(57)【要約】【課題】推力有効部におけるコイル密度（コイル占積率）を高め、駆動効率を向上できる三相リニアモータ用コイルユニット、及び三相リニアモータを提供する。【解決手段】三相リニアモータ用コイルユニット７は、３つのコイル４〜６を備える。コイル４は、Ｚ軸方向を各々の長手方向とし、Ｚ軸方向と直交するＹ軸方向に並んで設けられた一対の直線部４ａ，４ｂと、該一対の直線部４ａ，４ｂの両端同士を連結する一対の連結部４ｃ，４ｄとを含む。コイル５も同様に直線部５ａ，５ｂ及び連結部５ｃ，５ｄを含み、コイル６も直線部６ａ，６ｂ及び連結部６ｃ，６ｄを含む。各一対の直線部のうち一方の直線部４ａ，５ａ，及び６ａは、Ｙ軸方向にこの順に互いに隣接して配列されており、他方の直線部４ｂ，５ｂ，及び６ｂは、直線部６ａから連続してＹ軸方向にこの順に互いに隣接して配列されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向を各々の長手方向とし、該第１の方向と交差する第２の方向に並んで設けられた一対の直線部と、該一対の直線部の両端同士を連結する一対の連結部とをそれぞれ含む第１、第２及び第３のコイルを備え、
前記第１、第２及び第３のコイルそれぞれの前記一対の直線部のうち一方の直線部が、前記第２の方向に前記第１、第２及び第３のコイルの順に互いに隣接して配列されており、前記第１、第２及び第３のコイルそれぞれの前記一対の直線部のうち他方の直線部が、前記第３のコイルの前記一方の直線部から連続して前記第２の方向に前記第１、第２及び第３のコイルの順に互いに隣接して配列されていることを特徴とする、三相リニアモータ用コイルユニット。
【請求項２】
前記第２のコイルの前記連結部と前記一対の直線部とが一平面に沿って配置されており、
前記第１及び第３のコイルの各連結部が、前記第２のコイルの前記連結部を互いの間に挟むように前記直線部に対し屈曲して配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の三相リニアモータ用コイルユニット。
【請求項３】
前記第１及び第３のコイルが互いに同一の形状を有することを特徴とする、請求項２に記載の三相リニアモータ用コイルユニット。
【請求項４】
前記第１のコイルの前記連結部と前記一対の直線部とが一平面に沿って配置されており、
前記第２及び第３のコイルの各連結部が、前記第１のコイルの前記連結部を互いの間に挟むように前記直線部に対し屈曲して配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の三相リニアモータ用コイルユニット。
【請求項５】
前記第２及び第３のコイルが互いに同一の形状を有することを特徴とする、請求項４に記載の三相リニアモータ用コイルユニット。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の三相リニアモータ用コイルユニットを一又は複数備えることを特徴とする、三相リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、三相リニアモータの駆動部となる複数のコイルを有する三相リニアモータ用コイルユニット、及び三相リニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、三相リニアモータとして、可動子（駆動部）を構成する複数のコイルを可動子の移動方向に一列に並べ、保持体（ケース）の中に収容し固定することにより一体に組み立てて、コイルユニットを構成するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。図９は、特許文献１に記載された複数のコイルの形状および配置を示す斜視図である。同図に示されるように、複数のコイル１００は、その直線部１０２、すなわち可動子の移動方向と直交する方向に延びており磁界を受けて推力を発生する部分が、隣接するコイル１００の環の内部に鎖状に嵌合するように、交互に組み合わされている。
【特許文献１】特開平１０−５２０２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、複数のコイルを特許文献１記載のように組み合わせた場合、コイルユニットの両端に位置するコイルに隣接するコイルは一つだけなので、当該コイルの環の内部には、隣接する一つのコイルの直線部しか嵌入されない。したがって、複数のコイルの環の大きさを全て同一とした場合、コイルユニットの両端に位置するコイルの環の内部に空隙（図中のＡ部分）が生じてしまうので、可動子の推力有効部におけるコイル密度（コイル占積率）が小さくなり、可動子の駆動効率が低下してしまう。
【０００４】
本発明は、上記した問題点を鑑みてなされたものであり、推力有効部におけるコイル密度（コイル占積率）を高め、駆動効率を向上できる三相リニアモータ用コイルユニット、及び三相リニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記した課題を解決するために、本発明による三相リニアモータ用コイルユニットは、第１の方向を各々の長手方向とし、該第１の方向と交差する第２の方向に並んで設けられた一対の直線部と、該一対の直線部の両端同士を連結する一対の連結部とをそれぞれ含む第１、第２及び第３のコイルを備え、第１、第２及び第３のコイルそれぞれの一対の直線部のうち一方の直線部が、第２の方向に第１、第２及び第３のコイルの順に互いに隣接して配列されており、第１、第２及び第３のコイルそれぞれの一対の直線部のうち他方の直線部が、第３のコイルの一方の直線部から連続して第２の方向に第１、第２及び第３のコイルの順に互いに隣接して配列されていることを特徴とする。
【０００６】
上記した三相リニアモータ用コイルユニットにおいては、３個のコイル（第１、第２および第３のコイル）によって一つの独立したコイルユニットが構成されており、各コイルの直線部が順に隣接して配置されるように互いに組み合わされている。これにより、各コイルの環の大きさを一定にしつつ、コイルの環の内側における空隙の発生を防止できるので、当該三相リニアモータ用コイルユニットの推力有効部におけるコイル密度（コイル占積率）を大きくでき、駆動効率を向上できる。
【０００７】
また、三相リニアモータ用コイルユニットは、第２のコイルの連結部と一対の直線部とが一平面に沿って配置されており、第１及び第３のコイルの各連結部が、第２のコイルの連結部を互いの間に挟むように直線部に対し屈曲して配設されていることを特徴としてもよい。このような構成によって、上述した各コイルの直線部の配置を好適に実現できる。また、この場合、第１及び第３のコイルが互いに同一の形状を有すると尚良い。これにより、部品の種類を削減し、信頼性および生産性を向上できる。
【０００８】
また、三相リニアモータ用コイルユニットは、第１のコイルの連結部と一対の直線部とが一平面に沿って配置されており、第２及び第３のコイルの各連結部が、第１のコイルの連結部を互いの間に挟むように直線部に対し屈曲して配設されていることを特徴としてもよい。このような構成によっても、上述した各コイルの直線部の配置を好適に実現できる。また、この場合、第２及び第３のコイルが互いに同一の形状を有すると尚良い。これにより、部品の種類を削減し、信頼性および生産性を向上できる。
【０００９】
また、本発明による三相リニアモータは、上記したいずれかの三相リニアモータ用コイルユニットを一又は複数備えることを特徴とする。このような三相リニアモータによれば、推力有効部におけるコイル密度（コイル占積率）を高め、駆動効率を向上できる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明による三相リニアモータ用コイルユニット及び三相リニアモータによれば、推力有効部におけるコイル密度（コイル占積率）を高め、駆動効率を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照しながら本発明による三相リニアモータ用コイルユニット及び三相リニアモータの実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１２】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る三相リニアモータ１を示す斜視図であり、図２は、図１に示された可動子２の横断面図である。図１に示すように、三相リニアモータ１は、コイル４〜６（図２参照）を収容する可動子２と、可動子２をその進行方向へ案内しながら移動させるための磁石ユニット８とを備えており、例えば、ＸＹステージの駆動部などとして用いられる。なお、図１において、可動子２の進行方向をＹ軸方向とし、それと直交する水平方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向およびＹ軸方向と直交する垂直方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向は特許請求の範囲における第１の方向に相当し、Ｙ軸方向は特許請求の範囲における第２の方向に相当する。
【００１３】
可動子２は、コイル４（第１のコイル）、コイル５（第２のコイル）、及びコイル６（第３のコイル）から成る三相リニアモータ用コイルユニット（以下、コイルユニット）を一又は複数備えており、このコイルユニットの全面をモールド材９により被覆し、その被覆の上端部を覆うようにホルダ１０が取り付けられることによって構成される。この可動子２の横断面は、図２に示すように、Ｚ軸方向に延びる本体部２ａと、幅広の上端部２ｂ及び下端部２ｃとを有する略Ｉ字状の形状を呈しており、このような断面形状がＹ軸方向に延在する構成とされている。そして、可動子２は、コイル４〜６への通電によって電磁力を発生させ、Ｙ軸方向に沿って移動する。なお、コイル４〜６から成るコイルユニットの詳細な構成については後述する。
【００１４】
図１に示すように、磁石ユニット８は、ベースヨーク８ａを底部、互いに対向する一対のサイドヨーク８ｂを両側部として組み合わせた構成を有している。サイドヨーク８ｂの内壁には、Ｙ軸方向に沿ってＮ極の磁石８１とＳ極の磁石８２とが交互に並設されている。
【００１５】
これらの磁石８１，８２は、可動子２の本体部２ａの両側面２ｄに対して所定の隙間を隔てて対向して配置されている。また、ベースヨーク８ａは、可動子２の下端部２ｃに対して所定の隙間を隔てて対向して配置されている。そして、可動子２は、磁石８１及び８２の間において通電されることにより電磁力を発生し、磁石ユニット８に対してＹ軸方向に移動する。
【００１６】
ここで、コイル４〜６から成るコイルユニットの構成について詳細に説明する。図３（ａ）は、コイル４〜６から成るコイルユニット７をＸ軸方向から見た正面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示したコイルユニット７のIIIｂ−IIIｂ線に沿った断面図であり、図３（ｃ）は、図３（ａ）に示したコイルユニット７のIIIｃ−IIIｃ線に沿った断面図である。また、図４（ａ）はコイルユニット７の分解斜視図であり、図４（ｂ）はコイルユニット７の斜視図であり、図４（ｃ）は図４（ａ）に示した分解斜視図に対応する上面図である。可動子２は、図３及び図４に示すようなコイルユニット７を一又は複数備えており、可動子２がコイルユニット７を複数備える場合には、該複数のコイルユニット７がＹ軸方向に並設される。
【００１７】
本実施形態に係るコイルユニット７は、前述したように３個のコイル４，５，及び６によって構成されている。コイル４〜６は、導電線が略矩形状に巻回されることにより構成され、各コイル４〜６の環の大きさはほぼ同一となっている。なお、コイル４〜６は、三相リニアモータ１におけるＵ相、Ｖ相、およびＷ相にそれぞれ対応している。
【００１８】
コイル４は、一対の直線部４ａ，４ｂと、該一対の直線部４ａ，４ｂの両端同士を連結する一対の連結部４ｃ，４ｄとを含んでいる。同様に、コイル５は一対の直線部５ａ，５ｂと一対の連結部５ｃ，５ｄとを含んでおり、コイル６は一対の直線部６ａ，６ｂと一対の連結部６ｃ，６ｄとを含んでいる。
【００１９】
各直線部４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，６ａ，及び６ｂは、図１に示したＺ軸方向を長手方向として配設されており、Ｙ軸方向に並んで設けられている。具体的には、図３（ａ）、図３（ｃ）及び図４（ｂ）に示すように、コイル４〜６における一方の直線部４ａ，５ａ，及び６ａが、Ｙ軸方向においてこの順序で互いに隣接して配列されており、コイル４〜６における他方の直線部４ｂ，５ｂ，及び６ｂが、Ｙ軸方向において直線部６ａから連続してこの順序で互いに隣接して配置されている。なお、各直線部４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，６ａ，及び６ｂは、Ｘ軸方向における厚さが互いに同一であって、それらの中心線が互いに平行であり、且つＹ軸方向に沿った架空の直線と全ての中心線とが交差するように配置されている。したがって、各直線部４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，６ａ，及び６ｂにおける一方の側面はＹＺ平面に沿った一つの平面に含まれ、他方の側面はＹＺ平面に沿った別の一つの平面に含まれることとなる。
【００２０】
コイル４の連結部４ｃは、該コイル４の直線部４ａ及び４ｂの上端同士を連結しており、コイル４の連結部４ｄは、該コイル４の直線部４ａ及び４ｂの下端同士を連結している。連結部４ｃ及び４ｄは、直線部４ａ，４ｂに対してＸ軸方向の一方の向きに屈曲して配設されている。また、コイル５の連結部５ｃは、該コイル５の直線部５ａ及び５ｂの上端同士を連結しており、コイル５の連結部５ｄは、該コイル５の直線部５ａ及び５ｂの下端同士を連結している。連結部５ｃ及び５ｄは、連結部４ｃ及び４ｄのように屈曲されておらず、直線部５ａ，５ｂと同一平面に沿って配設されている。これにより、コイル５は扁平な環状を呈している。コイル６の連結部６ｃは、該コイル６の直線部６ａ及び６ｂの上端同士を連結しており、コイル６の連結部６ｄは、該コイル６の直線部６ａ及び６ｂの下端同士を連結している。連結部６ｃ及び６ｄは、直線部６ａ，６ｂに対してＸ軸方向の他方の向き（すなわち、連結部４ｃ及び４ｄとは逆向き）に屈曲して配設されている。これらの形状を有するコイル４，６がコイル５の両側から互いに組み合わされることにより、コイル４，６の各連結部４ｃ，６ｃが、コイル５の連結部５ｃを互いの間に挟み込むこととなり、また、各連結部４ｄ，６ｄが、連結部５ｄを互いの間に挟み込むこととなる。なお、コイル４及びコイル６は、互いに同一の形状を有することが好ましい。これにより、部品の種類を削減し、信頼性および生産性を向上できる。
【００２１】
本実施形態に係るコイルユニット７においては、３個のコイル４〜６によって一つの独立したコイルユニット７が構成されており、図３及び図４に示したように、各コイル４〜６の直線部４ａ，５ａ，６ａ，４ｂ，５ｂ，及び６ｂが順に隣接して配置されるように互いに組み合わされている。これにより、各コイル４〜６の環の大きさを一定にしつつ、コイル４〜６の環の内側における空隙の発生を防止できるので、当該コイルユニット７の推力有効部（すなわち、コイルユニット７において磁石８１，８２と対向する部位）におけるコイル密度（コイル占積率）を大きくでき、駆動効率を向上できる。
【００２２】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る三相リニアモータについて説明する。なお、本実施形態の三相リニアモータの構成のうち、コイルユニットを除く部分の構成に関しては第１実施形態と同様であるため、その説明を省略する。
【００２３】
図５及び図６は、本実施形態に係る三相リニアモータが備えるコイルユニット１７の構成を示す図である。図５（ａ）は、コイルユニット１７をＸ軸方向から見た正面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）に示したコイルユニット１７のＶｂ−Ｖｂ線に沿った断面図であり、図５（ｃ）は、図５（ａ）に示したコイルユニット１７のＶｃ−Ｖｃ線に沿った断面図である。また、図６（ａ）はコイルユニット１７の分解斜視図であり、図６（ｂ）はコイルユニット１７の斜視図であり、図６（ｃ）は図６（ａ）に示した分解斜視図に対応する上面図である。
【００２４】
本実施形態に係るコイルユニット１７は、３個のコイルすなわちコイル１４（第１のコイル）、コイル１５（第２のコイル）、及びコイル１６（第３のコイル）によって構成されている。コイル１４〜１６は、導電線が略矩形状に巻回されることにより構成され、各コイル１４〜１６の環の大きさはほぼ同一となっている。コイル１４〜１６は、三相リニアモータ１におけるＵ相、Ｖ相、およびＷ相にそれぞれ対応している。
【００２５】
コイル１４は、一対の直線部１４ａ，１４ｂと、該一対の直線部１４ａ，１４ｂの両端同士を連結する一対の連結部１４ｃ，１４ｄとを含んでいる。同様に、コイル１５は一対の直線部１５ａ，１５ｂと一対の連結部１５ｃ，１５ｄとを含んでおり、コイル１６は一対の直線部１６ａ，１６ｂと一対の連結部１６ｃ，１６ｄとを含んでいる。
【００２６】
各直線部１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ，１６ａ，及び１６ｂは、Ｚ軸方向を長手方向として配設されており、Ｙ軸方向に並んで設けられている。具体的には、図５（ａ）、図５（ｃ）及び図６（ｂ）に示すように、コイル１４〜１６における一方の直線部１４ａ，１５ａ，及び１６ａが、Ｙ軸方向においてこの順序で互いに隣接して配列されており、コイル１４〜１６における他方の直線部１４ｂ，１５ｂ，及び１６ｂが、Ｙ軸方向において直線部１６ａから連続してこの順序で互いに隣接して配置されている。なお、各直線部１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ，１６ａ，及び１６ｂの外観およびこれらの一体的形状については、第１実施形態の各直線部４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，６ａ，及び６ｂと同様である。
【００２７】
コイル１４の連結部１４ｃは、該コイル１４の直線部１４ａ及び１４ｂの上端同士を連結しており、コイル１４の連結部１４ｄは、該コイル１４の直線部１４ａ及び１４ｂの下端同士を連結している。連結部１４ｃ及び１４ｄは、後述する連結部１５ｃ，１５ｄや１６ｃ，１６ｄのように屈曲されておらず、直線部１４ａ，１４ｂと同一平面に沿って配設されている。これにより、コイル１４は扁平な環状を呈している。また、コイル１５の連結部１５ｃは、該コイル１５の直線部１５ａ及び１５ｂの上端同士を連結しており、コイル１５の連結部１５ｄは、該コイル１５の直線部１５ａ及び１５ｂの下端同士を連結している。連結部１５ｃ及び１５ｄは、直線部１５ａ，１５ｂに対してＸ軸方向の一方の向きに屈曲して配設されている。コイル１６の連結部１６ｃは、該コイル１６の直線部１６ａ及び１６ｂの上端同士を連結しており、コイル１６の連結部１６ｄは、該コイル１６の直線部１６ａ及び１６ｂの下端同士を連結している。連結部１６ｃ及び１６ｄは、直線部１６ａ，１６ｂに対してＸ軸方向の他方の向き（すなわち、連結部１５ｃ及び１５ｄとは逆向き）に屈曲して配設されている。これらの形状を有するコイル１５，１６がコイル１４の両側から互いに組み合わされることにより、コイル１５，１６の各連結部１５ｃ，１６ｃが、コイル１４の連結部１４ｃを互いの間に挟み込むこととなり、また、各連結部１５ｄ，１６ｄが、連結部１４ｄを互いの間に挟み込むこととなる。なお、コイル１５及びコイル１６は、互いに同一の形状を有することが好ましい。これにより、部品の種類を削減し、信頼性および生産性を向上できる。
【００２８】
本実施形態に係るコイルユニット１７においては、前述した第１実施形態と同様、３個のコイル１４〜１６によって一つの独立したコイルユニット１７が構成されており、図５及び図６に示したように、各コイル１４〜１６の直線部１４ａ，１５ａ，１６ａ，１４ｂ，１５ｂ，及び１６ｂが順に隣接して配置されるように互いに組み合わされている。これにより、各コイル１４〜１６の環の大きさを一定にしつつ、コイル１４〜１６の環の内側における空隙の発生を防止できるので、当該コイルユニット１７の推力有効部におけるコイル密度（コイル占積率）を大きくでき、駆動効率を向上できる。
【００２９】
（第３実施形態）
続いて、本発明の第３実施形態に係る三相リニアモータについて説明する。図７（ａ）は、本実施形態に係る三相リニアモータ１１の構成を示す斜視図である。また、図７（ｂ）は、三相リニアモータ１１が備える可動子１２の側面図である。なお、本実施形態の三相リニアモータ１１の構成のうち、可動子１２を除く部分の構成に関しては第１実施形態と同様であるため、図７（ａ）においてはその図示を省略している。
【００３０】
本実施形態の可動子１２は、Ｙ軸方向に複数連結されて連結型可動子１３を構成している。各可動子１２は、第１実施形態に示されたコイルユニット７、及び第２実施形態に示されたコイルユニット１７のうち何れか一方を１ユニットのみ含んでおり（図７（ｂ）参照）、このコイルユニット７（または１７）の全面をモールド材１９により被覆し、その被覆の上端部を覆うようにホルダ２０が取り付けられることによって構成される。なお、可動子１２の横断面形状は、第１実施形態において示された可動子２の横断面形状と同様である。複数の可動子１２からなる連結型可動子１３は、コイルユニット７（１７）への通電によって電磁力を発生させ、Ｙ軸方向に沿って移動する。なお、必要な推力によって連結型可動子１３の数を変えても良く、一つでもよい。
【００３１】
（第４実施形態）
続いて、本発明の第４実施形態に係る三相リニアモータについて説明する。図８（ａ）は、本実施形態に係る三相リニアモータ２１の構成を示す斜視図である。また、図８（ｂ）は、三相リニアモータ２１が備える可動子２２の側面図である。なお、本実施形態の三相リニアモータ２１の構成のうち、可動子２２を除く部分の構成に関しては第１実施形態と同様であるため、図８（ａ）においてはその図示を省略している。
【００３２】
本実施形態の可動子２２は、第１実施形態に示されたコイルユニット７、及び第２実施形態に示されたコイルユニット１７のうち何れか一方を複数含んでいる（図８（ｂ）参照）。複数のコイルユニット７（１７）はＹ軸方向に隙間なく並設されており、この複数のコイルユニット７（または１７）の全面をモールド材２９により被覆し、その被覆の上端部を覆うようにホルダ３０が取り付けられることによって可動子２２が構成されている。なお、可動子２２の横断面形状は、第１実施形態において示された可動子２の横断面形状と同様である。
【００３３】
そして、Ｙ軸方向における可動子２２の両端それぞれに可動子１２が連結されることにより、連結型可動子２３が構成されている。このような連結型可動子２３は、コイルユニット７（１７）への通電によって電磁力を発生させ、Ｙ軸方向に沿って移動する。
【００３４】
本発明に係る三相リニアモータの可動子は第３実施形態或いは第４実施形態のような形態であっても良く、前述した第１実施形態または第２実施形態による効果を好適に奏することができる。
【００３５】
本発明による三相リニアモータ用コイルユニット及び三相リニアモータは、上記した実施形態に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、第１実施形態では第２のコイル（コイル５）を扁平な形状としてこの第２のコイルを第１のコイル（コイル４）及び第３のコイル（コイル６）によって挟んだ形態を例示し、第２実施形態では第１のコイル（コイル１４）を扁平な形状としてこの第１のコイルを第２のコイル（コイル１５）及び第３のコイル（コイル１６）によって挟んだ形態を例示したが、本発明においては第１〜第３のコイルのうち何れが扁平形状を有してもよく、或いは、第１〜第３のコイルの連結部が全て屈曲していてもよい。また、上記実施形態はコイル側を可動子として説明したが、磁石側を可動子とした場合においても本発明を適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る三相リニアモータを示す斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る可動子の横断面図である。
【図３】第１実施形態に係る（ａ）コイルユニットをＸ軸方向から見た正面図、（ｂ）（ａ）に示したコイルユニットのIIIｂ−IIIｂ線に沿った断面図、（ｃ）（ａ）に示したコイルユニットのIIIｃ−IIIｃ線に沿った断面図である。
【図４】第１実施形態に係る（ａ）コイルユニットの分解斜視図、（ｂ）コイルユニットの斜視図、（ｃ）（ａ）に示した分解斜視図に対応する上面図である。
【図５】第２実施形態に係る（ａ）は、コイルユニットをＸ軸方向から見た正面図、（ｂ）（ａ）に示したコイルユニットのＶｂ−Ｖｂ線に沿った断面図、（ｃ）（ａ）に示したコイルユニットのＶｃ−Ｖｃ線に沿った断面図である。
【図６】第２実施形態に係る（ａ）コイルユニットの分解斜視図、（ｂ）コイルユニットの斜視図、（ｃ）（ａ）に示した分解斜視図に対応する上面図である。
【図７】（ａ）第３実施形態に係る三相リニアモータの構成を示す斜視図である。（ｂ）三相リニアモータが備える可動子の側面図である。
【図８】（ａ）第４実施形態に係る三相リニアモータの構成を示す斜視図である。（ｂ）三相リニアモータが備える可動子の側面図である。
【図９】特許文献１に記載された複数のコイルの形状および配置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３７】
１…三相リニアモータ、２…可動子、２ａ…本体部、２ｂ…上端部、２ｃ…下端部、２ｄ…両側面、４〜６、１４〜１６…コイル、４ａ〜６ａ、４ｂ〜６ｂ、１４ａ〜１６ａ、１４ｂ〜１６ｂ…直線部、４ｃ〜６ｃ、４ｄ〜６ｄ、１４ｃ〜１６ｃ、１４ｄ〜１６ｄ…連結部、７…（三相リニアモータ用）コイルユニット、８…磁石ユニット、８ａ…ベースヨーク、８ｂ…サイドヨーク、９…モールド材、１０…ホルダ、８１，８２…磁石。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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