(57)【要約】【課題】切削加工により被加工物に突条を形成する際に、突条に段差が生じたりすることがなく、また突条の左右対称性を高精度に実現することのできる加工装置を提供する。【解決手段】ベッド６と、Ｚ方向に移動自在なＺ軸方向移動テーブル７と、Ｘ方向に移動自在なＸ軸方向移動テーブル８と、Ｂ軸方向に回転自在なＢ軸方向回転テーブル３と、Ｙ方向に移動自在なＹ軸方向移動テーブル９と、Ｙ軸方向移動テーブル９に設けられた切削工具４とを備え、前記各移動テーブル７，８，９及びＢ軸方向回転テーブル３を駆動して、Ｂ軸方向回転テーブル３上に載置された被加工物２を加工する加工装置であって、Ｂ軸方向回転テーブル３上に、Ｚ方向の軸回りの回転方向であるＣ軸方向、及びＸ方向の軸回りの回転方向であるＡ軸方向の傾き角度が可変な傾斜ステージ１６を設けるとともに、Ｚ軸方向移動テーブル７及びＸ軸方向移動テーブル８に対する傾斜ステージ１６の傾き角度を計測する変位センサ２３を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面が水平にセットされたベッドに対して、前記ベッドの上面に平行な方向をＺ方向と、前記ベッドの上面に平行で且つ前記Ｚ方向に直交する方向をＸ方向と、前記Ｚ方向及び前記Ｘ方向に垂直な方向をＹ方向とそれぞれ定義し、
さらに、前記Ｚ方向の軸回りの回転方向をＣ軸方向と、前記Ｘ方向の軸回りの回転方向をＡ軸方向と、前記Ｙ方向の軸回りの回転方向をＢ軸方向とそれぞれ定義した場合、
前記ベッド上に載置され前記Ｚ方向に移動自在なＺ軸方向移動テーブルと、
前記ベッド上に載置され前記Ｘ方向に移動自在なＸ軸方向移動テーブルと、
前記Ｘ軸方向移動テーブル上に載置され前記Ｂ軸方向に回転自在なＢ軸方向回転テーブルと、
前記Ｚ軸方向移動テーブル上に載置され前記Ｙ方向に移動自在なＹ軸方向移動テーブルと、
前記Ｙ軸方向移動テーブルに設けられた切削工具とを備え、
前記Ｚ軸方向移動テーブル、前記Ｘ軸方向移動テーブル、前記Ｙ軸方向移動テーブル及び前記Ｂ軸方向回転テーブルを駆動して、前記Ｂ軸方向回転テーブル上に載置された被加工物と前記切削工具とを相対的に移動させることにより、前記被加工物を加工する加工装置であって、
前記Ｂ軸方向回転テーブル上に、前記Ｃ軸方向及び前記Ａ軸方向の傾き角度が可変である傾斜ステージを設けるとともに、
前記Ｚ方向移動テーブル及び前記Ｘ方向移動テーブルに対する前記傾斜ステージの傾き角度を計測する計測手段を設けたことを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記計測手段による計測結果を表示する表示手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記Ｙ軸方向移動テーブルは、前記Ｃ軸方向に回転自在なＣ軸方向回転テーブルを有し、該Ｃ軸方向回転テーブルには前記Ｚ方向に棒状部材が固定され、その棒状部材の先端に前記切削工具が取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の加工装置。
【請求項４】
前記被加工物は、複数の直線状の突条または溝を有する光学部品、並びに該光学部品を成形するための金型であることを特徴とする請求項１，２又は３に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の直線状の突条または溝を有する光学部品や、該光学部品を成形するための光学部品用金型を加工する際の加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、図９に示すように、中心軸Ｌ１を含む平面Ｓ１に対して左右対称に複数の直線状の突条１（図では、複数の突条１が階段状に形成されている。）を有する光学部品（以下、被加工物という）２が知られている。また、被加工物２は切削加工または金型による成形によって製造されるが、金型による成形の場合には、光学部品用金型が用いられることも知られている。なお、図９においては、直線状の突条１が形成された方向がＺ方向と、Ｚ方向と同じ水平面内にあってＺ方向と直交する方向がＸ方向と、Ｚ方向及びＸ方向に垂直な方向がＹ方向とそれぞれ定義されている。また、被加工物２には、複数の突条１の代わりに、複数の溝が形成される場合もある。
【０００３】
ところで、図９に示す被加工物２を加工する方法として、図１０のような加工方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この加工方法においては、先ず、同図（ａ）に示すように、被加工物２をＢ軸方向回転テーブル３に載せて、切削工具４を矢印Ａ１のようにＺ方向に繰り返し移動させ、被加工物２の一側（平面Ｓ１に関して一方の側）に複数の直線状の突条１を形成する。次に、同図（ｂ）に示すように、Ｂ軸方向回転テーブル３をその回転軸Ｌ２回りに矢印Ａ２のように１８０度回転させて、被加工物２の向きを反転させる。そして、同様に切削工具４を矢印Ａ３のようにＺ方向に繰り返し移動させ、被加工物２の他側（平面Ｓ１に関して他方の側）に複数の直線状の突条１を形成する。なお、図１０においては、Ｙ方向の軸回りの回転方向がＢ軸方向と定義されている。
【０００４】
図１１は、被加工物２を加工する加工装置５の全体構成図である。この加工装置５は、上面が水平にセットされたベッド６と、ベッド６上に載置されＺ方向に移動自在なＺ軸方向移動テーブル７と、ベッド６上に載置されＸ方向に移動自在なＸ軸方向移動テーブル８と、Ｘ軸方向移動テーブル８上に載置されＢ軸方向に回転自在なＢ軸方向回転テーブル３と、Ｚ軸方向移動テーブル７上に載置されＹ方向に移動自在なＹ軸方向移動テーブル９と、Ｙ軸方向移動テーブル９に設けられＺ方向の軸回りに回転自在なＣ軸方向回転テーブル１０とを備えている。そして、切削工具４は、Ｃ軸方向回転テーブル１０に固定された棒状部材１１の先端に取り付けられている。
【特許文献１】特開平７−１２４８１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図１２は図１１の加工装置５の側面を示しており、図１１の矢印Ｂ１方向から見た図である。図１２に示すように、Ｃ軸方向回転テーブル１０に固定された棒状部材１１を通りＺ軸方向移動テーブル７に平行な直線Ｌ３と、Ｂ軸方向回転テーブル３の回転軸Ｌ２とは互いに交わっている。これら直線Ｌ３と回転軸Ｌ２との成す角度をθとしたとき、θが９０度であれば、図１０に示したような切削加工（被加工物４に対する切削工具４による切削加工）を行っても問題は生じない。
【０００６】
しかし、実際には、加工装置５に誤差がある場合が多く、例えば図１３に示すように、Ｚ方向移動テーブル７が傾斜して取り付けられて、棒状部材１１の先端が僅かに下向きになっていると、直線Ｌ３とＢ軸方向回転テーブル３の回転軸Ｌ２との成す角度θは９０度とはならず、誤差δ（＝θ−９０度）を生じる。
【０００７】
このように角度θに誤差δが生じた状態で被加工物２を切削工具４で切削加工すると、図１４に示すように、被加工物２の一側に形成された突条１Ａの上面は基準面に対してδだけ傾斜し、被加工物２の他側に形成された突条１Ｂの上面も基準面に対してδだけ傾斜する。その結果、一側に形成された突条１Ａの上面と他側に形成された突条１Ｂの上面との間には誤差２δが生じ、これにより、最も高い位置に形成された突条１Ａ，１Ｂの上面間には、被加工物２の端面部において、段差ｄが発生する。被加工物２の全長をＬとしたとき、段差ｄは（Ｌ／２）ｔａｎδ×２で表すことができる。なお、図１４において、Ｌ４は被加工物２の垂直方向の中心軸を示している。
【０００８】
ここで、一例として、Ｌ＝３０ｍｍでδ＝５秒の場合、ｄは７３０ｎｍとなる。被加工物２が光学部品など、高精度が要求されるものである場合は、５秒の傾きであっても無視できない誤差要因となる。
【０００９】
上記段差ｄが発生するのを回避する方法として、図１５に示すように、中心軸Ｌ４に関して左右対象に切削工具１２を配置し、これら切削工具１２で左右の突条１（または溝）を同時に加工する方法が知られているが、切削工具１の輪郭形状は左右で微妙に異なっている場合が多く、突条１（または溝）の左右対称性を高精度に実現するのが難しいという問題がある。
【００１０】
本発明の課題は、切削加工により被加工物に突条または溝を形成する際に、突条または溝に段差が生じたりすることがなく、また、突条または溝の左右対称性を高精度に実現することのできる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、上面が水平にセットされたベッドに対して、前記ベッドの上面に平行な方向をＺ方向と、前記ベッドの上面に平行で且つ前記Ｚ方向に直交する方向をＸ方向と、前記Ｚ方向及び前記Ｘ方向に垂直な方向をＹ方向とそれぞれ定義し、さらに、前記Ｚ方向の軸回りの回転方向をＣ軸方向と、前記Ｘ方向の軸回りの回転方向をＡ軸方向と、前記Ｙ方向の軸回りの回転方向をＢ軸方向とそれぞれ定義した場合、前記ベッド上に載置され前記Ｚ方向に移動自在なＺ軸方向移動テーブルと、前記ベッド上に載置され前記Ｘ方向に移動自在なＸ軸方向移動テーブルと、前記Ｘ軸方向移動テーブル上に載置され前記Ｂ軸方向に回転自在なＢ軸方向回転テーブルと、前記Ｚ軸方向移動テーブル上に載置され前記Ｙ方向に移動自在なＹ軸方向移動テーブルと、前記Ｙ軸方向移動テーブルに設けられた切削工具とを備え、前記Ｚ軸方向移動テーブル、前記Ｘ軸方向移動テーブル、前記Ｙ軸方向移動テーブル及び前記Ｂ軸方向回転テーブルを駆動して、前記Ｂ軸方向回転テーブル上に載置された被加工物と前記切削工具とを相対的に移動させることにより、前記被加工物を加工する加工装置であって、前記Ｂ軸方向回転テーブル上に、前記Ｃ軸方向及び前記Ａ軸方向の傾き角度が可変である傾斜ステージを設けるとともに、前記Ｚ方向移動テーブル及び前記Ｘ方向移動テーブルに対する前記傾斜ステージの傾き角度を計測する計測手段を設けたことを特徴としている。
【００１２】
上記構成によれば、傾斜ステージの傾斜を計測手段で検出し、その検出結果に基づいて傾斜ステージの傾斜角度を調整することにより、傾斜ステージの上面を切削工具の移動方向に平行な状態にすることができ、その結果、被加工物に直線状の突条または溝を高精度に加工することが可能となる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１において、前記計測手段による計測結果を表示する表示手段を設けたことを特徴としている。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２において、前記Ｙ軸方向移動テーブルは、前記Ｃ軸方向に回転自在なＣ軸方向回転テーブルを有し、該Ｃ軸方向回転テーブルには前記Ｚ方向に棒状部材が固定され、その棒状部材の先端に前記切削工具が取り付けられていることを特徴としている。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項１，２又は３において、前記被加工物は、複数の直線状の突条または溝を有する光学部品、並びに該光学部品を成形するための金型であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、傾斜ステージの上面を切削工具の移動方向に平行な状態とすることができるので、被加工物の一側に突条または溝を形成し、その後、被加工物を１８０度回転させて、被加工物の他側に突条または溝を形成したとき、突条の上面や溝の底部上面に段差が生じることはなく、また、突条または溝の左右対称性を高精度に実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施例を図面に従って説明する。
【実施例】
【００１８】
図１は、本発明に係る加工装置１５を示している。図１において、上面が水平にセットされたベッド６に対して、ベッド６の上面に平行な方向をＺ方向と、ベッド６の上面に平行で且つＺ方向に直交する方向をＸ方向と、Ｚ方向及びＸ方向に垂直な方向をＹ方向とそれぞれ定義する。また、Ｚ方向の軸回りの回転方向をＣ軸方向と、Ｘ方向の軸回りの回転方向をＡ軸方向と、Ｙ方向の軸回りの回転方向をＢ軸方向とそれぞれ定義する。
【００１９】
加工装置１５の基本的構成は、図１１に示した従来の加工装置５をほぼ同じである。すなわち、加工装置１５は、上面が水平にセットされたベッド６と、ベッド６上に載置されＺ方向に移動自在なＺ軸方向移動テーブル７と、ベッド６上に載置されＸ方向に移動自在なＸ軸方向移動テーブル８と、Ｘ軸方向移動テーブル８上に載置され、Ｂ軸方向に回転自在なＢ軸方向回転テーブル３と、Ｚ軸方向移動テーブル７上に載置されＹ方向に移動自在なＹ軸方向移動テーブル９と、Ｙ軸方向移動テーブル９に設けられＺ方向の軸回りに回転自在なＣ軸方向回転テーブル１０とを備えている。また、切削工具４は、Ｃ軸方向回転テーブル１０に固定された棒状部材１１の先端に取り付けられている。なお、Ｌ４はＸ軸方向移動テーブル８の移動方向であるＸ方向に平行な直線であり、直線Ｌ３を含む水平面内にあって直線Ｌ３と直交している。
【００２０】
本実施例では、Ｂ軸方向回転テーブル３上に傾斜ステージ１６が設けられている。この傾斜ステージ１６は、Ｂ軸方向回転テーブル３の上面に固定された平板状の傾斜ステージ基部１７と、傾斜ステージ基部１７の上方に配置された平板状の傾斜ステージ本体１８と、傾斜ステージ基部１７と傾斜ステージ本体１８との間に設けられた複数個の高さ調整部材１９（図２及び図６等参照）とを備えている。なお、被加工物２は、傾斜ステージ本体１８の上面に載置され、かつ固定される。
【００２１】
傾斜ステージ１６には、高さ調整部材１９が６個設けられている。すなわち、高さ調整部材１９は、Ｘ方向に沿って傾斜ステージ本体１８の下面両側部に３個ずつ設けられている。
【００２２】
また、傾斜ステージ本体１８の上面には、Ｘ方向に沿って棒状のＸ軸方向基準面測定部材２０が、Ｚ方向に沿って棒状のＺ軸方向基準面測定部材２１がそれぞれ取り付けられている。Ｘ軸方向基準面測定部材２０及びＺ軸方向基準面測定部材２１は傾斜ステージ本体１８の周縁部に取り付けられ、かつＸ軸方向基準面測定部材２０とＺ軸方向基準面測定部材２１とは直角に配置されている。
【００２３】
さらに、本実施例では、Ｙ軸方向移動テーブル９に棒状のセンサ取付部材２２が棒状部材１１に並行して設けられ、このセンサ取付部材２２の先端に計測手段としての変位センサ２３が取り付けられている。変位センサ２３は、Ｘ軸方向基準面測定部材２０の上面やＺ軸方向基準面測定部材２１の上面位置を非接触で（または接触して）計測し、Ｘ方向移動テーブル８及びＺ方向移動テーブル７に対する傾斜ステージ本体１８の傾き角度を計測する。
【００２４】
なお、図には示してないが、変位センサ２３によって傾斜ステージ本体１８の傾き角度を計測したとき、その計測結果を表示する表示手段が設けられている。
【００２５】
次に、本実施例の作用について説明する。
【００２６】
先ず、被加工物２に対する切削加工を行う前に、傾斜ステージ１６における傾斜ステージ本体１８の傾き角度を計測する。このとき、傾斜ステージ本体１８のＣ軸方向及びＡ軸方向の傾き角度を計測する。
【００２７】
Ｃ軸方向の傾き角度については、図２のような方法で計測する。すなわち、図２（ａ）に示すように、Ｘ軸方向移動テーブル８を正のＸ方向へ移動させ、傾斜ステージ１６に取り付けられたＸ軸方向基準面測定部材２０の一側（図では右側）に、変位センサ２３が位置するようにする。
【００２８】
次に、図２（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向移動テーブル８を矢印Ｃ１の如く負のＸ方向へ移動させる。引き続き、図２（ｃ）に示すように、Ｘ軸方向移動テーブル８を矢印Ｃ２の如く負のＸ方向へ更に移動させる。すると、変位センサ２３はＸ軸方向基準面測定部材２０の他側（図では左側）に位置することになる。
【００２９】
図２（ａ）〜（ｃ）のように、変位センサ２３によってＸ軸方向基準面測定部材２０の上面を走査することにより、Ｘ軸方向移動テーブル８に対する、つまり直線Ｌ４に対する傾斜ステージ本体１８の傾き角度を計測することができる。
【００３０】
図３は、傾斜ステージ本体１８が傾斜した状態でセットされた様子を示している。すなわち、図３において、傾斜ステージ本体１８は左傾斜しており、直線Ｌ４に対してＸ軸方向基準面測定部材２０の上面が角度φ１だけずれている。変位センサ２３によってＸ軸方向基準面測定部材２０を走査することにより、前記角度φ１を計測することができる。
【００３１】
そして、直線Ｌ４に対してＸ軸方向基準面測定部材２０の上面が角度φ１だけずれていることが計測できた場合、図４（ａ）に示すように、高さ調整部材１９（図ではＸ方向に沿って、右側と中間の高さ調整部材）を操作することにより、傾斜ステージ本体１８をその左側側端を中心にして矢印Ｃ３方向へ回動させる。その結果、図４（ａ）に示すように、傾斜ステージ本体１８の上面は直線Ｌ４に平行となる。なお、傾斜ステージ本体１８を矢印Ｃ３方向へ回動させる操作は、傾斜ステージ１６のＣ軸方向の傾き角度を調整することに相当する。
【００３２】
次に、Ａ軸方向の傾き角度については、図５のような方法で計測する。すなわち、図５（ａ）に示すように、傾斜ステージ１６に取り付けられたＺ軸方向基準面測定部材２１の上面に変位センサ２３が位置するよう、Ｘ軸方向移動テーブル８を移動させる。そして、Ｚ軸方向移動テーブル７を負のＺ方向へ移動させ、Ｚ軸方向基準面測定部材２１の一側（図では左側）に変位センサ２３を位置させる。
【００３３】
変位センサ２３をＺ軸方向基準面測定部材２１の上面に位置させた状態で、図５（ｂ）に示すように、Ｚ軸方向移動テーブル７を正のＺ方向へ移動させて、変位センサ２３を矢印Ｃ４のように移動させる。
【００３４】
図５（ａ）及び（ｂ）のように、変位センサ２３によってＺ軸方向基準面測定部材２１の上面を走査することにより、Ｚ軸方向移動テーブル７に対する、つまり直線Ｌ３に対する傾斜ステージ本体１８の傾き角度を計測することができる。
【００３５】
図６は、傾斜ステージ本体１８が傾斜した状態でセットされた様子を示している。すなわち、図６において傾斜ステージ本体１８は左傾斜しており、直線Ｌ３に対してＺ軸方向基準面測定部材２１の上面が角度φ２だけずれている。変位センサ２３によってＺ軸方向基準面測定部材２１を走査することにより、前記角度φ２を計測することができる。
【００３６】
そして、直線Ｌ３に対してＺ軸方向基準面測定部材２１の上面が角度φ２だけずれていることが計測できた場合、図７に示すように、高さ調整部材１９（図ではＺ方向に沿って、右側の高さ調整部材）を操作することにより、傾斜ステージ本体１８をその左側側端を中心にして矢印Ｃ５方向へ回動させる。その結果、同図に示すように、傾斜ステージ本体１８の上面は直線Ｌ３に平行となる。なお、傾斜ステージ本体１８を矢印Ｃ５方向へ回動させる操作は、傾斜ステージ１６のＡ軸方向の傾き角度を調整することに相当する。
【００３７】
傾斜ステージ１６のＣ軸方向及びＡ軸方向における傾き角度の調整が終わったら、傾斜ステージ本体１８の上面に被加工物２を固定して、被加工物２の一側を切削加工する。このとき、Ｚ軸方向移動テーブル７、Ｘ軸方向移動テーブル８、Ｚ軸方向移動テーブル７を駆動して、被加工物２に対して切削工具４を相対的に移動させながら、切削加工を行う。
【００３８】
次に、Ｂ軸方向回転テーブル３を１８０度回転させて、被加工物２の前後方向を反転させる。この際、被加工物２の他側を切削加工する前に、上記と同様、傾斜ステージ本体１８のＣ軸方向及びＡ軸方向の傾き角度を計測し、その計測結果に基づいて、傾斜ステージ本体１８が直線Ｌ３及びＬ４に平行となるよう調節する。そして、調整が終わったら、被加工物２の他側を、前記一側と同様に切削加工する。
【００３９】
なお、Ｃ軸方向の傾き角度の調整及びＡ軸方向の傾き角度の調整を行ったとき、一方の角度調整で他方の角度調整が影響を受ける場合は、Ａ軸方向の傾き角度の調整精度を優先的に高めて調整を行う。
【００４０】
ここで、実際にＡ軸方向の傾き角度を計測する実験を行った。Ｚ軸方向基準面測定部材２１の上面における測定長を２００ｍｍとして、変位センサ２３として静電容量センサを使用した。静電容量センサでは５０ｎｍ程度の変位も容易に計測できるため、測定長が２００ｍｍあれば、５０ｎｍ以下のずれ量まで傾きを抑えることができる。その際の傾き誤差δは０.０５秒程度となる。被加工物２の両側に加工を行う際、被加工物２を１８０度回転させるため、傾き誤差の影響は２倍になり０.１秒程度となる。
【００４１】
１８０度回転後に行われる計測作業での傾き測定誤差は０.０５秒程度であるため、最悪で０.１＋０.０５＝０.１５秒の傾き誤差となる。０.１５秒は図１４における２δに相当する。Ｌ＝３０ｍｍ、２δ＝０.１５秒での段差ｄは１１ｎｍ程度となる。これにより、被加工物２を光学部品として使用しても、問題のない水準まで段差ｄが抑制されることが分かった。
【００４２】
本実施例によれば、傾斜ステージ１６の上面を切削工具４の移動方向と完全に平行に合致させることができるので、被加工物２の一側に突条１を形成し、その後、被加工物２を１８０度回転させて、被加工物２の他側に突条１を形成したとき、突条１の上面に段差が生じることはなく、また、突条１の左右対称性を高精度に実現することができる。
【００４３】
本実施例では、切削工具４を水平方向（Ｚ方向）に往復移動させて、被加工物２に直線状の突条１（または溝）を加工する方法を説明したが、本発明はこのような加工方法に限らず、図８に示すように、フライホイール３０の外周面に切削工具３１を取り付け、このフライホイール３０を矢印Ｄ１のように回転させながら切削加工を行う、いわゆるフライカット工法にも適用可能である。
【００４４】
また、本実施例では、傾斜ステージ１６の傾斜ステージ本体１８が傾いていて、この傾斜ステージ本体１８を水平な直線Ｌ３に平行となるよう高さ調整部材１９で調整する例を説明してきたが、直線Ｌ３が傾斜している場合もあり、本発明は、このように傾斜した直線Ｌ３に傾斜ステージ本体１８が平行となるよう高さ調整部材１９を調整する際にも適用できる。この場合、傾斜ステージ本体１８は水平ではなく、若干傾斜した状態となる。
【００４５】
さらに、本発明は、被加工物ばかりでなく、当該被加工物を成形するための金型の切削加工にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る加工装置の斜視図である。
【図２】（ａ），（ｂ），（ｃ）は傾斜ステージのＸ軸方向の傾きを計測している様子を示す図である。
【図３】傾斜ステージがＸ軸方向において傾斜してセットされた様子を示す図である。
【図４】（ａ），（ｂ）はＸ軸方向において傾斜してセットされた傾斜ステージを正常状態に調整する様子を示す図である。
【図５】（ａ），（ｂ）は傾斜ステージのＺ軸方向の傾きを計測している様子を示す図である。
【図６】傾斜ステージがＺ軸方向において傾斜してセットされた様子を示す図である。
【図７】Ｚ軸方向において傾斜してセットされた傾斜ステージを正常状態に調整する様子を示す図である。
【図８】本発明の変形例を示す図である。
【図９】被加工物の斜視図である。
【図１０】従来技術を示しており、（ａ）は被加工物の一側を切削加工している様子を示す図、（ｂ）は被加工物の他側を切削加工している様子を示す図である。
【図１１】従来技術による加工装置の斜視図である。
【図１２】図１１をＢ１方向から見た図である。
【図１３】従来技術の課題を説明する図である。
【図１４】従来の加工装置によって加工されたときの被加工物の斜視図である。
【図１５】従来技術の他の例を説明する図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  突条
２  被加工物
３  Ｂ軸方向回転テーブル
４  切削工具
６  ベッド
７  Ｚ軸方向移動テーブル
８  Ｘ軸方向移動テーブル
９  Ｙ軸方向移動テーブル
１０  Ｃ軸方向回転テーブル
１６  傾斜ステージ
２０  Ｘ軸方向基準面測定部材
２１  Ｚ軸方向基準面測定部材
２３  変位センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009274161.tif 000009
【図８】
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【図９】
2009274161.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2009274161.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2009274161.tif 000016
【図１５】
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