(57)【要約】【課題】曲面上に光導波路（曲線導波路）を有する小型の光導波路構造体の信頼性を高める。【解決手段】光導波路構造体８を、曲面２上に形成された溝３を有するクラッド構造体１と、溝３に形成された導波路コア４と、導波路コア４を覆うクラッドフィルム５と、クラッドフィルム５の表面に形成された応力緩和層６とを備えるものとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
曲面上に形成された溝を有するクラッド構造体と、
前記溝に形成された導波路コアと、
前記導波路コアを覆うクラッドフィルムと、
前記クラッドフィルムの表面に形成された応力緩和層とを備えることを特徴とする光導波路構造体。
【請求項２】
前記応力緩和層は、前記クラッドフィルムよりも大きい屈折率を有することを特徴とする、請求項１記載の光導波路構造体。
【請求項３】
前記応力緩和層は、前記クラッドフィルムの表面に生じたクラックが埋め込まれるように形成されていることを特徴とする、請求項１又は２記載の光導波路構造体。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の光導波路構造体を備えることを特徴とする光モジュール。
【請求項５】
曲面上に溝を有するクラッド構造体の前記溝にコア材料を充填するとともに、前記溝をクラッドフィルムで覆い、
前記クラッドフィルムの表面に応力緩和層を形成することを特徴とする光導波路構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば光通信などに用いる光導波路構造体の製造方法に関し、例えばレーザダイオードなどの光素子と例えば光ファイバなどの伝送媒体とを結合するのに好適の光導波路構造体及びその製造方法、光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば面発光レーザやフォトダイオード（フォトディテクタ）などの面型光素子を備える多チャンネル光トランシーバ（例えば波長多重多チャンネル光トランシーバ）の開発が進められている。
例えば多チャンネル光トランシーバなどの光モジュールにおいて、面発光レーザやフォトダイオードなどの面型光素子を使用する場合、面型光素子の光入射面又は光出射面は実装基板に対して平行になるため、実装基板に対して垂直に光を入射又は出射させることになる。
【０００３】
一方、このような光モジュールにおいては、小型化、薄型化を図ることが必要である。
小型化、薄型化を図るためには、光ファイバ（光ファイバアレイ）を実装基板に対して平行に配置するのが望ましい。この場合、光ファイバの端面と面型光素子の光入射面又は光出射面とは略直角の位置関係になる。
このため、基板上に実装された面型光素子の光入射面又は光出射面に対して垂直に入射又は出射する光の経路（光路）を略９０度曲げて、光ファイバと面型光素子とを光学的に接続することが必要になる。
【０００４】
そこで、例えば光トランシーバなどの装置内の狭いスペースで光の経路を急峻に曲げるために、略直角の曲面上に光導波路（曲線導波路）を有する光導波路構造体を用い、面型光素子に対して入射又は出射する光を、曲面に沿って導いて、光ファイバアレイに結合させる技術がある。
このような光導波路構造体は、曲面上に液状コア材料を滴下し、その上にフィルムを貼り付け、シリコンゴムのような柔らかい素材を用いて一定の圧力で押さえ付けることによって液状コア材料を薄く延ばし、紫外線照射によって硬化させることによって製造される。
【特許文献１】特開２００５−１１５３４６号公報
【特許文献２】特開２００７−２６４０３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述のような光導波路構造体において、曲面上に貼り付けられるフィルムは、最終製品としての光導波路構造体のクラッド部を構成する。このため、フィルムには、（１）屈折率が導波路コアとなる液状コア材料よりも少し（例えば１％）低いこと、（２）使用波長の光に対して透明であること、（３）所定の曲率に容易に曲げることができ、かつ、十分な曲げ強度を有することなどが要求される。
【０００６】
しかしながら、このような要求を満たすフィルムは極めて限定されている。特に、全体の小型化のために曲げ半径を小さくするのには限界がある。
例えば、ポリオレフィン系樹脂で厚さ５０μｍのフィルムを形成し、曲率半径が例えば約１ｍｍになるように曲げる場合、その内周／外周には破断応力と同等の大きな圧縮応力／引張応力がかかり、クラックが発生することが懸念される。特に、クラックは一旦発生すると時間とともに成長していき、場合によってはコア部分にまで到達してしまい、この結果、損失が増大してしまう場合がある。
【０００７】
そこで、曲面上に光導波路（曲線導波路）を有する小型の光導波路構造体の信頼性を高めたい。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このため、光導波路構造体は、曲面上に形成された溝を有するクラッド構造体と、溝に形成された導波路コアと、導波路コアを覆うクラッドフィルムと、クラッドフィルムの表面に形成された応力緩和層とを備えることを要件とする。
光モジュールは、上記の光導波路構造体を備えることを要件とする。
光導波路構造体の製造方法は、曲面上に溝を有するクラッド構造体の溝にコア材料を充填するとともに、溝をクラッドフィルムで覆い、クラッドフィルムの表面に応力緩和層を形成することを要件とする。
【発明の効果】
【０００９】
したがって、光導波路構造体及びその製造方法、光モジュールによれば、曲面上に光導波路（曲線導波路）を有する小型の光導波路構造体の信頼性を高めることができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面により、本実施形態にかかる光導波路構造体及びその製造方法、光モジュールについて、図１を参照しながら説明する。
まず、本光導波路構造体は、曲線状の導波路コア内を光が伝播するように形成された曲線光導波路部品（例えばポリマ光導波路）であって、図１に示すように、曲面２上に形成された複数の溝３を有するクラッド構造体（下部クラッド）１と、各溝３に形成された導波路コア４と、複数の導波路コア４を覆うクラッドフィルム（上部クラッド）５と、クラッドフィルム５の表面に形成された応力緩和層（カバー樹脂層）６とを備える。
【００１１】
ここで、クラッド構造体１は、図１に示すように、構造体表面の曲面２上に、曲面２の一端から他端まで延びる溝（導波路用溝；細溝）３を有する曲面構造体である。ここでは、クラッド構造体１は、透明なクラッド材料からなる透明部材によって形成された透明構造体であって、屈折率ｎ１を有する。例えばオレフィン系ポリマ（例えばポリオレフィン）を用いたモールド成型体（樹脂成型体）である。
【００１２】
導波路コア４は、図１，図２に示すように、クラッド構造体１の曲面表層部に形成された溝３を透明なコア材料で埋め込むことによって形成されている。このため、導波路コア４は、クラッド構造体１の曲面２に沿って曲線状に形成されており、柱状になっている。この導波路コア４は、クラッド構造体１の屈折率ｎ１よりも大きい屈折率ｎ２を有する（ｎ２＞ｎ１）。
【００１３】
なお、後述するように、本実施形態では、導波路コア４を、液状コア材料（液状接着剤）を塗布し、硬化させて形成しているため、硬化後の屈折率がｎ２になる材料（屈折率がｎ２の透明固体）を用いる。
クラッドフィルム５は、図１，図２に示すように、クラッド構造体１の曲面２上の溝３に形成された導波路コア４を覆うようにラミネートされている。このクラッドフィルム５は、導波路コア４の屈折率ｎ２よりも小さい屈折率ｎ３を有する（ｎ３＜ｎ２）。
【００１４】
ところで、クラッドフィルム５は、屈折率が導波路コア４よりも少し低く、導波路コア４内を伝播する光に対して透明で、屈折率が一定になるように形成すると、延性や柔軟性が十分でないものとなりやすく、クラックが発生しやすい。また、一旦クラックが発生すると、応力集中でクラックは徐々に成長してしまい、導波路コア４に到達してしまうと、光の損失につながる。
【００１５】
このため、本実施形態では、図１，図２に示すように、クラッドフィルム５に生じた応力を緩和するための応力緩和層６を設けている。
この応力緩和層６を設けることで、クラッドフィルム５にクラックが発生しにくくなり、また、万一、製造過程でクラックが発生しても、その後、クラックが成長しにくくなる。これにより、クラックに起因して経時的に損失が増大してしまうのを防止することができる。
【００１６】
ここでは、後述するように、応力緩和層６は、クラッドフィルム５の表面に透明な液状樹脂材料（液状接着剤）を塗布し、硬化させることによって形成された樹脂層である。このように、導波路コア４内を伝播する光に対して透明な樹脂材料を用いることで、導波路コア４内を伝播する光に影響を与えないようにすることができる。なお、応力緩和層６が導波路コア４内を伝播する光にそれほど影響を与えないのであれば、透明材料によって形成しなくても良い。
【００１７】
この応力緩和層６を形成する前にクラッドフィルム５の表面にクラックが発生している場合には、応力緩和層６としての樹脂層は、クラッドフィルム５の表面に生じたクラックが埋め込まれるように形成される。ここでは、楔状のクラックに入り込むように液状樹脂材料が塗布され、一体固化される。この場合、応力緩和層６としての樹脂層は、クラッドフィルム５の表面に生じたクラックを埋めることができる程度の厚さ（例えばクラッドフィルム５と同等の厚さ）に形成すれば良い。これにより、接着剤として機能する樹脂層６によって密着固定され、クラックが成長しにくくなる。
【００１８】
このように、クラックが成長する前の初期段階で表面を接着剤として機能する樹脂層６で固めてしまうことで、クラックが時間とともに成長し、場合によってはコア部分にまで到達してしまい、損失が増大してしまうのを未然に防ぐことができる。
なお、応力緩和層６としての樹脂層は、クラッドフィルム５の表面のクラックが生じた部分のみを覆うように形成しても良いが、その後にクラックが発生する可能性を考慮すると、クラックが生じているか否かにかかわらず、クラッドフィルム５の表面全面に形成するのが好ましい。これにより、クラックが発生しにくくなり、クラックの発生を未然に防止することができる。
【００１９】
ところで、外部から導波路コアに光を入射させる場合、その位置あわせにある程度の誤差は避けられないため、図３に示すように、その一部が導波路コアの周囲に漏れ出してしまう。このうち、クラッドフィルム側に漏れ出した光は、クラッドフィルムの表面が平滑であるため、この表面（即ち、空気との界面）で反射され、導波路コア方向へ広がりながら戻ってきてしまう。そして、クラッド構造体の曲面上には複数の導波路コアが隣接して形成されているため、その一部が隣接する導波路コア内に入ってしまい、クロストーク（クロストークノイズ）が生じてしまう。
【００２０】
そこで、本実施形態では、応力緩和層６の屈折率ｎ４を、クラッドフィルム５の屈折率ｎ３よりも大きくしている（ｎ４＞ｎ３）。
例えば、応力緩和層６を、導波路コア４と同一の材料によって形成すれば良い。この場合、応力緩和層６の屈折率ｎ４は、導波路コア４の屈折率ｎ２と同一になる（ｎ２-＝ｎ４）。これにより、応力緩和層６を形成するために、別に材料を用意しなくても良いという利点がある。
【００２１】
なお、後述するように、本実施形態では、応力緩和層６としての樹脂層を、液状樹脂材料を塗布し、硬化させて形成しているため、硬化後の屈折率がｎ４になる材料を用いる。また、応力緩和層６は、クラッドフィルム５よりも大きい屈折率を有するものであれば良く、例えば、導波路コア４と異なる材料によって形成しても良いし、導波路コア４と異なる屈折率を有していても良い。
【００２２】
このため、図２に示すように、導波路コア４からの漏れ光が、応力緩和層６の表面（即ち、空気との界面）で反射したとしても、応力緩和層６内に閉じ込められて終端まで伝播されることになる。また、応力緩和層６としての樹脂層の表面はフィルムのように平滑ではないため、外部に散乱放射されることになる。
これにより、一の導波路コア４からの漏れ光が隣接する他の導波路コア４へ戻ってきて、クロストークが生じてしまうのを防止することができる。この結果、クラックに起因する損失の増大を防ぐとともに、隣接チャンネル間のクロストークを低減し、クロストーク性能を改善することができ、信頼性を高めることができる。
【００２３】
また、クロストーク性能の改善を考慮しなくても良いのであれば、応力緩和層６は、クラッドフィルム５と同一の屈折率を有するものであっても良い。この場合も、クラックに起因する損失の増大を防ぎ、信頼性を高めることができる。
次に、本実施形態にかかる光導波路構造体の製造方法について、図４（Ａ）〜（Ｇ）を参照しながら説明する。
【００２４】
本光導波路構造体の製造方法は、図４（Ａ）〜（Ｇ）に示すような各工程を含む。
まず、図４（Ａ）に示すように、構造体表面の曲面２上に、曲面２の一端から他端まで延びる溝（導波路用溝；細溝）３を有する曲面構造体（クラッド構造体；透明構造体）１を、例えばオレフィン系ポリマ（ポリオレフィン；透明なクラッド材料からなる透明部材）を用い、モールド成型によって作製する。つまり、予め曲面２上に溝３が形成されている曲面構造体（モールド母材；モールド光導波路）１を作製する。
【００２５】
次に、図４（Ｂ）に示すように、ディスペンサ（定量ディスペンサ；液体コア材料滴下装置）によって、曲面構造体１の溝３の一端側又は他端側の溝３を含む曲面２上に所定量の液状コア材料（導波路コア液；透明ポリマ液；透明液体；透明接着剤）４を滴下する。
次いで、図４（Ｃ）に示すように、液状コア材料４が滴下された側から反対側へ向けて、クラッドフィルム（例えばオレフィン系フィルム）５を徐々に押し付けて覆っていきながら（即ち、クラッドフィルム５をラミネートしていきながら）、溝３に液状コア材料４を充填していく。
【００２６】
次に、図４（Ｄ）に示すように、クラッドフィルム５によって覆われた状態で（即ち、クラッドフィルム５を曲面２上に押し付けたままの状態で）、例えば紫外線を照射して液状コア材料（例えばＵＶエポキシ樹脂；紫外線硬化性樹脂材料；光硬化性樹脂材料）４を硬化（ここでは半硬化；仮硬化）させる。
なお、本実施形態では、この段階で液状コア材料４を半硬化状態に留めておくため、その後、応力緩和層（カバー樹脂層）６を形成するカバー樹脂液を硬化させる工程において、カバー樹脂液６を硬化させるのと同時に液状コア材料４を完全に、或いは、略完全に硬化させることになる。なお、本明細書では、以下、このように、完全に、或いは、略完全に硬化させることを「本硬化」という。
【００２７】
ここでは、透明曲面構造体１の裏面側から曲面構造体１を通して例えば紫外線を照射して液状コア材料４を硬化（ここでは半硬化）させるようにしている。なお、クラッドフィルム５として透明フィルムを用いる場合、表面側からクラッドフィルム５を通して例えば紫外線を照射して液状コア材料４を硬化（ここでは半硬化）させるようにしても良い。
なお、ここでは、液状コア材料４は、この段階では半硬化させるようにしているが、これに限られるものではなく、この段階で本硬化させるようにしても良い。
【００２８】
このようにして液状コア材料４を硬化（ここでは半硬化）させた後、図４（Ｅ）に示すように、クラッドフィルム５の表面が覆われるようにカバー樹脂液（液状樹脂材料；透明液体；熱硬化性樹脂材料）６を塗布（上塗り）する。例えば、カバー樹脂液６は、硬化後の屈折率ｎ４がクラッドフィルム５の屈折率ｎ３よりも大きくなるものを用いれば良い（ｎ４＞ｎ３）。例えば液状コア材料４と同じ透明ポリマ液を用いることができる。
【００２９】
その後、図４（Ｆ）に示すように、例えば熱を加えてカバー樹脂液６を硬化させる。本実施形態では、これと同時に液状コア材料４が本硬化することになる。これにより、クラッドフィルム５の表面を覆うようにカバー樹脂層（応力緩和層）６が形成されるとともに、導波路コア４が形成される。
このようにして、曲面２上に複数のチャネル状の光導波路（曲線導波路；光路）７を備える光導波路構造体８を製造する。なお、光導波路構造体８は、ポリマを主材料とするポリマ光導波路であり、光導波路部材ともいう。
【００３０】
したがって、本実施形態にかかる光導波路構造体及びその製造方法によれば、曲率半径の小さい曲面に光導波路（曲線導波路）７を有する小型の光導波路構造体８の信頼性を高めることができるという利点がある。また、このような光導波路構造体８のクロストーク性能を改善することができるという利点もある。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することができる。
【００３１】
また、上述の実施形態では、液体コア材料４として、例えばＵＶエポキシ樹脂材料などの紫外線硬化性樹脂材料を用い、紫外線を照射して硬化させるようにしているが、これに限られるものではなく、例えば、液体コア材料として光硬化性樹脂材料を用い、光を照射して硬化させるようにしても良い。また、液体コア材料として熱硬化性樹脂材料を用い、熱を加えて硬化させるようにしても良い。
【００３２】
また、上述の実施形態では、応力緩和層６を形成する液状樹脂材料として熱硬化性樹脂材料を用い、熱を加えて硬化させるようにしているが、これに限られるものではなく、例えば紫外線硬化性樹脂材料などの光硬化性樹脂材料を用い、光を照射して硬化させるようにしても良い。
なお、このようにして作製される光導波路構造体８は、例えば、入力された電気信号を光信号に変換し、アレイ状の光ファイバを介して送信する機能（光送信機）と、光ファイバアレイを介して入力された光信号を電気信号に変換して受信する機能（光受信機）とを備える多チャンネル光トランシーバ（光モジュール）に用いられる。
【００３３】
この場合、多チャンネル光トランシーバは、例えば図５に示すように、プリント基板（回路基板）３０と、表面に入射面を有する複数の面型受光素子からなる面型受光素子アレイ３１と、表面に出射面を有する複数の面型発光素子からなる面型発光素子アレイ３２と、ドライバＩＣ３５と、レシーバＩＣ３６と、複数の曲線導波路７を備える光導波路構造体８とを備えるものとして構成される。なお、送信側４チャンネル、受信側４チャンネルの光トランシーバを例に挙げている。
【００３４】
なお、ここでは、面型受光素子は、フォトダイオード（フォトディテクタ；ＰＤ；Photo detector）であり、面型受光素子アレイ３１はＰＤアレイチップである。また、面型発光素子は、面発光レーザ［ＶＣＳＥＬ（Vertical-Cavity Surface−Emitting Laser）］であり、面型発光素子アレイ３２はＶＣＳＥＬアレイチップある。
そして、光導波路構造体８は、その一の端面を介してプリント基板３０上に実装され、この一の端面には、面型受光素子アレイ３１及び面型発光素子アレイ３２が例えばレンズなどを介して光学的に接続され、この一の端面に直交する他の端面には、複数の光ファイバからなる光ファイバアレイ３３が光学的に接続される。なお、ここでは、光ファイバアレイ３３はリボンファイバである。また、ここでは、光コネクタ３４付きの光ファイバアレイ３３を用いている。
【００３５】
また、プリント基板３０は、装置側電気コネクタを介して外部装置と電気的に接続されており、電気信号が入力又は出力（電気Ｉ／Ｏ）されるようになっている。
なお、ここでは、上述の光導波路構造体８を備える光モジュールとして、光送信機と光受信機とを備える光トランシーバを例に挙げて説明しているが、これに限られるものではなく、例えば、上述の光導波路構造体８を備える光送信機、あるいは、上述の光導波路構造体８を備える光受信機として構成することもできる。
【実施例】
【００３６】
以下、実施例によって更に詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。
本実施例では、上述の実施形態で説明した製造方法（プロセスフロー）によって、曲面上に光導波路を有する光導波路構造体（ポリマ光導波路）のサンプルを作製し、表面に発生したクラックを、従来の製造方法によって作製したサンプルと比較した。
【００３７】
本実施例では、透明曲面構造体１を射出成型（モールド成型）によって作製して用いた。つまり、曲率半径２.０ｍｍの曲面（１／４円弧）を凸面とし、この凸面を構成する曲面２に沿って縦０．０５ｍｍ×横０．０５ｍｍの形状を有する８本の溝（導波路溝）３が平行に形成されたモールド成型体を曲面構造体１として用いた。材料はポリオレフィンを用いた。波長８５０ｎｍでの屈折率は１．５であった。
【００３８】
充填用のコア液（ポリマ液）４には、硬化後の屈折率が１．６となる紫外線硬化型エポキシ樹脂を用いた。
コア液４が充填された溝（導波路溝）３の上部を覆うクラッドフィルム５には、ポリオレフィン製で厚さ０．０５ｍｍのフィルム（透明フィルム；オレフィンフィルム）を用いた。
【００３９】
コア液４の硬化後、クラッドフィルム５の表面に塗布されるカバー樹脂液６には、硬化後の屈折率が１．５となるエポキシ樹脂を用いた。
これらを用いて、以下のようにして光導波路構造体８のサンプルを作製した。
まず、透明曲面構造体１の曲面２上の溝部分に、定量ディスペンサによって例えば０．１ｃｃのコア液４を滴下した。
【００４０】
次に、その表面にクラッドフィルム５を押し当てながら、溝３にコア液４を完全に充填し、同時に溝３以外の部分のコア液４を排除した。
この状態でコア液４に紫外線を照射して半硬化させた。なお、ここではコア液４を半硬化させるに留めているが、この段階で本硬化させても良い。
続いて、クラッドフィルム５の表面上にディスペンサによってカバー樹脂液６を塗布し、スピンコータを用いて薄く延ばしてカバー樹脂液６をコーティングした。なお、カバー樹脂液６の厚さは均一である必要はないが、これを硬化させて形成される応力緩和層６からの応力を低減するために、できるだけ薄いのが望ましい。
【００４１】
そして、これをオーブンに入れて１２０℃で６０分にわたって加熱してカバー樹脂液６を硬化させるとともに、コア液４を本硬化させた。これにより、カバー樹脂層（応力緩和層）６が形成されるとともに、導波路コア４が形成される。
一方、比較例として、従来の製造方法によって作製したサンプルも用意した。つまり、コア液を半硬化させた後、カバー樹脂液を塗布せずに（即ち、応力緩和層を形成せずに）、そのままオーブンに投入して１２０℃で６０分にわたって加熱してコア液を本硬化させて作製したサンプルを用意した。
【００４２】
このようにして得られたサンプルの表面を観察し、コア４の上部のクラッド６でのクラックの有無を評価した。
従来の製造方法によって作製したサンプルでは、２０サンプル中、１４個にクラックが観察されたのに対し、本製造方法によって作製したサンプルでは、クラックの発生は確認されず、２０サンプル中、０個であった。
【００４３】
次に、８本の導波路コア４のうちの１本に、直径φ５０μｍのマルチモードファイバを介して、波長８５０ｎｍの光を入射させ、反対側の終端で、他の導波路コア４から出射される光の強度（隣接チャンネルへの漏れ光の強度）を測定した。
この結果、従来の製造方法によって作製したサンプルでは、他の導波路コア４からの出射光量（漏れ光の出射光量）は、入射光量の−２０〜−２５ｄＢのレンジにあったが、本製造方法によって作製したサンプルでは、−３０〜−３５ｄＢのレンジになっており、ノイズ（クロストークノイズ）を低減できることが確認できた。
【００４４】
以下、上述の実施形態に関し、更に、付記を開示する。
（付記１）
曲面上に形成された溝を有するクラッド構造体と、
前記溝に形成された導波路コアと、
前記導波路コアを覆うクラッドフィルムと、
前記クラッドフィルムの表面に形成された応力緩和層とを備えることを特徴とする光導波路構造体。
【００４５】
（付記２）
前記応力緩和層は、前記クラッドフィルムの表面に塗布された樹脂層であることを特徴とする、付記１記載の光導波路構造体。
（付記３）
前記応力緩和層は、前記クラッドフィルムよりも大きい屈折率を有することを特徴とする、付記１又は２記載の光導波路構造体。
【００４６】
（付記４）
前記応力緩和層は、前記クラッドフィルムの表面に生じたクラックが埋め込まれるように形成されていることを特徴とする、付記１〜３のいずれか１項に記載の光導波路構造体。
（付記５）
前記応力緩和層は、前記導波路コアと同一の材料によって形成されていることを特徴とする、付記１〜４のいずれか１項に記載の光導波路構造体。
【００４７】
（付記６）
付記１〜５のいずれか１項に記載の光導波路構造体を備えることを特徴とする光モジュール。
（付記７）
曲面上に溝を有するクラッド構造体の前記溝にコア材料を充填するとともに、前記溝をクラッドフィルムで覆い、
前記クラッドフィルムの表面に応力緩和層を形成することを特徴とする光導波路構造体の製造方法。
【００４８】
（付記８）
前記クラッドフィルムの表面に液状樹脂材料を塗布し、硬化させて、前記応力緩和層を形成することを特徴とする、付記７記載の光導波路構造体の製造方法。
（付記９）
前記溝に液状コア材料を充填するとともに、前記溝をクラッドフィルムで覆い、
前記クラッドフィルムで覆われた状態で前記液状コア材料を硬化させることを特徴とする、付記７又は８記載の光導波路構造体の製造方法。
【００４９】
（付記１０）
前記溝に液状コア材料を充填するとともに、前記溝をクラッドフィルムで覆い、
前記クラッドフィルムで覆われた状態で前記液状コア材料を仮硬化させ、
前記クラッドフィルムの表面に液状樹脂材料を塗布し、
前記液状樹脂材料を硬化させて前記応力緩和層を形成するとともに前記液状コア材料を本硬化させることを特徴とする、付記７記載の光導波路構造体の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施形態にかかる光導波路構造体の構成を示す模式的斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる光導波路構造体の構成を示す模式的断面図である。
【図３】本発明の一実施形態にかかる光導波路構造体の課題を説明するための模式的断面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｇ）は、本発明の一実施形態にかかる光導波路構造体の製造方法を説明するための図である。
【図５】本発明の一実施形態にかかる光導波路構造体を用いた多チャンネル光トランシーバ（光モジュール）を説明するための模式的斜視図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  曲面構造体（クラッド構造体）
２  曲面（凸面）
３  溝（導波路用溝）
４  液状コア材料（導波路コア）
５  クラッドフィルム
６  応力緩和層（カバー樹脂液）
７  光導波路（曲線導波路）
８  光導波路構造体（ポリマ光導波路）
３０  プリント基板（回路基板）
３１  面型受光素子アレイ（ＰＤアレイチップ）
３２  面型発光素子アレイ（ＶＣＳＥＬアレイチップ）
３３  光ファイバアレイ（リボンファイバ）
３４  光コネクタ
３５  ドライバＩＣ
３６  レシーバＩＣ
【図１】
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【図２】
2009223184.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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