(57)【要約】【課題】管状物の切断面の位置および角度の検査を、より適正に行えるようにする。【解決手段】トンネルまたは大口径管状物の内壁面に対してレーザ光偏向軌跡を描画し、その反射光を検出することで、偏向軌跡形状を認識して自己の設置位置のズレを自動補正し、指定された位置及び角度を持つようにレーザ光偏向軌跡を修正して、切断面の位置及び角度を正確に指示することで管状物の切断面の検査を容易に行えることを可能とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トンネルまたは大口径の管状物内部に設置され、レーザ光偏向軌跡を描画する装置であって、レーザ光源部と、レーザ光偏向軌跡が形成する面の角度を調整するためのレーザ光偏角生成部と、レーザ光偏向軌跡を形成するためのレーザ光偏向部と、前記レーザ光偏向部から出射されたレーザ光が管状物内壁面で反射されたレーザ光を検出してレーザ光偏向部からの距離を計測する距離計測部と、レーザ光偏向部における偏向角検出部と、前記距離計測部のデータと前記偏向角検出部のデータからレーザ光偏向軌跡形状を計算する軌跡形状計算部と、図面上の管状物の垂直切断面形状を参照形状としてあらかじめ入力する参照形状入力部と、前記軌跡形状計算部における形状と前記参照形状とを比較する形状比較計算部と、前記形状比較計算部の計算結果から管状物切断面検査装置の設置された位置のずれを認識して前期レーザ光偏角生成部を制御して、定められた角度を持つレーザ光偏向軌跡を描画するレーザ光偏角制御部で構成され、前記レーザ光偏向軌跡面の持つ角度を変化させる時に、レーザ光偏向部におけるレーザ光偏向位置が常に移動しない不動点としてレーザ光偏向軌跡描画を可能とする機構を持っていることを特徴とした管状物切断面検査装置
【請求項２】
前期レーザ光偏向軌跡を描画するときに、前記レーザ光偏向位置を不動点とするために、前記レーザ光偏角生成部の構成として、管状物切断面検査装置の座標軸上において、Ｘ′軸周り、Ｙ′軸周り、Ｚ′軸周りにレーザ光を回転させる３つの機構を備え、それぞれの回転が全てレーザ光偏向位置を中心として実現していることで任意の指定された位置および角度を持つレーザ光偏向軌跡を描画する機能を備えていることを特徴とする請求項１記載の管状物切断面検査装置
【請求項３】
前期レーザ光偏向軌跡を描画するときに、前記レーザ光偏向位置を不動点とするために、前記レーザ光偏角生成部の構成として、管状物切断面検査装置の座標軸上において、２軸回りの回転機構、例えばＹ′軸周りおよびＺ′軸周りの回転機構を備えており、それぞれの回転が全てレーザ光偏向位置を中心として実現することで管状物の中心軸に対して、定められた位置で垂直なレーザ光偏向軌跡を描画する機能を備えていることを特徴とする請求項１記載の管状物切断面検査装置
【請求項４】
前記レーザ光偏角生成部のうち１軸周りのレーザ光の回転、例えばＹ′軸周りの回転を、光学的偏角生成装置および共役光学系を使用することで、レーザ光偏向位置を不動点とした、レーザ光の偏向軌跡が形成する面の傾きを変化させる機能を持っていることを特徴とする請求項２および請求項３記載の管状物切断面検査装置
【請求項５】
前記偏向部として回転鏡を使用して、レーザ光回転軌跡描画を実現していることを特徴とする請求項１記載の管状物切断面検査装置
【請求項６】
前記偏向部として振動鏡を使用して、レーザ光振動軌跡を実現していることを特徴とする請求項１記載の管状物切断面検査装置
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は、トンネルまたは大口径の管状物の切断面の位置および角度の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】トンネル、大口径管などの管状物において、その切断面位置および角度の検査に際しては、該管状物内部にやぐらなどの構造物を構築し、この構造物を基準として、切断位置および角度を計測することが常であった。
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】前記の従来の技術を解決するために、最近ではレーザ光を使用して、管状物内壁面の検査などが良く行われるようになってきた。
【０００４】しかしながら、従来の管状物内壁面へのレーザ光投影装置においては、レーザ光の投影角度などを変化させた時にレーザ光が通過する経路に明確な不動点が存在していなかった。
【０００５】管状物の内壁面に対してレーザ光の偏向軌跡を描画することで管状物の切断面の位置及び角度を正確に指示する為には、管状物切断面検査装置が描くレーザ光偏向軌跡の形成する面の傾き角を変化させても常に前記の面が横切っている不動点を持っている必要があり、この不動点を管状物の中心軸方向の検査位置に正しく設置されて初めて、管状物の中心軸方向の正しい位置にレーザ光偏向軌跡の描画が可能となる。
【０００６】本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、目的は本装置の不動点を管状物の軸方向の正しい位置に設置された後に、その位置における所定の角度を持つレーザ光偏向軌跡を描画することで、きわめて安価に正確な管状物の切断面位置および角度を指定することが出来る、管状物切断面検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】前記課題を解決する為に、本発明は、例えば、レーザ光源部と、レーザ光偏角生成部と、レーザ光偏向部と、管状物内壁面からの反射レーザ光を検出してレーザ光偏向部からの距離を計測する距離計測部と、レーザ光偏向部における偏向角検出部と、前記距離計測部からのデータと前記偏向角検出部からのデータからレーザ光偏向軌跡形状を計算する軌跡形状計算部と、図面上の管状物の垂直切断面形状を参照形状としてあらかじめ入力する参照形状入力部と、前記軌跡形状計算部における形状と参照形状とを比較して、管状物切断面検査装置の設置された位置を認識し、前記レーザ光偏角生成部を制御して定められた角度を持つレーザ光偏向軌跡を描画するレーザ光偏角制御部で構成されることを特徴とする、管状物切断面検査装置を提供する。
【０００８】このような管状物切断面検査装置によれば、管状物の中心軸方向の所定の位置に管状物切断面検査装置の不動点を正しく設置するだけで、極めて容易かつ正確に不動点を通るレーザ光偏向軌跡を描画することが出来、さらに、以下に述べるように前記レーザ光偏向軌跡の角度を所定の値に正確に自動的に制御することにより、安価でかつ正確な管状物切断面検査が可能となる。
【０００９】本発明によれば、レーザ光の偏向軌跡描画に際して、駆動部分を回転鏡または振動鏡で実現しているために、常時動作する機構部分が極力少なくなっており、装置の耐久性および信頼性の観点からきわめて優れた装置の提供が可能である。
【００１０】また本発明によれば、レーザ光偏向軌跡の形成する面の角度を調整する機構として、１軸を光学的な偏角生成機構を採用しており、この部分においてもやはり耐久性および迅速応答性において優れた装置の提供が可能である。
【００１１】また、管状物切断面の検査が管状物の中心軸に対して垂直な切断面のみで良い場合は、後に例示するが、たとえば管状物切断面検査装置の座標軸のＺ′軸周りの回転機構とＹ′軸周りの回転機構を備え、かつたとえばＹ′軸周りの回転機構として前記光学的機構を備える装置構成とするとき、一番動作頻度の低いＺ′軸周りの回転機構のみを機械的機構とすることで、耐久性、高速応答性および装置の精度維持の観点から優れた装置の提供が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】次に、本発明を適用した好適な実施の形態を、大口径管に適用した例を用いて、図面に基づき詳細に説明する。【００１３】図１は、本実施の形態の一例に係る大口径管の管状物切断面検査装置の全体図である。本図は管状物切断面検査装置の座標軸上で、Ｚ′軸周りの回転を機械的機構で、Ｙ′軸周りの回転を光学的手段で実現している構成を示しており、前期請求項３に対応する、管状物の中心軸に対して垂直なレーザ光偏向軌跡を描画する場合を示している。【００１４】全体をＺ′軸周りに回転することが出来る機構がＺ′軸周り回転機構１１であり、不動点であるレーザ光偏向位置１７はＺ′軸上にあるために、この回転では不動点の移動は起こらない。【００１５】一方、レーザ光源５から出たレーザ光はＡＯＭ部１３で、本図の場合はＹ′軸周りの回転すなわち、上下方向（Ｘ′軸方向）に偏角を生成され、共役光学系１４を通過することで、レーザ光偏角生成位置と共役位置にあるレーザ光偏向位置１７に到着する。このレーザ光偏向位置１７が不動点に相当する。【００１６】レーザ光偏向位置にはレーザ光偏向部１６として回転または振動するレーザ光偏向反射材１５があり、レーザ光が偏向されて回転または振動軌跡を描画することになる。【００１７】この回転または振動するレーザ光は管状物の内壁面３に到達し、反射されて再びレーザ光偏向反射材１５により反射された後、ハーフミラー２４により光路を曲げられた後に、戻り光集光レンズ２５により再び集光されて戻り光検出器２６により検出される。【００１８】レーザ光源部５における発光の時刻から上記戻り光検出器２６における検出時刻の時間差を計測することにより、レーザ光源部５から戻り光検出器２６までの距離、すなわち、レーザ光偏向位置１７から管状物内壁面３までの距離を距離計算部で算出する。【００１９】一方、レーザ光偏向部１６におけるレーザ光偏向角度は偏向角検出器１８により検出されており、前記距離計算部からのデータとあわせて軌跡形状計算部において軌跡形状が認識される。【００２０】一方、あらかじめ図面上での管状物の垂直切断面形状を参照形状入力部から入力しておくことにより、これと前記軌跡形状とを形状比較計算部において比較することにより、管状物切断面検査装置が設置された位置を算出することが出来る。【００２１】前記算出された設置位置情報を基にして、レーザ光偏角制御部がＺ′軸周りの回転機構１１と、ＡＯＭ部１３を制御して設置位置のずれにかかわらず、常に管状物の中心軸に対して垂直な偏向軌跡を描画することが出来る。【００２２】図２は前記の共役光学系を説明した図である。レーザ光源部５から出たレーザ光はＡＯＭ部１３を通過して共役光学系１４に入射し、ＡＯＭ部１３の偏角生成位置と共役関係にあるレーザ光偏向部１６に集光された後に、レーザ光偏向反射部１６により反射されて管状物内壁面３に到達している。【００２３】図３は図２の状態からＡＯＭ部１３の作用でレーザ光が偏角を生成された状態を示しており、やはり共役光学系１４を通過することで、共役位置であるレーザ光偏向部１６に対して先ほどＡＯＭ部で生成された偏角とプラスマイナスは異なるが、同じ角度で入射していることが分かる。【００２４】結果として、レーザ光偏向部を不動点として、レーザ光偏向軌跡の形成する面の傾きを不動点である、レーザ光偏向位置１７を通過することを守りつつ変化させることが可能となる。【００２５】図４はレーザ光偏角生成部として、管状物切断面検査装置における座標軸において、Ｘ′軸、Ｙ′軸およびＺ′軸の３軸ともに機械的な回転機構で構成した事例を示している。【００２６】レーザ光源部５から出たレーザ光は、レーザ光を直角に偏向させてかつ、回転または振動動作により偏向軌跡を描画する機能を有しているレーザ光偏向部１６により管状物内壁面に対して偏向軌跡を描画することが出来る。【００２７】管状物切断面検査装置の設置された位置の誤差を修正するために、本事例ではＸ′軸周り回転機構７と、Ｙ′軸周り回転機構９と、Ｚ′軸周り回転機構１１を持っており、この３軸の回転機構により、いかなる位置に設置された状態でも設置位置情報に基づき、設置位置のずれを修正して、管状物の中心軸に対して常に指定された角度を持つ偏向軌跡を描画することが可能となる。【００２８】本図の事例においても、請求項４に示したように１軸を光学的な偏向機構すなわち、光学的偏角生成機能としてのＡＯＭ部１３と共役光学系１４で置き換えることが出来る。【００２９】次に、管状物の内部に設置された管状物切断面検査装置１が、設置された位置のずれを修正する機構の一例について、図に従って説明を進める。【００３０】図５は管状物内に設置された状態の管状物切断面検査装置１を示した図であり、管状物の座標軸である、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対して管状物切断面検査装置１の座標軸Ｘ′軸、Ｙ′軸、Ｚ′軸がそれぞれ少しずつずれていることをあらわしており、かつまた、管状物切断面検査装置１のＹ′軸周りの回転機構によるレーザ光の回転方向を１０で示している。【００３１】この状態から、管状物切断面検査装置１のＹ′軸周りの回転機構を使用して、管状物の中心軸であるＺ軸に対して、垂直な偏向軌跡の描画を可能とするためには、２種類の動作が考えられ、１つはＺ′軸周りの回転機構を使用する方法であり、もう１つはＸ′軸周りの回転機構を使用する方法である。以下に、各々図を使用して説明を進める。【００３２】図６は、前記Ｘ′軸とＺ′軸で形成される面をＺ軸に一致させる為に、Ｚ′軸周りの回転機構を使用する方法であり、図５の状態からＺ′軸周りの回転を完了した状態を示している。【００３３】この状態では、管状物切断面検査装置１のＸ′軸とＺ′軸で形成される面上に管状物の中心軸であるＺ軸が乗っていることになり、この時点で管状物切断面検査装置１のＹ′軸周りの回転機構を使用することで、管状物の中心軸であるＺ軸に対して垂直な偏向軌跡の描画が可能となっている。【００３４】図７は、Ｘ′軸周りの回転機構を使用して設置位置のずれを修正する方法を説明する図であり、前記Ｘ′軸とＺ′軸で形成される面をＺ軸に一致させる為に、まず管状物切断面検査装置１をＸ′軸周りに回転させようとしている。【００３５】図８が上記動作を完了した時点を示す図であり、Ｘ′軸とＺ′軸で形成される面上に管状物の中心軸であるＺ軸が一致している状態を示している。【００３６】この状態で、前記と同様にＹ′軸周りの回転機構を使用することで、管状物の中心軸である、Ｚ軸に対して垂直な変更軌跡の描画が可能となる。【００３７】以上説明してきたことは、管状物切断面検査装置１の２軸、たとえばＹ′軸周りの回転機構およびＺ′軸周りの回転機構を使用して管状物の中心軸であるＺ軸に対して垂直な変更軌跡を描画する場合であった。【００３８】一方、管状物またはトンネルなどの切断面は必ずしも中心軸に対して垂直ばかりではなく、ある一定の角度を持ったものも存在する。このような垂直以外の切断面の検査を本特許で述べている管状物切断面検査装置１で検査を可能とするためには、管状物切断面検査装置１の３軸の回転機構を使用する必要が生じる。以下に３軸を使用した任意角の切断面検査について説明する。【００３９】図９は３軸の回転機構を使用して管状物の中心軸に対して任意の角度を持つ変更軌跡を描画する機能を説明する図であり、前記Ｘ′軸周りの回転機構を使用して、Ｚ軸に対して垂直な偏向軌跡描画が可能となった状態を示す図である。【００４０】この状態においては、管状物切断面検査装置１のＺ′軸周りの回転方向の設置位置ずれについての修正が出来ていない。すなわち、Ｙ′軸周りの回転の方向が、管状物のＸ軸からＺ′軸周りの回転方向にずれた状態である。この状態でも描画する偏向軌跡が管状物の中心軸に対して垂直なものである限りは、このＺ′軸周りの回転方向の設置位置ずれは問題とはならないが、管状物の中心軸に対して垂直以外の角度、すなわち、Ｙ軸を回転軸として回転した切断面を指定するための偏向軌跡描画に際しては、Ｚ′軸周りの回転による位置修正により、偏向軌跡描画により、任意の角度を持った切断面の指示が可能となる。【００４１】前記の説明においては、切断面の傾きの回転軸をＹ軸としたが、実際にはＸ軸を回転軸とした切断面もありうることになる。【００４２】図１１はこの状態を説明したものであり、ａ１が管状物の中心軸に対して垂直な切断面を表示しているのに対して、ａ２はＹ軸を回転軸として本図では時計方向に角度を持った切断面であり、ａ３はＹ軸を回転軸として反時計方向に角度を持った切断面を示している。【００４３】このような切断面に対しては、前記のように、管状物切断面検査装置１のＹ′軸を管状物のＹ軸に平行にすることで、任意の角度を持った切断面を偏向軌跡を用いて指示することが可能となる。【００４４】ｂ１は同じく管状物の中心軸に対して垂直な切断面を表示しているが、以後の切断面の角度の生成がＸ軸を回転軸として行われることを示す図である。【００４５】ｂ２はｂ１からＸ軸を回転軸として時計回りに回転した状態の切断面をしめしており、ｂ３は同じく反時計周りに回転した状態の切断面を示している。【００４６】この場合の切断面を管状物切断面検査装置１のＹ′軸周りの回転を使用した偏向軌跡で指示可能とするためには、やはり管状物切断面検査装置１のＹ′軸を管状物の座標であるＸ軸に平行にする必要があり、この状態に持ち込むために、管状物切断面検査装置１のＺ′軸周りの回転機構およびＸ′軸周りの回転機構の使用が必要であることがわかる。【００４７】また、本図からわかることとして、管状物などの円形の切断面形状を持つ場合に、中心軸に対して垂直以外の角度を持つ切断面を指定するときには、重力方向すなわち、管状物が設置された時点での鉛直方向および水平方向の指定が必須条件となる。【００４８】本管状物切断面検査装置１を正しく水平に設置することで鉛直方向の保証を行うか、または重力方向の検出器などを用いて鉛直方向の認識を可能としておく必要がある。【００４９】次に、管状物切断面検査装置１の各軸の動作が前記形状比較計算部からどのように見えるのかを図に従って説明する。【００５０】まずはじめに、管状物切断面検査装置１の設置される位置と観測される偏向軌跡形状との関係を明らかにしておく。【００５１】図２０は参照形状入力部から入力された管状物の図面上に切断面形状を表しており、管状物切断面検査装置１の自己座標軸であるＸ′軸およびＹ′軸に対して、原点に正しく位置づけられている。【００５２】管状物切断面検査装置１が管状物の中心軸に対して設置位置がＺ軸上でなおかつ傾きもない状態である場合には、偏向軌跡はまったくこの入力された参照形状と一致することになる。【００５３】図２１は、管状物切断面検査装置１の設置位置のみが管状物の中心軸であるＺ軸から少しずれた状態で、設置角度のずれがない状態での偏向軌跡形状を示している。【００５４】図２２は、前図２１の状態から管状物切断面検査装置１が自己のＹ′軸周りの回転方向に設置角度がずれた状態の偏向軌跡形状を示している。【００５５】図２３は続いて、管状物切断面検査装置１がＺ′軸周りに回転した状態での偏向軌跡形状を示しており、この状態が通常使用される状態での一般的な偏向軌跡形状を現していると考えてよい。【００５６】以下、前記の管状物切断面検査装置１の２軸を使用して管状物の中心軸であるＺ軸に対して垂直な偏向軌跡を描画する場合について、前期の一般的な偏向軌跡形状および参照形状をモデルとして説明を進める。【００５７】図２４は最初に入力された参照形状および偏向軌跡を示している。【００５８】図２５は入力された偏向軌跡を参照形状と比較した上で、偏向軌跡形状の長軸方向および偏向軌跡形状の中心座標を計算する。【００５９】この段階で、管状物切断面検査装置１が設置された位置の、管状物の中心軸であるＺ軸からの位置のずれおよび角度のずれが認識できる。ただし、設置角度のずれについては、プラスマイナスの区別はこの段階では識別できていない。【００６０】図２８は前記２軸を使用した修正動作における、Ｚ′軸周りの回転動作またはＸ′軸周りの回転動作を完了したときの偏向軌跡形状を示す図であり、自己座標であるＸ′軸に対して、偏向軌跡形状の長軸であるＸ′′軸が平行になっていることが分かる。すなわち、前記Ｚ′軸周りの回転動作およびＸ′軸周りの回転動作において、動作を完了するタイミングが、いづれもこの図にあるように偏向軌跡形状の長軸であるＸ′′軸が自己座標軸であるＸ′軸に平行になったときと言える。【００６１】図２９は前図２８に状態から、Ｙ′軸周りの回転機構を使用して、長軸方向の修正を実行した後の状態であり、この修正の段階において、前記の管状物切断面検査装置１の設置傾きのずれのプラスマイナスが不明であることに対する対応を行っている。【００６２】具体的には、図２８の時点からＹ′軸の回転機構を使用して長軸方向の修正を行うときに、最初にＹ′軸方向の回転機構を動作させて、偏向軌跡形状の長軸方向の動きを確認し、長軸方向の寸法が大きな方向に変化する場合には、Ｙ′軸周りの回転機構の回転方向を逆方向に切り替えることで、現在の自己の設置された角度のずれのプラスマイナスを認識することが可能となる。【００６３】図２９は上記のＹ′軸周りの回転機構を使用して修正を完了した時点の偏向軌跡形状を示しており、この段階で、管状物の中心軸に対して垂直な偏向軌跡描画が実現できていることになる。【００６４】図３０は、前記の図１１におけるｂ２およびｂ３の状態に対応する場合を説明する図であり、本管状物切断面検査装置１が正しく水平に設置されていることを前提として、自己の座標であるＸ′軸が鉛直方向と一致している状態であり、それに対して、Ｚ′軸周りの回転機構を使用して、約９０度回転させて、正確に偏向軌跡形状の長軸を自己座標のＹ′軸に一致させた状態を示している。【００６５】図３１はこの状態から、Ｙ′軸周りの回転機構を使用して長軸方向の偏向軌跡形状を修正し、参照形状を同じ円形形状にした状態を示している。【００６６】図１１におけるｂ２およびｂ３に示した、任意角度を持った切断面形状を偏向軌跡で指示するためには、この状態からＹ′軸方向の回転機構を使用して、偏向軌跡を管状物のＸ軸を回転中心として回転することで任意角度を持つ切断面の指示を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る管状物切断面検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る、共役光学系の一例を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係る、共役光学系の一例を示す図であり、レーザ光偏角が生成された状態を示している。
【図４】本発明の実施形態に係る、３軸駆動機構の一例を説明する図であり、管状物切断面検査装置のＸ′軸、Ｙ′軸、Ｚ′軸周りの回転機構を示している。
【図５】本発明の実施形態に係る、管状物に設置された管状物切断面検査装置の状態を説明するための図であり、管状物の座標軸である、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸および管状物切断面検査装置の座標軸である、Ｘ′軸、Ｙ′軸、Ｚ′軸を示しており、Ｚ′軸周りの回転により設置位置ずれの修正を行う直前の状態を示している。
【図６】図５の状態から、管状物切断面検査装置のＺ′軸周りの回転を行った後の状態を示す図である。
【図７】図５と同じ状態を示しており、Ｘ′軸周りの回転機構を使用して設置位置ずれの修正を行う直前の状態を示している。
【図８】図７の状態から、管状物切断面検査装置のＸ′軸周りの回転を行った後の状態を示す図である。
【図９】図８と同じ状態を表す図であり、Ｚ′軸周りの回転機構を使用して、設置位置ずれをさらに修正する直前の状態を示している。
【図１０】管状物切断面検査装置のＺ′軸周りの回転を行った後の状態を示す図であり、この状態から、Ｙ′軸周りの回転機構を使用して、管状物のＹ軸を回転軸とした任意の切断面の傾き状態を示すことが可能となる。
【図１１】管状物における各種の切断面の事例を示した図である。
【図２０】参照形状を入力された状態を示す。
【図２１】前記参照形状と、管状物の中心軸に対して、Ｘ軸、Ｙ軸方向にのみずれて設置されたときに観測される偏向軌跡を現している。
【図２２】前記参照形状と、図２１の状態から管状物切断面検査装置がＸ′軸方向に傾いて設置されたときの偏向軌跡を現している。
【図２３】前記参照形状と、図２２の状態から管状物切断面検査装置がＺ′軸周りに回転して設置された状態を示しており、この状態が現実に使用されるときの一般的な状態である。
【図２４】管状物内部に設置された状態で、最初に計測される一般的な偏向軌跡形状と、参照形状を示している。
【図２５】計測された偏向軌跡を参照形状と比較して、長軸方向と偏向軌跡の中心位置を算出した状態を示している。
【図２８】図２５の状態から、管状物切断面検査装置の１軸回転、すなわちＸ′軸周りまたはＺ′軸周りの回転機構で位置のずれの修正を行った後の状態を示した図である。
【図２９】図２８の状態から、管状物切断面検査装置の２番目の回転軸、たとえばＹ′軸周りの回転で設定位置のずれを修正した後の状態を示している図である。
【図３０】図２５の状態からＸ′軸周りの回転機構およびＺ′軸周りの回転機構を使用して、偏向軌跡形状の長軸をＹ′軸と平行に持ち込んだ状態を示している
【図３１】図３０の状態から、Ｙ′軸周りの回転機構を使用して管状物の中心軸に対して垂直の偏向軌跡を描画している状態を意示しており、この状態からやはりＹ′軸周りの回転機構を使用することでＸ軸を回転軸とした任意角度の管状物切断面の描画か可能となっている。
【符号の説明】
１  管状物切断面検査装置
２  管状物
３  管状物内壁面
４  レーザ光偏向軌跡
５  レーザ光源部
６  レーザ光偏角生成部
７  Ｘ′軸周り回転機構
８  Ｘ′軸周り回転方向
９  Ｙ′軸周り回転機構
１０  Ｙ′軸周り回転方向
１１  Ｚ′軸周り回転機構
１２  Ｚ′軸周り回転方向
１３  ＡＯＭ部
１４  共役光学系
１５  レーザ光偏向反射材
１６  レーザ光偏向部
１７  レーザ光偏向位置
１８  偏向角検出部
１９  距離計測部
２０  軌跡形状計算部
２１  参照形状入力部
２２  形状比較計算部
２３  レーザ光偏角制御部
２４  ハーフミラー
２５  戻り光集光レンズ
２６  戻り光検出器
２７  回転反射鏡駆動部
２８  振動反射鏡駆動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年12月30日(2007.12.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は、トンネルまたは大口径の管状物の切断面の位置および角度の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】トンネル、大口径管などの管状物において、その切断面位置および角度の検査に際しては、該管状物内部にやぐらなどの構造物を構築し、この構造物を基準として、切断位置および角度を計測することが常であった。
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】前記の従来の技術を解決するために、最近ではレーザ光を使用して、管状物内壁面の検査などが良く行われるようになってきた。
【０００４】しかしながら、従来の管状物内壁面へのレーザ光投影装置においては、レーザ光の投影角度などを変化させた時にレーザ光が通過する経路に明確な不動点が存在していなかった。
【０００５】管状物の内壁面に対してレーザ光の偏向軌跡を描画することで管状物の切断面の位置及び角度を正確に指示する為には、管状物切断面検査装置が描くレーザ光偏向軌跡の形成する面の傾き角を変化させても常に前記の面が横切っている不動点を持っている必要があり、この不動点を管状物の中心軸方向の検査位置に正しく設置されて初めて、管状物の中心軸方向の正しい位置にレーザ光偏向軌跡の描画が可能となる。
【０００６】本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、目的は本装置の不動点を管状物の軸方向の正しい位置に設置された後に、その位置における所定の角度を持つレーザ光偏向軌跡を描画することで、きわめて安価に正確な管状物の切断面位置および角度を指定することが出来る、管状物切断面検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】前記課題を解決する為に、本発明は、例えば、レーザ光源部と、レーザ光偏角生成部と、レーザ光偏向部と、管状物内壁面からの反射レーザ光を検出してレーザ光偏向部からの距離を計測する距離計測部と、レーザ光偏向部における偏向角検出部と、前記距離計測部からのデータと前記偏向角検出部からのデータからレーザ光偏向軌跡形状を計算する軌跡形状計算部と、図面上の管状物の垂直切断面形状を参照形状としてあらかじめ入力する参照形状入力部と、前記軌跡形状計算部における形状と参照形状とを比較して、管状物切断面検査装置の設置された位置を認識し、前記レーザ光偏角生成部を制御して定められた角度を持つレーザ光偏向軌跡を描画するレーザ光偏角制御部で構成されることを特徴とする、管状物切断面検査装置を提供する。
【０００８】このような管状物切断面検査装置によれば、管状物の中心軸方向の所定の位置に管状物切断面検査装置の不動点を正しく設置するだけで、極めて容易かつ正確に不動点を通るレーザ光偏向軌跡を描画することが出来、さらに、以下に述べるように前記レーザ光偏向軌跡の角度を所定の値に正確に自動的に制御することにより、安価でかつ正確な管状物切断面検査が可能となる。
【０００９】本発明によれば、レーザ光の偏向軌跡描画に際して、駆動部分を回転鏡または振動鏡で実現しているために、常時動作する機構部分が極力少なくなっており、装置の耐久性および信頼性の観点からきわめて優れた装置の提供が可能である。
【００１０】また本発明によれば、レーザ光偏向軌跡の形成する面の角度を調整する機構として、１軸を光学的な偏角生成機構を採用しており、この部分においてもやはり耐久性および迅速応答性において優れた装置の提供が可能である。
【００１１】また、管状物切断面の検査が管状物の中心軸に対して垂直な切断面のみで良い場合は、後に例示するが、たとえば管状物切断面検査装置の座標軸のＺ′軸周りの回転機構とＹ′軸周りの回転機構を備え、かつたとえばＹ′軸周りの回転機構として前記光学的機構を備える装置構成とするとき、一番動作頻度の低いＺ′軸周りの回転機構のみを機械的機構とすることで、耐久性、高速応答性および装置の精度維持の観点から優れた装置の提供が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】次に、本発明を適用した好適な実施の形態を、大口径管に適用した例を用いて、図面に基づき詳細に説明する。【００１３】図１は、本実施の形態の一例に係る大口径管の管状物切断面検査装置の全体図である。本図は管状物切断面検査装置の座標軸上で、Ｚ′軸周りの回転を機械的機構で、Ｙ′軸周りの回転を光学的手段で実現している構成を示しており、前期請求項３に対応する、管状物の中心軸に対して垂直なレーザ光偏向軌跡を描画する場合を示している。【００１４】全体をＺ′軸周りに回転することが出来る機構がＺ′軸周り回転機構１１であり、不動点であるレーザ光偏向位置１７はＺ′軸上にあるために、この回転では不動点の移動は起こらない。【００１５】一方、レーザ光源５から出たレーザ光はＡＯＭ部１３で、本図の場合はＹ′軸周りの回転すなわち、上下方向（Ｘ′軸方向）に偏角を生成され、共役光学系１４を通過することで、レーザ光偏角生成位置と共役位置にあるレーザ光偏向位置１７に到着する。このレーザ光偏向位置１７が不動点に相当する。【００１６】レーザ光偏向位置にはレーザ光偏向部１６として回転または振動するレーザ光偏向反射材１５があり、レーザ光が偏向されて回転または振動軌跡を描画することになる。【００１７】この回転または振動するレーザ光は管状物の内壁面３に到達し、反射されて再びレーザ光偏向反射材１５により反射された後、ハーフミラー２４により光路を曲げられた後に、戻り光集光レンズ２５により再び集光されて戻り光検出器２６により検出される。【００１８】レーザ光源部５における発光の時刻から上記戻り光検出器２６における検出時刻の時間差を計測することにより、レーザ光源部５から戻り光検出器２６までの距離、すなわち、レーザ光偏向位置１７から管状物内壁面３までの距離を距離計算部で算出する。【００１９】一方、レーザ光偏向部１６におけるレーザ光偏向角度は偏向角検出器１８により検出されており、前記距離計算部からのデータとあわせて軌跡形状計算部において軌跡形状が認識される。【００２０】一方、あらかじめ図面上での管状物の垂直切断面形状を参照形状入力部から入力しておくことにより、これと前記軌跡形状とを形状比較計算部において比較することにより、管状物切断面検査装置が設置された位置を算出することが出来る。【００２１】前記算出された設置位置情報を基にして、レーザ光偏角制御部がＺ′軸周りの回転機構１１と、ＡＯＭ部１３を制御して設置位置のずれにかかわらず、常に管状物の中心軸に対して垂直な偏向軌跡を描画することが出来る。【００２２】図２は前記の共役光学系を説明した図である。レーザ光源部５から出たレーザ光はＡＯＭ部１３を通過して共役光学系１４に入射し、ＡＯＭ部１３の偏角生成位置と共役関係にあるレーザ光偏向部１６に集光された後に、レーザ光偏向反射部１６により反射されて管状物内壁面３に到達している。【００２３】図３は図２の状態からＡＯＭ部１３の作用でレーザ光が偏角を生成された状態を示しており、やはり共役光学系１４を通過することで、共役位置であるレーザ光偏向部１６に対して先ほどＡＯＭ部で生成された偏角とプラスマイナスは異なるが、同じ角度で入射していることが分かる。【００２４】結果として、レーザ光偏向部を不動点として、レーザ光偏向軌跡の形成する面の傾きを不動点である、レーザ光偏向位置１７を通過することを守りつつ変化させることが可能となる。【００２５】図４はレーザ光偏角生成部として、管状物切断面検査装置における座標軸において、Ｘ′軸、Ｙ′軸およびＺ′軸の３軸ともに機械的な回転機構で構成した事例を示している。【００２６】レーザ光源部５から出たレーザ光は、レーザ光を直角に偏向させてかつ、回転または振動動作により偏向軌跡を描画する機能を有しているレーザ光偏向部１６により管状物内壁面に対して偏向軌跡を描画することが出来る。【００２７】管状物切断面検査装置の設置された位置の誤差を修正するために、本事例ではＸ′軸周り回転機構７と、Ｙ′軸周り回転機構９と、Ｚ′軸周り回転機構１１を持っており、この３軸の回転機構により、いかなる位置に設置された状態でも設置位置情報に基づき、設置位置のずれを修正して、管状物の中心軸に対して常に指定された角度を持つ偏向軌跡を描画することが可能となる。【００２８】本図の事例においても、請求項４に示したように１軸を光学的な偏向機構すなわち、光学的偏角生成機能としてのＡＯＭ部１３と共役光学系１４で置き換えることが出来る。【００２９】次に、管状物の内部に設置された管状物切断面検査装置１が、設置された位置のずれを修正する機構の一例について、図に従って説明を進める。【００３０】図５は管状物内に設置された状態の管状物切断面検査装置１を示した図であり、管状物の座標軸である、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対して管状物切断面検査装置１の座標軸Ｘ′軸、Ｙ′軸、Ｚ′軸がそれぞれ少しずつずれていることをあらわしており、かつまた、管状物切断面検査装置１のＹ′軸周りの回転機構によるレーザ光の回転方向を１０で示している。【００３１】この状態から、管状物切断面検査装置１のＹ′軸周りの回転機構を使用して、管状物の中心軸であるＺ軸に対して、垂直な偏向軌跡の描画を可能とするためには、２種類の動作が考えられ、１つはＺ′軸周りの回転機構を使用する方法であり、もう１つはＸ′軸周りの回転機構を使用する方法である。以下に、各々図を使用して説明を進める。【００３２】図６は、前記Ｘ′軸とＺ′軸で形成される面をＺ軸に一致させる為に、Ｚ′軸周りの回転機構を使用する方法であり、図５の状態からＺ′軸周りの回転を完了した状態を示している。【００３３】この状態では、管状物切断面検査装置１のＸ′軸とＺ′軸で形成される面上に管状物の中心軸であるＺ軸が乗っていることになり、この時点で管状物切断面検査装置１のＹ′軸周りの回転機構を使用することで、管状物の中心軸であるＺ軸に対して垂直な偏向軌跡の描画が可能となっている。【００３４】図７は、Ｘ′軸周りの回転機構を使用して設置位置のずれを修正する方法を説明する図であり、前記Ｘ′軸とＺ′軸で形成される面をＺ軸に一致させる為に、まず管状物切断面検査装置１をＸ′軸周りに回転させようとしている。【００３５】図８が上記動作を完了した時点を示す図であり、Ｘ′軸とＺ′軸で形成される面上に管状物の中心軸であるＺ軸が一致している状態を示している。【００３６】この状態で、前記と同様にＹ′軸周りの回転機構を使用することで、管状物の中心軸である、Ｚ軸に対して垂直な変更軌跡の描画が可能となる。【００３７】以上説明してきたことは、管状物切断面検査装置１の２軸、たとえばＹ′軸周りの回転機構およびＺ′軸周りの回転機構を使用して管状物の中心軸であるＺ軸に対して垂直な変更軌跡を描画する場合であった。【００３８】一方、管状物またはトンネルなどの切断面は必ずしも中心軸に対して垂直ばかりではなく、ある一定の角度を持ったものも存在する。このような垂直以外の切断面の検査を本特許で述べている管状物切断面検査装置１で検査を可能とするためには、管状物切断面検査装置１の３軸の回転機構を使用する必要が生じる。以下に３軸を使用した任意角の切断面検査について説明する。【００３９】図９は３軸の回転機構を使用して管状物の中心軸に対して任意の角度を持つ変更軌跡を描画する機能を説明する図であり、前記Ｘ′軸周りの回転機構を使用して、Ｚ軸に対して垂直な偏向軌跡描画が可能となった状態を示す図である。【００４０】この状態においては、管状物切断面検査装置１のＺ′軸周りの回転方向の設置位置ずれについての修正が出来ていない。すなわち、Ｙ′軸周りの回転の方向が、管状物のＸ軸からＺ′軸周りの回転方向にずれた状態である。この状態でも描画する偏向軌跡が管状物の中心軸に対して垂直なものである限りは、このＺ′軸周りの回転方向の設置位置ずれは問題とはならないが、管状物の中心軸に対して垂直以外の角度、すなわち、Ｙ軸を回転軸として回転した切断面を指定するための偏向軌跡描画に際しては、Ｚ′軸周りの回転による位置修正により、偏向軌跡描画により、任意の角度を持った切断面の指示が可能となる。【００４１】前記の説明においては、切断面の傾きの回転軸をＹ軸としたが、実際にはＸ軸を回転軸とした切断面もありうることになる。【００４２】図１１はこの状態を説明したものであり、ａ１が管状物の中心軸に対して垂直な切断面を表示しているのに対して、ａ２はＹ軸を回転軸として本図では時計方向に角度を持った切断面であり、ａ３はＹ軸を回転軸として反時計方向に角度を持った切断面を示している。【００４３】このような切断面に対しては、前記のように、管状物切断面検査装置１のＹ′軸を管状物のＹ軸に平行にすることで、任意の角度を持った切断面を偏向軌跡を用いて指示することが可能となる。【００４４】ｂ１は同じく管状物の中心軸に対して垂直な切断面を表示しているが、以後の切断面の角度の生成がＸ軸を回転軸として行われることを示す図である。【００４５】ｂ２はｂ１からＸ軸を回転軸として時計回りに回転した状態の切断面をしめしており、ｂ３は同じく反時計周りに回転した状態の切断面を示している。【００４６】この場合の切断面を管状物切断面検査装置１のＹ′軸周りの回転を使用した偏向軌跡で指示可能とするためには、やはり管状物切断面検査装置１のＹ′軸を管状物の座標であるＸ軸に平行にする必要があり、この状態に持ち込むために、管状物切断面検査装置１のＺ′軸周りの回転機構およびＸ′軸周りの回転機構の使用が必要であることがわかる。【００４７】また、本図からわかることとして、管状物などの円形の切断面形状を持つ場合に、中心軸に対して垂直以外の角度を持つ切断面を指定するときには、重力方向すなわち、管状物が設置された時点での鉛直方向および水平方向の指定が必須条件となる。【００４８】本管状物切断面検査装置１を正しく水平に設置することで鉛直方向の保証を行うか、または重力方向の検出器などを用いて鉛直方向の認識を可能としておく必要がある。【００４９】次に、管状物切断面検査装置１の各軸の動作が前記形状比較計算部からどのように見えるのかを図に従って説明する。【００５０】まずはじめに、管状物切断面検査装置１の設置される位置と観測される偏向軌跡形状との関係を明らかにしておく。【００５１】図１２は参照形状入力部から入力された管状物の図面上に切断面形状を表しており、管状物切断面検査装置１の自己座標軸であるＸ′軸およびＹ′軸に対して、原点に正しく位置づけられている。【００５２】管状物切断面検査装置１が管状物の中心軸に対して設置位置がＺ軸上でなおかつ傾きもない状態である場合には、偏向軌跡はまったくこの入力された参照形状と一致することになる。【００５３】図１３は、管状物切断面検査装置１の設置位置のみが管状物の中心軸であるＺ軸から少しずれた状態で、設置角度のずれがない状態での偏向軌跡形状を示している。【００５４】図１４は、前図１３の状態から管状物切断面検査装置１が自己のＹ′軸周りの回転方向に設置角度がずれた状態の偏向軌跡形状を示している。【００５５】図１５は続いて、管状物切断面検査装置１がＺ′軸周りに回転した状態での偏向軌跡形状を示しており、この状態が通常使用される状態での一般的な偏向軌跡形状を現していると考えてよい。【００５６】以下、前記の管状物切断面検査装置１の２軸を使用して管状物の中心軸であるＺ軸に対して垂直な偏向軌跡を描画する場合について、前期の一般的な偏向軌跡形状および参照形状をモデルとして説明を進める。【００５７】図１６は最初に入力された参照形状および偏向軌跡を示している。【００５８】図１７は入力された偏向軌跡を参照形状と比較した上で、偏向軌跡形状の長軸方向および偏向軌跡形状の中心座標を計算する。【００５９】この段階で、管状物切断面検査装置１が設置された位置の、管状物の中心軸であるＺ軸からの位置のずれおよび角度のずれが認識できる。ただし、設置角度のずれについては、プラスマイナスの区別はこの段階では識別できていない。【００６０】図１８は前記２軸を使用した修正動作における、Ｚ′軸周りの回転動作またはＸ′軸周りの回転動作を完了したときの偏向軌跡形状を示す図であり、自己座標であるＸ′軸に対して、偏向軌跡形状の長軸であるＸ′′軸が平行になっていることが分かる。すなわち、前記Ｚ′軸周りの回転動作およびＸ′軸周りの回転動作において、動作を完了するタイミングが、いづれもこの図にあるように偏向軌跡形状の長軸であるＸ′′軸が自己座標軸であるＸ′軸に平行になったときと言える。【００６１】図１９は前図１８に状態から、Ｙ′軸周りの回転機構を使用して、長軸方向の修正を実行した後の状態であり、この修正の段階において、前記の管状物切断面検査装置１の設置傾きのずれのプラスマイナスが不明であることに対する対応を行っている。【００６２】具体的には、図１８の時点からＹ′軸の回転機構を使用して長軸方向の修正を行うときに、最初にＹ′軸方向の回転機構を動作させて、偏向軌跡形状の長軸方向の動きを確認し、長軸方向の寸法が大きな方向に変化する場合には、Ｙ′軸周りの回転機構の回転方向を逆方向に切り替えることで、現在の自己の設置された角度のずれのプラスマイナスを認識することが可能となる。【００６３】図１９は上記のＹ′軸周りの回転機構を使用して修正を完了した時点の偏向軌跡形状を示しており、この段階で、管状物の中心軸に対して垂直な偏向軌跡描画が実現できていることになる。【００６４】図２０は、前記の図１１におけるｂ２およびｂ３の状態に対応する場合を説明する図であり、本管状物切断面検査装置１が正しく水平に設置されていることを前提として、自己の座標であるＸ′軸が鉛直方向と一致している状態であり、それに対して、Ｚ′軸周りの回転機構を使用して、約９０度回転させて、正確に偏向軌跡形状の長軸を自己座標のＹ′軸に一致させた状態を示している。【００６５】図２１はこの状態から、Ｙ′軸周りの回転機構を使用して長軸方向の偏向軌跡形状を修正し、参照形状を同じ円形形状にした状態を示している。【００６６】図１１におけるｂ２およびｂ３に示した、任意角度を持った切断面形状を偏向軌跡で指示するためには、この状態からＹ′軸方向の回転機構を使用して、偏向軌跡を管状物のＸ軸を回転中心として回転することで任意角度を持つ切断面の指示を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施形態に係る管状物切断面検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る、共役光学系の一例を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係る、共役光学系の一例を示す図であり、レーザ光偏角が生成された状態を示している。
【図４】本発明の実施形態に係る、３軸駆動機構の一例を説明する図であり、管状物切断面検査装置のＸ′軸、Ｙ′軸、Ｚ′軸周りの回転機構を示している。
【図５】本発明の実施形態に係る、管状物に設置された管状物切断面検査装置の状態を説明するための図であり、管状物の座標軸である、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸および管状物切断面検査装置の座標軸である、Ｘ′軸、Ｙ′軸、Ｚ′軸を示しており、Ｚ′軸周りの回転により設置位置ずれの修正を行う直前の状態を示している。
【図６】図５の状態から、管状物切断面検査装置のＺ′軸周りの回転を行った後の状態を示す図である。
【図７】図５と同じ状態を示しており、Ｘ′軸周りの回転機構を使用して設置位置ずれの修正を行う直前の状態を示している。
【図８】図７の状態から、管状物切断面検査装置のＸ′軸周りの回転を行った後の状態を示す図である。
【図９】図８と同じ状態を表す図であり、Ｚ′軸周りの回転機構を使用して、設置位置ずれをさらに修正する直前の状態を示している。
【図１０】管状物切断面検査装置のＺ′軸周りの回転を行った後の状態を示す図であり、この状態から、Ｙ′軸周りの回転機構を使用して、管状物のＹ軸を回転軸とした任意の切断面の傾き状態を示すことが可能となる。
【図１１】管状物における各種の切断面の事例を示した図である。
【図１２】参照形状を入力された状態を示す。
【図１３】前記参照形状と、管状物の中心軸に対して、Ｘ軸、Ｙ軸方向にのみずれて設置されたときに観測される偏向軌跡を現している。
【図１４】前記参照形状と、図１３の状態から管状物切断面検査装置がＸ′軸方向に傾いて設置されたときの偏向軌跡を現している。
【図１５】前記参照形状と、図１４の状態から管状物切断面検査装置がＺ′軸周りに回転して設置された状態を示しており、この状態が現実に使用されるときの一般的な状態である。
【図１６】管状物内部に設置された状態で、最初に計測される一般的な偏向軌跡形状と、参照形状を示している。
【図１７】計測された偏向軌跡を参照形状と比較して、長軸方向と偏向軌跡の中心位置を算出した状態を示している。
【図１８】図１７の状態から、管状物切断面検査装置の１軸回転、すなわちＸ′軸周りまたはＺ′軸周りの回転機構で位置のずれの修正を行った後の状態を示した図である。
【図１９】図１８の状態から、管状物切断面検査装置の２番目の回転軸、たとえばＹ′軸周りの回転で設定位置のずれを修正した後の状態を示している図である。
【図２０】図１７の状態からＸ′軸周りの回転機構およびＺ′軸周りの回転機構を使用して、偏向軌跡形状の長軸をＹ′軸と平行に持ち込んだ状態を示している
【図２１】図２０の状態から、Ｙ′軸周りの回転機構を使用して管状物の中心軸に対して垂直の偏向軌跡を描画している状態を意示しており、この状態からやはりＹ′軸周りの回転機構を使用することでＸ軸を回転軸とした任意角度の管状物切断面の描画か可能となっている。
【符号の説明】
【００６８】１．管状物切断面検査装置２．管状物３．管状物内壁面４．レーザ光偏向軌跡５．レーザ光源部６．レーザ光偏角生成部７．Ｘ′軸周り回転機構８．Ｘ′軸周り回転方向９．Ｙ′軸周り回転機構１０．Ｙ′軸周り回転方向１１．Ｚ′軸周り回転機構１２．Ｚ′軸周り回転方向１３．ＡＯＭ部１４．共役光学系１５．レーザ光偏向反射材１６．レーザ光偏向部１７．レーザ光偏向位置１８．偏向角検出部１９．距離計測部２０．軌跡形状計算部２１．参照形状入力部２２．形状比較計算部２３．レーザ光偏角制御部２４．ハーフミラー２５．戻り光集光レンズ２６．戻り光検出器２７．回転反射鏡駆動部２８．振動反射鏡駆動部
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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