(57)【要約】【課題】既に登録された欠陥修復手法が配線部にある欠陥に適用できないときにも、新たな欠陥修復手法によることなく、欠陥に応じた適切な修復を自動的に行うことができるようにする。【解決手段】欠陥修復装置Ｂ１〜Ｂｎをサーバに電気通信回線を介して接続可能なものであり、欠陥位置を特定する欠陥位置特定手段Ｄ１、欠陥位置に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別手段Ｄ２、該当する欠陥修復手法がないと判別されたときには、サーバＣに記憶されている複数の欠陥修復手法の中から、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出手段Ｄ３、索出された欠陥修復手法を、当該欠陥のある配線部に対応できるように変換する修復手法変換手段Ｄ４、及び当該欠陥のある配線部の修復を行う欠陥修復手段Ｄ５を欠陥修復装置Ｂ１〜Ｂｎに設けている。【選択図】図２
2009251200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に配列された複数の配線部の基準となる欠陥のない基準画像、及びそれら複数の配線部にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法を記憶したサーバに、それら配線部を撮影するための撮影部と、それらの欠陥を修復するための基板修復部とを備えた欠陥修復装置を電気通信回線を介して接続可能な欠陥修復システムであって、
上記撮影部により撮影した配線部の撮影画像と、上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定手段と、
特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別手段と、
特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、サーバに記憶されている複数の欠陥修復手法の中から、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出手段と、
索出された欠陥修復手法を、当該特定した欠陥位置の欠陥に対応できるように変換する修復手法変換手段と、
変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う欠陥修復手段とを欠陥修復装置が有していることを特徴とする欠陥修復システム。
【請求項２】
修復手法変換手段は、索出された転用可能な欠陥修復手法を、当該特定した欠陥位置の欠陥に対応するように座標変換することを特徴とする請求項１に記載の欠陥修復システム。
【請求項３】
配線部が複数の領域に区分されており、
修復手法変換手段は、索出された転用可能な欠陥修復手法を、欠陥のある領域に対応するように座標変換することを特徴とする請求項１に記載の欠陥修復システム。
【請求項４】
修復手法変換手段は、変換に係る欠陥修復手法を、特定した欠陥位置の欠陥に対応するように座標変換することを特徴とする請求項１に記載の欠陥修復システム。
【請求項５】
一の欠陥修復手法を、複数の領域に共通に関連付けていることを特徴とする請求項１に記載の欠陥修復システム。
【請求項６】
互いに異なる構成からなる複数の基板と、これらの各基板にそれぞれ配列された複数の配線部にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法とを互いに対応付けたデータベースを記憶し、それら配線部にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復装置を電気通信回線を介して接続可能なサーバであって、
上記欠陥修復装置からの欠陥修復手法の要求に応じて、対応する欠陥修復手法を当該欠陥修復装置に向けて送出する欠陥修復手法送出手段を有することを特徴とするサーバ。
【請求項７】
互いに異なる構成からなる複数の基板と、これらの各基板にそれぞれ配列された複数の配線部にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法とを互いに対応付けたデータベースを記憶したサーバに電気通信回線を介して接続されるとともに、上記基板に配列された複数の配線部を撮影するための撮影部と、それらの欠陥を修復するための基板修復部とを備えた欠陥修復システムに用いる欠陥修復装置であって、
上記撮影部により撮影した配線部の撮影画像と、上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定手段と、
特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別手段と、
特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、サーバに記憶されている複数の欠陥修復手法の中から、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出手段と、
索出された欠陥修復手法を、当該特定した欠陥位置の欠陥に対応できるように変換する修復手法変換手段と、
変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う欠陥修復手段とを有していることを特徴とする欠陥修復システムに用いる欠陥修復装置。
【請求項８】
基板に配列された複数の配線部の基準となる欠陥のない基準画像、及びそれら複数の配線部の欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法を記憶したサーバに、それら配線部を撮影するための撮影部と、それらの欠陥を修復するための基板修復部とを備えた欠陥修復装置を電気通信回線を介して接続可能な欠陥修復システムに用いる欠陥修復プログラムであって、
上記撮影部により撮影した配線部の撮影画像と、上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定機能と、
特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別機能と、
特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、サーバに記憶されている複数の欠陥修復手法の中から、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出機能と、
索出された欠陥修復手法を、当該特定した欠陥位置の欠陥に対応できるように変換する修復手法変換機能と、
変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う配線部修復機能とを、欠陥修復装置に実現することを特徴とする欠陥修復システムに用いる欠陥修復プログラム。
【請求項９】
請求項８に記載した欠陥修復システムに用いる欠陥修復プログラムを記録していることを特徴とする情報記録媒体。
【請求項１０】
基板に配列された複数の配線部の基準となる欠陥のない基準画像、及びそれら複数の配線部の欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法を記憶した記憶部と、それらの欠陥を修復するための基板修復部とを有する欠陥修復装置において、
上記撮影部によって撮影した配線部の撮影画像と上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定手段と、
特定した欠陥のある配線部に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別手段と、
特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出手段と、
索出された欠陥修復手法を、当該欠陥のある配線部に対応できるように変換する修復手法変換手段と、
変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う欠陥修復手段とを欠陥修復装置が有していることを特徴とする欠陥修復装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）や液晶等のフラットパネルディスプレイに関し、特にＴＦＴ基板等の基板上に形成されたデバイスパターンや配線パターンの欠陥を修復する欠陥修復システム、サーバ、欠陥修復プログラム、情報記録媒体及び欠陥修復装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＦＰＤ（Flat Panel Display）が大型化するにつれ、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）基板の歩留まりが低下するため、欠陥箇所を修復するレーザリペア工程が必須となっている。
しかしながら、製造ラインにおけるレーザリペア工程は、作業者が欠陥を目視して、欠陥修復法を決定し、欠陥の修復作業を行うものである。
このために、タクトタイムがかかりすぎ、レーザリペア工程の作業速度が、製造ライン全体の量産速度に追従できないという問題があった。
【０００３】
上記の問題を解決しようとして、特許文献１に開示された欠陥修復装置がある。
特許文献１に開示された欠陥修復装置は、基板情報、パネル情報及び欠陥情報を含む情報を入力する入力部と、特定のパネルに生じている複数の欠陥の中から、修復対象の欠陥について、その位置を含む特定事項を前記情報に基づいて求める演算部と、この特定事項を修復機に対して前記修復対象の欠陥を修復するためのデータとして出力する出力部とを有するものである。
【特許文献１】特開２００５−２２１９７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載の欠陥修復装置では、既に登録されている欠陥修復手法によって対応できない欠陥が配線部に生じている場合、欠陥修復装置のオペレータが手作業によって欠陥を修復しなければならず、効率的な欠陥修復を行うことができないという問題があった。
【０００５】
そこで本発明は、既に登録された欠陥修復手法が配線部にある欠陥に適用できないときにも、新たな欠陥修復手法によることなく、欠陥に応じた適切な修復を自動的に行うことができる欠陥修復システム、サーバ、欠陥修復システムに用いる欠陥修復装置、欠陥修復プログラム、情報記録媒体及び欠陥修復装置の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明の欠陥修復システムは、基板に配列された複数の配線部の基準となる欠陥のない基準画像、及びそれら複数の配線部にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法を記憶したサーバに、それら配線部を撮影するための撮影部と、それらの欠陥を修復するための基板修復部とを備えた欠陥修復装置を電気通信回線を介して接続可能なものであり、上記撮影部により撮影した配線部の撮影画像と、上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定手段と、特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別手段と、特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、サーバに記憶されている複数の欠陥修復手法の中から、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出手段と、索出された欠陥修復手法を、当該特定した欠陥位置の欠陥に対応できるように変換する修復手法変換手段と、変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う欠陥修復手段とを欠陥修復装置が有している。
【０００７】
同上の目的を達成するための本発明のサーバは、互いに異なる構成からなる複数の基板と、これらの各基板にそれぞれ配列された複数の配線部にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法とを互いに対応付けたデータベースを記憶し、それら配線部にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復装置を電気通信回線を介して接続可能なものであり、上記欠陥修復装置からの欠陥修復手法の要求に応じて、対応する欠陥修復手法を当該欠陥修復装置に向けて送出する欠陥修復手法送出手段を有している。
【０００８】
同上の目的を達成するための本発明の欠陥修復システムに用いる欠陥修復装置は、互いに異なる構成からなる複数の基板と、これらの各基板にそれぞれ配列された複数の配線部にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法とを互いに対応付けたデータベースを記憶したサーバに電気通信回線を介して接続されるとともに、上記基板に配列された複数の配線部を撮影するための撮影部と、それらの欠陥を修復するための基板修復部とを備えたものであり、上記撮影部により撮影した配線部の撮影画像と、上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定手段と、特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別手段と、特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、サーバに記憶されている複数の欠陥修復手法の中から、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出手段と、索出された欠陥修復手法を、当該特定した欠陥位置の欠陥に対応できるように変換する修復手法変換手段と、変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う欠陥修復手段とを有している。
【０００９】
同上の目的を達成するための本発明の欠陥修復システムに用いる欠陥修復プログラムは、基板に配列された複数の配線部の基準となる欠陥のない基準画像、及びそれら複数の配線部の欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法を記憶したサーバに、それら配線部を撮影するための撮影部と、それらの欠陥を修復するための基板修復部とを備えた欠陥修復装置を電気通信回線を介して接続可能な欠陥修復システムに用いるものであり、上記撮影部により撮影した配線部の撮影画像と、上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定機能と、特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別機能と、特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、サーバに記憶されている複数の欠陥修復手法の中から、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出機能と、索出された欠陥修復手法を、当該特定した欠陥位置の欠陥に対応できるように変換する修復手法変換機能と、変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う配線部修復機能とを、欠陥修復装置に実現する内容のものである。
【００１０】
同上の目的を達成するための本発明の情報記録媒体は、上記した欠陥修復システムに用いる欠陥修復プログラムを記録していることを特徴としている。
【００１１】
同上の目的を達成するための本発明の欠陥修復装置は、基板に配列された複数の配線部の基準となる欠陥のない基準画像、及びそれら複数の配線部の欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法を記憶した記憶部と、それらの欠陥を修復するための基板修復部とを有するものであり、上記撮影部によって撮影した配線部の撮影画像と上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定手段と、特定した欠陥のある配線部に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別手段と、特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出手段と、索出された欠陥修復手法を、当該欠陥のある配線部に対応できるように変換する修復手法変換手段と、変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う欠陥修復手段とを欠陥修復装置が有している。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、配線部にある欠陥に既存の欠陥修復手法が適用できないときにも、新たな欠陥修復手法によることなく、当該欠陥に応じた適切な修復を自動的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る欠陥修復システムの概略構成を示すブロック図、図２は、欠陥修復システムの一部をなす欠陥修復装置の構成を示すブロック図である。また、図３は、基板の構成を示す説明図である。
【００１４】
本発明の一実施形態に係る欠陥修復システムＡは、図１に示すように、複数台の欠陥修復装置Ｂ１〜Ｂｎを、ローカルエリアネットワークやインターネット等の電気通信回線を介してサーバＣに接続可能にした構成のものである。
【００１５】
欠陥修復装置Ｂ１は、図２に示すように、撮影部１０、キーボード等の入力部１５、ディスプレイ２０、欠陥検査装置２５、基板修復部３０、上記サーバＣに接続するための回線接続部（図示しない）等を、詳細を後述する制御部Ｄに接続した構成のものである。
なお、以下には欠陥修復装置Ｂ１を例として説明するが、他の欠陥修復装置Ｂ２〜Ｂｎについても同等の構成になっているので、それらの説明を省略する。
【００１６】
基板修復部３０は、修復機構制御部３１、修復機構部３２、ステージ制御部３３、及びＸ‐Ｙステージ３４を主要の構成としたものである。
修復機構駆動部３１は、制御部Ｄから送出される制御信号により、修復機構部３２を駆動するための駆動信号を生成する機能を有するものである。
【００１７】
修復機構部３２は、レーザ光源３５、光学レンズ３６，３７、可変スリット３８、光学レンズ３９〜４１を有しており、上記修復機構駆動部３１から送信される駆動信号によって駆動されるようになっている。
この構成においては、レーザ光源３５から照射されたレーザビームを光学レンズ３６，３７により補正した後に、可変スリット３８を通過させ、更に３枚の光学レンズ３９〜４１を透過させることによって、照射サイズ，角度を変更できるようにしている。
【００１８】
ステージ制御部３３は、制御部Ｄから送信される制御信号により、Ｘ‐Ｙステージ３４と、フォーカスステージ４２とをそれぞれ駆動するための駆動信号を生成する機能を有している。
【００１９】
Ｘ‐Ｙステージ３４は基板５０を載置するものであり、ステージ制御部３３から送信される駆動信号によってＸ‐Ｙ方向に駆動されるようになっている。
すなわち、制御部Ｄから送信された制御信号をステージ制御部３３が受信すると、その制御信号に応じ、欠陥検査装置２５で検出された欠陥のある配線部が対物レンズ４３の真下になるようにＸＹステージ３４が移動される。
【００２０】
フォーカスステージ４２は、対物レンズ４３と基板５０の間隔を調整する機能を有するものであり、これにより、光学レンズ４４を透過した光の合焦点画像が上記した撮影部１０により撮影できるようになる。
なお、本実施形態においては、ハーフミラー４５，４６、光学レンズ４７、及びランプ４８による落射照明により、適切な明るさを持つ画像が得られるようにしている。
【００２１】
基板５０は、図３に示すように、ディスプレイ装置（図示しない）の一部を構成するものであり、多数の配線部Ｅ…をディスプレイ装置の画素に対応して２次元マトリクス状に多数形成したものである。
換言すると、共通の配線基板５１に対し、多数の配線部Ｅ…を格子状に配列した構成になっている。なお、図中にＥ′で示すものは、欠陥がある配線部を例示したものである。
【００２２】
図４（Ａ）は、欠陥修復手法をなすヘッダ情報とオブジェクト情報を示す説明図、（Ｂ）は、一例に係る配線部の詳細な構成を示す説明図である。
配線部Ｅは、三原色ＲＧＢに対応する３つの領域（以下、「サブエリア」ともいう。）Ｅ１〜Ｅ３に区分されている。
【００２３】
図４（Ｂ）に示す各サブエリアＥ１（〜Ｅ３）は互いに同じ大きさに形成されており、上記した配線基板５１（図３参照）上に設けられた走査線（破線図示）５２，５６上に、層間絶縁膜（図示しない）を介して信号線５３，電源供給線５４，グラウンド電極５５が、当該走査線５２と直交する方向に延在して配置された構成のものである。
サブエリアＥ１（〜Ｅ３）は、信号蓄積容量が異なる電極５７〜５９を有している点で、互いに異なる構造になっている。
本実施形態においては、３つのサブエリアＥ１〜Ｅ３の一部が互いに異なる形状（構造）になっているものを例として説明するが、それらのサブエリアが互いに同一の形状（構造）になっているものであってもよいことは勿論である。
【００２４】
ところで、上記したサーバＣには、図１に示すように、情報記録媒体の一例に係るハードディスク等からなる記憶装置６０が接続されている。
上記の記憶装置６０には、配線部Ｅ…の基準となる欠陥のない基準画像、及びそれら配線部Ｅ…にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法がデータベース化して記憶されている。
データベース６１は、各配線部Ｅ…にある欠陥を修復するための複数の欠陥修復手法を、配線部又はサブエリアに関連付けたものであり、さらには、互いに異なる構成からなる複数種類の基板毎に対応付けて記憶している。換言すると、異なる種類の基板毎にデータベースが構築されているのである。
【００２５】
このデータベース６１は、詳細を後述する欠陥修復装置Ｂ１（〜Ｂｎ）から送出される登録情報により、新たな欠陥修復手法や既存の欠陥修復手法等が随時書き換えられるようになっている。
また、欠陥修復装置Ｂ１（〜Ｂｎ）からの欠陥修復手法の要求に応じて、対応する欠陥修復手法を当該欠陥修復装置Ｂ１（〜Ｂｎ）に向けて送出する機能（欠陥修復手法送出手段）を有している。
【００２６】
撮影部１０は、基板５０の各配線部Ｅ，Ｅ′…を撮影するためのものであり、ＣＣＤ等を有して構成されている。
【００２７】
欠陥検査装置２５は、上記基板５０の各配線部Ｅ…に生じた欠陥を電気的若しくは光学的に又はそれら双方を検査することにより、欠陥のある配線部Ｅ′の位置情報を得るものであり、その配線部Ｅ′の位置情報を制御部Ｄに送信するようにしている。
なお、この欠陥検査装置２５は、本実施形態において示すように、各欠陥修復装置Ｂ１〜Ｂｎにそれぞれ個別に接続した構成にしてもよいが、１台の欠陥検査装置２５を電気通信回線を介して複数の欠陥修復装置Ｂ１〜Ｂｎに共通に接続してもよい。
【００２８】
本発明の一実施形態に係る欠陥修復プログラムは、次の各機能（Ｉ）〜（Ｖ）を、各欠陥修復装置Ｂ１〜Ｂｎに、従ってまた、各装置のコンピュータである制御部Ｄに実現することを内容としたものであり、上記した記憶装置６０に記憶されている。
（Ｉ）撮影部によって撮影した配線部の撮影画像と上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定機能、
（ＩＩ）特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別機能、
（ＩＩＩ）特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、サーバに記憶されている複数の欠陥修復手法の中から、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出機能、
（ＩＶ）索出された欠陥修復手法を、当該特定した欠陥位置の欠陥に対応できるように変換する修復手法変換機能、
（Ｖ）変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う欠陥修復機能。
【００２９】
制御部Ｄは、上記した欠陥修復プログラムの実行により、次の各機能を発揮する。
（１）上記撮影部１０によって撮影した配線部Ｅの撮影画像と上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する機能。この機能を「欠陥位置特定手段Ｄ１」という。
本実施形態においては、上記した欠陥検査装置２５から送信される欠陥を有する１又は２以上の配線部Ｅ′の位置情報に基づいて、当該欠陥を有する配線部Ｅ′の撮影画像が、撮影部１０を介して撮影するようになっている。
【００３０】
（２）特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法の有無を判別する機能。この機能を「判別手段Ｄ２」という。
当該配線部Ｅ′に関連付けられている欠陥修復手法があるか否かを、データベース６１に記憶されている複数の欠陥修復手法を参照して判別する。
【００３１】
次に、欠陥修復手法の詳細について、図４（Ａ），（Ｂ）を参照して説明する。
欠陥修復手法は、ヘッダ情報と、このヘッダ情報に関連付けられたオブジェクト情報とを有するデータファイルである。
なお、欠陥修復手法を「欠陥修復情報」ともいい、また、配線部については「画素」又は「ピクセル」ともいう。
【００３２】
ヘッダ情報ａは、欠陥修復手法の「レシピ名（若しくはレシピ番号）」、欠陥のあるサブエリア（領域）を示す「領域番号」、サブエリアを示す「副領域番号」、基板５０上の基準画素の位置を示す「基準画素番号」、その基準画素の上下、左右の近接画素の有無とその位置を示す「近接画素番号」、並びにレシピ登録される欠陥や欠陥修復手法を表すリペアオブジェクトの「オブジェクト数」を含むものである。
【００３３】
オブジェクト情報ｂは、欠陥を模した欠陥オブジェクト７０と、配線部Ｅ′における欠陥オブジェクトの位置及びその特徴に応じて修復処置が施される部分を示したリペアオブジェクト７１，７１とを含んでいる。
すなわち、オブジェクト情報ｂは、ヘッダ情報に登録されたオブジェクト数だけ欠陥オブジェクトとリペアオブジェクトとを関連付けて登録したものである。なお、単に「登録」というときには、上記したデータベース６１に対する登録を意味している。
【００３４】
上記のオブジェクト情報ｂは、レシピヘッダとの照合のための「レシピ名（若しくはレシピ番号）」、配線部Ｅ内のオブジェクトの位置を示す「座標」、「オブジェクトの形状」、「角度」、「位置補正情報」が基本情報として含まれている。その基本情報は、欠陥オブジェクト７０及びリペアオブジェクト７１，７０の双方について有している。
なお、「補正情報」は、実際の欠陥画像の欠陥位置との比較による位置補正のための情報であり、また、「角度」とは、上記したＸＹステージ３４上における欠陥の正規の位置からの回転角度である。
【００３５】
図４（Ａ）においては、欠陥オブジェクト７０に対して、リペアオブジェクト７１，７１が関連付けられている。
図示の欠陥オブジェクト７０はサブエリアＥ１にあるので、そのサブエリアＥ１の情報が関連付けられる。
【００３６】
また、オブジェクト情報ｂにおいては、基準画素に予め原点を設けておき、その原点からの相対座標と角度とにより、オブジェクト位置情報を登録する。
データベース６１からリペアレシピ情報を読み込み、欠陥画像に重ね合わせて欠陥修復情報をディスプレイ２０に表示しているので、作業者（オペレータ）が視認可能となり欠陥修復手法の内容を確認できる。
すなわち、欠陥修復装置は、欠陥画像に重ね合わせて欠陥修復情報をディスプレイ２０に表示する機能（重合表示手段Ｄ６）を有している。
【００３７】
また、欠陥の特徴を示すデータをヘッダ情報ａ若しくはオブジェクト情報ｂの欠陥情報に、図示しないＡＤＣ（欠陥自動分類装置）での分類結果等を保持しておくことで、欠陥の特徴から自動リペアレシピ検出も行うことが可能となる。
【００３８】
（３）特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、サーバに記憶されている複数の欠陥修復手法の中から、転用可能な欠陥修復手法を索出する機能。「修復手法索出手段Ｄ３」という。
転用可能な欠陥修復手法の索出は、上記欠陥オブジェクト７０が、サブエリアＥ１にある欠陥とが一致するか否かによる。詳しくは、欠陥を中心とする所定の領域内に、欠陥オブジェクト７０があるか否かによるものであり、具体的には、それらの座標に基づく索出を行う。
【００３９】
（４）索出された欠陥修復手法を、当該特定した欠陥位置の欠陥に対応できるように変換する機能。この機能を「修復手法変換手段Ｄ４」という。
この機能について、上述した構成からなる欠陥修復システムの一連の動作とともに、図５〜９を参照して説明する。図５は、一連の欠陥修復処理のメインルーチンを示すフローチャート、図６は、欠陥修復手法の詳細な変換処理を示すフローチャートである。
【００４０】
ステップＳ１（図中、Ｓ１と略記する。以下同様。）：パラメータのセット
欠陥修復装置Ｂ１にパラメータをセットする。すなわち、欠陥修復装置Ｂ１に修復を行うための上記した基本情報を設定する。
具体的には、修復対象となる基板５０内における配線部Ｅの数と配置、パターンの数、配置、アライメントマーク位置等の上記基板５０に関わる基礎情報、自動で修復を行う対象となる欠陥の大きさや条件、基板５０内において修復を行う数や優先する欠陥の特徴等の修復条件の設定情報、配線パターンの形状と修復方法のデータベース等、当該欠陥修復装置（以下、単に「装置」という。）Ｂ１において固有に設定するパラメータをセットするのである。
【００４１】
ステップＳ２：基板５０の搬入と入力情報のセット
外部から基板５０を装置Ｂ１に搬入し、その基板５０の前プロセスの欠陥情報を入力する。搬入された基板５０、欠陥情報を装置Ｂ１内にセットされているパラメータと照合し、修復対象となる基板５０の基本情報を確定し、修復条件の初期設定（修復処理数のクリア等）を行う。
【００４２】
欠陥情報は、欠陥検査装置２５において、光学式検査で検出された欠陥の数と座標、若しくは電気式検査で検出された欠陥のピクセル情報（線欠陥、もしくは点欠陥であるかも含む）のいずれか、又は電気式検査で検出された欠陥と光学式検査で検出された欠陥を関連付けたものである。
【００４３】
ステップＳ３：欠陥情報のセット
上記の基板５０毎の欠陥情報の一覧から、リストの上位から順に修復を行うか、特定の欠陥（線欠陥を優先にする等）をまとめて行うかをソートするか、若しくは装置Ｂ１のオペレータが任意の欠陥を選択するかのいずれかの方法で、欠陥情報を一つ入力する。
【００４４】
ステップＳ４：欠陥情報のチェック
入力された基板５０の欠陥情報のリストから自動で修復を行うことができるかを確認する。
自動で修復できるかどうかは、滅点化処理を規定の数以上行っていないか、修復処理を規定の数以上行っていないか、既に修復処理を行っている欠陥であるか等の現在の基板５０の修復条件にそぐわない場合と、入力された欠陥の座標が不確定である、パターンの外部等で修復は行わないと明確に定義してある場所である等、入力される欠陥情報だけでは修復処理が不可能なときとがあるからである。
【００４５】
ステップＳ５：欠陥位置情報の取得
入力された欠陥情報が修復を行う欠陥であると判断されたら、欠陥の詳細な座標情報を取得する。具体的には、光学式検査結果の欠陥座標、若しくは電気式検査結果のピクセルの番号等から欠陥が実際に存在する箇所を算出する。なお、このステップＳ５について、図５には「サブピクセル座標取得」と記載している。
【００４６】
ステップＳ６：欠陥画像の撮影
欠陥の詳細な位置が算出されたら、Ｘ‐Ｙステージ３４を移動して、欠陥画像を撮影し、パターン内の詳細な欠陥情報を取得する。なお、図５には「レビュー情報取得」と記載している。
【００４７】
ステップＳ７：欠陥修復手法の取得処理
欠陥画像から取得した欠陥の詳細情報と欠陥修復手法とを照らし合わせて、最適な欠陥修復手法をデータベース６１から索出し、欠陥の位置情報に合わせて出力する。
なお、本ステップにおける「欠陥修復手法の取得処理」については、図６を参照して詳細に説明する。
【００４８】
ステップＳ８：修復実行処理
欠陥修復手法を実際の欠陥の位置にあわせて設定し、必要に応じて位置補正を行った後、修復を実行する。その際の修復の実行結果は、記憶装置６０に別途保存しておく。なお、このステップＳ８について、図５においては「リペア実行」と記載している。
【００４９】
ステップＳ９：修復判定処理
修復の実行が終了したら、欠陥画像を撮影した場所と同じ座標と倍率によって、修復後の画像を撮影，比較することにより適切な修復が完了したかどうかの簡易判定を行う。
【００５０】
ステップＳ１０：修復結果更新処理
修復の結果を更新する。更新内容は修復が適切に行われたかの判定、修復詳細内容、修復処理数、滅点化の修復処理数等である。
修復結果の更新後、欠陥情報の一覧を再度確認し、未処理の欠陥の有無や修復の終了の判定を行い、次に別の欠陥情報を入力することによる修復処理を続行するか、若しくは修復を終了して基板５０の搬出を行うかを決定する。
ここで、未処理の欠陥があると判定されたときには、ステップＳ２に戻る。
【００５１】
ステップＳ１１：基板搬出、修復情報セット
入力された基板５０に対してすべての欠陥が修復された、若しくは修復の終了条件（規定の数値以上の修復を実行した、規定の数値以上の滅点化修復を行った、特定の欠陥に対する修復が終了した等）を満たしたら、基板５０を搬出して欠陥情報管理システムに欠陥の修復情報を出力する。
【００５２】
ステップＳ１２：パラメータ更新
上記した各処理内で新規に欠陥修復手法が登録された、若しくはレーザのパワーや修復を行う欠陥の条件を変更する等の必要があれば、セットしてある装置Ｂ１のパラメータ情報を更新して、次の基板５０をセットする。
【００５３】
次に、上記ステップ７における欠陥修復手法の取得処理の詳細について、図６とともに、図７，８を参照して説明する。図７は、ＲのサブエリアＥ１を基準にしたときの一例に係る欠陥修復手法を説明するための説明図、図８は、ＲのサブエリアＥ１を基準にしたときの他例に係る欠陥修復手法を説明するための説明図である。
【００５４】
まず、図７に示す各サブエリアＥ１〜Ｅ３を、表１に示すように定義する。
【００５５】
【表１】
2009251200.tif 000003
【００５６】
反転変換をしないときの座標の変換式は、次式（ａ），（ｂ）により表すことができる。
（ａ）
移動先Ｘ=移動先Ｌｅｆｔ+（移動先W/移動元Ｗ＊（移動元X−移動元Ｌｅｆｔ））
（ｂ）
移動先Ｙ=移動先（移動先H/移動元Ｈ＊（移動元Ｙ−移動元Ｔｏｐ））
【００５７】
反転変換をしたときの座標の変換式は、次式（ｃ），（ｄ）により表すことができる。
（ｃ）
移動先Ｘ=移動先ＢＲｉｇｈｔ−（移動先Ｗ/移動元Ｗ＊（移動元Ｘ−移動元Ｌｅｆｔ））
（ｄ）
移動先Ｙ＝移動先Ｂｏｔｔｏｍ−（移動先Ｈ／移動元Ｈ＊（移動元Ｙ−移動元Ｔｏｐ））
【００５８】
ＲのサブエリアＥ１にある「★」で示す座標（Ｘ，Ｙ）をそれぞれ（ＲＸ，ＲＹ）としたとき、ＧのサブエリアＥ２の座標（ＧＸ，ＧＹ）を、ＢのサブエリアＥ３の座標（ＢＸ，ＢＹ）にそれぞれ変換するときの展開式は以下のようになる。
【００５９】
ＧのサブエリアＥ２の座標は、次式（ｅ），（ｆ）により表すことができる。
（ｅ）  ＧＸ＝ＧＬｅｆｔ＋（ＧＷ／ＲＷ＊（ＲＸ−ＲＬｅｆｔ））
（ｆ）  ＧＹ＝ＧＴｏｐ＋（ＧＨ／ＲＨ＊（ＲＹ−ＲＴｏｐ））
【００６０】
ＢのサブエリアＥ３の座標は、次式（ｇ），（ｈ）により表すことができる。
（ｇ）  ＢＸ＝ＢＲｉｇｈｔ−（ＢＷ／ＲＷ＊（ＲＸ−ＲＬｅｆｔ））
（ｈ）  ＢＹ＝ＢＴｏｐ＋（ＢＨ／ＲＨ＊（ＲＸ−ＲＴｏｐ））
このＢのサブエリアＥ３はＸ方向のみ反転しているために定義式が変わる。
【００６１】
逆に、その他のサブエリアに設定されている欠陥修復手法（以下、「テンプレート」ともいう。）を基準サブエリアへ展開させることも可能である。
その場合、ＧのサブエリアＥ２からＲのサブエリアＥ１への座標の変換は、次式（ｉ），（ｊ）により表すことができる。
（ｉ）  ＲＸ＝ＲＬｅｆｔ＋（ＲＷ／ＧＷ＊（ＧＸ−ＧＬｅｆｔ））
（ｊ）  ＲＹ＝ＲＴｏｐ＋（ＲＨ／ＧＨ＊（ＧＹ−ＧＴｏｐ））
【００６２】
ＢのサブエリアＥ３からＲのサブエリアＥ１の座標の変換は、次式（ｋ），（ｌ）により表すことができる。
（ｋ）  ＲＸ＝ＲＲｉｇｈｔ−（ＲＷ／ＢＷ＊（ＢＸ−ＢＬｅｆｔ））
（ｌ）  ＲＹ＝ＲＴｏｐ＋（ＲＨ／ＢＨ＊（ＢＹ−ＢＴｏｐ））
図８に示すように、Ｒの座標（ＲＸ，ＲＹ）を中心に回転角度Ｒθが定義されている矩形のリペアオブジェクト７３の場合は、反転するときの回転角度も反転する。
【００６３】
Ｇのサブエリアの回転角度Ｇθと、Ｂのサブエリアの回転角度Ｂθは、次式（ｍ），（ｎ）により表すことができる。
（ｍ）Ｇθ＝Ｒθ
（ｎ）Ｂθ＝−Ｒθ
【００６４】
上記のようにして、特定のサブエリアに登録されているテンプレートを、他のテンプレートに変換した場合、テンプレートの登録抜けによって修復ができなくなることを防止したり、テンプレートの登録自体を減らすことができる。
【００６５】
図６は、上述した欠陥修復手法の取得処理の詳細な内容を示すサブフローチャートである。
ステップＴ１：（図中、単に「Ｔ１」と略記する。以下同様。）：欠陥情報を入力して、ステップＴ２に進む。
ステップＴ２：適切な欠陥修復手法が登録されていないか否かを判別する。なお、図６には、欠陥修復手法を「リペア手法」と記載している。
ここで、適切な欠陥修復手法が登録されていると判別されればステップＴ３に進み、適切な欠陥修復手法が登録されていないと判別されればステップＴ８に進む。
【００６６】
ステップＴ３：欠陥修復手法を配線部周辺にシフト変換することにより適用できるか否かを判別する。ここで、欠陥修復手法を配線部周辺にシフト変換することにより適用できると判別できればステップＴ５に進み、欠陥修復手法を配線部周辺にシフトさせることによっても適用できないと判別されれば、ステップＴ４に進む。
【００６７】
ステップＴ４：別のサブエリアの欠陥修復手法をシフト変換又はシフト及び反転変換することにより適用できるか否かを判別する。
ここで、別のサブエリアの欠陥修復手法をシフト変換又はシフト及び反転変換することにより適用できると判別されれば、ステップＴ６に進む。また、別のサブエリアの欠陥修復手法をシフト変換又はシフト及び反転変換することによっても適用できないと判別されれば、ステップＴ７に進む。
【００６８】
ステップＴ５：配線部周辺にシフト変換して、ステップＴ８に進む。
ステップＴ６：該当するサブエリアに対応するようにシフト変換して、ステップＴ８に進む。
【００６９】
ステップＴ７：新規な欠陥修復手法を編集，登録して、ステップＴ９に進む。
ステップＴ８：ステップＴ２，５，６において変換又は編集した欠陥修復手法を適用して、ステップＴ９に進む。
ステップＴ９：ステップＴ８において適用した変換又は編集した欠陥修復手法を実行して、ステップＴ１０に進む。
ステップＴ１０：欠陥を修復していない配線部があるか否かを判別する。ここで、欠陥を修復していない配線部があると判別されれば、ステップＴ１に戻って欠陥情報を入力する。
また、欠陥を修復していない配線部がないと判別されれば、ステップＴ１１に進んで次の工程に進行する。
【００７０】
ところで、図４，７，８に示すように、サブエリア内の特定の領域の形状が特殊である場合、必ずしも自動展開のみですべてのサブエリアの欠陥のテンプレートを展開させられない場合がある。
また、テンプレートの数が多く、処理が同等のものであっても、重複登録や特定のサブエリアのテンプレートの登録抜けを防止するといった観点から、個々のサブエリアにそれぞれ登録されていた方が管理上は楽な場合もある。
【００７１】
このような場合、特定のテンプレートで他のサブエリアの欠陥を修復するのとは逆に、一つのテンプレートを登録してから、他のテンプレートに自動展開させ、展開後のテンプレートの適正を判断して個々のテンプレートを修復することにより、特定のサブエリアのテンプレートが登録されていないために修復が行えないことを防ぐことができる。
【００７２】
（５）変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥の修復を上記基板修復部を介して行う機能。この機能を「欠陥修復手段Ｄ５」という。
【００７３】
次に、新規な欠陥修復手法を配線部に対応させて登録する場合について、図９〜１４を参照して説明する。図９は、配線部にある欠陥に欠陥修復手法を対応付ける、オペレータが手作業で行う手順を示すフローチャート、図１０〜１４は、一つのサブエリアに登録されているテンプレートを自動展開させるための操作画面を示す説明図である。
【００７４】
まず、図９を参照して配線部に欠陥修復手法を対応付けるために、オペレータが手作業で行う手順、換言すると、オペレータが新規な欠陥修復手法を編集，登録する作業の手順について説明する。
ステップＵ１（図中「Ｕ１」と略記する。以下同様）：サブエリアを定義する。
ステップＵ２：サブエリア毎に欠陥修復手法を登録して、ステップＵ２に進む。
ステップＵ３：複数のサブエリアに統合することが可能か否かを判断し、当該統合ができないと判断すればステップＵ４に進み、統合ができると判断されればステップＵ９に進む。
なお、「統合」とは、一の欠陥修復手法を、複数の領域に共通に関連付けることである。
【００７５】
ステップＵ４：全てのサブエリアに展開して、ステップＵ５に進む。
ステップＵ５：個々の欠陥修復手法の確認、編集、削除等を行う。
ステップＵ６：統合することが可能なサブエリアがあるか否かを判断し、統合することが可能なエリアがあると判断すればステップＴ９に進み、統合することが可能でなければステップＵ７に進む。
【００７６】
ステップＵ７：全てのサブエリアに対して、欠陥修復手法が適切に登録されているか否かを判断し、ここで欠陥修復手法が適切に登録されていると判断すればステップＵ８に進み、欠陥修復手法が適切に登録されていなければステップＵ２に戻る。
ステップＵ８：別の欠陥修復手法を登録して、欠陥修復手法の登録を完了する。
【００７７】
ステップＵ９：欠陥修復手法に対して、複数のサブエリアを統合して登録する。
ステップＵ１０：全てのサブエリアに対して、欠陥修復手法が網羅されているか否かを判断し、ここで網羅されていると判断すればステップＵ７に進み、また、網羅されていなければステップＵ１１に進む。
ステップＵ１１：未登録のサブエリアに欠陥修復手法を展開、若しくは欠陥修復手法を追加登録して、ステップＵ７に進む。
【００７８】
次に、上記ステップＵ１〜Ｕ１１に示す作業を行う際、上記したディスプレイに順次表示する操作画面について、図１０〜１４を参照して説明する。
オペレータが新規な欠陥修復手法を編集，登録する際、ディスプレイ２０には複数のタブに対応付けられた操作画面が表示される。
タブは、サブエリア編集１００、テンプレート編集１１０、テンプレート展開１２０、テンプレート統合１３０、登録内容確認１４０に区分されており、それらに固有の情報がページとして対応表示されるようになっている。
【００７９】
図１０に示すサブエリア編集１００のページには、サブエリア情報を入力するための入力欄１０１と、任意の１つの配線部Ｆを表示する表示欄１０２とが左右に区画されて表示されている。
入力欄１０１は、サブエリア情報入力欄１０３内に、基準エリアを設定するためのリストボックス１０４、登録サブエリアを選択切り替えして、順番や設定を編集するためのテキストボックス１０５、サブエリアの領域を指定するリストボックス１０６、展開方法を指定して登録するリストボックス１０７、トグルスイッチ１０８等が操作可能に表示されている。
【００８０】
図１１に示すテンプレート展開１２０のページには、サブエリア情報を入力するための入力欄１２１と、任意の１つの配線部Ｆを表示する表示欄１２２とが左右に区画されて表示されている。
入力欄１２１は、サブエリア展開設定欄１２３と、選択テンプレート表示設定欄１２４とからなる。
サブエリア展開設定欄１２３には、展開先を指定するためのリストボックス１２５、展開方法を指定するためのチェックボックス１２６等が操作可能に表示されている。
なお、図１１に示すリストボックス１２５には、エリア１からエリア２に展開する場合について示しており、また、１２７が欠陥、１２８がリペアオブジェクトである。
【００８１】
図１２に示すリストボックス１２５には、エリア１に適用している欠陥修復手法を全てのエリアに展開する場合について示しており、既存のテンプレートを上書き展開のチェックボックス１２６と、プレビューのチェックボックス１２７にそれぞれチェックが入れられている場合を示している。
また、選択テンプレート表示設定欄１２４の「展開済みの同一テンプレートを全て表示する」と「未展開のサブエリアを強調表示する」の各チェックボックス１２９ａ，１２９ｂがチェックされることにより、展開していないサブエリアが視覚的に確認できるようになる。
【００８２】
図１３に示すテンプレート統合１３０のページには、サブエリアを展開設定するための入力欄１３１と、任意の１つの配線部Ｆを表示する表示欄１３２とが左右に区画されて表示されている。
入力欄１３１は、登録済みのサプエリアを指定するためのリストボックス１３３、いずれかのサブエリアのテンプレートに統合するか否かを選択するための統合サブエリアのリストボックス１３４等が操作可能に表示されている。
【００８３】
図１４に示すテンプレート編集１１０のページには、サブエリアを展開設定するための入力欄１１１と、任意の１つの配線部Ｆを表示する表示欄１１２とが左右に区画されて表示されている。
入力欄１１１は、サブエリア展開設定欄１１３と、選択テンプレート表示設定欄１１４とからなる。
サブエリア展開設定欄１１３は、統合しようとするテンプレートを選択、表示、編集をするためのチャックボックスをツリー表示したチェックボックス１１３等が操作可能に表示されている。
また、選択テンプレート表示設定欄１１４は、「詳細情報表示」のトグルスイッチ１１５がオン操作されることにより、テンプレートの詳細な内容をダイアログボックス１１６として表示する。これにより、テンプレートの詳細な内容を視覚的に確認できるようになる。
【００８４】
上記した図１０に示す表示欄１０２に表示されている配線部Ｆは、上記した配線部Ｅとは異なる構造のものであり、４つの領域Ｆ１〜Ｆ４に区分された構造になっている。
本実施形態に示す領域Ｆ１〜Ｆ４は、互いに左右鏡面状に、かつ、上下にも鏡面状にそれぞれ展開された構造になっている。
なお、図１０〜１４においては、領域Ｆ１〜Ｆ４をエリア１〜４とも記している。
【００８５】
具体的な操作内容は、次のとおりである。
まず、サブエリアの座標をエリア１からエリア４まで設定し、基準エリアをエリア１としたときの、それぞれのエリアがどのように展開できるかを指定する。
図１０においては、エリア３を基準エリアからの形状が上下反転しているという設定で登録している例である。エディットボックス、若しくはマウスのトラック指定でサブエリアの領域を選択して登録する。
登録されたサブエリアはリストに表示され、画像内に枠で位置を示す。画像内のサブエリアが登録されている領域若しくはリストをマウスやキーボードで選択すると枠の色が変わり、登録順や設定内容の変更が可能になるようにしている。
【００８６】
基準エリアを途中で変更したら、それに伴って個々の形状の登録も変更になる。
図１０においては、基準エリアがエリア１のときはエリア２は左右に反転、エリア３は上下に反転で設定されるが、基準エリアをエリア２に切り替えたとしたら、エリア１は左右反転、エリア３は左右に反転後、上下にも反転する登録に変更となる。
基準エリアが変更になっていても、展開を行なうときの計算方法が変化するだけであるので、個々のサブエリアに登録される欠陥修復手法の座標やテンプレートの登録内容には影響はない。
【００８７】
サブエリアの設定が完了したら、テンプレートを編集若しくは既存のテンプレートを読み込む。
既存のテンプレートにサブエリアが設定されていない、若しくは登録したサブエリアと異なる領域設定がなされていたら、デフォルト設定値として、欠陥の中心座標、若しくは欠陥の面積が一番多く設定されるサブエリアをそれぞれのテンプレートのサブエリアとして登録しなおす。
なお、テンプレートを編集、登録する際にはサブエリアも登録情報として指定する。
【００８８】
図１１，１２に示すように、登録されているテンプレートから、展開させるテンプレートを選択し、登録若しくは展開済みのサブエリアの一覧から展開するテンプレートを表示させ、展開させたいエリアを選択して展開させる。
図１２においては、エリア１のテンプレートをエリア２に展開させるときを示しており、展開元と展開先のエリアがわかるように表示の色等を変更している。
デフォルトでは展開するときの反転の指定はサブエリアの編集で設定されている内容が指定されるが、任意で変更することも可能である。
自動展開はあくまでも座標変換のみであるため、展開先のサブエリアの形状が展開元と異なるときなどは展開後に再度テンプレートの編集をそのまま行うことも可能である。
【００８９】
図１２において、エリア１のテンプレートを登録されているサブエリアすべてに自動展開させるときを示している。
展開先のサブエリアの指定をせずに図１１における展開をすべて一括で行なう。
展開先のテンプレートの形状をプレビュー表示することで、展開後のテンプレートを視覚的に把握することができる。また、展開先のサブエリアに既に登録済みのテンプレートがある場合、登録されているテンプレートをすべて同一パターン上に表示させたり、未登録のサブエリアに印を表示するなどして、登録抜けを確認できる。
また、特定のサブエリアに同一テンプレートが既に登録されているときに、一括展開時に上書きするかそのまま残すかを指定できるようにしておき、展開後に位置の調整を行ったサブエリアのテンプレートなどがある場合に効率の良い対処が出来るようにする。
【００９０】
図１３においては、エリア１とエリア２は近接して反転しており、さらに登録されているテンプレートの欠陥１２７は近接する領域を複数に跨っていて、エリア１もエリア２もリペアを行う場所は同じになる。
この場合は、一つのテンプレートで複数のサブエリアの欠陥のリペアが可能であり、サブエリア別に展開しても登録内容は重複になる。この場合には、一つのテンプレートを複数のサブエリアで共有する設定を行う。
【００９１】
テンプレートの展開を行なっていない場合は、登録されているテンプレート内のサブエリア情報に統合するサブエリアを指定すればよい。また、既に展開している内容が重複しているテンプレートは統合するときに削除するか、統合後に別の名称で保存するかを選択できるようにする。
また、図１３に示す統合したテンプレートを選択したまま、再度テンプレートの展開を行なう画面へ移動してエリア３へ上下反転で展開してからエリア３とエリア４を統合する等、個々の編集内容を保持したまま効率よくサブエリアとテンプレートの設定をすることができる。
【００９２】
図１４においては、配線部内に複数のサブエリアを定義したときに、テンプレートに対する個々のサブエリアの登録状況がどのようになっているかを視覚的に確認できるようになっている。
すなわち、各テンプレートに対してすべてのサブエリアへ定義が行われているか、また、定義されているサブエリアの名称やサブエリアの指定方法が正しいものかを確認し、何らかの不具合を生じる可能性があるものに対して印をつけることにより、一括した管理がしやすくなる。
【００９３】
また、マウスで選択したテンプレートを画面に表示したり、個々のテンプレートの詳細情報を表示することでテンプレートの内容も確認できるようにする。
特定のテンプレート若しくはサブエリアに対して何らかの不具合を確認したときには、該当するテンプレートを選択して再度編集したり、展開，統合を行うことができる。
【００９４】
以上詳述したように、基板内でのリペア領域を欠陥修復手法別に設定し、さらにその中に同一回路が複数あり、形状が異なるために欠陥修復手法が変化するような場合にも、欠陥座標から適切な欠陥修復手法を選択、実行することができるようになる。
【００９５】
上述した本発明によれば、次の効果を得ることができる。
・登録された配線部内でさらに電気的に同等になるサブエリア領域を指定し、それぞれに最適な欠陥修復手法を設定することにより、欠陥座標の位置に最適な欠陥修復手法を自動で選択、実行が可能となる。
・また、登録された欠陥修復手法が適用できない欠陥があるときも、既存の欠陥修復手法を配線部若しくはサブエリア領域分だけ移動させることにより、リペアの実行が可能となる。
・さらに、登録された欠陥修復手法を複数の領域に展開，統合を行なうことで、欠陥修復手法の登録漏れや重複の確認をし、最適なデータベースの作成が可能となる。
・本案件ではさらに、次の機能を拡張できる。
・配線部内で近接する領域に重なる欠陥のテンプレートを登録しておいた場合、テンプレートを配線部分上下左右の周辺８方向のいずれかの方向にシフト変換させて適用することにより、テンプレートの登録を簡略化することができる。
【００９６】
なお、本発明は上述した実施形態に限るものではなく、次のような変形実施が可能である。
上述した実施形態においては、ｎ台の欠陥修復装置を接続した例について説明したが、上記したサーバに、１台の欠陥修復装置を接続する構成であってもよい。
上述した実施形態においては、サーバに欠陥修復装置を接続するとともに、その欠陥修復装置に、欠陥位置特定手段、判別手段、修復手法索出手段、修復手法変換手段、欠陥修復手段とを設けた構成の欠陥修復システムについて説明したが、次の構成にしてもよい。
【００９７】
すなわち、サーバーに欠陥修復装置を端末として接続可能にした構成にすることなく、その欠陥修復装置に、上記した撮影部、基板修復部とともに、上記した複数の欠陥修復手法を記憶した記憶部を配設する。
【００９８】
また、撮影部によって撮影した配線部の撮影画像と上記基準画像とを照合して欠陥位置を特定する欠陥位置特定手段と、特定した欠陥のある配線部に対応する欠陥修復手法の有無を判別する判別手段と、特定した欠陥位置にある欠陥に対応する欠陥修復手法がないと判別されたときには、転用可能な欠陥修復手法を索出する修復手法索出手段と、索出された欠陥修復手法を、当該欠陥のある配線部に対応できるように変換する修復手法変換手段と、変換された欠陥修復手法に基づき、当該欠陥のある配線部の修復を上記基板修復部を介して行う欠陥修復手段とを設ける。
この構成によっても、既に登録された欠陥修復手法が配線部にある欠陥に適用できないときにも、新たな欠陥修復手法によることなく、欠陥に応じた適切な修復を自動的に行うことができる。
【００９９】
上述した実施形態において、欠陥修復システムに用いる欠陥修復プログラムを、情報記録媒体の一例として記憶装置６０に記憶した構成について説明したが、情報記録媒体としては記憶装置６０に限るものではなく、例えばフロッピィーディスク，コンパクトディスク，ディジタルビデオディスク，光磁気ディスク，可搬型ハードディスク，可搬型メモリ，ＲＯМ等に記憶してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本発明の一実施形態に係る欠陥修復システムの概略構成を示すブロック図である。
【図２】欠陥修復システムの一部をなす欠陥修復装置の構成を示すブロック図である。
【図３】基板の構成を示す説明図である。
【図４】（Ａ）は、欠陥修復手法をなすヘッダ情報とオブジェクト情報を示す説明図、（Ｂ）は、一例に係る配線部の詳細な構成を示す説明図である。
【図５】一連の欠陥修復処理のメインルーチンを示すフローチャートである。
【図６】欠陥修復手法の詳細な変換処理を示すフローチャートである。
【図７】Ｒのサブエリアを基準にしたときの一例に係る欠陥修復手法を説明するための説明図である。
【図８】Ｒのサブエリアを基準にしたときの他例に係る欠陥修復手法を説明するための説明図である。
【図９】配線部に欠陥修復手法を対応付ける、オペレータが手作業で行う手順を示すフローチャートである。
【図１０】一つのサブエリアに登録されているテンプレートを自動展開させるための操作画面を示す説明図であり、サブエリアを編集するための操作画面である。
【図１１】一つのサブエリアに登録されているテンプレートを自動展開させるための操作画面を示す説明図であり、テンプレートを展開するための一例に係る操作画面である。
【図１２】一つのサブエリアに登録されているテンプレートを自動展開させるための操作画面を示す説明図であり、テンプレートを展開するための他例に係る操作画面である。
【図１３】一つのサブエリアに登録されているテンプレートを自動展開させるための操作画面を示す説明図であり、テンプレートを統合するための操作画面である。
【図１４】一つのサブエリアに登録されているテンプレートを自動展開させるための操作画面を示す説明図であり、テンプレートを編集するための操作画面である。
【符号の説明】
【０１０１】
５０…基板、１０…撮影部、３０…基板修復部、６０…情報記録媒体（記憶部）、６１…データベース、Ｂ１〜Ｂｎ…欠陥修復装置、Ｃ…サーバ、Ｄ１…欠陥位置特定手段、Ｄ２…判別手段、Ｄ３…修復手法索出手段、Ｄ４…修復手法変換手段、Ｄ５…欠陥修復手段、Ｅ…配線部、Ｅ１〜Ｅ３…領域。
【図１】
2009251200.tif 000004
【図２】
2009251200.tif 000005
【図３】
2009251200.tif 000006
【図４】
2009251200.tif 000007
【図５】
2009251200.tif 000008
【図６】
2009251200.tif 000009
【図７】
2009251200.tif 000010
【図８】
2009251200.tif 000011
【図９】
2009251200.tif 000012
【図１０】
2009251200.tif 000013
【図１１】
2009251200.tif 000014
【図１２】
2009251200.tif 000015
【図１３】
2009251200.tif 000016
【図１４】
2009251200.tif 000017