(57)【要約】【課題】例え基板が大型の場合でも、十分な剛性を確保できる基板保持具を提供する。【解決手段】可撓性を有する屈曲可能な基材１と、この基材１に配列形成されて液晶ガラス基板１０に対向する複数のバー３と、各バー３の液晶ガラス基板１０に対向する対向面４に積層形成される粘着層５とを備え、液晶ガラス基板１０に各バー３の粘着層５を着脱自在に粘着する。複数のバー３が液晶ガラス基板１０に粘着層５を介し一体化して構造体を構成するとともに、各バー３が断面略矩形の板体としてＸ方向に伸長され、これらにより十分な剛性を得ることができるので、液晶ガラス基板１０が大型の場合でも、基材１自体の剛性を高めたり、重くする必要がない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に着脱自在に粘着して保持する基板保持具であって、可撓性を有する屈曲可能な基材と、この基材に配列形成されて基板に対向する複数のバーと、この複数のバーの基板に対向する対向面に形成される粘着層とを含み、複数のバーを一方向に間隔をおいて並べるとともに、各バーを断面略矩形に形成し、基板に粘着層を着脱自在に粘着するようにしたことを特徴とする基板保持具。
【請求項２】
バーの対向面における配列方向の角部を面取りした請求項１記載の基板保持具。
【請求項３】
バーを中空に形成した請求項１又は２記載の基板保持具。
【請求項４】
粘着層を、光線の照射により粘着性が低下する光硬化型とした請求項１、２、又は３記載の基板保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハやガラス基板等からなる各種の基板を粘着保持する基板保持具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハやディスプレイ用の液晶ガラス基板は、電子機器や家電機器の薄型化、軽量化、小型化に鑑み、益々薄型化が図られているが、この薄型化を実現しようとすると、脆く割れ易くなるので、保管や搬送に留意する必要がある。
【０００３】
そこで従来において、半導体ウェーハや液晶ガラス基板を保管したり、搬送する場合には、これらを硬質の支持基板に貼り合わせて剛性を確保し、この支持基板に貼り合わせた状態で保管したり、搬送するようにしている（特許文献１、２参照）。支持基板は、図示しないが、例えば金属、ガラス、セラミック、硬質プラスチック等を使用して形成されている。
【特許文献１】特開平１０−９２７７６号公報
【特許文献２】特開２００７−１０３６３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、近年の半導体ウェーハや液晶ガラス基板は、薄型化と共に大型化が図られているので、支持基板に貼り合わせて剛性を確保するためには、支持基板の剛性を高める必要があり、これに伴い支持基板の重量が増大して保管や搬送、取り扱いに支障を来たすという問題がある。
【０００５】
本発明は上記に鑑みなされたもので、例え基板が大型の場合でも、十分な剛性を確保することのできる基板保持具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明においては上記課題を解決するため、基板に着脱自在に粘着して保持するものであって、
可撓性を有する屈曲可能な基材と、この基材に配列形成されて基板に対向する複数のバーと、この複数のバーの基板に対向する対向面に形成される粘着層とを含み、複数のバーを一方向に間隔をおいて並べるとともに、各バーを断面略矩形に形成し、基板に粘着層を着脱自在に粘着するようにしたことを特徴としている。
【０００７】
なお、バーの対向面における配列方向の角部を面取りすることができる。
また、バーを中空に形成することができる。
また、粘着層を、光線の照射により粘着性が低下する光硬化型とすることができる。
【０００８】
ここで、特許請求の範囲における基板には、薄くて脆い大きな基板、例えば大口径の半導体ウェーハ（例えば口径３００ｍｍや４５０ｍｍ等）や大型の液晶用のガラス基板等が含まれる。また、基材は、矩形、多角形、円形、楕円形、透明、不透明、半透明等を特に問うものではない。バーは、中実でも良いし、中空でも良い。さらに、粘着層は、粘着性のエラストマー、シート、フィルム、粘着剤等からなり、任意のバーの対向面に形成されても良いし、各バーの対向面に形成されても良い。
【０００９】
本発明によれば、例えば大型の基板を保管、搬送等する場合には、基板に基板保持具の並んだ複数のバーをそれぞれ対向させ、基板にバーの粘着層を粘着すれば、ガラス基板を保管したり、搬送等することができる。また逆に、基板から基板保持具を取り外す場合には、基板から基板保持具の基材を引き離し、基板からバーの粘着層を剥離すれば、基板から基板保持具を取り外すことができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、例え基板が大型の場合でも、十分な剛性を確保できる基板保持具を提供することができるという効果がある。
また、バーの対向面における配列方向の角部を面取りすれば、基板保持具の基材を引き離す際に粘着解除のための気体の導入が容易となり、基板からバーの粘着層を簡単に剥離することができる。
【００１１】
また、バーを中空に形成すれば、バーの軽量化を図ることができ、基板保持具の取り扱いが容易になる。
さらに、粘着層が光硬化型の場合には、粘着層に光線を照射することにより、粘着層の粘着性が低下するので、基板が安易に脱落するのを抑制することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明に係る基板保持具の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における基板保持具は、図１ないし図３に示すように、可撓性を有する基材１と、この基材１の表面に配列されて大型の液晶ガラス基板１０に対向する複数のバー３と、各バー３に形成される微粘着の粘着層５とを備え、液晶ガラス基板１０に各バー３の粘着層５を着脱自在に粘着するようにしている。
【００１３】
基材１は、例えば樹脂を含む成形材料を使用して屈曲可能な平面矩形の薄板に成形され、保管や搬送の対象とされる液晶ガラス基板１０に応じた大きさを有している。この平坦な基材１の成形材料としては、例えばＡＢＳ、ＰＣ／ＡＢＳ、ＰＣ等を含む成形材料が使用される。基材１の端部は、必要に応じて伸長形成されたり、凹凸形成されたり、あるいは略半円弧形に湾曲形成され、作業者が操作しやすい掴み代２とされる。
【００１４】
複数のバー３は、図３に示すように、同じ大きさ・長さに成形され、基材１の表面一方向、すなわち同図のＹ方向に所定の間隔をおいて並設されており、基材１と共に強固な構造体を構成するよう機能する。この複数のバー３の製造方法としては、例えば（１）基材１と複数のバー３とを一体成形する製法、（２）板体やシートを連続した複数の凹凸に真空成形して粘着層５付きの複数のバー３を形成し、この複数のバー３と平坦な基材１とを積層して接着する製法等があげられる。
【００１５】
各バー３は、図３のＸ方向に直線的に細長く伸びる断面略矩形の板体（角柱体でもある）に成形され、同図のＸ方向に十分な剛性を有している。各バー３は、断面略矩形の中実に成形されるが、必要に応じて断面略矩形の中空に成形され、軽量化が図られる。
【００１６】
粘着層５は、例えば紫外線を含む所定の光線の照射により粘着性が低下する光硬化型の粘着剤からなり、各バー３の液晶ガラス基板１０に対向する平坦な対向面４に粘着剤がスクリーン印刷等されることにより積層形成される。
【００１７】
上記構成において、液晶ガラス基板１０を保管したり、搬送する場合には、液晶ガラス基板１０に基板保持具の複数のバー３をそれぞれ対向させ、液晶ガラス基板１０の平坦な表面に各バー３の粘着層５を隙間なく圧接して粘着すれば、液晶ガラス基板１０を保管したり、搬送することができる（図１参照）。
【００１８】
これに対し、液晶ガラス基板１０から基板保持具を取り外す場合には図２に示すように、基板保持具の基材１をその端部の掴み代２から徐々に弓なりに引き上げ、液晶ガラス基板１０の平坦な表面から各バー３の粘着した粘着層５を剥離すれば、液晶ガラス基板１０から基板保持具を取り外すことができる。この際、粘着層５が光硬化型の場合には、各粘着層５に光線を照射して粘着性を低下させた後に粘着層５を剥離すれば良い。
【００１９】
上記構成によれば、複数のバー３が液晶ガラス基板１０に粘着層５を介し一体化して強固な構造体を構成するとともに、各バー３が断面略矩形の板体としてＸ方向に伸長され、これらにより十分な剛性を得ることができるので、液晶ガラス基板１０が大型の場合でも、基材１自体を厚くして剛性を高めたり、重くする必要が全くない。したがって、支持基板に相当する基材１の重量が増大して保管や搬送、取り扱いに支障を来たすという問題を確実に解消することができる。
【００２０】
また、従来例のように複数の基材１を使用する必要がないので、基板保持具の構成の簡素化や軽量化を図ることができ、しかも、安価に製造することができる。さらに、粘着層５が光硬化型の場合には、各粘着層５に光線を照射することにより、はじめて粘着層５の粘着性が低下するので、ガラス基板１０が安易に脱落するのを確実に抑制防止することができる。
【００２１】
次に、図４は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、各バー３の対向面４における配列方向（図３のＹ方向）の角部６をそれぞれ丸く面取りし、湾曲したＲ形状に形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【００２２】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、粘着層５形成部分の稜線をＲ形状とするので、基板保持具の基材１を弓なりに引き上げる際に粘着解除のための空気の導入が実に容易となり、液晶ガラス基板１０の大面積の程度にかかわらず、液晶ガラス基板１０から各バー３の粘着層５を簡単に剥離することができるのは明らかである。
【００２３】
なお、上記実施形態では基板保持具の基材１を単に引き上げたが、基板保持具の基材１を手動で引き上げても良いし、作業用のロボットにより自動的に引き上げても良い。また、上記実施形態では粘着層５を光硬化型の粘着剤から形成したが、何らこれに限定されるものではない。例えば可撓性を有する所定の薄いフィルム材料を使用して粘着層５を形成しても良い。この場合の粘着層５は、（１）支持基材上に粘着性のウレタンゲルが積層されたタイプ、（２）粘着剤の移行が少ないミクロ吸盤を備えたタイプ（商品名：μ−フィット等）、（３）支持基材にアクリル系の再剥離粘着層が積層されたタイプ等があげられる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係る基板保持具の実施形態における使用状態を模式的に示す説明図である。
【図２】本発明に係る基板保持具の実施形態における液晶ガラス基板からの剥離状態を模式的に示す説明図である。
【図３】本発明に係る基板保持具の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図４】本発明に係る基板保持具の第２の実施形態を模式的に示す要部説明図である。
【符号の説明】
【００２５】
１      基材
２      掴み代
３      バー
４      対向面
５      粘着層
６      角部
１０    液晶ガラス基板（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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