(57)【要約】【課題】可撓性感圧体の分極を確実し、生産性や信頼性を向上することを目的とする。【解決手段】芯電極１に周設された可撓性感圧体２と、前記可撓性感圧体２の全周に接触するように配置され、かつ導電材料からなる複数の玉鎖により構成された分極電極３と、前記芯電極１と分極電極３に接続された直流電圧発生手段７と、前記可撓性感圧体２を通路で移動させる移動手段５と、前記分極電極３を加熱する加熱手段４と、前記可撓性感圧体２に帯電した電荷を除去する帯電除去手段１３と、前記可撓性感圧体２に物理的応力を印加する応力印加手段８と、前記応力印加手段８の動作時に可撓性感圧体２から発生する出力を検出する出力検出手段９とからなる。これによって、可撓性感圧体２に均一に玉鎖を接触させることができるので全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
芯電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の全周に接触するように配置され、かつ導電材料からなる複数の玉鎖により構成された分極電極と、前記芯電極と分極電極に接続された直流電圧発生手段と、前記可撓性感圧体を通路で移動させる移動手段と、前記分極電極を加熱する加熱手段と、前記可撓性感圧体に帯電した電荷を除去する帯電除去手段と、前記可撓性感圧体に物理的応力を印加する応力印加手段と、前記応力印加手段の動作時に可撓性感圧体から発生する出力を検出する出力検出手段とからなるケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項２】
帯電除去手段は可撓性感圧体の表面全周に接するように設けた導電体をアース電位に接続する構成とした請求項１記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項３】
導電体を導電性繊維で構成した請求項２記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項４】
導電体を導電材料からなる複数の玉鎖で構成した請求項２記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項５】
応力印加手段は可撓性感圧体を直接叩いて応力を印加する構成とした請求項１記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項６】
応力印加手段は所定の空気圧を可撓性感圧体に印加する構成とした請求項１記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項７】
応力印加手段は所定の高さから物体を落下させて可撓性感圧体に印加する構成とした請求項１記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項８】
出力検出手段は可撓性感圧体に接する金属材料と芯電極とで構成し、金属材料と芯電極間の出力を検出する構成とした請求項１記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項９】
出力検出手段の出力が規定範囲から外れていた場合には異常と判断して警報を発する警報発生手段を設けた請求項１記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はケーブル状圧力センサの分極装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のケ−ブル状圧力センサは図６に示すように、芯電極１０１の周囲に可撓性感圧体１０２を配置し、その周囲に外側電極１０３と外皮１０４を順次被覆して構成されている。
【０００３】
可撓性感圧体１０２としては合成ゴムや合成樹脂の中にチタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛のセラミック圧電体粉末を添加した複合体が用いられ、一方、外側電極１０３は可撓性感圧体１０２の表面に銀系ゴム塗料などの導電塗料を塗着したものが用いられている。
【０００４】
上記ケ−ブル状圧力センサの一部、あるいは全面に圧力が印加されたとき、その部分の圧力センサが歪む結果、芯電極１０１と外側電極１０３の間に電圧が誘起され、この誘起電圧を利用して圧力を検出している（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、分極方法としては、芯電極１０１と外側電極１０３の間に高電圧を印加して、可撓性感圧体１０２を分極している（例えば、非特許文献1参照）。
【０００６】
この分極により、セラミック粒子の自発分極の方向が電界方向に揃うので、可撓性感圧体１０２に圧電性が付与される。
【０００７】
また別の方法として、図７に示すように、可撓性感圧体１０２をブロック状導電体１０５の通路に配設し、このブロック状導電体１０５と芯電極１０１間に電圧を印加させることにより、前記ブロック状導電体１０５に配設された部分の可撓性感圧体１０２を分極している（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
この分極により、セラミック粒子の自発分極の方向が電界方向に揃うので、可撓性感圧体１０２に圧電性が付与されるものである。
【特許文献１】特開昭６２−２３００７１号公報
【特許文献２】特開２００２−２８０６３３号公報
【非特許文献１】「圧電セラミック粉末と合成ゴムとから成る圧電複合材料」紛体と工業、２２巻、１号、１９９０年ｐ５０・５６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来のケ−ブル状圧力センサの分極方法では、芯電極１０１と外側電極１０３の間に高電圧を印加したときに、可撓性感圧体１０２中に微小なクラックや空孔などの欠陥が存在する場合、その欠陥部で微小放電が生じる。
【００１０】
この微小放電により、可撓性感圧体１０２の構成材料が熱的に蒸発、飛散して芯電極１０１と外側電極１０３間が短絡し、これら芯電極１０１と外側電極１０３間に高電圧を印加できなくなるので、可撓性感圧体１０２を分極できないという課題を有していた。
【００１１】
また、ブロック状導電体５に可撓性感圧体２を配設し、可撓性感圧体２を移動手段７によって移動させながら分極する場合において、ブロック状導電体５と可撓性感圧体２との接触抵抗が大きく、移動スピードを上げることができないために生産効率が下がるという
課題があった。
【００１２】
本発明はこのような従来の課題を解決したもので、可撓性感圧体の分極を確実し、生産性や信頼性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記従来の課題を解決するために、芯電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の全周に接触するように配置され、かつ導電材料からなる複数の玉鎖により構成された分極電極と、前記芯電極と分極電極に接続された直流電圧発生手段と、前記可撓性感圧体を通路で移動させる移動手段と、前記分極電極を加熱する加熱手段と、前記可撓性感圧体に帯電した電荷を除去する帯電除去手段と、前記可撓性感圧体に物理的応力を印加する応力印加手段と、前記応力印加手段の動作時に可撓性感圧体から発生する出力を検出する出力検出手段とから構成したものである。
【００１４】
これによって、可撓性感圧体に均一に玉鎖を接触させることができるので全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。このため、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のケーブル状圧力センサは、欠陥部が存在しても全体の可撓性感圧体が分極できなくなることを防ぐとともに、可撓性感圧体が正常に分極できているか否かを検知することができるので、分極装置の異常や可撓性感圧体の異常を即座に検知でき、生産性や信頼性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
第１の発明は、芯電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の全周に接触するように配置され、かつ導電材料からなる複数の玉鎖により構成された分極電極と、前記芯電極と分極電極に接続された直流電圧発生手段と、前記可撓性感圧体を通路で移動させる移動手段と、前記分極電極を加熱する加熱手段と、前記可撓性感圧体に帯電した電荷を除去する帯電除去手段と、前記可撓性感圧体に物理的応力を印加する応力印加手段と、前記応力印加手段の動作時に可撓性感圧体から発生する出力を検出する出力検出手段とから構成したものである。
【００１７】
これによって、可撓性感圧体を均一に分極することができるとともに、正常に分極できているか否かを分極中に検知することができ、分極装置の異常や可撓性感圧体の異常を即座に検知でき、生産性や信頼性を向上することができる。
【００１８】
第２の発明は、特に、第１の発明において、帯電除去手段は可撓性感圧体の表面全周に接するように設けた導電体をアース電位に接続する構成にすることによって、簡単な構成で可撓性感圧体に帯電した電荷を除去することができる。
【００１９】
第３の発明は、特に、第２の発明において、導電体を導電性繊維で構成することによって、導電体と可撓性感圧体との接触抵抗を低減することができ、可撓性感圧体への傷などの発生を防ぐことができるので信頼性を向上することができる。
【００２０】
第４の発明は、特に、第２の発明において、導電体を導電材料で構成した複数の玉鎖で構成することによって、導電体と可撓性感圧体との接触抵抗を低減することができ、可撓性感圧体への傷などの発生を防ぐことができるので信頼性を向上することができる。
【００２１】
さらに、導電体が分極電極と同じ形状なので分極電極の一部をアース電位に接続するだ
けでよいため、容易に可撓性感圧体に帯電した電荷を除去することが可能になる。
【００２２】
第５の発明は、特に、第１の発明において、応力印加手段は可撓性感圧体を直接叩く構成にすることによって、簡単な構成で可撓性感圧体に応力を印加することができる。
【００２３】
第６の発明は、特に、第１の発明において、応力印加手段は所定の空気圧を可撓性感圧体に印加する構成にすることによって、簡単な構成で可撓性感圧体に応力を印加することができる。
【００２４】
第７の発明は、特に、第１の発明において、応力印加手段は所定の高さから物体を落下させる構成にすることによって、簡単な構成で可撓性感圧体に応力を印加することができる。
【００２５】
第８の発明は、特に、第１の発明において、出力検出手段を可撓性感圧体に接する金属材料と芯電極とで構成することによって、応力印加手段による応力の印加に伴う可撓性感圧体の出力を容易に検出することができる。
【００２６】
第９の発明は、特に、第１の発明において、出力検出手段の出力が規定範囲から外れていた場合に異常と判断し、警報を発する警報発生手段を設けることにより、異常を早急に検知でき、生産性や信頼性を向上することができる。
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００２８】
（実施の形態１）
図１において、ケーブル状圧力センサは、芯電極１に周設された可撓性感圧体２が形成される。
【００２９】
芯電極１は、コイル状金属線や金属細線を束ねた線などが用いられる。
【００３０】
可撓性感圧体２として、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、クロロプレン樹脂、塩素化ポリエチレン、シリコン樹脂等の高分子母材にチタン酸ジルコン酸鉛などの圧電材料を複合化した高分子材料が用いられる。
【００３１】
この可撓性感圧体２は導電材料で構成した複数の玉鎖で構成された分極電極３に全周で接触するように配設される。
【００３２】
分極電極３としては、鉄、ステンレス、銅、黄銅、アルミニウム等を用いる。
【００３３】
本実施の形態において、分極電極３はφ１．５のアルミニウムの球を縦方向に１０個配設したものを縦に３０個、横に１０個配設して構成とした。
【００３４】
なお、このときの可撓性感圧体２の径は１．６ｍｍであった。さらに、分極電極３を加熱することで可撓性感圧体２を加熱する加熱手段４を分極電極の下部に設けた。
【００３５】
可撓性感圧体２を加熱しながら分極電極３によって分極することで、効率良く分極を行うことができる。
【００３６】
さらに、可撓性感圧体２を移動させる移動手段５として回転ドラムを使用した。この回転ドラムの回転スピードを変化させることによって、可撓性感圧体２が分極電極３内に配
設される時間、言い換えれば分極時間を容易に調整することが可能となる。
【００３７】
また、移動手段５を設けることによって、自動化することができ、歩留まりを向上することができる。
【００３８】
また、分極電極３はリード線６ｂによって電気的に接続される。リード線６ａは電気的に直流電圧発生手段７の正極または負極に接続され、芯電極１はリード線６ａを介して電気的に直流電圧発生手段７の他の極に接続される。
【００３９】
このように接続して、直流電圧発生手段７により、芯電極１と分極電極３間に高電圧が印加されるので、可撓性感圧体２が分極される。
【００４０】
本実施の形態において、印加電圧は７ｋV／ｍｍで分極を行った。
【００４１】
可撓性感圧体２の中に微少な欠陥が含まれ、その部分が分極電極１３に配設されているとき、欠陥部で生じる微少な放電により分極電極１３と芯電極１１間に高電流が流れ、短絡するために分極できなくなるが、欠陥部が分極電極１３から脱離し、分極電極１３に配設されている可撓性感圧体１２中に欠陥がなければ、分極電極１３と芯電極１１間の絶縁性は再び回復するので、分極が可能となる。
【００４２】
このように本実施の形態の分極装置によれば、欠陥を含む部分が分極電極１３に配設されているときのみ、分極はできないがそれ以外の場合は分極可能となる。
【００４３】
従って、欠陥の存在により可撓性感圧体１２が全体にわたって分極できなくなることはない。
【００４４】
さらに、分極電極１３はコイル形状をなしているので、図７に示す従来のブロック状導電体１０５を使用した場合と比較すると可撓性感圧体２との接触面積が少なくなり、接触抵抗を低減できる。
【００４５】
特に、直流電圧発生手段７を作動させると、芯電極１と分極電極３間に高電圧が印加されるため、可撓性感圧体２は分極電極３の方向に引っ張られるため、分極電極３と可撓性感圧体２間の接触抵抗は増大することとなる。
【００４６】
図７に示す従来の分極装置を用いた場合では、ブロック状導電体１０５の全面で可撓性感圧体１０２を分極するので、移動手段１０７を用いて可撓性感圧体１０２を引っ張っても、接触抵抗が大きいので移動しにくく、無理に引っ張ると可撓性感圧体１０２表面に摩擦による傷が生じていた。また、この傷が可撓性感圧体１０２の絶縁低下の要因となり、分極中に傷部分が放電し歩留まりの低下に繋がっていた。
【００４７】
一方、本実施の形態の分極装置においては、分極電極３が玉鎖状をなしているので接触抵抗が低減でき、移動手段５で可撓性感圧体２を引っ張っても、この可撓性感圧体２表面には摩擦による傷は生じていなかった。このため、傷による歩留まり低下を抑制することができる。
【００４８】
さらに、接触抵抗が抑制されるので移動手段５のスピード向上も可能になり生産効率を向上することができる。
【００４９】
また、図７の従来のブロック状導電体１０５は可撓性感圧体１０２を配設しやすくさせるため、溝を切った凹状にしているが、その場合ブロック状導電体１０５と可撓性感圧体
１０２とが対向しない面があり、その部分の可撓性感圧体１０２は分極できないこととなる。
【００５０】
そのため可撓性感圧体１０２に特性ばらつきが生じてしまい、特性や信頼性の低下の要因になる恐れがあった。
【００５１】
しかし、本実施の形態では、分極電極３が玉鎖状をなし、可撓性感圧体２の外周にこの分極電極３が配設しているので、分極できない部分が生じることはない。
【００５２】
図７に示す従来の分極装置で分極した可撓性感圧体１０２に外部電極や外皮を形成し、ケーブル状圧力センサとして完成した後に振動を加えて、その時に発生する出力電圧を測定した結果、ブロック状導電体１０５に面していない部分と面していた部分とでは約１．５倍ほどの出力差が生じていた。
【００５３】
しかし本実施の形態の分極装置を用いた場合では、どの部分から振動を印加しても出力の差は殆ど見られなかった。
【００５４】
また、図７の従来のブロック状導電体１０５に均熱のために蓋を設けた場合や通路を孔にした場合においては、可撓性感圧体１０２を加熱しすぎた場合、可撓性感圧体１０２に含まれる揮発成分がブロック状導電体１０５の通路内に付着し、分極電圧はその付着物を介して可撓性感圧体１０２に印加されるので、分極効率が低下するという課題もあった。
【００５５】
しかし、本実施の形態では、分極電極３が玉鎖状なので揮発成分が外気へ拡散され分極電極３内に付着することを抑制することができ、直流電圧発生手段７の出力が付着物によって阻害されることがなく、効率良い分極が可能となる。
【００５６】
さらに、可撓性感圧体２を分極電極３内に一度配設してしまえば、次のロットを分極する際は芯電極１同士を結ぶだけでよく、改めて分極電極３内に配設する必要がない。
【００５７】
このため簡単に可撓性感圧体２を配設することができる。
【００５８】
また、本実施の形態１において、可撓性感圧体２の芯電極１をアース電位にして、芯電極１と分極電極３の間に直流電圧を印加した。
【００５９】
このように接続することで、人体に危険な直流高電圧部分を分極電極３に限定でき、人体への安全を確保できる。
【００６０】
さらに、可撓性感圧体２が正常に分極されているか否かを判断するため、本実施の形態の分極装置には、可撓性感圧体２に物理的応力を印加する応力印加手段８を設け、この応力印加手段８動作時に可撓性感圧体２から発生する出力を検出する出力検出手段９を設けている。
【００６１】
応力印加手段８はモータ１０を利用してヘッダ１１が可撓性感圧体２を直接接してヘッダ１１が一定ストロークで一定間隔で殴打することにより応力を印加する構成とした。
【００６２】
また、出力検出手段９は、可撓性感圧体２に接する金属材料１２と芯電極１とで構成し、可撓性感圧体２に応力が印加された時に発生する電荷を電圧値として検出している。
【００６３】
本実施の形態においては、電圧値を検出したが、静電容量や電荷量を直接検知してもよい。
【００６４】
なお、この応力印加の構成では移動手段による可撓性感圧体の移動は常時行われているので、応力印加と可撓性感圧体の出力検出のタイミングをあわせて、正常に分極できなかった感圧体の部位を正確に検出することができる。
【００６５】
但し、分極直後の可撓性感圧体２表面には直流電圧発生手段７によって印加された高電圧の影響で電荷が帯電しており、そのまま応力印加手段８によって可撓性感圧体２から発生する出力を検出すると、帯電の影響で出力に誤差が生じてしまう。
【００６６】
そのため、応力印加手段８を動作させる前に可撓性感圧体２に帯電した電荷を除去する必要があり、本実施の形態は帯電除去手段１３を設けて可撓性感圧体２表面の電荷を除去する構成とした。
【００６７】
帯電除去手段１３は可撓性感圧体の表面全周に接するように設けた導電体をアース電位に接続する構成とした。
【００６８】
本実施の形態において、帯電除去手段１３の導電体１４を導電性繊維で構成し、この導電性繊維をアース電位に接続することで帯電した電荷を除去する構成にした。
【００６９】
本構成にすることによって、帯電した電荷の影響を受けることがないので、出力ばらつきを約３３％低減することができた。
【００７０】
さらに導電体１４を導電性繊維で構成することによって、導電体１４と可撓性感圧体２との接触抵抗を低減することができ、可撓性感圧体２への傷などの発生を防ぐことができるので信頼性を向上することができる。
【００７１】
なお本実施例において帯電除去手段１３として導電性繊維を使用したが、可撓性感圧体２に帯電する電荷を除去する構成であればこれに限るものではない。
【００７２】
例えば、図２に示すように、導電体１４として、分極電極３と同様の玉鎖状の電極を設け、この電極をアース電位に接続する構成にしてもよい。
【００７３】
本構成の場合、導電体１４が分極電極３と同じ形状なので、この分極電極３の一部をアース電位に接続するだけでよいため、容易に可撓性感圧体２に帯電した電荷を除去することが可能になる。
【００７４】
さらに、玉鎖状にすることよって、導電体１４と可撓性感圧体２との接触抵抗を低減することができ、可撓性感圧体２への傷などの発生を防ぐことができるので信頼性を向上することができる。
【００７５】
本構成にすることによって、応力印加手段８の印加応力に応じた出力を出力検出手段９によって検出することが可能になり、可撓性感圧体２の性能評価の信頼性を向上することが可能になった。
【００７６】
特に、本実施の形態において、分極電極３は玉鎖状をなしているので、図６に示す従来の分極装置に比べて可撓性感圧体２を均一に分極することができるため、可撓性感圧体２の表面全体に電荷が溜まりやすくなっている。
【００７７】
そのため、帯電除去手段１３によって溜まった電荷を除去する必要がある。
【００７８】
本実施の形態の分極装置において、分極が正常に実施された可撓性感圧体２の出力検出手段９の出力信号は規定値以上で、規定範囲内の信号を得ることができたが、分極していない可撓性感圧体２の場合では出力検出手段９の出力は規定値を得ることはできなかった。
【００７９】
このように本発明の分極装置によれば、可撓性感圧体の分極をした後に、応力印加手段８によって可撓性感圧体２に応力を印加し、その時に発生する信号を検出することによって、可撓性感圧体２が正常に分極できているか否かを検知することができる。
【００８０】
このため、分極装置の異常や可撓性感圧体２の異常を即座に検知でき、生産性や信頼性を向上することができる。
【００８１】
（実施の形態２）
図３は、本発明の実施の形態２を示し、実施の形態１と異なるところは、応力印加手段８を所定の空気圧を可撓性感圧体２に印加することで、この可撓性感圧体２に応力を印加している点である。
【００８２】
なお、図１、２と同様な作用を行うものについては同一の符号を付し、具体的な説明は実施の形態１のものを援用する。
【００８３】
本実施の形態において、応力印加手段８は、圧力を印加するポンプ１５と、このポンプ１５からの空気を可撓性感圧体２に伝達するパイプ１６で構成している。
【００８４】
本構成にすることによって、簡単な構成で可撓性感圧体２に応力を印加することができるので、可撓性感圧体２が正常に分極できているか否かを検知することができる。
【００８５】
このため、分極装置の異常や可撓性感圧体の異常を即座に検知でき、生産性や信頼性を向上することができる。
【００８６】
また、図４に示すように空気圧を印加するだけではなく、パイプ１６内に物体１７としてボールを配設し、所定の高さから落下させることで可撓性感圧体２に応力を印加させ、印加後は落下させたボールをポンプ１５で吸引し、所定の高さまで戻す構成にしている。本構成においても、実施の形態１及び空気圧を印加させた時と同様の効果を得ることができる。
【００８７】
（実施の形態３）
図５は、本発明の実施の形態３を示し、実施の形態１，２と異なるところは、出力検出手段９の出力が規定範囲から外れていた場合には、異常と判断して警報を発する警報発生手段１８を設けている点である。
【００８８】
なお、図１、２と同様な作用を行うものについては同一の符号を付し、具体的な説明は実施の形態１，２のものを援用する。
【００８９】
本構成にすることによって、異常を早急に検知でき、生産性や信頼性を向上することができる。また、本実施の形態では警報発生手段１８によって異常を知らせるが、異常を検知して直流電圧発生手段７を停止させても良い。
【００９０】
そして、異常と判定されるような、出力が規定範囲からはずれた場合には、直流電圧発生手段７の出力が所定値から外れている、あるいは可撓性感圧体２の線径が所定の範囲から外れているというような異常が想定されるので、例えば、直流電圧発生手段７の出力が
所定値から外れているのであれば、所定値に戻す、可撓性感圧体２の線径が所定の範囲から外れているのであれば直流電圧発生手段７の出力を線径に応じて調整するというような対処を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
以上のように、本発明にかかるケ−ブル状圧力センサの分極装置は、欠陥部が存在しても全体の可撓性感圧体が分極できなくなることを防ぐとともに、可撓性感圧体と導電体間の摩擦を低減することができるので、可撓性感圧体の移動スピードを向上し、生産性を向上できるとともに、摩擦による可撓性感圧体のこすれで生じる欠陥を防ぐことができるので、安定して分極することができる。
【００９２】
さらに、可撓性感圧体が正常に分極できているか否かを検知することができるので、分極装置の異常や可撓性感圧体の異常を即座に検知でき、生産性や信頼性を向上できる分極装置である。このため、ケーブル状圧力センサに限らず、分極が必要な圧電体の分極に適用できるものである。このため、ケーブル状圧力センサに限らず、分極が必要な圧電体の分極に適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の実施の形態１における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図２】本発明の実施の形態１における他の分極装置の構成を示す外観斜視図
【図３】本発明の実施の形態２における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図４】本発明の実施の形態２における他の分極装置の構成を示す外観斜視図
【図５】本発明の実施の形態３における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図６】従来の圧電ケーブルセンサの外観図
【図７】従来の分極装置の構成を示す外観見取り図
【符号の説明】
【００９４】
１  芯電極
２  可撓性感圧体    
３  分極電極
４  加熱手段
５  移動手段
７  直流電圧発生手段
８  応力印加手段
９  出力検出手段
１２  金属材料
１３  帯電除去手段
１４  導電体
１８  警報発生手段
【図６】
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【図１】
2009192454.tif 000004
【図２】
2009192454.tif 000005
【図３】
2009192454.tif 000006
【図４】
2009192454.tif 000007
【図５】
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【図７】
2009192454.tif 000009