(57)【要約】【課題】プラテンの表面や周囲に突起した部品を設けることなくスライダの領域検出を行うことができる位置決め装置を実現する。【解決手段】スライダをプラテン上の所定領域内で移動させる位置決め装置において、  前記スライダの前記プラテンと対向する面の辺縁部に埋設され、前記プラテンへ向けてセンサ信号を発生するセンサ信号発生部と、  前記プラテンの前記所定領域の辺縁部に埋設され、前記センサ信号を検出するセンサ信号検出部と、  を備えたことを特徴とする。【選択図】図１
2009205653.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダをプラテン上の所定領域内で移動させる位置決め装置において、
前記スライダの前記プラテンと対向する面の辺縁部に埋設され、前記プラテンへ向けてセンサ信号を発生するセンサ信号発生部と、
前記プラテンの前記所定領域の辺縁部に埋設され、前記センサ信号を検出するセンサ信号検出部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
スライダをプラテン上の所定領域内で移動させる位置決め装置において、
前記プラテンの前記所定領域の辺縁部に埋設され、前記スライダへ向けてセンサ信号を発生するセンサ信号発生部と、
前記スライダの前記プラテンと対向する面の辺縁部に埋設され、前記センサ信号を検出するセンサ信号検出部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。
【請求項３】
前記センサ信号発生部は永久磁石あるいは電磁石であり、
前記センサ信号は前記永久磁石あるいは前記電磁石によって発生する磁界であることを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記センサ信号発生部は前記スライダを前記プラテン上で移動させるモータであり、
前記センサ信号はこのモータの駆動電流によって発生する磁界であることを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記センサ信号検出部は、ホール素子またはコイルであることを特徴とする請求項３または４に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記センサ信号検出部は、前記スライダの辺縁部または前記プラテンの前記所定領域の辺縁部に離散的に埋設されたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライダをプラテン上の所定領域内で移動させる位置決め装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図５は従来の位置決め装置の一例を示す上面図である。プラテン１００の上にスライダ２００が配置されている。プラテン１００の上面には固定子が、スライダ２００のプラテン１００と対向する面には可動子が設けられ、平面モータが構成されている。固定子と可動子の間に磁界を発生させることにより、スライダ２００はプラテン１００上でＸ軸方向およびＹ軸方向に移動し、所定の位置に位置制御される。
【０００３】
通常このような位置決め装置においては、プラテン１００上におけるスライダ２００の動作領域が定められており、スライダ２００はこの動作領域から外れないように位置制御される。そのため、スライダ２００の動作領域を検出するための領域センサが設けられている。
【０００４】
３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂはスライダ２００の領域センサである。これらのセンサは、プラテン１００の辺縁部に外付けされている。センサ３０ａとセンサ３０ｂ，センサ３１ａとセンサ３１ｂ，センサ３２ａとセンサ３２ｂ，センサ３３ａとセンサ３３ｂは、それぞれ一対のセンサとなっている。
【０００５】
センサ３０ａ，３０ｂはスライダ２００の動作領域の−Ｘ方向側の端部の検出を行う。センサ３１ａ，３１ｂは、スライダ２００の動作領域の＋Ｘ方向側の端部の検出を行う。センサ３２ａ，３２ｂはスライダ２００の動作領域の＋Ｙ方向側の端部の検出を行う。センサ３３ａ，３３ｂは、スライダ２００の動作領域の−Ｙ方向側の端部の検出を行う。
【０００６】
センサ３０ａ，３０ｂはＹ軸と平行な方向に並べて配置されている。センサ３０ａはセンサ３０ｂに向けてレーザ光を発射し、このレーザ光をセンサ３０ｂが受光する。３０ｃはセンサ３０ａから発射されたレーザ光の光路であり、プラテン１００上におけるスライダ２００の動作領域の−Ｘ方向側の端部と一致させておく。スライダ２００が−Ｘ方向に移動して光路３０ｃを横切ると、センサ３０ａからのレーザ光が遮断され、センサ３０ｂでレーザ光が受光されなくなる。これにより、スライダ２００が−Ｘ方向の端部まで移動したことが検出され、スライダ２００を停止させるなどの処置が行われる。
【０００７】
同様に、センサ３１ａは発光側、センサ３１ｂは受光側、３１ｃはセンサ３１ａから発射されたレーザ光の光路である。センサ３１ａ，３１ｂは、光路３１ｃがスライダ２００の動作領域の＋Ｘ方向の端部と一致するように、Ｙ軸と平行な方向に並べて配置される。スライダ２００が光路３１ｃを横切ると、センサ３１ａからのレーザ光が遮断され、スライダ２００の＋Ｘ方向の端部まで移動したことが検出される。
【０００８】
センサ３２ａは発光側、センサ３２ｂは受光側、３２ｃはセンサ３２ａから発射されたレーザ光の光路である。センサ３２ａ，３２ｂは、光路３２ｃがスライダ２００の動作領域の＋Ｙ方向の端部と一致するように、Ｘ軸と平行な方向に並べて配置される。スライダ２００が光路３２ｃを横切ると、センサ３２ａからのレーザ光が遮断され、スライダ２００の＋Ｙ方向の端部まで移動したことが検出される。
【０００９】
センサ３３ａは発光側、センサ３３ｂは受光側、３３ｃはセンサ３３ａから発射されたレーザ光の光路である。センサ３３ａ，３３ｂは、光路３３ｃがスライダ２００の動作領域の−Ｙ方向の端部と一致するように、Ｘ軸と平行な方向に並べて配置される。スライダ２００が光路３３ｃを横切ると、センサ３３ａからのレーザ光が遮断され、スライダ２００の−Ｙ方向の端部まで移動したことが検出される。
【００１０】
下記の特許文献１には、上記のような領域センサが外付けされた位置決め装置が記載されている。
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−５８３５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、従来の位置決め装置では、外付けされた領域センサがプラテンの表面や周囲に突起していた。そのため、プラテンのワークエリアが狭くなるという問題があった。さらに、スライダが異常動作を起こした場合に、領域センサに衝突し、スライダ自体や領域センサが破壊されるという問題があった。
【００１３】
また、レーザ光の光路がスライダの動作領域に合うように各領域センサを位置合わせする必要があるため、各領域センサの取り付けや調整が煩雑であった。また、レーザ光源が必要となるため、位置決め装置の安全性の低下や、使用環境が制限されるなどの問題があった。また、レーザ光源自体にコストがかかるという問題があった。
【００１４】
本発明は、従来技術の問題点をなくし、プラテンの表面や周囲に突起した部品を設けることなくスライダの領域検出を行うことができる位置決め装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記のような目的を達成するために、請求項１の発明は、
スライダをプラテン上の所定領域内で移動させる位置決め装置において、
前記スライダの前記プラテンと対向する面の辺縁部に埋設され、前記プラテンへ向けてセンサ信号を発生するセンサ信号発生部と、
前記プラテンの前記所定領域の辺縁部に埋設され、前記センサ信号を検出するセンサ信号検出部と、
を備えたことを特徴とする。
【００１６】
請求項２の発明は、
スライダをプラテン上の所定領域内で移動させる位置決め装置において、
前記プラテンの前記所定領域の辺縁部に埋設され、前記スライダへ向けてセンサ信号を発生するセンサ信号発生部と、
前記スライダの前記プラテンと対向する面の辺縁部に埋設され、前記センサ信号を検出するセンサ信号検出部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。
【００１７】
請求項３の発明は、
請求項１または２に記載の位置決め装置において、前記センサ信号発生部は永久磁石あるいは電磁石であり、
前記センサ信号は前記永久磁石あるいは前記電磁石によって発生する磁界であることを特徴とする。
【００１８】
請求項４の発明は、
請求項１または２に記載の位置決め装置において、前記センサ信号発生部は前記スライダを前記プラテン上で移動させるモータであり、
前記センサ信号はこのモータの駆動電流によって発生する磁界であることを特徴とする。
【００１９】
請求項５の発明は、
請求項３または４に記載の位置決め装置において、前記センサ信号検出部は、ホール素子またはコイルであることを特徴とする。
【００２０】
請求項６の発明は、
請求項１乃至５のいずれかに記載の位置決め装置において、前記センサ信号検出部は、前記スライダの辺縁部または前記プラテンの前記所定領域の辺縁部に離散的に埋設されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
このように、スライダとプラテンの互いに対向する面にセンサ信号発生部とセンサ信号検出部を埋設したことにより、プラテンの表面や周囲に突起した部品を設けることなくスライダの領域検出を行うことができる位置決め装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は本発明による位置決め装置の第１の実施例を示す図である。１はプラテン、２はスライダである。なお、以下図１〜図４におけるスライダの図は、プラテンと対向する面の構成を示している。
【実施例１】
【００２３】
プラテン１の上にスライダ２が配置されている。プラテン１の上面には固定子が、スライダ２のプラテン１と対向する面には可動子が設けられ、平面モータが構成されている。固定子と可動子の間に磁界を発生させることにより、スライダ２はプラテン１上でＸ軸方向およびＹ軸方向に移動し、所定の位置に位置制御される。
【００２４】
スライダ２のプラテン１と対向する面に、センサ信号発生部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが形成される。センサ信号発生部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは永久磁石を敷き並べて構成される。センサ信号発生部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは、それぞれスライダ２の＋Ｙ方向側、＋Ｘ方向側、−Ｙ方向側、−Ｘ方向側の辺縁部に設けられている。センサ信号発生部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは、スライダ２のプラテン１と対向する面が平坦になるように、スライダ２の表面に埋設される。
【００２５】
センサ信号発生部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの周囲には、永久磁石によって磁界Ｂａ，Ｂａ，Ｂｃ，Ｂｄが生成される。この磁界Ｂａ，Ｂａ，Ｂｃ，Ｂｄをプラテン１へのセンサ信号とする。
【００２６】
プラテン１にはスライダ２の動作領域が定められている。プラテン１の上面に、センサ信号検出部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄが形成される。センサ信号検出部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、ホール素子を敷き並べて構成する。センサ信号検出部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、それぞれスライダ２の動作領域の＋Ｙ方向側、＋Ｘ方向側、−Ｙ方向側、−Ｘ方向側の辺縁部に設けられている。センサ信号検出部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、プラテン１の上面が平坦になるように、プラテン１の表面に埋設される。
【００２７】
センサ信号検出部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、磁界を受けると、受けた磁界を電気信号Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄに変換し、リニアモータの制御部（図示せず）に出力する。
【００２８】
スライダ２の領域検出を＋Ｙ方向を例に挙げて説明する。
スライダ２がプラテン１の中央部から動作領域の＋Ｙ方向の端部に近づくと、センサ信号発生部２ａとセンサ信号検出部１ａとが近づく。センサ信号発生部２ａは、センサ信号として常に磁界Ｂａを発生している。センサ信号検出部１ａが感じる磁界Ｂａの強さは、センサ信号発生部２ａまでの距離によって変化する。センサ信号検出部１ａは、センサ信号発生部２ａからの磁界Ｂａを受け、磁界の強さに応じた電気信号Ｖａを出力する。
【００２９】
センサ信号発生部２ａがセンサ信号検出部１ａに近づくにつれ、電気信号Ｖａも大きくなる。センサ信号発生部２ａがセンサ信号検出部１ａの真上、すなわちスライダ２が動作領域の＋Ｙ方向の端部に位置したとき、電気信号Ｖａは最大となる。この最大値はあらかじめ計測しておく。リニアモータの制御部は、電気信号Ｖａの値を監視し、電気信号Ｖａがこの最大値に達した場合にスライダ２が動作領域の＋Ｙ方向の端部まで移動したと判断する。
【００３０】
＋Ｘ方向、−Ｙ方向、−Ｘ方向の領域検出も同様である。
センサ信号検出部１ｂは、センサ信号発生部２ｂからのセンサ信号、すなわち磁界Ｂｂを検出し、磁界Ｂｂの強さに応じた電気信号Ｖｂを出力する。制御部は、電気信号Ｖｂが事前に計測しておいた最大値に達したら、スライダ２が動作領域の＋Ｘ方向の端部まで移動したと判断する。
【００３１】
センサ信号検出部１ｃは、センサ信号発生部２ｃからのセンサ信号、すなわち磁界Ｂｃを検出し、磁界Ｂｃの強さに応じた電気信号Ｖｃを出力する。制御部は、電気信号Ｖｃが事前に計測しておいた最大値に達したら、スライダ２が動作領域の−Ｙ方向の端部まで移動したと判断する。
【００３２】
センサ信号検出部１ｄは、センサ信号発生部２ｄからのセンサ信号、すなわち磁界Ｂｄを検出し、磁界Ｂｄの強さに応じた電気信号Ｖｄを出力する。制御部は、電気信号Ｖｄが事前に計測しておいた最大値に達したら、スライダ２が動作領域の−Ｘ方向の端部まで移動したと判断する。
【００３３】
このように、スライダ２とプラテン１の互いに対向する面にセンサ信号発生部とセンサ信号検出部を埋設したことにより、プラテン１の表面や周囲に突起した部品を設けることなくスライダ２の領域検出を行うことができる位置決め装置を実現することができる。
また、センサ信号発生部およびセンサ信号検出部は、それぞれ所定位置に埋設するだけでよいため、従来のレーザ光を利用した領域センサに比べて、取り付けも調整も容易である。また、本実施例の位置決め装置はレーザ光源が不要となるため、位置決め装置の安全性を向上させ、使用環境の制限も緩くすることができる。レーザ光源のコストも省くことができる。
【００３４】
なお、上記のような領域検出は、スライダ２のオーバートラベル（動作領域を超えて移動すること）の検出への利用が考えられる。
【００３５】
なお、本実施例では、センサ信号発生部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを永久磁石で構成したが、磁界を発生させる他の構成を採用してもよい。磁界を発生させる他の例としては、電磁石が考えられる。また、スライダ２の可動子に供給されるモータ駆動電流により発生する磁界をそのままセンサ信号として利用する構成も考えられる。
永久磁石を利用した場合には、センサ信号の磁界が安定するという利点がある。
モータ駆動電流を利用する場合には、スライダ２に永久磁石などの他の部品を追加する必要がないという利点がある。
電磁石を利用した場合には、モータ駆動電流とは独立して電流を供給できるため、モータ駆動電流をセンサ信号に利用した場合に比べてセンサ信号の磁界を安定化させやすいという利点がある。
【００３６】
また、本実施例では、センサ信号検出部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄをホール素子で構成したが、磁界を電気信号に変換することができる他の構成を採用してもよい。他の例としては、コイルの利用が考えられる。
【００３７】
また、本実施例では、電気信号Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄが事前に計測した最大値に達した場合に動作領域の端部まで移動したと判断した。しかし、動作領域検出の判断基準値はこれに限らず、電気信号Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄにそれぞれ設定した所定の閾値であってもよい。
【００３８】
また、本実施例では、センサ信号発生部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄはスライダ２の表面に埋設されていた。しかし、センサ信号発生部は、スライダ２の内部に埋設された構成としてもよい。同様に、センサ信号検出部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄも、プラテン１の内部に埋設された構成としてもよい。
【００３９】
また、本実施例では、センサ信号発生部はスライダ２側に、センサ信号検出部はプラテン１側に形成されていた。しかし、センサ信号発生部とセンサ信号検出部を逆にし、センサ信号発生部をプラテン１側に、センサ信号検出部をスライダ２側に形成してもよい。
【実施例２】
【００４０】
図２は本発明による位置決め装置の第２の実施例を示す図である。前記実施例１では、センサ信号検出部がスライダ２の動作領域の辺縁部にのみ設けられていた。しかし、センサ信号検出部は、動作領域の辺縁部だけでなく、さらに動作領域の中に設けてもよい。
【００４１】
１ｅ，１ｆは、プラテン１上に形成されたセンサ信号検出部である。センサ信号検出部１ｅは、スライダ２の動作領域のＹ軸方向の中心に、Ｘ軸と平行に形成されている。センサ信号検出部１ｆは、スライダ２の動作領域のＸ軸方向の中心に、Ｙ軸と平行に形成されている。
【００４２】
スライダ２とプラテン１が図２に示すような位置関係にあると、センサ信号検出部１ｆとセンサ信号発生部２ａが重なる。センサ信号検出部１ｆは、センサ信号発生部２ａからのセンサ信号、すなわち磁界Ｂａを検出し、磁界Ｂａの強さに応じた電気信号Ｖｆをリニアモータの制御部（図示せず）に出力する。これにより、制御部は、スライダ２の＋Ｙ方向側の端部が、スライダ２の動作領域のＸ軸方向の中心と重なっていることが把握できる。
また、センサ信号検出部１ｆは、センサ信号発生部２ｃからの磁界Ｂｃを検出する。これにより、制御部は、スライダ２の−Ｙ方向側の端部が動作領域のＸ軸方向の中心と重なっていることを把握できる。
【００４３】
同様に、センサ信号検出部１ｅは、センサ信号発生部２ｂからのセンサ信号、すなわち磁界Ｂｂを検出し、磁界Ｂｂの強さに応じた電気信号Ｖｅを制御部に出力する。これにより、制御部は、スライダ２の＋Ｘ方向側の端部が、スライダ２の動作領域のＹ軸方向の中心と重なっていることが把握できる。
また、センサ信号検出部１ｅは、センサ信号発生部２ｄからの磁界Ｂｄを検出する。これにより、制御部は、スライダ２の−Ｘ方向側の端部が動作領域のＹ軸方向の中心と重なっていることを把握できる。
【００４４】
このように、センサ信号検出部を、スライダ２の動作領域の辺縁部だけでなく、動作領域の内部にも設けることによって、動作領域内でスライダ２がおよそどの位置にあるかを把握することができる。
【００４５】
本実施例は、センサ信号検出部をＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ３本ずつ設けたものであるが、センサ信号検出部の本数を増やせば、スライダ２の位置をより正確に把握することが可能となる。
【実施例３】
【００４６】
図３は本発明による位置決め装置の第３の実施例を示す図である。本実施例は、プラテン上にスライダの動作領域が複数存在する例である。
【００４７】
プラテン１０上に２個のスライダ２１，２２が配置されている。スライダ２１，２２は、それぞれプラテン１０との間に平面モータを構成し、個別に位置制御される。
【００４８】
スライダ２１のプラテン１０と対向する面の辺縁部に、センサ信号発生部２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄが形成されている。スライダ２２のプラテン１０と対向する面の辺縁部に、センサ信号発生部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄが形成されている。センサ信号発生部の具体的な構成は、前記実施例１と同様である。
【００４９】
プラテン１０上に、センサ信号検出部１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆが、図３に示すように「田」の字状に形成されている。センサ信号検出部１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄによってプラテン１０に形成された大きな枠が、センサ信号検出部１０ｅ，１０ｆによって４つのエリアに分割された状態となっている。分割された４つのエリアの、図中左上のエリアを領域Ａ、右上のエリアを領域Ｂ、左下のエリアを領域Ｃ、右下のエリアを領域Ｄとする。センサ信号検出部の具体的な構成は、前記実施例１と同様である。
【００５０】
スライダ２１，２２は、それぞれ個別の動作領域の中で位置制御される。スライダ２１は領域Ｄを動作領域とする。スライダ２２は領域Ａを動作領域とする。スライダ２１，２２は、それぞれ領域Ｄ、領域Ａの中で個別に領域検出が行われる。
【００５１】
スライダ２１が＋Ｘ方向に移動し、領域Ｄの＋Ｘ方向の端部までくると、センサ信号検出部１０ｂでセンサ信号発生部２１ｂからのセンサ信号が検出され、スライダ２１が動作領域の＋Ｘ方向の端部まで移動したことが検出される。
スライダ２１が−Ｘ方向に移動し、領域Ｄの−Ｘ方向の端部までくると、センサ信号検出部１０ｆでセンサ信号発生部２１ｄからのセンサ信号が検出され、スライダ２１が動作領域の−Ｘ方向の端部まで移動したことが検出される。
スライダ２１の＋Ｙ方向および−Ｙ方向の領域検出も同様である。
【００５２】
スライダ２２の領域検出も、スライダ２１と同様である。
スライダ２２が＋Ｙ方向に移動し、領域Ａの＋Ｙ方向の端部までくると、センサ信号検出部１０ａでセンサ信号発生部２２ａからのセンサ信号が検出され、スライダ２２が動作領域の＋Ｙ方向の端部まで移動したことが検出される。
スライダ２２が−Ｙ方向に移動し、領域Ａの−Ｙ方向の端部までくると、センサ信号検出部１０ｅでセンサ信号発生部２２ｄからのセンサ信号が検出され、スライダ２２が動作領域の−Ｙ方向の端部まで移動したことが検出される。
スライダ２２の＋Ｘ方向および−Ｘ方向の領域検出も同様である。
【００５３】
本実施例のように、プラテン１０にはスライダの動作領域が複数設けられていてもよい。
本実施例によれば、複数のスライダをそれぞれ固有の動作領域で移動させ、個別に領域検出を行うことができる。
【実施例４】
【００５４】
図４は本発明による位置決め装置の第４の実施例を示す図である。本実施例は、センサ信号検出部がスライダの動作領域の辺縁部に離散的に形成された例である。
【００５５】
プラテン１１上にスライダ２３が配置されている。スライダ２３は、プラテン１１との間に平面モータを構成し、位置制御される。
【００５６】
１１ａ〜１１ｊは、プラテン１１に形成されたセンサ信号検出部である。
センサ信号検出部１１ａ〜１１ｊ（１１ｅ以外）は、図中に示すスライダ２３の動作領域の辺縁部に設けられている。センサ信号検出部１１ｅは、スライダ２３の動作領域の中央に設けられている。センサ信号検出部１１ａ〜１１ｊは、プラテン１１の上面が平坦になるように、プラテン１１の表面に埋設される。
【００５７】
スライダ２３のプラテン１１と対向する面の全面に、センサ信号発生部２３ａが形成されている。このように、センサ信号発生部は、スライダの辺縁部だけでなく、辺縁部を含めて全面に形成されていてもよい。
【００５８】
スライダ２３が動作領域の中央付近に位置しているときは、センサ信号検出部１１ｅでセンサ信号発生部２３ａからのセンサ信号が検出される。これにより、スライダ２３が適正に動作領域内に存在していることが検出される。
【００５９】
スライダ２３が＋Ｘ方向に移動し、動作領域の＋Ｘ方向の端部までくると、センサ信号発生部２３ａはセンサ信号検出部１１ｃ，１１ｆ，１１ｊのいずれかと重なる。センサ信号２３ａと重なったセンサ信号検出部で、センサ信号発生部２３ａからのセンサ信号が検出される。これにより、スライダ２３が動作領域の＋Ｘ方向の端部まで移動したことが検出される。
【００６０】
スライダ２３が−Ｘ方向に移動し、動作領域の−Ｘ方向の端部までくると、センサ信号発生部２３ａはセンサ信号検出部１１ａ，１１ｄ，１１ｈのいずれかと重なる。センサ信号２３ａと重なったセンサ信号検出部で、センサ信号発生部２３ａからのセンサ信号が検出される。これにより、スライダ２３が動作領域の−Ｘ方向の端部まで移動したことが検出される。
スライダ２３の＋Ｙ方向および−Ｙ方向の領域検出も同様である。
【００６１】
なお、各センサ信号検出部同士のＸ軸方向の間隔は、スライダ２３のＸ軸方向の一辺の長さよりも小さいものとする。また、各センサ信号検出部同士のＹ軸方向の間隔は、スライダ２３のＹ軸方向の一辺の長さよりも小さいものとする。センサ信号検出部同士の間隔がスライダ２３の一辺の長さよりも大きくなる場合には、センサ信号検出部の数を増やし、スライダ２３が動作領域の端部に達したときにセンサ信号検出部が少なくとも１つはスライダ２３の直下に存在するようにする。
【００６２】
前記実施例１，２，３，４における動作領域は、本発明の所定領域に対応する。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】図１は本発明による位置決め装置の第１の実施例を示す図。
【図２】図２は本発明による位置決め装置の第２の実施例を示す図。
【図３】図３は本発明による位置決め装置の第３の実施例を示す図。
【図４】図４は本発明による位置決め装置の第４の実施例を示す図。
【図５】図５は従来の位置決め装置の一例を示す上面図。
【符号の説明】
【００６４】
１              プラテン
１ａ〜１ｆ      センサ信号検出部
２              スライダ
２ａ〜２ｄ      センサ信号発生部
１０            プラテン
１０ａ〜１０ｆ  センサ信号検出部
２１，２２      スライダ
２１ａ〜２１ｄ  センサ信号発生部
２２ａ〜２２ｄ  センサ信号発生部
１１            プラテン
１１ａ〜１１ｊ  センサ信号検出部
２３            スライダ
２３ａ          センサ信号発生部
【図４】
2009205653.tif 000003
【図１】
2009205653.tif 000004
【図２】
2009205653.tif 000005
【図３】
2009205653.tif 000006
【図５】
2009205653.tif 000007