(57)【要約】【課題】剥離用テープが接着シートから剥がれて剥離不良を生ずるリスクを低減するとともに、ランニングコストを抑制するシート剥離装置及び剥離方法を提供すること。【解決手段】保護シートＳが貼付された半導体ウエハＷを支持するテーブル１５を含む支持手段１１と、保護シートＳに剥離用テープＴを貼付するテープ貼付手段１２と、支持手段１１とテープ貼付手段１２とを相対移動させる移動手段１３とによりシート剥離装置１０が構成されている。テープ貼付手段１２は、把持手段４３及び切断手段４４を含み、当該把持手段４３は、剥離用テープＴを介して剥離された保護シートＳの被把持部Ｓ１を把持し、前記支持手段１１とテープ貼付手段１２との相対移動によって剥離を行うようになっている。また、切断手段４４は把持手段４３と剥離用テープＴとの間の保護シートＳ部分を切断して剥離用テープＴと保護シートＳとを遮断する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付するテープ貼付手段と、これら支持手段とテープ貼付手段とを相対移動させて前記接着シートを前記被着体から剥離する移動手段とを備えたシート剥離装置において、
前記テープ貼付手段は把持手段を含み、当該把持手段は、前記剥離用テープを介して剥離された接着シートを把持して当該接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記テープ貼付手段は、前記把持手段と剥離用テープとの間に介在する接着シートを切断する切断手段を更に含むことを特徴とする請求項１記載のシート剥離装置。
【請求項３】
接着シートが貼付された被着体を支持手段に支持させるとともに、テープ貼付手段を介して前記接着シートに剥離用テープを貼付し、前記支持手段とテープ貼付手段とを相対移動させて前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用テープを介して接着シートを剥離した後、当該接着シートを把持手段で把持し、次いで、前記把持手段と支持手段とを相対移動させることにより前記接着シートを被着体から剥離することを特徴とするシート剥離方法。
【請求項４】
前記把持手段と剥離用テープとの間に介在する接着シートを切断することを特徴とする請求項３記載のシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置及び剥離方法に係り、特に、半導体ウエハに貼付された保護シートを剥離することに適したシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）には、その回路面を保護するための保護シートが貼付されており、当該保護シートは、種々の処理工程を経た後に剥離される。
保護シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に記載されているように、保護シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを引っ張って保護シートをウエハから剥離する構成が知られている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１９７４２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたシート剥離装置にあっては、剥離用テープを引っ張って保護シートを剥離する構成であるため、剥離用テープの接着力が弱いと、当該剥離用テープが保護シートから剥がれてしまい、剥離不良を発生させる、という不都合がある。
また、剥離用テープはウエハ外径以上の長さが必要となり、ランニングコストが高くなる、という不都合もある。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離用テープが接着シートから剥がれるリスクを低減するとともに、ランニングコストの抑制を達成することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付するテープ貼付手段と、これら支持手段とテープ貼付手段とを相対移動させて前記接着シートを前記被着体から剥離する移動手段とを備えたシート剥離装置において、
前記テープ貼付手段は把持手段を含み、当該把持手段は、前記剥離用テープを介して剥離された接着シートを把持して当該接着シートを剥離する、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記テープ貼付手段は、前記把持手段と剥離用テープとの間に介在する接着シートを切断する切断手段を更に含む構成を採ることが好ましい。
【０００８】
また、本発明は、接着シートが貼付された被着体を支持手段に支持させるとともに、テープ貼付手段を介して前記接着シートに剥離用テープを貼付し、前記支持手段とテープ貼付手段とを相対移動させて前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用テープを介して接着シートを剥離した後、当該接着シートを把持手段で把持し、次いで、前記把持手段と支持手段とを相対移動させることにより前記接着シートを被着体から剥離する、という手法を採っている。
【０００９】
前記シート剥離方法において、前記把持手段と剥離用テープとの間に介在する接着シートを切断することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、前記把持手段が接着シートを把持して当該接着シートを剥離する構成としたから、剥離用テープを引っ張ることによって剥離用テープが剥がれてしまうリスクを低減することができる。しかも、把持するに足りる長さの剥離用テープを接着シートに貼付すればよいため、剥離用テープの消費量を少なくしてランニングコストの低減も図ることができる。
また、前記切断手段を設けることにより、接着シートの一部が剥離用テープに不随するだけであり、剥離用テープの巻取量を少なくすることができ、この点からも剥離用テープの消費量を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図１には、本発明の実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示されている。これらの図において、シート剥離装置１０は、接着シートとしての保護シートＳが回路面（図１中上面）に貼付された被着体としてのウエハＷを支持する支持手段１１と、前記保護シートＳに剥離用テープＴを貼付するテープ貼付手段１２と、これら支持手段１１とテープ貼付手段１２とを図１中左右方向に相対移動させる移動手段１３とを備えて構成されている。なお、前記剥離用テープＴは、本実施形態では、感熱接着性の接着テープが採用されている。
【００１３】
前記支持手段１１はテーブル１５により構成されている。このテーブル１５の上面は、吸着面として形成されて前記ウエハＷを吸着保持するようになっており、当該テーブル１５の下面側に前記移動手段１３が設けられている。この移動手段１３は、図１中左右方向に延びるガイドレール１６と、テーブル１５の下面側に設けられたスライダ１７と、テーブル１５の下面中央部に設けられたナット部材１８と、当該ナット部材１８を左右方向に貫通してねじ係合する送りねじ軸１９と、この送りねじ軸１９を回転させるモータＭ１とを含む。ガイドレール１６は、図１中紙面直交方向に一対配置とされ、前記スライダ１７は、各ガイドレール１９に対応して設けられている。
【００１４】
前記テープ貼付手段１２は、モータＭ２を介してロール状の剥離用テープＴを繰り出す繰出ローラ２５と、モータＭ３を介して剥離用テープＴを巻き取る巻取ローラ２６と、繰出ローラ２５の下方に配置された繰出側駆動ローラ２８と、当該繰出側駆動ローラ２８との間に剥離用テープＴを挟み込むニップローラ３０と、前記巻取ローラ２６の下方に配置された巻取側駆動ローラ３２と、当該巻取側駆動ローラ３２との間に剥離用テープＴを挟み込むニップローラ３３と、前記繰出ローラ２５と巻取ローラ２６との間に配置された上下用シリンダ３５と、この上下用シリンダ３５のピストンロッド３６に固定された反転Ｕ字状のテープ押さえ治具３７と、当該テープ押さえ治具３７に固定されたヒータヘッド用シリンダ４０と、このヒータヘッドシリンダ４０を介して上下に移動可能に設けられたヒータヘッド４１と、前記繰出側駆動ローラ２８及び巻取側駆動ローラ３２と前記支持手段１１との間に配置された把持手段４３及び切断手段４４とを含む。
【００１５】
前記把持手段４３は、特に限定されるものではないが、本実施形態では、図示しない移動アームを介して相互に離間、接触可能に設けられた一対のチャック４５により構成されている。この一方、前記切断手段４４は、相互に離間した位置と、刃面が重なり合う切断位置との間を移動可能に設けられた一対のカッター刃４７により構成されている。なお、ここでは図示省略しているが、前記テープ貼付手段１２は、フレーム板を介して一体的に支持される。
【００１６】
次に。本実施形態に係るシート剥離方法について、図２ないし図５をも参照しながら説明する。
【００１７】
初期設定において、保護シートＳが貼付されたウエハＷは、図示しない搬送手段を介してテーブル１５の上面に移載される。そして、当該テーブル１５は、保護シートＳの右側端部の上方にヒータヘッド４１の先端（下端）が位置するように保たれる。
【００１８】
そして、上下用シリンダ３５のピストンロッド３６が伸長すると、この動作に同期して、モータＭ２及びＭ４が駆動し、繰出ローラ２５から剥離用テープＴが繰り出される。このときモータＭ３、Ｍ５は、ロック状態とされる。そして、シート押さえ治具３７を介して剥離用テープＴが保護シートＳに押さえ付けられる。この押さえ付けが行われた状態で、モータＭ２、Ｍ４の駆動が一旦停止する。次いで、ヒータヘッド用シリンダ４０が作動してヒータヘッド４１の先端（下端）が下降し、剥離用テープＴを保護シートＳの右側端部に溶着する（図２参照）。そして、図３に示されるように、上下用シリンダ３５のピストンロッド３６が後退してシート押さえ治具３７、ヒータヘッド４１が図１に示される初期位置に戻る。
【００１９】
シート押さえ治具３７等が上昇すると、図４に示されるように、モータＭ２、Ｍ４が剥離用テープＴを巻き戻す方向に駆動するとともに、モータＭ３、Ｍ５が剥離用テープＴを巻き取る方向に駆動する。これにより、シート押さえ治具３７が上昇したことに伴う剥離用テープＴの弛みを吸収するとともに、これに同期してテーブル１５が移動手段１１を介して右側に相対的に移動する。そして、この相対移動によって保護シートＳは右端側から剥離されるとともに、テーブル１５の移動距離に対応した長さ分が上方に立ち上がって被把持部Ｓ１を形成することとなる。
【００２０】
このようにして被把持部Ｓ１が形成されると、前記把持手段４３を構成するチャック４５が相互に接近することで被把持部Ｓ１がチャック４５間に把持される。その後、カッター刃４４が相互に重なり合う切断位置まで移動し、チャック４５と剥離用テープＴとの間の保護シートＳ部分を切断し、保護シートＳの僅かな部分が接着シート片Ｓ２として剥離用テープＴに付随するだけとなる。つまり、保護シートＳと剥離用テープＴとは遮断されることとなる（図５参照）。
【００２１】
そして、前記テーブル１５が保護シートＳとウエハＷとが完全に切り離されるまで更に右側に移動することで剥離が完了することとなる。この一方、剥離用テープＴ側に付随した接着シート片Ｓ２は、剥離用テープＴと共に巻取ローラ２６によって、図５に示されるように、少しだけ右側に移動され、次の剥離動作に備えて待機することとなる。
【００２２】
チャック４５に把持された保護シートＳは、前記ガイドレール１６間の下方に設けられる図示しないダストボックス等に廃棄することができる。また、保護シートＳが剥離されたウエハＷは、適宜な搬送手段を介して次工程に移載され、ウエハＷが除去されたテーブル１６は、図１に示される位置に復帰して次の剥離対象となるウエハＷの移載に備えられる。
【００２３】
従って、このような実施形態によれば、剥離用テープＴは、被把持部Ｓ１を形成する際に一時的に引っ張りを受けるだけで、被把持部Ｓ１が形成された後は、当該被把持部Ｓ１をチャック４５が把持して保護シートＳに剥離力を付与し続けるものとなる。従って、剥離用テープＴへの引っ張りを継続して保護シートＳを最後まで剥離する従来構造の前記不都合を回避することができる。
【００２４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００２５】
例えば、前記実施形態では剥離用テープＴとして感熱接着性の接着テープを用いた場合を図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、感圧接着性の接着テープを剥離用テープとして用いることもできる。この場合には、シート押さえ治具３７を省略できるとともに、ヒータヘッド４１に替えて押圧（貼付）ヘッドを設ければ足りるため、テープ貼付手段１２の構成も簡略化される。
【００２６】
また、前記実施形態では、テーブル１５をテープ貼付手段１２に対して移動させる構成としたが、テープ貼付手段１２側を左右方向に移動させる構成としてもよく、或いは、テーブル１５及びテープ貼付手段１２の双方を移動させるように構成してもよい。
【００２７】
更に、前記切断手段４４は必ずしも設けることを要しない。この場合、ウエハＷから剥離された保護シートＳは、剥離用テープＴを介して巻取ローラ２６によって巻き取ればよい。但し、切断手段４４によって前記切断を行う構成とすれば、剥離用テープＴの消費量を低減することができる。
【００２８】
また、被着体は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００２９】
更に、把持手段はチャック４５以外に、吸着や接着等によって把持する構成としてもよい。
【００３０】
また、切断手段は、カッター刃以外に、レーザや電熱線等によって切断する構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】剥離用テープを保護シートに溶着する動作を示す概略正面図。
【図３】保護シートに剥離用テープが溶着された状態を示す概略正面図。
【図４】把持手段が被把持部を把持して切断手段が保護シートを切断する動作を示す概略正面図。
【図５】把持手段が保護シートを把持して剥離する動作を示す概略正面図。
【符号の説明】
【００３２】
１０  シート剥離装置
１１  支持手段
１２  テープ貼付手段
１３  移動手段
１５  テーブル
４５  チャック（把持手段）
４７  カッター刃（切断手段）
Ｔ  剥離用テープ
Ｓ  保護シート（接着シート）
Ｓ１  被把持部
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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