(57)【要約】【課題】遮光した物体の位置を検出するレーザーセンサ装置を実現する。【解決手段】ベース基板の所定位置に設けられた光源取付けブラッケットに取付けられた光源と、前記ベース基板の所定位置に設けられた反射ミラー取付けブラッケットに取付けられた反射ミラーと、前記光源からの光が対向する前記反射ミラーで反射された反射光を受光し、物体が遮光した場合にこの遮光した物体の位置を検出する検出回路とを具備するレーザーセンサ装置において、前記光源取付けブラッケットに取付けられ前記光源の射出光光軸の位置決めの基準を構成する光源位置決め基準手段と、前記反射ミラー取付けブラッケットに取付けられ前記反射ミラーの反射光光軸の位置決めの基準を構成する反射ミラー位置決め基準手段とを具備したことを特徴とするレーザーセンサ装置である。【選択図】図１
2009047448.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース基板の所定位置に設けられた光源取付けブラッケットに取付けられた光源と、
前記ベース基板の所定位置に設けられた反射ミラー取付けブラッケットに取付けられた反射ミラーと、
前記光源からの光が対向する前記反射ミラーで反射された反射光を受光し、物体が遮光した場合にこの遮光した物体の位置を検出する検出回路と
を具備するレーザーセンサ装置において、
前記光源取付けブラッケットに取付けられ前記光源の射出光光軸の位置決めの基準を構成する光源位置決め基準手段と、
前記反射ミラー取付けブラッケットに取付けられ前記反射ミラーの反射光光軸の位置決めの基準を構成する反射ミラー位置決め基準手段と
を具備したことを特徴とするレーザーセンサ装置。
【請求項２】
前記光源位置決め基準手段は、前記光源取付けブラッケットに一端側が取付けられ他端側が前記光源の射出光光軸を遮る第１の光源前方ブラッケットと、
前記第１の光源前方ブラッケットに設けられ前記光源の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部と
を具備したことを特徴とする請求項１記載のレーザーセンサ装置。
【請求項３】
前記反射ミラー位置決め基準手段は、前記反射ミラー取付けブラッケットに一端側が取付けられ他端側が前記反射ミラーの反射光光軸を遮る第１の反射ミラー前方ブラッケットと、
前記第１の反射ミラー前方ブラッケットに設けられ前記反射ミラーの位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部と
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のレーザーセンサ装置。
【請求項４】
前記光源位置決め基準手段は、前記ベース基板と前記光源取付けブラッケットとの間に剛性が高い底部が配置され他端側が前記光源の射出光光軸を遮る第２の光源前方ブラッケットと、
前記第２の光源前方ブラッケットに設けられ前記光源の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部と
を具備したことを特徴とする請求項１記載のレーザーセンサ装置。
【請求項５】
前記反射ミラー位置決め基準手段は、前記ベース基板と前記反射ミラー取付けブラッケットとの間に剛性が高い底部が配置され他端側が前記反射ミラーの反射光光軸を遮る第２の反射ミラー前方ブラッケットと、
前記第２の反射ミラー前方ブラッケットに設けられ前記反射ミラーの位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部と
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のレーザーセンサ装置。
【請求項６】
前記光源位置決め透光基準部と反射ミラー位置決め透光基準部は、前記ブラッケットに設けられたスリットで構成されたこと
を特徴とする請求項２乃至請求項５の何れかに記載のレーザーセンサ装置。
【請求項７】
前記光源位置決め透光基準部と反射ミラー位置決め透光基準部は、前記ブラッケットに設けられたスリット穴で構成されたこと
を特徴とする請求項２乃至請求項６の何れかに記載のレーザーセンサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源から光を発した時に、対向する反射ミラーからの反射光を受光し、物体が遮光することによって、遮光した物体の位置を検出するレーザーセンサ装置に関するものである。
更に詳述すれば、所望の検出位置に精度良く、かつ、効率的に光源と反射ミラーの位置が設置することができるレーザーセンサ装置に関するものである。
一具体例としては、スキャナステージのエリアセンサー取り付けブラケットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザーセンサ装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【非特許文献１】横河電機株式会社発行、ＤＤＭ総合カタログ、２００４年  ３版、Ｐ６６、「ＯＴセンサ」
【０００４】
図１６、図１７は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図で、図１６はレーザーの射出側、図１７はレーザーの反射側を示す。
図１８、図１９は、図１６、図１７の動作説明図である。
【０００５】
図１６において、１はベース基板で、この場合は、スキャナステージが対応する。
２は位置だしピン３により、スキャナステージ１に位置決めされた光源取り付けブラケットである。
４はレーザー光源で、光源取り付けブラケット２に取付けられている。
レーザー光源４からは、レーザー光Ａが後述する反射板へ向け射出され、反射光を受光する。受光量に応じて透光、遮光を判断し、センサーが機能する。
【０００６】
図１７において、５は位置だしピン６により、スキャナステージ１に位置決めされたミラー取り付けブラケットである。
７は反射ミラーで、ミラー取り付けブラケット５に取付けられている。
反射ミラー７は、レーザー光源４からのレーザー光Ａを反射して、レーザー光源４へ光を戻す。
【０００７】
以上の構成において、位置検出光Ａを物体が遮光することで、受光量が変化し物体の位置が検出される。
【０００８】
このようなレーザーセンサ装置では、下記に示す如く、位置検出光調整治具Ｂを使って、位置検出光の位置出しを行う。
（１）位置検出用光源４から射出された光Ａが反射ミラー７の中央付近で反射するように、位置検出用光源４と位置検出用光源取り付けブラケット２の位置および角度を調整する。
【０００９】
（２）位置検出光調整治具Ｂの鍵型穴Ｂ１を、図１８のように、所定の基準位置からの寸法位置に設置し、位置検出光Ａの受光および遮光と受光量を確認する。その際、透光および遮光が確認できない場合や、受光量が所定の量(以下しきい値と呼ぶ)に満たない場合は、（１）の作業に戻って、作業を繰り返す。
【００１０】
（３）反射側でも同様にして図１９のように、反射ミラー７とブラケット５の位置および角度を調整することで、受光量を満たす位置に設置し、位置検出用光源調整治具Ｂを使って位置検出光Ａの透光および遮光と受光量を確認する。光軸径が大きい場合や広がっている場合には、治具の透光側では受光量が減り、遮光側では光がはみ出して受光量がゼロとならなくなるので、センサーが機能する受光量（しきい値）を調整してセンサーが所望の位置で機能するようにする。
【００１１】
（４）上記（２）と（３）の作業が完了した時点で、各ブラケットを固定し位置検出光の位置出しが完了する。
【００１２】
なお、位置検出用光源調整治具Ｂの鍵型穴Ｂ１は、光軸の通りを確認する部分であって、鍵型穴Ｂ１は、溝Ｂ２が上にある場合に光が通り、位置検出用光源調整治具Ｂを上下逆さまに引っくり返して溝Ｂ２が下になった場合には光が遮光されるようになっている。
また、この部分の幅Ｂ３で遮光範囲が規定される構造となっている。
位置検出用光源調整治具Ｂの基準位置Ｂ４は、この場合は、スキャナステージ１の側面が基準位置となっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
このような装置においては、以下の間題点がある。
（１）光軸径に対して遮光位置の検出範囲が狭く、正確に光軸位置を調整する必要がある場合には、しきい値を厳密に調整しなくてはならない。
（２）光軸径が大きい、あるいは広がるものがあり、（１）の検出範囲に対して十分に大きい、あるいは広く、所定の検出位置でセンサーを機能させるために、センサーを機能させる受光量のしきい値の調整が必要となる。
【００１４】
（３）受光量の経年変化があり、同じしきい値では、センサーが機能する位置が変化するため、しきい値の再調整の必要がある。
（４）本来、狭い範囲で位置検出する場合、発光部に対向して受光部を配置するセンサーを用いるが、対向部にスペースが無い場合は受光部品が大きいために設置不可能となる場合が生ずる。
【００１５】
（５）基準位置から遠い場所で位置検出を正確に行うには、長く、かつ、精度の良い調整冶具Ｂが必要となる。
【００１６】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、各取り付けブラケットに位置検出光調整治具機能を追加し、精度良く、かつ、効率的に光源と反射ミラーの位置が設置することができるレーザーセンサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のレーザーセンサ装置においては、
ベース基板の所定位置に設けられた光源取付けブラッケットに取付けられた光源と、前記ベース基板の所定位置に設けられた反射ミラー取付けブラッケットに取付けられた反射ミラーと、前記光源からの光が対向する前記反射ミラーで反射された反射光を受光し、物体が遮光した場合にこの遮光した物体の位置を検出する検出回路とを具備するレーザーセンサ装置において、前記光源取付けブラッケットに取付けられ前記光源の射出光光軸の位置決めの基準を構成する光源位置決め基準手段と、前記反射ミラー取付けブラッケットに取付けられ前記反射ミラーの反射光光軸の位置決めの基準を構成する反射ミラー位置決め基準手段とを具備したことを特徴とする。
【００１８】
本発明の請求項２のレーザーセンサ装置においては、請求項１記載のレーザーセンサ装置において、
前記光源位置決め基準手段は、前記光源取付けブラッケットに一端側が取付けられ他端側が前記光源の射出光光軸を遮る第１の光源前方ブラッケットと、前記第１の光源前方ブラッケットに設けられ前記光源の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部とを具備したことを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項３のレーザーセンサ装置においては、請求項１又は請求項２記載のレーザーセンサ装置において、
前記反射ミラー位置決め基準手段は、前記反射ミラー取付けブラッケットに一端側が取付けられ他端側が前記反射ミラーの反射光光軸を遮る第１の反射ミラー前方ブラッケットと、前記第１の反射ミラー前方ブラッケットに設けられ前記反射ミラーの位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部とを具備したことを特徴とする。
【００２０】
本発明の請求項４のレーザーセンサ装置においては、請求項１記載のレーザーセンサ装置において、
前記光源位置決め基準手段は、前記ベース基板と前記光源取付けブラッケットとの間に剛性が高い底部が配置され他端側が前記光源の射出光光軸を遮る第２の光源前方ブラッケットと、前記第２の光源前方ブラッケットに設けられ前記光源の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部とを具備したことを特徴とする。
【００２１】
本発明の請求項５のレーザーセンサ装置においては、請求項１又は請求項２記載のレーザーセンサ装置において、
前記反射ミラー位置決め基準手段は、前記ベース基板と前記反射ミラー取付けブラッケットとの間に剛性が高い底部が配置され他端側が前記反射ミラーの反射光光軸を遮る第２の反射ミラー前方ブラッケットと、前記第２の反射ミラー前方ブラッケットに設けられ前記反射ミラーの位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部とを具備したことを特徴とする。
【００２２】
本発明の請求項６のレーザーセンサ装置においては、請求項２乃至請求項５の何れかに記載のレーザーセンサ装置において、
前記光源位置決め透光基準部と反射ミラー位置決め透光基準部は、前記ブラッケットに設けられたスリットで構成されたことを特徴とする。
【００２３】
本発明の請求項７のレーザーセンサ装置においては、請求項２乃至請求項６の何れかに記載のレーザーセンサ装置において、
前記光源位置決め透光基準部と反射ミラー位置決め透光基準部は、前記ブラッケットに設けられたスリット穴で構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
取付けブラッケットに光源位置決め基準手段と反射ミラー位置決め基準手段とがそれぞれ設けられたので、別に、位置検出光調整治具を使用する必要がなく、精度良く、かつ、効率的に光源と反射ミラーの位置出しをすることができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００２５】
取り付けブラケットに位置検出光調整治具の機能を持たせたので、精度の良い位置検出光調整冶具が不要となり、万が一、光軸がずれた場合、別途治具を使用することなく、その場で即時に、光源と反射ミラーの再調整ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００２６】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
光源位置決め基準手段は、光源取付けブラッケットに一端側が取付けられ他端側が光源の射出光光軸を遮る第１の光源前方ブラッケットと、第１の光源前方ブラッケットに設けられ光源の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部とが設けられたので、別に、光源の位置決めに位置検出光調整治具を使用する必要がなく、精度良く、かつ、効率的に光源の位置出しをすることができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００２７】
光源取り付けブラケットに、光源に対する位置検出光調整治具の機能を持たせたので、精度の良い位置検出光調整冶具が不要となり、万が一、光軸がずれた場合、別途治具を使用することなく、その場で即時に再調整ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００２８】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
反射ミラー位置決め基準手段は、反射ミラー取付けブラッケットに一端側が取付けられ他端側が反射ミラーの反射光光軸を遮る第１の反射ミラー前方ブラッケットと、第１の反射ミラー前方ブラッケットに設けられ、反射ミラーの位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部とが設けられたので、別に、反射ミラーの位置決めに位置検出光調整治具を使用する必要がなく、精度良く、かつ、効率的に反射ミラーの位置出しをすることができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００２９】
反射ミラー取り付けブラケットに、反射ミラーに対する位置検出光調整治具の機能を持たせたので、精度の良い位置検出光調整冶具が不要となり、万が一、光軸がずれた場合、別途治具を使用することなく、その場で即時に、反射ミラーの再調整ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００３０】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
光源位置決め基準手段は、ベース基板と光源取付けブラッケットとの間に剛性が高い底部が配置され他端側が光源の射出光光軸を遮る第２の光源前方ブラッケットと、第２の光源前方ブラッケットに設けられ、光源の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部とが設けられたので、頑丈な第２の光源前方ブラッケットを採用することで、ベース基板の光源設置部分に変形や突起物があった場合でも、その影響が直接的に位置検出用光源に伝わることを低減できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００３１】
また、頑丈な第２の光源前方ブラッケットの採用による光源位置調整のし難さを、第２の光源前方ブラッケットの上に、別部品として光源取付けブラッケットを配置したので、光源位置調整のし難さが緩和できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００３２】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
反射ミラー位置決め基準手段は、ベース基板と反射ミラー取付けブラッケットとの間に剛性が高い底部が配置され他端側が反射ミラーの反射光光軸を遮る第２の反射ミラー前方ブラッケットと、第２の反射ミラー前方ブラッケットに設けられ、反射ミラーの位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部とが設けられたので、頑丈な第２の反射ミラー前方ブラッケットを採用することで、ベース基板の反射ミラー設置部分に変形や突起物があった場合でも、その影響が直接的に反射ミラー設置の精度に伝わることを低減できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００３３】
また、頑丈な第２の反射ミラー前方ブラッケットの採用による反射ミラー位置調整のし難さを、第２の反射ミラー前方ブラッケットの上に別部品として反射ミラー取付けブラッケットを配置したので、反射ミラー位置調整のし難さが緩和できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００３４】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
光源位置決め透光基準部と反射ミラー位置決め透光基準部は、ブラッケットに設けられたスリットで構成されたので、スリットを使って射出光と受光を制限することで、光軸の左右方向のバラツキを抑えることができるため、高精度に光軸の位置を調整できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００３５】
光源の光量のバラツキ、光軸径のバラツキや広がりを抑えることができるため、しきい値の調整を行わなくてもスリット幅の間を物体がさえぎったときに確実に検出ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００３６】
本発明の請求項７によれば、次のような効果がある。
光源位置決め透光基準部と反射ミラー位置決め透光基準部は、ブラッケットに設けられたスリット穴で構成されたので、光軸の上下方向のバラツキも抑えることができるため、更に、高精度に光軸の位置を調整できるレーザーセンサ装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の要部斜視図、図３は図１の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は左側面図、（ｄ）は平面図、図４は図１の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は左側面図である。
図において、図１６、図１７と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図１６、図１７との相違部分のみ説明する。
【００３８】
図１、図２において、光源位置決め基準手段１１は、光源取付けブラッケット１２に取付けられ、光源１３の射出光光軸の位置決めの基準を構成する。
位置検出用光源１３は、この場合は、レーザー光を射出し、後述する反射ミラーから戻ってきた光の受光量を検出する。
【００３９】
この場合は、光源位置決め基準手段１１は、光源取付けブラッケット１２に一端側が取付けられ他端側が、光源１３の射出光光軸を遮る第１の光源前方ブラッケット１１１と、第１の光源前方ブラッケット１１１に設けられ、光源１３の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部１１２とを有する。
【００４０】
光源位置決め透光基準部１１２は、この場合は、第１の光源前方ブラッケット１１１に設けられたスリット１１２１で構成されている。
スリット１１２１を設けることで、光源側の光軸の位置および幅が正確に決まるので、光源の光軸径が大きいものや広がりのあるものでも、スリット１１２１の位置および幅によって物体が光軸を遮光する位置が正確に検出できる。
１２１は、光源取付けブラッケット１２に設けられたピン突き当て面で、この面１２１を基準としてスリット１１２１の位置を決めることで、ピン基準で光軸の位置決めを行う。
【００４１】
反射ミラー位置決め基準手段２１は、反射ミラー取付けブラッケット２２に取付けられ、反射ミラー２３の反射光光軸の位置決めの基準を構成する。
反射ミラー２３は、光源１３から射出された光を反射する。
この場合は、反射ミラー位置決め基準手段２１は、反射ミラー取付けブラッケット２２に一端側が取付けられ、他端側が反射ミラー２３の反射光光軸を遮る第１の反射ミラー前方ブラッケット２１１と、第１の反射ミラー前方ブラッケット２１１に設けられ、反射ミラー２３の位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部２１２とを有する。
【００４２】
反射ミラー位置決め透光基準部２１２は、この場合は、第１の反射ミラー前方ブラッケット２１１に設けられたスリット２１２１で構成されている。
スリット２１２１は、スリット２１２１を設けることで、反射ミラー２３側の光軸の位置および幅が正確に決まるので、光源１３からの光がスリット２１２１の中央を通るように調整すれば、物体が遮光する位置を正確に検出できる。
【００４３】
２２１は、反射ミラー取付けブラッケット２２に設けられたピン突き当て面で、この面２２１を基準としてスリット２１２１の位置を決めることで、ピン基準で光軸の位置決めを行う。
【００４４】
以上の構成において、
（１）スリット１１２１、２１２１が設けられたブラケット１２、２２は、スキャナステージ１の所定の位置に正確に据付けられているピンに突き当てて固定され、スリット１１２１、２１２１の位置が正確に出される。
（２）光源１３を動かして、スリット１１２１の中央と反射ミラー２３側のスリット２１２１の中央を光軸が通るように調整し固定する。
【００４５】
この結果、
取付けブラッケット１２，２２に光源位置決め基準手段１１と反射ミラー位置決め基準手段２１とがそれぞれ設けられたので、別に、位置検出光調整治具Ｂを使用する必要がなく、精度良く、かつ、効率的に光源１３と反射ミラー２３の位置出しをすることができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００４６】
取り付けブラケット１２、２２に位置検出光調整治具Ｂの機能を持たせたので、精度の良い位置検出光調整冶具Ｂが不要となり、万が一、光軸がずれた場合、別途治具Ｂを使用することなく、その場で即時に、光源１３と反射ミラー２３の再調整ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００４７】
光源位置決め基準手段１１は、光源取付けブラッケット１２に一端側が取付けられ他端側が光源１３の射出光光軸を遮る第１の光源前方ブラッケット１１１と、第１の光源前方ブラッケット１１１に設けられ光源１３の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部１１２とが設けられたので、別に、光源の位置決めに位置検出光調整治具Ｂを使用する必要がなく、精度良く、かつ、効率的に光源の位置出しをすることができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００４８】
光源取り付けブラケット１２に、光源１３に対する位置検出光調整治具Ｂの機能を持たせたので、精度の良い位置検出光調整冶具Ｂが不要となり、万が一、光軸がずれた場合、別途治具Ｂを使用することなく、その場で即時に再調整ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００４９】
反射ミラー位置決め基準手段２１は、反射ミラー取付けブラッケット２２に一端側が取付けられ他端側が反射ミラー２３の反射光光軸を遮る第１の反射ミラー前方ブラッケット２１１と、第１の反射ミラー前方ブラッケット２１１に設けられ、反射ミラー２３の位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部２１２とが設けられたので、別に、反射ミラーの位置決めに位置検出光調整治具Ｂを使用する必要がなく、精度良く、かつ、効率的に反射ミラー２３の位置出しをすることができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００５０】
反射ミラー取り付けブラケット２２に、反射ミラー２３に対する位置検出光調整治具Ｂの機能を持たせたので、精度の良い位置検出光調整冶具Ｂが不要となり、万が一、光軸がずれた場合、別途治具Ｂを使用することなく、その場で即時に、反射ミラー２３の再調整ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００５１】
光源位置決め透光基準部１１２と反射ミラー位置決め透光基準部２１２は、ブラッケット１１１，２１１に設けられたスリット１１２１，２１２１で構成されたので、スリットを使って射出光と受光を制限することで、光軸の左右方向のバラツキを抑えることができるため、高精度に光軸の位置を調整できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００５２】
光源の光量のバラツキ、光軸径のバラツキや広がりを抑えることができるため、しきい値の調整を行わなくてもスリット幅の間を物体がさえぎったときに確実に検出ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００５３】
図５は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図５において、光源１３と反射ミラー２３とを直交して配置し、光源１３と反射ミラー２３との間に反射ミラー３１を配置したものである。
光源１３と反射ミラー２３との間に反射ミラー３１を配置することで、２方向の位置検出ができる。
なお、反射ミラー２３、３１を受光装置としてもよいことは勿論である。
【００５４】
図６は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図６において、光源１３と反射ミラー２３とを直交して配置し、光源１３と反射ミラー２３との間に半透過型ミラー３５を配置し、半透過型ミラー３５を挟んで、光源１３と対向する位置に反射ミラー３６を配置したものである。
３方向の位置検出ができる。
なお、反射ミラー２３、３６を受光装置としてもよいことは勿論である。
【００５５】
図７は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図７において、ブラッケット１１１（２１１）にスリット穴４１（４２）が設けられた実施例である。Ｃは光路である。
光源位置決め透光基準部と反射ミラー位置決め透光基準部は、ブラッケット１１１（２１１）に設けられたスリット穴４１（４２）で構成されたので、光軸の上下方向のバラツキも抑えることができるため、更に、高精度に光軸の位置を調整できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００５６】
図８は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図８において、ブラッケット１１１（２１１）に設けられたスリットの図の左側を切り欠いた実施例である。Ｃは光路である。
スリットの右側にのみ光軸を合わせればよい場合に便利である。
【００５７】
図９は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図９において、ブラッケット１１１（２１１）に設けられたスリットの図の右側を切り欠いた実施例である。Ｃは光路である。
スリットの左側にのみ光軸を合わせればよい場合に便利である。
【００５８】
図１０は本発明の他の実施例の要部構成説明図、図１１は図１０の要部斜視説明図、図１２は図１０の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は左側面図、（ｄ）は平面図、図１３は図１２の要部斜視説明図、図１４は図１０の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は左側面図、（ｄ）は平面図、図１５は図１４の要部斜視説明図である。
図において、図１６、図１７と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図１６、図１７との相違部分のみ説明する。
【００５９】
図１０において、光源位置決め基準手段５１は、光源取付けブラッケット５２に取付けられ、光源５３の射出光光軸の位置決めの基準を構成する。
位置検出用光源５３は、この場合は、レーザー光を射出し、後述する反射ミラーから戻ってきた光の受光量を検出する。
【００６０】
この場合は、光源位置決め基準手段５１は、スキャナーステージ１と光源取付けブラッケット５２との間に剛性が高い底部５１１１が配置され、他端側が光源５３の射出光光軸を遮る第２の光源前方ブラッケット５１１と、第２の光源前方ブラッケット５１１に設けられ光源５３の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部５１２とを有する。
【００６１】
光源位置決め透光基準部５１２、この場合は、第２の光源前方ブラッケット５１１に設けられたスリット５１２１で構成されている。
スリット５１２１を設けることで、光源５３側の光軸の位置および幅が正確に決まるので、光源の光軸径が大きいものや広がりのあるものでも、スリット５１２１の位置および幅によって物体が光軸を遮光する位置が正確に検出できる。
【００６２】
５１１２は、第２の光源前方ブラッケット５１１に設けられたピン突き当て面で、この面５１１２を基準としてスリット５１２１の位置を決めることで、ピン基準で光軸の位置決めを行う。
【００６３】
反射ミラー位置決め基準手段６１は、反射ミラー取付けブラッケット６２に取付けられ、反射ミラー６３の反射光光軸の位置決めの基準を構成する。
反射ミラー６３は、光源５３から射出された光を反射する。
【００６４】
この場合は、反射ミラー位置決め基準手段６１は、スキャナーステージ１と反射ミラー取付けブラッケット６２との間に剛性が高い底部６１１１が配置され、他端側が反射ミラー６３の反射光光軸を遮る第２の反射ミラー前方ブラッケット６１１と、第２の反射ミラー前方ブラッケット６１１に設けられ、反射ミラー６３の位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部６１２とを有する。
【００６５】
反射ミラー位置決め透光基準部６１２は、この場合は、第２の反射ミラー前方ブラッケット６１１に設けられたスリット６１２１で構成されている。
スリット６１２１を設けることで、反射ミラー２３側の光軸の位置および幅が正確に決まるので、光源５３からの光がスリット６１２１の中央を通るように調整すれば、物体が遮光する位置を正確に検出できる。
【００６６】
６１１２は、第２の反射ミラー前方ブラッケット６１１に設けられたピン突き当て面で、この面６１１２を基準としてスリット６１２１の位置を決めることで、ピン基準で光軸の位置決めを行う。
【００６７】
以上の構成において、
（１）スリット５１２１、６１２１が設けられたブラケット５１１、６１１は、スキャナステージ１の所定の位置に正確に据付けられているピンに突き当てて固定され、スリット５１２１、６１２１の位置が正確に出される。
（２）光源５３と光源５３が固定されている光源取付けブラッケット５２とを動かして、スリット５１２１の中央と反射ミラー６３側のスリット６１２１の中央を光軸が通るように調整し固定する。
【００６８】
この結果、
取付けブラッケット５２，６２に光源位置決め基準手段５１と反射ミラー位置決め基準手段６１とがそれぞれ設けられたので、別に、位置検出光調整治具Ｂを使用する必要がなく、精度良く、かつ、効率的に光源５３と反射ミラー６３の位置出しをすることができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００６９】
取り付けブラケット５２，６２に位置検出光調整治具Ｂの機能を持たせたので、精度の良い位置検出光調整冶具Ｂが不要となり、万が一、光軸がずれた場合、別途治具Ｂを使用することなく、その場で即時に、光源５３と反射ミラー６３の再調整ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００７０】
光源位置決め基準手段５１は、スキャナーステージ１と光源取付けブラッケット５２との間に剛性が高い底部５１１１が配置され、他端側が光源５３の射出光光軸を遮る第２の光源前方ブラッケット５１１と、第２の光源前方ブラッケット５１１に設けられ、光源５３の位置決め、透光の基準となる光源位置決め透光基準部５１２とが設けられたので、頑丈な第２の光源前方ブラッケット５１１を採用することで、スキャナーステージ１の光源５３設置部分に変形や突起物があった場合でも、その影響が直接的に位置検出用光源５３に伝わることを低減できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００７１】
また、頑丈な第２の光源前方ブラッケット５１１の採用による光源位置調整のし難さを、第２の光源前方ブラッケット５１１の上に、別部品として光源取付けブラッケット５２を配置したので、光源位置調整のし難さが緩和できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００７２】
反射ミラー位置決め基準手段６１は、スキャナーステージ１と反射ミラー取付けブラッケット６２との間に剛性が高い底部６１１１が配置され他端側が反射ミラー６３の反射光光軸を遮る第２の反射ミラー前方ブラッケット６１１と、第２の反射ミラー前方ブラッケット６１１に設けられ、反射ミラー６３の位置決め、透光の基準となる反射ミラー位置決め透光基準部６１２とが設けられたので、頑丈な第２の反射ミラー前方ブラッケット６１１を採用することで、スキャナーステージ１の反射ミラー６３の設置部分に変形や突起物があった場合でも、その影響が直接的に反射ミラー６３の設置の精度に伝わることを低減できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００７３】
また、頑丈な第２の反射ミラー前方ブラッケット６１１の採用による反射ミラー６３の位置調整のし難さを、第２の反射ミラー前方ブラッケット６１１の上に別部品として反射ミラー取付けブラッケット６２を配置したので、反射ミラー６３の位置調整のし難さが緩和できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００７４】
光源位置決め透光基準部５１２と反射ミラー位置決め透光基準部６１２は、ブラッケット５１１、６１１に設けられたスリット５１２１、６１２１で構成されたので、スリット５１２１、６１２１を使って射出光と受光を制限することで、光軸の左右方向のバラツキを抑えることができるため、高精度に光軸の位置を調整できるレーザーセンサ装置が得られる。
【００７５】
光源５３の光量のバラツキ、光軸径のバラツキや広がりを抑えることができるため、しきい値の調整を行わなくてもスリット幅の間を物体がさえぎったときに確実に検出ができるレーザーセンサ装置が得られる。
【００７６】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部斜視図である。
【図３】図１の要部構成説明図である。
【図４】図１の要部構成説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図７】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図８】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図９】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図１０】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図１１】図１０の要部斜視説明図である。
【図１２】図１０の要部構成説明図である。
【図１３】図１２の要部斜視説明図である。
【図１４】図１０の要部構成説明図である。
【図１５】図１４の要部斜視説明図である。
【図１６】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、レーザーの射出側である。
【図１７】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、レーザーの反射側である。
【図１８】図１６の動作説明図である。
【図１９】図１７の動作説明図である。
【符号の説明】
【００７８】
１        スキャナステージ
２        光源取り付けブラケット
３        位置だしピン
４        レーザー光源
５        ミラー取り付けブラケット
６        位置だしピン
７        反射ミラー
１１      光源位置決め基準手段
１１１    第１の光源前方ブラッケット
１１２    光源位置決め透光基準部
１１２１  スリット
１２      光源取付けブラッケット
１２１    ピン突き当て面
１３      光源
２１      反射ミラー位置決め基準手段
２１１    第１の反射ミラー前方ブラッケット
２１２    反射ミラー位置決め透光基準部
２１２１  スリット
２２      反射ミラー取付けブラッケット
２２１    ピン突き当て面
２３      反射ミラー
３１      反射ミラー
３５      半透過型ミラー
３６      反射ミラー
４１      スリット穴
４２      スリット穴
５１      光源位置決め基準手段
５１１    第２の光源前方ブラッケット
５１１１  底部
５１１２  ピン突き当て面
５１２    光源位置決め透光基準部
５１２１  スリット
５２      光源取付けブラッケット
５３      光源
６１      反射ミラー位置決め基準手段
６１１    第２の反射ミラー前方ブラッケット
６１１１  底部
６１１２  ピン突き当て面
６１２    反射ミラー位置決め透光基準部
６１２１  スリット
６２      反射ミラー取付けブラッケット
６３      反射ミラー
Ａ        レーザー光
Ｂ        位置検出光調整治具
Ｂ１      鍵型穴
Ｂ２      溝
Ｂ３      幅
Ｃ        光路
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１４】
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【図２】
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【図１１】
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【図１３】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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