(57)【要約】【課題】本発明は、コイリングマシンにおいて、端部の曲げ加工も同時に行えることに着目して為されたものであり、簡単に形成可能で、且つフィルタおよび流入継手の接触面を損傷することのないコイルばねを提供することを課題としている。【解決手段】圧力調整弁本体１６６に形成した流入ポート１７５と流入ポート１７５に螺合される流入コネクタ１６１との接合部分に着脱自在に収容されるフィルタ１８１を、流入コネクタ１６１を受けとして押圧するコイルばね１８２であって、少なくとも一方の端部に、線材の先端部を圧縮側に屈曲させた軸方向屈曲部２３５を有する。【選択図】図１５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体機器本体に形成した流入ポートと前記流入ポートに螺合される流入継手との接合部分に着脱自在に収容されるフィルタを、前記流入継手を受けとして押圧するコイルばねであって、
少なくとも一方の端部に、線材の先端部を圧縮側に屈曲させた軸方向屈曲部を有することを特徴とするコイルばね。
【請求項２】
前記軸方向屈曲部を、隣接する線材部分から外れるように、屈曲させたことを特徴とする請求項１に記載のコイルばね。
【請求項３】
流体機器本体に形成した流入ポートと前記流入ポートに螺合される流入継手との接合部分に着脱自在に収容されるフィルタを、前記流入継手を受けとして押圧するコイルばねであって、
少なくとも一方の端部に、線材の先端部を径方向中心側に屈曲させた径方向屈曲部を有することを特徴とするコイルばね。
【請求項４】
前記径方向屈曲部の先端が、軸心部に位置していることを特徴とする請求項３に記載のコイルばね。
【請求項５】
前記径方向屈曲部の先端部を、圧縮側に屈曲させたことを特徴とする請求項３または４に記載のコイルばね。
【請求項６】
流体機器本体に形成した流入ポートと前記流入ポートに螺合される右ねじ構造の流入継手との接合部分に着脱自在に収容されるフィルタを、前記流入継手を受けとして押圧するコイルばねであって、
線材の巻き方向を左巻きに形成したことを特徴とするコイルばね。
【請求項７】
前記流入継手が螺合される前記流入ポートの継手接合部と、前記継手接合部に連なる前記流体機器本体の内部流路との間に位置して、前記流体機器本体にザグリ穴状のフィルタ収容部を形成し、
前記フィルタ収容部に収容した前記フィルタを、請求項１ないし６のいずれかに記載のコイルばねにより押えて成ることを特徴とする流体機器におけるフィルタの取付け構造。
【請求項８】
請求項７に記載の流体機器におけるフィルタの取付け構造を備え、
前記流入ポートから１次室に導入した機能液を、２次室を介して流出ポートに供給すると共に、大気に面し前記２次室の１つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路を開閉することを特徴とする圧力調整弁。
【請求項９】
機能液を貯留する機能液タンクと、
機能液滴吐出ヘッドに接続する請求項８に記載の圧力調整弁と、
上流端を前記機能液タンクに接続すると共に下流端を前記圧力調整弁に接続する機能液供給流路を備えたことを特徴とする機能液供給機構。
【請求項１０】
請求項９に記載の機能液供給機構と、
ワークに対し機能液滴を吐出する前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを前記機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体機器本体に形成した流入ポートと流入ポートに螺合される流入継手との接合部分に着脱自在に収容されるフィルタを、流入継手を受けとして押圧するコイルばね、流体機器におけるフィルタの取付け構造および圧力調整弁、並びに機能液供給機構、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のコイルばねではないが、磁気テープカートリッジ等に用いられる圧縮コイルばねとして、端面に、ばねの中心線（軸線）に直交する最終座巻き部を有するものが知られている（特許文献１参照）。すなわち、この圧縮コイルばねは、押え部材もしくは受け部材に対し、圧縮コイルばね端部を安定させるため、圧縮コイルばね端部が、伸縮方向に対して垂直な平面を為すように線材を屈曲して形成されている。
【特許文献１】特開２００２−３６４６９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような圧縮コイルばねを上記コイルばねに適用すると、流入継手の螺合に際し、フィルタおよび流入継手に接触している線材の端部となる切断端が、フィルタおよび流入継手の接触面と擦れ合って、接触面を傷つけてしまうという問題があった。もっとも、線材の切断端を面取りするように研削することも考えられるが、かかる場合、圧縮コイルばねを形成する線材の曲げ加工（コイリング）に加え、研削加工を施す必要があり、コストアップになる。
【０００４】
本発明は、コイリングマシンにおいて、端部の曲げ加工も同時に行えることに着目して為されたものであり、簡単に形成可能で、且つフィルタおよび流入継手の接触面を損傷することのないコイルばね、流体機器におけるフィルタの取付け構造および圧力調整弁、並びに機能液供給機構、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のコイルばねは、流体機器本体に形成した流入ポートと流入ポートに螺合される流入継手との接合部分に着脱自在に収容されるフィルタを、流入継手を受けとして押圧するコイルばねであって、少なくとも一方の端部に、線材の先端部を、圧縮側に屈曲させた軸方向屈曲部を有することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、線材の先端部を圧縮側に屈曲して形成することで、線材の切断端が接触面に接触することがなく、代わりに、軸方向屈曲部の屈曲部位が接触面に接触する。これにより、流入継手の螺合に際し、フィルタおよび流入継手の接触面を損傷することがない。また、一連のコイルばね製作工程（コイリング）において、この軸方向屈曲部を形成することができるため、特段の工程を必要とせず、当該コイルばねを、簡単に形成することができる。
【０００７】
この場合、軸方向屈曲部は、圧縮側に隣接する線材部分から外れるように、屈曲させたことが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、圧縮側に屈曲した軸方向屈曲部が、隣接する線材部分と干渉することがなく、軸方向屈曲部により、ばねの機能が損なわれることがない。
【０００９】
本発明のコイルばねは、流体機器本体に形成した流入ポートと流入ポートに螺合される流入継手との接合部分に着脱自在に収容されるフィルタを、流入継手を受けとして押圧するコイルばねであって、少なくとも一方の端部に、線材の先端部を径方向中心側に屈曲させた径方向屈曲部を有することを特徴とする。
【００１０】
この場合、径方向屈曲部の先端が、軸心部に位置していることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、線材の先端部を径方向中心側に屈曲させることにより、線材の切断端が、フィルタおよび流入継手の内部流路に臨み、フィルタおよび流入継手の接触面に接触することがない。そのため、流入継手の螺合に際し、フィルタおよび流入継手の接触面を損傷することがない。また、一連のコイルばね製作工程（コイリング）において、この径方向屈曲部を形成することができるため、特段の工程を必要とせず、当該コイルばねを、簡単に形成することができる。
【００１２】
この場合、径方向屈曲部の先端部を、圧縮方向に屈曲させたことが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、径方向屈曲部の先端部を、圧縮方向に屈曲させることにより、コイルばねの圧縮変形等によって径方向屈曲部の先端部がフィルタおよび流入継手の内部流路に入り込んだ場合にも、線材の切断端が、フィルタおよび流入継手への接触することを確実に防止できる。
【００１４】
本発明のコイルばねは、流体機器本体に形成した流入ポートと流入ポートに螺合される右ねじ構造の流入継手との接合部分に着脱自在に収容されるフィルタを、流入継手を受けとして押圧するコイルばねであって、線材の巻き方向を左巻きに形成したことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、このような右ねじ構造の流入継手に対し、コイルばねを左巻きに形成することで、流入継手のねじ込み（螺合）に際し、接触面に対する線材の切断端の引っかかりを防止し、接触面の損傷することがない。また、一連のコイルばね製作工程（コイリング）において、この径方向屈曲部を形成することができるため、特段の工程を必要とせず、当該コイルばねを、簡単に形成することができる。
【００１６】
本発明の流体機器におけるフィルタの取付け構造は、流入継手が螺合される流入ポートの継手接合部と、継手接合部に  連なる流体機器本体の内部流路との間に位置して、流体機器本体にザグリ穴状のフィルタ収容部を形成し、フィルタ収容部に収容したフィルタを、上記のコイルばねにより押えて成ることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、フィルタが、流入継手によりコイルばねを介して押えられる形で、ザグリ穴状のフィルタ収容部に取り付けられる。このように、流入継手の接合を利用してフィルタを押さえ、取り付ける。そのため、流入継手の接合を解除することで、フィルタを容易に取り外すことができると共に、コイルばねを容易に取り外すことができる。これにより、フィルタの着脱を容易に行うことができる。また、フィルタの取付構造を簡単な構成にすることができる。さらに、簡単な構成で、接触面の損傷を防止することができるコイルばねを用いることで、フィルタや流入継手を破損することがない。特に、フィルタを洗浄して再利用する場合の破損による不具合を抑えることができる。
【００１８】
本発明の圧力調整弁は、上記の流体機器におけるフィルタの取付構造を備え、流入ポートから１次室に導入した機能液を、２次室を介して流出ポートに供給すると共に、大気に面し２次室の１つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路を開閉することを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、機能液の流入端に、簡単な構成でフィルタを適切に取り付けることができるフィルタの取付構造を備えることにより、圧力調整弁内に異物が入り込むことを防止することができる。これにより、リーク不良を起こすことがなく、圧力調整の安定性を向上させることができる。また、圧力調整弁を大きく設計変更することなく、フィルタを組み込むことができる。
【００２０】
本発明の機能液供給機構は、機能液を貯留する機能液タンクと、機能液滴吐出ヘッドに接続する上記の圧力調整弁と、上流端を機能液タンクに接続すると共に下流端を圧力調整弁に接続する機能液供給流路を備えたことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、圧力調整弁により、機能液の供給にかかる圧力制御を精度良く行うことができる。
【００２２】
本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液供給機構と、ワークに対し機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、ワークを機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドにかかる圧力制御を精度良く行うことができるため、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を精度良く行うことができる。
【００２４】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２５】
本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料、電子放出装置（Field Emission Display, ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display, ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付の図面を参照して、本発明のコイルばねを適用した圧力調整弁を搭載する液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２８】
図１、図２および図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載された１０個のキャリッジユニット５１と、から成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ６と、チャンバ６を貫通して、チャンバ６の外部から、内部の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する３組の機能液供給装置１０１を有した機能液供給ユニット７と、を備えている。Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット７から供給されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。なお、請求項にいうＸ・Ｙ移動機構は、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２により構成されている。
【００２９】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から直角に延び、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台上に配設されている（厳密には、吐出性能検査ユニット１８は、後述するステージユニット７７がＸ軸テーブル１１に搭載され、カメラユニット７８がＹ軸支持ベース３に支持されている。）。
【００３０】
フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット７１,７１と、定期フラッシングユニット７２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受ける。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット７４を有し、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート７５を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴を受ける検査シート８３を搭載したステージユニット７７と、ステージユニット７７上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット７８を有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査する。
【００３１】
次に、液滴吐出装置１の構成要素について簡単に説明する。図２または図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。
【００３２】
セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット７１が添設されている。
【００３３】
Ｙ軸テーブル１２は、１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５（吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６）に臨ませる。
【００３４】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００３５】
各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット５１は、その上部に後述するサブタンク１２１が配設されており（実際には、ブリッジプレート５２上に配設）、このサブタンク１２１から自然水頭を利用して各機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されるようになっている。
【００３６】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、機能液供給ユニット７（機能液供給装置１０１）に接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）、キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００３７】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。
【００３８】
チャンバ６は、内部温度及び湿度を一定に保つように構成されている。すなわち、液滴吐出装置１によるワークＷへの描画は、温度および湿度が一定値に管理された雰囲気中で行われる。そして、チャンバ６の側壁の一部には、タンクユニット１２２を収納するためのタンクキャビネット８４が設けられている。なお、有機ＥＬ装置等を製造する場合には、チャンバ６内を、不活性ガス（窒素ガス）の雰囲気で構成することが好ましい。
【００３９】
次に、図１および図６を参照して機能液供給ユニット７について説明する。機能液供給ユニット７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を供給する３組の機能液供給装置（機能液供給機構）１０１を備えている。また、機能液供給ユニット７は、後述するメインタンク１５１等に制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備８５と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備８６と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備８７と、後述する気泡除去ユニット１３５に接続された真空設備８９と、を備えている。３組の機能液供給装置１０１は、それぞれＲ・Ｇ・Ｂ３色に対応した機能液滴吐出ヘッド１７に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド１７には対応する色の機能液が供給される。
【００４０】
図６に示すように、各色の機能液供給装置１０１は、機能液の供給源を構成する２つのメインタンク１５１,１５１を有するタンクユニット１２２と、各キャリッジユニット５１に対応して設けた１０個のサブタンク（機能液タンク）１２１と、タンクユニット１２２と１０個のサブタンク１２１を接続する上流側機能液流路１２６と、各サブタンク１２１と各機能液滴吐出ヘッド１７とを接続する１０組の下流側機能液流路１２７と、を備えている。
【００４１】
各メインタンク１５１,１５１内の機能液は、これに接続して窒素ガス供給設備８５からの圧縮窒素ガスにより加圧され、上流側機能液流路１２６を介して１０個のサブタンク１２１に選択的に供給される。その際、圧縮エアー供給設備８６の圧縮エアーにより、各種開閉弁が開閉制御される。また同時に、各サブタンク１２１は、ガス排気設備８７を介して大気開放され、必要量の機能液を受容する。各サブタンク１２１の機能液は、これに連なる機能液滴吐出ヘッド１７の駆動により、所定の水頭圧を維持しながら、下流側機能液流路１２７を介して機能液滴吐出ヘッド１７に供給される。
【００４２】
タンクユニット１２２は、機能液の供給源となる一対のメインタンク１５１,１５１と、一対のメインタンク１５１,１５１の重量をそれぞれ測定する一対の重量測定装置１５２,１５２と、一対のメインタンク１５１,１５１に接続されると共に、上流側機能液流路１２６に接続した切換え機構１５３と、を備えている。各メインタンク１５１には、窒素ガス供給設備８５に接続されており、機能液を圧送する際に加圧制御可能に構成されている。
【００４３】
上流側機能液流路１２６は、上流側から、上流側をタンクユニット１２２に接続したタンク側主流路１３１と、分岐部１３２を介してタンク側主流路１３１から１０方に分流し、下流側をサブタンク１２１に接続した１０本の枝流路１３３と、を備えている。タンクユニット１２２から供給された機能液は、分岐部１３２により１０方に分流して各サブタンク１２１に供給される。
【００４４】
また、タンク側主流路１３１には、上流側から気泡除去ユニット１３５、第１開閉弁１３６、エアー抜きユニット１３７、第２開閉弁１３８がそれぞれ介設されている。また、各枝流路１３３には、各サブタンク１２１の近傍に位置して第３開閉弁１３９がそれぞれ介設されている。
【００４５】
各下流側機能液流路１２７は、上流側から、上流側を各サブタンク１２１に接続したヘッド側主流路１４６と、上流側をヘッド側主流路１４６に接続した４分岐流路１４７と、上流側を４分岐流路１４７に接続した複数のヘッド側枝流路１４８と、により構成されている。これにより、機能液が各サブタンク１２１から４方に分岐して、それぞれの機能液滴吐出ヘッド１７の接続されている。すなわち、上流側機能液流路１２６の１０分岐と、下流側機能液流路１２７の４分岐により、１０×４個の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給される。加えて、機能液供給ユニット７は、Ｒ・Ｇ・Ｂで３組の機能液供給装置１０１を有しているため、１０×１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給される。更に、ヘッド側主流路１４６には、第４開閉弁１４９と、機能液滴吐出ヘッド１７への圧力調整を行う圧力調整弁（流体機器）１５０と、が介設されている。なお、請求項にいう機能液供給流路は、サブタンク１２１から圧力調整弁１５０にかかるヘッド側主流路１４６により構成されている。
【００４６】
サブタンク１２１は、各４個の機能液滴吐出ヘッド１７に供給する機能液を貯留するものである。サブタンク１２１は貯留された機能液の液位を検出する液位検出機構を有し、機能液の液位を一定の高さに維持しつつ供給を行う。機能液滴吐出ヘッド１７の吐出駆動により、機能液の液位が下限液位まで下降すると（減液状態）、第３開閉弁１３９を開放してメインタンク１５１から機能液を供給し、メインタンク１５１からの供給により機能液の液位が上限液位まで上昇すると、第３開閉弁１３９を閉弁してメインタンク１５１からの供給を停止する。
【００４７】
次に、図７ないし図１４を参照して、圧力調整弁１５０廻りについて説明する。図７および図８に示すように、圧力調整弁１５０は、ヘッド側主流路１４６に介設されており、ヘッド側主流路１４６の上流側からの継手であると共に、流入ポート１７５に連なる流入コネクタ（流入継手）１６１（ユニオン継手）と、ヘッド側主流路１４６の下流側の継手であると共に、流出ポート１９０に連なる流出コネクタ１６２（ユニオン継手）と、に接続されている。
【００４８】
圧力調整弁１５０は、圧力調整弁本体（流体機器本体）１６６と、圧力調整弁本体１６６と共に内部に１次室１６７を形成した蓋体１６８と、圧力調整弁本体１６６と共に内部に２次室１６９を形成し圧力調整弁本体１６６にダイヤフラム１７１を固定するリングプレート１７０との３部材で構成されており、いずれもステンレス等の耐食性材料で形成されている。また、圧力調整弁本体１６６には、１次室１６７および２次室１６９を連通する連通流路１７３が形成されている。
【００４９】
蓋体１６８およびリングプレート１７０は、圧力調整弁本体１６６に対し、前後からリングプレート１７０および蓋体１６８を重ね、複数本の段付平行ピン（図示省略）でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めして組み立てられており、いずれも円形のダイヤフラム１７１の中心を通る軸線と同心円となる多角形（８角形）あるいは円形の外観を有している。そして、蓋体１６８および圧力調整弁本体１６６は、パッキン１７２を介して相互に気密に突合せ接合され、圧力調整弁本体１６６およびリングプレート１７０は、ダイヤフラム１７１の縁部およびパッキン１７２を挟込み込んで相互に気密に突合せ接合されている。
【００５０】
圧力調整弁本体１６６と蓋体１６８とで形成された１次室１６７は、ダイヤフラム１７１と同心となる略円柱形状に形成されており、その開放端を蓋体１６８により閉蓋されている。また、圧力調整弁本体１６６の１次室側背面上部に形成した上部ボス部の左部には１次室１６７から径方向斜めに延びる流入ポート１７５が形成されている。流入ポート１７５には上記の流入コネクタ１６１が接続されている。
【００５１】
図９に示すように、流入ポート１７５は、圧力調整弁本体１６６の外周面に開口した流入口（継手接合部）１７６と、フィルタ１８１を収容するフィルタ収容部１７７と、フィルタ収容部１７７と１次室１６７の内周面とを連通する流入経路（内部流路）１７８とから成り、流入口１７６に対し流入経路１７８は、１次室１６７側に偏心して形成されている。流入口１７６には、流入コネクタ１６１が螺合（テーパネジ）される。なお、詳細は後述するが、フィルタ収容部１７７には、フィルタ１８１が収容され、フィルタ１８１と螺合した流入コネクタ１６１との間には、フィルタ１８１を押えるコイルばね１８２が収容される。
【００５２】
流入コネクタ１６１の内部流路は、下流端で拡開形成された（テーパ形状の）拡開開口部１６１ａを有しており、流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。同様に、流入経路１７８の上流端は、テーパ形状を為している。
【００５３】
図９および図１０に示すように、２次室１６９は、ダイヤフラム１７１と、圧力調整弁本体１６６に形成した内面壁１８５とによって、全体としてダイヤフラム１７１を底面とする円錐台形状に形成されている。ダイヤフラム１７１は、鉛直姿勢を為して配設され、２次室１６９の１つの面を構成している。また、内面壁１８５は、２次室１６９のダイヤフラム１７１の面（１つの面）を除いた各面で構成されている。
【００５４】
また、内面壁１８５のうち円錐台形状の頂面となる端壁１８５ａには、ダイヤフラム１７１と同心となる２次室側開口部１８６が開口し、内面壁１８５のうち円錐台形状のテーパ面となる周壁１８５ｂの下側斜面における上下中間部には、後述する流出流路１９３の流出開口部１８７が形成されている。この場合、２次室側開口部１８６は、後述する受圧板付勢ばね２０８を収容するばね室を兼ねており、連通流路１７３の主流路１９６より太径に形成されている。
【００５５】
図１０に示すように流出ポート１９０は、圧力調整弁本体１６６の下部に位置する傾斜ボス部１９１に形成されており、傾斜ボス部１９１の下部に開口した流出口１９２と、２次室１６９の流出開口部１８７と、これらを連通する流出流路１９３とで構成されている。流出流路１９３は、内面壁１８５の周壁１８５ｂから斜めに延びて下向きの流出口１９２に連通している。流出口１９２には、流出流路１９３の軸線方向から流出コネクタ１６２が螺合している。流出コネクタ１６２の内部に形成された流路は、上流端で拡開形成されており、流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。２次室１６９から流出する機能液は、流出開口部１８７から流出流路１９３の傾きに従って斜めに流れ、機能液滴吐出ヘッド１７側に流出する。
【００５６】
図９および図１０に示すように、圧力調整弁本体１６６には、１次室１６７と２次室１６９とを連通する連通流路１７３が形成されている。連通流路１７３は、主流路１９６と、これに連なる２次室側開口部１８６とで構成されている。これら１次室１６７、２次室１６９および連通流路１７３は、いずれもダイヤフラム１７１と同心の円形断面を有している。ただし、主流路１９６は、後述する弁体２０１の軸部２０３がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部１９７と、軸遊挿部１９７から径方向四方に延びる十字状断面の流路部１９８とで構成されている（図８（ｂ）参照）。
【００５７】
ダイヤフラム１７１は、樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体２０６と、ダイヤフラム本体２０６の内側に貼着した樹脂製の受圧板２０７とで構成されている。受圧板２０７は、ダイヤフラム本体２０６と同心の円板状に、且つダイヤフラム本体２０６に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体２０１の軸部２０３が当接する。ダイヤフラム本体２０６は、耐熱ＰＰ（ポリプロピレン）と特殊ＰＰとシリカを蒸着したＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とを積層して構成されており、圧力調整弁本体１６６の前面と同径の円形に形成されている。
【００５８】
弁体２０１は、円板状の弁体本体２０２と、弁体本体２０２の中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部２０３と、軸部２０３の基端部側（弁体本体２０２側）に設けた（取り付けた）環状のＯリング２０４とで構成されている。弁体本体２０２および軸部２０３は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されている。Ｏリング２０４は、例えば軟質のシリコンゴムで環状に形成されている。このため、弁体２０１の閉弁時には、弁座となる連通流路１７３の開口縁にＯリング２０４が強く当接して、連通流路１７３が１次室１６７側から液密に閉塞される。
【００５９】
軸部２０３は、連通流路１７３（の主流路１９６）にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム１７１の受圧板２０７に当接する。すなわち、ダイヤフラム１７１が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部２０３の前端と受圧板２０７との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム１７１がマイナス側に変形してゆくと、中立状態で軸部２０３の前端と受圧板２０７が当接し、さらにダイヤフラム１７１のマイナス変形がすすむと、受圧板２０７が軸部２０３を介して弁体本体２０２を押し開弁させることになる。したがって、２次室１６９の容積のうち、ダイヤフラム１７１がプラス変形から中立状態となる容積分は、１次室１６７側の圧力を一切受けることなく、機能液の供給が為される。
【００６０】
弁体２０１の背面と１次室１６７の壁体２０６との間には、弁体２０１を２次室１６９側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２０７が介設されている。同様に、受圧板２０７と内面壁１８５の間には、受圧板２０７を介してダイヤフラム本体２０６を外部に向かって付勢する受圧板付勢ばね２０８が介設されている。この場合、弁体付勢ばね２０７は、弁体２０１の背面に加わるサブタンク１２１の水頭を補完するものであり、サブタンク１２１の水頭とこの弁体付勢ばね２０７のばね力により、弁体２０１が閉塞方向に押圧される。一方、受圧板付勢ばね２０８は、ダイヤフラム１７１のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室１６９が負圧になるように作用する。
【００６１】
圧力調整弁１５０は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド１７に連なる２次室１６９との圧力バランスによりダイヤフラム１７１（およびこれが当接する弁体２０１）が変形（進退）することで開閉し、２次室１６９側を所定の圧力まで減圧するようにしている。その際、弁体付勢ばね２０７および受圧板付勢ばね２０８に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのＯリング２０４（の弾性力）により、弁体２０１は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体２０１の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、サブタンク１２１側（１次室１６７側）で発生する脈動等も、弁体２０１で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことができる。
【００６２】
次に、図１１を参照して流入ポート１７５廻りについて説明する。上記したように、流入ポート１７５は、流入口１７６、フィルタ収容部１７７および流入経路１７８により構成されている。流入口１７６の内周面に形成されたネジ部に、右ねじ構造のユニオン継手である流入コネクタ１６１を螺合して接続することにより、サブタンク１２１からの流路が接続される。フィルタ収容部１７７には、上流側からの機能液に混入した異物を除去（濾過）するフィルタ１８１が収容されており、フィルタ１８１と流入コネクタ１６１との間には、フィルタ１８１を押えるコイルばね１８２が収容されている。なお、フィルタ１８１は、表裏両面において取付け可能に構成されている。すなわち、フィルタ１８１は、通液方向性の無い構成となっている。
【００６３】
フィルタ収容部１７７は、圧力調整弁本体１６６に形成したザグリ穴状のものであり、円筒状のフィルタ１８１が係合するように円筒状に形成されている。すなわち、円筒状のフィルタ１８１の外周面が、フィルタ収容部１７７の内周面に係合すると共に、円筒状のフィルタ１８１の一端の周縁部が当接するよう、流入経路１７８に対し段部となる周縁当接部（座面）１７７ａが形成されている。流入コネクタ１６１をねじ接合すると、コイルばね１８２を介して、フィルタ１８１が周縁当接部１７７ａに押圧され、フィルタ収容部１７７にセットされる。
【００６４】
このように、フィルタ１８１が、流入コネクタ１６１によりコイルばね１８２を介して押えられる形で、ザグリ穴状のフィルタ収容部１７７に取り付けられる。すなわち、流入コネクタ１６１の接合を利用してフィルタ１８１を押さえ、取り付ける。そのため、流入コネクタ１６１の接合を解除することで、フィルタ１８１を容易に取り外すことができると共に、コイルばね１８２を容易に取り外すことができる。これにより、フィルタ１８１の着脱を容易に行うことができる。また、フィルタ１８１の取付構造を簡単な構成にすることができる。
【００６５】
図１２および図１３に示すように、フィルタ１８１は、円形シート状のフィルタエレメント２１１と、フィルタエレメント２１１を挟持するリング状のエレメントホルダ２１２と、を備えている。エレメントホルダ２１２は、フィルタエレメント２１１をセットする凹側の受けホルダ２１３と、セットされたフィルタエレメント２１１を押える凸側の押えホルダ２１４とから成り、フィルタエレメント２１１をセットした状態で、受けホルダ２１３に対し、押えホルダ２１４を圧入することでフィルタ１８１が一体化される。
【００６６】
フィルタエレメント２１１は、複数の開口部（孔）が形成されたステンレス製の金属シートで構成されている。フィルタエレメント２１１は、厚さ１５μｍ程度であり、各開口部は、３０μｍ以上の異物が補足可能なよう、その外接円の直径が３０μｍ以下となるように形成されている。なお、フィルタエレメント２１１は、ステンレスの金属繊維を編み込んだものでも良いし、耐薬液性の樹脂性のものであってもよい。
【００６７】
受けホルダ２１３は、環状に形成されており、内周面の押えホルダ２１４側端部には、フィルタエレメント２１１のセット面を有するエレメント装着段部２１６が周設されている。すなわち、受けホルダ２１３は、凹形段付の環状に形成されている。フィルタエレメント２１１は、エレメント装着段部２１６により環状に形成されたセット面にて、セットされる。
【００６８】
押えホルダ２１４は、環状に形成されており、受けホルダ２１３側に、エレメント装着段部２１６に係合する圧入部２１７を有すると共に、外周面に、受けホルダ２１３と面一となる鍔部２１８を有している。すなわち、押えホルダ２１４は、凸形段付の環状に形成されている。圧入部２１７が圧入されると、セット面と圧入部２１７の端面に当る押圧面とにより、フィルタエレメント２１１が押圧固定される。すなわち、フィルタエレメント２１１は、周縁部が受けホルダ２１３および押えホルダ２１４に固定され、保持される。
【００６９】
受けホルダ２１３および押えホルダ２１４は、環状に形成されているため、受けホルダ２１３は、内周面により受け側流路２１９を形成し、押えホルダ２１４は、内周面により押え側流路２２０を形成して機能液を通液する。すなわち、受け側流路２１９と押え側流路２２０の一方の流路から流入した機能液は、フィルタエレメント２１１を通過して、他方の流路から流出する。これにより、機能液中の異物が除去される。また、受け側流路２１９および押え側流路２２０は、フィルタエレメント２１１に臨む通液口２２１がフィルタエレメント２１１側に拡開するテーパ状に形成されている。このように、通過する機能液に対し、フィルタエレメント２１１の接触面積が大きくなるように形成することにより、異物の除去性能を向上するように構成されている。なお、受けホルダ２１３および押えホルダ２１４は、ステンレス等の耐食性材料で形成されている。
【００７０】
また、受けホルダ２１３の軸方向外側の端面および押えホルダ２１４の軸方向外側の端面は、同一の平面度で仕上げられており、各ホルダ２１３,２１４の外側の各端面（エレメントホルダ２１２の両端面）と、フィルタ１８１を受けるフィルタ収容部１７７の周縁当接部１７７ａとは、相互に液漏れを阻止可能な平面度を有している。
【００７１】
さらに、受けホルダ２１３および押えホルダ２１４の通液口２２１を除く各角部は、他の部材を破損して異物を発生させないよう、面取りされていることが好ましい（図１２および図１３参照）。またさらに、上記と同様の要請から受けホルダ２１３および押えホルダ２１４は、それぞれマシンカットで荒仕上げした後、電解研磨で仕上げたものであることが好ましい。
【００７２】
次に、図１１および図１４を参照して、コイルばね１８２について説明する。同図に示すように、コイルばね１８２は、円筒状で且つ線材の巻き方向が左巻きとなる螺旋形状を有した圧縮コイルばねであり、一端が流入コネクタ１６１の拡開開口部１６１ａに接触し、他端がフィルタ１８１の一端面に接触する。なお、コイルばね１８２は、ステンレス等の耐食性材料で形成されている。
【００７３】
コイルばね１８２は、フィルタ１８１に当接する一端部に、線材の先端部を径方向中心側に屈曲させた一端径方向屈曲部（径方向屈曲部）２３１を有しており、また、一端径方向屈曲部２３１の先端部を、圧縮側に屈曲させた先端屈曲部２３２を有している。すなわち、コイルばね１８２の一端部に位置する線材の先端部は、径方向中心側に屈曲され（一端径方向屈曲部２３１）、更にその先端側で圧縮側に屈曲されている（先端屈曲部２３２）。一方、コイルばね１８２は、拡開開口部１６１ａが接触する他端部に、線材の先端部を径方向中心側に屈曲させた他端径方向屈曲部（径方向屈曲部）２３３を有している。両端部では、一端径方向屈曲部２３１および他端径方向屈曲部２３３により、屈曲された線材の先端（切断端）がコイルばね１８２の軸心部に位置するよう構成されている。
【００７４】
右ねじ構造の流入コネクタ１６１が螺合すると、コイルばね１８２の両端部が拡開開口部１６１ａおよびフィルタ１８１に摺接しつつ、コイルばね１８２が流入コネクタ１６１に押圧されて圧縮し、フィルタ１８１を押圧する。この際、コイルばね１８２の両端部は両径方向屈曲部２３１,２３３により、線材の先端がコイルばね１８２の軸心部に臨み、すなわち、拡開開口部１６１ａおよびフィルタ１８１の内部流路に臨むことになるため、線材の中間部分が、拡開開口部１６１ａおよびフィルタ１８１に当接する。
【００７５】
このように、線材の先端部を径方向中心側に屈曲させた径方向屈曲部（一端径方向屈曲部２３１および他端径方向屈曲部２３３）を有することにより、線材の切断端が、フィルタ１８１および流入コネクタ１６１の内部流路に臨み、フィルタ１８１および流入コネクタ１６１の接触面に接触することがない。そのため、流入コネクタ１６１の螺合に際し、フィルタ１８１および流入コネクタ１６１の接触面を損傷することがない。かかる場合、上記のように径方向屈曲部２３１,２３３の先端が、軸心部に位置していることが好ましい。
【００７６】
また、一端径方向屈曲部２３１の先端部を圧縮方向に屈曲させることで、コイルばね１８２の圧縮変形等によって一端径方向屈曲部２３１の先端部がフィルタ１８１の内部流路に入り込んだ場合にも、線材の切断端が、フィルタ１８１への接触することを確実に防止できる。特に、フィルタ１８１内に搭載されたフィルタエレメント２１１を傷つけることを防止することができる。
【００７７】
さらに、右ねじ構造の流入コネクタ１６１に対し、コイルばね１８２を左巻きに形成することで、流入コネクタ１６１のねじ込み（螺合）に際し、接触面に対する線材の切断端の引っかかりを防止し、接触面の損傷することがない。
【００７８】
ここで、図１５を参照して、第２実施形態のコイルばね１８２について異なる部分を主に説明する。同図に示すように、本実施形態のコイルばね１８２は、フィルタ１８１に接触する一端部に、線材の先端部を圧縮側に屈曲させた軸方向屈曲部２３５を有している。軸方向屈曲部２３５は、圧縮側に隣接する線材部分から外れるように、さらに径方向内側（軸心側）に屈曲させて形成されている。流入コネクタ１６１が螺合されると、フィルタ１８１の接触面に、軸方向屈曲部２３５の屈曲部位が接触する。
【００７９】
このように、コイルばね１８２の一端部に、線材の先端部を圧縮側に屈曲する軸方向屈曲部２３５を有することで、線材の切断端がフィルタ１８１の接触面に接触することがなく、代わりに、軸方向屈曲部２３５の屈曲部位が接触面に接触する。これにより、流入コネクタ１６１の螺合に際し、フィルタ１８１の接触面を損傷することがない。
【００８０】
また、軸方向屈曲部２３５が圧縮側に隣接する線材部分から外れるように、屈曲させて形成されていることで、圧縮側に屈曲した軸方向屈曲部２３５が、隣接する線材部分と干渉することがなく、軸方向屈曲部２３５により、ばねの機能が損なわれることがない。なお、本実施形態では、軸方向屈曲部２３５を径方向内側に屈曲させて形成したが、軸方向屈曲部２３５を径方向外側に屈曲させたものであってもよい。また、軸方向屈曲部２３５を径方向に屈曲させる代わりに、線材を、軸方向屈曲部２３５の上流側（先端に対する基端側）で内側もしくは外側に屈曲して形成し、軸方向屈曲部２３５が圧縮側に隣接する線材部分から外れるように構成してもよい。さらに、隣接する線材部分の干渉を考慮する必要のない構成（例えば、隣接する線材部分との間隔が広いもの）であれば、軸方向屈曲部２３５を圧縮側にのみに屈曲して形成してもよい。
【００８１】
次に、図１６を参照して、第３実施形態のコイルばね１８２について異なる部分を主に説明する。同図に示すように、本実施形態のコイルばね１８２は、フィルタ１８１に接触する一端部に、線材の先端部を径方向中心側に屈曲させると共に、圧縮側に屈曲させた斜方向屈曲部２３４を有している。流入コネクタ１６１が螺合されると、フィルタ１８１の接触面に、斜方向屈曲部２３４の屈曲部位が接触する。
【００８２】
すなわち、斜方向屈曲部２３４が、第1実施形態における一端径方向屈曲部２３１と、第２実施形態における軸方向屈曲部２３５とを構成している。これにより、線材の切断端がフィルタ１８１の接触面に接触することがなく、流入コネクタ１６１の螺合に際し、フィルタ１８１の接触面を損傷することがない。
【００８３】
なお、これらの径方向屈曲部２３１,２３３、先端屈曲部２３２、軸方向屈曲部２３５および斜方向屈曲部２３４、並びに左巻きの巻き方向は、一連のコイルばね製作工程（コイリング）において、形成することができるため、特段の工程を必要とせず、当該コイルばね１８２を、簡単に形成することができる。また、上記の実施形態においては、径方向屈曲部２３１,２３３、先端屈曲部２３２、軸方向屈曲部２３５および斜方向屈曲部２３４において、線材における屈曲後の先端側が直線となるように屈曲されているが、線材を曲線状に屈曲（湾曲）するものであってもよい。
【００８４】
さらに、上記の実施形態においては、コイルばね１８２の他端部に他端径方向屈曲部２３３のみを形成したが、一端部と同様、他端部に、他端径方向屈曲部２３３と共に先端屈曲部２３２を形成してもよいし、また、他端部に、軸方向屈曲部２３５や斜方向屈曲部２３４を形成してもよい。
【００８５】
またさらに、上記の実施形態においては、コイルばね１８２として、線材の巻き方向を左巻きに形成したコイルばね１８２を用いたが、線材の巻き方向を右巻きに形成したコイルばね１８２を用いてもよい。またさらに、線材の巻き方向を左巻きに形成したコイルばね１８２であり、両端部に、径方向屈曲部２３１,２３３や、先端屈曲部２３２、軸方向屈曲部２３５および斜方向屈曲部２３４を有しないものを用いてもよい。
【００８６】
以上のような構成により、流入コネクタ１６１の螺合に際し、フィルタ１８１および流入コネクタ１６１の接触面を損傷することがない。また、一連のコイルばね製作工程（コイリング）において、この軸方向屈曲部２３５を形成することができるため、特段の工程を必要とせず、当該コイルばね１８２を、簡単に形成することができる。
【００８７】
そして、このように流体機器におけるフィルタ１８１の取付け構造において、簡単な構成で、接触面の損傷を防止することができるコイルばね１８２を用いることで、フィルタ１８１や流入コネクタ１６１を破損することがない。特に、フィルタ１８１を洗浄して再利用する場合の、破損による不具合を抑えることができる。
【００８８】
さらに、このように圧力調整弁１５０（の流入側接合部分）にフィルタ１８１を設けることにより、圧力調整弁１５０の主機能を奏するＯリング２０４と連通流路１７３の開口縁との当接部分（接触部分）に異物が咬み込むことを防止することができる。これにより、圧力調整弁１５０を安定動作させることができ、ひいては、機能液滴吐出ヘッド１７における液滴吐出量の精度向上を図ることができる。
【００８９】
なお、本実施形態においては、１０個のキャリッジユニット５１を備えた液滴吐出装置１を備えたものを使用しているが、キャリッジユニット５１の個数は任意である。
【００９０】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００９１】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１７は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１８は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１８（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００９２】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１８（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１８（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００９３】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００９４】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１８（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９５】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１８（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００９６】
図１９は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１８に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００９７】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００９８】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１９において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００９９】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１００】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１０１】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【０１０２】
図２０は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１０３】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１０４】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０５】
図２１は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１０６】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１０７】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１０８】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１０９】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１１０】
次に、図２２は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１１１】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１１２】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１１３】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１１４】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１１５】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１１６】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１１７】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１１８】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１１９】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１２０】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１２１】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１２２】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２３〜図３１を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２３に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１２３】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２４に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２５に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１２４】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１２５】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１２６】
図２６に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２７に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１２７】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１２８】
そして次に、図２８に示すように、各色のうちのいずれか（図２８の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１２９】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２９に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１３０】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図３０に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１３１】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１３２】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図３１に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１３３】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１３４】
次に、図３２は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１３５】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１３６】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１３７】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３８】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１３９】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１４０】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１４１】
次に、図３３は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１４２】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１４３】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１４４】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１４５】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１４６】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３４（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３４（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１４７】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４８】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】機能液供給装置の配管系統図である。
【図７】圧力調整弁の外観斜視図である。
【図８】圧力調整弁の背面図（ａ）、および正面図（ｂ）である。
【図９】圧力調整弁を流入ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。
【図１０】圧力調整弁を流出ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。
【図１１】流入ポート廻りについて示した断面図である。
【図１２】フィルタの断面図である。
【図１３】フィルタの分解斜視図である。
【図１４】コイルばねについて示した模式図である。
【図１５】第２実施形態のコイルばねについて示した模式図である。
【図１６】第３実施形態のコイルばねについて示した模式図である。
【図１７】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１８】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２２】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２３】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２４】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２５】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２６】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２７】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２９】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３０】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３１】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３２】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３３】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３４】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１４９】
１：液滴吐出装置、  １１：Ｘ軸テーブル、  １２：Ｙ軸テーブル、  １７：機能液滴吐出ヘッド、  １０１：機能液供給装置、  １２１：サブタンク、  １４６：ヘッド側主流路、  １５０：圧力調整弁、  １６１：流入コネクタ、  １６６：圧力調整弁本体、  １６７：１次室、  １６９：２次室、  １７１：ダイヤフラム、  １７３：連通流路、  １７５：流入ポート、  １７６：流入口、  １７７：フィルタ収容部、  １７８：流入経路、  １８１：フィルタ、  １８２：コイルばね、  １９０：流出ポート、  ２３１：一端径方向屈曲部、  ２３３：他端径方向屈曲部、  ２３４：斜方向屈曲部、  ２３５：軸方向屈曲部、  Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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