(57)【要約】      （修正有）【課題】高密度多Ｉ／Ｏ数のリラウトに対しチャネル問題を大幅に緩和し、導体ロス及びクロストークを低減でき、そして設計プロセスを短縮及び単純化できるフリップチップ実装用多層配線基板を提供する。【解決手段】配線層２，４と絶縁層３，６とが交互に積層され、その一面側に電子部品と接続するためのパッド２２と、該パッドと前記配線層とを接続するワイヤ５とを有した多層配線基板において、その多層配線基板に、樹脂材料１１が充填された貫通孔９が設けられており、かつ前記パッドの少なくとも一部分が前記樹脂材料上に形成され、前記ワイヤの少なくとも一部が前記樹脂材料中に包含されているように、構成する。【選択図】図４
2009135221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線層と絶縁層とが交互に積層され、その一面側に電子部品と接続するためのパッドと、該パッドと前記配線層とを接続するワイヤとを有した多層配線基板であって、
前記多層配線基板に、樹脂材料が充填された貫通孔が設けられており、かつ前記パッドの少なくとも一部が前記樹脂材料上に形成され、前記ワイヤの少なくとも一部が前記樹脂材料中に包含されていることを特徴とする多層配線基板。
【請求項２】
前記貫通孔は、少なくとも前記パッドが設けられた領域を、前記貫通孔内に包含するように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の多層配線基板。
【請求項３】
前記ワイヤは、導体金属の線材からなるか、導体金属の線材とその外周面を被覆した絶縁被覆層とからなるか、導体金属の線材とその外周面を順次被覆した絶縁被覆層及び導体層とからなることを特徴とする請求項１又は２に記載の多層配線基板。
【請求項４】
前記ワイヤは、導体金属の線材とその外周面を順次被覆した絶縁被覆層及び導体層とからなり、かつ該同軸構造のワイヤにおいて、該ワイヤの外径Ｄ１に対する導体層の内径Ｄ０の比は、１：３〜６の範囲であることを特徴とする請求項１又は２に記載の多層配線基板。
【請求項５】
前記貫通孔には有機樹脂材料が充填されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の多層配線基板。
【請求項６】
前記有機樹脂材料は、金属粒子分散型有機樹脂材料であることを特徴とする請求項５に記載の多層配線基板。
【請求項７】
前記有機樹脂材料は、低弾性率の有機樹脂材料であることを特徴とする請求項５に記載の多層配線基板。
【請求項８】
前記多層配線基板において、その配線層どうしが垂直配線部によって電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の多層配線基板。
【請求項９】
請求項１に記載の多層配線基板を製造する方法であって、
電子部品と電気的に接続するためのパッドを形成するパッド形成部位に対応する位置に貫通孔が設けられ、配線層と絶縁層とが交互に積層された多層配線基板を準備する工程と、
電子部品と電気的に接続するためのパッド及び多層配線基板と電気的に接続するための配線パターンをそれぞれ形成する位置を所定の部位に備えた金属箔を準備する工程と、
前記多層配線基板と前記金属箔とを接合する工程と、
前記金属箔の前記パッドを形成する部位と前記多層配線基板の配線層とをワイヤによって電気的に接続する工程と、
前記貫通孔に樹脂材料を充填する工程と、
前記金属箔をパターニングし、前記所定の部位に前記パッド及び前記配線パターンを形成する工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする多層配線基板の製造方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の多層配線基板を製造する方法であって、
電子部品と電気的に接続するためのパッド及び得られる多層配線基板において最外層の配線層となる配線パターンをそれぞれ形成する位置を所定の部位に備えた金属箔を準備する工程と、
前記金属箔に、前記パッドが形成される部位が開口された開口部を備えた絶縁層を積層する工程と、
前記絶縁層上に配線層を形成する工程と、
前記金属箔の前記パッドを形成する部位と前記配線層とをワイヤによって電気的に接続する工程と、
前記開口部に樹脂材料を充填する工程と、
前記金属箔をパターニングし、前記所定の部位に前記パッド及び前記配線パターンを形成する工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする多層配線基板の製造方法。
【請求項１１】
前記金属箔に絶縁層を積層する工程と、前記絶縁層上に配線層を形成する工程とを複数回にわたって繰り返すことで多層配線基板を形成することを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１２】
前記ワイヤによる接続工程の後であって前記金属箔をパターニングする工程の前、
前記金属箔のうちの、前記多層配線基板の配線層どうしを接続する垂直配線部に対応する部位に開口部を形成し、
前記金属箔をマスクとして、前記開口部において露出した前記多層配線基板の絶縁層を選択的にエッチングして、前記多層配線基板の配線層に達した貫通孔を形成し、そして
前記貫通孔を導体金属により充填して、前記金属箔と前記多層配線基板の配線層とを接続する前記垂直配線部を形成することを特徴とする請求項９〜１１のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１３】
請求項１に記載の多層配線基板と、該多層配線基板の一面側に設けられた電子部品接続用パッドと、該パッドに接続された電子部品と、前記多層配線基板の他面側に設けられた外部接続端子とを備えることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層配線基板に関し、さらに詳しく述べると、高密度多Ｉ／Ｏ数のリラウトに対しチャネル問題を大幅に緩和することができ、配線微細化の緩和及び配線長の短縮により導体ロスを低減でき、クロストークを低減でき、かつ設計プロセスを短縮及び単純化でき、そして製造コストの低減ならびに信頼性及び歩留まりの向上を実現できる、特に各種の半導体素子をフリップチップ実装するための多層配線基板と、その製造方法に関する。本発明はまた、かかる多層配線基板を使用した半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近における半導体装置の微細化及び高機能化に伴い、半導体装置に搭載される半導体素子（以下、「半導体チップ」ともいう）の電極端子数が増大している。これに対応するため、従来、半導体チップの電極端子形成面にエリアアレイ状に電極端子を形成した後、フリップチップ実装によって配線基板に半導体チップを搭載する方法が採用されている。フリップチップ実装によると、半導体素子の電極端子に形成したバンプを配線基板の外部接続端子（バンプ）に接合することによって、電極端子と外部接続端子とを電気的に接続することができる。また、配線パターンの微細化に対応するため、複数層の配線基板を積層して使用する方法、いわゆる「ビルトアップ法」も採用されている。
【０００３】
多層配線基板においてフリップチップ実装を行う場合には、フリップチップのバンプマトリクスを受ける配線基板の側で、その配線基板上のパッド列のうち、内側に存在するパッドを、最上層の第１層で、隣り合ったパッドの間の隙間を通るように配線パターンを案内して外側に引き出すという基本構造を採用している。第１層でバンプマトリクスの外側にパッドを引き出せないときは、そのパッドをヴィア受けパッドまで引き回し、そのヴィアを介して第２層以降で引き出しを行うことができる。このような引き回し構造をもった多層配線基板はすでに周知のところであり、例えば特許文献１には、本書に添付の図１４に示されるような半導体装置９０が図示されている。図示の半導体装置９０は、配線基板としてセラミック多層配線基板９３を用いており、その上方に半導体素子９２をフリップチップ接合で搭載している。多層配線基板９３は、半導体素子９２が搭載される素子搭載面にバンプ接合パッド９６を有しており、素子搭載面の反対側の面には外部接続用パッド９７を有している。半導体素子９２の下面にはバンプ９５が配設されており、このバンプ９５をバンプ接合パッド９６に接合することにより、半導体素子９２を多層配線基板９３に搭載することができる。また、多層配線基板９３の内部には図示のようなパターンで導体配線９８が形成されており、この導体配線９８の一端部にバンプ接合パッド９６が接続され、多端部に外部接続用パッド９７が接続されている。外部接続用パッド９７には、外部接続端子として機能する半田ボール９４が接合されている。さらに、半導体素子９２と多層配線基板９３との間にはアンダーフィル材９９が介装されている。しかしながら、このような半導体装置では、多層配線基板の層数が増えるとともに重量が増加するという問題がある。
【０００４】
上記のような問題点を解決した半導体装置も特許文献１に記載されている。すなわち、シート状に形成された絶縁樹脂と、その絶縁樹脂上の所定の位置に形成された電極と、導電ワイヤの表面に絶縁性材料が被覆された構成とされており、電極間を電気的に接続するとともに、一部が絶縁樹脂から露出された被覆ワイヤと、絶縁材料上に露出した被覆ワイヤを封止するよう、絶縁樹脂上に形成された導電性樹脂と、を有することを特徴とする配線基板が特許文献１に記載されている。具体的に説明すると、本書に添付の図１５に図示されているように、半導体装置１００は、配線基板１１０と、それに搭載された半導体素子１１２と、はんだボール１１４とを有している。配線基板１１０は、バンプ接合パッド１１６、外部接続用パッド１１７、導電性樹脂１２２及び絶縁樹脂１２０より構成されている。また、半導体素子１１２は、複数のバンプ１１５を有している。半導体素子１１２は、配線基板１１０のバンプ接合パッド１１６にフリップチップ技術で接続され、半導体素子１１２と配線基板１１０の間には、接続時のストレスの発生を抑制するため、アンダーフィル材１１９が埋め込まれている。また、バンプ接合パッド１１６と外部接続用パッド１１７の間には、被覆ワイヤ１１８がワイヤボンディングされている。はんだボール１１４は、ボード１３０を搭載するためのものである。
【０００５】
ところで、従来の多層配線基板では、例えば上記した例でも認められるように、半導体素子の接続面と外部接続端子の形成面と同一面側であったため、外部接続端子の高さを少なくとも半導体素子の高さよりも大きく設計する必要があった。例えば、外部接続端子としてはんだボールを用いる場合、ボール径が大きくなるために高密度な接続を実現することができず、半導体装置の面積を増大しなければならないという問題があった。また、これに関連して、半導体装置全体の高さを減少させることが難しいという問題もあった。
【０００６】
さらに、フリップチップ実装用多層配線基板において、バンプピッチの減少に合わせて引き出し配線の微細化を行うことが必須である。具体的には、システムの高機能化に伴い、フリップチップＩ／Ｏ数が増大し、バンプのピッチ、すなわち、受けパッド間の間隔（ここを通して配線を引き出す）がどんどん狭くなる傾向があり、それに伴って配線を形成する製造工程が難しくなりつつあり、歩留まりの低下につながっている。本発明者らの知見によると、バンプピッチ／受けパッド径の関係は、次のように変遷する傾向にある。
（１）３５０μｍ／２００μｍ→（２）２４０μｍ／１１０μｍ→（３）２００μｍ／９０μｍ
【０００７】
また、このようなバンプピッチ／受けパッド径の関係下において、パッド列を２列あるいは３列引き出すのに必要な配線幅／配線間隔は、上記した関係（１）、（２）及び（３）のそれぞれにおいて、次のようになる。
（１）５０μｍ／５０μｍ（２列の場合）、３０μｍ／３０μｍ（３列の場合）
（２）４３μｍ／４３μｍ（２列の場合）、２６μｍ／２６μｍ（３列の場合）
（３）３６μｍ／３６μｍ（２列の場合）、２２μｍ／２２μｍ（３列の場合）
【０００８】
上記の傾向から考察するに、バンプのピッチは、１００μｍもしくはそれ以下にまで狭ピッチ化が進むことが予想される。一方で、バンプ接続の信頼性の面から、バンプピッチ及び受けパッド径はそれぞれあまり小さくすることができないので、狭ピッチ化はさらに著しいものとなる。例えば受けパッド径を７０μｍとしたとき、バンプピッチ１００μｍに対して１本あるいは２本の配線本数を実現するためには、それぞれ１０μｍ／１０μｍあるいは６μｍ／６μｍの配線幅が必要になる。しかしながら、従来の有機基板上の配線形成技術では、配線幅を１０μｍ程度とするあたりから歩留まりが著しく低下し、６μｍ以下の配線幅では配線そのものの形成が不可能であると考察される。このような微細配線を実現するために有機基板に代えてセラミックやシリコンなどの無機基板を使用し、その無機基板上にスパッタ技術などで配線を形成することも考えられるが、重量が増加することに加えて、製造コストの増大を避けることができない。また、微細配線の形成が可能となるにしても、得られる微細配線自体の特性が問題になる。例えば、微細化に伴う配線抵抗の増大の問題や、基板がセラミックである場合の高誘電率化に伴う寄生容量の問題などである。
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−３２３５１６（特許請求の範囲、図１、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、従来のフリップチップ実装用多層配線基板における上述のような問題点を克服して、システムの高密度化・高機能化に対応することができるフリップチップ実装用多層配線基板及びその製造方法を提供することにある。具体的には、本発明で目的とする多層配線基板は、高密度多Ｉ／Ｏ数のリラウトに対しチャネル問題を大幅に緩和することができ、配線微細化の緩和及び配線長の短縮により導体ロスを低減でき、クロストークを低減でき、設計プロセスを短縮及び単純化でき、そして製造コストの低減ならびに信頼性及び歩留まりの向上を実現できるものである。
【００１１】
本発明の目的は、また、かかる多層配線基板を使用した、システムの高密度化・高機能化に対応することができる半導体装置を提供することにある。また、本発明では、外部接続端子を大きく形成する必要をなくし、半導体装置全体の高さを減少させることも目的である。
【００１２】
本発明のこれらの目的やその他の目的は、以下の詳細な説明から容易に理解することができるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、その１つの面において、配線層と絶縁層とが交互に積層され、その一面側に電子部品と接続するためのパッドと、該パッドと前記配線層とを接続するワイヤとを有した多層配線基板であって、
前記多層配線基板に、樹脂材料が充填された貫通孔が設けられており、かつ前記パッドの少なくとも一部が前記樹脂材料上に形成され、前記ワイヤの少なくとも一部が前記樹脂材料中に包含されていることを特徴とする多層配線基板にある。
【００１４】
本発明の多層配線基板において、多層配線基板に設けられる貫通孔は、少なくとも前記パッドが設けられた領域を、前記貫通孔内に包含するように設けられていることが好ましい。また、ワイヤは導体ワイヤからなることが好ましく、さらに、そのワイヤは、導体金属の線材からなるか、導体金属の線材とその外周面を被覆した絶縁被覆層とからなるか、導体金属の線材とその外周面を順次被覆した絶縁被覆層及び導体層とからなることが好ましい。さらに、ワイヤは、導体金属の線材とその外周面を順次被覆した絶縁被覆層及び導体層とからなる同軸構造のワイヤであるとき、ワイヤの外径Ｄ１に対する導体層の内径Ｄ０の比は、１：３〜６の範囲であることが好ましい。
【００１５】
さらに、本発明の多層配線基板において、貫通孔に充填される樹脂材料は、有機樹脂材料であることが好ましい。また、樹脂材料は、有機樹脂材料のなかでも、なかんずく、金属粒子分散型有機樹脂材料あるいは低弾性率の有機樹脂材料であることが好ましい。
【００１６】
さらに加えて、本発明の多層配線基板において、含まれる複数の配線層どうしを電気的に接続するため、上下の配線層が垂直配線部によって電気的に接続されていることが好ましい。
【００１７】
また、本発明は、そのもう１つの面において、本発明の多層配線基板を製造する方法であって、
電子部品と電気的に接続するためのパッドを形成するパッド形成部位に対応する位置に貫通孔が設けられ、配線層と絶縁層とが交互に積層された多層配線基板を準備する工程と、
電子部品と電気的に接続するためのパッド及び多層配線基板と電気的に接続するための配線パターンをそれぞれ形成する位置を所定の部位に備えた金属箔を準備する工程と、
前記多層配線基板と前記金属箔とを接合する工程と、
前記金属箔の前記パッドを形成する部位と前記多層配線基板の配線層とをワイヤによって電気的に接続する工程と、
前記貫通孔に樹脂材料を充填する工程と、
前記金属箔をパターニングし、前記所定の部位に前記パッド及び前記配線パターンを形成する工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする多層配線基板の製造方法にある。
【００１８】
また、別の好ましい面において、本発明の多層配線基板を製造する方法は、
電子部品と電気的に接続するためのパッド及び得られる多層配線基板において最外層の配線層となる配線パターンをそれぞれ形成する位置を所定の部位に備えた金属箔を準備する工程と、
前記金属箔に、前記パッドが形成される部位が開口された開口部を備えた絶縁層を積層する工程と、
前記絶縁層上に配線層を形成する工程と、
前記金属箔の前記パッドを形成する部位と前記配線層とをワイヤによって電気的に接続する工程と、
前記開口部に樹脂材料を充填する工程と、
前記金属箔をパターニングし、前記所定の部位に前記パッド及び前記配線パターンを形成する工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする。
【００１９】
この製造方法では、前記金属箔に絶縁層を積層する工程と、前記絶縁層上に配線層を形成する工程とを複数回にわたって繰り返すことで多層配線基板を形成することが好ましい。
【００２０】
本発明方法の実施において、前記ワイヤによる接続工程の後であって前記金属箔をパターニングする工程の前、
前記金属箔のうちの、前記多層配線基板の配線層どうしを接続する垂直配線部に対応する部位に開口部を形成し、
前記金属箔をマスクとして、前記開口部において露出した前記多層配線基板の絶縁層を選択的にエッチングして、前記多層配線基板の配線層に達した貫通孔を形成し、そして
前記貫通孔を導体金属により充填して、前記金属箔と前記多層配線基板の配線層とを接続する前記垂直配線部を形成することが好ましい。
【００２１】
さらに、本発明は、そのもう１つの面において、本発明の多層配線基板と、該多層配線基板の一面側に設けられた電子部品接続用パッドと、該パッドに接続された電子部品と、前記多層配線基板の他面側に設けられた外部接続端子とを備えることを特徴とする半導体装置にある。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、以下の詳細な説明から理解されるように、多くの利点を得ることができる。例えば、本発明では、多層配線基板のうち特にシグナル部に本発明で特に「貫通孔」と呼ぶ開口部を設け、その貫通孔内でパッド引き出し配線を導体ワイヤで行い、しかもその導体ワイヤを湾曲して立体的に配置することで、多層配線基板において問題とされてきた、数千もしくはそれ以上の高密度多Ｉ/Ｏ数のリラウトに対してのチャネル問題を大幅に緩和することができる。また、配線微細化の緩和と配線長の短縮により導体ロスを低減することができる。さらに、導体ワイヤを導体金属の単線から構成することに代えて同軸構造を有するように構成することで、クロストークを低減することができ、同軸構造を有する導体ワイヤを全面的に導体で被覆することにより、低ＥＭＩ（電磁障害）を実現することができる。さらにまた、多層配線基板の貫通孔に特定の有機樹脂材料を充填することで、放熱特性を改善することができる。これらの利点に加えて、本発明では、設計プロセスを短縮及び単純化し、製造コストの低減ならびに信頼性及び歩留まりの向上を実現することができる。
【００２３】
また、多層配線基板には半導体素子が作り込まれていないが、半導体素子の接続端子や外部接続端子が露出した状態にあるので、半導体装置の製造業者の多様化された要求に応えることができる。特に本発明によれば、半導体素子接続面と外部接続端子形成面とを異なる面とすることが可能で、高密度実装が可能であり、Ｉ／Ｏ数の多い半導体素子であっても半導体装置の面積を増大させることなく実装が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明による多層配線基板及びその製造方法ならびに半導体装置は、それぞれ、いろいろな形態で有利に実施することができる。以下、添付の図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態を説明するが、本発明は、下記の形態によって限定されるものではない。
【００２５】
本発明は、その１つの面において、多層配線基板にある。本発明による多層配線基板は、好ましくは、２層以上の配線層及び絶縁層が交互に積層されてなる多層配線基板、例えばフリップチップ実装用多層配線基板である。フリップチップ実装用多層配線基板では、例えば、
（１）多層配線基板の一方の面に一群のパッド（フリップチップ受けパッド）もしくはその前駆体が設けられており、
（２）多層配線基板の内部には、フリップチップ受けパッドに隣接する領域において、所定の形状をもった空間からなる貫通孔がフリップチップ受けパッドを露出させるために形成されており、
（３）フリップチップ受けパッドからの引出し配線は導体ワイヤからなり、貫通孔内において立体的に湾曲して多層配線基板の配線層に同一平面で及び／又は異なる平面で電気的に接続されていることを特徴とする。
【００２６】
本発明による多層配線基板は、例えば、図１に示される構成を有することができる。図示の多層配線基板１０は、層構成を図りやすくするために２層構造の、すなわち、２層の配線層及び絶縁層が交互に積層された積層構造を有している多層配線基板を例示している。
【００２７】
多層配線基板は、それがそのほぼ中央部あるいはそれ以外の場所においてフリップチップ受けパッドを露出させるための貫通孔を有しかつその貫通孔に樹脂材料が充填されている限りにおいて、基本的には従来一般的に使用されている多層配線基板と同様な構成を有することができる。なお、本発明では上記しかつ以下に詳細に説明するように特にフリップチップ実装の改善を目的としたものであるが、本発明の実施において、フリップチップ受けパッドは、通常エリアアレイ状に配置された外部接続端子の形態をとるけれども、必要に応じて、その他の形態の、例えば１個もしくはそれ以上の外部接続端子であってもよい。また、図示の多層配線基板１０において、配線層及び絶縁層の積層数は２層であるけれども、積層数がこれに限定されるものではなく、必要に応じて、３層もしくはそれ以上の積層数であってもよい。
【００２８】
配線層は、任意の常用の手法によって任意の配線パターンで形成することができる。例えば、配線層は、金属箔を選択的にエッチングすることによって有利に形成することができる。配線層の形成に使用される金属箔は、特に限定されるものではないが、例えばニッケル箔、コバルト箔、銅箔などの導体金属箔を挙げることができ、好ましくは、銅箔である。エッチングは、例えば塩化第二鉄などの常用のエッチャントを使用して容易に実施することができる。配線層の膜厚は、広い範囲で変更することができるというものの、通常、約８〜１８μｍの範囲である。
【００２９】
配線層は通常金属箔の選択的なエッチングによって有利に形成することができるが、別の方法で配線層を形成してもよい。例えば、導体金属の電解めっきによって配線層を形成してもよい。一例として、配線層を形成予定の領域以外をレジストでマスクしておいて、例えば金、パラジウム、コバルト、ニッケルなどの導体金属を所定の膜厚で電解めっきすることによって、配線層を形成することができる。
【００３０】
配線層は、それが多層配線基板の内部あるいはその表面において絶縁層に隣接して所定の配線パターン及び膜厚で形成することができる。しかし、配線層を多層配線基板の最上層あるいは最下層で使用する場合、その配線層に各種の電子部品を接続することや配線層どうしを接続することを補助するため、外部接続端子（一般に「接続パッド」ともいう）を配線層の所定の部位に形成することが好ましい。なお、かかる外部接続端子のサイズを一般的に説明すると、例えば円形の端子の場合、直径は、約１００〜２００μｍであり、また、厚さは、約５〜３０μｍである。また、これらの外部接続端子は、必要に応じて、配線基板の分野で一般的に行われているように、接続の信頼性を高めることなどのために、はんだバンプやランド、その他の手段をその表面に有していてもよい。
【００３１】
外部接続端子（接続パッド）は、単層の形で形成してもよく、２層もしくはそれ以上の多層構造をもった複合パッドの形で形成してもよい。複合パッドは、例えば、低融点金属のめっきにより第１のパッドを形成し、引き続いてその低融点金属よりも高融点の金属のめっきにより第２のパッドを形成することができる。低融点金属は、好ましくは、合金の形で用いられる。適当な低融点合金は、例えば、錫−鉛（ＳｎＰｂ）合金、錫−銀（ＳｎＡｇ）合金、錫−銅−銀（ＳｎＣｕＡｇ）合金などである。さらに、上述のようにして複合パッド型の端子を形成する場合、第１のパッドの形成を、それによって得られるパッドの領域が第２のパッドの領域よりも大きくなるような条件の下で行うことが好ましい。
【００３２】
絶縁層は、配線層と同様に、任意の常用の手法によって任意の膜厚で形成することができる。絶縁層は、必要に応じてセラミックなどの無機材料から形成することができるが、絶縁性の有機樹脂材料から形成することが好ましい。例えば、選ばれた有機樹脂材料を塗布、ポッティング等の手法で所定の膜厚で塗布することによって絶縁層を形成することができる。適当な有機樹脂材料としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂などを挙げることができる。絶縁層の膜厚は、広い範囲で変更することができるというものの、通常、約２０〜５００μｍの範囲である。
【００３３】
再び図１を参照すると、本発明の多層配線基板１０は、上下に隣接した絶縁層３及び６を有しており、絶縁層３の上に配線層４が所定の配線パターンで形成されている。また、図示していないが、絶縁層６の上に必要に応じて配線層が形成されていてもよい。絶縁層６には、それを貫通して貫通導体金属からなる貫通導体（本発明では、この部分を特に「垂直配線部７」と呼ぶ）が形成され、また、絶縁層３及び６には、それらの２層を貫通して貫通導体金属からなる垂直配線部７が形成されている。これらの垂直配線部は、例えば、絶縁層をレーザードリリングなどで開口した後、得られた貫通孔に導体金属をめっきなどにより充填することによって形成することができる。別法によれば、貫通孔に導体金属の柱（ポスト）を挿入することによって垂直配線部を形成してもよい。図示の多層配線基板１０において、垂直配線部７及び８の上部端面には何も形成されていないけれども、通常、多層配線基板１０をマザーボードなどに接続するため、外部接続端子（接続パッド）が形成されている。例えば、多層配線基板１０を外部接続端子及びはんだボールを介してマザーボードなどに搭載することができる。
【００３４】
ここで、絶縁層３及び６を貫通して形成された垂直配線部７及び８についてさらに説明する。垂直配線部は、好ましくは、導体金属から形成される。垂直配線部は、本発明の実施において、いろいろな形態で形成することができる。例えば、垂直配線部は、絶縁層を貫通する貫通孔を形成した後、その貫通孔を導体金属のめっきにより充填して、配線層と配線層とを接続する垂直配線部を形成することができる。別法によれば、導体金属のめっきに代えて、それに対応する形状及び寸法を有する導体金属の柱（ポスト）を多層配線基板を形成する任意の段階で配置することによって、垂直配線部を形成することができる。
【００３５】
さらに詳しく述べると、例えば導体金属のめっきにより垂直配線部を形成する場合、一般的には、絶縁層を貫通する貫通孔に導体金属のめっきを施すことによって実施することができる。具体的には、例えば、絶縁層の表面全体にレジストを被覆した後、垂直配線部を形成すべき部分からレジストを除去する。次いで、レジストとその下地の絶縁層を覆うように、垂直配線部を形成するための導体金属、例えば銅（Ｃｕ）などを所定の厚さで電解めっきする。マスクとして使用したレジストを除去すると、目的とする導体部を得ることができる。なお、本発明では、好ましいことに、レジストマスクに代えてパターニング後の金属箔をマスクとして使用して、所望とする垂直配線部を形成することができる。
【００３６】
金属柱によって垂直配線部を形成する場合、一般的には、配線層を形成するための金属箔の上に導体ワイヤを配置した後、その金属箔の予め定められた位置に、導体金属からなる柱（いわば、金属柱）をポスト状に設けることによって形成することができる。ここで言う金属柱は、円柱、角柱などであるが、場合によっては太い導体ワイヤであってもよい、この方法で、金属柱の形成は、いろいろな技法に従って行うことができる。例えば、金属柱を埋め込むか、さもなければ金属柱を形成するのに適当な導体金属を充填もしくはめっきすることによって、金属柱を形成することができる。かかる金属柱の形成は、さらに詳細には、特開平８−７８５８１号公報、特開平９−３３１１３３号公報、特開平９−３３１１３４号公報、特開平１０−４１４３５号公報などに記載の方法を使用して行うことができる。
【００３７】
図１に図示している多層配線基板１０において、金属箔１は、フリップチップ受けパッドの前駆体を指している。すなわち、本発明では、この金属箔を後段のエッチング工程において選択的にエッチングすることによって薄膜化し、フリップチップ受けパッド及び配線層を形成することができる。フリップチップ受けパッドは、参照番号２２として図５などで説明されるように、フリップチップ接続を行うために用意される一群の外部接続端子（接続パッド）のエリアアレイ状の集まりであり、前記した外部接続端子と同様に形成し、かつ構成することができる。
【００３８】
本発明の多層配線基板１０には、フリップチップ受けパッド（図４の参照番号２２を参照されたい）を露出させるために形成された貫通孔９がその内部に備わっており（例えば、図９（Ｂ）及び図１２（Ｄ）を参照）、これに樹脂材料、好ましくは有機樹脂材料１１が充填されている。貫通孔９は、フリップチップ受けパッドに隣接する領域において、所定の形状をもった空間の形で形成されている。貫通孔９は、通常、直方体の空間からなり、１個の直方体の空間からなるかもしくは２個以上の直方体の空間の組み合わせからなることができる。貫通孔９が１個の直方体の空間からなる場合、図１に示すようにボックス状の空間であってもよく、図示しないが、例えばコの字状に変形した空間であってもよい。キャビティ９が２個以上の直方体の空間の組み合わせからなる場合、例えば２個の細長い直方体を並置した配置や、その他の配置を採用することができる。貫通孔９は、多層配線基板の形成の途中もしくはその後で、例えばレーザー加工などにより容易に形成することができる。なお、貫通孔９は、その空間でワイヤボンディングを行うことを意図したものであり、通常、半導体素子等の電子部品を有していない。
【００３９】
本発明の実施において、貫通孔９は、多層配線基板１０に広い領域を占有して形成されている必要はなく、多層配線基板１０のうちの少なくともフリップチップ受けパッドのシグナル部のみが露出し、その部分でワイヤボンディングを行い得るように形成されていることが好ましい。本発明では、ワイヤボンディングを行う部分を空洞化するとともに、フリップチップ受けパッドを貫通孔９の内壁に露出した基板の配線層あるいはその他の接続端子に同一平面あるいは異なる平面で接続しているので、ワイヤボンディングに使用するワイヤの干渉を防止することができる。
【００４０】
本発明の多層配線基板１０には、フリップチップ受けパッド（図４の参照番号２２を参照されたい）からの引出し配線を貫通孔９の内壁の配線層４などに同一平面で及び／又は異なる平面で電気的に接続するための導体ワイヤ５も備わっている。導体ワイヤ５は、図示されるように、貫通孔９内において立体的に湾曲して多層配線基板１０の配線層４などに接続されている。導体ワイヤ５は、例えば、導体金属の線材からなるか、導体金属の線材とその外周面を被覆した絶縁被覆層とからなるか、導体金属の線材とその外周面を順次被覆した絶縁被覆層及び導体層とからなることができる。また、以下に説明するように貫通孔９内に有機樹脂材料が充填された場合には、その有機樹脂材料が絶縁性を有するか否かによって導体ワイヤ５の構造が変わってくる。さらに、導体ワイヤ５が導体層を有するとき、その導体層が多層配線基板の接地層に接続されていることが好ましい。なお、図では導体ワイヤ５がフリップチップ受けパッドと配線層の接続に使用されているが、必要に応じて、フリップチップ受けパッドと多層配線基板１０の他の部分とを導体ワイヤを介して接続していてもよい。
【００４１】
本発明の実施において、導体ワイヤは、半導体装置の分野においてボンディングワイヤとして一般的に使用されているものを有利に使用することができる。しかし、本発明で使用するボンディングワイヤは、貫通孔内に充填された絶縁性の有機樹脂材料中に封じ込められ、安定に固定され、さらには放熱性を改良することなどを考慮した場合、それに適したものであることが好ましい。導体ワイヤは、任意の導電性材料（導体）、好ましくは導体金属の線材から形成することができる。適当な導体金属は、例えば、金、銀、銅、ニッケル、アルミニウムあるいはその合金などである。
【００４２】
また、導体ワイヤは、特にクロストークの発生を回避するために、その表面が絶縁被覆層を介して導体層、好ましくは導体金属層で覆われており、導体ワイヤをコアとする同軸構造を有していることが好ましい。すなわち、図５（Ｃ）の線分Ｄ−Ｄに沿った断面図である図５（Ｄ）に示すように、導体ワイヤは、導体ワイヤ５と、それを順次被覆した、絶縁被覆層１４及び導体金属層１５とからなる同軸構造を有しているのが有利である。この同軸構造の導体ワイヤのコアは、上記した通り、例えば金、銀、銅、ニッケル、アルミニウムあるいはその合金などの導体金属の線材から有利に構成することができる。また、かかる導体ワイヤを被覆する絶縁被覆層は、好ましくは、絶縁性の樹脂のコーティング、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂などのコーティングである。また、アルミニウムワイヤの場合は、酸化被膜も有効である。樹脂コーティングは、例えば、静電塗装、スプレーコーティング、ディップコーティングなどによって形成することができる。なお、導体ワイヤを絶縁被覆層で被覆することに代えて、すでに絶縁被覆が表面に形成されている市販の導体ワイヤを使用してもよい。最上層の導体金属層は、例えば、金、銀、銅、ニッケル、アルミニウムあるいはその合金などの導体金属から形成することができる。特に、導体金属として銅を有利に使用することができる。銅の層は、例えば、無電解銅めっきもしくは電解銅めっきによって好適に形成することができる。導体金属層は、好ましくは接地層（グランド電位）に電気的に接続される。
【００４３】
導体ワイヤは、その構成や材料などにいろいろなサイズを有することができる。例えば、導体ワイヤが同軸構造を有する場合、導体ワイヤのコアの直径は、通常、約２０〜４０μｍである。また、コアを被覆する絶縁被覆層の厚さは、もしも予め周囲に絶縁被覆層を被覆した導体ワイヤを用い、そのまゝワイヤボンディングを行う場合には、通常、約２〜８μｍである。また、未被覆の導体ワイヤを用いてワイヤボンディングを行った後にその導体ワイヤの周囲に絶縁被覆層を被覆する場合には、通常、１０〜５０μｍである。この絶縁被覆層の厚さは、絶縁被覆層に用いる材料と、インピーダンス整合の要求によって、変動するであろう。なお、本発明の多層配線基板では、導体ワイヤを取り囲む導電性の有機樹脂材料とのかねあいでこの絶縁被覆層の材質（比誘電率）や厚さを調整することによって、得られる多層配線基板にキャパシタンスを持たせることも可能である。必要に応じて、絶縁被覆層を被覆して形成される導体金属層も、絶縁被覆層と同様に、所望とする効果などに応じて広い範囲で膜厚を変更することができる。導体金属層の膜厚は、通常、約５〜３０μｍの範囲である。
【００４４】
再び図５（Ｄ）を参照すると、同軸構造を有する導体ワイヤにおいて、導体ワイヤ５の外径Ｄ１に対する金属層１５の内径Ｄ０の比は、約１：３〜６の範囲であることが好ましい。このように構成することによって、クロストークの発生の回避に加えて、インピーダンスの整合をより効果的に行うことができる。
【００４５】
本発明による多層配線基板１０は、その貫通孔９に樹脂材料、好ましくは有機樹脂材料１１がさらに充填されている。有機樹脂材料１１は、多層配線基板１０の構成、所望とする効果などに応じていろいろに変更することができる。例えば、導体ワイヤ５が導体金属とその外周面を被覆した絶縁被覆層とからなるような場合、貫通孔９に高熱伝導性の有機樹脂材料を充填することが好ましい。さらに、有機樹脂材料は、金属粒子分散型有機樹脂材料であることが好ましい。このような有機樹脂材料を使用すると、得られる多層配線基板の放熱特性を改善し、搭載された電子部品等の放熱に原因する不具合を解消することができる。別法によれば、有機樹脂材料として低弾性率の有機樹脂材料を使用することが好ましい。かかる有機樹脂材料は、通常、約１〜１００ＭＰａのヤング率を示すことが好ましい。このような有機樹脂材料を使用すると、得られる多層配線基板において、半導体素子と基板との熱膨張係数の違いによる応力を緩和できる。
【００４６】
さらに説明すると、多層配線基板の貫通孔に充填する有機樹脂材料は、好ましくは絶縁性の有機樹脂材料であり、例えば塗布、ポッティング等の手法で貫通孔に充填することができる。適当な有機樹脂材料としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂などを挙げることができる。なお、貫通孔に充填した有機樹脂材料の内部には導体ワイヤが埋封されるが、本発明の実施において、好ましいことに、このようなワイヤ埋封構造を、多層配線基板の製造と切り離して特別の工程で形成するのではなくて、多層配線基板の製造の途中の任意の段階で形成することができる。
【００４７】
有機絶縁材料は、そのままで使用してもよいが、先に触れたように、放熱特性を高めるため、高熱伝導性の材料の粒子、好ましくは金属粒子が分散せしめられた金属粒子分散型有機樹脂材料の形で有利に使用することができる。金属粒子分散型有機樹脂材料は、上記した有機樹脂材料からなるバインダ樹脂と、そのバインダ樹脂中に分散せしめられた高熱伝導性の金属材料の粒子、粉末等のフィラーとからなることが好ましい。適当なフィラーは、例えば、金、銀、銅、ニッケルあるいはその合金などである。また、フィラーの形状及びサイズは、任意に変更することかできが、好ましくは球形である。
【００４８】
図２は、本発明による多層配線基板のもう１つの好ましい形態を示したものである。この多層配線基板１０を図１の多層配線基板１０と比較すればわかるように、図２の多層配線基板１０は、その貫通孔９のほぼ中央部にも多層配線基板１０の一部が存在し、貫通孔９を、多層配線基板１０に並置された２つのほぼ同じ大きさの細長い直方体状の空間に二分している。本例の場合、特に多層配線基板１０のシグナル部のみが露出した構成を採用している。このような構成を採用することによって、特にチップのサイズが大きく、貫通孔のサイズが大きくなる場合、金属箔の部分のたわみを防止し、工程の安定化が図れるといって効果を得ることができる。また、貫通孔９のほぼ中央に多層配線基板１０の一部を配置することで、多層配線基板１０の強度を高め、取扱い性を向上させることもできる。
【００４９】
図３は、本発明による多層配線基板のもう１つの好ましい形態を示したものである。この多層配線基板１０を図１の多層配線基板１０と比較すればわかるように、図３の多層配線基板１０は、その貫通孔９のほぼ中央部にも多層配線基板１０の一部が存在し、貫通孔９を、多層配線基板１０に並置された２つのほぼ同じ大きさの細長い直方体状の空間に二分している。本例の場合、特に多層配線基板１０のシグナル部のみが露出した構成を採用している。加えて、フリップチップ受けパッドからの引出し配線が貫通孔９内の多層配線基板１０の内壁の配線層４にも接続されている。絶縁層２に開口した２個の貫通孔９では、フリップチップ受けパッドが所定の部位に形成される金属箔１が露出でき、そこに有機樹脂材料１１が充填されている。また、そのフリップチップ受けパッドが導体ワイヤを介して接続される部分が、一部が露出している配線層４である。このような構成を採用することによって、上記の効果に加えて、中央部にも外部接続端子を形成可能であるといった効果を得ることができる。また、貫通孔９のほぼ中央に多層配線基板１０の一部を配置することで、多層配線基板１０の強度を高め、取扱い性を向上させることもできる。
【００５０】
好ましい１形態において、本発明による多層配線基板は、フリップチップ受けパッドの前駆体として使用した金属箔がさらに加工されていて、フリップチップ受けパッドをすでに有していていてもよい。この形態を示した例が、先に図１及び図２を参照して説明した多層配線基板１０の金属箔１を加工してフリップチップ受けパッドを形成した、図３に示す多層配線基板１０である。本例では、金属箔１を常用の手法に従って選択的にエッチングしたことの結果、一部の金属箔を除去するととともに、一部の金属箔を薄膜化して配線層（配線パターン）２を形成し、かつ、これと同時に、フリップチップ受けパッド（一群の外部接続端子）２２を形成することができる。
【００５１】
好ましい１形態において、本発明による多層配線基板は、最下層の配線層に電気的に接続されたチップ部品を貫通孔の内部にさらに有している。チップ部品は、キャパシタ、レジスタ、インダクタなどであるけれども、これらの部品に限定されるものではない。また、これらのチップ部品に代えて、その他の機能性部品が組み込まれていてもよい。また、貫通孔の内部にチップ部品を埋め込むことによって、得られる多層配線基板の小型化、コンパクト化を達成することができる。この場合、貫通孔に上記したような絶縁性の有機樹脂材料をポッティングなどにより充填して、チップ部品を樹脂封止することが好ましい。また、この方法において、チップ部品やその他の部品を接続する前、その接続部分の周縁に絶縁材料の溜まり（ダム）を予め形成していてもよい。このようにすることによって、例えば、チップ部品をはんだ付けする場合にはんだのぬれ広がりを防止できるといった効果を得ることができる。
【００５２】
本発明は、そのもう１つの面において、半導体装置にある。本発明による半導体装置は、例えば、本発明の多層配線基板と、多層配線基板のフリップチップ受けパッドに搭載された半導体素子と、フリップチップ実装面とは反対側に外部接続端子を介して搭載された外部部品とを備えることを特徴とする。フリップチップ受けパッドに搭載される半導体素子は、特に限定されるものではなく、したがって、各種の半導体チップ、例えば、ＩＣチップ、ＬＳＩチップ、その他を包含することができる。また、このような半導体チップの搭載に使用されるフリップチップ実装は、マウントとして使用されるフリップチップ受けパッドを常用の技法に従って形成し、実施することができる。多層配線基板に搭載される半導体素子は、１個であってもよく、２個以上であってもよく、また、複数個の半導体素子が搭載される場合、それらの半導体素子は、同一であってもよく、異なっていてもよい。また、多層配線基板のフリップチップ実装面には、フリップチップ受けパッド以外に、配線層や外部接続端子（接続パッド）などが形成されていてもよい。さらに、多層配線基板のフリップチップ実装面とは反対側の面には、それにマザーボードやその他の外部部品を接続するため、外部接続端子やバンプ、例えばはんだバンプやランドなどを設けてもよい。さらに加えて、本発明の半導体装置には、チップ部品などがさらに組み込まれていてもよい。
【００５３】
図６は、本発明による半導体装置の好ましい１形態を示した断面図である。図示の半導体装置５０は、図１に示した多層配線基板１０の上に、半導体チップ２０をフリップチップ接続により搭載した例である。半導体チップ２０は、その下面に形成されたバンプ２１を介して多層配線基板１０上のフリップチップ受けパッド（接続パッド）２２に搭載されている。また、半導体素子搭載面と同一の面には配線層２が設けられている。さらに、図示しないが、別の外部接続端子を設けて、これに外部装置を接続してもよい。この場合、積層される外部装置は、放熱のための機構を備えていることが好ましい。放熱特性を高めるため、多層配線基板１０の貫通孔９には、高熱伝導性の有機樹脂材料、例えば絶縁性の有機樹脂材料中に金属粉末（フィラー）が分散せしめられた金属粒子分散型有機樹脂材料を充填することが好ましい。また、半導体チップ２０のバンプ２１の部分は、アンダーフィル材で封止されていてもよい。また、マザーボード１６にはバンプ１３が設けられていて、多層配線基板１０は、その接続パッド（導体パッド）１２を介してこれに接続されている。それぞれのバンプ１３は、例えば、はんだバンプ（ＳｎＡｇ）からなる。マザーボード１６は、その他の外部部品であってもよい。
【００５４】
半導体装置５０において、フリップチップ受けパッド２２と配線層２及び４とを電気的に接続した導体ワイヤ５は、先に説明したような構成を有することができる。例えば、導体ワイヤ５は、先に図５を参照して説明したように、同軸構造を有することで導体ロスの低下やクロストークの防止あるいは低減などを図ることが好ましい。また、導体ワイヤ５は、図示しないが、その最上層の導体金属層をグランド電位に接続してもよい。
【００５５】
図７は、本発明による半導体装置のもう１つの好ましい形態を示した断面図である。図示の半導体装置５０は、図２に示した多層配線基板１０の上に、半導体チップ２０をフリップチップ接続により搭載した例である。半導体装置５０は、図６を参照して先に説明した半導体装置５０と同様な構成を有することができ、但し、任意に変更あるいは改良を施すことも可能である。半導体チップ２０は、その下面に形成されたバンプ２１を介して多層配線基板１０上のフリップチップ受けパッド２２に搭載されている。また、半導体素子搭載面と同一の面には配線層２が設けられている。放熱特性を高めるため、多層配線基板１０の貫通孔９には、高熱伝導性の有機樹脂材料、例えば絶縁性の有機樹脂材料中に金属粉末（フィラー）が分散せしめられた金属粒子分散型有機樹脂材料を充填することが好ましい。また、マザーボード１６にはバンプ１３が設けられていて、多層配線基板１０は、その接続パッド（導体パッド）１２を介してこれに接続されている。それぞれのバンプ１３は、例えば、はんだバンプ（ＳｎＡｇ）からなる。
【００５６】
半導体装置５０において、フリップチップ受けパッド２２と配線層２及び４とを電気的に接続した導体ワイヤ５は、先に説明したような構成を有することができる。例えば、導体ワイヤ５は、先に図５を参照して説明したように、同軸構造を有することで導体ロスの低下やクロストークの防止あるいは低減などを図ることが好ましい。また、導体ワイヤ５は、図示しないが、その最上層の導体金属層をグランド電位に接続してもよい。
【００５７】
図８は、本発明による半導体装置のもう１つの好ましい形態を示した断面図である。図示の半導体装置５０は、図３に示した多層配線基板１０の上に、半導体チップ２０をフリップチップ接続により搭載した例である。半導体装置５０は、図６及び図７を参照して先に説明した半導体装置５０と同様な構成を有することができ、但し、任意に変更あるいは改良を施すことも可能である。半導体チップ２０は、その下面に形成されたバンプ２１を介して多層配線基板１０上のフリップチップ受けパッド２２に搭載されている。また、半導体素子搭載面と同一の面には配線層２が設けられている。放熱特性を高めるため、多層配線基板１０の貫通孔９には、高熱伝導性の有機樹脂材料、例えば絶縁性の有機樹脂材料中に金属粉末（フィラー）が分散せしめられた金属粒子分散型有機樹脂材料を充填することが好ましい。また、マザーボード１６にはバンプ１３が設けられていて、多層配線基板１０は、その接続パッド（導体パッド）１２を介してこれに接続されている。それぞれのバンプ１３は、例えば、はんだバンプ（ＳｎＡｇ）からなる。
【００５８】
半導体装置５０において、フリップチップ受けパッド２２と配線層２及び４とを電気的に接続した導体ワイヤ５は、先に説明したような構成を有することができる。例えば、導体ワイヤ５は、先に図５を参照して説明したように、同軸構造を有することで導体ロスの低下やクロストークの防止あるいは低減などを図ることが好ましい。また、導体ワイヤ５は、図示しないが、その最上層の導体金属層をグランド電位に接続してもよい。
【００５９】
本発明は、そのもう１つの面において、本発明の多層配線基板の製造方法にある。本発明の多層配線基板は、いろいろな手法あるいはいろいろな工程の組み合わせに従って製造することができる。本発明の多層配線基板は、例えば、下記の工程：
（ａ）それぞれ所定の配線パターンで予め形成された２層以上の配線層及び絶縁層が交互に積層されてなり、かつフリップチップ受けパッドの形成時にそのフリップチップ受けパッドに隣接する領域において存在し得る所定の形状をもった空間からなる貫通孔を備えた多層配線基板を提供する工程、
（ｂ）フリップチップ受けパッド及び配線パターンの前駆体として金属箔を提供する工程、
（ｃ）前記多層配線基板に前記金属箔を、前記金属箔のフリップチップ受けパッドの形成予定部位を前記多層配線基板に位置合わせして接合する工程、
（ｄ）前記金属箔のフリップチップ受けパッドの形成予定部位をそれ以外のフリップチップ受けパッドの形成予定部位及び／又は前記多層配線基板の配線層の所定の部位に導体ワイヤを湾曲して立体的に配置するワイヤボンディング工程、
（ｅ）貫通孔に有機樹脂材料を充填し、硬化させる工程、及び
（ｆ）前記金属箔をパターニングしてフリップチップ受けパッド及び配線パターンを形成する工程
によって有利に製造することができる。また、本発明によれば、かかる多層配線基板の製造方法の各工程に追加して、半導体素子を搭載する工程を追加することで、本発明の半導体装置の製造方法もまた提供することができる。
【００６０】
上述のような多層配線基板の製造方法は、本発明の範囲でいろいろに改良することができる。例えば、本発明方法は、次のような態様で有利に実施することができる。
【００６１】
（１）ワイヤボンディング工程（ｄ）の後であって金属箔をパターニングする工程（ｆ）の前、
金属箔のうちの、多層配線基板の配線層どうしを接続する垂直配線部に対応する部位に開口部を形成し、
金属箔をマスクとして、開口部において露出した多層配線基板の絶縁層を選択的にエッチングして、多層配線基板の配線層に達した貫通孔を形成し、そして
貫通孔を導体金属により充填して、金属箔と多層配線基板の配線層とを接続する垂直配線部を形成すること工程をさらに含む態様。
【００６２】
（２）ワイヤボンディング工程（ｄ）において、導体ワイヤとして、導体金属の線材からなる導体ワイヤ、導体金属の線材とその外周面を被覆した絶縁被覆層とからなる導体ワイヤ又は導体金属の線材とその外周面を順次被覆した絶縁被覆層及び導体層とからなる導体ワイヤを使用する態様。これらの導体ワイヤの詳細は、前記したとおりである。
【００６３】
（３）ワイヤボンディング工程（ｄ）の前もしくはその後において、金属箔にチップ部品を接続することを含む態様。この態様において、チップ部品は、その接続部の周縁にダム状に絶縁材層部を形成した後に接続することが好ましい。
【００６４】
図９及び図１０は、本発明の多層配線基板を製造する好ましい１方法を順に断面図で示したものである。ここで製造しようとしている多層配線基板は、先に図４を参照して説明したような多層配線基板である。なお、図では、説明の簡略化のため、多層配線基板の配線層などを省略しているので、配線層などの詳細な説明は、図４などの関連した説明を参照されたい。
【００６５】
最初に、図９（Ａ）に示すように、後段の工程でフリップチップ受けパッド及び配線層（配線パターン）を形成するための金属箔１を用意する。すなわち、金属箔１は、フリップチップ受けパッド及び配線層の前駆体と呼ぶことができる。金属箔１は、前記したように、銅箔やその他の導体金属から形成することができる。金属箔１は、後段の工程における位置合わせ作業を精確かつ迅速に行うため、アライメントマークを予め形成しておくことが推奨される。
【００６６】
次いで、図９（Ｂ）に示すように、別に用意した貫通孔９を備えた多層配線基板に金属箔１を、金属箔１のフリップチップ受けパッドの形成予定部位を多層配線基板に位置合わせして接合する。接合には、任意の接着剤、例えば接着シートなどを使用することができる。また、別法によれば、ビルトアップ法を採用してもよい。なお、ここでは便宜的に多層配線基板と呼んでいるが、この多層配線基板は、厳密には、完成前の、すなわち、作製途中の多層配線基板である。多層配線基板は、それぞれ所定の配線パターンで予め形成された２層以上の配線層及び絶縁層３及び６が交互に積層されてなり、かつフリップチップ受けパッドの形成時にそのフリップチップ受けパッドに隣接する領域において存在し得る所定の形状をもった空間からなる貫通孔９を備えている。
【００６７】
接合工程の完了後、図９（Ｃ）に示すように、貫通孔９においてワイヤボンディングを行う。このワイヤボンディング工程において、金属箔１のフリップチップ受けパッドの形成予定部位を、それ以外のフリップチップ受けパッドの形成予定部位及び／又は多層配線基板の配線層（図示せず）の所定の部位に導体ワイヤ５を湾曲して立体的に配置する。
【００６８】
さらに詳しく述べると、ワイヤボンディング工程は、金属箔１の、後段の工程においてフリップチップ受けパッドなどを形成する部位に、例えば金ワイヤのような導体ワイヤ５を配置して、フリップチップ受けパッドと配線層やその他の部位を電気的に接続する。接続手段として、一般的なワイヤボンディング技術を用いることができる。導体ワイヤ５は、例えば、２０μｍの直径を有することができる。導体ワイヤ５は、好ましくは、同軸構造を有する導体ワイヤの形で使用することができる。
【００６９】
導体ワイヤ５を同軸構造を有する導体ワイヤの形で使用することが好ましい。同軸構造を有する導体ワイヤを使用する場合、好ましくは、図５に示すようにして導体ワイヤ５を形成することができる。最初に、図５（Ａ）に示すように、金属箔１に導体ワイヤ５の一端を接続する。次いで、図５（Ｂ）に示すように、接続した導体ワイヤ５の表面と、導体ワイヤ５とフリップチップ受けパッドの形成部位とが接続された領域を絶縁材料で被覆して絶縁被覆層１４を形成し、さらにその後、図５（Ｃ）に示すように、絶縁被覆層１４を導体金属で被覆して導体金属層１５を形成する。導体金属層１５は、例えば、無電解めっき法又は金属化合物熱分解法で形成することができる。また、導体金属層１５は、グランド電位に電気的に接続することが好ましい。このようにして、図５（Ｄ）、すなわち、図５（Ｃ）の線分Ｄ−Ｄに沿った断面図に示すように、導体ワイヤ５をコアとする同軸構造をもった導体ワイヤを形成することができる。
【００７０】
ワイヤボンディングの完了後、導体ワイヤ５を空間に配線した貫通孔９に流動性の有機絶縁樹脂材料を充填するのが一般的な順序である。しかしながら、本発明の実施においては、製造プロセスに応じて他の工程を先行させることもできる。例えば、垂直配線部をめっきによって形成する代わりに、導体部として機能する金属柱を使用する場合、ワイヤボンディング工程に続けて、金属柱を金属箔上に立設してもよい。
【００７１】
引き続いて、図９（Ｄ）に示すように、多層配線基板の貫通孔９に流動性の有機絶縁樹脂材料１１を充填し、硬化させる。有機絶縁樹脂材料１１は、貫通孔９を完全に塞いで、金属箔１及び導体ワイヤ５を全面的に覆うのに十分な量で充填するのが好ましい。有機絶縁樹脂材料は、例えば、３液性エポキシ系樹脂をポッティングによって塗布し、例えば５０〜１００℃の温度を維持することによって硬化させることができる。
【００７２】
引き続いて、図１０（Ｅ）に示すように、金属箔１を所望とする配線パターンに応じて選択的にパターニングして、フリップチップ受けパッド２２と、所望の配線パターンをもった配線層２を形成する。金属箔１のエッチングは、金属箔の種類に応じて適当なエッチャントを使用して常法で行うことができる。例えば金属箔１が銅箔である場合、例えば塩化第二鉄などをエッチャントとして使用することができる。
【００７３】
エッチングによってフリップチップ受けパッド２２などを形成した後、図１０（Ｆ）に示すように、最表面にソルダレジスト層１７及び１８を形成する。その後さらに、図１０（Ｇ）に示すように、導体パッド１２を形成し、導体パッド１２の上にははんだボール１３を取り付ける。ソルダレジスト層１８にはチップ部品２５を搭載することができる。このような一連の工程を経て、目的とする多層配線基板１０を完成することができる。
【００７４】
ところで、本発明の実施において、絶縁層を貫通する垂直配線部の形成も重要である。垂直配線部の形成の好ましい１方法を、図１１を参照して順に説明する。なお、図から理解されるように、図１１は、図４を参照して先に説明した多層配線基板１０の一部を示したものである。
【００７５】
最初に、ワイヤボンディング工程の後であって前記金属箔をパターニングする前、図１１（Ａ）に示すように、金属箔１のうちの、多層配線基板の配線層及び／又は接続パッドを接続する垂直配線部（図１１（Ｃ）及び（Ｄ）の参照番号８を参照）に対応する部位に開口部２６を形成する。開口部２６は、例えば、金属箔１の上にエッチングレジスト層を形成した後、金属箔１のうち垂直配線部に対応する部位をエッチングにより選択的に除去することによって容易に形成することができる。
【００７６】
次いで、図１１（Ｂ）に示すように、エッチングレジスト層とその下の金属箔１をマスクとして、開口部２６において露出した多層配線基板の絶縁層３及び６を選択的にエッチングして、多層配線基板の配線層配線層及び／又は接続パッドに達した貫通孔２７を形成する。なお、図示の例では、エッチングを接続パッド１２のところで停止させ、金属箔１から接続パッド１２に達した貫通孔２７を形成している。
【００７７】
貫通孔の形成後、図１１（Ｃ）に示すように、貫通孔２７を導体金属により充填して、金属箔１と多層配線基板の接続パッド１２とを接続する垂直配線部８を形成する。垂直配線部８の形成は、導体金属のめっきによって、例えば、金属箔１の全面に無電解銅めっき及び電解銅めっきを順次実施することによって達成することができる。かかる導体金属のめっきによって、貫通孔２７とその上の金属箔１の開口部を導体金属で充填することができる。めっきの完了後、最上層に残留しているエッチングレジスト層を除去する。
【００７８】
垂直配線部の形成後、図１１（Ｄ）に示すように、金属箔１を所望とする配線パターンに応じて選択的にパターニングする。パターニングは、好ましくは、エッチングによって行うことができる。エッチングの結果、フリップチップ受けパッド２２と、所望の配線パターンをもった配線層２が得られる。なお、このエッチング工程は、先に図１０（Ｅ）を参照して説明した工程に対応している。
【００７９】
図１２及び図１３は、本発明の多層配線基板を製造するもう１つの好ましい方法を順に断面図で示したものである。ここで製造しようとしている多層配線基板は、先に図４を参照して説明したような多層配線基板である。なお、図では、説明の簡略化のため、多層配線基板の配線層などを一部を除いて省略しているので、配線層などの詳細な説明は、図４などの関連した説明を参照されたい。
【００８０】
最初に、図１２（Ａ）に示すように、後段の工程でフリップチップ受けパッド及び配線層（配線パターン）を形成するための金属箔１を用意する。金属箔１は、先にも記載したように、フリップチップ受けパッド及び配線層の前駆体と呼ぶことができる。金属箔１は、前記したように、銅箔やその他の導体金属から形成することができる。
【００８１】
次いで、多層配線基板の作製に移行する。なお、本例では説明の簡略化のために２層構造の多層配線基板の作製を例にとっているが、この構造に限定されるものではない。
【００８２】
まず、図１２（Ｂ）に示すように、金属箔１の上に絶縁層３を形成する。絶縁層３は、例えばエポキシ樹脂などの絶縁層の有機樹脂材料から例えば塗布や絶縁シートの積層等の常用の技法によって形成することができる。絶縁層３には、後段の工程において有機絶縁樹脂材料を充填する開口部（最終的には、貫通孔となる）９が備わっている。開口部９は、絶縁層が絶縁シートからなっていて金属箔１に積層するタイプであるならば、予め形成されているものであってもよく、さもなければ、絶縁層３の形成後、例えばエッチング等の常用の手段で開口してもよい。
【００８３】
次いで、図１２（Ｃ）に示すように、絶縁層３の上の所定の部位に配線層４を形成する。配線層４は、例えば銅めっきなどによって所望のパターンで形成することができる。
【００８４】
配線層４の形成後、図１２（Ｄ）に示すように、配線層４を形成した後の絶縁層３の上の上にさらに別の絶縁層６を形成する。絶縁層６は、絶縁層３の形成と同様にして実施することができる。このようにして、金属箔１に接合された貫通孔９を備えた多層配線基板を得ることができる。また、この段階で、絶縁層３の形成とそれに引く続く配線層４の形成の各工程を反復することで、所望の層構成及び開口部（貫通孔）を有する多層配線基板を形成することができる。なお、ここでは便宜的に多層配線基板と呼んでいるが、この多層配線基板は、厳密には、完成前の、すなわち、作製途中の多層配線基板である。
【００８５】
多層配線基板の完成後、図１２（Ｅ）に示すように、多層配線基板の貫通孔９においてワイヤボンディングを行う。このワイヤボンディング工程において、金属箔１のフリップチップ受けパッドの形成予定部位を、それ以外のフリップチップ受けパッドの形成予定部位及び／又は多層配線基板の配線層（図示せず）の所定の部位に導体ワイヤ５を湾曲して立体的に配置する。なお、導体ワイヤ５の詳細は、先にすでに説明したところであるので、本例での説明を省略する。
【００８６】
ワイヤボンディングの完了後、図１３（Ｆ）に示すように、多層配線基板の貫通孔９に流動性の有機絶縁樹脂材料１１を充填し、硬化させる。有機絶縁樹脂材料１１は、貫通孔９を完全に塞いで、金属箔１及び導体ワイヤ５を全面的に覆うのが好ましい。なお、貫通孔９に充填される有機絶縁樹脂材料１１の詳細も、先にすでに説明したところであるので、本例での説明を省略する。
【００８７】
引き続いて、図１３（Ｇ）に示すように、金属箔１を所望とする配線パターンに応じて選択的にパターニングして、フリップチップ受けパッド２２と、所望の配線パターンをもった配線層２を形成する。金属箔１のエッチングは、金属箔の種類に応じて適当なエッチャントを使用して常法で行うことができる。例えば金属箔１が銅箔である場合、例えば塩化第二鉄などをエッチャントとして使用することができる。
【００８８】
エッチングによってフリップチップ受けパッド２２などを形成した後、図１３（Ｈ）に示すように、最表面にソルダレジスト層１７及び１８を形成する。その後さらに、図１３（Ｉ）に示すように、導体パッド１２を形成し、導体パッド１２の上にははんだボール１３を取り付ける。ソルダレジスト層１８にはチップ部品２５を搭載することができる。このような一連の工程を経て、目的とする多層配線基板１０を完成することができる。
【実施例】
【００８９】
引き続いて、本発明をその実施例を参照して説明する。なお、本発明は、下記の実施例によって限定されるものでない。
【００９０】
アライメントマークを形成した銅箔（サイズ：約１５ｃｍ角）及びほぼ中央部に貫通孔を備えた多層配線基板（図１を参照されたい）を用意した。銅箔を多層配線基板に接合し、貫通孔を銅箔で閉塞した。接合のため、エポキシ系接着剤を使用した。次いで、銅箔と多層配線基板とが作る面内において、所定の複数の２点間を直径２５μｍの金ワイヤで接続した。次いで、銅箔及び金ワイヤを全面的に被覆するように、低弾性率のシリコーン系樹脂をポッティングにより供給し、金ワイヤが十分に被った樹脂層（厚さ：銅箔上で約３００μｍ）を形成した。樹脂層を５０〜１００℃の温度で保持することで硬化させた。次いで、銅箔が多層配線基板に接合している部分の所定の位置に貫通孔を形成した。本例の場合、ＣＯ2レーザーで直径約８０μｍの貫通孔を形成した。引き続いて、金属箔の上から無電解銅めっき及び電解銅めっきを施し、貫通孔に銅を充填した。めっきの完了後、銅箔付きの多層配線基板が得られた。
【００９１】
次いで、銅箔のエッチングを塩化第二鉄からなるエッチャントで行い、フリップチップ受けパッド及び配線層を形成した。エッチングの完了後、最表面にソルダレジストを厚さ約２０μｍで塗布して多層配線基板が完成した。なお、この多層配線基板には、必要に応じて、ニッケルめっき、金めっき、ソルダめっき等のめっきを施してもよい。また、本例では導体ワイヤとして金ワイヤを使用したけれども、銅ワイヤ、アルミニウムワイヤなどの導体ワイヤや、導体ワイヤに有機絶縁材をコーティングした被覆ワイヤが商業的に入手可能であり、利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明による多層配線基板の好ましい１形態を示した断面図である。
【図２】本発明による多層配線基板のもう１つの好ましい形態を示した断面図である。
【図３】本発明による多層配線基板のもう１つの好ましい形態を示した断面図である。
【図４】本発明による多層配線基板のもう１つの好ましい形態を示した断面図である。
【図５】本発明の多層配線基板において使用し得る同軸構造をもった導体ワイヤを製造する１手法を順に示した断面図である。
【図６】本発明による半導体装置の好ましい１形態を示した断面図である。
【図７】本発明による半導体装置のもう１つの好ましい形態を示した断面図である。
【図８】本発明による半導体装置のもう１つの好ましい形態を示した断面図である。
【図９】図４に示した多層配線基板を製造する１方法（その１）を順に示した断面図である。
【図１０】図４に示した多層配線基板を製造する１方法（その２）を順に示した断面図である。
【図１１】図４に示した多層配線基板の製造において垂直配線部を形成する方法を順に示した断面図である。
【図１２】図４に示した多層配線基板を製造するもう１つの方法（その１）を順に示した断面図である。
【図１３】図４に示した多層配線基板を製造するもう１つの方法（その２）を順に示した断面図である。
【図１４】従来の多層配線基板の一例を示した断面図である。
【図１５】従来の多層配線基板のもう１つの例を示した断面図である。
【符号の説明】
【００９３】
１    金属箔
２    配線層
３    絶縁層
４    配線層
５    導体ワイヤ
６    絶縁層
７    垂直配線部
８    垂直配線部
９    貫通孔（開口部）
１０    多層配線基板
１１    有機樹脂材料
１２    導体パッド
１３    はんだボール
１４    絶縁層
１５    金属層
１６    マザーボード
１７    ソルダレジスト層
１８    ソルダレジスト層
２０    半導体素子
２１    はんだバンプ
２２    外部接続端子
２５    チップ部品
５０    半導体装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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