(57)【要約】【課題】製造工程途中のできるだけ早い段階で薄膜磁気ヘッドの書き込みトラック幅の検査を行う。【解決手段】ローバー状態の薄膜磁気ヘッドにボンディングパッドより記録信号（励磁用信号）を入力し、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド（素子）より発生される磁界の様子を、磁気ヘッドの浮上高さ相当分の位置でスキャン移動させて磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、走査型ホールプローブ顕微鏡（ＳＨＰＭ）又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡（ＳＭＲＭ）にて直接観察することで、記録ヘッド（素子）の物理的な形状ではなく発生磁界形状を測定し、磁気的な実効トラック幅の検査を非破壊で実施可能とした。スピンスタンドを用いてＨＧＡ状態又は擬似ＨＧＡ状態でしか検査できなかった実効トラック幅の測定を、磁気力顕微鏡を用いることによってローバー状態で行えるようにした。【選択図】図１
2009230845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッド検査方法において、
前記磁気ヘッドの記録ヘッド部に励磁用信号を供給した状態で、磁気力顕微鏡のカンチレバー手段の磁性探針を前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部の表面に沿ってスキャン移動させて、前記カンチレバー手段の励振状態を示す信号を検出し、それに基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を測定することを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【請求項２】
ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッド検査方法において、
前記磁気ヘッドの記録ヘッド部に励磁用信号を供給した状態で、原子間力顕微鏡のカンチレバー手段に設けられたホール素子又はＭＲ素子を前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部の表面に沿ってスキャン移動させて、前記ホール素子又はＭＲ素子からの信号を検出し、それに基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を測定することを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【請求項３】
ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの実効トラック幅を、前記ウエハから切り出されたローバー状態で、磁気力顕微鏡、走査型ホールプローブ顕微鏡又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡を用いて測定することを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【請求項４】
ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッド検査装置において、
先端に磁性探針を備え、所定周波数で励振されるカンチレバー手段と、
前記ローバー状態のヘッドスライダの接続端子に接触して、前記磁気ヘッドの記録ヘッドに励磁用信号を供給するプローブ手段と、
前記磁性探針を前記記録ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記励磁用信号の供給されている前記磁気ヘッドの記録部表面に沿ってスキャン移動させるスキャン手段と、
前記スキャン手段のスキャン中に前記カンチレバー手段の励振状態を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された前記カンチレバー手段の励振状態を示す信号に基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を算出する演算手段と
を備えたことを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
【請求項５】
ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッド検査装置において、
所定周波数で励振される原子間力顕微鏡のカンチレバー手段と、
前記カンチレバー手段に設けられたホール素子又はＭＲ素子からなる磁界検出手段と、
前記ローバー状態のヘッドスライダの接続端子に接触して、前記磁気ヘッドの記録ヘッドに励磁用信号を供給するプローブ手段と、
前記磁界検出手段を前記記録ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記励磁用信号の供給されている前記磁気ヘッドの記録部表面に沿ってスキャン移動させるスキャン手段と、
前記スキャン手段のスキャン中に前記磁界検出手段から出力される信号を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された信号に基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を算出する演算手段と
を備えたことを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
【請求項６】
請求項１、２若しくは３に記載の磁気ヘッド検査方法、又は請求項４若しくは５に記載の磁気ヘッド検査装置を用いて磁気ヘッドを製造することを特徴とする磁気ヘッド製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッドを検査する磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法に係り、特に光学顕微鏡で検査不可能な薄膜磁気ヘッドのトラック幅を検査することのできる磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年は、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の面記録密度の急激な増加に伴い、薄膜磁気ヘッドの書き込みトラック幅も微細化され、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド（素子）によって磁気ディスク上に書き込まれる書き込みトラック幅を正確に検査する技術の重要性が増している。
【０００３】
従来は、光学顕微鏡にて、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド（素子）の形状測定を実施していたが、トラック幅の微細化に伴って書き込みトラック幅が光学系解像度以下となったことによって、光学顕微鏡では記録ヘッド（素子）の形状測定は困難となってきた。そこで、最近は、光学顕微鏡に代えて走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて記録ヘッド（素子）の形状測定を実施している。しかしながら、ＳＥＭによる測定は、破壊検査であり、また、光学顕微鏡と同様に記録ヘッド（素子）の物理的な形状を単に測定するに過ぎず、磁気ディスク上に実際に書き込まれる磁気的な実効トラック幅（書き込みトラック幅）との相関関係を測定することが困難であるという問題を有していた。また、原子間力顕微鏡（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＡＦＭ）を用いて記録ヘッド（素子）の形状を測定するという技術も存在するがこの場合も上述と同様の問題が存在していた。最近では、磁気力顕微鏡（Ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｆｏｒｃｅ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＭＦＭ）を用いて記録ヘッドの磁界特性である磁界飽和現象を視覚的に観察できるように構成された磁気ヘッド測定装置が特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００３−２４８９１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のように走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）又は原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いて磁気ヘッド（記録ヘッド）の形状を測定する場合、記録ヘッド（素子）の物理的な形状を測定することは可能であるが、磁気ディスク上に実際に書き込まれる磁気的な実効トラック幅（書き込みトラック幅）を測定することはできなかった。そこで、従来は、磁気ヘッドとサスペンションが一体化された後の状態（ＨＧＡ状態）又は擬似ＨＧＡ状態でスピンスタンドと呼ばれるヘッド・ディスク専用の測定装置を用いて書き込みトラック幅を検査していた。
しかしながら、スピンスタンドを用いた検査は、ＨＧＡ状態又は擬似ＨＧＡ状態という磁気ヘッド製造の最終工程でなければ、その書き込みトラック幅の検査を実施できないため、生産性を向上したり、製造時の早期にフィードバックという要望に応えるといった観点からはあまり好ましくなかった。
【０００５】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、製造工程途中のできるだけ早い段階で磁気ヘッドの書き込みトラック幅の検査を行うことのできる磁気ヘッド検査方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る磁気ヘッド検査方法の第１の特徴は、ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッド検査方法において、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部に励磁用信号を供給した状態で、磁気力顕微鏡のカンチレバー手段の磁性探針を前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置で、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部の表面に沿ってスキャン移動させて、前記カンチレバー手段の励振状態を示す信号を検出し、それに基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を測定することにある。これは、ローバー状態の薄膜磁気ヘッドにボンディングパッドより記録信号（励磁用信号）を入力し、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド（素子）より発生される磁界の様子を、磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置でスキャン移動させて磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）にて直接観察することで、記録ヘッド（素子）の物理的な形状ではなく発生磁界形状を測定し、磁気的な実効トラック幅の検査を非破壊で実施可能としたものである。
【０００７】
本発明に係る磁気ヘッド検査方法の第２の特徴は、ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッド検査方法において、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部に励磁用信号を供給した状態で、原子間力顕微鏡のカンチレバー手段に設けられたホール素子又はＭＲ素子を前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部の表面に沿ってスキャン移動させて、前記ホール素子又はＭＲ素子からの信号を検出し、それに基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を測定することにある。これは、ローバー状態の薄膜磁気ヘッドにボンディングパッドより記録信号（励磁用信号）を入力し、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド（素子）より発生される磁界の様子を、磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置でスキャン移動させた原子間力顕微鏡（ＭＦＭ）のカンチレバー手段に設けられたホール素子又はＭＲ素子を用いて直接観察することで、記録ヘッド（素子）の物理的な形状ではなく発生磁界形状を測定し、磁気的な実効トラック幅の検査を非破壊で実施可能としたものである。
【０００８】
本発明に係る磁気ヘッド検査方法の第３の特徴は、ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの実効トラック幅を、前記ウエハから切り出されたローバー状態で、磁気力顕微鏡、走査型ホールプローブ顕微鏡又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡を用いて測定することにある。スピンスタンドを用いてＨＧＡ状態又は擬似ＨＧＡ状態でしか検査できなかった実効トラック幅の測定を、この発明では、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、走査型ホールプローブ顕微鏡（ＳＨＰＭ）又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡（ＳＭＲＭ）を用いることによってローバー状態で行えるようにしたものである。
【０００９】
本発明に係る磁気ヘッド検査装置の第１の特徴は、ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッド検査装置において、先端に磁性探針を備え、所定周波数で励振されるカンチレバー手段と、前記ローバー上のヘッドスライダの接続端子に接触して、前記磁気ヘッドの記録ヘッドに励磁用信号を供給するプローブ手段と、前記磁性探針を前記記録ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置で、前記励磁用信号の供給されている前記磁気ヘッドの記録部表面に沿ってスキャン移動させるスキャン手段と、前記スキャン手段のスキャン中に前記カンチレバー手段の励振状態を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された前記カンチレバー手段の励振状態を示す信号に基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を算出する演算手段とを備えたことにある。これは、前記磁気ヘッド検査方法の第１又は第３の特徴を実現するための装置の発明に関するものである。
【００１０】
本発明に係る磁気ヘッド検査装置の第２の特徴は、ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッド検査装置において、所定周波数で励振される原子間力顕微鏡のカンチレバー手段と、前記カンチレバー手段に設けられたホール素子又はＭＲ素子からなる磁界検出手段と、前記ローバー状態のヘッドスライダの接続端子に接触して、前記磁気ヘッドの記録ヘッドに励磁用信号を供給するプローブ手段と、前記磁界検出手段を前記記録ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記励磁用信号の供給されている前記磁気ヘッドの記録部表面に沿ってスキャン移動させるスキャン手段と、前記スキャン手段のスキャン中に前記磁界検出手段から出力される信号を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された信号に基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を算出する演算手段とを備えたことにある。これは、前記磁気ヘッド検査方法の第２又は第３の特徴を実現するための装置の発明に関するものである。
【００１１】
本発明に係る磁気ヘッド製造方法の特徴は、前記第１、第２若しくは第３の特徴に記載の磁気ヘッド検査方法、又は前記第１若しくは第２の特徴に記載の磁気ヘッド検査装置を用いて磁気ヘッドを製造することにある。これは、前記磁気ヘッド検査方法又は前記磁気ヘッド検査装置のいずれかを用いて、磁気ヘッドを製造するものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、製造工程途中のできるだけ早い段階で磁気ヘッドの書き込みトラック幅の検査を行うことができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示す図である。図１の磁気ヘッド検査装置は、スライダ単体（チップ）を切り出す前工程のローバー（ヘッドスライダが配列されたブロック）の状態でＭＲヘッド、ＧＭＲヘッド、ＴＭＲヘッドなど（以下ＭＲヘッドと呼ぶ。）の実効トラック幅を測定することが可能なものである。
【００１４】
通常、３ｃｍ〜５ｃｍ程度の細長いブロック体としてウエハから切り出されたローバーは、４０個〜６０個程度のヘッドスライダが配列された構成となっている。この実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置は、このローバー１をワークとして所定の検査を行うように構成されている。ローバー１は、通常、図示していないトレイ内に２０〜３０本程度、短軸方向に所定間隔で配列収納されている。図示していないハンドリングロボットは、ローバー１を図示していないトレイからで一本ずつ取り出して検査ステージ１０に搬送する。検査ステージ１０に搬送設置されたローバー１は後述のように検査される。
【００１５】
検査ステージ１０は、ローバー１をＸ，Ｙ方向に移動可能なＸステージ１１、Ｙステージ１２から構成されている。ローバー１は、その長軸方向の片側面がＹステージ１２の基準面に一旦突き当てられることによって位置決めされる。Ｙステージ１２の上面には、ローバー１の位置決め用の載置部１２１が設けられている。この載置部１２１の上面側縁部には、ローバー１の形状にほぼ合致した段差部が設けられている。ローバー１は、この段差部の底面と側面にそれぞれ当接されることによって所定位置に設置されるようになっている。段差部の後面には、ローバー１の後側面（磁気ヘッドの各接続端子のある面の反対面）が当接される。各当接面は、Ｘステージ１１の移動方向（Ｘ軸）及びＺステージ１３の移動方向（Ｚ軸）にそれぞれ平行で、かつ、直交した位置関係となる基準面を備えているので、ローバー１がＹステージ１２の段差部の底面と側面に当接設置されることによってＸ方向とＺ方向の位置決めが実行されるようになっている。
【００１６】
図示していないが、Ｙステージ１２の上方には位置ずれ量測定用のカメラが設けられている。Ｚステージ１３は、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）のカンチレバー部７をＺ方向に移動させるものである。検査ステージ１０のＸステージ１１，Ｙステージ１２、Ｚステージ１３は、それぞれピエゾステージで構成されている。所定の位置決めが終了すると、ローバー１は、載置部１２１に吸着保持され、図示していないプローブカードのプローブ先端がローバー１の前側面の端子にコンタクトされる。これによってローバー１の磁気ヘッドの記録ヘッド用コイルは励磁可能な状態となる。
【００１７】
ピエゾドライバ２０は、この検査ステージ１０の各Ｘステージ１１，Ｙステージ１２、Ｚステージ１３（ピエゾステージ）を駆動制御するものである。制御部３０は、モニタを含むパーソナルコンピュータ（ＰＣ）を基本構成とする制御用コンピュータで構成されている。図に示すように、検査ステージ１０のＹステージ１２上に載置されたローバー１の上方の対向する位置には、先端の尖った磁性探針を自由端とするカンチレバー部７が配置されている。カンチレバー部７は、Ｚステージ１３の下側に設けられた励振部材に取り付けられている。励振部材はピエゾ素子で構成され、ピエゾドライバ２０からの励振電圧によって機械的共振周波数近傍の周波数の交流電圧が印加され、磁性探針は上下方向に振動される。
【００１８】
変位検出部は、半導体レーザ素子４１と、反射ミラー４２，４３と、２分割光ディテクタ素子からなる変位センサ４４とから構成される。半導体レーザ素子４１から出射した光は反射ミラー４２によって反射され、カンチレバー部７上に照射され、そこで反射ミラー４３に向かって反射される。カンチレバー部７で反射された反射光は反射ミラー４３によってさらに反射されて変位センサ４４に導かれる。差動アンプ５０は、変位センサ４４から出力される２つの信号の差分信号に所定の演算処理を施してＤＣコンバータ６０に出力する。すなわち、差動アンプ５０は、変位センサ４４から出力される２つの信号の差分に対応した変位信号をＤＣコンバータ６０に出力する。ＤＣコンバータ６０は、差動アンプ５０から出力される変位信号を実効値の直流信号に変換するＲＭＳ−ＤＣコンバータ（Ｒｏｏｔ  Ｍｅａｎ  Ｓｑｕａｒｅｄ  ｖａｌｕｅ  ｔｏ  Ｄｉｒｅｃｔ  Ｃｕｒｒｅｎｔ  ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）で構成される。
【００１９】
差動アンプ５０から出力される変位信号は、カンチレバー部７の変位に応じた信号であり、カンチレバー部７は振動しているので交流信号となる。ＤＣコンバータ６０から出力される信号は、フィードバックコントローラ７０に出力される。フィードバックコントローラ７０は、カンチレバー部７の現在の振動の大きさをモニターするための信号として制御部３０にＤＣコンバータ６０から出力される信号を出力すると共に、カンチレバー部７の励振の大きさを調整するためのＺステージ１３の制御用信号としてピエゾドライバ２０にＤＣコンバータ６０から出力される信号を出力する。この信号を制御部３０でモニタし、その値に応じて、ピエゾドライバ２０のＺステージ１３を制御することによって、測定開始前に、カンチレバー部７の初期位置を調整するようしている。この実施の形態では、ハードディスクドライブのヘッド浮上高さをカンチレバー部７の初期位置として設定する。発信機８０は、カンチレバー部７を励振するための発振信号をピエゾドライバ２０に供給するものである。ピエゾドライバ２０は、この発信機８０からの発振信号に基づいてカンチレバー部７を所定の周波数で振動させる。
【００２０】
図２は、図１の磁気ヘッド検査装置の検査方式の概要を示す図であり、図２（Ａ）は、磁気ヘッド部の構成を拡大して示す図であり、図２（Ｂ）は、カンチレバー部の変位信号の一例を示す図である。図２に示すように、カンチレバー部７は、ローバー１に形成された磁気ヘッドの表面からヘッド浮上高さＨｆに相当する高さにカンチレーバ部７の磁性探針の先端部が位置するように、Ｚステージ１３によって位置決めされる。カンチレバー部７は、ローバー１（磁気ヘッド）に対して相対的にスキャン方向７１にスキャンされる。この実施の形態では、Ｘステージ１１及びＹステージ１２によってローバー１が移動される。
【００２１】
このとき、磁気ヘッドの記録ヘッドはＡＣ励磁されているので、カンチレバー部７はＡＣ励磁に同期して変位する。カンチレバー部７の変位状態は、図２（Ｂ）に示す変位信号のようになるので、この変位信号を検出することによって、磁気ヘッドの実効トラック幅を検出することができる。また、記録ヘッドをＡＣ励磁することなく、通常のＭＦＭとして検査することによって、磁気ヘッドのポール幅を実測することが可能となる。
【００２２】
このように、従来のＭＦＭでは、磁気ヘッドの実際のポール幅を検出することは可能であったが、この実施の形態ように、磁気ヘッドの記録ヘッドをＡＣ励磁しながら、カンチレバー部７を磁気ヘッドのヘッド浮上高さでスキャン移動させることによって、磁気ヘッドの記録ヘッドの実効トラック幅を検査することが可能となり、製造工程途中のできるだけ早い段階で磁気ヘッドの書き込みトラック幅の検査を行うことができるという効果がある。
【００２３】
図３は、本発明のＭＦＭを用いた記録ヘッドの検査工程を含んだ磁気ヘッド製造工程の一例を示す図である。図において、ウエハ工程（Ｗａｆｅｒ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、成膜、ミリング、洗浄などの工程を行う。ローバー工程（ＲｏｗＢａｒ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、ウエハから短冊状のローバーを切断して切り出し、それにラッピング、ＡＢＳ面加工、洗浄、カーボン保護膜成膜などの工程を行う。記録ヘッドテスト工程（Ｗｒｉｔｅ  Ｐｏｌｅ  ｔｅｓｔ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、ウエハから切り出された短冊状のローバーに対して図１のＭＦＭを用いた記録ヘッドの実効トラック幅を測定する。読み出しヘッドテスト工程（Ｒｅａｄ  Ｅｌｅｍｅｎｔ  ｔｅｓｔ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、同じく短冊状のローバーに対して読み出しヘッドの電磁変換特性を測定する。スライダ工程（Ｓｌｉｄｅｒ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、ローバーをチップ状に切断加工して、洗浄、検査を行う。ヘッド・ジンバル・アセンブル工程（ＨＧＡ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）では、チップ状に加工された磁気ヘッドとサスペンションとを接合して、洗浄、検査を行う。この後、図示していない、ＨＤＤ工程（ＨＳＡ工程、ＨＤＡ工程）が行われる。この実施の形態によれば、記録ヘッドの実効トラック幅をローバー状態で良否判定をできるため、生産性の向上、及び前工程への早期フィードバックを行うことができる。
【００２４】
図４は、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の別の実施例の概略構成を示す図である。図４において、図１と同じ構成のものには同一の符号が付してあるので、その説明は省略する。図５は、図４の磁気ヘッド検査装置の検査方式の概要を示す図であり、磁気ヘッド部の構成を拡大して示す概念図である。図４及び図５の磁気ヘッド検査装置が図１及び図２のものと異なる点は、カンチレバー部７にホール素子９０を設け、磁気ヘッドから発生される磁界形状（磁界の絶対値）を直接測定することによって磁気的な実効トラック幅を測定できるようにした点である。すなわち、図４の磁気ヘッド検査装置は、ホール素子９０を観察する磁性材料に極限まで近づけ、磁界を検出して可視化する走査型ホールプローブ顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｔｇ  Ｈａｌｌ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＨＰＭ）を用いた点に特徴がある。ホール素子９０は、ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓエピウエハ上にフォトリソグラフィーを用いてパターン形成されたものである。ホール素子コントローラ９１は、ホール素子９０の端子間に電流を供給する。ホール素子コントローラ９１は、このときにホール素子９０の別の端子間に生じるホール電圧をナノボトルメータ等の計測器で計測し、計測されたホール電圧を制御部３０に出力する。制御部３０のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、それに基づいて表面自発磁場の２次元分布を作成し、それに基づいて磁気ヘッドの実効トラック幅を計測する。
【００２５】
図４及び図５の磁気ヘッド検査装置のカンチレバー部７に取付けたホール素子９０に代えて、カンチレバー部７の先端部に磁気抵抗センサ（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｅｓｅｉｓｔｉｖｅ  ｓｅｎｓｏｒ：ＭＲ）素子を形成することによって走査型磁気抵抗効果顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＭＲＭ）を上述のような磁気測定に使用することができる。この場合、ホール素子コントローラに代えて、磁気抵抗センサコントローラを設けることによって対応可能である。このように走査型ホールプローブ顕微鏡（ＳＨＰＭ）又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡（ＳＭＲＭ）は、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）のカンチレバー部７にホール素子又はＭＲ素子が取り付けてあるので、記録ヘッドの形状測定と共に磁気測定（実効トラック幅の測定）を同時に実施することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１の磁気ヘッド検査装置の検査の概要を示す図であり、図２（Ａ）は、磁気ヘッド部の構成を示す概念図であり、図２（Ｂ）は、カンチレバー部の変位信号の一例を示す図である。
【図３】本発明のＭＦＭを用いた記録ヘッドの検査工程を含んだ磁気ヘッド製造工程の一例を示す図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の別の実施例の概略構成を示す図である。
【図５】図４の磁気ヘッド検査装置の検査方式の概要を示す図であり、磁気ヘッド部の構成を拡大して示す概念図である。
【符号の説明】
【００２７】
１…ローバー
７…カンチレバー部
１０…検査ステージ
１１…Ｘステージ
１２…Ｙステージ
１２１…載置部
１３…Ｚステージ
２０…ピエゾドライバ
３０…制御部
４１…半導体レーザ素子
４２，４３…反射ミラー
４４…変位センサ
５０…差動アンプ
６０…ＤＣコンバータ
７０…フィードバックコントローラ
８０…発信機
９０…ホール素子
【図１】
2009230845.tif 000003
【図２】
2009230845.tif 000004
【図３】
2009230845.tif 000005
【図４】
2009230845.tif 000006
【図５】
2009230845.tif 000007