(57)【要約】【課題】シート剥離装置及び剥離方法を提供すること。【解決手段】接着シートＳが貼付された半導体ウエハ等の被着体Ｗを支持するテーブル１１と、接着シートＳ上に剥離用テープＴを繰り出す繰出手段１２と、剥離用テープＴを接着手段１４と接着シートＳとの間に案内する案内手段１３と、剥離用テープＴのリード端側を接着シートＳに沿わせる姿勢維持手段１６と、剥離用テープＴを接着シートＳに接着させる接着手段１４とを備えてシート剥離装置１０が構成されている。繰出手段１２は、剥離用テープＴを繰り出す繰出方向と、この繰出方向の反対方向に回転可能な一対のローラからなる剥離手段１５を含んで構成されており、支持手段１１と相対移動するときに、剥離用テープＴ及び／又は接着シートＳを繰出方向の反対方向に回転して送り出すように接着シートＳを剥離する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートが貼付された被着体の支持手段と、前記接着シート上に剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記剥離用テープを接着シートに接着する接着手段とを含み、前記繰出手段と支持手段との相対移動によって前記剥離用テープを介して接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記繰出手段は、前記剥離用テープを挟み込むとともに、当該剥離用テープを繰り出す繰出方向と、この繰出方向の反対方向に回転可能な少なくとも一対のローラからなる剥離手段を含んで構成され、前記相対移動時に、前記ローラが繰出方向の反対方向に回転することで、前記剥離用テープ及び／又は接着シートを送り出して前記接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記接着シートを剥離する際の剥離角度を一定に維持する剥離補助手段を含むことを特徴とする請求項１記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記接着シートに接着した剥離用テープの繰出方向上流側で、当該剥離用テープを切断するテープ切断手段を更に含み、前記被着体から剥離された接着シートと、これに接着した剥離用テープが廃棄可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート剥離装置。
【請求項４】
被着体に貼付された接着シート上に繰出手段を介して剥離用テープを繰り出すとともに、接着手段を介して剥離用テープを接着シートに接着した後、前記繰出手段と被着体を支持するテーブルとを相対移動させることで前記接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記繰出手段が剥離用テープを挟み込んで接着シート側に繰り出した状態で、剥離用テープを接着シートに接着し、次いで、前記繰出手段が剥離用テープを繰り出す方向と反対の方向に駆動しながら前記支持手段と相対移動することで前記接着シートが剥離されることを特徴とするシート剥離方法。
【請求項５】
前記接着シートに沿う位置に剥離補助手段を位置させて剥離角度を一定に維持しながら前記接着シートの剥離を行うことを特徴とする請求項４記載のシート剥離方法。
【請求項６】
前記接着シートを被着体から剥離したときに、前記接着シートに接着する剥離用テープの繰出方向上流側を切断し、前記接着シートとこれに接着する剥離用テープを廃棄することを特徴とする請求項４又は５記載のシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、特に、半導体ウエハ等の被着体に貼付された保護シートを剥離することに適したシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程においては、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）の裏面研削等、種々の処理を施すために、ウエハの表面（回路形成面）に保護シート等の接着シートを貼り付け、所定の処理を完了した後に、接着シートをウエハから剥離する工程が採用されている。
【０００３】
前記接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に示されるように、剥離用テープを接着シートの端部に溶着し、当該剥離用テープを保持する剥がしヘッドとウエハを支持するテーブルとを相対移動させることによって前記接着シートをウエハから剥離する構成が知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された剥離装置にあっては、剥がしヘッドが剥離用テープを保持した状態で、当該剥離用テープに引張力を継続的に付与して接着シートの剥離を行う構成であるため、剥離用テープが接着シートへの接着箇所から剥がれてしまったり、剥離用シートが途中で切断されてしまう場合があり、これによって接着シートの剥離不良をもたらす、という不都合がある。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離用テープに対して極力引張力を付与することをなくし、接着シートから剥離用テープが剥がれたり、途中で切断されてしまうような不都合を防止して接着シートの剥離不良を回避することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、接着シートが貼付された被着体の支持手段と、前記接着シート上に剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記剥離用テープを接着シートに接着する接着手段とを含み、前記繰出手段と支持手段との相対移動によって前記剥離用テープを介して接着シートを剥離するシート剥離装置において、前記繰出手段は、前記剥離用テープを挟み込むとともに、当該剥離用テープを繰り出す繰出方向と、この繰出方向の反対方向に回転可能な少なくとも一対のローラからなる剥離手段を含んで構成され、前記相対移動時に、前記ローラが繰出方向の反対方向に回転することで、前記剥離用テープ及び／又は接着シートを送り出して前記接着シートを剥離する、という構成を採っている。
【０００８】
本発明において、前記接着シートを剥離する際の剥離角度を一定に維持する剥離補助手段を含む構成を採用することができる。
【０００９】
また、前記接着シートに接着した剥離用テープの繰出方向上流側で、当該剥離用テープを切断するテープ切断手段を更に含み、前記被着体から剥離された接着シートと、これに接着した剥離用テープが廃棄可能に設けられる、という構成を採っている。
【００１０】
また、本発明は、被着体に貼付された接着シート上に繰出手段を介して剥離用テープを繰り出すとともに、接着手段を介して剥離用テープを接着シートに接着した後、前記繰出手段と被着体を支持するテーブルとを相対移動させることで前記接着シートを剥離するシート剥離方法において、前記繰出手段が剥離用テープを挟み込んで接着シート側に繰り出した状態で、剥離用テープを接着シートに接着し、次いで、前記繰出手段が剥離用テープを繰り出す方向と反対の方向に駆動しながら前記支持手段と相対移動することで前記接着シートが剥離される、という手法を採っている。
【００１１】
前記シート剥離方法において、前記接着シートに沿う位置に剥離補助手段を位置させて剥離角度を一定に維持しながら前記接着シートの剥離を行うことができる。
【００１２】
また、前記接着シートを被着体から剥離したときに、前記接着シートに接着する剥離用テープの繰出方向上流側を切断し、前記接着シートとこれに接着する剥離用テープを廃棄する手法を採っている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、繰出手段を構成する剥離手段が剥離用テープを繰り出すとともに、剥離用テープ及び／又は接着シートを繰出方向と反対方向に送り出すように回転して被着体から接着シートを剥離するという構成としたから、剥離用テープは剥離初期段階でのみ一対のローラによって引っ張られ、その後は接着シートが一対のローラによって送り出されるように引っ張られて剥離が行われる。つまり、剥離用シートは剥離力の軽い剥離初期段階でのみに引っ張られることとなるので、剥離用シートの接着部分が接着シートから剥がれてしまったり、剥離用テープが切断されたりするような不都合は生じなくなる。
また、剥離補助手段によって接着シートの剥離角度が一定に維持されるので、剥離を安定的に行うことができるとともに、接着シートを押さえるように剥離補助手段を位置させることで、被着体の浮き上がりを防止することができる。
更に、切断手段を備えた構成では、被着体に貼付された接着シートを剥離する毎に、当該接着シートとこれに接着した剥離用テープを廃棄することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１には、本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示され、図２には、その要部拡大正面図が示されている。これらの図において、シート剥離装置１０は、接着シートＳが貼付された被着体としてのウエハＷを支持するテーブル（支持手段）１１と、感熱接着性の剥離用テープＴを繰り出す繰出手段１２と、この繰出手段１２から繰り出された剥離用テープＴを案内する案内手段１３と、剥離用テープＴのリード端側を接着シートＳに沿わせる姿勢維持手段１６と、剥離用テープＴのリード端側を接着シートＳに接着させる接着手段１４と、接着シートＳに接着した剥離用テープＴを介して接着シートＳをウエハＷから剥離する際に用いられる剥離補助手段としての補助ローラ６０とを備えて構成されている。
【００１６】
前記テーブル１１は、上面側が吸着面とされてウエハＷを固定的に保持するように構成され、図示しない移動手段を介して図１中左右方向に移動可能に設けられている。
【００１７】
前記繰出手段１２は、帯状に巻回された剥離用テープＴを支持する支持軸１７と、正逆回転可能なモータＭを介して回転可能に設けられた駆動ローラ１８と、当該駆動ローラ１８に対して図示しない駆動手段によって離間接近可能に設けられているとともに、駆動ローラ１８との間に剥離用テープＴを挟み込むピンチローラ１９とにより構成されている。支持軸１７は、板状のフレームＦに回転可能に支持されている一方、モータＭ、駆動ローラ１８及びピンチローラ１９は、図示しない移動手段を介して図１中左右方向に移動可能に設けられたフレームＦ１に支持され、これらモータＭ、駆動ローラ１８、ピンチローラ１９及びフレームＦ１によって剥離手段１５が形成される。ここで、駆動ローラ１８及びピンチローラ１９は、剥離用テープＴを挟み込んでそれらの回転によって剥離用テープＴのリード端側を接着シートＳの上部方向へ繰り出す一方、前記テーブル１１に対して左方向に相対移動するときに、剥離用テープＴの繰出方向の反対方向に回転することで、ウエハＷから接着シートＳを剥離する一対のローラとして構成されている。
【００１８】
前記案内手段１３は、水平面に対して所定角度傾斜した面内に開口面を有する吸引口２１を備えたケース２２（図３参照）と、このケース２２内に相対配置されたベルトローラ２４、２５と、これらベルトローラ２４、２５間に掛け回された複数のベルト２６と、ケース２２の外側において、ベルトローラ２４の回転軸２７に固定された従動プーリ２８と、ケース２２の上方に配置された正逆回転可能なモータＭ１によって回転駆動される駆動プーリ２９と、これらプーリ２８、２９に掛け回されたベルト３１と、ケース２２内を減圧する図示しない減圧ポンプとを備えて構成されている。ベルト２６は、前記傾斜面に沿って回行するように配置されており、ケース２２内を減圧することで剥離用テープＴが吸引されてベルト２６方向に引き寄せられ、ベルト２６が剥離用テープＴの繰出方向に回転することで、当該剥離用テープＴをベルト２６に沿って繰り出すことが可能となっている。なお、ケース２２は、図示しない移動手段に支持されて上下方向に移動可能に設けられている。
【００１９】
前記接着手段１４は、図２に示されるように、前記ケース２２の外側面に固定されたシリンダ３３と、当該シリンダ３３によって上下方向に進退可能に設けられたヒータ３５を内蔵するヒータヘッド３４からなる。この接着手段１４は、前記案内手段１３を経て接着シートＳの上面側に繰り出された剥離用テープＴのリード端側を前記ヒータヘッド３４で押し付けて加熱することで、剥離用テープＴを接着シートＳに溶着して両者を連結するように構成されている。
【００２０】
前記剥離補助手段としての補助ローラ６０は、当該補助ローラ６０を図１中左右方向及び上下方向に移動可能に支持する図示しない移動手段によって支持されている。この補助ローラ６０は、接着シートＳを剥離する際の剥離角度を一定に維持するとともに、ウエハＷの浮き上がりを規制するようになっている。
【００２１】
前記姿勢維持手段１６は、図示しない空圧ポンプと、当該空圧ポンプに接続されたノズル３７とにより構成されている。ノズル３７の開口部は、案内手段１３から送り出される剥離用テープＴ方向に向けられ、吹き出されたエアは、ケース２２と接着シートＳとの間を吹き抜けるようになっており、剥離用テープＴが意図しない方向に繰り出されないように規制するようになっている。
【００２２】
前記支持軸１７と剥離手段１５との間には、テープ保持手段３８とテープ切断手段３９とが配置されている。テープ保持手段３８は、テープ受け板４０と、このテープ受け板４０を図１中左右方向に進退させるシリンダ４１と、前記テープ受け板４０の上方に配置されたシリンダ４２と、当該シリンダ４２によって上下方向に進退可能な押さえブロック４５とからなる。
【００２３】
前記テープ切断手段３９は、上下用シリンダ４７と、この上下用シリンダ４７の図示しないスライダに取り付けられ、図１中上下方向に移動可能に設けられた切断用シリンダ４９と、当該切断用シリンダ４９のスライダ５０に取り付けられるとともに、図１中紙面直交方向に移動可能に設けられたカッター刃５１とにより構成されている。
【００２４】
次に。本実施形態におけるシート剥離方法について、図４ないし図７をも参照しながら説明する。
【００２５】
先ず、図４に示されるように、カッター刃５１が上方に退避した状態で、剥離手段１５が二点鎖線の位置から実線で示すカッター刃５１の下方に移動し、テープ受け板４０と共に剥離用テープＴのリード端を挟み込む。その後、シリンダ４２、４１の駆動によって押さえブロック４５とテープ受け板４０が二点鎖線で示す位置に退避する。これにより、剥離用シートＴが駆動ローラ１８とピンチローラ１９とで挟み込まれる。この時、案内手段１３は、接着シートＳの外周側に接近した位置で待機する。
【００２６】
剥離手段１５が図４中左側に所定量移動することによって剥離用テープＴが支持軸１７から引き出され、当該剥離手段１５が案内手段１３に近接した位置（図４中二点鎖線位置）に達したときにその移動が停止する。
【００２７】
この状態で駆動ローラ１８が駆動して剥離用テープＴを繰り出す方向に回転することで、当該剥離用テープＴの繰り出しが開始されて案内手段１３側に送り出されることとなる。案内手段１３は、ケース２２の吸引口２１が接着シートＳに向かって次第に接近する傾斜形状に形成されているため、剥離用テープＴは、当該傾斜方向に沿って接着シートＳ側に送り出される。この送り出しは、駆動ローラ１８とピンチローラ１９による繰り出しと、ベルト２６による案内とによって行われることとなり、剥離用テープＴをスムースに送り出すことができる。そして姿勢維持手段１６の吹き出しエアによって剥離用テープＴがヒータヘッド３４と接着シートＳとの間に入り込むように繰り出される。
【００２８】
図１に示されるように、剥離用テープＴの繰り出しでリード端側が接着用のヒータヘッド３４の直下を通過したことが図示しないセンサに検知されると、駆動ローラ１８とベルト２６との駆動が停止されると共に、前記テープ受け板４０と押さえブロック４５とが進行し、剥離用テープＴをテープ受け板４０との間に押さえ付ける。
この状態で、前記接着手段１４のヒータヘッド３４が下降して剥離用テープＴのリード端側部分の近傍を接着シートＳに溶着させ、当該溶着完了後に、案内手段１３が上昇位置に移動する（図５参照）。なお、ヒータヘッド３４による溶着中に、ベルト２６を剥離用テープＴを送り出す方向とは反対の方向に回転させて付勢することで、剥離用テープＴの弛みを確実に防止して、剥離用テープＴが意図しない部位への接着することを回避することができる。
【００２９】
次いで、図５に示されるように、案内手段１３が上方に退避するとともに、補助ローラ６０が接着シートＳの端部まで移動する。その後、剥離手段１５が左側に移動を開始するとともに、テーブル１１が右側に移動を開始し、同時に、駆動ローラ１８が剥離用テープＴを繰出方向の反対方向に回転することで、前記繰出方向と反対方向に剥離用テープＴ及び／又は接着シートＳを送り出すように作用して当該接着シートＳの剥離が開始されることとなる。従って、剥離用テープＴには剥離力の軽い剥離初期段階でのみに引張力が付与されるだけで、駆動ローラ１８とピンチローラ１９とが接着シートＳを挟み込むと、以後は接着シートＳが引っ張られることとなる。
【００３０】
図６に示されるように、剥離手段１５とテーブル１１との相対移動量に対応して剥離が進行し、図７に示されるように、接着シートＳの剥離が完全に完了すると、テープ切断手段３９のカッター刃５１が下降すると共に、当該カッター刃５１が紙面直交方向に移動することで、接着シートＳに接着している剥離用テープＴは、その繰出方向上流側で切断される。
【００３１】
剥離用テープＴが切断されると、当該剥離用テープＴは、下方に位置する図示しない回収ボックス内に回収され、ウエハＷは、図示しない搬送手段によって別工程に搬送される。
【００３２】
そして、剥離手段１５と案内手段１３とは、図４に示される位置に戻って次の繰り出し動作に備えることとなり、以後、同様のサイクルによって剥離用テープＴの繰り出し、溶着、接着シートＳの剥離が繰り返される。
【００３３】
従って、このような実施形態によれば、繰出手段１２を構成する駆動ローラ１８及びピンチローラ１９は、接着シートＳの剥離に際して剥離手段１５として機能し、テーブル１１と相対移動するときに、剥離用テープＴの繰出方向の反対方向に回転して当該剥離用テープＴ及び／又は接着シートＳを送り出す構成であるため、剥離用シートＴは剥離力の軽い剥離初期段階でのみに引っ張られることとなるので、剥離用テープＴの接着部分が接着シートＳから剥がれたり、剥離用テープＴが切断されてしまうようなことはなくなり、剥離不良を生ずることなく接着シートＳの剥離を行うことができる。
【００３４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３５】
例えば、剥離用テープＴは、感熱接着性の接着テープを用いたが、感圧接着性の接着テープであってもよい。この場合、接着手段１４はヒータ３５を設ける必要はなく、接着テープを接着シートＳに押圧するものであれば足りる。
【００３６】
また、前記実施形態では、剥離手段１５が一対のローラを構成する駆動ローラ１８及びピンチローラ１９を含むものとしたが、対をなすローラの数を更に増やすこともできる。
【００３７】
また、剥離補助手段は、前記補助ローラ６０の他に、板状若しくは片状のブレード等を用いてもよい。
【００３８】
更に、被着体は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施形態に係るシート剥離装置の全体構成を示す概略正面図。
【図２】図１の要部拡大正面図。
【図３】案内手段の拡大底面図。
【図４】剥離用テープを繰り出す初期段階を示す概略正面図。
【図５】接着シートの剥離が開始される直前状態を示す概略正面図。
【図６】接着シートの剥離途中を示す概略正面図。
【図７】接着シートの剥離が完了して剥離用テープが切断される状態を示す概略正面図。
【符号の説明】
【００４０】
１０  シート剥離装置
１１  テーブル（支持手段）
１２  繰出手段
１４  接着手段
１５  剥離手段
３９  テープ切断手段
６０  補助ローラ（剥離補助手段）
Ｓ  接着シート
Ｔ  剥離用テープ
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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