(57)【要約】【課題】液体が静圧浮上パッド外に漏れ出すことを防止するとともに、照射光にゆらぎを生じさせないようにする。【解決手段】本発明は、レンズ液浸用液Ｌに浸されて、移動する原盤１０に照射光を露光可能に照射するための液浸対物レンズ１１１を有するとともに、上記原盤１０に対して微小間隔をもって対向し、かつ、その原盤に液浸対物レンズ１１１を介して照射光を照射するための出射孔１１２ａを有する静圧浮上パッドＢを備えた原盤露光装置において、上記出射孔１１２ａの周囲に複数形成され、かつ、上記静圧浮上パッドＢの原盤１０との対向面１１０ａに、その原盤１０に向けて開口された環状の送気溝１１４〜１１６と、それら各送気溝１１４〜１１６の気圧を、内周側のものから外周側のものに向けて高くなるように調圧する調圧手段Ｆ１を設けている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ液浸用液に浸漬されて、移動する原盤に照射光を露光可能に照射するための液浸対物レンズを有するとともに、上記原盤との間にレンズ液浸用液を介在させて対向し、かつ、その原盤に液浸対物レンズを介して照射光を照射するための液浸差動排液静圧浮上パッドを備えた原盤露光装置において、
上記液浸差動排液静圧浮上パッドと原盤との間に介在するレンズ液浸用液の周囲に環状に形成した複数の送気溝と、
上記各送気溝から送出する気体の圧力を、内周側のものから外周側のものに向けて高くなるように調圧する調圧手段とを備えていることを特徴とする原盤露光装置。
【請求項２】
上記液浸差動排液静圧浮上パッドには、上記原盤に液浸対物レンズを介して照射光を照射するための出射孔が形成されており、
複数の送気溝を、上記出射孔を中心とした同心円状に形成していることを特徴とする請求項１に記載の原盤露光装置。
【請求項３】
上記送気溝の最外周側に、上記液浸差動排液静圧浮上パッドの原盤との間に介在するレンズ液浸用液を吹き上げるための液吹上げ用送気溝と、
上記液吹上げ用送気溝の内周側に隣接して形成され、吹き上げられたレンズ液浸用液及び液浸差動排液静圧浮上パッドの原盤との間に介在するレンズ液浸用液を吸引回収するための液回収溝と、
上記液回収溝を介してレンズ液浸用液を吸引するための吸引手段とを有することを特徴とする請求項１に記載の原盤露光装置。
【請求項４】
上記液浸差動排液静圧浮上パッドには、上記液浸対物レンズをレンズ液浸用液に浸漬しておくための液浸部が形成されており、
上記レンズ液浸用液を上記液浸部に補給するための補液溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の原盤露光装置。
【請求項５】
レンズ液浸用液に浸漬されて、移動する原盤に照射光を露光可能に照射するための液浸対物レンズを有するとともに、上記原盤との間にレンズ液浸用液を介在させて対向し、かつ、その原盤に液浸対物レンズを介して照射光を照射するための原盤露光装置に用いる液浸差動排液静圧浮上パッドにおいて、
上記液浸差動排液静圧浮上パッドと原盤との間に介在するレンズ液浸用液の周囲に、
上記レンズ液浸用液の外方から内方に向けて気流を生じさせるための送気溝を複数形成したことを特徴とする原盤露光装置に用いる液浸差動排液静圧浮上パッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば光ディスク等の原盤露光装置及びこれに用いる液浸差動排液静圧浮上パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、原盤露光装置に用いられているレンズは、原盤表面とレンズ先端の差動距離の間が大気で屈折率は約１である。そのためレンズの開口率(NA:Numerical Aperture)が１を超えることはできない。
【０００３】
上記開口率ＮＡを１以上にして、ビーム径をより絞れる高密度露光を可能とする手段の一つとして、原盤表面とレンズ先端のＷＤ（ワークディスタンス）を光の波長以下に短くした近接場露光がある。
しかし、原盤表面とレンズ先端のＷＤ（ワークディスタンス）を光の波長以下に短くした構成では、微細な塵埃の影響を大きく受け（レンズ先端に塵埃が付着し原盤表面へダメージを与える）、高価な高クリーン環境が要求される。
これに対して、レンズと原盤との間に液体（例えば水等）を満たして、集光レンズのＮＡを増大させて液浸レンズとして機能させる方法も開示されている。
【０００４】
上記特許文献１に開示されている原盤露光装置では、レンズと原盤表面間を満たした液体を撒き散らしながら露光するため、飛散した液体が乾き汚れとなったり、飛散自体が振動発生源となり、精度を劣化させる不都合があった。
そこで本出願人は、特許文献２〜４の中に構成要素として記載され、非接触で高真空を実現することにより電子ビーム露光を可能とした液浸差動排液静圧浮上パッドを液浸露光に適用することを特許文献５において提案した。
【特許文献１】特開平１０−２５５３１９号公報
【特許文献２】特開２０００−０７６７０７号公報
【特許文献３】特開２０００−０７６７０８号公報
【特許文献４】特開２００１−２４２３００号公報
【特許文献５】特開２００４−３４９６４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した特許文献５において説明した液浸差動排液静圧浮上パッド（以下、単に「パッド」ともいう。）では、円形のパッド外周にある多孔質の環状気体静圧軸受部から噴出する気体により、原盤に対して約５μｍの隙間を保ち非接触状態にある。
また、パッド中央にあるレンズの液浸部からこの５μｍの隙間を通して漏れ出してくる液をその周りに同心円上に配した複数の環状吸引溝で回収する機構を採用している。
【０００６】
ところで、上記の液浸部に存在する液体には、分子間力（分子同士が引き合う力）が作用し、この力が液体の表面と内部で異なるために表面張力が生じる。この表面張力の大きな液体は、原盤のような固体表面と接触する場合に固体分子との分子間力が大きいほど良く濡らし、パッドと原盤との隙間に毛細管現象で入り込んでいく。
例えば、水の表面張力は７２．７５×１０−３Ｎ／ｍであり、エタノールやベンゼン等の他の液体と比べて数倍大きい。そのため、水を使った液浸露光においては、スピンドルが回転しパッドと原盤が相対的に高速移動（数ｍ／ｓ程度）するような状況では、パッドの環状吸引溝が複数あっても液体の回収が追いつかずパッド外に漏れ出し、原盤の遠心力で外に飛び散り周囲に散乱するという問題があった。
【０００７】
また、パッドと原盤が相対移動しないスピンドル停止状況でも、パッドとの隙間に入り込んだ液体が最内周の吸引溝から常に吸引回収され、パッド中心の液浸部（レンズ部）の液体が減り、常に補充する必要があった。このような液浸レンズ部の水の流れは、気泡の発生による照射光のゆらぎにつながり、露光品質的には無い方が望ましい。
【０００８】
そこで本発明は、レンズ液浸用液が液浸差動排液静圧浮上パッドと原盤との対向領域外に拡散漏出することを防止するとともに、照射光にゆらぎを生じさせない原盤露光装置及びこれに用いる液浸差動排液静圧浮上パッドの提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するための本発明の原盤露光装置は、レンズ液浸用液に浸漬されて、移動する原盤に照射光を露光可能に照射するための液浸対物レンズを有するとともに、上記原盤との間にレンズ液浸用液を介在させて対向し、かつ、その原盤に液浸対物レンズを介して照射光を照射するための液浸差動排液静圧浮上パッドを備えたものであり、上記液浸差動排液静圧浮上パッドと原盤との間に介在するレンズ液浸用液の周囲に環状に形成した複数の送気溝と、それら各送気溝から送出する気体の圧力を、内周側のものから外周側のものに向けて高くなるように調圧する調圧手段を設けたことを特徴としている。
【００１０】
同上の目的を達成するための本発明の液浸差動排液静圧浮上パッドは、レンズ液浸用液に浸漬されて、移動する原盤に照射光を露光可能に照射するための液浸対物レンズを有するとともに、上記原盤との間にレンズ液浸用液を介在させて対向し、かつ、その原盤に液浸対物レンズを介して照射光を照射するためのものであり、上記液浸差動排液静圧浮上パッドと原盤との間に介在するレンズ液浸用液の周囲に、上記レンズ液浸用液の外方から内方に向けて気流を生じさせるための送気溝を複数形成したことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、レンズ液浸用液が液浸差動排液静圧浮上パッドと原盤との対向領域外に拡散漏出することを防止するとともに、照射光にゆらぎを生じさせない原盤露光装置及びこれに用いる液浸差動排液静圧浮上パッドを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の概略構成を示す概略ブロック図、図２は、原盤露光装置に用いられる液浸差動排液静圧浮上パッドの底面図、図３は、その液浸差動排液静圧浮上パッドの拡大断面図、図４は、図３に包囲線Ｉで示す部分の拡大図である。
【００１３】
本発明の一実施形態に係る原盤露光装置Ａは、ターンテーブル機構２０、液浸差動排液静圧浮上パッドＢ、レーザー駆動部３０、反射検出機構４０、正圧部５０、負圧部６０、液供給部７０、排液部８０、タンク９０、調圧部１００及び制御部Ｃを有して構成されている。
【００１４】
ターンテーブル機構２０は、中心軸線Ｏ１を中心にして回転自在なターンテーブル２１、このターンテーブル２１を回転させるためのスピンドル回転機構２２及び、そのターンテーブル２１を中心軸線Ｏ１を通る直径線（図示しない）上で移動するスライド機構２３を有して構成されており、詳細を後述する制御部Ｃから出力される駆動情報により駆動されるようになっている。
【００１５】
液浸差動排液静圧浮上パッド（以下、単に「浮上パッド」という。）Ｂは、ターンテーブル２１上に真空吸着された原盤１０に露光可能に照射光であるレーザー光を照射するものであり、その詳細は次のとおりである。
浮上パッドＢは、パッド本体１１０と液浸対物レンズ１１１とを有している。
パッド本体１１０は所要の厚みにした円板形のものであり、これの中心軸線Ｏ２に一致して液浸部１１２を凹陥形成している。
【００１６】
液浸部１１２の底部には、液浸対物レンズ１１１を介して導光されたレーザー光２５を原盤１０に照射するための出射孔１１２ａが形成されている。
液浸対物レンズ１１１は、高開口率の対物レンズとして機能するものであり、高屈折率のレンズ液浸用液Ｌによる液浸状態にして液浸部１１２に浸漬収容され、圧電素子やボイスコイルモータ等で構成されるアクチュエータ２４により中心軸線Ｏ２に沿う方向、換言すると、原盤１０に対して接近及び離間する方向で移動されるようになっている。
【００１７】
パッド本体１１０の原盤１０との対向面１１０ａには、これの内周側から外周側に向けて、それぞれ原盤１０に向けて開口した補液溝１１３、３つの送気溝１１６，１１５，１１４、液回収溝１１７、及び液吹上げ用送気溝１１８が中心軸線Ｏ２、従ってまた、出射孔１１２ａを中心として同心円状に形成されている。
そして、液吹上げ用送気溝１１８の外周側に、浮上パッドＢを原盤１０から所要の寸法ｔだけ浮上させるためパッド浮上部１１９が、上記と同じく中心軸線Ｏ２を中心とした円環状に形成されている。
本実施形態においては、上記所要の寸法ｔを５μｍとしているが、これに限るものではない。
【００１８】
液吹上げ用送気溝１１８は、液回収溝１１７の開口１１７ｂ（図３参照）に近接して開口されているとともに、その液回収溝１１８の開口に向けて所要の角度に傾斜して形成されている。換言すると、気体を内周側であって原盤１０に向けて送出するように傾斜して形成されている。
また、液回収溝１１７等に比較して小さい断面積（流路断面積）に形成することにより、整流された気体を高速度で噴出できるようにしている。
「所要の角度」は、浮上パッドＢと原盤１０との間のレンズ液浸用液が、その浮上バッドＢの周囲に拡散漏出しないように、そのレンズ液浸用液を液回収溝１１７に漏れなく吹き上げ誘導できる程度に設定している。
【００１９】
パッド浮上部１１９は、原盤１０に対して上記した所要の間隔ｔをもって対向させるためのものであり、パッド本体１１０の対向面１１０ａであって、その外縁部に形成された段差１１０ｃの上壁面に、２つの送気用溝１１０ｄ，１１０ｅを上記中心軸線Ｏ２を中心とした円環状に形成するとともに、その段差１１０ｃに円環状の多孔質体１２０を配設した構成のものである。
【００２０】
パッド本体１１０内には、所要の気体を送気溝１１４，１１５，１１６、１１０ｄ，１１０ｅに送給するための送気路１１４ａ，１１５ａ，１１６ａ、１１０ｆ、レンズ液浸用液を液浸部１１２に送給するための送液路１１２ｂ、レンズ液浸用液を補液溝１１３に送給するための送液路１１３ａ、液回収溝１１７から回収したレンズ液浸用液を排出するための排液路１１７ａ、液吹上げ用送気溝１１８に気体を送給するための送気路１１８ａが形成されている。
【００２１】
送気路１１４ａ，１１５ａは、上記送気溝１１４，１１５に一端を連通しているとともに、他端を周壁１１０ｂに開口して形成され、それら各他端には、送気パイプ２００，２０１を介して上記調圧部１００が接続されている。
なお、送気路１１６ａの一端は送気溝１１６に連通され、他端は大気に開放されている。
【００２２】
送気路１１８ａは、液吹上げ用送気溝１１８に一端を連通しているとともに、他端を周壁１１０ｂに開口して形成され、その他端には、送気パイプ２０２を介して調圧部１００が接続されている。
送気路１１０ｆは、パッド浮上部１１９の送気溝１１０ｄ，１１０ｅに一端を連通しているとともに、他端を周壁１１０ｂに開口して形成され、その他端には、送気パイプ２０３を介して正圧部５０が接続されている。
【００２３】
送液路１１２ｂは、上記した液浸部１１２に一端を連通しているとともに、他端を周壁１１０ｂに開口して形成され、その他端には、送液パイプ２０４を介して液供給部７０が接続されている。
送液路１１３ａは、補液溝１１３に一端を連通しているとともに、他端を周壁１１０ｂに開口して形成され、その他端には、送液パイプ２０５を介して液供給部７０が接続されている。
排液路１１７ａは、液回収溝１１７に一端を連通しているとともに、他端を周壁１１０ｂに臨ませて形成され、その他端には送液パイプ２０６を介して排液部８０が接続されている。
【００２４】
正圧部５０は、連結パイプ２０７〜２１０を介して液供給部７０、伸縮部１３０、調圧部１００、パッド浮上部１１９にそれぞれ接続されており、圧縮空気（圧縮気体）によって正圧を各部に付与する機能を有している。
負圧部６０は、連結パイプ２１１を介して排液部８０に接続されており、圧縮空気によって負圧を付与する機能を有している。
【００２５】
調圧部１００は、上記した各送気溝１１４，１１５，液吹上げ用送気溝１１８の各気圧を互いに独立して調圧するものであり、詳細を後述する制御部Ｃから出力される調圧情報に基づいて機能するようになっている。
具体的には、大気圧となっている送気溝１１６よりも、送気溝１１５，１１４の気圧を高しており、さらには、送気溝１１５よりも送気溝１１４の気圧が高くなるように調圧設定されている。換言すると、各送気溝１１４〜１１６の気圧を、内周側のものから外周側のものに向けて高くなるように調圧しているのである。
調整する各圧力は、制御部Ｃから送出される調圧情報により個別に増減できるようになっているが、予め所定の圧力に設定しておいてもよい。
【００２６】
液供給部７０は、正圧部５０から圧送される圧縮気体によってレンズ液浸用液を供給する機能を有している。
排液部８０は、負圧部６０により吸圧される圧縮気体によって、液回収溝１１７を通じてレンズ液浸用液Ｌを吸引回収する機能を有している。
タンク９０は、排液部８０によって吸引回収したレンズ液浸用液Ｌを濾過するとともに、一次的に貯留するものである。
伸縮部１３０は、正圧部５０から圧送される圧縮気体により伸縮することにより、基台１３１に対してパッド本体１１０を原盤１０に対して接離する方向に移動させる機能を有している。
【００２７】
制御部Ｃは、本装置の制御中枢となるものであり、所要のプログラムの実行によって、レーザー駆動部３０、スピンドル回転機構２２、スライド機構２３、正圧部５０、負圧部６０、排液部８０、アクチュエータ２４及び調圧部１００をそれぞれ駆動制御するとともに、反射検出機構４０、液供給部７０、排液部８０からそれぞれ出力される各検出信号によって、レーザー光が合焦状態となるように液浸対物レンズ１１１をアクチュエータ２４により原盤１０に接離する方向で移動させる機能を有している。
【００２８】
本実施形態においては、制御部Ｃ、正圧部５０及び調圧部１００により、各送気溝１１４，１１５の気圧を、内周側のものから外周側のものに向けて高くなるように調圧する調圧手段Ｆ１（図１参照）を構成している。
また、制御部Ｃ、負圧部６０及び排液部８０により、液回収溝１１７を介してレンズ液浸用液Ｌを吸引するための吸引手段Ｆ２（図１参照）を構成している。
【００２９】
以上のように構成された原盤露光装置の動作について、図５〜９を参照して説明する。図５は、原盤露光装置の一連の動作を示すメインフローチャート、図６は、詳細なワーク交換動作を示すサブフローチャートであり、図５のステップＳ１に対応するものである。なお、以下に「ワーク」と呼称しているものは、上記した原盤のことである。
【００３０】
ステップＳ１（図５において単に「Ｓ１」と記す。以下、各図において同様とする）：ターンテーブル２１上に、露光される他のワークがあるか否かを判断し、ワークがあると判断すればステップＳ２に進み、ワークがないと判断すれば処理を終了する。
【００３１】
ステップＳ１の詳細な処理内容は、図６に示すとおりである。
ステップＴ１：制御部Ｃは、正圧部５０から伸縮部１３０への圧縮気体の供給を停止して、浮上パッドＢを原盤１０から離間する方向に収縮させる。このとき、スライド機構２３によりターンテーブル２１をワーク交換位置に移動する。
ステップＴ２：露光後のワークを取り除き、露光前の他のワークをターンテーブル２１に真空吸着させて、ステップＴ３に進む。
【００３２】
ステップＴ３：制御部Ｃは、浮上パッドＢを原盤１０から離間させた状態のまま、スライド機構２３によりターンテーブル２１を露光位置に移動してステップＴ４に進む。
ステップＴ４：制御部Ｃは、他のワークがあるか否かを判断し、他のワークがあると判断したときはステップＴ１へ戻り、ステップＴ１〜ステップＴ４の処理及び判断を繰り返し実行し、他のワークがないと判断したときにはステップＳ２に進む。
【００３３】
ステップＳ２（図５参照）：制御部Ｃは、正圧部５０から伸縮部１３０に圧縮気体を供給して、浮上パッドＢを原盤１０に近接する方向に伸張させることにより、浮上パッドＢを下降させる。
ステップＳ３：制御部Ｃは、正圧部５０からの圧縮気体をパット浮上部１１９に供給して、浮上パッドＢを原盤１０から離間浮上させる。
【００３４】
ステップＳ４：排液部８０によりレンズ液浸用液Ｌを回収することにより、浮上パッドＢを下降させ、その浮上パッドＢとワーク（原盤１０）とを所要の間隔ｔにする。
具体的には、制御部Ｃは、液回収溝１１７から負圧部６０による圧縮気体の吸引と、正圧部５０からパット浮上部１１９への圧縮気体の供給による浮上とがつりあう状態にして、浮上パッドＢが、原盤１０に対して所要の微小間隔（５μｍ）をもって対向するように維持させる。
このとき、送気溝１１４〜１１６の気圧が送気溝の気圧を、内周側のものから外周側のものに向けて高くなるように調圧しているので、浮上パッドＢの対向面１１０ａと原盤１０との間には、外周から内周に向かう気流が生じる。
その気流により、浮上パッドＢの対向面１１０ａと原盤１０との間に介在しているレンズ液浸用液Ｌは、それら浮上パッドＢの対向面１１０ａと原盤１０との対向領域を超えて周囲に拡散することを防止している。
【００３５】
ステップＳ５：吸引状態でレンズ液浸用液Ｌを回収する。具体的には、制御部Ｃは、排液部８０により液回収溝１１７から負圧部６０による圧縮気体の吸引によりレンズ液浸用液Ｌを吸引して排液する。このとき、排液部８０により吸引したレンズ液浸用液をタンク９０に一時的に貯留する。
【００３６】
図７を参照して、上記ステップＳ４，Ｓ５の詳細な液回収動作について説明する。図７は、ステップＳ４，Ｓ５に対応する詳細なフローチャートである。
ステップＵ１：排液部８０によってレンズ液浸用液Ｌを回収する。具体的には、制御部Ｃは、負圧部６０による圧縮気体の吸引により、排液部８０により液回収溝１１７からレンズ液浸用液Ｌを吸引して排液する。
【００３７】
液回収溝１１７からレンズ液浸用液を吸引する際、図４に示すように、液吹上げ用送気溝１１８から気体を高速度で吹き付けることにより、浮上パッドＢと原盤１０との間のレンズ液浸用液Ｌを液回収溝１１７に向けて吹き上げ誘導することができる。これにより、レンズ液浸用液Ｌを漏れなく効率よく回収できる。
【００３８】
ステップＵ２：間隙が５μｍであるか否かを判断し、間隙が５μｍでないと判断したときはステップＵ１へ戻って、ステップＵ１〜Ｕ２の処理及び判断を繰り返し実行し、隙間が５μｍであると判断したときはステップＵ３に進む。
【００３９】
ステップＵ３：回収したレンズ液浸用液をタンク９０に一時的に貯留する。すなわち、制御部Ｃは、排液部８０により液回収溝１１７からレンズ液浸用液Ｌを吸引して、タンク９０に一時的に貯留する。
【００４０】
ステップＳ６（図５参照）：液供給部７０によりレンズ液浸用液Ｌを補給する。具体的には、制御部Ｃは、液供給部７０により液浸対物レンズ１１１を収容する液浸部１１２に正圧部５０からの圧縮気体を介してレンズ液浸用液Ｌを供給する。これにより、液浸対物レンズ１１１を、高屈折率のレンズ液浸用液Ｌに浸した液浸状態とすることにより高開口率の対物レンズとして機能する。
【００４１】
ステップＳ７：対物レンズ１１１を下降させる。具体的には、制御部Ｃは、液浸対物レンズ１１１をアクチュエータ２４により原盤１０に対して接近する方向に移動させる。
【００４２】
ステップＳ８：合焦点であるか否かを判断する。合焦点であると判断したときはステップＳ９に進み、また、合焦点でないと判断したときはステップＳ７へ戻って、ステップＳ７，Ｓ８の処理及び判断を繰り返し実行する。
【００４３】
図８は、液浸対物レンズ１１３の下降動作を示すフローチャートであり、図５に示すステップＳ７、Ｓ８に対応するものである。
ステップＷ１：制御部Ｃからアクチュエータ２４に駆動信号を送出する。具体的には、制御部Ｃは、アクチュエータ２４に液浸対物レンズ１１１を下降させるための駆動信号を送出する。
【００４４】
ステップＷ２：アクチュエータ２４によって液浸対物レンズ１１１を下降させる。具体的には、アクチュエータ２４が下方に進出することにより液浸対物レンズ１１１を下降させる。
ステップＷ３：制御部Ｃは、レーザー駆動部３０によってフォーカス調整用レーザーを照射する。
【００４５】
ステップＷ４：制御部Ｃは、原盤１０に対する反射レーザー照射光の検出機構４０によりレーザー照射光を検出する。
ステップＷ５：制御部Ｃは、合焦点であるか否かを判断する。具体的には、制御部Ｃは、原盤１０に対する反射レーザー照射光の検出機構４０により検出されたレーザー光が合焦点状態であるか否かを判断する。合焦点状態でないと判断したときは、ステップＷ１へ戻って、ステップＷ１〜ステップＷ５の処理及び判断を繰り返し実行する。
【００４６】
ステップＳ９（図５参照）：露光動作を行う。具体的には、制御部Ｃは、浮上パッドＢを用いて、レーザー駆動部３０からのレーザー光２５を介してスピンドル回転機構２２及びスライド機構２３により回転及びスライド移動するターンテーブル１１上の原盤１０に露光を行う。
【００４７】
図９は露光動作を示すフローチャートであり、図５に示すステップＳ９に対応している。
ステップＸ１：レーザー駆動部３０が露光用レーザーを照射する。具体的には、制御部１９は、レーザー駆動部３０により露光用レーザー光を照射させる。
ステップＸ２：スピンドルの回転に応じてスライド機構２３でターンテーブル２１を内周から外周に移動する。
具体的には、制御部Ｃは、浮上パッドＢを用いて、レーザー駆動部３０からのレーザー光２５をスピンドル回転機構２２及びスライド機構２３により回転及びスライド移動するターンテーブル２１上の原盤１０にらせん状に露光するように照射する。
ステップＸ３：露光終了か否かを判断し、露光終了までステップＸ２へ戻って、ステップＸ２，３の処理及び判断を繰り返す。
【００４８】
上述した原盤露光装置Ａ及びこれに用いる液浸差動排液静圧浮上パッドＢによれば、液浸部１１２のレンズ液浸用液の減少（液体の流れ）を無くすことができるので、レーザー光にゆらぎを生じさせることがない。
また、レンズ液浸用液Ｌが液浸差動排液静圧浮上パッドＢと原盤１０との対向領域外に拡散漏出することを防止できる。
【００４９】
なお、本発明は上述した実施形態に限るものではなく、次のような変形実施が可能である。
・上述した実施形態においては、単一の補液溝を形成した例を示しているが、必要に応じて２つ以上形成してもよい。
・上述した実施形態においては、液浸差動排液静圧浮上パッドと原盤との間に介在するレンズ液浸用液の周囲に３つの送気溝を円環状に形成した例について説明したが、円形に限るものではなく、また、形成する数も３つに限らず、適宜増減できるものである。
・上述した実施形態においては、調圧部１００により、上記した各送気溝１１４，１１５，液吹上げ用送気溝１１８の各気圧を調圧する例について説明したが、それを正圧部５０に連結して調圧してもよい。この場合、調圧手段は、制御部Ｃと正圧部５０とにより構成されることになる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の概略構成を示す概略ブロック図である。
【図２】液浸差動排液静圧浮上パッドの底面図である。
【図３】同上の液浸差動排液静圧浮上パッドの拡大断面図である。
【図４】図３に包囲線Ｉで示す部分の拡大図である。
【図５】一連の動作を示すフローチャートである。
【図６】ワーク交換動作を示すフローチャートである。
【図７】液回収動作を示すフローチャートである。
【図８】液供給動作を示すフローチャートである。
【図９】露光動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５１】
１０…原盤、１１１…液浸対物レンズ、１１２ａ…出射孔、１１４〜１１６…送気溝、１１７…液吹上げ用送気溝、１１８…液回収溝、１１２…液浸部、１１３…補液溝、Ｂ…静圧浮上パッド、Ｆ１…調圧手段、Ｆ２…排液手段、Ｌ…レンズ液浸用液。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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