(57)【要約】【目的】  携帯電話のパネルに代表されるような小さなガラスパネルを、大きなレチクルを経由して、大きなガラス基板上に露光する場合に、レチクルデータとガラスデータとを同時設計し、そのコスト計算に最適な解を提供するガラスデータ設計システムの実現を目的とする。【構成】  パネルセルデータとアライメントマークデータの形状およびガラスセルサイズ、各データの配置情報を含んだパラメータ情報を入力し、パネルレチクルセルデータを出力するパネルレチクルデータ出力機能１１１ａと、アライメントレチクルセルデータを作成出力するアライメントレチクルデータ出力機能１１１ｂとを有するレチクルデータ作成手段１１１と、ガラスセルデータを作成出力するガラスセルデータ出力機能１１２ａと、ガラスセルデータ作成のためのレシピ情報を作成出力するレシピ情報出力機能１１１ｂとを有するガラスセルデータ作成手段１１２とを備えることを特徴とする。【選択図】  図１
2009251521.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラットパネルディスプレイ用のガラスデータを設計するフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システムにおいて、
パネルセルデータの形状と、前記パネルセルデータの周辺に配置されるアライメントマークデータの形状と、ガラスセルサイズ及び前記各データの配置情報を含んだパラメータ情報を入力として、
前記パネルセルデータが配置された投光用フォトマスクのデータであるパネルレチクルセルデータを出力するパネルレチクルデータ出力機能と、前記アライメントマークデータが配置された投光用フォトマスクのデータであるアライメントレチクルセルデータを作成出力するアライメントレチクルデータ出力機能とを有するレチクルデータ作成手段と、
前記パネルセルデータと前記アライメントマークデータが配置されるガラスセルデータを作成出力するガラスセルデータ出力機能と、ガラスセルデータ作成のためのレシピ情報を作成出力するレシピ情報出力機能とを有するガラスセルデータ作成手段と、
を備えて成ることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム。
【請求項２】
前記ガラスセルデータ作成手段は、
前記パネルセルデータの形状とこのパネルセルデータが複数配置されるガラスセルのサイズを入力とし、
前記ガラスセル上に設けられ前記パネルセルデータの集合が配置されたパネルセルのサイズの数値をパネルセルデータ形状の数値にて除算する計算項を少なくとも含む計算式を用いて前記ガラスセル上に取得可能な前記パネルセルデータの個数を算出する個数算出機能を有することを特徴とする請求項１記載のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム。
【請求項３】
前記ガラスセルデータ作成手段は、
前記パネルセルデータ形状と前記ガラスセルのサイズに加えてさらに前記レチクル作成手段から前記パネルレチクルセルデータのサイズを入力とし、
前記パネルセルデータ形状が配置された前記パネルレチクルセルデータから露光ショット回数を算出する露光回数算出機能を有することを特徴とする請求項１又は２記載のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム。
【請求項４】
前記パラメータ情報として、レチクルのサイズと前記ガラスセルのサイズと露光可能範囲の指定がなされることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム。
【請求項５】
前記ガラスセルデータ作成手段は、
前記レチクルデータ作成手段で作成された前記パネルセルデータが配置された前記パネルレチクルセルデータの一部および全部を用いて前記パネルレチクルセルデータ上の少なくとも２つのパネルセルデータを含む露光ショットデータを作成する露光ショットデータ作成機能を備えて成ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム。
【請求項６】
前記ガラスセルデータ作成手段は、
前記ガラスセルのサイズに相当する領域に対し、一回の露光ショット領域に対応する大きさで割り算を行いガラスセル上における剰余に相当する領域を求める剰余算出機能を備えて成ることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム。
【請求項７】
前記レシピ情報には、前記露光ショットデータのＸＹ座標が記載されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム。
【請求項８】
グラフィック装置上に、前記パネルセルデータと、前記パネルレチクルセルデータと、前記ガラスセルデータとを表示するデータ表示機能を有する入出力制御手段を備えて成ることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム。
【請求項９】
前記記憶手段に記憶される内容には、前記演算処理部で実行されるプログラム群と、前記演算処理部に入力される前記パネルセルデータ形状、前記アライメントデータ形状および前記パラメータ情報からなる入力データと、前記レチクルデータ、前記ガラスセルデータおよび前記レシピ情報からなる出力データが含まれることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム。
【請求項１０】
フラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計方法において、
パネルセルデータ、アライメントマークデータおよびガラスセルサイズ、各データの配置情報を備えたパラメータ情報を含むデータを入力するデータ入力工程と、
前記パネルセルデータと前記パラメータ情報からパネルセルの最大の露光単位集合であるレチクルセルＡのデータを作成するレチクルセルＡデータ作成工程と、
前記ガラスセルサイズ上に前記レチクルセルＡの一部または全部を用いて露光する複数の露光ショット領域の配置を識別する露光ショット領域識別工程と、
前記複数の露光ショット領域から露光領域の大きな順に特定の前記露光ショット領域を前記レチクルセルＡから選択する露光ショット領域選択工程と、
選択された前記露光ショット領域をガラスセル上に露光ショットとして配置する露光ショット配置工程と、
配置された前記露光ショット領域が製造上露光可能かどうかを判定する露光可能範囲チェック工程と、
前記露光ショット配置工程で配置され前記露光可能範囲チェック工程で露光可能が判定された前記露光ショット領域によって前記ガラスセルのパネルセルの露光可能範囲がすべて埋められたかどうかを判定するガラスセル露光完了判定工程と、
前記ガラスセル露光完了判定工程で前記ガラスセル露光領域が埋められていないと判定された場合、再び前記露光ショット領域選択工程に戻って同様の処理を繰り返す露光ショット領域選択再現工程と、
前記アライメントマークデータと前記パラメータ情報からアライメントマークの露光ショットデータであるショットＢのデータを作成して前記ガラスセルサイズ上にアレイ配置するアライメントマーク配置工程と、
前記ショットＢのデータをレチクル上に作成してレチクルセルＢデータを作成するレチクルセルＢデータ作成工程と、
前記レチクルセルＢデータによって作成されたアライメントマークが製造上露光可能かどうかを判定するアライメントマーク露光可能範囲チェック工程と、
上述した各工程によってガラスセル上に形成された各露光ショット全体に対して前記パラメータ情報で指定されたガラスセルのマージンに収まっているかをチェックするマージンチェック工程と、
最後に作成されたデータとガラスセルを作成するためのレシピ情報を出力する設計結果出力工程とを備えたことを特徴とするフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計方法。
【請求項１１】
コンピュータに、
パネルセルデータ、アライメントマークデータおよびガラスセルサイズ、各データの配置情報を備えたパラメータ情報を含むデータを入力するデータ入力工程と、
前記パネルセルデータと前記パラメータ情報からパネルセルの最大の露光単位集合であるレチクルセルＡのデータを作成するレチクルセルＡデータ作成工程と、
前記ガラスセルサイズ上に前記レチクルセルＡの一部または全部を用いて露光する複数の露光ショット領域の配置を識別する露光ショット領域識別工程と、
前記複数の露光ショット領域から露光領域の大きな順に特定の前記露光ショット領域を前記レチクルセルＡから選択する露光ショット領域選択工程と、
選択された前記露光ショット領域をガラスセル上に露光ショットとして配置する露光ショット配置工程と、
配置された前記露光ショット領域が製造上露光可能かどうかを判定する露光可能範囲チェック工程と、
前記露光ショット配置工程で配置され前記露光可能範囲チェック工程で露光可能が判定された前記露光ショット領域によって前記ガラスセルのパネルセルの露光可能範囲がすべて埋められたかどうかを判定するガラスセル露光完了判定工程と、
前記ガラスセル露光完了判定工程で前記ガラスセル露光領域が埋められていないと判定された場合、再び前記露光ショット領域選択工程に戻って同様の処理を繰り返す露光ショット領域選択再現工程と、
前記アライメントマークデータと前記パラメータ情報からアライメントマークの露光ショットデータであるショットＢのデータを作成して前記ガラスセルサイズ上にアレイ配置するアライメントマーク配置工程と、
前記ショットＢのデータをレチクル上に作成してレチクルセルＢデータを作成するレチクルセルＢデータ作成工程と、
前記レチクルセルＢデータによって作成されたアライメントマークが製造上露光可能かどうかを判定するアライメントマーク露光可能範囲チェック工程と、
上述した各工程によってガラスセル上に形成された各露光ショット全体に対して前記パラメータ情報で指定されたガラスセルのマージンに収まっているかをチェックするマージンチェック工程と、
最後に作成されたデータとガラスセルを作成するためのレシピ情報を出力する設計結果出力工程とを実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ製造用のガラスデータ設計システム、ガラスデータ設計方法およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フラットパネルディスプレイ製造用のガラスデータの作成に当たっては、まずパネルセルデータよりレチクルデータを作成し、このレチクルデータをガラス上にアレイ配置させてガラスデータを作成していた。即ち、このレチクルデータ作成とガラス上のアレイ配置データ作成は独立に行われていた。
【０００３】
しかしながら、携帯電話に代表されるような小型のフラットパネルディスプレイを大規模ガラス基板上にてレチクルデータを介して露光する場合には、何個のパネルディスプレイが何回の露光ショットで製造されるかをあらかじめ予測する必要がある。即ち、パネルセルを回転させた方が製造個数が増えるのか、長方形のレチクルか円形のレチクルかどちらが製造個数が増えるのか、などの諸条件により製造個数が異なるからである。
【０００４】
これは一種の最適化条件の選択またはその予測問題である、と言える。このような、製造上のコスト最適化を測る上でのパネルセルとレチクルデータとガラスデータの関係をパラメータにて制御を図る考案の報告例はいままで見られない。
例えば、特許文献１においては露光ビームの条件を変える事で、露光装置そのものの露光条件を最適化せんが為のレチクル作成方法を述べているが、これは本発明が解決を図るようなデータ数の最適化を図るものではないし、その見積もりをするものでもない。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３３２７０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決を図る課題とは、パネルセルとガラスサイズが決まっている場合において、レチクルを経由してどのような条件で露光データを作成すれば最適解が得られるのかを見積ると共に、レチクルデータとガラスデータの製造データを同時に作成する設計システムを構築する事である。
【０００７】
最適化問題といえば線形計画法が著名であるが、本発明の分野においては、レチクルの大きさとガラスの大きさが大きいほど製造個数は増加し露光回数は減少するので、線形計画法にて要求される相反事象が明確ではないという特徴がある。従って、与えられた条件にて製造個数と露光回数が判明すれば見積り予測上は充分であると言える。
【０００８】
また、見積り予測のみならず同時に製造データを作成する事も要求される。加えて、本発明においては、グラフィックディスプレイ上での確認が要求される。即ち、各種パラメータを変更した際に、その結果であるレチクル上の配置データやガラス上のアレイ配置データをグラフィックにて確認する必要があるからである。
また、あくまでも露光装置で露光するデータを作成または見積もるのであるから、製造可能なデータを作成または見積もる必要がある。
【０００９】
即ち、露光装置には必ず露光可能範囲（ストロークとも称する）が露光ショット単位に規定されることになり、この範囲内に入っているか否かの検証も必要となる。
さらにまた、製造可能なデータを作成するのであるから、これは露光装置の入力となるデータファイルとなる。即ち、これは通常レシピ情報と称される所の露光装置の動作を記述するデータファイルとなる。
【００１０】
本発明は、携帯電話のパネルに代表されるような小さなガラスパネルを、大きなレチクルを経由して、大きなガラス基板上に露光する場合において、レチクルデータとガラスデータが同時に得られるとともに、その製造個数と露光回数、即ちコスト計算を見積もり、最適な解を提供するガラスデータ設計システムの実現、またそのシステムで用いられるガラスデータ設計方法およびそのプログラムの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システムは、演算処理部、記憶部及び入出力手段とを備えており、前記演算処理部は、パネルセルデータの形状と前記パネルセルデータの周辺に配置されるアライメントマークデータの形状と各データの配置情報を含んだパラメータ情報を入力し、前記パネルセルデータが配置された投光用フォトマスクのデータであるパネルレチクルセルデータを出力するパネルレチクルデータ出力機能と、前記アライメントマークデータが配置された投光用フォトマスクのデータであるアライメントレチクルセルデータを作成出力するアライメントレチクルデータ出力機能とを有するレチクルデータ作成手段と、前記パネルセルデータと前記アライメントマークデータが配置されるガラスセルデータを作成出力するガラスセルデータ出力機能と、ガラスセルデータ作成のためのレシピ情報を作成出力するレシピ情報出力機能とを有するガラスセルデータ作成手段と、前記入出力手段を制御する入出力制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１２】
また、上記課題を解決するため、本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計方法は、パネルセルデータ、アライメントマークデータおよびガラスセルサイズ、各データの配置情報を備えたパラメータ情報を含むデータを入力するデータ入力工程と、前記パネルセルデータと前記パラメータ情報からパネルセルの最大の露光単位集合であるレチクルセルＡのデータを作成するレチクルセルＡデータ作成工程と、前記ガラスセルサイズ上に前記レチクルセルＡの一部または全部を用いて露光する複数の露光ショット領域の配置を識別する露光ショット領域識別工程と、前記複数の露光ショット領域から露光領域の大きな順に特定の前記露光ショット領域を前記レチクルセルＡから選択する露光ショット領域選択工程と、選択された前記露光ショット領域をガラスセル上に露光ショットとして配置する露光ショット配置工程と、配置された前記露光ショット領域が製造上露光可能かどうかを判定する露光可能範囲チェック工程と、前記露光ショット配置工程で配置され前記露光可能範囲チェック工程で露光可能が判定された前記露光ショット領域によって前記ガラスセルのパネルセルの露光可能範囲がすべて埋められたかどうかを判定するガラスセル露光完了判定工程と、前記ガラスセル露光完了判定工程で前記ガラスセル露光領域が埋められていないと判定された場合、再び前記露光ショット領域選択工程に戻って同様の処理を繰り返す露光ショット領域選択再現工程と、前記アライメントマークデータと前記パラメータ情報からアライメントマークの露光ショットデータであるショットＢのデータを作成して前記ガラスセルサイズ上にアレイ配置するアライメントマーク配置工程と、前記ショットＢのデータをレチクル上に作成してレチクルセルＢデータを作成するレチクルセルＢデータ作成工程と、前記レチクルセルＢデータによって作成されたアライメントマークが製造上露光可能かどうかを判定するアライメントマーク露光可能範囲チェック工程と、上述した各工程によってガラスセル上に形成された各露光ショット全体に対して前記パラメータ情報で指定されたガラスセルのマージンに収まっているかをチェックするマージンチェック工程と、最後に作成されたデータとガラスセルを作成するためのレシピ情報を出力する設計結果出力工程とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
更にまた、上記課題を解決するため、演算処理部と、記憶部と、入出力手段とを備えたフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システムのガラスデータ設計用のプログラムとして、パネルセルデータ、アライメントマークデータおよびガラスセルサイズ、各データの配置情報を備えたパラメータ情報を含むデータを読み込むデータ入力プログラムと、前記パネルセルデータと前記パラメータ情報からパネルセルの最大の露光単位集合であるレチクルセルＡのデータを作成するレチクルセルＡデータ作成プログラムと、前記ガラスセルサイズ上に前記レチクルセルＡの一部または全部を用いて露光する複数の露光ショット領域の配置を識別する露光ショット領域識別プログラムと、前記複数の露光ショット領域から露光領域の大きな順に特定の前記露光ショット領域を前記レチクルセルＡから選択する露光ショット領域選択プログラムと、選択された前記露光ショット領域をガラスセル上に露光ショットとして配置する露光ショット配置プログラムと、配置された前記露光ショット領域が製造上露光可能かどうかを判定する露光可能範囲チェックプログラムと、前記露光ショット配置プログラムで配置され前記露光可能範囲チェックプログラムで露光可能が判定された前記露光ショット領域によって前記ガラスセルのパネルセルの露光可能範囲が埋められたかどうかを判定するガラスセル露光完了判定プログラムと、前記ガラスセル露光完了判定プログラムで前記ガラスセル露光領域が埋められていないと判定された場合、再び前記露光ショット領域選択プログラムに戻って同様の処理を繰り返す露光ショット領域選択再現プログラムと、前記アライメントマークデータと前記パラメータ情報からアライメントマークの露光ショットデータであるショットＢのデータを作成して前記ガラスセルサイズ上にアレイ配置するアライメントマーク配置プログラムと、前記ショットＢのデータをレチクル上に作成してレチクルセルＢデータを作成するレチクルセルＢデータ作成プログラムと、前記レチクルセルＢデータによって作成されたアライメントマークが製造上露光可能かどうかを判定するアライメントマーク露光可能範囲チェックプログラムと、上述した各プログラムによってガラスセル上に形成された各露光ショット全体に対して前記パラメータ情報で指定されたガラスセルのマージンに収まっているかをチェックするマージンチェックプログラムと、最後に作成されたデータとガラスセルを作成するためのレシピ情報を出力する設計結果出力プログラムとをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
これらにより、携帯電話のパネルに代表されるような小さなパネルを、大きなレチクルを使って、大きなガラス基板上に露光する場合に、従来独立に処理されていたレチクルデータの作成とガラスデータの作成を同時に行うことができ、パネルセルデータの回転を含めたパラメータを介して製造単価と露光処理時間があらかじめ予測可能となり、より最適な製造条件を前提としたデータ処理が可能となる。
【００１５】
加えて露光ショット回数も算出できるので、露光装置にかかる時間の算出が可能となり、露光装置に起因する所のガラスセル上のパネルセル製造原価計算が可能となる。
したがって、コスト計算を容易にして最適な解が得られる製造データを作成可能なガラスデータ設計システムを実現することができる。また、このシステムで用いられるガラスデータ設計方法およびそのプログラムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を図面に沿って詳細に説明する。
図１は、本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム１０の一実施形態の機能ブロック図である。
本システム１０は、演算処理部１１と記憶手段１２と、表示装置１３、マウス装置１４およびキーボード装置１５などからなる入出力手段を含んで構成されている。
本実施の形態は、記憶手段１２を装着した演算処理部（プロセッサ）１１上で走行するプログラム群１２１から構成される。
【００１７】
主要なプログラムとしては、（１）データ入力プログラム、（２）レチクルセルＡデータ作成プログラム、（３）露光ショット領域識別プログラム、（４）露光ショット領域選択プログラム、（５）露光ショット配置プログラム、（６）露光可能範囲チェックプログラム、（７）パネルセル露光完了判定プログラム、（８）露光ショット領域選択再現プログラム、（９）アライメントマーク配置プログラム、（１０）レチクルセルＢデータ作成プログラム、（１１）アライメントマーク露光可能範囲チェックプログラム、（１２）マージンチェックプログラム、（１３）設計結果出力プログラムである。
これらのプログラムの詳細については後ほど記述する。また加えて、本実施の形態では、入出力装置として、表示装置１３と、キーボード装置１５と、マウス装置１４と、記憶手段１２となるファイル装置の各装置が構成要件として追加される。
【００１８】
図２は、本実施の形態の入力と出力の構成要件を示す説明図である。
入力される情報は、パネルセルデータとアライメントマークデータとパラメータ情報である。これらは、一旦、記憶手段１２の入力データ領域１２２に記憶された後、本実施の形態の処理系である演算処理部１１で用いられる。
そうして、演算処理部１１のレチクルデータ作成手段１１１のパネルレチクルデータ出力機能１１１ａによりパネルセルが配置されたレチクルセルＡデータが、また、アライメントレチクルデータ出力機能１１１ｂによりアライメントマークが配置されたレチクルセルＢデータが出力される。
【００１９】
さらに、ガラスセルデータ作成手段１１２のガラスセルデータ出力機能１１２ａによりパネルセルとアライメントマークが配置されたガラスセルデータが、レシピ情報出力機能１１２ｂによりガラスセルを製造するための露光処理データであるレシピ情報データが出力される。
これらの出力データは、一旦、記憶手段１２の出力データ領域１２３に記憶された後、表示装置１３などの出力手段を介して出力される。
【００２０】
パネルセルデータは、通常ＧＤＳＩＩまたはＯＡＳＩＳ（The Open Artwork System Interchange Standard）等の標準フォーマットデータで入力される。アライメントマークデータは、ライブラリとして提供されるものであるが、やはり通常はＧＤＳＩＩまたはＯＡＳＩＳ等の標準フォーマット形式の提供される。レチクルセルＡまたはＢ、及びガラスセルのデータもＧＤＳＩＩまたはＯＡＳＩＳ等の標準フォーマット形式で出力される。
【００２１】
図３は、図２の入出力構成要件に具体的な例を挿入した説明図である。図２に示した内容をより分かり易くするために、ここではパネルセルデータの例を、文字“Ｆ”で象徴化して具体的に埋め込んだ図である。レチクルセルＡとガラスセル上に示すように、パネルセルは携帯電話のパネルのような小さいパネルを想定している。このように小さいパネルは、レチクルセルＡ上に複数アレイ配置され、かつ、ガラスセル上にも多数アレイ配置される事になる。
【００２２】
アライメントマークは、ガラスセル上においてアレイ配置されたパネルセルの左右周辺部に配置される。アライメントマークの元となるデータは、レチクルセルＢ上に配置される。
レシピ情報は、ガラスセルを構成するレチクルセルＡとレチクルセルＢに関する露光ショットデータが記載されたファイルである。露光装置は、レシピ情報を読み込んで露光処理を行いガラスセルに相当するデータをガラス基板上に露光処理してゆく。従って、図３に示すガラスセルには、露光処理の結果得られるであろうデータを図示している。
【００２３】
図４は、本実施の形態におけるパラメータ情報の詳細を示している。
（１）パネルセルは、セル名とレチクルセル上に配置する際の間隙を含めたＸピッチとＹピッチを与える。ここで、ＸピッチとＹピッチは幅と高さの形状にてパネルセルＧＤＳＩＩまたはＯＡＳＩＳ等の標準フォーマットデータにてレクト（長方形）で記述されていれもよいが、その場合には別途間隙の値が必要となる。ここでＸピッチとＹピッチに含めて与えられた間隙は、レチクルセルに反映され、結果としてガラスセルにも反映される。
【００２４】
（２）配置タイプは、パネルセルのレチクル上への回転を示す。回転なしの場合は、パネルセルはそのまま回転することなくレチクル上に配置されてレチクルセルＡとなる。回転が指定された場合は、９０度時計周りに回転されたパネルセルがレチクル上に配置されてレチクルセルＡとなる。
（３）ガラスセルは、作成されるセル名と、ガラス基板の大きさを示す。基板の大きさで、実際に露光処理される大きさはそれより小さくなければならず、そのマージンは次に与えられる。
【００２５】
（４）ガラスセル・マージンは、前述した基板の大きさに対し露光処理データとして作成される大きさを、基板に対するマージンとして規定するものである。上辺、下辺、左辺、右辺の四種が指定される。
（５）レチクルタイプとサイズは、レチクルの形状が長方形か円形かを示し、かつ、その大きさを幅と高さまたは半径にて規定するものである。
【００２６】
（６）露光可能範囲は、ストロークとも称され、露光処理装置が機械的に露光可能な範囲を示すもので、幅と高さで規定される。
（７）アライメントマークショットは、アライメントマークを露光する際の規定で、パネルセル群の左右に配置されるので、左右のパネルセルとの間隙を含めたＸピッチと上下のアライメントマークセルとの間隙を含めたＹピッチで規定される。
【００２７】
図５は、レチクルセルＡを作成する際の回転パラメータとピッチの関係を示す図である。図４（２）の配置タイプで示された回転に関するパラメータの例である。図３（１）で示されたＸピッチとＹピッチは回転後のものを示すのであって、この例とは異なるものとなる。
【００２８】
次に、本実施の形態における処理系の処理手順を、図６のフローチャートに示す。
（１）まず、ステップＳ１０１で、パネルセル、アライメントマーク、パラメータ情報を入力する（データ入力工程）。ここで、アライメントマークは、通常ライブラリとして保有されている。
（２）続いて、ステップＳ１０２で、パネルセルとパラメータ情報からレチクルデータ作成手段１１１のパネルレチクルデータ出力機能１１１ａによりレチクルセルＡデータを作成する（レチクルセルＡデータ作成工程）。
【００２９】
（３）ここで、ステップＳ１０３で、レチクルセルＡ上には複数のパネルセルが形成されているであろうから、ガラスセルサイズの数値に対して除算を主体とする数値演算を行い、レチクルセルＡ上における露光ショット領域を識別する（露光ショット領域識別工程）。ここでは通常複数の露光ショット領域が認識される（詳細は後述）。ここでは識別された露光ショット領域を、例えば、ＡＡ／ＡＢ／ＡＣ／ＡＤの四種類とする。この露光ショット領域の作成はガラスセルデータ作成手段１１２の露光ショットデータ作成機能１１２ｆによって行われる。
【００３０】
（４）次に、ステップＳ１０４で、露光ショット領域のひとつ、ここでは露光ショット領域ＡＡ、を選択する（露光ショット領域選択工程）。
（５）そうして、ステップＳ１０５で、ガラスセル上に露光ショットとして配置する（露光ショット配置工程）。通常はアレイ配置となる。配置はガラスセルのセンタに対してプラス・マイナスのＸ値・Ｙ値で行う。
【００３１】
（６）次に、ステップＳ１０６で、パラメータで指定された露光可能範囲指定から、この配置された露光ショット領域ＡＡが製造装置上露光可能であるか否かをチェックする（露光可能範囲チェック工程）。そうしてガラスセルデータ作成手段１１２のガラスセルデータ出力機能１１２ａによりガラスセル上に出力される。
【００３２】
（７）ついで、ステップＳ１０７で、ガラスセル上のパネルセルの露光可能範囲がすべて埋められたかどうかを判定する（ガラスセル露光完了判定工程）。
ガラスセル上のパネルセルの露光可能範囲がすべて埋まっていない場合は、再びステップＳ１０４に戻って、露光ショット領域ＡＡでの場合と、同様の処理を露光ショット領域ＡＢ、ＡＣ、ＡＤに対しても行う（露光ショット領域選択再現工程）。
この過程では、後述するように、ガラスセルデータ作成手段１１２の個数算出機能１１２ｃによりガラスセル上に配置されるパネルセルの個数が算出され、露光回数算出機能１１２ｄにより露光回数が算出される。
【００３３】
（８）ガラスセル上のパネルセルの露光可能範囲がすべて埋まった場合は、ステップＳ１０８に進んで、アライメントマークデータとパラメータで指定されたアライメントマークショット値を利用して、アライメントマーク露光ショットデータ（これをショットＢと称している）をガラスセルのセンタ値に対してアレイ配置する（アライメントマーク配置工程）。
【００３４】
（９）次に、ステップＳ１０９で、レチクスデータ作成手段１１１のアライメントレチクルデータ出力機能１１１ｂを用い、ショットＢのデータをレチクル上に作成し、レチクルセルＢデータを作成する（レチクルセルＢデータ作成工程）。
（１０）その後、ステップＳ１１０で、レチクルセルＢデータに作成されたアライメントマークに対しても露光可能範囲のチェックを行う（アライメントマーク露光可能範囲チェック工程）。
【００３５】
（１１）更に、ステップＳ１１１で、このようにしてガラスセル上に形成された各露光ショット領域の全体に対して、パラメータで指定されたガラスセルのマージンチェックを、ガラスセルデータ作成手段１１２の剰余算出機能１１２ｆにより行う（マージンチェック工程）。
（１２）最後に、ステップＳ１１２で、ガラスセルデータ作成手段１１２のガラスセルデータ出力機能１１２ａで作成されたデータが出力される。ここでは、ガラスセルを作成する際の各露光ショット配置データなどが記載されたレシピ情報も、ガラスセルデータ作成手段１１２のレシピ情報出力機能１１２ｂにより出力される（設計結果出力工程）。
【００３６】
なお、以上に上げた各工程は、記憶手段１２に記憶されるプログラム群１２１に含まれるプログラムを、演算処理部１１が実行することによって実現することができる。
それぞれの工程に対応するプログラムは、請求項１１に示したデータ入力プログラム、レチクルセルＡデータ作成プログラム、露光ショット領域識別プログラム、露光ショット領域選択プログラム、露光ショット配置プログラム、露光可能範囲チェックプログラム、ガラスセル露光完了判定プログラム、露光ショット領域選択再現プログラム、アライメントマーク配置プログラム、レチクルセルＢデータ作成プログラム、アライメントマーク露光可能範囲チェックプログラム、マージンチェックプログラムおよび設計結果出力プログラムである。
【００３７】
図７は、レチクルデータ作成手段１１１のパネルレチクルデータ出力機能１１１ａで、パネルセルデータａｂｃから指定されたパラメータと作成されたレチクルセルＡを経由してガラスセルデータが作成されてゆくデータ処理過程を示す説明図である。
まず、パネルセルａｂｃから指定されたパラメータの配置条件によりレチクルセルＡを作成する。ここでは、複数のパネルセルがレチクルセルＡ上に形成される。
次に、指定されたガラスセルの大きさに対し、作成されたレチクルセルＡ上に形成されているパネルセル群の大きさを用いて除算が行われ、まず、図７に示す露光ショット領域ＡＡの露光回数が算出される。
【００３８】
次に、除算の結果得られたガラスセル上の剰余に対しても同様の除算を行い、露光ショット領域ＡＢを得る。同様にして露光ショット領域ＡＣとＡＤを得る。このようにして大きな露光ショット領域から出発して、順次除算と得られた剰余を用いて小領域な露光ショット領域を算出し識別しあてがう（この算出方法の詳細については後述する）。
ここでの複数の露光ショット領域の作成は、ガラスセルデータ作成手段１１２の露光ショットデータ作成機能１１２ｅによって、各露光ショット領域の露光回数の算出は、露光回数算出機能１１２ｄにより、実行される。
【００３９】
このようにして、各露光ショット領域には名称が付けられ、配置位置がガラスセンタからのＸ値とＹ値を用いて記載されたガラスセルの作成工程を記載したレシピ情報が、ガラスセルデータ作成手段１１２のレシピ情報出力機能１１２ｂで作成され出力される。
これらの配置位置は、ガラスセルのセンタからの配置位置が指定されるのが通常である。
【００４０】
また、図４（３）と（４）にて説明したガラスセルの大きさと、ガラスセル・マージンの上辺、下辺、右辺、左辺の意味を図７に示している。ガラスセルを作成する上でガラスセルの幅と高さから各辺のマージンを差し引いた領域が、実際にガラスセルデータの存在が許容される範囲である。これらのガラスセル・マージンは、ガラスセルデータ作成手段１１２の剰余算出機能１１２ｆで演算される。
【００４１】
図８は、レチクルデータ作成手段１１１のアライメントレチクルデータ出力機能１１１ｂで、アライメントマークデータからＢ露光ショット領域をガラスセル上に形成し、しかる後に、レチクルセルＢを作成するレチクルセルＢデータ作成工程を示す説明図である。
ショットＢ領域の配置には図４（７）に示すパラメータにて規定される。
【００４２】
アライメントマークについて、ガラスセル上のデータをまず作成してから、必要とされるアライメントマークのレチクルセルＢを作成する。これは、アライメントマークはライブラリ化されており複数種類が存在しているので、ガラスセルを構築できるアライメントマークをディスプレイ上で確認してからレチクルセルＢを作成するのがデータ作成工程上適しているからである。
ここでは、図４（７）で示されたアライメントマーク・パラメータであるＸピッチとＹピッチも示してる。
【００４３】
図９は、図４（５）で示されたレチクルタイプとサイズの例を示している。
レチクルタイプには、長方形と円形がある。長方形では幅と高さを、円形では半径を示す。フラットパネルディスプレイ製造用のレチクルタイプは、円形のみならず、長方形もある。これはレチクルそのものの管理上、長方形の方が管理しやすい理由がある。
【００４４】
一定の面積内に最大個数のパネルセルを配置せしめようとすれば、それは円形が最適であるが、実際には上下左右にはみ出したパネルセルは露光ショット処理上は使いずらいものであり、従って、長方形で充分である場合が多い。これは、ガラス形状が長方形である所から来ている理由であり、この点がシリコンウェファーが円形である半導体露光とは異なる点である。
【００４５】
図１０は、レチクルセルＡから作成されたレシピ情報部分での各ショットの座標を示す部分を表したものである。
ＡＡ、ＡＢ、ＡＣ、ＡＤが生成された露光ショット領域の名称であり、そこにそれぞれのガラスセルセンターからのＸ値とＹ値が記載されている。これはキャラクターファイルにて出力される部分である。
【００４６】
このファイルにアライメントマークデータであるショットＢ露光情報は同様にショット名とガラスセンターからのＸ値とＹ値で記述される。ここで述べられているレシピ情報は露光ショット回数が記載されていることになり、露光にかかる時間が算出可能となる。これによってガラスセル上にて取得されるパネルセル１個当たりの露光装置原価が計算可能となる。
【００４７】
図１１は、レチクルセルＡについて、露光ショット領域を算出するためのデータ条件を示す説明図である。ここでは、パラメータ指定により、レチクルサイズとガラスサイズが固定されている点が重要である。
一旦、これら両者の数値が決定された上で、どのようにパネルセルを回転させてレチクルセルＡを作成し、どのようにまとめた露光ショット領域を抽出するか、によってパネル１個当たりのコストと露光処理時間（これも結局はコスト）が算出される。
【００４８】
ガラスサイズは製造上固定となる場合が多く、レチクルセルサイズを変化させたとしてどの程度露光処理時間が変化するか、によって最適なレチクルサイズを決定する事ができる。
一般論で言えば、ガラスサイズもレチクルサイズも大とする事により、１個当たりの製造単価も露光処理時間も低減する。従って、ここでは、パネルセルを回転させてレチクルセルを作成する場合も含めて、レチクルセルを製造するコスト（これはレチクルの大きさに依存）と露光処理時間（これもレチクルの大きさに依存）とガラスから製造されるパネルセル１個当たりの原価（これがガラスの大きさに依存）を確認する事になる。
【００４９】
図１２は、レチクルセルによる露光ショット領域の算出手順を示す説明図である。ここでは、剰余計算によりレチクルセルＡ上に形成されているパネルセルの部分集合を露光ショットデータとする計算手順について示している。
まず、パネルセルの大きさ（ここでは間隙も含む大きさであり、図３（１）にて示すＸピッチとＹピッチ）をＸ０、Ｙ０、レチクルセルのパネルセル集合の最大の大きさをＸ１、Ｙ１、ガラスセルの大きさをＸ２、Ｙ２とする。
【００５０】
まず、第１回目の露光ショット群の決定は、大きなものから決定してゆくから、（Ｘ２，Ｙ２）を（Ｘ１，Ｙ１）で除算する事になる。この結果、（Ｘ１，Ｙ１）群にて露光する回数Ｘkaisu1とＹkaisu2が決定され、かつ、剰余であるＸamari1とＹamair1が決定される。これにより露光ショットが決定され、この露光ショット名をＡＡとし、ＡＡ部分集合とリピート回数が決定される。
【００５１】
続いて、Ｘamari1に対して露光ショット領域をパネルセル分ひとつを減算（Ｘ１−Ｘ０）して除算し剰余Ｘamari2を算出する。除算結果は、Ｘkaisu2であり、これは露光ショットＡＢに対するリピート回数となり、次の部分集合である露光ショット領域ＡＢが決定される。ただし、Ｘkaisu n（ｎ＞２の正整数）は、２（ｎ−１）≧ｎとなるため常に１または０である。
【００５２】
同様の処理をＹ方向に行えば部分集合ＡＣの領域とリピート回数が算出され、最後に露光ショットＡＤの領域とリピート回数、ガラスセル上のレチクルセルの総数が算出される。リピート回数の算出には、ガラスセルデータ作成手段１１２の露光回数算出機能１１２ｄが用いられる。
【００５３】
ここで、部分集合とリピート回数算出の際には、ガラスセンターからのＸ座標とＹ座標も同時に算出される。また、リピート回数は１回という場合ももちろんありうる。
露光ショット領域が成立するか否か判定し、成立しない場合により小さな露光ショット領域にシフトダウンさせる条件は、ＸkaisuMまたはＹkaisuNに相当する数値がゼロとなった場合である。
【００５４】
Ｘ剰余とＹ剰余がどちらもがパネルセルより小さくなった場合が最終的な終了条件となる。剰余の計算には、ガラスセルデータ作成手段１１２の剰余算出機能１１２ｆが用いられる。また、露光ショット領域が決定した後に、ガラスセルデータ作成手段１１２の個数算出機能１１２ｃによってガラスセル上に形成されるレチクルセルの総数の算出が用いられる。
【００５５】
ここで、シフトダウンの手順は、Ｘ方向とＹ方向と順次組み合わせて行ってゆく。この結果、レチクルセルＡに形成されたすべての隣接する長方形の組み合わせにおけるパネルセルの長方形集合が吟味される事になる。また、ここでは除算と剰余を用いて説明したが、繰り返し減算を用いても全く等価な処理が出来る。このようにして、レチクルセルＡ上に形成されたパネルセルの集合においてより大きな露光ショット領域を抽出する事により、露光装置における露光処理時間を短縮させる効果があり、極めて重要な領域抽出方法であると言える。
【００５６】
図１３は、前述した計算内容のプログラムフローチャートである。
このプログラムでは、レチクルセルＡの露光ショット部分集合と繰り返し回数ＡＭＮを求めている。レチクルセルＡの大きさＸ１、Ｙ１から始めて、Ｘ１のサイズでのＸ方向への繰り返し回数をＭ、Ｙ１のサイズでのＹ方向への繰り返し回数をＮとして初期値スタート
【００５７】
させて、順次露光領域を縮小させてゆく訳である。
露光領域の縮小は、ガラスセルについては剰余部分の領域、レチクルセルについてはパネルセルひとつ分を減算した領域が対象となる。ＭとＮは、繰り返し回数であるが、その時の最大のレチクルセル領域に対する繰り返し回数である。従って、Ｍ＝１、Ｎ＝１もありうる。
【００５８】
領域と繰り返し数ＭとＮが決定したら、ガラス領域を露光された領域分減らして（Ｘ２，Ｙ２の書き換え）、かつレチクルセル領域もパネルセル分ひとつ減らして（Ｘ１，Ｙ１の書き換え）、計算を進める。重要な事は、レチクルセルＡの露光ショット部分集合と繰り返し回数ＡＭＮが決定された際、これをガラスセンターからの配置座標にてアレイ配置する事である。
【００５９】
ここでは、最終的に残った剰余を上下左右に均等配分し、ガラスセンターからの座標にてアレイ配置する。このような処理に関しては、アライメントマークデータにおけるショットＢついても同様である。
このように図１３に示すプログラムを用いれば、露光ショット回数の算出が可能となり、露光にかかる時間も算出することができる。
【００６０】
図１３を更に詳しく説明する。
まず、ステップＳ２０１で、ガラスセルサイズ上にパネルセルが充分取れるかどうか（Ｘ＞Ｘ２、Ｙ０＞Ｙ２）を確認する。
次に、ステップＳ２０２で、レチクルセルＡのＸ１、Ｙ１を使って、このレチクルセルＡの幅の最大繰り返し数Ｍと高さの最大繰り返し数Ｎとを算出する。
【００６１】
さらに、ステップＳ２０３で求めた最大繰り返し数ＭとＮから露光回数Ｔ＝ＭＮをもとめる。そうしてステップＳ２０４で、幅方向のショット数ＷをＷ＝Ｍと設定する。ここでの処理は、ガラスセルデータ作成手段１１２の露光回数算出機能１１２ｄとしての働きである。
次に、ステップＳ２０５で、Ｘ２をＸ２＝（Ｘ２−Ｘ１＊Ｍ）として、幅の剰余に置き換える。ここでの処理は、ガラスセルデータ作成手段１１２の剰余算出機能１１２ｆとしての働きである。
【００６２】
次に、ステップＳ２０６で、Ｘ１をＸ１＝（Ｘ１−Ｘ０）としてパネルセルの幅１個分減らす。このとき、Ｘ１が０または０以下にならないかどうかをステップＳ２０７で判定する。０または０以下になったときはこれ以上ショットの幅は減らせないので、今度は高さを減らすステップＳ２１２に進む。
【００６３】
次に、Ｘ１が０または０以下でないときは、幅の剰余Ｘ２が現在のショットの幅Ｘ１よりも広いかどうかをステップＳ２０８で判定する。
広いときはステップＳ２０９で、幅の剰余Ｘ２をショット幅Ｘ１だけ狭めて、Ｘ２＝（Ｘ２−Ｘ１）とし、ステップＳ２１０で幅方向のショット数Ｗを１だけ増やし、ステップＳ２１１で、最大露光ショット数Ｔを現在の高さ方向のショット数Ｎ分増やし、ステップＳ２０６に戻る。ステップＳ２０８で幅の剰余Ｘ２が現在のショットの幅Ｘ１よりも広くないときはそのままステップＳ２０６に戻る。
ステップＳ２０６からＳ２１１までは、幅の剰余Ｘ２が０または０以下になるまで繰り返される。  
【００６４】
幅の剰余Ｘ２が０または０以下になったら、ステップＳ２１２で、高さＹ２をＹ２＝（Ｙ２−Ｙ１＊Ｎ）として、高さの剰余に置き換える。そしてステップＳ２１３で、この高さの剰余Ｙ２がパネルセルの高さＹ０よりも狭いかどうかを判定する。狭い場合はステップＳ２１９に進む。
広い場合は、ステップＳ２１４で、Ｙ１をＹ１＝（Ｙ１−Ｙ０）としてパネルセルの高さ１個分減らす。このとき、Ｙ１が０または０以下にならないかどうかをステップＳ２１５で判定する。０または０以下になったときはこれ以上ショットの幅は減らせないので、終了のためにステップＳ２１９に進む。
【００６５】
次に、Ｙ１が０または０以下でないときは、高さの剰余Ｙ２が現在のショットの高さＹ１よりも広いかどうかをステップＳ２１６で判定する。
広いときはステップＳ２１７で、高さの剰余Ｙ２をショット高さＹ１だけ狭めて、Ｙ２＝（Ｙ２−Ｙ１）とし、ステップＳ２１８で最大露光ショット数Ｔを現在の幅方向のショット数Ｗ分増やし、ステップＳ２１４に戻る。ステップＳ２１６で高さの剰余Ｙ２が現在のショットの高さＹ１よりも広くないときはそのままステップＳ２１４に戻る。
【００６６】
ステップＳ２１５で、Ｙ１が０または０以下になったとき、あるいは、ステップＳ２０１や２１３でＹＥＳの場合はステップＳ２１９に進んで、最終的に残った剰余部分を上下、左右に平均化して割り当て、各露光ショット領域をガラスセンターからの位置にて配置して終了する。
この一連の処理の結果、最終的な露光回数はＴに集計される。
【００６７】
図１４は、本実施の形態における表示装置１３上のグラフィックデータとしてのウィンドウ表示の例を示している。これらの表示は入出力制御手段１１３のデータ表示機能１１３ａによって実行される。
ここでは、ウィンドウは２種類、計４個存在する。すなわち、種類としては、ＧＤＳＩＩまたはＯＡＳＩＳ等の標準フォーマットデータを表示するグラフィック・ウィンドウと、パラメータを表示するダイアログ・ウィンドウである。グラフィック・ウィンドウとしては、パネルセルデータ、レチクルセルＡ／Ｂデータ、ガラスセルが表示される事になる。
【００６８】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変形例が考えられる。
例えば、以上に述べた実施形態では、実際にレチクルセルを用いた露光ショット回数を含めた設計データを求めている。しかし、原価計算上最も重要なのは、ガラスセル上で何個のパネルセルが取得できるかでるかを知ることである。そのために、変形例として、簡易計算によってガラスセル上で取得できるパネルセルの数だけを直接求める例が考えられる。
【００６９】
図１５、図１６、図１７は、パネルセルの外形のみの表示を用いた本発明のより簡易な第２の実施形態を示す。原価計算上最も重要なのは、ガラスセル上で何個のパネルセルが取得できるかでるかを知ることなので、市販されている表計算ソフトを使用して前述した発明実施例の部分を取り出して実施し、あらかじめ最適なパネルセル形状と回転を知っておくことが有効となる。
【００７０】
図１５は、パネルセルの外形寸法のみが指定された場合の回転パラメータとピッチの関係を示す説明図で、回転しない場合と、９０度回転した場合を示している。この場合、パネルセルの具体的な内容データは必要としない。正確に述べれば、パネルセル形状データとしては、ＸピッチとＹピッチが必要なだけとなる。これにパラメータとして‘回転しない’または‘９０度回転する’の指定だけがあればいいことになる。
【００７１】
図１６は、パネルセル形状データをガラスセル上に配置した際の図であり、何個のパネルセルがガラスセル上に配置可能かを示している。
また、図１７は、図１６に示す例において、ガラスセル上におけるパネルセルの取得個数のみを計算する表計算の式である。ここでは、パネルセル形状による除算が適用されている。
【００７２】
パラメータとしては少なくとも、パネルセルの回転がない場合のＸピッチとＹピッチ、回転あり／９０度回転の指示、ガラスセルの幅と高さ、ガラスセルマージンの値、が必要となる。これらの数値を用いて、回転なしの場合と、９０度回転ありの場合における取得個数計算が示されている。ここで示す計算式は、市販の表計算ソフトにて容易に構築可能なものである。この結果、設計者はあらかじめ取得個数を知った上で処理を進めることが可能となる。
【００７３】
以上に述べた本発明の第１の実施形態によれば、フラットパネルディスプレイ用のガラスデータを設計するフラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システムにおいて、パネルセルデータの形状と、前記パネルセルデータの周辺に配置されるアライメントマークデータの形状と、ガラスセルサイズ及び前記各データの配置情報を含んだパラメータ情報を入力として記憶する記憶手段と、前記パネルセルデータが配置された投光用フォトマスクのデータであるパネルレチクルセルデータを出力するパネルレチクルデータ出力機能１１ａと、前記アライメントマークデータが配置された投光用フォトマスクのデータであるアライメントレチクルセルデータを作成出力するアライメントレチクルデータ出力機能１１１ｂとを有するレチクルデータ作成手段１１１と、前記パネルセルデータと前記アライメントマークデータが配置されるガラスセルデータを作成出力するガラスセルデータ出力機能１１２ａと、ガラスセルデータ作成のためのレシピ情報を作成出力するレシピ情報出力機能１１２ｂとを有するガラスセルデータ作成手段１１２とを備えて成ることを特徴としている。パネルセルデータの形状と、前記パネルセルデータの周辺に配置されるアライメントマークデータの形状と、ガラスセルサイズ及び前記各データの配置情報を含んだパラメータ情報は記憶手段に記憶される。
【００７４】
したがって、従来独立に処理されていたレチクルデータの作成とガラスデータの作成を同時に行う事により、パネルセルデータの回転を含めたパラメータを介して製造単価と露光処理時間があらかじめ予測可能となり、より最適な製造条件を前提としたデータ処理が可能となる。加えて露光ショット回数も算出できるので、露光装置にかかる時間の算出が可能となるので、露光装置に起因する所のガラスセル上のパネルセル製造原価計算が可能となる。
【００７５】
また、本発明の第２の実施形態によれば、パラメータにてパネルセルの配置間隙を含めたパネルセル形状としてのＸピッチとＹピッチを指定するだけで、パネルセルの実データが存在しなくても、前述の最適条件を見積もることが可能な設計システムの構築が図れる効果がある。このような簡易見積りシステムはグラフィック機能を無視すれば市販されている表計算ツールを用いても可能であり、本発明が製造条件最適化に寄与する効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明に係るフラットパネルディスプレイ用のガラスデータ設計システムの一実施形態の機能ブロック図である。
【図２】図１に示す実施の形態の入力と出力の構成要件を示す説明図である。
【図３】図２に示す入出力用件に具体的な例を挿入した説明図である。
【図４】本実施の形態におけるパラメータ情報の詳細を示巣図表である。
【図５】レチクルセルＡを作成する際の回転パラメータとピッチの関係を示す説明図である。
【図６】本実施の形態における処理系の処理手順を示すフローチャートである。
【図７】パネルセルからレチクルセルＡを経由してガラスセルデータが作成されてゆくデータ処理過程を示す説明図である。
【図８】アライメントマークデータからガラスデータを経由してレチクルセルＢを作成するレチクルセルＢデータ作成工程を示す説明図である。
【図９】レチクルタイプとサイズの例を示す説明図である。
【図１０】レチクルセルＡから作成されたレシピ情報部分の各ショットの座標を示す部分を表す図表である。
【図１１】レチクルセルＡについて、露光ショット領域を算出するためのデータ条件を示す説明図である。
【図１２】レチクルセルによる露光ショット領域の算出手順を示す説明図である。
【図１３】図１２に示す計算内容を実施するプログラムのフローチャートである。
【図１４】ディスプレイ装置上の出力グラフィックデータとしてのウィンドウ表示の一例を示す図である。
【図１５】パネルセルの外形寸法のみが指定された場合の回転パラメータとピッチの関係を示す説明図である。
【図１６】パネルセルの外形寸法のみが指定された場合のパネルセル形状データをガラスセル上に配置した場合の図である。
【図１７】ガラスセル上におけるパネルセルの取得個数を計算する表計算の式を示す図表である。
【符号の説明】
【００７７】
１０  フラットパネルディスプレイ用ガラスデータ設計システム
１１  演算処理部
１２  記憶手段
１３  表示装置
１４  マウス装置
１５  キーボード装置
１１１  レチクルデータ作成手段
１１２  ガラスセルデータ作成手段
１１３  入出力制御手段
１２１  プログラム群
１２２  入力データ
１２３  出力データ
【図１】
2009251521.tif 000003
【図２】
2009251521.tif 000004
【図３】
2009251521.tif 000005
【図４】
2009251521.tif 000006
【図５】
2009251521.tif 000007
【図６】
2009251521.tif 000008
【図７】
2009251521.tif 000009
【図８】
2009251521.tif 000010
【図９】
2009251521.tif 000011
【図１０】
2009251521.tif 000012
【図１１】
2009251521.tif 000013
【図１２】
2009251521.tif 000014
【図１３】
2009251521.tif 000015
【図１４】
2009251521.tif 000016
【図１５】
2009251521.tif 000017
【図１６】
2009251521.tif 000018
【図１７】
2009251521.tif 000019