(57)【要約】【課題】ミクロ検査装置及びミクロ検査方法において、浮上プレート上の被検査体のミクロ検査を有効に行う。【解決手段】被検査体を浮上させる浮上プレート２と、この浮上プレート２を移動させるアクチュエータ（２ｂ，１０ｂ）と、を備える構成とする。【選択図】図４
2009229081.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を浮上させる浮上プレートと、
該浮上プレートを移動させるアクチュエータと、
を備えることを特徴とするミクロ検査装置。
【請求項２】
前記浮上プレートを支持する支持部材を更に備え、
前記浮上プレートは、前記支持部材上を移動する、
ことを特徴とする請求項１記載のミクロ検査装置。
【請求項３】
前記アクチュエータは、複数の前記浮上プレートに設けられたシリンダであり、
前記複数の浮上プレートは、前記シリンダの伸縮動作によって、隣接する浮上プレートを押圧して移動する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のミクロ検査装置。
【請求項４】
前記アクチュエータは、前記支持部材を移動させることで、該支持部材上の浮上プレートを移動させることを特徴とする請求項２記載のミクロ検査装置。
【請求項５】
前記浮上プレートの移動によって広くなった前記浮上プレート間のスペースの下方に移動し、前記被検査体を浮上させるエアー噴き出し部を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項記載のミクロ検査装置。
【請求項６】
前記エアー噴き出し部は、前記被検査体を浮上させる位置と、そこから退避する位置とに上下移動することを特徴とする請求項５記載のミクロ検査装置。
【請求項７】
前記被検査体に照明光を照射し、前記浮上プレートの下方を移動する照明装置を更に備え、
前記エアー噴き出し部は、前記照明装置に配置されている、
ことを特徴とする請求項５又は請求項６記載のミクロ検査装置。
【請求項８】
前記エアー噴き出し部は、前記照明装置の光源を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項７記載のミクロ検査装置。
【請求項９】
前記浮上プレートの移動によって広くなった前記浮上プレート間のスペースの上方に移動し、前記被検査体側からエアーを吸引するエアー吸引部を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項記載のミクロ検査装置。
【請求項１０】
前記エアー吸引部は、エアーを吸引するエアー吸引口、及び、エアーを噴き出すエアー噴き出し口を有することを特徴とする請求項９記載のミクロ検査装置。
【請求項１１】
前記浮上プレートの上方を移動する検査部を更に備え、
前記エアー吸引部は、前記検査部に配置されている、
ことを特徴とする請求項９又は請求項１０記載のミクロ検査装置。
【請求項１２】
被検査体を浮上プレートにより浮上させながら検査するミクロ検査方法において、
前記被検査体のうち前記浮上プレートの上方に位置する被検査部分を検査する際に、前記被検査部分の下方に位置する前記浮上プレートを該被検査部分の下方から退避させる、
ことを特徴とするミクロ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の透明な被検査体のミクロ検査を行うミクロ検査装置及びミクロ検査方法に関し、更に詳しくは、被検査体を浮上プレートにより浮上させながら被検査体の裏面側から照明光を透過させて検査するミクロ検査装置及びミクロ検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造工程においては、各製造工程で製造されたマザーガラス基板に欠陥が有るか無いか顕微鏡等を用いてミクロ検査を行っている。このミクロ検査を行うに際して、ガラス基板が小さい場合には、矩形状のガラス基板の周辺を載置枠等に保持しながら顕微鏡と透過照明用光源をＸＹ方向の二次元に移動させてガラス基板全面をミクロ検査することができた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、近年のガラス基板等の大型化に伴い、例えば、一辺が２ｍ、厚さ０．７ｍｍのマザーガラス基板を特許文献１の載置枠に保持すると、ガラス基板の自重により撓んでしまい水平に保持することが困難になってきた。また、大型のガラス基板をステージ上に載置すると、ガラス基板をステージ上から持ち上げた際に剥離帯電によりガラス基板上のパターン回路が破損するという新たな問題が生じてきた。この剥離帯電を防止するために、ガラス基板を浮上プレートにより浮上させながら検査を行う手法がとられるようになってきている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
また、ガラス基板の大型化がミクロ検査装置の大型化をも招いているため、ガラス基板を搬送しながら検査するのではなく、いわゆるガントリー移動方式のミクロ検査装置のように、ガラス基板を静止させた状態でミクロ検査ヘッドを移動させて検査する装置も用いられている。
【特許文献１】特開２００２−２６７９３７号公報
【特許文献２】特開２００６−３４３３２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ガントリー移動方式のミクロ検査装置では、照明装置により浮上プレートの下方から被検査体に照明光を照射する場合、この照明光が浮上プレートに遮られてしまい、有効に透過照明を行うことができないという問題があった。
【０００６】
また、ミクロ検査装置において落射照明を用いる際にも、被検査体が透明な基板等である場合には、被検査体下方の浮上プレートにおいて照明光が反射してしまうため、良好なミクロ検査を行うことができないという問題があった。
【０００７】
以上のような問題は、浮上ステージをガラス等の透明の素材のものにしても、エアー浮上の構造や技術を使用するのが困難となるため、解消することができなかった。また、複数の支持ピンで被検査体を支持すると、被検査体に撓みが発生してしまい、焦点深度の短い高倍率の対物レンズを用いたミクロ検査において不向きである。
【０００８】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、透明な被検査体を浮上プレート上に浮上させ透過照明によりミクロ検査を有効に行うことができるミクロ検査装置及びミクロ検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明のミクロ検査装置は、被検査体を浮上させる浮上プレートと、この浮上プレートを移動させるアクチュエータと、を備える構成とする。
上記課題を解決するために、本発明のミクロ検査方法は、被検査体を浮上プレートにより浮上させながら検査するミクロ検査方法において、上記被検査体のうち上記浮上プレートの上方に位置する被検査部分を検査する際に、上記被検査部分の下方に位置する前記浮上プレートを上記被検査部分の下方から退避させるようにする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、浮上プレートを移動させることで、被検査体の下方からの透過照明、被検査体の上方からの落射照明等の照明光が浮上プレートに遮られるのを防ぐことができるため、浮上プレート上の被検査体のミクロ検査を有効に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態に係るミクロ検査装置及びミクロ検査方法について、図面を参照しながら説明する。
（一実施の形態）
図１は、本発明の一実施の形態に係るミクロ検査装置１を示す斜視図である。
【００１２】
図２は、上記ミクロ検査装置１の浮上プレート２及び桟３を示す平面図であり、図３は、図２のＡ部拡大図である。
図４は、上記浮上プレート２を示す平面図及び側面図であり、図５は、図４のＢ部拡大図である。
【００１３】
図１において、ミクロ検査装置１は、いわゆるガントリー移動方式のミクロ検査装置であり、複数の浮上プレート２、この浮上プレート２を支持する支持部材としての複数の桟３、ベース部４、ガントリー５、検査部としての顕微鏡６、照明装置としての透過照明部７、透過照明用ガイド８等から構成されている。
【００１４】
浮上プレート２は、複数の桟３上に配置されており、長手方向がガントリー５の移動方向（Ｙ軸方向）に平行に延びている。また、浮上プレート２は、Ｙ軸方向にかけて複数個が並設されている。一方、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向においては、浮上プレート２は互いに一定間隔Ｇ１をもって並設されている。すなわち、矩形タイル状の浮上プレート２は、図４に示すようにＸ軸方向とＹ軸方向にＭ×Ｎの行列に配置され、本実施形態では６×３の行列配置で説明する。
【００１５】
各浮上プレート２は、図示しない浮上用エアー配管から供給されるエアーを図２に示す空気孔２ａから噴出させることで、被検査体としてのガラス基板１００を浮上させている。
【００１６】
桟３は、浮上プレート２を支持しＸ軸方向に延びる四角柱の支持部と、この支持部の両端においてベース部４に立設された２本の脚部とからなる門型形状を呈し、Ｙ軸方向に並ぶ浮上プレート２の数よりも１つ多く配置されて、図２に示すように浮上プレート２のＹ軸方向における両端を支持している。
【００１７】
図２及び図３に示すように、桟３の上面には、Ｘ軸方向に延びる、浮上プレート用のガイド溝３ａが２つ形成されている。ガイド溝３ａは、内部の水平断面積が開口面積よりも広くなっている。ガイド溝３内では、浮上プレート２のネジ孔２ｄに固定された図３に示すスライド部２ｅがＸ軸方向にスライドする構成となっている。スライド部２ｅは、例えば、ローラの回動によりガイド溝３ａ内をスライドするようにすることができる。
【００１８】
図１及び図４に示すように、桟３の上部には、浮上プレート２を挟んで位置する２つのサイドボード１０，１１が配置されている。サイドボード１０，１１は、浮上プレート２に平行に、複数の桟３の両端上面に亘って配置されている。
【００１９】
各サイドボード１０，１１の上面には、ガラス基板４の四つ角を保持する保持機構９が２つずつ配置されている。この保持機構９は、各浮上プレート２上に浮上したガラス基板４を検査の基準座標に合わせる基板位置決めとして用いることもできる。また、各サイドボード１０，１１の上面には、ガラス基板１０の搬入時に行列配置された浮上プレート２の搬送路からガラス基板１０が外れないように導くと共に、ガラス基板１００の損壊を防止するべく、ローラ１０ａ，１１ａが複数個配置されている。
【００２０】
ベース部４のＸ軸方向両端には、ガントリー用のガイドレール１２，１２が配設されている。ガントリー５は、リニアモータ等の駆動手段によりガイドレール１２，１２上をＹ軸方向に移動することが可能となっている。ガントリー５には、ガラス基板１００の表面を拡大観察するための顕微鏡６が配置されている。
【００２１】
顕微鏡６は、ガントリー５の水平アーム部の底面に設けられ、図示しない顕微鏡用ガイドレールに沿ってリニアモータ等の駆動手段によりＸ軸方向に移動可能となっている。この顕微鏡６は、ガントリー５の水平アーム部の底面に限らず側面に設けてもよい。そして、顕微鏡６は、ガントリー５の水平アーム部に沿うＸ軸方向への移動と、ガントリー５のＹ軸方向への移動とにより、ガラス基板１００の上方を水平方向（ＸＹ軸方向）に自在に移動能となっている。
【００２２】
浮上プレート２の下方には、透過照明部７が配置されている。透過照明部７は、透過照明用ガイド８に沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。そして、透過照明用ガイド８は、ベース部４上に配設された透過照明搬送用ガイド１３，１３に沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。
【００２３】
このように、透過照明部７は、透過照明用ガイド８に沿う透過照明部７のＸ軸方向への移動と、透過照明搬送用ガイド１３，１３に沿う透過照明用ガイド８のＹ軸方向への移動とにより、ガラス基板１００の下方を水平方向（ＸＹ方向）に自在に移動することが可能となっている。
【００２４】
顕微鏡６と透過照明部７とは、ガラス基板１００を挟んで対向するように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向への移動が同期制御されている。
本実施の形態のガラス基板１００は、表側の面が回路素子や配線パターンが形成された素子形成面となっており、裏面が回路素子等の形成されていない非素子形成面となっている。そして、ガラス基板１００は、その裏面側から浮上プレート２によってエアーを噴出されると共に、保持機構９によって四つ角を保持されることで、静止した状態で浮上している。
【００２５】
図４及び図５に示すように、各浮上プレート２の底面には、浮上プレート２をＸ軸方向に移動させるアクチュエータとしてのシリンダ２ｂ、及びシリンダ受け部２ｃが設けられている。詳しくは後述するが、シリンダ２ｂは、伸縮動作によって、Ｘ軸方向において隣接する浮上プレート２を、そのシリンダ受け部２ｃを押圧することで、移動させることが可能となっている。
【００２６】
また、Ｘ軸方向における両端の浮上プレート２は、サイドボード１０の底面に設けられたシリンダ１０ｂによりシリンダ受け部２ｃを押圧されることで、又は、サイドボード１１の底面に設けられたシリンダ受け部１１ｂをシリンダ２ｂにより押圧することで、移動することが可能となっている。
【００２７】
なお、浮上プレート２の移動方向としては、透過照明部７による照明を遮らないように浮上プレート２を退避させればよいため、本実施の形態では、透過照明部７からの照明光と交差する方向として水平方向（ＸＹ平面）としている。
【００２８】
図６は、上記浮上プレート２の制御について説明するための説明図である。
浮上プレート２に設けられたシリンダ２ｂ及び一側のサイドボード１０に設けられたシリンダ１０ｂは、シリンダ用エアー配管１６を介して電磁弁１４の各ポート（１４−０、１４−１、・・・、１４−６）に接続されている。各ポートは、電気配線を介して接続されたコントローラ１５により制御されている。
【００２９】
コントローラ１５は、各ポートに対応するメモリ（１５−０、１５−１、・・・、１５−６）を有しており、シリンダ２ｂ，１０ｂの状態をメモリに記憶し、シリンダ２ｂ，１０ｂの制御を行っている。
【００３０】
本実施の形態では、コントローラ１５は、シリンダ２ｂ，１０ｂの可動部が引っ込んだ状態を「０」、途中まで伸長した状態を「１」、ストローク略限界まで伸長した状態を「２」としてシリンダ２ｂ，１０ｂの制御を行っている。
【００３１】
例えば、浮上プレート２−３のシリンダ２ｂの状態を「２」とし、浮上プレート２−１，２−２のシリンダ２ｂとシリンダ１０ｂの状態を「１」とし、浮上プレート２−４，２−５，２−６のシリンダ２ｂを「０」とした場合には、浮上プレート２−３のシリンダ２ｂの押圧により浮上プレート２−４，２−５，２−６がＸ軸方向に移動し、浮上プレート（２−４）との間隙を大きくとることができる。
【００３２】
また同様に、シリンダ２ｂ，１０ｂの状態を「１」とした場合（サイドボード１０及び浮上プレート２−１，２−２参照）には、押圧する浮上プレートとの間隙を一定間隔Ｇ１に設定することができ、シリンダ２ｂの状態を「０」とした場合（浮上プレート２−４，２−５，２−６参照）には、浮上プレートとの間隙（厳密には、浮上プレート２−６とサイドボード１１との間隙も含まれる。）を一定間隙Ｇ１より小さくすることができる。
【００３３】
ただし、全ての浮上プレート２間の間隙をなくすことはできないため、例えば浮上プレート２−３のシリンダ２ｂのように状態を「２」とし、隣接する浮上プレート２−４との間隙を大きくした場合には、相対的に他の間隙を小さくする必要がある。
【００３４】
浮上プレート２の制御については、ガラス基板１００の欠陥（被検査部分）の座標が浮上プレート２の上方にあるのか否かをコントローラ１５の内部プログラムで計算した後、コントローラ１５が浮上プレート２の状態を指示することで制御することができる。或いは、ガラス基板１００の欠陥の座標に対して浮上プレート２の動作・位置を予め決定しておき、コントローラ１５のメモリマップ上で記憶して、検査のときにコントローラ１５がメモリマップを参照することでも制御することはできる。
【００３５】
なお、シリンダ２ｂ，１０ｂは、エアー駆動の他にも、例えば、電気やモータ等を動力源とすることもできる。
以下、ミクロ検査装置１の動作について説明する。
【００３６】
図７〜図１４は、上記ミクロ検査装置１の動作を説明するための説明図である。
図７に示すようにガラス基板１００の欠陥Ｆ１（×印で図示）が浮上プレート２の間隙の上方にある場合には、浮上プレート２が透過照明部７による透過照明を遮らないため、浮上プレート２を退避させる必要がない。そのため、図８に示すように、浮上プレート２を移動させることなく、顕微鏡６及び透過照明部７をＸ軸方向に同期制御すると共にガントリー５及び透過照明用ガイド８をＹ軸方向に同期制御することで、ガラス基板１００の欠陥Ｆ１を挟んで上方に顕微鏡６を下方に透過照明部７を移動させればよい。
【００３７】
一方、図９に示すようにガラス基板１００の欠陥Ｆ２が浮上プレート２の上方にある場合には、浮上プレート２が透過照明部７による透過照明を遮ってしまうため、図１０に示すように、欠陥Ｆ２を挟んで対向するように顕微鏡６及び透過照明部７を同期制御するのに加えて、欠陥Ｆ２の下方に位置する浮上プレート２及びこの浮上プレート２に隣接する浮上プレート２を欠陥Ｆ２の下方から退避させる。
【００３８】
具体的には、浮上プレート２−３の状態を上述の状態「２」（シリンダ２ｂの可動部がストローク略限界まで伸長した状態）として浮上プレート２−３と浮上プレート２−４との間隔Ｇ２を大きくとると共に、浮上プレート２−４，２−５，２−６の状態を「０」（シリンダ２ｂの可動部が引っ込んだ状態）として上記間隔Ｇ２を生じさせるスペースを確保する。なお、浮上プレート２が移動しても、ガラス基板１００は、浮上プレート２上に浮上し保持機構９により保持されているため浮上プレート２と共に移動してしまうことはない。
【００３９】
図１１及び図１２に示すように、移動させる浮上プレート２の数は、ガラス基板１００の欠陥Ｆ３，Ｆ４を観察する顕微鏡６の視野の位置と大きさに合わせて、上記コントローラ１５により必要最低限の数を選択させればよい。図１１及び図１２に示す例では、２つの浮上プレート２のみを移動させている。移動させる浮上プレート２の数は、浮上プレート２上のガラス基板１００の欠陥位置に応じて変動するため、欠陥位置が浮上プレート２の端にある場合には、浮上プレート２の移動は１つで足りる場合もあり、欠陥位置が浮上プレート２の中央部分にある場合には浮上プレート２の移動は３つ以上必要な場合もあり得る。
【００４０】
ここで、図１３に示すように、欠陥Ｆ５が、浮上プレート２を支持する桟３の上方に位置する場合には、桟３が透過照明を遮ってしまうため、浮上プレート２の移動だけでは足りない。このような場合には、例えば、図１４に示すようにガラス基板１００自体を移動させ（矢印Ｄ）、欠陥Ｆ５の位置を桟３の上方から退避させればよい。このとき、ガラス基板１００は保持機構９により保持した状態のまま移動させるとよい。
【００４１】
なお、本実施の形態では、照明装置として透過照明部７を採用した例について説明したが、照明装置が落射照明を用いるものであっても、浮上プレート２を退避させることでガラス基板１００を透過した光が浮上プレート２において反射するのを抑えることができるため、浮上プレート２上のガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００４２】
また、本実施の形態では、浮上プレート２及びサイドボード１０にシリンダ２ｂ，１０ｂを配置する例について説明したが、浮上プレート２のみにシリンダ２ｂを配置する構成によっても浮上プレート２を移動させることは可能である。更には、浮上プレート２の一部のみにシリンダ２ｂを配置する場合でも、浮上プレート２を移動させることは可能である。
【００４３】
また、本実施の形態では、浮上プレート２をシリンダ２ｂ，１０ｂにより移動させる例について説明したが、浮上プレート２の移動方法としては、各浮上プレート２にリニアモータを取付けて桟３にリニアガイドを設けるなど、浮上プレート２を移動させるものであれば採用可能である。
【００４４】
また、直接的に浮上プレート２を移動させなくとも、例えば、桟３を移動させることで間接的に浮上プレート２を移動させることも可能である。その場合には、桟３の下部にレール等を配置し、ガラス基板１００上の欠陥の位置に応じて桟３を移動させるように制御すればよい。桟３を移動させる構成とする場合には、浮上プレート２を、桟３に固定することも可能である。
【００４５】
以上説明した本実施の形態によれば、浮上プレート２を移動させることで、ガラス基板１００の下方からの透過照明が浮上プレート２に遮られるのを防ぐことができるため、浮上プレート２上のガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００４６】
また、本実施の形態では、浮上プレート２が桟３上を移動するため、浮上プレート２の撓み、ひいてはガラス基板１００の撓みを抑えることができ、したがって、浮上プレート２上のガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００４７】
また、本実施の形態では、複数の浮上プレート２は、浮上プレート２に設けられたシリンダ２ｂ及びサイドボード１０に設けられたシリンダ１０ｂの伸縮動作によって、隣接する浮上プレート２を押圧して移動する。そのため、簡素な構成によって、浮上プレート２上のガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００４８】
また、桟３自体を移動させることで、浮上プレート２を間接的に移動させる構成とした場合にも、ガラス基板１００の下方からの透過照明が浮上プレート２に遮られるのを防ぐことができるため、浮上プレート２上のガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００４９】
図１５は、上記一実施の形態の変形例に係るミクロ検査装置２１を示す斜視図である。
本変形例においては、図１等に示すミクロ検査装置１と相違する点のみ説明し、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
【００５０】
同図に示すミクロ検査装置２１は、浮上プレート２２がガントリー５の移動方向（Ｙ軸方向）に直交する水平方向（Ｘ軸方向）に延びている。また、これに伴い、支持部材としての桟２３がＹ軸方向に延びている。
【００５１】
そして、本変形例のサイドボードは、浮上プレート２を挟んでＹ軸方向に延びるサイドボード１０，１１に加え、図示しないシリンダ及びシリンダ受け部を配置するために、浮上プレート２を挟んでＸ軸方向に延びるサイドボード２４，２５も、桟２３上に配置されている。
【００５２】
本変形例によっても、浮上プレート２を移動させることで、ガラス基板の下方からの透過照明部７による透過照明が浮上プレート２に遮られるのを防ぐことができるため、浮上プレート２上のガラス基板のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００５３】
なお、本変形例では浮上プレート２の向きを変更する例について説明したが、その他にも例えば、ガラス基板１００の向き及び搬出入方向並びに浮上プレート２の並び方及び数量を適宜変更することは可能である。
【００５４】
（他の実施の形態）
図１６は、本発明の他の実施の形態に係るミクロ検査装置３１を示す斜視図である。
図１７は、上記ミクロ検査装置３１の透過照明部３２を示す斜視図である。
【００５５】
本実施の形態においては、図１等に示すミクロ検査装置１と相違する点のみ説明し、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
照明装置としての透過照明部３２は、図１７に示すように、光源３２ａ、エアー噴き出し部３２ｂ、ランプハウス３２ｃ、シリンダ３２ｄ、スライド部３２ｅ等から構成されている。
【００５６】
エアー噴き出し部３２ｂは、光源３２ａを取り囲むような円筒形状を呈し、ランプハウス３２ｃの上部に、光源３２ａよりも上方に突出するように配置されている。エアー噴き出し部３２ｂは、図示しないエアー配管から供給されるエアーを噴出させることで、ガラス基板１００を浮上させている。
【００５７】
なお、エアー噴き出し部３２ｂは、光源３２ａの周囲に互いに間隙をもって配置された複数個のエアー噴き出し部により光源３２ａを取り囲むようにしてもよい。その場合のエアー噴き出し部の形状は、複数個のエアー噴き出し部で略円筒形状を構成しなくともよく、任意の形状のものを用いればよい。
【００５８】
透過照明部３２は、上記一実施の形態と同様に、Ｘ軸方向に延びる透過照明用ガイド８及びＹ軸方向に延びる透過照明搬送用ガイド１３，１３によって、ガラス基板１００の欠陥の下方に自在に移動することができる。
【００５９】
また、透過照明部３２が上記一実施の形態と同様にガラス基板１００の欠陥の下方に移動するため、結果的に透過照明部３２のエアー噴き出し部３２ｂは、浮上プレート２の移動によって広くなる浮上プレート２間のスペースの下方に移動することになる。
【００６０】
ランプハウス３２ｃの底面と、透過照明用ガイド８上を移動するスライド部３２ｅの上面との間には、ランプハウス３２ｃ（ひいては光源３２ａ及びエアー噴き出し部３２ｂ）を上下移動させるシリンダ３２ｄが配置されている。このシリンダ３２ｄは、ランプハウス３２ｃを上下移動させることで、エアー噴き出し部３２ｂを、ガラス基板１００を浮上させる位置と、そこから退避する位置とに上下移動させることが可能となっている。
【００６１】
ガラス基板１００の検査時における透過照明部３２のＸＹ平面への移動中には、光源３２ａ及びエアー噴き出し部３２ｂは、浮上プレート２の裏面に接続された図示しないエアー配管等との干渉を回避するべく下方に位置しており、透過照明部３２がガラス基板１００における欠陥の下方に到達した後には上方に移動するようになっている。
【００６２】
ここで、顕微鏡６による検査を最適に行うためにはエアー噴き出し部３２ｂの高さを高精度に調整する必要があるため、エアー噴き出し部３２ｂの動力源は、シリンダ３２ｄに替えて、モータ等の高精度な高さ調整をすることができる動力源を用いることも考えられる。
【００６３】
なお、本実施の形態では、エアー噴き出し部３２ｂを透過照明部３２に配置する例について説明したが、エアー噴き出し部３２ｂは、浮上プレート２の移動によって広くなった浮上プレート２間のスペースの下方に移動させればよく、透過照明部３２とは別個に配置されていても、エアーによりガラス基板１００を浮上させることでガラス基板１００に撓みが生じるのを抑えることは可能である。
【００６４】
以上説明した本実施の形態によっても、浮上プレート２を移動させることで、ガラス基板１００の下方からの透過照明が浮上プレート２に遮られるのを防ぐことができるため、浮上プレート２上のガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００６５】
また、本実施の形態では、エアー噴き出し部３２ｂは、浮上プレート２の移動によって広くなった浮上プレート２間のスペースの下方に光源３２ａと共に移動し、ガラス基板１００を浮上させる構成となっている。そのため、ガラス基板１００の下方から浮上プレート２を退避させても、そのスペースからエアーが噴出されないことに起因するガラス基板１００の撓みを抑えることができ、したがって、浮上プレート２上のガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００６６】
また、本実施の形態では、エアー噴き出し部３２ｂは、シリンダ３２ｄによって、ガラス基板１００を浮上させる位置と、そこから退避する位置とに上下移動する構成となっている。そのため、エアー噴き出し部３２ｂによりエアーを噴き出す際にはエアー噴き出し部３２ｂを上方に移動させてガラス基板１００に接近させ、水平移動（ＸＹ平面）の際にはエアー噴き出し部３２ｂを下方に移動させて浮上プレート２の裏面に接続された図示しないエアー配管等との干渉を回避することができる。
【００６７】
また、本実施の形態では、エアー噴き出し部３２ｂは透過照明部３２に配置されている。これにより、ガラス基板１００の欠陥の下方に移動する透過照明部３２と共にエアー噴き出し部３２ｂをガラス基板１００の欠陥の下方、即ち、浮上プレート２間の広くなったスペースに移動させることができる。そのため、エアー噴き出し部３２ｂに独立した移動機構を設ける必要がなく、したがって、簡素な構成で浮上プレート２上のガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００６８】
また、本実施の形態では、エアー噴き出し部３２ｂは、透過照明部３２の光源３２ａを取り囲むように配置されている。ここで、浮上プレート２をガラス基板１００の欠陥の下方から退避させる場合、欠陥が浮上プレート２間の広くなるスペースの中央又はその近傍の上方に位置することになるため、欠陥の下方に移動させる光源３２ａも上記広くなるスペースの中央又はその近傍の下方に位置することになる。そのため、光源３２ａを取り囲むように配置されたエアー噴き出し部３２ｂも、上記広くなるスペースの中央又はその近傍の下方に位置することになる。したがって、有効にガラス基板１００の撓みを抑えることができる。
【００６９】
図１８は、上記他の実施の形態の変形例に係るミクロ検査装置の顕微鏡４１を示す側面図である。
本変形例では、透過照明部（３２）にエアー噴き出し部（３２ｂ）を配置するのに替えて又は配置するのと共に、顕微鏡４１にエアー吸引部４２を配置した点のみ上記一実施の形態及び上記他の実施の形態と相違する。そのため、図１に示すミクロ検査装置１と相違する点のみ説明し、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
【００７０】
エアー吸引部４２は、顕微鏡４１の下部に設けられた対物レンズ４１ａの周囲に、対物レンズ４１ａと干渉しないように配置されている。エアー吸引部４２の下部には、吸引面が矩形状のエアー吸引ブロック４２ａが設けられている。エアー吸引ブロック４２ａは、浮上プレート２やシリンダ２ｂ，１０ｂと同様に、図示しないエアー配管に接続されて、ガラス基板１００側からエアーを吸引している。
【００７１】
エアー吸引部４２は、顕微鏡４１がガラス基板１００の欠陥の上方に移動するため、結果的に、浮上プレート２の移動によって広くなる浮上プレート２間のスペースの上方に移動することになる。
【００７２】
なお、エアー吸引ブロック４２ａには、エアー吸引口に加え、エアー噴き出し口をも設けることで、ガラス基板１００がエアー吸引ブロック４２ａに吸引されてエアー吸引ブロック４２ａに接触するのを有効に防止することができる。
【００７３】
エアー吸引部４２は、顕微鏡４１と独立して移動するものを採用してもよい。その場合も、エアー吸引部４２は、浮上プレート２の移動によって広くなった浮上プレート２間のスペースの上方に移動し、ガラス基板１００側からエアーを吸引するようにすればよい。
【００７４】
本変形例によれば、エアー吸引部４２を浮上プレート２間の広くなったスペースの上方に移動させているため、ガラス基板１００の撓みを抑えながら、ガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００７５】
また、エアー吸引部４２のエアー吸引ブロック４２ａに、エアー吸引口に加えてエアー噴き出し口をも設けた場合、ガラス基板１００がエアー吸引ブロック４２ａに吸引されてエアー吸引ブロック４２ａに接触するのを防止することができ、ガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【００７６】
また、本変形例では、エアー吸引部４２は顕微鏡４１に配置されている。これにより、ガラス基板１００の欠陥の上方に移動する顕微鏡４１と共にエアー吸引部４２をガラス基板１００の欠陥の上方、即ち、浮上プレート２間の広くなったスペースに移動させることができる。そのため、エアー吸引部４２に独立した移動機構を設ける必要がなく、したがって、簡素な構成で浮上プレート２上のガラス基板１００のミクロ検査を有効に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の一実施の形態に係るミクロ検査装置を示す斜視図である。
【図２】上記一実施の形態に係るミクロ検査装置の浮上プレート及び桟を示す平面図である。
【図３】図２のＡ部拡大図である。
【図４】上記一実施の形態に係る浮上プレートを示す平面図及び側面図である。
【図５】図４のＢ部拡大図である。
【図６】上記一実施の形態に係る浮上プレートの制御について説明するための説明図である。
【図７】上記一実施の形態に係るミクロ検査装置の動作を説明するための説明図（その１）である。
【図８】上記一実施の形態に係るミクロ検査装置の動作を説明するための説明図（その２）である。
【図９】上記一実施の形態に係るミクロ検査装置の動作を説明するための説明図（その３）である。
【図１０】上記一実施の形態に係るミクロ検査装置の動作を説明するための説明図（その４）である。
【図１１】上記一実施の形態に係るミクロ検査装置の動作を説明するための説明図（その５）である。
【図１２】上記一実施の形態に係るミクロ検査装置の動作を説明するための説明図（その６）である。
【図１３】上記一実施の形態に係るミクロ検査装置の動作を説明するための説明図（その７）である。
【図１４】上記一実施の形態に係るミクロ検査装置の動作を説明するための説明図（その８）である。
【図１５】上記一実施の形態の変形例に係るミクロ検査装置を示す斜視図である。
【図１６】本発明の他の実施の形態に係るミクロ検査装置を示す斜視図である。
【図１７】上記他の実施の形態に係るミクロ検査装置の透過照明部を示す斜視図である。
【図１８】上記他の実施の形態の変形例に係るミクロ検査装置の顕微鏡を示す側面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１      ミクロ検査装置
２      浮上プレート
２ａ      空気孔
２ｂ      シリンダ
２ｃ      シリンダ受け部
２ｄ      ネジ孔
２ｅ      スライド部
２ｆ      シリンダ用エアー配管
３      桟
３ａ      ガイド溝
４      ベース部
５      ガントリー
６      顕微鏡
７      透過照明部
８      透過照明用ガイド
９      保持機構
１０，１１      サイドボード
１０ａ，１１ａ      ローラ
１０ｂ      シリンダ
１１ｂ      シリンダ受け部
１２      ガイドレール
１３      透過照明搬送用ガイド
１４      電磁弁
１５      コントローラ
１６      シリンダ用エアー配管
２１      ミクロ検査装置
２２      浮上プレート
２３      桟
２４，２５      サイドボード
３１      ミクロ検査装置
３２      透過照明部
３２ａ      光源
３２ｂ      エアー噴き出し部
３２ｃ      ランプハウス
３２ｄ      シリンダ
３２ｅ      スライド部
４１      顕微鏡
４１ａ      対物レンズ
４２      エアー吸引部
４２ａ      エアー吸引ブロック
１００      ガラス基板
【図１８】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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