(57)【要約】【課題】  照射器具を変更することなく可視光の照度を向上させ、微小異物検査精度の向上を図ると共に、従来の検査方法を併用し異物検出精度を向上させ、更なる検査精度向上を図ることが可能な貫通穴検査装置及び貫通穴検査方法を提供する。【解決手段】  基板（単層、多層）に設けられた貫通穴を光学的に検査する検査装置であって、前記貫通穴に透過光を照射する照射手段と、照射手段から照射される可視光を散乱なしに貫通穴に集光させる集光手段とを有する貫通穴検査装置。基板に設けられた貫通穴の検査方法であって、貫通穴に照度３０００〜３８００ｌｘの可視光を照射しての検査と、照度４０００〜４３００ｌｘ可視光を照射しての検査とを併用して、貫通穴を検査する貫通穴検査方法及びに貫通穴に散乱なしに集光された可視光を照射して行なう検査と、貫通穴に集光なしに可視光を照射して行なう検査とを併用する貫通穴検査方法。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（単層、多層）に設けられた貫通穴を光学的に検査する検査装置であって、前記貫通穴に透過光を照射する照射手段と、照射手段から照射される可視光を散乱なしに貫通穴に集光させる集光手段とを有する貫通穴検査装置。
【請求項２】
集光手段が、照射手段と貫通穴との間に設置された反射内面を有する筒状体である請求項１記載の貫通穴検査装置。
【請求項３】
照射手段が、第一の照射手段と、第二の照射手段とを有し、第一の照射手段からの可視光照射は、前記集光手段を介して貫通穴に照射され、第二の照射手段からの可視光照射は、直接貫通穴に照射される構造を有する請求項１又は２記載の貫通穴検査装置。
【請求項４】
基板に設けられた貫通穴の検査方法であって、貫通穴に照度３０００〜３８００ｌｘの可視光を照射しての検査と、照度４０００〜４３００ｌｘ可視光を照射しての検査とを併用して、貫通穴を検査することを特徴とする貫通穴検査方法。
【請求項５】
基板に設けられた貫通穴の検査方法であって、貫通穴に散乱なしに集光された可視光を照射して行なう検査と、貫通穴に集光なしに可視光を照射して行なう検査とを併用することを特徴とする貫通穴検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板（単層、多層）に設けられた貫通穴の数、位置、寸法等を光学的に検査する貫通穴検査装置及び貫通穴検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板（単層、多層）の検査工程において、基板に設けられた貫通穴の数、位置、寸法等を検査する場合、光学的に基板を検査することが行なわれている。
【０００３】
また、このような検査を行なう装置として、図３に示すように、可視光１を蛍光灯２（照射器具）により基板３下部より照射し、基板に設けてある貫通穴を透過した可視光を、基板上部に設置してある受光素子４（ＣＣＤ）で感知し、貫通穴の数、位置、寸法等の検査を行うことができる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−１２１４１７号公報
【０００４】
前記検査装置の他に、高精度検査が可能なホールアナライザーがあるが、検査作業に３分／枚かかるため、量産には向かないという問題点がある。
【０００５】
基板の貫通穴の位置や寸法を保証するために、上記のようなＣＣＤなどを用いた検査装置が利用され、基板照射器具は蛍光灯（３５Ｗ、１本）を用い照射しており、検査に必要な照度は満たしていたが、照度不足が原因と思われる貫通穴内の微小異物見逃しがあった。
【０００６】
上記特許文献１では、高輝度ライン照明を用いることにより穴検査精度向上させることが記載されているが、照度不足に対応できるものではなかった。
【０００７】
また、従来の検査装置では、照射器具設置部にはスペースの余裕が無く、照射器具の変更（３５Ｗ以上の蛍光灯、白熱灯他）が困難であるため照射器具変更による照度向上はできない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、照射器具を変更することなく可視光の照度を向上させ、微小異物検査精度の向上を図ると共に、従来の検査方法を併用し異物検出精度を向上させ、更なる検査精度向上を図ることが可能な貫通穴検査装置及び貫通穴検査方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、鋭意検討の結果、貫通穴に透過光を照射する照射手段と、照射手段から照射される可視光を散乱なしに貫通穴に集光させる集光手段を有する検査装置によって、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は次の事項に関する。
【００１０】
（１）基板（単層、多層）に設けられた貫通穴を光学的に検査する検査装置であって、前記貫通穴に透過光を照射する照射手段と、照射手段から照射される可視光を散乱なしに貫通穴に集光させる集光手段とを有する貫通穴検査装置。
【００１１】
（２）集光手段が、照射手段と貫通穴との間に設置された反射内面を有する筒状体である上記（１）記載の貫通穴検査装置。
【００１２】
（３）照射手段が、第一の照射手段と、第二の照射手段とを有し、第一の照射手段からの可視光照射は、前記集光手段を介して貫通穴に照射され、第二の照射手段からの可視光照射は、直接貫通穴に照射される構造を有する上記（１）又は（２）記載の貫通穴検査装置。
【００１３】
（４）基板に設けられた貫通穴の検査方法であって、貫通穴に照度３０００〜３８００ｌｘの可視光を照射しての検査と、照度４０００〜４３００ｌｘ可視光を照射しての検査とを併用して、貫通穴を検査することを特徴とする貫通穴検査方法。
【００１４】
（５）基板に設けられた貫通穴の検査方法であって、貫通穴に散乱なしに集光された可視光を照射して行なう検査と、貫通穴に集光なしに可視光を照射して行なう検査とを併用することを特徴とする貫通穴検査方法。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基板への可視光照度が向上し、従来の検査装置では検出できなかった微小異物が検出できるようになり、貫通穴に散乱なしに集光された可視光を照射して行なう検査と、貫通穴に集光なしに可視光を照射して行なう検査とを併用する方法では、さらに、検査精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の貫通穴検査装置としては、例えば、図１に示すような構造を有し、前記貫通穴に透過光を照射する照射手段として、照射器具である蛍光灯２を備え、前記照射手段から照射される可視光１を散乱なしに貫通穴に集光させる集光手段として、反射板からなり反射内面を有する筒状反射板５を備えており、前記蛍光灯からの可視光を基板３の貫通穴へ集光させることができる。
【００１７】
上記検査装置を用いて、検査する基板が集光された可視光上を通過時、貫通穴からの透過光を受光素子（ＣＣＤ）が感知し、貫通穴の数、位置、寸法等の検査を行ない、良否判定を実施、表示することができる。
【００１８】
本発明に使用する反射板の材質として反射率が高く、軽量、製作コストが低い材質が用いられ、例えばアルミ、ステンレス、鉄等が挙げられる。中でも耐久性の高いアルミ、ステンレス材が好ましく、反射率が最も高いアルミ材が最も好ましい。アルミ材を使用することで、ステンレスに対して３〜５％反射率が向上する。
【００１９】
本発明に使用する反射板のサイズとして、直径８０〜１００ｍｍの半円状に加工された反射板と、半円状から上部へ１５０〜２００ｍｍの長さがある平板の反射板を組み合わせ、長手方向に８５０〜１，０００ｍｍの長さの反射板とする。また反射板の厚さは３〜１．０ｍｍとする。
【００２０】
サイズの組み合わせとして、反射板サイズは上記の最大サイズが好ましく、製作コスト、
加工性等により、厚さは０．３ｍｍが最も好ましい。
前記仕様にすることによって、上記最小サイズと比較し２００ｌｘ照度が向上する。
また、その他の形状として、図１に示す半円状Ａ、Ｖ型Ｂ、四角型Ｃ、多角型Ｄ等が
ある。
【００２１】
本発明に使用する蛍光灯の種類として白色系の蛍光灯が用いられ、例えば、白色、昼光色等が挙げられる。
また、通常形の蛍光灯と３波長形の蛍光灯があり、３波長形は通常形に対して、８〜１０％照度が向上するため３波長形が好ましい。さらに白色と昼光色では、白色の方が１〜２％照度が向上するため、３波長形白色蛍光灯が最も好ましい。
【実施例】
【００２２】
以下、実施例により本発明を詳しく説明する。
〈微小異物の見逃し率の測定方法〉
実施例及び比較例で検出された微小異物数を、ホールアナライザー（日立ビア社製、ＨＡ−１ＡＭ型）を用いて検出された微小異物数に対する百分率で表して、見逃し率とした。
【００２３】
実施例１
図１に示す装置を用いて、基板（両面銅箔張り、４１０ｍｍ×４１５ｍｍ、厚さ０．９ｍｍ）を検査した結果、微小異物の見逃し率は１５％であった。
【００２４】
実施例２
図２に示すように、図１に示す装置（貫通穴に散乱なしに集光された可視光を照射して行なう装置）と、図３（集光なしに可視光を照射して行なう検査機７）に示す装置を、を直列に配置し、基板投入口６より基板を投入して微小異物の検出を行なった結果、微小異物の見逃し率は１２％であった。
【００２５】
比較例１
図３に示す従来の検査装置を用いて、基板（両面銅箔張り、４１０ｍｍ×４１５ｍｍ、厚さ０．９ｍｍ）の微小異物の検出を行なった結果、微小異物の見逃し率は１７％であった。
【００２６】
上記のとおり、従来の検査装置によれば微小異物の見逃し率が１７％あったが、本発明の検査装置を用いた実施例１では１５％、本発明の検査方法を用いた実施例２では１２％と微小異物の見逃し率が低減でき、検査精度が向上した。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、従来の装置と比べて微小異物の検出精度が向上したので、量産ラインに適用可能な貫通穴検査装置として有効である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の設備の検査部及び筒状体反射板の形状を示す説明図である。
【図２】集光なし検査機と本発明の集光あり検査機の併用検査フロー図である。
【図３】従来設備の検査部を示す説明図である
【符号の説明】
【００２９】
１  可視光
２  蛍光灯
３  基板（貫通穴付）
４  受光素子（ＣＣＤ）
５  筒状体反射板
６  基板投入口
７  集光なし検査機
８  集光あり検査機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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