(57)【要約】【課題】  特に、穴等の欠損部がある基板に対して、前記有機剤の膜厚のばらつきを小さく抑えることが可能な有機剤の塗布方法を提供することを目的とする。【解決手段】  穴１ａの欠損部がある基板１の表面１ｂにディップ法により有機剤を塗布する塗布方法であって、溶剤中に前記有機剤を混ぜてなる有機溶液３の液面３ａが、前記穴１ａの上方に位置するように前記基板１を前記有機溶液３に浸した後、前記有機溶液３を入れた容器４を固定した状態で、前記基板１を前記有機溶液３から引き上げ、このとき、前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａの位置にあるときの引き上げ速度Ｓ２を、前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａ以外の位置にあるときの引き上げ速度Ｓ１，Ｓ３よりも遅くする。これにより、基板表面に塗布される前記有機剤の膜厚のばらつきを従来に比べて抑制することが可能である。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
欠損部がある基板表面にディップ法により有機剤を塗布する塗布方法であって、
溶剤中に前記有機剤を混合してなる有機溶液の液面が、前記欠損部の上方に位置するように前記基板を立てた状態で前記有機溶液に浸した後、前記有機溶液を入れた容器を固定した状態で、前記基板を前記有機溶液から引き上げ、このとき、
前記有機溶液の液面が前記欠損部の位置にあるときの引き上げ速度を、前記有機溶液の液面が前記欠損部以外の位置にあるときの引き上げ速度よりも遅くすることを特徴とする有機剤の塗布方法。
【請求項２】
欠損部がある基板表面にディップ法により有機剤を塗布する塗布方法であって、
溶剤中に前記有機剤を混合してなる有機溶液の液面が、前記欠損部の途中に位置するように前記基板を立てた状態で前記有機溶液に浸した後、前記有機溶液を入れた容器を固定した状態で、前記基板を前記有機溶液から引き上げることを特徴とする有機剤の塗布方法。
【請求項３】
引き上げ速度を一定にする請求項２記載の有機剤の塗布方法。
【請求項４】
欠損部がある基板表面にディップ法により有機剤を塗布する塗布方法であって、
溶剤中に前記有機剤を混合してなる有機溶液の液面が、前記欠損部の上方に位置するように前記基板を立てた状態で前記有機溶液に浸した後、前記有機溶液を入れた容器を固定した状態で、前記基板を前記有機溶液から引き上げ、このとき、
前記有機溶液の液面が前記欠損部の途中に到達し、あるいは、前記欠損部全体を通り過ぎたら直ちに一旦、前記基板の引き上げを停止することを特徴とする有機剤の塗布方法。
【請求項５】
欠損部がある基板表面にディップ法により有機剤を塗布する塗布方法であって、
溶剤中に前記有機剤を混合してなる有機溶液の液面が、前記欠損部の上方に位置するように前記基板を立てた状態で前記有機溶液に浸した後、前記有機溶液を入れた容器を固定した状態で、前記基板を前記有機溶液から引き上げ、このとき、
前記有機溶液の液面が前記欠損部の途中に到達し、あるいは、前記欠損部全体を通り過ぎたら直ちに一旦、前記基板の引き上げを停止し、
次に、前記欠損部全体が前記有機溶液内に浸る位置まで、前記基板を再度、前記有機溶液内に浸漬し、その後、前記基板を前記有機溶液から引き上げることを特徴とする有機剤の塗布方法。
【請求項６】
前記基板の再度の浸漬速度を、前記基板の引き上げ速度より遅くする請求項５記載の有機剤の塗布方法。
【請求項７】
前記有機剤は、フッ素系潤滑剤である請求項１ないし６のいずれかに記載の有機剤の塗布方法。
【請求項８】
前記欠損部は、穴あるいは切り欠きである請求項１ないし７のいずれかに記載の有機剤の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面に有機剤をディップ方法にて塗布する塗布方法に係り、特に、穴等の欠損部がある基板に対して、前記有機剤の膜厚のばらつきを小さく抑えることが可能な有機剤の塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば可変抵抗器に使用される基板（抵抗基板）の表面には、摺動子が前記基板上を摺動した際の摩擦等を低減させるために、潤滑剤が塗布されている。
【０００３】
前記潤滑剤の塗布方法としては、スピンコート法やディップ法等がある。前記ディップ法では、溶剤中に潤滑剤を溶解した有機溶液中に前記基板を立てた状態で浸漬させ、その後、前記基板を前記有機溶液から引き上げる。従来では、前記基板の引き上げ速度を一定にしていた。
【特許文献１】特開２００４−２０２４６３号公報
【特許文献２】特開２００６−２２４１６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば前記基板の中央には先端が前記摺動子である回転子を取り付けるための穴が形成されている。
【０００５】
このように前記基板の中央に穴が形成されている場合、前記基板を前記有機溶液から一定速度で引き上げると、前記穴の周囲で、前記基板の表面に塗布された有機溶液の下方向への流れが一様でなく乱れやすくなり、前記基板の表面に塗布される潤滑剤の膜厚のばらつきが大きくなるといった問題があった。
【０００６】
上記に挙げた各特許文献には、上記した従来課題に関する記載がなく示唆もされていない。
【０００７】
そこで本発明は上記従来課題を解決するためのものであり、特に、穴等の欠損部がある基板に対して、前記有機剤の膜厚のばらつきを小さく抑えることが可能な有機剤の塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、欠損部がある基板表面にディップ法により有機剤を塗布する塗布方法であって、
溶剤中に前記有機剤を混合してなる有機溶液の液面が、前記欠損部の上方に位置するように前記基板を立てた状態で前記有機溶液に浸した後、前記有機溶液を入れた容器を固定した状態で、前記基板を前記有機溶液から引き上げ、このとき、
前記有機溶液の液面が前記欠損部の位置にあるときの引き上げ速度を、前記有機溶液の液面が前記欠損部以外の位置にあるときの引き上げ速度よりも遅くすることを特徴とするものである。
【０００９】
あるいは本発明は、欠損部がある基板表面にディップ法により有機剤を塗布する塗布方法であって、
溶剤中に前記有機剤を混合してなる有機溶液の液面が、前記欠損部の途中に位置するように前記基板を立てた状態で前記有機溶液に浸した後、前記有機溶液を入れた容器を固定した状態で、前記基板を前記有機溶液から引き上げることを特徴とするものである。このとき、引き上げ速度を一定にすることが可能である。
【００１０】
または本発明は、欠損部がある基板表面にディップ法により有機剤を塗布する塗布方法であって、
溶剤中に前記有機剤を混合してなる有機溶液の液面が、前記欠損部の上方に位置するように前記基板を立てた状態で前記有機溶液に浸した後、前記有機溶液を入れた容器を固定した状態で、前記基板を前記有機溶液から引き上げ、このとき、
前記有機溶液の液面が前記欠損部の途中に到達し、あるいは前記欠損部全体を通り過ぎたら直ちに一旦、前記基板の引き上げを停止することを特徴とするものである。
【００１１】
以上により、前記基板表面に塗布される前記有機剤の膜厚のばらつき（特に、前記液面と平行な方向への膜厚のばらつき）を従来に比べて抑制することが可能である。
【００１２】
また、本発明は、欠損部がある基板表面にディップ法により有機剤を塗布する塗布方法であって、
溶剤中に前記有機剤を混合してなる有機溶液の液面が、前記欠損部の上方に位置するように前記基板を立てた状態で前記有機溶液に浸した後、前記有機溶液を入れた容器を固定した状態で、前記基板を前記有機溶液から引き上げ、このとき、
前記有機溶液の液面が前記欠損部の途中に到達し、あるいは、前記欠損部全体を通り過ぎたら直ちに一旦、前記基板の引き上げを停止し、
次に、前記欠損部全体が前記有機溶液内に浸る位置まで、前記基板を再度、前記有機溶液内に浸漬し、その後、前記基板を前記有機溶液から引き上げることを特徴とするものである。このとき、前記基板の再度の浸漬速度を、前記基板の引き上げ速度より遅くすることが好ましい。これにより、基板表面に塗布された前記有機剤の前記液面と平行な方向への膜厚のばらつきのみならず、引き上げ方向への膜厚のばらつきをも効果的に抑制することが出来る。
【００１３】
本発明では、前記有機剤は、フッ素系潤滑剤であることが好ましい。また前記欠損部は、穴あるいは切り欠きであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の有機剤のディップ法における塗布方法によれば、基板に穴等の欠損部があっても、基板表面に塗布される前記有機剤の膜厚のばらつきを従来に比べて抑制することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は、基板表面の正面図、図２は、本発明における第１実施形態の有機剤の塗布方法を説明するための工程図、図３は、本発明における第２実施形態の有機剤の塗布方法を説明するための工程図、図４は、本発明における第３実施形態の有機剤の塗布方法を説明するための工程図、図５は、本発明における第４実施形態の有機剤の塗布方法を説明するための工程図、である。
【００１６】
図１に示す基板１は、エポキシ樹脂などで形成された絶縁性の成形基板であり、前記基板１の中央には、回転子を取り付けるための円形状の穴１ａが形成されている。
【００１７】
前記基板１の表面１ｂには、図示しない電極パターンや抵抗パターンが形成されている。前記電極パターン及び前記抵抗パターンの表面は前記基板１の表面１ｂと同一面上で形成されている。
【００１８】
前記電極パターンや抵抗パターンの基板１の表面１ｂにおける形成領域は限定しないが、例えば、前記電極パターンや抵抗パターンは、図１に示す穴１ａの中心１ｃから概ね半分の領域１ｄに形成される。
【００１９】
図１に示すように前記領域１ｄとは前記穴１ａを介して逆側の基板１の縁部１ｅからは複数の端子２が突出している。これら端子２は、前記電極パターンや前記抵抗パターンに導通接続されている。
【００２０】
本実施形態では、前記基板１の表面１ｂに、フッ素系潤滑剤（有機剤）をディップ法にて塗布する。フッ素系潤滑剤の塗布膜厚は、２０〜８００ｎｍ程度である。
【００２１】
例えば、前記フッ素系潤滑剤はパールフオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油である。前記フッ素系潤滑剤の室温中の動粘度は、２０〜３００ｃｓｔ程度である。前記フッ素系潤滑剤を、フッ素系溶剤のハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）中に溶解して有機溶液３が生成される。前記有機溶液３中に占めるフッ素系潤滑剤の濃度は、０．１〜１０重量％程度である。前記ハイドロフルオロエーテルは、室温中の動粘度が０．１〜１ｃｓｔ程度と低く、また揮発性が高い。
【００２２】
図２（ａ）に示すように前記有機溶液３を入れた容器４中に、前記基板１を立てた状態で浸漬する。ただし前記端子２が前記有機溶液３中に浸漬されないように、図２（ａ）に示すように、前記基板１を、前記端子２が上方に位置するように立てて前記有機溶液３中に浸漬する。これにより前記端子２に前記フッ素系潤滑剤が塗布されないようにできる。
【００２３】
また、図２（ａ）に示すように、少なくとも前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａの上方に位置するように前記基板１を前記有機溶液３に浸す。
【００２４】
図２（ａ）の状態から前記有機溶液３を入れた容器４を固定したままで（容器４は動かさず）、前記基板１を上方に第１の引き上げ速度Ｓ１で引き上げる。前記第１の引き上げ速度Ｓ１は、前記液面３ａが前記穴１ａに到達する前（前記液面３ａから前記穴１ａが露出する前；図２（ｂ）の位置）までとすることが好適であるが、前記液面３ａが若干、図２（ｂ）に示す前記穴１ａの最上部１ａ１を通り過ぎて、前記液面３ａから若干、前記穴１ａが露出する位置までとしてもよい。
【００２５】
図２（ｂ）の状態から、次の図２（ｃ）に示すように液面３ａが前記穴１ａを完全に通過するまでの間、引き上げ速度を第１の引き上げ速度よりも遅い第２の引き上げ速度Ｓ２とする。
【００２６】
図２（ｃ）のように、前記液面３ａが前記穴１ａを通過したら、前記引き上げ速度を第２の引き上げ速度Ｓ２よりも速い第３の引き上げ速度Ｓ３（例えば第１の引き上げ速度Ｓ１と同じに設定する）として、前記基板１全体を前記有機溶液３から引き上げる。
【００２７】
ところで、図２に示すディップ法にて前記基板１の表面１ｂに塗布された有機溶液３は溶剤が蒸発すると、フッ素系潤滑剤が前記基板１の表面１ｂに残されるが、基板１の引き上げ速度が速いと、液面３ａよりも上方に引き上げられた前記基板１の表面１ｂに塗布された有機溶液３の一部は、そのままその位置に留まらずに下方向に流れる。このとき、穴１ａが前記液面３ａから上方に露出すると、前記有機溶液３の流れは穴１ａの左右両側の二手に分かれる。従来では、前記基板１の引き上げを速い速度で一定としていた。かかる場合、液面３ａが前記穴１ａを通過すると、溶剤がまだ蒸発していない穴１ａの両側から流れてきた有機溶液３の一部が、穴１ａの下方領域にて合流し、残りの有機溶液３は合流せずにそのまま下方向に流れていき、その後、溶剤が蒸発する。このように基板１の表面１ｂでの有機溶液３の流れは、前記穴１ａによる欠損部があることで一様ではなく乱れてしまい、その結果、後述する実験にも示すように基板１の表面１ｂに塗布されたフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきが大きくなった。
【００２８】
そこでこの第１実施形態では、前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａの位置にあるときの引き上げ速度Ｓ２を、前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａ以外の位置にあるときの引き上げ速度Ｓ１，Ｓ３よりも遅く設定している。
【００２９】
このように前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａの位置にあるとき、引き上げ速度を遅くすることで、前記穴１ａの左右両側の二手に分かれた有機溶液３は溶剤が適度に蒸発するため、従来に比べて、穴１ａの左右両側から前記穴１ａの下方領域に流れる有機溶液３の量を減らすことが可能となり、穴１ａで形成された欠損部があることによる前記有機溶液３の流れの乱れを従来よりも小さくすることができる。その結果、後述する実験結果にも示すように、前記基板１の表面１ｂに塗布されるフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきを小さくすることが可能になる。
【００３０】
この第１実施形態では、前記第１及び第３の引き上げ速度Ｓ１，Ｓ３を、１０ｍｍ／ｓ〜３５０ｍｍ／ｓ、前記第２の引き上げ速度Ｓ２を、１ｍｍ／ｓ〜１０ｍｍ／ｓの範囲内とすることが好適である。
【００３１】
第２の実施形態では、図３に示すように、前記有機溶液３の液面３ａが、前記穴１ａの途中に位置するように前記基板１を立てた状態で前記有機溶液３に浸す。このとき、少なくとも電極パターンや抵抗パターンが形成されている領域１ｄが、前記有機溶液３に浸されている必要がある。すなわち、この第２の実施形態は、前記電極パターンや抵抗パターンが前記基板１の表面１ｂの全面に形成され、前記表面１ｂの全面にフッ素系潤滑剤を塗布する形態には適用できない。前記有機溶液３の液面３ａを、前記穴１ａの途中に位置させたときに、フッ素系潤滑剤を塗布したい領域１ｄが全て、前記有機溶液３に浸されるように、前記領域１ｄが前記基板１の表面１ｂの一部に形成される形態に適用可能である。
【００３２】
そして図３に示す状態から、前記有機溶液３を入れた容器４を固定した状態で（前記容器４を動かさずに）、前記基板１を前記有機溶液３から上方に引き上げる。
【００３３】
このように、液面３ａが前記穴１ａの途中の位置となるように前記基板１を有機溶液３に浸漬させた後、前記基板１を前記有機溶液３から引き上げることで、前記穴１ａを全部、有機溶液３内に浸漬させてしまう場合に比べて、基板１の引き上げの際に、穴１ａの左右両側から前記穴１ａの下方領域に流れる有機溶液３の量を減らすことが可能となり、前記基板１の表面１ｂに塗布されるフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきを小さくすることができる。
【００３４】
なお、この第２の実施形態では、図２（ｂ）、図２（ｃ）と同様に、前記液面３ａが前記穴１ａを通過するまでの間の基板１の引き上げ速度を遅くし、前記液面３ａが前記穴１ａを通過したら、前記基板１の引き上げ速度を速くしてもよいが、前記基板１の引き上げ速度を一定にし、しかも図２（ａ）（ｃ）で示す第１及び第３の引き上げ速度のように速い速度としても、従来に比べて、前記基板１の表面１ｂに塗布されるフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきを小さくすることができる。
【００３５】
この第２の実施形態での基板１の引き上げ速度Ｓ４を、１ｍｍ／ｓ〜３５０ｍｍ／ｓの範囲内とすることが好適である。
【００３６】
第３の実施形態では、図４（ａ）に示すように、少なくとも前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａの上方に位置するように前記基板１を立てた状態で前記有機溶液３に浸す。
【００３７】
続いて、図４（ａ）の状態から前記有機溶液３を入れた容器４を固定したままで（容器４は動かさず）、前記基板１を上方に向けて所定の引き上げ速度Ｓ５で引き上げる。
【００３８】
図４（ｂ）に示すように、前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａの途中に到達したら一旦、前記基板１の引き上げを停止する。あるいは液面３ａが穴１ａ全体を通り過ぎたら直ちに基板１の引き上げを停止するように制御してもよい。すなわち穴１ａの下側の基板１が有機溶液３内に漬かった状態で引き上げを停止する。停止時間は、図４（ｂ）に示す前記液面３ａから露出している前記基板１の表面１ｂに塗布された有機溶液３の溶剤がほぼ蒸発する程度であることが好適で、１〜３数秒程度である。
【００３９】
停止後、図４（ｃ）に示すように、再び、前記基板１を上方に向けて所定の引き上げ速度Ｓ６（たとえば前記引き上げ速度Ｓ５と同じ速度）で引き上げる。
【００４０】
このように、前記基板１を前記有機溶液３から引き上げるとき、前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａの途中に到達したら一旦、前記基板１の引き上げを停止することで、基板１の引き上げの際に、穴１ａの左右両側から前記穴１ａの下方領域に流れる有機溶液３の量を減らすことが可能となり、前記基板１の表面１ｂに塗布されるフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきを小さくすることができる。
【００４１】
この第３の実施形態での基板１の引き上げ速度Ｓ５，Ｓ６を、１ｍｍ／ｓ〜３５０ｍｍ／ｓの範囲内とすることが好適である。
【００４２】
上記した第１実施形態、第２実施形態及び第３実施形態では、いずれも、液面３ａと平行な方向（図１に示すＸ方向）におけるフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきを抑えることが出来る。ただし、基板１の引き上げ方向（図１に示すＹ方向）におけるフッ素系潤滑剤の膜厚はややばらつくことがわかった。特に、穴１ａの左右位置でのＹ方向へのフッ素系潤滑剤の膜厚が、穴１ａの上下位置でのＹ方向へのフッ素系潤滑剤の膜厚に対して変動しやすい（特に薄くなりやすい）ことがわかった。
【００４３】
次に図５で説明する第４実施形態では、基板１の引き上げ方向（図１に示すＹ方向）におけるフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきをも小さくできる。
【００４４】
図５（ａ）（ｂ）は、図４（ａ）（ｂ）と同じである。すなわち、図５（ａ）のように、少なくとも前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａの上方に位置するように前記基板１を立てた状態で前記有機溶液３に浸した後、前記有機溶液３を入れた容器４を固定したままで、前記基板１を上方に向けて所定の引き上げ速度Ｓ５で引き上げる。そして、図５（ｂ）に示すように、前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａの途中に到達したら一旦、前記基板１の引き上げを停止する。
【００４５】
次に図５（ｃ）では、前記穴１ａ全体が前記有機溶液３内に浸る位置まで、前記基板１を再度、前記有機溶液３内に浸漬する。
そして図５（ｄ）では、前記基板１を前記有機溶液３から引き上げる。
【００４６】
この第４実施形態では、穴１ａの途中で一旦、基板１の引き上げを停止した後、図５（ｃ）のように、前記穴１ａ全体が前記有機溶液３内に浸る位置まで再び、基板１を有機溶剤３内に浸漬している点に特徴的部分がある。これにより前記穴１ａの左右両側位置の基板１の表面１ｂに有機剤を二度塗りするような状態になり、後述する実験に示すように、基板１のＸ方向のみならずＹ方向（図１参照）におけるフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきを効果的に小さくすることが可能になる。
【００４７】
図５（ｃ）に示す基板１を再び有機溶剤３内に浸漬させるときの浸漬速度Ｓ７は、基板１の引き上げ速度Ｓ５，Ｓ６より遅いことが好ましい。前記浸漬速度Ｓ７を、１ｍｍ／ｓ〜１０ｍｍ／ｓの範囲内とすることが好適である。
【００４８】
また、図５（ｂ）では、有機溶剤３の液面３ａが穴１ａの途中に到達したら基板１の引き上げを停止したが、前記液面３ａが前記穴１ａ全体を通り過ぎたら直ちに停止するように制御してもよい。すなわち穴１ａの下側に位置する基板１は、有機溶液３内に浸った状態を維持している。
【００４９】
また図５（ｄ）では引き上げ速度Ｓ６を一定にしているが、引き上げ速度Ｓ６は一定でなく可変させてもよい。例えば図４のように液面３ａが穴１ａの途中に到達したら一旦、基板１の引き上げを停止し、その後、基板１全体を有機溶剤３から引き上げるように制御することも出来る。
【００５０】
また図５（ｃ）では穴１ａ全体が有機溶剤３内に浸る程度であればよく、液面３ａが穴１ａの最上部１ａ１付近に到達したら基板１の下方向への移動を停止することが好適である。
【００５１】
上記したように、図２ないし図５に示す実施形態では、いずれも有機溶液３を入れた容器４を固定した状態で、前記基板１を前記有機溶液３から上方に引き上げているが、図６のように、前記基板１を固定した状態で、前記容器４を下方に移動させ、見かけ上、前記基板１を前記有機溶液３から上方に引き上げるディップ方法では、前記容器４を下方に移動させると、前記溶器４に入れられた有機溶液３の液面３ａが揺れてしまい、前記基板１の表面１ｂに塗布されるフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきが大きくなる。よって、前記有機溶液３の液面３ａの揺れを適切に抑制するために、本実施形態では、前記有機溶液３を入れた容器４を固定した状態にして、前記基板１を上方に引き上げている。
【００５２】
図１に示すように本実施形態の基板１の中央には穴１ａが空いているが、穴１ａ以外に図７に示すように、基板６の縁部６ｆに切り欠き６ｇによる欠損部がある形態にも本実施形態のディップ方法を適用できる。
【００５３】
例えば図２で説明した第１の実施形態のディップ方法を適用する場合、前記液面３ａが前記切り欠き６ｇの位置にあるときの引き上げ速度（図２（ｂ）での第２の引き上げ速度Ｓ２と同じ）を、前記液面３ａが前記切り欠き６ｇ以外の位置にあるときの引き上げ速度（図２（ａ）（ｃ）での第１及び第３の引き上げ速度Ｓ１，Ｓ３と同じ）よりも遅く設定する。
【００５４】
本実施形態の有機剤の塗布方法は、穴や切り欠き等の欠損部がある基板表面に潤滑剤等の有機剤をディップ法にて塗布するあらゆる形態に適用できる。
【実施例】
【００５５】
実験では図１に示す形状の基板１を用い、前記基板１の表面１ｂにディップ法にてフッ素系潤滑剤を塗布した。
【００５６】
実験で使用した基板１の直径は、４０ｍｍで、前記基板１の中央に位置する穴１ａの直径は５ｍｍであった。
【００５７】
有機溶液３は、フッ素系潤滑剤であるパールフオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）油を、フッ素系溶剤のハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）中に溶解して生成した。なお有機溶液３中に占めるパールフオロポリエーテル濃度を２ｗｔ％に設定した。
【００５８】
図２（ａ）（ｃ）に示す第１及び第３の引き上げ速度Ｓ１,Ｓ３を３０ｍｍ／ｓとし、液面３ａが前記穴１ａに位置するときの第２の引き上げ速度Ｓ２を１０ｍｍ／ｓとした（実施例）。
【００５９】
一方、比較例として引き上げ速度を３０ｍｍ／ｓの一定にした実験も行った。
上記実施例及び比較例ともに、容器４を固定した状態で、前記基板１を上方に引き上げた。前記基板１を引き上げた後、溶剤が蒸発した後の前記フッ素系潤滑剤の膜厚を図１に示す一点鎖線の位置（穴１ａの中心１ｃから４ｍｍ下方位置；Ｘ方向）で測定した。その実験結果を図８に示す。図８に示す横軸の０ｍｍの位置は、前記穴１ａの中心１ｃと対向する中心位置を示し、図８は、その中心位置からの左右両側への距離と、各位置でのフッ素系潤滑剤の膜厚との関係を示している。
【００６０】
図８に示すように実施例では比較例に比べてフッ素系潤滑剤のＸ方向への膜厚のばらつきを効果的に抑制できることがわかった。
【００６１】
また実際に、実施例及び比較例の基板１の表面１ｂに摺動子を摺動させると、前記摺動子に付着するフッ素系潤滑剤の重量が、比較例では実施例の倍程度になることがわかった。具体的には、有機溶液３中に占めるパールフオロポリエーテル濃度を１ｗｔ％あるいは２ｗｔ％としたときの、実施例での前記フッ素系潤滑剤の付着重量は、７０μｇ、９０μｇであったのに対し、比較例での前記フッ素系潤滑剤の付着重量は、１６０μｇ、１８０μｇもあった。
【００６２】
続いて、図３に示すように前記有機溶液３の液面３ａが、前記穴１ａの途中に位置するように前記基板１を立てた状態で基板１を有機溶液３から引き上げるとき、有機溶液３を入れた容器４を固定した状態で、基板１を上方に移動させる引き上げ方法（実施例）と、基板１を固定した状態で、容器４を下方に移動させる引き上げ方法（比較例）を行った。実験で使用した基板形状や有機溶液３の材質等は図８と同じである。
実施例及び比較例ともに、引き上げ速度を３０ｍｍ／ｓとした。
【００６３】
そして、前記基板１を引き上げた後、溶剤が蒸発した後の前記フッ素系潤滑剤の膜厚を図１に示す一点鎖線の位置（穴１ａの中心１ｃから４ｍｍ下方位置；Ｘ方向）で測定した。その実験結果を図９に示す。
【００６４】
図９に示すように実施例では比較例に比べてフッ素系潤滑剤の膜厚のＸ方向へのばらつきを効果的に抑制できることがわかった。
【００６５】
よって、図８及び図９に示す実験結果から、有機溶液３を入れた容器４を固定した状態で、基板１を前記有機溶液３から引き上げ、このとき、前記有機溶液３の液面３ａが穴１ａの位置にあるときの引き上げ速度を、前記有機溶液３の液面３ａが前記穴１ａ以外の位置にあるときの引き上げ速度よりも遅くすることで、もしくは、前記有機溶液３の液面３ａが、前記穴１ａの途中に位置するように前記基板１を立てた状態で基板１を有機溶液３から引き上げることで、フッ素系潤滑剤の膜厚のＸ方向へのばらつきを効果的に抑制できることがわかった。
【００６６】
次に、図４に示す穴１ａの途中で基板１の引き上げを一旦、停止するディップ法（実施例）にてフッ素系潤滑剤を塗布した。引き上げ速度Ｓ５,Ｓ６を共に３０ｍｍ／Ｓとした。そして、前記基板１を引き上げた後、溶剤が蒸発した後の前記フッ素系潤滑剤の膜厚を図１に示す一点鎖線の位置（穴１ａの中心１ｃから４ｍｍ下方位置；Ｘ方向）で測定した。その実験結果を図１０に示す。図１０には、引き上げ速度を３０ｍｍ／Ｓで一定にした比較例の実験結果も掲載している。
【００６７】
図１０の実施例に示すように、フッ素系潤滑剤の膜厚のＸ方向へのばらつきを効果的に抑制できることがわかった。
【００６８】
次に、図５に示す穴１ａの途中で基板１の引き上げを一旦、停止した後、再び基板１を浸漬するディップ法（実施例）にてフッ素系潤滑剤を塗布した。引き上げ速度Ｓ５,Ｓ６を共に３０ｍｍ／Ｓとした。また浸漬速度Ｓ７を５ｍｍ／Ｓとした。そして、前記基板１を引き上げた後、溶剤が蒸発した後の前記フッ素系潤滑剤の膜厚を図１に示す一点鎖線の位置（穴１ａの中心１ｃから４ｍｍ下方位置；Ｘ方向）で測定した。その実験結果を図１１に示す。図１１には、引き上げ速度を３０ｍｍ／Ｓで一定にした比較例の実験結果も掲載している。
【００６９】
図１１の実施例に示すように、フッ素系潤滑剤の膜厚のＸ方向へのばらつきを効果的に抑制できることがわかった。
【００７０】
図１２は、図８の実験におけるフッ素系潤滑剤の膜厚のＹ方向への膜厚を測定した結果、図１３は、図１０の実験におけるフッ素系潤滑剤の膜厚のＹ方向への膜厚を測定した結果、図１４は、図１１の実験におけるフッ素系潤滑剤の膜厚のＹ方向への膜厚を測定した結果である。
【００７１】
図１２〜図１４における膜厚の測定は図１に示す二点鎖線の部分で行った。また図１２〜図１４に示す原点位置（０ｍｍ）は、穴１ａの中心１ｃとＸ方向で対向する位置であり、原点位置からプラスの位置は、穴１ａの中心１ｃよりも下方向の位置、原点位置からマイナスの位置は穴１ａの中心１ｃよりも上方向の位置を指す。また図１２〜図１４には、引き上げ速度を３０ｍｍ／Ｓで一定にした比較例の実験結果も掲載した。
【００７２】
液面が穴１ａの位置に到達したら引き上げ速度を遅くする図２のディップ方法では、図８のようにＸ方向へのフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきは小さくできたが図１２に示すようにＹ方向へのフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきを効果的に小さくできないことがわかった。特に図１２に示すように、原点付近、すなわち穴１ａの左右両側位置でのフッ素系潤滑剤の膜厚が、穴１ａの上下位置でのフッ素系潤滑剤の膜厚に比べて薄くなることがわかった。
【００７３】
また、液面が穴１ａの途中位置に到達したら一旦引き上げ速度を停止する図４のディップ方法では、図１０に示すようにＸ方向へのフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきは小さくできたが図１３に示すようにＸ方向ほどＹ方向へのフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきを小さくできないことがわかった。
【００７４】
これに対して、液面が穴１ａの途中位置に到達したら一旦引き上げ速度を停止し、再び基板１を有機溶剤に浸漬させる図５のディップ方法では、図１１に示すように、Ｘ方向へのフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきのみならず、且つ図１４に示すようにＹ方向へのフッ素系潤滑剤の膜厚のばらつきも小さくできることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】基板表面の正面図、
【図２】本発明における第１実施形態の有機剤の塗布方法を説明するための工程図、
【図３】本発明における第２実施形態の有機剤の塗布方法を説明するための工程図、
【図４】本発明における第３実施形態の有機剤の塗布方法を説明するための工程図、
【図５】本発明における第４実施形態の有機剤の塗布方法を説明するための工程図、
【図６】基板を固定し、有機溶液を入れた容器を下方に移動させて、見かけ上、前記基板を有機溶液から上方に引き上げる比較例での工程図、
【図７】図１とは異なる別の基板の正面図、
【図８】有機溶液の液面が基板の穴の位置にあるときの引き上げ速度を、前記有機溶液の液面が前記穴以外の位置にあるときの引き上げ速度よりも遅くした実施例、及引き上げ速度を一定とした比較例の基板表面に塗布されたフッ素系潤滑剤のＸ方向への膜厚を測定した実験結果、
【図９】有機溶液を入れた容器を固定し、有機溶液の液面が基板の穴の中央にあるところから基板を上方に引き上げた実施例、及び、基板を固定し、有機溶液の液面が基板の穴の中央にあるところから前記容器を下方に移動させた比較例の基板表面に塗布されたフッ素系潤滑剤のＸ方向への膜厚を測定した実験結果、
【図１０】有機溶剤の液面が基板の穴の途中に到達したら一旦引き上げを停止する実施例、及び引き上げ速度を一定とした比較例の基板表面に塗布されたフッ素系潤滑剤のＸ方向への膜厚を測定した実験結果、
【図１１】有機溶剤の液面が基板の穴の途中に到達したら一旦引き上げを停止し、続いて再度、基板を有機溶剤内に浸漬する実施例、及び引き上げ速度を一定とした比較例の基板表面に塗布されたフッ素系潤滑剤のＸ方向への膜厚を測定した実験結果、
【図１２】有機溶液の液面が基板の穴の位置にあるときの引き上げ速度を、前記有機溶液の液面が前記穴以外の位置にあるときの引き上げ速度よりも遅くした実施例、及引き上げ速度を一定とした比較例の基板表面に塗布されたフッ素系潤滑剤のＹ方向への膜厚を測定した実験結果、
【図１３】有機溶剤の液面が基板の穴の途中に到達したら一旦引き上げを停止する実施例、及び引き上げ速度を一定とした比較例の基板表面に塗布されたフッ素系潤滑剤のＹ方向への膜厚を測定した実験結果、
【図１４】有機溶剤の液面が基板の穴の途中に到達したら一旦引き上げを停止し、続いて再度、基板を有機溶剤内に浸漬する実施例、及び引き上げ速度を一定とした比較例の基板表面に塗布されたフッ素系潤滑剤のＹ方向への膜厚を測定した実験結果、
【符号の説明】
【００７６】
１、６  基板
１ａ  穴
１ｂ  （基板の）表面
１ｃ  （穴の）中心
２  端子
３  有機溶液
３ａ  （有機溶液の）液面
４  容器
６ｇ  切り欠き
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６  引き上げ速度
Ｓ７  浸漬速度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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