(57)【要約】【課題】  磁気ディスクのグライドハイトテスト中に発生するグライドヘッドのノイズレベルを上昇させる潤滑剤の突起検出部流出端付着を抑制する。【解決手段】  グライドヘッドスライダーの正の浮上圧力を発生させる浮上レールもしくは突起検出レールの流出端を、浮上レール面に対し８０°以上９０°未満の角度で面取りし、面取り深さを１０μｍ以上とすることにより、潤滑剤の突起検出部流出端付着を抑制し、検査できる磁気ディスク枚数を上げる事ができる。【選択図】      図１
2009157985.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する磁気ディスクに対向するスライダー面に、正の浮上圧力を発生させる浮上レー
ルと負の浮上圧力を発生させる負圧面が形成され、スライダー背面に設けられた荷重点か
ら加えられる、スライダーを磁気ディスクに押付ける荷重と浮上圧力のバランスで、スラ
イダーを磁気ディスクから所定の浮上高さで浮上させ、磁気ディスクとスライダーとの接
触あるいは衝突を、圧電素子もしくはＡＥセンサーにて検出する磁気ディスク用グライド
ヘッドであって、突起検出部となる正の浮上圧力を発生させる浮上レールの流出端は、浮
上レール面に対し８０°以上９０°未満の角度で面取りされており、面取り深さが１０μ
ｍ以上であることを特徴とする磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項２】
回転する磁気ディスクに対向するスライダー面に、正の浮上圧力を発生させる浮上レー
ルと負の浮上圧力を発生させる負圧面が形成され、スライダー背面に設けられた荷重点か
ら加えられる、スライダーを磁気ディスクに押付ける荷重と浮上圧力のバランスで、スラ
イダーを磁気ディスクから所定の浮上高さで浮上させ、磁気ディスクとスライダーとの接
触あるいは衝突を、圧電素子もしくはＡＥセンサーにて検出する磁気ディスク用グライド
ヘッドであって、浮上レールとは別個にスライダーの流出端側に突起検出レールを有し、
該突起検出レールの流出端は浮上レール面に対し８０°以上９０°未満の角度で面取りさ
れており、面取り深さが１０μｍ以上であることを特徴とする磁気ディスク用グライドヘ
ッド。
【請求項３】
面取りされた面が、鏡面の機械加工面であることを特徴とする請求項１もしくは２に記
載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項４】
面取りされた面が、ドライエッチング加工面であることを特徴とする請求項１もしくは
２に記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、磁気ディスクの製造検査等に使用される磁気ディスク用グライドヘッドに
係るものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置に使用される磁気ディスクは、円盤状のガラスあるいはアルミニウ
ム等の非磁性材基板を用いている。非磁性材基板の表面に磁性材料と主に炭素からなる保
護膜を、スパッター等を用いて成膜、さらにフルオロカーボン系の潤滑剤を塗布している
。このように作られた磁気ディスクは磁気ヘッドと組合わせ、情報を記録あるいは再生す
る記録装置として用いられている。磁気ディスク用グライドヘッド（以降、単にグライド
ヘッドと呼称することもある）は、この磁気ディスクの表面に発生した微小な突起あるい
は異物等（以降、突起物と称する）を検出するためのセンサーとして、磁気ディスクの検
査工程で用いられている。特許文献１から３に記載されているように、グライドヘッドは
数種実用化されているが、圧電素子を搭載したものが主流となっている。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１６１６３号
【特許文献２】特開平０７−３２６１４９号
【特許文献３】特開２０００−９７６８２号
【０００４】
図１０に、グライドヘッドの浮上面側からの斜視図を示す。スライダー１は、一対の浮
上レール３を有する。スライダー１の側面に張り出し部４が設けられ、張り出し部４のス
ライダー背面側に圧電素子９を固着している。圧電素子９の出力電圧は圧電素子の両端か
らリード線１０により取り出され、サスペンション２に設けた絶縁性チューブ１１を通じ
て外部に出力される。スライダー１は接着剤でサスペンション２と固着されている。以後
、説明を判り易くするため、同一の部品および部位には同じ符号を用いている。
【０００５】
グライドヘッドの動作原理を、図１１を用いて簡単に説明する。スライダ−１の背面と
サスペンション２に設けられたフレキシャー７が樹脂で接着される。フレキシャー７に形
成されたピボット８の頂点にサスペンション２がスライダー１を磁気ディスク５５に押付
ける力である荷重を与えている。ピボット８を支点としてスライダー１が、僅かであるが
上下左右に動けるようになっている。ピボット８がスライダーに荷重を与える位置が荷重
点となる。図１１では、リード線１０等の図示は省略している。スライダー１は磁気ディ
スク５５の回転に伴う空気流の作用により浮上する。空気流はスライダー１の流入端１５
から流出端１６に向かって流れる。グライドヘッドの浮上量ｈは種々の要素で決まるが、
主に空気流の流速とスライダーのレール幅、荷重によって決まる。レール幅と荷重はグラ
イドヘッドによって決まっているため、磁気ディスク５５の回転数と磁気ディスク上のグ
ライドヘッド位置によって決まる線速度で浮上量が決まる。磁気ディスクの回転数を変え
、線速度を磁気ディスク面内で一定とすることで、磁気ディスク５５上を一定の浮上量ｈ
で浮上させることができる。本願では、サスペンションの一部であるフレキシャー７を含
めてサスペンション２と称している。
【０００６】
一般にグライドヘッドは、磁気ディスク面内を一定の条件、すなわち、突起物５６の高
さｎを検出する浮上量ｈを磁気ディスク面内で一定とし、かつ、突起とグライドヘッドの
衝突時に発生するエネルギーを揃える（突起物とグライドヘッドの相対速度を一定にする
）ために、線速度を磁気ディスク面内で一定としている。また、浮上量や飛行時の姿勢を
磁気ディスク面内で一定とするために、グライドヘッドのスライダーは磁気ディスク上の
いずれの位置においても、スライダーとスライダーが飛行する磁気ディスク上の円周の接
線とのなす角（ＹＡＷ角）は一定であり、グライドハイトテストでは、通常０度で用いら
れる。スライダー１が磁気ディスク上の突起物５６に接触あるいは衝突すると、衝突によ
り発生する振動はスライダー１を伝播して圧電素子９を振動変形させる。圧電素子９の電
極に電荷が誘起されるので、リード線１０から電極間電圧を取り出し測定することにより
突起物の検出ができる。さらに、所定の浮上量ｈを持つスライダー１を磁気ディスクの表
面で移動すると、浮上量ｈより高い突起物にスライダーが接触（衝突）する。このとき発
生する圧電素子の電圧と磁気ディスクの位置を求めれば、磁気ディスク表面にある規格外
の突起物を検知し特定することができる。
【０００７】
磁気ヘッドが磁気ディスク上を浮上し、情報の記録や再生を行う場合、磁気ディスク表
面に磁気ヘッドのスライダーの浮上高さより高い突起物があると、スライダーが磁気ディ
スクと衝突を起こし、正確な情報の記録や再生ができなくなる。また、データの破損や磁
気ディスク装置の故障を引き起こす原因にもなる。そのために、磁気ディスク表面の突起
物５６の高さｎは磁気ヘッドのスライダーの浮上高さより低くする必要がある。スライダ
ーの浮上高さの極小化に伴って、磁気ディスクの突起や異物の許容される高さｎはますま
す低くなる傾向にあり、その高さは７ｎｍ以下が要求される様になってきている。
【０００８】
グライドヘッドの低浮上化が進むに連れ、図１０に示す２本レールの正圧型スライダー
ではレール幅が小さくなる。つまり、突起検出部の幅が狭くなり検査時間の増加が避けら
れなくなってきている。また、レール幅が小さくなるため浮上の安定性確保も難しくなっ
てきた。低浮上量の制御には、スライダー流入端より流入した空気流が、流入に伴う圧縮
状態から負圧面の領域に到達した際に体積膨張することで得られる負の浮上圧力を利用し
た負圧型のスライダーが望ましい。負圧面の領域は浮上レール面より凹ませることが必要
であるので、機械加工のみで実現することは難しいため、フォトリソ技術とドライエッチ
ング技術を導入することが必要である。
【０００９】
図１２を用いて負圧型グライドヘッドについて簡単に説明する。図１２ａ）に示す様に
、スライダー１の磁気ディスク対向面は、浮上レール３０と浮上レール面より深い（低い
）空気導入面３１、空気導入面より深い（低い）負圧面３２を有している。空気導入面３
１から入った空気流は浮上レール３０で正圧を発生させ、負圧面３２で負圧を発生させる
。スライダー面で発生する正圧と負圧、サスペンション２から加えられる荷重がバランス
して、スライダー１は磁気ディスクから所定量浮上する。浮上レール３０の流出側が、突
起検出部となり突起を検出する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
グライドハイトテストは、グライドヘッドの突起検出部が突起物と衝突時した時の衝撃
を電気信号に変換して突起物の高さを測定し、磁気ディスクの良否を判別する検査工程で
ある。グライドハイトテスト中に、磁気ディスク上に塗布されている潤滑剤がグライドヘ
ッドのスライダー面に多量に付着すると、スライダーの浮上量が不安定となりグライドヘ
ッドの電気信号のノイズレベルが上昇し、グライドハイトテストができなくなる。図１２
ｂ）に示す突起検出部の流出端部には特に潤滑剤が付着し易く、付着した潤滑剤により実
質的にレールの長さが長くなり、突起検出部の浮上量が変動する。また、左右のスライダ
ー端に付着した潤滑剤の量と位置のアンバランスにより、スライダーの浮上ロール角が不
安定となりノイズレベルが変動する。潤滑剤の付着量が増えるに従いノイズレベルは徐々
に上昇するが、付着した潤滑剤が取れたり、突起により付着した潤滑剤の面が大きく荒ら
されたときなどは、突発的にノイズレベルが上昇することがある。
【００１１】
磁気ディスク上の微小な突起をより確実に検出するため、突起判別の出力判定スライス
レベルが益々低く設定される様になって来た。突起衝突時の信号出力レベルが出力判定ス
ライスレベル以上の場合は突起と判定、当該磁気ディスクを不良とする。出力判定スライ
スレベルを低く設定するほど、より低い突起の判定が出来ることになる。しかし、突起判
定の出力判定スライスレベルの設定は、徐々に上昇するノイズレベル上昇分を見込んで設
定するため突起判定が緩くなる傾向がある。また、出力判定スライスレベルを低く設定す
ると、グライドヘッドの使用開始から早い時期で出力判定スライスレベルに達するため、
頻繁にヘッドの交換が必要となる。グライドヘッドの交換にはグライドヘッドの費用と交
換作業コストだけでなく、交換中の検査装置の停止による検査数の減が、磁気ディスクの
製造コストを上げることになる。
【００１２】
本願発明の目的は、磁気ディスクのグライドハイトテスト中に発生するグライドヘッド
のノイズレベルを上昇させる潤滑剤の突起検出部流出端付着がし難い負圧型のスライダー
を用いたグライドヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドは、回転する磁気ディスクに対向するスライ
ダー面に、正の浮上圧力を発生させる浮上レールと負の浮上圧力を発生させる負圧面が形
成され、スライダー背面に設けられた荷重点から加えられる、スライダーを磁気ディスク
に押付ける荷重と浮上圧力のバランスで、スライダーを磁気ディスクから所定の浮上高さ
で浮上させ、磁気ディスクとスライダーとの接触あるいは衝突を、圧電素子もしくはＡＥ
センサーにて検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、突起検出部となる正の浮
上圧力を発生させる浮上レールの流出端は、浮上レール面に対し８０°以上９０°未満の
角度で面取りされており、面取り深さが１０μｍ以上であることが望ましい。
【００１４】
負圧型のスライダーの浮上レールの流出端に潤滑剤が付着し易いのは、流出端の流出側
にレール面からなだらかに凹形状となる一段低い段差領域が存在し、浮上レール上からこ
の領域に空気流が流れ込む際に発生する負圧によるものと考えられる。磁気ディスク上の
潤滑剤はこの負圧により吸引されることで付着し易くなると考えられ、付着した潤滑剤と
ディスクの干渉によりノイズレベルが上昇して磁気ディスクの良否判定が出来なくなる。
また、突起衝突時の衝撃力が潤滑剤により吸収や緩和されることで、突起衝突時の信号出
力レベルが低下し磁気ディスクの良否判定が出来なくなる。
【００１５】
従来の負圧型のスライダーの突起検出部である浮上レール部の流出端部は、欠けが無く
直線性を確保するため、突起検出部の端部稜線はスライダー端部からスライダー内側に位
置するように形成していた。これは、突起検出部形状のフォトレジストマスクを作製する
とき、流出端部の形状が小さいばらつきで得られるためである。このため、浮上レール部
の流出端側にはなだらかな凹となる形状の段差が形成されており、このなだらかに凹とな
る段差形状領域で負圧が発生し潤滑剤を吸引して付着し易くしていた。
【００１６】
正の浮上圧力を発生させる浮上レールの流出端を、欠けが無い直線性を確保しながら、
浮上レール面に対し８０°以上９０°未満の角度で面取りを行い、その面取り深さを１０
μｍ以上とする。浮上レール部の流出端側をなだらかな凹形状から略直角で深い面取りと
することで、浮上レール部の流出端での負圧発生を抑え、潤滑剤の付着をし難くすること
ができる。潤滑剤の付着がし難くなることで、ノイズレベルが上昇する速度を遅くする事
ができ、グライドヘッドの交換頻度を下げることができる。また、付着した潤滑剤によっ
て突起衝突時の衝撃が吸収や緩和されることが無くなり、突起衝突時の信号出力レベルの
安定が図れる。
【００１７】
浮上レール部の流出端の面取り角度が大きく、また面取り深さが深くなるに従い、潤滑
剤の付着量は減少する。付着量は浮上面側から見た付着した潤滑剤の面積で表している。
潤滑剤の付着面積は面取り深さ数μｍで比較すると、面取り角度４５°に比べ８０°では
約半分で、９０°では約１／１０と少なくなるが、付着を防ぐことはできていない。面取
り深さ１０μｍで、８０°以上の面取り角度を持つスライダーの突起検出部の流出端に、
潤滑剤の付着は認められなくなる。面取り角度が９０°を超えたオーバーハング状の面取
りとし、面取り深さを浅くすることも考えられるが、加工が難しくなることと端部が鋭角
になり欠けが発生し易くなるため好ましいことではない。このことから、面取り角度は８
０°以上９０°未満で面取り深さを１０μｍ以上とすることが好ましい。面取りの形成方
法により、好ましい角度と深さの組合せを取ることができる。面取り角度を９０°とする
こともできるが、面取り深さの測定ができないため、９０°未満とすることが好ましい。
角度と面取り深さの高精度測定ができる、８９°を上限とすることがより好ましい。
【００１８】
本発明のグライドヘッドは、浮上レールとは別個にスライダーの流出端側に突起検出レ
ールを有し、該突起検出レールの流出端は浮上レール面に対し８０°以上９０°未満の角
度で面取りされ、面取り深さが１０μｍ以上であることが望ましい。
【００１９】
スライダーの浮上量を制御する浮上レールと突起検出を行う突起検出レールを分離する
ことで、浮上の安定性向上と突起検出部の幅を大きくして検査速度を上げることができる
。浮上レールの流出端部は突起検出レールの流出端部より流入側に位置するため磁気ディ
スクからの距離（浮上量）が大きくなるので、例え浮上レールの流出端部で負圧が発生し
ても潤滑剤を吸引して付着させることはない。突起検出レールは浮上に殆んど影響を与え
ない面積なので、浮上特性の変動を最小限にすることができる。浮上レール部の流出端を
突起検出部としないため、突起検出部の幅を広くすることができる。幅を広くすることで
検査する領域が増えるため、磁気ディスク１枚当りの検査時間を短縮できる。もしくは、
検査領域をオーバーラップさせることで、突起検出精度を上げることができる。
【００２０】
本発明のグライドヘッドの、浮上レールもしくは突起検出レールの流出端の面取り加工
は機械加工で行う事が好ましい。機械加工はダイアモンド砥石による研削加工と、ダイア
モンド砥粒による研磨加工を用いることもできるが、面取り角度や面取り深さの制御がし
易い研削加工を採用することが好ましい。研削加工も、ダイアモンド砥石の側面で研削研
磨するサイドカット方式を用いる事で、浮上レール流出端に欠けのない直線的な稜部を有
する、鏡面の機械加工された面取り部を形成することができる。面取り部を鏡面加工する
ことで、潤滑剤がより付着し難くなる。
【００２１】
スライダーの幅方向で複数個が取れる幅でスライダーの長さと厚みに加工され、浮上面
となる面が鏡面研磨加工された短冊状のブロックの浮上面をイオンミリングで加工して、
正圧を発生する浮上レール部や負圧を発生する負圧面を形成する。ブロックの流出端側に
ダイアモンド砥石によるサイドカット加工もしくは研磨加工で、浮上レール面に対し８０
°以上９０°未満の角度で、１０μｍ以上の深さの面取りを行う。面取り加工が終了した
ら、圧電素子を取付ける張り出し部の加工とスライダー幅方向の切断を行い個片化して負
圧型スライダーを得る。個片化されたスライダーにサスペンションや圧電素子等を取付け
て、負圧型のスライダーを用いたグライドヘッドを得る。
【００２２】
機械加工で面取りを行った短冊状のブロックに負圧面のドライエッチング加工を行う方
法も取ることができる。スライダーの面取り部の鏡面で光の反射が起こり、突起検出部の
流出端部分のフォトレジスト露光が難しくなり、フォトレジストの形状が不安定になるこ
とがある。露光条件等の検討で安定に形状が得られれば、先に面取りを行う事もできる。
イオンミリングの様なドライエッチングは、機械加工に比べ加工時間と加工費用が掛かる
方法である。加工時間と加工費用を掛けて浮上面加工が終った短冊状のブロックに、研削
のような機械加工を加えることになる。機械加工を行う度に浮上面に傷を付けて、不良品
とする危険性が高くなる。そのため、出来得る限り浮上面加工の工程を後に持ってくるこ
とが好ましく、これが先に面取り加工を施す方法の利点である。
【００２３】
本発明のグライドヘッドでは、浮上レールの流出端の面取りに機械加工を用いず、フォ
トリソグラフィ技術とイオンミリング等のドライエッチング技術を用いて行う事ができる
。浮上面と同じ加工方法を用いることで、浮上面の加工と連続して浮上レールもしくは突
起検出レールの流出側の面取り加工を行なう事もできる。
【００２４】
加工時間と加工費用の掛かるイオンミリングで面取りを加工するときは、出来得る限り
面取り角度を９０°に近づけて面取り深さを浅くすることが、加工時間と加工費用を抑え
る点で好ましい。そのため、面取り面に直角に近い角度でイオンが当たるように、イオン
発生源に対して短冊状のブロックを傾ける等の工夫をすることが良い。
【発明の効果】
【００２５】
グライドヘッドスライダーの突起検出部の流出側に、浮上レール面に対し８０°以上９
０°未満の角度で深さを１０μｍ以上の面取りですることで、磁気ディスクに塗布されて
いる潤滑剤が突起検出部流出端に付着し難い負圧型のスライダーを実現でき、突起検出精
度が高く安定した磁気ディスク用グライドヘッドを得た。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下本発明を、図面を参照しながら実施例に基づいて詳細に説明する。説明を判り易く
するため、同一の部品、部位には同じ符号を用いている。
【実施例１】
【００２７】
図１は、本願発明の磁気ディスク用グライドヘッド１００の斜視図である。アルミナチ
タンカーバイド材（ＡＴＣ材）で形成したスライダー１は、負圧型浮上面を有するスライ
ダー部と張出し部４で構成している。スライダー１の浮上レール３０を有する浮上面側の
反対面側にサスペンション２をエポキシ系樹脂で固着した。スライダー張出し部４の浮上
面側の反対面側に、電気絶縁材（図示せず）を介して圧電素子９を樹脂で貼り付けている
。圧電素子９に接続されたワイヤー１０は、サスペンション２に設けられたチューブ１１
に挿入して取り回している。
【００２８】
図２を用いて、本実施例のスライダーの寸法等を説明する。図２ａ）にスライダーの浮
上面側の平面図と側面図を示す。スライダーの全長Ｌ１は１．２５ｍｍ、スライダーの幅
Ｌ２は０．９５ｍｍ、張出し部の幅Ｌ３は０．７５ｍｍ、スライダーの全幅Ｌ４は１．７
ｍｍである。浮上レール３０の流出端部が突起検出部１８となる。突起検出部１８は両浮
上レールの流出端部の２ヶ所とし、幅はＬ５で０．２０ｍｍとした。２本の浮上レール３
０の流入端側を繋ぐクロスレール部には、漏斗型をした溝３６を形成した。スライダー厚
みＬ６は、浮上レール面とスライダー背面間の寸法で０．４３ｍｍとした。張出し部９の
厚みＬ７は０．２３ｍｍとした。スライダー浮上面の深さ方向の寸法関係については、図
２ｂ）のｍ−ｍ’断面図で説明する。スライダーの浮上面は、空気導入面３１に対し浮上
レール３０は凸で負圧面３２は凹となっており、凸量Ｌ１０は０．２２μｍ、凹量Ｌ１１
は２．２μｍとした。流出端部の面取り角度Θは８５°、面取り深さｄは０．１５ｍｍで
ある。
【００２９】
スライダー１の加工方法について簡単に説明する。アルミナチタンカーバイト（ＡＴＣ
）材にダイアモンド砥石とダイアモンド砥粒を用い切断と研削、研磨加工を行い、Ｌ４の
約２０倍の長さでＬ１幅でＬ６厚みの短冊状の板を得た。短冊の１面は研磨加工を行い、
表面粗さＲａで２ｎｍの鏡面としている。この鏡面が浮上レール３０の面となる。短冊の
鏡面に１０μｍ厚のフォトレジトを塗布し、浮上レール３０の形状にパターニングを行っ
た。Ａｒ雰囲気で圧力４×１０−１Ｐａ、加速電圧１２０Ｖ、Ａｒイオンの加速方向と被
ミリング物のＡＴＣ材の相対角度を６０度として、空気導入面３１と負圧面３２を、Ｌ１
０の深さまでイオンミリングによるドライエッチングを行った。再度、フォトレジストを
塗布し、浮上レール３０と空気導入面３１が残るようにパターニングを行い、負圧面３２
をＬ１１の量になるまでイオンミリング加工した。２回のイオンミリングで、空気導入面
３１に対し浮上レール３０は凸量Ｌ１０、負圧面３２は凹量Ｌ１１を持つ負圧型スライダ
ー面を得た。スライダーの流出端１６側に面取り角度θ＝８５°面取り深さｄ＝０．１５
ｍｍの面取り面を、ダイアモンド砥石の側面を用いてサイドカット加工を行い、鏡面の面
取り面を得た。その後、ダイアモンド砥石を用いて張出し部４の形成と個片化を行いスラ
イダー１を得た。
【００３０】
スライダー１に圧電素子９、サスペンション２をエポキシ樹脂で固着し、圧電素子に接
続されたワイヤー１０をチューブ１１へ取り回し、磁気ディスク用グライドヘッド１００
を得た。
【実施例２】
【００３１】
図３は、本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドの他の実施例の斜視図である。本実
施例のグライドヘッド１０１は、スライダー１の浮上面側の形状以外は実施例１と同じと
した。負圧型浮上面であるが、浮上レール３０の流出端はスライダーの流出端部まで延び
ておらず、スライダーの途中で終っている。スライダーの流出端には突起検出レール１９
を有し、突起検出レール１９の流出端部が突起検出部１８となっている。
【００３２】
図４を用いて、本実施例のスライダーの寸法等を説明する。図４ａ）にスライダーの浮
上面側の平面図と側面図を示す。図４の寸法関係で実施例１と異なるのは、突起検出レー
ル１９の幅Ｌ２１と長さＬ２２、浮上レール３０の流出端部と突起検出レール１９の流出
端部間の寸法Ｌ２３である。突起検出レール１９は、略２等辺三角形で頂点が流入側、底
辺が流出側となる形状で、頂点をスライダーの中心線上に配置している。略２等辺三角形
の各角部はＲ付けを行っている。Ｌ２１は０．６ｍｍ、Ｌ２２は０．０７ｍｍ、Ｌ２３は
０．２１ｍｍとした。実施例１のスライダーの突起検出部は２ヶ所のＬ５で総長０．４ｍ
ｍであったが、本実施例の突起検出部の長さはＬ２１で０．６ｍｍと、実施例１に比べ１
．５倍となっている。
【実施例３】
【００３３】
図５は、本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドの他の実施例の斜視図である。本実
施例のグライドヘッド１０２は、スライダー１の流出端の面取りをドライエッチングで行
った以外は実施例１と同じとした。
【００３４】
図６と図７を用いて、本実施例のスライダー１の流出端の面取り部の寸法を説明する。
実施例１，２とは異なり面取りをドライエッチングで行っているため、面取り部の断面形
状が略直線的な壁斜面部１７と緩やかな曲線形状の裾部２０からなる。面取り深さｄは図
７に示すように、突起検出部１８を通る壁斜面部１７の仮想直線と裾部２０の仮想曲線の
交点Ｑと突起検出部１８間の距離から求めている。面取り角度Θは、突起検出部１８を通
る壁斜面部１７の仮想直線と浮上レール３０が為す角度である。裾部２０の断面形状は特
に規定せず、ドライエッチングでの出来合としている。スライダーの流出端１６と突起検
出部１８間の距離が面取り幅Ｌ２４である。図６ｂ）の空気導入面３１と負圧面３２のド
ライエッチング加工が終了後、流出端側に面取り幅Ｌ２４に相当する開口部を持つフォト
レジストパターンを形成し、Ａｒ雰囲気中でイオンミリングを行った。Ｌ２４は０．０５
５ｍｍ、面取り角度Θは８５°、面取り深さｄは５０μｍである。本実施例の突起検出部
は２ヶ所のＬ５で総長０．４ｍｍである。
【実施例４】
【００３５】
図８に、潤滑剤付着面積と面取り角度Θ、面取り深さｄの関係を示す。実施例１のスラ
イダーを用い、面取り角度θを４５°，６０°，７５°，８０°，８５°，８９°と変え
、また各角度に対して面取り深さｄを１，２，３，５，７，１０，１５，２０，３０，２
００μｍと変えたものを製作した。面取り角度Θは、測定誤差も含め±１°に入っている
。グライドヘッドの浮上量ｈを５ｎｍとして、半径６５ｍｍの磁気ディスクの半径１８ｍ
ｍ〜３０ｍｍ間を、２０μｍ／秒ステップの速度で半径方向に掃引した。１０分間継続掃
引したグライドヘッドを、磁気ディスクから取り外して、突起検出部１８に付着した潤滑
剤の写真撮影を行った。写真から浮上レール側から見た潤滑剤の面積を、ディジタル式面
積計（プラニメーター）を用いて測定した。突起検出部に分かれて付着している潤滑剤は
、その総計面積を付着面積としている。浮上レール側から見た潤滑剤の面積は、図８に添
付している付着潤滑剤の斜線部で示した領域の面積である。面取り角度と面取り深さを組
合わせたグライドヘッドを各５本供試した。潤滑剤付着面積は供試した５本のグライドヘ
ッドの平均値である。
【００３６】
面取り角度Θが４５°から８９°のグライドヘッドで、面取り深さｄが増えるに従い潤
滑剤付着面積は減少して行く。Θ＝４５°のグライドヘッドは、面取り深さｄ＝１μｍで
は付着面積は約５０００（μｍ２）であるが、ｄ＝１０μｍでは約１／１０の付着面積の
約５００（μｍ２）と激減している。更にｄが増えるに従い付着面積は漸減して行くが、
付着面積がゼロにはならない。この結果から、Θ＝４５°では流出端部での負圧の発生を
完全に無くすことが難しいと考えられる。Θ＝６０°以上のグライドヘッドは、面取り深
さｄが７μｍから２０μｍで付着面積がゼロとなり、Θ＝８０°以上のグライドヘッドは
面取り深さｄが１０μｍ以上で付着面積がゼロとなる。この結果から、面取り深さを１０
μｍ以上とすることで流出端部での負圧発生は防ぐことができ、負圧発生により起こると
考えられる潤滑剤の付着を防ぐことができる。実施例２と実施例３のスライダーでも同様
の結果が得られている。実施例３のドライエッチングで面取りを行う場合、ドライエッチ
ング加工時間を短縮することは製造コスト的に重要である。このことから、面取り深さは
出来得る限り浅くすることが好ましく、面取り角度Θが８０°以上で面取り深さｄが１０
μｍ以上が良いことが確認できた。Θの上限は、面取り深さｄが測定できる９０°未満と
することができるが、本実施例の結果からと角度と面取り深さの高精度測定ができる８９
°がより好ましいと言える。
【実施例５】
【００３７】
図９に、ディスク検査枚数と面取り角度Θ、面取り深さｄの関係を示す。実施例４の面
取り角度Θ＝４５°，７５°，８９°で面取り深さｄ＝１，５，１０，２０，３０μｍの
グライドヘッドを用いた。グライドハイト検査を行い、ノイズレベルが初期の３倍になる
までに検査した磁気ディス枚数を求めた。ノイズレベルが３倍になる検査枚数であり、グ
ライドヘッドそのものの寿命を表すものではない。直径６５ｍｍの磁気ディスクの半径１
６ｍｍから３２ｍｍ間を、１００μｍステップ／秒で半径方向に掃引して測定した。グラ
イドヘッドと磁気ディスクの相対速度は約１０（ｍ／ｓ）で、浮上量ｈは６ｎｍである。
面取り角度と面取り深さを組合わせたグライドヘッドを各５本供試した。ディスク検査枚
数は供試した５本のグライドヘッドの平均値である。
【００３８】
面取り角度Θが４５°から８９°のグライドヘッドで、面取り深さｄが増えるに従い、
磁気ディスク枚数は増えて行く。面取り深さ１μｍでは、Θ＝８９°のグライドヘッドは
約１５００枚、Θ＝４５°では約２５０枚と約６倍の差がある。Θ＝４５°のグライドヘ
ッドで約１５００枚検査できるのは、面取り深さ１０μｍ以上である。実施例４の潤滑剤
付着面積の結果と合わせると、１５００枚時の潤滑剤付着面積はΘ＝８９°では約６００
（μｍ２）、Θ＝４５°では約５００（μｍ２）と同じ様な値となっている。このことか
らも、潤滑剤付着を防ぐ事が磁気ディスクの検査枚数を上げる事に繋がると言える。同様
に、Θ＝４５°では面取り深さを２０μｍ以上大きくしても検査枚数は約１６００枚であ
り、この時の潤滑剤付着面積は約２５０（μｍ２）である。Θ＝８９°の検査枚数約１６
００枚は面取り深さで約３μｍに相当し、その時の潤滑剤付着面積は約２５０（μｍ２）
であり、潤滑剤の付着量と検査枚数の間に相関が有ることが判る。Θ＝４５°のグライド
ヘッドはΘ＝８９°のグライドヘッドに比べ検査枚数が約２０％以上低下している。これ
は、Θ＝４５°のグライドヘッドは面取り深さを大きくしても潤滑剤の付着を防ぐことが
できないためと考えられる。面取り角度θを８０°以上とし、面取り深さｄを１０μｍ以
上とすることで、ノイズの増加を抑えて２０００枚前後の枚数の磁気ディスクを検査でき
ることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明実施例１のグライドヘッドの浮上面側からの斜視図である。
【図２】本発明実施例１のグライドヘッドのスライダー寸法図である。
【図３】本発明実施例２のグライドヘッドの浮上面側からの斜視図である。
【図４】本発明実施例２のグライドヘッドのスライダー寸法図である。
【図５】本発明実施例３のグライドヘッドの浮上面側からの斜視図である。
【図６】本発明実施例３のグライドヘッドのスライダー寸法図である。
【図７】本発明実施例３のグライドヘッドの流出端部断面形状図である。
【図８】本発明実施例４の面取り角度と深さと潤滑剤付着量の関係を示す図である。
【図９】本発明実施例５の面取り角度と深さとディスク検査枚数の関係を示す図である。
【図１０】従来のグライドヘッドの浮上面側からの斜視図である。
【図１１】従来のグライドヘッドのグライドヘッドの流出端部断面形状図である。
【図１２】グライドヘッドの動作原理を説明する図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  スライダー、
２  サスペンション、
３  浮上レール、
４  張出し部、
７  フレキシャー、
８  ピボット、
９  圧電素子、
１０  リード線、
１１  チューブ、
１５  流入端、
１６  流出端、
１７  壁斜面部、
１８  突起検出部、
１９  突起検出レール、
２０  裾部、
３０  浮上レール、
３１  空気導入面、
３２  負圧面、
５５  磁気ディスク、
５６  突起物、
１００，１０１，１０２  グライドヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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