(57)【要約】【課題】フォトマスクの製作仕様を適切なタイミングで作成して発注する作業を支援するマスク発注支援システム等を提供すること。【解決手段】マスク発注支援システム１は、所定のユーザによるデータ変換仕様情報更新操作及びデータ変換仕様情報確定操作を検出する処理を行うユーザ操作検出手段３０と、マスク仕様情報４２の承認が行われた後、マスク仕様情報４２の少なくとも一部のデータに基づいてデータ変換仕様情報７２の一部の項目のデータを作成し、所定のユーザがデータ変換仕様情報更新操作を行った場合にはデータ変換仕様情報７２の所定の項目のデータを更新し、所定のユーザがデータ変換仕様情報確定操作を行った後は、データ変換仕様情報７２のデータ更新を禁止する処理を行うデータ変換仕様情報更新手段７０と、を含む。【選択図】図１
2009205497.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体集積回路装置の製造に使用されるフォトマスクを発注する作業を支援するためのマスク発注支援システムであって、
所定のユーザによる、前記フォトマスクに描画されるパターン情報を含むマスクデータを前記フォトマスクの描画装置に入力可能な形式のデータに変換する仕様を特定するためのデータ変換仕様情報の所定の項目のデータを編集して更新するデータ変換仕様情報更新操作及び前記データ変換仕様情報を確定するデータ変換仕様情報確定操作を検出する処理を行うユーザ操作検出手段と、
前記フォトマスクの仕様を特定するマスク仕様情報の承認が行われた後、前記マスク仕様情報の少なくとも一部のデータに基づいて前記データ変換仕様情報の一部の項目のデータを作成し、前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報更新操作を行った場合には前記データ変換仕様情報の前記所定の項目のデータを編集後のデータに更新し、前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報確定操作を行った後は、前記データ変換仕様情報のデータ更新を禁止する処理を行うデータ変換仕様情報更新手段と、を含むことを特徴とするマスク発注支援システム。
【請求項２】
請求項１において、
前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報確定操作を行った場合には、前記データ変換仕様情報の前記所定の項目のデータにエラーがあるか否かを判断し、エラーがある場合にはエラー出力する処理を行うエラー出力手段を含むことを特徴とするマスク発注支援システム。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記データ変換仕様情報の少なくとも一部の情報を含む所定の形式の電子化されたデータ変換仕様帳票ファイルを作成する処理を行う帳票ファイル作成手段と、
前記マスクデータ及び前記データ変換仕様帳票ファイルに転送ＩＤを付加して前記フォトマスクの発注先に転送する処理を行うデータ転送手段と、を含むことを特徴とするマスク発注支援システム。
【請求項４】
請求項３において、
前記所定の形式はＣＳＶ形式であることを特徴とするマスク発注支援システム。
【請求項５】
請求項３又は４において、
前記ユーザ操作検出手段は、
前記データ変換仕様情報を承認する権限を有するユーザによる前記データ変換仕様情報を承認するデータ変換仕様情報承認操作を検出し、
前記データ転送手段は、
当該ユーザが前記データ変換仕様情報承認操作を行った場合には、前記データ変換仕様情報更新操作により編集された前記データ変換仕様情報に含まれる少なくとも一部の情報と前記マスクデータの対応する情報を比較し、比較結果に基づいて前記マスクデータ及び前記帳票ファイルを転送するか否かを決定することを特徴とするマスク発注支援システム。
【請求項６】
請求項５において、
前記データ変換仕様情報の少なくとも一部の情報は、
前記マスクデータが格納されたファイルのファイル名、更新日時及びファイルサイズの少なくとも１つを含むことを特徴とするマスク発注支援システム。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、
前記ユーザ操作検出手段は、
前記マスクデータが前記発注先に転送された後、ユーザによる、少なくとも１つのフォトマスクの製作中断を指示するマスク製作中断指示操作を検出し、
前記データ変換仕様情報更新手段は、
前記マスク製作中断指示操作が行われた場合には、製作中断対象のフォトマスクについての前記データ変換仕様情報のデータ更新を可能にすることを特徴とするマスク発注支援システム。
【請求項８】
請求項７において、
所定のユーザに対して、前記マスク製作中断指示操作が行われたことを通知する処理を行うユーザ通知手段を含むことを特徴とするマスク発注支援システム。
【請求項９】
半導体集積回路装置の製造に使用されるフォトマスクを発注する作業を支援するためのマスク発注支援プログラムであって、
所定のユーザによる、前記フォトマスクに描画されるパターン情報を含むマスクデータを前記フォトマスクの描画装置に入力可能な形式のデータに変換する仕様を特定するためのデータ変換仕様情報の所定の項目のデータを編集して更新するデータ変換仕様情報更新操作及び前記データ変換仕様情報を確定するデータ変換仕様情報確定操作を検出する処理を行うユーザ操作検出手段と、
前記フォトマスクの仕様を特定するマスク仕様情報の承認が行われた後、前記マスク仕様情報の少なくとも一部のデータに基づいて前記データ変換仕様情報の一部の項目のデータを作成し、前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報更新操作を行った場合には前記データ変換仕様情報の前記所定の項目のデータを編集後のデータに更新し、前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報確定操作を行った後は、前記データ変換仕様情報のデータ更新を禁止する処理を行うデータ変換仕様情報更新手段としてコンピュータを機能させることを特徴とするマスク発注支援プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク発注支援システム及びマスク発注支援プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの半導体メーカーはＬＳＩの製造に使用されるフォトマスクの製作をマスクメーカーに発注している。そのため、半導体メーカーはＬＳＩの設計が終了すると、フォトマスクの製作仕様書を作成してマスクメーカーに送付している。さらに、フォトマスクの製作仕様をグレード別にあらかじめマスクメーカーの記憶装置に記憶させておき、半導体メーカーは、フォトマスクの製作仕様を決定した後、フォトマスクのマスク名と製作仕様のグレードのみをマスクメーカーに伝送する方法が提案されている。
【特許文献１】特開２００２−３２８４６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
フォトマスクの製作仕様の決定には、設計部門、製品技術部門、マスク担当部門等の各担当者が関わってくる。例えば、設計担当は製品名や使用するマスクシリーズ等の機種情報、チップサイズ等の情報を提供し、製品技術担当はサイジング、検査グレード、ペリクルのタイプ等のマスク検査の仕様に関する情報を提供し、マスク担当は発注先のマスクメーカーを選定する。従来におけるフォトマスクの製作仕様の作成フローでは、例えば、設計担当が主導権を有し、設計担当が製品技術担当やマスク担当に対する情報の集約及び提供を繰り返し行うことにより最終的なフォトマスクの製作仕様が完成していた。しかし、設計担当がチップサイズの確定まで製品技術担当やマスク担当に情報を提供しない場合もあり、製品技術担当やマスク担当によるフォトマスクの発注に必要な作業を開始することができず発注時期が遅れる場合もあった。その結果、フォトマスクの納入時期も遅れ、製品評価や量産のスケジュールに影響を及ぼす場合もあった。
【０００４】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、フォトマスクの製作仕様を適切なタイミングで作成して発注する作業を支援するマスク発注支援システム等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）本発明は、
半導体集積回路装置の製造に使用されるフォトマスクを発注する作業を支援するためのマスク発注支援システムであって、
所定のユーザによる、前記フォトマスクに描画されるパターン情報を含むマスクデータを前記フォトマスクの描画装置に入力可能な形式のデータに変換する仕様を特定するためのデータ変換仕様情報の所定の項目のデータを編集して更新するデータ変換仕様情報更新操作及び前記データ変換仕様情報を確定するデータ変換仕様情報確定操作を検出する処理を行うユーザ操作検出手段と、
前記フォトマスクの仕様を特定するマスク仕様情報の承認が行われた後、前記マスク仕様情報の少なくとも一部のデータに基づいて前記データ変換仕様情報の一部の項目のデータを作成し、前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報更新操作を行った場合には前記データ変換仕様情報の前記所定の項目のデータを編集後のデータに更新し、前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報確定操作を行った後は、前記データ変換仕様情報のデータ更新を禁止する処理を行うデータ変換仕様情報更新手段と、を含むことを特徴とする。
【０００６】
マスク仕様情報及びデータ変換仕様情報は、マスクメーカーがフォトマスクを製作するために必要とするマスク製作仕様の一部を構成する情報である。
【０００７】
本発明によれば、データ変換仕様情報の作成前にマスク仕様情報が承認される。従って、承認されたマスク仕様情報に基づいて、所定のユーザ（例えば、設計担当）がデータ変換仕様情報を作成する作業と他の所定のユーザ（例えば、製品技術担当）がデータ変換仕様情報の作成以外の作業（例えば、スクライブデータの作成作業）を並列して行うことができる。
【０００８】
また、本発明によれば、データ変換仕様情報のみを修正する（承認されたマスク仕様情報は修正しない）場合には、マスク仕様情報の承認操作を再度行う必要がない。従って、本発明によれば、より迅速にデータ変換仕様情報の修正を行うことができるとともに、データ変換仕様情報の修正により、承認されたマスク仕様情報に基づいて行われる他のユーザの作業に影響が生じないようにすることができる。
【０００９】
また、本発明によれば、マスク仕様情報とデータ変換仕様情報の共通項目について、承認されたマスク仕様情報がデータ変換仕様情報に反映され、所定のユーザによるデータ変換仕様情報の作成が可能になる。その結果、承認されたマスク仕様情報がデータ変換仕様情報に反映される前にデータ変換仕様情報が作成されることを防止することができる。従って、本発明によれば、フォトマスクの製作仕様を適切なタイミングで作成することができる。
【００１０】
（２）本発明のマスク発注支援システムは、
前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報確定操作を行った場合には、前記データ変換仕様情報の前記所定の項目のデータにエラーがあるか否かを判断し、エラーがある場合にはエラー出力する処理を行うエラー出力手段を含むようにしてもよい。
【００１１】
本発明によれば、各ロールがデータ変換仕様情報の項目を確定する際に、エラーの有無が自動的にチェックされる。その結果、所定のユーザはエラーがある項目のデータを早期に修正することができる。従って、本発明によれば、フォトマスクの製作仕様を適切なタイミングで作成することができる。
【００１２】
（３）本発明のマスク発注支援システムは、
前記データ変換仕様情報の少なくとも一部の情報を含む所定の形式の電子化されたデータ変換仕様帳票ファイルを作成する処理を行う帳票ファイル作成手段と、
前記マスクデータ及び前記データ変換仕様帳票ファイルに転送ＩＤを付加して前記フォトマスクの発注先に転送する処理を行うデータ転送手段と、を含むようにしてもよい。
【００１３】
本発明によれば、マスクデータ及びデータ変換仕様帳票ファイルに転送ＩＤを付加してフォトマスクの発注先に転送する。従って、マスクデータ及びデータ変換仕様帳票ファイルを作成し直す毎に異なる転送ＩＤを付加してフォトマスクの発注先に転送することにより、誤ったフォトマスクが製作される危険性を低減することができる。
【００１４】
（４）本発明のマスク発注支援システムにおいて、
前記所定の形式はＣＳＶ形式であってもよい。
【００１５】
本発明によれば、データ変換仕様帳票ファイルをＣＳＶ形式にすることにより、より扱いやすく視認性の良いデータ変換仕様帳票ファイルを作成することができる。
【００１６】
（５）本発明のマスク発注支援システムにおいて、
前記ユーザ操作検出手段は、
前記データ変換仕様情報を承認する権限を有するユーザによる前記データ変換仕様情報を承認するデータ変換仕様情報承認操作を検出し、
前記データ転送手段は、
当該ユーザが前記データ変換仕様情報承認操作を行った場合には、前記データ変換仕様情報更新操作により編集された前記データ変換仕様情報に含まれる少なくとも一部の情報と前記マスクデータの対応する情報を比較し、比較結果に基づいて前記マスクデータ及び前記帳票ファイルを転送するか否かを決定するようにしてもよい。
【００１７】
本発明によれば、データ変換仕様情報が承認される際に、データ変換仕様情報とマスクデータの対応する情報が矛盾する場合には、マスクデータ及び帳票ファイルを転送しないようにすることができる。従って、マスクメーカーが誤ったマスクデータに基づいてフォトマスクを製作することを防止することができる。
【００１８】
（６）本発明のマスク発注支援システムにおいて、
前記データ変換仕様情報の少なくとも一部の情報は、
前記マスクデータが格納されたファイルのファイル名、更新日時及びファイルサイズの少なくとも１つを含むようにしてもよい。
【００１９】
本発明によれば、所定のユーザが転送したいマスクデータを特定することができるので、転送したいマスクデータと転送するマスクデータが一致するか否かを判断することができる。従って、マスクメーカーに誤ったマスクデータを転送することを防止することができる。
【００２０】
（７）本発明のマスク発注支援システムにおいて、
前記ユーザ操作検出手段は、
前記マスクデータが前記発注先に転送された後、ユーザによる、少なくとも１つのフォトマスクの製作中断を指示するマスク製作中断指示操作を検出し、
前記データ変換仕様情報更新手段は、
前記マスク製作中断指示操作が行われた場合には、製作中断対象のフォトマスクについての前記データ変換仕様情報のデータ更新を可能にするようにしてもよい。
【００２１】
（８）本発明のマスク発注支援システムは、
所定のユーザに対して、前記マスク製作中断指示操作が行われたことを通知する処理を行うユーザ通知手段を含むようにしてもよい。
【００２２】
所定のユーザは、少なくとも発注先のマスクメーカーに対してフォトマスクの製作中断を連絡する権限を有するユーザを含むようにしてもよい。
【００２３】
本発明によれば、マスクデータが前記発注先に転送された後であってもフォトマスクの製作を中断する指示があれば、所定のユーザにその旨が通知される。従って、通知を受けた所定のユーザがマスクメーカーに対してフォトマスクの製作を中断する指示を連絡することにより、無駄なフォトマスクが製作されないようにすることができる。
【００２４】
（９）本発明は、
半導体集積回路装置の製造に使用されるフォトマスクを発注する作業を支援するためのマスク発注支援プログラムであって、
所定のユーザによる、前記フォトマスクに描画されるパターン情報を含むマスクデータを前記フォトマスクの描画装置に入力可能な形式のデータに変換する仕様を特定するためのデータ変換仕様情報の所定の項目のデータを編集して更新するデータ変換仕様情報更新操作及び前記データ変換仕様情報を確定するデータ変換仕様情報確定操作を検出する処理を行うユーザ操作検出手段と、
前記フォトマスクの仕様を特定するマスク仕様情報の承認が行われた後、前記マスク仕様情報の少なくとも一部のデータに基づいて前記データ変換仕様情報の一部の項目のデータを作成し、前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報更新操作を行った場合には前記データ変換仕様情報の前記所定の項目のデータを編集後のデータに更新し、前記所定のユーザが前記データ変換仕様情報確定操作を行った後は、前記データ変換仕様情報のデータ更新を禁止する処理を行うデータ変換仕様情報更新手段としてコンピュータを機能させることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２６】
１．マスク発注支援システムの構成
図１は、本実施形態のマスク発注支援システムの構成の一例について説明するための図である。
【００２７】
マスク発注支援システム１は、半導体集積回路装置の製造に使用されるフォトマスクを発注する作業を支援するためのシステムである。
【００２８】
マスク発注支援システム１は、ユーザ操作検出手段３０を含む。ユーザ操作検出手段３０は、所定のユーザ（例えば、ユーザ１）による、データ変換仕様情報７２の所定の項目のデータを編集して更新するデータ変換仕様情報更新操作及びデータ変換仕様情報７２を確定するデータ変換仕様情報確定操作を検出する処理を行う。ここで、データ変換仕様情報７２は、フォトマスクに描画されるパターン情報を含むマスクデータ９２（例えば、ＧＤＳIIデータ）をフォトマスクの描画装置に入力可能な形式のデータ（例えば、ｅｂデータ）に変換する仕様を特定するための情報である。
【００２９】
マスク発注支援システム１は、データ変換仕様情報更新手段７０を含む。データ変換仕様情報更新手段７０は、マスク仕様情報４２の承認が行われた後、マスク仕様情報４２の少なくとも一部のデータに基づいてデータ変換仕様情報７２の一部の項目のデータを作成し、所定のユーザ（例えば、ユーザ１）がデータ変換仕様情報更新操作を行った場合にはデータ変換仕様情報７２の所定の項目のデータを編集後のデータに更新し、当該所定のユーザ（例えば、ユーザ１）がデータ変換仕様情報確定操作を行った後は、データ変換仕様情報７２のデータ更新を禁止する処理を行う。ここで、マスク仕様情報４２は、フォトマスクの仕様を特定するための情報である。
【００３０】
ユーザ操作検出手段３０は、所定のユーザ（例えば、ユーザ１）による、データ変換仕様情報の確定を解除するデータ変換仕様情報確定解除操作を検出するようにしてもよい。この場合、データ変換仕様情報更新手段７０は、当該所定のユーザ（例えば、ユーザ１）がデータ変換仕様情報確定解除操作を行った後は、データ変換仕様情報７２の所定の項目のデータ更新を可能にするようにしてもよい。
【００３１】
マスク発注支援システム１は、エラー出力手段６０を含むようにしてもよい。エラー出力手段６０は、所定のユーザ（例えば、ユーザ１）がデータ変換仕様情報確定操作を行った場合には、データ変換仕様情報７２の所定の項目のデータにエラーがあるか否かを判断し、エラーがある場合にはエラー出力する処理を行う。
【００３２】
マスク発注支援システム１は、帳票ファイル作成手段８０を含むようにしてもよい。帳票ファイル作成手段８０は、データ変換仕様情報７２の少なくとも一部の情報を含む所定の形式（例えば、ＣＳＶ形式）の電子化されたデータ変換仕様帳票ファイル８４を作成する処理を行う。
【００３３】
マスク発注支援システム１は、データ転送手段９０を含むようにしてもよい。データ転送手段９０は、マスクデータ９２及びデータ変換仕様帳票ファイル８４に転送ＩＤを付加してフォトマスクの発注先のマスクメーカーに転送する処理を行う。
【００３４】
ユーザ操作検出手段３０は、データ変換仕様情報７２を承認する権限を有するユーザ（ユーザ０）によるデータ変換仕様情報７２を承認するデータ変換仕様情報承認操作を検出するようにしてもよい。この場合、データ転送手段９０は、ユーザ０（承認者）がデータ変換仕様情報承認操作を行った場合には、データ変換仕様情報更新操作により編集されたデータ変換仕様情報７２に含まれる少なくとも一部の情報とマスクデータ９２の対応する情報を比較し、比較結果に基づいてマスクデータ９２及びデータ変換仕様帳票ファイル８４を転送するか否かを決定するようにしてもよい。ここで、データ変換仕様情報７２の少なくとも一部の情報は、マスクデータ９２が格納されたファイルのファイル名、更新日時及びファイルサイズの少なくとも１つを含む情報であってもよい。
【００３５】
ユーザ操作検出手段３０は、マスクデータ９２が発注先のマスクメーカーに転送された後、ユーザ０〜ユーザＮによる、少なくとも１つのフォトマスクの製作中断を指示するマスク製作中断指示操作を検出するようにしてもよい。この場合、データ変換仕様情報更新手段７０は、マスク製作中断指示操作が行われた場合には、製作中断対象のフォトマスクについてのデータ変換仕様情報７２のデータ更新を可能にするようにしてもよい。
【００３６】
マスク発注支援システム１は、ユーザ通知手段５０を含むようにしてもよい。ユーザ通知手段５０は、所定のユーザに対して、マスク製作中断指示操作が行われたことを通知する処理を行う。例えば、電子メールにより通知するようにしてもよい。
【００３７】
所定のユーザ、例えば、ユーザ１が編集可能なデータ変換仕様情報７２の所定の項目のデータは、表示手段１に表示され、ユーザ１が所定の項目のデータを確認することができるようにしてもよい。また、データ変換仕様情報７２の所定の項目のデータにエラーがある場合にエラー出力されたエラーメッセージは、例えば、表示手段１に表示され、ユーザ１がエラーメッセージを確認することができるようにしてもよい。
【００３８】
そして、ユーザ操作検出手段３０は、入力手段１〜入力手段Ｎの出力信号に基づいて、ユーザ１〜Ｎによるデータ変換仕様情報更新操作及びデータ変換仕様情報確定操作を検出し、入力手段０の出力信号に基づいてユーザ０（承認者）によるデータ変換仕様情報承認操作を検出する処理を行うようにしてもよい。
【００３９】
マスク発注支援システム１は、ロール選定手段１０を含むようにしてもよい。ロール選定手段１０は、ユーザ登録情報１２に基づいて、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）に割り当てるロールを選定する処理を行う。ここで、ユーザ登録情報１２は、複数のロール（例えば、設計担当、製品技術担当、マスク担当）と複数のユーザ（ユーザ１〜Ｎ）との対応関係を定義する情報である。
【００４０】
マスク発注支援システム１は、編集項目選定手段２０を含むようにしてもよい。編集項目選定手段２０は、ロール権限情報２２及び各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）に割り当てられたロールに基づいて、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）が編集可能なマスク仕様情報４２の項目を選定する処理を行う。ここで、ロール権限情報２２は、複数のロールとマスク仕様情報４２の複数の項目との対応関係を定義する情報である。
【００４１】
ユーザ操作検出手段３０は、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）による、当該ユーザが編集可能なマスク仕様情報４２の項目のデータを編集して更新するマスク仕様情報更新操作、及び各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）による、当該ユーザが編集可能なマスク仕様情報４２の項目のデータを確定するマスク仕様情報確定操作を検出する処理を行うようにしてもよい。
【００４２】
マスク発注支援システム１は、マスク仕様情報更新手段４０を含むようにしてもよい。マスク仕様情報更新手段４０は、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）がマスク仕様情報更新操作を行った場合には、当該ユーザが編集可能なマスク仕様情報４２の項目のデータを編集後のデータに更新する処理を行う。さらに、マスク仕様情報更新手段４０は、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）がマスク仕様情報確定操作を行った後は、マスク仕様情報確定操作の対象となるマスク仕様情報４２の項目のデータ更新を禁止する処理を行う。
【００４３】
ユーザ操作検出手段３０は、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）による、当該ユーザが編集可能なマスク仕様情報４２の項目のデータを複数の段階に分けて確定する複数のマスク仕様情報確定操作を検出するようにしてもよい。
【００４４】
また、ユーザ操作検出手段３０は、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）による、当該ユーザが編集可能なマスク仕様情報４２の項目のデータの確定を解除するマスク仕様情報確定解除操作を検出するようにしてもよい。この場合、マスク仕様情報更新手段４０は、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）がマスク仕様情報確定解除操作を行った後は、マスク仕様情報確定解除操作の対象となるマスク仕様情報４２の項目のデータ更新を可能にする。
【００４５】
ユーザ通知手段５０は、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）がマスク仕様情報確定操作又はマスク仕様情報確定解除操作を行った場合には、ユーザ登録情報１２に基づいて、少なくとも当該ユーザが割り当てられたロール以外のロールに対応づけられたユーザに対して当該マスク仕様情報確定操作又は当該マスク仕様情報確定解除操作が行われたことを通知する処理を行うようにしてもよい。例えば、電子メールにより通知するようにしてもよい。
【００４６】
マスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の各項目のデータの更新履歴情報４４を作成するようにしてもよい。この場合、ユーザ通知手段５０は、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）がマスク仕様情報確定操作を行った場合には、ユーザ登録情報１２に基づいて、少なくとも当該ユーザが割り当てられたロール以外のロールに対応づけられたユーザに対して更新履歴情報４４を通知するようにしてもよい。
【００４７】
ユーザ操作検出手段３０は、所定のロール（例えば、マスク担当）が割り当てられたユーザ（例えば、ユーザＮ）による、マスク仕様情報４２を最終的に確定するマスク仕様情報最終確定操作を検出するようにしてもよい。この場合、マスク仕様情報更新手段４０は、当該ユーザがマスク仕様情報最終確定操作を行った後は、マスク仕様情報４２の更新を禁止するようにしてもよい。
【００４８】
エラー出力手段６０は、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）がマスク仕様情報確定操作を行った場合には、当該ユーザが編集可能なマスク仕様情報４２の項目のデータにエラーがあるか否かを判断し、エラーがある場合にはエラー出力する処理を行うようにしてもよい。
【００４９】
ユーザ操作検出手段３０は、マスク仕様情報４２を承認する権限を有するユーザ（ユーザ０）によるマスク仕様情報４２を承認するマスク仕様情報承認操作を検出するようにしてもよい。この場合、エラー出力手段６０は、当該ユーザ（ユーザ０）がマスク仕様情報承認操作を行った場合には、マスク仕様情報４２の複数の項目のデータ間の関連性に矛盾がないか否かを判断し、矛盾がある場合にはエラー出力するようにしてもよい。
【００５０】
帳票ファイル作成手段８０は、マスク仕様情報４２の少なくとも一部の情報を含む所定の形式（例えば、ＣＳＶ形式）の電子化されたマスク仕様帳票ファイル８２を作成する処理を行うようにしてもよい。
【００５１】
データ転送手段９０は、マスク仕様帳票ファイル８２に転送ＩＤを付加してフォトマスクの発注先のマスクメーカーに転送する処理を行うようにしてもよい。
【００５２】
各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）が編集可能なマスク仕様情報４２の項目は、それぞれ表示手段１〜表示手段Ｎ（例えば、パーソナルコンピュータのディスプレイ）に表示され、ユーザ１〜ユーザＮが編集可能な項目を確認することができるようにしてもよい。また、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）が編集可能なマスク仕様情報４２の項目のデータにエラーがある場合にエラー出力されたエラーメッセージは、表示手段１〜Ｎに表示され、ユーザ１〜ユーザＮがエラーメッセージを確認することができるようにしてもよい。
【００５３】
各ユーザ（ユーザ０〜ユーザＮ）はそれぞれ入力手段０〜入力手段Ｎ（例えば、パーソナルコンピュータのキーボードやマウス）を介して入力操作を行うようにしてもよい。そして、ユーザ操作検出手段３０は、入力手段０〜入力手段Ｎの出力信号に基づいて、各ユーザ（ユーザ１〜ユーザＮ）によるマスク仕様情報更新操作、マスク仕様情報確定操作及びマスク仕様情報確定解除操作を検出し、入力手段Ｎの出力信号に基づいてユーザＮによるマスク仕様情報最終確定操作を検出し、入力手段０の出力信号に基づいてユーザ０（承認者）によるマスク仕様情報承認操作を検出する処理を行うようにしてもよい。
【００５４】
２．マスク仕様情報の作成
図２（Ａ）は、ユーザ登録情報の一例について説明するための図である。図２（Ａ）に示すユーザ登録情報１２では、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合において、設計担当、製品技術担当、マスク担当の３つのロール（以下、それぞれ設計ロール、製品技術ロール、マスクロールという）とユーザＩＤがｕｓｅｒ１、ｕｓｅｒ２、ｕｓｅｒ３、ｕｓｅｒ４の４人のユーザとの対応関係が定義されている。すなわち、設計担当、製品技術担当、マスク担当の各ロールには、ｕｓｅｒ１及びｕｓｅｒ２、ｕｓｅｒ３、ｕｓｅｒ４がそれぞれ対応づけられている。
【００５５】
従って、図１で説明したロール選定手段１０は、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、ユーザ１（ユーザＩＤ：ｕｓｅｒ１）及びユーザ２（ユーザＩＤ：ｕｓｅｒ２）に対しては設計ロールを割り当てる。同様に、ロール選定手段１０は、ユーザ３（ユーザＩＤ：ｕｓｅｒ３）に対して製品技術ロールを割り当て、ユーザ４（ユーザＩＤ：ｕｓｅｒ４）に対してマスクロールを割り当てる。
【００５６】
図２（Ｂ）は、ロール権限情報の一例について説明するための図である。図２（Ｂ）に示すロール権限情報２２では、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合において、設計担当、製品技術担当、マスク担当の３つのロールとマスク仕様情報のＡ１、Ａ２、Ａ３、・・・、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、・・・、Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、・・・の項目との対応関係が定義されている。すなわち、設計ロールにはＡ１、Ａ２、Ａ３、・・・が対応づけられ、製品技術ロールにはＢ１、Ｂ２、Ｂ３、・・・が対応づけられ、マスクロールにはＣ１、Ｃ２、Ｃ３、・・・が対応づけられている。
【００５７】
従って、図１で説明した編集項目選定手段２０は、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、ロール選定手段１０によって設計ロールが割り当てられるユーザ１及びユーザ２が編集可能なマスク仕様情報４２の項目としてＡ１、Ａ２、Ａ３、・・・を選定する。同様に、編集項目選定手段２０は、ロール選定手段１０によって製品技術ロールが割り当てられるユーザ３が編集可能なマスク仕様情報４２の項目としてＢ１、Ｂ２、Ｂ３、・・・を選定し、ロール選定手段１０によってマスクロールが割り当てられるユーザ４が編集可能なマスク仕様情報４２の項目としてＣ１、Ｃ２、Ｃ３、・・・を選定する。
【００５８】
図２（Ｃ）は、ロール権限情報の他の一例について説明するための図である。図１で説明したユーザ操作検出手段３０は、各ユーザによる、当該ユーザが編集可能なマスク仕様情報４２の複数の項目のデータを第１〜第ｎ（ｎ≧２）のｎ個のグループに分割してｎ段階に分けて確定するための第１〜第ｎのマスク仕様情報確定操作を検出する処理を行うようにしてもよい。このような場合、図２（Ｃ）に示すように、ロール権限情報２２は、各ロールに対応づけられるマスク仕様情報４２の項目を、第１〜第ｎのマスク仕様情報確定操作によりそれぞれ確定される１段階確定項目〜ｎ段階確定項目に分割して対応関係を定義するようにしてもよい。すなわち、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、設計ロールには、１段階確定項目のＡ１１、Ａ１２、・・・〜ｎ段階確定項目のＡｎ１、Ａｎ２、・・・が対応づけられ、製品技術ロールには、１段階確定項目のＢ１１、Ｂ１２、・・・〜ｎ段階確定項目のＢｎ１、Ｂｎ２、・・・が対応づけられ、マスクロールには、１段階確定項目のＣ１１、Ｃ１２、・・・〜ｎ段階確定項目のＣｎ１、Ｃｎ２、・・・が対応づけられている。
【００５９】
ここで、ｋ（２≦ｋ≦ｎ）段階確定項目のデータは、１〜ｋ−１段階確定項目のデータがすべて確定した後でなければ確定することができないが、任意のタイミングで編集可能であってもよい。すなわち、図１で説明した編集項目選定手段２０は、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、ロール選定手段１０によって設計ロールが割り当てられるユーザ１及びユーザ２が編集可能なマスク仕様情報４２の項目としてＡ１１、Ａ１２、・・・〜Ａｎ１、Ａｎ２、・・・を選定する。同様に、編集項目選定手段２０は、ロール選定手段１０によって製品技術ロールが割り当てられるユーザ３が編集可能なマスク仕様情報４２の項目としてＢ１１、Ｂ１２、・・・〜Ｂｎ１、Ｂｎ２、・・・を選定し、ロール選定手段１０によってマスクロールが割り当てられるユーザ４が編集可能なマスク仕様情報４２の項目としてＣ１１、Ｃ１２、・・・〜Ｃｎ１、Ｃｎ２、・・・を選定する。
【００６０】
図３〜図９は、マスク仕様情報の入力画面の構成例を示す図である。以下の図３〜図９の説明において、図１で説明したユーザ登録情報１２は図２（Ａ）に示す対応関係を定義し、ロール権限情報２２は図２（Ｃ）に示す対応関係（ただし、ｎ＝２の場合）を定義しているものとする。以下、図１を参照しながら、図３〜図９について説明する。
【００６１】
図３の入力画面１００は、ユーザ１（ユーザＩＤ：ｕｓｅｒ１）がマスク発注システム１にログインし、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹを入力（又は選択）した後に表示されるマスク仕様情報の入力画面である。図２（Ａ）で説明したように、ユーザ登録情報１２において、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、ユーザ１には設計ロールが対応づけられているので、ロール選定手段１０は、ログイン情報に基づいてユーザ１に設計ロールを割り当てる。そのため、ユーザ１がマスク発注システム１にログインし、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹを入力（又は選択）した場合、設計ロール用のマスク仕様情報の入力画面１００が表示される。
【００６２】
図２（Ｃ）で説明したロール権限情報２２によれば、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、設計ロールには、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・及び２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・が対応づけられる。従って、入力画面１００においては、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・及び２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータ入力が可能な状態になっている。ここで、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・及び２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータとして各々の初期値が表示され、編集が可能な状態になっていてもよい。なお、マスク仕様情報４２の設計ロールの１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・としては、例えば、機種情報、担当者情報、マスク名、マスクグリッド、納入先、納入順、発注日、シュリンク率等があり、２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・としては、例えば、チップサイズ、データシリーズ名、スクライブデータ作成面付けオプション等がある。
【００６３】
また、入力画面１００には更新ボタン１１０が表示されており、ユーザ１がマスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・及び２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・の少なくとも１つのデータを編集して更新ボタン１１０を押下する操作（マスク仕様情報更新操作）を行うと、マスク仕様情報更新手段４０は、ユーザ１が編集可能なマスク仕様情報４２の項目（１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・及び２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・）のデータを編集後のデータに更新する処理を行う。
【００６４】
また、入力画面１００には１段階確定ボタン１２０が表示されている。入力画面１００において、ユーザ１が１段階確定ボタン１２０を押下する操作（マスク仕様情報確定操作）を行うと、図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータ更新を禁止する処理（すなわち、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータを確定状態にする処理）を行う。その結果、ユーザ１によるマスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータを編集して更新する操作が不可能になる。入力画面１００はユーザ１が１段階確定ボタン１２０を押下する前の状態を表示しているため、１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータはすべて未確定の状態になっている。
【００６５】
さらに、入力画面１００には２段階確定ボタン１３０が表示されている。入力画面１００において、ユーザ１が２段階確定ボタン１３０を押下する操作（マスク仕様情報確定操作）を行うと、図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータ更新を禁止する処理（すなわち、マスク仕様情報４２の２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータを確定状態にする処理）を行う。その結果、ユーザ１によるマスク仕様情報４２の２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータを編集して更新する操作が不可能になる。入力画面１００はユーザ１が２段階確定ボタン１３０を押下する前の状態を表示しているため、２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータはすべて未確定の状態になっている。
【００６６】
なお、入力画面１００には、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合における他のロールのマスク仕様情報４２の入力画面、すなわち、製品技術ロールの入力画面及びマスクロールの入力画面にそれぞれ切り替えるためのボタン１４０及び１５０が設けられていてもよい。
【００６７】
図４の入力画面２００は、ユーザ３（ユーザＩＤ：ｕｓｅｒ３）がマスク発注システム１にログインし、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹを入力（又は選択）した後に表示されるマスク仕様情報の入力画面である。図２（Ａ）で説明したように、ユーザ登録情報１２において、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、ユーザ３には製品技術ロールが対応づけられているので、ロール選定手段１０は、ログイン情報に基づいてユーザ３に製品技術ロールを割り当てる。そのため、ユーザ３がマスク発注システム１にログインし、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹを入力（又は選択）した場合、製品技術ロール用のマスク仕様情報の入力画面２００が表示される。
【００６８】
図２（Ｃ）で説明したロール権限情報２２によれば、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、製品技術ロールには、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・及び２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・が対応づけられる。従って、入力画面２００においては、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・及び２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・のデータ入力が可能な状態になっている。ここで、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・及び２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・のデータとして各々の初期値が表示され、編集が可能な状態になっていてもよい。なお、マスク仕様情報４２の製品技術ロールの１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・としては、例えば、スクライブＴＥＧ情報、スクライブ作成テンプレート情報、アライナ種別、マスクタイプ、マスク正反、マスクグレード、ペリクルタイプ等があり、２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・としては、例えば、ガードリング位置、ガードリング有無等、スクライブデータ作成オプション等がある。
【００６９】
また、入力画面２００には更新ボタン２１０が表示されており、ユーザ３がマスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・及び２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・の少なくとも１つのデータを編集して更新ボタン２１０を押下する操作（マスク仕様情報更新操作）を行うと、マスク仕様情報更新手段４０は、ユーザ３が編集可能なマスク仕様情報４２の項目（１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・及び２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・）のデータを編集後のデータに更新する処理を行う。
【００７０】
また、入力画面２００には１段階確定ボタン２２０が表示されている。入力画面２００において、ユーザ３が１段階確定ボタン２２０を押下する操作（マスク仕様情報確定操作）を行うと、図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・のデータ更新を禁止する処理（すなわち、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・のデータを確定状態にする処理）を行う。その結果、ユーザ３によるマスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・のデータを編集して更新する操作が不可能になる。入力画面２００はユーザ３が１段階確定ボタン２２０を押下する前の状態を表示しているため、１段階確定項目Ｂ１１、Ｂ１２、・・・のデータはすべて未確定の状態になっている。
【００７１】
さらに、入力画面２００には２段階確定ボタン２３０が表示されている。入力画面２００において、ユーザ３が２段階確定ボタン２３０を押下する操作（マスク仕様情報確定操作）を行うと、図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・のデータ更新を禁止する処理（すなわち、マスク仕様情報４２の２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・のデータを確定状態にする処理）を行う。その結果、ユーザ３によるマスク仕様情報４２の２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・のデータを編集して更新する操作が不可能になる。入力画面２００はユーザ３が２段階確定ボタン２３０を押下する前の状態を表示しているため、２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・のデータはすべて未確定の状態になっている。
【００７２】
なお、入力画面２００には、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合における他のロールのマスク仕様情報４２の入力画面、すなわち、設計ロールの入力画面及びマスクロールの入力画面にそれぞれ切り替えるためのボタン２４０及び２５０が設けられていてもよい。
【００７３】
図５の入力画面３００は、ユーザ４（ユーザＩＤ：ｕｓｅｒ４）がマスク発注システム１にログインし、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹを入力（又は選択）した後に表示されるマスク仕様情報の入力画面である。図２（Ａ）で説明したように、ユーザ登録情報１２において、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、ユーザ４にはマスクロールが対応づけられているので、ロール選定手段１０は、ログイン情報に基づいてユーザ４にマスクロールを割り当てる。そのため、ユーザ４がマスク発注システム１にログインし、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹを入力（又は選択）した場合、マスクロール用のマスク仕様情報の入力画面３００が表示される。
【００７４】
図２（Ｃ）で説明したロール権限情報２２によれば、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合、マスクロールには、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・及び２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・が対応づけられる。従って、入力画面３００においては、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・及び２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・のデータ入力が可能な状態になっている。ここで、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・及び２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・のデータとして各々の初期値が表示され、編集が可能な状態になっていてもよい。なお、マスク仕様情報４２のマスクロールの１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・としては、例えば、発注先のマスクメーカー、マスクシリーズ名、発送データ種別、光波測長検査有無等があり、２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・としては、例えば、変換エリア、作業開始日、マスクレジスト等がある。
【００７５】
また、入力画面３００には更新ボタン３１０が表示されており、ユーザ４がマスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・及び２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・の少なくとも１つのデータを編集して更新ボタン３１０を押下する操作（マスク仕様情報更新操作）を行うと、マスク仕様情報更新手段４０は、ユーザ４が編集可能なマスク仕様情報４２の項目（１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・及び２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・）のデータを編集後のデータに更新する処理を行う。
【００７６】
また、入力画面３００には１段階確定ボタン３２０が表示されている。入力画面３００において、ユーザ４が１段階確定ボタン３２０を押下する操作（マスク仕様情報確定操作）を行うと、図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・のデータ更新を禁止する処理（すなわち、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・のデータを確定状態にする処理）を行う。その結果、ユーザ４によるマスク仕様情報４２の１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・のデータを編集して更新する操作が不可能になる。入力画面３００はユーザ４が１段階確定ボタン３２０を押下する前の状態を表示しているため、１段階確定項目Ｃ１１、Ｃ１２、・・・のデータはすべて未確定の状態になっている。
【００７７】
さらに、入力画面３００には２段階確定ボタン３３０が表示されている。入力画面３００において、ユーザ４が２段階確定ボタン３３０を押下する操作（マスク仕様情報確定操作）を行うと、図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・のデータ更新を禁止する処理（すなわち、マスク仕様情報４２の２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・のデータを確定状態にする処理）を行う。その結果、ユーザ４によるマスク仕様情報４２の２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・のデータを編集して更新する操作が不可能になる。入力画面３００はユーザ４が２段階確定ボタン３３０を押下する前の状態を表示しているため、２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・のデータはすべて未確定の状態になっている。
【００７８】
なお、入力画面３００には、製品名：ＸＸＸ、マスクシリーズ名：ＹＹＹにより特定される製品のフォトマスクを発注する場合における他のロールのマスク仕様情報４２の入力画面、すなわち、設計ロールの入力画面及び製品技術ロールの入力画面にそれぞれ切り替えるためのボタン３４０及び３５０が設けられていてもよい。
【００７９】
図６は、マスク仕様情報の１段階確定項目の入力エラーを表示する画面の一例である。入力画面１０１は、ユーザ１が図３の入力画面１００において１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータを編集して１段階確定ボタン１２０を押下した後のマスク仕様情報の入力画面である。図６において図３と同じ構成には同じ符号を付しており、その説明を省略する。
【００８０】
図６に示すように、例えば、１段階確定項目Ａ１１に対して要求される範囲を逸脱した数値が入力された状態で１段階確定ボタン１２０が押下されると、１段階確定項目Ａ１１のデータにエラーがあることがわかるような表示がなされる。すなわち、図１で説明したエラー出力手段６０は、ユーザ１がマスク仕様情報４２の１段階確定操作を行った場合には、ユーザ１が編集可能なマスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータにエラーがあるか否かを判断し、エラーがある場合には表示手段１に対してエラー出力する処理を行い、表示手段１はユーザ１に対して入力画面１０１上にエラー表示する処理を行う。
【００８１】
図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・の少なくとも１つのデータにエラーがある場合、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータ更新を禁止する処理を行わない。すなわち、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・は未確定状態のままである。
【００８２】
図７は、マスク仕様情報の１段階確定項目の確定後の状態を表示する画面の一例である。入力画面１０２は、ユーザ１が図３の入力画面１００において１段階確定項目Ａ１１及びＡ１２、・・・のデータを編集して１段階確定ボタン１２０を押下した後のマスク仕様情報の入力画面である。図７において図３と同じ構成には同じ符号を付しており、その説明を省略する。
【００８３】
１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータにエラーがない場合、１段階確定ボタン１２０が押下されることにより、１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータが確定状態になる。図７に示すように、１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータ編集を不可能にしてもよい。
【００８４】
入力画面１０２では、図３の入力画面１００に存在した１段階確定ボタン１２０に代わり１段階確定解除ボタン１２２が表示されている。入力画面１０２において、ユーザ１が１段階確定解除ボタン１２２を押下する操作（マスク仕様情報確定解除操作）を行うと、図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータ更新を可能にする処理（すなわち、マスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータを未確定の状態にする処理）を行う。そして、入力画面１０２に代わり、図３の入力画面１００が表示される。その結果、ユーザ１によるマスク仕様情報４２の１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータを編集して更新する操作が再び可能になる。
【００８５】
図８は、マスク仕様情報の２段階確定項目の確定後の状態を表示する画面の一例である。入力画面１０３は、ユーザ１が図７の入力画面１０２において２段階確定項目Ａ２１及びＡ２２、・・・のデータを編集して２段階確定ボタン１３０を押下した後のマスク仕様情報の入力画面である。図８において図３又は図７と同じ構成には同じ符号を付しており、その説明を省略する。
【００８６】
２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータにエラーがない場合、２段階確定ボタン１３０が押下されることにより、２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータが確定状態になる。図８に示すように、１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・に加えて２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータ編集を不可能にしてもよい。
【００８７】
入力画面１０３では、図７の入力画面１０２に存在した２段階確定ボタン１３０に代わり２段階確定解除ボタン１３２が表示されている。入力画面１０３において、ユーザ１が２段階確定解除ボタン１３２を押下する操作（マスク仕様情報解除操作）を行うと、図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２の２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータ更新を可能にする処理（すなわち、マスク仕様情報４２の２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータを未確定の状態にする処理）を行う。そして、入力画面１０３に代わり、図７の入力画面１０２が表示される。その結果、ユーザ１によるマスク仕様情報４２の２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・のデータを編集して更新する操作が再び可能になる。
【００８８】
図９は、マスク仕様情報が最終的に確定された後の設計ロールに対するマスク仕様情報の入力画面の一例である。図９において図３〜図９のいずれかと同じ構成には同じ符号を付しており、その説明を省略する。
【００８９】
所定のロール、例えば、マスクロールが割り当てられたユーザ４がマスク仕様情報４２を最終的に確定する操作（マスク仕様情報最終確定操作）を行うと、図１で説明したマスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報４２のすべての項目（Ａ１１、Ａ１２、・・・〜Ａｎ１、Ａｎ２、・・・、Ｂ１１、Ｂ１２、・・・〜Ｂｎ１、Ｂｎ２、・・・、Ｃ１１、Ｃ１２、・・・〜Ｃｎ１、Ｃｎ２、・・・）のデータ更新を禁止する処理を行う。その結果、マスク仕様情報４２の更新操作にロックがかけられ、例えば、入力画面１０４に示すように更新ボタン１１０、１段階確定解除ボタン１２２及び２段階確定解除ボタン１３２がすべて押下不可能な状態にしてもよい。なお、例えば、設計ロールの２段階確定項目Ａ２１、Ａ２２、・・・及び製品技術ロールの２段階確定項目Ｂ２１、Ｂ２２、・・・のデータが確定した後にマスクロールの２段階確定項目Ｃ２１、Ｃ２２、・・・のデータが決定されるような関係にある場合は、マスクロールが割り当てられたユーザ４による２段階確定ボタン３３０（図５参照）を押下する操作（マスク仕様情報確定操作）をマスク仕様情報最終確定操作と兼用させてもよい。すなわち、ユーザ４が２段階確定ボタン３３０を押下することにより、マスク仕様情報４２が最終確定されるようにしてもよい。
【００９０】
マスク仕様情報最終確定操作が行われると、マスク仕様情報を承認する権限を有するユーザ０がマスク仕様情報４２を承認する操作（マスク仕様情報承認操作）を行うことができる。ユーザ０がマスク仕様情報承認操作を行うと、図１で説明したエラー出力手段６０は、マスク仕様情報４２の項目（Ａ１１、Ａ１２、・・・〜Ａｎ１、Ａｎ２、・・・、Ｂ１１、Ｂ１２、・・・〜Ｂｎ１、Ｂｎ２、・・・、Ｃ１１、Ｃ１２、・・・〜Ｃｎ１、Ｃｎ２、・・・）の複数の項目のデータ間の関連性に矛盾がないか否かを判断し、矛盾がある場合には表示手段０に対してエラー出力する処理を行い、表示手段０はユーザ０に対してエラー表示する処理を行う。ユーザ０はエラー表示の内容を見て疑似エラーと判断すればマスク仕様情報の承認を確定させてもよい。一方、ユーザ０はエラー表示の内容を見て真のエラーと判断すればマスク仕様情報を否認する操作（マスク仕様情報否認操作）を行うことができる。マスク仕様情報否認操作が行われると、図１で説明したユーザ通知手段５０は、ユーザ登録情報１２において設計ロール、製品技術ロール、マスクロールに対応づけられたユーザ１、ユーザ２、ユーザ３、ユーザ４に対してマスク仕様情報否認操作が行われたことやエラーの原因となった項目の情報を通知する。そして、設計ロール、製品技術ロール、マスクロールの各入力画面において、エラーの原因となった項目のデータが修正可能な状態になる。
【００９１】
以上、図６〜図９において設計ロールのマスク仕様情報の入力画面について説明したが、他のロール（製品技術ロール、マスクロール）のマスク仕様情報の入力画面についても同様であるので説明を省略する。マスク仕様情報最終確定操作が行われるまでは、各ロールはマスク仕様情報の項目の更新、確定、確定解除の各操作を自由に行うことができる。そして、各ロールが並列してマスク仕様情報の各項目を適切なタイミングで確定させることにより、マスク仕様情報の完成を相対的に早める効果が期待できる。
【００９２】
図１０は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるマスク仕様情報の更新処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図１０のフローチャートについて説明する。
【００９３】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、各ロールによるマスク仕様情報更新操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ１０）。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合においてユーザ１又はユーザ２がマスク仕様情報更新操作を行ったとすると、ユーザ操作検出手段３０は設計ロールによるマスク仕様情報更新操作が行われたと判断する。
【００９４】
次に、各ロールによるマスク仕様情報更新操作が行われた場合（ステップＳ１０でＹｅｓの場合）、マスク仕様情報更新手段４０は、ステップＳ１０でマスク仕様情報更新操作を行ったロールに対応づけられたマスク仕様情報４２の項目をデータ更新する（ステップＳ１２）。例えば、ロール権限情報２２が図２（Ｃ）に示す対応関係を定義する場合においてステップＳ１０で設計ロールによるマスク仕様情報更新操作が行われたとすると、設計ロールの１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・〜ｎ段階確定項目Ａｎ１、Ａｎ２、・・・が更新される。ただし、例えば、１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・が確定されている場合には１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・は更新されない。
【００９５】
最後に、マスク仕様情報更新手段４０はマスク仕様情報４２の更新履歴情報４４を作成する（ステップＳ１４）。更新履歴情報４４は、例えば、更新したユーザ、更新日時、更新内容等の履歴を含む情報である。
【００９６】
図１１は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるマスク仕様情報の確定処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図１１のフローチャートについて説明する。
【００９７】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、各ロールによるマスク仕様情報確定操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ２０）。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合においてユーザ１又はユーザ２がマスク仕様情報確定操作を行ったとすると、ユーザ操作検出手段３０は設計ロールによるマスク仕様情報確定操作が行われたと判断する。
【００９８】
次に、各ロールによるマスク仕様情報確定操作が行われた場合（ステップＳ２０でＹｅｓの場合）、エラー出力手段６０は、マスク仕様情報確定操作の対象となるマスク仕様情報４２の項目のデータにエラーがあるか否かを判断する（ステップＳ２２）。例えば、ロール権限情報２２が図２（Ｃ）に示す対応関係を定義する場合においてステップＳ２０で設計ロールによるマスク仕様情報４２の１段階確定操作が行われたとすると、エラー出力手段６０は設計ロールの１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータにエラーがあるか否かを判断する。
【００９９】
マスク仕様情報確定操作の対象となるマスク仕様情報４２の項目のデータにエラーがある場合（ステップＳ２２でＹｅｓの場合）、エラー出力手段６０はマスク仕様情報確定操作を行ったユーザの表示手段に対してエラー出力する（ステップＳ２４）。この場合、マスク仕様情報確定操作の対象となるマスク仕様情報４２の項目のデータは確定されない。
【０１００】
一方、マスク仕様情報確定操作の対象となるマスク仕様情報４２の項目のデータにエラーがない場合（ステップＳ２２でＮｏの場合）、マスク仕様情報更新手段４０は、以後、マスク仕様情報４２の当該項目のデータ更新を禁止する（ステップＳ２６）。これにより、マスク仕様情報確定操作の対象となったマスク仕様情報４２の項目のデータが確定される。
【０１０１】
最後に、ユーザ通知手段５０は、ステップＳ２６で確定された項目及び更新履歴情報４４を、他のロールに対応づけられたユーザに通知する（ステップＳ２８）。例えば、ユーザ登録情報１２及びロール権限情報２２がそれぞれ図２（Ａ）及び図２（Ｃ）に示す対応関係を定義する場合においてステップＳ２０で設計ロールによるマスク仕様情報４２の１段階確定操作が行われたとすると、ユーザ通知手段５０は、製品技術ロールに対応づけられたユーザ３及びマスクロールに対応づけられたユーザ４に対して、設計ロールの１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・が確定されたこと及び更新履歴情報４４を通知する。ユーザ３及びユーザ４はこの通知を受けることにより、例えば、設計ロールの１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータに依存して決定される製品技術ロールの項目及びマスクロールの項目のデータ編集をそれぞれ行うことができる。
【０１０２】
なお、ステップＳ２８において、ユーザ通知手段５０は、いずれかのロールに対応づけられたすべてのユーザに対して通知するようにしてもよい。例えば、先の例の場合、ユーザ通知手段５０はユーザ３及びユーザ４に対して通知するだけでなく、マスク仕様情報確定操作を行ったユーザ１や設計ロールに対応づけられたユーザ２に対しても通知するようにしてもよい。
【０１０３】
図１２は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるマスク仕様情報の確定解除処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図１２のフローチャートについて説明する。
【０１０４】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、各ロールによるマスク仕様情報確定解除操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ３０）。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合においてユーザ１又はユーザ２がマスク仕様情報確定解除操作を行ったとすると、ユーザ操作検出手段３０は設計ロールによるマスク仕様情報確定解除操作が行われたと判断する。
【０１０５】
次に、各ロールによるマスク仕様情報確定解除操作が行われた場合（ステップＳ３０でＹｅｓの場合）、マスク仕様情報更新手段４０は、以後、マスク仕様情報確定解除操作の対象となるマスク仕様情報４２の項目のデータ更新を許可する（ステップＳ３２）。これにより、マスク仕様情報確定解除操作の対象となったマスク仕様情報４２の項目のデータは、その確定が解除され更新可能な状態に戻る。
【０１０６】
最後に、ユーザ通知手段５０は、ステップＳ３２で確定解除された項目を、他のロールに対応づけられたユーザに通知する（ステップＳ３４）。例えば、ユーザ登録情報１２及びロール権限情報２２がそれぞれ図２（Ａ）及び図２（Ｃ）に示す対応関係を定義する場合においてステップＳ３０で設計ロールによるマスク仕様情報４２の１段階確定解除操作が行われたとすると、ユーザ通知手段５０は、製品技術ロールに対応づけられたユーザ３及びマスクロールに対応づけられたユーザ４に対して、設計ロールの１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・が確定解除されたことを通知する。ユーザ３及びユーザ４はこの通知を受けることにより、例えば、設計ロールの１段階確定項目Ａ１１、Ａ１２、・・・のデータに依存して決定される製品技術ロールの項目及びマスクロールの項目のデータが既に確定されていても無効にすることができる。
【０１０７】
なお、ステップＳ３４において、ユーザ通知手段５０は、いずれかのロールに対応づけられたすべてのユーザに対して通知するようにしてもよい。例えば、先の例の場合、ユーザ通知手段５０はユーザ３及びユーザ４に対して通知するだけでなく、マスク仕様情報確定解除操作を行ったユーザ１や設計ロールに対応づけられたユーザ２に対しても通知するようにしてもよい。
【０１０８】
図１３は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるマスク仕様情報の最終確定処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図１３のフローチャートについて説明する。
【０１０９】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、所定のロールによるマスク仕様情報最終確定操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ４０）。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合においてマスク仕様情報を最終的に確定する権限がマスクロールに与えられているとすると、ユーザ操作検出手段３０は、マスクロールに対応づけられるユーザ４によるマスク仕様情報最終確定操作が行われたか否かを判断する。
【０１１０】
次に、所定のロールによるマスク仕様情報最終確定操作が行われた場合（ステップＳ４０でＹｅｓの場合）、マスク仕様情報更新手段４０は、以後、マスク仕様情報４２のすべての項目のデータ更新を禁止する（ステップＳ４２）。これにより、マスク仕様情報４２が最終確定される。
【０１１１】
最後に、ユーザ通知手段５０は、ステップＳ４２で最終確定されたことを他のロールに対応づけられたユーザに通知する（ステップＳ４４）。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合においてステップＳ４０でマスクロール（ユーザ４）によるマスク仕様情報最終確定操作が行われたとすると、ユーザ通知手段５０は、少なくとも、設計ロールに対応づけられたユーザ１、ユーザ２及び製品技術ロールに対応づけられたユーザ３に対して、マスク仕様情報４２が最終確定されたことを通知する。ユーザ１、ユーザ２及びユーザ３はこの通知を受けることにより、以後、マスク仕様情報の修正ができないことを認識することができる。
【０１１２】
なお、ステップＳ４４において、ユーザ通知手段５０は、いずれかのロールに対応づけられたすべてのユーザに対して通知するようにしてもよい。例えば、先の例の場合、ユーザ通知手段５０はユーザ１、ユーザ２及びユーザ３に対して通知するだけでなく、マスク仕様情報最終確定操作を行ったユーザ４に対しても通知するようにしてもよい。
【０１１３】
図１４は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるマスク仕様情報の承認処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図１４のフローチャートについて説明する。
【０１１４】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、マスク仕様情報を承認する権限を有する所定のユーザ（承認者）によるマスク仕様情報承認操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ５０）。例えば、マスク仕様情報を承認する権限がユーザ０に与えられているとすると、ユーザ操作検出手段３０は、ユーザ０によるマスク仕様情報承認操作が行われたか否かを判断する。
【０１１５】
次に、所定のユーザ（承認者）によるマスク仕様情報承認操作が行われた場合（ステップＳ５０でＹｅｓの場合）、エラー出力手段６０は、マスク仕様情報４２の各項目のデータ間に関連性エラーがあるか否かを判断する（ステップＳ５２）。
【０１１６】
マスク仕様情報４２の各項目のデータ間に関連性エラーがある場合（ステップＳ５２でＹｅｓの場合）、エラー出力手段６０はマスク仕様情報承認操作を行ったユーザの表示手段に対してエラー出力する（ステップＳ５４）。例えば、ロール権限情報２２が図２（Ｃ）に示す対応関係を定義する場合において設計ロールのｎ段階確定項目Ａｎ１のデータと製品技術ロールのｎ段階確定項目Ｂｎ１のデータの関連性に矛盾がある場合、エラー出力手段６０は項目Ａｎ１のデータと項目Ｂｎ１のデータに対する関連性エラーを出力する。エラー出力された関連性エラーが疑似エラーでない場合（ステップＳ５６でＮｏの場合）、マスク仕様情報４２は承認されずに処理を終了する。
【０１１７】
一方、マスク仕様情報４２の各項目のデータ間に関連性エラーがなかった場合（ステップＳ５２でＹｅｓの場合）、又は関連性エラーが疑似エラーである場合（ステップＳ５６でＹｅｓの場合）、マスク仕様情報４２は承認され、ユーザ通知手段５０は、マスク仕様情報４２が承認された事を各ロールに対応づけられたユーザに通知する（ステップＳ５８）。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合、ユーザ通知手段５０は、設計ロールに対応づけられたユーザ１、ユーザ２、製品技術ロールに対応づけられたユーザ３及びマスクロールに対応づけられたユーザ４に対して、マスク仕様情報４２が承認された事を通知する。この通知を受けたユーザは、マスク仕様情報４２が承認された事を知り、以後の作業（データ変換仕様情報の作成等）及びスケジュール検討にとりかかることができる。
【０１１８】
図１５は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるマスク仕様情報の否認処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図１５のフローチャートについて説明する。
【０１１９】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、マスク仕様情報を承認する権限を有する所定のユーザ（承認者）によるマスク仕様情報否認操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ６０）。例えば、マスク仕様情報を承認する権限がユーザ０に与えられているとすると、ユーザ操作検出手段３０は、ユーザ０によるマスク仕様情報否認操作が行われたか否かを判断する。
【０１２０】
次に、所定のユーザ（承認者）によるマスク仕様情報否認操作が行われた場合（ステップＳ６０でＹｅｓの場合）、マスク仕様情報４２は承認されず、マスク仕様情報更新手段４０は、マスク仕様情報否認操作の原因となったマスク仕様情報４２の項目のデータ更新を許可する（ステップＳ６２）。これにより、マスク仕様情報否認操作の原因となったマスク仕様情報４２の項目のデータは更新可能な状態に戻る。
【０１２１】
最後に、ユーザ通知手段５０は、マスク仕様情報４２が否認された事及び否認の原因となったマスク仕様情報４２の項目の情報等を各ロールに対応づけられたユーザに通知する（ステップＳ６４）。例えば、ロール権限情報２２が図２（Ｃ）に示す対応関係を定義する場合において設計ロールのｎ段階確定項目Ａｎ１のデータと製品技術ロールのｎ段階確定項目Ｂｎ１のデータの関連性に矛盾があるためにマスク仕様情報４２が否認された場合であれば、各ロールがこの通知を受けて、設計ロールに対応づけられたユーザ１又はユーザ２が項目Ｂｎ１のデータを修正するか、又は、製品技術ロールに対応づけられたユーザ３が項目Ｃｎ１のデータを修正することにより、関連性エラーを解消することができる。
【０１２２】
本実施形態のマスク発注支援システムによれば、複数のロールの各々が割り当てられた各ユーザが、それぞれ編集可能なマスク仕様情報の項目のデータを自由に編集し確定することができる。従って、各ロールは、他のロールが編集可能な項目のデータが確定されると、当該項目のデータに依存する自己の編集可能な項目のデータを編集する作業をすぐに行うことができる。すなわち、各ロールが並列にそれぞれ編集可能なマスク仕様情報の項目を編集し確定する処理を行うことにより、マスク仕様情報の完成を相対的に早める効果が期待できる。従って、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、フォトマスクの製作仕様を適切なタイミングで作成することができる。
【０１２３】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、各ロールが編集可能な項目のデータを複数の段階に分けて確定させることができるので、各ロールは他のロールの編集可能なすべての項目のデータが確定する前であっても確定済みのデータに応じて自己の編集可能な項目のデータを編集することができる。例えば、チップサイズが確定しなくても、発注するフォトマスクの枚数、発注日、納期等の情報は確定することができる。そして、フォトマスクの枚数や納期等の情報が確定すればマスクメーカーのスケジュールを早期に確保することができる。
【０１２４】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、各ロールは、それぞれ編集可能なマスク仕様情報の項目のデータを確定した後であっても、当該項目の確定状態を解除させることができる。これにより、マスク仕様情報が最終的に確定されるまでは、各ロールによるマスク仕様情報の項目のデータ編集についての自由度をさらに向上させることができる。
【０１２５】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、各ロールによりマスク仕様情報の項目のデータが確定された場合、又は一旦確定されたデータの確定が解除された場合には他のロールに対してその旨が通知される。他のロールは、この通知を受けることにより、確定されたデータに依存する項目を編集して確定し、又は、確定が解除されたデータに依存する項目のデータを編集し直すことができる。
【０１２６】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、各ロールによりマスク仕様情報の項目のデータが確定された場合、には他のロールにマスク仕様情報の更新履歴情報が通知される。他のロールは、この通知を受けることにより、データ更新された項目のデータに依存する項目について確認することができる。さらに、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、マスク仕様情報が承認される際にロール間の複数のデータについての関連性に関する矛盾があるか否かについて自動的にチェックされる。従って、ロール間の複数のデータについての関連性に関する矛盾が生じることを防止することができる。
【０１２７】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、所定のロールがマスク仕様情報を最終的に確定した後は、各ロールはマスク仕様情報を編集することができなくすることができる。これにより、マスク仕様情報が最終的に確定された後承認されるまでにタイムラグが存在する場合であっても、最終確定されたマスク仕様情報にロックをかけることにより、最終確定されたマスク仕様情報と承認されたマスク仕様情報が異なるという状況を避けることができる。
【０１２８】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、各ロールがマスク仕様情報の項目を確定する際に、エラーの有無が自動的にチェックされる。その結果、各ロールはエラーがある項目のデータを早期に修正することができるので、エラーの影響が他のロールに波及することを防止することができる。
【０１２９】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、マスク仕様帳票ファイルに転送ＩＤを付加してフォトマスクの発注先に転送する。従って、マスク仕様帳票ファイルを作成し直す毎に異なる転送ＩＤを付加してフォトマスクの発注先に転送することにより、誤ったフォトマスクが製作される危険性を低減することができる。
【０１３０】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、マスク仕様帳票ファイルをＣＳＶ形式にすることにより、より扱いやすく視認性の良いマスク仕様帳票ファイルを作成することができる。
【０１３１】
３．データ変換仕様情報の作成
図１６〜図１９は、データ変換仕様情報の入力画面の構成例を示す図である。以下の図１６〜図１９の説明において、図１で説明したユーザ登録情報１２は図２（Ａ）に示す対応関係を定義し、ロール権限情報２２は図２（Ｃ）に示す対応関係（ただし、ｎ＝２の場合）を定義しているものとする。また、例えば、図３〜図９で説明したマスク仕様情報の入力画面を使用してマスク仕様情報の作成は終了しており、マスク仕様情報は既に承認されている。以下、図１を参照しながら、図１６〜図１９について説明する。
【０１３２】
図１６の入力画面４００は、ユーザ１（ユーザＩＤ：ｕｓｅｒ１）がマスク発注システム１にログインし、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹを入力（又は選択）した後に表示されるデータ変換仕様情報の入力画面である。例えば、設計ロールにデータ変換仕様情報７２を編集する権限が与えられるとすると、ユーザ１がマスク発注システム１にログインし、製品番号ＸＸＸ及びマスクシリーズ名ＹＹＹを入力（又は選択）した場合、データ変換仕様情報の入力画面４００が表示される。
【０１３３】
入力画面４００において、データ変換仕様情報７２のうち、マスクデータ９２を特定するためのマスクデータ情報及び変換対象のデータを特定するための変換データ情報が編集可能になっている。マスクデータ情報の項目には、マスクデータ９２のファイル名（例えば、ＧＤＳIIファイル名）、ライブラリ名、ｕｐ  ｄａｔｅ  ｔｉｍｅ（更新日時）、ファイルサイズ等が含まれる。また、変換データ情報の項目には、トップセル名、シュリンク率等が含まれる。さらに、各レイヤーに対して設けられた変換対象のチェックボックスをチェックすることにより、発注するフォトマスクを選択することができる。すなわち、発注先のマスクメーカーは、データ変換仕様情報７２に基づいて、マスクデータ（例えば、ＧＤＳIIデータ）を、チェックされたレイヤー毎のデータ（ｅｂデータ）に変換してフォトマスクを作成する。ここで、パターン名（各レイヤーのパターンを特定するための名前）、レイヤー番号、グリッド等については、承認済みのマスク仕様情報４２から抽出されたデータが表示されており編集不可能になっている。こうすることにより、マスク仕様情報４２とデータ変換情報７２に矛盾が生じないようにすることができる。ユーザの入力負担を削減するために、新規にフォトマスクを作成する場合には、マスクシリーズ名に基づいて変換対象のレイヤーを自動的に抽出して、抽出されたレイヤーの変換対象のチェックボックスがデフォルトでチェックがされるようにしてもよい。一方、再度フォトマスクを作成する場合には、すべてのレイヤーの変換対象のチェックボックスをデフォルトで未チェックにしておいて、ユーザが必要なレイヤーのチェックボックスをチェックするようにもよい。
【０１３４】
また、入力画面４００には更新ボタン４１０が表示されており、ユーザ１が編集可能なデータ変換仕様情報４２の項目の少なくとも１つのデータを編集して更新ボタン４１０を押下する操作（データ変換仕様情報更新操作）を行うと、データ変換仕様情報更新手段７０は、ユーザ１が編集可能なマスク仕様情報４２の項目のデータを編集後のデータに更新する処理を行う。
【０１３５】
また、入力画面４００には確定ボタン４２０が表示されている。入力画面４００において、ユーザ１が１確定ボタン４２０を押下する操作（データ変換仕様情報確定操作）を行うと、図１で説明したデータ変換仕様情報更新手段７０は、データ変換仕様情報７２の各項目のデータ更新を禁止する処理（すなわち、データ変換仕様情報７２の各項目のデータを確定状態にする処理）を行う。その結果、ユーザ１によるデータ変換仕様情報更新操作が不可能になる。入力画面４００はユーザ１が確定ボタン４２０を押下する前の状態を表示しており、データ変換仕様情報７２の各項目のデータはすべて未確定の状態になっている。
【０１３６】
さらに、入力画面４００にはＳＴＯＰボタン４３０が表示されている。ＳＴＯＰボタン４３０は、フォトマスクを発注した後にマスクメーカーによるフォトマスクの製作を中断させるために使用される。入力画面４００では、データ変換仕様情報７２は確定されておらず確定しておらず承認もされていないためフォトマスクの発注前の状態である。従って、図１６に示すようにＳＴＯＰボタンは押下不可能な状態になっていてもよい。
【０１３７】
図１７は、データ変換仕様情報の入力エラーを表示する画面の一例である。入力画面４０１は、ユーザ１が図１６の入力画面４００において編集可能な項目のデータを編集して確定ボタン４２０を押下した後のマスク仕様情報の入力画面である。図１７において図１６と同じ構成には同じ符号を付しており、その説明を省略する。
【０１３８】
図１７に示すように、例えば、マスクデータ９２中に存在しないセル名がトップセル名の項目に入力された状態で確定ボタン４２０が押下されると、トップセル名の項目のデータにエラーがあることがわかるような表示がなされる。すなわち、図１で説明したエラー出力手段６０は、ユーザ１がデータ変換仕様情報７２の確定操作を行った場合には、データ変換仕様情報７２の各項目のデータにエラーがあるか否かを判断し、エラーがある場合には表示手段１に対してエラー出力する処理を行い、表示手段１はユーザ１に対して入力画面４０１上にエラー表示する処理を行う。
【０１３９】
図１で説明したデータ変換仕様情報更新手段７０は、データ変換仕様情報７２の項目の少なくとも１つのデータにエラーがある場合、データ変換仕様情報７２のデータ更新を禁止する処理を行わない。すなわち、データ変換仕様情報７２の各項目は未確定状態のままである。
【０１４０】
図１８は、データ変換仕様情報の確定後の状態を表示する画面の一例である。入力画面４０２は、ユーザ１が図１６の入力画面４００において各項目のデータを編集して確定ボタン４２０を押下した後のデータ変換仕様情報の入力画面である。図１８において図１６と同じ構成には同じ符号を付しており、その説明を省略する。
【０１４１】
データ変換仕様情報の各項目のデータにエラーがない場合、確定ボタン４２０が押下されることにより、データ変換仕様情報の各項目のデータが確定状態になる。そして、図１で説明したデータ変換仕様情報更新手段７０は、データ変換仕様情報７２の各項目のデータ更新を禁止する処理を行う。図１８に示すように、データ変換仕様情報の各項目のデータ編集を不可能にしてもよい。その結果、データ変換仕様情報７２の更新操作にロックがかけられ、例えば、入力画面４０２に示すように更新ボタン４１０、確定ボタン４２０及びＳＴＯＰボタン４３０がすべて押下不可能な状態にしてもよい。
【０１４２】
データ変換仕様情報７２が確定されると、データ変換仕様情報を承認する権限を有するユーザ０がデータ変換仕様情報７２を承認する操作（データ変換仕様情報承認操作）を行うことができる。データ変換仕様情報承認操作が行われると、図１で説明したユーザ通知手段５０は、ユーザ登録情報１２において、データ変換仕様情報の編集権限を有する所定のロール（例えば、設計ロール）に対応づけられたユーザ（例えば、ユーザ１及びユーザ２）に対してデータ変換仕様情報承認操作が行われたことを通知する。一方、ユーザ０はデータ変換仕様情報を否認する操作（データ変換仕様情報否認操作）を行うこともできる。データ変換仕様情報否認操作が行われると、ユーザ通知手段５０は、当該所定のロールに対応づけられたユーザに対してデータ変換仕様情報否認操作が行われたことやその内容を通知する。そして、データ変換仕様情報の入力画面において、否認の対象となった項目のデータが修正可能な状態になる。
【０１４３】
図１９は、データ変換仕様情報の承認後の状態を表示する画面の一例である。入力画面４０３は、データ変換仕様情報を承認する権限を有するユーザ０が図１８の入力画面４０２においてデータ変換仕様情報を承認する操作（データ変換仕様情報承認操作）を行った後のデータ変換仕様情報の入力画面である。図１９において図１６と同じ構成には同じ符号を付しており、その説明を省略する。
【０１４４】
データ変換仕様情報承認操作が行われると、図１９に示すように、ＳＴＯＰボタンが押下可能な状態になる。入力画面４０３において、ユーザ１がＳＴＯＰボタン４３０を押下する操作（マスク製作中断指示操作）を行うと、図１で説明したデータ変換仕様情報更新手段７０は、製作中断対象のフォトマスクについてのデータ変換仕様情報７２のデータ更新を可能にする処理を行う。また、ユーザ通知手段５０は、所定のユーザ、例えば、マスクロールに対応付けられたユーザ４に対して、マスク製作中断指示操作が行われたことを通知する処理を行う。ユーザ４はこの通知を受けて、製作中断対象のフォトマスクの種類を発注先のマスクメーカーに連絡して直ちに製作を中断させることができる。
【０１４５】
以上、図１６〜図１９において設計ロールがデータ変換仕様情報を編集する権限を有する場合のデータ変換仕様情報の入力画面について説明したが、他のロール（製品技術ロール、マスクロール）がデータ変換仕様情報を編集する権限を有する場合のデータ変換仕様情報の入力画面についても同様であるので説明を省略する。
【０１４６】
図２０は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるデータ変換仕様情報の更新処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図２０のフローチャートについて説明する。
【０１４７】
ユーザ操作検出手段３０は、データ変換仕様情報７２の編集権限を有する所定のロール（例えば、設計ロール）によるデータ変換仕様情報更新操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ１１０）。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合において、設計ロールがデータ変換仕様情報７２の編集権限を有するとすると、ユーザ操作検出手段３０はユーザ１又はユーザ２によるデータ変換仕様情報更新操作が行われたか否かを判断する。
【０１４８】
所定のロールによるデータ変換仕様情報更新操作が行われた場合（ステップＳ１１０でＹｅｓの場合）、データ変換仕様情報更新手段７０は、データ変換仕様情報７２の各項目をデータ更新する（ステップＳ１１２）。
【０１４９】
図２１は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるデータ変換仕様情報の確定処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図２１のフローチャートについて説明する。
【０１５０】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、データ変換仕様情報７２の編集権限を有する所定のロールによるデータ変換仕様情報確定操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ１２０）。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合において、設計ロールがデータ変換仕様情報７２の編集権限を有するとすると、ユーザ操作検出手段３０はユーザ１又はユーザ２によるデータ変換仕様情報確定操作が行われたか否かを判断する。
【０１５１】
次に、所定のロールによるデータ変換仕様情報確定操作が行われた場合（ステップＳ１２０でＹｅｓの場合）、エラー出力手段６０は、データ変換仕様情報７２の各項目のデータにエラーがあるか否かを判断する（ステップＳ１２２）。
【０１５２】
データ変換仕様情報４２のいずれかの項目のデータにエラーがある場合（ステップＳ１２２でＹｅｓの場合）、エラー出力手段６０はデータ変換仕様情報確定操作を行ったユーザの表示手段に対してエラー出力する（ステップＳ１２４）。この場合、データ変換仕様情報７２の各項目のデータは確定されない。
【０１５３】
一方、データ変換仕様情報７２の各項目のデータにエラーがない場合（ステップＳ１２２でＮｏの場合）、データ変換仕様情報更新手段７０は、以後、データ変換仕様情報７２の各項目のデータ更新を禁止する（ステップＳ１２６）。これにより、データ変換仕様情報７２の項目のデータが確定される。
【０１５４】
図２２は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるデータ変換仕様情報の承認処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図２２のフローチャートについて説明する。
【０１５５】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、データ変換仕様情報を承認する権限を有する所定のユーザ（承認者）によるデータ変換仕様情報承認操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ１３０）。例えば、データ変換仕様情報を承認する権限がユーザ０に与えられているとすると、ユーザ操作検出手段３０は、ユーザ０によるデータ変換仕様情報承認操作が行われたか否かを判断する。
【０１５６】
次に、所定のユーザ（承認者）によるデータ変換仕様情報承認操作が行われた場合（ステップＳ１３０でＹｅｓの場合）、データ変換仕様情報７２は承認され、ユーザ通知手段５０は、データ変換仕様情報７２が承認された事を所定のロールに対応づけられたユーザに通知する（ステップＳ１３２）。ここで、所定のロールは、一部のロールであってもよいしすべてのロールであってもよい。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合、ユーザ通知手段５０は、設計ロールに対応づけられたユーザ１、ユーザ２、製品技術ロールに対応づけられたユーザ３及びマスクロールに対応づけられたユーザ４に対して、データ変換仕様情報７２が承認された事を通知してもよい。例えば、この通知を受けたユーザ４は、データ転送手段９０を介して、マスクデータ９２及びマスク仕様帳票ファイル８２、データ変換仕様帳票ファイル８４等のマスク製作仕様を記述したファイルに所定の転送ＩＤを付してマスクメーカーに転送する作業を行うことができる。転送手段９０は、データ変換仕様情報７２に含まれる少なくとも一部の情報（マスクデータ９２の更新日時、ファイルサイズ等）とマスクデータ９２の対応する情報を比較し、これらが一致した場合にのみマスクデータ９２及びデータ変換仕様帳票ファイル８４を転送するようにしてもよい。
【０１５７】
図２３は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるデータ変換仕様情報の否認処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図２３のフローチャートについて説明する。
【０１５８】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、データ変換仕様情報を承認する権限を有する所定のユーザ（承認者）によるデータ変換仕様情報否認操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ１４０）。例えば、データ変換仕様情報を承認する権限がユーザ０に与えられているとすると、ユーザ操作検出手段３０は、ユーザ０によるデータ変換仕様情報否認操作が行われたか否かを判断する。
【０１５９】
次に、所定のユーザ（承認者）によるデータ変換仕様情報否認操作が行われた場合（ステップＳ１４０でＹｅｓの場合）、データ変換仕様情報７２は否認され、データ変換仕様情報更新手段７０は、データ変換仕様情報否認操作の原因となったデータ変換仕様情報７２の項目のデータ更新を許可する（ステップＳ１４２）。これにより、データ変換仕様情報否認操作の原因となったデータ変換仕様情報７２の項目のデータは更新可能な状態に戻る。
【０１６０】
最後に、ユーザ通知手段５０は、データ変換仕様情報７２が否認された事及び否認の原因となったデータ変換仕様情報７２の項目の情報等を所定のロールに対応づけられたユーザに通知する（ステップＳ１４４）。ここで、所定のロールは、少なくともデータ変換仕様情報７２の編集権限を有するロールを含む一部のロールであってもよいし、すべてのロールであってもよい。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合において、設計ロールがデータ変換仕様情報７２の編集権限を有するとすると、設計ロールに対応づけられたユーザ１又はユーザ２はこの通知を受けて、否認の原因となったデータ変換仕様情報７２の項目のデータを修正することができる。
【０１６１】
図２４は、図１で説明したマスク発注支援システムにおけるマスク製作の中断処理のフローチャートの一例である。以下、図１を参照しながら図２４のフローチャートについて説明する。
【０１６２】
まず、ユーザ操作検出手段３０は、データ変換仕様情報７２が承認された後、ユーザによるマスク製作中断指示操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ１５０）。ここで、一部の種類のフォトマスクのみ（例えば、ポリシリコンレイヤーより上位のレイヤーのフォトマスク）の製作を中断する指示をしてもよい。
【０１６３】
次に、マスク製作中断指示操作が行われた場合（ステップＳ１５０でＹｅｓの場合）、データ変換仕様情報更新手段７０は、データ変換仕様情報７２の各項目のデータ更新を許可する（ステップＳ１５２）。これにより、データ変換仕様情報７２の各項目のデータは更新可能な状態に戻る。
【０１６４】
最後に、ユーザ通知手段５０は、フォトマスクの製作中断の指示があった事及び中断対象のフォトマスクの情報を所定のユーザに通知する（ステップＳ１４４）。ここで、所定のユーザは、少なくとも発注先のマスクメーカーに対してフォトマスクの製作中断を連絡する権限を有するユーザを含む。例えば、ユーザ登録情報１２が図２（Ａ）に示す対応関係を定義する場合において、マスクロールが発注先のマスクメーカーに対してフォトマスクの製作中断を連絡する権限を有するとすると、マスクロールに対応づけられたユーザ４はこの通知を受けて、製作中断対象のフォトマスクの種類（レイヤー）を発注先のマスクメーカーに連絡して直ちに製作を中断させることができる。
【０１６５】
その後、フォトマスクの製作中断の指示を行ったユーザは、マスクデータ９２及び製作中断対象のレイヤーに関するデータ変換仕様情報７２を作成し直し、データ仕様情報の承認権限を有する所定のユーザによりデータ変換仕様情報７２が承認される。そして、例えば、マスクロールのユーザ４は、データ転送手段９０を介して、新たなマスクデータ９２及びデータ変換仕様帳票ファイル８４に新たな転送ＩＤを付してマスクメーカーに転送する作業を行う。マスクメーカーは、新たな転送ＩＤが付加された新たなマスクデータ９２及びデータ変換仕様帳票ファイル８４に基づいて、製作中断対象のレイヤーのフォトマスクを製作する。一方、マスクメーカーは、製作中断対象以外ののレイヤーについては、以前の転送ＩＤが付加されたマスクデータ９２及びデータ変換仕様帳票ファイル８４に基づいてフォトマスクを製作する。
【０１６６】
本実施形態のマスク発注支援システムによれば、データ変換仕様情報の作成前にマスク仕様情報が承認される。従って、承認されたマスク仕様情報に基づいて、所定のユーザ（例えば、設計担当）がデータ変換仕様情報を作成する作業と他の所定のユーザ（例えば、製品技術担当）がデータ変換仕様情報の作成以外の作業（例えば、スクライブデータの作成作業）を並列して行うことができる。
【０１６７】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、データ変換仕様情報のみを修正する（承認されたマスク仕様情報は修正しない）場合には、マスク仕様情報の承認操作を再度行う必要がない。従って、本発明によれば、より迅速にデータ変換仕様情報の修正を行うことができるとともに、データ変換仕様情報の修正により、承認されたマスク仕様情報に基づいて行われる他のユーザの作業に影響が生じないようにすることができる。
【０１６８】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、マスク仕様情報とデータ変換仕様情報の共通項目について、承認されたマスク仕様情報がデータ変換仕様情報に反映され、所定のユーザによるデータ変換仕様情報の作成が可能になる。その結果、承認されたマスク仕様情報がデータ変換仕様情報に反映される前にデータ変換仕様情報が作成されることを防止することができる。従って、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、フォトマスクの製作仕様を適切なタイミングで作成することができる。
【０１６９】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、各ロールがデータ変換仕様情報の項目を確定する際に、エラーの有無が自動的にチェックされる。その結果、所定のユーザはエラーがある項目のデータを早期に修正することができる。
【０１７０】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、マスクデータ及びデータ変換仕様帳票ファイルに転送ＩＤを付加してフォトマスクの発注先に転送する。従って、マスクデータ及びデータ変換仕様帳票ファイルを作成し直す毎に異なる転送ＩＤを付加してフォトマスクの発注先に転送することにより、誤ったフォトマスクが製作される危険性を低減することができる。
【０１７１】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、データ変換仕様帳票ファイルをＣＳＶ形式にすることにより、より扱いやすく視認性の良いデータ変換仕様帳票ファイルを作成することができる。
【０１７２】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、データ変換仕様情報が承認される際に、データ変換仕様情報とマスクデータの対応する情報が矛盾する場合には、マスクデータ及び帳票ファイルを転送しないようにすることができる。従って、マスクメーカーが誤ったマスクデータに基づいてフォトマスクを製作することを防止することができる。
【０１７３】
また、本実施形態のマスク発注支援システムによれば、マスクデータが前記発注先に転送された後であってもフォトマスクの製作を中断する指示があれば、所定のユーザにその旨が通知される。従って、通知を受けた所定のユーザがマスクメーカーに対してフォトマスクの製作を中断する指示を連絡することにより、無駄なフォトマスクが製作されないようにすることができる。
【０１７４】
４．マスク発注支援プログラム
図２５は、本実施形態のマスク発注支援プログラムについて説明するための図である。
【０１７５】
操作部５２０は、ユーザーの操作等をデータとして入力するためのものであり、その機能は、例えばキーボードやマウス等のハードウェアにより実現できる。
【０１７６】
記憶部５３０は、処理部５１０や通信部５７０などのワーク領域となるもので、その機能はＲＡＭなどのハードウェアにより実現できる。
【０１７７】
情報記憶媒体５４０（コンピュータにより読み取り可能な媒体）は、プログラムやデータなどを格納するものであり、その機能は、光ディスク（ＣＤ、ＤＶＤ等）、光磁気ディスク（ＭＯ）、磁気ディスク、ハードディスク、磁気テープ、或いはメモリ（ＲＯＭ）などのハードウェアにより実現できる。
【０１７８】
情報記憶媒体５４０には、図１で説明したロール選定手段１０、編集項目選定手段２０、ユーザ操作検出手段３０、マスク仕様情報更新手段４０、ユーザ通知手段５０、エラー出力手段６０、データ変換仕様情報更新手段７０、帳票ファイル作成手段８０、データ転送手段９０等の各手段としてコンピュータを機能させるプログラム（マスク発注支援プログラム５４２）が記憶される。
【０１７９】
また、情報記憶媒体５４０には、図１で説明したユーザ登録情報１２、ロール権限情報２２、マスク仕様情報４２、更新履歴情報４４、データ変換仕様情報７２、マスク仕様帳票ファイル８２、データ変換仕様帳票ファイル８４、マスクデータ９２等の各種データが記憶される。
【０１８０】
処理部５１０（プロセッサ）は、操作部５２０からの操作データや情報記憶媒体５４０に格納されるプログラム（マスク発注支援プログラム）や情報記憶媒体５４０から読み出されたデータなどに基づいて、各種処理などを行う。この処理部５１０は記憶部５３０をワーク領域として各種処理を行う。処理部５１０の機能は各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）、ＡＳＩＣ（ゲートアレイ等）などのハードウェアや、アプリケーションプログラム、ＯＳ（例えば汎用ＯＳ等）により実現できる。
【０１８１】
表示部５５０は、本実施形態により生成された画像を出力するものであり、その機能は、ＣＲＴディスプレイ、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＯＥＬＤ（有機ＥＬディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、タッチパネル型ディスプレイなどのハードウェアにより実現できる。
【０１８２】
音出力部５６０は、本実施形態により生成された音を出力するものであり、その機能は、スピーカ、或いはヘッドフォンなどのハードウェアにより実現できる。
【０１８３】
通信部５７０は、外部（例えばサーバ装置や他の端末機）との間で通信を行うための各種の制御を行うものであり、その機能は、各種プロセッサ又は通信用ＡＳＩＣなどのハードウェアや、プログラムなどにより実現できる。
【０１８４】
このように処理部５１０が本実施形態のマスク発注支援プログラムを実行することにより、マスク発注支援システム５００が構成される。
【０１８５】
なお、本実施形態の各手段としてコンピュータを機能させるためのプログラム（マスク発注支援プログラム５４２）は、ホスト装置（サーバー）が有する情報記憶媒体からネットワーク及び通信部５７０を介して情報記憶媒体５４０（記憶部５３０）に配信してもよい。このようなホスト装置（サーバー）の情報記憶媒体の使用も本発明の範囲内に含めることができる。
【０１８６】
なお、本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
【０１８７】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【０１８８】
【図１】本実施形態のマスク発注支援システムの構成の一例について説明するための図。
【図２】図２（Ａ）は、ユーザ登録情報の一例について説明するための図であり、図２（Ｂ）及び図２（Ｃ）は、ロール権限情報の一例について説明するための図である。
【図３】マスク仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図４】マスク仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図５】マスク仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図６】マスク仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図７】マスク仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図８】マスク仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図９】マスク仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図１０】マスク仕様情報の更新処理のフローチャートの一例。
【図１１】マスク仕様情報の確定処理のフローチャートの一例。
【図１２】マスク仕様情報の確定解除処理のフローチャートの一例。
【図１３】マスク仕様情報の最終確定処理のフローチャートの一例。
【図１４】マスク仕様情報の承認処理のフローチャートの一例。
【図１５】マスク仕様情報の否認処理のフローチャートの一例。
【図１６】データ変換仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図１７】データ変換仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図１８】データ変換仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図１９】データ変換仕様情報の入力画面の構成例を示す図。
【図２０】データ変換仕様情報の更新処理のフローチャートの一例。
【図２１】データ変換仕様情報の確定処理のフローチャートの一例。
【図２２】データ変換仕様情報の承認処理のフローチャートの一例。
【図２３】データ変換仕様情報の否認処理のフローチャートの一例。
【図２４】マスク製作の中断処理のフローチャートの一例。
【図２５】本実施形態のマスク発注支援プログラムについて説明するための図。
【符号の説明】
【０１８９】
１  マスク発注支援システム、１０  ロール選定手段、１２  ユーザ登録情報、２０  編集項目選定手段、２２  ロール権限情報、３０  ユーザ操作検出手段、４０  マスク仕様情報更新手段、４２  マスク仕様情報、４４  更新履歴情報、５０  ユーザ通知手段、６０  エラー出力手段、７０  データ変換仕様情報更新手段、７２  データ変換仕様情報、８０  帳票ファイル作成手段、８２  マスク仕様帳票ファイル、８４  データ変換仕様帳票ファイル、９０  データ転送手段、９２  マスクデータ、１００〜１０４  設計ロールのマスク仕様情報入力画面、１１０  更新ボタン、１２０  １段階確定ボタン、１２２  １段階確定解除ボタン、１３０  ２段階確定ボタン、１３２  ２段階確定解除ボタン、１４０  製品技術ロール画面表示ボタン、１５０  マスクロール画面表示ボタン、２００  製品技術ロールのマスク仕様情報入力画面、２１０  更新ボタン、２２０  １段階確定ボタン、２３０  ２段階確定ボタン、２４０  設計ロール画面表示ボタン、２５０  マスクロール画面表示ボタン、３００  マスクロールのマスク仕様情報入力画面、３１０  更新ボタン、３２０  １段階確定ボタン、３３０  ２段階確定ボタン、３４０  設計ロール画面表示ボタン、３５０  製品技術ロール画面表示ボタン、４００〜４０３  データ変換仕様情報入力画面、４１０  更新ボタン、４２０  確定ボタン、４３０  ＳＴＯＰボタン、５００  マスク発注支援システム、５１０  処理部、５２０  操作部、５３０  記憶部、５４０  情報記憶媒体、５４２  マスク発注支援プログラム、５５０  表示部、５６０  音出力部、５７０  通信部
【図１】
2009205497.tif 000003
【図２】
2009205497.tif 000004
【図３】
2009205497.tif 000005
【図４】
2009205497.tif 000006
【図５】
2009205497.tif 000007
【図６】
2009205497.tif 000008
【図１０】
2009205497.tif 000009
【図１１】
2009205497.tif 000010
【図１２】
2009205497.tif 000011
【図１３】
2009205497.tif 000012
【図１４】
2009205497.tif 000013
【図１５】
2009205497.tif 000014
【図２０】
2009205497.tif 000015
【図２１】
2009205497.tif 000016
【図２２】
2009205497.tif 000017
【図２３】
2009205497.tif 000018
【図２４】
2009205497.tif 000019
【図２５】
2009205497.tif 000020
【図７】
2009205497.tif 000021
【図８】
2009205497.tif 000022
【図９】
2009205497.tif 000023
【図１６】
2009205497.tif 000024
【図１７】
2009205497.tif 000025
【図１８】
2009205497.tif 000026
【図１９】
2009205497.tif 000027