(57)【要約】【課題】本発明の課題は、自動的にドッキングし、密閉性が高く、省スペースである構造にする可動筐体の吸排気ドッキング構造を提供することにある。【解決手段】本発明は、固定側吸排気口４１に設けられ、可動筐体進入側に外側傾斜端面４３及び内側傾斜面４４が設けられた固定側ガイド４２と、可動筐体４５に突出して設けられ、突出方向に移動自在に設けられた可動ダクト４８と、前記可動ダクト４８の先端部に設けられ、可動筐体進入側及び脱出側にそれぞれ進入側傾斜端面５５及び脱出側傾斜端面５６が設けられた可動側ガイド４９と、前記可動側ガイド４９と前記可動筐体４５との間に設けられ、可動ダクト４８の突出方向に力を加えるばね５４とを具備することを特徴とするものである。【選択図】図１
2009030844.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定側吸排気口に設けられ、可動筐体進入側に外側傾斜端面及び内側傾斜面が設けられた固定側ガイドと、
可動筐体に突出して設けられ、突出方向に移動自在に設けられた可動ダクトと、
前記可動ダクトの先端部に設けられ、可動筐体進入側及び脱出側にそれぞれ進入側傾斜端面及び脱出側傾斜端面が設けられた可動側ガイドと、
前記可動側ガイドと前記可動筐体との間に設けられ、可動ダクトの突出方向に力を加えるばねと
を具備することを特徴とする可動筐体の吸排気ドッキング構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造装置の可動制御ラック等の可動筐体の吸排気ドッキング構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体露光装置の制御基板を収納したユニットを複数個搭載するラックは、各ユニットから排出された熱を外部に排出する機能を必要とする。露光精度を向上させるには装置内の温度を調節する必要がある。そのため吸排気のドッキング部は密閉性を高め、熱を逃がさないようにする必要がある。
【０００３】
半導体露光装置のユニット集積度を上げながらメンテナンススペースを確保するためにラックを移動させる必要がある。メンテナンス時間を最小化し装置の稼動率を上げるため吸排気の着脱は自動的に行う必要がある。
【０００４】
外壁に吸排気口を直接取り付ける場合は、その取り付け時に気密性を確保できるが、可動筐体の吸排気ドッキング構造ではそれができない。故に、図３〜図５の可動筐体の吸排気ドッキング構造のようなことにより対応していた。
【０００５】
図３は従来の可動筐体の吸排気ドッキング構造の一例を示す構成説明上面図である。図３に示すように、可動筐体１１には可動筐体吸排気口１２が突出して設けられる。前記可動筐体１１は矢印Ａ１の筐体可動方向に移動して前記可動筐体吸排気口１２を固定側吸排気口１３に対応させ、可動筐体吸排気口１２と固定側吸排気口１３間のドッキング間隔Ｂを狭めることにより、可動筐体１１の吸排気ドッキングを行っていた。前記固定側吸排気口１３は大型の筐体に設けられる。しかしながら、ドッキング間隔を狭める可動筐体１１の吸排気ドッキング構造では、密閉性が保てず、半導体露光装置に熱的影響を与える可能性があった。
【０００６】
図４は従来の可動筐体の吸排気ドッキング構造の他の例を示す構成説明上面図である。図４に示すように、可動筐体２１には可動筐体吸排気口２２が突出して設けられる。また、固定側には固定側吸排気口２３が突出して設けられる。前記可動筐体２１は矢印Ａ２の筐体可動方向に移動して前記可動筐体吸排気口２２を固定側吸排気口２３に対応させ、可動筐体吸排気口２２と固定側吸排気口２３間にジャバラダクト２４を接続することにより、可動筐体２１の吸排気ドッキングを行っていた。前記固定側吸排気口２３は大型の筐体に設けられる。しかしながら、ジャバラダクト２４により接続する可動筐体２１の吸排気ドッキング構造では、可動筐体２１を移動させるたびにジャバラダクト２４の接続作業が必要で作業工数がかかる。作業のためのスペースも必要となる。
【０００７】
図５は従来の可動筐体の吸排気ドッキング構造の他の異なる例を示す構成説明上面図である。図５に示すように、可動筐体３１には可動筐体吸排気口３２が突出して設けられると共に、前記可動筐体吸排気口３２の外周部には囲い用のゴム３３が突出して設けられる。また、固定側には固定側吸排気口３４が設けられる。前記可動筐体３１は矢印Ａ３の筐体可動方向に移動して前記可動筐体吸排気口３２を固定側吸排気口３４に対応させ、可動筐体吸排気口３２と固定側吸排気口３４間のダクト接続部をゴム３３で囲むことにより、可動筐体３１の吸排気ドッキングを行っていた。前記固定側吸排気口３４は大型の筐体に設けられる。しかしながら、可動筐体吸排気口３２と固定側吸排気口３４間のダクト接続部をゴム３３で囲む可動筐体３１の吸排気ドッキング構造では、密閉性が保てず、半導体露光装置に熱的影響を与える可能性があった。
【特許文献１】特開２００７−１０３００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来の可動筐体の吸排気ドッキング構造においては、密閉性がよく、自動的にドッキングし、なおかつ省スペースとなる構造にする事ができず、そのどれかを犠牲とした構造となっていた。
【０００９】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、自動的にドッキングし、密閉性が高く、省スペースである可動筐体の吸排気ドッキング構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために本発明の可動筐体の吸排気ドッキング構造は、固定側吸排気口に設けられ、可動筐体進入側に外側傾斜端面及び内側傾斜面が設けられた固定側ガイドと、可動筐体に突出して設けられ、突出方向に移動自在に設けられた可動ダクトと、前記可動ダクトの先端部に設けられ、可動筐体進入側及び脱出側にそれぞれ進入側傾斜端面及び脱出側傾斜端面が設けられた可動側ガイドと、前記可動側ガイドと前記可動筐体との間に設けられ、可動ダクトの突出方向に力を加えるばねとを具備することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の可動筐体の吸排気ドッキング構造は、可動筐体の吸排気ドッキング部が、可動筐体の移動と共に固定部と自動的に着脱し、かつ密閉性を保つことができる、省スペース化が可能な可動筐体の吸排気ドッキング構造であり、以下のような利点がある。
【００１２】
（１）  可動筐体の移動により可動筐体の吸排気部のドッキングが自動で行われるのでメンテナンス性がよい。
【００１３】
（２）  ばねで押圧することにより自動的に接続されたドッキング部の密閉性が高く、例えば半導体露光装置の露光精度向上に寄与する。
【００１４】
（３）  例えばジャバラダクトの接続のようにスペースを必要とせず、可動筐体の吸排気ドッキング構造の小型化が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明の実施形態に係る可動筐体の吸排気ドッキング構造を示す構成説明上面図であり、（ａ）はドッキング前の状態を示し、（ｂ）はドッキング後の状態を示す。図２は本発明の実施形態に係る可動筐体の吸排気ドッキング構造の使用例を示す斜視図であり、ドッキング前の状態を示す。図１（ａ），（ｂ）は図２のＸ−Ｘ′線断面を示す。
【００１７】
図１及び図２に示すように、固定側吸排気口４１は大型の筐体（図示せず）に設けられる。前記固定側吸排気口４１の表面周囲には固定側ガイド４２が設けられ、前記固定側ガイド４２の可動筐体進入側には外側傾斜端面４３及び内側傾斜面４４が設けられる。一方、可動筐体４５には凹部４６が設けられ、前記凹部４６の底面にはガスケット４７が設けられる。前記可動筐体４５の凹部４６内には筒状の可動ダクト４８が突出して設けられると共に突出方向に移動自在にして設けられる。前記可動ダクト４８の先端開口部外周囲には鍔状に突出して可動側ガイド４９が設けられ、前記可動ダクト４８の後端開口部外周囲には後端鍔部５０が設けられる。前記可動側ガイド４９と後端鍔部５０間には案内柱５１，５２が設けられ、前記案内柱５１，５２にはそれぞれコイルばね５３，５４が取付けられる。前記コイルばね５３，５４はそれぞれ一端が可動側ガイド４９に取付けられると共に他端が可動筐体４５に取付けられ、コイルばね５３，５４は可動ダクト４８を突出方向に力を加えるように設けられる。前記可動側ガイド４９には可動筐体進入側及び脱出側にそれぞれ進入側傾斜端面５５及び脱出側傾斜端面５６が設けられる。５７は可動筐体吸排気口である。矢印Ａ４は可動筐体４５の移動方向を示す。
【００１８】
すなわち、可動筐体４５を矢印Ａ４方向に移動して、可動筐体４５が固定側吸排気口４１に近づくにつれて、可動側ガイド４９の進入側傾斜端面５５が固定側ガイド４２の外側傾斜端面４３と接触しながらコイルばね５３，５４を圧縮していき、可動側ガイド４９が固定側ガイド４２内に進入し、可動ダクト４８が固定側吸排気口４１にドッキングする。ドッキング完了後は可動側ガイド４９が固定側ガイド４２にコイルばね５３，５４の圧縮力により押し付けられ吸排気の密閉性を常に保持できる。また、ドッキング完了後は可動ダクト４８がガスケット４７に押し当てられ密閉性を保っている。
【００１９】
一方、可動ダクト４８を固定側吸排気口４１から脱出するには、可動筐体４５を矢印Ａ４方向に移動して、可動側ガイド４９の脱出側傾斜端面５６を固定側ガイド４２の内側傾斜面４４と接触しながらコイルばね５３，５４を圧縮していき、可動側ガイド４９を固定側ガイド４２内から脱出する。
【００２０】
本発明の実施形態に係る可動筐体の吸排気ドッキング構造の利用分野としては制御基板の集積度が高く、メンテナンススペースを確保する必要があり、熱の影響による露光精度低下を避けるため排気の密閉性を高める必要がある半導体露光装置が挙げられる。本発明の実施形態に係る可動筐体の吸排気ドッキング構造を半導体露光装置に用いることにより、半導体露光装置の吸排気の密閉性を上げ、露光精度向上に寄与し、自動的にドッキングできることでメンテナンス性をアップさせ、さらに半導体露光装置の小型化を図ることができる。
【００２１】
なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係る可動筐体の吸排気ドッキング構造を示す構成説明上面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る可動筐体の吸排気ドッキング構造の使用例を示す斜視図である。
【図３】従来の可動筐体の吸排気ドッキング構造の一例を示す構成説明上面図である。
【図４】従来の可動筐体の吸排気ドッキング構造の他の例を示す構成説明上面図である。
【図５】従来の可動筐体の吸排気ドッキング構造の他の異なる例を示す構成説明上面図である。
【符号の説明】
【００２３】
４１…固定側吸排気口、４２…固定側ガイド、４３…外側傾斜端面、４４…内側傾斜面、４５…可動筐体、４６…凹部、４７…ガスケット、４８…可動ダクト、４９…可動側ガイド、５０…後端鍔部、５１…案内柱、５２…案内柱、５３…コイルばね、５４…コイルばね、５５…進入側傾斜端面、５６…脱出側傾斜端面、５７…可動筐体吸排気口。
【図１】
2009030844.tif 000003
【図２】
2009030844.tif 000004
【図３】
2009030844.tif 000005
【図４】
2009030844.tif 000006
【図５】
2009030844.tif 000007