(57)【要約】【課題】複数の吐出口から吐出された流動性材料の乾燥速度の均一性を向上する。【解決手段】塗布ヘッド１４の主走査方向の両側には蛇腹状の２つの拡散部材３１がそれぞれ取り付けられる。また、塗布ヘッド１４では複数の吐出口１７１が主走査方向に垂直な副走査方向に関して等ピッチにて配列され、基板９上に有機ＥＬ液が吐出される。塗布装置１では、ヘッド移動機構１５による塗布ヘッド１４の主走査方向への移動により、拡散部材３１が塗布ヘッド１４の進行方向の後側の空間にて伸展して当該空間に空気を送り込み、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気を攪拌する気流を発生させる。これにより、複数の吐出口１７１から吐出された有機ＥＬ液の周囲の雰囲気において有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が均一化され、有機ＥＬ液の乾燥速度の均一性が向上される。【選択図】図２
2009135012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に流動性材料を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
揮発性の溶媒および前記基板上に付与する材料を含む流動性材料を、前記基板に平行な副走査方向に関して等間隔にて配列された複数の吐出口から前記基板に向けて吐出する吐出機構と、
前記副走査方向に垂直かつ前記基板に平行な主走査方向に前記吐出機構を移動する主走査機構と、
前記吐出機構の前記主走査方向への移動が完了する毎に前記基板を前記吐出機構に対して前記副走査方向に相対的に移動する副走査機構と、
前記吐出機構に取り付けられており、前記主走査機構による前記吐出機構の前記主走査方向への移動により、前記基板上に吐出された直後の前記流動性材料の周囲に気流を発生する気流発生部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置であって、
前記気流発生部が、前記主走査機構による前記吐出機構の前記主走査方向への移動により、前記吐出機構の進行方向の後側の空間に空気を送り込むことを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項２に記載の塗布装置であって、
前記気流発生部が、前記吐出機構の前記主走査方向への移動により、前記吐出機構の進行方向の後側の空間にて伸展して前記空間に周囲の空気を送り込む蛇腹状の部材であることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項１に記載の塗布装置であって、
前記気流発生部が、前記主走査機構により前記吐出機構と共に前記主走査方向に移動することにより、前記吐出機構と前記基板との間に空気を送り込む送風部材であることを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項４に記載の塗布装置であって、
前記送風部材が、前記吐出機構の前記副走査方向側に取り付けられることを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
請求項５に記載の塗布装置であって、
前記送風部材が、前記副走査機構による前記基板の間欠的な相対移動方向の前側に取り付けられることを特徴とする塗布装置。
【請求項７】
請求項４に記載の塗布装置であって、
前記送風部材が、前記吐出機構の前記主走査方向側に取り付けられることを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記吐出機構が前記主走査方向への移動の往路および復路にて前記基板上に前記流動性材料を吐出し、
前記気流発生部が、前記吐出機構の移動の前記往路および前記復路の双方にて前記気流を発生することを特徴とする塗布装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記流動性材料が、有機ＥＬ表示装置用の有機ＥＬ材料または正孔輸送材料を含むことを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に流動性材料を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体の基板上にレジスト液等の流動性材料を塗布する装置として、特許文献１および２に開示されているように、流動性材料を連続的に吐出するノズルを基板上で走査することにより、複数の平行線状に流動性材料を基板上に塗布し、流動性材料が広がって互いに接触することにより基板の主面全域に塗布を行う塗布装置が知られている。
【０００３】
このような塗布装置では、流動性材料の膜厚の均一性を向上するための様々な技術が提案されている。例えば、特許文献１では、レジスト塗布装置により塗布液が塗布された半導体の基板を、レジスト塗布装置とは別に設けられた溶剤雰囲気装置において塗布液の溶剤雰囲気に曝すことにより、溶剤を塗布液表面に付着させて塗布液表面の粘性を低下させ、その後、基板が収容されている容器内に気流を形成して当該気流により塗布液の表面を平坦化する技術が開示されている。特許文献２の塗布成膜装置では、基板の上方２ｍｍ以内の位置に基板のほぼ全体を覆う乾燥防止板を設け、当該乾燥防止板に形成された直線状の隙間において、絶縁膜用の塗布液を吐出するノズルを基板に対して走査することにより、基板上に一様に塗布液が塗布される。これにより、基板と乾燥防止板との間に高濃度の溶剤雰囲気が形成され、基板に塗布された塗布液の乾燥が抑制される。
【０００４】
ところで、流動性材料を吐出するノズルを走査することにより基板に流動性材料を塗布する塗布装置は、平面表示装置用のガラスの基板に対して画素形成材料を含む流動性材料を塗布する際にも応用が検討されている。典型的な例では、基板上に形成された隔壁に沿ってノズルを繰り返し走査することにより、流動性材料が所定のピッチにてストライプ状に塗布される。このとき、基板上では、流動性材料の各ライン（線状要素）から溶媒成分が蒸発し、これらのラインが塗布された順に乾燥していく。流動性材料は、乾燥するまでの間に画素形成材料が十分に分散して基板上にほぼ均一に定着するが、塗布から乾燥終了までの時間が短いと、画素形成材料の分散の程度が他の領域と異なる状態で流動性材料の乾燥が終了してしまうこととなる。
【０００５】
基板上の塗布の開始端側のラインおよび終端側のラインでは、塗布領域の中央部に比べて、周囲の流動性材料から蒸発する溶媒成分の量が少ないため、雰囲気中の溶媒成分の濃度が低くなる。このため、流動性材料の乾燥時間が他の領域に比べて短くなり、画素形成材料の分散状態が中央部と異なってしまう。そこで、特許文献３では、基板上の塗布の開始端側および終端側のそれぞれにおいて、塗布領域の外側の非塗布領域に流動性材料を塗布する（ダミーラインを形成する）ことにより、流動性材料の乾燥時間が他の領域よりも短くなることを抑制する手法が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１７４０２号公報
【特許文献２】特開２００５−１３７８７号公報
【特許文献３】特開２００７−１４４２４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一方、塗布装置におけるタクト時間の向上を図るために、複数のノズルの走査、および、走査方向に垂直な方向への基板のステップ移動を繰り返すことにより、ガラスの基板上に流動性材料をストライプ状に塗布する場合、基板のステップ移動方向の後側には流動性材料が塗布されていないため、複数のノズルのうち、ステップ移動方向に関して最も後側に位置するノズルにより塗布された流動性材料のラインの周囲では、他のノズルにより塗布された流動性材料のラインの周囲に比べて雰囲気中の溶媒成分の濃度が低くなってしまう。このため、最も後側のノズルにより塗布された流動性材料のラインが、他のノズルにより塗布された流動性材料のラインよりも早く乾燥し、画素形成材料の分散状態が他のラインと異なってしまう。その結果、基板全体としてみた場合に塗布ムラが発生し、製品となった後の平面表示装置における表示の質が低下してしまう場合がある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、複数の吐出口から吐出された流動性材料の乾燥速度の均一性を向上することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、基板に流動性材料を塗布する塗布装置であって、基板を保持する基板保持部と、揮発性の溶媒および前記基板上に付与する材料を含む流動性材料を、前記基板に平行な副走査方向に関して等間隔にて配列された複数の吐出口から前記基板に向けて吐出する吐出機構と、前記副走査方向に垂直かつ前記基板に平行な主走査方向に前記吐出機構を移動する主走査機構と、前記吐出機構の前記主走査方向への移動が完了する毎に前記基板を前記吐出機構に対して前記副走査方向に相対的に移動する副走査機構と、前記吐出機構に取り付けられており、前記主走査機構による前記吐出機構の前記主走査方向への移動により、前記基板上に吐出された直後の前記流動性材料の周囲に気流を発生する気流発生部とを備える。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の塗布装置であって、前記気流発生部が、前記主走査機構による前記吐出機構の前記主走査方向への移動により、前記吐出機構の進行方向の後側の空間に空気を送り込む。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の塗布装置であって、前記気流発生部が、前記吐出機構の前記主走査方向への移動により、前記吐出機構の進行方向の後側の空間にて伸展して前記空間に周囲の空気を送り込む蛇腹状の部材である。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の塗布装置であって、前記気流発生部が、前記主走査機構により前記吐出機構と共に前記主走査方向に移動することにより、前記吐出機構と前記基板との間に空気を送り込む送風部材である。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の塗布装置であって、前記送風部材が、前記吐出機構の前記副走査方向側に取り付けられる。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の塗布装置であって、前記送風部材が、前記副走査機構による前記基板の間欠的な相対移動方向の前側に取り付けられる。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項４に記載の塗布装置であって、前記送風部材が、前記吐出機構の前記主走査方向側に取り付けられる。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項１ないし７のいずれかに記載の塗布装置であって、前記吐出機構が前記主走査方向への移動の往路および復路にて前記基板上に前記流動性材料を吐出し、前記気流発生部が、前記吐出機構の移動の前記往路および前記復路の双方にて前記気流を発生する。
【００１６】
請求項９に記載の発明は、請求項１ないし８のいずれかに記載の塗布装置であって、前記流動性材料が、有機ＥＬ表示装置用の有機ＥＬ材料または正孔輸送材料を含む。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、基板上に吐出された直後の流動性材料の周囲に気流を発生させることにより、複数の吐出口から吐出された流動性材料の周囲の雰囲気において流動性材料の溶媒成分の濃度を均一化することができ、その結果、流動性材料の乾燥速度の均一性を向上することができる。
【００１８】
また、請求項２の発明では、吐出機構の進行方向の後側の空間に空気を送り込むことにより、吐出機構からの流動性材料の吐出に影響を与えることなく、溶媒成分の濃度を均一化することができ、請求項３の発明では、吐出機構の進行方向の後側の空間に空気を容易に送り込むことができる。
【００１９】
また、請求項４の発明では、簡単な構造で溶媒成分の濃度の均一化を図ることができ、請求項６の発明では、溶媒成分の濃度をさらに均一化することができる。
【００２０】
また、請求項８の発明では、流動性材料を基板上の広範囲に短時間にて塗布することができ、請求項９の発明では、有機ＥＬ表示装置において塗布ムラによる表示の質の低下を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る塗布装置１を示す平面図であり、図２は塗布装置１の正面図である。塗布装置１は、平面表示装置用のガラス基板９（以下、単に「基板９」という。）に、平面表示装置用の画素形成材料を含む流動性材料を塗布する装置である。本実施の形態では、塗布装置１において、アクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置用の基板９に、揮発性の溶媒、および、一の色の発光材料として基板９上に付与される有機ＥＬ材料を含む流動性材料（以下、「有機ＥＬ液」という。）が塗布される。
【００２２】
塗布装置１は、図２に示すように、基板９の一の主面（図２中の（−Ｚ）側の主面）に当接して基板９を保持する基板保持部１１を備え、図１および図２に示すように、基板保持部１１を基板９の主面に平行な所定の方向（すなわち、図１中のＹ方向であり、以下、「副走査方向」という。）に水平移動するとともに垂直方向（すなわち、Ｚ方向）に向く軸を中心として回転する基板移動機構１２を備える。基板保持部１１は、基板９を下側から加熱する基板加熱部であるヒータ（図示省略）を内部に備える。基板９の（＋Ｚ）側の主面９０上の塗布領域９１（図１中において細線の矩形にて示す。）には、それぞれが図１中のＸ方向に伸びる複数の隔壁がＹ方向に一定のピッチ（例えば１００〜１５０マイクロメートル（μｍ）のピッチ）にて配列形成されている。なお、基板保持部は、基板９の（−Ｚ）側の主面に当接して基板９を保持するもの以外に、基板９のＹ方向の端部を把持することにより基板９を保持するもの等であってもよい。
【００２３】
塗布装置１は、また、基板保持部１１に保持された基板９の主面９０に向けて流動性材料を吐出する吐出機構である塗布ヘッド１４、塗布ヘッド１４を基板９の主面９０に平行かつ副走査方向に垂直な方向（すなわち、図１中のＸ方向であり、以下、「主走査方向」という。）に水平移動するヘッド移動機構１５、塗布ヘッド１４の移動方向（すなわち、Ｘ方向）に関して基板保持部１１の両側に設けられるとともに塗布ヘッド１４からの有機ＥＬ液を受ける２つの受液部１６（図２参照）、塗布ヘッド１４に流動性材料を供給する流動性材料供給部１８、並びに、これらの構成を制御する制御部２を備える。
【００２４】
塗布装置１では、ヘッド移動機構１５が、塗布ヘッド１４を主走査方向に移動する（すなわち、主走査する）主走査機構となり、基板移動機構１２が、塗布ヘッド１４の主走査方向への移動が完了する毎に基板９を副走査方向に移動する（すなわち、副走査する）副走査機構となっている。なお、塗布ヘッド１４の主走査時には、受液部１６の近傍にて加速または減速が完了し、基板９の上方では塗布ヘッド１４はほぼ一定の速度（例えば、毎秒３〜５メートル（ｍ））にて移動する。また、基板９の主走査方向の幅は例えば１〜２ｍとされる。
【００２５】
図１および図２に示すように、塗布ヘッド１４は複数（本実施の形態では、５本）の吐出ノズル１７を備える。各吐出ノズル１７の（−Ｚ）側の端面には吐出口（図２中では２つの吐出ノズル１７の吐出口のみに符号１７１を付している。）が形成され、複数の吐出口１７１から同一種類の有機ＥＬ液が連続的に吐出される。本実施の形態では、基板９の主面９０と吐出口１７１との間の距離は約０．５ミリメートル（ｍｍ）とされる。５本の吐出ノズル１７は、Ｘ方向（すなわち、主走査方向）に略直線状に配列されるとともにＹ方向（すなわち、副走査方向）に僅かにずれて配置される。塗布装置１では、複数の吐出ノズル１７のＹ方向の位置が個別に調整可能とされており、５本の吐出ノズル１７の吐出口１７１は副走査方向に関して等間隔にて配列され、互いに隣接する２本の吐出ノズル１７の吐出口１７１の副走査方向の中心間距離は、基板９上の隔壁のＹ方向のピッチの３倍に等しくされる。
【００２６】
図２に示すように、塗布ヘッド１４の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側のそれぞれには蛇腹状の部材３１（後述するように、基板９の主面９０近傍の雰囲気において有機ＥＬ液の溶媒成分を拡散する部材であるため、以下、「拡散部材３１」という。）が設けられる。詳細には、各拡散部材３１の一方の端部は塗布ヘッド１４に固定され、他方の端部は基板保持部１１および塗布ヘッド１４を跨ぐようにして設けられる支持台３１１（図１では支持台３１１の図示を省略している。）に固定される。各拡散部材３１は主走査方向に伸縮可能とされており、図１および主走査方向に沿って塗布ヘッド１４近傍を示す図３のように、主走査方向に伸びるレール３１２により拡散部材３１の（＋Ｙ）側の部分が主走査方向に移動可能に支持される。なお、図３では、ヘッド移動機構１５、（＋Ｘ）側の拡散部材３１および基板９上の隔壁の図示を省略している。拡散部材３１の基板９側の端部（または、吐出ノズル１７を除く塗布ヘッド１４の基板９側の端面）と基板９の主面９０との間の距離は、好ましくは基板９の主面９０と吐出口１７１との間の距離の２倍以上３０倍以下とされ、本実施の形態では１０倍（５ｍｍ）とされる。
【００２７】
このような構成により、塗布ヘッド１４が（−Ｘ）側から（＋Ｘ）方向へと移動する際には、（−Ｘ）側の拡散部材３１が伸展するとともに、（＋Ｘ）側の拡散部材３１が縮み（後述の図５参照）、（＋Ｘ）側から（−Ｘ）方向へと移動する際には、（＋Ｘ）側の拡散部材３１が伸展するとともに、（−Ｘ）側の拡散部材３１が縮むこととなる。
【００２８】
次に、塗布装置１による有機ＥＬ液の塗布について述べる。図１に示す塗布領域９１に有機ＥＬ液が塗布される際には、各吐出ノズル１７から主面９０上における隔壁間の領域（すなわち、主走査方向に伸びる領域であり、以下、「線状領域」という。）に有機ＥＬ液が吐出されて塗布される。後述するように、塗布装置１では副走査方向に一定のピッチ（隔壁のピッチに等しいピッチであり、以下、「領域ピッチ」という。）にて配列される複数の線状領域において、副走査方向に２つ置きに存在する線状領域に有機ＥＬ液が塗布される。すなわち、塗布装置１にて有機ＥＬ液が塗布される２つの線状領域の間には、他の塗布装置等により他の種類の有機ＥＬ液が塗布される２つの線状領域が挟まれている。以下、塗布装置１における具体的な塗布動作について説明する。
【００２９】
図４は、塗布装置１における有機ＥＬ液の塗布の流れを示す図である。塗布装置１では、基板９が基板保持部１１にて保持されると、基板９上に形成されたアライメントマークがアライメントマーク検出部（図示省略）にて検出され、アライメントマーク検出部からの出力に基づいて基板移動機構１２が駆動されて基板９が移動および回転し、図１中に実線にて示す塗布開始位置に位置する（ステップＳ１１）。既述のように、基板９の主面９０上には互いに平行な複数の隔壁が配列形成され、主面９０上の隔壁間の領域として線状領域が規定されており、基板９が塗布開始位置に配置されることにより、塗布装置１において、それぞれが主走査方向に伸びる複数の線状領域が主走査方向に垂直な副走査方向に一定の領域ピッチにて主面９０上に配列設定された状態で、処理対象の基板９が準備されることとなる。このとき、塗布ヘッド１４は、副走査方向に関して基板９の（＋Ｙ）側の端部近傍であり、主走査方向において、図１および図２中に実線にて示す待機位置（すなわち、図１中の（−Ｘ）側の受液部１６の上方）に予め配置されている。
【００３０】
続いて、複数の吐出ノズル１７から有機ＥＬ液の吐出が開始され（ステップＳ１２）、さらに、ヘッド移動機構１５が制御されて塗布ヘッド１４の主走査方向の移動（すなわち、図１中の（−Ｘ）側から（＋Ｘ）側への主走査）が開始される。これにより、複数の吐出口１７１のそれぞれから基板９の主面９０に向けて有機ＥＬ液を一定の流量にて連続的に（途切れることなく）吐出しつつ、塗布ヘッド１４が主走査方向に連続的に一定の速度にて移動し、基板９の塗布領域９１の５個の線状領域に有機ＥＬ液がストライプ状に塗布される（ステップＳ１３）。
【００３１】
そして、図５に示すように、塗布ヘッド１４が（＋Ｘ）側の受液部１６の上方（すなわち、図１および図２中に二点鎖線にて示す待機位置）まで移動することにより、有機ＥＬ液によるストライプ状のパターンが形成される。以下の説明では、当該パターンにおいて１つの吐出口１７１に対応するラインを線状要素と呼ぶ。なお、図１中における塗布領域９１の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側の非塗布領域（並びに、必要に応じて（＋Ｙ）側および（−Ｙ）側の非塗布領域）は図示省略のマスクにより覆われているため有機ＥＬ液は基板９上に直接には塗布されない。
【００３２】
図６は、基板９の主走査方向に垂直な断面を示す図である。塗布装置１では、既述のように、複数の線状領域（すなわち、図６に示すように、それぞれが互いに隣接する２つの隔壁９２間の主面９０上の領域であり、図６中にて符号９３を付している。）のうち副走査方向に２つ置きに存在する線状領域９３に対して有機ＥＬ液が塗布されている。
【００３３】
塗布ヘッド１４の主走査にて複数の吐出ノズル１７により複数の線状領域９３上に塗布された有機ＥＬ液は、短時間にて乾燥（すなわち、有機ＥＬ液からの溶媒の蒸発）が終了するが、塗布装置１では、塗布ヘッド１４が（−Ｘ）側から（＋Ｘ）方向へと移動する際に、図５に示すように、塗布ヘッド１４の進行方向の後側の空間（すなわち、連続的に移動する塗布ヘッド１４の（−Ｘ）側の空間）にて（−Ｘ）側の拡散部材３１が伸展することにより、当該空間に周囲の空気が送り込まれる。このとき、基板９上に吐出された有機ＥＬ液の上方が、伸展した拡散部材３１にて覆われることにより、実際には基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気を攪拌する気流（すなわち、様々な方向に向かう気流）が発生する。これにより、複数の吐出口１７１から複数の線状領域９３上に吐出された有機ＥＬ液の周囲の雰囲気において、揮発する有機ＥＬ液の溶媒成分が拡散されて溶媒成分の濃度が均一化され、複数の線状領域９３上に塗布された有機ＥＬ液は、ほぼ同じ雰囲気の下で乾燥する（すなわち、有機ＥＬ液から溶媒が蒸発する）。そして、図６に示すように、有機ＥＬ材料が半乾燥状態で基板９上に残置されて（すなわち、付与されて）、各線状要素９４が有機ＥＬ材料の膜となる。なお、図６では、複数の線状要素９４の全体を符号Ａ１を付す二点鎖線にて囲むことにより、複数の線状要素９４の周囲の雰囲気にて有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が均一化されている状態を抽象的に示している。
【００３４】
塗布ヘッド１４が待機位置まで移動すると、基板移動機構１２が駆動され、基板９が基板保持部１１と共に（＋Ｙ）方向（すなわち、副走査方向）に領域ピッチの１５倍に等しい距離だけ移動する（ステップＳ１４）。このとき、塗布ヘッド１４では、複数の吐出ノズル１７から受液部１６に向けて有機ＥＬ液が連続的に吐出されている。
【００３５】
副走査方向における基板９の移動が終了すると、基板９および基板保持部１１が図１中に二点鎖線にて示す塗布終了位置まで移動したか否かが制御部２により確認される（ステップＳ１５）。そして、塗布終了位置まで移動していない場合には、ステップＳ１３に戻って塗布ヘッド１４が複数の吐出ノズル１７から有機ＥＬ液を吐出しつつ基板９の（＋Ｘ）側から（−Ｘ）方向（すなわち、主走査方向）に移動することにより、基板９上の線状領域に有機ＥＬ液が塗布される（ステップＳ１３）。このとき、図２に示すように（＋Ｘ）側の拡散部材３１が伸展することにより、塗布ヘッド１４の進行方向の後側の空間（すなわち、連続的に移動する塗布ヘッド１４の（＋Ｘ）側の空間）に周囲の空気が送り込まれ、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気を攪拌する気流が発生する。その後、基板９が副走査方向に移動し、塗布終了位置まで移動したか否かの確認が行われる（ステップＳ１４，Ｓ１５）。
【００３６】
塗布装置１では、基板保持部１１および基板９が塗布終了位置に位置するまで、塗布ヘッド１４の主走査方向への移動が完了する毎に、基板９が副走査方向に相対的に移動され（すなわち、塗布ヘッド１４の主走査方向における移動、および、基板９の（＋Ｙ）側へのステップ移動が繰り返され）、これにより、基板９の塗布領域９１において、有機ＥＬ液が領域ピッチの３倍に等しいピッチにて配列されたストライプ状に塗布される（ステップＳ１３〜Ｓ１５）。塗布装置１では、副走査方向に関し、基板９上において有機ＥＬ液の塗布が進行する方向（すなわち、塗布ヘッド１４の基板９に対する相対移動方向）は、基板移動機構１２による基板９の移動方向とは反対向きとなっている。
【００３７】
基板９が塗布終了位置まで移動すると、複数の吐出ノズル１７からの有機ＥＬ液の吐出が停止され（ステップＳ１５，Ｓ１６）、塗布装置１による基板９に対する有機ＥＬ液の塗布が終了する。塗布装置１による塗布が終了した基板９は、他の塗布装置等へと搬送され、塗布装置１により塗布された有機ＥＬ液以外の他の２色の有機ＥＬ液が塗布される。そして、基板９に対して所定の工程が行われた後、他の部品と組み合わされて有機ＥＬ表示装置が製造される。
【００３８】
ところで、仮に、図１の塗布装置１から拡散部材３１を省略した比較例の塗布装置にて基板９上に有機ＥＬ液の塗布を行った場合、複数の（５本の）吐出ノズル１７のうち中央近傍の３本の吐出ノズル１７により塗布された有機ＥＬ液の線状要素の周囲では、雰囲気中の有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が高くなり、（＋Ｙ）側の吐出ノズル１７により塗布された有機ＥＬ液の線状要素の周囲においても、直前の塗布ヘッド１４の主走査にて最も（−Ｙ）側の吐出ノズル１７により塗布された有機ＥＬ液の線状要素の影響により、雰囲気中の有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が高くなる。
【００３９】
しかしながら、（−Ｙ）側の吐出ノズル１７（すなわち、副走査方向における基板の相対移動方向後側のノズルであり、以下、「後側ノズル」という。ただし、塗布ヘッド１４に着目した場合、前側のノズルとなる。）により塗布された有機ＥＬ液の線状要素（以下、後側ノズルにて形成される線状要素を「後側線状要素」という。）の（−Ｙ）側には、他の有機ＥＬ液の線状要素は形成されておらず、（＋Ｙ）側にのみ、中央近傍の吐出ノズル１７により並行して塗布された有機ＥＬ液の線状要素が配置されることとなる。このため、（−Ｙ）側の後側ノズルにより塗布された後側線状要素の周囲では、（＋Ｙ）側の吐出ノズル１７および中央近傍の３本の吐出ノズル１７により塗布された線状要素の周囲と比べて有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が低くなる。正確には、後側線状要素の周囲では、後側線状要素の（−Ｙ）側における雰囲気中の有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が、後側線状要素の（＋Ｙ）側における濃度よりも低くなる。
【００４０】
したがって、後側線状要素の（−Ｙ）側の部位が（＋Ｙ）側の部位よりも大幅に早く乾燥してしまい、図７．Ａに示すように、半乾燥状態の有機ＥＬ材料にて形成される（−Ｙ）側の後側線状要素９４ａにおいて、（−Ｙ）側の部位（角状の突起を含む部位。（＋Ｙ）側の部位において同様。）の膜厚と（＋Ｙ）側の部位の膜厚との差Ｄ１（以下、「縁部膜厚差」という。）が、縁部膜厚差はほぼ０となっている他の線状要素９４に比べて大きくなり、複数の線状要素９４において主走査方向に垂直な断面の形状である有機ＥＬ材料の分散状態が一定ではなくなる。なお、図７．Ａでは、（−Ｙ）側の後側線状要素９４ａの一部および他の線状要素９４を符号Ａ２を付す二点鎖線にて囲むことにより、後側線状要素９４ａの（−Ｙ）側における雰囲気中の有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が、後側線状要素９４ａの（＋Ｙ）側における濃度と異なる状態を抽象的に示している。
【００４１】
そして、このように厚さに偏りがある有機ＥＬ材料の後側線状要素９４ａが、塗布領域に周期的に（すなわち、５本毎に）形成されると、塗布ムラ（ステッチングとも呼ばれる。）として認識されてしまい、製品となった後の有機ＥＬ表示装置における表示の質が低下してしまう場合がある。後側線状要素では、必ずしも同時に形成される他の線状要素側の部位の膜厚が当該部位とは反対側の部位の膜厚よりも小さくなる訳ではなく、塗布に用いられる有機ＥＬ液の種類によっては、同時に形成される他の線状要素側の部位の膜厚が当該部位とは反対側の部位の膜厚よりも大きくなることもある。
【００４２】
なお、仮に塗布ヘッドに１本のノズルのみを設け、図７．Ａの場合と同様のピッチにて塗布を行う場合には、基板９上における複数の線状要素はほぼ一定の条件にて形成されることとなり、図７．Ｂに示すように、複数の線状要素９４において主走査方向に垂直な断面の形状はほぼ一定となる。この場合、塗布ムラは認識されないが、基板９の全体への線状要素９４の形成に要する時間（タクト時間）が長くなってしまう。
【００４３】
上記比較例の塗布装置に対して、図１の塗布装置１では、気流発生部である拡散部材３１が塗布ヘッド１４に取り付けられ、ヘッド移動機構１５による塗布ヘッド１４の主走査方向への移動により、拡散部材３１が塗布ヘッド１４の進行方向の後側の空間に空気を送り込み、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲に気流を発生する（すなわち、一の主走査にて基板９上に吐出される有機ＥＬ液の周囲に、当該主走査が完了するまでに気流を発生する）。これにより、塗布ヘッド１４からの有機ＥＬ液の吐出に影響を与えることなく、複数の吐出口１７１から吐出される有機ＥＬ液にて形成される複数の線状要素９４の周囲の雰囲気において、有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度を均一化する（すなわち、雰囲気を均質化する）ことができ、複数の吐出口１７１から吐出された有機ＥＬ液の乾燥速度の均一性を向上することができる。その結果、基板９上に形成される有機ＥＬ材料の線状要素９４の断面形状の不均一性（縁部膜厚差のばらつき）を低減して、基板９を用いて製造される有機ＥＬ表示装置において塗布ムラによる表示の質の低下を抑制することができる。
【００４４】
また、気流発生部が蛇腹状の拡散部材３１とされることにより、塗布ヘッド１４の進行方向の後側の空間に空気を容易に送り込むことができる。さらに、塗布装置１では、塗布ヘッド１４が主走査方向への移動の往路および復路にて基板９上に有機ＥＬ液を吐出し、２つの拡散部材３１が、塗布ヘッド１４の移動の往路および復路の双方にて基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲に気流を発生する。これにより、基板９上に形成される有機ＥＬ材料の線状要素９４の断面形状の不均一性を低減しつつ、有機ＥＬ液を基板９上の広範囲に短時間にて塗布することができる（すなわち、基板９上の広範囲に複数の線状要素９４を短時間にて形成することができる。）。
【００４５】
図８は、本発明の第２の実施の形態に係る塗布ヘッド１４近傍を示す平面図であり、図９は図８中の矢印Ａ−Ａの位置における送風部材３２の断面図である。本実施の形態における塗布装置１は、図１の塗布装置１において拡散部材３１、支持台３１１およびレール３１２が省略されるとともに、送風部材３２が追加される。他の構成は、図１の塗布装置１と同様である。
【００４６】
図８に示すように、２つの送風部材３２は塗布ヘッド１４の副走査方向側（（＋Ｙ）側）に設けられ、塗布ヘッド１４の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側の端部近傍にそれぞれ配置される。図８および図９に示すように、各送風部材３２は、外形が直角三角形であって、隙間を空けて平行に配置される２つの板状の側壁板３２２を有し、２つの側壁板３２２は、塗布ヘッド１４の中央部側に斜辺を位置させつつ、斜辺を除く２つの辺がＸ方向またはＺ方向に沿うように配置される。互いに対向する２つの側壁板３２２の斜辺の部位には、板状部材３２１（以下、「傾斜板３２１」という。）が取り付けられ、傾斜板３２１はＸ方向に関して塗布ヘッド１４の中央に向かうに従って基板９との間の距離が減少するように傾斜している。
【００４７】
図８の送風部材３２を有する塗布装置１にて有機ＥＬ液の塗布を行う際には、基板９を塗布開始位置に移動するとともに（図４：ステップＳ１１）、吐出ノズル１７からの有機ＥＬ液の吐出を開始した後（ステップＳ１２）、ヘッド移動機構１５により塗布ヘッド１４が（−Ｘ）側から（＋Ｘ）方向に主走査することにより、基板９上に有機ＥＬ液が塗布される（ステップＳ１３）。
【００４８】
このとき、塗布ヘッド１４の主走査に伴って（＋Ｘ）側の送風部材３２の内部へと進入する空気（すなわち、塗布ヘッド１４の進行方向前側の空気）は、図９中にて符号８１ａを付す矢印にて示すように（ただし、図９ではＸ方向の向きが図８とは左右反対となっている。）、傾斜板３２１のおよそ基板９側を向く面３２１ａ（塗布ヘッド１４の進行方向前側の面であり、以下、「案内面３２１ａ」という。）により基板９側へと案内される。塗布装置１では、第１の実施の形態における拡散部材３１の場合と同様に、塗布ヘッド１４および傾斜板３２１と基板９の主面９０との間の距離は微小とされており、基板９側へと向かう空気が主面９０上にて広がって塗布ヘッド１４と基板９との間に空気が送り込まれることにより、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気を攪拌する気流が発生する。これにより、複数の吐出口１７１から複数の線状領域上に吐出された有機ＥＬ液の周囲の雰囲気において有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が均一化され、複数の線状領域上の有機ＥＬ液がほぼ同じ雰囲気の下で乾燥する。
【００４９】
その後、基板９が副走査方向に移動し（ステップＳ１４）、基板９が塗布終了位置まで移動していないことが確認されると（ステップＳ１５）、塗布ヘッド１４が（＋Ｘ）側から（−Ｘ）方向に主走査することにより、基板９上に有機ＥＬ液が塗布される（ステップＳ１３）。このとき、送風部材３２が、基板移動機構１２による基板９の間欠的な相対移動方向の前側（塗布ヘッド１４に着目した場合、塗布ヘッド１４の相対移動方向の後側）に取り付けられていることにより、直前の塗布ヘッド１４の主走査にて基板９上に塗布された有機ＥＬ液の近傍における空気、すなわち、有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が比較的高い空気が（−Ｘ）側の送風部材３２の内部へと進入し、図９中にて符号８１ｂを付す矢印にて示すように、傾斜板３２１の案内面３２１ａにより基板９側へと案内され、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気を攪拌する気流が発生する。
【００５０】
塗布装置１では、基板９が塗布終了位置に位置するまで、塗布ヘッド１４の主走査方向への移動が完了する毎に、基板９が副走査方向に相対的に移動され、基板９の塗布領域９１において、有機ＥＬ液が領域ピッチの３倍に等しいピッチにて配列されたストライプ状に塗布される（ステップＳ１３〜Ｓ１５）。そして、基板９が塗布終了位置まで移動すると、複数の吐出ノズル１７からの有機ＥＬ液の吐出が停止され（ステップＳ１５，Ｓ１６）、塗布装置１による基板９に対する有機ＥＬ液の塗布が終了する。
【００５１】
以上に説明したように、第２の実施の形態に係る塗布装置１では、気流発生部である送風部材３２が塗布ヘッド１４に取り付けられ、ヘッド移動機構１５により塗布ヘッド１４と共に主走査方向に移動することにより、送風部材３２が基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲に気流を発生する。これにより、複数の吐出口１７１から吐出された有機ＥＬ液の周囲の雰囲気において、有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度を均一化することを簡単な構造にて実現することができ、複数の吐出口１７１から吐出された有機ＥＬ液の乾燥速度の均一性を向上することができる。その結果、基板９上に形成される有機ＥＬ材料の線状要素の断面形状の不均一性を低減して、基板９を用いて製造される有機ＥＬ表示装置において塗布ムラによる表示の質の低下を抑制することができる。
【００５２】
また、塗布装置１では、塗布ヘッド１４が主走査方向への移動の往路および復路にて基板９上に有機ＥＬ液を吐出し、２つの送風部材３２が、塗布ヘッド１４の移動の往路および復路の双方にて基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲に気流を発生する。これにより、基板９上に形成される有機ＥＬ材料の線状要素の断面形状の不均一性を低減しつつ、基板９上に多数の線状要素を短時間にて形成することができる。
【００５３】
図１０は送風部材の他の例を示す斜視図であり、図１０では、塗布ヘッド１４を二点鎖線にて示している。図１０の塗布ヘッド１４では、送風部材３２が主走査方向（Ｘ方向）側に取り付けられており、実際には、塗布ヘッド１４の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側の双方に取り付けられる。これにより、図１０中にて符号８２を付す矢印にて示すように、塗布ヘッド１４の主走査に伴って、送風部材３２により塗布ヘッド１４と基板９との間に（すなわち、図１０中の塗布ヘッド１４の（−Ｚ）側の空間に）空気を直接的に送り込むことが可能となる。その結果、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気を効率よく攪拌して、複数の吐出口１７１から吐出された有機ＥＬ液の乾燥速度の均一性を向上することが実現される。なお、既述のように、実際の塗布装置１では、吐出ノズル１７の吐出口１７１は基板９の主面９０に近接して設けられるため、塗布ヘッド１４と基板９との間に直接的に送り込まれる空気により、有機ＥＬ液の塗布が乱れることはない。
【００５４】
図１１は送風部材のさらに他の例を示す斜視図であり、図１２は塗布ヘッド１４および送風部材３２ａを示す平面図である。なお、図１２では、基板９上の隔壁の図示を省略しつつ基板９上に形成される線状要素９４を細線にて示している（後述の図１３および図１６において同様）。
【００５５】
図１１の送風部材３２ａは板状部材であって、一の主面の法線が基板９の主面に平行（すなわち、図１１中のＸＹ平面に平行）かつ主走査方向（Ｘ方向）に対して傾斜しており、塗布ヘッド１４の副走査方向（Ｙ方向）側に取り付けられる。実際には、図１２に示すように、２つの送風部材３２ａが塗布ヘッド１４の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側の端部近傍にそれぞれ取り付けられており、各送風部材３２ａは主走査方向に関して塗布ヘッド１４の端部に向かうに従って塗布ヘッド１４から離れるように傾斜しつつ、少なくとも一部が塗布ヘッド１４の下面（ただし、吐出ノズル１７は含まない。以下同様。）よりも基板９側に位置するように固定されている。
【００５６】
送風部材３２ａを有する塗布装置１では、塗布ヘッド１４が（＋Ｘ）側から（−Ｘ）方向に移動する際に、図１１および図１２中にて符号８３を付す矢印にて示すように、（−Ｘ）側の送風部材３２ａの（−Ｘ）側の面により空気が塗布ヘッド１４と基板９との間（すなわち、図１１の塗布ヘッド１４の（−Ｚ）側の空間）に案内される。これにより、塗布ヘッド１４と基板９との間にて気流が発生して基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気が攪拌され、複数の吐出口１７１から吐出された有機ＥＬ液の周囲の雰囲気において有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が均一化される。また、塗布ヘッド１４が（−Ｘ）側から（＋Ｘ）方向に移動する際には、（＋Ｘ）側の送風部材３２ａにより、塗布ヘッド１４と基板９との間に空気が送り込まれる。
【００５７】
塗布装置１では、図１３に示すように、各送風部材３２ａが主走査方向に関して塗布ヘッド１４の中央部に向かうに従って塗布ヘッド１４から離れるように傾斜して取り付けられてもよい。この場合でも、図１３中に符号８４を付す矢印にて示すように、塗布ヘッド１４と基板９との間に空気を送り込んで、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気を攪拌することが可能となる。
【００５８】
図１４は送風部材のさらに他の例を示す斜視図である。図１４に示すように、送風部材３２ｂは塗布ヘッド１４の主走査方向（Ｘ方向）の各端部近傍において、塗布ヘッド１４の基板９側に取り付けられており（ただし、図１４では、塗布ヘッド１４の一方の端部近傍のみを図示している。）、送風部材３２ｂは主走査方向に関して塗布ヘッド１４の中央部側に向かうに従って副走査方向（Ｙ方向）の幅が漸次増大する形状となっている。塗布ヘッド１４が図１４中の（＋Ｘ）側から（−Ｘ）方向に移動する際には、図１４中に符号８５を付す矢印にて示すように、副走査方向に関して塗布ヘッド１４の中心から離れるように、空気が送風部材３２ｂにより導かれる。これにより、実際には、送風部材３２ｂの（＋Ｘ）側（塗布ヘッド１４の進行方向の後側）にて空気の渦が発生し、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気が攪拌される。その結果、複数の吐出口１７１から吐出された有機ＥＬ液の乾燥速度の均一性を向上することが実現される。
【００５９】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【００６０】
第１の実施の形態では、拡散部材３１はレール３１２にて支持されるが、他の手法により拡散部材３１が支持されてもよい。例えば、図１５に示すように、支持台３１１が（＋Ｚ）方向に高くされ、伸縮可能な複数の紐状部材３１３の一端が支持台３１１のＸ方向に伸びる支持部３１１ａに固定され、他端が拡散部材３１に固定されることにより、拡散部材３１が複数箇所にて支持される。また、紐状部材３１３に代えて棒状部材が用いられ、当該棒状部材の一端が支持部３１１ａによりＸ方向に移動可能に支持され、他端が拡散部材３１に固定されることにより、拡散部材３１が複数箇所にて支持されてもよい。
【００６１】
また、第１の実施の形態では、塗布ヘッド１４の主走査方向への移動の際に、拡散部材３１により塗布ヘッド１４の進行方向の後側の空間に空気が送り込まれるが、例えば、図１６に示すように、図１３の送風部材３２ａと同様の板状部材３１ａが、主走査方向に関して塗布ヘッド１４から離れた位置に配置されて塗布ヘッド１４に対して固定され（実際には、図示省略の支持部材により、塗布ヘッド１４の下面よりも（＋Ｚ）側において塗布ヘッド１４に対して固定される。）、塗布ヘッド１４が（＋Ｘ）側から（−Ｘ）方向に移動する際に、図１６中に符号８６を付す矢印にて示すように、塗布ヘッド１４の進行方向の後側の空間に空気が送り込まれてもよい。
【００６２】
上記第２の実施の形態では、２つの送風部材３２，３２ａ，３２ｂが設けられることにより、塗布ヘッド１４の主走査方向への往復移動の往路および復路のそれぞれにおいて、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲に気流を発生することが実現されるが、例えば、図１７に示すように、図９中の２つの送風部材３２における２つの案内面３２１ａと同等の２つの案内面３２１ｃを有する１つの送風部材３２ｃが、塗布ヘッド１４の中央部近傍において塗布ヘッド１４の副走査方向側に設けられることにより、塗布ヘッド１４の主走査方向への往復移動の往路および復路のそれぞれにおいて、基板９上に吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲に気流を発生させてもよい。
【００６３】
また、図８および図９に示す送風部材３２では、傾斜板３２１の案内面３２１ａが側壁板３２２にて囲まれることにより空気を基板９側に効率よく導くことが実現されるが、送風部材の設計によっては、側壁板３２２を省略することも可能である。
【００６４】
図８、図１２および図１３の送風部材３２ａは、塗布ヘッド１４の（−Ｙ）側（すなわち、基板移動機構１２による基板９の間欠的な相対移動方向の後側）に配置されてもよい。ただし、複数の吐出口１７１から吐出された直後の有機ＥＬ液の周囲の雰囲気において、有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度をさらに均一化するには、基板移動機構１２による基板９の間欠的な相対移動方向の前側に送風部材３２ａが取り付けられ、溶媒成分の濃度が高い空気が塗布ヘッド１４と基板９との間に送り込まれることが好ましい。
【００６５】
上記第１および第２の実施の形態では、同一色の発光材料を含む有機ＥＬ液にて形成される複数の線状要素９４を領域ピッチの３倍のピッチにて主面９０上に配列して、基板９上に発光材料のパターンを適切に形成することが実現されるが、流動性材料として、揮発性の溶媒（例えば、水）に加えて正孔輸送材料を含むものが基板９に塗布されてもよい。この場合も、塗布装置では、複数の吐出口１７１から吐出された流動性材料の乾燥速度の均一性を向上して、乾燥後の線状要素の断面形状のばらつきを抑制することが可能となり、有機ＥＬ表示装置において正孔輸送層の断面形状のばらつきに依存する表示の質の低下を抑制することが実現される。なお、「正孔輸送材料」とは、有機ＥＬ表示装置の正孔輸送層を形成する材料であり、「正孔輸送層」とは、有機ＥＬ材料により形成された有機ＥＬ層へと正孔を輸送する狭義の正孔輸送層のみを意味するのではなく、正孔の注入を行う正孔注入層も含む。
【００６６】
塗布装置では、例えば、塗布ヘッド１４に３本の吐出ノズル１７が設けられ、これらの吐出ノズル１７から赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）と互いに色が異なる３種類の有機ＥＬ材料をそれぞれ含む３種類の有機ＥＬ液が同時に吐出されて基板９に塗布されてもよい。また、塗布ヘッド１４では、流動性材料を吐出する吐出ノズル１７は２本以上とされるのであれば、他の本数とされてもよい。
【００６７】
また、塗布装置では、基板移動機構１２による基板９および基板保持部１１の移動に代えて、塗布ヘッド１４が副走査方向に移動することにより、副走査方向における基板９の塗布ヘッド１４に対する相対移動が行われてもよい。
【００６８】
上記実施の形態における処理対象の基板９では、隔壁が形成された基板９上に有機ＥＬ液が塗布されるが、塗布装置では隔壁が形成されていない基板９上に流動性材料を塗布することも可能である。
【００６９】
塗布装置は、１枚の基板から複数の有機ＥＬ表示装置を製造する（いわゆる、多面取りを行う）場合にも利用できる。また、基板９上に付与する材料として有機ＥＬ表示装置用の画素形成材料（有機ＥＬ材料または正孔輸送材料）を含む流動性材料を塗布装置を用いて基板９上に塗布することにより、有機ＥＬ表示装置における塗布ムラによる表示の質の低下が抑制されるが、ノズルプリンティング方式の塗布装置は、例えば、液晶表示装置やプラズマ表示装置等の他の平面表示装置用の基板に対し、着色材料や蛍光材料等の他の種類の画素形成材料を含む流動性材料を塗布する場合に利用されてもよい。この場合も、平面表示装置において、塗布ムラによる表示の質の低下を抑制することが可能となる。
【００７０】
また、塗布装置は、平面表示装置用の基板以外に、半導体基板等の様々な基板に対する様々な種類の流動性材料の塗布に利用されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】第１の実施の形態に係る塗布装置を示す平面図である。
【図２】塗布装置の正面図である。
【図３】塗布ヘッド近傍を示す側面図である。
【図４】塗布装置における有機ＥＬ液の塗布の流れを示す図である。
【図５】有機ＥＬ液の塗布途上における塗布装置を示す図である。
【図６】基板上の線状要素の断面を示す図である。
【図７．Ａ】比較例の塗布装置にて形成される線状要素の断面を示す図である。
【図７．Ｂ】他の比較例の塗布装置にて形成される線状要素の断面を示す図である。
【図８】第２の実施の形態に係る塗布ヘッド近傍を示す平面図である。
【図９】送風部材の断面図である。
【図１０】送風部材の他の例を示す斜視図である。
【図１１】送風部材のさらに他の例を示す斜視図である。
【図１２】塗布ヘッドおよび送風部材を示す平面図である。
【図１３】送風部材のさらに他の例を示す平面図である。
【図１４】送風部材のさらに他の例を示す斜視図である。
【図１５】拡散部材の支持の他の例を示す図である。
【図１６】塗布ヘッドの進行方向の後側の空間に空気を送り込む他の例を示す図である。
【図１７】送風部材のさらに他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００７２】
１    塗布装置
９    基板
１１    基板保持部
１２    基板移動機構
１４    塗布ヘッド
１５    ヘッド移動機構
３１    拡散部材
３１ａ    板状部材
３２，３２ａ〜３２ｃ    送風部材
９４    線状要素
１７１    吐出口
【図１】
2009135012.tif 000003
【図２】
2009135012.tif 000004
【図３】
2009135012.tif 000005
【図４】
2009135012.tif 000006
【図５】
2009135012.tif 000007
【図６】
2009135012.tif 000008
【図７．Ａ】
2009135012.tif 000009
【図７．Ｂ】
2009135012.tif 000010
【図８】
2009135012.tif 000011
【図９】
2009135012.tif 000012
【図１０】
2009135012.tif 000013
【図１１】
2009135012.tif 000014
【図１２】
2009135012.tif 000015
【図１３】
2009135012.tif 000016
【図１４】
2009135012.tif 000017
【図１５】
2009135012.tif 000018
【図１６】
2009135012.tif 000019
【図１７】
2009135012.tif 000020