(57)【要約】【課題】光源から出射された光を効率良く収差測定または表面形状測定に用いることのできる光学測定装置を提供する。【解決手段】光学測定装置1は、光源１０から出射した光を被検物である凸レンズ５に照射する照明光学系２と、凸レンズ５からの光が入射する複数のマイクロレンズ２１を２次元的に配列したマイクロレンズアレイ２０と、複数のマイクロレンズ２１の各々において結像された点像を検出する受光素子２２と、受光素子２２において検出された点像の位置を基に、凸レンズ５の光学性能を算出する解析装置２３とを備えている。照明光学系２は、複数の点光源からの光を、凸レンズ５に照射するように構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射した光線を被検物に照射する照明光学系と、
前記被検物からの光線が入射する複数のマイクロレンズを２次元的に配列したマイクロレンズアレイと、
前記複数のマイクロレンズの各々において結像された点像を検出する受光素子と、
前記受光素子において検出された前記点像の位置を基に、前記被検物の光学性能を算出する演算部とを備えた光学測定装置において、
前記照明光学系は、複数の点光源からの光線を前記被検物に照射するように構成されたことを特徴とする光学測定装置。
【請求項２】
前記照明光学系は、前記光源から出射した光線をピンホール部材に開口した複数のピンホールを通過させて、前記複数の点光源を作り出すことを特徴とする請求項１に記載の光学測定装置。
【請求項３】
前記照明光学系は、前記光源から出射した光線を複数のファイバーの一端に入射させて前記複数のファイバーの他端から出射させて、前記複数の点光源を作り出すことを特徴とする請求項１に記載の光学測定装置。
【請求項４】
前記被検物は光学レンズであり、
前記マイクロレンズアレイは、前記光学レンズを透過した光線を前記複数のマイクロレンズに入射させ、
前記演算部は、前記光学レンズの収差を算出することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光学測定装置。
【請求項５】
前記被検物は鏡面であり、
前記マイクロレンズアレイは、前記鏡面で反射した光線を前記複数のマイクロレンズに入射させ、
前記演算部は、前記鏡面の表面形状を算出することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光学測定装置。
【請求項６】
前記光学レンズの口径をΦとし前記マイクロレンズの口径をΦMし前記光学レンズの開口数をＮＡLとしたとき、
前記ピンホール部材において前記複数のピンホールが、１．２２×（λ／ＮＡL）×（Φ／ΦM）の範囲内に配置されたことを特徴とする請求項４に記載の光学測定装置。
【請求項７】
前記光学レンズの開口数をＮＡLとし前記光源から出射した光線の波長をλとしたとき、
前記複数のピンホールの径は、１．２２×（λ／ＮＡL）よりも小さく形成されたことを特徴とする請求項４または６に記載の光学測定装置。
【請求項８】
前記照明光学系には、前記光源から出射した光線を前記ピンホール部材に集光して照射させる照明用レンズ群が備えられており、
前記照明用レンズ群の開口数をμとし前記光源から出射した光線の波長をλとしたとき、
前記複数のピンホールは、互いに１．２２×（λ／μ）よりも大きく離れて配置されたことを特徴とする請求項２、４、６または７に記載の光学測定装置。
【請求項９】
前記光源から出射した光線の波長をλとし前記光源から出射した光線の波長幅をΔλとしたとき、
前記複数のファイバーは、互いにλ2／Δλよりも大きな光路差を有したことを特徴とする請求項３に記載の光学測定装置。
【請求項１０】
前記複数のファイバーは、シングルモードファイバーを用いて構成されたことを特徴とする請求項３または９に記載の光学測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学レンズの収差または鏡面の表面形状を測定するための光学測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、干渉計のように、コヒーレントな光源を必要とせず、光学系の結像性能（光学系の有する収差）を測定する装置として、シャックハルトマン方式の収差測定装置が知られている（例えば、特許文献１を参照）。被検光学系に収差がある場合、収差測定装置のマイクロレンズに入射する波面は傾斜してスロープエラーを有する。そして、このスロープエラーに比例して、各マイクロレンズの光軸位置からずれた位置に点像が形成され、この点像のずれ量を読み取ることにより被検光学系の収差が算出される。また同様に、シャックハルトマン方式により、鏡面に光を照射して、その反射光をマイクロレンズに入射させることにより、鏡面の表面形状が測定される。
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１８７１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の収差測定または表面形状測定において、光源から出射された光のうち大部分は各測定に活用されず、僅かな光のみを用いて各測定を行う構成となっている。そのため、光源から出射された光の利用効率が低くなるという課題があった。
【０００５】
以上のような課題に鑑みて、本発明では、光源から出射された光を効率良く収差測定または表面形状測定に用いることのできる光学測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明を例示する態様に従えば、光源から出射した光線を被検物に照射する照明光学系と、前記被検物からの光線が入射する複数のマイクロレンズを２次元的に配列したマイクロレンズアレイと、前記複数のマイクロレンズの各々において結像された点像を検出する受光素子と、前記受光素子において検出された前記点像の位置を基に、前記被検物の光学性能を算出する演算部とを備え、前記照明光学系は、複数の点光源からの光線を前記被検物に照射するように構成されたことを特徴とする光学測定装置が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、光源から出射された光線を効率良く収差測定または表面形状測定に用いることのできる光学測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態に係る光学測定装置は、いわゆるシャックハルトマン方式を用いて、被検光学系を透過した波面または鏡面からの反射光（反射波面）を解析する構成となっている。
【実施例１】
【０００９】
図１および図２を用いて、光学測定装置の第１実施例の構成を説明する。図１に示すように、光学測定装置１は、左右に延びる照明光学系２、被検物の一例としての凸レンズ５を挟んで左右に延びる測定光学系３および解析装置２３から構成され、凸レンズ５の収差を測定する装置である。
【００１０】
照明光学系２は、光源１０、照明用レンズ群１１およびピンホールスクリーン１２から構成される。光源１０は、有限の大きさに形成された光源である。照明用レンズ群１１は、例えば複数のレンズ１１ａ、１１ｂ・・・から構成されており、これらのレンズの光軸は互いに光軸１１ｃで一致している。また、凸レンズ５の光軸は、光軸１１ｃと一致している。ピンホールスクリーン１２は、光軸１１ｃと直交するように配置された平面状のスクリーンである。また、ピンホールスクリーン１２には、ピンホールスクリーン１２上における光軸１１ｃの位置に関して対称な位置に、２つのピンホール１２ａ，１２ｂが開口している。
【００１１】
測定光学系３は、マイクロレンズアレイ２０および受光素子２２から構成される。マイクロレンズアレイ２０は、微細な複数のマイクロレンズ２１を２次元的に配列したレンズ集合体である。受光素子２２は、マイクロレンズ２１の焦点面に配設されており、各々のマイクロレンズ２１が作るピンホール像を検出できるようになっている。解析装置２３は、受光素子２２から出力される画像信号を入力し、その画像信号を解析して凸レンズ５の収差を算出するようになっている。
【００１２】
ピンホールスクリーン１２に形成された２つのピンホール１２ａ，１２ｂについて、図２を参照しながら詳しく説明する。ピンホール１２ａ，１２ｂは、光源１０から出射されて、照明用レンズ群１１によって集光されてピンホール１２ａ，１２ｂを通過した２つの光が、照明用レンズ群１１の有する収差が除かれた理想的な球面波となって、受光素子２２においてほとんど干渉することなく、ほぼ同じ位置に点像として受光されるように形成されている。
【００１３】
まず、ピンホール１２ａ，１２ｂの大きさについて説明する。本実施例においては、凸レンズ５に理想的な球面波を入射させるために、ピンホール１２ａ，１２ｂの大きさは、凸レンズ５がピンホールスクリーン１２に作るエアリーディスクよりも小さくなるように形成されている。このように形成することにより、ピンホール１２ａ，１２ｂを通過した光は回折によって拡がっていくが、このとき回折によって拡がった波面のうち、照明光学系２の有する収差が除かれた球面波に近い部分だけが凸レンズ５に入射する。ここで、凸レンズ５がピンホールスクリーン１２に作るエアリーディスクの大きさを求める。まず、エアリーディスクの大きさは、一般的に知られている公式を用いることにより、１．２２×（λ１／ＮＡ）と計算される。ここで、凸レンズ５の開口数をＮＡLとし、光源１０から出射される光の波長をλとすると、凸レンズ５がピンホールスクリーン１２に作るエアリーディスクの大きさは、１．２２×（λ／ＮＡL）と求まる。よって、本実施例においてピンホール１２ａ，１２ｂの大きさは、それぞれ１．２２×（λ／ＮＡL）よりも小さく形成されている（図２を参照）。
【００１４】
次に、２つのピンホール１２ａ，１２ｂの位置関係について説明する。ここで、光源１０を、有限の大きさであってインコヒーレントな白色光源と想定すると、一般に１．２２×（λ／μ）より狭い範囲が（空間的に）コヒーレントな領域となる。そのため、２つのピンホール１２ａ，１２ｂを通過した光が互いに干渉しないように、本実施例において２つのピンホール１２ａ，１２ｂは、ピンホールスクリーン１２上において１．２２×（λ／μ）よりも離れた位置に配置されている（図２を参照）。
【００１５】
また、このように、２つのピンホール１２ａ，１２ｂを、１．２２×（λ／μ）よりも離れた位置に配置することにより、マイクロレンズ２１が受光素子２２上に作る２つのピンホール像は、互いに干渉することなく光の強度和となってなめらかなプロファイル（光強度分布）のスポットとなる。一方、仮に、２つのピンホール１２ａ，１２ｂが、１．２２×（λ／μ）よりも近い位置に配置されると、２つのピンホール１２ａ，１２ｂを通過した光は互いに干渉し、さらに、受光素子２２上においても２つのピンホール像は干渉するために、複雑なプロファイルのスポットになることが予想される。
【００１６】
シャックハルトマン方式による波面検出においては、受光素子２２上に作られるスポットの重心のずれを観察して波面を検出するため、よりなめらかなプロファイルのスポットが得られた方が、スポットの重心のずれを高精度に検出できるので波面検出の精度が向上する。そのため、２つのピンホール１２ａ，１２ｂは、１．２２×（λ／μ）よりも離れた位置に配置されている。
【００１７】
以上、２つのピンホール１２ａ，１２ｂの間隔の下限について説明したが、以下において、２つのピンホール１２ａ，１２ｂの間隔の上限について説明する。まず、凸レンズ５がピンホールスクリーン１２に形成するエアリーディスクの直径ＡＤと、マイクロレンズ２１のエアリーディスクの直径ＡＤMとを求めて比較する。凸レンズ５がピンホールスクリーン１２に形成するエアリーディスクの直径ＡＤは、凸レンズ５の焦点距離をｆ、口径をΦとしたとき、次式（１）により求まる。
【００１８】
〔数１〕
ＡＤ＝１．２２×（λ／Φ）×（ｆ／２）              …（１）
次に、マイクロレンズ２１のエアリーディスクの直径ＡＤMは、マイクロレンズ２１の焦点距離をｆM、口径をΦMとしたとき、次式（２）により求まる。
【００１９】
〔数２〕
ＡＤM＝１．２２×（λ／ΦM）×（ｆM／２）          …（２）
さらに、式（２）を式（１）で除して比を求めると、次式（３）となる。
【００２０】
〔数３〕
ＡＤM／ＡＤ＝（ｆM／ｆ）×（Φ／ΦM）              …（３）
式（３）において、（ｆM／ｆ）は焦点距離の比、つまり倍率を示している。
【００２１】
ここで、凸レンズ５の開口数をＮＡLとし、１つのマイクロレンズ２１が作るエアリーディスクＡＤMの大きさを、ピンホールスクリーン１２上での大きさに換算する（ｆ／ｆM倍率を掛ける）と、１．２２×（λ／ＮＡL）×（Φ／ΦM）となる。このように、ピンホールスクリーン１２上での大きさに換算した場合、マイクロレンズ２１が作るエアリーディスクの直径は、凸レンズ５が作るエアリーディスクの直径のΦ／ΦM倍になる。よって、例えば、マイクロレンズ２１が平面状に縦に１００個、横に１００個並ぶとすると、凸レンズ５の口径Φは、マイクロレンズ２１の口径ΦMの１００倍となる。そのため、ピンホールスクリーン１２上において、マイクロレンズ２１が作る点像の直径は、凸レンズ５が作る点像の直径のおよそ１００倍となる。本実施例においては、図２に示すように、ピンホールスクリーン１２上の１．２２×（λ／ＮＡL）×（Φ／ΦM）の範囲内に、ピンホール１２ａ，１２ｂを形成している。そのため、１つのマイクロレンズ２１が作る２つの点像はほぼ重なり合い、マイクロレンズ２１のエアリーディスクとほぼ同じ直径の点像が形成される。よって、隣接するマイクロレンズ２１の点像と重なることがないため、マイクロレンズ２１と点像との対応関係が乱れることなく、高精度な収差測定が可能となる。
【００２２】
以上、光学測定装置１の部材構成について説明したが、以下において、光学測定装置１を用いた凸レンズ５の収差測定方法について説明する。
【００２３】
光源１０から出射された光は、照明用レンズ群１１に入射して複数のレンズ１１ａ、１１ｂ・・・を透過する。そして、照明用レンズ群１１を透過して出射した光は、ピンホールスクリーン１２上の光軸位置に集光される。ピンホールスクリーン１２上に集光された光の一部は、ピンホール１２ａ，１２ｂを通過することによって、照明用レンズ群１１の有する収差が除かれた理想的な２つの球面波となって、凸レンズ５に入射する。凸レンズ５に入射した２つの球面波は、凸レンズ５を透過することによってコリメートされる。
【００２４】
凸レンズ５を透過してコリメートされた光は、複数のマイクロレンズ２１に入射し、それぞれのマイクロレンズ２１によって集光されて、受光素子２２においてそれぞれ点像として受光される。このとき、２つの点像はほとんど同じ位置に受光されるとともに、互いにほとんど干渉することがないために、重なった２つの点像の光強度分布はなめらかになっている。この受光素子２２において得られた点像を含む画像信号が、解析装置２３に出力される。解析装置２３は、入力された上記画像信号を基にして、各マイクロレンズの光軸位置と点像位置とのずれ量を読み取ることにより、凸レンズ５の有する収差が算出される。
【００２５】
ここで、第１実施例として説明した光学測定装置１の効果についてまとめると、以下のようになる。第１に、２つのピンホール１２ａ，１２ｂを形成するとともに、互いの間隔を１．２２×（λ／μ）よりも大きくなるように形成している。そのため、それぞれのピンホール１２ａ，１２ｂを通過した光は、受光素子２２上でほとんど干渉することがなく、また、点像の重なった部分は光強度を足し合わせた光強度分布となる。よって、光源１０から出射された光のうち、例えばピンホールが１つの場合と比較して２倍の光を凸レンズ５に入射させて収差測定を行うことができるので、光源１０から出射された光を効率良く収差測定に用いることが可能となる。また、重なった点像の光強度分布は、２つの点像の光強度を足し合わせてなめらかになっているため、重心位置の検出が簡易且つ高精度に行うことができる。また、本実施例においては、説明を簡単にするために、２つのピンホール１２ａ，１２ｂを配置した場合を例示して説明したが、上記条件を満足する範囲でピンホール数を可能な限り増やすことによって、より多くの光を収差測定に用いることが可能となる。このように構成することにより、高速で且つ高精度な収差測定が実現できるのは容易に想像できる。
【００２６】
第２に、ピンホール１２ａ，１２ｂの直径が、１．２２×（λ／ＮＡL）よりも小さく形成されているので、ピンホール１２ａ，１２ｂを通過した光は、照明用レンズ群１１の有する収差が除かれた理想的な球面波となって凸レンズ５に入射する。よって、凸レンズ５を透過した平面波は、凸レンズ５が有する収差のみが忠実に反映された平面波となっているため、解析装置２３において凸レンズ５の有する収差を高精度に算出可能となる。
【００２７】
第３に、ピンホールスクリーン１２上の光軸位置を中心とした１．２２×（λ／ＮＡL）×（Φ／ΦM）の範囲内に、２つのピンホール１２ａ，１２ｂが形成されている。この構成より、各ピンホール１２ａ，１２ｂを通過した光は、マイクロレンズ２１によって集光され受光素子２２上において各点像として受光されて、ほぼ重なり合う。さらに、この重なり合った点像の直径は、マイクロレンズ２１が作るエアリーディスクの直径とほぼ同じ大きさとなっている。よって、隣接するマイクロレンズ２１の点像と重なり合うことがなく、マイクロレンズ２１と点像との対応関係が乱されないので、解析装置２３において凸レンズ５の収差を高精度に測定可能となる。
【実施例２】
【００２８】
図３を参照しながら、第２実施例に係る光学測定装置５０について説明する。この光学測定装置５０は、上述の光学測定装置１と同様に、凸レンズ５の収差を測定する装置である。光学測定装置５０は、左右に延びる照明光学系５２、被検光学系の一例としての凸レンズ５を挟んで左右に延びる測定光学系３および解析装置２３から構成される。上述の第１実施例と同一の部材には同一の番号を付しており、上述の第１実施例において説明した通りなので、ここでの説明は省略する。以下に、上述の第１実施例と異なる構成を中心に説明する。
【００２９】
照明側光学系２は、光軸１１ｃ上に並んで配置された光源１０、照明用レンズ群１１および２つのシングルモードファイバー１５ａ，１５ｂから構成される。２つのシングルモードファイバー１５ａ，１５ｂは、光ファイバーであってその中心部に光が伝搬されるコア（図示せず）が形成されている。さらに、シングルモードファイバー１５ａ，１５ｂは、一端から入射した光がコアの内部を真っ直ぐ最短距離で伝搬され、他端から出射するように構成されている。また、２つのシングルモードファイバー１５ａ，１５ｂは、互いにその全長（光路距離）が異なっている。具体的には、その全長の差（光路差）が、コヒーレント長（可干渉距離）よりも大きくなるように形成されている。例えば、光源１０から出射される波長λの光を、バンドパスフィルタを透過させることにより半値幅Δλの波長の光を作り出して収差測定に用いる場合、コヒーレント長はおよそλ2／Δλと計算できる。よってこの場合、２つのシングルモードファイバー１５ａ，１５ｂの光路差は、λ2／Δλよりも大きくなるように形成されている。
【００３０】
各シングルモードファイバー１５ａ，１５ｂの一端は、照明用レンズ群１１から出射した光の焦点面に配置され、他端が凸レンズ５に向けられて配置されている。そして、各シングルモードファイバー１５ａ，１５ｂは、照明用レンズ群１１の焦点面に形成されたエアリーディスクの一部を入射させる構成となっている。よって、上述の第１実施例において説明したように、各シングルモードファイバー１５ａ，１５ｂの一端から入射する光は、照明用レンズ群１１の収差が除かれており、他端から理想的な球面波を出射可能となっている。また、各シングルモードファイバー１５ａ，１５ｂの他端は、出射される光が干渉しないように、例えば上述の第１実施例で述べた所定距離よりも離れている。
【００３１】
以上、光学測定装置５０の部材構成について説明したが、以下において、光学測定装置５０を用いた凸レンズ５の収差測定方法について、上述の第１実施例と異なる部分を中心に説明する。
【００３２】
各シングルモードファイバー１５ａ，１５ｂの一端から入射した光は、コアの内部で伝搬されて他端からそれぞれ理想的な球面波となって出射されて、凸レンズ５に照射される。このとき、各シングルモードファイバー１５ａ，１５ｂは、光路差がコヒーレント長よりも大きく形成されている。そのため、１つのマイクロレンズ２１によって集光されて、受光素子２２で受光された２つの点像は、ほぼ同じ位置に受光されるとともに互いに干渉し合うことがほとんどない。また、重なった２つの点像は光強度を足し合わせることによって、規則的且つなめらかな光強度分布となっている。この受光素子２２において得られた点像を含む画像信号が、解析装置２３に出力される。解析装置２３は、入力された上記画像信号を基にして、各マイクロレンズの光軸位置と点像位置とのずれ量を読み取ることにより、凸レンズ５の有する収差が算出される。
【００３３】
ここで、第２実施例として説明した光学測定装置５０の効果についてまとめると、以下のようになる。コヒーレント長よりも大きな光路差を有したシングルモードファイバー１５ａ，１５ｂを用いることにより、光源１０から出射された光を、収差を含まない理想的な球面波として２つの点光源から出射する構成となっている。よって、光源１０から出射された光のうち、例えば点光源が１つの場合と比較して２倍の光を凸レンズ５に入射させて収差測定を行うことができるので、光源１０から出射された光を効率良く収差測定に用いることが可能となる。シングルモードファイバー１５ａ，１５ｂは、コヒーレント長よりも大きな光路差を有していれば、照明用レンズ群１１と凸レンズ５とのスペースに応じて、その全長を自由に設定できるので、種々の構成の光学測定装置に用いることができる。なお、本実施例においては、説明を簡単にするために、２つのシングルモードファイバー１５ａ，１５ｂを用いた場合を例示して説明したが、上記条件を満足する範囲でシングルモードファイバー数を可能な限り増やすことによって、より多くの光を収差測定に用いることが可能となる。このように構成することにより、高速で且つ高精度な収差測定が実現できるのは容易に想像できる。
【実施例３】
【００３４】
図４を参照しながら、第３実施例に係る光学測定装置８０について説明する。この光学測定装置８０は、被検物である凹型鏡面６の表面形状を測定する装置である。上述の第１実施例と同一の部材には同一の番号を付しており、上述の第１実施例において説明した通りなので、ここでの説明は省略する。以下に、上述の第１実施例と異なる部分を中心に説明する。
【００３５】
光軸１１ｃ上に、コリメータレンズ１６、ビームスプリッター１７および集光レンズ１８が配置され、コリメータレンズ１６は、ピンホール１２ａ，１２ｂを通過した光を入射可能となっている。このような構成の光学測定装置８０において、上述のように照明用レンズ群１１の有する収差が除かれた理想的な２つの球面波が、コリメータレンズ１６に入射する。そして、光はコリメータレンズ１６を透過することによって平行光束に変換された後、ビームスプリッター１７を透過して、集光レンズ１８に入射する。集光レンズ１８から出射した光は、いったん結像されるとともに結像点の先に配置された凹型鏡面６の表面に照射される。凹型鏡面６の表面において反射した光は、集光レンズ１８に入射して平行光束に変換されて、凹型鏡面６の表面形状に応じた波面となる。この波面が、ビームスプリッター１７において反射されて、複数のマイクロレンズ２１に入射する。そして、マイクロレンズ２１によって結像されて、受光素子２２に点像が受光される。仮に、凹型鏡面６の表面形状に変形等した箇所がある場合、その箇所において反射された波面は、受光素子２２において、変形等の度合いに応じて各マイクロレンズ２１の光軸位置からずれた位置に点像が受光される。そして、受光素子２２から解析装置２４に点像を含む画像信号が出力され、解析装置２４はマイクロレンズ２１の光軸位置からのずれ量を求めることによって、凹型鏡面６の表面形状を算出する。
【００３６】
ここで、第３実施例として説明した光学測定装置８０の効果についてまとめると、以下のようになる。光学測定装置８０は、２つのピンホール１２ａ，１２ｂを通過した２つの光を用いて、凹型鏡面６の表面形状測定を行う構成となっている。よって、光源１０から出射された光を、効率良く凹型鏡面６の表面形状測定に用いることができるとともに、受光素子２２において凹型鏡面６の表面形状を点像位置に忠実に反映させて受光できるため、凹型鏡面６の表面形状を高精度に求めることができる。
【００３７】
上述の第３の実施例における、コリメータレンズ１６に光を入射させる照明光学系として、上述の第２の実施例において説明した照明光学系５２を用いることも可能である。このように構成すると、光源１０から出射された光を、収差の含まない理想的な球面波として２つの点光源から出射させることができ、凹型鏡面６の表面形状が高精度に算出可能でとなる。
【００３８】
上述の第１および第２の実施例において、ピンホールスクリーン１２に、２つのピンホール１２ａ，１２ｂが形成されているが、この構成に限定されない。上述の大きさおよび位置に、複数のピンホールが形成されていれば良く、その個数は特に限定されない。また、より多くのピンホールを形成することにより、光源１０から出射された光を一層効率良く収差測定に用いることが可能となる。
【００３９】
上述の第２の実施例において、２つのシングルモードファイバー１５ａ，１５ｂを用いた構成を説明したが、この構成に限定されない。上述の光路差となった複数のシングルモードファイバーを用いて構成されていれば良く、その個数は特に限定されない。また、より多くのシングルモードファイバーを用いることにより、光源１０から出射された光を一層効率良く収差測定に用いることが可能となる。
【００４０】
また、上述の第３の実施例において、光学測定装置８０は、凹形状以外の鏡面の表面形状も測定可能である。図４において、集光レンズ１８から出射した光がいったん結像される結像点の手前に、例えば凸形状となった凸面鏡７を配置することにより、凸面鏡７の表面形状が測定可能となる。また、同様にして、結像点の手前に平らな平面鏡（図示せず）を配置することにより、平面鏡の表面形状も測定可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】第１の実施形態に係る光学測定装置の構成図である。
【図２】ピンホールスクリーンの拡大図である。
【図３】第２の実施形態に係る光学測定装置の構成図である。
【図４】第３の実施形態に係る光学測定装置の構成図である。
【符号の説明】
【００４２】
１    光学測定装置                            ２    照明光学系
５    凸レンズ（被検物）                    １０    光源
１２    ピンホールスクリーン（ピンホール部材）
１２ａ，１２ｂ    ピンホール
１５ａ，１５ｂ    シングルモードファイバー（ファイバー）
２０    マイクロレンズアレイ                  ２１    マイクロレンズ
２２    受光素子                              ２３    解析装置（演算部）
【図１】
2009229116.tif 000003
【図２】
2009229116.tif 000004
【図３】
2009229116.tif 000005
【図４】
2009229116.tif 000006