(57)【要約】【課題】磁気記録スレーブ媒体と磁気記録マスター担体との間の密着性を向上させた磁気転写方法の提供。【解決手段】本発明の磁気転写方法は、円盤状であり、外周端面の側縁にチャンファー面を有する磁気記録スレーブ媒体に、直流磁界を印加して、該磁気記録スレーブ媒体を初期磁化する初期磁化工程と、該磁気記録スレーブ媒体の外周端面、及びチャンファー面に存在する微小粉末を除去し、かつ、該磁気記録スレーブ媒体の円形状の表面に存在する微小粉末を除去するクリーニング工程と、該磁気記録スレーブ媒体に、磁気転写用マスター担体を密着させて、記録用磁界を印加し、情報を磁気転写する磁気転写工程と、を有することを特徴とする。【選択図】図１
2009245543.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状であり、外周端面の側縁にチャンファー面を有する磁気記録スレーブ媒体に、直流磁界を印加して、該磁気記録スレーブ媒体を初期磁化する初期磁化工程と、
該磁気記録スレーブ媒体の外周端面、及びチャンファー面に存在する微小粉末を除去し、かつ、該磁気記録スレーブ媒体の円形状の表面に存在する微小粉末を除去するクリーニング工程と、
該磁気記録スレーブ媒体に、磁気転写用マスター担体を密着させて、記録用磁界を印加し、情報を磁気転写する磁気転写工程と、を有することを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
クリーニング工程において、磁気記録スレーブ媒体の外周端面、及びチャンファー面に存在する微小粉末を除去した後、磁気記録スレーブ媒体の円形状の表面に存在する微小粉末を除去する請求項１に記載の磁気転写方法。
【請求項３】
磁気転写工程において、クリーニング工程後の磁気記録スレーブ媒体の外周端面、チャンファー面、及び円形状の表面における微小粉末の残存数を確認し、該残存数が許容値以下の場合、該磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写し、該残存数が許容値を超える場合、該磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写しない、請求項１又は２に記載の磁気転写方法。
【請求項４】
磁気転写工程において、クリーニング工程後の磁気記録スレーブ媒体の外周端面、チャンファー面、及び円形状の表面における微小粉末の大きさを確認し、該大きさが許容値以下の場合、該磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写し、該大きさが許容値を超える場合、該磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写しない、請求項１から３のいずれかに記載の磁気転写方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の磁気転写方法を用いて作製された磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録スレーブ媒体に、磁気転写用マスター担体を用いて、情報を磁気転写する磁気転写方法、及び磁気記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録スレーブ媒体にサーボ信号等の情報を一括して記録する方法として、磁気転写用マスター担体を用いる方法（いわゆる、磁気転写方法）が知られている。
この磁気転写方法で用いられる磁気転写用マスター担体の表面には、磁気記録スレーブ媒体に記録すべき情報に対応させて配設された磁性部が備えられている。該磁気転写用マスター担体は、磁気記録スレーブ媒体に情報を記録する際、この磁性部が密着するように、磁気記録スレーブ媒体上に重ねられる。
磁気転写用マスター担体を、磁気記録スレーブ媒体に密着させた状態で、外部より記録用磁界が印加されると、該磁性部に対応して記録用磁界が変化し、その変化した記録用磁界に基づいて、該磁気記録スレーブ媒体に情報が記録（磁気転写）される。
【０００３】
この磁気転写方法において、磁気転写用マスター担体と密着される円形状の磁気記録スレーブ媒体の表面に、製造過程等で生じた微小突起、又は微小粉末等の付着物が存在していると、磁気転写用マスター担体を磁気記録スレーブ媒体に密着させる際、該磁気記録スレーブ媒体と、磁気転写用マスター担体との間に微小粉末が挟まり、隙間が生じることがある。隙間が生じると、その箇所では、磁気転写が起こらず、磁気記録スレーブ媒体に情報が記録されない「信号抜け」が発生し、問題となる。また、該微小粉末により、磁気転写用マスター担体の表面が破損することがあり、問題となる。
【０００４】
特許文献１には、磁気転写する前に、磁気記録スレーブ媒体の表面を研磨し、微小突起、付着物を、除去することが開示されている。このように、磁気転写する前に、予め磁気記録スレーブ媒体の表面から、付着物等を除去しておけば、該付着物等に由来する「信号抜け」の発生を、ある程度、抑制できる。
【０００５】
しかしながら、磁気記録スレーブ媒体の表面の付着物等を除去しても、外周端部に存在する微小粉末が表面に移動し、「信号抜け」が発生することがあり、問題となる。
この問題は、主として、表面の付着物等を除去した後の磁気記録スレーブ媒体を、磁気転写等を行なうために搬送等させた際に、該磁気記録スレーブ媒体が受ける振動、及び磁気転写用マスター担体と密着・剥離させた際に生じる気流により、磁気記録スレーブ媒体の外周端部に存在している微小粉体が、表面まで回り込むために生じる。
【０００６】
特許文献２には、磁気転写用マスター担体と、磁気記録スレーブ媒体との密着性を向上させるために、磁気記録スレーブ媒体の表面（磁気転写面）の微小粉末（パーティクル）を除去することが開示されている。
【０００７】
しかしながら、この特許文献２では、磁気記録スレーブ媒体の外周端部から表面に微小粉末が回りこみ、その微小粉末が、磁気転写用マスター担体と磁気記録スレーブ媒体との密着性を低下させることは、開示されていない。
【０００８】
特許文献３には、磁気記録スレーブ媒体（磁気ディスク）の端面に付着した潤滑剤を拭き取ることが開示されている。磁気ディスクの端面に付着した余分な潤滑剤を拭き取ることにより、面内に余分な潤滑剤が拡散することを防止している。余分な潤滑剤の面内への拡散が防止されると、余分な潤滑剤による磁気ヘッドの浮上不安定性が解消される。
【０００９】
しかしながら、この特許文献３では、磁気記録スレーブ媒体の外周端部から表面に微小粉末が回りこみ、その微小粉末が、磁気転写用マスター担体と磁気記録スレーブ媒体との密着性を低下させることは、開示されていない。
【００１０】
なお、特許文献４には、磁気記録媒体用基板の端面が粗面となっていると、該端面からパーティクルが生じ、そのパーティクルが基板の表面に付着して、サーマル・アスペリティ（Ｔｈｅｒｍａｌ  Ａｓｐｅｒｉｔｙ）の原因となることが記載されている。
しかしながら、この特許文献４では、磁気記録スレーブ媒体の外周端部の微小粉体等が表面に移動して、磁気転写用マスター担体と磁気記録スレーブ媒体との密着性を低減させることは開示されていない。
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−２０３３３５号公報
【特許文献２】特開２００２−１０９７３０号公報
【特許文献３】特開２００４−３２６８８０号公報
【特許文献４】特開１０−１５４３２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、磁気記録スレーブ媒体と磁気記録マスター担体との間の密着性を向上させた磁気転写方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。即ち、
＜１＞  円盤状であり、外周端面の側縁にチャンファー面を有する磁気記録スレーブ媒体に、直流磁界を印加して、該磁気記録スレーブ媒体を初期磁化する初期磁化工程と、該磁気記録スレーブ媒体の外周端面、及びチャンファー面に存在する微小粉末を除去し、かつ、該磁気記録スレーブ媒体の円形状の表面に存在する微小粉末を除去するクリーニング工程と、該磁気記録スレーブ媒体に、磁気転写用マスター担体を密着させて、記録用磁界を印加し、情報を磁気転写する磁気転写工程と、を有することを特徴とする磁気転写方法である。
該＜１＞に係る磁気転写方法は、磁気転写工程の前に、該磁気記録スレーブ媒体の外周端面、及びチャンファー面に存在する微小粉末を除去し、かつ、該磁気記録スレーブ媒体の円形状の表面に存在する微小粉末を除去するクリーニング工程を有するため、該磁気記録スレーブ媒体の外周端面、チャンファー面、及び円形状の表面に存在する微小粉末が除去され、該磁気記録スレーブ媒体と、磁気転写用マスター担体との密着性が向上する。
＜２＞  クリーニング工程において、磁気記録スレーブ媒体の外周端面、及びチャンファー面に存在する微小粉末を除去した後、磁気記録スレーブ媒体の円形状の表面に存在する微小粉末を除去する前記＜１＞に記載の磁気転写方法である。
＜３＞  磁気転写工程において、クリーニング工程後の磁気記録スレーブ媒体の外周端面、チャンファー面、及び円形状の表面における微小粉末の残存数を確認し、該残存数が許容値以下の場合、該磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写し、該残存数が許容値を超える場合、該磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写しない、前記＜１＞又は＜２＞に記載の磁気転写方法である。
＜４＞  磁気転写工程において、クリーニング工程後の磁気記録スレーブ媒体の外周端面、チャンファー面、及び円形状の表面における微小粉末の大きさを確認し、該大きさが許容値以下の場合、該磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写し、該大きさが許容値を超える場合、該磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写しない、前記＜１＞から＜３＞のいずれかに記載の磁気転写方法である。
＜５＞  前記＜１＞から＜４＞のいずれかに記載の磁気転写方法を用いて作製された磁気記録媒体である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、従来における前記諸問題を解決することができ、磁気記録スレーブ媒体と磁気記録マスター担体との密着性を向上させた磁気転写方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態に係る磁気転写方法について、説明する。なお該磁気転写方法は、垂直磁気記録方式の磁気記録スレーブ媒体に、磁気転写用マスター担体を用いて、情報を磁気転写するものである。
なお、他の実施形態においては、面内磁気記録方式の磁気記録スレーブ媒体に、情報を磁気転写するものであってもよい。
〔磁気転写方法〕
図１は、本発明の一実施形態に係る磁気転写方法の手順を示す説明図である。図１に示されるように、該磁気転写方法は、初期磁化工程（Ｓ１）と、クリーニング工程（Ｓ２）と、磁気転写工程（Ｓ３）と、を有する。以下、各工程の内容を説明する。
【００１６】
（初期磁化工程）
前記初期磁化工程は、磁気記録スレーブ媒体に、直流磁界を印加して、該磁気記録スレーブ媒体を初期磁化する工程である。
【００１７】
図２は、初期磁化工程を示す説明図である。前記磁気記録スレーブ媒体１０は、図２に示されるように円盤状であり、その中央に、円形状の開口部１１を有する。図３は、磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２の断面を示す説明図である。
該磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２は、該磁気スレーブ媒体１２の外周側の端部であり、外周端面１３と、チャンファー面１４とを有する。なお、図３において、上側の面は、磁気転写用マスター担体と密着する側の面であり、表面１５である。一方、下側の面は、裏面１６である。該表面１５及び裏面１６の形状は、共に略円形となっている。なお、該表面１５及び裏面１６の形状は、中央部分が開口しているため、厳密な意味において円形ではないが、本明細書では、説明の便宜上、該表面１５及び裏面１６の形状を、円形状と表現する。
【００１８】
前記外周端面１３は、該磁気記録スレーブ媒体１０の側面であり、該磁気記録スレーブ媒体１０の最も外周側に配置している。該外周端面１３は、円環状であり、該磁気記録スレーブ媒体１０の周りを囲うように配置している。
【００１９】
前記チャンファー面１４は、前記外周端面１３の側縁に形成されている。該チャンファー面１４は、該外周端部１２が面取りされた箇所である。本実施形態において、表面１５側のチャンファー面１４を、特に、チャンファー面１４ａと表し、裏面１６側のチャンファー面１４を、チャンファー面１４ｂと表す。
【００２０】
前記磁気記録スレーブ媒体１０としては、ガラス、アルミ等からなる基板、軟磁性層、非磁性層、磁性層、及び保護層等を備える公知の磁気記録スレーブ媒体から選択できる。
本実施形態においては、該磁性層は、該磁気記録スレーブ媒体１０の表面１５に対し、垂直な方向に、磁気異方性を有する。
【００２１】
初期磁化工程では、図２に示されるように、該磁気記録スレーブ媒体１０に対し、初期磁化するための直流磁界（Ｈｉ）が印加される。該直流磁界（Ｈｉ）の印加には、所定の磁界印加手段（図示せず）が用いられる。
本実施形態においては、該直流磁界（Ｈｉ）は、該磁気記録スレーブ媒体１０の表面１５に対し、垂直方向に印加される。該直流磁界（Ｈｉ）の強さは、該磁気記録スレーブ媒体１０の磁性層の保磁力以上に設定される。
【００２２】
該磁気記録スレーブ媒体１０に、直流磁界（Ｈｉ）が印加されると、該磁性層は、該表面１５と垂直な方向に、一様に磁化（初期磁化）される。
【００２３】
（クリーニング工程）
前記クリーニング工程は、該磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２（外周端面１４、及びチャンファー面１４）に存在する微小粉末を除去し（Ｓ２ａ）、かつ、該磁気記録スレーブ媒体１０の表面１５に存在する微小粉末を除去する（Ｓ２ｂ）工程である。
該クリーニング工程は、先ず、外周端部１２に存在する微小粉末の除去（クリーニング）を行い、その後、表面１５に存在する微小粉末の除去（クリーニング）を行なうことが特に好ましい。このような順序でクリーニング工程を行なうと、より確実に、磁気記録スレーブ媒体１０の表面１５の微小粉末を除去できる。
以下、先ず、外周端面１２のクリーニングを行い、その後、表面１５のクリーニングを行なう場合を例に挙げて、前記クリーニング工程を説明する。
【００２４】
＜外周端面のクリーニング＞
図４は、磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２の微小粉末を除去する方法を示す説明図である。図４に示されるように、磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２の表面に、微小粉末除去手段であるワイピングテープ３５が押し当てられる。
該ワイピングテープ３５は、該磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２と、スポンジローラ３５とによって挟まれた状態にある。該スポンジローラ３５は、回転可能に固定されている。
該磁気記録スレーブ媒体１０は図４の矢印Ａの向きに回転され、ワイピングテープ３５がスポンジローラ３５により一定の押し当て面圧で押し当てられる接触部（矢印Ｂ）において、外周端面１３及びチャンファー面１４の微小粉末が拭き取られる。該ワイピングテープ３５は、接触部において常に新しい面が利用できるように、適宜、巻き取られる。
【００２５】
なお、本発明のクリーニング工程において除去される「微小粉末」には、微小粉末（粉塵）以外に、該磁気記録スレーブ媒体１０の表面に存在する微小な突起（微小突起）も含まれるものとする。
【００２６】
図５は、外周端部１２のクリーニングを行なった後の磁気記録スレーブ媒体１０の表面１５の状態を示す説明図である。上記のように、外周端部１２のクリーニングを行なうと、外周端部１２の微小粉末は除去されるが、除去された微小粉末の一部が飛散し、図５に示されるように、磁気記録スレーブ媒体１０の表面１５に微小粉末４０が付着することがある。
そのため、外周端部１２のクリーニングを行なった後、磁気記録スレーブ媒体１０の表面１５のクリーニングを行なうことが好ましい。
【００２７】
＜表面のクリーニング＞
図６は、磁気記録スレーブ媒体１０の表面１５の微小粉末を除去する方法を示す説明図である。図６に示されるように、該磁気記録スレーブ媒体１０の上面（表面１５）には、ワイピングテープ３１が、スポンジパッド３２により、押し当てられている。図６の矢印Ｃの向きに磁気記録スレーブ媒体１０は回転され、該スポンジパッド３２によりワイピングテープ３１が押し当てられた箇所（接触部）において、該表面１５の微小粉末がワイピングテープ３１により拭き取られる。ワイピングテープ３１を表面１５に押し当てるスポンジパッド３２の位置は、適宜、調整される。
なお、前記表面１５のクリーニングには、前記ワイピングテープ以外に、バーニッシュテープ等の種々のクリーニング用テープを使用してもよい。これらのテープは、併用してもよい。その他、バーニッシュヘッド、グライドヘッドを用いたヘッドバーニッシュを行なって表面１５をクリーニングしてもよい。
【００２８】
（磁気転写工程）
前記磁気転写工程は、磁気記録スレーブ媒体に、磁気転写用マスター担体を密着させて、記録用磁界を印加し、情報を磁気転写する工程である。
図７は、磁気転写工程を示す説明図である。図７に示されるように、磁気記録スレーブ媒体１０に、磁気転写用マスター担体２０を密着させ、これらを互いに密着させた状態で、記録用磁界が印加される。
【００２９】
図８は、磁気転写用マスター担体２０の断面の概略を示す説明図である。図８に示されるように、磁気転写用マスター担体２０は、磁気記録スレーブ媒体１０に記録すべき情報に対応させて配設される凸部２１を表面に有する基材２００と、該凸部２１の先端面に少なくとも形成される磁性層４とを備える。該記録すべき情報としては、例えば、サーボトラッキング用のサーボ信号等がある。該基材２００は、例えば、シリコン、ガラス、ニッケル等からなり、該磁性層４は、該基材２００の表面に垂直な方向に磁気異方性を有する。本実施形態においては、該磁性層４の表面には、カーボン等からなる保護層等が形成されていてもよい。
【００３０】
磁気転写工程において、該磁気転写用マスター担体２０は、該磁性層４０を有する表面が、該磁気記録スレーブ媒体１０の上面（表面１５）と接触するように、該磁気記録スレーブ媒体１０に押し当てられる。
該磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２（外周端面１３及びチャンファー面１４）、及び表面１５は、微小粉末（パーティクル）が除去されているため、磁気記録スレーブ媒体１０の表面１５と、磁気転写用マスター担体２０の磁性層４０との間に、該微小粉末が挟まることによって形成される隙間の発生が抑制され、密着性が向上する。
【００３１】
磁気転写用マスター担体２０と、磁気記録スレーブ媒体１０とを、上記のように、密着させた状態で、所定の磁界印加手段（図示せず）を用いて、前記初期磁化工程において印加された直流磁界（Ｈｉ）とは逆向きの記録用磁界（Ｈｄ）が印加される。
該記録用磁界（Ｈｄ）は、所定の回転手段（図示せず）により、磁気記録スレーブ媒体１０及び磁気転写用マスター担体２０を回転させながら、印加されてもよい。
なお、前記記録用磁界（Ｈｄ）としては、磁気記録スレーブ媒体１０の磁性層の保磁力の４０〜１３０％の強度が好ましい。
【００３２】
このように記録用磁界（Ｈｄ）が印加されると、磁気転写用マスター担体２０が担持する情報が、磁気記録スレーブ媒体１０に磁気転写される。
つまり、記録用磁界（Ｈｄ）が印加されると、磁気転写用マスター担体２０の磁性層４に磁束が吸収され、該磁性層４が形成される凸部２１における磁界が強くなり、凸部２１間の隙間（凹部２２）における磁界は、相対的に弱くなる。それにより、磁界のパターンが形成され、この磁界のパターンによって、磁気記録スレーブ媒体１０の磁性層の所定箇所の磁化が反転し、情報が記録される。
【００３３】
上記のように、磁気記録スレーブ媒体１０と磁気転写用マスター担体２０との間において、微小粉末による隙間の形成が抑制され、磁気記録スレーブ媒体１０と磁気転写用マスター担体２０との密着性が高められるため、磁気転写時における「信号抜け」の発生が抑制される。また、該微小粉末により磁気転写用マスター担体２０の破損も抑制される。
【００３４】
図９は、本発明の他の実施形態に係る磁気転写方法の手順を示す説明図である。この実施形態の磁気転写方法は、上記実施形態と同じく、初期磁化工程（Ｓ１）、クリーニング工程（Ｓ２）、及び磁気転写工程（Ｓ３）を有するが、該磁気転写工程（Ｓ３）において、磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２、及び表面１５に残存する微小粉末を確認し、その確認結果に基づいて、磁気転写の可否を判断する点が、上記実施形態と異なる。以下、この実施形態に係る磁気転写方法の磁気転写工程（Ｓ３）を説明する。
【００３５】
図９に示されるように、クリーニング工程（Ｓ２）後、先ず、磁気記録スレーブ媒体の外周端部１２及び表面１５に残存する微小粉末の大きさを確認する。具体的には、例えば、Ｍｉｃｒｏ−ＭＡＸ（ＶＭＸ−２１００  ビジョンサイテック社）を用いた外観目視検査を行い、外周端部１２及び表面１５に残存する微小粉末数（残存数）Ｘを求める（Ｓ３ａ）。ここで、外周端部１２における残存数をＸ１と表し、表面１５における残存数をＸ２と表す。
【００３６】
次いで、図９に示されるように、前記残存数Ｘが、許容値αを超えるか否かを判断し、磁気転写の可否を判断する（Ｓ３ｂ）。該許容値αは、磁気転写における「信号抜け」の発生結果等に基づいて、適宜、設定される数値である。ここで、外周端部１２における微小粉末数（残存数）Ｘ１の許容値をα１と表し、表面１５における微小粉末数（残存数）Ｘ２の許容値をα２と表す。
【００３７】
該残存数Ｘが、許容値α以下の場合、上記実施形態と同様にして、磁気転写を行なう。これに対し、該残存数Ｘが、許容値αを超える場合、磁気転写は行なわない。
前記判断（Ｓ３ｂ）において、例えば、残存数Ｘ１が許容値α１以下であり、かつ、残存数Ｘ２が許容値α２以下の場合のみ、磁気転写が可能であると判断してもよいし、少なくとも残存数Ｘ２が許容値α２以下の場合、磁気転写が可能であると判断してもよい。
【００３８】
許容値αを超えると判断された磁気記録スレーブ媒体１０は、再び、クリーニング工程（Ｓ２）に戻してもよい。
【００３９】
以上のように、本実施形態によれば、クリーニング工程後の磁気記録スレーブ媒体１０の外周端面１２及び表面１５に残存する微小粉末を確認でき、その確認結果に基づいて、確実に、磁気記録スレーブ媒体１０と磁気転写用マスター担体２０との密着性を高められる。
【００４０】
図１０は、本発明の他の実施形態に係る磁気転写方法の手順を示す説明図である。この実施形態の磁気転写方法は、上記実施形態と同じく、初期磁化工程（Ｓ１）、クリーニング工程（Ｓ２）、及び磁気転写工程（Ｓ３）を有するが、該磁気転写工程（Ｓ３）において、磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２、及び表面１５に残存する微小粉末のサイズを確認し、その確認結果に基づいて、磁気転写の可否を判断する点が、上記実施形態と異なる。以下、この実施形態に係る磁気転写方法の磁気転写工程（Ｓ３）を説明する。
【００４１】
図１０に示されるように、クリーニング工程（Ｓ２）後、先ず、磁気記録スレーブ媒体の外周端部１２及び表面１５に残存する微小粉末を確認する。具体的には、例えば、Ｍｉｃｒｏ−ＭＡＸ（ＶＭＸ−２１００  ビジョンサイテック社）を用いた外観目視検査を行い、外周端部１２及び表面１５に残存する微小粉末の大きさＹを求める（Ｓ３ｄ）。ここで、外周端部１２における微小粉末の大きさをＹ１と表し、表面１５における微小粉末の大きさをＹ２と表す。
【００４２】
次いで、図１０に示されるように、前記微小粉末の大きさＹが、許容値βを超えるか否かを判断し、磁気転写の可否を判断する（Ｓ３ｅ）。該許容値βは、磁気転写における「信号抜け」の発生結果等に基づいて、適宜、設定される数値である。ここで、外周端部１２における微小粉末の大きさＹ１の許容値をβ１と表し、表面１５における微小粉末の大きさＹ２の許容値をβ２と表す。
【００４３】
ある大きさ以上の微小粉末は、１個でも表面１５に存在すると、磁気転写の妨げとなる。また、外周端部１２に存在していても、外周端部１２から微小粉末が表面１５への回り込む（移動する）可能性が非常に高く、磁気転写の妨げとなる。  
そのため、本実施形態においては、磁気転写する前に、ある大きさ以上の微小粉末の存在を確認する。以上の理由等より、微小粉末サイズＹが許容値βを超える場合は、磁気転写を行わない。
例えば、該許容値βを１０μｍに設定した場合、１個でも大きさ（サイズ）Ｙが１０μｍ以上の微小粉末が存在する磁気記録スレーブ媒体については、磁気転写を行わない。
なお、全ての微小粉末の大きさＹが許容値β以下の場合は、磁気転写を行う（Ｓ３ｃ）。
【００４４】
残存する微小粉末の大きさＹが許容値βを超えると判断された磁気記録スレーブ媒体１０は、再び、クリーニング工程（Ｓ２）に戻してもよい。
【００４５】
以上のように、本実施形態によれば、クリーニング工程後の磁気記録スレーブ媒体１０の外周端面１２及び表面１５に存在する、許容値βを超えた大きなサイズの微小粉末を確認でき、その確認結果に基づいて、確実に、磁気記録スレーブ媒体１０と磁気転写用マスター担体２０との密着性を高められる。
【００４６】
更に、他の実施形態に係る磁気転写方法おいては、微小粉末の残存数Ｘ、及びサイズＹの判断を共に行なうものであってもよい。
図１０は、他の実施形態に係る磁気転写方法の手順を示す説明図である。この実施形態の磁気転写方法は、上記実施形態と同じく、初期磁化工程（Ｓ１）、クリーニング工程（Ｓ２）、及び磁気転写工程（Ｓ３）を有するが、該磁気転写工程（Ｓ３）において、先ず、磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２、及び表面１５に残存する微小粉末数(残存数）を確認し、その確認結果に基づいて、磁気転写の可否を判断し、続いて、磁気記録スレーブ媒体１０の外周端部１２、及び表面１５に残存する微小粉末の大きさ（サイズ）を確認し、その確認結果に基づいて、磁気転写の可否を判断する点が、上記実施形態と異なる。
【００４７】
磁気転写工程（Ｓ３）における、ステップＳ３ａ、Ｓ３ｂ、Ｓ３ｄ、ステップＳ３ｅ、及びＳ３ｃの内容は、上記実施形態と同様である。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明の実施例について説明する。なお、本発明は以下に示される実施例に限定されるものではない。
【００４９】
〔実施例１〕
〔磁気記録スレーブ媒体の調製〕
直径が２．５インチのガラス基板を用意し、このガラス基板上に、以下に示す手順で各層を形成し、垂直磁気記録方式の磁気記録スレーブ媒体を作製した。該ガラス基板の外周端部には、外周端面とチャンファー面が形成されている。なお、該ガラス基板の外周端部が、磁気記録スレーブ媒体の外周端部に相当する。
該磁気記録スレーブ媒体は、軟磁性層、第１の非磁性配向層、第２の非磁性配向層、磁性層、保護層、及び潤滑剤層が順次形成されている。軟磁性層、第１の非磁性配向層、第２の非磁性配向層、磁性層、及び保護層は、スパッタリング法で形成し、潤滑剤層は、ディップ法で形成した。
【００５０】
（軟磁性層の形成）
前記軟磁性層として、ＣｏＺｒＮｂ膜を、１００ｎｍの厚みで形成した。
具体的には、前記ガラス基板を、ＣｏＺｒＮｂターゲットと対向させて配置し、圧力が０．６ＰａとなるようにＡｒガスを流入させ、ＤＣパワー：１，５００Ｗで放電して、成膜した。
【００５１】
（第１の非磁性配向層の形成）
前記第１の非磁性配向層として、Ｔｉ膜を、５ｎｍの厚みで形成した。
具体的には、前記軟磁性層を形成した後のガラス基板を、Ｔｉターゲットと対向させて配置し、圧力が０．５ＰａとなるようにＡｒガスを流入させ、ＤＣパワー：１，０００Ｗで放電して、成膜した。
【００５２】
（第２の非磁性配向層の形成）
前記第２の非磁性配向層として、Ｒｕ膜を、６ｎｍの厚みで形成した。
具体的には、前記第１の非磁性配向層を形成した後のガラス基板を、Ｒｕターゲットと対向させて配置し、圧力が０．８ＰａとなるようにＡｒガスを流入させ、ＤＣパワー：９００Ｗで放電して、成膜した。
【００５３】
（磁性層の形成）
前記磁性層として、ＣｏＣｒＰｔＯ膜を、１８ｎｍの厚みで形成した。
具体的には、前記第２の非磁性配向層を形成した後のガラス基板を、ＣｏＣｒＰｔＯターゲットと対向させて配置し、圧力が１４ＰａとなるようにＯ２を０．０６％含むＡｒガスを流入させ、ＤＣパワー：２９０Ｗで放電して、成膜した。
【００５４】
（保護層の形成）
前記保護層として、Ｃ膜を、４ｎｍの厚みで形成した。
具体的には、前記磁性層を形成した後のガラス基板を、Ｃターゲットと対向させて配置し、圧力が０．５ＰａとなるようにＡｒガスを流入させ、ＤＣパワー：１，０００Ｗで放電して、成膜した。
【００５５】
（潤滑剤層の形成）
前記潤滑剤層として、ＰＦＰＥ潤滑剤からなる層を、２ｎｍの厚みで形成した。その後、バーニッシュテープにて表面の微小突起、及び微小粉末の除去を行なった。
【００５６】
前記磁気記録スレーブ媒体の保磁力は、３３４ｋＡ／ｍ（４．２ｋＯｅ）であった。
【００５７】
〔初期磁化〕
前記磁気記録スレーブ媒体に直流磁界を印加して、該磁気記録スレーブ媒体の初期磁化を行なった。印加した磁界の強度は、１０ｋＯｅである。
【００５８】
〔クリーニング〕
（外周端部のクリーニング）
図４に示されるように、スポンジローラを用いて、ワイピングテープを前記磁気記録スレーブ媒体の外周端部に押し当て、該磁気記録スレーブ媒体を回転させて、該外周端部の外周端面及びチャンファー面の微小粉末の拭き取りを行なった。
前記ワイピングテープとして、クラウゼン（ＥＷ−ＮＣ−３１０、テクノス社製）を使用した。
前記スポンジローラの硬度は１５°であり、該スポンジローラの押し当て圧力は、４０ｇｆに設定した。
該磁気記録スレーブ媒体の回転数は、２００ｒｐｍに設定し、処理時間は２秒間とした。
【００５９】
（表面のクリーニング）
図６に示されるように、ワイピングテープを該磁気記録スレーブ媒体の表面にスポンジパッドを用いて押し当て、該磁気記録スレーブ媒体を回転させて、該表面の微小粉末の拭き取りを行なった。
前記ワイピングテープとして、クラウゼン（ＥＷ−ＮＣ−１１０、テクノス社製）を使用した。
前記スポンジパッドの硬度は２５°であり、該スポンジパッドの押し当て圧力は、５０ｇｆに設定した。
該磁気記録スレーブ媒体の回転数は、２０００ｒｐｍに設定し、処理時間は、２秒間とした。
【００６０】
〔残存微小粉末の計測〕
微細欠陥可視化検査装置（Ｍｉｃｒｏ−ＭＡＸ）を用いて、外周端部をクリーニングした後の磁気記録スレーブ媒体の外周端部、及び表面に残存する微小粉末（パーティクル）数を計測した。
また、微小粉末の大きさは、ＣＣＤカメラにより取得した画像から算出した。
また、該装置を用いて、表面をクリーニングした後の磁気記録スレーブ媒体の外周端部、及び表面に残存する微小粉末数を計測した。
なお、参考として、クリーニングを行なう前の磁気記録スレーブ媒体の外周端部、及び表面に残存する微小粉末数も計測した。
【００６１】
〔磁気転写実施判断基準〕
外周端部１２における微小粉末数（残存数）Ｘ１の許容値α１を５０個、表面１５における微小粉末数（残存数）Ｘ２の許容値α２を１０個とした。
また、微小粉末の大きさの許容値βは、β１及びβ２共に、１０μｍとした。
結果は、表１に示した。
【００６２】
【表１】
2009245543.tif 000003
【００６３】
表１に示されるように、クリーニング後の実施例１の磁気記録スレーブ媒体の磁気転写実施可能率は、クリーニング前に比べて良好な結果が得られた。
【００６４】
〔磁気転写用マスター担体の調製〕
（原盤）
８インチのＳｉウェハ（原板）上に、電子線レジストをスピンコート法により、１００ｎｍの厚みで塗布した。塗布後、該原板上の該レジストに対し、回転式電子線露光装置を用いて、サーボ情報等に対応させて変調した電子ビームを照射し、該レジストを露光した。その後、該レジストを現像し、未露光部分を除去して、該原板上に該レジストのパターンを形成した。
【００６５】
次いで、パターン状の該レジストをマスクとして用い、該原板に対して反応性エッチング処理を行い、該レジストでマスクされていない箇所を掘り下げた。該エッチング処理後、該原板上に残存するレジストを溶剤で洗浄し、除去した。その後、該原板を乾燥させて、磁気転写用マスター担体を作製するための原盤を得た。
【００６６】
（磁気転写用マスター担体）
前記原盤上に、Ｎｉからなる導電層（厚み：１０ｎｍ）をスパッタリング法により、形成した。その後、該導電層を形成した原盤を母型として用い、電鋳法により、該原盤上に、Ｎｉ層を形成した。その後、Ｎｉ層を原盤から引き剥がし、該Ｎｉ層を洗浄等して、表面に凸部を配設したＮｉ基材を得た。
【００６７】
次いで、前記Ｎｉ基材を、所定のチャンバー内にセットし、該Ｎｉ基材の凸部に、磁性層としてのＦｅＣｏ膜（Ｆｅ７０＿Ｃｏ３０ａｔ％）（厚み：２０ｎｍ）を、スパッタリング法により、形成した。成膜条件は、以下の通りである。
＜成膜条件＞
成膜圧力＝０．３Ｐａ、Ｎｉ基材−ターゲット間距離＝２００ｍｍ、ＤＣパワー＝１０００Ｗ。
【００６８】
以上のようにして、磁気転写用マスター担体を作製した。
【００６９】
〔磁気転写〕
前記クリーニング工程後の磁気記録スレーブ媒体に、前記磁気転写用マスター担体を密着させた。密着時の圧力は、９ｋｇ／ｃｍ２に設定した。
その後、互いに密着させた状態で、記録用磁界を印加した。該磁界の強度は、４．２ｋＯｅである。
その後、記録用磁界の印加を停止し、該磁気転写用マスター担体を、磁気記録スレーブ媒体から分離した。
【００７０】
〔磁気転写性能の評価〕
磁気記録スレーブ媒体１００枚に対して、前記クリーニング工程を通した後、その全てに磁気転写を行い、１００枚目に磁気転写された磁気記録スレーブ媒体に記録されたサーボ信号に「信号抜け」が発生しているか否かを評価した。「信号抜け」の評価としては、セクタ毎のプリアンブル部のＴＡＡ（Ｔｒａｃｋ  Ａｖｅｒａｇｅ  Ａｍｐｌｉｔｕｄｅ）再生出力を０．１ｍｍピッチで全半径位置に対して検出し、その再生出力が同半径位置の再生出力の平均値に対して７０％以下になっているか否かを判断基準とした。評価装置には協同電子社製ＬＳ−９０を用い、リード幅１２０ｎｍ、ライト幅２００ｎｍのＧＭＲヘッドを使用した。
その結果、１００枚目に磁気転写された磁気記録スレーブ媒体に記録されたサーボ信号に、「信号抜け」が起こっている箇所は、検出されなかった。
【００７１】
〔実施例２〕
〔磁気記録スレーブ媒体〕
前記実施例１と同様にして、磁気記録スレーブ媒体を調製した。
【００７２】
〔初期磁化〕
前記実施例１と同様にして、磁気記録スレーブ媒体を初期磁化した。
【００７３】
〔クリーニング工程〕
表面のクリーニングを行い、その後、外周端部のクリーニングを行なったこと以外は、前記実施例１と同様にして、磁気記録スレーブ媒体の表面及び外周端部のクリーニングを行なった。
【００７４】
〔残存微小粉末の計測〕
前記実施例１と同様にして、微細欠陥可視化検出装置（Ｍｉｃｒｏ−ＭＡＸ）を用いて、表面をクリーニングした後の磁気記録スレーブ媒体の外周端部、及び表面に残存する微小粉末（パーティクル）数を計測した。
また、該装置を用いて、外周端部をクリーニングした後の磁気記録スレーブ媒体の外周端部、及び表面に残存する微小粉末数を計測した。
なお、参考として、クリーニングを行なう前の磁気記録スレーブ媒体の外周端部、及び表面に残存する微小粉末数も計測した。
結果は、表２に示した。
【００７５】
【表２】
2009245543.tif 000004
【００７６】
表２に示されるように、クリーニング後の実施例２の磁気記録スレーブ媒体の磁気転写実施可能率はクリーニング前と比べて良好な結果が得られた。
なお、表面のクリーニング後において、外周端部の許容値を満たす磁気記録スレーブ媒体の割合が６８から７９に改善しているが、これは表面のクリーニングにおいて、ワイピングテープの一部が外周端部の表面に接触し、外周端部の微小粉末の一部が拭き取られたため、と推測される。
【００７７】
〔磁気転写〕
前記実施例１において作製した磁気転写用マスター担体を用いて、前記実施例１と同様にして、前記磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写した。
【００７８】
〔磁気転写性能の評価〕
前記実施例１と同様の評価を行ったが、１００枚目に磁気転写された磁気記録スレーブ媒体に記録されたサーボ信号に「信号抜け」が起こっている箇所は検出されなかった。
【００７９】
〔比較例〕
前記実施例２において、表面のみクリーニングを行った状態の磁気記録スレーブ媒体が、比較例の磁気記録スレーブ媒体となる。
表２に示されるように、表面のみクリーニングを行った磁気記録スレーブ媒体の磁気転写実施可能率は、表面が９０であり、外周端部が７９であった。
【００８０】
〔磁気転写〕
前記実施例１において作製した磁気転写用マスター担体を用いて、前記実施例１と同様にして、前記磁気記録スレーブ媒体に情報を磁気転写した。  
【００８１】
〔磁気転写性能の評価〕
前記実施例１と同様の評価を行ったところ、１００枚目に磁気転写されたスレーブ媒体に記録されたサーボ信号に「信号抜け」が起こっている箇所が２箇所検出された。
表面は、前記実施例１及び２と同程度であるが、外周端部は低くなっている。このように、微小粉末が外周端部に残存していると、磁気転写の際、該外周端部から表面に微小粉末が移動し、該微小粉末が磁気転写の妨げ、磁気転写用マスター担体の破損の原因となる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る磁気転写方法の手順を示す説明図である。
【図２】図２は、初期磁化工程を示す説明図である。
【図３】図３は、磁気記録スレーブ媒体の外周端部の断面を示す説明図である。
【図４】図４は、磁気記録スレーブ媒体の外周端部の微小粉末を除去する方法を示す説明図である。
【図５】図５は、外周端部のクリーニングを行なった後の磁気記録スレーブ媒体の表面の状態を示す説明図である。
【図６】図６は、磁気記録スレーブ媒体の表面の微小粉末を除去する方法を示す説明図である。
【図７】図７は、磁気転写工程を示す説明図である。
【図８】図８は、磁気転写用マスター担体の断面の概略を示す説明図である。
【図９】図９は、他の実施形態に係る磁気転写方法の手順を示す説明図である。
【図１０】図１０は、他の実施形態に係る磁気転写方法の手順を示す説明図である。
【図１１】図１１は、他の実施形態に係る磁気転写方法の手順を示す説明図である。
【符号の説明】
【００８３】
１０      磁気記録スレーブ媒体
１１      開口部
１２      外周端部
１３      外周端面
１４      チャンファー面
１５      表面
１６      裏面
２０      磁気転写用マスター担体
２１      凸部
２２      凹部
４        磁性層
２００    基材
３０      ワイピングテープ
３５      スポンジローラ
３１      ワイピングテープ
３２      スポンジパッド
４０      微小粉末
【図１】
2009245543.tif 000005
【図２】
2009245543.tif 000006
【図３】
2009245543.tif 000007
【図４】
2009245543.tif 000008
【図５】
2009245543.tif 000009
【図６】
2009245543.tif 000010
【図７】
2009245543.tif 000011
【図８】
2009245543.tif 000012
【図９】
2009245543.tif 000013
【図１０】
2009245543.tif 000014
【図１１】
2009245543.tif 000015