(57)【要約】【課題】  被乾燥物の熱容量に関係なく、被乾燥物が乾燥槽から取り出された後、乾燥不良によるシミが発生しない蒸気乾燥装置を提供する。【解決手段】  被乾燥物４０を乾燥させる乾燥槽１０、乾燥蒸気を発生する蒸気発生部２０、加熱蒸気を生成する蒸気加熱部３０、及び加熱蒸気を冷却する蒸気冷却部５７を有する蒸気乾燥装置１００であって、蒸気発生部２０は蒸気を発生し、蒸気加熱部３０は蒸気を加熱して加熱蒸気を生成し、乾燥槽１０は加熱蒸気が供給されて被乾燥物を乾燥し、蒸気冷却部５７は加熱蒸気を冷却して回収する。【選択図】      図１
2009058180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被乾燥物を乾燥させる乾燥槽、蒸気を発生する蒸気発生部、過加熱蒸気を生成する蒸気加熱部、及び前記過加熱蒸気を冷却する蒸気冷却部を有する蒸気乾燥装置であって、
前記蒸気発生部は前記蒸気を発生し、前記蒸気加熱部は前記蒸気を加熱して過加熱蒸気を生成し、前記乾燥槽は前記過加熱蒸気が供給されて前記被乾燥物を乾燥し、前記蒸気冷却部は前記過加熱蒸気を冷却して回収することを特徴とする蒸気乾燥装置。
【請求項２】
前記蒸気発生部は前記蒸気を発生するヒータを具備し、前記蒸気加熱部は前記蒸気を加熱する誘導加熱コイルを具備し、前記乾燥槽は、温度低下防止板及び過加熱蒸気噴射ノズル、又は、加熱ヒータ及び過加熱蒸気噴射ノズルを具備し、前記温度低下防止板又は加熱ヒータは、前記過加熱蒸気噴射ノズルから噴射された前記過加熱蒸気の温度を一定に保つことを特徴とする請求項１に記載の蒸気乾燥装置。
【請求項３】
前記乾燥槽は温度センサを具備し、前記温度センサは前記乾燥槽の温度を検出し、検出した槽内温度検出信号を前記蒸気加熱部の温度制御部へ帰還することを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸気乾燥装置。
【請求項４】
前記蒸気加熱部は温度センサを具備し、前記温度センサは、前記蒸気加熱部の誘導加熱コイル又はヒータの表面温度を検出し、検出した表面温度検出信号を前記蒸気加熱部の温度制御部へ帰還することを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の蒸気乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄工程を終了している被乾燥物を蒸気乾燥して取り出す蒸気乾燥装置に係り、詳しくは、乾燥槽から取り出された後、被乾燥物に乾燥不良によるシミの発生しない蒸気乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、従来の蒸気乾燥洗浄装置の構成を示す装置構成図である。図３において、蒸気乾燥洗浄槽２００は、洗浄槽と乾燥槽とが一体化しており、乾燥前の被洗浄物６０を洗浄液５４中に浸漬して洗浄を行う洗浄槽５１と、被洗浄物の表面乾燥を行うため洗浄液５４を基に乾燥用蒸気を発生する蒸気発生槽５０とを乾燥槽１０の底部に具備している。また洗浄槽５１は、仕切り壁５３で槽が２つに仕切られており、洗浄部と洗浄液回収部とに分かれている。
【０００３】
これにより洗浄槽５１は、洗浄部からオーバフローした洗浄液５４が、洗浄液回収部で回収され、ポンプ５５とフィルタ５６とを介して、再び洗浄部へ供給される循環式の洗浄槽となっている。蒸気発生槽５０は加熱部５２を有し、被洗浄物６０の精密洗浄と表面乾燥とを行うため、洗浄液５４を加熱し乾燥用蒸気を発生する。乾燥槽１０の上部の内側には、乾燥用蒸気を露結させて回収する蒸気冷却部５７が設置されている。
【０００４】
洗浄工程において、洗浄槽５１の洗浄液５４が所定の清浄度になると、被洗浄物６０が洗浄部の洗浄液５４に浸漬され、洗浄が開始される。所定の時間洗浄が行われた後、洗浄は終了する。乾燥工程において、被洗浄物６０は、引き上げられ、蒸気発生槽５０により発生した乾燥用蒸気中を通過する。洗浄液５４がＩＰＡ（イソプロピルアルコール）である場合、沸点温度が８２℃であるため、被洗浄物６０は乾燥用蒸気内を通過中に８２℃に加熱され、洗浄中に表面に付着したＩＰＡ液は、乾燥用蒸気中に蒸発する。これにより被洗浄物６０の表面は、乾燥した状態で乾燥槽１０から取り出される。乾燥用のＩＰＡの蒸気は、蒸気冷却部５７において冷却されて露結し、乾燥槽１０の底部に落下して回収される。
【０００５】
ところで、被洗浄物の表面積が大きくて熱容量が小さい薄板ガラスの場合や、熱容量は大きくても表面が複雑な形状をしている金属部品の場合には、乾燥用蒸気中を通過する過程で乾燥に必要な熱量を十分に保有できないため、乾燥槽１０から取り出された後に表面または複雑な形状の内部に洗浄液５４が残存する場合が生じる。これは、乾燥不良によるシミの原因となり、洗浄歩留まりを低下させることになる。特許文献１には、基板の純水洗浄が終了した後、Ｎ２をキャリアガスとしてＩＰＡベーパーを供給し、その雰囲気内で乾燥を行い、ＩＰＡベーパーの消費量を抑え、パーティクルの発生をも抑える基板乾燥装置についての記載がある。
【特許文献１】特開平１１−８７３０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、被乾燥物の熱容量に関係なく、被乾燥物が乾燥槽から取り出された後、乾燥不良によるシミが発生しない蒸気乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の蒸気乾燥装置は、被乾燥物を乾燥させる乾燥槽、蒸気を発生する蒸気発生部、過加熱蒸気を生成する蒸気加熱部、及び過加熱蒸気を冷却する蒸気冷却部を有する蒸気乾燥装置であって、蒸気発生部は蒸気を発生し、蒸気加熱部は蒸気を加熱して過加熱蒸気を生成し、乾燥槽は過加熱蒸気が供給されて被乾燥物を乾燥し、蒸気冷却部は過加熱蒸気を冷却して回収することを特徴とする。
【０００８】
本発明の蒸気乾燥装置の蒸気発生部は、蒸気を発生するヒータを具備し、蒸気加熱部は蒸気を加熱する誘導加熱コイルを具備し、乾燥槽は、温度低下防止板及び過加熱蒸気噴射ノズル、又は、加熱ヒータ及び過加熱蒸気噴射ノズルを具備し、温度低下防止板又は加熱ヒータは、過加熱蒸気噴射ノズルから噴射された過加熱蒸気の温度を一定に保つことことを特徴とする。
【０００９】
本発明の蒸気乾燥装置の乾燥槽は温度センサを具備し、温度センサは乾燥槽の温度を検出し、検出した槽内温度検出信号を蒸気加熱部の温度制御部へ帰還することを特徴とする。
【００１０】
本発明の蒸気乾燥装置の蒸気加熱部は温度センサを具備し、温度センサは、蒸気加熱部の誘導加熱コイル又はヒータの表面温度を検出し、検出した表面温度検出信号を蒸気加熱部の温度制御部へ帰還することを特徴とする
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、被乾燥物の熱容量に関係なく、被乾燥物が乾燥槽から取り出された後、乾燥不良によるシミが発生しないため、乾燥工程での歩留まりの向上が図れ、収率の良い蒸気乾燥装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明における蒸気乾燥装置の第１の実施例の構成を示す装置構成図である。蒸気乾燥装置１００−１は、図３において、洗浄後の被乾燥物４０を乾燥させる乾燥槽１０に加えて、蒸気を発生する蒸気発生部２０、及び蒸気を加熱する蒸気加熱部３０を有する装置構成となっている。蒸気発生部２０は蒸気を発生するヒータ２１を具備し、蒸気加熱部３０は乾燥蒸気を加熱する誘導加熱コイル３１、誘導加熱コイル３１を制御する温度制御部３２、及び誘導加熱コイル３１の表面温度を検出する温度センサ３３を具備し、乾燥槽１０は、乾燥槽１０内温度を所定の温度に保つ温度低下防止板１１、加熱蒸気を噴射する加熱蒸気噴射ノズル１２、及び乾燥槽１０内温度を検出する温度センサ１４を具備している。また蒸気冷却部５７は、洗浄液回収口５８を具備している。
【００１３】
図３における洗浄工程が終了すると、洗浄後の被乾燥物４０の引き上げが、開始される。温度低下防止板１１に囲まれた空間は、蒸気発生部２０のヒータ２１により加熱されて発生した洗浄液５４の蒸気が蒸気加熱部３０の誘導加熱コイル３１により加熱されて生成され、加熱蒸気噴射ノズル１２を介して噴射された加熱蒸気により充満している。
【００１４】
被乾燥物４０は、温度低下防止板１１に囲まれた空間を通過する際、この加熱蒸気中を通過することにより、洗浄中に表面に付着した洗浄液５４は、加熱蒸気中に蒸発する。このため、被乾燥物４０の表面は、乾燥した状態で乾燥槽１０から取り出される。上昇してくる加熱蒸気は、蒸気冷却部５７において冷却されて露結し、蒸気冷却部５７の底部に落下して洗浄液回収口５８から回収される。
【００１５】
温度低下防止板１１に囲まれた空間は加熱蒸気が充満し、この加熱蒸気は、洗浄液５４の沸点温度を超えた加熱蒸気である。このため、被乾燥物４０が蒸気冷却部５７を通過した後においても乾燥に必要な熱量を保存しているだけの十分な熱量を被乾燥物４０に与えることができる。これにより、被乾燥物４０の表面積が大きくて熱容量が小さい薄板ガラス等の場合、又は、熱容量が大きくて表面が複雑な形状をしている金属部品の場合のいずれにおいても、洗浄中に表面に付着した洗浄液５４は全て加熱蒸気中に蒸発し、蒸気乾燥槽１０から取り出され後に表面に洗浄液５４が残存することはない。このため乾燥不良によるシミの原因が無くなり、洗浄歩留まりが向上する。
【００１６】
また、乾燥槽１０に温度センサ１４を設け、乾燥槽１０内の温度を検出し、検出した槽内温度検出信号を蒸気加熱部３０の温度制御部３２へ帰還し、誘導加熱コイル３１の電流、電圧及び周波数を制御して、加熱量を最適化することにより、温度低下防止板１１に囲まれた空間の過加熱蒸気の温度を所定の温度に保ち、一層安定した乾燥が行える。さらに、蒸気加熱部３０に温度センサ３３を設け、誘導加熱コイル３１の表面温度を検出し、検出した表面温度検出信号を温度制御部３２へ帰還し、温度低下防止板１１に囲まれた空間の加熱蒸気の温度変動に対する応答速度を高めると共に、加熱蒸気が発火点以上にならないように、設定温度を超えると蒸気加熱部３０の動作を停止することにより、さらに安定、且つ安全な乾燥を行うことができる。また、誘導加熱コイル３１は、ヒータであっても良い。
【００１７】
図２は、本発明における蒸気乾燥装置の第２の実施例の構成を示す装置構成図である。図２において、蒸気乾燥装置１００−２は、乾燥槽１０内の温度を所定に保つ、ヒータ１３を具備している。一方、第２の実施例は乾燥機能のみで独立しているため、洗浄液５４中に浸漬して洗浄を行う洗浄槽５１と、乾燥用蒸気を発生する蒸気発生槽５０とを具備せず、また乾燥槽１０内温度を所定の温度に保つ温度低下防止板１１を具備していないところが図１の場合と異なっている。
【００１８】
他の部所で洗浄工程が終了すると、洗浄後の被乾燥物４０は乾燥槽１０に搬入された後、乾燥のための引き上げが開始される。ヒータ１３に囲まれた乾燥槽１０内は、図１の場合と同様に、蒸気加熱部３０において加熱され、加熱蒸気噴射ノズル１２を介して噴射された加熱蒸気により充満している。被乾燥物４０は、乾燥槽１０内を通過する際、この加熱蒸気中を通過することにより、図１の場合と同様、被乾燥物４０の表面は乾燥した状態で、乾燥槽１０から取り出される。上昇してくる加熱蒸気は、蒸気冷却部５７において冷却されて露結し、蒸気冷却部５７の底部に落下して洗浄液回収口５８から回収される。
【００１９】
乾燥槽１０内は加熱蒸気が充満し、この加熱蒸気は、さらにヒータ１３により加熱されて、洗浄液５４の沸点温度を超えた加熱蒸気となっている。このため、被乾燥物４０が蒸気冷却部５７を通過した後においても乾燥に必要な熱量を保存しているだけの十分な熱量を被乾燥物４０に与えることができる。これにより、被乾燥物４０が表面積が大きくて熱容量が小さい薄板ガラス等の場合、又は、熱容量が大きくて表面が複雑な形状をしている金属部品の場合のいずれにおいても、洗浄中に表面に付着した洗浄液５４は全て加熱蒸気中に蒸発し、蒸気乾燥槽１０から取り出され後に表面に洗浄液５４が残存することはない。このため乾燥不良によるシミの原因が無くなり、洗浄歩留まりが向上する。また、乾燥槽１０に温度センサ１４を設け、蒸気加熱部３０に温度センサ３３を設けることにより、図１の場合と同様に、乾燥槽１０内の過加熱蒸気の温度を所定の温度に保ち、一層安定、且つ安全な乾燥を行うことができる。
【００２０】
以上説明したように本発明によれば、被乾燥物の熱容量に関係なく、被乾燥物が乾燥槽から取り出された後、乾燥不良によるシミが発生しないため、乾燥工程での歩留まりの向上が図れ、収率の良い蒸気乾燥装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明における蒸気乾燥装置の第１の実施例の構成を示す装置構成図。
【図２】本発明における蒸気乾燥装置の第２の実施例の構成を示す装置構成図。
【図３】従来の蒸気乾燥洗浄装置の構成を示す装置構成図。
【符号の説明】
【００２２】
１０  乾燥槽
１１  温度低下防止板
１２  加熱蒸気噴射ノズル
１３  加熱ヒータ
１４  温度センサ
２０  蒸気発生部
２１  ヒータ
３０  蒸気加熱部
３１  誘導加熱コイル
３２  温度制御部
３３  温度センサ
４０  被乾燥物
５０  蒸気発生槽
５１  洗浄槽
５２  加熱部
５２  仕切り壁
５４  洗浄液
５５  ポンプ
５６  フィルタ
５７  蒸気冷却部
５８  洗浄液回収口
６０  被洗浄物
１００−１、２  蒸気乾燥装置
２００  蒸気乾燥洗浄装置
【図１】
2009058180.tif 000003
【図２】
2009058180.tif 000004
【図３】
2009058180.tif 000005