(57)【要約】【課題】離型フィルム上に、接着剤層及び粘着フィルムを有するウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、ウエハ加工用テープ１０ダイシング・ダイボンディングテープ５０の種類を明確に識別することができるウエハ加工用テープを提供すること。【課題を解決するための手段】  本発明のウエハ加工用テープは、長尺の離型フィルム１１と、離型フィルム１１の第１の面１１ａ上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層１２と、接着剤層１２を覆い、且つ、接着剤層１２の周囲で離型フィルム１１に接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部１３ａと、ラベル部１３ａの外側を囲むような周辺部１３ｂとを有する粘着フィルム１３と、長尺の離型フィルム１１の短手方向両端部に設けられた着色支持部材１４とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺の離型フィルムと、
前記離型フィルムの第１の面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部と、前記ラベル部の外側を囲むような周辺部とを有する粘着フィルムと、
前記長尺の離型フィルムの短手方向両端部に設けられた着色支持部材と
を有することを特徴とするウエハ加工用テープ。
【請求項２】
前記着色支持部材は、前記離型フィルムの、前記接着剤層及び粘着フィルムが設けられた第１の面とは反対の第２の面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項３】
前記着色支持部材は、前記離型フィルムの前記第２の面上の、前記第１の面に設けられた前記接着剤層の外側に対応する領域に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項４】
前記着色支持部材は、前記離型フィルムの長手方向に沿って連続的に設けられていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項５】
前記着色支持部材は、前記接着剤層の厚さ以上の厚さを有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項６】
前記着色支持部材は、２層以上の積層構造を有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープ
【請求項７】
前記着色支持部材は、ポリエチレンテレフタレート又はポリエステルのフィルム基材に粘接着剤を塗布した粘接着テープであることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項８】
前記着色支持部材は、ウエハ加工用テープの種類によって色が異なることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項９】
前記着色支持部材は、ウエハ加工用テープの厚さによって色が異なることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ加工用テープに関し、特に、ダイシングテープとダイボンディングフィルムの２つの機能を有するウエハ加工用テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
近時、半導体ウエハを個々のチップに切断分離（ダイシング）する際に半導体ウエハを固定するためのダイシングテープと、切断された半導体チップをリードフレームやパッケージ基板等に接着するため、又は、スタックドパッケージにおいては、半導体チップ同士を積層、接着するためのダイボンディングフィルム（ダイアタッチフィルムともいう）との２つの機能を併せ持つダイシング・ダイボンディングテープが開発されている。
【０００３】
このようなダイシング・ダイボンディングテープとしては、ウエハへの貼り付けや、ダイシングの際のリングフレームへの取り付け等の作業性を考慮して、プリカット加工が施されたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
プリカット加工されたダイシング・ダイボンディングテープの例を、図４及び図５に示す。図４は、ダイシング・ダイボンディングテープをロール状に巻き取った状態を示す図であり、図５（ａ）は、ダイシング・ダイボンディングテープの平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）の線Ｂ−Ｂによる断面図である。ダイシング・ダイボンディングテープ５０は、離型フィルム５１と、接着剤層５２と、粘着フィルム５３とからなる。接着剤層５２は、ウエハの形状に対応する円形に加工されたものであり、円形ラベル形状を有する。粘着フィルム５３は、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形部分の周辺領域が除去されたものであり、図示のように、円形ラベル部５３ａと、その外側を囲むような周辺部５３ｂとを有する。接着剤層５２と粘着フィルム５３の円形ラベル部５３ａとは、その中心を揃えて積層され、また、粘着フィルム５３の円形ラベル部５３ａは、接着剤層５２を覆い、且つ、その周囲で離型フィルム５１に接触している。
【０００５】
ウエハをダイシングする際には、積層状態の接着剤層５２及び粘着フィルム５３から離型フィルム５１を剥離し、図６に示すように、接着剤層５２上に半導体ウエハＷの裏面を貼り付け、粘着フィルム５３の円形ラベル部５３ａの外周部にダイシング用リングフレームＲを粘着固定する。この状態で半導体ウエハＷをダイシングし、その後、粘着フィルム５３に紫外線照射等の硬化処理を施して半導体チップをピックアップする。このとき、粘着フィルム５３は、硬化処理によって粘着力が低下しているので、接着剤層５２から容易に剥離し、半導体チップは裏面に接着剤層５２が付着した状態でピックアップされる。半導体チップの裏面に付着した接着剤層５２は、その後、半導体チップをリードフレームやパッケージ基板、あるいは他の半導体チップに接着する際に、ダイボンディングフィルムとして機能する。
【特許文献１】特開２００７−２１７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記のようなダイシング・ダイボンディングテープ５０は、図４に示すように製品としてロールに巻き取ると製品の種類を識別し難くなるというという問題がある。これを解決するために円形ラベル部５３ａに製品の名称を印刷するなどの方法があるが、前記ダイシング工程に影響を与えないためには円形ラベル部５３ａの接着剤層５２がない範囲に印刷した方が望ましいため、印刷可能なスペースが限られており、文字の大きさや文字数が制限される。このため、ダイシング・ダイボンディングテープ５０を取り違えるなど人為的なミスが発生する虞があった。また、この方法だけでは、ロール状に巻き取った状態で、かつロール側面から見ただけで（図４を紙面で見て上下方向から見て）製品の種類を判別することはできない。これを解決するためには、ロールの巻き芯（コア）の色を製品種ごとに換えたりするなどの方法が考えられるが、着色コアは高価でコストアップに繋がる上、コアの在庫を多く抱えておく必要があるなどの問題がある。
【０００７】
本発明の目的は、離型フィルム上に、接着剤層及び粘着フィルムを有するウエハ加工用テープをロール状に巻き取った場合に、テープの種類を明確に識別することができるウエハ加工用テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る請求項１のウエハ加工用テープは、長尺の離型フィルムと、前記離型フィルムの第１の面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部と、前記ラベル部の外側を囲むような周辺部とを有する粘着フィルムと、前記長尺の離型フィルムの短手方向両端部に着色支持部材を設けることを特徴とする。
【０００９】
前記着色支持部材は、前記離型フィルムの、前記接着剤層及び粘着フィルムが設けられた第１の面、及び、該第１の面とは反対の第２の面のいずれに設けてもよいが、第２の面に設けることが好ましい。
【００１０】
前記着色支持部材は、前記離型フィルムの前記第２の面上の、前記第１の面に設けられた前記接着剤層の外側に対応する領域に設けられていること、前記離型フィルムの長手方向に沿って連続的に設けられていること、及び、接着剤層の厚さ以上の厚さを有することが好ましい。
また、前記着色支持部材は、２層以上の積層構造を有していてもよい。
前記着色支持部材としては、ポリエチレンテレフタレート又はポリエステルのフィルム基材に粘接着剤を塗布した粘接着テープが好適に使用できる。
【００１１】
前記着色支持部材は、ウエハ加工用テープの種類や厚さによって色が異なることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、離型フィルムの短手方向両端部に着色支持部材を設けることにより、ダイシング・ダイボンディングテープの種類を明確に識別することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１（ａ）は、本発明の実施形態に係るウエハ加工用テープ（ダイシング・ダイボンディングテープ）の平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）の線Ａ−Ａによる断面図である。
【００１４】
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、ウエハ加工用テープ１０は、長尺の離型フィルム１１と、接着剤層１２と、粘着フィルム１３と、着色支持部材１４とを有する。
【００１５】
接着剤層１２は、離型フィルムの第１の面上に設けられ、ウエハの形状に対応した円形ラベル形状を有している。粘着フィルム１３は、接着剤層１２を覆い、且つ、接着剤層１２の周囲で離型フィルムに接触するように設けられた円形ラベル部１３ａと、この円形ラベル部１３ａの外側を囲むような周辺部１３ｂとを有する。周辺部１３ｂは、円形ラベル部１３ａの外側を完全に囲む形態と、図示のような完全には囲まない形態とを含む。円形ラベル部１３ａは、ダイシング用のリングフレームに対応する形状を有する。そして、着色支持部材１４は、離型フィルム１１の、接着剤１２及び粘着フィルム１３が設けられた第１の面１１ａとは反対の第２の面１１ｂであって、且つ、離型フィルム１１の短手方向両端部に設けられている。
【００１６】
以下、本実施形態のウエハ加工用テープ１０の各構成要素について詳細に説明する。
【００１７】
（離型フィルム）
本発明のウエハ加工用テープ１０に用いられる離型フィルム１１としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系、ポリエチレン系、その他、離型処理がされたフィルム等周知のものを使用することができる。
離型フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、２５〜５０μｍが好ましい。
【００１８】
（接着剤層）
本発明の接着剤層１２は、上述のように、離型フィルム１１の第１の面１１ａ上に形成され、ウエハの形状に対応する円形ラベル形状を有する。
【００１９】
接着剤層１２は、半導体ウエハ等が貼合されダイシングされた後、チップをピックアップする際に、チップ裏面に付着しており、チップを基板やリードフレームに固定する際の接着剤として使用されるものである。接着剤層１２としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、フェノール系樹脂から選択される少なくとも１種を含む粘接着剤等を好ましく使用することができる。この他、ポリイミド系樹脂やシリコーン系樹脂を使用することもできる。その厚さは適宜設定してよいが、５〜１００μｍ程度が好ましい。
【００２０】
（粘着フィルム）
粘着フィルム１３は、上述のように、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形ラベル部１３ａと、その外側を囲むような周辺部１３ｂとを有する。このような粘着フィルムは、プリカット加工により、フィルム状粘着剤から円形ラベル部１３ａの周辺領域を除去することで形成することができる。
【００２１】
粘着フィルム１３としては、特に制限はなく、ウエハをダイシングする際にはウエハが剥離しないように十分な粘着力を有し、ダイシング後にチップをピックアップする際には容易に接着剤層から剥離できるよう低い粘着力を示すものであればよい。例えば、基材フィルムに粘着剤層を設けたものを好適に使用できる。
【００２２】
粘着フィルム１３の基材フィルムとしては、従来公知のものであれば特に制限することなく使用することができるが、後述の粘着剤層として放射線硬化性の材料を使用する場合には、放射線透過性を有するものを使用することが好ましい。
【００２３】
例えば、その材料として、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン−１、ポリ−４−メチルペンテン−１、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、アイオノマーなどのα−オレフィンの単独重合体または共重合体あるいはこれらの混合物、ポリウレタン、スチレン−エチレン−ブテンもしくはペンテン系共重合体、ポリアミド−ポリオール共重合体等の熱可塑性エラストマー、およびこれらの混合物を列挙することができる。また、基材フィルムはこれらの群から選ばれる２種以上の材料が混合されたものでもよく、これらが単層又は複層化されたものでもよい。
基材フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、５０〜２００μｍが好ましい。
【００２４】
粘着フィルム１３の粘着剤層に使用される樹脂としては、特に限定されるものではなく、粘着剤に使用される公知の塩素化ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂等を使用することができる。
粘着剤層１３の樹脂には、アクリル系粘着剤、放射線重合性化合物、光重合開始剤、硬化剤等を適宜配合して粘着剤を調製することが好ましい。粘着剤層１３の厚さは特に限定されるものではなく適宜に設定してよいが、５〜３０μｍが好ましい。
【００２５】
放射線重合性化合物を粘着剤層に配合して放射線硬化により接着剤層から剥離しやすくすることができる。その放射線重合性化合物は、例えば光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物が用いられる。
【００２６】
具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレートや、オリゴエステルアクリレート等が適用可能である。
【００２７】
また、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物（例えば、２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートなど）を反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートあるいはメタクリレート（例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなど）を反応させて得られる。
粘着剤層には、上記の樹脂から選ばれる２種以上が混合されたものでもよい。
【００２８】
光重合開始剤を使用する場合、例えばイソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等を使用することができる。これら光重合開始剤の配合量はアクリル系共重合体１００質量部に対して０．０１〜５質量部が好ましい。
【００２９】
（着色支持部材）
離型フィルム１１の短手方向両端部に着色支持部材１４を設けることで、ウエハ加工用テープ１０をロール状に巻き取った際に、テープの種類を明確に識別することができる。例えば、着色支持部材１４の色を、ウエハ加工用テープの種類や厚さによって異ならせることで、容易にテープの種類や厚さを識別することができ、人為的なミスの発生を抑制、防止することができる。
【００３０】
ウエハ加工用テープ１０は、ユーザーの要望の長さでロール状に巻き取って製品出荷されるか、或いはユーザーの要望するダイシング・ダイボンディングテープの枚数に相当する量でロール状に巻き取って製品出荷されるが、製品時の長さと、製品に用いられる前記離型フィルム１１や接着剤層１２及び粘着フィルムなどの原反の長さとが異なるため、原反や中間製品に余りが生じて歩留まりが低下することがある。製品を繋げることによって歩留まりを向上させることができるが、繋ぐ製品と繋がれた製品の色が微妙に異なる場合、ロール側面から見て（図４を紙面で見て上下方向から見て）、ロール側面の色違いが顕著に現れることがあり、これらが製品の外観を損ない、ユーザーによってはロールごと返品する事態にもなりかねず、問題となっている。
このような問題も、着色支持部材１４を設けることで、ロール側面の微妙な色違いを着色テープの色に吸収することができ、外観を改善することができる。
【００３１】
また、図１（ｂ）に示すように、接着剤層１２と粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａとが積層した部分は、粘着フィルム１３の周辺部１３ｂよりも厚い。このため、製品としてロール状に巻かれた際に、接着剤層１２と粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａの積層部分と、粘着フィルム１３の周辺部１３ｂとの段差が重なりあい、柔軟な接着剤層１２表面に段差が転写される現象、すなわち図７に示すような転写痕（ラベル痕、シワ、又は、巻き跡ともいう）が発生する。このような転写痕の発生は、特に、接着剤層１２が柔らかい樹脂で形成される場合や厚みがある場合、及びテープ１０の巻き数が多い場合などに顕著である。そして、転写痕が発生すると、接着剤層と半導体ウエハとの接着不良により、ウエハの加工時に不具合が生じるおそれがある。
【００３２】
このような問題も、着色支持部材１４を設けることで、ウエハ加工用テープ１０をロールに巻き取った際にテープに加わる巻き取り圧を分散する、或いは、着色支持部材１４に集めることができるので、接着剤層１２への転写痕の形成を抑制することが可能となる。
【００３３】
図１の例では、着色支持部材１４を離型フィルムの第２の面１１ｂ側に設けた場合を示したが、テープの種類の認識性を向上させる観点からは、着色支持部材１４を離型フィルムの第１の面１１ａ側に設けてもよい。この場合、例えば、粘着フィルム周辺部１３ｂ上に、着色支持部材を設けた構成を採用することができる。
【００３４】
一方、上記のような、接着剤層１２への転写痕の発生を抑制する観点からは、着色支持部材１４は、離型フィルム１１の第２の面１１ｂ側に設けることが好ましい。これは、着色支持部材１４を接着剤層１２及び粘着フィルム１３が設けられた第１の面１１ａに形成する場合には、支持層の幅に制限があるのに対し、離型フィルム１１の、接着剤１２及び粘着フィルム１３が設けられた第１の面１１ａとは反対の第２の面１１ｂであって、且つ、離型フィルム１１の短手方向両端部に設けると、着色支持部材１４の幅を広く確保することができるので、より効果的に転写痕の発生を抑制できるからである。さらに、着色支持部材１４を離型フィルム１１の第２の面１１ｂに設けることで、着色支持部材１４の位置ズレに対する許容度が大きくなるという効果も得られる。
【００３５】
着色支持部材１４を離型フィルムの第２の面１１ｂ側に設ける場合、着色支持部材１４は、離型フィルム１１の第２の面１１ｂ上の、第１の面１１ａに設けられた接着剤層１２の外側に対応する領域、すなわち、第２の面１１ｂ上において、図１（ａ）に示すような、離型フィルム１１の端部から接着剤層１２までの領域Ｒに設けることが好ましい。このような構造により、テープ１０を巻き取ったときに、離型フィルム１１の第１の面１３ａに設けられた粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａと、離型フィルム１１の第２の面１１ｂに設けられた着色支持部材１４とが重ならないので、粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａを介して接着層１２に着色支持部材１４の痕が付くことが防止される。
【００３６】
着色支持部材１４は、離型フィルム１１の長手方向に沿って、断続的又は連続的に設けることができるが、転写痕の発生をより効果的に抑制する観点からは、基材フィルム１１の長手方向に沿って連続的に設けることが好ましい。
【００３７】
着色支持部材１４の厚さとしては、離型フィルム１１上における、接着剤層１２と粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａとの積層部分と、粘着フィルム１３の周辺部１３ｂとの段差に相当する厚さ、すなわち接着剤層１２と同じか、又は、それ以上であればよい。図２は、接着剤剤層１２よりも厚い着色支持部材１４’の例を示す断面図である。
【００３８】
着色支持部材がこのような厚さを有することで、テープ１０を巻き取ったときに、粘着フィルム１３とその表面に重なる離型フィルム１１の第２の面１１ｂとが接触するか、又は、接触せずにこれらの間に空間が形成されるので、粘着フィルム１３を介して柔軟な接着剤層１２に離型フィルム１１の第２の面１１ｂが強く押し付けられることがない。よって、転写痕の発生をいっそう効果的に抑制することができる。
【００３９】
着色支持部材１４は、室温レベルにおける線膨張係数が１×１０−４／℃以下のものが好ましい。線膨張係数が１×１０−４／℃より大きい場合には、後工程での加熱の際や、保管時及び運送中の低温状態（例えば−２０℃〜５℃）から使用時の室温に戻す際など、温度変化に対して寸法変化が大きくなり好ましくない。
【００４０】
また、着色支持部材１４は、ウエハ加工用テープ１０の巻きズレを防止する観点から、粘着フィルム１３に対してある程度の摩擦係数を有する材質のものが好ましい。これにより、ウエハ加工用テープ１０の巻きズレを防止でき、高速巻取りや巻取り数を増大させることができるといった効果が得られる。
【００４１】
着色支持部材１４としては、例えば、着色された樹脂フィルム基材に粘接着剤を塗布した粘接着テープを好適に使用することができる。このような粘接着テープを、離型フィルム１１の第２の面１１ｂの両端部分の所定位置に、あるいは、離型フィルムの第１の面１１ａ上の粘着フィルム周辺部１３ｂ上の所定位置に貼り付けることで、本実施形態のウエハ加工用テープ１０を形成することができる。粘接着テープは、一層のみを貼り付けてもよいし、図３に示すように、薄いテープを積層させてもよい。
【００４２】
粘接着テープの着色基材樹脂としては、上述のように粘着フィルム１３に対してある程度の摩擦係数を有し、且つ、巻き圧に耐え得るものであれば特に限定はないが、耐熱性、平滑性、及び、入手し易さの点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）及びポリエステルが好ましい。
粘接着テープの粘着剤の組成及び物性については、特に限定はなく、テープ１０の巻き取り工程及び保管工程において、離型フィルム１１から剥離しないものであればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】（ａ）は、本発明の実施形態に係るウエハ加工用テープの平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の線Ａ−Ａによる断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係るウエハ加工用テープの断面図である。
【図３】本発明のさらに他の実施形態に係るウエハ加工用テープの断面図である。
【図４】従来のウエハ加工用テープの斜視図である。
【図５】（ａ）は、従来のウエハ加工用テープの平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の線Ｂ−Ｂによる断面図である。
【図６】ウエハ加工用テープとダイシング用リングフレームとが貼り合わされた状態を示す断面図である。
【図７】従来のウエハ加工用テープの不具合を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０：ウエハ加工用テープ
１１：離型フィルム
１２：接着剤層
１３：粘着フィルム
１３ａ：円形ラベル部
１３ｂ：周辺部
１４，１４’，１４”：着色支持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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