(57)【要約】【課題】アライメントマークによるデータの消去を抑制することが可能な垂直磁気記録用の磁気ヘッド及び磁気ディスク装置を提供する。【解決手段】磁気ヘッドは、浮上面に磁極面５１ａを有する主磁極５１および副磁極５３を少なくとも含む素子部５０と、主磁極５１の磁極面５１ａを研削加工する際に加工量を検出するための、磁性材料からなるアライメントマーク６０ｂ，６０ｃと、主磁極５１の位置を基準としてアライメントマーク６０ｂ，６０ｃの内側から外側まで少なくとも連続した、磁性材料からなる部材５３ｂ，５３ｃと、を含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う垂直磁気記録用の磁気ヘッドであって、
前記磁気ディスクと対向する浮上面に磁極面を有する主磁極および副磁極を少なくとも含む素子部と、
前記主磁極の磁極面を研削加工する際に加工量を検出するための、磁性材料からなるアライメントマークと、
前記主磁極の位置を基準として前記アライメントマークの内側から外側まで少なくとも連続した、磁性材料からなる部材と、
を含む磁気ヘッド。
【請求項２】
前記部材は、前記素子部に含まれる少なくとも一部の部材からなる、
請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記部材は、前記主磁極を基準として前記アライメントマークの反対側から該アライメントマークの外側まで連続している、
請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
前記アライメントマークは、前記主磁極の両側にそれぞれ形成され、
前記部材は、前記主磁極の位置を基準として前記一方のアライメントマークの外側から前記他方のアライメントマークの外側まで連続している、
請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
前記部材は、少なくとも前記アライメントマークよりも外側の部分が、該アライメントマークよりも前記浮上面から離れている、
請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項６】
前記部材は、前記素子部に含まれる副磁極と連続する部材である、
請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項７】
前記素子部は、再生ヘッドと、該再生ヘッドを挟み込む一対の磁気シールドとを更に含み、
前記部材は、前記一対の磁気シールドの少なくとも一方である、
請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項８】
回転する磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う垂直磁気記録用の磁気ヘッドであって、
前記磁気ディスクと対向する浮上面に磁極面を有する主磁極と、
前記主磁極に対してトラック幅方向の少なくとも一方の側に形成され、前記主磁極の磁極面を研削加工する際に加工量を検出するための、磁性材料からなるアライメントマークと、
前記トラック幅方向に沿って前記アライメントマークの外側まで端部が張り出した副磁極と、
を含む磁気ヘッド。
【請求項９】
前記主磁極から前記アライメントマークまでの前記トラック幅方向に沿った距離が、前記副磁極のうち前記主磁極に対応する位置から前記端部までの前記トラック幅方向に沿った距離の６５％以下である、
請求項８に記載の磁気ヘッド。
【請求項１０】
前記副磁極との間に前記主磁極を挟み込む磁気シールドを更に含み、
前記磁気シールドの端部から前記アライメントマークまでの前記トラック幅方向に沿った距離が、前記磁気シールドの端部から前記副磁極の端部までの前記トラック幅方向に沿った距離の２５％以上３５％以下である、
請求項８に記載の磁気ヘッド。
【請求項１１】
前記副磁極との間に前記主磁極を挟み込む磁気シールドを更に含み、
前記アライメントマークは、前記副磁極の端部と前記磁気シールドの端部とを結ぶ直線よりも前記主磁極の側に形成されている、
請求項８に記載の磁気ヘッド。
【請求項１２】
前記トラック幅方向の外部磁界が印加された場合に、前記アライメントマークから発せられる磁界の強度が、前記主磁極から発せられる磁界の強度よりも小さい、
請求項８に記載の磁気ヘッド。
【請求項１３】
前記トラック幅方向の外部磁界が印加された場合に、前記アライメントマークから発せられる磁界の強度が、前記副磁極の端部から発せられる磁界の強度よりも小さい、
請求項８に記載の磁気ヘッド。
【請求項１４】
前記副磁極との間に前記主磁極を挟み込む磁気シールドを更に含み、
前記トラック幅方向の外部磁界が印加された場合に、前記アライメントマークから発せられる磁界の強度が、前記磁気シールドの端部から発せられる磁界の強度よりも小さい、
請求項８に記載の磁気ヘッド。
【請求項１５】
軟磁性層と、該軟磁性層上に形成された磁気記録層とを含む垂直磁気記録用の磁気ディスクと、
回転する前記磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う垂直磁気記録用の磁気ヘッドであって、前記磁気ディスクと対向する浮上面に磁極面を有する主磁極および副磁極を少なくとも含む素子部と、前記主磁極の磁極面を研削加工する際に加工量を検出するための、磁性材料からなるアライメントマークと、前記主磁極の位置を基準として前記アライメントマークの内側から外側へ少なくとも連続した、磁性材料からなる部材と、を含む磁気ヘッドと、
を含む磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直磁気記録用の磁気ヘッド及び磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置が実用化の途を辿っている。垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置では、磁気記録層の下側に軟磁性裏打ち層が形成された磁気ディスクと、この磁気ディスクと対向する磁極面を有する主磁極および副磁極を含んだ単磁極型の磁気ヘッドとが用いられる。
【０００３】
こうした磁気ヘッドの主磁極は、磁極面に向かう長細形状の先端部を有しており、この先端部の長さが記録磁界の特性に影響を及ぼすため、磁極面を高精度に研削加工することが求められる。このため、磁気ヘッドにアライメントマークを設けて、加工量を検出しながら磁極面を研削加工する方法が採られることがある。
【特許文献１】特開２００６−１８５５５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、本発明者が研究を重ねた結果、アライメントマークが設けられた磁気ヘッドでは、磁気ディスク装置の筐体内に磁気ディスクの面内方向に沿った外部磁界が生じた場合に、磁気ディスクの軟磁性裏打ち層内の磁束が磁気ヘッドのアライメントマークに集中して、磁気記録層に記録されているデータを消去してしまう虞があることが判明した。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであり、アライメントマークによるデータの消去を抑制することが可能な垂直磁気記録用の磁気ヘッド及び磁気ディスク装置を提供することをその目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の磁気ヘッドは、回転する磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う垂直磁気記録用の磁気ヘッドであって、前記磁気ディスクと対向する浮上面に磁極面を有する主磁極および副磁極を少なくとも含む素子部と、前記主磁極の磁極面を研削加工する際に加工量を検出するための、磁性材料からなるアライメントマークと、前記主磁極の位置を基準として前記アライメントマークの内側から外側まで少なくとも連続した、磁性材料からなる部材と、を含むことを特徴とする。
【０００７】
本発明の一態様において、前記部材は、前記素子部に含まれる少なくとも一部の部材からなる。
【０００８】
本発明の一態様において、前記部材は、前記主磁極を基準として前記アライメントマークの反対側から該アライメントマークの外側まで連続している。
【０００９】
本発明の一態様において、前記アライメントマークは、前記主磁極の両側にそれぞれ形成され、前記部材は、前記主磁極の位置を基準として前記一方のアライメントマークの外側から前記他方のアライメントマークの外側まで連続している。
【００１０】
本発明の一態様において、前記部材は、少なくとも前記アライメントマークよりも外側の部分が、該アライメントマークよりも前記浮上面から離れている。
【００１１】
本発明の一態様において、前記部材は、前記素子部に含まれる副磁極と連続する部材である。
【００１２】
本発明の一態様において、前記素子部は、再生ヘッドと、該再生ヘッドを挟み込む一対の磁気シールドとを更に含み、前記部材は、前記一対の磁気シールドの少なくとも一方である。
【００１３】
次に、本発明の磁気ヘッドは、回転する磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う垂直磁気記録用の磁気ヘッドであって、前記磁気ディスクと対向する浮上面に磁極面を有する主磁極と、前記主磁極に対してトラック幅方向の少なくとも一方の側に形成され、前記主磁極の磁極面を研削加工する際に加工量を検出するための、磁性材料からなるアライメントマークと、前記トラック幅方向に沿って前記アライメントマークの外側まで端部が張り出した副磁極と、を含むことを特徴とする。
【００１４】
本発明の一態様において、前記主磁極から前記アライメントマークまでの前記トラック幅方向に沿った距離が、前記副磁極のうち前記主磁極に対応する位置から前記端部までの前記トラック幅方向に沿った距離の６５％以下である。
【００１５】
本発明の一態様において、前記副磁極との間に前記主磁極を挟み込む磁気シールドを更に含み、前記磁気シールドの端部から前記アライメントマークまでの前記トラック幅方向に沿った距離が、前記磁気シールドの端部から前記副磁極の端部までの前記トラック幅方向に沿った距離の２５％以上３５％以下である。
【００１６】
本発明の一態様において、前記副磁極との間に前記主磁極を挟み込む磁気シールドを更に含み、前記アライメントマークは、前記副磁極の端部と前記磁気シールドの端部とを結ぶ直線よりも前記主磁極の側に形成されている。
【００１７】
本発明の一態様において、前記トラック幅方向の外部磁界が印加された場合に、前記アライメントマークから発せられる磁界の強度が、前記主磁極から発せられる磁界の強度よりも小さい。
【００１８】
本発明の一態様において、前記トラック幅方向の外部磁界が印加された場合に、前記アライメントマークから発せられる磁界の強度が、前記副磁極の端部から発せられる磁界の強度よりも小さい。
【００１９】
本発明の一態様において、前記副磁極との間に前記主磁極を挟み込む磁気シールドを更に含み、前記トラック幅方向の外部磁界が印加された場合に、前記アライメントマークから発せられる磁界の強度が、前記磁気シールドの端部から発せられる磁界の強度よりも小さい。
【００２０】
次に、本発明の磁気ディスク装置は、軟磁性層と、該軟磁性層上に形成された磁気記録層とを含む垂直磁気記録用の磁気ディスクと、回転する前記磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う垂直磁気記録用の磁気ヘッドであって、前記磁気ディスクと対向する浮上面に磁極面を有する主磁極および副磁極を少なくとも含む素子部と、前記主磁極の磁極面を研削加工する際に加工量を検出するための、磁性材料からなるアライメントマークと、前記主磁極の位置を基準として前記アライメントマークの内側から外側へ少なくとも連続した、磁性材料からなる部材と、を含む磁気ヘッドと、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、磁気ディスクの面内方向に沿った外部磁界が生じた場合に、アライメントマークの内側から外側まで少なくとも連続した部材に磁束が吸収されるので、アライメントマークへの磁束の集中が緩和され、これによりアライメントマークによるデータの消去を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１に、本発明の一実施形態に係る磁気ディスク装置１の斜視図を示す。磁気ディスク装置１は、筐体１０（ＤＥ：Disk Enclosure）内に、磁気ディスク２及びヘッド支持部６などを収納している。なお、同図では、筐体１０の一部であるカバーの図示を省略している。
【００２４】
磁気ディスク２は、筐体１０の底部に設けられたスピンドルモータ３に取り付けられている。この磁気ディスク２は、垂直磁気記録用の磁気ディスクであり、磁気記録層の下側に軟磁性裏打ち層が形成されている。
【００２５】
ヘッド支持部６は、磁気ディスク２の隣に支承されている。このヘッド支持部６のアーム状の先端部には、本発明の一実施形態に係る磁気ヘッド４が支持されている。磁気ヘッド４は、回転する磁気ディスク２上に近接浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う。この磁気ヘッド４は、垂直磁気記録用の磁気ヘッドであり、具体的な構成については後に詳しく述べる。
【００２６】
他方、ヘッド支持部６の後端部には、ボイスコイルモータ７が設けられている。ボイスコイルモータ７は、ヘッド支持部６を旋回駆動し、磁気ヘッド４を磁気ディスク２の略半径方向に移動させる。
【００２７】
図２に、磁気ヘッド４の浮上の様子を示す。磁気ヘッド４は、磁気ディスク２と対向する浮上面４ａにＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されており、回転する磁気ディスク２上に空気のくさび膜効果によって浮上する。磁気ヘッド４は、アルミナとチタンカーバイトの焼結体（以下、アルチックという）からなる直方形状のスライダ４１と、このスライダ４１の空気流出側（トレーリング側）の端部に薄膜形成技術により形成された薄膜部４２とを有している。
【００２８】
この薄膜部４２内には、以下に説明する素子部５０が形成されている。なお、薄膜部４２のうち素子部５０以外の部分は、スライダ基板４１と同様にアルチックからなる。
【００２９】
図３は、薄膜部４２に形成された素子部５０を浮上面４ａの側から臨んだ図である。図４は、図３におけるＩＶ−ＩＶ線の断面図である。図５は、図３におけるＶ−Ｖ線の断面図である。なお、図中の矢印ＷＤの方向は、磁気ディスク２に形成されたトラックの幅方向（トラック幅方向）に対応する方向を表す。また、図中の矢印Ｔの方向はトレーリング方向を表し、矢印Ｒはリーディング方向を表す。
【００３０】
素子部５０は、単磁極型の記録ヘッドを構成する主磁極５１及び副磁極５３を含む。主磁極５１は、浮上面４ａに向けて延びた長細形状の先端部に磁極面５１ａを有しており、この磁極面５１ａが浮上面４ａに現れている。また、主磁極５１は、ヨーク５２に取り付けられており、このヨーク５２を挟み込むように配されたコイル５４ｕ，５４ｄによって励磁され、磁極面５１ａから記録磁界を発する。
【００３１】
副磁極５３は、主磁極５１に対してリーディング側に設けられており、浮上面４ａから離れた側が主磁極５１と磁気的に接続されている。主磁極５１の磁極面５１ａから発せられた記録磁界は、磁気ディスク２の磁気記録層を垂直方向に貫き、軟磁性裏打ち層内で折り返されて、副磁極５３に吸収される。なお、副磁極５３は、主磁極５１に対してトレーリング側に設けられてもよい。
【００３２】
この副磁極５３は、トラック幅方向ＷＤの両側にそれぞれ延伸した拡張部５３ｂ，５３ｃを有している。また、これら拡張部５３ｂ，５３ｃは、図５に示すように、浮上面４ａからやや引っ込んだ形状を有し、浮上面４ａには現れていない。なお、これに限らず、副磁極５３は、拡張部５３ｂ，５３ｃが浮上面４ａに現れるような直方形状であってもよい。
【００３３】
また、素子部５０は、副磁極５３との間に主磁極５１を挟み込むように配された記録シールド（磁気シールド）５５を更に含む。この記録シールド５５は、主磁極５１に対してトレーリング側に設けられており、主磁極５１の周囲のトレーリング側を取り囲む形状を有している。また、記録シールド５５は、主磁極５１に対してトラック幅方向ＷＤの両側を取り囲む形状を有するようにしてもよい。
【００３４】
また、素子部５０は、磁気抵抗効果素子からなる再生ヘッド５７と、この再生ヘッド５７を挟み込むように配された一対の再生シールド（磁気シールド）５８，５９とを更に含む。これら再生シールド５８，５９も、上記副磁極５３と同様の拡張部５８ｂ，５８ｃ，５９ｂ，５９ｃをそれぞれ有している。
【００３５】
なお、素子部５０に含まれる部材（コイル５４ｕ，５４ｄ及び再生ヘッド５７を除く）はパーマロイなどの軟磁性材料からなる。
【００３６】
次に、磁気ヘッド４の薄膜部４２には、図３に示すように、アライメントマーク６０ｂ，６０ｃ（以下、ＡＬマークという）が主磁極５１に対してトラック幅方向ＷＤの両側にそれぞれ配されている。これらＡＬマーク６０ｂ，６０ｃは、浮上面４ａ近辺に設けられており、浮上面４ａに端面が現れている。また、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃは、主磁極５１が取り付けられるヨーク５２（図４参照）と同層に設けられており、ヨーク５２と同じパーマロイなどの軟磁性材料からなる。
【００３７】
これらＡＬマーク６０ｂ，６０ｃは、主磁極５１の磁極面５１ａを研削加工（ラッピング）する際に加工量を検出するためのマークである。具体的には、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃには不図示の電極が接続されており、主磁極５１の磁極面５１ａとともにＡＬマーク６０ｂ，６０ｃが研削されると、その体積減少に伴って電気抵抗値が減少することから、この電気抵抗値からＡＬマーク６０ｂ，６０ｃの加工量を検出することで、主磁極５１の加工量を間接的に検出することができる。
【００３８】
こうした磁極面５１ａの研削加工は、磁気ヘッド４の浮上面４ａにＡＢＳ形状を研削加工する際に行われる。
【００３９】
ここで、上記副磁極５３は、図３に示すように、端部５３ｐ，５３ｑがトラック幅方向ＷＤに沿ってＡＬマーク６０ｂ，６０ｃの外側までそれぞれ張り出している。このため、図５に示すように、トラック幅方向ＷＤに沿った外部磁界が生じた場合に、磁気ディスク２の軟磁性裏打ち層２１内の磁束は、主に、一方のＡＬマーク６０ｃよりも外側に張り出した端部５３ｑ側から吸収され、副磁極５３内を通って、他方のＡＬマーク６０ｂよりも外側に張り出した端部５３ｐ側から再び軟磁性裏打ち層２１内に戻る経路を辿ることになる。このため、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃへの磁束の集中が緩和され、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃによるデータの消去を抑制することができる。
【００４０】
また、副磁極５３の拡張部５３ｂ，５３ｃが浮上面４ａから離れているため、端部５３ｑ側で軟磁性裏打ち層２１から吸収する磁束や、端部５３ｐ側で軟磁性裏打ち層２１に戻る磁束を、磁気記録層２２内で分散させることができる。これにより、磁気記録層２２のデータが消去される虞をより小さくすることができる。なお、この形状に限らず、図６に示す副磁極５３Ｚのように、拡張部５３ｂ，５３ｃが端部５３ｐ，５３ｑに向けて徐々に浮上面４ａから離れるようなテーパー形状を有するようにしてもよい。
【００４１】
また、上記再生シールド５８，５９も、副磁極５３と同様の形状を有することから、再生シールド５８，５９によっても上記の効果を得ることができる。従って、副磁極５３及び再生シールド５８，５９を並べることで、上記の効果を重畳させることができる。なお、副磁極５３を拡張部５３ｂ，５３ｃを有さない形状とし、再生シールド５８，５９の少なくとも一方によって上記の効果を得るようにしてもよい。
【００４２】
以上のように、副磁極５３が、主磁極５１の位置を基準としてＡＬマーク６０ｂ，６０ｃの内側から外側まで少なくとも連続していることで、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃへの磁束の集中を緩和することができるので、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃによるデータの消去を抑制することができる。
【００４３】
また、副磁極５３が、一方のＡＬマーク６０ｂの外側から他方のＡＬマーク６０ｃの外側まで連続しているので、幅広い範囲に亘って磁束を分散させることができる。また、１つの副磁極５３によって、２つのＡＬマーク６０ｂ，６０ｃへの磁束の集中をそれぞれ緩和することができる。
【００４４】
また、主磁極５１と接近して配される副磁極５３を、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃの内側から外側まで少なくとも連続した形状とすることで、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃに近い位置にある副磁極５３によって軟磁性裏打ち層２１からの磁束が吸収されるので、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃへの磁束の集中を効果的に緩和することができる。
【００４５】
なお、この場合に限らず、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃと同様の比較的小さな磁性部材が主磁極５１の付近に設けられている場合であっても、副磁極５３などが主磁極５１の位置を基準としてこの磁性部材の内側から外側まで少なくとも連続していれば、上記と同様の効果を得ることができる。
【００４６】
以下、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃが形成される位置を、図３を参照して具体的に説明する。なお、以下の説明では、一方のＡＬマーク６０ｂの位置について述べるが、他方のＡＬマーク６０ｃの位置についても同様である。
【００４７】
主磁極５１からＡＬマーク６０ｂまでのトラック幅方向ＷＤに沿った距離ＬＷＡは、副磁極５３の主磁極５１に対応する位置から端部５３ｐまでのトラック幅方向ＷＤに沿った距離ＬＷＲの６５％以下であることが好適である。
【００４８】
また、記録シールド５５の端部５５ｐからＡＬマーク６０ｂまでのトラック幅方向ＷＤに沿った距離ＬＳＡは、記録シールド５５の端部５５ｐから副磁極５３の端部５３ｐまでのトラック幅方向ＷＤに沿った距離ＬＳＲの２５％以上３５％以下であることが好適である。
【００４９】
また、ＡＬマーク６０ｂは、副磁極５３の端部５３ｐと記録シールド５５の端部５３ｐとを結ぶ直線Ｌｎよりも主磁極５１の側に形成されていることが好適である。
【００５０】
これらの場合、ＡＬマーク６０ｂよりも端部５３ｐが外側に張り出した副磁極５３によって、ＡＬマーク６０ｂへの磁束の集中を十分に緩和することができる。なお、ＡＬマーク６０ｂは、他の磁性部材に接触しない程度に主磁極５１に近づけることができる。
【００５１】
以上のように構成された磁気ヘッド４では、トラック幅方向ＷＤの外部磁界が印加された場合に、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃから発せられる磁界の強度を、主磁極５１から発せられる磁界の強度よりも小さくすることができる。ここで、主磁極５１から発せられる磁界は、外部磁界が印加された場合に上記コイル５４ｕ，５４ｄが主磁極５１を励磁することにより生じる磁界である。
【００５２】
また、トラック幅方向ＷＤの外部磁界が印加された場合に、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃから発せられる磁界の強度を、副磁極５３の端部５３ｐ，５３ｑから発せられる磁界の強度よりも小さくすることができる。
【００５３】
また、トラック幅方向ＷＤの外部磁界が印加された場合に、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃから発せられる磁界の強度を、磁気シールドの端部５３ｐ，５３ｑから発せられる磁界の強度よりも小さくすることができる。
【００５４】
以上の実施形態において、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃの位置をトラック幅方向ＷＤで変化させたときの、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃから発せられる磁界の強度を、３次元磁界計算により計算した。計算結果を図７に示す。なお、同図中の破線は、記録シールド５５の端部５５ｐ，５５ｑから発せられる磁界の強度を表す。これによると、ＡＬマーク６０ｂ，６０ｃを主磁極５１に向けて近づけていくと、徐々に磁界の強度が下がっていき、記録シールド５５の端部５５ｐ，５５ｑの手前で極小となる。
【００５５】
ここで、軟磁性裏打ち層２１の厚さは６０ｎｍとした。磁気シールド５５の厚さは５０ｎｍとした。主磁極５１と磁気シールド５５のトレーリング側の間隔を３０ｎｍ、サイド側の間隔は５０ｎｍとした。
【００５６】
その他の計算の条件は以下の通りである。主磁極５１の幅は５０ｎｍとした。主磁極５１の磁極面５１ａはベベル角を８度設けて、リーディング側の幅が狭い台形形状とした。膜厚は１０６ｎｍとした。主磁極５１の材料としてはＣｏＮｉＦｅを想定し、飽和磁束密度を２．４Ｔ、比透磁率を５００とした。主磁極５１のヨーク部５２は、飽和磁束密度が１．０Ｔの８０ａｔ％Ｎｉ−２０ａｔ％Ｆｅを想定した。補助磁極５３および再生シールド５８、５９は、飽和磁束密度が１．０Ｔの８０ａｔ％Ｎｉ−２０ａｔ％Ｆｅを想定した。その大きさは、浮上面４ａに現れたトラック幅ＷＤ方向の幅を３０μｍ、浮上面から離れた部分まで入れると９０μｍ、素子高さ方向の長さは１６μｍ、膜厚を２μｍとした。磁気シールド５５の磁性材料は、４５ａｔ％Ｎｉ−５５ａｔ％Ｆｅを想定して、飽和磁束密度を１．７Ｔ、比透磁率を１０００とした。
【００５７】
ＡＬマーク６０の材料としては、飽和磁束密度が１．０Ｔの８０ａｔ％Ｎｉ−２０ａｔ％Ｆｅを想定した。その大きさは、トラック幅方向ＷＤの幅を３μｍ、素子高さ方向の長さを３μｍ、膜厚を１．５μｍとした。
【００５８】
磁気ディスク２の軟磁性裏打ち層２１の材料としては飽和磁束密度１．３５Ｔを想定した。磁気記録層２２は膜厚を１６ｎｍだけ考慮した。磁気ヘッド４と磁気記録層２２表面までの距離は８．５ｎｍを仮定した。したがって、磁気ヘッド４と裏打ち層２１表面までの距離は４０ｎｍとした。記録磁界は、浮上面４ａから２０ｎｍの磁気記録層２２の中心位置を想定した位置で算出した。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気ディスク装置の斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドの浮上の様子を表す図である。
【図３】薄膜部に形成された素子部を浮上面の側から臨んだ図である。
【図４】図３におけるＩＶ−ＩＶ線の断面図である。
【図５】図３におけるＶ−Ｖ線の断面図である。
【図６】副磁極の変形例を示す図である。
【図７】アライメントマークの位置を変えたときの、アライメントマークから発せられる磁界の強度を表すグラフである。
【符号の説明】
【００６０】
１  磁気ディスク装置、２  磁気ディスク媒体、３  スピンドルモータ、４  磁気ヘッド、６  ヘッド支持部、７  ボイスコイルモータ、１０  筐体、２１  軟磁性裏打ち層、２２  磁気記録層、４１  スライダ、４２  薄膜部、４ａ  浮上面、５０  素子部、５１  主磁極、５１ａ  磁極面、５２  ヨーク、５３  副磁極、５４  コイル、５５  記録シールド、５７  再生ヘッド、５８，５９  再生シールド、６０  アライメントマーク。
【図１】
2009157971.tif 000003
【図２】
2009157971.tif 000004
【図３】
2009157971.tif 000005
【図４】
2009157971.tif 000006
【図５】
2009157971.tif 000007
【図６】
2009157971.tif 000008
【図７】
2009157971.tif 000009