(57)【要約】【課題】大型化を招くことなく、共振振動を十分に抑制することができる光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置を提供する。【解決手段】光走査装置は、枠体と、入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部とを備えている。光走査装置は、ミラー支持部を通り、反射ミラー面を横断する軸を中心として反射ミラー部を駆動させることによって、光を走査させる。光走査装置は、枠体とミラー支持部とを別体に設けた。【選択図】図２
2009244798.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠体と、
入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、
前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部と、
前記ミラー支持部を通り、前記反射ミラー面を横断する軸を中心として前記反射ミラー部を回転または揺動するよう駆動させることによって、光を走査させる反射ミラー駆動部とを備えた光走査装置において、
前記反射ミラー駆動部は、少なくとも非共振状態で前記反射ミラーを駆動させ、
前記枠体と前記ミラー支持部とを別体に設けたことを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
第一の走査方向に対して相対的に高速に光を走査させる高速走査部と、前記第一の走査方向と交差する第二の走査方向に対して相対的に低速に光を走査させる低速走査部とを備え、
前記低速走査部は、前記枠体と前記反射ミラー部と前記ミラー支持部と前記反射ミラー駆動部とを有し、
前記低速走査部における前記枠体と前記ミラー支持部とを別体に設けたことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
前記枠体には、前記ミラー支持部を駆動可能に当接する軸受け部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光走査装置。
【請求項４】
前記枠体には、ベアリングが設けられたことを特徴とする請求項１又は２に記載の光走査装置。
【請求項５】
前記枠体には、エアベアリングが設けられたことを特徴とする請求項４に記載の光走査装置。
【請求項６】
前記枠体には、磁気ベアリングが設けられたことを特徴とする請求項４に記載の光走査装置。
【請求項７】
前記反射ミラー駆動部は、前記反射ミラー部を揺動させることによって、光を走査させることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の光走査装置。
【請求項８】
前記反射ミラー駆動部は、前記反射ミラー部を回転させることによって、光を走査させることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の光走査装置。
【請求項９】
前記反射ミラー駆動部は、前記反射ミラー面が設けられた位置の反対側に設けられたことを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の光走査装置。
【請求項１０】
前記反射ミラー部と前記ミラー支持部が同一部材で一体に構成されたことを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の光走査装置。
【請求項１１】
前記反射ミラー部と前記ミラー支持部がシリコンエッチング工程により一体に形成されたことを特徴とする請求項１０の光走査装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれかに記載の光走査装置を備え、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、画像を表示することを特徴とする画像表示装置。
【請求項１３】
請求項１から１１のいずれかに記載の光走査装置を備え、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、ユーザの少なくとも一方の眼の網膜に画像を投影し、画像を表示することを特徴とする網膜走査型画像表示装置。
【請求項１４】
枠体と、
入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、
前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部と、
前記ミラー支持部を通り、前記反射ミラー面を横断する軸を中心として前記反射ミラー部を回転または揺動するよう駆動させることによって、光を走査させる反射ミラー駆動部とを備えた光走査素子において、
前記反射ミラー駆動部は、少なくとも非共振状態で前記反射ミラーを駆動させ、
前記枠体と前記ミラー支持部とを別体に設けたことを特徴とする光走査素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置に関するものであり、特に、光を反射する反射ミラー部を枠体に支持させ、反射ミラー部を駆動させることによって、光を走査させる光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、画像を表示するための画像表示装置には、光を２次元に走査させて走査画像光とするための光走査装置などが含まれている。また、このような光走査装置には、光を反射させる反射ミラー面を揺動させる制御を行うことによって、その光を走査させ、走査光とし、画像を表示させる。
【０００３】
このような画像表示装置においては、相対的に高速に光を走査させる高速走査部と、相対的に低速に光を走査させる低速走査部と、が備えられている。これら、高速走査部、低速走査部には、共振するように揺動することによって、有効な画像を表示させるものや、共振しないように鋸波状に揺動することによって、有効な画像を表示させるものなどがある。
【０００４】
この画像表示装置では、反射ミラー面を有する反射ミラー部と、その周縁における枠体とに梁部が一体に形成されており、その梁部を中心として、反射ミラー面を揺動させることによって光を走査させる。
【０００５】
また、このような画像表示装置では、例えば、特許文献１に示すように、反射ミラー面を鋸波状等の非共振状態で揺動させることによって光を低速方向に走査させるが、その反射ミラー面の復帰時において、その反動によって共振振動が発生するため、その反動を抑えるための補正波を発生させた。
【特許文献１】特開２００６−２７６３９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような画像表示装置では、補正波を発生させていたが、梁部の共振周波数に基づく共振振動が十分には抑制することができず、更には、電磁ガルバノミラーなどに採用すると、サイズの大型化を招くこととなり、好ましくない。
【０００７】
本発明は、上述したような課題に鑑みてなされたものであり、大型化を招くことなく、共振振動を十分に抑制することができる光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以上のような目的を達成するために、本発明は、以下のようなものを提供する。
【０００９】
すなわち、請求項１記載の本発明では、枠体と、入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部と、前記ミラー支持部を通り、前記反射ミラー面を横断する軸を中心として前記反射ミラー部を回転または揺動するよう駆動させることによって、光を走査させる反射ミラー駆動部とを備えた光走査装置において、前記反射ミラー駆動部は、少なくとも非共振状態で前記反射ミラーを駆動させ、前記枠体と前記ミラー支持部とを別体に設けたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項２記載の本発明では、請求項１に記載の発明において、第一の走査方向に対して相対的に高速に光を走査させる高速走査部と、前記第一の走査方向と交差する第二の走査方向に対して相対的に低速に光を走査させる低速走査部とを備え、前記低速走査部は、前記枠体と前記反射ミラー部と前記ミラー支持部と前記反射ミラー駆動部とを有し、前記低速走査部における前記枠体と前記ミラー支持部とを別体に設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項３記載の本発明では、請求項１又は２に記載の発明において、前記枠体には、前記ミラー支持部を駆動可能に当接する軸受け部が設けられていることを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項４記載の本発明では、請求項１又は２に記載の発明において、前記枠体には、ベアリングが設けられたことを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項５記載の本発明では、請求項４に記載の発明において、前記枠体には、エアベアリングが設けられたことを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項６記載の本発明では、請求項４に記載の発明において、前記枠体には、磁気ベアリングが設けられたことを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項７記載の本発明では、請求項１から６のいずれかに記載の発明において、前記反射ミラー駆動部は、前記反射ミラー部を揺動させることによって、光を走査させることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項８記載の本発明では、請求項１から６のいずれかに記載の発明において、前記反射ミラー駆動部は、前記反射ミラー部を回転させることによって、光を走査させることを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項９記載の本発明では、請求項１から８のいずれかに記載の発明において、前記反射ミラー駆動部は、前記反射ミラー面が設けられた位置の反対側に設けられたことを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項１０記載の本発明では、請求項１から８のいずれかに記載の発明において、前記反射ミラー部と前記ミラー支持部が同一部材で一体に構成されたことを特徴とするものである。
【００１９】
また、請求項１１記載の本発明では、請求項１０に記載の発明において、前記反射ミラー部と前記ミラー支持部がシリコンエッチング工程により一体に形成されたことを特徴とするものである。
【００２０】
また、請求項１２記載の本発明では、請求項１から１１のいずれかに記載の光走査装置を備え、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、画像を表示することを特徴とするものである。
【００２１】
また、請求項１３記載の本発明では、請求項１から１１のいずれかに記載の光走査装置を備え、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、ユーザの少なくとも一方の眼の網膜に画像を投影し、画像を表示することを特徴とするものである。
【００２２】
また、請求項１４記載の本発明では、枠体と、入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部と、前記ミラー支持部を通り、前記反射ミラー面を横断する軸を中心として前記反射ミラー部を回転または揺動するよう駆動させることによって、光を走査させる反射ミラー駆動部とを備えた光走査素子において、前記反射ミラー駆動部は、少なくとも非共振状態で前記反射ミラーを駆動させ、前記枠体と前記ミラー支持部とを別体に設けたことを特徴とする光走査素子。
【発明の効果】
【００２３】
請求項１、３から１４のいずれかに記載の発明によれば、枠体とミラー支持部とを別体に設けたので、特別に走査の固有値である共振周波数を抑制する処理を実行することなく、ミラー支持部の共振周波数に基づく共振振動を十分に抑制させることができ、反射ミラー部の機械的な揺らぎ現象が原因で発生する画像の輝度むらの発生を防止することができる。また、特別にサイズの大型化を招かない。
【００２４】
また、請求項２に記載の発明によれば、相対的に低速に光を走査させる低速走査部における枠体とミラー支持部とを別体に設けたので、低速走査部の固定値である共振周波数を抑制する処理を実行することなく、ミラー支持部の共振周波数に基づく共振振動を十分に抑制させることができる。このため、低速方向における走査精度を向上させることができ、画像の輝度むらの発生を防止することができる。また、特別にサイズの大型化を招かない。特に、例えば、鋸波状に反射ミラー面を駆動させる場合には、反射ミラー面の復帰に対する反動を十分に抑制することができ、反射ミラー部の機械的な揺らぎ現象が原因で発生する画像の輝度むらの発生を防止することができる。また、特別にサイズの大型化を招かない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に、本発明に好適な実施形態について図面に基づいて説明する。
【００２６】
［画像表示装置の電気的構成］
本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１の電気的構成などについて図１を用いて説明する。
【００２７】
図１に示すように、網膜走査型ディスプレイ１には、外部から供給される映像信号を処理するための光源ユニット部２が設けられている。光を出射する出射部としての光源ユニット部２には、外部からの映像信号が入力され、それに基づいて映像を合成するための要素となる各信号を発生する映像信号供給回路３が設けられ、この映像信号供給回路３から映像信号４、水平同期信号５、及び、垂直同期信号６が出力される。また、光源ユニット部２には、映像信号供給回路３から映像信号４として伝達される赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の各映像信号をもとにそれぞれ強度変調されたレーザ光を出射するように、Ｒレーザ１３，Ｇレーザ１２，Ｂレーザ１１を、それぞれ駆動するためのＲレーザドライバ１０，Ｇレーザドライバ９，Ｂレーザドライバ８が設けられている。さらに、各レーザより出射されたレーザ光を平行光にコリメートするように設けられたコリメート光学系１４と、それぞれコリメートされたレーザ光を合波するダイクロイックミラー１５と、合波されたレーザ光を光ファイバ１７に導く結合光学系１６とが設けられている。尚、Ｒレーザ１３，Ｇレーザ１２，Ｂレーザ１１として、レーザダイオード等の半導体レーザや固体レーザを利用してもよい。尚、本実施形態における光源ユニット部２は、少なくとも１つの光源と、当該光源から出射されるビーム光（光束）を画像信号に応じて強度変調する変調手段の一例に相当する。
【００２８】
また、網膜走査型ディスプレイ１には、光源ユニット部２から伝搬されたレーザ光を水平走査系１９に導くコリメート光学系１８と、コリメートされたレーザ光を、ガルバノミラー１９ａを利用して水平方向に走査する水平走査系１９と、水平走査系１９によって走査されたレーザ光を垂直走査系２１に導く第１リレー光学系２０と、水平走査系１９に走査され、第１リレー光学系２０を介して入射されたレーザ光を、ガルバノミラー２１ａを利用して垂直方向に走査する垂直走査系２１と、垂直走査系２１に走査されたレーザ光をユーザの瞳孔２４に入射するように第２リレー光学系２２と、が設けられている。
【００２９】
尚、具体的な一例としては、水平走査系１９は、表示すべき画像の１走査線ごとに、レーザビームを水平方向に水平走査（１次走査の一例）させる光学系である。また、水平走査系１９は、レーザビームを水平方向に走査するガルバノミラー１９ａと、そのガルバノミラー１９ａの駆動制御を行う水平走査制御回路１９ｃとを備えている。
【００３０】
これに対し、垂直走査系２１は、表示すべき画像の１フレームごとに、レーザビームを最初の走査線から最後の走査線に向かって垂直に垂直走査（２次走査の一例）する光学系である。また、光走査素子としての垂直走査系２１は、垂直走査するガルバノミラー２１ａと、そのガルバノミラー２１ａの駆動制御を行う垂直走査制御回路２１ｃとを備えている。
【００３１】
水平走査系１９は、垂直走査系２１より高速にすなわち高周波数でレーザビームを走査するように設計されている。また、水平走査系１９，垂直走査系２１は、図１に示すように、各々映像信号供給回路３に接続され、映像信号供給回路３より出力される水平同期信号５，垂直同期信号６にそれぞれ同期してレーザ光を走査するように構成されている。
【００３２】
尚、本実施形態における水平走査系１９及び垂直走査系２１などは、入射したビーム光を、１次方向及びその１次方向に略垂直な２次方向に走査させることによって、フレームを形成する光走査装置の一例である。また、本実施形態における水平走査系１９は、入射されるビーム光を水平方向（第一の走査方向）に対して相対的に高速に走査させる高速走査部の一例に相当する。また、本実施形態における垂直走査系２１は、その水平方向に走査されたビーム光を、垂直方向（第二の走査方向）に対して相対的に低速に走査させる低速走査部の一例に相当する。また、本実施形態における水平走査系１９、垂直走査系２１は、光源からの光を所定方向に走査する走査部の一例に相当する。
【００３３】
また、本実施形態においては、水平走査系１９のガルバノミラー１９ａと、垂直走査系２１のガルバノミラー２１ａとは、名称を同じように説明したが、光を走査するように其の反射面が揺動（回転）させられるものであれば、圧電駆動、電磁駆動、静電駆動等いずれの駆動方式によるものであってもよいことは言うまでもない。また、本実施形態においては、水平走査系１９を共振タイプの走査系とし、垂直走査系２１を非共振タイプの走査系としたが、これに限らず、例えば、水平走査系１９を非共振タイプの走査系としてもよい。また、詳しくは後述するが、垂直走査系２１は、鋸波状に揺動する走査系である。
【００３４】
また、水平走査系１９や垂直走査系２１によって走査されたビーム光を検知する光検知センサ３１が配置されている。この光検知センサ３１は、揺動する垂直走査系２１とユーザの瞳孔２４との間に配置されており、走査された走査光を検知した場合には、ＢＤ（Beam  Detector）信号７として光源ユニット部２（映像信号供給回路３）に出力することとなる。これによって、光源ユニット部２は、走査されるビーム光の光源光量を調整することとなる。
【００３５】
次に、本発明の一実施形態の網膜走査型ディスプレイ１が、外部からの映像信号を受けてから、ユーザの網膜上に映像を投影するまでの過程について図１を用いて説明する。
【００３６】
図１に示すように、本実施形態の網膜走査型ディスプレイ１では、光源ユニット部２に設けられた映像信号供給回路３が外部からの映像信号の供給を受けると、映像信号供給回路３は、赤，緑，青の各色のレーザ光を出力させるためのＲ映像信号，Ｇ映像信号，Ｂ映像信号からなる映像信号４と、水平同期信号５と、垂直同期信号６とを出力する。Ｒレーザドライバ１０，Ｇレーザドライバ９，Ｂレーザドライバ８は各々入力されたＲ映像信号，Ｇ映像信号，Ｂ映像信号に基づいてＲレーザ１３，Ｇレーザ１２，Ｂレーザ１１に対してそれぞれの駆動信号を出力する。この駆動信号に基づいて、Ｒレーザ１３，Ｇレーザ１２，Ｂレーザ１１はそれぞれ強度変調されたレーザ光を発生し、各々をコリメート光学系１４に出力する。また、映像信号供給回路３は、後述する水平走査系１９のガルバノミラー１９ａの駆動状態を示すＢＤ同期タイミング信号（図示せず）に応じて、レーザ光を発生し、各々をコリメート光学系１４に出力するタイミングを制御する。つまり、このような網膜走査型ディスプレイ１（映像信号供給回路３）は、ガルバノミラー１９ａなどにビーム光を出射させるタイミングを制御することとなる。点光源から発生されるレーザ光は、このコリメート光学系１４によってそれぞれが平行光にコリメートされ、さらに、ダイクロイックミラー１５に入射されて１つのビーム光となるよう合成された後、結合光学系１６によって光ファイバ１７に入射されるよう導かれる。
【００３７】
光ファイバ１７によって伝搬されたレーザ光は、光ファイバ１７からコリメート光学系１８によって平行光にコリメートされて水平走査系１９に出射される。この出射されたレーザ光は、水平走査系１９のガルバノミラー１９ａの偏向面１９ｂに入射される。ガルバノミラー１９ａの偏向面１９ｂに入射したレーザ光は水平同期信号に同期して水平方向に走査されて第１リレー光学系２０を介し、垂直走査系２１のガルバノミラー２１ａの偏向面２１ｂに入射する。ガルバノミラー２１ａは、ガルバノミラー１９ａが水平同期信号に同期することと同様に垂直同期信号６に同期して、その偏向面２１ｂが入射光を垂直方向に反射するように往復振動をしており、このガルバノミラー２１ａによってレーザ光は垂直方向に走査される。ガルバノミラー２１ａによって走査されたレーザ光は、第２リレー光学系２２を介して、ユーザの瞳孔２４に入射する。これによって、ユーザはこのように２次元走査されて網膜上に投影されたレーザ光による画像を認識することができる。つまり、この網膜走査型ディスプレイ１は、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、ユーザの少なくとも一方の眼の網膜に画像を投影し、画像を表示する網膜走査型画像表示装置の一例に相当する。
【００３８】
［ガルバノミラー２１ａの構成］
また、上述したガルバノミラー２１ａの構成について図２を用いて以下に説明する。
【００３９】
本実施形態におけるガルバノミラー２１ａは、図２に示すように、電磁方式で偏向面２１ｂを揺動させるものである。
【００４０】
ガルバノミラー２１ａは、基板（図示せず）上に長方形状の枠体３２を備えている。
【００４１】
また、ガルバノミラー２１ａは、入射した光を反射する面を有する偏向面２１ｂと、その偏向面２１ｂを枠体３２に支持させる両梁部材３５、３６と、を備えている。また、偏向面２１ｂは、左端中央部にて、梁部材３５でもって、枠体３２に支持されている。また、偏向面２１ｂは、右端中央部にて、梁部材３６でもって、枠体３２に支持されている。両梁部材３５、３６は、共に、捻れ可能に弾性材料でもって長手状に形成されており、これら両梁部材３５、３６は、板枠３２の中空部内にて、偏向面２１ｂを揺動可能に支持している。
【００４２】
また、枠体３２は、両梁部材３５、３６を軸受けする軸受け部材３２ａ，３２ｂと、両梁部材３５、３６が突出しないためのストッパ３２ｅ，３２ｆとを含む構成である。軸受け部材３２ａ，３２ｂには、それぞれ、円筒状の軸受け部３２ｃ，３２ｄが設けられており、両梁部材３５、３６が挿入可能である。つまり、枠体３２には、両梁部材３５、３６を駆動可能に当接する軸受け部３２ｃ，３２ｄが設けられている。これによって、軸受け部３２ｃ，３２ｄには、偏向面２１ｂが揺動可能に設置されることとなる。
【００４３】
また、枠体３２と両梁部材３５、３６とを別体に設けたので、特別に共振周波数を抑制する処理を実行することなく、ミラー支持部の共振周波数に基づく共振振動を十分に抑制させることができ、画像の輝度むらの発生を防止することができる。また、特別にサイズの大型化を招かない。また、相対的に低速に光を走査させる垂直走査制御回路２１における枠体３２と両梁部材３５、３６とを別体に設けたので、低速方向における走査精度を向上させることができ、画像の輝度むらの発生を防止することができる。特に、例えば、鋸波状に偏向面を駆動させる場合には、偏向面の復帰に対する反動を十分に抑制することができ、画像の輝度むらの発生を防止することができる。
【００４４】
また、偏向面２１ｂの裏面には、電磁コイルが配置されている。この電磁コイルは、所定方向に渦巻き状に巻回されており、外部端子からの電流によって磁力を発生する。また、偏向面２１ｂの近傍には、両磁石（図示せず）が配置されており、この電磁コイルに電流が流入すると、その電流と両磁石との間において磁力が発生し、偏向面２１ｂが揺動されることとなる。
【００４５】
このように、両梁部材３５、３６（ミラー支持部）を通り、偏向面２１ｂ（反射ミラー面）を横断する軸を中心としてガルバノミラー２１ａ（偏向面２１ｂ）を駆動させることによって、光を走査させることとなる。また、ガルバノミラー２１ａは、光を反射させる偏向面２１ｂ（反射ミラー部）を電磁方式で揺動させることによって、光を走査するため、他の方式（例えば、静電方式やピエゾ方式など）よりも、制御が容易となるとともに、製造においても容易となる。
【００４６】
［ガルバノミラーの製造工程］
ガルバノミラー２１ａの製造工程について図３から図５を用いて以下に説明する。
【００４７】
まず、偏向面２１ｂ等の製造工程について以下に説明する。
【００４８】
図３（ａ）に示すように、弾性を有するシリコン基板（ＳＯＩ基板）４０を用意し、このシリコン基板４０の上面全体にフォトレジストを塗布することにより、シリコン基板４０両面にレジスト膜４３を形成する。
【００４９】
そして、    図３（ｂ）に示すように、フォトリソグラフィ技術を用いて、シリコン基板４０の上面側からレジスト膜４３へ、所定のパターン光を露光することにより、上面側レジスト膜４３に所定のパターニングを施して不要な部分の上面側レジスト膜４３を除去する。
【００５０】
そして、図３（ｃ）に示すように、上面側レジスト膜４３をレジストマスクとしてドライエッチングを行うことにより、上面側レジスト膜４３から露出している部分のシリコン基板４０を酸化シリコン膜４１までの深さで上面側から下面側へ向けてエッチングする。
【００５１】
図３（ｄ）に示すように、レジスト膜４３を取り除いた後に、図３（ｅ）に示すように、シリコン基板４０上面、下面の両面にフォトレジスト４４を塗布することにより、レジスト膜を形成する。      シリコン基板４０の面全体を被覆するように再度レジスト膜４４を形成した後、フォトリソグラフィ技術を用いて、下面側レジスト膜４４に所定のパターン光を露光することにより、下面側レジスト膜に所定のパターニングを施して、図３（ｆ）に示すように、不要な部分の下面側レジスト膜を除去する。
【００５２】
図３（ｇ）に示すように、下面側レジスト膜４４をレジストマスクとしてドライエッチングを行うことにより、下面側レジスト膜４４から露出している部分のシリコン基板４０に下面側から上面側へ向けてエッチングを行う。      このときエッチングは、シリコン基板４０の酸化シリコン膜４１までエッチングを行った時点で終了する。
【００５３】
図３（ｈ）に示すように、シリコン基板４０の下面から、フッ酸を含有する溶液を使用して、酸化シリコン膜４１を除去する。   また、図３（ｉ）に示すように、残している表面側レジスト膜４４と裏面側レジスト膜４４とを除去する。
【００５４】
次に、図３（ｊ）に示すように、駆動ミラー面表面には、所望の形状を作製したシリコンマスク等により、金属アルミニウム、または金、銀などを少なくとも１種類を含む金属膜４７を蒸着し、偏向面（反射ミラー面）とする。また、その裏面には、駆動源４８となる電磁コイルや磁性膜を付与させる。
【００５５】
この工程においては、図４（ａ）に示すように、シリコンマスク４９等を使用し、図４（ｂ）に示すように、所定の形状にエッチングされたミラーパーツ４６の表面に、金属アルミニウム、または金、銀などを少なくとも１種類を含む金属膜４７を蒸着し、偏向面とする。      次に、図４（ｃ）に示すように、下面側から、シリコンマスク５０を使用し、偏向面側と反対の裏面（反対側）に、駆動源４８となる金属コイルや磁性膜を作製する。
【００５６】
次に、枠体３２等の製造工程について以下に説明する。
【００５７】
図５（ａ）に示すように、弾性を有するシリコン基板５０（ＳＯＩ基板）を用意し、このシリコン基板５０の上面、下面全体にフォトレジストを塗布することにより、シリコン基板５０両面にレジスト膜５２を形成する。
【００５８】
図５ （ｂ）に示すように、フォトリソグラフィ技術を用いて、シリコン基板の両面からレジスト膜５２へ、所定のパターン光を露光することにより、レジスト膜に所定のパターニングを施して不要な部分の上面側レジスト膜５２を除去する。図５（ｃ）に示すように、レジスト膜５２をレジストマスクとして上下面両面からドライエッチングを行うことにより、レジスト膜５２から露出している部分のシリコン基板５０を酸化シリコン膜５１までの深さでエッチングする。
【００５９】
図５（ｄ）に示すように、残存するシリコン酸化膜５１を、フッ酸を含有するエッチング液を用いて除去し、更にまた、レジスト膜５２を取り除く。
【００６０】
図５ （ｅ）に示すように、シリコン基板５０上面にフォトレジストを塗布することにより、レジスト膜５６を形成する。
【００６１】
図５ （ｆ）に示すように、フォトリソグラフィ技術を用いて、シリコン基板５０の上面からレジスト膜５６へ、所定のパターン光を露光することにより、レジスト膜５６に所定のパターニングを施した後、不要な部分の上面側レジスト膜５６を除去する。図５   （ｇ）に示すように、レジスト膜をレジストマスクとして上面からドライエッチングを行うことにより、レジスト膜５６から露出している部分のシリコン基板５０を酸化シリコン膜５１までの深さでエッチングする。
【００６２】
図５ （ｈ）に示すように、不要のレジスト膜５６を取り除き、軸受け機構を持ったガルバノミラー２１ａの枠体３２を完成させる。
【００６３】
このような工程で、偏向面２１ｂ、枠体３２等を有するガルバノミラー２１ａが製造される。
【００６４】
［その他の実施形態］
また、上述した実施形態においては、両梁部材３５，３６を、円筒状の軸受け部３２ｂ，３２ｄに挿入することによって、偏向面２１ｂを揺動駆動させたが、これに限らず、例えば、図６に示すように、軸受け部３２ｂ，３２ｄが半円筒状であってもよい。また、軸受け部ではなくてもよく、例えば、図７に示すように、ボール３７，３８を有するボールベアリングであってもよい。また、このベアリングには、エアベアリング、磁気ベアリングなどがある。また、このように、偏向面２１ｂと、その偏向面２１ｂを支持する部材とが一体となっていなくても問題ない。
【００６５】
また、上述した実施形態においては、鋸波状に揺動することによって光を走査する走査部に本発明を適用したが、これに限らず、例えば、三角波状に揺動することによって光を走査する走査部に本発明を適用してもよい。また、上述した実施形態においては、偏向面２１ｂを揺動駆動させるようにしたが、これに限らず、例えば、偏向面２１ｂを回転駆動させるようにしてもよい。また、上述した実施形態においては、低速走査部に本発明を採用したが、これに限らず、例えば、高速走査部に本発明を採用してもよい。
【００６６】
以上、本発明の実施の形態のいくつかを図面に基づいて詳細に説明したが、これらは例示であり、発明の開示の欄に記載の態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変形、改良を施した他の形態で本発明を実施することが可能である。例えば、本発明を適用した光走査装置は、レーザプリンタ内でレーザビームを走査する光走査装置にも応用できることはいうまでもない。つまり、光を走査させる装置であればよく、例えば、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、画像を表示する画像表示装置でなくても問題なく、更には、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、ユーザの少なくとも一方の眼の網膜に画像を投影し、画像を表示する網膜走査型画像表示装置でなくても問題ない。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１を示す説明図である。
【図２】本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの構成を示す概観図である。
【図３】本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの製造工程を示す説明図である。
【図４】本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの製造工程を示す説明図である。
【図５】本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの製造工程を示す説明図である。
【図６】本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの構成を示す概観図である。
【図７】本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの構成を示す概観図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  網膜走査型ディスプレイ
１９  水平走査系
２１  垂直走査系
２１ａ  ガルバノミラー
２１ｂ  偏向面
３２  枠体
３２ｂ，３２ｄ  軸受け部
３５，３６  梁部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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