(57)【要約】【課題】青色光レーザを使うブルーレイに対応して外周部に大きな入射角で光が入射しても十分な反射防止特性を得ることができる対物レンズを提供する。【解決手段】記録媒体に記録と再生との少なくとも一方を行う記録再生用装置に用いられ、かつ、レンズ基材１００の表面に反射防止層１１０が設けられた対物レンズである。反射防止層１１０は大気中からレンズ基材に向かって順に第１層１１１、第２層１１２及び第３層１１３の３層から構成され、第１層１１１の光学膜厚ｔ１、第２層１１２の光学膜厚ｔ２及び第３層の光学膜厚ｔ３が、ｔ１＜ｔ２＜ｔ３、の関係にあり、使用波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍである。【選択図】図３
2009245502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に記録と再生との少なくとも一方を行う記録再生用装置に用いられ、かつ、レ
ンズ基材の表面に反射防止層が設けられた対物レンズであって、
前記反射防止層は大気中から前記レンズ基材に向かって順に第１層、第２層及び第３層
の少なくとも３層から構成され、前記第１層の光学膜厚ｔ１、前記第２層の光学膜厚ｔ２
及び前記第３層の光学膜厚ｔ３が
ｔ１＜ｔ２＜ｔ３
の関係にあり、使用波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍである
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項２】
請求項１に記載された対物レンズにおいて、
前記レンズ基材と前記第３層との間に第４層が設けられ、
前記第４層の屈折率ｎ４が前記第１層の屈折率ｎ１、前記第２層の屈折率ｎ２及び前記
第３層の屈折率ｎ３より大きく、
前記第４層の光学膜厚ｔ４は、前記第３層の光学膜厚ｔ３より大きい
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項３】
請求項２に記載された対物レンズにおいて、
前記第４層と前記レンズ基材との間に第５層が配置され、
前記第５層の屈折率ｎ５は、前記第１層の屈折率ｎ１、前記第２層の屈折率ｎ２、第３
層の屈折率ｎ３より大きく、前記第４層の屈折率ｎ４より小さく、
前記第５層の光学膜厚ｔ５は前記第１層の光学膜厚ｔ１より小さい
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項４】
請求項１に記載された対物レンズにおいて、
前記レンズ基材と前記第３層との間に第４層、第５層及び第６層が大気中から前記レン
ズ基材に向かって順に設けられ、
前記第４層の屈折率ｎ４と前記第６層の屈折率ｎ６とが前記第１層の屈折率ｎ１、前記
第２層の屈折率ｎ２、前記第３層の屈折率ｎ３及び前記第５層の屈折率ｎ５より大きく、
前記第４層の光学膜厚ｔ４、前記第５層の光学膜厚ｔ５及び前記第６層の光学膜厚ｔ６
は、前記第１層の光学膜厚ｔ１より小さい
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項５】
請求項１に記載された対物レンズにおいて、
前記レンズ基材と前記第３層との間に第４層、第５層、第６層及び第７層が大気中から
前記レンズ基材に向かって順に設けられ、
前記第５層の屈折率ｎ５と前記第７層の屈折率ｎ７とが前記第１層の屈折率ｎ１、前記
第２層の屈折率ｎ２、前記第３層の屈折率ｎ３、前記第４層の屈折率ｎ４及び前記第６層
の屈折率ｎ６より大きく、
前記第４層の光学膜厚ｔ４、前記第５層の光学膜厚ｔ５、前記第６層の光学膜厚ｔ６及
び前記第７層の光学膜厚ｔ７は、前記第１層の光学膜厚ｔ１より小さい
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項６】
レーザ光源と、このレーザ光を記録媒体に集光する請求項１から請求項５のいずれかに
記載された対物レンズと、この対物レンズに集光されて前記記録媒体で反射された出射光
を検出する検出器とを備えたことを特徴とするピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体への記録再生用の対物レンズ、この対物レンズを備えたピックアッ
プ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ（compact disc）やＤＶＤ（digital versatile disc）の光ディスク等の記録媒体
の記録・再生を行うためにピックアップ装置が利用されている。
このピックアップ装置では、レーザ光源から照射されたレーザ光をディスク状の記録媒
体に集光する対物レンズが用いられている。この対物レンズは、焦点位置を合わせるため
に駆動機構によって記録媒体の記録面に対して近接離隔操作される。
ピックアップ装置では、青色光レーザを用いるＢｌｕ−ｒａｙ（ブルーレイ）に対応す
るために、記録情報信号の高密度化が求められている。そのため、対物レンズが記録媒体
上に集約するスポットを小さくすることが求められており、対物レンズの開口数ＮＡは大
きい程好ましい。
【０００３】
開口数ＮＡを大きくするために、対物レンズは、極めて強曲率であるとともに屈折率ｎ
が１．６以上の凸レンズが用いられる。そして、凸レンズの凸面にほぼ平行に入射するレ
ーザ光は、凸レンズの中央部では０°であるが、周縁部では６０〜７０°の入射角をもっ
て入射する。
対物レンズは、レンズ基材のレンズ入射面、出射面の両方に反射防止層が設けられてい
る。
この強曲率のレンズ基材に反射防止層を設ける場合、レンズ基材の傾斜した周辺部の面
への反射防止層の付きまわりが悪くなる。つまり、反射防止層の膜厚が薄くなり、特性が
低波長側にずれることになる。
【０００４】
これを解決する提案として、従来では、対物レンズの中心部の膜厚と周縁部の膜厚とを
光束に入射角に応じて異ならせる技術（特許文献１）や、入射角が大きくなる外周部の膜
厚が厚くなるように成膜することで、入射角が大きくなったときに低反射となる波長が短
い方にずれる入射角依存特性分を補い、良好な透過率特性を得る技術（特許文献２）があ
る。
また、対物レンズとは技術分野が異なるステッパー装置に関するものとして、広い光線
入射角度における反射防止効果を示すために、ガラス基板の上に第１層、第２層及び第３
層からなる反射防止膜を設け、これらの反射防止層各層の厚さを変えた技術（特許文献３
）や、ガラス基板の上に第１層、第２層、第３層及び第４層からなる反射防止膜を設け、
これらの各層の厚さを変えたもの（特許文献４）がある。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１６０９０６号公報
【特許文献２】特開２００４−３３３９０８号公報
【特許文献３】特開平１１−２４８９０３号公報
【特許文献４】特開２００１−４８０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１，２で示される従来例は、レンズの中心部領域と周縁部領域とで膜厚が異な
る構成であるが、その製造工程が複雑となるばかりではなく、周縁部での６０°以上での
レーザ光の入射に対する対応が十分にとれるものではない。
特許文献３，４では、設計波長が１２０ｎｍ〜３００ｎｍに適用であり、入射角度が５
０°までの範囲でしか適用されない。
換言すれば、特許文献３，４の従来例は、設計波長が１２０ｎｍ〜３００ｎｍに適用さ
れるステッパー装置であるため、使用波長が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍであるブルーレイ対
応というピックアップ装置の対物レンズ特有の課題を解決できるものではない。
【０００７】
本発明の目的は、青色光レーザを使うブルーレイに対応して外周部に大きな入射角で光
が入射しても十分な反射防止特性を得ることができる対物レンズ及びピックアップ装置を
提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本適用例に係わる対物レンズは、記録媒体に記録と再生との少なくとも一方を行う記録
再生用装置に用いられ、かつ、レンズ基材の表面に反射防止層が設けられた対物レンズで
あって、前記反射防止層は大気中から前記レンズ基材に向かって順に第１層、第２層及び
第３層の少なくとも３層から構成され、前記第１層の光学膜厚ｔ１、前記第２層の光学膜
厚ｔ２及び前記第３層の光学膜厚ｔ３が、ｔ１＜ｔ２＜ｔ３、の関係にあり、使用波長が
３５０ｎｍ〜４５０ｎｍであることを特徴とする。
【０００９】
この構成の本適用例では、例えば、第１層の光学膜厚ｔ１を０．２５９λ、第２層の光
学膜厚ｔ２を０．２９５λ、及び第３層の光学膜厚ｔ３を０．５３０λのように、ｔ１＜
ｔ２＜ｔ３とすることで、ブルーレイに対応した使用波長、例えば、４０５ｎｍのレーザ
光を外周部に大きな入射角６０°で入射させても、反射率を３％以下にすることができ、
十分な反射防止特性を得ることができる。
この効果は、反射防止層を構成する第１層、第２層及び第３層をそれぞれ均一な厚さで
成膜しても達成することができる。反射防止層を構成する層をそれぞれ均一な層で成膜す
ることで、反射防止層の形成を容易に行うことができる。
【００１０】
［適用例２］
本適用例に係わる対物レンズは、前記レンズ基材と前記第３層との間に第４層が設けら
れ、前記第４層の屈折率ｎ４が前記第１層の屈折率ｎ１、前記第２層の屈折率ｎ２及び前
記第３層の屈折率ｎ３より大きく、前記第４層の光学膜厚ｔ４は、前記第３層の光学膜厚
ｔ３より大きいことを特徴とする。
この構成の本適用例では、例えば、第１層の光学膜厚ｔ１を０．２３５λ、第２層の光
学膜厚ｔ２を０．３２１λ、及び第３層の光学膜厚ｔ３を０．４７６λのように、ｔ１＜
ｔ２＜ｔ３とした上で、第４層の光学膜厚ｔ４を第３層の光学膜厚ｔ３より大きな０．４
８４λとした４層構成の反射防止層において、ブルーレイに対応した使用波長、例えば、
４０５ｎｍのレーザ光を外周部に大きな入射角６０°で入射させても、反射率を３％以下
にすることができて十分な反射防止特性を得ることができる。
【００１１】
［適用例３］
本適用例に係わる対物レンズは、前記第４層と前記レンズ基材との間に第５層が配置さ
れ、前記第５層の屈折率ｎ５は、前記第１層の屈折率ｎ１、前記第２層の屈折率ｎ２、第
３層の屈折率ｎ３より大きく、前記第４層の屈折率ｎ４より小さく、前記第５層の光学膜
厚ｔ５は前記第１層の光学膜厚ｔ１より小さいことを特徴とする。
この構成の本適用例では、例えば、第１層の光学膜厚ｔ１を０．２５７λ、第２層の光
学膜厚ｔ２を０．３０２λ、及び第３層の光学膜厚ｔ３を０．５１６λのように、ｔ１＜
ｔ２＜ｔ３とした上で、第４層の光学膜厚ｔ４を０．４６３λ、第５層の光学膜厚ｔ５を
第１層の光学膜厚ｔ１より小さな０．１０７λとし、第５層の屈折率ｎ５を、第１層の屈
折率ｎ１＝１．３９０、第２層の屈折率ｎ２＝１．８５７、第３層の屈折率ｎ３＝１．３
９０より大きく、第４層の屈折率ｎ４＝２．６００より小さい１．９６６とした５層構成
の反射防止層において、ブルーレイに対応した使用波長、例えば、４０５ｎｍのレーザ光
を外周部に大きな入射角６０°で入射させても、反射率を３％以下にすることができて十
分な反射防止特性を得ることができる。
【００１２】
［適用例４］
本適用例に係わる対物レンズは、前記レンズ基材と前記第３層との間に第４層、第５層
及び第６層が大気中から前記レンズ基材に向かって順に設けられ、前記第４層の屈折率ｎ
４と前記第６層の屈折率ｎ６とが前記第１層の屈折率ｎ１、前記第２層の屈折率ｎ２、前
記第３層の屈折率ｎ３及び前記第５層の屈折率ｎ５より大きく、前記第４層の光学膜厚ｔ
４、前記第５層の光学膜厚ｔ５及び前記第６層の光学膜厚ｔ６は、前記第１層の光学膜厚
ｔ１より小さいことを特徴とする。
この構成の本適用例では、例えば、第１層の光学膜厚ｔ１を０．２６０λ、第２層の光
学膜厚ｔ２を０．３０５λ、及び第３層の光学膜厚ｔ３を０．５７０λのように、ｔ１＜
ｔ２＜ｔ３とした上で、第４層の光学膜厚ｔ４を０．１７３λ、第５層の光学膜厚ｔ５を
０．０８８λ、第６層の光学膜厚ｔ６を０．１４１λとし、第４層の屈折率ｎ４と第６層
の屈折率ｎ６とを、第１層の屈折率ｎ１＝１．３９０、第２層の屈折率ｎ２＝１．８７２
、第３層の屈折率ｎ３＝１．３９０及び第５層の屈折率ｎ５＝１．４７０より大きい２．
５５０とした６層構成の反射防止層において、ブルーレイに対応した使用波長、例えば、
４０５ｎｍのレーザ光を外周部に大きな入射角６０°で入射させても、反射率を３％以下
にすることができて十分な反射防止特性を得ることができる。
【００１３】
［適用例５］
本適用例に係わる対物レンズは、前記レンズ基材と前記第３層との間に第４層、第５層
、第６層及び第７層が大気中から前記レンズ基材に向かって順に設けられ、前記第５層の
屈折率ｎ５と前記第７層の屈折率ｎ７とが前記第１層の屈折率ｎ１、前記第２層の屈折率
ｎ２、前記第３層の屈折率ｎ３、前記第４層の屈折率ｎ４及び前記第６層の屈折率ｎ６よ
り大きく、前記第４層の光学膜厚ｔ４、前記第５層の光学膜厚ｔ５、前記第６層の光学膜
厚ｔ６及び前記第７層の光学膜厚ｔ７は、前記第１層の光学膜厚ｔ１より小さいことを特
徴とする。
この構成の本適用例では、例えば、第１層の光学膜厚ｔ１を０．２４８λ、第２層の光
学膜厚ｔ２を０．３１６λ、及び第３層の光学膜厚ｔ３を０．４０３λのように、ｔ１＜
ｔ２＜ｔ３とした上で、第４層の光学膜厚ｔ４を０．２００λ、第５層の光学膜厚ｔ５を
０．１７５λ、第６層の光学膜厚ｔ６を０．０７８λ、第７層の光学膜厚ｎ７を０．１０
５λとし、第５層の屈折率ｎ５と第７層の屈折率ｎ７とを、第１層の屈折率ｎ１＝１．３
９０、第２層の屈折率ｎ２＝１．８５６、第３層の屈折率ｎ３＝１．３９０、第４層の屈
折率ｎ４＝１．６６４及び第６層の屈折率ｎ６＝１．３９０より大きい２．５５０とした
７層構成の反射防止層において、ブルーレイに対応した使用波長、例えば、４０５ｎｍの
レーザ光を外周部に大きな入射角６０°で入射させても、反射率を３％以下にすることが
できて十分な反射防止特性を得ることができる。
【００１４】
［適用例６］
本適用例に係わるピックアップ装置は、レーザ光源と、このレーザ光を記録媒体に集光
する前記対物レンズと、この対物レンズに集光されて前記記録媒体で反射された出射光を
検出する検出器とを備えたことを特徴とする。
この構成の本適用例では、前述の効果を奏することができるピックアップ装置を提供す
ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１には本実施形態にかかるピックアップ装置１０が示されている。
図１において、本実施形態のピックアップ装置１０は、例えば、ブルーレイ用のピック
アップ装置である。
ピックアップ装置１０は、レーザ光源１１と、このレーザ光源１１から照射されるレー
ザ光を記録媒体である光ディスクＤに集光する対物レンズ１と、この対物レンズ１に集光
されて光ディスクＤで反射された出射光を検出する検出器１２とを備えて構成されている
。レーザ光源１１は、その照射するレーザ光の波長範囲が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍである
。
対物レンズ１は、その周縁部が図示しないホルダに保持されるとともに、このホルダが
図示しない駆動機構に連結されている。この駆動機構に通電することで、対物レンズ１が
光ディスクＤに対して近接離隔される。
【００１６】
この検出器１２と対物レンズ１との間であってレーザ光源１１と対物レンズ１との光路
中には、レーザ光源１１から出射されるレーザ光の一部を対物レンズ１に送るとともにレ
ーザ光の残りの一部を透過するハーフミラー１３が配置されている。ハーフミラー１３で
透過されたレーザ光はフロントモニタ１４でモニターされている。
このハーフミラー１３とレーザ光源１１との間にはグレーティング１５が配置されてい
る。グレーティング１５とハーフミラー１３との間には波長板１６が配置されている。
ハーフミラー１３と対物レンズ１との間にはコリメートレンズ１７と、立上ミラー１８
とが配置されており、これらのコリメートレンズ１７と立上ミラー１８との間には積層波
長板１９が配置されている。
【００１７】
本実施形態の対物レンズ１の構造が図２に示されている。
図２において、対物レンズ１は、レーザ光が入射される入射面１Ａが極めて強曲率に形
成されるとともに、レーザ光が出射される出射面１Ｂは略平坦に形成されている。この出
射面１Ｂ側は所定の直径ｄ、例えば、３から４ｍｍの直径となっている。
平行なレーザ光は、入射面１Ａに対して入射角αで入るものであり、この入射角αはレ
ンズ中央部では０°、レンズ周辺部では６０°〜７０°である。
対物レンズ１は屈折率ｎが１．６以上のガラス材料を熱プレスで形成したレンズ基材を
備え、このレンズ基材の入射面１Ａと出射面１Ｂとの両面に反射防止層が形成されている
。
この反射防止層は、４０５±５ｎｍ程度の波長の光の透過率を高くするものであって、
反射防止層を構成する各層が真空蒸着、イオンアシスト蒸着、イオンプレーティング、ス
パッタ等の従来より実施されている成膜方法で略均一に形成される。
【００１８】
図３から図７には、それぞれ対物レンズ１の異なる断面構造が示されている。図３は反
射防止層が３層から構成される対物レンズ１の断面図であり、図４は反射防止層が６層か
ら構成される対物レンズ１の断面図であり、図５は反射防止層が４層から構成される対物
レンズ１の断面図であり、図６は反射防止層が５層から構成される対物レンズ１の断面図
であり、図７は反射防止層が７層から構成される対物レンズ１の断面図である。
図３において、対物レンズ１は、レンズ基材１００と、このレンズ基材１００の表面に
成膜された反射防止層１１０とを備え、この反射防止層１１０は大気中からレンズ基材１
００に向かって順に第１層１１１、第２層１１２及び第３層１１３から構成される。
第１層１１１は、０．２〜０．３λの光学膜厚ｔ１を有し、その屈折率がｎ１の低屈折
層である。第２層１１２は０．２５〜０．４λの光学膜厚ｔ２を有し、その屈折率がｎ２
の高屈折層である。第３層１１３は０．４〜０．６λの光学膜厚ｔ３を有し、その屈折率
がｎ３の低屈折層である。
第１層１１１、第３層１１３はできるだけ低屈折率のものが望ましく、光学薄膜に広く
使われる材料のＭｇＦ２、ＳｉＯ２、その他の無機材料を例示することができる。第２層
１１２は、高屈折材料として、ＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｍ２(Ｍ
ＥＲＫ社商品名：Ｌａ−Ａｌ系混合酸化物)、Ｍ３(ＭＥＲＫ社商品名：Ｌａ−Ａｌ系混合
酸化物)、Ａｌ２Ｏ３あるいはＳｉＯ２等とＺｒＯ２、あるいはＮｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５
、ＴｉＯ２との混合酸化物を例示できる。
第１層１１１から第２層１１３の光学膜厚ｔ１〜ｔ３には、ｔ１＜ｔ２ ＜ｔ３の関係
がある。
第１層１１１から第３層１１３の屈折率ｎ１〜ｎ３には、ｎ１，ｎ３＜ｎ２の関係があ
る。ｎ１とｎ３とは同じでも一方が大きくてもよい。
【００１９】
図４において、対物レンズ１は、レンズ基材１００と、このレンズ基材１００の表面に
成膜された反射防止層１１０とを備え、この反射防止層１１０は大気中からレンズ基材１
００に向かって順に第１層１１１、第２層１１２、第３層１１３、第４層１１４、第５層
１１５及び第６層１１６から構成される。
第１層１１１は、光学膜厚ｔ１を有し、その屈折率がｎ１の低屈折層である。第２層１
１２は光学膜厚ｔ２を有し、その屈折率がｎ２の高屈折層である。第３層１１３は光学膜
厚ｔ３を有し、その屈折率がｎ３の低屈折層である。第４層１１４は光学膜厚ｔ４を有し
、その屈折率がｎ４の高屈折層である。第５層１１５は光学膜厚ｔ５を有し、その屈折率
がｎ５の低屈折層である。第６層１１６は光学膜厚ｔ６を有し、その屈折率がｎ６の高屈
折層である。
第１層１１１、第３層１１３、第５層１１５はできるだけ低屈折率のものが望ましく、
光学薄膜に広く使われる材料のＭｇＦ２、ＳｉＯ２、その他の無機材料を例示することが
できる。第２層１１２，第４層１１４及び第６層１１６は、その材料として、ＺｒＯ２、
Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｍ２(ＭＥＲＫ社商品名：Ｌａ−Ａｌ系混合酸化物)
、Ｍ３(ＭＥＲＫ社商品名：Ｌａ−Ａｌ系混合酸化物)、Ａｌ２Ｏ３あるいはＳｉＯ２等と
ＺｒＯ２、あるいはＮｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２との混合酸化物の高屈折材料を例
示できる。
第１層１１１から第６層１１６の光学膜厚ｔ１〜ｔ６にはｔ６＜ｔ５＜ｔ４＜ｔ１＜ｔ
２＜ｔ３の関係がある。
第４層１１４の屈折率ｎ４と第６層１１６の屈折率ｎ６とが第１層１１１の屈折率ｎ１
、第２層１１２の屈折率ｎ２、第３層１１３の屈折率ｎ３及び第５層１１５の屈折率ｎ５
より大きい。
【００２０】
図５において、対物レンズ１は、レンズ基材１００と、このレンズ基材１００の表面に
成膜された反射防止層１１０とを備え、この反射防止層１１０は大気中からレンズ基材１
００に向かって順に第１層１１１、第２層１１２、第３層１１３及び第４層１１４から構
成される。
第１層１１１は、光学膜厚ｔ１を有し、その屈折率がｎ１の低屈折層である。第２層１
１２は光学膜厚ｔ２を有し、その屈折率がｎ２の高屈折層である。第３層１１３は光学膜
厚ｔ３を有し、その屈折率がｎ３の低屈折層である。第４層１１４は光学膜厚ｔ４を有し
、その屈折率がｎ４の高屈折層である。
第１層１１１及び第３層１１３はできるだけ低屈折率のものが望ましく、光学薄膜に広
く使われる材料のＭｇＦ２、ＳｉＯ２、その他の無機材料を例示することができる。第２
層１１２及び第４層１１４は、その材料として、ＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ａｌ
２Ｏ３、Ｍ２(ＭＥＲＫ社商品名：Ｌａ−Ａｌ系混合酸化物)、Ｍ３(ＭＥＲＫ社商品名：
Ｌａ−Ａｌ系混合酸化物)、Ａｌ２Ｏ３あるいはＳｉＯ２等とＺｒＯ２、あるいはＮｂ２
Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２との混合酸化物の高屈折材料を例示できる。
第４層１１４の屈折率ｎ４は第１層１１１の屈折率ｎ１、第２層１１２の屈折率ｎ２及
び第３層１１３の屈折率ｎ３より大きい。
第１層１１１から第４層１１４の光学膜厚ｔ１〜ｔ４にはｔ１＜ｔ２＜ｔ３＜ｔ４の関
係がある。
【００２１】
図６において、対物レンズ１は、レンズ基材１００と、このレンズ基材１００の表面に
成膜された反射防止層１１０とを備え、この反射防止層１１０は大気中からレンズ基材１
００に向かって順に第１層１１１、第２層１１２、第３層１１３、第４層１１４及び第５
層１１５から構成される。
第１層１１１は、光学膜厚ｔ１を有し、その屈折率がｎ１の低屈折層である。第２層１
１２は光学膜厚ｔ２を有し、その屈折率がｎ２の高屈折層である。第３層１１３は光学膜
厚ｔ３を有し、その屈折率がｎ３の低屈折層である。第４層１１４は光学膜厚ｔ４を有し
、その屈折率がｎ４の高屈折層である。第５層１１５は光学膜厚ｔ５を有し、その屈折率
がｎ５の低屈折層である。
第１層１１１、第３層１１３はできるだけ低屈折率のものが望ましく、光学薄膜に広く
使われる材料のＭｇＦ２、ＳｉＯ２、その他の無機材料を例示することができる。第２層
１１２，第４層１１４及び第５層１１５は、その材料として、ＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｔ
ｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｍ２(ＭＥＲＫ社商品名：Ｌａ−Ａｌ系混合酸化物)、Ｍ３(ＭＥＲ
Ｋ社商品名：Ｌａ−Ａｌ系混合酸化物)、Ａｌ２Ｏ３あるいはＳｉＯ２等とＺｒＯ２、あ
るいはＮｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２との混合酸化物の高屈折材料を例示できる。
第５層１１５の屈折率ｎ５は、第１層１１１の屈折率ｎ１、第２層１１２の屈折率ｎ２
、第３層１１３の屈折率ｎ３より大きく、第４層の屈折率ｎ４より小さい。
第１層１１１から第５層１１５の光学膜厚ｔ１〜ｔ５にはｔ５＜ｔ１＜ｔ２＜ｔ４＜ｔ
３の関係がある。
【００２２】
図７において、対物レンズ１は、レンズ基材１００と、このレンズ基材１００の表面に
成膜された反射防止層１１０とを備え、この反射防止層１１０は大気中からレンズ基材１
００に向かって順に第１層１１１、第２層１１２、第３層１１３、第４層１１４、第５層
１１５、第６層１１６及び第７層１１７から構成される。
第１層１１１は、光学膜厚ｔ１を有し、その屈折率がｎ１の低屈折層である。第２層１
１２は光学膜厚ｔ２を有し、その屈折率がｎ２の高屈折層である。第３層１１３は光学膜
厚ｔ３を有し、その屈折率がｎ３の低屈折層である。第４層１１４は光学膜厚ｔ４を有し
、その屈折率がｎ４の中屈折層である。第５層１１５は光学膜厚ｔ５を有し、その屈折率
がｎ５の高屈折層である。第６層１１６は光学膜厚ｔ６を有し、その屈折率がｎ６の低屈
折層である。第７層１１７は光学膜厚ｔ７を有し、その屈折率がｎ７の高屈折層である。
第１層１１１、第３層１１３及び第６層１１６はできるだけ低屈折率のものが望ましく
、光学薄膜に広く使われる材料のＭｇＦ２、ＳｉＯ２、その他の無機材料を例示すること
ができる。第２層１１２、第５層１１５及び第７層１１７は、その材料として、ＺｒＯ２
、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５等の高屈折材料を例示できる。第４層１１４は、Ａ
ｌ２Ｏ３、Ｍ２(ＭＥＲＫ社商品名：Ｌａ−Ａｌ系混合酸化物)、Ｍ３(ＭＥＲＫ社商品名
：Ｌａ−Ａｌ系混合酸化物)、Ａｌ２Ｏ３あるいはＳｉＯ２等とＺｒＯ２、あるいはＮｂ
２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２との混合酸化物の高屈折材料を例示できる。
第５層１１５の屈折率ｎ５と第７層１１７の屈折率ｎ７とが第１層１１１の屈折率ｎ１
、第２層１１２の屈折率ｎ２、第３層１１３の屈折率ｎ３、第４層１１４の屈折率ｎ４及
び第６層１１６の屈折率ｎ６より大きい。
第１層１１１から第７層１１７の光学膜厚ｔ１〜ｔ７にはｔ６＜ｔ７＜ｔ５＜ｔ４＜ｔ
１＜ｔ２＜ｔ３の関係がある。
【００２３】
次に、本実施形態における対物レンズ１の効果を確認するために実施例について説明す
る。
［実施例１］
実施例１の対物レンズ１は図３に示される実施形態に対応したもので、屈折率ｎが１．
６５０の硝材から形成されたレンズ基材と第１層から第３層からなる反射防止層とを備え
た構造である。反射防止層を構成する各層の具体的な構成を表１に示す。なお、表１にお
いて、光学膜厚で示されるλはブルーレイ対応の使用波長である４０５ｎｍである。
【００２４】
【表１】
2009245502.tif 000003
【００２５】
実施例１における結果を図８及び図９に示す。図８は実施例１の対物レンズを用い、波
長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結果を示
すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方
の結果を示した。図９は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関係をＳ偏
光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図８に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である３
５０ｎｍ〜４５０ｎｍでは反射率が約３．５％以下という低い値にあることがわかる。
そして、図９に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６０
°の値では、Ｓ偏光Ｒｓの反射率が略１．５％であり、Ｐ偏光Ｒｐの反射率が略２．８％
という極めて低い値となる。
【００２６】
［実施例２］
実施例２の対物レンズ１は図４に示される実施形態に対応したもので、屈折率ｎが１．
６５０の硝材から形成されたレンズ基材と第１層から第６層からなる反射防止層とを備え
た構造である。反射防止層を構成する各層の具体的な構成を表２に示す。なお、表２にお
いて、光学膜厚で示されるλはブルーレイ対応の使用波長である４０５ｎｍである。
【００２７】
【表２】
2009245502.tif 000004
【００２８】
実施例２における結果を図１０及び図１１に示す。図１０は実施例２の対物レンズを用
い、波長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結
果を示すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐと
の双方の結果を示した。図１１は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関
係をＳ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図１０に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である
３５０ｎｍ〜４５０ｎｍでは反射率が２．５％以下という極めて低い値にあることがわか
る。他の領域においても反射率が低い値にある。
そして、図１１に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６
０°の値では、Ｓ偏光Ｒｓの反射率が略１．０％であり、Ｐ偏光Ｒｐの反射率が略１．８
％という極めて低い値となる。
【００２９】
［実施例３］
実施例３の対物レンズ１は図４に示される実施形態に対応したもので、屈折率ｎが１．
６５０の硝材から形成されたレンズ基材と第１層から第６層からなる反射防止層とを備え
た構造である。反射防止層を構成する各層の具体的な構成を表３に示す。なお、表３にお
いて、光学膜厚で示されるλはブルーレイ対応の使用波長である４０５ｎｍである。
【００３０】
【表３】
2009245502.tif 000005
【００３１】
実施例３における結果を図１２及び図１３に示す。図１２は実施例３の対物レンズを用
い、波長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結
果を示すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐと
の双方の結果を示した。図１３は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関
係をＳ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図１２に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である
３５０ｎｍ〜４５０ｎｍでは反射率が３．５％以下という極めて低い値にあることがわか
る。
そして、図１３に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６
０°の値では、Ｓ偏光Ｒｓの反射率が略１．５％であり、Ｐ偏光Ｒｐの反射率が略２．５
％という極めて低い値となる。
【００３２】
［実施例４］
実施例４の対物レンズ１は図５に示される実施形態に対応したもので、屈折率ｎが１．
６５０の硝材から形成されたレンズ基材と第１層から第４層からなる反射防止層とを備え
た構造である。反射防止層を構成する各層の具体的な構成を表４に示す。なお、表４にお
いて、光学膜厚で示されるλはブルーレイ対応の使用波長である４０５ｎｍである。
【００３３】
【表４】
2009245502.tif 000006
【００３４】
実施例４における結果を図１４及び図１５に示す。図１４は実施例４の対物レンズを用
い、波長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結
果を示すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐと
の双方の結果を示した。図１５は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関
係をＳ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図１４に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である
３５０ｎｍ〜４３０ｎｍでは反射率が３．５％以下という極めて低い値にあることがわか
る。
そして、図１５に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６
０°の値では、Ｓ偏光Ｒｓの反射率が略１．０％であり、Ｐ偏光Ｒｐの反射率が略２．５
％という極めて低い値となる。
【００３５】
［実施例５］
実施例５の対物レンズ１は図４に示される実施形態に対応したもので、屈折率ｎが１．
６５０の硝材から形成されたレンズ基材と第１層から第６層からなる反射防止層とを備え
た構造である。反射防止層を構成する各層の具体的な構成を表５に示す。なお、表５にお
いて、光学膜厚で示されるλはブルーレイ対応の使用波長である４０５ｎｍである。
【００３６】
【表５】
2009245502.tif 000007
【００３７】
実施例５における結果を図１６及び図１７に示す。図１６は実施例５の対物レンズを用
い、波長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結
果を示すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐと
の双方の結果を示した。図１７は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関
係をＳ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図１６に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である
３５０ｎｍ〜４３０ｎｍでは反射率が３．５％以下という極めて低い値にあることがわか
る。
そして、図１７に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６
０°の値では、Ｓ偏光Ｒｓの反射率が略１．０％であり、Ｐ偏光Ｒｐの反射率が略１．８
％という極めて低い値となる。
【００３８】
［実施例６］
実施例６の対物レンズ１は図６に示される実施形態に対応したもので、屈折率ｎが１．
６５０の硝材から形成されたレンズ基材と第１層から第５層からなる反射防止層とを備え
た構造である。反射防止層を構成する各層の具体的な構成を表６に示す。なお、表６にお
いて、光学膜厚で示されるλはブルーレイ対応の使用波長である４０５ｎｍである。
【００３９】
【表６】
2009245502.tif 000008
【００４０】
実施例６における結果を図１８及び図１９に示す。図１８は実施例６の対物レンズを用
い、波長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結
果を示すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐと
の双方の結果を示した。図１９は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関
係をＳ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図１８に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である
３５０ｎｍ〜４３０ｎｍでは反射率が３．５％以下という極めて低い値にあることがわか
る。
そして、図１９に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６
０°の値では、Ｓ偏光Ｒｓの反射率が略１．０％であり、Ｐ偏光Ｒｐの反射率が略１．８
％という極めて低い値となる。
【００４１】
［実施例７］
実施例７の対物レンズ１は図７に示される実施形態に対応したもので、屈折率ｎが１．
６５０の硝材から形成されたレンズ基材と第１層から第７層からなる反射防止層とを備え
た構造である。反射防止層を構成する各層の具体的な構成を表７に示す。なお、表７にお
いて、光学膜厚で示されるλはブルーレイ対応の使用波長である４０５ｎｍである。
【００４２】
【表７】
2009245502.tif 000009
【００４３】
実施例７における結果を図２０及び図２１に示す。図２０は実施例７の対物レンズを用
い、波長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結
果を示すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐと
の双方の結果を示した。図２１は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関
係をＳ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図２０に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である
３５０ｎｍ〜４３０ｎｍでは反射率が３．５％以下という極めて低い値にあることがわか
る。
そして、図２１に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６
０°の値では、Ｓ偏光Ｒｓの反射率が略０．５％であり、Ｐ偏光Ｒｐの反射率が略１．０
％という極めて低い値となる。
【００４４】
次に、比較例について説明する。
［比較例１］
比較例１の対物レンズは、屈折率ｎが１．６５０の硝材から形成されたレンズ基材に、
材料がＭｇＦ２であり、光学膜厚が０．２５λ、物理膜厚が７２．８ｎｍの１層からなる
反射防止層が設けられた構造である。なお、λはブルーレイ対応の使用波長である４０５
ｎｍである。
【００４５】
比較例１における結果を図２２及び図２３に示す。図２２は比較例１の対物レンズを用
い、波長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結
果を示すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐと
の双方の結果を示した。図２３は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関
係をＳ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図２２に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である
３５０ｎｍ〜４５０ｎｍではＰ偏光の反射率Ｒｐが３．０％以下であるが、Ｓ偏光の反射
率Ｒｓが７％を超える高い値にあることがわかる。
そして、図２３に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６
０°の値では、Ｐ偏光の反射率Ｒｐが略１．０％という値であるものの、Ｓ偏光の反射率
Ｒｓが８．５％という高い値となる。
【００４６】
［比較例２］
比較例２の対物レンズは、屈折率ｎが１．６５０の硝材から形成されたレンズ基材に、
低屈折層と高屈折層とがそれぞれ１層から構成された反射防止層が設けられた構造である
。反射防止層を構成する各層の具体的な構成を表８に示す。なお、表８において、光学膜
厚で示されるλはブルーレイ対応の使用波長である４０５ｎｍである。
【００４７】
【表８】
2009245502.tif 000010
【００４８】
比較例２における結果を図２４及び図２５に示す。図２４は比較例２の対物レンズを用
い、波長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結
果を示すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐと
の双方の結果を示した。図２５は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関
係をＳ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図２４に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である
３５０ｎｍ〜４５０ｎｍではＰ偏光の反射率Ｒｐが３．０％以下であるが、Ｓ偏光の反射
率Ｒｓが１０％を超える高い値にあることがわかる。
そして、図２５に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６
０°の値では、Ｐ偏光の反射率ＲｐとＳ偏光の反射率Ｒｓとがともに４．０％を超える高
い値となる。
【００４９】
［比較例３］
比較例３の対物レンズは、屈折率ｎが１．６５０の硝材から形成されたレンズ基材に、
低屈折層、高屈折層及び低屈折層の３層からなる反射防止層が設けられた構造である。反
射防止層を構成する各層の具体的な構成を表９に示す。なお、表９において、光学膜厚で
示されるλはブルーレイ対応の使用波長である４０５ｎｍである。
【００５０】
【表９】
2009245502.tif 000011
【００５１】
比較例３における結果を図２６及び図２７に示す。図２６は比較例３の対物レンズを用
い、波長と反射率との関係を入射角αが０°、２０°、４０°、６０°の場合における結
果を示すグラフであり、２０°、４０°、６０°の場合では、Ｓ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐと
の双方の結果を示した。図２７は波長が４０５ｎｍの場合における入射角と反射率との関
係をＳ偏光ＲｓとＰ偏光Ｒｐとの双方で示すグラフである。
図２６に示される通り、入射角αが６０°である場合において、ブルーレイ領域である
３５０ｎｍ〜４５０ｎｍではＰ偏光の反射率Ｒｐが４．５％以下であり、Ｓ偏光の反射率
Ｒｓが３．５〜６．５％の値にあることがわかる。
そして、図２７に示される通り、波長が４０５ｎｍである場合において、入射角αが６
０°の値では、Ｐ偏光の反射率Ｒｐが２．５％であるが、Ｓ偏光の反射率Ｒｓが４．５％
という高い値となる。
【００５２】
以上の実施例と比較例との対比から、第１層１１１、第２層１１２及び第３層１１３の
少なくとも３層から反射防止層１１０を構成し、第１層１１１の光学膜厚ｔ１、第２層１
１２の光学膜厚ｔ２及び第３層１１３の光学膜厚ｔ３を、ｔ１＜ｔ２＜ｔ３、の関係にあ
る各実施例はブルーレイに対応した使用波長４０５ｎｍのレーザ光を大きな入射角６０°
で入射させても、反射率を３％以下にすることができて十分な反射防止特性を得ることが
できることがわかる。
【００５３】
さらに、５層構成の反射防止層を有する実施例６と、７層構成の反射防止層を有する実
施例７とを検討すると、実施例４の４層構成の第４層を等価的な薄い膜に分割して置き換
えたバリエーションとなっていることがわかる。つまり、実施例４の第４層は光学膜厚ｔ
４が略０．５λであり、屈折率ｎ４が第２層１１２の屈折率ｎ４＝1.829より高い2.163と
なっている。
実施例６の５層構成の反射防止層では、４層から反射防止層を構成する実施例４と比較
してあまり特性は改善しないが、実施例４の第４層を２層の等価膜に置き換えたものとな
っており、第４層と第５層の光学膜厚の合計が概略0.5であり、屈折率は等価的に２．２
程度である。
実施例２の６層構成の反射防止層では実施例４の第４層を３層の等価な膜に置き換えた
ものになっており、特性の改善も著しい。
実施例７の７層構成の反射防止層では実施例４の第４層を４層の等価な膜に置き換えた
ものになっており、特性の改善はさらに著しい。
【００５４】
そして、本実施形態では、反射防止層を構成する各層を略均一な膜として形成するため
、反射防止層の形成を容易に行うことができ、大量生産が可能となる。
【００５５】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる
範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、対物レンズ１の材料をガラスとしたが、本発明では、プラ
スチックでもよい。対物レンズ１の材料をプラスチックにすれば、対物レンズ１を軽量に
することができる。
【００５６】
さらに、本発明の対物レンズはピックアップ装置以外の装置、例えば、プロジェクタ
、顕微鏡、その他の光学製品に用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、ピックアップ装置、その他の装置に用いられる対物レンズに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施形態にかかるピックアップ装置を示す概略斜視図。
【図２】本発明の一実施形態にかかる対物レンズの概略構成図。
【図３】反射防止層が３層から構成される対物レンズの断面図。
【図４】反射防止層が６層から構成される対物レンズの断面図。
【図５】反射防止層が４層から構成される対物レンズの断面図。
【図６】反射防止層が５層から構成される対物レンズの断面図。
【図７】反射防止層が７層から構成される対物レンズの断面図。
【図８】実施例１の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図９】実施例１の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【図１０】実施例２の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図１１】実施例２の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【図１２】実施例３の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図１３】実施例３の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【図１４】実施例４の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図１５】実施例４の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【図１６】実施例５の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図１７】実施例５の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【図１８】実施例６の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図１９】実施例６の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【図２０】実施例７の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図２１】実施例７の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【図２２】比較例１の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図２３】比較例１の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【図２４】比較例２の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図２５】比較例２の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【図２６】比較例３の結果を示すグラフであり、波長と反射率との関係を示す。
【図２７】比較例３の結果を示すグラフであり、入射角と反射率との関係を示す。
【符号の説明】
【００５９】
１…対物レンズ、１Ａ…入射面、１Ｂ…出射面、１０…ピックアップ装置、１２…検出
器、１００…レンズ基材、１１０…反射防止層、１１１…第１層、１１２…第２層、１１
３…第３層、１１４…第４層、１１５…第５層、１１６…第６層、１１７…第７層、Ｄ…
光ディスク（記録媒体）
【図１】
2009245502.tif 000012
【図２】
2009245502.tif 000013
【図３】
2009245502.tif 000014
【図４】
2009245502.tif 000015
【図５】
2009245502.tif 000016
【図６】
2009245502.tif 000017
【図７】
2009245502.tif 000018
【図８】
2009245502.tif 000019
【図９】
2009245502.tif 000020
【図１０】
2009245502.tif 000021
【図１１】
2009245502.tif 000022
【図１２】
2009245502.tif 000023
【図１３】
2009245502.tif 000024
【図１４】
2009245502.tif 000025
【図１５】
2009245502.tif 000026
【図１６】
2009245502.tif 000027
【図１７】
2009245502.tif 000028
【図１８】
2009245502.tif 000029
【図１９】
2009245502.tif 000030
【図２０】
2009245502.tif 000031
【図２１】
2009245502.tif 000032
【図２２】
2009245502.tif 000033
【図２３】
2009245502.tif 000034
【図２４】
2009245502.tif 000035
【図２５】
2009245502.tif 000036
【図２６】
2009245502.tif 000037
【図２７】
2009245502.tif 000038