(57)【要約】【課題】気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを微小傾斜させることである。【解決手段】気体圧制御型微小傾斜装置１０は、本体筐体部１２と、本体筐体部１２に案内されるピストン台２０と、ピストン台２０の上部に取り付けられる下テーブル３０と、下テーブル３０の上方に配置される上テーブル４０と、下テーブル３０と上テーブル４０との間に配置される傾斜支持部５０と傾斜駆動部７０と、傾斜駆動部７０に隙間制御用気体を供給する気体圧制御弁３４と、制御部２８とを含んで構成される。傾斜駆動部７０は、上テーブルの裏面に向かい合う対物上面に気体吹出部を有する対物パッドと、気体が流れることができる貫通窓を有し、対物パッドの対物上面と反対側のパッド裏面と下テーブルの上面との間に平行に複数整列配置される平板可動子とを含んで構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下テーブルと、
下テーブルに対しその上方に配置される上テーブルと、
下テーブルと上テーブルの間に複数の配置位置に複数配置され、気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを各配置位置において垂直軸方向にそれぞれ独立に微小移動させて、下テーブルに対し上テーブルを微小移動と共に微小傾斜させる複数の傾斜駆動部と、
を備えることを特徴とする気体圧制御型微小傾斜装置。
【請求項２】
下テーブルに一方端が取り付けられ、上テーブルに他方端が取り付けられ、下テーブルの平面方向に平行で互いに直交する２軸のそれぞれの周りの２軸回転自由度を有する傾斜支持部と、
下テーブルの平面内で傾斜支持部から予め定められた所定間隔距離をおいた複数の配置位置において下テーブルと上テーブルの間に配置され、気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを各配置位置において垂直軸方向にそれぞれ独立に微小移動させ、傾斜支持部を支点として下テーブルに対し上テーブルを微小移動と共に微小傾斜させる複数の傾斜駆動部と、
を備えることを特徴とする気体圧制御型微小傾斜装置。
【請求項３】
請求項２に記載の気体圧制御型微小傾斜装置において、
傾斜駆動部は、
上テーブルの裏面に向かい合う対物上面に気体吹出部を有する対物パッドと、
気体が流れることができる貫通窓を有し、対物パッドの対物上面と反対側のパッド裏面と下テーブルの上面との間に平行に複数整列配置される平板可動子と、
複数の平板可動子の整列軸方向に伸縮可能な伸縮壁部によって上テーブルと下テーブルとの間に気密構造を形成し、複数の平板可動子をその整列配置される整列軸方向に沿って移動可能に収容する気密収容部と、
対物パッドの気体吹出部と、各平板可動子の貫通窓と、複数の平板状可動子のうちでパッド裏面に向かい合う最先端側平板可動子とパッド裏面との隙間であるパッド側隙間と、隣接する平板状可動子の間の隙間である各可動子間隙間と、複数の平板状可動子のうちで下テーブルの底面に向かい合う最後端側平板可動子と筐体部の底面との隙間である底面側隙間とに隙間制御用気体を供給する隙間制御用気体供給手段と、
を備え、
隙間制御用気体の気体圧を制御し、上テーブルからの押付力と釣り合わせつつ各隙間の間隔を調整しながら、下テーブルに対し上テーブルを垂直軸方向に微小移動させることを特徴とする気体圧制御型微小傾斜装置。
【請求項４】
請求項３に記載の気体圧制御型微小傾斜装置において、
気密収容部の伸縮壁部は、蛇腹状伸縮部材またはベロー状伸縮部材で構成されることを特徴とする板材用気体圧支持機構。
【請求項５】
請求項３に記載の気体圧制御型微小傾斜装置において、
気密収容部の外側に配置され、気密収容部から漏れてくる気体を吸引する真空吸引手段を有することを特徴とする気体圧制御型微小傾斜装置。
【請求項６】
請求項３に記載の気体圧制御型微小傾斜装置において、
対物パッドの対物上面と、上テーブルの裏面との間の隙間量を検出する隙間量検出手段と、
隙間量検出手段の検出結果に応じて隙間制御用気体の気体圧を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする気体圧制御型微小傾斜装置。
【請求項７】
請求項２に記載の気体圧制御型微小傾斜装置において、
下テーブルを垂直軸方向に移動駆動させる気体圧制御アクチュエータを備えることを特徴とする気体圧制御型微小傾斜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体圧制御型微小傾斜装置に係り、特に、気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを微小傾斜させる気体圧制御型微小傾斜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
気体アクチュエータを用いる移動機構は、他の機構に比べ、コンタミネーションが少ないほか、電磁的ノイズを発生せず、温度変化による影響、振動、騒音も少ない。そこで半導体装置等の位置決めアクチュエータの用途等のように、気体アクチュエータを用いて、応答性のよい微小移動機構を構成することが提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、気体軸受機構のバネ定数が高いことに着目し、気体軸受の隙間をそこに供給する気体圧の制御により変化させ、この隙間の変化を対象物の微小移動に用い、応答性の良い微小移動機構を実現する構成が示されている。ここでは、適当な押付力が与えられている可動子を移動方向に案内する案内部があり、案内部の底面である気体受壁に設けられる開口部から、可動子の気体受面へ向かって制御された気体圧を有する気体が供給され、可動子が気体受壁から浮上し、押付力と釣り合いつつ隙間を形成し、この隙間量を供給気体圧によって制御することで、可動子が微小移動される。また、可動子を複数個、軸方向に配置し、隣接する可動子の間の隙間にそれぞれ制御された気体圧を供給することで、微小移動の範囲を隙間の数に応じて拡大できることも述べられている。
【０００４】
このように気体圧を用いて非接触式で精度よく可動子を移動させることができるので、その際に、気体圧を移動対象物との間にも供給して、非接触で対象物を精度よく移動させることも提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２６８２９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示される構成を発展させて、板厚の薄い可動子を複数個、軸方向に配置し、隣接する可動子の間の隙間にそれぞれ制御された気体圧を供給することで、全体として小型で、微小移動の移動範囲が広い気体圧微小移動機構を構成することができる。
【０００７】
一方で、テーブル、搭物台等の上の対象物を精密に水平に保持するために、テーブル等を微小角度傾斜させたい要望がある。このような傾斜制御は、一般的なアクチュエータでテーブルの一端部を他端部に対し微小量移動させることで実現できる。このような場合においても、コンタミネーションが少なく、電磁的ノイズを発生せず、温度変化による影響、振動、騒音も少なく、応答性のよい気体圧制御が望まれる。
【０００８】
本発明の目的は、気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを微小移動と共に微小傾斜させる気体圧制御型微小傾斜装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る気体圧制御型微小傾斜装置は、下テーブルと、下テーブルに対しその上方に配置される上テーブルと、下テーブルと上テーブルの間に複数の配置位置に複数配置され、気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを各配置位置において垂直軸方向にそれぞれ独立に微小移動させて、下テーブルに対し上テーブルを微小移動と共に微小傾斜させる複数の傾斜駆動部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る気体圧制御型微小傾斜装置は、下テーブルに一方端が取り付けられ、上テーブルに他方端が取り付けられ、下テーブルの平面方向に平行で互いに直交する２軸のそれぞれの周りの２軸回転自由度を有する傾斜支持部と、下テーブルの平面内で傾斜支持部から予め定められた所定間隔距離をおいた複数の配置位置において下テーブルと上テーブルの間に配置され、気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを各配置位置において垂直軸方向にそれぞれ独立に微小移動させ、傾斜支持部を支点として下テーブルに対し上テーブルを微小移動と共に微小傾斜させる複数の傾斜駆動部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る気体圧制御型微小傾斜装置において、傾斜駆動部は、上テーブルの裏面に向かい合う対物上面に気体吹出部を有する対物パッドと、気体が流れることができる貫通窓を有し、対物パッドの対物上面と反対側のパッド裏面と下テーブルの上面との間に平行に複数整列配置される平板可動子と、複数の平板可動子の整列軸方向に伸縮可能な伸縮壁部によって上テーブルと下テーブルとの間に気密構造を形成し、複数の平板可動子をその整列配置される整列軸方向に沿って移動可能に収容する気密収容部と、対物パッドの気体吹出部と、各平板可動子の貫通窓と、複数の平板状可動子のうちでパッド裏面に向かい合う最先端側平板可動子とパッド裏面との隙間であるパッド側隙間と、隣接する平板状可動子の間の隙間である各可動子間隙間と、複数の平板状可動子のうちで下テーブルの底面に向かい合う最後端側平板可動子と筐体部の底面との隙間である底面側隙間とに隙間制御用気体を供給する隙間制御用気体供給手段と、を備え、隙間制御用気体の気体圧を制御し、上テーブルからの押付力と釣り合わせつつ各隙間の間隔を調整しながら、下テーブルに対し上テーブルを垂直軸方向に微小移動させることが好ましい。
【００１２】
また、本発明に係る気体圧制御型微小傾斜装置において、気密収容部の伸縮壁部は、蛇腹状伸縮部材またはベロー状伸縮部材で構成されることが好ましい。
【００１３】
また、本発明に係る気体圧制御型微小傾斜装置において、気密収容部の外側に配置され、気密収容部から漏れてくる気体を吸引する真空吸引手段を有することが好ましい。
【００１４】
また、本発明に係る気体圧制御型微小傾斜装置において、対物パッドの対物上面と、上テーブルの裏面との間の隙間量を検出する隙間量検出手段と、隙間量検出手段の検出結果に応じて隙間制御用気体の気体圧を制御する制御部と、を備えることが好ましい。
【００１５】
また、本発明に係る気体圧制御型微小傾斜装置において、下テーブルを垂直軸方向に移動駆動させる気体圧制御アクチュエータを備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
上記構成の少なくとも１つにより、気体圧制御型微小傾斜装置は、下テーブルと上テーブルの間に複数配置される傾斜駆動部を有し、気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを各配置位置において垂直軸方向にそれぞれ独立に微小移動させ、これにより、気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを微小移動と共に微小傾斜させる。
【００１７】
また、上記構成の少なくとも１つにより、気体圧制御型微小傾斜装置は、一方端が下テーブルに、他方端が上テーブルにそれぞれ取り付けられる２軸回転自由度を有する傾斜支持部を支点とし、傾斜支持部から所定間隔距離離れた複数の配置位置のそれぞれにおいて気体圧の制御の下の傾斜駆動部によって上テーブルを下テーブルに対し微小移動させる。これにより、上テーブルを下テーブルに対し微小移動と共に微小傾斜させる。
【００１８】
また、気体圧制御型微小傾斜装置において、対物パッドの対物上面と反対側のパッド裏面に平板状可動子が複数個平行に配置され、各可動子間隙間等に隙間制御用気体が供給され、上テーブルからの押付力と釣り合わせつつ各隙間の間隔を調整しながら、下テーブルに対し上テーブルを垂直軸方向に微小移動させる。この構成は特許文献１に記載されるもので、精度よく各可動子間隙間を調整でき、対物パッドを精度よく微小移動させることができる。これによって、気体圧の制御の下で下テーブルに対し上テーブルを精度よく微小傾斜させることができる。
【００１９】
また、気体圧制御型微小傾斜装置において、気密収容部の伸縮壁部は、蛇腹状伸縮部材またはベロー状伸縮部材で構成されるので、実績のある構造を用いることができる。
【００２０】
また、気体圧制御型微小傾斜装置において、気密収容部の外側に漏れてくる気体を吸引する真空吸引手段を有するので、減圧雰囲気、真空雰囲気中でも傾斜駆動部を作動させることができる。
【００２１】
また、気体圧制御型微小傾斜装置において、対物パッドの対物上面と、支持対象物との間の隙間量を検出し、その検出結果に応じて隙間制御用気体の気体圧を制御する。これにより、精度よく、下テーブルに対し上テーブルを精度よく微小傾斜させることができる。
【００２２】
また、気体圧制御型微小傾斜装置において、下テーブルを垂直軸方向に移動駆動させる気体圧制御アクチュエータを備えるので、垂直軸に沿った任意の高さ位置で上テーブルを微小傾斜させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に図面を用いて本発明に係る実施の形態につき詳細に説明する。以下では、下テーブルに対し上テーブルを傾斜させるための傾斜駆動部として、複数の平板可動子を整列配置し、隣接する可動子の間の隙間に隙間制御用気体を流して対物パッドを移動させる構成のものを説明するが、これ以外の気体圧制御型のアクチュエータであってもよい。例えば、気体圧でダイヤフラムを可動させこれによって対物パッドを移動させる構成としてもよい。あるいは、気体圧でベロー管を伸縮させこれによって対物パッドを移動させる構成としてもよい。また、気体圧シリンダ機構を用いるものとしてもよく、ノズル・フラッパ移動機構を用いるものとしてもよい。
【００２４】
また、傾斜駆動部として、対物パッドを介して上テーブルを移動させるものとして説明するが、複数の平板可動子のうちで上テーブル裏面に最も近い最先端側平板可動子によって上テーブルを移動させるものとして対物パッドを省略してもよい。また、以下では、下テーブル全体を上下動させるアクチュエータを備えるものとして説明するが、用途によっては下テーブル全体を上下動させないものとしてこのアクチュエータを省略することもできる。また、以下では傾斜駆動部として、４つを配置する例を説明するが、用途に応じ、３つを配置するものとしてもよく、また、傾斜方向が予め分かっている場合等には１つまたは２つの配置としてもよく、負荷が重い場合等には５つ以上の配置としてもよい。また、傾斜支持部は下テーブルの中心位置に配置されるものとして説明するが、支点として用いることができる位置であれば、下テーブルの中心位置以外の位置に配置してもよい。
【００２５】
また、以下では、上テーブルと下テーブルについてともに平行な平板状のものとし、上テーブルの上面、その下面、下テーブルの上面、その下面がそれぞれ平坦面であるものとして説明するが、もとより、微小傾斜装置の仕様にあわせ、その表面形状を適宜変更することができる。この場合に、以下で述べる下テーブルの平面方向に平行な面とは、傾斜支持部の２つの回転自由度と、１つの軸方向並進自由度のそれぞれの軸方向を説明するための基準面を示すものであるので、下テーブルが凹凸面であるときでも、上テーブルの移動に対し基準となる仮想的な平面を、下テーブルの平面方向に平行な面とすることができる。
また、以下で述べる、形状、寸法、材質、個数等は、説明のための例示であり、用途目的に応じて、それ以外の条件のものを用いることができる。例えば、下テーブル、上テーブルは円板状のものとして説明するが、矩形形状、多角形形状等であってもよい。また対物パッドを円板状として説明するが、長円形状、楕円形状等であってもよい。
【００２６】
また、以下の各図においては、同様の要素には同一の符号を付して重複する説明を省略する。また、説明において、それ以前に述べられている符号を用いて説明するものとする。
【００２７】
図１は、気体圧制御型微小傾斜装置１０の構成を上面図と断面図で示す図である。なお、以下では、気体圧制御型微小傾斜装置のことを、単に傾斜装置として述べるものとする。図２は、図１の断面図をさらに詳細に示す図であり、図３は傾斜支持部５０の詳細図、図４は傾斜駆動部７０の詳細な構成を説明する図である。なお、以下の図には、必要に応じ、下テーブル３０の平面に平行な面をＸＹ平面、ＸＹ平面に垂直な方向をＺ方向として、Ｘ，Ｙ，Ｚの方向を示してある。傾斜装置１０の配置姿勢は特に制限を受けないが、以下ではＺ方向を重力方向とし、紙面の上方向を上方として説明する。
【００２８】
傾斜装置１０は、本体筐体部１２と、本体筐体部１２に案内されるピストン台２０と、ピストン台２０の上部に取り付けられる下テーブル３０と、下テーブル３０の上方に配置される上テーブル４０と、下テーブル３０と上テーブル４０との間に配置される傾斜支持部５０と傾斜駆動部７０と、傾斜駆動部７０に隙間制御用気体を供給する気体圧制御弁３４と、上テーブル４０の移動量を検出する隙間量センサ８２と、制御部２８とを含んで構成される。
【００２９】
傾斜装置１０は、制御部２８の制御の下で気体圧を用いて傾斜駆動部７０によって下テーブル３０に対し上テーブル４０を移動させ、これによって、傾斜支持部５０を支点として、上テーブル４０を下テーブル３０に対し傾斜させる機能を有する装置である。
【００３０】
本体筐体部１２は、傾斜装置１０の全体のベースとしての機能を有し、また、ピストン台２０をＺ方向に移動可能に案内するシリンダとしての機能を有する部材である。なお、ピストン台２０の回転を防止するために適当な回転止めを設けることが好ましい。本体筐体部１２は、Ｚ方向を軸方向とし、上方に開口部を有する筒状部材で、筒状の内面をピストン台２０の移動案内面とし、底面にピストン台２０を駆動するための気体圧ＰAを有する気体が供給される供給口１４を備える。また、ピストン台２０に適当な押付力を与え、また、ピストン台２０の外周面と本体筐体部１２の筒状内面との間の隙間に気体を流すために、ピストン台２０の段付の上面側に適当な気体圧の気体が供給されるが、その気体の供給のために供給口１２４が設けられる。また開口部の付近に、供給口１２４から開口部の側に流れてくる気体を集めて外部に排出するための排気口２６が設けられる。
【００３１】
ピストン台２０は、上面において下テーブル３０が取り付けられる筒状部材で、底面を気体圧ＰAを受け止める気体受面とし、本体筐体部１２の筒状内面に案内されてＺ方向に移動可能なピストンとしての機能を有する。ピストン台２０と下テーブル３０の内部には、下テーブル３０と上テーブル４０との間に形成される気密収容部４４に接続される気体流路２２，３２が設けられる。この気体流路２２，３２は、上記の供給口１２４から本体筐体部１２の底面側に流れてくる気体を集めて、一旦気密収容部４４に流すための排気用流路である。なお、気密収容部４４に集められた気体は、改めて下テーブル３０に設けられる排気口１２６から外部に排出される。
【００３２】
なお、上記のように、供給口１２４から吹き出した気体は、ピストン台２０の外周面と本体筐体部１２の筒状内面との間の隙間を、上方の開口部側と、下方の底面側とに流れる。この隙間に沿って、ピストン台２０の外周側面に浅溝２４が設けられる。この浅溝２４は、気体が隙間に沿って流れるときの表面絞りとして働き、これによって、ピストン台２０は本体筐体部１２に対し、安定した隙間間隔でＺ方向に移動可能に支持される。隙間を通って流れた気体のうち、上方の開口部側に流れた気体は、上記の排気口２６から外部に輩出される。下方の底面側に流れた気体は、ピストン台２０の気体流路２２、下テーブル３０の気体流路３２、気密収容部４４を経て、排気口１２６から外部に排出される。
【００３３】
下テーブル３０は、ピストン台２０に取り付けられるステージ台であり、この台を基準にして上テーブル４０が微小移動し微小傾斜する。下テーブル３０は、上テーブル４０と外径がほぼ同じの円板状部材であり、その上面において、中心位置に当るところに傾斜支持部５０の一方端が取り付けられる。そして、やはりその上面において、下テーブル３０の平面内の外周側、すなわちＺ方向に垂直な平面内で、傾斜支持部５０から予め定められた所定間隔距離をおいた外周側に、４つの傾斜駆動部７０の配置位置が設定される。下テーブル３０のその他の構成については、傾斜駆動部７０に関連して後述する。
【００３４】
上テーブル４０は、例えば測定対象物、加工対象物等を保持するステージ台で、図１の例では円板状部材が用いられ、円形ステージの形状を有している。この円板状部材の中心位置に当るところに傾斜支持部５０の他方端が取り付けられる。
【００３５】
伸縮壁部４２は、下テーブル３０の外周部に底面側の接続部を有し、上テーブル４０の外周部に上面側の接続部を有して、下テーブル３０と上テーブル４０の外周に沿って円環状に配置される蛇腹状伸縮部材である。伸縮壁部４２は、下テーブル３０と、上テーブル４０のいずれとも、気密構造で接続される。かかる伸縮壁部４２としては、適当なプラスチック材料またはゴム材料の蛇腹状部材、あるいは金属薄板の蛇腹状部材を用いることができる。また、場合によって、蛇腹状伸縮部材に代えて、金属製またはゴム製のベロー状伸縮部材を用いてもよい。あるいは、少しの気体の漏れが許容できるときには、内径の異なるスリーブを数段に渡って径方向に配置し、いわゆる竹の子型に軸方向に順次移動する構造のものを用いてもよい。
【００３６】
このように、下テーブル３０の上面と上テーブル４０の下面と伸縮壁部４２の内面によって、筒状の気密空間が形成される。この気密空間は、傾斜支持部５０と、４つの傾斜駆動部７０とを内部に収容する空間で、これを気密収容部４４と呼ぶことができる。
【００３７】
気密収容部４４に配置される傾斜支持部５０は、上記のように、下テーブル３０に一方端が取り付けられ、上テーブル４０に他方端が取り付けられる接続部材である。傾斜支持部５０は、図１の例では、下テーブル３０、上テーブル４０の中央部に取り付けられる。
【００３８】
図３は、傾斜支持部５０の詳細図である。傾斜支持部５０は、下テーブル３０への取付部５２と、上テーブル４０への取付部５４と、この２つの取付部５２，５４を接続する柱部５６とを含んで構成される。ここで、２つの取付部５２，５４は適当な厚みを有する円板形状の部材である。また、柱部５６は円柱状の部材でこれら２つの円板部材の中心部を接続するように配置される。そして、柱部５６の長さはその直径に比べ十分長く設定され、また、２つの取付部５２，５４の直径は柱部５６の直径よりも十分大きく設定される。
【００３９】
このような設定の下で、傾斜支持部５０について、柱部５６の軸方向に沿った剛性に比べ、柱部５６を回転させて撓ませる方向の剛性を小さくできる。これによって、傾斜支持部５０は、柱部５６がその軸方向を適当に回転させて撓むように弾性変形するものとできる。図３では、取付部５２を固定した場合の柱部５６の撓みと、取付部５４の移動の様子を破線で示してある。図３では、紙面に垂直なＹ軸周りの回転が示されているが、柱部５６は円柱状であるので、Ｙ軸に垂直なＸ軸周りの回転の自由度も有している。すなわち、図３の傾斜支持部５０は、下テーブル３０の平面方向に平行なＸＹ平面内で互いに直交する２軸のそれぞれの周りの２軸回転自由度を有する。また、柱部５６は、弾性変形によって軸方向に伸縮するので、Ｚ方向の並進移動自由度も有する。
【００４０】
再び図１、図２に戻り、気密収容部４４の内部に設けられる傾斜駆動部７０は、気体圧の制御によって上テーブル４０を下テーブル３０に対し、Ｚ軸方向に移動させる機能を有する気体圧制御アクチュエータである。
【００４１】
傾斜駆動部７０は、上記のように、下テーブル３０の上面において、傾斜支持部５０から予め定められた所定間隔距離をおいた外周側に、配置位置が設定される。図１の例では、下テーブル３０の中心点に配置された傾斜支持部５０から、軸方向に等距離離れた半径上に、周方向に等間隔で４つの傾斜駆動部７０が配置されている。
【００４２】
図４は、１つの傾斜駆動部７０の周辺の拡大図である。ここで示されるように、下テーブル３０の上面において、この傾斜駆動部７０の配置位置に中心穴を有する円環状のくぼみ３６が設けられ、その円環状のくぼみ３６に中心軸８０が固定立設して配置される。傾斜駆動部７０は、この中心軸８０、対物パッド７２、中心軸８０の中に配置される隙間量センサ８２、中心軸８０の周囲に軸方向に整列配置される複数の平板可動子９０を含んで構成される。
【００４３】
対物パッド７２は、上テーブル４０を非接触的に支持するための平板状部材であり、その上面は、上テーブル４０に向かい合う対物上面７３である。対物上面７３は、その表面を気体が滑らかに流れるように平坦面に加工される。かかる対物パッド７２は、適当な金属材料、またはセラミック材料、またはプラスチック材料等を用いて円板状に成形したものを用いることができる。対物パッド７２の表面には、適当な表面処理を行うことができる。
【００４４】
対物上面７３の中央に設けられる気体吹出口７４は、円環状のくぼみ３６の中心穴から下テーブル３０の内部に設けられる気体供給路３５に接続される。この気体供給路３５は、下テーブル３０の下面の外周等の適当な位置に開口し、気体圧制御弁３４に接続される。気体圧制御弁３４からは後述するように、気体圧ＰSを有する隙間制御用気体が供給される。
【００４５】
図５は、傾斜駆動部７０を対物パッド７２の上面である対物上面７３の側から見た様子を示す図である。ここに示されるように、対物上面７３には、気体吹出口７４から放射状に延びる浅く細い溝である複数の細溝７８が設けられる。放射状に延びる細溝７８は、円板の内径側で共通化してくぼみ７６となっている。すなわち、対物パッド７２の上面において、内径側の部分は、気体吹出口７４の中心から所定の半径の部分の肉厚が薄くなってくぼみ７６を形成し、そのくぼみ７６が各細溝７８の始発点となり、そこから所定の長さで細溝７８が径方向に延びる。径方向に延びた細溝７８の先端部は、そこで円周方向に両側に広がり、隣接する細溝７８の円周方向の広がりとつながらない程度でその広がりを止める。くぼみ７６及び細溝７８の形状は表面絞りとしての一例であって、他の適当な形状を有する絞りであってもよい。
【００４６】
このようなくぼみ７６及び細溝７８は、対物上面７３において気体吹出口７４から径方向に気体が流れるときに、絞り効果を奏するように設けられる。すなわち、対物上面７３と上テーブル４０の裏面と対向し、２つの面の間の隙間に気体が流れて、このくぼみ７６及び細溝７８を流れる気体が細溝７８の終端等で平板面にあふれるときに、流路が狭くなって絞られ、いわゆる表面絞りとなる。この表面絞りの効果により、２つの面の間の流れが安定し、２つの面の間の間隔も安定する。
【００４７】
くぼみ７６及び細溝７８の深さは約１０μｍから約２０μｍとすることができる。また、対物パッド７２の外形を例えば約３０ｍｍとすると、くぼみ７６の径方向の幅は約１ｍｍから約６ｍｍ程度、細溝７８の幅は約０．２ｍｍから約２ｍｍ程度とすることができる。
【００４８】
再び図４に戻り、中心軸８０は、下テーブル３０の上面側に設けられる円環状のくぼみ３６の中に固定立設されて配置される中空軸である。上記のように、円環状のくぼみ３６は中央に開口部を有しているので、中心軸の中空部である中心貫通穴は、この円環状のくぼみ３６の中央開口部と気体の流路として流体的に接続されている。
【００４９】
図６に、中心軸８０の様子を示す。中心軸８０は、その中央に中心貫通穴を有し、外形は六角星稜形をなし、その星陵形の谷の部分に、中心貫通穴に連通する連通穴８４が複数設けられる。上記のように、中心軸８０は、気体供給路３５に接続される円環状のくぼみ３６に固定立設されて配置されるので、中心軸８０の中心貫通穴は隙間制御用気体が供給される気体供給路３５に連通し、気体圧制御弁３４から供給される隙間制御用気体が吹き出すことができる。そして吹き出した気体は、径方向には気密収容部４４において各平板可動子９０に向かって流れ、また、軸方向には星陵形の谷間から上方に向かって気体吹出口７４に向かって流れる。
【００５０】
中心軸８０の中心貫通穴の中に配置される隙間量センサ８２は、対物パッド７２に対する隙間量に基いて、下テーブル３０を基準とした上テーブル４０の移動量を検出する隙間量検出手段である。なお、隙間量センサ８２の外形は中心貫通穴の内径よりも小さく、気体供給路３５から供給される気体は十分に気体吹出口７４、連通穴８４に流れることができる。隙間量センサ８２の検出データは、適当な通信線で制御部２８に伝達される。かかる隙間量センサ８２としては、静電容量型センサ、磁気センサ、光学式センサ等を用いることができる。
【００５１】
再び図４に戻り、中心軸８０の周りに配置される複数の平板可動子９０は、下テーブル３０に対し、対物パッド７２を移動させるための微小変位を発生する機能を有する。平板可動子９０の様子を図７に示す。
【００５２】
平板可動子９０は、円板の中央部に同心円の開口部９２を有するドーナツ型の部材である。平板可動子９０には、その平板面の一方の面に、中心から放射状に延びる浅く細い溝である複数の細溝９６が設けられる。放射状に延びる細溝９６は、円板の内径側で共通化してくぼみ９４となっている。すなわち、平板可動子９０の内径側の部分は、中心から所定の半径の部分の肉厚が薄くなってくぼみ９４を形成し、そのくぼみ９４が各細溝９６の始発点となり、そこから所定の長さで細溝９６が径方向に延びる。径方向に延びた細溝９６の先端部は、そこで円周方向に両側に広がり、隣接する細溝９６の円周方向の広がりとつながらない程度でその広がりを止める。くぼみ９４及び細溝９６の形状は表面絞りとしての一例であって、他の適当な形状を有する表面絞りであってもよい。なお、くぼみ９４、細溝９６を平板可動子９０の両側の面に設けるものとしてもよい。
【００５３】
このようなくぼみ９４及び細溝９６は、平板可動子９０の表面に沿って径方向に気体が流れるときに、絞り効果を奏するように設けられる。すなわち、平板可動子９０の平板面が、他の面と対向し、２つの面の間の隙間に気体が流れて、このくぼみ９４及び細溝９６を流れる気体が細溝９６の終端等で平板面にあふれるときに、流路が狭くなって絞られ、いわゆる表面絞りとなる。この表面絞りの効果により、２つの面の間の流れが安定し、２つの面の間の間隔も安定する。
【００５４】
かかる平板可動子９０の寸法の一例を述べると、外径が約３０ｍｍから約４０ｍｍ、内径が約１０ｍｍから１５ｍｍ、板厚が約０．１ｍｍから約０．２ｍｍ程度、くぼみ９４及び細溝９６の深さは約１３μｍから約１７μｍ、くぼみ９４の径方向の幅は約２ｍｍから４ｍｍ程度、細溝９６の幅は約０．２ｍｍ程度とすることができる。これらは一例であって、用途に応じ、もっと小型にすることもでき、もっと大型とすることもできる。なお、図７では、細溝９６等の深さを誇張して拡大してある。かかる平板可動子９０は、例えばＳＵＳ等の金属円板またはセラミック板、またはプラスチック板を加工して得ることができる。
【００５５】
再び図４に戻り、複数の平板可動子９０は、中心軸８０の周りに、その軸方向に沿って積層状に整列配置される。そして、隣接する平板可動子９０の間の隙間には、中心軸８０の側面の連通穴８４から隙間制御用気体が流される。また、複数の平板可動子９０の中の最上層に位置する平板可動子９０の上面と対物パッド７２の底面との間の隙間と、最下層に位置する平板可動子９０の下面と下テーブル３０の上面との間の隙間にも、同様に中心軸８０の側面の連通穴８４から隙間制御用気体が流される。
【００５６】
いま、対物パッド７２と下テーブル３０との間にＮ枚の平板可動子９０が整列配置されているとすると、対物パッド７２と下テーブル３０との間には、Ｎ＋１の隙間が形成されており、これらの隙間に隙間制御用気体が流れる。そして、上テーブル４０の自重、あるいは、傾斜支持部５０を支点とする反対側の傾斜駆動部７０から、対物パッド７２には押付力が与えられる。
【００５７】
ここで、対物パッド７２によって各平板可動子９０に向かって押付力Ｆが働くときは、これらの隙間を流れる気体の流れは、いわゆる気体軸受としての作用を示す。すなわち、隙間制御用気体の気体圧ＰSを制御し、押付力Ｆと釣り合わせつつこれらの隙間量を調整することができ、これによって、平板可動子９０を中心軸８０の軸方向に、すなわち対物パッド７２を上テーブル４０の高さ位置を変化させる方向に微小移動させることができる。
【００５８】
例えば隙間制御用気体の気体圧ＰSを＋ΔＰ変化させると、各隙間量を＋Δｓ変化させることができ、このΔｓ／ΔＰは、平板可動子９０の形状、隣り合う平板可動子９０の間の隙間、気体圧ＰS、押付力Ｆ等を与えることで実験的に定めることができる。ここで、Δｓ／ΔＰは、各隙間ごとに定まるものであるので、隙間の数をＮ＋１とすると、複数の平板可動子９０の全体の軸方向移動量は、（Ｎ＋１）×Δｓとなり、移動量が、平板可動子９０の数の増減で調整できる。
【００５９】
一例を上げると、上記の平板可動子９０の寸法で、隣り合う隙間の公称標準値を１０μｍ程度とし、ＰSを約０．２ＭＰａとすると、（隙間変化量／気体圧変化量）＝（５μｍ／０．１ＭＰａ）程度とすることができる。上記のように、平板可動子９０の厚さは、約０．１ｍｍから約０．２ｍｍであるので、仮にＮ＋１＝１３としても、１２個の平板可動子９０の軸方向の全長は、約１．２ｍｍから約２．４ｍｍである。そして、ΔＰを０．１５ＭＰａとすれば、この１２個の平板可動子９０によって、対物パッド７２に、１３×７．５μｍ＝９７．５μｍの移動量を与えることができる。すなわち１ｍｍから２ｍｍ程度の全長に対し、約１００μｍの移動量を与えることができる。しかも、その移動量は、Δｓ／ΔＰで定まり、気体圧の制御性は極めてよいので、その移動量の精度は、全ストロークについてきわめて高く維持することができる。
【００６０】
このように、対物パッド７２と下テーブル３０との間においては、中心軸８０の側面の連通穴８４から隙間制御用気体が供給されて、複数の平板可動子９０の間の隙間等に流れる。流れた気体は、複数の平板可動子９０の外周と、伸縮壁部４２との間の気密収容部４４の空間に流れ出す。なお、既に述べたように、下テーブル３０の気体流路３２からも気体が流れ込む。これらの気体は、気密収容部４４に設けられる排気口１２６から外部に排出される。なお、外部に排気された気体は回収されて再び気体圧制御弁３４の作動気体として用いることができる。
【００６１】
次に、図１、図２の制御部２８について説明する。制御部２８は、下テーブル３０に対し上テーブル４０を微小角度傾斜させるために、４つの傾斜駆動部７０のそれぞれのＺ方向の移動量を算出し、これを移動量指令値とし、隙間量センサ８２の検出値と、移動指令値とを比較し、その偏差をゼロにするように、対応する気体圧制御弁３４を制御して隙間制御用気体の気体圧ＰSを出力させる機能を有する。また、必要に応じ、下テーブル３０の全体をＺ方向に移動させるために、ピストン台２０を所定の移動量だけ移動するのに必要な気体圧ＰAを算出し、図示されていない気体圧発生部に対し、気体圧ＰAを出力させる機能を有する。
【００６２】
後者の機能は、いわゆるピストン・シリンダ機構の駆動制御と同様であるので、詳細な説明を省略する。前者の微小角度傾斜の制御は、次のような手順で行うことができる。例えば、図１に示すように、Ｙ軸周りに反時計方向に、微小角度−αだけ上テーブル４０を下テーブル３０に対し傾斜させたいとする。この場合には、図１においてＣとして示されている傾斜駆動部７０を＋Ｚ方向に所定量だけ移動させ、Ａとして示されている傾斜駆動部７０を−Ｚ方向に所定量だけ移動させる。Ｂ，Ｄとして示される２つの傾斜駆動部７０は自由状態、すなわち隙間制御用気体の気体圧を変化させないものとする。Ｃとして示されている傾斜駆動部７０の＋Ｚ方向の移動量と、Ａとして示されている傾斜駆動部７０の−Ｚ方向の移動量は、大きさがほぼ同じで、方向が互いに反対方向である。その移動量の大きさは、支点となる傾斜支持部５０の配置位置と、傾斜駆動部７０の配置位置との間の距離と、目標の微小角度αから求めることができる。
【００６３】
傾斜駆動部７０の移動量の必要移動量が求められると、その必要移動量に相当する隙間制御用気体の気体圧の変化量ΔＰを求める。その計算は、平板可動子９０に関連して説明したように、隙間制用御気体の気体圧ＰSを＋ΔＰ変化させるときの各隙間量の変化量＋Δｓに、平板可動子９０の総数をＮとして、複数の平板可動子９０の全体の軸方向移動量は、（Ｎ＋１）×Δｓであるので、これを必要移動量と等しいとして、Δｓを求め、これに対応するΔＰを求めることができる。このようにして、各傾斜駆動部７０の作動に必要な隙間制御用気体の気体圧変化量が求まると、対応する気体圧制御弁３４に、その気体圧変化量に対応する気体圧の隙間制御用気体を出力するように指令する。
【００６４】
これにより、上テーブル４０は、下テーブル３０に対し、傾斜するように回転駆動される。この隙間制御用気体の気体圧制御はオープンループで実行することができるが、隙間量センサ８２を用いてフィードバック制御とすることもできる。この場合には、隙間量センサ８２によって、上テーブル４０の移動量が検出され、検出結果が制御部２８に戻される。そして検出された実際の移動量と、移動量指令値との偏差をゼロにするフィードバック制御を行うことができる。
【００６５】
上記では、Ｙ軸周りの微小傾斜について説明したが、傾斜回転の軸方向がＸ方向であっても、図１においてＢとして示される傾斜駆動部７０と、Ｄとして示される傾斜駆動部７０の作動を制御することで、目標とする傾斜角度に対する制御を行うことができる。また、微小傾斜の回転軸がＸ軸またはＹ軸と一致しない場合には、４つの傾斜駆動部７０の作動を制御することで、目標とする傾斜角度に対する制御を行うことができる。また、各傾斜駆動部７０を同方向に同じ移動量となるように駆動することで、上テーブル４０を下テーブル３０に対し微小移動させることができる。複数の傾斜駆動部７０が独立に作動されるときは、上テーブル４０は下テーブル３０に対し微小移動と共に微小傾斜を行うことになる。
【００６６】
上記では、傾斜支持部を、２つの円板状の取付部とその間を接続する円柱状の柱部で構成されるものとして説明した。これ以外の構成であっても、下テーブル３０の平面方向に平行なＸＹ平面内で互いに直交する２軸のそれぞれの周りの２軸回転自由度を有するものであればよい。また、これに加えて、ＸＹ平面に垂直なＺ方向への１軸並進自由度を有してもよい。図８から図１１は、傾斜支持部の他の例を説明する図である。なお、以下では、ＸＹ平面は取付部５２の平面方向に平行な平面でもあるので、ＸＹ平面に代えて取付部５２の平面方向に平行な平面を用いて説明する。
【００６７】
図８の傾斜支持部１００は、取付部５２の側にボール１０２を取り付け、取付部５４の側にボール１０２に対応するすべり軸受１０４を設けたものである。ボール１０２を取付部５４に取り付け、すべり軸受１０４を取付部５２に設けるものとしてもよい。この構成により、取付部５２の平面方向に平行な平面内で互いに直交する２軸のそれぞれの周りの２軸回転自由度を有するものとできる。この場合でも、取付部５２の柱部の弾性で、取付部５２の平面方向に垂直な方向への微小並進自由度を有する。
【００６８】
図９において、図９（ａ）の傾斜支持部１１０は、図９（ｂ）に示される十字バネ１１２と呼ばれる部品を用いるものである。十字バネ１１２は、中心部の立方体１１４から互いに直交する４方向にそれぞれバネ体１１６が延び、その先に取付端子部１１８が設けられるものである。バネ体１１６は、例えばトーションバネを用いることができる。図９（ａ)に示されるように、傾斜支持部１１０は、取付部５２に十字バネ１１２の立方体１１４を取り付け、取付部５５に十字バネ１１２の４つの取付端子部１１８を固定して構成される。この構成により、取付部５２の平面方向に平行な平面内で互いに直交する２軸のそれぞれの周りの２軸回転自由度を有するものとできる。また、トーションバネの弾性によって、取付部５２の平面方向に垂直な方向への並進自由度を有する。
【００６９】
図１０の傾斜支持部１２０は、ベロー１２２を取付部５２と取付部５４との間に取り付けたものである。ベロー１２２は適当な剛性と適当な柔軟性とを併せ持つので、この構成により、取付部５２の平面方向に平行な平面内で互いに直交する２軸のそれぞれの周りの２軸回転自由度を有し、さらに取付部５２の平面に垂直な方向への１軸並進自由度を有するものとできる。
【００７０】
図１１の傾斜支持部１３０は、ヘリカルスプリング１３２を取付部５２と取付部５４との間に取り付けたものである。ヘリカルスプリング１３２は、らせん状に薄い板が連続するように加工したもので、適当な剛性と適当な柔軟性とを併せ持つ部品である。この構成により、取付部５２の平面方向に平行な平面内で互いに直交する２軸のそれぞれの周りの２軸回転自由度を有し、さらに取付部５２の平面に垂直な方向への１軸並進自由度を有するものとできる。
【００７１】
上記では、平板可動子９０の中心における開口部９２と、中心軸８０とは直接的に固定されることなく、中心軸８０によって各平板可動子９０が径方向に偏移しないように摺動保持されている。平板可動子９０の保持としては、この他に、中心軸に粘弾性材料で各平板可動子９０を保持することができる。粘弾性材料としては、プラスチック、ゴム等を用いることができる。この場合には、中心軸は星陵形でなく単純な円柱軸でもよい。
【００７２】
図１２は、雲形ばねを用いて平板可動子を中心軸に保持する例を示す図である。この平板可動子１４０は、図７で説明した平板可動子９０と同様に、円板１４２において、内径側のくぼみ１４６と、くぼみ１４６から径方向に延びる細溝１４８が設けられている。そして、この円板１４２の内径側部分と、中心軸８１の外形との間を接続する薄板部材として雲形ばね１４４が設けられる。雲形ばね１４４は、ここでは、中心軸８１の軸方向への変位に対する剛性が径方向への変位に対する剛性が小さい保持部材として用いられている。
【００７３】
雲形ばね１４４のパターンとしては、径方向に延びる部分の形状と円周状に延びる部分の形状とを適切に組み合わせて全体の形状が形成される。具体的には、複雑に曲がりくねった形状を有し、これによりパターンの間に窓状の開口が形成され、この開口窓を通って気体が流れることができる。かかる雲形バネ１４４は、金属薄板を所定のパターンにエッチング加工して得ることができる。例えば厚さ約０．１ｍｍ程度のＳＵＳ板に対しエッチング加工または放電加工等を行うことによって得ることができる。なお、雲形バネとは、その形状パターンが、曲がりくねっていて、雲形に似ていることから用いた単なる呼称であり、軸方向に剛性が小さく、径方向に剛性の大きいバネであればそれ以外の呼称のものであってもよい。
【００７４】
図１３は、雲形ばね１４４と平板可動子１４０の円板１４２との間の接続部を示す図である。これらの間の接続は、適当な接着材を用いることができる。また、場合によっては、円板１４２の厚さを薄くして、雲形ばね１４４と一体化成形を行うものとすることができる。
【００７５】
このような構成をとることで、中心軸８１に雲形バネ１４４を介して保持される平板可動子１４０は、中心軸８１の軸方向への移動が比較的容易であるが、平板の径方向への移動、すなわち中心軸８１の軸方向に垂直な方向に移動することが比較的困難である特性を有する。換言すれば、平板可動子１４０は、中心軸８１の軸方向をスラスト方向として、スラスト方向に自由度が大きいが、これに垂直なラジアル方向の運動が拘束される特性を有する。なお、中心軸８１は、単純な円管であってもよい。
【００７６】
上記では、対物パッドの中央部の吹出口から隙間制御用気体が吹き出すものとして説明したが、吹き出す気体を滑らかな流れとして整流性を持たせる構造をとることができる。図１４に、吹き出す気体に整流性を持たせることができる対物パッドのいくつかの例を示す。なお、これらの例では、隙間量センサの図示を省略してある。なお、これらの例においても、隙間量センサは、別途適当な開口部を設けることで容易に設置することができる。
【００７７】
図１４（ａ）は、対物パッド１５０の上面側に多孔質板１５４を設ける場合である。中心開口部１５２から供給された隙間制御用気体は、多孔質板１５４を通過することで整流されて滑らかな流れとなる。
【００７８】
図１４（ｂ）は、対物パッド１６０の上面に表面絞り１６４を設ける場合である。表面絞りとしては、図５に関連して説明した浅溝構造等を用いることができる。表面絞りによって、中心開口部から供給された隙間制御用気体の流れを滑らかなものとすることができる。また、中心開口部には、前段絞り１６２として、適当なオリフィス絞り等を設けることができる。
【００７９】
図１４（ｃ）は、対物パッド１７０の上面にテーパ溝１７２を設ける場合である。テーパ溝１７２は、中心開口部から外周に向かって溝深さが次第に浅くなるものを用いることができる。テーパ溝１７２によって中心開口部から供給された流れは外周に向かって次第に広がり、これによって滑らかな流れとすることができる。ここでも中央開口部に前段絞り１６２を用いることができる。なお、テーパ溝に代えて、段付溝等を用いることもできる。
【００８０】
上記では、気密収容部として、下テーブルと上テーブルとの間の空間を１つの気密空間とし、その１つの気密空間に４つの傾斜駆動部を配置するものとして説明した。これを、各傾斜駆動部ごとに独立した気密収容部として構成することもできる。図１５は、各傾斜駆動部７０をそれぞれ取り囲むように伸縮壁部４２，４３を設けて、４つの独立した気密収容部４５にそれぞれ１つずつ傾斜駆動部７０を配置する例を示す図である。この場合には、気体排出路３３は、それぞれの気密収容部４５に開口部を有するように設けられる。
【００８１】
このように、気密収容部を複数に分けて設けることで、気密収容部から外部への気体の漏れを最小限に抑えることができる。したがって、減圧雰囲気、真空雰囲気中においても気密収容部が気密に保たれている限り、傾斜駆動部を正常に作動させることができる。さらに減圧雰囲気、真空雰囲気中での作動を確実にするには、気密収容部の外側で真空引きを行ってわずかに漏れてくる可能性のある気体を吸引して外部に漏れないようにすればよい。
【００８２】
図１６は、内側の中央空間を吸引口２０２から真空吸引し、伸縮壁部４２のさらに外側において、複数の吸引口２０４で真空吸引する構成の例を示す図である。複数の吸引口２０４は、下テーブル２００と上テーブル２１０との合わせ面に内周側から外周側に並べて配置することが好ましい。この場合、内周側から低真空度、中真空度、高真空度のように、外側に行くほど吸引力を強くすることがよい。中央空間の吸引口２０４は、外部への気体の漏れがほとんどない内部の空間であるので、低真空度程度でよい。
【００８３】
図１７は、内側の中央空間を吸引口２０２から真空吸引することは図１６の場合と同様であるが、伸縮壁部４２のさらに外側においては、上テーブル２３０の外周部に弾性を有するメンブレム２３２を設ける場合を示す図である。この場合には、メンブレム２３２に弾性があるので、上テーブル２１０の最外周部が下テーブル２２０の最外周部にしっかり固定される。この固定部分の合わせ面には適当なシール部材２１４が設けられ、これによって、外部への気体の漏れを最小限に抑制できる。なお、この構造においては、メンブレム２３２で上テーブル２１０を支持できるので、傾斜支持部５０を場合によっては省略することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明に係る実施の形態の気体圧制御型微小傾斜装置の構成を上面図と断面図で示す図である。
【図２】図１の断面図をさらに詳細に示す図である。
【図３】本発明に係る実施の形態の傾斜支持部を示す図である。
【図４】本発明に係る実施の形態の傾斜駆動部の周辺の拡大図である。
【図５】本発明に係る実施の形態の傾斜駆動部を対物パッドの上面である対物上面の側から見た様子を示す図である。
【図６】本発明に係る実施の形態において、中心軸の様子を示す図である。
【図７】本発明に係る実施の形態において、平板可動子の様子を示す図である。
【図８】本発明に係る実施の形態の傾斜支持部の他の例を説明する図である。
【図９】本発明に係る実施の形態の傾斜支持部のさらに他の例を説明する図である。
【図１０】本発明に係る実施の形態の傾斜支持部の別の例を説明する図である。
【図１１】本発明に係る実施の形態の傾斜支持部のさらに別の例を説明する図である。
【図１２】本発明に係る実施の形態において、雲形ばねを用いて平板可動子を中心軸に保持する例を示す図である。
【図１３】本発明に係る実施の形態において、雲形ばねと平板可動子の円板との間の接続部を示す図である。
【図１４】本発明に係る実施の形態において、対物パッドのいくつかの例を示す図である。
【図１５】本発明に係る実施の形態において、気密収容部を傾斜駆動部ごとに分離して配置する例を示す図である。
【図１６】本発明に係る実施の形態において、伸縮壁部の外側を真空吸引する構成の例を示す図である。
【図１７】本発明に係る実施の形態において、上テーブルの外周部に弾性を有するメンブレムを設ける場合を示す図である。
【符号の説明】
【００８５】
１０  （気体圧制御型微小）傾斜装置、１２  本体筐体部、１４，１２４  供給口、２０  ピストン台、２２，３２  気体流路、２４  浅溝、２６，１２６  排気口、２８  制御部、３０，２００，２２０  下テーブル、３３  気体排出路、３４  気体圧制御弁、３５  気体供給路、３６，７６，９４，１４６  くぼみ、４０，２１０，２３０  上テーブル、４２，４３  伸縮壁部、４４，４５，２０６  気密収容部、５０，１００，１１０，１２０，１３０  傾斜支持部、５２，５４，５５  取付部、５６  柱部、７０  傾斜駆動部、７２，１５０，１６０，１７０  対物パッド、７３  対物上面、７４  気体吹出口、７８，９６，１４８  細溝、８０，８１  中心軸、８２  隙間量センサ、８４  連通穴、９０，１４０  平板可動子、９２  開口部、１０２  ボール、１０４  すべり軸受、１１２  十字バネ、１１４  立方体、１１６  バネ体、１１８  取付端子部、１２２  ベロー、１３２  ヘリカルスプリング、１４２  円板、１４４  雲形バネ、１５２  中心開口部、１５４  多孔質板、１６２  前段絞り、１６４  表面絞り、１７２  テーパ溝、２０２，２０４  吸引口、２１４  シール部材、２３２  メンブレム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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