(57)【要約】【課題】ウェハレベルのレンズモジュールの貼合せにおいて、余分な接着剤がレンズ側に流入することを、より確実に防止する。【解決手段】基板１に複数のレンズ２が配設され、複数のレンズ２のそれぞれの周囲に、別のレンズモジュール１０との貼り合せ時に、レンズ２側への接着剤の流入を阻止する液止め手段４が設けられているため、レンズモジュール１０の貼合せ時に各レンズ２側に接着剤の流入が防止されて歩留まりを向上させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に複数の光学素子が配設され、該複数の光学素子のそれぞれの周囲に、別のウエハ状光学装置との貼り合せ時に、該光学素子側への接着剤の流入を阻止する液止め手段が設けられているウエハ状光学装置。
【請求項２】
前記複数の光学素子のそれぞれの周囲に、貼り合せ用のこば部が設けられ、前記液止め手段が該光学素子側のこば部に設けられている請求項１に記載のウエハ状光学装置。
【請求項３】
前記液止め手段が前記こば部の内周側に設けられ、該こば部の外周側を前記接着剤による接着領域としている請求項２に記載のウエハ状光学装置。
【請求項４】
前記液止め手段として、前記貼り合せ用のこば部の断面形状が、前記光学素子側から外側にいくほど低いテーパ形状に構成されている請求項２または３に記載のウエハ状光学装置。
【請求項５】
前記液止め手段は、渦巻状または環状の凹部または凸部で構成されている請求項１〜３のいずれかに記載のウエハ状光学装置。
【請求項６】
前記凹部または凸部の断面形状は、半球形、三角形、二等辺三角形、正方形、長方形および台形形状のいずれかである請求項５に記載のウエハ状光学装置。
【請求項７】
前記液止め手段は、２重以上または２周以上の平面視円形、楕円形、四角形、５角形、６角形および多角形のいずれかに構成されている請求項１、５および６のいずれかに記載のウエハ状光学装置。
【請求項８】
前記液止め手段として、前記接着剤が前記光学素子側に溢れ出すのを防止するべく、前記こば部から前記光学素子側に向いて少なくとも２重または２周の凹部または凸部が配置されている請求項１〜３のいずれかに記載のウエハ状光学装置。
【請求項９】
前記光学素子は、レンズ、ミラー光学素子、導波路手段、プリズムおよびホログラム素子のいずれかである請求項１〜３のいずれかに記載のウエハ状光学装置。
【請求項１０】
前記光学素子は、透明な熱硬化性樹脂材料または光硬化性樹脂材料で構成されている請求項１〜３のいずれかに記載のウエハ状光学装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載のウエハ状光学装置が、請求項１〜１０のいずれかに記載の別のウエハ状光学装置と、その各光学素子位置が上下に位置合わせされて接着剤で貼り合わせされており、前記液止め手段が上下に互いに対向配設されているかまたは上下で互いにずれて配設されているウエハ状光学装置。
【請求項１２】
前記液止め手段として、下側の凹部に対して、上側に凹部が設けられているかまたは、該下側の凹部に対して、該上側に、当該凹部内に挿入可能とする凸部が設けられている請求項１１に記載のウエハ状光学装置。
【請求項１３】
請求項１〜１０のいずれかに記載のウエハ状光学装置を樹脂成形する樹脂成形工程と、樹脂成形されたウエハ状光学装置同士の各光学素子位置を位置合わせすると共に、前記液止め手段を互いに対向配置させるかまたは互いにずらして配置させて接着剤で貼り合わせる貼り合わせ工程とを有するウエハ状光学装置の製造方法。
【請求項１４】
前記貼り合わせ工程は、
前記ウエハ状光学装置同士のうちの少なくともいずれかの面に対して、前記液止め手段の外側に、ナノインプリント方法、スクリーン印刷方法およびディスペンス方法のいずれかにより接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
該ウエハ状光学装置同士を対向させて前記接着剤を挟持した状態で該接着剤を硬化させる接着剤硬化工程とを有する請求項１３に記載のウエハ状光学装置の製造方法。
【請求項１５】
前記接着剤塗布工程は、前記液止め手段として形成された凹部または凸部のうち、少なくとも最内周から２番目の凹部または凸部の外側に前記接着剤を塗布する請求項１４に記載のウエハ状光学装置の製造方法。
【請求項１６】
貫通電極を有する複数の電子素子が配設された電子素子ウエハと、
該電子素子ウエハ上の所定領域に形成された樹脂接着層と、
該電子素子ウエハ上を覆い、該樹脂接着層上に固定された透明カバー部材と、
該複数の電子素子のそれぞれに対応するように該透明カバー部材上に接着固定された請求項１〜１０のいずれかに記載の一または積層された複数のウエハ状光学装置、請求項１１または１２に記載の積層されたウエハ状光学装置とを有する電子素子ウエハモジュール。
【請求項１７】
前記電子素子は、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子である請求項１６に記載の電子素子ウエハモジュール。
【請求項１８】
前記電子素子は、出射光を発生させるための発光素子および入射光を受光するための受光素子を有している請求項１６に記載の電子素子ウエハモジュール。
【請求項１９】
請求項１６〜１８のいずれかに記載の電子素子ウエハモジュールから一または複数個毎に切断された電子素子モジュール。
【請求項２０】
貫通電極を有する複数のセンサチップ部が配設されたセンサウエハと、
該センサウエハ上の所定領域に形成された樹脂接着層と、
該センサウエハ上を覆い、該樹脂接着層上に固定された透明カバー部材と、
該透明カバー部材上に、該複数の撮像素子にそれぞれ対応するように搭載されて接着固定された請求項１〜１０のいずれかに記載のウエハ状光学装置としての一または積層された複数のレンズモジュール、請求項１１または１２に記載の積層されたウエハ状光学装置とを有し、
該複数のセンサチップ部はそれぞれ、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子が設けられているセンサウエハモジュール。
【請求項２１】
請求項２０に記載のセンサウエハモジュールから一または複数個毎に切断されたセンサモジュール。
【請求項２２】
請求項１７に記載の電子素子ウエハモジュールから切断された電子素子モジュールをセンサモジュールとして撮像部に用いた電子情報機器。
【請求項２３】
請求項１８に記載の電子素子ウエハモジュールから切断された電子素子モジュールを情報記録再生部に用いた電子情報機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入射光を集光する複数のレンズまたは、出射光を直進させたり反射させたり入射光を所定方向に曲げて導いたりする複数の光学素子からなるウエハ状光学装置およびその製造方法、各レンズにそれぞれ対応して、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子または、各光学機能素子にそれぞれ対応して、出射光を発生させるための発光素子および入射光を受光するための受光素子とが複数モジュール化（一体化）された電子素子ウエハモジュール、この電子素子ウエハモジュールから一括切断されて製造される電子素子モジュール、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子と、入射光を撮像素子上に結像するためのレンズとが複数モジュール化（一体化）されたセンサウエハモジュール、これを切断したセンサモジュールを、車載用カメラなどの画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばデジタルビデオカメラおよびデジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、車載用カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ、ファクシミリ、カメラ付き携帯電話装置および携帯端末装置（ＰＤＡ）または、この電子素子モジュールを情報記録再生部に用いたピックアップ装置などの電子情報機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の従来の電子素子モジュールとしてのセンサモジュールは、主に、カメラモジュールとして、カメラ付き携帯電話装置や携帯端末装置（ＰＤＡ）、さらにはカードカメラなどに用いられ、セラミックスやガラス入りエポキシ樹脂などのマウント基板上に、被写体からの画像光をそれぞれ光電変換して被写体を撮像する複数の受光部を有する電子素子としての撮像素子を有する固体撮像チップと、入射光を撮像素子上に結像するための集光レンズを固定したホルダー部材とが設けられている。この場合に、固体撮像チップはマウント基板上に配設されてワイヤボンディングされている。
【０００３】
これに対して、最近、カメラモジュールやレンズなどの生産コスト引き下げを目的にウェハレベルで一括加工を行う工法が求められており、この場合、レンズもウェハレベルで製作する必要がある。
【０００４】
複数のレンズが配設されたウェハレベルのレンズ基板の貼り合せには、熱や紫外線（ＵＶ）を利用して、間に入れる接着剤を硬化させて２枚のレンズ基板を接着するが、間に入れる接着剤が各レンズ内に流入しないようにする必要がある。
【０００５】
その接着剤の一方側への流入を阻止する液止め方法の事例が、特許文献１に開示されている。
【０００６】
図１３は、特許文献１に開示されている従来の貼合せディスクを模式的に示す縦断面図である。
【０００７】
従来のディスク１００は、情報を読み書きするＤＶＤやブルーレイディスク、ＨＤ−ＤＶＤなどの円板状のディスクである。２枚の円板状のディスク基板１０１、１０２の中央部分にそれぞれディスク取り付け用の大きい穴１０３、１０４がそれぞれ設けられている。ディスク取り付け用の穴１０３、１０４の直ぐ外周側に円環状の凹部１０５、１０６がそれぞれ設けられている。これらの２枚のディスク基板１０１、１０２が対向配置されて接着剤１０７で貼り合わされている。
【０００８】
このようなＤＶＤやブルーレイディスク、ＨＤ−ＤＶＤなどのディスクに限定した製造方法において、円環状の凹部１０５、１０６により、２枚のディスク基板１０１、１０２を対向させて貼り合わるときに、中心部側のディスク取り付け用の穴１０３、１０４側に接着剤１０７が流れたとしても、接着剤１０７が円環状の凹部１０５、１０６内に流入して溜まり、ディスク取り付け用の穴１０３、１０４側に溢れ出てはみ出すことは防止される。
【特許文献１】特開２００６−２４４５９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ウェハレベルのレンズ基板の貼合せ時に、余分な接着剤がレンズ側に流入すると、接着剤は黒い遮光機能を有する場合もあって、レンズによる集光機能を大幅に損なってしまい、しかも、接着剤の塗布量も制御が難しく、レンズ基板に搭載される複数のレンズは直径が３ｍｍ（２ｍｍ〜５ｍｍ）程度のサイズで小さく、余分な接着剤がレンズ側にはみ出すとレンズを覆ってしまい兼ねない。これではレンズとしての機能を全く果たすことができない。このように、余分な接着剤がレンズ側に流入すると、固体撮像素子の光学効率が大幅に低下し、歩留まりが低下するという大きな問題を有していた。
【００１０】
これに対して、上記従来の構成では、ディスクの中心穴側に余分な接着剤がはみ出さないように構成されているものの、本発明の対象とする小さな複数のレンズが搭載されたウェハレベルのレンズ基板と、直径が１００ｍｍ程度の大きい１枚の円板状の上記ＤＶＤやブルーレイディスク、ＨＤ-ＤＶＤなどのディスクとは全くその構成および機能が異なるものであり、技術分野も全く異なり、さらには、本発明のレンズ基板には、上記従来技術のディスクのように大きな中心穴はない。
【００１１】
本発明は、上記従来の問題を解決するもので、ウェハレベルのレンズ基板の貼合せにおいて、余分な接着剤がレンズ側に流入することを、より確実に防止することができるウエハ状光学装置およびその製造方法、このウエハ状光学装置を用いた電子素子ウエハモジュール、このウエハ状光学装置を用いた電子素子が固体撮像素子であるセンサウエハモジュール、この電子素子ウエハモジュールから一括切断した個々の電子素子モジュール、このセンサウエハモジュールから一括切断した個々のセンサモジュール、このセンサモジュールなどの電子素子モジュールを画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のウエハ状光学装置は、基板に複数の光学素子が配設され、該複数の光学素子のそれぞれの周囲に、別のウエハ状光学装置との貼り合せ時に、該光学素子側への接着剤の流入を阻止する液止め手段が設けられているものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００１３】
また、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における複数の光学素子のそれぞれの周囲に、貼り合せ用のこば部が設けられ、前記液止め手段が該光学素子側のこば部に設けられている。
【００１４】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における液止め手段が前記こば部の内周側に設けられ、該こば部の外周側を前記接着剤による接着領域としている。
【００１５】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における液止め手段として、前記貼り合せ用のこば部の断面形状が、前記光学素子側から外側にいくほど低いテーパ形状に構成されている。
【００１６】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における液止め手段は、渦巻状または環状の凹部または凸部で構成されている。
【００１７】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における凹部または凸部の断面形状は、半球形、三角形、二等辺三角形、正方形、長方形および台形形状のいずれかである。
【００１８】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における液止め手段は、２重以上または２周以上の平面視円形、楕円形、四角形、５角形、６角形および多角形のいずれかに構成されている。
【００１９】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における液止め手段として、前記接着剤が前記光学素子側に溢れ出すのを防止するべく、前記こば部から前記光学素子側に向いて少なくとも２重または２周の凹部または凸部が配置されている。
【００２０】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における光学素子は、レンズ、ミラー光学素子、導波路手段、プリズムおよびホログラム素子のいずれかである。
【００２１】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における光学素子は、透明な熱硬化性樹脂材料または光硬化性樹脂材料で構成されている。
【００２２】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置において、本発明の上記別のウエハ状光学装置と、その各光学素子位置が上下に位置合わせされて接着剤で貼り合わせされており、前記液止め手段が上下に互いに対向配設されているかまたは上下で互いにずれて配設されている。
【００２３】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置における液止め手段として、下側の凹部に対して、上側に凹部が設けられているかまたは、該下側の凹部に対して、該上側に、当該凹部内に挿入可能とする凸部が設けられている。
【００２４】
本発明のウエハ状光学装置の製造方法は、本発明の上記ウエハ状光学装置を樹脂成形する樹脂成形工程と、樹脂成形されたウエハ状光学装置同士の各光学素子位置を位置合わせすると共に、前記液止め手段を互いに対向配置させるかまたは互いにずらして配置させて接着剤で貼り合わせる貼り合わせ工程とを有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００２５】
また、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置の製造方法における貼り合わせ工程は、  前記ウエハ状光学装置同士のうちの少なくともいずれかの面に対して、前記液止め手段の外側に、ナノインプリント方法、スクリーン印刷方法およびディスペンス方法のいずれかにより接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、該ウエハ状光学装置同士を対向させて前記接着剤を挟持した状態で該接着剤を硬化させる接着剤硬化工程とを有する。
【００２６】
さらに、好ましくは、本発明のウエハ状光学装置の製造方法における接着剤塗布工程は、前記液止め手段として形成された凹部または凸部のうち、少なくとも最内周から２番目の凹部または凸部の外側に前記接着剤を塗布する。
【００２７】
本発明の電子素子ウエハモジュールは、貫通電極を有する複数の電子素子が配設された電子素子ウエハと、該電子素子ウエハ上の所定領域に形成された樹脂接着層と、該電子素子ウエハ上を覆い、該樹脂接着層上に固定された透明カバー部材と、該複数の電子素子のそれぞれに対応するように該透明カバー部材上に接着固定された本発明の上記一または積層された複数のウエハ状光学装置とを有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００２８】
また、好ましくは、本発明の電子素子ウエハモジュールにおける電子素子は、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子である。
【００２９】
さらに、好ましくは、本発明の電子素子ウエハモジュールにおける電子素子は、出射光を発生させるための発光素子および入射光を受光するための受光素子を有している。
【００３０】
本発明の電子素子モジュールは、本発明の上記電子素子ウエハモジュールから一または複数個毎に切断されたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００３１】
本発明のセンサウエハモジュールは、貫通電極を有する複数のセンサチップ部が配設されたセンサウエハと、該センサウエハ上の所定領域に形成された樹脂接着層と、該センサウエハ上を覆い、該樹脂接着層上に固定された透明カバー部材と、該透明カバー部材上に、該複数の撮像素子にそれぞれ対応するように搭載されて接着固定された本発明の上記ウエハ状光学装置としての一または積層された複数のレンズモジュール、本発明の上記積層されたウエハ状光学装置とを有し、該複数のセンサチップ部はそれぞれ、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子が設けられているものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００３２】
本発明のセンサモジュールは、本発明の上記センサウエハモジュールから一または複数個毎に切断されたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００３３】
本発明の電子情報機器は、本発明の上記電子素子ウエハモジュールから切断された電子素子モジュールをセンサモジュールとして撮像部に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００３４】
本発明の電子情報機器は、本発明の上記電子素子ウエハモジュールから切断された電子素子モジュールを情報記録再生部に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００３５】
上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。
【００３６】
本発明においては、基板に複数の光学素子、例えばレンズが配設され、複数のレンズのそれぞれの周囲に、別のウエハ状光学装置との貼り合せ時に、レンズ側への接着剤の流入を阻止する液止め手段が設けられている。
【００３７】
つまり、少なくとも２枚以上のウェハレベルの光学素子としてのレンズモジュールの貼合せにおいて、基板に多数配置されたレンズ周辺部に、液止め溝などの液止め手段を配置し、余分な接着剤を液止め溝で捕獲して移動を停止させて２枚のレンズ基板（レンズモジュール）を接着する。このときレンズの周囲に配置する液止め溝（液止め手段）を渦巻状または環状とし、液止め溝をレンズ周辺全域に、少なくとも２重以上巡らした形状にして接着剤の侵入を防ぐものである。これによって、ウェハレベルのレンズ基板の貼り合せにおいて、余分な接着剤がレンズ側に流入することを、より確実に防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００３８】
以上により、本発明によれば、基板に複数のレンズが配設され、複数のレンズのそれぞれの周囲に、別のウエハ状光学装置との貼り合せ時に、レンズ側への接着剤の流入を阻止する液止め手段が設けられているため、光学素子基板としてのレンズ基板の貼合せ時に各レンズ側に接着剤の流入が防止されて歩留まりを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下に、本発明のウエハ状光学装置としてのレンズモジュールおよびその製造方法の実施形態１および、このウエハ状光学装置としてのレンズモジュールを用いた電子素子ウエハモジュールの実施形態２としてセンサウエハモジュールに適用する場合、さらには、センサウエハモジュールを一括切断して得られるセンサモジュールを画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器の実施形態３について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００４０】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るレンズモジュールの要部構成例を模式的に示す平面図および一部拡大図である。
【００４１】
図１において、本実施形態１のウエハ状光学装置としてのレンズモジュール１０は、透明樹脂製の円板状の基板１に、複数の光学素子としての透明樹脂製の複数のレンズ２（集光レンズ）が行列方向にマトリクス状に配設され、複数のレンズ２の周囲（外側）にそれぞれ、レンズ２側への貼り合せ用接着剤の流入を阻止する接着剤流入阻止手段である液止め手段がそれぞれ設けられている。複数のレンズ２の周囲に、レンズモジュール１０同士を接着するためのこば部３が設けられ、液止め手段４がレンズ２側のこば部３に設けられている。液止め手段４は、液止め溝で構成されており、接着剤がレンズ２側に溢れ出すのを防止するべく、渦巻状の凹部４ａまたは円環状の凹部４ｂで構成されている。渦巻状の凹部４ａまたは環状の凹部４ｂは、接着剤が確実にレンズ２側に溢れ出すのを防止するために、レンズ２側に向いてどの場所でも２重以上の凹部が配置されている。なお、２１a、２１ｂは、レンズモジュール１０から一括切断して個片化したレンズ板を拡大して示している。
【００４２】
ここで、上記構成のレンズモジュール１０を２枚貼り合わせる方法について詳細に説明する。
【００４３】
まず、樹脂成形工程において、基板１に複数のレンズ２を作製する際に、レンズ金型により各レンズ２の周りに、２重または２周以上（ここでは２）の渦巻状または円環状の凹部４ａ、４ｂ（溝部）を、各レンズ２の成形と共に同時に成形する。このレンズ周辺の渦巻状または円環状の凹部４ａ、４ｂ（溝部）は、２枚のレンズモジュール１０（１０ａおよび１０ｂ）の対向する位置の両方かまたはどちらか一方に存在すればよい。凹部４ａ、４ｂが２枚のレンズモジュール１０の上用と下用の両方に存在する場合、図３の上用のレンズモジュール１０ａは、レンズ２周辺の渦巻状または円環状の凹部４ａ、４ｂ（溝部）が下面側に設けられ、図４の下用のレンズモジュール１０ｂは、レンズ周辺の渦巻状または円環状の凹部４ａ、４ｂ（溝部）が上面側に設けられて、後述するが、液止め手段の各凹部４ａ、４ｂは互いに対向するように位置決めされる。
【００４４】
次に、上用のレンズモジュール１０ａと下用のレンズモジュール１０ｂとの貼り合わせ工程において、各レンズ２の位置同士を上用と下用とで合わすと共に、液止め手段の各凹部４ａ、４ｂを互いに対向させて接着剤５で貼り合わせる。この場合、接着剤塗布工程と接着剤硬化工程とを行う。
【００４５】
接着剤塗布工程において、上用のレンズモジュール１０ａおよび下用のレンズモジュール１０ｂのうちの少なくともいずれかの面（ここでは下用のレンズモジュール１０ｂの上面）に対して、図４に示すように液止め手段の各凹部４ａおよび／または４ｂのレンズ２側とは反対側の接着用こば部３に接着剤５を塗布する。即ち、２枚のレンズモジュール１０（１０ａと１０ｂ）の一方または両方のレンズ２の周辺に配置された２重（または２周）の凹部４ａおよび／または４ｂの内側以外の外側部分（外周側の接着用こば部３）に、ナノインプリント方法、スクリーン印刷方法およびディスペンス方法のいずれかにより塗布量を適度に測定して接着剤５を塗布する。
【００４６】
この接着剤５の塗布には、図５に示すようなディスペンス装置であるインクジェット６のノズル７から接着剤５を点状に順次にノズル７を移動させて線状に、レンズ周辺の渦巻状または環状の凹部４ａ、４ｂ（溝部）の外側に正確に接着剤５の量を制御しつつ塗布する。こば部３はスクライブラインで段差がついているが、スクライブラインでこば部３に段差のないものについてはで、スクライブライン上に格子状に接着剤５を吐出して素早く塗布するようにしてもよい。
【００４７】
さらに、上用のレンズモジュール１０ａと下用のレンズモジュール１０ｂとを対向させて位置合わせする。この場合、レンズ２の周辺などを照準として貼合せるレンズモジュール１０（レンズ基板）の位置を割り出し、２枚のレンズ２が位置ズレを生じないようにアライメントを行う。２枚のレンズ基板のアライメント終了後、貼付設備の上下のプレートを下げて行き、接着剤５を貼付面全域に引き伸ばし、貼り付けを行う。
【００４８】
即ち、図６に示すように接着剤５を挟持した状態から、図７に示すように上用のレンズモジュール１０ａと下用のレンズモジュール１０ｂに内側方向の圧力をかけて接着剤５を押圧する。このとき、接着剤５は、レンズ２の周辺の接着用こば部３上面で広がり、液止め手段４の外側の各凹部４ａおよび／または４ｂ内を充填しながら、次の内側の液止め手段４の各凹部４ａおよび／または４ｂ内まで流れるが、内側の各凹部４ａおよび／または４ｂ内で接着剤５の液流れが止まる。接着剤５は量的に液流れが止まる量にしている。これによって、レンズ２側に接着剤５がはみ出すことが防止される。このように、本発明の液止め手段４は、接着に必要な接着剤５よりも多目の接着剤５は予め作製された液止め手段４の外側の各凹部４ａおよび／または４ｂ（液止め溝）内に入り込み、レンズ２側に入り込んでいくことを止める効果を持つ。
【００４９】
接着剤硬化工程において、接着剤５の樹脂材料はＵＶ硬化型でも熱硬化型でもどちらでもよい。図８に示すように、押さえが充分に為された状態でＵＶ照射あるいは加熱の処理を行い接着剤を硬化する。即ち、上用のレンズモジュール１０ａと下用のレンズモジュール１０ｂとを貼り合せ加圧した状態で熱または紫外線ＵＶ、ここでは紫外線ＵＶを、透明樹脂からなる上用のレンズモジュール１０ａの上から照射（または透明樹脂からなる下用のレンズモジュール１０ｂの下から照射してもよく、上下両面から照射してもよい）して接着剤５を硬化させる。
【００５０】
以上により、本実施形態１によれば、基板１に複数のレンズ２が配設されており、複数のレンズ２のそれぞれの周囲に、別のレンズモジュール１０との貼り合せ時に、レンズ２側への接着剤の流入を阻止する液止め手段４が設けられているため、レンズモジュール１０の貼合せ時に各レンズ２側に接着剤の流入が防止されて歩留まりを向上させることができる。
【００５１】
なお、上記実施形態１の液止め手段として、渦巻状または円環状の凹部４ａまたは４ｂで説明したが、これに限らずまたはこれと共に、図９（ａ）に示すように円環状の凹部４ｃのように内周部と外周部との間が連結（連通）される凹部を有していてもよく、図９（ｂ）に示すように渦巻状の凹部４ｄとして平面視四角形の渦巻状であってもよく、図９（ｃ）に示すように環状の凹部４ｅとして平面視四角形の環状であってもよく、これらの渦巻状または環状の凹部４ａ〜４ｅに代えて凸部であってもよい。
【００５２】
また、上記実施形態１の液止め手段４の凹部の断面形状として二等辺三角形で説明したが、これに限らずまたはこれと共に、半球形、三角形、正方形、長方形および台形形状のいずれであってもよい。また同様に、液止め手段４の凸部の断面形状を半球形、二等辺三角形、三角形、正方形、長方形および台形形状のいずれであってもよい。
【００５３】
なお、上記実施形態１では、レンズモジュール１０が、別のレンズモジュール１０と、その各レンズ２の位置が上下に位置合わせされて接着剤５で貼り合わせされ、液止め手段４が互いに対向配設される場合について説明したが、液止め手段４が上下位置で互いにずれて配設されていてもよい。
【００５４】
また、上記実施形態１では、液止め手段４として、下側の凹部４ｂに対して、上側に凹部４ａが対向配設される場合について説明したが、これに限らず、図１０（ａ）に示すように下側の凹部４ｇに対して、上側に、下側の凹部４ｇ内に挿入可能（嵌合可能）とする堰止めとしてリブ（壁部）の凸部４ｆが設けられていてもよい。下側の凹部４ｇの開口寸法が凸部４ｆの突出寸法よりも大きく構成されている。
【００５５】
さらに、液止め手段として、図１０（ｂ）に示すように貼り合せ用のこば部３の断面形状が、レンズ２側から外側にいくほど低いテーパ形状部４ｈに構成されていてもよい。このテーパ形状部４ｈにより、こば部３上の接着剤５を押圧すると外側に力が働くように広がって、レンズ２側にはみ出す虞が抑制される。接着用のこば部３の内周端縁部に、レンズ２の外周側に沿って凹部４ｉ（階段部）が設けられており、この凹部４ｉ（階段部）によって、たとえ、こば部３上の接着剤５がレンズ２側にはみ出してきても、凹部４ｉ（階段部）内に納まってレンズ２側にはみ出すことが抑制される。
【００５６】
さらに、上記実施形態１では、液止め手段の溝またはリブ構造が、２重または２周程度の平面視円形で説明したが、これに限らずまたはこれと共に、楕円形、四角形、５角形、６角形および多角形のいずれかに構成されていてもよい。液止め手段の溝（断面凹部）またはリブ（断面凸部）構造が、２重または２周に限らず、３重または３周、４重または４周、さらには複数重または複数周であってもよい。
【００５７】
さらに、上記実施形態１では、光学素子として、レンズ２、特に集光レンズについて説明したが、これに限らず、収差補正レンズや拡散レンズなどであってもよい。さらには、光学素子としてレンズ２の他に、ミラー光学素子、導波路手段、プリズムおよびホログラム素子のいずれであってもよい。
【００５８】
さらに、上記実施形態１では、光学素子としてのレンズ２とその周辺の接着用こば部３とを一体的に透明な光硬化性樹脂材料で構成したが、これに限らず、透明な光硬化性樹脂材料の代わりに透明な熱硬化性樹脂材料であってもよい。
【００５９】
ここで、本発明の電子素子ウエハモジュールを切断して一括製造された電子素子モジュールの実施形態２として、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子と、入射光を撮像素子上に結像するための一または複数のレンズモジュール（上記実施形態１のレンズモジュール１０を含んでいてもよい）とが複数モジュール化（一体化）されたセンサウエハモジュールを切断して一括製造されたセンサモジュールに適用した場合について、図１１を参照しながら詳細に説明する。
【００６０】
（実施形態２）
図１１は、本発明の実施形態２に係るセンサモジュールの要部構成例を示す縦断面図である。
【００６１】
図１１において、本実施形態２のセンサモジュール５０は、ウエハチップ表面に、複数の画素に対応した各光電変換部（フォトダイオード）である複数の受光部からなる撮像素子５１ａが電子素子として設けられ、貫通孔５１ｂが表面と裏面間に設けられて導通した貫通ウエハ５１と、この貫通ウエハ５１の撮像素子５１ａの周囲上に形成された樹脂接着層５２と、この樹脂接着層５２上を覆うカバーガラスとしてのガラス板５３と、このガラス板５３上に設けられ、撮像素子５１ａに入射光を集光させるための光学素子としての複数のレンズ板２１ｂ、２２および２３が積層されたレンズ板２０と、これらのレンズ板２１ｂ、２２および２３を接着して固定するためのレンズ接着層５５および５６と、各レンズ板２１ｂ、２２および２３のうちの最上位置のレンズ板２１ｂの中央部を円形の光取入口として開口すると共に、それ以外の表面部分および、各レンズ板２１ｂ、２２および２３およびガラス板５３の側面部分を遮光する遮光部材５７とを有しており、貫通ウエハ５１上に、ガラス板５３およびレンズ板２０がこの順に互いにアライメントをとって樹脂接着層５２およびレンズ接着層５５および５６などにより上下に貼り合わされている。この本実施形態２のセンサモジュール５０は、貫通ウエハ５１と、樹脂接着層５２と、ガラス板５３と、複数のレンズ板２０（上記実施形態１のレンズモジュール１０を含む複数枚のレンズモジュールから一括切断したものでもよい）と、レンズ接着層５５および５６とが貼り合わされたウエハレベルのセンサウエハモジュールを切断した後にこれに遮光部材５７を上側から装着することにより個々に一括して製造されている。
【００６２】
センサウエハモジュールは、切断前の複数の貫通ウエハ５１が設けられたセンサウエハの各表面側には、複数の撮像素子５１ａ（撮像素子毎に複数の画素を構成する複数の受光部が設けられている）がマトリクス状に配列されており、貫通ウエハ５１の厚さが１００〜２００μｍであり、その裏面から表面のパッド下に貫通する複数の貫通穴５１ｂが明けられている。この貫通穴５１ｂの側壁と裏面側は絶縁膜で覆われており、そのパッドにコンタクトを持つ配線層が貫通穴５１ｂを介して裏面まで形成されている。この配線層上および裏面にはソルダーレジストが形成され、配線層上に半田ボールが形成される部分はソルダーレジストが窓明けされて半田ボールが外部に露出して形成されている。各層の形成方法は通常の半導体プロセスに使われるフォトリソ、エッチング、メッキおよびＣＶＤ法などの各種の技術によって形成が可能である。なお、ウエハ切断後は、貫通ウエハ５１として、中央部に素子領域を有するセンサ基板（電子素子チップ部としてのセンサチップ部）を構成する。
【００６３】
樹脂接着層５２は、貫通ウエハ５１上の所定場所に通常のフォトリソ技術により形成され、その上にガラス板５３が接着されるが、このフォトリソ技術の他にスクリーン印刷手法またはディスペンス手法を用いて形成することができる。この樹脂接着層５２は、ガラス板５３が固定される側の表面の一部に浅い溝（エアーパス）が形成されている。この溝は、樹脂接着層５２を形成するときに、同時にフォトリソ技術により形成が可能である。樹脂厚は３０μｍ〜３００μｍ、溝の深さは３μｍ〜２０μｍ程度である。この溝は、半導体表面上方が、ガラス板５３で覆われる場合に、貫通ウエハ５１上の電子素子としての撮像素子５１ａが設けられたセンサ領域の内部空間が密閉されてそこに結露が生じないようにするためであるが、後で個々のモジュールにダイシングするときに、切削水、スラリーなどもセンサ領域の内部空間内に侵入してセンサ表面上に付着し難いように途中にたまり空間領域を持つ構造となっている。空間領域を半密閉状にするための溝（エアーパス）を斜めの直線状、Ｓ字状または迷路状（ここでは斜めの直線状にしている）にしたりこれらを組み合わせたりしてある程度の距離を持たせるようにする。
【００６４】
さらに、樹脂接着層５２は、ここでは、複数の撮像素子５１ａそれぞれ上の空間領域から外部に連通させるための溝が形成されているだけではなく、さらに、この空間領域と溝で連通した別の空間領域を介してさらに外部と連通させるための溝が形成されている。また、樹脂接着層５２は、各撮像素子５１ａ毎に配設され、撮像素子５１ａの領域以外の領域上および、隣接する撮像素子５１ａ間のダイシング領域以外の領域上に配設されている。ない、樹脂接着層５２の溝に限らず、他のエアーパスが設けられていてもよく、材料的に内部と連通可能な素材構成（材料粒子が粗くまたは材質的に水分を外部と内部がエアーパス可能な材料）とされていてもよい。
【００６５】
レンズ板２０は、透明樹脂レンズ板であり、上記実施形態１のレンズモジュール１０から一括切断したものを含んでいてもよく、上記実施形態１の場合と同様の構成である。このレンズ板２０において、レンズ機能を有するレンズ領域と、スペーサ機能を有するスペーサ部としてのレンズ周囲のこば部３（接着用こば部）とで構成され、全体は同じ種類の樹脂材料で形成されている。
【００６６】
前述したが、成形上型と成形下型は、ガラス型でも、金属型でもよい。本実施形態２では、形成されたレンズ板２１ｂ、２２および２３が３枚、こば部分で貼り合わされた構造となっている。これらの貼り合わせには、接着部材５５および５６を用いるが、接着部材５５および５６は、遮光機能を有していてもよい。
【００６７】
光学素子としての複数枚のレンズ板５４は、収差補正レンズ２３、拡散レンズ２２および集光レンズ２１ｂ（または２１ａ）であり（１枚の場合は集光レンズ）、レンズ板２０は、中央部分にレンズ領域が設けられ、そのレンズ領域の外周側に所定厚さを持つスペーサ部であるレンズ周囲部分としてのこば部分が設けられているが、それらのレンズ板２０の各外周側にそれぞれ設けられた所定厚さを持つ各スペーサ部（こば部３）が下からこの順に積層されて配置されている。このスペーサ部（こば部３）は位置決め機能を有しており、その位置決め機能は、テーパの付いた凹部と凸部またはアライメントメークで構成されている。３枚のレンズ板２０を接着する接着層５５および５６は、遮光機能を兼ねていてもよく、接着層５５および５６は、スペースを決定する固体が含有されていてもよい。
【００６８】
次に、この電子素子モジュールを用いた完成品を実施形態３として、本実施形態２のセンサモジュール５０を撮像部に用いるかまたは、他の電子素子モジュールを例えば情報記録再生部に用いた電子情報機器を、次の実施形態３として図面を参照しながら詳細に説明する。
（実施形態３）
図１２は、本発明の実施形態３として、本発明の実施形態２のセンサモジュール５０を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
【００６９】
図１２において、本実施形態３の電子情報機器９０は、上記実施形態２のセンサモジュール５０からの撮像信号を各種信号処理してカラー画像信号を得る固体撮像装置９１と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を記録用に所定の信号処理した後にデータ記録可能とする記録メディアなどのメモリ部９２と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を表示用に所定の信号処理した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示可能とする液晶表示装置などの表示手段９３と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を通信用に所定の信号処理をした後に通信処理可能とする送受信装置などの通信手段９４と、プリンタなどの画像出力手段９５とを有している。なお、この電子情報機器９０として、これに限らず、固体撮像装置９１の他に、メモリ部９２と、表示手段９３と、通信手段９４と、プリンタなどの画像出力手段９５とのうちの少なくともいずれかを有していてもよい。
【００７０】
この電子情報機器９０としては、前述したように例えばデジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、監視カメラ、ドアホンカメラ、車載用後方監視カメラなどの車載用カメラおよびテレビジョン電話用カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ、ファクシミリ、カメラ付き携帯電話装置および携帯端末装置（ＰＤＡ）などの画像入力デバイスを有した電子機器が考えられる。
【００７１】
したがって、本実施形態３によれば、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号に基づいて、これを表示画面上に良好に表示したり、これを紙面にて画像出力装置９５により良好にプリントアウト（印刷）したり、これを通信データとして有線または無線にて良好に通信したり、これをメモリ部９２に所定のデータ圧縮処理を行って良好に記憶したり、各種データ処理を良好に行うことができる。
【００７２】
なお、上記実施形態３の電子情報機器９０に限らず、本発明の電子素子モジュールを情報記録再生部に用いたピックアップ装置などの電子情報機器であってもよい。この場合のピックアップ装置の光学素子としては、出射光を直進させて出射させると共に、入射光を曲げて所定方向に入射させる光学機能素子（例えばホログラム光学素子）である。また、ピックアップ装置の電子素子としては、出射光を発生させるための発光素子（例えば半導体レーザ素子またはレーザチップ）および入射光を受光するための受光素子（例えばフォトＩＣ）を有している。
【００７３】
なお、本実施形態１では、特に詳細には説明してないが、基板に複数の光学素子、例えばレンズ２が配設され、複数のレンズ２のそれぞれの周囲に、別のウエハ状光学装置としてのレンズモジュール１０の貼り合せ時に、レンズ２側への接着剤５の流入を阻止する液止め手段４が設けられている。さらに、複数のレンズ２のそれぞれの周囲に、貼り合せ用のこば部３が設けられ、液止め手段４がレンズ２側のこば部３に設けられている。この液止め手段４がこば部３の内周側に設けられ、こば部３の外周側を接着剤５による接着領域としている。これによって、レンズモジュールの貼合せ時に各レンズ側に接着剤の流入が防止されて歩留まりを向上させることができる本発明の目的を達成することができる。
【００７４】
以上のように、本発明の好ましい実施形態１〜３を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態１〜３に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態１〜３の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明は、入射光を集光する複数のレンズまたは、出射光を直進させたり反射させたり入射光を所定方向に曲げて導いたりする複数の光学素子からなるウエハ状光学装置およびその製造方法、各レンズにそれぞれ対応して、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子または、各光学機能素子にそれぞれ対応して、出射光を発生させるための発光素子および入射光を受光するための受光素子とが複数モジュール化（一体化）された電子素子ウエハモジュール、この電子素子ウエハモジュールから一括切断されて製造される電子素子モジュール、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子と、入射光を撮像素子上に結像するためのレンズとが複数モジュール化（一体化）されたセンサウエハモジュール、これを切断したセンサモジュールを、車載用カメラなどの画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばデジタルビデオカメラおよびデジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、車載用カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ、ファクシミリ、カメラ付き携帯電話装置および携帯端末装置（ＰＤＡ）または、この電子素子モジュールを情報記録再生部に用いたピックアップ装置などの電子情報機器の分野において、基板に複数のレンズが配設され、複数のレンズのそれぞれの周囲に、別のレンズモジュールとの貼り合せ時に、レンズ側への接着剤の流入を阻止する液止め手段が設けられているため、レンズモジュールの貼合せ時に各レンズ側に接着剤の流入が防止されて歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の実施形態１に係るレンズモジュールの要部構成例を模式的に示す平面図および一部拡大図である。
【図２】図１のレンズモジュールの上用を示す要部構成例を模式的に示す縦断面図および要部拡大図である。
【図３】図１のレンズモジュールの下用を示す要部構成例を模式的に示す縦断面図および要部拡大図である。
【図４】図１のレンズモジュールの貼り合わせ時の接着剤塗布工程を模式的に示す縦断面図および要部拡大図である。
【図５】図４の接着剤塗布工程におけるディスペンス方法を説明するための図である。
【図６】図１のレンズモジュールの貼り合わせ時の位置合わせ工程を模式的に示す縦断面図および要部拡大図である。
【図７】図１のレンズモジュールの貼り合わせ時の押圧工程を模式的に示す縦断面図および要部拡大図である。
【図８】図１のレンズモジュールの貼り合わせ時の接着剤硬化工程を模式的に示す縦断面図および要部拡大図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は、図１のレンズモジュールの液止め手段の形状を模式的に示す平面図である。
【図１０】（ａ）および（ｂ）は、図１のレンズモジュールの液止め手段の他の形状を模式的に示す縦断面図である。
【図１１】本発明の実施形態２に係るセンサモジュールの要部構成例を示す縦断面図である。
【図１２】本発明の実施形態３として、本発明の実施形態２のセンサモジュール５０を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
【図１３】特許文献１に開示されている従来の貼合せディスクを模式的に示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  基板
２  レンズ２（集光レンズ）
３  こば部
４  液止め手段
４ａ  渦巻状の凹部
４ｂ  円環状の凹部
４ｃ  連結凹部を有する円環状の凹部
４ｄ  平面視四角形の渦巻状の凹部
４ｅ  平面視四角形の環状の凹部
４ｆ  リブ状の凸部
４ｇ  下側の凹部
５  接着剤
６  インクジェット
７  ノズル
１０，１０ａ，１０ｂ  レンズモジュール
５０  センサモジュール
５１  貫通ウエハ
５１ａ  撮像素子
５１ｂ  貫通孔
５２  樹脂接着層
５３  ガラス板
２０、２１ａ、２１ｂ、２２、２３  レンズ板
５５、５６  接着層（接着剤）
５７  遮光部材
９０  電子情報機器
９１  固体撮像装置
９２  メモリ部
９３  表示手段
９４  通信手段
９５  画像出力手段
【図２】
2009251249.tif 000003
【図３】
2009251249.tif 000004
【図４】
2009251249.tif 000005
【図５】
2009251249.tif 000006
【図６】
2009251249.tif 000007
【図７】
2009251249.tif 000008
【図８】
2009251249.tif 000009
【図９】
2009251249.tif 000010
【図１０】
2009251249.tif 000011
【図１２】
2009251249.tif 000012
【図１３】
2009251249.tif 000013
【図１】
2009251249.tif 000014
【図１１】
2009251249.tif 000015