(57)【要約】【課題】  光導波路素子の変調電極に変調信号を入力する線路上に、コンデンサを含むフィルタ回路を配置する光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサに積層セラミックコンデンサを使用した場合でも、数十ＧＨｚの広帯域に渡り光応答周波数特性を平坦化可能な光導波路素子モジュールを提供すること。【解決手段】  電気光学効果を有する材料で構成される基板１と、該基板に形成された光導波路２と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極（３）とを有する光導波路素子と、該変調電極に変調信号を入力する線路上に配置され、かつ、コンデンサを含むフィルタ回路（７）とを含む光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサは積層セラミックコンデンサであり、１個の静電容量が３ｐＦ以下のもののみを使用することを特徴とする。【選択図】図１
2009244324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を有する材料で構成される基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子と、
該変調電極に変調信号を入力する線路上に配置され、かつ、コンデンサを含むフィルタ回路とを含む光導波路素子モジュールにおいて、
該コンデンサは積層セラミックコンデンサであり、１個の静電容量が３ｐＦ以下のもののみを使用することを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサは、複数の積層セラミックコンデンサを使用する場合に、フィルタ回路基板上に積層セラミックコンデンサを積み重ねて配置することを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該フィルタ回路は、フィルタ回路基板上に形成された膜体による電気抵抗を含むことを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項４】
請求項３に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該電気抵抗に重ねて積層セラミックコンデンサを配置することを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の光導波路素子モジュールにおいて、該変調電極の終端部に終端回路を接続することを特徴とする光導波路素子モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路素子モジュールに関し、特に、光導波路素子の変調電極に変調信号を入力する線路上に、コンデンサを含むフィルタ回路を配置する光導波路素子モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光通信分野や光計測分野において、光波を制御する手段として、光変調器など、電気光学効果を有する基板に光導波路を形成した光導波路素子が多用されている。
近年、光導波路素子を評価する際に、光導波路素子を駆動した場合に得られる光信号の時間的揺らぎを示すジッターと呼ばれる特性が、注目されている。ジッターとは、光信号の時間的揺らぎを示す指標であり、光アイパターン波形を積算し、信号のクロスする場所の幅として定義される。
【０００３】
光導波路素子を駆動した場合に得られる光信号のジッターを改善するためには、光導波路素子や該光導波路素子を駆動制御する駆動用ドライバに対し、以下の特性改善が必要となる。
（１）駆動用ドライバ
入力した電気信号が劣化なく増幅されるよう利得が、低周波域から高周波域までフラットな周波数特性とする。
（２）光導波路素子
入力した電気信号が劣化なく光信号に変換されるよう、電気／光変換応答の周波数が低周波域から高周波域までフラットな周波数特性とする。
【０００４】
上記のように、駆動用ドライバと光導波路素子における周波数特性が、無限にフラット（周波数依存性が無い状態）である場合には、上述したジッターは発生しないが、実際には、駆動用ドライバも光変調器も共に、低周波域での周波数特性がフラットでなかったり、高周波域の周波数特性は右肩下がりに劣化する傾向にあるため、ジッターが発生する。特に、伝送速度がギガヘルツ・オーダーの光導波路素子では、このジッターの発生は重要な問題となっている。
【０００５】
光導波路素子に印加される電気信号と該光導波路素子から出力される光波の応答特性を平坦化する方法として、図１に示すように、光導波路素子の変調電極３に駆動用ドライバ６の変調信号を印加する際にフィルタ回路などの中継基板７を介して印加する方法や変調電極３の終端部に終端抵抗などの終端回路８を接続することが行われている。図１における光導波路素子は、電気光学効果を有する基板１に光導波路２を形成し、該光導波路２を伝搬する光波を変調するための変調電極３（変調電極には信号電極と接地電極があるが、図１では簡略化のため信号電極の配置のみを図示している。）を形成したものである。また、光導波路素子には入力用光ファイバ４や出力用光ファイバ５が接続され、光導波路素子への光波の入射及び光導波路素子からの光波の出射を担っている。
光導波路素子は中継基板７や終端回路８などと共に、一つの筐体９内に収容される。
【０００６】
終端回路を用いたものとしては、特許文献１のように、光変調器の変調用電極の終端部のインピーダンスを調整することにより、光変調器の周波数特性を改善するものがある。
しかしながら、終端回路のみで数十Ｇｂｐｓ伝送を可能とする高周波領域まで周波数特性をフラットにすることは困難であり、特許文献１に開示されている終端部のインピーダンスの調整のみでは、進行波型光変調器の電気／光変換応答の周波数特性の内、調整すべき周波数を変更することも困難であった。
【特許文献１】特許第３０８８９８８号公報
【０００７】
フィルタ回路を有する中継基板を用いたものとしては、特許文献２又は３に開示されている。電気／光応答の周波数特性を平坦化するためには、フィルタ回路の基本的な構成として、図２に示すようなコンデンサ１０と抵抗１１を並列で接続したハイパスフィルタが利用される。図２の符号１２及び１３は電気線路であり、符号７はフィルタ回路を含む中継基板を示している。
【特許文献２】特開２００７−１０９４２号公報
【特許文献３】特願２００６−２６３９６２号（出願日：２００６年９月２８日）
【０００８】
特に、特許文献２では、中継基板上にフィルタ回路を構成するコンデンサや抵抗を、電気線路上の複数の薄膜によって構成することが開示されている。
このような薄膜を用いた回路構成は、フィルタ回路の小型化に寄与する反面、製造工程が複雑化し、特に、コンデンサを薄膜で構成するには多数回に渡る薄膜の形成・除去等の工程が必要となる。また、光導波路素子の周波数特性に応じてコンデンサや抵抗の値を調整することが必要であるが、抵抗の場合は薄膜の一部をトリミングするだけで、容易に調整可能であるのに対し、コンデンサの場合にはトリミングを行うと電極間が短絡する可能性があり、調整が困難なものとなる。
【０００９】
本発明者らは、コンデンサについては、積層セラミックコンデンサを用いることで、この問題を解消することを試みた。
具体的には、図３に示すように、中継基板本体１４上に電気線路１２及び１３を形成し、二つの電気線路を接続するように、チップ型の積層セラミックコンデンサ１０を配置した。積層セラミックコンデンサは、縦０．３ｍｍ×横０．６ｍｍ×高さ０．３ｍｍ（０６０３サイズ）のように、極めて小さく、安価に入手できる利点がある。
【００１０】
積層セラミックコンデンサは、図４（コンデンサの断面図を示す。）に示すようにセラミック材料２４を挟むように電極２２，２３が櫛の歯状に形成されており、両端において各電極が端子２０，２１に接続されている。
【００１１】
しかしながら、積層セラミックコンデンサを使用した場合には、図５に示すように、光応答の周波数特性が、共振現象（共振周波数ｆ０）を発生することを見出した。このため、光導波路素子に接続するフィルタ回路の構成部品としては、積層セラミックコンデンサは不向きと考えられた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明が解決しようとする課題は、上述したような問題を解決し、光導波路素子の変調電極に変調信号を入力する線路上に、コンデンサを含むフィルタ回路を配置する光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサに積層セラミックコンデンサを使用した場合でも、数十ＧＨｚの広帯域に渡り光応答周波数特性を平坦化可能な光導波路素子モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、共振現象を起こす原因は、図４に示すような櫛の歯状の電極に起因することを突き止め、しかも、コンデンサの静電容量に対応して、図５の共振周波数ｆ０が変化する、特に、静電容量が増加するに従いｆ０が低くなる傾向があることを発見し、本発明を完成する至ったものである。
【００１４】
請求項１に係る発明では、電気光学効果を有する材料で構成される基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子と、該変調電極に変調信号を入力する線路上に配置され、かつ、コンデンサを含むフィルタ回路とを含む光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサは積層セラミックコンデンサであり、１個の静電容量が３ｐＦ以下のもののみを使用することを特徴とする。
本発明における「光導波路素子モジュール」とは、光導波路素子にフィルタ回路が接続されているものを意味し、図１に示すように、一つの筐体９内に収容されているものに限られない。また、フィルタ回路は、図１に示すように中継基板７に設けられるものに限定されず、光導波路素子が形成された基板上にフィルタ回路を組み込まれる場合も、本発明の技術的範囲に含まれる。
【００１５】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサは、複数の積層セラミックコンデンサを使用する場合に、フィルタ回路基板上に積層セラミックコンデンサを積み重ねて配置することを特徴とする。
【００１６】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該フィルタ回路は、フィルタ回路基板上に形成された膜体による電気抵抗を含むことを特徴とする。
【００１７】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該電気抵抗に重ねて積層セラミックコンデンサを配置することを特徴とする。
【００１８】
請求項５に係る発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の光導波路素子モジュールにおいて、該変調電極の終端部に終端回路を接続することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１に係る発明により、電気光学効果を有する材料で構成される基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子と、該変調電極に変調信号を入力する線路上に配置され、かつ、コンデンサを含むフィルタ回路とを含む光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサは積層セラミックコンデンサであり、１個の静電容量が３ｐＦ以下のもののみを使用するため、フィルタ回路に積層セラミックコンデンサを使用した場合でも、２０ＧＨｚを超える広帯域に渡り電気／光応答の周波数特性を平坦化することが可能となる。
【００２０】
請求項２に係る発明により、コンデンサは、複数の積層セラミックコンデンサを使用する場合に、フィルタ回路基板上に積層セラミックコンデンサを積み重ねて配置するため、フィルタ回路基板が大型化せず、コンデンサの並列回路が容易に実現でき、３ｐＦより大きな静電容量が必要な場合にも対応可能なものとなる。
【００２１】
請求項３に係る発明により、フィルタ回路は、フィルタ回路基板上に形成された膜体による電気抵抗を含むため、フィルタ回路の電気抵抗を小型化できる上、トリミング等により抵抗値を容易に調整することも可能となる。このため、コンデンサの容量調整は積層セラミックコンデンサの交換又は複数利用で対応し、電気抵抗の抵抗値の調整はトリミング等で行うことで、各光導波路素子に適したフィルタ回路を簡便に調整することが可能となる。
【００２２】
請求項４に係る発明により、電気抵抗に重ねて積層セラミックコンデンサを配置するため、フィルタ回路をより小型化することが可能となる。
【００２３】
請求項５に係る発明により、変調電極の終端部に終端回路を接続するため、電気／光応答周波数の平坦化をフィルタ回路と終端回路との両者を組み合わせて行うことができるため、より様々な光導波路素子に対しても平坦化調整が可能となる。また、終端回路による光導波路素子の反射特性（Ｓ１１特性）も改善することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を好適例を用いて詳細に説明する。
本発明は、電気光学効果を有する材料で構成される基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子と、該変調電極に変調信号を入力する線路上に配置され、かつ、コンデンサを含むフィルタ回路とを含む光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサは積層セラミックコンデンサであり、１個の静電容量が３ｐＦ以下のもののみを使用することを特徴とする。
本発明の光導波路素子モジュールは、特定の積層セラミックコンデンサを用いたこと以外は、図１に示すような従来のものと基本的な構造に差異はない。このため、従来の製造工程を大きく変えずに、電気／光応答周波数特性を平坦化した光導波路素子モジュールを、容易に得ることができる。
【００２５】
本発明が適用される光導波路素子について説明する。
基板１は、電気光学効果を有する基板であり、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ＰＬＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛ランタン）、及び石英系の材料から構成され、具体的には、これら単結晶材料の、Ｘカット板、Ｙカット板、及びＺカット板から構成され、特に、光導波路デバイスとして構成されやすく、かつ異方性が大きいという理由から、ニオブ酸リチウム（ＬＮ）を用いることが好ましい。
【００２６】
光導波路２は、いわゆるマッハツェンダ型光導波路であり、基板１上に、例えばチタン（Ｔｉ）などを熱拡散法やプロトン交換法などで基板表面に拡散させることで形成することができる。また、別の方法として、特許文献４に示すように光導波路に対応する部分にリッジ構造を形成し、光導波路を構成することも可能である。さらに上述のＴｉ等を利用する方法とリッジ構造とを併用することも可能である。
【特許文献４】特開平６−２８９３４１号公報
【００２７】
光導波路２を伝搬する光波を変調するため、光導波路２の上側や近傍には、必要に応じて変調電極が配置される。
変調電極は、Ｔｉ・Ａｕの電極パターンの形成及び金メッキ方法などにより、基板１の表面又は裏面などに形成することが可能である。また、変調電極は、変調信号（ＡＣ信号又はＤＣ信号）を伝搬する信号電極３と該信号電極の周囲に配置される接地電極から構成される。
【００２８】
また、特に図示してないが、基板１と上述した変調電極との間にはＳｉＯ２などのバッファ層を形成することもできる。これによって、光導波路を伝搬する光波が、変調電極により吸収又は散乱されることを効果的に防止することができる。また、変調電極から印加される変調信号と、光導波路内を導波する光波との速度整合にも寄与する。
【００２９】
本発明の光導波路素子モジュールでは、積層セラミックコンデンサ１０を、図３に示すように配置する。中継基板本体（光導波路素子を構成する基板を中継基板本体としても良い）１４上に電気線路１２，１３を形成し、両者を電気的に接続するように、積層セラミックコンデンサのチップを配置する。
【００３０】
フィルタ回路に配置される積層セラミックコンデンサは、３ｐＦ以下のものであることが必要である。このような静電容量を有する積層セラミックコンデンサを使用することにより、図５に示すような電気／光応答周波数特性における共振周波数の発生を、ｆ０＝２５ＧＨｚまでシフトさせることが確認されている。
【００３１】
また、３ｐＦより大きな静電容量を確保する場合には、複数の積層セラミックコンデンサを使用して対応することが好ましい。この場合には、図６に示すように、フィルタ回路基板１４上に積層セラミックコンデンサ１０を積み重ねて配置することにより、フィルタ回路基板を大型することなく、コンデンサの並列回路が容易に実現できる。
しかも、積層セラミックコンデンサを積み重ねることにより、共振周波数を、より高周波側にシフトすることができ、高周波特性を改善することができる。例えば、２ｐＦのコンデンサ１個を実装した場合、共振周波数は３０ＧＨｚであるが、１ｐＦのコンデンサを２個積み重ねた場合には、共振周波数は１ｐＦの共振周波数である４５ＧＨｚにシフトする。
【００３２】
フィルタ回路に電気抵抗を構成するには、コンデンサと同様にチップ型の抵抗を利用することも可能であるが、特許文献２に示すように基板１４上に形成されたＴｉ２Ｎ等の膜体による電気抵抗を用いることも可能である。このような膜体の電気抵抗は、フィルタ回路の電気抵抗を小型化できる上、トリミング等により抵抗値を容易に調整することも可能となる。
【００３３】
さらに、図７に示すように、膜体の電気抵抗１１に重ねて、積層セラミックコンデンサ１０を配置することにより、フィルタ回路をより小型化することも可能となる。
【００３４】
また、本発明の光導波路素子モジュールにおいては、図１に示すように、変調電極の終端部に終端回路８を接続することも可能である。これにより、特許文献１乃至３にも記載されているように、終端回路の電気／光応答周波数の平坦化効果や光導波路素子の反射特性（Ｓ１１特性）の改善効果も併せて期待できる。特に、本発明のフィルタ回路との組み合わせによる相乗効果も期待できる。
【実施例】
【００３５】
次に、本発明の光導波路素子モジュールに関する、電気／光変換応答の周波数特性の変化について、実験例を説明する。
光導波路素子としてＬＮ変調器（住友大阪セメント社製、T.MXH1.5-10）を用い、入力インターフェースと変調電極との間に、図２に示すハイパスフィルタを設置した。
【００３６】
ハイパスフィルタのコンデンサは、積層セラミックコンデンサ（松下電器社製、ＥＣＤシリーズ０６０３サイズ）の静電容量１，２及び３ｐＦを使用し、抵抗は、Ｔｉ２Ｎの薄膜で電気線路間に形成した、抵抗値は約１０Ωであった。
【００３７】
光コンポーネントアナライザ（アジレント社製，８６０３０Ａ）により、電気／光変換応答の周波数特性を測定し、共振周波数ｆ０を測定したところ、３ｐＦの場合はｆ０が２５ＧＨｚ、２ｐＦの場合はｆ０が３０ＧＨｚ、さらに１ｐＦの場合はｆ０が４５ＧＨｚであった。
このことから、積層セラミックコンデンサを使用する場合には、３ｐＦ以下のものを利用することで、電気／光応答周波数特性の平坦化を２０ＧＨｚ以上まで拡大可能なことが容易に理解される。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
以上説明したように、本発明によれば、光導波路素子の変調電極に変調信号を入力する線路上に、コンデンサを含むフィルタ回路を配置する光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサに積層セラミックコンデンサを使用した場合でも、数十ＧＨｚの広帯域に渡り光応答周波数特性を平坦化可能な光導波路素子モジュールを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】光導波路素子モジュールを説明するための概略図である。
【図２】フィルタ回路の一例を示す図である。
【図３】フィルタ回路に積層セラミックコンデンサを配置した図である。
【図４】積層セラミックコンデンサの断面図である。
【図５】積層セラミックコンデンサをフィルタ回路に用いた場合の電気／光応答周波数特性を示す図である。
【図６】積層セラミックコンデンサを積み重ねて配置した様子を示す図である。
【図７】積層セラミックコンデンサを膜体の電気抵抗の上側に配置した様子を示す図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  基板
２  光導波路
３  信号電極
４  入力用光ファイバ
５  出力用光ファイバ
６  駆動用ドライバ
７  中継基板
８  終端回路
９  筐体
１０  コンデンサ（積層セラミックコンデンサ）
１１  電気抵抗（膜体抵抗）
１２，１３  電気線路
１４  中継基板本体（フィルタ回路基板）
２０，２１  端子
２２，２３  電極
３０  電気／光応答周波数特性
【図１】
2009244324.tif 000003
【図２】
2009244324.tif 000004
【図３】
2009244324.tif 000005
【図４】
2009244324.tif 000006
【図５】
2009244324.tif 000007
【図６】
2009244324.tif 000008
【図７】
2009244324.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成21年6月5日(2009.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を有する材料で構成される基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子と、
該変調電極に変調信号を入力する線路上に配置され、かつ、コンデンサを含むフィルタ回路とを含む光導波路素子モジュールにおいて、
該コンデンサは、複数の積層セラミックコンデンサをフィルタ回路基板上に積み重ねて配置すると共に、該積層セラミックコンデンサの１個の静電容量が３ｐＦ以下のもののみを使用することを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該フィルタ回路は、フィルタ回路基板上に形成された膜体による電気抵抗を含むことを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項３】
請求項２に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該電気抵抗に重ねて積層セラミックコンデンサを配置することを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の光導波路素子モジュールにおいて、該変調電極の終端部に終端回路を接続することを特徴とする光導波路素子モジュール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項１に係る発明では、電気光学効果を有する材料で構成される基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子と、該変調電極に変調信号を入力する線路上に配置され、かつ、コンデンサを含むフィルタ回路とを含む光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサは、複数の積層セラミックコンデンサをフィルタ回路基板上に積み重ねて配置すると共に、該積層セラミックコンデンサの１個の静電容量が３ｐＦ以下のもののみを使用することを特徴とする。
本発明における「光導波路素子モジュール」とは、光導波路素子にフィルタ回路が接続されているものを意味し、図１に示すように、一つの筐体９内に収容されているものに限られない。また、フィルタ回路は、図１に示すように中継基板７に設けられるものに限定されず、光導波路素子が形成された基板上にフィルタ回路を組み込まれる場合も、本発明の技術的範囲に含まれる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該フィルタ回路は、フィルタ回路基板上に形成された膜体による電気抵抗を含むことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該電気抵抗に重ねて積層セラミックコンデンサを配置することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項４に係る発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の光導波路素子モジュールにおいて、該変調電極の終端部に終端回路を接続することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項１に係る発明により、電気光学効果を有する材料で構成される基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子と、該変調電極に変調信号を入力する線路上に配置され、かつ、コンデンサを含むフィルタ回路とを含む光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサは、複数の積層セラミックコンデンサをフィルタ回路基板上に積み重ねて配置すると共に、該積層セラミックコンデンサの１個の静電容量が３ｐＦ以下のもののみを使用するため、フィルタ回路に積層セラミックコンデンサを使用した場合でも、２０ＧＨｚを超える広帯域に渡り電気／光応答の周波数特性を平坦化することが可能となる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
しかも、該コンデンサは、複数の積層セラミックコンデンサを使用する場合に、フィルタ回路基板上に積層セラミックコンデンサを積み重ねて配置するため、フィルタ回路基板が大型化せず、コンデンサの並列回路が容易に実現でき、３ｐＦより大きな静電容量が必要な場合にも対応可能なものとなる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項２に係る発明により、フィルタ回路は、フィルタ回路基板上に形成された膜体による電気抵抗を含むため、フィルタ回路の電気抵抗を小型化できる上、トリミング等により抵抗値を容易に調整することも可能となる。このため、コンデンサの容量調整は積層セラミックコンデンサの交換又は複数利用で対応し、電気抵抗の抵抗値の調整はトリミング等で行うことで、各光導波路素子に適したフィルタ回路を簡便に調整することが可能となる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項３に係る発明により、電気抵抗に重ねて積層セラミックコンデンサを配置するため、フィルタ回路をより小型化することが可能となる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項４に係る発明により、変調電極の終端部に終端回路を接続するため、電気／光応答周波数の平坦化をフィルタ回路と終端回路との両者を組み合わせて行うことができるため、より様々な光導波路素子に対しても平坦化調整が可能となる。また、終端回路による光導波路素子の反射特性（Ｓ１１特性）も改善することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
以下、本発明を好適例を用いて詳細に説明する。
本発明は、電気光学効果を有する材料で構成される基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子と、該変調電極に変調信号を入力する線路上に配置され、かつ、コンデンサを含むフィルタ回路とを含む光導波路素子モジュールにおいて、該コンデンサは、複数の積層セラミックコンデンサをフィルタ回路基板上に積み重ねて配置すると共に、該積層セラミックコンデンサの１個の静電容量が３ｐＦ以下のもののみを使用することを特徴とする。
本発明の光導波路素子モジュールは、特定の積層セラミックコンデンサを用いたこと以外は、図１に示すような従来のものと基本的な構造に差異はない。このため、従来の製造工程を大きく変えずに、電気／光応答周波数特性を平坦化した光導波路素子モジュールを、容易に得ることができる。