(57)【要約】【課題】基板上に塗布されている薄膜の所定部分を基板から選択的に除去することが可能で、基板上にパターニングされた薄膜を構築することが可能な、薄膜除去装置の提供を目的とする。【解決手段】薄膜が塗布されている基板を載置・固定するための基板固定盤と、基板固定盤に載置されている基板上の薄膜の被薄膜除去部にクリーニングシートを搬送・供給するためのクリーニングシート搬送供給機構と、クリーニングシートにクリーニング溶液を含浸させるためのクリーニング溶液供給機構と、基板上の薄膜の被薄膜除去部に搬送・供給されてくるクリーニング溶液含浸済みクリーニングシートを基板上の薄膜に対して一定の圧力で押し付けるための押し当て機構と、押し当て機構と基板固定盤を相対的に移動させ、押し当て部に押し当てられた薄膜の部分を選択的に除去できるようにするための駆動機構とを少なくとも具備している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に塗布されている薄膜の所定部分を基板から除去するための薄膜除去装置であって、薄膜が塗布されている基板を所定の位置に見当を合わせて載置・固定するための基板固定盤と、基板固定盤に固定されている基板上の薄膜の被薄膜除去部にクリーニングシートを順次搬送・供給するためのクリーニングシート搬送供給機構と、クリーニングシート搬送供給機構から搬送されてくるクリーニングシートにクリーニング溶液を含浸させるためのクリーニング溶液供給機構と、基板上の薄膜の被薄膜除去部に搬送・供給されてくるクリーニング溶液含浸済みのクリーニングシートを基板上の薄膜に対して一定の圧力で押し当て部により押し付けるための押し当て機構と、押し当て機構の押し当て部を基板上の薄膜に押し当てたまま、押し当て機構と基板固定盤を相対的に移動させ、押し当て部に押し当てられた薄膜の部分を基板から選択的に除去できるようにするための駆動機構とを少なくとも具備していることを特徴とする薄膜除去装置。
【請求項２】
クリーニングシート搬送供給機構とクリーニング溶液供給機構と押し当て機構からなる一組の薄膜除去ヘッドを複数組具備していることを特徴とする請求項１記載の薄膜除去装置。
【請求項３】
前記押し当て機構はクリーニングシート搬送機構により搬送されてくる一枚のクリーニングシートの搬送方向に沿って複数個設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の薄膜除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に塗布されている薄膜の所定部分を基板から選択的に除去できるようにした薄膜除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スピンコート法、スリットコート法等の薄膜塗布手法は基板上の一部または全面に均一な膜厚の薄膜を短時間で塗布できる手段として広く用いられている。例えば、液晶ディスプレイ等の超大型の画像表示装置の作製においては、スリットコート手法を用いて感光性樹脂からなる１μｍ程度の厚さの塗布薄膜が、膜厚均一性が１．５％程度のレベルで形成されている。
【０００３】
上記のような薄膜塗布手法は基板の全面に塗膜を均一に塗布することが可能な方法であるため、現在では液晶ディスプレイ用の画像表示装置を初めとして、様々な分野での応用が考えられている。例えば近年盛んに研究がなされている高分子型の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの分野においては、発光層、正孔輸送層等の薄膜層を、これらの薄膜塗布手法を用いて成膜することが検討されている。
【０００４】
しかしながら、このような方法で薄膜を成膜した場合には、成膜の開始部分と終了部分の数ｃｍの範囲において膜厚が不安定となってしまったり、封止ガラス板等を接着するための接着しろ部や電極端子形成部等の上に不必要な薄膜が成膜されてしまい、これらを除去する必要が生じる。しかし、前述の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの発光層や正孔輸送層等を構成する材料は塗布薄膜の部分的な除去（パターニング）が難しい。
【０００５】
これらの問題に対して、例えば、特許文献１には、発光層の構成材料からなる薄膜の上にフォトレジストを塗布し、しかる後にパターニングすることにより所定パターンの発光層を得るようにした手法が提案されているが、一般的には有機エレクトロルミネッセンスディスプレイは積層構造になっており、各構成層やフォトレジスト等の構成材料や、フォトレジスト現像液やフォトレジスト剥離液等の選択やそれを用いた有機エレクトロルミネッセンディスプレイの作製方法等が煩雑で非常に難しい。
【０００６】
しかもパターニングに際し、硬化したフォトレジストを完全に取り除くのは容易ではなく、たとえ取り除けたとしても素子特性に影響を及ぼす可能性が高かった。その他、特許文献２には下地電極を電磁誘導によって加熱し、直上の有機発光層を不溶化してパターニングする手法が提案されているが、有機発光材料のほとんどは加熱によって特性が劣化しやすいため、使用可能な材料が非常に限定されてしまう。
【特許文献１】特開２００２−１７０６７３号公報
【特許文献２】特開２００４−７１４０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上述の如くの問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、基板上に塗布されている薄膜、例えば、感光性樹脂もしくは感光性によって反応性が変化することがない樹脂組成物等の層構成材料によって成膜されている薄膜の所定部分を基板から選択的に除去することが可能で、延いては基板上に所定形状にパターニングされた薄膜を構築することが可能な、薄膜除去装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以上のような課題を解決するためになされ、請求項１に記載の発明は、基板上に塗布されている薄膜の所定部分を基板から除去するための薄膜除去装置であって、薄膜が塗布されている基板を所定の位置に見当を合わせて載置・固定するための基板固定盤と、基板固定盤に載置されている基板上の薄膜の被薄膜除去部にクリーニングシートを順次搬送・供給するためのクリーニングシート搬送供給機構と、クリーニングシート搬送供給機構から搬送されてくるクリーニングシートにクリーニング溶液を含浸させるためのクリーニング溶液供給機構と、基板上の薄膜の被薄膜除去部に搬送・供給されてくるクリーニング溶液含浸済みのクリーニングシートを基板上の薄膜に対して一定の圧力で押し当て部により押し付けるための押し当て機構と、押し当て機構の押し当て部を基板上の薄膜に押し当てたまま、押し当て機構と基板固定盤を相対的に移動させ、押し当て部に押し当てられた薄膜の部分を選択的に除去できるようにするための駆動機構とを少なくとも具備していることを特徴とする薄膜除去装置である。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の薄膜除去装置において、クリーニングシート搬送供給機構とクリーニング溶液供給機構と押し当て機構からなる一組の薄膜除去ヘッドを複数組具備していることを特徴とする。
【００１０】
さらにまた、請求項２に記載の発明は、請求項１または２に記載の薄膜除去装置において、前記押し当て機構はクリーニングシート搬送機構により搬送されてくる一枚のクリーニングシートの搬送方向に沿って複数個設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の薄膜除去装置によれば、基板上に非感光性の薄膜が塗布されていたとしても、その薄膜の一部を基板から選択的に除去することが可能となり、延いては基板上にパターニングされた薄膜を容易に構築することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係る薄膜除去装置の実施の形態を図面を参照にして詳細に説明する。図１は、本発明の薄膜除去装置の要部の概略の構成を示している。
【００１３】
図１に示す薄膜除去装置は、基板２０上に塗布されている薄膜２１の所定部分を基板２０から除去するための薄膜除去装置であって、薄膜２１が塗布されている基板２０を所定の位置に見当を合わせて載置・固定するための基板固定盤２５と、この基板固定盤２５に見当を合わせて固定されている基板２０上の薄膜２１の被薄膜除去部にクリーニングシート４を順次搬送・供給するためのクリーニングシート搬送供給機構１５と、このクリーニングシート搬送供給機構１５から搬送されてくるクリーニングシート４にクリーニング溶液を含浸させるためのクリーニング溶液供給機構５と、基板２０上の薄膜２１の被薄膜除去部に搬送・供給されてくるクリーニング溶液含浸済みのクリーニングシートを基板２０上の薄膜２１に対して一定の圧力で押し当て部１０により押し付けるための押し当て機構８と、この押し当て機構８の押し当て部を基板２０上の薄膜２１に押し当てたまま、押し当て機構８と基板固定盤２５を相対的に移動させ、押し当て部１０に押し当てられた薄膜の部分を選択的に除去できるようにするための駆動機構（図示せず）とを少なくとも具備している。
【００１４】
基板２０上の薄膜２１の被薄膜除去部に搬送・供給されてくるクリーニング溶液含浸済みのクリーニングシートを基板２０上の薄膜２１に対して一定の圧力で押し当て部１０により押し付けるための押し当て機構８は、一定の圧力で基板２０上の薄膜２１に対して押し当て部１０を押し付けることによって、傷等を基板２０上の薄膜２１につけることなく
、薄膜の所定部分を基材２０から確実に除去するための部分である。
【００１５】
押し当て機構は、例えば図１に示すように、大略的には押し当て部１０とこの押し当て部１０をその先端部にクリーニング溶液含浸済みのクリーニングシート４を抱かせながら薄膜２１の被薄膜除去部に一定の圧力で押し付けるための加圧部９からなるものである。
【００１６】
加圧部９の押し圧を規定するものとして、エアシリンダーを用いたもの、油圧シリンダーを用いたもの、押し込み量を規定する手法として電気的に押し込み量を制御できるようにしたもの等、いずれのタイプのものを用いることができる。これらの中では、押し込み量を電気的に計測できるようになっているものが圧力を一定にすることができるために望ましい。エアシリンダーや油圧シリンダーのタイプであるとクリーニングシートのテンション変化による押し戻し力が働いた時に押し圧が変化しやすい。
【００１７】
この押し当て部１０は、図１にも示すように、クリーニングシートの送りにあわせて自由に回転する構造になっていることが望ましい。
【００１８】
押し当て部１０を構成する部材としては、弾性がある部材が望ましく特にゴム材が望ましい。ゴム材の硬度としてはショア硬度（Ａスケール）で３０〜９０程度の範囲にあることが望ましい。
【００１９】
ゴム材としては種々のものを用いることができるが、耐環境性、耐油性、耐有機溶剤性等を考慮するとシリコーンゴムやフッ素ゴムを用いることが望ましい。特にフッ素ゴムはトルエン等に対しても耐性があるために望ましい。また、フッ素系ゴムとしてはフッ化ビニリデン系（ＦＫＭ）、テトラフルオロエチレン−プロピレン系（ＦＦＰＭ）、テトラフルオロエチレン−パープルオロビニルエーテル系（ＦＦＫＭ）等のものを用いることができる。
【００２０】
押し当て部１０のクリーニングシート４に当接する部分の形状や大きさ、あるいは表面形態としては、除去しようとする薄膜の除去パターンの形状や除去精度を考慮し、適宜のものを選択して使用すればよい。
【００２１】
また、このような構成の押し当て機構は、一つのクリーニングシートの搬送供給方向に沿って複数個並んだ構成のものであってもよい。図２にはこのような構成、すなわち押し当て機構８−１、８−２、８−３の３個がクリーニングシートの搬送供給方向に沿って並べられている例が示してある。このように、押し当て機構を複数個配置することによって一つ目の押し当て部のみでは十分に除去できなかった薄膜の部位に対して押し当て機構の押し当て部によって再び薄膜の除去処理を行えるので、所定部分の薄膜を完全に除去することが可能となる。
【００２２】
一方、基板固定盤２５に載置されている基板２０上の薄膜２１の被薄膜除去部にクリーニングシート４を順次搬送・供給するためのクリーニングシート搬送供給機構１５は、前記した押し当て機構８による薄膜の除去処理の際に、常に清浄なクリーニングシートが押し当て機構８の押し当て部１０に搬送供給され、そこで薄膜の除去処理が確実に行われるようにするための部分である。
【００２３】
クリーニングシート搬送供給機構１５は、例えば図１に示すように、クリーニングシートが巻き取られていて、そこから押し当て機構８の押し当て部１０にクリーニングシート４を連続的に押し出すための巻きだしリール２と、押し当て機構８の押し当て部１０で薄膜の除去処理に供されたクリーニングシートを巻き取って回収するための巻き取りリール３からなるものである。
【００２４】
上記したそれぞれのリール２、３は、図示のような構成のクリーニングシート搬送供給機構１５にあっては、巻き取りリール側の巻き取り速度を巻きだし速度よりも早くすることによってクリーニングシートにテンションを掛けられるようにしておく。
【００２５】
ここで用いられるクリーニングシート４の条件としては例えば、発塵性が低いこと、拭き取り性が高いこと、ロール化が可能なこと、溶剤に対して溶出分がないこと、等が挙げられる。
【００２６】
そして、以上のような特性を満たすクリーニングシートとしては、長繊維でかつ極細のポリエステル繊維やナイロン繊維からなるポリエステル系シートやナイロン系シート等を挙げることができる。このようなクリーニングシートを構成する繊維の太さとしては１〜５μｍ程度であることが望ましい。特に繊維の太さが２μｍ程度であるとケバの発生を抑えつつ効率的に薄膜除去処理を行えるようになる。
【００２７】
さらに、クリーニングシートとしては、その搬送供給方向に対する伸び耐性を考慮すると、編み物よりも織物であることが望ましい。また、織り方としては一定方向に規則的に凹凸が出来やすい平織りではなく、綾織、サテン織等が推奨される。また、シート厚みは０．２ｍｍ〜２．０ｍｍ程度の範囲にあることが望ましい。この範囲にあることによって薄膜を除去するときに薄膜に傷をつけることなくなり、しかもクリーニング溶液をクリーニングシートに容易に含浸させ、薄膜の除去処理が効率よく行えるようになる。
【００２８】
このようなクリーニングシートを使用した薄膜の除去は、クリーニングシートを送りながら行っても、停止させて行ってもよい。一つのクリーニングシートの搬送供給方向に沿って複数個の押し当て機構が並んでいる装置の場合には、クリーニングテープを停止した状態で薄膜除去処理を行った方が望ましく、基板固定盤とクリーニングシート搬送供給機構とクリーニング溶液供給機構と押し付け機構と駆動機構とを少なくとも具備してなる薄膜除去ヘッドを複数個具備している装置の場合には、クリーニングシートを送りながら薄膜除去処理を行えるようにすることが望ましい。
【００２９】
一方、クリーニング溶液供給機構５は、クリーニングシート搬送供給機構１５から搬送されてくるクリーニングシート４にクリーニング溶液を含浸させるための部分であり、乾燥した薄膜を再溶解させてクリーニングシートによる薄膜除去処理が円滑に行えるようにするための部分である。
【００３０】
クリーニング溶液を連続してクリーニングシートに含浸させる手法としては、スポンジに一時的にクリーニング溶液を染み込ませた後にクリーニングシートに染み込ませる手法、あるいは、スプレー法によってクリーニング溶液をクリーニングシートに含浸させる手法等の中から適宜のものを選択して用いればよい。その他にも、定量性に優れるディスペンサを用いてクリーニング溶液をクリーニングシートに供給・含浸するようにしてもよい。
【００３１】
含浸させるクリーニング溶液は、水のように表面張力が大きい溶剤を用いる場合には、界面活性剤を加えるか、もしくはアルコールを添加して表面張力を下げることが望ましい。
【００３２】
本発明の薄膜除去装置は、上述したクリーニングシート搬送供給機構とクリーニング溶液供給機構と押し付け機構と押し付け機構からなる薄膜除去ヘッドを一組少なくとも有するものであるが、図３にも示すように、複数組（１−１、１−２、１−３、１−４）具備していてもよい。
【００３３】
また、このような機構にすることによって、複数の箇所が一度に除去できることになり、処理効率が良好になる。
【００３４】
押し当て部を基板上の薄膜に押し当てたまま、押し付け機構と基板固定盤を相対的に移動させ、押し当て部に押し当てられた薄膜の部分を基板から選択的に除去できるようにするための駆動機構（図示せず）は、基板上の全面または部分的に塗布されたと薄膜を所定のパターンで除去できるようにするための機構である。基板固定盤は、少なくともそのＸ軸とＹ軸の方向に、望ましくはＸ軸、Ｙ軸、θ軸の方向に任意に可動可能であって、基板の位置と基板固定盤の位置関係が常に同一になるようなアライメント機構を備えている。アライメント機構としては突き当てによって位置を決めるようにしたものも、基板に印されたアライメントマークを用いて位置合わせを行うような機構等、一般的なアライメント機構から適宜のものを選択して用いればよい。
【００３５】
以下、本発明の薄膜除去装置とそれを用いた薄膜除去処理のより具体的な例を図示の例を参照にして説明する。
【００３６】
図１に示すように薄膜除去ヘッド１は、巻きだしリール２と巻き取りリール３を備えていて、速度を制御するために巻きだしリール２はトルクモーター（図示せず）により、巻き取りリール３はスピードコントローラモータ（図示せず）により駆動するようになっていて、クリーニングシート４の搬送供給ができるようになっている。このような機構を用いることによってクリーニングシートに適度なテンションを掛けつつクリーニングシートの送りが可能となっている。巻きだしリール２にはクリーニングシート４が巻きつけてある。
【００３７】
クリーニングシート４にクリーニング溶液を含浸させるクリーニング溶液供給機構５は、クリーニング溶液供給スプレー６とクリーニング溶液貯蔵・加圧タンク７からなっている。溶剤供給スプレー６は加圧タンク７より定量圧送されたクリーニング溶液をクリーニングテープ４に対して噴霧・供給するためのものであり、このクリーニング溶液供給スプレー６によって、搬送中のクリーニングシート４にクリーニング溶液が均一に含浸できるようになっている。噴霧量は加圧タンクの加圧量によって調整することができ、定量化できるようになっている。
【００３８】
一方、押し当て機構８は加圧部９と押し当て部１０からなっている。加圧部９は電気的に加圧部９の基板２０上の薄膜２１側に押し込む量を制御する機構を有しており、押し当て部１０を一定の圧力で薄膜２１に押し付けられるようになっている。押し当て部１０は、この装置においては、フッ素系ゴム（バイトン）の硬度がショアＡ６０°のものを用いている。押し当て部１０のクリーニングシート４に当接する部分の形状は方形であり、押し当てられる部分の横幅は１１ｍｍとした。
【００３９】
他方、基板固定盤２５は突き当て板１３と吸着穴１４とを有し、薄膜２１が設けられている基板２０を見当を合わせて載置し、吸着穴１４で固定できるようになっている。そして、この基板固定盤２５はそれ自身がＸ軸、Ｙ軸、θ軸の方向に自由に動くようになっている（図１、図４参照）。
【００４０】
このような構成の基板固定盤２５は、まず基板の搬入位置に移動し、そこで薄膜が設けられている基板２０を突き当て板１３に押し当てながら見当を合わせて載置する。基板２０を基板固定盤２５上に載置した後は、真空穴１４によって基板２０を所定の位置に吸着・固定する。
【００４１】
次に、クリーニングシート搬送供給機構１５を駆動させ、巻きだしリール２側からクリーニングシート４を送り出し、その途中でクリーニング溶液供給機構５のクリーニング溶液供給スプレー６からクリーニング溶液を噴霧させ、搬送されてくるクリーニングシート４にクリーニング溶液を含浸させる。
【００４２】
そして、クリーニング溶液含浸済みのクリーニングシートを押し当て機構８の押し当て部１０まで搬送させその先端部に位置する押し当て部９を抱え込むようにしながらその部分を基板固定盤２５に載置されている基板２０上の薄膜２１の一部に押し当てながら、基板固定盤２５をそのＸ軸方向に移動させて薄膜の除去処理を行う。
【００４３】
次に、押し当て機構８を駆動させ、その押し当て部１０を上昇させて薄膜２１から一旦離脱させ、今度は基板固定盤２５を９０°回転させた後、押し当て機構８を駆動させて押し当て部１０を下降させ、その先端部分にクリーニング溶液を含浸させたクリーニングシートを介在させながら薄膜２１に再び押し当てながら基板固定盤２５をそのＸ軸方向に移動させて薄膜の除去処理を行い、薄膜の所定部分いおける除去処理を終了する。一連の薄膜除去処理が終了したら、薄膜除去位置にあった基板固定盤２５を再び基板の搬入位置に戻す（図１、図４、図５参照。）。
【００４４】
上述したような薄膜除去装置並びにこの装置を用いた薄膜除去の手順に従い、以下のような構成の薄膜が設けられている薄膜積層基板に対して薄膜除去処理を行って、その評価を行った。
［薄膜が設けられている基板］
ガラス基板（０．７ｔ、４００ｍｍ×４００ｍｍ）に対して、有機ＥＬ用正孔輸送材料として一般的なＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（２％固形分、４０％エタノール、６０％水）をスピンコータにて１５００ｒｐｍ／３０ｓの条件で薄膜を塗布した。塗布薄膜の厚さが５０ｎｍであった。そして、得られた薄膜積層基板を１２０℃で乾燥し、薄膜除去評価用の薄膜積層基板とした。
［評価１］
クリーニングシートとして、幅が１３ｍｍのポリエステルナイロン混合繊維からなる３種類のニットテープ、平織りテープ、サテン織テープを用いた。これらのクリーニングシートの巻き取り速度は２００ｍｍ／ｍｉｎとし、基板固定盤上の薄膜積層基板の移動方向と逆方向になるようにして押し付け機構へ搬送・供給した。
【００４５】
また、基板固定盤の移動速度は１０００ｍｍ／ｍｉｎとした。そして、薄膜除去処理時における押し当て部の薄膜への押し当て圧力を測定したところ１ｋｇｆ／ｃｍ2であった。
【００４６】
以上のような条件により薄膜積層基板上の薄膜の半分の領域を除去した。除去した薄膜積層基板上の表面を顕微鏡によって確認した。また、薄膜が除去された部分の表面を異物検査機によって検査し、繊維由来と判断されたゴミをカウントし、清浄度の評価を行った。結果を表１に示す。
［評価２］
図２に示すような構成の薄膜除去装置、すなわち、基板上に塗布されている薄膜の所定部分を基板から除去するための薄膜除去装置であって、薄膜が塗布されている基板を所定の位置に見当を合わせて載置・固定するための基板固定盤と、基板固定盤に固定されている基板上の薄膜の被薄膜除去部にクリーニングシートを順次搬送・供給するためのクリーニングシート搬送供給機構と、クリーニングシート搬送供給機構から搬送されてくるクリーニングシートにクリーニング溶液を含浸させるためのクリーニング溶液供給機構と、基板上の薄膜の被薄膜除去部に搬送・供給されてくるクリーニング溶液含浸済みのクリーニングシートを基板上の薄膜に対して一定の圧力で押し当て部により押し付けるための押し付け機構と、押し当て機構の押し当て部を基板上の薄膜に押し当てたまま、押し当て機構と基板固定盤を相対的に移動させ、押し当て部に押し当てられた薄膜の部分を基板から選択的に除去できるようにするための駆動機構とを少なくとも具備していて、かつ押し当て機構がクリーニングシート搬送機構により搬送されてくる一枚のクリーニングシートの搬送方向に沿って複数個（３個）設けられている薄膜除去装置を用い、薄膜除去処理時にはクリーニングシートの搬送を停止させた以外は前記評価１と同様の条件で被薄膜除去部表面の清浄度、表面に残った繊維くず等の異物数のカウントを行い、評価した。薄膜除去面における異物数の状況と清浄度の状況を表１に示す。
［評価結果］
清浄度については下記のような５段階で評価した。
評価段階１・・明らかに除去残りがある
評価段階２・・顕微鏡で確認できるレベルで残りが有る
評価段階３・・目視、顕微鏡確認レベルで清浄
評価段階４・・表面分析で明らかな汚れとして分析可能
評価段階５・・表面分析でも汚れがほとんど確認できない
【００４７】
【表１】
2009049163.tif 000003
評価１の際に行われた薄膜除去処理においてニットのクリーニングシートを用いた場合は、清浄な薄膜除去表面は得られるが、薄膜除去端部の端部形状が甘く、また異物数もやや多かった。また、平織りのクリーニングシートを用いた場合には、織り目に由来すると思われる筋が残った。サテン織りのクリーニングシートを用いた場合には、薄膜除去表面は清浄度が良好で、且つ異物数も３個と非常に少なかった。
【００４８】
評価２の際に行われた薄膜除去処理においてニットのクリーニングシートを用いた場合は、清浄度、異物とも問題はないが、薄膜除去端部の端部形状が多少甘かった。また平織りのクリーニングシートを用いた場合には、評価１での薄膜除去処理の場合と比較して縦筋は見られなくなった。さらに、サテン織りのクリーニングシートシートを用いた場合には清浄度、異物ともに問題なかった。
【００４９】
また、評価２で採用したサテン織りのクリーニングシートを用いた場合の薄膜除去部近辺の断面状態を測定した。その結果を図６に示す。薄膜除去端部の端部形状はシャープな立ち上がりが見せており、しかも基板上の薄膜が完全に除去されていることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の薄膜除去装置の一例の概略の構成を示す説明図である。
【図２】本発明の薄膜除去装置の他の例の概略の構成を示す説明図である。
【図３】クリーニングシート搬送供給機構とクリーニング溶液供給機構と押し付け機構からなる一組の薄膜除去ヘッドを複数組具備している薄膜除去装置の一部を示す説明図である。
【図４】基板固定盤の構成を示す説明図である。
【図５】薄膜除去装置の搬入位置と薄膜除去位置の関係を示す説明図である。
【図６】薄膜除去部近辺の断面状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１：薄膜除去ヘッド
１−１、１−２、１−３、１−４：薄膜除去ヘッド
２：巻きだしリール
３：巻取りリール
４：クリーニングシート
５：クリーニング溶液供給機構
６：クリーニング溶液供給スプレー
７：クリーニング溶液貯蔵・加圧タンク
８：押し付け機構
８−１、８−２、８−３：押し付け機構
９：加圧部
１０：押し当て部
１１：テンションローラー
１３：突き当て板
１４：吸着穴
１５：クリーニングシート搬送供給機構
２０：基板
２１：薄膜
２５：基板固定盤
【図１】
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【図２】
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【図３】
2009049163.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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