(57)【要約】【課題】ファンフィルターユニットにおいて装着されているモータの発熱を清浄空気に対し、温度影響を与えないファンフィルターユニットを提供することを目的とする。【解決手段】チャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２のシャフト６の一端に磁性体の駆動プレート７を設け、前記ファン３には両端をベアリング１２にて保持されたファンシャフト１３とこのファンシャフト１３の前記モーター２に対峙する一端にマグネット１５を設けた誘導プレート１４を設けることで、前記モーター２の回転が非接触でファン３に伝達され、前記モーター２の発熱が前記ファン３、清浄空気２８に伝わることを防止出来、清浄空気２８に対して温度影響を与えないファンフィルターユニットが得られる。【選択図】図１
2009092325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターと前記ファンの間の熱伝達を防止する熱絶縁の構造としたファンフィルターユニット。
【請求項２】
チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設けると共に、この前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けてなるファンフィルターユニット。
【請求項３】
チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成したモーターを覆うカバーを設けると共に、このカバーに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを装着した誘導プレートを設けてなるファンフィルターユニット。
【請求項４】
チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設けると共に、前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結してなるファンフィルターユニット。
【請求項５】
チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、前記モーターのケースに設けた１以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けてなるファンフィルターユニット。
【請求項６】
チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、前記モーターを覆うカバーに設けた１以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けてなるファンフィルターユニット。
【請求項７】
チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設け、前記モーターのケースに設けた１以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結してなるファンフィルターユニット。
【請求項８】
モーターのケースの外郭を断熱材で覆った請求項１、２、４、５または７に記載のファンフィルターユニット。
【請求項９】
モーターのカバーの外郭を断熱材で覆った請求項３または６に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１０】
空気供給用ポートに接続した導管または空気排出用ポートに接続した導管の一端に流量調整弁を設けた請求項２〜７のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項１１】
空気供給用ポートに接続した導管または空気排出用ポートに接続した導管の一端に定流量弁を設けた請求項２〜７のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項１２】
空気供給用ポートに接続した導管または空気排出用ポートに接続した導管の一端にサーモバルブを設けた請求項２〜７のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項１３】
請求項１〜４のいずれか、または８〜１２のいずれかに記載のファンフィルターユニットを複数台設け、それぞれのファンフィルターユニットの空気供給用ポートに接続した供給用導管または空気排出用ポートに接続した排出用導管同士を集合配管で接続し、前記供給用導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置と冷却装置を設けて、各ファンフィルターユニットのモーターのケースまたはカバー内に空気を供給することを特徴とするファンフィルターユニットを用いたクリーンシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、ＦＰＤ工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットおよびシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットを半導体やＦＰＤを製造工程で一時的に保管するストッカーと呼ばれる装置や製造装置等に使用する場合、ファンフィルターユニットのモーターの発熱による装置内の温度上昇を防止する手段として、図１４に示すようにドライコイルユニット等の冷却装置を設けるシステム構成としている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１０１０２７号公報（図１，２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のファンフィルターユニットを使用したシステムでは、ドライコイルユニットで冷却させるため、装置内に冷水の配管を引き込む必要があり、施工が複雑になると共に水漏れというリスクがあり、また、その構成上ファンフィルターユニットから吹出された直後の空気はモーターの発熱の影響を受けて温度上昇を生じること、吹出し空気の部位によって温度差が生じ、温度分布が悪くなるという課題がある。また、最近のＦＰＤパネルの大型化の動きに伴い、ストッカーにおいては多い場合、百台以上のファンフィルターユニットが使用されることもあり、ドライコイルユニットも多数設置する必要が多くなってきており、信頼性を高め、リスクを低減させるために、ファンフィルターユニットの発熱を抑制する技術が求められている。
【０００４】
また、モーターを冷却する手段についても種々提案されているが、モーターの発熱はモーターに直結したファンにシャフトを介して伝達、ファンから吹出す清浄空気へ熱を放出することで、モーターの冷却が充分に機能しないという課題がある。
【０００５】
本発明は、このような従来のファンフィルターユニットの課題を解決するものであり、その吹出し空気に与えるモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えられるファンフィルターユニットが得られる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファンフィルターユニットは、上記目的を達成するためにチャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターと前記ファンの間の熱伝達を防止する熱絶縁の構造としたファンフィルターユニット。
【０００７】
他の手段は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設けると共に、前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けることにより、モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、マグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、ファンシャフトを通してファンに回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンは非接触のため熱的に絶縁された状態であり、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に空気（一般的にはドライエアー）を供給することでモーターを冷却し、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部へ排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
【０００８】
また、他の手段は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、このカバーに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトのモーターに対峙する一端にマグネットを装着した誘導プレートを設けることにより、発熱部である前記モーターをカバー内に密閉すると共に、モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、カバーの非磁性体部を通してマグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、ファンシャフトを通してファンに回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンは非接触となり、熱的に絶縁された状態であるため、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に空気（一般的にはドライエアー）を供給することでカバー内のモーターを冷却し、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部へ排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
【０００９】
また、他の手段は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設けると共に、前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結することにより、前記モーターの回転はゴム継ぎ手を介して前記ファンに伝えられ送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンはゴム継ぎ手の熱抵抗によって熱絶縁された状態にあるため、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に空気（一般的にはドライエアー）を供給することでカバー内のモーターを冷却し、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部へ排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
【００１０】
また、他の手段はチャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、前記モーターのケースに設けた１以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けることにより、前記モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、マグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、ファンシャフトを通して前記ファンに回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンは熱的に絶縁された状態であるため、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのケースに設けられた空気取り入れ用穴から前記モーター周辺の吸込み空気が誘引されることになり、この吸込み空気が前記モーターを冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
【００１１】
また、他の手段はチャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、前記モーターを覆うカバーに設けた１以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けることにより、前記モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、カバーの非磁性体部を通して、マグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、発熱部である前記モーターをカバー内に密閉することが出来、吹出す清浄空気への熱影響を抑制すると共に、前記空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのカバーに設けられた空気取り入れ用穴から、前記モーター周辺の吸込み空気が誘引され、この吸込み空気は前記モーターの発熱を冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
【００１２】
また、他の手段はチャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設け、前記モーターのケースに設けた１以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結することにより、前記モーターの回転はゴム継ぎ手を介してファンに伝えられ送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンはゴム継ぎ手の熱抵抗により、熱絶縁された状態にあるため、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのケースに設けられた空気取り入れ用穴から前記モーター周辺の吸込み空気が誘引されることになり、この空気が前記モーターを冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
【００１３】
また、他の手段はモーターのケースの外郭を断熱材で覆ったものである。
【００１４】
また、他の手段はモーターのカバーの外郭を断熱材で覆ったものである。
【００１５】
また、他の手段は導管の一端に流量調整弁を設けたものである。
【００１６】
また、他の手段は導管の一端に定流量弁を設けたものである。
【００１７】
また、他の手段は導管の一端にサーモバルブを設けたものである。
【００１８】
このような手段を有することにより、クリーンルーム内におけるファンフィルターユニットのモーターの発熱による清浄空気の温度上昇を抑制することが出来、冷却用としてドライコイルユニット等の設置が不要となると共に、ファンフィルターユニットの吹出す清浄空気に対するモーター発熱の影響が抑制出来、吹出す清浄空気の温度分布が均一になり、半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止出来るファンフィルターユニットが得られる。
【００１９】
また、他の手段は、空気供給用ポートを持ったファンフィルターユニットを複数台設け、それぞれのファンフィルターユニットの空気供給用ポートに接続した供給用導管同士を集合配管で接続し、供給用導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置と冷却装置を設けて、各ファンフィルターユニットのモータのケース内に冷却された空気を供給することを特徴とするファンフィルターユニットを用いたクリーンシステムである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、モータ発熱による温度上昇が抑えられ、また、温度分布も均一な清浄空気が得られる。モータ発熱による温度上昇が抑えられ、温度分布が均一な清浄空気が吹出される。
【００２１】
また、本発明によれば、モーターとファンの間に熱絶縁の構造とすることおよび供給用導管を通してモーターのケース内に冷却用の空気が供給されることにで、モーターの発熱をファンに伝えることなく、モーターの発熱を冷却し、空気排出用ポートから排出用導管を経て外部に排出され、ファンフィルターユニットの清浄空気がモーターの発熱による温度上昇を生じることなく吹出されることになり、ファンフィルターユニットの清浄空気の冷却用ドライコイルユニットを設ける必要が無くなる。さらに、吹出す清浄空気の温度上昇が抑えられることから、吹出す清浄空気の温度分布も均一になる。また、モーターから発生するケミカルガスについても導管を通して排出されることになり半導体やＦＰＤに対する熱やケミカルガスによる悪影響も防止出来る効果が得られる。
【００２２】
また、本発明によれば、カバーによって発熱部であるモーターを密閉することで清浄空気への熱影響が軽減でき、また、空気供給用ポートに接続された供給用導管を通してモーターのカバー内に冷却用の空気が供給されることで、モーターの発熱を冷却する効果が得られる。
【００２３】
また、本発明によれば、モーターのケースまたはカバーに断熱材を貼り付けることによって、モーターからの放熱の影響を抑制できる効果が得られる。
【００２４】
また、本発明によれば、ストッカーのように多くの数量のファンフィルターユニットが設置され、冷却用空気の供給経路の抵抗が大きく異なる場合やモーターの出力の異なるファンフィルターユニットを混在設置する場合において、個々のファンフィルターユニットごとにモーターを冷却する空気流量を適切に調整できる効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の請求項１記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設けると共に、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを備えたものであり、前記モーターと前記ファンを非接触としながらマグネットの吸引効果でモーターの回転をファンに伝達することで、前記モーターの発熱を前記ファンに伝えることがなくなることになる。これらのことにより、前記ファンの温度上昇を抑えられ、ファンの温度が上昇したことによるファン送風空気の温度上昇と温度上昇による温度分布のムラ、不均一を防止でき、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制でき、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止する作用を有する。
【００２６】
本発明の請求項２記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設けると共に、このモーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを備えたものであり、前記モーターと前記ファンを非接触としながらマグネットの吸引効果でモーターの回転をファンに伝達することで、前記モーターの発熱を前記ファンに伝えることがなくなると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に冷却用空気（一般的にはドライエアー）を供給することにより、前記モーターのケース内に冷却用空気が送られ、前記モーターの発熱体であるステーターやローターを冷却することになり、前記モーターを冷却して温度が上昇した冷却用空気は、空気排出用ポートに接続された排出用導管を通して装置外部へ排気されることになる。
【００２７】
これらのことにより、前記ファンの温度上昇を抑えると共に前記モーターのケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やＦＰＤに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
【００２８】
本発明の請求項３記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、このカバーに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを装着した誘導プレートを備えたものであり、前記モーターと前記ファンを非接触としながらマグネットの吸引効果で前記モーターの回転を前記ァンに伝達することで、発熱部である前記モーターをカバー内に密閉することが出来、吹出す清浄空気への熱影響を抑制すると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に冷却用空気（一般的にはドライエアー）を供給することにより、前記モーターのカバー内に冷却用空気が送られ、前記モーターを冷却することになり、前記モーターを冷却して温度が上昇した冷却用空気は、空気排出用ポートに接続された排出用導管を通して装置外部へ排気されることになる。
【００２９】
これらのことにより、前記ファンの温度上昇を抑えると共にカバー内の前記モーターの温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にし、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やＦＰＤに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
【００３０】
本発明の請求項４記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設けると共に、前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結する機構を備える。モーターシャフトとファンシャフトをゴム継ぎ手で接続することにより、前記モーター供給用導管に冷却用空気（一般的にはドライエアー）を供給することにより、前記モーターのカバー内に冷却用空気が送られ、モーターを冷却することになり、モーターを冷却して温度が上昇した冷却用空気は、空気排出用ポートに接続された排出用導管を通して装置外部へ排気されることになる。
【００３１】
これらのことにより、前記ファンの温度上昇を抑えると共にカバー内の前記モーターの温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にし、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やＦＰＤに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
【００３２】
本発明の請求項５記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、前記モーターのケースに設けた１以上の空気取り入れ用穴と、この穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを備える。
【００３３】
このことにより前記モーターと前記ファンを非接触としながらマグネットの吸引効果で前記モーターの回転を前記ファンに伝達することで、前記モーターの発熱を前記ファンに伝えることがなくなると共に、空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのケースに設けられた１以上の空気取り入れ用穴から、前記モーター周辺の吸込み空気が誘引され、この空気は前記モーターの発熱を冷却した後、空気誘引用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、前記ファンの温度上昇を抑えると共に、前記モーターのケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やＦＰＤに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
【００３４】
本発明の請求項６記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、前記モーターを覆うカバーに設けた１以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを備える。
【００３５】
このことにより、前記モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、カバーの非磁性体部を通して、マグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、発熱部である前記モーターをカバー内に密閉することが出来、吹出す清浄空気への熱影響を抑制すると共に、前記空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのカバーに設けられた空気取り入れ用穴から、前記モーター周辺の吸込み空気が誘引され、この吸込み空気は前記モーターの発熱を冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、前記ファンの温度上昇を抑えると共に、前記モーターのカバーの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やＦＰＤに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
【００３６】
本発明の請求項７記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設け、前記モーターのケースに設けた１以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端をゴム継ぎ手に連結する機能を備え、このことにより、モーターシャフトとファンシャフトをゴム継ぎ手で接続することにより、前記モーターの発熱が前記ファンに伝達することがなくなると共に、前記空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのケースに設けられた空気取り入れ用穴から、前記モーター周辺の吸込み空気が誘引され、この吸込み空気は前記モーターの発熱を冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、前記ファンの温度上昇を抑えると共に、前記モーターのケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止すると共に、モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やＦＰＤに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
【００３７】
本発明の請求項８記載の発明は、モーターのケースを断熱材で覆うことにより、モーターのケースからの放熱を低減し、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止する作用を有する。
【００３８】
本発明の請求項９記載の発明は、モーターを覆うカバーを断熱材で覆うことにより、カバーからの放熱を低減し、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止する作用を有する。
【００３９】
本発明の請求項１０記載の発明は、ストッカーのように多くの数量のファンフィルターユニットが設置され、冷却用空気の供給経路の抵抗が大きく異なる場合やモーターの出力の異なるファンフィルターユニットを混在設置する場合において、供給用または排出用導管の一端に流量調整弁を備えることにより、個々のファンフィルターユニットごとにモーターを冷却する空気流量を適切に調整できる作用を有する。
【００４０】
本発明の請求項１１記載の発明は、供給用または排出用導管の一端に定流量弁を備えることにより、あらかじめ決定された流量の冷却空気を安定して供給できる作用を有する。
【００４１】
本発明の請求項１２記載の発明は、供給用または排出用導管の一端にサーモバルブを備えることにより、排気される冷却空気の温度（またはモーターケース温度等）を検知、そのレベルに応じて自動的に調整することになるため、設置後に各ファンフィルターユニットごとに空気流量を調整する必要が無く省施工になると共に、ファンフィルターユニットのモーターをインバーターなどで速度調整されることで、モーターの出力が変化するシステムにおいても適切に空気流量の調整ができる作用を有する。
【００４２】
本発明の請求項１３記載の発明は、空気供給用ポートを持ったファンフィルターユニットを複数台設け、それぞれのファンフィルターユニットの空気供給用ポートに接続した供給用導管同士を集合配管で接続し、導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置と冷却装置を設けて、各ファンフィルターユニットのモーターのケースまたはカバー内に冷却空気を供給することを特徴とするファンフィルターユニットを用いたクリーンシステムであり、複数台設置されるファンフィルターユニットのモーターに対し冷却した空気を一括して供給することができる作用を有する。
【００４３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４４】
（実施の形態１）
図１に示すようにチャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２のシャフト６の一端に磁性体の駆動プレート７を設けると共に、ファン３には両端をベアリング１２にて保持されたファンシャフト１３とこのファンシャフト１３のモーター２に対峙する一端にマグネット１５を設けた誘導プレート１４を設ける。
【００４５】
上記構成において、モーター２の回転はシャフト６に取り付けた磁性体の駆動プレート７の回転により、マグネット１５を設けた誘導プレート１４を非接触で回転させることになり、ファンシャフト１３を通してファン３に回転を伝え、送風を行うことになる。この時モーター２とファン３は熱的に絶縁された状態であるため、モーター２の発熱がファン３に伝熱することを防止することになり、ファンフィルターユニットからの吹出す清浄空気２８へのモーター２の発熱の影響を抑制することが出来る。
【００４６】
（実施の形態２）
図２に示すようにチャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２のシャフト６の一端に磁性体の駆動プレート７を設けると共に、前記モーター２のケースに空気供給用ポート８とこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポート９を設け、外部から空気を導く供給用導管１０を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管１１を設け、前記ファン３には両端をベアリング１２にて保持されたファンシャフト１３とこのファンシャフト１３の前記モーター２に対峙する一端にマグネット１５を設けた誘導プレート１４を設ける。
【００４７】
上記構成において、前記モーター２の回転はシャフト６に取り付けた磁性体の駆動プレート７の回転により、マグネット１５を設けた誘導プレート１４を非接触で回転させることになり、ファンシャフト１３を通して前記ファン３に回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーター２と前記ファン３は熱的に絶縁された状態であるため、前記モーター２の発熱が前記ファン３に伝熱することを防止すると共に、空気供給用ポート８に接続された供給用導管１０に冷却用空気２６（一般的にはドライエアー）を供給することで前記モーター２を冷却し、空気排出用ポート９に接続された排出用導管１１より装置外部へ冷却排気２７として排出されることになり、ファンフィルターユニットからの吹出す清浄空気２８への前記モーター２の発熱の影響を抑制することが出来る。また、前記モーター２の内部で発生するケミカルガスについても冷却排気２７と共に排出され、清浄空気２８にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
【００４８】
（実施の形態３）
図３に示すように、チャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２のシャフト６の一端に磁性体の駆動プレート７を設け、この駆動プレート７に相対する面を非磁性体１９で構成した前記モーター２を覆うカバー１８を設けると共に、このカバー１８に空気供給用ポート８とこの空気供給ポート８に相対する位置に空気排出用ポート９を設け、外部から空気を導く供給用導管１０を空気供給用ポート８に接続すると共に、空気排出用ポート９に接続して空気を外部に導く排出用導管１１を設け、前記ファン３には両端をベアリング１２にて保持されたファンシャフト１３とこのファンシャフト１３の前記モーター２に対峙する一端にマグネット１５を装着した誘導プレート１４を設ける。
【００４９】
上記構成において、発熱部である前記モーター２をカバー１８内に密閉すると共に、前記モーター２の回転はシャフト６に取り付けた磁性体の駆動プレート７の回転により、カバー１８の非磁性体１９を通してマグネット１５を設けた誘導プレート１４を非接触で回転させることになり、ファンシャフト１３を通して前記ファン３に回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーター２と前記ファン３は熱的に絶縁された状態であるため、前記モーター２の発熱が前記ファン３に伝熱することを防止すると共に、空気供給用のポート８に接続された供給用導管１０に空気（一般的にはドライエアー）を供給することでカバー１８内の前記モーター２を冷却し、空気排出用ポート９に接続された排出用導管１１より装置外部へ排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気２８への前記モーター２の発熱の影響を抑制することが出来る。
【００５０】
また、前記モーター２の内部で発生するケミカルガスについても冷却排気２７と共に排出され、清浄空気２８にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
【００５１】
（実施の形態４）
図４に示すように、チャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２のシャフト６の一端にゴム継ぎ手２０を設けると共に、前記モーター２のケースに空気供給用ポート８とこの空気供給用ポート８に相対する位置に空気排出用ポート９を設け、外部から空気を導く供給用導管１０を空気供給用ポート８に接続すると共に、空気排出用ポート９に接続して空気を外部に導く排出用導管１１を設け、前記ファン３には両端をベアリング１２にて保持されたファンシャフト１３とこのファンシャフト１３の前記モーター２に対峙する一端を前記ゴム継ぎ手２０に連結する機構を備える。
【００５２】
上記構成において、前記モーター２のシャフト６とファンシャフト１３をゴム継ぎ手２０で接続することにより、前記モーター２の発熱が前記ファン３に伝達することがなくなると共に、空気供給用のポート８に接続された供給用導管１０に冷却用空気（一般的にはドライエアー）を供給することにより、モーターのカバー内に冷却用空気２６が送られ、前記モーター２を冷却することになり、前記モーター２を冷却して温度が上昇した冷却排気２７は、空気排出用ポート９に接続された排出用導管１１を通して装置外部へ排気されることになる。これらのことにより、シャフト６の伝熱による前記ファン３の温度上昇を抑えると共に、カバー１８内の前記モーター２の温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気２８への前記モーター２の発熱の影響を抑制することが出来る。また、前記モーター２の内部で発生するケミカルガスについても冷却排気２７と共に排出され、清浄空気２８にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
【００５３】
（実施の形態５）
図５に示すように、チャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２のシャフト６の一端に磁性体の駆動プレート７を設け、前記モーター２のケースに設けた１以上の空気取り入れ用穴２１ａと、この空気取り入れ用穴２１ａに相対する位置に空気排出用ポート９と空気排出用ポート９から外部に空気を導く排出用導管１１を設け、前記ファン３には両端をベアリング１２にて保持されたファンシャフト１３とこのファンシャフト１３の前記モーター２に対峙する一端にマグネット１５を設けた誘導プレート１４を備える。
【００５４】
上記構成において、前記モーター２と前記ファン３を非接触としながらマグネット１５の吸引効果で前記モーター２の回転を前記ファン３に伝達することで、前記モーター２の発熱を前記ファン３に伝えることがなくなると共に、空気排出用ポート９に接続された排出用導管１１より空気を誘引することで、前記モーター２のケース１６に設けられた１以上の空気取り入れ用穴２１ａから、前記モーター２周辺の吸込み空気２９が誘引され、この吸込み空気２９は前記モーター２の発熱を冷却した後、空気排出用ポート９に接続された排出用導管１１より装置外部に冷却排気２７として排出されることになり、前記ファン３の温度上昇を抑えると共に、前記モーター２のケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気２８への前記モーター２の発熱の影響を抑制することが出来る。また前記モーター２から発生するケミカルガスが冷却排気２７と共に排出され、清浄空気２８にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
【００５５】
（実施の形態６）
図６に示すように、チャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２のシャフト６の一端に磁性体の駆動プレート７を設け、この駆動プレート７に相対する面を非磁性体１９で構成した前記モーター２を覆うカバー１８を設けると共に、前記モーター２を覆うカバー１８に設けた１以上の空気取り入れ用穴２１ｂと、この空気取り入れ用穴２１ｂに相対する位置に空気排出用ポート９と空気排出用ポート９から外部に空気を導く排出用導管１１を設け、前記ファン３には両端をベアリング１２にて保持されたファンシャフト１３とこのファンシャフト１３の前記モーター２に対峙する一端にマグネット１５を設けた誘導プレート１４を備える。
【００５６】
上記構成において、前記モーター２の回転はシャフト６に取り付けた磁性体の駆動プレート７の回転により、カバー１８の非磁性体１９を通して、マグネット１５を設けた誘導プレート１４を非接触で回転させることになり、発熱部である前記モーター２をカバー１８内に密閉することが出来る。また、空気排出用ポート９に接続された排出用導管１１より空気を誘引することで、カバー１８に設けられた１以上の空気取り入れ用穴２１ｂから、周辺の吸込み空気２９が誘引され、この吸込み空気２９は前記モーター２の発熱を冷却した後、空気排出用ポート９に接続された排出用導管１１より装置外部に冷却排気２７として排気されることになり、前記ファン３の温度上昇を抑えると共に、カバー１８の表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気２８への前記モーター２の発熱の影響を抑制することが出来ると共に、前記モーター２から発生するケミカルガスが冷却排気２７と共に排出され、清浄空気２８にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
【００５７】
（実施の形態７）
図７に示すように、チャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２のシャフト６の一端にゴム継ぎ手２０を設け、両端をベアリング１２にて保持されたファンシャフト１３と連結すると共に、前記モーター２のケースに設けた１以上の空気取り入れ用穴２１ａと、この複数の空気取り入れ用穴２１ａに相対する位置に空気排出用ポート９と空気排出用ポート９から外部に空気を導く排出用導管１１を設ける。
【００５８】
上記構成により、前記モータ２のシャフト６とファンシャフト１３をゴム継ぎ手２０で接続することにより、前記モーター２の発熱が前記ファン３に伝達することがなくなると共に、空気排出用ポート９に接続された排出用導管１１より空気を誘引することで、前記モーター２のケースに設けられた複数の空気取り入れ用穴から、モーター２周辺の吸込み空気２９が誘引され、この吸込み空気２９は前記モーター２の発熱を冷却した後、空気排出用ポート９に接続された排出用導管１１より装置外部に排気されることになり、前記ファン３の温度上昇を抑えると共に、前記モーター２のケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気２８への前記モーター２の発熱の影響を抑制することができる。また前記モーター２から発生するケミカルガスが冷却排気２７と共に排出され、清浄空気２８にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
【００５９】
（実施の形態８）
図８に示すように、チャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２のケースを断熱材２２（例えばＥＰＤＭスポンジ）で覆う。
【００６０】
上記構成において、前記モーター２のケースからの放熱を低減し、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気２８への前記モーター２の発熱の影響を抑制することが出来る。
【００６１】
（実施の形態９）
図９に示すように、チャンバー４の上部に吸込口１とモーター２を設け、モーター２にはケース１６とシャフト６を備え、ファン３をチャンバー４に内蔵し、その下方にフィルタ５を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター２を覆うカバー１８を断熱材２２で覆うことにより、カバー１８からの放熱を低減し、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気２８への前記モーター２の発熱の影響を抑制することができる。
【００６２】
（実施の形態１０）
図１０に示すように、空気供給用ポート８に接続した供給用導管１０、または空気排出用ポート９に接続した排出用導管１１の一端に流量調整弁２３を設ける。
【００６３】
上記構成において、ファンフィルターユニットに供給される冷却用空気２６の量の調整が容易に行なえる。
【００６４】
（実施の形態１１）
図１１に示すように、空気供給用ポート８に接続した供給用導管１０、または空気排出用ポート９に接続した排出用導管１１の一端に定流量弁２４を設ける。
【００６５】
上記構成において、複数台のファンフィルターユニットが使用される場合において、ファンフィルターユニットの据付場所に関係なく、あらかじめ決定された一定量の冷却用空気２６が各ファンフィルターユニットに均等に供給される。
【００６６】
（実施の形態１２）
図１２に示すように、空気排出用ポート９に接続した排出用導管１１の一端にサーモバルブ２５を設ける。サーモバルブ２５は温度を検知し、その温度を一定にするようにバルブ開度を調整するものである。
【００６７】
上記構成において、複数台のファンフィルターユニットが使用される場合において、ファンフィルターユニットの据付場所に関係なく、検知する温度が設定温度になるように冷却用空気２６の流量を調整するため、清浄空気２８を供給する空間の温度ムラをなくすことが可能になると共に、据付場所に応じて個別に冷却用空気２６の流量を調整する必要がなくなり、省施工となる。
【００６８】
（実施の形態１３）
図１３に示すように、モータ冷却用空気の空気供給用ポート３１と空気排出用ポート３２を有したファンフィルターユニット３３をストッカーに複数台設け、それぞれのファンフィルターユニット３３の空気供給用ポート３１に接続した供給用導管３４を集合配管３６に接続し、集合配管３６の他端に送風装置３７と冷却装置３８を設けると共に、ファンフィルターユニット３３の空気排出用ポート３２に接続された排出用導管３５を設ける。
【００６９】
上記構成により、各ファンフィルターユニット３３のモーターには、冷却装置３８で冷却された空気が送風装置３７より一括して冷却用の空気が空気供給用ポート３１より供給されるため、一般の空気より少ない流量で冷却効果が得られ、送風装置の搬送動力が削減できると共に、ストッカーに供給する清浄空気は、モータの発熱による影響をなくすことができる。また、排出用導管３５を冷却装置３８の上流側に戻し、循環させること（図示せず）により、更に搬送動力を削減することができる。
【００７０】
以上のように本発明によれば、モータ発熱による温度上昇が抑えられ、また、温度分布も均一な清浄空気が得られる。モータ発熱による温度上昇が抑えられた清浄空気が得られ、また、温度分布が均一な清浄空気が吹出されることとなる。
【００７１】
また、モーターのシャフトとファンを熱絶縁または熱抵抗を増す方法にて回転力を伝達する構成にすることで、チャンバー上部にモーターと吸込口を有し、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトとファンを熱絶縁または熱抵抗を増す方法にて回転力を伝達する構成にすると共に、モーターのケースまたはカバーに空気供給用ポートと、この空気供給用ポートに相対する位置に空気吸引用ポートを設け、チャンバー外部から空気を導く導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続してチャンバー外部に空気を導く導管を設けたことにより、冷却用空気をモーター内部に供給することが可能となり、この冷却空気によってモータの発熱の影響を抑制すると共に、モーターの発熱をファンに伝達し難くする構造の採用で、その冷却効果をさらに高めることが出来、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要とすることで設備費の削減、ランニングコストの低減、水漏れのリスク回避が図れ、また、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えられることになる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
半導体やＦＰＤ用のストッカーに使用されるファンフィルタユニットなどにも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットの縦断面図
【図２】本発明の実施の形態２のファンフィルターユニットの縦断面図
【図３】本発明の実施の形態３のファンフィルターユニットの縦断面図
【図４】本発明の実施の形態４のファンフィルターユニットの縦断面図
【図５】本発明の実施の形態５のファンフィルターユニットの縦断面図
【図６】本発明の実施の形態６のファンフィルターユニットの縦断面図
【図７】本発明の実施の形態７のファンフィルターユニットの縦断面図
【図８】本発明の実施の形態８のファンフィルターユニットの縦断面図
【図９】本発明の実施の形態９のファンフィルターユニットの縦断面図
【図１０】本発明の実施の形態１０のファンフィルターユニットの縦断面図
【図１１】本発明の実施の形態１１のファンフィルターユニットの縦断面図
【図１２】本発明の実施の形態１２のファンフィルターユニットの縦断面図
【図１３】本発明の実施の形態１３のストッカーの縦断面図
【図１４】従来技術のストッカーを示す縦断面図
【符号の説明】
【００７４】
１      吸込口
２      モーター
３      ファン
４      チャンバー
５      フィルタ
６      シャフト
７      駆動プレート
８      空気供給用ポート
９      空気排出用ポート
１０    供給用導管
１１    排出用導管
１２    ベアリング
１３    ファンシャフト
１４    誘導プレート
１５    マグネット
１６    ケース
１８    カバー
１９    非磁性体
２０    ゴム継ぎ手
２１ａ  空気取り入れ用穴
２１ｂ  空気取り入れ用穴
２２    断熱材
２３    流量調整弁
２４    定流量弁
２５    サーモバルブ
２６    冷却用空気
２７    冷却排気
２８    清浄空気
２９    吸込み空気
３１    空気供給用ポート
３２    空気排出用ポート
３３、４１  ファンフィルターユニット
３４    供給用導管
３５    排出用導管
３６    集合配管
３７、４２  送風装置
３８    冷却装置
３９、４５  半導体またはＦＰＤ用カセット
４３    ドライコイル
４４    ドライコイルユニット
【図１】
2009092325.tif 000003
【図２】
2009092325.tif 000004
【図３】
2009092325.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2009092325.tif 000008
【図７】
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【図８】
2009092325.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2009092325.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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