(57)【要約】【課題】電気泳動粒子の残留が抑制されるとともに開口率も高く、コントラストの良好な高品質表示が可能な電気泳動表示装置を提供する。【解決手段】電気泳動表示装置を、少なくとも前面電極４が透明な一対の前面電極４と背面電極５を対向させ、この電極間に隔壁７を設けて複数のセル６が構成され、各セルに電気泳動粒子１３と分散液１２とを含む電気泳動分散液１１を収容したものとし、電極に平行な断面におけるセルの形状を、四角形以上の角形で、かつ、異なる方向に延設された隔壁７の壁面は曲率半径Ｒの曲面８を介して連続するものとし、隔壁７の壁面７ａを、前面電極側の隔壁断面幅が背面電極側の隔壁断面幅よりも狭くなるように傾斜させ、この壁面が前面電極となす角度を４５°〜９０°、壁面が背面電極となす角度を９０°〜１３５°の範囲内とし、電気泳動粒子１３の平均粒径ｄを０．０１〜１００μｍの範囲内とし、かつ、曲率半径Ｒとの間にｄ＜Ｒの関係が成立するものとする。【選択図】  図２
2009251215.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも前面電極が透明な一対の前面電極と背面電極を対向させ、該電極間に隔壁を設けて複数のセルを構成し、該セルに電気泳動粒子と分散液とを含む電気泳動分散液を収容した電気泳動表示装置において、
電極に平行な断面におけるセルの形状は四角形以上の角形であり、異なる方向に延設された隔壁の壁面は曲率半径Ｒの曲面を介して連続し、
隔壁の壁面は、前面電極側の隔壁断面幅が背面電極側の隔壁断面幅よりも狭くなるように傾斜しており、隔壁の壁面が前面電極となす角度は４５°〜９０°の範囲内であり、隔壁の壁面が背面電極となす角度は９０°〜１３５°の範囲内であり、
電気泳動粒子の平均粒径ｄは０．０１〜１００μｍの範囲であるとともに、前記曲率半径Ｒとの間にｄ＜Ｒの関係が成立することを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
セルの開口率は２５％以上であることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動粒子と分散液とを含む電気泳動分散液を複数のセルに収容してなる電気泳動表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電気泳動表示装置は、低消費電力化、薄型化、フレキシブル化、メモリー性が可能であることから種々の電子機器、携帯機器や電子ペーパー等への利用が進んでいる。電気泳動表示装置は、基本的には、１対の電極を対向させ、電極間に隔壁を設けて複数のセルを構成し、各セルに電気泳動粒子と分散液とを含む電気泳動分散液を収容したものである。このような電気泳動表示装置としては、電気泳動性が同一で色調、泳動速度が互いに異なる２種の電気泳動素子を分散した電気泳動分散液を使用するもの（特許文献１）、電気泳動性が異なる２種の電気泳動素子を分散した電気泳動分散液を使用するもの（特許文献２）、所望の着色分散液中に１種の電気泳動粒子を分散した電気泳動分散液を使用するもの（特許文献３）が知られている。また、電気泳動粒子と分散液を内包したマイクロカプセルを配列し、１対の電極基板で挟持した構造の電気泳動表示装置（特許文献４）も知られている。
【特許文献１】特開昭６３−５０８８６号公報
【特許文献２】特表平８−５１０７９０号公報
【特許文献３】特開２００２−２０２５３３号公報
【特許文献４】特開２００２−３５７８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
電極間に隔壁を設けて複数のセルを構成した構造の電気泳動表示装置では、表示コントラストを向上させるために、開口率を高めることが要求される。このため、セルを画定する隔壁を薄くするとともに、セルを最密充填することが必要となり、電極に平行な断面におけるセルの形状は、一般に正方形あるいは正六角形とされる。しかし、このようなセル構造では、異なる方向に延設された隔壁が交わって生じる角部がセル内に存在することになり、セル内への電気泳動分散液の充填時の気泡が上記の角部に残留したり、駆動における電圧印加の繰り返しによって上記の角部に電気泳動粒子が残留するようになり、各セルのコントラストが低下するという問題があった。また、このような問題を解消するために、例えば、電極基板に平行な断面におけるセル形状を円形にすると、隔壁の厚みが増大して開口率が低下するという問題があった。
本発明は上述のような実情に鑑みてなされたものであり、電気泳動粒子の残留が抑制されるとともに開口率も高く、コントラストの良好な高品質表示が可能な電気泳動表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
このような目的を達成するために、本発明は、少なくとも前面電極が透明な一対の前面電極と背面電極を対向させ、該電極間に隔壁を設けて複数のセルを構成し、該セルに電気泳動粒子と分散液とを含む電気泳動分散液を収容した電気泳動表示装置において、電極に平行な断面におけるセルの形状は四角形以上の角形であり、異なる方向に延設された隔壁の壁面は曲率半径Ｒの曲面を介して連続し、隔壁の壁面は、前面電極側の隔壁断面幅が背面電極側の隔壁断面幅よりも狭くなるように傾斜しており、隔壁の壁面が前面電極となす角度は４５°〜９０°の範囲内であり、隔壁の壁面が背面電極となす角度は９０°〜１３５°の範囲内であり、電気泳動粒子の平均粒径ｄは０．０１〜１００μｍの範囲であるとともに、前記曲率半径Ｒとの間にｄ＜Ｒの関係が成立するような構成とした。
本発明の他の態様として、セルの開口率は２５％以上であるような構成とした。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、断面が四角形以上の角形であるセルを画定する隔壁は、角部を有することなく曲面を介して連続し、電気泳動粒子の平均粒径が所定の範囲であるとともに、曲面の曲率半径との間に所定の関係が成立するので、駆動における電圧印加の繰り返しによる電気泳動粒子の残留が防止されるとともに、セル内へ電気泳動分散液を充填する際の気泡の残留も防止され、また、隔壁の壁面が傾斜し、壁面と電極とがなす角度が所定の範囲内であるので、前面電極側で高い開口率が得られ、ムラがなくコントラストの良好な高品位表示が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の電気泳動表示装置の一実施形態を示す部分縦断面図であり、図２は図１に示される電気泳動表示装置を構成する隔壁の部分平面図である。図１および図２において、本発明の電気泳動表示装置１は、透明パターン電極（前面電極）４を一方の面に備えた透明基材２と、透明パターン電極（背面電極）５を一方の面に備えた透明基材３と、を隔壁７を介して対向させたものである。隔壁７は対向する透明パターン電極４と透明パターン電極５との間に複数のセル６を画定するものであり、各セル６中には、電気泳動粒子１３と分散液１２とを含む電気泳動分散液１１が収容されている。この電気泳動表示装置１では、透明パターン電極４を一方の面に備えた透明基材２側が表示認識者側となる。
【０００７】
電気泳動表示装置１を構成する隔壁７は、透明パターン電極４と透明パターン電極５に平行な断面におけるセル６の形状が四角形以上の角形となるように形成されている。図２に示される隔壁７は、セル６の形状が正方形となるように形成されている。また、図２に示されるように、本発明では、異なる方向に延設された隔壁７の壁面は、鎖線で示すような９０°の角部を有することなく、曲面８を介して連続している。そして、この曲面８の曲率半径Ｒは、電気泳動粒子１３の平均粒径ｄとの間にｄ＜Ｒの関係が成立するものである。曲率半径Ｒと平均粒径ｄとの間にｄ＜Ｒの関係が成立しない場合、隔壁７が異なる方向に屈曲する箇所に存在する曲面８に、電気泳動粒子１３が残留し易く、安定した表示を得ることが難しくなる。尚、曲率半径Ｒの上限は、開口率を考慮して適宜設定することができ、例えば、１０ｍｍ、好ましくは１ｍｍ程度とすることができる。尚、本発明における曲率半径Ｒは、フィゾー型の干渉計を用いた曲率半径測定方法を用いて測定した値とする。
【０００８】
また、隔壁７は、図１に示されるように、その壁面７ａが、透明パターン電極（前面電極）４側の隔壁断面幅が透明パターン電極（背面電極）５側の隔壁断面幅よりも狭くなるように傾斜している。そして、隔壁７の壁面７ａが透明パターン電極（前面電極）４となす角度θ１は４５°〜９０°の範囲内であり、隔壁７の壁面７ａが透明パターン電極（背面電極）５となす角度θ２は９０°〜１３５°の範囲内である。上記の角度θ１が４５°未満であると、透明パターン電極４と隔壁７の壁面７ａとがなす角部に電気泳動粒子１３が集まり易く、粒子濃度が変化して表示ムラの要因となる。また、上記の角度θ２が１３５°を超えると、電極４，５に平行な断面におけるセル６の面積が透明パターン電極４側とパターン電極５側とで大きく異なり、セル６内に充填した電気泳動粒子１３の厚みに傾斜（セル６の中央部の厚みに比べて周辺部の厚みが小さくなる）が発生し、表示ムラの要因となる。
【０００９】
尚、隔壁７の壁面７ａが平面である場合、図１に示されるように、隔壁７の断面は台形となるが、これに限定するものではない。すなわち、隔壁７の壁面７ａがセル６側に突出した凸曲面、あるいは、隔壁側に凹んだ凹曲面であってもよい。このように隔壁７の壁面７ａが曲面の場合、上記の角度θ１、θ２は、壁面７ａが電極４，５から立ち上がる箇所の曲面の接線と電極４，５とがなす角である。また、このような隔壁７は、透明パターン電極（前面電極）４側の断面幅が１〜１０００μｍ、好ましくは１０〜１００μｍの範囲となるように設定することができる。
本発明では、隔壁７によって画定されるセル６の開口率は２５％以上、好ましくは６０％以上とする。また、個々のセル６の開口面積は、例えば、１×１０-3〜１ｍｍ2の範囲、セル６の容積は、例えば、１×１０-6〜１ｍｍ3の範囲とすることができる。
【００１０】
ここで、本発明における開口率とは、隔壁７の透明パターン電極（前面電極）４側の端面に占める開口部の率である。本発明では隔壁７の壁面７ａが傾斜しているため、透明パターン電極４側とパターン電極５側とで開口率が異なる。本発明では、表示認識者側、すなわち、透明パターン電極（前面電極）４側の開口率が上記の範囲を満足することが好ましい。
電気泳動表示装置１を構成する電気泳動粒子１３は、その平均粒径ｄが０．０１〜１０００μｍ、好ましくは０．１〜１０μｍの範囲である。また、上述のように、曲率半径Ｒとの間にはｄ＜Ｒの関係が成立するものである。平均粒径ｄが０．０１μｍ未満であると、電気泳動粒子１３が凝集して、隔壁７が異なる方向に屈曲する箇所に残留し易くなり、１００μｍを超えると、電気泳動粒子１３が大き過ぎて、全体に隙間が多くコントラストのムラが生じて好ましくない。また、平均粒径ｄと曲率半径Ｒとの間にｄ＜Ｒの関係が成立しない場合、隔壁７が異なる方向に屈曲する箇所に存在する曲面８に、電気泳動粒子１３が残留し易く、安定した表示を得ることが難しくなる。
【００１１】
尚、本発明では、電気泳動表示装置の用途に応じて、対向する電極の一方、あるいは両方をパターン電極ではなく、表示画面の全面に設けられた電極としてもよい。
また、上述の実施形態では、セル６の形状が正方形となるように隔壁７が形成されているが、図３に示すように、セル６の形状が正六角形となるように隔壁７が形成されたものであってもよい。この場合も、異なる方向に延設された隔壁７の壁面は、鎖線で示すような１２０°の角部を有することなく、曲面８を介して連続しており、この曲面の曲率半径Ｒの上限も、開口率を考慮して適宜設定することができ、例えば、１０ｍｍ、好ましくは１ｍｍ程度とすることができる。
【００１２】
次に、本発明の電気泳動表示装置を構成する各部材の材料等について説明する。
透明基材２，３は、例えば、ガラス基材、透明樹脂基材等を使用することができ、厚みは１０μｍ〜５ｍｍ、好ましくは２５〜２００μｍの範囲で適宜設定することができる。尚、表示認識者から見て背面に位置する透明基材３を、不透明な基材とすることもできる。この場合、不透明な基材として、電極面とは異なるもう一方の面を粗面化した不透明なガラス基材、あるいは、電極面とは異なるもう一方の面に金属膜を蒸着した不透明なガラス基材、染料または顔料を練り込んだ不透明樹脂基材等を使用することができる。また、このような不透明な基材上に形成される電極も、下記のような透明電極でなく、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ等の金属電極であってもよい。
透明パターン電極４，５は、それぞれ図示していない電圧印加装置に接続され、例えば、印加電圧１〜５００Ｖの範囲で任意に電極の電荷を制御可能とされている。このような透明パターン電極４，５は、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ）等を用いて、スパッタリング、真空蒸着法、ＣＶＤ法等の一般的な成膜方法により形成することができる。
【００１３】
電気泳動表示装置１を構成する隔壁７は、感光性樹脂材料を用いて形成することができる。例えば、図２に示されるような形状の隔壁７をポジ型の感光性樹脂材料を用いて形成する場合には、図４に示されるような露光マスクを用いて露光を行うことができる。図４に示される露光マスク２１では、格子状の遮光部２２を有し、遮光部２２の交差する箇所には、光透過部２３側に張り出すように微細遮光部２４が設けられている。この微細遮光部２４の寸法ｓは解像限界以下の微小なものであるため、露光マスク２１を介したポジ型感光性樹脂材料の露光によって、壁面が曲面８を介して連続するような隔壁７を形成することができる。また、ポジ型感光性樹脂材料の深さ方向での露光量が低下することを利用して、隔壁７の壁面７ａを傾斜させることができる。この場合、露光マスク２１に近接する側で隔壁７の断面厚みが小さくなり、ポジ型感光性樹脂材料の深さ方向に向って隔壁７の断面厚みが次第に大きくなる。したがって、ポジ型の感光性樹脂材料を用いて隔壁７を形成する場合には、透明パターン電極５を一方の面に備えた透明基材３に隔壁７を形成し、電気泳動分散液１１の充填を行った後、透明パターン電極４を一方の面に備えた透明基材２と隔壁７とを粘着剤を介して固着することが好ましい。
【００１４】
一方、図２に示されるような形状の隔壁７をネガ型の感光性樹脂材料を用いて形成する場合には、図４に示されるような露光マスクの遮光部２２、微細遮光部２４と光透過部２３とを逆にした露光マスクを使用して露光を行うことができる。この場合、感光性樹脂材料の深さ方向での露光量低下により、露光マスク２１に近接する側で隔壁７の断面厚みが大きくなり、ネガ型感光性樹脂材料の深さ方向に向って隔壁７の断面厚みが次第に小さくなる。したがって、ネガ型の感光性樹脂材料を用いて隔壁７を形成する場合には、透明パターン電極４を一方の面に備えた透明基材２に隔壁７を形成し、電気泳動分散液１１の充填を行った後、透明パターン電極５を一方の面に備えた透明基材３と隔壁７とを粘着剤を介して固着することが好ましい。
【００１５】
電気泳動分散液１１を構成する分散液１２は、例えば、芳香族炭化水素として、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、ドデシルベンゼン等のアルキルベンゼン誘導体、フェニルキシリルエタン、１，１−ジトリルエタン、１，２−ジトリルエタン、１，２−ビス（３，４−ジメチルフェニルエタン）（ＢＤＭＦ）等のジアリルアルカン誘導体、ジイソプロピルナフタレン等のアルキルナフタレン誘導体、モノイソプロピルフェニル、イソプロピルフェニル、イソアミルビフェニル等のアルキルビフェニル誘導体、各種割合にて水素化されたターフェニル誘導体、ジベンジルトルエン等のトリアリルジメタン誘導体、ベンジルナフタレン誘導体、フェニレンオキサイド誘導体、ジアルリアルキレン誘導体、アリルインダン誘導体、ポリ塩素化ビフェニル誘導体、ナフテン系炭化水素等が挙げられる。また、ヘキサン、シクロヘキサン、ケロシン、アイソバー、パラフィン系炭化水素等の脂肪族炭化水素類、クロロホルム、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、トリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン、ジクロロメタン、臭化エチル等のハロゲン化炭化水素類、リン酸トリクレジル、リン酸トリオクチル、リン酸オクチルジフェニル、リン酸トリシクロヘキシル等のリン酸エステル類、フタル酸ジブチル、フタル酸ジオクチル、フタル酸ジウラシル、フタル酸ジシクロヘキシル等のフタル酸エステル類、オレイン酸ブチル、ジエチレングリコールジベンゾエート、セバシン酸ジオクチル、セバシン酸ジブチル、アジピン酸ジオクチル、トリメリット酸トリオクチル、クエン酸アセチルトリエチル、マレイン酸オクチル、マレイン酸ジブチル、酢酸エチル等のカルボン酸エステル類、塩素化パラフィン、Ｎ，Ｎ−ジブチル−２−ブトキシ−５−ターシャリオクチルアニリン等が挙げられる。また、本発明においては、上記の分散液を単独で、または、２種以上を混合して使用することができる。
【００１６】
さらに、これらの分散液に、スピリットブラック（ＳＢ、ＳＳＢＢ、ＡＢ）、ニグロシンベース（ＳＡ、ＳＡＰ、ＳＡＰＬ、ＥＥ、ＥＥＬ、ＥＸ、ＥＸＢＰ、ＥＢ）、オイルイエロー（１０５、１０７、１２９、３Ｇ、ＧＧＳ）、オイルオレンジ（２０１、ＰＳ、ＰＲ）、ファーストオレンジ、オイルレッド（５Ｂ、ＲＲ、ＯＧ）、オイルスカーレット、オイルピンク３１２、オイルバイオレット＃７３０、マクロレックスブルーＲＲ、スミブラストグリーンＧ、オイルブラウン（ＧＲ、４１６）、スーダンブラックＸ６０、オイルグリーン（５０２、ＢＧ）、オイルブルー（６１３、２Ｎ、ＢＯＳ）、オイルブラック（ＨＢＢ、８６０、ＢＳ）、バリファーストイエロー（１１０１、１１０５、３１０８、４１２０）、バリファーストオレンジ（３２０９、３２１０）、バリファーストレッド（１３０６、１３５５、２３０３、３３０４、３３０６、３３２０）、バリファーストピンク２３１０Ｎ、バリファーストブラウン（２４０２、３４０５）、バリファーストブルー（３４０５、１５０１、１６０３、１６０５、１６０７、２６０６、２６１０）、バリファーストバイオレット（１７０１、１７０２）、バリファーストブラック（１８０２、１８０７、３８０４、３８１０、３８２０、３８３０）等の染料を適宜選択して含有させることにより、イエロー、マゼンタ、シアンの各色の分散液とすることができる。
【００１７】
電気泳動分散液１１を構成する電気泳動粒子１３としては、有色または無色（白色）の無機顔料粒子、有機顔料粒子を用いることが可能である。無機顔料粒子としては、鉛白、亜鉛華、リトポン、二酸化チタン、硫化亜鉛、酸化アンチモン、炭酸カルシウム、カオリン、雲母、硫酸バリウム、グロスホワイト、アルミナホワイト、タルク、シリカ、ケイ酸カルシウム、カドミウムイエロー、カドミウムリトポンホワイト、黄色酸化鉄、チタンイエロー、チタンバリウムイエロー、カドミウムオレンジ、カドミウムリトポンオレンジ、モリブデートオレンジ、ベンガラ、鉛丹、銀朱、カドミウムレッド、カドミウムリトポンレッド、アンバー、褐色酸化鉄、亜鉛鉄クロムブラウン、クロムグリーン、酸化クロム、ピリジアン、コバルトグリーン、コバルトクロムグリーン、チタンコバルトグリーン、紺青、コバルトブルー、群青、セルリアンブルー、コバルトアルミニウムクロムブルー、コバルトバイオレット、ミネラルバイオレット、カーボンブラック、鉄黒、マンガンフェライトブラック、コバルトフェライトブラック、銅クロムブラック、銅クロムマンガンブラック、黒色低次酸化チタン（チタンブラック）、アルミニウム粉、銅粉、鉛粉、錫粉、亜鉛粉等を使用することができる。また、有機顔料粒子としては、ファストイエロー、ジスアゾイエロー、縮合アゾイエロー、アントラピリミジンイエロー、イソインドリンイエロー、銅アゾメチンイエロー、キノフタロインイエロー、ベンズイミダゾロンイエロー、ニッケルジオキシムイエロー、モノアゾイエローレーキ、ジニトロアニリンオレンジ、ピラゾロンオレンジ、ペリノンオレンジ、ナフトールレッド、トルイジンレッド、パーマネントカーミン、ブリリアントファストスカーレッド、ピラゾロンレッド、ローダミン６Ｇレーキ、パーマネントレッド、リソールレッド、ボンレーキレッド、レーキレッド、ブリリアントカーミン、ボルドー１０Ｂ、ナフトールレッド、キナクリドンマゼンタ、縮合アゾレッド、ナフトールカーミン、ペリレンスカーレッド、縮合アゾスカーレッド、ベンズイミダゾロンカーミン、アントラキノニルレッド、ペリレンレッド、ペリレンマルーン、キナクリドンマルーン、キナクリドンスカーレッド、キナクリドンレッド、ジケトピロロピロールレッド、ベンズイミダゾロンブラウン、フタロシアニングリーン、ビクトリアブルーレーキ、フタロシアニンブルー、ファストスカイブルー、アルカリブルートーナー、インダントロンブルー、ローダミンＢレーキ、メチルバイオレットレーキ、ジオキサジンバイオレット、ナフトールバイオレット等を使用することができる。また、電気泳動粒子１３として、２種以上の粒子を使用してもよい。
尚、隔壁７によって画定されるセル６への電気泳動分散液１１の充填は、例えば、一方の基材の電極上に隔壁７を形成した後、ダイコート、インクジェット、ディスペンサー等の装置を用いて行うことができる。その後、他方の基材の電極と隔壁７とを粘着剤等を用いて固着することにより、本発明の電気泳動表示装置を製造することができる。
【００１８】
このような本発明の電気泳動表示装置１では、断面が四角形以上の角形であるセル６を画定する隔壁７が、角部を有することなく曲面８を介して連続し、電気泳動粒子１３の平均粒径ｄが所定の範囲であるとともに、曲面８の曲率半径Ｒとの間に所定の関係が成立するので、駆動における電圧印加の繰り返しによる電気泳動粒子１３の残留が防止されるとともに、セル６内へ電気泳動分散液を充填する際の気泡の残留も防止される。また、隔壁７の壁面７ａが傾斜し、壁面７ａと電極４，５とがなす角度が所定の範囲内であるので、前面電極４側で高い開口率が得られ、ムラがなくコントラストの良好な高品位表示が可能である。
尚、上述の本発明の電気泳動表示装置の実施形態は例示であり、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、電極と隔壁との間に絶縁層を介在させたものであってもよい。この場合、絶縁層を形成する絶縁材料は、例えば、ポリイミド系樹脂、ＳｉＯ2、ＳｉＮ4、アクリル系樹脂、ペリレン、フッ素系樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂、石英、エポキシ樹脂、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン等の絶縁材料を挙げることができる。また、このような絶縁層は微量な範囲の電流が流れるものであってもよい。
【実施例】
【００１９】
次に、より具体的な実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
［実施例１］
一方の面に透明電極として酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）蒸着膜を備えた厚さ７０２μｍのガラス基材（コーニング社製  ７０５９ガラス）を２枚準備した。
一方のガラス基材の透明電極上に、ポジ型感光性樹脂材料（日立化成工業（株）製のドライフィルム（厚さ３０μｍ））をラミネートし、２００℃、６０分間の条件でプリベークした。次いで、図４に示されるような露光マスク（遮光部の幅：１００μｍ、微細遮光部の寸法ｓ：２μｍ、遮光部のピッチ：１０００μｍ）を使用して露光（露光量３００ｍＪ／ｃｍ2）し、その後、０．０５％ＫＯＨ水溶液を用いたスプレー現像を６０秒行い、次いで、２００℃、６０分間の条件でポストベークすることで、隔壁を形成した。
【００２０】
形成された隔壁の壁面は、図１に示すような頂部側が薄く透明電極側が厚い台形断面をなすように傾斜しており、また、隔壁の平面形状は、図２に示すような形状であった。そして、隔壁の基部の壁面が電極となす角度θ２（図１参照）は１００°であり、また、隔壁の頂部の壁面が電極と平行な平面となす角度θ１（図１参照）は８０°であった。
また、図２に示すように、異なる方向に延設された隔壁の壁面は曲面を介して連続するものであり、曲面の曲率半径Ｒは１．２〜１．４ｍｍの範囲にあった。尚、曲率半径Ｒはフィゾー型の干渉計を用いて測定した。
尚、隔壁によって画定されるセルの開口率は約８５％であり、個々のセルの開口面積は約０．８ｍｍ2であり、セルの容積は約２．４×１０-2ｍｍ3であった。
次いで、形成した隔壁の頂部平面に、粘着剤（日本合成化学（株）製  コーポニール）をスクリーン印刷法により塗布し乾燥して、粘着層（厚み５μｍ）を形成した。
【００２１】
次に、下記の組成の電気泳動分散液をダイコータを用いて各セルに充填した。各セルにおける電気泳動粒子の個数は、１０6オーダー個であった。尚、使用した電気泳動粒子の平均粒径ｄ（＝２μｍ）と上記の曲率半径Ｒ（＝１２００〜１４００μｍ）との間にはｄ＜Ｒの関係が成立する。
（電気泳動分散液）
・電気泳動粒子（二酸化チタン、平均粒径２μｍ）    …    ６０重量部
・分散液（アイソパー）                            …    ４０重量部
【００２２】
次いで、他方のガラス基材の透明電極を、隔壁の頂部に形成した粘着層に圧着することのより、隔壁と他方のガラス基板を固着して電気泳動表示装置を得た。
この電気泳動表示装置について、電極間に５０Ｖの直流電圧を１秒間隔で１００回印加（通電時間５０秒）した。そして、図２に示すような異なる方向に延設された隔壁の屈曲部（曲面）における電気泳動粒子の残留個数をレーザー顕微鏡を用いて計測した結果、１０3オーダーの個数であった。
【００２３】
［実施例２］
電気泳動粒子として、平均粒径１０μｍの二酸化チタンを用いた他は、実施例と同様にして、電気泳動表示装置を作製した。尚、使用した電気泳動粒子の平均粒径ｄ（＝１０μｍ）と上記の曲率半径Ｒ（＝１２００〜１４００μｍ）との間にはｄ＜Ｒの関係が成立する。
この電気泳動表示装置について、実施例と同様にして、電極間に直流電圧を１００回印加した後、異なる方向に延設された隔壁の屈曲部（曲面）における電気泳動粒子の残留個数を実施例と同様にして計測した結果、１０2オーダーの個数であった。
【００２４】
［実施例３］
露光条件を、露光量５００ｍＪ／ｃｍ2とした他は、実施例１と同様にして隔壁を形成した。
形成された隔壁の壁面は、頂部側が薄く透明電極側が厚い断面をなすように傾斜しており、また、隔壁の平面形状は、図２に示すような形状であった。そして、隔壁の基部の壁面が電極となす角度θ２（図１参照）は１２０°であり、また、隔壁の頂部の壁面が電極と平行な平面となす角度θ１（図１参照）は６０°であった。
また、図２に示すように、異なる方向に延設された隔壁の壁面は曲面を介して連続するものであり、曲面の曲率半径Ｒは０．８〜１．０ｍｍの範囲にあった。
尚、隔壁によって画定されるセルの開口率は約７０％であり、個々のセルの開口面積は約０．６ｍｍ2であり、セルの容積は約２．０×１０-2ｍｍ3であった。
その後、実施例と同様にして、電気泳動表示装置を作製した。
この電気泳動表示装置について、実施例と同様にして、電極間に直流電圧を１００回印加した後、異なる方向に延設された隔壁の屈曲部（曲面）における電気泳動粒子の残留個数を実施例と同様にして計測した結果、１０3オーダーの個数であった。
【００２５】
［実施例４］
露光条件を、露光量１０００ｍＪ／ｃｍ2とした他は、実施例１と同様にして隔壁を形成した。
形成された隔壁の壁面は、頂部側が薄く透明電極側が厚い断面をなすように傾斜しており、また、隔壁の平面形状は、図２に示すような形状であった。そして、隔壁の基部の壁面が電極となす角度θ２（図１参照）は１３５°であり、また、隔壁の頂部の壁面が電極と平行な平面となす角度θ１（図１参照）は４５°であった。
また、図２に示すように、異なる方向に延設された隔壁の壁面は曲面を介して連続するものであり、曲面の曲率半径Ｒは１．２〜１．４ｍｍの範囲にあった。
尚、隔壁によって画定されるセルの開口率は約６５％であり、個々のセルの開口面積は約０．５ｍｍ2であり、セルの容積は約１．６×１０-2ｍｍ3であった。
その後、実施例と同様にして、電気泳動表示装置を作製した。
この電気泳動表示装置について、実施例と同様にして、電極間に直流電圧を１００回印加した後、異なる方向に延設された隔壁の屈曲部（曲面）における電気泳動粒子の残留個数を実施例と同様にして計測した結果、１０3オーダーの個数であった。
【００２６】
［比較例１］
露光マスクとして、実施例で使用した露光マスクの微細遮光部を備えていないもの（遮光部の幅：１００μｍ、遮光部のピッチ：１０００μｍ）を使用した他は、実施例１と同様にして隔壁を形成した。この隔壁は、異なる方向の隔壁が交差する箇所に９０°の角部が存在するものであった。
その後、実施例と同様にして、電気泳動表示装置を作製した。
この電気泳動表示装置について、実施例と同様にして、電極間に直流電圧を１００回印加した後、異なる方向に延設された隔壁の屈曲部（９０°の角部）における電気泳動粒子の残留個数を実施例と同様にして計測した結果、１０5オーダーの個数であり、実施例１〜４に比べて格段に多いものであった。
【００２７】
［比較例２］
電気泳動粒子として、平均粒径２０μｍの二酸化チタンを用いた他は、実施例と同様にして、電気泳動表示装置を作製した。尚、使用した電気泳動粒子の平均粒径ｄ（＝２０μｍ）は、上記の曲率半径Ｒ（＝１２００〜１４００μｍ）との間にｄ<Ｒの関係が成立しないものであった。
この電気泳動表示装置について、実施例と同様にして、電極間に直流電圧を１００回印加した後、異なる方向に延設された隔壁の屈曲部（曲面）における電気泳動粒子の残留個数を実施例と同様にして計測した結果、１０4オーダーの個数であり、実施例１〜４に比べて格段に多いものであった。
【００２８】
［比較例３］
露光条件を、露光量１００ｍＪ／ｃｍ2とした他は、実施例１と同様にして隔壁を形成した。
形成された隔壁の壁面は、頂部側が薄く透明電極側が厚い断面をなすように傾斜しており、また、隔壁の平面形状は、図２に示すような形状であった。そして、隔壁の基部の壁面が電極となす角度θ２（図１参照）は１４５°であり、また、隔壁の頂部の壁面が電極と平行な平面となす角度θ１（図１参照）は３５°であった。
また、図２に示すように、異なる方向に延設された隔壁の壁面は曲面を介して連続するものであり、曲面の曲率半径Ｒは１．２〜１．４ｍｍの範囲にあった。
尚、隔壁によって画定されるセルの開口率は約２５％であり、個々のセルの開口面積は約０．２ｍｍ2であり、セルの容積は約０．７×１０-2ｍｍ3であった。
その後、実施例と同様にして、電気泳動表示装置を作製した。
この電気泳動表示装置について、実施例と同様にして、電極間に直流電圧を１００回印加した後、異なる方向に延設された隔壁の屈曲部（曲面）における電気泳動粒子の残留個数を実施例と同様にして計測した結果、１０4オーダーの個数であり、実施例１〜４に比べて格段に多いものであった。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
電気泳動を利用した表示装置の用途に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の電気泳動表示装置の一実施形態を示す部分縦断面図である。
【図２】図１に示される電気泳動表示装置を構成する隔壁の部分平面図である。
【図３】電気泳動表示装置を構成する隔壁の他の例を示す部分平面図である。
【図４】隔壁を形成するための露光マスクの一例を示す部分平面図である。
【図５】従来の隔壁を形成するための露光マスクの一例を示す部分平面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１…電気泳動表示装置
２，３…透明基材
４，５…透明パターン電極
６…セル
７…隔壁
８…曲面
１１…電気泳動分散液
１２…分散液
１３…電気泳動粒子
２１，３１…露光マスク
【図１】
2009251215.tif 000003
【図２】
2009251215.tif 000004
【図３】
2009251215.tif 000005
【図４】
2009251215.tif 000006
【図５】
2009251215.tif 000007