(57)【要約】【課題】本発明は、部品点数および組立工数の削減が図れる角速度センサを提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明の角速度センサは、ケース２２の取付支柱５４における支持部５５とカバー５７の取付支柱５８における支持部５９とにより回路基板４４を挟持するとともに、ケース５０を光吸収性材料で構成し、かつカバー５７を光透過性材料で構成したものである。これにより、レーザー等を用いた熱エネルギーで光吸収性材料の表面部を溶融させることにより、光透過性材料と接着させることができ、角速度センサの部品点数の削減と組立工数の削減が図れる。【選択図】図２
2009229071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、この振動子を振動駆動させるとともに、この振動子からコリオリ力により発生する電荷を出力信号に変換する処理回路と、この処理回路を上面または下面に設けるとともに少なくとも２つ以上の取付孔を設けた回路基板と、前記振動子および回路基板を内側に収納するとともに、前記回路基板の取付孔に挿通されるとともに支持部を有する取付支柱を内底面から上方に向かって設け、かつ開口部を有するケースと、このケースの開口部を閉塞するとともに、このケースの取付支柱と対向する位置に支持部を有する取付支柱を設けたカバーとを備え、前記ケースの取付支柱における支持部と前記カバーの取付支柱における支持部とにより回路基板を挟持するとともに、前記ケースとカバーのいずれか一方を光透過性材料で構成し、かつ他方を光吸収性材料で構成した角速度センサ。
【請求項２】
ケースの取付支柱とカバーの取付支柱のいずれか一方に挿入凹部を設け、かつ他方に円柱形状部を設け、この円柱形状部を前記挿入凹部に挿入して回路基板を挟持するようにした請求項１記載の角速度センサ。
【請求項３】
ケースの取付支柱の先端部とカバーの取付支柱の先端部とを互いに当接させることにより回路基板を挟持するようにした請求項１記載の角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に自動車の車体制御装置の中で、車体の挙動を検知するために用いられる角速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。図１３は従来の角速度センサの分解斜視図、図１４は同角速度センサにおける基台に振動子および回路基板を取り付ける状態を示す分解斜視図である。
【０００３】
図１３，図１４において、１は振動子で、この振動子１は支持台２に取り付けられるとともに、この支持台２には上方に向かって金属端子棒３を設けている。４は基台で、この基台４は前記支持台２を上面に取り付けるとともに、ケーブル挿入孔５を設け、かつ四隅に凹み部６を設けている。７は防振ゴムで、この防振ゴム７は前記基台４における凹み部６に取り付けられるとともに、上面から下面に向かって貫通孔８を設けている。９は回路基板で、この回路基板９は四隅に取付孔１０を設けるとともに、一辺側にケーブル挿入孔１２を設け、かつ上面に処理回路１３を設けている。また、ケーブル１１の一方は基台４に設けたケーブル挿入孔５に挿入され、かつ他方は回路基板９に設けたケーブル挿入孔１２に挿入されている。１４は樹脂製のケースで、このケース１４は前記振動子１、基台４および回路基板９を内側に収納するとともに、防振ゴム７における貫通孔８および回路基板９における取付孔１０に挿通され、かつ支持部１５を有する取付支柱１６を内底面から上方に向かって設け、そして取付支柱１６の先端を熱かしめすることにより、基台４および回路基板９を固定している。また、前記ケース１４には開口部１７を設け、かつこの開口部１７の四隅にはネジ穴１８を設けている。１９はカバーで、このカバー１９は前記ケース１４における開口部１１を閉塞するとともに、４つの頂点に位置して孔１９ａを設けている。２０はネジで、このネジ２０は前記ケース１４のネジ穴１８にカバー１９の孔１９ａを介して螺合させることにより、カバー１９をケース１４に取り付けているものである。
【０００４】
以上のように構成された従来の角速度センサについて、次にその動作を説明する。
【０００５】
この角速度センサは、振動子１に回転角速度が与えられると、その振動方向と直角の方向にコリオリ力が生ずるという力学現象を利用したジャイロスコープである。
【０００６】
まず、外部に設けた電源（図示せず）から回路基板９の処理回路１３により変換した交流電圧を振動子１の駆動電極（図示せず）に印加すると、振動子１が屈曲振動する。この状態において、振動子１の長手方向の中心軸回りに角速度ωで振動子１が回転すると、振動子１にＦ＝２ｍｖ×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、検出電極（図示せず）に発生する電荷からなる出力信号を回路基板９の処理回路１３により出力電圧に変換し、相手側のコンピュータ（図示せず）に入力することにより、角速度を検出するものである。
【０００７】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平９−１４９７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記した従来の角速度センサは、ケース１４にカバー１９を取り付ける場合、ケース１４の取付支柱１６に基台４と回路基板９を順に挿入し、そして熱かしめにより固定し、さらに前記ケース１４にカバー１９をネジ２０で取り付けるようにしているため、部品点数および組立工数が増大してしまうという課題を有していた。
【０００９】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、部品点数および組立工数の削減が図れる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１１】
本発明の請求項１に記載の発明は、振動子と、この振動子を振動駆動させるとともに、この振動子からコリオリ力により発生する電荷を出力信号に変換する処理回路と、この処理回路を上面または下面に設けるとともに少なくとも２つ以上の取付孔を設けた回路基板と、前記振動子および回路基板を内側に収納するとともに、前記回路基板の取付孔に挿通されるとともに支持部を有する取付支柱を内底面から上方に向かって設け、かつ開口部を有するケースと、このケースの開口部を閉塞するとともに、このケースの取付支柱と対向する位置に支持部を有する取付支柱を設けたカバーとを備え、前記ケースの取付支柱における支持部と前記カバーの取付支柱における支持部とにより回路基板を挟持するとともに、前記ケースとカバーのいずれか一方を光透過性材料で構成し、かつ他方を光吸収性材料で構成したもので、この構成によれば、前記ケースとカバーのいずれか一方を光透過性材料で構成し、かつ他方を光吸収性材料で構成しているため、レーザー等を用いた熱エネルギーで光吸収性材料の表面部を溶融させることにより、光透過性材料と接着させることができ、これにより、従来のように熱かしめでケースの取付支柱に回路基板を固定し、さらに前記ケースにカバーをネジで取り付けるという必要はなくなるため、角速度センサの部品点数の削減と組立工数の削減が図れるという作用効果を有するものである。
【００１２】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、ケースの取付支柱とカバーの取付支柱のいずれか一方に挿入凹部を設け、かつ他方に円柱形状部を設け、この円柱形状部を前記挿入凹部に挿入して回路基板を挟持するようにしたもので、この構成によれば、ケースの取付支柱とカバーの取付支柱のいずれか一方に挿入凹部を設け、かつ他方に円柱形状部を設け、この円柱形状部を前記挿入凹部に挿入して回路基板を挟持するようにしているため、ケースの取付支柱とカバーの取付支柱により回路基板を確実に挟持することができるとともに、ケースとカバーとを強固に固定することができるという作用効果を有するものである。
【００１３】
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、ケースの取付支柱の先端部とカバーの取付支柱の先端部とを互いに当接させることにより回路基板を挟持するようにしたもので、この構成によれば、ケースの取付支柱の先端部とカバーの取付支柱の先端部とを互いに当接させるようにしているため、前記ケースの取付支柱とカバーの取付支柱により回路基板を確実に挟持することができ、これにより、簡単な構成にして、ケースとカバーとを強固に固定することができるという作用効果を有するものである。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように本発明の角速度センサは、振動子と、この振動子を振動駆動させるとともに、この振動子からコリオリ力により発生する電荷を出力信号に変換する処理回路と、この処理回路を上面または下面に設けるとともに少なくとも２つ以上の取付孔を設けた回路基板と、前記振動子および回路基板を内側に収納するとともに、前記回路基板の取付孔に挿通されるとともに支持部を有する取付支柱を内底面から上方に向かって設け、かつ開口部を有するケースと、このケースの開口部を閉塞するとともに、このケースの取付支柱と対向する位置に支持部を有する取付支柱を設けたカバーとを備え、前記ケースの取付支柱における支持部と前記カバーの取付支柱における支持部とにより回路基板を挟持するとともに、前記ケースとカバーのいずれか一方を光透過性材料で構成し、かつ他方を光吸収性材料で構成しているため、レーザー等を用いた熱エネルギーで光吸収性材料の表面部を溶融させることにより、光透過性材料と接着させることができ、これにより、従来のように熱かしめでケースの取付支柱に回路基板を固定し、さらに前記ケースにカバーをネジで取り付けるという必要はなくなるため、角速度センサの部品点数の削減と組立工数の削減が図れるという優れた効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は本発明の一実施の形態における角速度センサの分解斜視図、図２は同角速度センサの側断面図、図３は同角速度センサからカバーを取り外した状態を示す斜視図、図４は同角速度センサにおける素子部の分解斜視図、図５は同角速度センサにおける振動子の斜視図、図６は同角速度センサの振動子における第１の腕部の側断面図、図７は同角速度センサにおける振動子ケースの斜視図、図８は同角速度センサにおける振動子ケースを裏側から見た斜視図である。
【００１７】
図１〜図８において、２１は素子部で、この素子部２１は図４に示すように、振動子２２と、この振動子２２を収納する振動子ケース２３と、この振動子ケース２３を閉塞するカバー２４とにより構成されている。また、前記振動子２２は図５に示すように、第１の腕部２５、第２の腕部２６および第１の腕部２５と第２の腕部２６の一端を接続する接続部２７とにより構成されている。そしてまた、前記振動子２２は図６に示すように、Ｓｉからなる基材２８の上面の全面にわたってＰｔとＴｉの合金薄膜からなる共通ＧＮＤ電極２９を設け、さらにこの共通ＧＮＤ電極２９の上面にＰＺＴ薄膜からなる圧電層３０を設けている。さらにまた、前記音叉形状の振動子２２は、図５に示すように、上面の略中央の内側に位置して、圧電層３０の上面に一対の第１の駆動電極３１ａを設けるとともに、略中央の外側に位置して圧電層３０の上面に一対の第２の駆動電極３１ｂを設けている。また、この振動子２２は、上面の先端側に位置して、圧電層３０の上面に一対の検出電極３２を設けるとともに、第１の駆動電極３１ａおよび第２の駆動電極３１ｂより根元側に位置して、圧電層３０の上面にモニター電極３３を設けている。そしてまた、前記振動子２２における接続部２７の表面に位置して、圧電層３０の表面にＧＮＤ電極３４を設けている。
【００１８】
また、前記振動子ケース２３はセラミックにより構成され、そしてこの振動子ケース２３は内底面から外底面にわたってセラミックと配線用導体の層構造からなる多層回路基板３５を設けており、前記振動子ケース２３における多層回路基板３５の外底面には図８に示すように、Ａｇからなる電源電極３６、ＧＮＤ電極３７、出力電極３８および３つの固定用電極３９を設けるとともに、図７に示すように、多層回路基板３５の上面の外周にわたってセラミックからなる側壁４０を設けており、そしてこの側壁４０の上面にコバールからなる金属枠４１を設けている。
【００１９】
さらに、前記振動子ケース２３における内底面には図７に示すように、段差部４２を設けており、かつこの段差部４２には、振動子２２における接続部２７を固着するとともに、この接続部２７を固着した両側に位置して配線用電極４３を設けており、そしてこの配線用電極４３は、ワイヤー線（図示せず）を介して振動子２２における第１の駆動電極３１ａ、第２の駆動電極３１ｂ、検出電極３２、モニター電極３３およびＧＮＤ電極３４と電気的に接続している。そしてまた、前記振動子ケース２３における開口部（図示せず）は振動子ケース２３の内側が真空雰囲気となるようにカバー２４により封止されている。
【００２０】
４４は回路基板で、この回路基板４４は、一辺側に上方から下方にわたって、一直線上にスルホール電極からなる出力電極孔４５、電源電極孔４６およびＧＮＤ電極孔４７を設けており、そして前記出力電極孔４５は、処理回路４８を介して前記振動子ケース２３における出力電極３８と電気的に接続されている。そしてまた、前記回路基板４４における電源電極孔４６は振動子ケース２３における電源電極３６と電気的に接続するとともに、ＧＮＤ電極孔４７は、振動子ケース２３におけるＧＮＤ電極３７と電気的に接続されている。そしてまた、前記回路基板４４には４つの頂点の近傍に位置して取付孔４９を設けている。さらに、前記回路基板４４の上面にはＩＣからなる処理回路４８を設けており、この処理回路４８は振動子ケース２３における出力電極３８から出力される出力信号を処理している。
【００２１】
５０は光吸収性材料で構成された有底筒状の樹脂製のケースで、このケース５０は前記回路基板４４を内側に収納するとともに上部に開口部５０ａを設け、さらに熱膨張係数が１９．３×１０-6［１／℃］の黄銅からなる出力コネクタ端子５１、電源コネクタ端子５２、ＧＮＤコネクタ端子５３を各々の一端側が内側に一直線上に整列し、かつ他端側が外方へ突出するように一体に設けているものである。また、前記ケース５０における電源コネクタ端子５２の一端側は、前記回路基板４４における電源電極孔４６に挿通されて半田付けにより固定され、かつ出力コネクタ端子５１の一端側は、出力電極孔４５に挿通されて半田付けにより固定されている。そしてまた、前記ＧＮＤコネクタ端子５３もこれらと同様にＧＮＤ電極孔４７に挿通されて半田付けにより固定されているものである。また、前記ケース５０は、内底面の４つの頂点の近傍に位置して取付支柱５４を一体成形により設けているもので、さらにこの取付支柱５４には、図２に示すように段差からなる支持部５５を設けるとともに、前記回路基板４４における取付孔４９に挿入される円柱形状部５６を設けている。
【００２２】
５７は光透過性材料で構成された樹脂製のカバーで、このカバー５７は前記ケース５０における開口部５０ａを閉塞するものであり、また、このカバー５７には、前記ケース５０における取付支柱５４と対向する位置に取付支柱５８を設け、さらにこの取付支柱５８の先端には支持部５９を設けるとともに、内側に挿入凹部６０を設けている。そして、前記ケース５０の取付支柱５４における支持部５５とカバー５７の取付支柱５８における支持部５９とで回路基板４４を挟み込むように、ケース５０の取付支柱５４における円柱形状部５６をカバー５７の取付支柱５８における挿入凹部６０に挿入しているものである。
【００２３】
以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次にその組立方法を説明する。
【００２４】
まず、予め準備した図９（ａ）に示すＳｉからなる基材２８の上面に図９（ｂ）に示すように、ＰｔとＴｉの合金薄膜からなる共通ＧＮＤ電極２９を蒸着により形成し、その後、図９（ｃ）に示すように、共通ＧＮＤ電極２９の上面にＰＺＴ薄膜からなる圧電層３０を蒸着により形成する。
【００２５】
次に、図９（ｄ）に示すように、圧電層３０の上面にＴｉとＡｕの合金薄膜からなる形成途上電極３３ａを蒸着により形成し、その後、図９（ｅ）に示すように、所定の形状になるように、共通ＧＮＤ電極２９、圧電層３０および形成途上電極３３ａの不要な箇所を除去し、圧電層３０の上面に第１の駆動電極３１ａ、第２の駆動電極３１ｂ、検出電極３２、モニター電極３３およびＧＮＤ電極３４を形成する。
【００２６】
次に、共通ＧＮＤ電極２９側に電圧を印加するとともに、第１の駆動電極３１ａ、第２の駆動電極３１ｂ、検出電極３２、モニター電極３３およびＧＮＤ電極３４を接地することにより、圧電層３０を分極する。
【００２７】
次に、基材２８における不要な箇所を除去することにより、図９（ｆ）に示すように、個片の振動子２２を形成する。
【００２８】
次に、予め準備したセラミックからなる絶縁体（図示せず）と配線用導体（図示せず）からなる多層回路基板３５および段差部４２の上面に、Ａｕからなる配線用電極４３を形成し、その後、多層回路基板３５の下面にＡｇからなる電源電極３６、ＧＮＤ電極３７、出力電極３８および３つの固定用電極３９を形成する。
【００２９】
次に、多層回路基板３５の上面の外周にわたってセラミックからなる側壁４０を形成し、その後、この側壁４０の上面にコバールからなる金属枠４１を固着する。
【００３０】
次に、音叉型の振動子２２における接続部２７の下面を振動子ケース２３の段差部４２の上面に固着し、その後、振動子２２の上面に形成された第１の駆動電極３１ａ、第２の駆動電極３１ｂ、検出電極３２、モニター電極３３およびＧＮＤ電極３４と振動子ケース２３における配線用電極４３をアルミニウムからなるワイヤー線（図示せず）を介してワイヤーボンディングにより電気的に接続する。
【００３１】
次に、振動子ケース２３の開口部に、金属製のカバー２４をシーム溶接により固着する。
【００３２】
次に、前記素子部２１を回路基板４４の上面に、素子部２１における電源電極３６、ＧＮＤ電極３７、出力電極３８および固定用電極３９が回路基板４４に電気的に接続されるように載置する。
【００３３】
次に、回路基板４４の上面に処理回路４８を載置した後、回路基板４４をリフロー炉（図示せず）に通過させることにより、回路基板４４の上面に素子部２１および処理回路４８を半田付けする。
【００３４】
次に、予め、支持部５５を有するとともに、円柱形状部５６およびその先端部６１を有する取付支柱５４を内底面から上方に向かって設け、かつ出力コネクタ端子５１、電源コネクタ端子５２、ＧＮＤコネクタ端子５３をインサートした状態で、光吸収性材料を使用した樹脂によりケース５０を形成する。
【００３５】
次に、ケース５０における取付支柱５４、出力コネクタ端子５１、電源コネクタ端子５２、ＧＮＤコネクタ端子５３に、それぞれ回路基板４４における取付孔４９、出力電極孔４５、電源電極孔４６、ＧＮＤ電極孔４７を挿通させる。
【００３６】
次に、出力電極孔４５、電源電極孔４６、ＧＮＤ電極孔４７と、ケース５０における出力コネクタ端子５１、電源コネクタ端子５２、ＧＮＤコネクタ端子５３とを半田付けすることにより、電気的に接続する。
【００３７】
次に、予め、挿入凹部６０を有する取付支柱５８が下方に向かって設けられるように、光透過性材料を使用した樹脂によりカバー５７を形成する。
【００３８】
次に、図１０に示すように、ケース５０の開口部５０ａにカバー５７を被せるとともに、カバー５７の取付支柱５８における挿入凹部６０とケース５０の取付支柱５４における円柱形状部５６とにレーザー６２を照射することにより、回路基板４４をケース５０の取付支柱５４における支持部５５と、カバー５７の取付支柱５８における支持部５９とで挟持する。このとき、レーザー６２が光透過性材料で構成されたカバー５７を透過して光吸収性材料で構成されたケース５０の表面を溶融し、光透過性材料と光吸収性材料とを接合させるものである。
【００３９】
最後に、ケース５０とカバー５７との接続箇所にレーザー６２を照射することにより、光吸収性材料で構成されたケース５０におけるカバー５７との境界面が溶融してカバー５７と接着されることになり、これにより、ケース５０はカバー５７で閉塞されるものである。
【００４０】
上記したように、本発明の一実施の形態においては、カバー５７を光透過性材料で構成し、かつケース５０を光吸収性材料で構成しているため、レーザー６２を用いた熱エネルギーで光吸収性材料の表面部を溶融させることにより、光透過性材料と接着させることができ、これにより、従来のように熱かしめでケースの取付支柱に回路基板を固定し、さらに前記ケースにカバーをネジで取り付けるという必要はなくなるため、角速度センサの部品点数の削減と組立工数の削減が図れるという効果を有するものである。
【００４１】
また、本発明の一実施の形態においては、カバー５７の取付支柱５８に挿入凹部６０を設け、かつケース５０の取付支柱５４に円柱形状部５６を設け、この円柱形状部５６を前記挿入凹部６０に挿入して回路基板４４を挟持するようにしているため、ケース５０の取付支柱５４とカバー５７の取付支柱５８により回路基板４４を確実に挟持することができるとともに、ケース５０とカバー５７とを強固に固定することができるという効果を有するものである。
【００４２】
以上のように構成され、かつ組み立てられた本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次に、その動作を説明する。
【００４３】
まず、外部に設けた電源（図示せず）により、電源コネクタ端子５２、回路基板４４を介して入力した電圧を処理回路４８により交流電圧に変換し、かつこの交流電圧を素子部２１における振動子２２の第１の駆動電極３１ａおよび第２の駆動電極３１ｂに印加する。そして、駆動電極３１ａ，３１ｂを回路基板４４におけるＧＮＤ電極孔４７、ＧＮＤコネクタ端子５３を介して接地すると、振動子２２が屈曲振動する。この状態において、振動子２２の長手方向の中心軸回りに角速度ωで素子部２１が回転すると、振動子２２にＦ＝２ｍＶ×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、検出電極３２に発生する電荷からなる出力信号を出力電極３８を介して回路基板４４における処理回路４８により出力電圧に変換し、出力コネクタ端子５１を介して相手側のコンピュータ（図示せず）に入力することにより、角速度を検出するものである。
【００４４】
なお、上記本発明の一実施の形態においては、一方のカバー５７を光透過性材料で構成し、かつ他方のケース５０を光吸収性材料で構成したものについて説明したが、これとは逆に、一方のカバー５７を光吸収性材料で構成し、かつ他方のケース５０を光透過性材料で構成した場合においても、上記本発明の一実施の形態と同様の効果が得られるものである。
【００４５】
また、上記本発明の一実施の形態においては、一方のカバー５７に形成した取付支柱５８の先端に支持部５９を設けるとともに、内側に挿入凹部６０を設け、かつ他方のケース５０に形成した取付支柱５４に支持部５５を設けるとともに、先端に円柱形状部５６を設け、この円柱形状部５６を前記挿入凹部６０に挿入することにより、回路基板４４をカバー５７の支持部５９とケース５０の支持部５５とで挟み込む、すなわち挟持する構成としているが、図１１に示すように、他方のケース６３に形成した取付支柱６４の先端に支持部６５を設けるとともに、内側に挿入凹部６６を設け、かつ一方のカバー６７に形成した取付支柱６８に支持部６９を設けるとともに、先端に円柱形状部７０を設け、そしてこの円柱形状部７０を前記ケース６３の取付支柱６４に設けた挿入凹部６６に挿入することにより、ケース６２の取付支柱６４に設けた支持部６５とカバー６７の取付支柱６８に設けた支持部６９とで回路基板４４を挟み込む、すなわち挟持する構成とした場合においても、上記本発明の一実施の形態と同様の効果が得られるものである。
【００４６】
そしてまた、上記本発明の一実施の形態においては、一方のカバー５７に形成した取付支柱５８の先端に支持部５９を設けるとともに、内側に挿入凹部６０を設け、かつ他方のケース５０に形成した取付支柱５４に支持部５５を設けるとともに、先端に円柱形状部５６を設け、この円柱形状部５６を前記挿入凹部６０に挿入することにより、回路基板４４をカバー５７の支持部５９とケース５０の支持部５５とで挟み込む、すなわち挟持する構成としているが、図１２に示すように、一方のカバー６７に形成した取付支柱６８に支持部７１を設けるとともに、円柱形状部７０を設け、かつ他方のケース５０に形成した取付支柱５４に支持部７４を設けるとともに、円柱形状部５６を設け、そしてこの円柱形状部５６の先端部７５と前記カバー６７の取付支柱６８に設けた円柱形状部７０の先端部７２とを互いに当接させることにより、ケース５０の取付支柱５４に設けた支持部７４とカバー６７の取付支柱６８に設けた支持部７１とで回路基板４４を挟み込む、すなわち挟持する構成とした場合においても、上記本発明の一実施の形態と同様の効果が得られるものである。なお、この場合は、ケース５０の取付支柱５４に設けた円柱形状部５６の先端部７５とカバー６７の取付支柱６８に設けた円柱形状部７０の先端部７２とが互いに当接した状態で、レーザー溶着により固定しても良いもので、このような構成によれば、簡単な構成にして、ケース５０とカバー６７とを強固に固定することができるという効果が得られるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係る角速度センサは、部品点数および組立工数の削減が図れる角速度センサを提供することができるという効果を有し、特に自動車の車体制御装置の中で車体の挙動を検知するために用いられる角速度センサとして有用なものである。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施の形態における角速度センサの分解斜視図
【図２】同角速度センサの側断面図
【図３】同角速度センサからカバーを取り外した状態を示す斜視図
【図４】同角速度センサにおける素子部の分解斜視図
【図５】同角速度センサにおける振動子の斜視図
【図６】同角速度センサの振動子における第１の腕部の側断面図
【図７】同角速度センサにおける振動子ケースの斜視図
【図８】同角速度センサにおける振動子ケースを裏側から見た斜視図
【図９】本発明の一実施の形態における角速度センサの組立工程図
【図１０】同角速度センサにレーザーを照射する状態を示す断面図
【図１１】本発明の一実施の形態における角速度センサの他の例を示す側断面図
【図１２】本発明の一実施の形態における角速度センサの他の例を示す側断面図
【図１３】従来の角速度センサの分解斜視図
【図１４】従来の角速度センサの分解斜視図
【符号の説明】
【００４９】
２２  振動子
４４  回路基板
４８  処理回路
４９  取付孔
５０，６３  ケース
５０ａ  開口部
５４，５８，６４，６８  取付支柱
５５，５９，６５，６９  支持部
５６，７０  円柱形状部
５７，６７  カバー
６０，６６  挿入凹部
７２，７５  先端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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