(57)【要約】【課題】簡単な構成により、始動時におけるロータの逆回転を容易に検出することができるターボ分子ポンプ。【解決手段】回転数を検出するための凹凸段差が形成されたセンサターゲット４６と、センサターゲット４６のターゲット面と対向するように設けられインダクタンス式の回転センサ４７とを備え、凸部４６ａを大きさの異なる２つの凸領域（角度α１の領域と角度α２の領域）に分割する位置に設けられ、センサ信号に逆転検出信号を生成させるサブターゲットとしてのスリット４６０を形成する。回転センサ４７の出力信号には、スリット４６０に対応するスリット検出信号と、凸部４６ａと凹部４６ｂとの段差に対応する段差検出信号とが生じる。逆転検出信号を構成するスリット検出信号と段差検出信号とを利用することで、ロータの回転方向を判断することができる。【選択図】図２
2009121351.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転翼が形成されたロータとともに回転し、回転数を検出するための凹凸段差が形成されたターゲット面を有するセンサターゲットと、
前記ターゲット面と対向するように設けられ、前記ターゲット面とのギャップの変化に伴うインピーダンス変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式センサと、
前記センサ信号に含まれる前記凹凸段差に対応する段差検出信号に基づいて回転検出信号を生成する信号生成手段とを備えたターボ分子ポンプにおいて、
前記ターゲット面の凸部または凹部を前記センサに対向する範囲の大きさが異なる２つの領域に分割する位置に設けられ、前記センサ信号に逆転検出信号を生成させるサブターゲットと、
前記逆転検出信号に基づいて前記ロータの回転方向を判断する回転方向判断手段とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記サブターゲットは、前記ターゲット面の凸部に形成されたスリットであって、
前記逆転検出信号は、前記スリットに対応するスリット検出信号と前記段差検出信号とで構成されることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項３】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記サブターゲットは、前記ターゲット面の凹部に径方向に沿って突出するように形成された線状凸部であって、
前記逆転検出信号は、前記線状凸部に対応する線状凸部検出信号と前記段差検出信号とで構成されることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項４】
請求項２または３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記センサ信号から前記スリット検出信号または前記線状凸部検出信号を除去するローパスフィルタを備え、
前記信号生成手段は、前記ローパスフィルタから出力された信号に基づいて回転検出信号を生成することを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項５】
請求項４に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ローパスフィルタは、定常回転時の回転周波数よりも周波数の低い第１の回転周波数以下の通過周波数帯域を有する第１のローパスフィルタと、定常回転時の回転周波数よりも周波数の高い第２の回転周波数以上の通過周波数帯域を有する第２のローパスフィルタとを有し、
ロータ回転周波数が前記第１の回転周波数よりも低い場合には、前記センサ信号を前記第１のローパスフィルタを介して前記信号生成手段に入力させ、ロータ回転周波数が前記第１の回転周波数以上の場合には、前記センサ信号を前記第２のローパスフィルタを介して前記信号生成手段に入力させるフィルタ切替手段を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項６】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記サブターゲットは前記センサターゲットと透磁率の異なる部材で形成され、前記ターゲット面の凸部に埋め込まれるように設けられることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項７】
請求項２または３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記スリットの深さまたは前記線状凸部の高さを前記凹凸段差の段差寸法より小さく設定し、
前記信号生成手段は、前記スリット信号のレベルより低い信号レベルの閾値または前記線状凸部に関する信号のレベルより高い信号レベルの閾値と、前記センサ信号とを比較することにより、前記回転検出信号を生成することを特徴とするターボ分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターボ分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などに用いられる真空ポンプの一つとしてターボ分子ポンプがあるが、ターボ分子ポンプでは回転翼が形成されたロータをモータで回転駆動し、この回転翼を固定翼に対して高速回転させることにより気体分子を排気している。このターボ分子ポンプのモータとしてＤＣブラシレスモータを使用し、ギャップセンサによりロータ回転を検出してモータの回転制御をするものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ロータには、ギャップセンサと対向するように溝が形成されたディスクを配置し、ディスクの回転に伴うギャップの変化をギャップセンサで検出し、ギャップ変化からhigh−low信号を生成する。そして、生成したhigh−low信号に基づいてステータコイルの励磁パターンを生成し、モータを回転駆動制御している。
【０００４】
【特許文献１】特許第３７４００８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、段差形状のターゲットをギャップセンサで検出して生成された回転信号で励磁パターンを形成した場合、回転始動時のロータ磁極方向によっては、逆方向に回転駆動されてしまうおそれがあったが、逆回転を検出するのが困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、回転翼が形成されたロータとともに回転し、回転数を検出するための凹凸段差が形成されたターゲット面を有するセンサターゲットと、ターゲット面と対向するように設けられ、ターゲット面とのギャップの変化に伴うインピーダンス変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式センサと、センサ信号に含まれる凹凸段差に対応する段差検出信号に基づいて回転検出信号を生成する信号生成手段とを備えたターボ分子ポンプに適用され、ターゲット面の凸部または凹部をセンサに対向する範囲の大きさが異なる２つの領域に分割する位置に設けられ、センサ信号に逆転検出信号を生成させるサブターゲットと、逆転検出信号に基づいてロータの回転方向を判断する回転方向判断手段とを備えたことを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、サブターゲットは、ターゲット面の凸部に形成されたスリットであって、逆転検出信号は、スリットに対応するスリット検出信号と段差検出信号とで構成される。
請求項３の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、サブターゲットは、ターゲット面の凹部に径方向に沿って突出するように形成された線状凸部であって、逆転検出信号は、線状凸部に対応する線状凸部検出信号と段差検出信号とで構成される。
請求項４の発明は、請求項２または３に記載のターボ分子ポンプにおいて、センサ信号からスリット検出信号または線状凸部検出信号を除去するローパスフィルタを備え、信号生成手段は、ローパスフィルタから出力された信号に基づいて回転検出信号を生成する。
請求項５の発明は、請求項４に記載のターボ分子ポンプにおいて、ローパスフィルタは、定常回転時の回転周波数よりも周波数の低い第１の回転周波数以下の通過周波数帯域を有する第１のローパスフィルタと、定常回転時の回転周波数よりも周波数の高い第２の回転周波数以上の通過周波数帯域を有する第２のローパスフィルタとを有し、ロータ回転周波数が第１の回転周波数よりも低い場合には、センサ信号を第１のローパスフィルタを介して信号生成手段に入力させ、ロータ回転周波数が第１の回転周波数以上の場合には、センサ信号を第２のローパスフィルタを介して信号生成手段に入力させるフィルタ切替手段を備えたものである。
請求項６の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、サブターゲットをセンサターゲットと透磁率の異なる部材で形成し、ターゲット面の凸部に埋め込まれるように設けたものである。
請求項７の発明は、請求項２または３に記載のターボ分子ポンプにおいて、スリットの深さまたは線状凸部の高さを凹凸段差の段差寸法より小さく設定し、信号生成手段は、スリット信号のレベルより低い信号レベルの閾値または線状凸部に関する信号のレベルより高い信号レベルの閾値と、センサ信号とを比較することにより、回転検出信号を生成するようにしたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、簡単な構成により、始動時におけるロータの逆回転を容易に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。図１は、本発明によるターボ分子ポンプの一実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプのポンプ本体１の断面図である。ターボ分子ポンプは、図１に示すポンプ本体１と、それを駆動制御するコントローラ（不図示）とで構成される。
【０００９】
ポンプ本体１のケーシング１０の内部に配設されたロータ４には、複数段の回転翼４１およびネジロータ部４２が形成されている。上下に並んだ回転翼４１の各段の間には、固定翼４３が交互に配設されている。また、ベース３には、回転するネジロータ部４２と対向するようにネジステータ部４４が配設されている。
【００１０】
シャフト部４５の下端にはセンサターゲット４６が設けられており、センサターゲット４６と対向する位置には回転センサ４７が設けられている。回転センサ４７は、センサターゲット４６とのギャップを検出してロータ４の回転数を検出するためのセンサであり、本実施の形態ではインダクタンス式のセンサが用いられている。回転センサ４７により検出される回転数に基づいて、モータ６の回転駆動が制御される。
【００１１】
ロータ４は、ラジアル磁気軸受５１，５２およびアキシャル磁気軸受５３により非接触支持される。これらのラジアル磁気軸受５１，５２およびアキシャル磁気軸受５３に対応して、ロータ４の浮上位置を検出するためのラジアル変位センサ５５，５６およびアキシャル変位センサ５７が設けられている。１１，１２は非常用のメカニカルベアリングであり、１３はポンプ本体１とコントローラとを接続するケーブルが接続されるコネクタである。
【００１２】
上述したように、センサターゲット４６はロータ４のシャフト部４５の下端に固定されており、ロータ４と一体で回転する。図２はセンサターゲット４６のターゲット面の形状を示す斜視図である。センサターゲット４６のターゲット面には、凸部４６ａと凹部４６ｂとスリット４６０とが形成されている。ターゲット面の中央部には、アキシャル変位センサ５７（不図示）が対向する。
【００１３】
凹部４６ｂの形成範囲は角度β（＝１８０deg）であり、凸部４６ａの回転センサ４７が対向する部分は、角度θのスリット４６０によって、角度α１の領域と、角度α２（＜α１）の領域とに分割されている。スリット４６０の深さ、および凸部４６ａと凹部４６ｂとの段差は、いずれもｈに設定されている。ロータ４の回転に伴ってセンサターゲット４６が矢印のように正回転すると、凸部４６ａ（α１）、スリット４６０、凸部４６ａ（α２）、凹部４６ｂの順に回転センサ４７に対向する。
【００１４】
図３は、回転センサ４７に関するセンサ回路のブロック図である。回転センサ４７は、珪素鋼板やフェライトなどの透磁率の大きなコアとその周囲に巻かれたコイルとで構成される。回転センサ４７のコイルには、一定周波数の高周波電圧が搬送波として印加される。ターゲット４６は回転センサ４７に対向するように配置されているので、回転センサ４７のコアから出た磁力線はセンサターゲット４６を通ってコアへと戻る。そのため、ターゲット面と回転センサ４７と間のギャップ寸法が変化すると、その変化によって回転センサ４７のインダクタンスが変化する。
【００１５】
インダクタンス変化によって搬送波は振幅変調され、回転センサ４７から出力される。その振幅変調された搬送波を検波回路１０１および平滑回路１０２で処理することにより、ＡＭ変調波は図４に示すように復調される。図４において、曲線Ｌ１はＡＭ変調波を示しており、曲線Ｌ２は復調波を示している。なお、図４に示したＡＭ変調波Ｌ１は、センサターゲット４６にスリット４６０を形成せず、凸部４６ａおよび凹部４６ｂだけからなる場合に出力されるものである。
【００１６】
回転センサ４７が凸部４６ａと対向するとセンサ出力電圧が大きくなり、逆に、凹部４６ｂと対向した場合にはセンサ出力電圧が小さくなる。その結果、復調波Ｌ２には、電圧の大きな部分と電圧の小さな部分とが繰り返し出現する。復調波Ｌ２を所定のHigh-Low閾値を用いてHigh-Low判定を行うと、図４の破線で示すようなHigh、Lowを繰り返すパルス信号（High-Low判定波Ｌ３）が得られる。
【００１７】
本実施の形態では、センサターゲット４６に図２に示すようなスリット４６０が形成されているため、図５に示すように復調波Ｌ２のHighの範囲にスリット４６０によるLowの部分が生じる。図５は復調波を示す図であり、図示上側から順に、正転時、逆転時、スリット４６０が無い場合を示す。すなわち、ロータ４が正回転している場合には上段の復調波が平滑回路１０２から出力され、逆回転している場合には中段の復調波が出力される。
【００１８】
平滑回路１０２から出力された復調波は２つに分岐され、一方はローパスフィルタ（ＬＰＦ）１０３を通してHigh-Low判定部１０４に入力され、他方は正回転か逆回転かを判定する正逆判定部１０５に入力される。High-Low判定部１０４は、復調波をHigh-Low閾値と比較することにより図４に示すようなHigh-Low判定波を生成し、それを回転パルス信号として出力する。この回転パルス信号を用いることによりロータ４の回転速度を算出し、モータ６の回転制御を行う。なお、この回転パルス信号は正逆判定部１０５にも入力され、ロータ回転方向の判定の際にも利用される。
【００１９】
［正転・逆転の判定］
次に、正逆判定部１０５で行われる正逆判定処理について、図６のフローチャートを参照して説明する。図６のステップＳ１００では、High-Low判定部１０４から入力された回転パルス信号に基づいて、ロータ４が１回転する度に回転数Ｆrotを求め、次式（１）により時間Ｔrotを算出する。
Ｔrot＝１／Ｆrot      …（１）
【００２０】
ステップＳ１１０では、入力された復調波（図５参照）をHigh-Low閾値と比較することでHigh-Low判定波を生成し、LOW領域の時間を測定する。図５の下段に示すように、スリットの無い従来の場合には、半回転毎に出力されるLOW領域の時間はＴlow＝Ｔrot／２となっている。しかし、本実施の形態のターゲット４６では、凸部４６ａの位置にスリット４６０が形成されているため、従来のHI領域は、HI(front)、LOW(slit)、HI(rear)の３つの領域に分かれる。
【００２１】
すなわち、ステップＳ１１０では、スリット４６０によるLOW(slit)領域の時間と、凹部４６ｂによるLOW領域の時間とを測定する。凹部４６ｂは１８０degにわたって形成されているので、LOW領域の時間Ｔlowは次式（２）で算出される。一方、スリット４６０に関するLOW(slit)領域の時間Ｔslitは、次式（３）により算出される。スリット４６０の角度θを十分小さく設定すれば（例えば、θ＝２deg）、時間ＴslitはLOW領域の時間Ｔlowに比べて非常に小さくなり、両者の比較判定がし易くなる。
Ｔlow＝Ｔrot／２      …（２）
Ｔslit＝Ｔrot・（θ／360）      …（３）
【００２２】
ターゲット４６では、スリット４６０が凸部４６ａの偏った位置に形成されているため、正転時のHI(front)領域と逆転時のHI(front)領域とでは時間幅が異なっている。そのため、得られたHI(front)領域の時間Ｔfrontが、正転時に予想されるHI(front)の時間幅ΔTと等しいか否かを判定することで、ロータ４が正回転しているか逆回転しているかを判定することができる。
【００２３】
ステップＳ１２０では、ステップＳ１１０の測定結果に基づいて、LOW(slit)領域と推定される領域に先だって出現するHI領域（すなわち、HI(front)領域）の時間Ｔfrontを測定する。
【００２４】
ステップＳ１３０では、ステップＳ１２０で測定されたHI(front)領域の時間Ｔfrontが正転時に予想されるHI(front)の時間幅ΔTと等しいか否かを判定する。ステップＳ１３０でＴfront＝ΔTと判定されるとステップＳ１４０へ進み、正回転であることを示す正逆信号を出力する。一方、ステップＳ１３０でＴfront≠ΔTと判定されるとステップＳ１５０へ進んで、逆回転であることを示す正逆信号を出力する。時間ΔTは、次式（４）により算出される値である。
ΔT＝Ｔrot×（α１／360）      …（４）
【００２５】
これらの正逆信号はモータ６を駆動するモータ制御駆動部に入力され、逆回転と判定された場合には、モータ６を一旦停止して、モータ電流の切換制御を変更して正回転させるように駆動する。このような正逆判定を行うことによりロータ４の回転方向を判定することができ、従来のように機種毎のロータ重量や慣性モーメント等を考慮した詳細調整を行わなくても、逆転から正転への変更を容易に行うことができる。
【００２６】
なお、上述したステップ１３０のようにＴfront＝ΔTか否かで正逆判定を行う代わりに、HI(front)領域の時間ＴfrontとHI(rear)領域の時間Ｔrearとを比較して正逆判定を行っても良い。すなわち、Ｔfront＞Ｔrearならば正回転と判定し、逆に、Ｔfront＜Ｔrearならば逆回転と判定する。
【００２７】
次に、回転パルス信号の生成処理について説明する。本実施の形態では、凸部４６ａの領域にスリット４６０を形成したが、スリット４６０の角度θを十分小さく設定すると、スリット信号（図５のLOW(slit)領域の信号）は段差信号（図５のHI領域、LOW領域の信号）に対して高周波成分となる。スリット４６０の角度をθ(deg)、回転数をｆrot（rps）とすれば、スリット信号の周波数ｆslitは次式（５）のように表される。
ｆslit＝ｆrot×（360／θ）      …（５）
【００２８】
例えば、θ＝２、ｆrot＝１０とした場合、周波数ｆslitは１８００Hzとなる。すなわち、スリット信号の周波数はロータ回転の周波数の１８０倍（＝360／θ）になり、回転周波数の周波数帯域が０〜１０Hzの場合には、スリット信号の周波数帯域は０〜１８００Hzとなる。そのため、高速回転時には、ＬＰＦ１０３により回転検出用の段差信号とスリット信号とを区別することができる。
【００２９】
ターボ分子ポンプの回転数は高々１０００００rpmであるから、回転センサ４７は１６６６Hz（＝100000／60）までの信号を検出することになる。そのため、ＬＰＦ１０３として１７００Hz以上が帯域制限領域であるものを使用すれば、ロータ回転数が１０rps（＝600rpm）まで上昇すると、スリット信号はＬＰＦ１０３で阻止される。その結果、High-Low判定部１０４はスリット信号の影響を受けることなく、段差信号だけが含まれる復調波に基づいて回転パルス信号を生成することができる。
【００３０】
さらに、ＬＰＦ１０３を図７に示すような構成とすることにより、１７００Hz付近で急峻な傾きを有する高次のフィルタを用いなくても、また、スリット４６０の角度θがやや大きくても、スリット信号と段差信号との判別が可能となる。図７に示すＬＰＦ１０３は、帯域制限領域の異なる２つのローパスフィルタLPF-1、LPF-2を備えている。ロータの回転周波数に応じて切替器１１０を切り替えることにより、ローパスフィルタLPF-1、LPF-2のいずれか一方を使用する。これらの帯域制限領域は、スリット４６０の幅（角度）に応じて設定されるが、ここでは、角度θ＝２、LPF-Aの帯域制限領域を１００Hz、LPF-Bの帯域制限領域を１８００Hzとして説明する。
【００３１】
図８はローパスフィルタLPF-AおよびLPF-B間の切り替えを説明する図であり、（ａ）は低速回転時を、（ｂ）は高速回転時を示す。また、図８（ａ），（ｂ）の各々において、下側の図はローパスフィルタLPF-Aの帯域制限領域とロータ回転信号（すなわち段差信号）RSおよびスリット信号SSとの関係を示し、上側の図はローパスフィルタLPF-Bの帯域制限領域とロータ回転信号（すなわち段差信号）RSおよびスリット信号SSとの関係を示す図である。なお、切替器１１０により接続状態になっているローパスフィルタに関しては(ON)と表示し、非接続状態のローパスフィルタに関しては（OFF)と表示する。
【００３２】
図８（ａ）ではロータ回転信号RSは５Hzであって、その１８０倍の周波数９００Hzにスリット信号SSが生じている。このような低速回転の場合、切替器１１０によりローパスフィルタLPF-Aに切り替えることにより、ロータ回転信号RSのみがHigh-Low判定部１０４に入力されることになる。この場合、ロータが回転し始めてRS＝０．６Hzになると、スリット信号SSは１００Hzを越えることになる。
【００３３】
一方、高速回転時を示す図８（ｂ）の場合、ロータ回転信号RSは５００Hz、スリット信号SSは９００００Hzとなっている。この場合、ローパスフィルタLPF-Aを用いるとスリット信号SSだけでなくロータ回転信号RSまでカットされてしまうので、切替器１１０によりローパスフィルタLPF-Bに切り替えることにより、ロータ回転信号RSのみをHigh-Low判定部１０４へと通すことができる。
【００３４】
このように、ロータ回転数に応じて、帯域制限領域の異なるローパスフィルタLPF-A、LPF-Bを切り替えて使用することにより、スリット信号SSの影響を受けることなく回転パルス信号を生成することができる。また、境界における曲線の傾きが急峻でなくても、ロータ回転信号RSに対して余裕をもって切り替えることができる。なお、ここでは２種類のローパスフィルタLPFを切り替えて用いたが３種類以上設けても構わない。また、スリット４６０に代えて、図９に示すような凸部４６１を凹部４６ｂの領域に形成しても良い。この場合にも、凸部４６１は凹部４６ｂの領域の偏った位置に形成され、凹部４６ｂ大きさの異なる２つの凹領域に分割される。
【００３５】
《第２の実施の形態》
上述した実施の形態では、図２に示すようにスリット４６０の深さを、段差ｈと等しくなるように形成したが、第２の実施の形態では、スリット４６０の深さ（ここではｈｓと記す）を凸部４６ａと凹部４６ｂとの段差（ここではｈｄと記す）よりも浅く設定する。そのように設定すると、図１０に示すような復調波が得られる。
【００３６】
図１０は図５と同様の図であり、上から順に正転時、逆転時、スリット４６０が無い場合を示す。第２の実施の形態では、ｈｓ＜ｈｄと設定しているので、スリット４６０における出力の低下は、段差の部分(LOW領域）に比べて小さい。スリット検出用閾値のレベルは、凸部４６ａの信号（例えば、High(front)領域の信号）のレベルとスリット信号（LOW(slit)領域の信号）のレベルとの間に設定される。一方、回転パルス信号を得るためのHigh-Low閾値はスリット信号のレベルと凹部４６ｂの信号（LOW領域の信号）のレベルとの間に設定される。
【００３７】
このように、スリット４６０の深さｈｓをｈｓ＜ｈｄと設定するとともに、上述したようなHigh-Low閾値を用いることで、スリット信号の影響を受けることなく回転パルス信号を生成することができる。そのため、高速回転時には、従来と同様の回転制御を行うことができる。なお、スリット信号のレベルが小さくなるので、ローパスフィルタでスリット信号を除去する方法においても効果が期待できる。
【００３８】
また、前述した実施の形態では、図５に示すようにLOW領域がスリット４６０または凹部４６ｂのいずれに関するものであるかは、それらの時間幅を比較することで判定した。一方、図１０に示す例の場合には、各領域をHigh-Low閾値に関するhigh、low状態と、スリット検出閾値に関するhigh、low状態とによって区別することができる。
【００３９】
具体的には、（High-Low閾値に関する状態、スリット検出閾値に関する状態）のように表現すると、HI(front)領域は（H、H）のように表され、LOW(slit)領域、HI(rear)領域およびLOW領域は、順に（H、L）、（H、H）、（L、L）のように表される。すなわち、状態が（H、L）または（L、L）のいずれであるかによって、スリット信号と段差信号を判定することができる。正逆判定を行う場合には、（H、L）の直前の（H、H）状態の継続時間を計測することで、正回転か逆回転かを判定できる。また、ＬＰＦ１０３を組み合わせて用いる場合においても、スリット信号のレベルが小さいので、ＬＰＦ１０３の効果が得やすくなる。
【００４０】
なお、上述した第２の実施の形態では、スリット４６０を形成する場合を例に説明したが、図９のように凹部４６ｂに凸４６１を形成する場合においても同様に適用することができる。また、図１１（ａ）に示すように、ターゲット面である凸部４６ａ上にさらに凸状のサブターゲット４６２を形成しても良い。
【００４１】
さらにまた、図１１（ｂ）に示すように、透磁率のより大きな部材から成るサブターゲット４６３を、凸部４６ａに埋め込むように設けても構わない。もちろん、サブターゲット４６３としてセンサターゲット４６よりも透磁率の低い部材を用いても良いが、その場合には、スリットを形成する場合と同様に考えることができる。
【００４２】
いずれの場合も、復調波は図１２に示すような形状となる。図１２の場合には、図示上側から順に、正転時、逆転時、サブターゲット４６３が無いときの復調波を示す。サブターゲット４３６に対向したときに、HI領域も高いHI(sub)領域の信号が得られる。サブターゲット４３６を検出するためのサブターゲット閾値は、HI(front)領域およびHI(rear)領域の信号レベルとHI(sub)領域の信号レベルとの間に設定する。
【００４３】
以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、High-Low判定部１０４は信号生成手段を、正逆判定部１０５は回転方向判断手段を、凸部４６１は線状凸部を、ローパスフィルタLPF-Aは第１のローパスフィルタを、LPF-Bは第２のローパスフィルタをそれぞれ構成する。なお、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】ポンプ本体１の断面図である。
【図２】センサターゲット４６のターゲット面の形状を示す斜視図である。
【図３】センサ回路のブロック図である。
【図４】従来のターゲットの場合のAM変調波Ｌ１、復調波Ｌ２およびHigh-Low判定波Ｌ３を示す図である。
【図５】ターゲット４６を用いた場合の、復調波を示す図である。
【図６】正逆判定処理の一例を示すフローチャートである。
【図７】ＬＰＦ１０３の変形例を示す図である。
【図８】LPF-AおよびLPF-B間の切り替えを説明する図であり、（ａ）は低速回転時を、（ｂ）は高速回転時をそれぞれ示す。
【図９】センサターゲット４６の他の例を示す図である。
【図１０】第２の実施の形態を説明する図である。
【図１１】サブターゲット４６３を設ける場合のセンサターゲット４６３を示す図であり、（ａ）は凸部を形成する場合を、（ｂ）は透磁率のより高い部材を埋め込む場合を示す。
【図１２】サブターゲット４６３を設けた場合の復調波を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１：ポンプ本体、４：ロータ、６：モータ、４１：回転翼、４３：固定翼、４６：センサターゲット、４６ａ，４６１：凸部、４６ｂ：凹部、４７：回転センサ、１０１：検波回路、１−２：平滑回路、１０３，LPF-A，LPF-B：ローパスフィルタ、１０４：High-Low判定部、１０５：正逆判定部、１１０：切替器、４６０：スリット、４６２，４６３：サブターゲット
【図１】
2009121351.tif 000003
【図２】
2009121351.tif 000004
【図３】
2009121351.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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