(57)【要約】【課題】熱遷移現象を考慮して、測定精度を向上させた圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサは、チャンバＢ内の気体の圧力を連通管Ｃを介して連通されたチャンバＡの受圧部１で検出する。チャンバＢ内の温度を入力するチャンバ温度センサ７と、受圧部１の温度を検出する受圧部温度センサ３とを備え、チャンバＢ内の温度と受圧部１の温度とに基づいて、受圧部１で検出された圧力を補正してチャンバＢ内の圧力を得る補正処理を実行する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内の気体の圧力を該チャンバ内に連通した連通管を介して受圧部で検出する圧力センサであって、
前記チャンバ内の温度を入力するチャンバ温度入力手段と、
前記受圧部の温度を検出する受圧部温度検出手段と、
前記チャンバ温度入力手段によって入力されたチャンバ内の温度と前記受圧部検出手段によって検出された受圧部の温度とに基づいて、前記受圧部で検出された圧力を補正して前記チャンバ内の圧力を得る補正処理を実行する補正手段と
を備えることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
請求項１記載の圧力センサにおいて、
前記補正手段は、前記受圧部で検出された圧力に応じて補正の要否を判定し、補正が必要である場合に前記補正処理を実行することを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
請求項１または２記載の圧力センサにおいて、
前記補正手段は、前記チャンバ内の温度と前記受圧部の温度との温度差に応じて補正の要否を判定し、補正が必要である場合に前記補正処理を実行することを特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
請求項１乃至３のうちいずれか１項記載の圧力センサにおいて、
前記チャンバ内の気体の種別を入力する入力手段を有し、
前記補正手段は、前記入力手段によって入力された気体の種別に応じた前記補正処理を実行することを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
請求項１乃至４記載の圧力センサにおいて、
前記連通管の直径を入力する入力手段と有し、
前記補正手段は、前記入力手段によって入力された連通管の直径も加味した前記補正処理を実行することを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に工業分野においてチャンバ内の圧力を測定する容量式圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
容量式圧力センサは、半導体、液晶製造プロセス、真空熱処理などといった工業分野において、圧力のモニタリングや圧力制御に用いられる。例えば、半導体製造プロセスでは、真空チャンバ内に、素材としてのシリコンウェハや製品としての半導体チップを出し入れする際に真空チャンバ内が大気圧になったことを確認するための圧力センサや、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）などのプロセス中において真空チャンバ内に流入する真空に近いプロセスガスの圧力を測定するための真空圧力センサ等が個別に設けられている。
【０００３】
このような容量式圧力センサは、用途に応じて非加熱型と加熱型のものが用いられる。例えば、特許文献１には、一定の測定精度および所定の性能を維持することを目的とし、センサの外壁部分に加熱手段としてのヒータを巻きつけ、センサの温度を一定に保持する加熱型圧力センサが開示されている。
【特許文献１】特開平５−２８１０７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、高真空状態（粘性流領域以下の中間流領域および分子流領域）でセンサ部の温度が、測定対象物が存在するチャンバ内の温度と異なる場合には、熱遷移現象によりセンサ部が該チャンバ内との間に圧力差を生じ、正確な圧力が測定できないことがある。
【０００５】
熱遷移現象は、異なる温度に保たれた二つの接続室（チャンバ）を、気体分子の平均自由行程より小さな径のキャピラリ（細管）で接続すると、高温側の接続室内の気圧が高くなり、一方、低温側接続室内の気圧内部の気圧が低くなる現象である。
【０００６】
かかる熱遷移現象を考慮した圧力センサは存在しないとの事情に鑑みて、本発明は、熱遷移現象を考慮して、測定精度を向上させた圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１発明の圧力センサは、チャンバ内の気体の圧力を該チャンバ内に連通した連通管を介して受圧部で検出する圧力センサであって、前記チャンバ内の温度を入力するチャンバ温度入力手段と、前記受圧部の温度を検出する受圧部温度検出手段と、前記チャンバ温度入力手段によって入力されたチャンバ内の温度と前記受圧部検出手段によって検出された受圧部の温度とに基づいて、前記受圧部で検出された圧力を補正して前記チャンバ内の圧力を得る補正処理を実行する補正手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
第１発明の圧力センサによれば、測定対象物が存在するチャンバと受圧部との温度差から生じる圧力差を相殺するように受圧部の圧力検出値が補正される。そのため、熱遷移現象により測定対象物と受圧部との間に圧力差が発生しても、受圧部において測定対象物の圧力を正確に測定することができ、測定精度を向上させることができる。
【０００９】
第２発明の圧力センサは、第１発明の圧力センサにおいて、前記補正手段は、前記受圧部で検出された圧力に応じて補正の要否を判定し、補正が必要である場合に前記補正処理を実行することを特徴とする。
【００１０】
第２発明の圧力センサによれば、受圧部の圧力検出値（真空レベル）から当該圧力検出値を補正する必要の有無を判定し、補正が必要である場合にのみ補正処理を実行する。これにより、測定対象物と受圧部との間に圧力差が発生し得ない場合に不必要な補正処理が実行されることを回避しつつ、熱遷移現象により測定対象物と受圧部との間に圧力差が発生し得る場合には、補正処理により受圧部で測定対象物の圧力を正確に測定することができ、測定精度を向上させることができる。
【００１１】
第３発明の圧力センサは、第１または第２発明の圧力センサにおいて、前記補正手段は、前記チャンバ内の温度と前記受圧部の温度との温度差に応じて補正の要否を判定し、補正が必要である場合に前記補正処理を実行することを特徴とする。
【００１２】
第３発明の圧力センサによれば、前記チャンバ内の温度と前記受圧部の温度との温度差から圧力検出値を補正する必要の有無を判定し、補正が必要である場合にのみ補正処理を実行する。これにより、測定対象物と受圧部との間に圧力差が発生し得ない場合に不必要な補正処理が実行されることを回避しつつ、熱遷移現象により測定対象物と受圧部との間に圧力差が発生し得る場合には、補正処理により受圧部で測定対象物の圧力を正確に測定することができ、測定精度を向上させることができる。
【００１３】
第４発明の圧力センサは、第１〜第３発明のいずれかの圧力センサにおいて、前記チャンバ内の気体の種別を入力する入力手段を有し、前記補正手段は、前記入力手段によって入力された気体の種別に応じた前記補正処理を実行することを特徴とする。
【００１４】
第４発明の圧力センサによれば、測定対象となる気体の種別が入力され、測定対象となる気体の種別に応じた前記補正処理が実行される。そのため、測定対象となる気体の種別に応じて、例えば、気体分子の直径等を考慮した補正処理を実行することができ、測定精度を向上させることができる。
【００１５】
第５発明の圧力センサは、第１〜第４発明のいずれかの圧力センサにおいて、前記連通管の直径を入力する入力手段と有し、前記補正手段は、前記入力手段によって入力された連通管の直径も加味した前記補正処理を実行することを特徴とする。
【００１６】
第５発明の圧力センサによれば、チャンバと受圧との間をキャピラリ（細管）等の連通管で接続する場合に、実際に用いられる連通管の直径が入力され、連通管の直径を考慮した補正処理を実行することができ、測定精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態としての圧力センサについて説明する。図１は、圧力センサの外観を示す斜視図であり、図２は、圧力センサの構成を示すブロック図であり、図３は、圧力センサにおける処理を示すフローチャートである。
【００１８】
本実施形態の圧力センサは、被測定圧力に応じた静電容量を検出するダイアフラム構造を備えたものであり、特に真空に近い圧力を測定するのに適している。
【００１９】
図１に示すように、本実施形態の圧力センサは、測定対象物である気体が存在するチャンバＢ内の真空圧を連通管Ｃを介して接続されたチャンバＡ内で測定する。そして、かかる測定値を回路部Ｄで演算して出力する。
【００２０】
図２に示すように、本実施形態の圧力センサは、チャンバＡに臨む位置に、圧力を検出する受圧部１と、受圧部１を加熱する加熱手段としてのヒータ２と、受圧部１の温度を検出する受圧部温度センサ３（本発明の受圧部温度検出手段に相当する）とを備え、チャンバＡから離反した位置に、受圧部温度センサ３によって検出された温度が予め設定された設定温度となるようにヒータ２の加熱量を制御するヒータ制御回路４（本発明の制御手段に相当する）と、各種回路２１〜２４と、当該圧力センサにおける各種演算処理を実行するコントローラ５とを備える。
【００２１】
受圧部１は、静電容量式のセンサチップより構成された容量センサ１１を備える。容量センサ１１の構成は、例えば本出願人による特開２００２−２６７５５９号、特開２００６−３２３４号に記載されている構成と同じであるので、詳細な説明は省略するが、容量センサ１１は、圧力の印加に応じてひずみが生じるセンサダイアフラムを備え、センサダイアフラムが撓んでセンサチップの固定電極と可動電極との間隔が変化することによるコンデンサの容量値の変化を検出する。
【００２２】
容量センサ１１から出力されたコンデンサの容量値の変化に対応する信号は、容量検出回路２１に入力される。容量検出回路２１では、入力された容量値の変化に対応する信号を増幅して、半波整流または全波整流回路とローパスフィルタとにより直流検出信号に変換される。
【００２３】
ヒータ２は、通電量に応じた発熱量を発生する電熱線であって受圧部１に巻回されて、受圧部１全体を加熱する。ヒータ２は、ヒータ制御回路４を介して接続された外部電源６から電力の供給を受けて発熱する。
【００２４】
受圧部温度センサ３は、受圧部１の容量センサ１１に隣接する位置に設けられ、受圧部１の温度に対応する信号を受圧部温度検出回路２３に出力する。受圧部温度検出回路２３は、入力された受圧部温度に対応する信号を増幅等して直流検出信号に変換して出力する。
【００２５】
また、各回路２１〜２３に隣接する位置には、受圧部１と回路２１〜２３との温度差による影響を補償するための参照温度を検出する回路温度検出回路２４が設けられている。回路温度検出回路２４は、図示しない温度センサを備えて回路２１〜２３の部分の温度を検出し、検出した回路部分の温度に対応する信号を増幅等して直流検出信号に変換して出力する。
【００２６】
さらに、電源電圧検出回路２６には、外部電源６が接続されている。電源電圧検出回路２６は、外部電源６の出力電圧を検出する電圧センサを備え、該電圧センサからの出力信号を増幅等して直流検出信号に変換して出力する。
【００２７】
一方、測定対象物である気体が存在するチャンバＢ内には、チャンバＢの温度を検出するチャンバ温度センサ７（本発明のチャンバ温度入力手段に相当する）が設けられている。チャンバ温度センサ７は、チャンバ内の温度に対応する信号をチャンバ温度検出回路７０に出力する。チャンバ温度検出回路７０は、入力されたチャンバ温度に対応する信号を増幅等して直流検出信号に変換して出力する。
【００２８】
各回路２１〜２４，２６，７０から出力された直流検出信号は、アナログ‐デジタル変換回路３０を介して、デジタル信号に変換されてコントローラ５に入力される。
【００２９】
コントローラ５は、少なくともＣＰＵを含む演算処理に必要な各種ハードウェアにより構成される。コントローラ５には、アナログ‐デジタル変換回路３０を介して入力された各回路２１〜２４，２６，７０からの信号に各種演算処理を行い、演算処理結果に応じた出力を行う。
【００３０】
コントローラ５による主な演算処理としては、容量検出回路２１から出力された容量センサ１１の検出値を、回路温度検出回路２４から出力された参照温度の検出値を用いて温度補償する処理を実行する。そして、補償処理された検出値をデジタル‐アナログ変換回路４０を介してアナログ信号に変換し、デジタル‐アナログ変換回路４０に接続された出力端子５０から所定の電圧（０〜１０［Ｖ］）で出力する。
【００３１】
また、コントローラ５は、補正手段５ａおよび設定手段５ｂを含む。補正手段５ａおよび設定手段５ｂは、コントローラ５と共通のハードウェアによって構成され、所定のプログラムが後述のデータメモリ５７から読み込まれることにより補正手段５ａによる補正処理が実行される。ここで補正処理は、受圧部１の圧力検出値に基づいて熱遷移現象に対する補正の要否を判定し、補正が必要である場合に、チャンバ温度センサ７の検出温度および受圧部温度センサ３の検出温度に基づいて、受圧部１の圧力検出値を補正してチャンバＢ内の圧力を得る。
【００３２】
また、設定手段５ｂは、ユーザの操作による後述の操作部５６からの選択信号に応じて測定対象であるチャンバ内の気体（分子）毎に定められた圧力補正式のパラメータを設定する。さらに、チャンバＡとチャンバＢとの間を連通する連通管Ｃの直径を入力することもできる。
【００３３】
コントローラ５には、出力端子５０のほか、ローダ通信ポート５１と、イベント出力端子５２と、イベント動作ＬＥＤ５３と、ステータスＬＥＤ５４と、ゼロ調整スイッチ５５と、操作部５６と、データメモリ５７とが接続されている。
【００３４】
ローダ通信ポート５１は、外部機器（コンピュータやデータロガー）に接続可能な入出力ポートであって、外部機器へのデータの出力のほか、外部機器からの当該圧力センサの設定および設定変更が可能となっている。
【００３５】
イベント出力端子５２は、ウォームアップ完了の有無のほか、計測圧力が予め設定された所定の圧力に到達したか否か、後述のエラー検知の有無により、所定の信号を出力する。この場合、１つのイベント出力端子５２を設定により選択的に用いてもよいが、それぞれの動作に連動する複数の出力端子を設けてもよい。
【００３６】
イベント動作ＬＥＤ５３は、イベント出力端子５２の出力状態／遮断状態に連動して、点灯／消灯する表示素子としての発光ダイオードである。なお、上述のように、複数の動作状態に応じてイベント出力端子５２の出力信号を変更する場合には、１つのイベント動作ＬＥＤ５３を各動作状態に対応させて、点灯のさせ方（点滅間隔）や点灯色を変更してもよいが、それぞれの動作状態に対応する複数の動作ＬＥＤを設けてもよい。
【００３７】
ステータスＬＥＤ５４は、後述のゼロ調整スイッチ５５に連動して、点灯（点滅）／消灯する表示素子としての発光ダイオードである。
【００３８】
ゼロ調整スイッチ５５は、出力値の０点調整を行うスイッチであって、オートゼロスイッチ５５ａと、アップゼロスイッチ５５ｂ及びダウンゼロスイッチ５５ｃとで構成されている。オートゼロスイッチ５５ａは、受圧部１を真空状態とした状態でＯＮさせることにより、コントローラ５がかかる状態での出力端子５０の出力を０に対応させる処理を実行する。
【００３９】
一方、アップゼロスイッチ５５ｂ及びダウンゼロスイッチ５５ｃは、かかる処理をユーザが該アップゼロスイッチ５５ｂ又はダウンゼロスイッチ５５ｃを操作することで手動で行うものである。すなわち、アップゼロスイッチ５５ｂは、これを１回ＯＮさせる毎にコントローラ５が出力端子５０の出力をプラスの側にシフトさせ、ダウンゼロスイッチ５５ｃは、これを１回ＯＮさせる毎にコントローラ５が出力端子５０の出力をマイナスの側にシフトさせる。
【００４０】
また、ステータスＬＥＤ５４は、かかるゼロ調整スイッチ５５に連動して、例えば、オートゼロスイッチ５５ａによる０点の調整中は、緑色に点滅し、調整終了後に消灯する。また、アップゼロスイッチ５５ｂ及びダウンゼロスイッチ５５ｃによる調整中は、赤色に点滅し、調整終了後は消灯する。
【００４１】
操作部５６は、測定対象であるチャンバ内の気体（分子）を選択するものであり、ユーザが予め定められた気体（分子）を選択することにより、設定手段５ｂを介して圧力補正式のパラメータが設定される。また、ユーザがチャンバＡとチャンバＢとの間をキャピラリ等で接続する場合には、キャピラリの直径ｄを入力することができる。
【００４２】
データメモリ５７は、コントローラ５によって算出された各種制御パラメータの算出値のほか、チャンバ内の気体（分子）毎に定められた圧力補正式のパラメータやヒータ２の加熱温度の設定値、圧力検出値の出力範囲の設定値などの各種設定値が記憶保持される。データメモリ５７は、ＲＯＭ，ＲＡＭ等により構成され、コントローラ５からのデータの読み出しおよび更新が可能に構成されている。
【００４３】
以上が、本実施形態の圧力センサの全体構成である。
【００４４】
次に、図３のフローチャートを参照して、コントローラ５およびコントローラ５の補正手段５ａによる処理について説明する。
【００４５】
まず、コントローラ５は、ユーザの操作により選択されたチャンバ内の気体（分子）により定まる圧力補正式のパラメータと連通管Ｃの直径ｄとを取得する（ＳＴＥＰ１）。なお、このパラメータは、後述する算出式（６）〜（８）により求められるものであるが、予め行った実験等により得られた値を用いることもできる。
【００４６】
次に、コントローラ５は、受圧部温度センサ３の検出温度Ｔ１を取得し（ＳＴＥＰ２）、取得した受圧部１の検出温度Ｔ１が、ヒータ２の加熱により予め設定された設定温度に達しているか（ウォームアップが完了しているか）否かを判定する（ＳＴＥＰ３）。
【００４７】
そして、設定温度に達している場合には（ＳＴＥＰ３でＹＥＳ）、容量センサ１１による圧力検出値Ｐ１を取得する（ＳＴＥＰ４）。一方、設定温度に達していない場合には（ＳＴＥＰ３でＮＯ）、再び受圧部温度センサ３の検出温度Ｔ１を取得する（ＳＴＥＰ２）。
【００４８】
ＳＴＥＰ４でコントローラ５が受圧部１の圧力検出値Ｐ１を取得すると、補正手段５ａは、取得した圧力検出値Ｐ１に基づいて熱遷移現象に対する補正の要否を判定する（ＳＴＥＰ５）。ここで、補正手段５ａは、取得した圧力検出値Ｐ１が、例えば１０００［Ｐａ］以下（粘性流領域以下の中間流領域および分子流領域）であるか否かに基づいて補正の要否を判定する。すなわち、１０００［Ｐａ］以下の高真空状態では、熱遷移現象による影響が現れるため補正処理が必要であると判定する。一方、１０００［Ｐａ］に至らない中真空状態または低真空状態では、熱遷移現象の影響はないため補正は不要であると判定する。
【００４９】
そして、圧力検出値Ｐ１が１０００［Ｐａ］以下で補正が必要と判定されると（ＳＴＥＰ５でＹＥＳ）、補正手段５ａは、チャンバ温度センサ７の検出温度Ｔ２を取得する（ＳＴＥＰ６）。
【００５０】
次いで、補正手段５ａは、ＳＴＥＰ２で取得した受圧部１の検出温度Ｔ１およびＳＴＥＰ６で取得したチャンバＢの検出温度Ｔ２に基づいて、ＳＴＥＰ４で取得した受圧部１の圧力検出値Ｐ１を補正する補正処理を実行する（ＳＴＥＰ７）。
【００５１】
この補正処理では、補正手段５ａは、受圧部１の検出温度Ｔ１とチャンバＢの検出温度Ｔ２から、次式（１）に基づいて、受圧部１の圧力検出値Ｐ１を補正してチャンバＢ内の圧力値Ｐ２を算出する
【００５２】
【数１】
2009244149.tif 000003
【００５３】
ここで、式（１）の係数ａ〜ｃおよび変数ｘは、次式（２）〜（５）により定まる値である。
【００５４】
【数２】
2009244149.tif 000004
【００５５】
ここで、式（２）〜（４）のＡ＊，Ｂ＊，Ｃ＊は、チャンバ内の気体（分子）毎に定まる値であり、次式（６）〜（８）により算出する。また、予め行った実験等により得られた値を用いることもできる。
【００５６】
【数３】
2009244149.tif 000005
【００５７】
ここで、式（６）〜（８）のＤは、測定対象物の気体の直径であり、式（５）のｄは、チャンバＡとチャンバＢとの間を連通する連通管Ｃの直径である。ここで、ユーザにて、チャンバＡとチャンバＢとの間をキャピラリ（細管）等で接続する場合は、キャピラリ等の直径を連通管Ｃの直径の代わりに用いる。
【００５８】
尚、式（１）〜（５）による熱遷移現象を考慮した算出式は、以下の非特許文献１によるものであるが、これによらず、式（１）〜（５）を簡易化した式によりチャンバＢ内の圧力を算出してよい。
【非特許文献１】Poulter et al: Vacuum., Vol.33, p311-316, 1983   例えば、式（１）〜（５）の代わりに、下記非特許文献２に基づいて、次式（９）〜（１２）より、受圧部１の圧力検出値Ｐ１を補正してチャンバＢ内の圧力値Ｐ２を算出してもよい。
【００５９】
【数４】
2009244149.tif 000006
【非特許文献２】S C Liang. J Phys chem, 57, 910 (1953)   補正手段５ａにより、ＳＴＥＰ７の補正処理が実行されると、コントローラ５は、補正処理された検出圧力値Ｐ２を、回路温度検出回路２４から出力された参照温度の検出値を用いて温度補償する処理を実行する（ＳＴＥＰ８）。
【００６０】
そして、コントローラ５は、補償処理された検出値をデジタル‐アナログ変換回路４０を介してアナログ信号に変換し、デジタル‐アナログ変換回路４０に接続された出力端子５０から所定の電圧（０〜１０［Ｖ］）で出力する（ＳＴＥＰ９）。
【００６１】
一方、ＳＴＥＰ５で補正処理が不要と判定された場合には、補正手段５ａによる補正処理（ＳＴＥＰ７）を実行することなく、ＳＴＥＰ８の温度補償処理を実行し、該補償処理された検出値が出力端子５０から出力される。
【００６２】
以上のように、本実施形態の圧力センサによれば、測定対象物が存在するチャンバＢと受圧部１と間の温度差から生じる圧力差が補正処理されるため、受圧部１において測定対象物の圧力を正確に測定することができ、測定精度を向上させることができる。
【００６３】
尚、本実施形態において、チャンバ温度入力手段は、チャンバ温度センサ７であるが、これに限定されるものではなく、チャンバ温度入力手段は、チャンバＢの温度をコントローラ５に入力できるものであれば、任意の固定値を設定する設定手段やチャンバＢの温度を管理する温度管理手段等も含まれる。
【００６４】
また、本実施形態では、ＳＴＥＰ５で受圧部１の圧力検出値に基づき、補正の要否を判定しているが、補正の要否を検討することなく、一律に前記式（１）〜（５）に基づいて、補正処理（ＳＴＥＰ７）を実行するようにしてもよい。
【００６５】
さらに、本実施形態では、受圧部１の検出圧力に基づいて補正の要否を判定しているが（ＳＴＥＰ５）、これに限定されるものではなく、これに代えてまたはこれに加えて、チャンバ温度センサ７の検出温度と受圧部温度センサ３の検出温度との温度差に基づいて、補正の要否を判定してもよい。すなわち、当該温度差が存在する場合には、熱遷移現象を考慮して補正が必要と判定し、当該温度差が０に等しい場合には熱遷移現象が現れることはないため補正は不要と判定してもよい。また、ＳＴＥＰ２，３も必須ではなく、受圧部温度に関係なく当該補正処理を実行するようにしてもよい。
【００６６】
また、本実施形態では、加熱型圧力センサを例として説明したが、当該補正処理は非加熱型圧力センサにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本実施形態の圧力センサの外観を示す斜視図。
【図２】本実施形態の圧力センサの構成を示す図。
【図３】本実施形態の圧力センサにおける処理を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００６８】
１…受圧部、２…ヒータ、３…受圧部温度センサ（受圧部温度検出手段）、４…ヒータ制御回路、５…コントローラ、５ａ…補正手段、５ｂ…設定手段、６…外部電源、７…チャンバ温度センサ（チャンバ温度入力手段）、１１…容量センサ、２１…容量検出回路、２３…受圧部温度検出回路、２４…回路温度検出回路、２６…電源電圧検出回路、３０…アナログ‐デジタル変換回路、４０…デジタル‐アナログ変換回路、５０…出力端子、５１…ローダ通信ポート、５２…イベント出力端子、５３…イベント動作ＬＥＤ、５４…ステータスＬＥＤ、５５…ゼロ調整スイッチ、５６…操作部、５７…データメモリ、７０…チャンバ温度検出回路、Ａ…チャンバ、Ｂ…連通管、Ｃ…チャンバ、Ｄ…回路部。
【図１】
2009244149.tif 000007
【図２】
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【図３】
2009244149.tif 000009