(57)【要約】【課題】フォトマスクケース内のフォトマスクの支持構造を改良する。【解決手段】底台２、ケースカバー３及び複数個の押止部品４から構成するフォトマスクケースにおいて、底台の上面には複数個のフォトマスク支持部品を設け、ケースカバーは底台に被せて結合する。各押止部品は、それぞれケースカバーの内側に配置されて，その一側は下向きに第一弾性片４１を形成し、他側は下向きに第二弾性片４２を形成して、それぞれフォトマスクの上面及び各側面を押さえて位置決めする。第一弾性片及び第二弾性片をそれぞれ押止部品の異なる側辺に形成するため、第一弾性片の押圧作用が第二弾性片を直接連動することなく、第二弾性片が過度にフォトマスクの側面を押さえることによる損傷を有効に防止する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
底台、ケースカバー、複数個の押止部品から構成されたフォトマスクケースにおいて、
上面に複数個のフォトマスク支持部品を設置する底台と、
底台に被せて結合するケースカバーと、
それぞれがケースカバーの内側に結合し、一側には下向きに第一弾性片を形成し、他側には下向きに第二弾性片を形成し、これら第一弾性片及び第二弾性片がそれぞれ独立して異なる側辺に設置された複数個の押止部品からなることを特徴とするフォトマスクケース。
【請求項２】
前記底台は、その一側の周辺縁にストッパーを設置し、
上記の少なくとも押止部品の一側には延長部を形成し、その延長部の一側に第一弾性片の他側に相対して、下向きに押出補助板を形成したことを特徴とする請求項１記載のフォトマスクケース。
【請求項３】
前記底台は、相対する二側に複数個の位置決め溝を設置し、その筐体の相対する二側底縁には底台の位置決め溝に対応する複数個の掛合部を設置したことを特徴とする請求項１記載のフォトマスクケース。
【請求項４】
前記底台は、上面の周辺縁に隣接する位置に複数個の位置規制部品を設け、各位置規制部品は各支持部品の側辺に相対することを特徴とする請求項１記載のフォトマスクケース。
【請求項５】
前記各押止部品は、底部にそれぞれ位置規制凸部を設けたことを特徴とする請求項１記載のフォトマスクケース。
【請求項６】
前記ケースカバーは、筐体及び内カバーから構成され、その内カバーは筐体の内側に結合したことを特徴とする請求項１記載のフォトマスクケース。
【請求項７】
前記内カバーは、金属カバー体としたことを特徴とする請求項６記載のフォトマスクケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスクケースに関し、特に、ケースカバー及び底台が結合してフォトマスクを設置するもので、ケースカバー内側の複数個の押止部品によってフォトマスクの設置位置の補正及び位置決めを確実にするフォトマスクケースに係る。
【背景技術】
【０００２】
公知のフォトマスクケース、例として下記の「フォトマスクケース及びフォトマスクケース内に応用する金属パッド及び補正構造」は、図１に示すとおり、フレーム１１、底台１２、筐体１３、複数個の第一補正腕１４及び複数個の第二補正腕１５からなる。この底台１２は、フレーム１１内に掛合したものを外すことができ、且つ底台１２は複数の支持塊１２１によってフォトマスク１６の下面を支持する。筐体１３は、フレーム１１及び底台１２を被覆する。各第一補正腕１４は、筐体１３の内側に配置し、且つ各第一補正腕１４はそれぞれ第一弧形部１４１、及び第一弧形部１４１と相互に連続する第二弧形部１４２を具え、フォトマスク１６の上面及び相対する両側面を押圧する。各第二補正腕１５は筐体１３の内側に配置され、フォトマスク１６の他の側面に対応して押圧する。これにより、フォトマスク１６をフォトマスクケース内部に収容した時、第一補正腕１４及び第二補正腕１５で確実にフォトマスク１６を押圧して位置決め作用を形成し、フォトマスク１６に対して好適な位置調整機能を提供する。
【特許文献１】台湾  特許Ｍ２９６４６７号公報
【０００３】
一般的に、公知のフォトマスクケースを実際に使用した時には下述の欠点がある。例として第二弧形部１４２は第一弧形部１４１に一体に連続するため、第一弧形部１４１がフォトマスク１６の上面を押圧すると、直接第二弧形部１４２を連動して更にフォトマスク１６の側面を圧迫するので、フォトマスク１６の側面は第二弧形部１４２の押さえ作用力が過度に働き、壊れてしまう。さらに、第二弧形部１４２は第一弧形部１４１に連動して過度にフォトマスク１６の側面を押さえてしまうため、長期間の使用により、変形あるいは切断等の状況が発生し、使用寿命が短くなる。更に、公知のフォトマスクケースは使用過程に於いて、仮に人の手によりフォトマスク１６を底台１２の支持塊１２１に置いた場合、置いた時の視線とフォトマスク１６設置後の位置に大きな誤差を発生しやすく、フォトマスク１６の一側が一支持塊１２１から脱落し、フォトマスク１６の底面が容易に底台１２の上面に当たってしまい、更にはフォトマスク１６の底面がぶつかったことによって壊してしまう。上述の原因を元に上述の公知フォトマスクケースを改善する必要がある。
【特許文献２】特開２００２−２９９４３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする問題点は、押圧力が過度にかかることにより、フォトマスクを傷つけたり、変形させたりしてしまう点を解消することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、底台、ケースカバー及び複数個の押止部品から構成する。底台の上面には複数個の支持部品を設置してフォトマスクを支え、ケースカバーは底台に被せて結合する。各押止部品は、それぞれケースカバーの内側に結合し，押止部品の一側は下向きに第一弾性片を形成し、別一側は下向きに第二弾性片を形成し、それぞれフォトマスクの上面及び各側面を押さえて位置決め作用を形成する。第一弾性片及び第二弾性片をそれぞれ独立して押止部品の異なる側辺に形成するため、第一弾性片が第二弾性片を直接連動することなく、第二弾性片が過度にフォトマスクの側面を押さえ、破損を有効に防止することを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のフォトマスクケースは、上述の公知フォトマスクケースの欠点を改善する。それは複数個の押止部品がフォトマスクを位置決めすることにより、その押止部品の一側に第一弾性片を形成し、フォトマスクの上面を押さえる。また押止部品の別一側には第二弾性片を形成し、フォトマスクの側面を押さえる。これら第一弾性片及び第二弾性片がそれぞれ独立して押止部品の異なる側辺で形成されることにより、公知の第一弾性片が直接第二弾性片を連動し、第二弾性片がフォトマスクの側面を押さえる力が過大となるのを防止し、更にフォトマスクの品質を確保して第二弾性片が変形もしくは切断状況を防止し、フォトマスクケースの使用寿命を高めるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
フォトマスクケースにおいて、複数個の押止部品で一フォトマスクを位置決めし、押止部品の異なる側辺がそれぞれ独立して第一弾性片及び第二弾性片を形成することにより、第二弾性片が過度にフォトマスクを押さえ、及び変形切断の状況が発生するのを防止し、本発明によって使用寿命が延び、便利性が高まることを本発明の目的とする。
【０００８】
フォトマスクケースにおいて、底台の複数個の支持部品の最上縁に於いてそれぞれ異なる高さの第一円弧縁及び一第二円弧縁を形成することにより、フォトマスクの一側が支持部品上から脱落した時、直接底台の上面に当たらないようにして，本発明がフォトマスクの破損を防止する効果を具えることを本発明の次の目的とする。
【０００９】
本発明のフォトマスクケースは、底台、ケースカバー及び複数個の押止部品から構成する。この底台の上面には複数個の支持部品を設置して、フォトマスクを配置する。ケースカバーは底台に被せて結合し、各押止部品はそれぞれケースカバーの内側で結合し、その押止部品の一側は下向きに第一弾性片を形成し、別側は下向きに第二弾性片を形成し、それぞれがフォトマスクの上面及び各側面を押させることにより、位置決め作用を形成する。第一弾性片及び第二弾性片がそれぞれ独立して押止部品の異なる側辺に形成することにより、第一弾性片が直接第二弾性片を連動することがなく、第二弾性片が過度にフォトマスクの側面を押さえて破損しないよう有効に防止する。
【実施例】
【００１０】
本発明の上述及びその他目的、特？及び長所を分かりやすくするため、以下に、本発明の良好な実施例を図示と共に説明する。
【００１１】
図２に示すとおり、本発明のフォトマスクケースは、底台２、ケースカバー３及び複数個の押止部品４から構成する。底台２にはフォトマスク５を載置し、ケースカバー３は底台２に被せて結合してフォトマスクケースを構成する。各押止部品４は、ケースカバー３の内側に設置し、且つ押止部品４の異なる側辺はそれぞれ独立して第一弾性片４１及び第二弾性片４２を形成し、フォトマスク５の上面及び側面を押圧する。これらにより、フォトマスク５をフォトマスクケース内部に入れると、即座に押止部品４によって確実にフォトマスク５を押さえ、有効にフォトマスク５を垂直及び水平にずれるのを防止する。
【００１２】
図２に示すとおり、本発明の実施例の底台２は、複数個の支持部品２１、複数個の位置決め溝２２、複数個の位置規制部品２３、ストッパー２４及び環状溝２５を設ける。各支持部品２１は、それぞれ底台２の上面、且つ底台２の周辺縁位置に設置することにより、フォトマスク５を確実に支持する。この支持部品２１の最上縁には第一円弧縁２１１及び第二円弧縁２１２を形成し、これらの円弧状の支持構造によりフォトマスク５を支持する時に発生する磨擦を減らす。さらに第一円弧縁２１１と第二円弧縁２１２の相互間には予め設定した間隔距離を形成し、第二円弧縁２１２の高さを第一円弧縁２１１の高さよりやや低くする。第６図に示すように、第一円弧縁２１１と第二円弧縁２１２の高度差により、フォトマスク５の一側が支持部品２１上から外れた時、低い位置の第二円弧縁２１２がこれを受けてフォトマスク５が直接底台２の上面にぶつかるのを防止する。また、支持部品２１の配置数は四個が最もよく、フォトマスク５を各支持部品２１上に置いた時、各支持部品２１はフォトマスク５下面の各角位置に相対してフォトマスク５の重量を四個の支持部品２１で平均して負担し、設置を安定させる効果を具える。
【００１３】
図２に示すとおり、前述の位置決め溝２２は、底台２の相対する側に設けて、ケースカバー３を底台２に被せて結合した時、掛合作用を提供する。各位置規制部品２３は、それぞれ底台２の上面で底台２の周辺縁に隣接する位置にそれぞれ設置し、各位置規制部品２３は、各支持部品２１の側辺に相対するのが最もよい。これにより、フォトマスク５を各支持部品２１上に置いた時、フォトマスク５が各位置規制部品２３の間に確実に設置でき、フォトマスク５が底台２の周辺縁位置からはみ出すのを防止する。ストッパー２４は底台２の側周辺縁に設置し、フォトマスク５の一側に当てて位置決めさせる。環槽２５は、底台２の上面の周辺縁内側位置に環設し、ケースカバー３が位置決め溝に嵌合して結合するようにする。
【００１４】
図２及び図５に示すとおり、本発明の良好な実施例のケースカバー３は、筐体３１及び内カバー３２から構成される。そのうち、筐体３１は、ハンドル３１１、複数個の掛合部３１２及び嵌合部３１３を設置する。ハンドル３１１は、筐体３１の最上面に設置し、ハンドル３１１を持ってフォトマスクケースを移送する。各掛合部３１２は、底台２の位置決め溝２２に対応し、筐体３１の相対する二側底縁に設けられてケースカバー３を底台２に被覆する時、各位置決め溝２２に対応して掛合し、位置決めする。嵌合部３１３は、底台２の環槽２５に対応して筐体３１の内側に形成されて、環槽２５に嵌合して位置決める。また、内カバー３２は螺設、掛合もしくは溶接等各種の固定方式で筐体３１の内側に結合する。図に示す実施例では、筐体３１の最上面には複数個の螺孔を具えた固定柱３２１を設置し、そこにネジを差し込んだ後直接筐体３１内側に対応する複数個の位置決め孔〔図未提示〕に螺設し、内カバー３２を筐体３１内側に着脱可能とする。他に，内カバー３２の材質で最適なのは金属カバー体で、フォトマスク５を内カバー３２の内部に収容した時に金属遮蔽保護を形成し、更に静電気を逃がして静電気現象の発生を防止することにより、フォトマスク５の品質を有効に保つ。
【００１５】
図３に示すとおり、本発明の実施例の各押止部品４は、それぞれケースカバー３の内カバー３２内側に固定し、各押止部品４の相互間は予定された間隔距離を具え、フォトマスク５の上面及び各側辺をそれぞれ押さえやすくする。押止部品４は、第一側（ａ），及び第一側（ａ）に垂直に連続する第二側（ｂ）を具える。
押止部品４は、第一弾性片４１、第二弾性片４２及び少なくとも位置規制凸部４３を具える。第一弾性片４１は、押止部品４の第一側（ａ）から下へ傾斜して伸び、且つ第一弾性片４１末端は湾曲段４１１を形成し、その湾曲段４１１の底面には凸点４１２が形成される。その第一弾性片４１をフォトマスク５に当てると点接触を形成し、フォトマスク５表面の磨耗を相対的に減少する。第二弾性片４２は、押止部品４の第二側（ｂ）から下向きに傾斜して伸び、第二弾性片４２末端に湾曲段４２１を形成して，フォトマスク５の一側面を押さえやすくする。第一弾性片４１及び第二弾性片４２をそれぞれ独立して押止部品４の異なる側辺に設置することにより、第一弾性片４１は第二弾性片４２を連動することがない。この位置規制凸部４３は押止部品４の底部、且つ第一弾性片４１及び第二弾性片４２の間に設置し、第一弾性片４１及び第二弾性片４２にフォトマスク５を設置した時、過度の湾曲を有効に防止する。
【００１６】
図３及び図５に示すとおり、前述の各押止部品４の内、少なくとも一個の押止部品４'の別一側に延長部４４を形成するのがよい。この延長部４４は第一弾性片４２の他側に相対し、且つ延長部４４の一側は下向きに傾斜して伸び、押出補助板４５が形成される。これにより、押止部品４'がフォトマスク５の一側面を押さえる時、押出補助板４５でフォトマスク５を底台２のストッパー２４方向へ押し出し、フォトマスク５の他側が確実にストッパー２４を押して位置決めさせやすくなる。
【００１７】
図２、図４及び図５に示すとおり、本発明のフォトマスクケースにフォトマスク５を収容する場合、人手によるか、もしくはその他の適宜の方式により、フォトマスク５を底台２の支持部品２１上に載置し、その支持部品２１の第一円弧縁２１１がフォトマスク５の下表面を支え、並びにフォトマスク５を位置規制部品２３の間に相対して置き、この位置規制部品２３で当初の位置規制されたフォトマスク５は予定の範囲内に位置する。図５に示すとおり、次にケースカバー３を底台２に被せて結合し、ケースカバー３の掛合部３１２を直接底台２の位置決め溝２２に掛合する。この時、各押止部品４の第一弾性片４１の凸点４１２は、フォトマスク５の上面を押さえ、フォトマスク５の垂直移動を防止し、位置規制凸部４３によって第一弾性片４１が過度に湾曲変形するのを防止する。各第二弾性片４２の湾曲段４２１は、それぞれフォトマスク５の相対する二側面を押さえ、フォトマスク５が水平移動するのを防止する。他に少なくとも押止部品４'の押出補助板４５は、フォトマスク５の相対位置を押して正しく位置させることにより、フォトマスク５を確実に押出補助板４５及びストッパー２４の間に位置決めさせ、フォトマスク５の水平移動を更に防止する。これらにより、本発明のフォトマスクケースは、フォトマスク３をその内部に置き、第一弾性片４１及び第二弾性片４２で確実にフォトマスクを位置決めさせ、フォトマスク５に好適な位置調整機能を提供する。
【００１８】
上述の通り、図１の公知のフォトマスクケースの第一弧形部１４１がフォトマスク１６を押さえた場合、直接第二弧形部１４２を連動して過度にフォトマスク１６の側面を圧迫するため、フォトマスク１６の側面が磨耗損失しやすく、及び第二補正腕１５によって変形もしくは切断すると言う欠点を発生しやすい。本発明は、押止部品４の異なる側辺にそれぞれ独立して形成した第一弾性片４１及び第二弾性片４２により、第一弾性片４１がフォトマスク１６を押さえた時、第二弾性片４２を連動せず、更にフォトマスク５の側面を圧迫しないため、第二弾性片４２が過度にフォトマスク５の側面を押さえて磨耗損失するのを防止し、更に第二弾性片４２の変形もしくは切断を有効に防止する。次に第６図に示すとおり、人手による設置方式で、フォトマスク５を底台２の支持部品２１の第一円弧縁２１１に置いた場合、仮にうっかりフォトマスク５の一側を脱落させてしまっても、第二円弧縁２１２がフォトマスク５の底面を補助的に支えるため、フォトマスク５の底面が直接底台２の上面に当たるのを防止し、フォトマスク５の底面が当たって破損するのを確実に防止する機能を具える。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】公知フォトマスクケースの組立断面指示図である。
【図２】本発明の実施例フォトマスクケースの分解立体図である。
【図３】本発明の実施例フォトマスクケースの押止部品の分解立体図である。
【図４】本発明の実施例フォトマスクケースのケースカバー及び底台の結合前の断面図である。
【図５】本発明の実施例フォトマスクケースにフォトマスクを設置したケースカバー及び底台結合後の断面図である。
【図６】本発明の実施例フォトマスクケースでフォトマスクが一側に偏って脱落した後、底台にぶつかるのを防止した断面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１１        フレーム
１２        底台
１２１        支持塊
１３        筐体
１４        第一補正腕
１４１        第一弧形部
１４２        第二弧形部
１５        第二補正腕
１６        フォトマスク
２        底台
２１        支持部品
２１１        第一円弧縁
２１２        第二円弧縁
２２        位置決め溝
２３        位置規制部品
２４        ストッパー
２５        環状溝
３        ケースカバー
３１        筐体
３１１        ハンドル
３１２        掛合部
３１３        嵌合部
３２        内カバー
３２１        固定柱
４        押止部品
４′      押止部品
４１        第一弾性片
４１１        湾曲段
４１２        凸点
４２        第二弾性片
４２１        湾曲段
４３        位置規制凸部
４４        延長部
４５        押出補助板
５        フォトマスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2009229639.tif 000007
【図６】
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