(57)【要約】【課題】移載対象物の撓みを抑制すると共に、移載能率の向上を図ることができる移載装置を提供する。【解決手段】ガラス基板を搬送するハンド装置から受け渡されたガラス基板を支持すると共に、支持したガラス基板を搬送ライン２に移載する移載装置であって、ハンド装置の移動経路上に位置し、ガラス基板を支持する支持位置と、上記移動経路上から退避する退避位置との間を、互いに独立して駆動される複数の支持装置４を有するという構成を採用する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移載対象物を搬送するハンド装置から受け渡された移載対象物を支持すると共に、前記支持した移載対象物を移載部に移載する移載装置であって、
前記ハンド装置の移動経路上に位置し、前記移載対象物を支持する支持位置と、前記移動経路上から退避する退避位置との間を、互いに独立して駆動される複数の支持装置を有することを特徴とする移載装置。
【請求項２】
前記移動経路上における前記ハンド装置の位置に応じて、複数の前記支持装置の駆動をそれぞれ制御する制御装置を有することを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
【請求項３】
前記移動経路上における前記ハンド装置の位置を検出する検出センサを有し、
前記制御装置は、前記検出センサの検出結果に基づいて、複数の前記支持装置の駆動をそれぞれ制御することを特徴とする請求項２に記載の移載装置。
【請求項４】
前記支持装置は、前記ハンド装置の移動方向において複数の列を形成するように設けられており、
前記制御装置は、前記列毎に制御することを特徴とする請求項２または３に記載の移載装置。
【請求項５】
前記支持装置は、前記移載対象物の両端縁部を支持する位置及び、前記両端縁部の間で支持する位置に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の移載装置。
【請求項６】
前記支持装置は、前記移載対象物の重心位置近傍に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の移載装置。
【請求項７】
回転軸方向に向かうにつれて漸次縮径するローラの、前記縮径部を互いに対向させて配設されたローラ装置を有し、
前記移載対象物を前記ローラ装置の前記縮径部に載置して、前記移載部に移載することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、コンベヤ上を搬送されるガラス基板等の移載対象物を、吸着孔を有するロボットにて支持すると共に、処理ステージに移載する移載装置が開示されている。当該移載装置は、ガラス基板の両端縁部を複数の搬送ローラで支持すると共に、ロボットが、対向して設けられる搬送ローラの間において、コンベヤの搬送経路上に出没することで、搬送ローラからガラス基板を受け取る構成となっている。
【特許文献１】特開平９−４８５２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記構成の移載装置は、移載対象物の両端縁部を搬送ローラで支持する構成であるため、移載対象物の中央部が自重により撓んでしまう。したがって、例えば、移載対象物が表面に所望の回路が形成されたガラス基板等である場合、撓みによる応力で当該回路が損傷し、製品の歩留まりに影響を与える虞がある。
また、近年、上記のようなコンベヤの代わりにハンド装置を用いて移載対象物の撓みを抑制しつつ搬送することがなされているが、ハンド装置から移載対象物を受け取る支持装置は、ハンド装置の周囲を囲うようにその移動経路上に出没し、移載対象物をハンド装置から受け取って支持する構成のものが用いられている。しかし、ハンド装置は、当該支持装置が出没することによりその移動経路を塞がれることから、移載対象物が処理ステージに完全に移載されるまでその場で待機しなければならないため、次の移載対象物を受け取りに行けず、移載装置の移載能率が低下するといった問題がある。
【０００４】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、移載対象物の撓みを抑制すると共に、移載能率の向上を図ることができる移載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明は、移載対象物を搬送するハンド装置から受け渡された移載対象物を支持すると共に、上記支持した移載対象物を移載部に移載する移載装置であって、上記ハンド装置の移動経路上に位置し、上記移載対象物を支持する支持位置と、上記移動経路上から退避する退避位置との間を、互いに独立して駆動される複数の支持装置を有するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、支持位置にある支持装置で移載対象物を支持すると共に、ハンド装置の移動経路上の支持装置を順次退避位置に駆動させることでハンド装置の移動経路を確保することが可能となる。
【０００６】
また、本発明では、上記移動経路上における上記ハンド装置の位置に応じて、複数の上記支持装置の駆動をそれぞれ制御する制御装置を有するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、ハンド装置の位置に応じた支持装置の円滑な駆動が可能となる。
【０００７】
また、本発明では、上記移動経路上における上記ハンド装置の位置を検出する検出センサを有し、上記制御装置は、上記検出センサの検出結果に基づいて、複数の上記支持装置の駆動をそれぞれ制御するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、ハンド装置の位置を検出センサにより検出し、ハンド装置の移動経路上の位置を正確に把握することで、支持装置のより円滑な駆動が可能となる。
【０００８】
また、本発明では、上記支持装置は、上記ハンド装置の移動方向において複数の列を形成するように設けられており、上記制御装置は、上記列毎に制御するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、複数の支持装置を各々個別に制御する場合と比べ、駆動制御の簡易化及び効率化を図ることができる。
【０００９】
また、本発明では、上記支持装置は、上記移載対象物の両端縁部を支持する位置及び、上記両端縁部の間で支持する位置に設けられているという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、移載対象物を、両端縁部と、さらに、その両端縁部の間において支持することで、移載対象物の撓みを抑制することが可能となる。
【００１０】
また、本発明では、上記支持装置は、上記移載対象物の重心位置近傍に設けられているという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、撓みが大きく発生する重心位置近傍を支持することで、撓みを効率よく抑制することが可能となる。
【００１１】
また、本発明では、回転軸方向に向かうにつれて漸次縮径するローラの、上記縮径部を互いに対向させて配設されたローラ装置を有し、上記移載対象物を上記ローラ装置の上記縮径部に載置して、上記移載部に移載するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、移載対象物の端部を縮径部により規制し、移載対象物の姿勢を一定とさせることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、移載対象物を搬送するハンド装置から受け渡された移載対象物を支持すると共に、上記支持した移載対象物を移載部に移載する移載装置であって、上記ハンド装置の移動経路上に位置し、上記移載対象物を支持する支持位置と、上記移動経路上から退避する退避位置との間を、互いに独立して駆動される複数の支持装置を有するという構成を採用することによって、移載対象物を支持すると共に、ハンド装置の移動経路を確保することが可能となる。また、移載対象物の中央部を支持するように支持装置を配置することも可能となる。
したがって、本発明では、移載対象物の撓みを抑制すると共に、移載能率の向上を図ることができる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１４】
図１は、本発明の実施形態における移載装置１のブロック構成図である。
図２は、本発明の実施形態における支持部３の構成を説明する図である。
図３は、本発明の実施形態におけるハンド装置２０の構成を説明する平面図である。
なお、図２（ａ）は支持部３の平面図を、図２（ｂ）は支持部３の正面図を示す。
移載装置１は、移載対象物であるガラス基板を、図２に示す搬送ローラ２ａが列を成して設けられた搬送ライン（移載部）２上に移載するものであり、図１に示すように、支持部３と、ハンド装置２０と、制御装置３０とを有する。
【００１５】
支持部３は、図２に示すように、互いに独立して駆動される複数の支持装置４と、支持装置４に支持されたガラス基板を搬送ライン２に移載するローラ装置５と、ハンド装置２０の移動経路上の位置を検出する不図示の検出センサ９（図１参照）とを有する。
支持装置４は、図２（ｂ）に示すように、ガラス基板と当接する支持ピン４ａと、支持ピン４ａを昇降駆動する支持ピン駆動部４ｂとから構成される。支持ピン駆動部４ｂは、モータ等から構成される駆動源を有し、図１に示すように、制御装置３０と電気的に接続され、制御装置３０の制御の下、支持ピン４ａを昇降駆動させる構成となっている。より詳しくは、支持ピン駆動部４ｂは、支持ピン４ａを、ハンド装置２０の移動経路上に位置し、ガラス基板を支持する支持位置（図２（ｂ）において２点鎖線で示す）と、ハンド装置２０の移動経路上から退避する退避位置（図２（ｂ）において実線で示す）との間を移動自在にさせる構成となっている。
【００１６】
このような構成の支持装置４は、ハンド装置の移動方向（図２において紙面左右方向）において複数の列を形成するように配設される。また、支持装置４は、移動方向と直交する方向において、ガラス基板の両端縁部を支持する両端位置と、その両端縁部の中間でガラス基板を支持する中間位置に設けられている。したがって、本実施形態における支持装置４は、図２（ａ）に示すように、３行５列で配設される構成となっている。
なお、以下の説明で、支持装置４によって構成される列を、左端の列から順に、Ａ列、Ｂ列、Ｃ列、Ｄ列、Ｅ列と称して説明することがある。
【００１７】
ローラ装置５は、コニカルローラ（ローラ）６を同期して回転駆動させるローラ回転駆動部７と、コニカルローラ６を昇降させるローラ昇降駆動部８（図２において不図示、図１参照）とを有する。
ローラ回転駆動部７は、モータ等から構成される駆動源を有し、制御装置３０と電気的に接続され、制御装置３０の制御の下、コニカルローラ６を回転駆動させる構成となっている。
【００１８】
ローラ昇降駆動部８は、モータ等から構成される駆動源を有し、制御装置３０と電気的に接続され、制御装置３０の制御の下、コニカルローラ６を昇降駆動させる構成となっている。ローラ昇降駆動部８は、コニカルローラ６を、支持装置４の支持位置より高い移載位置（図２（ｂ）において２点鎖線で示す）と、支持装置４の退避位置より低い待機位置（図２（ｂ）において実線で示す）との間を移動自在にさせる構成となっている。
【００１９】
コニカルローラ６は、略円錐形状を有し、回転軸方向に向かうにつれて漸次縮径する縮径部６ａを備える。コニカルローラ６は、互いに、縮径部６ａを対向させて配設され、ガラス基板がコニカルローラ６の縮径部６ａに載置可能となるように離間して回転軸６ｂにより接続される。
また、各回転軸６ｂは、ローラ回転駆動部７と、チェーンあるいはベルト等の回転駆動伝達部材７ａを介して互いに接続されており、ローラ回転駆動部７の駆動に応じてコニカルローラ６を同期回転させる構成となっている。
【００２０】
検出センサ９は、図１に示すように、Ａ列、Ｂ列、Ｃ列、Ｄ列、Ｅ列の各列に対応してそれぞれ設けられる。検出センサ９は、本実施形態では、例えば、光学式の位置検出センサであって、ハンド装置２０の位置を非接触で検出するものである。このような検出センサ９は、制御装置３０と電気的に接続され、検出結果を順次、制御装置３０に出力する構成となっている。
【００２１】
ハンド装置２０は、ガラス基板２１（図３において２点鎖線で示す）を支持部３上に搬送するものであり、２本のフレームを直交して掛け渡して形成されたような形状を有する井桁型のロボットハンドである。また、ハンド装置２０は、図１に示すように、ハンド駆動部２０ａと、ハンド駆動量検出部２０ｂとを有する。
【００２２】
ハンド駆動部２０ａは、モータ等から構成される駆動源を有し、制御装置３０と電気的に接続され、制御装置３０の制御の下、ハンド装置２０本体を所望の位置に移動させる構成となっている。
また、ハンド駆動量検出部２０ｂは、ハンド駆動部２０ａに設けられたモータの駆動量を検出するエンコーダ等から構成され、制御装置３０と電気的に接続され、検出結果を順次、制御装置３０に出力する構成となっている。
【００２３】
ハンド装置２０は、図３に示すように、井桁型の板状保持部材１４と、ガラス基板２１を吸着する基板吸着パッド部１５と、基板吸着パッド部１５が設けられる基板保持アーム１６と、ガラス基板２１の両端を規制する規制部材２２とを有する。
板状保持部材１４には、開口部１４ａ及び開口部１４ｂが形成されている。開口部１４ａは、ガラス基板２１を支持する際に、ガラス基板２１の中央部に対応する位置に形成されている。
【００２４】
基板保持アーム１６は、先端側１６ａに基板吸着パッド部１５が設けられ、基端側が板状保持部材１４と軸部２３を介して接続されている。基板吸着パッド部１５は、不図示のエアー配管によって負圧が供給され、ガラス基板２１を吸着する構成となっている。
このような、基板保持アーム１６は、軸部２３を基端として、先端側１６ａが図３において紙面垂直方向に揺動可能となり、例えば、ガラス基板２１が撓み等で変形したものであっても、その変形に対応してガラス基板２１に密接し、基板吸着パッド部１５により吸着支持する構成となっている。
【００２５】
制御装置３０は、図１に示すように、制御部３１と、記憶部３２とを有する。
制御部３１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の電子部品及び電子回路、並びに各支持ピン駆動部４ｂ、各検出センサ９、ローラ回転駆動部７、ローラ昇降駆動部８、ハンド駆動部２０ａ、ハンド駆動量検出部２０ｂ及び記憶部３２とのデータ授受を行う各種入出力インターフェース回路等から構成されている。
記憶部３２は、ＲＯＭ（Read Only Memory）や、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の内部メモリから成り、支持装置４、ローラ装置５及びハンド装置２０等の制御プログラム、演算パラメータ、位置データ等が記憶される構成となっている。
なお、本実施形態における制御装置３０は、ハンド装置２０の移動経路上の位置に応じて、支持装置４を列毎に制御する構成となっている。
【００２６】
続いて、本実施形態における移載装置１の動作を図４〜図１３を参照して説明する。
図４〜図１３は、本発明の実施形態における移載装置１の動作を順次示す図である。
なお、初期状態で、各支持装置４は、退避位置に位置し、ローラ装置５は、待機位置に位置している。
【００２７】
先ず、移載装置１は、図４に示すように、制御装置３０の制御の下、ハンド装置２０にガラス基板２１を支持させる。ハンド装置２０は、基板吸着パッド部１５によりガラス基板２１を下方から吸着支持した後、支持部３上の所定位置までガラス基板２１を搬送する。そして、制御装置３０は、ハンド装置２０が所定位置に達した後、ハンド駆動部２０ａへ移動停止信号を出力し、ハンド装置２０を所定位置で停止させる。また、このとき、制御装置３０は、基板吸着パッド部１５の吸着を解除させる。
【００２８】
次に、制御装置３０は、図５に示すように、Ａ列、Ｃ列、Ｅ列の支持装置４を駆動させる。より詳しくは、制御装置３０は、Ａ列、Ｃ列、Ｅ列の支持ピン駆動部４ｂに、支持位置への駆動信号を出力する。当該駆動信号を入力された支持ピン駆動部４ｂは、退避位置にある支持ピン４ａを支持位置まで上昇させる。支持位置に支持ピン４ａが位置することにより、ハンド装置２０上に支持されていたガラス基板２１が、Ａ列、Ｃ列、Ｅ列の支持装置４に受け渡される。Ａ列、Ｃ列、Ｅ列の支持装置４は、ガラス基板２１の両端縁部及び、ハンド装置２０の開口部１４ａを通過してガラス基板２１の中央部（重心位置）を同一水平面内で支持する。
【００２９】
次に、制御装置３０は、図６に示すように、所定位置にあるハンド装置２０を所定の速度で支持部３上から退避させる。このとき、図１に示すハンド駆動量検出部２０ｂからハンド駆動部２０ａの駆動量を入力された制御装置３０は、当該検出結果及び記憶部３２に記憶されたデータに基づき制御部３１において演算を行いハンド装置２０の移動量を算出すると共に、各列に配置された検出センサ９の検出結果に基づいて、ハンド装置２０の移動経路上の位置を把握し、当該位置に応じて各列の支持装置４を駆動する（図６〜図１１参照）。
【００３０】
より詳しくは、制御装置３０は、図６に示すように、Ａ列、Ｂ列、Ｃ列及びＥ列の支持装置４を支持位置に位置させると共に、Ｄ列の支持装置４を退避位置に位置させる。
次に、制御装置３０は、図７に示すように、Ｂ列、Ｃ列、Ｄ列及びＥ列の支持装置４を支持位置に位置させると共に、Ａ列の支持装置４を退避位置に位置させる。
次に、制御装置３０は、図８に示すように、Ａ列、Ｂ列、Ｄ列及びＥ列の支持装置４を支持位置に位置させると共に、Ｃ列の支持装置４を退避位置に位置させる。
次に、制御装置３０は、図９に示すように、Ａ列、Ｃ列、Ｄ列及びＥ列の支持装置４を支持位置に位置させると共に、Ｂ列の支持装置４を退避位置に位置させる。
次に、制御装置３０は、図１０に示すように、Ｂ列、Ｃ列、Ｄ列及びＥ列の支持装置４を支持位置に位置させると共に、Ａ列の支持装置４を退避位置に位置させる。
そして、ハンド装置２０が支持部３上から退避した後、制御装置３０は、図１１に示すように、Ａ列、Ｂ列、Ｃ列、Ｄ列及びＥ列の全ての支持装置４を支持位置に位置させる。
【００３１】
このように、制御装置３０は、ハンド装置２０の進行方向にある支持装置４を順次、支持位置から退避位置に駆動させることで、ハンド装置２０の退避する移動経路を確保させ、ハンド装置２０が通過した後、順次退避位置から支持位置に駆動させることで、ガラス基板２１の支持を可能とさせる。つまり、ハンド装置２０は、待機せずに次のガラス基板２１を受け取りに行くことができる。
【００３２】
次に、制御装置３０は、図１２に示すように、ローラ昇降駆動部８に駆動信号を出力し、ローラ装置５を待機位置から、移載位置に上昇させる。移載位置にローラ装置５が位置することで、ガラス基板２１が支持装置４から受け渡される。このとき、ガラス基板２１は、コニカルローラ６の縮径部６ａ上にその両端部が載置されることとなる。ここで、縮径部６ａは、傾斜形状を有しているため、ガラス基板２１は、自重により当該傾斜形状に沿って移動し、所定の姿勢に規制される。
そして、制御装置３０は、図１３に示すように、ローラ回転駆動部７に駆動信号を出力し、コニカルローラ６を同期して回転させることで、ガラス基板２１が姿勢を一定に規制されつつ、搬送ライン２上に移載される。
【００３３】
したがって、上述の本実施形態によれば、ガラス基板２１を搬送するハンド装置２０から受け渡されたガラス基板２１を支持すると共に、支持したガラス基板２１を搬送ライン２に移載する移載装置１であって、ハンド装置２０の移動経路上に位置し、ガラス基板２１を支持する支持位置と、上記移動経路上から退避する退避位置との間を、互いに独立して駆動される複数の支持装置４を有するという構成を採用することによって、ガラス基板２１を支持すると共に、ハンド装置２０の移動経路を確保することが可能となる。また、ガラス基板２１の中央部を支持するように支持装置４を配置することが可能となる。
したがって、本実施形態では、ガラス基板２１の撓みを抑制すると共に、移載能率の向上を図ることができる効果がある。
【００３４】
また、本実施形態では、上記移動経路上におけるハンド装置２０の位置に応じて、複数の支持装置４の駆動をそれぞれ制御する制御装置３０を有するという構成を採用することによって、ハンド装置２０の位置に応じた支持装置４の円滑な駆動が可能となる。
【００３５】
また、本実施形態では、上記移動経路上における上記ハンド装置２０の位置を検出する検出センサ９を有し、制御装置３０は、検出センサ９の検出結果に基づいて、複数の支持装置４の駆動をそれぞれ制御するという構成を採用することによって、ハンド装置２０の位置を検出センサ９により検出し、ハンド装置２０の移動経路上の位置を正確に把握することで、支持装置４のより円滑な駆動が可能となる。
【００３６】
また、本実施形態では、支持装置４は、ハンド装置２０の移動方向において複数の列を形成するように設けられており、制御装置３０は、上記列毎に制御するという構成を採用することによって、複数の支持装置４を各々個別に制御する場合と比べ、駆動制御の簡易化及び効率化を図ることができる。
【００３７】
また、本実施形態では、支持装置４は、ガラス基板２１の両端縁部を支持する位置及び、上記両端縁部の間で支持する位置に設けられているという構成を採用することによって、ガラス基板２１を、両端縁部と、さらにその両端縁部の間において支持することが可能となり、ガラス基板２１の撓みを抑制することができる。
【００３８】
また、本実施形態では、支持装置４は、ガラス基板２１の重心位置近傍に設けられているという構成を採用することによって、撓みが大きく発生する重心位置近傍を支持することで、撓みを効率よく抑制することが可能となる。
【００３９】
また、本実施形態では、回転軸方向に向かうにつれて漸次縮径するコニカルローラ６の、縮径部６ａを互いに対向させて配設されたローラ装置５を有し、ガラス基板２１をローラ装置５の縮径部６ａに載置して、搬送ライン２に移載するという構成を採用することによって、ガラス基板２１の端部を縮径部により規制し、ガラス基板２１の姿勢を一定とさせつつ、搬送ライン２に移載することができる。
【００４０】
以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００４１】
例えば、本実施形態では、移載対象物はガラス基板２１であると説明したが、本発明は、上記構成に限定されるものではない。本発明は、撓みが発生しやすい他の移載対象物を対象としても同様の作用・効果が得られる。
【００４２】
また、本実施形態では、支持装置４は、３行５列で配設されると説明したが、上記構成に限定されるものでは無く、移載対象物の形状及びハンド装置の形状に応じて配設の設計変更を行うことが好ましい。
【００４３】
また、本発明は、ハンド装置２０は、井桁型のロボットハンドである構成に限定されるものでは無いが、井桁型のロボットハンドであれば、支持装置４が開口部１４ａを通過して移載対象物の中央部を支持できるため、移載対象物の撓みをより確実に抑制することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態における移載装置のブロック構成図である。
【図２】本発明の実施の形態における支持部の構成を説明する図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるハンド装置の構成を説明する平面図である。
【図４】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態における移載装置の動作を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１…移載装置、２…搬送ライン（移載部）、４…支持装置、５…ローラ装置、６…コニカルローラ（ローラ）、６ａ…縮径部、９…検出センサ、２１…ガラス基板（移載対象物）、２０…ハンド装置、３０…制御装置
【図１】
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【図２】
2009274868.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009274868.tif 000009
【図８】
2009274868.tif 000010
【図９】
2009274868.tif 000011
【図１０】
2009274868.tif 000012
【図１１】
2009274868.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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