(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体構成素子の外側表面を保護材料で被覆し、放熱性を改善した半導体構成素子、および、それを備えた装置の製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも１つの半導体構成素子４を備える装置に関し、この半導体構成素子の外側表面６は、保護材料５によって被覆されている。保護材料５への熱移動表面積を拡大するために、この外側表面６に表面構造９が設けられている。さらに、それを備えた装置の製造方法。【選択図】図１
2009224783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの半導体構成素子（４）を備える装置であって、
該半導体構成素子（４）の外側表面（６）は、保護材料（５）によって被覆されている
形式の装置において、
前記外側表面（６）には、保護材料（５）への熱移動表面積を拡大するために、表面構造（９）が設けられている、
ことを特徴とする装置。
【請求項２】
前記半導体構成措置（４）は、電力半導体構成素子、とりわけパワーICもしくはパワートランジスタ、とりわけMOSFETまたはIGBTである、
ことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記表面構造（９）は、ミリメータ構造および／またはマイクロメータ構造および／またはナノメータ構造を含む、
ことを特徴とする請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
種々異なる寸法設定の複数の前記表面構造（９）が重なり合うように配置されている、
ことを特徴とする請求項３記載の装置。
【請求項５】
前記表面構造（９）は、レーザ処理によって製造されている、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の装置。
【請求項６】
前記表面構造（９）は、少なくとも部分的に、有利には完全に、規則的に構成されているか、または統計的に分布した構造エレメントを有する、
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項記載の装置。
【請求項７】
前記表面構造（９）の断面は、少なくとも部分的に、有利には半導体構成素子全体にわたって、鋸歯状に形成されている、
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項記載の装置。
【請求項８】
前記表面構造（９）は、断面が矩形であり、かつ平行に互いに延在する複数の溝（１２）を有する、
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項記載の装置。
【請求項９】
前記半導体構成素子（４）は、とりわけシリコンから構成される基板（２）上に固定されている、
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項記載の装置。
【請求項１０】
前記保護材料（５）は、半導体構成素子（４）の側面に突き出ており、基板（２）の上まで延在している、
ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項記載の装置。
【請求項１１】
有利には請求項１から１０のいずれか一項記載の、少なくとも１つの半導体構成素子を有する装置（１）の製造方法であって、
前記半導体構成素子（４）の外側表面（６）を、保護材料（５）によって被覆する
形式の製造方法において、
前記半導体構成素子（４）の外側表面に、とりわけ前記保護材料（５）を被覆する前に、該保護材料（５）への熱移動表面積を拡大するために、表面構造（９）を設ける、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１２】
前記表面構造（９）を、レーザ処理によって、前記半導体構成素子（４）の外側表面（６）に設ける、
ことを特徴とする請求項１１記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
技術分野
本発明は、請求項１の上位概念に記載の、少なくとも１つの半導体構成素子を備える装置と、請求項１１の上位概念に記載の、少なくとも１つの半導体構成素子を備える装置の製造方法とに関する。
【０００２】
基板上に配置された電力半導体構成素子が公知であり、この電力半導体構成素子は、成形材料（Moldmasse）によって被覆されることが多い。この成形材料の役割は、電力半導体構成素子を、例えば湿気、攻撃性媒体、腐食などの周囲の影響から保護することである。それだけではなく成形材料は、しばしば電気絶縁体として機能する。成形材料の熱伝導性は、基板と比較して約１０倍低いので、公知の電気的電力半導体素子は、実質的にそれぞれ基板を介して放熱される。
【０００３】
DE 199 51 945 A1から、底部プレートに固定された半導体構成素子が公知である。この半導体構成素子の側壁は金属被覆されており、動作時に発生する熱を側面から放出することができる。この公知の装置は、保護材料によっては被覆されていない。
【０００４】
US 2006/0005952 A1から、マイクロ構造層と内室とを備える熱分配装置が公知である。この内室は、作業液を受容する役割を果たす。
【０００５】
DE 102 49 205 B3は、複数の半導体構成素子を備える装置を開示しており、これらの半導体構成素子には、別個の冷却体が割り当てられている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、半導体構成素子の外側表面を保護材料（Schutzmasse）で被覆し、半導体構成素子の放熱性を改善することである。さらなる課題は、上記装置に相応する製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は、請求項１記載の特徴的構成を備える装置と、請求項１１記載の特徴的構成を備える製造方法によって解決される。本発明の有利な発展形態は、従属請求項に記載されている。明細書、特許請求項および／または図に開示された特徴的構成のうちの少なくとも２つからなるいかなる組み合わせも、本発明の範囲に含まれる。繰り返しを避けるため、装置に関して開示した特徴的構成も、方法に関して開示されたものとみなし、特許請求可能であるものとしたい。同様にして、方法に関して開示した特徴的構成も、装置に関して開示されたものとみなし、特許請求可能であるものとしたい。
【０００８】
本発明の基礎となる技術思想は、半導体素子を外側表面の上で被覆する保護材料、とりわけ成形材料をより広い範囲において、放熱のために使用することである。半導体構成素子から熱伝導性の非常に小さい保護材料への充分な熱の流れを保証するために、本発明では、半導体構成素子と保護材料との間の接触面積を拡大することを提案する。本発明によれば、接触面積を拡大するために、半導体構成素子の外側表面に表面構造が設けられる。この表面構造によれば、半導体構成素子の外側表面積がとりわけ何倍にも拡大され、これにより半導体構成素子と保護材料との間の接触面積が拡大する。ここでは保護材料は、表面構造に被覆された際に成形するという作用が充分に利用される。表面構造を、半導体構成素子の上に直接設けることによって、結合断面積（Anbindungsquerschnitt）が拡大するので、この半導体構成素子の放熱性は１．４倍〜５倍高まる。ここでこの比率は、実質的に表面構造のアスペクト比に基づいている。表面構造の構成ないし形状に応じて、放熱性をさらに改善することができる。表面構造を設けることには、放熱性の改善の他にも別の利点がある。例えば保護材料、とりわけ成形材料が、電気的半導体構成素子の上に、より良好に付着することができるようになるので、これによって薄膜剥離の危険を充分に阻止することが可能となるのである。このことから結果的に装置全体の信頼性が向上する。それだけではなく半導体構成素子のサイズも格段に小さくすることができるので、これによって全体の所要構造スペースが小さくなる。半導体構成素子を基板の上に配置する場合に対して、本発明によれば、基板材料の選択肢が格段に増加する。なぜなら基板の熱伝導性に対する要求を低くすることができるからである。これによって、全体の製造コストを低減させることができる。それだけではなく、保護材料の形状結合が達成され、また接触面が拡大することによって、半導体構成素子への保護材料の接続の頑強性が高まる。実験により、以下のことが判明している。すなわち表面構造の領域にある保護材料は、表面構造に対して距離を伴う保護材料よりもしっかり固定されており、また、表面構造の上にある保護材料は、負荷がかけられても、半導体構成素子に対して距離を伴う保護材料よりもずれにくいことが判明しているのである。
【０００９】
装置の少なくとも１つの半導体構成素子が電力半導体構成素子である実施形態は、特に有利である。電力半導体構成素子においては、著しい熱発生を考慮すべきである。発生した熱を、少なくとも大部分において、外側表面にある表面構造から保護材料へと放熱し、この保護材料から取り除くことが可能となる。電力半導体構成素子がパワーICもしくはパワートランジスタ、とりわけMOSFETまたはIGBTである実施形態は、特に有利である。また電力半導体構成素子が、炭化ケイ素（SiC）またはガリウム砒素（GaAs）をベースにして製造されていると、特に有利である。
【００１０】
表面構造の具体的な実施形態については、複数の手段がある。例えばこの表面構造を、ミリメータ構造として構成することができる。すなわち構造エレメントを、１ミリメータから数ミリメータのサイズオーダで設けることができるのである。表面構造は、付加的または択一的に、マイクロメータ範囲および／またはナノメータ範囲にあるより小さな構造エレメントを含むこともできる。表面構造は、とりわけ具体的な用途、選択した保護材料の原料、取り除くべき熱量に応じて選択される。
【００１１】
種々異なる寸法設定の表面構造、すなわち種々異なる構造エレメントが、互いに重なり合うように配置されている実施形態も可能である。別の表現をすれば、例えばミリメータ構造エレメントの上に、複数のマイクロ構造エレメントおよび／または複数のナノミリメータ構造エレメントを設けることもできるのである。同様にして、マイクロ構造エレメントの上に複数のナノミリメータ構造エレメントを配置して、半導体構造エレメントおよび成形材料の間の接触面積全体をさらに拡大することもできる。
【００１２】
特に有利な実施形態においては、表面構造はレーザ処理によって製造されており、半導体構成素子の外側表面に設けられている。レーザを用いて、種々異なる寸法設定によるほぼ任意の表面構造を、半導体構成素子の上に実現することができる。
【００１３】
本発明の発展形態は、表面構造が少なくとも部分的に、有利には完全に、規則的に構成されていると有利である。別の表現をすれば、繰り返し模様として、少なくとも部分的に一様な表面構造を備える実施形態が有利である。択一的に表面構造は、統計的に分布した構造エレメントを有することができる。また表面構造を少なくとも部分的に、意図的に不規則に構成して、熱発生の最も大きい箇所を意図的に冷却することも可能である。
【００１４】
表面構造の断面を、少なくとも部分的に、有利には半導体構成素子全体にわたって、鋸歯状に形成することも考えられる。これにより断面において、先の尖った歯のような構造が得られる。
【００１５】
付加的または択一的に、表面構造に、断面が矩形であり、かつ平行に互いに延在する複数の溝を設けることができる。
【００１６】
冒頭に述べたように、以下のことが可能である（ただし必須ではない）。すなわち、半導体構成素子を、とりわけシリコンからなる基板の上に配置し、この半導体構成素子を、あらゆる公知の技術によって、基板上に固定することが可能である。有利には、半導体構成素子は、基板とは反対側の外側表面の上において、保護材料によって完全に被覆されている。半導体構成素子を、部分的にのみ保護材料で被覆する実施形態も実現可能である。半導体構成素子に保護材料が設けられている全ての箇所において、半導体構成素子と保護材料との間の接触面積を拡大するために、半導体構成素子の外側表面に表面構造を設けると有利である。
【００１７】
特に有利な実施形態においては、保護材料は、半導体構成素子の上だけに位置するのではなく、半導体構成素子の側面にも突き出ており、基板の上まで延在している。有利には基板も、有利には完全に保護材料によって被覆されており、これによって湿気および攻撃性媒体に対する充分な保護機能を実現することができる。保護材料の材料を、この保護材料が電気絶縁体として使用できるように選択すると、特に有利である。
【００１８】
本発明は、少なくとも１つの半導体構成素子を備える装置を製造する方法にも関する。本発明の構想に基づいて構成される方法によれば、半導体構成素子と、この半導体構成素子を少なくとも部分的に被覆する保護材料と間の接触面積は、半導体構成素子の外側表面に表面構造を設けることによって拡大する。この表面構造は、装置に関して上に述べたように構成される。
【００１９】
保護材料を被覆する前に、外側表面にレーザー処理によって表面構造を設ける製造方法は、特に有利である。
【００２０】
本発明の別の利点、特徴的構成、および詳細は、有利な実施例ならびに図面に基づいた以下の記載から明らかとなる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】保護材料によって被覆された半導体構成素子を含む装置の概略図であり、この半導体構成素子の外側表面には、表面構造が設けられている。
【図２】互いに隣接して配置された歯を備える表面構造の可能な実施形態の断面図である。
【図３】矩形であり、かつ平行に相互に延在する複数の溝を備える表面構造の択一的実施形態を示す図である。
【実施例】
【００２２】
図においては、同じ部材および同じ機能を有する部材は、同じ参照符号を用いて示す。
【００２３】
図１は、ここでは半導体構成素子装置である装置１を示す。装置１は、シリコンから形成される基板２を有し、この基板２の上側３には、電力半導体構成素子として構成された半導体構成素子４が従来のように固定されている。この半導体構成素子４は、保護材料５によって被覆されており、この保護材料５は、半導体構成素子４の外側表面６を被覆している。とりわけ保護材料５は、基板２に対して平行に延在する半導体構成素子４の表面７ならびに側面８を被覆している。図では１つの半導体構成素子４を示したが、これに加えて装置１は、多数の半導体構成素子４を含むこともできる。これらの半導体構成素子４に関して、少なくとも１つの半導体構成素子４、有利には複数の半導体構成素子４の全て、とりわけ複数の電力半導体構成素子の全てには、それぞれ１つの表面構造９が設けられており、保護材料５への熱移動が最適化される。
【００２４】
保護材料５の役割は、本実施例において、湿気、攻撃性媒体、腐食から保護することである。付加的に保護材料５は、本実施例において電気絶縁体の機能を果たす。保護材料は、多種多様に構成することができ、例えば熱硬化性樹脂または熱塑性樹脂（流延材料）として構成することができる。保護材料５は、反応性樹脂（例えば１０〜３０％）と、鉱質充填物質（例えば５０〜７０％）と、必要であればロウおよび／または添加物を含むこともできる。
【００２５】
半導体構成素子４と保護材料５との間の接触面積を拡大するために、外側表面６に、より詳細に言えば表面７に、レーザ処理によって表面構造９が設けられている。表面構造９の構造エレメントの寸法は、本実施例においては、マイクロメータ範囲（ここでは１μm〜１００μm）にある。表面７に付加的または択一的に、基板に対して垂直に延在している側面８にも表面構造９を設けることができる。しかしこの側面８は、本実施例においては、表面構造なしに構成されている。
【００２６】
表面構造９（表面構造９は、保護材料５を半導体構成素子４の外側表面６に被覆する前に設けられる）を設けることによって、半導体構成素子４に対する保護材料５の接触断面積が拡大する。これによって、保護材料５への放熱、さらには保護材料５から周囲への放熱が最適化されることとなる。別の表現によれば、半導体構成素子４の放熱は、大部分において保護材料によって行われるのであり、従来技術のように、実質的に基板２だけによって行われるというわけではない。
【００２７】
表面構造９の具体的な構成については、種々異なる手段が存在する。図２には、表面構造９の可能な実施形態の１つが示されている。図２の表面構造９は、半導体構成素子４に保護材料５を被覆する前に、レーザ処理によって設けられる。表面構造９は、断面が鋸歯状に形成された規則的な構造（模様）であるということは認識すべきである。別の表現によれば、表面構造は複数の隆起部１０を有しており、この複数の隆起部１０は先が尖っており、平行に延在している。そしてそれぞれ隣接する２つの隆起部の間に、先の尖ったくぼみ部１１が設けられている。
【００２８】
図３には、択一的な表面構造９を備える半導体構成素子４が示されている。図３の表面構造９は複数の溝１２を有しており、この複数の溝１２は、互いに平行に延在しており、かつ実質的に矩形の輪郭を形成している。２つの平行に互いに延在し、かつ隣接する溝１２は、矩形の隆起部１３によって互いに隔離されている。
【００２９】
別の構成による表面構造も付加的または択一的に、半導体構成素子４において実現することができる。
【図１】
2009224783.tif 000003
【図２】
2009224783.tif 000004
【図３】
2009224783.tif 000005