(57)【要約】【課題】  波長の安定化、光共振器の損失低減、冷却効率の改善を実現する。【解決手段】  波長制御用のダイヤフラム上に設けられた第１の光学多層膜と、第２の光学多層膜とを活性層を介して対向させることにより、この第１および第２の光学多層膜により光共振器を形成する面発光レーザにおいて、前記第１の光学多層膜と前記活性層との間に形成された空間と、この空間に介在する液体とを有することを特徴とする。【選択図】    図１
2009176970.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長制御用のダイヤフラム上に設けられた第１の光学多層膜と、第２の光学多層膜とを活性層を介して対向させることにより、この第１および第２の光学多層膜により光共振器を形成する面発光レーザにおいて、
前記第１の光学多層膜と前記活性層との間に形成された空間と、
この空間に介在する液体と
を有することを特徴とする面発光レーザ。
【請求項２】
前記光共振器を内包する容器と、
この容器内および前記空間内に充填された前記液体と
を有することを特徴とする請求項１記載の面発光レーザ。
【請求項３】
前記容器を貫通し、その容器内に達すると共に、
中空に形成された電極用リードを有することを特徴とする請求項２記載の面発光レーザ。
【請求項４】
前記容器の内圧を一定に保持する安定化手段を有することを特徴とする請求項２または３記載の面発光レーザ。
【請求項５】
前記安定化手段は、前記容器内に配置された弾性球あるいは弾性中空球であることを特徴とする請求項４記載の面発光レーザ。
【請求項６】
前記安定化手段は、前記容器に形成される空気室であることを特徴とする請求項４記載の面発光レーザ。
【請求項７】
前記安定化手段は、前記電極用のリードに空気たまりがあることを特徴とする請求項６記載の面発光レーザ。
【請求項８】
前記安定化手段は、
前記容器の外壁に形成される内圧安定化用ダイヤフラムであることを特徴とする請求項４記載の面発光レーザ。
【請求項９】
前記安定化手段は、少なくとも外壁の一部にベローズ形状を有する前記容器であることを特徴とする請求項４記載の面発光レーザ。
【請求項１０】
前記安定化手段は、前記容器の内側または外側に突出するベローズであることを特徴とする請求項４記載の面発光レーザ。
【請求項１１】
前記空間内に前記液体を保持するための保持手段を有することを特徴とする請求項１記載の面発光レーザ。
【請求項１２】
前記液体は、空気と異なる屈折率を有することを特徴とする請求項１乃至１１いずれかに記載の面発光レーザ。
【請求項１３】
前記液体は、絶縁性であることを特徴とする請求項１乃至１２いずれかに記載の面発光レーザ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、面発光レーザに関し、詳しくは、面発光レーザの波長安定化方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１２は、従来の面発光レーザの一例を示す構成断面図である（例えば、特許文献１参照）。図１２において、分離層１９が、下部ＤＢＲ層１２や活性層１４からなる化合物半導体の表面上に新たに形成される。また、分離層１９は、電気的な絶縁を行うものであり、例えば、ｐｎ接合層または高抵抗層である。
【０００３】
屈折率制御部２０が、下部ＤＢＲ層１２、誘電体多層膜ミラー１７とで形成される光共振器内部のエアギャップＡＧに接して新たに設けられる。また、屈折率制御部２０は、ｎ型のコンタクト層２１、多重量子井戸層２２、ｐ型のコンタクト層２３、屈折率制御用の上部電極２４、屈折率制御用の下部電極２５を有する。
【０００４】
ｎ型のコンタクト層２１は、分離層１９の上に形成される。なお、この分離層１９によってレーザ光を発光する化合物半導体と屈折率制御部２０とが電気的に絶縁されている。多重量子井戸層２２は、ｎ型のコンタクト層２１の上に形成される。ここで、多重量子井戸層２２は、屈折率制御層である。また、多重量子井戸層２２の吸収波長は、活性層１４の吸収端波長よりも短波長側になる。つまり、多重量子井戸層２２は、活性層１４の発振波長に対して、透明になるバンドギャップをもつ。
【０００５】
ｐ型のコンタクト層２３は、多重量子井戸層２２の上に形成される。屈折率制御用の上部電極２４は、レーザ光を取り出すための中央部が取り除かれｐ型のコンタクト層２３の上に形成される。屈折率制御用の下部電極２５は、メサ加工されて多重量子井戸層２２、ｐ型のコンタクト層２３が取り除かれたｎ型のコンタクト層２１の周辺部の上に形成される。
【０００６】
次に、面発光レーザの動作を説明する。
先ず、レーザを発光させる動作について説明する。
上部電極１６と下部電極２５との間に電圧が印加されると上部電極１６から、上部スペーサ層１５、活性層１４、下部スペーサ層１３、下部ＤＢＲ層１２およびｎ型のＩｎＰ基板１１を通り下部電極２５まで電流が流れる。
【０００７】
このとき、バンドギャップの最も狭い活性層１４において正孔と電子の結合が生じて光が発光し、光共振器で光増幅されてｎ型のＩｎＰ基板１１の取り出し口、つまりｎ型のＩｎＰ基板１１の裏側からレーザ光として出射される。
【０００８】
なお、注入された電流は上部電極１６から下部電極１８に向かって流れるので、発光領域である活性層１４の上下方向から注入されているが、発光領域の横方向から電流を注入しても構わない。
【０００９】
このように、化合物半導体のｎ型のＩｎＰ基板１１上に形成された下部ＤＢＲ層１２と、活性層１４の上側にエアギャップＡＧを介して貼り合わせた誘電体多層膜ミラー１７とで光共振器を形成し、面発光レーザとして機能させている。
【００１０】
次に、発振波長変更する動作を説明する。
ＭＥＭＳによって誘電体多層膜ミラー１７を上下方向に移動させて光共振器の間隔を変化させ発振波長を変更している。
【００１１】
次に、図１３において、面発光レーザの従来例を説明する。図１３は、従来の面発光レーザのその他の例を示す構成断面図である。
絶縁層は、ダイヤフラム５の移動量を測定するため中央部が取り除かれチップ８の上に形成される。従って、チップ８の上に中央部が取り除かれた絶縁層７ａ及び７ｂ、この中央部が取り除かれた部分を下部ギャップ９とし、チップ８の上に絶縁層７ａおよび絶縁層７ｂおよび下部ギャップ９を介してダイヤフラム５が形成され、その上に第１の光学多層膜４が形成される。
また、ダイヤフラム５上に設けられた第１の光学多層膜４と、第２の光学多層膜２とを活性層３および上部ギャップ１０を介して対向させることにより、この第１光学多層膜４および第２の光学多層膜２により光共振器が形成される。従って、チップ１の上に第２の光学多層膜２、活性層３が形成される。
【００１２】
このような図１３に示す従来例の動作を説明する。
図示しないダイヤフラム５の上にある電極に電圧を加えると、静電気力が発生する。この静電気力を駆動力としてダイヤフラム５が下に移動し、元の状態に戻る動作をすることにより、第１の光学多層膜４および第２の光学多層膜２の距離が変化することにより、光共振器長、つまり光共振器の間隔が変化し、レーザ発振波長が変化する。つまり、第１の光学多層膜４および第２の光学多層膜２の間隔を変えることが出来る。
【００１３】
【特許文献１】特開２００５−２２２９６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし、このような面発光レーザには、次のような問題点があった。
【００１５】
ダイヤフラムが空気中に置かれることにより、ダイヤフラム振動のダンピング特性が悪くなるという問題がある。
【００１６】
また、ダイヤフラムが空気中に置かれることにより、ダイヤフラムが振動し、レーザ発振スペクトルの線幅が増加するという問題がある。
【００１７】
また、光共振器の一部がチップの外にあるという問題がある。
【００１８】
また、レーザ活性層が空気と接することにより、放熱がチップ内のみでしか行われないため、放熱特性が悪くなるという問題がある。
【００１９】
そこで、本発明は、上記のような従来技術の欠点をなくし、波長の安定化、光共振器の損失低減、冷却効率の改善を実現することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記のような目的を達成するために、本発明の請求項１では、波長制御用のダイヤフラム上に設けられた第１の光学多層膜と、第２の光学多層膜とを活性層を介して対向させることにより、この第１および第２の光学多層膜により光共振器を形成する面発光レーザにおいて、前記第１の光学多層膜と前記活性層との間に形成された空間と、この空間に介在する液体とを有することを特徴とする。
【００２１】
請求項２では、請求項１の面発光レーザにおいて、前記光共振器を内包する容器と、この容器内および前記空間内に充填された前記液体とを有することを特徴とする。
【００２２】
請求項３では、請求項１または２の面発光レーザにおいて、前記容器を貫通し、その容器内に達すると共に、中空に形成された電極用リードを有することを特徴とする。
【００２３】
請求項４では、請求項１乃至３いずれかの面発光レーザにおいて、前記容器の内圧を一定に保持する安定化手段を有することを特徴とする。
【００２４】
請求項５では、請求項４の面発光レーザにおいて、前記安定化手段は、前記容器内に配置された弾性球あるいは弾性中空球であることを特徴とする。
【００２５】
請求項６では、請求項４の面発光レーザにおいて、前記安定化手段は、前記容器に形成される空気室であることを特徴とする。
【００２６】
請求項７では、請求項４の面発光レーザにおいて、前記安定化手段は、前記電極用のリードに空気たまりがあることを特徴とする。
【００２７】
請求項８では、請求項４の面発光レーザにおいて、前記安定化手段は、前記容器の外壁に形成される内圧安定化用ダイヤフラムであることを特徴とする。
【００２８】
請求項９では、請求項４の面発光レーザにおいて、前記安定化手段は、少なくとも外壁の一部にベローズ形状を有する前記容器であることを特徴とする。
【００２９】
請求項１０では、請求項５の面発光レーザにおいて、前記安定化手段は、前記容器の内側または外側に突出するベローズであることを特徴とする。
【００３０】
請求項１１では、請求項１の面発光レーザにおいて、前記空間内に前記液体を保持するための保持手段を有することを特徴とする。
【００３１】
請求項１２では、請求項１の面発光レーザにおいて、前記液体は、空気と異なる屈折率を有することを特徴とする。
【００３２】
請求項１３では、請求項１乃至３いずれかの面発光レーザにおいて、前記液体は、絶縁性であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３３】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を説明すれば下記の通りである。
【００３４】
光共振器の光路部分に液体を挿入することにより、波長を安定化し、光共振器の損失を低減し、冷却効率の改善をすることができる。
【００３５】
また、容器に液体を挿入することで生じる環境温度に対する容器内の内圧変動を安定化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、図面を用いて、本発明の面発光レーザを説明する。
【実施例１】
【００３７】
図１は、本発明の一実施例を示す構成図である。図において、前記図１３と同様のものは同一符号を付して示す。
【００３８】
図１に示すように、面発光レーザにおいて、先ず、チップ８の上には絶縁層７ａ、７ｂが形成され、レーザ光を取り出すため下部ギャップ９に示す部分が取り除かれて絶縁層７ａ及び７ｂとなる。
【００３９】
また、絶縁層７ａ及び７ｂの上にはダイヤフラム５が形成され、このダイヤフラム５の上に第１の光学多層膜４が形成されている。
【００４０】
一方、チップ１上に第２の光学多層膜２が形成され、この第２の光学多層膜２の上に活性層３が形成されている。そして、第２の光学多層膜２と第１の光学多層膜４とを活性層３および上部ギャップ１０を介して対向させている。
【００４１】
また、接合用柱６は、活性層３とダイヤフラム５を接合している。
【００４２】
また、第２の光学多層膜２および第１の光学多層膜４により光共振器が形成される。
【００４３】
この光共振器の光路部分にオイルまたはその他の液体（以下、液体３０とする。）を挿入する。
【００４４】
また、液体３０を光共振器の光路部分に挿入することにより、活性層３と第１の光学多層膜４との間に形成された空間が表面張力により保持されている。
【００４５】
つまり、液体３０は、表面張力によって接合した２つのチップ間を保持している。
【００４６】
光路部分に液体３０を挿入したことにより、ダイヤフラム５の振動を少なくすることができる。ダイヤフラム５が振動を少なくすることができることにより、スペクトル線幅の低減をすることができる。
【００４７】
また、光共振器の光路部分に液体３０を挿入することにより、チップ１とチップ８とを接合するため、冷却効果を向上することができる。
【００４８】
また、光共振器の光路部分に液体３０を挿入することにより、光共振器の損失を低減することができる。
【００４９】
また、光共振器の光路部分に液体３０を挿入することにより、外部からの衝撃による揺れが生じたとしても液体３０により振動が抑制される。つまり、ダイヤフラム５の振動を制振することができる。
【００５０】
なお、液体３０は、光路部分にのみ挿入してもよい。
【００５１】
次に、本発明の第１の実施形態である面発光レーザの光共振器光路部分の液体封入構造を図２に基づいて説明する。
【００５２】
図２は、第１の光学多層膜４と活性層３との間を形成する空間内に液体３０を保持させるための保持手段を備えた構成図である。
【００５３】
図２では、接合用柱６が保持手段として用いられている。
【００５４】
つまり、接合用柱６は、図１の接合用柱６の役割である活性層３とダイヤフラム５とを接合し、かつ挿入する液体３０の保持手段として用いられている。
【００５５】
また、保持手段は、液体３０の表面張力を考慮する場合、光共振器の光路部分を全て囲むのではなく、少なくとも一部を囲むようにすれば良い。
【００５６】
保持手段があることにより、保持手段がない場合よりもより光共振器光路部分に挿入した液体３０を保持することができるようになる。
【実施例２】
【００５７】
図３は、本発明の一実施例を示す構成図である。図において、前記図１と同様のものは同一符号を付して示す。
【００５８】
図３に示すように、実施例２では、実施例１の面発光レーザに容器３１およびレーザ光取り出し口３２を付加した。
【００５９】
図３において、面発光レーザの容器３１は、光共振器を含む面発光レーザを内包するものである。
【００６０】
また、第２の光学多層膜２および第１の光学多層膜４により光共振器が形成される。
【００６１】
液体３０は、容器３１および第１の光学多層膜４と活性層３との間を形成する空間内に充填される。
【００６２】
面発光レーザを容器３１で内包し、かつ液体３０を第１の光学多層膜４と活性層３との間を形成する空間内に充填することにより、ダイヤフラム５振動のダンピング特性を改善することができる。
【００６３】
また、光共振器光路部分を液体３０で充填することにより、ダイヤフラム５の振動を少なくすることができる。ダイヤフラム５の振動を少なくすることができることにより、ダイヤフラム５の振動の原因となるレーザの出力光に乗るノイズを低減することができる。
【００６４】
また、下部ギャップ９をレーザ光取り出し口３２により大気に開放することにより、レーザ発光部の放熱特性が改善される。レーザ発光部の放熱特性が改善されることにより、レーザの発光出力を増やすことができる。
【００６５】
次に、本発明の第２の実施形態である面発光レーザを内包した容器３１への液体封入構造を図４に基づいて説明する。
【００６６】
図４は、容器３１を貫通し、その容器３１の内側に達すると共に、中空に形成されている電極用のリード３３およびこの電極用のリード３３に液体３０を充填するための液体封入口３４を備えた構成図である。
【００６７】
面発光レーザは、複数の電極用のリード３３を有しているが、少なくともひとつの電極用のリード３３を中空構造にすることにより、液体封入口３４から面発光レーザを内包する容器３１の内側に液体３０を挿入することができる。
【００６８】
また、中空に形成された電極用のリード３３を用いて、容器３１の内側を真空引きし、この真空引きした雰囲気中において、脱泡した液体３０に電極用のリード３３の先を付け、真空状態を破ることにより、容器３１に液体３０を挿入することができる。
【００６９】
また、液体封入口３４は、既存の電極用のリード３３を中空にするため、別途液体封入口３４を新たに作る必要がない。
【００７０】
なお、液体封入口３４は、液体３０を容器３１に挿入後、電極用のリード３３の先を機械的に封じて切るか、あるいは半田付け等で封じる。
【実施例３】
【００７１】
図５は、本発明の一実施例を示す構成図である。図において、前記図１と同様のものは同一符号を付して示す。
【００７２】
図５に示すように、実施例３では、実施例１および２の面発光レーザに安定化手段として弾性球３５を付加した。
【００７３】
図５において、弾性球３５は、液体３０が充填された容器３１に挿入されている。
【００７４】
また、弾性球３５は、中空の弾性球でも良い。
【００７５】
また、弾性球３５の位置は、容器３１の中であれば何処にあっても良い。
【００７６】
液体３０が充填されている容器３１に弾性球３５を挿入することにより、温度が上昇すると液体３０が膨張し、弾性球３５が圧縮され液体３０の膨張を吸収し、圧力の増加を抑えることができる。
【００７７】
一方、温度が下がると液体３０が収縮し、弾性球３５が膨張し液体３０の収縮を吸収することにより、圧力の減少を抑えることができる。
【００７８】
つまり、液体３０が充填されている容器３１に弾性球３５を挿入することにより、容器３１の内圧を環境温度に対して、安定化にすることができる。
【００７９】
図６に示すように、実施例３では、実施例１および２の面発光レーザに安定化手段として空気室３６を付加した。
【００８０】
図６において、空気室３６は、容器３１に形成されている。
【００８１】
また、空気室３６の位置は、容器３１と接続していれば何処にあっても良い。
【００８２】
液体３０が充填されている容器３１に空気室３６を接続することにより、温度が上昇すると液体３０が膨張し、空気室３６の空気が圧縮され液体３０の膨張を吸収し、圧力の増加を抑えることができる。
【００８３】
一方、温度が下がると液体３０が収縮し、空気室３６の空気が膨張し液体３０の収縮を吸収することにより、圧力の減少を抑えることができる。
【００８４】
つまり、液体３０が充填されている容器３１に空気室３６を接続することにより、容器３１の内圧を環境温度に対して、安定化にすることができる。
【００８５】
図７に示すように、実施例３では、実施例１および２の面発光レーザに安定化手段として空気たまり３７を付加した。
【００８６】
図７において、図４で説明したように電極用のリード３３に中空を形成し、この電極用のリード３３の液体封入口３４から液体３０を容器３１に挿入後、空気たまり３７を設けるために、液体封入口３４が封じられている。
【００８７】
電極用のリード３３に空気たまり３７を設けることにより、温度が上昇すると、液体３０が膨張し、空気たまり３７の空気が圧縮され液体３０の膨張を吸収することにより、圧力の増加を抑えることができる。
【００８８】
一方、温度が下がると液体３０が収縮し、空気たまり３７の空気が膨張し液体３０の収縮を吸収することにより、圧力の減少を抑えることができる。
【００８９】
つまり、液体３０が充填されている容器３１に、この容器３１を貫通し、容器３１の内側に達すると共に、中空に形成された電極用のリード３３に空気たまり３７を接続することにより、容器３１の内圧を環境温度に対して、安定化にすることができる。
【００９０】
図８に示すように、実施例３では、実施例１および２の面発光レーザに安定化手段としてセンターダイヤフラム３８を付加した。
【００９１】
図８において、センターダイヤフラム３８は、容器３１の外壁に形成されている。
【００９２】
また、センターダイヤフラム３８の位置は、センターダイヤフラム３８の片側が外界、もう一方の片側が容器３１内の液体３０に接していれば何処に設置しても良い。
【００９３】
液体３０が充填されている容器３１の外壁に形成されているセンターダイヤフラム３８を設けることにより、温度が上昇すると液体３０が膨張し、センターダイヤフラム３８が図８の点線の様にたわみ液体３０の膨張を吸収することにより、圧力の増加を抑えることができる。
【００９４】
一方、温度が下がると液体３０が収縮し、センターダイヤフラム３８が図８の実線の様にたわみ、液体３０の収縮を吸収することにより、圧力の減少を抑えることができる。
【００９５】
つまり、液体３０が充填されている容器３１の外側にセンターダイヤフラム３８を形成することにより、容器３１の内圧を環境温度に対して、安定化にすることができる。
【００９６】
なお、容器３１の外壁には、容器３１とこの容器３１を塞ぐ板を含む。
【００９７】
図９に示すように、実施例３では、実施例１および２の面発光レーザに安定化手段としてベローズ付カン３９を付加した。
【００９８】
図９において、ベローズ付カン３９は、容器３１の一部がベローズ形状に形成されている。
【００９９】
また、ベローズは、容器３１の液体３０と接していれば、容器３１の何処のあっても良い。
【０１００】
液体３０が充填されている容器３１の一部がベローズ形状に形成されているベローズ付カン３９を用いることにより、温度が上昇すると液体３０が膨張し、ベローズ付カン３９のベローズが膨張し液体３０の膨張を吸収することにより、圧力の増加を抑えることができる。
【０１０１】
一方、温度が下がると液体３０が収縮し、ベローズ付カン３９のベローズが圧縮し、液体３０の収縮を吸収することにより、圧力の減少を抑えることができる。
【０１０２】
つまり、液体３０が充填されている容器３１の一部にベローズ付カン３９を形成することにより、容器３１の内圧を環境温度に対して、安定化にすることができる。
【０１０３】
図１０、図１１に示すように、実施例３では、実施例１および２の面発光レーザに安定化手段としてベローズ４０ａ、４０ｂを付加した。
【０１０４】
図１０、図１１において、ベローズ４０ａ、４０ｂは、容器３１の内側または外側に突出している。
【０１０５】
また、ベローズ４０ａ、４０ｂの位置は、何処にあっても良い。
【０１０６】
また、ベローズ４０ａ、４０ｂは、容器３１の液体３０と接していれば良い。
【０１０７】
液体３０が充填されている容器３１の内側または外側に突出しているベローズ４０ａ、４０ｂを用いることにより、温度が上昇すると液体３０が膨張し、ベローズ４０ａのベローズが膨張し液体３０の膨張を吸収することにより、圧力の増加を抑えることができる。
【０１０８】
一方、温度が下がると液体３０が収縮し、ベローズ４０ｂのベローズが圧縮し液体３０の収縮を吸収することにより、圧力の減少を抑えることができる。
【０１０９】
つまり、液体３０が充填されている容器３１の内側または外側に突出することにより、容器３１の内圧を環境温度に対して、安定化にすることができる。
【０１１０】
なお、上記の実施例では、空気と異なる屈折率である液体３０を光共振器光路部分および容器３１に挿入することにより、接合用柱６の長さに関わらず、面発光レーザの発振波長を変更することができる。
【０１１１】
また、液体３０の圧力を変化させることにより、発振波長の微調を行なうことができる。
【０１１２】
また、液体３０は、絶縁である。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図３】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図４】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図５】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図６】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図７】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図８】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図９】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図１０】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図１１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図１２】従来の一例を示す構成図である。
【図１３】従来の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
【０１１４】
１  チップ
２  第２の光学多層膜
３  活性層
４  第１の光学多層膜
５  ダイヤフラム
６  接合用柱
７ａ、７ｂ  絶縁層
８  チップ
９  下部ギャップ
１０  上部ギャップ
１１  ｎ型のＩｎＰ基板
１２  下部ＤＢＲ層
１３  下部スペーサ層
１４  活性層
１５  上部スペーサ層
１６  上部電極
１７  誘電体多層膜ミラー
１８  下部電極
１９  分離層
２０  屈折率制御部
２１  ｎ型のコンタクト層
２２  多重量子井戸層
２３  ｐ型のコンタクト層
２４  上部電極
２５  下部電極
３０  液体
３１  容器
３２  レーザ光取り出し口
３３  電極用のリード
３４  液体封入口
３５  弾性球
３６  空気室
３７  空気たまり
３８  センターダイヤフラム
３９  ベローズ付カン
４０ａ、４０ｂ  ベローズ
【図１】
2009176970.tif 000003
【図２】
2009176970.tif 000004
【図３】
2009176970.tif 000005
【図４】
2009176970.tif 000006
【図５】
2009176970.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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