(57)【要約】【課題】光源の省電力化、長寿命化を図ることができるとともに、低コストで高速な画像出力を可能にする光走査装置を提供する。【解決手段】半導体レーザー１から出射した複数の光ビームはカップリングレンズ３を通り、第二の偏向手段４に入射する。第二の偏向手段４のマイクロミラーにより各ビーム毎上下段に偏向され、シリンドリカルレンズ５を通り、第一の偏向手段（ポリゴンミラー）７により偏向され、異なる被走査面１２を走査する。第二の偏向手段４は共通の光源からの光束を分割せずに光路を変更する方式であるので、光源の出力を上げる必要がなく、省電力、長寿命化を図ることができる。また、Ａ／Ｏ偏向器ではなくマイクロミラーによる光束偏向であるので、低コスト化を実現できる。【選択図】図１
2009020357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームによって被走査面上を走査する光走査装置であって、変調駆動される光源と、多面反射鏡を有する第一の偏向手段と、共通の光源からの光ビームを偏向し、偏向された光ビームを前記第一の偏向手段の前記多面反射鏡に入射させる第二の偏向手段とを有し、共通の光源から偏向した光ビームが異なる被走査面を走査するようにした光走査装置において、
前記第二の偏向手段は、副走査方向に回動自在に支持されたマイクロミラーより構成されていることを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
請求項１記載の光走査装置において、
変調駆動される光源は、アレー状に配置された複数個の光源であり、前記第二の偏向手段はアレー状の複数個のマイクロミラーより構成され、一個又は複数個の光源に対して光束偏向動作を行うことを特徴とする光走査装置。
【請求項３】
請求項２記載の光走査装置において、
前記第二の偏向手段は、光源とカップリングレンズの間に配置されていることを特徴とする光走査装置。
【請求項４】
請求項２記載の光走査装置において、
前記第二の偏向手段は、カップリングレンズとシリンダレンズの間に配置されていることを特徴とする光走査装置。
【請求項５】
請求項２記載の光走査装置において、
前記第二の偏向手段は、ミラー基板と、該ミラー基板に設けられた梁と、該梁をねじり回転軸として光源からの光ビームを偏向するミラーと、前記ミラー基板に対向して設けられた１対の電極より構成されていることを特徴とする光走査装置。
【請求項６】
請求項２記載の光走査装置において、
前記第二の偏向手段は、ミラー基板と、他の基板との２枚の基板から構成され、
前記ミラー基板には、梁と、該梁をねじり回転軸としてビームを偏向するミラーと、該ミラーの両端部に設けられた可動電極と、該可動電極に対向して設けられた固定電極とが設けられ、
前記他の基板には、前記ミラーとその回転方向に対向する固定電極が設けられていることを特徴とする光走査装置。
【請求項７】
請求項２記載の光走査装置において、
前記第二の偏向手段は、絶縁層を挟んで接合された２枚の基板より構成され、
第一の基板には、梁と、該梁をねじり回転軸としてビームを偏向するミラーと、該ミラーの両端部に設けられた可動電極と、該可動電極に対向して設けられた第一の固定電極とが設けられ、
前記第一の基板と接合される第二の基板は前記ミラーの揺動空間を有し、該第二の基板の前記第一の固定電極と重なる位置には第二の固定電極が設けられていることを特徴とする光走査装置。
【請求項８】
請求項７記載の光走査装置において、
前記可動電極と、これに対向する前記第一の固定電極は互いに入れ子となる櫛歯電極構造をなし、前記可動電極と、これに対向する前記第二の固定電極も同様の櫛歯電極構造をなすことを特徴とする光走査装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の光走査装置において、
前記第二の偏向手段は、減圧封止されていることを特徴とする光走査装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の光走査装置において、
前記光源は、面発光レーザーであることを特徴とする光走査装置。
【請求項１１】
少なくとも１つの像担持体と、該像担持体に対して画像情報が含まれる複数の光ビームを走査する光走査装置と、前記像担持体に形成された像を転写対象物に転写する転写手段とを備えた画像形成装置において、
前記光走査装置が請求項１〜１０のいずれか１つに記載のものであることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複写機、プリンタ、ファクシミリ、プロッタ、これらのうち少なくとも１つを備えた複合機等の画像形成装置、該画像形成装置に用いられる光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、光源からの光ビームを副走査方向に偏向し、偏向された光ビームを２段重ねのポリゴンミラーにより変更して異なる被走査面を走査する走査光学系が示されている。
光源からの光ビームを副走査方向に偏向する方法として、Ａ／Ｏ偏向器が用いられている。Ａ／Ｏ偏向器は、光学結晶に電気的な信号を与えて回折方向や屈折方向を変化させて走査するものである。
特許文献２には、光源からの光ビームを副走査方向に分割し、分割された光ビームを２段重ねのポリゴンミラーにより変更して異なる被走査面を走査する走査光学系が示されている。
光源からの光ビームを副走査方向に２分割する方法として、ハーフミラープリズムやアパーチャによる方法が示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−８３４５２号公報
【特許文献２】特開２００５−９２１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
Ａ／Ｏ偏向器を光束を偏向する手段として用いる場合、Ａ／Ｏ偏向器の偏向できる角度が約０．３°である。そのため、Ａ／Ｏ偏向器とポリゴンミラー間の距離を長くする必要があり、光走査装置の大型化を避けられない。
また、Ａ／Ｏ偏向器に用いられる一般的なＡ／Ｏ素子として、回折格子が設けられた石英が用いられるが、そのためにＡ／Ｏ偏向器は高価になる。
ハーフミラープリズムで光束を分割する方式では、分割されてポリゴンミラーで偏向された２つのビームのうち、ポリゴンミラーの回転に応じて、どちらか片一方のビームだけが感光体での静電潜像作成に用いられる。そのため、光源は光束が２分割されない場合の２倍の出力が必要となり、電力消費の増大、早期劣化等の問題があった。
【０００５】
本発明は、光源の省電力化、長寿命化を図ることができるとともに、低コストで高速な画像出力を可能にする光走査装置、該光走査装置を備えた画像形成装置の提供を、その目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明では、光ビームによって被走査面上を走査する光走査装置であって、変調駆動される光源と、多面反射鏡を有する第一の偏向手段と、共通の光源からの光ビームを偏向し、偏向された光ビームを前記第一の偏向手段の前記多面反射鏡に入射させる第二の偏向手段とを有し、共通の光源から偏向した光ビームが異なる被走査面を走査するようにした光走査装置において、前記第二の偏向手段は、副走査方向に回動自在に支持されたマイクロミラーより構成されていることを特徴とする。
【０００７】
請求項２記載の発明では、請求項１記載の光走査装置において、変調駆動される光源は、アレー状に配置された複数個の光源であり、前記第二の偏向手段はアレー状の複数個のマイクロミラーより構成され、一個又は複数個の光源に対して光束偏向動作を行うことを特徴とする。
請求項３記載の発明では、請求項２記載の光走査装置において、前記第二の偏向手段は、光源とカップリングレンズの間に配置されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項４記載の発明では、請求項２記載の光走査装置において、前記第二の偏向手段は、カップリングレンズとシリンダレンズの間に配置されていることを特徴とする。
請求項５記載の発明では、請求項２記載の光走査装置において、前記第二の偏向手段は、ミラー基板と、該ミラー基板に設けられた梁と、該梁をねじり回転軸として光源からの光ビームを偏向するミラーと、前記ミラー基板に対向して設けられた１対の電極より構成されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項６記載の発明では、請求項２記載の光走査装置において、前記第二の偏向手段は、ミラー基板と、他の基板との２枚の基板から構成され、前記ミラー基板には、梁と、該梁をねじり回転軸としてビームを偏向するミラーと、該ミラーの両端部に設けられた可動電極と、該可動電極に対向して設けられた固定電極とが設けられ、前記他の基板には、前記ミラーとその回転方向に対向する固定電極が設けられていることを特徴とする。
請求項７記載の発明では、請求項２記載の光走査装置において、前記第二の偏向手段は、絶縁層を挟んで接合された２枚の基板より構成され、
第一の基板には、梁と、該梁をねじり回転軸としてビームを偏向するミラーと、該ミラーの両端部に設けられた可動電極と、該可動電極に対向して設けられた第一の固定電極とが設けられ、前記第一の基板と接合される第二の基板は前記ミラーの揺動空間を有し、該第二の基板の前記第一の固定電極と重なる位置には第二の固定電極が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
請求項８記載の発明では、請求項７記載の光走査装置において、前記可動電極と、これに対向する前記第一の固定電極は互いに入れ子となる櫛歯電極構造をなし、前記可動電極と、これに対向する前記第二の固定電極も同様の櫛歯電極構造をなすことを特徴とする。
請求項９記載の発明では、請求項１〜８のいずれか１つに記載の光走査装置において、前記第二の偏向手段は、減圧封止されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項１０記載の発明では、請求項１〜９のいずれか１つに記載の光走査装置において、前記光源は、面発光レーザーであることを特徴とする。
請求項１１記載の発明では、少なくとも１つの像担持体と、該像担持体に対して画像情報が含まれる複数の光ビームを走査する光走査装置と、前記像担持体に形成された像を転写対象物に転写する転写手段とを備えた画像形成装置において、前記光走査装置が請求項１〜１０のいずれか１つに記載のものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、第二の偏向手段をマイクロミラーを用いて構成しているので、Ａ／Ｏ偏向器と比較して製造コストの低減を図ることができる。
また、偏向角が大きくとれるため、光路長を長くとる必要がなく、光走査装置の小型化を実現できる。
本発明の第二の偏向手段は、例えば多面鏡の上下段のどちらか一方のポリゴンミラーに交互にビームを入射し、感光体面に静電潜像を形成するので、ハーフミラープリズムやアパーチャによる光束分割手段のようにビームを２分割して片一方のビームは、捨てるということがない。そのため、光源のパワーは、従来例にみられるように２倍にする必要がなく、低コスト化、長寿命化を図ることができる。
【００１３】
第二の偏向手段を、カップリングレンズとシリンダレンズの間に配置した場合、第一の偏向手段に入射するビーム径は、いずれの場合も例えば約５０μｍとなる。そのため、第二の偏向手段に用いられるミラーの大きさを例えば約１５μｍにでき、高速回動動作が可能となる。
第二の偏向手段のミラーと電極間に作用する静電気力により、ミラーは回動運動を行う。ミラーの大きさは、例えば約５０μｍ角であるため、他の駆動手段（圧電力、電磁力）に比較して、大きい力を作用させることができる。
また、第二の偏向手段におけるミラーの回動動作において、角度θ０では２つの静電気力が作用する。そのため、大きい力が作用するので、高速動作が可能となる。
また、第二の偏向手段におけるミラーに作用する空気による粘性抵抗力を減じることができるので、ミラーの高速動作が可能となる。
【００１４】
面発光レーザーは動作電流が小さく、配列された隣接の発光源間の熱クロストークの影響も小さい。また、面発光レーザーの発光点から放射される発散性のレーザービームは、端面発光型レーザーから放射されるレーザービームに比べて発散性が小さいため、光学系における光利用効率が高い。
このようなアレー状に配列された面発光レーザーを光書き込み光源として用いるので、第一の偏向手段の一走査で、複数のビームで感光体面上を走査できるので高速印刷が可能となる。
また、光源数を減らし、かつ共通の光源の光を２分割するのではなく、偏向して、異なる段の多面鏡に入射させる第二の偏向手段を用いているので、光源の光パワーを低くすることができ、長寿命化を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の第１の実施形態を、図１乃至図１０を参照して説明する。
まず、図１に基づいて本実施形態に係る光走査装置の構成の概要を説明する。符号１は光源としての半導体レーザーを、３、３'はカップリングレンズを、４、４'はマイクロミラーから構成される第二の偏向手段（以下、「第二の光束偏向手段」ともいう）を、５、５'はシリンドリカルレンズを、７は第一の偏向手段としての多面反射鏡（ポリゴンミラー）を、１２、１２は被走査面としての感光体を、２５、２５'はアパーチャをそれぞれ示している。
ポリゴンミラー７は、共通の回転軸に支持された上段ポリゴンミラー７ａと下段ポリゴンミラー７ｂとを有している。
図１では、２つの感光体に対応する構成のみを示しているが、実際には第一の偏向手段７を挟んで、図示された光学系と同様の光学系を配備することにより、４つの感光体を走査するようになっている。
【００１６】
半導体レーザー１、１'から出射した発散光束はカップリングレンズ３、３'により弱い収束光束又は平行光束、又は弱い発散光束に変換される。カップリングレンズ３、３'を出た光ビーム（以下、単に「ビーム」ともいう）は被走査面上でのビーム径を安定させるため開口絞り２５を通過し、第二の光束偏向手段４、４'に入射する。
第二の偏向手段４、４'に入射したアレー光源１、１'からの複数のビームは各ビーム毎上下段に偏向され、第二の光束偏向手段４、４'から出射する。
本実施形態では、第二の光束偏向手段４、４'は、光源１、１'とカップリングレンズ３、３'の間に配置されている。
第二の光束偏向手段４、４'は、カップリングレンズ３、３'とシリンドリカルレンズ５、５'の間に設置されても良い。
【００１７】
第二の光束偏向手段４、４'を出射したビームは上下段にそれぞれ配備されるシリンドリカルレンズ５、５'により、第一の偏向手段７の偏向反射面の近傍にて主走査方向に長い線像に変換される。
第一の偏向手段７は上下段にそれぞれポリゴンミラー７ａ、７ｂが配置され、互いに回転方向に角度（φ）ずれている。ここで４面のポリゴンミラーをφ＝４５ｄｅｇずらしている。
なお、上下段のポリゴンミラー７ａ、７ｂは一体的に形成されても良よく、別体として組み付けても良い。また、単体のポリゴンミラーの上下面を使い分けるようにしてもよく、あるいは単体のポリゴンミラーの同一部位を使用し、斜め入射により異なる被走査面を走査するようにしてもよい。斜め入射方式の場合にはポリゴンミラーの厚みを小さくでき、回転時の騒音を低減できる。
図１０（ａ）に示すように、共通の光源からの上段のビームＢ１が上段のポリゴンミラー７ａにより偏向されて感光体面（被走査面）を走査する。
図１０（ｂ）に示すように、共通の光源からの下段のビームＢ２が上段と異なる感光体面（被走査面）を走査する。さらに、半導体レーザー１の変調駆動も上段と下段でタイミングをずらす。すなわち、上段に対応する感光体を走査するときは、上段に対応する色（例えばブラック）の画像情報に基づき、光源（半導体レーザー）の変調駆動を行い、下段に対応する感光体を走査するときは下段に対応する色（例えばマゼンタ）の画像情報に基づき、光源の変調駆動を行う。
【００１８】
（光源についての説明）
図２により、半導体レーザー１、１'の説明を行う。
本実施形態では、半導体レーザー１、１'として、図２に示すように、複数の光源（ＶＣＳＥＬ）１１がアレー状に配列された面発光レーザー１０が用いられる。アレーピッチ（ＶＣＳＥＬのピッチ）は、主走査方向３０μｍ、副走査方向４μｍとなっている。
垂直共振器構造を持つ面発光レーザーは、２次元配列とする上で、下記のような利点がある。
半導体レーザーとして周知のｎ端面発光型レーザーはウエハの劈開により共振器を作成する。複数の発光点を２次元的に配列するのは容易でない。しかし、上記垂直共振器構造を持つ面発光レーザーでは、劈開による共振器作成の必要がないので、任意の複数の発光点を２次元的に配列したものが容易に作成できる。
そして、面発光レーザーは動作電流が小さく、配列された隣接の発光源１１間の熱クロストークの影響も小さい。面発光レーザーの発光点から放射される発散性のレーザービームは、端面発光型レーザーから放射されるレーザービームに比べて発散性が小さいため、光学系における光利用効率が高い。
このようなアレー状に配列された面発光レーザー１０を光書き込み光源として用いるので、図１に示すように、第一の偏向手段７の一走査で、複数のビーム１３、１３’により感光体面上を走査できる。
【００１９】
（光束偏向手段）
図３〜５に基づいて第二の光束偏向手段４、４'を説明する。図３に、第二の光束偏向手段の概略形状を示す。第二の偏向手段４、４’は、アレー状に配置されたの複数個のマイクロミラーとしてのミラーユニット１５より構成されている。
図４及び図５（図４の断面図）により、各個別のミラーユニット１５について説明を行う。各ミラーユニット１５は、Ｓｉ基板からなるミラー基板１６と、ミラー基板１６に設けられたミラー１７と、ミラー１７に直交方向に設けられた梁１８と、ベース基板２０と、ベース基板２０に設けられた１対の電極１９、１９’より構成されている。
梁１８をねじり回転軸として、ミラー１７は回転動作を行い、ビームを偏向する。
【００２０】
ベース基板２０の、ミラー１７と対向した位置には固定電極１９、１９’が設けられている。図５ではミラー基板１６は省略している。
ミラー基板１６はＧＮＤ（グラウンド）に接続され、各固定電極１９、１９'は、駆動回路２１を通じて図示しない電原に接続されている。
駆動回路２１により、選択的に電圧を固定電極１９、１９’に印加すると、発生する静電気力２２、２２’によりミラー１７は固定電極１９、１９’に吸引されて傾く。
これにより、入射光２６は、ミラー１７の傾きに応じて、出射光２７、２７’はそれぞれ、第一の偏向手段７の上下段のポリゴンミラー７ａ、７ｂに向かって出射される。
本実施形態では、一個のミラーに、一個の光源が対応した構成になっている。複数個の光源に対して、一個のミラーで光束偏向動作を行う構成としてもよい。
【００２１】
（光束偏向手段の動作）
図６〜図９にもとづいて、第二の光束偏向手段４の動作を説明する。図６は共通の光源によりブラックとマゼンタの露光を行い、かつ有効走査領域において、それぞれ、全点灯する場合のタイムチャートである。実線がブラックに相当する部分、点線がマゼンタに相当する部分を示している。
第二の光束偏向手段４は、書き込み時間の間、反射光２７が多面反射鏡の例えば上段ポリゴンミラー７ａに入射するように、駆動回路２１により、傾き制御される。
休止時間の間に、傾きを変化させて、例えば下段ポリゴンミラー７ｂに入射するように、駆動回路２１により、傾きを反転させる。
紙送り速度約３００ｍｍ／ｓとすると、書き込み時間は概略２８０μｓ、休止時間約２０μｓとなる。
この休止時間内に、光源の光量補正などの動作が行われるため、第二の光束偏向手段４の光束切り換え時間は、最大でも１０μｓ以下でなければならない。
この時間で、ミラー１７が光束切り替え動作するためには、ミラー１７の大きさに制限がある。
【００２２】
図８に示すミラー形状について、動作時間のシミュレーションを行った。ミラーユニット１５における各ミラー１７は、光源１１と同じピッチで配置されている。ミラーサイズは、１５μｍ□である。
シミュレーション結果を、図９に示す。図において、光束切り換え時間は、約２μｓであることがわかる。この場合、アレー状に配列された各光源１１に対応するミラーをアレー状に配置することにより、光束偏向動作が可能となる。
【００２３】
図１１乃至図１３に基づいて、第２の実施形態を説明する。なお上記実施形態と同一部分は同一符号で示し、特に必要がない限り既にした構成上及び機能上の説明は省略して要部のみ説明する（以下の他の実施形態において同じ）。
（光束偏向手段の構成）
本実施形態では、第１の実施形態に対して、第二の光束偏向手段の構成が異なっている。他の構成は第１の実施形態と同じである
本実施形態においても、第１の実施形態と同じようにミラーユニット３０はアレー状に配置されている。
図１１及び図１２に基づいて、アレー状に配置されている個別ミラーユニット３０について説明する。
図１１は、個別ミラーユニット３０を上面から見た図、図１２は断面図である。ミラーユニット３０は、ミラー３１を有するミラー基板３５と、固定電極３７、３７'を有する他の基板としてのベース基板３６より構成される。
ミラー基板３５には、梁３２と、この梁３２をねじり回転軸としてビームを偏向するミラー３１と、ミラー３１の両端部に設けられた櫛歯状の可動電極３３、３３'と、該可動電極３３、３３'に対向してミラー基板３５に入れ子構造で設けられた櫛歯状の固定電極３４、３４'が設けられている。
ベース基板３６には、ミラー３１に対してその回転方向で対向する固定電極３７、３７'が設けられている。各電極３４、３４'、３７、３７'は、駆動回路３８に接続されている。
【００２４】
（光束偏向手段の動作）
図１２お及び図１３により、ミラー３１の傾き角がθ０から、θ２に変化する場合について説明する。図１２において、分かり易いように電極の櫛歯形状は省略している（以下の他の実施形態において同じ）。
傾き角がθ０からθ２に向かって動き始めるとき、２つの電極３４、３７に電圧が印加される。
可動電極３３と固定電極３４間で作用する静電気力と、ミラー３１と固定電極３７の間に作用する静電気力によりミラー３１は傾き角θ１に向かって運動（回転）を始める。
傾き角がθ１に到達したとき、固定電極３４に加えられた駆動電圧はｏｆｆにする。これによりミラー３１には、固定電極３７による静電気力のみが作用して、角度θ２まで回転する。
【００２５】
図１４乃至図１７に基づいて第３の実施形態を説明する。
本実施形態では、第１の実施形態に対して、第二の光束偏向手段の構成が異なっている。他の構成は第１の実施形態と同じである。
本実施形態においても、実施形態１と同じようにミラーユニットはアレー状に配置されている。
図１４〜図１６に基づいて、アレー状に配置されている個別ミラーユニット４０について説明する。
図１４は、個別ミラーユニット４０を上面から見た図、図１５は、図１４におけるＡ−Ａ線での断面図である。
ミラーユニット４０は、絶縁層（絶縁膜）４７挟んで接合された二枚の基板４１、４２より構成されている。
第一の基板４１には、ミラー４３及び梁４４とが構成されていて、更にミラー４３の両端部には櫛歯状の可動電極４５、４５'が形成されている。それと対向して、第一の基板４１には櫛歯状の第一の固定電極４６、４６'が形成されている。
第二の基板４２は、第一の基板４１と絶縁層４７を介して接合され、ミラー４３の揺動空間４８を有している。更に、第二の基板４２には、第一の固定電極４６と重なる位置に櫛歯状の第二の固定電極４９が設けられている。
【００２６】
（光束偏向手段の動作）
図１６及び図１７により、ミラー４３の傾き角がθ０から、θ２に変化する場合について説明する。
傾き角がθ０からθ２に向かって動き始めるとき、２つの固定電極４６、４９に電圧が印加される。
可動電極４５と固定電極４６間で作用する静電気力と、可動電極４５と固定電極４９の間に作用する静電気力により、ミラー４３は傾き角θ１に向かって運動を始める。
傾き角がθ１に到達したとき、固定電極４６に加えられた駆動電圧はｏｆｆにする。これにより、ミラー４３には、固定電極４９による静電気力のみが作用して、角度θ２まで回転する。
【００２７】
図１８及び図１９に基づいて、第４の実施形態を説明する。
本実施形態では、上記第３の実施形態に対して、第二の光束偏向手段が減圧封止されている場合を例示する。
図１８に示すように、本実施形態における第二の光束偏向手段は、第３の実施形態で示した構成に対して、ガラス基板５１、５２とスペーサ５３とが接合された構造になっている。図１９に、第二の光束偏向手段の断面図を示す。
符号５２は透明なガラス基板を示し、５３は絶縁部材からなるスペーサ部材を示している。符号４１は、Ｓｉ基板から構成される第一の基板を示しており、捻り梁４４と、ミラー４３と、固定電極４６が形成されている。ミラー４３の端部には、同じく可動電極４５が形成されている。
符号４２は、第一の基板４１と絶縁層４７を介して接合されている、Ｓｉ基板からなる第二の基板を示している。
第二の基板４２には、固定電極４９と揺動空間４８が形成されている。
【００２８】
第二の基板４２に、ガラス基板５１が接合されて、減圧封止される。ミラー４３の動作時、空気によって発生する粘性抵抗が運動時の障害になる。
減圧することにより、粘性抵抗が減じられるので、ミラー４３の回転動作時間を短くでき、駆動電圧も下げることができる。
第二の光束偏向手段の動作は第３の実施形態と同じである。
【００２９】
図２０に基づいて、上述した光走査装置を用いたタンデム型の多色画像形成装置（第５の実施形態）を説明する。
本実施形態に係る多色画像形成装置は、転写ベルト６０の移動方向に沿って配置された４つの像担持体としての感光体６１を有している。感光体６１は図１の感光体１２に相当する。イエロー画像形成用の感光体６１Ｙの周りには、その矢印で示す回転方向において順に、帯電器６２Ｙ、現像器６３Ｙ、転写手段６４Ｙ、クリーニング手段６５Ｙが配置されている。
他の色（Ｍ；マゼンタ、Ｃ；シアン、Ｋ；ブラック）についても同様の構成を有している。他の色についての説明は省略する。
帯電器６２は、感光体表面を均一に帯電するための帯電装置を構成する帯電部材である。帯電器６２と現像器６３の間において感光体表面に光走査装置６６によりビームが照射され、感光体６１に静電潜像が形成される。
該静電潜像に基づき、現像器６３により感光体面上にトナー像が形成される。転写手段６４により、転写ベルト６０で搬送される記録媒体（転写紙）に各色の転写トナー像が順次転写され、最終的に定着手段６７により、重ね合わされた画像が転写紙に定着される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る光走査装置の概要斜視図である。
【図２】光源としての面発光レーザーの概要正面図である。
【図３】第二の偏向手段の斜視図である。
【図４】ミラーユニット（マイクロミラー）の概要正面図である。
【図５】ミラーの揺動動作を示す概要断面図である。
【図６】有効走査領域において全点灯する場合の露光のタイムチャートである。
【図７】第二の偏向手段におけるミラーの揺動動作を示す図である。
【図８】第二の偏向手段におけるミラーの大きさと副走査方向のピッチを示す図である。
【図９】第二の偏向手段におけるミラーの光束切り換え時間に係るシミュレーション結果を示す図である。
【図１０】２段のポリゴンミラーによる偏向動作を示す図である。
【図１１】第２の実施形態に係るマイクロミラーの概要正面図である。
【図１２】同ミラーの揺動動作を示す概要断面図である。
【図１３】同ミラーの動作を示すタイミングチャートである。
【図１４】第３の実施形態に係るマイクロミラーの概要正面図である。
【図１５】図１４のＡ−Ａ線での概要断面図である。
【図１６】同ミラーの揺動動作を示す概要断面図である。
【図１７】同ミラーの動作を示すタイミングチャートである。
【図１８】第４の実施形態に係る第二の偏向手段の概要斜視図である。
【図１９】同第二の偏向手段のミラーの揺動動作を示す概要断面図である。
【図２０】第５の実施形態に係る画像形成装置の概要構成図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  光源
３  カップリングレンズ
４  第二の偏向手段
５  シリンダレンズ
７  第一の偏向手段
７ａ、７ｂ  多面反射鏡
１２  被走査面としての感光体
１５  マイクロミラーとしてのミラーユニット
１６  ミラー基板
１７  ミラー
１８  梁
１９  電極
３３  可動電極
３４  固定電極
３６  他の基板としてのベース基板
４１  第一の基板
４２  第二の基板
４５  可動電極
４６  第一の固定電極
４７絶縁層
４８  揺動空間
４９  第二の固定電極
【図１】
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【図２】
2009020357.tif 000004
【図３】
2009020357.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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