(57)【要約】【課題】割れやすい誘電体材料によって複雑な形状を有するプラズマ電極を容易に製作することを可能とするとともに、製作された電極において部材の割れを抑制することのできるプラズマ電極の製作方法を提供することを課題とする。【解決手段】プラズマ電極１２の製作方法は、第１電極本体２、第２電極本体３２及び誘電体７を有するプラズマ電極１２において、ディップコーティングによってガラスを第１電極本体２に被覆して誘電体７を形成するものである。よって、プラズマ電極１２は、第１電極本体２にガラスを被覆し、ガラスが被覆された第１電極本体２の貫通空間部２ｂに、スチールウール３２ａからなる第２電極本体３２を挿入することによって、容易に製作されることが可能である。【選択図】図４
2009117175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極本体及び誘電体を有し、電圧の印加によってプラズマを発生させるためのプラズマ電極の製作方法であって、
ディップコーティングによってガラスを前記電極本体に被覆して誘電体を形成することを特徴とするプラズマ電極の製作方法。
【請求項２】
前記ガラスは、ポリシラザンであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ電極の製作方法。
【請求項３】
前記プラズマ電極は、ディーゼルエンジン用のＤＰＦ装置に使用されることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ電極の製作方法。
【請求項４】
複数の穴を有する筒状をした第１の電極本体と、
前記第１の電極本体に被覆されたガラスである誘電体と、
前記第１の電極本体の前記複数の穴に挿入された第２の電極本体とを有し、
前記第１の電極本体及び前記第２の電極本体間への電圧の印加によってプラズマを発生させることを特徴とするプラズマ電極。
【請求項５】
前記第２の電極本体は、
前記第１の電極本体における前記複数の穴の中において屈折していることを特徴とする請求項４に記載のプラズマ電極。
【請求項６】
複数の線状をした第１の電極本体と、
複数の線状をした第２の電極本体と、
前記複数の第１の電極本体または前記複数の第２の電極本体に被覆されたガラスである誘電体とを有し、
前記複数の第１の電極本体及び前記複数の第２の電極本体は、互いに編み込まれるとともに、前記誘電体を介して接触し、
前記第１の電極本体及び前記第２の電極本体間への電圧の印加によってプラズマを発生させることを特徴とするプラズマ電極。
【請求項７】
前記ガラスは、ポリシラザンであることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載のプラズマ電極。
【請求項８】
前記プラズマ電極は、ディーゼルエンジン用のＤＰＦ装置に使用されることを特徴とする請求項４〜７のいずれか一項に記載のプラズマ電極。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はプラズマ電極に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマは、様々な分野の工業製品に利用されている。
例えば、近年、ディーゼルエンジンから排出される排気ガスに含まれるカーボン等のパティキュレート物質を減少させるＤＰＦ（ディーゼルパティキュレートフィルタ）装置が、ディーゼルエンジンを搭載する車両に装着されている。ＤＰＦ装置は、車両のマフラーなどに装着され、フィルタとしてパティキュレート物質を捕捉するが、捕捉したパティキュレート物質の堆積によって、このフィルタには目詰まりが発生する。このフィルタの目詰まりによる性能の低下を防止するため、ＤＰＦ装置には、捕捉したパティキュレート物質を燃焼させ、フィルタ機能を再生させる機構が備えられている。ここで、プラズマはこのフィルタ機能の再生のために利用される。すなわち、ＤＰＦ装置にプラズマを発生するプラズマ電極が設けられ、プラズマ電極の発生するプラズマによってパティキュレート物質を燃焼している。
【０００３】
例えば、特許文献１では、ＤＰＦ装置に使用されるフィルタが記載されており、このフィルタは、セラミックで製作されるとともに、内部を隔壁によって格子状に仕切られた筒状のメッシュ体と、隔壁の交差部において軸方向に挿入された電極材とによって構成されている。よって、このセラミック製のメッシュ体は、絶縁性を有する誘電体として、電極材とともにプラズマ電極を構成している。
【０００４】
このプラズマ電極において、メッシュ体はウォールフローフィルタと称され、以下のようにして排気ガスに含まれるパティキュレート物質を捕捉する。
まず、車両のエンジンから排出された排気ガスは、メッシュ体の一方の端部に供給され、メッシュ体の内部を通過して、他方の端部から排出される。なお、このメッシュ体において、隔壁によって囲まれた空洞部のそれぞれは、排気ガスの供給側或いは排出側のいずれか一方の端部が閉じられている。さらに、隣接する空洞部同士において、閉じられた端部の配置は、排気ガスの供給側と排出側とで交互になっている。セラミック製のメッシュ体は多孔質であるため、メッシュ体に供給された排気ガスは、排気ガスの供給側に開口する空洞部に進入した後、この空洞部の隔壁を通過して、隣接した排気ガスの排出側に開口する空洞部から排出される。よって、排気ガスに含まれるパティキュレート物質は、排気ガスが隔壁を通過する際に隔壁によって捕捉される。
また、このＤＰＦ装置は、メッシュ体に設けられた電極材に電圧を印加すると、各空洞部内においてプラズマを発生する。従って、メッシュ体の隔壁に捕捉されたパティキュレート物質は各空洞部内で発生するプラズマによって燃焼し、メッシュ体、すなわちＤＰＦ装置のフィルタ機能が再生される。
【特許文献１】特開２００５−５３１４０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１におけるプラズマ電極において、誘電体であるメッシュ体は、複雑な構造を有し、熱に強いが割れやすいセラミックによって形成されている。セラミックのような割れやすい材料によって、このメッシュ体やさらに複雑な構造のプラズマ電極を製作することは困難であり、また、このようなセラミックによって製作されたプラズマ電極において、断面の薄い部材は、割れやすいという問題点を有している。
【０００６】
この発明は、これらのような問題点を解決するためになされたもので、割れやすい誘電体材料によって複雑な形状を有するプラズマ電極を容易に製作することを可能とするとともに、製作された電極において部材の割れを抑制することのできるプラズマ電極の製作方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係るプラズマ電極の製作方法は、電極本体及び誘電体を有し、電圧の印加によってプラズマを発生させるためのプラズマ電極の製作方法であって、ディップコーティングによってガラスを電極本体に被覆して誘電体を形成することを特徴とするものである。ディップコーティングは、電極本体に均一なガラスの薄膜を容易に形成することを可能にする。また、金属からなる電極本体の形成において複雑な形状とすることは容易である。よって、この電極本体にディップコーティングによりガラスを被覆して誘電体を形成することによって、複雑な形状を有する電極本体と誘電体との一体構造を容易に製作することができる。すなわち、複雑な形状を有するプラズマ電極を容易に製作することを可能とする。また、製作されたプラズマ電極において、ガラス部材は内部に電極本体部材を有するため、その強度が増大され、ガラス部材の割れの抑制が可能になる。
【０００８】
この製作方法において、ガラスは、ポリシラザンであってもよい。ポリシラザンは、石英ガラスと同等の特性を有し、絶縁性、緻密性、平坦性、耐クラック性、耐薬品性及び耐熱性に優れている。従って、ポリシラザンの被覆によって、安定した誘電体を形成することができる。
この製作方法によって製作されるプラズマ電極は、ディーゼルエンジン用のＤＰＦ装置に使用されてもよい。
【０００９】
また、この発明に係るプラズマ電極は、複数の穴を有する筒状をした第１の電極本体と、第１の電極本体に被覆されたガラスである誘電体と、第１の電極本体の複数の穴に挿入された第２の電極本体とを有し、第１の電極本体及び第２の電極本体間への電圧の印加によってプラズマを発生させることを特徴とするものである。筒状をした第１の電極本体にガラスを被覆し、ガラスを被覆した第１の電極本体における複数の穴に第２の電極本体を挿入することによって、複数の穴の内部においてプラズマを発生させるプラズマ電極を、容易に製作することができる。
第２の電極本体は、第１の電極本体における複数の穴の中において屈折していてもよい。このプラズマ電極は、第１の電極本体にガラスを被覆し、ガラスを被覆した第１の電極本体の複数の穴に屈折した第２の電極本体を挿入することによって、容易に製作することができる。また、このプラズマ電極は、穴の内部において屈折した第２の電極本体によって穴の内部を流通する気体に含まれる粒子を捕捉するフィルタ機能を有する。さらに、穴の内部でプラズマを発生させて、捕捉した粒子を燃焼してフィルタの目詰まりを防ぎ、フィルタ機能を再生することができる。従って、フィルタ機能を再生することのできるフィルタを容易に製作することが可能になる。
【００１０】
また、この発明に係るプラズマ電極は、複数の線状をした第１の電極本体と、複数の線状をした第２の電極本体と、複数の第１の電極本体または複数の第２の電極本体に被覆されたガラスである誘電体とを有し、複数の第１の電極本体及び複数の第２の電極本体は、互いに編み込まれるとともに、誘電体を介して接触し、第１の電極本体及び第２の電極本体間への電圧の印加によってプラズマを発生させることを特徴とするものである。このプラズマ電極は、線状をした第１の電極本体または第２の電極本体にガラスを被覆し、第１の電極本体と第２の電極本体とを編み込むことによって、容易に製作することができる。また、このプラズマ電極は、第１の電極本体及び第２の電極本体によって囲まれるそれぞれの空間で、空間を流通する気体に含まれる粒子を捕捉するフィルタ機能を有する。さらに、上記のそれぞれの空間内でプラズマを発生させて、捕捉した粒子を燃焼して空間の目詰まりを防ぎ、フィルタ機能を再生することができる。なお、このプラズマ電極は、第１の電極本体及び第２の電極本体によって囲まれるそれぞれの空間においてプラズマを発生させるため、捕捉した粒子を効率よく燃焼することが可能である。従って、フィルタ機能を効率よく再生することのできるフィルタを容易に製作することが可能になる。
プラズマ電極において、ガラスは、ポリシラザンであってもよい。
プラズマ電極は、ディーゼルエンジン用のＤＰＦ装置に使用されてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、被覆されたガラスによって誘電体が形成されるため、複雑な形状を有するプラズマ電極を容易に製作することを可能とし、また、製作されたプラズマ電極において、ガラス部材は、内部の電極体によってその強度が増大するため、部材の割れを抑制することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、この発明の実施の形態について、添付図に基づいて説明する。
実施の形態１．
まず、この発明の実施の形態１に係るプラズマ電極の製作方法について、電極本体へガラスを被覆するディップコーティングの工程を図１に示す。
図１（ａ）を参照して、第１電極本体２は、内部を隔壁によって格子状に仕切られた四角柱状をした筒状のメッシュ体であり、アルミニウムやステンレス等の金属製である。また、第１電極本体２の内部の隔壁によって囲まれた穴である貫通空間部２ｂは、第１電極本体２をそれぞれ貫通している。
また、塗布液浴槽４には、希釈溶媒であるシクロヘキセンに、ガラス被覆の材料であるポリシラザンが溶解された溶液５が溜められている。
【００１３】
ここで、ポリシラザンは有機溶剤に可溶な無機ポリマーで、ペルヒドロポリシラザン（ＰＨＰＳ）が正式な物質名である。ポリシラザンをシクロヘキセン等に溶解した有機溶媒溶液は、塗布液として用いて、大気中または水蒸気雰囲気で焼成することによって、水分や酸素と反応し、４５０℃程度で緻密な高純度シリカ（ＳｉＯ２）膜を形成する。この形成された高純度シリカ膜は、絶縁性、緻密性、平坦性、耐クラック性及び耐薬品性等、石英ガラスに匹敵する優れた特性を有し、耐熱性については１３００℃まで安定している。
【００１４】
図１（ａ）に戻り、第１電極本体２を溶液５に垂直に浸漬し、液面が静止状態になるまで静止させる。
次に、図１（ｂ）に示すように、第１電極本体２を垂直に一定の速度で引き上げる。なお、一定の速度で引き上げることによって、毛細管力と水の蒸発に由来する流動力が働くことにより、コーティングしたい微粒子を均一に整列させることができる。また、溶液５におけるポリシラザンの濃度及び第１電極本体２の引き上げ速度によって、第１電極本体２に塗布されるコーティング膜の厚さを調整することができる。
さらに、図１（ｃ）を参照すると、第１電極本体２を溶液５から引き上げた後、第１電極本体２のポリシラザンによる塗布部６を４５０℃程度で焼成すると、塗布部６はポリシラザンによる高純度シリカ膜となり、誘電体７が形成される。なお、ポリシラザンは、第１電極本体２の外側面及び底面、さらに各貫通空間部２ｂの内周面に塗布されており、これらの面に誘電体７が形成されている。（図３参照）
【００１５】
また、溶液５におけるポリシラザンの濃度及び第１電極本体２の引き上げ速度と、コーティング膜厚との関係について、例をあげると以下のようになる。溶液におけるポリシラザンの濃度が１０ｗｔ％の場合、引き上げ速度５００ｍｍ／ｍｉｎで引き上げ、４５０℃の焼成を１時間行うと膜厚は約１．１μｍとなり、引き上げ速度７００ｍｍ／ｍｉｎで引き上げ、４５０℃の焼成を１時間行うと膜厚は１．３５μｍとなる。
【００１６】
このようにして、第１電極本体２には、ディップコーティングによってポリシラザンを使用したガラスコーティングが行われる。よって、誘電体７であるポリシラザンと第１電極本体２によって電極体１ａが形成される。
【００１７】
次に、上記のプラズマ電極の製作方法により製作された、実施の形態１に係るプラズマ電極１を図２及び３に示す。
図２に示すように、電極体１ａの内部の隔壁によって囲まれたそれぞれの貫通空間部２ｂには、アルミニウムやステンレス等の金属製の線材３ａが１つずつ挿入されている。また、それぞれの線材３ａは、貫通空間部２ｂを貫通し、貫通空間部２ｂの両端より突出している。（図３参照）
さらに、電極体１ａの一方の端部において、線材３ａの突出端のそれぞれは、櫛状の形状をした金属製の連結線材３ｂと接続し、連結線材３ｂによって１つに集合している。すなわち、連結線材３ｂのうち櫛の歯部にあたる線材３ｂ１のそれぞれにおいて、線材３ｂ１は、紙面横方向の同一列上に配置されている線材３ａの全てと接続している。また、線材３ａ及び連結線材３ｂは、第２電極本体３を構成している。さらに、電極体１ａ及び第２電極本体３、すなわち、第１電極本体２、誘電体７、第２電極本体３は、プラズマ電極１を構成している。
【００１８】
さらに、電極体１ａにおいて、ポリシラザンによる高純度シリカ膜が形成されていない金属露出部２ａ、及び連結線材３ｂは、それぞれ交流電源１０に接続されている。
交流電源１０によって、金属露出部２ａすなわち第１電極本体２、及び連結線材３ｂすなわち第２電極本体３に電圧が印加されると、第１電極本体２と第２電極本体３の線材３ａとの間、すなわち電極体１ａの各貫通空間部２ｂの内部において、プラズマが発生する。
【００１９】
このように、実施の形態１に係るプラズマ電極１の製作方法は、第１電極本体２、第２電極本体３及び誘電体７を有するプラズマ電極１において、ディップコーティングによってガラスを第１電極本体２に被覆して誘電体７を形成する製作方法である。ディップコーティングは、第１電極本体２に均一なガラスの薄膜を容易に形成することを可能にする。また、金属からなる第１電極本体２の形成において複雑な形状とすることは容易である。よって、第１電極本体２にディップコーティングによりガラスを被覆して誘電体７を形成することによって、複雑な形状を有する第１電極本体２と誘電体７との一体構造である電極体１ａを容易に製作することができる。すなわち、複雑な形状を有するプラズマ電極１を容易に製作することを可能とする。また、プラズマ電極１において、誘電体７を形成するガラス部材は内部に第１電極本体部材２を有するため、その強度が増大され、ガラス部材の割れの抑制が可能になる。
【００２０】
また、被覆するガラス材として使用するポリシラザンは、石英ガラスと同等の特性を有し、絶縁性、緻密性、平坦性、耐クラック性、耐薬品性及び耐熱性に優れている。従って、ポリシラザンの被覆によって、安定した誘電体７を形成することができる。
また、実施の形態１において、第１電極本体２のみガラスからなる誘電体７が形成されていたが、第２電極本体３にもディップコーティングによりガラスからなる誘電体を形成してもよい。
【００２１】
実施の形態２．
この発明の実施の形態２に係るプラズマ電極１２は、実施の形態１に係るプラズマ電極と同様にして、ディップコーティングにより電極本体へガラス材が被覆されたものである。また、このプラズマ電極１２は、ディーゼルエンジンを搭載される車両に装着されるＤＰＦ装置におけるフィルタとして使用される。
なお、以下の実施の形態において、図１〜３の参照符号と同一の符号は同一又は同様な構成要素であるので、その詳細な説明は省略する。
【００２２】
図４に示すように、実施の形態１に係るプラズマ電極と同様にして、第１電極本体２がポリシラザンによってコーティングされ、電極体１２ａが製作される（図５参照）。なお、この発明の実施の形態２に係る電極体１２ａの製作方法は、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００２３】
電極体１２ａにおいて、隔壁によって囲まれた貫通空間部２ｂには、アルミニウムやステンレス等の金属製のスチールウール３２ａがそれぞれ挿入されている。スチールウール３２ａのそれぞれは、貫通空間部２ｂの内部の全体に渡って挿入されているが、ポリシラザンがコーティングされていない金属露出部２ａには挿入されず、スチールウール３２ａと金属露出部２ａとは接触していない。さらに、電極体１２ａにおける金属露出部２ａと反対側の端部において、貫通空間部２ｂには、アルミニウムやステンレス等の金属製の線材３２ｂがそれぞれ挿入されている。それぞれの線材３２ｂは、貫通空間部２ｂのスチールウール３２ａと接触し、電極体１２ａの端部から突出している。（図５参照）
さらに、線材３２ｂの突出端のそれぞれは、実施の形態１と同様に、櫛状の形状をした金属製の連結線材３２ｃと接続し、連結線材３２ｃによって１つに集合している。また、スチールウール３２ａは貫通空間部２ｂ内において屈折している電極本体を構成し、スチールウール３２ａ、線材３２ｂ及び連結線材３２ｃは、第２電極本体３２を構成している。さらに、電極体１２ａ及び第２電極本体３２、すなわち、第１電極本体２、誘電体７及び第２電極本体３２はプラズマ電極１２を構成している。
【００２４】
また、電極体１２ａの金属露出部２ａ、及び第２電極本体３２の連結線材３２ｃは、それぞれ交流電源１０に接続されている。
よって、交流電源１０により金属露出部２ａ及び連結線材３２ｃに電圧が印加されると、第１電極本体２とスチールウール３２ａとの間、すなわち電極体１２ａの各貫通空間部２ｂの内部において、プラズマが発生する。
【００２５】
さらに、このプラズマ電極１２は、ＤＰＦ装置のフィルタとして以下のような機能を有する。エンジンから排出された排気ガスは、ＤＰＦ装置に備えられたプラズマ電極１２に方向Ｘ２の方向で供給され、供給された排気ガスは電極体１２ａの貫通空間部２ｂの内部を通過して、電極体１２ａから排出される。排気ガスが貫通空間部２ｂを通過する際、排気ガスに含まれるパティキュレート物質は、貫通空間部２ｂ内のスチールウール３２ａによって捕捉される。また、この捕捉されたパティキュレート物質が、貫通空間部２ｂ内に堆積することによって、スチールウール３２ａのフィルタ能力の低下が発生する。この発生が確認されると、プラズマ電極１２へ交流電源１０によって電圧が印加され、電極体１２ａの各貫通空間部２ｂの内部においてプラズマが発生し、このプラズマによって、堆積したパティキュレート物質が燃焼される。すなわち、プラズマ電極１２のフィルタ機能が再生される。
【００２６】
なお、誘電体７であるポリシラザンの膜厚は、誘電体７の誘電率に影響を与え、膜厚を厚くすると誘電率が高くなり、プラズマの発生量を大きくすることができるが、プラズマの発生に高電圧が必要となる。また、ＤＰＦ装置の圧力損失を増大させる。
一方、膜厚を薄くすると、電極本体間の距離を小さくできるため、プラズマの発生に必要な電圧を低減できる。また、ＤＰＦ装置の圧力損失も低減する。しかし、薄い膜厚は、絶縁破壊を起こしやすくなるという問題もある。
よって、ＤＰＦ装置を構成するプラズマ電極１２におけるポリシラザンの膜厚は、１．０〜１．５μｍが適当である。
【００２７】
このように、実施の形態２においても、上記実施の形態１と同様な効果が得られる。
また、第１電極本体２にポリシラザンを被覆し、ポリシラザンが被覆された電極体１２ａの貫通空間部２ｂに、スチールウール３２ａからなる第２電極本体３２を挿入することによって、プラズマ電極１２を容易に製作することができる。また、プラズマ電極１２は、貫通空間部２ｂの内部で排気ガスに含まれるパティキュレート物質をスチールウール３２ａによって捕捉することが可能である。さらに、プラズマ電極１２は、貫通空間部２ｂの内部でプラズマを発生させ、捕捉・堆積したパティキュレート物質を燃焼することによって、スチールウール３２ａのフィルタ機能を再生させることが可能である。従って、ＤＰＦ装置におけるフィルタとしての機能を有するプラズマ電極１２を容易に製作することができる。
また、実施の形態２において、貫通空間部２ｂ内において屈折している第２の電極本体として、スチールウール３２ａを使用していたが、それに限定されるものではなく、１本の線材を屈折させたものであってもよい。貫通空間部２ｂ内の線材に屈折や彎曲させた部分を形成することによって、パティキュレート物質を十分に捕捉することができる。
【００２８】
実施の形態３．
この発明の実施の形態３に係るプラズマ電極１３は、実施の形態１に係るプラズマ電極と同様にして、ディップコーティングにより電極本体へガラス材が被覆されたものである。また、このプラズマ電極１３は、ディーゼルエンジンを搭載される車両に装着されるＤＰＦ装置におけるフィルタとして使用される。
【００２９】
図６〜８を参照すると、この実施の形態３に係るプラズマ電極１３の構造は以下のとおりとなる。
図７を参照して、実施の形態１に係るプラズマ電極と同様にして、複数の直線状の線材である、第１電極本体２３及び第２電極本体３３が、ポリシラザンによってコーティングされ、第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂが、それぞれ形成される。なお、第１電極本体２３及び第２電極本体３３はステンレスやアルミニウム等の金属製である。また、第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂは、一方の端部において、ポリシラザンがコーティングされていない金属露出部１３ａ２及び１３ｂ２をそれぞれ有している。なお、この発明の実施の形態３に係る第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂの製作方法は、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
次に、複数の第１電極体１３ａと第２電極体１３ｂとは互いに直交するようにそれぞれ編み込まれて、１つの網状体を形成する（図６参照）。なお、第１電極体１３ａのそれぞれは互いに平行に配置され、第１電極体１３ａの金属露出部１３ａ２は、第２電極体１３ｂに対して同一側となるようにそれぞれ配置されている。また、第２電極体１３ｂのそれぞれは互いに平行に配置され、第２電極体１３ｂの金属露出部１３ｂ２も同様に、第１電極体１３ａに対して同一側となるようにそれぞれ配置されている。また、第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂは、ポリシラザンがコーティングされた誘電体コーティング部１３ａ１及び１３ｂ１において接触し、互いに短絡しないように編み込まれている。
【００３０】
さらに、第１電極体１３ａの金属露出部１３ａ２は、直線状をした金属製の線材１３ｃとそれぞれ接続し、線材１３ｃは交流電源１０に接続している。また、第２電極体１３ｂの金属露出部１３ｂ２も同様に、直線状をした金属製の線材１３ｄとそれぞれ接続し、線材１３ｄは交流電源１０に接続している。（図６参照）
よって、交流電源１０によって、線材１３ｃ及び１３ｄを介して、第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂのそれぞれに電圧が印加されると、第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂによって囲まれる空間部１３ｅのそれぞれにおいて、プラズマが発生する。
従って、第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂ、すなわち、第１電極本体２３、ガラスの誘電体コーティング部１３ａ１及び１３ｂ１、及び第２電極本体３３は、プラズマ電極１３を構成する。（図６参照）
【００３１】
さらに、図８を参照して、網状のプラズマ電極１３を層状に積み重ねることによって、フィルタ３０が形成され、このフィルタ３０はＤＰＦ装置のフィルタとして使用される。なお、フィルタ３０におけるプラズマ電極１３のそれぞれは交流電源１０に接続されている。
【００３２】
このＤＰＦ装置のフィルタ３０において、エンジンから排出された排気ガスは、方向Ｘ３の方向でフィルタ３０を通過する。フィルタ３０を通過する際に、排気ガスに含まれるパティキュレート物質は、プラズマ電極１３の空間部１３ｅによって捕捉される。なお、空間部１３ｅは、パティキュレート物質を捕捉できる程度に小さくなっている。
また、この捕捉されたパティキュレート物質が堆積し、フィルタ３０のフィルタ能力が低下すると、交流電源１０によって電圧が印加され、プラズマ電極１３のそれぞれにおける各空間部１３ｅにプラズマが発生し、堆積したパティキュレート物質が燃焼される。すなわち、フィルタ３０のフィルタ機能が再生される。なお、フィルタ３０において、それぞれのプラズマ電極１３の各空間部１３ｅ、すなわちフィルタ３０の内部の細部に至るまでプラズマが発生するため、パティキュレート物質は効率よく燃焼される。
【００３３】
このように、実施の形態３においても、上記実施の形態１と同様な効果が得られる。
また、プラズマ電極１３は、ポリシラザンを被覆した線状の第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂを編み込むことによって、容易に製作することができる。また、プラズマ電極１３は、第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂによって囲まれるそれぞれの空間部１３ｅで、排気ガスに含まれるパティキュレート物質を捕捉することが可能である。さらに、プラズマ電極１３は、それぞれの空間部１３ｅでプラズマを発生させて、捕捉したパティキュレート物質を燃焼することによって、フィルタ機能を再生させることが可能である。また、プラズマ電極１３は、それぞれの空間部１３ｅにおいてプラズマを発生させるため、捕捉したパティキュレート物質を効率よく燃焼することが可能である。従って、ＤＰＦ装置におけるフィルタとしての機能を有し、捕捉したパティキュレート物質を効率よく燃焼するプラズマ電極１３を容易に製作することができる。
また、この実施の形態３において、第１電極体１３ａ及び第２電極体１３ｂの双方にポリシラザンを被覆していたが、いずれか一方が被覆された状態であっても、各空間部１３ｅにおいてプラズマを発生することができる。
【００３４】
実施の形態１〜３において、ガラス材をコーティングする材料としてポリシラザンを使用していたが、これに限定されるものではなく、同様のガラスコーティング材であるアクアシランやヒートレスグラスであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】この発明の実施の形態１に係るプラズマ電極の製作方法の工程を示す模式図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係るプラズマ電極を示す斜視図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面の一部を示す模式図である。
【図４】この発明の実施の形態２に係るプラズマ電極を示す斜視図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ断面の一部を示す模式図である。
【図６】この発明の実施の形態３に係るプラズマ電極を示す斜視図である。
【図７】図６の要部Ｐを示す側面図である。
【図８】この発明の実施の形態３に係るプラズマ電極によって構成されるＤＰＦ装置のフィルタを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３６】
１，１２，１３  プラズマ電極、２，２３  第１電極本体、３，３２，３３  第２電極本体、２ｂ  貫通空間部（穴）、３ａ，３２ｂ  線材（第２の電極本体）、３ｂ，３２ｃ  連結線材（第２の電極本体）、１３ａ１，１３ｂ１  誘電体コーティング部（誘電体）、３２ａ  スチールウール（第２の電極本体）、７  誘電体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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