(57)【要約】【課題】液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜等の薄膜の形成において、膜厚の不均一を低減させる。【解決手段】液状体を吐出する複数のノズル５２からなるノズル列５２ａと、マトリクス状に区画された矩形形状の画素領域Ｆからなる被吐出領域を有する基板Ｐとを、前記ノズル列５２ａと略直交する主走査方向に相対移動させながら前記ノズル５２から前記液状体を前記被吐出領域Ｆに吐出させる吐出工程を有し、１つの前記画素領域Ｆに対する前記吐出工程において、前記ノズル列５２ａおよび／または前記基板Ｐを、前記主走査方向と略直交する副走査方向に、少なくとも１回相対移動させ前記ノズル５２から前記液状体を吐出することを特徴とする。【選択図】図６
2009251001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する複数のノズルからなるノズル列と、マトリクス状に区画された矩形形
状の画素領域からなる被吐出領域を有する基板とを、前記ノズル列と略直交する主走査方
向に相対移動させながら前記ノズルから前記液状体を前記被吐出領域に吐出させる吐出工
程を有し、
１つの前記画素領域に対する前記吐出工程において、前記ノズル列および／または前記
基板を、前記主走査方向と略直交する副走査方向に、少なくとも１回相対移動させ前記ノ
ズルから前記液状体を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項２】
前記吐出工程は、前記主走査方向への走査が前記画素領域の長手方向に沿って行われる
ように、前記ノズル列と前記基板とを相対配置することを特徴とする請求項１に記載の液
状体の吐出方法。
【請求項３】
前記副走査方向への走査は、副走査方向への往動または復動であることを特徴とする請
求項１または２に記載の液状体の吐出方法。
【請求項４】
前記副走査方向への走査幅は、前記画素領域の副走査方向の幅の１／２以下であること
を特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項５】
前記主走査方向の前記吐出工程において、前記液状体は、前記ノズルから所定の周期で
吐出されており、
前記副走査方向への走査は、前記ノズルから前記液状体が吐出される前記周期ごとに行
われることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項６】
前記主走査方向の前記吐出工程において、前記液状体は、前記ノズルから所定の周期で
吐出されており、
前記副走査方向への走査は、前記ノズルから前記液状体が吐出される前記周期の整数倍
のタイミングで行われることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体
の吐出方法。
【請求項７】
前記副走査方向への走査は、前記画素領域の前記主走査方向の幅の略１／ｎ（ｎは自然
数）の範囲に前記ノズルから前記液状体が吐出されるごとに行われることを特徴とする請
求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項８】
前記被吐出領域は、第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とからなり、
前記第１の被吐出領域を構成する第１の画素領域は、前記第１の画素領域の長手方向が
主走査方向に沿うように前記基板に配置されており、
前記第２の被吐出領域を構成する第２の画素領域は、前記第２の画素領域の長手方向が
副走査方向に沿うように前記基板に配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のい
ずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項９】
基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィ
ルタの製造方法であって、
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少な
くとも３色の液状体を前記複数の画素領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と
、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製
造方法であって、
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含
む液状体を前記複数の画素領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを
特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体をノズルから吐出する液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法
および有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜等の分野に液滴吐出装
置が利用されている。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有して
いる。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。カラーフィル
タ、有機ＥＬ装置の製造では、これらのノズルから機能性材料を含む液状体を基板等に吐
出して、機能性材料からなる薄膜を形成する。
【０００３】
近年、表示装置は、適用される分野が拡大しており、様々なサイズのパネルが提供され
ている。また、表示装置の高画質化の要求もあり、それに答えるため高精細、高密度なカ
ラーフィルタや有機ＥＬ装置の成膜を実現しなくてはならない。そのため、様々なサイズ
の基板に対して、液状体を、高精細、高密度に吐出することが重要になってきている。ま
た、表示装置のパネルの需要が増加し、パネルの生産性を向上させるため、１枚の大型基
板から多数のパネルを製造したいとの要求も出てきている。この場合、取り数の効率を追
求するため、または、１枚の基板から異なったサイズのパネルを生産するため、様々なレ
イアウトが検討されている。レイアウトによっては、液状体が吐出される最小単位の領域
である画素領域の配置が、９０度異なる場合がある。
【０００４】
ワーク（基板）に液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出してパターンの描画を行
う液滴吐出装置および液滴吐出方法として、ワークを第１方向および第１方向と略直交す
る第２方向に移動させて、第２方向に沿ってあらかじめ位置決めされた複数のキャリッジ
に配設された液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を吐出してパターンの描画を行う液滴吐
出装置および液滴吐出方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１８７７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述の液滴吐出装置は、あらかじめ位置決めされたノズルから液状体を基板の所定の領
域に吐出する。なお、ノズルは一定のピッチで列状に配置されている。そのため、液状体
が吐出される領域の幅が、ノズルのピッチに対して実質的に狭い場合は、その領域内に液
状体を吐出できるノズルが制約されてしまう。すなわち、中央に液状体を吐出することが
できないおそれがある。言い換えれば領域内の片寄った位置に液状体が吐出され、領域内
に液状体の吐出量の片寄りが生ずる虞がある。液状体の吐出量の片寄りが生ずると、領域
に形成される薄膜の厚さの不均一が発生する可能性がある。液晶表示装置等のカラーフィ
ルタ、有機ＥＬ装置の機能膜等の薄膜において、膜厚の不均一が発生すると、製造された
表示装置の画像品質が低下してしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
（適用例１）液状体を吐出する複数のノズルからなるノズル列と、マトリクス状に区画
された矩形形状の画素領域からなる被吐出領域を有する基板とを、前記ノズル列と略直交
する主走査方向に相対移動させながら前記ノズルから前記液状体を前記被吐出領域に吐出
させる吐出工程を有し、１つの前記画素領域に対する前記吐出工程において、前記ノズル
列および／または前記基板を、前記主走査方向と略直交する副走査方向に、少なくとも１
回相対移動させ前記ノズルから前記液状体を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法
。
【０００９】
（適用例２）前記吐出工程は、前記主走査方向への走査が前記画素領域の長手方向に沿
って行われるように、前記ノズル列と前記基板とを相対配置することを特徴とする上記の
液状体の吐出方法。
【００１０】
これらの方法によれば、所定のピッチで列状に配置されているノズルから、ノズルの配
列方向（副走査方向）の幅が狭い画素領域に液状体が吐出される場合、すなわち画素領域
の副走査方向の配置間隔とノズルの副走査方向の配置間隔が合致しない場合でも、吐出工
程において、画素領域の副走査方向の異なる位置に液状体を吐出することができる。その
ため、画素領域内に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを低減することができる。その
結果、画素領域に形成される薄膜の膜厚の不均一を低減させることができる。なお、ここ
でいう画素領域とは、液状体が吐出される最小単位の領域をいい、走査とは、ノズル列お
よび／または基板を相対移動させ、ノズル列を構成するノズルから液状体を吐出すること
をいう。
【００１１】
（適用例３）前記副走査方向への走査は、副走査方向への往動または復動であることを
特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１２】
この方法によれば、主走査方向の吐出工程において、画素領域の副走査方向の少なくと
も２つの異なる位置に液状体を吐出することができる。そのため、画素領域内の片寄った
位置に液状体が吐出され、画素領域内に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを防止する
ことができる。
【００１３】
（適用例４）前記副走査方向への走査幅は、前記画素領域の副走査方向の幅の１／２以
下であることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１４】
ノズルから吐出される液状体は、液滴として吐出される。そのため、画素領域に着弾し
た液滴は、区画された画素領域内に濡れ広がる。この方法によれば、副走査方向への走査
幅を、画素領域の副走査方向の幅の１／２以下にすることによって、画素領域に着弾した
液滴すなわち液状体が、隣接する画素領域に流入することを低減できるとともに、画素領
域内に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを低減することができる。すなわち、この方
法によれば、ノズル列を構成する各ノズルから、多くの画素領域に対して安定的に液状体
を供給することができる。
【００１５】
（適用例５）前記主走査方向の前記吐出工程において、前記液状体は、前記ノズルから
所定の周期で吐出されており、前記副走査方向への走査は、前記ノズルから前記液状体が
吐出される前記周期ごとに行われることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１６】
この方法によれば、主走査方向の１回の吐出ごとに、画素領域の副走査方向の異なる位
置に液状体を吐出することができる。すなわち、画素領域内にいわゆるジグザグ状に液状
体を吐出することが可能になる。そのため、画素領域内の片寄った位置に液状体が吐出さ
れ、画素領域内に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを防止することができる。
【００１７】
（適用例６）前記主走査方向の前記吐出工程において、前記液状体は、前記ノズルから
所定の周期で吐出されており、前記副走査方向への走査は、前記ノズルから前記液状体が
吐出される前記周期の整数倍のタイミングで行われることを特徴とする上記の液状体の吐
出方法。
【００１８】
この方法によれば、主走査方向の吐出工程において、画素領域の副走査方向の異なる位
置に液状体を吐出することができる。そのため、画素領域内の片寄った位置に液状体が吐
出され、画素領域内に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを防止することができる。ま
た、副走査方向の走査の回数を減ずることができ、吐出時間の短縮が図れる。
【００１９】
（適用例７）前記副走査方向への走査は、前記画素領域の前記主走査方向の幅の略１／
ｎ（ｎは自然数）の範囲に前記ノズルから前記液状体が吐出されるごとに行われることを
特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００２０】
この方法によれば、画素領域の主走査方向の幅の略１／ｎ（ｎは自然数）の範囲ごとに
、画素領域の副走査方向の異なる位置に液状体を吐出することができる。そのため、画素
領域内の片寄った位置に液状体が吐出され、画素領域内に液状体の吐出量の片寄りが生ず
ることを防止することができる。また、１つの画素領域において、副走査方向の走査の回
数を減ずることができ、吐出時間の短縮が図れる。
【００２１】
（適用例８）前記被吐出領域は、第１の被吐出領域と第２の被吐出領域とからなり、前
記第１の被吐出領域を構成する第１の画素領域は、前記第１の画素領域の長手方向が主走
査方向に沿うように前記基板に配置されており、前記第２の被吐出領域を構成する第２の
画素領域は、前記第２の画素領域の長手方向が副走査方向に沿うように前記基板に配置さ
れていることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００２２】
１枚の大型基板から多数のパネルを製造する場合、取り数の効率を追求するため、また
は、１枚の基板から異なったサイズのパネルを生産するため、様々なレイアウトが検討さ
れており、液状体が吐出される最小単位の領域である画素領域の配置が、９０度異なる場
合がある。このとき、矩形の画素領域の長手方向が副走査方向と同一な場合（第２の画素
領域）は、画素領域に配置できるノズルの数を確保することができるが、画素領域の長手
方向が主走査方向と同一な場合（第１の画素領域）は、画素領域に配置できるノズルの位
置が制約されてしまう。
【００２３】
この方法によれば、第１の画素領域から構成される第１の被吐出領域と、第１の画素領
域とは９０度配置が異なる第２の画素領域から構成される第２の被吐出領域とが混在する
基板に対しても、主走査方向の吐出工程において、第１の画素領域の副走査方向の異なる
位置に液状体を吐出することができる。そのため、第１の画素領域内の片寄った位置に液
状体が吐出され、第１の画素領域内に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを防止するこ
とができる。その結果、第１の画素領域に形成される膜厚の不均一を低減させることがで
きる。
【００２４】
すなわち、配置方向が異なる画素領域を有する被吐出領域が混在する基板に対して、画
素領域内の片寄った位置に液状体が吐出され、画素領域内に液状体の吐出量の片寄りが生
ずることを防止することができる。その結果、画素領域に形成される膜厚の不均一を低減
させることができる。また、膜厚の不均一が低減されたパネルを、１枚の大型基板から多
数個製造することができる。従って、パネルの生産効率の向上に寄与することができる。
【００２５】
（適用例９）基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも３色の着色層を有す
るカラーフィルタの製造方法であって、上記の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む
少なくとも３色の液状体を前記複数の画素領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液
状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特
徴とするカラーフィルタの製造方法。
【００２６】
この方法によれば、画素領域に吐出される液状体の吐出量の片寄りを低減して、膜厚が
略均一なカラーフィルタを、歩留りよく多数個製造することができる。
【００２７】
（適用例１０）基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも発光層を有する有
機ＥＬ素子の製造方法であって、上記の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む
液状体を前記複数の画素領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、
前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【００２８】
この方法によれば、画素領域に吐出される液状体の吐出量の片寄りを低減して、発光層
の膜厚が略均一な有機ＥＬ素子を、歩留まりよく多数個製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本実施形態を、着色層を備えたカラーフィルタの製造方法を例にとり説明する。なお、
以下の説明で参照する図面では、説明および図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺
を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３０】
（液状体吐出装置の全体構成について）
まず、本実施形態の液状体の吐出方法に用いられる液滴吐出装置の一例を、図１を参照
して説明する。図１は液滴吐出装置の構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正
面図、（ｃ）は側面図である。
図１（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、液滴吐出装置１００は、キャリッジ１５と
、キャリッジ移動機構２０と、テーブル１０と、第１のテーブル移動機構３０と、第２の
テーブル移動機構４０と、制御装置１６と、基台１８とを備えている。
【００３１】
この液滴吐出装置１００は、キャリッジ１５と、テーブル１０との相対位置を変化させ
つつ、キャリッジ１５に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０から液状体を液滴として吐
出して、テーブル１０に搭載された基板Ｐに液状体で所望のパターンを形成するものであ
る。なお、図中のＹ方向はテーブル１０の主走査方向を示し、Ｘ方向はキャリッジ１５の
移動方向およびテーブル１０の副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交す
る方向を示している。
【００３２】
このような液滴吐出装置１００は、例えば、各種の表示装置のカラー表示を可能にする
カラーフィルタの製造に適用され得る。例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメ
ントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液滴吐出装置１００の各々の液滴吐出ヘ
ッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかを基板Ｐに液滴として吐出して、赤
、緑および青の３色のフィルタエレメントのパターンを描画する。
【００３３】
ここで、液滴吐出装置１００の各構成について説明する。
図１（ａ），（ｂ）に示すように、基台１８は、例えば、平板状の石材等の熱膨張係数
が小さい材料から形成されており、Ｙ方向に一定の幅を有し、Ｘ方向に沿って延びるよう
に４本の脚部１９に支持されている。また、基台１８のＺ方向の下部には、制御装置１６
が設けられている。
【００３４】
第１のテーブル移動機構３０は、ベース３１と、２つのリニアモータ３２とを有してい
る。ベース３１は、平板状に形成され、基台１８のＺ方向上面に固定されている。ベース
３１のＺ方向上面には、２つのリニアモータ３２がＹ方向に沿って平行に配置されている
。第２のテーブル移動機構４０は、スライド部材３７と、２つのリニアモータ３８とを有
している。スライド部材３７は、平板状に形成され、ベース３１に配置された２つのリニ
アモータ３２の上方に配設されている。スライド部材３７のＺ方向上面には、２つのリニ
アモータ３８がＸ方向に沿って平行に配置されている。
【００３５】
テーブル１０は、平板状の部材であり、Ｚ方向上面に基板Ｐを着脱可能に保持する載置
面１０Ａを有している。テーブル１０は、スライド部材３７に配置された２つのリニアモ
ータ３８の上方に配設されている。
【００３６】
リニアモータ３２は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はベース３１に
、可動子はスライド部材３７に設けられている。第１のテーブル移動機構３０は、制御装
置１６からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０を主
走査であるＹ方向に往復移動させることができる。リニアモータ３８は、図示しない固定
子と可動子を有しており、固定子はスライド部材３７に、可動子はテーブル１０に設けら
れている。第２のテーブル移動機構４０は、制御装置１６からの指令に基づいて可動子の
コイルが通電されることにより、テーブル１０を副走査方向であるＸ方向に任意の距離、
往復移動させることができる。
【００３７】
図１に示すように、キャリッジ移動機構２０は、２つのリニアモータ２２と、４本の支
柱２３とを備えている。リニアモータ２２のそれぞれは、第２のテーブル移動機構４０に
配置されたテーブル１０に対してＺ方向に空間を有する状態でＸ方向に延びるように、２
本の支柱２３に支持され互いに平行に配設されている。
【００３８】
キャリッジ１５は、複数の液滴吐出ヘッド５０が搭載されており、液滴吐出ヘッド５０
側がＺ方向下方、すなわち、テーブル１０に載置された基板Ｐの上面に対向するように、
２つのリニアモータ２２のＺ方向上方に配設されている。リニアモータ２２は、図示しな
い固定子と可動子を有しており、固定子は支柱２３に支持され、可動子はキャリッジ１５
に設けられている。キャリッジ移動機構２０は、制御装置１６からの指令に基づいて可動
子のコイルが通電されることにより、キャリッジ１５を副走査方向であるＸ方向に任意の
距離、往復移動させることができる。
【００３９】
液滴吐出装置１００は、さらにメンテナンス部３５を備えている。メンテナンス部３５
は、基台１８の図１中Ｘ方向左側にベース３１と並んで設けられている、メンテナンス部
３５は、キャリッジ移動機構２０によるキャリッジ１５の移動領域内に設けられており、
メンテナンス部３５の上面がキャリッジ１５に搭載された液滴吐出ヘッド５０のノズル側
と対向している。メンテナンス部３５は、キャリッジ１５に搭載された複数の液滴吐出ヘ
ッド５０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去等のメンテナンスを行
う。
【００４０】
（液滴吐出ヘッドの構成について）
次に、液滴吐出ヘッドについて、図２を参照して説明する。図２は液滴吐出ヘッドの構
造を示す概略図であり、（ａ）は概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図
である。図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出さ
れる複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通
するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビテ
ィ５５に対応する駆動素子としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接
合された構造となっている。
【００４１】
キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４
と、キャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７とを有している。流路５７
は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、でき上がった空間が、液状体が
貯留されるリザーバの役目を果たす。液状体は、図示しない液状体供給機構から配管を通
じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に
、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。
【００４２】
図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟
む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５
９ｂに駆動信号としての駆動波形が印加されることにより接合された振動板５８を変形さ
せる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザ
ーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動波形の印加が終了すると、振動板５
８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄ
として吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動波形を制御する
ことにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
【００４３】
液滴吐出ヘッド５０における駆動素子は、圧電素子に限らない。振動板を静電吸着によ
り変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴Ｄとして吐出さ
せる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
【００４４】
（キャリッジの構成について）
キャリッジについて、図１および図３を参照して説明する。図３は、キャリッジにおけ
る液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、基板Ｐに対向する側から見
た図である。なお、図３に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方
向である。
【００４５】
図１に示すように、キャリッジ１５は、ヘッドプレート３６と、複数の液滴吐出ヘッド
５０とを有している。ヘッドプレート３６は、ステンレス等からなる板状部材であり、複
数の液滴吐出ヘッド５０を、ノズル５２側がＺ方向下方に突出するよう搭載し、キャリッ
ジ１５のＺ方向下方に設けられている。図３に示すように、ヘッドプレート３６には、３
つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａとヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出
ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド
５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出す
る。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すな
わち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００４６】
各液滴吐出ヘッド５０は、略等しい間隔（およそ１４０μｍのノズルピッチ）で配設さ
れた複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。ノズル５２の
径はおよそ２０μｍである。ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ方向）から見て
隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ方向）に１ノズルピッチ
を置いて連続するように並列して配設されている。すなわち、液滴吐出ヘッド５０は、一
定のノズルピッチで配置された３６０個のノズル５２から液状体を吐出することができる
。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２も同様に配置されている。
【００４７】
なお、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ａは、１列に限らない。例えば、
複数のノズル列５２ａを列方向に互いにずらして配設すれば実質的なノズルピッチが狭く
なり、高精細に液滴Ｄを吐出することが可能となる。
【００４８】
（液滴吐出装置の制御系について）
次に液滴吐出装置の制御系について図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出装置の
制御系を示すブロック図である。液滴吐出装置１００の制御装置１６は、液滴吐出ヘッド
５０、キャリッジ移動機構２０、第１のテーブル移動機構３０、第２のテーブル移動機構
４０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１
００を制御する制御部４とを備えている。
【００４９】
駆動部４６は、キャリッジ移動機構２０、第１のテーブル移動機構３０、第２のテーブ
ル移動機構４０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐
出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、メンテナンス部３５の各メンテナン
ス用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ４９とを備えている。制御部４は、
ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いに
バス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続さ
れている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログ
ラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ
領域とを有している。
【００５０】
ＲＡＭ４３は、基板Ｐに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、基
板Ｐおよび液滴吐出ヘッド５０、すなわち、ノズル列５２ａの位置データを記憶する位置
データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能
を補うともに、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて
組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令
等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むとともに、ＣＰＵ４１と連動して、Ｃ
ＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆
動部４６に出力する。
【００５１】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介
して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処
理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより
、液滴吐出装置１００全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０
、キャリッジ移動機構２０、第１のテーブル移動機構３０、第２のテーブル移動機構４０
を制御して、キャリッジ１５と基板Ｐとを対向配置させる。そして、キャリッジ１５と基
板Ｐとの相対移動に同期して、キャリッジ１５に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数
のノズル５２から基板Ｐ上の画素領域に液状体を液滴Ｄとして吐出して描画を行う。この
場合、Ｙ方向への基板Ｐの移動を主走査と呼び、Ｘ方向にキャリッジ１５すなわちノズル
５２および基板Ｐを移動させることを副走査と呼ぶ。
【００５２】
本実施形態の液滴吐出装置１００は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返す
ことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して
一方向への基板Ｐの移動に限らず、基板Ｐを往復させて行うこともできる。また、液滴吐
出装置１００は、主走査を行いながら、キャリッジ１５および基板Ｐの少なくとも一方を
Ｘ方向に微小移動させて液状体を吐出描画することもできる。さらに、液滴吐出装置１０
０は、主走査を行ったあとに、基板ＰをＸ方向に移動させて、いわゆる改行動作を行い、
さらに基板ＰをＹ方向に往復移動させ液状体を吐出描画することもできる。
【００５３】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データ等の制御情報を液滴吐出装置１
００に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。例えば、吐出特
性等のノズル情報に基づいて、基板上の被吐出領域を構成する画素領域毎に必要量の液状
体を液滴Ｄとして配置する配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している
。配置情報は、被吐出領域（画素領域）における液滴Ｄの吐出位置（換言すれば基板Ｐと
ノズル５２との相対位置）、液滴Ｄの配置数（換言すればノズル５２毎の吐出数）、主走
査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミング等の情報を、例えば、ビッ
トマップとして表したものである。
【００５４】
（液状体の吐出方法について）
（第１実施例）
上記の構成を有する液滴吐出装置における液状体の吐出方法を、図５および図６を参照
して説明する。図５は、液滴吐出ヘッドと基板上の画素領域との配置を示す図である。図
６は、第１実施例にかかる液状体の吐出方法の流れを示す図である。なお、以下の説明は
、液滴吐出装置１００を用いて、赤、緑および青の３色のカラーフィルタを製造する場合
を例にとり説明する。また、以降の動作は、液滴吐出装置１００の制御装置１６からの指
令に基づいて行われる。
【００５５】
図５に示すキャリッジ１５に搭載された液滴吐出ヘッド５０には、図示しない液状体貯
留部から、赤、緑および青の３色カラーフィルタのフィルタエレメントを製造する赤、緑
および青の３色の液状体が供給される。ヘッドＲ１，Ｒ２は、赤の液状体が供給され赤の
液状体を吐出することができる。ヘッドＧ１，Ｇ２は、緑の液状体が供給され緑の液状体
を吐出することができる。ヘッドＢ１，Ｂ２は、青の液状体が供給され青の液状体を吐出
することができる。
【００５６】
まず、基板Ｐを図１に示す液滴吐出装置１００のテーブル１０にセットする。基板Ｐは
、表示装置のカラー表示を可能にするカラーフィルタ用の基板である。図５に示すように
、基板Ｐは、被吐出領域Ｅを有し、被吐出領域Ｅには、矩形に形成された複数の画素領域
Ｆがマトリックス状に形成されている。画素領域Ｆは、長手方向が主走査方向（Ｙ方向）
に沿って基板上に配置されている。画素領域Ｆは、異種の液状体がと出される画素領域Ｆ
ｒ，Ｆｇ，ＦｂがそれぞれＹ方向に沿って列状に配置され、いわゆるストライプ状に形成
されている。なお、画素領域Ｆｒには赤の液状体が吐出され、画素領域Ｆｇには緑の液状
体が吐出され、画素領域Ｆｂには青の液状体が吐出される。
【００５７】
以降、説明をわかりやすくするために、ヘッドＲ１，Ｒ２のノズル５２から、画素領域
Ｆｒに赤の液状体を吐出する方法を例にとり説明する。また、ヘッドＲ１，Ｒ２のノズル
５２をノズル５２ｒiと称し、赤の液状体が吐出される画素領域Ｆｒを画素領域Ｆｒjと称
する。ノズル５２ｒiのｉは、ノズル５２ｒのＸ方向の配列順を示す１以上の整数であり
、画素領域Ｆｒjのｊは、画素領域ＦｒのＸ方向の列番を示す１以上の整数である。
【００５８】
図６（ａ）に示すように、基板Ｐが液滴吐出装置１００のテーブル１０にセットされる
ことによって、一定のピッチで列状に配置されているノズル５２ｒiは、赤の液状体が吐
出される画素領域Ｆｒjに対向する。しかし、画素領域Ｆｒjは、Ｘ方向に沿って短辺が配
置されているため、その領域内に液状体を吐出できるノズル５２ｒiの位置が制約される
。本実施例では、ノズル５２ｒ4が画素領域Ｆｒ1の略中央に、ノズル５２ｒ8が画素領域
Ｆｒ2の図中左側に、ノズル５２ｒ13が画素領域Ｆｒ3の図中右側に位置する。
【００５９】
ここで、液滴吐出ヘッド５０から液状体を吐出する。第１のテーブル移動機構３０によ
り、テーブル１０に搭載された基板Ｐを図６中Ｙ方向に移動させながら、各液滴吐出ヘッ
ド５０から赤、緑および青のいずれかの液状体を画素領域Ｆに吐出する。すなわち、ノズ
ル５２ｒ4，５２ｒ8，５２ｒ13から画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に赤の液状体を１回吐
出する。その結果、図６（ａ）に示すように、１回の吐出が行われた段階では、画素領域
Ｆｒ1の略中央に、画素領域Ｆｒ2の図中左側に、画素領域Ｆｒ3の図中右側に赤の液状体
が着弾する。
【００６０】
次いで、同じく第１のテーブル移動機構３０により、基板Ｐを図６中Ｙ方向に移動させ
ながら、キャリッジ移動機構２０によりキャリッジ１５すなわちノズル列５２ａを図６中
Ｘ（−）方向に、例えば、画素領域Ｆの幅の１／２だけ移動させ、ノズル５２ｒ4，５２
ｒ9，５２ｒ13から赤の液状体を画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に１回吐出する。その結果
、図６（ｂ）に示すように、２回の吐出が行われた段階では、画素領域Ｆｒ1の図中左側
に、画素領域Ｆｒ2の図中右側に、画素領域Ｆｒ3の略中央に赤の液状体が着弾する。
【００６１】
次いで、第１のテーブル移動機構３０により、テーブル１０に搭載された基板Ｐを図６
中Ｙ方向に移動させながら、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを図６中Ｘ（
＋）方向に、例えば、画素領域Ｆの幅の１／２だけ移動させ、ノズル５２ｒ4，５２ｒ8，
５２ｒ13から液状体を画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に１回吐出する。その結果、図６（
ｃ）に示すように、３回の吐出が行われた段階では、画素領域Ｆｒ1の略中央に、画素領
域Ｆｒ2の図中左側に、画素領域Ｆｒ3の図中右側に赤の液状体が着弾する。
【００６２】
次いで、同じく第１のテーブル移動機構３０により、基板Ｐを図６中Ｙ方向に移動させ
ながら、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを図６中Ｘ（−）方向に、例えば
、画素領域Ｆの幅の１／２だけ移動させ、ノズル５２ｒ4，５２ｒ9，５２ｒ13から液状体
を画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に吐出する。その結果、図６（ｄ）に示すように、４回
の吐出が行われた段階では、画素領域Ｆｒ1の図中左側に、画素領域Ｆｒ2の図中右側に、
画素領域Ｆｒ3の略中央に赤の液状体が着弾する。
【００６３】
すなわち、第１のテーブル移動機構３０により、基板Ｐを図６中Ｙ方向に移動させなが
ら、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを、図６中Ｘ方向に画素領域Ｆの幅の
１／２だけ往復移動させ、ノズル５２ｒiから液状体を画素領域Ｆｒjに吐出することによ
って、画素領域Ｆｒjの副走査方向の異なる位置に液状体を吐出することができる。
【００６４】
ただし、副走査方向にノズル列５２ａを移動させたときに、液状体の着弾位置が画素領
域Ｆｒjの端部に大きくかかり液状体が隣接する画素領域ＦｇまたはＦｂに流れ込む虞が
ある場合、または、ノズル５２の位置が画素領域Ｆｒjから外れる場合は、ノズル５２ｒi
から液状体を吐出しない。この場合は、以降の吐出工程において、ノズル列５２ａの改行
動作を行い、所定の吐出量になるまでノズル５２ｒiから液状体を画素領域Ｆｒjに吐出す
る。これは、緑および青の液状体が吐出される他の画素領域Ｆｇ，Ｆｂにおいても同様で
ある。
【００６５】
なお、本実施例では、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを図６中Ｘ方向に
微小移動させる場合について説明したが、これに限定されない。第２のテーブル移動機構
４０により、基板Ｐを図６中Ｘ方向に微小移動させてもよい。また、キャリッジ移動機構
２０によりノズル列５２ａを図６中Ｘ方向に微小移動させながら、第２のテーブル移動機
構４０により、基板Ｐを図６中Ｘ方向に微小移動させてもよい。
【００６６】
また、本実施例では、画素領域Ｆの幅の１／２だけＸ方向へ移動させる場合を例にとり
説明したがこれに限定されない。ノズル５２の配列ピッチ、画素領域ＦのＸ方向の配列ピ
ッチおよび画素領域Ｆの幅によって、適宜調整可能である。ただし、ノズル５２から吐出
される液状体は、液滴として吐出され画素領域Ｆに着弾し、区画された画素領域Ｆ内に濡
れ広がる。Ｘ方向への走査幅は、画素領域ＦのＸ方向の幅の１／２以下にすることが望ま
しい。Ｘ方向への走査幅が画素領域ＦのＸ方向の幅の１／２以上であると、画素領域に着
弾した液滴すなわち液状体は、隣接する画素領域Ｆに流入する虞がある。Ｘ方向への走査
幅が画素領域ＦのＸ方向の幅の１／２以下であると、画素領域Ｆに着弾した液滴すなわち
液状体が隣接する画素領域Ｆに流入することを防止することができる。すなわち、この場
合、異種の液状体が混じり合う混色を防止することができる。
【００６７】
以下、本第１実施例の効果を記載する。
（１）この液状体の吐出方法は、所定のピッチで列状に配置されているノズル５２から
、ノズル５２の配列方向（副走査方向）の幅が狭い画素領域Ｆに液状体が吐出される場合
、すなわち画素領域Ｆの副走査方向の配置間隔とノズル５２の副走査方向の配置間隔が合
致しない場合でも、主走査方向の吐出工程において、画素領域Ｆの副走査方向の異なる位
置に１回ずつ液状体を吐出することができる。すなわち、画素領域Ｆ内にいわゆるジグザ
グ状態に液状体を吐出することができる。そのため、画素領域Ｆ内の片寄った位置に液状
体が吐出され、画素領域Ｆ内に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを防止することがで
きる。その結果、画素領域Ｆに形成される膜厚の不均一を低減させることができる。
【００６８】
（２）この液状体の吐出方法は、副走査方向への走査幅を、画素領域Ｆの副走査方向の
幅の１／２以下にすることによって、画素領域Ｆに着弾した液滴すなわち液状体が、隣接
する画素領域Ｆに流入することを低減できるとともに、画素領域Ｆ内の片寄った位置に液
状体が吐出され、画素領域Ｆ内に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを防止することが
できる。すなわち、この方法によれば、ノズル列５２ａを構成する各ノズル５２から、多
くの画素領域Ｆに対して安定的に液状体を供給することができる。
【００６９】
（第２実施例）
次に、第２実施例について、図７を参照して説明する。図７は、第２実施例にかかる液
状体の吐出方法の流れを示す図である。なお、この第２実施例においては、前記第１実施
例と同じ構成部材および同じ工程についてはその符号を等しくし、その詳細な説明を省略
する。
【００７０】
図７（ａ）に示すように、第２実施例にかかる液状体の吐出方法は、基板Ｐが、図１に
示す液滴吐出装置１００のテーブル１０にセットされることによって、一定のピッチで列
状に配置されているノズル５２ｒiは、赤の液状体が吐出される画素領域Ｆｒjに対向する
。しかし、第１実施例と同様にノズル５２ｒiの位置が制約され、ノズル５２ｒ4が画素領
域Ｆｒ1の略中央に、ノズル５２ｒ8が画素領域Ｆｒ2の図中左側に、ノズル５２ｒ13が画
素領域Ｆｒ3の図中右側に位置する。
【００７１】
ここで、液滴吐出ヘッド５０から液状体を吐出する。第１のテーブル移動機構３０によ
り、テーブル１０に搭載された基板Ｐを図７中Ｙ方向に移動させながら、各液滴吐出ヘッ
ド５０から赤、緑および青のいずれかの液状体を画素領域Ｆに２回連続して吐出する。す
なわち、ノズル５２ｒ4，５２ｒ8，５２ｒ13から画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に赤の液
状体を２回吐出する。その結果、図７（ａ）に示すように、この吐出が行われた段階では
、画素領域Ｆｒ1の略中央に、画素領域Ｆｒ2の図中左側に、画素領域Ｆｒ3の図中右側に
赤の液状体が２回着弾する。
【００７２】
次いで、同じく第１のテーブル移動機構３０により、基板Ｐを図７中Ｙ方向に移動させ
ながら、キャリッジ移動機構２０によりキャリッジ１５すなわちノズル列５２ａを、図７
中Ｘ（−）方向に、例えば、画素領域Ｆの幅の１／２だけ移動させ、ノズル５２ｒ4，５
２ｒ9，５２ｒ13から赤の液状体を画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に２回吐出する。その結
果、図７（ｂ）に示すように、画素領域Ｆｒ1の図中左側に、画素領域Ｆｒ2の図中右側に
、画素領域Ｆｒ3の略中央に赤の液状体が２回、都合４回着弾する。
【００７３】
次いで、第１のテーブル移動機構３０により、テーブル１０に搭載された基板Ｐを図７
中Ｙ方向に移動させながら、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを、図７中Ｘ
（＋）方向に、例えば、画素領域Ｆの幅の１／２だけ移動させ、ノズル５２ｒ4，５２ｒ8
，５２ｒ13から赤の液状体を画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に吐出する。その結果、図７
（ｃ）に示すように、画素領域Ｆｒ1の略中央に、画素領域Ｆｒ2の図中左側に、画素領域
Ｆｒ3の図中右側に赤の液状体が２回、都合６回着弾する。
【００７４】
次いで、同じく第１のテーブル移動機構３０により、基板Ｐを図７中Ｙ方向に移動させ
ながら、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを図７中Ｘ（−）方向に、例えば
、画素領域Ｆの幅の１／２だけ移動させ、ノズル５２ｒ4，５２ｒ9，５２ｒ13から液状体
を画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に２回吐出する。その結果、図７（ｄ）に示すように、
画素領域Ｆｒ1の図中左側に、画素領域Ｆｒ2の図中右側に、画素領域Ｆｒ3の略中央に赤
の液状体が２回、都合８回着弾する。
【００７５】
すなわち、第１のテーブル移動機構３０により、基板Ｐを図７中Ｙ方向に移動させなが
ら、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを、図７中Ｘ方向に画素領域Ｆの幅の
１／２だけ往復移動させ、ノズル５２ｒiから液状体を画素領域Ｆｒjに２回ずつ吐出する
ことによって、画素領域Ｆｒjの副走査方向の異なる位置に液状体を吐出することができ
る。これは、緑および青の液状体が吐出される他の画素領域Ｆｇ，Ｆｂにおいても同様で
ある。
【００７６】
なお、本実施例では、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを図７中Ｘ方向に
微小移動させる場合について説明したが、これに限定されない。第２のテーブル移動機構
４０により、基板Ｐを図７中Ｘ方向に微小移動させてもよい。また、キャリッジ移動機構
２０によりノズル列５２ａを図７中Ｘ方向に微小移動させながら、第２のテーブル移動機
構４０により、基板Ｐを図７中Ｘ方向に微小移動させてもよい。
【００７７】
また、本実施例では、画素領域Ｆの幅の１／２だけＸ方向へ移動させる場合を例にとり
説明したがこれに限定されない。ノズル５２の配列ピッチ、画素領域ＦのＸ方向の配列ピ
ッチおよび画素領域Ｆの幅によって、適宜調整可能である。なお、画素領域Ｆに着弾した
液滴すなわち液状体が隣接する画素領域Ｆに流入することを防止するため、Ｘ方向への走
査幅は、画素領域ＦのＸ方向の幅の１／２以下にすることが望ましい。
【００７８】
また、本実施例では、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａをＸ方向に移動さ
せ、その都度ノズル５２ｒiから液状体を画素領域Ｆｒjに２回ずつ吐出する場合を例にと
り説明したがこれに限定しない。ノズル５２ｒiから画素領域Ｆｒjに液状体が吐出される
周期の整数倍であればよい。また、微小移動後における吐出回数は、それぞれ同一回数で
なくてもよい。画素領域Ｆ内に吐出される液状体の配置を考慮して、それぞれ異なった回
数であってもよい。
【００７９】
以下、本第２実施例の効果を記載する。
（１）この液状体の吐出方法は、所定のピッチで列状に配置されているノズル５２から
、ノズル５２の配列方向（副走査方向）の幅が狭い画素領域Ｆに液状体が吐出される場合
、すなわち画素領域Ｆの副走査方向の配置間隔とノズル５２の副走査方向の配置間隔が合
致しない場合でも、主走査方向の吐出工程において、画素領域Ｆの副走査方向の異なる位
置に複数回ずつ液状体を吐出することができる。すなわち、画素領域Ｆ内にいわゆる蛇行
状態に液状体を吐出することができる。そのため、画素領域Ｆ内の片寄った位置に液状体
が吐出され、画素領域Ｆ内に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを防止することができ
る。その結果、画素領域Ｆに形成される膜厚の不均一を低減させることができる。
【００８０】
（２）この液状体の吐出方法は、主走査方向の吐出工程において、画素領域Ｆの副走査
方向の異なる位置に複数回ずつ液状体を吐出することができる。そのため、画素領域Ｆの
副走査方向の異なる位置に１回ずつ液状体を吐出する場合と比較して、主走査方向の液状
体の吐出時間を短縮することができる。
【００８１】
（第３実施例）
次に、第３実施例について、図８を参照して説明する。図８は、第３実施例にかかる液
状体の吐出方法の流れを示す図である。なお、この第３実施例においては、上記第１実施
例および第２実施例と同じ構成部材および同じ工程についてはその符号を等しくし、その
詳細な説明を省略する。
【００８２】
図８（ａ）に示すように、第３実施例にかかる液状体の吐出方法は、基板Ｐが、図１に
示す液滴吐出装置１００のテーブル１０にセットされることによって、一定のピッチで列
状に配置されているノズル５２ｒiは、赤の液状体が吐出される画素領域Ｆｒjに対向する
。第１実施例と同様にノズル５２ｒiの位置が制約され、ノズル５２ｒ4が画素領域Ｆｒ1
の略中央に、ノズル５２ｒ8が画素領域Ｆｒ2の図中左側に、ノズル５２ｒ13が画素領域Ｆ
ｒ3の図中右側に位置する。
【００８３】
ここで、液滴吐出ヘッド５０から液状体を吐出する。第１のテーブル移動機構３０によ
り、テーブル１０に搭載された基板Ｐを図８中Ｙ方向に移動させながら、各液滴吐出ヘッ
ド５０のノズル５２ｒ4，５２ｒ8，５２ｒ13から画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に赤の液
状体を、画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3の主走査方向の幅Ｌの１／２、すなわちＬ／２の
範囲に連続して吐出する。その結果、図８（ａ）に示すように、この吐出が行われた段階
では、画素領域Ｆｒ1の略中央に、画素領域Ｆｒ2の図中左側に、画素領域Ｆｒ3の図中右
側に赤の液状体が画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3のＬ／２の範囲に連続して着弾する。
【００８４】
次いで、同じく第１のテーブル移動機構３０により、基板Ｐを図８中Ｙ方向に移動させ
ながら、キャリッジ移動機構２０によりキャリッジ１５すなわちノズル列５２ａを、図８
中Ｘ（−）方向に、例えば、画素領域Ｆの幅の１／２だけ移動させる。そして、ノズル５
２ｒ4，５２ｒ9，５２ｒ13から赤の液状体を、残りの画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2，Ｆｒ3に連
続して吐出する。その結果、図８（ｂ）に示すように、画素領域Ｆｒ1の図中左側に、画
素領域Ｆｒ2の図中右側に、画素領域Ｆｒ3の略中央に赤の液状体が画素領域Ｆｒ1，Ｆｒ2
，Ｆｒ3のＬ／２の範囲に連続して着弾する。
【００８５】
すなわち、第１のテーブル移動機構３０により、基板Ｐを図８中Ｙ方向に移動させなが
ら、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを、図８中Ｘ方向に画素領域Ｆの幅の
１／２だけ往復移動させ、ノズル５２ｒiから液状体を画素領域Ｆｒjの主走査方向の幅Ｌ
の１／２の範囲ずつ２回に分けて吐出する。そのことによって、画素領域Ｆｒjの副走査
方向の異なる位置に液状体を吐出することができる。これは、緑および青の液状体が吐出
される他の画素領域Ｆｇ，Ｆｂにおいても同様である。
【００８６】
本実施例では、第１のテーブル移動機構３０により基板ＰをＹ方向に移動させ、ノズル
５２ｒiから液状体を画素領域Ｆｒjの主走査方向のＬ／２の範囲に吐出する場合を例にと
り説明したがこれに限定しない。第１のテーブル移動機構３０により基板ＰをＹ方向に移
動させノズル５２ｒiから液状体が連続的に吐出する範囲は、画素領域Ｆｒjの主走査方向
の幅Ｌの１／３の範囲であってもよいし、１／４の範囲であってもよい。画素領域Ｆｒj
の主走査方向の幅Ｌをｎ分割（ｎは自然数）した範囲であればよい。
【００８７】
以下、本第３実施例の効果を記載する。
（１）この液状体の吐出方法は、画素領域Ｆの副走査方向の配置間隔とノズル５２の副
走査方向の配置間隔が合致しない場合でも、主走査方向の吐出工程において、画素領域Ｆ
の副走査方向の異なる位置に、主走査方向の幅Ｌの１／２の範囲ずつ液状体を吐出するこ
とができる。そのため、画素領域Ｆ内の片寄った位置に液状体が吐出され、画素領域Ｆ内
に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを防止することができる。その結果、画素領域Ｆ
に形成される膜厚の不均一を低減させることができる。
【００８８】
（２）この液状体の吐出方法は、主走査方向の吐出工程において、画素領域Ｆの副走査
方向の異なる位置に２回に分けて液状体を吐出することができる。そのため、画素領域Ｆ
の副走査方向の異なる位置に１回もしくは数回ずつ液状体を吐出する場合と比較して、主
走査方向の液状体の吐出時間を短縮することができる。
【００８９】
（第４実施例）
次に、第４実施例を図９および図１０を参照して説明する。図９は、第４実施例にかか
る基板上の被吐出領域の配置を示す図である。図１０は、第４実施例にかかる液状体の吐
出方法の流れを示す図である。なお、この第４実施例においては、前記第１〜３実施例と
同じ構成部材および同じ工程についてはその符号を等しくし、その詳細な説明を省略する
。
【００９０】
図９（ａ）に示すように、第４実施例は、１枚の基板Ｐから異なったサイズのカラーフ
ィルタを生産する場合、すなわち、１枚の基板Ｐに、カラーフィルタＣ１と、それよりも
平面的なサイズが小さいカラーフィルタＣ２とを多面取りする場合である。カラーフィル
タＣ１は、Ｘ方向とＹ方向とにおいて所定の間隔を置いて格子状に、例えば、４つ配置さ
れている。基板Ｐの残りの空きスペースには、カラーフィルタＣ２がＸ方向に間隔を置い
て、例えば、６つ配置されている。図９（ｂ）に示すように、カラーフィルタＣ１は、画
素領域Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂから構成され、カラーフィルタＣ２は、画素領域Ｆｒ’，Ｆｇ’
，Ｆｂ’から構成されている。本第３実施例では、画素領域Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂと画素領域
Ｆｒ’，Ｆｇ’，Ｆｂ’とは、それぞれ略直交するように基板Ｐに配置されている。
【００９１】
前述の液滴吐出装置１００に、このような基板Ｐをセットすると、画素領域Ｆｒ，Ｆｇ
，Ｆｂと画素領域Ｆｒ’，Ｆｇ’，Ｆｂ’とはそれぞれ直交しているため、図１０（ａ）
，（ｃ）に示すように、画素領域Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂは、長辺がノズル列５２ａと平行にな
り、画素領域Ｆｒ’，Ｆｇ’，Ｆｂ’は、長辺がノズル列５２ａと直交する。すなわち、
画素領域Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂは、画素領域Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂに液状体を吐出できるノズル５
２が複数配置される。一方、画素領域Ｆｒ’，Ｆｇ’，Ｆｂ’は、液状体が吐出される領
域の幅が、ノズル５２の配列方向において狭くなり、画素領域Ｆｒ’，Ｆｇ’，Ｆｂ’に
液状体を吐出できるノズル５２の位置が制約されてしまう。すなわち、液滴吐出ヘッド５
０を用いて主走査を行う場合、画素領域Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂに対して配列方向が直交する画
素領域Ｆｒ’，Ｆｇ’，Ｆｂ’に掛かるノズル５２の数は、画素領域Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂに
比べて極めて少ない。
【００９２】
第４実施例における液状体の吐出方法は、カラーフィルタＣ１に対して液状体を吐出す
る場合は、第１のテーブル移動機構３０により、テーブル１０に搭載された基板Ｐを図１
０（ａ）中Ｙ方向に移動させながら、各ノズル５２から赤、緑および青のいずれかの液状
体を画素領域Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂに一定の周期で吐出する。その結果、図１０（ｂ）に示す
ように、画素領域Ｆｒに対する吐出が行われた段階では、画素領域Ｆｒの複数の位置に赤
の液状体が連続して吐出される。なお、画素領域Ｆｇ，Ｆｂにおいても同様である。
【００９３】
カラーフィルタＣ２に対して液状体を吐出する場合は、前述の第１〜３実施例の場合と
同様に、第１のテーブル移動機構３０により、テーブル１０に搭載された基板Ｐを図１０
中Ｙ方向に移動させながら、キャリッジ移動機構２０によりノズル列５２ａを図１０中Ｘ
（＋）方向およびＸ（−）方向に、例えば、画素領域Ｆの幅の１／２だけ移動させ、ノズ
ル５２ｒから液状体を画素領域Ｆｒ’に適宜吐出する。その結果、図１０（ｄ）に示すよ
うに、画素領域Ｆｒ’のＸ方向の異なる位置に赤の液状体をいわゆるジグザグ状に吐出す
ることができる。なお、画素領域Ｆｇ’，Ｆｂ’においても同様である。
【００９４】
なお、本第４実施例では、１枚の基板Ｐから、サイズの異なるカラーフィルタＣ１とカ
ラーフィルタＣ２とを多面取りする場合を例にとり説明したがこれに限定されない。カラ
ーフィルタＣ１とカラーフィルタＣ２とは同一サイズであってもよい。さらに、画素領域
Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂと画素領域Ｆｒ’，Ｆｇ’，Ｆｂ’とは同一サイズであってもよい。ま
た、本第３実施例では、カラーフィルタＣ１とカラーフィルタＣ２との２種類のカラーフ
ィルタを多面取りする場合を例にとり説明したがこれに限定されない。３種類以上のサイ
ズの異なるカラーフィルタであってもよい。
【００９５】
以下、本第４実施例の効果を記載する。
（１）このような液状体の吐出方法によれば、互いに直交するように画素領域Ｆが配置
された基板Ｐに対しても、ノズル５２の配列方向（副走査方向）の幅が狭い画素領域Ｆｒ
’，Ｆｇ’，Ｆｂ’の副走査方向の異なる位置に複数回ずつ液状体を吐出することができ
る。そのため、画素領域Ｆｒ’内の片寄った位置に液状体が吐出され、画素領域Ｆｒ，Ｆ
ｇ，Ｆｂと同様に液状体の吐出量の片寄りが生ずることを防止することができる。その結
果、画素領域Ｆｒ，Ｆｇ，Ｆｂおよび画素領域Ｆｒ’，Ｆｇ’，Ｆｂ’に形成される膜厚
のばらつきを低減させることができる。従って、１枚の基板Ｐから、異なったサイズのカ
ラーフィルタＣ１とカラーフィルタＣ２とを、膜厚のばらつきを低減させつつ多面取りす
ることができ、高い生産性で高品質のカラーフィルタＣ１，Ｃ２を製造することができる
。
【００９６】
（カラーフィルタの製造方法）
次に、上記液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法について図１１〜図
１３を参照して説明する。図１１は液晶表示装置の構造を示す分解斜視図、図１２はカラ
ーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１３（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの
製造工程を示す概略断面図である。
【００９７】
まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の一例である液晶表示装置について説明す
る。図１１に示すように、液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）透
過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備
えている。液晶表示パネル５２０は、着色層を有するカラーフィルタ５０５を具備した対
向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を
有する素子基板５０８と、両基板５０１，５０８によって挟持された液晶（図示省略）と
を備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる両基板５０１，５０８の表面
には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。
【００９８】
対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に複数の画素領
域Ｆをマトリクス状に区画するバンクとしての隔壁部５０４と、区画された複数の画素領
域ＦにＲＧＢ３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを備えている。隔壁部５０４
は、Ｃｒ等の遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ば
れる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化
合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、隔壁部
５０４と隔壁部５０４によって区画された着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う
平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成
されたＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等の透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えて
いる。カラーフィルタ５０５は後述する製造方法を用いて製造されている。
【００９９】
素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜
５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して
形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを備えている。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、
画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を
囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。
【０１００】
照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源
からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射
板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【０１０１】
なお、液晶を挟む対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、液晶の分子を一定の方
向に配列させるための配向膜がそれぞれ形成されているが、図示省略した。また、上下偏
光板５１４，５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルム等の光
学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル５２０は、アクティブ
素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin  Film  Diode）素子を有したものでもよい
。さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタ５０５を備えるものであれば、画素
を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【０１０２】
図１２に示すように、本実施形態のカラーフィルタ５０５の製造方法は、対向基板５０
１の表面にバンクを形成する工程（ステップＳ１）と、バンクによって区画された画素領
域Ｆを表面処理する工程（ステップＳ２）とを備えている。また、表面処理された画素領
域Ｆに着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を吐出する工程（ステップＳ３）と、
吐出された液状体を乾燥してカラーフィルタ５０５を成膜する工程（ステップＳ４）とを
備えている。さらに隔壁部５０４とカラーフィルタ５０５とを覆うようにＯＣ層５０６を
形成する工程（ステップＳ５）と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向
電極５０７を形成する工程（ステップＳ６）とを備えている。
【０１０３】
図１２のステップＳ１は、バンク形成工程である。ステップＳ１では、図１３（ａ）に
示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形
成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、ある
いはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方
法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜
する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば
、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開
口部５０２ａに対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッ
チング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５
０２が形成される。
【０１０４】
次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料と
しては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、
遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バ
ンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピ
ンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして
、画素領域Ｆに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位
置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられ
る。これにより対向基板５０１上に複数の画素領域Ｆをマトリクス状に区画するバンクと
しての隔壁部５０４が形成される。そしてステップＳ２へ進む。
【０１０５】
図１２のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、Ｏ2を処理ガスと
するプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、画
素領域Ｆが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含
む）が撥液処理される。そしてステップＳ３へ進む。
【０１０６】
図１２のステップＳ３は、液状体吐出工程である。ステップＳ３では、図１３（ｂ）に
示すように、表面処理された各画素領域Ｆのそれぞれに、対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ
，８０Ｂを液滴Ｄとして吐出する。液状体８０ＲはＲ（赤色）の着色層形成材料を含むも
のであり、液状体８０ＧはＧ（緑色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０Ｂ
はＢ（青色）の着色層形成材料を含むものである。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、
上記液状体の吐出方法を用い、隣り合うように並べて配置される少なくとも２つの液滴吐
出ヘッド５０において、それぞれの液滴吐出ヘッド５０に配列される複数のノズル５２の
うち、それぞれ他方の液滴吐出ヘッド５０側の端部に位置する複数のノズル５２に対して
、ノズル５２毎に異なった駆動信号を供給して、ノズル５２から吐出される液状体の吐出
量を調整して、同一色の画素領域Ｆに対して対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐
出する。このような主走査もしくは副操作を必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂが対
応する画素領域Ｆに付与されるまで繰り返す。これにより、画素領域Ｆ毎に、ノズル列５
２ａの両端部に位置するノズル５２の吐出特性に起因する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂ
の吐出量の片寄りが低減される。吐出された液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、画素領域
Ｆに濡れ拡がり、表面張力によって盛り上がる。そしてステップＳ４へ進む。
【０１０７】
図１２のステップＳ４は、液状体乾燥・成膜工程である。ステップＳ４では、図１３（
ｃ）に示すように、吐出された液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを一括乾燥し、溶剤成分を
除去して着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分
を均質に乾燥可能な減圧乾燥等の方法が望ましい。そしてステップＳ５へ進む。
【０１０８】
図１２のステップＳ５は、ＯＣ層形成工程である。ステップＳ５では、図１３（ｄ）に
示すように、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂと上層バンク５０３とを覆うようにＯ
Ｃ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用い
ることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷等の方法が挙げら
れる。ＯＣ層５０６は、カラーフィルタ５０５が形成された対向基板５０１の表面の凹凸
を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられて
いる。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳ
ｉＯ2等の薄膜を形成してもよい。そしてステップＳ６へ進む。
【０１０９】
図１２のステップＳ６は、対向電極形成工程である。ステップＳ６では、図１３（ｅ）
に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯ等の透明電極材料を真空中で成膜して
、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。
【０１１０】
上記カラーフィルタの製造方法の効果を記載する。
（１）このようにして出来上がったカラーフィルタ５０５は、吐出領域としての画素領
域Ｆに液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして、その吐出量の片寄りが低減される
ように吐出されている。従って、吐出量の片寄りに起因する膜厚のばらつきが低減された
カラーフィルタ５０５を提供することができる。また、カラーフィルタ５０５の多面取り
も実現でき生産性の向上に寄与できる。この対向基板５０１と素子基板５０８とを接着剤
を用いて所定の位置で接着し、対向基板５０１と素子基板５０８との隙間に液晶を充填す
れば、見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置５００を製造することができる。
【０１１１】
（有機ＥＬ素子の製造方法）
次に、上記液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ素子の製造方法について図１４および
図１５を参照して説明する。図１４は有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図、図
１５（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。
【０１１２】
まず、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子を有する電気光学装置の一例である有
機ＥＬ表示装置について簡単に説明する。
図１４に示すように、有機ＥＬ表示装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６
０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基
板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２
を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子
部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機ＥＬ発光層としての
３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの画素領域Ｆに形成され、ストラ
イプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに
対応する３つの画素領域Ｆを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６
０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部
６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。
【０１１３】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０
１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられてい
る。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入し
た水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化する
ことを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略してもよい。
【０１１４】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の画素領域Ｆを有するものであって、複
数の画素領域Ｆを区画する隔壁部６１８と、複数の画素領域Ｆに形成された電極６１３と
、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の画素領
域Ｆ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１
７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。隔壁部６１８は、下層バンク６
１８ａと画素領域Ｆを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１
８ａは、画素領域Ｆの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ
，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ2
等の無機絶縁材料により形成されている。
【０１１５】
素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコ
ン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコ
ンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース
領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されてい
る。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さら
に下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、
ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形
成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１
ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチ
ャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａお
よび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイ
ン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されて
いる。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等からなる
透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方の
コンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタ
クトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０
２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。
なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成され
ているが、図１４ではこれらの図示を省略している。
【０１１６】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔
注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）
と、上層バンク６１８ｂと発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えてい
る。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構
成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で
構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。
【０１１７】
有機ＥＬ表示装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソー
ス領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号に
よりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線
の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６
１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領
域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送
層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流
れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置６００は、このような発光素子部６０３
の発光メカニズムにより、所望の文字や画像等を表示することができる。また、有機ＥＬ
表示装置６００は、発光層Ｌｕが上記の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、
各ノズル列５２ａの吐出特性に起因する発光ムラ、輝度ムラ等の表示不具合の少ない高い
表示品質を有している。
【０１１８】
次に有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１５を参照して説明
する。なお、図１５（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子
部６０２は、図示を省略している。
【０１１９】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の画素領域Ｆに対
応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク
６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に画素領域Ｆを区画するように
上層バンク６１８ｂを形成する隔壁部形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂ
で区画された画素領域Ｆの表面処理を行う工程と、表面処理された画素領域Ｆに正孔注入
／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程
と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えてい
る。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された画素領域Ｆの表面処理を行う工程と、
表面処理された画素領域Ｆに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、
吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する工程とを備えている。さらに、
上層バンク６１８ｂと発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。
各液状体の画素領域Ｆへの付与は、上記の液状体の吐出方法を用いて行う。
【０１２０】
電極（陽極）形成工程では、図１５（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形
成された素子基板６０１の画素領域Ｆに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法
としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でス
パッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必
要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そして隔
壁部形成工程へ進む。
【０１２１】
隔壁部形成工程では、図１５（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３
の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては
、無機材料である絶縁性のＳｉＯ2（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形
成方法としては、例えば、後に形成される発光層Ｌｕに対応して、各電極６１３の表面を
レジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置
に投入し、ＳｉＯ2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着すること
により下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後
に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ2により形成されているため、その膜
厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有していおり、後に正孔注入／輸送層６１７
ａおよび発光層Ｌｕが積層されても発光を阻害することはない。
【０１２２】
続いて、各画素領域Ｆを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク
６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含
む３種の液状体９５Ｒ，９５Ｇ，９５Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが
望ましく、さらに、フッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること
、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミド等といった有機材料が好まし
い。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された
素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布
し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、画素領域Ｆに対
応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露
光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより
下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部６１８が形成される。そして
、表面処理工程へ進む。
【０１２３】
画素領域Ｆを表面処理する工程では、隔壁部６１８が形成された素子基板６０１の表面
を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下
層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化
させて親液処理する。次にＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。
これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系
ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【０１２４】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１５（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材
料を含む液状体９０を画素領域Ｆに付与する。液状体９０を付与する方法としては、上述
の液滴吐出装置１００を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴
Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は画素領域Ｆの
面積に応じて必要量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【０１２５】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱すること
により、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａに
より区画された領域に図１５（ｄ）に示す正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実
施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene  Dioxy  Thiop
hene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各画素領域Ｆに同
一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対
応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を画素領域Ｆごとに変えてもよい。そして次の表
面処理工程へ進む。
【０１２６】
次の表面処理工程では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６
１７ａを形成した場合、その表面が、３種の液状体９５Ｒ，９５Ｇ，９５Ｂに対して撥液
性を有するので、少なくとも画素領域Ｆの領域内を再び親液性を有するように表面処理を
行う。表面処理の方法としては、３種の液状体９５Ｒ，９５Ｇ，９５Ｂに用いられる溶媒
を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が
挙げられる。そして液状体の吐出工程へ進む。
【０１２７】
液状体の吐出工程では、図１５（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１００を用いて複数
の液滴吐出ヘッド５０から複数の画素領域Ｆに発光層形成材料を含む３種の液状体９５Ｒ
，９５Ｇ，９５Ｂを上述の液状体の吐出方法により付与する。液状体９５Ｒは発光層６１
７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体９５Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する
材料を含み、液状体９５Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾
した各液状体９５Ｒ，９５Ｇ，９５Ｂは、画素領域Ｆに濡れ拡がって断面形状が円弧状に
盛り上がる。これらの液状体９５Ｒ，９５Ｇ，９５Ｂを付与する方法としては、上記の液
状体の吐出方法を用いた。そして、乾燥・成膜工程へ進む。
【０１２８】
乾燥・成膜工程では、図１５（ｅ）に示すように、吐出された各液状体９５Ｒ，９５Ｇ
，９５Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各画素領域Ｆの正孔注入／輸送層６１７ａに各
発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体９５Ｒ，９
５Ｇ，９５Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度を略一定
とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【０１２９】
陰極形成工程では、図１５（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，
６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。
陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わ
せて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数
が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成
するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよ
い。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方
法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１
７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１３０】
このようにしてでき上がった素子基板６０１は、必要量の各液状体９５Ｒ，９５Ｇ，９
５Ｂが対応する画素領域Ｆに吐出ムラなく付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が略一定とな
った各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【０１３１】
上記有機ＥＬ素子の製造方法の効果を記載する。
（１）上記発光素子部６０３の製造方法において、液状体９５Ｒ，９５Ｇ，９５Ｂの吐
出工程では、上記の液状体の吐出方法を用いて素子基板６０１の画素領域Ｆに、各液状体
９５Ｒ，９５Ｇ，９５Ｂが液滴Ｄとして、その吐出量の片寄りが低減されるように吐出さ
れている。そのため、吐出量の片寄りに起因する膜厚のばらつきが低減された各発光層６
１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。また、素子基板６０１の多面取りも実現でき生
産性の向上に寄与できる。
【０１３２】
以上、本発明について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱し
ない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下
の通りである。
【０１３３】
（変形例１）なお、上記実施形態で説明した画素領域Ｆの形状、配置については、これ
に限定されない。図１６は、カラーフィルタ等における画素領域Ｆの配置を示す図である
。上記実施形態では、図１６（ａ）に示すようなストライプ方式の画素領域Ｆｒ，Ｆｇ，
Ｆｂの配置としたが、例えば、図１６（ｂ）に示すモザイク方式や、図１６（ｃ）に示し
すデルタ方式の配置においても、上記液状体の吐出方法を適用することができる。また、
画素領域Ｆは赤、緑、青の３色に限定されず、それ以外の色を加えた多色でもよい。
【０１３４】
（変形例２）上記有機ＥＬ表示装置６００において、有機ＥＬ素子としての発光素子部
６０３の構成は、これに限定されない。例えば、画素領域Ｆには、赤色や白色等の単色の
発光が得られる発光層Ｌｕを形成してもよい。これによれば、有機ＥＬ表示装置６００を
照明装置として用いることもできる。また、白色発光させた場合には、封止基板６２０側
にカラーフィルタを配置することによって、フルカラー表示が可能なトップエミッション
型の有機ＥＬ表示装置６００を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３５】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図。
【図３】キャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】液滴吐出ヘッドと基板上の画素領域との配置を示す図。
【図６】第１実施例にかかる液状体の吐出方法の流れを示す図。
【図７】第２実施例にかかる液状体の吐出方法の流れを示す図。
【図８】第３実施例にかかる液状体の吐出方法の流れを示す図。
【図９】第４実施例にかかる基板上の被吐出領域の配置を示す図。
【図１０】第４実施例にかかる液状体の吐出方法の流れを示す図。
【図１１】液晶表示装置の構造を示す分解斜視図。
【図１２】カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート。
【図１３】カラーフィルタの製造工程を示す概略断面図。
【図１４】有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１５】有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１６】カラーフィルタにおける画素領域の配置を示す図。
【符号の説明】
【０１３６】
１５…キャリッジ、２０…キャリッジ移動機構、３０…第１のテーブル移動機構、４０
…第２のテーブル移動機構、５０…液滴吐出ヘッド、５２，５２ｒ，５２ｒi…ノズル、
５２ａ…ノズル列、８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂ，９０，９５Ｒ，９５Ｇ，９５Ｂ…液状体、
１００…液滴吐出装置、５００…液晶表示装置、５０５…カラーフィルタ、５２０…液晶
表示パネル、６００…有機ＥＬ表示装置、Ｐ…基板、Ｅ…被吐出領域、Ｆ，Ｆｒ，Ｆｇ，
Ｆｂ，Ｆｒj…画素領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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