(57)【要約】【課題】  本発明は純鉄等の磁性体で形成された板状のプラテン本体と、このプラテン本体の表面に固定されたプラテンドットとなる部位がメッキで形成することができる透孔が形成された絶縁被膜と、この絶縁被膜の透孔部位のプラテン本体にメッキで形成されたプラテンドットを得るにある。【解決手段】  磁性体のプラテン本体にプラテンドットとなる部位がメッキで形成することができる透孔が形成された絶縁被膜を形成する絶縁被膜形成工程と、この絶縁被膜形成工程後に絶縁被膜の透孔部位のプラテン本体に磁性材のメッキでプラテンドットを形成するプラテンドットの形成工程とでリニアモータ用プラテンの製造方法を構成している。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体のプラテン本体にプラテンドットとなる部位がメッキで形成することができる透孔が形成された絶縁被膜を形成する絶縁被膜形成工程と、この絶縁被膜形成工程後に絶縁被膜の透孔部位のプラテン本体に磁性材のメッキでプラテンドットを形成するプラテンドットの形成工程とを含むことを特徴とするリニアモータ用プラテンの製造方法。
【請求項２】
プラテンドットの形成工程で絶縁被膜の透孔部位のプラテン本体にメッキで形成されるプラテンドットの表面は、絶縁被膜の表面と同一面に形成され、絶縁被膜がプラテンドット間の格子状溝を埋め込む材料として使用されていることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ用プラテンの製造方法。
【請求項３】
プラテンドットの形成工程後に絶縁被膜を除去し、該部に非磁性材製の樹脂材を表面が平坦になるように埋め込む樹脂材の埋め込み工程を行なうことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ用プラテンの製造方法。
【請求項４】
純鉄等の磁性体で形成された板状のプラテン本体と、このプラテン本体の表面に固定されたプラテンドットとなる部位がメッキで形成することができる透孔が形成された絶縁被膜と、この絶縁被膜の透孔部位のプラテン本体にメッキで形成されたプラテンドットとからなることを特徴とするリニアモータ用プラテン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリニアモータ用プラテンの製造方法およびリニアモータ用プラテンに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、リニアモータ用プラテンは純鉄製の板の表面にプラテンドットを切削加工によりマトリックス状に配列形成し、マトリックスドット間の格子状溝に非磁性材製の樹脂等を埋め込んだ後、平面研削盤を用いて表面平坦化の精密研磨を行なって製造している。
【０００３】
このため、純鉄製の板の表面に形成するプラテンドットは切削加工によって行なっているため、加工作業が大変で、コスト高になるという欠点があった。
【特許文献１】特開平９−３０８２１７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、プラテンドットの加工が短時間で、容易に低コストで加工することができるリニアモータ用プラテンの製造方法およびリニアモータ用プラテンを提供することを目的としている。
【０００５】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は磁性体のプラテン本体にプラテンドットとなる部位がメッキで形成することができる透孔が形成された絶縁被膜を形成する絶縁被膜形成工程と、この絶縁被膜形成工程後に絶縁被膜の透孔部位のプラテン本体に磁性材のメッキでプラテンドットを形成するプラテンドットの形成工程とでリニアモータ用プラテンの製造方法を構成している。
【０００７】
本発明は純鉄等の磁性体で形成された板状のプラテン本体と、このプラテン本体の表面に固定されたプラテンドットとなる部位がメッキで形成することができる透孔が形成された絶縁被膜と、この絶縁被膜の透孔部位のプラテン本体にメッキで形成されたプラテンドットとでリニアモータ用プラテンを構成している。
【発明の効果】
【０００８】
以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
【０００９】
（１）磁性体のプラテン本体にプラテンドットとなる部位がメッキで形成することができる透孔が形成された絶縁被膜を形成する絶縁被膜形成工程と、この絶縁被膜形成工程後に絶縁被膜の透孔部位のプラテン本体に磁性材のメッキでプラテンドットを形成するプラテンドットの形成工程とからなるので、メッキ処理によってプラテンドットを形成することができる。
したがって、従来のように切削加工でプラテンドットをプラテン本体に形成するものに比べ、薄いプラテン本体や曲面に形成されたプラテン本体にでも、容易に、安価にプラテンを形成することができる。
よって、小型軽量化を図ることができる。
【００１０】
（２）前記（１）によって、メッキを行なう設備でよいので、容易に製造することができる。
【００１１】
（３）請求項２は前記（１）、（２）と同様な効果が得られるとともに、表面を平坦にするための作業が不要で、より製造が容易で安価に製造することができる。
【００１２】
（４）請求項３も前記（１）、（２）と同様な効果が得られる。
【００１３】
（５）請求項４も前記（１）〜（３）と同様な効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に示す本発明を実施するための最良の形態により、本発明を詳細に説明する。
【００１５】
図１ないし図５に示す本発明を実施するための最良の第１の形態において、１は本発明のリニアモータ用プラテンの製造方法で、このリニアモータ用プラテンの製造方法１は従来のように切削加工を行なうと歪や変形が生じるような厚さの純鉄等の板状の磁性体のプラテン本体２の表面にプラトンドットとなる部位がメッキで形成することができる透孔３が形成された絶縁被膜４を形成する絶縁被膜形成工程５と、この絶縁被膜形成工程５後に、絶縁被膜４の透孔３部位のプラテン本体２にメッキでプラテンドット６を形成するプラテンドットの形成工程７とで構成されている。
【００１６】
前記絶縁被膜形成工程５は図２に示すように、絶縁被膜４となる非磁性材製のドライフィルムあるいは感光フィルムにプラトンドット形成フィルム８を用いて絶縁被膜４を露光し、現像、水洗をすることにより、絶縁被膜４にプラテンドットを形成するための透孔３を形成した後、透孔３が形成された絶縁被膜４をプラテン本体２の表面に貼り付け、固定させる作業で行なう。
【００１７】
前記プラテンドットの形成工程７は図３に示すように、前記絶縁被膜形成工程５で形成されたプラテンドットを形成するための透孔３を有する絶縁被膜４が貼り付けられたプラテン本体２を、銅やクローム等の磁性体のメッキ９を行なうことにより、絶縁被膜４の透孔３部位のプラテン本体２にプラテンドット６が形成される。
なお、メッキにより形成するプラテンドット６の表面は絶縁被膜４の表面と同一面となるように形成することにより、絶縁被膜４がプラテンドット６間の格子状溝を埋め込む材料として、そのまま使用したリニアモータ用プラテン１０を製造することができる。
【００１８】
上記構成のリニアモータ用プラテンの製造方法１は、メッキによってプラテンドット６を形成するため、従来の切削加工でプラテンドット６を形成するものに比べ、従来、不可能であった薄いプラテン本体２でも容易に、安価にプラテンドット６を形成することができるとともに、絶縁被膜４をプラテンドット間の格子状溝を埋め込む材料として用いることにより、より製造が容易で、安価に製造することができる。
[発明を実施するための異なる形態]
【００１９】
次に、図６ないし図１１に示す本発明を実施するための異なる形態につき説明する。なお、これらの本発明を実施するための異なる形態の説明に当って、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００２０】
図６ないし図８に示す本発明を実施するための第２の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、プラテンドット形成工程７後に絶縁被膜４をプラテン本体２より除去し、該部の格子状溝１１に非磁性材製のエポキシ樹脂材等の樹脂材１２を埋め込み、表面が平面となるように平面研削盤１３で表面を平坦に加工する埋め込み工程１４を行なった点で、このような埋め込み工程１４を用いたリニアモータ用プラテンの製造方法１Ａで製造したリニアモータ用プラテン１０Ａにしても、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られる。
【００２１】
図９ないし図１１に示す本発明を実施するための第３の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、電鋳やメッキ等でプラテンドットを形成することができる透孔３が形成された絶縁被膜となる非磁性材製のマスキングシート１５をプラテン本体２の表面に貼り付ける絶縁被膜形成工程５Ａを用いた点で、このような絶縁被膜形成工程５Ａを用いたリニアモータ用プラテンの製造方法１Ｂでリニアモータ用プラテン１０Ｂを製造しても、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
本発明はリニアモータ用プラテンを製造する産業で利用される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明を実施するための最良の第１の形態の工程図。
【図２】本発明を実施するための最良の第１の形態の絶縁被膜形成工程の説明図。
【図３】本発明を実施するための最良の第１の形態のプラテンドットの形成工程の説明図。
【図４】本発明を実施するための最良の第１の形態のリニアモータ用プラテンの平面図。
【図５】図４の５−５線に沿う断面図。
【図６】本発明を実施するための第２の形態の工程図。
【図７】本発明を実施するための第２の形態の埋め込み工程の説明図。
【図８】本発明を実施するための第２の形態のリニアモータ用プラテンの説明図。
【図９】本発明を実施するための第３の形態の工程図。
【図１０】本発明を実施するための第３の形態の絶縁被膜形成工程の説明図。
【図１１】本発明を実施するための第３の形態のリニアモータ用プラテンの説明図。
【符号の説明】
【００２４】
１、１Ａ、１Ｂ：リニアモータ用プラテンの製造方法、
２：プラテン本体、                  ３：透孔、
４：絶縁被膜、                ５、５Ａ：絶縁被膜形成工程、    
６：プラテンドット、                ７：プラテンドット形成工程、
８：プラテンドット形成フィルム、
９：メッキ、
１０、１０Ａ、１０Ｂ：リニアモータ用プラテン、
１１：格子状溝、                  １２：樹脂材、
１３：平面研削盤、                １４：埋め込み工程、
１５：マスキングシート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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