(57)【要約】【課題】部材の配列ピッチの異なる搬送治具間での部材の移動を可能にする配列ピッチ返送治具を提供する。【解決手段】Ｕ字形状をした複数の大きさの異なるＵ字部同士が互いに入れ子状に配置されている。入れ子状に配置されたすべてのＵ字部を横方向に貫いて軸が挿入、配置されている。Ｕ字部の上部には、棒状部材を載置するための溝等で構成された部材保持部が形成、若しくは接合されている。複数の棒状部材を部材保持部で保持したまま、前記軸を回転中心として前記Ｕ字部を展開し、若しくは、展開した状態から閉じることにより、棒状部材同士の配列ピッチを変更することができる。  これにより、棒状部材の配列ピッチを変更して、搬送治具間での部材の移動をすることができる。【選択図】    図１
2009117763.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置された複数の棒状部材の配列ピッチを変更する配列ピッチ変更治具であって、
略Ｕ字形状をした複数のＵ字部と、前記Ｕ字部の開口端に形成された棒状部材を保持するための溝を有する部材保持部と、円筒状の軸と、で構成された扇部を備え、
前記複数のＵ字部は、形状は同じですべて異なる大きさであり、各Ｕ字部がより小さい寸法のＵ字部を入れ子状に収納し、
前記軸は、最も大きい前記Ｕ字部のＵ字に見える面と平行に、一方の側端から他方の側端まで、内部にある前記Ｕ字部をすべて貫いて配置され、
前記Ｕ字部は、前記軸を回転軸として扇状に展開すること、
を特徴とする配列ピッチ変更治具。
【請求項２】
複数の前記扇部と、前記扇部を直線的に移動させる直線移動ユニットと、を備え、
複数の前記扇部は、前記Ｕ字部がＵ字に見える一方の側を表側とし、その反対側を裏側としたときに、複数の前記扇部の表側と裏側とが互いに接触した位置と、個々の前記扇部の表側と裏側とが対向し間隔を置いて配置された位置と、が前記直線移動ユニットにより移動自在となるように構成されていること、
を特徴とする請求項１に記載の配列ピッチ変更治具。
【請求項３】
略Ｕ字形状をした複数のＵ字部と、前記Ｕ字部の開口端に形成された棒状部材を保持するための溝を有する部材保持部と、円筒状の軸と、で構成された扇部を備え、
前記複数のＵ字部は、形状は同じですべて異なる大きさであり、各Ｕ字部がより小さい寸法のＵ字部を入れ子状に収納し、
前記軸は、最も大きい前記Ｕ字部のＵ字に見える面と平行に、一方の側端から他方の側端まで、内部にある前記Ｕ字部をすべて貫いて配置され、
前記Ｕ字部は、前記軸を回転軸として扇状に展開する、配列ピッチ変更治具を用いて、
互いに棒状部材の配列ピッチの異なる、コの字形状をした棒状部材搬送治具であるコの字治具と、ロの字形状をした棒状部材搬送治具であるロの字治具との間で棒状部材の移動を行う方法であって、
前記配列ピッチ変更治具は、前記ロの字治具のロの字の中央の貫通孔に挿入され、
前記配列ピッチ変更治具の上方に、複数の棒状部材が配列されている前記コの字治具を配置し、
前記扇部をたたんだ状態から展開し、または、展開した状態からたたんだ状態にすることによって前記部材保持部の配列ピッチを前記棒状部材の配列ピッチに合わせ、
前記棒状部材が前記配列ピッチ変更治具の前記部材保持部状に載置されるように前記コの字治具の位置を合わせて、前記コの字治具を下に降ろすことによって前記棒状部材を前記部材保持部上に載置し、
前記コの字治具をコの字の抜けている側から前記配列ピッチ変更治具が抜ける方向に、前記コの字治具を引き抜き
前記扇部を展開した状態からたたんだ状態にし、または、たたんだ状態から展開した状態にすることによって、前記棒状部材が載置されている前記部材保持部の配列ピッチを前記ロの字治具の部材保持部分の配列ピッチに合わせ、
前記ロの字治具の部材保持部に前記棒状部材が載置されるように、前記ロの字治具の位置を合わせて、前記ロの字治具を上に持ち上げることによって前記棒状部材を前記ロの字治具上に移動させる、
ことを特徴とする配列ピッチ変更治具を用いた棒状部材の搬送治具間移動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配列ピッチの異なる搬送用治具間での部材の載せ替えを容易にする、配列ピッチ変更治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスクのヘッド部分の部品や、半導体チップなどのような、基板から切断された部材の運搬には専用のトレーが使用されている。この専用のトレーを使用することにより、上記部材は、製造装置間を運搬され、あるいは、製造装置、検査装置にセットされる。この専用のトレーは、通常、板状体の表面に部材がちょうど入る穴を設けることにより作製され、この穴は、一定のピッチで設けられている。
【０００３】
従来のチップ搬送治具として、例えば、「半導体製造方法および装置ならびにチップ搬送治具」（特許文献１）などが提案されている。
特許文献１に記載されたチップ搬送治具は、半導体チップの主面より小さい面積の複数のベース側開口部が設けられたベース部材と、前記半導体チップの主面より小さい面積の複数の蓋側開口部が形成された蓋部材と、前記半導体チップの主面より若干大きい面積の複数のチップ収容開口部が形成されたチップ収容部材と、蓋部材を着脱自在に接続する接続部材と、接続部材を取り付けるサブベース部材とからなり、複数のベース側開口部と蓋側開口部とチップ収容開口部との位置を合わせた状態で、チップ収容部材がベース部材と蓋側開口部との間に設けられて複数のチップ保持部が区画形成され、かつ蓋部材が接続部材によって着脱自在に取り付けられている。
【０００４】
これにより、設備投資を抑制して製品コストを低減可能なスタッドバンプボンディング技術を実現するチップ搬送治具を提供できるとしている。
【０００５】
しかしながら、製造装置や検査装置によって、セットするチップ搬送治具や、専用トレー上での部材配列ピッチが異なるものもあり、この場合には、部材配列チップの異なる治具間で部材を載せ替える作業が必要となっている。この部材の載せ替えは、配列ピッチが異なるために簡単にはできず、作業者がピンセット等で部材を一つずつ載せ替えていた。あるいは、ロボットや自動機により、部材を一つずつ載せ替えていた。
配列ピッチを変更するための治具は、従来知られておらず、文献を調べても発見できなかった。
【特許文献１】特開平１０−３２６７８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来、配列ピッチの異なるチップ搬送治具間で部材を載せ替えるためには、作業者が部材を一つずつピンセット等を使用して載せ替えていた。このため、膨大な作業工数が発生すると共に、部材の落下や、部材をぶつけること等による破損が発生していた。
【０００７】
ロボットや、自動機によって配列ピッチの異なるチップ搬送治具間で部材の載せ替えることもできるが、ロボットや自動機を導入するためには、莫大な設備投資が必要となっていた。また、ロボットや自動機によっても、部材の落下や、部材をぶつけること等による破損は避けられなかった。
【０００８】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、配列ピッチの異なるチップ搬送治具間でのチップの移動を、少ない作業工数で、簡単に、チップを破損させることなく、低コストに、成し遂げられる配列ピッチ変更治具を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の課題は、下記の各発明によって解決することができる。
即ち、本発明の配列ピッチ変更治具は、載置された複数の棒状部材の配列ピッチを変更する配列ピッチ変更治具であって、略Ｕ字形状をした複数のＵ字部と、前記Ｕ字部の開口端に形成された棒状部材を保持するための溝を有する部材保持部と、円筒状の軸と、で構成された扇部を備え、前記複数のＵ字部は、形状は同じですべて異なる大きさであり、各Ｕ字部がより小さい寸法のＵ字部を入れ子状に収納し、前記軸は、最も大きい前記Ｕ字部のＵ字に見える面と平行に、一方の側端から他方の側端まで、内部にある前記Ｕ字部をすべて貫いて配置され、前記Ｕ字部は、前記軸を回転軸として扇状に展開すること、を主要な特徴としている。
【００１０】
これにより、棒状部材を落下、破損させることなく、作業性良く、迅速にピッチの異なる治具間での棒状部材の移動を低コストで行うことができる。
【００１１】
また、本発明の配列ピッチ変更治具は、複数の前記扇部と、前記扇部を直線的に移動させる直線移動ユニットと、を備え、複数の前記扇部は、前記Ｕ字部がＵ字に見える一方の側を表側とし、その反対側を裏側としたときに、複数の前記扇部の表側と裏側とが互いに接触した位置と、個々の前記扇部の表側と裏側とが対向し間隔を置いて配置された位置と、が前記直線移動ユニットにより移動自在となるように構成されていること、を主要な特徴としている。
【００１２】
これにより、扇部は、直線移動ユニットによってお互いの間隔を開けられてから、扇状に展開するので、扇状に展開したときの互いの接触を防ぐことができる。
また、複数の扇部を使用することにより、１個の扇部で同一数の棒状部材の配列ピッチを広げた場合と比較して、扇状に展開した場合の一番高さの高い位置の棒状部材と、一番高さの低い位置の棒状部材とで高さの差を小さくすることができる。よって、棒状部材の高さ方向のバラツキが原因となる、移動不具合による棒状部材の破損、棒状部材の落下による破損、移動の手間取り等を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明の配列ピッチ変更治具は、棒状部材の配列ピッチを簡単に変更することが可能なので、ロボットや自動機などのように高価な装置を使用せず、低コストに、配列ピッチの異なる搬送治具間での棒状部材の移動を行うことができる。
また、棒状部材を落下、破損させることなく、作業性良く、迅速に配列ピッチの異なる治具間での棒状部材の移動を行うことができる。
【００１４】
更に、扇部は、直線移動ユニットによってお互いの間隔を開けられてから、扇状に展開するので、扇状に展開したときの互いの接触を防ぐことができる。
更にまた、複数の扇部を使用することにより、１個の扇部で同一数の棒状部材の配列ピッチを広げた場合と比較して、扇状に展開した場合の一番高さの高い位置の棒状部材と、一番高さの低い位置の棒状部材とで高さの差を小さくすることができるので、棒状部材の高さ方向のバラツキが原因となる、移動不具合による棒状部材の破損、棒状部材の落下による破損、移動の手間取り等を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の配列ピッチ変更治具を実施するための最良の形態を詳細に説明する。
【００１６】
＜構成＞
本発明の一実施形態に係る配列ピッチ変更治具の構成について図を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る配列ピッチ変更治具の概略斜視図である。図１（Ａ）は、扇部１を接触させて配置した図を示し、図１（Ｂ）は、扇部１を一定の間隔で離して配置した図を示し、図１（Ｃ）は、扇部１を一定間隔で離し、かつ、扇状に展開させた図を示す。
図１（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、本発明の配列ピッチ変更治具は、１個または複数個の扇部１により構成されている（図１（Ａ）−（Ｃ）には複数の扇部が記載）。複数個の扇部１で構成する場合は、個々の扇部１は、図１（Ａ）に示すように、複数の扇部１の表裏が接触して配置された位置と、図１（Ｂ）に示すように、個々の扇部１の表裏が向かい合う向きに間隔を置いて配置された位置とを移動自在となるように図示しないレールとスライダーで構成された直線移動ユニット上に配置されている。ここで、扇部１の表とは、後述するＵ字部がＵ字に見える一方の側を表とし、その反対側を裏とする。
【００１７】
扇部１は、略Ｕ字形状をした複数のＵ字部２と、板状の板部３と、棒状の部材を保持するためのＶ溝等の溝を備えた部材保持部４と、円筒状の軸５（図１では部材の内部に配置されているので見えない）とで構成されている。扇部１は、板部３を使用しないで構成することもできる。
【００１８】
複数のＵ字部２は、それぞれ形状は同じで異なる大きさであり、一番大きなＵ字部２のＵ字形状の内部に、同一向きで入れ子状に配置されている。板部３は、入れ子状に配置されている複数のＵ字部２のうち、一番小さいＵ字部２のＵ字形状の内部に配置されている。
【００１９】
部材保持部４は、Ｕ字部２及び前記板部３の上端に形成若しくは接合されており、棒状の部材をＶ溝で保持することができる。ここで、部材保持部４は、Ｖ溝ではなく、Ｕ溝を有してこのＵ溝により棒状部材を保持するように構成することもできる。また、Ｖ溝、Ｕ溝に限らず、棒状部材を保持することができる任意の形態を取った構成にすることもできる。
【００２０】
軸５は、一番大きなＵ字部２のＵ字に見える方向に向かって横方向に片側から反対側まで、内部にあるＵ字部２、板部３もろとも貫いて配置された軸であり、この軸５を回転軸として、Ｕ字部２、板部３は扇状に展開することができる。
【００２１】
＜本発明の配列ピッチ変更治具の動作＞
次に、本発明の一実施形態に係る配列ピッチ変更治具の動作について図１を用いて説明する。
図１（Ａ）に示すように、はじめは、複数の扇部１は、表裏を接触させた状態で配置されている。この状態では、棒状部材を載せて保持する複数の部材保持部４は、互いに狭い間隔（狭ピッチ）で配置されることになる。この状態で、棒状部材（図示せず）を部材保持部４で保持することにより、棒状部材同士は狭ピッチで配置される。
【００２２】
次に、図１（Ｂ）に示すように、図示しない直線移動ユニットによって扇部１を移動させることにより、複数の扇部１は、間隔を開けて配置される。ここで、扇部１を移動させる直線移動ユニットは、レールとスライダーを用いたものを使用することができるが、それに限定されず、ボールねじを用いることもできるし、その他、一般的に直線移動ユニットに用いられる構造ならばどのような構造でも用いることができる。
【００２３】
続いて、図１（Ｃ）に示すように、各扇部１のＵ字部２と、板部３とを、軸５を中心軸として扇状に展開させる。これにより、各部材保持部４の間隔が広がるので、部材保持部４に保持されている棒状部材（図示せず）も狭ピッチから広いピッチにピッチを広げて配置される。即ち、棒状部材の配列ピッチを狭ピッチから広いピッチに変更することができる。また、上記手順を逆に行うことにより、棒状部材の配列ピッチを広いピッチから狭ピッチに変更することができる。
【００２４】
このように、扇部１は、直線移動ユニットによってお互いの間隔を開けられてから、扇状に展開するので、扇状に展開したときに互いに接触することなく展開することができる。
また、複数の扇部１を使用することにより、１個の扇部１で同一数の棒状部材の配列ピッチを広げた場合と比較して、扇状に展開した場合の一番高さの高い位置の棒状部材と、一番高さの低い位置の棒状部材とで高さの差を小さくすることができる。即ち、棒状部材の高さ方向の位置バラツキを小さくすることができる。これにより、配列ピッチを広げた後、棒状部材を他の治具や、装置等に移動させる際に棒状部材の高さ方向のバラツキが原因となる、移動不具合による棒状部材の破損、棒状部材の落下による破損、移動の手間取り等を防ぐことができる。
【００２５】
＜本発明の配列ピッチ変更治具の使用例＞
次に、本発明の一実施形態に係る配列ピッチ変更治具の使用例について図を用いて説明する。図２は、本発明の配列ピッチ変更治具の使用例を示した概略図である。
【００２６】
図２（Ａ）に示すように、コの字形状をした狭ピッチ搬送治具２１上には、複数の棒状部材２２が狭ピッチで並べられて保持されている。広ピッチ搬送治具２３は、ロの字形状をしており、その中央部には貫通孔が形成されている。前記貫通孔に本発明の配列ピッチ変更治具２４を挿入する。
【００２７】
ここで、図２においては、配列ピッチ変更治具２４は、略して記載されているので扇部１、Ｕ字部２、板部３等の記載は、省略されている。
配列ピッチ変更治具２４の上方に、複数の棒状部材２２が保持された狭ピッチ搬送治具２１を配置する。次に、図２（Ｂ）に示すように、複数の棒状部材２２が各々配列ピッチ変更治具２４の部材保持部４上に載置されるように位置を合わせて、狭ピッチ搬送治具２１を下に降ろす。
【００２８】
図２（Ｃ）に示すように、複数の棒状部材２２のすべてを配列ピッチ変更治具２４の部材保持部４上に載置した後、狭ピッチ搬送治具２１を引き抜く。この際、狭ピッチ搬送治具２１のコの字形状の開いている側から配列ピッチ変更治具２４が抜けるような方向に狭ピッチ搬送治具２１を引き抜く。このように、狭ピッチ搬送治具２１は、コの字形状をしているので、棒状部材２２を配列ピッチ変更治具２４上に載置した後、横に引き抜くことができ、棒状部材２２との接触による棒状部材２２の破損や、落下を防ぐことができる。
また、横に引き抜くだけでよいので、作業性もよく、作業工数の低減を図ることもできる。
【００２９】
図２（Ｄ）に示すように、狭ピッチ搬送治具２１を引き抜いた後、棒状部材２２は、配列ピッチ変更治具２４上に載置された状態になっている。
図２（Ｅ）に示すように、配列ピッチ変更治具２４は、扇部１を展開することにより、広ピッチ搬送治具２３に形成されている棒状部材２２を保持する部分のピッチに合わせて、棒状部材２２の配列ピッチを変更する。ここで、図２（Ｅ）においては、上述の通り扇部１、Ｕ字部２、板部３等の記載が省略されているので、扇部１が展開された図は記載されていない。
【００３０】
図２（Ｆ）に示すように、広ピッチ搬送治具２３を持ち上げることにより、広ピッチ搬送治具２３は、棒状部材２２を載置して持ち上げる。これにより、棒状部材２２は、配列ピッチ変更治具２４から広ピッチ搬送治具２３に移動させられる。
【００３１】
ここで、狭ピッチ搬送治具がロの字形状をし、広ピッチ搬送治具がコの字形状をしていても、上記の工程おいて配列ピッチ変更治具２４を展開した状態から始めてコの字形状の広ピッチ搬送治具から棒状部材２２を受け取り、その後、展開している扇部１を展開状態からたたまれた状態に変化させてロの字形状の狭ピッチ搬送治具に棒状部材を移動させることができる。また、上記何れの工程も逆に行うことができ、それにより、狭ピッチ搬送治具と広ピッチ搬送治具のどちらがコの字形状で、どちらかロの字形状であっても、狭ピッチ搬送治具から広ピッチ搬送治具に、またはその逆に棒状部材を移動させることができる。
【００３２】
このように、本発明の配列ピッチ変更治具２４を使用することにより、棒状部材２２を落下、破損させることなく、かつ、作業性良く、迅速に、ピッチの異なる治具間での棒状部材の移動を低コストで行うことができる。
【００３３】
以上、本発明の配列ピッチ変更治具について、具体的な実施の形態を示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。当業者であれば、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、上記各実施形態における配列ピッチ変更治具の構成等に様々な変更・改良を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の配列ピッチ変更治具は、部材の配列ピッチを変更する必要がある分野においてはどのような分野においても利用することができる。例えば、半導体基板、石英基板、誘電体基板、非誘電体基板等様々な基板をカットした複数の部材が配列されている場合において、装置に投入するため、あるいは、他の治具に移し替えるため等により部材の配列ピッチを変更する必要がある場合において、本発明の配列ピッチ変更治具を適用することができる。このように、部材の配列ピッチを変更する可能性のある分野、半導体製造、光素子製造、光学素子製造、プラスチック部品製造、金属部品製造、その他、様々な分野において利用することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施形態に係る配列ピッチ変更治具の概略斜視図である。
【図２】本発明の配列ピッチ変更治具使用例を示した概略図である。
【符号の説明】
【００３６】
１      扇部
２      Ｕ字部
３      板部
４      部材保持部
５      軸
２１    狭ピッチ搬送治具
２２    棒状部材
２３    広ピッチ搬送治具
２４    配列ピッチ変更治具
【図１】
2009117763.tif 000003
【図２】
2009117763.tif 000004