(57)【要約】      （修正有）【課題】小型の装置を用い、簡単な操作で、ガラス基板の破損を防止して、多数のガラス基板を同時に表面研磨し、安全、高生産性かつ高歩留まりで平滑なガラス表面を有する研磨ガラス基板を提供する。【解決手段】ガラス基板１の外周部の表裏両面ならびに端部を、液非透過性および強度付与性のマスキング材２でマスキングし、マスキングしたガラス基板１をマスキング部２ａで支持するように上下方向に配置し、面間隔を保つように並べてキャリア３にセットし、キャリア３にセットされたガラス基板１を研磨液５に浸漬してガラス基板１の両面を研磨し、研磨したガラス基板１の片面を、マスキング部２ａの内側に位置する追加ステージ１０上に支持し、カッタ１１を用いて分断することにより研磨ガラス基板を製造する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の外周部の表裏両面ならびに端部を、液非透過性および強度付与性のマスキング材でマスキングし、
マスキングしたガラス基板をマスキング部で支持するように上下方向に配置し、面間隔を保つように並べてキャリアにセットし、
キャリアにセットされたガラス基板を研磨液に浸漬してガラス基板の両面を研磨することを特徴とする研磨ガラス基板の製造方法。
【請求項２】
研磨したガラス基板のマスキング部の内側で分断して研磨ガラス基板を得る請求項１記載の方法。
【請求項３】
研磨したガラス基板の片面を、マスキング部の内側に位置するステージ上に支持した状態で分断する請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
ガラス基板がガラス単板、貼り合わせガラス、または中間層を有する貼り合わせガラスである請求項１ないし３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
マスキング材が粘着テープまたはコーティング材である請求項１ないし４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
研磨液がフッ酸を含有する研磨液である請求項１ないし５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
ガラス基板が液晶ディスプレイ用ガラス基板である請求項１ないし６のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の方法により製造された研磨ガラス基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨液によりガラス基板を表面研磨する工程を含む研磨ガラス基板の製造方法に関し、特に液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造に適した研磨ガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイその他のディスプレイ製品用ガラス基板（以下単に「ガラス基板」という）は、ディスプレイ製品のエネルギ−消費量を低減する目的から、ガラス基板の厚さをできるだけ薄くすることが望まれている。そのため従来から、フッ酸を含有する化学研磨液により、ガラス基板の片面もしくは両面を化学研磨して、ガラス厚さを薄型化する研磨ガラス基板の製造方法が行われている。このようなガラス基板の研磨では、生産性を高くするために多数の基板を並べたカセットを研磨液に浸漬し、同時に化学研磨を行うようにされているが、薄型化により基板の破損が生じ、歩留まりが低くなるので、これを防止することが要望されている。
【０００３】
特許文献１（特開２０００−１４７４７４号）には、液晶ディスプレイパネルの製造過程において、ＴＦＴ−ＬＣＤガラス板をカセットに収納し、このカセットを容器に満たした研磨液にＴＦＴ−ＬＣＤガラス板が垂直になるような状態で浸漬し、気泡により攪拌しながら、ガラス基板の表面を一定量除去して研磨を行う方法が提案されている。しかしこのような研磨方法では、外部接触しているガラス板端部に自重が集中することになって、研磨中や搬送中にガラス板端部が破損しやすくなり、このような破損は、研磨の進行に伴いガラス板が薄くなるにつれて一層生じやすくなる。
【０００４】
このような問題点を解決するための手段として、例えば特許文献２（特開２００７−１７８９号）には、研磨液をガラス板表面に接触させるガラス表面の研磨方法において、水平な載置板面上にガラス板を接置した後に前記ガラス板の端面を被覆する端面被覆工程と、前記ガラス板の上面に研磨液を接触させる研磨工程と、前記ガラス板の上面を洗浄する洗浄工程と、前記ガラス板の端面を露出させる端面露出工程とを順次行なうガラス表面の研磨方法が示されている。しかしこの方法によれば、載置板面上にガラス板を接置した後に前記ガラス板の端面を被覆するので、片面しか研磨できず、多数のガラス板を研磨するためには広大な面積の装置を要す。また両面を研磨するためには反転する必要があり、手間がかかるとともに、研磨された面が下になると上部の研磨液を支持できず、割れ易いなどの問題点がある。
【特許文献１】特開２０００−１４７４７４号
【特許文献２】特開２００７−１７８９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題は、このような従来技術の問題点を解消し、小型の装置を用い、簡単な操作で、ガラス基板の破損を防止して、多数のガラス基板を同時に表面研磨し、安全、高生産性かつ高歩留まりで平滑なガラス表面を有する研磨ガラス基板を得ることができる研磨ガラス基板の製造方法、ならびにこれにより製造された研磨ガラス基板を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は次の研磨ガラス基板の製造方法、ならびに研磨ガラス基板である。
（１）  ガラス基板の外周部の表裏両面ならびに端部を、液非透過性および強度付与性のマスキング材でマスキングし、
マスキングしたガラス基板をマスキング部で支持するように上下方向に配置し、面間隔を保つように並べてキャリアにセットし、
キャリアにセットされたガラス基板を研磨液に浸漬してガラス基板の両面を研磨することを特徴とする研磨ガラス基板の製造方法。
（２）  研磨したガラス基板のマスキング部の内側で分断して研磨ガラス基板を得る上記（１）記載の方法。
（３）  研磨したガラス基板の片面を、マスキング部の内側に位置するステージ上に支持した状態で分断する上記（１）または（２）記載の方法。
（４）  ガラス基板がガラス単板、貼り合わせガラス、または中間層を有する貼り合わせガラスである上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の方法。
（５）  マスキング材が粘着テープまたはコーティング材である上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の方法。
（６）  研磨液がフッ酸を含有する研磨液である上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の方法。
（７）  ガラス基板が液晶ディスプレイ用ガラス基板である上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の方法。
（８）  上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の方法により製造された研磨ガラス基板。
【０００７】
本発明で製造する研磨ガラス基板としては、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマパネルディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ用のガラス基板があげられるが、特に液晶ディスプレイ用のガラス基板が適している。ガラス基板の材質としてはアルミノホウケイ酸ガラス基板など、上記のガラス基板に一般に用いられているものがすべて研磨の対象となる。研磨の対象となるガラス基板としては、ガラス単板でも貼り合わせガラスでもよく、特に液晶、電極、回路等の中間層を有する貼り合わせガラスの場合でも、研磨液の浸入を防止して研磨を行うことができるので、研磨対象とすることができる。これらのガラス基板の中でも、表裏両面を研磨するガラス基板が対象として適しており、ガラス単板の場合はその両面、貼り合わせガラスの場合は貼り合わせた状態における表裏両面を研磨するものが対象として適している。
【０００８】
研磨の対象となるガラス基板の寸法としては制限はなく、研磨ガラス基板の用途に対応して任意の寸法のものを研磨対象とすることができる。例えば第４世代と呼ばれるサイズは７３０ｍｍ×９２０ｍｍであるが、これより大きいサイズあるいは小さいサイズも研磨対象となる。本発明は厚さが薄いガラス基板の研磨に適しており、研磨対象として好ましいガラス基板の厚さとしては、一般的には研磨前の厚さが１〜１．５ｍｍ、研磨後の厚さが１．２ｍｍ以下であり、破損の防止効果が高く見込まれるのは０．５ｍｍ以下のものがあげられる。
【０００９】
本発明の研磨ガラス基板の製造方法では、ガラス基板の外周部の表裏両面ならびに端部を、液非透過性および強度付与性のマスキング材でマスキングし、マスキングしたガラス基板をマスキング部で支持するように上下方向に配置し、面間隔を保つように並べてキャリアにセットし、キャリアにセットされたガラス基板を研磨液に浸漬してガラス基板の両面を研磨し、研磨したガラス基板の両面を水洗することにより研磨ガラス基板を製造する。本発明では、研磨したガラス基板を、マスキング部の内側で分断して研磨ガラス基板を得るのが好ましく、この場合、研磨したガラス基板の片面を、マスキング部の内側に位置するステージ上に支持した状態で分断するのが好ましい。
【００１０】
ガラス基板をマスキングするマスキング材は、液非透過性で強度付与性を有し、ガラス基板の外周部の表裏両面ならびに端部をマスキングしたとき、研磨液がマスキング部を透過してガラス基板の外周部の表裏両面ならびに端部を研磨するのを防止するとともに、ガラス基板の外周部の表裏両面ならびに端部に強度を付与して補強する材料であり、粘着テープまたはコーティング材などが使用できる。粘着テープとしては、プラスチック等の液非透過性の基材の片面に粘着材層が形成されたテープがあげられる。コーティング材としては、ホットメルト樹脂、塗料等が上げられる。マスキング材の寸法としては、研磨するガラス基板の寸法、ガラス基板をセットするキャリアの寸法等により変わり、マスキングしたガラス基板の強度、操作性等から任意に決定することができる。マスキング材の厚さ（ガラス基板の片面に形成する厚さ）としては、特に限定されないが、一般的には、０．０１〜０．１ｍｍ、好ましくは０．０３〜０．０８ｍｍのものを用いることができる。マスキング部を形成する外周部の幅としては、一般的には１〜１０ｍｍであるが、幅が広い程、破損の防止効果が高まる。そのため、可能な範囲内（研磨不要部分，分断ステージへの影響が無い等）で広くすることが望ましい。
【００１１】
マスキングの方法は、マスキングするマスキング材の材質、特性等に応じて、それぞれのマスキング材に適した方法を選択することができる。例えば粘着テープの場合、ガラス基板の外周部の表または裏面に粘着テープのほぼ半分の領域を貼り付け、ガラス基板の端部を覆うように折り返して、反対側の面を覆うように貼り付けることができる。またコーティング材の場合、浸漬、はけ塗り、印刷等によりマスキングする部分にコーティング材層を形成し、冷却、乾燥、硬化等により固体状のマスキング層を形成することができる。マスキング部はガラス基板の外周部の表裏両面ならびに端部のみに形成することもできるが、さらにガラス基板を複数の領域に分割するように、外周部のマスキング部を表裏両面で連絡するマスキング部をさらに形成してもよく、これにより破損の危険性を少なくして、複数の研磨ガラス基板を１枚のガラス基板に形成することができる。
【００１２】
マスキングしたガラス基板をセットするキャリアは、上下方向に配置したガラス基板を、面間隔を保つように横方向に並べた状態で、それぞれのマスキング部を支持する基板支持部を有し、研磨液槽へ移送できるように可搬式に形成されたものが好ましい。ガラス基板が配置される方向は上下方向であり、鉛直方向が好ましいが、液の流通が阻害されない範囲で若干傾斜していてもよい。キャリアの基板支持部は、ガラス基板の下辺のマスキング部を支持するものであればよいが、上下の二辺のマスキング部を支持するように構成するのが好ましく、上下および左右の四辺のマスキング部を支持するように構成するのがさらに好ましい。上下方向に配置し、かつ面間隔を保つように並べて配置されたガラス基板の間隙を通して研磨液が循環するように、キャリアには液流通部が設けられる。
【００１３】
研磨液槽は、内部に研磨液を滞留させ、ガラス基板をセットしたキャリアを搬送して研磨液に浸漬し、ガラス基板の両面を研磨液と接触させて研磨を行うように構成される。このとき上下方向に配置し、かつ面間隔を保つように並べて配置されたガラス基板の間隙を通して研磨液が流れるように、キャリアはポンプ、攪拌器、バブリング等により液を循環するように構成し、必要によりキャリア内部も含め、研磨液全体が常に攪拌されるように構成するのが好ましい。研磨液槽は回分式に構成することもできるが、連続的にキャリアの搬入と搬出を行うように連続式に構成し、研磨液槽から搬出するキャリアを次の水洗槽に搬入して水洗するように隣接して構成するのが好ましい。
【００１４】
研磨液としては、従来よりガラス基板の研磨に用いられている公知の研磨液が用いられるが、フッ酸を含有する研磨液が好ましく、フッ酸以外に硫酸、リン酸等の鉱酸を含有する研磨液が好ましい。例えば、２〜１０重量％の硫酸またはリン酸、および２〜３０重量％のフッ酸を含有する表面研磨液があげられる。表面研磨液の残部は主として水であるが、他の溶媒、界面活性剤、安定剤等の添加剤を含有していてもよい。研磨液の温度は特に限定されず、常温でよいが、３０〜５０℃に加温して研磨を行うこともできる。ガラス基板の研磨は１種の研磨液で１回だけ行ってもよく、１種または数種の研磨液を用いて数回行ってもよく、数回行う場合、中間に水洗を行っても、行わなくてもよい。
【００１５】
上記のようにしてキャリアにセットされたガラス基板を研磨液に浸漬して研磨を行うと、ガラス基板の両面に接触する研磨液により、マスキング部を除くガラス基板の両面が研磨され、ガラス基板の表面が一定量除去されるとともに、基板に付着した異物も除去される。研磨によりガラス基板のマスキング部を除く部分の厚みが薄くなるが、外周部はマスキング部により補強された状態を維持するため、マスキング部で支持する状態で研磨を継続してもガラス基板の割れ等の破損は生じない。またガラス基板は上下方向に配置し、面間隔を保つように並べることにより、マスキング部で支持して液の流通、循環が行われるので、ガラス基板が片側から加圧されて破損することもなく、多数のガラス基板の研磨が同時に効率よく行われる。ガラス基板が薄いと、外周部からひびが入って割れる場合が多いが、外周部をマスキング部で補強することにより、外周部からひびが入って割れるのを防止することができる。マスキング部は液非透過性であるため、ガラス基板の外周部は研磨されず強度付与性は維持され、貼り合わせガラス基板の場合でも、中間層が研磨液で侵食されることはない。
【００１６】
研磨液槽で研磨を行った後、研磨液槽からキャリアを搬出して次の水洗槽に搬入し、ガラス基板の水洗を行うことができる。水洗はキャリアごと洗浄水層に浸漬し、洗浄水を循環する方法、また水洗槽に搬入しキャリアに洗浄水をシャワーする方法など、公知の方法で行うことができる。水洗後ガラス基板を乾燥させ、キャリアから個々のガラス基板を取り外す。こうして得られるガラス基板は、目的とするディスプレイに合わせて分断し、研磨ガラス基板を得る。この場合、マスキング部の内側で分断して研磨ガラス基板を得るのが好ましく、研磨したガラス基板の片面を、マスキング部の内側に位置するステージ上に支持した状態で分断することにより、ガラス基板の破損を防止して、分断を行うことができるので好ましい。マスキング部の内側に位置するステージは追加のステージとして、従来用いられていたガラス基板の外形より大きいステージの上にセットして分断を行うことができ、従来の分断装置を大きく変更しないで処理を行うことができる。
【００１７】
こうして得られる研磨ガラス基板は、表裏両面が研磨され、均一で薄いものが得られるが、薄い状態で加工を行っても破損は少なく、複数のガラス基板を同時に研磨できるため生産効率がよく、また歩留まりも高い。得られる研磨ガラス基板は、同条件で処理するため、均一な表裏面と厚さを有し、均一で優れた特性を有するものが得られる。
【発明の効果】
【００１８】
以上の通り本発明によれば、ガラス基板の外周部の表裏両面ならびに端部を、液非透過性および強度付与性のマスキング材でマスキングし、マスキングしたガラス基板をマスキング部で支持するように上下方向に配置し、面間隔を保つように並べてキャリアにセットし、キャリアにセットされたガラス基板を研磨液に浸漬してガラス基板の両面を研磨し、研磨したガラス基板の両面を水洗するようにしたので、小型の装置を用い、簡単な操作で、ガラス基板の破損を防止して、多数のガラス基板を同時に表面研磨し、安全、高生産性かつ高歩留まりで平滑なガラス表面を有する研磨ガラス基板を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に本発明における実施形態として、液晶ディスプレイ用の中間層を有する貼り合わせガラス基板の製造方法の一例を図面により説明するが、実施形態に用いるガラス基板の種類、研磨液槽の形態、ガラス基板のキャリア等の各種器具、装置類の操作方法などは本発明を限定するものではない。
【００２０】
図１は実施形態のガラス基板を示し、（ａ）〜（ｃ）は異なる工程におけるガラス基板を示す（ｄ）のＡ−Ａ断面図、（ｄ）はガラス基板の正面図、（ｅ）は他のガラス基板の正面図である。図２（ａ）は研磨工程を示す垂直断面図、（ｂ）は分断工程を示す垂直断面図である。
【００２１】
図１および２において、１はガラス基板、２はマスキング材である。図１（ａ）はマスキング前のガラス基板を示しており、ガラス基板１は表面および裏面側に配置されるガラス板１ａ、１ｂを、液晶、電極、回路等の中間層１ｃを挟んで貼り合わせた構造の貼り合わせガラスからなる。本発明の研磨ガラス基板の製造方法では、上記のガラス基板１の外周部の表裏両面ならびに端部を、粘着テープまたはコーティング材などの液非透過性および強度付与性のマスキング材２でマスキングし、図１（ｂ）、（ｄ）に示すように、マスキング部２ａを形成する。図１（ａ）〜（ｄ）に示すガラス基板１のマスキング部２ａはガラス基板１の外周部の表裏両面ならびに端部のみに形成したものであるが、図１（ｅ）に示すように、ガラス基板１を複数の領域に分割するように、外周部のマスキング部２ａを表裏両面で連絡するマスキング部２ｂ、２ｃをさらに形成してもよい。
【００２２】
マスキングしたガラス基板１は図２（ａ）に示すように、キャリア３にセットして研磨を行う。図２（ａ）は研磨工程の状態を示しており、マスキングしたガラス基板１をマスキング部２ａで支持するように上下方向に配置し、面間隔を保つように並べてキャリア３にセットし、キャリア３にセットされたガラス基板１を、研磨液槽４内の研磨液５に浸漬してガラス基板１の両面を研磨する状態を示している。
【００２３】
マスキングしたガラス基板１をセットするキャリア３は、上下方向に配置したガラス基板１を、面間隔を保つように横方向に並べた状態で、それぞれのマスキング部２ａを支持する基板支持部６ａ、６ｂを有し、研磨液槽４へ移送できるように吊り下げ部材７に吊り下げられて可搬式に形成されている。キャリア３の基板支持部６ａ、６ｂは、ガラス基板１の上下および左右の四辺のマスキング部２ａを支持するように構成されているが、下辺のマスキング部２ａのみ、または上下の二辺のマスキング部２ａを支持するように構成してもよい。上下方向に配置し、かつ面間隔を保つように並べて配置されたガラス基板１の間隙を通して研磨液が循環するように、キャリア３の基板支持部６ａ、６ｂには液流通部が設けられているが、図示は省略されている。
【００２４】
研磨液槽４は、内部に研磨液５を滞留させ、ガラス基板１をセットしたキャリア３を搬送して研磨液５に浸漬し、ガラス基板１の両面を研磨液５と接触させて研磨を行うように構成されている。このとき上下方向に配置し、かつ面間隔を保つように並べて配置されたガラス基板１の間隙を通して研磨液５が流れるように、キャリア３はポンプ、攪拌器、バブリング等により液を循環し、一部ずつ液の入れ替えを行い更新するように構成されている。研磨液槽４は連続的にキャリア３の搬入と搬出を行うように連続式に構成し、研磨液槽４から搬出するキャリア３を次の水洗槽（図示省略）に搬入して水洗するように隣接して配置し、コンベアに吊り下げ部材７を吊り下げ搬送するように構成されているが、詳細の図示は省略されている。
【００２５】
研磨液５としては、従来よりガラス基板の研磨に用いられているフッ酸を含有する研磨液が用いられ、フッ酸以外に硫酸、リン酸等の鉱酸を含有する研磨液が好ましい。例えば２〜１０重量％の硫酸またはリン酸、および２〜３０重量％のフッ酸を含有する表面研磨液があげられる。表面研磨液の残部は主として水であるが、他の溶媒、界面活性剤、安定剤等の添加剤を含有していてもよい。研磨液の温度は特に限定されず、常温でよいが、３０〜５０℃に加温して研磨を行うこともできる。
【００２６】
上記のようにしてキャリア３にセットされたガラス基板１を研磨液５に浸漬して研磨を行うと、ガラス基板１の両面に接触する研磨液５により、ガラス基板１の両面のマスキング部２ａを除くガラス板１ａ、１ｂの面が研磨され、ガラス基板１の表面が一定量除去されるとともに、基板に付着した異物も除去され、図１（ｃ）に示すように凹部１ｄ、１ｅが形成される。これによりガラス基板１のガラス板１ａ、１ｂのマスキング部２ａを除く部分の厚みが薄くなるが、外周部はマスキング部２ａにより補強された状態を維持するため、マスキング部２ａで支持する状態で研磨を継続してもガラス基板１の割れ等の破損は生じない。またガラス基板１は上下方向に配置し、面間隔を保つように並べることにより、マスキング部２ａで支持して液の流通、循環が行われるので、ガラス基板１が片側から加圧されて破損することもなく、多数のガラス基板１の研磨が同時に効率よく行われる。ガラス基板１が薄いと、外周部からひびが入って割れる場合が多いが、外周部をマスキング部２ａで補強することにより、外周部からひびが入って割れるのを防止することができる。マスキング部２ａは液非透過性であるため、ガラス基板１の外周部は研磨されず強度付与性は維持され、貼り合わせガラス基板１の場合でも、中間層１ｃが研磨液で侵食されることはない。
【００２７】
研磨液槽４で研磨を行った後、研磨液槽４からキャリア３を搬出して次の水洗槽（図示省略）に搬入し、ガラス基板１の水洗を行う。水洗はキャリア３ごと洗浄水層に浸漬し、洗浄水を循環する方法、また水洗槽に搬入しキャリアに洗浄水をシャワーする方法など、公知の方法で行うことができるが、図示は省略されている。水洗後ガラス基板１を乾燥させ、キャリア３から個々のガラス基板１を取り外す。こうして得られるガラス基板は、目的とするディスプレイに合わせて分断し、研磨ガラス基板を得る。
【００２８】
図２（ｂ）は分断工程を示しており、８は支持盤、９はステージ、１０は追加ステージ、１１はカッタである。ステージ９は支持盤８上に設けられた大型基板分断用の従来のステージであり、この上に追加ステージ１０をセットして図１のガラス基板１の分断を行うように構成されている。ガラス基板１の分断は、マスキング部２ａの内側でガラス基板１を分断して研磨ガラス基板を得るために、図２（ｂ）に示すように、研磨したガラス基板１の片面を、マスキング部２ａの内側に位置する追加ステージ１０上に支持し、マスキング部２ａが追加ステージ１０からはみ出した状態で、カッタ１１を用いて分断する。これによりガラス基板１の破損を防止して、分断を行うことができる。マスキング部２ａの内側に位置する追加ステージ１０は、従来用いられていたガラス基板１の外形より大きいステージ９の上にセットして分断を行うことにより、従来の分断装置を大きく変更しないで処理を行うことができる。図１（ｅ）のガラス基板１の場合は、マスキング部２ａ、２ｂ、２ｃで区画される領域を追加ステージ１０上に支持して分断する。
【００２９】
こうして分断して得られる研磨したガラス基板１は、表裏両面が研磨され、均一で薄いものが得られるが、薄い状態で加工を行っても破損は少なく、複数のガラス基板１を同時に研磨できるため生産効率がよく、また歩留まりも高い。得られる研磨ガラス基板は、同条件で処理するため、均一な表裏面と厚さを有し、均一で優れた特性を有するものが得られる。
【００３０】
以上の通り、ガラス基板１の外周部の表裏両面ならびに端部を、液非透過性および強度付与性のマスキング材２でマスキングし、マスキングしたガラス基板１をマスキング部２ａで支持するように上下方向に配置し、面間隔を保つように並べてキャリア３にセットし、キャリア３にセットされたガラス基板１を研磨液５に浸漬してガラス基板１の両面を研磨し、研磨したガラス基板１の両面を水洗することにより、小型の装置を用い、簡単な操作で、ガラス基板１の破損を防止して、多数のガラス基板１を同時に表面研磨し、安全、高生産性かつ高歩留まりで平滑なガラス表面を有する研磨ガラス基板を製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
研磨液によりガラス基板を浸漬し、所定のガラス基板厚さまで表面研磨する研磨ガラス基板、特に液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法として利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】実施形態のガラス基板を示し、（ａ）〜（ｃ）は異なる工程におけるガラス基板を示す（ｄ）のＡ−Ａ断面図、（ｄ）はガラス基板の正面図、（ｅ）は他のガラス基板の正面図である。
【図２】（ａ）は研磨工程を示す垂直断面図、（ｂ）は分断工程を示す垂直断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  ガラス基板
１ａ、１ｂ  ガラス板
２  マスキング材
２ａ、２ｂ、２ｃ  マスキング部
３  キャリア
４  研磨液槽
５  研磨液
６ａ、６ｂ  基板支持部
７  吊り下げ部材
８  支持盤
９  ステージ
１０  追加ステージ
１１  カッタ
【図１】
2009234870.tif 000003
【図２】
2009234870.tif 000004