドル４０の開口部４６を設けることでカバーフィルム２１をガラス基板２０の両端に分割して集めて搬送方向の左右両側へ流出させることができる。
すなわち、剥離装置１全体の構成に適応させて任意の位置にカバーフィルム２１を集めて流出させることができる。
【００４８】
本発明の実施形態では、１個のパドル４０が設けられているが、これに限らずパドル４０を搬送方向に沿って複数個並列させて設けてもよい。これにより、カバーフィルム２１の所望の箇所への収集能力が更に向上し、分散を防ぐことができる。この場合、開口部４６はそれぞれのパドル４０で同一対応箇所としてもよいが、搬送方向の下流側へ行く程、開口部４６を上記所望の箇所へ徐々に近づける構成にすると更に収集能力を向上させることができる。例えば、開口部４６を下流のパドル４０へ行く程、両縁部から中央部へ徐々にシフトする構成としてもよい。
【００４９】
本発明の実施形態では、ローラー３０の径大部３１を幅方向に１本で繋がった構成としたが、これに限らない。例えば、径大部３１の中央部をカバーフィルム２１が集まる所望の箇所とし、その箇所に対向する部分にローラー３０を設けない間隙部とし、間隙部の両側にそれぞれ１本ずつの片持のローラー３０を設ける構成としてもよい。これにより、カバーフィルム２１がローラー３０の外周面に付着することを防止することができる。
【００５０】
本発明の実施形態では、液処理装置をレジストの剥離装置１とし、処理液を剥離液５０としたが、これに限らず、例えば、液処理装置を現像装置とし、処理液を現像液としてもよく、液処理装置をエッチング装置とし、処理液をエッチング液としてもよい。すなわち、処理液によってガラス基板２０上の処理物が化学反応処理される構成の装置であれば、いずれにも適応することができる。
【００５１】
〔実施形態の作用効果〕
上述したように、上記剥離装置１では、ガラス基板２０上のカバーフィルム２１に対して剥離液５０を浸すことによって、このカバーフィルム２１に化学反応処理を施す剥離装置１において、前記ガラス基板２０を搬送するローラー３０と、このローラー３０の上側に設けられて前記ローラー３０により搬送される前記ガラス基板２０に対して前記剥離液５０を吐出するパドル４０を備え、前記パドル４０は、前記剥離液５０を前記ローラー３０で搬送される前記ガラス基板２０上に吐出するための開口部４６を備え、前記開口部４６は前記ガラス基板２０上の一部に対向する部分の前記パドル４０に設けられる一方、前記ガラス基板２０上の他部に対向する部分の前記パドル４０には設けられない。
このため、パドル４０の開口部４６から落下し浸される剥離液５０がガラス基板２０の両縁部のみとなるので、最初にガラス基板２０の両縁部のカバーフィルム２１が剥離され、中央部のカバーフィルム２１は剥離されず両端部が先に剥離し始め、その後、シャワーヘッド６２から剥離液５０がガラス基板２０の全体に噴射されるため、両縁部から中央部へとカバーフィルム２１の剥離が進行し、両縁部から中央部へと順にカバーフィルム２１が剥離・除去されることで、カバーフィルム２１をガラス基板２０の中央部に集めることができる。
従って、個々のシャワーヘッド６２の向きを調整することによりガラス基板２０の上に中央部へ向かう正確な剥離液の流れを作る必要がなく、大きさの異なるガラス基板２０に対してもシャワーヘッド６２の角度調整をする必要をなくすことができる。
さらに、カバーフィルム２１がガラス基板２０の上を不規則に多方向に流出し、傾斜部１１の広域に分散して排水の流れを悪くすることで、カバーフィルム２１が滞留し大きな塊に成長してしまい排水口の詰まりの原因となることを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１実施形態の剥離装置の縦断面図。
【図２】前記実施形態の剥離装置の上面図。
【図３】前記実施形態のパドルを拡大した斜視図。
【図４】前記実施形態のパドルを拡大して示した正面図、上面図及び側面図である。
【図５】本発明の第２実施形態のパドルを拡大した斜視図。
【符号の説明】
【００５３】
１…剥離装置（液処理装置）
２０…ガラス基板（基板）
２１…カバーフィルム（処理物）
３０…ローラー（搬送手段）
４０…パドル（処理液吐出部）
４１…第一液供給部（処理液供給部）
４２…液槽部
４６…開口部
５０…剥離液（処理液）
６０…シャワー部
【図１】
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【図２】
2009218261.tif 000004
【図３】
2009218261.tif 000005
【図４】
2009218261.tif 000006
【図５】
2009218261.tif 000007