(57)【要約】【課題】グリーンシートとキャリアフィルムとからなる複合シートが貫通孔を有する場合もキャリアフィルムのみを確実に剥離できるようにする。【解決手段】グリーンシート3がキャリアフィルム4上に形成され少なくとも１つの貫通孔5が設けられている複合シート12からキャリアフィルム4を剥離する際に、貫通孔5を閉塞する密閉用フィルム8をキャリアフィルム4上に配置し、当該複合シート12をグリーンシート3が接するように保持部材1の多孔質板2に吸着固定する複合シート固定工程と、保持部材1上に固定されたグリーンシート3からキャリアフィルム4の端部をキャリアフィルム剥離機構9により剥離する第１の剥離工程と、キャリアフィルム4の剥離端部をそれと一体に剥離された密閉用フィルム8の端部とともにクランピング機構17によりクランプするクランピング工程と、クランプされたキャリアフィルム4をグリーンシート3から完全に剥離する第２の剥離工程とを行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリーンシートがキャリアフィルム上に形成され少なくとも１つの貫通孔が設けられている複合シートの内、前記キャリアフィルムを剥離する際に、前記貫通孔を閉塞する密閉用フィルムを前記複合シートのキャリアフィルム上に配置し、当該複合シートを保持部材に吸着固定する複合シート固定工程と、前記保持部材上に固定された複合シートからキャリアフィルムの端部を分離する第１の剥離工程と、前記キャリアフィルムの分離端部をそれと一体に分離された前記密閉用フィルムの端部とともにクランプするクランピング工程と、前記クランプされたキャリアフィルムをグリーンシートから完全に剥離する第２の剥離工程とを行うキャリアフィルム剥離方法。
【請求項２】
第１の剥離工程では、キャリアフィルムを貫通孔の手前の位置まで分離する請求項１に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項３】
密閉用フィルムは、キャリアフィルムの分離開始部分を覆わない形状である請求項１に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項４】
グリーンシートがキャリアフィルム上に形成され少なくとも１つの貫通孔が設けられている複合シートの内、前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離装置であって、前記貫通孔を閉塞する密閉用フィルムが前記キャリアフィルム上に配置され、該キャリアフィルムを外向きにして設置される複合シートを吸着固定する保持部材と、前記保持部材上に固定された複合シートからキャリアフィルムを端部より順に分離するキャリアフィルム剥離機構と、前記キャリアフィルムの分離端部をそれと一体に分離された前記密閉用フィルムの端部とともにクランプするクランピング機構とを有するキャリアフィルム剥離装置。
【請求項５】
保持部材の吸着固定部が多孔質板である請求項４に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項６】
保持部材の負圧量を検出する圧力センサと、前記圧力センサの検出結果を基に、密閉用フィルムが複合シートに密着するとともに当該複合シートが保持部材に密着したときを判断し、キャリアフィルム剥離機構に対して分離開始を指令する制御機構とを有する請求項４記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項７】
複合シートからの反射光量を基にキャリアフィルム面とグリーンシート面とを検出する複合シート検出センサと、前記複合シート検出センサの検出結果を基に、キャリアフィルムが所定位置まで分離されたときを判断し、クランピング機構に対してクランプ開始を指令する制御機構とを有する請求項４記載のキャリアフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はグリーンシートに付着したキャリアフィルムを剥離するキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、セラミック多層基板の製造においてはシート積層法が用いられている。たとえば、キャリアフィルム上にスラリーから長尺帯状にグリーンシートを成膜し、そのキャリアフィルムとグリーンシートとからなる複合シートを所定形状に枠抜きすると共に、該グリーンシートにビアホール等を穿設し、ビアホールの穴埋め、配線パターンの印刷等を行った後に、キャリアフィルムのみを剥離し、同様にして加工された他のグリーンシートと積層・一体化し、焼成等を行っている。 
【０００３】
上記のようにキャリアフィルムのみを剥離するときには、キャリアフィルム剥離装置を用いている。すなわち、キャリアフィルム剥離装置に設けられた多孔質の載架台に複合シートをキャリアフィルムを上面にして置き、載架台内に設けられた真空引きチャンバーにより真空吸引して複合シートを固定した後、外周面に粘着剤を付与した巻取りローラをキャリアフィルムの上面の一端に押し当て他端側へ転動させることにより、キャリアフィルムを巻取りローラに巻き取って剥離している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−３０２５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
セラミック多層基板に凹部を持たせる場合、たとえば半導体チップを内部に収納する凹部を有する形状とする場合には、貫通孔を持ったグリーンシートと持たないグリーンシートとを積層しており、貫通孔を持ったグリーンシートについては、複合シートの状態で貫通孔を形成してからキャリアフィルムを剥離して積層する必要がある。
【０００５】
しかしこのときに、従来と同様にして、貫通孔を形成した複合シートを載架台に固定してキャリアフィルムを剥離しようとすると、載架台上に保持するための真空吸引力が貫通孔からの漏れにより低下し、複合シート、つまりはグリーンシートの載架台への吸着力がキャリアフィルムとグリーンシートとの接着力よりも低くなることがある。剥離開始時には剥離途中よりも強い剥離力が必要であり、そのときにグリーンシートが載架台へ十分に吸着されていないと、グリーンシート自体が載架台から離れ、キャリアフィルムを剥離することができない。
【０００６】
本発明は上記問題を解決するもので、複合シートが貫通孔を有する場合もキャリアフィルムのみを確実に剥離できるキャリアフィルム剥離方法及びキャリアフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のキャリアフィルム剥離方法は、グリーンシートがキャリアフィルム上に形成され少なくとも１つの貫通孔が設けられている複合シートの内、前記キャリアフィルムを剥離する際に、前記貫通孔を閉塞する密閉用フィルムを前記複合シートのキャリアフィルム上に配置し、当該複合シートを保持部材に吸着固定する複合シート固定工程と、前記保持部材上に固定された複合シートからキャリアフィルムの端部を分離する第１の剥離工程と、前記キャリアフィルムの分離端部をそれと一体に分離された前記密閉用フィルムの端部とともにクランプするクランピング工程と、前記クランプされたキャリアフィルムをグリーンシートから完全に剥離する第２の剥離工程とを行うことを特徴とする。
【０００８】
第１の剥離工程では、キャリアフィルムを貫通孔の手前の位置まで分離することが都合よい。密閉用フィルムは、キャリアフィルムの分離開始部分を覆わない形状であることが都合よい。
【０００９】
本発明のキャリアフィルム剥離装置は、グリーンシートがキャリアフィルム上に形成され少なくとも１つの貫通孔が設けられている複合シート内、前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離装置であって、前記貫通孔を閉塞する密閉用フィルムが前記キャリアフィルム上に配置され、該キャリアフィルムを外向きにして設置される複合シートを吸着固定する保持部材と、前記保持部材上に固定された複合シートからキャリアフィルムを端部より順に分離するキャリアフィルム剥離機構と、前記キャリアフィルムの分離端部をそれと一体に分離された前記密閉用フィルムの端部とともにクランプするクランピング機構とを有する構成としたことを特徴とする。保持部材の吸着固定部が多孔質板であるのが都合よい。
【００１０】
保持部材の負圧量を検出する圧力センサと、前記圧力センサの検出結果を基に、密閉用フィルムが複合シートに密着するとともに当該複合シートが保持部材に密着したときを判断し、キャリアフィルム剥離機構に対して分離開始を指令する制御機構とを有することが都合よい。
【００１１】
複合シートからの反射光量を基にキャリアフィルム面とグリーンシート面とを検出する複合シート検出センサと、前記複合シート検出センサの検出結果を基に、キャリアフィルムが所定位置まで分離されたときを判断し、クランピング機構に対してクランプ開始を指令する制御機構とを有することが都合よい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置によれば、貫通孔を有する複合シートでも、保持部材に対する吸着力低下を密閉用フィルムによって抑えて、キャリアフィルムのみを確実に剥離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の一実施形態のキャリアフィルム剥離装置の概略全体構成を示す。
処理対象の複合シート１２は、グリーンシート３がキャリアフィルム４上に形成されてなり、図２にも示すように、複数の貫通孔５を有している。貫通孔５が少なくとも１つあれば、このキャリアフィルム剥離装置による処理が望ましい。
【００１４】
複合シート１２のキャリアフィルム４上には、貫通孔５を閉塞する密閉用フィルム８が配置されている。この密閉用フィルム８は、キャリアフィルム４と同等、望ましくはより柔らかい材料を用いて、キャリアフィルム４の剥離開始部分を覆わない形状に、たとえば角部に面取りを施して形成される。キャリアフィルム４及び密閉用フィルム８の材料には樹脂フィルム、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）が用いられる。
【００１５】
キャリアフィルム剥離装置は、複合シート１２をキャリアフィルム４を外向きにして固定するための保持部材１と、キャリアフィルム４を端部から分離（剥離）するためのキャリアフィルム剥離機構９と、キャリアフィルム４の分離端部をそれと一体に分離される密閉用フィルム８の端部と一緒にクランプするクランピング機構１７と、キャリアフィルム剥離機構９，クランピング機構１７などの動作を制御する制御機構１９とを有している。
【００１６】
保持部材１は、通気性の多孔質板２と、多孔質板２の背面側に空間を形成するホルダー部６とを有し、ホルダー部６に形成された孔１０に接続する真空ポンプ７によって多孔質板２を通して負圧が得られるように設計されていて、多孔質板２上に設置される複合シート１２を吸着して固定することができる。
【００１７】
ホルダー部６の孔１０と真空ポンプ７との間の経路には圧力センサ１１が設けられている。多孔質板２の近傍には、複合シート１２の反射光量を基にキャリアフィルム４の面とグリーンシート３の面とを検出する物体検出センサ１３が設けられている。
【００１８】
キャリアフィルム剥離機構９は、キャリアフィルム吸引部１４と図示しない駆動部とを具備し、剥離駆動部１６上に軸１６ａ廻りに回転自在に設けられており、キャリアフィルム吸引部１４は、図示した位置とキャリアフィルム４の所定の端部に接触する位置とにわたって移動される。このキャリアフィルム剥離機構９には、吸引以外の手段、たとえば粘着手段を用いてもよい。
【００１９】
クランピング機構１７は、この紙面と交わる方向に長く延びているクランプ部１８と図示しない駆動部とを具備し、剥離駆動部１６上にこの紙面と交わる方向に移動自在に設けられており、クランプ部１８は、多孔質板２よりも奥側（あるいは手前側）の待機位置と、キャリアフィルム吸引部１４によって吸引され分離されてくるキャリアフィルム４の端部をクランプ可能な位置とにわたって移動される。
【００２０】
剥離駆動部１６は、多孔質板２よりも奥側（あるいは手前側）に同多孔質板２に対して斜め方向に配置されたガイドレール１５に沿って移動するように構成されている。
制御機構１９は、圧力センサ１１から検知信号を受ける密閉用フィルム密着判断部２０と、物体検出センサ１３から検知信号を受けるキャリアフィルム剥離検知機構２１と、これら密閉用フィルム密着判断部２０，キャリアフィルム剥離検知機構２１から密閉用フィルム密着信号，キャリアフィルム分離信号を受ける剥離制御部２２とを有しており、この剥離制御部２２から、キャリアフィルム剥離機構９，クランピング機構１７，剥離駆動部１５に対して制御信号が出力される。
【００２１】
上記のキャリアフィルム剥離装置によるキャリアフィルム剥離方法を、図３および図４をも参照しながら説明する。図４については単にステップＳ１、・・・、Ｓ１４と記す。
図３ａに示すように、保持部材１の多孔質板２上に複合シート１２が設置されるとともに、複合シート１２のキャリアフィルム４上に密閉用フィルム８が配置される。
【００２２】
密閉用フィルム８の配置後に真空ポンプ７によって多孔質板２に負圧が与えられて、複合シート１２および密閉用フィルム８の密着が開始される（ステップＳ１）。つまり、多孔質板２の通気孔を通じて与えられる負圧によって複合シート１２が多孔質板２に吸着されるとともに、貫通孔５を通じて与えられる負圧によって密閉用フィルム８が複合シート１２上に吸着され、この密閉用フィルム８によって貫通孔５からの吸引漏れが減少するに伴って、複合シート１２，密閉用フィルム８がそれぞれ多孔質板２，複合シート１２に密着される。
【００２３】
このときに、圧力センサ１１が多孔質板２の背面側の負圧を測定し、測定結果を密閉用フィルム密着判断部２０へと信号出力しており（ステップＳ２）、密閉用フィルム密着判断部２０は、圧力センサ１１の測定結果をもとに、密閉用フィルム８が複合シート１２へ密着され、複合シート１２が多孔質板２上に固定されているかを判断し、密着固定されていると判断したときに密閉用フィルム密着信号を剥離制御部２２に出力する（ステップＳ３）。
【００２４】
本実施形態では、圧力センサ１１に真空用圧力スイッチ（製品品番ＺＳＥ３０、ＳＭＣ社）を用い、約―５ｋＰａの時は多孔質板２上に複合シート１２が存在しないと判断し、約―６０ｋＰａの時に、密閉用フィルム８・複合シート１２が多孔質板２上に密着固定されていると判断して剥離制御部２２に信号出力するようにした。この密着状態の判断基準とする値は、多孔質板２の平均孔径や複合シート１２の面積等を加味して適宜最適な値を選択すればよく、圧力センサ１１も同様の機能を果たすものであればよい。
【００２５】
密閉用フィルム密着信号を受けた剥離制御部２２は、キャリアフィルム剥離機構９，剥離駆動部１５に対して、キャリアフィルム４の分離（剥離）を指示する（ステップＳ４）。
【００２６】
それによりキャリアフィルム剥離機構９がキャリアフィルム４の分離を開始する（ステップＳ５）。つまり、複合シート１２に密閉用フィルム８が密着した状態で、キャリアフィルム吸引部１４が移動されてキャリアフィルム４の端部に接触し、そこでキャリアフィルム４の端部を吸引保持したキャリアフィルム吸引部１４が、図１ｂに示すように多孔質板２から遠ざかる方向に移動され、それに伴ってキャリアフィルム４がグリーンシート３から剥離される。密閉用フィルム８はキャリアフィルム４と一体に剥離される。
【００２７】
このときに物体検出センサ１３は複合シート１２の表面からの反射光を非接触でモニターしており、その反射光からキャリアフィルムの分離の検出したときに、検知信号をキャリアフィルム剥離検知機構２１へと出力する（ステップＳ６）。
【００２８】
本実施形態では、物体検出センサ１３に光電センサ（製品番号ＣＺ−Ｖ２０、ＫＥＹＥＮＣＥ社）を使用し、複合シート１２の最も端部寄りの貫通孔５のさらに端部寄りの位置（貫通孔５に近接した位置）からの反射光をモニターして、キャリアフィルム４の表面からの反射光とグリーンシート３の表面からの反射光の違いを検出するようにした。具体的には、モニター位置での反射光がグリーンシート３の表面からの反射光であるかを検出するようにした。ただしこれに限るのもではなく、検出すべき物体の表面反射光を非接触で検出し、キャリアフィルム４の表面状態とグリーンシート３の表面状態との差が判別できる機能を有するものであればよい。
【００２９】
物体検出センサ１３からの検知信号を受けたキャリアフィルム剥離検知機構２１は、グリーンシート３の表面状態であると判断し、詳しくは貫通孔５の直前の位置までグリーンシート３の表面状態であると判断し、キャリアフィルム分離信号を剥離制御部２２に出力する（ステップＳ７）。
【００３０】
剥離制御部２２は、キャリアフィルム剥離機構９，剥離駆動部１５に対して、キャリアフィルム４の分離停止を指示し（ステップＳ８）、分離停止（ステップＳ９）の後、クランピング機構１７に対して、キャリアフィルム４と密閉用フィルム８の分離部分を挟んで保持するよう指示する（ステップＳ１０）。それによりクランピング機構１７が移動し、図１ｃに示すようにクランプ１８が閉じて、キャリアフィルム４および密閉用フィルム８の分離部分を同時に挟み込む（ステップＳ１１）。
【００３１】
その後に剥離制御部２２は、キャリアフィルム剥離機構９，剥離駆動部１５，クランピング機構１７に対して、キャリアフィルム４の完全剥離を指示する（ステップＳ１２）。それにより剥離駆動部１５がガイドレール１５に沿って下方へ移動し、それに伴われてキャリアフィルム剥離機構９，クランピング機構１７が移動して、図１ｄに示すように、キャリアフィルム４，密閉用フィルム８の完全剥離を開始する（ステップＳ１３）。
【００３２】
剥離駆動部１５が移動し終えたときには、キャリアフィルム４，密閉用フィルム８は完全剥離されているように予め設定されており、その時点で、図１ｅに示すように、キャリアフィルム剥離機構９，剥離駆動部１５が停止され、キャリアフィルム吸引部１４は吸引を止め、クランプ１８が開いて、キャリアフィルム４および密閉用フィルム８は同時に廃棄される（ステップＳ１４）。
【００３３】
以上のように、本発明のキャリアフィルム剥離装置、キャリアフィルム剥離方法によれば、密閉用フィルム８によって複合シート１２の貫通孔５を塞ぐようにしたことにより、貫通孔５からの吸引漏れによる吸着力の低下を防ぎ、剥離途中よりも強い剥離力を必要とする剥離開始時も保持部材１からグリーンシート３が離れることなく、キャリアフィルム４のみを確実に剥離することができる。
【００３４】
またクランピング機構１７によってキャリアフィルム４と密閉用フィルム８とを一緒にクランプした状態で剥離を行うようにしたので、剥離途中での密閉用フィルム８の不本意な落下を防止することができ、任意の位置で廃棄することができる。キャリアフィルム剥離機構９とクランピング機構１７の動作は、剥離及び廃棄を円滑に行うように剥離制御部２２によって制御される。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明にかかるキャリアフィルム剥離方法及びキャリアフィルム剥離装置は、キャリアフィルムとグリーンシートとからなる複合シートが貫通孔を有している場合もキャリアフィルムのみを確実に剥離できるもので、セラミック多層基板の製造に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施形態のキャリアフィルム剥離装置の概略全体構成図
【図２】処理対象の複合シートの一例の平面図
【図３】図１のキャリアフィルム剥離装置によるキャリアフィルム剥離方法を説明する工程断面図
【図４】図１のキャリアフィルム剥離装置によるキャリアフィルム剥離方法を説明するフローチャート
【符号の説明】
【００３７】
１  保持部材
２  多孔質板
３  グリーンシート
４  キャリアフィルム
５  貫通孔
７  真空ポンプ
８  密閉用フィルム
９  キャリアフィルム剥離機構
１１  圧力センサ
１２  複合シート
１３  物体検出センサ
１４  キャリアフィルム吸引部
１５  剥離駆動部
１７  クランピング機構
１９  制御機構
２０  密閉用フィルム密着判断部
２１  キャリアフィルム剥離検知機構
２２  剥離制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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