(57)【要約】【課題】吸着機構の移動及び吸着動作に無駄がなく、稼働率の良好なオートハンドラを実現する。【解決手段】製品トレイ７の複数の収容部１４にそれぞれ収容されている半導体装置１９を吸着保持して、テスト用トレイ１１の複数の収容部２２に載せ替える吸着機構１０を備えたオートハンドラ１であって、製品トレイ７の各収容部１４に半導体装置１９が収容されているか否かを検出するための光電センサ１５を有し、吸着機構１０は、光電センサ１５の検出結果に基づいて、半導体装置１９が収容されている製品トレイ７の収容部１４においてのみ吸着保持のための動作を実行する。【選択図】図５
2009049158.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一のトレイの複数の収容部にそれぞれ収容されている半導体装置を吸着保持して、第二のトレイの複数の収容部に載せ替える吸着機構を備えたオートハンドラであって、
前記第一のトレイの各収容部に前記半導体装置が収容されているか否かを検出するためのセンサを有し、
前記吸着機構は、前記センサの検出結果に基づいて、前記半導体装置が収容されている前記第一のトレイの収容部においてのみ前記吸着保持のための動作を実行することを特徴とするオートハンドラ。
【請求項２】
前記センサは、前記第一のトレイの各収容部に向けて光を出射し、その反射光の有無によって前記収容部に前記半導体装置が収容されているか否かを検出する光電センサであることを特徴とする請求項１記載のオートハンドラ。
【請求項３】
前記第一のトレイが搭載されるセットプレートを有し、
前記セットプレート上であって、該セットプレートに前記第一のトレイが搭載されたときに、該第一のトレイの各収容部と対向する位置に前記センサがそれぞれ設けられ、
前記各センサは、前記第一のトレイの各収容部に設けられた開口部に向けて前記光を出射することを特徴とする請求項２記載のオートハンドラ。
【請求項４】
前記センサが前記吸着機構に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のオートハンドラ。
【請求項５】
前記吸着機構は、前記第一のトレイの前記収容部の配列方向に沿って移動するとともに、前記収容部のうち、前記半導体装置が収容されている前記収容部においてのみ前記吸着保持のための動作を実行し、前記半導体装置が収容されていない前記収容部は通過することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のオートハンドラ。
【請求項６】
前記吸着機構を複数有し、前記第一のトレイの各収容部のうち、前記半導体装置が収容されている前記収容部に対応する前記吸着機構のみが前記吸引保持のための動作を実行することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のオートハンドラ。
【請求項７】
前記第二のトレイに載せ替えられた前記半導体装置のテストを行うテスト手段と、該テスト手段によるテスト結果に応じて前記半導体装置を選別する選別手段とを有することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のオートハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置を吸着保持して移動させる手段を備えたオートハンドラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造過程では、半導体装置をある位置から他の位置に移動させる手段を備えたオードハンドラが用いられる。例えば、あるトレイの収容部に収容されている半導体装置を吸着保持して他のトレイの収容部に移動させる吸着機構を備えたオートハンドラが用いられる。かかる吸着機構は、水平方向に移動可能であるとともに、上下方向に昇降可能であり、半導体装置を移動させる際には、該半導体装置に向けて降下し、先端に設けられている吸着パッドをトレイ収容部内の半導体装置の表面に接触させる。次いで、吸着パッドの内側を負圧にすることによって半導体装置を吸着させる。その後、トレイから離間するように上昇して、トレイ収容部から半導体装置を引き上げて保持する。次いで、移動先であるトレイの収容部の上方まで水平移動してから降下し、当該収容部内に半導体装置を位置させてから上記負圧を解除する。
【０００３】
ここで、トレイには複数の収容部が形成されており、全ての収容部に半導体装置が一つずつ収容されているのが一般的である。しかし、意図的に一部の収容部を空にする場合や、意図せず一部の収容部が空になっている場合もある。いずれにしても、トレイの一部の収容部に半導体装置が収容されていない場合がある。
【０００４】
しかし、従来のオートハンドラは、トレイの収容部に半導体装置が収容されているか否かに拘らず、吸着動作を実行する。したがって、吸着機構の移動や吸引動作に無駄があり、オートハンドラの稼働率の低下を招いていた。また、半導体装置が収容されていない収容部に対して吸着動作を実行した場合、制御部は半導体装置が落下したか、吸着が不十分であると誤認して動作を停止させる場合があった。
【０００５】
そこで、特許文献１には、収容部に半導体装置が収容されていない場合には、吸引機構が所定位置まで降下しても吸着パッドの開口部が閉塞されないように規制するストッパを備えたオートハンドラが開示されている。かかるオートハンドラによれば、収容部に半導体装置が収容されていない場合には、吸着パッドの開口部が閉塞されないので、吸着パッドに接続されている真空ポンプが作動しても負圧は発生しない。
【０００６】
また、特許文献１には、上記真空ポンプの吸入路における空気圧をセンサで検知し、その空気圧の高低によって収容部に半導体装置が収容されているか否かを判別することも記載されている。
【特許文献１】特開２０００−１１７６７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載されているオートハンドラによれば、トレイ収容部に半導体装置が収容されていなかったにも拘らず、これを半導体装置の落下や吸着不良と誤識して動作を停止させるといった誤動作は回避されるかもしれない。
【０００８】
しかし、特許文献１に記載されているオートハンドラは、実際に吸着動作を実行し、その結果に基づいて半導体装置の有無を判別している。すなわち、トレイ収容部に半導体装置が収容されているか否かに拘らず、吸着機構を所定位置まで降下させ、さらに、真空ポンプを動作させる必要がある。よって、吸着機構の移動時間や吸引動作時間のロスに起因する稼働率の低下は改善されない。
【０００９】
本発明の目的は、トレイの各収容部における半導体装置の有無を検出し、その検出結果に基づいて吸着機構を制御することによって、オートハンドラの稼働率向上を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のオートハンドラは、第一のトレイの複数の収容部にそれぞれ収容されている半導体装置を吸着保持して、第二のトレイの複数の収容部に載せ替える吸着機構を備えたオートハンドラであって、前記第一のトレイの各収容部に前記半導体装置が収容されているか否かを検出するためのセンサを有し、前記吸着機構は、前記センサの検出結果に基づいて、前記半導体装置が収容されている前記第一のトレイの収容部においてのみ前記吸着保持のための動作を実行することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、吸着機構の移動及び吸着動作に無駄がなく、稼働率の良好なオートハンドラが実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（実施形態１）
以下、本発明のオートハンドラの実施形態の一例について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本実施形態に係る水平搬送式オートハンドラ（以下「オートハンドラ１」という。）の概略構成を示す模式的平面図である。オートハンドラ１は、被処理物である半導体装置１９を第一のトレイ（製品トレイ）から第二のトレイ（テスト用トレイ）へ載せ替えるローダ部２と、テスト用トレイに収容されている半導体装置１９の電気特性その他をテストするテスト部３と、テスト済みの半導体装置１９をテスト結果に応じて選別して製品トレイに載せ替えるアンローダ部４と、ローダ部２、テスト部３及びアンローダ部４の間でトレイを循環搬送する搬送部５と、これらを統括的に制御する不図示の制御部とを有する。
【００１３】
ローダ部２には、トレイ供給部６、製品供給部８及び吸着機構１０が設けられている。トレイ供給部６には、複数の半導体装置１９が収容された製品トレイ７が作業者によってセットされる。トレイ供給部６は、セットされた製品トレイ７を順次、製品供給部８のセットプレート９にセットする。吸着機構１０は、製品供給部８のセットプレート９にセットされた製品トレイ７の各収容部１４に収容されている半導体装置１９を吸着保持し、テスト部３で待機しているテスト用トレイ１１の各収容部２２に移し替える。
【００１４】
尚、後に詳述するが、製品トレイ７及びテスト用トレイ１１には、半導体装置１９を収容可能な複数の収容部１４、２２がマトリックス状に形成されている。
【００１５】
図２は、ローダ部２（製品供給部８）のセットプレート９を示す斜視図である。図３は、セットプレート９に製品トレイ７がセットされた状態を示す斜視図である。また、図４は、セットプレート９に製品トレイ７がセットされた状態を示す断面図（図３のＡ-Ａ’断面図）であ。
【００１６】
図２に示すように、セットプレート９は、金属製の基板１２を有している。基板１２の略中央には、製品トレイ７がセットされるトレイ載置領域１３が設けられている。トレイ載置領域１３には、所定の間隔、例えば製品トレイ７の各収容部１４（図３、図４）に対応した位置に、それぞれ光電センサ１５が設けられている。一方、図４に示すように、製品トレイ７の各収容部１４の底面には、半導体装置１９よりも小さな開口部１６が形成されている。すなわち、収容部１４に収容された半導体装置１９は、その裏面が開口部１６の周辺部によって下方から支持される。
【００１７】
以上の構成によって、セットプレート９のトレイ載置領域１３に製品トレイ７がセットされると、製品トレイ７の各収容部１４に設けられた開口部１６の下方に、セットプレート９に設けられている各光電センサ１５が配置される（図４）。尚、図２、図３に示すように、セットプレート９のトレイ載置領域１３の四隅には、位置決め手段としての位置決めピン１７が突設されている。これによって、製品トレイ７の位置が規定され、各開口部１６の下方に、対応する光電センサ１５がそれぞれ配置されるように位置合わせされる。
【００１８】
したがって、図４に示すように、製品トレイ７の収容部１４に半導体装置１９が収容されている場合には、光電センサ１５から出射された光が半導体装置１９の裏面によって反射される。一方、製品トレイ７の収容部１４に半導体装置１９が収容されていない場合には、光電センサ１５から出射された光は反射されない。よって、反射光の有無によって、当該収容部１４に半導体装置１９が収容されているか否かを判別することができる。
【００１９】
尚、図２に示すように、セットプレート９の周辺部には、所定の間隔で孔部１８が設けられている。セットプレート９は、孔部１８に挿入されたネジを製品供給部８の表面に開設されたネジ穴にねじ込むことによって、製品供給部８に着脱可能に固定されている。よって、光電センサ１５の配置パターンが異なるセットプレート９に交換することで、収容部１４の配置パターンが異なる製品トレイ７にも対応することができる。もっとも、製品供給部８に対してセットプレート９を着脱可能に固定できる手段であれば、セットプレート９の固定手段はネジに限定されない。
【００２０】
また、本実施形態では、センサとして光電センサ１５を用いているが、収容部１４における半導体装置１９の有無を検出できるものであればどのようなセンサでも良く、例えば赤外線センサ等を用いることも可能である。いずれにしても、センサによって検出された情報はオートハンドラ１の図示しない制御部に入力される。ここでの情報とは、複数の収容部１４のうち、半導体装置１９が収容されている収容部１４と半導体装置１９が未収容の収容部１４とを区別するための情報である。具体的な情報の内容としては、半導体装置１９が収容されている収容部１４を特定する情報でも、半導体装置１９が未収容の収容部１４を特定する情報でも、双方を特定する情報であってもよい。
【００２１】
次に、吸着機構１０について説明する。図５に示すように、吸着機構１０の先端には吸着パット２０が設けられている。さらに、吸着パッド２０には吸引孔２１が設けられている。また、吸引孔２１は、図示しない真空ポンプに接続されている。そして、吸着パット２０を半導体装置１９の表面に当接させた状態で、真空ポンプを動作させると、半導体装置１９を吸着保持することができる。また、吸着機構１０はＸ、Ｙ及びＺ方向に移動可能に構成されており、セットプレート９にセットされた製品トレイ７の収容部１４に収容されている半導体装置１９を吸着保持し、テスト部３で待機しているテスト用トレイ１１の収容部２２（図１）に搬送することができる（載せ換えることができる）。尚、図示は省略するが、テスト用トレイ１１の裏面には、収容部２２に半導体装置１９が収容されると、該半導体装置１９の外部電極と電気的に接続される電極が設けられている。
【００２２】
ここで、本実施形態のオートハンドラ１がセットプレート９にセットされた製品トレイ７の各収容部１４における半導体装置１９の有無を判別できるように構成されていることは既述のとおりである。そこで、上記制御部は、半導体装置１９の収容されている収容部１４においてのみ吸着保持のための動作が実行されるように、吸着機構１０を制御する。換言すれば、半導体装置１９が収容されていない収容部１４はスルーさせる。より具体的には図５に示すように、吸着機構１０を駆動制御する。ここでは、図５の紙面左側から右側に向けて吸着機構１０が移動するものとする。紙面左端の収容部１４ａには半導体装置１９ａが収容されているので、当該収容部１４ａの上方で吸着機構１０を停止及び降下させ、吸着パッド２０を半導体装置１９ａの表面に当接させる。次いで、真空ポンプを動作させて半導体装置１９ａを吸着保持させ、テスト用トレイ１１の収容部２２（図１）に搬送させる。収容部１４ａの右隣の収容部１４ｂにも半導体装置１９ｂが収容されているので、半導体装置１９ａをテスト用トレイ１１の収容部２２に搬送し終えた吸着機構１０に、収容部１４ｂに収容されている半導体装置１９ｂに対しても上記と同様の動作を繰り返させる。一方、収容部１４ｂの右隣の収容部１４ｃ及びさらに右隣の収容部１４ｄには、半導体装置が収容されていない。そこで、これら収容部１４ｃ、１４ｄはスルーさせ、次の収容部１４ｅの上方で吸着機構１０を再び停止及び降下させ、該収容部１４ｅに収容されている半導体装置１９ｅに対しても上記と同様の動作を実行させる。このように吸着機構１０を駆動制御することによって、吸着機構１０の移動及び吸着動作時間を短縮し、オートハンドラ１の稼働率を向上させることができる。また、稼働率の向上によりテストコストも低減にも寄与することができる。さらに、半導体装置が未収容の収容部において吸着動作が実行されることがないので、半導体装置が落下したか、吸着が不十分であると制御部が誤認して吸着機構１０の動作を停止させる虞もない。
【００２３】
再び図１を参照してテスト部３について説明する。テスト部３は、加熱状態下で半導体装置１９のテストを実施することができるように、供給された半導体装置１９を加熱する手段を備えている。具体的には、テスト用トレイ１１に収容されている半導体装置１９を所定温度まで予備加熱できるように構成された予備加熱部２３と、予備加熱部２３から送り出されたテスト用トレイ１１に収容されている半導体装置１９に対して所定のテストを行う測定部２４とを有する。測定部２４は、図示しないコンタクト手段を有しており、該コンタクト手段を、例えばテスト用トレイ１１の下面に設けられている上記電極に接触させて、各収容部２２に収納されている半導体装置１９のテストが行えるように構成されている。尚、テスト部３では２つのテスト用トレイ１１が係合手段２５により係合され、一体的に移動する。
【００２４】
次に、アンローダ部４について説明する。アンローダ部４は、テスト用トレイ１１に収容されている半導体装置１９をテスト部３におけるテスト結果に基づいて製品トレイ７に載せ替える（選別する）製品選別部２６を有している。
【００２５】
製品選別部２６には、製品供給部８に設けられているセットプレート９と同様のセットプレート２７が複数設けられており、各セットプレート２７に製品トレイ７がセットされる。したがって、セットプレート２７の設置数分の種類で半導体装置１９を分類（選別）することができる。より具体的には、製品選別部２６には吸着機構２８が設けられているとともに、各セットプレート２７には、空の製品トレイ７がセットされる。吸着機構２８は、テスト用トレイ１１に収容されているテスト済みの半導体装置１９をテスト結果に対応したセットプレート２７にセットされている製品トレイ７に搬送・供給する。吸着機構２８は、ローダ部２の吸着機構１０と同様に、先端に吸着パットを有し、該吸着パッドには吸引孔が設けられており、真空ポンプで吸引することにより、半導体装置１９を吸着保持することができる。吸着機構２８はＸ、Ｙ及びＺ方向に移動可能に構成されており、テスト用トレイ１１から半導体装置１９を吸着保持し、テスト結果に応じた製品トレイ７の収容部に搬送供給できる。さらに、製品選別部２６には不図示の製品トレイ保管部が設けられており、半導体装置１９で一杯になった製品トレイ７をセットプレート２７から搬出し、保管するように構成されている。
【００２６】
尚、製品選別部２６による上記選別の前提として、テスト部３では、選別される種類の数に応じたテスト結果を制御部に出力する。例えば、製品選別部２６において半導体装置１９を良品と不良品の二種類に選別する場合、テスト部３は、当該半導体装置１９が良品又は不良品のいずれであるかを示す二者択一的な情報を制御部に出力する。また、製品選別部２６において半導体装置１９を良品、不良品、再テスト品の三種類に選別する場合、テスト部３は、当該半導体装置１９が良品、不良品、再テスト品のいずれであるかを示す情報を制御部に出力する。いずれの場合も制御部は、入力された情報（テスト結果）に従って吸着機構２８を駆動制御して、当該半導体装置１９を所定の製品トレイ７に収容する。
【００２７】
次に、本実施形態のオートハンドラ１の動作について、主に図６を参照しながら説明する。まず、被処理物である半導体装置１９が収容された製品トレイ７が作業者によってローダ部２のトレイ供給部６にセットされる。製品トレイ７がセットされたトレイ供給部６は、セットされた製品トレイ７を製品供給部８のセットプレート９上に順次セットする。このとき、セットプレート９に設けられている位置決めピン１７により、製品トレイ７が位置決めされ、各収容部１４の開口部１６と光電センサ１５とが位置合わせされることは既述のとおりである。
【００２８】
次に、セットプレート９に設けられている光電センサ１５は、製品トレイ７の各収容部１４における半導体装置１９の有無を上記のようにして検出し、その結果を制御部に送信する。ここでは、光電センサ１５から出射された光の反射光が受光された場合には、半導体装置有り、反射光が受光されない場合には半導体装置無し、と判断する。
【００２９】
次に、光電センサ１５の検出結果に基づいて制御部により吸着機構１０が駆動される。吸着機構１０は、製品トレイ７の半導体装置１９が収容されている収容部１４の上方においてのみ停止し、半導体装置１９を吸着保持してテスト用トレイ１１に搬送する一方、半導体装置１９が収容されていない収容部１４は通過する。テスト用トレイ１１の全ての収容部２２に半導体装置１９が収容されると、搬送部５は、テスト用トレイ１１をテスト部３に搬送する。
【００３０】
次に、搬送部５は、テスト用トレイ１１をテスト部３の予備加熱部２３に搬送する。テスト用トレイ１１が搬入された予備加熱部２３は、テスト用トレイ１１に収容されている半導体装置１９を所定の温度まで加熱する。その後、搬送部５は、テスト用トレイ１１を測定部２４に搬送する。もっとも、非加熱条件下でテストを行う場合には、予備加熱部２３をスルーしてテスト用トレイ１１を測定部２４に搬送する。
【００３１】
測定部２４は、搬入されたテスト用トレイ１１の下面に設けられている電極にコンタクト手段を接触させ、各収容部２２に収容されている半導体装置１９に対するテストを実行する。尚、テスト用トレイ１１の下面に設けられている電極と収容部２２に収容されている半導体装置１９の外部電極が電気的に導通していることは既述のとおりである。また、本実施形態ではテスト部３における処理効率を向上させるため、２つのテスト用トレイ１１が係合手段２５により係合され、一体的に搬送される。
【００３２】
次に、搬送部５は、テストが完了したテスト用トレイ１１をアンローダ部４に搬送する。テスト用トレイ１１が搬入されたアンローダ部４の製品選別部２６は、テスト用トレイ１１に収容されている半導体装置１９をテスト結果に基づいて選別し、異なる製品トレイ７に載せ替える。尚、アンローダ部４のセットプレート２７には、選別区分数に応じた数の製品トレイ７が予め用意されている。例えば、半導体装置１９を良品と不良品とに選別する場合（選別区分数が２の場合）、少なくとも二つのセットプレート２７に空の製品トレイ７がそれぞれセットされている。そして、テスト用トレイ１１に収容されている半導体装置１９を、テスト部３におけるテスト結果に基づいて、吸着機構２８により選別・搬送し、良品の半導体装置１９は良品用の製品トレイ７に、不良品の半導体装置１９は不良品用の製品トレイ７にそれぞれ収容する。その後、空になったテスト用トレイ１１は製品供給部８に送られ、製品トレイ７として利用される。一方、テスト結果に応じて選別された半導体装置１９が収容される製品トレイ７が一杯になると、該製品トレイ７は製品トレイ保管部に搬送されて保管される。
【００３３】
以上のように、製品トレイの収容部に半導体装置が収容されているか否かが判別され、判別結果に基づいて吸着機構が駆動されるので、吸着機構の移動及び吸着動作時間が短縮され、オートハンドラの稼働率も向上する。また、稼働率の向上によりテストコストも低減にも寄与する。さらに、半導体装置が未収容の収容部において吸着動作が実行されることがないので、半導体装置が落下したか、吸着が不十分であると制御部が誤認して吸着機構の動作を停止させる誤作動も発生しない。
【００３４】
これまでは、一つの吸着機構によって製品トレイに収容されている半導体装置を吸着保持して搬送する場合について説明した。しかし、吸着機構は複数設けることもできる。例えば、図７に示すように、吸着機構１０を製品トレイ７の収容部１４の一列分設け（図７では６個設けられている。）、複数の半導体装置１９を同時に吸着保持して搬送するように構成してもよい。この場合、各吸着機構１０を独立して制御可能とし、光電センサ１５による検出結果に基づき、半導体装置１９が収容されている収容部１４に対応する吸着機構１０には吸引動作を実行させ、半導体装置１９が収容されていない収容部１４に対応する吸着機構１０には吸引動作を実行させない。かかる構成によれば、複数の半導体装置を一度に搬送することができるので、更なる稼働率の向上が図れる。
（実施形態２）
以下、本発明のオートハンドラの実施形態の他例について図８を参照しながら説明する。本実施形態に係るオートハンドラは、実施形態１に係るオートハンドラ１と基本的に同一の構成を有する。よって、同一の構成については図８中に同一の符号を付して説明に代える。
【００３５】
本実施形態に係るオートハンドラの製品供給部には、複数の吸着機構１０が設けられている。具体的には、製品トレイ７の収容部１４の一列分、ここでは６個の吸着機構１０が設けられている。そして、各吸着機構１０に、製品トレイ７の収容部１４における半導体装置１９の有無を検出するための光電センサ１５が設けられている。
【００３６】
各吸着機構１０に設けられた光電センサ１５は、製品トレイ７の収容部１４の上方において収容部１４に向けて光を出射するとともに、出射した光の反射光を受光する。収容部１４に半導体装置１９が収容されている場合には、出射された光は半導体装置１９の表面で反射されるので、反射光の有無によって半導体装置１９の有無を判別することができる。すなわち、製品トレイ７の収容部の１列毎に半導体装置１９の有無が判別される。
【００３７】
尚、収容部１４に半導体装置１９が収容されていない場合、光電センサ１５から出射された光は、開口部１６を通過してセットプレート９の表面に照射される。よって、セットプレート９の表面で反射された光を半導体装置１９によって反射された光と誤認することを防止する観点からは、セットプレート表面に反射防止膜を形成しておくことが望ましい。
【００３８】
実施形態１に係るオートハンドラでは、製品トレイの収容部と同数のセンサを必要としたが、本実施形態に係るオートハンドラでは、吸着機構の数分のセンサがあれば足りる。また、製品トレイの収容部のパターンに対応した専用のセットプレートを設ける必要もなく、構成部品の共通化が見込める。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施形態１に係るオートハンドラの概略構成を示す模式的平面図である。
【図２】図１に示すセットプレートの斜視図である。
【図３】図２に示すセットプレートに製品トレイがセットされた状態の斜視図である。
【図４】図３のＡ-Ａ断面図である。
【図５】図１に示す吸着機構の詳細を示す模式図である。
【図６】実施形態１に係るオートハンドラの動作フローを示す説明図である。
【図７】図１に示す吸着機構の変形例を示す模式図である。
【図８】実施形態２に係るオートハンドラの吸着機構の詳細を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  オートハンドラ
２  ローダ部
３  テスト部
４  アンローダ部
５  搬送部
６  トレイ供給部
７  製品トレイ
８  製品供給部
９、２７  セットプレート
１０、２８  吸着機構
１１  テスト用トレイ
１４、２２  収容部
１５  光電センサ
１９  半導体装置
２０  吸着パッド
２１  吸引孔
２３  予備加熱部
２４  測定部
２６  製品選別部
【図１】
2009049158.tif 000003
【図２】
2009049158.tif 000004
【図３】
2009049158.tif 000005
【図４】
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【図５】
2009049158.tif 000007
【図６】
2009049158.tif 000008
【図７】
2009049158.tif 000009
【図８】
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