(57)【要約】【課題】外形が均一な厚膜を形成できる基板間厚膜形成装置及び形成方法を提供する。【解決手段】第１の基板Ｐ１と第２の基板Ｐ１との間に、厚膜を形成する基板間厚膜形成装置であって、第１の基板Ｐ１に、厚膜の外周を規定する第１の弾性部材Ｅ１を貼着する第１の貼着部３、第２の基板Ｐ２と第１の弾性部材Ｅ１とを貼着する第２の貼着部５、第１の弾性部材Ｅ１に設けられた開口部ＯＰから、厚膜の材料を供給する供給部６を有する。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と第２の基板との間に、厚膜を形成する基板間厚膜形成装置において、
第１の基板に、厚膜の外周を規定する弾性部材を貼着する第１の貼着部と、
第２の基板と弾性部材とを貼着する第２の貼着部と、
第１の基板、第２の基板及び弾性部材の少なくとも一つに設けられた開口部から、厚膜の材料を供給する供給部と、
を有することを特徴とする基板間厚膜形成装置。
【請求項２】
第１の基板若しくは第２の基板に、厚膜の内周を規定する弾性部材を貼着する第３の貼着部を有することを特徴とする請求項１記載の基板間厚膜形成装置。
【請求項３】
接着剤若しくは弾性部材により、開口部を塞ぐ閉塞部を有することを特徴とする請求項１記載の基板間厚膜形成装置。
【請求項４】
弾性部材が、ゴム若しくはゲルであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板間厚膜形成装置。
【請求項５】
前記第１の貼着部による貼着前及び前記第２の貼着部による貼着前に、貼着対象の少なくとも一方に接着剤を塗布する塗布部を有することを特徴とする請求項１記載の基板間厚膜形成装置。
【請求項６】
接着剤が、電磁波の照射により硬化する樹脂であり、
電磁波を接着剤に照射する照射部を有することを特徴とする請求項５記載の基板間厚膜形成装置。
【請求項７】
厚膜の材料が、感光性記録材料若しくは電解液であることを特徴とする請求項１記載の基板間厚膜形成装置。
【請求項８】
第１の基板と弾性部材との貼着、第２の基板と弾性部材との貼着及び厚膜の材料の供給が、真空中で行われるように、前記第１の貼着部、前記第２の貼着部及び前記供給部が、真空とすることが可能な室内に配置されていることを特徴とする請求項１記載の基板間厚膜形成装置。
【請求項９】
供給部による材料の供給時の雰囲気中の水分濃度を低下させる除湿部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板間厚膜形成装置。
【請求項１０】
貼着された第１の基板、第２の基板及び弾性部材に、振動を加える振動部を有することを特徴とする請求項１記載の基板間厚膜形成装置。
【請求項１１】
第１の基板と第２の基板との間に、厚膜を形成する基板間厚膜形成方法において、
第１の基板に、厚膜の外周を規定する弾性部材を貼着し、
第２の基板と弾性部材とを貼着し、
第１の基板、第２の基板及び弾性部材の少なくとも一つに設けられた開口部から、厚膜の材料を供給することを特徴とする基板間厚膜形成方法。
【請求項１２】
厚膜の材料を供給する際若しくは供給後に、貼着された第１の基板、第２の基板及び弾性部材に、振動を加えることを特徴とする請求項１１記載の基板間厚膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ホログラムディスクのように、二つの基板の間に樹脂等による厚膜を形成するための基板間厚膜形成装置及び形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＶＤ等の光ディスクは、一対の基板を樹脂を介して貼り合わせることによって製造されている。この樹脂の塗布は、一般的には、スピンコート法によって、樹脂を展延することにより行われている（特許文献１参照）。スピンコート法とは、基板の中心の周囲に樹脂を塗布した後、基板を高速回転させることにより、基板上に、樹脂層を形成する方法である。
【０００３】
但し、スピンコート法によって樹脂を塗布する場合、遠心力によって、基板の内周部に対して、外周部の膜厚が厚くなる傾向がある。ＤＶＤ等の樹脂層であれば、塗布厚は比較的薄いため、スピンコート法による場合であっても、厚みを均一に制御することは可能である。
【０００４】
しかし、ホログラムディスクのように、ホログラムを利用した記録媒体の場合には、ホログラム材料である記録層を、ＤＶＤの樹脂層よりも厚い厚膜として形成しなければならない。その厚さは、スピンコート法によって実現できる均一な厚みの上限を、はるかに超えることになるため、単純なスピンコート法の適用では、製品に要求される厚膜の形成は困難となる。
【０００５】
また、ＤＶＤ等の樹脂層のように、１種類の樹脂（例えば、紫外線硬化樹脂）を塗布すればよい場合と異なり、ホログラム材料は、複数の液体を混合して形成する必要がある（特許文献２参照）。このため、ホログラムディスクの厚膜には、材料の均一な混合という要請も存在する。
【０００６】
このような混合の方法としては、例えば、特許文献３には、ダイナミックミキサー等の混合装置内で、あらかじめＡ液（ビスフェノールＡ系エポキシ、グリシジルアクリレートの混合物）とＢ液（脂肪族アミン、臭素化アクリル、光重合開始剤の混合物）を混合させて、これをノズルを介して、対向配置された一対の基板間に供給することにより、記録層を形成する技術が提案されている。
【特許文献１】特開２００３−２３３９３６号公報
【特許文献２】特開２００７−２４１１４４号公報
【特許文献３】特開２００５−１７５８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献３の技術では、対向配置された一対の基板の間に材料を供給するので、基板の周囲からの材料のはみ出しや流出が生じる可能性がある。このため、かかる従来技術では、製造されたディスクの外形が不均一となり易い。さらに、基板の中央から材料を供給するため、センターホールを有するディスクを形成することができない。もし、センターホールを後から打ち抜く場合には、打ち抜かれた中央の材料の無駄が生じる。
【０００８】
また、あらかじめ混合装置内で２液を混合させると、装置の停止（一時停止も含む）を行った場合に、既に混合した材料の硬化が進行してしまう。このため、装置の稼動を再開する際には、硬化してしまった材料の廃棄、混合装置のメンテナンス等が必要となり、コストがかかる。また、混合後の材料を基板間に供給するため、供給の初期から最終までの間の硬化の進行度に差があり、硬化収縮の相違による光学的な歪みが生じる場合がある。
【０００９】
これに対処するため、スタティックミキサーのように、材料の供給直前のノズル部分において、２液を混合することが考えられる。しかし、かかる場合であっても、装置を停止すると、ノズル内において硬化が進行するため、ノズル内の材料の廃棄、メンテナンス等は必要となる。また、混合後の供給である点では、上記と変わりはないので、供給後の硬化が均一になるとは限らない。
【００１０】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その主たる目的は、外形が均一な厚膜を形成できる基板間厚膜形成装置及び形成方法を提供することにある。
【００１１】
また、本発明の他の目的は、装置を停止した後に稼働を再開する際のメンテナンスが不要となり、厚膜の硬化が均一になる基板間厚膜形成装置及び形成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記のような目的を達成するため、請求項１の発明は、第１の基板と第２の基板との間に、厚膜を形成する基板間厚膜形成装置において、第１の基板に、厚膜の外周を規定する弾性部材を貼着する第１の貼着部と、第２の基板と弾性部材とを貼着する第２の貼着部と、第１の基板、第２の基板及び弾性部材の少なくとも一つに設けられた開口部から、厚膜の材料を供給する供給部と、を有することを特徴とする。
【００１３】
請求項１１の発明は、第１の基板と第２の基板との間に、厚膜を形成する基板間厚膜形成方法において、第１の基板に、厚膜の外周を規定する弾性部材を貼着し、第２の基板と弾性部材とを貼着し、第１の基板、第２の基板及び弾性部材の少なくとも一つに設けられた開口部から、厚膜の材料を供給することを特徴とする。
【００１４】
以上のような請求項１及び１１の発明では、第１の基板と第２の基板とに、厚膜の外周を規定する弾性部材を貼着し、これによって形成された空間に厚膜の材料を供給するので、外周の形状が均一となる。また、弾性部材を用いることにより、材料の充填時と硬化収縮時の体積の変化を吸収できる。
【００１５】
請求項２の発明は、請求項１の基板間厚膜形成装置において、第１の基板若しくは第２の基板に、厚膜の内周を規定する弾性部材を貼着する第３の貼着部を有することを特徴とする。
以上のような請求項２の発明では、弾性部材によって厚膜の内周も規定されるため、センターホールを有するディスクも形成できる。また、センターホールのための打ち抜きが必要ないので、材料の無駄も生じない。
【００１６】
請求項３の発明は、請求項１の基板間厚膜形成装置において、接着剤若しくは弾性部材により、開口部を塞ぐ閉塞部を有することを特徴とする。
以上のような請求項３の発明では、閉塞部によって開口部を塞ぐことにより、材料のはみ出しや流出を完全に防止できる。
【００１７】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか１項の基板間厚膜形成装置において、弾性部材が、ゴム若しくはゲルであることを特徴とする。
以上のような請求項４の発明では、弾性部材としてゴム若しくはゲルを用いるため、十分な弾性が得られるとともに、所望の形状への加工がし易い。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項１の基板間厚膜形成装置において、前記第１の貼着部による貼着前及び前記第２の貼着部による貼着前に、貼着対象の少なくとも一方に接着剤を塗布する塗布部を有することを特徴とする。
以上のような請求項５の発明では、接着剤を用いて弾性部材を接着するので、密閉度を高めることができる。
【００１９】
請求項６の発明は、請求項５の基板間厚膜形成装置において、接着剤が、電磁波の照射により硬化する樹脂であり、電磁波を接着剤に照射する照射部を有することを特徴とする。
以上のような請求項６の発明では、電磁波の照射により接着剤を硬化させてから材料を供給することにより、弾性部材の変形やズレを防止できる。
【００２０】
請求項７の発明は、請求項１の基板間厚膜形成装置において、厚膜の材料が、感光性記録材料若しくは電解液であることを特徴とする。
以上のような請求項７の発明では、ホログラムディスク若しくは太陽電池のための厚膜の外形を、均一に形成することができる。
【００２１】
請求項８の発明は、請求項１の基板間厚膜形成装置において、第１の基板と弾性部材との貼着、第２の基板と弾性部材との貼着及び厚膜の材料の供給が、真空中で行われるように、前記第１の貼着部、前記第２の貼着部及び前記供給部が、真空とすることが可能な室内に配置されていることを特徴とする。
以上のような請求項８の発明では、真空中で貼着及び材料の供給を行うことにより、材料中の気泡の発生を防止できる。
【００２２】
請求項９の発明は、請求項１の基板間厚膜形成装置において、供給部による材料の供給時の雰囲気中の水分濃度を低下させる除湿部が設けられていることを特徴とする。
以上のような請求項９の発明では、水分濃度を低下させることにより、厚膜の材料の変質を防止できる。
【００２３】
請求項１０の発明は、請求項１の基板間厚膜形成装置において、貼着された第１の基板、第２の基板及び弾性部材に、振動を加える振動部を有することを特徴とする。
請求項１２の発明は、請求項１１の基板間厚膜形成方法において、厚膜の材料を供給する際若しくは供給後に、貼着された第１の基板、第２の基板及び弾性部材に、振動を加えることを特徴とする。
【００２４】
以上のような請求項１０及び１２の発明では、厚膜の材料に振動が加わることにより、混合が促進され、硬化が均一となる。特に、２つの材料を別々に供給した場合、振動させながら混合されるので、装置を停止した後、稼働を再開する場合でも、供給部の材料の廃棄、メンテナンスの必要がない。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように、本発明によれば、外形が均一な厚膜を形成可能な基板間厚膜形成装置及び形成方法を提供することができる。
【００２６】
また、本発明によれば、装置を停止した後に稼働を再会する際のメンテナンスが不要となり、厚膜の硬化が均一になる基板間厚膜形成装置及び形成方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
次に、本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。
［構成］
まず、本実施形態の構成を説明する。すなわち、本実施形態は、図１〜１０に示すように、支持部１、塗布部２、第１の貼着部３、硬化部４、第２の貼着部５、供給部６、閉塞部７等を備えた厚膜形成装置である。この厚膜形成装置は、ホログラムディスクの製造装置の一部を構成している。但し、厚膜形成装置に対して、前工程から部材を搬入する手段、後工程に部材を搬出する手段等については、公知のあらゆる技術を適用可能であるため、説明を省略する。
【００２８】
また、本実施形態の厚膜形成装置は、図示しない真空源に接続され、内部を真空とすることが可能な真空室Ｃに収容されており、この真空室Ｃ内で各処理が行われる。ここで、真空室Ｃに接続された真空源は、真空室Ｃ内の除湿を行う除湿部としての機能も有する。
【００２９】
支持部１は、図１に示すように、ターンテーブル１ａと駆動源１ｂを備えた装置である。ターンテーブル１ａは、第１の基板Ｐ１が載置される台である。なお、ターンテーブル１ａには、図示はしないが、第１の基板Ｐ１を保持及び解放する保持手段（例えば、爪、吸着材、バキューム等）が設けられている。駆動源１ｂは、ターンテーブル１ａを回転させるモータ等である。
【００３０】
塗布部２は、ターンテーブル１ａ上に載置された部材に接着材を塗布する装置である。この塗布部２は、アーム２ａとローラ２ｂを有している。アーム２ａは、図示しない駆動機構によって、水平及び垂直方向に移動可能に設けられている。
【００３１】
また、アーム２ａは、その内部に接着剤の供給路を有している。そして、アーム２ａは、図示しない経路（例えば、配管等）を介して、接着剤の供給源（例えば、タンク等）に接続され、供給路に設けられた送出手段（ポンプ、弁等）によって、ローラ２ｂに接着剤を供給することができる。
【００３２】
ローラ２ｂは、アーム２ａの先端に、回転可能に設けられている。このローラ２ｂは、図２に示すように、ターンテーブル１ａの回転に従って回転する部材の上に下降することにより接する。そして、送出手段の作動によって、供給源からの接着剤がローラ２ｂに供給されると、部材上に接着剤が環状に塗布される。
【００３３】
第１の貼着部３は、図３に示すように、厚膜の外周を規定する第１の弾性部材Ｅ１と、厚膜の内周を規定する第２の弾性部材Ｅ２とを、第１の基板Ｐ１に貼着する装置である（図９参照）。この第１の貼着部３は、搬送部３ａとバキュームパッド３ｂを有している。
【００３４】
搬送部３ａは、図示しない駆動機構により水平及び垂直方向に移動可能に設けられている。バキュームパッド３ｂは、図示しない真空源に接続され、真空源の切り替えにより、第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２を吸着・解放可能な保持手段である。なお、本実施形態では、第１の貼着部３は、請求項１の第１の貼着部と請求項２の第３の貼着部とを兼用している。但し、第３の貼着部を別に設けてもよい。
【００３５】
また、第１の弾性部材Ｅ１は、図９に示すように、一部に開口部ＯＰを有するＣ形の部材である。第２の弾性部材Ｅ２は、リング状の部材である。第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２は、ゴム若しくはゲルによって形成されているが、これには限定されない。ゴム若しくはゲルのベースとなる樹脂としては、例えば、シリコーン、アクリル、ウレタン等が考えられる。
【００３６】
硬化部４は、図４に示すように、紫外線照射装置４ａを有している。紫外線照射装置４ａは、ターンテーブル１ａ上の部材に、光源からの紫外線を照射することにより、当該部材に塗布された接着剤を硬化させる。この紫外線照射装置４ａは、図示しない駆動機構によって、水平及び垂直方向に移動可能に設けられている。
【００３７】
第２の貼着部５は、図６に示すように、第２の基板Ｐ２を、第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２に貼着する装置である。この第２の貼着部５は、第１の貼着部３と同様の構成の搬送部５ａとバキュームパッド（保持手段）５ｂを有している。なお、本実施形態では、第２の貼着部５と第１の貼着部３とを別に構成しているが、第１の貼着部３が第２の貼着部５の機能を兼用してもよい。
【００３８】
本実施形態で使用する第１の基板Ｐ１及び第２の基板Ｐ２としては、センターホールが形成された円盤状のものを用いる。また、第１の基板Ｐ１及び第２の基板Ｐ２の材質としては、例えば、ガラス製、ポリカーボネート製等が考えられるが、これには限定されない。ホログラムディスクの場合、アドレスピット、Ａｌ反射膜、ギャップ層（誘電体膜）、波長選択反射膜等を形成する必要があるが、これらを、あらかじめ第１の基板Ｐ１及び第２の基板Ｐ２のいずれに形成しておくかも自由である。
【００３９】
供給部６は、図９に示すように、保持部６ａとノズル６ｂを有している。保持部６ａは、第１の弾性部材Ｅ１及び及び第２の弾性部材Ｅ２を介して貼り合わされた第１の基板Ｐ１及び第２の基板Ｐ２（以下、外型部Ｘと呼ぶ）を、保持する手段である。ノズル６ｂは、開口部ＯＰを介して、外型部Ｘの内部に、ホログラム用の材料を供給する手段である。
【００４０】
このノズル６ｂは、図示しない供給路（例えば、配管等）を介して、材料の供給源（例えば、タンク等）に接続され、供給路に設けられた送出手段（ポンプ、弁等）によって、先端から材料を供給することができる。また、ノズル６ｂは、図示しない駆動機構により水平及び垂直方向に移動可能に設けられている。
【００４１】
本実施形態では、２液を混合するタイプのホログラム用の材料を用いる。典型的には、ダイナミックミキサーで混合したものをノズル６ｂから供給することが考えられる。但し、スタティックミキサーのように、ノズル６ｂにおいて、２液を混合しながら供給してもよい。なお、材料としては、ホログラム記録層となりうる材料を広く含む。従って、上記の背景技術で例示した材料のみならず、現在又は将来において使用可能なあらゆる材料を適用可能である。
【００４２】
閉塞部７は、図１０に示すように、第３の弾性部材Ｅ３によって開口部ＯＰを閉塞する装置である。この閉塞部７は、搬送部７ａとバキュームパッド７ｂを有している。搬送部７ａは、図示しない駆動機構により水平及び垂直方向に移動可能に設けられている。バキュームパッド７ｂは、図示しない真空源に接続され、真空源の切り替えにより、第３の弾性部材Ｅ３を吸着・解放可能な保持手段である。
【００４３】
第３の弾性部材Ｅ３は、開口部ＯＰに嵌合して塞ぐことができる小片の部材である。第３の弾性部材Ｅ３の材料としては、上記の第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２と同様とすることが考えられる。
【００４４】
なお、上記の各部は、駆動機構、真空源、ポンプ、弁、モータ、光源等を制御する制御装置によって制御される。この制御装置は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって実現できる。従って、以下に説明する手順で本装置の動作を制御するためのコンピュータプログラム及びこれを記録した記録媒体も、本発明の一態様である。
【００４５】
［作用］
以上のような本実施形態の作用を、図１〜１０を参照して説明する。まず、図１に示すように、前工程から搬送されてきた第１の基板Ｐ１が、ターンテーブル１ａ上に載置される。そして、真空源によって、真空室Ｃ内を真空引きする。なお、真空引きによって、水分濃度が低下する。この水分濃度は、例えば、１８％未満とすることが望ましい。
【００４６】
次に、図２に示すように、塗布部２のアーム２ａがターンテーブル１ａ上に移動する。同時に、ターンテーブル１ａによって第１の基板Ｐ１が回転する。そして、アーム２ａが下降することにより、回転する第１の基板Ｐ１の内周に、ローラ２ｂが接触する。このとき、送出手段がローラ２ｂに接着剤Ｒを供給するので、第１の基板Ｐ１の内周に接着剤Ｒがリング状に塗布される。
【００４７】
さらに、一端上昇したアーム２ａが、外周側へ移動した後、下降することにより、第１の基板Ｐ１の外周に、ローラ２ｂが接触する。これにより、第１の基板Ｐ１の外周に接着剤Ｒがリング状に塗布される。その後、アーム２ａがターンテーブル１ａ上から待避して、ターンテーブル１ａが回転を停止する。
【００４８】
次に、図３に示すように、第１の貼着部３の搬送部３ａがターンテーブル１ａ上に移動する。搬送部３ａは、バキュームパッド３ｂによって第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２を吸着している。この搬送部３ａが下降することにより、第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２を、接着剤Ｒを介して第１の基板Ｐ１に貼着する。その後、バキュームパッド３ｂが第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２を解放し、搬送部３ａが上昇してターンテーブル１ａ上から待避する。
【００４９】
次に、図４に示すように、硬化部４の紫外線照射装置４ａが、ターンテーブル１ａ上に移動して、紫外線を照射する。これにより、第１の弾性部材Ｅ及び第２の弾性部材Ｅ２と第１の基板Ｐ１との間の接着剤Ｒが硬化する。その後、紫外線照射装置４ａは、ターンテーブル１ａ上から待避する。
【００５０】
次に、図５に示すように、塗布部２のアーム２ａがターンテーブル１ａ上に移動する。同時に、ターンテーブル１ａによって第１の基板Ｐ１が回転する。そして、上記のように、アーム２ａが、第１の弾性部材Ｐ１上及び第２の弾性部材Ｐ２上に順次下降して、ローラ２ｂが接触することにより、接着剤Ｒが塗布される。その後、アーム２ａは、ターンテーブル１ａ上から待避する。
【００５１】
次に、図６に示すように、第２の貼着部５の搬送部５ａがターンテーブル１ａ上に移動する。搬送部５ａは、バキュームパッド５ｂによって第２の基板Ｐ１を吸着している。この搬送部５ａが下降することにより、第２の基板Ｐ１を、接着剤Ｒを介して第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２に貼着する。その後、バキュームパッド５ｂが第２の基板Ｐ２を解放し、搬送部５ａが上昇してターンテーブル１ａ上から待避する。
【００５２】
次に、図７に示すように、紫外線照射装置４ａがターンテーブル１ａ上に移動して、紫外線を照射する。これにより、第２の基板Ｐ２と第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２との間の接着剤Ｒが硬化する。これにより、外型部Ｘが形成される。その後、紫外線照射装置４ａは、ターンテーブル１ａ上から待避する。
【００５３】
さらに、図８に示すように、第２の貼着部５の搬送部５ａがターンテーブル１ａ上に移動する。搬送部５ａは下降して、バキュームパッド５ｂがターンテーブル１ａ上の外型部Ｘを吸着する。そして、搬送部５ａが上昇することにより、外型部Ｘを上昇させる。その後、搬送部５ａは、図示しない姿勢変更装置等に外型部Ｘを渡す。
【００５４】
姿勢変更装置は、図９に示すように、外型部Ｘの姿勢を垂直方向に変更し、供給部６の保持部６ａに渡す。このとき、外型部Ｘの開口部ＯＰが上を向くようにする。そして、この開口部ＯＰ上に、ノズル６ｂが移動して、ホログラム用の材料Ｍを滴下する。材料Ｍが、外型部Ｘの内部に満たされたら、ノズル６ｂが待避する。
【００５５】
さらに、閉塞部７の搬送部７ａが、開口部ＯＰ上に移動する。搬送部７ａは、バキュームパッド７ｂによって第３の弾性部材Ｅ３を吸着している。この搬送部７ａが下降することにより、第３の弾性部材Ｅ３を、開口部ＯＰに押し当てて閉塞する。なお、第３の弾性部材Ｅ３にも、第１の弾性部材Ｅ１、第１の基板Ｐ１及び第２の基板Ｐ２との接触面のいずれか若しくは全てに、あらかじめ接着剤が塗布されているものとする。そして、バキュームパッド７ｂが第３の弾性部材Ｅ３を解放し、搬送部７ａが上昇して待避する。その後、外型部Ｘ内の材料Ｍが硬化することにより、ホログラムディスクの厚膜が形成される。このように、内部に厚膜が形成された外型部Ｘは、真空室Ｃから次工程へ搬出される。
【００５６】
［効果］
以上のような本実施形態によれば、第１の基板Ｐ１と第２の基板Ｐ２とに、厚膜の外周を規定する第１の弾性部材Ｅ１、内周を規定する第２の弾性部材Ｅ２を貼着し、これによって形成された空間に、ホログラム用の材料Ｍを供給するので、外周及び内周の形状が均一となる。また、第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２の弾性により、材料の充填時と硬化収縮時の体積の変化を吸収できる。
【００５７】
また、厚膜の内周を規定する第２の弾性部材Ｅ２を用いるため、センターホールを有するディスクであっても形成することができる。特に、センターホールを打ち抜く必要はないので、、材料の無駄も生じない。
【００５８】
また、開口部ＯＰを第３の弾性部材Ｅ３で塞ぐことにより、材料のはみ出しや流出を完全に防止できる。さらに、第１〜３の弾性部材Ｅ１〜Ｅ３として、ゴム若しくはゲルを用いるため、外周、内周、開口部ＯＰ等に応じて所望の形状に加工し易い。したがって、例えば、加工時に第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２の幅を調節することにより、所望の厚さの厚膜を得ることができる。
【００５９】
また、第１の基板Ｐ１及び第２の基板Ｐ２に対して、第１の弾性部材Ｅ１及び第２の弾性部材Ｅ２を接着剤Ｒを介して貼着することにより、密閉度を高めることができる。特に、接着剤Ｒとして紫外線硬化樹脂を用いて、これを紫外線の照射により硬化させるので、搬送時や材料供給時の変形やズレを防止できる。
【００６０】
また、真空中で貼着及び材料の供給等を行うことにより、材料中の気泡の発生を防止できる。さらに、雰囲気中の水分濃度を低下させることにより、材料の変質を防止できる。なお、本実施形態のように、供給前若しくは供給と同時に２液を混合する場合、上述のメンテナンス性や硬化の均一性の課題は残るが、外形の均一性の課題は達成できる。また、メンテナンス性や硬化の均一性の課題は、後述する他の実施形態のように、２液を別々に供給することにより解決できる。
【００６１】
［他の実施形態］
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。例えば、基板や弾性部材の形状や大きさに関しては、製品の形状や大きさに応じて自由に設定可能である。センターホールが不要な製品の場合には、内周の弾性部材を省略することもできる。また、供給する材料としては、ホログラム用の材料には限定されない。例えば、電極を配設した基板間に太陽電池用の材料を供給する場合にも、本発明を適用できる。一例としては、透明電極を設けた一対の基板間に、電解液を供給する色素増感太陽電池が考えられる。なお、本発明の「厚膜」とは、厚膜の形成に適しているために用いられた用語であり、一定以上の厚みや特定の厚みの膜に限定するものではない。
【００６２】
また、基板への弾性部材の貼着位置は、上記の実施形態においては、基板の平面上であったが、基板の外側面若しくは内側面（センターホール内側）であってもよい。なお、請求項に記載の基板の外周、内周とは、基板の平面上の部分、基板の外側面部分、内側面部分等の外縁近傍若しくは内縁近傍のある程度幅のある領域を指している。このため、弾性部材は、必ずしも基板の外縁若しくは内縁に接する位置に貼着される必要はない。
【００６３】
また、各基板、各弾性部材の材質は、全て共通にする必要はない。接着剤も、紫外線硬化型には限定されない。例えば、熱硬化型の樹脂でもよい。かかる場合には、赤外線照射装置、ヒータによって加熱することにより、硬化させる構成であってもよい。
【００６４】
また、基板及び弾性部材により形成される外型部内に、複数の材料を別々に供給し、外型部内において混合させるようにしてもよい。例えば、図１１に示すような実施形態も構成可能である。すなわち、開口部ＯＰの上部に、供給部８のノズル８ａとノズル８ｂを、図示しない駆動機構により移動可能に設ける。ノズル８ａ及びノズル８ｂは、それぞれ２液硬化型のホログラム材料である液Ａ及び液Ｂを、別々に供給するための手段である。
【００６５】
そして、外型部を保持する保持部６ａに、振動部９を配置する。振動部９としては、例えば、制御装置による通電により、超音波振動を発生させる超音波振動子を用いることが可能である。但し、本発明はこれには限定されない。例えば、制御装置による通電により振動する偏心モータ、圧電素子（ピエゾ）等によって、振動を発生させる構成としてもよい。振動の態様は、微細なものには限定されない。したがって、攪拌機等に見られる往復動、回動、揺動のように、変位量の大きな態様も含まれる。
【００６６】
かかる実施形態では、図１１に示すように、液Ａと液Ｂを外型部Ｘ内に別々に供給した後（若しくは供給と同時に）、図１２に示すように、振動部９によって保持部６ａを振動させることにより、液Ａと液Ｂを混合させる。その後、上記の実施形態と同様に、開口部ＯＰを閉塞する（閉塞後、振動させてもよい）。
【００６７】
かかる実施形態によれば、液Ａと液Ｂとを別々に供給するので、装置の停止を行った後、稼働を再開する場合でも、材料の廃棄は不要で、供給源、供給経路、ノズル等、供給部を構成する部材のメンテナンスの必要がない。また、液Ａと液Ｂは、外型部Ｘ内へ供給された後に、混合されて硬化するので、硬化が均一になり、歪みが防止できる。なお、振動部９は、図１３に示すように、保持部６ａ内の液体等を介して間接的に外枠部Ｘへ振動を伝達するように構成してもよい。
【００６８】
さらに、材料を加熱するための加熱部を設けて、材料の粘度を下げて混合を促進するとともに、気泡の発生を抑制することも可能である。例えば、上記の保持部６ａにヒータを設けてもよいし、赤外線照射装置によって赤外線を照射するようにしてもよい。
【００６９】
また、ヒータ等の加熱装置によって真空室内を加熱した後に、真空引きすることにより、除湿を促進してもよい。除湿部としては、別途、乾燥剤等を配設してもよい。上記の実施形態では、各工程を共通の真空室内で行ったが、各工程を個別の真空チャンバ内で行ってもよい。
【００７０】
上記の駆動機構としては、例えば、水平移動用の２軸駆動装置、垂直移動用のシリンダ等が考えられるが、これには限定されない。各部材を保持する保持手段は、上記の実施形態では、バキュームパッドを用いたが、機械的なチャックであってもよい。また、閉塞部は、弾性部材によって開口部を閉塞するものには限定されない。例えば、接着剤を塗布若しくは滴下することによって、開口部を閉塞するものであってもよい。なお、閉塞部を省略して、閉塞の手間を省いてもよい。
【００７１】
複数の材料を別々に供給する場合、材料を同一箇所から供給してもよいし、異なる箇所から供給してもよい。複数の材料の供給タイミングを時間的に前後させてもよい。例えば、開口部は、第１の基板、第２の基板及び弾性部材のいずれに設けてもよく、その数は問わない。
【００７２】
したがって、第１の基板、第２の基板若しくは弾性部材の複数箇所に開口部を形成し、複数箇所から複数の材料を供給することにより、均一に混合され易くすることも可能である。供給部の数（ノズルの数等）を複数として、複数箇所に同時に供給できるようにしてもよい。なお、供給部における材料の供給端は、吐き出し口が存在すればよく、ノズルには限定されない。
【００７３】
さらに、開口部は、第２の基板を貼着する前における第１の基板上の開口としてもよい。例えば、図１４に示すように、第１の基板Ｐ１に第１の弾性部材Ｅ１を貼着した後、その上部の開口部ＯＰへ、第１の供給部８ａ及び第２の供給部８ｂから液Ａ及び液Ｂを供給する。そして、図１５に示すように、第２の基板Ｐ２を貼着した後、図１６に示すように、振動部９により振動させて材料を混合させてもよい。また、例えば、上記の実施形態のいずれの場合においても、材料を供給する際に、開口部から材料を若干はみ出させて（あふれさせて）、閉塞、硬化させても構わない。これにより、確実に充填率を１００％とすることができる。かかる場合には、注入量を正確に一定量に収める必要がないので、制御が容易となる。はみ出し部分は、開口部に限定されるので、事後整形する場合も容易である。
【００７４】
本発明の適用対象となる記録媒体は、材料の混合により厚膜を形成するものであればよく、その大きさ、形状、材質等は自由であり、現在又は将来において採用されるあらゆる規格に適用可能である。また、上記のように、太陽電池等の基板間に材料を充填する製品に広く適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の一実施形態における支持部及び塗布部を示す簡略断面図である。
【図２】図１の実施形態における第１の基板への接着剤の塗布を示す簡略断面図である。
【図３】図１の実施形態における第１の基板への第１の弾性部材及び第２の弾性部材の貼着を示す簡略断面図である。
【図４】図１の実施形態における紫外線の照射を示す簡略断面図である。
【図５】図１の実施形態における第１の弾性部材及び第２の弾性部材への接着剤の塗布を示す簡略断面図である。
【図６】図１の実施形態における第１の弾性部材及び第２の弾性部材への第２の基板の貼着を示す簡略断面図である。
【図７】図１の実施形態における紫外線の照射を示す簡略断面図である。
【図８】図１の実施形態における外型部の移動を示す簡略断面図である。
【図９】図１の実施形態における外型部への材料の供給を示す簡略断面図である。
【図１０】図１の実施形態における開口部の閉塞を示す簡略断面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態における２液の供給を示す簡略断面図である。
【図１２】本発明の他の実施形態における振動による材料の混合を示す簡略断面図である。
【図１３】本発明の他の実施形態における振動の別態様を示す簡略断面図である。
【図１４】本発明の他の実施形態における２液の供給を示す簡略断面図である。
【図１５】本発明の他の実施形態における第２の基板の貼着を示す簡略断面図である。
【図１６】本発明の他の実施形態における振動による材料の混合を示す簡略断面図である。
【符号の説明】
【００７６】
１…支持部
１ａ…ターンテーブル
１ｂ…駆動源
２…塗布部
２ａ…アーム
２ｂ…ローラ
３…第１の貼着部
３ａ，５ａ，７ａ…搬送部
３ｂ，５ｂ，７ｂ…バキュームパッド
４…硬化部
４ａ…紫外線照射装置
５…第２の貼着部
６…供給部
６ａ…保持部
６ｂ…ノズル
７…閉塞部
８ａ…第１の供給部
８ｂ…第２の供給部
９…振動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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