(57)【要約】【課題】レーザ光を発振させること無く、高い効率で光を射出するための調整を可能とする発光素子、その発光素子を用いる光源装置、画像表示装置、光源装置の製造方法を提供すること。【解決手段】光を射出する発光部１１を有し、発光部１１から射出した光を反射する反射体である共振ミラー１４と組み合わせて用いられる発光素子である半導体素子１０であって、発光素子に対する反射体の傾きを調整するための調整光を射出する調整光射出部１２と、反射体で反射した調整光射出部１２からの調整光を検出する調整光検出部１３と、を有し、調整光射出部１２及び調整光検出部１３は、発光部１１を中心に略対称な位置に設けられる。【選択図】図１
2009176914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を射出する発光部を有し、前記発光部から射出した光を反射する反射体と組み合わせて用いられる発光素子であって、
前記発光素子に対する前記反射体の傾きを調整するための調整光を射出する調整光射出部と、
前記反射体で反射した前記調整光射出部からの前記調整光を検出する調整光検出部と、を有し、
前記調整光射出部及び前記調整光検出部は、前記発光部を中心に略対称な位置に設けられることを特徴とする発光素子。
【請求項２】
前記発光部、前記調整光射出部及び前記調整光検出部は、略同一直線上に設けられることを特徴とする請求項１に記載の発光素子。
【請求項３】
第１直線上に設けられた前記調整光射出部である第１調整光射出部、及び前記第１直線上に設けられた前記調整光検出部である第１調整光検出部を備える第１調整ユニットと、
第２直線上に設けられた前記調整光射出部である第２調整光射出部、及び前記第２直線上に設けられた前記調整光検出部である第２調整光検出部を備える第２調整ユニットと、を有し、
前記第１直線及び前記第２直線は、互いに略直交することを特徴とする請求項２に記載の発光素子。
【請求項４】
前記調整光射出部及び前記調整光検出部の少なくとも一方は、発光ダイオード素子を構成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の発光素子。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の発光素子と、
前記発光部から射出した光を共振させる前記反射体である外部共振器と、を有することを特徴とする光源装置。
【請求項６】
請求項５に記載の光源装置を有し、前記光源装置から射出した光を用いて画像を表示することを特徴とする画像表示装置。
【請求項７】
光を射出する発光部を備える発光素子と、前記発光部からの光を共振させる外部共振器と、を有する光源装置の製造方法であって、
前記発光素子に設けられた調整光射出部から調整光を射出する調整光射出工程と、
前記調整光射出工程において射出した後、前記外部共振器で反射した前記調整光を、前記発光部を中心として前記調整光射出部と略対称な位置で検出する調整光検出工程と、
前記調整光検出工程において検出される前記調整光の光量が最大になるように、前記発光素子に対する前記外部共振器の傾きを調整する傾き調整工程と、を含むことを特徴とする光源装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光素子、光源装置、画像表示装置、光源装置の製造方法、特に、外部共振器と組み合わせて用いられる発光素子の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プロジェクタの光源装置としてレーザ光源を用いる技術が提案されている。レーザ光源は、高出力化及び多色化に伴い、プロジェクタの光源として開発されている。プロジェクタの光源として従来用いられているＵＨＰランプと比較すると、レーザ光源は、高い色再現性、瞬時点灯が可能、長寿命等の利点がある。例えば、特許文献１には、レーザダイオードチップを精度良く位置決め可能とする技術が提案されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−９４１６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
レーザ光源は、光を共振させる外部共振器を用いることで、レーザ光の波長を狭帯域化でき、またレーザ光の高出力化が可能となる。発光素子から略垂直に射出した光が外部共振器へ略垂直に入射するとき、レーザ光源は、高い効率でレーザ光を発振させることが可能となる。高い効率でレーザ光を射出可能とするために、レーザ光源は、発光素子からの光が外部共振器へ略垂直に入射するように、外部共振器の傾きを調整する必要がある。通常、外部共振器の傾きの調整は、レーザ光を発振させながら行われる。レーザ光を発振させながらの調整は、レーザ光が直接目に入射する等の不具合を防ぐための措置が必要となる。本発明は、上述に鑑みてなされたものであり、レーザ光を発振させること無く、高い効率で光を射出するための調整を可能とする発光素子、その発光素子を用いる光源装置、画像表示装置、光源装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る発光素子は、光を射出する発光部を有し、発光部から射出した光を反射する反射体と組み合わせて用いられる発光素子であって、発光素子に対する反射体の傾きを調整するための調整光を射出する調整光射出部と、反射体で反射した調整光射出部からの調整光を検出する調整光検出部と、を有し、調整光射出部及び調整光検出部は、発光部を中心に略対称な位置に設けられることを特徴とする。
【０００６】
調整光は、レーザ光以外の光とする。発光部を中心に調整光射出部及び調整光検出部を略対称な位置に設けることで、調整光検出部で検出された調整光の光量が最大となるとき、発光部からの光に対して反射体が略垂直となる。調整光検出部で検出された調整光の光量が最大となるときを目標として、反射体の傾きを調整できる。これにより、レーザ光を発振させること無く、高い効率で光を射出するための調整を可能とする発光素子を得られる。
【０００７】
また、本発明の好ましい態様としては、発光部、調整光射出部及び調整光検出部は、略同一直線上に設けられることが望ましい。これにより、発光部を中心に略対称な位置に、調整光射出部及び調整光検出部を設けることができる。
【０００８】
また、本発明の好ましい態様としては、第１直線上に設けられた調整光射出部である第１調整光射出部、及び第１直線上に設けられた調整光検出部である第１調整光検出部を備える第１調整ユニットと、第２直線上に設けられた調整光射出部である第２調整光射出部、及び第２直線上に設けられた調整光検出部である第２調整光検出部を備える第２調整ユニットと、を有し、第１直線及び第２直線は、互いに略直交することが望ましい。これにより、互いに直交する二つの軸を中心として、反射体の傾きを正確に調整することができる。
【０００９】
また、本発明の好ましい態様としては、調整光射出部及び調整光検出部の少なくとも一方は、発光ダイオード素子を構成することが望ましい。調整光射出部及び調整光検出部の少なくとも一方を発光部と同一の基板に設けることができる。これにより、発光素子は、調整光射出部及び調整光検出部を形成するための複雑な工程を必要とせず、容易に形成できる。
【００１０】
さらに、本発明に係る光源装置は、上記の発光素子と、発光部から射出した光を共振させる反射体である外部共振器と、を有することを特徴とする。上記の発光素子を用いることにより、高い効率で光を射出するための調整が可能となる。これにより、高い効率で光を射出可能な光源装置を得られる。
【００１１】
さらに、本発明に係る画像表示装置は、上記の光源装置を有し、光源装置から射出した光を用いて画像を表示することを特徴とする。上記の光源装置を用いることにより、高い効率で光を射出できる。これにより、高い効率で明るい画像を表示可能な画像表示装置を得られる。
【００１２】
さらに、本発明に係る光源装置の製造方法は、光を射出する発光部を備える発光素子と、発光部からの光を共振させる外部共振器と、を有する光源装置の製造方法であって、発光素子に設けられた調整光射出部から調整光を射出する調整光射出工程と、調整光射出工程において射出した後、外部共振器で反射した調整光を、発光部を中心として調整光射出部と略対称な位置で検出する調整光検出工程と、調整光検出工程において検出される調整光の光量が最大になるように、発光素子に対する外部共振器の傾きを調整する傾き調整工程と、を含むことを特徴とする。これにより、レーザ光を発振させること無く、高い効率で光を射出するための調整ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。
【実施例１】
【００１４】
図１は、本発明の実施例１に係る光源装置１の概略構成を示す。光源装置１は、レーザ光を射出する。光源装置１は、半導体素子１０及び共振ミラー１４を有する。半導体素子１０は、光を射出する発光部１１を備える発光素子であって、面発光型の半導体素子である。発光部１１は、不図示のミラー層を備える。半導体素子１０は、ＸＹ平面上に配置されているとする。Ｘ軸及びＹ軸は、互いに直交する。Ｚ軸は、Ｘ軸及びＹ軸のいずれにも直交する。半導体素子１０のうち発光部１１からの光を射出する射出面Ｓ１は、ＸＹ平面に略平行である。半導体素子１０は、発光部１１からの光を、Ｚ軸に略平行に射出する。
【００１５】
調整光射出部１２及び調整光検出部１３は、いずれも発光ダイオード素子（ＬＥＤ）を構成する。調整光射出部１２は、半導体素子１０に対する共振ミラー１４の傾きを調整するための調整光を射出する。調整光射出部１２は、不図示の電源に接続されている。調整光検出部１３は、共振ミラー１４で反射した調整光射出部１２からの調整光を検出するフォトダイオードとして機能する。調整光検出部１３は、不図示の増幅回路に接続されている。調整光射出部１２、発光部１１、及び調整光検出部１３は、直線Ｖｙ上に配置されている。直線Ｖｙは、Ｙ軸に略平行な直線である。調整光射出部１２及び調整光検出部１３は、発光部１１からの距離が略等しくなるように配置されている。調整光射出部１２及び調整光検出部１３は、発光部１１を中心に略対称な位置に設けられている。なお、調整光は、可視光及び非可視光のいずれであっても良い。非可視光としては、例えば赤外光を用いることができる。
【００１６】
共振ミラー１４は、半導体素子１０の発光部１１からの光の一部を反射し、他の一部を透過させる。共振ミラー１４は、発光部１１から射出した光を共振させる外部共振器として機能する反射体である。共振ミラー１４は、例えば、誘電体多層膜を用いて構成されている。共振ミラー１４のうち発光部１１からの光を反射する反射面Ｓ２は、ＸＹ平面に略平行である。共振ミラー１４は、反射面Ｓ２の中心位置へ、発光部１１からの光が入射するように配置されている。
【００１７】
発光部１１から射出した光は、射出面Ｓ１に対して略垂直な方向へ進行する。発光部１１からの光は、共振ミラー１４の反射面Ｓ２へ略垂直に入射する。反射面Ｓ２に対して略垂直に入射した光の大部分は、反射面Ｓ２で反射し、共振ミラー１４へ入射したときと同じ光路を逆に辿って、発光部１１へ入射する。共振ミラー１４から発光部１１へ入射した光は、発光部１１のミラー層で反射する。ミラー層及び共振ミラー１４により反射した光は、発光部１１から新たに射出する光と共振して増幅する。共振ミラー１４は、発光部１１及び共振ミラー１４間で増幅した光の一部を透過させ、光源装置１の外部へ進行させる。かかる構成により、レーザ光の高出力化が可能となる。
【００１８】
図２は、共振ミラー１４の傾きの調整について説明するものである。調整光射出工程において調整光射出部１２から射出した調整光は、射出面Ｓ１から発散する。調整光射出部１２から射出した調整光のうち共振ミラー１４の方向へ進行した光は、共振ミラー１４の反射面Ｓ２で反射する。調整光検出工程において、調整光検出部１３は、反射面Ｓ２から調整光検出部１３へ向けて反射した調整光を検出する。
【００１９】
射出面Ｓ１に対して略垂直に射出した発光部１１からの光が反射面Ｓ２に対して略垂直に入射するとき、射出面Ｓ１と反射面Ｓ２とは略平行になる。半導体素子１０の射出面Ｓ１と共振ミラー１４の反射面Ｓ２とが略平行であるとき、図中矢印で示すように、反射面Ｓ２の中心位置で反射した調整光は、調整光検出部１３へ入射する。このとき、調整光検出部１３により検出される調整光の光量は最大となる。傾き調整工程では、調整光検出部１３により検出される調整光の光量が最大となるように、共振ミラー１４の傾きを調整する。傾き調整工程において、共振ミラー１４は、射出面Ｓ１に対する反射面Ｓ２の傾きが調整される。共振ミラー１４の傾きは、手動により調整する他、駆動手段を用いて調整することとしても良い。
【００２０】
光源装置１は、調整光検出部１３で検出された調整光の光量が最大となるときを目標として、共振ミラー１４の傾きを調整できる。これにより、レーザ光を発振させること無く、高い効率で光を射出するための調整ができるという効果を奏する。高い効率で光を射出するための調整により、光源装置１は、高い効率で光を射出することができる。ＬＥＤを構成する調整光射出部１２及び調整光検出部１３は、発光部１１のための材料を用いて、発光部１１と同一の基板上に形成できる。半導体素子１０は、発光部１１を形成するための工程を利用して、調整光射出部１２及び調整光検出部１３を形成することが可能である。従って、半導体素子１０は、調整光射出部１２及び調整光検出部１３を形成するための複雑な工程を必要とせず、容易に形成することができる。
【００２１】
なお、調整光射出部１２及び調整光検出部１３は、ＬＥＤを構成するものである場合に限られない。調整光射出部１２は、レーザ光以外の光を射出可能な発光体を備えるものであれば良い。調整光検出部１３は、光を検出可能であれば良い。共振ミラー１４の傾きの調整は、光源装置１の製造時に行う他、光源装置１の製造後に行うこととしても良い。例えば、光源装置１を稼動させる間の経年変化や温度変化等に対して、調整光射出部１２及び調整光検出部１３を使用して、共振ミラー１４の傾きの変化を補正することができる。この場合、光源装置１は、駆動手段を用いて共振ミラー１４の傾きを調整可能とすることで、高い効率で光を射出するための調整を容易に行うことができる。
【００２２】
図３は、本実施例の変形例に係る光源装置２の概略構成を示す。本変形例の光源装置２は、第１調整ユニットＵｘ及び第２調整ユニットＵｙを備える半導体素子２０を有することを特徴とする。第１調整ユニットＵｘは、第１調整光射出部１２ｘ及び第１調整光検出部１３ｘを有する。第１調整光射出部１２ｘは、第１直線Ｖｘ上に設けられた調整光射出部である。第１調整光検出部１３ｘは、第１直線Ｖｘ上に設けられた調整光検出部である。第１直線Ｖｘは、Ｘ軸に略平行な直線である。第２調整ユニットＵｙは、第２調整光射出部１２ｙ及び第２調整光検出部１３ｙを有する。第２調整光射出部１２ｙは、第２直線Ｖｙ上に設けられた調整光射出部である。第２調整光検出部１３ｙは、第２直線Ｖｙ上に設けられた調整光検出部である。第２直線Ｖｙは、Ｙ軸に略平行な直線である。第１直線Ｖｘ及び第２直線Ｖｙは、互いに略直交する。第１調整光射出部１２ｘ、第２調整光射出部１２ｙ、第１調整光検出部１３ｘ、第２調整光検出部１３ｙは、いずれもＬＥＤを構成する。
【００２３】
光源装置２は、第１調整ユニットＵｘの第１調整光検出部１３ｘによる検出結果を用いることにより、主に、Ｙ軸を中心とする回転方向について、共振ミラー１４の傾きを調整できる。また、光源装置２は、第２調整ユニットＵｙの第２調整光検出部１３ｙによる検出結果を用いることにより、主に、Ｘ軸を中心とする回転方向について、共振ミラー１４の傾きを調整できる。光源装置２は、第１調整ユニットＵｘ及び第２調整ユニットＵｙを用いることにより、互いに直交する二つの軸を中心として、共振ミラー１４の傾きを正確に調整することができる。
【実施例２】
【００２４】
図４は、本発明の実施例２に係る光源装置３の概略構成を示す。本実施例の光源装置３は、波長選択ミラー１６、及び第二高調波発生（Second−Harmonic  Generation；ＳＨＧ）素子１７を有する。上記実施例と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。発光部１１は、第１波長の基本波光を射出する。基本波光は、例えば赤外光である。波長選択ミラー１６は、発光部１１からの光が入射する位置に設けられている。波長選択ミラー１６は、第１波長の光を反射し、第２波長の光を透過させる。波長選択ミラー１６は、例えば、誘電体多層膜を用いて構成されている。波長選択ミラー１６は、発光部１１からの光を反射する反射面Ｓ３が、発光部１１からの光線に対して略４５度をなして傾くように配置されている。
【００２５】
ＳＨＧ素子１７は、波長選択ミラー１６で反射した発光部１１からの光が入射する位置に設けられている。ＳＨＧ素子１７は、発光部１１からの第１波長の基本波光を入射させることにより、第２波長の高調波光を射出させる。ＳＨＧ素子１７は、発光部１１からの光の波長を変換する波長変換素子である。ＳＨＧ素子１７は、波長選択ミラー１６及び共振ミラー１５の間の光路中に設けられている。第２波長は、第１波長の半分の波長である。高調波光は、例えば可視光である。ＳＨＧ素子１７は、例えば、非線形光学結晶であるニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）の分極反転結晶（Periodically  Poled  Lithium  Niobate；ＰＰＬＮ）である。
【００２６】
共振ミラー１５は、ＳＨＧ素子１７からの光を反射する反射体である。共振ミラー１５は、発光部１１から射出した光を共振させる外部共振器として機能する。共振ミラー１５は、高反射性部材、例えば誘電体多層膜や金属膜を用いて構成されている。共振ミラー１５は、ＳＨＧ素子１７からの光を反射する反射面Ｓ２が、ＳＨＧ素子１７からの光線に対して略直交するように配置されている。共振ミラー１５の反射面Ｓ２は、ＹＺ平面に略平行である。共振ミラー１５は、反射面Ｓ２の中心位置へ、ＳＨＧ素子１７からの光が入射するように配置されている。
【００２７】
発光部１１から射出した光は、射出面Ｓ１に対して略垂直な方向へ進行する。発光部１１からの光は、波長選択ミラー１６での反射により光路が略９０度折り曲げられる。波長選択ミラー１６で反射した光は、ＳＨＧ素子１７を透過した後、共振ミラー１５へ入射する。共振ミラー１５の反射面Ｓ２で反射した光は、共振ミラー１５へ入射するときと同じ光路を逆に辿って、ＳＨＧ素子１７を透過する。共振ミラー１５側からＳＨＧ素子１７を透過した光は、波長選択ミラー１６の反射面Ｓ３へ入射する。波長選択ミラー１６へ入射した光のうち高調波光は、波長選択ミラー１６を透過する。波長選択ミラー１６を透過した光は、光源装置３の外部へ進行する。波長選択ミラー１６へ入射した光のうち基本波光は、反射面Ｓ３で反射し、光路が略９０度折り曲げられる。波長選択ミラー１６で光路が折り曲げられた光は、発光部１１へ入射する。波長選択ミラー１６から発光部１１へ入射した光は、発光部１１のミラー層で反射する。
【００２８】
調整光射出工程において、調整光射出部１２は、波長選択ミラー１６で反射可能な波長の調整光を射出する。調整光は、例えば赤外光である。調整光射出部１２から射出した調整光のうち波長選択ミラー１６の方向へ進行した光は、波長選択ミラー１６の反射面Ｓ３で反射する。調整光検出部１３は、波長選択ミラー１６及び共振ミラー１５の間を往復した後、半導体素子１０へ戻った調整光を検出する。
【００２９】
射出面Ｓ１に対して略垂直な方向へ射出した発光部１１からの光は、波長選択ミラー１６の反射面Ｓ３で光路が略垂直に折り曲げられる。波長選択ミラー１６で略垂直に光路が折り曲げられた光は、共振ミラー１５の反射面Ｓ２へ略垂直に入射する。傾き調整工程では、調整光検出部１３により検出光の光量が最大となるように、波長選択ミラー１６の傾き、及び共振ミラー１５の傾きを調整する。傾き調整工程において、波長選択ミラー１６は、射出面Ｓ１に対する反射面Ｓ３の傾きが略４５度になるように調整される。共振ミラー１５は、射出面Ｓ１に対して反射面Ｓ２が略垂直となるように調整される。本実施例の場合も、レーザ光を発振させること無く、高い効率で光を射出するための調整ができる。なお、本実施例の場合も、第１調整ユニットＵｘ及び第２調整ユニットＵｙ（図３参照）を用いて波長選択ミラー１６の傾き、及び共振ミラー１５の傾きを調整することとしても良い。
【００３０】
本発明に係る光源装置は、適宜変形しても良い。例えば、上記実施例１に係る光源装置１、２は、半導体素子１０、２０及び外部共振器の間の光路中に波長変換素子を配置しても良い。この場合、外部共振器は、光を回折させるホログラム素子であっても良い。また、光源装置は、必要に応じて、偏光選択用フィルタ、波長選択用フィルタ等の光学素子を設けても良い。
【実施例３】
【００３１】
図５は、本発明の実施例３に係るプロジェクタ５０の概略構成を示す。プロジェクタ５０は、スクリーン６０に光を投写し、スクリーン６０で反射する光を観察することで画像を鑑賞するフロント投写型のプロジェクタである。プロジェクタ５０は、赤色（Ｒ）光用光源装置５１Ｒ、緑色（Ｇ）光用光源装置５１Ｇ、青色（Ｂ）光用光源装置５１Ｂを有する。各色光用光源装置５１Ｒ、５１Ｇ、５１Ｂは、いずれも上記実施例１の光源装置１（図１参照）と同様の構成を有する。プロジェクタ５０は、各色光用光源装置５１Ｒ、５１Ｇ、５１Ｂからの光を用いて画像を表示する画像表示装置である。
【００３２】
Ｒ光用光源装置５１Ｒは、Ｒ光を射出する光源装置である。拡散素子５２は、照明領域の整形、拡大、照明領域における光量分布の均一化を行う。拡散素子５２としては、例えば、回折光学素子である計算機合成ホログラム（Computer  Generated  Hologram；ＣＧＨ）を用いることができる。フィールドレンズ５３は、Ｒ光用光源装置５１Ｒからの光を平行化させ、Ｒ光用空間光変調装置５４Ｒへ入射させる。Ｒ光用光源装置５１Ｒ、拡散素子５２、及びフィールドレンズ５３は、Ｒ光用空間光変調装置５４Ｒを照明する照明装置を構成する。Ｒ光用空間光変調装置５４Ｒは、照明装置からのＲ光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。Ｒ光用空間光変調装置５４Ｒで変調されたＲ光は、色合成光学系であるクロスダイクロイックプリズム５５へ入射する。
【００３３】
Ｇ光用光源装置５１Ｇは、Ｇ光を射出する光源装置である。拡散素子５２及びフィールドレンズ５３を経た光は、Ｇ光用空間光変調装置５４Ｇへ入射する。Ｇ光用光源装置５１Ｇ、拡散素子５２、及びフィールドレンズ５３は、Ｇ光用空間光変調装置５４Ｇを照明する照明装置を構成する。Ｇ光用空間光変調装置５４Ｇは、照明装置からのＧ光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。Ｇ光用空間光変調装置５４Ｇで変調されたＧ光は、クロスダイクロイックプリズム５５のうちＲ光が入射する面とは異なる面へ入射する。
【００３４】
Ｂ光用光源装置５１Ｂは、Ｂ光を射出する光源装置である。拡散素子５２及びフィールドレンズ５３を経た光は、Ｂ光用空間光変調装置５４Ｂへ入射する。Ｂ光用光源装置５１Ｂ、拡散素子５２、及びフィールドレンズ５３は、Ｂ光用空間光変調装置５４Ｂを照明する照明装置を構成する。Ｂ光用空間光変調装置５４Ｂは、照明装置からのＢ光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。Ｂ光用空間光変調装置５４Ｂで変調されたＢ光は、クロスダイクロイックプリズム５５のうちＲ光が入射する面、及びＧ光が入射する面とは異なる面へ入射する。透過型液晶表示装置としては、例えば高温ポリシリコンＴＦＴ液晶パネル（High  Temperature  Polysilicon；ＨＴＰＳ）を用いることができる。
【００３５】
クロスダイクロイックプリズム５５は、互いに略直交させて配置された２つのダイクロイック膜５６、５７を有する。第１ダイクロイック膜５６は、Ｒ光を反射し、Ｇ光及びＢ光を透過させる。第２ダイクロイック膜５７は、Ｂ光を反射し、Ｒ光及びＧ光を透過させる。クロスダイクロイックプリズム５５は、それぞれ異なる方向から入射したＲ光、Ｇ光及びＢ光を合成し、投写レンズ５８の方向へ射出する。投写レンズ５８は、クロスダイクロイックプリズム５５で合成された光をスクリーン６０に向けて投写する。プロジェクタ用筐体５９は、各色光用光源装置５１Ｒ、５１Ｇ、５１Ｂからクロスダイクロイックプリズム５５までの光路中の各構成を収納する。
【００３６】
プロジェクタ５０は、上記実施例１に係る光源装置１と同様の構成を有する各色光用光源装置５１Ｒ、５１Ｇ、５１Ｂを用いることにより、高い効率で光を射出できる。これにより、高い効率で明るい画像を表示できるという効果を奏する。なお、各色光用光源装置５１Ｒ、５１Ｇ、５１Ｂは、上記実施例のいずれの光源装置と同様の構成であっても良い。
【００３７】
プロジェクタ５０は、空間光変調装置として透過型液晶表示装置を用いる場合に限られない。空間光変調装置としては、反射型液晶表示装置（Liquid  Crystal  On  Silicon；ＬＣＯＳ）、ＤＭＤ（Digital  Micromirror  Device）、ＧＬＶ（Grating  Light  Valve）等を用いても良い。プロジェクタ５０は、色光ごとに空間光変調装置を備える構成に限られない。プロジェクタ５０は、一の空間光変調装置により２つ又は３つ以上の色光を変調する構成としても良い。プロジェクタ５０は、空間光変調装置を用いる場合に限られない。プロジェクタ５０は、ガルバノミラー等の走査手段により光源装置からのレーザ光を走査させ、被照射面において画像を表示するレーザスキャン型のプロジェクタであっても良い。プロジェクタ５０は、画像情報を持たせたスライドを用いるスライドプロジェクタであっても良い。プロジェクタ５０は、スクリーンの一方の面に光を供給し、スクリーンの他方の面から射出する光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるリアプロジェクタであっても良い。
【００３８】
本発明の光源装置は、画像表示装置である液晶ディスプレイに適用しても良い。本発明の光源装置と導光板とを組み合わせることにより、液晶パネルを照明する照明装置として用いることができる。本発明の光源装置は、画像表示装置以外の電子機器、例えば、光源装置からの光を用いて照明された被写体を撮像するモニタ装置等に適用しても良い。また、本発明の光源装置は、例えば、レーザ光を用いた露光のための露光装置やレーザ加工装置等の光学系に用いても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
以上のように、本発明に係る発光素子は、プロジェクタの光源装置に用いる場合に適している。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施例１に係る光源装置の概略構成を示す図。
【図２】共振ミラーの傾きの調整について説明する図。
【図３】実施例１の変形例に係る光源装置の概略構成を示す図。
【図４】本発明の実施例２に係る光源装置の概略構成を示す図。
【図５】本発明の実施例３に係るプロジェクタの概略構成を示す図。
【符号の説明】
【００４１】
１  光源装置、１０  半導体素子、１１  発光部、１２  調整光射出部、１３  調整光検出部、１４  共振ミラー、Ｓ１  射出面、Ｓ２  反射面、２  光源装置、１２ｘ  第１調整光射出部、１２ｙ  第２調整光射出部、１３ｘ  第１調整光検出部、１３ｙ  第２調整光検出部、２０  半導体素子、Ｕｘ  第１調整ユニット、Ｕｙ  第２調整ユニット、３  光源装置、１５  共振ミラー、１６  波長選択ミラー、１７  ＳＨＧ素子、Ｓ３  反射面、５０  プロジェクタ、５１Ｒ  Ｒ光用光源装置、５１Ｇ  Ｇ光用光源装置、５１Ｂ  Ｂ光用光源装置、５２  拡散素子、５３  フィールドレンズ、５４Ｒ  Ｒ光用空間光変調装置、５４Ｇ  Ｇ光用空間光変調装置、５４Ｂ  Ｂ光用空間光変調装置、５５  クロスダイクロイックプリズム、５６  第１ダイクロイック膜、５７  第２ダイクロイック膜、５８  投写レンズ、５９  プロジェクタ用筐体、６０  スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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