(57)【要約】【課題】本発明は、被検査物である基板を移動、搬送させた状態であっても超高分解能カメラの取り付け調整を簡単に尚且つ高精度に実施することを可能にした基板検査装置用カメラ調整機構を提供することを課題とする。【解決手段】基板検査装置用カメラの取付位置調整機構であって、カメラ本体を垂直な取付面に下向きに取り付けるための調整用ベースプレートを有し、カメラ本体を取付面に垂直な軸を中心にして回転させる傾き調整機構と、カメラ本体を垂直方向に移動させる高さ調整機構と、カメラ本体をカメラ本体のレンズ中心軸を中心にして回転させる回転調整機構と、カメラ本体を保持固定する保持機構とを有することを特徴とする基板検査装置用カメラ調整機構。【選択図】図１
2009230023.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板検査装置用カメラの取付位置調整機構であって、カメラ本体を垂直な取付面に下向きに取り付けるための調整用ベースプレートを有し、カメラ本体を取付面に垂直な軸を中心にして回転させる傾き調整機構と、カメラ本体を垂直方向に移動させる高さ調整機構と、カメラ本体をカメラ本体のレンズ中心軸を中心にして回転させる回転調整機構と、カメラ本体を保持固定する保持機構とを有することを特徴とする基板検査装置用カメラ調整機構。
【請求項２】
前記傾き調整機構は、前記調整用ベースプレートの上部に回転可能に取り付けられた、偏心した傾き調整ボルトと、調整用ベースプレートの下部に固定された傾き調整ピンと、該傾き調整ピンを中心にして回転可能に取り付けられた傾き調整プレートからなり、該傾き調整プレートは、前記傾き調整ボルトを回転可能に収納可能な切欠き部を有し、傾き調整ボルトを回転することにより、傾き調整プレートが傾き調整ピンを中心に回転することにより、カメラ本体を傾き調整ピンを中心として回転させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置用カメラ調整機構。
【請求項３】
前記高さ調整機構は、前記傾き調整プレートに固定された２本のガイドレールと、該ガイドレールによって保持され、上下に摺動可能な高さ調整プレートと、傾き調整プレートに固定されたねじブロックと、該ねじブロックに垂直方向に設けられたねじ穴を上下に移動可能な高さ調整ボルトを有し、該高さ調整ボルトを回転させることにより、高さ調整ボルトによって下から支えられている高さ調整プレートを上下に移動させることによってカメラ本体を垂直方向に移動させることを特徴とする請求項１または２に記載の基板検査装置用カメラ調整機構。
【請求項４】
前記回転調整機構は、前記高さ調整プレートに固定され、カメラ本体を垂直に保持するカメラ固定プレートに回転可能に取り付けられた偏心した回転方向調整ボルトと、回転方向調整プレートからなり、該回転方向調整プレートは、前記回転方向調整ボルトを回転可能に収納可能な切欠き部とカメラ本体を固定する固定ボルトを有し、回転方向調整ボルトを回転することにより、回転方向調整プレートを回転させることによって、固定ボルトによって回転方向調整プレートに固定されたカメラ本体をレンズ中心軸を中心にして回転させることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板検査装置用カメラ調整機構。
【請求項５】
前記カメラ保持機構は、前記カメラ固定プレートと、該カメラ固定プレートに設けたカメラ本体挿入孔と、カメラ固定ボルトを有し、該カメラ固定ボルトを締め付けることによって前記カメラ本体挿入孔に挿入されたカメラ本体を前記カメラ固定プレートに固定することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板検査装置用カメラ調整機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高精度の外観検査を必要とする板状の物品、例えば液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラットディスプレイパネル用のガラス基板等の欠陥検査を行うガラス基板検査装置等に用いる高精細検査装置用ラインセンサーカメラの取付位置調整機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来ラインセンサーカメラの取付位置や角度を調整する方法としては、図９に示したように、カメラ本体２２をカメラ保持ブロック２３に取り付け、カメラ保持ブロックとフレームの間に調整用プレートとしてシム２５を挿入するかまたは、ブラケットの高さを切削して調整を行っていた。また、図１０に示したようにカメラ保持ブロックのボルト結合部の片側に長穴加工を施して調整用長穴２６とし、これを調整代として保持ブロック固定ボルト２４でカメラ保持ブロック２３を固定していた。
【０００３】
しかしシムの挿入や長穴加工による方法は、保持ブロック固定ボルトを締め付ける前後で、カメラ保持ブロックの位置がわずかに変動してしまうため微妙な調整が困難であった。
【０００４】
また、フラットパネルディスプレイでは、例えばカラーフィルタなどでは、製造工程において欠陥などの検査が行われているが、近年画面の高精細化が進み、それに伴って検査機自体も高性能なものが求められている。品質保証の点から具体的には、５μm以下の欠陥を検査するような、分解能が３μm以下の超高分解能カメラを用いた検査機が必須となってきている。
【０００５】
しかしながら、分解能が５μm以下の検査機用カメラは焦点深度が浅くまた、被写界深度も狭く、検査として撮像するためには、その被写界深度から外れないように安定したカメラ取り付け精度が必要となるため、超高分解能カメラの調整は、従来の調整方法では調整できず、微調整が可能な特別な機構が必要となってきた。
【０００６】
またラインセンサーカメラは通常の映像カメラと違い被写体が停止している状態では映像として確認できないため、被写体であるガラス基板を移動、搬送させながらでないと確認ができない。そのために従来の方法では、調整・確認の繰り返しのため調整に多くの時間と労力を必要としていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで本発明は、被検査物である基板を移動、搬送させた状態であっても超高分解能カメラの取り付け調整を簡単に尚且つ高精度に実施することを可能にした基板検査装置用カメラ調整機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、基板検査装置用カメラの取付位置調整機構であって、カメラ本体を垂直な取付面に下向きに取り付けるための調整用ベースプレートを有し、カメラ本体を取付面に垂直な軸を中心にして回転させる傾き調整機構と、カメラ本体を垂直方向に移動させる高さ調整機構と、カメラ本体をカメラ本体のレンズ中心軸を中心にして回転させる回転調整機構と、カメラ本体を保持固定する保持機構とを有することを特徴とする基板検査装置用カメラ調整機構である。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、前記傾き調整機構は、前記調整用ベースプレートの上部に回転可能に取り付けられた、偏心した傾き調整ボルトと、調整用ベースプレートの下部に固定された傾き調整ピンと、該傾き調整ピンを中心にして回転可能に取り付けられた傾き調整プレートからなり、該傾き調整プレートは、前記傾き調整ボルトを回転可能に収納可能な切欠き部を有し、傾き調整ボルトを回転することにより、傾き調整プレートが傾き調整ピンを中心に回転することにより、カメラ本体を傾き調整ピンを中心として回転させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置用カメラ調整機構である。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明は、前記高さ調整機構は、前記傾き調整プレートに固定された２本のガイドレールと、該ガイドレールによって保持され、上下に摺動可能な高さ調整プレートと、傾き調整プレートに固定されたねじブロックと、該ねじブロックに垂直方向に設けられたねじ穴を上下に移動可能な高さ調整ボルトを有し、該高さ調整ボルトを回転させることにより、高さ調整ボルトによって下から支えられている高さ調整プレートを上下に移動させることによってカメラ本体を垂直方向に移動させることを特徴とする請求項１または２に記載の基板検査装置用カメラ調整機構である。
【００１１】
また、請求項４に記載の発明は、前記回転調整機構は、前記高さ調整プレートに固定され、カメラ本体を垂直に保持するカメラ固定プレートに回転可能に取り付けられた偏心した回転方向調整ボルトと、回転方向調整プレートからなり、該回転方向調整プレートは、前記回転方向調整ボルトを回転可能に収納可能な切欠き部とカメラ本体を固定する固定ボルトを有し、回転方向調整ボルトを回転することにより、回転方向調整プレートを回転させることによって、固定ボルトによって回転方向調整プレートに固定されたカメラ本体をレンズ中心軸を中心にして回転させることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板検査装置用カメラ調整機構である。
【００１２】
また、請求項５に記載の発明は、前記カメラ保持機構は、前記カメラ固定プレートと、該カメラ固定プレートに設けたカメラ本体挿入孔と、カメラ固定ボルトを有し、該カメラ固定ボルトを締め付けることによって前記カメラ本体挿入孔に挿入されたカメラ本体を前記カメラ固定プレートに固定することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板検査装置用カメラ調整機構である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る基板検査装置用カメラ調整機構は、カメラ本体を垂直な取付面に下向きに取り付けるための調整用ベースプレートを有し、カメラ本体を取付面に垂直な軸を中心にして回転させる傾き調整機構と、カメラ本体を垂直方向に移動させる高さ調整機構と、カメラ本体をカメラ本体のレンズ中心軸を中心にして回転させる回転調整機構と、カメラ本体を保持固定する保持機構とを有するため、高精細カメラの調整に必要な要素がすべて盛り込まれており、基板検査装置用カメラにおけるすべての必要な調整を本調整機構のみで行うことができる。
【００１４】
傾き調整機構として、前記調整用ベースプレートの上部に回転可能に取り付けられた、偏心した傾き調整ボルトと、調整用ベースプレートの下部に固定された傾き調整ピンと、該傾き調整ピンを中心にして回転可能に取り付けられた傾き調整プレートからなり、該傾き調整プレートは、前記傾き調整ボルトを回転可能に収納可能な切欠き部を有し、傾き調整ボルトを回転することにより、傾き調整プレートが傾き調整ピンを中心に回転することにより、カメラ本体を傾き調整ピンを中心として回転させる機構を採用した場合には、カメラを取り付けた状態でカメラの傾きを微調整することが可能となる。
【００１５】
高さ調整機構として、前記傾き調整プレートに固定された２本のガイドレールと、該ガ
イドレールによって保持され、上下に摺動可能な高さ調整プレートと、傾き調整プレートに固定されたねじブロックと、該ねじブロックに垂直方向に設けられたねじ穴を上下に移動可能な高さ調整ボルトを有し、該高さ調整ボルトを回転させることにより、高さ調整ボルトによって下から支えられている高さ調整プレートを上下に移動させることによってカメラ本体を垂直方向に移動させる機構を採用した場合には、前項と同様に、カメラを取り付けた状態でカメラの高さを微調整することが可能となる。
【００１６】
また回転調整機構として、前記高さ調整プレートに固定され、カメラ本体を垂直に保持するカメラ固定プレートに回転可能に取り付けられた偏心した回転方向調整ボルトと、回転方向調整プレートからなり、該回転方向調整プレートは、前記回転方向調整ボルトを回転可能に収納可能な切欠き部とカメラ本体を固定する固定ボルトを有し、回転方向調整ボルトを回転することにより、回転方向調整プレートを回転させることによって、固定ボルトによって回転方向調整プレートに固定されたカメラ本体をレンズ中心軸を中心にして回転させる機構を採用した場合には、同様にしてカメラを取り付けた状態でカメラの回転方向を微調整することが可能となる。
【００１７】
またカメラ保持機構として、前記カメラ固定プレートと、該カメラ固定プレートに設けたカメラ本体挿入孔と、カメラ固定ボルトを有し、該カメラ固定ボルトを締め付けることによって前記カメラ本体挿入孔に挿入されたカメラ本体を前記カメラ固定プレートに固定する機構を採用した場合には、カメラ本体をカメラ本体挿入孔に嵌めてカメラ固定ボルトを締め付けるという極めて簡単な操作でカメラ本体を調整機構上に確実に固定することが可能となり、従来のカメラ保持ブロックを設備本体に取り付ける方法に比較して、高価なカメラを誤って落下させたりする事故もなくなり安全確実な取付、調整作業が可能となる。
【００１８】
また本発明の検査装置用カメラ調整機構においては、すべての調整機構を正面に配置しておくことにより、一つの方向から上下・傾き・回転方向のすべての調整が可能であり、尚且つ、調整はμｍ単位の微調整が可能であるため、組み立て調整に要する時間の短縮とラインセンサーカメラの取り付け精度の向上をもたらすものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面に従い、具体的な実施例に基づいて本発明の基板検査装置用カメラ調整機構について詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に制約されるものではない。
図１は、本発明に係る基板検査装置用カメラ調整機構のひとつの実施例を示した正面模式図（A）および側面模式図（B）であり、図２は、この基板検査装置用カメラ調整機構にカメラ本体を取り付けた状態、および傾き調整機構の動作を示す説明図である。
【００２０】
調整機構全体は、調整用ベースプレート２７の上に構築されている。調整用ベースプレート２７は、被検査体であるガラス基板の面に垂直で、かつガラス基板の移動方向に対して直角になるように設けられた取付面上に２本の位置決め用ピン３４によって位置決めをした上で固定用ボルト等によって固定される。
【００２１】
まず図１および図２により、傾き調整機構について説明する。調整用プレート２７の下部には、傾き調整ピン３６が調整用プレートの面に垂直になるように取り付けられており、上部には偏心した傾き調整ボルト３３が同様に調整用プレートの面に垂直に回転可能に取り付けられている。調整用プレート２７の上には、傾き調整プレート２８が、設置されている。
傾き調整プレート２８には、傾き調整ピン３６が嵌合する孔が設けられており、傾き調整プレート２８は、傾き調整ピン３６を中心にして回転することができる。また傾き調整プレート２８には、前記傾き調整ボルト３３を回転可能に収納できる切欠き部３７が設けら
れており、以上が傾き調整機構を構成している。
【００２２】
図７は、傾き調整機構の詳細説明図である。
傾き調整プレート２８の上部には、傾き調整ボルト３３を収納する切欠き部３７が設けられており、傾き調整ボルト３３を回転させると、傾き調整ボルト３３は偏心しているため、傾き調整プレート２８の上部が傾き調整ボルト３３に押されて左右に動き、その結果傾き調整プレート２８は傾き調整ピン３６を中心にして回転する。カメラ本体２２は、カメラ固定プレート２９を含む保持機構によって間接的に傾き調整プレート２８に固定されているので、カメラ本体２２は取付面に垂直な軸である傾き調整ボルト３３を中心にしてわずかに回転することになる。
【００２３】
次に図１および図３によって高さ調整機構について説明する。図３は、本実施例の基板検査装置用カメラ調整機構にカメラ本体を取り付けた状態および、高さ調整機構の動作を示した説明図である。傾き調整プレート２８の上には、２本のガイドレール３８が平行に垂直方向に固定されており、この２本のガイドレール３８によって上下方向に摺動可能に保持された高さ調整プレート３５が、高さ調整ボルト３２によって下から支えられている。高さ調製ボルト３２は、前記傾き調整プレート２８に固定されたねじブロック３９に垂直方向に設けられたねじ穴の中を上下に移動可能であるから、この高さ調整ボルト３２を回転することにより、高さ調整プレート３５は、上下に移動する。
カメラ本体２２は、高さ調整プレート３５に固定されたカメラ固定プレート２９によって間接的に高さ調整プレート３５に固定されているので、高さ調整ボルト３２を回転させることにより、カメラ本体２２の高さを微調整することができる。
【００２４】
次に、図１、図４、図５、図６、図８により、回転調整機構ならびに保持機構について説明する。図４は、本実施例の基板検査装置用カメラ調整機構にカメラ本体を取り付けた状態を上から見た説明図であり、回転調整機構の動作を示している。図５および図８は、回転調整機構の詳細説明図である。また図６は、保持機構の説明図である。
図６において、カメラ本体は、カメラ固定プレート２９に設けられたカメラ本体挿入孔４２に挿入され、カメラ固定ボルト４３によって固定される。カメラ固定プレート２９は、高さ調整プレート３５に固定されている。カメラ固定プレートは、上下２枚からなり、カメラ本体を確実に固定することができる。
【００２５】
２枚のうち一方のカメラ固定プレート２９には、偏心した回転方向調整ボルト３０が垂直方向に取り付けられており、この回転方向調整ボルト３０を回転可能に収納可能な切欠き部４０を有する回転方向調整プレート３１が載置されている。回転方向調整プレート３１には、固定ボルト４１が設けられており、カメラ本体２２を挿入した後、この固定ボルト４１を締め付けることにより、カメラ本体２２と回転方向調整プレート３１とを固定することができる。
【００２６】
カメラ本体２２の回転方向を調整するには、一旦カメラ固定ボルト４３を緩めた後、回転方向調整ボルト３０を回転させると、偏心した回転方向調整ボルトに押されて、回転方向調整プレートがわずかに回転するので、カメラ本体２２がわずかに回転することになる。所定の位置に来たところで、カメラ固定ボルト４３を締め付ければ、カメラ本体２２は、完全に固定される。
【００２７】
以上のように、本実施例の基板検査装置用カメラ調整機構は、従来方法に対し調整中及び調整後もカメラ位置が変化することなく、従来方法では不可能であった撮像しながらのカメラ調整も可能であるため、従来方法と比較すると格段に調整時間の短縮が可能となった。
【００２８】
また本実施例の基板検査装置用カメラ調整機構は、一方向からの調整が可能であるため、カメラを一列に数台・数十台並べた場合であってもそれぞれのカメラの調整を独立して行うことが可能であり、カメラ調整作業の効率化をもたらした。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係る基板検査装置用カメラ調整機構の実施例を示した正面模式図（A）および側面模式図（B）。
【図２】図１に示した基板検査装置用カメラ調整機構にカメラ本体を取り付けた状態および、傾き調整機構の動作を示す説明図。
【図３】図１に示した基板検査装置用カメラ調整機構にカメラ本体を取り付けた状態および、高さ調整機構の動作を示す説明図。
【図４】図１に示した基板検査装置用カメラ調整機構にカメラ本体を取り付けた状態および、回転調整機構の動作を示す説明図。
【図５】回転調整機構の詳細説明図
【図６】保持機構の説明図
【図７】傾き調整機構の詳細説明図
【図８】回転調整機構の詳細説明図
【図９】従来のシムによるカメラ調整方法の説明図。
【図１０】従来の長穴によるカメラ調整方法の説明図。
【符号の説明】
【００３０】
２２・・・カメラ本体
２３・・・カメラ保持ブロック
２４・・・保持ブロック固定ボルト
２５・・・シム
２６・・・調整用長穴
２７・・・調整用ベースプレート
２８・・・傾き調整プレート
２９・・・カメラ固定プレート
３０・・・回転方向調整ボルト
３１・・・回転方向調整プレート
３２・・・高さ調整ボルト
３３・・・傾き調整ボルト
３４・・・位置決め用ピン
３５・・・高さ調整プレート
３６・・・傾き調整ピン
３７・・・切欠き部
３８・・・ガイドレール
３９・・・ねじブロック
４０・・・切欠き部
４１・・・固定ボルト
４２・・・カメラ本体挿入孔
４３・・・カメラ固定ボルト
【図１】
2009230023.tif 000003
【図２】
2009230023.tif 000004
【図３】
2009230023.tif 000005
【図４】
2009230023.tif 000006
【図５】
2009230023.tif 000007
【図６】
2009230023.tif 000008
【図７】
2009230023.tif 000009
【図８】
2009230023.tif 000010
【図９】
2009230023.tif 000011
【図１０】
2009230023.tif 000012