(57)【要約】【課題】装置の処理終了時間に合わせ、処理終了したロットを回収する搬送台車と、次に処理をするロットを投入する搬送台車を順番通り連続で装置に到着させ、ロス無くロットの回収と次ロットの投入を行う。これにより、リードタイムの短縮と装置の稼動率を向上させることができる搬送システムを提供する。【解決手段】生産装置３での処理終了前のイベントを取得し、生産装置３の処理終了時刻を予測する装置制御工程と、次に処理すべき最適なロット６を選択する製品引当て工程と、生産装置３での処理終了時刻に合わせたロット６の回収指示と次に処理するロット６の投入指示を同時に出す生産進捗管理工程と、搬送実績時間を利用し、装置の処理終了時刻に搬送台車５を到着させる制御をする搬送制御工程と、複数の搬送台車５に対し到着順番を指定し、連続で走行する指示及び分割する指示を出す搬送台車制御工程とを有する。【選択図】図１
2009135275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の半導体ウエハからなるロットを格納する収納容器を自動搬送させるための軌道レールと、
前記収納容器を保管する自動保管庫と、
前記収納容器を移載し前記軌道レール上を走行する複数の搬送台車を備える搬送システムであって、
生産装置での処理終了前のイベントを取得し、生産装置の処理終了時刻を予測する装置処理制御装置と、
次に処理すべき最適なロットを選択する製品引当て装置と、
生産装置での処理終了時刻に合わせたロットの回収指示と次に処理するロットの投入指示を同時に出す生産進捗管理装置と、
搬送実績時間を利用し、装置の処理終了時刻に搬送台車を到着させる制御をする搬送制御装置と、
複数の搬送台車に対し到着順番を指定し、連続で走行する指示及び分割する指示を出す搬送台車制御装置と、
搬送台車制御装置からの指示通りの順番で、連続で走行する手段を備えた複数の搬送台車を備えた搬送システム。
【請求項２】
複数の半導体ウエハからなるロットを格納する収納容器を自動搬送させるための搬送軌道レールと、
前記収納容器を保管する自動保管庫と、
前記収納容器を移載し前記搬送軌道レール上を走行する複数の搬送台車を備える搬送システムの制御方法であって、
生産装置での処理終了前のイベントを取得し、生産装置の処理終了時刻を予測する装置処理制御工程と、
次に処理すべき最適なロットを選択する製品引当て工程と、
生産装置での処理終了時刻に合わせたロットの回収指示と次に処理するロットの投入指示を同時に出す生産進捗管理工程と、
搬送実績時間を利用し、装置の処理終了時刻に搬送台車を到着させる制御をする搬送制御工程と、
複数の搬送台車に対し到着順番を指定し、連続で走行する指示及び分割する指示を出す搬送台車制御工程とを有し、
前記搬送台車制御工程からの指示通りの順番で、連続で走行する手段を備えた複数の搬送台車を備えた搬送システムの制御方法。
【請求項３】
前記搬送台車は、周辺を走行する搬送台車間で通信を行い、互いに情報の伝達をすることを特徴とする請求項２に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項４】
前記搬送台車制御工程では、自動保管庫からのロットの出庫時間と自動保管庫から生産装置までの搬送所要時間を足した時間に生産装置に到着する搬送台車を、次に処理するロットを搬送する台車として割り付け、当該ロットが自動保管庫から出庫され、搬送を始めるタイミングで、当該搬送台車の直ぐ前を走行する搬送台車を、処理済ロットを回収する台車として割付けることを特徴とする請求項２に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項５】
前記搬送台車制御工程は、搬送台車制御工程からの通信による指示に従い、連結指示を受けた複数の搬送台車は割り込み不可フラグを立て、連結指示を受けていない搬送台車は、台車間通信により、割り込み不可フラグを検知する事により、合流部での待機、走行経路上からの待避を行い、連結指示を受けている複数の搬送台車を優先して走行させる事により、搬送レール上の任意の場所で複数の搬送台車を仮想連結させ、指定した到着順通り目的地に到着させることを特徴とする請求項２に記載の搬送システムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の製造ラインおよび液晶表示パネルの製造ラインにおいて、基板を次工程に搬送する搬送装置を制御するための搬送システム及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示パネルや半導体集積回路などの製造装置で処理されるウエハなどの被処理物は、自動保管庫と生産装置間、又は一の生産装置と他の生産装置間を、ＯＨＴ(Over head Hoist Transport)搬送台車などに搭載されて搬送される。被処理物は、一般的にＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるカセット（収納容器）内に複数枚収納された半導体ウェハ（以下、ロットという）であって、ロット単位で搬送される。即ち、一の搬送台車が、生産装置から搬出された処理済みロットの回収を行い、他の搬送台車が自動保管庫など他の装置から搬出された未処理ロットを当該生産装置に連結されるロードポートと呼ばれる載置部に支給する。なお、ロットの回収は、生産装置に連結されるロードポートに載置されたロットを搭載することによって行われ、ロットの支給は、生産装置に連結される載置部に載置することで行われる。また、製造装置に連結される載置部は、クリーンな状態に保たれる必要があることから非常に高価なものである。したがって、一つの装置に対して一つのロードポートが連結されている場合が多くある。かかる構成では、ロードポートに載置されるロットの回収と、他の装置から搬出されたロットの支給とを同時に行うことが出来ない。したがって、まず処理済みロットの回収を行い、そののち、未処理ロットの支給を行う必要がある。即ち、処理済みロットの回収を先順位、未処理ロットの支給を後順位で行う必要がある。
【０００３】
このように、先順位のロットの回収処理要求と、後順位のロットの支給処理要求がある場合、先順位の回収処理を実行している搬送台車が、後順位の支給処理を実行している搬送台車よりも先に載置部に到着する必要がある。このように、同一の製造装置に対して複数の回収処理又は支給処理を順序付けて実行する場合、先順位の回収処理を実行する搬送台車が、後順位の支給処理を要求する製造装置と荷物搬送先の製造装置との間の領域に進入した後に、後順位の支給処理要求を行うようにした搬送システムが提案されている。
【０００４】
しかしながら、先順位の処理を実行する搬送台車が、後順位の処理を要求する装置と荷物搬送先の生産装置との間の領域に進入するまで、後順位の処理が実行されない。即ち、先順位の処理を実行する搬送台車が上記領域に進入してから、後順位の処理を実行する搬送台車が後順位の処理を要求する装置に向かうことを意味する。したがって、順位を守って荷物を搬送することはできるものの、処理効率の向上までは望めないという課題がある。
【０００５】
そこで、処理済ロットの回収が行われた後、同一の生産装置に対して次に処理するロットの支給が行われるシステムにおいて、ロットの回収と次ロットの支給との順序を守りつつ、且つ、ロットの回収が行われてから次ロットの支給を行うまでの時間を極力短縮化することによって、処理効率の向上を図った搬送システムが提案されている。また、別の特許文献では、複数の搬送台車を電磁石で連結し、搬送の効率化を図ると共に、ロットの回収と投入の順番を守ることのできる搬送システムが提案されている。
【０００６】
以下、図５を参照しながら、特許文献１に示されている搬送制御方法について説明する。図５は特許文献１に記載の実施の形態による搬送システムと生産装置の概念図であって、１１２は工程内軌道、１１４はストッカ、１１６はベイ、１１７は主走行路、１１８は分岐走行路、１１９は分岐点、１２１はストッカ搬入口、１２２はストッカ搬出口、１４０は搬送コントローラ、１５０は搬送台車を示す。
【０００７】
図５において、搬送コントローラ１４０は、各搬送台車１５０Ａ〜１５０Ｅの現在位置と搬送可否に関わる情報を取得する。そして、処理済みロットの回収処理と未処理ロットの支給処理の要求を受けたとき、搬送中でなく、且つロードポート１２３に最も早く到着する一の搬送台車１５０Ａに処理済みロットの回収処理を指令し、他の搬送台車１５０Ｂに未処理ロットの支給処理を指令する。他の搬送台車１５０Ｂが所定位置にあるとき、ロードポート１２３から未処理ロットが回収されていなければ、ロードポート１２３への未処理ロットの載置処理を一時的に行わないように指令する。
【０００８】
以上のようにして、特許文献１に記載の搬送システムによると、ロットの回収と次ロットの支給との順序を守りつつ、且つ、ロットの回収が行われてから次ロットの支給を行うまでの時間を極力短縮化することができるようになる。
【０００９】
次に、図６を参照しながら、特許文献２に示されている搬送システムにつて説明する。図６は特許文献２に記載の実施の形態による搬送システムの一部を示したものであって、２０１は電磁石、２０２は搬送台車、２０４は搬送台車、２０６は搬送軌道、２０７はリニアモーター、２０８は電磁ブレーキ、２０９は制御装置、２２１はキャリアを示す。
【００１０】
図６において、搬送軌道２０６上には複数台の個別台車、即ち搬送台車２０２，２０４が備えられている。各搬送台車２０２，２０４はその先端部および後端部に連結手段としての電磁石２０１が設置されている。前後に互いに隣接した搬送台車２０２，２０４は電磁石２０１の磁気吸着力により互いに連結され得る。電磁石２０１への通電は、搬送台車２０２，２０４に搭載したバッテリー（図示せず）によって行われる。連結の際には衝突が発生するが、電磁石２０１をショックアブソーバー２０５の先端即ち可動端に取り付けることにより、衝突時の衝撃は吸収される。さらに搬送軌道２０６には、搬送台車２０２，２０４を連結できる位置に停止させることができるよう、リニアモーター２０７と電磁ブレーキ２０８が設置されている。
【００１１】
まず、搬送台車２０２，２０４を互いに連結する場合を例にとって説明する。先行する搬送台車２０２は、実車状態を監視している制御装置２０９より連結指示を受けると、搬送台車２０２に取り付けられている２次導体（図示せず）にリニアモーター２０７により逆推力を作用させ、搬送台車２０２を減速する。その上で、連結ポイントに設けられている電磁ブレーキ２０８による制動力が、搬送台車２０２に取り付けられている鉄板（図示せず）に作用し、搬送台車２０２をリニアモーター２０７上に停止させる。
【００１２】
次に、後続の搬送台車２０４は、連結指示をうけるとリニアモーター２０７により逆推力が作用し、後続の搬送台車２０４が減速し、連結ポイント上で搬送軌道２０６に設けられている電磁ブレーキ２０８により搬送台車２０４が停止する。両搬送台車２０２，２０４が連結可能であることを制御装置２０９が認識すると、両搬送台車２０２，２０４に設けられた電磁石２０１を励磁することにより連結が完了する。
以上の様にして、複数の搬送台車を連結させることにより、当直順番を守りつつ、効率的な搬送を実現することができるようになる。
【特許文献１】特開２００５−２４３７２９号公報
【特許文献２】特開平９−１６２２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、特許文献１に記載の搬送台車の制御方法では、処理済ロットの回収が完了する前に、未処理ロットを搬送する搬送台車が先に生産装置近くに到着した場合、未処理ロットの載置処理を一時的に行わないようにするため、搬送台車の到着順番は守れるが、未処理ロットの載置処理が遅れ、ロス時間が発生し未処理ロットのリードタイムが延びる場合がある。
【００１４】
また、特許文献２に記載の搬送システムでは、複数の搬送台車の連結処理が、特定の連結ポイントでしか行えず、連結するために搬送台車を移動させる必要があり、その分ロス時間が発生し、結果としてロットのリードタイムが延びるという問題が生じる。
【００１５】
前記に鑑み、本発明は、上記の様な課題を解決するためになされたものであり、同一の生産装置において、処理済みロットを回収する搬送台車と次に処理をする未処理ロットを搬送する搬送台車を仮想連結させることにより、順番通りに連続で生産装置に到着させることにより、生産装置の稼動を低下させることなくロットのリードタイムを短縮することを可能にする搬送制御装置及びその制御方法を提供する事を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記の目的を達成するため、本発明は、複数の半導体ウエハからなるロットを格納する収納容器を自動搬送させるための搬送軌道レールと、前記収納容器を保管する自動保管庫と、前記収納容器を移載し前記搬送軌道レール上を走行する複数の搬送台車を備える搬送システムの制御方法であって、装置処理制御工程と製品引当て工程と生産進捗管理工程と搬送制御工程と搬送台車制御工程を備える。
【００１７】
装置処理制御工程では、生産装置での処理終了前のイベントを取得し、生産装置の処理終了時刻を予測する。製品引当て工程では、次に処理すべき最適なロットを選択する。生産進捗管理工程では、生産装置での処理終了時刻に合わせたロットの回収指示と次に処理するロットの投入指示を同時に出す。搬送制御工程では、搬送実績時間を利用し、装置の処理終了時刻に搬送台車を到着させる制御をする。搬送台車制御工程では、複数の搬送台車に対し到着順番を指定し、連続で走行する指示及び分割する指示を出す。搬送台車は搬送台車制御工程からの指示通りの順番で、連続で走行する手段を備える。
【００１８】
上記の制御方法により、同一の生産装置において、現在のロットの処理終了時間に合わせて、処理済ロットを回収する搬送台車が搬送され、略同時に次に処理すべきロットが搬送されるようになるため、生産装置の稼動を低下させることなくロットのリードタイムを短縮する事ができるようにすることが可能となる。
【００１９】
上記一つの局面における搬送システムの制御方法では、搬送台車では、周辺を走行する搬送台車間で通信を行い、互いに情報の伝達をすることが好ましい。
この場合、搬送台車間で通信し、互いに情報の伝達をすることにより、複数の搬送台車間で走行、停止、待避等の指示を送受信することが可能となる。
【００２０】
上記一つの局面における搬送システムの制御方法では、請求項１の搬送台車制御工程では、自動保管庫からのロットの出庫時間と自動保管庫から生産装置までの搬送所要時間を足した時間に生産装置に到着する搬送台車を、次に処理するロットを搬送する台車として割り付け、当該ロットが自動保管庫から出庫され、搬送を始めるタイミングで、当該搬送台車の直ぐ前を走行する搬送台車を、処理済ロットを回収する台車として割付けることが好ましい。
【００２１】
この場合、処理済ロットを回収する搬送台車と次に処理するロットを搬送する搬送台車を連続で走行させることが可能となる。
【００２２】
上記一つの局面における搬送システムの制御方法では、搬送台車制御工程と搬送台車では、搬送台車制御工程からの通信による指示に従い、連結指示を受けた複数の搬送台車は割り込み不可フラグを立て、連結指示を受けていない搬送台車は、台車間通信により、割り込み不可フラグを検知する事により、合流部での待機、走行経路上からの待避を行い、連結指示を受けている複数の搬送台車を優先して走行させる事により、搬送レール上の任意の場所で複数の搬送台車を仮想連結させ、指定した到着順通り目的地に到着させることが好ましい。
【００２３】
この場合、連結指示を受けた複数の搬送台車が搬送軌道レール上の任意の位置で仮想連結し、目的の生産装置に処理済ロットの回収用の搬送台車、次に処理をするロットを搬送する搬送台車の順に連続で到着させることが可能となる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、半導体及び液晶の製造ラインにおけるロットの搬送制御工程において、生産装置の処理終了時間に合わせて回収用の搬送台車を配送し、略同時に次に処理するロットを生産設備に投入する搬送台車を配送できるようになるので、生産装置の稼動を低下させる事なくロットのリードタイムを短縮する事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を搬送制御装置の制御方法について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。
【００２６】
図１は、本発明の実施形態における搬送システムのモデルレイアウトを示した図であり、１は各工程間にロットを搬送させるための搬送台車が走行する工程間搬送軌道レール、２は各ベイ内の生産装置へロットを搬送させるための搬送台車が走行する工程内搬送軌道レールで、２ａ〜２ｈはベイａ〜ベイｈ用である。３は生産装置で、３ａ−１〜３ｈ−２はベイａ〜ベイｈに各２台設置されている生産装置を示す。４は自動保管庫で４ａ〜４ｈはベイａ〜ベイｈに各１台設置されている自動保管庫を示す。５は搬送台車で、５ａ−１〜５ｆ−１は搬送台車ａ〜ｆの現在の走行位置を示す。５ａ−２〜５ｆ−２は搬送台車ａ〜ｆのｘ秒後の走行位置を示す。５ａ−３〜５ｂ−３及び５ｅ−３〜５ｆ−３は搬送台車ａ〜ｂ及びｅ〜ｆのｎ秒後の走行位置を示す。６はロットで、６ａ−１〜６ｂ−１はロットａ、ｂの現在の位置を示す。６ａ−２はロットａのｘ秒後の位置を示す。６ａ−３〜６ｄ−３はロットａ〜ロットｄのｎ秒後の位置を示す。７は１つの工程内搬送軌道レール２と当該搬送軌道レールの下に設置されている生産装置３及び自動保管庫４が設置されている仮想エリアを示すベイで、７ａ〜７ｈはベイａ〜ベイｈを示す。
【００２７】
図２は、各制御工程を有する搬送制御装置を示すシステム構成図であり、８は生産進捗管理装置、９は搬送制御装置、１０は製品引当て装置、１１は装置処理制御装置、１２は搬送台車制御装置、１３は自動保管庫制御装置である。この内、生産装置３は装置処理制御装置１１により制御されている。また、自動保管庫４は自動保管庫制御装置１３により制御されている。また、搬送台車５は搬送台車制御装置１２により制御されている。
【００２８】
以下、図１，図２を参照して、本搬送制御方法について説明する。
【００２９】
生産装置３でロット６の処理中に、生産装置３からある任意の処理イベントを装置処理制御装置１１に通知する。前記処理イベントの種類には、例えば処理中のロット６の最後のウェハの処理が始まったタイミングを処理イベントとし通知する場合があるが、他のイベントでも良く特に限定しない。前記処理イベントが通知された時間からロット６の処理が終了するまでの時間は、生産装置３や処理レシピの種類により異なり、全生産装置３の全処理レシピの組み合わせでの処理時間が装置処理制御装置１１に登録されている。
【００３０】
次に、装置処理制御装置１１は生産装置３でのロット６の処理が終了する時間を生産進捗管理装置８に通知する。
【００３１】
次に、製品引当て装置１０にて、生産装置３で次に処理するロット６を選択し、生産進捗管理装置８に通知する。
【００３２】
次に、生産進捗管理装置８にて、生産装置３で処理中のロット６の処理が終了する時間にロット６を回収し、同時に次に処理するロット６を投入する指示を搬送制御装置９に出す。
【００３３】
次に、搬送制御装置９にて、生産装置３で次に処理するロット６を自動保管庫４から出庫する指示を自動保管庫制御装置１３に出し、同時に自動保管庫制御装置１３が自動保管庫４にロット６の出庫指示を出す。
【００３４】
次に、搬送制御装置９にて、ロット６が自動保管庫４からの出庫が完了する時間に合わせ、自動保管庫４に搬送台車５が到着する様、搬送台車制御装置１２に搬送指示を出す。
【００３５】
次に、搬送台車制御装置１２は、過去の所要搬送時間の実績データを参照し、ロット６が自動保管庫４から出庫完了する時間に自動保管庫４前に到着する搬送台車５に対し、自動保管庫４に向かい走行する様、搬送指示を出す。
【００３６】
次に、自動保管庫４からロット６が出庫され、略同時に搬送台車５が自動保管庫４に到着する。その際、搬送制御装置９にて、ロット６を生産装置３に搬送する指示を搬送台車制御装置１２に出す。
【００３７】
次に、搬送台車制御装置１２にて、自動保管庫４前に到着した搬送台車５に対し、ロット６を生産装置３に搬送する指示を出す。
【００３８】
次に、搬送台車制御装置１２にて、過去の所要搬送時間の実績データを参照し、生産装置３で処理中のロット６の処理が終了する時間に到着すると共に、次に処理するロット６を搬送する搬送台車５よりも、前方を走行している空の搬送台車５に対し、生産装置３で処理中のロット６を回収する指示を出す。
【００３９】
次に、搬送台車制御装置１２にて、処理が終了するロット６の回収用の搬送台車５と次に処理をするロット６を搬送している搬送台車５に対し、連続で走行し、順番通り生産装置３に到着する様指示（以下仮想連結指示と呼称）を出す。
【００４０】
次に、仮想連結指示を受けた複数の搬送台車５が割り込み不可フラグを立てる。ここで、割り込み不可フラグとは、搬送台車５の機器本体の動作を制御している制御ソフト上で、仮想連結指示を受けた複数の搬送台車が立てるフラグであり、仮想連結指示を受けていない他の搬送台車５は前記割り込み不可フラグを検知すると、逃避や待機をする。
【００４１】
次に、割り込み不可フラグを立てている搬送台車５間に走行している別の搬送台車５は、搬送台車５間で通信し、割り込み不可フラグを検知し、分岐レール部（図示せず）で分岐し、走行コースを変え、前記台車間から逃避する。また、搬送軌道レールの合流部（図示せず）に、別の搬送台車５が割り込み不可フラグが立っている複数の搬送台車５よりも早く到着した場合、合流部手前で待機し、不可フラグが立っている複数の搬送台車５が合流部を通過してから走行を再開する。なお、搬送台車間の通信方法は無線、赤外線、搬送軌道レール内に設置されている通信線等を使用する方法があるが、方法は特定しない。
【００４２】
次に、仮想連結指示を受け、割り込み不可フラグの立っている複数の搬送台車５は到着順に連続で工程間搬送軌道レール上を走行し仮想連結が完了する。仮想連結した複数の搬送台車５は、ロット６の処理終了時間と略同時に生産装置３に到着し、前方を走行する搬送台車５は処理終了したロット６を回収した後、直ちに後方を走行する搬送台車５が次に処理するロット６を生産装置３に投入移載する。
【００４３】
図３は、本実施の形態の各処理装置の処理を示したフローチャートであって、ステップ順に連続した処理となっている。
【００４４】
以下、図１，図３を参照しながら、搬送台車５ａと５ｂが仮想連結し、連続で走行し、ｎ秒後に処理が終了するロット６ｃを処理している生産装置３ａ−２に順番通り到着し、搬送台車５ａがロット６ｃを回収し、直後に搬送台車５ｂが次に処理をするロット６ａを生産装置３ａ−２に投入移載するまでのフローの説明をする。
【００４５】
装置処理制御工程では、生産装置３ａ−２から任意の処理イベントを取得し、当情報を元にロット６ｃの処理終了時刻（ｎ秒後）を予測する（Ｓ３０１）。
【００４６】
次に、装置処理制御工程にて、生産装置３ａ−２でのロット６ｃの処理終了予測時間を生産進捗管理工程に通知する（Ｓ３０２）。
【００４７】
次に、製品引当て工程にて、次に処理すべきロット６ａを選択し、生産進捗管理工程に通知する（Ｓ３０３）。
【００４８】
次に、生産進捗管理工程にて、生産装置３ａ−２の処理終了時刻に合わせたロット６ｃの回収指示と次に処理するロット６ａの投入指示を搬送制御工程に対し、同時に出す（Ｓ３０４）。
【００４９】
ステップ３０１〜ステップ３０４の処理により、生産装置３ａ−２での処理終了時間に合わせ、ロット６ｃを回収する指示と次に処理をするロット６ａの投入する指示を出す事ができる。
【００５０】
次に、搬送制御工程にて、次に処理するロット６ａを自動保管庫４ｈから出庫する指示を出す。ここで、出庫の所要時間ｘ秒とする（Ｓ３０５）。
【００５１】
次に、搬送制御工程にて、ｘ秒後に自動保管庫４ｈに搬送台車５ｂが到着する様、搬送台車制御工程に搬送指示を出す（Ｓ３０６）。
【００５２】
次に、搬送台車制御工程にて、ｘ秒後に自動保管庫４ｈ前に到着する空荷の搬送台車５ｂに対し、自動保管庫４ｈに向かい走行する様、搬送指示を出す（Ｓ３０７）。
【００５３】
次に、搬送台車制御工程にて、ｘ秒後に自動保管庫４ｈ前に到着した搬送台車５ｂ−２に対し、ロット６ａを生産装置３ａ−２に搬送する指示を出す（Ｓ３０８）。
【００５４】
次に、搬送台車制御工程にて、生産装置３ａ−２にｎ秒後に到着すると共に、次に処理するロット６ａを搬送する搬送台車５ｂ−２よりも前方を走行している空荷の搬送台車５ａ−２に対し、生産装置３ａ−２で処理中のロット６ｃを回収する指示を出す（Ｓ３０９）。
【００５５】
次に、搬送台車制御工程にて、搬送台車５ａと５ｂに対し、連続で走行し、順番通り生産装置３ａ−２に到着する様指示（仮想連結指示）を出す（Ｓ３１０）。
【００５６】
次に、搬送台車５ａと５ｂが割り込み不可フラグを立てる（Ｓ３１１）。
【００５７】
次に、他の搬送台車５は台車間の通信により「割り込み不可フラグ」の立っている２台の搬送台車５ａと５ｂの間に割り込まない様、待機や待避を行う（Ｓ３１２）。
【００５８】
搬送台車５ａと５ｂの仮想連結完了し、連続で走行する（Ｓ３１３）。
【００５９】
ｎ秒後に搬送台車５ａ−３と５ｂ−３が順番に生産装置３ａ−２に到着し、搬送台車５ａ−３がロット６ｃを回収し、即座に搬送台車５ｂ−３がロット６ａを投入する（Ｓ３１４）。
【００６０】
次に、搬送台車５ａと５ｂの仮想連結を解除し、分割する処理を行い処理が終了する（Ｓ３１５）。
【００６１】
以上のステップ３０１〜３１５の処理により、搬送台車５ａと５ｂが工程間搬送軌道レール１上の任意の位置で仮想連結し、連続で走行し、ｎ秒後に処理が終了するロット６ｃを処理している生産装置３ａ−２にｎ秒後に順番通り到着し、搬送台車５ａがロット６ｃを回収し、直後に搬送台車５ｂが次に処理をするロット６ａを生産装置３ａ−２に投入移載する事ができるようになり、ロット６ｃの回収とロット６ｃの投入の処理をロス無く行う事ができる。
【００６２】
図４は同じベイの複数の装置で処理終了ロットが発生した場合の各処理装置の処理を示したフローチャートで、ステップ順に連続した処理となっている。
【００６３】
図１，図４を参照しながら、生産装置３ａ−２と同じベイ７ａに設置されている生産装置３ａ−１でロット６ｄの処理が終了し、生産装置３ａ−２のロット６ｃの回収及びロット６ａの投入とロット６ｄの回収及びロット６ｂの投入が競合した場合の搬送台車５ｅと５ｆの動作を説明する。
【００６４】
まず、生産進捗管理工程にて、生産装置での処理終了時間が早い順に、ロット６の回収指示と次に処理するロットの投入指示を同時に出す搬送制御工程に指示を出す（Ｓ４０１）。
【００６５】
次に、複数の搬送指示に対し、各々前記Ｓ３０５〜Ｓ３１３までの処理を行う（Ｓ４０２）。
【００６６】
次に、搬送台車制御工程にて、先に処理終了した生産装置３ａ−２でのロット６ｃの回収や次ロット６ａの投入中に、同じベイの他の生産装置３ａ−１で処理終了するロット６ｄの回収指示があるか判断を行い、ロット６ｃの回収中に他の生産装置３ａ−１で処理が終了しない場合処理が終了し、ロット６ｃの回収中に他の生産装置３ａ−１で処理が終了する場合、次のステップに進む（Ｓ４０３）。
【００６７】
次に、搬送台車制御工程にて、後で処理完了する生産装置３ａ−１へ向かう際、先に処理終了した生産装置３ａ−２の前を通過する必要があるか判断をし、通過する必要がなければ処理が終了し、通過する必要があれば、次のステップに進む（Ｓ４０４）。
【００６８】
次に、搬送台車５ｅ−３に搭載されている障害物検知センサーで、先に処理終了した生産装置３ａ−２の前で停止している搬送台車５ｂ−３を検知し、待機する（Ｓ４０５）。
【００６９】
次に、先に処理終了した生産装置３ａ−２でのロット６ｃの回収と次ロット６ａの投入が完了し、搬送台車５ａ−３及び５ｂ−３の仮想連結が解除され、走行を始めると、障害物検知センサーの検知が無くなり、停止していた搬送台車５ｅ−３及び５ｆ−３が発車する（Ｓ４０６）。
【００７０】
次に、後で処理終了した生産装置３ａ−１に搬送台車５ｅ−３及び５ｆ−３が向かい、ロット６ｄの回収と次ロット６ｂの投入を行い処理が終了する（Ｓ４０７）。
【００７１】
ステップ４０１〜４０７の処理により、同じベイ７の複数の生産装置３にてロット６の処理終了時間が重なり、複数の生産装置３でロット６の回収と投入が競合した場合も、ロス無くロット６の回収と次に処理をするロット６の投入略同時に行う事ができる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
以上説明したように、本発明は、半導体や液晶の製造ラインにおける搬送製装置及びその制御方法に適用され、生産装置でのロットの回収と投入を行う際に、ロス無く搬送台車を搬送する事ができ、生産装置の稼動を低下させることなく、ロットのリードタイムを短縮させる制御方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送システムのレイアウト図
【図２】本実施の形態に係るシステム構成図
【図３】本実施の形態に係る順番通り連続で到着させるためのフローを示す図
【図４】本実施の形態に係る同じベイで処理終了ロットが複数発生した場合の処理を示すフローを示す図
【図５】特許文献１に記載の搬送システムを示す図
【図６】特許文献２に記載の搬送システムを示す図
【符号の説明】
【００７４】
１  工程間搬送軌道レール
２  工程内搬送軌道レール
３  生産装置
４  自動保管庫
５  搬送台車
６  ロット
７  ベイ
８  生産進捗管理装置
９  搬送制御装置
１０  製品引当て装置
１１  装置処理制御装置
１２  搬送台車制御装置
１３  自動保管庫制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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