(57)【要約】【課題】加熱下の描画時における熱的な膨張を抑えることにより液滴からなるパターンの加工精度を向上させたグリーンシートと、該グリーンシートを用いてパターンの加工精度を向上させたセラミック多層基板の製造方法とを提供する。【解決手段】積層シート２０は、高分子材料からなるキャリヤシート２１と、キャリヤシート２１に積層されてセラミック粒子と有機バインダとを含むグリーンシート２２とからなる。積層シート２０は、導電性インクからなる液滴を描画温度の描画面２２ａで受け、描画面２２ａに液状パターンを描画するためのシートであり、グリーンシート２２を挟んでキャリヤシート２１の側に、描画温度におけるキャリヤシート２１の膨張によって収縮する貫通孔２１ｈを備える。【選択図】図４
2009182292.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高分子材料からなるキャリヤシートと、前記キャリヤシートに積層されてセラミック粒
子と有機バインダとを含むグリーンシートとからなり、導電性インクの濡れ広がりを制限
するために加熱されて前記グリーンシートの表面で導電性インクからなる液滴を受けるこ
とにより前記グリーンシートの表面にパターンを描画可能する積層シートであって、
前記グリーンシートを挟んで前記キャリヤシートの側に、前記加熱における前記キャリ
ヤシートの膨張によって収縮する凹部を備えることを特徴とする積層シート。
【請求項２】
請求項１に記載の積層シートであって、
前記凹部は、前記キャリヤシートに形成された貫通孔であることを特徴とする積層シー
ト。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の積層シートであって、
前記凹部は、前記キャリヤシートに形成された貫通溝であることを特徴とする積層シー
ト。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の積層シートであって、
前記グリーンシートの面方向で互いに離間する複数の前記キャリヤシートを備え、
前記凹部は、隣り合う前記キャリヤシートの間の間隙であることを特徴とする積層シー
ト。
【請求項５】
キャリヤシートと、前記キャリヤシートに積層されるグリーンシートとからなる積層シ
ートを用い、導電性インクの濡れ広がりを制限するために前記積層シートを加熱して前記
グリーンシートの表面に前記導電性インクからなる液滴を吐出し、前記グリーンシートの
表面に前記導電性インクからなる液状パターンを描画する工程と、
前記液状パターンを乾燥して乾燥パターンを形成する工程と、
前記乾燥パターンを有する複数の前記グリーンシートを積層して積層体を形成し、前記
積層体を焼成することによってセラミック多層基板を形成する工程とを備えたセラミック
多層基板の製造方法であって、
前記積層シートは、
前記グリーンシートを挟んで前記キャリヤシートの側に、前記加熱における前記キャリ
ヤシートの膨張によって収縮する凹部を備えることを特徴とするセラミック多層基板の製
造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層シート、及びセラミック多層基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
低温焼成セラミック（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics ）技術は、セラ
ミック粉末と金属微粒子との一括焼成を可能にすることから、セラミックの層間に各種の
受動素子を組み込んだ素子内蔵基板を具現できる。システム・オン・パッケージ（ＳＯＰ
）の実装技術においては、電子部品の複合化や表面実装部品に発生する寄生効果の最小化
を図るため、この素子内蔵基板（以下単に、ＬＴＣＣ多層基板という。）に関わる製造方
法が鋭意開発されている。
【０００３】
ＬＴＣＣ多層基板の製造方法では、セラミッグ粉末と有機バインダとを含む複数のグリ
ーンシートの上に受動素子や配線等のパターンを描画する描画工程と、該パターンを有す
る複数のグリーンシートを積層する積層工程と、積層体を一括焼成する焼成工程とが順に
実施される。
【０００４】
描画工程においては、各種パターンの高密度化を図るため、導電性インクを微小な液滴
にして吐出する、いわゆるインクジェット法が提案されている（例えば、特許文献１）。
インクジェット法は、数ピコリットル〜数十ピコリットルの液滴を用い、液滴の吐出位置
を変更することによって、パターンの微細化や狭ピッチ化を可能にする。
【０００５】
グリーンシートは、一般的に、数十マイクロメートル〜数百マイクロメートルの厚みで
形成されている。インクジェット法においては、こうした薄いグリーンシートの取扱い性
を向上させるため、ポリエチレンテレフタレート等の高分子材料からなるキャリヤシート
と、キャリヤシートの上に積層されたグリーンシートとからなる積層シートを用い、該積
層シートに対して描画処理を実施する。
【特許文献１】特開２００５−５７１３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
インクジェット法においては、積層シートに着弾した液滴がグリーンシートの上で濡れ
広がると、微細なパターンを描画し難くなり、パターンの加工精度を著しく損なってしま
う。そこで、インクジェット法では、積層シートを所定温度に加熱しながら液滴の吐出処
理を実行し、着弾した液滴に熱量を加えることによって、液滴の濡れ広がりを抑える方法
が検討されている。
【０００７】
しかしながら、積層シートを加熱しながら吐出処理を実行すると、グリーンシートの熱
膨張に伴い、液滴の着弾位置に誤差が生じてしまう。設計寸法が数十マイクロメートルの
パターンを描画する場合には、こうした着弾位置の誤差が、セラミック多層基板の機能性
を大きく損なう要因となる。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、加熱下の描画
時における熱的な膨張を抑えることにより液滴からなるパターンの加工精度を向上させた
グリーンシートと、該グリーンシートを用いてパターンの加工精度を向上させたセラミッ
ク多層基板の製造方法とを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、積層シートを用いた加熱下における描画処理を検討する中で、キャリヤ
シートの熱的な膨張量がグリーンシートの熱的な膨張量よりも十分に大きく、加熱による
グリーンシートの変形がキャリヤシートの熱的な膨張によって誘起されることを見出した
。
【００１０】
本発明の積層シートは、高分子材料からなるキャリヤシートと、前記キャリヤシートに
積層されてセラミック粒子と有機バインダとを含むグリーンシートとからなり、導電性イ
ンクの濡れ広がりを制限するために加熱されて前記グリーンシートの表面で導電性インク
からなる液滴を受けることにより前記グリーンシートの表面にパターンを描画可能する積
層シートであって、前記グリーンシートを挟んで前記キャリヤシートの側に、前記加熱に
おける前記キャリヤシートの膨張によって収縮する凹部を備える。
【００１１】
本発明の積層シートによれば、凹部を有する分だけ、キャリヤシートの熱的な膨張を抑
えることができ、凹部が収縮する分だけ、キャリヤシートの熱的な膨張を面方向の内側へ
分散させることができる。したがって、キャリヤシートの外方への膨張が抑えられ、ひい
ては、グリーンシートの変形が抑えられる。この結果、本発明の積層シートは、グリーン
シートに着弾する液滴の位置精度を向上できることから、グリーンシートの表面に形成す
るパターンの加工精度を向上できる。
【００１２】
この積層シートの前記凹部は、前記キャリヤシートに形成された貫通孔であっても良い
。
この積層シートによれば、貫通孔が収縮することから、キャリヤシートの厚み方向の全
体にわたり、キャリヤシートの外方への膨張が抑えられる。したがって、この積層シート
は、グリーンシートの表面に形成するパターンの加工精度を、より確実に向上できる。
【００１３】
この積層シートの前記凹部は、前記キャリヤシートに形成された貫通溝であっても良い
。
この積層シートによれば、貫通溝が収縮することから、キャリヤシートの厚み方向の全
体にわたり、キャリヤシートの外方への膨張が抑えられる。したがって、この積層シート
は、グリーンシートの表面に形成するパターンの加工精度を、より確実に向上できる。
【００１４】
この積層シートは、前記グリーンシートの面方向で互いに離間する複数の前記キャリヤ
シートを備え、前記凹部が、隣り合う前記キャリヤシートの間の間隙であっても良い。
この積層シートによれば、各キャリヤシートの外方への膨張が、それぞれ隣り合う他の
キャリヤシートとの間の間隙の収縮によって抑えられる。したがって、キャリヤシートの
数量の分だけ、キャリヤシートの外方への膨張が、より一層に抑えられる。そのため、こ
の積層シートは、グリーンシートの表面に形成するパターンの加工精度を、さらに向上で
きる。
【００１５】
本発明のセラミック多層基板の製造方法は、キャリヤシートと、前記キャリヤシートに
積層されるグリーンシートとからなる積層シートを用い、導電性インクの濡れ広がりを制
限するために前記積層シートを加熱して前記グリーンシートの表面に前記導電性インクか
らなる液滴を吐出し、前記グリーンシートの表面に前記導電性インクからなる液状パター
ンを描画する工程と、前記液状パターンを乾燥して乾燥パターンを形成する工程と、前記
乾燥パターンを有する複数の前記グリーンシートを積層して積層体を形成し、前記積層体
を焼成することによってセラミック多層基板を形成する工程とを備えたセラミック多層基
板の製造方法であって、前記積層シートが、前記グリーンシートを挟んで前記キャリヤシ
ートの側に、加熱される前記キャリヤシートの膨張によって収縮する凹部を備える。
【００１６】
本発明のセラミック多層基板の製造方法によれば、キャリヤシートが凹部を有する分だ
け、キャリヤシートの熱的な膨張を抑えることができ、凹部が収縮する分だけ、キャリヤ
シートの熱的な膨張を面方向の内側へ分散させることができる。したがって、キャリヤシ
ートの外方への膨張が抑えられ、グリーンシートの変形が抑えられる。この結果、本発明
のセラミック多層基板の製造方法は、グリーンシートに着弾する液滴の位置精度を向上で
きることから、グリーンシートの表面に形成する液状パターンの加工精度を向上でき、ひ
いては、セラミック多層基板に設けられる各種パターンの加工精度を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（第一実施形態）
以下、本発明を具体化した第一実施形態を図１〜図４に従って説明する。図１は、本発
明のセラミック多層基板の製造方法を用いて製造したセラミック多層基板を有する回路モ
ジュールの断面図である。
【００１８】
図１において、回路モジュール１０は、セラミック多層基板としての低温焼成セラミッ
ク（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics ）多層基板１１と、ＬＴＣＣ多層基
板１１に接続された半導体チップ１２とを有する。
【００１９】
ＬＴＣＣ多層基板１１は、積層された複数のＬＴＣＣ基板１３を有する。各ＬＴＣＣ基
板１３は、それぞれグリーンシートの焼結体であって、厚みが数十マイクロメートル〜数
百マイクロメートルで形成されている。各ＬＴＣＣ基板１３の層間には、それぞれ抵抗素
子、容量素子、コイル素子等の各種の内部素子１４と、各内部素子１４に電気的に接続す
る内部配線１５とが内蔵され、各ＬＴＣＣ基板１３には、それぞれスタックビア構造やサ
ーマルビア構造を成すビア配線１６が形成されている。内部素子１４や内部配線１５は、
それぞれ導電性微粒子の焼結体であり、導電性インクを用いるインクジェット法によって
形成される。
【００２０】
次に、ＬＴＣＣ多層基板１１の製造方法を図２〜図４に従って説明する。図２はＬＴＣ
Ｃ多層基板１１の製造方法を示すフローチャートであり、図３は積層シートを用いた描画
工程を示す工程図である。図４（ａ）は、積層シートを裏面側から見た平面図であり、図
４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００２１】
図２において、ＬＴＣＣ多層基板１１の製造方法では、ＬＴＣＣ基板１３の前駆体であ
るグリーンシートに液状パターンを描画する描画工程（ステップＳ１１）と、液状パター
ンを乾燥する乾燥工程（ステップＳ１２）とが順に実行される。また、ＬＴＣＣ多層基板
１１の製造方法では、複数のグリーンシートを積層して積層体を形成する積層工程（ステ
ップＳ１３）と、積層体を焼成する焼成工程（ステップＳ１４）とが順に実行される。
【００２２】
図３において、描画工程では、対象物としての積層シート２０と、液滴吐出装置３０と
が用いられる。積層シート２０は、キャリヤシート２１と、キャリヤシート２１に積層さ
れたグリーンシート２２とを有する。
【００２３】
キャリヤシート２１は、描画工程や乾燥工程においてグリーンシート２２を支持するた
めのシートであり、例えばグリーンシート２２に対する剥離性や描画工程における機械的
耐性等に優れた高分子材料を用いることができる。キャリヤシート２１には、例えばポリ
エチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリエチレンフ
ィルム、ポリプロピレンフィルムを用いることができる。
【００２４】
図４において、キャリヤシート２１は、厚み方向に貫通する複数の凹部としての円形孔
（以下単に、貫通孔２１ｈと言う。）を有する。複数の貫通孔２１ｈの各々は、キャリヤ
シート２１の面方向の全体にわたり分散されている。積層シート２０においては、このキ
ャリヤシート２１とグリーンシート２２とが積重ねられることにより、グリーンシート２
２を挟んでキャリヤシート２１の側に複数の凹部が形成される。
【００２５】
複数の貫通孔２１ｈの各々は、キャリヤシート２１が加熱されるとき、キャリヤシート
２１の熱的な膨張に伴い、自身の径方向内側へ収縮する。また、キャリヤシート２１は、
複数の貫通孔２１ｈの分だけ、貫通孔２１ｈを有しない場合に比べ、その熱的な膨張量を
減少させる。そして、キャリヤシート２１は、積層シート２０が加熱されるとき、貫通孔
２１ｈを有する分だけ、また、貫通孔２１ｈが収縮する分だけ、キャリヤシート２１の面
方向の外側への膨張を抑え、これによってグリーンシート２２の変形を抑える。
【００２６】
グリーンシート２２は、セラミック粉末と有機バインダとを含むガラスセラミック組成
物からなるシートである。グリーンシート２２の膜厚は、例えば内部素子１４としてコン
デンサ素子を形成する場合に数十マイクロメートルで形成され、他の層においては１００
マイクロメートル〜２００マイクロメートルで形成される。グリーンシート２２は、ドク
ターブレード法やリバースロールコータ法等のシート成形法を用い、セラミック粒子と有
機バインダとを含むスラリーをキャリヤシート２１の上に塗布し、その塗布膜をハンドリ
ング可能な状態まで乾燥することにより得られる。
【００２７】
セラミック粉末は、例えば０．１マイクロメートル〜５．０マイクロメートルの平均粒
径を有する粉末であり、例えばアルミナやフォルステライト等のセラミック粉末にホウ珪
酸系ガラスを混合したガラス複合セラミックを用いることができる。また、セラミック粉
末としては、ＺｎＯ−ＭｇＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系の結晶化ガラスを用いた結晶化ガ
ラスセラミック、ＢａＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系セラミック粉末やＡｌ２Ｏ３−ＣａＯ
−ＳｉＯ２−ＭｇＯ−Ｂ２Ｏ３系セラミック粉末等を用いた非ガラス系セラミックを用い
ても良い。
【００２８】
有機バインダは、セラミック粉末の結合剤としての機能を有し、焼成工程において分解
して容易に除去できる有機高分子である。有機バインダとしては、例えばブチラール系、
アクリル系、セルロース系等の有機バインダ樹脂を用いることができる。アクリル系の有
機バインダ樹脂としては、例えばアルキル（メタ）アクリレート、アルコキシアルキル（
メタ）アクリレート、ポリアルキレングリコール（メタ）アクリレート、シクロアルキル
（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート化合物の単独重合体を用いることができ
る。また、アクリル系の有機バインダ樹脂としては、該（メタ）アクリレート化合物の２
種以上から得られる共重合体、あるいは（メタ）アクリレート化合物と不飽和カルボン酸
類等の他の共重合性単量体から得られる共重合体を用いることができる。なお、有機バイ
ンダは、例えばアジピン酸エステル系可塑剤、ジオクチルフタレート（ＤＯＰ）、ジブチ
ルフタレート（ＤＢＰ）フタル酸エステル系可塑剤、グリコールエステル系可塑剤等の可
塑剤を含有しても良い。
【００２９】
グリーンシート２２には、レーザ加工や打ち抜き加工によって、数十マイクロメートル
〜数百マイクロメートルの孔径からなる円形孔や円錐孔（以下単に、ビアホール２２ｈと
いう。）が貫通形成されている。ビアホール２２ｈには、導体性ペーストを用いたスキー
ジ法や導電性インクを用いたインクジェット法等によって、銀、金、銅、パラジウム等の
導電材料が前工程で充填されている。
【００３０】
図４において、各ビアホール２２ｈは、それぞれ貫通孔２１ｈを介して積層シート２０
に貫通形成されている。これによれば、積層シート２０が加熱されるとき、ビアホール２
２ｈに充填される導電材料からの気体が、貫通孔２１ｈを介し、積層シート２０の外方へ
排気される。したがって、積層シート２０が加熱されるとき、キャリヤシート２１とグリ
ーンシート２２との間における気泡の発生が抑えられ、グリーンシート２２の変形が、よ
り一層に抑えられる。
【００３１】
図３において、液滴吐出装置３０は、積層シート２０を載置するためのステージ３１と
、導電性インクＩｋを貯留するインクタンク３２と、インクタンク３２の導電性インクＩ
ｋを描画面２２ａに吐出する液滴吐出ヘッド３３とを有する。
【００３２】
ステージ３１は、積層シート２０を保持するためのステージであり、ステージ３１に載
置される積層シート２０を液滴吐出ヘッド３３に対して位置決めする。ステージ３１は、
積層シート２０を加熱するためのヒータＨを内部に有し、ヒータＨが駆動するとき、ステ
ージ３１に載置される積層シート２０を所定の温度（以下単に、描画温度と言う。）に加
熱する。なお、描画温度とは、導電性インクＩｋからなる液滴Ｄがグリーンシート２２に
着弾するとき、着弾後の液滴Ｄが所定のサイズ以上に濡れ広がらないようにするための温
度であって、グリーンシート２２に対する導電性インクＩｋの接触角等に応じて適宜選択
される温度である。また、描画温度とは、例えば６０℃であって、キャリヤシート２１の
過剰な熱的変形を抑えるため、キャリヤシート２１の熱変形温度よりも低い温度である。
【００３３】
導電性インクＩｋは、導電性微粒子Ｓを分散媒Ｆに分散させた導電性微粒子Ｓの分散系
であり、微小な液滴Ｄを吐出可能にするために、その粘度が２０ｃＰ以下に調整されてい
る。導電性微粒子Ｓは、数ナノメートル〜数十ナノメートルの粒径を有する微粒子であり
、例えば金、銀、銅、白金、パラジウム、ロジウム、オスミウム、ルテニウム、イリジウ
ム、鉄、錫、コバルト、ニッケル、クロム、チタン、タンタル、タングステン、インジウ
ム等の金属、あるいはこれらの合金を用いることができる。分散媒Ｆは、導電性微粒子Ｓ
を均一に分散させるものであれば良く、例えば水や水を主成分とする水溶液系、あるいは
テトラデカン等の有機溶剤を主成分とする有機系を用いることができる。
【００３４】
液滴吐出ヘッド３３は、インクタンク３２に連通するキャビティ３４と、キャビティ３
４に連通するノズル３５と、キャビティ３４に連結される圧力発生素子３６とを有する。
キャビティ３４は、インクタンク３２からの導電性インクＩｋを受けてノズル３５に導電
性インクＩｋを供給する。ノズル３５は、数十マイクロメートルの開口を有するノズルで
あり、インクタンク３２からの導電性インクＩｋを収容する。圧力発生素子３６は、キャ
ビティ３４の容積を変更する圧電素子や静電容量素子、あるいはキャビティ３４の温度を
変更する抵抗加熱素子であり、キャビティ３４の内部に所定圧力を発生させる。圧力発生
素子３６が駆動するとき、ノズル３５は、導電性インクＩｋの気液界面（メニスカス）を
振動させ、該導電性インクＩｋを数ピコリットル〜数十ピコリットルの液滴Ｄにして吐出
する。
【００３５】
描画工程においては、描画温度に加熱される積層シート２０と液滴吐出ヘッド３３とが
積層シート２０の一つの方向に沿って相対移動する。ノズル３５からの複数の液滴Ｄは、
それぞれグリーンシート２２の上面（以下単に、描画面２２ａと言う。）に順に着弾し、
隣接する他の液滴Ｄと合一することにより、連続する液状パターンＰを形成する。この際
、積層シート２０の温度が描画温度であることから、液状パターンＰは、分散媒Ｆの一部
の蒸発によって増粘し、その濡れ広がりが制限される。そして、積層シート２０の加熱に
伴い貫通孔２１ｈが収縮することから、キャリヤシート２１の外方への膨張が抑えられ、
ひいては、グリーンシート２２の変形が抑えられる。この結果、積層シート２０は、グリ
ーンシート２２に着弾する液滴Ｄの位置精度を向上できることから、描画面２２ａに形成
する液状パターンＰの加工精度を向上できる。
【００３６】
乾燥工程においては、描画工程後の積層シート２０が乾燥炉等の乾燥装置に搬入され、
液状パターンＰを有する状態で所定温度（以下単に、乾燥温度と言う。）に加熱される。
乾燥工程では、液状パターンＰの乾燥が促進され、液状パターンＰの分散媒Ｆの殆どが蒸
発することから、導電性微粒子Ｓの集合体からなるパターン（以下単に、乾燥パターンと
言う。）が描画面２２ａに形成される。
【００３７】
なお、乾燥温度が過剰に高くなると、キャリヤシート２１とグリーンシート２２とが熱
変形を来たし、積層工程時における他の積層シート２０との位置精度が損なわれてしまう
。そこで、乾燥温度は、例えば４０℃〜８０℃であり、積層工程時の位置精度を確保でき
るように、積層シート２０の組成や導電性インクＩｋの組成に応じて適宜選択される。
【００３８】
積層工程においては、まず、複数の積層シート２０の各々からキャリヤシート２１が剥
がされる。複数のグリーンシート２２の各々は、乾燥パターンを有する状態で順に積層さ
れ、複数のグリーンシート２２からなる積層体を形成する。複数のグリーンシート２２か
らなる積層体は、静水圧プレス法等を用いることによって圧着される。
【００３９】
焼成工程においては、積層工程で得られる積層体が所定の焼成炉に搬入されて焼成され
る。焼成温度は、例えば８００℃〜１０００℃であって、グリーンシート２２の組成に応
じて適宜変更される。乾燥パターンとしてＣｕを用いる場合には、酸化防止のため還元雰
囲気中で焼成するのが好ましい。銀、金、白金、パラジウム等を用いる場合には大気中で
焼成しても良い。焼成工程では、積層工程における静水圧よりも小さい圧力で積層体を加
圧しながら焼成しても良い。これによれば、ＬＴＣＣ多層基板１１の平坦性が向上され、
各グリーンシート２２の反りや剥離を防止できる。
【００４０】
次に、上記のように構成した一実施形態の効果を以下に記載する。
（１）第一実施形態における積層シート２０は、グリーンシート２２を支持するキャリ
ヤシート２１に、描画温度におけるキャリヤシート２１の膨張によって収縮する貫通孔２
１ｈを備える。したがって、積層シート２０は、貫通孔２１ｈを有する分だけ、また、貫
通孔２１ｈが収縮する分だけ、描画温度におけるキャリヤシート２１の外方への膨張を抑
えられ、ひいては、グリーンシート２２の変形を抑えられる。この結果、積層シート２０
は、グリーンシート２２に着弾する液滴Ｄの位置精度を向上できることから、描画面２２
ａに形成する液状パターンＰの加工精度を向上できる。
【００４１】
（２）また、複数の貫通孔２１ｈの各々が、キャリヤシート２１の厚み方向の全体にわ
たり径方向内側へ収縮することから、キャリヤシート２１の外方への膨張が、キャリヤシ
ート２１の厚み方向の全体にわたり、より均一に抑えられる。したがって、積層シート２
０は、描画面２２ａに形成する液状パターンＰの加工精度を、より確実に向上できる。
【００４２】
（３）しかも、描画時におけるグリーンシート２２やビアホール２２ｈからの脱ガスが
、貫通孔２１ｈを介し、積層シート２０の外方へ排気される。したがって、キャリヤシー
ト２１とグリーンシート２２との間における気泡の発生が抑えられ、グリーンシート２２
の変形が、より確実に回避される。
【００４３】
（４）上記実施形態におけるＬＴＣＣ多層基板１１の製造方法は、積層シート２０を描
画温度へ加熱して液状パターンＰの濡れ広がりを制限させると共に、描画温度におけるキ
ャリヤシート２１の膨張によって貫通孔２１ｈを収縮させる。したがって、描画工程にお
いては、貫通孔２１ｈが収縮する分だけ、キャリヤシート２１の外方への膨張が抑えられ
、グリーンシート２２の変形が抑えられる。この結果、描画面２２ａに形成する液状パタ
ーンＰの加工精度を向上でき、ひいては、ＬＴＣＣ多層基板１１に形成する内部素子１４
や内部配線１５の加工精度を向上できる。
（第二実施形態）
以下、本発明を具体化した第二実施形態を図５に従って説明する。第二実施形態は、第
一実施形態のキャリヤシート２１を変更したものである。そのため、以下においては、そ
の変更点について詳しく説明する。図５（ａ）は、第二実施形態の積層シート２０を裏面
側から見た平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００４４】
図５において、キャリヤシート２１は、その厚み方向に貫通する凹部としての貫通溝２
１ｓを有する。貫通溝２１ｓは、キャリヤシート２１の面方向の全体にわたり九十九折状
に形成されている。積層シート２０においては、貫通溝２１ｓを有するキャリヤシート２
１とグリーンシート２２とが積重ねられることにより、グリーンシート２２を挟んでキャ
リヤシート２１の側に複数の凹部が形成される。
【００４５】
貫通溝２１ｓは、キャリヤシート２１が加熱されるとき、キャリヤシート２１の熱的な
膨張に伴い、溝内側へ収縮する。また、キャリヤシート２１は、貫通溝２１ｓの分だけ、
貫通溝２１ｓを有しない場合に比べ、その熱的な膨張量を減少させる。そして、積層シー
ト２０は、描画温度に加熱されるとき、貫通溝２１ｓを有する分だけ、また、貫通溝２１
ｓが収縮する分だけ、キャリヤシート２１の面方向の外側への膨張を抑え、これによって
グリーンシート２２の変形を抑えられる。
【００４６】
（５）第二実施形態における積層シート２０は、貫通溝２１ｓがキャリヤシート２１の
厚み方向の全体にわたり収縮することから、キャリヤシート２１の外方への膨張が、キャ
リヤシート２１の厚み方向の全体にわたり、より均一に抑えられる。したがって、積層シ
ート２０は、描画面２２ａに形成する液状パターンＰの加工精度を、より確実に向上でき
る。
【００４７】
（６）また、積層シート２０は、貫通溝２１ｓの延びる方向（図５の左右方向）の略全
幅にわたる凹部を有することから、グリーンシート２２における同左右方向の変形を、よ
り確実に抑えられる。
（第三実施形態）
以下、本発明を具体化した第三実施形態を図６に従って説明する。第三実施形態は、第
一実施形態のキャリヤシート２１を変更したものである。そのため、以下においては、そ
の変更点について詳しく説明する。図６（ａ）は、第三実施形態の積層シート２０を裏面
側から見た平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００４８】
図６において、積層シート２０は、複数のキャリヤシート２１を有する。複数のキャリ
ヤシート２１は、それぞれ図６の左右方向に延びる三角板状に形成されて、互いに離間す
るようにキャリヤシート２１に取り付けられている。積層シート２０においては、複数の
キャリヤシート２１の各々が互いに離間することにより、グリーンシート２２を挟んでキ
ャリヤシート２１の側に凹部としての複数の貫通溝２１ｓが形成される。
【００４９】
複数の貫通溝２１ｓの各々は、積層シート２０が加熱されるとき、キャリヤシート２１
の熱的な膨張に伴い、溝の内側へ収縮する。また、複数のキャリヤシート２１の各々は、
そのサイズが小さくなる分だけ、その熱的な膨張量を減少させる。そして、積層シート２
０は、描画温度に加熱されるとき、キャリヤシート２１の数量の分だけ、また、複数の貫
通溝２１ｓの各々が収縮する分だけ、グリーンシート２２の変形を抑えられる。
【００５０】
（７）第三実施形態における積層シート２０は、各キャリヤシート２１の外方への膨張
が、それぞれ隣り合う他のキャリヤシート２１との間の間隙の収縮によって抑えられる。
したがって、キャリヤシート２１の数量の分だけ、キャリヤシート２１の外方への膨張が
、より一層に抑えられる。そのため、積層シート２０は、描画面２２ａに形成する液状パ
ターンＰの加工精度を、さらに向上できる。
【００５１】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態において、各ビアホール２２ｈにおけるキャリヤシート２１の側は、そ
れぞれ貫通孔２１ｈを介して、外方に開放される。これに限らず、各ビアホール２２ｈに
おけるキャリヤシート２１の側は、それぞれキャリヤシート２１によって閉ざされる構成
であっても良い。これによれば、貫通孔２１ｈの有無に関わらず、ビアホール２２ｈへ導
電性材料を円滑に充填できる。すなわち、積層シート２０は、グリーンシート２２を挟ん
でキャリヤシート２１の側に、描画温度におけるキャリヤシート２１の膨張によって収縮
する凹部を備える構成であれば良い。
【００５２】
・上記実施形態において、ビアホール２２ｈは、液状パターンＰが形成された後に形成
される構成であっても良い。
・上記第一実施形態における貫通孔２１ｈは円形孔であるが、これに限らず、図７に示
すように、矩形孔であっても良い。
【００５３】
・上記第二実施形態におけるキャリヤシート２１は、九十九折状の貫通溝２１ｓを有す
るが、これに限らず、キャリヤシート２１は、直線状や渦巻き状の貫通溝２１ｓを有する
構成であっても良い。
【００５４】
・上記第二実施形態におけるキャリヤシート２１は、貫通溝２１ｓに加えて、さらに第
一実施形態に示す貫通孔２１ｈを有する構成であっても良い。
・上記第三実施形態における各キャリヤシート２１は三角板状であるが、これに限らず
図８に示すように、短冊状であっても良い。また、隣接するキャリヤシート２１が、キャ
リヤシート２１と異なる形状からなる連結シート２６を介して連結される構成であっても
良い。
【００５５】
・上記第三実施形態におけるキャリヤシート２１は、第一実施形態に示す貫通孔２１ｈ
、又は第二実施形態に示す貫通溝２１ｓを有する構成であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】回路モジュールを示す断面図。
【図２】セラミック多層基板の製造方法を示すフローチャート。
【図３】セラミック多層基板の製造方法を示す工程図。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ積層シートを示す平面図、断面図。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ第二実施形態の積層シートを示す平面図、断面図。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ第三実施形態の積層シートを示す平面図、断面図。
【図７】変更例の積層シートを示す平面図。
【図８】変更例の積層シートを示す図。
【符号の説明】
【００５７】
Ｄ…液滴、Ｉｋ…導電性インク、Ｐ…液状パターン、１１…セラミック多層基板として
のＬＴＣＣ多層基板、２０…積層シート、２１…キャリヤシート、２１ｈ…凹部としての
貫通孔、２１ｓ…凹部としての貫通溝、２２…グリーンシート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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