(57)【要約】 【課題】  一台の質問器で複数の振動検知部の信号を受信でき、低コストで構成が簡単な振動検知装置を提供すること。【解決手段】  圧電体上に形成された表面弾性波共振子に接続されたアンテナを有する振動センサに電磁波を放射して反射波を受信する機能を有する質問器を備え、前記反射波の変化を検出することにより検出対象物に発生した振動を検知する振動検知装置において、質問器は、本体部２００と、３つの送信アンテナ１１ａ、１１ｂ、１１ｃと、３つの受信アンテナ１２ａ、１２ｂ、１２ｃと、それらと本体部２００とをそれぞれ接続する伝送路１５および１６とから構成され、送信アンテナおよび受信アンテナは検出対象物にそれぞれ設置された３つの振動センサ１００ａ、１００ｂ、１００ｃとの間で、それぞれ送信波の放射および反射波の受信が可能な通信可能領域１ａ、１ｂ、１ｃにそれぞれ設置されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体上に形成された表面弾性波共振子と該表面弾性波共振子に電気的に接続されたアンテナとを有し検出対象物に設置される振動検知部と、該振動検知部に電磁波を放射する機能と該電磁波が前記振動検知部により反射されてなる反射波を受信する機能とを有する質問器とを備え、前記検出対象物に発生した振動に伴って前記圧電体に発生する機械振動によって前記表面弾性波共振子のインピーダンスが変化し、該インピーダンス変化によって生じる前記反射波の強度もしくは周波数の少なくとも一方の変化を検出することにより前記検出対象物に発生した振動を検知する振動検知装置であって、
前記質問器は、本体部と、複数の送信アンテナと、複数の受信アンテナと、該複数の送信アンテナおよび複数の受信アンテナと前記本体部とをそれぞれ接続する伝送路とから構成され、前記振動検知部は複数の検出対象物にそれぞれ設置される複数の振動検知部よりなり、前記複数の送信アンテナおよび受信アンテナは前記複数の振動検知部との間で前記電磁波の放射および前記反射波の受信が可能な領域にそれぞれ設置されることを特徴とする振動検知装置。
【請求項２】
前記質問器は送信アンテナと同数の受信アンテナを有することを特徴とする請求項１に記載の振動検知装置。
【請求項３】
前記質問器の本体部は、一定の周波数の高周波信号を生成するための発振器と、前記高周波信号を２つの出力に分波するための第一の分波器と、該第一の分波器から出力された高周波信号の一つを複数の出力信号に分波して前記複数の送信アンテナに出力するための第二の分波器と、前記複数の受信アンテナからの信号が入力される混合器と、前記第一の分波器で出力された他の一つの高周波信号と前記混合器からの出力が入力されるミキサーとを設けたことを特徴とする請求項１または２に記載の振動検知装置。
【請求項４】
前記複数の振動検知部はそれぞれ前記圧電体の形状が互いに異なることにより前記検出対象物に発生した振動に伴って前記圧電体に発生する機械振動の周波数特性が互いに異なり、これにより前記表面弾性波共振子のインピーダンス変化によって生じる前記反射波の周波数特性が前記複数の振動検知部において互いに異なることにより、前記検出対象物を特定することを可能としたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか1項に記載の振動検知装置。
【請求項５】
前記質問器の本体部は、前記複数の振動検知部からの反射波をそれぞれ受信した複数の受信アンテナからの受信信号の周波数を識別するフィルタ回路を有することを特徴とする請求項４に記載の振動検知装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出対象物の振動現象を検出する振動検知装置に関し、特に検出対象物に設けた振動検知部を無線通信により監視する質問器を備えた振動検知装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動検知装置は、建造物の耐震診断、防犯セキュリティ用のガラス破壊検知装置、或いは設備や工作機械の異常振動検知などに利用されている。その一例として、ガラス等の破壊時に生じる振動現象のように瞬時的な振動を検知するシステムがあり、その従来例が特許文献１〜３に記載されている。特許文献１では、圧電材料を利用した振動センサを用いて、検出対象であるガラス等の破壊において生じる振動を電気信号に変換することにより検出対象の破壊の有無を検知する電池を電源とした検出装置が示されている。特許文献２では、太陽電池を用い、薄型で且つ電池交換の頻度を減らすことができる検出装置が示されている。
【０００３】
一方、特許文献３の振動検出装置は、圧電体上の表面弾性波（ＳＡＷ）共振子とアンテナとを備えた振動センサとこの振動センサに電波を放出して反射波を検出する質問器を用いて振動検知装置を構築したことから、振動センサをバッテリレスとすることが可能となっている。また、振動検知処理機能を質問器側に設けたことから、振動センサから信号処理部などを省略することができ、振動センサの小型化が可能となっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−４８２６８号公報
【特許文献２】特開２００７−２３３６２６号公報
【特許文献３】特開２００７−２３２７０８ 号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の振動センサは、形状が大きすぎること、開閉式の窓には取り付けられないこと、また、電池の取替えが必要となるため取り外し可能な場所への取り付けしかできないこと等の問題がある。また、特許文献２の振動センサは薄型であるが、やはり電池の交換が必要であり、太陽電池を使う場合は設置場所の制限があることが問題となる。
【０００６】
特許文献３の振動検出装置は上述のように振動センサ部に電源を必要としないことや小型化可能であり開閉式の窓にも取り付けられるという利点がある。この振動検知装置の一例のブロック構成図を図５に示し、この装置に使用するセンサ素子の断面構造図を図６に、そのセンサ素子とアンテナとが一体となった振動検知部の斜視図を図７にそれぞれ示す。
【０００７】
図５に示されるように、この振動検知装置は、アンテナ１０およびセンサ素子２０を備えた振動センサ１００と、この振動センサ１００を無線電波により駆動し、センシング結果を受信する質問器５００からなる。振動センサ１００はＲＦＩＤ（Radio  Frequency  Identification）技術を応用した小型化を可能とするセンサであり、図７に示されるように、センサ素子２０とアンテナ１０を構成するアンテナ導体７１、７２がタグ基体７０上に搭載されている。質問器５００は送受信兼用のアンテナ５０と送受信号分離のためのサーキュレータ、受信回路、送信回路などから構成されている。
【０００８】
また、図６に示されるように、センサ素子２０は板状の圧電体基板６２と、圧電体基板６２上に形成された櫛歯電極６４及びそのＳＡＷ伝搬方向の両側に近接して設けられた反射器６７及び反射器６８とを備えたＳＡＷ共振子６０を有している。圧電体基板６２は、支持基板２２により片持ち梁状に支持され、その支持部の根元に近いところに櫛歯電極６４が位置しているので、圧電体基板６２に生じた振動を櫛歯電極６４の近傍に効率よく集中させることができる。ＳＡＷ共振子６０の櫛歯電極６４は半田バンプ２５、２６を介して支持基板２２の外側の端子２７に接続され、端子２７はアンテナ１０に接続される。
【０００９】
アンテナ部１０にて受信した受信波は、センサ素子２０内部の櫛歯電極６４まで供給され、受信波の周波数が上記ＳＡＷ共振子６０の共振周波数に一致したときは受信波はＳＡＷ共振子６０にエネルギーが閉じ込められるので反射されて再びアンテナ１０に戻る反射波は小さい。しかし、圧電体基板６２に振動が加わるとＳＡＷ共振子６０の共振周波数が変化し、そのインピーダンスが変化することにより、その分だけ反射強度が増大して反射され、アンテナ１０から反射波として振動センサ１００の外部に送信されることとなる。反射波には圧電体基板６２の振動周波数に対応した共振周波数の両側波帯が発生し、その反射波中の共振周波数の両側波帯を質問器５００で検出することにより、振動が検出される。
【００１０】
圧電体基板６２を片持ち梁構造とし、その長さを選択して圧電体基板６２の共振周波数を検出対象が発生する振動周波数帯に合わせると検知対象物の振動が圧電体基板６２で増幅され継続される。例えばガラスの破壊などに伴う振動現象の検出に適用するような場合、ガラスの破壊に伴う振動自体は２ｍｓ程度の間しか持続しないのに対して、ガラス破壊に伴う振動に特徴的な周波数帯域に属するように圧電体基板６２の共振周波数を合わせることで、ガラス破壊に伴う振動自体が止まったあとであっても、圧電体基板６２の振動を２ｍｓよりもかなり長めに持続させることができ、振動検知の確度が向上する。
【００１１】
更には、複数の振動センサを用いる場合には、各振動センサの圧電体基板の共振周波数を互いに異ならせておけば、振動センサの固体識別をすることができる。即ち、質問器５００にて振動検知の判定処理をする際に、いずれの振動センサで振動を検知したのか、反射波の周波数特性の違いにより特定することができる。
【００１２】
図８は、上記の振動検知装置において、複数の振動センサを使用する場合の従来の構成を示すブロック図である。図８に示すように、１つの質問器５００ａに対し、複数の振動センサ１００を配置する形態をとることが可能である。しかし、広範囲の検出対象に複数の振動センサを設置する場合、質問器の無線通信可能エリアが狭いため複数の質問器が必要となる。例えば図９に示すように、空間的に離れた検出対象物に振動センサ１００ａと振動センサ１００ｂがそれぞれ設置され、質問器５００ａの無線通信可能領域５ａが狭い場合、振動センサ１００ａとしか通信できないので、振動センサ１００ｂとの通信には新たに質問器５００ｂが必要となる。すなわち、それぞれの振動センサが設置された限定エリア毎にそれに対応する質問器がそれぞれ必要となる。このため、振動検知装置のコストの増大を招くことや各質問器間の情報伝達のためシステムが複雑化することが問題となる。
【００１３】
そこで、本発明の課題は、小型で設置する場所を選ばず、電池交換が不要である複数の振動センサを有し、一台の質問器でそれらの複数の振動検知部の信号を受信でき、低コストで構成が簡単な振動検知装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明の振動検知装置は、圧電体上に形成された表面弾性波共振子と該表面弾性波共振子に電気的に接続されたアンテナとを有し検出対象物に設置される振動検知部と、該振動検知部に電磁波を放射する機能と該電磁波が前記振動検知部により反射されてなる反射波を受信する機能とを有する質問器とを備え、前記検出対象物に発生した振動に伴って前記圧電体に発生する機械振動によって前記表面弾性波共振子のインピーダンスが変化し、該インピーダンス変化によって生じる前記反射波の強度もしくは周波数の少なくとも一方の変化を検出することにより前記検出対象物に発生した振動を検知する振動検知装置であって、前記質問器は、本体部と、複数の送信アンテナと、複数の受信アンテナと、該複数の送信アンテナおよび複数の受信アンテナと前記本体部とをそれぞれ接続する伝送路とから構成され、前記振動検知部は複数の検出対象物にそれぞれ設置される複数の振動検知部よりなり、前記複数の送信アンテナおよび受信アンテナは前記複数の振動検知部との間で前記電磁波の放射および前記反射波の受信が可能な領域にそれぞれ設置されることを特徴とする。
【００１５】
ここで、前記質問器は送信アンテナと同数の受信アンテナを有していてもよい。
【００１６】
また、前記質問器の本体部は、一定の周波数の高周波信号を生成するための発振器と、前記高周波信号を２つの出力に分波するための第一の分波器と、該第一の分波器から出力された高周波信号の一つを複数の出力信号に分波して前記複数の送信アンテナに出力するための第二の分波器と、前記複数の受信アンテナからの信号が入力される混合器と、前記第一の分波器で出力された他の一つの高周波信号と前記混合器からの出力が入力されるミキサーとを設けてもよい。
【００１７】
また、前記複数の振動検知部はそれぞれ前記圧電体の形状が互いに異なることにより前記検出対象物に発生した振動に伴って前記圧電体に発生する機械振動の周波数特性が互いに異なり、これにより前記表面弾性波共振子のインピーダンス変化によって生じる前記反射波の周波数特性が前記複数の振動検知部において互いに異なることにより、前記検出対象物を特定することを可能としてもよく、その手段として、前記質問器の本体部は、前記複数の振動検知部からの反射波をそれぞれ受信した複数の受信アンテナからの受信信号の周波数を識別するフィルタ回路を有していてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の振動検知装置では、質問器が複数の送信アンテナと複数の受信アンテナを備え、それらを振動検知部との通信可能範囲にそれぞれ設置することにより、１台の質問器で複数の振動センサからの振動情報を検知できるため、広範囲の検出対象物の振動、例えばガラス破壊による振動を検知することが可能となる。また、それぞれの振動センサの圧電体の共振振動周波数をそれぞれ異ならせることで、検出対象物の所在を限定することができる。さらには各送受信アンテナと対応する振動センサの通信エリア間の重なりを少なくすることで複数の電波の混在を避けられるため、安定した信号検知が可能になる。さらに、質問器を１台にする事により、コストを大幅に低減でき、システム全体の構成も簡易化される。
【００１９】
以上のように、本発明により、小型で設置する場所を選ばず、電池交換が不要である複数の振動検知部を有し、一台の質問器でそれらの複数の振動検知部の信号を受信でき、低コストで構成が簡単な振動検知装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明による振動検知装置の実施の形態を説明する。
【００２１】
図１は本発明による振動検知装置の第一の実施の形態を示すブロック構成図である。本実施の形態の振動検知装置の基本構成は図５、図６、図７に示した従来の振動検知装置と同様に、圧電体上に形成された表面弾性波共振子と該表面弾性波共振子に電気的に接続されたアンテナとを有し検出対象物に設置される振動検知部である振動センサと、該振動センサに電磁波を放射する機能と該電磁波が前記振動センサにより反射されてなる反射波を受信する機能とを有する質問器とを備え、前記検出対象物に発生した振動に伴って前記圧電体に発生する機械振動によって前記表面弾性波共振子のインピーダンスが変化し、該インピーダンス変化によって生じる前記反射波の強度もしくは周波数の少なくとも一方の変化を検出することにより前記検出対象物に発生した振動を検知するものである。
【００２２】
但し、本実施の形態においては、図１に示すように、質問器は、本体部２００と、３つの送信アンテナ１１ａ、１１ｂ、１１ｃと、３つの受信アンテナ１２ａ、１２ｂ、１２ｃと、それらの送信アンテナおよび受信アンテナと本体部２００とをそれぞれ接続する伝送路１５および１６とから構成され、振動検知部は複数の検出対象物にそれぞれ設置された３つの振動センサ１００ａ、１００ｂ、１００ｃよりなり、送信アンテナ１１ａおよび受信アンテナ１２ａは振動センサ１００ａとの間で、送信アンテナ１１ｂおよび受信アンテナ１２ｂは振動センサ１００ｂとの間で、送信アンテナ１１ｃおよび受信アンテナ１２ｃは振動センサ１００ｃとの間で、それぞれ送信波の放射および反射波の受信が可能な通信可能領域１ａ、１ｂ、１ｃにそれぞれ設置されている。
【００２３】
また、本実施の形態の質問器の本体部２００は、図１に示すように、一定の周波数の高周波信号を生成するための発振器３０と、その高周波信号を２つの高周波信号４０および４１に分波するため分波器３１と、分波器３１から出力された高周波信号４０を増幅後、３つの出力信号に分波して送信アンテナ１１ａ、１１ｂ、１１ｃに出力するための分波器３２と、３つの受信アンテナ１２ａ、１２ｂ、１２ｃからの信号が入力される混合器３３と、分波器３１で出力された他の一つの高周波信号４１と混合器３３からの出力が入力されるミキサー３４とを設けている。
【００２４】
分波器３２で分波され送信アンテナ１１ａ、１１ｂ、１１ｃにそれぞれ出力された高周波信号４２ａ、４２ｂ、４２ｃは、上記送信アンテナからそれぞれ放射され、振動センサ１００ａ、１００ｂ、１００ｃによりそれぞれ反射され、それらの反射波が受信アンテナ１２ａ、１２ｂ、１２ｃによりそれぞれ受信された高周波信号４３ａ、４３ｂ、４３ｃは混合器３３で混合される。上記混合された高周波信号４４は増幅後ミキサー３４により高周波信号４１とミキシングされ、フィルタ回路３７、３８を通過させることにより受信信号から共振周波数の両側波帯にある振動検出信号を取り出し、ノイズ成分をカットし、ロジック回路に送られる。
【００２５】
本実施の形態の振動検知装置を使用し、振動センサ１００ａ、１００ｂ、１００ｃを互いに８０ｃｍ程度離して1枚のガラス板に取り付け、そのガラス板を割り振動検知の試験を行った。質問器側では出力１０ｄＢｍ、周波数２．４５ＧＨｚの連続波を送信した。この結果、振動センサを取り付けたガラス板を破壊したとき、３つの振動センサのいずれからも質問器側に受信波が届き、振動が発生したことが確認できた。
【００２６】
ここで、本発明の効果を確認するため、質問器に特許文献３に示されている従来の質問器と同様な送受兼用のアンテナを取り付け、振動検知の試験を行った。質問器側では出力１０ｄＢｍ、周波数２．４５ＧＨｚの連続波を送信した。１個の送受兼用アンテナを用いて、振動センサ１個を取り付けたガラスを破壊したとき、質問器側に受信波が届いていることが確認できた。次にこの質問器に２個の送受兼用アンテナを設け、振動センサ２個を１枚のガラスに８０ｃｍ程度離して取り付け、ガラスを割り試験を行った。このとき、振動センサからの受信波は上記の送受兼用アンテナを１個だけ設けたときより、信号レベルが小さくなった。また、受信波が観測されないこともあった。この場合、送受兼用アンテナが複数個設けられたことにより、受信波がロジック回路側に伝搬されず、受信波を受けたアンテナではないもう一方のアンテナ側に伝搬される現象が起こっていると考えられる。すなわち、従来の質問器において、単に送受兼用アンテナを複数個設けるのでは本発明の効果は得られず、本発明のように、送信アンテナと受信アンテナをそれぞれ複数個設けることが必要であることが確認できた。
【００２７】
次に、第一の実施の形態の振動検知装置における受信アンテナの感度を計測した。個々の送信アンテナ、受信アンテナと本体部２００とを接続する伝送路１５および１６は同程度の距離としているので、各アンテナの送信波と受信波は基本的に同じ伝送損失で伝搬される。図２は測定した受信アンテナの受信レベルと受信アンテナの振動センサからの距離を示す。ここで示す距離は、図１に示す受信アンテナ１２ａと振動センサ１００ａの間、受信アンテナ１２ｂと振動センサ１００ｂの間、受信アンテナ１２ｃと振動センサ１００ｃの間の距離である。質問器側では出力１０ｄＢｍ、周波数２．４５ＧＨｚの連続波を送信した。この測定においては、受信レベルが−８０ｄＢｍ以上で受信可能となり質問器で信号が検出された。図２からわかるように、受信アンテナと振動センサ間の距離が１０００ｍｍ以内で−８０ｄＢｍ以上の受信レベルが得られており、受信アンテナとの距離が１０００ｍｍ以内であれば、振動センサを離して設置することができる。すなわち、図１に示す通信可能領域１ａ、１ｂ、１ｃの半径は、それぞれ１０００ｍｍということになる。  
【００２８】
図３は本発明による振動検知装置の第二の実施の形態を示すブロック構成図である。振動センサと質問器の基本的な構成は第一の実施の形態と同様である。本実施の形態においては、質問器は、本体部３００と、４つの送信アンテナと、４つの受信アンテナと、それらの送信アンテナおよび受信アンテナと本体部２００とをそれぞれ接続する伝送路３５および３６とから構成され、振動検知部は４つのガラス板にそれぞれ設置された４つの振動センサ１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄよりなる。各送信アンテナおよび受信アンテナは対応する振動センサとの間でその距離を１０００ｍｍ以内とすることにより、それぞれ送信波の放射および反射波の受信が可能な通信可能領域３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄにそれぞれ設置されている。
【００２９】
送信および受信アンテナを伝送路３５、３６となる信号ケーブルを使って質問器の本体部３００から離して設置することが可能である。振動センサが設置されたガラス板の内1枚だけを割り試験を行ったところ、質問器側に−８０ｄＢｍ以上の受信波が届いていることが確認できた。伝送路３５、３６は５ｍまで延長させることができるので、質問器一台で一部屋全体のガラス破壊検知が可能となる。また、伝送路の信号ケーブルが長くなると損失が大きくなるが、アンプを入れ信号を増幅させることにより、更に大きな範囲のガラス破壊検知が可能となる。
【００３０】
図４は本発明による振動検知装置の第三の実施の形態を示すブロック構成図である。振動センサと質問器の基本的な構成は第一の実施の形態と同様である。本実施の形態においては、質問器は、本体部４００と、２つの送信アンテナ１１ａ、１１ｂと、２つの受信アンテナ１２ａ、１２ｂと、それらの送信アンテナおよび受信アンテナと本体部４００とをそれぞれ接続する伝送路４５、４６とから構成され、振動検知部は２つのガラス板にそれぞれ２つずつ設置された４つの振動センサ１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄよりなる。図4に示すように、送信アンテナ１１ａと受信アンテナ１２ａ、送信アンテナ１１ｂと受信アンテナ１２ｂの2組を２０００ｍｍ離して設置している。本実施の形態においては、送信アンテナ１１ａと受信アンテナ１２ａの通信可能領域４ａ内に振動センサ１００ａ、１００ｂ、１００ｃがあり、送信アンテナ１１ｂと受信アンテナ１２ｂの通信可能領域４ｂ内に振動センサ１００ｃ、１００ｄがある構造となっている。振動センサ１００ｃは通信可能領域４ａと４ｂのどちらの範囲にも入っている。ガラスが少なくとも１枚割れたとき、質問器側に−８０ｄＢｍ以上の受信波が届いていることが確認された。
【００３１】
以上の各実施の形態において、複数の振動センサを用いた場合、それぞれの振動センサの構造を互いに異ならしめ、各振動センサのＳＡＷ共振子を構成する圧電体基板が互いに異なる振動の共振周波数を有するようにすることで、検出対象物の固体識別を行なうことができる。具体的には、振動センサ内部に設けられている外部振動に共振する片持ち梁状の圧電体基板の片持ち梁の長さを変えることにより、共振周波数が互いに異なる振動センサを作製することができる。受信信号において識別する場合は、質問器の判定処理部に、それぞれの振動センサの上記共振周波数に対応するフィルタ回路を複数個設けることにより可能となる。即ち、質問器から単一周波数の連続搬送波を送出しその反射波を監視して振動検知を行うに際し、反射波に含まれる圧電体基板の共振周波数に基づいて、どの振動センサにおいて振動が発生したかを知ることができる。
【００３２】
以上述べたように、本発明により、一台の質問器により複数の振動検知部の信号を受信でき、低コストで構成が簡単な振動検知装置が得られる。
【００３３】
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではないことはいうまでもなく、目的や用途に応じて任意に設計変更可能である。例えば、質問器の送信アンテナと受信アンテナの数は異なっていてもよく、質問器の本体部の構成も本発明に使用可能な機能が備わっていれば上記の実施の形態に示した構成には限定されない。また、振動センサの構造や形状も変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明による振動検知装置の第一の実施の形態を示すブロック構成図。
【図２】受信アンテナの受信レベルと受信アンテナの振動センサからの距離を示す図。
【図３】本発明による振動検知装置の第二の実施の形態の示すブロック構成図。
【図４】本発明による振動検知装置の第三の実施の形態の示すブロック構成図。
【図５】振動センサ部に電源を必要としない従来の振動検知装置の一例のブロック構成図。
【図６】振動検知装置に使用するセンサ素子の断面構造図。
【図７】センサ素子とアンテナとが一体となった振動検知部の斜視図。
【図８】複数の振動センサを使用する場合の従来の構成を示すブロック図。
【図９】空間的に離れた検出対象物に複数の振動センサが設置された場合の従来の振動検知装置の構成を示すブロック図。
【符号の説明】
【００３５】
１ａ、１ｂ、１ｃ、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂ    通信可能領域
１０、５０    アンテナ
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ    送信アンテナ
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ    受信アンテナ
１５、１６、３５、３６、４５、４６    伝送路
２０    センサ素子
２２    支持基板
２５、２６    半田バンプ
２７    端子
３０    発振器
３１、３２    分波器
３３    混合器
３４    ミキサー
３７、３８    フィルタ回路
４０、４１、４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４４    高周波信号
６０    ＳＡＷ共振子
６２    圧電体基板
６４    櫛歯電極
６７、６８    反射器
７０    タグ基体
７１、７２    アンテナ導体
１００、１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄ    振動センサ
２００、３００、４００、５００、５００ａ、５００ｂ    （質問器）本体部
【図１】
2009281767.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009281767.tif 000009
【図８】
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【図９】
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