(57)【要約】【課題】ライン状出射光における照度分布の均一性に優れたライン型照明装置の提供。【解決手段】積分筒２０は、円筒体１、拡散板４、端面カバー６，７を備えてなる。円筒体１には、光入射スリット１１，１２及び光出射スリット１３が設けてある。ライン型ライトガイド２及び３は、光入射スリット１１及び１２へライン状光をそれぞれ入射する。入射したライン状光は、円筒体１の内壁１４で繰り返される反射の過程で、積分される。出射スリット１３から拡散板４へ入射した光の照度は、積分筒２０の円筒空間における光の積分作用により、ライン方向にも均一化されており、この照度の均一性が向上したライン状光は拡散板４で更に照度の均一化作用を受け、拡散板４からは、ライン方向における照度分布の分散が２％という、均一性に優れたライン状光が出射される。【選択図】  図７
2009092397.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光入射スリット及び光出射スリットを有し、両端が閉止され、内壁が光反射面をなす円筒体でなり、前記光入射スリット及び光出射スリットの長手方向は前記円筒体の軸に概ね平行であることを特徴とする積分筒。
【請求項２】
前記光入射スリット及び光出射スリットは前記軸に関し非対称の位置に設けてあることを特徴とする請求項１に記載の積分筒。
【請求項３】
前記光出射スリットを覆う拡散板が前記円筒体に固定してあることを特徴とする請求項１又は２に記載の積分筒。
【請求項４】
前記光入射スリットが複数設けてあることを特徴とする請求項１乃至３に記載の積分筒。
【請求項５】
請求項１乃至４に記載の積分筒と、この積分筒の前記光入射スリットに光出射端面を接続したライン型ライトガイドとを備えることを特徴とするライン型照明装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ライン状の光を出射するライン型照明装置に関し、特に電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置における光源として好適なライン型照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装用フィルムキャリアテープとしては、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding ）テープ、Ｔ−ＢＧＡ（Tape Ball Grid Array）テープ、ＡＳＩＣ(application Specific Integration Circuit) テープ、ＣＯＦ（Chip On Film）テープ等が知られている。電子部品実装用フィルムキャリアテープは、透明なフィルム、このフィルムに貼り付けられた電子部品、これら電子部品相互を接続するためにそのフィルムに印刷された導体パターン等からなる。電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、例えば特許文献１（特開２００１−１６０５７０）に記載されているように、それら電子部品と導体パターンとを接続する半田付けの良否、半田による導体パターンの誤接続の有無などを検査する装置であり、テープ搬送機構、テープに光を照射するライン型照明装置、テープで反射し、又はテープを透過した光を受け、テープを撮像するラインセンサカメラを備えてなる。ライン型照明装置は、テープの搬送方向に直交する方向に長いライン状光を出射する。他方、ラインセンサカメラは、複数のＣＣＤ（電荷結合素子）等の受光素子をライン状に配列した受光領域を有し、この受光領域に前記ライン状光を受光する。
【０００３】
ライン型照明装置としては、例えば特許文献２（特開２００２−１９６１５７）のライン型ライトガイド、特許文献３（特開平６−５１１２７）のライン状ライトガイド等が知られている。この種のライン型照明装置はライン型ライトガイドとして市販されている（例えば、株式会社フォルテシモから販売されている）ので、本願ではこの種のライン型照明装置をライン型ライトガイドと称することとする。図１２（Ａ）は、このライン型ライトガイド５０でＣＯＦテープ７０を照明するＣＯＦテープ検査装置を概念的に示す図であり、同図（Ｂ）はライン型ライトガイド５０で照射されたＣＯＦテープ７０の表面７１における光の照度分布特性を示す図であり、同図（Ｃ）はライン型ライトガイド５０の光出射端面１０５を示す部分正面図（同図（Ａ）におけるライン型ライトガイド５０を光出射端面１０５の下方から見た図）である。同図（Ｂ）の横軸は、ＣＯＦテープ７０のＸ方向位置を示し、その縦軸はそのＸ方向位置における表面７１上の照度を表している。図１２のＣＯＦテープ検査装置では、ラインセンサカメラは、ＣＯＦテープ７０を透過した光を受光するように、ＣＯＦテープ７０の下側に配置されている（ラインセンサカメラは図示が省略されている）。
【０００４】
図１２のライン型ライトガイド５０は、多数の光ファイバ素線１０１を外被１０２で包んでなる光ファイババンドル９０を有し、その光ファイババンドル９０の一端における光ファイバ素線１０１の束を円状に収束して光入射端面１０４とし、その他端における光ファイバ素線１０１の束を広げて、多数の光ファイバ素線１０１の端をライン状に配列して光出射端面１０５とし、広げられた多数の光ファイバ素線１０１の端部をライン型ケース１０３で覆ってなる。光出射端面１０５は、図のＸ方向に長く、Ｙ方向の幅が狭いライン型をなしている。光出射端面１０５近傍における光ファイバ素線は、軸線を図のＺ方向に互いに平行に揃えて配列されている。光入射端面１０４及び光出射端面１０５は、平面状に研磨された端面である。ハロゲンランプ８１及びリフレクタ８２でなる光源８０に光入射端面１０４を結合し、光入射端面１０４にハロゲンランプ８１の光を入射すると、Ｘ方向に長く、Ｙ方向の幅の狭いライン状の光が光出射端面１０５から出射する。
【０００５】
照度分布の均一性に優れた照明装置としては、特許文献４（特許第３１７２７６８号）に開示されているような積分球が知られている。積分球は、円形の入射開口および円形の出射開口を有するボール状の球体であり、入射光が内壁で反射を繰り返すことにより、空間的に積分される作用を利用し、出射開口から照度分布の均一性に優れた光を得る照明装置である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ライン型ライトガイドを光源とするパターン検査装置が特許文献５（特開平７−３３３１６９）の図７に示され、その説明が段落０００３−０００６に記載されている。その段落０００６には、特許文献５の図７のパターン検査装置９０に関し、「光源（９４、図１２の光源８０に相当）からの光は、透明光ファイバ束（９３、図１２のライン型ライトガイド５０に相当）によって導いており、該透明光ファイバ束（９３）は光源（９４）に対する面は円形状に束ねられている。そのため、透明光ファイバ束（９３）に入る光量が、円形の透明光ファイバ束（９３）における中心部分と外周部分とで異なる。それ故、パターン（９６１）に光照射される光量が不均一となり、検査に正確性を欠く場合がある。」と記載されている。
【０００７】
特許文献５の段落０００６には、光照射面における光量（照度に比例）の不均一が記述されているが、図１２（Ｂ）はその光量分布の不均一性を具体的に示す図である。図１２（Ｂ）には、ライン型ライトガイド５０でＣＯＦテープ７０を照射したとき、ＣＯＦテープ７０の表面７１上のライン状光照射領域において光の照度分布が均一ではなく、ライン状光照射領域の長手方向（Ｘ方向）に関し、両縁近傍の領域では中央領域に比べて照度が１０〜２０％程度低減することが示されている。
【０００８】
図１３は、ＣＯＦテープ検査装置においてＣＯＦテープを照明するライン型照明装置として図１２のライン型ライトガイドを用いた場合の問題点を説明するための説明図である。図１３（Ａ）は、導体パターン７２，７３が印刷されているＣＯＦテープ７０をＣＯＦテープ検査装置で検査する際に、ライン型ライトガイドのライン状の出射光がＣＯＦテープ７０を照射する領域をとして例示する模式図である。図の矢印は、ＣＯＦテープ７０が搬送される方向を示す。同図（Ｂ）は、そのライン状光照射領域３１におけるＣＯＦテープを透過し、ラインセンサカメラで受光された光の照度Ｄ１と、閾値Thとを示す図である。Ｐ０からＰ５は、ＣＯＦテープ７０上のＸ方向位置である。同図（Ｃ）は、図１２においてＣＯＦテープ７０の下側に配置されたラインセンサカメラが、ＣＯＦテープ７０を透過した光を受光するときに、そのラインセンサカメラから出力される検知出力Ｄ２と閾値Thとを示す図である。
【０００９】
図１３（Ｂ）に示したラインセンサカメラの受光照度Ｄ１は、図１２（Ｂ）に示したＣＯＦテープ表面７１の照度Ｌ２に対応した特性となるが、導体パターン７２，７３等の不透明物がＣＯＦテー無７０に形成されている領域では、ほとんどゼロとなる。閾値Thは、ラインセンサカメラの受光照度Ｄ１と比較するための所定値である。ラインセンサカメラは、受光照度Ｄ１が閾値Thを越えたときに、導体パターンが無いと判定し、受光照度Ｄ１が閾値Th以下であるときに、導体パターンが有ると判定する。図１３（Ｂ）に示すように、導体パターン７２がある領域Ｐ１−Ｐ２及び導体パターン７３がある領域Ｐ３−Ｐ４では、ライン型ライトガイドの出射光は導体パターン７２及び７３で遮られるから、ラインセンサカメラの受光照度Ｄ１は閾値Th以下となる。これに対応して、図１３（Ｃ）に示すように、導体パターン７２がある領域Ｐ１−Ｐ２及び導体パターン７３がある領域Ｐ３−Ｐ４では検知出力Ｄ２は低レベルとなるので、検知出力Ｄ２から導体パターン７２及び７３の有無が判別できる。
【００１０】
ところが、ＣＯＦテープ７０における位置Ｐ０より左側の領域および位置Ｐ５より右側の領域でも、ラインセンサカメラの受光照度Ｄ１が閾値Th以下となるので、検知出力Ｄ２が低レベルとなる。すると、ラインセンサカメラは、ＣＯＦテープ７０の左右両縁領域には導体パターンが無いにも拘らず、左右両縁領域に導体パターンがあると誤って検知してしまう。このように、ライン型照明装置として図１２のようなライン型ライトガイドを用いたＣＯＦテープ検査装置では、ライン状出射光におけるライン方向（図１２のＸ方向）の照度分布が均一性に欠け、照度がライン方向（図１２のＸ方向）において１０〜２０％程度も分散して（バラついて）いるので、本来存在しない導体パターンを誤って存在すると判定してしまうという解決するべき課題がある。検査の対象がＣＯＦテープであるときだけではなく、他の電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査対象とする検査装置でも、ライン型照明装置のライン状出射光における照度分布がライン方向（図１２のＸ方向）において均一性に優れていることが、検出精度の向上のために必要である。同様に、特許文献６（特開２００２−２８８６４４）に、その図３を参照して段落０００２−０００５に説明されているように、ライン型照明装置のライン状出射光における照度分布が幅方向（図１２のＹ方向）においても均一性に優れていることが検出精度の向上のために好ましい。そこで、ライン状出射光の照度分布の均一性に優れたライン型照明装置が求められている。
【００１１】
照度分の均一性に優れた照明装置としては、前述の積分球がある。しかしながら、積分球は球形をなすから、その出射開口をスリット状に成形したとしても、電子部品実装用フィルムキャリアテープ検査装置のライン型照明装置として、図１２のライン型ライトガイドに代えて用いたとき、光出射端面が曲面をなすから、ＣＯＦテープ表面７１における光照射領域の形は、長さ方向の両端近傍で幅が広がり、図１２（Ｂ）と同様に、その光照射領域における照度は中央部に比べ両端部で低くなり、照度分布の均一性は得られない。もし、光出射端面が平面に近似する程に積分球の径を拡大するならば、積分球が巨大となり、特にライン状出射光のライン方向に直交する方向の厚みがライン型ライトガイドに比べて極端に大きくなるので、実用に供し得ない。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、実用的な大きさであっても、ライン状出射光の照度分布の均一性に優れるライン型照明装置、およびそのライン型照明装置に用いられ、ライン状入射光の照度分布の均一性を改善したライン状光を出射する積分筒の提供にある。
【００１３】
【特許文献１】特開２００１−１６０５７０
【特許文献２】特開２００２−１９６１５７
【特許文献３】特開平６−５１１２７
【特許文献４】特許第３１７２７６８号
【特許文献５】特開平７−３３３１６９
【特許文献６】特開２００２−２８８６４４
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前述の課題を解決するために、本発明は次の手段を提供する。
【００１５】
（１）光入射スリット及び光出射スリットを有し、両端が閉止され、内壁が光反射面をなす円筒体でなり、前記光入射スリット及び光出射スリットの長手方向は前記円筒体の軸に概ね平行であることを特徴とする積分筒。
【００１６】
（２）前記光入射スリット及び光出射スリットは前記軸に関し非対称の位置に設けてあることを特徴とする前記（１）に記載の積分筒。
【００１７】
（３）前記光出射スリットを覆う拡散板が前記円筒体に固定してあることを特徴とする前記（１）又は（２）に記載の積分筒。
【００１８】
（４）前記光入射スリットが複数設けてあることを特徴とする前記（１）乃至（３）に記載の積分筒。
【００１９】
（５）前記（１）乃至（４）に記載の積分筒と、この積分筒の前記光入射スリットに光出射端面を接続したライン型ライトガイドとを備えることを特徴とするライン型照明装置
【発明の効果】
【００２０】
上述の構成の本発明によれば、ライン状光の照度分布の均一性を改善する実用的な大きさの積分筒、及び照度分布の均一性に優れた実用的な大きさのライン型照明装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１乃至図３は本発明になる積分筒の第１の実施例を示す図であり、図１（Ａ）はその斜視図、同図（Ｂ）は原理説明図である。図２（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は正面図、同図（Ｃ）は右側面図である。また、図３（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）はＢ−Ｂ矢視断面図、同図（Ｃ）はＡ−Ａ矢視断面図である。本実施例の積分筒１０は円筒体１、端面カバー６及び７でなる。円筒体１には、光入射スリット１１，１２及び光出射スリット１３が設けてある。これらスリット１１，１２及び１３の長さ方向は円筒体１の軸に平行であり、光入射スリット１１及び１２は、円筒体１の軸に関し対称である。光出射スリット１３は、光入射スリット１１及び１２とは円筒体１の軸に関し非対称な位置に設けてある。円筒体１の両端面は端面カバー６及び７で閉止してある。円筒体１における円筒空間の内壁１４（端面カバー６及び７の内表面を含む）は、反射面をなし、光入射スリット１１及び１２から入射した光を反射する。内壁１４の反射特性は、一般的な積分球の内壁の反射特性と同様でよい。円筒体１の軸方向長さは256mm、円筒の内径は40mm、光入射スリット１１、１２の長さ及び幅はそれぞれ220mm及び2mm、光出射スリット１３の長さ及び幅はそれぞれ180mm及び5mmである。
【００２２】
図１乃至図３に示す積分筒１０において、光入射スリット１１及び１２から入射した光は、内壁１４で繰り返し反射され、積分され、光出射スリット１３からライン状の光として出射する。図１（Ｂ）は、そのような積分筒１０の作用を模式的に示している。本図では、積分筒１０は軸に直交する面における断面で描かれているが、断面のハッチングは省略してある。また、光入射スリット１１，１２から入射した光が光出射スリット１３から出射するまでに内壁１４で反射される回数は実際は広い範囲に分散しているが、反射の様子の概念的な理解を容易にするために、光入射スリット１１及び１２からの入射光はそれぞれ５回及び９回の反射の後に出射スリット１３から出射するように反射光２００が描いてある。
【００２３】
図１２（Ａ）に示したライン型ライトガイド５０を２個用意し、両ライン型ライトガイド５０の出射端面１０５を光入射スリット１１及び１２にそれぞれ接続することにより、光入射スリット１１及び１２にライン状の光を入射することができる。従って、本実施例の積分筒１０と２個のライン型ライトガイドとを結合した構成により、光出射スリット１３からライン状光を出射するライン型照明装置を得ることができる。
【００２４】
上述の如くに積分筒１０と２個のライン型ライトガイドとで構成したライン型照明装置では、光入射スリット１１，１２からの入射光のレベルが、これら各スリットの長さ方向に関しある相当程度に揃っているが、積分筒１の内壁１４で反射を繰り返し、積分される光は、積分球と同様な原理で、全ての方向での照度の均一性が改善され、照度分布の均一性に優れたライン状光として光出射スリット１３から出射される。かくして、光出射スリット１３からは、ライン方向、すなわち光出射スリット１３の長手方向に関する照度分布において均一性が高いばかりではなく、ラインの幅方向、すなわち光出射スリット１３の幅方向に関する照度分布の均一性も高いライン状光が得られる。
【００２５】
図４乃至図６は、本発明になる積分筒の第２の実施例を示す図であり、図４（Ａ）は斜視図、同図（Ｂ）は原理説明図である。図５（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は正面図、同図（Ｃ）は右側面図である。また、図６（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）はＤ−Ｄ矢視断面図、同図（Ｃ）はＣ−Ｃ矢視断面図である。本実施例の積分筒２０は、図１乃至図３に示した第１の実施例の積分筒１０に加えて、拡散板４、拡散板押え枠５及び６個のネジ５１を備えてなり、円筒体１及び端面カバー６，７はその積分筒１０におけるものと同じである。積分筒２０では、拡散板押え枠５により拡散板４の縁を押えるとともに、ネジ５１でもって拡散板押え枠５を円筒体１に固定することにより、拡散板４が円筒体１に固定されている。拡散板４は、光出射スリット１３を覆っており、光出射スリット１３から出射されるライン状光を拡散し、ライン状光の照度分布の均一性を一層改善する。したがって、図４乃至図６の実施例によれば、ライン方向及びラインの幅方向に関する照度分布の均一性が更に向上したライン状光が光出射スリット１３から得られる。
【００２６】
図７乃至図１０は、本発明になるライン型照明装置の一実施例を示す図であり、図７（Ａ）は斜視図、同図（Ｂ）は原理説明図である。図８（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は正面図、同図（Ｃ）は右側面図である。また、図９（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）はＦ−Ｆ矢視断面図、同図（Ｃ）はＥ−Ｅ矢視断面図である（但し、図９（Ｃ）ではライン型ライトガイド２及び３は、右側面図として描いてある。）。図１０（Ａ）は光ファイバ束を広げて、多数の光ファイバ素線の端をライン状に配列した様子を示すための平面図、同図（Ｂ）は右側面図である。
【００２７】
このライン型照明装置４０は、図４乃至図６に示した積分筒２０の光入射スリット１１及び１２に、ライン型ライトガイド２及び３をそれぞれ接続してなる。したがって、円筒体１、端面カバー６、７、拡散板４、拡散板押え枠５及びねじ５１でなる積分筒２０は、図４乃至図６に示したものと同じである。ライン型ライトガイド２は、光ファイババンドル２１、光ファイバ保持部２２及び口金２３を備える。また、ライン型ライトガイド３は、光ファイババンドル３１、光ファイバ保持部３２及び口金３３を備える。
【００２８】
光ファイバ保持部２２は、光ファイババンドル２１が挿通される管状部であり、光ファイババンドル２１が鋭角に曲げられ難いように光ファイババンドル２１を保持し、光ファイババンドル２１の損傷を防ぐために、ライン型ライトガイド２本体に設けてある。光ファイババンドル２１の各光ファイバ素線の端面には、ハロゲンランプ等の光源の光が入射する。その端面は、光の入射を均等にするために平面状に研磨されていることが必要である。口金２３は、光ファイババンドル２１内の多数の光ファイバ素線の端部を束ね、その研磨を容易にするために、光ファイババンドル２１の光入射端部に設けてある。光ファイバ保持部３２及び口金３３は、前記光ファイバ保持部２２及び口金２３と同様な目的でそれぞれ設けてある。
【００２９】
図１０に表されているように、ライン型ライトガイド２本体内では、光ファイババンドル２１における光ファイバ束１００（光ファイバ素線１０１の束）の端部が広げられ、多数の光ファイバ素線１０１の端がライン状に配列されている。ライン状に配列された光ファイバ素線１０１の端面は、光入射スリット１１に調度対応しており、ライン型ライトガイド２のライン状出射光は光入射スリット１１から積分筒２０に入射される。ライン型ライトガイド３は、ライン型ライトガイド２と同じ構造であり、同様に積分筒２０の光入射スリット１２に接続され、ライン状出射光を光入射スリット１２から積分筒２０に出射する。
【００３０】
図１１（Ａ）は、図７乃至図１０のライン型照明装置４０でＣＯＦテープ７０を照明するＣＯＦテープ検査装置の照明部を概念的に示す図であり、同図（Ｂ）はそのライン型照明装置４０で照明されたＣＯＦテープ７０の表面７１における光の照度分布を示す図である。光ファイババンドル２１の光入射端面１０４にはハロゲンランプ等の光源の光が入射する。その光入射端面１０４に入射した光は、ライン型照明装置４０からライン状光３０として出射され、ＣＯＦテープ７０の上面７１を照射する。
【００３１】
ＣＯＦテープ７０の表面７１における光の照度は、Ｘ方向に関し、図１１（Ｂ）に実線Ｌ１で示すように分布する。同図の破線Ｌ２は、図１２（Ｂ）におけるＬ２と同様な特性線であり、ライン型ライトガイド２の照度分布を示す。ライン型ライトガイド２は光ファイババンドル２１の長さ方向に対し直交する方向に出射する側方照射型であり、図１２のライン型ライトガイド５０は光ファイババンドル９０の長さ方向に出射する前方照射型であるが、ライン型ライトガイド２及び５０の照度分布は、ライン状光のライン方向（Ｘ方向）及びライン状光の幅方向（Ｙ方向）に関し、同じである。したがって、図７乃至図１１におけるライン型ライトガイド２の照度は、図１２に特性線Ｌ２で示した照度と同じ分布であり、Ｘ方向に関し、中央部と両端部とでは１０〜２０％相違する。ライン型ライトガイド３はライン型ライトガイド２と同じ構成であるので、ライン型ライトガイド２について上に述べた事項は、ライン型ライトガイド３にそのまま当て嵌まる。
【００３２】
上述のとおり、図１２に示したライン型ライトガイド５０でなる従来のライン型照明装置では、図１２（Ｂ）に特性線Ｌ２に示すように、ライン方向におけるライン状出射光３０aの照度の分散は１０〜２０％であった。これに対し、図７乃至図１０に示した本実施例のライン型照明装置４０では、図１１（Ｂ）に特性線Ｌ１に示すように、ライン方向におけるライン状出射光３０の照度の分散は２％である。このように、本実施例によるライン方向の照度の分散は、従来のものに比べ、格段に改善された。
【００３３】
図１３を参照して先に説明したように、ライン型ライトガイド５０でなる従来のライン型照明装置でＣＯＦテープを照明するＣＯＦテープ検査装置では、ライン状出射光におけるライン方向の照度分布が均一性に欠け、照度がライン方向において１０〜２０％程度も分散していることに起因し、本来存在しない導体パターンがＣＯＦテープの両端部に存在すると誤って判定してしまうことがあった。これに対し、本実施の形態のライン型照明装置４０でＣＯＦテープを照明するＣＯＦテープ検査装置では、ライン状出射光におけるライン方向の照度分布の均一性に優れ、照度分散が２％であるので、本来存在しない導体パターンがＣＯＦテープの両端部に存在すると誤って判定してしまうという虞はない。
【００３４】
また、本実施例のライン型照明装置４０によれば、先に積分筒の実施例に関し説明したところと同様に、ライン方向に関する照度分布において均一性が高いばかりではなく、ラインの幅方向に関する照度分布の均一性も高いライン状光が得られる。したがって、特許文献６の発明で解決しようとしたラインの幅方向に関する照度分布の不均一性も、本実施の形態のライン型照明装置４０により解決される。
【００３５】
また、本実施例のライン型照明装置４０における積分筒２０は、先に挙げた第１の実施例の積分筒１０とほぼ同じ大きさであり、特に円筒の内径が40mmで足りるから、全体の寸法は実用的な大きさである。もし、積分球に光出射スリットを設けることにより、ライン状光を得ようとすれば、積分球は、光出射スリットの曲率が大きく、実質的に直線とみなせる程に大きくする必要がある。したがって、本実施例のライン型照明装置４０は、積分球でライン状光を得る場合に比べて、格段に小型で、必要な程度に優れた照度の均一性を実現できる。
【００３６】
上に図１乃至６を参照して説明した積分筒１０，２０及び図７乃至図１０を参照して説明したライン型照明装置４０における積分筒２０では、光出射スリット１３は、光入射スリット１１及び１２とは円筒体１の軸に関し非対称な位置に設けてある。このような構造を採用したのは、光入射スリットから入射したライン状光が、円筒体の内壁で反射されることなく光出射スリットに直接に入射するのを避け、積分筒の内部空間における光の反射による積分効果を十分に得て、光出射スリットから出射されるライン状光における照度の均一性を向上するためである。
【００３７】
なお、以上に挙げた実施の形態では、本発明をＣＯＦテープ検査装置用のライン型照明装置に適用する例について説明したが、本発明の積分筒およびライン型照明装置は、ＣＯＦテープに限らず、ＴＡＢテープ、Ｔ−ＢＧＡテープ、ＡＳＩＣテープ等の各種の電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査する装置の照明装置、ＬＳＩ等の半導体装置にライン状光を照射してそのパターンの良否を検査するパターン検査装置における照明装置、均一な照度分布のライン状光で対象物を照明し、検査するその他各種の検査装置における照明装置に適用できることは勿論である。
【００３８】
また、本発明の理解を容易にするために、構造、寸法等を具体的に示し、実施例を説明したが、本発明はこれら実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。例えば、図１乃至図３の実施例の積分筒１０及び図４乃至図６の実施例の積分筒２０は、光入射スリット１１及び１２を備えているが、本発明の積分筒では、光入射スリットは１つでも差し支えない。同様に、図７乃至図１０に示したライン型照明装置においても、積分筒２０は２つの光入射スリットを備え、２つのライン型ライトガイドがそれら光入射スリットに接続されているが、これら光入射スリット及びライン型ライトガイドは一つでも差し支えない。また、本発明の積分筒は光入射スリットを３又は３以上としても、実施可能であるし、このような積分筒を用い、ライン型ライトガイドを光入射スリットと同数とするライン型照明装置も本発明により実現可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明になる積分筒の第１の実施例を示す図であり、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）は原理説明図である。
【図２】図１の積分筒の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図である。
【図３】図１の積分筒の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）はＢ−Ｂ矢視断面図、（Ｃ）はＡ−Ａ矢視断面図である。
【図４】本発明になる積分筒の第２の実施例を示す図であり、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）は原理説明図である。
【図５】図４の積分筒の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図である。
【図６】図４の積分筒の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）はＤ−Ｄ矢視断面図、（Ｃ）はＣ−Ｃ矢視断面図である。
【図７】本発明になるライン型照明装置の一実施例を示す図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は原理説明図である。
【図８】図７のライン型照明装置の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図である。
【図９】図７のライン型照明装置の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）はＦ−Ｆ矢視断面図、（Ｃ）はＥ−Ｅ矢視断面図である。
【図１０】図７のライン型照明装置の図であり、（Ａ）は光ファイバ束を広げて、多数の光ファイバ素線の端をライン状に配列した様子を示すための平面図、（Ｂ）は右側面図である。
【図１１】図７乃至図１０に示したライン型照明装置４０を説明する図であり、（Ａ）はそのＣＯＦテープ検査装置４０を概念的に示す図、（Ｂ）はライン型照明装置４０で照明されたＣＯＦテープ７０の表面７１における光の照度分布を示す図である。
【図１２】ライン型ライトガイド５０でＣＯＦテープ７０を照明する従来のＣＯＦテープ検査装置を説明する図である。
【図１３】ＣＯＦテープを照明するライン型照明装置として図１２のライン型ライトガイド５０を用いたＣＯＦテープ検査装置の問題点を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１   円筒体
２，３   側方照射型のライン型ライトガイド
４   拡散板
５   拡散板押え枠
６，７   端面カバー
１０，２０   積分筒
１１，１２   光入射スリット
１３   光出射スリット
１４   円筒体１の内壁
１５   光出射端面
２１，３１  光ファイババンドル
２２，３２   光ファイババンドル保持部
２３，３３   光ファイババンドルの口金
３０    積分筒２０から出射されるライン状光
３１    ＣＯＦテープ表面７１における出射光３０の照射領域（ライン状照射領域）
４０    ライン型照明装置
５０    ライン型ライトガイド
５１    拡散板押さえ枠固定用ネジ
６１    端面カバー固定用ネジ
７０    ＣＯＦテープ
７１    ＣＯＦテープの表面
７２，７３    導体パターン
８０    光源
８１    ハロゲンランプ
８２    リフレクタ
９０    光ファイババンドル
１００    光ファイバ束
１０１    光ファイバ素線
１０２    光ファイバ束１００の外被
１０３    ライン型ケース
１０５    光出射端面
２００    積分筒１０の内壁１４で反射する光
Ｄ１    ラインセンサカメラの受光照度
Ｄ２    ラインセンサカメラの検知出力
Th    ラインセンサカメラ受光照度と比較するための閾値
【図１】
2009092397.tif 000003
【図２】
2009092397.tif 000004
【図３】
2009092397.tif 000005
【図４】
2009092397.tif 000006
【図５】
2009092397.tif 000007
【図６】
2009092397.tif 000008
【図７】
2009092397.tif 000009
【図８】
2009092397.tif 000010
【図９】
2009092397.tif 000011
【図１０】
2009092397.tif 000012
【図１１】
2009092397.tif 000013
【図１２】
2009092397.tif 000014
【図１３】
2009092397.tif 000015