(57)【要約】【課題】液体原料の液滴を通気性部材を通して気化させる際に，通気性部材全体の温度を均一にして，液滴が気化しきれずに通気性部材が目詰まりを起こすことを防止する。【解決手段】液体原料気化器３００は，液体原料を液滴状にして気化空間３５０に吐出する液体原料供給部３００Ａと，気化部３００Ｂと，液体原料供給部からの液滴状の液体原料を気化部内に導入する導入口３３８と，気化部内に配置され，輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材３６２からなるミストトラップ部３６０と，通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し，その輻射熱によって通気性部材を加熱する輻射熱ヒータ３７０と，加熱された通気性部材に液滴状の液体原料を通して気化させることによって生成した原料ガスを外部に送出する送出口３４０とを備える。【選択図】図２
2009188266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体原料を液滴状にして吐出する液体原料供給部と，
前記液滴状の液体原料を気化させて原料ガスを生成する気化部と，
前記液体原料供給部からの前記液滴状の液体原料を前記気化部内に導入する導入口と，
前記気化部内に配置され，輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材からなるミストトラップ部と，
前記通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し，その輻射熱によって前記通気性部材を加熱する輻射熱ヒータと，
加熱された前記通気性部材に前記液滴状の液体原料を通して気化させることによって生成した原料ガスを外部に送出する送出口と，
を備えたことを特徴とする液体原料気化器。
【請求項２】
前記気化部の前記導入口と前記送出口とは対向して設け，
前記通気性部材は，前記導入口側から前記送出口側にわたって配置された筒状の形状をなし，前記導入口側の端部は閉じられるとともに，前記送出口側の端部は前記送出口に連通するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の液体原料気化器。
【請求項３】
前記輻射熱ヒータは，前記通気性部材の外側表面を囲むように配置したことを特徴とする請求項２に記載の液体原料気化器。
【請求項４】
前記輻射熱ヒータは，カーボンヒータにより構成されることを特徴とする請求項３に記載の液体原料気化器。
【請求項５】
前記通気性部材と前記輻射熱ヒータとの間に，前記液滴状の液体原料が流通する気化空間と前記輻射熱ヒータの配設空間とを仕切る筒状の仕切部材を前記通気性部材を囲むように設け，
前記仕切部材は，前記輻射熱ヒータが照射する熱線を透過させる通気性のない部材で構成したことを特徴とする請求項３に記載の液体原料気化器。
【請求項６】
前記仕切部材は石英で構成したことを特徴とする請求項５に記載の液体原料気化器。
【請求項７】
前記通気性部材の温度を測定する温度センサと，
前記温度センサによって測定された前記通気性部材の温度に基づいて前記輻射熱ヒータを制御することにより，前記通気性部材の温度を所定の温度に調節する制御部と，
を設けたことを特徴とする請求項１に記載の液体原料気化器。
【請求項８】
前記気化部の外枠を構成するハウジングの内側面は，前記輻射熱ヒータからの熱線を反射して前記通気性部材の外側表面に向かうように鏡面加工したことを特徴とする請求項７に記載の液体原料気化器。
【請求項９】
液体原料を気化させて原料ガスを生成する他の液体原料気化器に接続される液体原料気化器であって，
前記他の液体原料気化器で生成された原料ガスを導入する導入口と，
輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材からなるミストトラップ部と，
前記通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し，その輻射熱によって前記通気性部材を加熱する輻射熱ヒータと，
前記導入口から導入した前記他の液体原料気化器からの原料ガスを，加熱された前記通気性部材を通して外部に送出する送出口と，
を備えたことを特徴とする液体原料気化器。
【請求項１０】
液体原料を気化させて原料ガスを生成する液体原料気化器から原料ガスを導入して被処理基板に対して成膜処理を行う成膜室を備える成膜装置であって，
前記液体原料気化器は，
前記液体原料を液滴状にして吐出する液体原料供給部と，
前記液滴状の液体原料を気化させて原料ガスを生成する気化部と，
前記液体原料供給部からの前記液滴状の液体原料を前記気化部内に導入する導入口と，
前記気化部内に配置され，輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材からなるミストトラップ部と，
前記通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し，その輻射熱によって前記通気性部材を加熱する輻射熱ヒータと，
加熱された前記通気性部材に前記液滴状の液体原料を通して気化させることによって生成した原料ガスを外部に送出する送出口と，
を備えたことを特徴とする成膜装置。
【請求項１１】
液体原料を気化させて原料ガスを生成する液体原料気化器から原料ガスを導入して被処理基板に対して成膜処理を行う成膜室を備える成膜装置であって，
前記液体原料気化器は，液体原料を気化させて原料ガスを生成する第１の液体原料気化器とこれに接続された第２の液体原料気化器により構成され，
前記第２の液体原料気化器は，
前記第１の液体原料気化器で生成された原料ガスを導入する導入口と，
輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材からなるミストトラップ部と，
前記通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し，その輻射熱によって前記通気性部材を加熱する輻射熱ヒータと，
前記導入口から導入した前記第１の液体原料気化器からの原料ガスを，加熱された前記通気性部材を通して外部に送出する送出口と，
を備えたことを特徴とする成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，液体原料を気化させて原料ガスを生成する液体原料気化器及びそれを用いた成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板やガラス基板などの被処理基板の表面上に，誘電体，金属，半導体などの薄膜を成膜する方法として，上記被処理基板が載置されている成膜室に有機金属化合物などの有機原料ガスを供給し，この有機原料ガスと酸素やアンモニアなどの他のガスとを反応させて成膜する化学気相成長（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法が知られている。このようなＣＶＤ法で用いられる有機原料は，常温で液体あるいは固体であるものが多いため，有機原料を気化させるための気化器が必要になる。
【０００３】
通常，上記有機原料は，予め溶媒を用いて液体状にされてから気化器に導入される。このような液体原料を気化させて原料ガスを生成する従来の気化器としては，例えば気化室内に多数の孔を有する気化面を設け，この気化面を抵抗加熱ヒータで加熱しつつ，ノズルから液体原料を吐出して液滴（ミスト）状にしたものをキャリアガスの流れに乗せて気化面に吹き付けることによって気化させるものがある。
【０００４】
このような気化器においては，気化効率を高めるために液体原料をできるだけ小径な液滴にして気化面に吹き付けることが望ましい。ところが，液滴の径を小さくするほど，気化面に接触せずにその孔を通り抜けてしまう虞がある。このように気化しきれなかった液滴は，キャリアガスの気流に乗って成膜室内に浸入してパーティクル発生の要因になる。例えば気化しきれなかった液体原料の液滴が成膜室内に浸入した際にその成膜室に酸素が残留していると，その液滴が酸化して微細なパーティクルとなり，これが基板に付着すると異常成膜や膜質不良が生じるという問題がある。
【０００５】
このため，従来は，気化器で生成された原料ガスを微小な孔を有するフィルタを通して成膜室に供給させるようにし，このフィルタを抵抗加熱ヒータなどで加熱して，原料ガスに含まれる気化しきれなかった液滴をフィルタを通して気化させるようにしていた。これによれば，気化器自体の気化効率が多少悪くても，気化しきれなかった液滴がそのまま成膜室内に浸入することを防ぐことができる。
【０００６】
また，気化効率を高めるため，細孔を有する固体充填物や多孔質体のような微小な孔を有する通気性部材を配置し，この通気性部材を抵抗加熱ヒータや熱媒体などで加熱して，液体原料の液滴を通して気化させるものもある（例えば特許文献１，２参照）。これによれば，液滴が通気性部材に接触する可能性も増えるので，気化効率を高めることができる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３４７５９８号公報
【特許文献２】特開平１０−８５５８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら，従来，液体原料の液滴を気化するために使用されていた固体充填物，多孔質体，フィルタなどの通気性部材は，抵抗加熱ヒータからの熱伝導によって加熱していたので，通気性部材全体に渡って均一に熱量を供給することができなかった。通気性部材のうち例えば抵抗加熱ヒータから離れていて熱量が十分届かない部分など温度が低い部分が存在するので，液滴が気化されずに目詰まりを起こす虞があった。
【０００９】
特に，通気性部材の表面には多数の孔が形成されていることからその表面積は広く，元来，通気性部材は放熱性が高いものである。しかもその表面は，温度の低い原料ガスや液体原料の液滴に晒されている。このため，通気性部材全体のうち抵抗加熱ヒータからの熱が伝わりにくい領域はさらに温度が低下してしまう。また，通気性部材の表面に液体原料の液滴が付着して気化されると，そのときの気化熱によって通気性部材から熱が奪われることになる。このとき，熱が伝わりにくい領域ではその気化熱分の熱エネルギーを十分に補充することができず，結果として通気性部材の中で温度差が生じてしまう。
【００１０】
例えば特許文献１に記載の気化器では，固体充填物はその外側の抵抗加熱ヒータからの熱伝導によって加熱されるため，固体充填物のうち抵抗加熱ヒータに近い外周領域に比べて中央領域の温度が低くなるなど，固体充填物全体の温度を均一にすることは困難である。このような場合，中央領域の温度が液体原料を気化させることができる温度に達せず，気化不良が発生して固体充填物が目詰まりする虞がある。
【００１１】
これに対して，特許文献２に記載の気化器では，多孔質体にて目詰まりを起こすことなく液体原料を効率よく気化させるために，多孔質体内の一部を通る流路を設け，この流路に熱媒体を流通させることによって多孔質体の内部から加熱している。しかしながら，これだけでは目詰まりを防止する点で十分とは言えない。すなわち，熱媒体を流通させる流路は多孔質体内の一部に配置されているだけであるため，多孔質体全体にわたって均一に熱を伝えることはできない。このため部分的に気化不良が発生し，多孔質体が目詰まりする虞は払拭しきれない。また，多孔質体全体にわたって均一に熱を伝えるためには，多孔質体全体に隈無く流路を形成すればよいとも考えられる。しかし，そのようにすれば構造が複雑となるばかりか，流路を形成した分だけ原料ガスが通過できる領域が減少し，多孔質体における圧力損失が大きくなってしまう。これでは，所定の流量の原料ガスを得ることができなくなる。
【００１２】
そこで，本発明はこのような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，液体原料の液滴を通気性部材を通して気化させる際に，通気性部材全体の温度を均一にすることができ，気化しきれずに目詰まりを起こすことを防止できる液体原料気化器およびそれを用いた成膜装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，液体原料を液滴状にして吐出する液体原料供給部と，前記液滴状の液体原料を気化させて原料ガスを生成する気化部と，前記液体原料供給部からの前記液滴状の液体原料を前記気化部内に導入する導入口と，前記気化部内に配置され，輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材からなるミストトラップ部と，前記通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し，その輻射熱によって前記通気性部材を加熱する輻射熱ヒータと，加熱された前記通気性部材に前記液滴状の液体原料を通して気化させることによって生成した原料ガスを外部に送出する送出口とを備えたことを特徴とする液体原料気化器が提供される。
【００１４】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，液体原料を気化させて原料ガスを生成する液体原料気化器から原料ガスを導入して被処理基板に対して成膜処理を行う成膜室を備える成膜装置であって，前記液体原料気化器は，前記液体原料を液滴状にして吐出する液体原料供給部と，前記液滴状の液体原料を気化させて原料ガスを生成する気化部と，前記液体原料供給部からの前記液滴状の液体原料を前記気化部内に導入する導入口と，前記気化部内に配置され，輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材からなるミストトラップ部と，前記通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し，その輻射熱によって前記通気性部材を加熱する輻射熱ヒータと，加熱された前記通気性部材に前記液滴状の液体原料を通して気化させることによって生成した原料ガスを外部に送出する送出口とを備えたことを特徴とする成膜装置が提供される。
【００１５】
このような本発明によれば，液滴状の液体原料を捕捉して気化させるミストトラップ部を輻射熱によって加熱される通気性部材で構成し，輻射熱ヒータによって通気性部材の外側表面全体に熱線を照射するので，通気性部材全体を均一に加熱することができる。これにより全体に渡って通気性部材の温度を均一にすることができるので，通気性部材に液滴状の液体原料を通すだけで，液滴を満遍なくすべて気化させることができる。これにより，従来以上に気化効率を向上させることができるとともに，部分的な温度低下による気化不良を防止できるため，通気性部材の目詰まりを防止することができる。さらに，通気性部材の外側表面全体を直接加熱できるので，通気性部材を液滴状の液体原料が通る際に，液滴の気化熱によりどの部分で熱が奪われても，素早く熱エネルギーを補充することができる。
【００１６】
また，上記気化部の前記導入口と前記送出口とは対向して設け，前記通気性部材は，前記導入口側から前記送出口側にわたって配置された筒状の形状をなし，前記導入口側の端部は閉じられるとともに，前記送出口側の端部は前記送出口に連通するように構成するのが好ましい。このように，通気性部材を筒状に形成することで，よりコンパクトなサイズで通気性部材の表面の面積をより大きくとれるので，より多くの液滴状の液体原料を気化させて十分な量の原料ガスを生成できるとともに，所定の温度まで加熱する時間を短くできるなど，加熱効率を高めることもできる。また，導入口側の端部は閉じられることにより，導入口から供給される液体原料の液滴を輻射熱ヒータに囲まれる通気性部材の外側側面に導くことができる。
【００１７】
この場合，上記輻射熱ヒータは，前記通気性部材の外側表面を囲むように配置することが好ましい。このような輻射熱ヒータは，例えば所望の形状に加工し易いカーボンヒータにより構成される。これによれば，輻射熱ヒータから通気性部材の表面全体を一度に加熱できるので，加熱効率をより高めることができる。
【００１８】
さらに，上記通気性部材と前記輻射熱ヒータとの間に，前記液滴状の液体原料が流通する気化空間と前記輻射熱ヒータの配設空間とを仕切る筒状の仕切部材を前記通気性部材を囲むように設け，前記仕切部材は，前記輻射熱ヒータが照射する熱線を透過させる通気性のない部材で構成することが好ましい。このような仕切部材は例えば石英で構成する。このような仕切部材を設けることによって，輻射熱ヒータの表面にパーティクルが付着することを防止できるとともに，液滴状の液体原料の気化効率を向上させることができる。すなわち，仕切部材の内側表面とミストトラップ部の外側側面との間に輻射熱ヒータに囲まれる流路が形成されるので，この流路を通る液滴状の液体原料に輻射熱ヒータからの熱線が直接作用するとともに，通気性部材が加熱されれば流路全体の雰囲気も加熱される。これにより，液滴状の液滴の気化効率をより向上させることができる。
【００１９】
この場合，さらに通気性部材の導入口側の端部を閉じることで，導入口から供給される液体原料の液滴のすべてをミストトラップ部と仕切部材との間に形成される輻射熱ヒータに囲まれた流路に導くことができる。これにより，すべての液体原料の液滴に輻射熱ヒータの熱線を作用させることができるとともに，輻射熱ヒータで直接加熱される通気性部材の外側表面に効率よく導くことができる。従って，気化効率をより一層向上させることができる。
【００２０】
また，前記通気性部材の温度を測定する温度センサと，前記温度センサによって測定された前記通気性部材の温度に基づいて前記輻射熱ヒータを制御することにより，前記通気性部材の温度を所定の温度に調節する制御部とを設けるようにしてもよい。温度センサによって通気性部材の温度を直接測定して監視し，その測定された温度に基づいて，輻射熱ヒータを制御することで，通気性部材の温度を正確に調整することができる。このため，通気性部材全体の温度を所定の温度に常に保持することができる。
【００２１】
また，上記気化部の外枠を構成するハウジングの内側面は，前記輻射熱ヒータからの熱線を反射して前記通気性部材の外側表面に向かうように鏡面加工することが好ましい。これにより，輻射熱ヒータからの熱線を効率よく通気性部材に集めることができるので，通気性部材の加熱効率を高めることができる。
【００２２】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，液体原料を気化させて原料ガスを生成する他の液体原料気化器に接続される液体原料気化器であって，前記他の液体原料気化器で生成された原料ガスを導入する導入口と，輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材からなるミストトラップ部と，前記通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し，その輻射熱によって前記通気性部材を加熱する輻射熱ヒータと，前記導入口から導入した前記他の液体原料気化器からの原料ガスを，加熱された前記通気性部材を通して外部に送出する送出口とを備えたことを特徴とする液体原料気化器が提供される。
【００２３】
このような本発明によれば，輻射熱ヒータからの輻射熱によって加熱された通気性部材に他の液体原料気化器で生成された原料ガスを通すことにより，他の液体原料気化器で気化しきれなかった液滴も，本発明にかかる液体原料気化器で気化させることができる。
【００２４】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，液体原料を気化させて原料ガスを生成する液体原料気化器から原料ガスを導入して被処理基板に対して成膜処理を行う成膜室を備える成膜装置であって，前記液体原料気化器は，液体原料を気化させて原料ガスを生成する第１の液体原料気化器とこれに接続された第２の液体原料気化器により構成され，前記第２の液体原料気化器は，前記第１の液体原料気化器で生成された原料ガスを導入する導入口と，輻射熱によって加熱される材料で構成された通気性部材からなるミストトラップ部と，前記通気性部材の外側表面の全体に熱線を照射し，その輻射熱によって前記通気性部材を加熱する輻射熱ヒータと，前記導入口から導入した前記第１の液体原料気化器からの原料ガスを，加熱された前記通気性部材を通して外部に送出する送出口とを備えたことを特徴とする成膜装置が提供される。
【００２５】
このような本発明によれば，輻射熱ヒータからの輻射熱によって加熱された第２の液体原料気化器の通気性部材に，第１の液体原料気化器で生成された原料ガスを通すことにより，第１の液体原料気化器で気化しきれなかった液滴も，第２の液体原料気化器で気化させることができる。これにより，成膜室などに原料ガスとともに液体原料の液滴が入り込むことを防止できる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば，液体原料の液滴を通気性部材に通す際に，輻射熱ヒータによる輻射熱によって通気性部材の全体を直接加熱することができる。このため，通気性部材全体に渡って均一に加熱することができるので，液滴を満遍なくすべて気化させることができる。これにより，従来よりも気化効率を向上させることができるとともに，部分的な温度低下による気化不良を防止できるため，通気性部材の目詰まりを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２８】
（第１実施形態にかかる成膜装置）
まず，本発明の第１実施形態にかかる成膜装置について図面を参照しながら説明する。図１は第１実施形態にかかる成膜装置の概略構成例を説明するための図である。図１に示す成膜装置１００は，被処理基板例えば半導体ウエハ（以下，単に「ウエハ」という）Ｗ上にＣＶＤ法により金属酸化物膜を成膜するものであり，例えばＨＴＢ（ハフニウムタートブトキサイド）などのＨｆを含有する液体原料を供給する液体原料供給源１１０と，Ａｒなどの不活性ガスをキャリアガスとして供給するキャリアガス供給源１２０と，液体原料供給源１１０から供給される液体原料を気化させて原料ガスを生成する液体原料気化器３００と，液体原料気化器３００が生成した原料ガスを用いてウエハＷに例えばＨｆＯ２膜を形成する成膜室２００と，成膜装置１００の各部を制御する制御部１４０を備えている。
【００２９】
液体原料供給源１１０と液体原料気化器３００は，液体原料供給配管１１２で接続されており，キャリアガス供給源１２０と液体原料気化器３００は，キャリアガス供給配管１２２で接続されており，液体原料気化器３００と成膜室２００は，原料ガス供給配管１３２で接続されている。そして，液体原料供給配管１１２には液体原料流量制御バルブ１１４が備えられ，キャリアガス供給配管１２２にはキャリアガス流量制御バルブ１２４が備えられ，原料ガス供給配管１３２には原料ガス流量制御バルブ１３４が備えられている。これら液体原料流量制御バルブ１１４，キャリアガス流量制御バルブ１２４及び原料ガス流量制御バルブ１３４は，制御部１４０からの制御信号によってそれぞれの開度が調整されるように構成されている。制御部１４０は，液体原料供給配管１１２を流れる液体原料の流量，キャリアガス供給配管１２２を流れるキャリアガスの流量，及び原料ガス供給配管１３２を流れる原料ガスの流量を測定して，その測定結果に応じて制御信号を出力することが好ましい。
【００３０】
成膜室２００は，例えば略円筒状の側壁部材２１０を有し，この側壁部材２１０と天壁部材２１２と底壁部材２１４に囲まれた内部空間に，ウエハＷが水平に載置されるサセプタ２２２を備えて構成される。側壁部材２１０と天壁部材２１２と底壁部材２１４は，例えばアルミニウム，ステンレス鋼などの金属で構成される。サセプタ２２２は，円筒状の複数の支持部材２２４（ここでは，１本のみ図示）により支持されている。また，サセプタ２２２にはヒータ２２６が埋め込まれており，電源２２８からこのヒータ２２６に供給される電力を制御することによってサセプタ２２２上に載置されたウエハＷの温度を調整することができる。
【００３１】
成膜室２００の底壁部材２１４には排気口２３０が形成されており，この排気口２３０には排気手段２３２が接続されている。そして排気手段２３２によって成膜室２００内を所定の真空度に調節することができる。
【００３２】
成膜室２００の天壁部材２１２には，シャワーヘッド２４０が取り付けられている。このシャワーヘッド２４０には原料ガス供給配管１３２が接続されており，この原料ガス供給配管１３２を経由して，液体原料気化器３００で生成された原料ガスがシャワーヘッド２４０内に導入される。シャワーヘッド２４０は，内部空間２４２と，この内部空間２４２に連通する多数のガス吐出孔２４４を有している。原料ガス供給配管１３２を介してシャワーヘッド２４０の内部空間２４２に導入された原料ガスは，ガス吐出孔２４４からサセプタ２２２上のウエハＷに向けて吐出される。
【００３３】
この成膜装置１００では，液体原料気化器３００からの原料ガスが次のようにして供給される。液体原料気化器３００に液体原料供給源１１０からの液体原料が液体原料供給配管１１２を介して供給されるとともに，キャリアガス供給源１２０からのキャリアガスがキャリアガス供給配管１２２を介して供給されると，液体原料気化器３００の後述する液体原料供給部３００Ａによってキャリアガスとともに液体原料が液滴状となって気化部３００Ｂに吐出され，その液滴が気化部３００Ｂで気化されて原料ガスが生成される。液体原料気化器３００で生成された原料ガスは，原料ガス供給配管１３２を介して成膜室２００に供給され，成膜室２００内のウエハＷに対して所望のプロセス処理が施される。
【００３４】
上記のような成膜装置１００の液体原料気化器３００において液体原料を完全に気化させることができなかった場合，液体原料の液滴の一部が原料ガスに混入して原料ガス供給配管１３２に送出され，成膜室２００内に流入する虞がある。このように成膜室２００内に流入した液体原料の液滴は，パーティクルとしてウエハＷ上に形成される膜の膜質を低下させる要因となり得る。また，液体原料気化器３００において液体原料の気化効率が悪化した場合，成膜室２００に供給される原料ガスの流量が不足し，ウエハＷに例えばＨｆＯ２膜を形成する際に所望の成膜レートが得られなくなる虞がある。
【００３５】
そこで，本実施形態にかかる液体原料気化器３００では，液体原料の液滴のすべてを効率よく気化させて，成膜室２００における成膜処理に十分な量の良質な原料ガスを生成することができるように構成する。このような液体原料気化器３００の具体的な構成例を以下に説明する。
【００３６】
（第１実施形態にかかる液体原料気化器の構成例）
次に，本発明の第１実施形態にかかる液体原料気化器３００の構成例について図面を参照しながら説明する。図２は，第１実施形態にかかる液体原料気化器３００の概略構成例を示す縦断面図である。この液体原料気化器３００は，大きく分けて，液体原料を液滴状にして後段に供給する液体原料供給部３００Ａと，この液体原料供給部３００Ａから供給される液体原料を気化させる気化部３００Ｂとから構成されている。
【００３７】
まず液体原料供給部３００Ａの構成例について説明する。この液体原料供給部３００Ａには，上面から内部に垂直方向に延びる液体原料流路３１０が設けられており，側面から内部に水平方向に延びるキャリアガス流路３１２が設けられている。液体原料流路３１０の一端には液体原料供給配管１１２が接続されており，キャリアガス流路３１２の一端にはキャリアガス供給配管１２２が接続されている。
【００３８】
液体原料流路３１０の他端には，液体原料を液滴状にして吐出する吐出ノズル３１４が備えられている。この吐出ノズル３１４は，例えば先細りに構成され（図２ではこの構成の図示を省略する），その先端の吐出口３１６が気化部３００Ｂ内の気化空間３５０に向くように配置される。
【００３９】
吐出ノズル３１４の吐出口３１６の直径は，気化部３００Ｂ内に供給される液体原料の液滴の目標サイズに応じて決定される。気化部３００Ｂ内において，液滴状の液体原料を確実に気化させるためには，液滴のサイズは小さい方が有利であるため，吐出口３１６の直径も小さいことが好ましい。ただし，液滴のサイズが小さくなり過ぎると，液滴を気化して得られる原料ガスの流量が不足する虞がある。これらの点を考慮して，吐出口３１６の直径を決定することが好ましい。
【００４０】
吐出ノズル３１４の構成材料としては，有機溶媒に対する耐性を有するポリイミド樹脂などの合成樹脂又はステンレス鋼やチタンなどの金属が好ましい。吐出ノズル３１４を合成樹脂で構成すれば，吐出される前の液体原料に周囲から熱が伝導しないようにすることができる。とりわけポリイミド樹脂を用いることで，液体原料の残渣（析出物）が吐出ノズル３１４に付着し難くなり，ノズルの目詰まりを防止することもできる。
【００４１】
また，液体原料供給部３００Ａの内部には，吐出ノズル３１４の先端を囲むようにキャリアガス噴射部３１８が配設されている。キャリアガス噴射部３１８は上記キャリアガス流路３１２の他端に接続されており，キャリアガス流路３１２からのキャリアガスを液体原料とともに気化部３００Ｂの気化空間３５０に向けて噴出するように構成されている。
【００４２】
具体的には，キャリアガス噴射部３１８は吐出ノズル３１４の先端を囲むカップ状に形成されており，その底部にキャリアガス噴出口３２０が形成されている。キャリアガス噴出口３２０は，吐出ノズル３１４の先端の吐出口３１６の近傍にこの吐出口３１６を囲むように形成されている。これによって吐出口３１６の周りからキャリアガスを噴出することができるようになり，吐出口３１６から吐出される液体原料の液滴を確実に気化部３００Ｂに向けて飛行させ，気化部３００Ｂ内に設けられた後述のミストトラップ部３６０に誘導することができる。
【００４３】
次に，気化部３００Ｂの構成例について説明する。気化部３００Ｂは，略円筒状のハウジング３３０と，この中心部に形成された気化空間３５０に設けられた円筒状の通気性部材３６２からなるミストトラップ部３６０と，この通気性部材３６２の周囲を囲むように配設され，輻射熱により通気性部材３６２を均一に加熱する輻射熱ヒータ３７０と，輻射熱ヒータ３７０と通気性部材３６２との間に輻射熱ヒータ３７０の配設空間と気化空間３５０とを仕切る仕切部材としての円筒状のスリーブ部材３４２とを備える。
【００４４】
以下，気化部３００Ｂの各部の構成をより詳細に説明する。ハウジング３３０の上流側の端部には液体原料供給部３００Ａから供給される液体原料の液滴を取り込む導入口３３８が形成されており，下流側の端部には液体原料の液滴が気化空間で気化して生成された原料ガスを送出する送出口３４０が形成されている。ミストトラップ部３６０は導入口３３８から送出口３４０にわたって配置された円筒状の通気性部材３６２からなる。通気性部材３６２は，その一端が閉じられており，他端は開口して送出口３４０を覆うように取り付けられている。これにより，ミストトラップ部３６０によって気化空間３５０は，通気性部材３６２の内側空間３６６と外側空間３６８とに仕切られる。
【００４５】
このようなミストトラップ部３６０には，導入口３３８からの液体原料の液滴がキャリアガスとともに吹き付けられる。このとき，液体原料の液滴は，外側空間３６８に回り込み，加熱された通気性部材３６２の外側表面に吹き付けられて気化し，原料ガスとなって内側空間３６６へ入り込み，送出口３４０から送出されることになる。
【００４６】
このような気化部３００Ｂの構成例を図３，図４を参照しながら，さらに詳細に説明する。図３は図２に示す気化部３００Ｂの構成例を説明するための断面斜視図である。図４は輻射熱ヒータ３７０の配設例を示す斜視図である。なお，図３では輻射熱ヒータ３７０の図示を省略している。気化部３００Ｂのハウジング３３０は，円筒状の側壁部材３３１とこの側壁部材３３１の上流側の端部と下流側の端部を閉じるようにそれぞれ設けられた上流側端壁部材３３２と下流側端壁部材３３４からなる。
【００４７】
上記導入口３３８は，上流側端壁部材３３２に形成され，上記送出口３４０は，下流側端壁部材３３４に形成される。ハウジング３３０を構成する側壁部材３３１，上流側端壁部材３３２，下流側端壁部材３３４はそれぞれ，例えばアルミニウム，ステンレス鋼などの金属で構成される。上流側端壁部材３３２と下流側端壁部材３３４はそれぞれ，例えば図２に示すように複数のボルトなどの締結部材３３６にて側壁部材３３１に取り付けられている。なお，輻射熱ヒータ３７０からの熱線（例えば遠赤外線などの電磁波）がハウジング３３０の中心部の気化空間３５０へ向かうように，側壁部材３３１の内側表面は鏡面加工が施されている。これにより，輻射熱ヒータ３７０からの熱線を効率よく気化空間３５０内の通気性部材３６２に集めることができるので，通気性部材３６２の加熱効率を高めることができる。
【００４８】
上記スリーブ部材３４２は，ハウジング３３０の内側に側壁部材３３１と同軸の二重管構造をなすように設けられている。スリーブ部材３４２は上流側端壁部材３３２と下流側端壁部材３３４の間に押さえ込むように取り付けられている。そして，例えば図２に示すように，スリーブ部材３４２の両端に形成されたフランジがそれぞれ，上流側端壁部材３３２と下流側端壁部材３３４の内側に形成されているザグリ３４４，３４６に挿入されて位置決めされる。
【００４９】
スリーブ部材３４２と，上流側端壁部材３３２及び下流側端壁部材３３４との接触部分はそれぞれ例えば金属製のＯリングなどのシール部材３４８によりシールされている。これにより，スリーブ部材３４２の内側の気化空間３５０と，外側の輻射熱ヒータ３７０の配設空間とはシールされる。
【００５０】
このようなスリーブ部材３４２を設けることにより，スリーブ部材３４２の内側の気化空間３５０と，外側の輻射熱ヒータ３７０の配設空間とが仕切られるため，例えば気化空間３５０で熱分解された液体原料の成分などのパーティクルが輻射熱ヒータ３７０の表面に付着することを防止できる。このため，手間のかかる輻射熱ヒータ３７０の表面の洗浄などが不要となり，メンテナンスの回数も減らすことができる。この場合，スリーブ部材３４２の内側にパーティクルが付着する可能性もあるが，スリーブ部材３４２のみを洗浄することによって簡単に除去できる。なお，スリーブ部材３４２は筒状であり，その内側表面を滑らかに加工することによってパーティクルが付着し難くすることもできる。
【００５１】
ミストトラップ部３６０は，スリーブ部材３４２内に形成される気化空間３５０に設けられる。ミストトラップ部３６０は，上述したように円筒状の通気性部材３６２からなる。この通気性部材３６２の上流側の端部にはその開口端面を閉じる円板状の閉じ部材３６４が設けられており，下流側の端部は開口したまま，送出口３４０の周りを囲んだ状態で下流側端壁部材３３４に接合するように取り付けらている。こうして，通気性部材３６２の下流側の端部は送出口３４０に連通するようになっている。
【００５２】
このミストトラップ部３６０は，導入口３３８からキャリアガスとともに導入された液体原料の液滴を通気性部材３６２で捕捉して気化させるものである。液体原料の液滴が気化すると原料ガスとなってキャリアガスとともに通気性部材３６２の内側空間３６６に入り込み，送出口３４０から送出される。なお，通気性部材３６２の下流側の端部を下流側端壁部材３３４に直接接合せずに，断熱部材を挟んで接合するようにしてもよい。これによれば，ミストトラップ部３６０の熱が下流側端壁部材３３４に逃げることを防ぐことができるので，加熱効率を高めることができる。
【００５３】
ここで，通気性部材３６２について説明する。通気性部材３６２は，液体原料の液滴を通すことなく捕捉して，これが気化して生成した原料ガスを通す通気性を有するものである。また，通気性部材３６２の構成材料としては，輻射熱ヒータ３７０による熱線によってそのものが加熱される特性，例えば赤外線などの電磁波を吸収してそのものの温度が上昇しやすい特性を有するものを用いる。このような特性を有するものとしては，例えばポーラス構造を有する炭化ケイ素（ＳｉＣ）などのセラミックス又はステンレス鋼などの金属が挙げられる。なお，閉じ部材３６４は通気性部材３６２と同様に例えば炭化ケイ素（ＳｉＣ）などのセラミックス又はステンレス鋼などの金属で構成される。
【００５４】
通気性部材３６２の厚みは，熱容量のみならず，気化効率や加熱温度などをも考慮して決定することが好ましい。通気性部材３６２の厚みを薄くするほど，通気性部材３６２の熱容量が小さくなるので，加熱効率を向上させることができ，また加熱に必要な時間も短縮できる。ところが，通気性部材３６２の厚みを薄くするほど，通気性部材３６２の表面積も少なくなるので，液滴状の液体原料の気化効率が低下する。但し，加熱温度を高くすることで気化効率の低下を抑えることができる。従って，通気性部材３６２の厚みは，十分な気化効率が得られる範囲で，できる限り薄い方が好ましい。
【００５５】
なお，通気性部材３６２の長さは側壁部材３３１の長さよりも短く形成されており，通気性部材３６２の径はスリーブ部材３４２よりも小さく形成されている。このため，通気性部材３６２の上流側の端部（閉じ部材３６４側の端部）は，上流側端壁部材３３２から少し離れ，通気性部材３６２の側面はスリーブ部材３４２よりも内側になる。これにより，導入口３３８に向けて吐出された液滴とキャリアガスが通気性部材３６２の上流側から側面（外側空間３６８）に向かう流路が形成される。
【００５６】
このように通気性部材３６２とスリーブ部材３４２との間に流路を形成することにより，この流路（外側空間３６８）を通る液滴を効率よく通気性部材３６２の側面に導くことができるので，その液滴のほとんどは通気性部材３６２の外側表面に吹き付けられて気化する。さらに，この流路は輻射熱ヒータ３７０の内側に形成されるので，この流路を通る液滴の一部は輻射熱ヒータ３７０からの熱線を直接受けてその輻射熱により気化する。このように流路を輻射熱ヒータ３７０の内側に形成することにより，ミストトラップ部３６０の通気性部材３６２を通る前に気化させることもできる。
【００５７】
なお，スリーブ部材３４２は輻射熱ヒータ３７０からの例えば熱線（例えば遠赤外線などの電磁波）を透過する材料で構成される。このような材料としては，例えば透明の石英やアルミナなどが挙げられる。これにより，輻射熱ヒータ３７０からの熱線がスリーブ部材３４２を透過してほとんど減衰することなく通気性部材３６２に照射されるので，その輻射熱によって通気性部材３６２をスリーブ部材３４２の外側から効率よく加熱することができる。このように熱線を発する輻射熱ヒータ３７０としては，例えばＱＣＨ−ＨＥＡＴＥＲ（登録商標）などのカーボンヒータを用いることができる。なお，輻射熱ヒータ３７０としては，これに限られるものではなく，ハロゲンヒータ，ニクロムヒータを用いてもよい。このような輻射熱ヒータ３７０は，例えばヒータ電源３７４から供給される電力を制御して，輻射熱ヒータ３７０から照射される熱線の強さ（ヒータパワー）を制御することにより，通気性部材３６２に与えられる熱量を制御できる。
【００５８】
ここで，輻射熱ヒータ３７０の配設例について説明する。輻射熱ヒータ３７０は例えば図４に示すように，スリーブ部材３４２の外側から通気性部材３６２の側面（外側表面）を覆うように配置される。図４では，輻射熱ヒータ３７０としてＱＣＨ−ＨＥＡＴＥＲ（登録商標）を用いて，つづら折り状に構成したものである。このような輻射熱ヒータ３７０によれば，通気性部材３６２の通気性部材３６２の側面（外側表面）全体に輻射熱ヒータ３７０からの熱線を照射できるので，その輻射熱により，全体に渡って通気性部材３６２の温度を均一に加熱することができる。
【００５９】
輻射熱ヒータ３７０の端部は，図２に示すように下流側端壁部材３３４に形成されている貫通孔３７２から気化部３００Ｂのハウジング３３０の外に延出して，ヒータ電源３７４に接続されている。また，通気性部材３６２には熱電対などの温度センサ３７６が設けられている。これらヒータ電源３７４，温度センサ３７６は，制御部１４０に接続されている。制御部１４０は，温度センサ３７６からの温度に応じて，ヒータ電源３７４の電力を制御することにより輻射熱ヒータ３７０を制御し，通気性部材３６２を所定の温度に加熱制御することができる。
【００６０】
（成膜装置の動作）
次に，本実施形態にかかる成膜装置１００の動作について説明する。成膜装置１００は制御部１４０により各部が制御され，動作するようになっている。液体原料気化器３００によって原料ガスを生成するにあたり，液体原料気化器３００の輻射熱ヒータ３７０を発熱させて通気性部材３６２を所定の温度に加熱する。このとき，輻射熱ヒータ３７０からは熱線が通気性部材３６２の周りに放射され，通気性部材３６２はその全体がむらなく所定の温度に加熱される。そして，温度センサ３７６により通気性部材３６２の温度が測定され，その測定温度に基づいてヒータ電源３７４を介して輻射熱ヒータ３７０のパワーが調整される。こうして，通気性部材３６２の温度を所定の温度に保持する。このときの通気性部材３６２の温度は，例えば液体原料の気化温度よりも高い温度（例えば１００〜３００℃）に保持される。
【００６１】
続いて，所定の流量の液体原料が液体原料供給配管１１２を介して液体原料供給源１１０から液体原料気化器３００に供給されるように，液体原料流量制御バルブ１１４の開度を調整する。これとともに，所定の流量のキャリアガスがキャリアガス供給配管１２２を介してキャリアガス供給源１２０から液体原料気化器３００に供給されるように，キャリアガス流量制御バルブ１２４の開度を調整する。
【００６２】
液体原料供給配管１１２を介して液体原料気化器３００に供給された液体原料は，液体原料流路３１０を経由して吐出ノズル３１４に達し，吐出口３１６から液滴状となって吐出される。また，液体原料とともに液体原料気化器３００に供給されたキャリアガスは，キャリアガス流路３１２を経由してキャリアガス噴射部３１８に達し，キャリアガス噴出口３２０から気化部３００Ｂの気化空間３５０に向けて噴射される。このように噴射されたキャリアガスは，吐出ノズル３１４の吐出口３１６近傍を通過するため，吐出口３１６から連続的に吐出された液体原料の液滴をその流れに乗せて気化部３００Ｂ内に供給することができる。
【００６３】
吐出ノズル３１４から吐出された液体原料の液滴は，キャリアガスとともに導入口３３８から気化空間３５０のミストトラップ部３６０に向けて吹き付けられる。このとき，その液滴とキャリアガスはミストトラップ部３６０の上流側から流路（外側空間３６８）に沿って側面に導かれるので，ミストトラップ部３６０の通気性部材３６２の外側表面に吹き付けられることになる。
【００６４】
通気性部材３６２は輻射熱ヒータ３７０からの輻射熱によって全体的に均一に液体原料の気化温度よりも高い所定の温度に調整されている。このため，液体原料の液滴は通気性部材３６２の表面のいずれの箇所に吹き付けられても，その液滴を十分に気化させることができる。
【００６５】
このように液体原料の液滴は通気性部材３６２に吹き付けられて気化し，原料ガスとなって内側空間３６６に流入し，キャリアガスとともに送出口３４０を介して原料ガス供給配管１３２に送出される。原料ガス供給配管１３２に送出された原料ガスは，成膜室２００に供給され，シャワーヘッド２４０の内部空間２４２に導入され，ガス吐出孔２４４からサセプタ２２２上のウエハＷに向けて吐出される。そして，ウエハＷ上に所定の膜例えばＨｆＯ２膜が形成される。なお，成膜室２００に導入される原料ガスの流量は原料ガス供給配管１３２に備えられた原料ガス流量制御バルブ１３４の開度を制御することによって調整できる。
【００６６】
以上のように第１実施形態にかかる液体原料気化器３００によれば，液滴状の液体原料を捕捉して気化させるミストトラップ部３６０を輻射熱によって加熱される通気性部材３６２で構成し，この通気性部材３６２の周囲を囲むように輻射熱ヒータ３７０を設けることにより，輻射熱ヒータ３７０からの輻射熱によって通気性部材３６２の全体を直接加熱できる。このため，全体に渡って通気性部材３６２の温度を均一にすることができるので，このような通気性部材３６２に液滴状の液体原料が吹き付けられるだけで，液滴を満遍なくすべて気化させることができる。これにより，従来以上に気化効率を向上させることができる。また，部分的な温度低下による気化不良を防止できるため，通気性部材３６２の目詰まりを防止することができる。従って，通気性部材３６２の寿命を延ばすことができ，ひいては気化部３００のメンテナンスサイクルを延ばすことができる。これにより，成膜装置１００におけるスループットを向上させることもできる。
【００６７】
また，液滴状の液体原料が流通する気化空間３５０と，輻射熱ヒータ３７０の配設空間とを仕切るスリーブ部材３４２を設けることによって，輻射熱ヒータ３７０の表面にパーティクルが付着することを防止できるとともに，液体原料の液滴の気化効率を向上させることができる。すなわち，スリーブ部材３４２の内側表面と通気性部材３６２の外側側面との間に輻射熱ヒータ３７０に囲まれる流路が形成されるので，この流路を通る液体原料の液滴に輻射熱ヒータ３７０からの熱線が直接作用するとともに，流路全体の雰囲気も輻射熱ヒータ３７０によって加熱される。これにより，液体原料の液滴の気化効率をより向上させることができる。
【００６８】
また，温度センサ３７６によって通気性部材３６２の温度をリアルタイムで測定し，その測定された温度に基づいて輻射熱ヒータ３７０を制御するので，通気性部材３６２の温度が常に設定温度を保持するように調整できる。このため成膜処理中，通気性部材３６２全体の温度を常に均一に保って，通気性部材３６２に吹き付けられた液滴状の液体原料を確実に気化させて，成膜室２００に対して所望の流量の原料ガスを安定的に供給できる。
【００６９】
また，液体原料供給部３００Ａの条件，例えば液体原料の種類や量，液滴の大きさなどに応じて通気性部材３６２の温度が最適になるように輻射熱ヒータ３７０のパワーを調整するようにしてもよい。これにより，液体原料供給部３００Ａの条件に拘わらず，気化効率を向上させることができる。
【００７０】
なお，第１実施形態においては，ミストトラップ部を一端が閉じられた円筒状の通気性部材３６２で構成した場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるもではない。例えばミストトラップ部３６０を上流側に凸となる円錐状の通気性部材３６２で構成してもよい。この場合，ミストトラップ部３６０全体を通気性部材３６２で構成してもよく，先端部分を開口して閉じ部材３６４を取り付けるようにしてもよい。また，輻射熱ヒータ３７０は通気性部材３６２の外側表面に沿って配置するようにしてもよい。
【００７１】
また，通気性部材３６２の一端を閉じる閉じ部材３６４は，通気性部材３６２と同様に通気性を有する部材で構成してもよいが，この閉じ部材３６４を通気性を有しない部材で構成することによって，導入口３３８から気化空間３５０に供給される液体原料の液滴のすべてを輻射熱ヒータ３７０の内側に形成される通気性部材３６２とスリーブ部材３４２との間の流路（外側空間３６８）に導くことができる。これにより，すべての液体原料の液滴に輻射熱ヒータ３７０の熱線を作用させることができるとともに，輻射熱ヒータ３７０で直接加熱される通気性部材３６２の外側表面に効率よく導くことができる。従って，気化効率をより一層向上させることができる。
【００７２】
また，ハウジング３３０，スリーブ部材３４２，通気性部材３６２は，円筒状に形成した場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，円筒以外の筒状に形成してもよい。例えば角筒状に形成してもよい。また，気化部３００Ｂはスリーブ部材３４２を設けずに構成してもよい。
【００７３】
（第２実施形態にかかる成膜装置）
次に，本発明の第２実施形態にかかる成膜装置について図面を参照しながら説明する。図５は第２実施形態にかかる成膜装置１０２の概略構成例を説明するための図である。ここでは，成膜装置１０２に利用する液体原料気化器３０２を第１の液体原料気化器３０４とこれに接続配管３０６で接続された第２の液体原料気化器３０８により構成した場合について説明する。なお，第２実施形態にかかる成膜装置１０２における液体原料気化器３０２以外の構成については図１に示す第１実施形態にかかる成膜装置１００と同様であるため，図５では同一機能構成を有する構成要素には同一符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
【００７４】
第２実施形態にかかる液体原料気化器３０２は，液体原料供給源１１０から供給される液体原料を気化させて原料ガスを生成する第１の液体原料気化器３０４と，第１の液体原料気化器３０４で生成された原料ガスの吐出口に接続配管３０６を介して接続される第２の液体原料気化器３０８とを備え，第２の液体原料気化器３０８の吐出口から吐出した原料ガスを原料ガス供給配管１３２を介して成膜室２００に供給するように構成されたものである。
【００７５】
第２実施形態にかかる第２の液体原料気化器３０８の構成例を図６に示す。第２の液体原料気化器３０８は，第１実施形態にかかる液体原料気化器３００のうちの気化部３００Ｂのみの構成からなる液体原料気化器である。したがって，第２の液体原料気化器３０８は，図２に示す気化部３００Ｂと同様の構成であるため，同一機能構成を有する構成要素には同一符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
【００７６】
一方の第１の液体原料気化器３０４は，液体原料供給源１１０から供給される液体原料を気化させて原料ガスを生成する液体原料気化器であれば，その構成や種類などは問わず，従来の液体原料気化器であってもよい。
【００７７】
このような本発明によれば，第２の液体原料気化器３０８において輻射熱によって全体的に均一に温度を上昇させた通気性部材３６２に，第１の液体原料気化器３０４で生成された原料ガスを通すことにより，第１の液体原料気化器３０４で気化しきれなかった液滴も，第２の液体原料気化器３０８で気化させることができる。これにより，成膜室２００などに原料ガスとともに液体原料の液滴が流入することを防止できる。また，通気性部材３６２の部分的な温度低下による気化不良を防止できるため，通気性部材３６２の目詰まりを防止することができる。
【００７８】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００７９】
例えば本発明にかかる液体原料気化器は，ＭＯＣＶＤ装置，プラズマＣＶＤ装置，ＡＬＤ（原子層成膜）装置，ＬＰ−ＣＶＤ（バッチ式，縦型，横型，ミニバッチ式）などに用いられる液体原料気化器にも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明は，液体原料を気化して原料ガスを生成する液体原料気化器及びそれを用いた成膜装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる成膜装置の構成例を示す図である。
【図２】同実施形態にかかる液体原料気化器の構成例を示す縦断面図である。
【図３】図２に示す気化部の一部の構成例を示す断面斜視図である。
【図４】図２に示す輻射熱ヒータの配設例を示す斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態にかかる成膜装置の構成例を示す図である。
【図６】同実施形態にかかる液体原料気化器の構成例を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００８２】
１００，１０２      成膜装置
１１０      液体原料供給源
１１２      液体原料供給配管
１１４      液体原料流量制御バルブ
１２０      キャリアガス供給源
１２２      キャリアガス供給配管
１２４      キャリアガス流量制御バルブ
１３２      原料ガス供給配管
１３４      原料ガス流量制御バルブ
１４０      制御部
２００      成膜室
２１０      側壁部材
２１２      天壁部材
２１４      底壁部材
２２２      サセプタ
２２４      支持部材
２２６      ヒータ
２２８      電源
２３０      排気口
２３２      排気手段
２４０      シャワーヘッド
２４２      内部空間
２４４      ガス吐出孔
３００      液体原料気化器
３００Ａ      液体原料供給部
３００Ｂ      気化部
３０２，３０４，３０８      液体原料気化器
３０６      接続配管
３１０      液体原料流路
３１２      キャリアガス流路
３１４      吐出ノズル
３１６      吐出口
３１８      キャリアガス噴射部
３２０      キャリアガス噴出口
３３０      ハウジング
３３１      側壁部材
３３２      上流側端壁部材
３３４      下流側単壁部材
３３６      締結部材
３３８      導入口
３４０      送出口
３４２      スリーブ部材
３４４，３４６      ザグリ
３４８      シール部材
３５０      気化空間
３６０      ミストトラップ部
３６２      通気性部材
３６４      閉じ部材
３６６      内側空間
３６８      外側空間（流路）
３７０      輻射熱ヒータ
３７２      貫通孔
３７４      ヒータ電源
３７６      温度センサ
Ｗ      ウエハ
【図１】
2009188266.tif 000003
【図２】
2009188266.tif 000004
【図３】
2009188266.tif 000005
【図４】
2009188266.tif 000006
【図５】
2009188266.tif 000007
【図６】
2009188266.tif 000008