(57)【要約】【課題】特性の測定の工数を低減できる生産管理支援装置を得る。【解決手段】第１の特性のばらつきが所定値以下である中間製品を一つの管理ユニットにして複数管理ユニット分を、中間製品在庫として保管し、複数種類の製品の生産計画に基づいて中間製品在庫を払い出し第１の特性とは別の第２の特性を測定し第１の特性を有することを前提に評価し、第２の特性が各製品に適合するとき該中間製品在庫を各製品に仕上げる生産システムの生産管理支援装置であって、ある期間内に各製品が中間製品を必要とする合計数量が所定値以上である全ての製品を選択し、選択された製品に対応して中間製品在庫のうちから同じ管理ユニットに属する中間製品在庫を優先的に払い出すように計画する払出計画作成手段１００１を備えた。同一管理ユニット内の中間製品在庫を使えば、第１の特性のばらつきが所定値以下であるので、管理ユニット毎に要する第２の特性の測定を省略できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の工程にて生産された中間製品を、第１の特性のばらつきが所定値以下であるものを一つの管理ユニットにして複数管理ユニット分中間製品在庫として保管し、複数種類の製品の生産計画に基づいて上記中間製品在庫を払い出し、第２の工程にて上記中間製品在庫の上記第１の特性とは別の第２の特性を測定し上記第１の特性を有することを前提に評価し、この第２の特性が上記各製品に適合すると判定されたとき当該中間製品在庫を上記各製品に仕上げる生産システムの生産管理支援装置であって、
所定の期間内に上記各製品が上記中間製品を必要とする合計数量が所定値以上である全ての製品を中間製品多量使用形態製品として選択する使用形態対応製品選択手段と、上記中間製品多量使用形態製品に対応して上記中間製品在庫のうちから同一上記管理ユニットに属する上記中間製品在庫を優先的に払い出すように計画する中間製品払出計画作成手段とを備えた生産管理支援装置。
【請求項２】
上記使用形態対応製品選択手段は、上記所定の期間内に上記各製品が上記中間製品を必要とする合計数量が上記所定値未満である全ての製品を中間製品少量使用形態製品として選択するものであり、
上記中間製品払出計画作成手段は、上記中間製品少量使用形態製品に対応して上記中間製品在庫のうちから選択された所定の上記管理ユニットに属する上記中間製品在庫を優先的に払い出すように計画するものであることを特徴とする請求項１に記載の生産管理支援装置。
【請求項３】
上記第１の工程は半導体インゴットをスライスして半導体ウエハを製造する工程であり、上記中間製品は半導体ウエハであり、上記製品は半導体装置であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の生産管理支援装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、生産管理支援装置に係り、特に半導体製品のように前工程であるプロセス工程と後工程である組立工程に大別された生産システムの生産管理支援装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製品は、ウエハを製造するプロセス工程（前工程）と、組立、検査を行う組立工程（後工程）とに大別される製造工程により生産され、プロセス工程の製造リードタイムは組立工程の製造リードタイムよりも長いのが一般的である。そのため、顧客要求に合わせて組立工程投入計画を確定させていき、組立工程投入計画が先々まで確定できれば、それに合わせてプロセス工程への投入計画も決定できるが、近々まで顧客要求が確定せず、組立工程投入計画が確定できない場合、販売機会損失を出さないためにも、中間製品在庫をもったり、プロセス工程で見込み投入を行ったりする必要が出てくる。
【０００３】
この中間製品は、例えば半導体製品において見込み生産される半導体ウエハであり、半導体ウエハは結晶成長後にロットの結晶特性を把握するため、キャリア濃度や転位密度などの特性について検査し、特性毎に区分して中間製品として在庫する。そして、顧客から注文を受けると、上記キャリア濃度などの所定の特性の検査結果と製品の用途に応じ、顧客引当し、さらに上記キャリア濃度や転位密度などの特性とは別の特性が顧客規格・仕様を満たすか否か検査を行ってから、後の工程にて加工を行い、製品を完成させる。つまり、半導体ウエハを中間在庫として持ち、顧客引当を行う中間在庫顧客引当方式が採られている（例えば、特許文献１参照）。なお、半導体ウエハは、プロセス工程で製造する場合や中間在庫製品在庫管理をする場合は複数枚を一管理ユニットとして管理し、払い出しをする場合は１枚ないし複数枚を一管理ユニットとして管理する。そして組立工程では、そのウエハが分離された後のチップを所定個数まとめて一管理ユニットとして投入、製造を行う。よって、一つの管理ユニットに属する中間製品在庫から、複数の管理ユニットの製品（チップ）が生産されることになる。
【０００４】
このような中間在庫顧客引当方式において、中間部品在庫引当を行ったものの、顧客引当後の組み立て工程で不良の発生などにより、要求された顧客の規格を満たすロットが完成しないことがある。この場合、当該顧客に中間製品を再度引当する等の処置をとらねばならない。これにともない、予め設定された生産計画よりも多くの作業時間がかかることになり、それによって全体的な作業遅れが発生するおそれがある。このような問題点を解決すべく、受注情報に基づいて、在庫から顧客の要求規格を満足する中間部品を選び、顧客へ引当てする顧客引当手段と、顧客引当した中間部品について、検査結果から顧客規格を満足するか判定する検査結果判定手段と、顧客引当手段と検査結果判定手段から、中間部品の引当状態を判定する引当状態判定手段と、顧客引当した生産計画について顧客引当日または最新の工程実績日から作業工程の負荷を生産工程の順方向に割り付け、一方顧客未引当の生産計画について納期から作業工程の負荷を生産工程の逆方向に割り付ける工程能力割付手段を有する生産スケジューリング装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。これにより、不良品の発生による作業遅れを再スケジューリングすることで精度の高い作業完了予定日の計算ができ、納期遅れを防止した生産計画を作成することができるというものである。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−３４５７５０号公報（段落番号０００９〜００１６及び図１）
【特許文献２】特開２００４−１１８４７２公報（段落番号００２１及び図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の生産管理支援装置は以上のように構成され、顧客から注文を受けると、キャリア濃度などの所定の特性の検査結果と製品の用途に応じ、顧客引当し、さらにキャリア濃度や転位密度などの特性とは別の特性が顧客規格・仕様を満たすか否かを上記キャリア濃度や転位密度とは別の特性の測定を行って判定し、後の工程にて加工を行い、製品を完成させる。そして、上記別の特性が顧客規格・仕様を満たさない場合は、当該中間製品の引当を解除し、新たに別の中間製品を引き当て、再度特性の測定を行い使用可否の判定を行わなければならないが、これらの作業において使用可否の判定のための特性測定の工数を低減する方法については言及されていない。
【０００７】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、特性測定の工数を低減できる生産管理支援装置を得ることを目的とする。また、併せて中間製品在庫量を削減できる生産管理支援装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る生産管理支援装置においては、第１の工程にて生産された中間製品を、第１の特性のばらつきが所定値以下であるものを一つの管理ユニットにして複数管理ユニット分中間製品在庫として保管し、複数種類の製品の生産計画に基づいて中間製品在庫を払い出し、第２の工程にて中間製品在庫の第１の特性とは別の第２の特性を測定し第１の特性を有することを前提に評価し、この第２の特性が各製品に適合すると判定されたとき当該中間製品在庫を各製品に仕上げる生産システムの生産管理支援装置であって、
所定の期間内に各製品が中間製品を必要とする合計数量が所定値以上である全ての製品を中間製品多量使用形態製品として選択する使用形態対応製品選択手段と、中間製品多量使用形態製品に対応して中間製品在庫のうちから同一管理ユニットに属する中間製品在庫を優先的に払い出すように計画する中間製品払出計画作成手段とを備えたものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明は、第１の工程にて生産された中間製品を、第１の特性のばらつきが所定値以下であるものを一つの管理ユニットにして複数管理ユニット分中間製品在庫として保管し、複数種類の製品の生産計画に基づいて中間製品在庫を払い出し、第２の工程にて中間製品在庫の第１の特性とは別の第２の特性を測定し第１の特性を有することを前提に評価し、この第２の特性が各製品に適合すると判定されたとき当該中間製品在庫を各製品に仕上げる生産システムの生産管理支援装置であって、
所定の期間内に各製品が中間製品を必要とする合計数量が所定値以上である全ての製品を中間製品多量使用形態製品として選択する使用形態対応製品選択手段と、中間製品多量使用形態製品に対応して中間製品在庫のうちから同一管理ユニットに属する中間製品在庫を優先的に払い出すように計画する中間製品払出計画作成手段とを備えたものであるので、
中間製品払出計画作成手段は同じ管理ユニットに属する中間製品在庫を優先的に払い出すように計画するので、異なる管理ユニットに属する中間製品在庫であって第１の特性のばらつきの値が所定値を越える場合はその中間製品在庫について改めて第２の特性の測定を要するが、同じ管理ユニットに属する中間製品在庫は第１の特性のばらつきが所定値以下であるので異なる管理ユニットに属する中間製品在庫を使用するときに要する可能性のある第２の特性の測定を行わなくてよいので、特性測定の工数を低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１〜図９は本発明の実施の形態１を示すものであり、図１は生産管理支援装置の構成図、図２は全体の動作を表すフローチャート、図３〜図７は払出計画作成手段の動作を表すフローチャート、図８は中間製品引当手段の動作を表すフローチャート、図９は図８のフローチャートの後半部の詳細を表すフローチャートである。この実施の形態は、中間製品は、半導体製品において見込み生産される半導体ウエハであり、例えば第１の特性としての電気伝導度のばらつきが所定以下の半導体ウエハの１枚あるいは複数枚を一つの管理ユニットとして在庫管理される。そして、顧客からの注文に応じて中間製品を引当し、さらに顧客規格・仕様を満たすか否かを上記第１の特性とは別の第２の特性を測定して判定し、後工程にて組立を行ない、製品である半導体装置を完成させる。なお、ここで中間製品在庫の管理ユニットは、上述の通り所定の特性を有する半導体ウエハ１枚〜数枚を一管理ユニットとしている。
【００１１】
図１において、生産管理支援装置は、各製品がどの中間製品から生成されるかの基本情報が予め登録された製品マスタを記憶する製品マスタ記憶手段１０と、各中間製品が、組立工程に払い出される際の数量単位が予め登録された中間製品マスタを記憶する中間製品マスタ記憶手段２０を備え、組立／検査工程１０３の組立投入計画を記憶した記憶媒体である組立工程投入計画記憶手段２０３と、プロセス工程１０１、中間製品在庫１０２からの数量を収集、記憶する中間製品進捗状況把握装置３０１を備えている。さらに、中間製品払出計画作成手段としての払出計画作成手段１００１と、その計算結果を登録するための記憶媒体である中間製品払出計画記憶手段２０４を備え、その中間製品払出計画記憶手段２０４のデータに基いてプロセス工程のロットに引き当てる中間製品引当手段１００２、その計算結果を登録するための記憶媒体である中間製品要求情報記憶手段２０５を備えている。なお、払出計画作成手段１００１がこの発明における使用形態対応製品選択手段及び中間製品払出計画作成手段である。
【００１２】
中間製品進捗状況把握装置３０１は、プロセス工程１０１の各ロットの現在の工程、残工数、数量を収集し、また、中間製品在庫１０２の各管理ユニットごとの数量を収集する進捗状況収集部記憶手段４０１と、その情報をデータベースとして記憶する記憶装置である中間製品進捗情報記憶手段２０１、中間製品在庫情報記憶手段２０２を有する。進捗状況収集部記憶手段４０１は、作業者による入力操作の受け付け、もしくは、センサ等による検出データを受け取って情報収集を行うものである。また、中間製品進捗情報記憶手段２０１には、プロセス工程１０１の進捗状況が刻々変化するたびに、その時点での情報が収集され、更新され、同様に、中間製品在庫情報記憶手段２０２には、中間製品在庫１０２の在庫状況が刻々変化するたびに、その時点での情報が収集され、更新される。
【００１３】
この実施の形態における生産管理支援装置は、次のようなことを実現するものである。ある一つの管理ユニットに属する中間製品を全て特定の製品専用にするか、複数の製品に汎用的に使用するかといった中間製品使用形態を、各製品について判断することで、中間製品在庫量と組立投入前検査作業を削減することができる。例えば、製品ごとにある期間に使用する中間製品の数量を計算し、中間製品を大量に使用する必要がある製品の場合は、当該製品を中間製品多量使用形態対応製品と位置づけ、ある管理ユニットに属する中間製品をその製品専用とするような中間製品の使用形態とすることにより、組立投入前検査作業を削減できるし、大量に使用する分、中間製品在庫も抑えられる。逆に中間製品を少量しか使用しない製品の場合は、当該製品を中間製品少量使用形態対応製品と位置づけ、ある管理ユニットに属する中間製品を、専らそういった製品について充当するような中間製品の使用形態とすることにより、中間製品在庫量を最小限にできる。
【００１４】
ここで、払出計画作成手段１００１の動作について図２〜図６のフローチャートにより説明する。
図２は、全体動作を示すものであり、まず各製品の中間製品使用形態を判定し（ステップＳ２０）、所定の中間製品使用形態Ａの製品の中間製品払出計画を求めて登録し（ステップＳ３０）、別の所定の中間製品使用形態Ｂの製品の中間製品払出計画を求めて登録する（ステップＳ４０）。上記動作を、製造すべき全製品について行う。
【００１５】
ステップＳ２０の詳細手順を図３のフローチャートを用いて説明する。
製品Ｐｘについて、組立工程投入計画記憶手段２０３から、ある所定の期間の投入計画の合計値Ｓ１ｘを取得する（ステップＳ２０１）。また、製品マスタ記憶手段１０と中間製品マスタ記憶手段２０から、製品Ｐｘに該当する払出単位数量Ｔｘを取得する（ステップＳ２０２）。そして、ある期間の投入計画の合計値Ｓ１ｘを払出単位数量Ｔｘで割った値である判定値Ｗ（＝Ｓ１ｘ／Ｔｘ）は、製品Ｐｘが中間製品をある期間に何単位消費するかを表しているため、この判定値である判定値Ｗが所定値Ｃ未満のときは（ステップＳ２０３）、中間製品使用形態Ｋｘ＝Ａすなわち中間製品多量使用形態とし（ステップＳ２０４）、所定値Ｃ以上のときは中間製品使用形態Ｋｘ＝Ｂすなわち中間製品少量使用形態と決定する（ステップＳ２０５）。
【００１６】
次に、ステップＳ３０の詳細について図４のフローチャートにより説明する。このステップＳ３０は、ある期間に中間製品を使用する単位の小さい製品である、中間製品使用形態Ｋｘ＝Ａの製品の中間製品払出計画を求めて登録する処理である。この処理により、中間製品を少量しか使用しない製品の場合は、ある管理ユニットに属する中間製品を、中間製品を少量しか使用しない中間製品使用形態Ｋｘ＝Ａの製品に共通的に充当することにより、中間製品在庫量を最小限にできる。
【００１７】
中間製品Ｑｙ（ｙ＝１，２，３，・・・）について、製品マスタ記憶手段１０を参照することで、中間製品Ｑｙに対応する製品で、かつ、上記のステップＳ２０３〜Ｓ２０５により中間製品使用形態Ｋｘ＝Ａであると判定された製品全てを選択する（ステップＳ３０１）。組立工程投入計画記憶手段２０３に記憶された組立工程投入計画から、選択した製品全ての投入日と投入計画数量を取得し（ステップＳ３０２）、投入日ごとの投入計画数量合計値Ｓ２ｙｉ（ｉ＝１，２，３，・・・）を算出し（ステップＳ３０３）、中間製品Ｑｙの名称と各投入日の投入計画数量合計値Ｓ２ｙｉ（ｉ＝１，２，３，・・・）を払出計画作成手段１００１に内臓する第１のメモリ１００１ａに記憶させる（ステップＳ３０３）。
【００１８】
また、中間製品在庫情報記憶手段２０２から、中間製品Ｑｙについて、引当製品が決定していない管理ユニットの在庫数量の合計値Ｓ３ｙを取得する（ステップＳ３０４）。ここで、中間製品Ｑｙについて、中間製品在庫を引き当てて残った残投入計画数量Ｓ２ｙｉｒを算出し、払出計画作成手段１００１に内臓する第１のメモリ１００１ａに記憶する。（ステップＳ３０５）。なお、ステップＳ３０５の詳細は図５に示す通りであるが、後で説明する。中間製品マスタ記憶手段２０から、中間製品Ｑｙの払出単位数量Ｔｙを取得し（ステップＳ３０６）、第１のメモリ１０００１ａに記憶された残投入計画数量Ｓ２ｙｉｒを、払出単位数量Ｔｙの整数倍になるように払出日、払出数量Ｈｙｉを計算し、中間製品Ｑｙの名称と各払出日の払出数量Ｈｙｉを中間製品払出計画に登録する（ステップＳ３０７）。以上のようにして、第３のメモリ１００２ａに記憶された残投入計画数量Ｓ２ｙｉｒが、払出単位数量Ｔｙの整数倍になるように中間製品払出計画を立案する。
【００１９】
次に、ステップＳ３０５の詳細を図５により説明する。
図５において、中間製品Ｑｙについて、ある日の投入計画数量αｉと在庫数量γを比較し（ステップＳ５０１）、ある日の投入計画数量αｉが在庫数量γよりも小さい間は（ステップＳ５０２）、投入日の初日から順に中間在庫数量合計値Ｓ３ｙから投入計画数量合計値Ｓ２ｙｉを差し引いていき（ステップＳ５０３）、中間在庫数量合計値Ｓ３ｙが０になるまで続ける（ステップＳ５０４）。こうして、全ての中間製品Ｑｙについて中間製品在庫を引き当てる。その後、上記図４のステップＳ３０６へ行く。
【００２０】
また、ステップＳ３０７の詳細は図６の通りである。
図６において、中間製品Ｑｙの払出単位の整数倍で、対象日Ｄ１の投入計画数量α１以上で、かつ、最小の払出数量β１を算出する（ステップＳ６０１）。中間製品の引当残量γｉ＝αｉ＋α（ｉ−１）−β（ｉ−１）（ｉ＝１，２，３，・・・，Ｎ）を計算する（ステップＳ６０２）。払出単位の整数倍で、ｉ日目の在庫数量γｉ以上で、かつ、最小の払出数量βｉを算出する（ステップＳ６０３）。以上の動作を対象日Ｄｉ（ｉ＝２，３，・・・，Ｎ）について繰り返す。
【００２１】
次に、ある期間に中間製品を使用する単位の大きい製品である、中間製品使用形態Ｋｘ＝Ｂの製品に関する処理について、図７のフローチャートを用いて説明する。中間製品を大量に使用する必要がある製品の場合は、ある管理ユニットに属する中間製品をその製品専用とするような中間製品使用形態とすることにより、その管理ユニットに属する幾つかの中間製品を選んで第２の特性の測定をすることにより、全数測定をする場合に比し組立投入前測定作業を削減できるし、大量に使用する分、中間製品在庫も抑制できることになる。
【００２２】
図７において、製品Ｐｘ（ｘ＝１，２，３，・・・）について、判定値Ｗが所定値Ｃ以上であれば、すなわち中間製品使用形態Ｐｘ＝Ｂであれば（ステップＳ４０１）、中間製品在庫情報記憶手段２０２に記憶された在庫情報から引当製品がＰｘである中間製品の管理ユニットの在庫数量の合計値Ｓ４ｘを取得する（ステップＳ４０２）。そして、先の図５に示したステップＳ３０５の詳細動作であるステップＳ５０１〜Ｓ５０４と同じようにして、組立工程投入計画記憶手段２０３から、製品Ｐｘの投入計画数量を取得し、在庫数量合計値Ｓ４ｘを差し引いた残投入計画数量Ｓ５ｘｉを算出し、払出計画作成手段１００１に内蔵された第２のメモリ１００１ａに記憶する（ステップＳ４０３）。
【００２３】
また、製品マスタ記憶手段１０、中間製品マスタ記憶手段２０に記憶された製品マスタ、中間製品マスタを参照することで、製品Ｐｘに対応する中間製品の払出単位数量Ｔｘを取得する（ステップＳ４０４〜Ｓ４０５）。そして、先の図６に示したステップＳ３０７の詳細動作であるステップＳ６０１〜Ｓ６０３と同じようにして、第２のメモリの残投入計画数量Ｓ５ｘｉを、払出単位数量Ｔｘの整数倍になるように製品ごとの払出計画を算出し、第２のメモリ１００２ａに記憶する（ステップＳ４０６）。ここで、中間製品Ｑｙ（ｙ＝１，２，３，・・・）について、製品マスタを参照することで、中間製品Ｑｙに対応する製品で、かつ、中間製品使用形態Ｋｘ＝Ｂの製品全てについて、第２のメモリに記憶された払出計画から、払出日ごとの払出計画数量合計値Ｈｙｉを算出し、中間製品払出計画記憶手段２０４に登録する（ステップＳ４０７〜Ｓ４０８）。
【００２４】
次に、中間製品引当手段１００２の動作について図８により説明する。
図８において、中間製品Ｑｙ（ｙ＝１，２，３，・・・）について、中間製品進捗情報記憶手段２０１に記憶された中間製品進捗情報から、中間製品Ｑｙに該当する全ての管理ユニット名、核管理ユニットの残工数、数量情報を取得し、中間製品引当手段１００２に内蔵された第３のメモリ１００２ａに記憶する（ステップＳ７０１）。そして、製品マスタ記憶手段１０に記憶された製品マスタを参照し、中間製品Ｑｙに対応する製品で、中間製品使用形態Ｋｘ＝Ｂの製品があるかどうかを確認する（ステップＳ７０２〜Ｓ７０３）。
【００２５】
もしあれば、中間製品在庫情報記憶手段２０２から、中間製品Ｑｙに該当する管理ユニットに属する中間製品で、かつ、引当済でない中間製品在庫数量の合計値γｙを取得する（ステップＳ７０４）。なければ中間製品在庫数量の合計値γｙ＝０として次のステップへ進む（ステップＳ７０５）。そして、中間製品払出計画記憶手段２０４に記憶された中間製品払出計画の払出日Ｄｉ（ｉ＝１，２，３，・・・）について、中間製品Ｑｙの払出計画数αｙｉから、在庫数量の合計値γｙだけ差し引いて、払出計画残数αｙｉｒを計算する（ステップＳ７０６〜Ｓ７０８）。
【００２６】
次に払出計画残数αｙｉｒを第３のメモリ１００２ａに記憶された中間製品の管理ユニットに引当していく。第３のメモリにおいて、中間製品Ｑｙに該当する中間製品の管理ユニットのうち、引当残数が０でなく、残工数が最小の管理ユニットＬｙｚを選択し、その引当残数βｚを取得する（ステップＳ７０９）。管理ユニットが取得できた場合（ステップＳ７１０）、引当残数βｚから払出計画残数αｙｉｒを差し引き（ステップＳ７１１〜Ｓ７１３）、第３のメモリの管理ユニットＬｙｚの引当残数を更新する（ステップＳ７１４）。
【００２７】
ここで、中間製品要求情報記憶手段２０５において、すでに管理ユニット名がＬｙｚが登録されているかどうか確認し（ステップＳ７１５）、未登録であれば、中間製品要求情報記憶手段２０５に、中間製品Ｑｙ、管理ユニット名Ｌｙｚと、その管理ユニットの残工数、数量、払出計画日Ｄｉを登録する（ステップＳ７１６）。また、ステップＳ７１０にて該当する管理ユニットがなかった場合、中間製品要求情報記憶手段２０５に、中間製品Ｑｙ、払出計画残数αｙｉｒ、払出計画日Ｄｉを登録する（ステップＳ７１７）。
【００２８】
以上によれば、各製品の中間製品使用形態を判断し、中間製品を大量に使用する必要がある製品の場合は、ある管理ユニットに属する中間製品をその製品専用とするような中間製品使用形態とすることにより、当該管理ユニットに属する中間製品中から取り出した中間製品について所定の特性の測定結果で当該管理ユニットに属する中間製品全体を顧客規格を満足するかどうか判定できるため、ある管理ユニットに属する中間製品をその製品専用としない場合に比し、組立投入前の特性測定回数を減らすような払出計画を作成することができる。また、中間製品を少量しか使用しない製品の場合は、ある管理ユニットに属する中間製品を、専らそういった製品について充当するような中間製品使用形態とすることにより、中間製品在庫数量を削減可能な中間製品払出計画を作成することができる。さらに、前記中間製品払出計画を基にして、プロセス工程進捗中のロット、あるいはプロセス工程投入前のロットに、組立工程に払い出すべき日と数量の情報を設定することができる。
【００２９】
半導体製品のように、プロセス工程と組立工程に大別される製造工程においては、プロセス工程で（組立工程も同様であるが）、独自のスケジューリング方法を既に運用していることが考えられるが、本実施の形態によれば、中間製品払出計画を中間製品のプロセス工程の各ロットに引当することで、各ロットの払出日を把握できるため、優先度情報として、払出日を用いることで、ほぼ従来のスケジューリング方法のまま、組立工程投入計画を考慮した進捗管理が可能となる。
【００３０】
実施の形態２．
また、組立工程の投入計画が変更になった場合でも、同様の処理を行うことにより、払出計画が更新され、プロセス工程のロットへの引当も更新される。
以上によれば、組立工程の投入計画の変動に応じたプロセス工程のロットの進捗管理が可能となる。
【００３１】
実施の形態３．
また、プロセス工程において、ロットの再生が発生し、ロットの順番が変わったり、ロットアウトになったりと、プロセス工程の進捗状況が変更になった場合でも、同様の処理を行うことにより、プロセス工程の各ロットに対し、プロセス工程の進捗状況を反映した引当が実施される。
以上によれば、プロセス工程の進捗状況の変動があっても、その状況を反映した進捗管理が可能となる。
【００３２】
以上のように、この発明によれば第２の工程である組立投入前の特性測定の回数を削減可能な計画を立案できる。併せて、中間製品在庫量を削減できる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施の形態１による生産管理支援装置の構成図である。
【図２】実施の形態１による払出計画作成手段の全体の動作を表すフローチャートである。
【図３】実施の形態１による払出計画作成手段の動作を表すフローチャートの前半部である。
【図４】実施の形態１による払出計画作成手段の動作を表すフローチャートの中盤部である。
【図５】実施の形態１による払出計画作成手段の動作を表すフローチャートの一部であり、図４のＳ３０５の詳細動作を表すフローチャートである。
【図６】実施の形態１による払出計画作成手段の動作を表すフローチャートの一部であり、図４のＳ３０７の詳細動作を表すフローチャートである。
【図７】実施の形態１による払出計画作成手段の動作を表すフローチャートの後半部である。
【図８】実施の形態１による中間製品引当手段の動作を表すフローチャートである。
【図９】図８のフローチャートの後半部の詳細を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３４】
１０  製品マスタ記憶手段、２０  中間製品マスタ記憶手段、１０１  プロセス工程、
１０２  中間製品在庫、１０３  組立／検査工程、２０１  中間製品進捗情報記憶手段、
２０２  中間製品在庫情報記憶手段、２０３  組立工程投入計画記憶手段、
２０４  中間製品払出計画記憶手段、２０５  中間製品要求情報記憶手段、
３０１  中間製品在庫状況把握装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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