(57)【要約】【課題】通常検査する基板等よりも厚い、例えば評価用サンプル等を用いて検査を行なう際の手動による操作でのフォーカス合わせにおいても、対物レンズをガラス基板に衝突させることがない検査顕微鏡等を提供すること。【解決手段】ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、ガラス基板の表面に焦点を合わせる手段と、ガラス基板の表面に焦点が合った際の、ガラス基板に対する対物レンズの位置情報を検出する手段と、検出した位置情報に基づいて、ステージと対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する手段と、検出した位置情報に基づいて、操作者が合焦機構を手動で操作する場合に、ステージと対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する手段とを備える。【選択図】図１
2009186414.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を検査するための検査装置に用いる検査顕微鏡であって、
前記ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、前記ガラス基板の表面に焦点を合わせる合焦手段と、
前記合焦手段によって前記ガラス基板の表面に焦点が合った際の、前記ガラス基板に対する前記対物レンズの位置情報を検出する合焦位置検出手段と、
前記合焦位置検出手段によって検出した前記位置情報に基づいて、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する合焦移動範囲設定手段と、
前記合焦位置検出手段によって検出した前記位置情報に基づいて、操作者が前記合焦機構を手動で操作する場合に、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する手動合焦移動範囲設定手段と、
を備えることを特徴とする検査顕微鏡。
【請求項２】
合焦移動範囲設定手段によって設定する移動範囲は、前記位置情報よりも小さな値である第１の位置と前記位置情報よりも大きな値である第２の位置との間であり、
前記手動合焦移動範囲設定手段によって設定する移動範囲は、前記第２の位置と前記位置情報よりも小さくかつ前記第１の位置よりも大きい値である第３の位置との間である、
ことを特徴とする請求項１に記載の検査顕微鏡。
【請求項３】
さらに、
前記手動合焦移動範囲設定手段により設定された移動範囲を解除する解除手段と、
を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の検査顕微鏡。
【請求項４】
前記合焦移動範囲設定手段は、前記合焦手段により、前記ガラス基板の表面に焦点が合った時点で、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定することを特徴とする請求項１または２に記載の検査顕微鏡。
【請求項５】
ガラス基板を検査するための検査装置に用いる検査顕微鏡のコンピュータが、
前記ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、前記ガラス基板の表面に焦点を合わせ、
前記ガラス基板の表面に焦点が合った際の、前記ガラス基板に対する前記対物レンズの位置情報を検出し、
前記検出した前記位置情報に基づいて、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定し、
前記検出した前記位置情報に基づいて、操作者が前記合焦機構を手動で操作する場合に、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する、
ことを特徴とする顕微鏡観察方法。
【請求項６】
ガラス基板を検査するための検査装置に用いる検査顕微鏡のコンピュータを、
前記ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、前記ガラス基板の表面に焦点を合わせる合焦手段と、
前記合焦手段によって前記ガラス基板の表面に焦点が合った際の、前記ガラス基板に対する前記対物レンズの位置情報を検出する合焦位置検出手段と、
前記合焦位置検出手段によって検出した前記位置情報に基づいて、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する合焦移動範囲設定手段と、
前記合焦位置検出手段によって検出した前記位置情報に基づいて、操作者が前記合焦機構を手動で操作する場合に、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する手動合焦移動範囲設定手段と、
して機能させることを特徴とする顕微鏡観察プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Plasma Display Panel）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）、半導体ウエハ、積層プリント基板等のガラス基板を検査するための検査装置や半導体検査装置に用いる検査顕微鏡、該検査顕微鏡において実行される顕微鏡観察方法および顕微鏡観察プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡は、医学分野、生物学分野のみならず、工業分野においても半導体ウエハや磁気ヘッドの検査、金属組織などの品質管理、新素材などの研究開発など、種々の分野や用途に使用されている。
【０００３】
ところで、通常、このような顕微鏡でのフォーカス合わせは、対物レンズと観察の対象となる標本との相対位置関係を調整して行なわれる。具体的には、対物レンズまたは標本を載置するステージを光軸方向に相対的に移動させて行なうようにしている。また、オートフォーカス（以下、ＡＦと称する。）センサーを搭載するとともに、ＡＦセンサーで検出された情報に基づいて対物レンズまたはステージをモータで駆動することにより、自動的にフォーカス合わせを可能としたＡＦ機能を有する顕微鏡もある。
【０００４】
このようなＡＦ機能を有する顕微鏡は、例えば、電動ステージを可動範囲のほぼ全域に亘って移動させながら、ＡＦセンサーから得られる画像情報に基づいて電動ステージを合焦位置まで移動させるようになっている。また、大量の精密加工品等を迅速かつ正確に検査する必要性から応答性が良く高精度で信頼性が高いＡＦ機能を有する顕微鏡が望まれ、合焦動作時、合焦が得られない合焦不能に陥るという問題に対処するため、各対物レンズ毎に、上限位置および下限位置を設定し、設定された下限位置より上方かつ、上限位置より下方をステージの移動範囲として合焦演算を行い、その演算結果に基づいて合焦検出を行う顕微鏡も考えられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
また、ＬＣＤやＰＤＰ等のＦＰＤ、半導体ウエハ、積層プリント基板等の基板を検査するための検査装置や半導体検査装置に用いる検査顕微鏡においては、対物レンズを上方から下方に移動させながらフォーカス合わせを行なうのが一般的である。これは、観察対象となる被検査体がガラス基板であり、回路パターンがガラス基板の表面にプリントされているため、対物レンズを下方から上方に移動させながらフォーカス合わせを行なうと、ガラス基板の裏面にフォーカスが合ってしまうからである。
【０００６】
このような検査顕微鏡においては、対物レンズがガラス基板に当たらないようにするため、対物レンズの移動の下限リミットを設けたものも考えられている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００７】
図９は、従来の検査顕微鏡のフォーカス軸のリミットを説明するための図である。
ＬＣＤやＰＤＰ等のＦＰＤ、半導体ウエハ、積層プリント基板等のガラス基板を検査するための検査装置や半導体検査装置に用いる従来の検査顕微鏡は、前記ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、前記ガラス基板の表面に焦点を合わせる合焦部を有している。合焦機構には、図９に示すように、そのフォーカスストローク９５の両端にセンサーもしくはメカストッパーによるハードアップリミット９１およびハードダウンリミット９２が配置され、ハードアップリミット９１とハードダウンリミット９２との間で、物理的に合焦機構が稼働する。
【０００８】
さらに、従来の検査顕微鏡のフォーカス軸にはハードアップリミット９１およびハードダウンリミット９２とは別に、前記合焦部によって前記ガラス基板の表面に焦点が合った際の、前記ガラス基板に対する前記対物レンズの位置情報（合焦位置）９７を検出し、その検出した前記位置情報９７に基づいて、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能なフォーカス移動範囲９６が設定される。このフォーカス移動範囲９６は、例えば、前記位置情報よりも小さな値である第１の位置としてのソフトダウンリミット９４と、前記位置情報よりも大きな値である第２の位置であるソフトアップリミット９３と間である。これらのソフトアップリミット９３およびソフトダウンリミット９４は、合焦部によりソフトウェアで管理されるリミットである。
【０００９】
合焦部は、ソフトアップリミット９３またはソフトダウンリミット９４を越える指令がきても、自動的にソフトアップリミット９３またはソフトダウンリミット９４でステージまたは対物レンズの移動を停止させる。すなわち、ソフトアップリミット９３からソフトダウンリミット９４までのフォーカス移動範囲９６が、通常ステージまたは対物レンズが相対移動できる範囲となっている。
【００１０】
ソフトアップリミット９３またはソフトダウンリミット９４は、操作者が手動で設定する。特に、ソフトダウンリミット９４は、対物レンズが被検査物であるガラス基板に衝突しない位置に設定する。ＦＰＤ検査装置等で検査するガラス基板の厚みは基本的に変わらないため、ソフトダウンリミット９４を一度設定すると検査するガラス基板の厚さが変わることがない限り変更することはない。
【特許文献１】特開２００１−２０１６９４号公報
【特許文献２】特開平１１−２６４９３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、ＦＰＤ検査装置等では通常検査するガラス基板の他に検査顕微鏡そのものの性能を評価するため評価用サンプルで検査することがある。通常、この評価用サンプルを用いて検査を行なう場合は、オートフォーカス機能を用いずに操作者による手動操作でのフォーカス合わせが行なわれる。
【００１２】
評価用サンプルはガラス基板よりも厚いため、ガラス基板用に設定したソフトダウンリミット４まで対物レンズまたはステージを移動すると対物レンズが評価用サンプルに衝突することがある。ところが、評価用サンプルでの評価は短時間のことが多く、また評価用サンプルでの検査のためだけにソフトアップリミット３およびソフトダウンリミット４を変更すると、評価終了後、ガラス基板用にソフトアップリミット３およびソフトダウンリミット４を再度設定し直す必要があり、操作が煩雑になると共に、評価用サンプル用にソフトアップリミット３およびソフトダウンリミット４を設定したまま、ガラス基板用に再設定し直さないとガラス基板でフォーカスが合わないという不具合が発生する。よって操作者は評価用サンプルの検査のために、ガラス基板用に設定したソフトアップリミット３およびソフトダウンリミット４を変更することは少ない。
【００１３】
また、ＦＰＤ検査装置等はクリーン度を保つため、ＦＰＤ検査装置周辺を板金等で囲っており、またＦＰＤ検査装置が大型化しているため操作者のいる場所と実際に検査している場所が離れていることがあり、検査しているＦＰＤ検査装置に用いる検査顕微鏡のステージが操作者から見えないことがある。評価用サンプル用にソフトダウンリミット４を設定せずに評価用サンプルを置いたままにしておくと、他の操作者は評価用サンプルがステージに置かれていることに気付かずフォーカス合わせの手動操作をして対物レンズを評価用サンプルに衝突させてしまったり、操作者が評価用サンプルをステージに置いていることを忘れてガラス基板を検査する感覚でフォーカス合わせをし、対物レンズを評価用サンプルに衝突させてしまったりすることがあった。
【００１４】
すなわち、評価用サンプルを用いて検査を行なう際の手動操作でのフォーカス合わせにおいて、その手動操作により対物レンズをガラス基板に衝突させてしまい、高度に加工された対物レンズおよび評価用サンプルの双方を傷付けて使用できなくなってしまう、という問題点があった。
【００１５】
本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり、通常検査する基板等よりも厚い、例えば評価用サンプル等を用いて検査を行なう際の手動による操作でのフォーカス合わせにおいても、対物レンズをガラス基板に衝突させることがない検査顕微鏡、顕微鏡観察方法および顕微鏡観察プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、上記課題を解決するため、下記のような構成を採用した。
すなわち、本発明の一態様によれば、本発明の検査顕微鏡は、ガラス基板を検査するための検査装置に用いる検査顕微鏡であって、前記ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、前記ガラス基板の表面に焦点を合わせる合焦手段と、前記合焦手段によって前記ガラス基板の表面に焦点が合った際の、前記ガラス基板に対する前記対物レンズの位置情報を検出する合焦位置検出手段と、前記合焦位置検出手段によって検出した前記位置情報に基づいて、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する合焦移動範囲設定手段と、前記合焦位置検出手段によって検出した前記位置情報に基づいて、操作者が前記合焦機構を手動で操作する場合に、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する手動合焦移動範囲設定手段とを備えることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の検査顕微鏡は、合焦移動範囲設定手段によって設定する移動範囲が、前記位置情報よりも小さな値である第１の位置と前記位置情報よりも大きな値である第２の位置との間であり、前記手動合焦移動範囲設定手段によって設定する移動範囲が、前記第２の位置と前記位置情報よりも小さくかつ前記第１の位置よりも大きい値である第３の位置との間であることが望ましい。
【００１８】
また、本発明の検査顕微鏡は、さらに、前記手動合焦移動範囲設定手段により設定された移動範囲を解除する解除手段を備えることが望ましい。
また、本発明の検査顕微鏡は、前記合焦移動範囲設定手段が、前記合焦手段により、前記ガラス基板の表面に焦点が合った時点で、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定することが望ましい。
【００１９】
また、本発明の一態様によれば、本発明の顕微鏡観察方法は、ガラス基板を検査するための検査装置に用いる検査顕微鏡のコンピュータが、前記ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、前記ガラス基板の表面に焦点を合わせ、前記ガラス基板の表面に焦点が合った際の、前記ガラス基板に対する前記対物レンズの位置情報を検出し、前記検出した前記位置情報に基づいて、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定し、前記検出した前記位置情報に基づいて、操作者が前記合焦機構を手動で操作する場合に、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の一態様によれば、本発明の顕微鏡観察プログラムは、ガラス基板を検査するための検査装置に用いる検査顕微鏡のコンピュータを、前記ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、前記ガラス基板の表面に焦点を合わせる合焦手段と、前記合焦手段によって前記ガラス基板の表面に焦点が合った際の、前記ガラス基板に対する前記対物レンズの位置情報を検出する合焦位置検出手段と、前記合焦位置検出手段によって検出した前記位置情報に基づいて、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する合焦移動範囲設定手段と、前記合焦位置検出手段によって検出した前記位置情報に基づいて、操作者が前記合焦機構を手動で操作する場合に、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する手動合焦移動範囲設定手段として機能させることを特徴とする顕微鏡観察プログラムである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、通常検査するガラス基板よりも厚い、例えば評価用サンプル等を用いて検査を行なう際の手動による操作でのフォーカス合わせにおいても、対物レンズをガラス基板に衝突させることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明が適用される検査顕微鏡のフォーカス軸のリミットを説明するための図である。
【００２３】
ＬＣＤやＰＤＰ等のＦＰＤ、半導体ウエハ、積層プリント基板等のガラス基板を検査するための検査装置や半導体検査装置に用いるところの、本発明が適用される検査顕微鏡も、従来の検査顕微鏡と同様、前記ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、前記ガラス基板の表面に焦点を合わせる合焦部を有している。合焦機構には、図１に示すように、そのフォーカスストローク９５の両端にセンサーもしくはメカストッパーによるハードアップリミット９１およびハードダウンリミット９２が配置され、ハードアップリミット９１とハードダウンリミット９２との間で、物理的に合焦機構が稼働する。一般的には、ハードアップリミット９１とハードダウンリミット９２との間隔は、９ｍｍ前後である。
【００２４】
また、本発明が適用される検査顕微鏡のフォーカス軸にも、ハードアップリミット９１およびハードダウンリミット９２とは別に、前記合焦部によって前記ガラス基板の表面に焦点が合った際の、前記ガラス基板に対する前記対物レンズの位置情報（合焦位置）９７を検出し、その検出した前記位置情報９７に基づいて、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能なフォーカス移動範囲９６が設定される。このフォーカス移動範囲９６は、例えば、前記位置情報よりも小さな値である第１の位置としてのソフトダウンリミット９４と、前記位置情報よりも大きな値である第２の位置であるソフトアップリミット９３と間である。これらのソフトアップリミット９３およびソフトダウンリミット９４は、合焦部によりソフトウェアで管理されるリミットである。一般的に、ソフトアップリミット９３は、位置情報（合焦位置）９７から２ｍｍ前後上方であり、ソフトダウンリミット９４は、位置情報（合焦位置）９７から０．５ｍｍ前後下方である。
【００２５】
合焦部は、ソフトアップリミット９３またはソフトダウンリミット９４を越える指令がきても、自動的にソフトアップリミット９３またはソフトダウンリミット９４でステージまたは対物レンズの移動を停止させる。すなわち、ソフトアップリミット９３からソフトダウンリミット９４までのフォーカス移動範囲９６が、通常前記ステージまたは前記対物レンズが相対移動できる範囲となっている。ソフトアップリミット９３またはソフトダウンリミット９４は、操作者が手動で設定する。特に、ソフトダウンリミット９４は、前記対物レンズが被検査物であるガラス基板に衝突しない位置に設定する。
【００２６】
さらに、本発明が適用される検査顕微鏡は、操作者が前記合焦機構を手動で操作する場合に対物レンズを評価用サンプルに衝突させないため、前記検出した前記位置情報９７から所定距離８の位置に、前記ステージと前記対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲の一端としてマニュアルダウンリミット７を自動的に設定する。このマニュアルダウンリミット７は、前記位置情報９７よりも小さくかつソフトダウンリミット９４よりも大きい値である第３の位置であり、ソフトアップリミット９３からマニュアルダウンリミット７までのフォーカスマニュアル移動範囲９が、手動操作により通常ステージまたは対物レンズが相対移動できる範囲となっている。すなわち、操作者がフォーカスジョグ等を用いて手動操作でステージまたは対物レンズを移動させようとすると、マニュアルダウンリミット７までは移動できるが、マニュアルダウンリミット以下に移動しようとすると合焦部がエラーを出し、マニュアルダウンリミットを越えないようにフォーカス移動を停止させる。マニュアルダウンリミット７は、位置情報（合焦位置）９７から０．３ｍｍ前後下方であることが望ましい。
【００２７】
図２は、本発明が適用される検査顕微鏡の概略を示す図である。
図２において、検査装置は、ＬＣＤやＰＤＰ等のＦＰＤ、半導体ウエハ、積層プリント基板等のガラス基板を検査するための検査装置や半導体検査装置であって、ＡＦ機能が備わった顕微鏡鏡筒１０と、顕微鏡鏡筒１０が移動するガントリー１１と、顕微鏡鏡筒１０を水平方向２２に駆動するリニタモータ１２と、ガラス基板１５等の被検査物を載せるステージ１６と、フォーカス駆動を制御するフォーカス制御ユニット１７と、フォーカスを制御する操作ユニット１８とを備えている。
【００２８】
操作ユニット１８は、マニュアルダウンリミット７を解除するためのマニュアルダウンリミット解除ボタン１９と合焦機構を手動で垂直方向２１に上下させるためのフォーカスジョグ２０とを備え、操作者が前記合焦機構を手動で操作する場合に、前記ステージ１６とレボルバ１３に取り付けられた前記対物レンズ１４とが相対的に移動可能な移動範囲であるフォーカスマニュアル移動範囲９の相対的移動によるフォーカス合わせを実行するか否かのオンオフを制御する。フォーカス合わせの実行は、例えば、５０ｎｍのパルスを発生させるパルスモータを用いて対物レンズ１４またはステージ１６を駆動することにより実行される。また、フォーカス制御ユニット１７は、顕微鏡鏡筒１０に搭載されたＡＦのＡＦ信号を基にオートフォーカスオン時は合焦機構を自動で上下に移動する。この際、フォーカス軸の上下移動量はフォーカス制御ユニット１７から送信されるパルス数で決まる。オートフォーカスオフ時は操作ユニット１８のフォーカスジョグ２０で操作者が手動で操作する。
【００２９】
次に、マニュアルダウンリミット７の設定の手順について説明する。
図３は、ガラス基板を検査する際のフォーカスの状態を示す図であり、図４は、マニュアルダウンリミットが設定された際のフォーカス軸のリミットを示す図である。
【００３０】
まず、操作者はフォーカス制御ユニット１７が有するメモリに、ガラス基板１５の表面に焦点が合った際の、前記ガラス基板１５に対する前記対物レンズ１４の位置情報（合焦位置）９７からマニュアルダウンリミット７までの距離を設定距離８として記憶させる。設定距離８は、位置情報（合焦位置）９７から対物レンズ１４を相対的に下方向に移動させても対物レンズ１４が検査物に衝突しない位置となるように設定する。設定距離８は、検査するガラス基板１５のガラス厚３３により変わるためパソコン等によるコマンドにより変更することができる。また対物レンズ１４の種類や倍率により対物レンズ１４とガラス基板１５までの距離が異なるため、設定距離８は対物レンズ１４の種類や倍率毎に設定することもできる。
【００３１】
次に、操作者が手動でソフトアップリミット９３およびソフトダウンリミット９４を設定する。この際、ソフトダウンリミット９４はガラス基板１５に対物レンズ１４が衝突しない位置に設定する。またソフトアップリミット９３は検査終了後の対物レンズ１４の退避位置およびオートフォーカスオンにした際の初期位置となるため、ガラス基板１５の検査時間に影響せず、かつガラス基板１５、評価用サンプル等、厚さが異なるものを検査しても衝突しない位置に設定する。
【００３２】
ソフトアップリミット９３およびソフトダウンリミット９４がわかっている場合は、その次に操作者は検査のためオートフォーカスをオンにし合焦させる。オートフォーカスが合焦するとフォーカス制御ユニット１７はマニュアルダウンリミット７を自動的に設定する。なお、通常のガラス基板１５で検査する場合、ガラス厚３３が変わらないため、マニュアルダウンリミット７とソフトダウンリミット９４の位置は同じでも良い。
【００３３】
図５は、評価用サンプルで検査する際の検査顕微鏡の概略を示す図であり、図６は、評価用サンプルで検査する際のフォーカスの状態を示す図であり、図７は、評価用サンプルで検査する際のフォーカス軸のリミットを示す図である。
【００３４】
ステージ１６には評価用サンプル２３が置かれており、評価用サンプル２３はガラス基板１５より厚いものとする。
操作者は評価用サンプル２３で検査するため、オートフォーカスをオンにし、評価用サンプル２３に合焦させる。フォーカス制御ユニット１７は、評価用サンプル２３にオートフォーカスが合焦した時点で前記ガラス基板を検査する時と同様にマニュアルダウンリミット７を図７に示したように設定し、所定距離８としてメモリに記憶させる。操作者はフォーカス位置を位置情報（合焦位置）９７より下方向に移動させたい場合、オートフォーカスをオフにし操作ユニット１８のフォーカスジョグ２０を回して手動で対物レンズ１４を相対的に下方向に移動する。フォーカス位置がマニュアルダウンリミット７までくると、フォーカス制御ユニット１７はマニュアルダウンリミット７でフォーカス位置を停止させ、リミットエラーとする。これ以上下方向に移動させても危険であるということを操作者が知った状況で更にフォーカスを下方向に移動させたい場合は、操作ユニット１８に設けられたマニュアルダウンリミット解除ボタン１９を押し、マニュアルダウンリミット７を解除することでマニュアルダウンリミット７が無効となり、フォーカスジョグ２０を回すことでソフトダウンリミット７よりさらに下方まで移動することができる。
【００３５】
これにより、操作者は評価用サンプル２３で被検査物の厚みが変わったことに気付かず対物レンズ１４を相対的に下方向に移動させようとしても対物レンズ１４を評価用サンプル２３に衝突させることはない。また、オートフォーカスが正規の位置で合焦しなくても、マニュアルダウンリミット７を解除できることで操作者は対物レンズ１４に評価用サンプル２３が衝突しないように注意しながらフォーカスジョグを回しフォーカス位置を合わせることができる。
【００３６】
図８は、変形例におけるフォーカス軸のリミットを示す図である。
図８に示すように、マニュアルダウンリミット７がソフトダウンリミット９４よりも下に設定されることもある。この場合、マニュアルダウンリミット７よりもソフトダウンリミット９４が優先される。
【００３７】
以上説明したように、本発明を適用した検査顕微鏡を用いることにより、ガラス基板１５から評価用サンプル２３に検査対象が変わり、操作者が気付かずにフォーカス合わせを手動で操作しても、誤って対物レンズ１４を評価用サンプル２３に衝突させることがなくなる。
【００３８】
以上に説明した上述の実施の形態では操作ユニット１８で操作することを示したが、パソコンからのフォーカス制御ユニット１７にコマンドを送信することで操作してもよい。
また、上述の実施の形態では設定距離８が１つだけであるが、対物レンズ１４ごとに複数個の設定距離８を設定しマニュアルダウンリミット７を複数個持ってもよい。
【００３９】
以上、本発明の各実施の形態を、図面を参照しながら説明してきたが、本発明が適用される検査顕微鏡は、その機能が実行されるのであれば、上述の各実施の形態等に限定されることなく、単体の装置であっても、複数の装置からなるシステムあるいは統合装置であっても、ＬＡＮ、ＷＡＮ等のネットワークを介して処理が行なわれるシステムであってもよいことは言うまでもない。
【００４０】
また、バスに接続されたＣＰＵ、ＲＯＭやＲＡＭのメモリ、入力装置、出力装置、外部記録装置、媒体駆動装置、可搬記憶媒体、ネットワーク接続装置で構成されるシステムでも実現できる。すなわち、前述してきた各実施の形態のシステムを実現するソフトウェアのプログラムコードを記録したＲＯＭやＲＡＭのメモリ、外部記録装置、可搬記憶媒体を、検査顕微鏡に供給し、その検査顕微鏡のコンピュータがプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成されることは言うまでもない。
【００４１】
この場合、可搬記憶媒体等から読み出されたプログラムコード自体が本発明の新規な機能を実現することになり、そのプログラムコードを記録した可搬記憶媒体等は本発明を構成することになる。
【００４２】
プログラムコードを供給するための可搬記憶媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、磁気テープ、不揮発性のメモリーカード、ＲＯＭカード、電子メールやパーソナルコンピュータ通信等のネットワーク接続装置（言い換えれば、通信回線）を介して記録した種々の記憶媒体などを用いることができる。
【００４３】
また、コンピュータがメモリ上に読み出したプログラムコードを実行することによって、前述した各実施の形態の機能が実現される他、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているＯＳなどが実際の処理の一部又は全部を行ない、その処理によっても前述した各実施の形態の機能が実現される。
【００４４】
さらに、可搬型記憶媒体から読み出されたプログラムコードやプログラム（データ）提供者から提供されたプログラム（データ）が、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部又は全部を行ない、その処理によっても前述した各実施の形態の機能が実現され得る。
【００４５】
すなわち、本発明は、以上に述べた各実施の形態等に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の構成又は形状を取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明が適用される検査顕微鏡のフォーカス軸のリミットを説明するための図である。
【図２】本発明が適用される検査顕微鏡の概略を示す図である。
【図３】ガラス基板を検査する際のフォーカスの状態を示す図である。
【図４】マニュアルダウンリミットが設定された際のフォーカス軸のリミットを示す図である。
【図５】評価用サンプル２３で検査する際の検査顕微鏡の概略を示す図である。
【図６】評価用サンプル２３で検査する際のフォーカスの状態を示す図である。
【図７】評価用サンプル２３で検査する際のフォーカス軸のリミットを示す図である。
【図８】変形例におけるフォーカス軸のリミットを示す図である。
【図９】従来の検査顕微鏡のフォーカス軸のリミットを説明するための図である。
【符号の説明】
【００４７】
７      マニュアルダウンリミット
８      所定距離
９      フォーカスマニュアル移動範囲
１０    顕微鏡鏡筒
１１    ガントリー
１２    リニタモータ
１３    レボルバ
１４    対物レンズ
１５    ガラス基板
１６    ステージ
１７    フォーカス制御ユニット
１８    操作ユニット
１９    マニュアルダウンリミット解除ボタン
２０    フォーカスジョグ
２１    垂直方向
２２    水平方向
２３    評価用サンプル２３
３３    ガラス厚（ガラス基板１５）
３４    ガラス厚（評価用サンプル２３）
９１    ハードアップリミット
９２    ハードダウンリミット
９３    ソフトアップリミット
９４    ソフトダウンリミット
９５    フォーカスストローク
９６    フォーカス移動範囲
９７    位置情報（合焦位置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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