(57)【要約】【課題】簡易な構造で、高感度で、信号伝送距離が長く、煩雑な光学的セッティングが不要で、量産容易で安価な光ファイバ湿度センサ及びそれを用いた湿度検知システムと露点検知システムを実現する。【解決手段】  部分的に細くなった括れ部１２と、当該括れ部１２に曲げを与えるように固定した湿度変化によって伸縮が起こる感湿材１３と、当該括れ部１２に近い端面に反射手段１４を具備したセンサ用光ファイバ１１により、当該感湿材１３の湿度変化に伴う伸縮で生じた括れ部１２の曲げ損失変化を、反射光の光量変化として検出するようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部分的に細くなった括れ部（１２）と、当該括れ部（１２）に曲げを与えるように固定した湿度変化によって伸縮する感湿材（１３）と、当該括れ部（１２）に近い端面に反射手段（１４）を具備したセンサ用光ファイバ（１１）からなることを特徴とする光ファイバ湿度センサ。
【請求項２】
当該感湿材（１３）がポリアミド系樹脂（ナイロン）或いは毛髪であることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ湿度センサ。
【請求項３】
当該括れ部（１２）の入射側を当該感湿材（１３）より熱膨張係数の大きい材質の台座（１６）に固定し、当該括れ部（１２）の反射側を当該感湿材（１３）の一端と固定し、当該感湿材（１３）の他の一端を当該台座（１６）に固定し、当該台座（１６）に当該感湿材（１３）を固定した位置が当該感湿材（１３）の熱膨張を、当該センサ用光ファイバ（１１）と当該台座（１６）の熱膨張の和によりほぼ相殺する位置であることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ湿度センサ。
【請求項４】
当該感湿材の材質がナイロンであり、当該台座の材質がポリフッ化ビニリデンであることを特徴とする請求項３に記載の光ファイバ湿度センサ。
【請求項５】
当該光ファイバ湿度センサと、当該光ファイバ湿度センサと計測部（３）の間の光伝送を行う伝送用光ファイバ（２）と、当該光ファイバ湿度センサに供給すべき測定光を発生する発光手段（４）と、当該光ファイバ湿度センサで光量変化を受けた測定光を受光する受光手段（６）と、当該受光手段（６）の出力を湿度に変換する演算処理手段（８）とを備えたことを特徴とする湿度検知システム。
【請求項６】
当該湿度検知システムに、温度補償或いは露点算出に必要な温度データを取得するための温度センサ（３１）を付加し、予め取得しておいた反射光量の温度依存性データに基づき、当該演算処理手段（８）で温度補正或いは露点の算出をするようにしたことを特徴とする請求項３に記載の湿度検知システム。
【請求項７】
当該温度センサ（３１）が括れ部（１２）の曲げ損失を利用した光ファイバ温度センサであることを特徴とする請求項６記載の湿度検知システム。
【請求項８】
特定の波長の光を特定の当該光ファイバ湿度センサに分波し、当該光ファイバ湿度センサからの反射光を合波する合分波フィルタ（２２）と、当該合分波フィルタ（２２）を介して、当該伝送用光ファイバ（２）に複数配置した当該光ファイバ湿度センサと、当該光ファイバ湿度センサに供給すべき複数の波長の測定光を発生する発光手段（２１）と、当該光ファイバ湿度センサで光量変化を受けた複数の波長からなる測定光を各波長に分岐する波長分岐フィルタ（２３）と、分岐された各波長の光を受光する複数の当該受光手段（６）と、複数の当該受光手段（６）の出力を湿度に変換するための当該演算処理手段（８）とを具備したことを特徴とする多点湿度検知システム。
【請求項９】
当該光ファイバ湿度センサと当該温度補償或いは露点算出に必要な温度データを取得するための当該光ファイバ温度センサ（３１）を一組として当該伝送用光ファイバ（２）に複数組配置したことを特徴とする多点湿度検知システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバを使って湿度を検知する光ファイバ湿度センサ及びそれを用いた湿度検知システムと露点検知システムに関し、より具体的には、光ファイバの曲げ損失を検出して湿度を検知する光ファイバ湿度センサ及びそれを用いた湿度検知システムと露点検知システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバセンサは、防爆性、耐電磁ノイズ特性に優れ、遠隔、多点モニタリングが容易なことから今後幅広い分野での利用が期待されており、光ファイバ湿度センサもそれらの利点のため開発が望まれている。
【０００３】
光ファイバを用いた湿度センサが、特許文献１〜７に記載されている。
【０００４】
特許文献１には、空気中の水蒸気を吸脱着により可逆的に変色する塩化コバルトを、透明の接着剤で光ファイバ先端部に固定したセンサが開示されている。
【０００５】
特許文献２には、赤外線光源と検出器を用いて水の吸収スペクトルを測定する湿度センサが開示されている。
【０００６】
特許文献３には、プラスチック光ファイバのクラッドの一部を、潮解性の酢酸カリウム等を溶解させたポリビニルアルコール膜の感湿層とし、エバネッセント波の吸収を測定する湿度センサが開示されている。
【０００７】
特許文献４には、プラスチック光ファイバのクラッドを、ヒドロキシエチルセルロース等のセルロース系ポリマー材料の感湿層とし、エバネッセント波の吸収を測定する湿度センサが開示されている。
【０００８】
特許文献５には、プラスチック光ファイバのクラッドを、共重合体を含むアクリル酸系水溶性ポリマーと潮解性物質を混合した感湿層とし、エバネッセント波の吸収を測定する湿度センサが開示されている。
【０００９】
特許文献６には、湿度によって可逆的に膨潤して変化する物質からなるレンズにより、光ファイバへの入射光量を変化させる湿度センサが開示されている。
【００１０】
特許文献７には、ＦＢＧを備えた光ファイバの表面に、湿度変化に応じて膨張、収縮する湿度検出材料を塗布し、ＦＢＧの反射波長を計測して湿度を検出する湿度センサが開示されている。
【特許文献１】特許公開平06−011448号公報
【特許文献２】特許公開平05−209827号公報
【特許文献３】特許公開平05−060689号公報
【特許文献４】特許公開2003−270141号公報
【特許文献５】特許公開2003−130863号公報
【特許文献６】特許公開2001−124868号公報
【特許文献７】特許公開2005−351663号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１に開示されている塩化コバルトの変色を検知する湿度センサでは、スペクトル測定装置が必要なため高価になるという問題があった。
【００１２】
また、特許文献２に開示されている赤外吸収スペクトルを測定する湿度センサでは、赤外スペクトル測定装置が高価であり、光ファイバの赤外線透過率が低いため伝送距離が極めて短いという問題があった。
【００１３】
また、特許文献３、４、５に開示されているプラスチックファイバのクラッドを感湿層とする湿度センサでは、プラスチックファイバのため信号伝送距離が短い、感度が低いなどの問題があった。
【００１４】
また、特許文献６に開示されている湿度によって可逆的に膨するレンズを使用した湿度センサでは、精密な光学的セッティングが必要で、位置ずれによる誤差を生じやすいという問題があった。
【００１５】
また、特許文献７に開示されているＦＢＧを用いた湿度センサでは、波長変化の測定に波長計、光スペクトルアナライザなどの複雑な装置を必要とするため高価になるという問題があった。
【００１６】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的としては、簡易な構造で、高感度で、信号伝送距離が長く、煩雑な光学的セッティングが不要で、量産容易で安価な光ファイバ湿度センサ及びそれを用いた湿度検知システムと露点検知システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
そのため、本発明は、（１）部分的に細くなった括れ部と、当該括れ部に曲げを与えるように固定した湿度変化によって伸縮する感湿材と、当該括れ部に近い端面に反射手段を具備したセンサ用光ファイバ（１１）からなることを特徴とする光ファイバ湿度センサを提供する。
【００１８】
また、（２）当該感湿材１３がポリアミド系樹脂（ナイロン）或いは毛髪であることを特徴とする光ファイバ湿度センサを提供する。
【００１９】
また、（３）当該括れ部の入射側を当該感湿材より熱膨張係数の大きい材質の台座に固定し、当該括れ部の反射側を当該感湿材の一端と固定し、当該感湿材の他の一端を当該台座に固定し、当該台座に当該感湿材を固定した位置が当該感湿材の熱膨張を、当該センサ用光ファイバと当該台座の熱膨張の和によりほぼ相殺する位置であることを特徴とする光ファイバ湿度センサを提供する。
【００２０】
また、（４）当該感湿材の材質がナイロンであり、当該台座の材質がポリフッ化ビニリデンであることを特徴とする光ファイバ湿度センサを提供する。
【００２１】
また、（５）当該光ファイバ湿度センサと、当該光ファイバ湿度センサと計測部の間の光伝送を行う伝送用光ファイバと、当該光ファイバ湿度センサに供給すべき測定光を発生する発光手段と、当該光ファイバ湿度センサで光量変化を受けた測定光を受光する受光手段と、当該受光手段の出力を湿度に変換する演算処理手段を備えたことを特徴とする湿度検知システムを提供する。
【００２２】
また、（６）当該湿度検知システムに、温度補償或いは露点算出に必要な温度データを取得するための温度センサを付加し、予め取得しておいた反射光量の温度依存性データに基づき、当該演算処理手段で温度補正或いは露点の算出をするようにしたことを特徴とする湿度検知システムを提供する。
【００２３】
また、（７）当該温度センサが括れ部の曲げ損失を利用した光ファイバ式温度センサであることを特徴とする湿度検知システムを提供する。
【００２４】
また、（８）特定の波長の光を特定の当該光ファイバ湿度センサに分波し、当該光ファイバ湿度センサからの反射光を合波する合分波フィルタと、当該合分波フィルタを介して当該伝送用光ファイバに複数配置した当該光ファイバ湿度センサと、当該光ファイバ湿度センサに供給すべき複数の波長の測定光を発生する発光手段と、当該光ファイバ湿度センサで光量変化を受けた複数の波長からなる測定光を各波長に分岐する波長分岐フィルタと、分岐された各波長の光を受光する複数の当該受光手段と、複数の当該受光手段の出力を湿度に変換するための当該演算処理手段とを具備したことを特徴とする多点湿度検知システムを提供する。
【００２５】
更に、（９）当該光ファイバ湿度センサと当該温度補償或いは露点算出に必要な温度データを取得するための当該光ファイバ温度センサを一組として当該伝送用光ファイバに複数組配置したことを特徴とする多点湿度検知システムを提供する
【発明の効果】
【００２６】
本発明により、簡易な構造で、高感度で、信号伝送距離が長く、煩雑な光学的セッティングが不要で、量産容易で安価な光ファイバ湿度センサ及びそれを用いた湿度検知システムを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。
【実施例１】
【００２８】
図１は本発明の一実施例である光ファイバ湿度センサの基本構成図である。
【００２９】
図中、１は湿度センサを示し、一部を細くした括れ部1２と反射ミラー１４を有するセンサ用光ファイバ１１、湿度変化に応じて伸縮する感湿材１3、及び感湿材の固定部１５からなる。
【００３０】
センサ用光ファイバ１１は、線形性のよい応答を得るためにシングルモードファイバが望ましく、また、伝送距離、コスト面から１．５μｍ帯、１．３μｍ帯など光通信波長帯に適合したものが望まれる。
【００３１】
括れ部１２は、センサ用光ファイバ１１に、微小な力で、再現性よく、大きな曲率の曲げを与える役割をし、括れ部１２の中央の径が細いほど高感度となる。以下、括れ部１２の中央の径を括れ径と称す。しかし、括れ径が細すぎると光出力が非線形となりやすいため細すぎる括れ径は望ましくない。例えば、クラッド径が１２５μｍ、ＭＦＤ（モードフィールド径）が１０μｍ（波長：１．５５μｍ）程度である通常のシングルモードファイバの場合、括れ径は５０〜９０μｍの範囲であることが望ましい。括れ径が９０μｍ以上の場合は、曲げによる光の漏洩が少なく、５０μｍ以下の場合は、曲げがない場合でも光の漏洩が大きく、光出力が非線形で不安定になりやすい。また、感度はセンサ用光ファイバ１１の固定間隔にも依存し、固定間隔が狭くなるほど高感度となる。
【００３２】
図２は、くびれ径１２、固定間隔を変えたときのセンサ用光ファイバ１１の特性例を示す。（ａ）に示す感度の高いセンサ用光ファイバ１１は僅か４０μｍの変位で１０ｄＢ、（ｂ）に示す感度の低いセンサ用光ファイバ１１では３ｍｍ程度の変位でほぼ１０ｄＢの曲げ損失を生じる。即ち、センサ用光ファイバ１１の変位幅はＭｉｎ．４０μｍ〜Ｍａｘ．３ｍｍの範囲内で調節でき、何れの変位幅でも１０ｄＢ程度の曲げ損失を得ることができる。従って、ベローズ１３の伸縮量に合わせた変位幅のセンサ用光ファイバ１１を適用することにより、測定のダイナミックレンジを１０ｄＢ程度とることができる。
【００３３】
１３は湿度変化に応じて伸縮する感湿材で、図１で示すように、括れ部１２を中央としてセンサ用光ファイバ１１に曲げを与えるように固定部１５でセンサ用光ファイバ１１に固定する。固定部１５の間隔が短いほど感度が高くなるが、線形的応答性及び製造の容易さの観点から、通常、１０〜３０ｍｍ程度の長さが望ましい。括れ部１２の曲げの程度は、やはり、線形的応答性の点から曲げ損失が最大５〜１０ｄＢ程度になるようにするのがよい。
【００３４】
感湿材１３の具体的素材としては、例えば、繊維状あるいはリボン状のポリアミド樹脂（ナイロン）や毛髪が適している。ナイロンは相対湿度０〜１００％の変化に対し、０．６％の伸縮があり、耐久性に優れるという利点がある。一方、毛髪は１％の大きな伸縮があるので、高感度の湿度センサとなる。例えば、長さ１０ｍｍの６-ナイロンでは、相対湿度０〜１００％の変化に対し６０μｍの伸縮がある。図２で説明したように、括れ部１２は伸縮量が４０μｍから３ｍｍの範囲であれば１０ｄＢの曲げ損失変化を起こすので、これらの素材を感湿材１３として利用できることは明らかである。
【００３５】
感湿材１３をセンサ用光ファイバ１１に固定している固定部１５は、センサ用光ファイバ１１の曲げに影響を与えない程度に軽量な固定方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、感湿材１３とセンサ用光ファイバ１１を直接接着剤で固定してもよいし、微細な金属リング等を使ったカシメや接着剤固定などでもよい。
【００３６】
反射ミラー１４も、括れ部１２の曲げ動作に支障を与えない程度に軽量にする必要があり、センサ用光ファイバ１１の端面にスパッタリング、蒸着などの製膜手段により直接形成するのが望ましい。括れ部１２の中央から反射ミラー１４までの距離は、やはり軽量化のため短いほうが望ましく、通常、10mm以下である。
【００３７】
以上、説明したように、一部を細くした括れ部１２と、括れ部１２に曲げを与えるように固定した、湿度変化に応じて伸縮する感湿材１３と、括れ部１２に近い端面に形成した反射手段１４を具備したセンサ用光ファイバ１１で構成することにより、煩雑な光部品のセッティングが不要で、量産容易で、感度が高く、安価な湿度センサを実現できる。
【００３８】
本実施例の光ファイバ湿度センサの動作を図２、図３によりする。
【００３９】
図２は、湿度変化に伴う湿度センサ１の曲げの変化を示している。（ｂ）中間湿度に示すように、括れ部１２を具備するセンサ用光ファイバ１１に適度な曲げを与えるように感湿材１３を固定し、測定光を入射する。湿度が高くなるにつれ、感湿材１３が伸びるため、ファイバ弾性によりセンサ用光ファイバ１１の曲げが小さくなり、括れ部１２における漏洩光が減少していき、湿度１００％で最小となる。逆に、湿度が低くなると、感湿材１３が縮んで括れ部１２の曲げが大きくなり、漏洩光が増大していき、湿度０％で最大となる。従って、この漏洩光の変化を反射光強度の変化として測定することにより、相対湿度の変化を検知できる。
【００４０】
図３は、本実施例の構成による湿度センサの反射光強度と市販のディジタル湿度計で表示される湿度の関係を示す例である。使用した光ファイバ１１は、ＭＦＤ９．５μｍ、カットオフ波長１２８０nmのシングルモード光ファイバで、括れ径は８０μｍである。感湿材１３は、太さ０．２ｍｍ、長さ２２ｍｍの６−ナイロン撚り線とした。発光素子４には波長１．３μｍの半導体レーザを使用した。
【００４１】
このセンサの湿度１００％と０％における反射光量は各々−１６．６５ｄＢｍと−２３．０１ｄＢｍで、測定のダイナミックレンジは６．３６ｄＢであった。反射光量は、−１６．６５ｄＢｍから−２３．０１ｄＢｍまで単調に減少し、湿度計で表示された湿度と反射光強度の関係はリニアに近く、２次の多項式でよく近似できた。
【実施例２】
【００４２】
図４は、実施例１を発展させ、温度変化に伴う曲げ損失の影響を軽減したセンサの概略構成を示す。本実施例では、括れ部１２の入射側を台座１６にセンサ用光ファイバ／台座固定部１７で固定する。感湿材１３の一端は、括れ部１２の反射側とセンサ用光ファイバ／感湿材固定部１５で固定する。他の一端は台座１６と感湿材／台座固定部１８で固定する。台座１６を感湿材１３より熱膨張率が大きな材質とする。
【００４３】
感湿材が熱膨張率８×１０−５の６−ナイロン、台座１６が熱膨張率１３×１０−５のポリフッ化ビニリデンの場合を例として動作を説明する。センサ用光ファイバ／感湿材固定部１５からセンサ用光ファイバ／台座固定部１７間のファイバ長をＬｆ、センサ用光ファイバ／台座固定部１７と感湿材／台座固定部１８間の台座１６長をＬｐ、感湿材固定部１５から感湿材／台座固定部１８間の感湿材１３の長さをＬｈとすると、（Ｌｆ＋Ｌｐ）とＬｈの熱膨張率変化がほぼ等しくなれば、括れ部１２の曲げ損失の温度変化による影響は殆どなくなる。
このような条件を満たす長さは、Ｌｆを２０ｍｍとした場合、Ｌｐは約３２ｍｍ、Ｌｈは約５２ｍｍとなる。
【００４４】
本実施例のもう一つの利点は、感湿材１３の長さをセンサ用光ファイバ／感湿材固定部１５からセンサ用光ファイバ／台座固定部１７間のファイバ長Ｌｆより長くできることにある。括れ部１２における曲げ損失の感度はＬｆが短いほど高くなり、Ｌｈが長いほど湿度変化に伴う感湿材の伸縮量は大きくなる。従って、Ｌｆを短く、Ｌｈを長くするように設計すれば非常に感度の良い湿度センサとすることができる。
【実施例３】
【００４５】
本実施例の光ファイバ湿度検知システムの動作を図５を用いて説明する。  
【００４６】
図中、２は湿度センサ部１への光の伝送および反射してくる信号光を計測部３に導くための伝送用光ファイバである。計測部３の主要構成部品は、発光素子４、光カプラ５、受光素子６、光アイソレータ７、演算処理回路８である。発光素子４は、光ファイバに入射可能な光源であり、より遠隔まで信号を伝送するためには、波長帯が１．５μｍ帯、１．３μｍ帯など通信波長帯であることが望ましく、例えば、通信波長帯の半導体レーザを利用できる。
【００４７】
これら計測部３の主要構成部品は何れも市販品を安価に購入できるため、安価な湿度検知システムを構成できる。
【００４８】
発光素子４から出射した測定光は、光アイソレータ７、光カプラ５を通過して光伝送用ファイバ２に送られ、湿度センサ１に入射される。括れ部１２で一部の光を漏洩した後、測定光は反射ミラー１４で反射され、再度括れ部１２で光を漏洩した後、伝送用光ファイバ２を経て光カプラ５に達し、受光素子６で受光される。発光素子４側に戻る一部の光は光アイソレータ７でブロックされる。湿度と反射光強度の関係式を予め演算処理回路８に入力しておき、受光素子６の出力を演算すれば相対湿度を検知することができる。
【実施例４】
【００４９】
図６は、図５に示す湿度検知システムの実施例を発展させ、温度特性を向上させると共に、露点検知を可能にした構成を示す。図中、３１は温度センサである。温度センサには、光ファイバセンサシステムの特徴を最大限活かすため、例えば、特開２００７−２４５２７に本願発明者等により開示されている光ファイバ式温度センサが望ましく、図６では光ファイバ式温度センサ３１の例を示している。しかしながら、熱電対、白金抵抗体などの一般的センサを利用することも可能であり、その場合、信号伝送路は温度センサの種類によって異なり、例えば、光ファイバ式温度センサ３１では光ファイバであり、熱電対では補償導線となる。温度計測部も同様に温度センサの種類に適合したものとする。
【００５０】
予め測定しておいた湿度センサ１の出力の温度依存性を、演算処理回路８に入力しておき、温度センサ３１で測定した温度データを用いて温度の依存性を補正することにより、温度の影響を受けない正確な湿度検知システムとなる。
【００５１】
また、取得した湿度と温度データを用いて、演算処理回路８により露点を計算すれば、露点検知システムとすることもできる。
【実施例５】
【００５２】
図８は、本発明の第五実施例である多点湿度検知システムの概略構成を示す。以下、システムの動作を説明する。光源２１は、ＡＳＥ光源、チューナブルレーザなどのように複数の波長を発光する光源で、光源２１から発光された光は、光アイソレータ７、２個の光カプラ５を経て伝送用光ファイバ２に入射される。光アイソレータ７を出た光の一部は、光カプラ５で分岐され光源２１の光強度変化をモニターするパワーモニタ用受光素子２４に入射され、光源の変動を補正するデータとして使われる。
【００５３】
本実施例のシステムでは、各湿度センサ１を異なる波長の光で測定することにより各センサを識別する。複数の異なる波長を含む測定光が合分波フィルタ２２−１に到達すると、波長λ１の光のみ湿度センサ１−１側に分岐され、残りの波長の光は伝送用光ファイバ２を先に進む。合分波フィルタ２２−２ではλ２、合分波フィルタ２２−３ではλ３というように、各湿度センサ１−（1〜n）に割り当てられた波長が分岐されていく。各湿度センサ１−（1〜n）で反射された各波長の光は、再度合分波フィルタ２２を経て伝送用光ファイバ２に合波され、光カプラ５を経て波長分岐フィルタ２３に達する。波長分岐フィルタ２３で光は各波長に分岐され、各々割り当てられた受光素子６に入射される。
【００５４】
演算処理回路８に湿度と反射光強度の関係式を予め入力しておき、各受光素子６の出力データを演算処理すれば、各湿度センサ１−（１〜ｎ）の湿度を検知できる。
【００５５】
各湿度センサ１−（１〜ｎ）の識別に異なる波長の光λ１〜λｎを用い、各波長に割り当てた複数の受光素子ＰＤ１〜ＰＤｎで並列に受光することにより、計測時間が短くなり、リアルタイム測定ができる。
【００５６】
また、伝送用光ファイバ２、光カプラ５、光アイソレータ７、合分波フィルタ２２、波長分岐フィルタ２３、受光素子６など、上記各種の構成部品には光通信用に開発された安価で信頼性の高い市販品を利用できるため、安価で信頼性の高いシステムを構成できる。
【００５７】
以上、湿度センサ１のみを配置した例を説明したが、湿度センサ１と前記光ファイバ式温度センサを一組として伝送用光ファイバ２に複数組配置した構成も可能である。この場合は、全ての湿度センサ１と光ファイバ式温度センサに対して各々異なる波長を割当てることにより各センサの識別を行うようにすれば、同様な構成で温度補正機能や露点算出機能を有する多点湿度センサシステムを構成できる
【００５８】
特定の実施例を参照して本発明を説明したが、特許請求の範囲に規定される本発明の技術的範囲を逸脱しないで、上述の実施例に種々の変更を加えることは、本発明の属する分野の技術者にとって自明であり、このような変更・修正も本発明の技術的範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１実施例の概略構成を示す図である。
【図２】センサ用光ファイバの特性例を示す図である。
【図３】湿度センサの動作を説明する側面図である。
【図４】湿度センサの反射光強度と湿度の関係の測定例を示す図である。
【図５】本発明の第２実施例の概略構成を示す図である。
【図６】本発明の第３実施例の概略構成を示す図である。
【図７】本発明の第４実施例の概略構成を示す図である。
【図８】本発明の第５実施例の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１：湿度センサ
２：伝送用光ファイバ
３：計測部
４：発光素子
５：光カプラ 
６：受光素子
７：光アイソレータ
８：演算処理回路
１１：センサ用光ファイバ
１２：括れ部
１３：感湿材
１４：反射ミラー
１５：センサ用光ファイバ／感湿材固定部
１６：台座
１７：センサ用光ファイバ／台座固定部
１８：感湿材／台座固定部
２０：多点計測部
２１：光源
２２−（１〜ｎ）：合分波フィルタ
２３：波長分岐フィルタ
２４：パワーモニタ用受光素子
３１：温度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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