(57)【要約】【課題】簡単な構成で、基板に対する感光材料層の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することを可能にする。【解決手段】貼り付け位置検査装置９４は、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの下流側に配置される検出部９６ａ〜９６ｆを備える。検出部９６ａは、貼り付け基板２４ａの下方側から照明光Ｌを照射するＬＥＤ照明９８と、前記貼り付け基板２４ａの上方側に配置されるＣＣＤカメラ１００と、前記貼り付け基板２４ａに近接し且つ少なくとも感光性ウエブ２２ａから外部に露出するガラス基板２４の一端部を覆って配置されるＮＤフィルタ１０２とを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層された長尺状感光性ウエブを送り出し、少なくとも前記保護フイルムに剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を形成して前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板と共に加熱された一対の圧着ローラ間で圧着処理することにより、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置し且つ露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けて感光性積層体を製造する製造システムにおいて、前記感光材料層の貼り付け位置を測定するための貼り付け位置検査装置であって、
前記基板の流れ方向に交差する幅方向の少なくとも一端部は、前記基板に貼り付けられた前記長尺状感光性ウエブの端部から外部に露出しており、
前記貼り付け位置検査装置は、前記圧着ローラの下流側に配置され、前記基板の前記一端部から前記基板に貼り付けられた前記長尺状感光性ウエブの前記加工部位を検出する検出部を備え、
前記検出部は、前記基板の一方の側から照明光を照射する照明手段と、
前記基板の他方の側に配置される撮像手段と、
前記基板に近接し且つ少なくとも前記長尺状感光性ウエブから外部に露出する前記基板の前記一端部を覆って配置される減光フィルタと、
を備えることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の貼り付け位置検査装置において、前記減光フィルタは、前記基板の前記他方の側に配置されることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の貼り付け位置検査装置において、前記照明手段は、ＬＥＤ照明であることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の貼り付け位置検査装置において、前記撮像手段は、ＣＣＤカメラを備えるとともに、
前記ＣＣＤカメラによる撮影領域内に複数の画像検査領域を設定することを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の貼り付け位置検査装置において、前記検出部は、下流側の前記基板の後端縁部に位置する前記加工部位と、上流側の前記基板の先端縁部に位置する前記加工部位とに沿って、２列に且つ複数ずつ配設されることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の貼り付け位置検査装置において、前記基板には、複数枚の前記長尺状感光性ウエブの各感光材料層が並列に貼り付けられることを特徴とする感光性積層体の貼り付け位置検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間で圧着処理することにより、感光性積層体を製造する製造システムにおいて、前記長尺状感光性ウエブの感光材料層の貼り付け位置を測定するための感光性積層体の貼り付け位置検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、通常、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【０００３】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造システムは、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を、所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されている製造システムでは、図１３に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドローラ２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドローラ２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションローラ４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドローラ２ｂと前記サクションローラ４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ５は、積層体フイルム１ａの搬送方向に所定間隔離間する一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）における剥離部分と残存部分との２個所の境界部分をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断してハーフカット部位を形成している。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ローラ８ａ、８ｂ間でカバーフイルムの剥離部分に強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取っている。これにより、カバーフイルムの剥離部分は、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られている。
【０００８】
サクションローラ４の下流には、基板搬送装置１０によって所定の間隔で搬送される複数の基板１１の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａの剥離部分を重ねて圧着する一対のラミネーションローラ１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、基板１１に感光性樹脂層を残存させた状態で、カバーフイルムの残存部分と共に支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られている。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、カバーフイルムが剥離された積層体フイルム１ａの剥離部分を、基板１１の所望の範囲に正確に貼り付けるためには、前記カバーフイルムの剥離部分と残存部分との境界部分であるハーフカット部位を基準として、前記積層体フイルム１ａをラミネーションローラ１２ａ、１２ｂ間に高精度に送り出す必要がある。
【００１１】
しかしながら、積層体フイルム１ａは、可撓性の透光性支持フイルム上に感光性樹脂層を形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、搬送中に発生した延びの影響により、ハーフカット部位の位置がずれてしまうおそれがある。また、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂは、積層体フイルム１ａと基板１１とを加熱した状態で貼り付けるため、特に、前記ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの近傍での積層体フイルム１ａの延びが大きくなってしまう。
【００１２】
この場合、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂ間において、積層体フイルム１ａのハーフカット部位の位置を検出することができれば、その位置を調整して高精度な貼り付け処理を行うことが可能である。しかしながら、積層体フイルム１ａ及び基板１１をラミネーションローラ１２ａ、１２ｂで挟持したまま、ハーフカット部位の位置を検出することは、前記ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂが検出を阻害するため、現実的には不可能である。
【００１３】
そこで、例えば、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの下流側に、基板１１に貼り付けられた積層体フイルム１ａのハーフカット部位を検出する貼り付け位置検査装置を設けることが考えられる。
【００１４】
この貼り付け位置検査装置は、図１４に示すように、積層体フイルム１ａが貼り付けられた基板１１の下方に配置される照明部１４と、前記基板１１の上方に配置される撮像カメラ１５とを備えている。照明部１４には、積層体フイルム１ａの端部から外部に露出する基板端部１１ａに対応して、減光フィルタ１６（以下、ＮＤフィルタ１６という）が配置されている。基板端部１１ａは、照明光が照射される際にハレーションが惹起され易く、この基板端部１１ａに照射される照明光を減光させるためである。
【００１５】
そこで、照明部１４からの照明光が、基板１１及び積層体フイルム１ａに照射されると、これらを透過した照明光が撮像カメラ１５によって受光される。これにより、基板端部１１ａからハーフカット部位ＨＣの画像情報が検出される。
【００１６】
この場合、ハーフカット部位ＨＣは、比較的薄肉状の積層体フイルム１ａの所定の厚さまでしか形成されていない。従って、撮像カメラ１５によりハーフカット部位ＨＣを撮影するためには、照明部１４から相当に強い照明光を照射する必要がある。しかしながら、照明部１４から強い照明光を照射すると、ＮＤフィルタ１６で遮光した部分以外からの照明によっても、基板端部１１ａにハレーションが惹起されてしまう（図１５参照）。これにより、基板端部１１ａのエッジ画像が白い太線となり、この基板端部１１ａの位置を正確に検出することができないという問題がある。
【００１７】
本発明は、この種の問題を解決するものであり、簡単な構成で、基板に対する感光材料層の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能な感光性積層体の貼り付け位置検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層された長尺状感光性ウエブを送り出し、少なくとも前記保護フイルムに剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を形成して前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板と共に加熱された一対の圧着ローラ間で圧着処理することにより、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置し且つ露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けて感光性積層体を製造する製造システムにおいて、前記感光材料層の貼り付け位置を測定するための貼り付け位置検査装置に関するものである。
【００１９】
基板の流れ方向に交差する幅方向の少なくとも一端部は、前記基板に貼り付けられた長尺状感光性ウエブの端部から外部に露出している。
【００２０】
貼り付け位置検査装置は、圧着ローラの下流側に配置され、基板の一端部から前記基板に貼り付けられた長尺状感光性ウエブの加工部位を検出する検出部を備えている。そして、検出部は、基板の一方の側から照明光を照射する照明手段と、前記基板の他方の側に配置される撮像手段と、前記基板に近接し且つ少なくとも長尺状感光性ウエブから外部に露出する前記基板の一端部を覆って配置される減光フィルタとを備えている。
【００２１】
また、減光フィルタは、基板の他方の側に配置されることが好ましく、さらに、照明手段は、ＬＥＤ照明であることが好ましい。
【００２２】
さらにまた、撮像手段は、ＣＣＤカメラを備えるとともに、前記ＣＣＤカメラによる撮影領域内に複数の画像検査領域を設定することが好ましい。
【００２３】
また、検出部は、下流側の基板の後端縁部に位置する加工部位と、上流側の基板の先端縁部に位置する加工部位とに沿って、２列に且つ複数ずつ配設されることが好ましい。
【００２４】
さらに、基板には、複数枚の長尺状感光性ウエブの各感光材料層が並列に貼り付けられることが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明では、減光フィルタが基板に近接して配置されるため、基板エッジに発生し易いハレーションによる影響を確実に阻止することができる。これにより、簡単な構成で、基板に対する感光材料層の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能になる。従って、設備稼動率の低下を阻止して作業効率の向上を図るとともに、稼動安定化によるコストダウンが遂行される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の貼り付け位置検査装置を組み込む製造システム２０の概略構成図であり、この製造システム２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層（感光材料層）２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。
【００２７】
図２は、製造システム２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２８】
図１に示すように、製造システム２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位（加工部位）３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。
【００２９】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００３０】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。
【００３１】
第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とをそれぞれ貼り付けるための貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。
【００３２】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００３３】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。
【００３４】
なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に残存部分３０ｂの幅に対応した距離Ｓだけ離間して２台配設し、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。
【００３５】
ハーフカット部位３４は、例えば、両側のガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３６】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３７】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３８】
図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３９】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。
【００４０】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００４１】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。なお、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００４２】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに形成されたハーフカット部位３４を検出する、例えば、レーザ変位計やＣＣＤカメラ７２ａ、７２ｂを有する。
【００４３】
基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００４４】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００４５】
基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。
【００４６】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００４７】
ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００４８】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｃ方向に延在する搬送路８８を介して搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ９２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００４９】
基板搬送ローラ９２の下流側近傍には、後述するように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされたガラス基板２４（以下、貼り付け基板２４ａともいう）の感光性樹脂層２８の貼り付け位置を測定するための貼り付け位置検査装置９４が配設される。
【００５０】
貼り付け位置検査装置９４は、図４及び図５に示すように、下流側の貼り付け基板２４ａの後端縁部に位置するハーフカット部位３４に沿って、矢印Ｄ方向に配列される検出部９６ａ、９６ｂ及び９６ｃと、上流側の貼り付け基板２４ａの先端縁部に位置するハーフカット部位３４に沿って、矢印Ｄ方向に配列される検出部９６ｄ、９６ｅ及び９６ｆとを備える。
【００５１】
貼り付け基板２４ａは、図５に示すように、ガラス基板２４の幅方向（矢印Ｄ方向）の面内に互いに平行して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付けられるとともに、前記ガラス基板２４の一方の基板エッジ部ＧＥａは、前記感光性ウエブ２２ａの端面から距離Ｓａだけ外部に露出する。同様に、ガラス基板２４の他方の基板エッジ部ＧＥｂは、感光性ウエブ２２ｂの端面から距離Ｓｂだけ外部に露出するとともに、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ同士は、距離Ｓｃだけ離間する。
【００５２】
検出部９６ａは、下流側の（先行する）貼り付け基板２４ａの後端縁部の一方の角部に対応して配置され、検出部９６ｂは、前記後端縁部に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに跨って配置され、検出部９６ｃは、前記後端縁部の他方の角部に対応して配置される。
【００５３】
検出部９６ｄは、上流側の（後続する）貼り付け基板２４ａの先端縁部の一方の角部に対応して配置され、検出部９６ｅは、前記先端縁部に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに跨って配置され、検出部９６ｆは、前記先端縁部の他方の角部に対応して配置される。
【００５４】
図６に示すように、検出部９６ａは、貼り付け基板２４ａの下方（一方の側）から照明光Ｌを照射するＬＥＤ照明（照明手段）９８と、前記貼り付け基板２４ａの上方（他方の側）に配置されるＣＣＤカメラ（撮像手段）１００と、前記貼り付け基板２４ａの上方に配置され、該貼り付け基板２４ａに近接するとともに、感光性ウエブ２２ａから外方に露出するガラス基板２４の一端部（基板エッジ部ＧＥａ）を覆うＮＤフィルタ（減光フィルタ）１０２と、測定の基準となる基準片１０３とを備える。
【００５５】
図７に示すように、ＬＥＤ照明９８の表面からガラス基板２４の底面までの距離ｈ１、前記ＬＥＤ照明９８の表面からＮＤフィルタ１０２までの距離ｈ２、前記ＬＥＤ照明９８の表面からＣＣＤカメラ１００の先端までの距離ｈ３が設定されるとともに、前記ＮＤフィルタ１０２の貼り付け基板２４ａに対するオーバーラップ量ｔが設定される。具体的には、距離ｈ１＝２１０ｍｍ、距離ｈ２＝２２５ｍｍ、距離ｈ３＝３００ｍｍ、ｔ＝２０ｍｍに設定される。
【００５６】
ＣＣＤカメラ１００は、図８に示すように、所定の撮影領域を有するとともに、前記撮影領域内には、複数の画像検査領域１０４が設定される。
【００５７】
検出部９６ｂ〜９６ｆは、上記の検出部９６ａと同様に構成されており、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００５８】
図１に示すように、貼り付け位置検査装置９４の下流には、冷却機構１１０とベース自動剥離機構１１２とが設けられる。ベース自動剥離機構１１２は、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板２４に貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１１４と、比較的小径な剥離ローラ１１６と、巻き取り軸１１８と、自動貼り付け機１２０とを備えている。プレ剥離部１１４は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１２２を備える。
【００５９】
ベース自動剥離機構１１２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１２４が配設される。この測定器１２４は、例えば、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するＣＣＤ等のカメラ１２６を備える。
【００６０】
ベース自動剥離機構１１２の下流には、測定器１２４によって感光性樹脂層２８にエリア位置の測定された複数の感光性積層体１２８が収容される感光性積層体ストッカー１３２が設けられる。ベース自動剥離機構１１２でベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体１２８は、ロボット１３４のハンド部１３４ａに設けられた吸着パッド１３６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３２に収容される。
【００６１】
なお、以上のように構成される製造システム２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造システム２０全体を直線状に構成してもよい。
【００６２】
製造システム２０は、ラミネート工程制御部１４０により全体が制御されており、この製造システム２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部１４２、基板加熱制御部１４４及びハーフカット制御部１４６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより相互に接続されている。
【００６３】
基板加熱制御部１４４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。
【００６４】
ラミネート制御部１４２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【００６５】
ハーフカット制御部１４６は、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂを制御し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００６６】
製造システム２０内は、仕切り壁１５０を介して第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１５２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム１５２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとは、貫通部１５４を介して連通する。
【００６７】
このように構成される製造システム２０の動作について、第１の実施形態に係る貼り付け位置検査装置９４との関連で、以下に説明する。
【００６８】
先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。
【００６９】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｓ（図２）に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる。
【００７０】
次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００７１】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００７２】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離される。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われた後、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂのレーザ変位計やＣＣＤカメラ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００７３】
そこで、レーザ変位計やＣＣＤカメラ７２ａ、７２ｂが後方の剥離部分３０ａｂ側のハーフカット部位３４を検知した後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅に対応した距離Ｓだけ搬送して停止させる一方、ガラス基板２４を、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送する。ガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。
【００７４】
次いで、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。ゴムローラ８０ａの回転作用下に、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ及びガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送され、並列されている各感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写（ラミネート）される。
【００７５】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１５０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００７６】
ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ９２によりクランプされる。その際、先行するガラス基板２４の後端縁部からハーフカット部位３４の位置が、検出部９６ａ〜９６ｃにより検出される一方、後続するガラス基板２４の先端縁部からハーフカット部位３４の位置が、検出部９６ｄ〜９６ｆにより検出される。
【００７７】
以下に、検出部９６ａの動作について説明すると、この検出部９６ａでは、図６及び図７に示すように、ＬＥＤ照明９８からの照明光Ｌがガラス基板２４及び感光性樹脂層２８の後端部に照射される。貼り付け基板２４ａの後端縁部側の一方の角部近傍を透過した照明光Ｌは、ＣＣＤカメラ１００によって受光され、画像情報が検出される。この検出された画像情報は、図８に示すように、複数の画像検査領域１０４により検査される。
【００７８】
この場合、第１の実施形態では、貼り付け基板２４ａの上方側、すなわち、ＣＣＤカメラ１００側に、この貼り付け基板２４ａに近接するとともに、感光性ウエブ２２ａから外部に露出するガラス基板２４の一端部（基板エッジ部ＧＥａ）を覆って、ＮＤフィルタ１０２が配置されている。
【００７９】
このため、ＬＥＤ照明９８からの照明光Ｌがガラス基板２４の基板エッジ部ＧＥａに照射される際、この基板エッジ部ＧＥａでハレーションが惹起すると、このハレーションによる散乱光は、ＮＤフィルタ１０２により減光される。一方、ガラス基板２４及びハーフカット部位３４を透過する照明光Ｌは、ＣＣＤカメラ１００に受光される。従って、ＣＣＤカメラ１００による撮影画像では、図８に示すように、ガラス基板２４のエッジ部ＧＥａが他の部分に比べて黒色に撮影され、前記エッジ部ＧＥａの位置を正確且つ高精度に検出することができる。
【００８０】
しかも、ガラス基板２４のエッジ部ＧＥａの撮影画像が黒色になるため、ＬＥＤ照明９８の光量を、従来の照明部よりも増加させることが可能になる。このため、ハーフカット部位３４の画像は、一層鮮明且つ明確に撮影される。
【００８１】
これにより、簡単な構成で、ガラス基板２４のエッジ部ＧＥａの位置及びハーフカット部位３４の位置を確実に検出することができ、前記ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能になる。従って、設備稼働率の低下を阻止して、作業効率の向上を図るとともに、稼動安定化によるコストダウンが遂行されるという効果がある。
【００８２】
さらに、ＬＥＤ照明９８からの照明光Ｌは、拡散光であるため、ハーフカット部位３４の実際の幅よりも広幅の画像を得ることができ、前記ハーフカット部位３４の検出が容易になる。その際、図７中、距離ｈ１を大きく設定することにより、ハーフカット部位３４を透過した拡散光は、ＣＣＤカメラ１００に十分且つ確実に入射し、前記ハーフカット部位３４の検出精度が向上するという利点がある。
【００８３】
また、ＮＤフィルタ１０２の位置、すなわち、図７中、距離ｈ２を設定することにより、良好な撮影画像を得ることができる。具体的には、図９に示すように、ＮＤフィルタ１０２の距離ｈ２を種々変更した結果、このＮＤフィルタ１０２がＣＣＤカメラ１００に近接するに従って、撮影画像がぼけるという結果が得られた。従って、適切な距離ｈ２を設定することにより、鮮明且つ良好な撮影画像を得ることが可能になる。
【００８４】
さらにまた、第１の実施形態では、図８に示すように、ＣＣＤカメラ１００による撮影領域内に、複数の画像検査領域１０４が設定されている。このため、ハーフカット部位３４が点状に撮影されたり、薄い線で撮影されたりした場合にも、検出幅の狭いサーチエリアで検査を行うため、十分なコントラスト差を得ることが可能になる。従って、ハーフカット部位３４の検出感度を良好に高めることができ、前記ハーフカット部位３４を確実に検出することが可能になる。
【００８５】
その際、複数の画像検査領域１０４でハーフカット部位３４が検出された際には、測定の基準となる基準片１０３側（貼り付け領域側）からの距離が最も近い検出位置のハーフカット部位３４の検出結果を採用する。ハーフカット部位３４よりも基準片１０３側（貼り付け領域側）は、ラミネートされた部分であり、黒色レジストに亀裂が入り難く、ノイズの撮影が懸念され難い一方、前記ハーフカット部位３４を境に基準片１０３から遠い側（基板間側）は、ラミネートされておらず、レジストに亀裂が生じ易く、ノイズを誤検出するおそれがあるからである。
【００８６】
しかも、先行する貼り付け基板２４ａの後端側のハーフカット部位３４と、後続する貼り付け基板２４ａの先端側のハーフカット部位３４とは、同時に検査されている。このため、貼り付け精度検査処理は、迅速且つ効率的に遂行されるという利点がある。
【００８７】
なお、他の検出部９６ｂ〜９６ｆにおいても、上記の検出部９６ａと同様に、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け状態を容易且つ高精度に検出することが可能になる。
【００８８】
上記のように、貼り付け位置検査装置９４による検査が行われた後、図１に示すように、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始される。このため、貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅に対応する距離Ｓだけ搬送され、保護フイルム３０の後方のハーフカット部位３４がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。
【００８９】
一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、貼り付け基板２４ａが連続的に製造される。
【００９０】
貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１１０を通って冷却された後、プレ剥離部１１４に移送される。このプレ剥離部１１４では、剥離バー１２２がガラス基板２４間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板２４間の保護フイルム３０が持ち上げられ、隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離する。
【００９１】
次いで、ベース自動剥離機構１１２では、巻き取り軸１１８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１１８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１２０を介して自動的に貼り付けられる。
【００９２】
ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ａは、測定器１２４に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、４台のカメラ１２６によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。
【００９３】
感光性樹脂層２８の貼り付け位置が確認された貼り付け基板２４ａは、ロボット１３４によって取り出され、感光性積層体１２８として感光性積層体ストッカー１３２に収容される。
【００９４】
図１０は、本発明の第２の実施形態に係る貼り付け位置検査装置１８０の平面説明図である。なお、第１の実施形態に係る貼り付け位置検査装置９４と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、貼り付け位置検査装置１８０は、製造システム２０に組み込まれる。
【００９５】
貼り付け位置検査装置１８０は、検出部９６ａ、９６ｂ及び９６ｃを備える。貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に間欠搬送される。そこで、下流側の貼り付け基板２４ａの後端縁部に位置するハーフカット部位３４及び上流側の貼り付け基板２４ａの先端縁部に位置するハーフカット部位３４が、それぞれ同一の位置に一旦停止する際に、各ハーフカット部位３４を順次検出可能な位置に対応して、検出部９６ａ、９６ｂ及び９６ｃが矢印Ｄ方向に配列される。
【００９６】
従って、第２の実施形態では、先ず、一枚分のラミネートが終了すると、下流側の貼り付け基板２４ａの後端縁部に位置するハーフカット部位３４が、貼り付け位置検査装置１８０に対応して停止される。このため、ハーフカット部位３４は、検出部９６ａ、９６ｂ及び９６ｃにより検出される。
【００９７】
次いで、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅に対応した距離Ｓだけ搬送されて停止すると、上流側の貼り付け基板２４ａの先端縁部に位置するハーフカット部位３４が、貼り付け位置検査装置１８０に対応して停止される。従って、ハーフカット部位３４は、検出部９６ａ、９６ｂ及び９６ｃにより検出される。
【００９８】
このように、第２の実施形態では、貼り付け位置検査装置１８０は、３つの検出部９６ａ、９６ｂ及び９６ｃを備えていればよく、一層経済的に構成されるという効果が得られる。
【００９９】
図１１は、本発明の第３の実施形態に係る製造システム２００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造システム２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、第２の実施形態に係る貼り付け位置検査装置１８０を組み込んでもよい。以下の第４の実施形態でも、同様である。
【０１００】
製造システム２００は、貼り付け機構４６の下流に配置され、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構２０２を備える。
【０１０１】
このように構成される製造システム２００では、上記の第１の実施形態と同様に、貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。そして、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構２０２に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構２０２は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。
【０１０２】
この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが順次剥離（枚葉剥離）されて感光性積層体１２８が製造される。
【０１０３】
図１２は、本発明の第４の実施形態に係る貼り付け位置検査装置３００の概略構成説明図である。なお、貼り付け位置検査装置９４と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【０１０４】
貼り付け位置検査装置３００を構成する検出部９６ａは、ＬＥＤ照明９８が配置される側、すなわち、貼り付け基板２４ａの下方側に、前記貼り付け基板２４ａに近接してＮＤフィルタ１０２が配置される。このＮＤフィルタ１０２は、貼り付け基板２４ａの基板エッジ部ＧＥａから内方に所定のオーバーラップ量ｔを有して配置されている。
【０１０５】
従って、ＬＥＤ照明９８から照射される照明光Ｌは、ガラス基板２４の基板エッジ部ＧＥａに照射されることがなく、この基板エッジ部ＧＥａでハレーションが惹起することを可及的に阻止することができる。これにより、ＣＣＤカメラ１００により撮影される画像中には、基板エッジ部ＧＥａがハレーションによって太く撮影されることがなく、前記基板エッジ部ＧＥａを高精度且つ確実に検出することが可能になる等、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の貼り付け位置検査装置を組み込む製造システムの概略構成図である。
【図２】前記製造システムに使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】貼り付け機構及び前記貼り付け位置検査装置を構成する検出部の説明図である。
【図５】前記検出部の配置状態を示す平面説明図である。
【図６】前記検出部の概略斜視説明図である。
【図７】前記検出部の説明図である。
【図８】前記検出部を構成するＣＣＤカメラによる検査画像の説明図である。
【図９】前記検出部を構成するＮＤフィルタの配置高さによる撮影状態の説明図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る貼り付け位置検査装置の平面説明図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る製造システムの概略構成図である。
【図１２】本発明の第４の実施形態に係る貼り付け位置検査装置の概略構成図である。
【図１３】特許文献１の製造システムの概略構成図である。
【図１４】比較例としての貼り付け位置検査装置の概略斜視説明図である。
【図１５】図１４の前記貼り付け位置検査装置による撮影画像の説明図である。
【符号の説明】
【０１０７】
２０、２００…製造システム    ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２４…ガラス基板              ２６…ベースフイルム
２８…感光性樹脂層            ３０…保護フイルム
３４…ハーフカット部位        ４５…基板搬送機構
４６…貼り付け機構            ８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
９４、１８０、３００…貼り付け位置検査装置
９６ａ〜９６ｆ…検出部        ９８…ＬＥＤ照明
１００…ＣＣＤカメラ          １０２…ＮＤフィルタ
１１２…ベース自動剥離機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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