(57)【要約】【課題】レンズの加工性がよく、外径が小さく、全長が長く、球面収差、色収差、コマ収差が良く補正され、ｉｎ ｖｉｖｏ観察に適した有限系対物光学系を提供する。【解決手段】物体側から、正パワーの第１群Ｇ１と、接合レンズを含む第２群Ｇ２と、両凸レンズＬ３で構成された第３群Ｇ３と、接合レンズを含む第４群Ｇ４と、正パワーの第５群Ｇ５とで構成され、前記第２群Ｇ２および第４群Ｇ４の接合面が、負の屈折力を持ち、以下の条件式（１）〜（７）を満足する有限系対物光学系１を提供する。（１）  ０．０５＜｜（１／Ｆ２＋１／Ｆ５）／（１／Ｆ１＋１／Ｆ３＋１／Ｆ５）｜＜０．２５、（２）  ν２Ｌ＜７５、（３）  ８＜ν２Ｌ−ν２Ｈ＜３０、（４）  ０．０５＜ｎ２Ｈ−ｎ２Ｌ＜０．１５、（５）  ν４Ｌ＜７５、（６）  ８＜ν４Ｌ−ν４Ｈ＜３０、（７）  ０．０５＜ｎ４Ｈ−ｎ４Ｌ＜０．１５【選択図】図２
2009205007.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から、正パワーの第１群と、接合レンズを含む第２群と、両凸レンズで構成された第３群と、接合レンズを含む第４群と、正パワーの第５群とで構成され、
前記第２群および第４群の接合面が、負の屈折力を持ち、以下の条件式（１）〜（７）を満足する有限系対物光学系。
（１）  ０．０５＜｜（１／Ｆ２＋１／Ｆ５）／（１／Ｆ１＋１／Ｆ３＋１／Ｆ５）｜＜０．２５
（２）  ν２Ｌ＜７５
（３）  ８＜ν２Ｌ−ν２Ｈ＜３０
（４）  ０．０５＜ｎ２Ｈ−ｎ２Ｌ＜０．１５
（５）  ν４Ｌ＜７５
（６）  ８＜ν４Ｌ−ν４Ｈ＜３０
（７）  ０．０５＜ｎ４Ｈ−ｎ４Ｌ＜０．１５
ここで、
Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４，Ｆ５：第１群、第２群、第３群、第４群、第５群の焦点距離、
ｎ２Ｈ：前記第２群の屈折率が高い方のレンズのｄ線の屈折率、
ｎ２Ｌ：前記第２群の屈折率が低い方のレンズのｄ線の屈折率、
ν２Ｈ：前記第２群の屈折率が高い方のレンズのアッベ数、
ν２Ｌ：前記第２群の屈折率が低い方のレンズのアッベ数、
ｎ４Ｈ：前記第４群の屈折率が高い方のレンズのｄ線の屈折率、
ｎ４Ｌ：前記第４群の屈折率が低い方のレンズのｄ線の屈折率、
ν４Ｈ：前記第４群の屈折率が高い方のレンズのアッベ数、
ν４Ｌ：前記第４群の屈折率が低い方のレンズのアッベ数である。
【請求項２】
前記第３群が以下の条件式（８）を満足する請求項１に記載の有限系対物光学系。
（８）  ν３＞６０
ここで、ν３は第３群のアッベ数である。
【請求項３】
前記第５群が両凸レンズであり、以下の条件式（９）を満足する請求項１または２に記載の有限系対物光学系。
（９）  １．５＜｜Ｒ５ｉ／Ｒ５ｏ｜＜２．５
ここで、
Ｒ５ｉ：第５群の像側の曲率半径、
Ｒ５ｏ：第５群の物体側の曲率半径である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有限系対物光学系に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、生体を低侵襲で観察できる光学系を実現するために、外径が小さく、全長が長く、色収差が良好に補正される適正なレンズ群の配置が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２２７３１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
脳神経の研究の分野などではさらに侵襲度を低くするために外径をさらに小さくする必要があることが分かってきた。
これに対して、特許文献１に開示されているレンズ群は色収差を補正するために第２群の接合レンズのアッベ数差を３５以上にすることを提案している。しかしながら、アッベ数差を３５以上するためには、低分散側のガラスのアッベ数が８０より大きい異常分散ガラスを使わざるを得ず、一般に異常分散ガラスは磨耗度が高いものが多く、特に小径のレンズの場合には加工が極めて困難であるという不都合がある。
【０００５】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、レンズの加工性がよく、外径が小さく、全長が長く、球面収差、色収差、コマ収差が良く補正され、ｉｎ ｖｉｖｏ観察に適した有限系対物光学系を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、物体側から、正パワーの第１群と、接合レンズを含む第２群と、両凸レンズで構成された第３群と、接合レンズを含む第４群と、正パワーの第５群とで構成され、前記第２群および第４群の接合面が、負の屈折力を持ち、以下の条件式（１）〜（７）を満足する有限系対物光学系を提供する。
（１）  ０．０５＜｜（１／Ｆ２＋１／Ｆ５）／（１／Ｆ１＋１／Ｆ３＋１／Ｆ５）｜＜０．２５
（２）  ν２Ｌ＜７５
（３）  ８＜ν２Ｌ−ν２Ｈ＜３０
（４）  ０．０５＜ｎ２Ｈ−ｎ２Ｌ＜０．１５
（５）  ν４Ｌ＜７５
（６）  ８＜ν４Ｌ−ν４Ｈ＜３０
（７）  ０．０５＜ｎ４Ｈ−ｎ４Ｌ＜０．１５
ここで、
Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４，Ｆ５：第１群、第２群、第３群、第４群、第５群の焦点距離、
ｎ２Ｈ：前記第２群の屈折率が高い方のレンズのｄ線の屈折率、
ｎ２Ｌ：前記第２群の屈折率が低い方のレンズのｄ線の屈折率、
ν２Ｈ：前記第２群の屈折率が高い方のレンズのアッベ数、
ν２Ｌ：前記第２群の屈折率が低い方のレンズのアッベ数、
ｎ４Ｈ：前記第４群の屈折率が高い方のレンズのｄ線の屈折率、
ｎ４Ｌ：前記第４群の屈折率が低い方のレンズのｄ線の屈折率、
ν４Ｈ：前記第４群の屈折率が高い方のレンズのアッベ数、
ν４Ｌ：前記第４群の屈折率が低い方のレンズのアッベ数である。
【０００７】
本発明によれば、物体からの光を正パワーの第１群および第３群の物体側の凸面でほぼ平行にし、第３群の像側および第５群で光を収束させて中間像を形成させる。これらの群で発生した、軸上色収差および球面収差を第２群および第４群の接合レンズの負パワーの接合面で補正することができる。
【０００８】
条件式（１）を満たすことにより、光束径を大きくしないで球面収差、軸上色収差をバランスよく補正することができる。０．０５以下であると球面収差や軸上色収差が補正不足になり、０．２５以上であると第３群での光束径が大きくなり、動物に対する侵襲度が高くなるが、条件式（１）を満たすことによりそのような不都合の発生を防止することができる。
【０００９】
条件式（２）を満たすことにより、第２群のレンズの加工性を向上することができる。７５以下の領域には加工性が悪い硝材が多い。
条件式（３）を満たすことにより、軸上色収差を補正することができる。８以下であると色収差が十分補正できず、３０以上の場合には難加工硝材を使う必要が出てくる。
条件式（４）を満たすことにより、負のパワーを大きくしないで接合面の曲率半径を小さくして、軸上色収差と球面収差が補正することができる。
条件式（５）を満たすことにより、第４群のレンズの加工性を向上することができる。７５以上の領域には加工性が悪い硝材が多い。
条件式（６）を満たすことにより、軸上色収差を補正することができる。８以下の場合には色収差が十分補正できず、３０以上の場合には難加工硝材を使う必要が出てくる。
条件式（７）を満たすことによい、負のパワーを大きくしないで接合面の曲率半径を小さくして、軸上色収差と球面収差を補正することができる。
【００１０】
上記発明においては、前記第３群が以下の条件式（８）を満足することが好ましい。
（８）  ν３＞６０
ここで、ν３は第３群のアッベ数である。
このようにすることで、第３群での軸上色収差の発生を小さくすることができる。６０以下の場合には、軸上色収差の補正が難しくなる。
【００１１】
また、上記発明においては、前記第５群が両凸レンズであり、以下の条件式（９）を満足することが好ましい。
（９）  １．５＜｜Ｒ５ｉ／Ｒ５ｏ｜＜２．５
ここで、
Ｒ５ｉ：第５群の像側の曲率半径、
Ｒ５ｏ：第５群の物体側の曲率半径である。
このようにすることで、球面収差およびコマ収差の発生を小さくするとともに、中間像の位置を第５群の像側レンズ端面から離すことができる。１．５以下の場合には、球面収差、コマ収差が補正不足になり、２．５以上の場合には、中間像の位置と第５群の像側レンズ端面との距離が短くなり過ぎて、レンズの微小なコート欠陥が観察像に映りこみ易くなるという問題がある。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、レンズの加工性がよく、外径が小さく、全長が長く、球面収差、色収差、コマ収差が良く補正された有限系対物光学系を提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の一実施形態に係る有限系対物光学系１について、図１〜図３を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る有限系対物光学系１は、図１に示される顕微鏡２に備えられている。この顕微鏡２は、レーザ走査型顕微鏡であって、レーザ光を出射するレーザ光源３と、該レーザ光源３からのレーザ光を集光するカップリング光学系４と、該カップリング光学系４により集光されたレーザ光を導光する光ファイバ５と、該光ファイバ５によってレーザ光源３と接続された顕微鏡本体６とを備えている。
【００１４】
レーザ光源３は、波長の異なるレーザ光を出射する複数の光源３ａ，３ｂと、ミラー３ｃ、ダイクロイックミラー３ｄを備えている。
【００１５】
顕微鏡本体６は、光ファイバ５から出射されたレーザ光を略平行光に変換するコリメート光学系７と、該コリメート光学系７により略平行光にされたレーザ光を偏向するダイクロイックミラー８と、該ダイクロイックミラー８により偏向されたレーザ光を２次元的に走査する近接ガルバノミラー９と、該近接ガルバノミラー９により走査されたレーザ光を集光する瞳投影光学系１０、結像光学系１１および先端光学系１２とを備えている。
【００１６】
先端光学系１２は、作動距離調整光学系１３と、中間光学系１４と、本実施形態に係る有限系対物光学系１とを備えている。
作動距離調整光学系１３は、図２に示されるように、負レンズ群１３ａと正レンズ群１３ｂと正レンズ群１３ｂを駆動するレンズ駆動手段１３ｃとを備えている。結像光学系１１側から入射した平行なレーザ光は、この作動距離調整光学系１３の負レンズ群１３ａ側から射出されるが、レンズ駆動手段１３ｃによって正レンズ群１３ｂが光軸方向に移動させられると、作動距離調整光学系１３から射出される光束の発散または収束角が変化するようになっている。
【００１７】
中間光学系１４は、作動距離調整光学系１３から入射した光を集光するようになっている。集光位置は作動距離調整光学系１３の正レンズ群１３ｂの位置により変化する。
本実施形態に係る有限系対物光学系１は、中間光学系１４によって集光された光を再び試料Ａ中に集光することにより、試料Ａを照明するようになっている。
【００１８】
本実施例では集光された点が観察点になるが、有限系対物光学系１の最先端部からのこの点までの光軸方向の距離、すなわち、作動距離（略してＷＤ）は、作動距離調整光学系１３の正レンズ群１３ｂの位置により変化するので、これによって試料Ａ内の任意の深さの画像を観察したり、作動距離を変化させながら画像取得することで３次元画像を構成することができるようになっている。
【００１９】
本実施形態に係る有限系対物光学系１は、図３に示されるように、物体側より光軸方向に沿って、平行平面板Ｌ１１と平凸レンズＬ１２とを接合した正パワーの第１群Ｇ１と、平凹レンズＬ２１と平凸レンズＬ２２とを接合した第２群Ｇ２と、両凸レンズＬ３からなる第３群Ｇ３と、平凸レンズＬ４１と平凹レンズＬ４２とを接合した第４群Ｇ４と、両凸レンズＬ５からなる正パワーの第５群Ｇ５とから構成されている。
【００２０】
平凹レンズＬ２１の屈折率は平凸レンズＬ２２の屈折率より高いので、第２群Ｇ２の接合面は負のパワーを持っている。また、平凸レンズＬ４１の屈折率は平凹レンズＬ４２の屈折率より低いので第４群Ｇ４の接合面も負のパワーを持っている。また、本実施形態に係る有限系対物光学系は、以下の条件式（１）〜（７）を満足している。
【００２１】
（１）  ０．０５＜｜（１／Ｆ２＋１／Ｆ５）／（１／Ｆ１＋１／Ｆ３＋１／Ｆ５）｜＜０．２５
（２）  ν２Ｌ＜７５
（３）  ８＜ν２Ｌ−ν２Ｈ＜３０
（４）  ０．０５＜ｎ２Ｈ−ｎ２Ｌ＜０．１５
（５）  ν４Ｌ＜７５
（６）  ８＜ν４Ｌ−ν４Ｈ＜３０
（７）  ０．０５＜ｎ４Ｈ−ｎ４Ｌ＜０．１５
ここで、Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４，Ｆ５：第１群Ｇ１、第２群Ｇ２、第３群Ｇ３、第４群Ｇ４、第５群Ｇ５の焦点距離、ｎ２Ｈ：第２群Ｇ２の屈折率が高い方の平凹レンズＬ２１のｄ線の屈折率、ｎ２Ｌ：第２群Ｇ２の屈折率が低い方の平凸レンズＬ２２のｄ線の屈折率、ν２Ｈ：第２群Ｇ２の屈折率が高い方の平凹レンズＬ２１のアッベ数、ν２Ｌ：第２群Ｇ２の屈折率が低い方の平凸レンズＬ２２のアッベ数、ｎ４Ｈ：第４群Ｇ４の屈折率が高い方の平凹レンズＬ４２のｄ線の屈折率、ｎ４Ｌ：第４群Ｇ４の屈折率が低い方の平凸レンズＬ４１のｄ線の屈折率、ν４Ｈ：第４群Ｇ４の屈折率が高い方の平凹レンズＬ４２のアッベ数、ν４Ｌ：第４群Ｇ４の屈折率が低い方の平凸レンズＬ４１のアッベ数である。
【００２２】
このようにすることで、試料Ａからの光を正パワーの第１群Ｇ１および第３群Ｇ３の物体側の凸面でほぼ平行にし、第３群Ｇ３の像側および第５群Ｇ５で光を収束させて中間像を形成させる。そして、これらの群Ｇ１，Ｇ３，Ｇ５で発生した、色収差および球面収差を第２群Ｇ２および第４群Ｇ４の接合レンズの負パワーの接合面で補正することができる。
【００２３】
条件式（１）を満たすことにより、光束径を大きくしないで球面収差、軸上色収差をバランスよく補正することができる。０．０５以下であると球面収差や軸上色収差が補正不足になり、０．２５以上であると第３群Ｇ３での光束径が大きくなり、試料Ａに対する侵襲度が高くなるが、条件式（１）を満たすことによりそのような不都合の発生を防止することができる。
【００２４】
条件式（２）を満たすことにより、第２群Ｇ２のレンズの加工性を向上することができる。７５以下の領域には加工性が悪い硝材が多い。
条件式（３）を満たすことにより、軸上色収差を補正することができる。８以下であると色収差が十分補正できず、３０以上の場合には難加工硝材を使う必要が出てくる。
条件式（４）を満たすことにより、負のパワーを大きくしないで接合面の曲率半径を小さくして、軸上色収差と球面収差が補正することができる。
【００２５】
条件式（５）を満たすことにより、第４群Ｇ４のレンズの加工性を向上することができる。７５以上の領域には加工性が悪い硝材が多い。
条件式（６）を満たすことにより、軸上色収差を補正することができる。８以下の場合には色収差が十分補正できず、３０以上の場合には難加工硝材を使う必要が出てくる。
条件式（７）を満たすことによい、負のパワーを大きくしないで接合面の曲率半径を小さくして、軸上色収差と球面収差を補正することができる。
【００２６】
また、顕微鏡本体６は、先端光学系により集光され、結像光学系１１、瞳投影光学系１０および近接ガルバノミラー９を介して戻り、ダイクロイックミラー８を透過した試料Ａからの蛍光または反射光を集光するカップリング光学系１５を備えている。また、顕微鏡２は、該カップリング光学系１５により集光された試料Ａからの蛍光または反射光を導光する光ファイバ１６を介して顕微鏡本体６に接続され、該光ファイバ１６により導光された蛍光または反射光を検出する検出光学系１７と、これらを制御する制御部１８と、検出光学系１７により検出された蛍光または反射光の画像を表示する表示部（図示略）とを備えている。顕微鏡本体６は、相互に直交する３軸（ＸＹＺ）方向に移動可能に設けられるとともに、各軸回りに回転可能に設けられており、検出光学系１７の先端の位置および角度を任意に調節することができるようになっている。
【００２７】
近接ガルバノミラー９は、観察位置を有限系対物光学系１の光軸に対して略垂直方向で走査するようになっている。そして、近接ガルバノミラー９の振り角に対応した範囲の試料Ａからの光の強度分布が表示部に表示されるようになっている。
有限系対物光学系１は、その先端を試料Ａに密着させることにより、試料Ａの呼吸や拍動による観察像のブレを抑えるようになっている。
【００２８】
検出光学系１７は、光ファイバ１６により導光されてきた蛍光または反射光を略平行光にするコリメート光学系１９と、波長ごとに分岐する複数のダイクロイックミラー２０およびミラー２１と、バリアフィルタ２２と、集光レンズ２３と、光検出器２４とを備えている。
【００２９】
このように構成された本実施形態に係る有限系対物光学系１の作用について以下に説明する。
上記顕微鏡２を使用して試料Ａの観察を行うには、有限系対物光学系１の先端を試料Ａに密着させた状態で、レーザ光源３からレーザ光を出射させ、光ファイバ５を介して顕微鏡本体６に導かれたレーザ光をダイクロイックミラー８により偏向し、近接ガルバノミラー９によって２次元的に走査し、瞳投影光学系１０、結像光学系１１、および先端光学系１２を介して試料Ａに照射する。
【００３０】
レーザ光が照射された試料Ａにおいては、蛍光物質が励起されることにより蛍光が発生し、発生した蛍光は、有限系対物光学系１によって集光され、中間光学系１４、作動距離調整光学系１３、結像光学系１１、瞳投影光学系１０および近接ガルバノミラー９を介して戻り、ダイクロイックミラー８を透過してカップリング光学系１５によって光ファイバ１６の端部に集光され、光ファイバ１６によって導光された後に検出光学系１７により検出される。
【００３１】
この場合において、例えば、レンズ駆動手段１３ｃによって正レンズ群１３ｂを光軸方向に移動すると、有限系対物光学系１の作動距離（有限系対物光学系１の先端を基準として焦点が合う距離）が変化する。
したがって、有限系対物光学系１を動かすことなく、試料Ａ内の任意の深さの画像を観察することができる。さらに、正レンズ群１３ｂを動かしながら複数の画像を取得すれば、試料Ａの３次元画像を取得することができる。
【００３２】
本実施形態に係る有限系対物光学系１によれば、条件式（１）〜（７）を満足することにより、レンズの加工性を向上し、外径を小さくし、全長を長くし、球面収差、色収差およびコマ収差を良好に補正することができる。その結果、in vivo 観察に適した有限系対物光学系１を提供することができる。
【実施例】
【００３３】
（実施例１）
以下、本実施形態に係る有限系対物光学系１の第１の実施例について、図３〜図６を参照して説明する。
本実施例に係る有限系対物光学系１の各レンズの配列を図３に、そのレンズデータを表１に示す。
【００３４】
【表１】
2009205007.tif 000003
【００３５】
表１において（以下、各表において同様。）、Ｓは面番号、Ｒは曲率半径、Ｄは面間隔、ｎｄはｄ線の屈折率、νはアッベ数である。
また、本実施例の有限系対物光学系１の物体側を水（ｄ線の屈折率１．３３３０４、アッベ数５５．７９）で満たし、作動距離が０．２ｍｍのときの各収差を図４〜図６にそれぞれ示す。
収差図において、ＮＡは物体側の開口数、ＦＩＹは物体高を示している。
本実施例によれば、球面収差、色収差、コマ収差が良く補正されていることがわかる。
【００３６】
（実施例２）
次に、本実施形態に係る有限系対物光学系１の第２の実施例について、図７〜図１０を参照して説明する。
本実施例に係る有限系対物光学系１の各レンズの配列を図７に、そのレンズデータを表２に示す。
【００３７】
【表２】
2009205007.tif 000004
【００３８】
本実施例に係る有限系対物光学系１は、第１の実施例に係る有限系対物光学系１の第２群Ｇ２および第４群Ｇ４のガラスの種類を変えたものである。
第１の実施例と同様の条件における本実施例に係る有限系対物光学系１の各収差を図８〜図１０にそれぞれ示す。
この収差図によれば、実施例１よりも軸上色収差、球面収差が良好に補正されていることがわかる。
【００３９】
（実施例３）
次に、本実施形態に係る有限系対物光学系１の第３の実施例について、図１１〜図１４を参照して説明する。
本実施例に係る有限系対物光学系１の各レンズの配列を図１１に、そのレンズデータを表３に示す。
【００４０】
【表３】
2009205007.tif 000005
【００４１】
本実施例に係る有限系対物光学系１は、第２の実施例に係る有限系対物光学系１の第１群Ｇ１のパワーを少し上げることでＮＡを大きく下げずに、先端側のレンズ径を小さくしたものである。これにより、より低侵襲な対物光学系を実現することができる。
第１の実施例と同様の条件における本実施例に係る有限系対物光学系１の各収差を図１２〜図１４にそれぞれ示す。
【００４２】
（実施例４）
次に、本実施形態に係る有限系対物光学系１の第４の実施例について、図１５〜図１８を参照して説明する。
本実施例に係る有限系対物光学系１の各レンズの配列を図１５に、そのレンズデータを表４に示す。
【００４３】
【表４】
2009205007.tif 000006
【００４４】
本実施例に係る有限系対物光学系１は、第２の実施例に係る有限系対物光学系１の第１群Ｇ１を独立した平行平板ガラスＬ１１と両凸レンズＬ１２とに分割したものである。このようにすることで、両凸レンズＬ１２，Ｌ５、平凹レンズＬ２１，Ｌ４２、平凸レンズＬ２２，Ｌ４１は共通部品とすることができ、製造コストを低減できるという利点がある。
第１の実施例と同様の条件における本実施例に係る有限系対物光学系１の各収差を図１６〜図１８にそれぞれ示す。
【００４５】
また、上記実施例１〜実施例４においては、上記条件式（１）〜（９）が満たされていることが表５により明らかである。
【００４６】
【表５】
2009205007.tif 000007
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に係る有限系対物光学系を備える顕微鏡を示す全体構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る有限系対物光学系を示す図である。
【図３】図２の有限系対物光学系の第１の実施例のレンズ配列を示す図である。
【図４】図３の有限系対物光学系の（ａ）球面収差および（ｂ）非点収差をそれぞれ示す図である。
【図５】図３の有限系対物光学系の（ａ）歪曲収差および（ｂ）倍率色収差をそれぞれ示す図である。
【図６】図３の有限系対物光学系の（ａ）コマ収差（Ｍ）および（ｂ）コマ収差（Ｓ）をそれぞれ示す図である。
【図７】図２の有限系対物光学系の第２の実施例のレンズ配列を示す図である。
【図８】図７の有限系対物光学系の（ａ）球面収差および（ｂ）非点収差をそれぞれ示す図である。
【図９】図７の有限系対物光学系の（ａ）歪曲収差および（ｂ）倍率色収差をそれぞれ示す図である。
【図１０】図７の有限系対物光学系の（ａ）コマ収差（Ｍ）および（ｂ）コマ収差（Ｓ）をそれぞれ示す図である。
【図１１】図２の有限系対物光学系の第３の実施例のレンズ配列を示す図である。
【図１２】図１１の有限系対物光学系の（ａ）球面収差および（ｂ）非点収差をそれぞれ示す図である。
【図１３】図１１の有限系対物光学系の（ａ）歪曲収差および（ｂ）倍率色収差をそれぞれ示す図である。
【図１４】図１１の有限系対物光学系の（ａ）コマ収差（Ｍ）および（ｂ）コマ収差（Ｓ）をそれぞれ示す図である。
【図１５】図２の有限系対物光学系の第４の実施例のレンズ配列を示す図である。
【図１６】図１５の有限系対物光学系の（ａ）球面収差および（ｂ）非点収差をそれぞれ示す図である。
【図１７】図１５の有限系対物光学系の（ａ）歪曲収差および（ｂ）倍率色収差をそれぞれ示す図である。
【図１８】図１５の有限系対物光学系の（ａ）コマ収差（Ｍ）および（ｂ）コマ収差（Ｓ）をそれぞれ示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
Ａ  試料（物体）
Ｇ１  第１群
Ｇ２  第２群
Ｇ３  第３群
Ｇ４  第４群
Ｇ５  第５群
Ｌ３，Ｌ５  両凸レンズ
１  有限系対物光学系
【図１】
2009205007.tif 000008
【図２】
2009205007.tif 000009
【図３】
2009205007.tif 000010
【図４】
2009205007.tif 000011
【図５】
2009205007.tif 000012
【図６】
2009205007.tif 000013
【図７】
2009205007.tif 000014
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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