(57)【要約】【課題】微細なパターンに沿った磁気ヘッドの軌跡の制御が可能となり、ポジションエラーの発生が抑えられ、個体差が少ないドライブ性能が得られるインプリント用モールド構造体、磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録媒体の提供。【解決手段】サーボデータが記録されるサーボ領域と、ユーザデータを書き込むためのパターンを有するデータ領域とを有する磁気記録媒体を製造するためのインプリント用モールド構造体であって、前記データ領域の少なくとも１つが、ユーザデータを書き込むためのパターンを有さない非パターン領域を有し、前記サーボ領域に対応する第１のパターンと、前記データ領域に対応する第２のパターンと、前記非パターン領域に対応する形状とを有するインプリント用モールド構造体である。【選択図】図１
2009223925.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーボデータが記録されるサーボ領域と、ユーザデータを書き込むためのパターンを有するデータ領域とを有する磁気記録媒体を製造するためのインプリント用モールド構造体であって、
前記データ領域の少なくとも１つが、ユーザデータを書き込むためのパターンを有さない非パターン領域を有し、
前記サーボ領域に対応する第１のパターンと、前記データ領域に対応する第２のパターンと、前記非パターン領域に対応する形状とを有することを特徴とするインプリント用モールド構造体。
【請求項２】
パターンが、ディスクリートパターン及びドットパターンのいずれかである請求項１に記載のインプリント用モールド構造体。
【請求項３】
非パターン領域が、ヘッド位置を検出可能な補助信号を記録可能な領域を有する請求項１から２のいずれかに記載のインプリント用モールド構造体。
【請求項４】
非パターン領域が、サーボパターン情報に基づき磁気ヘッドにより補正信号を記録可能な領域を有する請求項１から３のいずれかに記載のインプリント用モールド構造体。
【請求項５】
補助信号が、位相パターン及び振幅パターンのいずれかである請求項３に記載のインプリント用モールド構造体。
【請求項６】
非パターン領域の面積が、サーボ領域の面積の半分以下である請求項１から５のいずれかに記載のインプリント用モールド構造体。
【請求項７】
非パターン領域の面積が磁気記録媒体の半径位置毎に異なり、非パターン領域の面積が磁気記録媒体の半径方向の内周部より外周部の方が大きい請求項１から６のいずれかに記載のインプリント用モールド構造体。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかのインプリント用モールド構造体を用いたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の磁気記録媒体の製造方法によって製造されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インプリント用モールド構造体、並びに磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高速性やコストに優れたハードディスクドライブが、ストレージ機器の主力として、携帯電話、小型音響機器や、ビデオカメラなどのポータブル機器に搭載され始め、より一層の小型大容量化という要求に応えるために、記録密度を向上させる技術が求められている。
ハードディスクドライブの記録密度を高めるためには、磁気記録媒体の高性能化、及び磁気ヘッド幅の狭小化という手法が従来より用いられてきたが、データトラック間隔を狭めることにより、隣接トラック間の磁気の影響（クロストーク）や、熱揺らぎの影響が無視できなくなり、磁気ヘッドの狭小化などによる面記録密度の向上には限界があった。
【０００３】
そこで、クロストークによるノイズを解決する手段として、ディスクリートトラックメディアと呼ばれる形態の磁気記録媒体が提案されている（特許文献１〜２参照）。
ディスクリートトラックメディアは、隣接するトラック間に非磁性のガードバンド領域を設けて個々のトラックを磁気的に分離したディスクリート構造とすることにより、隣接トラック間の磁気的干渉を低減したものである。
【０００４】
また、熱揺らぎによる減磁を解決する手段として、信号記録のための個々のビットを予め所定の形状パターンで備えたパターンドメディアと呼ばれる形態の磁気記録媒体が提案されている（特許文献３参照）。
【０００５】
上記ディスクリートトラックメディアやパターンドメディアを製造する際には、特許文献４に開示されたように、レジストパターン形成用モールドを用いて、磁気記録媒体の表面に形成されたレジスト層に所望のパターンを転写するインプリントリソグラフィー法がある。
【０００６】
前記インプリントリソグラフィー法では、以下のような方法により、磁気記録媒体上の磁性体パターンと逆パターンの凸部を有するインプリント用モールド構造体（インプリントスタンパ）を作製する。まず、Ｓｉ基板上に電子線レジストを塗布し、電子線により所定のパターンを描画し、現像して電子線レジストの凹凸パターンを形成する。次いで、電子線レジストの凹凸パターンを形成したＳｉ基板に対して電鋳処理を行い、電鋳により形成された金属ディスクを剥離してインプリント用モールド構造体を作製する。次に、例えば、以下のようなインプリントリソグラフィー法により磁気記録媒体を作製する。基板上に磁性膜を製膜し、レジストを塗布する。レジストにインプリント用モールド構造体を押し付けて、インプリント用モールド構造体の表面の凹凸をレジスト表面に転写する。インプリント用モールド構造体を取り外した後、凹凸が転写されたレジストをマスクとして磁性膜を加工し、所望の磁性体パターンが形成された磁気記録媒体を製造する。
【０００７】
例えばディスクリートトラックメディア（ＤＴＭ）では物理的にパターンが形成されるため、グルーブ（Ｇｒｏｏｖｅ）に沿った磁気ヘッドの軌跡の制御が重要である。しかし、ハードディスク（ＨＤ）では、個体毎に組み付けの精度、部材の精度が若干異なることから、摺動時の軌跡に差が生じる。その結果、ドライブ毎の性能が変わってくることが懸念される。また、ＤＴＭでは１００ｎｍ以下のトラックピッチであることから、磁気記録媒体の半径方向に精度良く制御することが重要である。このため、サーボ間に磁気ヘッドの軌跡を補助する信号（アシストサーボ）と、その軌跡を各磁気ヘッドで記録する領域を形成することで、個体差の少ないドライブ性能が得られる。
【０００８】
ここで、表Ａに示すように、サーボフレーム数を上げる（トラックピッチを上げる）と、軌跡の精度は向上する（制御しやすくなる）が、データ領域が狭くなるため記録容量が稼げなくなってしまうという課題がある。しかし、今後ＤＴＭにおいては１００ｎｍ以下の微細なトラックピッチになることから、データ領域を犠牲にしてもＰＥＳ値のバラツキを抑えることが必要となってくるのが現状である。
【０００９】
【表Ａ】
2009223925.tif 000003
＊ＰＥＳ（ポジション  エラー  シグナル）値
【００１０】
【特許文献１】特開昭５６−１１９９３４号公報
【特許文献２】特開平２−２０１７３０号公報
【特許文献３】特開平３−２２２１１号公報
【特許文献４】特開２００４−２２１４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前記従来における諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、従来における諸問題を解決でき、データ領域の少なくとも１つが、ユーザデータを書き込むためのパターンを有さない非パターン領域を有することにより、微細なパターンに沿った磁気ヘッドの軌跡の制御が可能となり、ポジションエラーの発生が抑えられ、個体差が少ないドライブ性能が得られるインプリント用モールド構造体、磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、
＜１＞  サーボデータが記録されるサーボ領域と、ユーザデータを書き込むためのパターンを有するデータ領域とを有する磁気記録媒体を製造するためのインプリント用モールド構造体であって、
前記データ領域の少なくとも１つが、ユーザデータを書き込むためのパターンを有さない非パターン領域を有し、
前記サーボ領域に対応する第１のパターンと、前記データ領域に対応する第２のパターンと、前記非パターン領域に対応する形状とを有することを特徴とするインプリント用モールド構造体である。
＜２＞  パターンが、ディスクリートパターン及びドットパターンのいずれかである前記＜１＞に記載のインプリント用モールド構造体である。
＜３＞  非パターン領域が、ヘッド位置を検出可能な補助信号を記録可能な領域を有する前記＜１＞から＜２＞のいずれかに記載のインプリント用モールド構造体である。
＜４＞  非パターン領域が、サーボパターン情報に基づき磁気ヘッドにより補正信号を記録可能な領域を有する前記＜１＞から＜３＞のいずれかに記載のインプリント用モールド構造体である。
＜５＞  補助信号が、位相パターン及び振幅パターンのいずれかである前記＜３＞に記載のインプリント用モールド構造体である。
＜６＞  非パターン領域の面積が、サーボ領域の面積の半分以下である前記＜１＞から＜５＞のいずれかに記載のインプリント用モールド構造体である。
＜７＞  非パターン領域の面積が磁気記録媒体の半径位置毎に異なり、非パターン領域の面積が磁気記録媒体の半径方向の内周部より外周部の方が大きい前記＜１＞から＜６＞のいずれかに記載のインプリント用モールド構造体である。
＜８＞  前記＜１＞から＜７＞のいずれかのインプリント用モールド構造体を用いたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。
＜９＞  前記＜８＞に記載の磁気記録媒体の製造方法によって製造されたことを特徴とする磁気記録媒体である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、従来における諸問題を解決でき、データ領域の少なくとも１つが、ユーザデータを書き込むためのパターンを有さない非パターン領域を有することにより、微細なパターンに沿った磁気ヘッドの軌跡の制御が可能となり、ポジションエラーの発生が抑えられ、個体差が少ないドライブ性能が得られるインプリント用モールド構造体、磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（インプリント用モールド構造体）
本発明のインプリント用モールド構造体は、サーボデータが記録されるサーボ領域と、ユーザデータを書き込むためのパターンを有するデータ領域とを有する磁気記録媒体を製造するものである。
前記インプリント用モールド構造体においては、前記サーボ部に対応する第１のパターンと、前記データ部に対応する第２のパターンと、前記非パターン部に対応する形状とを有する。
【００１５】
＜サーボ領域＞
前記サーボ領域は、プリアンブル部、アドレス部、及びバースト部に分けられる。
前記プリアンブル部は、再生信号のクロックを同期させるための情報が記録された領域である。
前記アドレス部は、サーボマークと呼ばれるサーボ信号認識コード、セクタ情報、シリンダ情報等が、前記プリアンブル部の円周方向におけるピッチと同一のピッチで、マンチェスタコードにより形成された領域である。前記シリンダ情報は、サーボトラック毎にその情報が変化するパターンとなる。そのため、ヘッドシーク動作時のアドレス判読ミスの影響が小さくなる様に、グレイコードと呼ばれる隣接トラックとの変化が最小となるコード変換をしてから、マンチェスタコード化して記録されている。
前記バースト部は、シリンダアドレスのオントラック状態からのオフトラック量を検出するためのオフトラック検出用領域で、更にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄバーストと呼ばれる４つの径方向にパターン位相をずらしたマークが形成されている。各バーストには、周方向に複数個のマークがプリアンブル部と同一のピッチ周期で配置され、径方向周期は、アドレスパターンの変化周期に比例、換言すれば、サーボトラック周期に比例した周期で設けられている。本発明においては、各バーストは、周方向に１０周期分形成され、径方向に、サーボトラック周期の２倍長周期で繰返すパターンを取っている。
【００１６】
＜データ領域＞
前記データ領域は、ユーザデータを書き込むためのパターンを有する領域である。
前記データ領域は、ユーザデータを書き込むためのパターンを有さない非パターン領域を有する。
前記パターンとしては、ディスクリートパターン及びドットパターンのいずれかであることが好ましい。即ち、本発明のインプリント用モールド構造体は、ディスクリートトラックメディア（ＤＴＭ）及びビットパターンドメディア（ＢＰＭ）のいずれにも適用することができる。
本発明においては、サーボ領域間の中間部にディスクリートパターンを含まない領域を、サーボ領域の半分以下の長さでもつ態様であり、前記ドットパターンとしては、例えばサーボ領域間の中間部にドットパターンを含まない領域をサーボ領域の半分以下の長さでもつ態様である。
【００１７】
＜非パターン領域＞
前記非パターン領域は、前記データ領域内において、ユーザデータを書き込むためのパターンを有さない領域であれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば（１）ヘッド位置を検出可能な補助信号を記録可能な領域、（２）サーボパターン情報に基づき磁気ヘッドにより補正信号を記録可能な領域、（３）その他の領域、などを有することが好ましく、これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００１８】
前記（１）のヘッド位置を検出可能な補助信号を記録可能な領域とは、アシストサーボ信号が始まることを示すマークと半径方向に周期性のあるパターンをそれぞれ磁気ヘッド書き込むか、非磁性部としてあらかじめ形成した領域を持つ領域である。
前記（１）の補助信号としては、位相パターン及び振幅パターンのいずれであってもよい。
前記位相パターンとは、データトラックで２トラック以上で１周期となり、周方向にサーボの１クロックずれたパターンが複数連なったパターンであり、この位相パターンから、トラックセンター位置に対するヘッド位置の位相差が計算できる。
前記振幅パターンは、データトラックで２トラック以上で１周期となり、周方向にドット状のパターンが配置され、偶数トラックと奇数トラックでその配置が１８０°ずれるパターンを併せ持つことを特徴とする。このパターンから、トラックセンター位置に対する信号の振幅差からヘッド位置が計算できる。
【００１９】
前記（２）のサーボパターン情報に基づき磁気ヘッドにより補正信号を記録可能な領域とは、アシストサーボ信号の後ろに、アシストサーボ信号から計算された補正信号を磁気ヘッドで記録する領域である。
【００２０】
前記（３）のその他の領域としては、例えば非パターン領域にセキュリティーコードを記録し、ドライブを暗号化することなどが挙げられる。
【００２１】
前記非パターン領域の面積が、前記サーボ領域の面積の半分以下であることが好ましく、１／５以下がより好ましい。前記非パターン領域の面積が、前記サーボ領域の面積の半分を超えると、ヘッドの制御精度は良化するが、ユーザーが書き込めるデータ量が減少してしまうことがある。
また、磁気記録媒体の内周部と外周部では記録するデータ領域数が異なるため、非パターン領域の面積を一定にする必要はなく、前記非パターン領域の面積が磁気記録媒体の半径位置毎に異なり、非パターン領域の面積が磁気記録媒体の半径方向の内周部より外周部の方が大きいことが、外周部のヘッド位置を正確に制御できる点で好ましい。
【００２２】
前記非パターン領域の設ける位置及び数については、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記設ける位置は、サーボ間隔に対し、同一半径ではサーボ領域に対し等間隔であることが好ましい。また、前記数は少なくとも１つであり、外周部では５カ所以下であることが好ましい。
【００２３】
前記非パターン領域における情報は、該非パターン領域に対応する形状により形成される。該形状は物理的に書き込んでもよいし、各ドライブの磁気ヘッドにより記録する方式などが挙げられる。なお、情報を書き込まないときにはブランクのままでもよい。
前記物理的書き込みとしては、所望の凹凸パターンに加工したモールドをナノインプリントし、磁気記録媒体をエッチングすることで形状加工する。
【００２４】
ここで、図１は、本発明の磁気記録媒体の概略構成を示す平面図である。
図１において、磁気記録媒体１は、同心円上に設けられた複数のトラック１００と、略放射状に形成された複数のサーボ領域１２０と、サーボ領域１２０により分断された複数のデータ領域１１０と、非パターン領域１３０とを有し、更に必要に応じて、その他の部材を備える。なお、図１におけるＡ方向は円周方向である。
【００２５】
図２は、図１の磁気記録媒体のデータ領域１１０と、サーボ領域１２０と、非パターン領域１３０との拡大図である。
図２において、磁気記録媒体１は、各サーボ領域１２０のトラック方向にデータ領域１１０、及び非パターン領域１３０が並列配置された構造となっている。
【００２６】
−データ領域−
データ領域１１０は、磁気記録再生装置の磁気ヘッドによってユーザデータを書き込み可能な領域である。
データ領域１１０は、磁気ヘッドによってユーザデータの書き込み可能な磁性帯１１１を有する複数のトラックが設けられ、隣接するトラック間にはユーザデータの書き込み不能な非磁性帯１１２が設けられている。即ち、磁気記録媒体は、磁性帯１１１が非磁性帯１１２によって物理的に分離されたディスクリートトラック型の記録媒体となっている。
【００２７】
−サーボ領域−
サーボ領域１２０は、磁気記録再生装置の磁気ヘッドを磁気記録媒体上の位置検出を行
うためのサーボデータが事前に記録される領域である。
サーボ領域１２０は、磁気記録媒体製造時においてインプリント用モールド構造体（スタンパ）による全面転写により磁性部１２２、１２４と非磁性部１２１、１２３が形成されており、非磁性部１２１、１２３は非磁性体を充填した構造となっている。磁気記録再生装置の磁気ヘッドによりサーボ領域１２０のサーボデータを再生する場合、磁性部１２２、１２４は２進値「０」、各非磁性部１２１、１２３は２進値「１」として再生される。
【００２８】
サーボ領域１２０は、図２に示すように、プリアンブル領域１２０ａとアドレス領域１２０ｂとバースト領域１２０ｃとから構成されている。
なお、磁気記録媒体１では、磁性部１２２、１２４及び磁性帯１１１において磁性膜を垂直方向（媒体厚み方向）に磁化した垂直磁気記録方式を採用している。また、磁気記録媒体１において、非磁性帯１１２及び非磁性部１２１、１２３は非磁性体を充填した構成しているが、非磁性体を充填する代わりに非磁性帯１１２及び非磁性部１２１、１２３を空隙とした構造としてもよい。
【００２９】
プリアンブル領域１２０ａは、クロック同期をとるためのサーボデータが記録される領域であり、かかるサーボデータのコード「１」に対応した磁性部１２２とコード「０」に対応した非磁性部１２１が形成されている。プリアンブル領域１２０ａは、アドレス領域１２０ｂ及びバースト領域１２０ｃよりも先に磁気ヘッドによって読み出される。
【００３０】
アドレス領域１２０ｂは、サーボマーク１２０ｄというコードや、セクタ情報１２０ｅ、シリンダ情報１２０ｆ等（図３）を有するサーボデータが記録される領域であって、２進値「０」をコード「０１」で、２進値「１」をコード「１０」で表すマンチェスタ符号化方式でサーボデータが記録される領域である。アドレス領域１２０ｂには、かかるサーボデータのマンチェスタ符号化方式のコード「１」に対応した非磁性部１２３とコード「０」に対応した磁性部１２４が形成されている。
【００３１】
バースト領域１２０ｃは、トラック中心位置に対する磁気ヘッドの相対位置である位置偏差情報を求めるためのサーボデータが記録される領域である。
【００３２】
−非パターン領域−
非パターン領域１３０は、データ領域１１０内であれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、サーボ領域１２０とサーボ領域１２０との中間位置に設けることが好ましい。これにより、フレーム数の制御に有効である。
図６〜図８に非パターン領域１３０の具体例を示すが、これらに限定されるものではない。
図６は、アシストサーボパターンとして位相パターンを使用した例である。１１０はデータトラックのエッジの位置を示す線である。１３０の位相パターンは２データトラックで１周期となる位置に配置される。
図７は、アシストサーボパターンとして振幅パターンを使用した例である。１３０の振幅パターンはデータトラックに対して、半トラックずれた位置に配置し、ダウントラック方向（半径方向）に２つのバーストパターンが交互に配置される。
図８は、アシストサーボパターンとして振幅パターンを使用した例であり、格子状に配置されたパターンである。１データトラック毎にパターンの凹凸が反転するように配置される。
【００３３】
−その他の部材−
前記その他の部材としては、本発明の効果を損なわない限り特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００３４】
（インプリント用モールド構造体）
図４は、本発明のインプリント用モールド構造体の概略構成を示す平面図である。また、図５は、本発明のインプリント用モールド構造体の部分構成を示す平面図である。
【００３５】
図４及び図５に示すように、インプリント用モールド構造体４００は、上述した磁気記録媒体１を製造するために用いられ、データ領域１１０に対応する凹凸パターン４１０と、サーボ領域１２０に対応する凹凸パターン４２０と、非パターン領域１３０に対応する形状４３０とを少なくとも有し、更に必要に応じて、その他の部材を備える。
【００３６】
−データ領域に対応する凹凸パターン−
データ領域１１０に対応する凹凸パターン４１０は、磁性帯１１１に対応する凹部４１１と、非磁性帯１１２に対応する凸部４１２とを有する。
【００３７】
−サーボ領域に対応する凹凸パターン−
サーボ領域１２０に対応する凹凸パターン４２０は、プリアンブル領域１２０ａに対応する凹凸パターン４２０ａと、アドレス領域１２０ｂに対応する凹凸パターン４２０ｂと、バースト領域１２０ｃに対応する凹凸パターン４２０ｃとからなる。
凹凸パターン４２０ａは、磁性部１２２に対応する凹部４２１と、非磁性部１２１に対応する凸部４２２とを有する。凹凸パターン４２０ｂは、磁性部１２４に対応する凹部４２３と、非磁性部１２３に対応する凸部４２４とを有する。
【００３８】
−非パターン領域に対応する形状−
サーボ領域とサーボ領域との間の途中であるため、１トラック（Ｔｒ）以上のずれはないことから、アドレスコードは不要であり、バーストパターンのみ作製する。パターンを認識させるため、アシストサーボ用のマークをサーボ周波数と同じ波長とその倍のパターンを組み合わせる。その直後に位相パターン及び振幅パターンを作製し、書き込む領域は通常ブランクとするが、アシストサーボ用マーク以外はブランクも可能である。
【００３９】
−その他の部材−
前記その他の部材としては、本発明の効果を損なわない限り特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、インプリントレジスト層に対して剥離機能を備えたモールド表層、保護膜として付与されたカーボン膜等が挙げられる。
【００４０】
＜インプリント用モールド構造体の作製方法＞
以下、本発明に用いられるインプリント用モールド構造体４００の作製方法の例について図面を参照して説明する。なお、本発明に用いられるインプリント用モールド構造体４００は、下記の作製方法以外の作製方法により作製されたものであってもよい。
【００４１】
−原盤の作製−
図９Ａ及び図９Ｂは、インプリント用モールド構造体の製造方法を示す断面図である。図９Ａに示すように、まず、Ｓｉ基板１０上に、スピンコートなどで電子線レジスト液を塗布し、フォトレジスト層２１を形成する。
その後、Ｓｉ基板１０を回転させながら、サーボ信号に対応して変調した電子ビームを照射し、フォトレジスト全面に所定のパターン、例えば各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に相当するパターンを円周上の各フレームに対応する部分に露光する。
その後、フォトレジスト層２１を現像処理し、露光部分を除去して、除去後のフォトレジスト層２１のパターンをマスクにしてＲＩＥなどにより選択エッチングを行い、凹凸形状を有する原盤１１を得る。
【００４２】
−インプリント用モールド構造体の作製−
次に、図９Ｂに示すように、光硬化性樹脂を含有するインプリントレジスト液を塗布してなるインプリントレジスト層２４が一の面に形成された被加工基板としての石英基板３０に対して、原盤１１を押し当て、原盤１１に形成された凹凸パターンがインプリントレジスト層２４に転写される。
【００４３】
ここで、前記被加工基板の材料は、光透過性を有し、モールド構造体として機能する強度を有する材料であれば、特に制限されることなく、目的に応じて適宜選択され、例えば、石英（ＳｉＯ２）等が挙げられる。
また、前記「光透過性を有する」とは、具体的には、被加工基板にインプリントレジスト層が形成される一の面から出射するように、前記被加工基板の他方の面から光を入射させた場合に、インプリントレジストが十分に硬化することを意味しており、少なくとも、前記他方の面から前記一の面への光透過率が５０％以上であることを意味する。
また、前記「モールド構造体として機能する強度を有する」とは、磁気記録媒体の基板に形成されたインプリントレジスト層に対して、平均面圧力が４ｋｇｆ／ｃｍ２という条件で押し当て、加圧しても耐えられるような強度を意味する。
【００４４】
−−硬化工程――
その後、インプリントレジスト層２４に紫外線を照射して転写されたパターンを硬化させる。
【００４５】
−−パターン形成工程−−
その後、転写されたパターンをマスクにしてＲＩＥなどにより選択エッチングを行い、凹凸パターンが形成されたインプリント用モールド構造体４００を得る。
なお、上述したインプリント用モールド構造体４００は、紫外線を利用したナノインプリントリソグラフィー（ＮＩＬ）の場合を示しているが、これに限定されるものではなく、例えば、凹凸形状を有する原盤１１に、Ｎｉ導電膜層を付与し、Ｎｉ電鋳を行い、原盤１１から剥離してＮｉモールドを得る熱を利用したナノインプリントリソグラフィー（ＮＩＬ）であってもよい。
【００４６】
（磁気記録媒体の製造方法）
以下、インプリント用モールド構造体４００を用いて製造する磁気記録媒体１（ディスクリートトラックメディアや、パターンドメディアなど）の製造方法を、図面を参照して説明する。ただし、本発明に係る磁気記録媒体１の製造方法は、インプリント用モールド構造体４００を用いていれば、下記の製造方法以外であってもよい。
【００４７】
図１０に示すように、磁性層５０と、インプリントレジスト液を塗布してなるインプリントレジスト層２４とがこの順に形成された磁気記録媒体１の基板４０に対して、インプリント用モールド構造体４００を押し当て、加圧することにより、インプリント用モールド構造体４００に形成された凹凸パターンがインプリントレジスト層２４に転写される。
【００４８】
その後、インプリント用モールド構造体４００に形成された凹凸パターンが転写されたインプリントレジスト層２４をマスクにして、ＲＩＥなどにより選択エッチングを行い、インプリント用モールド構造体４００に形成された凹凸パターンを磁性層５０に形成し、凹部に非磁性材料７０を埋め込み、表面を平坦化した後、必要に応じて、保護膜などを形成して磁気記録媒体１を得る。
【００４９】
本発明の磁気記録媒体の製造方法により製造された磁気記録媒体は、ディスクリート型磁気記録媒体及びパターンドメディア型磁気記録媒体の少なくともいずれかであることが好適である。
【００５０】
以上、本発明のインプリント用モールド構造体、並びに磁気記録媒体及びその製造方法について詳細に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更しても差し支えない。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明のインプリント用モールド構造体は、微細なパターンに沿った磁気ヘッドの軌跡の制御が可能となり、ポジションエラーの発生が抑えられ、個体差が少ないドライブ性能が得られるので、ディスクリートメディアの作製や、パターンドメディアの作製に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】図１は、本発明の磁気記録媒体の概略構成を示す平面図である。
【図２】図２は、図１の磁気記録媒体のデータ領域とサーボ領域の拡大図である。
【図３】図３は、図２におけるサーボ領域を説明するための図である。
【図４】図４は、本発明のインプリント用モールド構造体の概略構成を示す平面図である。
【図５】図５は、本発明のインプリント用モールド構造体の部分構成を示す平面図である。
【図６】図６は、非パターン領域における位相パターンの一例を示す図である。
【図７】図７は、非パターン領域における振幅パターンの一例を示す図である。
【図８】図８は、非パターン領域における格子状の振幅パターンの一例を示す図である。
【図９Ａ】図９Ａは、本発明のインプリント用モールド構造体の製造方法を示す断面図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、本発明のインプリント用モールド構造体の製造方法を示す断面図である。
【図１０】図１０は、本発明のインプリント用モールド構造体を用いて磁気記録媒体を製造する製造方法を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１      磁気記録媒体
１０      Ｓｉ基板
１１      原盤
２１      フォトレジスト層
２４      インプリントレジスト層
３０      石英基板
４０      基板
５０      磁性層
７０      非磁性材料
１００      トラック
１１０      データ領域
１１１      磁性帯
１１２      非磁性帯
１２０      サーボ領域
１２０ａ      プリアンブル領域
１２０ｂ      アドレス領域
１２０ｃ      バースト領域
１２０ｄ      サーボマーク
１２０ｅ      セクタ情報
１２０ｆ      シリンダ情報
１２１      非磁性部
１２２      磁性部
１２３      非磁性部
１２４      磁性部
１３０      非パターン領域
４００      インプリント用モールド構造体
４１０      凹凸パターン
４１１      凹部
４１２      凸部
４２０      凹凸パターン
４２０ａ      凹凸パターン
４２０ｂ      凹凸パターン
４２０ｃ      凹凸パターン
４２１      凹部
４２２      凸部
４２３      凹部
４２４      凸部
４３０      非パターン領域
【図１】
2009223925.tif 000004
【図２】
2009223925.tif 000005
【図３】
2009223925.tif 000006
【図４】
2009223925.tif 000007
【図５】
2009223925.tif 000008
【図９Ａ】
2009223925.tif 000009
【図６】
2009223925.tif 000010
【図７】
2009223925.tif 000011
【図８】
2009223925.tif 000012
【図９Ｂ】
2009223925.tif 000013
【図１０】
2009223925.tif 000014