(57)【要約】【課題】被露光物をムラなく均一に露光することが可能な露光装置を提供すること。【解決手段】少なくとも天井を有する本体と、この本体の前記天井下側に設置され、紫外線を放射する複数のブラックライトと、このブラックライトの下方に被露光物を保持することが可能な保持具と、を備え、前記保持具に前記被露光物が置かれた位置で、前記ブラックライトの間隔が、前記ブラックライトが放射する紫外線に応じて所定の均斉度を満たすように選定されてなる露光ユニットを有することを特徴とする露光装置。【選択図】図２
2009092838.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも天井を有する本体と、
この本体の前記天井下側に設置され、紫外線を放射する複数のブラックライトと、
このブラックライトの下方に被露光物を保持することが可能な保持具と、
を備え、前記保持具に前記被露光物が置かれた位置で、前記ブラックライトの間隔が前記ブラックライトの放射する紫外線に応じて所定の均斉度を満たすように選定されてなる露光ユニットを有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記ブラックライトの間隔が１乃至５００ｍｍ内で選定されてなることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
少なくとも天井を有する本体と、
この本体の前記天井下側に設置され、紫外線を放射する複数のブラックライトと、
このブラックライトの下方に被露光物を保持することが可能な保持具と、
を備え、
前記保持具に前記被露光物が置かれた位置で、前記ブラックライトと前記被露光物の距離が、前記ブラックライトが放射する紫外線に応じて所定の均斉度を満たすように選定されてなる露光ユニットを有することを特徴とする露光装置。
【請求項４】
前記ブラックライトと前記被露光物の距離を１乃至５００ｍｍの範囲内になるように前記保持具が設けられてなることを特徴とする請求項３記載の露光装置。
【請求項５】
少なくとも天井を有する本体と、
この本体の前記天井下側に設置され、紫外線を放射する複数のブラックライトと、
このブラックライトの下方に被露光物を保持することが可能な保持具と、
を備え、前記保持具に前記被露光物が置かれた位置で、前記ブラックライトが放射する紫外線の波長に応じて、所定の均斉度を満たすように、前記ブラックライトの間隔が選定され、かつ前記ブラックライト列から前記被露光物までの距離が選定されるように前記保持具が設けられてなる露光ユニットを有することを特徴とする露光装置。
【請求項６】
前記本体の天井と前記ブラックライトの間に、下方に向けたＵＶ用コールドミラーを更に有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイに用いるカラーフィルタの製造過程で用いる露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータの発達、普及に伴って、その表示装置である液晶ディスプレイの需要も高まっているが、特にカラー用の液晶ディスプレイは価格が高くコストダウンの要請が強い。
【０００３】
そこで、その中でも価格の上で大きな部分を占めるカラーフィルタのコストを下げる努力がなされている。
【０００４】
このようなカラーフィルタ、特に光触媒層を用いたカラーフィルタの製造方法において、光触媒を励起するため、蛍光ランプによりパターニング基板に光を照射して露光する。
【０００５】
このような露光装置として蛍光ランプを複数本並列に設置した下に、パターニング用基板を載置することが可能な構造の露光ユニットを複数段、積み重ねた露光装置が知られている（特許文献１参照）。
【０００６】
しかし、上記露光装置では、被露光物（パターニング用基板）に照射される光の波長によっては光のムラが生じて製造工程に悪影響を与えるおそれがある。
【特許文献１】特開２００５−２５８２７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上述のような従来の露光装置の問題点に鑑みてなされたもので、被露光物をムラなく均一に露光することが可能な露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１によれば、少なくとも天井を有する本体と、この本体の前記天井下側に設置され、紫外線を放射する複数のブラックライトと、このブラックライトの下方に被露光物を保持することが可能な保持具と、を備え、前記保持具に前記被露光物が置かれた位置で、前記ブラックライトの間隔が前記ブラックライトの放射する紫外線に応じて所定の均斉度を満たすように選定されてなる露光ユニットを有することを特徴とする露光装置を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、被露光物をムラなく均一に露光することが可能な露光装置が得られる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。本発明一実施形態による露光装置の斜視図を図に示す。
【００１１】
この露光装置１０は、縦方向、２段に積み重ねられた２つの露光ユニット１１ａ、１１ｂから成っている。これらの露光ユニットは同じ構造なので、一方の露光ユニット１１ａについて説明し露光ユニット１１ｂについては説明を省略する。
【００１２】
露光ユニット１１ａの本体１２は例えば箱形状をしており、この本体の天井の上側には、直管型の紫外線（ＵＶ）を放射する露光ランプ、例えばブラックライト１３が複数本、例えば８本、並列かつ等間隔に設置される。
【００１３】
図示していないが、本体１２の天井とブラックライト１３の間には、ＵＶ用のコールドミラーが下方に向けて設けられている。ＵＶ用コールドミラーは、赤外線を透過させ、ＵＶ帯域の反射特性を向上させたコールドミラーである。
【００１４】
本体１２の側面には、上記ブラックライト１３から所定距離離して、被露光物、例えばパターニング用基板１４を保持するための部材である保持具、例えば一対の支持突起１５が設けられている。
【００１５】
露光処理を行う場合には、パターニング用基板１４を例えば矢印に示す如く後方から上記支持突起１５にひっかけられるように挿入し、支持突起１５によってパターニング用基板１４を保持させる。その後、図示しない電源を投入することにより、ブラックライト１３を点灯し所定時間、露光を行う。
【００１６】
この露光ユニット１１ａの断面構造を図２に示す。ブラックライト１３は、本体１２天井の下側に等間隔に設置されている。これらブラックライト１３の間隔をＡとする。
【００１７】
これらのブラックライト１３の下方で本体１２の側面に一対の支持突起１５が設けられ、この支持突起１５によりパターニング用基板１４が保持されている。上記ブラックライト１３の列からパターニング用基板１４までの距離をＢとする。
【００１８】
図３に、ブラックライト１３間の間隔Ａを変えた場合の、支持突起１５にパターニング用基板１４が置かれた位置における、均斉度の変化特性を示す。この場合のブラックライト１３から放射される光の波長は例えば３６５ｎｍである。均斉度は、照度値の最大値から最小値を引いた値を、照度値の最大値に最小値を加算した値で除算し、１００を掛けたパーセンテージ値で表している。
【００１９】
したがって、均斉度が低いほど、パターニング用基板１４に均等に紫外線が照射されていることを意味する。図３は、露光ランプ（ブラックライト１３）の間隔Ａが狭くなるほど、したがって、露光ランプの本数を増やすほど均斉度は低下し、紫外線が均等にパターニング用基板１４に照射されることを示す。
【００２０】
また、図４に、ブラックライト１３の列とパターニング用基板１４の間の距離Ｂを変えた場合の、支持突起１５にパターニング用基板１４が置かれた位置における、均斉度の変化特性を示す。ブラックライト１３から放射される紫外線の波長は例えば３６５ｎｍであり、この場合の均斉度も上記図３の場合と同様である。
【００２１】
図４は、距離Ｂが広くなるほど均斉度が低くなり、紫外線が均等にパターニング用基板１４に照射されることを示している。しかし、距離Ｂが広くなると、ブラックライトからパターニング用基板１４に照射される光量は少なくなる。
【００２２】
例えば、均斉度を２０％以下にしたいならば、ブラックライトの間隔Ａを３０ｍｍ以下にし、距離Ｂを１０ｍｍ以上とすればよいことが、図３及び図４の特性から理解される。
【００２３】
上記実施形態では、露光ユニットが縦に２段に積み重ねられている場合について述べた。しかし本発明は露光ユニットが１段でも３段以上であっても適用可能である。
【００２４】
上記実施形態では、３６５ｎｍの紫外線を用いる場合について述べた。しかし、この波長の紫外線に限られず、一般的にブラックライトを露光ランプとして用いる場合に、本発明は適用可能である。なお、ブラックライトの放射する光は通常、３００〜４３０ｎｍ程度の範囲内にある。
【００２５】
上記実施形態において、ブラックライトの間隔Ａは１ｍｍ〜５００ｍｍの範囲内ならば十分である。ブラックライト列と被露光物との距離Ｂは、１ｍｍ〜５００ｍｍの範囲内ならば十分である。また、ブラックライトの間隔Ａを所定の範囲内とするとともに、ブラックライト列と被露光物との距離Ｂを所定範囲内とすることも可能である。
【００２６】
上記実施形態では、ブラックライトの間隔Ａとブラッククライト列と被露光物の距離Ｂを固定した場合について説明した。しかし、本発明は、例えばブラックライトから放射される紫外線の波長に応じ、図３に示した均斉度の特性を考慮して、ブラックライトの間隔Ａを変えるようにすることも可能である。また同様に、本発明は、例えばブラックライトから放射される紫外線の波長に応じ、図４に示した均斉度の特性を考慮して、ブラックライト列と被露光物の距離Ｂを変えるようにすることも可能である。
【００２７】
両者を組み合わせて、ブラックライトの放射光の波長に応じて、間隔Ａおよび距離Ｂを最も適切な値になるように選択すれば、均一でしかも効率のよい露光を行うことが可能な露光装置が得られる。
【００２８】
上記実施形態では、支持突起によりパターニング用基板を保持していたが、一般的には保持具により被露光物を保持すればよい。
【００２９】
上記実施形態によれば、露光ランプの反射鏡としてＵＶ用コールドミラーを用いているので、露光時に熱がこもらず、パターニング用基板など被露光物に良好なパターンを形成することができる効果がある。
【００３０】
上記実施形態では、被露光物として、パターニング用基板に露光を行う場合について説明したが、これに限られず、半導体プロセスのパターニングなど他の場合に用いる露光装置にも本発明は実施可能である。
【００３１】
本発明は上記実施形態に限られず、その技術思想の範囲内で種々変形して実施できる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明一実施形態の露光装置の斜視図。
【図２】本発明一実施形態の露光装置の１つの露光ユニットの断面図。
【図３】本発明一実施形態の露光ユニットにおいて、露光ランプの間隔Ａを変えた場合の均斉度の特性を示す図。
【図４】本発明一実施形態の露光ユニットにおいて、露光ランプ列と被露光物の距離Ｂを変えた場合の均斉度の特性を示す図。
【符号の説明】
【００３３】
１０・・・露光装置、
１１ａ，１１ｂ・・・露光ユニット、
１２・・・本体、
１３・・・ブラックライト、
１４・・・パターニング用基板、
１５・・・支持突起。
【図１】
2009092838.tif 000003
【図２】
2009092838.tif 000004
【図３】
2009092838.tif 000005
【図４】
2009092838.tif 000006