(57)【要約】【課題】簡単な構成で、接触部材の進退動作の高速応答性を確保するとともに、ワークに接触部材が接触する際の衝撃を緩和することが可能で、騒音の発生の少ない駆動ユニット、それを用いた接触部材の駆動方法、特性検査装置、ワーク供給装置、およびテーピング装置を提供する。【解決手段】駆動ユニット１０は、ワーク２の外表面に接触される接触部材３をワーク２に対して進退移動させるもので、接触部材３を所定距離だけ移動させる第１のアクチュエータ１１と、接触部材３を第１のアクチュエータ１１よりも短い距離を移動させる圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータ１２とを備え、これら第１、第２のアクチュエータ１１，１２が駆動方向に直列に接続された構成を有している。【選択図】図１
2009229249.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、
前記接触部材を所定距離だけ移動させる第１のアクチュエータと、
前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも短い距離だけ移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、
前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていること
を特徴とする駆動ユニット。
【請求項２】
ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、
前記接触部材を所定の変位速度で移動させる第１のアクチュエータと、
前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも遅い変位速度で移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、
前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていること
を特徴とする駆動ユニット。
【請求項３】
ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、
前記接触部材を所定の変位速度でかつ所定距離だけ移動させる第１アクチュエータと、
前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも遅い変位速度でかつ短い距離だけ移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、
前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていること
を特徴とする駆動ユニット。
【請求項４】
前記第１のアクチュエータは、圧電アクチュエータからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の駆動ユニット。
【請求項５】
前記第１および第２のアクチュエータの少なくとも一方は、複数のアクチュエータを駆動方向に直列接続して構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の駆動ユニット。
【請求項６】
前記接触部材は、前記第２のアクチュエータを介して保持されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の駆動ユニット。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法であって、
前記第２のアクチュエータの変位の終了タイミングを、前記第１のアクチュエータの変位の終了タイミングよりも遅くすることを特徴とする接触部材の駆動方法。
【請求項８】
請求項４に記載の駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法であって、
前記第１のアクチュエータに印加する電圧よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧を小さくすることを特徴とする接触部材の駆動方法。
【請求項９】
請求項４に記載の駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法であって、
前記第１のアクチュエータに印加する電圧の増加速度よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧の増加速度を小さくすることを特徴とする接触部材の駆動方法。
【請求項１０】
請求項４に記載の駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法であって、
前記第１のアクチュエータに印加する電圧よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧を小さくし、かつ、前記第１のアクチュエータに印加する電圧の増加速度よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧の増加速度を小さくすることを特徴とする接触部材の駆動方法。
【請求項１１】
前記第２のアクチュエータの変位が終了した後に、当該第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させることを特徴とする請求項７〜１０のいずれかに記載の接触部材の駆動方法。
【請求項１２】
請求項１〜６のいずれかに記載の駆動ユニットを用いた特性検査装置であって、
前記ワークは、外表面に外部電極が形成されたチップ型電子部品であり、前記接触部材は前記外部電極に接触する測定用端子であることを特徴とする特性検査装置。
【請求項１３】
請求項１２の特性検査装置において、用いられている前記駆動ユニットを構成する第２のアクチュエータの変位が終了した後に、第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させて、前記接触部材を微小駆動させるように構成されていることを特徴とする特性検査装置。
【請求項１４】
請求項１〜６のいずれかに記載の駆動ユニットを用いたワーク供給装置であって、
前記接触部材が、整列状態で順次連続して供給されるワークのうち、先頭から２番目のワークに接触して、該２番目のワークをその位置に一時的に保持するストッパとして用いられていることを特徴とするワーク供給装置。
【請求項１５】
チップ型電子部品をワークとして所定の位置まで順次搬送する搬送機構を有し、この搬送機構で順次搬送されるワークの搬送経路の途中に、請求項１２または１３記載の特性検査装置が設けられ、かつ、
前記特性検査装置による検査後の搬送経路には、前記ワークをキャリアテープに順次収納するテープ収納部が設けられていること
を特徴とするテーピング装置。
【請求項１６】
チップ型電子部品をワークとする請求項１４に記載のワーク供給装置と、
前記ワーク供給装置から供給されるワークを所定の位置まで順次搬送する搬送機構と、
前記ワークを所定の位置でキャリアテープに順次収納するテープ収納部と
を具備することを特徴とするテーピング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの外表面に接触させるべき接触部材を進退移動させるための駆動ユニット、この駆動ユニットを用いた接触部材の駆動方法、特性検査装置、ワーク供給装置、およびテーピング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、製造された電子部品などの良否判定を行う上で、電子部品にプローブを接触させて電気的特性を検査する方法およびそのための装置として、種々のものが提案されている。
例えば、積層コンデンサや積層インダクタなどのチップ型電子部品の特性を検査するような場合には、円板状のターンテーブルの周縁に沿ってチップ型電子部品を保持して搬送しながら、その外部電極にプローブを接触させることにより、各種の電気的特性の検査を行っている。
【０００３】
ところで、近年は、生産性を向上させるため、このような特性検査の高速化が求められており、電子部品などのワークに対してプローブを進退駆動する際にも、その動作の高速応答性が要求されている。
【０００４】
そこで、従来は、比較的大きな移動距離でプローブを進退させる第１の送り機構を設けるとともに、この第１の送り機構の上に、この第１の送り機構よりも小さな移動距離でかつ高速で進退する第２の送り機構を設け、この第２の送り機構に板ばねを介してプローブを取り付けた構成のものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
なお、この従来技術においては、第１の送り機構の駆動源としてモータが、第２の送り機構の駆動源としてソレノイドがそれぞれ使用されている。
【０００５】
また、他の従来技術としては、ベースにアームを揺動可能に設け、このアームにプローブを取り付ける一方、ベースとアームとの間にソレノイドおよび圧縮ばねをそれぞれ介在させ、ソレノイドでアームを駆動するとともに、ソレノイドの駆動力を圧縮ばねで緩和するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２１２１００号公報
【特許文献１】特開２００３−１９４８７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記特許文献１に示されている装置においては、プローブを進退駆動するための第２の送り機構の駆動源としてソレノイドを用いているので、電子部品などのワークにプローブが接触する際の衝撃が大きく、そのため、ワークにダメージを与える恐れがある。
【０００８】
すなわち、ソレノイドは、高速応答性に優れている反面、ソレノイドの吸引作用と、ソレノイドの進行方向端の規制作用の役目を果たすストッパ部材に対して、その相対間距離が短くなるほど磁力が大きくなって吸引力が増大することから、ソレノイドにより駆動されるプローブがワークに接触する際の衝撃が大きく、ワークにダメージを与える恐れがある。
【０００９】
また、上記特許文献２に示されている装置の場合、圧縮ばねのばね力を適切な大きさに設定することが難しい。すなわち、ばね力が小さいと特許文献１のものと同様、ソレノイドはストッパ部材との距離が短くなるほど磁力が大きくなるため、プローブがワークに接触する際の衝撃が大きくなる。逆にばね力が大きいと、プローブがワークに接触するまでに余分な時間がかかり過ぎて迅速な特性検査を行うことが難しくなる。
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、比較的簡単な構成で、接触部材の進退動作の高速応答性を確保することができるとともに、ワークにプローブ等の接触部材が接触する際の衝撃を確実に緩和することが可能な駆動ユニット、それを用いた接触部材の駆動方法、特性検査装置、ワーク供給装置、およびテーピング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明の駆動ユニットは、ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、前記接触部材を所定距離だけ移動させる第１のアクチュエータと、  前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも短い距離だけ移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていることを特徴としている。
【００１２】
また、本発明の駆動ユニットは、ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、前記接触部材を所定の変位速度で移動させる第１のアクチュエータと、前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも遅い変位速度で移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていることを特徴としている。
【００１３】
また、本発明の駆動ユニットは、ワークの外表面に接触させるべき接触部材を前記ワークに対して進退移動させるための駆動ユニットであって、前記接触部材を所定の変位速度でかつ所定距離だけ移動させる第１アクチュエータと、前記接触部材を前記第１のアクチュエータよりも遅い変位速度でかつ短い距離だけ移動させる、圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータと、を備え、前記第１および第２のアクチュエータが、駆動方向に直列に接続されていることを特徴としている。
【００１４】
本発明の駆動ユニットは、第２のアクチュエータとして、圧電アクチュエータを用いているが、前記第１のアクチュエータにも、圧電アクチュエータを用いることが望ましい。
【００１５】
また、前記第１および第２のアクチュエータの少なくとも一方は、複数のアクチュエータを駆動方向に直列接続して構成されていることが望ましい。
【００１６】
また、前記接触部材は、前記第２のアクチュエータを介して保持されていることが望ましい。
【００１７】
また、本発明の接触部材の駆動方法は、上述の本発明の駆動ユニットを用い、前記第２のアクチュエータの変位の終了タイミングを、前記第１のアクチュエータの変位の終了タイミングよりも遅くすることを特徴としている。
【００１８】
また、第１および第２のアクチュエータとして、圧電アクチュエータを用い、前記第１のアクチュエータに印加する電圧よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧を小さくすることが望ましい。
【００１９】
また、第１および第２のアクチュエータとして、圧電アクチュエータを用い、前記第１のアクチュエータに印加する電圧の増加速度よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧の増加速度を小さくすることが望ましい。
【００２０】
また、第１および第２のアクチュエータとして、圧電アクチュエータを用い、前記第１のアクチュエータに印加する電圧よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧を小さくし、かつ、前記第１のアクチュエータに印加する電圧の増加速度よりも、前記第２のアクチュエータに印加する電圧の増加速度を小さくすることが望ましい。
【００２１】
また、前記第２のアクチュエータの変位が終了した後に、当該第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させることが好ましい。
【００２２】
また、本発明の特性検査装置は、上記本発明の駆動ユニットを用いたものであって、前記ワークは、外表面に外部電極が形成されたチップ型電子部品であり、前記接触部材は前記外部電極に接触する測定用端子であることを特徴としている。
【００２３】
また、本発明の特性検査装置においては、用いられている前記駆動ユニットを構成する第２のアクチュエータの変位が終了した後に、第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させて、前記接触部材を微小駆動させるように構成されていることが望ましい。
【００２４】
また、本発明のワーク供給装置は、上記本発明の駆動ユニットを用いたものであって、前記接触部材は、整列状態で順次連続して供給される前記ワークのうち、先頭から２番目のワークに接触してその位置に一時的に保持するストッパとして構成されていることを特徴としている。
【００２５】
また、本発明のテーピング装置は、チップ型電子部品をワークとして所定の位置まで順次搬送する搬送機構を有し、この搬送機構で順次搬送されるワークの搬送経路の途中に、上記本発明の特性検査装置が設けられ、かつ、前記特性検査装置による検査後の搬送経路には、前記ワークをキャリアテープに順次収納するテープ収納部が設けられていることを特徴としている。
【００２６】
また、本発明のテーピング装置は、チップ型電子部品をワークとする請求項１４に記載のワーク供給装置と、前記ワーク供給装置から供給されるワークを所定の位置まで順次搬送する搬送機構と、前記ワークを所定の位置でキャリアテープに順次収納するテープ収納部とを備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の駆動ユニットによれば、接触部材の駆動に必要な距離のうち、第１のアクチュエータによって大半の距離を移動させ、次に第２のアクチュエータによって残りの必要な短い距離を移動させることができるため、高速応答性を確保しつつ、接触部材がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することが可能になる。
【００２８】
また、本発明の他の駆動ユニットによれば、接触部材は、第１のアクチュエータによって高速で移動し、次に第２のアクチュエータによって比較的低速で移動するので、全体として、接触部材を高速で駆動することができるとともに、接触部材を低衝撃でワークに接触させることができる。その結果、高速応答性を確保しつつ、接触部材がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することが可能になる。
【００２９】
また、本発明のさらに他の駆動ユニットによれば、接触部材は、第１のアクチュエータによって高速でかつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータによって比較的低速でかつ残りの必要な短い距離を移動するので、接触部材を平均的に高速で駆動できるとともに、接触部材を低速度でワークに接触させることができる。このため、高速応答性を確保しつつ、接触部材がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。
【００３０】
また、第１、第２のアクチュエータの両方を圧電アクチュエータで構成するようにした場合、簡単な構成で、始動時は急加速制御、ワークへの接触時には低速制御というように、複雑な制御動作パターンを設定することが可能になり、接触部材の制御動作の設計の自由度を向上させることができる。また、圧電により駆動端を制御できるため、ストッパ部材を設ける必要がなく、騒音の発生を抑制することができる。
【００３１】
また、第１、第２の各アクチュエータの少なくとも一方を複数のアクチュエータを直列接続して構成するようにした場合、接触部材を駆動する際の速度制御が容易になる。
【００３２】
また、接触部材を、第２のアクチュエータを介して保持するようにした場合、接触部材と第２のアクチュエータとの間には第１のアクチュエータなどの重量物が介在しないので、第２のアクチュエータで接触部材を駆動する際の慣性力を小さくすることが可能になり、接触部材がワークに接触する際の衝撃を小さくすることができる。
【００３３】
また、請求項７〜１０のように、第１、第２の各アクチュエータに印加する電圧の大きさや、電圧の増加速度などを制御することにより、接触部材がワークに接触する際の衝撃を小さくすることができる。特に、請求項１０記載の発明のように、第１のアクチュエータに対する印加電圧を大きく、かつ、印加電圧の増加速度を大きく設定すれば、接触部材を高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動させることができ、また、第２のアクチュエータに対する印加電圧を小さく、かつ、印加電圧の増加速度を小さく設定すれば、接触部材を比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離を移動させることができるので、ワークに対して接触部材をより低衝撃で接触させることができる。
【００３４】
また、第２のアクチュエータの変位が終了した後に、当該第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させるようにした場合、ワークに対して接触部材を一層確実に接触させることが可能になる。
【００３５】
また、ワークが、外表面に外部電極が形成されたチップ型電子部品であり、接触部材は外部電極に接触する測定用端子である構成の場合、駆動ユニットにより測定用端子である接触部材を駆動してチップ型電子部品の外部電極に接触させることが可能になるため、特性検査の高速化が可能になり、検査効率が高まるとともに、チップ型電子部品に与えるダメージを抑制することが可能になる。また、検査時の騒音発生も抑制することができる。
【００３６】
本発明の特性検査装置において、駆動ユニットを構成する第２のアクチュエータの変位が終了した後に、第２のアクチュエータに印加する電圧を微小変動させて、測定用端子である接触部材を微小駆動させるようにした場合、ワークに対して測定用端子を一層確実に接触させることが可能になり、特性検査などの信頼性を向上させることができる。
【００３７】
また、本発明の駆動ユニットをワーク供給装置に用い、接触部材を、ワーク供給装置の、整列状態で順次連続して供給されるワークのうち、先頭から２番目のワークに接触して、該２番目のワークをその位置に一時的に保持するストッパとして用いることにより、隣り合う各ワークを所定距離だけ離して送出する、いわゆるインデックス送りが可能になるとともに、その際にワークに与えるダメージを抑制することができる。
【００３８】
また、本発明のテーピング装置は、チップ型電子部品をワークとして搬送する搬送機構を有し、搬送経路の途中に、本発明の特性検査装置を設け、かつ、特性検査装置による検査後の搬送経路にワークをキャリアテープに収納するテープ収納部を設けた構成としているので、搬送経路の途中に設けた請求項１２記載の特性検査装置によって特性検査を実施するとともに、検査後のワークをテープ収納部においてキャリアテープに収納することが可能になる。したがって、一連の流れの中で、ワークに余分な損傷を与えることなく効率よく製品検査を行った後、パッケージ化することが可能になり、生産性を向上させることができる。
【００３９】
また、本発明のテーピング装置は、本発明の駆動ユニットを用いた請求項１４のワーク供給装置と、該ワーク供給装置から供給されるワーク（チップ型電子部品）を所定の位置まで順次搬送する搬送機構と、チップ型電子部品を所定の位置でキャリアテープに順次収納するテープ収納部とを備えているので、高速応答性を確保しつつ、接触部材がチップ型電子部品に接触する際の衝撃を緩和しつつ、効率よくチップ型電子部品をキャリアテープに収納することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、本発明の実施例を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００４１】
図１は本発明の実施例１にかかる特性検査装置の構成図である。
この実施例１の特性検査装置１は、チップ型電子部品（ワーク）２の外表面に形成された外部電極２ａに一対のプローブ（接触部材）３を接触させて各種電気的特性を検査するために用いられるものである。
【００４２】
すなわち、この特性検査装置１は、例えば円盤状のターンテーブル５の外周部に吸着された状態で搬送されるワーク２が、所定の検査位置にまで搬送された時点で支持されることになるワーク支持台６を備えている。そして、ワーク支持台６の上には、ワークガイド用の上蓋７とワーク位置決め用のガイド部材８とが設けられる一方、ワーク支持台６の下方にはプローブ３をワーク２に対して進退移動させる駆動ユニット１０が設けられている。
【００４３】
この駆動ユニット１０は、プローブ３を駆動する第１、第２のアクチュエータ１１，１２を有し、これら第１、第２のアクチュエータ１１，１２が駆動方向に直列に接続されて構成されている。
【００４４】
そして、第２のアクチュエータ１２の上端面には、衝撃緩和用のばね１６を介して一対のプローブ３が取り付けられ、各プローブ３は、上記のワーク支持台６のワーク位置決め箇所において上下に貫通して設けられた一対の貫通孔１７内にワーク２の外部電極２ａを望むように挿入されている。また、各プローブ３は、ワーク２の電気的特性を計測する計測器１８に電気的に接続されている。また、各アクチュエータ１１，１２には所定の電圧を印加するための駆動電源１４，１５が接続されている。
【００４５】
上記の第１、第２のアクチュエータ１１，１２は、この実施例１の場合、ともにピエゾ素子を有する圧電アクチュエータからなる。すなわち、この圧電アクチュエータは、例えば図２（ａ）、（ｂ）に示すように、ピエゾ素子２１が可撓性のフレーム２２内に保持されており、ピエゾ素子２１に対して所定の電圧が印加されることによりピエゾ素子２１が伸長し、これに伴ってフレーム２２が図中二点鎖線に示すように変形することにより、ピエゾ素子２１の変形量が増大される構成となっている。
【００４６】
そして、後述するように、各駆動電源１４，１５から第１、第２のアクチュエータ１１，１２にそれぞれ印加される電圧を制御することにより、第１のアクチュエータ１１は、プローブ３を高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動させ、また、第２のアクチュエータ１２は、プローブ３を比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけを移動させることができるように構成されている。
【００４７】
なお、図１において、また、この特性検査装置１は、各駆動電源１４，１５の電圧印加タイミングなどを制御するコントローラ２３、駆動ユニット１０で駆動されるプローブ３の移動の上下限を検出する上下一対のリミットスイッチ２４を備えている。
【００４８】
次に、上記構成を有する特性検査装置１を用いて、チップ型電子部品であるワーク２の電気的特性を検査する場合の動作について説明する。
【００４９】
ターンテーブル５の外周部に吸着された状態で搬送されるワーク２が特性検査装置１の所定の検査位置に到着すると、コントローラ２３によるタイミング制御により、各駆動電源１４，１５から第１、第２のアクチュエータ１１，１２に対して、例えば図３（ａ），（ｂ）に示すような波形の電圧が印加される。すなわち、まず、第１のアクチュエータ１１に対しては、図３（ａ）に示すように、時刻ｔ１〜ｔ３に示す期間にわたって所定の電圧Ｖ１が印加される。また、第２のアクチュエータ１２に対しては、図３（ｂ）に示すように、時刻ｔ２〜ｔ３に示す期間にわたって所定の電圧Ｖ２（＜Ｖ１）が印加される。
【００５０】
ここで、第１、第２のアクチュエータ１１，１２に対する印加電圧の大きさと印加タイミングとを比較すると、第１のアクチュエータ１１の印加電圧Ｖ１は大きく、かつ印加タイミングもｔ１と早いので、図３（ｃ）に示すように、第１のアクチュエータ１１は最初の段階で高速に変位した後、時刻ｔｅ１で変位が終了する。一方、第２のアクチュエータ１２の印加電圧Ｖ２はＶ１より小さく、かつ印加タイミングもｔ２と遅いので、第２のアクチュエータ１２は、
第１のアクチュエータ１１の変位が終了した後、低速度で変位を開始し（時刻ｔ２）、時刻ｔｅ２で変位が終了する。
【００５１】
このため、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータ１２によって比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけを移動する。これにより、プローブ３を、大半の距離を高速で移動させることができるとともに、ワーク２に対しては低速で接触させることが可能になる。したがって、高速応答性を確保しつつ、プローブ３がワーク２に接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。しかも、第１のアクチュエータに圧電アクチュエータを用いた場合は、ソレノイドの動きを規制するストッパ部材を設ける必要もないので、騒音発生を抑制することができる。
【００５２】
そして、プローブ３がワーク２の外部電極２ａに接触すると、計測器１８によってワーク２の電気的特性が計測される。また、各駆動電源１４，１５から第１、第２のアクチュエータ１１，１２への電圧印加が停止されると、両アクチュエータ１１，１２が収縮し、これによってプローブ３はワーク２から離間される。
【００５３】
上記の説明では、各駆動電源１４，１５から第１、第２のアクチュエータ１１，１２に対して、図３（ａ），（ｂ）に示すような波形の電圧が印加されるようにしているが、これに限らず、例えば図４あるいは図５に示すような波形の電圧を印加するようにすることもできる。
【００５４】
すなわち、まず、図４に示す例では、第１のアクチュエータ１１に対しては、同図（ａ）に示すように、時刻ｔ１〜ｔ２に示す期間にわたってｋ１の増加速度をもつ電圧が印加され、その後の時刻ｔ２〜ｔ３の期間では一定レベルの電圧が印加される。また、第２のアクチュエータ１２に対しては、同図（ｂ）に示すように、時刻ｔ２〜ｔ３に示す期間にわたってｋ２（＜ｋ１）の増加速度をもつ電圧が印加される。
【００５５】
ここで、第１、第２のアクチュエータ１１，１２に対する印加電圧の増加速度と印加タイミングとを比較すると、第１のアクチュエータ１１の印加電圧の勾配ｋ１は大きく、かつ電圧印加タイミングもｔ１と早いので、図４（ｃ）に示すように、第１のアクチュエータ１１は最初の段階で高速に変位した後、時刻ｔ２で変位が終了する。一方、第２のアクチュエータ１２の印加電圧の増加勾配ｋ２はｋ１より小さく、かつ電圧印加タイミングもｔ２と遅いので、第２のアクチュエータ１２は、第１のアクチュエータ１１の変位終了後に低速度で変位を開始し（時刻ｔ２）、時刻ｔ３で変位が終了する。その結果、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータ１２によって比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけを移動する。したがって、図３に示した場合と同様に、プローブ３は平均的に高速移動するとともに、ワーク２に対しては低速で接触するのでワーク２に接触する際の衝撃が緩和される。
【００５６】
また、図５に示す例では、図３に示した場合と同様な電圧印加波形において、第２のアクチュエータ１２の変位が終了してプローブ３がワーク２の外部電極２ａに接触した時点（図５の時刻ｔｅ２）の後、駆動電源１４によって第２のアクチュエータ１２に加える印加電圧を一定期間Ｔｂにわたって微小変動させ、その後に特性検査を実施するようにしている。
【００５７】
このように、プローブ３がワーク２に接触した後、第２のアクチュエータ１２に印加する電圧を一定期間Ｔｂにわたって微小変動させると、プローブ３も微小振動するので、ワーク２に対してプローブ３を一層確実に接触させることができ、その結果、ワーク２の特性検査精度を高めることができる。
【実施例２】
【００５８】
図６は本発明の実施例２にかかる特性検査装置の構成図であり、図１および図２に示した実施例１と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。
【００５９】
上記の実施例１では、駆動ユニット１０を構成する第１、第２のアクチュエータ１１，１２は、ともにピエゾ素子を有する圧電アクチュエータから構成されているのに対して、この実施例２では、プローブ３が取り付けられた第２のアクチュエータ１２は、実施例１の場合と同様に圧電アクチュエータからなるが、第１のアクチュエータ１１は、実施例１の場合と異なり、モータ３２を駆動源として構成されている。
【００６０】
すなわち、第１のアクチュエータ１１は、ベース３１にモータ３２を取り付けるとともに、スライド支持台３３を一対のガイドレール３４に沿って上下に摺動可能に設け、スライド支持台３３にねじ棒３５を螺合させるとともに、このねじ棒３５の一方端部を、ベルト３６を介してモータ３２の駆動軸に連結することにより構成されており、モータ３２にはモータドライバ３７が接続されている。
【００６１】
そして、第１のアクチュエータ１１の、スライド支持台３３上には圧電アクチュエータからなる第２のアクチュエータ１２が固定載置され、この第２のアクチュエータ１２の上端部に衝撃緩和用のばね１６を介して一対のプローブ３が取り付けられている。その他の構成は実施例１の場合と同様である。
【００６２】
上記構成において、コントローラ２３のタイミング制御によって、最初にモータドライバ３７により第１のアクチュエータ１１を構成するモータ３２を駆動する。これにより、スライド支持台３３は、ガイドレール３４に沿って第２のアクチュエータ１２とともに高速で移動する。そして、スライド支持台３３が所定距離だけ移動するとモータ３２を停止し、引き続いて、駆動電源１５により第２のアクチュエータ１２を駆動して第１のアクチュエータ１１よりも低速度で第２のアクチュエータ１２を変位させる。
【００６３】
これに伴い、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動した後、第２のアクチュエータ１２によって比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけを移動する。これにより、プローブ３を、大半の距離を高速で移動させることが可能になるとともに、ワークに対しては低速で接触させることができる。したがって、高速応答性を確保しつつ、プローブ３がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。
【実施例３】
【００６４】
図７は本発明の実施例３にかかる特性検査装置の構成図である。なお、図１および図２において、実施例１と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。
【００６５】
この実施例３の特徴は、駆動ユニット１０において、プローブ３が取り付けられた第２のアクチュエータ１２は圧電アクチュエータからなるが、第１のアクチュエータ１１は、ソレノイド４３を駆動源として構成されていることである。
【００６６】
すなわち、この実施例３において、第１のアクチュエータ１１は、コの字型をしたヨーク４１の上下一対のアーム部４１ａ，４１ｂを貫通してスライド軸４２が摺動自在に設けられ、このスライド軸４２の上下の両アーム４１ａ，４１ｂの間に位置する箇所にソレノイド４３が固定され、また、スライド軸４２の下側のアーム部４１ｂの外方側に圧縮ばね４４が嵌入されている。さらに、ソレノイド４３には励磁用の駆動電源４５が接続されている。
【００６７】
そして、第１のアクチュエータを構成するスライド軸の上側のアームの外方側に第２のアクチュエータが直列に接続され、この第２のアクチュエータの上端部に衝撃緩和用のばね１６を介して一対のプローブが取り付けられている。その他の構成は実施例１の場合と同様である。
【００６８】
上記構成において、コントローラ２３のタイミング制御によって、最初に励磁用の駆動電源４５により第１のアクチュエータ１１を構成するソレノイド４３を励磁すると、ソレノイド４３がヨーク４１の上側のアーム部４１ａに吸引されるので、第２のアクチュエータ１２が高速で移動する。そして、ソレノイド４３が上側のアーム部４１ａに当接してその移動が規制されると、引き続いて、駆動電源１５により第２のアクチュエータ１２を駆動して第１のアクチュエータ１１よりも低速度で変位させる。
【００６９】
これに伴い、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータ１２によって比較的低速で、かつ残りの必要な短い距離だけ移動する。これにより、プローブ３は平均的に高速で移動されるとともに、ワークに対しては低速度で接触させることができる。したがって、高速応答性を確保しつつ、プローブ３がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。
なお、励磁用の駆動電源４５によるソレノイド４３の励磁が停止されると、ソレノイド４３は、自重と圧縮ばね４４のばね力とによって元の位置に復帰するので、プローブ３はワークから離間する。
【実施例４】
【００７０】
図８は本発明の実施例４にかかる特性検査装置の構成図である。なお、図６および図７に示した実施例２、３と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。
【００７１】
この実施例４の特性検査装置の特徴は、駆動ユニット１０において、プローブ３が取り付けられた第２のアクチュエータ１２として圧電アクチュエータが用いられているが、第１のアクチュエータ１１は、複数のアクチュエータ１１Ａ，１１Ｂを組み合わせて構成されていることにある。
【００７２】
すなわち、この実施例４において、第１のアクチュエータ１１は、モータ３２を駆動源とした実施例２（図６）に示したものと同様の構成を有するアクチュエータ１１Ａと、ソレノイド４３を駆動源とした実施例３（図７）に示したものと同様の構成を有するアクチュエータ１１Ｂとを組み合わせることにより構成されている。
【００７３】
そして、モータ３２を駆動源とするアクチュエータ１１Ａのスライド支持台３３の上に、ソレノイド４３を駆動源とするアクチュエータ１１Ｂのヨーク４１が固定され、また、ソレノイド４３が固定されたスライド軸４２の上端部に第２のアクチュエータ１２が直列に接続されている。そして、モータ駆動用のモータドライバ３７、ソレノイド励磁用の駆動電源４５、および第２のアクチュエータ１２の駆動電源１５は、ともにコントローラ２３によって動作タイミングが調整されるように構成されている。
【００７４】
上記構成において、コントローラ２３のタイミング制御によって、最初にモータドライバ３７により第１のアクチュエータ１１を構成するモータ３２を駆動し、次いで、スライド支持台３３を高速で移動させた後にモータ３２を停止し、その後、励磁用の駆動電源４５によりソレノイド４３を励磁してヨーク４１の上側のアーム部４１ａに向けて吸引する。そして、ソレノイド４３が上側のアーム部４１ａに当接してその移動が規制されると、引き続いて、駆動電源１５により第２のアクチュエータ１２を駆動して低速で変位させる。
【００７５】
これに伴い、プローブ３は、第１のアクチュエータ１１によって高速で、かつ必要な移動距離のうちの大半の距離を移動し、次に第２のアクチュエータ１２により、比較的低速で残りの必要な短い距離だけを移動する。その結果、上記の各実施例１〜３の場合と同様に、高速応答性を確保しつつ、プローブ３がワークに接触する際の衝撃を確実に緩和することができる。特に、この実施例４では、第１のアクチュエータ１１が、複数のアクチュエータ１１Ａ，１１Ｂを組み合わせて構成されていることから、構成は幾分複雑になるものの、プローブ３を駆動する際の速度制御を一層容易に行うことができるという利点がある。
【実施例５】
【００７６】
図９は本発明の実施例５にかかるワーク供給装置の構成図であり、図１および図２に示した実施例１と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。
【００７７】
この実施例５のワーク供給装置５０は、整列状態で順次連続して供給されるワーク２を吸着して所定の検査位置まで搬送する円盤状のターンテーブル５のワーク搬入側の手前の箇所に供給分離機構５１が設けられている。
【００７８】
この供給分離機構５１は、振動によりワーク２を搬送するフィーダ６１と、フィーダ５２から供給されるワーク２が移行するワーク支持台５２と、ワークガイド用の上蓋５３と、ワーク２をインデックス送りするためのインデックス送り手段５５とを備えている。
【００７９】
そして、この実施例５においては、インデックス送り手段５５として、実施例１に示した構成を有する駆動ユニット１０が用いられている。なお、インデックス送り手段５５は、これに限らず、実施例２〜４（図６〜図８）に示した各構成を有する駆動ユニットを用いることも可能である。
【００８０】
ただし、この駆動ユニット１０を構成する第２のアクチュエータ１２には、実施例１で示したような一対のプローブ３は設けられておらず、その代わりに、整列状態で順次供給されるワーク２のうちの２番目以降のワーク２の搬送を停止させるためのストッパ５６が取り付けられている。そして、このストッパ５６は、ワーク支持台５２に形成された貫通孔５７を通じてワーク搬送路５４内のワーク２に望むように挿入されている。
なお、この供給分離機構５１においては、ワーク２をターンテーブル５の収納用切欠部５ａに向けて吸引するために、ターンテーブル５の下面側に吸引溝５ｂが形成されており、ワーク支持台５２には、吸引溝５ｂと連通するように吸引孔５８が配設されている。また、ワーク支持台５２には、ワーク２の位置を検出するためのセンサ５９が配設されている。
【００８１】
上記構成において、整列状態で順次連続して供給されるワーク２のうち、先頭のワーク２が、図示のようにターンテーブル５の外周部に形成された収納用切欠部５ａに吸着されたことがセンサ５９で検出されると、これに応じて、コントローラ２３は、駆動電源１４，１５による第１、第２のアクチュエータ１１，１２への電圧印加を停止するので、ストッパ５６は貫通孔５７内に後退する。そのため、次の先頭となるワーク２がターンテーブル５の収納用切欠部５ａに向けて吸引される。
【００８２】
そして、次の先頭となるワーク２が吸引されたことがセンサ５９で検出されると、コントローラ２３は、駆動電源１４，１５により第１、第２のアクチュエータ１１，１２へ電圧を印加する。これに伴ってストッパ５６は貫通孔５７内からワーク搬送路５４内に突出するので、先頭から２番目のワーク２の前端部に接触して当該ワーク２がその位置に一時的に保持される。そして、上記動作が繰り返し実行される。
【００８３】
このように、この実施例５では、駆動ユニット１０により駆動されるストッパ５６が、整列状態で順次連続して供給されるワーク２のうち、先頭から２番目のワーク２に接触してその位置に一時的に保持するようにしているため、隣り合う各ワークを順次所定距離だけ離して送出するインデックス送りが可能になる。しかも、その際、第１、第２のアクチュエータ１１，１２は、実施例１で説明した動作を行うため、例えばストッパ５６の挿入時においてワーク２に当たったとしても、ワーク２に与えるダメージを抑制することができる。
【実施例６】
【００８４】
図１０は本発明の実施例６にかかるテーピング装置の構成図である。
この実施例６のテーピング装置６０は、チップ型電子部品をワーク２として所定の位置まで順次搬送する搬送機構として円盤状のターンテーブル５を備えている。ターンテーブル５の外周部には、その周方向に沿って等ピッチでワーク収納用の収納用切欠部５ａが形成されている。
【００８５】
そして、ターンテーブル５のワーク搬入側には、ワーク２を整列状態で順次連続して供給するフィーダ６１、および実施例５（図９）で示した構成を有する供給分離機構５１が配設されている。また、ターンテーブル５で順次搬送されるワーク２の搬送経路の途中には、実施例１〜４で示したいずれかの構成を有する特性検査装置１が設けられている。さらに、ターンテーブル５のワーク搬出側の搬送経路には、ワーク５をキャリアテープ６２に形成された収納凹部６２ａに順次収納するテープ収納部６３が設けられている。また、キャリアテープ６２のテープ収納部６３よりも下流側の搬送経路の途中には、キャリアテープ６２に搭載されたワーク２を封止テープ６４で封止するためのシール手段６５が設けられている。
【００８６】
上記構成において、フィーダ６１によってワーク２が整列状態で順次連続して供給され、供給分離機構５１で隣り合う各ワーク２がインデックス送りされた後、各ワーク２はターンテーブル５の外周部の収納用切欠部５ａ内に吸着された状態で、ターンテーブル５の回転にともなって搬送される。
その搬送途中で、各ワーク２は特性検査装置１によって電気的特性が検査される。その際、不良品は排出される一方、良品はさらにターンテーブル５でテープ収納部６３まで搬送される。
そして、テープ収納部６３において、ターンテーブル５のワーク２の吸着保持が解除され、ワーク２はその直下に搬送されてきたキャリアテープ６２の収納凹部６２ａ内に順次収納される。その後、シール手段６５によってキャリアテープ６２には封止テープ６４が熱圧着されてワーク２が封止される。
【００８７】
このように、この実施例６のテーピング装置６０は、ターンテーブル５のワーク搬入側に設けた供給分離機構５１によって隣り合う各ワーク２がインデックス送りされ、また、ターンテーブル５の搬送経路の途中に設けた特性検査装置１によって特性検査が実施され、検査後の良品のワーク２はテープ収納部６３においてキャリアテープ６２に順次収納されてシール手段６５でシールされるため、ワーク２に損傷を与えることなく、搬送過程で効率よく製品検査を行った後、パッケージ化して製品とすることが可能になる。
【００８８】
なお、本発明は、上記の各実施例１〜６の態様に限定されるものでなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
上述のように、本発明によれば、比較的簡単な構成で、接触部材の進退動作の高速応答性を確保するとともに、ワークにプローブ等の接触部材が接触する際の衝撃を確実に緩和することが可能で、かつ、騒音の発生も少ない駆動ユニットを提供することができる。そして、それを用いることにより、効率よく高精度の特性検査を行うことが可能なチップ型電子部品の特性検査装置、効率よくワークを供給することが可能なワーク供給装置、およびワークをテーピング部品として効率よくパッケージ化することが可能なテーピング装置を構成することができる。
したがって、本願発明は、チップ型電子部品などをワークとして取り扱う種々の技術分野に広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の実施例１にかかる特性検査装置の構成図である。
【図２】図１の特性検査装置に適用される駆動ユニットの第２のアクチュエータの構成の一例を示す断面図である。
【図３】図１の特性検査装置の第１、第２のアクチュエータに対して印加される電圧と、その電圧印加に伴う変位量との関係を示す特性図である。
【図４】図１の特性検査装置の第１、第２のアクチュエータに対して印加される電圧と、その電圧印加に伴う変位量との関係を示す特性図であって、図３の場合の変形例を示す図である。
【図５】図１の特性検査装置の第１、第２のアクチュエータに対して印加される電圧と、その電圧印加に伴う変位量との関係を示す特性図であって、図３の場合の変形例を示す図である。
【図６】本発明の実施例２にかかる特性検査装置の構成を示す図である。
【図７】本発明の実施例３にかかる特性検査装置の構成を示す図である。
【図８】本発明の実施例４にかかる特性検査装置の構成を示す図である。
【図９】本発明の実施例５にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。
【図１０】本発明の実施例６にかかるテーピング装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００９１】
１            特性検査装置
２            チップ型電子部品（ワーク）
２ａ          外部電極
３            プローブ（接触部材）
５            ターンテーブル
５ａ          収納用切欠部
５ｂ          吸引溝
６            ワーク支持台
７            上蓋
８            ガイド部材
１０          駆動ユニット
１１          第１のアクチュエータ
１１Ａ，１１Ｂ      アクチュエータ
１２          第２のアクチュエータ
１４，１５    駆動電源
１６          ばね
１７          貫通孔
１８          計測器
２１          ピエゾ素子
２２          フレーム
２３          コントローラ
２４          リミットスイッチ
３１          ベース
３２          モータ
３３          スライド支持台
３４          ガイドレール
３５          ねじ棒
３６          ベルト
３７          モータドライバ
４１          ヨーク
４１ａ，４１ｂ    アーム部
４２          スライド軸
４３          ソレノイド
４４          圧縮ばね
４５          励磁用の駆動電源
５０          ワーク供給装置
５１          供給分離機構
５２          ワーク支持台
５３          ワークガイド用の上蓋
５４          ワーク搬送路
５５          インデックス送り手段
５６          ストッパ（接触部材）
５７          貫通孔
５８          吸引孔
５９          センサ
６０          テーピング装置
６１          フィーダ
６２          キャリアテープ
６２ａ        収納凹部
６３          テープ収納部
６４          封止テープ
６５          シール手段
【図１】
2009229249.tif 000003
【図２】
2009229249.tif 000004
【図３】
2009229249.tif 000005
【図４】
2009229249.tif 000006
【図５】
2009229249.tif 000007
【図６】
2009229249.tif 000008
【図７】
2009229249.tif 000009
【図８】
2009229249.tif 000010
【図９】
2009229249.tif 000011
【図１０】
2009229249.tif 000012