(57)【要約】【課題】外部電源が瞬時停電をしても、より長時間にわたって継続動作し、信頼性を向上させた簡易な構成を有するモータ制御システム、および、このモータ制御システムを適用したステージシステムを提供する。【解決手段】モータ制御システム１は、ＡＣサーボモータ３２と、ＤＣサーボモータ４２と、ＡＣサーボモータ３２を駆動するＡＣサーボアンプ３１と、ＤＣサーボモータ４２を駆動するＤＣサーボアンプ４１と、商用電源１１の停電を検出する停電検出器１３と、商用電源１１からの供給電力を直流化しＤＣサーボアンプ４１へ供給する電源装置４３と、停電検出器１３が商用電源１１の停電を検出してからＡＣサーボモータ３２のトルクが減少するようにＡＣサーボアンプ３１を制御するとともにＤＣサーボモータ４２のトルクが減少するようにＤＣサーボアンプ４１を制御する制御装置２０とを具備している。【選択図】図１
2009201180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーボモータと、外部電源から電力供給され前記サーボモータを駆動するサーボアンプと、を具備したモータ制御システムであって、
前記外部電源の停電を検出する停電検出器と、
前記停電検出器が前記外部電源の停電を検出した結果に基づいて、前記サーボモータのトルクが減少するように前記サーボアンプを制御する制御装置と、
を具備したことを特徴とするモータ制御システム。
【請求項２】
ＡＣサーボモータと、外部電源から電力供給され前記ＡＣサーボモータを駆動するＡＣサーボアンプと、を具備したモータ制御システムであって、
前記外部電源の停電を検出する停電検出器と、
前記停電検出器が前記外部電源の停電を検出した結果に基づいて、前記ＡＣサーボモータのトルクが減少するように前記ＡＣサーボアンプを制御する制御装置と、
を具備したことを特徴とするモータ制御システム。
【請求項３】
ＤＣサーボモータと、外部電源から電力供給され前記ＤＣサーボモータを駆動するＤＣサーボアンプと、を具備したモータ制御システムであって、
前記外部電源の停電を検出する停電検出器と、
前記外部電源からの供給電力を直流化し前記ＤＣサーボアンプへ供給する電源装置と、
前記停電検出器が前記外部電源の停電を検出した結果に基づいて、前記ＤＣサーボモータのトルクが減少するように前記ＤＣサーボアンプを制御する制御装置と、
を具備したことを特徴とするモータ制御システム。
【請求項４】
ＡＣサーボモータと、ＤＣサーボモータと、外部電源から電力供給され前記ＡＣサーボモータを駆動するＡＣサーボアンプと、前記外部電源から電力供給され前記ＤＣサーボモータを駆動するＤＣサーボアンプと、を具備したモータ制御システムであって、
前記外部電源の停電を検出する停電検出器と、
前記外部電源からの供給電力を直流化し前記ＤＣサーボアンプへ供給する電源装置と、
前記停電検出器が前記外部電源の停電を検出した結果に基づいて、前記ＡＣサーボモータのトルクが減少するように前記ＡＣサーボアンプを制御するとともに前記ＤＣサーボモータのトルクが減少するように前記ＤＣサーボアンプを制御する制御装置と、
を具備したことを特徴とするモータ制御システム。
【請求項５】
前記制御装置による前記制御は、前記外部電源の停電を検出した結果に基づいて、所定の第１の時間以降に行われることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のモータ制御システム。
【請求項６】
前記制御装置は、前記停電を検出したときから所定の第２の時間の経過前に前記外部電源が復帰した場合、前記サーボモータ、前記ＡＣサーボモータまたは前記ＤＣサーボモータのトルクを前記停電の前の値に戻すように、前記サーボアンプ、前記ＡＣサーボアンプまたは前記ＤＣサーボアンプを制御することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のモータ制御システム。
【請求項７】
前記ＤＣサーボモータを制動する電磁ブレーキを備え、
前記電磁ブレーキは、前記停電から所定の第２の時間が経過したとき作動する、
ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載のモータ制御システム。
【請求項８】
ＡＣサーボモータと、前記ＡＣサーボモータによって動作する第１のステージと、ＤＣサーボモータと、前記ＤＣサーボモータによって動作する第２のステージと、外部電源から電力供給され前記ＡＣサーボモータを駆動するＡＣサーボアンプと、前記外部電源から電力供給され前記ＤＣサーボモータを駆動するＤＣサーボアンプと、を具備したステージシステムにおいて、
前記外部電源の停電を検出する停電検出器と、
前記外部電源からの供給電力を直流化し前記ＤＣサーボアンプへ供給する電源装置と、
前記停電検出器が前記外部電源の停電を検出した結果に基づいて、前記ＡＣサーボモータのトルクが減少するように前記ＡＣサーボアンプを制御するとともに前記ＤＣサーボモータのトルクが減少するように前記ＤＣサーボアンプを制御する制御装置と、
を具備したことを特徴とするステージシステム。
【請求項９】
前記制御装置は、前記停電検出器が停電を検出したときから所定の第２の時間の経過前に前記外部電源が復帰した場合、前記ＡＣサーボモータおよび前記ＤＣサーボモータのトルクを前記停電が検出される前の値に戻すように制御することを特徴とする請求項８に記載のステージシステム。
【請求項１０】
前記ＤＣサーボモータを制動する電磁ブレーキを備え、
前記電磁ブレーキは、前記停電から所定の第２の時間が経過したとき作動する、
ことを特徴とする請求項８に記載のステージシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部電源が瞬時停電をしても、より長時間にわたって継続動作し、信頼性を向上させた簡易な構成を有するモータ制御システム、および、このモータ制御システムを適用したステージシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、規格（ＳＥＭＩ等）で規定された瞬時停電時継続動作時間を満たすため、例えば、無停電電源装置（ＵＰＳ）を外付けしたり、ＡＣサーボアンプを使用する場合は電源装置に大容量電解コンデンサを外付けした特殊仕様品を用いたり、ＤＣサーボアンプを使用する場合は外部電源として出力端の静電容量が大きいものを使用していた。このように、装置や素子を付加し、または、特殊な仕様の装置を用いると、製造費用が高価になり、また、汎用性に欠けるため供給が安定しない問題点があった。
【０００３】
また、従来、三相交流を直流電圧に変換するコンバータと、任意の周波数および電圧の交流により交流電動機を駆動するインバータ部との間に並列接続された平滑コンデンサの両端の電圧（直流中間電圧）を検出し、トルク制限を行なう「交流電動機の制御装置」が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１７３４５４号公報（段落００２６−００２７、図１）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この「交流電動機の制御装置」（特許文献１記載）では、汎用のサーボアンプを用いた場合、直流中間電圧を検出することができないため、前記した特殊仕様品が必要となり、製造費用が高価になり、また、汎用性に欠けるため供給が安定しない問題点があった。また、既製品内部において直流中間電圧を測定する機構を組み込むと、製造に手間がかかり、信頼性が低下する問題点があった。
【０００５】
そこで、本発明は、外部電源が瞬時停電をしても、より長時間にわたって継続動作し、信頼性を向上させた簡易な構成を有するモータ制御システム、および、このモータ制御システムを適用したステージシステムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明のモータ制御システムは、サーボモータと、外部電源から電力供給され前記サーボモータを駆動するサーボアンプと、を具備したモータ制御システムであって、前記外部電源の停電を検出する停電検出器と、前記停電検出器が前記外部電源の停電を検出した結果に基づいて、前記サーボモータのトルクが減少するように前記サーボアンプを制御する制御装置と、を具備したことを特徴とする。これにより、外部電源の停電を検出しモータ駆動のトルクを下げることでサーボモータの消費電力を少なくし、サーボアンプの出力容量が少なくても瞬時停電時継続動作時間を延ばすことを可能とした。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、メーカ標準品のＡＣサーボアンプ、およびＤＣサーボアンプ用のＡＣ−ＤＣ電源装置として電源容量の少ないものを使用して瞬時停電時継続動作時間を延ばすことが可能なモータ駆動システムを提供できる。さらに、停電時の電磁ブレーキを用いて急停止する場合、事前にモータ速度を落とせるため停止時の衝撃が小さく装置の信頼性を上げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
次に、添付した図面を参照し、本発明による一実施形態について詳細に説明する。なお、原則として、実質的に同一でよい構成要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
＜モータ制御システム１＞
図１は、本発明による一実施形態のモータ制御システム１を示す構成図である。
このモータ制御システム１の各部は、商用電源１１から電源供給を受けている。商用電源１１は、例えば１００[Ｖ]の交流電圧で電力供給を行う外部電源である。
モータ制御システム１は、電源装置１２と、停電検出器１３と、制御装置２０と、ＡＣサーボモータ部３０と、ＤＣサーボモータ部４０と、を備えている。
【００１０】
電源装置１２は、商用電源１１からの交流電圧を降圧するとともに、整流および平滑を施して、制御装置２０へ直流電圧で電力供給するＡＣ−ＤＣ電源装置である。電源装置１２は、また、後記するように商用電源１１が瞬時停電状態となりＡＣサーボモータ３２およびＤＣサーボモータ４２のトルク制御が行われている間は、制御装置２０へ動作電力を供給できる出力容量を有していることが好ましい。
【００１１】
停電検出器１３は、商用電源１１からの出力電圧を監視し、商用電源１１が停電状態であるか（給電異常であるか）否か（給電正常であるか）を示す停電信号（ｇ）を、制御装置２０へ出力する。商用電源１１が停電状態であるとは、商用電源１１自身が不作動であったり出力電圧が異常に低く（または、異常に高く）なったりする場合のほか、商用電源１１からモータ制御システム１本体に至る給電線路系に断線や接触不良が生じるなど、何らかの理由でモータ制御システム１に給電されない状態を含むものとする。
【００１２】
制御装置２０は、モータ制御システム１全体を制御するためのコンピュータであり、例えば、汎用のパーソナルコンピュータにモータ制御用の信号を出力するための制御基板（後記するモータ制御部２３に相当）を組み込み、モータ制御プログラムをロードすることによって実現できる。制御装置２０は、中央演算処理部２１、モータ制御部２３、および、マザーボード２２を備え、さらに、入出力装置、および、補助記憶装置（いずれも図示せず）などを備えている。
【００１３】
マザーボード２２は、制御装置２０内の各構成要素が接続され、これらの構成要素を動作させる回路（図示せず）と、これらの構成要素間でのデータまたは信号の送受を媒介するＶＭＥバスなどのバスを含んでいる。停電検出器１３からの停電信号（ｇ）は、マザーボード２２を経て、中央演算処理部２１へ入力される。
【００１４】
中央演算処理部２１は、モータ制御システム１全体の制御を行うものであり、ＣＰＵおよび主記憶装置を含む（いずれも図示せず）。中央演算処理部２１は、補助記憶装置（図示せず）から制御プログラムを読み出して主記憶装置にロードし、この制御プログラムを実行することによって、後記する制御機能を実現している。
【００１５】
モータ制御部２３は、中央演算処理部２１の制御に基づいて、ＡＣサーボモータ部３０およびＤＣサーボモータ部４０へ所定の信号を送出し、これらを制御する。モータ制御部２３は、例えば、パーソナルコンピュータのスロットに挿入され、マザーボード２２に接続された制御基板として実現される。
【００１６】
ＡＣサーボモータ部３０は、ＡＣサーボモータ３２と、ＡＣサーボモータ３２を駆動するＡＣサーボアンプ（コントローラ）３１とを含んでいる。
ＡＣサーボアンプ３１は、ＡＣサーボモータ部３０の動作を制御する制御部３１ａと、商用電源１１からの電力を降圧するとともに整流および平滑して制御部３１ａなどＡＣサーボアンプ３１内の各部へ供給する内部電源３１ｄと、商用電源１１からの電力を直流電力に変換するコンバータ３１ｅと、コンバータ３１ｅの出力側（インバータ３１ｂの入力側）に挿入されたコンデンサ３１ｃと、所定の波形で表される交流電力を送出し、ＡＣサーボモータ３２を駆動するインバータ３１ｂとを具備している。制御部３１ａは、典型的には、所定の制御プログラムを実行可能に記憶したワンチップマイクロコンピュータである。
なお、このＡＣサーボアンプ３１の構成は一例であり、ＡＣサーボモータ３２の形式などに応じて、その構成を変更してよい。
【００１７】
ＡＣサーボモータ３２の駆動について、その要点を説明する。
まず、中央演算処理部２１からの指令（制御）によりモータ制御部２３から制御部３１ａへ、所定の繰り返し周波数の駆動パルス（ｂ）が送られる。制御部３１ａは、この駆動パルス（ｂ）に従ってインバータ３１ｂを制御し、インバータ３１ｂは、ＡＣサーボモータ３２を駆動する。ＡＣサーボモータ３２からは、その回転位置、回転速度、トルクを示す信号（ｃ）が制御部３１ａに入力され、所定の状態にＡＣサーボモータ３２が駆動されるように、インバータ３１ｂをフィードバック制御する。ＡＣサーボモータ３２からは、また、その回転位置を示す信号（ａ）がモータ制御部２３へ入力され、モータ制御部２３は、駆動パルス（ｂ）の位相をずらすなどにより、ＡＣサーボモータ３２をフィードバック制御する。
【００１８】
ＤＣサーボモータ部４０は、ＤＣサーボモータ４２と、ＤＣサーボモータ４２を駆動するＤＣサーボアンプ（コントローラ）４１と、電源装置４３とを含んでいる。
ＤＣサーボアンプ４１は、ＤＣサーボモータ部４０の動作を制御する制御部４１ａと、インバータ４１ｂの入力側に挿入されたコンデンサ４１ｃと、所定の繰り返し周期を有する矩形パルス状の直流電力を送出し、ＤＣサーボモータ４２を駆動するインバータ４１ｂとを具備している。制御部４１ａは、典型的には、所定の制御プログラムを実行可能に記憶したワンチップマイクロコンピュータである。
電源装置４３は、商用電源１１からの電力を降圧するとともに整流および平滑して制御部４１ａやインバータ４１ｂなどＤＣサーボアンプ４１内の各部へ供給する。
なお、このＤＣサーボアンプ４１の構成は一例であり、ＤＣサーボモータ４２の形式などに応じて、その構成を変更してよい。
【００１９】
ＤＣサーボモータ４２の駆動について、その要点を説明する。
まず、中央演算処理部２１からの指令（制御）によりモータ制御部２３から制御部４１ａへ、通信信号（ｄ）が送られる。制御部４１ａは、通信信号（ｄ）に従ってインバータ４１ｂを制御し、インバータ４１ｂは、ＤＣサーボモータ４２を駆動する。ＤＣサーボモータ４２からは、その回転位置、回転速度Ｎ、トルクＴを示す信号（ｆ）が制御部４１ａに入力され、所定の状態にＤＣサーボモータ４２が駆動されるように、インバータ４１ｂをフィードバック制御する。ＤＣサーボモータ４２からは、また、その回転位置を示す信号（ｅ）がモータ制御部２３へ入力され、モータ制御部２３は、通信信号（ｄ）を調整するなどにより、ＤＣサーボモータ４２をフィードバック制御する。
【００２０】
図２を参照し（図１を適宜参照）、停電（瞬時停電を含む。）時のモータ制御システム１の動作原理について説明する。
図２は、商用電源１１が停電（瞬時停電を含む。）した場合を含む各信号の状態を示すタイムチャートである。
図２（Ｂ）に示すように、停電信号（ｇ）（ＡＣＦＡＩＬ−Ｎ）がＬレベル（低レベル）のときは、商用電源１１が停電状態であることを示し、停電信号（ｇ）がＨレベル（高レベル）のときは、商用電源１１が給電状態であることを示す。ただし、瞬時停電であっても、あまりにその時間が短い場合に過敏に反応しないように、停電の検出については、若干のタイムラグ（例えば、１０ｍｓ）を設定している。この時間（タイムラグ）は、特許請求の範囲における「第１の時間」に相当する。この設定は、停電検出器１３で行ってもよいし、中央演算処理部２１で行ってもよい。
【００２１】
図２（Ｃ）に示すように、中央演算処理部２１が生起するＲＥＳＥＴ−Ｎは、停電信号（ｇ）を監視した結果、ＡＣサーボモータ３２，ＤＣサーボモータ４２を駆動させるべきか否かを示す信号（状態）である。
図２（Ｄ）に示すように、ＡＣサーボモータ３２およびＤＣサーボモータ４２のトルクＴは、停電信号（ｇ）（ＡＣＦＡＩＬ−Ｎ）およびＲＥＳＥＴ−Ｎの状態によって決まる。
【００２２】
図３は、ＡＣサーボモータ３２およびＤＣサーボモータ４２のトルクＴとその回転速度Ｎとの関係（Ｔ−Ｎ特性）、および、ＡＣサーボモータ３２およびＤＣサーボモータ４２のトルクＴとこれらの電機子電流Ｉａとの関係（Ｔ−Ｉ特性）を表したグラフである。
図３に実線で示すＴ−Ｉ特性をみると、電機子電流ＩａはトルクＴに比例していることが分かるので、図２（Ｄ）に示すグラフは、トルクＴの大きさの変化を示しているとともに、電機子電流Ｉａの大きさを示しているといってよい。
図３に破線で示すＴ−Ｎ特性をみると、一定の領域では、回転速度Ｎは、トルクＴに比例することが分かる。
【００２３】
（１）図２に戻り、まず、商用電源１１の電圧が０であり、電源投入がなされていない間は、停電信号（ｇ）およびＲＥＳＥＴ−Ｎの状態はいずれもＬレベルであり、トルクＴも０である。
（２）電源投入がされると、停電信号（ｇ）およびＲＥＳＥＴ−Ｎの状態はいずれもＨレベルに遷移し、若干の起動時間経過後に（図２（Ｄ）参照）トルクＴが所定値まで上昇し、維持される。
【００２４】
（３）ここで、商用電源１１に、比較的短時間（例えば、４０ｍｓ以下）の瞬時停電が生じた場合、停電信号（ｇ）は、短いタイムラグ（例えば１０ｍｓ）が経過したとき、Ｌレベルに遷移する。これを受けて、ＡＣサーボアンプ３１およびＤＣサーボアンプ４１は、トルクＴを徐々に低下させる。これにより、電機子電流Ｉａは徐々に低下する。商用電源１１が瞬時停電から回復した場合は、トルクＴを所定値まで徐々に回復させる。これにより、電機子電流Ｉａは所定値まで徐々に上昇する（図２（Ｄ）の破線円内（ａ）部分参照）。なお、このような短時間の瞬時停電の場合は、ＲＥＳＥＴ−Ｎの状態は、Ｈレベルのままである。
【００２５】
（４）さらに、商用電源１１に、長時間（例えば、４０ｍｓ超）の停電が生じた場合、停電信号（ｇ）は、短いタイムラグ（例えば１０ｍｓ）が経過したとき、Ｌレベルに遷移する。これを受けて、ＡＣサーボアンプ３１およびＤＣサーボアンプ４１は、トルクＴを徐々に所定値まで低下させるので、電機子電流Ｉａは徐々に所定値まで低下し、この状態が維持される。停電開始から所定時間（例えば４０ｍｓ）経過すると、ＲＥＳＥＴ−Ｎの状態もＬレベルになる。これを受けて、トルクＴを徐々に０まで低下させるので、電機子電流Ｉａは徐々に０まで低下する（図２（Ｄ）の破線円内（ｂ）部分参照）。
【００２６】
これらの瞬時停電を判断するための基準となる時間（４０ｍｓ）は、特許請求の範囲における「第２の時間」に相当する。
これらの手順は、主に、停電検出器１３の検出結果（停電信号（ｇ））を参照して、中央演算処理部２１がモータ制御部２３を制御し、ＡＣサーボアンプ３１およびＤＣサーボアンプ４１を動作させることによって行われる。
【００２７】
以上説明した構成のほか、ＡＣサーボモータ部３０またはＤＣサーボモータ部４０のいずれか一方を有する構成としてもよい。また、ＡＣサーボモータ部３０またはＤＣサーボモータ部４０を複数有する構成としてもよい。
【００２８】
本実施形態のモータ制御システム１によれば、メーカ標準品のＡＣサーボアンプ３１と、出力端の容量の少ない電源装置４３およびＤＣサーボアンプ４１との組み合わせを用いて、安価で容易に所要の瞬時停電時継続動作時間を確保できる。つまり、商用電源１１の瞬時停電を停電検出器１３によって中央演算処理部２１が認識し、モータ制御部２３からＡＣサーボアンプ３１，ＤＣサーボアンプ４１へトルクＴを下げる指令（制御）を行なっているので、トルクＴの低下に伴いＡＣサーボモータ３２，ＤＣサーボモータ４２の消費電力が下がり、瞬時停電時の動作継続時間を延ばすことができる。
また、瞬時停電時の消費電力が下がるので、従来、ＡＣサーボアンプ３１，ＤＣサーボアンプ４１，電源装置４３などに内蔵または付設していた大容量の出力コンデンサを小さくするか、不要にし、構成を簡単にできる。
【００２９】
＜ステージシステム２＞
図４は、本発明による一実施形態のステージシステム２を示す全体構成図である。
このステージシステム２は、本実施形態のモータ制御システム１（図１参照）を、半導体単結晶からなるウェハ１４０などを搬送するためのロボット１３０に適用したものである。ロボット１３０は、ウェハ１４０などの精密材料を汚染しないように、ミニエンバイロメント装置（図示せず）によって局所的に清浄化された空間に設置されている。
【００３０】
ステージシステム２は、ロボット１３０を含み、本実施形態のモータ制御システム１（図１参照）と同様に、停電検出器１３と、電源装置１２と、制御装置２０と、ＡＣサーボアンプ３１と、ＡＣサーボモータ３２とを具備している。ステージシステム２は、さらに、昇降軸モータ１２１と、回転軸モータ１２２と、ハンド駆動モータ（１軸）１２３と、ハンド駆動モータ（２軸）１２４と、これらを駆動するＤＣサーボアンプ（４軸）４１ｘと、ＤＣサーボアンプ４１ｘに電力供給する電源装置４３とを具備している。
商用電源１１は、単一の電源であって、電源装置１２、停電検出器１３、ＡＣサーボアンプ３１および電源装置４３に電源供給を行っている。なお、電源装置１２へは、別系統で電源供給を行ってもよい。
【００３１】
ＡＣサーボアンプ３１は、ＡＣサーボモータ３２を駆動して走行軸１１０のボールネジを回転させ、ロボット１３０全体を走行軸１１０の軸方向に沿って水平移動させる。
ＤＣサーボアンプ４１ｘは、昇降軸モータ１２１を駆動して昇降軸１１１のボールネジを回転させ、テーブル１２６を上下させる。昇降軸モータ１２１は、電磁ブレーキ（図示せず）を内蔵している。昇降軸モータ１２１が駆動されていないとき、電磁ブレーキが動作し、昇降軸モータ１２１の回転軸を制動する。商用電源１１が停電してから電磁ブレーキが動作するまでの時間は、例えば、モータ制御システム１の説明で前記した「第２の時間」とする。これにより、昇降軸１１１のボールネジが停止し、テーブル１２６の上下動が止まる。
【００３２】
ＤＣサーボアンプ４１ｘは、また、回転軸モータ１２２を駆動してテーブル１２６全体を水平面に沿って回転させる。
ＤＣサーボアンプ４１ｘは、また、テーブル１２６上に配置されたハンド駆動モータ（１軸）１２３を駆動して、ウェハ１４０を載置するハンド（１軸）１３１を作動させる。
ＤＣサーボアンプ４１ｘは、また、テーブル１２６上に配置されたハンド駆動モータ（２軸）１２４を駆動して、ウェハ１４０を載置するハンド（２軸）１３２を作動させる。
これらの駆動は、制御装置２０の制御に従って行われる。
【００３３】
ステージシステム２では、ハンド（１軸）１３１，ハンド（２軸）１３２にウェハ１４０を載せ搬送しているとき、商用電源１１が停電状態になりロボット１３０の各部が惰性で動くとウェハ１４０を破損させるおそれがある。そこで、昇降軸モータ１２１の電磁ブレーキを作動させ、テーブル１２６の昇降を停止させている。しかし、過度に急激に昇降軸モータ１２１を制動すると、ハンド（１軸）１３１，ハンド（２軸）１３２からウェハ１４０が落下してしまうおそれがある。
【００３４】
そこで、本実施形態のステージシステム２では、商用電源１１が停電状態になった場合、図２を参照して前記した手順により、まず、昇降軸モータ１２１のトルクＴを下げ、テーブル１２６の上下動の速度を低下させる。それから昇降軸モータ１２１の電磁ブレーキを動作させ、テーブル１２６を停止させる（図２（Ｄ）の破線円内（ｂ）部分参照）。
【００３５】
昇降軸モータ１２１の制御について説明したが、ロボット１３０に係る他のモータに電磁ブレーキを備え、同様に制御するようにしてもよい。
【００３６】
なお、ＡＣサーボモータ３２の駆動により、走行軸（ボールネジ）１１０が回転して移動する部分、すなわちロボット１３０全体が、特許請求の範囲における「第１のステージ」に相当し、また、昇降軸モータ（ＤＣサーボモータ）１２１の駆動により、昇降軸（ボールネジ）１１１が回転して移動する部分、すなわちテーブル１２６およびこれに付随する構成要素が、特許請求の範囲における「第２のステージ」に相当する。
【００３７】
本実施形態のステージシステム２によれば、本実施形態のモータ制御システム１（図１参照）で述べた効果のほか、トルクＴを下げるため、停電検出により昇降軸モータ１２１のトルク制御を行い、電磁ブレーキが働く前にトルクＴを落とし速度を下げているので、停止の際の衝撃を和らげ、ウェハ１４０搬送の信頼性を上げることができる。
【００３８】
＜モータ制御システム１ｂ（比較例）＞
図５は、比較例のモータ制御システム１ｂを示す構成図である。
このモータ制御システム１ｂは、ＡＣサーボアンプ３１の出力端（ＡＣサーボモータ３２側）に大容量コンデンサ３４を付設し、ＤＣサーボモータ部４０ｂの電源装置４３ｂが大容量コンデンサ４４を有するほかは、本実施形態のモータ制御システム１と同様の構成である。
【００３９】
大容量コンデンサ３４は、瞬時停電時にＡＣサーボモータ３２を駆動する電力を補い、大容量コンデンサ４４は、瞬時停電時にＤＣサーボモータ４２を駆動する電力を補うために設けられている。
しかしながら、大容量コンデンサ３４，４４は、特に高耐圧のものは、外形が大きくなり、ＡＣサーボモータ部３０ｂ，ＤＣサーボモータ部４０ｂが大型化してしまう問題点がある。また、大容量コンデンサ３４，４４は、容量が大きくなるほど一般に高価であるから、モータ制御システム１ｂの製造費用が高くなってしまう問題点がある。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明による一実施形態のモータ制御システムを示す構成図である。
【図２】商用電源１１が停電（瞬時停電を含む。）した場合を含む各信号の状態を示すタイムチャートである。
【図３】ＡＣサーボモータおよびＤＣサーボモータのトルクとその回転速度との関係（Ｔ−Ｎ特性）、および、ＡＣサーボモータおよびＤＣサーボモータのトルクとこれらの電機子電流との関係（Ｔ−Ｉ特性）を表したグラフである。
【図４】本発明による一実施形態のステージシステムを示す全体構成図である。
【図５】比較例のモータ制御システムを示す構成図である。
【符号の説明】
【００４１】
１，１ｂ    モータ制御システム
２      ステージシステム
１１    商用電源
１２，４３，４３ｂ  電源装置
１３    停電検出器
２０    制御装置
２１    中央演算処理部
２２    マザーボード
２３    モータ制御部
３０，３０ｂ    ＡＣサーボモータ部
３１    ＡＣサーボアンプ
３１ａ，４１ａ  制御部
３１ｂ  インバータ
３１ｃ，４１ｃ  コンデンサ
３１ｄ  内部電源
３１ｅ  コンバータ
３２    ＡＣサーボモータ
３４，４４    大容量コンデンサ
４０，４０ｂ  ＤＣサーボモータ部
４１，４１ｘ  ＤＣサーボアンプ
４１ｂ  インバータ
４２    ＤＣサーボモータ
１１０  走行軸
１１１  昇降軸
１２１  昇降軸モータ
１２２  回転軸モータ
１２３  ハンド駆動モータ（１軸）
１２４  ハンド駆動モータ（２軸）
１２６  テーブル
１３０  ロボット
１３１  ハンド（１軸）
１３２  ハンド（２軸）
１４０  ウェハ
【図１】
2009201180.tif 000003
【図２】
2009201180.tif 000004
【図３】
2009201180.tif 000005
【図４】
2009201180.tif 000006
【図５】
2009201180.tif 000007