(57)【要約】      （修正有）【課題】作業性を向上させることが可能なロール型圧電変換素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】セラミックス系圧電材料から成るシート状圧電素子１０の表面１１に第１電極２２を、シート状圧電素子１０の一端部１３に電極が形成されない第１非電極領域２３を有するように形成し、裏面１２に第２電極２２を、シート状圧電素子１０の他端部１４に電極が形成されない第２非電極領域２３を有するように形成した電極付きシート状圧電素子１０を、第１非電極領域２３、第１電極部２２、第２非電極領域２３、第２電極部２２がそれぞれ外部に露出する様、シート状圧電素子１０の端部１３，１４を互いにずらして折り返した状態で、折り返し部分が内側中心となるようにロール状に巻き上げて構成したロール型圧電変換素子であって、第１及び第２電極部２２もしくは第１及び第２非電極領域２３のいずれか一方が特異部２２を含む表面形状である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックス系圧電材料から成るシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の一端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、裏面に第２電極を、該シート状圧電素子の他端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成した電極付きシート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様、前記シート状圧電素子の端部を互いにずらして折り返した状態で、該折り返し部分が内側中心となるようにロール状に巻き上げて構成したロール型圧電変換素子であって、
前記第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方が特異部を含む表面形状であることを特徴とするロール型圧電変換素子。
【請求項２】
セラミックス系圧電材料から成る第１及び第２のシート状圧電素子を有し、前記第１のシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、前記第２のシート状圧電素子の表面に第２電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成すると共に、前記第１のシート状圧電素子裏面と前記第２のシート状圧電素子表面とを、前記第１のシート状圧電素子の第１非電極領域側端部と前記第２のシート状圧電素子の第２非電極領域側端部とが互いにずれた状態で重ね合わせて積層した電極付き積層シート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様、ロール状に巻き上げて構成したロール型圧電変換素子であって、
前記第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方が特異部を含む表面形状であることを特徴とするロール型圧電変換素子。
【請求項３】
前記特異部は、平坦面であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のロール型圧電変換素子。
【請求項４】
前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面自体が平坦面であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載のロール型圧電変換素子。
【請求項５】
前記特異部は、当該特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面の、他の部分に対して凹状に構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載のロール型圧電変換素子。
【請求項６】
前記平坦面は第１及び第２電極部に形成されていることを特徴とする請求項４記載のロール型圧電変換素子。
【請求項７】
前記平坦面は第１及び第２非電極領域に形成されていることを特徴とする請求項４記載のロール型圧電変換素子。
【請求項８】
セラミックス系圧電材料から成るシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の一端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、裏面に第２電極を、該シート状圧電素子の他端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成した電極付きシート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様、前記シート状圧電素子の端部を互いにずらして折り返した状態で、該折り返し部分が内側中心となるようにロール状に巻き上げて構成したロール型圧電変換素子であって、
前記ロール型圧電変換素子は断面が楕円形で構成され、前記第１及び第２電極部表面の曲率半径と、前記第１及び第２非電極領域表面の曲率半径とが異なる形状で構成されていることを特徴とするロール型圧電変換素子。  
【請求項９】
セラミックス系圧電材料から成る第１及び第２のシート状圧電素子を有し、前記第１のシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、前記第２のシート状圧電素子の表面に第２電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成すると共に、前記第１のシート状圧電素子裏面と前記第２のシート状圧電素子表面とを、前記第１のシート状圧電素子の第１非電極領域側端部と前記第２のシート状圧電素子の第２非電極領域側端部とが互いにずれた状態で重ね合わせて積層した電極付き積層シート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様、ロール状に巻き上げて構成したロール型圧電変換素子であって、
前記ロール型圧電変換素子は断面が楕円形で構成され、前記第１及び第２電極部表面の曲率半径と、前記第１及び第２非電極領域表面の曲率半径とが異なる形状で構成されていることを特徴とするロール型圧電変換素子。  
【請求項１０】
ロール型圧電変換素子の製造方法であって、
セラミックス系圧電材料から成るシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の一端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、前記シート状圧電素子の裏面に第２電極を、該シート状圧電素子の他端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成する電極形成工程と、
前記第１電極部、第２電極部、第１非電極領域及び第２非電極領域が形成されたシート状圧電素子を前記第１電極部、第２電極部、第１非電極領域及び第２非電極領域が外部に露出する様、前記シート状圧電素子の端部を互いにずらして折り返した状態で、該折り返し部分が内側中心となるようにロール状に巻き上げて柱状体を形成する工程と、
前記柱状体を焼成する焼成工程と、を備え、
前記焼成工程前に前記柱状体の前記第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の表面形状を、特異部を含む表面形状となるように変形させる型押し工程を含むことを特徴とするロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項１１】
前記型押し工程は、前記特異部が平坦面を形成するように型押しする事を特徴とする請求項１０記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項１２】
前記型押し工程は、前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面自体が平坦面を形成するように型押しすることを特徴とする請求項１０記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項１３】
前記型押し工程は、前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面の他の部分に対して凹部を形成するように型押しすることを特徴とする請求項１０記載のロール型圧電変換素子の製造方法。  
【請求項１４】
前記型押し工程は、前記平坦面を前記第１及び第２電極部に形成することを特徴とする請求項１１又は１２記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項１５】
前記型押し工程は、前記平坦面を前記第１及び第２非電極領域に形成することを特徴とする請求項１1又は１２記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項１６】
前記ロール型圧電変換素子の製造方法は、前記焼成工程後、前記柱状体を所定長さに切断する切断工程を含むことを特徴とする請求項１０〜１５のいずれか一つに記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項１７】
ロール型圧電変換素子の製造方法であって、
セラミックス系圧電材料から成る第１及び第２のシート状圧電素子を有し、前記第１のシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、前記第２のシート状圧電素子の表面に第２電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成する電極形成工程と、
前記第１のシート状圧電素子裏面と前記第２のシート状圧電素子表面とを、前記第１のシート状圧電素子の前記第１非電極領域側端部と前記第２のシート状圧電素子の前記第２非電極領域側端部とが互いにずれた状態で重ね合わせて積層した電極付き積層シート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様ロール状に巻き上げて柱状体を形成する工程と、
前記柱状体を焼成する焼成工程と、を備え、
前記焼成工程前に前記第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の表面形状を、特異部を含む表面形状となるように変形させる型押し工程を含むことを特徴とするロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項１８】
前記型押し工程は、前記特異部が平坦面を形成するように型押しする事を特徴とする請求項１７記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項１９】
前記型押し工程は、前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面自体が平坦面を形成するように型押しすることを特徴とする請求項１７記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項２０】
前記型押し工程は、前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面の他の部分に対して凹部を形成するように型押しすることを特徴とする請求項１７記載のロール型圧電変換素子の製造方法。  
【請求項２１】
前記型押し工程は、前記平坦面を前記第１及び第２電極部に形成することを特徴とする請求項１８又は１９記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項２２】
前記型押し工程は、前記平坦面を前記第１及び第２非電極領域に形成することを特徴とする請求項１８又は１９記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【請求項２３】
前記ロール型圧電変換素子の製造方法は、前記焼成工程後、前記柱状体を所定長さに切断する切断工程を含むことを特徴とする請求項１７〜２２のいずれか一つに記載のロール型圧電変換素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、シート状の圧電材料を巻き上げた形のロール型圧電変換素子及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、小型のアクチュエータとして圧電変換素子を用いたアクチュエータが提供されている。このようなアクチュエータは供給される電気エネルギを駆動力に変換する変換効率が高く、小型ながら発生する駆動電力が大きく、その駆動力制御も容易であるため、カメラ付携帯電話の撮像レンズ、小型プロジェクタにおける光源光をファイバ等の光伝送部材へ結合させるための結合レンズ、計測機器その他の精密機械の被駆動部材の駆動や位置決めとしての利用が注目されている。以下にこのような圧電変換素子を用いたアクチュエータの一例を、特許文献１の図１１に示す。
【０００３】
このアクチュエータは、圧電変換素子１の一端に導電性の駆動軸２、他端に支持部材として金属性部材を固定する構成をとっている。駆動軸２には、被駆動部材３が取付けられて、被駆動部材３はそのＶ字型溝４内に駆動軸２を嵌めこみ、押し付けバネ５によってカーボン軸をＶ字型溝４上部へ押し付けることによって、駆動軸２と被駆動部材３とを摩擦結合させる。被駆動部材は、圧電変換素子の電極間に電圧を印加させることによって生ずる圧電変換素子の形状変位を利用することにより駆動する。
【０００４】
このような圧電変換素子として従来、以下の特許文献１，２に示すように、シート状のセラミック系圧電材料を巻き取った形のロール型圧電素子が知られている。このような圧電素子は電極間に印加した電圧によって生じた電界により圧電変換素子が変形したときの径方向の変位を分極を利用して行ったり、巻き方向に直交した円筒形状の高さ方向の変位を利用するものである。
【０００５】
特許文献１の圧電変換素子の形状を、図１２に示す。図１２に示されるように、セラミックス系圧電材料から成るシート状の圧電素子の表面全体及び裏面全体にはそれぞれ電極部を設け、その電極部が設けられた圧電素子を、２つに折り曲げる。このとき、上と下とのシートの長さに所定量の差Ｅを設けて、折り曲げた部分を内側中心にして巻き上げることにより、最外周面に前記各電極部が露出するように積層され柱状体を形成する。その後、この柱状体を所定の温度条件で焼成し、数ミリ単位の長さで切断して、２つの電極部の間に所定の高電圧を印加して分極させて得られるロール型圧電変換素子が開示されている。
【０００６】
このように上下シートの長さを所定量ずらして巻き上げる事により、出来上がりの圧電変換素子の最外周面に両電極が露出して配置され、その後のリード線取り付け作業が行いやすいという利点がある。
【０００７】
また特許文献２のロール型圧電変換素子では、図１３で示すように、シート状のセラミック系圧電素子６の表裏面に設けられる第１電極７及び第２電極８が、圧電素子６の端部と第１電極７の端部との間、圧電素子６の端部と第２電極８との間に、それぞれ電極が設けられていない非電極領域が形成されるよう構成し、これを巻き上げる事により、図１４にあるような円筒状の圧電変換素子側面に、電極部、非電極領域、電極部及び非電極領域を、その順番に露出させた圧電変換素子が開示されている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１８５０５５号公報
【特許文献２】特開２００５−３０２９７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記特許文献１に記載された圧電変換素子では、２つの電極部が隣り合わせになっているため、２つの電極部をまたぐようにハンダ付けをしてしまう場合があり、ショートの原因になるという問題点があった。
【００１０】
特に焼成前のシート状圧電素子は縦横が数十ｍｍ四方と十分に大きく扱いやすい一方で、焼成後の圧電素子は２／３程度に収縮しており、切断後の圧電変換素子では長さが数ミリ、径の太さは１ｍｍ単位という非常に小さな素子となるため、この縮小した焼成後の圧電変換素子となった段階での分極後のショート検査工程やリード線取り付け工程は作業しにくく、上記のようなミスが発生しやすいという問題がある。
【００１１】
この点、特許文献２に記載された圧電変換素子では、柱状体の外周面に、電極部、非電極領域、電極部及び非電極領域を、その順番に露出させており、２つの電極部が隣り合わせになっていないため、比較的上記のようなミスは軽減する事はできる。しかしながら、やはり焼成後の収縮による上記工程作業の困難性は、係る構成だけでは十分ではない。また圧電変換素子は、電極部と非電極領域とは通常、似通った質感や色合いをしているため、検査の作業を行う者やリード線を取り付ける作業を行う者が電極部と非電極領域とを判別し難く、それにより各作業に時間を要し、作業性が低下するという問題点がある。
【００１２】
また、圧電変換素子はその断面がほぼ円形状であるために、検査の作業を行う者やリード線を取り付ける作業を行う者が、器具を柱状体に接触させると、柱状体が所定の位置から転がり、あるいは滑るため、柱状体を所定の位置に安定させることが困難となる。この点からも、各作業に時間を要し、作業性が低下するという問題点があった。
【００１３】
本発明は、上記の問題を解決するものであり、作業性を向上させることが可能なロール型圧電変換素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明の第１の形態は、セラミックス系圧電材料から成るシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の一端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、裏面に第２電極を、該シート状圧電素子の他端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成した電極付きシート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様、前記シート状圧電素子の端部を互いにずらして折り返した状態で、該折り返し部分が内側中心となるようにロール状に巻き上げて構成したロール型圧電変換素子であって、
前記第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方が特異部を含む表面形状であることを特徴とするロール型圧電変換素子である。
また、この発明の第２の形態は、セラミックス系圧電材料から成る第１及び第２のシート状圧電素子を有し、前記第１のシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、前記第２のシート状圧電素子の表面に第２電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成すると共に、前記第１のシート状圧電素子裏面と前記第２のシート状圧電素子表面とを、前記第１のシート状圧電素子の第１非電極領域側端部と前記第２のシート状圧電素子の第２非電極領域側端部とが互いにずれた状態で重ね合わせて積層した電極付き積層シート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様、ロール状に巻き上げて構成したロール型圧電変換素子であって、
前記第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方が特異部を含む表面形状であることを特徴とするロール型圧電変換素子である。
また、この発明の第３の形態は、第１の形態１又は第２の形態に係るロール型圧電変換素子であって、前記特異部は、平坦面であることを特徴とする。
また、この発明の第４の形態は、第１の形態から第３の形態のいずれかに係るロール型圧電変換素子であって、前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面自体が平坦面であることを特徴とする。
また、この発明の第５の形態は、第１の形態から第３の形態のいずれかに係るロール型圧電変換素子であって、前記特異部は、当該特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面の、他の部分に対して凹状に構成されていることを特徴とする。
また、この発明の第６の形態は、第４の形態に係るロール型圧電変換素子であって、前記平坦面は第１及び第２電極部に形成されていることを特徴とする。
また、この発明の第７の形態は、第４の形態に係るロール型圧電変換素子であって、前記平坦面は第１及び第２非電極領域に形成されていることを特徴とする。
また、この発明の第８の形態は、セラミックス系圧電材料から成るシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の一端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、裏面に第２電極を、該シート状圧電素子の他端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成した電極付きシート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様、前記シート状圧電素子の端部を互いにずらして折り返した状態で、該折り返し部分が内側中心となるようにロール状に巻き上げて構成したロール型圧電変換素子であって、
前記ロール型圧電変換素子は断面が楕円形で構成され、前記第１及び第２電極部表面の曲率半径と、前記第１及び第２非電極領域表面の曲率半径とが異なる形状で構成されていることを特徴とするロール型圧電変換素子である。
また、この発明の第９の形態は、セラミックス系圧電材料から成る第１及び第２のシート状圧電素子を有し、前記第１のシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、前記第２のシート状圧電素子の表面に第２電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成すると共に、前記第１のシート状圧電素子裏面と前記第２のシート状圧電素子表面とを、前記第１のシート状圧電素子の第１非電極領域側端部と前記第２のシート状圧電素子の第２非電極領域側端部とが互いにずれた状態で重ね合わせて積層した電極付き積層シート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様、ロール状に巻き上げて構成したロール型圧電変換素子であって、
前記ロール型圧電変換素子は断面が楕円形で構成され、前記第１及び第２電極部表面の曲率半径と、前記第１及び第２非電極領域表面の曲率半径とが異なる形状で構成されていることを特徴とするロール型圧電変換素子である。
また、この発明の第１０の形態は、ロール型圧電変換素子の製造方法であって、
セラミックス系圧電材料から成るシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の一端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、前記シート状圧電素子の裏面に第２電極を、該シート状圧電素子の他端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成する電極形成工程と、
前記第１電極部、第２電極部、第１非電極領域及び第２非電極領域が形成されたシート状圧電素子を前記第１電極部、第２電極部、第１非電極領域及び第２非電極領域が外部に露出する様、前記シート状圧電素子の端部を互いにずらして折り返した状態で、該折り返し部分が内側中心となるようにロール状に巻き上げて柱状体を形成する工程と、
前記柱状体を焼成する焼成工程と、を備え、
前記焼成工程前に前記柱状体の前記第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の表面形状を、特異部を含む表面形状となるように変形させる型押し工程を含むことを特徴とするロール型圧電変換素子の製造方法である。
また、この発明の第１１の形態は、第１０の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記特異部が平坦面を形成するように型押しする事を特徴とする。
また、この発明の第１２の形態は、第１０の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面自体が平坦面を形成するように型押しすることを特徴とする。
また、この発明の第１３の形態は、第１０の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面の他の部分に対して凹部を形成するように型押しすることを特徴とする。
また、この発明の第１４の形態は、第１１の形態又は第１２の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記平坦面を前記第１及び第２電極部に形成することを特徴とする。
また、この発明の第１５の形態は、第１１の形態又は第１２の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記平坦面を前記第１及び第２非電極領域に形成することを特徴とする。
また、この発明の第１６の形態は、第１０の形態から第１５の形態のいずれかに係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記ロール型圧電変換素子の製造方法は、前記焼成工程後、前記柱状体を所定長さに切断する切断工程を含むことを特徴とする。
また、この発明の第１７の形態は、ロール型圧電変換素子の製造方法であって、
セラミックス系圧電材料から成る第１及び第２のシート状圧電素子を有し、前記第１のシート状圧電素子の表面に第１電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第１非電極領域を有するように形成し、前記第２のシート状圧電素子の表面に第２電極を、該シート状圧電素子の端部に電極が形成されない第２非電極領域を有するように形成する電極形成工程と、
前記第１のシート状圧電素子裏面と前記第２のシート状圧電素子表面とを、前記第１のシート状圧電素子の前記第１非電極領域側端部と前記第２のシート状圧電素子の前記第２非電極領域側端部とが互いにずれた状態で重ね合わせて積層した電極付き積層シート状圧電素子を、前記第１非電極領域、第１電極部、第２非電極領域、第２電極部がそれぞれ外部に露出する様ロール状に巻き上げて柱状体を形成する工程と、
前記柱状体を焼成する焼成工程と、を備え、
前記焼成工程前に前記第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の表面形状を、特異部を含む表面形状となるように変形させる型押し工程を含むことを特徴とするロール型圧電変換素子の製造方法である。
また、この発明の第１８の形態は、第１７の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記特異部が平坦面を形成するように型押しする事を特徴とする。
また、この発明の第１９の形態は、第１７の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面自体が平坦面を形成するように型押しする。
また、この発明の第２０の形態は、第１７の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記特異部を含む第１及び第２電極部もしくは前記第１及び第２非電極領域のいずれか一方の面の他の部分に対して凹部を形成するように型押しする。  
また、この発明の第２１の形態は、第１８の形態又は第１９の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記平坦面を前記第１及び第２電極部に形成することを特徴とする。
また、この発明の第２２の形態は、第１８の形態又は第１９の形態に係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記型押し工程は、前記平坦面を前記第１及び第２非電極領域に形成することを特徴とする。
また、この発明の第２３の形態は、第１７の形態から第２２の形態のいずれかに係るロール型圧電変換素子の製造方法であって、前記ロール型圧電変換素子の製造方法は、前記焼成工程後、前記柱状体を所定長さに切断する切断工程を含むことを特徴とする。
なお、ここでいう「特異部」とは、ロール型圧電変換素子の側面部の他の部分と識別が可能な程度に形状が異なる部位をいい、特に当該部位の形状自体は限定されず、平坦面の他、凹部や凸部、当該他の部分とは異なる局所的に小さな曲率からなる部位でも良い。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ロール型圧電変換素子の側面最外周に露出している電極部と非電極領域との違いを識別できる形状としたため、数ミリ単位と非常に小さい圧電変換素子でも検査作業やリード線の取付作業においても作業者が電極部を容易に探し出すことができ、各作業性を向上させることが可能となる。
【００１６】
また、圧電変換素子の製造工程において、焼成前の比較的大きな柱状体の段階で電極部と非電極領域とを識別できるような形状を型押しにて形成する工程を行うため、作業しやすく、結果として当該工程のミスが軽減できる。また柱状体がある程度変形した場合であっても、割れたりすることがなく、不良品の発生を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、この発明の実施の形態を図１から図１０に基づいて説明する。
【００１８】
［第１の実施の形態］
第１の実施形態の圧電変換素子の製法の概略について図１から図３を参照して説明する。図１は、シート状の圧電素子の表面及び裏面に電極部を設け、これを巻き上げて形成した柱状体の説明図、図２は型押しされた柱状体の説明図、図３は、圧電変換素子の加工工程を示すフロー図である。
【００１９】
圧電変換素子は、先ず、セラミックス系圧電材料から成る１枚のシート状の圧電素子１０の表面１１及び裏面１２に電極部２２を設ける。この圧電素子１０をその略中央部１５で２つ折り返して重ね合わせ、その略中央部１５を中心にして圧電素子１０相互が積層されるように巻き上げて柱状体２０に形成する（図３のステップＳ１０１からＳ１０３）。この後、型押し工程、焼成工程、切断工程、分極工程、及び検査工程を行う。さらに、柱状体２０の外周面２１にリード線４０の取付工程を経て、ロール型圧電変換素子が完成する（図３のステップＳ１０４からＳ１０９）。
【００２０】
なお、分極工程及び検査工程を、リード線４０の取付工程の後に行っても良い。また、説明の都合上、圧電素子１０の表面１１を図１の紙面上方から見える面をいい、圧電素子１０の裏面１２を、図１の紙面下方から見える面をいう。実際には、圧電素子１０の表面１１は、圧電素子１０の表裏両面の一方の面に相当し、裏面１２は、圧電素子１０の表裏両面の他方の面に相当する。
【００２１】
次に、第１の実施形態における圧電変換素子の詳細について、再度、図１から図３を参照しながら説明する。
【００２２】
先ず、圧電素子１０の形成工程（図３のステップＳ１０１）について説明する。圧電素子１０の材料としては、ＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ３・ＰｂＴｉＯ３）を主成分とする圧電セラミックスを使用する。このセラミックス粉体を溶剤、分散剤、バインダ、可塑剤等を混合し、ブレード等を使用して均一な平面に作成して一定の厚さ、４５μｍの厚さに引き伸ばす。溶剤を蒸発させて乾燥すると、柔軟性のあるシート状の圧電素子を得ることができる。なお、セラミック系圧電材料としてはこれに限定されない。例えば特開２００４−２８９０７８の〔００５３〕に開示されているような材料であっても良い。
【００２３】
次に、この圧電素子１０の表面１１及び裏面１２に、スクリーン印刷法により、白金（Ｐｔ）系の電極材料を適当な樹脂バインダでペースト状にした材料を所定の厚さ、７〜１０μｍ程度の厚さに印刷して、電極部２２を形成する。
なお、本実施例ではスクリーン印刷法により電極部は形成したが、これに限定されるわけではなく、他の方法、例えば特開２００４−２８９０７８号の〔００２５〕に示されるようなドクターブレード法であっても良い。
【００２４】
電極部２２を形成しない圧電素子１０の一端部１３の表面１１、及び圧電素子１０の他端部１４の裏面１２が非電極領域２３となる。さらに、圧電素子１０の略中央部１５の表面１１及び裏面１２も非電極領域２３となる。表面１１及び裏面１２に電極部２２が形成された圧電素子１０を図１（ａ）に示す。
【００２５】
次に、圧電素子１０の重ね合わせ工程（図３のステップＳ１０２）について説明する。圧電素子１０の一端部１３と他端部１４とが互いにずれるように、圧電素子１０をその略中央部１５で折り返して表面１１同士を重ね合わせる。それにより、圧電素子１０の一端部１３及び他端部１４においては、圧電素子１０の一端部１３の表面１１に設けられた非電極領域２３、表面１１の電極部２２、圧電素子１０の他端部１４の裏面１２に設けられた非電極領域２３及び裏面１２の電極部２２がその順番に配置される。
【００２６】
表面１１同士を重ね合わせた圧電素子１０を図１（ｂ）に示す。なおここでは、この非電極領域２３、電極部２２、非電極領域２３及び電極部２２までの長さが、柱状体２０の外周面２１の周方向の長さに相当する。
【００２７】
次に、柱状体２０の形成工程（図３のステップＳ１０３）について説明する。
重ね合わせた圧電素子１０を略中央部１５から略渦巻き状に巻いて長さ１００ｍｍの柱状体２０を形成する。当該柱状体２０の側面の外周面２１には、柱状体２０の周方向に沿って非電極領域２３、電極部２２、非電極領域２３及び電極部２２をその順番に露出させる。圧電素子１０を略渦巻き状に巻いた柱状体２０を図１（ｃ）及び（ｄ）に示す。柱状体２０の外径は、１．５ｍｍである。なお、柱状体の長さ、外径はこれに限定されるものではない。
【００２８】
次に、型押し工程（図３のステップＳ１０４）について、図２を参照にして説明する。
【００２９】
第１の実施形態では、電極部２２自体が平坦面の特異部３０であり、外部に露出した電極部２２の表面全体が平坦面で構成されている。この平坦面の電極部２２をその外周面２１に露出させた柱状体を図２（ａ）に示す。
【００３０】
図２（ｂ）では、柱状体２０を間にして、一対の型１００が対向している。図２（ｂ）では、柱状体２０の電極部２２が型１００の平面部１０１に対面するように、柱状体２０が配置される。
【００３１】
一対の型１００により柱状体２０を型押しすると、型１００の平面部１０１が柱状体２０の電極部２２を柱状体２０の中心軸に向かって押し込む。それにより、柱状体２０の電極部２２の表面形状が平面形状となる。型１００、及び電極部２２が平面形状となった柱状体２０を図２（ｃ）に示す。
【００３２】
なお、本実施例では露出した電極部２２の表面全体を特異部３０として形成したが、電極部２２の表面形状の一部を特異部３０としても良い。また、非電極領域２３の表面形状の全部又は一部を特異部３０としても良い。
【００３３】
次に、焼成工程（図３のステップＳ１０５からＳ１０７）について説明する。先ず、焼成工程では、柱状体２０を所定の温度条件で焼成する。焼成する温度条件は、例えば、５時間程度かけて５００℃まで徐々に温度を高め、５００℃で一定時間焼成した後、最初から９時間後に１２００℃まで徐々に温度を高める。さらに、１２００℃で約０．３時間焼成した後、６時間かけて常温まで冷却する。当該焼成工程により柱状体は収縮し、焼成後のシート長さは７０ｍｍ、外径は１ｍｍと約３０％収縮する。
【００３４】
次に、切断工程では、回転円板の外周面に超硬合金粉末を接着したカッターを高速で回転させ、柱状体２０の軸方向の両端部を切断する。柱状体２０は、所望の長さ、例えば、３ｍｍに切断される。なお、柱状体２０の長さは、これに限定されるものではないが、本発明で用いられるロール型圧電変換素子は、１ｍｍ〜５ｍｍの範囲と非常に小型なものである。
【００３５】
次に、分極工程では、柱状体２０の電極部２２間に直流高電圧を印加して分極させる。分極の方向は圧電素子１０の厚み方向とし、例えば、６０℃の環境において、電極部２２間に１．５ｋＶ／ｍｍの電圧を２０分間印加して分極させる。分極させることで、柱状体２０に軸方向の変位を発生させることが可能となる。
【００３６】
次に、検査工程（図３のステップＳ１０８）について、図４を参照にして説明する。検査台３００及び検査子３０１が設けられている。検査台３００は、導電性材料により、その上面である載置面が平らに成形されている。検査子３０１も導電性材料により成形されている。
【００３７】
検査工程は、柱状体２０がショートするか否かを検査する。先ず、作業者は、柱状体２０の電極部２２と非電極領域２３とを判別する。電極部２２の表面形状が平面形状であるため、作業者が電極部２２を容易に探し出すことが可能となる。探し出した一方の電極部２２を下にして検査台３００に載置する。他方の電極部２２が上になる。上になった電極部２２に検査子３０１を接触させる。次に、両方の電極部２２に所定の電圧を印加する。
【００３８】
一方の電極部２２が平坦面に形成され、平坦面の電極部２２が平らな載置面に載置されるため、検査台３００上で、柱状体２０を安定させることができる。柱状体２０の上方から検査子３０１を降ろせば、他方の電極部２２に接触させることができる。検査台３００の載置面上の所定の位置に柱状体２０が安定して載置されているため、検査子３０１を柱状体２０の電極部２２に接触させた場合に、柱状体２０が検査台３００から転がったり、また滑ったりせず、柱状体２０を所定の位置に置き直す無駄な作業がなく、検査作業を効率的に行うことができる。
【００３９】
なお、１又は複数の柱状体２０が移動する検査ラインを設け、検査ライン上に検査台３００を１又は複数設け、検査ラインの上方に、検査台３００に対応して検査子３０１を設ける。検査台３００及び検査子３０１を柱状体２０の流れる速度と同じ速度で移動させることにより、柱状体２０を移動させながら検査可能となる。それにより、柱状体２０の検査作業を自動化することができ、検査作業がさらに効率的に行うことができる。
【００４０】
次に、リード線４０の取付工程（図３のステップＳ１０７）について、図５を参照にして説明する。支持台４００及び一対の保持部材４０１が設けられている。支持台４００は、平らな支持面を有している。また、保持部材４０１は、柱状体２０を間にして対向している。各保持部材４０１は、保持部材４０１が対面する非電極領域２３の表面形状と同じ表面形状の保持面４０２を有している。
【００４１】
リード線４０の取付工程は、先ず、作業者が柱状体２０の電極部２２と非電極領域２３とを判別する。電極部２２の表面形状が平坦面であるため、作業者が電極部２２を容易に探し出すことが可能となる。次に、支持台４００に、平面形状の電極部２２を下にして柱状体２０を載置する。支持台４００の平らな支持面上に、安定して載置された柱状体２０を図５（ａ）に示す。
【００４２】
次に、一対の保持部材４０１により、柱状体２０を両側から挟むようにする。柱状体２０の非電極領域２３が保持部材４０１の保持面４０２に相対的に嵌まるようになる。一対の保持部材４０１により、保持された柱状体２０を図５（ｂ）に示す。
【００４３】
次に、支持台４００を下方へ退避させる。支持台４００を退避させた場合に、柱状体２０は一対の保持部材４０１により保持されている。退避させた支持台４００、及び、柱状体２０を保持する一対の保持部材４０１を図５（ｃ）に示す。
【００４４】
次に、上方又は斜め上方からリード線４０及びハンダ付けの器具を柱状体２０に近づけ上側の電極部２２に接触させる。柱状体２０が保持されているため、リード線等を接触させても、柱状体２０が移動したりせず、取付作業中、柱状体２０が安定しており、リード線４０の取付作業性が良い。
【００４５】
上側の電極部２２にリード線４０をハンダ付けした後に、一対の保持部材４０１を時計方向又は反時計方向に１８０度回転させる。それにより、下側の電極部２２が上側となる。その上側となった電極部２２にリード線４０をハンダ付けする。
【００４６】
なお、リード線４０の取付工程は、図５に示す工程に限らない。電極部２２を下にして柱状体２０を支持台４００に載置する工程、及び支持台４００上の柱状体２０の電極部２２にリード線４０を取り付ける工程のみであって良い。この場合、リード線４０の取付作業において、ハンダ付け器具等を柱状体２０に接触させても、柱状体２０が安定していて、所定の位置から転がらず、また、所定の位置から滑らないため、柱状体の位置を直す必要がなく、作業を短時間で行うことが可能となり、リード線４０の取付作業性を向上させることが可能となる。
【００４７】
また、電極部自体が平坦面であるため、半田がのりやすくリード線も固定しやすいため、誤って非電極領域を半田付けする、といったミスも軽減されるというメリットがある。
【００４８】
なお、第１の実施形態では、電極部２２の表面形状を平坦面としたが、非電極領域２３の表面形状を平面形状としても良い。特にリード線を半田付けする場合には、両電極部がそれぞれ露出している方が効率的に行えるため、非電極部が平坦面の方が好ましい。いずれにおいても電極部２２と非電極領域２３との判別が容易であり、検査作業やリード線４０の取付作業が短時間に行え、作業性を向上することが可能となる。
【００４９】
また、前記第１の実施形態では、電極部２２を特異部３０とし、電極部２２の表面形状を平坦部としたが、前述した通り、特異部の形状自体これに限定されない。例えば小半球形の凹部又は凸部であっても良い。さらに、平面形状の電極部２２に小半球形の凹部を設けるものであっても良い。
【００５０】
さらに、第１の実施形態では、１枚の圧電素子１０を重ね合わせたが、これに限らない。ここでは、２枚の圧電素子を積層して得られるロール型圧電変換素子の例を説明する。
２枚の圧電素子１０の各表面１１に、圧電素子１０の一端部１３を少なくとも除いて電極部２２をそれぞれ設け、一端部１３を非電極領域２３とし、１枚目の圧電素子１０の一端部１３と２枚目の圧電素子１０の一端部１３とが互いにずれるように、１枚目の圧電素子１０の裏面１２と２枚目の圧電素子１０の表面１１とを積層する。
【００５１】
それにより、２枚目の圧電素子１０の一端部１３の表面１１に設けられた非電極領域２３、２枚目の圧電素子１０の表面１１に設けられた電極部２２、１枚目の圧電素子１０の一端部１３の表面１１に設けられた非電極領域２３及び１枚目の圧電素子１０の表面１１に設けられた電極部２２をその順番に配置する。このように積層した２枚の圧電素子１０を図６に示す。非電極領域２３、電極部２２、非電極領域２３及び電極部２２の長さが、柱状体２０の外周面２１の周方向の長さに相当する。
【００５２】
重ね合わせた２枚の圧電素子１０を、圧電素子１０の他端部１４から略渦巻き状に巻いて柱状体２０を形成することにより、柱状体２０の外周面２１に、柱状体２０の周方向に沿って非電極領域２３、電極部２２、非電極領域２３及び電極部２２をその順番に露出させても良い。
【００５３】
［第２の実施の形態］
次に、この発明の第２の実施形態について説明する。以下、第２の実施形態に係る圧電変換素子について、第１の実施形態に係る圧電変換素子と異なる構成について説明し、同様の構成についてその説明を省略する。第２の実施形態においては、柱状体２０の形成工程で、棒状の芯２００に圧電素子１０を巻いて柱状体２０を形成する点が、第１の実施形態の柱状体２０の形成工程と異なる。また、芯２００に巻かれた柱状体２０を型押しする点が、第１の実施形態の型押し工程と異なる。
【００５４】
柱状体２０の形成工程について、図７及び図８を参照にして説明する。以下、図７は、芯２００及び芯２００に巻かれる圧電素子１０を示した説明図、図８は、柱状体２０の型押し工程を示す説明図である。
【００５５】
芯２００の外周面２０１の少なくとも１カ所には、その周囲の表面形状と異なる表面形状を有する異形部２０２が形成されている。異形部２０２は、平面形状に形成されている。
【００５６】
先ず、柱状体２０の形成工程では、第１の実施形態と同様に重ね合わせた圧電素子１０を芯２００に巻き付ける。重ね合わせた圧電素子１０、及び圧電素子１０の略中央部１５下に配された芯２００を図７（ａ）に示す。また、その略中央部１５から芯２００に巻き始めた圧電素子１０を図７（ｂ）に示す。
【００５７】
このように、重ね合わせた圧電素子１０を、圧電素子１０の略中央部１５から芯２００に略渦巻き状に巻いて柱状体２０を形成する。柱状体２０の外周面２１に、柱状体２０の周方向に沿って非電極領域２３、電極部２２、非電極領域２３及び電極部２２をその順番に露出させる。また、芯２００の平面形状の異形部２０２に電極部２２を対応させるように、圧電素子１０を略渦巻き状に巻いて柱状体２０を形成する。
【００５８】
次に、柱状体２０の型押し工程では、芯２００の外周面２０１の形状に型１００の形状を対応させ、柱状体２０を型押しする。平面形状の異形部２０２を有する芯２００及び、その異形部２０２と対応する平面部１０１を有する型１００を図８（ａ）に示す。
【００５９】
また、芯２００の異形部２０２がその凹部５０１に嵌合した保持ブロック５００を図８（ａ）で一点鎖線の想像線で示す。それにより、芯２００が保持ブロック５００で位置決めされ、芯２００の異形部２０２の形状に型１００の平面部１０１が対応した状態で、柱状体２０を型押し可能となる。図８（ａ）では、電極部２２を間にして、型１００の平面部１０１と芯２００の平面形状の異形部２０２とが対向している。
【００６０】
一対の型１００により柱状体２０を型押しすると、型１００の平面部１０１が柱状体２０の電極部２２を柱状体２０の中心軸に向かって押し込む。それにより、柱状体２０の電極部２２の表面形状が平面形状となる。型１００、及び電極部２２が平面形状となった柱状体２０を図８（ｂ）に示す。
【００６１】
型押し後に、開かれた一対の型１００を図８（ｃ）に示す。型押し後に、柱状体２０及び芯２００は取り出される。芯２００は柱状体２０から引き抜かれる。なお、芯２００を後工程である焼成工程で消失させても良い。
【００６２】
なお、第２の実施形態では、電極部２２を特異部３０とし、電極部２２の表面形状を平面形状としたが、非電極領域２３を特異部３０としても良い。この場合、芯２００の異形部２０２に非電極領域２３を対応させるように、圧電素子０を略渦巻き状に巻いて柱状体２０を形成し、非電極領域２３を間にして、型１００の平面部１０１と芯２００の平面形状の異形部２０２とを対向させれば良い。
【００６３】
第２の実施形態によれば、型押しするとき、芯２００によって、柱状体２０の筒中心側への変形が阻止されるため、特異部３０である電極部２２及び特異部３０の周囲である非電極領域２３をより正確に成形することが可能となる。それにより、電極部２２が明確になり、電極部２２と非電極領域２３との判別が容易となる。
【００６４】
また、芯２００をロケート部材に合わせると、型１００の平面部１０１に芯２００の異形部２０２の形状が対応するように構成すれば、柱状体２０の型押し作業が容易になる。芯２００を位置決めする場合、例えば、芯２００の異形部２０２をロケート部材に嵌めるようにすれば良い。
【００６５】
［第３の実施の形態］
次に、この発明の第３の実施形態に係る圧電変換素子について、図９を参照にして説明する。図９（ａ）は、柱状体２０の斜視図である。第３の実施形態では、柱状体２０の外周形状は、楕円形状になっている。
【００６６】
第３の実施形態では、電極部２２の表面形状の曲率半径が、非電極領域２３の表面形状の曲率半径より大きくなっている。柱状体２０の形成工程において、圧電素子１０を略渦巻き状に巻いて、その外周面２１に非電極領域２３、電極部２２、非電極領域２３及び電極部２２をその順番に露出させた柱状体２０を図９（ｂ）に示す。
【００６７】
次に、柱状体２０の型押し工程について、図９（ｂ）及び（ｃ）を参照にして説明する。湾曲部１０２を有する型１００を使用する。湾曲部１０２の曲面の曲率半径は、柱状体２０の半径より大きい。湾曲部１０２の曲面の曲率半径を限りなく大きくしていくと、第１の実施形態に係る型１００の平面部１０１となる。
【００６８】
図９（ｂ）では、柱状体２０を間にして一対の型１００が対向している。図９（ｃ）に示すように、一対の型１００により柱状体２０を型押しすると、型１００の湾曲部１０２が柱状体２０の電極部２２を柱状体２０の中心軸に向かって押し込む。それにより、電極部２２が湾曲部１０２の曲率半径と同じ大きさの曲率半径の表面形状に形成される。また、非電極領域２３が、柱状体２０の半径よりも小さな曲率半径の表面形状に形成される。
【００６９】
以上のようにして型押しされた柱状体２０によれば、柱状体２０は、曲率半径の大きな電極部２２を下にして安定する。検査作業やリード線４０の取付作業において、検査器具やハンダ付け器具を柱状体２０に接触させても、柱状体２０が安定していて、転がったり、滑ったりせず、柱状体２０を所定の位置に戻したりする必要がない。それにより、検査等の作業を短時間で行うことができる。
【００７０】
なお、第３の実施形態では、電極部２２の表面形状の曲率半径を、非電極領域２３の表面形状の曲率半径より大きく構成したが、非電極領域２３の表面形状の曲率半径を、電極部２２の表面形状の曲率半径より大きくしても良い。
【００７１】
［第４の実施の形態］
次に、この発明の第４の実施形態に係る圧電変換素子について、図１０を参照にして説明する。図１０（ａ）は柱状体の斜視図である。
【００７２】
第４の実施形態では、電極部２２が特異部３０である。電極部２２の表面形状は、柱状体２０の中心軸に向かって窪んだ溝形状である。その外周面２１に電極部２２及び非電極領域２３を露出させた柱状体２０を図１０（ｂ）に示す。電極部２２の大きさは、前記溝形状の大きさに相当しているため、図２（ｂ）及び図９（ｂ）に示す電極部２２の大きさに比較して小さい。電極部２２の大きさは、圧電素子１０を重ね合わせることにより、非電極領域２３、電極部２２、非電極領域２３及び電極部２２をその順番に配置するときの、電極部２２の大きさに相当する。
【００７３】
次に、柱状体２０の型押し工程について、図１０（ｂ）及び（ｃ）を参照にして説明する。図１０（ｂ）では、柱状体２０を間にして一対の型１００が対向している。図１０（ｃ）に示すように、一対の型１００により柱状体２０を型押しすると、型１００の凸面部１０３が柱状体２０の電極部２２を柱状体２０の中心軸に向かって押し込み、電極部２２を中心軸の方へ窪んだ溝形状に成形する。
【００７４】
第４の実施形態に係る柱状体１２０によれば、電極部２２の表面形状が溝形状であるため、検査作業において、検査用の器具、例えば検査子３０１を溝形状の電極部２２に嵌め込むことにより、その検査子３０１を電極部２２に接触させることが可能となる。それにより、一対の検査子３０１を溝形状の電極部２２に嵌め込み、電圧を印加すれば、検査作業を効率的に行うことができる。
【００７５】
また、リード線４０の取付作業において、リード線４０の先端部を溝形状の電極部２２に嵌め込むことにより、リード線４０の先端部を容易に位置決めすることができる。また、ハンダ付け器具を溝形状の電極部２２に嵌め込めば良く、容易にハンダ付けをすることが可能となる。それにより、リード線４０の取付作業を効率的に行うことができる。
【００７６】
検査作業やリード線４０の取付作業を効率的に行うために、溝形状の電極部２２の溝幅及び溝深さは、検査工程及びリード線４０の取付工程で使用される器具、例えば、検査子３０１、リード線４０、及びハンダ付け器具等の形状や大きさに対応したものとなる。
【００７７】
なお、第４の実施形態では、電極部２２の大きさを、図２（ｂ）や図９（ｂ）に示す電極部２２の大きさに比較して小さくしたが、電極部２２の大きさを、図２（ｂ）や図９（ｂ）に示す大きさと同じにしても良い。この場合は、電極部２２の中央に溝形状の特異部３０を形成すれば良い。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】シート状の圧電素子の表面及び裏面に電極部を設け、これを巻き上げて形成した柱状体の説明図である。
【図２】型押しされた柱状体の説明図である。
【図３】圧電変換素子の加工工程を示すフロー図である。
【図４】検査工程を示す説明図である。
【図５】リード線の取付作業を示す説明図である。
【図６】重ね合わせた２枚の圧電素子の斜視図である。
【図７】第２の実施形態に係る芯及び芯に巻かれる圧電素子を示した説明図である。
【図８】柱状体の型押し工程を示す説明図である。
【図９】（ａ）は第３の実施形態に係る柱状体の説明図、（ｂ）及び（ｃ）は、柱状体の型押し工程の説明図である。
【図１０】（ａ）は第４の実施形態に係る柱状体の斜視図、（ｂ）及び（ｃ）は、柱状体の型押し工程の説明図である。
【図１１】従来の圧電変換素子を用いたＳＩＤＭアクチュエータの構成を示す図である。
【図１２】従来の圧電変換素子の巻き上げの工程を示す図である。
【図１３】従来の圧電変換素子を巻き上げる前の圧電素子の表面及び裏面の電極構成を説明する斜視図である。
【図１４】筒状体に巻き上げた状態の従来の圧電変換素子の断面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１０…圧電素子、１１…表面、１２…裏面、１３…一端部、１４…他端部、１５…中央部、２０…柱状体、２１…外周面、２２…電極部、２３…非電極領域、３０…特異部、４０…リード線、１００…型、１０１…平面部、１０２…湾曲部、１０３…凸面部、２００…芯、２０１…外周面、２０２…異形部、３００…検査台、３０１…検査子、４００…支持台、４０１…保持部材、４０２…保持面、５００…保持ブロック、５０１…凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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