(57)【要約】【課題】モータの軸受機構に対して潤滑油を迅速に注入するとともに潤滑油の注入時におけるロータ部およびステータ部に対する潤滑油の付着を抑制する。【解決手段】モータ１では、ステータ部２のスリーブ部２２１とロータ部３のロータハブ３１との間に、軸受間隙４の軸受開口４６から外部へと連続して広がる環状のオイルバッファ５が設けられる。軸受間隙４に潤滑油が注入される際には、オイルバッファ５に潤滑油が一時的に貯溜された後に軸受間隙４に充填される。これにより、軸受間隙４に直接潤滑油を供給して注入する場合に比べて多量の潤滑油を１回で供給できるため、モータ１の軸受機構に対して潤滑油を迅速に注入することができる。また、オイルバッファ５の外部において、スリーブ部２２１の外側面、および、ロータ部３の抜止部材３１４の第３内側面にそれぞれ撥油層が形成されているため、オイルバッファ５の外部に対する潤滑油の付着が抑制される。【選択図】図４
2009201309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動式のモータであって、
ロータ部と、
前記ロータ部との間の軸受間隙に保持された潤滑油に生じる流体動圧を利用して所定の中心軸を中心に前記ロータ部を回転可能に支持するステータ部と、
を備え、
前記軸受間隙が前記中心軸を中心とする環状の開口を有し、前記軸受間隙内部の前記開口近傍において、前記ロータ部と前記ステータ部との間の距離が前記開口から離れるに従って漸次減少し、
前記軸受間隙の前記開口から外部へと連続して広がるとともに前記軸受間隙に前記潤滑油が注入される際に前記潤滑油の一時的な貯溜に利用されるオイルバッファが前記ロータ部と前記ステータ部との間に設けられ、
前記オイルバッファの外部において前記ロータ部の表面および前記ステータ部の表面に撥油処理が施されていることを特徴とするモータ。
【請求項２】
請求項１に記載のモータであって、
前記オイルバッファが、前記中心軸を中心とする環状の空間であることを特徴とするモータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のモータであって、
前記オイルバッファが、前記ステータ部および前記ロータ部の一方に形成された凹部を含むことを特徴とするモータ。
【請求項４】
請求項３に記載のモータであって、
前記オイルバッファが、前記凹部に対向して前記ステータ部および前記ロータ部の他方に形成されたもう１つの凹部を含むことを特徴とするモータ。
【請求項５】
請求項１または２に記載のモータであって、
前記ロータ部が、
シャフトと、
前記シャフトの一端から前記シャフトに垂直に広がる略円板状の円板部、および、前記円板部から前記シャフトと同方向に前記シャフトを中心として突出する略円筒状の円筒部を有するロータハブと、
前記ロータハブに固定された界磁用磁石と、
を備え、
前記ステータ部が、
前記シャフトが挿入されるスリーブ部と、
前記スリーブ部の周囲において前記界磁用磁石との間で前記中心軸を中心とするトルクを発生する電機子と、
を備え、
前記軸受間隙が、前記シャフトの外側面と前記スリーブ部の内側面との間の間隙、および、前記ロータハブの前記円板部と前記スリーブ部との間の間隙を含み、
前記軸受間隙の前記開口および前記オイルバッファが、前記ロータハブの前記円筒部の内側面と前記スリーブ部の外側面との間に設けられることを特徴とするモータ。
【請求項６】
請求項５に記載のモータであって、
前記円筒部の前記内側面が、前記円筒部の先端に向かって内径が増大するとともに前記軸受間隙の前記開口のエッジの一部を形成する段差部を有し、
前記オイルバッファが、前記段差部により形成される凹部を含むことを特徴とするモータ。
【請求項７】
請求項６に記載のモータであって、
前記スリーブ部の前記外側面が、前記中心軸を中心とする径方向おいて前記円筒部の前記凹部に対向するもう１つの凹部を有し、
前記オイルバッファが、前記もう１つの凹部をさらに含むことを特徴とするモータ。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のモータであって、
前記オイルバッファの容量が、前記軸受間隙の容量の１０５％以上であることを特徴とするモータ。
【請求項９】
記録ディスク駆動装置であって、
情報を記録する記録ディスクを回転する請求項１ないし８のいずれかに記載のモータと、
前記記録ディスクに対する情報の読み出しまたは書き込みを行うアクセス部と、
を備えることを特徴とする記録ディスク駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動式のモータ、および、当該モータを備える記録ディスク駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ハードディスク装置等の記録ディスク駆動装置は、記録ディスクを回転駆動するスピンドルモータ（以下、「モータ」という。）を備えており、モータの軸受機構の１つとして、ロータ部とステータ部との間の軸受間隙に保持された潤滑油の動圧を利用する軸受機構（以下、「流体動圧軸受機構」という。）が近年採用されている。
【０００３】
このような流体動圧軸受機構では、軸受間隙の外部に面する開口近傍に、軸受間隙の幅が外部に向かって漸次増大するテーパ部が設けられており、潤滑油の界面を当該テーパ部に位置させることにより、毛管現象および表面張力により潤滑油の界面をメニスカス状として潤滑油の漏出防止が図られている。
【０００４】
特許文献１のモータでは、テーパ部におけるスリーブの外側面であるスリーブシール面の下側に中心軸側に窪むスリーブ溝部が形成されており、スリーブシール面とスリーブ溝部との境界には稜線部が形成されている。また、テーパ部におけるロータ部の内側面である抜け止め部シール面の下側にも中心軸から離れる方向に窪む抜け止め部溝が形成されており、抜け止め部シール面と抜け止め部溝との境界にも稜線部が形成されている。そして、これらの稜線により、潤滑油がテーパ部の外部へと漏れ広がることが防止される。特許文献１のモータでは、さらに、スリーブ溝部および抜け止め部溝の表面に撥油材をコーティングして撥油層が形成されており、これにより、潤滑油がテーパ部の外部へと漏れ広がることがより確実に防止される。
【０００５】
一方、特許文献２のモータでは、テーパ部を構成する軸受スリーブの外周壁面を中心軸方向へと窪ませて段差部を形成し、当該段差部により構成される稜部により、軸受スリーブの外周壁面が軸方向に沿って折れ曲がる面とされる。これにより、モータの製造において流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑油を充填する際に、潤滑油の界面の目視が容易とされ、潤滑油の注入量が容易に確認される。また、潤滑油の充填後にテーパ部の外側の壁面に付着している潤滑油の液滴を溶剤等を用いて拭き取るクリーニング工程において、軸受スリーブの段差部の稜部により、潤滑油の液滴が外部からテーパ部に流入することが防止される。
【０００６】
特許文献３は、動圧軸受装置の軸受間隙への潤滑油の充填に関するものであり、充填装置では、動圧軸受装置が真空容器内の減圧雰囲気中に配置され、当該減圧雰囲気よりもさらに減圧された状態にて脱気された潤滑油が、動圧軸受装置のスリーブ上面に形成された軸受間隙の開口にノズルを介して注がれる。ノズルから注がれた潤滑油は、軸受間隙のテーパ部およびテーパ部の上側に位置するスロープ部に一時的に保持され、その後、軸受間隙の壁面との親和力により軸受間隙内に移動する。そして、真空容器内の圧力が大きくされることにより、潤滑油が軸受間隙の奥に押し込まれる。
【特許文献１】特開２００６−２６６３６７号公報
【特許文献２】特許第３９８４４６２号公報
【特許文献３】特開２００５−２７３９０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、特許文献２のモータでは、軸受スリーブを潤滑油に浸漬することにより軸受間隙に潤滑油を充填するため、軸受スリーブの表面全体に潤滑油が付着してしまう。このため、潤滑油の充填後のクリーニング工程において潤滑油を拭き取るべき面積が大きくなってしまい、クリーニング工程に要する時間を短くすることが困難である。また、このようなモータでは、テーパ部を介して軸受間隙に潤滑油を直接注入することも考えられるが、テーパ部にて保持できる潤滑油の量は、完成品のモータにおいて軸受間隙が保持すべき潤滑油の全量よりも少ないため複数回の注油が必要となり、潤滑油の全量の充填に要する時間が増大してしまう。
【０００８】
特許文献３の動圧軸受装置では、スリーブ上部にスロープ部を設けることにより、軸受間隙の開口近傍における潤滑油の一時的な保持量が増加され、スロープ部とシャフト表面に撥油膜が形成されることにより、スロープ部に一時的に保持された潤滑油の軸受間隙への浸透が促進される。しかしながら、潤滑油の充填時にスロープ部の外側において潤滑油がスリーブ等に付着した場合、クリーニング工程においてスリーブに付着した潤滑油を拭き取る必要があり、クリーニング工程の短縮に限界がある。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、モータの軸受機構に対して潤滑油を迅速に注入するとともに潤滑油の注入時におけるロータ部およびステータ部に対する潤滑油の付着を抑制することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、電動式のモータであって、ロータ部と、前記ロータ部との間の軸受間隙に保持された潤滑油に生じる流体動圧を利用して所定の中心軸を中心に前記ロータ部を回転可能に支持するステータ部とを備え、前記軸受間隙が前記中心軸を中心とする環状の開口を有し、前記軸受間隙内部の前記開口近傍において、前記ロータ部と前記ステータ部との間の距離が前記開口から離れるに従って漸次減少し、前記軸受間隙の前記開口から外部へと連続して広がるとともに前記軸受間隙に前記潤滑油が注入される際に前記潤滑油の一時的な貯溜に利用されるオイルバッファが前記ロータ部と前記ステータ部との間に設けられ、前記オイルバッファの外部において前記ロータ部の表面および前記ステータ部の表面に撥油処理が施されている。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のモータであって、前記オイルバッファが、前記中心軸を中心とする環状の空間である。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のモータであって、前記オイルバッファが、前記ステータ部および前記ロータ部の一方に形成された凹部を含む。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のモータであって、前記オイルバッファが、前記凹部に対向して前記ステータ部および前記ロータ部の他方に形成されたもう１つの凹部を含む。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１または２に記載のモータであって、前記ロータ部が、シャフトと、前記シャフトの一端から前記シャフトに垂直に広がる略円板状の円板部、および、前記円板部から前記シャフトと同方向に前記シャフトを中心として突出する略円筒状の円筒部を有するロータハブと、前記ロータハブに固定された界磁用磁石とを備え、前記ステータ部が、前記シャフトが挿入されるスリーブ部と、前記スリーブ部の周囲において前記界磁用磁石との間で前記中心軸を中心とするトルクを発生する電機子とを備え、前記軸受間隙が、前記シャフトの外側面と前記スリーブ部の内側面との間の間隙、および、前記ロータハブの前記円板部と前記スリーブ部との間の間隙を含み、前記軸受間隙の前記開口および前記オイルバッファが、前記ロータハブの前記円筒部の内側面と前記スリーブ部の外側面との間に設けられる。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のモータであって、前記円筒部の前記内側面が、前記円筒部の先端に向かって内径が増大するとともに前記軸受間隙の前記開口のエッジの一部を形成する段差部を有し、前記オイルバッファが、前記段差部により形成される凹部を含む。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のモータであって、前記スリーブ部の前記外側面が、前記中心軸を中心とする径方向おいて前記円筒部の前記凹部に対向するもう１つの凹部を有し、前記オイルバッファが、前記もう１つの凹部をさらに含む。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項１ないし７のいずれかに記載のモータであって、前記オイルバッファの容量が、前記軸受間隙の容量の１０５％以上である。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、記録ディスク駆動装置であって、情報を記録する記録ディスクを回転する請求項１ないし８のいずれかに記載のモータと、前記記録ディスクに対する情報の読み出しまたは書き込みを行うアクセス部とを備える。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、モータの軸受機構に対して潤滑油を迅速に注入することができ、また、潤滑油の注入時におけるロータ部およびステータ部に対する潤滑油の付着を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る電動式のスピンドルモータ１（以下、「モータ１」という。）を備える記録ディスク駆動装置６０の内部構成を示す縦断面図である。記録ディスク駆動装置６０はいわゆるハードディスク装置であり、情報を記録する円板状の記録ディスク６２、記録ディスク６２に対する情報の書き込みおよび読み出しを行うアクセス部６３、記録ディスク６２を保持して回転する電動式のモータ１、並びに、記録ディスク６２、アクセス部６３およびモータ１を内部空間６１０に収容するハウジング６１を備える。
【００２１】
図１に示すように、ハウジング６１は、上部に開口を有するとともにモータ１およびアクセス部６３が内側の底部に取り付けられる無蓋箱状の第１ハウジング部材６１１、並びに、第１ハウジング部材６１１の開口を覆うことにより内部空間６１０を形成する板状の第２ハウジング部材６１２を備える。記録ディスク駆動装置６０では、第１ハウジング部材６１１に第２ハウジング部材６１２が接合されてハウジング６１が形成され、内部空間６１０は塵や埃が極度に少ない清浄な空間とされる。
【００２２】
記録ディスク６２は、モータ１の上側に載置されてクランパ６２１によりモータ１に固定される。アクセス部６３は、記録ディスク６２に近接して情報の読み出しおよび書き込みを磁気的に行うヘッド６３１、ヘッド６３１を支持するアーム６３２、並びに、アーム６３２を移動させることによりヘッド６３１を記録ディスク６２およびモータ１に対して相対的に移動するヘッド移動機構６３３を有する。これらの構成により、ヘッド６３１は回転する記録ディスク６２に近接した状態で記録ディスク６２の所要の位置にアクセスし、情報の書き込みおよび読み出しを行う。
【００２３】
図２は、記録ディスク駆動装置６０にて記録ディスク６２の回転に使用されるモータ１を示す縦断面図である。図２では、モータ１の中心軸Ｊ１（後述するステータ部２およびロータ部３の中心軸でもある。）を含む面における断面を示すが、切断面よりも奥側に位置する構成についても、その一部を破線にて描いている。
【００２４】
図２に示すように、モータ１はインナーロータ型のモータであり、固定組立体であるステータ部２、および、回転組立体であるロータ部３を備える。ロータ部３は、ステータ部２との間の軸受間隙に保持された作動流体である潤滑油に生じる流体動圧を利用して中心軸Ｊ１を中心にステータ部２に対して回転可能に支持される。以下の説明では、便宜上、中心軸Ｊ１に沿ってロータ部３側を上側、ステータ部２側を下側として説明するが、中心軸Ｊ１は必ずしも重力方向と一致する必要はない。
【００２５】
ステータ部２は、第１ハウジング部材６１１（図１参照）の一部であるとともにステータ部２の各部を保持するベース部であるベースプレート２１、ロータ部３を回転可能に支持する軸受機構の一部であって中心軸Ｊ１を中心とする略有底円筒状のスリーブユニット２２、スリーブユニット２２の周囲においてベースプレート２１に取り付けられる電機子２４、および、電機子２４の上方に配置されて電機子２４からの電磁ノイズを遮断する薄板状の磁気シールド板２５を備える。
【００２６】
スリーブユニット２２は、中心軸Ｊ１を中心とする略円筒状であって潤滑油を介してロータ部３のシャフト３３が挿入されるスリーブ部２２１、および、スリーブ部２２１の下端の開口を閉塞する略円板状のシールキャップ２２３を備え、スリーブ部２２１の下部は、ベースプレート２１の中央部に形成された開口に圧入されて固定される。スリーブ部２２１の上端部は、中心軸Ｊ１を中心とする径方向に突出するフランジ部２２１１となっている。また、スリーブ部２２１の外側面の中心軸Ｊ１に平行な方向（以下、「軸方向」という。）のおよそ中央には、中心軸Ｊ１を中心とする周方向に溝状に伸びる環状の凹部２２１３（以下、「スリーブ凹部２２１３」という。）が設けられる。
【００２７】
電機子２４は、中心軸Ｊ１を中心として放射状に配置された複数のティース２４３を備えるステータコア２４１、および、複数のティース２４３に導線を巻回することにより形成された複数のコイル２４２を備える。
【００２８】
ロータ部３は、記録ディスク６２（図１参照）が固定されるとともにロータ部３の各部を保持するロータハブ３１、ロータハブ３１に固定されて中心軸Ｊ１の周囲に配置される界磁用磁石３２、および、中心軸Ｊ１を中心とする略円柱状であってロータハブ３１から下側（すなわち、ステータ部２側）に向けて突出するシャフト３３を備える。本実施の形態では、シャフト３３がロータハブ３１の中央に形成された穴に挿入されて固定されているが、シャフト３３はロータハブ３１と一体的に形成されてもよい。
【００２９】
ロータハブ３１は、中心軸Ｊ１を中心とする略円板状であってシャフト３３の上端部から中心軸Ｊ１（およびシャフト３３）に略垂直に広がる円板部３１２、並びに、中心軸Ｊ１（およびシャフト３３）を中心とする略円筒状であって円板部３１２の外周縁から下側に（すなわち、シャフト３３と同方向に）突出する円筒部３１３を備える。円筒部３１３は、径方向における内側に中心軸Ｊ１を中心とする環状の抜止部材３１４を備え、抜止部材３１４がスリーブ部２２１のフランジ部２２１１の下側にてフランジ部２２１１と平面視において重なることにより、ロータハブ３１がスリーブユニット２２から外れてしまうことが防止される。
【００３０】
図３は、抜止部材３１４を拡大して示す縦断面図である。図３に示すように、抜止部材３１４の内側面３１４０は、軸方向の上側から下側に向かって順に並ぶ第１内側面３１４１、第２内側面３１４２および第３内側面３１４３を備え、第１内側面３１４１は、中心軸Ｊ１を中心とする内径が一定である円筒面である。第２内側面３１４２は、境界３１４４にて第１内側面３１４１に連続し、第３内側面３１４３は、境界３１４５にて第２内側面３１４２に連続する。第２内側面３１４２の内径は、第２内側面３１４２の上部において境界３１４４から軸方向の下側に向かう（すなわち、円筒部３１３の先端に向かう）に従って増大し、下部において一定とされる。第３内側面３１４３の内径も同様に、第３内側面３１４３の上部において境界３１４５から軸方向の下側に向かうに従って増大し、下部において一定とされる。円筒部３１３の抜止部材３１４の内側面３１４０では、境界３１４４近傍の部位が、円筒部３１３の先端に向かって内径が増大する段差部３１４７となっている。
【００３１】
図２に示す界磁用磁石３２は、多極着磁された円環状の磁石であり、ロータハブ３１の円筒部３１３の外側面に固定されている。界磁用磁石３２は、電機子２４の中心軸Ｊ１側に配置されており、電機子２４と界磁用磁石３２との間に中心軸Ｊ１を中心とする回転力（トルク）が発生する。
【００３２】
次に、モータ１の潤滑油による流体動圧を利用した軸受機構について説明する。図４は、モータ１の一部（図２における左半分）を拡大して示す縦断面図である。図４に示すように、モータ１では、ロータ部３のロータハブ３１およびシャフト３３とステータ部２のスリーブユニット２２との間に潤滑油を保持する微少な間隙４（以下、「軸受間隙４」という。）が設けられる。
【００３３】
軸受間隙４は、シャフト３３の下面とシールキャップ２２３の上面との間の微小間隙４１、スリーブ部２２１の内側面とシャフト３３の外側面との間の微小間隙４２、ロータハブ３１の円板部３１２の下面とスリーブ部２２１の上端面との間の微小間隙４３、スリーブ部２２１のフランジ部２２１１とロータハブ３１の円筒部３１３の内側面との間の微小間隙４４、および、スリーブ部２２１のフランジ部２２１１とスリーブ凹部２２１３との間の部位２２１２（以下、「スリーブ上部２２１２」という。）の外側面と円筒部３１３の抜止部材３１４の第１内側面３１４１との間の微小間隙４５を有する。
【００３４】
軸受間隙４は、微小間隙４５の軸方向の下端において外部に向けて開口する。以下の説明では、軸受間隙４の外部に面する中心軸Ｊ１を中心とする環状の開口４６を、「軸受開口４６」という。モータ１では、軸受開口４６がロータハブ３１の円筒部３１３の抜止部材３１４の内側面３１４０（図３参照）とスリーブ部２２１の外側面との間に設けられ、スリーブ部２２１のスリーブ上部２２１２とスリーブ凹部２２１３との間の境界が、軸受開口４６の内周側のエッジとなっている。また、ロータハブ３１の抜止部材３１４の第１内側面３１４１と第２内側面３１４２との間の境界３１４４（図３参照）が、軸受開口４６の外周側のエッジとなっている。換言すれば、抜止部材３１４の内側面３１４０に設けられた段差部３１４７（図３参照）により、軸受開口４６のエッジの一部が形成される。
【００３５】
モータ１では、微小間隙４１〜４５に潤滑油が充填される（すなわち、これらの間隙に潤滑油が介在する）ことにより、中心軸Ｊ１を中心にロータ部３をステータ部２に対して回転可能に支持する軸受機構が構成される。なお、図４では、図示の都合上、微小間隙４１〜４５を実際よりも大きく描いている。
【００３６】
軸受機構では、スリーブ上部２２１２の外側面が、下側に向かうに従って（すなわち、フランジ部２２１１からスリーブ凹部２２１３に向かうに従って）外径が漸次減少する傾斜面とされ、スリーブ上部２２１２の外側面に対向する抜止部材３１４の第１内側面３１４１の内径は上述のように一定とされる。これにより、スリーブ上部２２１２と抜止部材３１４の第１内側面３１４１との間の微小間隙４５の幅（すなわち、中心軸Ｊ１を中心とする径方向の距離）が、軸受開口４６から軸方向の上側に向かうに従って漸次減少する。換言すれば、軸受間隙４内部の軸受開口４６近傍において、ステータ部２とロータ部３との間の径方向の距離が、軸受開口４６から離れて軸受間隙４内部へと向かうに従って漸次減少する。モータ１では、軸受間隙４に保持される潤滑油の界面が微小間隙４５に位置しており、潤滑油の界面が毛管現象および表面張力によりメニスカス状となってテーパシールが形成されることにより（すなわち、微小間隙４５がテーパシール部の役割を果たすことにより）、軸受間隙４からの潤滑油の流出が防止される。
【００３７】
スリーブ部２２１の上端面には、ロータ部３の回転時に潤滑油に対して中心軸Ｊ１側に向かう圧力を発生させるための溝（例えば、スパイラル状の溝）が形成されており、スリーブ部２２１の上端面および当該上端面に対向するロータハブ３１の円板部３１２の下面によりスラスト動圧軸受部が構成される。また、シャフト３３およびスリーブ部２２１の互いに対向する面には、潤滑油に流体動圧を発生させるための溝（例えば、中心軸Ｊ１の向く方向に関して、スリーブ部２２１の内側面の上下に設けられたヘリングボーン溝等）が形成されており、これらの面によりラジアル動圧軸受部が構成される。
【００３８】
モータ１では、流体動圧を利用する軸受機構によりロータ部３を潤滑油を介して非接触にて支持することにより、ロータ部３およびロータ部３に取り付けられる記録ディスク６２（図１参照）を高精度、かつ、低騒音にて回転することができる。
【００３９】
モータ１では、軸受間隙４の軸受開口４６から外部へと連続して大きく広がるとともに、モータ１の製造において潤滑油が軸受間隙４へと注入される際に、当該潤滑油の一時的な貯溜に利用される中心軸Ｊ１を中心とする環状の空間５（以下、「オイルバッファ５」という。）が、ロータ部３の抜止部材３１４の第２内側面３１４２（すなわち、ロータハブ３１の円筒部３１３の内側面）とステータ部２のスリーブ部２２１のスリーブ凹部２２１３の外側面との間に設けられる。
【００４０】
モータ１では、オイルバッファ５内におけるステータ部２とロータ部３との間の径方向の距離（すなわち、オイルバッファ５の幅）が、軸受開口４６近傍において、軸受開口４６から軸方向の下側に向かうに従って漸次増大しており、また、上述のように、微小間隙４５内におけるステータ部２とロータ部３との間の径方向の距離（すなわち、微小間隙４５の幅）も、軸方向の下側に向かうに従って漸次増大している。軸受開口４６近傍では、オイルバッファ５の幅の増大率は微小間隙４５の幅の増大率よりも大きくされる。
【００４１】
図５は、軸受間隙４に連続して設けられるオイルバッファ５近傍を拡大して示す縦断面図である。図５に示すように、オイルバッファ５は、抜止部材３１４の第２内側面３１４２により外側が囲まれる環状の凹部３１４６（すなわち、ロータハブ３１の円筒部３１３において抜止部材３１４の内側面３１４０の段差部３１４７により形成される（より具体的には、段差部３１４７の一部を含んで段差部３１４７の軸方向の下側に形成される）凹部であり、以下、「ロータハブ凹部３１４６」という。）、および、中心軸Ｊ１を中心とする径方向において円筒部３１３のロータハブ凹部３１４６に対向するスリーブ凹部２２１３を含む。
【００４２】
オイルバッファ５では、スリーブ凹部２２１３の下端のエッジが、オイルバッファ５の外部に向かう環状の開口５１（以下、「バッファ開口５１」という。）の内側のエッジとなっており、抜止部材３１４の第２内側面３１４２と第３内側面３１４３との間の境界３１４５が、バッファ開口５１の外側のエッジとなっている。オイルバッファ５の容量（すなわち、軸受開口４６とバッファ開口５１との間の環状空間の容量）は、軸受間隙４の容量の１０５％以上とされる。
【００４３】
モータ１では、オイルバッファ５の外部（すなわち、バッファ開口５１よりも下側）において、スリーブ部２２１の外側面、および、ロータ部３の抜止部材３１４の第３内側面３１４３にそれぞれ撥油剤が塗布されて撥油層５２，５３が形成されている。なお、撥油剤の塗布に代えて、他の撥油処理がステータ部２の外側面および抜止部材３１４の第３内側面３１４３に施されてもよい。
【００４４】
次に、モータ１の軸受間隙４に対する潤滑油の注入について説明する。図６は、潤滑油の注入に利用される注入装置７を示す図である。図６に示すように、注入装置７は、製造途上のモータ１が収容される真空容器７１、潤滑油を吐出するノズル７２、および、潤滑油を貯溜する潤滑油槽７３を備え、真空容器７１および潤滑油槽７３は、図示省略の真空ポンプおよびガス供給機構に接続される。潤滑油槽７３内では、貯溜されている潤滑油の上方に空間が存在しており、当該空間を減圧することにより、潤滑油に溶存している気体の濃度が下げられている。注入装置７では、また、潤滑油槽７３内の潤滑油が攪拌されることにより、潤滑油に溶存している気体の濃度がより低減されてもよい。
【００４５】
図７は、注入装置７による潤滑油の注入の流れを示す図である。注入装置７では、まず、図６に示すように、ベースプレート２１（図２参照）に固定される前のスリーブ部２２１およびロータ部３（すなわち、製造途上のモータ１であり、以下、「モータ部品１０」という。）が、反転した状態（すなわち、オイルバッファ５が軸受開口４６の上側に位置する状態）で真空容器７１の台座７１１上に載置され、下側が開口するケース７１２が図６中において二点鎖線にて示す位置から下降して台座７１１上に取り付けられることにより、モータ部品１０が真空容器７１内に収容される（ステップＳ１１）。注入装置７では、真空容器７１のケース７１２と共にノズル７２および潤滑油槽７３も下降し、ノズル７２の先端がモータ部品１０のオイルバッファ５内に位置する（ステップＳ１２）。
【００４６】
続いて、真空容器７１の内部が排気されて減圧雰囲気とされ、これにより、モータ部品１０の軸受間隙４内部も減圧雰囲気とされる（ステップＳ１３）。次に、潤滑油槽７３内にガス（本実施の形態では、空気）が供給されることにより、予め溶存気体の濃度が低減されている潤滑油が、潤滑油槽７３からノズル７２を介してモータ部品１０のオイルバッファ５へと供給されてオイルバッファ５に貯溜される（ステップＳ１４）。このとき、オイルバッファ５に供給される潤滑油の量は、モータ１の軸受間隙４にて保持される予定の潤滑油の量に等しく、オイルバッファ５に供給された潤滑油の一部は、軸受開口４６を介して軸受間隙４に進入している。また、モータ部品１０では、オイルバッファ５内の潤滑油により軸受開口４６の全体が覆われている。
【００４７】
オイルバッファ５に対する潤滑油の供給が終了すると、真空容器７１内に空気が供給されることにより真空容器７１内の圧力が大気圧に戻される（すなわち、復圧される）。これにより、軸受間隙４内の圧力よりも軸受間隙４の外部の圧力が高くなり、オイルバッファ５内の潤滑油が軸受開口４６を介して軸受間隙４に充填される（ステップＳ１５）。
【００４８】
潤滑油の充填が終了すると、真空容器７１のケース７１２がノズル７２および潤滑油槽７３と共に上昇して真空容器７１が開放され（ステップＳ１６）、図５に示すスリーブ凹部２２１３の外側面、および、抜止部材３１４の第２内側面３１４２（すなわち、オイルバッファ５の側面）、並びに、撥油層５２，５３が作業者等により拭われ、付着している余分な潤滑油が除去される（ステップＳ１７）。図６に示す注入装置７では、真空容器７１内に複数のモータ部品１０が収容され、複数のノズル７２により、複数のモータ部品１０に対する潤滑油の注入が並行して行われてもよい。
【００４９】
以上に説明したように、モータ１では、軸受間隙４の軸受開口４６から外部へと連続して広がるオイルバッファ５が設けられ、軸受間隙４に潤滑油が注入される際に、オイルバッファ５に潤滑油が一時的に貯溜される。これにより、軸受間隙に直接潤滑油を供給して注入する場合に比べて、１回の供給で多量の潤滑油をモータ部品１０に保持させることが可能となる。その結果、モータ１の軸受機構に対して潤滑油を容易かつ迅速に注入することができる。
【００５０】
特に、オイルバッファ５の容量が軸受間隙４の容量よりも大きくされる（好ましくは、軸受間隙４の容量の１０５％以上とされる）ことにより、１回の潤滑油の供給により、軸受間隙４にて保持される予定の潤滑油の全量をモータ部品１０に保持させることができる。その結果、モータ１の軸受機構に対する潤滑油の注入がより容易かつより迅速に実現される。
【００５１】
モータ１では、軸受間隙４が、シャフト３３の外側面とスリーブ部２２１の内側面との間の微小間隙４２、微小間隙４２よりも径方向の外側にてロータハブ３１の円板部３１２の下面とスリーブ部２２１の上端面との間に設けられる微小間隙４３、および、微小間隙４３よりも径方向の外側にてロータハブ３１の円筒部３１３の内側面とスリーブ部２２１の外側面との間に設けられる微小間隙４４，４５を含み、オイルバッファ５が微小間隙４５の下側に設けられることにより、オイルバッファが微小間隙４２や微小間隙４３の上方または下方に設けられる場合に比べて、オイルバッファ５の容量を十分に確保しつつモータ１を薄型化することができる。
【００５２】
また、オイルバッファ５が、円筒部３１３の内側面３１４０の段差部３１４７により形成される環状のロータハブ凹部３１４６を含む構造とされることにより、オイルバッファ５の容量を十分に確保しつつオイルバッファ５を容易に形成することができる。さらには、オイルバッファ５が、スリーブ部２２１の外側面に形成されてロータハブ凹部３１４６に対向するスリーブ凹部２２１３を含む構造とされることにより、オイルバッファ５の容量を十分に確保しつつオイルバッファ５をより容易に形成することができる。
【００５３】
モータ１では、オイルバッファ５の外部（すなわち、バッファ開口５１よりも下側）において、スリーブ部２２１の外側面、および、ロータ部３の抜止部材３１４の第３内側面３１４３にそれぞれ撥油層５２，５３が形成されているため、オイルバッファ５の外部に対する潤滑油の付着が抑制される。また、潤滑油の注入後に軸受間隙４の外部に付着した潤滑油が拭き取られる際に、オイルバッファ５の外部に付着した潤滑油が容易に除去される。
【００５４】
上述のように、オイルバッファ５は、抜止部材３１４の内側面３１４０の段差部３１４７により形成されるロータハブ凹部３１４６を含む。これにより、バッファ開口５１を大きく確保することができ、その結果、オイルバッファ５内に付着した潤滑油の除去が容易とされる。モータ１では、オイルバッファ５内においてスリーブ凹部２２１３の外側面、および、抜止部材３１４の第２内側面３１４２にそれぞれ撥油層が形成されてもよい。これにより、オイルバッファ５内に付着した潤滑油の除去がより容易とされる。
【００５５】
このように、モータ１では、軸受間隙４の外部に付着した潤滑油の除去が容易とされるため、当該モータ１の構造は、ハウジング６１の内部空間６１０を清浄な空間とすることが求められる記録ディスク駆動装置６０の駆動源として利用されるモータに特に適している。
【００５６】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るモータについて説明する。図８は、第２の実施の形態に係るモータのオイルバッファ５ａ近傍を拡大して示す縦断面図である。図８に示すように、第２の実施の形態に係るモータでは、図５に示す抜止部材３１４とは形状が異なる抜止部材３１４ａがロータハブ３１の円筒部３１３に設けられ、図５に示すオイルバッファ５とは形状が異なるオイルバッファ５ａが形成される。その他の構造は、図１ないし図５に示すモータ１と同様であり、以下の説明では対応する構成に同符号を付す。また、第２の実施の形態に係るモータの軸受間隙４に対する潤滑油の注入の流れは、第１の実施の形態と同様であるため説明を省略する。
【００５７】
図８に示すように、抜止部材３１４ａは、軸受間隙４の微小間隙４５を形成する第１内側面３１４１の下側に、中心軸Ｊ１（図４参照）を中心とする周方向に溝状に伸びる環状のロータハブ凹部３１４６ａを有する。オイルバッファ５ａは、ロータハブ凹部３１４６ａ、および、ロータハブ凹部３１４６ａと径方向において対向するスリーブ部２２１の外側面に形成されたスリーブ凹部２２１３を含む。
【００５８】
第２の実施の形態に係るモータでは、第１の実施の形態と同様に、軸受間隙４の軸受開口４６から外部へと連続して広がるオイルバッファ５ａが設けられ、軸受間隙４に潤滑油が注入される際に、オイルバッファ５ａに潤滑油が一時的に貯溜される。これにより、モータの軸受機構に対する潤滑油の注入を容易かつ迅速とすることができる。モータでは、オイルバッファ５ａの容量が軸受間隙４の容量よりも大きくされる（好ましくは、軸受間隙４の容量の１０５％以上とされる）。その結果、１回の潤滑油の供給により、軸受間隙４にて保持される予定の潤滑油の全量をオイルバッファ５ａに貯溜することができ、モータの軸受機構に対する潤滑油の注入がより容易かつより迅速に実現される。
【００５９】
第２の実施の形態に係るモータでは、オイルバッファ５ａが、ロータ部３（図４参照）の抜止部材３１４ａに形成された環状のロータハブ凹部３１４６ａを含む構造とされることにより、オイルバッファ５ａの容量を十分に確保しつつオイルバッファ５ａを容易に形成することができる。さらには、オイルバッファ５ａが、ステータ部２（図４参照）のスリーブ部２２１に形成されたスリーブ凹部２２１３を含む構造とされることにより、オイルバッファ５ａの容量を十分に確保しつつオイルバッファ５ａをより容易に形成することができる。
【００６０】
モータでは、オイルバッファ５ａの外部（すなわち、バッファ開口５１よりも下側）において、スリーブ部２２１の外側面、および、ロータ部３の抜止部材３１４の第３内側面３１４３にそれぞれ撥油層５２，５３が形成されているため、オイルバッファ５ａの外部に対する潤滑油の付着が抑制される。また、潤滑油の注入後に軸受間隙４の外部に付着した潤滑油が拭き取られる際に、オイルバッファ５ａの外部に付着した潤滑油が容易に除去される。
【００６１】
オイルバッファ５ａでは、バッファ開口５１が大きく確保されることにより、オイルバッファ５ａ内に付着した潤滑油の除去が容易とされる。第２の実施の形態に係るモータでは、オイルバッファ５ａ内においてスリーブ凹部２２１３の外側面、および、ロータハブ凹部３１４６ａの内側面である第２内側面３１４２にそれぞれ撥油層が形成されてもよい。これにより、オイルバッファ５ａ内に付着した潤滑油の除去がより容易とされる。
【００６２】
次に、本発明の第３の実施の形態に係るモータについて説明する。図９は、第３の実施の形態に係るモータ１ａを示す縦断面図である。図９に示すように、モータ１ａはアウターロータ型のモータであり、ステータ部２、および、ステータ部２との間の軸受間隙に保持された作動流体である潤滑油に生じる流体動圧を利用して中心軸Ｊ１を中心にステータ部２に対して回転可能に支持されるロータ部３を備える。
【００６３】
ステータ部２は、ステータ部２の各部を保持するベースプレート２１、軸受機構の一部であって中心軸Ｊ１を中心とする略有底円筒状のスリーブユニット２２、および、スリーブユニット２２の周囲においてベースプレート２１に取り付けられる電機子２４を備える。スリーブユニット２２は、中心軸Ｊ１を中心とする略円筒状であって潤滑油を介してロータ部３のシャフト３３が挿入されるスリーブ部２２１、および、スリーブ部２２１の下端側の開口を閉塞する略円板状のシールキャップ２２３を備える。
【００６４】
ロータ部３は、記録ディスクが取り付けられるとともにロータ部３の各部を保持するロータハブ３１、円環状のヨーク３２１を介してロータハブ３１に取り付けられて中心軸Ｊ１の周囲に配置される界磁用磁石３２、および、中心軸Ｊ１を中心とする略円柱状であってロータハブ３１から下側（すなわち、ステータ部２側）に向けて突出するシャフト３３を備える。シャフト３３は、下端部に略円板状のスラストプレート３３１を備える。界磁用磁石３２は、多極着磁された円環状の磁石であり、電機子２４との間で中心軸Ｊ１を中心とする回転力（トルク）を発生する。
【００６５】
モータ１ａでは、ロータ部３のロータハブ３１およびシャフト３３とステータ部２のスリーブユニット２２との間に潤滑油を保持する微少な軸受間隙４ａが設けられ、軸受間隙４ａに潤滑油が充填される（すなわち、軸受間隙４ａに潤滑油が介在する）ことにより、中心軸Ｊ１を中心にロータ部３をステータ部２に対して回転可能に支持する軸受機構が構成される。軸受間隙４ａは、スラストプレート３３１の下面とシールキャップ２２３の上面との間の微小間隙、スラストプレート３３１の外側面および上面とスリーブ部２２１との間の微小間隙、並びに、シャフト３３の外側面とスリーブ部２２１の内側面との間の微小間隙を有し、軸方向の上端に軸受開口４６が設けられる。
【００６６】
図１０は、軸受開口４６近傍を拡大して示す図である。図１０では、ロータハブ３１の図示を省略している。図１０に示すように、スリーブ部２２１の内側面は、スリーブ部２２１の上端面から軸方向の下側に向かうに従って内径が漸次減少する環状の第１傾斜面２２１５、第１傾斜面２２１５の下端に連続するとともに軸方向の下側に向かうに従って内径が漸次減少する環状の第２傾斜面２２１６、および、第２傾斜面２２１６の下端に連続するとともに内径が一定とされる円筒面２２１７を備える。図１０中における第１傾斜面２２１５の中心軸Ｊ１に対する傾斜角（中心軸Ｊ１に平行な円筒面の傾斜角を０°とする。）は、第２傾斜面２２１６の中心軸Ｊ１に対する傾斜角よりも大きい。
【００６７】
シャフト３３の外側面３３２には、中心軸Ｊ１を中心とする周方向に溝状に伸びる環状の凹部３３３（以下、「シャフト凹部３３３」という。）が形成されており、シャフト凹部３３３はスリーブ部２２１の第１傾斜面２２１５と中心軸Ｊ１を中心とする径方向において対向する。モータ１ａでは、シャフト凹部３３３とスリーブ部２２１の第１傾斜面２２１５との間の中心軸Ｊ１を中心とする環状の空間５ｂが、モータ１ａの製造において潤滑油が軸受間隙４ａへと注入される際に当該潤滑油の一時的な貯溜に利用されるオイルバッファ５ｂとなる。また、スリーブ部２２１の第１傾斜面２２１５と第２傾斜面２２１６との間の境界２２１８が、軸受開口４６の外周側のエッジとなり、シャフト凹部３３３の下側のエッジ３３３１が、軸受開口４６の内周側のエッジとなる。
【００６８】
軸受間隙４ａでは、シャフト凹部３３３の下側におけるシャフト３３の外側面３３２の径が一定とされるため、スリーブ部２２１の第２傾斜面２２１６とシャフト３３の外側面３３２との間の微小間隙４５ａの幅（すなわち、中心軸Ｊ１を中心とする径方向の距離）は、軸受開口４６から軸方向の下側に向かうに従って漸次減少する。換言すれば、軸受間隙４ａ内部の軸受開口４６近傍において、ステータ部２とロータ部３（図９参照）との間の径方向の距離が、軸受開口４６から離れて軸受間隙４ａ内部へと向かうに従って漸次減少する。モータ１ａでは、軸受間隙４ａに保持される潤滑油の界面が微小間隙４５ａに位置しており、潤滑油の界面が毛管現象および表面張力によりメニスカス状となってテーパシールが形成されることにより（すなわち、微小間隙４５ａがテーパシール部の役割を果たすことにより）、軸受間隙４ａからの潤滑油の流出が防止される。
【００６９】
モータ１ａの軸受間隙４ａに対する潤滑油の注入の流れは、図６に示す注入装置７の真空容器７１に収容されるモータ部品が、ベースプレート２１およびロータハブ３１が取り付けられていないスリーブユニット２２およびシャフト３３のみである点、並びに、モータ部品が反転することなく真空容器７１の台座７１１上に載置される点を除き、第１の実施の形態と同様であるため説明を省略する。
【００７０】
第３の実施の形態に係るモータ１ａでは、軸受間隙４ａの軸受開口４６から外部へと連続して大きく広がるオイルバッファ５ｂが、ロータ部３のシャフト３３のシャフト凹部３３３とステータ部２のスリーブ部２２１の第１傾斜面２２１５との間に設けられることにより、第１の実施の形態と同様に、モータ１ａの軸受機構に対する潤滑油の注入を容易かつ迅速とすることができる。また、オイルバッファ５ｂの容量が軸受間隙４ａの容量よりも大きくされる（好ましくは、軸受間隙４ａの容量の１０５％以上とされる）ことにより、１回の潤滑油の供給により、軸受間隙４ａにて保持される予定の潤滑油の全量をオイルバッファ５ｂに貯溜することができ、モータ１ａの軸受機構に対する潤滑油の注入がより容易かつより迅速に実現される。
【００７１】
モータ１ａでは、オイルバッファ５ｂが、シャフト３３に形成された環状のシャフト凹部３３３を含む構造とされることにより、オイルバッファ５ｂの容量を十分に確保しつつオイルバッファ５ｂを容易に形成することができる。
【００７２】
図１０に示すように、モータ１ａでは、オイルバッファ５ｂの外部（すなわち、スリーブ部２２１の第１傾斜面２２１５の上側のエッジ、および、シャフト凹部３３３の上側のエッジにより形成されるバッファ開口５１の外部）において、シャフト３３の外側面３３２、および、スリーブ部２２１の上端面にそれぞれ撥油層５２ａ，５３ａが形成されているため、オイルバッファ５ｂの外部に対する潤滑油の付着が抑制される。また、潤滑油の注入後に軸受間隙４ａの外部に付着した潤滑油が拭き取られる際に、オイルバッファ５ｂの外部に付着した潤滑油が容易に除去される。
【００７３】
オイルバッファ５ｂでは、バッファ開口５１を大きく確保することにより、オイルバッファ５ｂ内に付着した潤滑油の除去が容易とされる。モータ１ａでは、オイルバッファ５ｂ内においてシャフト凹部３３３の外側面、および、スリーブ部２２１の第１傾斜面２２１５にそれぞれ撥油層が形成されてもよい。これにより、オイルバッファ５ｂ内に付着した潤滑油の除去がより容易とされる。
【００７４】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００７５】
第１および第２の実施の形態に係るモータのオイルバッファは、必ずしもステータ部２およびロータ部３の双方に形成された環状の凹部を含む必要はなく、ステータ部２およびロータ部３の少なくとも一方に形成された環状の凹部を含む構造とされていればよい。これにより、オイルバッファの容量を十分に確保しつつオイルバッファを容易に形成することができる。
【００７６】
上記実施の形態に係るモータでは、オイルバッファが中心軸Ｊ１を中心とする環状とされることにより、オイルバッファの容量を容易に確保することができ、また、ロータ部３の中心軸Ｊ１を中心とする周方向における質量の均一性を向上することができるが、構造上の制約等の理由により、非環状のオイルバッファがステータ部２とロータ部３との間に設けられてもよい。例えば、図１１に示すように、中心軸Ｊ１を中心とする周方向の一部のみにスリーブ凹部２２１３およびロータハブ凹部３１４６が形成されることにより、当該周方向の一部のみにオイルバッファ５ｃが設けられてもよい。
【００７７】
モータの軸受間隙は、必ずしも軸方向の下側または上側に向かって開口する必要はなく、例えば、中心軸Ｊ１を中心とする径方向の外側に向かって開口し、軸受開口４６から径方向の外側へと連続して広がるオイルバッファが設けられてもよい。
【００７８】
第１および第２実施の形態に係るモータでは、必ずしも、オイルバッファの外部におけるスリーブ部２２１の外側面、および、ロータ部３の抜止部材３１４の第３内側面３１４３に撥油剤が塗布される必要はなく、モータの構造に合わせて適宜、オイルバッファの外部においてロータ部３の表面およびステータ部２の表面に撥油処理が施されていればよい。これにより、オイルバッファの外部に対する潤滑油の付着が抑制されるとともにオイルバッファの外部に付着した潤滑油が容易に除去される。また、オイルバッファ内においてロータ部３の表面およびステータ部２の表面に撥油処理が施されてもよい。これにより、オイルバッファ内に付着した潤滑油の除去がより容易とされる。
【００７９】
スリーブ部２２１は、例えば、ロータ部３のシャフト３３が挿入される略円筒状の多孔質部材であるスリーブ本体、および、スリーブ本体の外側面に固定された略円筒状のスリーブハウジングを備える構造とされてもよい。
【００８０】
上述のモータは、記録ディスクに対する情報の読み出しおよび書き込みの一方または両方、すなわち、読み出しまたは書き込みを行うアクセス部を有する記録ディスク駆動装置に適している。また、当該モータを備える記録ディスク駆動装置は、磁気ディスクのみならず、光ディスク、光磁気ディスク等の他のディスク状の記録媒体を駆動する装置として利用することもできる。さらには、上記モータは、記録ディスク駆動装置以外の他の様々な装置において利用されてよい。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】第１の実施の形態に係る記録ディスク駆動装置の縦断面図である。
【図２】モータの縦断面図である。
【図３】抜止部材を拡大して示す縦断面図である。
【図４】モータの一部を拡大して示す縦断面図である。
【図５】オイルバッファ近傍を拡大して示す縦断面図である。
【図６】注入装置を示す図である。
【図７】潤滑油の注入の流れを示す図である。
【図８】第２の実施の形態に係るモータのオイルバッファ近傍を拡大して示す縦断面図である。
【図９】第３の実施の形態に係るモータの縦断面図である。
【図１０】軸受開口近傍を拡大して示す図である。
【図１１】モータの他の例を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００８２】
１，１ａ    モータ
２    ステータ部
３    ロータ部
４，４ａ    軸受間隙
５，５ａ〜５ｃ    オイルバッファ
２４    電機子
３１    ロータハブ
３２    界磁用磁石
３３    シャフト
４６    軸受開口
５２，５２ａ，５３，５３ａ    撥油層
６０    記録ディスク駆動装置
６２    記録ディスク
６３    アクセス部
２２１    スリーブ部
３１２    円板部
３１３    円筒部
３３３    シャフト凹部
２２１３    スリーブ凹部
３１４０    内側面
３１４６，３１４６ａ    ロータハブ凹部
３１４７    段差部
Ｊ１    中心軸
Ｓ１１〜Ｓ１７    ステップ
【図１】
2009201309.tif 000003
【図２】
2009201309.tif 000004
【図３】
2009201309.tif 000005
【図４】
2009201309.tif 000006
【図５】
2009201309.tif 000007
【図６】
2009201309.tif 000008
【図７】
2009201309.tif 000009
【図８】
2009201309.tif 000010
【図９】
2009201309.tif 000011
【図１０】
2009201309.tif 000012
【図１１】
2009201309.tif 000013