(57)【要約】【課題】化合物半導体に適用可能で、かつ、小型化が可能で、かつ、気密封止型のシーリング構造を有する半導体素子の実装構造を提供する。【解決手段】機能回路と該機能回路の電極４とを形成した半導体素子基板１を収納するキャビティ７を表面に設け、かつ、表面の外周部に配線層を利用して、半導体素子基板１を囲うシーリング構造５と電極１５とを形成した実装基板６と、シーリング構造５と鏡像対称な形状のシーリング構造１９が外周部に形成されたキャップ基板１３とを有し、半導体素子基板１の電極４と実装基板６の電極１５、および、実装基板６のシーリング構造５とキャップ基板１３のシーリング構造１９とを、共晶温度が３００℃以下の共晶合金による接合または表面活性化接合により接合する。キャビティ７を穿設しないで、半導体素子基板１の裏面を実装基板６の表面に直接接着しても良く、電極４と電極１５とは、ワイヤボンディングで接続しても良い。【選択図】図１
2009231554.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能回路と該機能回路の電極とが形成された半導体素子基板を有し、かつ、前記半導体素子基板を搭載する領域を表面に設けるとともに、表面の外周部に、配線層を利用して、前記半導体素子基板を囲うシーリング構造と電極とが形成された実装基板を有し、かつ、前記実装基板のシーリング構造と鏡像対称な形状のシーリング構造が外周部に形成されたキャップ基板を有する半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とが接続され、かつ、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とが接合されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体素子の実装構造において、前記実装基板の表面に、前記半導体素子基板を搭載する代わりに、前記半導体素子基板を収納または搭載するキャビティが穿設されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項３】
請求項１または２に記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の配線層として配線層間絶縁膜が介在した複数の配線層を有し、前記半導体素子基板の電極が、最下層の配線層上または最上位の配線層上に形成されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項４】
請求項３に記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の配線層間絶縁膜が、ＳｉＮ，ＳｉＯ２、ポリイミド、ＢＣＢ（benzcyclobutene）、ポリシロキサン、パレリン（Parylene）、エポキシ樹脂のいずれかからなることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記実装基板の配線層として１ないし複数の配線層を有し、前記実装基板の電極が、前記実装基板の表面に形成された表面配線層上または前記実装基板の中間に形成された中間配線層上に形成されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板は、前記キャップ基板のキャビティ内に収納されているか、または、前記キャップ基板のキャビティ面上に裏面側を接着して搭載されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板は、ＧａＡｓ，ＩｎＰ，ＩｎＡｓ，ＩｎＳｂ，Ｓｉ，Ｇｅのいずれか、または、ＧａＡｓ，ＩｎＰ，ＩｎＡｓ，ＩｎＳｂ，Ｓｉ，Ｇｅのいずれかを含む混晶からなることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記実装基板は、半導体、セラミック、ガラス、ガラスセラミックス、テフロン（登録商標）のいずれかからなることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記キャップ基板は、半導体、セラミック、ガラス、ガラスセラミックス、テフロン（登録商標）のいずれかからなることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とが、ＩｎＳｎ、ＳｎＢｉ、ＳｎＺｎ、ＳｎＡｕ、ＳｎＣｕのいずれかのうち、または、ＩｎＳｎ、ＳｎＢｉ、ＳｎＺｎ、ＳｎＡｕ、ＳｎＣｕのいずれかを含む共晶合金のうち、共晶温度が３００℃以下の共晶合金により接合されているか、あるいは、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とのそれぞれを構成する金属同士を直接接続する表面活性化接合により接合されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とが、ワイヤボンディングにより接続されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とが、ＩｎＳｎ、ＳｎＢｉ、ＳｎＺｎ、ＳｎＡｕ、ＳｎＣｕのいずれかのうち、または、ＩｎＳｎ、ＳｎＢｉ、ＳｎＺｎ、ＳｎＡｕ、ＳｎＣｕのいずれかを含む共晶合金のうち、共晶温度が３００℃以下の共晶合金により接合されているか、あるいは、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とのそれぞれを構成する金属同士を直接接続する表面活性化接合により接合されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項１３】
半導体素子基板の表面に機能回路と該機能回路の電極とを形成する工程と、実装基板の表面の外周部に、配線層を利用して、前記半導体素子基板を囲うシーリング構造と電極とを作製する工程と、前記実装基板のシーリング構造と鏡像対称な形状のシーリング構造を外周部に形成されたキャップ基板を作製する工程と、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とを共晶合金接合または表面活性化接合を用いて接合する工程と、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とを共晶合金接合または表面活性化接合を用いて接合する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする半導体素子の実装方法。
【請求項１４】
半導体素子基板の表面に機能回路と該機能回路の電極とを形成する工程と、実装基板の表面の外周部に、配線層を利用して、前記半導体素子基板を囲うシーリング構造と電極とを作製する工程と、前記実装基板のシーリング構造と鏡像対称な形状のシーリング構造を外周部に形成されたキャップ基板を作製する工程と、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とをワイヤボンディングにより接続する工程と、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とを共晶合金接合または表面活性化接合を用いて接合する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする半導体素子の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子の実装構造および半導体素子の実装方法に関し、特に、高周波帯域に使用される半導体素子の実装構造および半導体素子の実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１１は、非特許文献１のインターネットＵＲＬ「http://www.hittite.com/index.cfm?body_content=company&company_sub=tools&type=connectorized_modules&catid=0&sort=function&source=leftnav」（Hittite  Microwave  Corporation）に記載されている模式図であって、第１の従来例の半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。図１１に示す第１の従来例においては、気密封止を実現するために、金属筐体３８（パッケージ金属筐体）が用いられている。金属筐体３８の側壁には、高周波同軸コネクタの構成部品であるガラス同軸ビーズ３６が設けられている。機能回路（ＩＣ）３２が搭載された半導体素子基板３１を金属筐体３８に実装した後に、金属などからなるシールキャップ３９を、シーム溶接、ろう付け、あるいは、接着等の手段によって金属筐体３８の上面に接続することによって、機能回路３２周辺の気密性を確保する。
【０００３】
金属筐体３８内部には、半導体素子基板３１を搭載するキャビティが設けられた実装基板３４が配置されており、実装基板３４上には、実装基板上配線として、マイクロストリップ線路、グランデッドコプレーナ線路等の平面導波路配線３３が配置されている。半導体素子基板３１上の機能回路３２と実装基板３４上の平面導波路配線３３とは、半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ３５を用いたワイヤボンディングによって、また、実装基板３４上の平面導波路配線３３とガラス同軸ビーズ３６の同軸線路中心導体３７とは、はんだ、あるいは、銀ペースト等によって、電気的・機械的に接続されている。
【０００４】
しかし、図１１に示すような第１の従来例による半導体実装は、気密性に大変優れているものの大変高価であった。また、外部端子が、Ｖコネクタ、Ｋコネクタなどの同軸コネクタとなるため、小型化することが難しかった。
【０００５】
図１２は、非特許文献２のインターネットＵＲＬ「http://www.hittite.com/index.cfm?body_content=company&company_sub=tools&type=pack_pcb_layout_ceramic_glass&catid=0&sort=function&source=leftnav」（Hittite  Microwave  Corporation）に記載されている模式図であって、第２の従来例の半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。図１２に示す第２の従来例においては、気密封止を実現するために、Ａｌ２Ｏ３やＡｌＮなどのセラミック筐体を用いている。セラミック筐体は、図１２に示すように、実装基板下部４８、半導体素子基板４１を搭載するキャビティを有する実装基板４４、および、実装基板側壁４６からなる。
【０００６】
実装基板４４上には、実装基板上配線として、コプレーナ線路等の平面導波路配線４３が配置されており、平面導波路配線４３は、外部へ信号を取り出すためのフィードスルー電極４７とはんだなどによって接続されている。半導体素子基板４１上に搭載された機能回路（ＩＣ）４２は、半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ４５を用いたワイヤボンディングによって実装基板４４上の平面導波路配線４３と接続される。機能回路４２が搭載された半導体素子基板４１は、実装基板４４内のキャビティに銀ペースト等によって接着される。
【０００７】
半導体素子基板４１を実装した後に、金属などからなるシールキャップ４９をシーム溶接、ろう付け、あるいは、接着等の手段によってセラミック筐体すなわち実装基板側壁４６の上面に接続することによって機能回路４２周辺の気密性を確保する。
【０００８】
しかし、図１２に示すような第２の従来例よる半導体実装は、セラミック筐体を用いることによって、図１１のような金属筐体３８に比較すると、低コスト化が可能になっているが、プラスチックパッケージには遠く及ばない。また、同軸コネクタではなく、フィードスルー電極４７を用いることによって小型化されているが、搭載している半導体素子基板４１の大きさに比較すると、数倍から数十倍の大きさとなってしまっている。また、インピーダンス整合を考慮していない半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ４５というボンディングワイヤやフィードスルー電極４７を採用しているため、実装構造自体での電気的特性の劣化が大きい。
【非特許文献１】インターネットＵＲＬ「http://www.hittite.com/index.cfm?body_content=company&company_sub:tools&type=connectorized_modules&catid=0&sort=function&source=leftnav」（Hittite  Microwave  Corporation）
【非特許文献２】インターネットＵＲＬ「http://www.hittite.com/index.cfm?body_content=company&company_sub:tools&type=pack_pcb_layout_ceramic_glass&catid:0&sort=function&source=leftnav」（Hittite  Microwave  Corporation）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
以上のように、従来技術においては、次のような欠点があった。
【００１０】
（１）金属筐体パッケージは、気密性に大変優れているものの大変高価である。また、外部端子が、Ｖコネクタ、Ｋコネクタなどの同軸コネクタとなるため、小型化することが難しい。
【００１１】
（２）セラミック筐体パッケージは、金属筐体パッケージに比較して低コストであるが、プラスチックパッケージよりもはるかに高価である。また、フィードスルー電極を用いる場合、金属筐体パッケージにおける同軸コネクタよりも小型化されているが、搭載している半導体素子基板の大きさに比較すると、数倍から数十倍の大きさとなってしまっている。また、インピーダンス整合を考慮していないボンディングワイヤやフィードスルー電極を採用しているため、実装構造自体での電気的特性の劣化が大きい。
【００１２】
（３）さらには、実装組立時のプロセス温度が高く、化合物半導体を実装することが困難である。
【００１３】
本発明は、前述のような従来技術の欠点ならびに問題点を解決するために、化合物半導体に適用可能であり、かつ、チップレベルまで小型化が可能な、気密封止型のシーリング構造を有する半導体素子の実装構造および半導体素子の実装方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、前述の課題を解決するために、以下のような実装構造および実装方法を主に採用している。
【００１５】
（１）実装基板表面の外周部に配線金属を利用したシーリング構造を設け、また、同様の形状のシーリング構造を外周部に設けたキャップ基板を用意し、相互のシーリング構造同士を接合することによって、良好な気密封止を実現する。
【００１６】
（２）実装組立におけるプロセス温度を低く抑えるために、機能回路を搭載した半導体素子基板と実装基板、および、実装基板とキャップ基板との接合には、共晶温度が３００℃以下の共晶合金による接合または表面活性化接合（ＳＡＢ：Surface  Activated  Bonding）を用いる。
【００１７】
より具体的には、以下のごとき各技術手段から構成されている。
【００１８】
第１の技術手段は、機能回路と該機能回路の電極とが形成された半導体素子基板を有し、かつ、前記半導体素子基板を搭載する領域を表面に設けるとともに、表面の外周部に、配線層を利用して、前記半導体素子基板を囲うシーリング構造と電極とが形成された実装基板を有し、かつ、前記実装基板のシーリング構造と鏡像対称な形状のシーリング構造が外周部に形成されたキャップ基板を有する半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とが接続され、かつ、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とが接合されていることを特徴とする。
【００１９】
第２の技術手段は、前記第１の技術手段に記載の半導体素子の実装構造において、前記実装基板の表面に、前記半導体素子基板を搭載する代わりに、前記半導体素子基板を収納または搭載するキャビティが穿設されていることを特徴とする。
【００２０】
第３の技術手段は、前記第１または第２の技術手段に記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の配線層として配線層間絶縁膜が介在した複数の配線層を有し、前記半導体素子基板の電極が、最下層の配線層上または最上位の配線層上に形成されていることを特徴とする。
【００２１】
第４の技術手段は、前記第３の技術手段に記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の配線層間絶縁膜が、ＳｉＮ，ＳｉＯ２、ポリイミド、ＢＣＢ（benzcyclobutene）、ポリシロキサン、パレリン（Parylene）、エポキシ樹脂のいずれかからなることを特徴とする。
【００２２】
第５の技術手段は、前記第１ないし第４の技術手段のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記実装基板の配線層として１ないし複数の配線層を有し、前記実装基板の電極が、前記実装基板の表面に形成された表面配線層上または前記実装基板の中間に形成された中間配線層上に形成されていることを特徴とする。
【００２３】
第６の技術手段は、前記第１ないし第５の技術手段のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板は、前記キャップ基板のキャビティ内に収納されているか、または、前記キャップ基板のキャビティ面上に裏面側を接着して搭載されていることを特徴とする。
【００２４】
第７の技術手段は、前記第１ないし第６の技術手段のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板は、ＧａＡｓ，ＩｎＰ，ＩｎＡｓ，ＩｎＳｂ，Ｓｉ，Ｇｅのいずれか、または、ＧａＡｓ，ＩｎＰ，ＩｎＡｓ，ＩｎＳｂ，Ｓｉ，Ｇｅのいずれかを含む混晶からなることを特徴とする。
【００２５】
第８の技術手段は、前記第１ないし第７の技術手段のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記実装基板は、半導体、セラミック、ガラス、ガラスセラミックス、テフロン（登録商標）のいずれかからなることを特徴とする。
【００２６】
第９の技術手段は、前記第１ないし第８の技術手段のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記キャップ基板は、半導体、セラミック、ガラス、ガラスセラミックス、テフロン（登録商標）のいずれかからなることを特徴とする。
【００２７】
第１０の技術手段は、前記第１ないし第９の技術手段のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とが、ＩｎＳｎ、ＳｎＢｉ、ＳｎＺｎ、ＳｎＡｕ、ＳｎＣｕのいずれかのうち、または、ＩｎＳｎ、ＳｎＢｉ、ＳｎＺｎ、ＳｎＡｕ、ＳｎＣｕのいずれかを含む共晶合金のうち、共晶温度が３００℃以下の共晶合金により接合されているか、あるいは、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とのそれぞれを構成する金属同士を直接接続する表面活性化接合により接合されていることを特徴とする。
【００２８】
第１１の技術手段は、前記第１ないし第９の技術手段のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とが、ワイヤボンディングにより接続されていることを特徴とする。
【００２９】
第１２の技術手段は、前記第１ないし第１１の技術手段のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とが、ＩｎＳｎ、ＳｎＢｉ、ＳｎＺｎ、ＳｎＡｕ、ＳｎＣｕのいずれかのうち、または、ＩｎＳｎ、ＳｎＢｉ、ＳｎＺｎ、ＳｎＡｕ、ＳｎＣｕのいずれかを含む共晶合金のうち、共晶温度が３００℃以下の共晶合金により接合されているか、あるいは、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とのそれぞれを構成する金属同士を直接接続する表面活性化接合により接合されていることを特徴とする。
【００３０】
第１３の技術手段は、半導体素子基板の表面に機能回路と該機能回路の電極とを形成する工程と、実装基板の表面の外周部に、配線層を利用して、前記半導体素子基板を囲うシーリング構造と電極とを作製する工程と、前記実装基板のシーリング構造と鏡像対称な形状のシーリング構造を外周部に形成されたキャップ基板を作製する工程と、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とを共晶合金接合または表面活性化接合を用いて接合する工程と、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とを共晶合金接合または表面活性化接合を用いて接合する工程と、を少なくとも含む半導体素子の実装方法とすることを特徴とする。
【００３１】
第１４の技術手段は、半導体素子基板の表面に機能回路と該機能回路の電極とを形成する工程と、実装基板の表面の外周部に、配線層を利用して、前記半導体素子基板を囲うシーリング構造と電極とを作製する工程と、前記実装基板のシーリング構造と鏡像対称な形状のシーリング構造を外周部に形成されたキャップ基板を作製する工程と、前記半導体素子基板の電極と前記実装基板の電極とをワイヤボンディングにより接続する工程と、前記実装基板のシーリング構造と前記キャップ基板のシーリング構造とを共晶合金接合または表面活性化接合を用いて接合する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする半導体素子の実装方法とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の半導体素子の実装構造およびその実装方法によれば、以下のごとき効果を奏することができる。
【００３３】
（１）実装基板に配線金属を利用したシーリング構造を設け、該シーリング構造と鏡像対称な形状に形成されたキャップ基板のシーリング構造と接続するだけで、気密封止を実現しているので、金属筐体やセラミック筐体による気密封止構造を別途作製する必要がなく、チップレベルの大きさで気密封止を実現することが可能である。
【００３４】
（２）実装基板には、プロセス互換性のないチップも同時に搭載可能である。気密封止が必要な化合物半導体チップを搭載または収納する実装基板の外周部に、余分に金属のシーリング構造を設けて、キャップ基板のシーリング構造と接合するだけで良く、簡易な構造で気密封止を実現することができ、実装工程数が大幅に削減される。
【００３５】
（３）気密封止される半導体素子基板には、特別に余分なパタンや実装に必要な領域などを設ける必要がない。
【００３６】
（４）実装におけるプロセス温度を３００℃以下に低く抑えることができるため、化合物半導体にも適用可能であり、化合物半導体を用いた機能素子の電気的な特性を損なうことなく、実装することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下に、本発明に係る半導体素子の実装構造および半導体素子の実装方法の最良の実施形態について、その一例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３８】
（本発明の特徴）
本発明の実施形態の説明に先立って、本発明の特徴についてまずその概要を説明する。本発明は、化合物半導体の気密封止ウエハレベルパッケージ技術として好適に適用可能な半導体素子の実装構造およびその実装方法に関するものである。表面に配線層を利用したシーリング構造が形成されるとともに、化合物半導体素子を形成した半導体素子基板を搭載する領域が設けられた実装基板と、該実装基板上のシーリング構造と鏡像対称な形状のシーリング構造を備えたキャップ基板とを、対向させて、共晶合金または表面活性化接合を用いて接合することを特徴としている。
【００３９】
つまり、本発明の大きな特徴として、以下の３点がある。
【００４０】
（１）実装基板とキャップ基板とに互いに鏡像対称な形状のシーリング構造を設け、キャップ基板を、実装基板上に搭載した化合物半導体素子（チップ）上に被せることによって、ウエハレベルでの気密封止を実現する。
【００４１】
（２）実装基板には、様々な化合物半導体素子（チップ）を同時に搭載することが可能であり、プロセス互換性のないチップであっても搭載することが可能である。気密封止が必要な化合物半導体素子（チップ）を搭載または収納する実装基板の外周部に、余分にシーリング構造を設け、キャップ基板に設けた鏡像対称な形状のシーリング構造と接合することにより、キャップ基板を化合物半導体素子（チップ）上に被せる構造である。
【００４２】
（３）実装組立におけるプロセス温度を低く抑えるために、キャップ基板と実装基板との接合には、共晶合金接合または表面活性化接合（ＳＡＢ：Surface  Activated  Bonding）を用いる。共晶合金接合の材料としては、共晶温度が３００℃以下の共晶合金を用い、ＳｎＡｕ（Ｓｎ９５％、Ａｕ５％、共晶温度２１７℃）が最適である。
【００４３】
（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る半導体素子の実装構造として第１の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。また、図２は、図１に示す半導体実装素子の上面を示す模式図であり、図２（ａ）は、半導体素子基板表面の構造、図２（ｂ）は、キャップ基板表面の構造、図２（ｃ）は、実装基板表面の構造、をそれぞれ示している。
【００４４】
半導体素子基板１は、ＧａＡｓ，ＩｎＰ，ＩｎＡｓ，ＩｎＳｂ，Ｓｉ，Ｇｅのいずれか、または、ＧａＡｓ，ＩｎＰ，ＩｎＡｓ，ＩｎＳｂ，Ｓｉ，Ｇｅのいずれかを含む混晶などの半導体材料からなり、半導体素子基板１上には、図２（ａ）に示すように、トランジスタ、ダイオードなどの能動回路やキャパシタ、抵抗、インダクタなどの受動素子を用いて機能回路が形成されている。図１、図２（ａ）に示す第１の配線層２、第２の配線層１２などの機能回路の配線層は、Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ，Ｗのいずれか、または、Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ，Ｗのいずれかを含む合金などからなっている。
【００４５】
また、図１に示す第１−第２の配線層間絶縁膜３などの配線層間絶縁膜は、ＳｉＯ２、ＳｉＮなどのいずれかの無機材料か、または、ポリイミド、ＢＣＢ（benzcyclobutene）、ポリシロキサン、パレリン（Paralene、パラキシレン系樹脂）などのいずれかの有機系材料からなっている。また、半導体素子基板１上には、高周波信号端子、直流バイアス端子や、グランド端子などの電極４が、半導体素子基板１−実装基板６接続部として、最下層の配線層つまり第１の配線層２によって形成されている。
【００４６】
図２（ａ）に示すように、半導体素子基板１上に形成された機能回路は、第１の配線層２、第２の配線層１２などによって、外部との接続用の電極４と接続される。なお、配線層は、図１に示すように、第１の配線層２、第２の配線層１２など、多層の配線層からなっており、各配線層間には、第１−第２の配線層間絶縁膜３などの配線層間絶縁膜が形成されている。
【００４７】
実装基板６は、半導体、セラミック、ガラス、ガラスセラミックス、テフロン（登録商標）などの気密性の良い基板からなり、半導体素子基板１を搭載する部分には、図１、図２（ｃ）に示すように、半導体素子基板１の形状・大きさに応じて、矩形状に穿設されたキャビティ７が設けられている。また、実装基板６の外周部には、Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ，Ｗ，Ｍｏのいずれか、または、Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ，Ｗ，Ｍｏのいずれかを含む合金などによる中間配線層９、表面配線層８などの２層以上の配線層を有している。また、キャップ基板も、半導体、セラミック、ガラス、ガラスセラミックス、テフロン（登録商標）などの気密性の良い基板からなっている。
【００４８】
実装基板６の表面に形成される表面配線層８により、実装基板６−半導体素子基板１接続部として、実装基板６を半導体素子基板１に電気的に接続するための電極１５と、実装基板６−キャップ基板１３接続部として、半導体素子基板１を囲む形状で、実装基板６をキャップ基板１３に接続するためのシーリング構造５とが形成されている。電極１５からは、図１、図２（ｃ）に示すように、配線層間ビア１０、中間配線層９を介して、実装基板６−キャップ基板１３接続部のシーリング構造５の位置よりもさらに実装基板６の外周側に形成されている表面配線層８と接続されて、外部への信号の取り出しを行うことができる構造となっている。
【００４９】
半導体素子基板１上に作製された電極４と実装基板６上に作製された電極１５とは、互いに接続される。半導体素子基板１の電極４と実装基板６の電極１５とは、それぞれの電極用の配線金属同士（つまり、それぞれの電極を構成する金属同士）を直接接合する表面活性化接合か、あるいは、ＩｎＳｎ（共晶温度１１７℃）、ＳｎＢｉ（共晶温度１３９℃）、ＳｎＺｎ（共晶温度１９８℃）、ＳｎＡｕ（共晶温度２１７℃、２８０℃）、ＳｎＣｕ（共晶温度２２７℃）などのいずれか、または、これらのいずれかを含む共晶の合金などのうち、共晶温度が３００℃以下の共晶合金を介して接続する共晶合金接合か、のいずれかによって接続される。
【００５０】
さらに、半導体素子基板１を収納するためのキャビティを有するキャップ基板１３は、図１、図２（ｂ）に示すように、実装基板６と鏡像対称な形状のキャップ基板シーリング構造１９が配線層用の配線金属を用いて設けられている。実装基板６とキャップ基板１３とは、シーリング構造５とキャップ基板シーリング構造１９との部分で、それぞれのシーリング構造を形成している配線金属同士を直接接続する表面活性化接合か、あるいは、ＩｎＳｎ（共晶温度１１７℃）、ＳｎＢｉ（共晶温度１３９℃）、ＳｎＺｎ（共晶温度１９８℃）、ＳｎＡｕ（共晶温度２１７℃、２８０℃）、ＳｎＣｕ（共晶温度２２７℃）などのいずれか、または、これらのいずれかを含む共晶の合金などのうち、共晶温度が３００℃以下の共晶合金を介して接続する共晶合金接続か、のいずれかによって接続される。
【００５１】
以上のような半導体素子の実装構造により、実装基板６とキャップ基板１３とのシーリング構造で封止された内部空間は、チップレベルの大きさで気密性を確保することが可能となる。
【００５２】
（第２の実施形態）
次に、本発明に係る半導体素子の実装構造の第２の実施形態について、図３を用いて説明する。図３は、本発明に係る半導体素子の実装構造として第２の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【００５３】
図３に示す半導体素子の実装構造は、第１の実施形態における図１、図２の半導体素子の実装構造とは、次の点で異なった構造とされている。
【００５４】
まず、第１に、実装基板６には、半導体素子基板１を搭載する領域に、図１に示すようなキャビティ７が穿設されていなく、半導体素子基板１の表面を上側に向けて、実装基板６表面に、直接、半導体素子基板１の裏面側が接着されている点で異なっている。
【００５５】
第２に、半導体素子基板１の第１の配線層２上の電極４と実装基板６の表面配線層８上の電極１５とが、半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ１４をワイヤボンディングすることによって接続されている点で異なっている。
【００５６】
本第２の実施形態における実装構造においては、半導体素子基板１と実装基板６との電極間の接続を、共晶合金による接合や表面活性化接合を用いることなく、簡易なワイヤボンディングを用いているため、第１の実施形態に比し、経済性、汎用性に優れている。
【００５７】
なお、本第２の実施形態においても、実装基板６とキャップ基板１３とのシーリング構造は有効であり、チップレベルの大きさで、第１の実施形態の場合と同様の気密性を得ることが可能である。
【００５８】
（第３の実施形態）
次に、本発明に係る半導体素子の実装構造の第３の実施形態について、図４を用いて説明する。図４は、本発明に係る半導体素子の実装構造として第３の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【００５９】
図４に示す半導体素子の実装構造は、第２の実施形態における図３の半導体素子の実装構造と同様、半導体素子基板１の電極４と実装基板６の電極１５とを、半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ１４を用いたワイヤボンディングによって接続しているが、第２の実施形態における図３の場合とは異なり、本実施形態における実装基板６には、半導体素子基板１を搭載する領域に、キャビティ７が穿設されているので、比較的厚い半導体素子基板１を搭載することが可能である。
【００６０】
また、本実施形態においては、キャビティ７を、第１の実施形態における図１の場合よりも、中間配線層９の長さを長く形成して、あるいは、キャビティ７の幅または深さを大きくとって、実装基板６の中間配線層９を露出させて、該中間配線層９の露出部上に、半導体素子基板１の電極４と電気的に接続する電極１５を作製しており、半導体素子基板１の電極４は、実装基板６の内部配線である中間配線層９の電極１５に、半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ１４を用いてワイヤボンディング接続される。
【００６１】
なお、本第３の実施形態においても、実装基板６とキャップ基板１３とのシーリング構造は有効であり、チップレベルの大きさで、第１の実施形態の場合と同様の気密性を得ることが可能である。
【００６２】
（第４の実施形態）
次に、本発明に係る半導体素子の実装構造の第４の実施形態について、図５を用いて説明する。図５は、本発明に係る半導体素子の実装構造として第４の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【００６３】
図５に示す半導体素子の実装構造においては、第１ないし第３の実施形態における図１ないし図４の半導体素子の実装構造とは異なり、半導体素子基板１について、実装基板６側の電極１５と電気的に接続する電極４が、最上層の配線層（図５の場合、第３の配線層）を用いて作製されている。さらに、半導体素子基板１を実装基板６に実装する場合、第１の実施形態における図１の場合と同様、半導体素子基板１の表面を下側に向けて、半導体素子基板１の電極４と実装基板６の電極１５とを、表面活性化接合により直接接合するかまたは共晶合金を用いた共晶合金接合により接続している。
【００６４】
また、図５に示す本第４の実施形態の実装基板６においては、第３の実施形態における図４の実装基板６の場合と同様に、第１の実施形態における図１の場合よりも、中間配線層９の長さを長く形成して、あるいは、キャビティ７の幅または深さを大きくとって、実装基板６の中間配線層９を露出させて、該中間配線層９の露出部上に、半導体素子基板１の電極４と電気的に接続する電極１５を作製しており、半導体素子基板１上の最上層の配線層に作製された電極４は、中間配線層９上の電極１５に直接接合されるかまたは共晶合金を介して接合される。
【００６５】
なお、本第４の実施形態においても、実装基板６とキャップ基板１３とのシーリング構造は有効であり、チップレベルの大きさで、第１の実施形態の場合と同様の気密性を得ることが可能である。
【００６６】
（第５の実施形態）
次に、本発明に係る半導体素子の実装構造の第５の実施形態について、図６を用いて説明する。図６は、本発明に係る半導体素子の実装構造として第５の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【００６７】
図６に示す半導体素子の実装構造は、第１の実施形態における図１の場合と多くの点で共通の構造となっているが、次の点が大きく異なった構造とされている。つまり、図６に示す半導体素子の実装構造は、図１の場合とは異なり、キャップ基板１３が半導体素子基板１の裏面と接着された構造とされている。さらに、キャップ基板１３の外周部に形成するキャップ基板シーリング構造１９の厚さを、図１の場合とは異なり、半導体素子基板１の厚さに比例して厚くしている。
【００６８】
なお、本第５の実施形態においても、実装基板６とキャップ基板１３とのシーリング構造は有効であり、チップレベルの大きさで、第１の実施形態の場合と同様の気密性を得ることが可能である。
【００６９】
（第６の実施形態）
次に、本発明に係る半導体素子の実装方法について、図１に示す半導体素子の実装構造を製造する製造方法の一例を説明する。図７は、本発明に係る半導体素子の実装方法に関する製造工程の一例を説明するための模式図であり、第１の実施形態における図１の半導体素子の実装構造を製造する場合を例にとって示している。
【００７０】
まず、ＧａＡｓ，ＩｎＰ，ＩｎＡｓ，ＩｎＳｂ，Ｓｉ，Ｇｅのいずれか、または、これらのいずれかを含む混晶などの半導体材料からなる半導体素子基板１を用意し、デジタル回路、アナログ回路、マイクロ波回路などの能動回路やキャパシタ、抵抗、インダクタなどからなる受動回路などの機能回路を作製する。同時に、機能回路を作製する本工程で、機能回路用の配線層を用いて、実装基板６と接続するための電極４を作製する。該配線層に用いる配線金属や配線層間絶縁膜は、機能回路で用いるものと同一の材料である。
【００７１】
例えば、配線金属がＡｕ、配線層間絶縁膜がＢＣＢ（benzcyclobutene）の場合、図７（ａ）の第１の工程つまり機能回路作製工程に示すように、Ａｕの第１の配線層２は、厚膜化が容易な電界メッキを用いて、例えば、厚さ１〜５μｍで作製する。実装基板６と接続するための電極４も、第１の配線層２を用いて、半導体素子基板１の外周部に、作製する。電極４の大きさは、１０〜１００μｍ角である。
【００７２】
次に、図７（ｂ）の第２の工程つまりビアホール作製工程に示すように、ＢＣＢを用いた第１−第２の配線層間絶縁膜３を、第１の配線層２上に、例えば１〜１０μｍの厚さで、スピンコーティングした後、フッ素系の反応性イオンエッチングによって、第１−第２の配線層間ビアホール１６を作製する。
【００７３】
次に、図７（ｃ）の第３の工程つまり配線層作製工程に示すように、製作工程簡易化の観点から、第１−第２の配線層間ビアホール１６へ個別に金属を充填することはしないで、第１−第２の配線層間ビアホール１６への金属充填つまり第１−第２の配線層間ビア１１の形成は、上層の配線層である第２の配線層１２の形成と一括して行う。
【００７４】
しかる後、図７（ｃ）に示すように、必要な配線層数分だけ、前述の第２の工程つまりビアホール作製工程および当該第３の工程つまり配線層作製工程を繰り返す。図７（ｃ）の例においては、配線層は３層の場合を示している。
【００７５】
なお、半導体素子基板１側の電極４を或る程度の高さ例えば第１−第２の配線層間絶縁膜３と同程度の高さを有するように形成する場合は、前述の第２の工程つまりビアホール作製工程において、第１−第２の配線層間ビアホール１６を形成する際に、同時に、実装基板６と接続するための電極４を形成するための電極形成用ビアホールも作製する。該電極形成用ビアホールの大きさは、電極４の大きさの１０〜１００μｍ角である。しかる後、第３の工程つまり配線層作製工程において、上層の配線層である第２の配線層１２の形成の際に、第１−第２の配線層間ビアホール１６への金属充填による第１−第２の配線層間ビア１１の形成と同時に、該電極形成用ビアホールへの金属充填つまり電極４の形成を一括して行う。ただし、この場合においては、配線層数分だけ、第２の工程および第３の工程を繰り返す際に、電極形成用ビアホールのさらなる作製は行わなくても良い。
【００７６】
次に、図７（ｄ）の第４の工程つまり電極露出工程に示すように、機能回路の周辺部つまり半導体素子基板１の外周部に形成された電極４を露出するように、フッ素系の反応性イオンエッチングを用いて、ＢＣＢを用いた多層の配線層間絶縁膜をエッチングする。さらに、電極４上には、実装基板６との接合のための接合金属１７として、共晶温度が３００℃以下の共晶合金を堆積する。
【００７７】
接合金属１７の共晶合金として、例えば、特許文献の特許第３６４００１７号公報「鉛フリーはんだバンプとその形成法」（石井他）に記載されているように、６．２μｍ厚さのＳｎＡｕ（Ａｕ５％、共晶温度２１７℃）を用いる場合、電子ビーム蒸着装置を用いて、６００ｎｍのＳｎと２０ｎｍのＡｕとを交互に１０層積層して形成する。
【００７８】
次に、図７（ｅ）の第５の工程つまり実装基板作製工程に示すように、実装基板６は、例えば、ＬＴＣＣ（Low  Temperature  Co-fired  Ceramic：低温同時焼成セラミックス）などの積層が比較的容易なセラミック材料を用いて２層以上形成するとともに、配線層についても、ＣｕやＡｇなどの金属材料を用いて、中間配線層９、表面配線層８と、２層以上、形成する。
【００７９】
さらに、実装基板６の上層基板には、表面配線層８を形成するための配線層を形成する際に、表面配線層８を形成するための配線層を利用して、中間配線層９と表面配線層８とを接続するための配線層間ビア１０を形成する。また、表面配線層８を形成するための配線層を利用して、半導体素子基板１と電気的に接続するための電極１５、および、半導体素子基板１を囲むように、キャップ基板１３と接合するためのシーリング構造５を形成するとともに、シーリング構造５よりも外周側に、外部端子となるフィードを作製しておく。電極１５は、シーリング構造５を避けるように、配線層間ビア１０、中間配線層９を介して、外部への取り出し端子であるフィードの表面配線層８ヘと接続する構造とされる。
【００８０】
また、実装基板６上の半導体素子基板１を搭載する領域には、図７（ｄ）までの工程によって作製された半導体素子基板１上の配線層や配線層間絶縁膜の厚さに合わせて、１０〜１，０００μｍの深さを有するキャビティ７をエッチングすることによって穿設する。
【００８１】
次に、図７（ｆ）の第６の工程つまり半導体素子基板接合工程に示すように、半導体素子基板１の表面を下側に向けて、半導体素子基板１の電極４と実装基板６の電極１５とを合わせて、接合金属１７として、電極４上に堆積した共晶合金の共晶温度以上の温度を用いて、例えば、ＳｎＡｕ（Ａｕ５％、共晶温度２１７℃）の共晶合金の場合には２２０℃の温度を用いて、互いの電極同士を接合する。
【００８２】
一方、キャップ基板１３は、第７の工程つまりキャップ基板作製工程において、実装基板６と同様のセラミック材などの材料を用意して、キャビティを有する構造に作製し、さらに、キャップ基板１３の外周部には、Ｃｕ，Ａｇ，Ｗなどの金属材料を用いて、図７（ｇ）に示すように、キャップ基板シーリング構造１９を設ける。また、キャップ基板シーリング構造１９上には、さらに、共晶温度が３００℃以下の例えばＳｎＡｕ（Ａｕ２０％、共晶温度２８０℃）などの共晶合金を、接合金属１８として、１〜１０μｍ程度の厚さで堆積しておく。
【００８３】
最後に、図７（ｇ）の第８の工程つまりキャップ基板接合工程において、キャップ基板１３のキャップ基板シーリング構造１９と実装基板６のシーリング構造５とを合わせて、接合金属１８として、キャップ基板シーリング構造１９上に堆積した共晶合金の共晶温度以上の温度を用いて、例えば、ＳｎＡｕ（Ａｕ２０％、共晶温度２８０℃）の共晶合金の場合には、２８０℃の温度を用いて、互いに接合させることによって、半導体素子の実装構造が完成する。
【００８４】
ここで、半導体素子基板１と実装基板６との接合、また、実装基板６とキャップ基板１３との接合については、前述のような、共晶合金による接合を用いずに、「表面活性化による低エネルギー接合」（須賀  唯知、まてりあ、35（5）、476（1996））に記載されているような表面活性化接合（ＳＡＢ：Surface  Activated  Bonding）を用いることも可能である。表面活性化接合の場合には、接合する２つの基板の互いに接合させる面に、真空中で、Ａｒイオンビームなどを照射してエッチングした後、活性化した金属同士を直接接合させる。表面活性化接合を用いる場合には、前述のように、半導体素子基板１上の電極４やキャップ基板１３上のキャップ基板シーリング構造１９の上には、接合金属１７や接合金属１８として、共晶合金を堆積する必要はない。
【００８５】
（第７の実施形態）
次に、本発明に係る半導体素子の実装方法について、図３に示す半導体素子の実装構造を製造する製造方法の一例を説明する。図８は、本発明に係る半導体素子の実装方法に関する製造工程の図７とは異なる例を説明するための模式図であり、第２の実施形態における図３の半導体素子の実装構造を製造する場合を例にとって示している。
【００８６】
本実施形態における図８（ａ）の第１の工程つまり機能回路作製工程から図８（ｄ）の第４の工程つまり電極露出工程までの製造工程は、第６の実施形態として示した図７（ａ）から図７（ｄ）までの製造工程と同一である。ただし、本実施形態においては、半導体素子基板１の電極４と実装基板６の電極１５とはワイヤボンディング接続する場合であるので、半導体素子基板１の電極４上には、実装基板６の電極１５と接続するための共晶合金を堆積する必要はない。
【００８７】
また、第２の実施形態の図３の半導体素子の実装構造を製造する場合であるので、次の図８（ｅ）の第５の工程つまり実装基板作製工程に示すように、実装基板６は、その表面に半導体素子基板１を収納または搭載するためのキャビティを穿設しないが、その他については、第６の実施形態の図７（ｅ）の場合と同様であり、表面配線層８を用いて、半導体素子基板１と接続するための電極１５と、キャップ基板１３と接合するためのシーリング構造５とを形成するとともに、外部端子となるフィードを作製しておく。電極１５は、シーリング構造５を避けるように、電極１５は、シーリング構造５を避けるように、配線層間ビア１０、中間配線層９を介して、外部への取り出し端子であるフィードの表面配線層８ヘと接続する構造とされる。
【００８８】
次に、図８（ｆ）の第６の工程つまり半導体素子基板接続工程に示すように、半導体素子基板１の裏面をそのまま下側に向けて、半導体素子基板１の裏面と実装基板６の表面とを、銀ペースト、はんだ、有機系接着材などによって接着し、半導体素子基板１の電極４と実装基板６の電極１５とを、半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ１４を用いてワイヤボンディング接続する。
【００８９】
一方、キャップ基板１３は、第７の工程つまりキャップ基板作製工程において、第６の実施形態における場合と同様のセラミック材などの材料を用意して、キャビティを有する構造に作製し、さらに、キャップ基板１３の外周部には、Ｃｕ，Ａｇ，Ｗなどの金属材料を用いて、図８（ｇ）に示すように、キャップ基板シーリング構造１９を設ける。また、キャップ基板シーリング構造１９上には、さらに、共晶温度が３００℃以下の例えばＳｎＡｕ（Ａｕ２０％、共晶温度２８０℃）などの共晶合金を、接合金属１８として、１〜１０μｍ程度の厚さで堆積しておく。
【００９０】
最後に、図８（ｇ）の第８の工程つまりキャップ基板接合工程において、第６の実施形態における図７（ｇ）の場合と同様に、キャップ基板１３のキャップ基板シーリング構造１９と実装基板６のシーリング構造５とを合わせて、接合金属１８として、キャップ基板シーリング構造１９上に堆積した共晶合金の共晶温度以上の温度を用いて、例えば、ＳｎＡｕ（Ａｕ２０％、共晶温度２８０℃）の共晶合金の場合には、２８０℃の温度を用いて、互いに接合させることによって、半導体素子の実装構造が完成する。
【００９１】
なお、本第７の実施形態の場合も、第６の実施形態における場合と同様、実装基板６とキャップ基板１３との接合には、共晶合金による接合を用いずに、表面活性化接合を用いることも可能である。表面活性化接合を用いる場合には、前述のように、キャップ基板シーリング構造１９の上には、接合金属１８として、共晶合金を堆積する必要はない。
【００９２】
（第８の実施形態）
次に、本発明に係る半導体素子の実装方法について、図５に示す半導体素子の実装構造を製造する製造方法の一例を説明する。図９は、本発明に係る半導体素子の実装方法に関する製造工程の図７とはさらに異なる例を説明するための模式図であり、第４の実施形態における図５の半導体素子の実装構造を製造する場合を例にとって示している。
【００９３】
本実施形態における図９（ａ）の第１の工程つまり機能回路作製工程から図９（ｃ）の第３の工程つまり配線層作製工程までの製造工程は、第６の実施形態として示した図７（ａ）から図７（ｃ）までの製造工程と同一である。ただし、電極４は、第１の工程つまり機能回路作製工程では作製しない。
【００９４】
その後、図９（ｄ）の第４の工程つまり電極形成工程に示すように、電極４は最上層の配線層（図９の場合、第３の配線層）上に露出した状態で作製して、第６の実施形態の場合と同様の方法によって、電極４上には、ＳｎＡｕ（Ａｕ５％、共晶温度２１７℃）などの共晶合金を、実装基板６との接合のための接合金属１７として、堆積しておく。なお、本実施形態においては、最上層の配線層上に電極４が設けられているため、第６の実施形態の場合のような、電極４を露出するための配線層間絶縁膜のエッチングは不要である。
【００９５】
次の実装基板の作製においては、図９（ｅ）の第５の工程つまり実装基板作製工程に示すように、第６の実施形態の図７（ｅ）の第５の工程つまり実装基板作製工程における中間配線層９の長さよりも長く形成して、あるいは、キャビティ７の幅または深さをさらに大きくとって、キャビティ７内に中間配線層９を露出させるとともに、シーリング構造５は、実装基板６の表面の表面配線層８を用いて作製し、電極１５は、キャビティ７内に露出させた中間配線層９を用いて作製する。
【００９６】
次に、図９（ｆ）の第６の工程つまり半導体素子基板接合工程に示すように、第６の実施形態の図７（ｆ）の第６の工程つまり半導体素子基板接合工程の場合と同様、半導体素子基板１の表面を下側に向けて、半導体素子基板１の電極４と実装基板６の電極１５とを合わせて、接合金属１７として、電極４上に堆積した共晶合金の共晶温度以上の温度を用いて、例えば、ＳｎＡｕ（Ａｕ５％、共晶温度２１７℃）の共晶合金の場合には２２０℃の温度を用いて、互いの電極同士を接合する。
【００９７】
一方、キャップ基板１３は、第７の工程つまりキャップ基板作製工程において、第６の実施形態における場合と同様のセラミック材などの材料を用意して、キャビティを有する構造に作製し、さらに、キャップ基板１３の外周部には、Ｃｕ，Ａｇ，Ｗなどの金属材料を用いて、図９（ｇ）に示すように、キャップ基板シーリング構造１９を設ける。また、キャップ基板シーリング構造１９上には、さらに、共晶温度が３００℃以下の例えばＳｎＡｕ（Ａｕ２０％、共晶温度２８０℃）などの共晶合金を、接合金属１８として、１〜１０μｍ程度の厚さで堆積しておく。
【００９８】
最後に、図９（ｇ）の第８の工程つまりキャップ基板接合工程において、第６の実施形態における図７（ｇ）の場合と同様に、キャップ基板１３のキャップ基板シーリング構造１９と実装基板６のシーリング構造５とを合わせて、接合金属１８として、キャップ基板シーリング構造１９上に堆積した共晶合金の共晶温度以上の温度を用いて、例えば、ＳｎＡｕ（Ａｕ２０％、共晶温度２８０℃）の共晶合金の場合には、２８０℃の温度を用いて、互いに接合させることによって、半導体素子の実装構造が完成する。
【００９９】
なお、本第８の実施形態の場合も、第６の実施形態における場合と同様、半導体素子基板１と実装基板６との接合、また、実装基板６とキャップ基板１３との接合には、共晶合金による接合を用いずに、表面活性化接合を用いることも可能である。表面活性化接合を用いる場合には、前述のように、半導体素子基板１上の電極４やキャップ基板１３上のキャップ基板シーリング構造１９の上には、接合金属１７や接合金属１８として、共晶合金を堆積する必要はない。
【０１００】
（第９の実施形態）
次に、本発明に係る半導体素子の実装方法について、図６に示す半導体素子の実装構造を製造する製造方法の一例を説明する。図１０は、本発明に係る半導体素子の実装方法に関する製造工程の図７とはさらに異なる例を説明するための模式図であり、第５の実施形態における図６の半導体素子の実装構造を製造する場合を例にとって示している。
【０１０１】
本実施形態における図１０（ａ）の第１の工程つまり機能回路作製工程から図１０（ｄ）の第４の工程つまり電極露出工程までの製造工程は、第６の実施形態として示した図７（ａ）から図７（ｄ）までの製造工程と同一である。
【０１０２】
一方、キャップ基板１３は、第５の工程つまりキャップ基板作製工程において、第６の実施形態における場合と同様のセラミック材などの材料を用意して、キャビティを有する構造に作製し、さらに、キャップ基板１３の外周部には、Ｃｕ，Ａｇ，Ｗなどの金属材料を用いて、図１０（ｅ）に示すように、第１の実施形態における場合よりも、厚さを厚くしてキャップ基板シーリング構造１９を形成する。また、キャップ基板シーリング構造１９上には、さらに、共晶温度が３００℃以下の例えばＳｎＡｕ（Ａｕ５％、共晶温度２１７℃）などの共晶合金を、接合金属１８として、６．２μｍ程度の厚さで堆積しておく。
【０１０３】
その後、図１０（ｅ）の第６の工程つまりキャップ基板接着工程に示すように、図１０（ｄ）の第４の工程つまり電極露出工程までの製造工程で作製した半導体素子基板１の裏面を、キャップ基板１３の内側のキャビティ面に接合する。半導体素子基板１とキャップ基板１３との接合には、銀ペースト、はんだ、有機系接着材などを用いる。ここで、半導体素子基板１上に作製された電極４の上面の高さと、キャップ基板１３に作製されたキャップ基板シーリング構造１９の上面の高さとが合うように、キャップ基板シーリング構造１９の高さをあらかじめ調整して作製しておく必要がある。また、半導体素子基板１上の電極４の上とキャップ基板１３のキャップ基板シーリング構造１９の上とにそれぞれ、接合金属１７、接合金属１８として、堆積する共晶合金は、共晶温度が３００℃以下で、かつ、同一の材料を用いる。
【０１０４】
次の実装基板の作製においては、図１０（ｆ）の第７の工程つまり実装基板作製工程に示すように、第６の実施形態の図７（ｅ）の第５の工程つまり実装基板作製工程と同様に、実装基板６の表面の表面配線層８を用いて、半導体素子基板１と電気的に接続するための電極１５、および、半導体素子基板１を囲むように、キャップ基板１３と接続するためのシーリング構造５を形成するとともに、外部端子となるフィードを作製する。
【０１０５】
最後に、図１０（ｇ）の第８の工程つまりキャップ基板接合工程において、半導体素子基板１を接合したキャップ基板１３の表面を下に向けて、半導体素子基板１の電極４と実装基板６の電極１５とを合わせ、さらに、キャップ基板１３のキャップ基板シーリング構造１９と実装基板６のシーリング構造５とを合わせて、それぞれ、接合金属１７および接合金属１８として、半導体素子基板１の電極４上およびキャップ基板シーリング構造１９上に堆積した共晶合金の共晶温度以上の温度を用いて、例えば、ＳｎＡｕ（Ａｕ５％、共晶温度２１７℃）の共晶合金の場合には、２２０℃の温度を用いて、互いに接合させることによって、半導体素子の実装構造が完成する。
【０１０６】
なお、本第９の実施形態の場合も、第６の実施形態における場合と同様、半導体素子基板１と実装基板６との接合、また、実装基板６とキャップ基板１３との接合には、共晶合金による接合を用いずに、表面活性化接合を用いることも可能である。表面活性化接合を用いる場合には、前述のように、半導体素子基板１上の電極４やキャップ基板１３上のキャップ基板シーリング構造１９の上には、接合金属１７や接合金属１８として、共晶合金を堆積する必要はない。
【０１０７】
（本発明の作用効果）
以上に詳細に説明したように、本発明の半導体素子の実装構造およびその実装方法によれば、次のような作用効果が得られる。
【０１０８】
（１）実装基板に配線金属を利用したシーリング構造を設け、キャップ基板に設けた鏡像対称な形状なシーリング構造と接続するだけで、気密封止を実現しているので、金属筐体やセラミック筐体による気密封止構造を別途作製する必要がなく、かつ、チップレベルの大きさで気密封止を実現することが可能である。
【０１０９】
（２）実装基板には、プロセス互換性のないチップも同時に搭載可能である。気密封止が必要な化合物半導体チップを搭載または収納する実装基板の外周部に、余分に金属のシーリング構造を設けて、キャップ基板のシーリング構造と接合するだけで良く、簡易な構造で実現することができ、実装工程数が大幅に削減される。
【０１１０】
（３）気密封止される半導体素子基板には、特別に余分なパタンや実装に必要な領域などを設ける必要がない。
【０１１１】
（４）実装におけるプロセス温度を３００℃以下に低く抑えることができるため、化合物半導体にも適用可能であり、化合物半導体を用いた機能素子の電気的な特性を損なうことなく、実装することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】本発明に係る半導体素子の実装構造として第１の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【図２】図１に示す半導体実装素子の上面を示す模式図である。
【図３】本発明に係る半導体素子の実装構造として第２の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【図４】本発明に係る半導体素子の実装構造として第３の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【図５】本発明に係る半導体素子の実装構造として第４の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【図６】本発明に係る半導体素子の実装構造として第５の実施形態を例示する半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【図７】本発明に係る半導体素子の実装方法に関する製造工程の一例を説明するための模式図である。
【図８】本発明に係る半導体素子の実装方法に関する製造工程の図７とは異なる例を説明するための模式図である。
【図９】本発明に係る半導体素子の実装方法に関する製造工程の図７とはさらに異なる例を説明するための模式図である。
【図１０】本発明に係る半導体素子の実装方法に関する製造工程の図７とはさらに異なる例を説明するための模式図である。
【図１１】第１の従来例の半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【図１２】第２の従来例の半導体実装素子の断面構造を示す模式図である。
【符号の説明】
【０１１３】
１…半導体素子基板、２…第１の配線層、３…第１−第２の配線層間絶縁膜、４…電極（半導体素子基板−実装基板接続部）、５…シーリング構造（実装基板−キャップ基板接続部）、６…実装基板、７…キャビティ（実装基板キャビティ）、８…表面配線層、９…中間配線層、１０…配線層間ビア、１１…第１−第２の配線層配線間ビア、１２…第２の配線層、１３…キャップ基板、１４…半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ、１５…電極（実装基板電極、実装基板−半導体素子接続部）、１６…第１−第２の配線層配線間ビアホール、１７…接合金属（実装基板−半導体素子接合用）、１８…接合金属（実装基板−キャップ基板接合用）、１９…キャップ基板シーリング構造、３１…半導体素子基板、３２…機能回路（ＩＣ）、３３…平面導波路配線（実装基板上配線）、３４…実装基板、３５…半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ、３６…ガラス同軸ビーズ、３７…同軸線路中心導体、３８…金属筐体（パッケージ金属筐体）、３９…シールキャップ、４１…半導体素子基板、４２…機能回路（ＩＣ）、４３…平面導波路配線（実装基板上配線）、４４…実装基板、４５…半導体素子基板−実装基板接続ワイヤ、４６…実装基板側壁、４７…フィードスルー電極、４８…実装基板下部、４９…シールキャップ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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