(57)【要約】【課題】ポンプ本体と電源装置とを接続するセンサ信号ラインを一系統にまとめることができる真空ポンプシステムの提供。【解決手段】ポンプ本体１は、信号ラインＡと、信号ラインＡにコンデンサＣ１を介して接続されたインダクタンス式センサ４７０と、Ａ信号ラインにインダクタＬ１を介して接続されたロジック出力センサ６３０とを備える。電源装置２は、信号ラインＡに接続される信号ラインＢと、コンデンサＣ２を介して信号ラインＢに接続され、インダクタンス式センサ４７０のセンサ信号を検出するインダクタンス式センサ検出回路２００と、インダクタＬ２を介して信号ラインＢに接続され、ロジック出力センサ６３０のセンサ信号を検出するロジック出力センサ検出回路２２０とを有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ本体と、前記ポンプ本体を駆動制御する電源装置とを備える真空ポンプシステムにおいて、
前記ポンプ本体は、ポンプ側センサ信号ラインと、前記ポンプ側センサ信号ラインにコンデンサを介して接続されたインダクタンス式の第１センサと、前記第１センサに対して並列接続となるように、インダクタを介して前記ポンプ側センサ信号ラインに接続されたロジック出力または接点出力の第２センサとを有し、
前記電源装置は、前記センサ信号ラインに接続される電源側センサ信号ラインと、コンデンサを介して前記電源側センサ信号ラインに接続され、前記第１センサのセンサ信号を検出する第１の検出回路と、前記第１の検出回路に対して並列接続となるようにインダクタを介して前記電源側センサ信号ラインに接続され、前記第２センサのセンサ信号を検出する第２の検出回路とを有することを特徴とする真空ポンプシステム。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプシステムにおいて、
前記第１センサに印加される搬送波の周波数において、前記コンデンサのインピーダンスが前記第１センサのインピーダンスよりも小さく、かつ、前記インダクタのインピーダンスが前記第１センサのインピーダンスよりも大きくなるように設定されていることを特徴とする真空ポンプシステム。
【請求項３】
インダクタンス式の第１センサと、コンデンサを介して前記第１センサが接続される第１のポンプ側センサ信号ラインとを有する第１のポンプ本体、または、前記第１センサに代わるロジック出力または接点出力の第２センサと、インダクタを介して前記第２センサが接続される第２のポンプ側センサ信号ラインとを有する第２のポンプ本体のいずれか一方に選択的に接続可能な電源装置であって、
前記センサ信号ラインに接続される電源側センサ信号ラインと、コンデンサを介して前記電源側センサ信号ラインに接続され、前記第１センサのセンサ信号を検出する第１の検出回路と、前記第１の検出回路に対して並列接続となるようにインダクタを介して前記電源側センサ信号ラインに接続され、前記第２センサのセンサ信号を検出する第２の検出回路とを備えることを特徴とする電源装置。
【請求項４】
請求項３に記載の電源装置において、
前記第１センサに印加される搬送波の周波数において、前記コンデンサのインピーダンスが前記第１センサのインピーダンスよりも小さく、かつ、前記インダクタのインピーダンスが前記第１センサのインピーダンスよりも大きくなるように設定されていることを特徴とする電源装置。
【請求項５】
第１の電源側センサ信号ラインと、コンデンサを介して前記第１の電源側センサ信号ラインに接続され、インダクタンス式の第１センサのセンサ信号を検出する第１の検出回路とを有する第１の電源装置、または、第２の電源側センサ信号ラインと、インダクタを介して前記第２の電源側センサ信号ラインに接続され、ロジック出力または接点出力の第２センサのセンサ信号を検出する第２の検出回路とを有する第２の電源装置のいずれか一方に選択的に接続可能な真空ポンプであって、
前記電源側センサ信号ラインに接続されるポンプ側センサ信号ラインと、前記ポンプ側センサ信号ラインにコンデンサを介して接続される前記第１センサと、前記第１センサに対して並列接続となるようにインダクタを介して前記ポンプ側センサ信号ラインに接続される前記第２センサとを備えることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項６】
請求項５に記載の真空ポンプにおいて、
前記第１センサに印加される搬送波の周波数において、前記コンデンサのインピーダンスが前記第１センサのインピーダンスよりも小さく、かつ、前記インダクタのインピーダンスが前記第１センサのインピーダンスよりも大きくなるように設定されていることを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプシステム、電源装置および真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプ等の真空ポンプシステムは、ポンプ本体と、そのポンプ本体を駆動する電源装置とから構成されている（例えば、特許文献１参照）。ポンプ本体にはポンプ本体の各種状態を検出するために複数のセンサが設けられ、電源装置にはセンサに対応してセンサ検出回路が設けられている。ポンプ本体と電源装置とは、電力線や信号線を備えたケーブルによって接続される。そして、センサとセンサ検出回路とは一組の信号線とで接続され、ケーブルには各センサ毎に信号線が設けられている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２３１２３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、例えば、磁気軸受け式のターボ分子ポンプのように多数のセンサを必要とする真空ポンプシステムでは、接続する信号線の本数が多いためにケーブルが太くなって、設置時のケーブルの取り回しに困難が生じていた。また、信号線の増大によるケーブルのコスト上昇とともに、信号線の数に対応してピン数の多いコネクタが必要となり、ポンプ本体におけるコネクタ配置スペースの増大およびコネクタコストの上昇も招いていた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、ポンプ本体と、ポンプ本体を駆動制御する電源装置とを備える真空ポンプシステムに適用され、ポンプ本体は、ポンプ側センサ信号ラインと、ポンプ側センサ信号ラインにコンデンサを介して接続されたインダクタンス式の第１センサと、第１センサに対して並列接続となるように、インダクタを介してポンプ側センサ信号ラインに接続されたロジック出力または接点出力の第２センサとを有し、電源装置は、センサ信号ラインに接続される電源側センサ信号ラインと、コンデンサを介して電源側センサ信号ラインに接続され、第１センサのセンサ信号を検出する第１の検出回路と、第１の検出回路に対して並列接続となるようにインダクタを介して電源側センサ信号ラインに接続され、第２センサのセンサ信号を検出する第２の検出回路とを有することを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載の真空ポンプシステムにおいて、第１センサに印加される搬送波の周波数において、コンデンサのインピーダンスが第１センサのインピーダンスよりも小さく、かつ、インダクタのインピーダンスが第１センサのインピーダンスよりも大きくなるように設定したものである。
請求項３の発明は、インダクタンス式の第１センサと、コンデンサを介して第１センサが接続される第１のポンプ側センサ信号ラインとを有する第１のポンプ本体、または、第１センサに代わるロジック出力または接点出力の第２センサと、インダクタを介して第２センサが接続される第２のポンプ側センサ信号ラインとを有する第２のポンプ本体のいずれか一方に選択的に接続可能な電源装置であって、センサ信号ラインに接続される電源側センサ信号ラインと、コンデンサを介して電源側センサ信号ラインに接続され、第１センサのセンサ信号を検出する第１の検出回路と、第１の検出回路に対して並列接続となるようにインダクタを介して電源側センサ信号ラインに接続され、第２センサのセンサ信号を検出する第２の検出回路とを備えることを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項３に記載の電源装置において、第１センサに印加される搬送波の周波数において、コンデンサのインピーダンスが第１センサのインピーダンスよりも小さく、かつ、インダクタのインピーダンスが第１センサのインピーダンスよりも大きくなるように設定したものである。
請求項５の発明は、第１の電源側センサ信号ラインと、コンデンサを介して第１の電源側センサ信号ラインに接続され、インダクタンス式の第１センサのセンサ信号を検出する第１の検出回路とを有する第１の電源装置、または、第２の電源側センサ信号ラインと、インダクタを介して第２の電源側センサ信号ラインに接続され、ロジック出力または接点出力の第２センサのセンサ信号を検出する第２の検出回路とを有する第２の電源装置のいずれか一方に選択的に接続可能な真空ポンプであって、電源側センサ信号ラインに接続されるポンプ側センサ信号ラインと、ポンプ側センサ信号ラインにコンデンサを介して接続される第１センサと、第１センサに対して並列接続となるようにインダクタを介してポンプ側センサ信号ラインに接続される第２センサとを備えることを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項５に記載の真空ポンプにおいて、第１センサに印加される搬送波の周波数において、コンデンサのインピーダンスが第１センサのインピーダンスよりも小さく、かつ、インダクタのインピーダンスが第１センサのインピーダンスよりも大きくなるように設定したものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、ポンプ本体と電源装置とを接続するセンサ信号ラインを一系統にまとめることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１は、本発明による真空ポンプシステムの第１の実施の形態を説明する図であり、磁気軸受式ターボ分子ポンプの概略構成を示す断面図である。ターボ分子ポンプは、図１に示すポンプ本体１と、ポンプ本体１に電源を供給するとともに駆動制御を行う電源装置（不図示）とから成る。
【０００８】
ポンプ本体１のケーシング１０の内部には、複数段の回転翼４１および回転円筒部４２が形成されたロータ４が設けられている。一方、ポンプ本体１のベース３側には、複数段の固定翼４３および固定円筒部４４が設けられている。そして、軸方向に交互に配置された複数段の回転翼４１と複数段の固定翼４３とによりタービン翼部が構成される。
【０００９】
また、タービン翼部の下流側に配置された回転円筒部４４と固定円筒部４２とによりモレキュラードラッグポンプ部が構成されている。回転円筒部４４は固定円筒部４２の内周面に近接して設けられており、固定円筒部４２の内周面には螺旋溝が形成されている。モレキュラードラッグポンプ部では、固定円筒部４２の螺旋溝と高速回転する回転円筒部４４とにより、粘性流による排気が行われる。
【００１０】
図１に示すタービン翼部とモレキュラードラッグポンプ部とを結合させたターボ分子ポンプは、ハイブリッド型ターボ分子ポンプと称される。吸気口から流入したガス分子はタービン翼部によって図示下方へと叩き飛ばされ、下流側に向かって圧縮排気される。その圧縮されたガス分子は、さらにモレキュラードラッグポンプ部によって圧縮され、排気ポート１４から排出される。
【００１１】
ロータ４は、上下一対のラジアル磁気軸受５１，５２およびスラスト磁気軸受５３によって非接触支持され、モータ６により回転駆動される。これらの磁気軸受には、ロータ４の浮上位置を検出するためのラジアル変位センサ５５，５６およびスラスト変位センサ５７が設けられている。１１，１２は非常用のメカニカルベアリングである。コネクタ１３には、ポンプ本体１と電源装置（不図示）とを繋ぐケーブルが接続される。
【００１２】
モータ６にはＤＣブラシレスモータが用いられており、ロータ４のシャフト部４５には永久磁石が内蔵されたモータロータ６２が装着されている。一方、ベース３側には、回転磁界を形成するためのＵ相巻線，Ｖ相巻線およびＷ相巻線を有するモータステータ６１が設けられている。モータ６には、モータ温度を検出用の温度スイッチ６３が設けられている。温度スイッチ６３は、モータ温度が所定温度となると出力信号がLow状態からHigh状態へと変化するロジック出力のセンサを構成している。一般的には、On/Offの接点信号を出力するものが用いられる。
【００１３】
シャフト部４５の下端にはセンサターゲット４６が設けられており、センサターゲット４６と対向する位置にはギャップセンサ４７が設けられている。ギャップセンサ４７は、図２に示すようなインダクタンス式のセンサである。センサターゲット４６の底面には段差４６ａが形成されており、ギャップセンサ４７が段差４６ａに対向した場合と非段差面４６ｂに対向した場合とでは、ギャップセンサ４７のインダクタンスが異なることになる。このインダクタンスの変化を検出することで、ロータ４の回転数を検出することができる。
【００１４】
ギャップセンサ４７には、励振器Ｅｘにより周波数ｆｘ（１０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚ程度）の搬送波が印加され、インダクタンスの変化により搬送波が振幅変調される。そのため、ギャップセンサ４７の出力周波数帯域は周波数ｆｘ付近の帯域となる。一方、温度スイッチ６３の出力周波数帯域はLow/HighやOn/Offの頻度に依存するので、周波数ｆｘよりも十分低い帯域となる。
【００１５】
上述したように、図１に示すポンプ本体１は、振幅変調された搬送波信号を出力するインダクタンス式のギャップセンサ４６と、ロジック出力である温度スイッチ６３とを備えている。そして、従来のターボ分子ポンプでは、ポンプ本体１と電源装置とを接続するケーブルには各センサ毎に信号線が独立に設けられていた。
【００１６】
しかし、本実施の形態では、図３に示すように、ケーブル３の一組の信号線３０を利用してギャップセンサ４６の信号と温度スイッチ６３の信号とを電源装置２側に送信するようにしている。ポンプ本体１内において、ギャップセンサ４７の信号ラインＡ１と温度スイッチ６３の信号ラインＡ２は一つの信号ラインＡにまとめられ、コネクタ１３の共通のコネクタピンに接続されている。そのコネクタピンはケーブル７の信号線７０に接続される。
【００１７】
一方、電源装置２には、ポンプ本体１に設けられたギャップセンサ４７および温度スイッチ６３に対応して、ギャップセンサ検出回路２０および温度スイッチ検出回路２２が設けられている。ギャップセンサ検出回路２０の信号ラインＢ１と温度スイッチ検出回路２２の信号ラインＢ２は一つの信号ラインＢにまとめられ、コネクタ１５の共通のコネクタピンに接続されている。そのコネクタピンはケーブル７の信号線７０に接続される。
【００１８】
ギャップセンサ検出回路２０は、ギャップセンサ４７からのセンサ信号を検出して、ロータ４の回転速度に応じた回転信号を生成する。回転信号は不図示のモータ駆動制御部に入力され、モータ６の回転制御に利用される。温度スイッチ検出回路２２は、温度スイッチ６３からの信号を検出して温度信号を出力する。例えば、モータ６が許容温度を越えたか否かの信号が出力され、ポンプ運転制御に利用される。
【００１９】
図４は、信号ラインＡ１と信号ラインＡ２とを一組の信号線７０に接続し、信号ラインＢ１と信号ラインＢ２とを一組の信号線７０に接続する方法を説明する図である。なお、ここでの説明はギャップセンサ４７と温度スイッチ６３とを備えたポンプ本体１に限らず、一般的に、インダクタンス式センサ（ギャップセンサ４７が対応）とロジック出力センサ（温度スイッチ６３が対応）とを備えたものに対しても成り立つものである。そのため、図４の説明では、ギャップセンサ４７および温度スイッチ６３の代わりにインダクタンス式センサ４７０およびロジック出力センサ６３０を用い、ギャップセンサ検出回路２０および温度スイッチ検出回路２２の代わりにインダクタンス式センサ２００およびロジック出力センサ検出回路２２０を用いることにする。
【００２０】
図４において、信号ラインＡ１にはコンデンサＣ１が設けられ、信号ラインＢ１にはコンデンサＣ２が設けられている。ポンプ本体１側のインダクタンス式センサ４７０と電源装置２側のインダクタンス式センサ検出回路２００とは、コンデンサＣ１，Ｃ２を介して接続されている。一方、信号ラインＡ２にはインダクタＬ１が設けられ、信号ラインＢ２にはインダクタＬ２が設けられており、ロジック出力センサ６３０とロジック出力センサ検出回路２２０とはインダクタＬ１，Ｌ２を介して接続されている。
【００２１】
コンデンサＣ１，Ｃ２およびインダクタＬ１，Ｌ２は、次のように選定される。励振器Ｅｘの周波数ｆｘに関して、コンデンサＣ１，Ｃ２のインピーダンスＺ(C1)，Ｚ(C2)がインダクタンス式センサ４７０のインピーダンスＺ(S)よりも十分小さくなるように（Ｚ(C1)，Ｚ(C2)≪Ｚ(S)）設定する。例えば、約１／１０以下となるように設定する。一方、インダクタＬ１，Ｌ２については、それらのインピーダンスＺ(L1)，Ｚ(L2)がインピーダンスＺ(S)よりも十分大きくなるように（Ｚ(L1)，Ｚ(L2)≫Ｚ(S)）設定する。例えば、約１０倍以上となるように設定する。
【００２２】
このように設定すると、インダクタンス式センサ検出回路２００の入力（励振出力）からは、インダクタンス式センサ４７０に直列に入っているコンデンサＣ１，Ｃ２のインピーダンスは十分小さく、インダクタＬ１が直列に入っているロジック出力センサ６３０の出力インピーダンスは十分に大きい。そのため、インダクタンス式センサ検出回路２００は、ロジック出力センサ６３０の信号の影響を受けることなくインダクタンス式センサ４７０のインピーダンスを検出することができる。
【００２３】
一方、ロジック出力センサ６３０の出力周波数帯域は周波数ｆｘよりも十分低いので、この帯域においては、ロジック出力センサ６３０に直列に入っているインダクタＬ１，Ｌ２のインピーダンスは十分小さくなる。逆に、励振出力やインダクタンス式センサ４７０に直列に入っているコンデンサＣ１，Ｃ２のインピーダンスは、ロジック出力の帯域においては十分大きくなる。その結果、ロジック出力センサ回路２２０は、インダクタンス式センサ４７０の信号の影響を受けることなくロジック出力センサ６３０の信号を検出することができる。
【００２４】
上述したように、本実施の形態の真空ポンプでは、方式の異なる２種類のセンサのセンサ信号を一組の信号線７０を用いて電源装置に伝達するようにしたので、ケーブル７の信号線の数を低減することができ、ケーブル７の取り回し性が向上するとともに、コスト低減を図ることができる。また、コネクタピン数の低減も図れるので、より小型のコネクタを使用することができ、ポンプ本体の小型化も図ることができる。例えば、図４に示すように２種類のセンサをポンプ本体に備えている場合には、従来なら二組（４本）の信号線を必要としたが、本実施の形態では一組（２本）の信号線で済む。
【００２５】
−第２の実施の形態−
上述した第１の実施の形態では、インダクタンス式のギャップセンサ４７を用いてロータ４の回転数を検出するようにしたが、図５のポンプ本体１Ｂのように、ホールセンサ４８をギャップセンサ４７の代わりに用いる場合もある。ホールセンサ４８はモータ６のモータステータ６１に内蔵され、モータロータ６２の回転による磁極の向きの変化を検出する。ホールセンサ４８の出力段には増幅回路が設けられ、ロジック出力となっている。一般的に、ＤＣブラシレスモータの場合にはホールセンサが用いられ、インダクションモータの場合にはギャップセンサが用いられることが多い。
【００２６】
すなわち、図５のポンプ本体１Ａではロジック出力センサであるホールセンサ４８が回転センサとして用いられ、ポンプ本体１Ｂではインダクタンス式センサであるギャップセンサ４７が回転センサとして用いられている。そして、図示していないが、ポンプ本体１Ａの信号ラインＡ１には図４のコンデンサＣ１が設けられ、ポンプ本体１Ｂの信号ラインＡ２には図４のインダクタＬ１が設けられている。
【００２７】
一方、電源装置２Ｂは、回転検出回路としてインダクタンス式センサ対応のギャップセンサ検出回路２０と、ロジック出力センサ対応のホールセンサ検出回路２４との両方を備えている。図示していないが、信号ラインＢ１には図４のコンデンサＣ２が設けられ、信号ラインＢ２にはインダクタＬ２が設けられている。そのため、電源装置２は、回転センサの方式が異なる２種類のポンプ本体１Ａ，１Ｂに共通して使用することができる。破線７０のように電源装置２Ｂに機種Ｂのポンプ本体１Ｂが接続されると、回転検出はホールセンサ検出回路２４で行われ、一点鎖線７０のように機種Ａのポンプ本体１Ａに接続した場合には、ギャップセンサ検出回路２０で回転検出が行われる。
【００２８】
このように、第２の実施の形態では、第１の実施の形態の作用効果に加えて、センサ方式の異なるポンプ本体１Ａ，１Ｂに対して電源装置２Ｂおよびケーブル７を共通化すること可能となる。例えば、ポンプ本体１Ａがポンプ本体１Ｂのように改良された場合であっても、電源装置２Ｂのように２種類の検出回路を搭載しておくことにより、旧来の電源装置をそのまま新型のポンプ本体１Ｂに流用することができる。さらに、接続されたポンプ本体の機種に応じた検出回路の切替は、オペレータが切り替え操作しなくても自動的に行われることになる。
【００２９】
−第３の実施の形態−
図６は、第３の実施の形態を示す図である。第３の実施の形態では、ポンプ本体１Ｃに、インダクタンス式のギャップセンサ４７およびロジック出力式のホールセンサ４８の両方が回転センサとして設けられている。すなわち、ポンプ本体１Ｃのセンサ信号出力ラインからは、信号形式の異なる２種類の回転信号が出力されることになる。一方、電源装置に関しては、回転検出回路としてギャップセンサ検出回路２０またはホールセンサ検出回路２４のいずれか一方が設けられている。図６に示す例では、電源装置２ＣＡにはギャップセンサ検出回路２０が設けられ、電源装置２ＣＢにはホールセンサ検出回路２４が設けられている。
【００３０】
図示していないが、ポンプ本体１Ｃの信号ラインＡ１にはコンデンサＣ１が設けられ、信号ラインＡ２にはインダクタＬ１が設けられている。一方、電源装置２ＣＡの信号ラインＢ１にはコンデンサＣ２が設けられ、電源装置２ＣＢの信号ラインＢ２にはインダクタＬ２が設けられている。破線７０のようにポンプ本体１Ｃに電源装置２ＣＡを接続すると、ギャップセンサ４７のセンサ信号がギャップセンサ検出回路２０により検出される。一方、一点鎖線７０のようにポンプ本体１Ｃに電源装置２ＣＢを接続すると、ホールセンサ４８のセンサ信号がホールセンサ検出回路２４により検出されることになる。
【００３１】
このように、第３の実施の形態では、上述した第１の実施の形態の作用効果に加えて、ポンプ本体側に２種類のセンサ４７，４８を回転検出用のセンサとして備えることで、ギャップセンサ検出回路２０を回転検出回路として備える電源装置２ＣＡを使用することもできるし、ホールセンサ検出回路２４を回転検出回路として備える電源装置２ＣＡを使用することもできる。
【００３２】
なお、上述した第３の実施の形態では、ポンプ本体側のみに２種類のセンサ４７，４８を回転検出用のセンサとして設けて、機種の異なる電源装置を接続できるように構成したが、電源装置側にも、回転検出回路としてセンサ４７，４８に対応した２種類の検出回路（ギャップセンサ検出回路２０およびホールセンサ検出回路２４）を設けるようにしても良い。このような構成とすることで、例えば、ポンプ本体側の一方のセンサが使用不能となった場合でも、他方のセンサの信号を用いることで支障なく運転を継続することができる。
【００３３】
上述した実施の形態では、一組の信号線として２本の信号線から成る例を示したが、センサ形式によっては１本の場合もある。また、インダクタンス式のセンサとしてギャップセンサ４７を例示したが、磁気軸受用の変位センサ５５，５６および５７にもインダクタンス式のセンサが用いられているので、ロジック出力センサ６３０の信号と変位センサの信号とを一組の信号線で電源装置２に伝達するようにしても良い。さらに、磁気軸受式のターボ分子ポンプを例に説明したが、本発明は、２種類の方式の異なるセンサを備えた真空ポンプであれば同様に適用することができる。なお、以上の説明はあくまでも一例であり、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】磁気軸受式ターボ分子ポンプの概略構成を示す断面図である。
【図２】ギャップセンサ４７を説明する図である。
【図３】ポンプ本体側と電源装置側の信号ラインを説明する図である。
【図４】２組の信号ラインを一組の信号線７０に接続する方法を説明する図である。
【図５】第２の実施の形態を説明する図である。
【図６】第３の実施の形態を説明する図である。
【符号の説明】
【００３５】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ：ポンプ本体、２，２Ｂ，２ＣＡ，２ＣＢ：電源装置、７：ケーブル、２０：ギャップセンサ検出回路、２２：温度スイッチ検出回路、２４：ホールセンサ検出回路、４７：ギャップセンサ、４８：ホールセンサ、６３：温度スイッチ、７０：信号線、２００：インダクタンス式センサ検出回路、２２０：ロジック出力センサ検出回路、４７０：インダクタンス式センサ、６３０：ロジック出力センサ、Ａ，Ａ１，Ａ２，Ｂ，Ｂ１，Ｂ２：信号ライン、Ｃ１，Ｃ２：コンデンサ、Ｌ１，Ｌ２：インダクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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