(57)【要約】      （修正有）【課題】断熱効果の向上および炉内へのワーク搬入の容易化を図ることができる管状炉用リフレクターを提供する。【解決手段】炉芯管の両端部に装着される管状炉用リフレクターであって、搬入孔４ａ付きの一対の円板３が、前記搬入孔４ａ、４ａ同士が連通するように管体４で連結されている通路形成部材と、この通路形成部材の外周を覆う外筒５とを組み合わせてリフレクター本体１を構成し、このリフレクター本体の内部に断熱材１０を充填した構造とした。前記リフレクター本体は、炉芯管と同質の部材で形成されていることが好ましい。また、断熱材は、断熱性ファイバーからなることが好ましい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状炉の炉芯管両端部に装着される管状炉用リフレクターであって、搬入孔付きの一対の円板が、前記搬入孔同士が連通するように管体で連結されている通路形成部材と、この通路形成部材の外周を覆う外筒とを組み合わせてリフレクター本体を構成し、このリフレクター本体の内部に断熱材を充填したことを特徴とする管状炉用リフレクター。
【請求項２】
リフレクター本体が、管状炉の炉芯管と同質の部材で形成されている請求項１に記載の管状炉用リフレクター。
【請求項３】
断熱材が、断熱性ファイバーからなる請求項１または２に記載の管状炉用リフレクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、断熱効果の向上および炉内へのワーク搬入の容易化を図ることができる管状炉用リフレクターに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、セラミック粉体のような被処理物の焼成や、各種半導体のような電子部品の印刷焼付け処理等を行うのに、管状炉を用いることが知られている（例えば、特許文献１や特許文献２を参照）。この管状炉においては、炉内を均熱の高温ゾーンとするために、管状炉の炉芯管両端部にリフレクターと称される仕切り用の断熱蓋が装着されている。
【０００３】
図７〜図８に、従来タイプの管状炉用リフレクターを示す。図において、２１は管状炉と同材質の部材からなる円板状のプレート、２２は被焼成品を通過するための孔部であり、このようなプレートが４枚、スペーサ２３を介し一定間隔を空けて衝立状に積層された構造となっている。
【０００４】
図７〜図８に示すようなリフレクターでは、各プレート間の空気層によって炉内の放熱を防止するために断熱効果が低く、リフレクター近傍までヒータで炉内を加熱・昇温することができなかった。この結果、実際に必要とされる灼熱・高温ゾーンの長さよりも長く炉長をとる必要があり、炉が大型化するという問題点があった。また、プレート２１の孔部２２にワークである被焼成品を通すのに各プレート毎に通す必要があるため、非常に手間がかかるという問題点があり、また、孔部の壁にワークを接触させてワークが破損してしまうという現象や、逆にプレート２１の孔部２２を破損してしまうという現象があり作業性および生産性に劣るという問題点があった。
【特許文献１】特開２００７−２７１１９９号公報
【特許文献２】特開平１０−１４１８６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記のような問題点を解決して、炉芯管内のクリーン度を保ちつつ断熱効果の向上を図ることができて、炉長が短いコンパクトな設計の管状炉とすることができ、また、炉内へのワーク搬入が容易で作業性および生産性の向上を図ることができる管状炉用リフレクターを提供することを目的として完成されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた本発明の管状炉用リフレクターは、管状炉の炉芯管両端部に装着される管状炉用リフレクターであって、搬入孔付きの一対の円板が、前記搬入孔同士が連通するように管体で連結されている通路形成部材と、この通路形成部材の外周を覆う外筒とを組み合わせてリフレクター本体を構成し、このリフレクター本体の内部に断熱材を充填したことを特徴とするものである。
【０００７】
また、前記リフレクター本体が、管状炉と同質の部材で形成されていることが好ましく、これを請求項２に係る発明とし、更に、断熱材が断熱性ファイバーからなることが好ましく、これを請求項３に係る発明とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、管状炉の炉芯管両端部に装着される管状炉用リフレクターであって、搬入孔付きの一対の円板が、前記搬入孔同士が連通するように管体で連結されている通路形成部材と、この通路形成部材の外周を覆う外筒とを組み合わせてリフレクター本体を構成し、このリフレクター本体の内部に断熱材を充填したので、断熱性に優れていて炉長の短いコンパクトな管状炉とすることができ、また、炉内へのワーク搬入が容易で作業性および生産性の向上を図ることができる。
【０００９】
また、リフレクター本体が、管状炉と同質の部材で形成されている場合は、管状炉全体を同じ材質で構成できて均質な灼熱・高温ゾーンが得られることとなる。
更に、断熱材が断熱性ファイバーからなる場合は、炉芯管内のクリーン度を保ちつつ優れた断熱効果を発揮できることとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、図面を参照しつつ本発明の好ましい実施の形態を示す。
図１は、本発明のリフレクターを用いた管状炉を示す正面断面図、図２は図１の右側面図である。図において、１１は石英ガラス等の耐熱性ガラスよりなる炉芯管であり、１２は雰囲気ガスの供給管、１３は雰囲気ガスの排気管、１４は雰囲気の制御装置、１５は制御盤である。１６は、前記炉芯管１１の周囲にセットされているヒータである。また、前記炉芯管１１の両端部には炉芯管１１と同質の耐熱ガラスからなるリフレクターが装着されている。なお、ワークは図面の左方向から右方向へ搬送されている。
【００１１】
図３〜６に、本発明の管状炉用リフレクターを示す。
図３は本発明のリフレクターの正面断面図、図４は図３の左側面図であり、図において、１は前記炉芯管１１と同質の石英ガラス等の耐熱性ガラスよりなるリフレクター本体である。そして、このリフレクター本体１の内部には、断熱材１０を充填した構造となっている。
【００１２】
前記リフレクター本体１は、通路形成部材２と外筒５を組み合わせたものである。
この通路形成部材２は、図５に示されるように、搬入孔４ａ付きの一対の円板３、３が、対応した位置関係にある搬入孔４ａ、４ａ同士が連通するように、管体４で連結された構造となっている。この管体４の断面形状は、搬送するワークの形状に合せて、四角状や円状等任意のものしてある。
【００１３】
また外筒５は、図６に示されるように、円筒体からなるものであり、前記通路形成部材２の外周を覆うように外筒と組み合わされている。なお、外筒５の一端には抜け止めようの突起５ａが形成されており、前記通路形成部材２の抜け止め、および位置決めをしている。
【００１４】
前記リフレクター本体１の内部に充填される断熱材１０は、例えば、セラミックファイバーやガラスファイバー等の断熱性ファイバーからなるものであり、前記管体４を除いてリフレクター本体１の内部の隅々まで充填されている。この際、ファイバーは形状を自由に変形できるので、管体４が存在して複雑な空間となっていても、影響されることなく隅々まで充填することが可能であり、また充填作業も極めて容易に行うことができる。この結果、炉芯管１１内のクリーン度を保ちつつ優れた断熱効果を発揮する管状炉用リフレクターが得られる。
【００１５】
このようにして得られたリフレクターは、図１に示す管状炉の炉芯管１１の両端部に装着されて使用に供されることとなるが、リフレクター本体１は１個の円筒形状にまとまった構造であるため、取り扱い性に優れており、また破損の可能性も小さく、短時間で簡単に取り付けることが可能となる。
【００１６】
本発明の管状炉用リフレクターは断熱効果に優れており、図１に示されるように、リフレクターを装着した炉端部の外側には別の２次的な冷却手段を全く設けなくても十分にワークの焼成を行えることが確認された。従って、炉装置の全体長さとしては、炉端部の外側にせいぜい２００ｍｍ程度の配管用設置スペースを付加するだけですみ、全長が短くコンパクトな装置とすることができる。
これに対し、従来例に示したリフレクターの場合は、炉端部の外側に、それぞれ８００ｍｍ以上の２次的な冷却エリアを設ける必要があるため、装置の全長としては大きくなってしまうという欠点があった。
【００１７】
以上の説明からも明らかなように、本発明の管状炉用リフレクターは、搬入孔付きの一対の円板が、前記搬入孔同士が連通するように管体で連結されている通路形成部材と、この通路形成部材の外周を覆う外筒とを組み合わせてリフレクター本体を構成し、このリフレクター本体の内部に断熱材を充填した構造であり、炉芯管内のクリーン度を保ったまま断熱効果の大幅な向上が図るものである。この結果、従来のように２次的な冷却手段を設ける必要もなくて炉長が短いコンパクトな設計の管状炉とすることができることとなる。更には、炉内へのワーク搬入は管体内を通すだけであり、作業性および生産性の向上を図ることができるという利点もある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のリフレクターを用いた管状炉を示す正面断面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】本発明の実施の形態を示す正面断面図である。
【図４】図３の側面図である。
【図５】通路形成部材を示す正面図である。
【図６】外筒を示す正面断面図である。
【図７】従来例を示す斜視図である。
【図８】（ａ）は図７の正面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１  リフレクター本体
２  通路形成部材
３  円板
４  管体
４ａ  搬入孔
５  外筒
１０  断熱材
１１  炉芯管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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