(57)【要約】【課題】半田付け作業が必要とされず、容易にプローブカード側コネクタとの接続が確保でき、容易にプローブカード側コネクタのみ交換し修理が容易なベースユニットを実現する。【解決手段】一端側に前記中継プリント板の他端が挿入され他端側に前記同軸ケーブルが挿入される中継コネクタ本体と、この中継コネクタ本体に設けられ前記同軸ケーブルのシールド線に一端が半田接続され他端が前記中継プリント板のシールド用パッドに接する複数のシールド線用板ばねと、前記中継コネクタ本体に設けられ前記同軸ケーブルの芯線に一端が半田付けされ他端が前記中継プリント板の芯線用パッドに接する複数の芯線用板ばねと、前記中継コネクタ本体に設けられ前記芯線と前記芯線用板ばねとの半田付けと、前記シールド線と前記シールド線用板ばねとの半田付け作業用の作業窓とを有する中継コネクタを具備したことを特徴とするベースユニットである。【選択図】図１
2009192446.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカード側コネクタが接続される中継プリント板と、この中継プリント板に接続され他端がテストヘッド側コネクタに接続される同軸ケーブルとを具備するベースユニットにおいて、
前記中継プリント板と前記同軸ケーブルとの間に前記中継プリント板と前記同軸ケーブルとが電気的に着脱自由にできる電気的着脱自由手段
を具備したことを特徴とするベースユニット。
【請求項２】
プローブカード側コネクタが接続される中継プリント板と、この中継プリント板の芯線用パッドとシールド用パッドに一端の芯線とシールド線とがそれぞれ電気的に接続され他端がテストヘッド側コネクタに接続される同軸ケーブルとを具備するベースユニットにおいて、
一端側に前記中継プリント板の他端が挿入され他端側に前記同軸ケーブルが挿入される中継コネクタ本体と、
この中継コネクタ本体に設けられ前記同軸ケーブルのシールド線に一端が半田接続され他端が前記中継プリント板のシールド用パッドに接する複数のシールド線用板ばねと、
前記中継コネクタ本体に設けられ前記同軸ケーブルの芯線に一端が半田付けされ他端が前記中継プリント板の芯線用パッドに接する複数の芯線用板ばねと、
前記中継コネクタ本体に設けられ前記芯線と前記芯線用板ばねとの半田付けと、前記シールド線と前記シールド線用板ばねとの半田付け作業用の作業窓と
を有する中継コネクタ
を具備したことを特徴とするベースユニット。
【請求項３】
前記作業窓を塞ぐ蓋体
を具備したことを特徴とする請求項２記載のベースユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テストヘッドとプローブカードとを電気的に接続するベースユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ベースユニットに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平０８−０６２２８８号公報
【０００４】
図４は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図、図５は図４の要部構成説明図である。
図において、１は半導体検査装置本体、２はテストヘッド、３はプローブカードである。
【０００５】
テストヘッド２とプローブカード３との間には、テストヘッド２とテストヘッド３とを電気的に接続するベースユニット４が設けられている。
ベースユニット４は、図５に示す如く、プローブカード側コネクタ４ａと中継プリント板４ｂと同軸ケーブル４ｃとテストヘッド側コネクタ４ｄとよりなる。
【０００６】
以上の構成において、プローブカード側コネクタ４ａのピンを、中継プリント板４ｂに半田付けし、同軸ケーブル４ｃの芯線４ｅを中継プリント板４ｂの芯線用パッド４ｆに、同軸ケーブル４ｃのシールド線４ｇを中継プリント板４ｂのシールド用パッド４ｈに半田付けする。
同軸ケーブル４ｃの他端はテストヘッド側コネクタ４ｄに接続される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような装置においては、以下の間題点がある。
プローブカード側コネクタ４ａと同軸ケーブル４ｃとを中継プリント板４ｂに半田付けするので、プローブカード側コネクタ４ａのコネクタ接点の１箇所に断線や接触不良などがあっても、そのコネクタアセンブリ全体を交換する必要がある。
【０００８】
交換するには非常に手間がかかり、ハーネス単位の交換なので費用も掛かる。
また、ハーネス交換は大掛かりな作業になるので、現場での修理は困難で、製作された工場での作業になり、修理に時間が掛かり、半導体検査装置の停止による客先ユーザーへの影響（損失）も大きい。
【０００９】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、半田付け作業が必要とされず容易にプローブカード側コネクタとの接続が確保でき、プローブカード側コネクタに不具合が発生しても、容易にプローブカード側コネクタのみ交換し修理が容易なベースユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のベースユニットにおいては、
プローブカード側コネクタが接続される中継プリント板と、この中継プリント板に接続され他端がテストヘッド側コネクタに接続される同軸ケーブルとを具備するベースユニットにおいて、前記中継プリント板と前記同軸ケーブルとの間に前記中継プリント板と前記同軸ケーブルとが電気的に着脱自由にできる電気的着脱自由手段を具備したことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項２のベースユニットにおいては、
プローブカード側コネクタが接続される中継プリント板と、この中継プリント板の芯線用パッドとシールド用パッドに一端の芯線とシールド線とがそれぞれ電気的に接続され他端がテストヘッド側コネクタに接続される同軸ケーブルとを具備するベースユニットにおいて、一端側に前記中継プリント板の他端が挿入され他端側に前記同軸ケーブルが挿入される中継コネクタ本体と、この中継コネクタ本体に設けられ前記同軸ケーブルのシールド線に一端が半田接続され他端が前記中継プリント板のシールド用パッドに接する複数のシールド線用板ばねと、前記中継コネクタ本体に設けられ前記同軸ケーブルの芯線に一端が半田付けされ他端が前記中継プリント板の芯線用パッドに接する複数の芯線用板ばねと、前記中継コネクタ本体に設けられ前記芯線と前記芯線用板ばねとの半田付けと、前記シールド線と前記シールド線用板ばねとの半田付け作業用の作業窓とを有する中継コネクタを具備したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項３のベースユニットにおいては、請求項２記載のベースユニットにおいて、
前記作業窓を塞ぐ蓋体を具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
中継プリント板と同軸ケーブルとの間に、中継プリント板と記同軸ケーブルとが電気的に着脱自由にできる電気的着脱自由手段が設けられたので、特殊な工具が不要で、半田付け作業が必要とされず容易にプローブカード側コネクタとの接続が確保でき、安価なベースユニットが得られる。
プローブカード側コネクタに不具合が発生しても中継プリント板付きのプローブカード側コネクタの取外しが容易にできるので、現場でも短時間で交換修理ができるベースユニットが得られる。
【００１４】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
同軸ケーブルと中継プリント板との接続に中継コネクタが使用されたので、特殊な工具が不要で、半田付け作業が必要とされず容易にプローブカード側コネクタとの接続が確保でき、安価なベースユニットが得られる。
プローブカード側コネクタに不具合が発生しても中継プリント板付のプローブカード側コネクタの取外しが容易にできるので、現場でも短時間で交換修理ができるベースユニットが得られる。
【００１５】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
作業窓を塞ぐ蓋体が設けられたので、半田付け部分と外部とを絶縁でき、他との接触を防ぐことができる。
更に、塵等の進入が防止できて、接触不良の発生を防止できるベースユニットが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ要部断面図である。
図２は図１の要部構成説明図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図で分かり易くするために蓋体を外した図、（ｃ）は底面図、（ｄ）は（ｂ）のＢ-Ｂ断面図である。
【００１７】
図３は図１の部品説明図である。
図において、図４と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図４との相違部分のみ説明する。
【００１８】
図１において、中継コネクタ１０は、中継プリント板４ｂと同軸ケーブル４ｃとの間に設けられている。
中継コネクタ１０は、中継コネクタ本体１１、複数のシールド線用板ばね１２、複数の芯線用板ばね１３、作業窓１４と蓋体１５を有する。
【００１９】
中継コネクタ本体１１は、一端側に中継プリント板４ｂの他端が挿入され、他端側に同軸ケーブル４ｃが挿入される。
複数のシールド線用板ばね１２は、中継コネクタ本体１１に設けられ、同軸ケーブル４ｃのシールド線４ｇに一端が半田接続され、他端が中継プリント板４ｂのシールド用パッド４ｈに接する。斜視図を図３（ａ）に示す。
【００２０】
複数の芯線用板ばね１３は、中継コネクタ本体１１に設けられ、同軸ケーブル４ｃの芯線４ｅに一端が半田付けされ、他端が中継プリント板４ｂの芯線用パッド４ｆに接する。斜視図を図３（ｂ）に示す。
作業窓１４は、中継コネクタ本体１１に設けられ、芯線４ｅと芯線用板ばね１３との半田付けと、シールド線４ｇとシールド線用板ばね１２との半田付け作業用の窓である。
この場合は、蓋体１５は、開放窓１４を塞いで設けられている。
【００２１】
この場合は、板ばねは、シールド線用板ばね１２と芯線用板ばね１３を上下２段で構成し、水平方向に複数組整列させている。且つ、中継プリント板４ｂの板厚に合わせた間隔で、上下対向して複数個整列させている。
中継プリント板４ｂの両面から中継プリント板４ｂを押圧することにより接触圧を維持する。
【００２２】
この結果、
同軸ケーブル４ｃと中継プリント板４ｂとの接続に、中継コネクタ１０が使用されたので、特殊な工具が不要で、半田付け作業が必要とされず容易にプローブカード側コネクタ４ａとの接続が確保でき、安価なベースユニットが得られる。
プローブカード側コネクタ４ａに不具合が発生しても中継プリント板４ｂ付のプローブカード側コネクタ４ａの取外しが容易にできるので、現場でも短時間で交換修理ができるベースユニットが得られる。
【００２３】
作業窓１４を塞ぐ蓋体１５が設けられたので、塵等の進入が防止できて、接触不良の発生を防止できるベースユニットが得られる。
作業窓１４を塞ぐ蓋体１５が設けられたので、半田付け部分と外部とを絶縁でき、他との接触を防ぐことができる。更に塵等の進入が防止できて、接触不良の発生を防止できるベースユニットが得られる。
【００２４】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部構成説明図である。
【図３】図１の部品説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図５】図１の要部構成説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１      半導体検査装置本体
２      テストヘッド
３      プローブカード
４      ベースユニット
４ａ    プローブカード側コネクタ
４ｂ    中継プリント板
４ｃ    同軸ケーブル
４ｄ    テストヘッド側コネクタ
４ｅ    芯線
４ｆ    芯線用パッド
４ｇ    シールド線
４ｈ    シールド用パッド
１０    中継コネクタ
１１    中継コネクタ本体
１２    シールド線用板ばね
１３    芯線用板ばね
１４    作業窓
１５    蓋体
【図１】
2009192446.tif 000003
【図２】
2009192446.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009192446.tif 000006
【図５】
2009192446.tif 000007