(57)【要約】【課題】ピックアップ機構などの振り分け装置を用いることなく、低コストで良否の判定結果に基づく振り分けを行えるようにした自動検査装置を提供する。【解決手段】検査対象であるプリント基板を保持するステージ２、このステージ２によって保持されたプリント基板をカメラ４３の画像取得領域４６まで移動させる移動機構３とを備え、カメラ４３によって撮影された画像に基づく良否の結果に基づいて検査対象物を回収部５する自動検査装置１において、ステージ２を左右一対の保持体要素２１で構成し、これら保持体要素２１間の距離をカメラ４３による判定結果に基づいて画像取得領域４６の後段で拡大させるプリント基板を落下させる平行リンク機構２０を設ける。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の端部または／および下面を保持する保持体と、当該保持体によって保持された検査対象物をカメラの画像取得領域まで移動させる移動機構とを備え、前記カメラによって撮影された画像に基づく良否の結果に基づいて検査対象物を回収する自動検査装置において、
前記保持体を、検査対象物の搬送方向と直交する方向に移動させうる一対の保持体要素で構成し、当該保持体要素間の距離を前記移動機構上で離間させる離間機構を備えたことを特徴とする自動検査装置。
【請求項２】
前記移動方向におけるカメラの画像取得領域の後段に被接触部材を設けるとともに、前記保持体要素に、当該被接触部材に接触する接触部材を設け、前記離間機構が、当該接触部材を前記被接触部材に接触させることによって、互いの保持体要素の距離を離間させる機構である請求項１に記載の自動検査装置。
【請求項３】
前記離間機構が、検査の結果、良品と判断された場合に保持体要素間の距離を離間させるものであり、画像取得による検査の結果、不良品と判断された場合に、当該検査対象物を前記移動方向におけるカメラの画像取得領域の前段まで戻すようにした請求項１に記載の自動検査装置。
【請求項４】
前記保持体要素を離間させる位置の下方に、検査対象物を回収する回収箱を備え、当該回収箱に、落下してくる検査対象物の衝撃を緩和させる緩和手段を設けた請求項１に記載の自動検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品の形成状態を検査する自動検査装置に関するものであり、より詳しくは、回収機構を簡素化して低コスト化を図れるようにした物品の自動検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、検査対象物の形成状態を検査する場合、カメラを用いた自動検査装置が用いられる。この自動検査装置のうち、最も一般的な構成について図１２を用いて説明すると、図１２において、７１はスタッカであり、検査対象物を集積するものである。なお、ここで、スタッカ７１内には、検査対象物６としてプリント基板が集積されているものとする。また、７２ａは、このスタッカ７１からプリント基板を吸着してステージ上に載置するピックアップ機構である。７３は、ステージであり、駆動機構を用いて検査対象物であるプリント基板をカメラの下方まで搬送するものである。７４は、照明装置やカメラによって構成される撮像手段であって、取得された画像に基づいてプリント基板の良否を判定できるようにしたものである。また、７５は、振り分け機構であり、良否の判定結果に基づいてプリント基板をピックアップするピックアップ機構７２ｂと、そのピックアップされたプリント基板を良品用の回収部や不良品用の回収部７６を備えるものである。
【０００３】
このような装置を用いれば、オペレーターは複数の検査対象物６をスタッカ７１に集積するだけで、あとは、自動で良品と不良品に分けてプリント基板を回収することができるというメリットがある。
【０００４】
また、下記の特許文献１には、ピックアップ機構を設けることなくプリント基板を回収できるようにした装置が提案されている、
【０００５】
この装置の概要を図１３に示すと、この自動検査装置は、検査対象物６を載置して搬送する第一のコンベアベルト８１と、第一のコンベアベルト８１上でカメラ８３によって検査した後、その検査対象物６を受け取る第二のコンベアベルト８２とを備え、第二のコンベアベルト８２の間隔をモーター８４で広げることでプリント基板を落下させて回収させるようにしたものである。
【特許文献１】特開２００３−１６５６０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図１２や図１３に示すような検査装置では、次のような問題がある。
【０００７】
すなわち、図１２に示すような高機能な自動検査装置では、ピックアップ機構、振り分け回収するための首振り機構などを設けているため、装置が高価かつ大型なものとなり、検査枚数の少ないユーザーによる使用には余り適していない。
【０００８】
一方、図１３に示すようなコンベアベルトの幅を広げるような装置では、比較的重いコンベアベルト８２やこれを駆動するモーターなどをまとめて横方向にスライドさせなければならないため、別に大きな駆動力を有するモーター８４などを設ける必要がある。さらには、第二のコンベアベルト８２を横方向にスライドさせる場合、正確に横方向へスライドさせなければ、次の検査対象物６を搬送する際に、その検査対象物６が斜めに搬送されてしまう可能性がある。
【０００９】
そこで、本発明は、ピックアップ機構やベルトを横方向にスライドさせるためのモーターなどを用いることなく、低コストで検査対象物を検査して回収できるようにした自動検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、検査対象物の端部または／および下面を保持する保持体と、当該保持体によって保持された検査対象物をカメラの画像取得領域まで移動させる移動機構とを備え、前記カメラによって撮影された画像に基づく良否の結果に基づいて検査対象物を回収する自動検査装置において、前記保持体を、検査対象物の搬送方向と直交する方向に移動させうる一対の保持体要素で構成し、当該保持体要素間の距離を前記移動機構上で離間させる離間機構を備えるようにしたものである。
【００１１】
このようにすれば、従来のようなピックアップ機構やベルトを横方向にスライドさせるモーターなどを用いることなく、保持体要素を離間させるだけで検査対象物を回収することができるようになる。これにより、装置を低コストに仕上げることができる。
【００１２】
また、このような発明において、前記移動方向におけるカメラの画像取得領域の後段に被接触部材を設けるとともに、前記保持体要素に、当該被接触部材に接触する接触部材を設け、この接触部材を前記被接触部材に接触させることによって、互いの保持体要素の距離を離間させる。
【００１３】
このようにすれば、接触部材を接触させるだけで保持体要素を離間させることができるため、極めて簡単な構成で検査対象物を回収することができるようになる。
【００１４】
さらに、画像取得による検査の結果、良品と判断された場合に保持体要素間の距離を離間させるとともに、画像取得による検査の結果、不良品と判断された場合に、当該検査対象物を前記移動方向におけるカメラの画像取得領域の前段まで戻すようにする。
【００１５】
このようにすれば、不良品と判定された検査対象物を前段まで戻すようにしたので、その位置で検査者が目視検査をすることができ、直前に判断された検査対象物の判定データと見比べることで、素早く目視検査することができるようになる。
【００１６】
また、保持体要素を離間させる位置の下方に、検査対象物を回収する回収箱を備え、その回収箱に、落下してくる検査対象物の衝撃を緩和させる緩和手段を設けるようにする。
【００１７】
このようにすれば、既に回収された検査対象物を傷つけることなく検査対象物を回収することができるようになる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、検査対象物の端部または／および下面を保持する保持体と、当該保持体によって保持された検査対象物をカメラの画像取得領域まで移動させる移動機構とを備え、前記カメラによって撮影された画像に基づく良否の結果に基づいて検査対象物を回収する自動検査装置において、前記保持体を、検査対象物の搬送方向と直交する方向に移動させうる一対の保持体要素で構成し、当該保持体要素間の距離を前記移動機構上で離間させる離間機構を備えるようにしたので、従来のようなピックアップ機構やベルトを横方向にスライドさせるモーターなどを用いることなく、保持体要素を離間させるだけで検査対象物を回収することができるようになる。これにより、装置を低コストに仕上げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、第一の実施の形態における自動検査装置１の断面概略図を示したものであり、図２は、本発明の保持体であるステージ２の構造を示した平面図であり、また、図３は、そのステージ２を側面から見た図である。
【００２０】
この実施の形態における自動検査装置１は、卓上などに設置して使用できるようにしたものであって、図１に示すようなフレーム１２で囲まれた筐体１１内に、オペレーターが検査対象物６を載置するためのステージ２と、このステージ２をカメラ４３の撮像位置まで移動させるための移動機構３と、カメラ４３の撮影に基づく検査の結果、良品であると判定された場合にその検査対象物６をステージ２から落下させて回収する回収部５とを備えてなる。そして、オペレーターの手によって検査対象物６をステージ２上に載置し、また、不良と判定された検査対象物６のみを手で回収することによって、従来のようなスタッカやピックアップ機構などを省略し、製品の低コスト化を図れるようにしたものである。以下、第一の実施の形態における自動検査装置１の構成について詳細に説明する。
【００２１】
図１に示す筐体１１は、側面から見た場合に略三角形状をなすようにしたもので、オペレーターが位置する側の前面を奥方に傾斜させるように構成される。そして、このように前面を傾斜させることによって、その前面に設けられた開口部１３から検査対象物６を出し入れさせやすくするとともに、この開口部１３の上方に設けられたディスプレイ１４を見ながら、開口部１３まで戻ってきた検査対象物６をステージ２上で目視検査できるようにしている。なお、この実施の形態において、説明の便宜上、前面から奥方に向かった方向をＸ方向とし、Ｘ方向に対して水平方向に直交する方向をＹ方向、鉛直方向をＺ方向とする。
【００２２】
この筐体１１内に設けられるステージ２は、図２に示すように、検査対象物６を両側から保持できるようにしたものであって進行方向（Ｘ方向）に対して左右一対の保持体要素２１を備える。これらの保持体要素２１は、対称的に構成されるものであって、検査対象物６の端部を下から載置する載置部２１ａと、この検査対象物６の端部を挟み込む挟持部２１ｂとを備えてなり、検査対象物６を載せた状態で両側から挟み込めるようにしている。この保持体要素２１は、図３に示すように、その下方に設けられた固定部２２上に取り付けられ、二本のアーム２４を介して平行リンク機構２０を構成している。この固定部２２は、移動機構３を構成する一対の平ベルト３２に固定された状態でＸ軸方向に移動し、その際、移動部材を構成する平ベルト３２と平行に設けられた金属製のスライドレール３３上を滑って移動する。この平ベルト３２は、無端状をなしており、開口部１３から回収部５までの間を一本のベルトで構成され、かつ、各平ベルト３２の間隔は、検査対象物６を内側に落下させることができるような間隔に設定される。なお、ここで、移動部材として、内側に凹凸を有するタイミングベルトを使用することもできるが、このようなタイミングベルトを用いると、ベルト内側の凹凸とカムプーリとの接触によって振動が発生し、カメラ４３による画像取得時に画像が乱れることがある。このため、この実施の形態において、平ベルト３２とプーリ３１を用いて固定部２２をスムーズに移動させるようにしている。
【００２３】
この固定部２２に取り付けられた二本のアーム２４は、図２に示すように、ヒンジ２３間の距離を同じに設定した平行なものであって、固定部２２に対して回転可能に取り付けられる。これらのアーム２４の取り付け角度については、図４に示すように、固定部２２の進行方向（Ｘ方向）に対する角度を小さく設定すると、Ｙ方向に対する保持体要素２１の変位速度を大きくして素早く検査対象物６を落下させることができるが、このようにＸ方向に対する設定角度が小さいと、変位可能量を大きくすることができず、検査対象物６が引っ掛かって落ちなくなる可能性がある。一方、図５に示すように、Ｘ方向に対する角度を大きく設定すると、保持体要素２１の変位可能量を大きくして確実に検査対象物６を落下させることができるが、今度は逆に、変位開始時における変位速度が小さくなるため、検査対象物６が引っ掛かって斜めに落下してしまうことがある。そこで、ここでは試行錯誤の結果、最適な角度としてＸ方向に対して２０度〜４５度の範囲内にアーム２４を設定する。
【００２４】
一方、この二本のアーム２４のうち、進行方向の前方側に設けられるアーム２４は、Ｌ字状に屈曲させた突出部２５を設ける。この突出部２５は、図７（ａ）に示すように、ステージ２を前方側へ移動させた際に、その前方に設けられたフレーム１２ａに接触させようにしたもので、本発明における接触部材を構成する。そして、その突出部２５を接触させた状態から、さらに前方に保持体要素２１を移動させ（図７（ｂ））、互いの保持体要素２１間の距離を離間させて、検査対象物６を落下させる。
【００２５】
このように落下した検査対象物６は、その下方に設けられた回収部５によって回収される（図１参照）。この回収部５は、落下してきた検査対象物６を回収できる大きさを有するもので、図１における紙面垂直方向に引き出せるようになっている。なお、このように検査対象物６を落下させる場合、落下距離が長いと、その落下の衝撃によって、検査対象物６の表面に傷を生じさせる可能性がある。このため、落下距離が長い場合については、その衝撃を緩和するために衝撃緩和手段を設けるようにする。この衝撃緩和手段としては、例えば、検査対象物６を載置する載置面の下方にバネなどの弾性部材５１を取り付けておき、この弾性部材５１による衝撃吸収によって衝撃を緩和する方法や、あるいは、空気圧などを利用して落下してくる検査対象物６との衝撃などを緩和する方法などが考えられる。このような衝撃緩和手段は、落下距離が小さい場合には特に設ける必要はないが、この実施の形態では、落下距離が大きいとして弾性部材５１を設けるようにしている。
【００２６】
図１において、４３は、カメラであって、照明装置４によって照射された光のうち、検査対象物６やミラー４５によって反射した光を受光する。照明装置４については、ＬＥＤや蛍光灯、ハロゲンランプなどを用い、均一な光を検査対象物６に照射できるようにしている。この照明装置４は、略三角形状に組み込まれたフレーム１２に対してブラケット４１を介してスライド可能に取り付けられ、また、そのブラケット４１に垂直に設けられた棒状部材４２に介してスライドできるようにすることで、任意の位置から光を照射できるようにしている。また、カメラ４３は、この実施の形態においては、レンズを斜め上向きにしてフレーム１２に取り付けられ、その前方にミラー４５を取り付けることで検査対象物６の画像を取得する。このカメラ４３についても、略三角形状をなすフレーム１２にブラケット４４を介してスライド可能に取り付けられ、これによって、任意の位置に取り付けられるようにしている。そして、このようにミラー４５を用いて画像を取得できるようにすることによって、筐体１１をコンパクト化し、卓上などに設置できるようにする。
【００２７】
一方、移動機構３を構成する平ベルト３２の近傍には、図１に示すように、複数のセンサが取り付けられる。この複数のセンサうち、最も開口部１３側に近い第一センサ３４は、ステージ２を開口部１３側へ戻す際にステージ２の移動を停止させる。また、最も奥方に設けられる第二センサ３５は、検査対象物６が不良品であると判定された場合に、ステージ２の突出部２５をフレーム１２ａに当接させる直前で停止させ、開口部１３側へ引き戻させる。これらの第一センサ３４や第二センサ３５は、ステージ２の下方に設けられた２つの舌片２６によって遮光状態を検出する。
【００２８】
次に、このように構成された自動検査装置１における動作例を、図８のフローチャートおよび図６や図７の動作状態図を用いて説明する。
【００２９】
まず、検査対象物６である検査対象物６を検査する場合、オペレーターは開口部１３から検査対象物６を投入して、これをステージ２上に載置する（図６（ａ））。そして、図示しないスタートボタンを押下することによってステージ２を奥方へ移動させるとともに（ステップＳ１）、その移動途中にカメラ４３の画像取得領域４６内で画像を取得する（図６（ｂ）、ステップＳ２）。この取得された画像は、自動検査装置１の判定部によって判定され、その良否の結果が出力される（ステップＳ３）。ここで、判定部によって良品であると判定された場合は（ステップＳ４）、さらに奥方へステージ２を移動させ、第二センサ３５によってステージ２の移動が検出された位置から所定距離だけ奥方へステージ２を移動させ、そこで、移動機構のモーターの力を利用して、突出部２５をフレーム１２ａに押し当てる（図６（ｃ）および図７（ａ）、ステップＳ５）。このように突出部２５がフレーム１２ａに押し当てられると、左右両側の保持体要素２１が平行リンク機構２０を介して互いに離間する方向へ変位し、これによって検査対象物６の保持状態が解除される（図６（ｃ））および図７（ｂ））。
【００３０】
このように保持状態が解除された検査対象物６は、自重によって落下し、その下方に設けられた回収部５に回収される（ステップＳ６）。
【００３１】
一方、判定の結果、不良品であると判定された場合は（ステップＳ４）、第二センサ３５が舌片２６を検出した時点で平ベルト３２を逆転させ、ステージ２を開口部１３側へと戻していく（ステップＳ７）。そして、開口部１３側の第一センサ３４の位置に舌片２６が位置した場合に（図６（ａ）の状態）、その移動を停止させ、検査対象物６をステージ２に載置した状態でオペレーターによる目視検査を行えるようにする（ステップＳ８）。この際、ディスプレイ１４には自動検査による検査結果が表示され、しかも、筐体１１の前面が傾斜しているので、オペレーターは大きく視線を動かすことなく、ディスプレイ１４と検査対象物６を視認して目視検査することができる。そして、この目視検査の結果、不良品であると目視判断された場合は、その検査対象物６をオペレーターの手によって回収するとともに（ステップＳ９）、良品であると判断された場合は、図示しない回収ボタンを押下することによってステージ２を奥方まで移動させ、保持体要素２１を離間させて検査対象物６を回収する（ステップＳ５、Ｓ６）。
【００３２】
このように上記実施の形態によれば、保持体要素２１間の距離を離間させて検査対象物６を落下させるようにしたので、従来のようなピックアップ機構や移動機構を横方向にスライドさせるモーターなどを用いることなく検査対象物６を回収することができる。また、移動機構３を構成するモーターの力を利用して保持体要素２１を離間させるようにしたので、部品点数を少なくすることができ、これにより、装置を低コストかつ小型に仕上げることができるようになる。
【００３３】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。
【００３４】
例えば、上記実施の形態では、離間機構の一例として平行リンク機構２０を用いて保持体要素２１間の距離を拡大させるようにしたが、これを図９に示すような構造を用いることもできる。
【００３５】
図９に示す構造は、第一の実施の形態と同様に、ステージ２を奥方のフレーム１２ａに押し当てることで保持体要素２１間の距離を拡大させるようにしたもので、奥方のフレーム１２ａに設けられた傾斜部材２５ｃに突出部２５を押し当てることで、保持体要素２１間の距離を拡大させるようにしたものである。
【００３６】
この第二の実施の形態について詳述すると、傾斜部材２５ｃは、ステージ２の進行方向に沿って突出するように設けられるもので、左右両側の保持体要素２１に対応して、互いに外側へ向かって傾斜する傾斜面を有している。一方、保持体要素２１は、固定部２２に対して進行方向と直交する長孔２９を設けており、その長孔２９の範囲内でスライドできるようにしている。そして、バネ２７などを介して常時保持体要素２１間の距離が近づくように力を付与する。そして、このように各部材を取り付けた後、ステージ２を奥方に向かってスライドさせると、保持体要素２１の先端に設けられた突出部２５が傾斜部材２５ｃの傾斜面に接触し、その傾斜面に沿って突出部２５が外側へ変位する。そして、この突出部２５の変位に伴って、突出部２５と一体的に設けられた保持体要素２１が外側へと変位し、検査対象物６の保持状態を解除して落下させる。
【００３７】
このような構成によれば、第一の実施の形態と同様に、ピックアップ機構などの振り分け機構を用いることなく、簡素化された構造で検査対象物６を回収することができる。また、この実施の形態では、ステージ２の進行方向と垂直な方向にのみ保持体要素２１を変位させるので、離間位置で検査対象物６を落下させることができるようになる。
【００３８】
なお、この第二の実施の形態では、奥方のフレーム１２ａ側に傾斜面を有する傾斜部材２５ｃを取り付けるとともに、保持体要素２１側にも、この傾斜面に沿って変位する突出部２５を設けるようにしたが、これらの関係を逆にするようにしてもよい。すなわち、奥方のフレーム１２ａに突出した棒状の部材を設け、保持体要素２１側の突出部２５に傾斜面を設けて外側へ変位させるようにしてもよい。
【００３９】
また、この第二の実施の形態の変形例として、図１０に示すような構造も採用することもできる。
【００４０】
第二の実施の形態では、保持体要素２１の先端に設けた突出部２５を傾斜部材２５ｃに押し当てるようにしているが、この方法では、保持体要素２１の先端部分のみが先にＹ方向に変位してしまう可能性がある。そこで、図１０に示すように、ステージ２の進行方向の側方に沿って２箇所に傾斜部材２５ｃを設け、この傾斜部材２５ｃに保持体要素２１の先方部分および後方部分に設けられた突出部２５を押し当てることで先端部分および後端部分をＹ方向に変位させるように力を付与してもよい。
【００４１】
さらに、上記実施の形態では、保持体要素２１をＹ方向にスライドさせて検査対象物６を落下させるようにしたが、第三の実施の形態のような構造を用いることもできる。
【００４２】
図１１に第三の実施の形態の構造を示すと、第三の実施の形態において、左右に設けられた保持体要素２１は、平ベルト３２に固定された固定部２２とともにＸ方向（紙面前後方向）にスライドし、しかも、Ｘ方向と平行に設けられた軸部材２１ｃを介して下方向に回転できるようになっている（図１１（ｂ））。そして、カメラ４３の画像取得領域４６内では、保持体要素２１の下方に第二スライドレール３３ｂを設けることで水平な状態にしておき（図１１（ａ））、画像取得領域４６の奥方では第二スライドレール３３ｂを設けないようにしておく。そして、この画像取得領域４６の奥方でこの保持体要素２１を内側に向けて回転させ、検査対象物６を落下させる。なお、このとき、下方へ向けての回転をスムーズにするために、バネなどを用いるようにしてもよい。そして、この保持体要素２１を引き戻す際、水平な状態に戻す場合は、第二スライドレール３３ｂの奥方先端側をテーパー状にしておき、このテーパー面に沿って保持体要素２１を水平状態に戻せるようにする。
【００４３】
このように上記第一の実施の形態から第三の実施の形態では、左右の保持体要素２１を回転させたり、あるいは、Ｙ方向に変位させたりしているが、いずれか左右いずれか一方のみを回転、あるいは、変位させて検査対象物６の保持状態を解除するようにしてもよい。
【００４４】
また、各実施の形態では、ステージ２上に検査対象物６を載置して保持するようにしているが、検査対象物６を両側から挟み込んで保持するようにしてもよい。
【００４５】
また、上記実施の形態では、検査の結果、良品のみを回収するようにしているが、回収部５の奥方にもう一つの回収部を設け、不良品と良品に分別して回収できるようにしてもよい。この場合、それぞれの位置において、保持体要素２１の距離を離間させる機構を設けておく。
【００４６】
また、上記実施の形態では、移動機構３を平ベルト３２やモーターなどで構成したが、これに限らず、ボールネジやリニアモーターなど、他の機構を用いて固定部２２や保持体要素２１を直線方向に移動させるようにしてもよい。
【００４７】
また、上記実施の形態では、種々の態様によって検査対象物６の保持状態を解除して落下させるようにしているが、保持体要素２１を離間させて検査対象物６の保持状態を解除するような構造であれば、どのような構造のものを採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第一の実施の形態における自動検査装置の断面概略図
【図２】同形態におけるステージの構造を示す平面図
【図３】同形態におけるステージの構造を示す側面図
【図４】アームの取り付け角度が小さい場合の動作例
【図５】アームの取り付け角度が大きい場合の動作例
【図６】同形態におけるステージの動作例を示す図
【図７】同形態における保持体要素を変位させる動作例を示す図
【図８】同形態における検査処理を示すフローチャート
【図９】第二の実施の形態におけるステージの構造を示す図
【図１０】第二の実施の形態における変形例を示す図
【図１１】第三の実施の形態におけるステージの構造を示す図
【図１２】一般的な高機能な自動検査装置
【図１３】従来例における自動検査装置
【符号の説明】
【００４９】
１・・・自動検査装置
１１・・・筐体
１２ａ・・・奥方のフレーム
１２・・・フレーム
１３・・・開口部
１４・・・ディスプレイ
２・・・ステージ
２１・・・保持体要素
２１ａ・・・載置部
２１ｂ・・・挟持部
２２・・・固定部
２３・・・ヒンジ
２４・・・アーム
２５・・・突出部
２０・・・平行リンク機構
３・・・移動機構
３１・・・プーリ
３２・・・平ベルト
３３・・・スライドレール
３４・・・第一センサ
３５・・・第二センサ
４・・・照明部
４１・・・ブラケット
４２・・・棒状部材
４３・・・カメラ
４４・・・ブラケット
４５・・・ミラー
４６・・・画像取得領域
５・・・回収部
５１・・・衝撃緩和手段（弾性部材）
６・・・検査対象物
７１・・・スタッカ
７２ａ・・・ピックアップ機構
７２ｂ・・・ピックアップ機構
７３・・・ステージ
７４・・・撮像手段
７５・・・振り分け回収機構
７６・・・回収部
８１・・・ステージ
８２・・駆動機構
８３・・・カメラ
【図１】
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【図２】
2009229303.tif 000004
【図３】
2009229303.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2009229303.tif 000008
【図７】
2009229303.tif 000009
【図８】
2009229303.tif 000010
【図９】
2009229303.tif 000011
【図１０】
2009229303.tif 000012
【図１１】
2009229303.tif 000013
【図１２】
2009229303.tif 000014
【図１３】
2009229303.tif 000015