(57)【要約】【課題】  半導体装置を収納するためのバッファトレイを用いて前記半導体装置をテストするために用いられるトレイの間で、前記半導体装置を移送する方法と装置が開示される。【解決手段】  バッファトレイの行方向のＸピッチは、第１及び第２駆動部によってテストトレイまたはカスタマトレイの行方向のＸピッチと同一に調節される。前記半導体装置は、第１及び第２ピッカーシステムによって前記テストトレイ、バッファトレイ、及びカスタマトレイの間で移送される。したがって、前記半導体装置の移送に所要される時間を短縮することができる。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置を収納するための複数のソケットを有するトレイの間で、前記半導体装置を移送する方法において、
前記バッファトレイの行方向のＸピッチを第１トレイの行方向のＸピッチと同一に調節する段階と、
前記第１トレイから前記半導体装置を前記バッファトレイに移送する段階と、を含むことを特徴とする半導体装置の移送方法。
【請求項２】
前記バッファトレイは、列方向に延長する複数の対の単位バッファトレイを含み、
前記バッファトレイのＸピッチを調節する段階は、
前記単位バッファトレイの対の間の第１Ｘピッチを調節する段階と、
前記単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２Ｘピッチを調節する段階と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の移送方法。
【請求項３】
それぞれの第１及び第２単位バッファトレイは、一列に配列された複数のソケットを有することを特徴とする請求項２に記載の半導体装置の移送方法。
【請求項４】
前記半導体装置を前記バッファトレイに移送する段階は、
前記ピッカーを含むピッカーシステムを用いて前記第１トレイから前記半導体装置をピックアップする段階と、
前記半導体装置が把持されたピッカーを前記バッファトレイの上部に移動させる段階と、
前記ピッカーから前記半導体装置を前記バッファトレイのソケットに収納する段階と、を含むものの、
前記ピッカーを前記バッファトレイの上部に移動させる期間、前記ピッカーシステムの列方向のＹピッチを前記バッファトレイの列方向のＹピッチと同一に調節することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の移送方法。
【請求項５】
前記ピッカーシステムは行方向に延長する複数の対のピッカーユニットを含み、
前記ピッカーシステムのＹピッチは、
前記ピッカーユニット対の間の第１Ｙピッチを調節する段階と、
前記ピッカーユニット対の内で、第１ピッカーユニットと第２ピッカーユニットとの間の第２Ｙピッチを調節する段階を通じて調節されることを特徴とする請求項４に記載の半導体装置の移送方法。
【請求項６】
前記バッファトレイは、複数の単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは、複数の列に配置された複数のソケットを含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の移送方法。
【請求項７】
前記バッファトレイのＸピッチは、前記単位バッファトレイの間の第１Ｘピッチと、それぞれの単位バッファトレイのソケットの間の第２Ｘピッチを含み、
前記バッファトレイのＸピッチを調節する段階は、前記単位バッファトレイの間の第１Ｘピッチを調節する段階を含み、
前記半導体装置を前記バッファトレイに移送する段階は、
複数の行及び列に配置され、前記第２Ｘピッチと他のＸピッチを有する複数のピッカーを用いて前記第１トレイから前記半導体装置をピックアップする段階と、
前記半導体装置が把持されたピッカーを前記バッファトレイの上部に移動させる段階と、
前記ピッカーを前記バッファトレイの行方向に段階的に移動させかつ前記ピッカーから前記半導体装置を前記バッファトレイのソケットに収納する段階と、を含むことを特徴とする請求項６に記載の半導体装置の移送方法。
【請求項８】
前記バッファトレイのＸピッチを第２トレイの行方向のＸピッチと同一に調節する段階と、
前記バッファトレイから前記半導体装置を前記第２トレイに移送する段階と、更に含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の移送方法。
【請求項９】
前記半導体装置を前記バッファ装置を前記バッファトレイに移送する段階は、
複数の行及び列に配置される複数のピッカーを用いて前記第１トレイから前記半導体装置をピックアップする段階と、
前記半導体装置が把持されたピッカーを前記バッファトレイの上部に移動させる段階と、
前記バッファトレイを列方向に段階的に移動させかつ前記半導体装置を行単位に前記バッファトレイに順次収納することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の移送方法。
【請求項１０】
半導体装置を収納するために複数のソケットを有するトレイの間で前記半導体を移送する装置において、
複数の行及び列に配置された複数のソケットを有するバッファトレイと、
前記バッファトレイと接続され、前記バッファトレイに行方向のＸピッチを調節するための駆動部と、
第１トレイから前記半導体装置を前記バッファトレイに移送するためのピッカーシステムと、を含むことを特徴とする半導体装置の移送装置。
【請求項１１】
前記バッファトレイは列方向に延長する複数対の単位バッファトレイを含み、
前記駆動部は、
前記単位バッファトレイ対の間の第１Ｘピッチを調節するための第１駆動部と、
前記単位バッファトレイ対の内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２Ｘピッチを調節するための第２駆動部と、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項１２】
前記第１駆動部は、
少なくとも１つのラックギアと、
前記ラックギアと結合される少なくとも１つの出力ギアボックスと、
前記ギアボックスと接続され、回転力を提供するモータユニットを含み、
前記ラックギアは、前記第１Ｘピッチを調節するために前記複数対の単位バッファトレイのうち、少なくとも１つを前記バッファトレイの行方向に移動させることを特徴とする請求項１１に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項１３】
前記第１単位バッファトレイと接続された第１リンクと、
前記第２単位バッファトレイ及び前記第１リンクと連結された第２リンクを更に含み、
前記第１駆動部は、前記第１単位バッファトレイまたは第２単位バッファトレイに連結されたことを特徴とする請求項１１に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項１４】
前記第２駆動部は、前記第１リンクまたは第２リンクに連結され、前記第１単位バッファトレイと前記第２単位バッファトレイとの間で相対的な運動を発生させるために前記第１リンクまたは第２リンクに駆動力を加えることを特徴とする請求項１３に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項１５】
前記ピッカーシステムは、
複数の行及び列に配置されて前記半導体装置をピックアップするための複数のピッカーと、
前記ピッカーを前記第１トレイとバッファトレイとの間で移動させるためのピッカー移送部と、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項１６】
前記ピッカーシステムの行方向のＸピッチ及び列方向のＹピッチは、前記第１トレイの行方向のＸピッチ及び列方向のＹピッチと同一であることを特徴とする請求項１５に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項１７】
前記ピッカーシステムは、
前記半導体装置をピックアップするための複数対のピッカーユニットと、
前記ピッカーユニット対を前記第１トレイと前記バッファトレイとの間で移動させるためのピッカー移送部と、を含み、
それぞれのピッカーユニットは、行方向に延長する第１ピッカーユニット及び第２ピッカーユニットを含み、それぞれの第１及び第２ピッカーユニットは、前記半導体装置をピックアップするための複数のピッカーを含み、前記複数対のピッカーユニットは、前記ピッカーシステムの列方向に配列されることを特徴とする請求項１０に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項１８】
前記ピッカーシステムは、前記ピッカーシステムの列方向のＹピッチを調節するためのピッカー駆動部を更に含むことを特徴とする請求項１７に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項１９】
前記ピッカー駆動部は、
前記ピッカーユニット対の間の第１ピッチを調節するための第１ピッカー駆動部と、
前記ピッカーユニット対の内で、前記第１ピッカーユニットと第２ピッカーユニットとの間の第２Ｙピッチを調節するための第２ピッカー駆動部と、を含むことを特徴とする請求項１８に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項２０】
前記第１ピッカー駆動部は、
少なくとも１つのラックギアと、
前記ラックギアと結合する少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、
前記ギアボックスと連結されて回転力を提供するモータユニットを含み、
前記ラックギアは、前記第１Ｙピッチを調節するために前記複数対のピッカーユニットのうち、少なくとも１つを前記第１ピッカー駆動部の列方向に移動させることを特徴とする請求項１９に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項２１】
前記ピッカーシステムは、
前記第１ピッカーユニットと連結された第１リンクと、
前記第２ピッカーユニット及び前記第１リンクと連結された第２リンクを更に含み、
前記第１ピッカー駆動部は、前記第１ピッカーユニットまたは第２ピッカーユニットに連結されたことを特徴とする請求項１９に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項２２】
前記第２ピッカー駆動部は、前記第１リンクまたは第２リンクに連結され、前記第１ピッカーユニットと前記第２ピッカーユニットとの間で相対的な運動を発生させるために、前記第１リンクまたは第２リンクに駆動力を加えることを特徴とする請求項２１に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項２３】
前記バッファトレイから前記半導体装置を第２トレイに移送するための第２ピッカーシステムを更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項２４】
前記第２ピッカーシステムは、複数の行及び列に配置され、前記半導体装置をピックアップするための複数のピッカーを含み、
前記第２ピッカーシステムのＸピッチとＹピッチは、前記第２トレイのＸピッチとＹピッチと同一であり、
前記バッファトレイのＹピッチは、前記第２トレイのＹピッチと同一であることを特徴とする請求項２３に記載の半導体装置の移送装置。
【請求項２５】
前記バッファトレイは、列方向に延長される複数の単位バッファトレイを含み、
前記駆動部は、
回転力を発生させるモータユニットと、
前記モータユニットと連結され、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、
前記単位バッファトレイのうち、少なくとも１つと連結され、前記Ｘピッチを調節するために前記少なくとも１つの出力ギアと連結される少なくとも１つのラックギアと、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の半導体装置の移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置をテストするための方法と装置に係わり、より詳細には、半導体装置をテストするためのテストハンドラーにおいて半導体装置を移送する方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、揮発性または不揮発性メモリ装置、システムＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ−Ｓｃａｌｅ  ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）回路素子のような半導体装置は、多様なテスト課程を通じて動作特性が検査された上に出荷される。
【０００３】
テストハンドラーは、前記半導体装置を検査するために前記半導体装置をテストチャンバーに移送する。特に、前記半導体装置はカスタマトレイからバッファトレイを経由してテストトレイに移送され、前記テストチャンバーで検査された半導体装置は、テストトレイからバッファトレイを経由してカスタマトレイに移送される。
【０００４】
テストハンドラーは、前記トレイの間で半導体装置を移送するためのピッカーシステム（ｐｉｃｋｅｒ  ｓｙｓｔｅｍ）を具備することができる。前記ピッカーシステムに対する一例は、特許文献１、特許文献２、特許文献３などに開示されている。
【０００５】
最近、半導体装置を移送するに所要される時間を短縮させるために、前記ピッカーシステムは複数のピッカーを用いている。なお、前記ピッカーシステムは前記ピッカー間のピッチをカスタマトレイとテストトレイのピッチと同一に調節するためにピッチ調節装置を含むことができる。しかし、ピッカーの数量が増加するほどピッチ調節装置の重量が増加するので、半導体装置の移送速度を増加させるに限界がる。
【特許文献１】米国特許第６７６１５２６号
【特許文献２】米国特許第７０００６４８号
【特許文献３】米国特許第７０２３１９７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記のような問題点を解決するための本発明の第１目的は、半導体装置のテストのためのテストハンドラーで半導体装置の移送速度を増加させることができる半導体装置の移送方法を提供することにある。
本発明の第２目的は、前述したような半導体装置の移送方法を行うに適合する装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記第１目的を達成するための本発明の一側面によると、半導体装置を収納するための複数のソケットを有するトレイの間で、前記半導体装置を移送することができる。前記バッファトレイの行方向のＸピッチは第１トレイの行方向のＸピッチと同一に調節することができ、前記半導体装置は、前記第１トレイから前記Ｘピッチが調節されたバッファトレイに移送される。
【０００８】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは、列方向に延長する複数対の単位バッファトレイを含むことができ、前記バッファトレイのＸピッチは前記単位バッファトレイ対の間に第１Ｘ−ピッチを調節し、前記単位バッファトレイ対の内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２Ｘピッチを調節することで調節することができる。
【０００９】
本発明の一実施例によると、それぞれの第１及び第２単位バッファトレイは、一列に配置された複数のソケットを有することができる。
【００１０】
本発明の一実施例によると、前記半導体装置は、複数のピッカーを含むピッカーシステムを用いて前記第１トレイから前記半導体装置をピックアップすることができる。前記半導体装置が把持されたピッカーは前記バッファトレイの上部に移動され、前記半導体装置は、前記ピッカーから前記バッファトレイのソケットに収納される。前記ピッカーをバッファトレイの上部に移動させる期間、前記ピッカーシステムの列方向のＹピッチは前記バッファトレイの列方向のＹピッチと同一に調節されることが可能である。
【００１１】
本発明の一実施例によると、前記ピッカーシステムは行方向に延長する複数対のピッカーユニットを含むことができる。前記ピッカシステムのＹピッチは、前記ピッカユニット対の間の第１Ｙピッチを調節し、前記ピッカーユニット対の内で、第１ピッカーユニットと第２ピッカーユニットとの間の第２Ｙピッチを調節することで、同一に調節することが可能である。
【００１２】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは、複数の単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは、複数の列に配置された複数のソケットを含むことができる。
【００１３】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイのＸピッチは、前記単位バッファトレイ間の第１Ｘピッチと、それぞれの単位バッファトレイのソケット間の第２Ｘピッチを含むことができる。前記半導体装置は、複数の行及び列に配置される複数のピッチを用いて前記第１トレイからピックアップすることができ、前記半導体装置の把持されたピッカーは前記バッファトレイの上部に移動されることが可能である。前記半導体装置は、前記ピッカーを前記バッファトレイの行方向に段階的に移動させかつ前記ピッカーから前記ソケットに収納されることが可能である。
【００１４】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイのＸピッチは第２トレイの行方向のＸピッチと同一に調節されることが可能であり、前記半導体装置は前記バッファトレイから前記第２トレイに移送されることが可能である。
【００１５】
本発明の一実施例によると、前記半導体装置は、複数の行及び列に配置される複数のピッカーを用いて前記第１トレイからピックアップされることが可能である。前記半導体装置の把持されたピッカーは前記バッファトレイの上部に移動されることが可能であり、前記半導体装置は、前記バッファトレイを列方向に移動させかつ行単位に前記バッファトレイに順次収納されることが可能である。
【００１６】
前記第２目的を達成するための本発明の他の側面によると、半導体装置を収納するために複数のソケットを有するトレイの間で前記半導体を移送する装置は、複数の行及び列に配置された複数のソケットを有するバッファトレイと、前記バッファトレイと接続され、前記バッファトレイに行方向のＸピッチを調節するための駆動部と、第１トレイから前記半導体装置を前記バッファトレイに移送するためのピッカーシステムと、を含むことができる。
【００１７】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは列方向に延長する複数対の単位バッファトレイを含むことができ、前記駆動部は、前記単位バッファトレイ対のうち、第１Ｘピッチを調節するための第１駆動部と、前記単位バッファトレイ対の内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２Ｘピッチを調節するための第２駆動部と、を含むことができる。
【００１８】
本発明の一実施例によると、前記第１駆動部は、前記複数の対の単位バッファトレイのうち、少なくとも１つのラックギアと、前記ラックギアと結合される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと接続され、回転力を提供するモータユニットを含むことができ、前記ラックギアは、前記第１Ｘピッチを調節するために前記複数対の単位バッファトレイのうち、少なくとも１つを前記バッファトレイの行方向に移動させるように前記出力ギアに結合されることが可能である。
【００１９】
本発明の一実施例によると、前記移送装置は、前記第１単位バッファトレイと連結された第１リンクと、前記第２単位バッファトレイ及び前記第１リンクと連結された第２リンクを更に含むことができ、前記第１駆動部は、前記第１単位バッファトレイまたは第２単位バッファトレイに択一的に連結されることが可能である。
【００２０】
本発明の一実施例によると、前記第２駆動部は、前記第１リンクまたは第２リンクに連結され、前記第１単位バッファトレイと前記第２単位バッファトレイとの間で相対的な運動を発生させるために前記第１リンクまたは第２リンクに駆動力を加えるように構成することが可能である。
【００２１】
本発明の一実施例によると、前記ピッカーシステムは、複数の行及び列に配置され、前記半導体装置をピックアップするための複数のピッカーと、前記ピッカーを前記第１トレイ及びバッファトレイの間で移動させるためのピッカー移送部と、を含むことができる。
【００２２】
本発明の一実施例によると、前記ピッカーシステムの行方向のＸピッチ及び列方向のＹピッチは、前記第１トレイの行方向のＸピッチ及び列方向のＹピッチと同一であるように構成することができる。
【００２３】
本発明の一実施例によると、前記ピッカーシステムは、前記半導体装置をピックアップするための複数対のピッカーユニットと、前記ピッカーユニットを前記第１トレイと前記バッファトレイとの間で移動させるためのピッカー移送部と、を含むことができる。それぞれのピッカーユニットは行方向に延長する第１ピッカーユニット及び第２ピッカーユニットを含み、それぞれの第１及び第２ピッカーユニットは、前記半導体装置をピックアップするための複数のピッカーを含み、前記複数対のピッカーユニットは前記ピッカーシステムの列方向に配列されることが可能である。
【００２４】
本発明の一実施例によると、前記ピッカーシステムは、前記複数対のピッカーユニットの列方向のＹピッチを前記第１トレイまたは前記バッファトレイの列方向のＹピッチと同一に調節するためのピッカー駆動部を更に含むことができる。
【００２５】
本発明の一実施例によると、前記ピッカー駆動部は、前記ピッカーユニット対の間の第１ピッチを調節するための第１ピッカー駆動部と、前記ピッカーユニット対の内で、前記第１ピッカーユニットと第２ピッカーユニットとの間の第２Ｙピッチを調節するための第２ピッカー駆動部と、を含むことができる。
【００２６】
本発明の一実施例によると、前記第１ピッカー駆動部は、前記複数のピッカーユニットのうち、少なくとも１つに連結されたラックギアと、前記ラックギアと結合する少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと連結され、回転力を提供するモータユニットを含むことができる。前記ラックギアは、前記第１Ｙピッチを調節するために前記複数対のピッカーユニットのうち、少なくとも１つを前記複数対のピッカーユニットのうち、少なくとも１つを前記列方向に移動させるように出力ギアに結合されることが可能である。
【００２７】
本発明の一実施例によると、前記移送装置は、前記第１ピッカーユニットと連結された第３リンクと、前記第２ピッカーユニット及び前記第３リンクと連結された第４リンクを更に含み、前記第１ピッカー駆動部は、前記第１ピッカーユニットまたは第２ピッカーユニットに択一的に連結されることが可能である。
【００２８】
本発明の一実施例によると、前記第２ピッカー駆動部は、前記第３リンクまたは第４リンクに連結され、前記第１ピッカーユニットと前記第２ピッカーユニットとの間で相対的な運動を発生させるために、前記第３リンクまたは第４リンクに駆動力を加えるように構成することができる。
【００２９】
本発明の一実施例によると、前記移送装置は、前記バッファトレイから前記半導体装置を第２トレイに移送するための第２ピッカーシステムを更に含むことができる。
【００３０】
本発明の一実施例によると、前記第２ピッカーシステムは、複数の行及び列に配置され、前記半導体装置をピックアップするための複数のピッカーを含み、前記第２ピッカーシステムのＸピッチとＹピッチは、前記第２トレイのＸピッチとＹピッチと同一であってもよく、前記バッファトレイのＹピッチは、前記第２トレイのＹピッチと同一であってもよい。
【００３１】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは、列方向に延長する複数の単位バッファトレイを含むことができ、前記駆動部は、回転力を発生させるモータユニットと、前記モータユニットと連結され、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記単位バッファトレイのうち、少なくとも１つと連結され、前記Ｘピッチを調節するために前記少なくとも１つの出力ギアと連結される少なくとも１つのラックギアと、を含むことができる。
【発明の効果】
【００３２】
前述したような本発明の実施例によると、バッファトレイのＸピッチは、ピニオンギアとラックギアとを含む第１駆動部及びリンクを駆動させるための第２駆動部によってテストトレイまたはカスタマトレイのＸピッチと同一に調節されることが可能である。
【００３３】
したがって、半導体装置を移送する期間、ピッカーシステムのＸピッチを調節する必要がないので、前記半導体装置の移送に所要される時間を短縮することができる。なお、ピッカーのＸピッチを調節するための別途の装置が必要でないので、前記ピッカーシステムの重量を減少させることができ、これによってテストハンドラーの安定性を向上させることができる。
【００３４】
なお、ピッカーシステムのＹピッチは、第１及び第２ピッカー駆動部によって調節することができ、これによって半導体装置の移送に所要される時間を更に減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の他の実施例を添付する図面を参照して詳細に説明する。
【００３６】
図１は、本発明の一実施例による半導体装置の移送装置を説明するための概略図である。
図１を参照すると、本発明の一実施例による半導体装置の移送装置１０は、半導体装置をテストするためのテストハンドラーに適用することができる。特に、前記移送装置１０は、テストハンドラー内で第１及び第２トレイ、例えば、カスタマトレイ１２とテストトレイ１４との間で半導体装置を移送するために用いることができる。
【００３７】
詳細に図示していないが、前記移送装置１０は、前記カスタマトレイ１２とテストトレイ１４との間で移動可能に配置されるバッファトレイ２０と、前記テストトレイ１４と前記バッファトレイ２０との間で半導体装置を移送するための第１ピッカーシステム３０を含むことができる。また、前記移送装置１０は、前記バッファトレイ２０と前記カスタマトレイ１２との間で半導体装置を移送するための第２ピッカーシステム４０を含むことができる。
【００３８】
特に、前記バッファトレイ２０は、Ｙ軸方向に移動可能に配置することができ、前記第１及び第２ピッカーシステム（３０、４０）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に配置することができる。例えば、前記バッファトレイ２０はバッファ移送部２２によって移送することができ、前記第１及び第２ピッカーシステム（３０、４０）は、第１及び第２ピッカー移送部（３２、４２）によってそれぞれ移送することができる。
【００３９】
図２は、図１に示したバッファトレイのＸピッチを調節するための第１駆動部及び第２駆動部を説明するための斜視図であり、図３は、図１に示したバッファトレイを説明するための平面図である。
【００４０】
図２及び図３を参照すると、バッファトレイ２０のピッチは、テストトレイ１４またはカスタマトレイ１２のピッチと同一に調節することができる。
前記バッファトレイ２０は、複数対の単位バッファトレイ２２を含むことができ、それぞれの単位バッファトレイ対２２は、第１単位バッファトレイ２２ａと第２単位バッファトレイ２２ｂを含むことができる。例えば、前記バッファトレイ２０は、４つの単位バッファトレイ対２２を含むことができる。
【００４１】
前記第１及び第２単位バッファトレイ（２２ａ、２２ｂ）それぞれは、一例に配置されて半導体装置を収納するための複数のソケット２４を有することができ、互いに平行に配列されることが可能である。例えば、前記第１及び第２単位バッファトレイ（２２ａ、２２ｂ）それぞれは８つのソケット２４を有することができる。しかし、前記第１及び第２単位バッファトレイ（２２ａ、２２ｂ）のソケット２４の数量は、必要に応じて多様に変更することができる。ここで、前記複数対の単位バッファトレイ２２は、前記第１及び第２単位バッファトレイ（２２ａ、２２ｂ）の延長方向、即ち、列方向（Ｙ方向）に対して垂直する行方向（Ｘ軸方向）に配列することができる。
【００４２】
前記第１及び第２単位バッファトレイ（２２ａ、２２ｂ）は、第１サポート１０２ａ及び第２サポート１０２ｂ上にそれぞれ配置することができる。前記第１及び第２サポート（１０２ａ、１０２ｂ）は、前記第１及び第２単位バッファトレイ（２２ａ、２２ｂ）の直下で前記列方向にそれぞれ延長することができる。
【００４３】
前記第１サポート１０２ａの端部には第１リンク１０４ａが接続されており、前記第２サポート１０２ｂの端部には第２リンク１０４ｂが連結されている。前記第２リンク１０４ｂは、前記第１リンク１０４ａに連結されている。図示したように、前記第２リンク１０４ｂは、前記第１リンク１０４ａの中央部に連結することができる。しかし、前記とは違って、前記第１リンク１０４ａの端部と前記第２リンク１０４ｂの端部を互いに連結することもでき、前記第１リンク１０４ａの端部を前記第２リンク１０４ｂの中央部に連結することもできる。
【００４４】
前記バッファトレイ２０の行方向のＸピッチは、第１駆動部１１０及び第２駆動部１４０によって調節することができる。特に、前記単位バッファトレイ対２２の間の第１Ｘピッチ（ｐｘ１）は、前記第１駆動部１１０によって調節することができ、前記単位バッファトレイ対２２内で第１及び第２単位バッファトレイ（２２ａ、２２ｂ）の間の第２Ｘピッチ（ｐｘ２）は、第２駆動部１４０によって調節することができる。前記第１及び第２駆動部（１１０、１４０）は、ベースプレート１０６上に配置することができる。
【００４５】
図４は、図２に示した第１駆動部のギアボックスを説明するための平面図であり、図５は、図２に示した第１駆動部のギアボックスを説明するための斜視図であり、図６は、図２に示した第１駆動部の第１モータユニットを説明するための底面図である。
【００４６】
図４ないし図６を参照すると、前記第１駆動部１１０は、前記ベースプレート１０６の上部面上で回転可能に配置される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックス１１２と、前記出力ギアに結合される複数のラックギア１２０、及び前記ギアボックス１１２と連結され回転力を提供する第１モータユニット１２２を含むことができる。
【００４７】
例えば、前記ベースプレート１０６の上部面上には４つのラックギア（１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ）が配置され、前記４つのラックギア（１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ）は、前記出力ギアとして機能する２つのピニオンギア（１１４ａ、１１４ｂ）に結合することができる。特に、第１ピニオンギア１１４ａは、前記第１モータユニット１２２の駆動軸１２４に連結することができ、前記第１ピニオンギア１１４ａには第１ラックギア１２０ａと第２ラックギア１２０ｂとが互いに向い合うように結合されている。また、第１ピニオンギア１１４ｂは、前記モータユニット１１２の駆動軸１２４に連結された駆動ギア１１６と結合され、前記第２ピニオンギア１１４ｂには第２ラックギア１２０ｃと第４ラックギア１２０ｄとが互いに向い合うように結合されている。
【００４８】
図７ないし図９は、図２に示した第１及び第２駆動部を用いてバッファトレイのＸピッチを調節する方法を説明するための平面図である。
図７及び図８を参照すると、前記第１ラックギア１２０ａおよび第２ラックギア１２０ｂは、内側の単位バッファトレイ対２２と第１及び第２サポート（１０２ａ、１０２ｂ）を通じて連結することができ、前記第３ラックギア１２０ｃ及び第４ラックギア１２０ｄは、第１及び第２サポート（１０２ａ、１０２ｂ）を通じて外側の単位バッファトレイ対２２と結合することができる。特に、図７及び図８で、バッファトレイ２０の左側に配置された第１単位バッファトレイ対２２は、第１及び第４ラックギア（１２０ａ、１２０ｄ）と連結することができ、図７及び図８でバッファトレイ２０の右側に配置された前記第２単位バッファトレイ対２２は、第２及び第３ラックギア（１２０ｂ、１２０ｃ）と連結することができる。したがって、前記第１及び第２単位バッファトレイ対２２は、図８に示したように前記第１及び第２ピニオンギア（１１４ａ、１１４ｂ）の回転によって前記バッファトレイ２０の中央地点を基準に互いに反対方向にそれぞれ移動することができる。
【００４９】
前記第１、第２、第３、及び第４ラックギア（１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ）は、第１サポート１０２ａを通じて第１単位バッファトレイ２２ａに連結されている。しかし、前記第１、第２、第３、及び第４ラックギア（１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ）を、第２サポート１０２ｂを通じて第２単位バッファトレイ２２ｂに連結することができる。
【００５０】
一方、図示していないが、前記第１、第２、第３、及び第４ラックギア（１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ）を前記バッファトレイ２０の行方向に案内するための複数のガイド部材を前記ベースプレート１０６上に配置することができる。
【００５１】
前記第１ピニオンギア１１４ａの回転速度と第２ピニオンギア１１４ｂの回転速度との比は、前記第１単位バッファトレイ２２ａ間の間隔が互いに同一になるよう１：３程度に設定することができる。具体的に、前記第１及び第２ピニオンギア（１１４ａ、１１４ｂ）は、前記駆動ギア１１６より小さいピッチ円を有することができる。特に、前記駆動ギア１１６の直径は前記第２ピニオンギア１１４ｂの直径の３倍に設定することができ、前記第１及び第２ピニオンギア（１１４ａ、１１４ｂ）は、互いに同一の直径を有することができる。結果的に、前記第１及び第２ピニオンギア（１１４ａ、１１４ｂ）の回転によって前記単位バッファトレイ対２２の間の第１Ｘピッチ（ｐｘ１）を調節することができる。
【００５２】
一方、前記第１単位バッファトレイ２２ａは、前記第１及び第２リンク（１０４ａ、１０４ｂ）を通じて前記第２単位バッファトレイ２２ｂと連結されているので、前記第１Ｘピッチ（ｐｘ１）を調節する期間、前記第１単位バッファトレイ２２ａと前記第２単位バッファトレイ２２ｂとの間の第２Ｘピッチ（ｐｘ２）は、一定に維持される。
【００５３】
前記したことによると、前記ギアボックス１１２が２つのピニオンギア（１１４ａ、１１４ｂ）及び４つのラックギア（１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ）を含んでいるが、前記ギアボックス１１２は互いに異なる回転速度を有する３つ以上のピニオンギアを有するように構成することができ、前記第１駆動部１１０は、前記ピニオンギアと結合される複数のラックギアを含むことができる。即ち、前記ピニオンギア及び前記ラックギアの数量は前記第１単位バッファトレイ２２ａの数量によって変更することができる。
【００５４】
また、前記バッファトレイ２０が２対の単位バッファトレイ２２を含む場合、前記第１駆動部１１０は１つのピニオンギアと２つのラックギアを含むこともできる。
【００５５】
図６を参照すると、前記駆動膜１２４は、前記ベースプレート１０６を通じて延長することができ、前記ベースプレート１０６の下部面上には、前記第１モータユニット１２２を配置することができる。前記第１モータユニット１２２と前記駆動膜１２４はベベルギア１２６によって連結することができる。しかし、前記第１モータユニット１２２は、前記駆動膜１２４と直接連結することもできる。
【００５６】
また図７を参照すると、前記ベースプレート１０６の上部面上には、前記バッファトレイ２０の行方向に延長して前記第１及び第２サポート（１０２ａ、１０２ｂ）を前記行方向、即ち、前記バッファトレイ２０のＸピッチ方向に案内するための少なくても１つのガイド部材を配置することができる。例えば、前記ベースプレート１０６上には、前記行方向に延長する第１及び第２ガイドレール（１０３ａ、１０３ｂ）を配置することができ、前記第１及び第２サポート（１０２ａ、１０２ｂ）は、第１ボールブロック１３２ａ 及び第２ボールブロック１３２ｂを通じて前記第１及び第２ガイドレール（１０３ａ、１０３ｂ）に結合されることができる。 しかし、前記第１及び第２サポート（１０２ａ、１０２ｂ）は１つのガイドレールによって前記行方向に案内されることも可能である。
【００５７】
図８及び図９を参照すると、前記第２駆動部１４０は、前記ベースプレート１０６の上部面上に配置されて前記第１リンク１０４ａの端部と連結することができる。特に、前記第２駆動部１４０は、前記第単位バッファトレイ２２ａ及び前記第２単位バッファトレイ２２ｂとの間の第２Ｘピッチ（ｐｘ２）を調節するために前記第１リンク１０４ａに駆動力を加えて、これによって前記第１単位バッファトレイ２２ａ及び前記第２単位バッファトレイ２２ｂの間で相対的な運動が発生することができる。
【００５８】
前記第1 リンク１０４ａの端部は、前記行方向に延長するガイド部材によって前記行方向に案内することができる。例えば、前記行方向に延長するガイドバー(１４２；ｂａｒ)が前記バッファトレイ２０に接するように配置され、前記ガイドバー１４２は、前記行方向に延長するスロット１４４を有することができる。前記スロット１４４内には複数のローラー（図示せず）を配置することができ、前記第１リンク１０４ａの端部は前記ローラーに連結さすことができる。
【００５９】
前記ガイドバー１４２の両側端部は、前記ベースプレート１０６ 上で前記列方向、即ち、Ｙ軸方向に延長する第３ガイドレール１４６ａと第４ガイドレール１４６ｂに第３ボールブロック１４８ａ及び第４ボールブロック１４８ｂを通じて連結することができる。 即ち、前記第２駆動部１４０は、前記ガイドバー１４２とローラーを通じて前記第１リンク１０４ａの端部と連結することができる。前記ガイドバー１４２は、前記第２駆動部１４０によって前記列方向に移動することができ、これによって前記第１リンク１０４ａは、前記第１サポート１０２ａの端部を中心に回転することができ、前記第２リンク１０４ｂは前記第１リンク１０４ａの中央部位を中心に回転することができる。結果的に、前記第２単位バッファトレイ２２ｂは、前記第１単位バッファトレイ２２ａに対して前記行方向、即ち、Ｘピッチ方向に相対的に移動することができる。即ち、前記ガイドバー１４２の移動距離を調節することで前記バッファトレイ２０の第２Ｘピッチ（ｐｘ２）を調節することができる。
【００６０】
図示したように、第１Ｘピッチ（ｐｘ１）を調節した後、第２Ｘピッチ（ｐｘ２）が調節されている。しかし、状況によって第２Ｘピッチ（ｐｘ２）が調節された後、第１Ｘピッチ（ｐｘ１）を調節することもできる。
【００６１】
前記とは違って、前記第１リンク１０４ａの端部は複数のボールブロックとガイドレールによって前記行方向に案内することもできる。即ち、前記バッファトレイ２０に接するように第５ガイドレールを配置することができ、前記第５ガイドレールには複数の第５ボールブロックが移動可能であるように連結することができる。前記第１リンク１０４ａの端部は、前記第５ボールブロックに連結することができる。
【００６２】
前記第２駆動部１４０は、前記ベースプレート１０６の上部面上で前記ガイドバー１４２と連結される。特に、前記第２駆動部１４０は、第２モータユニット１５０を含むことができ、前記第２モータユニット１５０はボールスクリュ１５２及び見るナット１５４を通じて前記ガイドバー１４２と連結されることができる。具体的に、前記ボールスクリュ１５２は、前記第２モータユニット１５０の回転軸と連結することができ、前記ボールナット１５４は前記ガイドバー１４２に連結することができ、前記ボールスクリュ１５２は前記ボールナット１５４を通じてＹ軸方向に延長することができる。
【００６３】
一方、前記第２駆動部１４０として多様な直線往復駆動ユニットを選択的に用いることができるだろう。例えば、キャムとスプリングを利用した直線往復運動装置、空圧または油圧シリンダー、などが第２駆動部１４０として用いたれることも可能である。
【００６４】
図示していないが、前記第１及び第２駆動部（１１０、１４０）の動作によって発生することができるバックラッシュによるピッチ調節の正確度の低下を防止するために、前記第１単位バッファトレイ２２ａ及び第２単位バッファトレイ２２ｂは、複数のスプリングを用いて互いに拘束することができる。例えば、前記第１単位バッファトレイ２２ａと第２単位バッファトレイ２２ｂは、第１コイルスプリングによって互いに連結することができる。また、前記バッファトレイ２０の中央地点を基準に両側に配置される第１単位バッファトレイ２２ａは第２コイルスプリング及び第３コイルスプリングによって互いに連結することができる。
【００６５】
図１０は、図１に示した第１ピッカーシステムを説明するための概略的な斜視図である。
図１０を参照すると、第１ピッカーシステム３０は、複数の行及び列に配置される複数のピッカー２０２を含むことができ、前記ピッカー２０２は、第１ピッカー移送部３２によって移送可能になるように配置することができる。詳しく示していないが、前記ピッカー２０２は、真空圧を利用して半導体装置をピックアップするために用いることができ、それぞれのピッカー２０２は垂直方向(Ｚ軸方向)に移動可能に構成することができる。
【００６６】
特に、前記第１ピッカーシステム３０は、複数のピッカーユニット２００を含むことができる。それぞれのピッカーユニット２００は、前記第１ピッカーシステム３０の行方向に配置される複数のピッカー２０２を含むことができる。例えば、それぞれのピッカーユニット２００は、行方向(Ｘ軸方向)に延長するブラケット２０４を含むことができ、前記ピッカー２０２は前記ブラケット２０４に垂直方向に装着される。
【００６７】
また、前記第１ピッカーシステム３０は、前記ピッカーユニット２００が前記第１ピッカーシステムの列方向(Ｙ軸方向)に装着される第１ピッカーベース２０６を含むことができ、前記第１ピッカーベースは、前記ピッカー２０２を移送するための第１ピッカー移送部３２と連結することができる。詳しく図示していないが、前記第１ピッカー移送部３２は、前記ピッカー２０２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させることができるように構成することができる。例えば、前記第１ピッカー移送部３２は、リニアモータ、ボールスクリュ、ボールブロック、リニアモーションガイドなどを利用して構成することができる。
【００６８】
前記第１ピッカーシステム３０の行方向のＸピッチと列方向Ｙピッチは、前記テストトレイ１４の行方向のＸピッチと列方向Ｙピッチと同一に構成することができる。よって、前記第１ピッカーシステム３０は、一度の動作で複数の半導体装置をテストトレイ１４からピックアップすることができる。例えば、前記第１ピッカーシステム３０は６４または３２個の半導体装置を一度の動作でピックアップすることができる。
【００６９】
前記半導体装置をピックアップした後、前記ピッカー２０２は第１ピッカー移送部３２によってバッファトレイ２０の上部に移送することができる。ここで、前記バッファトレイ２０のＸピッチは第１駆動部１１０及び第２駆動部１４０によって前記テストトレイ１４のＸピッチと同一に調節することができる。
【００７０】
図１１は、半導体装置をバッファトレイに収納する方法を説明するための概路図である。
図１１を参照すると、前記バッファトレイ２０のＹピッチが前記テストトレイ１４のＹピッチと異なるため、前記半導体装置１は前記第１ピッカーシステム３０から一度に一行ずつ順次に前記バッファトレイ２０に収納されることが可能である。具体的に、前記バッファトレイ２０は、列方向、即ち、Ｙ軸方向に段階的に移送されることが可能し、前記第１ピッカーシステム３０のピッカー２０２に把持された半導体装置１は、前記バッファトレイ２０が段階的に移動する間に行単位で前記バッファトレイ２０に収納されることが可能である。これとは反対に、第１ピッカーシステム３０がＹ軸方向に段階的に移動しながら前記バッファトレイ２０に前記半導体装置１が収納することもできる。
【００７１】
前記半導体装置１がバッファトレイ２０に収納された後、前記バッファトレイ２０のＸピッチは、カスタマトレイ１２の行方向のＸピッチと同一に調節することができる。前記バッファトレイ２０の Ｘピッチ調節方法は、図７ないし図９を参照して説明したことと同一のであるので、これに対する追加的な詳細説明は省略する。
【００７２】
また、前記バッファトレイ２０は、前記バッファ移送部２２によって前記カスタマトレイ１２と接するように移動される。前記バッファトレイ２０のＸピッチ調節は、前記バッファトレイ２０の移動と同時に行うこともでき、先行してまたは後続して行うこともできる。
【００７３】
前記バッファトレイ２０のＸピッチ調節及び移動の後、前記半導体装置１は、第２ピッカーシステム４０によってバッファトレイ２０からカスタマトレイ１２に移送される。
前記第２ピッカーシステム４０は、複数の行と列に配置された複数のピッカーを含むことができ、前記ピッカーのＸピッチとＹピッチは、前記カスタマトレイ１２のＸピッチとＹピッチと同一であってもよい。前記第２ピッカーシステム４０に対する追加的な詳細説明は図１０を参照して既に説明された第１ピッカーシステム３０と類似であるので省略。
【００７４】
また、前記バッファトレイ２０のＹピッチは、前記カスタマトレイ１２のＹピッチと同一に構成することができる。よって、前記半導体装置１は、第２ピッカーシステム４０によって一度の動作で前記バッファトレイ２０からピックアップすることができ、一度の動作で前記カスタマトレイ１２に収納することができる。
【００７５】
前記したように、前記テストトレイ１４から半導体装置２をカスタマトレイ１２に移送する方法と装置に対して説明したが、これと反対に、前記方法と装置は、完全に同じではないが、カスタマトレイ１２からテストトレイ１４に半導体装置１を移送するために類似に用いることができる。
【００７６】
前記したような本発明の一実施例によると、第１単位バッファトレイ２２ａの間の第１Ｘピッチ（ｐｘ１）は、第１駆動部１１０によって調節することができ、前記第１単位バッファトレイ２２ａ 及び第２単位バッファトレイ２２ｂの間の第２Ｘピッチ（ｐｘ２）は第２駆動部１４０によって調節されることが可能である。結果的に、前記バッファトレイ２０のＸピッチは、テストトレイ１４またはカスタマトレイ１２のＸピッチと同一に調節することができる。 よって、前記半導体装置１を移送するための第１及び第２ピッカーシステム（３０、４０）のＸピッチを調節する必要がないので、前記テストトレイ１４またはカスタマトレイ１２と前記バッファトレイ２０の間で半導体装置１を移送するのに所要される時間を大きく短縮することができる。また、前記第１及び第２ピッカーシステム（３０、４０）の重量が軽くすることができるので、前記テスターハンドラーの安全性を大きく増加させることができ、前記第１及び第２ピッカーシステム（３０、４０）のピッカーの数量を増加させることができる。
【００７７】
図１２及び図１３は、第１ピッカーシステムの他の例を説明するための概略的な平面図及び底面図である。
【００７８】
図１２及び図１３を参照すると、第１ピッカーシステム５０は複数の行及び列に配列された複数のピッカー３０２を含むことができる。特に、前記第１ピッカーシステム５０は、行方向(Ｘ軸方向)に延長する複数対のピッカーユニット３００を含むことができる。 それぞれのピッカーユニット対３００は、第１ピッカーユニット３００ａと第２ピッカーユニット３００ｂを含むことができる。それぞれの第１及び第２ピッカーユニット（３００ａ、３００ｂ）は行方向に延長するブラケット３０４と、前記ブラケット３０４に垂直方向に装着された複数のピッカー３０２を含むことができる。前記第１及び第２ピッカーユニット（３００ａ、３００ｂ）は、列方向に配列され、ピッカーベース３０６に形成されたホール３０６ａを通じて垂直方向に配置される。
【００７９】
前記ブラケット３０４は、ピッカーベース３０６の上部面上に配置されるガイド部材と連結することができる。例えば、前記ピッカーベース３０６の上部面上には列方向に延長する第１ガイドレール３０８が配置され、前記ブラケット３０４は複数の第１ボールブロック３１０を通じて前記第１ガイドレール３０８と連結される。しかし、これと違って、前記ピッカーベース３０６上には複数のガイド部材を前記第１及び第２ピッカーユニット（３００ａ、３００ｂ）を列方向(Ｙ軸方向)に案内するために配置することもできる。
【００８０】
前記ピッカーベース３０６上には前記第１ピッカーシステム５０の列方向Ｙピッチを調節するための第１ピッカー駆動部３２０と第２ピッカー駆動部３４０を配置することができる。例えば、前記第１ピッカー駆動部３２０は、前記ピッカーユニット対３００の間の第１Ｙピッチ（ｐｙ１）を調節するために具備することができ、前記第２ピッカー駆動部３４０は、前記ピッカーユニット対３００ 内で第１及び第２ピッカーユニット（３００ａ、３００ｂ）の間の第２Ｙピッチ（ｐｙ２）を調節するために具備することができる。
【００８１】
例えば、前記第１ピッカーシステム５０は４対のピッカーユニット３００を含むことができ、前記第１ピッカー駆動部３２０は２つのピニオンギア３２４を含むギアボックス３２２と、前記ピニオンギア３２４に結合されて前記４対のピッカーユニット３００ の間の第１Ｙピッチ（ｐｙ１）を調節するための４つのラックギア３２６及び前記ギアボックス３２２と連結されて回転力を提供する第３モータユニット３２８を含むことができる。
【００８２】
前記第２ピッカーユニット３００ａと第２ピッカーユニット３００ｂは、第３リンク３３０及び第４リンク３３２によって連結することができる。前記第３リンク３３０の端部は列方向に延長するガイドバー３３４に連結することができ、前記第４リンク３３２の端部は、前記第３リンク３３０の中央部位に連結することができる。
【００８３】
前記第２ピッカー駆動部３４０は、前記ガイドバー３３４を行方向(Ｘ軸方向)に移動させるために具備することができる。特に、前記第２ピッカー駆動部３４０は、回転力を提供する第４モータユニット３４２と、前記第２モータユニット３４２と連結されたボールスクリュ３４４及び前記ガイドバー３３４と連結されて前記ボールスクリュ３４４がパスするボールナット３４６などを含むことができる。
【００８４】
前記第１ピッカー駆動部３２０及び第２ピッカー駆動部３４０を用いて前記第１ピッカーシステム５０のＹピッチを調節する方法は図７ないし図９を参照して既に説明したバッファトレイのＸピッチの調節方法類似であるので、これに対する追加的な詳細説明は省略する。
【００８５】
前記第１ピッカーシステム５０のＸピッチは、テストトレイ１４のＸピッチと同一に構成することができ、Ｙピッチは第１及び第２ピッカー駆動部（３２０、３４０）によって前記テストトレイ１４のＹピッチと同一に調節することができる。よって、前記第１ピッカーシステム５０のピッカー３０２は、一度のピックアップ動作で複数の半導体装置をテストトレイ１４から同時にピックアップすることができる。
【００８６】
前記ピッカー３０２は、第１ピッカー移送部にバッファトレイ２０の上部に移送することができる。このとき、前記バッファトレイ２０のＸピッチは第１及び第２駆動部（１１０、１４０）によって前記テストトレイ１４のＸピッチと同一に調節することができる。 また、前記第１ピッカーシステム５０のＹピッチは、前記第１及び第２ピッカー駆動部（３２０、３４０）によって前記バッファトレイ２０のＹピッチと同一に調節することができる。よって、前記第１ピッカーシステム５０は、前記ピッカー３０２によって把持された半導体装置を一度のアンロディング動作で前記バッファトレイ２０に同時に収納することができる。
【００８７】
前記第１ピッカーシステム５０の重量は、前記第１及び第２ピッカー駆動部（３２０、３４０）によって増加することができる。 しかし、前記半導体装置を一度の動作でテストトレイ１４からピックアップして、また一度の動作で前記バッファトレイ２０に収納することで、前記半導体装置の移送に所要される時間を大きく短縮させることができる。
【００８８】
図１４は、バッファトレイのＸピッチを調節するための第１及び第２駆動部の他の例を説明するための概略的な平面図である。
図１４を参照すると、バッファトレイは複数対の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイのカップルは第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとを含むことができる。例えば、前記バッファトレイは５つの単位バッファトレイ対を含むことができる。前記単位バッファトレイ対に対する詳細な説明は、図２ないし図９を参照して既に説明したことと類似であるので、省略する。
【００８９】
前記第１及び第２単位バッファトレイは、第１サポート４０２ａ 及び第２サポート４０２ｂ上にそれぞれ配置することができる。 前記第１及び第２サポート（４０２ａ、４０２ｂ）は、前記第１及び第２単位バッファトレイの直下でバッファトレイの列方向にそれぞれ延長することができる。
【００９０】
前記第１サポート４０２ａの端部には第１リンク４０４ａが連結されており、前記第２サポート４０２ｂの端部には第２リンク４０４ｂが連結されて。前記第１リンク４０４ａと第２リンク４０４ｂとは互いに連結されている。
【００９１】
前記単位バッファトレイ対の間の第１Ｘピッチは、第１駆動部４１０によって調節することができ、前記単位バッファトレイの番内で第１及び第２単位バッファトレイの間の第２Ｘピッチは第２駆動部４４０によって調節することができる。例えば、前記第１駆動部は２つのピニオンギアと４つのラックギアを含むことができる。前記第１及び第２サポート（４０２ａ、４０２ｂ）と前記第１及び第２リンク（４０４ａ、４０４ｂ）及び前記第１及び第２駆動部（４１０、４４０）に対する詳細な説明は図２ないし図９を参照して既に説明したことと類似であるので、省略する。
【００９２】
一方、前記バッファトレイの中央地点に接する中央の単位バッファトレイ対はベースプレート４０６の上部面上に固定され、前記中央の単位バッファトレイ対を基準に両側に配置される単位バッファトレイのカップルは第１駆動部４１０と連結される。即ち、前記中央の第１単位バッファトレイと連結された第１サポート４０２ｃはベースプレート４０６上に装着することができる。例えば、中央の第１単位バッファトレイがベースプレート４０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部４１０は両側の残り第１単位バッファトレイと連結することができ、中央の第２単位バッファトレイがベースプレート４０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部４１０は両側の残り第２単位バッファトレイと連結されることが可能である。
【００９３】
結果的に、前記第１駆動部４１０のラックギアは、前記中央の単位バッファトレイ対を基準に両側に配置される単位バッファトレイ対を互いに反対方向に移動させることで前記単位バッファトレイ対の間の第１Ｘピッチを調節することができる。
【００９４】
特に、前記第１駆動部４１０の第１ピニオンギアの回転速度と第２ピニオンギアの回転速度との比は、前記第１単位バッファトレイの間の間隔が互いに等しくなるように１：２程度に設定することができる。これによって、前記単位バッファトレイ対の間の１Ｘピッチを調節することができる。
【００９５】
一方、前記バッファトレイが３対の単位バッファトレイを含む場合、前記第１駆動部４１０は１つのピニオンギアと２つのラックギアを含むことができる。
【００９６】
図１５は、バッファトレイのＸピッチを調節するための第１及び第２駆動部の更に他の例を説明するための概略的な平面図である。
図１５を参照すると、バッファトレイは複数対の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイ対は、第１ 単位バッファトレイと第２単位バッファトレイを含むことができる。 例えば、前記バッファトレイは３つの単位バッファトレイ対を含むことができる。前記単位バッファトレイ対に対する詳細な説明は図２ないし図９を参照して既に説明したことと類似であるので、省略する。
【００９７】
前記第１及び第２単位バッファトレイは、第１サポート５０２ａ 及び第２サポート５０２ｂ上にそれぞれ配置することができる。 前記第１及び第２サポート（５０２ａ、５０２ｂ）は、前記第１及び第２単位バッファトレイの直下でバッファトレイの列方向にそれぞれ延長することができる。
【００９８】
前記第１サポート５０２ａの端部には第１リンク５０４ａが連結されて、前記第２サポート５０２ｂの端部には第２リンク５０４ｂが連結されている。前記第１リンク５０４ａと第２リンク５０４ｂは互いに連結されている。
【００９９】
前記単位バッファトレイ対の間の第１Ｘピッチは、第１駆動部５１０によって調節することができ、前記単位バッファトレイの対内で第１及び第２単位バッファトレイの間の第２Ｘピッチは第２駆動部５４０によって調節することができる。前記第１駆動部５１０は少なくとも１つのピニオンギアと１つのラックギアを含むことができる。例えば、前記第1 駆動部５１０は２つのピニオンギアと２つのラックギアを含むことができる。前記第１及び第２サポート（５０２ａ、５０２ｂ）と前記第１及び第２リンク（５０４ａ、５０４ｂ）及び前記第１及び第２駆動部（５１０、５４０）に対する追加的な詳細な説明は図２ないし図９を参照して既に説明したことと類似であるので、省略。
【０１００】
一方、前記バッファトレイの最外側単位バッファトレイ対はベースプレート５０６の上部面上に固定され、残りの単位バッファトレイ対は第１駆動部５１０と連結される。例えば、最外側の第１単位バッファトレイと連結された最外側の第１サポート５０２ｃがベースプレート５０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部５１０は残りの第１単位バッファトレイと連結されることが可能であり、最外側の第２単位バッファトレイがベースプレート５０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部５１０は残りの第２単位バッファトレイと連結されることが可能である。
【０１０１】
結果的に、前記第１駆動部５１０のラックギアは、前記残りの単位バッファトレイ対を行方向（Ｘ軸方向)に移動させることで前記単位バッファトレイ対の間の第１Ｘピッチを調節することができる。
【０１０２】
特に、前記第１駆動部５１０の第１ピニオンギアの回転速度と第２ピニオンギアの回転速度との比は、前記第１単位バッファトレイの間の間隔が互いに同一になるように１：２程度に設定することができる。これによって、前記単位バッファトレイ対の間の第１Ｘピッチを調節することができる。
【０１０３】
一方、前記バッファトレイが２つの対の単位バッファトレイを含む場合、前記第１駆動部５１０は１つのピニオンギアと１つのラックギアを含むことができる。
【０１０４】
図１６は、バッファトレイの他の例を説明するための概略的な平面図である。
図１６を参照すると、バッファトレイ７０は、複数の単位バッファトレイ７２を含むことができ、それぞれの単位バッファトレ７２は、複数の列に配置された複数のソケットを有することもできる。例えば、前記単位バッファトレイ７２は２列に配置された複数のソケット（７４ａ、７４ｂ）を有することができる。この場合、前記単位バッファトレイ７２内でソケットの間のＸピッチはカスタマトレイまたはテストトレイのＸピッチと同一であってもよい。
【０１０５】
図１７は、バッファトレイのＸピッチを調節するための駆動部を説明するための概略的な平面図である。
図１７を参照すると、バッファトレイは複数の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイは複数の列に配置される複数のソケットを含むことができる。特に、前記バッファトレイは偶数個の単位バッファトレイを含むことができる。例えば、図１６に示したように、前記バッファトレイは４つの単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは列方向に配列される第１ソケットと前記第１ソケットと一直線に配列される第２ ソケットを有する。
【０１０６】
前記単位バッファトレイの間の行方向のＸピッチは、前記単位バッファトレイと連結さえた駆動部６１０によって調節される。前記駆動部６１０は、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと前記出力ギアに結合される複数のラックギア及び回転力を提供するモータユニットを含むことができる。例えば、前記駆動部６１０は、２つのピニオンギア６１２と４つのラックギア６１４を用いて前記バッファトレイのピッチを調節することができる。ここで、前記単位バッファトレイと前記ラックギア６１４はベースプレート６０６上に配置されるサポート６０２によって連結することができる。
【０１０７】
前記駆動部６１０は、前記バッファトレイのピッチを調節するために、前記バッファトレイの中央地点を中心に両側に配置される単位バッファトレイを互いに反対方向に移動させることができる。 前記駆動部に対する追加的な詳細説明は図２ないし図９を参照して既に説明した第１駆動部と類似であるので、省略する。
【０１０８】
図１８及び図１９は、図１６及び図１７に示したバッファトレイと駆動部を用いて半導体装置を移送する方法を説明するための概路図である。
前記のようなバッファトレイ７０を用いて半導体装置を移送する方法を説明すると、次のようである。
【０１０９】
図１、図８、及び図１９を参照すると、テストトレイ１４に収納された半導体装置１は、第１ピッカーシステム３０のピッカー２０２によって前記テストトレイ１４からピックアップされる。このとき、前記ピッカー２０２の間のＸピッチとＹピッチは、前記テストトレイ１４のＸピッチとＹピッチと同一に構成することができる。
【０１１０】
前記半導体装置１がピックアップされた後、前記第１ピッカーシステム３０は前記バッファトレイ７０の上部に移動される。このとき、前記バッファトレイ７０のＸピッチは、前記テストトレイ１４のＸピッチと同一に調節される。特に、前記バッファトレイ７０の単位バッファトレイ７２間のＸピッチは、前記テストトレイ１４の奇数列のソケットまたは偶数列のソケット間の間隔と同一に調節される。前記第１ピッカーシステム３０の奇数列のピッカー２０２ａは、前記単位バッファトレイ７２の第１ソケット７４ａの上部に移動され、前記奇数列のピッカー２０２ａによって把持された半導体装置１が前記第１ソケット７４ａに収納される。
【０１１１】
続いて、前記第１ピッカーシステム３０の偶数列のピッカー２０２ｂが前記単位バッファトレイ７２の第２ソケット７４ｂの上部に位置するように前記第１ピッカーシステム３０が行方向(Ｘ軸方向)に移動され、継続に前記偶数列のピッカー２０２ｂに把持された半導体装置１が前記第２ソケット７４ｂに収納される。
【０１１２】
図２０は、バッファトレイのＸピッチを調節するための駆動部の他の例を説明するための概略的な平面図である。
図２０を参照すると、バッファトレイは複数の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイは図１６に示したように、複数の列に配置される複数のソケットを含むことができる。特に、前記バッファトレイは、奇数個の単位バッファトレイを含むことができる。例えば、前記バッファトレイは５つの単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは列方向に配列される第１ソケットと前記第１ソケットと一直線に配列される第２ソケットを有する。
【０１１３】
駆動部７１０は、前記単位バッファトレイと連結されて前記単位バッファトレイ間のＸピッチを行方向に調節するために具備することができる。前記駆動部７１０は少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと前記出力ギアに結合される複数のラックギア及び回転力を提供するモータユニットを含むことができる。例えば、前記駆動部７１０は２つのピニオンギア７１２と４つのラックギア７１４を用いて前記バッファトレイのピッチを調節することができる。ここで、前記単位バッファトレイと前記ラックギア７１４はベースプレート７０６上に配置されるサポート７０２によって連結することができる。
【０１１４】
前記駆動部７１０は、前記バッファトレイのＸピッチを調節するために中央の単位バッファトレイを中心に両側に配置される単位バッファトレイを互いに反対方向に移動させることができる。前記駆動部７１０に対する追加的な詳細説明は図１４を参照して既に説明した第１駆動部と類似であるので、省略する。また、前記のようなバッファトレイ及び駆動部７１０を用いて半導体装置を移送する方法は、図１８及び図１９を参照して既に説明したことと類似であるので、省略する。
【０１１５】
図２１は、バッファトレイのＸピッチを調節するための駆動部の更に他の例を説明するための概略的な平面図である。
図２１を参照すると、バッファトレイは複数の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイは図１６に示したように複数の列に配置される複数のソケットを含むことができる。例えば、前記バッファトレイは、３つの単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは、十方向に配列される第１ ソケットと前記第１ソケットと一直線に配列される第２ソケットを有する。
【０１１６】
駆動部８１０は、前記単位バッファトレイと連結され、前記単位バッファトレイの間のＸピッチを行方向に調節するために具備することができる。前記駆動部８１０は、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと前記出力ギアに結合される少なくとも１つのラックギア及び回転力を提供するモータユニットを含むことができる。 例えば、前記駆動部８１０は、２つのピニオンギア８１２と２つのラックギア８１４を用いて前記バッファトレイのピッチを調節することができる。ここで、前記単位バッファトレイと前記ラックギア８１４は、ベースプレート８０６上に配置されるサポート８０２によって連結することができる。
【０１１７】
前記駆動部８１０は、最外側の単位バッファトレイを除いた残りのバッファトレイを行方向に移動させることで前記バッファトレイのＸピッチを調節することができる。前記駆動部８１０に対する追加的な詳細説明は図１５を参照して既に説明した第１駆動部と類似であるので、省略する。また、前記のようなバッファトレイ及び駆動部８１０を用いて半導体装置を移送する方法は図１８及び図１９を参照して既に説明したことと類似であるので、省略する。
【産業上の利用可能性】
【０１１８】
前述したような本発明の実施例によると、バッファトレイのＸピッチはピニオンギアとラックギアとを含む第１駆動部及びリンクを駆動させるための第２駆動部によってテストトレイまたはカスタマトレイのＸピッチと同一に調節することができる。
【０１１９】
したがって、半導体装置を移送する期間、ピッカーシステムの Ｘピッチを調節する必要がないので、前記半導体装置の移送に所要される時間を短縮させることができる。また、ピッカーのＸピッチを調節するための別途の装置が不必要であるので、前記ピッカーシステムの重量を減少させることができ、これによってテストハンドラーの安全性を向上させることができる。
【０１２０】
更に、ピッカーシステムのＹピッチは、第１及び第２ピッカー駆動部によって調節することができ、これによって半導体装置の移送に所要される時間を更に減少させることができる。
【０１２１】
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離脱することなく、本発明を修正または変更できる。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明の一実施例による半導体措置の移送装置を説明するための概略図である。
【図２】図１に示したバッファトレイのＸピッチを調節するための第１駆動部及び第２駆動部を説明するための斜視図である。
【図３】図１に示したバッファトレイを説明するための平面図である。
【図４】図２に示した第１駆動部のギアボックスを説明するための平面図である。
【図５】図２に示した第１駆動部のギアボックスを説明するための斜視図である。
【図６】図２に示した第１駆動部の第１モータユニットを説明するための底面図である。
【図７】図２に示した第１及び第２駆動部を用いてバッファトレイのＸピッチを調節する方法を説明するための平面図である。
【図８】図２に示した第１及び第２駆動部を用いてバッファトレイのＸピッチを調節する方法を説明するための平面図である。
【図９】図２に示した第１及び第２駆動部を用いてバッファトレイのＸピッチを調節する方法を説明するための平面図である。
【図１０】図１に示した第１ピッカーシステムを説明するための概略的な斜視図である。
【図１１】半導体装置をバッファトレイに収納する方法を説明するための概路図である。
【図１２】第１ピッカーシステムの他の例を説明するための概略的な平面図である。
【図１３】第１ピッカーシステムの他の例を説明するための概略的な底面図である。
【図１４】バッファトレイのＸピッチを調節するための第１及び第２駆動部の他の例を説明するための概略的な平面図である。
【図１５】バッファトレイのＸピッチを調節するための第１及び第２駆動部の更に他の例を説明するための概略的な平面図である。
【図１６】バッファトレイの他の例を説明するための概略的な平面図である。
【図１７】バッファトレイのＸピッチを調節するための駆動部を説明するための概略的な平面図である。
【図１８】図１６及び図１７に示したバッファトレイと駆動部を用いて半導体装置を移送する方法を説明するための概路図である。
【図１９】図１６及び図１７に示したバッファトレイと駆動部を用いて半導体装置を移送する方法を説明するための概路図である。
【図２０】バッファトレイのＸピッチを調節するための駆動部の他の例を説明するための概略的な平面図である。
【図２１】バッファトレイのＸピッチを調節するための駆動部の更に他の例を説明するための概略的な平面図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１…半導体装置、１０…移送装置、１２…カスタマトレイ、１４…テストトレイ、２０…バッファトレイ、２２…バッファ移送部、２２ａ、２２ｂ…単位バッファトレイ、２４…ソケット、３０、５０…第１ピッカーシステム、３２…第１ピッカー移送部、４０…第２ピッカーシステム、４２…第２ピッカー移送部、１０２ａ、１０２ｂ…第１、第２サポート、１０４ａ、１０４ｂ…第１、第２リンク、１０６…ベースプレート、１１０…第１駆動部、１１２…ギアボックス、１１４…ピニオンギア、１１６…駆動ギア、１２０…ラックギア、１２２…第１モータユニット、１４０…第２駆動部、１４２…ガイドバー、１５０…第２モータユニット、２００、３００…ピッカーユニット、２０２、３０２…ピッカー、２０４、３０４…ブラケット、２０６、３０６…ピッカーベース、３２０…第１ピッカー駆動部、３４０…第２ピッカー駆動部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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