(57)【要約】【課題】配線部の間隔を広げることなく配線部からのバンプの剥がれを防止できる針プローブを提供する。【解決手段】絶縁性を有するフレキシブル基板上に、被検査回路を検査する検査回路と電気的に接続する配線部本体42a、および、配線部本体42aの表面の一部に凹凸状に形成した面積拡大部42bを備えた複数の配線部42を、互いに離間して配設する。配線部42上の面積拡大部42bの少なくとも一部を含む部分に、被検査回路の測定パッドと接触して電気的に接続するバンプ43を形成する。バンプ43と配線部42との接触面積を面積拡大部42bにより増加させ、配線部42の間隔を広げることなく配線部42からのバンプ43の剥がれを防止できる。【選択図】図１
2009186208.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性を有するフレキシブル基板と、
このフレキシブル基板上に形成され被検査回路を検査する検査回路と電気的に接続される配線部本体、および、この配線部本体の表面の少なくとも一部に凹凸状に形成された面積拡大部を備え、互いに離間されて複数配設された配線部と、
これら配線部上の前記面積拡大部の少なくとも一部を含む部分にそれぞれ成膜され、被検査回路の被検査端子と接触して電気的に接続されるバンプと
を具備したことを特徴とする検査用端子。
【請求項２】
前記配線部の面積拡大部は、前記配線部本体に穿設された孔部により形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の検査用端子。
【請求項３】
被検査回路を検査する検査回路と、
この検査回路に接続された請求項１または２記載の検査用端子と
を具備したことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査回路を検査する検査回路と電気的に接続される検査用端子およびこれを備えた検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、平面表示素子、すなわちフラットパネルディスプレイである液晶表示素子としての液晶パネルは、アレイ基板と対向基板とを対向配置させ、これら基板間に光変調層である液晶層を介在させ、この液晶層の周囲にて基板を貼り合わせることにより形成されている。
【０００３】
アレイ基板上には、複数の走査線と複数の信号線とが格子状に配設されており、これら走査線と信号線との交差位置のそれぞれには、スイッチング素子である薄膜トランジスタが形成されている。また、各走査線は、走査線駆動回路であるゲートドライバに電気的に接続され、各信号線は、信号線駆動回路であるソースドライバに電気的に接続されている。そして、薄膜トランジスタは、ゲート電極に走査線が接続されているとともに、ソース電極に信号線が接続されており、各ドライバからの信号が走査線および信号線を介して供給されることによりスイッチング動作されて、各画素を独立して点灯／消灯させることが可能となっている。
【０００４】
このような液晶パネルには、製造の際に、点欠陥、線欠陥や表示むらを選別するための点灯検査工程に用いられる被検査端子である複数の検査パッドが形成されている。そして、これら検査パッドに対して、検査装置側の検査用端子である針プローブを接触させ、検査装置側の駆動回路から駆動信号を液晶パネル側の検査パッドに印加することにより液晶パネルの被検査回路などを駆動させることで、液晶パネルを検査するように構成されている。
【０００５】
針プローブは、フレキシブル基板上に形成された複数の配線部上に、接触用のバンプをそれぞれ備えている(例えば、特許文献１参照。)。
【特許文献１】特開２００３−２１５１９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、液晶パネルの小型化、高精細化などに伴い、液晶パネル側の検査パッドの幅寸法およびピッチが狭くなってきているため、検査装置の針プローブの配線部のピッチも狭くなってきている。この結果、バンプと配線部との接触面積が狭くなり、上方からの衝撃などによりバンプが配線部から剥がれやすいという問題点を有している。
【０００７】
この点、バンプを配線部の上部だけでなく配線部の両側部に亘って形成することも考えられるものの、この場合には、バンプが配線部の両側部に突出するため、配線部の間隔を狭くすることができなくなるという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、配線部の間隔を広げることなく配線部からのバンプの剥がれを防止できる検査用端子およびこれを備えた検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、絶縁性を有するフレキシブル基板と、このフレキシブル基板上に形成され被検査回路を検査する検査回路と電気的に接続される配線部本体、および、この配線部本体の表面の少なくとも一部に凹凸状に形成された面積拡大部を備え、互いに離間されて複数配設された配線部と、これら配線部上の前記面積拡大部の少なくとも一部を含む部分にそれぞれ成膜され、被検査回路の被検査端子と接触して電気的に接続されるバンプとを具備したものである。
【００１０】
そして、配線部本体の表面の少なくとも一部に凹凸状に形成した面積拡大部を含む配線部上にバンプを成膜する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、バンプと配線部との接触面積を面積拡大部により増加させ、配線部の間隔を広げることなく配線部からのバンプの剥がれを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の第１の実施の形態の検査装置の構成を図１ないし図３を参照して説明する。
【００１３】
図３において、11は検査装置であり、この検査装置11は、例えば表示素子としての液晶表示素子である液晶パネルなどに用いられる被検査基板としてのアレイ基板12上の被検査回路である点灯回路の駆動特性を電気的に検査するものである。
【００１４】
ここで、アレイ基板12は、図示しない対向基板と対向配置されて貼り合わされることにより表示素子を構成するもので、マトリクス状に形成された画素をそれぞれ独立して点灯／消灯するためのスイッチング素子である薄膜トランジスタをマトリクス状に有するとともに、これら薄膜トランジスタのゲート電極に接続される複数の走査線と、薄膜トランジスタのソース電極に接続される複数の信号線とが、格子状に形成されている。そして、各走査線は、走査線駆動回路である複数のゲートドライバに電気的に接続され、各信号線は、信号線駆動回路である複数のソースドライバに電気的に接続されて、これらドライバからの信号によって各薄膜トランジスタが画像信号に対応して駆動することで、各画素が駆動されるように構成されている。
【００１５】
そして、アレイ基板12には、各ゲートドライバに対応する位置などに、点灯検査用の被検査端子である図示しない測定パッドが形成されている。これら測定パッドは、導電性を有し、所定のピッチで略等間隔に離間されて形成されている。
【００１６】
検査装置11は、例えば内部雰囲気を外部から遮断するプローバ部15と、プローバ部15に設けられた検査装置本体16とを備えている。
【００１７】
プローバ部15には、アレイ基板12を複数載置可能な載置面21を上部に備えた載置部としてのステージ22が内部に設けられているとともに、このステージ22を移動可能に支持する移動装置23が設けられている。
【００１８】
移動装置23は、ガイド部であるレール23a上にステージ22を支持し、ステージ22内に位置する図示しない動力系によって、ステージ22がレール23a上を水平に移動するように構成されている。
【００１９】
また、検査装置本体16は、プローバ部15の外部に位置する本体部31と、この本体部31からプローバ部15内へと突出する中継ボード32およびこの中継ボード32上に形成された中継ボックス33を有する中継部34とを備えている。
【００２０】
本体部31は、アレイ基板12の被検査回路の検査用の検査回路35を内部に備えているとともに、この検査回路35による検査結果などを表示するモニタおよび各種外部操作が入力されるコンソールなどを備えている。
【００２１】
中継ボード32は、略水平状に取り付けられ、ステージ22よりも上方で、かつ、レール23aの長手方向の一端部側に位置している。また、この中継ボード32上には、中継ボックス33側と電気的に接続される中継基板36が配設されている。
【００２２】
中継基板36は、本体部31側と中継ボックス33を介して接続される図示しない中継回路が形成されているとともに、ステージ22側に対向する一側部に、検査用端子としての針プローブ38が、例えば複数設けられている。
【００２３】
ここで、各針プローブ38は、図１(a)、図１(b)および図２に示すように、検査用端子本体としてのフレキシブル基板41と、このフレキシブル基板41上に形成された複数の配線部42と、各配線部42上に形成されたバンプ43とを備えている。なお、これら針プローブ38は、１つのアレイ基板12の被検査回路全てに対して一度に検査する個数設けてもよく、被検査回路を部分的に順次検査する個数設けてもよい。
【００２４】
フレキシブル基板41は、例えばポリイミドなどの絶縁性を有する部材によって可撓変形可能なフィルム状に形成されている。
【００２５】
各配線部42は、例えばスパッタリングおよびフォトエッチングなどによってフレキシブル基板41上に銅などの導電部材により成膜された配線部本体42aの一部に、面積拡大部42bが形成されている。
【００２６】
配線部本体42aは、細長い四角形状に形成され、長手寸法が例えば８０μｍ、幅寸法が例えば３０μｍ、厚みが例えば４μｍ〜８μｍ程度に形成され、互いに略等間隔に離間されている。また、この配線部本体42aは、面積拡大部42bの両側部に連続部42c，42cが形成され、一端側と他端側とが絶縁されることなく導通するように形成されている。さらに、この配線部本体42aは、一端部が中継ボックス33の内部に形成されている駆動回路であるドライバ回路45(図３)に電気的に接続されている。
【００２７】
面積拡大部42bは、例えば配線部本体42aを形成する際のフォトエッチング用のマスク形状を加工することによって角孔状の複数の孔部42dが配線部本体42aの長手方向および幅方向に並んで断続的に形成されてメッシュ状(モザイク状)となっている。このため、この面積拡大部42bが形成されている部分の配線部本体42aの表面は、凹凸状となっている。また、各面積拡大部42bは、配線部本体42aの長手方向に沿って長手状に形成されている。さらに、互いに隣接する配線部本体42aの面積拡大部42bは、例えば配線部本体42aの長手方向(図１中の上下方向)に互いにずれた位置に形成されている。
【００２８】
そして、バンプ43は、アレイ基板12(図３)の測定パッドと接触して物理的および電気的に接続される針部であり、各配線部42の面積拡大部42bの孔部42dを含む配線部本体42a上に、例えば導電性の部材によるめっきを成長させることにより成膜されている。このため、バンプ43には、各孔部42d内にそれぞれ入り込んだ突出部43aがそれぞれ形成されている。また、これらバンプ43は、配線部本体42aと略等しい幅寸法を有している。したがって、これらバンプ43は、各配線部42からその配線部42に隣接する配線部42側、すなわち配線部42の側方へと突出することなく、配線部本体42aの上部にのみ積層されている。
【００２９】
次に、上記第１の実施の形態のアレイ基板12の被検査回路の検査方法を説明する。
【００３０】
まず、アレイ基板12の測定パッド側を中継ボード32の針プローブ38側に向けた状態でステージ22の載置面21上に載置して固定する。
【００３１】
次いで、ステージ22を移動装置23によりレール23a上で中継ボード32側へと移動させ、アレイ基板12の測定パッドを針プローブ38の各バンプ43に物理的および電気的に接続する。
【００３２】
この状態で、検査装置本体16の本体部31内の検査回路35から、点灯検査用の駆動信号を、中継ボックス33のドライバ回路45、中継基板36、針プローブ38の配線部42を介して各バンプ43から測定パッドへと入力する。
【００３３】
そして、この針プローブ38が接続されたアレイ基板12の被検査回路からの出力が、測定パッドから、針プローブ38の各バンプ43、配線部42、中継基板36および中継ボックス33を介して検査装置本体16の本体部31内へと入力され、被検査回路の特性を電気的に検査する。
【００３４】
この後、移動装置23によりステージ22を適宜移動させ、同一のアレイ基板12の他の測定パッド、あるいは他のアレイ基板12の測定パッドなどと針プローブ38の各バンプ43とを順次接続して、それぞれ被検査回路の特性を検査する。
【００３５】
上述したように、上記第１の実施の形態によれば、配線部本体42aの表面の一部に凹凸状に形成した面積拡大部42bを含む配線部42上にバンプ43を成膜することで、バンプ43と配線部42との接触面積を増加させることができる。
【００３６】
この結果、配線部本体42aの幅寸法が小さくなったり、隣接する配線部42，42間のピッチが狭くなったりする場合でも、配線部42とバンプ43との接触面積を確保して、配線部42の幅寸法やピッチを広げることなくアレイ基板12の測定パッドとの接触などの衝撃に対するバンプ43の剥がれを確実に防止でき、耐久性を向上できる。
【００３７】
しかも、このように接触面積を充分に確保できることで、バンプ43を、配線部本体42aに対して幅方向に突出させることなく形成できるので、隣接する配線部42，42間のスペースを比較的広く取ることができ、狭ピッチの測定パッドに対しても対応できる。
【００３８】
また、面積拡大部42bを、配線部本体42aに対して孔部42dを設けることで構成することにより、配線部本体42aをフレキシブル基板41に対してフォトエッチングなどによってパターニングする際のマスクの形状を加工するだけで面積拡大部42bを容易に形成できるだけでなく、配線部本体42aのパターニングと同時に面積拡大部42bを形成できるので、面積拡大部42bを形成するための他の工程を必要としないため、製造性も有利となる。
【００３９】
次に、第２の実施の形態を図４を参照して説明する。なお、上記各実施の形態と同様の構成および作用については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００４０】
この第２の実施の形態は、上記第１の実施の形態において、面積拡大部42bを形成する孔部42dを、配線部本体42aの幅方向、すなわち長手方向に交差する方向に沿う横長形状とし、面積拡大部42bを横ストライプ状としたものである。
【００４１】
このように、各配線部本体42aの一部に、これら配線部本体42aの表面積を増加させる凹凸形状となる面積拡大部42bを形成することにより、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００４２】
また、面積拡大部42bを構成する孔部42dを配線部本体42aの幅方向に沿う形状とすることにより、これら孔部42dを形成するためのマスク加工が容易となり、製造性がより向上する。
【００４３】
次に、第３の実施の形態を図５を参照して説明する。なお、上記各実施の形態と同様の構成および作用については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００４４】
この第３の実施の形態は、上記第１の実施の形態において、面積拡大部42bを形成する孔部42dを、配線部本体42aの長手方向に沿う縦長形状とし、面積拡大部42bを縦ストライプ状としたものである。
【００４５】
このように、各配線部本体42aの一部に、これら配線部本体42aの表面積を増加させる凹凸形状となる面積拡大部42bを形成することにより、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００４６】
また、孔部42dを配線部本体42aの長手方向に沿う形状とすることにより、これら孔部42dを形成するためのマスク加工が容易となり、製造性がより向上するだけでなく、孔部42dが配線部本体42aを横断しないので、配線部本体42aの一端側と他端側とが孔部42dによって遮断されることがないから、孔部42dを配線部本体42a全体に亘って形成でき、各配線部42と各バンプ43との接触面積を、より広く取ることが可能となる。
【００４７】
次に、第４の実施の形態を図６を参照して説明する。なお、上記各実施の形態と同様の構成および作用については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００４８】
この第４の実施の形態は、上記第１の実施の形態において、面積拡大部42bを形成する孔部42dを、丸孔状とし、これら孔部42dを配線部本体42aの長手方向および幅方向に並べて形成したものである。
【００４９】
このように、各配線部本体42aの一部に、これら配線部本体42aの表面積を増加させる凹凸形状となる面積拡大部42bを形成することにより、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００５０】
また、孔部42dを丸孔状とすることにより、面積拡大部42bを容易に形成できる。
【００５１】
なお、上記各実施の形態において、面積拡大部42bは、孔部42dによって凹凸状に形成したが、配線部本体42aの表面を凹凸として各配線部42と各バンプ43との接触面積を確保できれば、例えば配線部本体42aの表面に複数の凸部を形成したり、あるいは、配線部本体42aを厚み方向に貫通しない凹部を形成したりするなどの構成でもよい。
【００５２】
また、検査装置11により検査する被検査回路は、液晶パネルのアレイ基板12の点灯回路など、表示素子用の基板上の回路に限定されるものではない。
【００５３】
さらに、面積拡大部42bは、例えば配線部本体42aの表面全体などに設けてもよい。
【００５４】
そして、バンプ43は、面積拡大部42bの少なくとも一部を含む部分にて配線部本体42a上に形成できればよい。
【００５５】
また、検査装置11の構成は、上記に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１の実施の形態の検査用端子の説明図であり、(a)は同上検査用端子の配線部を拡大して示す説明平面図、(b)は(a)の縦断面図である。
【図２】同上検査用端子を示す平面図である。
【図３】同上検査用端子を備えた検査装置を示す説明図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態の検査用端子を示す平面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態の検査用端子を示す平面図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態の検査用端子を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５７】
11    検査装置
35    検査回路
38    検査用端子としての針プローブ
41    フレキシブル基板
42    配線部
42a   配線部本体
42b   面積拡大部
42d   孔部
43    バンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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