(57)【要約】【課題】収納された基板が回動されて所定の位置で保持されることで、塵埃の付着が低減される簡易な構成の基板収納カセットの提供。【解決手段】複数のガラス基板３０が互いの主面３１を略平行にして収納されるように一面１１に開口部１２が形成されたカセット本体１０と、カセット本体１０の、ガラス基板３０の収納方向Ｃとガラス基板３０の側面３２とに沿い、互いに対向するように形成された一対の側面部１３，１４と、一対の側面部１３，１４のそれぞれから略直角に突出して形成された支持軸１５，１６と、一対の側面部１３，１４に沿って形成された一対の側壁部２３，２４と、一対の側壁部２３，２４に支持軸１５，１６を介してカセット本体１０を回動可能に支持するように形成された貫通孔２１，２２と、ガラス基板３０が所定の位置で保持されるようにカセット本体１０の回動を規制する回動規制部４０と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板が互いの主面を略平行にして収納されるように一面に開口部が形成されたカセット本体と、
前記カセット本体の、前記基板の収納方向と前記基板の側面とに沿い、互いに対向するように形成された一対の側面部と、
前記一対の側面部のそれぞれから前記カセット本体の外側に向かって、前記一対の側面部のそれぞれに対して略直角に突出して形成された支持軸と、
前記一対の側面部に沿って形成された一対の側壁部と、
前記一対の側壁部に前記支持軸を介して前記カセット本体を回動可能に支持するように形成された支持部と、
前記基板が所定の位置で保持されるように前記カセット本体の回動を規制する回動規制部と、を備えることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項２】
請求項１に記載の基板収納カセットにおいて、前記回動規制部が、前記一対の側面部の少なくとも一方の、前記カセット本体の外側に前記支持軸の突出方向に沿って配設された案内軸と、
前記側壁部に、前記案内軸が挿通され、前記案内軸が前記カセット本体とともに回動可能に形成された円弧状の案内孔と、
前記基板が所定の位置であるときに、前記案内軸が前記案内孔に係止されるように形成された係止部と、を備えることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項３】
請求項２に記載の基板収納カセットにおいて、前記係止部が、前記案内孔に形成された切り欠き部と、
前記案内軸と前記支持軸とを結ぶ一の方向に移動可能で、且つ弾性部材により前記一の方向に押圧された状態に配設された前記案内軸と、を有し、
前記案内軸が前記案内孔の切り欠き部の開口位置にあるときに、前記弾性部材により移動されて前記切り欠き部に係止されることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項４】
請求項２に記載の基板収納カセットにおいて、前記係止部が、前記案内孔に形成された切り欠き部と、
前記支持軸と前記支持部との間に形成された隙間と、を有し、
前記案内軸が前記案内孔の切り欠き部の開口位置にあるときに、前記支持軸とともに前記案内軸が前記隙間分移動することにより、前記案内軸が前記切り欠き部に係止されることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項５】
請求項２〜請求項４のいずれか一項に記載の基板収納カセットにおいて、前記案内軸が前記カセット本体のコーナー部に配設されていることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項６】
請求項１に記載の基板収納カセットにおいて、前記回動規制部が、前記一対の側面部の少なくとも一方の、前記カセット本体の外側に前記一対の側壁部の少なくとも一方に弾性変形して当接するように形成された係止部材と、
前記側壁部の前記係止部材が当接する面に形成された係合部と、を有し、
前記基板が所定の位置であるときに、前記係止部材が弾性変形により前記係合部に係止されることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項７】
請求項１に記載の基板収納カセットにおいて、前記回動規制部が、前記カセット本体の、前記基板の主面に沿うとともに互いに対向するように形成された一対の他の側面部の少なくとも一方の、前記カセット本体の外側に配設された第１の磁性体と、
前記カセット本体の、前記一面に対向するように形成された他面の、前記カセット本体の外側に配設された第２の磁性体と、
前記一対の側壁部を互いに繋ぐ連結部と、
前記連結部における前記カセット本体側の面に配設された電磁石と、を有し、
前記基板が所定の位置であるときに、前記電磁石と前記第１の磁性体および前記第２の磁性体との磁力により、前記カセット本体の回動が規制されることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の基板収納カセットにおいて、前記カセット本体が、前記カセット本体に収納された前記基板の揺動を抑制する基板制止部材を備えることを特徴とする基板収納カセット。
【請求項９】
請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の基板収納カセットにおいて、前記基板収納カセットが、前記カセット本体を挟んで対向する一対の送風ファンユニットと、除塵フィルタと、を有し、前記カセット本体を構成する六つの面が開口部を有し、
前記一対の送風ファンユニットの一方が、前記カセット本体の上方に略水平に配設され、他方が、前記カセット本体の下方に略水平に配設され、
前記一方の送風ファンユニットの前記カセット本体側に前記除塵フィルタが配設され、
前記一方の送風ファンユニットから他方の送風ファンユニットへ吹き降ろす送風が可能なことを特徴とする基板収納カセット。
【請求項１０】
請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の基板収納カセットにおいて、前記基板の所定の位置が、一方の略水平状態と、略垂直状態と、前記一方の略水平状態から約１８０度回転された他方の略水平状態と、を含むことを特徴とする基板収納カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板が収納される基板収納カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネル、有機ＥＬパネルなどの表示装置の製造においては、主にガラス基板上に素子を形成する方法が取られている。その中でも有機ＥＬパネルの製造においては、搬送中にガラス基板に付着する塵埃が、主要な表示欠陥の原因となることが知られている。
このような搬送中におけるガラス基板への塵埃の付着を低減するためには、基板収納容器に水平状態で収納され、水平状態のまま搬送されているガラス基板を、塵埃が付着しにくい垂直状態にして搬送することが必要である。
【０００３】
これに関して、カセット（基板収納カセット）を回動させて、収納されたガラス基板の方向を変化させるカセット搬送装置が知られている（特許文献１参照）。
このカセット搬送装置は、上下動可能に構成されたチャック機構が、ガラス基板が水平状態で収納されているカセットの一端側に位置合わせされ、カセットの一端が一対のクランプで狭持され、チャック機構に連結された回転駆動機構が操作されることにより、カセットが回動されて内部に収納されたガラス基板が垂直状態になる構成となっている。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−２５９１９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記カセット搬送装置は、チャック機構およびチャック機構に連結された回転駆動機構が、多数の部品からなる複雑な構成となっており、その製造に多大な工数を要するという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる基板収納カセットは、複数の基板が互いの主面を略平行にして収納されるように一面に開口部が形成されたカセット本体と、前記カセット本体の、前記基板の収納方向と前記基板の側面とに沿い、互いに対向するように形成された一対の側面部と、前記一対の側面部のそれぞれから前記カセット本体の外側に向かって、前記一対の側面部のそれぞれに対して略直角に突出して形成された支持軸と、前記一対の側面部に沿って形成された一対の側壁部と、前記一対の側壁部に前記支持軸を介して前記カセット本体を回動可能に支持するように形成された支持部と、前記基板が所定の位置で保持されるように前記カセット本体の回動を規制する回動規制部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
これによれば、基板収納カセットは、カセット本体の互いに対向する一対の側面部のそれぞれから、略直角に突出して形成された支持軸と、一対の側面部に沿って形成され、支持軸を介してカセット本体を回動可能に支持する支持部を有する一対の側壁部とを備えている。
そして、基板収納カセットは、基板が所定の位置で保持されるように、カセット本体の回動を規制する回動規制部を備えている。
【０００９】
このことから、基板収納カセットは、回動規制部により基板が所定の位置としての例えば、略垂直状態で保持されることで、搬送時などに基板への塵埃の付着を低減することができる。これにより、基板収納カセットは、塵埃の付着に起因する基板の不良を低減することができる。
また、基板収納カセットは、回動規制部により基板が所定の位置として、例えば、略水平状態で保持されることで、基板のカセット本体への収納および取り出しを従来と同様の方法で行うことができる。
【００１０】
また、この適用例によれば、上記のような基板収納カセットを、カセット本体と、一対の側壁部と、回動規制部とからなる簡素な構成とすることで、工数を要さずに容易に製造することができる。
【００１１】
［適用例２］上記適用例にかかる基板収納カセットにおいて、前記回動規制部が、前記一対の側面部の少なくとも一方の、前記カセット本体の外側に前記支持軸の突出方向に沿って配設された案内軸と、前記側壁部に、前記案内軸が挿通され、前記案内軸が前記カセット本体とともに回動可能に形成された円弧状の案内孔と、前記基板が所定の位置であるときに、前記案内軸が前記案内孔に係止されるように形成された係止部と、を備えることが好ましい。
【００１２】
これによれば、基板収納カセットは、回動規制部が、カセット本体の側面部の外側に配設された案内軸と、案内軸がカセット本体とともに回動可能となるように側壁部に形成された円弧状の案内孔と、基板が所定の位置であるときに、案内軸が案内孔に係止されるように形成された係止部と、を備えている。
【００１３】
このことから、基板収納カセットは、回動規制部を、案内軸と案内孔と案内軸が案内孔に係止される係止部とからなる簡易な構成で形成することができる。
【００１４】
［適用例３］上記適用例にかかる基板収納カセットにおいて、前記係止部が、前記案内孔に形成された切り欠き部と、前記案内軸と前記支持軸とを結ぶ一の方向に移動可能で、且つ弾性部材により前記一の方向に押圧された状態に配設された前記案内軸と、を有し、前記案内軸が前記案内孔の切り欠き部の開口位置にあるときに、前記弾性部材により移動されて前記切り欠き部に係止されることが好ましい。
【００１５】
これによれば、基板収納カセットは、案内軸が案内孔の切り欠き部に弾性部材により押圧されて係止されていることから、カセット本体を確実に係止することができる。
【００１６】
［適用例４］上記適用例にかかる基板収納カセットにおいて、前記係止部が、前記案内孔に形成された切り欠き部と、前記支持軸と前記支持部との間に形成された隙間と、を有し、前記案内軸が前記案内孔の切り欠き部の開口位置にあるときに、前記支持軸とともに前記案内軸が前記隙間分移動することにより、前記案内軸が前記切り欠き部に係止されることが好ましい。
【００１７】
これによれば、基板収納カセットは、案内軸が案内孔の切り欠き部の開口位置にあるときに、支持軸とともに案内軸が隙間分移動することにより、案内軸が切り欠き部に係止される。このことから、基板収納カセットは、適用例３より簡易な構成でカセット本体を確実に係止することができる。
【００１８】
［適用例５］上記適用例にかかる基板収納カセットにおいて、前記案内軸が前記カセット本体のコーナー部に配設されていることが好ましい。
【００１９】
これによれば、基板収納カセットは、案内軸がカセット本体のコーナー部に配設されていることから、支持軸と案内軸との距離を長くすることができる。このことから、基板収納カセットは、案内軸と切り欠き部との係止位置のばらつきによるカセット本体の回動角度のずれが、支持軸と案内軸との距離が短い場合と比較して小さいことにより、カセット本体の回動規制の位置精度を向上することができる。
【００２０】
［適用例６］上記適用例にかかる基板収納カセットにおいて、前記回動規制部が、前記一対の側面部の少なくとも一方の、前記カセット本体の外側に前記一対の側壁部の少なくとも一方に弾性変形して当接するように形成された係止部材と、前記側壁部の前記係止部材が当接する面に形成された係合部と、を有し、前記基板が所定の位置であるときに、前記係止部材が弾性変形により前記係合部に係止されることが好ましい。
【００２１】
これによれば、基板収納カセットは、回動規制部が、カセット本体の側面部の外側に、側壁部に弾性変形して当接するように形成された係止部材と、側壁部の係止部材が当接する面に形成された係合部と、を有している。そして、基板が所定の位置であるときに、係止部材が弾性変形により係合部に係止される。
このことから、基板収納カセットは、弾性変形可能な係止部材および側壁部の係合部という、適用例３より簡易な構成でカセット本体を係止することができる。
【００２２】
［適用例７］上記適用例にかかる基板収納カセットにおいて、前記回動規制部が、前記カセット本体の、前記基板の主面に沿うとともに互いに対向するように形成された一対の他の側面部の少なくとも一方の、前記カセット本体の外側に配設された第１の磁性体と、前記カセット本体の、前記一面に対向するように形成された他面の、前記カセット本体の外側に配設された第２の磁性体と、前記一対の側壁部を互いに繋ぐ連結部と、前記連結部における前記カセット本体側の面に配設された電磁石と、を有し、前記基板が所定の位置であるときに、前記電磁石と前記第１の磁性体および前記第２の磁性体との磁力により、前記カセット本体の回動が規制されることが好ましい。
【００２３】
これによれば、基板収納カセットは、回動規制部が、電磁石と第１の磁性体および第２の磁性体との磁力により、カセット本体の回動を規制することから、回動規制を非接触で行うことができる。
【００２４】
［適用例８］上記適用例にかかる基板収納カセットにおいて、前記カセット本体が、前記カセット本体に収納された前記基板の揺動を抑制する基板制止部材を備えることが好ましい。
【００２５】
これによれば、基板収納カセットは、基板制止部材により、カセット本体に収納された基板の揺動を抑制することができる。このことから、基板収納カセットは、例えば、基板が略垂直状態になるようにカセット本体を回動させたときに、基板が、カセット本体内で略垂直状態からカセット本体との隙間分だけ傾斜することがなく、基板への塵埃の付着をより低減することができる。また、搬送時の基板の揺動に起因する塵埃の発生を回避することができる。
【００２６】
［適用例９］上記適用例にかかる基板収納カセットにおいて、前記基板収納カセットが、前記カセット本体を挟んで対向する一対の送風ファンユニットと、除塵フィルタと、を有し、前記カセット本体を構成する六つの面が開口部を有し、前記一対の送風ファンユニットの一方が、前記カセット本体の上方に略水平に配設され、他方が、前記カセット本体の下方に略水平に配設され、前記一方の送風ファンユニットの前記カセット本体側に前記除塵フィルタが配設され、前記一方の送風ファンユニットから他方の送風ファンユニットへ吹き降ろす送風が可能なことが好ましい。
【００２７】
これによれば、基板収納カセットは、カセット本体を挟んで対向する一対の送風ファンユニットを有し、除塵フィルタを介して一方の送風ファンユニットから他方の送風ファンユニットへ吹き降ろす送風が可能であることから、除塵された送風により基板への塵埃の付着をさらに低減することができる。
【００２８】
［適用例１０］上記適用例にかかる基板収納カセットにおいて、前記基板の所定の位置が、一方の略水平状態と、略垂直状態と、前記一方の略水平状態から約１８０度回転された他方の略水平状態と、を含むことが好ましい。
【００２９】
これによれば、基板収納カセットは、基板を一方の略水平状態と、略垂直状態と、一方の略水平状態から約１８０度回転された他方の略水平状態とで保持することができる。
このことから、基板収納カセットは、上記適用例１で説明した効果に加えて、カセット本体を一方の略水平状態から他方の略水平状態にすることにより、搬送時に基板を反転させることができ、製造工程内での基板の反転作業が省略され、基板の生産効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、基板収納カセットの実施形態について図面を参照して説明する。
【００３１】
（実施形態）
図１は、本実施形態における基板収納カセットの概略構成を示す斜視図である。図１（ａ）は、収納された基板が略水平状態で保持されている状態を示し、図１（ｂ）は、収納された基板が略垂直状態で保持されている状態を示している。
図２は、基板収納カセットの回動規制部を示す平断面図である。図２（ａ）は、図１（ａ）の矢印Ａから見た平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図である。
【００３２】
図１に示すように、基板収納カセット１は、カセット本体１０と、支持部材２０などから構成されている。
カセット本体１０は、導電性エンジニアリング樹脂、ＰＥＥＫ（登録商標）（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂などを主材料として形成されている。カセット本体１０は、複数の基板としてのガラス基板３０が、互いの主面３１が略平行になるように、一面１１に形成された開口部１２から図示しないスロット部分に収納されている。なお、スロット部分には、収納されたガラス基板３０が一面１１の反対側に飛び出さないように図示しないストッパが形成されている。
なお、ガラス基板３０の主面３１とは、ガラス基板３０における素子が形成される面のことをいう。
【００３３】
カセット本体１０には、ガラス基板３０の収納方向である矢印Ｃ方向とガラス基板３０の側面３２とに沿い、互いに対向する一対の側面部１３，１４が形成されている。そして、一対の側面部１３，１４のそれぞれから、カセット本体１０の外側に向かって、一対の側面部１３，１４のそれぞれに対して略直角に突出した支持軸１５，１６が形成されている。なお、支持軸１５，１６の材料には、ステンレス鋼などの金属材料が用いられる。また、支持軸１５と支持軸１６とは、一対の側面部１３，１４を貫通し、一体に形成されていてもよい。
【００３４】
支持部材２０は、導電性エンジニアリング樹脂、ＰＥＥＫ（登録商標）樹脂などを主材料として、矢印Ｃ方向から見たときに略Ｕ字状に形成されている。
支持部材２０は、一対の側壁部２３，２４がカセット本体１０の一対の側面部１３，１４に沿って形成されている。そして、一対の側壁部２３，２４には、支持軸１５，１６を介してカセット本体１０を矢印Ｄ方向に回動可能に支持する支持部としての貫通孔２１，２２が形成されている。そして、一対の側壁部２３，２４は、連結部としての底面部２５により互いに繋がれている。
【００３５】
基板収納カセット１には、外力によりカセット本体１０が支持軸１５，１６を中心にして矢印Ｄ方向に回動される際に、ガラス基板３０が略水平状態（図１（ａ）の状態）および略垂直状態（図１（ｂ）の状態）で保持されるように、カセット本体１０の回動を規制する回動規制部４０が形成されている。
【００３６】
回動規制部４０は、カセット本体１０の側面部１３からカセット本体１０の外側に、支持軸１５の突出方向に沿って配設された案内軸１７を有している。そして、回動規制部４０は、支持部材２０の側壁部２３に案内軸１７が挿通され、案内軸１７がカセット本体１０とともに矢印Ｄ方向に回動できるように形成された円弧状の案内孔２６を有している。
そして、回動規制部４０は、ガラス基板３０が略水平状態および略垂直状態であるときに案内軸１７が案内孔２６に係止されるように形成された係止部４１，４１ａ，４１ｂを備えている。
【００３７】
係止部４１，４１ａ，４１ｂは、図２に示すように、案内孔２６に形成された切り欠き部２８（２８ａ，２８ｂ）に、案内軸１７と支持軸１５（図１参照）とを結ぶ方向で、弾性部材としてのコイルばね４２により矢印Ｅ方向に押圧された案内軸１７が係止されるように形成されている。
【００３８】
なお、案内軸１７は、根元部から矢印Ｅの反対方向に延設されたスライド軸部１７ａにコイルばね４２がセットされ、コイルばね４２が圧縮された状態で側面部１３の溝部１３ａに組み込まれている。これにより、案内軸１７は、コイルばね４２の反力で常に矢印Ｅ方向に押圧されている。また、案内軸１７は、案内軸１７が挿通される長円孔１３ｂが形成された案内軸押さえ１３ｃと側面部１３の溝部１３ａとの間に狭持されるように配設されている。また、案内軸１７は、コイルばね４２の反力を上回る外力により矢印Ｅの反対方向へ移動可能に配設されている。
【００３９】
なお、コイルばね４２の反力は、ガラス基板３０が収納された状態のカセット本体１０の重量、案内軸１７と切り欠き部２８との係合状態、案内軸１７を矢印Ｅの反対方向へ移動させるために必要な外力との兼ね合いなどにより適宜設定される。なお、案内軸１７、コイルばね４２の材料には、ステンレス鋼などの金属材料が用いられる。
【００４０】
ここで、基板収納カセット１の動作を図１、図２を参照して説明する。
有機ＥＬパネルなどの表示装置の各製造工程における、ガラス基板３０のカセット本体１０への収納、取り出しは、ロボットアームなどによるハンドリングを効率的に行うためにガラス基板３０が略水平状態で行われる。
【００４１】
このことから、基板収納カセット１は、図１（ａ）の状態でガラス基板３０の収納、取り出しが行われる。このとき、基板収納カセット１は、係止部４１により、カセット本体１０に配設された案内軸１７が、コイルばね４２で矢印Ｅ方向に押圧された状態で、案内孔２６に形成された切り欠き部２８に係止されている。
これにより、基板収納カセット１は、カセット本体１０の回動が規制され、ガラス基板３０が略水平状態で保持される。
【００４２】
ガラス基板３０が収納された基板収納カセット１は、下記の手順で、ガラス基板３０が図１（ａ）の略水平状態から図１（ｂ）の略垂直状態にされて各製造工程間を搬送される。
【００４３】
まず、切り欠き部２８に係止されている案内軸１７を矢印Ｅの反対方向へ押して移動させて、案内軸１７を切り欠き部２８から離し、係止を解除する。
【００４４】
ついで、案内軸１７の係止を解除した状態でカセット本体１０を、図１（ａ）に示す矢印Ｆ方向に約９０度回動して、図１（ｂ）に示すように、案内軸１７を係止部４１ａの切り欠き部２８ａに係止する。
このとき、基板収納カセット１は、係止部４１ａにより、カセット本体１０に配設された案内軸１７が、コイルばね４２で矢印Ｅ’方向に押圧された状態で、案内孔２６に形成された切り欠き部２８ａに係止されている。
これにより、基板収納カセット１は、カセット本体１０の回動が規制され、ガラス基板３０が略垂直状態で保持される。
【００４５】
ついで、搬送先の製造工程に到着後、上記と逆の手順でカセット本体１０を略垂直状態から略水平状態に回動して、ガラス基板３０が略水平状態に保持された状態でガラス基板３０の取り出しを行う。
なお、次の製造工程において、ガラス基板３０を反転させる必要がある場合には、カセット本体１０を略垂直状態から、図１（ｂ）に示す矢印Ｇ方向に約９０度回動して、案内軸１７を係止部４１ｂの切り欠き部２８ｂに係止する。これにより、ガラス基板３０は、搬送前の状態から約１８０度回動されて裏返しとなり、略水平状態で保持される。
【００４６】
上述したように、本実施形態の基板収納カセット１は、一対の側面部１３，１４のそれぞれから、略直角に突出して形成された支持軸１５，１６を有するカセット本体１０と、支持軸１５，１６を介してカセット本体１０を回動可能に支持する貫通孔２１，２２が形成された一対の側壁部２３，２４を有する支持部材２０と、を備えている。
そして、基板収納カセット１は、カセット本体１０が支持軸１５，１６を中心にして回動される際に、ガラス基板３０が略水平状態および略垂直状態で保持されるように、カセット本体１０の回動を規制する回動規制部４０を有している。
【００４７】
このことから、基板収納カセット１は、回動規制部４０によりガラス基板３０が略垂直状態で保持されることで、搬送時にガラス基板３０への塵埃の付着を低減することができる。また、基板収納カセット１は、回動規制部４０によりガラス基板３０が略水平状態で保持されることで、ガラス基板３０のカセット本体１０への収納、取り出しを従来と同様の方法で行うことができる。
また、基板収納カセット１は、カセット本体１０を一方の略水平状態から約１８０度回動して他方の略水平状態にすることにより、搬送時にガラス基板３０を反転させることができることから、製造工程内におけるガラス基板３０の反転作業を省略することで、ガラス基板３０の生産効率を向上させることができる。
【００４８】
これらによれば、基板収納カセット１は、その構成を、カセット本体１０と、支持部材２０と、回動規制部４０とからなる簡素な構成とすることで、工数を要さずに容易に製造することができる。
【００４９】
また、基板収納カセット１は、回動規制部４０が、カセット本体１０の側面部１３に配設された案内軸１７と、支持部材２０の側壁部に形成された円弧状の案内孔２６と、ガラス基板３０が略水平状態および略垂直状態であるときに、案内軸１７が案内孔２６に係止されるように形成された係止部４１，４１ａ，４１ｂと、を含んで構成されている。
【００５０】
このことから、基板収納カセット１は、回動規制部４０を、案内軸１７と案内孔２６と、案内軸１７が案内孔２６に係止される係止部４１，４１ａ，４１ｂとからなる簡易な構成とすることができる。
【００５１】
また、基板収納カセット１は、係止部４１，４１ａ，４１ｂが、案内孔２６に形成された切り欠き部２８，２８ａ，２８ｂに、案内軸１７がコイルばね４２により押圧されて係止されるように構成されている。
【００５２】
これによれば、基板収納カセット１は、案内軸１７が切り欠き部２８，２８ａ，２８ｂに、コイルばね４２により押圧されて係止されることで、カセット本体１０の回動を確実に規制することができる。
【００５３】
なお、基板収納カセット１の係止部４１，４１ａ，４１ｂの位置は上記の位置に限定するものでなく、任意の位置に設定可能である。例えば、係止部４１ａを支持部材２０の底面部２５に対してガラス基板３０の主面３１が約８０度の角度になる位置に設定する。
これにより、基板収納カセット１は、ガラス基板３０が約８０度の角度で保持されることから、ガラス基板３０が略垂直状態で保持されるときより、スロット部分の中での揺動が低減される。
なお、カセット本体１０の一対の側面部１３，１４は、開口部が形成されていてもよい。これによれば、基板収納カセット１は、カセット本体１０を軽量化することができるとともに、ガラス基板３０の収納状況を確認しやすくなる。
【００５４】
（変形例１）
なお、基板収納カセット１の係止部４１，４１ａ，４１ｂの構成は、上記実施形態の構成に限定するものではなく、図３に示す構成としてもよい。
図３は、変形例１の基板収納カセットの概略構成を示す側面図である。図３（ａ）は、カセット本体の回動が規制され、ガラス基板が略水平状態で保持されている状態を示し、図３（ｂ）は、カセット本体が回動している状態を示し、図３（ｃ）は、カセット本体の回動が規制され、ガラス基板が略垂直状態で保持されている状態を示す。なお、以降の図面には、上記実施形態との共通部分に同じ符号を付してその説明を省略する。
【００５５】
図３に示すように、基板収納カセット１０１の係止部１４１は、支持部材１２０の側壁部１２３の案内孔１２６に形成された切り欠き部１２８，１２８ａと、支持部としての貫通孔１２１と支持軸１５との間に形成された隙間Ｓと、を有している。これにより、貫通孔１２１は、長円状に形成されている。なお、案内軸１１７は、カセット本体１０のコーナー部に配設されている。
基板収納カセット１０１は、カセット本体１０の案内軸１１７が切り欠き部１２８，１２８ａの開口位置にあるときに、支持軸１５とともに案内軸１１７が隙間Ｓ分移動することにより、案内軸１１７が切り欠き部１２８，１２８ａに係止されることで、カセット本体１０の回動が規制される。
【００５６】
ここで、基板収納カセット１０１の動作について説明する。
各製造工程において、基板収納カセット１０１は、図３（ａ）のガラス基板３０が略水平状態で保持されるように、カセット本体１０の案内軸１１７が切り欠き部１２８に係止されている。
【００５７】
基板収納カセット１０１の搬送時には、まず、図３（ａ）に示すように、カセット本体１０を矢印Ｉ方向に隙間Ｓ分持ち上げ、案内軸１１７と切り欠き部１２８との係止を解除する。
ついで、図３（ｂ）に示すように、カセット本体１０を矢印Ｊ方向に回動する。このとき、支持軸１５の紙面下方側に貫通孔１２１との隙間Ｓが形成される。
ついで、図３（ｃ）に示すように、カセット本体１０を約９０度回動し、ガラス基板３０が略垂直状態となったときに、カセット本体１０が隙間Ｓ分紙面下方側に移動し、案内軸１１７が切り欠き部１２８ａと係止する。これにより、ガラス基板３０が略垂直状態で保持される。
【００５８】
上述したように、変形例１の基板収納カセット１０１は、案内軸１１７が案内孔１２６の切り欠き部１２８，１２８ａの開口位置にあるときに、支持軸１５とともに案内軸１１７が隙間Ｓ分移動することにより、案内軸１１７が切り欠き部１２８，１２８ａに係止される。このことから、基板収納カセット１０１は、上記実施形態より簡易な構成でカセット本体を確実に係止することができる。
【００５９】
また、基板収納カセット１０１は、案内軸１１７がカセット本体１０のコーナー部に配設されていることから、支持軸１５と案内軸１１７との距離を長くすることができる。このことから、基板収納カセット１０１は、案内軸１１７と切り欠き部１２８，１２８ａとの係止位置のばらつきによるカセット本体１０の回動角度のずれが、支持軸１５と案内軸１１７との距離が短い場合と比較して小さいことにより、カセット本体１０の回動規制の位置精度を向上することができる。
【００６０】
（変形例２）
なお、基板収納カセット１の回動規制部４０の構成は、上記実施形態の構成に限定するものではなく、図４に示す構成としてもよい。
図４は、変形例２の基板収納カセットの要部構成を示す断面図である。図４（ａ）は、基板収納カセットの回動規制部を、カセット本体が回動を規制されていない状態で切断した断面図であり、図４（ｂ）は、回動規制部を、カセット本体が回動を規制されている状態で切断した断面図である。なお、上記実施形態との共通部分には、同じ符号を付してその説明を省略する。なお、図４に示されていない部分は、図１を参照して説明する。
【００６１】
図４に示すように、基板収納カセット２０１の回動規制部２４０は、カセット本体１０の側面部１３の外側に係止部材２１７を有している。
係止部材２１７は、カセット本体１０が支持部材２０に支持されたときに、図４（ａ）に示すように、矢印Ｈ方向に弾性変形した状態で、半球状に形成された当接部２１８が側壁部２３の当接面２２３に当接するように配設されている。
【００６２】
また、回動規制部２４０は、図４（ｂ）に示すように、側壁部２３の当接面２２３に、半球状に窪んだ係合部２２８を有している。係合部２２８は、係止部材２１７の当接部２１８の回動軌跡と重なる位置に複数形成されている。
これにより、回動規制部２４０は、図４（ａ）の状態からカセット本体１０が矢印Ｋ方向に回動されて、ガラス基板３０が略水平状態および略垂直状態であるときに、図４（ｂ）の状態となる。このとき、係止部材２１７の当接部２１８が弾性変形により矢印Ｈの反対方向に移動し側壁部２３の係合部２２８に係合する。
【００６３】
上述したように、変形例２の基板収納カセット２０１は、カセット本体１０の係止部材２１７が側壁部２３の係合部２２８に弾性変形により係止されることで、カセット本体１０の回動を確実に規制することができる。
【００６４】
また、基板収納カセット２０１は、回動規制部２４０が弾性変形可能な係止部材２１７および側壁部２３の係合部２２８から構成され、上記実施形態と比較して、より簡易な構成でカセット本体１０の回動を確実に規制することができる。
なお、図４（ｂ）の状態からは、カセット本体１０に矢印Ｋ方向の外力を加えることで、係止部材２１７が矢印Ｈ方向に弾性変形し、当接部２１８が係合部２２８から外れ、図４（ａ）の状態にすることができる。
【００６５】
（変形例３）
なお、基板収納カセット１の回動規制部４０の構成は、上記実施形態の構成に限定するものではなく、図５に示す構成としてもよい。
図５は、変形例３の基板収納カセットの概略構成を示す側面図である。図５（ａ）は、ガラス基板が略水平状態で保持されている状態を示し、図５（ｂ）は、ガラス基板が略垂直状態で保持されている状態を示す。
【００６６】
図５に示すように、基板収納カセット３０１は、回動規制部３４０が、カセット本体１０の、ガラス基板３０の主面３１に沿うとともに互いに対向するように形成された一対の他の側面部３６０，３６１の少なくとも一方の、カセット本体１０の外側に配設された第１の磁性体としての永久磁石５０を有している。
そして、回動規制部３４０は、カセット本体１０の、一面１１に対向するように形成された他面３６２の、カセット本体１０の外側に配設された第２の磁性体としての永久磁石５１を有している。
そして、回動規制部３４０は、支持部材２０の一対の側壁部２３，２４を互いに繋ぐ底面部２５と、底面部２５のカセット本体１０側の面に配設された電磁石５２と、を有している。
【００６７】
基板収納カセット３０１は、図５（ａ）に示すように、ガラス基板３０が略水平状態であるときに、電磁石５２に通電され、電磁石５２と永久磁石５０との磁力によりガラス基板３０が略水平状態で保持されるように、カセット本体１０の回動が規制される。
そして、一旦電磁石５２への通電が停止され、カセット本体１０が回動後、図５（ｂ）に示すように、ガラス基板３０が略垂直状態であるときに、電磁石５２に通電され、電磁石５２と永久磁石５１との磁力によりガラス基板３０が略垂直状態で保持されるように、カセット本体１０の回動が規制される。
【００６８】
上述したように、変形例３の基板収納カセット３０１は、回動規制部３４０が、電磁石５２と永久磁石５０および永久磁石５１との磁力により、カセット本体１０の回動を規制することから、回動規制を非接触で行うことができる。
【００６９】
（変形例４）
なお、上記実施形態のカセット本体１０は、図６に示すような構成としてもよい。
図６は、変形例４の基板収納カセットの要部構成を示す断面図である。図６に示すように、基板収納カセット４０１は、カセット本体１０の図示しないスロット部分との間でのガラス基板３０の揺動を抑制する基板制止部材１８ａ，１８ｂを備えている。
【００７０】
基板制止部材１８ａ，１８ｂは、ＰＥＥＫ（登録商標）樹脂などから形成され、一端側がカセット本体１０の一面１１側に取り付けられている。基板制止部材１８ａ，１８ｂは、図６の矢印Ｌ方向に回動可能であり、ガラス基板３０が収納されたときにカセット本体１０の開口部１２側に回動される。
そして、基板制止部材１８ａ，１８ｂは、ガラス基板３０の側面３３に当接される。
【００７１】
上述したように、変形例４の基板収納カセット４０１は、基板制止部材１８ａ，１８ｂが、カセット本体１０に収納されたガラス基板３０の側面３３に当接されることから、ガラス基板３０の揺動を抑制することができる。
このことから、基板収納カセット４０１は、搬送時のガラス基板３０の揺動に起因する塵埃の発生を回避することができる。
【００７２】
また、基板収納カセット４０１は、基板制止部材１８ａ，１８ｂが、カセット本体１０に収納されたガラス基板３０の側面３３に当接されることから、ガラス基板３０がカセット本体１０内で略垂直状態からスロット部分との隙間分だけ傾斜することがなく、ガラス基板３０への塵埃の付着をより低減することができる。
【００７３】
（変形例５）
なお、上記実施形態のカセット本体１０は、図７に示すような構成としてもよい。
図７は、変形例５の基板収納カセットの要部構成を示す側面図である。図７に示すように、基板収納カセット５０１は、カセット本体１０の図示しないスロット部分との間でのガラス基板３０の揺動を抑制する基板制止部材１９ａ，１９ｂを備えている。
【００７４】
基板制止部材１９ａ，１９ｂは、ＰＥＥＫ（登録商標）樹脂などを用いて櫛歯状に形成され、カセット本体１０の一面１１側に矢印Ｍ，Ｎ方向に移動可能に取り付けられている。
ガラス基板３０は、基板制止部材１９ａの櫛歯と基板制止部材１９ｂの櫛歯との間に収納される。そして、ガラス基板３０は、基板制止部材１９ａが矢印Ｍ方向に移動され、基板制止部材１９ｂが矢印Ｎ方向に移動されることで、基板制止部材１９ａと基板制止部材１９ｂとの間に狭持される。
【００７５】
上述したように、変形例５の基板収納カセット５０１は、基板制止部材１９ａが矢印Ｍ方向に移動され、基板制止部材１９ｂが矢印Ｎ方向に移動されることで、ガラス基板３０が、基板制止部材１９ａと基板制止部材１９ｂとの間に狭持される。
このことから、基板収納カセット５０１は、搬送時のガラス基板３０の揺動が抑制され、ガラス基板３０の揺動に起因する塵埃の発生を回避することができる。
【００７６】
また、基板収納カセット５０１は、ガラス基板３０が、基板制止部材１９ａと基板制止部材１９ｂとの間に狭持されることから、ガラス基板３０がカセット本体１０内で略垂直状態からスロット部分との隙間分だけ傾斜することがなく、ガラス基板３０への塵埃の付着をより低減することができる。
【００７７】
（変形例６）
なお、上記実施形態の基板収納カセット１は、図８に示すような構成としてもよい。
図８は、変形例６の基板収納カセットの概略構成を示す模式断面図である。図８に示すように、基板収納カセット６０１は、カセット本体６１０を構成する六つの面が開口部６１２を有して形成されている。
そして、基板収納カセット６０１は、カセット本体６１０を挟んで対向する一対の送風ファンユニット６６０，６６１および除塵フィルタ６７０を有している。
【００７８】
送風ファンユニット６６０，６６１は、カセット本体６１０の上方及び下方に略水平になるように支持部材６２０に配設されている。なお、支持部材６２０の送風ファンユニット６６０，６６１の配設面には開口部６２９が形成されている。
除塵フィルタ６７０は、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）などが用いられ、カセット本体６１０の上方に配設された送風ファンユニット６６０の、カセット本体６１０側に配設されている。
【００７９】
この構成により、基板収納カセット６０１は、カセット本体６１０の上方に配設された送風ファンユニット６６０から、カセット本体６１０の下方に配設された送風ファンユニット６６１へ向かって、図８の矢印の方向に吹き降ろす送風（ダウンフロー）が可能である。
このことから、基板収納カセット６０１は、除塵されたダウンフローによりガラス基板３０への塵埃の付着をさらに低減することができる。
なお、上記実施形態および各変形例の基板は、ガラス基板に限定するものではなく、シリコン基板などの半導体基板、水晶基板などの圧電基板でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本実施形態の基板収納カセットの概略構成を示す斜視図。
【図２】本実施形態の基板収納カセットの回動規制部を示す平断面図。
【図３】変形例１の基板収納カセットの概略構成を示す側面図。
【図４】変形例２の基板収納カセットの要部構成を示す断面図。
【図５】変形例３の基板収納カセットの概略構成を示す側面図。
【図６】変形例４の基板収納カセットの要部構成を示す断面図。
【図７】変形例５の基板収納カセットの要部構成を示す側面図。
【図８】変形例６の基板収納カセットの概略構成を示す模式断面図。
【符号の説明】
【００８１】
１…基板収納カセット、１０…カセット本体、１１…カセット本体の一面、１２…開口部、１３，１４…一対の側面部、１５，１６…支持軸、２０…支持部材、２１，２２…支持部としての貫通孔、２３，２４…一対の側壁部、３０…基板としてのガラス基板、３１…ガラス基板の主面、３２…ガラス基板の側面、４０…回動規制部、Ｃ…ガラス基板３０の収納方向。
【図１】
2009176854.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2009176854.tif 000007
【図６】
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【図７】
2009176854.tif 000009
【図８】
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