(57)【要約】      （修正有）【課題】顕微分析される試料の採取を簡易化する。【解決手段】試料取出装置は、ユーザ８により把持される把持部材１４と、前記把持部材１４に対して固定され、画像を撮像する撮像部材２１と、前記把持部材１４に対して固定された取出部材ホルダと、顕微分析される試料を取り出す試料取出部５６ｂを有し、前記取出部材ホルダに支持され且つ、前記試料取出部５６ｂが前記撮像部材２１の焦点位置に配置された取出部材５６と、前記撮像部材２１に電気的に接続され、撮像された画像を表示する画像表示器１２と、を備える。【選択図】図２
2009229448.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザにより把持される把持部材と、
前記把持部材に対して固定され、画像を撮像する撮像部材と、
前記把持部材に対して固定された取出部材ホルダと、
顕微分析される試料を取り出す試料取出部を有し、前記取出部材ホルダに支持され且つ、前記試料取出部が前記撮像部材の焦点位置に配置された取出部材と、
前記撮像部材に電気的に接続され、撮像された画像を表示する画像表示器と、
を備えたことを特徴とする試料取出装置。
【請求項２】
円筒形状且つ筆記具状の前記把持部材と、
前記把持部材内部に収容されて固定された前記撮像部材と、
前記撮像部材の光軸上に配置され、且つ前記撮像部材に支持されることで把持部材に対して固定され、撮像する倍率を設定する光学系と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の試料取出装置。
【請求項３】
針状に構成され、前記試料を採取することで取り出す前記試料取出部、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の試料取出装置。
【請求項４】
刃状に構成され、前記試料を切削して取り出す前記試料取出部、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の試料取出装置。
【請求項５】
ピンセットにより構成され、前記試料を摘んで取り出す前記試料取出部、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の試料取出装置。
【請求項６】
前記焦点位置を照明する照明部材を有する前記試料取出部、
を備えたことを特徴とする請求項５に記載の試料取出装置。
【請求項７】
画像を撮像する撮像部材が固定され且つユーザにより把持される把持部材に対して、着脱可能に固定された取出部材ホルダと、
顕微分析される試料を取り出す試料取出部を有し、前記取出部材ホルダに支持され且つ、前記試料取出部が前記撮像部材の焦点位置に配置された取出部材と、
を備えたことを特徴とする試料取出アタッチメント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学顕微鏡や電子顕微鏡、赤外顕微鏡、ラマン顕微鏡等の顕微分析装置で顕微分析が行われる試料を取り出すための試料取出装置および試料取出アタッチメントに関し、特に、微小な試料を取り出すマイクロサンプリングに好適に使用可能な試料取出装置および試料取出アタッチメントに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハ等の表面に付着したゴミや異物を検査、分析するために、ゴミや異物等の試料をウェハから採取する試料採取装置が知られている。このような試料採取装置として、光学顕微鏡と組み合わせて使用される試料採取装置に関して、下記の特許文献１記載の技術が従来公知である。
【０００３】
特許文献１（特開２００２−１６２３２１号公報）には、試料を観察する光学顕微鏡（Ｍ）の対物レンズに対して、所定の位置に固定される固定枠（１）に、上下方向に移動可能に支持された試料採取針（２３）により、光学顕微鏡（Ｍ）の試料ステージに支持された試料を引っ掛けて取り出す試料採取装置に関する技術が記載されている。また、特許文献１には、試料採取針（２３）は、試料を引っ掛ける試料採取位置では、試料採取針（２３）の先端が光学顕微鏡（Ｍ）の焦点位置に配置されるが、上方に移動した待機位置では焦点からずれている。そして、特許文献１記載の技術では、最初は試料採取針（２３）を焦点位置からずれた待機位置に保持しておき、試料ステージを移動させながら光学顕微鏡（Ｍ）で観察して、焦点位置にゴミや異物等の試料が見つかったときに、試料採取針（２３）を焦点位置に対応する試料採取位置に移動させて試料を引っ掛け、その後待機位置に移動させることで、試料を採取している。特許文献１記載の技術で採取された試料は、高倍率の光学顕微鏡や電子顕微鏡、赤外線顕微鏡等で、詳細に観察、検査、分析等が行われる。
【０００４】
図１４は従来の試料採取方法の説明図である。
特許文献１記載の技術のように、詳細に分析等を行う電子顕微鏡等と、試料を採取するための光学顕微鏡と、の２つの顕微鏡を使用する大がかりなシステムを使用せず、試料の採取を簡易に行うために、従来は、図１４に示す方法も広く採用、実行されている。
図１４において、実験室のテーブル０１には、詳細な分析を行うための顕微鏡０２が配置されている。前記顕微鏡０２には、試料がセットされる試料ステージ０２ａを有する。前記テーブル０１には、試料付着物の一例としてのウェハ０３が支持されており、前記ウェハ０３には、試料の一例としてのホコリやゴミ等の異物が付着している。前記試料の検査を行うユーザ０４は、試料採取針０６と、ウェハ０３上の試料を拡大して観察するための拡大鏡（いわゆる虫眼鏡）０７とを両手に持っている。
図１４に示すシステムでは、ユーザ０４は、左手の拡大鏡０７でウェハ０３を拡大して観察しながら、ウェハ０３に付着した試料を見つけ、右手の試料採取針０６で試料を採取し、採取した試料を試料プレート０８に載せ、それを試料ステージ０２ａにセットして、顕微鏡０２で検査する。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１６２３２１号公報（「００２８」、「００３４」〜「００３５」、図１、図９、図１０）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
（従来技術の問題点）
前記特許文献１記載の技術では、試料の取出のために顕微鏡で観察を行うため、試料の取出作業が精緻で手間がかかり、簡易に試料の取出が行えないという問題がある。また、試料取り出し用の顕微鏡と分析用の顕微鏡のように、複数の顕微鏡が必要となり、システム全体として大がかりになると共にコストが高くなる問題もある。また、試料の取出に光学顕微鏡を使用しているため、ウェハのように試料付着物が試料ステージに載らないような大きなものである場合には、使用困難であるという問題がある。さらに、特許文献１記載の技術では、光学顕微鏡が設置された実験室等では試料の採取が可能であるが、例えば、交通事故現場等の実験室外で微小な試料の採取を行おうとする場合では、顕微鏡を持ち出し、セットすることが面倒であり、試料の採取が容易ではないという問題もある。
【０００７】
図１４に記載の従来技術では、特許文献１記載の技術に比べて、簡易且つ低コストに試料の採取を行うことができるが、拡大鏡０７で観察しながら試料採取針０６で試料を採取する場合、まず、拡大鏡０７の焦点位置を試料にあわせる必要があり、次に試料に試料採取針０６の先端を接触させて採取する必要がある。一見、この作業は容易であると考えられるが、実際に行う場合、拡大鏡０７による像の拡大で遠近感がずれるため、試料採取針０６の先端を試料の位置にあわせたつもりでも、なかなか試料に試料採取針０６の先端をあわせることが難しく、作業者の慣れ、熟練を要するという問題があった。
【０００８】
本発明は、前述の事情に鑑み、顕微分析される試料の採取を簡易化することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記技術的課題を解決するために、請求項１記載の発明の試料取出装置は、
ユーザにより把持される把持部材と、
前記把持部材に対して固定され、画像を撮像する撮像部材と、
前記把持部材に対して固定された取出部材ホルダと、
顕微分析される試料を取り出す試料取出部を有し、前記取出部材ホルダに支持され且つ、前記試料取出部が前記撮像部材の焦点位置に配置された取出部材と、
前記撮像部材に電気的に接続され、撮像された画像を表示する画像表示器と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の試料取出装置において、
円筒形状且つ筆記具状の前記把持部材と、
前記把持部材内部に収容されて固定された前記撮像部材と、
前記撮像部材の光軸上に配置され、且つ前記撮像部材に支持されることで把持部材に対して固定され、撮像する倍率を設定、かつ焦点位置調整可能な光学系と、
を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の試料取出装置において、
針状に構成され、前記試料を採取することで取り出す前記試料取出部、
を備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の試料取出装置において、
刃状に構成され、前記試料を切削して取り出す前記試料取出部、
を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の試料取出装置において、
ピンセットにより構成され、前記試料を摘んで取り出す前記試料取出部、
を備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の試料取出装置において、
前記焦点位置を照明する照明部材を有する前記試料取出部、
を備えたことを特徴とする。
【００１５】
前記技術的課題を解決するために、請求項７に記載の発明の試料取出アタッチメントは、
画像を撮像する撮像部材が固定され且つユーザにより把持される把持部材に対して、着脱可能に固定された取出部材ホルダと、
顕微分析される試料を取り出す試料取出部を有し、前記取出部材ホルダに支持され且つ、前記試料取出部が前記撮像部材の焦点位置に配置された取出部材と、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、顕微分析される試料を取り出す試料取出部が撮像部材の焦点位置に配置されているため、撮像部材で観察する位置と試料取出部との遠近感のずれをなくすことができ、顕微分析される試料の採取を簡易化することができる。
請求項２に記載の発明によれば、光学系で拡大して撮像することができ、微小な試料を取り出すことができる。
請求項３に記載の発明によれば、針状の試料取出部の先端に試料を付着、採取することで取り出すことができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明によれば、刃状の試料取出部で、試料を切削することで取り出すことができる。
請求項５に記載の発明によれば、ピンセットにより構成された試料取出部で試料を摘んで取り出すことができる。
請求項６に記載の発明によれば、焦点位置を照明することができる。
請求項７に記載の発明によれば、試料取出アタッチメントを把持部材に取り付けられた状態で、顕微分析される試料を取り出す試料取出部が撮像部材の焦点位置に配置されているため、撮像部材で観察する位置と試料取出部との遠近感のずれをなくすことができ、顕微分析される試料の採取を簡易化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例（以下、実施例と記載する）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
なお、以下の図面を使用した説明において、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。
【実施例１】
【００１９】
図１は本発明の実施例１の試料取出装置を使用した試料取出方法の説明図である。
図２は図１の試料取出装置の要部拡大図である。
図１において、実施例の試料検査システムＳでは、テーブル１上に顕微分析装置２が配置されている。実施例１では、前記顕微分析装置２の一例としての顕微ラマン分光光度計が使用されている。前記顕微分析装置２は、分析装置本体３と、分析装置本体３の下部に配置された試料ステージ４と、試料ステージ４の上方に配置されて複数の対物レンズ５ａを切り替え可能な対物レンズ切替部５とを有する。また、前記分析装置本体３は、測定した情報（データ）を処理する情報処理装置の一例としてのコンピュータ装置ＰＣに接続されており、コンピュータ装置ＰＣは、コンピュータ本体Ｈ１、ディスプレイ（表示器）Ｈ２、入力装置（キーボードＨ３およびマウスＨ４）等を有する。
図１、図２において、テーブル１上には、顕微分析装置２で顕微分析がされるゴミや異物等の試料が付着した試料付着部材の一例としてのウェハＷが置かれている。前記ウェハＷに付着した試料は、ユーザ８が試料取出装置１１を使用して取り出す。取り出された試料は、試料プレート７に移され、分析装置本体３の試料ステージ４に保持され、顕微分析が行われる。
【００２０】
図２において、実施例１の試料取出装置１１は、電源を供給する電源ケーブル１２ａが接続された画像表示器１２と、画像表示器１２から電源供給および画像信号の送受信を行う接続ケーブル１３ａで画像表示器１２と接続された取出装置本体１３と、を有する。
前記画像表示器１２は、表示画面１２ｂと、表示画面１２ｂを支持するスタンド（立て掛け台）１２ｃと、電源オン・オフや表示画像の輝度等の調整を行う各種入力ボタン１２ｄと、を有する。
【００２１】
図３は実施例１の取出装置本体の要部断面説明図であり、図３Ａは要部を断面とした側面図、図３Ｂは図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。
図４は取出装置本体の分解説明図である。
図２〜図４において、前記取出装置本体１３は、ユーザ８が把持する円筒状の把持部材１４を有する。実施例１の把持部材１４は、筆記具形状をしており、ペンを持つように把持することで操作可能に構成されている。前記把持部材１４には、円筒の軸方向に延びるケーブル通過部１４ａが形成されており、把持部材１４の前部には撮像部材収容凹部１４ｂが形成されている。
【００２２】
図３、図４において、前記撮像部材収容凹部１４ｂには、撮像部材２１が収容された状態で固定支持されている。実施例１の撮像部材２１は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device、電荷結合素子）カメラユニットにより構成されている。
前記撮像部材２１は、撮像部材収容凹部１４ｂに収容される後部の撮像部材本体２２と、前記撮像部材本体２２の前側に形成されたアタッチメント取付部２４と、を有する。
【００２３】
前記撮像部材本体２２は、内部に図示しない電源回路や撮像した画像を画像表示器１２で表示する画像に変換する電気回路等が収容されている。前記撮像部材本体２２の後端（−Ｘ端）からは前記ケーブル通過部１４ａを貫通してケーブル１３ａが引き出されている。
前記アタッチメント取付部２４は、外表面にアタッチメント取付面２４ａが形成されている、前記アタッチメント取付部２４の内部には、前端から軸方向に延び且つ内周面にネジ溝が形成された保持部材装着用凹部２４ｂが形成されている。前記保持部材装着用凹部２４ｂの奥には、撮像素子の一例としてのＣＣＤ素子２２ａが配置されている。
【００２４】
図３、図４において、前記撮像部材２１の前側には、レンズ保持部材２６が支持されている。前記レンズ保持部材２６の後部には、前記保持部材装着用凹部２４ｂに対応する外径を有し、外周面にネジ溝が形成された被装着部２６ａが形成されている。前記被装着溝部２６ａには、内周面に噛み合うネジ溝２７ａが形成されたネジリング２７が装着されている。したがって、レンズ保持部材２６には、ネジリング２７が装着された状態で保持部材装着用凹部２４ｂにネジ込むことでネジ込む位置を調整すると共に、いわゆる二重ナット方式でネジ込まれた位置で固定、緩み止めをしている。
前記レンズ保持部材２６には、レンズ保持部材２６の中心軸方向に延びるレンズ装着用貫通孔２６ｃが形成されている。前記レンズ保持部材２６の前端部には、外表面からレンズ装着用貫通孔２６ｃまで延びるレンズ固定用ネジ孔２６ｄが形成されている。
【００２５】
図３、図４において、前記レンズ保持部材２６の前側には、レンズユニット３１が支持されている。前記レンズユニット３１は、全体が略円筒形状に形成されており、後部に前記レンズ装着用貫通孔２６ｃに収容される被収容部３１ａが形成されている。前記レンズユニット３１の中央部には、レンズ保持部材２６の前端縁に突き当てられて位置決めするためのリング状のレンズ位置決め縁部３１ｂが形成されている。また、前記レンズユニット３１の内部には、光学系の一例としての複数のレンズ３１ｃが収容されている。前記レンズ３１ｃは、焦点位置Ａに焦点が設定されており、像を拡大して撮像素子２２ａに結像する。
したがって、前記レンズユニット３１は、レンズ装着用貫通孔２６ｃに収容された状態で、レンズ固定用ネジ孔２６ｄに装着されるレンズ固定ネジＮ１によりレンズ保持部材２６に保持され、レンズ固定ネジＮ１を緩めることでレンズユニット３１を交換できる。すなわち、倍率の異なる複数のレンズユニット３１を準備しておくことで、対象となる試料のサイズに対応する拡大倍率のレンズユニット３１を装着することができる。また、レンズユニット３１はその前後の向きを変えることで、レンズの倍率を変更することも可能である。
【００２６】
図５は試料取出アタッチメントのフレームの説明図であり、図５Ａは正面図、図５Ｂは図５Ａの矢印ＶＢ方向から見た図、図５Ｃは図５Ａの矢印ＶＣ方向から見た図、図５Ｄは図５Ａの矢印ＶＤ方向から見た図である。
図３、図４において前記撮像部材２１のアタッチメント取付部２４には、試料取出アタッチメント４１が着脱可能に装着されている。前記試料取出アタッチメント４１は、アタッチメント取付部２４に装着されるアタッチメントフレーム４２を有する。図５において、前記アタッチメントフレーム４２は、厚板状のフレーム本体４２ａと、フレーム本体４２ａの上端部から二又形状に上方に突出する左右一対のホルダ支持部４２ｂ，４２ｃとを有する。
【００２７】
前記フレーム本体４２ａには、前記アタッチメント取付部２４の外径に対応する内径を有し、前後方向に貫通する円孔状の被取付孔４２ａ１が形成されている。また、フレーム本体４２ａの右下部には、外表面から被取付孔４２ａ１まで延びるアタッチメント固定用貫通孔４２ａ２が形成されている。図３Ｂにおいて、アタッチメントフレーム４２はアタッチメント取付部２４に嵌めた状態で、アタッチメント固定用貫通孔４２ａ２にねじＫ２でもって取り付ける。
【００２８】
前記ホルダ支持部４２ｂ、４２ｃには、左右方向に貫通する円孔状のホルダ支持用貫通孔４２ｂ１，４２ｃ１が形成されている。右側の前記ホルダ支持部材４２ｂには、上端面から前記ホルダ支持用貫通孔４２ｂ１まで延びるホルダ固定用貫通孔４２ｂ２が形成されている。また、左側の前記ホルダ支持部材４２ｃには、上端面からホルダ支持用貫通孔４２ｃ１まで延びるサポート固定用貫通孔４２ｃ２が形成されている。
【００２９】
図６は試料取出アタッチメントの取出部材ホルダの説明図であり、図６Ａは正面図、図６Ｂは図６Ａの矢印ＶＩＢ方向から見た図、図６Ｃは図６Ａの矢印ＶＩＣ方向から見た図である。
図３Ｂ、図６において、前記ホルダ支持部４２ｂ、４２ｃのホルダ支持用貫通孔４２ｂ１，４２ｃ１には、回転保持部材の一例としての左右方向に延びる円柱状の取出部材ホルダ４６が貫通した状態で支持されている。前記取出部材ホルダ４６は、ホルダ支持用貫通孔４２ｂの内径に対応する外径を有する大径部４６ａと、大径部４６ａの左側に形成され且つ大径部４６ａよりも小径の小径部４６ｂとを有する。前記取出部材ホルダ４６の左右方向中央部、すなわち大径部４６ａの左側には、前後方向に貫通する円孔状の取出部材貫通支持孔４６ｃが形成されている。前記大径部４６ａの内部には、右端から前記取出部材貫通支持孔４６ｃまで軸方向（左右方向）に延び且つ内部にネジ溝が形成された着脱ネジ装着部４６ｄが形成されている。また、前記取出部材ホルダ４６の小径部４６ｂには、左端から軸方向に延び且つ内周面にネジ溝が形成されたネジ孔形状のサポート固定部４６ｅが形成されている。
【００３０】
図７は試料取出アタッチメントのホルダサポートの説明図であり、図７Ａは正面図、図７Ｂは図７Ａの矢印ＶＩＩＢ方向から見た図である。
図３Ｂ、図７において、左側のホルダ支持部材４２ｃのホルダ支持用貫通孔４２ｃ１には、回転保持補助部材の一例としての左右方向に延びる円筒状のホルダサポート５１が支持されている。前記ホルダサポート５１は、取付部材ホルダ４６の小径部４６ｂの外径に対応する内径で軸方向（左右方向）に貫通するホルダ貫通孔５１ａと、上端から前記ホルダ貫通孔５１ａまで貫通して形成され且つ内周面にネジ溝が形成された回転位置固定ネジ装着孔５１ｂとを有する。
図３Ａ、図４において、前記取出部材ホルダ４６の取出部材貫通支持孔４６ｃには、試料取出部材の一例としての試料採取部材５６が挿入された状態で支持されている。前記試料採取部材５６は、取出部材貫通支持孔４６ｃの内径に対応した外径を有する被支持部の一例としての柄部５６ａを有する。前記柄部５６ａの前端部には、試料取出部の一例としての針状の試料採取針部５６ｂが支持されている。
【００３１】
したがって、図３Ｂにおいて、前記試料取出アタッチメント４１では、前記取出部材ホルダ４６は、小径部４６ｂがホルダサポート５１のホルダ貫通孔５１ａを貫通した状態で、小径部４６ｂのサポート固定部４６ｅにサポート固定ネジＮ２をネジ止めすることで、サポートホルダ５１に対して回転可能な状態で取り付けられる。
そして、取付部材ホルダ４６およびホルダサポート５１を、ホルダ支持用貫通孔４２ｂ１，４２ｃ１に貫通させた状態で、ホルダサポート５１をアタッチメントフレーム４２ｃにサポート固定ネジＮ３により固定する。これにより、ホルダサポート５１がアタッチメントフレーム４２に対して移動不能且つ回転不能に装着され、取出部材ホルダ４６はアタッチメントフレーム４２に対して軸方向に移動不能且つ回転可能な状態で保持される。なお、このとき、前記サポート固定用貫通孔４２ｃ２に、前後方向に移動可能な隙間、いわゆる、遊び、がたつきを持たせておくことで、取付部材ホルダ４６の左右方向の位置を微調整することが可能である。
そして、前記ホルダ固定用貫通孔４２ｂ２にネジＫ３を取り付けることで、取出部材ホルダ４６は回転しないように保持することができる。
【００３２】
前記取出部材ホルダ４６の取出部材貫通支持孔４６ｃに、試料採取部材５６の柄部５６ａを貫通させた状態で、取出部材ホルダ４６の着脱ネジ装着部４６ｄに、試料取出部材用着脱部材の一例としての着脱ネジＮ４がネジ込まれる。したがって、着脱ネジＮ４を締めることで、着脱ネジＮ４の先端で柄部５６ａを締め付けて軸方向に移動不能な状態に保持でき、着脱ネジＮ４を緩めることで柄部５６ａの締め付けが解除され、試料採取部材５６を着脱、交換が可能となる。
【００３３】
したがって、実施例１の試料取出アタッチメント４１では、前記サポート固定ネジＮ３を緩めることで柄部５６ａを左右方向（Ｙ軸方向）に微調整することができ、前記着脱ネジＮ４を緩めることで柄部５６ａの軸方向に移動させることができ、前記着脱ネジＫ３を緩めることで柄部５６ａを回転させることができる。この結果、これらの動きを組み合わせることで、試料採取針部５６ｂの先端位置を、撮像素子２２ａの光軸上の任意の位置に移動、調整することができる。そして、実施例１の試料採取部材５６は、試料採取針部５６ｂの先端位置が、撮像部材２１の焦点位置Ａに一致するように、調整、設定されている。
【００３４】
図８は実施例１の試料取出部材の他の例である試料切削部材の説明図であり、図８Ａは試料切削部材が装着された状態の取出装置本体の説明図、図８Ｂは試料切削部材のヘッド部の説明図、図８Ｃは図８Ｂの矢印ＶIIIＣ方向から見た図、図８Ｄは切削刃の説明図、図８Ｅは図８Ｄの矢印ＶIIIＥ方向から見た図である。
図８において、前記取出部材ホルダ４６には、試料採取部材５６と交換する形で、試料取出部材の一例としての試料切削部材６１を装着することができる。前記試料切削部材６１は、取出部材貫通支持孔４６ｃの内径に対応した外径を有する被支持部の一例としての柄部６２を有し、前記柄部６２の先端には、切削部材本体の一例としてのヘッド部６３が支持されている。図８Ｂにおいて、前記柄部６２は、前記取出部材ホルダ４６に支持される柄部本体６２ａを有する。前記柄部本体６２ａの前端には、表面にネジ溝が形成された小径の棒状のヘッド取付部６２ｂが形成されている。
【００３５】
前記ヘッド部６３は、前記柄部６２に連結されるブロック状の刃支持部材６４と、前記刃支持部材６４の前端面に支持される切削刃６６とを有する。前記刃支持部材６４の後側下端には後面６４ａに対して前側に傾斜するように切除された形に形成された切除部６４ｂが形成されている。前記切除部６４ｂには、ネジ形状の被取付部６４ｃが形成されていて、前記ヘッド取付部６２ｂのネジに取り付け可能になっている。前記刃支持部材６４の上端部には、前後方向に貫通するネジ孔により構成された刃取付部６４ｄが形成されている。
前記切削刃６６は、上端部に前記刃取付部６４ｄと同径の貫通孔により構成された被取付部６６ａを有する。前記切削刃６６の下端部には、試料取出部の一例としての刃部６６ｂが設けられている。前記切削刃６６は、前記被取付部６６ａを貫通して刃取付部６４ｄにネジ込まれる刃取付ネジ６７により、刃支持部材６４に取り付けられる。
なお、実施例１の前記試料切削部材６１では、切削刃６６の刃部６６ｂの先端が撮像部材２１の焦点位置Ａに一致するように調整される。
【００３６】
図９は実施例１の試料切削部材の変更例の説明図であり、図９Ａは図８Ｂに対応する第１の変更例の試料切削部材のヘッド部の説明図、図９Ｂは第２の変更例の試料切削部材のヘッド部の説明図である。
図９Ａに示す試料切削部材のヘッド部６３′は、図８に示すヘッド部６３と比較して、切除部６４ｂが省略されている。したがって、前記ヘッド部６３′が柄部６２に装着された状態では、図８に示すヘッド部６３の切削刃６６と光軸とが成す角αに比べて、図９Ａに示すヘッド部６３′の切削刃６６と光軸とがなす角α′が大きくなる。なお、図８に示すヘッド部６３を有する試料切削部材６１と、図９Ａに示すヘッド部６３′を有する試料切削部材６１′とをそれぞれ準備し、取出部材貫通支持孔４６ｃに着脱することも可能であるし、取出部材貫通支持孔４６ｃに支持された柄部６２に対して、ヘッド部６３、６３′を着脱して交換するように構成することも可能である。
【００３７】
図９Ｂに示す試料切削部材６１″のヘッド部６３″は、図８に示す刃支持部材６４に対して、側面６４ｅの斜め下方向に延びる刃支持面６４ｆが形成されている。したがって、前記刃支持面６４ｆに支持される切削刃６６と光軸とが成す角α″は、図８、図９Ａに示す切削刃６６と光軸が成す角α，α′が鋭角であるのに対して、鈍角とすることができる。
【００３８】
図１０は実施例１の試料取出部材に位置出し部材を装着した状態の説明図であり、図１０Ａは交換時の位置出しを行うために位置出し部材を装着した状態の説明図、図１０Ｂは試料取出時の位置出しを行うために位置出し部材を装着した状態の説明図である。
図１０において、前記試料取出部材５６，６１〜６１″の柄部５６ａ，６２には、位置出し部材６８が装着されている。前記位置出し部材６８は、ブロック状の位置出し部材本体６８ａを有しており、前記位置出し部材本体６８ａは、柄部５６ａ，６２が貫通することで柄部５６ａ，６２に支持されている。また、前記位置出し部材本体６８ａには、柄部５６ａ，６２に接触可能な位置出し固定ネジ６８ｂがネジ込まれている。
【００３９】
したがって、図１０Ａに示すように、前記位置出し部材６８を、アタッチメントフレーム４２の焦点位置Ａ側に装着する場合、まず、位置出し固定ネジ６８ｂを緩めた状態で、試料取出部材５６，６１〜６１″の先端が焦点位置Ａに一致するように調整する。この状態で、位置出し部材本体６８ａを柄部５６ａ，６２に沿って移動させ、取付部材ホルダ４６に接触させる。そして、前記位置出し固定ネジ６８ｂを締め、位置出し部材本体６８ａを柄部５６ａ、６２に固定する。
前記位置出し部材６８を装着しない場合には、前記試料取出部材５６，６１〜６１″を交換する場合、試料取出部材５６，６１〜６１″を取り付ける度に、先端を焦点位置Ａに合わせるための位置調節が必要となる。特に、一度装着して位置決めした後、取り外し、再び取り付ける際にも、再び位置調節をすることとなる。これに対して、試料取出部材５６，６１〜６１″の位置調整が行われた状態で、前記位置出し部材６８を固定することで、再び試料取出部材５６，６１〜６１″を取り付ける際に、位置出し部材６８が取付部材ホルダ４６に接触するまで挿入するだけで、試料取出部材５６，６１〜６１″の先端を焦点位置Ａに合わせることができ、位置出しを容易に行うことができる。
【００４０】
また、図１０Ｂに示すように、前記位置出し部材６８を、取付部材ホルダ４６を挟んで焦点位置Ａとは反対側に装着する場合、試料取出部材５６，６１〜６１″の先端が焦点位置Ａに一致するように調整された状態で、位置出し部材本体６８ａを取付部材ホルダ４６に接触させ、位置出し固定ネジ６８ｂを締め、位置出し部材本体６８ａを柄部５６ａ、６２に固定することができる。
このようにすることで、例えば、撮像部材２１で、試料を観察、探索している間に、試料取出部材５６，６１〜６１″の先端部がウェハＷに誤って接触して、ウェハＷや試料取出部材５６，６１〜６１″の先端が破損することを防止するために、着脱ネジＮ４を緩めて、試料取出部材５６，６１〜６１″の先端部を焦点位置Ａから、柄部５６ａ，６２の軸方向後側にずらし、採取する試料を確認した後で、位置出し部材本体６８ａを取付部材ホルダ４６に接触させることで、試料取出部材５６，６１〜６１″の先端を焦点位置Ａに復帰させることが容易にできる。
【００４１】
撮像部材２１に取り付けられる実施例１の試料取出アタッチメント４１は、前記アタッチメントフレーム４２や、取出部材ホルダ４６、ホルダサポート５１、試料採取部材５６または試料切削部材６１，６１′，６１″、サポート固定ネジＮ３、アタッチメント固定部材Ｋ２、ホルダ固定部材Ｋ３等により構成されている。また、実施例１の取出装置本体１３は、前記把持部材１４や、後端キャップ１６、撮像部材２１、レンズ保持部材２６、レンズユニット３１、試料取出アタッチメント４１等により構成されており、実施例１の試料取出装置１１は、前記取出装置本体１３および画像表示器１２等により構成されている。
【００４２】
（実施例１の作用）
図１１は実施例１の作用説明図であり、図１１Ａは試料に焦点が合っていない状態の説明図、図１１Ｂは試料に焦点が合って試料を採取した状態の説明図である。
前記構成を備えた実施例１の試料検査システムＳでは、顕微分析装置２で顕微分析を行うために、ウェハＷに付着した試料を採取する場合、ユーザ８が試料取出装置１１を使用してウェハＷから試料を採取する。このとき、ユーザ８は試料採取部材５６が固定された取出装置本体１３の把持部材１４を把持し、撮像部材２１により撮像されて画像表示器１２に表示された画像を参照しながら取出装置本体１３を操作する。
【００４３】
図１１において、前記試料採取部材５６の試料採取針部５６ｂの先端に、撮像部材２１の焦点位置Ａが予め設定されているため、画像表示器１２に表示された画像では、常時、試料採取針部５６ｂの先端に焦点が合った状態で且つ画面１２ｂの同じ位置（図１１では画面中央）に表示されている。したがって、ユーザ８が画面１２ｂを参照しながら取出装置本体１３を操作して、採取したい試料７１が画面１２ｂ上で、試料採取針５６ｂの位置に合うようにすることで、試料７１が試料採取針部５６ｂの先端に静電的な力や物理的な引っかかりにより付着し、採取できる（取り出される）。
したがって、実施例１の試料採取部材５６では、予め試料採取針部５６ｂの先端に撮像部材２１の焦点位置Ａが合っている、すなわち、観察している範囲と試料７１を採取する位置とが最初から一致しているため、試料７１に焦点を合わせて観察するように取出装置本体１３を操作するだけで、試料７１を取り出すことができる。よって、図１４に示す従来技術のように、遠近感のずれにより採取に手間取るといったことが、実施例１の試料取出装置１１では少なくなり、作業を容易に行うことができる。また、前記特許文献１記載の従来技術のように顕微鏡を使用せずに微小な試料を採取することができ、顕微鏡の試料ホルダに載らない試料付着物（ウェハＷ等）から試料を採取することができると共に、実験室、研究室等の室内に限定されず、屋外でも容易に試料を採取することができる。
【００４４】
また、試料がウェハＷに貼り付いたりしていて、試料採取針部５６ｂを接触させただけでは取り出せない場合には、試料切削部材６１，６１′，６１″を装着して、試料Ｓを切削することで試料を取り出すことも可能である。このとき、試料切削部材６１，６１′，６１″の先端が、焦点位置Ａに設定されているため、図１４に示す従来技術のように遠近感により観察している位置と切削する位置がずれて切削に失敗することがある場合に比べて、容易に切削したい位置を切削することができる。
【００４５】
なお、実施例１では、試料切削部材６１，６１′では、刃部６６ｂの先端を試料に接触させた状態で、前方（画面上で奥側）から後方（画面上で手前側）に移動させることで、鉋で表面を薄く削るように試料を切削することができ、試料切削部材６１″では、後方から前方に移動させることで試料を切削することができる。あるいは、大型の試料から試料片を取り出したい場合、大型の試料に対して、刃部６６ｂを接触させた状態で、試料の厚み方向に押したり、左右方向に移動させることで、試料を切断することも可能である。よって、用途やユーザ８の使い勝手に応じて試料切削部材６１，６１′，６１″を交換したり移動方向を変更することで、任意の形状に容易に試料片を切削して取り出すことができる。
なお、切削されたり切り出された試料は、切削刃６６の先端に付着させたり、試料採取部材５６に交換して、試料採取部材５６で採取することで、試料を取り出して、試料プレート７に載せ、試料ステージ４に搬送できる。
【００４６】
さらに、実施例１では、レンズユニット３１を交換することで画像倍率を変更することができ、各レンズユニット３１の倍率だけ異ならせて焦点位置Ａを一致させておくことで、レンズユニット３１の交換後、試料取出部材５６，６１，６１′，６１″の調整をしなくても、焦点位置Ａに先端が一致した状態で速やかに使用することができる。このとき、レンズユニット３１の光学系等において、焦点深度が大きなものを選択した方が、試料取出部材５６，６１，６１′，６１″の先端から離れた試料７１も画面１２ｂ上に表示されやすくなる。
【００４７】
また、実施例１では、位置出し部材６８を柄部５６ａ，６２に装着した場合、試料交換時（図１０Ａの場合）または試料観察、試料探索持（図１０Ｂの場合）に、試料取出部材５６，６１〜６１″先端の位置出しを容易に行うことができる。すなわち、試料取出部材５６，６１〜６１″先端の焦点位置Ａへの再現性（交換時再現性または探索時再現性）が高まり、且つ容易にできる。
なお、前記位置出し部材６８は、取付部材ホルダ４６の焦点位置Ａ側または反対側に配置したが、両方に配置して、両側から取付部材ホルダ４６を挟み込むように配置し、使用する状況に応じて、いずれか一方の位置出し固定ネジ６８ｂを緩めて使用することも可能である。
【実施例２】
【００４８】
図１２は実施例２の取出装置本体の説明図であり、図１２Ａは実施例１の図３に対応する側面図、図１２Ｂは図１２Ａから光源部材を取り外した状態の平面図である。
図１３は実施例２の取出装置本体を構成する各部品の説明図であり、図１３Ａは実施例２のアタッチメントフレームの説明図、図１３Ｂはピンセット支持部材の説明図、図１３Ｃはピンセット連結部材の説明図である。
次に、本発明の実施例２の説明を行うが、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
【００４９】
図１２において、実施例２の取出装置本体１３′では、実施例１の試料取出アタッチメント４１に替えて、実施例２の試料取出アタッチメント４１′が装着されている。図１２、図１３において、前記試料取出アタッチメント４１′は、実施例１のホルダ支持部４２ｂ、４２ｃに比べて、上下方向の長さが長いホルダ支持部４２ｂ′，４２ｃ′を有する。前記ホルダ支持部４２ｂ′，４２ｃ′の上部には、実施例１と同様に構成された各孔４２ｂ１，４２ｂ２，４２ｃ１，４２ｃ２が形成されている。図１３Ａにおいて、前記ホルダ支持部４２ｂ′，４２ｃ′の下部には、ホルダ支持部４２ｂ′，４２ｃ′の内面から左右方向に延びる左右一対のピン支持用凹部８１，８２が形成されている。前記ピン支持用凹部８１，８２には、取出部外面支持用部材の一例としてのピンセット外面支持用ピン８３，８４が挿入されており、ピンセット外面支持用ピン８３，８４の内端は、ホルダ支持部４２ｂ′，４２ｃ′の内面よりも内側に突出している。
【００５０】
図１２Ａにおいて、前記取出部材ホルダ４６には、実施例１の試料取出部材５６，６１，６１′，６１″に替えて、照明部材支持体の一例としての支持棒８６が支持されている。前記支持棒８６の前端部には、焦点位置Ａを照明する照明部材の一例としてのＬＥＤライト８７が支持されている。なお、前記ＬＥＤライト８７には、図示しない配線を介して電源が供給されている。
【００５１】
図１２Ａ、図１３Ｂにおいて、前記支持棒８６の後端部には、取出部材用支持部材の一例としてのピンセット支持部材８８が支持されている。図１３Ｃにおいて、前記ピンセット支持部材８８は、板状の本体８８ａを有する。前記本体８８ａの上部には、前後方向に貫通する支持体用貫通孔の一例としての支持棒貫通孔８８ｂが形成されており、前記支持棒貫通孔８８ｂには支持棒８６が貫通した状態で保持される。
本体８８ａの上端には、上端面から前記支持棒貫通孔８８ｂまで延びる支持体固定用ネジ孔８８ｃが形成されており、支持体固定用ネジ孔８８ｃにネジ込まれる支持体固定部材の一例としての棒固定ネジＮ１１により支持棒８６の軸方向の位置が固定される。
本体８８ａの下部には、前後方向に貫通し且つ下端から上方に延びる取出部材固定用の溝部８８ｄが形成されている。前記溝部８８ｄの下端には、左右方向に貫通する固定用ネジ孔８８ｅが形成されている。
【００５２】
前記溝部８８ｄには、試料取出部材の一例としてのピンセット８９が支持されている。図１２Ｂにおいて、前記ピンセット８９は、後側の基端部８９ａと、基端部８９ａの前方に二又上に分かれて延びて互いに接近・離間する方向に移動可能な可動部８９ｂと、可動部８９ｂの先端に形成された試料取出部の一例としての摘出部８９ｃとを有する。ピンセット８９は、基端部８９ａが前記溝部８８ｄに挿入された状態で、固定用ネジ孔８８ｅに装着される固定用ネジＮ１２が締められることで、ピンセット支持部材８８に支持される。したがって、実施例１のピンセット８９は、ピンセット支持部材８８および支持棒８６を介して、取出部材ホルダ４６に間接的に保持されている。
【００５３】
また、ピンセット８９の可動部８９ｂどうしが離間した状態では、可動部８９ｂの外表面が前記ピンセット外面支持用ピン８３，８４に接触して離間しすぎないように予め設定された位置に保持される。
なお、ピンセット８９の摘出部８９ｃの先端は焦点位置Ａに対応して配置されており、試料を摘むためにユーザが可動部８９ｂどうしを指で挟んで接近させ、摘出部８９ｃの先端どうしが接触した状態において、摘出部８９ｃが焦点位置Ａに一致するように設定されている。なお、摘出部８９ｃを焦点位置Ａに一致させる調整は、実施例１と同様にして、支持棒８６を軸方向にずらしたり、支持棒８６に対してピンセット支持部材８８の位置をずらしたりすることで可能である。
【００５４】
（実施例２の作用）
前記構成を備えた実施例２の試料検査システムＳでは、取出装置本体１３′の把持部材１４を把持しつつ、ピンセット８９の可動部８９ｂの外表面に指を添えた状態で、画像表示器１２に表示された画像を参照しながら、取出装置本体１３を操作して、取り出したい試料７１が画面１２ｂ上で摘出部８９ｃの位置に対応するように操作する。そして、可動部８９ｂを指で挟むように押さえることで、摘出部８９ｃで試料７１を取り出すことができる。したがって、実施例２の試料検査システムＳでも、実施例１と同様に、微小な試料を容易に取り出すことができる。
また、実施例２の試料検査システムＳでは、ＬＥＤライト８７で焦点位置Ａが照明されており、暗所や照明が不足している室内等においても容易に試料７１を取り出すことができる。
【００５５】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例（Ｈ01）〜（Ｈ015）を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施例において、レンズユニット３１を交換型としたが、この構成に限定されず、手動または自動でピント調整可能な光学系を設けて、交換しなくても焦点位置Ａや倍率を調整可能な構成とすることも可能である。
（Ｈ02）前記実施例において、試料取出部材５６，６１，６１′，６１″として、試料の採取または切削をする場合を例示したが、試料取り出し部材としてピンセットやナイフを用意することも可能である。また、これに限定されず、例えば、液体状の試料を吸い取ることで、試料を取り出すいわゆるスポイト状の試料取出部材を装着することも可能である。あるいは、植物や動物等の生体試料に対して、試薬を塗布、噴射等する部材を取付可能とすることも可能である。さらに、例えば、特開平７−２９４３９９号公報等に記載のミニプレーンを装着することも可能である。
【００５６】
（Ｈ03）前記実施例において、試料取出部材５６，６１，６１′，６１″の先端位置を調節するための構成を設けることが望ましいが、例えば、前記（Ｈ01）のように光学系で焦点位置が調節可能な場合、試料取出部材５６，６１，６１′，６１″の先端位置を調節するための構成を省略することも可能である。
（Ｈ04）前記実施例において、筆記具（ペン）型の把持部材１４を採用したが、ペン型の形状に限定されず、把持可能な柄形状、例えば、歯ブラシの柄のような形状や、懐中電灯のような形状等、任意の形状にすることが可能である。
（Ｈ05）前記実施例において、画像表示器１２（モニター）は、取出装置本体１３と別体に構成したが、取出装置本体１３にモニターを固定する構成とすることも可能である。また、画像表示器１２と取出装置本体１３との接続は、有線のケーブルで行ったが、無線形式とすることも可能である。情報の送受信を無線化した場合、取出装置本体１３を乾電池式や充電池式等にすることで、ワイヤレス化でき、ケーブルが作業の妨げにならず、ケーブル式の場合に比べて、さらに操作性を向上させることができる。
【００５７】
（Ｈ06）前記実施例において、試料取出アタッチメント４１を撮像部材２１に対して着脱可能な構成としたが、着脱不能に固定することも可能である。あるいは、アタッチメントフレーム４２等を固定して、試料取出部材５６，６１，６１′，６１″のみ着脱可能とすることも可能である。
（Ｈ07）前記実施例において、試料取出部材５６，６１，６１′，６１″は、着脱ネジＮ４を締めたり緩めたりすることで着脱可能な構成を例示したが、試料取出部材５６，６１，６１′，６１″を着脱可能に固定する構成は、この構成に限定されず、例えば、板バネを使用して着脱可能に固定する方法等、従来公知の任意の着脱可能な固定方法を採用可能である。
【００５８】
（Ｈ08）前記実施例において、把持部材１４に対して撮像部材２１を固定し、撮像部材２１に試料取出アタッチメント４１を装着することで、撮像部材２１を介して、間接的に把持部材１４に対して試料取出アタッチメント４１を固定したが、この構成に限定されず、例えば、試料取出アタッチメント４１を直接把持部材１４に固定する構成とすることも可能である。また、把持部材を試料取出部材５６の柄部５６ａの後端部に支持する構成、すなわち、実施例では把持部材＋撮像部材に対して試料取出部材を固定していたのに替えて、試料取出部材＋把持部材に対して撮像部材を固定する形とすることも可能である。
（Ｈ09）前記実施例において、光学系に、いわゆる、イメージファイバーを採用し、焦点位置Ａの像をイメージファイバーを介して撮像部材に形成する構成とすることも可能である。
【００５９】
（Ｈ010）前記実施例において、画像表示器１２（モニター）を卓上に設置したが、この構成に限定されず、従来公知の任意の表示器とすることも可能である。例えば、従来公知のヘッドマウントディスプレイを使用したりすることも可能である。ヘッドマウントディスプレイを使用することで、実際に試料を採取するウェハＷの位置とは異なるモニター１２を見る場合に比べ、ウェハＷの方向を見ながら観察でき、さらに操作性が向上することが期待される。
（Ｈ011）前記実施例において、位置出し部材６８を装着する場合を例示したが、この構成に限定されず、例えば、柄部５６ａ，６２に目盛り等を予め形成しておき、先端が焦点位置Ａに一致した状態における目盛りを記憶、メモしておくことで、再装着時の位置出しを容易に行えるようにすることも可能である。他にも、柄部５６ａ、６２にマジック等で目印を書いておくことで同様の効果を得ることも可能である。
【００６０】
（Ｈ012）前記実施例において、顕微分析装置の一例として、従来公知の顕微ラマン分光光度計を例示したが、顕微分析装置はこの構成に限定されず、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）等の電子顕微鏡や、光学顕微鏡等、顕微分析の目的や用途に応じて任意の顕微分析装置を使用可能である。
（Ｈ013）前記実施例に例示したように、取り出した試料をそのまま顕微鏡等のサンプルステージに直接セットせず、試料保管箱等に一度格納し、顕微鏡などの置かれた場所に運送したり、顕微鏡の使用可能な時間まで保管するなど、取り出し作業と分析作業を分離することも可能である。
【００６１】
（Ｈ014）前記実施例において、実施例１の構成と実施例２の構成とを組み合わせることができる。例えば、実施例２の取出部材用支持部材の一例としてのピンセット支持部材８８において、溝部８８ｄに替えて柄部５６ａ、６２が貫通可能な孔を形成して支持することで、ＬＥＤライト８７で焦点位置Ａを照明しつつ試料採取針部５６ｂで試料７１を採取したり、切削刃６６で試料７１を切削することが可能となる。
（Ｈ015）前記実施例において、照明が不要な場合、実施例２のＬＥＤライト８７を支持棒８６から取り外して、ピンセット８９のみの構成とすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】図１は本発明の実施例１の試料取出装置を使用した試料取出方法の説明図である。
【図２】図２は図１の試料取出装置の要部拡大図である。
【図３】図３は実施例１の取出装置本体の要部断面説明図であり、図３Ａは要部を断面とした側面図、図３Ｂは図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。
【図４】図４は取出装置本体の分解説明図である。
【図５】図５は試料取出アタッチメントのフレームの説明図であり、図５Ａは正面図、図５Ｂは図５Ａの矢印ＶＢ方向から見た図、図５Ｃは図５Ａの矢印ＶＣ方向から見た図、図５Ｄは図５Ａの矢印ＶＤ方向から見た図である。
【図６】図６は試料取出アタッチメントの取出部材ホルダの説明図であり、図６Ａは正面図、図６Ｂは図６Ａの矢印ＶＩＢ方向から見た図、図６Ｃは図６Ａの矢印ＶＩＣ方向から見た図である。
【図７】図７は試料取出アタッチメントのホルダサポートの説明図であり、図７Ａは正面図、図７Ｂは図７Ａの矢印ＶＩＩＢ方向から見た図である。
【図８】図８は実施例１の試料取出部材の他の例である試料切削部材の説明図であり、図８Ａは試料切削部材が装着された状態の取出装置本体の説明図、図８Ｂは試料切削部材のヘッド部の説明図、図８Ｃは図８Ｂの矢印ＶIIIＣ方向から見た図、図８Ｄは切削刃の説明図、図８Ｅは図８Ｄの矢印ＶIIIＥ方向から見た図である。
【図９】図９は実施例１の試料切削部材の変更例の説明図であり、図９Ａは図８Ｂに対応する第１の変更例の試料切削部材のヘッド部の説明図、図９Ｂは第２の変更例の試料切削部材のヘッド部の説明図である。
【図１０】図１０は実施例１の試料取出部材に位置出し部材を装着した状態の説明図であり、図１０Ａは交換時の位置出しを行うために位置出し部材を装着した状態の説明図、図１０Ｂは試料取出時の位置出しを行うために位置出し部材を装着した状態の説明図である。
【図１１】図１１は実施例１の作用説明図であり、図１１Ａは試料に焦点が合っていない状態の説明図、図１１Ｂは試料に焦点が合って試料を採取した状態の説明図である。
【図１２】図１２は実施例２の取出装置本体の説明図であり、図１２Ａは実施例１の図３に対応する側面図、図１２Ｂは図１２Ａから光源部材を取り外した状態の平面図である。
【図１３】図１３は実施例２の取出装置本体を構成する各部品の説明図であり、図１３Ａは実施例２のアタッチメントフレームの説明図、図１３Ｂはピンセット支持部材の説明図、図１３Ｃはピンセット連結部材の説明図である。
【図１４】図１４は従来の試料採取方法の説明図である。
【符号の説明】
【００６３】
８…ユーザ、
１１…試料取出装置、
１２…画像表示器、
１４…把持部材、
２１…撮像部材、
３１ｃ…光学系、
４１…試料取出アタッチメント、
４６…取出部材ホルダ、
５６ｂ，６６ｂ，８９ｃ…試料取出部、
５６，６１，６１′，６１″，８９…取出部材、
７１…試料、
Ａ…焦点位置。
【図１】
2009229448.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2009229448.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2009229448.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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