(57)【要約】【課題】回転軸の環境温度を下げ、または回転軸に作用する応力を下げ、長期間安定した稼働を行うことができるターボ真空ポンプを提供する。【解決手段】軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと、回転翼８０、２４と、該回転翼に対向するように配置された固定翼７１、２８とを有し、吸気部より吸い込まれた気体を排気する排気部５０と、２つの軸受３１、３３に回転可能に支持され、２つの軸受間の外側において回転翼を貫通し、回転翼を回転させる回転軸２１とを備え、回転軸には、第１の中空部分２２が軸方向に形成され、第１の中空部分に挿入され、回転翼と、回転軸の２つの軸受の少なくとも一方の少なくとも一部とを貫通するよう配置された第１の挿入軸３９であって、回転軸の材料より高い熱伝導性を有する材料からなる第１の挿入軸をさらに備えるターボ真空ポンプとする。【選択図】図１
2009203906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に気体を吸い込む吸気部と；
回転翼と、該回転翼に対向するように配置された固定翼とを有し、前記吸気部より吸い込まれた気体を排気する排気部と；
２つの軸受に回転可能に支持され、前記２つの軸受間の外側において前記回転翼を貫通し、前記回転翼を回転させる回転軸とを備え；
前記回転軸には、第１の中空部分が軸方向に形成され；
前記第１の中空部分に挿入され、前記回転軸の材料と異なる材料からなる第１の挿入軸をさらに備える；
ターボ真空ポンプ。
【請求項２】
軸方向に気体を吸い込む吸気部と；
回転翼と、該回転翼に対向するように配置された固定翼とを有し、前記吸気部より吸い込まれた気体を排気する排気部と；
２つの軸受に回転可能に支持され、前記２つの軸受間の外側において前記回転翼を貫通し、前記回転翼を回転させる回転軸とを備え；
前記回転軸には、第１の中空部分が軸方向に形成され；
前記第１の中空部分に挿入され、前記回転翼と、前記回転軸の前記２つの軸受の少なくとも一方の少なくとも一部とを貫通するよう配置された第１の挿入軸であって、前記回転軸の材料より高い熱伝導性を有する材料からなる第１の挿入軸をさらに備える；
ターボ真空ポンプ。
【請求項３】
前記第１の挿入軸が、前記回転軸の材料より低い密度を有する材料からなる；
請求項２に記載のターボ真空ポンプ。
【請求項４】
前記第１の挿入軸が、第２の中空部分を有する；
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のターボ真空ポンプ。
【請求項５】
前記回転翼が複数であり、該複数の回転翼が、前記吸い込んだ気体を前記軸方向に排気する、前記回転軸の吸気部側端面に固定された少なくとも１段のタービン翼を含み；
前記第１の中空部分に挿入されるボスであって、前記ボスを介して前記タービン翼を前記回転軸に固定するボスを備える；
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のターボ真空ポンプ。
【請求項６】
軸方向に気体を吸い込む吸気部と；
回転翼と、該回転翼に対向するように配置された固定翼とを有し、前記吸気部より吸い込まれた気体を排気する排気部と；
２つの軸受により回転中に回転可能に支持され、前記２つの軸受間の外側において前記回転翼を固定し、前記回転翼を回転させる回転軸とを備え；
前記回転軸には、第１の中空部分が軸方向に形成され；
前記第１の中空部分に挿入され、前記回転軸の材料より高い密度の材料からなる第２の挿入軸をさらに備える；
ターボ真空ポンプ。
【請求項７】
前記第２の挿入軸の重心の軸方向位置が、前記回転翼から遠い方の前記軸受と、前記回転軸の吸気部側端面とは反対側の端面との間に配置された；
請求項６に記載のターボ真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体を排気する運動量移送式のターボ真空ポンプに関し、特に大ガス流量を排気する用途に適したターボ真空ポンプの回転軸の構造等に関する。
【背景技術】
【０００２】
図２０に示すように、従来のターボ真空ポンプ２０１は、排気部２５０と、運動制御部２５１と、回転軸２２１と、排気部２５０と運動制御部２５１と回転軸２２１とを収納するケーシング２５３とを備える。回転軸２２１は鉛直方向上下に配置される。
【０００３】
ケーシング２５３は、上ハウジング２２３と、上ハウジング２２３の下方側に配置された下ハウジング２３７と、上ハウジング２２３と下ハウジング２３７との間に配置されたサブケーシング２４０を備える。上ハウジング２２３は、吸気ノズル２２３Ａを有し、サブケーシング２４０は、外周面に形成された排気ノズル２２３Ｂを有する。上ハウジング２２３は、排気部２５０と回転軸２２１の排気部２５０側の部分とを収納する。下ハウジング２３７は、運動制御部２５１と、回転軸２２１の運動制御部側部２２１Ｂとを収納する。吸気ノズル２２３Ａには吸気開口部２５５Ａが形成され、排気ノズル２２３Ｂには排気開口部２５５Ｂが形成されている。吸気ノズル２２３Ａは、ガスを吸気開口部２５５Ａから吸気し、排気ノズル２２３Ｂは、吸気されたガスを排気開口部２５５Ｂから排気する。
【０００４】
排気部２５０は、複数段(４段)からなる固定翼２２８と、複数段(５段)からなる回転翼としての遠心翼(遠心ドラッグ翼)２２４とを含んで構成される。固定翼２２８は、各遠心翼２２４の直後流側に配置されている。
【０００５】
回転軸２２１の上部の吸気部側端面２１５には、中空部２２２が軸方向に形成されている。運動制御部２５１は、上ラジアル磁気軸受２３１と、下ラジアル磁気軸受２３３と、アキシャル磁気軸受２３４とを、鉛直方向上方から下方にこの順序で含んで構成される。回転軸２２１の上ラジアル磁気軸受２３１から図中、上方に張り出している部分、すなわち回転軸２２１の上ラジアル磁気軸受２３１と下ラジアル磁気軸受２３３の間の部分に隣接する、図中、上方の部分がオーバーハング部である。
【０００６】
すなわち、ターボ真空ポンプ２０１は、回転体がオーバーハング構造であるため、回転体の固有振動数の低下や、オーバーハング部側の上ラジアル磁気軸受２３１の支持荷重の増加によるターボ真空ポンプの大型化を招いていた。この対策として、オーバーハング側の回転軸２２１に中空部２２２を設けて中空軸とし、固有振動数の低下を抑制しつつ、回転体のオーバーハング部の質量を軽くする対策が取られていた（特許文献１、図１）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３０７８５９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、ターボ真空ポンプの排気容量の増大等により回転翼を大きくしたりすると、上記のような構造のターボ真空ポンプであっても、回転軸のオーバーハング部の割合が大きくなり、また、排気容量の増大により、回転翼の発熱対策が必要となる。
【０００９】
回転翼は、一般に高比強度を有し、かつ加工性、表面処理性に優れたアルミニウム合金が用いられる。回転翼のアルミニウム合金は高速回転により遠心応力が運転中に常に作用するので、必然的にクリープ現象が起こる可能性がある。クリープ現象は、温度と相関関係を有するため、高温環境（１５０℃以上）下では、短期間に回転翼がクリープ変形を生じ、破壊を起こしてしまう場合がある。よって、長期間安定した稼働を行うためには、回転翼の環境温度を下げる必要、または回転翼に作用する応力を下げる必要がある。
【００１０】
本発明は上述の点に鑑みてなされたものであり、回転翼の環境温度を下げ、または回転翼に作用する応力を下げ、長期間安定した稼働を行うことができるターボ真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明の第１の態様に係るターボ真空ポンプ１は、例えば図１に示すように、軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと；回転翼８０、２４と、該回転翼８０、２４に対向するように配置された固定翼７１、２８とを有し、吸気部２３Ａより吸い込まれた気体を排気する排気部５０と；２つの軸受３１、３３に回転可能に支持され、２つの軸受３１、３３間の外側において回転翼８０、２４を貫通し、回転翼８０、２４を回転させる回転軸２１とを備え；回転軸２１には、第１の中空部分２２が軸方向に形成され；第１の中空部分２２に挿入され、回転軸２１の材料と異なる材料からなる第１の挿入軸３９をさらに備える。
【００１２】
このように構成すると、第１の中空部分に挿入され、回転軸の材料と異なる材料からなる第１の挿入軸を備えるので、回転軸が中実である場合より、異なった機械的性質を有する回転軸を備えるターボ真空ポンプとすることができる。異なった機械的性質とは、例えば、異なった熱伝導性であり、第１の挿入軸を回転軸の材料より高い熱伝導性を有する材料からなるものとすることにより、回転軸の軸方向の熱伝導性が向上することができる。また、異なった機械的性質とは、例えば、重量であり、第１の挿入軸を回転軸の材料より低い密度を有する材料からなるものとすることにより、剛性の低下をほとんど生じることなく、重量が軽減した回転軸とすることができる。
【００１３】
挿入軸は、二つの挿入軸（第１の挿入軸と第２の挿入軸）に分割され、互いに異なった機械的性質を有する材料からなるようにしてもよい。このようにすると、さらに異なった機械的性質を有する回転軸を備えるターボ真空ポンプとすることができる。
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明の第２の態様に係るターボ真空ポンプ１は、例えば図１に示すように、軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと；回転翼８０、２４と、該回転翼８０、２４に対向するように配置された固定翼７１、２８とを有し、吸気部２３Ａより吸い込まれた気体を排気する排気部５０と；２つの軸受３１、３３に回転可能に支持され、２つの軸受３１、３３間の外側において回転翼８０、２４を貫通し、回転翼８０、２４を回転させる回転軸２１とを備え；回転軸２１には、第１の中空部分２２が軸方向に形成され；第１の中空部分２２に挿入され、回転翼８０、２４と、回転軸２１の２つの軸受３１、３３の少なくとも一方の少なくとも一部とを貫通するよう配置された第１の挿入軸３９であって、回転軸２１の材料より高い熱伝導性を有する材料からなる第１の挿入軸３９をさらに備える。
【００１５】
このように構成すると、第１の挿入軸を備えるので、回転翼で発生した熱が、回転軸から第１の挿入軸に伝達されて第１の挿入軸を軸方向に通り、第１の挿入軸の、２つの軸受の少なくとも一方の少なくとも一部をカバーする部分にまで効率よく伝達され、当該部分からポンプ外に廃棄されるようにすることができるので、回転翼の環境温度を下げることができ、長期間安定した稼働を行うことができる。
【００１６】
本発明の第３の態様に係るターボ真空ポンプ１は、例えば図１に示すように、上記本発明の第２の態様に係るターボ真空ポンプにおいて、第１の挿入軸３９が、回転軸２１の材料より低い密度を有する材料からなる。
【００１７】
このように構成すると、第１の挿入軸３９が、回転軸２１の材料より低い密度を有する材料からなるので、回転軸、回転翼の動アンバランスにより生じるふれまわりを小さくし、ふれ回りによる軸受荷重を低減させることができ、またふれ回りによる回転軸、回転翼の応力を小さくすることができる。
【００１８】
本発明の第４の態様に係るターボ真空ポンプ１は、例えば図１２に示すように、上記本発明の第３の態様に係るターボ真空ポンプにおいて、第１の挿入軸３９Ａが、第２の中空部分２０を有する。
【００１９】
このように構成すると、第１の挿入軸が、第２の中空部分を有するので、第１の挿入軸が回転翼に生じた熱を軸方向に伝達する機能を維持しつつ、回転軸、回転翼、第１の挿入軸を含んで構成される回転体の重量を軽くすることができる。
【００２０】
本発明の第５の態様に係るターボ真空ポンプ１は、例えば図１３に示すように、上記本発明の第１の態様乃至第４の態様のいずれか１の態様に係るターボ真空ポンプにおいて、回転翼７０、２４が複数であり、該複数の回転翼７０、２４が、前記吸い込んだ気体を前記軸方向に排気する、回転軸２１の吸気部側端面１５に固定された少なくとも１段のタービン翼７０を含み；第１の中空部分２２に挿入されるボス１９であって、ボス１９を介してタービン翼７０を回転軸２１に固定するボス１９を備える。
【００２１】
このように構成すると、ボスを備えるので、少なくとも１段のタービン翼を簡易に回転軸の吸気部側端面に固定することができる。
【００２２】
本発明の第６の態様に係るターボ真空ポンプ１は、例えば図１に示すように、軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと；回転翼８０、２４と、該回転翼８０、２４に対向するように配置された固定翼７１、２８とを有し、吸気部２３Ａより吸い込まれた気体を排気する排気部５０と；２つの軸受３１、３３により回転中に回転可能に支持され、２つの軸受間３１、３３の外側において回転翼８０、２４を固定し、回転翼８０、２４を回転させる回転軸２１とを備え；回転軸２１には、第１の中空部分２２が軸方向に形成され；第１の中空部分２２に挿入され、回転軸２１の材料より高い密度の材料からなる第２の挿入軸５２をさらに備える。
【００２３】
このように構成すると、第１の中空部分に挿入され、回転軸の材料より高い密度の材料からなる第２の挿入軸をさらに備えるので、回転軸、回転翼、第２の挿入軸を含んで構成される回転体の重心を軸受の方向に近づけることができるので、回転体の動アンバランスにより生じるふれまわりを小さくし、ふれまわりによる軸受荷重を小さくすることができ、またふれ回りにより回転軸、回転翼に生じる応力を小さくすることができ、長期間安定した稼働を行うことができる。
【００２４】
上記目的を達成するため、本発明の第７の態様に係るターボ真空ポンプ１は、例えば図１、図３に示すように、上記本発明の第６の態様に係るターボ真空ポンプにおいて、第２の挿入軸５２の重心の軸方向位置が、回転翼８０、２４から遠い方の軸受３３と、回転軸２１の吸気部側端面１５とは反対側の端面１７との間に配置される。
【００２５】
このように構成すると、回転体の重心を軸受に近づけ自重により生じる軸受荷重を低減することができ、また回転体の動アンバランスにより生じるふれ回りを小さくし、ふれ回りにより回転軸、回転翼に生じる応力を小さくすることができる。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本第１の発明に係るターボ真空ポンプによれば、第１の中空部分に挿入され、回転軸の材料と異なる材料からなる第１の挿入軸を備えるので、回転軸が中実である場合より、異なった機械的性質を有する回転軸を備えるターボ真空ポンプとすることができる。
【００２７】
以上説明したように、本第２の発明に係るターボ真空ポンプによれば、第１の挿入軸を備えるので、回転翼で発生した熱が、回転軸から第１の挿入軸に伝達されて第１の挿入軸を軸方向に通り、第１の挿入軸の、２つの軸受の少なくとも一方の少なくとも一部をカバーする部分にまで効率よく伝達され、当該部分からポンプ外に廃棄されるようにすることができるので、回転翼の環境温度を下げることができ、長期間安定した稼働を行うことができる。
【００２８】
本第３の発明に係るターボ真空ポンプによれば、第１の中空部分に挿入され、回転軸の材料より高い密度の材料からなる第２の挿入軸をさらに備えるので、回転軸、回転翼、第２の挿入軸を含んで構成される回転体の重心を軸受の方向に近づけることができるので、回転体の動アンバランスにより生じるふれまわりを小さくすることができ、ふれまわりによる軸受荷重を小さくすることができ、またふれ回りにより回転軸、回転翼に生じる応力を小さくすることができ、長期間安定した稼働を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図において互いに同一あるいは相当する部材には同一符号を付し、重複した説明は省略する。
【００３０】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の構成を示す正面断面図、図２は、図１のターボ真空ポンプ１の後述のタービン翼部７３の正面断面図、図３は、図１のターボ真空ポンプ１の後述の回転軸２１の吸気部側端面１５周辺の部分断面図である。以下、図１〜図３を参照して説明する。ターボ真空ポンプ１(以下、適宜ポンプ１という)は、縦型であり、排気部５０と、運動制御部５１と、中空軸構造である回転軸２１と、排気部５０と運動制御部５１と回転軸２１とを収納するケーシング５３とを備える。回転軸２１は鉛直方向上下に配置され、排気部５０側の排気部側部２１Ａと、運動制御部５１側の運動制御部側部２１Ｂと、排気部側部２１Ａと運動制御部側部２１Ｂの間の円板形状の大径部５４とを有する。
【００３１】
ケーシング５３は、上ハウジング(ポンプステータ)２３と、上ハウジング２３の鉛直方向（ポンプ１の軸方向）下方側に配置された下ハウジング３７と、上ハウジング２３と下ハウジング３７との間に配置されたサブケーシング４０と、ポンプ１の最下部において下ハウジング３７に蓋をする略円盤状の底部ハウジング３７Ａを備える。上ハウジング２３は、最上部に形成された吸気部としての吸気ノズル２３Ａを有し、サブケーシング４０は、側面に形成された排気部としての排気ノズル２３Ｂを有する。上ハウジング２３は、排気部５０と回転軸２１の排気部５０側の排気部側部２１Ａとを収納する。吸気ノズル２３Ａには吸気開口部５５Ａが形成され、排気ノズル２３Ｂには排気開口部５５Ｂが形成されている。吸気ノズル２３Ａは、流体としてのガス(例えば、腐食性プロセスガス、または反応生成物を含むガス)を吸気開口部５５Ａから鉛直方向下方に吸気し、排気ノズル２３Ｂは排気開口部５５Ｂから、吸気されたガスを鉛直方向下方に排気する。
【００３２】
排気部５０は、複数段(８段)からなる固定翼７１、２８と、複数段(３段)からなる回転翼としての第１のタービン翼７０と、複数段（３段）からなる回転翼としての第２のタービン翼８０と、複数段(３段)からなる回転翼としての遠心翼(遠心ドラッグ翼)２４とを含んで構成される。第１のタービン翼７０、第２のタービン翼８０、及び遠心翼２４は、アルミ合金により作られている。第１のタービン翼７０は１段目（初段）から３段目まであり、タービン翼部７３を構成する。第２のタービン翼８０、及び遠心翼２４は、回転軸２１上に取り付けられている。固定翼７１は、６段からなり第１のタービン翼７０、及び第２のタービン翼８０の直後流側に配置され、固定翼２８は、２段からなり１段目及び２段目の遠心翼２４の直後流側に配置されている。第２のタービン翼８０の最終段の下流側で１段目の遠心翼２４（回転翼として７段目）の上流側には、隔壁としての遠心隔壁４３が配置され、３段目の第２のタービン翼８０（タービン翼として最終段の６段目）を出た気体は遠心隔壁４３の開口部４３Ａを通り開口部４３Ａから１段目の遠心翼２４に吸い込まれる。排気部５０は、遠心翼２４のいわゆるガスに対する遠心力による翼外方向への排気作用と、固定翼２８と固定翼２８との間のガスの粘性によるドラッグ作用とを兼ね備え、ガスを排気する。
【００３３】
第２のタービン翼８０の最終段の直後流側に配置された固定翼７１は、平面に形成された排気側面７９を排気側に有し、遠心隔壁４３は平面に形成された排気側面９８を吸気側に有し、排気側面７９と排気側面９８との間には、略中空円筒状の空間（流路損失緩和空間６９）が形成されている。この空間の外径は、第２のタービン翼８０の最終段の外径にほぼ等しく形成されている。
【００３４】
１段目の遠心翼２４は、第２のタービン翼８０の最終段から軸方向距離Ｌｘだけ離れて配置されており、遠心翼２４と第２のタービン翼８０の間には流路損失緩和空間６９が形成されている。この空間６９は、流体の流れが軸方向から径方向に移行する際の損失を緩和する目的で形成されている。第２のタービン翼８０の最終段（タービン翼としても最終段）の直後流側に配置された固定翼７１の排気側面７９と、遠心翼２４の１段目の後述の吸気側の前端面２６Ａ(図９(b))との間に軸方向距離Ｌｘが設けられている。第１のタービン翼７０の最終段（タービン翼として３段目）と第２のタービン翼８０の初段（タービン翼として４段目）との間には上記のような流路損失緩和空間は形成されていない。
【００３５】
排気部５０は、前述のように、３段の第１のタービン翼７０を有するタービン翼部７３を備える。タービン翼部７３のボス部７４には中空部１２が形成され、中空部１２の底部１０５には貫通孔５８が形成されている。中空部１２の内径は、貫通孔５８の内径より大きく形成されている。貫通孔５８の内径は、回転軸２１の外径より小さく形成されている。タービン翼部７３の下部の端面(反吸気側部端面)１１Ｂは、端面１１Ｂから突出する段付部１４が形成されている。貫通孔５８は、段付部１４をも貫通している。
【００３６】
回転軸２１には、回転軸２１を軸方向に貫通する中空部分２２が形成されている。中空部分２２の形状は円筒形をしており、中空部分２２の中心軸線は回転軸２１の中心軸線に一致している。中空部分２２には、第１の挿入軸３９と第２の挿入軸５２が挿入されている。第１の挿入軸３９の外径は中空部分２２の内径に等しく、第２の挿入軸５２の外径も中空部分２２の内径に等しい。第１の挿入軸３９の軸方向の長さと、第２の挿入軸５２の軸方向の長さと、段付部１４の突出する軸方向の長さとを足したものが、回転軸２１の長さに等しい。よって、中空部分２２は、第１の挿入軸３９、第２の挿入軸５２、段付部１４によって空間部を生じることなく、充填されている。中空部分２２の軸方向の長さは、回転軸２１の軸方向の長さに等しい。第１の挿入軸３９、第２の挿入軸５２は、絞まり嵌めやろう付け等によって、中空部分２２に挿入されている。絞まり嵌めやろう付け等としたのは、回転軸２１と第１の挿入軸３９、第２の挿入軸５２との密着性を高めるためである。特に回転軸２１からの熱伝導性を改善するために設置する第１の挿入軸３９は、ろう付け等による冶金的接合方法により回転軸２１に接合されるのが望ましい。段付部１４はしまり嵌めによって、中空部分２２に挿入されている。図中、上から段付部１４、第１の挿入軸３９、第２の挿入軸５２の順序で配置されている。
【００３７】
回転軸２１の中空部分２２の内周面２２Ａと第１の挿入軸３９の吸気部側端面５６によって、凹部１３が形成され、凹部１３の底部、すなわち吸気部側端面５６にはねじ穴１６が形成されている。吸気部側端面５６には、タービン翼部７３がネジ部材としての六角ボルト７８により固定して取り付けられ、回転軸２１の凹部１３にはタービン翼部７３の段付部１４が係合している。タービン翼部７３の端面１１Ｂは、回転軸２１の吸気部側端面１５に接触し、段付部１４の底面１４Ａは、第１の挿入軸３９の吸気部側端面５６に接触している。回転軸２１の吸気部側端面１５は、回転軸２１の回転翼側の端面でもある。段付部１４が凹部１３へ係合する構造により、タービン翼部７３の回転軸２１に対する同心出しが容易となり、タービン翼部７３の中心軸線を回転軸２１の中心軸線に一致させ、タービン翼部７３の回転軸２１の中心軸線に垂直な面からの傾きを生じることなく取り付けることができるので、高速回転中にアンバランスが変化することを防ぎ、高速回転時の安定性を得ることができる。六角ボルト７８は、貫通孔５８を貫通し、ねじ穴１６に挿入されている。中空部１２の内径は、六角ボルト７８の頭部の外径よりわずかに大きく形成し、六角ボルト７８の挿入、ねじ込みに適した値とする。
【００３８】
１段目の遠心翼２４は、回転軸２１の吸気部側端面１５から離れた位置に配置されている。図中、六角ボルト７８の本数は一本であるが、軸心から等距離に等配された複数本であってもよい。
【００３９】
円管状の円管リング４１が、回転軸２１の排気部５０側の排気部側部２１Ａに、焼き嵌め(締り嵌め)にて取り付けられている。円管リング４１の吸気部側端面４１Ａは、回転軸２１の吸気部側端面１５と面一となっている。第２のタービン翼８０の中心部には、嵌合孔８２（図７）が形成され、遠心翼２４の中心部には、嵌合孔２５（図９）が形成されている。円管リング４１が焼き嵌めにて取り付けられた回転軸２１が嵌合孔８２、嵌合孔２５を貫通し、第２のタービン翼８０及び遠心翼２４は、回転軸２１に嵌合により固定して取り付けられ、順々に積層されている。円管リング４１は、回転軸２１の径方向、第２のタービン翼８０と回転軸２１との間、遠心翼２４と回転軸２１との間に位置する。円管リング４１は、回転軸２１の軸方向に、２段の第２のタービン翼８０及び３段の遠心翼２４が取り付けられている箇所をカバーし、遠心翼２４が取り付けられていない大径部５４に対応する箇所から吸気部側端面１５に至る箇所をカバーする。円管リング４１の、第２のタービン翼８０の最終段と遠心翼２４の初段との間の流路損失緩和空間６９に対応する箇所には円管リング４１の径方向外側に軸スリーブ４２が取り付けられている。
【００４０】
円管リング４１は、回転軸２１の、第２のタービン翼８０及び遠心翼２４が貫通固定される部分に焼き嵌めされている。回転軸２１に円管リング４１を焼き嵌めることにより、円管リング４１を含む回転する軸の全体の剛性が上がっているので、当該回転する軸の延長が可能であり、最終段の第２のタービン翼８０と１段目の遠心翼２４との間の軸方向寸法（流路損失緩和空間６９の軸方向長さ）を十分に取ることができ、第２のタービン翼８０の排気性能を向上させることができる。
【００４１】
回転する軸を円管リング４１と回転軸２１に分けたことにより、円管リング４１の材質を回転軸２１のそれとは違う高ヤング率材料にすることも可能である。
【００４２】
下ハウジング３７は、運動制御部５１と、回転軸２１の運動制御部５１側の運動制御部側部２１Ｂとを収納する。運動制御部５１は、上保護ベアリング３５と、上ラジアル磁気軸受３１と、回転軸２１を回転駆動するモータ３２と、下ラジアル磁気軸受３３と、下保護ベアリング３６と、アキシャル磁気軸受３４とを、鉛直方向上方から下方にこの順序で含んで構成される。上ラジアル磁気軸受３１と、下ラジアル磁気軸受３３とは、回転軸２１を、回転軸２１の運動制御部側部２１Ｂにおいて回転自在に支持する。アキシャル磁気軸受３４は、図中下方向にかかる回転体の自重による力、図中上下にかかるスラスト力を支持する。回転体は、回転軸２１、円管リング４１、第１のタービン翼７０を有するタービン翼部７３、第２のタービン翼８０、遠心翼２４、第１の挿入軸３９及び第２の挿入軸５２を含んで構成される。なお、回転軸２１の排気部側部２１Ａは、回転軸２１のオーバーハング部となっている。なお、回転軸２１の中空部分２２は、上ラジアル磁気軸受３１と、下ラジアル磁気軸受３３とを貫通する。また、回転軸２１の反吸気部側端面１７には、スラスト盤１０３が植込ボルト１０４（図中、一部記載）によって取り付けられている。アキシャル磁気軸受３４は、スラスト盤１０３を挟んで配置され、スラスト盤１０３からの回転体の自重、スラスト力を支える。
【００４３】
各磁気軸受３１、３３、３４は、いずれも能動磁気軸受である。磁気軸受３１、３３、３４のいずれかに異常が発生したときには、上保護ベアリング３５は、上ラジアル磁気軸受３１の代わりに回転軸２１を回転軸２１の径方向に支持し、下保護ベアリング３６は、下ラジアル磁気軸受３３およびアキシャル磁気軸受３４の代わりに、回転軸２１を回転軸２１の径方向および軸方向に支持する。磁気軸受３１が回転翼側の磁気軸受３１であり、磁気軸受３３が反回転翼側の磁気軸受３３である。
下ハウジング３７と回転軸２１の運動制御部側部２１Ｂとの間には収納室８３が形成されている。磁気軸受３１、３３、及びモータ３２は収納室８３に収納されている。
【００４４】
図４の部分断面図を参照して説明する。磁気軸受３１は、電磁石の鉄心３１Ｍとコイル３１Ｃ及び変位センサ８５の鉄心８５Ｔとコイル８５Ｃを含んで構成される。磁気軸受３３は、電磁石の鉄心３３Ｍとコイル３３Ｃ及び変位センサ８６の鉄心８６Ｔとコイル８６Ｃを含んで構成される。モータ３２はモータの鉄心３２Ｍとコイル３２Ｃを含んで構成される。磁気軸受３１のコイル３１Ｃの回転翼側の近傍、磁気軸受３３のコイル３３Ｃの反回転翼側の近傍には、回転体の変位を検出する変位センサ８５、８６が取り付けられている。変位センサ８５、８６は、鉄芯８５Ｔ、８６Ｔとコイル８５Ｃ、８６Ｃを含んで構成される。
【００４５】
コイル８５Ｃ、コイル３１Ｃ、コイル３２Ｃ、コイル３３Ｃ、コイル８６Ｃは、モールド材（例えば、エポキシ樹脂）により全体が覆われている。変位センサ８５の鉄心８５Ｔと電磁石の鉄心３１Ｍの間であって、コイル８５Ｃ及びコイル３１Ｃの、回転軸２１の径方向外周側にスペーサ６が、配置されている。電磁石の鉄心３１Ｍとモータ３２の鉄心３２Ｍの間であって、コイル３１Ｃ及びコイル３２Ｃの、回転軸２１の径方向外側にスペーサ７が、配置されている。モータ３２の鉄心３２Ｍと電磁石の鉄心３３Ｍの間であって、コイル３２Ｃ及びコイル３３Ｃの、回転軸２１の径方向外側にスペーサ８が、配置されている。電磁石３３Ｍと鉄芯８５Ｔの間であって、コイル３２Ｃとコイル３３Ｃの、回転軸２１の径方向外側にスペーサ９が、配置されている。スペーサ６〜９は、電磁石の鉄心３１Ｍ、モータ３２の鉄心３２Ｍ、電磁石の鉄心３３Ｍの、回転軸２１の軸方向の位置を決めている。
【００４６】
図中、以下の部品のそれぞれの内周面は、僅かな凹凸のある、すなわち段付きの一つの面Ｆ１上に配置されている。すなわち、変位センサ８５のコイル８５Ｃと鉄芯８５Ｔ、磁気軸受３１の電磁石３１Ｍとコイル３１Ｃ、モータ３２のコイル３２Ｃと鉄心３２Ｍ、磁気軸受３３のコイル３３Ｃと電磁石の鉄心３３Ｍ、変位センサ８６のコイル８６Ｃと鉄芯８６Ｔの、それぞれの内周面は、一つの面Ｆ１上に配置されており、さらに、当該それぞれの内周面は、熱の輻射率を高めるよう表面処理がなされている。表面処理とは、例えば、黒色の無電解Ｎｉメッキやセラミックスを含んだコーティングのことである。
【００４７】
下ハウジング３７の外周側には冷却媒体通路８４が形成され、不図示の冷却水配管、あるいは低温パージ配管が冷却媒体通路８４に接続され、冷却媒体通路８４に冷却媒体としての冷却水、あるいは低温パージ気体が供給され下ハウジング３７が冷却される。
【００４８】
図５の部分断面図を参照して説明する。回転軸２１の運動制御部側部２１Ｂには、変位センサ８５、８６（図４）に対向する位置に変位センサターゲット８７、８８が取り付けられ、電磁石の鉄心３１Ｍ、３３Ｍ（図４）に対向する位置に電磁石ターゲット８９、９１が取り付けられている。また、モータの鉄心３２に対向する位置にモータロータ９０が取り付けられている。各ターゲットおよびモータロータ８７〜９１の軸方向には、各ターゲットおよびモータロータ８７〜９１の軸方向の位置を決めるリング状のスペーサ９２〜９７が取り付けられている。
【００４９】
図中、以下の部品のそれぞれの外周面は、僅かな凹凸のある、すなわち段付きの一つの面Ｆ２上にある。すなわち、スペーサ９２、変位センサターゲット８７、スペーサ９４、電磁石ターゲット８９、スペーサ９６、モータロータ９０、スペーサ９７、電磁石ターゲット９１、スペーサ９５、変位センサターゲット８８、スペーサ９３（図中、上から下へこの順序で配置）の、それぞれの外周面は、ほぼ一つの面Ｆ２上にあり、さらに、それぞれの外周面は、熱の輻射率を高めるよう前述の電磁石の鉄心３１Ｍ、３３Ｍ、モータの鉄心３２Ｍ等（図４）と同様の表面処理がなされている。
【００５０】
面Ｆ１（図４）と面Ｆ２の間には、１００〜１０００μｍの隙間が形成されている。面Ｆ１と面Ｆ２とは、空間を形成し、当該空間は最終段の遠心翼２４（図１）の出口に形成された排気流路１０（図１）と、最終段の遠心翼２４の後述の基部２７の裏面２７Ｂ（図９）と対向するサブケーシング４０（図１）に形成されたシール面１００（図１１）を介して連通しており、ポンプ１（図１）の運転中は真空環境下にある。そのため、回転体と静止体との間は、熱落差が大きくなりやすいので、面Ｆ１を形成する前述の内周面、面Ｆ２を形成する前述の外周面に熱輻射による伝熱性を高めるための表面処理を施している。ここで、回転体とは、回転軸２１等に加えて変位センサターゲット８７、８８、電磁石ターゲット８９、９１、モータロータ９０、スペーサ９２〜９７をも含み、静止体とは、収納室８３（図１）内の磁気軸受３１、３３、及びモータ３２（図１）をも含むものである。
【００５１】
図１〜図３に戻って説明を続ける。面Ｆ１（図４）と面Ｆ２（図５）間の伝熱性能を高めるため、磁気軸受３４の近傍よりパージガス（例えば、不活性ガス（例えば、窒素ガス））を導入することもできる。具体的には、下ハウジング３７及び底部ハウジング３７Ａにパージガス導入路１０７を形成し、ガス入口部１０８を下ハウジング３７の側周部３７Ｂに形成し、ガス出口部１０９を底部ハウジング３７Ａの磁気軸受３４側に形成する。パージガスの流量制御手段としての制御弁１１０を有するパージガス供給ライン１１１をガス入口部１０８に接続する。パージガス供給ライン１１１に供給されたパージガスは制御弁１１０て流量を毎分数ｃｃ〜毎分数百ｃｃ（制御弁１次側における流量）に制御されて、ガス入口部１０８に供給され、パージガス導入路１０７を経て、ガス出口部１０９から磁気軸受３４が収納されているポンプ１内の空間に供給される。供給されたパージガスは、下保護ベアリング３６を通り、面Ｆ１（図４）と面Ｆ２（図５）に挟まれた空間を通り、さらに上保護ベアリング３５を通り、次にシール面１００（図１１）を通り、排気流路１０に放出される。制御弁１１０は不図示の制御装置により制御されるものとするとよい。パージガスを導入することにより、面Ｆ１（図４）と面Ｆ２（図５）に挟まれた空間の圧力を上昇させることができ、面Ｆ１と面Ｆ２間のガスによる伝導伝熱を増加させ、伝熱効率を向上させることができる。また、パージガス自身（典型的には大気温度）により回転軸２１を冷却することができる。パージガスの供給流量は、ポンプ１の性能に影響を与えない範囲、すなわちポンプ１の許容排気口圧力（数十から数千Ｐａ）以下の流量であり、ポンプ１の運転状態に応じて変更して設定することができる。
【００５２】
第１の挿入軸３９の吸気部側端面５６は、回転軸２１の吸気部側端面１５よりわずかに、図中、下側に引っ込んだ位置にある。第１の挿入軸３９の反吸気部側端面５７は、磁気軸受３１、３３間であって反回転翼側の磁気軸受３３の近くの位置であって、モータ３２の鉄心３２M（図４）に対向するモータロータ９０（図５）の、図中、下側の側面９０Ｓ（図５）と同じ軸方向位置にある。第１の挿入軸３９は、回転軸２１の軸方向の位置に関しては、第２のタービン翼８０が貫通する位置、及び遠心翼２４が貫通する位置、回転翼側の磁気軸受３１が取り付けられる位置と反回転翼側の磁気軸受３３が取り付けられる位置との間の何れかの位置をカバーするように長さを決めるとよい。第１の挿入軸３９を図のようにすると、第２のタービン翼８０、遠心翼２４からの熱を、冷却媒体通路８４により冷却される、回転翼側の磁気軸受３１とモータ３２との間の第１の挿入軸３９の部分に、第１の挿入軸３９を軸方向に通して運ぶことができる。
【００５３】
第２の挿入軸５２は、第１の挿入軸３９の、図中、真下に隙間無く配置されており、第２の挿入軸５２の反吸気部側の端面６７は、回転軸２１の反吸気部側の端面１７と面一になっており、第２の挿入軸５２の軸方向の重心は、磁気軸受３１、３３間の外側であって、反回転翼側の磁気軸受３３と回転軸２１の反吸気部側の端面１７との間に位置している。
【００５４】
図６(ａ)、(ｂ)を参照して、タービン翼部７３(図１)の構成を説明する。図６(ａ)は、タービン翼部７３を吸気ノズル２３Ａ（図１）側から見た平面図であり、タービン翼部７３については１段目の第１のタービン翼７０のみを図示し、六角ボルト７８（図１）を省略した図である。図６(ｂ)は、１段目の第１のタービン翼７０を放射状に中心に向かって見た図を平面上に部分的に展開した図である。
【００５５】
タービン翼部７３は、ボス部７４と、３段（図１）からなる第１のタービン翼７０と、ボス部７４と第１のタービン翼７０の間にある取付リング５９を有し、第１のタービン翼７０は取付リング５９の外周部に放射状に形成された板状の複数の羽根７５を備える。取付リング５９はボス部７４と一体に形成されている。ボス部７４には、中空部１２及び貫通孔５８が形成されている。羽根７５は、回転軸２１の中心軸線からβ１（例えば、１０〜４０度）だけねじれた捩れ角をもって形成されている。２段目、３段目の第１のタービン翼７０の構成（図６(ａ)、(ｂ)に不図示）は、１段目の第１のタービン翼７０の構成と同じであるが、羽根７５の枚数、羽根７５の取付角度β１、ボス部７４の羽根７５を形成した部分の外径、羽根７５の長さは、適宜変えてもよい。
【００５６】
図７(ａ)、(ｂ)を参照して、第２のタービン翼８０(図１)の構成を説明する。図７(ａ)は、第２のタービン翼８０を吸気ノズル２３Ａ（図１）側から見た平面図であり、六角ボルト７８（図１）を省略している。図７(ｂ)は、１段目の第２のタービン翼８０を放射状に中心に向かって見た図を平面上に部分的に展開した図である。
【００５７】
第２のタービン翼８０は、ボス部７２と、板状の複数の羽根８１と、ボス部７２と羽根８１の間の取付リング９９とを備える。羽根８１は、各取付リング９９の外周部に放射状に形成されている。ボス部７２には、嵌合孔８２が形成されている。羽根８１は、回転軸２１の中心軸線からβ２（例えば、１０〜４０度）だけねじれた捩れ角をもって形成されている。２段目の第２のタービン翼８０の構成は、１段目の第２のタービン翼８０の構成と同じであるが、羽根８１の枚数、羽根８１の取付角度β２、ボス部７２の羽根８１を形成した部分の外径、羽根８１の長さは、適宜変えてもよい。
【００５８】
図８(ａ)、(ｂ)、(ｃ)を参照して、１段目の固定翼７１の構成を説明する。図８(ａ)は、１段目の固定翼７１を吸気ノズル２３Ａ（図１）側から見た平面図である。図８(ｂ)は、１段目の固定翼７１を放射状に中心に向かって見た図を平面上に部分的に展開した図であり、図８(ｃ)は図８(ａ)のＸ−Ｘ断面図である。
【００５９】
固定翼７１は、円環状の円環部７６と、円環部７６の外周部に放射状に形成された板状の羽根７７とを備える。円環部７６の内周部は軸孔６０を形成し、軸孔６０を回転軸２１（図１）が貫通している。羽根７７は、回転軸２１の中心軸線からβ３（例えば、１０〜４０度）だけねじれた捩れ角をもって形成されている。２段目〜６段目の固定翼７１の構成は、１段目の固定翼７１の構成と同じであるが、羽根７７の枚数、羽根７７の取付角度β２、円環部７６の外径、羽根７７の長さは、適宜変えてもよい。
【００６０】
図９(ａ)、(ｂ)を参照して遠心翼２４の構成を説明する。図９(ａ)は、１段目の遠心翼２４を吸気ノズル２３Ａ(図１)側から見た平面図であり、図９(ｂ)は、正面断面図である。１段目の遠心翼２４は、ボス部６１を有する略円板状の基部２７と、基部２７の一方の面である表面２７Ａ上に固定される渦巻状羽根２６とを備える。遠心翼２４の回転方向は、図９(ａ)中時計方向である。
【００６１】
渦巻状羽根２６は、図９(ａ)に示すような渦巻き形状の複数(６枚)の羽根からなる。渦巻状羽根２６は、回転方向に対して後ろ向き(回転方向とは反対向き)にガス流れ方向に延びる構造である。吸気側の前端面２６Ａを有する渦巻状羽根２６は、ボス部６１の外周面６１Ａから基部２７の外周部２７Ｃまで達している。表面２７Ａの反対側の他方の面は裏面２７Ｂであり、表面２７Ａおよび裏面２７Ｂは、回転軸２１(図１)の中心軸線に対して例えば、垂直である。なお、前述の嵌合孔２５は、ボス部６１に形成されている。２段目、３段目の遠心翼２４の構成（図９(ａ)、(ｂ)に不図示）は、１段目の遠心翼２４の構成と同じであるが、渦巻状羽根２６の枚数、形状、ボス部６１の外径は、渦巻状羽根２６により形成される流路の長さは、適宜変えてもよい。なお、遠心翼２４の裏面２７Ｂでは、ガスの粘性作用のみで、遠心翼２４の外周側から内周側へガスを圧縮している。
【００６２】
図１０(ａ)、(ｂ)を参照して１段目の固定翼２８の構成を説明する。図１０(ａ)は、固定翼２８を吸気ノズル２３Ａ(図１)側から見た平面図である。図１０(ｂ)は、正面断面図である。固定翼２８は、外周壁６２と側壁６３とを有する固定翼本体３０と、側壁６３の片方の表面６３Ａから突出し、断面が凸形状である渦巻状ガイド２９とを備える。遠心翼２４(図１)の回転方向は、図１０(ａ)中時計方向である。
【００６３】
渦巻状ガイド２９は、図１０(ａ)に示すような渦巻き形状の複数(６枚)のガイドからなる。渦巻状ガイド２９は、回転方向に対して前向き(回転方向と同じ向き)にガス流れ方向に延びる構造である。渦巻状ガイド２９は、固定翼２８の外周壁６２の内周部６２Ａから側壁６３の内周部６３Ｃまで達している。回転軸２１（図１）の中心軸線に直角な平面上にある、渦巻状ガイド２９の端面２９Ａは、滑らかな面である。側壁６３の、渦巻状ガイド２９とは反対側に位置する裏面６３Ｂは、平らで滑らかな面である。したがって、遠心翼２４（図９）の渦巻状羽根２６に直接面する固定翼２８の裏面６３Ｂは、遠心翼２４の渦巻状羽根２６の間に形成された方向６５（図９（ａ））に沿う流路を流れるガスの流れを乱すことはない。２段目の固定翼２８の構成（図１０(ａ)、(ｂ)に不図示）は、１段目の固定翼２８の構成と同じであるが、渦巻状ガイド２９の枚数、形状は、適宜変えてもよい。
【００６４】
図１１に、サブケーシング４０（図１）の最終段の遠心翼２４（図９）に対向する面１００を吸い込み側から見た図を部分的に示す。以下、さらに適宜、図１、図９を参照して説明する。当該面１００には、渦巻状ガイド１０６が形成され、当該面１００は、シール面１００として作用する。渦巻状ガイド１０６は、遠心翼２４の円板状の基部２７の裏面２７Ｂと数十〜数百μｍの間隔で配置されている。図１１に示すように、動翼回転方向が時計回りの方向である場合、渦巻状ガイド１０６はシール面１００の内径側から外径側に向かって時計回りの方向にスパイラル状に延びている。そして、遠心翼２４の回転によって、遠心翼２４とシール面１００との相互作用によってシール作用を発生する。これにより、遠心翼２４の外径側から運動制御部５１側への、ポンプ１で排気したガスの流入を防止している。このように、遠心翼２４とシール面１００は非接触シール機構を構成している。
【００６５】
図１〜図３に戻って説明する。吸気部側端面１５には、タービン翼部７３が六角ボルト７８により固定して取り付けられているとして説明したが、六角ボルト７８は、他のボルト、例えば、六角穴付きボルトであってもよい。
【００６６】
回転軸２１は、炭素鋼系の材料（熱伝導率λ：３０〜５０Ｗ／ｍＫ、密度ρ：７６００〜７９００ｋｇ／ｃｍ３）とし、第１の挿入軸３９の材料は、アルミニウム合金（熱伝導率λ：１００〜２２０Ｗ／ｍＫ、密度ρ：２７００〜２８００ｋｇ／ｃｍ３）や黒鉛（熱伝導率λ：７０〜１２０Ｗ／ｍＫ、密度ρ：１７００〜１９００ｋｇ／ｃｍ３）とするとよい。すなわち、第１の挿入軸３９の材料は、回転軸２１の材料より、熱伝導率が高く、軽量な（密度の低い）材料とする。第２の挿入軸５２の材料は、タングステン合金（密度ρ：１１２００〜１４８００ｋｇ／ｃｍ３）のような高密度材料とするとよい。
【００６７】
次に、図１〜図１１を適宜参照してターボ真空ポンプ１の作用を説明する。
【００６８】
１段目の第１のタービン翼７０が回転することによって、ポンプ１の吸気ノズル２３Ａから図１中、軸方向にガスが導入される。第１のタービン翼７０を使用することにより排気速度を大きくすることができ、比較的多量の気体を排気することができる。導入されたガスは固定翼７１により減速され圧力が上昇する。同様に２段目、３段目の第１のタービン翼７０及び２段目、３段目の固定翼７１、さらに１段目から３段目の第２のタービン翼８０及び４段目から６段目の固定翼７１により軸方向に排気され、圧力が上昇する。
【００６９】
次に、１段目の遠心翼２４が回転しているので、軸方向にガスが導入される。１段目の遠心翼２４に導入されたガスは、１段目の遠心翼２４と１段目の固定翼２８との相互作用、すなわち当該ガスの粘性によるドラッグ作用、さらに遠心翼２４の回転による遠心作用により、１段目の遠心翼２４の基部２７の表面２７Ａに沿い、１段目の遠心翼２４の外径側へ向かわせるガスの圧縮、排気が行われる。
【００７０】
すなわち、１段目の遠心翼２４に導入されたガスは、当該遠心翼２４に対して図８(ｂ)中、略軸方向６４に導入され、１段目の遠心翼２４の渦巻状羽根２６の間に形成された流路６８を通り外径側に向かう方向に流れ、圧縮され、排気される。このガスの流れの方向は、図８(ａ)、(ｂ)に示す方向６５であり、この方向は、１段目の遠心翼２４に対するガスの流れ方向である。
【００７１】
１段目の遠心翼２４によって外径側へ向かって圧縮されたガスは、次に１段目の固定翼２８に流れ込み、外周壁６２の内周部６２Ａによって、図９(ｂ)中、略軸方向６６に方向を変え、渦巻状ガイド２９が設けられた空間へ流れ込む。１段目の遠心翼２４が回転することによって、固定翼２８の渦巻状ガイド２９の端面２９Ａと、１段目の遠心翼２４の基部２７の裏面２７Ｂとのガスの粘性によるドラッグ作用によって、１段目の固定翼２８の側壁６３の表面６３Ａ(側壁６３の渦巻状ガイド２９が形成されている方の面)に沿い、１段目の固定翼２８の内径側へ向かわせるガスの圧縮、排気が行われる。１段目の固定翼２８の内径側に達したガスは、１段目の遠心翼２４のボス部６１の外周面６１Ａによって、図８(ｂ)中、略軸方向６４に方向が変わり、２段目の遠心翼２４に導入される。同様の圧縮、排気が行われ、３段目の遠心翼２４を経て、排気ノズル２３Ｂから排出される。
【００７２】
ポンプ１によって吸気された気体は、回転翼７０、８０、２４により排気されることによりエネルギが付与され、後段に行くに従って圧力が上昇し、圧力が上昇した気体は、温度も上昇する。回転軸２１が中実軸の場合、気体の温度が上昇することにより、気体の熱は回転翼７０、８０、２４から、円管リング４１を介して回転軸２１に伝達される。下ハウジング３７の冷却媒体通路８４に冷却媒体が供給されることにより下ハウジング３７が冷却され、冷却された下ハウジング３７は、モータ３２、磁気軸受３１、３３、変位センサ８５、８６を介して、回転軸２１を冷却する。したがって、回転翼７０、８０、２４が発生した熱は、回転軸２１を吸気部側端面１５から反吸気部側端面１７に向かう方向に伝達され、冷却媒体通路８４の冷却媒体に廃棄されることになる。
【００７３】
回転軸２１に中空部分２２が形成され、中空部分２２に回転軸２１より高い熱伝導性を有する第１の挿入軸３９が挿入された本実施の形態の場合も、熱の伝達経路は変わらない。本実施の形態の場合、熱は第１の挿入軸３９を伝って軸方向により効率的に伝達される。
【００７４】
第１のタービン翼７０で発生した熱は、主としてタービン翼部７３の段付部１４の底面から第１の挿入軸３９の吸気部側端面５６を介して、第１の挿入軸３９に伝達される。第２のタービン翼８０で発生した熱は、円管リング４１と回転軸２１を介して、第１の挿入軸３９に伝達される。遠心翼２４で発生した熱は、同様に円管リング４１と回転軸２１を介して、第１の挿入軸３９に伝達される。第１の挿入軸３９に伝達された熱は、第１の挿入軸３９を吸気部側端面１５から反吸気部側端面１７に向かう方向にさらに伝達され、すなわち、図中、下方に伝達され、磁気軸受３１と磁気軸受３３との間の部分に到達する。当該部分において、熱は、第１の挿入軸３９から回転軸２１に伝達され、変位センサターゲット８７、８８、電磁石ターゲット８９、９１、モータロータ９０、スペーサ９２〜９７に伝達され、面Ｆ１と面Ｆ２間の隙間を輻射により伝達され、さらに、磁気軸受３１、磁気軸受３３、モータ３２に伝達され、下ハウジング３７を通り、冷却媒体通路８４の冷却媒体に伝わり、この冷却媒体に廃棄される。
【００７５】
下ハウジング３７の外周側に形成された冷却媒体通路８４は、冷却媒体が冷却媒体通路８４に供給されることにより、回転軸２１の運動制御部側部２１Ｂを冷却し、運動制御部側部２１Ｂが冷却されることにより回転軸２１の排気部側部２１Ａが冷却され、排気部側部２１Ａを介して回転翼７０、８０、２４の環境温度を下げることができる。しかし、回転体は真空中で静止体と接触することなく回転しているため、回転体と静止体との間の熱伝達を効率よく行う必要がある。回転体と静止体との間の熱伝達を効率よく行うことによって、冷却媒体通路８４による回転軸２１の運動制御部側部２１Ｂの冷却が効率よく行える。
【００７６】
ポンプ１で、凝縮性ガスを排気する場合は、ポンプ１内部を凝縮性ガスが蒸気圧線図上固化しない温度まで排気流路１０を加熱する必要がある。このため、回転翼７０、８０、２４の環境温度をさげるために上ハウジング２３、サブケーシング４０の冷却を行うことはできない。したがって、下ハウジング３７の冷却を行い、回転軸２１を通じて回転翼７０、８０、２４の冷却を行う。回転翼７０，８０、２４は高速回転状態にあるため、翼（羽根７５（図６）、羽根８１（図７）、渦巻状羽根２６（図９））の温度が凝縮性ガスの固化温度以下であっても副生成物が翼に多量に付着することはない。よって、上ハウジング２３やサブケーシング４０を加熱して静翼（羽根７７（図８）、渦巻状ガイド２９（図１０））を必要温度以上に加熱し、他方、翼温度は回転軸２１を通じて冷却することによって、できる限り下げることが望ましい。必要温度とは、凝縮性ガスの固化温度である。下ハウジング３７を冷却するために、下ハウジング３７に冷却媒体通路８４を形成している。
【００７７】
変位センサ８５のコイル８５Ｃと鉄芯８５Ｔ、磁気軸受３１の電磁石の鉄心３１Ｍとコイル３１Ｃ、モータ３２のコイル３２Ｃと電磁石の鉄心３２Ｍ、磁気軸受３３のコイル３３Ｃと電磁石の鉄心３３Ｍ、変位センサ８６のコイル８６Ｃと鉄芯８６Ｔは、それぞれの内周面は、熱の輻射率を高めるよう表面処理され、変位センサターゲット８７、８８、電磁石ターゲット８９、９１、モータロータ９０、スペーサ９２〜９７の、そのぞれの外周面は、熱の輻射率を高めるよう表面処理されているので、これらの内周面と外周面の間で、熱の輻射による伝達を効率よく行うことができ、下ハウジング３７による回転軸２１の運動制御部側部２１Ｂの冷却を効率よく行うことができる。
【００７８】
本実施の形態のポンプ１は、回転軸２１に中空部分２２が形成され、中空部分２２には第１の挿入軸３９が挿入され、第１の挿入軸３９の材料は、回転軸２１の材料より、熱伝導率が高いので、回転翼７０、８０、２４で発生した熱を、変位センサ８５とモータ３２との間の部分まで、第１の挿入軸３９を通り軸方向に効率よく伝達でき、さらに変位センサ８５とモータ３２との間の部分において、当該熱を、変位センサ８５、磁気軸受３１、モータ３２を通り径方向に伝達させ、冷却媒体通路８４の冷却媒体に廃棄し、回転翼７０、８０、２４の環境温度を下げることができる。
【００７９】
本実施の形態のポンプ１は、回転翼７０、８０、２４は、アルミニウム合金から製作されており、回転翼７０、８０、２４には運転中に高速回転により遠心応力が作用し、クリープ現象が起こる可能性がある。クリープ現象は温度と相関を有するため、高温環境（１５０℃以上）下では、短期間に回転翼がクリープ変形を生じ、回転翼７０、８０、２４の破壊を起こしてしまう場合がある。よって、回転翼７０、８０、２４に作用する応力を下げ、回転翼７０、８０、２４の環境温度を下げることにより、長期間安定した稼働を行うことができる。
【００８０】
なお、変位センサターゲット８７、８８、電磁石ターゲット８９、スペーサ９２〜９７、鉄芯８５Ｔ、８６Ｔ、電磁石の鉄心３１Ｍ、３３Ｍ、モータ３２の鉄心３２M、スペーサ６〜９は、伝熱性の高い材料で構成すると、下ハウジング３７による回転軸２１の運動制御部側部２１Ｂの冷却をより効率よく行うことができる。また、スペーサ６〜９は、各コイル８５Ｃ、３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃと干渉しない位置まで、その内径を小さくし、体積を大きく形成すると、スペーサ６〜９により、より効率的に熱を伝達することができる。これは、コイルの保護、絶縁性改善のため使用するモールド材の熱伝導性能がスペーサ６〜９に用いられるアルミニウム合金等の金属材料に比して小さいためである。但し、熱伝導性の高いモールド材を用いたときはこの限りでない。
【００８１】
本実施の形態のポンプ１の回転体の重心は磁気軸受３１、３３間の外側であって回転翼側のある。第２の挿入軸５２の軸方向の重心は、磁気軸受３１、３３間の外側であり、反回転翼側の磁気軸受３３と回転軸２１の反吸気部側の端面１７との間に位置し、第２の挿入軸５２の材料が第１の挿入軸３９の材料より密度が高いので、第２の挿入軸５２の材料が第１の挿入軸３９の材料と同じ場合と比較して、自重による軸受荷重を低減させることができる。さらに、第２の挿入軸５２により、回転体の重心を回転翼側の磁気軸受３１に近づく方向に移動させることができ、動アンバランスにより生じるオーバーハング部のふれ回りを小さくすることができ、回転軸２１、回転翼７０、８０、２４に生じる応力を下げることができる。磁気軸受３１、３３は、支持剛性が低いため、ふれ回りの影響を受けやすく、また、ダンピング効果も低いので、ふれ回りに対する安定性が低いため効果が大きい。
【００８２】
本実施の形態のターボ真空ポンプは、磁気軸受３１、３３、３４を備え、回転体は回転中に回転体外部との接触部分がなく、回転体から回転体外部へ熱の伝導による伝達が行われにくい構造であり、また回転体は回転中に真空雰囲気内にあるため、回転体から回転体外部に熱が輻射により伝わりにくい構造であるが、上述の対策を講ずることにより、効率的に回転体外部へ熱を廃棄することができる。
【００８３】
図１２は、本発明の第２の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の構成を示す正面断面図である。本実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の、前述の第１の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１（図１）との相違点は、第１の挿入軸３９（図１）が、第１の挿入軸３９Ａ（吸気部側の第１の挿入軸）と第１の挿入軸３９Ｂ（反吸気部側の第１の挿入軸）の２本に切断されている点、磁気軸受３１、３３間の外側にある第１の挿入軸３９Ａに中空部分２０が軸方向に形成されている点であり、本実施の形態のターボ真空ポンプ１は、他の点では、前述の第１の実施の形態のターボ真空ポンプ１（図１）と同様の構造である。なお、第１の挿入軸３９Ａと第１の挿入軸３９Ｂは、回転軸２１の大径部５４の図中、上側の側面５４Ｓと同じ軸方向位置で切断されている。第１の挿入軸３９Ａは、回転軸２１のオーバーハング部にある。なお、第１の挿入軸３９Ａ、３９Ｂは、共に第１の実施の形態のターボ真空ポンプ１の第１の挿入軸３９（図１）と同じ材料である。ただし、第１の挿入軸３９Ａは、中空部分２０が形成されているので、回転軸２１の材料と同じ密度を有する材料で製作してもよく、あるいは、回転軸２１と同じ密度の材料で作られた中実構造の第１の挿入軸３９Ａより、重量が軽いものであれば、回転軸２１の材料より重い密度の材料で製作してもよい。
【００８４】
本実施の形態のターボ真空ポンプ１によれば、第１の挿入軸３９Ａに中空部分２０が設けられており、第１の挿入軸３９Ａは、回転軸２１のオーバーハング部にあるので、第１の挿入軸３９Ａが回転翼７０、８０、２４に生じた熱を軸方向に伝達する機能を維持しつつ、回転体の重量を軽くすることができ、また回転体の重心を、軸方向、回転翼側の磁気軸受３１に近づけることができる。したがって、回転体のふれ回りを小さくすることができる。
【００８５】
図１３は、本発明の第３の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の構成を示す正面断面図である。本実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の、前述の第１の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１（図１）との相違点は、以下の点である。すなわち、回転軸２１に形成されている中空部分２２は回転軸２１全体を軸方向に貫通しておらず、開口部３８を吸気部側端面１５に有し、吸気部側端面１５からモータ３２部分に相当する箇所まで形成されている点、中空部分２２の開口部３８にはボス１９が挿入され、ボス１９を介してタービン翼部７３が回転軸２１の吸気部側端面１５に取り付けられている点、凹部１３（図１４）が回転軸２１ではなくボス１９に形成されている点、第１の挿入軸３９の軸方向の長さは、中空部分２２より短く形成され、中空部分２２に空間部１０１が形成されている点、第２の挿入軸５２（図１）を備えていない点である。本実施の形態のターボ真空ポンプ１は、他の点では、前述の第１の実施の形態のターボ真空ポンプ１（図１）と同様の構造である。なお、第１の挿入軸３９の吸気部側端面５６は、第１段の遠心翼２４の前端面２６Ａ（図９(b)）と同じ軸方向位置にある。第１の挿入軸３９の反吸気部側端面１７は、モータ３２の鉄心３２Mに対向するモータロータ９０の、図中、下側の側面９０Ｓと同じ軸方向位置にある。
【００８６】
図１４を参照し、適宜、図１３を参照して、ボス１９の構造を説明する。ボス１９は、円筒形の挿入部４９と、挿入部４９の上方に形成されたリング状の鍔部４４からなる。挿入部４９は回転軸２１（図１４中、二点鎖線で表示）の中空部分２２に挿入される。挿入部４９には、ねじ穴１８が形成されている。挿入部４９の中心軸線は、ねじ穴１８の中心軸線に一致する。挿入部４９の上面４５と鍔部４４の内周面４６は凹部１３を形成する。ボス１９が中空部分２２に挿入されている状態で、鍔部４４の下部の端面４７は、回転軸２１の上部の吸気部側端面１５に接触している。タービン翼部７３の下部の端面(反吸気側部端面)１１Ｂ（図２）は、鍔部４４の上面４８に接している。なお、円管リング４１（図１４中、二点鎖線で表示）の吸気部側端面４１Ａは、ボス１９の鍔部４４の上面４８と面一となっている。
【００８７】
タービン翼部７３の段付部１４がボス１９の凹部１３へ係合する構造により、タービン翼部７３の回転軸２１に対する同心出しが容易となり、タービン翼部７３の中心軸を回転軸２１の中心軸を一致させ傾きを生じることなく取り付けることができるので、高速回転中にアンバランスが変化することを防ぎ、高速回転時の安定性を得ることができる。六角ボルト７８は、タービン翼部７３の貫通孔５８を貫通し、ボス１９のねじ穴１８に挿入され、タービン翼部７３がボス１９の鍔部４４の上面４８に取り付けられている。よって、タービン翼部７３はボス１９を介して回転軸２１の吸気部側端面１５に固定されている。
【００８８】
本実施の形態のターボ真空ポンプ１によれば、遠心翼２４で発生した熱は、円管リング４１から回転軸２１へ伝わり、さらに第１の挿入軸３９へ伝わり、第１の挿入軸３９へ伝わった熱は第１の挿入軸３９を軸方向に、図中、下方に移動し、当該熱はさらに第１の挿入軸３９の変位センサ８５とモータ３２との間の部分において、径方向外側に、変位センサ８５、磁気軸受３１、モータ３２を通り、さらに、下ハウジング３７から冷却媒体通路８４を通り、冷却媒体通路８４に供給された冷却媒体に廃棄される。したがって、遠心翼２４の環境温度を下げることができる。
【００８９】
回転軸２１に形成された中空部分２２に、空間部１０１が設けられており、空間部１０１は、回転軸２１のオーバーハング部に設けられているので、オーバーハング部の重量を軽くし、回転体のふれ回りを小さくすることができる。なお、中空部分２２にボス１９を挿入し、タービン翼部７３をボス１９に固定する構造としたので、タービン翼部７３を回転軸２１の吸気部側端面１５に簡易に確実に取り付けることができ、また中空部分２２に空間部１０１を設けることができる。
【００９０】
図１５（ａ）は、本発明の第４の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の構成を示す正面断面図である。図１５（ｂ）は、回転軸２１の反吸気部側とは反対の端面１７の周囲の部分断面図である。本実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の、前述の第１の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１（図１）との相違点は、中空部分２２に、第２の挿入軸５２（図１）が挿入されていない点、スラスト盤１０３を取り付けるための植込ボルト１０４は第１の挿入軸３９に植え込まれている点、回転軸２１に形成されている中空部分２２は回転軸２１全体を軸方向に貫通しておらず、ねじ穴１６及び凹部１３は、回転軸２１に形成されている点である。よって、回転軸２１のねじ穴１６が形成されている部分には、中空部分２２は形成されていない。本実施の形態のターボ真空ポンプ１は、他の点では、前述の第１の実施の形態のターボ真空ポンプ１（図１）と同様の構造である。なお、中空部分２２は、回転軸２１の最終段の第２のタービン翼８０の部分まで形成されている。中空部分２２の開口部３８は、回転軸２１の反吸気部側端面１７に形成されている。回転軸２１の反吸気部側端面１７と第１の挿入軸３９の反吸気部側端面１０２は面一に形成されている。
【００９１】
本実施の形態のターボ真空ポンプ１によれば、特に、最終段の第２のタービン翼８０、遠心翼２４で発生した熱は、円管リング４１から回転軸２１へ伝わり、さらに第１の挿入軸３９へ伝わり、第１の挿入軸３９へ伝わった熱は第１の挿入軸３９を軸方向に、図中、下方に移動し、当該熱はさらに第１の挿入軸３９の変位センサ８５、８６間の部分において、径方向外側に、変位センサ８５、８６、磁気軸受３１、３３、モータ３２を通り、さらに、下ハウジング３７から冷却媒体通路８４を通り、冷却媒体通路８４に供給された冷却媒体に廃棄される。したがって、最終段の第２のタービン翼８０、遠心翼２４の環境温度を下げることができる。
【００９２】
本実施の形態はターボ真空ポンプ１は、図１５（ａ）に図示しないが、中空部分２２に、回転軸２１の材料より密度が高い材料からなる第２の挿入軸５２（図１）を、第１の挿入軸３９の図中、下側に備えるようにしてもよい。この場合、第２の挿入軸５２の軸方向の重心位置は、磁気軸受３１、３３間の外側であって、反回転翼側の磁気軸受３３と回転軸２１の反吸気部側の端面１７との間に位置するようにするとよい。
また、図１５（ａ）に図示しないが、第１の挿入軸３９の吸気部側端面５６は、第１段の遠心翼２４の前端面２６Ａ（図９(b)）と同じ軸方向位置にあるようにしてもよい。このようにすると、回転体のオーバーハング部において、中空部２２の空間部を形成することができる。
【００９３】
図１６は、本発明の第５の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の構成を示す正面断面図である。本実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の、前述の第１の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１（図１）との相違点は、中空部分２２に、第２の挿入軸（図１）が挿入されていない点、スラスト盤１０３を取り付けるための植込ボルト１０４は回転軸２１に植え込まれている点、回転軸２１に形成されている中空部分２２は回転軸２１全体を軸方向に貫通していない点である。本実施の形態のターボ真空ポンプ１は、他の点では、前述の第１の実施の形態のターボ真空ポンプ１（図１）と同様の構造である。なお、中空部分２２は、回転軸２１の吸気部側端面１５から、モータ３２の鉄心３２Mに対向するモータロータ９０の、図中、下側の側面９０Ｓの部分まで形成されている。
【００９４】
本実施の形態のターボ真空ポンプ１によれば、第１のタービン翼７０、第２のタービン翼８０、遠心翼２４で発生した熱は、第１の挿入軸３９に伝わり、第１の挿入軸３９を、図中、軸方向下方に効率よく伝わり、第１の挿入軸３９の変位センサ８５とモータ３２の間の部分において、変位センサ８５、磁気軸受３１、モータ３２を径方向に伝わり、下ハウジング３７に伝わって、下ハウジング３７から冷却媒体通路８４に伝わり、第１のタービン翼７０、第２のタービン翼８０、遠心翼２４の環境温度を下げることができる。
【００９５】
図１７は、本発明の第６の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の構成を示す正面断面図である。本実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の、前述の第５の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１（図１６）との相違点は、第１のタービン翼７０を有するタービン翼部７３（図１６）を備えていない点、したがって第１のタービン翼７０に対向する固定翼７１（図１６）、タービン翼部７３を回転軸２１に取り付ける六角ボルト７８（図１６）を備えていない点、六角ボルト７８を取り付けるねじ穴１６（図１６）が第１の挿入軸３９に加工されていない点である。第１のタービン翼７０と第１のタービン翼７０に対向する固定翼７１（図１６）とを備えていないので、上ハウジング２３の形状が、第５の実施の形態のポンプ１の上ハウジング２３（図１６）とは異なる。本実施の形態のターボ真空ポンプ１は、他の点では、前述の第５の実施の形態のターボ真空ポンプ１（図１６）と同様の構造である。
【００９６】
本実施の形態のターボ真空ポンプ１によれば、第２のタービン翼８０、遠心翼２４で発生した熱は、第１の挿入軸３９に伝わり、第１の挿入軸３９を、図中、軸方向下方に効率よく伝わり、第１の挿入軸３９の変位センサ８５とモータ３２の間の部分において、変位センサ８５、磁気軸受３１、モータ３２を径方向に伝わり、下ハウジング３７に伝わって、下ハウジング３７から冷却媒体通路８４に伝わり、第２のタービン翼８０、遠心翼２４の環境温度を下げることができる。
【００９７】
図１８は、本発明の第７の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の構成を示す正面断面図である。本実施の形態に係るターボ真空ポンプ１の、前述の第１の実施の形態に係るターボ真空ポンプ１（図１）との相違点は、中空部分２２が回転軸２１の全体を貫通せず、中空部分２２に第１の挿入軸３９（図１）が挿入されておらず、中空部分２２には第２の挿入軸５２が回転軸２１の吸気部側端面１５とは反対側の端面１７から挿入されている点、六角ボルト７８がねじ込まれるねじ穴１６、及び凹部１３は、回転軸２１に形成されている点である。本実施の形態のターボ真空ポンプ１は、他の点では、前述の第１の実施の形態のターボ真空ポンプ１（図１）と同様の構造である。
【００９８】
本実施の形態のターボ真空ポンプ１では、第２の挿入軸５２の材料は回転軸２１の材料より密度が高く、第２の挿入軸５２の軸方向の重心位置は、磁気軸受３１、３３間の外側であって、反回転翼側の磁気軸受３３と回転軸２１の反吸気部側の端面１７との間に位置しているので、中空部分を形成せず、第２の挿入軸が挿入されていない中実構造の回転軸の場合と比較して、軸受荷重を小さくすることができる。特に、この効果は横型のポンプ（図１８に図示せず）の場合で顕著である。
【００９９】
図１９に、二つの軸受に支持されたオーバーハング構造の横型の回転体（回転体が水平に配置）の模式図である。オーバーハング部の先端に翼を備えているとする。翼に近い方の軸受を軸受１、翼から遠い方の軸受を軸受２とする。回転体の重心は軸受間の外側であって軸受１からａの距離にあり、軸受間の距離をｂとする。回転体の自重による力をＦＭ（図中、下向きに作用）、軸受１の反力をＦ１（図中、上向きに作用）、軸受２の反力をＦ２（図中、下向きに作用）とする。
【０１００】
ケース１は回転体に重りが付加されないケースとする。
この場合、軸受１の反力Ｆ１は次にように表せる。
【数１】
2009203906.tif 000003
また、軸受２の反力Ｆ２は次にように表せる。
【数２】
2009203906.tif 000004
【０１０１】
次に、ケース２は、軸受１と軸受２の間の外側（翼とは反対側）であって、軸受２からｃの距離に重りが付加されたケースであり、重りの自重による力をＦｍ１とする。
この場合、軸受１の反力Ｆ１は次にように表せる。
【数３】
2009203906.tif 000005
また、軸受２の反力Ｆ２は次にように表せる。
【数４】
2009203906.tif 000006
よって、軸受１、軸受２における反力Ｆ１、Ｆ２は、ケース１の場合より小さくなる。
【０１０２】
次に、ケース３は軸受１と軸受２の間で、軸受２からｄの距離に重りが付加されたケースであり、重りの自重による力をＦｍ２とする。
この場合、軸受１の反力Ｆ１は次にように表せる。
【数５】
2009203906.tif 000007
また、軸受２の反力Ｆ２は次にように表せる。なお、次に式において、ｂ＞ｄである。
【数６】
2009203906.tif 000008
よって、軸受１における反力Ｆ１は、ケース１の場合より大きくなるが、軸受２における反力Ｆ２は、ケース１の場合より小さくなる。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るターボ真空ポンプの正面断面図である。
【図２】図１のターボ真空ポンプのタービン翼部の正面断面図である。
【図３】図１のターボ真空ポンプの回転軸の吸気部側端面周辺の部分断面図である。
【図４】図１のターボ真空ポンプの磁気軸受、モータの部分の部分断面図である。
【図５】図１のターボ真空ポンプの回転軸の運動制御部側部、及びその周辺の部分断面図である。
【図６】(ａ)は、図１のターボ真空ポンプのタービン翼部の平面図、(ｂ)は、タービン翼を放射状に中心に向かって見た図を平面上に部分的に展開した図である。
【図７】(ａ)は、図１のターボ真空ポンプの第２のタービン翼の平面図、(ｂ)は、第２のタービン翼を放射状に中心に向かって見た図を平面上に部分的に展開した図である。
【図８】(ａ)は、図１のターボ真空ポンプの第１のタービン翼用及び第２のタービン翼用の固定翼の平面図、(ｂ)は、同正面図であり、(ｃ)は(ａ)のＸ−Ｘ断面図である。
【図９】(ａ)は、図１のターボ真空ポンプの遠心翼の平面図、(ｂ)は、同正面断面図である。
【図１０】(ａ)は、図１のターボ真空ポンプの遠心翼用の固定翼の平面図、(ｂ)は、同正面断面図である。
【図１１】図１のターボ真空ポンプのサブケーシングを吸込側から見た部分図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係るターボ真空ポンプの正面断面図である。
【図１３】本発明の第３の実施の形態に係るターボ真空ポンプの正面断面図である。
【図１４】図１３のターボ真空ポンプのボスの断面図である。
【図１５】(ａ)は、本発明の第４の実施の形態に係るターボ真空ポンプの正面断面図である。(ｂ)は、回転軸の反吸気部側とは反対の端面の周囲の部分断面図である。
【図１６】本発明の第５の実施の形態に係るターボ真空ポンプの正面断面図である。
【図１７】本発明の第６の実施の形態に係るターボ真空ポンプの正面断面図である。
【図１８】本発明の第７の実施の形態に係るターボ真空ポンプの正面断面図である。
【図１９】二つの軸受に支持された横型のオーバーハング構造のポンプの模式図である。
【図２０】従来のターボ真空ポンプの正面断面図である。
【符号の説明】
【０１０４】
１  ターボ真空ポンプ
６、７、８、９  スペーサ
１０  排気流路
１１Ｂ  端面
１２  中空部
１３  凹部
１４  段付部
１４Ａ  底面
１５  吸気部側端面
１６  ねじ穴
１７  端面
１８  ねじ穴
１９  ボス
２０  中空部分（第２の中空部分）
２１  回転軸
２１Ａ  排気部側部
２１Ｂ  運動制御部側部
２２  中空部分（第１の中空部分）
２２Ａ  内周面
２３  上ハウジング（吸気部）
２３Ｂ  排気ノズル
２４  遠心翼（回転翼）
２５  嵌合孔
２６  渦巻状羽根
２６Ａ  前端面
２７  基部
２７Ａ  表面
２７Ｂ  裏面
２７Ｃ  外周部
２８  固定翼
２９  渦巻状ガイド
２９Ａ  端面
３０  固定翼本体
３１  上ラジアル磁気軸受
３１Ｍ  鉄心
３２  モータ
３２Ｍ  鉄心
３３  下ラジアル磁気軸受
３３Ｍ  鉄心
３４  アキシャル磁気軸受
３５  上保護ベアリング
３６  下保護ベアリング
３７  下ハウジング
３７Ａ  底部ハウジング
３７Ｂ  側周部
３８  開口部
３９、３９Ａ、３９Ｂ  第１の挿入軸
４０  サブケーシング
４１  円管リング
４１Ａ  吸気部側端面
４２  軸スリーブ
４３  遠心隔壁
４３Ａ  開口部
４４  鍔部
４５  上面
４６  内周面
４７  端面
４８  上面
４９  挿入部
５０  排気部
５１  運動制御部
５２  第２の挿入軸
５３  ケーシング
５４  大径部
５５Ａ  吸気開口部
５５Ｂ  排気開口部
５６  吸気部側端面
５７  反吸気部側端面
５８  貫通孔
５９  取付リング
６０  軸孔
６１  ボス部
６１Ａ  外周面
６２  外周壁
６２Ａ  内周壁
６３  側壁
６３Ａ  表面
６３Ｂ  裏面
６７  端面
６８  流路
６９  流路損失緩和空間
７０  第１のタービン翼（回転翼）
７１  固定翼
７２  ボス部
７３  タービン翼部
７４  ボス部
７５  羽根
７６  円環部
７７  羽根
７８  六角ボルト
７９  排気側面
８０  第２のタービン翼（回転翼）
８１  羽根
８２  嵌合孔
８３  収納室
８４  冷却媒体通路
８５  変位センサ
８５Ｃ  コイル
８５Ｔ  鉄心
８６  変位センサ
８６Ｃ  コイル
８６Ｔ  鉄心
８７、８８  変位センサターゲット
８９  電磁石ターゲット
９０  モータロータ
９１  電磁石ターゲット
９２〜９７  スペーサ
９８  排気側面
９９  取付リング
１００  シール面
１０１  空間部
１０２  反吸気部側端面
１０３  スラスト盤
１０４  植込ボルト
１０５  底部
１０６  渦巻状ガイド
１０７  パージガス導入路
１０８  ガス入口部
１０９  ガス出口部
１１０  制御弁
１１１  パージガス供給ライン
【図１】
2009203906.tif 000009
【図２】
2009203906.tif 000010
【図３】
2009203906.tif 000011
【図４】
2009203906.tif 000012
【図５】
2009203906.tif 000013
【図６】
2009203906.tif 000014
【図７】
2009203906.tif 000015
【図８】
2009203906.tif 000016
【図９】
2009203906.tif 000017
【図１０】
2009203906.tif 000018
【図１１】
2009203906.tif 000019
【図１２】
2009203906.tif 000020
【図１３】
2009203906.tif 000021
【図１４】
2009203906.tif 000022
【図１５】
2009203906.tif 000023
【図１６】
2009203906.tif 000024
【図１７】
2009203906.tif 000025
【図１８】
2009203906.tif 000026
【図１９】
2009203906.tif 000027
【図２０】
2009203906.tif 000028