(57)【要約】      （修正有）【課題】ベース電極及び圧電素子とＦＰＣとの配線を容易に、且つ良好に行うことができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル孔に連通する圧力室を構成する圧力室溝を有するボディプレート２と、前記圧力室に圧力を発生させる圧電素子３と、前記圧電素子に駆動電力を供給するフレキシブル基板４２と、を備え、前記圧電素子は、該圧電素子が有する一対の対向する電極３ａの一方の電極が前記ボディプレートの前記圧力室溝がある面の反対面に設けられたベース電極４０に結合され、前記ベース電極と前記圧電素子の他方の電極は、それぞれの電極が接続される共通電極４２−ｇと個別電極４２−ｄを有する前記フレキシブル基板と異方導電性フィルム４４を間に挟んで結合されている液体吐出ヘッドにおいて、前記ベース電極と前記共通電極との間には、該ベース電極から順に導電性部材４３と前記異方導電性フィルムがある。【選択図】図１
2009029069.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を液滴として吐出するノズル孔に連通する圧力室を構成する圧力室溝を有するボディプレートと、
前記圧力室に圧力を発生させる圧電素子と、
前記圧電素子に駆動電力を供給するフレキシブル基板と、を備え、
前記圧電素子は、該圧電素子が有する一対の対向する電極の一方の電極が前記ボディプレートの前記圧力室溝がある面の反対面に設けられたベース電極に結合され、
前記ベース電極と前記圧電素子の他方の電極は、それぞれの電極が接続される共通電極と個別電極を有する前記フレキシブル基板と異方導電性フィルムを間に挟んで結合されている液体吐出ヘッドにおいて、
前記ベース電極と前記共通電極との間には、該ベース電極から順に導電性部材と前記異方導電性フィルムがあることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
液体を液滴として吐出するノズル孔に連通する圧力室を構成する圧力室溝を有するボディプレートと、
前記圧力室に圧力を発生させる圧電素子と、
前記圧電素子に駆動電力を供給するフレキシブル基板と、を備え、
前記圧電素子は、該圧電素子が有する一対の対向する電極の一方の電極が前記ボディプレートの前記圧力室溝がある面の反対面に設けられたベース電極に結合され、
前記ベース電極と前記圧電素子の他方の電極は、それぞれの電極が接続される共通電極と個別電極を有する前記フレキシブル基板と異方導電性フィルムを間に挟んで結合されている液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記ボディプレートに前記ベース電極を設ける工程と、
前記ベース電極に、前記圧電素子の一方の電極を結合するとともに、前記ベース電極に、導電性部材を結合する工程と、
前記圧電素子と前記導電性部材が前記ベース電極に結合された前記ボディプレートを固定台の上に置く工程と、
前記ボディプレートの前記圧電素子と前記導電性部材の上に異方導電性フィルムを置く工程と、
前記異方導電性フィルムの上に、前記導電性部材と前記圧電素子の位置に前記共通電極と前記個別電極の位置が重なるようにフレキシブル基板を置く工程と、
前記フレキシブル基板を押圧する押圧部材を加熱する工程と、
前記押圧部材を加熱した状態で前記フレキシブル基板を押圧する工程と、
前記押圧部材を前記フレキシブル基板から離す工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドを用いたインクジェット式記録方式は、ノンインパクト記録方式の１つであり、高速記録が可能であると共に、種々の記録媒体に対して記録が可能であり、しかも、高精細な画像が得られる。このような利点から、インクジェット式記録方式は、コンピュータの周辺機器としてのプリンタばかりでなく、複写機、写真、各種印刷、産業用高精細パターニング等の記録手段として近年用途を拡大しながら急速に普及している。
【０００３】
このような液体吐出ヘッドは、インク等の液体を飛翔させるためのノズルと、このノズルに連通する圧力発生室のインク等の液体に、吐出のためのエネルギーを与えるエネルギー発生手段とを備えている。このエネルギー発生手段として、電気機械変換素子である圧電素子（ピエゾ素子）を用いた液体吐出ヘッドがある。この圧電素子は、圧力発生室の壁の一部を成す振動板に取り付けられてあり、圧電素子が発生した圧力波は、振動板を介し圧力発生室内の液体に伝搬することによってノズル先端のメニスカスを制御して液滴を吐出させる。
【０００４】
この圧電素子に所定の電圧をＯＮ／ＯＦＦする制御をすることにより、液滴の吐出の有無を制御し、所望の印刷を行うことができる。このため、液体吐出ヘッドに設けてある圧電素子には、電圧を印加するための配線が設けてある。
【０００５】
液体吐出ヘッドが備えている圧電素子に配線する方法として、配線材としてＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔｓ、フレキシブル基板）を用い、ＦＰＣと圧電素子との間に異方導電性フィルムを配置して加熱圧着する方法がある（特許文献１参照）。図６に沿って説明する。圧電素子２０１とＦＰＣ２０３の間に、圧電素子２０１の接合させたい部分の面積の異方導電性フィルム２０４を配置し、加熱圧着装置の予め加熱しておいたＦＰＣ押さえ部２０６でＦＰＣ２０３の上から押さえ、適度に加熱しながら圧力を加えて配線している。また、異方導電性フィルム２０４は、圧電素子２０１とＦＰＣ２０３の配線と同様に、圧電素子２０１を接着している共通電極板２０２とＦＰＣ２０３の間に異方導電性フィルム２０５を配置することによりＦＰＣ２０３と共通電極板２０２とを配線することが可能であるとしている。
【特許文献１】特開平３−３４５８５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図６に示すように、共通電極板２０２とＦＰＣ２０３との間隔は、圧電素子２０１とＦＰＣ２０３との間隔より、圧電素子２０１の厚み分だけ広い。このため、異方導電性フィルムで同時に圧電素子２０１とＦＰＣ２０３、共通電極板２０２とＦＰＣ２０３を配線しようとすると、共通電極板２０２とＦＰＣ２０３との加圧が十分できないため、配線不良が生じる場合がある。このため、共通電極板２０２とＦＰＣ２０３の配線及び圧電素子２０１とＦＰＣ２０３の配線を、２つの工程に分けて行う必要がある。また、場合によっては２種類の大きさの異方導電性フィルムを用意する必要もあって、製造工程が煩雑で製造時間が長くなってしまうという問題があった。また、液体吐出ヘッドをより小型にするために、圧電素子２０１間のピッチを小さくすると共に共通電極板２０２とＦＰＣ２０３とを接続する位置を、より圧電素子２０１側に近づける必要がある。この場合、圧電素子２０１の厚みよる配線個所の高低差により、異方導電性フィルムの曲げ度合いが大きくなりすぎて良好に接続することができない。
【０００７】
本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ベース電極及び圧電素子とＦＰＣとの配線を容易に、且つ良好に行うことができる液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題は、以下の構成により解決される。
【０００９】
１．  液体を液滴として吐出するノズル孔に連通する圧力室を構成する圧力室溝を有するボディプレートと、
前記圧力室に圧力を発生させる圧電素子と、
前記圧電素子に駆動電力を供給するフレキシブル基板と、を備え、
前記圧電素子は、該圧電素子が有する一対の対向する電極の一方の電極が前記ボディプレートの前記圧力室溝がある面の反対面に設けられたベース電極に結合され、
前記ベース電極と前記圧電素子の他方の電極は、それぞれの電極が接続される共通電極と個別電極を有する前記フレキシブル基板と異方導電性フィルムを間に挟んで結合されている液体吐出ヘッドにおいて、
前記ベース電極と前記共通電極との間には、該ベース電極から順に導電性部材と前記異方導電性フィルムがあることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【００１０】
２．  液体を液滴として吐出するノズル孔に連通する圧力室を構成する圧力室溝を有するボディプレートと、
前記圧力室に圧力を発生させる圧電素子と、
前記圧電素子に駆動電力を供給するフレキシブル基板と、を備え、
前記圧電素子は、該圧電素子が有する一対の対向する電極の一方の電極が前記ボディプレートの前記圧力室溝がある面の反対面に設けられたベース電極に結合され、
前記ベース電極と前記圧電素子の他方の電極は、それぞれの電極が接続される共通電極と個別電極を有する前記フレキシブル基板と異方導電性フィルムを間に挟んで結合されている液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記ボディプレートに前記ベース電極を設ける工程と、
前記ベース電極に、前記圧電素子の一方の電極を結合するとともに、前記ベース電極に、導電性部材を結合する工程と、
前記圧電素子と前記導電性部材が前記ベース電極に結合された前記ボディプレートを固定台の上に置く工程と、
前記ボディプレートの前記圧電素子と前記導電性部材の上に異方導電性フィルムを置く工程と、
前記異方導電性フィルムの上に、前記導電性部材と前記圧電素子の位置に前記共通電極と前記個別電極の位置が重なるようにフレキシブル基板を置く工程と、
前記フレキシブル基板を押圧する押圧部材を加熱する工程と、
前記押圧部材を加熱した状態で前記フレキシブル基板を押圧する工程と、
前記押圧部材を前記フレキシブル基板から離す工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、液体吐出ヘッドには、ボディプレートに設けてあるベース電極とフレキシブル基板が有する共通電極との間に、ベース電極から順に導電性部材と異方導電性フィルムがある。よって、導電性部材の厚みを、例えば圧電素子とほぼ同じ厚みとすると、導電性部材及び圧電素子と導電性部材とで挟まれた異方導電性フィルムの厚みを均一にすることができる。このため、ベース電極及び圧電素子とフレキシブル基板とを容易に、且つ良好に結合することができる。
【００１２】
従って、ベース電極及び圧電素子とフレキシブル基板との配線を容易に、且つ良好に行うことができる液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。
本発明に係わる液体吐出ヘッドの製造方法により製造される液体吐ヘッドについて説明する。
【００１４】
図３は、液体吐出ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドと称する。）Ａの構成の分解斜視図を示している。図３において、１は液体吐出ヘッド用ノズルプレート（以下、ノズルプレートと称する。）、５は中間プレート、２はボディプレート、３は圧電素子、３０はインク供給路、４２は圧電素子３に電力を供給する配線材であるフレキシブル基板（以降、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔｓ）と称する。）を模式的に示している。
【００１５】
ノズルプレート１には、インク吐出のためのノズル孔１１を複数配列してある。ノズル孔１１の液滴を吐出する吐出口を有する面（以降、吐出面と称する。）１３には撥液膜４５がある。中間プレート５には、ノズル孔１１に連通する貫通孔１２が設けてある。貫通孔１２の径は、ノズル孔１１の径より大きい。
【００１６】
また、ボディプレート２には、中間プレート５を介してノズルプレート１を貼り合わせることで圧力室となる圧力室溝２４、インク供給路となるインク供給路溝２３及び共通インク室となる共通インク室溝２２、並びにインク供給口２１が形成されている。
【００１７】
そして、ノズルプレート１のノズル孔１１とボディプレート２の圧力室溝２４とが一対一で対応するように、中間プレート５を挟んでノズルプレート１とボディプレート２と貼り合わせることで、流路ユニットＭを形成する。ここで、以後、上記で説明に使用した圧力室溝、供給路溝、共通インク室溝の各符号は、それぞれ圧力室、供給路、共通インク室にも使用する。また、インク供給口２１に連通するようにインク供給路３０を結合してある。インク供給路３０と別途準備するインク貯蔵部（図示しない）とをパイプ（図示しない）で接続することで、流路ユニットＭにインクを供給することができる。
【００１８】
流路ユニットＭにおいて、圧力室２４の容積を変化させてノズル孔１１から液滴を吐出させるアクチュエータとして、圧電素子３をボディプレート２のノズルプレート１を有する面と反対の各圧力室２４の底面に結合してある。
【００１９】
図２は、記録ヘッドＡの圧電素子３、ＦＰＣ４２及びその周辺を、図３において紙面の奥側から手前側を見た様子を模式的に示している。ボディプレート２には、圧電素子３に駆動電力を供給するため接続されるベース電極４０が設けてある。圧電素子３には、これを駆動するための一対の対向する電極３ａが設けてあり、この内の一方の電極３ａが各圧力室２４に対応するベース電極４０の上の位置に結合されている。以降、圧電素子３と電気的に接続する場合、この電極３ａを示さない場合でも電極３ａと接続することを意味する。
【００２０】
また、圧電素子３とほぼ同じ厚みの導電性部材４３が、圧電素子３と並んでベース電極４０に結合されている。ＦＰＣ４２は、各圧電素子３に電力を供給するために各圧電素子３の他方の電極３ａに接続される個別電極４２−ｄと、ベース電極４０に結合された導電性部材４３と接続される共通電極４２−ｇとを、ベースフィルム４２−ｂの上に備えている。このＦＰＣ４２の共通電極４２−ｇ及び個別電極４２−ｄと、導電性部材４３及び各圧電素子３の電極３ａとの間には、この間を電気的及び機械的に結合している異方導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）４４がある。異方導電性フィルム４４による接続に関しては以降で説明する。
【００２１】
別途用意する圧電素子３の駆動回路（図示しない）にＦＰＣ４２の他方の端を接続し、ベース電極４０と個別電極４２−ｄとの間に駆動パルス電圧を印加することで、各圧電素子３を独立して駆動することができる。駆動した圧電素子３から発生する振動が圧力室２４に伝えられ、この振動により圧力室２４内の圧力を変動させることで圧力室２４内の液体をノズル孔１１から液滴として吐出できる。
【００２２】
これまで説明した記録ヘッドＡを製造する製造工程のフロー図を図４に示す。図４に沿って、記録ヘッドＡの製造に関して、図１から３及び５を参照しながら説明する。
【００２３】
（ノズルプレートの準備、ボディプレートの準備、中間プレートの準備）
図３に示す流路ユニットＭを構成するノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２をそれぞれ製造する。ノズルプレート１とボディプレート２を成す材料はＳｉとし、中間プレート５を成す材料は、可動イオンを含む硼珪酸ガラスが好ましい。各プレートをこれらの材料とすることで後述する陽極接合を容易に行うことができる。
【００２４】
ノズルプレート１にノズル孔１１を形成する方法、中間プレート５に貫通孔１２を形成する方法、ボディプレート２に圧力室溝２４等を形成する方法は、公知のフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）及びエッチング技術等を用いることができる。エッチング方法としては、ドライエッチングが好ましい。これらの方法により、ノズルプレート１、ボディプレート２及び中間プレート５を準備する。
【００２５】
（接合）
次に、準備したノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２の３枚のプレートを重ね合わせ、図５に示す陽極接合装置により接合して圧力室２４を形成する。図５は、ボディプレート２、ノズルプレート１、中間プレート５の３枚のプレートを同時に陽極接合する様子を模式的に示している。以下、図５を用いてノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２を陽極接合することに関して説明する。
【００２６】
ノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２は、十分に洗浄して乾燥させ、接合面にゴミが無いようにする。この洗浄及び乾燥するに先だって、ノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２の各接合面は、研磨等により各表面粗さを１０ｎｍ未満にするのが好ましい。
【００２７】
次に、ノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２を、ヒーター（図示しない）及び陽極接合を行うための電極２０ａを備えたプレート固定台２０の上に重ね合わせる。この時、電極２０ａから、ボディプレート２、中間プレート５、ノズルプレート１の順に各接合面を対向させ、位置関係を調整して重ね合わせる。電極２０ａは、この上に載せるボディプレート２より大きくしておく。
【００２８】
次に、電極となる押圧部材１１０をノズルプレート１の上に設けて、ノズルプレート１を押圧し、プレート固定台２０が備えているヒーター（図示しない）により重ね合わせた３枚のプレートを加熱する。陽極接合温度（概ね３５０℃から５５０℃の範囲）まで３枚のプレートを加熱し、陽極接合温度を維持した状態で直流電圧（概ね０．５ｋＶから２ｋＶの範囲）を３枚のプレートに印加する。具体的には、ボディプレート２に接触する電極２０ａと、電極となる押圧板１１０に接触する電極プローブ６０とをプラスとし、中間プレート５に接触する電極プローブ６１をマイナスとして直流電源９０より直流電圧を３枚のプレートに印加する。
【００２９】
電源プローブ６１を中間プレート５に接触させるためには、ノズルプレート１を中間プレート５より小さくする、又は、ノズルプレート１に切り欠きを設けて中間プレート５の一部を露出させればよい。
【００３０】
押圧部材１１０で押圧することで、３枚のプレート間の間隔を狭くして、薄い空気層を周囲に押し出し、空気が押し出された領域は、研磨等で表面粗さＲａが１０ｎｍ未満としている場合は間隔が非常に小さくなり、面同士が接触して分子間力で密着させることができる。ノズルプレート１を押圧する押圧部材１１０は、電極となる材料であれば特に限定されない。
【００３１】
陽極接合は、陽極接合温度で中間プレート５の中の可動イオンが高電界に引かれて移動拡散する現象であり、この現象が顕著なガラスが好ましい。好ましいガラスとしてテンパックス（登録商標）及びパイレックス（登録商標）がある。
【００３２】
本実施の形態では、ボディプレート２と中間プレート５とノズルプレート１を同時に陽極接合法により貼り合わせる工程を例にして説明した。同時に３つのプレートを接合することで製造工程を簡略化、時間短縮することできる。勿論、ボディプレート２と中間プレート５を接合し、次に中間プレート５とノズルプレート１とを接合するように順次陽極接合を行ってもよい。
【００３３】
（洗浄）
次に、ボディプレート２、中間プレート５、ノズルプレート１を陽極接合した流路ユニットＭの洗浄を行う。特に撥液膜４５を設けるノズルプレート１の吐出面１３は十分に清浄にするのが好ましい。清浄した吐出面１３に撥液膜４５を形成することで、吐出面１３に対する撥液膜４５の密着力を十分に確保することができ、耐久性を向上することができる。記録ヘッド稼働時に吐出面１３の清掃のためヘッドクリーナーで擦って拭いても撥液膜４５が容易に剥がれることがなくなり、良好な液滴の吐出性能を長期に亘って維持することができる。
【００３４】
洗浄方法としては、例えば超音波洗浄が有り、洗浄液としては、流路ユニットＭを成す材料に浸食等の化学的変化を生じないものであれば特に限定することはなく、汚染物質に応じて適宜選択すれば良い。例えば、ガラスやＳｉ等の粒子汚れの除去性や脱脂力に優れているアルカリ洗剤、取り扱いが容易な中性洗剤を挙げることができ、汚染物質に応じて適宜選択して用いる。また、ＲＣＡ洗浄法を適用しても良い。
【００３５】
上記の様に洗浄液を用いて超音波洗浄を行った流路ユニットＭを、純水によるリンス処理を行い乾燥させる。この後、更に酸素プラズマによるアッシング処理（酸素プラズマ処理とも称する。）を行ってもよい。
【００３６】
洗浄によって密着性が向上するのは、吐出面１３に設ける撥液膜４５に限らない。後述する圧電素子３のベース電極４０とする金属膜に対しても密着性が向上するのは勿論である。
【００３７】
（撥液膜形成）
次に吐出面１３に設ける撥液膜４５に関して説明する。ノズルプレート１の吐出面１３に撥液膜４５を設ける。撥液膜４５を設けることで、ノズル孔１１から液体が吐出面１３に馴染むことによる染み出しや広がりを抑制することができる。具体的に撥液膜４５には、例えば液体が水性であれば撥水性を有する材料が用いられ、液体が油性であれば撥油性を有する材料が用いられる。一般に、ＦＥＰ（四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフロロエチレン）、フッ素化シロキサン、フルオロアルキルシラン、アモルファスパーフルオロ樹脂等のフッ素樹脂等が用いられることが多く、塗布方法、真空蒸着方法、浸漬方法で吐出面１２に成膜する。撥液膜４５の厚みは、撥液膜４５の材料、形成方法により適宜決めればよい。
【００３８】
撥液膜４５は、ノズルプレート１の吐出面１３に直接成膜することができるが、撥液膜４５の密着性を向上させるために、下地層、例えばＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）膜を介して成膜するのが好ましい。ＴＥＯＳ膜は、プラズマＣＶＤ法でＴＥＯＳガスを用いて形成することができる。
【００３９】
尚、撥液膜４５を形成する際に、吐出口をマスキングするのが好ましい。マスキングすることで、撥液膜４５が吐出口を塞ぐことがなくなり、撥液膜４５の形成後に吐出口部分の撥液膜を除去することなく良好な吐出口を得ることができる。
【００４０】
（ベース電極形成）
次に、流路ユニットＭの背面（ノズルプレート１がある側と反対側の面）の圧力室２４の位置に該当する部分（所謂振動板として機能する部分）にベース電極４０を設ける（図１、２参照）。ベース電極４０は、この上に設ける全ての圧電素子３に電圧を印加して駆動するための共通電極として機能する。このベース電極４０を成す材料は、電極となる材料であれば特に限定することはなく、例えば、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｇが挙げられる。また、密着性を良くするためのＣｒ等の下地層を設けてもよい。ベース電極４０を形成する方法は、特に限定することはなく、例えば公知のスパッタリングや真空蒸着がある。
【００４１】
（圧電素子、導電性部材結合）
次に、ベース電極４０の上に別途用意する圧電素子３を結合する。圧電素子３に電圧を印加する２つの面には、予めＡｕ等の一対の対向する電極３ａを設けておき、この電極３ａの一方の面を例えば銀ペースト等の導電性接着剤を用いてベース電極４０に結合する。また、圧電素子３をベース電極４０に設ける際に、導電性部材４３を圧電素子３と同様にしてベース電極４０の上に結合しておく。導電性部材４３をベース電極４０に設ける位置は特に限定されないが、後で説明するＦＰＣと結合することを考慮すると、作業の容易さやＦＰＣ及び異方導電性フィルムの形状等から、図３に示すように、圧電素子３が並んでいる延長上に設けるのが好ましい。
【００４２】
導電性部材４３の材料は、電極となる材料であれば特に限定することはなく、箔状の例えばＡｌ、Ｃｕ等の金属が挙げられ、ベース電極４０への結合が容易な片面に導電性粘着剤が設けてある金属箔テープ等を用いてもよい。また、導電性部材４３の厚みは、圧電素子３の厚みとほぼ同じとすることが好ましい。尚、圧電素子３の厚みは、仕様にもよるが例えば３０μｍから１００μｍ程度である。
【００４３】
（ＦＰＣの配線）
次に、流路ユニットＭに結合した各圧電素子３に駆動電力を供給するためのＦＰＣ４２の結合を行う。図２に示す様にＦＰＣ４２を流路ユニットＭのノズルプレート１の反対面に異方導電性フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）を用いて導電性部材４３及び各圧電素子３とを結合する。
【００４４】
異方導電性フィルムは、絶縁性及び接着性に優れるエポキシ樹脂やポリイミドなどのバインダ成分中に、導電性の金属等の導電性物質の微粒子を分散させてフィルム状に形成したものである。この異方導電性フィルムは、接合面と被接合面との間に配置して、適度な加熱と加圧を同時にかけることによって、接合面と被接合面とを接着すると共に、面方向の絶縁性を保持したまま厚み方向の接合面と被接合面とを導通させることができる接続材料である。
【００４５】
ベース電極４０及び圧電素子３とＦＰＣ４２とを、異方導電性フィルム４４を挟んで結合を行う方法の例を図１に示す。固定台５１の上に、圧電素子３を設けている側を上にして流路ユニットＭを載せる。流路ユニットＭには、これまで説明したように、ベース電極４０の上に導電性部材４３及び圧電素子３が結合してある。この上に、導電性部材４３及び圧電素子３を被うことができる大きさの異方導電性フィルム４４を載せる。異方導電性フィルム４４は、薄いフィルムであり任意の形状に容易に切断できるため、必要な接着面積や形状に合わせた異方導電性フィルムを容易に用意することができ、接合の品質を良好に維持することができる。異方導電性フィルム４４において、４４ａはバインダ、４４ｂは微粒子を模式的に示している。
【００４６】
次に、異方導電性フィルム４４の上に、ＦＰＣ４２を載せる。ＦＰＣ４２にはＦＰＣ４２を構成するベースフィルム４２−ｂの上に、導電性部材４３と接続する共通電極４２−ｇ、圧電素素３と接続する個別電極４２−ｄが設けてあり、異方導電性フィルム４４の上に載せる際に、その下に位置する導電性部材４３及び圧電素子３との位置調整を行う。
【００４７】
次に、ＦＰＣ４２の上から予め加熱しておいた加熱圧着装置の押さえ部５３をＦＰＣ４２の上から押さえ、適度に加熱しながら加圧する。この時の加圧力、加熱温度及び加熱時間は、使用する異方導電性フィルムによって適宜決めればよい。
【００４８】
ベース電極４０の上に圧電素子３の厚みとほぼ同じ厚みの導電性部材４３を設けておくことで、ＦＰＣ４２と電気的に接続する面、すなわち、ＦＰＣ４２に対向する導電性部材４３、圧電素子３の接続面は、ほぼ同一平面内となり、凹凸がなく平坦とすることができる。このため、押さえ部５３でＦＰＣ４２を上から押さえた時、導電性部材４３及び圧電素子３と、共通電極４２−ｇ及び個別電極４２−ｄとが対向するそれぞれの面で挟まれる異方導電性フィルム４４を、接続個所に依存せずほぼ均等に加圧、圧縮することができる。従って、ＦＰＣ４２の共通電極４２−ｇ及び個別電極４２−ｄは導電性部材４３及び圧電素子３（詳しくは電極３ａ）に同時に均質に電気的に接続することができるとともに、機械的に流路ユニットＭに固定することができる。
【００４９】
（インク供給路結合）
流路ユニットＭに開口しているインク供給口２１にインクを供給するためのインク供給路３０を接着剤等で結合する。インク供給路３０を流路ユニットＭに設けることで、インク供給路３０と別途設けるインク貯蔵部（図示しない）とをパイプで接続することができ、流路ユニットＭにインクを供給することができる。以上でもって、記録ヘッドＡを完成することができる。
【実施例】
【００５０】
（実施例１）
図４に沿って記録ヘッドＡを２０個製造した。ノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２それぞれをＳｉ基板、パイレックス（登録商標）基板及びＳｉ基板からフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）及びエッチング技術を用いて製造した。その後、陽極接合により貼り合わせ、撥液膜４５及びベース電極４０を設けた流路ユニットＭを用意した。圧電素子３には、一対の対向する電極３ａが予め設けてあり、一方の電極３ａをベース電極４０の上に銀ペーストにより取り付けた。流路ユニットＭ１個当たりの圧電素子３の個数は１６個とした。
【００５１】
この後、導電性部材４３として導電性テープをベース電極４０の上に固定した。圧電素子３の厚みは、電極３ａを含めて５０μｍとし、導電性テープは、住友スリーエム（株）製ＣＵ−３５Ｃを使用した。導電性テープＣＵ−３５Ｃは、カタログより、銅箔の厚みが３５μｍで導電性粘着剤を含めた厚みが７０μｍである。
【００５２】
次に図１に示すように、固定台５１の上に、上記の通り用意したベース電極４０の上に圧電素子３及び導電性部材４３を設けた流路ユニットＭを載せた。更に、この上に接合面にあわせた大きさの異方導電性フィルム４４及びＦＰＣ４２の一方の端の共通電極４２−ｇ、個別電極４２−ｄを備えている部分を載せた。尚、ＦＰＣ４２を載せる際は、その共通電極４２−ｇ、個別電極４２−ｄと導電性部材４３及び圧電素子３とが対向する様に位置調整を行った。また、異方導電性フィルム４４は、日立化成工業（株）製のＡＮＩＳＯＬＭ  ＡＣ−２１０２Ｙ−４５を使用した。
【００５３】
次に、加熱圧着装置の押さえ部５３の温度を８０℃、加圧力１ＭＰａとして３秒間ＦＰＣ４２を加熱及び加圧し、引き続いて、温度を１８０℃、加圧力３ＭＰａとして１５秒間加熱及び加圧した。この後流路ユニットＭにインク供給路３０を結合した。これで、記録ヘッドＡを２０個製造した。
【００５４】
ＦＰＣ４２の他方の端に駆動回路に接続し通電したところ、２０個の記録ヘッドＡの圧電素子３の全てが問題なく動作することを確認した。
【００５５】
（比較例１）
導電性部材４３とする導電性テープを設けなかった以外は実施例１と同じとして記録ヘッドＡを２０個製造した。
【００５６】
ＦＰＣ４２の他方の端に駆動回路を接続し通電したところ、２０個の記録ヘッドＡの内、１７個が動作しなかった。何れの記録ヘッドＡにおいても、各記録ヘッドＡの全ての圧電素子３が動作しないため共通電極となるベース電極４０と共通電極４２−ｇとが接続できないと推測した。これを確認するため、ＦＰＣ４２の共通電極４２−ｇに通じる駆動回路側の電極とベース電極４０との間の導通テストをテスターにて行ったところ、導通していないことが分かった。
【００５７】
以上の実施例１及び比較例１の結果より、ベース電極４０と異方導電性フィルムとの間に導電性部材４３である導電性テープを設けることで、ＦＰＣ４２の共通電極４２−ｇ及び個別電極４２−ｄは、導電性部材４３及び圧電素子３に同時に容易に確実に接続できることが確認できた。従って、ベース電極及び圧電素子とＦＰＣとの配線を容易に、且つ良好に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】ベース電極及び圧電素子とＦＰＣとを異方導電性フィルムを挟んで結合を行う方法を説明する図である。
【図２】異方導電性フィルムを用いて導電性部材及び各圧電素子とＦＰＣとが結合されている様子を示す図である。
【図３】液体吐出ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドの構成を分解斜視図で示す図である。
【図４】インクジェット式記録ヘッドを製造する製造工程のフローを示す図である。
【図５】陽極接合装置の例を示す図である。
【図６】ベース電極及び圧電素子とＦＰＣとを異方導電性フィルムを挟んで結合を行う従来例を説明する図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  ノズルプレート
２  ボディプレート
３  圧電素子
３ａ  電極
５  中間プレート
４０  ベース電極
４２  フレキシブル基板（ＦＰＣ）
４２−ｂ  ベースフィルム
４２−ｄ  個別電極
４２−ｇ  共通電極
４３  導電性部材
４４  異方導電性フィルム
４４ａ  ４４ａ
４４ｂ  微粒子
４５  撥液膜
５１  固定台
５３  押さえ部
Ｍ  流路ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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