(57)【要約】【課題】吸着ノズルと基板上の他の部品との干渉を回避して部品の搭載を行うことができ、製造コストの低減とスループットの向上を図ることができる部品実装方法を提供することを目的とする。【解決手段】吸着ノズル１２に吸着させた極性のない部品Ｐを基板４上の目標搭載位置Ｓに搭載する前に、その部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載した場合に吸着ノズル１２が基板４上に既に搭載されている他の部品Ｐ１と干渉するか否かの判断を行い、干渉しないと判断した場合にはそのまま部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載させ、干渉すると判断した場合には、吸着ノズル１２をその上下軸まわりに１８０度回転させ、吸着ノズル１２と基板４上の他の部品Ｐ１との干渉を回避するようにして部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載させる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
極性のない部品を移載ヘッドの吸着ノズルに吸着させて基板上の目標搭載位置に搭載させる部品実装方法であって、部品供給部から供給された部品を吸着ノズルに吸着させる部品吸着工程と、吸着ノズルに吸着させた部品の吸着ずれを求める吸着ずれ算出工程と、吸着ずれ算出工程において求めた部品の吸着ずれのほか、記憶装置に記憶された部品の形状、大きさ及び基板上の目標搭載位置の座標、吸着ノズルの形状及び大きさ並びに基板上に既に搭載されている他の部品の位置、形状及び大きさの各データに基づいて、吸着ノズルに吸着させた部品を目標搭載位置に搭載した場合に吸着ノズルが基板上の他の部品と干渉するか否かの判断を行う判断工程と、判断工程において吸着ノズルが基板上の他の部品と干渉しないと判断した場合にはそのまま部品を目標搭載位置に搭載させ、判断工程において吸着ノズルが基板上の他の部品と干渉すると判断した場合には、吸着ノズルをその上下軸まわりに１８０度回転させて部品を目標搭載位置に搭載させる部品搭載工程とを含むことを特徴とする部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極性のない部品を移載ヘッドの吸着ノズルに吸着させて基板上の目標搭載位置に搭載させる部品実装方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置は、部品供給部から供給される部品（チップ部品）を移載ヘッドの吸着ノズルに吸着させ、移載ヘッドを移動させてその部品を基板上の目標搭載位置に搭載させる。基板上に搭載される部品には、極性があって両端部の端子の基板上での位置を入れ替えては基板上に搭載できないもののほか、極性がなく、両端部の端子の基板上での位置を入れ替えて（１８０度回転させて）基板上に搭載できるもの（例えば抵抗やコンデンサ）がある。
【０００３】
このような部品実装装置において、吸着ノズルに吸着させた部品は基板上に搭載される前にカメラ等の撮像手段によって画像認識され、部品の吸着ノズルに対する相対位置から部品の吸着ずれが求められる。そして、その吸着ずれが予め定めた所定値よりも小さいときには、部品の基板への搭載時にその吸着ずれがキャンセルされるように吸着ノズルの位置のデータを補正して部品を基板上の目標搭載位置に搭載し、吸着ずれが予め定めた所定値を上回るときには、部品の基板上への搭載時に吸着ノズルが基板上に既に搭載されている他の部品と干渉するおそれがあるため、その部品は基板上に搭載させずに廃棄する（特許文献１）。
【特許文献１】特開平１１−３５４９９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、近年における部品の微小化により、吸着ノズルによって吸着される部品の寸法よりもこれを吸着する吸着ノズルの寸法（ノズル径）の方が大きく、吸着ずれがなくても吸着ノズルの外縁が部品の外縁からはみ出してしまうといった状況が多々現れるようになってきている。このように吸着ずれがなくても吸着ノズルの外縁が部品の外縁からはみ出す状況では、わずかな吸着ずれがあってもそのはみ出し量は大きくなり、部品の搭載時に吸着ノズルが基板上の他の部品と干渉するケースが増えるため、基板上に搭載できずに廃棄される部品が増えて製造コストが増大するほか、部品を改めて搭載しなおす必要があることからスループットも低下してしまうという問題が生じる。
【０００５】
そこで本発明は、吸着ノズルと基板上の他の部品との干渉を回避して部品の搭載を行うことができ、製造コストの低減とスループットの向上を図ることができる部品実装方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の部品実装方法は、極性のない部品を移載ヘッドの吸着ノズルに吸着させて基板上の目標搭載位置に搭載させる部品実装方法であって、部品供給部から供給された部品を吸着ノズルに吸着させる部品吸着工程と、吸着ノズルに吸着させた部品の吸着ずれを求める吸着ずれ算出工程と、吸着ずれ算出工程において求めた部品の吸着ずれのほか、記憶装置に記憶された部品の形状、大きさ及び基板上の目標搭載位置の座標、吸着ノズルの形状及び大きさ並びに基板上に既に搭載されている他の部品の位置、形状及び大きさの各データに基づいて、吸着ノズルに吸着させた部品を目標搭載位置に搭載した場合に吸着ノズルが基板上の他の部品と干渉するか否かの判断を行う判断工程と、判断工程において吸着ノズルが基板上の他の部品と干渉しないと判断した場合にはそのまま部品を目標搭
載位置に搭載させ、判断工程において吸着ノズルが基板上の他の部品と干渉すると判断した場合には、吸着ノズルをその上下軸まわりに１８０度回転させて部品を目標搭載位置に搭載させる部品搭載工程とを含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の部品実装方法では、吸着ノズルに吸着させた極性のない部品を基板上の目標搭載位置に搭載する前に、その部品を目標搭載位置に搭載した場合に吸着ノズルが基板上に既に搭載されている他の部品と干渉するか否かの判断を行い、干渉しないと判断した場合にはそのまま部品を目標搭載位置に搭載させ、干渉すると判断した場合には、吸着ノズルをその上下軸まわりに１８０度回転させ、吸着ノズルと基板上の他の部品との干渉を回避するようにして部品を目標搭載位置に搭載させる。このため部品の吸着時に吸着ずれが生じ、そのまま部品を基板上に搭載すると吸着ノズルと基板上の他の部品とが干渉してしまう場合であっても必ずしも部品を廃棄せずに済み、製造コストの低減とスループットの向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における部品実装装置の平面図、図２は本発明の一実施の形態における部品実装装置の移載ヘッドの拡大正面図、図３は本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図、図４は本発明の一実施の形態における部品実装の手順を示すメインルーチンのフローチャート、図５は本発明の一実施の形態における部品実装の手順を示すサブルーチンのフローチャート、図６は本発明の一実施の形態における（ａ）部品搭載前の吸着ノズル及び部品の正面図（ｂ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の正面図（ｃ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の平面図、図７は本発明の一実施の形態における（ａ）部品搭載前の吸着ノズル及び部品の正面図（ｂ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の正面図（ｃ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の平面図、図８は本発明の一実施の形態における（ａ），（ｂ）部品搭載前の吸着ノズル及び部品の正面図（ｃ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の正面図（ｄ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の平面図である。
【０００９】
図１において、部品実装装置１は基台２上に基板搬送コンベア３を備えており、この基板搬送コンベア３によって基板４が水平面内の一の方向（Ｘ軸方向）に搬送される。基板搬送コンベア３の上方にはＸ軸方向と水平に直交する方向（Ｙ軸方向）に延びたＹ軸テーブル５が設けられており、Ｙ軸テーブル５には２つのＹ軸スライダ６がＹ軸テーブル５に沿って（すなわちＹ軸方向に）移動自在に設けられている。各Ｙ軸スライダ６にはＸ軸方向に延びたＸ軸テーブル７の一端が取り付けられており、各Ｘ軸テーブル７にはＸ軸テーブル７に沿って（すなわちＸ軸方向に）移動自在な移動ステージ８が設けられている。
【００１０】
図１及び図２において、各移動ステージ８には移載ヘッド９が取り付けられており、各移載ヘッド９には複数のノズルシャフト１０が上下方向（Ｚ軸方向とする）の下方に延びて設けられている。各ノズルシャフト１０の下端部には円筒状のノズルホルダ１１が設けられており、各ノズルホルダ１１には吸着ノズル１２が着脱自在に取り付けられている。
【００１１】
図１において、基板搬送コンベア３の側方領域には移載ヘッド９に部品Ｐ（図２）を供給する部品供給部としての複数のパーツフィーダ１３がＸ軸方向に並んで設けられている。各パーツフィーダ１３は移載ヘッド９の基台２に対する移動可能領域Ｒ内に部品供給口１３ａを位置させている。移載ヘッド９には撮像面を下方に向けた基板カメラ１４が設けられており、基台２上には撮像面を上方に向けた部品カメラ１５が設けられている。
【００１２】
図３において、部品実装装置１には、基板搬送コンベア３を駆動する搬送コンベア駆動モータ１６ａ、各Ｙ軸スライダ６をＹ軸テーブル５に沿って移動させるＹ軸スライダ移動
機構１６ｂ、各移動ステージ８をＸ軸テーブル７に沿って移動させる移動ステージ移動機構１６ｃ、各吸着ノズル１２を個別に昇降及び上下軸（Ｚ軸）回りに回転させるノズル駆動機構１６ｄ及び各吸着ノズル１２に吸着（ピックアップ）動作を行わせるノズル吸着機構１６ｅが備えられている。これら搬送コンベア駆動モータ１６ａ、Ｙ軸スライダ移動機構１６ｂ、移動ステージ移動機構１６ｃ、ノズル駆動機構１６ｄ及びノズル吸着機構１６ｅはその部品実装装置１に備えられた制御装置１７によって作動制御がなされ、基板搬送コンベア３による基板４の搬送及び位置決めや、移載ヘッド９による部品Ｐのピックアップ及びその部品Ｐの基板４への搭載等が行われる。また、基板カメラ１４及び部品カメラ１５は制御装置１７によりその作動制御がなされ、基板カメラ１４及び部品カメラ１５からの撮像結果は制御装置１７に入力される。
【００１３】
図３において、制御装置１７に繋がる記憶装置１８には、基板４上に搭載される部品Ｐの形状、大きさ、基板４上の目標搭載位置Ｓ（図２）の座標（基板４を基準）及び極性のあるなしのデータと、各吸着ノズル１２の形状及び大きさのデータを含む種々のデータが記憶されている。また、この記憶装置１８には、部品実装工程の進行に従って基板４上に搭載される部品Ｐの基板４上での位置、形状及び大きさのデータが順次記憶される。
【００１４】
次に、この部品実装装置１における１つの基板４に対する部品実装の手順を図４及び図５に示すフローチャートに基づいて説明する。これには先ず、制御装置１７は、搬送コンベア駆動モータ１６ａの作動制御を行って、基板搬送コンベア３による基板４の搬入と所定の実装位置への位置決めを行う（図４に示すステップＳＴ１）。そして、Ｙ軸スライダ移動機構１６ｂ及び移動ステージ移動機構１６ｃの作動制御を行って移載ヘッド９を基板４の上方に移動させ、基板カメラ１４に基板４の隅に設けられた位置決めマーク（図示せず）の画像認識（撮像）を行わせる（図４に示すステップＳＴ２）。制御装置１７は、基板カメラ１４による画像認識結果に基づいて、基板４に設けられた位置決めマークの位置と予め定められた基準の位置との差を算出し、基板４の位置ずれを求める。
【００１５】
制御装置１７は基板４の位置ずれを求めたら、移載ヘッド９をパーツフィーダ１３の上方に移動させ、移載ヘッド９が備える各吸着ノズル１２に、パーツフィーダ１３の部品供給口１３ａに供給されている部品Ｐを吸着（ピックアップ）させる（図４に示すステップＳＴ３の部品吸着工程）。
【００１６】
制御装置１７は、ステップＳＴ３の部品吸着工程が終了したら、各吸着ノズル１２に吸着された部品Ｐが部品カメラ１５の上方（部品カメラ１５の視野内）を通過するように移載ヘッド９を移動させ、部品カメラ１５に部品Ｐの下面の画像認識（撮像）を行わせる（図４に示すステップＳＴ４）。そして、ステップＳＴ４において得られた部品Ｐの認識画像に基づいて、各部品Ｐの中心位置とその部品Ｐを吸着している吸着ノズル１２の中心位置との差を算出し、部品Ｐの吸着ノズル１２に対する相対位置から、各部品Ｐの吸着ずれを求める（図４に示すステップＳＴ５の吸着ずれ算出工程）。
【００１７】
ステップＳＴ５の吸着ずれ算出工程が終了したら、制御装置１７は、記憶装置１８から、各吸着ノズル１２に吸着させた部品Ｐの形状、大きさ、基板４上の目標搭載位置Ｓの座標及び極性のあるなしのデータ、各吸着ノズル１２の形状及び大きさのデータ並びに基板４上に既に搭載されている他の部品の位置、形状及び大きさのデータを読み出す（図４に示すステップＳＴ６）。
【００１８】
ステップＳＴ６のデータの読み出しが終了したら、制御装置１７は吸着ノズル１２ごとに部品搭載を行う部品搭載のサブルーチンを実行する（図４及び図５に示すステップＳＴ７）。この部品搭載のサブルーチンでは、制御装置１７は先ず、ステップＳＴ５の吸着ずれ算出工程において求めた部品Ｐの吸着ずれのデータのほか、ステップＳＴ６において読
み出した部品Ｐの形状、大きさ、基板４上の目標搭載位置Ｓの座標及び極性のあるなしのデータ、吸着ノズル１２の形状及び大きさのデータ並びに基板４上に既に搭載されている他の部品の位置、形状及び大きさのデータに基づいて、吸着ノズル１２に吸着させた部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載した場合に吸着ノズル１２が基板４上の他の部品と干渉するか否かの判断を行う（図５に示すステップＳＴ７１の判断工程）。
【００１９】
制御装置１７がステップＳＴ７１で行う、吸着ノズル１２が基板４上の他の部品Ｐと干渉するか否かの判断は、基板４上に搭載しようとしている部品Ｐの形状、大きさ及び目標搭載位置Ｓの座標、吸着ノズル１２の形状及び大きさ並びに部品Ｐの吸着ずれの各データから、吸着ノズル１２に吸着させた部品Ｐを基板４上の目標搭載位置Ｓに搭載したと仮定した場合のその搭載時における吸着ノズル１２の外縁（外縁上の複数の点）の座標（基板４を基準）を算出するとともに、既に基板４上に搭載されている部品の外縁（外縁上の複数の点）の座標（基板４を基準）を算出し、これらを比較して行う。その結果、両外縁が空間内で交叉する場合には干渉すると判断し、両外縁が交叉しない場合には干渉しないと判断する。
【００２０】
すなわち、部品Ｐの吸着時に吸着ずれが生じなかった場合はもとより、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように部品Ｐの吸着時に吸着ずれが生じていた場合であっても、部品Ｐを基板４上の目標搭載位置Ｓに搭載したと仮定した場合に、数値データ上で、吸着ノズル１２の外縁が基板４上の他の部品Ｐ１，Ｐ２のいずれの外縁とも交叉しない状況では、吸着ノズル１２と基板４上の他の部品Ｐ１，Ｐ２とは干渉しないと判断する。一方、図７（ａ），（ｂ），（ｃ）及び図８（ａ）に示すように、部品Ｐの吸着時に吸着ずれが生じており、部品Ｐを基板４の目標搭載位置Ｓに搭載したと仮定した場合に、数値データ上で、吸着ノズル１２の外縁が基板４上の他の部品Ｐ１，Ｐ２の少なくとも一方の外縁と交叉する状況では、吸着ノズル１２と基板４上の他の部品とが干渉すると判断する。
【００２１】
このようなステップＳＴ７１の判断工程において、吸着ノズル１２が基板４上の他の部品Ｐ１，Ｐ２と干渉しないと判断した場合には、そのまま部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載させる（図５に示すステップＳＴ７２の部品搭載工程）。なお、部品Ｐを基板４上の目標搭載位置Ｓに搭載するときには、ステップＳＴ２において求められた基板４の位置ずれと、ステップＳＴ５において求められた部品Ｐの吸着ずれがともにキャンセルされるように、部品Ｐを搭載する際の吸着ノズル１２の位置のデータを補正する（後述するステップＳＴ７５の部品搭載工程においても同じ）。一方、ステップＳＴ７１の判断工程において、吸着ノズル１２が基板４上の他の部品Ｐ１、Ｐ２のいずれかと干渉すると判断した場合には、部品Ｐを基板４上の目標搭載位置Ｓに搭載させることなく、吸着ノズル１２に吸着させている部品Ｐに極性があるか否かの判断を行う（図５に示すステップＳＴ７３）。
【００２２】
この部品Ｐの極性判断は、メインルーチンのステップＳＴ６において記憶装置１８から読み出した部品Ｐの極性のあるなしのデータに基づいて行う。その結果、部品Ｐに極性がないと判断した場合には、制御装置１７は、図８（ｂ）に示すように吸着ノズル１２をその上下軸まわりに１８０度回転させて（図８（ｂ）中に示す矢印Ａ参照）部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載させた場合に、吸着ノズル１２と基板４上の他の部品Ｐ１，Ｐ２が干渉するか否か（特に、目標搭載位置Ｓを挟んで部品Ｐ１の反対側に位置している他の部品Ｐ２と干渉するか否か）の判断を行う（図５に示すステップＳＴ７４）。
【００２３】
このステップＳＴ７４の判断の結果、部品Ｐが基板４上の他の部品Ｐ１，Ｐ２と干渉しないと判断した場合には、吸着ノズル１２をその上下軸まわりに１８０度回転させて部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載させる（図５に示すステップＳＴ７５の部品搭載工程）。吸着ノズル１２の上下軸まわりの回転は、制御装置１７がノズル駆動機構１６ｄを作動させて行う。吸着ノズル１２をその上下軸まわりに１８０度回転させると、部品Ｐに対する吸着
ノズル１２のはみ出し方向はそれまでとは反対になるので、その状態のまま部品Ｐを搭載すれば、吸着ノズル１２と基板４上の他の部品Ｐ１とが干渉することを回避しつつ、部品Ｐを基板４上の目標搭載位置Ｓに搭載させることができる。なお、吸着ノズル１２が１８０度回転されることによって、部品Ｐは両端部の端子の基板４上での位置が入れ替えられた形で基板４上に搭載されることになるが、部品Ｐには極性がないので全く問題はない。
【００２４】
ここで補足的に述べると、吸着ノズル１２をその場で１８０度回転させただけでは部品Ｐは目標搭載位置Ｓからずれるので、吸着ノズル１２を１８０度回転させた後、部品Ｐが目標搭載位置Ｓに位置するように改めて吸着ノズル１２の位置のデータの補正を行う必要がある。上記の「（１８０度回転させて）部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載」には、吸着ノズル１２を１８０度回転させた後、部品Ｐが目標搭載位置Ｓに搭載されるように、吸着ノズル１２の位置のデータの補正を改めて行う処理過程が含まれている。
【００２５】
一方、ステップＳＴ７４において、部品Ｐが基板４上の他の部品Ｐ１，Ｐ２（特に部品Ｐ２）と干渉すると判断した場合や、ステップＳＴ７３において、吸着ノズル１２に吸着させている部品Ｐに極性があると判断した場合には、吸着ノズル１２を基板４上の他の部品Ｐ１，Ｐ２と干渉することを回避しつつ部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載することはできないので、吸着エラーが発生したとしてその部品Ｐを基台２上に設けられた部品廃棄部１９（図１）に廃棄する（図５に示すステップＳＴ７６）。
【００２６】
制御装置１７は、ステップＳＴ７２の部品搭載工程、ステップＳＴ７５の部品搭載工程及びステップＳＴ７６の部品廃棄工程のいずれかが終了したら、ステップＳＴ７の部品搭載のサブルーチンを抜けて、メインルーチンに復帰する。
【００２７】
制御装置１７は、ステップＳＴ７の部品搭載のサブルーチンを抜けてメインルーチンに復帰したら、ステップＳＴ３において部品Ｐを吸着させた全吸着ノズル１２についての部品Ｐの目標搭載位置Ｓへの搭載が完了したか否かの判断を行い（図４に示すステップＳＴ８）、ステップＳＴ３において部品Ｐを吸着させた全吸着ノズル１２についての部品Ｐの目標搭載位置Ｓへの搭載が完了していない場合（ステップＳＴ７６において部品Ｐを廃棄した場合を含む）には、これが終了するまでステップＳＴ７を繰り返す。
【００２８】
制御装置１７は、ステップＳＴ３において部品を吸着させた全吸着ノズル１２についての部品Ｐの目標搭載位置Ｓへの搭載が完了したら、その基板４に搭載すべき全ての部品Ｐの搭載が完了したか否かの判断を行う（図４に示すステップＳＴ９）。その結果、搭載すべき全ての部品Ｐの搭載が完了していなかった場合（ステップＳＴ７６において部品Ｐを廃棄したことによって部品Ｐの搭載が完了していなかった場合も含む）にはステップＳＴ３〜ステップＳＴ９の工程を実行し、基板４に搭載すべき全ての部品Ｐの搭載が完了していたら、制御装置１７は搬送コンベア駆動モータ１６ａの作動制御を行って、基板搬送コンベア３による基板４の搬出を行う（図４に示すステップＳＴ１０）。これにより１つの基板４に対する部品実装が終了する。
【００２９】
このように、本実施の形態における部品実装方法（部品実装装置１による部品実装方法）では、吸着ノズル１２に吸着させた極性のない部品Ｐを基板４上の目標搭載位置Ｓに搭載する前に、その部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載した場合に吸着ノズル１２が基板４上に既に搭載されている他の部品Ｐ１と干渉するか否かの判断を行い、干渉しないと判断した場合にはそのまま部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載させ、干渉すると判断した場合には、吸着ノズル１２をその上下軸まわりに１８０度回転させ、吸着ノズル１２と基板４上の他の部品Ｐ１との干渉を回避するようにして部品Ｐを目標搭載位置Ｓに搭載させる。このため部品Ｐの吸着時に吸着ずれが生じ、そのまま部品Ｐを基板４上に搭載すると吸着ノズル１２と基板４上の他の部品Ｐ１とが干渉してしまう場合であっても必ずしも部品Ｐを廃棄せ
ずに済み、製造コストの低減とスループットの向上を図ることができる。
【００３０】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に限定されない。例えば、上述の実施の形態では、ステップＳＴ７における部品搭載のサブルーチンの処理過程において、部品Ｐに極性があるか否かの判断を行うようになっていたが（ステップＳＴ７３）、パーツフィーダ１３より供給される部品Ｐに極性がないことが予め分かっている場合には、その情報を制御装置１７に入力して予め記憶させておくことにより、ステップＳＴ７３（及びステップＳＴ７３から直接進むステップＳＴ７６）の工程を省略できるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
吸着ノズルと基板上の他の部品との干渉を回避して部品の搭載を行うことができ、製造コストの低減とスループットの向上を図ることができる部品実装方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態における部品実装装置の移載ヘッドの拡大正面図
【図３】本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図
【図４】本発明の一実施の形態における部品実装の手順を示すメインルーチンのフローチャート
【図５】本発明の一実施の形態における部品実装の手順を示すサブルーチンのフローチャート
【図６】本発明の一実施の形態における（ａ）部品搭載前の吸着ノズル及び部品の正面図（ｂ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の正面図（ｃ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の平面図
【図７】本発明の一実施の形態における（ａ）部品搭載前の吸着ノズル及び部品の正面図（ｂ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の正面図（ｃ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の平面図
【図８】本発明の一実施の形態における（ａ）（ｂ）部品搭載前の吸着ノズル及び部品の正面図（ｃ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の正面図（ｄ）部品搭載後の吸着ノズル及び部品の平面図
【符号の説明】
【００３３】
４  基板
９  移載ヘッド
１２  吸着ノズル
１３  パーツフィーダ（部品供給部）
１８  記憶装置
Ｐ  部品
Ｐ１，Ｐ２  他の部品
Ｓ  目標搭載位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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