(57)【要約】【課題】基材上に凹凸形状を有する凹凸層が形成された凹凸部材において、凹凸層にひび割れ・膨れが生じることなく、凹凸層と基材との接着性に優れた凹凸部材を、効率良く製造する方法に関する。【解決手段】凹凸部材を、（１）基材３上に光により硬化する感光性樹脂を含む樹脂層１が形成された樹脂部材の当該樹脂層１に、透過部と不透過部とを有するマスク部材４を介して、当該樹脂部材の基材３側から露光し、露光部の感光性樹脂を第一硬化させる工程、（２）前記樹脂部材の前記樹脂層１の未露光部の感光性樹脂を除去することで、基材３上に凹凸層２が形成された凹凸部材を製造する工程、（３）前記凹凸部材の前記凹凸層２に再露光して、当該凹凸層２を第二硬化させる工程を順に行うことにより製造する。【選択図】図１
2009244503.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記（１）から（３）の工程を順に行うことを特徴とする凹凸部材の製造方法。
（１）基材上に光により硬化する感光性樹脂を含む樹脂層が形成された樹脂部材の当該樹脂層に、透過部と不透過部とを有するマスク部材を介して、当該樹脂部材の基材側から露光し、露光部の感光性樹脂を第一硬化させる工程、
（２）前記樹脂部材の前記樹脂層の未露光部の感光性樹脂を除去することで、基材上に凹凸層が形成された凹凸部材を製造する工程、
（３）前記凹凸部材の前記凹凸層に再露光して、当該凹凸層を第二硬化させる工程。
【請求項２】
前記（３）の工程において、前記凹凸部材の前記凹凸層側から露光することを特徴とする請求項１に記載の凹凸部材の製造方法。
【請求項３】
前記樹脂層は光重合開始剤を含むものであって、当該光重合開始剤を感光性樹脂１００重量部に対し１５重量部以下含有するものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の凹凸部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材上に凹凸形状を有する凹凸層が形成された凹凸部材において、水、溶媒等によって凹凸層にひび割れ・膨れ等の欠陥が発生することなく、凹凸層と基材との接着性に優れる凹凸部材を、効率良く製造する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、光拡散フィルム、光制御フィルム、プリズムシート、フレネルレンズシート、レンチキュラーレンズシート、無反射フィルム等の各種光学フィルム、賦形フィルム、細胞培養チップ、ＤＮＡチップ、バイオデバイス、エネルギーデバイス等の所望の凹凸形状を有する凹凸部材が提案されている。通常、凹凸部材は、寸法安定性や機械的強度に優れるポリエステル系フィルムが基材として用いられ、当該基材上に光拡散層、マット層、バックコート層、無反射層、レンズ層等の各種機能を発揮しうる凹凸形状を有する凹凸層が設けられ構成されている。
【０００３】
このような凹凸部材は、成形型を用いて２Ｐ（Ｐｈｏｔｏ−Ｐｏｌｙｍｅｒ）法、２Ｔ（Ｔｈｅｒｍａｌ−Ｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎ）法等により成形したり、感光性樹脂とマスク部材とを用いた露光・現像処理を行うことで製造することができる（特許文献１〜３）。
【０００４】
ここで、感光性樹脂とマスク部材とを用いた露光・現像処理により製造する方法に関しては、基材上に形成した感光性樹脂からなる樹脂層に対し、透過部と不透過部とを有するマスク部材を介して、当該樹脂層側から露光する方法と、当該基材側から露光する方法とが考えられる。
【０００５】
前者の手法に関しては、光により不溶化或いは可溶化する感光性樹脂からなる樹脂層を基材上に設け、透過部と不透過部とを有するマスク部材を介して樹脂層側から露光すると、露光部と未露光部とにより感光性樹脂が不溶化或いは可溶化し、可溶化した或いは不溶化していない感光性樹脂は現像により除去され、不溶化した或いは可溶化していない感光性樹脂によって凹凸形状が形成され、凹凸形状が形成された凹凸部材を製造することができる。しかし、樹脂層側から露光する当該手法では、多種多様な凹凸形状を作製するにあたり複数の異なるマスク部材を適宜組み合わせ多重に露光する作業や、現像処理を行う前に当該樹脂層を他の基材に保持させる作業を行わなければならなくなることがあるため、作業性良く製造することが困難となることがある。
【０００６】
後者の手法に関しても、前者と同様に光により不溶化或いは可溶化する感光性樹脂を用いて設計しうるが、光により可溶化する感光性樹脂を用いて構成すると、上述と同様に多種多様な凹凸形状を設計するにあたり多重に露光する作業や、所望の凹凸形状を形成するための他の工程（熱加工等）を別途経なければならなくなるため、作業性良く製造することが困難となることがある。一方、光により不溶化（硬化）する感光性樹脂により凹凸部材を製造する方法によれば、マスク部材と樹脂層との隙間を利用した光の回折効果によって露光量分布を形成し、当該露光量分布により多種多様な凹凸形状を作製することが可能となる。したがって、上述の手法のような多重に露光する作業やその他の作業を行うことなく、作業性良く容易に製造することができる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−８４３９７号公報（特許請求の範囲）
【特許文献２】特開平８−１６６５０２号公報（従来の技術）
【特許文献３】特開平７−１４０３１９号公報（特許請求の範囲）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
当該手法により製造される凹凸部材に対し、当該凹凸部材表面に付着したゴミを除去するためや、当該凹凸部材を二次加工（例えばメッキ）等するため、水、アルコールや溶剤に長時間浸す作業を行うことがある。当該作業により、凹凸層にひび割れ・膨れが発生したり、凹凸層が基材から脱落したりすることがあった。
【０００９】
そこで、凹凸層にひび割れ・膨れが発生したり、凹凸層が基材から脱落することのない凹凸部材を、効率良く製造することが切望されていた。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、上記課題について鋭意研究を行ったところ、上記従来の製造手法では、所望の凹凸形状を形成する上で樹脂層への露光量が制限されるため、光による感光性樹脂の架橋反応が不十分となり、凹凸層にひび割れ・膨れが発生したり、基材と凹凸層との接着性が不十分となっていたことを見出した。
【００１１】
一方、上述した感光性樹脂の架橋反応を十分なものとするために、感光性樹脂に対する露光量を安易に増やしてしまうと、マスク部材の光透過部を透過する光量が過度に増加してしまうため、所望の凹凸形状を得ることができなくなってしまう。
【００１２】
そこで、所望の凹凸形状を形成する上で必要な露光に加え、再度露光する工程を別途設けることで、これらの課題を達成しうることを見出し、本発明に至った。
【００１３】
即ち、本発明の凹凸部材の製造方法は、（１）基材上に光により硬化する感光性樹脂を含む樹脂層が形成された樹脂部材の当該樹脂層に、透過部と不透過部とを有するマスク部材を介して、当該樹脂部材の基材側から露光し、露光部の感光性樹脂を第一硬化させる工程、（２）前記樹脂部材の前記樹脂層の未露光部の感光性樹脂を除去することで、基材上に凹凸層が形成された凹凸部材を製造する工程、（３）前記凹凸部材の前記凹凸層に再露光して、当該凹凸層を第二硬化させる工程を順に行うことを特徴とするものである。
【００１４】
好ましくは、本発明の凹凸部材の製造方法は、（３）の工程において、前記凹凸部材の前記凹凸層側から露光することを特徴とするものである。
【００１５】
好ましくは、本発明の凹凸部材の製造方法は、樹脂層が光重合開始剤を含むものであって、当該光重合開始剤を感光性樹脂１００重量部に対し１５重量部以下含有するものであることを特徴とするものである。
【００１６】
なお、本発明でいう第一硬化とは、（２）の工程の現像処理において露光部の樹脂層（凹凸層）の所望の凹凸形状が形成される程度に硬化させた状態を指し、第二硬化とは、第一硬化では凹凸形状を形成する観点から十分に硬化させることのできなかった凹凸層を、さらに硬化させた状態を指す。
【００１７】
また、本発明でいう光重合開始剤とは、光重合開始剤だけでなく、紫外線増感剤を含むものをいう。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、上述の（１）〜（３）の工程を順に行うことで、従来生じていた凹凸層のひび割れ・膨れや、基材からの凹凸層の脱落が発生することのない凹凸部材を、効率良く製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の凹凸部材の製造方法の実施の形態について説明する。本発明の凹凸部材は、図１に示すように、（１）基材３上に光により硬化する感光性樹脂を含む樹脂層１が形成された樹脂部材の当該樹脂層１に、透過部と不透過部とを有するマスク部材４を介して、当該樹脂部材の基材３側から露光し、露光部の感光性樹脂を第一硬化させる工程、（２）前記樹脂部材の前記樹脂層１の未露光部の感光性樹脂を除去することで、基材３上に凹凸層２が形成された凹凸部材を製造する工程、（３）前記凹凸部材の前記凹凸層２に再露光して、当該凹凸層２を第二硬化させる工程を順に行うことにより製造される。
【００２０】
まず、（１）の工程では、図１（１）に示すように、基材３上に光により硬化する感光性樹脂を含む樹脂層１が形成された樹脂部材の当該樹脂層１に、透過部と不透過部とを有するマスク部材４を介して、当該樹脂部材の基材３側から露光し、露光部の感光性樹脂を第一硬化させる。
【００２１】
本発明で用いる樹脂部材は、基材上に光により硬化する感光性樹脂を含む樹脂層が形成されたものである。当該樹脂層は、基材上に当該樹脂層用塗布液を塗布・乾燥することによって形成したものか、基材上にセパレータ付きの樹脂層の当該樹脂層を密着させ、セパレータを剥離することにより形成したものを用いることが好ましい。また、当該樹脂層は、固体でも液体でもよい。
【００２２】
樹脂層中に含まれる光により硬化する感光性樹脂は、一般にフォトリソグラフィーの分野で用いられる光硬化性樹脂を用いることができる。光硬化性樹脂としては、例えばポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等に、ケイ皮酸残基、カルコン残基、アクリル酸残基、ジアゾニウム塩残基、フェニルアジド残基、ｏ−キノンアジド残基、クマリン残基、２，５−ジメトキシスチルベン残基、スチリルピリジン残基、α−フェニルマレイミド、アントラセン残基、ピロン残基等の感光性基を導入した感光性ポリマーが挙げられる。
【００２３】
また、光硬化性樹脂としては、露光によって架橋硬化する光重合性プレポリマーを用いることができる。光重合性プレポリマーとしては、エポキシ系アクリレート、ポリエステル系アクリレート、ポリウレタン系アクリレート、多価アルコール系アクリレート等のアクリル基を有する樹脂、ポリチオールポリエン樹脂等が挙げられる。光重合性プレポリマーは単独でも使用可能であるが、架橋硬化性、架橋硬化膜の硬度を向上させるために、光重合性モノマーを加えてもよい。光重合性モノマーとしては、２−エチルへキシルアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、ブトキシエチルアクリレート等の単官能アクリルモノマー、１，６−ヘキサンジオールアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジアクリレート等の２官能アクリルモノマー、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリメチルプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート等の多官能アクリルモノマー等の１種若しくは２種以上が使用される。
【００２４】
樹脂層には、上述した感光性ポリマー或いは光重合性プレポリマーおよび光重合性モノマーの他、必要に応じ、光重合開始剤を添加してもよい。本発明でいう光重合開始剤には、光重合開始剤だけでなく、紫外線増感剤も含まれるが、光重合開始剤としては、ベンゾインエーテル系、ケタール系、アセトフェノン系、チオキサントン系等のラジカル型光重合開始剤、ジアゾニウム塩、ジアリールヨードニウム塩、トリアリールスルホニウム塩、トリアリールビリリウム塩、ベンジルピリジニウムチオシアネート、ジアルキルフェナシルスルホニウム塩、ジアルキルヒドロキシフェニルスルホニウム塩、ジアルキルヒドロキシフェニルホスホニウム塩等や複合系のカチオン型光重合開始剤等を用いることができる。また、紫外線増感剤としては、ｎ−ブチルアミン、トリエチルアミン、トリ−ｎ−ブチルホスフィン等を用いることができる。
【００２５】
なお、樹脂層中に光重合開始剤を用いる場合には、樹脂層を構成する感光性樹脂１００重量部に対し、光重合開始剤を１５重量部以下含有させることが好ましい。光重合開始剤を１５重量部以下含有させることにより、（１）や（３）の工程で露光を行うと、基材と凹凸層との界面における架橋反応が良好に進み、凹凸層のひび割れ・膨れを防止したり、基材と凹凸層との接着性に優れたものとすることができる。より好ましくは、光重合開始剤を４〜１２重量部含有させることが望ましい。光重合開始剤を４重量部以上含有させることにより、樹脂層に入射した光を効率よく利用することが可能となり、所望の凹凸形状を得易くすることができる。また、光重合開始剤を１２重量部以下含有させることにより、樹脂層の塗膜強度が低下するのを防止することができ、当該凹凸部材を他の部材と組み合わせて用いたり、バックライト装置等に組み込んで使用した際の、当該凹凸部材表面の凸部が欠損したり、つぶれたりすることをより防止できる。
【００２６】
また、感光性の感度を調整することで精度良く凹凸形状を形成させる観点から、樹脂層中には必要に応じ、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、桂皮酸系化合物、トリアジン系化合物、スチルベン系化合物、またはベンズオキサゾール系化合物等の紫外線吸収剤を添加させてもよい。
【００２７】
当該樹脂層は、表面凹凸を形成した後にそのまま光拡散フィルム、光制御フィルム等の光学部材として用いる場合には、高光透過性を有する材料を用いることが好ましい。このような材料として、上述した光硬化性樹脂のうち、特にアクリル系樹脂が好ましい。或いは、表面凹凸が形成された部材の用途によっては、樹脂層は着色されていてもよい。
【００２８】
樹脂層の厚みとしては、特に限定されず、形成しようとする凹凸層の厚み（基材界面から凸部先端までの厚み）よりも厚いものであればよい。
【００２９】
基材としては、露光に用いる光に対する透過性がある材料であれば特に限定されず、ガラスやプラスチックからなる板或いはフィルム等を使用することができる。具体的には、ケイ酸塩ガラス、リン酸塩ガラス、ホウ酸塩ガラス等の酸化ガラスや、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリアリレート、アクリル、アセチルセルロース、ポリ塩化ビニル等のプラスチックフィルム或いはシートが使用でき、寸法安定性の点で、延伸加工されたもの、特に二軸延伸加工されたものが好ましい。また、上述した樹脂層との接着性を向上させるために、表面にコロナ放電処理を施したり、易接着層を設けたものも好適に用いられる。特に、感光性樹脂と反応可能な易接着層を設けたものは、樹脂層（或いは（１）の工程後の凹凸層）との界面における反応が良好なものとなるため、特に好ましい。
【００３０】
基材３の厚みは、図２に示すように、マスク部材４の遮光面と樹脂層１との間に距離Ｔを設けるものであって、マスク部材の透過部を通過した光の回折による広がりを調整するものであり、樹脂層１に形成すべき凹凸形状によって適宜選択される。
【００３１】
マスク部材としては、一般にフォトリソグラフィーの分野で用いられている透過部と不透過部とを備えたフォトマスクを用いることができる。具体的には、目的とするパターンに対応する微細な透過部（開口）が多数形成されたマスク部材を用いる。開口は、例えば、円形や楕円形であるが、それに限定されない。細いスリット状の開口であってもよい。開口の配列は、目的とするパターンにより異なり、ランダムの場合も規則的な配列の場合もある。露光部の底面の形状は、マスク部材の開口の形状と同一形或いは相似形となる。
【００３２】
（１）の工程では、上述した樹脂部材の当該樹脂層に、マスク部材を介して当該樹脂部材の基材側から露光し、露光部の感光性樹脂を第一硬化させる。
【００３３】
本発明では、平行光を用いてマスク部材と樹脂層とを密着させて露光するのではなく、平行光や拡散光を用いてマスク部材の遮光面と樹脂層との間に隙間が生じるように樹脂部材の基材側からマスク部材を介して樹脂層に対し露光するものである。目的とする凹凸形状にもよるが、特に、拡散光を用いて当該手法により露光を行うことで、マスク部材の開口を通過した光が広がり、露光量に分布が生じ、凹凸形状が制御しやすくなる。
【００３４】
本発明の凹凸層の所望の凹凸形状は、上述したようにマスク部材の遮光面から樹脂層までの距離Ｔ（以下、単に「距離Ｔ」という場合もある）と、光源からの光エネルギー（露光量）を適宜制御することにより設計される。なお、拡散光の出射角特性によっても設計可能である。
【００３５】
まず、距離Ｔに関しては、マスク部材の遮光面と樹脂層との間に隙間が生じるように、樹脂部材の基材側から拡散光によって樹脂層に露光すると、マスク部材の開口を通過した拡散光は、距離Ｔに応じて光の回折により広がりが生じ、光束の周辺部では光束の中央部より単位面積当たりの光量が減少する。この露光量分布は、距離Ｔに依存する。なお、距離Ｔは、基材の厚みのみによって構成するだけでなく、基材と当該基材とは屈折率の異なる他の層を別途設けて構成したり、基材とマスク部材との間に別途空隙を設けて構成したりすることもできる。
【００３６】
また、光源からの光エネルギー（露光量）に関しては、感光性樹脂が光硬化して不溶化するために必要な露光量を臨界露光量Ｅcとし、この感光性樹脂に所定の露光量Ｅ0（光源からの光エネルギー）を与えた場合の硬化深さＣd（凸部の高さとなる）と臨界露光量Ｅcとの間に、次式の関係があることが知られている。
【００３７】
Ｃd＝Ｄp×ｌｎ（Ｅ0／Ｅc）
ここでＤpは、樹脂表面に露光された紫外線光の強度が１／ｅとなる深度（透過深度という）であり、感光性樹脂に固有の値である。
【００３８】
上述の露光量分布を持った光を露光すると、その分布に対応して硬化深さＣdに分布を生じることになり、その結果、高さ或いは深さの変化する凸部或いは凹部の形成が可能となる。
【００３９】
このように所望の凹凸形状は、光源からの光エネルギー（露光量）や距離Ｔを適宜設計することで形成される。従って、（１）の工程において所望の光エネルギーを露光して硬化させる本発明の第一硬化は、所望の凹凸形状を形成する観点により行われるものであって、当該露光部の樹脂層（凹凸層）の塗膜強度（表面硬度や層内の硬さ）は、二次加工（例えばメッキ）等する場合や、成形品として使用する場合において、必ずしも十分なものとすることができない。
【００４０】
即ち、（１）の工程において基材側から入射した光により、樹脂層が基材と接する面からその反対面の樹脂層表面に向け徐々に硬化していき、当該樹脂層が（２）の工程の現像処理に耐えうる程度まで硬化した箇所により凹凸形状が形成される。従って、（１）の工程の第一硬化のみでは、当該凹凸層は、基材と接する面に比べ、凹凸面の表面硬度が低い状態となり、表面硬度が十分な状態とはいえない。また、（１）の工程において所望の凹凸形状を形成しうる露光量分布を持った光で露光すると、露光量の多い箇所の樹脂層の層内の硬さは高くなるが、露光量の少ない箇所の樹脂層の層内の硬さは低い状態となる。従って、層内の硬さに関しても十分な状態とはいえなくなる。
【００４１】
一方、後述する本発明の第二硬化は、このように塗膜強度（表面硬度や層内の硬さ）が不十分な第一硬化後の凹凸層の塗膜強度をさらに高める観点から行われるものであって、本発明の第一硬化とは異なるものである。そして、当該凹凸層を第二硬化させることにより、凹凸層中の感光性樹脂の架橋反応が進み、製造された凹凸部材を水・溶剤等に浸しても、当該凹凸層のひび割れ・膨れを防止したり、当該凹凸層の基材からの脱落を防止しうるものとすることができる。
【００４２】
なお、樹脂層に対する露光量は、上述したように所望の凹凸形状を形成する上で特定の範囲内のものとなるため、感光性樹脂の架橋反応が十分とはならないが、当該本発明の第一硬化は、少なくとも後述する（２）の工程で行う現像処理に耐えられる程度の塗膜強度を備えていることが好ましい。
【００４３】
本発明で露光する光としては、電子線、紫外線、太陽光等が挙げられる。光のうち電子線は、一般的に高エネルギーであるため、アスペクト比（得たい凹凸形状の凸部の底面の長さに対する凸部の高さ）の高い凹凸形状を得る上では好ましいが、アスペクト比の低い凹凸形状は作りにくい。したがって、所望の凹凸形状を設計する上で、種々のアスペクト比の選択が容易である観点から、紫外線を用いることが好ましい。
【００４４】
光源は、感光性樹脂が硬化しうる上述した光を発生させるものであればよい。具体的には、紫外線に反応する感光性樹脂組成物であれば、高圧水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ等のＵＶランプを用いることができる。
【００４５】
次いで、（２）の工程では、図１（２）に示すように、樹脂部材の樹脂層１の未露光部の感光性樹脂を除去することで、基材３上に凹凸層２が形成された凹凸部材を製造する。
【００４６】
（２）の工程では、樹脂層を構成する感光性樹脂を溶解する溶液を現像液として用い、樹脂層の、露光によって不溶化した部分以外の部分を除去する。本発明では、（１）の工程により基材上に形成された樹脂層をその基材を通して露光を行い、その後、本工程により樹脂層の表面（基材と反対側の面）を現像し未露光の感光性樹脂を除去することで、当該表面に微細な凹凸が形成された凹凸層を有する凹凸部材を製造することができる。なお、上述した現像液としては、特に制約はなく、特開平５−７２７２４号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。
【００４７】
なお、図３に、（２）の工程により製造された凹凸部材の一実施の形態図を示す。図３は、マスク部材の開口が円形である場合について、形状及びアスペクト比（凸部の底面の幅に対する高さの比）の異なる凸部が形成された凹凸部材の顕微鏡写真である。図示する例では、単一の凸部のみを示しているが、マスクとして多数の微細な開口を設けたものを使用することにより、多数の微細な凸部を形成することもできる。
【００４８】
次いで、（３）の工程では、図１（３）に示すように、（３）前記凹凸部材の前記凹凸層に再露光して、当該凹凸層を第二硬化させる。
【００４９】
本発明では、上述したように、所望の凹凸形状を形成する上で樹脂層に対する露光量がある程度に制限されているため、露光部の樹脂層（凹凸層）は二次加工（例えばメッキ）等に耐えられない程度で不十分に硬化（第一硬化）している。そうすると、当該凹凸層を水、アルコールや溶剤に長時間浸すと、当該凹凸層にひび割れ・膨れが発生したり、凹凸層が基材から脱落することがあった。
【００５０】
即ち、露光後の現像処理工程において、未露光の樹脂層は現像処理により除去され、露光された樹脂層（凹凸層）が現れる。その後、当該凹凸層を有する凹凸部材を、水、アルコールや溶剤に長時間浸すと、水、アルコールや溶剤により層表面が侵され、凹凸層表面にひび割れ・膨れが発生することがあった。また、凹凸層と基材との界面が侵されることにより、凹凸層が基材から脱落してしまうことがあった。
【００５１】
しかし、本発明では、凹凸部材の当該凹凸層に再露光して、当該凹凸層をさらに硬化（第二硬化）させるため、当該凹凸層を構成する感光性樹脂の架橋反応がさらに進み、水、アルコールや溶剤に長時間浸したとしても、凹凸層にひび割れ・膨れが発生したり、凹凸層が基材から脱落することがない。
【００５２】
なお、（２）の工程においても、水、アルコール或いは溶剤からなる現像液に侵されることになるが、（２）の現像処理工程は、樹脂層の基材とは反対側に位置する未露光部の樹脂層を除去するものであって、樹脂層の基材側に位置する露光部の樹脂層（凹凸層）が現像液に直接侵される時間が少ない。従って、（２）の現像処理工程において、上述したような凹凸層のひび割れ・膨れが発生したり、凹凸層が基材から脱落することもない。
【００５３】
（３）の工程における再露光の露光量は、凹凸層の凹凸形状の変形を防止したり、二次加工等し難くなるのを防止する観点から、（１）の工程における露光量に対し、１０倍を超えない範囲とすることが好ましい。
【００５４】
また、（３）の工程における再露光は、凹凸部材の基材側や凹凸層側のいずれでも良いが、凹凸層側から再露光することが好ましい。凹凸層の凹凸形状は、上述したように、（１）の工程において、基材側から入射した光により樹脂層が基材側の面とは反対面の樹脂層表面に向け徐々に硬化していき、当該樹脂層が（２）の工程の現像処理に耐えうる程度まで硬化した箇所により形成される。従って、当該凹凸層は、基材側の面に比べ凹凸面の表面硬度が低い状態となる。そこで、凹凸層側から再露光することで、凹凸面の表面硬度を効率良く向上させることができ、凹凸層全体の塗膜強度を効率良く向上させることができる。また、基材側から再露光することも可能であるが、基材の入射部や基材内において光が屈折したり、基材内で光が吸収されたりすることがあるため、効率よく硬化し製造することのできる凹凸層側から再露光することが好ましい。
【００５５】
以上説明したように、本発明の凹凸部材の製造方法によれば、所望の凹凸形状を形成する上で必要な露光（第一硬化）に加え、再度露光する工程（第二硬化）を別途設けることで、凹凸層にひび割れ・膨れが生じることなく、凹凸層と基材との接着性に優れた凹凸部材を、効率良く製造することができる。このような製造方法によれば、光拡散フィルム、光制御フィルム、プリズムシート、フレネルレンズシート、レンチキュラーレンズシート、無反射フィルム等の各種光学フィルム、賦形フィルム、細胞培養チップ、ＤＮＡチップ、バイオデバイス、エネルギーデバイス等の凹凸部材が好適に製造することができる。
【００５６】
なお、本発明の凹凸部材の製造方法によって作製された凹凸部材を母型として、さらに電鋳等により形状を反転した型を作製し、当該型を用いて任意の材料で凹凸部材と同一表面形状の部材を大量生産することも可能となる。
【実施例】
【００５７】
以下、実施例により本発明を更に説明する。なお、「部」、「％」は特に示さない限り、重量基準とする。
【００５８】
１．凹凸部材の製造
［実施例１]
厚み１００μｍのポリエステルフィルム（コスモシャインA4300：東洋紡績社）からなる基材の上に、下記処方の樹脂層用塗布液を塗布、乾燥し、厚み７０μｍの樹脂層を形成し、樹脂部材を作製した。
【００５９】
＜実施例１の樹脂層用塗布液＞
・レジスト組成物                                  ２９２部
（ＥＫＩＲＥＳＩＮ PER-800 RB-2203：互応化学工業社、固形分３６％）
（感光性樹脂１００重量部に対し、光重合開始剤５部含有）
・光重合開始剤                                        ５部
（イルガキュア184：チバ・ジャパン社）
【００６０】
次いで、樹脂部材の基材と、複数の円形開口が形成されたクロムマスク（以下、Ｃｒマスク（マスク径４０μｍ）という）の遮光面とを対向して重ね合わせた後、樹脂層をＣｒマスク側から露光を行った。露光は、高圧水銀灯を光源とする露光器（ジェットライトJL-2300：オーク製作所社）を用い、光を拡散させて行った。露光量は、３６５ｎｍを中心とした光を積算光量計（ＵＩＴ-102（受光部：UVD-365PD）：ウシオ電機社）により測定し、２５ｍＪ／ｃｍ2とした。
【００６１】
次いで、現像液（炭酸カリウム１％水溶液）で２０分間現像し、その後、流水にて水洗、乾燥させることで、基材上に、凹凸形状を有する凹凸層を備えた凹凸部材を作製した。
【００６２】
次いで、凹凸部材の凹凸層側から、上述した露光機により再度露光を行った。露光量は、上述と同様の積算光量計により測定し、１００ｍＪ／ｃｍ2とした。以上により、実施例１の製造方法により製造された凹凸部材を得た。
【００６３】
［実施例２］
実施例１の樹脂層用塗布液の光重合開始剤（イルガキュア184：チバ・ジャパン社）の添加量を９部に変更した以外は実施例１と同様にして、実施例２の製造方法により製造された凹凸部材を得た。
【００６４】
［比較例１］
実施例１の製造方法のうち、凹凸部材の凹凸層を再度露光する工程を行わない以外は実施例１と同様にして、比較例１の製造方法により製造された凹凸部材を得た。
【００６５】
２．評価
（１）接着性
実施例１、２及び比較例１の製造方法により得られた凹凸部材を、炭酸カリウム１％水溶液の浴槽内に、６０分間浸した。その後、当該凹凸部材の凹凸層と基材との接着具合について観察した。凹凸層と基材とが接着したままであったものを「○」、凹凸層が基材から剥離してしまったものを「×」とした。測定結果を表１に示す。
【００６６】
（２）凹凸層のひび割れ・膨れの防止性
実施例１、２及び比較例１の製造方法により得られた凹凸部材を、炭酸カリウム１％水溶液の浴槽内に、１０分間浸した。その後、当該凹凸部材の凹凸層の表面形状について観察した。凹凸層にひび割れ・膨れが発生せず、何ら形状が変化していなかったものを「○」、凹凸層にひび割れ・膨れが発生し、凹凸形状が変化していたものを「×」とした。測定結果を表１に示す。
【００６７】
（３）塗膜強度
実施例１、２及び比較例１の製造方法により得られた凹凸部材の凹凸層の凹凸面について、ＩＳＯ  １４５７７−１に基づき、微小硬さ試験機（フィッシャースコープHM2000：フィッシャー・インストルメンツ社）を用いて１ｍＮの試験力を２０秒かけて加えていき、その後、試験力を５秒間保持した際の塗膜強度（マルテンス硬さ）を測定した。マルテンス硬さが２５Ｎ／ｍｍ2以上であったものを「◎」、１０Ｎ／ｍｍ2以上２５Ｎ／ｍｍ2未満であったものを「○」、１０Ｎ／ｍｍ2未満であったものを「×」とした。測定結果を表１に示す。
【００６８】
【表１】
2009244503.tif 000003
【００６９】
表１の結果からも明らかなように、実施例１、２の凹凸部材の製造方法では、樹脂層を構成する感光性樹脂に対し、露光して所望の凹凸形状が得られる程度まで硬化させた後、凹凸層（露光部の樹脂層）に対し、さらに露光するものであったため、凹凸層を構成する感光性樹脂の架橋反応が十分に進み、接着性、ひび割れ・膨れの防止性及び塗膜強度に優れたものとなった。
【００７０】
特に、実施例１の凹凸部材の製造方法では、樹脂層中に光重合開始剤を感光性樹脂１００重量部に対し４〜１２重量部含むものであったため、塗膜強度に特に優れるものとなった。
【００７１】
一方、比較例１の凹凸部材の製造方法では、樹脂層を構成する感光性樹脂に対し、所望の凹凸形状を得るために一度だけ露光したに過ぎないものであったため、凹凸層（露光部の樹脂層）を構成する感光性樹脂の架橋反応が不十分となり、接着性、ひび割れ・膨れの防止性及び塗膜強度に劣るものとなった。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の凹凸部材の製造方法の一実施形態を示す断面図
【図２】マスク部材の遮光面から樹脂層までの距離を説明する図
【図３】形状およびアスペクト比の異なる凸部の具体例を示す顕微鏡写真
【符号の説明】
【００７３】
１・・・樹脂層
２・・・凹凸層（露光部の樹脂層）
３・・・基材
４・・・マスク部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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