(57)【要約】【課題】半導体装置製造装置や検査装置などを監視する複数の異常監視システムから出力されるアラームを一元的に収集して管理し、半導体装置製造における不良を低減する。【解決手段】アラーム収集処理部２は、システムＳ１〜Ｓ３から出力されるアラームを受信すると、受信データをデータベース４に登録し、装置や着工の停止条件情報から装置停止、着工停止有無を判定する。停止の場合、装置停止または着工停止を指示し、データベース４に登録されたメンバにアラーム発生をメールする。アラーム原因が登録されると、異常連絡票回覧処理部３は、次の作業者にメール通知する。その処置が登録されると、次の作業者にメール通知し、半導体ウエハのスクラップの有無が登録され、ＯＫの場合、全メンバにその結果をメールし、ＮＧの場合、次の入力者にメール通知し、該半導体ウエハがスクラップ処理されたことが登録されるとメンバ全員にメール通知する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
任意の製造装置、および任意の検査装置の異常を監視する第１の異常監視システム、および前記製造装置、および前記検査装置を用いて製造される半導体ウエハの異常を監視する第２の異常監視システムからそれぞれ出力されるアラームを一元的に収集して解析し、予め登録された連絡先にアラーム発生を通知するアラーム収集処理部と、
異常が発生した製造装置、または検査装置における原因調査から是正処置されるまでの情報を管理する異常連絡票回覧処理部とを備え、
前記異常連絡票回覧処理部は、
異常が発生した製造装置、または検査装置における異常発生の原因が入力された際に、その原因を格納すると共に、予め登録された連絡先に異常発生原因を通知し、通知した異常発生原因の是正処置が入力された際に、その是正処置の内容を格納すると共に、予め登録された連絡先に是正処置の内容を通知することを特徴とする異常回覧システム。
【請求項２】
請求項１記載の異常回覧システムにおいて、
前記異常連絡票回覧処理部は、
異常が発生した前記製造装置、または前記検査装置が関与したロットにおける半導体ウエハがスクラップにされるか否かの判定結果が入力された際に、その判定結果を格納すると共に、予め登録された連絡先に判定結果を通知し、前記半導体ウエハがスクラップされたことが入力されると、その情報を格納すると共に、予め登録された連絡先にスクラップされたことを通知することを特徴とする異常回覧システム。
【請求項３】
請求項１記載の異常回覧システムにおいて、
前記アラーム収集処理部は、
任意の前記製造装置、および任意の前記検査装置が設置されるクリーンルームの異常を監視する第３の異常監視システムから出力されるアラームを一元的に収集して解析し、予め登録された連絡先にアラーム発生を通知することを特徴とする異常回覧システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造技術に関し、特に、製造装置の異常や半導体装置の製造異常などによる半導体装置の製造不良の防止に有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程においては、製造不良を防止するために、たとえば、異常検知システムや製品異常監視システムなどの品質管理を行う管理システムが広く用いられている。
【０００３】
これらのシステムは、規格値や管理値などによって、その製品や製造装置などを監視して異常があるか否かを判断し、製品となる半導体装置や製造装置などの異常が発生した場合に、該当する半導体製造装置の処理停止などを行い、不良の作り込みを防止するものである。
【０００４】
また、この種のシステムでは、異常発生時に、その異常の通知を登録したユーザに対して、たとえば、メールや携帯電話などによりアラーム通知をするものが広く知られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記のような半導体装置製造における異常監視技術では、次のような問題点があることが本発明者により見い出された。
【０００６】
すなわち、上述したシステムにおいて、たとえば、メールによる通知の場合、ユーザには、異常発生が頻発すると各システム毎に異なったフォーマットで大量のメールが送信されてくることになり、その処置の対応に追われてしまう状況となってしまい、異常などの分析が十分にできないという問題がある。
【０００７】
また、分析する場合は、前述したように、各システムによって異常情報のフォーマットが異なっているため、異常情報を一元的に管理することができず、解析時間が長くなってしまうという問題がある。
【０００８】
さらに、解析期間が長引いてしまうことによって、異常ロットの作り込み、スクラップ発生、および歩留低下を引き起こす可能性が高まってしまうという問題がある。
【０００９】
本発明の目的は、半導体装置製造装置や検査装置などを監視する複数の異常監視システムから出力されるアラームを一元的に収集して管理し、半導体装置製造における不良を大幅に低減する技術を提供することにある。
【００１０】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴については、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１２】
本発明は、任意の製造装置、および任意の検査装置の異常を監視する第１の異常監視システム、および製造装置、および検査装置を用いて製造される半導体ウエハの異常を監視する第２の異常監視システムからそれぞれ出力されるアラームを一元的に収集して解析し、予め登録された連絡先にアラーム発生を通知するアラーム収集処理部と、異常が発生した製造装置、または検査装置における原因調査から是正処置されるまでの情報を管理する異常連絡票回覧処理部とを備え、該異常連絡票回覧処理部は、異常が発生した製造装置、または検査装置における異常発生の原因が入力された際に、その原因を格納すると共に、予め登録された連絡先に異常発生原因を通知し、通知した異常発生原因の是正処置が入力された際に、その是正処置の内容を格納すると共に、予め登録された連絡先に是正処置の内容を通知するものである。
【００１３】
また、本願のその他の発明の概要を簡単に示す。
【００１４】
本発明は、前記異常連絡票回覧処理部が、異常が発生した製造装置、または検査装置が関与したロットにおける半導体ウエハがスクラップにされるか否かの判定結果が入力された際に、その判定結果を格納すると共に、予め登録された連絡先に判定結果を通知し、半導体ウエハがスクラップされたことが入力されると、その情報を格納すると共に、予め登録された連絡先にスクラップされたことを通知するものである。
【００１５】
また、本発明は、前記アラーム収集処理部が、任意の製造装置、および任意の検査装置が設置されるクリーンルームの異常を監視する第３の異常監視システムから出力されるアラームを一元的に収集して解析し、予め登録された連絡先にアラーム発生を通知するものである。
【発明の効果】
【００１６】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００１７】
（１）多数のアラームを一元的に収集し、管理することができるので、アラーム確認漏れを防止することができる。
【００１８】
（２）また、上記（１）により、異常に対して適切、かつ迅速に対応することが可能となり、異常に対するメンテナンスの遅延などを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００２０】
図１は、本発明の実施の形態による異常回覧システムの構成例を示すブロック図、図２は、図１の異常回覧システムに設けられたアラーム収集処理部における処理例を示す説明図、図３は、図１の異常回覧システムに設けられた異常連絡票回覧処理部における処理例を示す説明図である。
【００２１】
本実施の形態において、異常回覧システム１は、複数のシステムが検出する異常情報を一元的に収集して管理する。異常回覧システム１には、図１に示すように、クリーンルーム異常監視システムＳ１、装置異常監視システムＳ２、製品異常監視システムＳ３、クリーンルーム内に設置されている半導体装置の製造装置や検査装置、およびパーソナルコンピュータなどの情報処理装置ＰＣがそれぞれ接続されている。
【００２２】
第３の異常監視システムであるクリーンルーム異常監視システムＳ１は、半導体装置製造におけるクリーンルーム内の異常を監視する。第１の異常監視システムである装置異常監視システムＳ２は、たとえば、ＦＤＣ（Ｆａｕｌｔ  Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ  Ｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎ）などからなる。
【００２３】
第２の異常監視システムである製品異常監視システムＳ３は、ＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）、およびＳＰＣ（Ｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌ）などからなる。
【００２４】
これらＦＤＣ、ＭＥＳ、ならびにＳＰＣには、クリーンルーム内に設置されている製造装置や検査装置などがそれぞれ接続されている。ＦＤＣは、製造装置や検査装置の稼動データなどを詳細に取得してリアルタイムに解析する。
【００２５】
ＭＥＳは、半導体装置の製造工程における統合生産情報システムであり、工程管理、ロット管理、品質管理、製造指示、進捗管理、工場内物流管理、生産設備制御、および保守管理などの各種の生産支援・管理を行う。
【００２６】
ＳＰＣは、統計的プロセス管理を行うシステムであり、製造工程の各測定工程で収集されたデータに基づいて統計的処理を行い、製造条件や測定データのバラツキなどを管理する。
【００２７】
異常回覧システム１は、アラーム収集処理部２、異常連絡票回覧処理部３、ならびにデータベース４から構成されている。アラーム収集処理部２は、クリーンルーム異常監視システムＳ１、装置異常監視システムＳ２、および製品異常監視システムＳ３などから出力される各種のアラームを収集する。
【００２８】
異常連絡票回覧処理部３は、アラーム収集処理部２が収集した各種のアラームを一元的に管理するとともに、製造装置や検査装置などの動作停止などの制御を行う。データベース４は、たとえば、実績テーブル、回覧フローテーブル、およびマスタテーブルなどの様々なデータが格納されている。
【００２９】
実績テーブルは、連絡票単位で保存されるテーブルである。連絡票は、たとえば、１つのアラームが収集される毎に作成される。回覧フローテーブルは、作成された連絡票の番号やユーザの連絡先などの情報からなる回覧ルート単位で保存されるテーブルであり、どこまで回覧が進捗しているかを管理する。
【００３０】
マスタテーブルは、ユーザ情報（権限登録など）、回覧ルート、および製造装置の原因解析の進捗状況の情報である連絡票フェーズ情報などの定義を管理する。
【００３１】
次に、本実施の形態における異常回覧システム１の動作について、図２、および図３を用いて説明する。
【００３２】
図２は、アラーム収集処理部２における処理例を示す説明図であり、図３は、異常連絡票回覧処理部３における処理例を示す説明図である。
【００３３】
まず、図２において、アラーム収集処理部２は、クリーンルーム異常監視システムＳ１、装置異常監視システムＳ２、および製品異常監視システムＳ３から出力される各種のアラームを監視する。
【００３４】
たとえば、クリーンルーム異常監視システムＳ１、および装置異常監視システムＳ２から出力されるアラームファイルを定期的に監視し、ファイルが存在する場合には、ファイルを読み込み、必要なデータのみ切り出して（ステップＳ１０１）、アラーム受信処理を行う。
【００３５】
また、アラーム収集処理部２は、定期的に製品異常監視システムＳ３のＭＥＳにアラームが発生していないかを問い合わせし、アラームデータを検出した場合（ステップＳ１０１）、アラーム受信処理を実行する。
【００３６】
さらに、アラーム収集処理部２は、製品異常監視システムＳ３のＳＰＣからアラームが発生した際に送信されるメールを検出し、該メールの本文を解析して必要なデータのみ切り出して（ステップＳ１０１）、アラーム受信処理を行う。
【００３７】
アラーム受信処理において、アラーム収集処理部２は、受信したデータをデータベース４の実績テーブルに書き込みする（ステップＳ１０２）。続いて、受信した以外に必要なデータ（補足データ）がある場合、外部接続されるデータウェアハウス（ＤＷＨ）に受信したデータをキーに問い合わせし、補足データを取得して、データベース４の実績テーブルに書き込みを行う（ステップＳ１０３）。
【００３８】
続いて、アラーム収集処理部２は、データベース４のマスタテーブルより、事前に登録された装置停止条件情報や着工停止条件情報などを読み込み、装置停止、または着工停止有無の判定を行う（ステップＳ１０４）。
【００３９】
ステップＳ１０４の処理において、装置停止、または着工停止が有の場合、該当する装置に対して装置停止、または着工停止などの指示を行い、装置停止、または着工停止が無の場合には、何も行わない。
【００４０】
そして、アラーム収集処理部２は、データベース４のマスタテーブルより事前に登録した製品別、装置別のメール通知先を読み込み、登録したメンバにメール通知を行う（ステップＳ１０５）。
【００４１】
その後、アラーム収集処理部２は、データベース４のマスタテーブルから、回覧ルートを、実績テーブルから異常連絡票データをそれぞれ読み込み、回覧フローテーブルに起票する連絡票番号を登録する（ステップＳ１０６）。
【００４２】
ステップＳ１０５の処理によってメールを受信した作業者（原因入力者）は、該メールに基づいて、アラームの原因の調査を行い、原因が判明すると、情報処理装置ＰＣから異常回覧システム１にログインし、データベース４に格納されている実績テーブルの連絡票を呼び出し、アラーム原因を入力する。
【００４３】
図３において、異常連絡票回覧処理部３は、原因入力者によって入力された原因をデータベース４の実績テーブル、および回覧フローテーブルに起票する連絡票番号にそれぞれ登録し、データベース４のマスタテーブルから回覧ルートデータを読み込み、該マスタテーブルに登録されている作業者（処置入力者）にメール通知する（ステップＳ２０１）。
【００４４】
メール受信した処置入力者は、該メールに基づいて、アラームの原因に対する処置を行った後、情報処理装置ＰＣから異常回覧システム１にログインし、該当する連絡票を呼び出し、処置結果を入力する。
【００４５】
異常連絡票回覧処理部３は、データベース４の実績テーブルに入力された処置結果を登録するとともに、回覧フローテーブルに起票する連絡票番号を登録し、データベース４のマスタテーブルから回覧ルートデータを読み込み、登録されている作業者（判断入力者）にメール通知する（ステップＳ２０２）。
【００４６】
メール受信した判断入力者は、受信したメールに基づいて、半導体ウエハの電気的特性確認などを行い、該当するロットの半導体ウエハをスクラップにするか否かを判断した後、情報処理装置ＰＣから異常回覧システム１にログインし、該当する連絡票を呼び出し、判断結果を入力する。
【００４７】
異常連絡票回覧処理部３は、データベース４の実績テーブルに判断結果を登録するとともに回覧フローテーブルに起票する連絡票番号を登録する（ステップＳ２０３）。
【００４８】
判断結果がＯＫの場合、異常連絡票回覧処理部３は、データベース４のマスタテーブルから回覧ルートデータを読み込み、回覧ルートに登録されているメンバ全員にその判断結果をメール通知して終了する。
【００４９】
また、判断結果がＮＧの場合、異常連絡票回覧処理部３は、スクラップ連絡票を新規発行し（異常連絡票と仕組みは同じ）、データベース４のマスタテーブルからスクラップ時の回覧ルートデータを読み込み、実績テーブルに登録されている処置入力者にメール通知する（ステップＳ２０４）。
【００５０】
メール受信した処置入力者は、該当するロットの半導体ウエハをスクラップ処理した後、情報処理装置ＰＣから異常回覧システム１にログインして、該当するスクラップ連絡票を呼び出し、画面の処置部に処理結果を入力する。
【００５１】
異常連絡票回覧処理部３は、入力されたデータをデータベース４の実績テーブルに登録すると共に、回覧フローテーブルに起票する連絡票番号を登録し、データベース４のマスタテーブルから回覧ルートデータを読み込み、登録されているメンバ全員にメール通知して（ステップＳ２０５）処理が終了となる。
【００５２】
それにより、本実施の形態によれば、製造装置や検査装置などのアラームの発生からアラームの処置、および不良の半導体ウエハの処理までを一元的に管理することができるので、アラームの確認漏れを防止することができ、製品、および装置などの処置を効率よく適切に施すことができる。
【００５３】
また、不良となった製品やスクラップ予定の製品などの流出を防止することができ、半導体製造の信頼性を向上させることができる。
【００５４】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、製造装置異常に伴う半導体装置における製造不良の防止技術に適している。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施の形態による異常回覧システムの構成例を示すブロック図である。
【図２】図１の異常回覧システムに設けられたアラーム収集処理部における処理例を示す説明図である。
【図３】図１の異常回覧システムに設けられた異常連絡票回覧処理部における処理例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  異常回覧システム
２  アラーム収集処理部
３  異常連絡票回覧処理部
４  データベース
Ｓ１  クリーンルーム異常監視システム
Ｓ２  装置異常監視システム
Ｓ３  製品異常監視システム
ＰＣ  情報処理装置
【図１】
2009290041.tif 000003
【図２】
2009290041.tif 000004
【図３】
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