(57)【要約】      （修正有）【課題】保護フィルムが貼着された板状体から保護フィルムを剥離するとともに、剥離後の保護フィルムを可及的に小形の形状にまとめ、周囲の装置へ付着しにくくして廃棄することのできる保護フィルム剥離装置を提供する。【解決手段】保護フィルム剥離装置は、第１剥離手段と、第２剥離手段と、フィルム巻取り手段とを含み、第１および第２剥離手段は、保護フィルムのうち第１剥離手段によって剥離された第１部分と、保護フィルムのうち第２剥離手段によって剥離された第２部分との一部分を、粘着層を介して互いに接着させ、フィルム巻取り手段は、第１および第２剥離手段によって前記粘着層が接着された後に保護フィルムを巻取りながら剥離する。【選択図】図１
2009274838.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向の一表面部に粘着性を有する粘着層が形成される保護フィルムが、その粘着層を介して一表面に貼着されている被貼着体から、前記保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置であって、
前記保護フィルムのうち前記被貼着体の前記一表面に沿う予め定める方向の一端部を保持して、前記被貼着体から前記保護フィルムのうち前記一端部を含む所定の範囲を剥離する第１剥離手段と、
前記保護フィルムの前記予め定める方向の他端部を保持して、前記被貼着体から前記保護フィルムのうち前記他端部を含む所定の範囲を剥離する第２剥離手段と、
前記保護フィルムを挟持する挟持部を有し、前記保護フィルムを前記挟持部によって挟持した状態で、前記挟持部を予め定める軸線まわりに回転駆動させて、前記保護フィルムを巻取るフィルム巻取り手段とを含み、
前記第１および第２剥離手段は、前記保護フィルムのうち前記第１剥離手段によって剥離された第１部分と、前記保護フィルムのうち前記第２剥離手段によって剥離された第２部分との一部分を、前記粘着層を介して互いに接着させ、
前記フィルム巻取り手段は、前記第１および第２剥離手段によって前記粘着層が接着された後に前記保護フィルムを巻取ることを特徴とする保護フィルム剥離装置。
【請求項２】
前記第１および第２剥離手段は、
前記保護フィルムに接着して前記被貼着体から前記保護フィルムを巻取る剥離ローラと、
前記剥離ローラに対し近接および離間する方向に移動可能な可動体とを有し、
前記剥離ローラによって巻取られた保護フィルムに対し、前記可動体を移動させて、前記剥離ローラと前記可動体との間で挟むことによって、保護フィルムを保持することを特徴とする請求項１に記載の保護フィルム剥離装置。
【請求項３】
前記挟持部は、前記剥離ローラに設けられ、前記剥離ローラを回転駆動させることによって、回転駆動されることを特徴とする請求項２に記載の保護フィルム剥離装置。
【請求項４】
前記被貼着体の一部を載置可能な載置面を有し、載置された被貼着体を吸着することによって固定可能な複数の保持手段をさらに有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の保護フィルム剥離装置。
【請求項５】
前記フィルム巻取り手段によって巻取られた保護フィルムをフィルム巻取り手段から受け取るフィルム受取手段をさらに有することを特徴とする請求項１〜４いずれか１つに記載の保護フィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保護フィルムが貼着された板状体から保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶パネルなどの板状体において、その板状体の表面における微細な傷および塵埃などによる品位の低下を防止する必要がある場合には、表面を保護するための保護フィルムを貼着している。しかし、保護フィルムが必要でなくなった場合には、その表面から保護フィルムを剥離する必要がある。たとえば、液晶パネルを搭載する液晶テレビでは、液晶パネルを製造する工程においてはその表面に保護フィルムを貼着しているが、製品としての液晶テレビにおいては保護フィルムが不必要である。そこで、その表面から保護フィルムを剥離する工程が必ず存在する。このような保護フィルム剥離工程は、剥離装置によって自動化されている。（たとえば特許文献１参照）
【０００３】
【特許文献１】特開平６−４８６３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、板状体から剥離された保護フィルムは、片面側に粘着性を有していることから、廃棄する際に、周囲の装置と接触して貼りつくことによる装置の停止が発生してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、保護フィルムが貼着された板状体から保護フィルムを剥離するとともに、剥離後の保護フィルムを可及的に小形の形状にまとめ、周囲の装置へ付着しにくくして廃棄することのできる保護フィルム剥離装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、厚み方向の一表面部に粘着性を有する粘着層が形成される保護フィルムが、その粘着層を介して一表面に貼着されている被貼着体から、前記保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置であって、
前記保護フィルムのうち前記被貼着体の前記一表面に沿う予め定める方向の一端部を保持して、前記被貼着体から前記保護フィルムのうち前記一端部を含む所定の範囲を剥離する第１剥離手段と、
前記保護フィルムの前記予め定める方向の他端部を保持して、前記被貼着体から前記保護フィルムのうち前記他端部を含む所定の範囲を剥離する第２剥離手段と、
前記保護フィルムを挟持する挟持部を有し、前記保護フィルムを前記挟持部によって挟持した状態で、前記挟持部を予め定める軸線まわりに回転駆動させて、前記保護フィルムを巻取るフィルム巻取り手段とを含み、
前記第１および第２剥離手段は、前記保護フィルムのうち前記第１剥離手段によって剥離された第１部分と、前記保護フィルムのうち前記第２剥離手段によって剥離された第２部分との一部分を、前記粘着層を介して互いに接着させ、
前記フィルム巻取り手段は、前記第１および第２剥離手段によって前記粘着層が接着された後に前記保護フィルムを巻取ることを特徴とする保護フィルム剥離装置である。
【０００７】
また本発明は、前記第１および第２剥離手段は、
前記保護フィルムに接着して前記被貼着体から前記保護フィルムを巻取る剥離ローラと、
前記剥離ローラに対し近接および離間する方向に移動可能な可動体とを有し、
前記剥離ローラによって巻取られた保護フィルムに対し、前記可動体を移動させて、前記剥離ローラと前記可動体との間で挟むことによって、保護フィルムを保持することを特徴とする。
【０００８】
また本発明は、前記挟持部は、前記剥離ローラに設けられ、前記剥離ローラを回転駆動させることによって、回転駆動されることを特徴とする。
【０００９】
また本発明は、前記被貼着体の一部を載置可能な載置面を有し、載置された被貼着体を吸着することによって固定可能な複数の保持手段をさらに有することを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、前記フィルム巻取り手段によって巻取られた保護フィルムをフィルム巻取り手段から受け取るフィルム受取手段をさらに有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、保護フィルム剥離装置は、第１剥離手段と、第２剥離手段と、フィルム巻取り手段とを含み、第１および第２剥離手段は、保護フィルムのうち第１剥離手段によって剥離された第１部分と、保護フィルムのうち第２剥離手段によって剥離された第２部分との一部分を、粘着層を介して互いに接着させ、フィルム巻取り手段は、第１および第２剥離手段によって前記粘着層が接着された後に保護フィルムを巻取りながら剥離する。このとき、自らの粘着層によって粘着しながら巻取られていくので、保護フィルムを小形の筒状にまとめることができる。したがって、周囲の装置へ付着しにくくして廃棄することができるため、周囲の装置に付着することによる装置の停止の発生を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明の実施の形態の保護フィルム剥離装置１を概略的に示す平面図である。本実施の形態の保護フィルム剥離装置１は、たとえば板状体である矩形状の液晶パネル１１の表面にある偏光板の損傷を防ぐために、偏光板表面を保護することを目的として貼着されている矩形状の保護フィルムを剥離するための装置である。
【００１３】
液晶パネル１１の断面図を図２に示す。液晶パネル１１は、矩形状であり、ガラス基板などの光透過基板１２，１３の一方の表面に所定の形状の電極１４，１５を形成し、この電極１４，１５が形成された面同士を向かい合わせた２枚の光透過基板１２，１３を、基板間距離が均一となるようにスペーサ１６を介在させてシール２１によって平行に貼り合わせる。そして、この基板１２，１３間に液晶材料１７を封入し、さらに光透過基板１２，１３の電極１４，１５が形成された面と反対側の面に偏光板１８，１９を貼り付けて構成されている。さらに上記の構成に、カラー表示を可能にするためのカラーフィルター２０、たとえばＲＧＢ(Red Green Blue)のフィルターなどが設けられても良い。
【００１４】
また、偏光板１８，１９の表面には、液晶パネル１１の製造時の作業における偏光板１８，１９の表面の損傷を防ぐために、一方の面が粘着面である矩形状の保護フィルム２２ａ，２２ｂ（総称する場合は保護フィルム２２と記す）が貼着されている。なお、保護フィルム２２ｂが貼着されている側を液晶パネル１１の上面側とする。
【００１５】
液晶パネル１１の寸法は、特に限定されるものではないが、大形のもので平面寸法が長辺約１５００ｍｍ、短辺約９００ｍｍであり、小形のもので平面寸法が長辺約９００ｍｍ、短辺約６００ｍｍである。
【００１６】
以下、図１を参照して、本実施の形態の保護フィルム剥離装置１について説明する。本実施の形態の保護フィルム剥離装置１は、保護フィルム２２が貼着された液晶パネル１１から保護フィルム２２を剥離する処理装置２と、保護フィルム２２が貼着された液晶パネル１１を処理装置２近傍まで搬送するパネル供給コンベア３と、保護フィルム２２剥離後の液晶パネル１１が搭載されるバックライトモジュール２３を処理装置２近傍まで搬送し、さらに液晶パネル１１搭載後のバックライトモジュール２３（以下、液晶パネルが搭載されたバックライトモジュールを「ワーク」と記す）を搬送するモジュール供給コンベア４と、処理装置２において剥離された保護フィルム２２を受け取り、廃棄コンベア６まで移送するフィルム廃棄ロボット５と、フィルム廃棄ロボット５によって移送された保護フィルム２２を搬送する廃棄コンベア６と、液晶パネル１１をパネル供給コンベア３から処理装置２へ供給し、さらに処理装置２からモジュール供給コンベア４へ供給するパネル搬送装置７とを含んで構成される。
【００１７】
パネル供給コンベア３は、たとえばパレット式の搬送機構であり、パネル供給コンベア３の上部において、保護フィルム２２が貼着されている液晶パネル１１が上載されたパレットを水平に矢符Ａ方向に搬送する。
【００１８】
モジュール供給コンベア４は、パネル供給コンベア３に近接して配置され、バックライトモジュール２３およびワーク２４を水平に、Ａ方向と平行な矢符Ｂ方向に搬送する。
【００１９】
パネル搬送装置７は、処理装置２、パネル供給コンベア３、およびモジュール供給コンベア４の上方に配置され、水平に延びる平行な２本のガイドレール３１ａ，３１ｂと、各ガイドレール３１ａ，３１ｂに沿って移動方向Ｄ１，Ｄ２（総称する場合は移動方向Ｄと記す）に移動可能な各搬送ハンド３３ａ，３３ｂ（総称する場合は搬送ハンド３３と記す）と、各搬送ハンド３３ａ，３３ｂをそれぞれ上下方向に昇降駆動させる昇降駆動機構を備え、各ガイドレール３１ａ，３１ｂに連結される各搬送アーム３２ａ，３２ｂ（総称する場合は搬送アーム３２と記す）と、各搬送アーム３２ａ，３２ｂをそれぞれ水平方向に駆動させる水平駆動機構（図示せず）とを有する。各搬送ハンド３３ａ，３３ｂは、その下部において複数の吸盤（図示せず）が設けられており、各吸盤は、吸着用エア回路（図示せず）に接続されて個別に吸引力が導かれ、適度な吸引力によって液晶パネル１１を吸着することができるように構成される。
【００２０】
パネル搬送装置７は、このような構成によって、パネル供給コンベア３によって位置Ｐ１まで搬送された液晶パネル１１を吸着把持して処理装置２内の所定の位置まで搬送し、さらに保護フィルム２２が剥離された液晶パネル１１を吸着把持して処理装置２内からモジュール供給コンベア４の位置Ｐ２まで搬送し、予め位置Ｐ２において位置決めされているバックライトモジュール２３に対し液晶パネル１１を上載することができる。
【００２１】
また、パネル搬送装置７は、大形の液晶パネル１１の場合は１台、小形の液晶パネル１１の場合は２台を搬送することができる。
【００２２】
なお、２つの搬送ハンド３３ａ，３３ｂによって、１台の大型の液晶パネル１１を搬送することを可能にするために、各搬送ハンド３３ａ，３３ｂによる搬送動作を協調制御することが可能である。
【００２３】
フィルム廃棄ロボット５は、処理装置２および後述する廃棄コンベア６の近傍に配置され、処理装置２において剥離された保護フィルム２２を受け取り、廃棄コンベア６まで移送する。フィルム廃棄ロボット５は、廃棄アーム４１と廃棄アーム４１の先端に設けられる廃棄ハンド４２とを有する。このようなフィルム廃棄ロボット５は、たとえば７軸垂直多関節ロボットによって実現されても良い。
【００２４】
廃棄ハンド４２は、基部４５に対して固定して設けられる固定片４３と、固定片４３に対し離間する方向（矢符Ｅ１方向）および近接する方向（矢符Ｅ２方向）に変位可能に基部４５に設けられる可動片４４と、可動片４４を変位駆動する駆動装置（図示せず）とを有する。ハンド４２は、空間を空けて離間している状態の固定片４３と可動片４４との間に保護フィルム２２を介在させ、可動片４４をＥ２方向に変位駆動させて、固定片４３と可動片４４とによって挟持させることによって、保護フィルム２２を保持することができるように構成されている。このような構成により、フィルム廃棄ロボット５は、処理装置２から受け渡された保護フィルム２２を保持し、廃棄コンベア６まで搬送し、廃棄コンベア６上に載置する。
【００２５】
廃棄コンベア６は、フィルム廃棄ロボット５によって載置された保護フィルム２２を矢符Ｃ方向に搬送する。搬送された保護フィルム２２は、図示しない廃棄ボックス内に収容された後、廃棄される。
【００２６】
図３は、処理装置２を概略的に示す側面図である。処理装置２は、複数のロボットを含み、各ロボットの果たす機能に応じて、各ロボットを階層的に配置して構成されている。処理装置２は、パネル供給コンベア３とモジュール供給コンベア４との間に配置され、より詳細には、位置Ｐ１と位置Ｐ２との間に配置される。処理装置２は、床面に固定して設けられる４本の支柱５１と、上下方向に並設され、支柱に対し固定して設けられる３つの枠体５２，５３，５４とを有し、各枠体５２，５３，５４の内面にそれぞれロボットが設置される。図３において上から下に向かって、第１層、第２層、第３層という順に、階層構造が形成されているものとする。
【００２７】
処理装置２に設置されるロボットによって、液晶パネル１１から保護フィルム２２を剥離することを可能とするために、平面視における枠体５２，５３，５４の寸法は、液晶パネル１１の寸法よりも充分に大きくなるように設定され、たとえば長辺側寸法が約２５００ｍｍであり、短辺側寸法が１７００ｍｍである。
【００２８】
図４は、処理装置２の第１層の構成を概略的に示す平面図である。図５は、処理装置２の第２層の構成を概略的に示す平面図であり、１台の大形の液晶パネル１１を保持する場合の状態を示す。図６は、処理装置２の第３層の構成を概略的に示す平面図である。また図１４は、処理装置２の第２層の構成を概略的に示す平面図であり、２台の小形の液晶パネル１１を保持する場合の状態を示す。
【００２９】
第１層には、２基の剥離ロボットＲ１，Ｒ２が、枠体５２における長辺側に、略対角の位置に配置されるようにそれぞれ設置される。この第１層では、剥離ロボットＲ１，Ｒ２によって、後述するように第２層において保持されている液晶パネル１１の上面側に貼着されている保護フィルム２２ｂの剥離が行われる。
【００３０】
第２層には、４基のパネル保持ロボットＲ３〜Ｒ６が、枠体５３における長辺側に、それぞれ２基ずつ設置される。この第２層では、パネル保持ロボットＲ３〜Ｒ６によって、パネル搬送装置７によって搬送された液晶パネル１１が保持され、保護フィルム２２の剥離時に液晶パネル１１が位置ずれしないように固定される。
【００３１】
第３層には、２基の剥離ロボットＲ７，Ｒ８が、枠体５４における長辺側に、略対角の位置に配置されるようにそれぞれ設置される。この第３層では、剥離ロボットＲ７，Ｒ８によって、第２層において保持されている液晶パネル１１の下面側に貼着されている保護フィルム２２ａの剥離が行われる。
【００３２】
図７は、剥離ロボットＲ１に設けられる剥離ハンドＨ１の構成を概略的に示す図であり、図７（ａ）は平面図であり、図７（ｂ）は正面図である。なお、剥離ロボットＲ１，Ｒ２，Ｒ７，Ｒ８は同様に構成されるため、代表して剥離ロボットＲ１を用いて説明する。
【００３３】
剥離ロボットＲ１は、鉛直軸線まわりの３つの旋回自由度を有するアーム結合の先端に、鉛直軸線方向の１つの伸縮自由度を持たせた４自由度の水平多関節ロボットとして構成されている。より詳細には、第１リンクである基部と第２リンクとの間には第１関節が介在され、第２リンクと第３リンクとの間には第２関節が介在され、第３リンクと剥離ハンドＨ１との間には第３関節および第４関節が介在される。基部は枠体５２に固定して設けられる。第１〜第３関節は、鉛直軸線まわりに回転可能に構成され、第４関節は鉛直軸線方向に伸縮可能に構成されている。したがって、第１〜第３関節を駆動させることによって、剥離ハンドＨ１を水平方向に移動させることができ、第４関節を駆動させることによって、剥離ハンドＨ１を上下方向に移動させることができる。以下、基部から第４関節までの部分、すなわち枠体と剥離ハンドとを連結している部分、を剥離アームと記す場合がある。
【００３４】
第１層に設けられる剥離ロボットＲ１，Ｒ２において、剥離ハンドＨ１，Ｈ２は、第３および第４関節を介して、第３リンクの先端部の下方に設けられており、第２層に固定される液晶パネル１１の上面に貼着されている保護フィルム２２ｂを剥離する。これに対し、第３層に設けられる剥離ロボットＲ７，Ｒ８において、剥離ハンドＨ７，Ｈ８は、第３および第４関節を介して、第３リンクの先端部の上方に設けられており、第２層に固定される液晶パネル１１の下面に貼着されている保護フィルム２２ａを剥離する。
【００３５】
剥離ハンドＨ１の構成について以下に詳細に説明する。剥離ハンドＨ１は、基体６１と、ローラ６２と、円柱部材６３と、第１押え片６４と、第２押え片６５とを含んで構成される。基体６１は、略直方体状に形成され、上面６１ａにおいて剥離アームＫ１の第４関節に連結される。
【００３６】
ローラ６２は、基体６１の一側面６１ｂに設けられ、前記一側面６１ｂの法線に平行に延びる軸線Ｊ１に沿って延びる円柱状の部材である。ローラ６２は、前記軸線Ｊ１まわりに回転可能に構成され、図示しない駆動装置によって回転駆動させることができる。また、ローラ６２の下部が、基体６１の下面６１ｃよりも下方に位置するように配置されている。さらに、ローラ６２の外周面６２ａは、粘着性を有するように構成されている。この外周面６２ａの粘着力は、液晶パネル１１から保護フィルム２２を初期剥離するために、液晶パネル１１に貼着している保護フィルム２２の粘着面の粘着力よりも強くしておく必要がある。
【００３７】
第１押え片６４は、基体６１の一側面６１ｂにおいてローラ６２に近接して設けられ、軸線Ｊ１に平行な方向に沿って延びる直方体状の部材である。第１押え片６４とローラ６２とは、一側面６１ｂにおいて、鉛直な軸線Ｊ２に沿って並設され、さらに第１押え片６４は、鉛直方向に沿って移動可能に構成され、図示しない駆動装置によって駆動される。すなわち、第１押え片６４は、ローラ６１に離反する方向（Ｆ１方向）および近接する方向（Ｆ２方向）に移動可能に構成されている。また、第１押え片６４が、軸線Ｊ１に沿って延びる寸法は、ローラ６２が軸線Ｊ１に沿って延びる寸法と略同一である。
【００３８】
剥離ハンドＨ１は、このように構成されるローラ６２と第１押え片６４とを備えることによって、保護フィルム２２の角部を剥離し、その角部を保持することができる。すなわち、ローラ６２の下部の外周面６２ａを保護フィルム２２の角部に当接するように剥離ハンドＨ１を移動させて、ローラ６２と保護フィルム２２とを接着させる。このとき、第１押え片６４は、ローラ６２と間を空けて離間している。そして、剥離アームＫ１によって剥離ハンドＨ１を軸線Ｊ１およびＪ２に垂直な方向に移動させると、剥離ハンドＨ１の移動に伴ってローラ６２が回転する。ローラ６２の回転に伴って、保護フィルム２２の角部が剥離され、外周面６２ａに沿って巻取られる。保護フィルム２２の角部が半周以上巻取られたところで、第１押え片６４をＦ２方向に移動するように駆動させる。ローラ６２と第１押え片６４とによって保護フィルム２２が挟持されることによって、保護フィルム２２を保持することができる。
【００３９】
円柱部材６３は、ローラ６２の頂面６２ｂに固定して設けられ、軸線Ｊ１に沿って延びる円柱状の部材である。したがって、ローラ６２の回転に伴って、円柱部材６３も回転するように構成されている。円柱部材６３は、その外周面６３ａにおいて、摩擦係数が低く、非粘着性となるように構成されている。また、円柱部材６３の半径は、ローラ６２の半径よりも小さく、円柱部材６３が軸線Ｊ１に沿って延びる寸法は、ローラ６２が軸線Ｊ１に沿って延びる寸法よりも長くなるように、円柱部材６３は形成されている。
【００４０】
第２押え片６５は、ローラ６２の頂面６２ｂにおいて円柱部材６３に近接して設けられ、軸線Ｊ１に平行な方向に沿って延びる直方体状の部材である。第２押え片６５と円柱部材６３とは、頂面６２ｂにおいて、円柱部材６３の一半径方向に沿って並設され、さらに第２押え片６５は、前記一半径方向に沿って移動可能に構成され、図示しない駆動装置によって駆動される。すなわち、第２押え片６５は、円柱部材６３に離反する方向（Ｇ１方向）および近接する方向（Ｇ２方向）に移動可能に構成されている。
【００４１】
剥離ハンドＨ１は、このように構成される円柱部材６３と第２押え片６５とを備えることによって、保護フィルム２２を挟持することができる。すなわち、剥離アームＫ１によって剥離ハンドＨ１を移動させ、円柱部材６３と第２押え片６５との間に保護フィルム２２を介在させる。このとき、第２押え片６５は、円柱部材６３と間を空けて離間している。そして、第２押え片６５をＧ２方向に移動するように駆動させると、円柱部材６３と第２押え片６５とによって保護フィルム２２を挟持することができる。
【００４２】
本実施の形態では、ローラ６２が軸線Ｊ１に沿って延びる寸法Ｌ１は、たとえば３０ｍｍであり、円柱部材６３が軸線Ｊ１に沿って延びる寸法Ｌ２は、たとえば１５０ｍｍであり、第２押え片６４が軸線Ｊ１に平行な方向に沿って延びる寸法Ｌ３は、たとえば
３５ｍｍである。また、ローラ６２の半径は、たとえば８０ｍｍであり、円柱部材６３の半径は、たとえば３０ｍｍである。
【００４３】
また、ローラ６２の外周面６２ａは、ゴム材によって構成されても良く、たとえばブチルゴムを用いても良い。また、円柱部材６３、第１押え片６４、および第２押え片６５は、たとえば表面をテフロン（登録商標）によって被覆したアルミ材によって形成される。
【００４４】
次に、保持ロボットＲ３〜Ｒ６について、以下に説明する。なお、保持ロボットＲ３〜Ｒ６は同様に構成されるため、代表して保持ロボットＲ３を用いて説明する。
【００４５】
保持ロボットＲ３は、鉛直軸線まわりの２つの旋回自由度を有するアーム結合の先端に保持ハンドＨ３が設けられ、基部側において枠体５３の長辺方向に沿う方向の１つの直動自由度を持たせた３自由度の多関節ロボットとして構成されている。より詳細には、枠体５３と第１リンクとの間には第１関節が介在され、第１リンクと第２リンクとの間には第２関節が介在され、第２リンクと保持ハンドＨ３との間には第３関節が介在される。第１関節は、枠体５３の長辺方向、すなわち図５および図１４における左右方向、に沿って直動可能に構成され、第２，第３関節は鉛直軸線まわりに回転可能に構成されている。したがって、第１関節を駆動させることによって、第１リンクから保持ハンドＨ３までの部分を一体的に、枠体５３の長辺方向に沿って移動させることができ、第２，第３関節を駆動させることによって、保持ハンドＨ３を水平方向に移動させることができる。以下、第１関節から第３関節までの部分、すなわち枠体と保持ハンドとを連結している部分、を保持アームと記す場合がある。
【００４６】
保持ハンドＨ３の構成について以下に詳細に説明する。保持ハンドＨ３は、基体と、載置部とを含んで構成される。基体は、保持アームＫ３の第３関節に連結される。載置部は基体に固定して設けられ、載置面を有する。載置面は、上方を臨む面であり、略矩形状の平坦な面である。この載置面が水平となるように、保持ハンドＨ３は保持ロボットＲ３に設けられている。また、各保持ロボットＲ３〜Ｒ６は、各保持ハンドＨ３〜Ｈ６における各載置面が、同一平面上となるように設置されている。載置部は、さらに複数の吸盤を有し、吸盤の吸着面が上方に臨むように設けられている。各吸盤は、吸着用エア回路（図示せず）に接続されて個別に吸引力が導かれ、適度な吸引力によって液晶パネル１１を吸着することができるように構成される。
【００４７】
保持ハンドＨ３〜Ｈ６は、このような構成によって、パネル搬送装置７によって搬送される液晶パネル１１が各載置面に上載され、吸盤によって真空吸着することによって、液晶パネル１１を固定する。このとき、図２に示すように、液晶パネル１１において保護フィルム２２が貼着されていない光透過基板１３の下面の周縁部が、保持ハンドＨ３〜Ｈ６の各載置面に載置されるように、予め定める位置に各載置部が移動されている。このように、光透過基板１３の周縁部において液晶パネル１１が固定されているので、液晶パネル１１の下面側に貼着されている保護フィルム２２ａを、剥離ロボットＲ７，Ｒ８によって剥離することができる。
【００４８】
本実施の形態では、１台の大形の液晶パネル１１に対し保護フィルム２２の剥離が行われる場合には、図５に示すように、保持ハンドＨ３〜Ｈ６の載置面の延びる方向が、枠体５３の長辺方向と平行となるように各載置部が移動され、各載置面には、液晶パネル１１の長辺側の周縁部が載置される。
【００４９】
また、２台の小形の液晶パネル１１に対し保護フィルム２２の剥離が行われる場合には、図１４に示すように、保持ハンドＨ３〜Ｈ６の載置面の延びる方向が、枠体５３の短辺方向と平行となるように各載置部が移動され、各載置面には、各液晶パネル１１の長辺側の周縁部が載置される。
【００５０】
図８は、保護フィルム剥離装置１の制御系を説明するためのブロック図である。フィルム剥離装置１全体の制御を行う主制御装置ＣＵ１は、第１制御装置ＣＵ２および第２制御装置ＣＵ３との間で、動作指令用および制御対象の状態認識用の通信を行うことによって、後述するフィルム剥離工程の制御を行う。第１制御装置ＣＵ２は、主制御装置ＣＵ１からの動作指令に従って、パネル搬送装置７およびフィルム廃棄ロボット５の動作を直接制御するほか、第３制御装置ＣＵ４との間で、動作指令用および制御対象の状態認識用の通信を行う。第２制御装置ＣＵ３は、主制御装置ＣＵ１からの動作指令に従って、パネル供給コンベア３、モジュール供給コンベア４、および廃棄コンベア６の動作を制御する。第３制御装置ＣＵ４は、第１制御装置ＣＵ２からの動作指令に従って、剥離ロボットＲ１，Ｒ２，Ｒ７，Ｒ８および保持ロボットＲ３〜Ｒ６の動作を制御する。
【００５１】
このように主制御装置ＣＵ１は、第１、第２、および第３制御装置ＣＵ２〜ＣＵ４を介して、各ロボットおよび各コンベアの制御を行っているが、制御系の詳細な説明は本発明の主目的から離れるので、以下では等価的に１つの集中管理制御装置ＣＵ１が各ロボットおよび各コンベアを直接に制御しているものとして説明を行う。
【００５２】
図９は、保護フィルム剥離装置１全体の処理手順を示すフローチャートである。
処理開始時において、各ロボットおよび各コンベアは待機位置で待機状態にあるものとする（ステップＳ０）。この待機状態では、パネル供給コンベア３は、保護フィルム２２が貼着された液晶パネル１１が位置Ｐ１まで搬送されて停止されている。また、モジュール供給コンベア４は、バックライトモジュール２３が位置Ｐ２まで搬送されて停止されている。また、パネル搬送装置７は、位置Ｐ１の上方まで移動して停止されている。
【００５３】
また、処理装置２の保持ロボットＲ３〜Ｒ６は、後工程においてパネル搬送装置７によって搬送される液晶パネル１１の寸法に応じて、液晶パネル１１をその周縁部において保持ハンドＨ３〜Ｈ６の各載置面に上載することができるように、各載置部が予め定める位置まで移動されている。
【００５４】
ステップＳ１で、各搬送アーム３２を伸長する方向に駆動させることによって、各搬送ハンド３３を下降させ、搬送ハンド３３の下部側にある各吸盤を液晶パネル１１に当接させる。そして、各吸盤に吸引力を導くことによって、液晶パネル１１を真空吸着させ、各搬送ハンド３３に固定させる。
【００５５】
ステップＳ２で、各搬送アーム３２を短縮する方向に駆動させることによって、各搬送ハンド３３を上昇させ、さらに水平駆動機構によって各搬送アーム３２をＤ２方向に駆動させて、液晶パネル１１を処理装置２の上方まで移動させる。ステップＳ３で、各搬送ハンド３３を液晶パネル１１が載置面に当接するまで下降させ、各吸盤に導かれていた吸引力を停止させることによって、液晶パネル１１を保持ハンドＨ３〜Ｈ６の各載置面に上載させる。
【００５６】
前述するように、パネル搬送装置７は、２列に分かれている搬送ハンド３３ａ，３３ｂによって、液晶パネル１１を吸着把持するように構成されているので、１台の大形の液晶パネル１１の搬送だけでなく、２台の小形の液晶パネル１１を搬送することができる。
【００５７】
ステップＳ４で、各保持ハンドＨ３〜Ｈ６に設けられる各吸盤に吸引力を導くことによって、液晶パネル１１を保持ハンドＨ３〜Ｈ６に吸着させて固定する。また、各搬送ハンド３３は、剥離処理の妨げとならないように上昇され、処理装置２の上方で待機する。
【００５８】
ステップＳ５で、剥離ハンドＨ１，Ｈ２によって保護フィルム２２ｂが剥離され、剥離ハンドＨ７，Ｈ８によって保護フィルム２２ａが剥離される。なお、この剥離工程ついては、後に詳細に説明する。
【００５９】
ステップＳ６で、保持ハンドＨ３〜Ｈ６の各吸盤に導かれていた吸引力を停止させることによって、液晶パネル１１の固定を解除させる。ステップＳ７で、上方で待機している各搬送ハンド３３を下降させて、搬送ハンド３３の各吸盤によって液晶パネル１１を吸着把持させる。ステップＳ８で、搬送ハンド３３を上昇させ、搬送アーム３３をＤ２方向に駆動させ、位置Ｐ２の上方まで液晶パネル１１を移動させる。
【００６０】
ステップＳ９で、搬送ハンド３３を液晶パネル１１がバックライトモジュール２３に当接するまで下降させ、各吸盤に導かれていた吸引力を停止させることによって、液晶パネル１１をバックライトモジュール２３に上載させる。これにより、ワーク２４が完成する。ステップＳ１０で、各ロボットおよび各コンベアを、待機位置で待機するように駆動させる。このとき、バックライトモジュール２３の位置Ｐ２への搬送と同時に、完成したワーク２４は、モジュール供給コンベア４によってＢ方向に搬送される。以上により、一連の処理手順が終了する。
【００６１】
次に、剥離処理手順について説明する。図１０は、保護フィルム剥離装置１の処理装置２における剥離処理手順を示すフローチャートである。なお、図１０に示すフローチャートは、２つのフロー（Ｓ２１〜Ｓ３１およびＳ３２〜Ｓ４１のフロー）に分岐しているが、左側のフロー（Ｓ２１〜Ｓ３１のフロー）は第１層の剥離ロボットＲ１または第３層の剥離ロボットＲ７の動作を示し、右側のフロー（Ｓ３２〜Ｓ４１のフロー）は第１層の剥離ロボットＲ２または第３層の剥離ロボットＲ８の動作を示す。また、第１層の剥離ロボットＲ１，Ｒ２と第３層の剥離ロボットＲ７，Ｒ８とは、液晶パネル１１の上面側の保護フィルム２２ｂを剥離するか下面側の保護フィルム２２ａを剥離するかの差異のみであり、略同様の動作を行うので、第１層の剥離ロボットＲ１，Ｒ２で代表させて剥離処理について説明する。また、図１０において、上下位置の同じ処理ステップ（例えば、ステップＳ２１とステップＳ３２、ステップＳ２６とステップＳ３６）は、処理開始を同期させて行っているものとする。
【００６２】
剥離処理開始時において、剥離ロボットＲ１，Ｒ２は、待機位置で待機状態にあるものとする（ステップＳ２０）。ステップＳ２１およびＳ３２では、剥離ハンドＨ１，Ｈ２それぞれのローラ６２の外周面６２ａを、保護フィルム２２ｂの一角部と一角部の対角位置にある他角部にそれぞれ当接させて接着させる。なお、２台の小形液晶パネル１１の場合は、一方の保護フィルム２２ｂの一角部と他方の保護フィルム２２ｂにおいて前記一角部から最も離れた他角部に、ローラ６２の外周面６２ａをそれぞれ当接させて接着させる。
【００６３】
このとき、後述する剥離ハンドＨ１，Ｈ２の移動経路Ｔ１１，Ｔ２１に沿って各ローラ６２が回転するように、剥離ハンドＨ１，Ｈ２は配置されている。接着後、移動経路Ｔ１１，Ｔ２１に沿って各剥離ハンドＨ１，Ｈ２を液晶パネル１１の表面に沿って移動させることによって、保護フィルム２２ｂの一角部および他角部がローラ６２の外周面６２ａに沿って初期剥離される。
【００６４】
ステップＳ２２およびＳ３３で、保護フィルム２２ｂの一角部および他角部がそれぞれローラ６２と第１押え片６４との間に介在されるまで剥離された時点で、各第１押え片６４をＦ２方向に駆動させて、ローラ６２と第１押え片６４とで挟持させることによって、保護フィルム２２ｂの一角部および他角部をそれぞれ剥離ハンドＨ１，Ｈ２に保持させる。
【００６５】
図１１は、ステップＳ２３およびＳ３４における剥離ロボットＲ１，Ｒ２による大形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの剥離動作を示す平面図である。図１５は、ステップＳ２３およびＳ３４における剥離ロボットＲ１，Ｒ２による小形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの剥離動作を示す平面図である。
【００６６】
ステップＳ２３およびＳ３４で、剥離ハンドＨ１，Ｈ２をそれぞれ位置Ｉ１１，Ｉ２１から位置Ｉ１２，Ｉ２２に向かって移動経路Ｔ１１，Ｔ２１に沿って移動させる。このとき、各剥離ハンドＨ１，Ｈ２は、保護フィルム２２ｂの剥離した部分が液晶パネル１１と接触しないように、液晶パネル１１から離間する方向、すなわち上方にも移動するように駆動される。
【００６７】
図１２は、ステップＳ２４およびＳ３５における剥離ロボットＲ１，Ｒ２による大形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの折り返し動作を示す平面図である。図１６は、ステップＳ２４およびＳ３５における剥離ロボットＲ１，Ｒ２による小形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの折り返し動作を示す平面図である。
【００６８】
ステップＳ２４およびＳ３５で、剥離ハンドＨ１，Ｈ２をそれぞれ位置Ｉ１２，Ｉ２２から位置Ｉ１３，Ｉ２３に向かって、平面視略４分の１円の円周である移動経路Ｔ１２，Ｔ２２に沿って移動させる。これによって、保護フィルム２２ｂの剥離部分を折り返すことができる。このとき、剥離ハンドＨ１は、液晶パネル１１から離間する方向、すなわち上方にも移動するように駆動される。逆に、剥離ハンドＨ２は、液晶パネル１１に近接する方向、すなわち下方にも移動するように駆動される。
【００６９】
これによって、図１２または図１６に示すように、剥離ハンドＨ１によって剥離された部分２２ｃ（以下、折り返し部分２２ｃという）が剥離ハンドＨ２によって剥離された部分２２ｄ（以下、折り返し部分２２ｄという）を上方から覆うことができる。
【００７０】
ステップＳ２５で、剥離ハンドＨ１を液晶パネル１１に近接する方向に下降移動させる。折り返し部分２２ｄは、ステップＳ３５による折り返しによって、粘着面が上方を臨んでいるので、剥離ハンドＨ１をこのように下降移動させることによって、折り返し部分２２ｃと折り返し部分２２ｄとを接着させることができる。
【００７１】
なお、図１２に示すように、剥離ハンドＨ１の移動位置Ｉ１３をもう一方の剥離ハンドＨ２によって剥離した保護フィルム２２ｂの折り返し部２２ｄと重複しない位置とすることで、すなわち剥離ハンドＨ１を液晶パネル１１よりも外方まで移動させることで、剥離ハンドＨ１のローラ６２と折り返し部２２ｄの粘着面とが接触することを防止することができる。
【００７２】
ステップＳ２５が完了した時点で、一角部および他角部から剥離を始めた保護フィルム２２ｂは、液晶パネル１１の中央付近において、折り返し部２２ｃと２２ｄとが接着された状態になっており、残余の部分の保護フィルム２２ｂは液晶パネル１１に貼着している状態になっている。すなわち、図１２において矢符Ｍ方向から見た場合、保護フィルム２２ｂは筒状になっている。また、図１６において矢符Ｍ方向から見た場合、２枚の保護フィルム２２ｂの折り返し部２２ｃ，２２ｄは、互いに接着してアーチ状になっている。
【００７３】
したがって、このとき剥離ハンドＨ１，Ｈ２の各第１押え片６４をＦ１方向に駆動させて保護フィルム２２ｂの挟持を解除しても、保護フィルム２２ｂは筒状またはアーチ状の状態を安定して維持することができ、以下の巻取り工程を行うことができる。
【００７４】
ステップＳ２６およびＳ３６で、剥離ハンドＨ１，Ｈ２の各第１押え片６４をＦ１方向に駆動させることによって、次工程のために剥離ハンドＨ１，Ｈ２による保護フィルム２２ｂの挟持を解除させる。ステップＳ２７およびＳ３７で、剥離ハンドＨ１，Ｈ２をそれぞれ保護フィルム２２ｂの巻取り開始位置まで移動させる。ここで、巻取り開始位置とは、剥離ハンドＨ１，Ｈ２の各円柱部材６３を筒状またはアーチ状の保護フィルム２２ｂに対して挿入させることが可能な予め定める位置のことである。
【００７５】
ステップＳ２８およびＳ３８で、剥離ハンドＨ１，Ｈ２を移動させて、円柱部材６３を筒状またはアーチ状の保護フィルム２２ｂに挿入させる。このとき、筒状またはアーチ状の内部に挿入された円柱部材６３に対し、挿入時に第２押え片６５が筒状またはアーチ状の外部に配置されるように、予めローラ６２が回転駆動されている。このようにして、円柱部材６３と第２押え片６５との間に保護フィルム２２ｂが介在されるようになるまで、円柱部材６３が挿入される。なお、筒状またはアーチ状の保護フィルム２２ｂの内面は非粘着面であるので、円柱部材６３と保護フィルム２２ｂとは接着されることなく、スムーズに挿入することができる。なお、剥離ハンドＨ１，Ｈ２の挿入位置をそれぞれＩ１４，Ｉ２４とする。
【００７６】
図１３は、ステップＳ２９およびＳ３９における剥離ロボットＲ１，Ｒ２による大形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの巻取り動作を示す平面図である。図１７は、ステップＳ２９およびＳ３９における剥離ロボットＲ１，Ｒ２による小形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの巻取り動作を示す平面図である。
【００７７】
ステップＳ２９およびＳ３９で、剥離ハンドＨ１，Ｈ２の各第２押え片６５をＧ２方向に駆動させて、円柱部材６３と第２押え片６５とで保護フィルム２２ｂを挟持させる。
【００７８】
ステップＳ３０およびＳ４０で、剥離ハンドＨ１，Ｈ２をそれぞれＩ１４，Ｉ２４からＩ１５，Ｉ２５に向かって移動経路Ｔ１３，Ｔ２３に沿って移動させる。このとき、剥離ハンドＨ１，Ｈ２における各ローラ６２の上部がそれぞれＩ１５，Ｉ２５側に回転するように回転駆動される。このようにして保護フィルム２２ｂの巻取り作業が行われる。巻取り作業が完了すると、保護フィルム２２ｂは、細い筒状にまとめられる。またこのとき、剥離ハンドＨ１，Ｈ２をそれぞれ液晶パネル１１から離間する方向にも移動させることにより、前述する保護フィルム２２ｂの残余の貼着部分を液晶パネル１１から剥離しながら巻取ることができる。
【００７９】
ステップＳ４１で、剥離ハンドＨ２の第２押え片６５をＧ１方向に駆動させることによって、保護フィルム２２ｂの挟持を解除させる。ステップＳ３１で、剥離ハンドＨ１を移動させて、細い筒状にまとめられた保護フィルム２２ｂを処理装置２から外方まで移動させる。このとき、剥離ハンドＨ２の第２押え片６５と保護フィルム２２ｂの粘着面とが接着している可能性があるが、剥離ハンドＨ１において保護フィルム２２ｂを挟持しているため、剥離ハンドＨ２の第２押え片６５から容易に剥離させて、保護フィルム２２ｂを処理装置２の外方まで移動させることができる。
【００８０】
以上で処理装置２内における液晶パネル１１からの保護フィルム２２ｂの剥離処理が完了する。なお、液晶パネル１１の裏面側に貼着されている保護フィルム２２ａに対しても、剥離ロボットＲ７，Ｒ８によって同様の剥離処理が行われ、液晶パネル１１から保護フィルム２２ａが剥離される。
【００８１】
再び図９に戻って、液晶パネル１１から剥離され、剥離ロボットＲ１，Ｒ７によって処理装置２の外方まで移動された保護フィルム２２は、ステップＳ１１で、廃棄ロボット５によって受け取られる。
【００８２】
ステップＳ１２で、フィルム廃棄ロボット５によって受け取られた保護フィルム２２を、廃棄コンベア６まで移動させて、廃棄コンベア６に上載させる。ここで、廃棄される保護フィルム２２ｂではその外周面側が粘着面になるが、保護フィルム２２ｂは細い筒状にまとまっているため、廃棄ハンド４２の固定片４３および可動片４４を充分に薄くしておくことによって、廃棄ハンド４２が保護フィルム２２ｂを固定片４３と可動片４４との間に挟持した場合であっても、保護フィルム２２ｂの粘着面と廃棄ハンド４２との接触面積が小さくなるために、保護フィルム２２ｂを廃棄ハンド４２に付着させることなく、廃棄コンベア６に上載することが可能となる。廃棄コンベア６に上載された保護フィルム２２は、Ｃ方向に搬送され、図示しない廃棄ボックス内に収容された後、廃棄される。
【００８３】
このように本実施の形態の保護フィルム剥離装置は、保護フィルムが貼着された板状体から保護フィルムを剥離するとともに、剥離後の保護フィルムを可及的に小形の形状にまとめ、周囲の装置への付着をなくして廃棄することができる。また、１台の大形液晶パネルに対してだけでなく、２台の小形液晶パネルに対しても適用することができるので、サイズの異なる複数の液晶パネルに対し段取り替えを行う必要なく保護フィルムの剥離処理を行うことができる。したがって、段取り替えによる生産効率の低下をなくすことができる。
【００８４】
以上に説明した保護フィルムの剥離処理では、同一平面内の２基の剥離ロボットによる保護フィルム剥離時の連携動作であったが、連携動作は必ずしも同一平面内である必要はなく、例えば液晶パネルの表裏に貼着されている保護フィルムの剥離に対して行っても良い。
【００８５】
図１８は、表裏両面に保護フィルム２２ａ，２２ｂが貼着された液晶パネル１１を側面から見た模式図である。ここで、表側の保護フィルム２２ｂを剥離するための剥離ハンドをＨ１１とし、裏側の保護フィルム２２ａを剥離するための剥離ハンドをＨ１２とする。剥離ハンドＨ１１，Ｈ１２は、図７に示される剥離ハンドＨ１と同様に構成され、保護フィルム２２の初期剥離および巻取りが可能な剥離ハンドである。その他の保護フィルム剥離装置の構成要素は、略保護フィルム剥離装置１と同様であるため重複する説明は省略する。
【００８６】
図１８に示す剥離開始位置において保護フィルム２２を初期剥離した剥離ハンドＨ１１，Ｈ１２を、図１９に示す位置、すなわち液晶パネル１１の端部の外方付近まで移動させる。そして、表側の保護フィルム２２ｂの上に裏側の保護フィルム２２ａを重ねることによって、表裏両面の保護フィルム２２ａ，２２ｂを一体化して固定することができる。
【００８７】
その上で図２０に示すように保護フィルム２２ａ，２２ｂの非粘着面側に剥離ハンドＨ１１，Ｈ１２の円柱部材を挿入する。そして、保護フィルム２２ａ，２２ｂを液晶パネル１１の表裏から同時に巻取っていくことによって、表裏の保護フィルム２２ａ，２２ｂを一体化して処理できるようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の実施の形態の保護フィルム剥離装置１を概略的に示す平面図である。
【図２】液晶パネル１１の断面図である。
【図３】処理装置２を概略的に示す側面図である。
【図４】処理装置２の第１層の構成を概略的に示す平面図である。
【図５】処理装置２の第２層の構成を概略的に示す平面図であり、１台の大形の液晶パネル１１を保持する場合の状態を示す図である。
【図６】処理装置２の第３層の構成を概略的に示す平面図である。
【図７】剥離ロボットＲ１に設けられる剥離ハンドＨ１の構成を概略的に示す図であり、図７（ａ）は平面図であり、図７（ｂ）は正面図である。
【図８】保護フィルム剥離装置１の制御系を説明するためのブロック図である。
【図９】保護フィルム剥離装置１全体の処理手順を示すフローチャートである。
【図１０】保護フィルム剥離装置１の処理装置２における剥離処理手順を示すフローチャートである。
【図１１】剥離ロボットＲ１，Ｒ２による大形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの剥離動作を示す平面図である。
【図１２】剥離ロボットＲ１，Ｒ２による大形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの折り返し動作を示す平面図である。
【図１３】剥離ロボットＲ１，Ｒ２による大形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの巻取り動作を示す平面図である。
【図１４】処理装置２の第２層の構成を概略的に示す平面図であり、２台の小形の液晶パネル１１を保持する場合の状態を示す図である。
【図１５】剥離ロボットＲ１，Ｒ２による小形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの剥離動作を示す平面図である。
【図１６】剥離ロボットＲ１，Ｒ２による小形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの折り返し動作を示す平面図である。
【図１７】剥離ロボットＲ１，Ｒ２による小形液晶パネル１１の保護フィルム２２ｂの巻取り動作を示す平面図である。
【図１８】表裏両面に保護フィルム２２ａ，２２ｂが貼着された液晶パネル１１を側面から見た模式図である。
【図１９】剥離ハンドＨ１１，Ｈ１２によって保護フィルム２２ａ，２２ｂの端部を接着させる状態を示す側面図である。
【図２０】保護フィルム２２ａ，２２ｂの非粘着面側に剥離ハンドＨ１１，Ｈ１２の円柱部材を挿入した状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８９】
１  保護フィルム剥離装置
２  処理装置
３  パネル供給コンベア
４  モジュール供給コンベア
５  フィルム廃棄ロボット
６  廃棄コンベア
７  パネル搬送装置
１１  液晶パネル
２２  保護フィルム
２３  バックライトモジュール
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ７，Ｒ８  剥離ロボット
Ｒ３〜Ｒ６  保持ロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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