(57)【要約】【課題】電気絶縁部への放電を極めて起こり難くして、電気絶縁部を極めて破損し難くしたＸ線管を提供する。【解決手段】Ｘ線管１の筐体２の外囲器本体(導電部)４に電気的に接続された電気抵抗膜３６をバルブ(電気絶縁部)１０の外面１０ｃに塗布することによって、放電によるバルブ１０の破損を安定して抑制することができる。また、電気抵抗膜３６の一端部は、外囲器本体４に電気的に接続され、電気抵抗膜３６の他端部は、バルブ１０の外面１０ｃ内に位置しているために、電気抵抗膜３６を固着しても、バルブ１０の絶縁性を保持することができる。【選択図】図１
2009245806.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体によって支持された電圧印加部を有し、電子銃から出射させた電子がターゲットに入射することで発生したＸ線を、前記筐体に設けられているＸ線出射窓から出射させるように構成したＸ線管において、
前記筐体は、前記Ｘ線出射窓側に位置する導電部と、前記導電部に固定されると共に前記電圧印加部側に位置する電気絶縁部とを有し、この電気絶縁部の外面には電気抵抗膜が固着され、前記電気抵抗膜の一端部は、前記導電部に電気的に接続され、前記電気抵抗膜の他端部は、前記電気絶縁部の前記外面内に位置していることを特徴とするＸ線管。
【請求項２】
前記電気抵抗膜の抵抗値は、前記導電部の抵抗値より大きく、前記電気絶縁部の抵抗値より小さいことを特徴とする請求項１に記載のＸ線管。
【請求項３】
前記電気絶縁部は、前記導電部に固定される円筒部と、前記円筒部の端部から内側に屈曲して延びて前記電圧印加部を支持する縮径部とを有し、前記電気抵抗膜は、前記円筒部の外面に固着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線管。
【請求項４】
前記円筒部の管軸方向に延在して先端側に前記ターゲットが保持されたターゲット支持体の基端側と前記縮径部とを連結する連結部材と、
前記連結部材と前記縮径部との接合部分を外方で包囲すると共に、前記ターゲット支持体に固定されたカバー電極とを備え、
前記電気抵抗膜の前記他端は、前記管軸に対して直交する方向から見て、前記カバー電極と前記ターゲット支持体との境界部分を越えて位置していることを特徴とする請求項３に記載のＸ線管。
【請求項５】
前記電気絶縁部の前記外面には、前記電気抵抗膜を固着する部分に粗面加工が施されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のＸ線管。
【請求項６】
請求項１記載のＸ線管と、前記Ｘ線管の前記電気絶縁部を包囲する電気絶縁性の液体と、前記Ｘ線管に電圧を印加する電源部と、を備えたことを特徴とするＸ線発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電体と絶縁体とからなる真空筐体を有するＸ線管と、このＸ線管を具備したＸ線発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、このような分野の技術として、特開平７−２９６７５４号公報がある。この公報に記載されたＸ線管は、ガラス製真空外囲器の一方端に固定された陽極端子と、他方端に固定された陰極側のコロナリングとを備えている。ガラス製真空外囲器の開放端部には封止用金属リングの一端が融着され、金属リングの他端は、電極支持用金属に溶接されている。そして、真空外囲器と封止用金属リングとの融着部分には、電子が帯電し易く、局所的な電撃を起こして、ガラス製の真空外囲器にクラック等の破損が引き起こされる。
このような事態を避けるために、この融着部分を覆うようにコロナリングが配置され、このコロナリングは、金属リングを外側から覆うようなキャップ形状をなしている。このようなキャップ状のコロナリングは、組立てを煩雑にするので、他の例として、封止用金属リングの先端にフランジ状のコロナリング部一体成形して、このコロナリング部によって、真空外囲器と封止用金属リングとの融着部分を包囲してもよいと記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２９６７５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方で、真空外囲器とコロナリング部との間においても、電界の乱れによる放電が発生する可能性がある。そのため、コロナリング部は、ガラス製の真空外囲器の外周面に対して均一な距離をもって隔離している必要があるが、コロナリング部そのものの成形精度や真空外囲器への取り付け精度の問題、及び外部衝撃等によるコロナリング部の変形といった問題があるため、放電による真空外囲器の破損を安定して抑制するのは困難であった。
【０００５】
本発明は、放電による電気絶縁部の破損を安定して抑制したＸ線管と、このようなＸ線管を具備したＸ線発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るＸ線管は、筐体によって支持された電圧印加部を有し、電子銃から出射させた電子がターゲットに入射することで発生したＸ線を、筐体に設けられているＸ線出射窓から出射させるように構成したＸ線管において、
筐体は、Ｘ線出射窓側に位置する導電部と、導電部に固定されると共に電圧印加部側に位置する電気絶縁部とを有し、この電気絶縁部の外面には電気抵抗膜が固着され、電気抵抗膜の一端部は、導電部に電気的に接続され、電気抵抗膜の他端部は、電気絶縁部の外面内に位置していることを特徴とする。
【０００７】
このＸ線管にあっては、電気絶縁部の外面に固着された電気抵抗膜が導電部と電気的に接続することで、放電による電気絶縁部の破損を安定して抑制することができる。また、電気抵抗膜の一端部は、導電部に電気的に接続されているが、電気抵抗膜の他端部は、電気絶縁部の外面内に位置しているために、電気抵抗膜を固着しても、電気絶縁部の絶縁性を保持することができる。
【０００８】
また、電気抵抗膜の抵抗値は、導電部の抵抗値より大きく、電気絶縁部の抵抗値より小さいと好適である。
このような構成を採用すると、放電による電気絶縁部の破損の安定した抑制と電気絶縁部による絶縁性の保持をバランスよく両立することができる。
【０００９】
また、電気絶縁部は、導電部に固定される円筒部と、円筒部の端部から内側に屈曲して延びて電圧印加部を支持する縮径部とを有し、電気抵抗膜は、円筒部の外面に固着されていると好適である。
このように、電圧印加部に近い場所にある縮径部に電気抵抗膜を固着させていないので、電気絶縁部の絶縁性を確実に保持することができ、電圧印加部と電気抵抗膜との間の電位差に起因したリーク電流を抑制することで、印加電圧の低下を抑制することができる。
【００１０】
また、円筒部の管軸方向に延在して先端側にターゲットが保持されたターゲット支持体の基端側と縮径部とを連結する連結部材と、連結部材と縮径部との接合部分を外方で包囲すると共に、ターゲット支持体に固定されたカバー電極とを備え、電気抵抗膜の他端は、管軸に対して直交する方向から見て、カバー電極とターゲット支持体との境界部分を越えて位置していると好適である。
このように、電気抵抗膜が、形状変化部であるカバー電極とターゲット支持体との境界部分を覆うように設けられていると、放電による電気絶縁部の破損を安定して抑制することができる。
【００１１】
また、電気絶縁部の外面には、電気抵抗膜を固着する部分に粗面加工が施されていると好適である。
これは、電気絶縁部の外面に電気抵抗膜を固着させ易くし、電気抵抗膜の剥離を防止して、放電による電気絶縁部の破損の安定した抑制を可能にしている。
【００１２】
本発明に係るＸ線発生装置は、筐体によって支持された電圧印加部を有し、電子銃から出射させた電子がターゲットに入射することで発生したＸ線を、筐体に設けられているＸ線出射窓から出射させるように構成し、筐体は、Ｘ線出射窓側に位置する導電部と、導電部に固定されると共に電圧印加部側に位置する電気絶縁部とを有し、この電気絶縁部の外面には電気抵抗膜が固着され、電気抵抗膜の一端部は、導電部に電気的に接続され、電気抵抗膜の他端部は、電気絶縁部の外面内に位置しているＸ線管と、
Ｘ線管の電気絶縁部を包囲する電気絶縁性の液体と、
Ｘ線管に電圧を印加する電源部と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、放電による電気絶縁部の破損の安定した抑制を可能としたＸ線源を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しつつ本発明に係るＸ線管及びＸ線発生装置の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１５】
図１〜図３に示すように、Ｘ線管１は、例えばＸ線発生装置のＸ線発生源として利用され、内部を真空に保持する真空外囲器としての筐体２と、電子発生ユニット（電子銃）３とターゲットＴとを備える。電子発生ユニット３は、多孔質タングステン等にＢａＯ等を含浸させたカソードＣを有する。また、ターゲットＴは、タングステン等の高融点金属材料からなる板状部材である。これら電子発生ユニット３とターゲットＴとは、筐体２の内部に収容されており、電子発生ユニット３から出射された電子がターゲットＴに入射するとＸ線が発生する。
【００１６】
筐体２は、第１の筐体部をなすバルブ(電気絶縁部)１０と、第２の筐体部をなす外囲器本体(導電部)４とで構成されている。外囲器本体４は、陽極をなすターゲットＴが収容される金属製の胴部５と、陰極をなす電子発生ユニット３が収容される電子銃収容部６とからなる。胴部５及び電子銃収容部６は、導電性金属等によって筒状に形成されており、胴部５は内部空間５ａを有する。また、胴部５の外周には、図示しないＸ線発生装置の筐体等に固定されるフランジ部５ｂが設けられている。
【００１７】
そして、胴部５の下部である一端側に設けられた開口には、Ｂｅ材からなるからなるＸ線出射窓７ａを有する蓋板７が固定されており、この蓋板７によって内部空間５ａの一端側が閉鎖されている。一方、電子銃収容部６は、円筒状に形成されており、胴部５の一端側の側部に固定されている。胴部５の中心軸線と電子銃収容部６の中心軸線とは略直交し、電子銃収容部６の内部は、一端側に設けられたアパーチャ６ａを介して、胴部５の内部空間５ａと連通する。
【００１８】
電子銃収容部６内に収容される電子発生ユニット３について説明する。電子発生ユニット３は、カソードＣと、ヒータ３０と、第１グリッド電極３１と、第２グリッド電極３２とを備えている。これらカソードＣ、ヒータ３０、第１グリッド電極３１および第２グリッド電極３２は、それぞれ平行に延びる複数（本実施形態では、８本）のピン３３ａ〜３３ｈを介して、ステム基板３４に取り付けられている。
【００１９】
具体的に、カソードＣは、ステム基板３４に固定されたピン３３ａに取り付けられており、このピン３３ａを介して外部から給電される。同様に、ヒータ３０は、ステム基板３４に固定されたピン３３ｂ，３３ｃに取り付けられており、これらピン３３ｂ，３３ｃを介して外部から給電される。
【００２０】
更に、第１グリッド電極３１は、ステム基板３４に固定されたピン３３ｄ，３３ｅ，３３ｆ，３３ｇに取り付けられており、これらピン３３ｄ〜３３ｇを介して外部から給電される。また、第２グリッド電極３２は、ステム基板３４に固定されたピン３３ｈに取り付けられており、このピン３３ｈを介して外部から給電される。
【００２１】
このような電子発生ユニット３は、カソードＣ等をステム基板３４に一体化させた状態で、一端側のアパーチャ６ａと反対側の他端側の開口から電子銃収容部６内に挿入され、電子発生ユニット３の装填後、ステム基板３４は、電子銃収容部６の他端側の開口を塞ぐように固定される。
【００２２】
一方、筐体２の一部を構成するバルブ１０は、ガラスやセラミック等の絶縁体によって略筒状に形成され、胴部５の他端側に、その一端側が固定される円筒部１０Ａと、円筒部１０Ａの他端部から、円筒部１０Ａの管軸（中心軸）Ｌに向かって内側に屈曲して延びる縮径部１０Ｂとを有している。この縮径部１０Ｂは、円筒部１０Ａと同心をなす内筒部１０ａと、円筒部１０Ａの他端部と内筒部１０ａの他端部との間を連結するように円筒部１０Ａの管軸Ｌに向かって延びるドーナツ状の平板部１０ｂとからなる。また、円筒部１０Ａの一端部には、導電性の金属等からなるリング部材８が融着されている。そして、このリング部材８は、外囲器本体４の一部を構成する胴部５の他端側に溶接される。このように、バルブ１０は、リング部材８を介して外囲器本体４に固定されている。なお、リング部材８を介することなく、直接、外囲器本体４に固定されていてもよい。
【００２３】
バルブ１０の内筒部１０ａには、ターゲットＴが先端に固定されたターゲット支持体１２を保持するための金属管(連結部材)１１が取り付けられる。金属管１１は、ターゲット支持体１２の基端側が圧入される円筒状のターゲット固定部１１ａと、ターゲット固定部１１ａの端部から円筒部１０Ａの管軸Ｌから遠ざかるように外方に突出する張出部１１ｂとからなる。
【００２４】
この張出部１１ｂの端部は、バルブ１０の内筒部１０ａの一端部に融着接合され、ターゲット支持体１２の基端側をターゲット固定部１１ａに固定した状態で、金属管１１のターゲット固定部１１ａ及びターゲット支持体１２の基端部１２ｂは、バルブ１０の他端部から外方に突出する。そして、ターゲット支持体１２の端面は、電源に接続され、例えば１００〜２００ｋＶといった高電圧が印加される電圧印加部１３をなしている。一方、外囲器本体４は接地電位とされており、その間の電圧差はバルブ１０の絶縁性（耐電圧能）によって保持されている。なお、金属管１１及びターゲット支持体１２は電気的に接続されているため、ターゲット支持体１２の端面のみならず、ターゲット固定部１１ａも含めて、電圧印加部１３としても良い。
【００２５】
また、ターゲット支持体１２には、バルブ１０の円筒部１０Ａ内で、内筒部１０ａと金属管１１の張出部１１ｂとの融着部分(接合部分)を外方から包囲するカバー電極１４が溶接により固定されている。
【００２６】
円筒部１０Ａの管軸Ｌ方向に延在するターゲット支持体１２は、銅材等により棒状に形成されており、ターゲット支持体１２の先端部には、電子発生ユニット３から遠ざかるように先端側に向かって傾斜する傾斜面１２ａが形成されている。ターゲットＴは、この傾斜面１２ａと略面一になるようにターゲット支持体１２の端面に埋設されている。
【００２７】
ターゲット支持体１２の基端側は、金属管１１のターゲット固定部１１ａに溶接されている。これにより、ターゲット支持体１２の中心軸線と、バルブ１０および胴部５の中心軸線とが略一致する。つまり、ターゲット支持体１２の中心軸線と胴部５の中心軸線とが管軸Ｌと略一致し、管軸Ｌと電子発生ユニット３からの電子の進行方向とが略直交する。
【００２８】
従って、筐体２の内部において、電子発生ユニット（電子銃）３から出射された電子がターゲットＴに入射すると、ターゲットＴの表面から、Ｘ線が発生する。発生したＸ線は、胴部５の一端側の開口を覆う蓋板７に設けられたX→全角“Ｘ”？線出射窓７ａを介して外部に出射される。
【００２９】
さらに、筐体２のバルブ(電気絶縁部)１０の非真空側面である外面１０ｃには、円筒部１０Ａの周方向の全周に渡って延在する電気抵抗膜３６が固着されている。この電気抵抗膜３６は、所定の電気抵抗を有するコート材、例えば、導電性複酸化物ゾル(酸化亜鉛と五酸化アンチモンとを結合させた複酸化物のゾル)からなるコート材により形成されている。この電気抵抗膜３６は、数μｍ〜数１０μｍの厚さを有し、外面１０ｃに上に刷毛塗り等で形成し、固着することが可能である。
【００３０】
さらに、電気抵抗膜３６の一端部(下端部)３６ａは、リング部材８の外面に固着されることで、外囲器本体(導電部)４に電気的に接続され、電気抵抗膜３６の他端部(上端部)３６ｂは、バルブ１０の外面１０ｃ内すなわちバルブ１０の外面１０ｃからはみ出さないような位置にある。
【００３１】
より詳しくは、電気抵抗膜３６の一端部３６ａは、リング部材８と円筒部１０Ａの一端部との融着部を全周にわたって覆い隠すように、外面１０ｃからリング部材８の外面にわたって固着されている。なお、電気抵抗膜３６は外囲器本体４に電気的に接続されれば良いので、一端部３６ａは外囲器本体４まで延びて形成されていても良い。一方、電気抵抗膜３６の他端部３６ｂは、バルブ１０の円筒部１０Ａにおける外面１０ｃに留まり、縮径部１０Ｂには到らない。さらに細かくは、他端部３６ｂは、管軸Ｌ方向の円筒部１０Ａの全長（約１００ｍｍ）の約半分（約５５ｍｍ）に位置しており、管軸Ｌに対して直交する方向から見て、カバー電極１４とターゲット支持体１２との境界部分Ｓを越えた位置、つまり境界部分Ｓよりもバルブ１０の他端側に位置している。そして、電気抵抗膜３６は、一端部(下端部)３６ａから他端部(上端部)３６ｂにわたる領域の外面１０ｃの全周を連続的に覆うように形成されている。
【００３２】
この電気抵抗膜３６の抵抗値Ｒ１は、外囲器本体(導電部)４の抵抗値Ｒ２より大きく、バルブ(電気絶縁部)１０の抵抗値Ｒ３より小さい。すなわち、Ｒ２＜Ｒ１＜Ｒ３の関係を満たしている。例えば、外囲器本体４を形成するアルミニウムの電気抵抗率Ｒ２は２．６５×１０−８Ω・ｍであり、バルブ１０を形成するガラスの電気抵抗率Ｒ３は９．２×１０１２Ω・ｍであり、電気抵抗膜３６を構成するコート材の電気抵抗率Ｒ１は、８×１００Ω・ｍである。これは、電気抵抗率Ｒ１が電気抵抗率Ｒ３よりも大きい場合には、電気抵抗膜３６によるバルブ１０の破損抑制を得ることができず、電気抵抗率Ｒ１が電気抵抗率Ｒ２よりも小さい場合には、電気抵抗膜３６によるバルブ１０の破損抑制は得られる反面、バルブ１０が本来有している絶縁性（耐電圧能）を保持することができないためである。
【００３３】
よって、このような構成を採用すると、放電によるバルブ１０の破損の安定した抑制とバルブ１０による絶縁性の保持をバランスよく両立することができる。なお、この電気抵抗膜３６は、バルブ１０の外面１０ｃ上に形成された状態での実抵抗が１５ＭΩ〜２０ＭΩとなっており、高抵抗導電膜又は導電性抵抗膜と言い換えることもできる。そして、電気抵抗膜３６を形成したＸ線管１を７本用意し、動作をさせたところ、放電によるバルブ１０の破損が発生したものはなかった。
【００３４】
このＸ線管１の筐体２の胴部(導電部)５に電気的に接続された電気抵抗膜３６をバルブ(電気絶縁部)１０の外面１０ｃに塗布することによって、バルブ１０への放電によるバルブ１０の破損を安定して抑制することができる。また、電気抵抗膜３６の一端部は、外囲器本体４に電気的に接続され、電気抵抗膜３６の他端部は、バルブ１０の外面１０ｃ内に位置しているために、電気抵抗膜３６を固着しても、バルブ１０の絶縁性を保持することができる。
【００３５】
このように、電気抵抗膜３６をバルブ１０の外面１０ｃに形成することでバルブ１０の破損を安定して抑制することができるので、既存のＸ線管への適用が容易であり、使用するＸ線管の条件にあわせて電気抵抗膜３６の電気抵抗等を選択できるので、極めて汎用性が高い。加えて、電気抵抗膜３６をバルブ１０の外面１０ｃに密着しているとともに、電気抵抗膜３６の厚みに多少のムラがあっても問題ないために、従来のＸ線管に採用されているコロナリング部のような高い成形精度や取り付け精度が要求されず、またＸ線発生装置へのＸ線管の組み込み時にぶつける等の外部衝撃による変形がないので、性能のばらつきや変化を抑制することができる。
【００３６】
このＸ線管１では、バルブ１０の円筒部１０Ａに電気抵抗膜３６が塗布され、電圧印加部１３に近い場所にある縮径部１０Ｂには電気抵抗膜３６が塗布されていないので、バルブ１０の絶縁性を確実に保持することができ、電圧印加部１３と電気抵抗膜３６との間の電位差に起因したリーク電流を抑制することができ、印加電圧の低下を抑制することができる。
【００３７】
電気抵抗膜３６の他端部(上端部)３６ｂは、管軸Ｌに対して直交する方向から見て、カバー電極１４とターゲット支持体１２との境界部分Ｓを越えて位置している。このように、電気抵抗膜３６が、形状変化部であるカバー電極１４とターゲット支持体１２との境界部分Ｓを覆うように設けられていると、放電によるバルブ１０の破損を安定して抑制することができる。
【００３８】
バルブ１０の外面１０ｃには、電気抵抗膜３６を固着する部分にサンドブラストによる粗面加工が施されている。これは、バルブ１０の外面１０ｃに電気抵抗膜３６を固着させ易くし、電気抵抗膜３６の剥離を防止して、放電によるバルブ１０の破損の安定した抑制を可能にしている。
【００３９】
次に、前述したＸ線管１を備えたＸ線発生装置４０について説明する。
【００４０】
図４及び図５に示すように、Ｘ線発生装置４０は、例えば、Ｘ線非破壊検査装置におけるＸ線源として用いられる。このＸ線発生装置４０のハウジング４３の内部には、Ｘ線を発生するＸ線発生部４５が収容されており、Ｘ線発生部４５は、熱伝導率の良い金属(例えばアルミニウム)からなるスペーサ４７を介してハウジング４３の壁部を構成する底板４３ａ上に固定されている。このＸ線発生部４５は、Ｘ線管１が収容されたＸ線管収容部５１と、Ｘ線管１に電力を供給する高圧電源部５３とを備えている。
【００４１】
図６及び図７に示すように、この高圧電源部５３は、高電圧を発生させる高圧トランス５３ａと、高圧トランス５３ａで発生した高電圧を増倍させる高圧供給回路（電圧供給部）５３ｂと、高圧トランス５３ａと高圧供給回路５３ｂとを連結する接続線５３ｃと、高圧供給回路５３ｂとＸ線管１に電圧を供給するための圧縮バネ４１ａとを連結する接続線５３ｄとを備えている。
【００４２】
そして、高圧供給回路５３ｂ及び接続線５３ｃ，５３ｄは、電気絶縁性材料であるエポキシ樹脂からなる絶縁部材としての絶縁ブロック５３ｆ中にモールドされることによって封入されており、高圧トランス５３ａは、絶縁ブロック５３ｆの側面に突出している。このような高圧電源部５３の構造によって、高電圧が印加される高圧供給回路５３ｂ及び接続線５３ｃ，５３ｄからの外部への放電が防止されている。
【００４３】
Ｘ線管１を包囲する冷却筒５５は、絶縁ブロック５３ｆの上面に立設されており、この冷却筒５５の上端の開口からは、Ｘ線管１が挿入されている。そして、Ｘ線管１のフランジ部５ｂが冷却筒５５の上端面にネジ止めされ、Ｘ線管１のＸ線出射窓７ａはハウジング４３から露出する。Ｘ線管１のバルブ１０は冷却筒５５に包囲された状態となり、このバルブ１０と冷却筒５５と絶縁ブロック５３ｆの上面との間の空間には、液状の電気絶縁性物質である絶縁オイル５７が充填されている。このような絶縁オイル５７により、Ｘ線管１からの周囲への放電が防止されている。
【００４４】
このようなＸ線発生装置４０の駆動時においては、Ｘ線発生の際に、Ｘ線管１から大量の熱が発生する。そこで、冷却筒５５は、Ｘ線管１から発生する熱を効率よく放散させるために、放熱性に優れた金属（例えば、アルミニウム）からなると共に、水平方向（底板３ａと平行な方向）に延びる複数の冷却フィン５５ａが周囲に設けられている。冷却フィン５５ａは、冷却筒５５の周面で円周方向に延びる凸条部として設けられている。
【００４５】
そして、この冷却筒５５に対向するハウジング４３の側壁４３ｂには、通風口４３ｃが形成されている。この通風口４３ｃは冷却フィン５５ａの延在方向と同じ方向に水平に延在しているので、通風口４３ｃからハウジング４３の内部に流入した冷却風は、冷却筒５５に当たり冷却フィン５５ａに沿って水平に流動する。従って、冷却風が冷却フィン５５ａの周囲を円滑に流動し、Ｘ線管収容部５１を効率よく冷却することができる。
【００４６】
このようなＸ線管収容部５１において、Ｘ線管１のターゲット支持体１２の基端部１２ｂは、バルブ１０の下部から下方に突出しており、電圧印加部１３には、圧縮バネ４１ａの一端が接続されている。この圧縮バネ４１ａの他端は、上記高圧電源部５３の接続線５３ｄに結合されており、ターゲット支持体１２は、この圧縮バネ４１ａ及び接続線５３ｄを介して、高圧供給回路５３ｂからの電圧の供給を受ける。
【００４７】
更に、ターゲット支持体１２の基端部１２ｂと圧縮バネ４１ａとの接合部すなわち電圧印加部１３は、アルミニウムまたは真鍮等の熱伝導率の良い金属製の高圧キャップ４１ｂによって包囲されている。この高圧キャップ４１ｂによって、電圧印加部１３と圧縮バネ４１ａとの接合部は冷却筒５５の内壁から見通せないように遮蔽され、この接合部における冷却筒５５等への放電が防止されている。
【００４８】
Ｘ線管１には、接続線５３ｄ及び圧縮バネ４１ａを介して高圧供給回路５３ｂから高電圧が供給される。そして、Ｘ線管１のターゲット支持体１２が高電位となった状態で、電子銃３からの電子がターゲットＴに入射すると、ターゲットＴからＸ線が発生し、Ｘ線がＸ線出射窓７ａから上方に照射される。
【００４９】
このような構成のＸ線発生部４５のＸ線発生の動作を制御するため、Ｘ線発生装置４０には、制御回路基板５９が、ハウジング４３の内部に収容されている。この制御回路基板５９上には、各種電子部品５９ａが搭載されてＸ線発生部４５の動作を制御するための制御回路が構成されており、Ｘ線発生部４５はこの制御回路からの制御信号に基づいて動作する。また、ハウジング４３の内部には、冷却ファンユニット５８ａ，５８ｂ，５８ｃや制御回路基板５９への電圧供給等を行う電源回路基板５４も配置されている。
【００５０】
本発明は、前述した実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【００５１】
図８に示すように、第２の実施形態に係るＸ線管６０は、筐体６２の一部を構成するバルブ７０は、ガラスやセラミック等の絶縁体によって略筒状に形成され、一端側が胴部５に固定される円筒部７０Ａと、円筒部７０Ａの他端部から円筒部７０Ａの管軸に向かって内側に屈曲して延びる縮径部７０Ｂとを有している。この縮径部７０Ｂは、円筒部７０Ａと同心をなす突出部７０ａと、円筒部７０Ａの他端部と突出部７０ａの他端部との間を連結するように円筒部７０Ａの管軸Ｌに向かって延びるドーナツ状の平板部７０ｂとからなる。円筒部７０Ａの一端部には、導電性の金属等からなるリング部材８が融着されている。
【００５２】
バルブ７０の突出部７０ａには、ターゲットＴが先端に固定されたターゲット支持体７２を保持するための金属管(連結部材)７１が取り付けられる。金属管７１は、ターゲット支持体７２の基端側に固定されている。そして、ターゲット支持体７２の基端部７２ｂは、バルブ７０の他端部より外方に突出する。ターゲット支持体７３の端面は、電源に接続される電圧印加部７３をなしている。
【００５３】
さらに、ターゲット支持体７２には、バルブ７０の狭窄部７４に近接するように遮蔽部７６が一体的に形成されている。遮蔽部７６は、その主たる径（ここでは最大径）が、バルブ７０の円筒部７０Ａより小さく、狭窄部７４より大きい直径を有する円板状をなしており、Ｒ面取りが施されている。この遮蔽部７６は、胴部５側から見て、バルブ７０の端部と金属管７１との接合部分Ｗが見通せないような大きさになっている。
【００５４】
さらに、このバルブ７０の外面には、Ｘ線管１と同様に、円筒部７０Ａの全周に渡って電気抵抗膜３６が塗布されている。
【００５５】
Ｘ線管６０のその他の構成は、Ｘ線管１と略同一の構成を有しているので、同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
【００５６】
また、本発明は第１の実施形態および第２の実施形態で記載されたような、バルブに支持された電圧印加部がターゲット支持体であるＸ線管に限らない。図９に示すように、第３の実施形態に係るＸ線管８０の電子銃８２は、バルブ８１に設けられたステム８１ａによって支持され、電子銃８２の電圧印加部８３がバルブ８１のステム８１ａから突出している。バルブ８１に連結される導電性の胴部８４には、Ｘ線出射窓上に設けられ、Ｘ線出射窓一体化されたターゲット８５が固定されている。電子銃８２から出射された電子は、透過型ターゲット８５に入射し、ターゲット８５から発生したＸ線がＸ線出射窓を透過して出射される。
【００５７】
さらに、このバルブ８１の外面には、Ｘ線管１と同様に、バルブ８１の全周に渡って電気抵抗膜３６が塗布されている。
【００５８】
電気抵抗膜３６の材料は、導電性複酸化物ゾルのみではなく、酸化クロムやコロイド状グラファイトであっ
ても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係るＸ線管の第１の実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示されたＸ線管の背面図である。
【図３】電子銃を示す断面図である。
【図４】本発明に係るＸ線発生装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図５】図４に示されたＸ線発生装置の分解斜視図である。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】図４のＶII−ＶII線に沿う断面図である。
【図８】本発明に係るＸ線管の第２の実施形態を示す断面図である。
【図９】本発明に係るＸ線管の第３の実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１，６０，８０…Ｘ線管、２…筐体、３…電子発生ユニット(電子銃)、４…外囲器本体(導電部)、５，８４…胴部、１０，７０，８０…バルブ(電気絶縁部)、１０Ａ，７０Ａ…円筒部、１０Ｂ，７０Ｂ…縮径部、１１，７１…金属管(連結部材)、１２，７２…ターゲット支持体、１２ｂ，７２ｂ…ターゲット支持体の基端部、１３，７３，８３…電圧印加部、１４…カバー電極、３６…電気抵抗膜、４０…Ｘ線発生装置、５３…高圧電源部(電源部)、５７…絶縁オイル(電気絶縁性の液体)、８２…電子銃、８５…ターゲット、Ｌ…管軸、Ｓ…境界部分、Ｔ…ターゲット、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３…抵抗値。
【図１】
2009245806.tif 000003
【図２】
2009245806.tif 000004
【図３】
2009245806.tif 000005
【図４】
2009245806.tif 000006
【図５】
2009245806.tif 000007
【図６】
2009245806.tif 000008
【図７】
2009245806.tif 000009
【図８】
2009245806.tif 000010
【図９】
2009245806.tif 000011