(57)【要約】【課題】ペースト容器内のペーストの使用効率を向上させることができ且つペースト容器の交換を行う際に処理を停止させる必要がないダイコータを提供する。【解決手段】本発明のダイコータは、内部にペーストを収容し且つペーストを排出するペースト排出口を上面に備える交換式のペースト容器と、前記ペースト排出口から排出されたペーストを溜めるバッファタンクと、前記バッファタンクから排出されたペーストをヘッドから基板上に吐出して塗布層を形成する塗布層形成部とを備え、前記ペースト容器は、前記ペースト排出口からペーストが自重により排出されるように前記上面を鉛直面よりも下方向に向けて配置されていることを特徴とする。【選択図】図１
2009142745.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にペーストを収容し且つペーストを排出するペースト排出口を上面に備える交換式のペースト容器と、
前記ペースト排出口から排出されたペーストを溜めるバッファタンクと、
前記バッファタンクから排出されたペーストをヘッドから基板上に吐出して塗布層を形成する塗布層形成部とを備え、
前記ペースト容器は、前記ペースト排出口からペーストが自重により排出されるように前記上面を鉛直面よりも下方向に向けて配置されていることを特徴とするダイコータ。
【請求項２】
前記ペースト容器は、上面に空気吸入口をさらに備え、
前記空気吸入口から挿入され且つ前記ペースト容器の下面近傍にまで延びるパイプをさらに備える請求項１に記載のダイコータ。
【請求項３】
前記ペースト容器は、前記ペースト容器の回転及び固定が可能なペースト容器保持装置に保持されている請求項１又は２に記載のダイコータ。
【請求項４】
前記ペースト容器は、前記上面が水平状態から１２０〜１５０度又は２１０〜２４０度傾いた状態で配置されている請求項１〜３の何れか１つに記載のダイコータ。
【請求項５】
前記バッファタンクは、ペーストが出入りするペースト出入口を備え、
前記ペースト出入口は、ペーストが自重により排出される位置に設けられ、
前記ペースト出入口は、前記ペースト容器の前記ペースト排出口よりも低い位置に配置される請求項１〜４の何れか１つに記載のダイコータ。
【請求項６】
前記バッファタンクは、ペーストが流入するペースト入口と、ペーストが排出されるペースト出口とを備え、
前記ペースト出口は、ペーストが自重により排出される位置に設けられ、
前記ペースト入口は、前記ペースト容器の前記ペースト排出口よりも低い位置に配置される請求項１〜４の何れか１つに記載のダイコータ。
【請求項７】
前記ペーストは、粘度が１０００〜１００００ｃｐｓである請求項１〜６の何れか１つに記載のダイコータ。
【請求項８】
前記塗布層形成部は、前記バッファタンクと前記ヘッドとの間にモーノポンプとシリンジポンプをこの順に備える請求項１〜７の何れか１つに記載のダイコータ。
【請求項９】
電極が形成された基板上に請求項１〜８の何れか１つの記載のダイコータを用いて低融点ガラスペーストを塗布して塗布層を形成し、前記塗布層を焼成することによって誘電体層を形成する工程を備えるプラズマディスプレイパネル用基板構体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイコータと、これを用いたプラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と称する。）用基板構体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１０は、従来のＡＣ駆動型面放電ＰＤＰの構造の一例を示す分解斜視図である。このＰＤＰは、前面側基板構体１と背面側基板構体２を有している。
【０００３】
前面側基板構体１では、ガラス基板１ａ上に複数の表示電極３が配置されている。表示電極３は、それぞれ、透明電極３ａ及びバス電極３ｂを備えている。表示電極３は、ＡＣ駆動のための誘電体層４で覆われている。誘電体層４は、保護膜５で覆われている。
【０００４】
背面側基板構体２では、表示電極３に対して交差する方向（列方向）に延びるアドレス電極６がガラス基板２ａ上に配置されている。アドレス電極６は、誘電体層９で覆われている。アドレス電極６の両側には隔壁７が配置され、列方向のセルを区分けしている。さらに誘電体層９上と、隔壁７の側面には紫外線により励起されて赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の可視光を発生する蛍光体層８が形成されている。なお、アドレス電極６は、前面側基板構体１の誘電体層４内に表示電極３と交差するように配設されることもある。
【０００５】
保護膜５と隔壁７が接するように前面側基板構体１と背面側基板構体２を対向させた状態で周縁部を封止用部材により封着させて内部に隔壁で仕切られた複数の放電空間を形成し、放電空間内を排気後、放電空間内にＮｅ−Ｘｅ等の放電ガスを封入し、ＰＤＰが作製される。このＰＤＰにおいては、表示は、隣接する２本の表示電極３間での繰り返し放電によって行なわれる。
【０００６】
誘電体層４、９は、一例では、テーブル型のダイコータを用いて低融点ガラスペーストをガラス基板の電極形成面に塗布して塗布層を形成し、この塗布層を焼成することによって形成する。
【０００７】
ここで、図１１を用いて従来のダイコータについて説明する。図１１は、従来のダイコータの構成図である。
【０００８】
図１１に示すように、ダイコータは、基板１３を載置する塗布ステージ１１と、ペーストを収容するペースト容器（例：ドラム缶）２３と、ペースト１９を基板１３上に吐出して塗布層２０を形成するヘッド１７と、ペースト容器２３内のペースト１９を吸い上げてヘッド１７に送出するモーノポンプ２９及びシリンジポンプ３３とを備える。
【０００９】
ペースト容器２３は、交換式のものである。従って、ペースト容器２３内のペースト１９の量が少なくなると、処理を一端停止してペースト容器２３を取り外し、次に、ペースト１９が十分に入ったペースト容器２３を取り付け、処理を再開する。
【００１０】
ペースト１９が十分に入ったペースト容器２３の重量は、２００ｋｇを超える場合もあって持ち上げるのは容易でない。このため、ペースト容器２３は、床１０に載置されるのが一般的である。
【特許文献１】特開２００６−１３４８７３号公報
【非特許文献１】１９９８  ＦＰＤテクノロジー大全  ４２４−４２７頁（電子ジャーナル）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記構成のダイコータでは、ペースト容器２３内にペースト１９が１５％程度残っている場合であっても十分な量のペースト１９がヘッド１７に供給されず、塗布層２０が適切に形成されない場合がある。このため、ペースト１９の使用効率が良くない。また、上記構成のダイコータでは、ペースト容器２３の交換を行う際に処理を一端停止させる必要があるので、生産性が高くない。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ペースト容器内のペーストの使用効率を向上させることができ且つペースト容器の交換を行う際に処理を停止させる必要がないダイコータを提供するものである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【００１３】
本発明のダイコータは、内部にペーストを収容し且つペーストを排出するペースト排出口を上面に備える交換式のペースト容器と、前記ペースト排出口から排出されたペーストを溜めるバッファタンクと、前記バッファタンクから排出されたペーストをヘッドから基板上に吐出して塗布層を形成する塗布層形成部とを備え、前記ペースト容器は、前記ペースト排出口からペーストが自重により排出されるように前記上面を鉛直面よりも下方向に向けて配置されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明によれば、ペーストは自重によりペースト容器から排出されるので、ペースト容器内がほぼ空になるまでペーストが容易に取り出される。従って、本発明によれば、ペーストの使用効率が向上する。また、本発明は、ペースト容器からのペーストを溜めるバッファタンクを備えており、ペースト容器を交換している間は、このバッファタンク内のペーストを用いて処理を継続することができる。従って、本発明によれば、ペースト容器の交換を行う際に処理を停止させる必要がない。
以下、本発明の種々の実施形態等を例示する。
【００１５】
前記ペースト容器は、上面に空気吸入口をさらに備え、前記空気吸入口から挿入され且つ前記ペースト容器の下面近傍にまで延びるパイプをさらに備えてもよい。
前記ペースト容器は、前記ペースト容器の回転及び固定が可能なペースト容器保持装置に保持されていてもよい。
前記ペースト容器は、前記上面が水平状態から１２０〜１５０度又は２１０〜２４０度傾いた状態で配置されていてもよい。
前記バッファタンクは、ペーストが出入りするペースト出入口を備え、前記ペースト出入口は、ペーストが自重により排出される位置に設けられ、前記ペースト出入口は、前記ペースト排出口よりも低い位置に配置されていてもよい。
前記バッファタンクは、ペーストが流入するペースト入口と、ペーストが排出されるペースト出口とを備え、前記ペースト出口は、ペーストが自重により排出される位置に設けられ、前記ペースト入口は、前記ペースト容器の前記ペースト排出口よりも低い位置に配置されてもよい。
前記ペーストは、粘度が１０００〜１００００ｃｐｓであってもよい。
前記塗布層形成部は、前記バッファタンクと前記ヘッドとの間にモーノポンプとシリンジポンプをこの順に備えてもよい。
本発明は、電極が形成された基板上に上記記載のダイコータを用いて低融点ガラスペーストを塗布して塗布層を形成し、前記塗布層を焼成することによって誘電体層を形成する工程を備えるプラズマディスプレイパネル用基板構体の製造方法も提供する。
ここで示した種々の実施形態等は、互いに組み合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下，本発明の一実施形態を図面を用いて説明するが、本発明の範囲は図面や以下の記述中で示すものに限定されない。
【００１７】
１．ダイコータ
１−１．第１実施形態
図１を用いて本発明の第１実施形態のダイコータについて説明する。図１は、本実施形態のダイコータの構成図である。
【００１８】
本実施形態のダイコータは、内部にペースト１９を収容し且つペースト１９を排出するペースト排出口２３ａを上面２３ｆに備える交換式のペースト容器２３と、ペースト排出口２３ａから排出されたペースト１９を溜めるバッファタンク３５と、バッファタンク３５から排出されたペースト１９をヘッド１７から基板１３上に吐出して塗布層２０を形成する塗布層形成部１８とを備え、ペースト容器２３は、ペースト排出口２３ａからペースト１９が自重により排出されるようにその上面２３ｆを鉛直面よりも下方向に向けて配置されている。
【００１９】
以下、各構成要素について説明する。
【００２０】
１−１−１．ペースト容器
図２（ａ）〜（ｃ）を用いて、ペースト容器２３について説明する。図２（ａ）は、平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）中のＩ−Ｉ断面図であり、図２（ｃ）は、斜視図である。
【００２１】
ペースト容器２３は、ペースト１９を収容する容器であり、その形状や材料は、特に限定されないが、一例では、円筒形の容器、より具体的には、ドラム缶のような金属製の円筒形の容器である。
【００２２】
ペースト容器２３は、交換式である。従って、ペースト容器２３内のペースト１９の量が少なくなればペースト容器２３を取り外し、その後、多量のペースト１９が入ったペースト容器２３を取り付けることによって、ペースト１９の補充を行う。本実施形態のペースト容器２３は、ダイコータに取り付けたままでペーストの補充を行う固定式のペーストタンクとは本質的に異なるものである。
【００２３】
ペースト容器２３は、ペースト１９を排出するためのペースト排出口２３ａと、空気を吸入するための空気吸入口２３ｂとを上面２３ｆに備えている。
【００２４】
ペースト容器２３の上面２３ｆでのペースト排出口２３ａと空気吸入口２３ｂの位置は、特に限定されないが、ペースト排出口２３ａと空気吸入口２３ｂは、上面２３ｆの中心を挟んで互いに反対側に位置していることが好ましい。ペースト排出口２３ａと空気吸入口２３ｂは、それぞれ、上面２３ｆの端に位置していることが好ましい。このような配置の場合に、自重によってペーストを排出させやすいからである。ペースト排出口２３ａには、弁２３ｃを有するパイプ２３ｄが取り付けられている。弁２３ｃは、通常は、開状態にし、ペースト容器２３を交換する際に閉状態にする。空気吸入口２３ｂにはペースト容器２３の下面２３ｇの近傍にまで延びるパイプ２３ｅが挿入されている。このパイプ２３ｅを通じて空気がペースト容器２３内に吸入され、ペースト１９の排出が促進される。なお、空気吸入口２３ｂとパイプ２３ｅは必ずしも必要でなく、ペースト容器２３の下面２３ｇや側面２３ｈに穴を形成することによってペースト容器２３内に空気が吸入されるようにしてもよい。
【００２５】
ペースト容器２３は、ペースト排出口２３ａからペースト１９が自重により排出されるようにその上面２３ｆを鉛直面よりも下方向に向けて配置されている。言い換えると、ペースト容器２３は、ペースト容器２３の上面２３ｆの水平状態（図２（ｃ）のように載置された状態）からの傾斜角度θが９０度より大きく２７０度より小さくなるように配置されている。傾斜角度θは、好ましくは１２０〜１５０度又は２１０〜２４０度、さらに好ましくは１３０〜１４０度又は２２０〜２３０度である。この場合、ペースト容器２３の上面２３ｆに付着したペースト１９と側面２３ｈに付着したペースト１９の両方がペースト容器２３の上面２３ｆの端に集まりやすいからである。また、ペースト容器２３は、ペースト排出口２３ａが空気吸入口２３ｂよりも低い位置になるように配置されることが好ましく、図１の場合、傾斜角度θは、好ましくは１２０〜１５０度であり、さらに好ましくは１３０〜１４０度である。ペースト排出口２３ａと空気吸入口２３ｂの位置を入れ替えた場合、傾斜角度θは、好ましくは２１０〜２４０度であり、さらに好ましくは２２０〜２３０度である。
【００２６】
ペースト容器２３は、ペースト容器２３の回転及び固定が可能なペースト容器保持装置３７に保持されている。ペースト容器保持装置３７は、床１０の上に載置されている。ペースト容器保持装置３７は、電動で動作するものであってもよく、手動で動作するものであってもよい。ペースト容器保持装置３７の構成は特に限定されないが、ペースト容器保持装置３７は、一例では、基部３７ａと、基部３７ａから上方に延びる柱部３７ｂと、柱部３７ｂに対して上下移動可能なアーム部３７ｃと、アーム部３７ｃに対して回転可能であり且つペースト容器２３を保持可能な保持部３７ｄとを備えている。保持部３７ｄは、軸Ｘを中心に回転する。
【００２７】
保持部３７ｄの構成は、特に限定されないが，保持部３７ｄは、一例では、図３（ａ）に示すように、保持部本体３７ｅとレバー部３７ｆを有している。保持部本体３７ｅは、ペースト容器２３の外形を取り囲む形状である。保持部本体３７ｅ内にペースト容器２３を設置し、この状態でレバー部３７ｆを矢印の方向に動かしてレバー部３７ｆを保持部本体３７ｅに固定することによって、図３（ｂ）に示すようにペースト容器２３を保持部３７ｄに保持させることができる。
【００２８】
ペースト容器２３に収容されるペースト１９の粘度は、特に限定されないが、例えば、１０００〜１００００ｃｐｓであり、具体的には例えば、１０００，２０００，３０００，４０００，５０００，６０００，７０００，８０００，９０００，１００００である。ペースト１９の粘度は、ここで例示した数値の何れか２つの間の範囲内であってもよい。ペースト１９の粘度が１００００ｃｐｓ以下である場合、自重による排出が容易である。また、ペースト１９の粘度が１０００ｃｐｓ以上の場合、塗布層２０の形成が容易である。本発明で、粘度とは、ずり速度が０．１回転／秒の場合の値を意味する。
【００２９】
ペースト１９の種類は、特に限定されないが、前述したＰＤＰの誘電体層形成では、低融点ガラスフリットにバインダと溶剤を加えた低融点ガラスペーストである。
【００３０】
１−１−２．バッファタンク
バッファタンク３５は、ペースト容器２３のペースト排出口２３ａから排出されたペースト１９を溜めるタンクであり、その形状や材料は、特に限定されない。
【００３１】
ペースト１９が塗布層２０の形成に使用されると、バッファタンク３５内のペースト１９の量が減少する。バッファタンク３５内のペースト１９の量が減少すると、ペースト容器２３からペースト１９が補充される。この補充は、ペースト１９の自重によってなされるので、バッファタンク３５内のペースト１９の液面は、ペースト容器２３内のペースト１９の液面とほぼ一致する（ペースト１９の粘性や圧力損失等によって通常は完全には一致しない。）。
【００３２】
バッファタンク３５は、ペースト１９が出入りするペースト出入口３５ａと空気を吸入する空気吸入口３５ｂを備えている。ペースト出入口３５ａは、ペースト１９が自重によりバッファタンク３５から排出される位置に設けられている。また、ペースト出入口３５ａは、ペースト容器２３のペースト排出口２３ａよりも低い位置に配置されている。これによって、ペースト容器２３内のペースト１９がバッファタンク３５に自重によってスムーズに流入し、自重によってバッファタンク３５からスムーズに排出される。
【００３３】
空気吸入口３５ｂは、ペースト１９の液面の最大高さよりも高い位置に設けられている。空気吸入口３５ｂを設けることによって空気吸入口３５ｂを通じて空気がペースト容器２３内に吸入され、ペースト１９の排出が促進される。
【００３４】
ペースト出入口３５ａには、パイプ２３ｄに繋がるパイプ３５ｄが設けられている。パイプ３５ｄには弁３５ｃが設けられている。弁３５ｃは、通常は、開状態にし、ペースト容器２３を交換する際に閉状態にする。
ペースト容器２３とバッファタンク３５の間にはポンプが設けられておらず、ペースト容器２３とバッファタンク３５は直接繋がっていて、弁２３ｃと弁３５ｃの開閉によってペースト１９の流れが制御される。
【００３５】
１−１−３．塗布層形成部
塗布層形成部１８は、バッファタンク３５から排出されたペースト１９をヘッド１７から基板１３上に吐出して塗布層２０を形成する。なお、図１の構成では、通常時にはバッファタンク３５とペースト容器２３の両方から排出されたペースト１９がヘッド１７に供給され、ペースト容器２３の交換時にはバッファタンク３５から排出されたペースト１９がヘッド１７に供給される。従って、何れの時点でもバッファタンク３５から排出されたペースト１９がヘッド１７に供給される。
【００３６】
塗布層形成部１８は、ペースト１９を吐出するヘッド１７と、ヘッド１７を移動させる駆動部（図示せず）と、バッファタンク３５からヘッド１７にペースト１９を送出するポンプとを備えている。ヘッド１７は、先端に設けられたノズルから基板１３上にペースト１９を吐出する。駆動部は、塗布層２０を形成する方向に又はその逆方向にヘッド１７を移動させることができる。
【００３７】
ポンプは、一例では、バッファタンク３５側から順に設けられたモーノポンプ２９とシリンジポンプ３３とで構成される。ヘッド１７には、ヘッド１７と基板１３との間の距離を測定するギャップセンサー１５が取り付けられている。
【００３８】
基板１３の種類は、特に限定されないが、例えば、前述したＰＤＰの場合は電極の形成されたガラス基板である。基板１３は、塗布ステージ１１上に設置される。塗布ステージ１１は、例えば、石、鋳鉄、セラミック等の変形しにくい材質からなる。塗布ステージ１１は、床１０の上に載置されている。塗布ステージ１１には、真空ポンプに繋がった多数の吸着孔が形成されている。基板１３は、吸着孔に真空吸着されることによって塗布ステージ１１上に固定されて設置される。但し、基板１３の固定方法は、特に限定されず、例えば、クランプ等によって、基板１３の上から基板１３を塗布ステージ１１に押し付けることによって基板１３を塗布ステージ１１上に固定してもよい。
【００３９】
１−１−４．ペースト容器の交換方法
ここで、図４（ａ）〜（ｅ）を用いて、ペースト容器２３の交換方法について説明する。ここでの説明する方法は、一例であって、別の手順で交換してもよい。
【００４０】
バッファタンク３５内のペースト１９の液面は、ペースト容器２３内にペースト１９が入っているときはペースト容器２３のペースト排出口２３ａよりも高い位置にあるが、ペースト容器２３が空になったときはペースト容器２３のペースト排出口２３ａよりも低い位置になる。従って、バッファタンク３５内のペースト１９の液面が所定の高さよりも低くなったことを検出することによってペースト容器２３が空になったことを検出することができる。バッファタンク３５内のペースト１９の液面は、液面センサーを用いて測定することができる。
【００４１】
ペースト容器２３が空になったことが検出されると、弁２３ｃと弁３５ｃを閉状態にし、パイプ２３ｄとパイプ３５ｄを分離する。分離後の状態を図４（ａ）に示す。
【００４２】
次に、ペースト容器２３の上面が水平になるように保持部３７ｄを回転させ、その後、ペースト容器２３をペースト容器保持装置３７から取り外し、図４（ｂ）に示す状態を得る。
【００４３】
次に、ペースト１９が十分に入ったペースト容器２３に弁２３ｃを有するパイプ２３ｄを取り付け、その後、ペースト容器２３を保持部３７ｄに取り付け、図４（ｃ）に示す状態を得る。弁２３ｃを有するパイプ２３ｄは、ペースト容器２３を保持部３７ｄに取り付けた後にペースト容器２３に取り付けてもよい。ペースト容器２３の空気吸入口２３ｂには蓋（図示せず）が取り付けられている。
【００４４】
次に、図４（ｄ）に示すように、軸Ｘを中心に保持部３７ｄを９０度回転させることによって、ペースト容器２３の上面２３ｆが水平状態から９０度傾いた状態にする。本実施形態では、ペースト容器２３を反時計周りに回転させているが、ペースト容器２３の回転方向は特に限定されない。
【００４５】
次に、空気吸入口２３ｂの蓋を取り外し、パイプ２３ｅを空気吸入口２３ｂから挿入し、パイプ２３ｅの先端がペースト容器２３の下面２３ｇの近傍に位置するようにパイプ２３ｅを配置してパイプ２３ｅをペースト容器２３に固定する。ペースト容器２３の上面２３ｆが水平状態から９０度傾いた状態でパイプ２３ｅを挿入することによってパイプ２３ｅ内にペースト１９が入り込んでパイプ２３ｅが詰まることを防止できる。
【００４６】
次に、図４（ｅ）に示すように、軸Ｘを中心に保持部３７ｄをさらに回転させることによって、ペースト容器２３の上面２３ｆが鉛直面よりも下方向に向くようにペースト容器２３を回転させる。
【００４７】
次に、ペースト容器２３側のパイプ２３ｄと、バッファタンク３５側のパイプ３５ｄとを連結し、弁２３ｃと弁３５ｃを開状態にする。これによって、ペースト容器２３からバッファタンク３５へのペースト１９の供給が再開される。
【００４８】
ペースト容器２３を交換している間はペースト容器２３からバッファタンク３５へはペースト１９が供給されない。しかし、その間もバッファタンク３５内のペースト１９を用いて処理を継続することができる。従って、本実施形態によれば、ペースト容器２３の交換を行う際に処理を停止させる必要がない。
【００４９】
１−２．第２実施形態
図５を用いて本発明の第２実施形態のダイコータについて説明する。図５は、本実施形態のダイコータの構成図である。
【００５０】
本実施形態は、第１実施形態に類似しており、第１実施形態で述べた内容は、以下の記載に矛盾しない限り本実施形態にも当てはまる。
本実施形態のダイコータでは、バッファタンク３５は、ペースト１９が流入するペースト入口３５ｅと、ペースト１９が排出されるペースト出口３５ｆとを備えている。本実施形態では、バッファタンク３５がペースト入口３５ｅとペースト出口３５ｆを有しているので、バッファタンク内のペーストをモーノポンプによりシリンジポンプへ送液する際にバッファタンクからペースト容器へペーストが逆流しないという利点がある。
【００５１】
ペースト出口３５ｆは、ペースト１９が自重により排出される位置に設けられ、ペースト入口３５ｅは、ペースト容器２３のペースト排出口２３ａよりも低い位置に配置されている。これによって、ペースト１９は、バッファタンク３５内に自重によってスムーズに流入し、自重によってバッファタンク３５からスムーズに排出される。
【００５２】
１−３．第３実施形態
図６を用いて本発明の第３実施形態のダイコータについて説明する。図６は、本実施形態のダイコータの構成図である。
【００５３】
本実施形態は、第２実施形態に類似しており、第２実施形態で述べた内容は、以下の記載に矛盾しない限り本実施形態にも当てはまる。
【００５４】
本実施形態のダイコータでは、ペースト１９が排出されるペースト出口３５ｆがバッファタンク３５の上側に設けられていて、ペースト１９は自重によってはバッファタンク３５から排出されない。バッファタンク３５は、ペースト１９上に蓋３５ｇを有している。蓋３５ｇを押し下げると共にモーノポンプ２９でペースト１９を吸い上げることによってペースト１９がバッファタンク３５から排出される。
【００５５】
本実施形態のダイコータでは、ペースト１９は、ペースト容器２３からバッファタンク３５に自重によって供給されるが、バッファタンク３５からは自重によって排出されない。しかし、本実施形態のダイコータは、第１及び第２実施形態と同様に、ペースト容器２３内のペースト１９の利用効率を向上させることができるという効果と、処理を停止させることなくペースト容器２３を交換することができるという効果を有している。
【００５６】
以上の実施形態で示した種々の特徴は，互いに組み合わせることができる。１つの実施形態中に複数の特徴が含まれている場合，そのうちの１又は複数個の特徴を適宜抜き出して，単独で又は組み合わせて，本発明に採用することができる。
【００５７】
２．ＰＤＰ用基板構体の製造方法
図７（ａ）〜（ｄ）を用いて、本発明を適用したＰＤＰ用基板構体の製造方法について説明する。図７（ａ）〜（ｄ）は、本実施形態のＰＤＰ用基板構体の製造工程を示す断面図である。以下の実施形態では、３電極面放電型ＰＤＰ用前面側基板構体を製造する場合を例にとって説明を進める。
【００５８】
２−１．表示電極形成工程
まず、図７（ａ）に示すように、基板１ａ上に複数の表示電極３を形成する。
【００５９】
基板１ａは、特に限定されず、当該分野で公知の基板をいずれも使用することができる。具体的には、ガラス基板、プラスチック基板等の透明基板が挙げられる。
【００６０】
複数の表示電極３は、それぞれ、透明電極３ａと金属電極３ｂとを備える。透明電極３ａは、例えば、ＩＴＯ、ＳｎＯ2 などの透明電極材料膜をスパッタリング法等によって形成し、この透明電極材料膜を透明電極３ａの形状にパターニングすることによって形成することができる。金属電極３ｂは、例えばＡｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ及びそれらの積層体（例えばＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒの積層構造）等からなる金属膜又はその積層膜をスパッタリング法等によって形成し、この膜を金属電極３ｂの形状にパターニングすることによって形成することができる。上記パターニングは、フォトエッチング法で行うことができる。透明電極３ａ及び金属電極３ｂの厚さは、一例では、それぞれ、０．１μｍ及び３．５μｍである。
【００６１】
複数の表示電極３は、２本ずつがペアになって表示ラインを構成するが、電極配列形態として電極ペア間に非放電領域（逆スリットともいう）を設けた配列、電極を等間隔に配列して隣接する電極間が全て放電領域となるＡＬＩＳ形式の配列のいずれかによって配置されている。
【００６２】
２−２．誘電体層形勢（塗布層形成及び焼成）工程
次に、図７（ｂ）に示すように、表示電極３が形成された基板１ａ上に低融点ガラスペーストを塗布して塗布層１６を形成し、図７（ｃ）に示すように塗布層１６を焼成することによって誘電体層４を形成する。低融点ガラスペーストは、例えば、低融点ガラスフリットにバインダと溶剤を加えたものからなる。塗布層１６は、上記実施形態のダイコータを用いて形成することができる。
【００６３】
２−３．保護層形成工程
次に、図７（ｄ）に示すように、誘電体層４上に保護層５を形成し、前面側基板構体の製造を完了する。保護層５は、例えば、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム又は酸化バリウム等の金属（より具体的には２価の金属）酸化物からなり、好ましくは、酸化マグネシウムからなる。保護層５は、蒸着法、スパッタ法又は塗布法等で形成される。保護層５の厚さは、一例では、８０００Å程度である。
【００６４】
ここで作製した前面側基板構体と、別途作製した、アドレス電極、誘電体層、隔壁及び蛍光体層等が形成された背面側基板構体とを貼り合わされて内部に気密な放電空間を有するパネルを形成し、このパネルの放電空間内を排気し、その後、ネオンやキセノンなどからなる放電ガスを放電空間内に導入することによって、ＰＤＰを製造することができる。
【００６５】
ここでは、ＰＤＰ用前面側基板構体の表示電極３を覆う誘電体層を形成するために上記実施形態のダイコータを用いたが、上記実施形態のダイコータは、ＰＤＰ用背面側基板構体のアドレス電極を覆う誘電体層や、隔壁形成のための隔壁材料層を形成するためにも利用可能であり、ＰＤＰの製造以外の用途にも利用可能である。
【００６６】
３．効果実証実験
第１実施形態のダイコータにおいて、バッファタンク３５内のペースト液面高さがペースト容器２３内のペースト残量に応じてどのように変化するのかを調べた。その結果を図８及び図９に示す。図８は、ペースト１９の粘度が８７００ｃｐｓである場合の結果であり、図９は、ペースト１９の粘度が１４０００ｃｐｓである場合の結果である。図８及び図９において、「吸引直後」とは、シリンジポンプ３３でバッファタンク３５内のペースト１９を吸引した直後のペースト液面高さを意味しており、「７２秒経過後」は、「吸引直後」から７２秒経過後のペースト液面高さを意味している。
【００６７】
図８及び図９を参照すると、ペースト１９の粘度が８７００ｃｐｓと１４０００ｃｐｓのどちらの場合も、ペースト容器２３内のペースト残量が０になったときに、バッファタンク３５内のペースト液面高さが４００ｍｍ以上になっていることが分かる。この結果は、ペースト容器２３が空になるまでペースト容器２３内のペースト１９がバッファタンク３５に適切に供給されていることを示しており、本発明によれば、ペースト容器２３内のペースト１９の使用効率が向上することが実証された。
【００６８】
また、図８及び図９を参照すると、図８では、吸引によって低くなったペースト液面が７２秒後には上昇しているが、図９では、ペースト液面が７２秒後にはほとんど変化していないことが分かる。これは、図８の場合の方が、ペースト容器２３からバッファタンク３５にペースト１９がスムーズに補充されたことを意味している。この結果は、ペースト粘度は、１００００ｃｐｓ以下が好ましいことを示している。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第１実施形態のダイコータの構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態のダイコータのペースト容器を示し、図２（ａ）は、平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）中のＩ−Ｉ断面図であり、図２（ｃ）は、斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態のダイコータのペースト容器保持装置のアーム部と保持部の平面図であり、図３（ａ）は、ペースト容器を保持部に固定する前の状態であり、図３（ｂ）は、ペースト容器を保持部に固定した後の状態である。
【図４】図４（ａ）〜（ｅ）は、本発明の第１実施形態のダイコータのペースト容器の交換方法を説明するための図である。
【図５】本発明の第２実施形態のダイコータの構成図である。
【図６】本発明の第３実施形態のダイコータの構成図である。
【図７】図７（ａ）〜（ｄ）は、本発明の一実施形態のＰＤＰ用基板構体の製造工程を示す断面図である。
【図８】本発明の効果検証実験における、ペースト容器内のペースト残量と、バッファタンク内のペースト液面高さとの関係を示すグラフである（ペースト粘度８７００ｃｐｓ）。
【図９】本発明の効果検証実験における、ペースト容器内のペースト残量と、バッファタンク内のペースト液面高さとの関係を示すグラフである（ペースト粘度１４０００ｃｐｓ）。
【図１０】従来のＰＤＰの構造を示す分解斜視図である。
【図１１】従来のダイコータの構成図である。
【符号の説明】
【００７０】
１：前面側基板構体  １ａ：前面側基板  ２：背面側基板構体  ２ａ：背面側基板  ３：表示電極  ３ａ：透明電極  ３ｂ：バス電極  ４：前面側基板構体の誘電体層  ５：保護層  ６：アドレス電極  ７：隔壁  ８：蛍光体層  ９：背面側基板構体の誘電体層  １０：床  １１：塗布ステージ  １３：基板  １５：ギャップセンサー  １６：塗布層  １７：ヘッド  １８：塗布層形成部  １９：ペースト  ２０：塗布層  ２３：ペースト容器  ２３ａ：ペースト排出口  ２３ｂ：空気吸入口  ２３ｃ：弁  ２３ｄ：パイプ  ２３ｅ：パイプ  ２３ｆ：ペースト容器の上面  ２３ｇ：ペースト容器の下面  ２３ｈ：ペースト容器の側面  ２９：モーノポンプ  ３３：シリンジポンプ  ３５：バッファタンク  ３５ａ：ペースト出入口  ３５ｂ：空気吸入口  ３５ｃ：弁  ３５ｄ：パイプ  ３５ｅ：ペースト入口  ３５ｆ：ペースト出口  ３５ｇ：蓋  ３７：ペースト容器保持装置  ３７ａ：基部  ３７ｂ：柱部  ３７ｃ：アーム部  ３７ｄ：保持部  ３７ｅ：保持部本体  ３７ｆ：レバー部
Ｘ：軸  θ：ペースト容器の上面の水平状態からの傾斜角度
【図１】
2009142745.tif 000003
【図２】
2009142745.tif 000004
【図３】
2009142745.tif 000005
【図４】
2009142745.tif 000006
【図５】
2009142745.tif 000007
【図６】
2009142745.tif 000008
【図７】
2009142745.tif 000009
【図８】
2009142745.tif 000010
【図９】
2009142745.tif 000011
【図１０】
2009142745.tif 000012
【図１１】
2009142745.tif 000013