(57)【要約】【課題】ユーザプログラムに対する不正な行為を防止可能な製造装置を提供する。【解決手段】被処理基板への半導体プロセスを行う製造装置３０であり、ユーザが編集可能なユーザプログラムが記憶されるユーザプログラム記憶部１１、ユーザプログラムへの操作指示情報を受け付ける入力受付部１２、操作指示情報に応じてユーザプログラムへの操作を行う操作部１３、読み出されたユーザプログラムを表示する表示部１４、ユーザ識別情報が記憶されるユーザ識別情報記憶部１６、操作ログ情報記憶部１８、操作部１３によるユーザプログラムへの操作を示す操作情報と、その操作の時間に関する時間情報と、ユーザ識別情報とを含む操作ログ情報を操作ログ情報記憶部１８に蓄積する操作ログ情報蓄積部１７を備える。操作指示情報は、ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示すものでありうる。【選択図】図３
2009054674.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置であって、
ユーザが編集可能なプログラムであって、当該プログラムを識別する情報であるプログラム識別情報と対応付けられているプログラムであるユーザプログラムが記憶されるユーザプログラム記憶部と、
前記ユーザプログラムに対する操作を指示する情報である操作指示情報の入力を受け付ける入力受付部と、
前記入力受付部が受け付けた操作指示情報に応じて、前記ユーザプログラムに対する操作を行う操作部と、
前記操作部が読み出したユーザプログラムを表示する表示部と、
前記操作指示情報を入力したユーザを識別する情報であるユーザ識別情報が記憶されるユーザ識別情報記憶部と、
前記操作部によるユーザプログラムに対する操作を示す情報である操作情報を少なくとも含む情報である操作ログ情報が記憶される操作ログ情報記憶部と、
前記操作部によるユーザプログラムに対する操作を示す情報であり、操作対象のユーザプログラムを識別するプログラム識別情報を含む情報である操作情報と、当該操作のなされた時間に関する情報である時間情報と、前記ユーザ識別情報記憶部で記憶されているユーザ識別情報とを含む操作ログ情報を前記操作ログ情報記憶部に蓄積する操作ログ情報蓄積部と、を備え、
前記操作指示情報は、前記ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報を含む、製造装置。
【請求項２】
前記ユーザプログラムは、前記製造装置の用いるレシピ、マクロプログラム、前記半導体プロセスで用いられるパラメータ、前記製造装置で用いられる異常検知プログラムの少なくともいずれかを含むものである、請求項１記載の製造装置。
【請求項３】
前記入力受付部は、前記操作指示情報を入力するユーザを識別するユーザ識別情報の入力をも受け付けるものであり、
前記入力受付部が受け付けたユーザ識別情報を前記ユーザ識別情報記憶部に蓄積するユーザ識別情報蓄積部をさらに備えた、請求項１または請求項２記載の製造装置。
【請求項４】
前記操作指示情報は、読み出された前記ユーザプログラムの参照の終了を示す操作指示情報を含む、請求項１から請求項３のいずれか記載の製造装置。
【請求項５】
前記表示部は、前記入力受付部が前記ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報を受け付けた際に、当該操作指示情報に関する操作ログ情報が蓄積されることを示す情報であるログ蓄積情報をも表示する、請求項１から請求項４のいずれか記載の製造装置。
【請求項６】
不正な行為の疑いのある操作に関する条件である疑問操作条件が記憶される疑問操作条件記憶部と、
前記疑問操作条件を用いて、前記操作ログ情報から、不正な行為の疑いのある操作である疑問操作を検出する疑問操作検出部と、
前記疑問操作検出部が検出した疑問操作に関する情報である疑問操作情報を出力する疑問操作情報出力部と、をさらに備えた請求項１から請求項５のいずれか記載の製造装置。
【請求項７】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置で用いられる、ユーザが編集可能なプログラムであって、当該プログラムを識別する情報であるプログラム識別情報と対応付けられているプログラムであるユーザプログラムが記憶されるユーザプログラム記憶部と、入力受付部と、操作部と、表示部と、操作指示情報を前記入力受付部に入力したユーザを識別する情報であるユーザ識別情報が記憶されるユーザ識別情報記憶部と、前記操作部によるユーザプログラムに対する操作を示す情報である操作情報を少なくとも含む情報である操作ログ情報が記憶される操作ログ情報記憶部と、操作ログ情報蓄積部とを用いて処理される操作ログ蓄積方法であって、
前記入力受付部が、前記ユーザプログラムに対する操作を指示する情報である操作指示情報の入力を受け付ける入力受付ステップと、
前記操作部が、前記入力受付ステップで受け付けた操作指示情報に応じて、前記ユーザプログラムに対する操作を行う操作ステップと、
前記表示部が、前記操作ステップで読み出したユーザプログラムを表示する表示ステップと、
前記操作ログ情報蓄積部が、前記操作ステップでのユーザプログラムに対する操作を示す情報であり、操作対象のユーザプログラムを識別するプログラム識別情報を含む情報である操作情報と、当該操作のなされた時間に関する情報である時間情報と、前記ユーザ識別情報記憶部で記憶されているユーザ識別情報とを含む操作ログ情報を前記操作ログ情報記憶部に蓄積する操作ログ情報蓄積ステップと、を備え、
前記操作指示情報は、前記ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報を含む、操作ログ蓄積方法。
【請求項８】
コンピュータを、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置として機能させるためのプログラムであって、
ユーザが編集可能なプログラムであって、当該プログラムを識別する情報であるプログラム識別情報と対応付けられているプログラムであるユーザプログラムに対する操作を指示する情報である操作指示情報の入力を受け付ける入力受付部と、
前記入力受付部が受け付けた操作指示情報に応じて、前記ユーザプログラムに対する操作を行う操作部と、
前記操作部が読み出したユーザプログラムを表示する表示部と、
前記操作部によるユーザプログラムに対する操作を示す情報であり、操作対象のユーザプログラムを識別するプログラム識別情報を含む情報である操作情報と、当該操作のなされた時間に関する情報である時間情報と、前記操作指示情報を入力したユーザを識別する情報であるユーザ識別情報とを含む操作ログ情報を操作ログ情報記憶部に蓄積する操作ログ情報蓄積部として機能させ、
前記操作指示情報は、前記ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報を含む、プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置等に関し、特にユーザプログラムへの操作に関するログを記録するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置を操作する際に、ユーザ認証を行うことによって、半導体製造装置のセキュリティーを担保していた（例えば、特許文献１参照）。
なお、関連する技術として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置が知られていた（特許文献２、特許文献３参照）。
【０００３】
また、関連する技術として、半導体製造装置における規格外れの不良ウエハを検知するために、装置ログデータを記憶し、その装置ログデータを用いて、異常を検知する方法が知られている（例えば、特許文献４参照）。
【特許文献１】特開２００２−２７５６７号公報
【特許文献２】特許３５４３９９６号公報
【特許文献３】特開２００２−２５９９７号公報
【特許文献４】国際公開第２００５／０４５９０７号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う半導体製造装置等の製造装置において、製造装置のユーザが編集可能なプログラムであるユーザプログラムが用いられている。ユーザプログラムの一例としては、レシピやマクロプログラム、半導体プロセスで用いられるパラメータ、製造装置で用いられる異常検知プログラム等がある。そのようなユーザプログラムは、一般に半導体プロセスにおける高度なノウハウを含んでおり、漏洩することを防止したいという要請がある。そのために、前述のようにユーザ認証によってユーザプログラムにアクセスできるユーザを制限していた。
【０００５】
しかしながら、ユーザプログラムへのアクセス権限を有するユーザがユーザプログラムにアクセスして、そのユーザプログラムに対して行う不正な行為、例えば、データを持ち出すための着脱可能な記録媒体にユーザプログラムをコピーする行為や、ユーザプログラムの重要な部分を手書きで複写する行為等を有効に防止することができていなかった。
【０００６】
したがって、そのような不正な行為によって漏洩したユーザプログラムが、他国の製造装置で用いられたり、他社の製造装置で用いられたり、あるいは、契約終了後の製造装置で用いられたりするという問題があった。
【０００７】
また、ユーザプログラムが漏洩したとしても、どのような経路で、誰がどのユーザプログラムを漏洩させたのかを把握することが困難であるという問題もあった。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、ユーザプログラムの漏洩を抑止することができ、また、漏洩した場合のトレースが可能となりうる製造装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明による製造装置は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置であって、ユーザが編集可能なプログラムであって、当該プログラムを識別する情報であるプログラム識別情報と対応付けられているプログラムであるユーザプログラムが記憶されるユーザプログラム記憶部と、前記ユーザプログラムに対する操作を指示する情報である操作指示情報の入力を受け付ける入力受付部と、前記入力受付部が受け付けた操作指示情報に応じて、前記ユーザプログラムに対する操作を行う操作部と、前記操作部が読み出したユーザプログラムを表示する表示部と、前記操作指示情報を入力したユーザを識別する情報であるユーザ識別情報が記憶されるユーザ識別情報記憶部と、前記操作部によるユーザプログラムに対する操作を示す情報である操作情報を少なくとも含む情報である操作ログ情報が記憶される操作ログ情報記憶部と、前記操作部によるユーザプログラムに対する操作を示す情報であり、操作対象のユーザプログラムを識別するプログラム識別情報を含む情報である操作情報と、当該操作のなされた時間に関する情報である時間情報と、前記ユーザ識別情報記憶部で記憶されているユーザ識別情報とを含む操作ログ情報を前記操作ログ情報記憶部に蓄積する操作ログ情報蓄積部と、を備え、前記操作指示情報は、前記ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報を含む、ものである。
【００１０】
このような構成により、ユーザプログラムに対する操作に関する操作ログ情報を記録することができる。したがって、どのような操作がユーザプログラムに対してなされたのかを知ることができ、ユーザによる不正な行為を検出することができうる。特に、ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報についても、操作ログ情報が記憶されることにより、操作ログ情報を用いることによって、ユーザプログラムが、どのユーザによって参照されたのかを知ることができ、参照による漏洩についても把握することができうる。また、操作ログ情報を記録することによって、ユーザによる不正な行為を抑止する効果も期待できる。
【００１１】
また、本発明による製造装置では、前記ユーザプログラムは、前記製造装置の用いるレシピ、マクロプログラム、前記半導体プロセスで用いられるパラメータ、前記製造装置で用いられる異常検知プログラムの少なくともいずれかを含むものであってもよい。
このような構成により、レシピや、マクロプログラム、パラメータ、異常検知プログラム等へのユーザの操作を記録することができる。
【００１２】
また、本発明による製造装置では、前記入力受付部は、前記操作指示情報を入力するユーザを識別するユーザ識別情報の入力をも受け付けるものであり、前記入力受付部が受け付けたユーザ識別情報を前記ユーザ識別情報記憶部に蓄積するユーザ識別情報蓄積部をさらに備えてもよい。
【００１３】
このような構成により、例えば、ログイン時に入力されたユーザ識別情報を蓄積することによって、ログイン中のユーザを識別するユーザ識別情報がユーザ識別情報記憶部で記憶されるようになる。その結果、操作指示情報を入力するユーザを識別するユーザ識別情報が、ユーザ識別情報記憶部で記憶されているようにすることができうる。
【００１４】
また、本発明による製造装置では、前記操作指示情報は、読み出された前記ユーザプログラムの参照の終了を示す操作指示情報を含んでもよい。
このような構成により、ユーザがユーザプログラムを参照していた期間を特定することが可能となる。その結果、例えば、あまりにも長い期間にわたってユーザプログラムを参照していたことが操作ログ情報によってわかった場合には、何らかの不正が行われていたのではないかと推察することができうる。
【００１５】
また、本発明による製造装置では、前記表示部は、前記入力受付部が前記ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報を受け付けた際に、当該操作指示情報に関する操作ログ情報が蓄積されることを示す情報であるログ蓄積情報をも表示してもよい。
【００１６】
このような構成により、ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作に関するログが記録されていることをユーザに知らせることができ、ユーザによる不正な行為を効果的に抑止することができるようになると考えられる。
【００１７】
また、本発明による製造装置では、不正な行為の疑いのある操作に関する条件である疑問操作条件が記憶される疑問操作条件記憶部と、前記疑問操作条件を用いて、前記操作ログ情報から、不正な行為の疑いのある操作である疑問操作を検出する疑問操作検出部と、前記疑問操作検出部が検出した疑問操作に関する情報である疑問操作情報を出力する疑問操作情報出力部と、をさらに備えてもよい。
【００１８】
このような構成により、記録された操作ログ情報から、不正な行為の疑いのある操作を自動的にピックアップすることができ、ユーザが操作ログ情報を参照して、不正な行為の疑いのある操作を手動で検出する作業を行わなくてよいことになる。その結果、ユーザの負担を軽減することができ、また、大量の操作ログ情報からの不正な行為の疑いのある操作の検出も容易に行うことができるようになる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明による製造装置等によれば、ユーザプログラムに対する操作のログを記録することができる。そのログを記録することによって、ユーザプログラムへのアクセス権限を有するユーザによる不正な行為等を抑止することができうる。また、記録されたログを用いることによって、不正な行為を検出することもでき、また、その行為が誰によって行われたのかなどの不正な行為のトレースを行うこともできうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明による群管理システムについて、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素及びステップは同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。
【００２１】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図１において、本実施の形態による群管理システムは、サーバ装置１０と、クライアント装置２０と、Ｎ個の製造装置３０とを備える。ここで、Ｎは、１または２以上の整数である。群管理システムにおいて、サーバ装置１０、クライアント装置２０、１以上の製造装置３０は、有線または無線の通信回線を介して互いに通信可能なように接続されている。その通信回線は、例えば、インターネットやイントラネット、公衆電話回線網等である。
【００２２】
サーバ装置１０は、１以上の製造装置３０における各種の測定情報を格納可能なものである。また、サーバ装置１０は、クライアント装置２０からの要求に応じて処理を実行し、その処理結果を適宜、クライアント装置２０に送信する。
【００２３】
製造装置３０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う装置である。製造装置３０は、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置、プラズマ表示パネル製造装置等である。被処理基板は、例えば、半導体ウエハやＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）基板等である。ＦＰＤ基板は、例えば、ガラス基板等である。なお、製造装置３０が実行する被処理基板に対する所定の半導体プロセスは、少なくとも半導体に関するプロセスを含むものであれば、その前工程や後工程等を含んでもよく、あるいは、含まなくてもよい。製造装置３０が被処理基板に対して行う処理は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等であってもよい。
【００２４】
クライアント装置２０は、サーバ装置１０あるいは製造装置３０に対する各種の処理を要求する。また、クライアント装置２０は、それらの処理の要求に対する処理結果を受け付ける。
【００２５】
製造装置３０は、例えば、上述の特許文献２、または特許文献３等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。製造装置３０の例を図２に示す。製造装置３０は、ローディング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気としてＮ２ガスが供給・真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた装置である。製造装置３０は、被処理体であるウエハＷに所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブａと、このプロセスチューブ（処理室）ａに対して多数枚、例えば１００枚のウエハＷを収納した保持体としてのウエハボート（保持対）ｆを挿脱する移送機構ｇを備えたローディング室としてのロードロック室ｈと、このロードロック室ｈに対してウエハＷを搬出入する搬出入室ａｂと、この搬出入室ａｂに形成されたカセット収容容器用ポートａｃと、このポートａｃに載置されたカセット収容容器ａｄを搬出入室ａｂ内に取り込む取り込み手段ａｅと、取り込んだカセット収容容器ａｄを一時的に保管する容器保管ステージａｆと、カセット収容容器ａｄ内に収容されたカセットＣを取り出すカセット取り出しステージａｇと、搬出入室ａｂ内にてカセット収容容器ａｄの受け渡しを行う容器移載手段ａｈと、ロードロック室ｈと搬出入室ａｂとの間に配置されるウエハボートｆを収容する保持体収容室ａｉとで主要部が構成されている。なお、図２の製造装置３０の例における、その他の部位、及び動作については、公知技術（特許文献２参照）であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置３０を構成するチャンバーとして、特許文献３の図１におけるチャンバーが好適である。また、製造装置３０は、図２で示される以外のものであってもよいことは言うまでもない。また、製造装置３０は、例えば、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する情報であるレシピを保持しており、そのレシピを用いてプロセス制御等を実行する。
【００２６】
次に、本実施の形態による製造装置３０の構成について、図３のブロック図を用いて説明する。なお、図３のブロック図では、本実施の形態による群管理システムにおいて特徴的な部分のみを明記しており、その他の部分は省略しているが、製造装置３０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する処理を実行する構成、例えば、被処理基板を搬送する構成や、製造工程での温度や圧力等をサーバ装置１０に送信する構成等を有していてもよい。
【００２７】
図３で示されるように、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置３０は、ユーザプログラム記憶部１１と、入力受付部１２と、操作部１３と、表示部１４と、ユーザ識別情報蓄積部１５と、ユーザ識別情報記憶部１６と、操作ログ情報蓄積部１７と、操作ログ情報記憶部１８と、操作ログ情報取得部１９とを備える。
【００２８】
ユーザプログラム記憶部１１では、ユーザプログラムが記憶される。このユーザプログラムは、ユーザが編集可能なプログラムである。また、このユーザプログラムは、そのプログラムを識別する情報であるプログラム識別情報と対応付けられているものとする。プログラム識別情報は、例えば、プログラムの名称であってもよく、プログラムのＩＤ番号であってもよく、プログラムを識別できる情報であれば、その内容を問わない。ユーザプログラムに対応付けられているプログラム識別情報は、ユーザプログラム記憶部１１において記憶されていてもよく、他の構成要素等において管理されていてもよい。
【００２９】
ユーザプログラムは、製造装置３０の用いるレシピ、マクロプログラム、半導体プロセスで用いられるパラメータ、製造装置３０で用いられる異常検知プログラムの少なくともいずれかを含むものであってもよい。レシピとは、製造装置３０の設定に関する情報を含む情報である。レシピは、例えば、製造装置３０のプロセスに関する情報であってもよく、製造装置３０のレイアウトに関する情報であってもよく、あるいは、製造装置３０のその他の設定に関する情報であってもよい。マクロプログラムとは、製造装置３０における所望の処理を自動的に実行させるために用いられるプログラムである。パラメータは、例えば、製造装置３０における半導体プロセスで用いられる温度や時間等の設定値であってもよく、製造装置３０で用いられるその他の値であってもよい。異常検知プログラムとは、例えば、前述の特許文献４で記載されているような、製造装置３０での各種の異常を検知するプログラムである。その異常を検知するための様々なしきい値等をユーザが編集することができうる。また、ユーザプログラムは、製造装置３０の半導体プロセス等で用いられる一連のプログラムの一部を構成するものであってもよい。
【００３０】
ユーザプログラム記憶部１１に情報が記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介して情報がユーザプログラム記憶部１１で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信された情報がユーザプログラム記憶部１１で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力された情報がユーザプログラム記憶部１１で記憶されるようになってもよい。また、ユーザプログラム記憶部１１において、ユーザプログラム以外の情報が記憶されていてもよい。すなわち、ユーザが編集可能でない、半導体プロセスで用いられるプログラム等がユーザプログラム記憶部１１で記憶されていてもよい。
【００３１】
ユーザプログラム記憶部１１での記憶は、外部のストレージデバイス等から読み出したユーザプログラムのＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。ユーザプログラム記憶部１１は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。
【００３２】
入力受付部１２は、ユーザプログラムに対する操作を指示する情報である操作指示情報の入力を受け付ける。ユーザプログラムに対する操作とは、例えば、ユーザプログラムを読み出す操作や、ユーザプログラムを書き込む操作等である。この操作に、ユーザプログラムを実行する操作が含まれてもよく、含まれなくてもよい。この操作指示情報は、例えば、ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報（例えば、Ｏｐｅｎ、Ｓｈｏｗ、Ｖｉｅｗ等）を含んでもよく、読み出されたユーザプログラムの参照の終了を示す操作指示情報（例えば、Ｃｌｏｓｅ、Ｖｉｅｗ＿ｆｉｎｉｓｈ等）を含んでもよく、ユーザプログラムを削除する操作を示す操作指示情報（例えば、Ｄｅｌｅｔｅ等）を含んでもよく、新たなユーザプログラムを作成する操作を示す操作指示情報（例えば、Ｃｒｅａｔｅ等）を含んでもよく、ユーザプログラムを変更する操作を示す操作指示情報（例えば、Ｃｈａｎｇｅ、Ｍｏｄｉｆｙ等）を含んでもよく、ユーザプログラムを他のユーザが操作できないようにロックする操作を示す操作指示情報（例えば、Ｌｏｃｋ等）を含んでもよく、そのロックを解除する操作を示す操作指示情報（例えば、Ｕｎｌｏｃｋ等）を含んでもよい。読み出されたユーザプログラムの参照の終了を示す操作指示情報は、後述する表示部１４によって表示されているユーザプログラムの表示の終了を指示するものである。なお、後述するように、表示部１４が表示対象を送信し、その送信先の装置において表示対象が表示される場合には、表示の終了の操作を操作部１３が行わなくても、表示が終了される場合もある。そのような場合であっても、その送信先の装置から、読み出されたユーザプログラムの参照の終了を示す操作指示情報が入力受付部１２に入力されることが好適である。
【００３３】
入力受付部１２は、操作指示情報を入力するユーザを識別するユーザ識別情報の入力をも受け付けてもよい。ユーザ識別情報は、例えば、ユーザの氏名でもよく、ユーザのＩＤ番号（例えば、社員番号等）でもよく、ユーザを識別できる情報であれば、その内容を問わない。本実施の形態では、入力受付部１２がユーザ識別情報の入力をも受け付ける場合について説明する。また、入力受付部１２は、後述する操作ログ情報取得部１９による操作ログ情報の取得の指示に関する入力を受け付けてもよい。さらに、入力受付部１２は、ここで説明した以外の入力を受け付けるものであってもよい。
【００３４】
入力受付部１２は、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された情報を受け付けてもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報を受信してもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された情報を受け付けてもよい。なお、入力受付部１２は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、入力受付部１２は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００３５】
操作部１３は、入力受付部１２が受け付けた操作指示情報に応じて、ユーザプログラムに対する操作を行う。この操作は、前述のように、ユーザプログラム記憶部１１からユーザプログラムを読み出したり、ユーザプログラムを書き込んだりする操作である。また、操作部１３は、読み出したユーザプログラムを後述する表示部１４に渡して、そのユーザプログラムを表示させる操作をしてもよい。また、操作部１３は、読み出したユーザプログラムを、ユーザプログラム記憶部１１とは異なる記録媒体に蓄積する操作をしてもよい。これらの操作も、例えば、表示部１４の有するＶＲＡＭ等にユーザプログラムを書き込む操作や、他の記録媒体にユーザプログラムを書き込む操作等であるため、ユーザプログラムを書き込む操作に含まれることになる。なお、操作部１３が行う操作は、ユーザがユーザプログラムを参照するために、ユーザプログラムを表示する操作のみであってもよい。
【００３６】
表示部１４は、操作部１３が読み出したユーザプログラムを表示する。この表示は、結果として表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）に表示対象が表示されるのであれば、その過程を問わない。例えば、表示部１４は、表示部１４自身の有する表示デバイスに表示対象を表示してもよく、表示部１４の有さない外部の表示デバイスに表示対象を表示してもよい。また、表示部１４は、表示対象を外部の装置に送信し、その装置において、その表示対象が表示デバイスに表示されてもよい。このように、表示部１４は、表示を行う表示デバイスを含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、表示部１４は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは表示デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。また、表示部１４は、後述する操作ログ情報取得部１９が取得した操作ログ情報を表示してもよい。さらに、表示部１４は、ここで説明した以外の表示対象を表示するものであってもよい。
【００３７】
また、表示部１４は、入力受付部１２がユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報を受け付けた際に、ログ蓄積情報をも表示してもよい。ここで、ログ蓄積情報とは、その操作指示情報に関する操作ログ情報が蓄積されることを示す情報である。操作指示情報に関する操作ログ情報とは、その操作指示情報に応じて、操作部１３によって行われる操作に関する操作ログ情報である。その操作ログ情報によって、操作指示情報に応じた操作が操作部１３によって行われたことが示されることになる。操作ログ情報については後述する。
【００３８】
このようなログ蓄積情報が表示されることによって、ユーザプログラムに対する操作を行っているユーザは、操作に関するログが蓄積されていることを知ることになる。その結果、そのログ蓄積情報を見たユーザによる不正な行為、例えば、ユーザプログラムのデータをコピーしたり、ユーザプログラムの内容の一部または全部を紙媒体等に書き写したりする行為を抑止することができうる。
【００３９】
なお、ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報以外の操作指示情報を入力受付部１２が受け付けた場合にも、表示部１４がログ蓄積情報を表示してもよい。また、例えば、このログ蓄積情報が図示しない記録媒体において記憶されており、表示部１４は、ログ蓄積情報を表示するタイミングで、そのログ蓄積情報を読み出して表示してもよい。または、例えば、表示部１４は、ログ蓄積情報を表示するタイミングで、そのログ蓄積情報を構成して、その構成したログ蓄積情報を表示してもよい。
【００４０】
ユーザ識別情報蓄積部１５は、入力受付部１２が受け付けたユーザ識別情報をユーザ識別情報記憶部１６に蓄積する。例えば、ユーザのログイン時に入力受付部１２が受け付けたユーザ識別情報がユーザ識別情報蓄積部１５によってユーザ識別情報記憶部１６に蓄積されてもよい。なお、ユーザのログアウト時には、そのユーザ識別情報がユーザ識別情報記憶部１６から削除されてもよい。
【００４１】
ユーザ識別情報記憶部１６は、操作指示情報を入力したユーザを識別する情報であるユーザ識別情報が記憶される。本実施の形態では、ユーザ識別情報蓄積部１５によって、ユーザ識別情報がユーザ識別情報記憶部１６に蓄積される場合について説明するが、そうでなくてもよい。例えば、あらかじめユーザ識別情報の記憶されている着脱可能な記録媒体が製造装置３０に装着されることによって、ユーザ識別情報記憶部１６が構成されてもよい。
【００４２】
ユーザ識別情報記憶部１６での記憶は、外部のストレージデバイス等から読み出したユーザ識別情報のＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。また、ユーザ識別情報記憶部１６は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。
【００４３】
操作ログ情報蓄積部１７は、操作ログ情報を操作ログ情報記憶部１８に蓄積する。ここで、操作ログ情報は、操作部１３によるユーザプログラムに対する操作を示す情報であり、操作対象のユーザプログラムを識別するプログラム識別情報を含む情報である操作情報と、その操作のなされた時間に関する情報である時間情報と、ユーザ識別情報記憶部１６で記憶されているユーザ識別情報とを含む情報である。
【００４４】
操作情報は、操作部１３によって行われた操作内容を特定することができる情報と、操作対象のユーザプログラムを特定する情報とを含むものである。なお、操作情報に含まれる、操作対象のユーザプログラムを識別するプログラム識別情報は、一のプログラム識別情報を識別するものでなく、二以上のユーザプログラムを識別するものであってもよい。例えば、すべてのユーザプログラムが操作対象となる場合に、操作情報に「Ａｌｌ」が含まれることによって、すべてのユーザプログラムが操作対象であることが示されてもよい。また、その操作情報は、例えば、操作内容に対応した番号や記号等を含んでいてもよい。また、操作情報は、操作を指示する操作指示情報と同じであってもよく、あるいは、異なっていてもよい。
【００４５】
時間情報は、操作のなされた時刻を示す情報であってもよく、操作のなされた期間を示す情報であってもよい。また、操作のなされた時刻や期間は、例えば、操作部１３が操作をした厳密な時刻や期間であってもよく、あるいは、その操作を指示する操作指示情報を入力受付部１２が受け付けた時刻や期間であってもよい。入力受付部１２が操作指示情報を受け付けてから操作部１３が操作を行うためのタイムラグは非常に短いと考えられるからである。また、時間情報は、操作のなされた年、月、日、曜日のうち、任意の１以上の情報を含んでもよい。また、時間情報は、結果として操作のなされた時間を知ることができる情報であれば、その内容を問わない。例えば、１分おきに操作ログ情報を蓄積している場合には、操作のなされた時刻が操作ログ情報に含まれなくても、ある操作をしていることが１０回連続で記録された場合には、１０分間連続でその操作をしていたと推定することができる。したがって、その場合には、１０回連続でその操作をしていることが記録されたことが時間情報となりうる。
操作ログ情報に含まれるユーザ識別情報は、その操作ログ情報に含まれる操作情報で示される操作を行っているユーザを識別するユーザ識別情報である。
【００４６】
操作ログ情報記憶部１８では、操作部１３によるユーザプログラムに対する操作を示す情報である操作情報を少なくとも含む情報である操作ログ情報が記憶される。この操作ログ情報は、操作ログ情報蓄積部１７によって蓄積されたものである。操作ログ情報記憶部１８は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。
【００４７】
操作ログ情報取得部１９は、入力受付部１２が操作ログ情報を表示する指示の入力を受け付けた場合に、操作ログ情報記憶部１８から操作ログ情報を取得する。なお、操作ログ情報を表示する指示において、その表示する範囲（例えば、ログに関する時期や、ユーザ識別情報等）が限定されている場合には、操作ログ情報取得部１９は、その限定されている範囲に応じて操作ログ情報を取得してもよい。この操作ログ情報取得部１９によって取得された操作ログ情報は、前述のように、表示部１４によって表示されることになる。
【００４８】
なお、本実施の形態では、操作ログ情報取得部１９が取得した操作ログ情報が表示される場合について説明するが、操作ログ情報取得部１９が取得した操作ログ情報が、図示しない出力部によって出力されてもよい。ここで、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、スピーカによる音声出力でもよく、記録媒体への蓄積でもよい。なお、その図示しない出力部は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、その図示しない出力部は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４９】
また、ユーザプログラム記憶部１１と、ユーザ識別情報記憶部１６と、操作ログ情報記憶部１８とは、同一の記録媒体によって実現されてもよく、あるいは、別々の記録媒体によって実現されてもよい。前者の場合には、例えば、ユーザプログラムを記憶している領域がユーザプログラム記憶部１１となり、ユーザ識別情報を記憶している領域がユーザ識別情報記憶部１６となり、操作ログ情報を記憶している領域が操作ログ情報記憶部１８となる。
【００５０】
次に、本実施の形態による製造装置３０の動作について、図４のフローチャートを用いて説明する。
（ステップＳ１０１）入力受付部１２は、ユーザ識別情報の入力を受け付けたかどうか判断する。そして、受け付けた場合には、ステップＳ１０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０３に進む。
【００５１】
（ステップＳ１０２）ユーザ識別情報蓄積部１５は、入力受付部１２が受け付けたユーザ識別情報をユーザ識別情報記憶部１６に蓄積する。入力受付部１２がユーザ識別情報を受け付けた際に、ユーザ識別情報記憶部１６において別のユーザ識別情報が記憶されている場合には、ユーザ識別情報蓄積部１５は、新たなユーザ識別情報を上書きで蓄積してもよい。また、このユーザ識別情報の蓄積は、例えば、あらかじめユーザ識別情報記憶部１６で記憶されている２以上のユーザ識別情報のうち、入力受付部１２が受け付けたユーザ識別情報と同じユーザ識別情報に対して、フラグを設定することであってもよい。そして、ステップＳ１０１に戻る。
【００５２】
（ステップＳ１０３）入力受付部１２は、操作指示情報の入力を受け付けたかどうか判断する。そして、受け付けた場合には、ステップＳ１０４に進み、そうでない場合には、ステップＳ１１１に進む。
（ステップＳ１０４）操作部１３は、入力受付部１２が受け付けた操作指示情報に応じた操作を行う。
【００５３】
（ステップＳ１０５）表示部１４は、ステップＳ１０４における操作部１３による操作に応じて、表示対象を表示するかどうか判断する。例えば、操作部１３による操作に応じた表示が必要な場合には、表示部１４は、表示対象を表示すると判断してもよい。そして、表示する場合には、ステップＳ１０６に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０７に進む。
（ステップＳ１０６）表示部１４は、操作部１３による操作に応じた表示を行う。この表示の際に、ログ蓄積情報も表示してもよい。
【００５４】
（ステップＳ１０７）操作ログ情報蓄積部１７は、操作部１３による操作に応じた操作情報を構成する。操作ログ情報蓄積部１７は、例えば、操作部１３から操作を識別する情報と、操作対象のユーザプログラムを識別するプログラム識別情報とを受け取って、それらの情報を含む操作情報を構成してもよい。その操作情報の構成は、単なる操作情報の読み出しや受け取りであってもよい。
【００５５】
（ステップＳ１０８）操作ログ情報蓄積部１７は、時間情報を構成する。操作ログ情報蓄積部１７は、例えば、図示しない時計から時刻を受け取って、その時刻を示す時間情報を構成してもよい。その時計は、操作ログ情報蓄積部１７が有していてもよく、そうでなくてもよい。
【００５６】
（ステップＳ１０９）操作ログ情報蓄積部１７は、ユーザ識別情報記憶部１６からユーザ識別情報を読み出す。ユーザ識別情報記憶部１６で２以上のユーザ識別情報が記憶されている場合には、入力受付部１２で受け付けられた操作指示情報を入力したユーザを識別するユーザ識別情報を読み出すものとする。例えば、ログイン中のユーザのユーザ識別情報を読み出してもよい。
【００５７】
（ステップＳ１１０）操作ログ情報蓄積部１７は、操作情報と、時間情報と、ユーザ識別情報とを含む操作ログ情報を操作ログ情報記憶部１８に蓄積する。そして、ステップＳ１０１に戻る。
【００５８】
（ステップＳ１１１）入力受付部１２は、操作ログ情報を表示する指示の入力を受け付けたかどうか判断する。そして、その入力を受け付けた場合には、ステップＳ１１２に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０１に戻る。
【００５９】
（ステップＳ１１２）操作ログ情報取得部１９は、操作ログ情報記憶部１８から操作ログ情報を取得する。
（ステップＳ１１３）表示部１４は、操作ログ情報取得部１９が取得した操作ログ情報を表示する。そして、ステップＳ１０１に戻る。
【００６０】
なお、図４のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。また、図４のフローチャートは、製造装置３０の動作のうち、操作ログ情報に関する操作のみを示したものであり、半導体プロセス等に関する処理は省略している。
【００６１】
次に、本実施の形態による製造装置３０の動作について、具体例を用いて説明する。
まず、製造装置３０のユーザが、製造装置３０に接続されているキーボードやマウス等の入力デバイスを操作することにより、製造装置３０へのログインの画面を製造装置３０の表示ディスプレイに表示させたとする。そして、そのログインの画面において、図５で示されるように、ユーザ識別情報「Ｕ００１」と、パスワードとを入力して「ＯＫ」ボタンをクリックしたとする。すると、そのユーザ識別情報「Ｕ００１」と、パスワードとは入力受付部１２で受け付けられ（ステップＳ１０１）、図示しない認証部によって認証される。その認証によって正当であると判断されたとすると、ユーザ識別情報蓄積部１５は、その受け付けられたユーザ識別情報「Ｕ００１」をユーザ識別情報記憶部１６に蓄積する（ステップＳ１０２）。
【００６２】
次に、そのユーザが、図６で示されるように、ユーザプログラムに対する操作の入力受付画面を製造装置３０の表示ディスプレイに表示させたとする。そして、その操作入力受付画面において、操作対象「レシピ００１」をクリックして選択し、操作内容「参照」をクリックして選択したとする。その後、ユーザが「ＯＫ」ボタンをクリックすると、ユーザプログラム「レシピ００１」を「参照」する旨の操作指示情報が入力受付部１２で受け付けられる（ステップＳ１０３）。ここで、ユーザプログラム記憶部１１では、図７で示されるように、ユーザプログラム「レシピ００１」「レシピ００２」等が記憶されているものとする。なお、ここでは、ユーザプログラムの名称（例えば、レシピ００１等）が、ユーザプログラムを識別するプログラム識別情報であるとする。
【００６３】
すると、操作部１３は、入力受付部１２が受け付けた操作指示情報に応じて、ユーザプログラム記憶部１１を検索し、ユーザプログラム「レシピ００１」を読み出して、表示部１４に渡す（ステップＳ１０４）。その結果、表示部１４は、そのユーザプログラム「レシピ００１」を製造装置３０の表示ディスプレイに表示する（ステップＳ１０５，Ｓ１０６）。図８は、そのようにして表示部１４によって表示されたユーザプログラム「レシピ００１」を示す図である。その表示を見ることによって、ユーザは、レシピの各ステップでの処理時間や、プロセスガスの種類等について知ることができる。なお、図８において、表示の下方に「（注）この参照の操作に対応するログが蓄積されます。」との表示がなされている。この表示が、ログ蓄積情報である。このログ蓄積情報をユーザが見ることによって、ユーザは、参照したことがログに記録されたことを知ることができる。その結果、ユーザによる不正な行為を抑止することができうる。
【００６４】
操作ログ情報蓄積部１７は、操作部１３によってレシピ００１の参照が行われたため、操作情報「Ｖｉｅｗ＿レシピ００１」を構成する（ステップＳ１０７）。この操作情報のうち、「Ｖｉｅｗ」によって参照が行われたことが示されており、また、「レシピ００１」によって操作の対象となったユーザプログラムを識別するプログラム識別情報が示されている。
【００６５】
また、操作ログ情報蓄積部１７は、図示しない時計から、その時点の年月日と時刻を取得することによって、時間情報を構成する（ステップＳ１０８）。その時間情報は、「２００７．９．１０  １１：３０」であったとする。
【００６６】
また、操作ログ情報蓄積部１７は、ユーザ識別情報記憶部１６で記憶されているユーザ識別情報「Ｕ００１」を読み出す（ステップＳ１０９）。そして、操作ログ情報蓄積部１７は、操作情報と、時間情報と、ユーザ識別情報とを含む操作ログ情報を操作ログ情報記憶部１８に蓄積する（ステップＳ１１０）。図９の一番下のレコードによって、そのようにして蓄積された操作ログ情報が示されている。すなわち、その一番下のレコードにおいて、操作のなされた時間を示す時間情報「２００７．９．１０  １１：３０」と、操作を行ったユーザを識別するユーザ識別情報「Ｕ００１」と、操作の内容を示す操作情報「Ｖｉｅｗ＿レシピ００１」とが対応付けられている。
【００６７】
その後、図８で示される表示において、ユーザがマウスを操作することによって、「参照終了」ボタンをクリックしたとする。すると、ユーザプログラム「レシピ００１」の「参照を終了」する旨の操作指示情報が入力受付部１２で受け付けられる（ステップＳ１０３）。そして、操作部１３は、表示部１４に対して、レシピ００１の表示を終了する旨の指示を渡す（ステップＳ１０４）。表示部１４は、その指示に応じて、レシピ００１の表示を終了する（ステップＳ１０５，Ｓ１０６）。
【００６８】
また、操作ログ情報蓄積部１７は、前述の説明と同様にして、操作情報「Ｖｉｅｗ＿ｆｉｎｉｓｈ＿レシピ００１」と、時間情報「２００７．９．１０  １５：３０」とを構成し（ステップＳ１０７，Ｓ１０８）、ユーザ識別情報「Ｕ００１」を読み出す（ステップＳ１０９）。そして、それらを含む操作ログ情報を操作ログ情報記憶部１８に蓄積する（ステップＳ１１０）。図１０の一番下のレコードが、そのようにして蓄積された操作ログ情報を示すものである。
【００６９】
その後、他のユーザが製造装置３０にログインして、操作ログ情報を表示する旨の指示を入力したとする。すると、その指示は入力受付部１２で受け付けられ（ステップＳ１１１）、操作ログ情報取得部１９は、操作ログ情報記憶部１８で記憶されている、図１０で示される操作ログ情報を取得し（ステップＳ１１２）、表示部１４に渡す。そして、表示部１４は、その操作ログ情報を製造装置３０の表示ディスプレイに表示する（ステップＳ１１３）。その結果、図１０で示される操作ログ情報が製造装置３０の表示ディスプレイに表示されることになり、ユーザは、その操作ログ情報を見ることができる。その結果、ユーザ識別情報「Ｕ００１」で識別されるユーザが、レシピ００１を４時間にわたって参照していたことがわかり、レシピ００１の内容を紙等に筆記するなどの疑わしい行動をしていたのではないかと推察することが可能となる。
【００７０】
以上のように、本実施の形態による群管理システムによれば、製造装置３０において、ユーザプログラムに対する操作のログを示す操作ログ情報を記録することによって、ユーザプログラムへの操作を行うことのできるユーザが、ユーザプログラムに対してどのような操作を行ったのかを記録することができる。したがって、その記録を行うことによって、ユーザが不正な行為を行うことを抑止することが期待できうる。特に、表示部１４がログ蓄積情報をも表示することによって、ユーザに対して、ログが記録されていることを知らせることができ、抑止的な効果を高めることができる。また、ユーザに対して、事前に、口頭や文書、電子メール等で、ログを記録していることを通知しておくことにより、ログを記録することによる不正を抑止する効果を高めることができると考えられる。その結果、漏洩したユーザプログラムが外国の製造装置で用いられたり、他社の製造装置で用いられたりする事態を防止することが期待できる。
【００７１】
また、操作ログ情報が記録されていることによって、実際に不正が行われた場合であっても、その不正の行われたことを検出することができ、また、誰がいつ、何に対して不正を行ったのかなどをトレースすることも可能となる。
【００７２】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。本実施の形態による群管理システムを構成する製造装置は、操作ログ情報から、疑わしい操作を検出するものである。
なお、群管理システムの構成の構成は、製造装置３０が製造装置４０となる以外、実施の形態１の図１等と同様であり、その説明を省略する。
【００７３】
図１１は、本実施の形態による製造装置４０の構成を示すブロック図である。図１１において、本実施の形態による製造装置４０は、ユーザプログラム記憶部１１と、入力受付部１２と、操作部１３と、表示部１４と、ユーザ識別情報蓄積部１５と、ユーザ識別情報記憶部１６と、操作ログ情報蓄積部１７と、操作ログ情報記憶部１８と、操作ログ情報取得部１９と、疑問操作条件記憶部２１と、疑問操作検出部２２と、疑問操作情報出力部２３とを備える。なお、疑問操作条件記憶部２１、疑問操作検出部２２、疑問操作情報出力部２３以外の構成及び動作は、実施の形態１による製造装置３０と同様であり、その説明を省略する。
【００７４】
疑問操作条件記憶部２１では、不正な行為の疑いのある操作に関する条件である疑問操作条件が記憶される。疑問操作条件は、厳密には、疑問操作条件を示す情報であるが、ここでは、単に疑問操作条件と呼ぶことにする。疑問操作条件は、結果として、不正な行為の疑いのある操作を特定できる条件であれば、例えば、不正な行為の疑いのある操作の条件であってもよく、不正な行為の疑いのない操作の条件であってもよく、その両者であってもよい。本実施の形態では、疑問操作条件は、不正な行為の疑いのある操作の条件であるものとする。その疑問操作条件は、例えば、操作ログ情報の操作情報がユーザプログラムのコピーの操作を示すことであってもよく、また、操作ログ情報が、ユーザプログラムの参照を開始してから終了するまでの期間が１時間以上であることを示すこと（例えば、「参照の開始から終了までの期間≧１時間以上」という条件）であってもよく、その他の条件であってもよい。
【００７５】
疑問操作条件記憶部２１に疑問操作条件が記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介して疑問操作条件が疑問操作条件記憶部２１で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信された疑問操作条件が疑問操作条件記憶部２１で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力された疑問操作条件が疑問操作条件記憶部２１で記憶されるようになってもよい。疑問操作条件記憶部２１での記憶は、外部のストレージデバイス等から読み出し疑問操作条件のＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。疑問操作条件記憶部２１は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。
【００７６】
疑問操作検出部２２は、疑問操作条件記憶部２１で記憶されている疑問操作条件を用いて、操作ログ情報記憶部１８で記憶されている操作ログ情報から、不正な行為の疑いのある操作である疑問操作を検出する。例えば、疑問操作条件が、不正な行為の疑いのある操作の条件である場合には、疑問操作検出部２２は、操作ログ情報において、その疑問操作条件に合致する操作を検出することによって、疑問操作の検出を行う。なお、疑問操作の検出は、例えば、不正な行為の疑いのある操作を示す操作ログ情報の取得であってもよく、その操作を特定可能な情報を構成することであってもよい。
【００７７】
疑問操作情報出力部２３は、疑問操作検出部２２が検出した疑問操作に関する情報である疑問操作情報を出力する。疑問操作情報は、例えば、疑問操作検出部２２が検出した疑問操作に該当する操作ログ情報であってもよく、疑問操作を特定することができるその他の情報であってもよい。
【００７８】
ここで、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、スピーカによる音声出力でもよく、記録媒体への蓄積でもよい。ここで、所定の機器への通信回線を介した送信は、例えば、電子メールの送信であってもよく、自動音声による電話の発信であってもよく、自動送信によるＦＡＸの送信であってもよい。例えば、疑問操作情報出力部２３は、あらかじめ設定されている、製造装置３０や群管理システムの管理者の電子メールアドレスに、疑問操作情報を含む電子メールを送信するようにしてもよい。
【００７９】
なお、疑問操作情報出力部２３は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、疑問操作情報出力部２３は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００８０】
次に、本実施の形態による製造装置４０の動作について、図１２のフローチャートを用いて説明する。なお、ステップＳ２０１〜Ｓ２０４以外の処理は、実施の形態１の図４のフローチャートと同様であり、その説明を省略する。
【００８１】
（ステップＳ２０１）疑問操作検出部２２は、疑問操作の検出を行うかどうか判断する。そして、行う場合には、ステップＳ２０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０１に戻る。なお、疑問操作検出部２２は、例えば、疑問操作の検出を行う指示の入力を入力受付部１２が受け付けた場合に、疑問操作の検出を行うと判断してもよく、あるいは、その他のタイミングで疑問操作の検出を行うと判断してもよい。その他のタイミングとは、例えば、定期的なタイミングであってもよく、あるいは、操作ログ情報記憶部１８に新たな操作ログ情報が記憶されたタイミングであってもよい。
【００８２】
（ステップＳ２０２）疑問操作検出部２２は、疑問操作条件記憶部２１で記憶されている疑問操作条件を参照して、操作ログ情報記憶部１８で記憶されている操作ログ情報から、疑問操作を検出する。なお、以前に疑問操作の検出を行っている場合には、疑問操作検出部２２は、疑問操作の検出の処理をすでに行った操作ログ情報に対しては、再度、その疑問操作の検出処理を行わなくてもよい。
【００８３】
（ステップＳ２０３）疑問操作検出部２２は、疑問操作が検出されたかどうか判断する。そして、検出された場合には、ステップＳ２０４に進み、検出されなかった場合には、ステップＳ１０１に戻る。
【００８４】
（ステップＳ２０４）疑問操作情報出力部２３は、疑問操作検出部２２が検出した疑問操作に関する疑問操作情報を出力する。そして、ステップＳ１０１に戻る。
【００８５】
次に、本実施の形態による製造装置４０の動作について、具体例を用いて説明する。なお、疑問操作の検出に関する以外の動作は、実施の形態１と同様であり、その具体例の説明を省略する。
【００８６】
この具体例において、疑問操作条件記憶部２１では、疑問操作条件として、次の条件１，条件２が記憶されているものとする。そのいずれかの条件を満たす場合に、疑問操作となる。ただし、以下の条件において、＊は、任意のユーザプログラムを示す記号である。
【００８７】
条件１：操作情報が「Ｃｏｐｙ＿＊」である。
条件２：操作ログ情報の２個のレコードが、次の条件２−１〜条件２−４のすべてを満たす。
条件２−１：ユーザ識別情報が同じである。
条件２−２：時間情報の示す時刻が早いほうのレコードにおける操作情報が「Ｖｉｅｗ＿＊」である。
条件２−３：時間情報の示す時刻が遅いほうのレコードにおける操作情報が「Ｖｉｅｗ＿ｆｉｎｉｓｈ＿＊」である。
条件２−４：両レコードの時間情報の示す時刻の差が１時間以上である。
【００８８】
また、この具体例において、操作ログ情報記憶部１８において、図１０で示される操作ログ情報が記憶されているものとする。そして、ユーザが、疑問操作の検出をする旨の指示を入力受付部１２に入力したとする。すると、疑問操作検出部２２は、疑問操作を検出するタイミングであると判断して（ステップＳ２０１）、まず、疑問操作条件記憶部２１から条件１を読み出し、操作ログ情報記憶部１８で記憶されている各レコードがその条件１を満たすかどうか判断する。この場合には、満たすものはなかったとする。
【００８９】
すると次に、疑問操作検出部２２は、疑問操作条件記憶部２１から条件２−１〜条件２−４を読み出し、操作ログ情報記憶部１８で記憶されている２個のレコードのすべての組合せについて、条件２−１〜条件２−４を満たすかどうか判断する。この場合には、図１０で示される下から１番目と２番目のレコードが、この条件２−１〜条件２−４を満たすことになる。したがって、疑問操作検出部２２は、その２個のレコードで示される操作を疑問操作として検出して、その２個のレコードを疑問操作情報出力部２３に渡す（ステップＳ２０２，Ｓ２０３）。
【００９０】
すると、疑問操作情報出力部２３は、その２個のレコードを含む疑問操作情報を構成し、その疑問操作情報を製造装置４０の表示ディスプレイに表示する（ステップＳ２０４）。図１３は、そのようにして表示された疑問操作情報を示す図である。この疑問操作情報を見たユーザは、ユーザ識別情報「Ｕ００１」で識別されるユーザが４時間にわたってレシピ００１を参照していたことを知ることができ、不正な行為の疑いのある操作の存在を知ることができると共に、ユーザ識別情報「Ｕ００１」で識別されるユーザによって、実際に不正な行為（例えば、レシピ００１の内容を書き写すなどの行為）が行われたかどうかを調べたり、ユーザ識別情報「Ｕ００１」で識別されるユーザに問い合わせたりすることができる。
【００９１】
以上のように、本実施の形態による群管理システムによれば、実施の形態１と同様の効果が得られると共に、製造装置４０において、記録された操作ログ情報から不正な行為の疑いのある操作を自動的に検出することができ、操作ログ情報を参照して、不正な行為の疑いのある操作を手動で検出しなくてもよいことになる。その結果、不正な行為の疑いのある操作を手動で検出するユーザの負担を軽減することができうる。
【００９２】
また、大量の操作ログ情報からの不正な行為の疑いのある操作を手動で検出することは大変であり、見落としの起こる可能性もありうるが、本実施の形態による製造装置４０のように、疑問操作検出部２２による検出を行うことによって、大量の操作ログ情報からの不正な行為の疑いのある操作の検出も、容易に、迅速かつ正確に行うことができうる。
【００９３】
また、上記各実施の形態では、製造装置３０、４０がスタンドアロンである場合について説明したが、製造装置３０、４０は、スタンドアロンの装置であってもよく、サーバ・クライアントシステムにおけるサーバ装置であってもよい。後者の場合には、表示部や受付部は、通信回線を介して入力を受け付けたり、画面を表示したりすることになる。
【００９４】
また、上記実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。例えば、操作ログ蓄積方法が、製造装置３０、４０や、他の装置によって分散して実行されてもよい。その操作ログ蓄積方法は、次のようなものである。すなわち、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置で用いられる、ユーザが編集可能なプログラムであって、当該プログラムを識別する情報であるプログラム識別情報と対応付けられているプログラムであるユーザプログラムが記憶されるユーザプログラム記憶部と、入力受付部と、操作部と、表示部と、操作指示情報を前記入力受付部に入力したユーザを識別する情報であるユーザ識別情報が記憶されるユーザ識別情報記憶部と、前記操作部によるユーザプログラムに対する操作を示す情報である操作情報を少なくとも含む情報である操作ログ情報が記憶される操作ログ情報記憶部と、操作ログ情報蓄積部とを用いて処理される操作ログ蓄積方法であって、前記入力受付部が、前記ユーザプログラムに対する操作を指示する情報である操作指示情報の入力を受け付ける入力受付ステップと、前記操作部が、前記入力受付ステップで受け付けた操作指示情報に応じて、前記ユーザプログラムに対する操作を行う操作ステップと、前記表示部が、前記操作ステップで読み出したユーザプログラムを表示する表示ステップと、前記操作ログ情報蓄積部が、前記操作ステップでのユーザプログラムに対する操作を示す情報であり、操作対象のユーザプログラムを識別するプログラム識別情報を含む情報である操作情報と、当該操作のなされた時間に関する情報である時間情報と、前記ユーザ識別情報記憶部で記憶されているユーザ識別情報とを含む操作ログ情報を前記操作ログ情報記憶部に蓄積する操作ログ情報蓄積ステップと、を備え、前記操作指示情報は、前記ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報を含む、ものである。なお、この操作ログ蓄積方法は、製造装置３０、４０のみによって実行されてもよいことは言うまでもない。
【００９５】
また、上記各実施の形態において、製造装置３０、４０に含まれる２以上の構成要素が通信デバイスや入力デバイス等を有する場合に、２以上の構成要素が物理的に単一のデバイスを有してもよく、あるいは、別々のデバイスを有してもよい。
【００９６】
また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。なお、上記実施の形態における製造装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置として機能させるためのプログラムであって、ユーザが編集可能なプログラムであって、当該プログラムを識別する情報であるプログラム識別情報と対応付けられているプログラムであるユーザプログラムに対する操作を指示する情報である操作指示情報の入力を受け付ける入力受付部と、前記入力受付部が受け付けた操作指示情報に応じて、前記ユーザプログラムに対する操作を行う操作部と、前記操作部が読み出したユーザプログラムを表示する表示部と、前記操作部によるユーザプログラムに対する操作を示す情報であり、操作対象のユーザプログラムを識別するプログラム識別情報を含む情報である操作情報と、当該操作のなされた時間に関する情報である時間情報と、前記操作指示情報を入力したユーザを識別する情報であるユーザ識別情報とを含む操作ログ情報を操作ログ情報記憶部に蓄積する操作ログ情報蓄積部として機能させ、前記操作指示情報は、前記ユーザプログラムの参照のための読み出しの操作を示す操作指示情報を含む、ものでもよい。
【００９７】
なお、上記プログラムにおいて、上記プログラムが実現する機能には、ハードウェアでしか実現できない機能は含まれない。例えば、入力を受け付ける入力受付部や、情報を表示する表示部などにおけるモデムやインターフェースカードなどのハードウェアでしか実現できない機能は、上記プログラムが実現する機能には少なくとも含まれない。
【００９８】
また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。
【００９９】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
以上より、本発明による製造装置等によれば、ユーザプログラムに対する操作のログを記録することによって、ユーザプログラムに関する不正な行為を防止することができうるという効果が得られ、群管理システムを構成する製造装置等において有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】本発明の実施の形態１による群管理システムの構成を示すブロック図
【図２】同実施の形態による製造装置の一例を示す図
【図３】同実施の形態による製造装置の構成を示すブロック図
【図４】同実施の形態による製造装置の動作を示すフローチャート
【図５】同実施の形態における製造装置の表示の一例を示す図
【図６】同実施の形態における製造装置の表示の一例を示す図
【図７】同実施の形態における製造装置で保持されているユーザプログラムの一例を示す図
【図８】同実施の形態における製造装置の表示の一例を示す図
【図９】同実施の形態における操作ログ情報の一例を示す図
【図１０】同実施の形態における操作ログ情報の一例を示す図
【図１１】本発明の実施の形態２による製造装置の構成を示すブロック図
【図１２】同実施の形態による製造装置の動作を示すフローチャート
【図１３】同実施の形態における製造装置の表示の一例を示す図
【符号の説明】
【０１０２】
１０  サーバ装置
１１  ユーザプログラム記憶部
１２  入力受付部
１３  操作部
１４  表示部
１５  ユーザ識別情報蓄積部
１６  ユーザ識別情報記憶部
１７  操作ログ情報蓄積部
１８  操作ログ情報記憶部
１９  操作ログ情報取得部
２０  クライアント装置
２１  疑問操作条件記憶部
２２  疑問操作検出部
２３  疑問操作情報出力部
３０、４０  製造装置
【図１】
2009054674.tif 000003
【図２】
2009054674.tif 000004
【図３】
2009054674.tif 000005
【図４】
2009054674.tif 000006
【図５】
2009054674.tif 000007
【図６】
2009054674.tif 000008
【図７】
2009054674.tif 000009
【図８】
2009054674.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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