(57)【要約】【課題】観察対象によって明るさが変化するような場合でも、迅速に画像の明度を調整することが可能な撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法を提供する。【解決手段】初めに、ユーザは、低倍対物レンズ１１８ｂを用いて、観察光学系のピンホール１２２の径を最大にセットし、顕微鏡画像を取得する。明るさの調整が完了し、観察面を絞り込むためにユーザが観察光学系を切り替えたとき、取得した顕微鏡画像を基準となる画像の明るさを表す基準情報として格納する。自動調整手段は、対物レンズまたは観察光学系の切り替え完了後、顕微鏡画像を取得し、格納されている明るさの基準情報を読み出し、取得した画像の明るさ情報と比較して、受光素子１２３のゲイン値を計算し、得られたゲイン値を受光素子１２３に設定することで切り替え後の画像の明るさを調整する。以上の処理を画像の明るさを表す基準情報とのズレがなくなるまで繰り返す。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光により試料を照明し、前記試料からの反射光又は蛍光を、光電変換装置により電気信号に変換し、前記光電変換装置の出力から、前記試料の画像を形成する撮像型顕微鏡装置において、撮像された画像の明度を調整する方法であって、初期条件により、光学系の設定を行った後、画像明度制御装置により前記画像の明度を適当なものに調整し、そのときの画像の明度Ｉ(0)と画像明度制御装置に与えた操作量Ｇ(0)を記憶しておき、その後、前記光学系の光学要素のうち一つが切り替えられる毎に、以下の工程Ａにより、前記画像の明度を自動的に調整することを特徴とする撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法。
工程Ａ
（１）前記光学系の光学要素のうちの一つが切り替えられ、適正な画像が取得されたときの、前記画像の明度Ｉ(1)を取得し、前記画像の明度Ｉ(1)と、Ｉ(0)の差が、所定の閾値内に入ったとき工程Ａを終了し、所定の閾値内に入らないとき、工程Ａのサブ工程である、以下の工程Ｂを実施する工程。
工程Ｂ
（２）切り替えられた光学要素に対応して記憶されている光学特性パラメータαｃａｌ(1)を用いて、前記画像明度制御装置に与える操作量Ｇ(1)を以下の（１）式により求め、前記画像明度制御装置に操作量として与える工程。
Ｇ(1)＝Ｉ(0)・Ｇ(0)／（αｃａｌ(1)・Ｉ(1)）    …（１）
（３）（２）又は（４）の工程の結果、変化した前記画像の明度Ｉ(k)と、Ｉ(0)の差が、所定の閾値内に入ったとき工程Ｂを終了し、所定の閾値内に入らないとき、ｋ＝ｋ＋１として、以下の（２）式により、新しい光学特性パラメータαｃａｌ(k)を求める工程。ただしｋの初期値は２とする。
αｃａｌ(k)＝Ｉ(k)・Ｇ(k-1)／Ｉ(k-1)・Ｇ(k-2)    …（２）
（４）前記画像明度制御装置に与える操作量Ｇ(k)を以下の（１）式により求め（ただし、ｋは工程（３）における値とする。）、前記画像明度制御装置に操作量として与え、かつｋの値を１だけインクリメントする工程。
Ｇ(k)＝Ｉ(0)・Ｇ(0)／（αｃａｌ(k)・Ｉ(1)）    …（３）
（５）（３）、（４）の工程を繰り返す工程。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法における（３）の工程において、変化した前記画像の明度Ｉ(k)と、Ｉ０の差が、所定の閾値内に入って工程Ｂを終了する際に、その際に得られているαｃａｌ(k)の値で、切り替えられた光学要素に対応して記憶されている光学特性パラメータαｃａｌ(1)の値を置き換える工程を、さらに有することを特徴とする撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法。
【請求項３】
前記撮像型顕微鏡装置が、コンフォーカル顕微鏡であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法。
【請求項４】
前記画像明度制御装置が、前記光電変換装置のゲインを調整する装置であることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載の撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法。
【請求項５】
前記画像明度制御装置が、前記光源の明るさを調整する装置であることを特徴とする請求項１から請求項４のうちいずれか１項に記載の撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光源からの光により試料を照明し、前記試料からの反射光又は蛍光を、光電変換装置により電気信号に変換し、前記光電変換装置の出力から、前記試料の画像を形成する撮像型顕微鏡装置の例として、コンフォーカル顕微鏡がある。
【０００３】
コンフォーカル顕微鏡は、観察対象上に照射したスポット光を２次元走査しながら、観察対象からの光を測定することにより、顕微鏡画像を取得する光学顕微鏡である。画像の取得には観察対象に応じて、対物レンズの切り替えによって倍率の調整を行い、光源の光量値や受光素子（光電変換装置）のゲイン値などを調整することで、画像の明るさを調整する。また、コンフォーカル顕微鏡の特徴であるピンホールによって、焦点の合った試料面からの光のみを通し，それ以外の光はピンホールの壁に遮られて、焦点面以外からの光は除去されることで鮮明な画像が得られる光学顕微鏡である。焦点面のＺ方向位置（光軸方向位置）を調整することで試料の特定の断層だけを観察することができるため、高低差のある試料の場合でも、すべての部分で焦点の合った画像が得られる。
【０００４】
コンフォーカル顕微鏡は、上記に示すように多くの観察光学系の調整が必要で、このような対物レンズなどの光学パーツの切り替えに伴って生じる画像の明るさの変化を調整するために、従来のコンフォーカル顕微鏡においては、倍率を変更する毎に、得られる画像の明るさの調整を輝度情報の信号のレベル調整を行うことで実施してきた。例えば、手動調整型の可変利得増幅器を通して輝度情報の信号を画像表示装置に与えるように構成し、対物レンズの切り替えに伴って画像の明るさが変化したときは、可変利得増幅器のゲインを手動調整することにより、最適な明るさの画像に調整するようにしてきた。
【０００５】
また、コンフォーカル顕微鏡の基本的な操作方法として、始めにピンホール径を大きなもので焦点面を合せながら顕微鏡画像の明るさの調整をおこなう。調整後、徐々にピンホール径を小さくしながら観察面を絞り込む。ピンホール径を小さくすることによって、より焦点面に近い部分からの光のみを得ることができ、特定の面のみ焦点の合った画像を取得することができるが、ピンホール径を小さくすることで得られる光量が減るため画像が暗くなり、再度、光源の光量、検出器の感度の調整が必要になる。
【０００６】
このような手動による明るさの調整では、適切な明るさが得られるまで時間がかかるという問題がある。しかも、対物レンズやピンホールの切り替えに伴って必要となる調整は明るさばかりでなく、ピントの調整などもあるので、対物レンズの切り替え毎に幾つもの調整を手動で行わねばならないため、大変煩わしいという問題を招いていた。
【０００７】
そこで、対物レンズや観察光学系の切り替えに伴って生じる画像の明るさの変化に対して、その調整を自動化できるようにするため、対物レンズと観察光学系の複数の組み合わせのそれぞれに対応する光学特性の情報と、基準となる画像の明るさを表す基準情報を格納しておき、観察条件ごとに格納データから情報を読み出し、光源の光量値や受光素子のゲイン値を設定する機能が、走査型光学顕微鏡に搭載されるようになってきた（例えば、特許文献１参照）。また、画像を観察しながら受光素子のゲインを調整する方法（例えば、特許文献２参照）も知られている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００５ − １５６６５１号公報
【特許文献２】特開２０００ − ３２１５０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述の従来の走査型光学顕微鏡における画像の明るさ調整には、次のような問題がある。対物レンズと観察光学系の複数の組み合わせのそれぞれに対応する光学特性の情報がデータベースに格納されていない場合には、自動調整をすることができず、手動で調整をしなければならない。そのため、観察条件ごとに必ず一度は手動で明るさを調整し、データベースに登録しなければならい。
【００１０】
また、金属などの工業サンプルにおいては上記の明るさ調整は有効であると思われるが、生物顕微鏡では、観察光学系が同じであったとしても、観察対象が異なる場合や、蛍光サンプルである場合における褪色により明るさが変化する。また細胞は時間経過と共に明るさが変化するため、以前に自動調整によって設定された値を用いて取得した観察画像が適当な明るさになるとは限らない。そのため、観察光学系のみならず、観察対象も含めた明るさの調整を行なう必要がある。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、観察対象によって明るさが変化するような場合でも、迅速に画像の明度を調整することが可能な撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決するための第１の手段は、光源からの光により試料を照明し、前記試料からの反射光又は蛍光を、光電変換装置により電気信号に変換し、前記光電変換装置の出力から、前記試料の画像を形成する撮像型顕微鏡装置において、撮像された画像の明度を調整する方法であって、初期条件により、光学系の設定を行った後、画像明度制御装置により前記画像の明度を適当なものに調整し、そのときの画像の明度Ｉ(0)と画像明度制御装置に与えた操作量Ｇ(0)を記憶しておき、その後、前記光学系の光学要素のうち一つが切り替えられる毎に、以下の工程Ａにより、前記画像の明度を自動的に調整することを特徴とする撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法である。
工程Ａ
（１）前記光学系の光学要素のうちの一つが切り替えられ、適正な画像が取得されたときの、前記画像の明度Ｉ(1)を取得し、前記画像の明度Ｉ(1)と、Ｉ(0)の差が、所定の閾値内に入ったとき工程Ａを終了し、所定の閾値内に入らないとき、工程Ａのサブ工程である、以下の工程Ｂを実施する工程。
工程Ｂ
（２）切り替えられた光学要素に対応して記憶されている光学特性パラメータαｃａｌ(1)を用いて、前記画像明度制御装置に与える操作量Ｇ(1)を以下の（１）式により求め、前記画像明度制御装置に操作量として与える工程。
Ｇ(1)＝Ｉ(0)・Ｇ(0)／（αｃａｌ(1)・Ｉ(1)）    …（１）
（３）（２）又は（４）の工程の結果、変化した前記画像の明度Ｉ(k)と、Ｉ(0)の差が、所定の閾値内に入ったとき工程Ｂを終了し、所定の閾値内に入らないとき、ｋ＝ｋ＋１として、以下の（２）式により、新しい光学特性パラメータαｃａｌ(k)を求める工程。ただしｋの初期値は２とする。
αｃａｌ(k)＝Ｉ(k)・Ｇ(k-1)／Ｉ(k-1)・Ｇ(k-2)    …（２）
（４）前記画像明度制御装置に与える操作量Ｇ(k)を以下の（１）式により求め（ただし、ｋは工程（３）における値とする。）、前記画像明度制御装置に操作量として与え、かつｋの値を１だけインクリメントする工程。
Ｇ(k)＝Ｉ(0)・Ｇ(0)／（αｃａｌ(k)・Ｉ(1)）    …（３）
（５）（３）、（４）の工程を繰り返す工程。
【００１３】
前記課題を解決するための第２の手段は、前記第１の手段における（３）の工程において、変化した前記画像の明度Ｉ(k)と、Ｉ０の差が、所定の閾値内に入って工程Ｂを終了する際に、その際に得られているαｃａｌ(k)の値で、切り替えられた光学要素に対応して記憶されている光学特性パラメータαｃａｌ(1)の値を置き換える工程を、さらに有することを特徴とする撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法である。
【００１４】
前記課題を解決するための第３の手段は、前記第１の手段又は第２の手段であって、前記撮像型顕微鏡装置が、コンフォーカル顕微鏡であることを特徴とするものである。
【００１５】
前記課題を解決するための第４の手段は、前記第１の手段から第３の手段のいずれかであって、前記画像明度制御装置が、前記光電変換装置のゲインを調整する装置であることを特徴とするものである。
【００１６】
前記課題を解決するための第５の手段は、前記第１の手段から第４の手段のいずれかであって、前記画像明度制御装置が、前記光源の明るさを調整する装置であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、観察対象によって明るさが変化するような場合でも、迅速に画像の明度を調整することが可能な撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態である撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法を使用するコンフォーカル顕微鏡の概略構成図である。この顕微鏡システムは、顕微鏡本体１０１、ＣＰＵ１０２、操作部１０３、メモリ１０４、およびモニタ１０５を備える。
【００１９】
顕微鏡本体１０１は、光源１１１、ダイクロイックミラー１１２、２次元走査機構１１４、瞳投影レンズ１１５、結像レンズ１１６、１２１、対物レンズ保持レボルバ１１７、ミラー１２０、ピンホール１２２、および受光素子１２３を含む。
【００２０】
レボルバ１１７には、複数の対物レンズ１１８ａ、１１８ｂ、１１８ｃが取り付けられている。ここでは、便宜的に３つの対物レンズが図示されているが、一般にレボルバ１１７に取り付けられる対物レンズの数は任意である。また、顕微鏡本体１０１における観察対象は試料１１９であり、光源１１１はこの試料１１９を照明するための発光源であって、例えば、レーザ光源が使用される。
【００２１】
この場合、観察光学系としては、光源１１１からの照明光を試料１１９に照射し、試料１１９からの光を受光素子１２３に導く共焦点光学系が設けられている。共焦点光学系の受光部は、結像レンズ１２１、ピンホール１２２、および受光素子１２３からなり、ピンホール１２２は、試料１１９上の結像位置と光学的に共役な位置に配置されている。
【００２２】
光源１１１から出射された照明光は、ダイクロイックミラー１１２を通過し、２次元走査機構１１４に導かれる。２次元走査機構１１４は、照明光を２次元走査することで、試料１１９上でスポット光をＸ−Ｙ向に走査する。２次元走査機構１１４としては、例えば、ガルバノミラーが使用される。
【００２３】
２次元走査機構１１４によりＸ−Ｙ走査された照明光は、瞳投影レンズ１１５および結像レンズ１１６を通過して、対物レンズ１１８ｂに導かれる。対物レンズの切り替えはレボルバ１１７を回転させて、照明光の光路上に配される対物レンズを変更することにより行われる。レボルバ１１７の回転は電動で行ってもよく、手動で行ってもよい。
【００２４】
このとき、２次元走査機構１１４によりＸ−Ｙ走査された照明光は、対物レンズ１１８ｂの瞳位置を常に通過するよう構成されている。対物レンズ１１８ｂを通過した照明光は、対物レンズ１１８ｂにより試料１１９上に集光されてスポット光となり、試料１１９上をＸ−Ｙ方向に走査する。
【００２５】
照明光による試料１１９からの光は、対物レンズ１１８ｂ、結像レンズ１１６、瞳投影レンズ１１５、２次元走査機構１１４に導かれ、非走査光に変換されてダイクロイックミラー１１２に到達する。このとき、ダイクロイックミラー１１２によって光は、光源１１１の方ではなく受光素子１２３の方へと導かれる。
【００２６】
受光素子１２３へと導かれる光は、ダイクロイックミラー１１２においてある波長以上の光だけとなる。結像レンズ１２１、ピンホール１２２、および受光素子１２３からなる共焦点光学系の受光部へと導かれる。
【００２７】
受光素子１２３は、光の輝度情報を検出し、電気信号に変換して出力する素子である。これらの受光素子としては、例えば、フォトマルチプライヤ、フォトダイオード等が使用される。フォトマルチプライヤの場合は、その印加電圧によって感度を調節することで、出力される電気信号のゲインが決定される。また、フォトダイオードの場合は、内蔵された増幅回路を調節することで、出力される電気信号のゲインが決定される。
【００２８】
受光素子１２３から出力された電気信号は、データ処理により画像データに変換され、顕微鏡画像としてモニタ１０５ の画面上に表示される。このとき、受光素子１２３から出力される電気信号の大きさによって、表示される顕微鏡画像の明るさが決定される。
【００２９】
ＣＰＵ１０２およびメモリ１０４は、例えば、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置（コンピュータ）に相当し、メモリ１０４にはＲＯＭが含まれる。ＣＰＵ１０２は、メモリ１０４を利用して制御プログラムを実行することにより、顕微鏡本体１０１を制御し、画像の明るさ調整のために必要な処理を行う。これにより、レボルバ１１７および受光素子１２３、１２４がＣＰＵ１０２により制御される。
【００３０】
ＣＰＵ１０２が使用するプログラムおよびデータは、ＨＤＤ等の任意のコンピュータ読み取り可能な記録媒体を介してメモリ１０４にロードすることができる。また、これらのプログラムおよびデータを、外部の装置から通信ネットワークを介してメモリ１０４にロードすることも可能である。この場合、その外部の装置は、プログラムおよびデータを搬送する搬送信号を生成し、通信ネットワークを介してコンフォーカル顕微鏡に送信する。
【００３１】
操作部１０３は、例えば、キーボード、マウス等のポインティングデバイス、タッチパネル等の入力装置であり、不図示のＧＵＩを介して、操作者からの指示や情報をＣＰＵ１０２に入力する。また、モニタ１０５は、顕微鏡画像を表示する表示装置であり、画像とともにＧＵＩの操作画面も表示する。
【００３２】
図２、図３は、本発明の実施の形態である撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法の例の概要を示すフローチャートである。図２、図３のフローチャートに従って、操作者の操作手順およびＣＰＵ１０２による制御処理の手順について説明する。操作者は、はじめに試料１１９を顕微鏡本体１０１にセットして顕微鏡システムを起動し、走査を開始する（ステップＳ１）。次に、観察に使用する対物レンズや観察光学系等を初期状態に設定する（Ｓ２）。基本的な使い方として、低倍の対物レンズを選択し、ピンホールは最大径を選択する。
【００３３】
そして、ピント調整、顕微鏡画像のズーム調整等の各種設定を行い、観察したい顕微鏡画像をモニタ１０５に表示させる（ステップＳ３）。次に、操作者は、画像の明るさを調整する（ステップＳ４）。この調整は、操作部１０３を介して手動で行われる。操作部１０３により調整された明るさの値は、ＣＰＵ１０２を介して、現在選択されている観察光学系（光電変換装置）のゲインに変換され受光素子に設定される。そして、調整が完了した時点での、画像の明度Ｉ(0)と、そのときの受光素子の操作量であるゲインＧ(0)は、基準値としてメモリに記憶される（ステップＳ５）。
【００３４】
顕微鏡画像が最適な明るさに調整された後、操作者は、対物レンズまたは観察光学系を構成する光学素子の一つを切り替える（ステップＳ６）。すると、ＣＰＵ１０２は、新しい撮像条件における画像の明るさを調整するステップである処理Ａを実行する。処理Ａの詳細は後述する（ステップＳ７）。
【００３５】
ステップＳ６とステップＳ７を、全ての必要な光学素子の切り替えが完了するまで繰り返し行い、ステップＳ８で、全ての切替が完了したと判断された場合に、全ての処理を終了する。
【００３６】
以下、処理Ａの概要を図３を用いて説明する。処理Ａは、各光学要素の一つが切り替えられる毎に行われる。まず、操作者は、ピント調整、顕微鏡画像のズーム調整等の各種設定を行い、観察したい顕微鏡画像をモニタ１０５に表示させる（ステップＳ１１）。この調整が完了すると、ＣＰＵ１０２は、モニタ１０５に表示されている画像の明度Ｉ(1)を取得する（ステップＳ１２）。
【００３７】
そして、画像の明度Ｉ(1)と基準値である画像の明度Ｉ(0)との差が閾値以下であるかどうかを比較し（ステップ（Ｓ１３）、閾値以下である場合は、図２のステップＳ８に進む。閾値を超えている場合は、処理ＢのステップＳ１４に進み、記憶されている光学パラメータαｃａｌ(1)を用いて、画像明度制御装置（この例の場合は受光素子）に与える操作量であるゲインを再計算する。
【００３８】
ここで、光学パラメータαｃａｌは、ゲインを決めるときの、各光学要素毎の調整係数に相当するもので、標準値がメモリに記憶されているので、初期値としてこの値を使用する。もし、記憶されていない場合は、１を初期値として使用する。
【００３９】
新しいゲインＧ(1)は、以下の（１）式により求められる。
Ｇ(1)＝Ｉ(0)・Ｇ(0)／（αｃａｌ(1)・Ｉ(1)）    …（１）
そして、このＧ(1)を受光素子に操作量であるゲインとして与える。これにより、画像の明るさがＩ(k)（この場合ｋ＝２）に変化する。この画像の明度を取得する（ステップＳ１５）。
【００４０】
そして、画像の明度Ｉ(k)と基準値である画像の明度Ｉ(0)との差が閾値以下であるかどうかを比較し（ステップ（Ｓ１６）、閾値以下である場合は、図２のステップＳ８に進む。閾値を超えている場合は、ステップＳ１７に進み、光学パラメータ更新を行う。
【００４１】
新しい光学パラメータαｃａｌ(k)は、以下の（２）式により求められる。
αｃａｌ(k)＝Ｉ(k)・Ｇ(k-1)／Ｉ(k-1)・Ｇ(k-2)    …（２）
ただし、この場合、ｋ＝２である。
【００４２】
新しい光学パラメータαｃａｌ(k)が決定されるとステップＳ１８に進み、以下の（３）式により、光学素子の操作量であるゲインを以下の（３）式により求める。
Ｇ(k)＝Ｉ(0)・Ｇ(0)／（αｃａｌ(k)・Ｉ(1)）    …（３）
ただし、ｋはステップＳ１７における値と同一とし、この場合はｋ＝２である。そして、このＧ(k)を受光素子に操作量であるゲインとして与える。これにより、画像の明度がＩ(k+1)（この場合ｋ＝２）に変化する。ここで、ｋの値を１だけインクリメントする。
【００４３】
以下、ステップＳ１５に戻って、繰り返し計算を行う。その際、ステップＳ１５、ステップＳ１６、ステップＳ１７、Ｓ１８においては、ｋの値を繰り返す毎にに１だけインクリメントするものとし、ｋの初期値は２とする。
【００４４】
図２、図３に示すような処理を行うことにより、光学要素が切り替えられても、切り替えのたび毎に画像の明度は一定範囲内に保たれ、最終調整が終わっても初期に操作者が設定した明度から一定範囲の明度内に保たれる。
【００４５】
なお、ステップＳ１６からステップＳ８に移行するとき、そのとき求まっているαｃａｌ(k)の値で、その光学要素に対応してメモリに記憶されている値を更新するようにしてもよい。
【００４６】
特許請求の範囲及び本明細書において、「画像明度制御装置」の例としては、光電素子、１次元、２次元撮像素子、光源強度調整装置等が挙げられ、これらの感度、これらに流す電流等が操作量となる。又、切り替えられる光学系の光学要素としては、対物レンズ、ピンホールの他、フィルタ等が挙げられる。
【００４７】
なお、以上の説明は、コンフォーカル顕微鏡を例にして行ったが、本発明はコンフォーカル顕微鏡に限らず、光源からの光により試料を照明し、前記試料からの反射光又は蛍光を、光電変換装置により電気信号に変換し、前記光電変換装置の出力から、前記試料の画像を形成する撮像型顕微鏡装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態である撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法を使用するコンフォーカル顕微鏡の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態である撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法の例の概要を示すフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態である撮像型顕微鏡装置における画像の明度の調整方法の例の概要を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４９】
１０１…顕微鏡本体、１０２…ＣＰＵ、１０３…操作部、１０４…メモリ、１０５…モニタ、１１１…光源、１１２…ダイクロイックミラー、１１４…２次元走査機構、１１５…瞳投影レンズ、１１６…結像レンズ、１１７…レボルバ、１１８ａ、１１８ｂ、１１８ｃ…対物レンズ、１１９…試料、１２０…ミラー、１２１…結像レンズ、１２２…ピンホール、１２３…受光素子
【図１】
2009092795.tif 000003
【図２】
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【図３】
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