(57)【要約】【課題】振動及び騒音の発生を抑制でき、長期間に亘って安定した動作が可能な回転陽極型Ｘ線管装置及びＸ線装置を提供する。【解決手段】回転陽極型Ｘ線管装置は、陰極１３と、陽極ターゲット１５と、真空外囲器１１と、ハウジング３と、固定体と、回転体２０と、軸受機構と、回転体を回転させる回転駆動装置と、磁性体と磁性体に磁力を発生する少なくとも２つの磁力発生機構を含んだ複数の磁力発生機構とを有した磁気機構と、回転体に作用するアンバランス力の少なくとも一部を打ち消すように複数の磁力発生機構の駆動を制御する制御部２と、を備えている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子を放出する陰極と、
前記陰極から放出される電子が衝突されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットと、
前記陰極及び陽極ターゲットが収納配置された真空外囲器と、
少なくとも前記真空外囲器を収納するハウジングと、
前記真空外囲器及びハウジングの少なくとも一方により固定された固定体と、
前記陽極ターゲットを固定し、前記固定体に支持され、前記陽極ターゲットとともに回転可能に設けられた回転体と、
前記固定体及び回転体の間に設けられた軸受機構と、
前記回転体を回転させる回転駆動装置と、
前記回転体の回転軸に対して垂直な垂直方向に前記回転体を囲むように設けられ、前記回転体に固定された磁性体と、前記磁性体に対して前記回転軸の反対側に前記磁性体から離れて位置し、前記垂直方向に前記磁性体と対向配置され、前記磁性体に磁力を発生する少なくとも２つの磁力発生機構を含んだ複数の磁力発生機構と、を有した磁気機構と、
前記回転体に作用するアンバランス力の少なくとも一部を打ち消すように前記複数の磁力発生機構の駆動を制御する制御部と、を備えた回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項２】
前記少なくとも２つの磁力発生機構は、前記回転軸を通る直線上及び前記回転軸を通るとともに前記直線と交差した他の直線上に位置している請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記複数の磁力発生機構を独立して駆動し、それぞれ前記複数の磁力発生機構を、駆動させないか、前記磁性体を引き付ける磁力を発生させる駆動をさせるか又は前記磁性体を反発する磁力を発生させる駆動をさせるか制御する請求項２に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項４】
前記磁性体は、永久磁石である請求項３に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項５】
前記複数の磁力発生機構は、前記回転軸を挟んで前記２つの磁力発生機構の反対側で、前記直線及び他の直線の内側に位置した磁力発生機構を具備した少なくとも３つの磁力発生機構を含み、
前記制御部は、前記複数の磁力発生機構を独立して駆動し、それぞれ前記複数の磁力発生機構を、駆動させないか又は前記磁性体を引き付ける磁力を発生させる駆動をさせるか若しくは前記磁性体を反発する磁力を発生させる駆動をさせるか切替える請求項２に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項６】
前記回転軸に沿った方向に前記磁気機構に間隔を置いて位置し、前記垂直方向に前記回転体を囲むように設けられ、前記回転体に固定された他の磁性体と、前記他の磁性体に対して前記回転軸の反対側に前記他の磁性体から離れて位置し、前記垂直方向に前記他の磁性体と対向配置され、前記他の磁性体に磁力を発生する少なくとも２つの磁力発生機構を含んだ複数の他の磁力発生機構と、を有した他の磁気機構をさらに備え、
前記制御部は、前記回転体に作用するアンバランス力の少なくとも一部を打ち消すように前記複数の他の磁力発生機構の駆動をさらに制御する請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項７】
前記回転体の位置情報を検出するセンサをさらに備え、
前記制御部は、前記センサで検出された位置情報を基に、前記複数の磁力発生機構の駆動を制御する請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記複数の磁力発生機構をそれぞれ独立して断続的に駆動する請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項９】
前記磁性体は、筒状に形成されている請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記回転陽極型Ｘ線管装置全体の運動に伴って前記回転体に作用する力若しくはモーメント並びに前記回転体に作用する重力の少なくとも何れかの一部を打ち消すように前記磁力発生機構に磁力を発生させる請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項１１】
前記陰極を支持する陰極支持部材と、
前記真空外囲器及び固定体の間に設けられた真空シール機構と、をさらに備え、
前記回転体は、前記真空外囲器と、前記真空外囲器に一体化された前記陽極ターゲットと、で形成され、
前記固定体は、前記ハウジングにより固定され、
前記軸受機構は、前記真空外囲器及び固定体の間に設けられている請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項１２】
前記固定体を囲んで設けられた筒状の回転部材をさらに備え、
前記固定体は、柱状に形成され、前記真空外囲器により固定され、
前記回転体は、前記回転部材と、前記回転部材に固定された前記陽極ターゲットと、で形成され、前記固定体を軸に回転可能に設けられ、
前記軸受機構は、前記固定体及び回転部材の間に設けられている請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項１３】
前記固定体に支持され、柱状に形成され、回転可能に設けられた回転部材をさらに備え、
前記回転体は、前記回転部材と、前記回転部材に固定された前記陽極ターゲットと、で形成され、
前記軸受機構は、前記回転部材及び固定体の間に設けられている請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１３の何れか１項に記載の回転陽極型Ｘ線管装置と、
前記回転陽極型Ｘ線管装置が固定され、中心軸を有し、前記中心軸のまわりに回転される架台と、を備え、
Ｘ線は前記架台の中心軸に向かって放出され、
前記制御部は、前記架台の回転に伴って前記回転体に作用する力若しくはモーメント並びに前記回転体に作用する重力の少なくとも何れかの一部を打ち消すように前記磁力発生機構に磁力を発生させるＸ線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、回転陽極型Ｘ線管装置およびそれを使用するＸ線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、Ｘ線管装置として、回転陽極型Ｘ線管装置が知られている。回転陽極型Ｘ線管装置は、Ｘ線管を備えている。このＸ線管は、静止状態の真空外囲器と、真空外囲器内に回転可能に設けられた陽極ターゲットと、真空外囲器内に静止して設けられた陰極とを有している。この他、Ｘ線管は、新しいタイプのものも製品化され始めている。
【０００３】
回転陽極型Ｘ線管装置の陽極ターゲットは、Ｘ線管に組み込まれる前にバランス修正が実施される。  
このバランス修正は以下の手順で実施される。
【０００４】
陽極ターゲットは、バランサー装置のバランス冶具台に乗せられる。陽極ターゲットは、ステータコイルによる回転磁界の作用により回転させられる。陽極ターゲットのアンバランスにより不釣合い力が発生し、バランス冶具台が加振され、振動する。振動にともなうバランス冶具台の変位は２個所の変位計測計により計測される。バランサー装置はこの変位計測値により、メータ上に陽極ターゲットの２つの修正面個所の不釣合い量と角度位置を表示する。作業者は、この表示データに基づいて２個所の修正面を機械的に削る加工を行う。
【０００５】
このようにしてバランス修正された陽極ターゲットはＸ線管に組み込まれ、Ｘ線管はさらにハウジングに組み込まれる。ハウジングと冷却ユニットとがホースで結合され回転陽極型Ｘ線管装置が完成する。上記回転陽極型Ｘ線管装置に関する技術は、例えば特許文献１乃至特許文献８及び非特許文献１に開示されている。
【０００６】
完成した回転陽極型Ｘ線管装置は、ＣＴ装置やＸ線診断装置に搭載して使用されている。ＣＴ装置は、架台と、架台に回転可能に設けられ、回転陽極型Ｘ線管装置を固定した回転機構とを有している。近年のＣＴ装置の動向として、診断時間を短縮するため、回転機構を高速回転（０．３秒／１回転）させる傾向にある。また、Ｘ線診断装置でも、よりすばやい姿勢変形やＣＴ装置のような断層画像を取得する目的で回転陽極型Ｘ線管装置が取り付けられるアームをより短い時間で移動させる傾向にある。
【特許文献１】特許第２９３０２８０号公報
【特許文献２】特開平４−３５１３４８号公報
【特許文献３】特公平５−２７２０５号公報
【特許文献４】特開２００６−５４１８１号公報
【特許文献５】特許第２５３９１９３号公報
【特許文献６】フランス国特許２５９９５５５−Ａ１号
【特許文献７】特許第２９２９５０６号公報
【特許文献８】米国特許第６３９６９０１号明細書
【非特許文献１】三輪、下村共著「回転機械のつりあわせ」コロナ社、昭和５１年発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
（１）陽極ターゲットをＸ線管に組み込まれる前にバランス修正を精確に実施した場合、確かに、陽極ターゲットをＸ線管に組み込んで真空排気し、Ｘ線管に負荷電力を入れない状態でＸ線管の振動を測定すると、充分低い振動値を得ることができる。しかし、その後のＸ線管に負荷電力が供給される製造工程にて、陽極ターゲットの温度が高くなるとともに、Ｘ線管の振動値が増して不良となる場合がある。この現象は、例えばＣＴ装置用Ｘ線管のように高い強度のＸ線量を要求されるＸ線管で顕著である。
【０００８】
その原因は、主に陽極ターゲットにアンバランスが発生してくるためである。陽極ターゲットは負荷電力の増大とともに、この焦点部分が最も高い温度となり、全体で不均一な温度分布となる。このため、温度差に起因して発生する熱応力により、陽極ターゲットは非可逆的な熱変形（永久変形）を起こす。陽極ターゲットが回転軸のまわりに角度に依存しない理想的（均一）な組成及び構造である場合にはこの熱変形も同様に均一となるため、陽極ターゲットにアンバランスは発生しない。
【０００９】
しかし、一般的には陽極ターゲットの組成及び構造は不均一であるため、陽極ターゲットは回転軸に対して不均一な熱変形を起こしてアンバランスを生じてしまう。陽極ターゲットは一度アンバランスが発生してしまうともとには戻らず、回転時、常に不釣合い力が陽極ターゲットに発生してしまう。Ｘ線管の振動が増すとＸ線管を収納するハウジングが振動し、ハウジングが取り付けられるＣＴ装置等のＸ線装置が振動する。このような各部の振動は騒音発生を生じるため好ましくない。また、Ｘ線装置の振動が大きくなると、それに取り付けられるＸ線像検出器も振動する結果、Ｘ線診断画像に悪影響が及ぶことがある。
【００１０】
（２）ＣＴ装置やＸ線診断装置の動きによって、これら装置に搭載された回転陽極型Ｘ線管装置は、遠心力やジャイロモーメントの影響を受ける。これらの影響が陽極ターゲットに作用するため、陽極ターゲットの回転機構（軸受）は、静止状態の荷重の２倍乃至２０倍の荷重を負担する必要が生じる。このため、軸受の径を太く設計し、軸受の許容荷重を増大させる設計がなされている。
【００１１】
しかし、この場合、回転陽極型Ｘ線管装置全体をコンパクトに設計することの障害となり、製造コストの増加をもたらす。また、通常の静止した真空外囲器内に回転陽極としての陽極ターゲットと静止陰極とを配置するタイプの場合、軸受径を太くする設計を行っても軸受寿命が低下したりしてメンテナンスコストの増大をもたらす恐れがある。
【００１２】
例えば、軸受が液体金属を使用したすべり軸受の場合について説明する。軸受の径が増すと軸受発熱増加に伴って軸受の温度が増大し、液体金属と軸受材との反応が進んで反応生成物が堆積する。その結果、軸受寿命が低下してしまう。軸受の径が増すことによる他の弊害は、回転駆動パワーが増大することであり、その結果、消費電力の増大がもたらされる。
【００１３】
また、軸受が液体金属を使用したすべり軸受の場合、回転起動時や回転停止時には固定側軸受と回転側軸受とが接地するため、かじりを発生することがある。かじりは軸受の負荷荷重が大きいほど発生し易く、例えば陽極ターゲットの重量が大きいほど発生し易い。
【００１４】
さらに、架台の運動により軸受けに働く力があまり問題にならない場合でも、上記かじりが発生する恐れはある。例えば、より高出力のＸ線を発生させるために陽極ターゲットの重量を増して蓄積熱容量の増加を行った場合である。  
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、振動及び騒音の発生を抑制でき、長期間に亘って安定した動作が可能な回転陽極型Ｘ線管装置及びＸ線装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するため、本発明の態様に係る回転陽極型Ｘ線管装置は、
電子を放出する陰極と、
前記陰極から放出される電子が衝突されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットと、
前記陰極及び陽極ターゲットが収納配置された真空外囲器と、
少なくとも前記真空外囲器を収納するハウジングと、
前記真空外囲器及びハウジングの少なくとも一方により固定された固定体と、
前記陽極ターゲットを固定し、前記固定体に支持され、前記陽極ターゲットとともに回転可能に設けられた回転体と、
前記固定体及び回転体の間に設けられた軸受機構と、
前記回転体を回転させる回転駆動装置と、
前記回転体の回転軸に対して垂直な垂直方向に前記回転体を囲むように設けられ、前記回転体に固定された磁性体と、前記磁性体に対して前記回転軸の反対側に前記磁性体から離れて位置し、前記垂直方向に前記磁性体と対向配置され、前記磁性体に磁力を発生する少なくとも２つの磁力発生機構を含んだ複数の磁力発生機構と、を有した磁気機構と、
前記回転体に作用するアンバランス力の少なくとも一部を打ち消すように前記複数の磁力発生機構の駆動を制御する制御部と、を備えている。
【００１６】
また、本発明の他の態様に係るＸ線装置は、
上記回転陽極型Ｘ線管装置と、
前記回転陽極型Ｘ線管装置が固定され、中心軸を有し、前記中心軸のまわりに回転される架台と、を備え、
Ｘ線は前記架台の中心軸に向かって放出され、
前記制御部は、前記架台の回転に伴って前記回転体に作用する力若しくはモーメント並びに前記回転体に作用する重力の少なくとも何れかの一部を打ち消すように前記磁力発生機構に磁力を発生させる。
【発明の効果】
【００１７】
この発明によれば、振動及び騒音の発生を抑制でき、長期間に亘って安定した動作が可能な回転陽極型Ｘ線管装置及びＸ線装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながらこの発明の第１の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置及び回転陽極型Ｘ線管装置を備えたＸ線装置について詳細に説明する。  
図１及び図２に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置１は、例えばＸ線画像診断装置や非破壊検査装置のようなＸ線装置に使用されている。回転陽極型Ｘ線管装置１は、対象物すなわち非検査対象に対して照射すべきＸ線を放射するものである。この実施の形態において、Ｘ線装置はＣＴ装置である。
【００１９】
Ｘ線装置は、回転陽極型Ｘ線管装置１と、架台１１０と、Ｘ線検出器１２０とを備えている。回転陽極型Ｘ線管装置１は、ハウジング３と、Ｘ線管本体（回転陽極型Ｘ線管）５と、冷却器７ａとを備えている。
【００２０】
架台１１０は筒状に形成されている。Ｘ線管本体５はハウジング３に収容されている。Ｘ線管本体５は、所定強度のＸ線を所定方向に向けて放射可能である。冷却器７ａは、冷却液７を放熱及び循環させるものである。
【００２１】
ＣＴ装置１００は、被検体を導入する導入口１０１を有している。架台１１０は、導入口１０１を囲むように回転可能に設けられている。ハウジング３（Ｘ線管本体５）、冷却器７ａ及びＸ線検出器１２０等は、架台１１０に取り付けられ、固定されている。架台１１０は、中心軸１１０ａを有し、中心軸１１０ａを中心に回転するものである。ここでは、Ｘ線管本体５は、Ｘ線を中心軸１１０ａに向う第１方向ｄ１に放射するように設けられている。
【００２２】
Ｘ線検出器１２０は、導入口１０１に対してＸ線管本体５の反対側に位置している。被検体のＸ線画像を取得する場合、導入口１０１内に被検体を導入し、架台１１０を回転させる。この際、ハウジング３（Ｘ線管本体５）に、第１方向ｄ１の反対の第２方向ｄ２に遠心力が働く。そして、Ｘ線管本体５より被検体にＸ線を曝射し、被検体を透過したＸ線をＸ線検出器１２０で検出することにより、Ｘ線画像が取得される。
【００２３】
次に、ハウジング３、Ｘ線管本体５及び冷却器７ａについて説明する。  
図２に示すように、Ｘ線管本体５は、例えば主な成分が水であり、電気伝導率が所定の大きさ未満に管理された非油脂系冷却液（水系冷却媒体）７を介してハウジング３の所定の位置に収容されている。なお、冷却液（水系冷却媒体）７としては、低電圧に対する絶縁性を確保し、かつ金属部品に対する腐食性を低減するために導電率が１ｍＳ／ｍ以下に設定された冷却媒体（主として、水またはグリコールが所定量混合された水系媒体）が用いられる。また、冷却媒体として水と混合されるグリコール類としては、例えばエチレングリコールやプロピレングリコール等が利用可能である。
【００２４】
Ｘ線管本体５は、ハウジング３内部に満たされた冷却液（水系冷却媒体）７に、全周が概ね接触可能に、かつ回転可能に設けられ、内部が所定の真空度に保持されている真空外囲器１１と、真空外囲器１１の内側に、真空外囲器１１と独立に設けられた陰極（熱電子放出源）１３と、真空外囲器１１の内側に、真空外囲器１１と一体的に回転可能に設けられ、陰極１３から放出された電子が衝突されることにより所定の波長のＸ線を放射する陽極ターゲット（回転陽極，アノード）１５と、を含んでいる。
【００２５】
真空外囲器１１は、回転軸１０ａを有している。真空外囲器１１及び陽極ターゲット１５は、回転軸１０ａを中心に回転可能である。この実施の形態において、回転軸１０ａ及び中心軸１１０ａ（図１）は平行である。なお、真空外囲器１１は、Ｘ線管本体５の一端部の所定の位置を貫通して設けられる接地極９と接触されて、接地されている。ここで、真空外囲器１１及び陽極ターゲット１５は回転体２０を形成している。
【００２６】
真空外囲器１１は、ハウジング３の所定の位置に設けられた円筒状の固定部（固定体）５１の内周面の所定の位置に設けられた磁性流体真空シール部材５３と、同固定部５１の所定の位置であって、磁性流体真空シール部材５３よりも冷却液７の流路に近接する側に設けられたベアリング（転がり軸受け、ボール／ロールベアリング）部材５５により、保持されている。
【００２７】
真空外囲器１１は、端部１１ｃを有している。この実施の形態において、端部１１ｃは磁性体で筒状に形成されている。磁性流体真空シール部材５３及びベアリング部材５５は、端部１１ｃ及び固定部５１間の隙間に設けられている。
【００２８】
ここで、ベアリング部材５５は軸受機構として機能している。なお、円筒状の固定部５１は、電気絶縁性の支持部材５７を介してハウジング３の外囲器保持部５９に、同心状（同軸状）に、固定されている。固定部５１は、環状の突出部５２を含んでいる。固定部５１は磁性体で形成されている。
【００２９】
陰極１３は、円筒状で電気絶縁性の陰極支持部材１３ａを有し、陰極支持部材１３ａの外周面がハウジング３の外囲器保持部５９の円筒部分５９ａの内側の所定の領域と、シール部材６１を介して固定されることで、真空外囲器１１の内側の所定の位置に、固定されている。なお、陰極支持部材１３ａに固定されたベローズ状の固定部材６３の端部６３ａは、円筒状の固定部５１の端部５１ａと、溶接部６５により接続（固定）されている。
【００３０】
この実施の形態において、陰極１３と真空外囲器１１とを接続する固定部５１に設けられる接続構体５１ａの形状と溶接部６５により溶接された（陰極１３を保持する）陰極支持部材１３ａに固定された固定部材６３の形状は、ベローズ（蛇腹）状の円筒状である。
【００３１】
これにより、陰極１３に、真空外囲器１１が回転される際の振動が不所望に伝達されることが低減される（接続構体５１ａ及び固定部材６３のばね性により真空外囲器１１が回転される際の振動が吸収される）。また、接続構体５１ａ及び固定部材６３により、陰極支持部材１３ａと固定部５１との僅かな組み立て誤差を吸収させることができる。
【００３２】
なお、陰極１３の陰極支持部材１３ａには、ハウジング３の外囲器保持部５９を貫通する所定の長さが与えられ、Ｘ線管本体５の接地極９が設けられる側と反対の側で、陰極１３への電源の供給に利用される接続部（高電圧供給端子）６７と電気的に接続される。
【００３３】
陽極ターゲット１５を保持した真空外囲器１１の所定の位置であって、接地極９の近傍で、真空外囲器１１の外径が陽極ターゲット１５を囲む部分の真空外囲器１１の外径よりも小さくなる部分（以下先端部と称する）１１ｄには、真空外囲器１１を回転させるための推進力（磁力）を受ける銅ロータ６９が設けられている。
【００３４】
真空外囲器１１の先端部１１ｄを囲むように設けられた銅ロータ６９と実質的に同軸状（同心状）となるハウジング３の所定の位置には、銅ロータ６９に対して、任意のタイミングで磁力（推進力）を提供するものであって、外部から回転を制御可能に回転磁界を形成するステータコイル７１が設けられている。ここで、ステータコイル７１は回転駆動装置として機能している。
【００３５】
このような回転陽極型Ｘ線管装置１においては、ステータコイル７１に所定の電流が供給されることで、真空外囲器１１が所定の速度で回転され、真空外囲器１１の内側に設けられた陽極ターゲット１５が所定の速度で回転された状態で陰極１３から放射された電子が衝突されることで、陽極ターゲット１５から所定の波長のＸ線が出力される。出力されたＸ線は、真空外囲器１１の円筒状部の所定の位置に規定された窓部１１ｂ及びハウジング３の円筒状部の所定の規定された窓部３ａから外部へ放射される。
【００３６】
なお、真空外囲器１１の外側のほとんどの領域とハウジング３の内側の所定の領域との間には、例えば真空外囲器１１の軸受け部１１ａの近傍に設けられた冷却液入り口５ｂを介して、ハウジング３内部に冷却液７が注入され、例えば接地極９の近傍に設けられた冷却液出口５ｃから冷却液７が排出されることで、軸受け部１１ａ及び真空外囲器１１内に組み込まれた陽極ターゲット１５が冷却される。
【００３７】
また、真空外囲器１１の内側、すなわち陰極１３及び陽極ターゲット１５は、磁性流体真空シール部材５３により、所定の真空下に位置されている。磁性流体真空シール部材５３は、例えば、神山による「潤滑」第３０巻第８号ｐｐ７５〜７８に報告があるが、磁性体である軸もしくは非磁性体の軸を磁性体からなる円筒で覆った軸構造体の外周に所定量の磁性流体（強磁性体の粒子を液体に分散させたコロイド溶液）を用意し、軸もしくは軸構造体に磁性片と永久磁石等を近接させて磁気回路を形成することにより、磁性流体を軸もしくは軸構造体の周囲にとどまらせることにより、圧力（気圧）差を維持するシール材であり、高速で回転される真空外囲器１１内を所定の真空（減圧）下に維持するために有益である。
【００３８】
ハウジング３内に供給された冷却液７は、冷却器（クーラーユニット）７ａに設けられた熱交換器７ｂにより冷却され、ポンプ７ｃにより、冷却液入り口５ｂと冷却液出口５ｃの間を循環される。これにより、陽極ターゲット１５及び軸受け部１１ａにおいて発生する熱が、冷却液７を介して、ハウジング３の外部へ放出される。
【００３９】
このとき、冷却液７は、ハウジング３の形状を工夫した流路の特徴により、固定部５１を隔てて、磁性流体真空シール部材５３及びベアリング部材５５の背面の近傍を流れる。これにより、軸受け部１１ａ、磁性流体真空シール部材５３及びベアリング部材５５を効率良く冷却することができる。また、冷却液７が真空外囲器１１の内側に位置した陽極ターゲット１５の背面の近傍を流れることから、陽極ターゲット１５を効率良く冷却できる。なお、冷却液７は、その流路を工夫したことにより、ステータコイル７１も併せて冷却可能であり、回転陽極型Ｘ線管装置１により生じる熱の多くを、冷却液７を介して放出できる。
【００４０】
また、真空外囲器１１の所定の位置であって、ハウジング３の固定部５１の一端部５１ｂに近接する真空外囲器１１の端部１１ｃには、濡れ性低減フランジ１１ｅが設けられている。フランジ１１ｅは、ベアリング部材５５および磁性流体真空シール部材５３に、冷却液７が回り込むことを低減可能に端部１１ｃに一体的に設けられている。これにより、固定部５１の一端部５１ｂとの間の僅かな隙間、すなわち濡れ性の低い隙間５ｄを提供することから、冷却液７が真空外囲器１１の内側に入り込むことを抑止できる。
【００４１】
これにより、磁性流体真空シール部材５３に冷却液７が回り込み、磁性流体真空シール部材５３の性能（能力）が不所望に低下することが防止できる。なお、濡れ性の低い隙間５ｄは、冷却液７として接触角が比較的大きな液体を冷却媒体として用いる場合、隙間（５ｄ）を一定の大きさよりも小さく規定することにより、その隙間（５ｄ）に、液体が入り込めないことを利用している。
【００４２】
但し、この実施の形態においては、冷却媒体として、水またはグリコールが混合された媒体を用いるため、接触角を大きくするために、フランジ１１ｅおよび固定部５１の一端部５１ｂに、樹脂等をコーティングすることが好ましい。また、ベアリング部材５５のうちの磁性流体真空シール部材５３から離れた側のベアリングをシール型とすることで、一層、磁性流体真空シール部材５３に冷却液７が回り込むことを、抑止できる。
【００４３】
図２乃至図４に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置１は、第１磁気機構１３０と、第２磁気機構１４０とをさらに備えている。  
回転軸１０ａに沿った方向において、回転体２０（真空外囲器１１及び陽極ターゲット１５）に作用するアンバランス力の中心の位置ｃ１から距離Ｌａ１を置いた位置ａに第１磁気機構１３０が位置している。なお、上記アンバランス力は、陽極ターゲット１５をバランス良く均一に形成することが困難である都合から不均一に形成された陽極ターゲット１５により生じるものであり、また、加熱に伴う陽極ターゲット１５の変形に伴って生じ易いものである。また、第１磁気機構１３０は、回転軸１０ａに沿った方向において、回転体２０の重心の位置ｃ２から距離Ｌａ２を置いて位置している。
【００４４】
第１磁気機構１３０は、磁性体１３１と、磁力発生機構として第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５とを有している。磁性体１３１は、真空外囲器１１の回転軸１０ａに対して垂直な垂直方向に真空外囲器１１を囲むように設けられ、真空外囲器１１に固定されている。この実施の形態において、磁性体１３１は銅ロータ６９を囲むように設けられ、銅ロータ６９に固定されている。磁性体１３１は筒状に形成されている。
【００４５】
第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５は、磁性体１３１に対して回転軸１０ａの反対側に位置しているとともに、磁性体１３１から離れて位置している。第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５は、回転軸１０ａに対して垂直な垂直方向に磁性体１３１に僅かな隙間を置いて対向配置されている。第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５はハウジング３内に固定されている。第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５は、磁性体１３１に磁力を発生するものである。
【００４６】
この実施の形態において、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５は、回転軸１０ａを中心に９０°ずつずれて位置している。より詳しくは、第１磁力発生機構１３２は、磁性体１３１及び架台１１０の中心軸１１０ａ間に位置している。第２磁力発生機構１３３は、回転軸１０ａに対して第１磁力発生機構１３２の反対側に位置している。第３磁力発生機構１３４及び第４磁力発生機構１３５は、回転軸１０ａを挟んで対向配置され、第１磁力発生機構１３２及び第２磁力発生機構１３３を結ぶ線に直交して位置している。
【００４７】
第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５は電磁石である。第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５は、磁性体１３１を引き付ける磁力を発生させる。第１磁力発生機構１３２は、磁性体１３１に第１方向ｄ１に引き付ける力（引力）Ｆａ１を作用させることができる。第２磁力発生機構１３３は、磁性体１３１に第２方向ｄ２に引力Ｆａ２を作用させることができる。第３磁力発生機構１３４は、磁性体１３１に第１方向ｄ１及び第２方向ｄ２に直交する第３方向ｄ３に引力Ｆａ３を作用させることができる。第４磁力発生機構１３５は、磁性体１３１に第３方向ｄ３と反対の第４方向ｄ４に引力Ｆａ４を作用させることができる。
【００４８】
回転軸１０ａに沿った方向において、回転体２０（真空外囲器１１及び陽極ターゲット１５）に作用するアンバランス力の中心の位置ｃ１から距離Ｌｂ１を置いた位置ｂに第２磁気機構１４０が位置している。また、第２磁気機構１４０は、回転軸１０ａに沿った方向において、回転体２０の重心の位置ｃ２から距離Ｌｂ２を置いて位置している。
【００４９】
第２磁気機構１４０は、磁性体と、磁力発生機構として第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５とを有している。この実施の形態において、磁性体で形成された端部１１ｃが第２磁気機構１４０の磁性体として機能している。真空外囲器１１の端部１１ｃは、第２磁気機構１４０の磁性体と一体に形成されている。なお、端部１１ｃが磁性体でない場合、第２磁気機構１４０は、回転軸１０ａに対して垂直な垂直方向に端部１１ｃを囲むように設けられ、端部１１ｃに固定された磁性体１４１を有していれば良い。
【００５０】
第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５は、端部１１ｃに対して回転軸１０ａの反対側に位置しているとともに、端部１１ｃから離れて位置している。第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５は、回転軸１０ａに対して垂直な垂直方向に端部１１ｃに僅かな隙間を置いて対向配置されている。第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５はハウジング３内に固定されている。
【００５１】
この実施の形態において、第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５は、回転軸１０ａを中心に９０°ずつずれて位置している。より詳しくは、第１磁力発生機構１４２は、端部１１ｃ及び架台１１０の中心軸１１０ａ間に位置している。第２磁力発生機構１４３は、回転軸１０ａに対して第１磁力発生機構１４２の反対側に位置している。第３磁力発生機構１４４及び第４磁力発生機構１４５は、回転軸１０ａを挟んで対向配置され、第１磁力発生機構１４２及び第２磁力発生機構１４３を結ぶ線に直交して位置している。
【００５２】
第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５は電磁石である。第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５は、端部１１ｃを引き付ける磁力を発生させる。第１磁力発生機構１４２は、端部１１ｃに第１方向ｄ１に引力Ｆｂ１を作用させることができる。第２磁力発生機構１４３は、端部１１ｃに第２方向ｄ２に引力Ｆｂ２を作用させることができる。第３磁力発生機構１４４は、端部１１ｃに第３方向ｄ３に引力Ｆｂ３を作用させることができる。第４磁力発生機構１４５は、端部１１ｃに第４方向ｄ４に引力Ｆｂ４を作用させることができる。
【００５３】
上述した第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５は、漏洩磁界の発生を抑制するように設けられている。図５に示すように、例えば、第３磁力発生機構１４４は、端部１１ｃとの間に閉磁路を形成するように設けられている。
【００５４】
また、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５は、コイルの巻き方が異なっていても良い。図６に示すように、例えば、第３磁力発生機構１４４は、コイルがコア部の中心１個所にのみ巻かれて形成されていても良い。
【００５５】
図２、図７及び図８に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置１は、２つのセンサユニット８０、９０を備えている。各センサユニット８０、９０は、回転体２０に光学的又は電磁気的な影響を与える手段と、上記手段によって与えられた影響に対する回転体からの応答を取得するセンサとを有している。
【００５６】
この実施の形態において、センサユニット８０は、第１方向ｄ１に端部１１ｃの側面に隙間を置いて対向配置されている。センサユニット８０は、端部１１ｃ（回転体２０）に光を放射する光放射部８１と、光放射部によって放射された光に対する端部１１ｃからの反射光を取得する光センサ８２とを有している。端部１１ｃは反射率を部分的に異ならせている。このため、光センサ８２は、端部１１ｃ（回転体２０）の位置情報及び回転数を検出することができる。
【００５７】
センサユニット９０は、第３方向ｄ３に端部１１ｃの側面に隙間を置いて対向配置されている。センサユニット９０は、端部１１ｃ（回転体２０）に光を放射する光放射部９１と、光放射部によって放射された光に対する端部１１ｃからの反射光を取得する光センサ９２とを有している。端部１１ｃは反射率を部分的に異ならせている。このため、光センサ９２は、端部１１ｃ（回転体２０）の位置情報及び回転数を検出することができる。
【００５８】
図２、図３、図４、図７、図８及び図９に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置１は、制御部２を備えている。制御部２は、センサユニット８０、９０で検出された端部１１ｃ（回転体２０）の位置情報及び回転数に基づいて第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５の駆動を制御するものである。制御部２は、回転体２０に作用するアンバランス力の少なくとも一部を打ち消すように第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５の駆動を制御することができる。
【００５９】
制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５を独立して駆動し、それぞれ磁力発生機構を、駆動させないか又は磁性体１３１及び端部１１ｃを引き付ける磁力を発生させる駆動をさせるか切替えるものである。
【００６０】
例えば、アンバランス力Ｆ１は、第１磁気機構１３０による磁力Ｆａ及び第２磁気機構１４０による磁力Ｆｂの合成力により相殺させることが可能である。
【００６１】
上記した力Ｆａ及び力Ｆｂは、アンバランス力Ｆ１の中心の位置ｃ１を基点とする距離Ｌａ１及び距離Ｌｂ１を用いると、アンバランス力Ｆ１と以下に示すように関係付けられる。
【００６２】
Ｆａ＝−Ｆ１・（Ｌｂ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
Ｆｂ＝−Ｆ１・（Ｌａ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
また、アンバランス力Ｆ１の中心の位置ｃ１に、回転軸１０ａに直交したｘ−ｙ平面を仮定する。すると、アンバランス力Ｆ１のｘ成分の力Ｆ１ｘ及びｙ成分の力Ｆ１ｙは次に示すように表すことができる。
【００６３】
Ｆ１ｘ＝Ｆ１・ｃｏｓ（ωｔ＋α）＝Ｆ１・ｓｉｎ（ωｔ＋α＋π／２）
Ｆ１ｙ＝Ｆ１・ｓｉｎ（ωｔ＋α）
例えば、ｘ軸方向が第３方向ｄ３及び第４方向ｄ４と平行であり、ｙ軸方向が第１方向ｄ１及び第２方向ｄ２と平行である場合、アンバランス力Ｆ１は、第１磁力発生機構１３２の引力Ｆａ１、第４磁力発生機構１３５の引力Ｆａ４、第１磁力発生機構１４２の引力Ｆｂ１及び第４磁力発生機構１４５の引力Ｆｂ４により相殺させることが可能である。
【００６４】
なお、引力Ｆａ１、Ｆａ４、Ｆｂ１、Ｆｂ４は、上記した関係式から次に示すように表すことができる。
【００６５】
Ｆａ１＝−Ｆ１ｙ・（Ｌｂ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
＝−Ｆ１・ｓｉｎ（ωｔ＋α）・（Ｌｂ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
Ｆａ４＝−Ｆ１ｘ・（Ｌｂ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
＝−Ｆ１・ｓｉｎ（ωｔ＋α＋π／２）・（Ｌｂ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
Ｆｂ１＝−Ｆ１ｙ・（Ｌａ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
＝−Ｆ１・ｓｉｎ（ωｔ＋α）・（Ｌａ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
Ｆｂ４＝−Ｆ１ｘ・（Ｌａ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
＝−Ｆ１・ｓｉｎ（ωｔ＋α＋π／２）・（Ｌａ１／（Ｌａ１＋Ｌｂ１））
上記したことから、制御部２は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１を打ち消すように第１磁力発生機構１３２、第４磁力発生機構１３５、第１磁力発生機構１４２及び第４磁力発生機構１４５の駆動を制御する。
【００６６】
アンバランス力が回転体２０にいかなる方向に作用する場合であっても、また、アンバランス力が回転体２０に連続的に複数の方向に作用する場合であっても、制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５と、第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５との駆動をそれぞれ独立して制御することにより、アンバランス力を打ち消すことができる。
【００６７】
図２、図３、図４、図７、図８及び図１０に示すように、制御部２は、回転陽極型Ｘ線管装置１全体の運動に伴って回転体２０に作用する力又はモーメント（ジャイロモーメント）の少なくとも一部を打ち消すように第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５の駆動を制御することができる。
【００６８】
例えば、制御部２は、第１磁力発生機構１３２による引力Ｆａ１と、第１磁力発生機構１４２による引力Ｆｂ１とにより、架台１１０の回転により回転体２０に作用する第２方向ｄ２の力（遠心力）Ｆ２を打ち消すことができる。この場合、制御部２は、センサユニット８０、９０で検出した回転体２０の位置情報に基づいて第１磁力発生機構１３２及び第１磁力発生機構１４２の駆動を制御するものである。
【００６９】
上記回転陽極型Ｘ線管装置の動作状態において、ステータコイル７１は銅ロータ６９に与える磁界を発生するため、回転体２０は回転する。これにより、陽極ターゲット１５も回転する。また、陰極１３は陽極ターゲット１５に対して電子ビームを照射する。これにより、陽極ターゲット１５は、電子と衝突するときにＸ線を放出する。放出されたＸ線は、真空外囲器１１の円筒状部の所定の位置に規定された窓部１１ｂ及びハウジング３の円筒状部の所定の規定された窓部３ａから外部（第１方向ｄ１）へ放射される。
【００７０】
上記したように、ハウジング３（Ｘ線管本体５）は架台１１０に搭載されている。Ｘ線管本体５の回転軸１０ａと架台１１０の中心軸１１０ａとは平行である。Ｘ線は、窓部１１ｂからＸ線検出器１２０（回転軸１１０ａ）に向けて放射される。架台１１０の回転中は、回転体２０に遠心力Ｆ２が働く。遠心力Ｆ２の方向は、第２方向ｄ２である。
【００７１】
架台１１０が０．３秒で１回転するスピードで回転する場合、遠心力Ｆ２の値は、加速度にして２０Ｇ（重力加速度の２０倍）近くになる。しかしながら、上記したように、遠心力Ｆ２を、第１磁力発生機構１３２による引力Ｆａ１及び第１磁力発生機構１４２による引力Ｆｂ１の合成力により相殺させることが可能である。
【００７２】
上記した引力Ｆａ１及び引力Ｆｂ１は、回転体２０の重心位置ｃ２を基点とする距離Ｌａ２及び距離Ｌｂ２を用いると、遠心力Ｆ２と以下に示すように関係付けられる。
【００７３】
Ｆａ１＝−Ｆ２・（Ｌｂ２／（Ｌａ２＋Ｌｂ２））
Ｆｂ１＝−Ｆ２・（Ｌａ２／（Ｌａ２＋Ｌｂ２））
上記関係を満たすように第１磁力発生機構１３２及び第１磁力発生機構１４２を駆動させることにより、遠心力Ｆ２を完全に相殺させることが可能となる。
【００７４】
また、制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５による引力及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５による引力により、回転体２０に作用する重力Ｆ３を打ち消すことができる。この場合、制御部２は、センサユニット８０、９０で検出した回転体２０の位置情報に基づいて第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５の駆動を制御するものである。
【００７５】
例えば、回転体２０に第２方向ｄ２に重力Ｆ３が作用している状態である場合、重力Ｆ３を、第１磁力発生機構１３２による引力Ｆａ１及び第１磁力発生機構１４２による引力Ｆｂ１の合成力により相殺させることが可能である。
【００７６】
上記した引力Ｆａ１及び引力Ｆｂ１は、距離Ｌａ２及び距離Ｌｂ２を用いると、重力Ｆ３と以下に示すように関係付けられる。
【００７７】
Ｆａ１＝−Ｆ３・（Ｌｂ２／（Ｌａ２＋Ｌｂ２））
Ｆｂ１＝−Ｆ３・（Ｌａ２／（Ｌａ２＋Ｌｂ２））
さらに、制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５による引力及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５による引力により、回転体２０に作用する遠心力Ｆ２及び重力Ｆ３を共に打ち消すことができる。この場合、制御部２は、センサユニット８０、９０で検出した回転体２０の位置情報に基づいて第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５による引力及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５の駆動を制御するものである。
【００７８】
回転体２０に作用する遠心力Ｆ２及び重力Ｆ３を共に打ち消す場合、例えば、図２、図３、図４、図７、図８、図１０及び図１１乃至図１４に示すように、架台１１０の回転中、制御部２は、第１磁力発生機構１３２及び第１磁力発生機構１４２を連続的に駆動し、第２乃至第４磁力発生機構１３３〜１３５及び第２乃至第４磁力発生機構１４３〜１４５を架台１１０の回転数に応じて断続的に駆動すれば良い。
【００７９】
回転体２０に作用する遠心力Ｆ２を相殺させるため、架台１１０の回転中、第１磁力発生機構１３２のコイルにレベル５の直流電流を常時与え、第１磁力発生機構１４２のコイルに所定レベルの直流電流を常時与えれば良い。
【００８０】
回転体２０に作用する重力Ｆ３を相殺させるため、架台１１０の回転中、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５のコイルに、最大レベルがレベル１であり、レベルが変化する（振幅が変化する波形を有する）直流電流を独立して与え、第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５のコイルに、最大レベルが規定され、レベルが変化する（振幅が変化する波形を有する）直流電流を独立して与えれば良い。
【００８１】
上記したことから、第１磁力発生機構１３２及び第１磁力発生機構１４２には、遠心力Ｆ２を相殺させるための直流電流と、重力Ｆ３を相殺させるため直流電流とを合成した電流を与えれば良い。
【００８２】
ここで、架台１１０の回転に伴って回転体２０に複数方向に作用する重力Ｆ３を相殺させるための制御部２の制御について説明する。なお、遠心力Ｆ２を相殺させるための直流電流を除いて説明する。以下に詳述するが、制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５をそれぞれ独立して断続的に駆動することになる。重力Ｆ３の向きは、架台１１０の回転に応じ、第２方向ｄ２、第４方向ｄ４、第１方向ｄ１、第３方向ｄ３、第２方向ｄ２と変化する。
【００８３】
重力Ｆ３が第２方向ｄ２に向く時点１．７５において、第１磁力発生機構１３２のコイルに振幅が最大となるレベル１の直流電流が与えられ、第１磁力発生機構１４２のコイルに規定された最大レベルの直流電流が与えられる。重力Ｆ３が第２方向ｄ２から第４方向ｄ４に変化する間、第１磁力発生機構１３２及び第１磁力発生機構１４２のコイルに与えられる直流電流は除々に小さくなり、第３磁力発生機構１３４及び第３磁力発生機構１４４のコイルに与えられる直流電流は除々に大きくなる。
【００８４】
重力Ｆ３が第４方向ｄ４に向く時点３．２５において、第１磁力発生機構１３２及び第１磁力発生機構１４２のコイルへ与えられる直流電流は０となり、第３磁力発生機構１３４のコイルに振幅が最大となるレベル１の直流電流が与えられ、第３磁力発生機構１４４のコイルに規定された最大レベルの直流電流が与えられる。重力Ｆ３が第４方向ｄ４から第１方向ｄ１に変化する間、第３磁力発生機構１３４及び第３磁力発生機構１４４のコイルに与えられる直流電流は除々に小さくなり、第２磁力発生機構１３３及び第２磁力発生機構１４３のコイルに与えられる直流電流は除々に大きくなる。
【００８５】
重力Ｆ３が第１方向ｄ１に向く時点４．７５において、第３磁力発生機構１３４及び第３磁力発生機構１４４のコイルへ与えられる直流電流は０となり、第２磁力発生機構１３３のコイルに振幅が最大となるレベル１の直流電流が与えられ、第２磁力発生機構１４３のコイルに規定された最大レベルの直流電流が与えられる。重力Ｆ３が第１方向ｄ１から第３方向ｄ３に変化する間、第２磁力発生機構１３３及び第２磁力発生機構１４３のコイルに与えられる直流電流は除々に小さくなり、第４磁力発生機構１３５及び第４磁力発生機構１４５のコイルに与えられる直流電流は除々に大きくなる。
【００８６】
重力Ｆ３が第３方向ｄ３に向く時点６．２５において、第２磁力発生機構１３３及び第２磁力発生機構１４３のコイルへ与えられる直流電流は０となり、第４磁力発生機構１３５のコイルに振幅が最大となるレベル１の直流電流が与えられ、第４磁力発生機構１４５
のコイルに規定された最大レベルの直流電流が与えられる。重力Ｆ３が第３方向ｄ３から第２方向ｄ２に変化する間、第４磁力発生機構１３５及び第４磁力発生機構１４５のコイルに与えられる直流電流は除々に小さくなり、第１磁力発生機構１３２及び第１磁力発生機構１４２のコイルに与えられる直流電流は除々に大きくなる。  
上記したように、架台１１０の回転に伴って回転体２０に複数方向に作用する重力Ｆ３を相殺させることができる。
【００８７】
なお、制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５による引力及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５による引力により、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１、遠心力Ｆ２及び重力Ｆ３を全て打ち消すこともできる。
【００８８】
上記したように構成された回転陽極型Ｘ線管装置１及びＸ線装置によれば、回転陽極型Ｘ線管装置１は、制御部２、センサユニット８０、９０並びに第１磁気機構１３０及び第２磁気機構１４０を備えている。センサユニット８０、９０は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１を示す回転体２０の位置情報を検出する。制御部２は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１の少なくとも一部を打ち消すように、センサユニット８０、９０で取得した情報を基に第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５の駆動を制御する。
【００８９】
Ｘ線装置を動作させることにより、回転体２０にアンバランス力Ｆ１が作用する場合であっても、上記したようにアンバランス力Ｆ１の少なくとも一部を打ち消すことにより、ベアリング部材（軸受）５５の負荷荷重を低減させることができる。回転陽極型Ｘ線管装置１は、回転体２０に作用する遠心力Ｆ２及び重力Ｆ３を打ち消すこともでき、ベアリング部材（軸受）５５の負荷荷重を一層低減させることができる。
【００９０】
このため、Ｘ線管本体５の振動が抑制され、これにより、ハウジング３及びＸ線装置（ＣＴ装置）の振動も抑制される。また、各部の振動に伴う騒音の発生や、Ｘ線診断画像に及ぼす悪影響を抑制することができる。
【００９１】
さらに、回転陽極型Ｘ線管装置１がアンバランス力Ｆ１を打ち消すことができるため、軸受の径を太く設計する必要は無く、回転陽極型Ｘ線管装置１全体をコンパクトに設計することができる。このため、製造コストを抑制でき、軸受寿命を増大させることができ、メンテナンスコストを抑制でき、消費電力を抑制することができる。
【００９２】
陽極ターゲット１５の重量が増した場合でも、回転陽極型Ｘ線管装置１は、ベアリング部材５５の負荷荷重を低減させることができる。これにより、回転陽極型Ｘ線管装置１の寿命が増大するため、回転陽極型Ｘ線管装置１が組み込まれるＸ線装置（ＣＴ装置やＸ線画像診断装置等）の寿命を増大させることができる。また、従来よりもコンパクトで、長期間に亘って安定な特性が確保できる回転陽極型Ｘ線管装置を得ることができる。
【００９３】
また、上述した回転陽極型Ｘ線管装置を用いることにより、水系の冷却媒体を使用して、熱の放出特性を向上させることができ、長期に亘って安定な特性が確保できる。これにより、回転陽極型Ｘ線管装置が組み込まれる、例えばＸ線画像診断装置や非破壊検査装置の寿命が増大される。
【００９４】
さらに、上述した実施の形態によれば、冷却液の高電圧に対する絶縁性を考慮する必要がなく冷却効率の高い冷却媒体が利用可能で、冷却効率が向上される。さらに、この発明によれば、回転陽極型Ｘ線管装置自身の寿命も増大されるので、Ｘ線画像診断装置や非破壊検査装置のランニングコストが低減される。  
上記したことから、振動及び騒音の発生を抑制でき、長期間に亘って安定した動作が可能な回転陽極型Ｘ線管装置及びＸ線装置を得ることができる。
【００９５】
次に、この発明の第２の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置について詳細に説明する。なお、この実施の形態において、他の構成は上述した実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００９６】
図１５に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置１は、Ｘ線管本体（回転陽極型Ｘ線管）５と、回転駆動装置として、磁界を発生させるステータコイル７１と、Ｘ線管本体５及びステータコイル７１を収容したハウジング３とを備えている。
【００９７】
Ｘ線管本体５は、固定体としての固定部５１と、回転部材２１と、陽極ターゲット１５と、陰極１３と、真空外囲器１１と、ベアリング部材（球軸受）５５と、永久磁石６９ｂとを備えている。
【００９８】
陽極ターゲット１５は、環状に形成され、陰極１３に対向配置されている。陽極ターゲット１５は、回転部材２１に対向配置された筒部を有し、この筒部の一端が回転部材２１に固定されている。陽極ターゲット１５及び回転部材２１は、回転体２０を形成している。この実施の形態において、陽極ターゲット１５は、回転軸１０ａに沿った方向において、回転体２０の重心付近に設けられている。陽極ターゲット１５は、陰極１３から放出される電子が衝突されることによりＸ線を放出する。真空外囲器１１には、陰極１３及び陽極ターゲット１５が収納配置されている。
【００９９】
固定部５１は、形状が円柱状であり、Ｆｅ（鉄）やＭｏ（モリブデン）等の材料で形成されている。後述するが、固定部５１は、陽極ターゲット１５と同軸的に設けられている。固定部５１は、真空外囲器１１及びハウジング３の少なくとも一方により固定されている。ここでは、固定部５１は、両端が真空外囲器１１に固定されている。
【０１００】
回転部材２１は、ＦｅやＭｏ等の材料で形成されている。回転部材２１は、筒状に形成されている。回転部材２１は、陽極ターゲット１５を固定し、固定部５１を囲んでいる。回転部材２１は、固定部５１を軸に陽極ターゲット１５とともに回転可能に設けられている。回転部材２１は、固定部５１と同軸的に設けられている。回転部材２１及び固定部５１は、互いに隙間を置いて設けられている。回転部材２１及び固定部５１の隙間には、ベアリング部材５５が設けられている。
【０１０１】
永久磁石６９ｂは、筒状に形成され、回転部材２１を囲むとともに回転部材２１に固定されている。真空外囲器１１は金属で形成されている。真空外囲器１１は、ハウジング３に固定されている。真空外囲器１１の内部は真空状態に維持されている。  
ステータコイル７１は、永久磁石６９ｂの外面を囲むように設けられている。ステータコイル７１の形状は環状である。冷却液７は、ハウジング３内に充填されている。
【０１０２】
回転陽極型Ｘ線管装置１は、第１磁気機構１３０と、第２磁気機構１４０とをさらに備えている。第１磁気機構１３０は、磁性体１３１と、磁性体１３１に磁力を発生する第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５とを有している。第２磁気機構１４０は、磁性体１４１と、磁性体１４１に磁力を発生する第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５とを有している。
【０１０３】
図示しないが、回転陽極型Ｘ線管装置１は、制御部２、センサユニット８０、９０及び冷却器７ａを備えている。制御部２は、センサユニット８０、９０で検出された回転体２０の位置情報及び回転数に基づいて第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５の駆動を制御するものである。制御部２は、回転体２０に作用するアンバランス力の少なくとも一部を打ち消すように第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５の駆動を制御することができる。
【０１０４】
制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５を独立して駆動し、それぞれ磁力発生機構を、駆動させないか又は磁性体１３１、１４１を引き付ける磁力を発生させる駆動をさせるか切替えるものである。
【０１０５】
磁性体１４１は、回転軸１０ａに対して垂直な垂直方向に回転体２０を囲むように設けられ、回転体２０に固定されている。第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５は、磁性体１４１に対して回転軸１０ａの反対側に位置しているとともに、磁性体１４１から離れて位置している。第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５は、回転軸１０ａに対して垂直な垂直方向に磁性体１４１に僅かな隙間を置いて対向配置されている。
【０１０６】
上記回転陽極型Ｘ線管装置の動作状態において、ステータコイル７１は永久磁石６９ｂに与える磁界を発生するため、回転体２０は回転する。これにより、陽極ターゲット１５は回転する。また、陰極１３は陽極ターゲット１５に対して電子ビームを照射する。これにより、陽極ターゲット１５は、電子と衝突するときにＸ線を放出する。放出されたＸ線は、真空外囲器１１の円筒状部の所定の位置に規定された窓部１１ｂ及びハウジング３の円筒状部の所定の規定された窓部３ａから外部（第１方向ｄ１）へ放射される。
【０１０７】
上記したように構成された回転陽極型Ｘ線管装置１及びＸ線装置によれば、回転陽極型Ｘ線管装置１は、制御部２、センサユニット８０、９０並びに第１磁気機構１３０及び第２磁気機構１４０を備えている。センサユニット８０、９０は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１を示す回転体２０の位置情報を検出する。制御部２は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１の少なくとも一部を打ち消すように、センサユニット８０、９０で取得した情報を基に第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５及び第１乃至第４磁力発生機構１４２〜１４５の駆動を制御する。
【０１０８】
回転陽極型Ｘ線管装置１は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１の少なくとも一部を打ち消すことができる。このため、ベアリング部材（軸受）５５の負荷荷重を低減させることができる。回転陽極型Ｘ線管装置１は、回転体２０に作用する遠心力Ｆ２及び重力Ｆ３を打ち消すこともでき、ベアリング部材（軸受）５５の負荷荷重を一層低減させることができる。
【０１０９】
このため、Ｘ線管本体５、ハウジング３及びＸ線装置（ＣＴ装置）の振動が抑制され、これらの振動に伴う騒音の発生や、Ｘ線診断画像に及ぼす悪影響を抑制することができる。
【０１１０】
さらに、軸受の径を太く設計する必要は無く、回転陽極型Ｘ線管装置１全体をコンパクトに設計することができる。このため、製造コストを抑制でき、軸受寿命を増大させることができ、メンテナンスコストを抑制でき、消費電力を抑制することができる。
【０１１１】
陽極ターゲット１５の重量が増した場合でも、回転陽極型Ｘ線管装置１は、ベアリング部材５５の負荷荷重を低減させることができる。これにより、回転陽極型Ｘ線管装置１の寿命が増大するため、回転陽極型Ｘ線管装置１が組み込まれるＸ線装置（ＣＴ装置やＸ線画像診断装置等）の寿命を増大させることができる。また、従来よりもコンパクトで、長期間に亘って安定な特性が確保できる回転陽極型Ｘ線管装置を得ることができる。
【０１１２】
また、上述した回転陽極型Ｘ線管装置を用いることにより、水系の冷却媒体を使用して、熱の放出特性を向上させることができ、長期に亘って安定な特性が確保できる。これにより、回転陽極型Ｘ線管装置が組み込まれる、例えばＸ線画像診断装置や非破壊検査装置の寿命が増大される。
【０１１３】
さらに、上述した実施の形態によれば、冷却液の高電圧に対する絶縁性を考慮する必要がなく冷却効率の高い冷却媒体が利用可能で、冷却効率が向上される。さらに、この発明によれば、回転陽極型Ｘ線管装置自身の寿命も増大されるので、Ｘ線画像診断装置や非破壊検査装置のランニングコストが低減される。  
上記したことから、振動及び騒音の発生を抑制でき、長期間に亘って安定した動作が可能な回転陽極型Ｘ線管装置及びＸ線装置を得ることができる。
【０１１４】
図１６に示すように、上述した実施の形態において、固定部５１は、一端のみが真空外囲器１１に固定されていても良い。固定部５１は、回転体２０の一部に対向するよう延出して形成されている。ここでは、固定部５１は、ステータコイル７１及び第２磁気機構１４０と対向している。
【０１１５】
次に、この発明の第３の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置について詳細に説明する。なお、この実施の形態において、他の構成は上述した実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【０１１６】
図１７に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置１は、Ｘ線管本体（回転陽極型Ｘ線管）５と、回転駆動装置として、磁界を発生させるステータコイル７１と、Ｘ線管本体５及びステータコイル７１を収容したハウジング３とを備えている。
【０１１７】
Ｘ線管本体５は、固定体としての固定部５１と、回転部材２１と、陽極ターゲット１５と、陰極としての陰極電子銃１３と、真空外囲器１１と、真空シール機構としての磁性流体真空シール部材５３と、ベアリング（球軸受）５５と、永久磁石６９ｂとを備えている。
【０１１８】
陽極ターゲット１５は、円盤状に形成され、陰極１３に対向配置されている。陽極ターゲット１５は、陰極１３から放出される電子が衝突されることによりＸ線を放出する。真空外囲器１１は、陰極１３及び陽極ターゲット１５が収納配置されている。
【０１１９】
固定部５１は、形状が筒状であり、Ｆｅ（鉄）や鉄合金等の磁性材料で形成されている。後述するが、固定部５１は、陽極ターゲット１５と同軸的に設けられている。固定部５１は、真空外囲器１１及びハウジング３の少なくとも一方により固定されている。ここでは、固定部５１は、真空外囲器１１と一体に形成され、真空外囲器１１により固定されている。
【０１２０】
回転部材２１は、Ｆｅ（鉄）や鉄合金等の磁性材料で形成されている。回転部材２１は、円柱部２２と、円柱部２２の一端に接続された円盤部２３とを有している。回転部材２１は、陽極ターゲット１５を固定し、固定部５１で囲まれている。陽極ターゲット１５及び回転部材２１は、回転体２０を形成している。回転部材２１は固定部５１に支持され、陽極ターゲット１５とともに回転可能に設けられている。回転部材２１は、固定部５１と同軸的に設けられている。  
陽極ターゲット１５は柱状部１５ｂを有し、この柱状部１５ｂが円柱部２２に接続されている。
【０１２１】
回転部材２１及び固定部５１は、互いに隙間を置いて設けられている。回転部材２１及び固定部５１の隙間には、真空シール機構としての磁性流体真空シール部材５３及びベアリング部材５５が設けられている。磁性流体真空シール部材５３は、磁性流体を使用して真空外囲器１１内の真空を保持しながら回転体２０の回転を可能とする。
【０１２２】
永久磁石６９ｂは、筒状に形成され、円盤部２２に固定されている。永久磁石６９ｂは固定部５１を囲むように設けられている。真空外囲器１１は金属で形成されている。真空外囲器１１は、ハウジング３に固定されている。真空外囲器１１の内部は真空状態に維持されている。  
ステータコイル７１は、永久磁石６９ｂの外面を囲むように設けられている。ステータコイル７１の形状は環状である。冷却液７は、ハウジング３内に充填されている。
【０１２３】
回転陽極型Ｘ線管装置１は、第１磁気機構１３０をさらに備えている。  
回転軸１０ａに沿った方向における回転体（陽極ターゲット１５及び回転部材２１）の重心の位置ｃ２に第１磁気機構１３０が位置している。
【０１２４】
第１磁気機構１３０は、磁性体１３１と、磁性体１３１に磁力を発生する第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５とを有している。磁性体１３１は、回転軸１０ａに対して垂直な垂直方向に陽極ターゲット１５の柱状部１５ｂを囲むように固定されている。
【０１２５】
第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５は、磁性体１３１に対して回転軸１０ａの反対側に位置しているとともに、磁性体１３１から離れて位置している。第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５は、回転軸１０ａに対して垂直な垂直方向に回転体２０に僅かな隙間を置いて対向配置されている。第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５は、真空外囲器１１の外側でハウジング３内に固定されている。
【０１２６】
図示しないが、回転陽極型Ｘ線管装置１は、制御部２、センサユニット８０、９０及び冷却器７ａを備えている。制御部２は、センサユニット８０、９０で検出された回転体２０の位置情報及び回転数に基づいて第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５の駆動を制御するものである。制御部２は、回転体２０に作用するアンバランス力の少なくとも一部を打ち消すように第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５の駆動を制御することができる。
【０１２７】
制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５を独立して駆動し、それぞれ磁力発生機構を、駆動させないか又は磁性体１３１を引き付ける磁力を発生させる駆動をさせるか切替えるものである。
【０１２８】
アンバランス力Ｆ１は、第１磁気機構１３０による力Ｆａにより相殺させることが可能である。例えば、第２方向ｄ２にアンバランス力Ｆ１が作用する場合、第１磁力発生機構１３２の引力Ｆａ１により相殺させることが可能である。アンバランス力Ｆ１を相殺させるための引力Ｆａ１は次に示すように表すことができる。
【０１２９】
Ｆａ１＝−Ｆ１／Ｌａ１
上記したことから、制御部２は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１を打ち消すように第１磁力発生機構１３２の駆動を制御する。
【０１３０】
アンバランス力が回転体２０にいかなる方向に作用する場合であっても、また、アンバランス力が回転体２０に連続的に複数の方向に作用する場合であっても、制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５の駆動をそれぞれ独立して制御することにより、アンバランス力を打ち消すことができる。
【０１３１】
また、制御部２は、第１磁力発生機構１３２による引力により、回転体２０に作用する遠心力Ｆ２を相殺させることができる。遠心力Ｆ２を相殺させるための引力Ｆａ１は次に示すように表すことができる。
【０１３２】
Ｆａ１＝−Ｆ２
また、制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５による引力により、回転体２０に作用する重力Ｆ３を打ち消すことができる。この場合、制御部２は、センサユニット８０、９０で検出した回転体２０の位置情報に基づいて第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５の駆動を制御するものである。
【０１３３】
例えば、回転体２０に第２方向ｄ２に重力Ｆ３が作用している状態である場合、重力Ｆ３を、第１磁力発生機構１３２による引力Ｆａ１により相殺させることが可能である。第２方向ｄ２に作用する重力Ｆ３を相殺させるための引力Ｆａ１は次に示すように表すことができる。
【０１３４】
Ｆａ１＝−Ｆ３
さらに、制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５による引力により、回転体２０に作用する遠心力Ｆ２及び重力Ｆ３を共に打ち消すことができる。制御部２は、第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５による引力により、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１、遠心力Ｆ２及び重力Ｆ３を全て打ち消すこともできる。
【０１３５】
上記回転陽極型Ｘ線管装置の動作状態において、ステータコイル７１は永久磁石６９ｂに与える磁界を発生するため、回転体２０は回転する。これにより、陽極ターゲット１５も回転する。また、陰極１３は陽極ターゲット１５に対して電子ビームを照射する。これにより、陽極ターゲット１５は、電子と衝突するときにＸ線を放出する。放出されたＸ線は、真空外囲器１１の円筒状部の所定の位置に規定された窓部１１ｂ及びハウジング３の円筒状部の所定の規定された窓部３ａから外部（第１方向ｄ１）へ放射される。
【０１３６】
上記したように構成された回転陽極型Ｘ線管装置１及びＸ線装置によれば、回転陽極型Ｘ線管装置１は、制御部２、センサユニット８０、９０並びに第１磁気機構１３０を備えている。センサユニット８０、９０は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１を示す回転体２０の位置情報を検出する。制御部２は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１の少なくとも一部を打ち消すように、センサユニット８０、９０で取得した情報を基に第１乃至第４磁力発生機構１３２〜１３５の駆動を制御する。
【０１３７】
回転陽極型Ｘ線管装置１は、回転体２０に作用するアンバランス力Ｆ１の少なくとも一部を打ち消すことができる。このため、ベアリング部材（軸受）５５の負荷荷重を低減させることができる。回転陽極型Ｘ線管装置１は、回転体２０に作用する遠心力Ｆ２及び重力Ｆ３を打ち消すこともでき、ベアリング部材（軸受）５５の負荷荷重を一層低減させることができる。
【０１３８】
このため、Ｘ線管本体５、ハウジング３及びＸ線装置（ＣＴ装置）の振動が抑制され、これらの振動に伴う騒音の発生や、Ｘ線診断画像に及ぼす悪影響を抑制することができる。
【０１３９】
さらに、軸受の径を太く設計する必要は無く、回転陽極型Ｘ線管装置１全体をコンパクトに設計することができる。このため、製造コストを抑制でき、軸受寿命を増大させることができ、メンテナンスコストを抑制でき、消費電力を抑制することができる。
【０１４０】
陽極ターゲット１５の重量が増した場合でも、回転陽極型Ｘ線管装置１は、ベアリング部材５５の負荷荷重を低減させることができる。これにより、回転陽極型Ｘ線管装置１の寿命が増大するため、回転陽極型Ｘ線管装置１が組み込まれるＸ線装置（ＣＴ装置やＸ線画像診断装置等）の寿命を増大させることができる。また、従来よりもコンパクトで、長期間に亘って安定な特性が確保できる回転陽極型Ｘ線管装置を得ることができる。
【０１４１】
また、上述した回転陽極型Ｘ線管装置を用いることにより、水系の冷却媒体を使用して、熱の放出特性を向上させることができ、長期に亘って安定な特性が確保できる。これにより、回転陽極型Ｘ線管装置が組み込まれる、例えばＸ線画像診断装置や非破壊検査装置の寿命が増大される。
【０１４２】
さらに、上述した実施の形態によれば、冷却液の高電圧に対する絶縁性を考慮する必要がなく冷却効率の高い冷却媒体が利用可能で、冷却効率が向上される。さらに、この発明によれば、回転陽極型Ｘ線管装置自身の寿命も増大されるので、Ｘ線画像診断装置や非破壊検査装置のランニングコストが低減される。  
上記したことから、振動及び騒音の発生を抑制でき、長期間に亘って安定した動作が可能な回転陽極型Ｘ線管装置及びＸ線装置を得ることができる。
【０１４３】
なお、この発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化可能である。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【０１４４】
例えば、第１磁気機構１３０及び第２磁気機構１４０は、４５°ずつずれて配置された８つの磁力発生機構をそれぞれ有していても良く、６０°ずつずれて配置された６つの磁力発生機構をそれぞれ有していても良い。
【０１４５】
第１磁気機構１３０及び第２磁気機構１４０は、回転軸１０ａを通る直線上及び回転軸１０ａを通るとともに上記直線と交差した他の直線上に位置している少なくとも２つの磁力発生機構と、回転軸１０ａを挟んで上記２つの磁力発生機構の反対側で、上記直線及び他の直線の内側に位置した磁力発生機構と、をそれぞれ有していても良い。この場合、制御部２は、複数の磁力発生機構を独立して駆動し、それぞれ複数の磁力発生機構を、駆動させないか又は磁性体（端部１１ｃ、磁性体１３１、１４１）を引き付ける磁力（引力）を発生させる駆動をさせるか若しくは磁性体を反発する磁力（斥力）を発生させる駆動をさせるか切替えれば上述した効果を得ることができる。
【０１４６】
第１磁気機構１３０及び第２磁気機構１４０の磁性体（端部１１ｃ、磁性体１３１、１４１）は、永久磁石であっても良い。磁性体は内面と外面が互いに異極となるように磁化されている。この場合、第１磁気機構１３０及び第２磁気機構１４０は、回転軸１０ａを通る直線上及び回転軸１０ａを通るとともに上記直線と交差した他の直線上に位置している少なくとも２つの磁力発生機構をそれぞれ有していれば良い。制御部２は、複数の磁力発生機構を独立して駆動し、それぞれ複数の磁力発生機構を、駆動させないか、磁性体（端部１１ｃ、磁性体１３１、１４１）を引き付ける磁力を発生させる駆動をさせるか、又は磁性体を反発する磁力を発生させる駆動をさせるか切替えれば上述した効果を得ることができる。
【０１４７】
上記した場合等、制御部２は、複数の磁力発生機構を交流駆動しても良く、これにより、上述した効果を得ることができる。  
回転陽極型Ｘ線管装置１は、３つ以上の磁気機構を備えていても良い。  
また、回転陽極型Ｘ線管装置１が搭載される架台が静止している場合にも本発明を適用することができる。
【０１４８】
センサユニット８０、９０は、アンバランス力に起因して発生する回転体２０の位置ずれを含む回転体２０の位置情報を検出すれば良く、回転陽極型Ｘ線管装置１は、３つ以上のセンサユニットを備えていても良い。
【０１４９】
センサユニットは、回転体２０に定常磁場を作用させる手段と、上記定常磁場の作用を受けるとともに部分的に透磁率を変化させた回転体２０表面による誘導磁場を検出する磁気センサと、を有していても良い。
【０１５０】
制御部２は、センサユニットで取得した情報を基に、正弦波である基準信号を作り、この基準信号に対してその位相及び強度が適正に補正された制御出力を各磁力発生機構に供給しても良い。
【０１５１】
常時センサユニットを作動させ、センサユニットで取得した情報を制御部に与える必要は無い。また、回転陽極型Ｘ線管装置１に必ずしもセンサユニットを設ける必要はない。上記した場合、次に示す変形例１乃至３ように、回転陽極型Ｘ線管装置１が形成されていれば良い。
【０１５２】
（変形例１）
予め、Ｘ線管本体５単独でバランサー装置の架台に乗せ、振動による回転体２０の変位（位置情報）を架台に取付けられた変位センサにより測定して、その変位が最小となるように各磁力発生機構に出力する制御部２の出力信号の位相及び強度の情報を求める。回転陽極型Ｘ線管装置１は、上記情報を記憶した記憶部を有している。回転陽極型Ｘ線管装置１はセンサユニットを有していなくとも良く、制御部２は記憶部の情報を基に各磁力発生機構の駆動を制御すれば良い。
【０１５３】
（変形例２）
Ｘ線管本体５は、ハウジング３の振動が減衰したり、伝播したりしないようにハウジングに支持固定されている。ハウジング３は、例えば２組の楔により支持している。予め、ハウジング３の一部に取付けられた振動センサにより、振動による回転体２０の変位や、回転体２０の回転速度又は回転加速度の振幅を測定して、その変位が最小となるように各磁力発生機構に出力する制御部２の出力信号の位相及び強度の情報を求める。回転陽極型Ｘ線管装置１は、上記情報を記憶した記憶部を有している。回転陽極型Ｘ線管装置１はセンサユニットを有していなくとも良く、制御部２は記憶部の情報を基に各磁力発生機構の駆動を制御すれば良い。
【０１５４】
（変形例３）
回転陽極型Ｘ線管装置１は、Ｘ線装置の架台に搭載されている。予め、Ｘ線装置の架台の一部に取付けられた振動センサにより、振動による回転体２０の変位や、回転体２０の回転速度又は回転加速度の振幅や、架台の回転速度又は回転加速度を測定して、その変位が最小となるように各磁力発生機構に出力する制御部２の出力信号の位相及び強度の情報を求める。回転陽極型Ｘ線管装置１は、上記情報を記憶した記憶部を有している。回転陽極型Ｘ線管装置１はセンサユニットを有していなくとも良く、制御部２は記憶部の情報を基に各磁力発生機構の駆動を制御すれば良い。
【０１５５】
上記変形例１乃至３の制御部２は、勿論、遠心力及び重力等の外力のパラメータ（Ｘ線装置の架台回転による遠心力であれば架台の回転速度の２乗に比例）並びにアンバランス力のパラメータ（回転体２０の回転数の２乗に比例）を考慮して各磁力発生機構の駆動を制御するものである。上記変形例１乃至３に示したように、回転体２０の位置を最適化するための情報が記憶部に記憶されると、最適化に使用された振動センサは不要である。
【０１５６】
回転体２０に作用する遠心力Ｆ２、重力Ｆ３、又は遠心力Ｆ２及び重力Ｆ３を共に打ち消す場合、制御部２は、センサユニット８０、９０で検出した回転体２０の位置情報に限らず、架台１１０の回転数等、架台１１０の動作の情報に基づいて各磁力発生機構の駆動を制御しても良い。
【０１５７】
冷却液７は、水系に限らず、絶縁油を使用したり、空気等のガス体を使用することも可能である。ベアリング部材５５は、ボールベアリングやロールベアリング等の転がり軸受け以外にすべり軸受けや磁気軸受を使用することも可能である。固定部５１は、電気絶縁部材を介してハウジングに直接固定しているが、電気絶縁部材とハウジングの間、又は電気絶縁部材と固定部５１の間に弾性部材や制振部材、又は吸収部材を配置して、回転体の回転に伴う振動をより低減させることも可能である。  
この発明は、Ｘ線ＣＴ装置やＸ線診断装置およびそれらに使用される回転陽極型Ｘ線管装置に限定されるものではなく、全ての回転陽極型Ｘ線管装置およびそれを使用する全てのＸ線装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１５８】
【図１】この発明の第１の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置を備えたＸ線装置を示す概略断面図。
【図２】図１に示した回転陽極型Ｘ線管装置の要部を示す断面図。
【図３】図２の線Ａ−Ａに沿った上記回転陽極型Ｘ線管装置の拡大断面図であり、特に第１磁気機構を示す図。
【図４】図２の線Ｂ−Ｂに沿った上記回転陽極型Ｘ線管装置の拡大断面図であり、特に第２磁気機構を示す図。
【図５】図４に示した第３磁力発生機構を詳細に説明するための図。
【図６】図４に示した第３磁力発生機構の変形例を示す図。
【図７】図２に示した回転陽極型Ｘ線管装置の一部を示す拡大断面図であり、特に、センサユニットを示す図。
【図８】図７に示したセンサユニットを含む２つのセンサユニットを示す断面図。
【図９】回転体に作用するアンバランス力と、第１、第２磁気機構の引力との関係を説明するための概略図。
【図１０】回転体に作用する遠心力及び重力と、第１、第２磁気機構の引力との関係を説明するための概略図。
【図１１】時間の経過に対する図３に示した第１磁力発生機構のコイルに与える電流の変化をグラフで示した図。
【図１２】時間の経過に対する図３に示した第２磁力発生機構のコイルに与える電流の変化をグラフで示した図。
【図１３】時間の経過に対する図３に示した第３磁力発生機構のコイルに与える電流の変化をグラフで示した図。
【図１４】時間の経過に対する図３に示した第４磁力発生機構のコイルに与える電流の変化をグラフで示した図。
【図１５】この発明の第２の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置の要部を示す断面図。
【図１６】図１５に示した回転陽極型Ｘ線管装置の変形例を示す断面図。
【図１７】この発明の第３の実施の形態に係る回転陽極型Ｘ線管装置の要部を示す断面図。
【符号の説明】
【０１５９】
１…Ｘ線管装置、２…制御部、３…ハウジング、５…Ｘ線管本体、７…冷却液、１０ａ…回転軸、１１…真空外囲器、１１ｂ…窓部、１１ｃ…端部、１３…陰極、１３ａ…陰極支持部材、１５…陽極ターゲット、２０…回転体、５１…固定部、５３…磁性流体真空シール部材、５５…ベアリング部材、６９…銅ロータ、６９ｂ…永久磁石、７１…ステータコイル、８０，９０…センサユニット、１１０…架台、１１０ａ…中心軸、１３０…第１磁気機構、１３１…磁性体、１３２〜１３５…磁力発生機構、１４０…第２磁気機構、１４１…磁性体、１４２〜１４５…磁力発生機構、ｄ１〜ｄ４…方向、Ｆ１…アンバランス力、Ｆ２…遠心力、Ｆ３…重力、Ｆａ，Ｆｂ…磁力、Ｆａ１〜Ｆａ４，Ｆｂ１〜Ｆｂ４…引力。
【図１】
2009245594.tif 000003
【図２】
2009245594.tif 000004
【図３】
2009245594.tif 000005
【図４】
2009245594.tif 000006
【図５】
2009245594.tif 000007
【図６】
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【図７】
2009245594.tif 000009
【図８】
2009245594.tif 000010
【図９】
2009245594.tif 000011
【図１０】
2009245594.tif 000012
【図１１】
2009245594.tif 000013
【図１２】
2009245594.tif 000014
【図１３】
2009245594.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2009245594.tif 000017
【図１６】
2009245594.tif 000018
【図１７】
2009245594.tif 000019