(57)【要約】【課題】基板の生産ラインの直行率を良好にする。【解決手段】次回以降に搬入される基板Ｐに対して、露光器１６との位置関係が露光に適した位置関係となるように、露光器１６への搬入前に配置位置を補正するための搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）を、搬入された各基板Ｐ毎に演算し（１３６）、演算された少なくとも１つの搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）に基づいて、搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）が演算された基板Ｐより後に露光器１６に搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係を露光器１６へ搬入する前に補正する（１０６）。【選択図】図７
2009230008.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光層が形成されると共に複数の基準位置の各々に所定領域のマークが形成され、かつ一枚ずつ搬入された基板の前記感光層を露光する露光手段と、
前記基板に形成されたマークを検出するように前記露光手段に対する位置関係が予め固定されて配置された検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基づいて、前記搬入された基板と前記露光手段との位置関係が露光に適していない場合に露光に適した位置関係に補正するための補正量を演算する演算手段と、
前記露光手段に搬入された各基板のうち前記露光手段との位置関係が露光に適していない基板の各々に対して前記演算手段によって演算された各補正量に基づいて、次回以降に搬入される基板に対して、前記露光手段との位置関係が露光に適した位置関係となるように、前記露光手段への搬入前に配置位置を補正するための搬入前補正量を、搬入された各基板毎に演算する補正量演算手段と、
前記補正量演算手段によって演算された少なくとも１つの搬入前補正量に基づいて、該搬入前補正量が演算された基板より後に前記露光手段に搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正する補正手段と、
を含む露光装置。
【請求項２】
前記補正手段は、前記露光手段に今回搬入される基板より１つ前に前記露光手段へ搬入された基板に対して前記補正量演算手段によって演算された搬入前補正量を用いて、前記露光手段に今回搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正する請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記補正手段は、前記露光手段に今回搬入される基板より前に前記露光手段へ搬入された複数の基板の各々に対して前記補正量演算手段によって演算された複数の搬入前補正量のうち、所定個または該所定個未満の個数の搬入前補正量の平均値を用いて、前記露光手段に今回搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正する請求項１記載の露光装置。
【請求項４】
前記補正手段は、前記露光手段に今回搬入される基板より前に前記露光手段へ搬入された複数の基板の各々に対して前記補正量演算手段によって演算された複数の搬入前補正量のうち、所定個または該所定個未満の個数の搬入前補正量の中央値を用いて、前記露光手段に今回搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正する請求項１記載の露光装置。
【請求項５】
感光層が形成されると共に複数の基準位置の各々に所定領域のマークが形成され、かつ一枚ずつ搬入された基板に形成されたマークを、前記感光層を露光する露光手段に対する位置関係が予め固定されて配置された検出手段によって検出し、
前記検出手段の検出結果に基づいて、前記搬入された基板と前記露光手段との位置関係が露光に適していない場合に露光に適した位置関係に補正するための補正量を演算し、
前記露光手段に搬入された各基板のうち前記露光手段との位置関係が露光に適していない基板の各々に対して前記演算手段によって演算された各補正量に基づいて、次回以降に搬入される基板に対して、前記露光手段との位置関係が露光に適した位置関係となるように、前記露光手段への搬入前に配置位置を補正するための搬入前補正量を、搬入された各基板毎に演算し、
演算された少なくとも１つの搬入前補正量に基づいて、該搬入前補正量が演算された基板より後に前記露光手段に搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正する
露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置、及び露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント配線基板等に配線パターンを形成する画像形成装置としてレーザ露光装置が知られている。このレーザ露光装置には、露光データ（画像情報）に基づいた画像露光の対象となるプリント配線基板を載置するステージが備えられており、各プリント配線基板が露光器に対して搬入される前に、各プリント配線基板をステージ上の所定の初期位置に配置し、そのステージを所定の搬送経路に沿って移動させるようになっている。
【０００３】
このレーザ露光装置では、プリント配線基板はステージの上面に載置され、ステージの上面に設けられた多数の孔部からエアーが吸引されることによって、そのステージ上に吸着・保持される。プリント配線基板がステージ上に吸着・保持された状態で、そのステージは所定の速度で副走査方向へ搬送され、所定の測定位置において、そのプリント配線基板に設けられた位置合わせ孔（マーク、またはアライメントマーク）がＣＣＤカメラ等によって撮像される。そして、その撮像された画像によって得られたプリント配線基板の位置に合わせて、描画座標系中の描画対象を座標変換することにより、画像情報に対するアライメント処理が実行される。
【０００４】
アライメント処理の実行後に所定の露光位置において、画像情報に基づいて変調されたレーザビームによって、ステージ上のプリント配線基板はその上面に形成された感光性塗膜（感光膜）が走査、露光される。これにより、プリント配線基板上の所定の描画領域に、画像情報に基づく画像潜像が形成される。
【０００５】
画像が形成されたプリント配線基板は、ステージが初期位置に復帰移動した後、そのステージ上から取り出される。プリント配線基板が取り除かれたステージは、次のプリント配線基板を露光する位置に搬送される。
【０００６】
このとき、基板上の露光位置検出用のマーク位置が装置に指示された想定位置からずれている場合には、マークが正しく認識されず、マーク検出不良となってプリント配線基板がラインアウトされるため、生産ラインの直行率（すなわち、露光処理対象の全ての基板の個数に対するラインアウトされずに最短の搬送経路で露光処理が行われた基板の個数の割合）が劣化してしまう。
【０００７】
これに対して、カメラの倍率またはカメラ自体を切替えて、１回目に低倍率の撮影を行い、２回目に高倍率の撮影を行うことにより、マークのズレ量を検出して補正量を算出し、次回の検出手段の指定の移動量に反映させて、検出手段を移動することで対応する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開２００４−８５６６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の露光装置では、１回目の低倍率の撮影によって全てのマークが検出できなかった場合には、マーク検出不良となってプリント配線基板がラインアウトされるため、生産ラインの直行率が劣化してしまう、ということが考えられる。
【０００９】
特に、複数枚積層された状態から一枚ずつ基板が搬入され、その搬入経路に障害物が存在する場合には、その障害物との接触によって全ての基板の位置が同じようにずれてしまうことにより、全ての基板でマーク検出不良となってプリント配線基板がラインアウトされるため、生産ラインの直行率が著しく劣化してしまう、という問題がある。
【００１０】
また、同一のロット毎に各プリント配線基板のマークが形成される場合には、同一のロットの各プリント配線基板のマークは、ほぼ同じ位置に形成されることが多いため、そもそも形成されたマークの位置が正規の位置からずれていた場合には、同一のロットのほとんどのプリント配線基板のマークの位置が正規の位置からずれてしまう。このような場合には、ほとんどのプリント配線基板がラインアウトされてしまい、生産ラインの直交率が著しく劣化してしまう、という問題がある。例えば、プリント配線基板のマーク形成工程において、図３に示すように、プリント配線基板が所定枚数積層された状態でドリルによって貫通されることにより、各基板に複数の基準位置の各々に所定領域のマークを形成する場合がある。このような場合には各プリント配線基板では、ほぼ同じ位置にマークが形成されるため、上記で説明したように、そもそもこの形成されたマークの位置が正規の位置からずれていた場合には、同一のロットのほとんどのプリント配線基板のマークの位置が正規の位置からずれてしまう。このようにしてマークが形成された各プリント配線基板が搬入された場合には、プリント配線基板が頻繁にラインアウトされて、生産ラインの直行率が著しく劣化してしまう、という問題がある。
【００１１】
本発明は、上記問題点を解決するために成されたもので、基板の生産ラインの直行率を良好にすることができる露光装置、及び露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明の露光装置は、感光層が形成されると共に複数の基準位置の各々に所定領域のマークが形成され、かつ一枚ずつ搬入された基板の前記感光層を露光する露光手段と、前記基板に形成されたマークを検出するように前記露光手段に対する位置関係が予め固定されて配置された検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記搬入された基板と前記露光手段との位置関係が露光に適していない場合に露光に適した位置関係に補正するための補正量を演算する演算手段と、前記露光手段に搬入された各基板のうち前記露光手段との位置関係が露光に適していない基板の各々に対して前記演算手段によって演算された各補正量に基づいて、次回以降に搬入される基板に対して、前記露光手段との位置関係が露光に適した位置関係となるように、前記露光手段への搬入前に配置位置を補正するための搬入前補正量を、搬入された各基板毎に演算する補正量演算手段と、前記補正量演算手段によって演算された少なくとも１つの搬入前補正量に基づいて、該搬入前補正量が演算された基板より後に前記露光手段に搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正する補正手段とを含んで構成されている。
【００１３】
本発明に係る露光装置によれば、次回以降に搬入される基板に対して、露光手段との位置関係が露光に適した位置関係となるように、露光手段への搬入前に配置位置を補正するための搬入前補正量を、搬入された各基板毎に演算し、演算された少なくとも１つの搬入前補正量に基づいて、この搬入前補正量が演算された基板より後に露光手段に搬入される基板と露光手段との位置関係を露光手段へ搬入する前に補正する。これにより、次回以降に露光手段に搬入される基板と露光手段との位置関係が、露光手段へ搬入する前に、露光に適した位置関係となるように補正されるため、ラインアウトが頻繁に発生することを防止することができ、ひいては、基板の生産ラインの直行率を良好にすることができる。
【００１４】
また、前記補正手段は、前記露光手段に今回搬入される基板より１つ前に前記露光手段へ搬入された基板に対して前記補正量演算手段によって演算された搬入前補正量を用いて、前記露光手段に今回搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正するようにしてもよい。
【００１５】
また、前記補正手段は、前記露光手段に今回搬入される基板より前に前記露光手段へ搬入された複数の基板の各々に対して前記補正量演算手段によって演算された複数の搬入前補正量のうち、所定個または該所定個未満の個数の搬入前補正量の平均値を用いて、前記露光手段に今回搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正するようにしてもよい。
【００１６】
また、前記補正手段は、前記露光手段に今回搬入される基板より前に前記露光手段へ搬入された複数の基板の各々に対して前記補正量演算手段によって演算された複数の搬入前補正量のうち、所定個または該所定個未満の個数の搬入前補正量の中央値を用いて、前記露光手段に今回搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正するようにしてもよい。
【００１７】
また、上記目的を達成するために、本発明の露光方法は、感光層が形成されると共に複数の基準位置の各々に所定領域のマークが形成され、かつ一枚ずつ搬入された基板に形成されたマークを、前記感光層を露光する露光手段に対する位置関係が予め固定されて配置された検出手段によって検出し、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記搬入された基板と前記露光手段との位置関係が露光に適していない場合に露光に適した位置関係に補正するための補正量を演算し、前記露光手段に搬入された各基板のうち前記露光手段との位置関係が露光に適していない基板の各々に対して前記演算手段によって演算された各補正量に基づいて、次回以降に搬入される基板に対して、前記露光手段との位置関係が露光に適した位置関係となるように、前記露光手段への搬入前に配置位置を補正するための搬入前補正量を、搬入された各基板毎に演算し、演算された少なくとも１つの搬入前補正量に基づいて、該搬入前補正量が演算された基板より後に前記露光手段に搬入される基板と前記露光手段との位置関係を前記露光手段へ搬入する前に補正する。
【００１８】
本発明に係る露光方法によれば、次回以降に搬入される基板に対して、露光手段との位置関係が露光に適した位置関係となるように、露光手段への搬入前に配置位置を補正するための搬入前補正量を、搬入された各基板毎に演算し、演算された少なくとも１つの搬入前補正量に基づいて、この搬入前補正量が演算された基板より後に露光手段に搬入される基板と露光手段との位置関係を露光手段へ搬入する前に補正する。これにより、次回以降に露光手段に搬入される基板と露光手段との位置関係が、露光手段へ搬入する前に、露光に適した位置関係となるように補正されるため、ラインアウトが頻繁に発生することを防止することができ、ひいては、基板の生産ラインの直行率を良好にすることができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、基板の生産ラインの直行率を良好にすることができる、という効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して、本発明を露光装置に適用した場合の実施の形態について説明する。
【００２１】
図１及び図２に示すように、露光装置１０は、コントローラ１１、搬送システム１２、及び露光システム１４を備えている。
【００２２】
搬送システム１２は露光対象ワークである基板Ｐが供給されるＩＮコンベア（搬入用コンベア）２０Ａ、ＩＮコンベア２０Ａ上の基板Ｐを検出可能な位置に配置された検出センサ１９、基板Ｐを露光システム１４に搬入するＡＣ（Auto Carrier）ハンド３０、及び露光後の基板Ｐが排出されるＯＵＴコンベア（搬出用コンベア）２０Ｂを備えている。検出センサ１９には、例えば、光学センサが用いられる。本実施の形態では、基板Ｐのマーク形成工程において、例えば、図３に示すように、基板Ｐが所定の枚数（図３の例ではＮ枚）積層された状態でドリル９９によって貫通されることにより、各基板Ｐの複数の基準位置の各々に所定領域のマークが形成される。また、検出センサ１９は、基板Ｐを検出した場合には、基板Ｐを検出したことを表すＯＮ状態の検出信号を出力し、基板Ｐを検出していない場合には、ＯＦＦ状態の検出信号を出力する。なお、ＡＣハンド３０は、補正手段に対応する。
【００２３】
露光システム１４は、ＩＮコンベア２０ＡからＡＣハンド３０にて１枚ずつ搬送された基板Ｐが固定される露光ステージ４０、露光ステージ４０上の基板Ｐに走査露光を行う露光器１６、及び回転ステージ機構４１を備えている。なお、図１（Ｂ）に示すように、本実施の形態における基板Ｐには、感光層が形成されると共に、その上面に複数の基準位置の各々に所定の大きさの円形のマーク４２ａ〜４２ｄが形成されている。そして、本実施の形態では、例えば、基板ＰはＡＣハンド３０に把持され、露光ステージ４０上に置かれた後、固定される。露光ステージ４０は、駆動装置（図示しない）を備えており、この駆動装置によって露光ステージ４０はレール１５上を走査方向（図中Ｙ方向）に移動し、露光器１６に固定されたカメラ１８ａ、１８ｂにて基板Ｐ上に設けられたマーク４２を撮影することにより、基板Ｐの位置検出を行う。マーク４２ａとマーク４２ｃとの間隔（図中Ｙ方向の間隔）及びマーク４２ｂとマーク４２ｄとの間隔をＬ１とし、マーク４２ａとマーク４２ｂとの間隔（副走査方向（図中Ｘ方向）の間隔）及びマーク４２ｃとマーク４２ｄとの間隔をＬ２とする。
【００２４】
露光機１６は、露光データに基づいて基板Ｐの感光層を露光するための露光手段としての露光ヘッド１３、及び基板Ｐに形成されたマーク４２を検出するように露光ヘッド１３に対して予め定められた位置に固定されて配置された検出手段としてのカメラ１８ａ、１８ｂを備えている。これにより、露光ステージ４０上に固定された基板ＰのＸ方向及びＹ方向の位置、並びにＸ方向またはＹ方向に対する傾きを検出することができる。回転ステージ機構４１は、露光ステージ４０を回転させる。
【００２５】
得られた基板Ｐの位置データに従い、後述するように必要に応じて露光ステージ４０上の基板Ｐの位置及び傾きの少なくとも一方を補正した後に露光ヘッド１３にて基板Ｐに走査露光が行われ、走査露光後の基板ＰはＡＣハンド３０に把持され、ＯＵＴコンベア２０Ｂに排出される。
【００２６】
コントローラ１１は、露光ヘッド１３、カメラ１８ａ、１８ｂ、検出センサ１９、ＩＮコンベア２０Ａ、ＯＵＴコンベア２０、ＡＣハンド３０、露光ステージ４０の駆動装置、及び回転ステージ機構４１に接続されている。コントローラ１１は、露光ヘッド１３、カメラ１８ａ、１８ｂ、検出センサ１９、ＩＮコンベア２０Ａ、ＯＵＴコンベア２０、ＡＣハンド３０、露光ステージ４０の駆動装置、及び回転ステージ機構４１の各々を制御する。コントローラ１１は、Ｉ／Ｏ（入出力）ポート１１ａ、ＲＯＭ（Read Only Memory）１１ｂ、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）１１ｃ、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１ｄ、ＲＡＭ（Random Access Memory）１１ｅ、並びにこれらＩ／Ｏポート１１ａ、ＲＯＭ１１ｂ、ＨＤＤ１１ｃ、ＣＰＵ１１ｄ、及びＲＡＭ１１ｅを互いに接続するバス１１ｆを含んで構成されている。
【００２７】
記憶媒体としてのＲＯＭ１１ｂには、ＯＳ等の基本プログラムが記憶されている。
【００２８】
記憶媒体としてのＨＤＤ１１ｃには、詳細を以下で説明する露光処理の処理ルーチンを実行するためのプログラム、及び基板配置位置補正処理の処理ルーチンを実行するためのプログラムが記憶されている。
【００２９】
また、ＨＤＤ１１ｃには、基板ＰがＡＣハンド３０によって、最初に配置される初期の配置位置（初期位置）（Ｘｓ，θｓ）が記憶されている。
【００３０】
また、ＨＤＤ１１ｃには、図４に示すように、マーク検出用テンプレート画像５０の画像データが記憶されている。このマーク検出用テンプレート画像５０は、テンプレートマッチング法による画像処理において、カメラ１８によって撮影された画像からマーク４２を検出する際に用いられる。
【００３１】
また、ＨＤＤ１１ｃには、図５に示すように、基準中心点ａ〜ｄの各々の位置を示す各データ、及び基準線ｅ〜ｋの各々の位置（例えば各基準線の端点の位置）を表す各データが登録されている。例えば、予め、基板Ｐ上に正確にその位置が形成されている基準となるマーク４２ａ〜ｄの各々をカメラ１８ａ及びカメラ１８ｂの少なくとも一方によって撮影することにより得られた画像データを用いて、マーク４２ａとマーク４２ｃとの中心の位置を求め、この位置を基準中心点ａとすることにより、基準中心点ａの位置を表すデータを求めることができる。また、同様の方法によって、基準中心点ｂ〜ｅの各々の位置を表す各データを求めることができる。また、例えば、予め、基板Ｐ上に正確にその位置が形成されている基準となるマーク４２ａ〜ｄの各々をカメラ１８ａ及び１８ｂの少なくとも一方によって撮影することにより得られた画像データを用いて、マーク４２ａの重心とマーク４２ｃの重心とを結ぶ直線の端点の位置を求め、この直線の端点の位置を基準線ｅの位置とすることにより、基準線ｅの位置を表すデータを求めることができる。また、同様の方法によって、基準線ｆ〜ｋの各々の位置を表す各データを求めることができる。
【００３２】
更に、ＨＤＤ１１ｃには、詳細を以下で説明する搬入時補正量登録テーブルが記憶されている。
【００３３】
ＣＰＵ１１ｄは、プログラムをＲＯＭ１１ｂ及びＨＤＤ１１ｃから読み出して実行し、ＲＡＭ１１ｅには、各種データが一時的に記憶される。
【００３４】
次に、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）を参照して、本実施形態に係る露光器１６のカメラ１８ａ、１８ｂの視野（撮影領域）５４に対する検出可能なマーク４２の位置、及び検出できないマーク４２の位置について説明する。
【００３５】
本実施の形態では、後述するように、カメラ１８ａ、１８ｂによって撮影した画像からマーク４２を表す画像を、テンプレートマッチング法による画像処理によって検出する。この画像処理では、図６（Ａ）に示されるように、撮影領域５４内における１つのマーク４２の面積の領域が、所定の面積（最小面積）以上の領域、例えばマーク４２全体の面積の５０％以上の面積の領域が撮影されていればマーク４２を検出したと判断する。一方、図６（Ｂ）に示されるように、撮影領域５４内におけるマーク４２の面積の領域が、上記最小面積以上でない場合（図６（Ｂ）の例では、撮影領域５４内におけるマーク４２の面積の領域が、マーク４２全体の面積の２５％である場合を示している）にはマーク４２を検出していないと判断する。
【００３６】
次に、コントローラ１１のＣＰＵ１１ｄが実行する露光処理の処理ルーチンについて図７を用いて説明する。なお、本実施の形態において、図示しないキーボード等の指示入力装置がコントローラ１１に接続されており、この指示入力装置から、例えばオペレータ等によって露光処理を実行する指示が入力された場合に露光処理が実行される。
【００３７】
まず、ステップ１００で、変数Ｋの値を０に設定することにより、初期化を行う。なお、変数Ｋの値は、露光器１６へ搬入される順番、すなわち搬入される基板Ｐが何枚目の基板Ｐであるかを表す。
【００３８】
次のステップ１０２で、検出センサ１９からの検出信号がＯＮ状態であるか否かを判定することにより、露光対象の基板Ｐが存在するか否かを判定する。
【００３９】
ステップ１０２で検出センサ１９からの検出信号がＯＮ状態であると判定された場合には、次のステップ１０４で、変数Ｎの値を０に設定する。
【００４０】
次のステップ１０６では、基板配置位置補正処理を実行する。ここで、ステップ１０６の基板配置位置補正処理の処理ルーチンの詳細について図８を用いて説明する。
【００４１】
まず、ステップ２００で、変数Ｋの値を１インクリメントし、次のステップ２０２で、変数Ｋの値が１であるか否かを判定する。これにより、今回露光器１６に搬入される基板Ｐが最初に搬入される基板Ｐ（１枚目の基板Ｐ）であるか否かを判定することができる。
【００４２】
ステップ２０２で、変数Ｋの値が１であると判定された場合には、今回の基板Ｐは露光器１６に最初に搬入される基板Ｐであると判断して、次のステップ２０４へ進む。次のステップ２０４では、ＨＤＤ１１ｃに記憶されている初期位置（Ｘｓ，θｓ）を読み込んで、初期位置（Ｘｓ，θｓ）を取得する。
【００４３】
次のステップ２０６では、Ｘ方向の位置が上記ステップ２０４で取得したＸｓとなるように基板Ｐを露光ステージ４０上に配置するように、ＡＣハンド３０を制御すると共に、基板Ｐの垂直方向（図中Ｚ方向）を軸とした回転方向の正規方向からの角度がθｓとなるように基板Ｐが配置された露光ステージ４０を回転させるように、回転ステージ機構４１を制御する。これにより、基板Ｐは初期位置（Ｘｓ，θｓ）に配置される。そして、基板配置位置補正処理を終了する。
【００４４】
一方、ステップ２０２で、変数Ｋの値が１でないと判定された場合には、今回の基板Ｐは露光器１６に２回目以降に搬入される基板Ｐであると判断して、次のステップ２０８へ進む。ステップ２０８では、変数Ｋの値が所定値Ｌ、例えば６より大きいか否かを判定する。ここで、所定値Ｌの値は、後に補正量の平均を演算する場合における補正量の最大個数を表しており、以下、所定値Ｌの値が６である場合について説明する。なお、具体的には個数をＬとする移動平均を演算する。
【００４５】
ステップ２０８で、変数Ｋの値が所定値Ｌ、例えば６以下であると判定された場合には、次のステップ２１０へ進む。ステップ２１０では、詳細を以下で説明する搬入前補正量履歴テーブル７０（図１３参照）に登録された全ての搬入前補正量（１枚目の基板Ｐから（Ｋ−１）枚目の基板Ｐまでの搬入前補正量）をＨＤＤ１１ｃから読み込む。なお、この搬入前補正量履歴テーブル７０には、搬入された基板Ｐ毎に、搬入された順番Ｋと、搬入前補正量（ΔＸｋ、ΔＹｋ、Δθｋ）が対応付けられて登録されている。なお、ステップ２１０において読み込んだ時点では、搬入前補正量履歴テーブル７０には、１枚目から（Ｋ−１）枚目までの基板Ｐの各々に対応する搬入前補正量（ΔＸ、ΔＹ、Δθ）が登録されている。
【００４６】
次のステップ２１２では、下記の式（１）、式（２）、及び式（３）に示すように、読み込んだ全ての搬入前補正量（（Ｋ−１）個の搬入前補正量（ΔＸ、ΔＹ、Δθ））の平均値ΔＸｋ、ΔＹｋ及びΔθｋを演算する。
【００４７】
【数１】
2009230008.tif 000003
【００４８】
【数２】
2009230008.tif 000004
【００４９】
【数３】
2009230008.tif 000005
【００５０】
次のステップ２１４では、Ｋ枚目の基板Ｐの露光器１６に搬入する前のＸ方向の配置位置が、初期位置Ｘｓを上記ステップ２１２で演算された平均値ΔＸｋによって補正した位置（Ｘｓ＋ΔＸｋ）となるように、ＩＮコンベア２０Ａから基板Ｐを搬送して基板Ｐを露光ステージ４０上に配置するようにＡＣハンド３０を制御すると共に、Ｋ枚目の基板Ｐの露光器１６に搬入する前の垂直方向（図中Ｚ方向）を軸とした回転方向の正規方向からの角度が、初期位置θｓを上記ステップ２１２で演算されたΔθｋによって補正した角度（θｓ＋Δθｋ）となるように、基板Ｐが配置された露光ステージ４０を回転させるように回転ステージ機構４１を制御する。これにより、基板Ｐは補正後の位置（補正位置）（（Ｘｓ＋ΔＸｋ），（θｓ＋Δθｋ））に配置される。そして、基板配置位置補正処理を終了する。
【００５１】
一方、ステップ２０８で、変数Ｋの値が所定値Ｌ、例えば６より大きいと判定された場合には、次のステップ２１６へ進む。ステップ２１６では、搬入前補正量履歴テーブル７０をＨＤＤ１１ｃから読み込んで、（Ｋ−Ｌ）枚目の基板Ｐの搬入前補正量（ΔＸｋ−Ｌ、ΔＹｋ−Ｌ、Δθｋ−Ｌ）から（Ｋ−１）枚目までの基板Ｐの搬入前補正量（ΔＸｋ−１、ΔＹｋ−１、Δθｋ−１）のＬ個（本実施の形態では例えば６個）の搬入前補正量を取得する。なお、ステップ２１６において読み込んだ時点では、搬入前補正量履歴テーブル７０には、上記と同様に、１枚目から（Ｋ−１）枚目までの基板Ｐの各々に対応する搬入前補正量（ΔＸ、ΔＹ、Δθ）が登録されている。
【００５２】
次のステップ２１８では、下記の式（４）、式（５）、及び式（６）に示すように、読み込んだ６個の搬入前補正量の平均値ΔＸｋ、Δθｋ、及びΔＹｋを演算する。
【００５３】
【数４】
2009230008.tif 000006
【００５４】
【数５】
2009230008.tif 000007
【００５５】
【数６】
2009230008.tif 000008
【００５６】
そして、ステップ２１４へ進む。これにより、基板Ｐは補正後の位置（（Ｘｓ＋ΔＸｋ），（θｓ＋Δθｋ））に配置される。そして、基板配置位置補正処理を終了する。
【００５７】
以上、説明したように、基板配置位置補正処理によって、露光器１６に今回搬入される基板Ｐより前に露光器１６へ搬入された複数の基板Ｐの各々に対して、複数の搬入前補正量のうち、所定個または所定個未満の個数（Ｌ個またはＬ個未満の個数）の搬入前補正量の平均値を用いて、露光器１６に今回搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係を露光器１６へ搬入する前に補正することができる。このように、所定個または所定個未満の個数（Ｌ個またはＬ個未満の個数）の搬入前補正量の平均値を用いて、露光器１６に今回搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係を露光器１６へ搬入する前に補正することは、特に、図１４（Ａ）に示すような、基板Ｐが所定の枚数（図１４（Ａ）の例ではＮ枚）積層された状態でドリル９９で貫通することにより、各基板Ｐの複数の基準位置の各々に所定領域のマーク４２を形成する場合に、ドリル９９の刃先が逃げ（垂直方向から傾き）、複数の基板Ｐの各々の端からのマークの位置が徐々にずれ、アライメント位置が変わってしまうときに有効である。
【００５８】
なお、ステップ２１２及びステップ２１８の少なくとも一方の処理で、下記の式（７）、式（８）、式（９）に示すように、ΔＸｋ、Δθｋ、及びΔＹｋを演算するようにしてもよい。
【００５９】
【数７】
2009230008.tif 000009
【００６０】
【数８】
2009230008.tif 000010
【００６１】
【数９】
2009230008.tif 000011
【００６２】
これにより、露光器１６に今回搬入される基板Ｐより１つ前に露光器１６へ搬入された基板に対して演算された搬入前補正量を用いて、露光器１６に今回搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係を露光器１６へ搬入する前に補正することができる。このように、露光器１６に今回搬入される基板Ｐより１つ前に露光器１６へ搬入された基板に対して演算された搬入前補正量を用いて、露光器１６に今回搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係を露光器１６へ搬入する前に補正することは、特に、図３に示すような、基板Ｐが所定の枚数（図３の例ではＮ枚）積層され、かつ各基板Ｐの両端がそろった状態でドリル９９で面に対して垂直に貫通することにより、各基板Ｐの複数の基準位置の各々に所定領域のマーク４２を形成する場合に有効である。
【００６３】
次のステップ１０８では、露光器１６のカメラ１８ａによってマーク４２ａ、及びカメラ１８ｂによってマーク４２ｂが撮影可能となるように、露光ステージ４０が上流側（露光器１６側）に移動するように、露光ステージ４０の駆動装置を制御する。これにより、露光ステージ４０と共に基板Ｐが、上流側に移動し、露光器１６に基板Ｐが１枚ずつ搬入される。
【００６４】
次のステップ１１０では、図９に示すように、移動されてきた基板Ｐの上面の所定領域Ａ１を撮影するようにカメラ１８ａを制御すると共に、所定領域Ａ２を撮影するようにカメラ１８ｂを制御する。ここで、所定領域Ａ１は、基板Ｐの上面に正確にマーク４２ａが形成された場合において、このマーク４２ａの全体を含むような領域である。また、所定領域Ａ２は、同様に、基板Ｐの上面に正確にマーク４２ｂが形成された場合において、このマーク４２ｂの全体を含むような領域である。これらの所定領域Ａ１及びＡ２は予め求めておくことが可能である。
【００６５】
次のステップ１１２では、露光器１６のカメラ１８ａによってマーク４２ｃ、及びカメラ１８ｂによってマーク４２ｄが撮影可能となるように、露光ステージ４０を更に上流側（露光器１６側）にＬ１分だけ移動するように、露光ステージ４０の駆動装置を制御する。これにより、露光ステージ４０と共に基板Ｐが、更に上流側にＬ１分だけ移動する。
【００６６】
次のステップ１１４では、図９に示すように、移動されてきた基板Ｐの上面の所定領域Ａ３を撮影するようにカメラ１８ａを制御すると共に、所定領域Ａ４を撮影するようにカメラ１８ｂを制御する。ここで、所定領域Ａ３は、基板Ｐの上面に正確にマーク４２ｃが形成された場合において、このマーク４２ｃの全体を含むような領域である。また、所定領域Ａ４は、同様に、基板Ｐの上面に正確にマーク４２ｄが形成された場合において、このマーク４２ｄの全体を含むような領域である。これらの所定領域Ａ３及びＡ４は予め求めておくことが可能である。
【００６７】
次のステップ１１６では、上記ステップ１１０及びステップ１１４において、カメラ１８ａ及び１８ｂで撮影された画像の画像データを取り込む。
【００６８】
次のステップ１１８では、ＨＤＤ１１ｃに記憶されているマーク検出用テンプレート画像５０の画像データをＨＤＤ１１ｃから読み込み、マーク検出用テンプレート画像５０の画像データを用いたテンプレートマッチング法による画像処理を行うことによって、カメラ１８ａ及び１８ｂによって撮影された画像からマーク４２ａ〜ｄの全てのマークを検出する。具体的には、マーク４２ａ〜ｄの各々について、上述したように、この画像処理によって、図６（Ａ）に示されるように、撮影領域５４内における１つのマーク４２の面積の領域が、上記最小面積以上の領域、例えばマーク４２全体の面積の５０％以上の面積の領域が撮影されていればマーク４２を検出したと判定する。一方、図６（Ｂ）に示されるように、撮影領域５４内におけるマーク４２の面積の領域が、上記最小面積以上でない場合（図６（Ｂ）の例では、撮影領域５４内におけるマーク４２の面積の領域が、マーク４２全体の面積の２５％である場合を示している）にはマーク４２を検出していないと判定する。なお、ステップ１１８は、検出手段に対応する。
【００６９】
次のステップ１２０では、上記ステップ１１８でマーク４２ａ〜ｄの全てのマークが検出されたと判定されたか否かを判断することにより、マーク４２ａ〜ｄの全てのマークが検出されたか否かを判断する。
【００７０】
ステップ１２０で、全てのマークが検出されていないと判断された場合には、次のステップ１２２へ進む。ステップ１２２では、上記ステップ１１８で２つ以上のマーク４２が検出されたと判定されたか否かを判定することにより、２つ以上のマーク４２を検出したか否かを判定する。
【００７１】
ステップ１２２で、２つ以上のマーク４２を検出していないと判定された場合には、１つのマーク４２を検出したか、またはマーク４２を１つも検出できなかったと判断して、基板Ｐの位置の補正などを行うことが困難であるため、次のステップ１２４でエラー処理を行う。このエラー処理は、例えば、警報を報知するように警報装置（図示しない）を制御すると共に、基板Ｐを排出するように、露光ステージ４０、ＡＣハンド３０、及び搬出ステージ２０Ｂを制御する。これにより、警報が報知されて、基板Ｐがラインアウトされる。そして、露光処理を終了する。
【００７２】
一方、ステップ１２２で、２つ以上のマークを検出したと判定された場合には、基板Ｐの位置の補正などを行うことが容易であると判断して、次のステップ１２６へ進む。
【００７３】
ステップ１２６では、変数Ｎの値を１インクリメントし、次のステップ１２８では、変数Ｎの値が所定値、例えば１より大きいか否かを判定する。なお、本実施の形態では、下記で詳細を説明するリトライ処理を１つの基板Ｐに対して行うことができる回数の最大値を、この所定値として設定しておく。
【００７４】
ステップ１２８で、所定値、例えば１より大きいと判定された場合には、リトライ処理の回数が、上記の最大値に達していると判断して、次のステップ１３０でエラー処理を行う。このエラー処理は、例えば、警報を報知するように警報装置（図示しない）を制御すると共に、基板Ｐを排出するように、露光ステージ４０、ＡＣハンド３０、及び搬出ステージ２０Ｂを制御する。これにより、警報が報知されて、基板Ｐがラインアウトされる。そして、露光処理を終了する。
【００７５】
一方、ステップ１２８で、所定値、例えば１以下であると判定された場合には、リトライ処理の回数が、上記の最大値に達していないと判断して、次のステップ１３２に進む。
【００７６】
ステップ１３２では、上記ステップ１１８で検出したマーク４２に対応する基準中心点、及び対応する基準線を用いて、正規位置からのＸ方向の基板Ｐのズレ量（搬送システム１２による搬送方向ズレ量）、正規位置からのＹ方向の基板Ｐのズレ量（露光システム１４による露光の際の移動方向ズレ量）、正規角度からの基板Ｐの垂直方向（図中Ｚ方向）を軸とした回転方向の角度のズレ量（Ｚ軸回りの回転のズレ量）を、各々の補正量（Ｘ方向の補正量、Ｙ方向の補正量、Ｚ軸回りの回転方向の角度の補正量）として演算する。
【００７７】
例えば、図１０（Ａ）に示すようにマーク４２ａ及びマーク４２ｃが検出され、マーク４２ｂ及びマーク４２ｄが検出されなかった場合（図１０（Ａ）の例では、黒塗りのマーク４２は検出できたことを示し、白抜きのマーク４２は検出できなかったことを示している）には、対応する基準中心点ａの位置を表すデータ、及び対応する基準線ｆの位置を表すデータをＨＤＤ１１ｃから読み込む。また、上記ステップ１１６で取り込まれた画像データを用いて、検出されたマーク４２ａとマーク４２ｃとの中心の位置を求め、この位置を検出されたマークの中心の点である検出マーク中心点５６とすることにより、検出マーク中心点５６の位置を表すデータを求める。また、上記ステップ１１６で取り込まれた画像データを用いて、マーク４２ａの重心とマーク４２ｃの重心とを結ぶ直線の端点の位置を求め、この直線の端点の位置を、検出されたマークとマークとを結ぶ直線である検出マーク線５８の位置とすることにより、検出マーク線５８の位置を表すデータを求める。そして、読み込んだ基準中心点ａの位置を表すデータ及び基準線ｆの位置を表すデータ、並びに検出マーク中心点５６の位置を表すデータ及び検出マーク線５８の位置を表すデータに基づいて、公知の技術を用いて、Ｘ方向の基板Ｐのズレ量、Ｙ方向の基板Ｐのズレ量、及びＺ方向を軸とした回転方向の角度のズレ量を、各々の補正量（Ｘ方向の補正量、Ｙ方向の補正量、Ｚ軸回りの回転方向の角度の補正量）として演算する。これにより、検出されたマーク４２の位置に基づいて、全てのマーク４２ａ〜ｄの各々について最小面積以上の領域が検出されるように基板Ｐとカメラ１８との位置関係を補正するための補正量が演算される。すなわち、マーク４２の検出結果に基づいて、基板Ｐと露光器１６との位置関係が露光に適していない場合に露光に適した位置関係に補正するための補正量が演算される。
【００７８】
次のステップ１３４では、リトライ処理を実行する。ここで、ステップ１３４のリトライ処理の処理ルーチンの詳細について図１１を用いて説明する。
【００７９】
まず、ステップ３００で、下流側に移動するように、露光ステージ４０の駆動装置を制御する。これにより、露光ステージ４０と共に基板Ｐが、下流側に移動する。
【００８０】
次のステップ３０２では、基板Ｐの位置が正規の位置となるように、上記ステップ１３２で演算されたＸ方向の補正量に応じて、露光ステージ４０上の基板Ｐの位置をＸ方向に移動させるようにＡＣハンド３０を制御すると共に、上記ステップ１３２で演算されたＺ軸回りの回転方向の角度の補正量に応じて、基板ＰをＺ軸回りに回転させるように回転ステージ機構４１を制御する。これにより、補正量に基づいて、基板ＰのＸ方向の位置及びＺ軸回りの回転方向の角度が補正される。すなわち、補正量に基づいて基板Ｐの姿勢を補正することによって、全てのマーク４２ａ〜ｄが検出されるように、基板Ｐとカメラ１８との位置関係が補正される。なお、本実施の形態では、カメラ１８と露光ヘッド１３との位置関係が予め固定されているため、基板Ｐとカメラ１８との位置関係を補正することにより、基板Ｐと露光器１６との位置関係を補正することができる。
【００８１】
次のステップ３０４では、露光器１６のカメラ１８ａによってマーク４２ａ、及びカメラ１８ｂによってマーク４２ｂが撮影可能となるように、露光ステージ４０を上流側に移動するように、露光ステージ４０の駆動装置を制御し、移動されてきた基板Ｐに対して、上記ステップ１３２で演算されたＹ方向の補正量に応じて、カメラ１８によるマーク４２の撮影タイミングを変更（進める／遅らせる）し、マーク４２ａを撮影するようにカメラ１８ａを制御すると共にマーク４２ｂを撮影するようにカメラ１８ｂを制御する。
【００８２】
次のステップ３０６では、露光器１６のカメラ１８ａによってマーク４２ｃ、及びカメラ１８ｂによってマーク４２ｄが撮影可能なように、露光ステージ４０が更に上流側（露光器１６側）にＬ１分だけ移動するように、露光ステージ４０の駆動装置を制御する。これにより、露光ステージ４０と共に基板Ｐが、更に上流側にＬ１移動する。
【００８３】
次のステップ３０８では、移動されてきた基板Ｐに対して、マーク４２ｃを撮影するようにカメラ１８ａを制御し、かつマーク４２ｄを撮影するようにカメラ１８ｂを制御する。
【００８４】
以上のステップ３００〜３０８の処理によって、例えば、図１０（Ｂ）に示すように、マーク４２ａ〜ｄの全てのマークを含む画像を撮影することができる。そして、リトライ処理を終了し、上記ステップ１１６に進む。なお、リトライ処理を実行した後にステップ１１６に進んだ場合には、当該ステップ１１６では、上記リトライ処理でカメラ１８ａ及び１８ｂによって撮影された画像の画像データを取り込む。そして、上記で説明した以降の処理を再び行う。
【００８５】
一方、ステップ１２０で、全てのマークが検出されたと判断された場合には、次のステップ１３６へ進む。ステップ１３６では、搬入前補正量演算登録処理を実行する。ここで、ステップ１３６の搬入前補正量演算登録処理の処理ルーチンの詳細について図１２を用いて説明する。
【００８６】
まず、ステップ４００で、変数Ｋの値が１より大きいか否かを判定する。
【００８７】
ステップ４００で、変数Ｋの値が１である（１より大きくない）と判定された場合には、今回露光器１６へ搬入された基板Ｐは、露光器１６へ最初に搬入された基板Ｐであると判断して、次のステップ４０２へ進む。
【００８８】
ステップ４０２では、今回搬入された基板Ｐ（すなわち１枚目の基板Ｐ）に対して、上記ステップ１２０で全てのマークが検出されていないと判断された場合があるか否かを判定する。
【００８９】
ステップ４０２で、今回搬入された基板Ｐ（すなわち１枚目の基板Ｐ）に対して、上記ステップ１２０で全てのマークが検出されていないと判断された場合があると判定された場合には、次のステップ４０４へ進む。
【００９０】
ステップ４０４では、ＨＤＤ１１ｃに記憶されている図１３に示すような搬入前補正量履歴テーブル７０に、今回演算された各補正量、すなわち、１枚目の基板Ｐに対して上記ステップ１３２で演算された各々の補正量（Ｘ方向の補正量（ｘk（＝１））、Ｙ方向の補正量（ｙk（＝１））、Ｚ軸回りの回転方向の角度の補正量（θk（＝１）））を、露光器１６へ（Ｋ＋１（この場合はＫ＋１＝２））番目に搬入される（Ｋ＋１）枚目の基板Ｐが露光器１６へ搬入される前にその位置を補正するための補正量である搬入前補正量（ΔＸk（＝１）、ΔＹk（＝１）、Δθk（＝１））として演算し、演算した搬入前補正量（ΔＸ１、ΔＹ１、Δθ１）を、変数Ｋの値（この場合は、Ｋ＝１）と対応付けて登録する。
【００９１】
ここで、搬入前補正量履歴テーブル７０について説明する。搬入前補正量履歴テーブル７０は、露光器１６へ搬入された基板Ｐ毎にレコード７０ａが登録される。レコード７０ａは、露光器１６へ搬入された基板Ｐが何枚目（すなわち何番目）の基板Ｐであるかを表す変数Ｋの値が登録されるフィールド７０ｂ、及び搬入前基板補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）が登録されるフィールド７０ｃを備えている。これにより、搬入前補正量履歴テーブル７０にレコード７０ａを１つ追加し、追加されたレコード７０ａのフィールド７０ｂに、変数Ｋの値（この場合は、Ｋ＝１）を登録すると共に、この変数Ｋの値が登録されたフィールド７０ｂに対応するフィールド７０ｃに搬入前補正量（ΔＸk（＝１）、ΔＹk（＝１）、Δθk（＝１））を登録することにより、上述したように、今回演算された搬入前補正量（ΔＸk（＝１）、ΔＹk（＝１）、Δθk（＝１））を、露光器１６へ（Ｋ＋１（この場合はＫ＋１＝２））番目に搬入される（Ｋ＋１）枚目の基板Ｐが露光器１６へ搬入される前にその位置を補正するための補正量である搬入前基板補正量（Ｘk、Ｙk、θk）として、変数Ｋの値（この場合は、Ｋ＝１）と対応付けて登録することができる。そして、搬入前補正量演算登録処理を終了する。
【００９２】
一方、ステップ４０２で、今回搬入された基板Ｐ（すなわち１枚目の基板Ｐ）に対して、上記ステップ１２０で全てのマークが検出されていないと判断された場合がないと判定された場合には、次のステップ４０６へ進む。
【００９３】
ステップ４０６では、ＨＤＤ１１ｃに記憶されている搬入前補正量履歴テーブル７０にレコード７０ａを１つ追加し、追加されたレコード７０ａのフィールド７０ｂに、変数Ｋの値（この場合は、Ｋ＝１）を登録すると共に、（０、０、０）となる値を、露光器１６へ（Ｋ＋１（この場合はＫ＋１＝２））番目に搬入される（Ｋ＋１）枚目の基板Ｐが露光器１６へ搬入される前にその位置を補正するための補正量である搬入前補正量（ΔＸk（＝１）、ΔＹk（＝１）、Δθk（＝１））として演算し、演算した搬入前補正量（ΔＸ１、ΔＹ１、Δθ１）を、変数Ｋの値が登録されたフィールド７０ｂに対応するフィールド７０ｃに登録する。そして、搬入前補正量演算登録処理を終了する。
【００９４】
一方、ステップ４００で、変数Ｋの値が１より大きいと判定された場合には、今回露光器１６へ搬入される基板Ｐは、露光器１６へ２番目以降に搬入された２枚目以降の基板Ｐであると判断して、次のステップ４０８へ進む。
【００９５】
ステップ４０８では、今回搬入された基板Ｐ（すなわちＫ枚目の基板Ｐ）に対して、上記ステップ１２０で全てのマークが検出されていないと判断された場合があるか否かを判定する。
【００９６】
ステップ４０８で、今回搬入された基板Ｐ（すなわちＫ枚目の基板Ｐ）に対して、上記ステップ１２０で全てのマークが検出されていないと判断された場合があると判定された場合には、次のステップ４１０へ進む。
【００９７】
ステップ４１０では、ＨＤＤ１１ｃに記憶されている搬入前補正量履歴テーブル７０を読み込み、今回演算された各補正量、すなわち、Ｋ枚目の基板Ｐに対して上記ステップ１３２で演算された各々の補正量（Ｘ方向の補正量（ｘk）、Ｙ方向の補正量（ｙk）、Ｚ軸回りの回転方向の角度の補正量（θk））と、搬入前補正量（ΔＸk−１、ΔＹk−１、Δθk−１）との和を、露光器１６へ（Ｋ＋１）番目に搬入される（Ｋ＋１）枚目の基板Ｐが露光器１６へ搬入される前にその位置を補正するための補正量である搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）として演算し、演算した搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）を、変数Ｋの値と対応付けて登録する。具体的には、搬入前補正量履歴テーブル７０にレコード７０ａを１つ追加し、追加されたレコード７０ａのフィールド７０ｂに、変数Ｋの値を登録すると共に、この変数Ｋの値が登録されたフィールド７０ｂに対応するフィールド７０ｃに搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）を登録する。そして、搬入前補正量演算登録処理を終了する。
【００９８】
一方、ステップ４０８で、今回搬入された基板Ｐ（すなわちＫ枚目の基板Ｐ）に対して、上記ステップ１２０で全てのマークが検出されていないと判断された場合がないと判定された場合には、次のステップ４１２へ進む。
【００９９】
ステップ４１２では、ＨＤＤ１１ｃに記憶された搬入前補正量履歴テーブル７０に登録された（Ｋ−１）番目の基板Ｐに対応する搬入前補正量（ΔＸk-1、ΔＹk-1、Δθk-1）を読み込み、（Ｋ−１）番目の基板Ｐに対応する搬入前補正量（ΔＸk-1、ΔＹk-1、Δθk-1）を、搬入前補正量（Ｘk、Ｙk、θk）として演算し、演算された搬入前補正量（Ｘk、Ｙk、θk）を変数Ｋの値と対応付けて登録する。具体的には、搬入前補正量履歴テーブル７０にレコード７０ａを１つ追加し、追加されたレコード７０ａのフィールド７０ｂに、変数Ｋの値を登録すると共に、この変数Ｋの値が登録されたフィールド７０ｂに対応するフィールド７０ｃに搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）を登録する。そして、搬入前補正量演算登録処理を終了する。
【０１００】
以上、説明したように、搬入前補正量演算登録処理によれば、露光器１６に搬入された各基板Ｐのうち露光器１６との位置関係が露光に適していない基板Ｐの各々に対してステップ１３２で演算された補正量（Ｘ方向の補正量（ｘk）、Ｙ方向の補正量（ｙk）、Ｚ軸回りの回転方向の角度の補正量（θk））に基づいて、次回以降に露光器１６へ搬入される基板Ｐに対して、露光器１６との位置関係が露光に適した位置関係となるように、露光器１６への搬入前に配置位置を補正するための搬入時補正量を、搬入された各基板Ｐ毎に演算されて、搬入前補正量履歴テーブル７０に登録される。
【０１０１】
ステップ１３８では、上記ステップ２００での処理と同様に、露光ステージ４０が下流側に移動するように、露光ステージ４０の駆動装置を制御する。これにより、露光ステージ４０と共に基板Ｐが、下流側に移動する。
【０１０２】
次のステップ１４０では、露光ステージ４０が上流側に移動するように、露光ステージ４０の駆動装置を制御すると共に、Ｋ枚目の基板Ｐに対して上記ステップ１３２でＹ方向の補正量が演算された場合には、移動されてきた基板Ｐに対してこのＹ方向の補正量に応じて、露光タイミングを変更（進める／遅らせる）して、露光データに基づいた露光を行うように露光ヘッド１３を制御し、Ｋ枚目の基板Ｐに対して上記ステップ１３２でＹ方向の補正量が演算されていない場合には、移動されてきた基板Ｐに対して搬入前補正量履歴テーブル７０に登録されているＹ方向の搬入前補正量ΔＹkに応じて、露光タイミングを変更（進める／遅らせる）して、露光データに基づいた露光を行うように露光ヘッド１３を制御する。すなわち、所定のタイミングで基板Ｐの感光層が露光されるように露光ヘッド１３を制御する。これにより、Ｋ枚目の基板Ｐの感光層が露光される。
【０１０３】
次のステップ１４２では、基板ＰをＯＵＴコンベア２０Ｂ上に配置し、配置された基板Ｐが搬出されるように、ＡＣハンド３０及びＯＵＴコンベア２０Ｂを制御する。これにより、Ｋ枚目の基板Ｐは排出される。そして、露光処理を終了する。
【０１０４】
以上、説明したように、本実施の形態の露光装置１０は、感光層が形成されると共に複数の基準位置の各々に所定領域のマーク４２ａ〜ｄが形成され、かつ一枚ずつ搬入された基板Ｐの感光層を露光する露光手段としての露光器１６と、基板Ｐに形成されたマーク４２ａ〜ｄを検出するように露光器１６に対する位置関係が予め固定されて配置された検出手段としてのカメラ１８ａ、１８ｂとを備え、検出結果に基づいて、搬入された基板Ｐと露光器１６との位置関係が露光に適していない場合に露光に適した位置関係に補正するための補正量を演算し、露光器１６に搬入された各基板Ｐのうち露光器１６との位置関係が露光に適していない基板Ｐの各々に対してステップ１３２で演算された各補正量に基づいて、次回以降に搬入される基板Ｐに対して、露光器１６との位置関係が露光に適した位置関係となるように、露光器１６への搬入前に配置位置を補正するための搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）を、搬入された各基板Ｐ毎に演算し、演算された少なくとも１つの搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）に基づいて、搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）が演算された基板Ｐより後に露光器１６に搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係を露光器１６へ搬入する前に補正する。
【０１０５】
本実施の形態に係る露光装置１０によれば、次回以降に搬入される基板Ｐに対して、露光器１６との位置関係が露光に適した位置関係となるように、露光器１６への搬入前に配置位置を補正するための搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）を、搬入された各基板Ｐ毎に演算し、演算された少なくとも１つの搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）に基づいて、搬入前補正量（ΔＸk、ΔＹk、Δθk）が演算された基板Ｐより後に露光器１６に搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係を露光器１６へ搬入する前に補正する。これにより、次回以降に露光器１６に搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係が、露光器１６へ搬入する前に、露光に適した位置関係となるように補正されるため、ラインアウトが頻繁に発生することを防止することができ、ひいては、基板Ｐの生産ラインの直行率を良好にすることができる。
【０１０６】
なお、ステップ２１２の処理で、下記の式（１０）、式（１１）、式（１２）に示すように、ΔＸｋ、Δθｋ、及びΔＹｋを演算するようにしてもよい。
【０１０７】
【数１０】
2009230008.tif 000012
【０１０８】
【数１１】
2009230008.tif 000013
【０１０９】
【数１２】
2009230008.tif 000014
【０１１０】
また、同様に、ステップ２１８の処理で、下記の式（１３）、式（１４）、式（１５）に示すように、ΔＸｋ、Δθｋ、及びΔＹｋを演算するようにしてもよい。
【０１１１】
【数１３】
2009230008.tif 000015
【０１１２】
【数１４】
2009230008.tif 000016
【０１１３】
【数１５】
2009230008.tif 000017
【０１１４】
これにより、露光器１６に今回搬入される基板Ｐより前に露光器１６へ搬入された複数の基板Ｐの各々に対して、複数の搬入前補正量のうち、所定個または所定個未満の個数（Ｌ個またはＬ個未満の個数）の搬入前補正量の中央値を用いて、露光器１６に今回搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係を露光器１６へ搬入する前に補正することができる。このように、所定個または所定個未満の個数（Ｌ個またはＬ個未満の個数）の搬入前補正量の中央値を用いて、露光器１６に今回搬入される基板Ｐと露光器１６との位置関係を露光器１６へ搬入する前に補正することは、特に、図１４（Ｂ）に示すような、基板Ｐが所定の枚数（図１４（Ｂ）の例ではＮ枚）積層された状態で、かつ全ての基板Ｐの両端がそろっていない状態でドリル９９で基板Ｐの上面を垂直に貫通することにより、各基板Ｐの複数の基準位置の各々に所定領域のマーク４２を形成した場合に、例えば、左端基準としてはマークはそろっているが、右端基準としてはマークがそろっていないときに、右端基準で各基板Ｐをセットした際に有効である。
【０１１５】
また、本実施の形態ではマーク４２の形状が円形である例について説明したが、基板Ｐに形成されるマークの形状はどのようなものであってもよい。例えば、マークの形状は、そのマーク１つだけで、正規位置からのＸ方向の基板Ｐのズレ量、正規位置からのＹ方向の基板Ｐのズレ量、正規方向からの基板Ｐの垂直方向を軸とした回転方向の角度のズレ量を、各々の補正量（Ｘ方向の補正量、Ｙ方向の補正量、Ｚ軸回りの回転方向の角度の補正量）として演算することが可能であるようなマークの形状であってもよい。この場合には、上記の露光処理において、例えば、ステップ１２８及びステップ１３０の処理を省略することができる。
【０１１６】
また、本実施の形態において、Ｙ方向の補正量に応じて、カメラ１８によるマーク４２の撮影タイミングを変更することによりＹ方向の補正を行う例、及び露光ヘッド１３の露光タイミングを変更することによりＹ方向の補正を行う例について説明したが、基板ＰがＹ方向に移動可能な露光ステージを用いて、Ｘ方向の補正と同様に、Ｙ方向の補正量に応じて、露光ステージ４０上の基板Ｐの位置をＹ方向に移動させるようにＡＣハンド３０を制御することにより、Ｙ方向の補正を行うようにしてもよい。このように、基板Ｐの姿勢を補正することによって、基板Ｐとカメラ１８ａ、１８ｂとの位置関係等を補正することで、撮影タイミングや露光タイミングを補正量に応じて変更するような複雑な制御を行わずに、効率良く基板Ｐとカメラ１８ａ、１８ｂとの位置関係、または基板Ｐと露光ヘッド１３との位置関係を補正することができる。
【０１１７】
また、本実施の形態では、ステップ１３４で、所定値として１を用いた例について説明したが、所定値は１に限られず、２以上の整数であってもよい。
【０１１８】
また、本実施の形態では、基板Ｐが搭載された露光ステージ４０を移動可能に配置すると共に、露光器１６を固定配置して、露光ステージ４０を移動させて基板Ｐの姿勢を補正する例について説明したが、露光器１６の姿勢を変更可能に構成し、露光器１６の姿勢を制御するか、または、露光ステージ４０及び露光器１６の両方の姿勢を制御して補正を行うようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１９】
【図１】本実施の形態に係る露光装置を示す概略図である。
【図２】本実施の形態に係る露光装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本実施の形態に係る基板のマーク形成工程を説明するための図である。
【図４】本実施の形態に係るマーク検出用テンプレート画像を示す図である。
【図５】本実施の形態に係る基準中心点及び基準線を示す図である。
【図６】本実施形態に係る露光器のカメラの視野（撮影領域）に対する検出可能なマークの位置、及び検出できないマークの位置について説明するための図である。
【図７】本実施の形態に係る露光装置が実行する露光処理の処理ルーチンのフローチャートを示す図である。
【図８】本実施の形態に係る露光装置が実行する基板配置位置補正処理の処理ルーチンのフローチャートを示す図である。
【図９】本実施の形態に係る所定領域Ａ１〜Ａ４を説明するための図である。
【図１０】本実施の形態に係る露光処理及びリトライ処理を説明するための図である。
【図１１】本実施の形態に係る露光装置が実行するリトライ処理の処理ルーチンのフローチャートを示す図である。
【図１２】本実施の形態に係る露光装置が実行する搬入前補正量演算登録処理の処理ルーチンのフローチャートを示す図である。
【図１３】本実施の形態に係る搬入前補正量履歴テーブルの概略図である。
【図１４】本実施の形態に係る露光装置の効果の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１２０】
１０      露光装置
１１      コントローラ
１１ｃ    ＨＤＤ
１１ｄ    ＣＰＵ
１２      搬送システム
１３      露光ヘッド
１４      露光システム
１５      レール
１６      露光器
１８      カメラ
１９      検出センサ
２０Ａ    ＩＮコンベア
２０Ｂ    ＯＵＴコンベア
３０      ＡＣハンド
４０      露光ステージ
４１      回転ステージ機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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