(57)【要約】【課題】クリーン度の高い磁気記録媒体の両面に付着した塵埃を効率良く除去すること、また塵埃の再付着のない処理方法を提供すること。【解決手段】第１の発明は、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープを用いて捕集するに際し、磁気記録媒体を粘着テープを介して接触させた複数のロールで挟み、このロールを回転させて粘着テープを走行させると共に、磁気記録媒体をロールに対して移動させるか又はロールを磁気記録表面に沿って移動させ、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集する。第２の発明は、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープを用いて捕集するに際し、磁気記録媒体を中央の開口部を中心に回転させ、回転する磁気記録媒体の表面に粘着テープを介してロールを接触させ、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面の処理方法であって、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープを用いて捕集するに際し、磁気記録媒体を粘着テープを介して接触させた複数のロールで挟み、このロールを回転させて粘着テープを走行させると共に、磁気記録媒体をロールに対して移動させるか又はロールを磁気記録表面に沿って移動させ、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集することを特徴とする磁気記録媒体の表面処理方法。
【請求項２】
中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面の処理方法であって、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープを用いて捕集するに際し、磁気記録媒体を中央の開口部を中心に回転させ、回転する磁気記録媒体の表面に粘着テープを介してロールを接触させ、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集することを特徴とする磁気記録媒体の表面処理方法。
【請求項３】
磁気記録媒体の表面に接触させる粘着テープをロールの回転により走行させ、磁気記録媒体の表面の走行速度と粘着テープの走行速度とに差を設けることを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
【請求項４】
磁気記録媒体の表面の走行速度を、その表面に接触させる粘着テープの走行速度に対して、０．５ｍ／分〜３００ｍ／分の範囲で高く設定することを特徴とする請求項３に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
【請求項５】
粘着テープの粘着力が０．０１Ｎ／ｃｍ〜３Ｎ／ｃｍの範囲内であることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
【請求項６】
粘着材が、ポリアクリル酸エステル系の粘着材であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
【請求項７】
磁気記録媒体の表面及び／又は端面に潤滑剤を塗布した後、少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集することを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
【請求項８】
中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面処理装置であって、磁気記録媒体の両表面に粘着テープをロールにより供給接触させる機構、磁気記録媒体または粘着テープを移動走行させる機構を有する磁気記録媒体の表面処理装置。
【請求項９】
中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面処理装置であって、磁気記録媒体の開口部を中心とし、表面と垂直な軸で磁気記録媒体を回転させる機構、磁気記録媒体の表面に粘着テープをロールにより供給接触させる機構、粘着テープを走行させる機構を有する磁気記録媒体の表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブ等の情報機器に使用される磁気記録媒体の表面処理方法および表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブとして使用される磁気記録媒体は、アルミニウム合金製やガラス製で中心部に貫通孔を有するドーナツ型の円盤状基板に、研削工程、研磨工程、めっき工程、洗浄工程、乾燥処理をへた後、磁性層等を形成し、その表面をバーニッシュ処理して表面に付着した微小な塵埃を除去し且つその表面を平滑化し、検査工程を経て製造される。またこのバーニッシュ処理の前または後に、磁気記録媒体の表面に潤滑剤を塗布する工程が設けられ、さらに、前述の各工程の間に、基板の洗浄および乾燥処理が設けられる場合もある。
近年、記録媒体の大容量化と情報機器等の小形化とに対する要望から、磁気記録媒体の記録密度はますます高まり、こうした磁気記録媒体に対して、磁気記録面上のヘッド低浮上化に対応できる高い平坦度が求められると共に、研磨加工などの様々な表面処理工程で付着した塵埃などを除去するため、磁気記録媒体または媒体用基板の高度な洗浄技術、及び洗浄した磁気記録媒体等を清浄に乾燥するための乾燥装置が求められている。すなわち、高性能の洗浄装置を用いて磁気記録媒体やその基板に付着した塵埃などを表面から分離し、その分離した塵埃などを含む洗浄液を確実に表面から飛散させる必要がある。
【０００３】
磁気記録媒体等のクリーニング手段では、このような洗浄液を用いた湿式法の他、不織布等によるワイピング方式、イオン化エアー吹きつけ、吸引によるクリーニング等がある。しかしながら、蒸着、スパッタリング等による磁性膜形成等の工程で付着した塵埃は除去が難しく、湿式による洗浄のみでは除去することが困難な場合がある。また湿式法による洗浄は高度な乾燥技術も求められるため、乾燥技術が不十分な場合は磁気記録媒体をかえって汚してしまう場合があった。また、ワイピングを用いた方法においてもワイピング用の布からの発塵等の問題がある。
このような問題点を解決するため、磁気テープ等の磁気記録媒体に付着した、塵埃等の付着物を粘着回転ロールにより除去することが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平０８−１５０３６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された粘着回転ロールによる塵埃の除去方法は、磁気テープ等の比較的クリーン度の低い磁気記録媒体には有効であるものの、ハードディスクドライブのようにクリーン度の高い磁気記録媒体に対して適用するのは困難であった。加えて、ハードディスクドライブ等に用いられる磁気記録媒体は円盤状であり、また、その両面を使用するため、これらの磁気記録媒体の両面に付着した塵埃を効率良く除去するのは難しかった。さらに、特許文献１に記載された方法よりも、より高い塵埃の除去効率が実現でき、また塵埃の再付着のない処理方法が求められていた。これらの課題を解決するのが本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意努力検討した結果、ハードディスクドライブ等に用いられる磁気記録媒体の表面の付着物を、磁気記録媒体の両表面に連続的に供給した粘着テープを用いて捕集することにより、高い効率での塵埃の除去が可能となり、また磁気記録媒体への塵埃の再付着を防止できること見出し、本発明を完成させた。すなわち、    本発明は以下の表面処理方法及び装置提供する。
（１）中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面の処理方法であって、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープを用いて捕集するに際し、磁気記録媒体を粘着テープを介して接触させた複数のロールで挟み、このロールを回転させて粘着テープを走行させると共に、磁気記録媒体をロールに対して移動させるか又はロールを磁気記録表面に沿って移動させ、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集することを特徴とする磁気記録媒体の表面処理方法。
【０００６】
（２）中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面の処理方法であって、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープを用いて捕集するに際し、磁気記録媒体を中央の開口部を中心に回転させ、回転する磁気記録媒体の表面に粘着テープを介してロールを接触させ、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集することを特徴とする磁気記録媒体の表面処理方法。
（３）磁気記録媒体の表面に接触させる粘着テープをロールの回転により走行させ、磁気記録媒体の表面の走行速度と粘着テープの走行速度とに差を設けることを特徴とする上記（２）に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
（４）磁気記録媒体の表面の走行速度を、その表面に接触させる粘着テープの走行速度に対して、０．５ｍ／分〜３００ｍ／分の範囲で高く設定することを特徴とする上記（３）に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
（５）粘着テープの粘着力が０．０１Ｎ／ｃｍ〜３Ｎ／ｃｍの範囲内であることを特徴とする上記（１）〜（４）の何れか１項に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
【０００７】
（６）粘着材が、ポリアクリル酸エステル系の粘着材であることを特徴とする上記（１）〜（５）の何れか１項に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
（７）磁気記録媒体の表面及び／又は端面に潤滑剤を塗布した後、少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集することを特徴とする上記（１）〜（６）の何れか１項に記載の磁気記録媒体の表面処理方法。
（８）中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面処理装置であって、磁気記録媒体の両表面に粘着テープをロールにより供給接触させる機構、磁気記録媒体または粘着テープを移動走行させる機構を有する磁気記録媒体の表面処理装置。
（９）中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面処理装置であって、磁気記録媒体の開口部を中心とし、表面と垂直な軸で磁気記録媒体を回転させる機構、磁気記録媒体の表面に粘着テープをロールにより供給接触させる機構、粘着テープを走行させる機構を有する磁気記録媒体の表面処理装置。
【発明の効果】
【０００８】
上記（１）の発明によれば、円盤状の磁気記録媒体の両面及び端面を同時に処理することが可能となり、またその処理を連続的に行うことが容易となるため、高い効率で、磁気記録媒体表面及び端面の塵埃を除去することが可能となる。
上記（２）の発明によれば、円盤状の磁気記録媒体の両面及び端面を同時に処理することが可能となり、また高い効率で、磁気記録媒体表面の塵埃を除去することが可能となる。
上記（３）〜（４）の発明によれば、磁気記録媒体表面と粘着テープとの間に擦り付ける作用が働き、相互関係を好ましい状態にできるため、磁気記録媒体表面の塵埃の除去効率を高めることが可能となる。
上記（５）〜（６）の発明によれば、粘着剤は適度な粘着力を有し、磁気記録媒体を損傷することなく、粘着力を維持し、粘着テープの走行速度をより好ましい範囲とすることができるため、磁気記録媒体表面の塵埃の除去効率を高めることが可能となる。
上記（７）の発明によれば、磁気記録媒体表面での粘着テープの擦過性が良好となり、また磁気記録媒体の表面を塵埃が除去されやすい状態にできるため、磁気記録媒体表面の塵埃の除去効率を高めることが可能となる。
上記（８）〜（９）の発明によれば、上記の磁気記録媒体表面の塵埃を除去する表面処理方法に適した装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の第１は、中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面処理方法に関し、磁気記録媒体の表面の付着物を粘着テープを用いて捕集するに際し、磁気記録媒体を粘着テープを介して接触させ、複数のロールで両面から挟み、このロールを回転させて粘着テープ及び磁気記録媒体を移動走行せしめ、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集することを特徴としている。
本発明の第１を図１を用いて詳細に説明する。図１は本発明の、磁気記録媒体に付着した塵埃の除去方法を模式的に示している。本発明の磁気記録媒体は中央に開口部を有する円盤状の基板である。この中央の開口部は、磁気記録媒体を磁気ヘッドに対して相対運動させるため、回転モータのスピンドルに取り付け回転させるためのものである。本発明では、この磁気記録媒体１の表面の付着物を粘着テープ２を用いて捕集するに際し、磁気記録媒体１を粘着テープ２を介して接触させた複数のロール３で挟み、このロール３を回転させて粘着テープ２又は磁気記録媒体１を移動走行せしめ、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集する。すなわち、粘着テープ２の磁気記録媒体１側の面に粘着性をもたせることにより、粘着テープが磁気記録媒体表面の塵埃を捕集する。この際、ロール３を回転させることにより粘着テープが走行する。またロールの回転により、磁気記録媒体をロールに対して移動させるか又はロールを磁気記録媒体表面に沿って移動させることができる（図の上下方向）。
【００１０】
即ち、図１において、磁気記録媒体１を固定した場合は、粘着テープ２が移動走行し（この場合、ロール３も磁気記録媒体１の表面に沿って移動走行することになる。）、逆に、ロール３を固定した場合は、磁気記録媒体１が移動走行することになる。またこの際、ロール３は、磁気記録媒体１または粘着テープ２を移動走行せしめると共に、粘着テープ２を適切な圧力で磁気記録媒体１に押しあてる効果を有する。なお、図１では、磁気記録媒体１に対して、その両面の対称位置にロール３があるため、磁気記録媒体の両面に押しあてられる粘着テープの押しあて圧力は、両面において同じとなる。そしてロール３に用いる材質の硬度を調節することにより、磁気記録媒体の端面にも粘着テープを押しあてることが可能となる。すなわち、ロール３の硬度を低くすることにより、粘着テープを磁気記録媒体の端面に撓ませることが可能となり、これにより磁気記録媒体の端面に付着した塵埃も除去することが可能となる。なお、磁気記録媒体の端面に付着した塵埃を除去する場合は、磁気記録媒体のデータ面に垂直に、磁気記録媒体の端面に粘着テープの粘着面を押しあてるロールを別途設けても良い。
【００１１】
本発明は、このような構成を用いることにより、円盤状の磁気記録媒体の両面及び端面を同時に処理することが可能となり、また、粘着テープおよびロールに対して、連続的に磁気記録媒体を供給することにより、その処理を連続的に行うことが容易となる。これにより、高い効率で、磁気記録媒体表面の塵埃を除去することが可能となる。なお、図１では、簡略化のため磁気記録媒体を１枚だけ記載しているが、この装置に連続的に磁気記録媒体を供給することが可能である。この装置に磁気記録媒体を連続的に供給する方法としては、磁気記録媒体の内周端面または外周端面をチャック装置で支えながら供給する方法が考えられる。また、装置から出てきた磁気記録媒体についても、同様に磁気記録媒体の内周端面または外周端面をチャック装置で受け取る方法が考えられる。
【００１２】
本発明の粘着テープで用いる粘着材は、公知のものを使用することができるが、この中で、磁気記録媒体表面に転写されることの少ないものを用いるのが好ましい。粘着テープ面に塗布された粘着材が、本発明の方法に際して磁気記録媒体表面に転写させるか否かは、粘着材の種類に加えて、粘着テープのベースとなるフィルムにも依存するが、本発明では粘着材として、ポリアクリル酸エステル系の粘着材を用いるのが好ましい。
本発明の粘着テープで用いる、フィルムは、前述のように粘着材との相性にも依存するが、ポリアクリル酸エステル系の粘着材を用いた場合は、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン・酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリエステル等からなる単層または多層フィルムを用いるのが好ましい。このようなフィルムの具体例としては、三井化学株式会社製のイクロス（登録商標）テープ、日東電工株式会社製のエレップホルダー、リンテック株式会社製のＡｄｗｉｌｌ（登録商標）、古河電気工業株式会社製のＵＶテープＳＰシリーズやＵＶテープＵＣシリーズ、東洋化学株式会社製のエレグリップ（商標）テープなどがあげられる。
【００１３】
本発明の第２は、中央に開口部を有する円盤状基板の両面に少なくとも磁性層を形成した磁気記録媒体の表面処理方法に関し、磁気記録媒体の表面の付着物を粘着テープを用いて捕集するに際して、磁気記録媒体を中央の開口部を中心に回転させ、回転する磁気記録媒体の表面に粘着テープを接触させ、磁気記録媒体の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集するものである。
本発明の第２を、図２を用いて詳細に説明する。この発明は、磁気記録媒体１の表面の付着物を粘着テープ２を用いて捕集するに際して、磁気記録媒体１を中央の開口部を中心とし、磁気記録媒体の表面に垂直な軸で回転させ、回転する磁気記録媒体１の表面に粘着テープ２を、例えばロール３を用いて接触させ、磁気記録媒体１の少なくとも表面の付着物を粘着テープにより捕集する。磁気記録媒体１の端面も第１の発明同様に付着物を除去することができる。図２では、磁気記録媒体１を回転させるためのモータやモータシャフトを省略しているが、実際はこれらの機構が必要となる。このような機構が必要となるため、磁気記録媒体１に接触させる粘着テープ２および粘着テープ２を磁気記録媒体１に押しあてるローラ３は、図２に示すように、磁気記録媒体１の表面の半径位置のみに設けるのがその構造上好ましい。
【００１４】
図２の構成では、磁気記録媒体１を回転させ、この際、ローラ３を停止させて粘着テープ２を走行させないことも可能であるし、またローラ３を回転させて粘着テープ２を走行させることもできる。本発明では、磁気記録媒体の表面に接触させる粘着テープを走行させ、磁気記録媒体の表面の速度を、その表面に接触させる粘着テープの走行速度に対して差を設けて設定するのが好ましい。このような構成を用いることにより、磁気記録媒体表面に対して、常にきれいな粘着面を供給することが可能となり、また、磁気記録媒体表面に対して粘着テープが斥力（剪断力）を与えるため、より高い力で磁気記録媒体表面に付着した塵埃を粘着テープに捕集することができる。
本発明では、磁気記録媒体の表面の速度を、その表面に接触させる粘着テープを走行速度に対して、０．５ｍ／分〜３００ｍ／分の範囲で高く設定するのが好ましい。両者の速度をこのように設定することにより、より好ましい斥力で磁気記録媒体表面に付着した塵埃を粘着テープに捕集することができる。
本発明では、粘着テープの粘着力を０．０１Ｎ／ｃｍ〜３Ｎ／ｃｍの範囲内とするのが好ましい。粘着テープの粘着力をこのような範囲とすることにより、磁気記録媒体の表面に付着した塵埃を高い効率で除去することが可能となり、例えば０．２ミクロン以下の微細な塵埃も除去することができる。粘着力が０．０１Ｎ／ｃｍ未満では塵埃の除去作用が劣り、３Ｎ／ｃｍを越えると磁気記録媒体の表面を痛めたり、粘着物質が磁気記録媒体表面に転写される恐れがある。
【００１５】
本発明では、磁気記録媒体の表面に付着した塵埃を粘着テープを用いて捕集するに際し、磁気記録媒体の表面に予め潤滑剤を塗布するのが好ましい。本発明では、前述のように、磁気記録媒体の表面に接触させる粘着テープを走行させ、磁気記録媒体の表面の速度を、その表面に接触させる粘着テープを走行速度より高く設定し、これにより、磁気記録媒体表面に粘着テープ面からの斥力を加える。この際、磁気記録媒体の表面に潤滑剤を塗布することにより、この斥力が安定し、粘着テープ面に塵埃を効率良く付着させることが可能となる。加えて、磁気記録媒体に潤滑剤を塗布することにより、その表面の塵埃を浮かせ捕集しやすくすることができる。
本発明では、前述した磁気記録媒体の表面処理方法を実現するため、磁気記録媒体の両データ面に粘着テープを供給する機構、磁気記録媒体の両データ面に粘着テープを接触させる機構、磁気記録媒体または粘着テープを移動走行させる機構を有する磁気記録媒体の表面処理装置を用いるのが好ましい。また、磁気記録媒体の開口部を中心とし表面と垂直な軸で磁気記録媒体を回転させる機構、磁気記録媒体の両表面に粘着テープを供給する機構、磁気記録媒体の両表面に粘着テープを接触させる機構、粘着テープを走行させる機構を有する磁気記録媒体の表面処理装置を用いるのが好ましい。
【実施例】
【００１６】
（磁気記録媒体の製造）
円盤状の基板として、ＨＯＹＡ社製アモルファスガラス基板を使用した。ガラス基板のサイズは外径６５ｍｍ、内径２５ｍｍ、板厚１．２７ｍｍである。この基板にテクスチャーを施し、十分に洗浄し乾燥した後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社（日本）製Ｃ３０１０）内にセットした。真空到達度を２×１０−７Ｔｏｒｒ（２．７×１０−５Ｐａ）まで排気した後、非磁性下地層として、Ｃｒ−Ｍｎ合金（Ｃｒ：７０ａｔ％、Ｍｎ：３０ａｔ％）からなるターゲットを用いて６ｎｍ積層した。磁性層としてＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金（Ｃｏ：６０ａｔ％、Ｃｒ：２０ａｔ％、Ｐｔ：１３ａｔ％、Ｂ：７ａｔ％）からなるターゲットを用いて磁性層であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金層を１７ｎｍの膜厚で形成し、保護膜（カ−ボン）３ｎｍを積層した。成膜時のＡｒ圧は３ｍＴｏｒｒ（０．４Ｐａ）とした。その後、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑剤２ｎｍをディップ法で塗布し液体潤滑層を形成した。
【００１７】
（実施例１）
製造した磁気記録媒体について図１および図２の構造の装置を用いて塵埃の除去を行った。図１の装置では、粘着力１Ｎ／ｃｍの粘着テープ、図２の装置では粘着力０．３Ｎ／ｃｍの粘着テープを用いた。この装置で用いた粘着テープは、粘着材がポリアクリル酸エステル系であり、フィルムは三井化学株式会社製のイクロス（登録商標）テープである。図１の装置を用いた実施例では、磁気記録媒体面の送り速度と、粘着テープの送り速度を同一とし、送り速度を２００ｃｍ／分とした。また図２の装置では、磁気記録媒体の開口部に軸を挿入し、その軸を中心にして回転し、回転数を１００ｒｐｍ、粘着テープの送り速度を５０ｃｍ／分とした。なお、図１の装置での磁気記録媒体の供給は、磁気記録媒体の内端面をチャックしながら行い、装置から出てきた処理済みの磁気記録媒体についても、内端面をチャックして受け取った。図１および図２の装置共に、ロールとしてイソプロピレンゴム製、硬度３０を用い、ロール圧は、８Ｎとした。この条件で、各装置共に１００枚の磁気記録媒体を処理し、処理前、処理後に磁気記録媒体に付着している０．１ミクロン以上の塵埃の個数をカウントした。その結果、図１の装置を用いた場合には、処理前の塵埃が平均で３個／枚であったのに対し、処理後は１．５個／枚となった。また図２の装置を用いた場合は、処理前の塵埃が平均で２．５個／枚であったのに対し、処理後は０．５個／枚であった。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
クリーン度の高い磁気記録媒体の両面に付着した塵埃を効率良く除去すること、また塵埃の再付着のないことから、記録密度の高い磁気記録媒体として産業上の利用性が高い。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の磁気記録媒体の表面処理装置の概略模式図を示す。
【図２】本発明の磁気記録媒体の他の表面処理装置の概略模式図を示す。
【符号の説明】
【００２０】
１    磁気記録媒体
２    粘着テープ
３    回転ロール
【図１】
2009223948.tif 000003
【図２】
2009223948.tif 000004