(57)【要約】【課題】高周波信号に対応した検査ソケットを提供する。【解決手段】被検査体を載置して電気的に接続させて検査を行う検査ソケットである。前記被検査体を支持するハウジングと、当該ハウジング内に収納されると共に前記被検査体の電極に電気的に接続される接触子とを備えている。前記接触子は、前記被検査体の電極に接触する一端側接触部と、本体側電極に接触する他端側接触部と、これら一端側接触部及び他端側接触部の間に設けられこれらを弾性的に支持する環状弾性体部とを備えた。【選択図】  図１
2009244139.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を載置して電気的に接続させて検査を行う検査ソケットであって、
前記被検査体を支持するハウジングと、
当該ハウジング内に収納されると共に前記被検査体の電極に電気的に接続される接触子とを備え、
前記接触子が、前記被検査体の電極に接触する一端側接触部と、本体側電極に接触する他端側接触部と、これら一端側接触部及び他端側接触部の間に設けられこれらを弾性的に支持する環状弾性体部とを備えたことを特徴とする検査ソケット。
【請求項２】
請求項１に記載の検査ソケットにおいて、
前記環状弾性体部が、帯状で且つ環状の弾性部材で形成されたことを特徴とする検査ソケット。
【請求項３】
請求項１に記載の検査ソケットにおいて、
前記環状弾性体部と前記一端側接触部と前記他端側接触部とを備えた前記接触子が、１本の帯状で且つ環状の弾性部材で一体的に形成されたことを特徴とする検査ソケット。
【請求項４】
請求項３に記載の検査ソケットにおいて、
前記一端側接触部及び前記他端側接触部の一方又は両方が、凸状又は凹状に形成されたことを特徴とする検査ソケット。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の検査ソケットにおいて、
前記環状弾性体部が、四角形、菱形、円形又は楕円形の環状に形成されたことを特徴とする検査ソケット。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査ソケットにおいて、
前記環状弾性体部の内側に弾性充填材が充填されたことを特徴とする検査ソケット。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の検査ソケットにおいて、
前記一端側接触部及び他端側接触部が、内側に金属が埋め込まれたことを特徴とする検査ソケット。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査ソケットにおいて、
前記接触子が多数配設され、
各接触子の環状弾性体部に通されて全接触子を同時に支持する弾性棒を備えたことを特徴とする検査ソケット。
【請求項９】
請求項８に記載の検査ソケットにおいて、
前記弾性棒が、前記環状弾性体部よりも小さい寸法に設定され、
当初は前記環状弾性体部によって弱い弾性力で支持し、前記弾性棒が前記環状弾性体部に接触した時点で弾性棒の弾性力が加わって強い弾性力で支持することを特徴とする検査ソケット。
【請求項１０】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査ソケットにおいて、
前記ハウジングが、前記接触子の環状弾性体部を収納する本体収納部と、前記一端側接触部を支持する一端支持穴と、前記他端側接触部を支持する他端支持穴とを備え、
前記本体収納部、一端支持穴及び他端支持穴が断面円形状に形成され、前記接触子が前記ハウジング内で回転可能に支持されたことを特徴とする検査ソケット。
【請求項１１】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査ソケットにおいて、
前記ハウジングが、前記接触子の環状弾性体部を収納する本体収納部と、前記一端側接触部を支持する一端支持穴と、前記他端側接触部を支持する他端支持穴とを備え、
前記本体収納部、一端支持穴及び他端支持穴が断面長穴状又は断面多角形状に形成され、前記接触子が前記ハウジング内で回転せずに支持されたことを特徴とする検査ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイス等の被検査体の試験に用いる検査ソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
検査ソケットは、ＩＣデバイス等を載置することで、このＩＣデバイス等の電極とテスターに接続された配線基板の電極を電気的に接続させて検査を行う装置である。
【０００３】
近年のＩＣデバイス等の電極は、ボールグリッドアレー（ＢＧＡ）のように電極がマトリックス状に配置されたものが多くなっている。このため、ボールグリッドアレーを用いたＩＣデバイス等の被検査体に対応できる検査ソケットが提案されている。この例を図２に示す。図中の検査ソケット１は主に、被検査体２が挿入される案内開口３を備えたガイド板４と、被検査体２のバンプ電極５と後述の配線基板８とを電気的に接続するポゴピン６と、ポゴピン６をポゴピン穴７Ａに挿入して支持するハウジング７と、ポゴピン６を介して被検査体２と試験用の電気信号及び検出信号をやり取りする配線基板８とを備えて構成されている。配線基板８の上側面には、ポゴピン６と接触するポゴピン座９及びＧＮＤベタ１０が設けられている。前記ガイド板４とハウジング７は金属材料で作られている。これら前記ガイド板４とハウジング７は配線基板８のＧＮＤベタ１０に接続されてＧＮＤ電位に保たれている。さらに、ハウジング７の上側には上側コンタクトプレート７Ｂが、下側には下側コンタクトプレート７Ｃが設けられている。
【０００４】
ＩＣデバイス等の被検査体２はガイド板４の案内開口３に挿入され、この被検査体２のバンプ電極５とポゴピン６とが互いに接触することで、電気信号が被検査体２に送信されて試験が行われる。
【特許文献１】特開２０００−２７７５７６号公報
【特許文献２】特開２００４−７７３５４号公報
【特許文献３】特開平１１−１４８９４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の検査ソケットにおいては、ポゴピン６のストロークが長く、狭いピッチでの配設が可能であるという利点がある一方で、内部接点が多くて接触抵抗が高く、しかも構造上ピン長が長いため、高周波信号を流すには適さない。
【０００６】
このようなポゴピンの問題を解消する手段として特許文献１の例がある。この特許文献１の例では、Ｕ字状又はＶ字状の板バネ端子を用いて接触子としている。しかし、Ｕ字状又はＶ字状の板バネ端子では、上下両側にＢＧＡ電極がある検査ソケットには対応できない。また、Ｕ字状又はＶ字状の板バネ端子では、その一方の接触点に対して他方の接触点が大きいため、高密度に配置された小さなバンプ電極に対しては対応できない。
【０００７】
また、特許文献２のように、湾曲した接触部材とゴム部材とからなる接触子を備えた測定装置もある。接触部材は、上下に延びる腕部と、各腕部を上下にスライド可能に弾性的に支持する曲げ部とからなり、ゴム部材は曲げ部に取り付けられている。
【０００８】
しかしこの場合、上下の腕部が片持ち梁に近い構造となり、各腕部が上下にスライドすると傾きやすくなり、上下の腕部の先端と電極との接触部分が不安定になりやすい。また、高周波信号を流す場合は、その信号が曲げ部を通ったり各腕部で短絡したりする可能性があり、高周波信号に対応するのが難しい。
【０００９】
また、特許文献３のような構造の接触子を備えた測定装置もある。接触子の構造は前記特許文献２の接触子とほぼ同様である。特許文献３の場合は、上下の腕部が案内部での支持であり不安定になることはないが、高密度化した被検査体の電極に対応させて接触子を高密度化すると、数ミリ程度の大きさの接触子の上下の腕部を１つ１つ案内部に挿入して取り付けるのは容易でなく、高密度の小さなバンプ電極に対しては対応するのが難しい。
【００１０】
また、前記特許文献２と同様に、高周波信号を流す場合は、その信号が曲げ部を通ったり各腕部で短絡したりする可能性があり、高周波信号に対応するのが難しい。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたもので、被検査体を載置して電気的に接続させて検査を行う検査ソケットであって、前記被検査体を支持するハウジングと、当該ハウジング内に収納されると共に前記被検査体の電極に電気的に接続される接触子とを備え、前記接触子が、前記被検査体の電極に接触する一端側接触部と、本体側電極に接触する他端側接触部と、これら一端側接触部及び他端側接触部の間に設けられこれらを弾性的に支持する環状弾性体部とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように本発明によれば、前記接触子の環状弾性体部が一端側接触部及び他端側接触部を弾性的に支持して電極と接触させる。高周波信号は、環状弾性体部を介して一端側接触部と他端側接触部との間を伝わり、各電極間を伝送される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態に係る検査ソケットについて、添付図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態に係る検査ソケットの要部を示す断面図、図３は本発明の実施形態に係る検査ソケットを示す平面図、図４は本発明の実施形態に係る検査ソケットを示す側面断面図、図５は本発明の実施形態に係る検査ソケットをそのガイド板を除いた状態で示す平面図、図６は本発明の実施形態に係る検査ソケットを示す底面図、図７は本発明の実施形態に係る検査ソケットの接触子及び弾性棒を示す斜視図である。
【００１４】
本実施形態の検査ソケットを図３〜図６に基づいて説明する。本実施形態の検査ソケット２１は、電子デバイス等の被検査体２２を載置して電気的に接続させて検査を行うための装置である。検査ソケット２１の全体構成は、上述した従来の検査ソケットとほぼ同様である。即ち、本実施形態の検査ソケット２１は主に、被検査体２２が挿入される案内開口２３を備えたガイド板２４と、被検査体２２の電極２５と後述の配線基板２８とを電気的に接続する接触子２６と、接触子２６を支持するハウジング２７と、接触子２６を介して被検査体２２と試験用の電気信号及び検出信号をやり取りするテスターに接続された配線基板２８とを備えて構成されている。
【００１５】
ＩＣデバイス等の被検査体２２はガイド板２４の案内開口２３に挿入され、この被検査体２２の電極２５と接触子２６とが互いに接触することで、電気信号が被検査体２２に送信されて試験が行われる。
【００１６】
ガイド板２４は、肉厚のほぼ正方形状に形成されている。ガイド板２４の四隅には固定ネジ３１が設けられ、この４つの固定ネジ３１で、ガイド板２４と他の部材とが一体的に固定されている。ガイド板２４の中央部には、ほぼ正方形状の案内開口２３が形成されている。この案内開口２３は、その上部にテーパ部３２が形成されて、案内開口２３の上方の寸法が広げられて形成されている。このテーパ部３２は、被検査体２２を案内開口２３内に容易に挿入し位置決めできるようにするための斜面である。
【００１７】
接触子２６は、被検査体２２の電極２５に電気的に接触して電気信号及び検出信号をやり取りするための部材である。接触子２６は、電極２５に弾性的に接触して電気的に確実に接続されるようになっている。接触子２６は、被検査体２２の電極２５に対応した位置に電極２５の数だけ、ハウジング２７に装着されている。接触子２６の具体的な構成は後述する。
【００１８】
ハウジング２７は、ガイド板２４及び配線基板２８に一体的に取り付けられて、各接触子２６を設定位置で支持するための板材である。このハウジング２７には、各接触子２６を挿入して支持するための支持溝３５が設けられている。支持溝３５は、被検査体２２の電極２５に合わせてハウジング２７の４辺に対応する位置に設けられている。各支持溝３５は、被検査体２２の電極２５に対応する位置及び長さに設けられている。ハウジング２７は、肉厚の板状に形成されている。ハウジング２７の厚さは、接触子２６の全長よりも少し短い寸法に設定されている。これにより、支持溝３５に挿入された接触子２６がハウジング２７の上下から僅かに突出するようになっている。ハウジング２７は、ガイド板２４と重ねられて固定ネジ３１で配線基板２８と共に一体的に固定される。
【００１９】
支持溝３５は、多数の接触子２６が並列に配設された状態（図７の状態）で一度に収納できるようにその幅及び長さの寸法が設定されている。この支持溝３５を図１、３〜６に基づいて説明する。
【００２０】
支持溝３５が設けられるハウジング２７は、本体部３６と、上板部３７とから構成されている。本体部３６は、前記ガイド板２４と同様に、肉厚のほぼ正方形状に形成されている。ハウジング２７のうち、ガイド板２４の案内開口２３に挿入される被検査体２２の電極２５に対応する位置に、支持溝３５が設けられている。支持溝３５は、電極２５の位置に合わせて、４箇所の位置（四角形の４つの辺の位置）に設けられている。この支持溝３５は、ハウジング２７の本体部３６と上板部３７に亘って設けられている。支持溝３５は具体的には、一端支持穴３８と、収納溝部３９と、他端支持穴４０とから構成されている。
【００２１】
一端支持穴３８は、ハウジング２７の上板部３７に設けられる穴で、前記被検査体２２の電極２５に対応して同じ数だけ同じ位置に設けられている。一端支持穴３８は、円形穴として構成されている。一端支持穴３８は、２段に形成され、下部の穴３８Ａの内径を大きく、上部の穴３８Ｂの内径を小さく設定されている。下部の穴３８Ａは、その内径を大きくすることで、後述する接触子２６の一端側接触部４３を挿入しやすいようになっている。上部の穴３８Ｂは、その内径を小さくすることで、接触子２６の一端側接触部４３を支持している。上部の穴３８Ｂの内径寸法と一端側接触部４３の外形寸法とがほぼ同じになるように設定されている。これにより、上部の穴３８Ｂで一端側接触部４３を、上下のスライドを許容した状態で、がたつくことなく確実に支持するようになっている。
【００２２】
収納溝部３９は、ハウジング２７の本体部３６に、前記電極２５の位置に合わせて４箇所の位置に設けられている。収納溝部３９は、後述する接触子２６の環状弾性体部４５を収納する溝部である。この収納溝部３９の幅寸法は、環状弾性体部４５の寸法よりも大きく設定され、環状弾性体部４５が撓んでも接触しないようになっている。収納溝部３９の長さ寸法は、被検査体２２の四角形の一辺に位置する前記電極２５の位置に合わせて配設された接触子２６全てが一度に収納できる長さに設定されている。接触子２６は、前記電極２５の数だけ後述する弾性棒４７に支持されて、この収納溝部３９に一度に収納される。収納溝部３９の両端部には、弾性棒４７を支持する弾性棒嵌合部３９Ａが設けられている。弾性棒嵌合部３９Ａは弾性棒４７よりも僅かに小さい寸法に設定されている。これにより、弾性棒４７を弾性棒嵌合部３９Ａに押し込むだけで確実に固定できるようになっている。
【００２３】
他端支持穴４０は、一端支持穴３８に対応して設けられている。他端支持穴４０は、ハウジング２７の本体部３６のうち支持溝３５の底部に設けられる穴で、前記被検査体２２の電極２５に対応して（一端支持穴３８に対応して）同じ数だけ同じ位置に設けられている。他端支持穴４０は、円形穴として構成されている。他端支持穴４０は、２段に形成され、上部の穴４０Ａの内径を大きく、下部の穴４０Ｂの内径を小さく設定されている。上部の穴４０Ａは、その内径を大きくすることで、後述する接触子２６の他端側接触部４４を挿入しやすいようになっている。下部の穴４０Ｂは、その内径を小さくすることで、接触子２６の他端側接触部４４を支持している。下部の穴４０Ｂの内径寸法と他端側接触部４４の外形寸法とがほぼ同じになるように設定されている。これにより、下部の穴４０Ｂで他端側接触部４４を、上下のスライドを許容した状態で、がたつくことなく確実に支持するようになっている。下部の穴４０Ｂに挿入された他端側接触部４４は、配線基板２８の配線４１に接触して電気的に接続される。
【００２４】
配線基板２８は、接触子２６を介して被検査体２２と試験用の電気信号及び検出信号をやり取りして処理するテスターに接続された配線基板である。この配線基板２８は、上述した従来の検査ソケットと同様に、その上側面に、接触子２６と接触する配線４１が設けられている。
【００２５】
前記接触子２６は、図１、３〜７に示すように、ハウジング２７の支持溝３５内に収納されている。接触子２６は、被検査体２２の電極２５に接触する一端側接触部４３と、本体側電極に接触する他端側接触部４４と、これら一端側接触部４３及び他端側接触部４４の間に設けられこれらを弾性的に支持する環状弾性体部４５とから構成されている。
【００２６】
一端側接触部４３は、支持溝３５の一端支持穴３８に挿入されている。環状弾性体部４５は、支持溝３５の収納溝部３９に収納されている。他端側接触部４４は、支持溝３５の他端支持穴４０に挿入されている。これにより、接触子２６が支持溝３５に装着されている。
【００２７】
これら一端側接触部４３と、他端側接触部４４と、環状弾性体部４５とは、１本の帯状で且つ環状の弾性部材で一体的に形成されている。例えば、電鋳加工で形成したニッケルメッキ層を弾性部材として用いる。具体的には、環状弾性体部４５に対応する四角柱状の部材と、一端側接触部４３に対応する板状の部材と、他端側接触部４４に対応する板状の部材とからなる型に、電鋳加工によりニッケルメッキ層を形成し、このニッケルメッキ層を所定幅で輪切りして接触子２６を構成する。接触子２６の寸法は種々に設定される。例えば、接触子２６の全長は３ｍｍ程度、環状弾性体部４５、一端側接触部４３及び他端側接触部４４は１ｍｍ程度、接触子２６の幅は０．３ｍｍ程度になる。これらの具体的な寸法は、検査ソケットの大きさ、バンプ電極の大きさ等に応じて適宜設定される。電鋳加工で作成される材質も、ニッケルメッキ層に限らず、弾性と導電性を有する材料で構成される。一端側接触部４３と他端側接触部４４の先端部は平坦面状に形成されている。
【００２８】
一端側接触部４３と他端側接触部４４は、余り撓まない方が望ましい。環状弾性体部４５は積極的に撓む方が望ましい。一端側接触部４３と他端側接触部４４は、概略的な外観形状が細い棒状に折り曲げて構成されているため、撓みづらい。環状弾性体部４５は、四角環状に形成されているため、撓みやすい。このため、ニッケルメッキ層の板厚は、全体で同じ厚さにして対応できる。また、一端側接触部４３と他端側接触部４４を肉厚のニッケルメッキ層に、環状弾性体部４５を肉薄のニッケルメッキ層にしてもよい。
【００２９】
各接触子２６の環状弾性体部４５には弾性棒４７が通される。この弾性棒４７は、複数の接触子２６を同時に支持するための棒材である。弾性棒４７は、シリコン樹脂等の弾性を有する材料、即ち、弾性と絶縁性とを有する材料で構成されている。弾性棒４７は、弾性と絶縁性とを有する材料全てを使用することができる。弾性棒４７で多数の接触子２６を同時に支持して取り扱う。
【００３０】
弾性棒４７は、接触子２６の環状弾性体部４５よりも小さい寸法に設定されている。これにより、当初は、環状弾性体部４５と弾性棒４７とは互いに接触せずに（図１中の実線の状態）、一端側接触部４３と他端側接触部４４が環状弾性体部４５によって弱い弾性力で支持される。環状弾性体部４５の変形が進むと、環状弾性体部４５が弾性棒４７に接触した時点（図１中の破線の状態）で環状弾性体部４５の弾性力に弾性棒４７の弾性力が加わって、強い弾性力で一端側接触部４３と他端側接触部４４を支持するようになっている。弾性棒４７と環状弾性体部４５との寸法の違いは、諸条件に応じて適宜設定される。弾性棒４７と環状弾性体部４５との隙間を大きくとったり、弾性棒４７と環状弾性体部４５とを同じ寸法にしたりする。
【００３１】
また、弾性棒４７は、各接触子２６の環状弾性体部４５に通されることで、多数の接触子２６を同時に支持すると共に、回転を防止している。即ち、弾性棒４７は、各接触子２６を一度に支持してハウジング２７に対する着脱を容易にする機能と、環状弾性体部４５の弾性力を助成する機能と、各接触子２６の回転を防止する機能を備えている。
【００３２】
以上のように構成された検査ソケット２１では、次のようにして接触子２６がハウジング２７に装着される。
【００３３】
まず、被検査体２２の１辺に配置された電極２５に対応した数の接触子２６を弾性棒４７に挿入する。弾性棒４７で支持された接触子２６を、ハウジング２７の支持溝３５に挿入する。このとき、各接触子２６の他端側接触部４４は、対応する他端支持穴４０にそれぞれ挿入された状態で、各接触子２６が弾性棒４７と共に収納溝部３９内に収納される。これにより、各接触子２６は、その他端側接触部４４が他端支持穴４０にそれぞれ挿入されて位置決めがなされる。これにより、接触子２６の一端側接触部４３の位置決めがなされる。この状態で、ハウジング２７の上板部３７が本体部３６に取り付けられることで、上板部３７の一端支持穴３８が接触子２６の一端側接触部４３に嵌合して、多数の接触子２６がハウジング２７に容易に装着される。
【００３４】
接触子２６を取り替える場合は、上板部３７を外して各接触子２６を弾性棒４７と共に支持溝３５の収納溝部３９から取りはずし、新たな接触子２６を上述の態様でハウジング２７に装着する。そして、ガイド板２４とハウジング２７と配線基板２８とが４つの固定ネジ３１で一体的に固定される。
【００３５】
被検査体２２の検査においては、被検査体２２がガイド板２４の案内開口２３に挿入されて押圧される。
【００３６】
これにより、被検査体２２の各電極２５が各接触子２６の一端側接触部４３に接触して電気的に接続される。このとき、接触子２６では、一端側接触部４３が押下されて、環状弾性体部４５が変形する。例えば、図１の実線の状態から破線の状態のように、環状弾性体部４５が変形して、電極２５の高さの違い等を吸収して一定圧力で一端側接触部４３を電極２５に押し付ける。また、他端側接触部４４も一定圧力で配線４１に押し付ける。
【００３７】
この状態で、高周波信号が流されると、その高周波信号は、他端側接触部４４、環状弾性体部４５及び一端側接触部４３を介して被検査体２２の電極２５に伝わる。
【００３８】
このとき、他端側接触部４４、環状弾性体部４５及び一端側接触部４３には継ぎ目がないため、高周波信号でも、確実に伝達される。
【００３９】
以上より、接触子２６の内部接点がないため、この接触子２６の部分での接触抵抗が小さくなり、信頼性の高い検査を行うことができる。
【００４０】
また、接触子２６は、一端側接触部４３と、他端側接触部４４と、環状弾性体部４５とからなり、その全長が短いため、高周波信号を流しても、ノイズや損失等の問題が生じる可能性が低くなり、高周波対応が可能となる。
【００４１】
［第１変形例］
前記実施形態では、接触子２６の環状弾性体部４５を四角形状に形成したが、図８、９に示すように、円形状に形成しても良い。さらに、一端側接触部４３及び他端側接触部４４の先端部を円形凸状に形成しても良い。環状弾性体部４５を円形にすることで、四角形よりも弾性力を増すことができる。要求される弾性力に応じて適宜形状を調整する。
【００４２】
一端側接触部４３及び他端側接触部４４の先端部を円形凸状に形成することで、電極２５と狭い面積で接触することができる。この場合、小さい電極２５に対して確実に電気的に接触させることができる。
【００４３】
電極が球状のバンプ電極の場合は、図１０のように、一端側接触部４３及び他端側接触部４４の先端部を、球状のバンプ電極に整合する曲率半径の円形凹状又は球形凹状に形成してもよい。これにより、電極２５との接触面積を広くとれて、確実に電気的に接触させることができる。
【００４４】
また、環状弾性体部４５を楕円形状に形成してもよい。
【００４５】
これらの場合も前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００４６】
［第２変形例］
前記実施形態では、接触子２６の一端側接触部４３及び他端側接触部４４を中空にしたが、図１１に示すように、金属や合成樹脂等の部材５０を埋め込んでもよい。これにより、一端側接触部４３及び他端側接触部４４の強度を増すことができ、電極２５との接触を安定させることができる。
【００４７】
この場合も前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００４８】
［第３変形例］
前記実施形態では、接触子２６の一端側接触部４３、他端側接触部４４及び環状弾性体部４５を中空にしたが、図１２に示すように、接触子２６の内部にシリコン樹脂等の弾性充填材５４を充填して、弾性力を調整しても良い。
【００４９】
［第４変形例］
前記実施形態では、接触子２６の環状弾性体部４５を円形状に形成したが、図１３に示すように、菱形に形成しても良い。この形状にすることで、比較的長いストロークを確保することができる。一端側接触部４３の高さ位置の変動が大きい場合に有用な形状である。
【００５０】
この場合も前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００５１】
［第５変形例］
前記実施形態では、接触子２６を支持するハウジング２７内の支持溝３５の一端支持穴３８及び他端支持穴４０を円形状に形成したが、図１４、１５に示すように、角穴状又は長穴状に形成しても良い。具体的には一端支持穴５１を、接触子２６の一端側接触部４３の寸法及び形状に合わせて形成し、接触子２６が回転しないように支持する。この場合、回転防止のための弾性棒４７が不要となる。
【００５２】
この場合も前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００５３】
［第６変形例］
前記実施形態では、接触子２６を支持するハウジング２７内の構造として複数の接触子２６を同時に支持する支持溝３５を設けたが、図１６、１７に示すように、接触子２６を積極的に回転させるように構成しても良い。この場合、支持溝３５の収納溝部３９の代わりに、平面形状が円形の丸穴５２を設ける。一端支持穴３８と他端支持穴４０も同様に、円形の穴にする。一端支持穴３８と他端支持穴４０は、前記実施形態と同様に、接触子２６の一端側接触部４３及び他端側接触部４４と同様の寸法にする。
【００５４】
これにより、接触子２６はハウジング２７内で自由に回転することができるようになる。
【００５５】
［第７変形例］
前記実施形態では、接触子２６を四角形の４つの辺の位置に設けたが、被検査体２２の電極２５は種々の配列があるため、それに合わせて種々に配列位置を調整することができる。例えば、図１８のように、接触子２６を間隔を狭めて配設してもよい。ここでは、３個の接触子２６をその間隔を狭めて配設し、かつ、これらを２列に配設している。さらに、多数の接触子２６を縦横に配設しても良い。
【００５６】
この場合、接触子２６の環状弾性体部４５を収納する部分として四角穴５３を形成する。この四角穴５３は、環状弾性体部４５よりも少し大きい程度の寸法に設定されている。これにより、環状弾性体部４５が四角穴５３に収納された状態で回転しないで支持される。さらに、複数の接触子２６を近接させて高い密度で配設することができる。
【００５７】
また、図１９に示すように、４つの四角穴５３を互いに９０度ずつ角度をずらして配設し、正方形の４つの角部に位置に配設するようにしてもよい。
【００５８】
また、接触子２６の環状弾性体部４５を支持する四角穴５３を長方形状に形成したが、この四角穴５３の平面形状は、環状弾性体部４５に合わせて設定される。環状弾性体部４５の平面形状が正方形の場合は四角穴５３も正方形に形成される。また、これ以外に、三角形や五角形等の断面多角形状でも良い。環状弾性体部４５の形状に合わせて適宜設定される。
【００５９】
これらの場合も前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施形態に係る検査ソケットの要部を示す断面図である。
【図２】従来の検査ソケットを示す側面断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る検査ソケットを示す平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査ソケットを示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査ソケットをそのガイド板及び上板部を除いた状態で示す平面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る検査ソケットを示す底面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る検査ソケットの接触子及び弾性棒を示す斜視図である。
【図８】本発明の第１変形例を示す正面図である。
【図９】本発明の第１変形例を示す要部拡大図である。
【図１０】本発明の第１変形例を示す要部拡大図である。
【図１１】本発明の第２変形例を示す正面図である。
【図１２】本発明の第３変形例を示す正面図である。
【図１３】本発明の第４変形例を示す正面図である。
【図１４】本発明の第５変形例を示す平面図である。
【図１５】本発明の第５変形例を示す要部断面図である。
【図１６】本発明の第６変形例を示す平面図である。
【図１７】本発明の第６変形例を示す要部断面図である。
【図１８】本発明の第７変形例を示す要部断面図である。
【図１９】本発明の第７変形例を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
２１：検査ソケット、２２：被検査体、２３：案内開口、２４：ガイド板、２５：電極、２６：接触子、２７：ハウジング、２８：配線基板、３１：固定ネジ、３２：テーパ部、３５：支持溝、３６：本体部、３７：上板部、３８：一端支持穴、３９：収納溝部、４０：他端支持穴、４１：配線、４３：一端側接触部、４４：他端側接触部、４５：環状弾性体部、４７：弾性棒、５０：部材、５１：一端支持穴、５２：丸穴、５３：四角穴、５４：弾性充填材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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