(57)【要約】【課題】補正板の歪みを防止した上で、補正板を容易に保持することができるとともに、装置の薄型化を図ることができる補正板の保持枠、それを備えた干渉計及び補正板の保持方法を提供する。【解決手段】干渉計によるピックアップレンズの収差測定に用いる補正板２４の保持枠であって、補正板２４の下面２４ａを略水平に載置して保持する保持部２２と、保持部２２に保持された補正板２４の上面２４ｂに対して、３個以上の突起部２６を当接させて補正板２４を保持部２２との間で挟持する撓み変形可能な押え部材２５と、を備えていることを特徴とする。【選択図】図３
2009121956.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉計によるレンズの収差測定に用いる補正板の保持枠であって、
前記補正板の下面を略水平に載置して保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記補正板の上面に対して、３個以上の突起部を当接させて前記補正板を前記保持部との間で挟持する撓み変形可能な押え部材と、を備えていることを特徴とする補正板の保持枠。
【請求項２】
前記押え部材は、箔状の部材であることを特徴とする請求項１記載の補正板の保持枠。
【請求項３】
前記突起部は、接着剤により形成されていることを特徴とする請求項１記載の補正板の保持枠。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の保持枠を備えていることを特徴とする干渉計。
【請求項５】
干渉計によるレンズの収差測定に用いる補正板の保持方法であって、
撓み変形可能な押え部材における前記補正板の上面との当接面に、３個以上の突起部を形成する突起部形成工程と、
補正板の下面を保持部に略水平に載置して位置決めする位置決め工程と、
前記保持部に保持された前記補正板の上面に対して、前記補正板を前記保持部と前記突起部との間で挟持するように前記押え部材を配置する配置工程と、を有することを特徴とする補正板の保持方法。
【請求項６】
前記突起部形成工程では、
前記押え部材の前記補正板との当接面に接着剤を塗布する塗布工程と、
前記接着剤が硬化する前に、前記接着剤の高さを調整する調整工程と、を有することを特徴とする請求項５記載の補正板の保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、補正板の保持枠、それを備えた干渉計及び補正板の保持方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、光情報記録の技術の発展が著しく、情報記録密度が飛躍的に高まっている。これらの読み取りに用いられるレンズとして、例えば光ピックアップ用対物レンズ（レンズ）においては、光ディスクの基板内部に形成される記録層に光を集光させたいために、光ディスクの樹脂でできた保護層の影響を含めて、光ピックアップの光源波長を設計波長として無収差になるようにレンズ設計されている。そのため、光ピックアップ用対物レンズの性能を干渉計で測定する際には、前記設計波長と干渉計の光源波長との差を補正することも必要になる。よって、光ピックアップ用対物レンズを干渉計で測定する場合、前記保護層の影響と干渉計の光源波長と設計波長の差を補正するための補正板が用いられている。この補正板にあっては、補正板の精度が測定結果の誤差となってしまうため、補正板は高精度なガラス板で製作されるのが一般的である。
【０００３】
そして、上述の補正板に利用されるような、薄くて高精度なガラス板を歪ませないように保持する保持枠及び保持方法が提案されている。
例えば特許文献１には、光学部品ホルダ内に光学部品を載置した後、光学部品ホルダの側面に形成した孔より、直径が０．５ｍｍに形成されたピンを差し込むことで、光学部品が保持されるものが記載されている。
【特許文献１】特開２００４−１３１０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の従来技術にあっては、光学部品ホルダに載置される光学部品を、ピンを用いて保持させるため、光学部品個々に対して位置を調整する必要があり、組み付け工数が多く、作業時間がかかるという問題がある。そのため、大量生産品の製造には不向きであった。
【０００５】
さらに、近年、光ピックアップ用対物レンズ等の光学レンズの高ＮＡ化、小径化が進み、焦点距離が非常に短くなっている。したがって、可能な限り光学部品ホルダを薄く形成して、補正板と光学レンズとの間の距離を確保し、光学レンズの交換を容易に行えることが要請されている。このような要請に対して、上述の光学部品ホルダにあっては、光学部品ホルダの側面にピンを挿入させるための孔を設けているため、光学部品ホルダを薄く形成するには限界があった。
【０００６】
そこで、本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、補正板の歪みを防止した上で、補正板を容易に保持することができるとともに、補正板を用いた装置の薄型化を図ることができる補正板の保持枠、それを備えた干渉計及び補正板の保持方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明の補正板の保持枠は、干渉計によるレンズの収差測定に用いる補正板の保持枠であって、前記補正板の下面を略水平に載置して保持する保持部と、前記保持部に保持された前記補正板の上面に対して、３個以上の突起部を当接させて前記補正板を前記保持部との間で挟持する撓み変形可能な押え部材と、を備えていることを特徴とする。
本発明の補正板の保持枠によれば、押え部材に突起部が形成されているため、突起部と補正板との間に発生する摩擦力及び押え部材の自重によって補正板を保持することができる。つまり、押え部材と補正板とを、押え部材に形成された突起部により当接させて保持させるため、例えば押え部材と補正板とを接着した場合に比べて、補正板に作用する歪みを確実に低減することができる。また、押え部材が撓み変形可能に構成されているため、補正板が歪むような強い力が作用することを防ぐことができる。
また、従来のようにピンにより補正板を保持する場合と比べて、補正板を容易に保持することができ、製造効率を向上させることができるとともに、装置を薄型化することができる。
【０００８】
また、本発明の補正板の保持枠は、前記押え部材は、箔状の部材であることを特徴とする。
この構成によれば、押え部材を箔状の部材で構成することで、押え部材を薄く形成することが可能となり、その結果、装置の薄型化を図ることができる。したがって、補正板と周辺部材との間の距離を確保し、周辺部材を近接させて配置することができるとともに、周辺部材の交換を容易に行えることができる。また、保持部と押え部材との間に挟持された補正板に対して、補正板が歪むような強い力が作用することを防ぐことができる。したがって、補正板を歪ませることなく保持することができる。
【０００９】
また、本発明の補正板の保持枠は、前記突起部は、接着剤により形成されていることを特徴とする。
本発明の干渉計によれば、突起部を接着剤により形成することで、突起部を容易に形成することが可能となり、製造時間及び製造コストを削減することができる。
【００１０】
一方、本発明の干渉計は、上記本発明の保持枠を備えていることを特徴とする。
この構成によれば、上述したような保持枠を備えているため、レンズの収差測定を高精度に行える干渉計を提供することができる。
【００１１】
一方、本発明の補正板の保持方法は、干渉計によるレンズの収差測定に用いる補正板の保持方法であって、撓み変形可能な押え部材における前記補正板の上面との当接面に、３個以上の突起部を形成する突起部形成工程と、補正板の下面を保持部に略水平に載置して位置決めする位置決め工程と、前記保持部に保持された前記補正板の上面に対して、前記補正板を前記保持部と前記突起部との間で挟持するように前記押え部材を配置する配置工程と、を有することを特徴とする。
本発明の補正板の保持方法によれば、撓み変形可能な押え部材に突起部が形成されているため、突起部と補正板との間に発生する摩擦力及び押え部材の自重によって補正板を保持することができる。つまり、押え部材と補正板とを、押え部材に形成された突起部により当接させて保持させるため、例えば押え部材と補正板とを接着した場合に比べて、補正板に作用する歪みを確実に低減することができる。また、押え部材が撓み変形可能に構成されているため、補正板が歪むような強い力が作用することを防ぐことができる。
【００１２】
また、本発明の補正板の保持方法は、前記突起部形成工程では、前記押え部材の前記補正板との当接面に接着剤を塗布する塗布工程と、前記接着剤が硬化する前に、前記接着剤の高さを調整する調整工程と、を有することを特徴とする。
この構成によれば、突起部を接着剤により形成し、接着剤の硬化前に高さを調整することで、補正板のサイズ等に応じて、突起部の高さの設定を容易に行うことができる。これにより、設計の自由度を向上させることができるとともに、製造時間及び製造コストを削減することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の補正板の保持枠によれば、押え部材に突起部が形成されているため、突起部と補正板との間に発生する摩擦力及び押え部材の自重によって補正板を保持することができる。つまり、押え部材と補正板とを、押え部材に形成された突起部により当接させて保持させるため、例えば押え部材と補正板とを接着した場合に比べて、補正板に作用する歪みを確実に低減することができる。また、押え部材が撓み変形可能に構成されているため、補正板が歪むような強い力が作用することを防ぐことができる。
また、従来のようにピンにより補正板を保持する場合と比べて、補正板を容易に保持することができ、製造効率を向上させることができるとともに、装置を薄型化することができる。
【００１４】
また、本発明の干渉計によれば、レンズの収差測定を高精度に行える干渉計を提供することができる。
【００１５】
また、本発明の補正板の保持方法によれば、撓み変形可能な押え部材に突起部が形成されているため、突起部と補正板との間に発生する摩擦力及び押え部材の自重によって補正板を保持することができる。つまり、押え部材と補正板とを、押え部材に形成された突起部により当接させて保持させるため、例えば押え部材と補正板とを接着した場合に比べて、補正板に作用する歪みを確実に低減することができる。また、押え部材が撓み変形可能に構成されているため、補正板が歪むような強い力が作用することを防ぐことができる。
また、従来のようにピンにより補正板を保持する場合と比べて、補正板を容易に保持することができ、製造効率を向上させることができるとともに、装置を薄型化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。図１は、本実施形態の干渉計１を示す模式図であり、図２は図１のＡ部を拡大した詳細図である。
図１に示すように、干渉計１は、検査光Ｂ１を発生する第１光源２と、検査光Ｂ１とは異なる波長を有するアライメント光Ｂ２を発生する第２光源３と、検査光Ｂ１をそれぞれ後述する第２参照光と第２被検光とに、又はアライメント光Ｂ２をそれぞれ後述する第１参照光と第１被検光とに分割するメインビームスプリッタ４と、各参照光を反射する平面ミラー５と、各被検光を反射する球面ミラー６と、反射された各被検光及び各参照光を撮像する撮像装置７と、撮像装置７に接続されたパソコン８及びモニタ等からなる表示部９とを備えて構成されている。
【００１７】
第１光源２及び第２光源３は、レーザダイオード等の公知の光源で構成され、各光源から射出された検査光Ｂ１及びアライメント光Ｂ２は、各光源とメインビームスプリッタ４との間の光路上に設けられたビームスプリッタ１０によって第１光軸Ｘ１を通ってメインビームスプリッタ４に導入される。
【００１８】
各光源２、３とビームスプリッタ１０との間には、第１シャッター１１及び第２シャッター１２と、検査光Ｂ１及びアライメント光Ｂ２を平行光に調整するコリメータレンズ１３Ａ及び１３Ｂとがそれぞれ配置されている。第１及び第２シャッター１１、１２は図示しない駆動機構によって、それぞれ検査光Ｂ１及びアライメント光Ｂ２の光軸から退避可能に構成されている。
【００１９】
図２に示すように、メインビームスプリッタ４（図１参照）と球面ミラー６との間には、平面部１６を備えたピックアップレンズ１５を支持するように、開口が円形状のステージ１４が設けられている。具体的に、ステージ１４の上端開口部には、開口部周縁を覆うようにカラー２１が挿入されており、ここに測定対象であるピックアップレンズ（レンズ）１５の平面部１６が設置可能に構成されている。ステージ１４は図示しない駆動機構と接続されており、この駆動機構によりステージ１４は、ステージ１４に設置されたピックアップレンズ１５の平面部１６の傾きを、第１光軸Ｘ１に対して直交するように調整可能に構成されている。ステージ１４と球面ミラー６との間には、補正板２４を含む補正板保持部１７が設けられている。
【００２０】
球面ミラー６は、補正板保持部１７の上方に配置された筒状のミラーホルダ２０内の一端側に保持されており、その反射面６Ａとピックアップレンズ１５とが補正板２４を介して対向するように配置されている。ミラーホルダ２０は、その一端側の外径が縮径して挿入部２３が形成されており、この挿入部２３が後述する保持枠３０の中央部に穿設された保持部２２の内側に挿入されて収容されるように構成されている。
【００２１】
図１に示すように、平面ミラー５及び球面ミラー６は、平面ミラー５で反射された第１又は／及び第２参照光の光軸である第２光軸Ｘ２と、球面ミラー６で反射された第１又は／及び第２被検光の光軸である第１光軸Ｘ１とが、メインビームスプリッタ４の反射面（第１反射面）４Ａにおいて直交し、かつ第１光軸Ｘ１及び第２光軸Ｘ２上における反射面４Ａから平面ミラー５の反射面（第３反射面）５Ａ及び球面ミラー６の反射面（第２反射面）６Ａまでのそれぞれの光学的距離が同一となるように配置される。
【００２２】
また、メインビームスプリッタ４と撮像装置７との間には、被検光及び参照光から干渉縞を含む観察像を結像する結像レンズ１８が配置されている。観察像はパソコン８を介して表示部９に表示される。
パソコン８は、第１及び第２シャッター１１，１２、及びステージ１４とも接続されており、これらの機構はパソコン８を介して操作可能に構成されている。
【００２３】
第１光源２から射出される検査光Ｂ１の波長は、測定対象となるピックアップレンズ１５の設計波長と同一に設定され、第２光源３から射出されるアライメント光Ｂ２の波長は、検査光Ｂ１の波長と異なる波長に設定される。アライメント光Ｂ２の波長は検査光Ｂ１の波長より長くても短くてもいずれでもよいが、後述するように、ピックアップレンズ１５の色収差による干渉縞が、観察像の中央部のみに現れるように設定されるのが好ましい。本実施形態においては、検査光Ｂ１の波長が４０５ｎｍ、アライメント光Ｂ２の波長が６５０ｎｍにそれぞれ設定されているが、各光の波長はこれには限定されず、測定対象となるピックアップレンズ１５の設計波長によって適宜決定される。
【００２４】
次に、上述した補正板保持部１７について、より詳述に説明する。図３は、図２の要部の拡大図である。
図２，３に示すように、補正板保持部１７は、補正板２４と、この補正板２４を保持する保持枠３０とで構成されている。
補正板２４は、ピックアップレンズ１５が実際に使用される場合のディスクの保護層に相当するものであって、ガラスからなる円盤状の薄板（ガラス板）であり、例えば直径ｂが８ｍｍ、厚さが０．０９ｍｍ程度で形成されている。なお、補正板はポリカーボネート等により構成することも可能である。
【００２５】
保持枠３０は、その中央部に穿設されて、補正板２４の下面２４ａを略水平に載置して保持する保持部２２と、保持部２２に保持された補正板２４の上面２４ｂに対して、突起部２６を当接させて、補正板２４を保持部２２と突起部２６との間で挟持する撓み変形可能な押え部材２５と、を備えている。
保持部２２は、筒状の側面と底面（下面）とを有し、その側面である内周面は一端側から他端側に向かうにつれ、段々と内径が拡大した複数の段差部２２ａ〜２２ｄが形成されている。保持部２２の一端側（下端）は、貫通孔になっている。保持部２２の段差部２２ａの内側には、補正板２４が配置されている。補正板２４は、その下面２４ａの外周部分が、段差部２２ａの下面に当接した状態で、略水平となるように配置されている。なお、保持部２２の一端側の開口部の直径ａは、補正板２４の下面２４ａ側の外周部分を当接させるため、補正板２４の直径ｂより小さい例えば６ｍｍ程度の直径で形成されている。
【００２６】
また、段差部２２ａの側面（内周面）の直径ｂ’は、段差部２２ａの側面と補正板２４の側面（外周面）とが当接することがないようにするため、補正板２４の直径ｂよりも大きく形成されている。段差部２２ａの側面と補正板２４の側面との間に隙間を設けるのは、両者が当接することにより補正板２４に発生する歪を防止するためである。
【００２７】
保持枠３０の外周面には、保持枠３０と上述したミラーホルダ２０とを連結する図示しない連結機構が設けられている。そして、保持枠３０における保持部２２の段差部２２ｄの内側には、上述したミラーホルダ２０の挿入部２３が挿入されて、収容された状態で保持されている。なお、連結機構には、図示しない駆動手段が設けられており、この駆動手段によって、ミラーホルダ２０と保持部２２との距離、つまり補正板２４と球面ミラー６との距離が接近離間するように移動可能に構成されている。
【００２８】
一方、補正板２４を挟んで保持部２２の反対側、つまり補正板２４の上面２４ｂには、押え部材２５が設けられている。この押え部材２５は、例えばＳＵＳ等の金属材料からなり、厚さが例えば０．０１ｍｍ程度に形成された箔状の部材である。押え部材２５は、保持部２２の開口部（直径ａの開口部）より大径の開口部を有する環状に形成されており、その軸方向に沿って撓み変形可能に構成されている。また押え部材２５は、その外周部分が保持部２２の段差部２２ｂに嵌合され、そして該段差部２２ｂの側面に接着剤を介して接着されている。なお、接着剤は２液性のエポキシ等が用いられており、押え部材２５の周方向に沿って例えば８箇所で点接着されている。また、押え部材２５の外径ｃは、例えば１６ｍｍ程度に形成されている。また、本実施形態における箔状とは、上述した金属材料が弾性力を有さない程度に薄く形成されていることを示している。
【００２９】
ここで、押え部材２５の下面２５ａには、押え部材２５の開口部の内周縁部分の周方向に沿って等間隔に例えば４つの突起部２６が形成されている（図３，４参照）。この突起部２６は、上述した接着剤と同様の材質からなる断面視略台形状のものであり、高さｈが例えば０．０４ｍｍ程度に形成されている。そして、押え部材２５と補正板２４とは、この突起部２６を介して当接されている。つまり、補正板２４は、保持部２２の段差部２２ａの下面と押え部材２５に形成された突起部２６との間で、突起部２６と補正板２４との間に発生する摩擦力及び押え部材２５の自重により挟持された状態で保持されている。なお、補正板２４の厚さと突起部２６の高さｈとの和は、段差部２２ａの高さ（深さ）と等しくなっている。
【００３０】
次に、本実施形態に係る補正板２４の保持方法について説明する。
まず、補正板２４の位置決めを行う（位置決め工程）。具体的には、補正板２４の下面２４ａ側が保持部２２の段差部２２ａの下面に略水平になるように、また、補正板２４の側面が段差部２２ａの側面に当接しないように配置する。
次に、押え部材２５を配置する（配置工程）。具体的には、保持部２２に保持された補正板２４の上面２４ｂに対して、突起部２６が形成された押え部材２５を突起部２６が補正板２４の上面２４ｂに当接するように配置する。そして、押え部材２５の外周縁と保持部２２の段差部２２ｂとの間に接着剤を塗布することで、押え部材２５が固定される。これにより、補正板２４は、その下面２４ａ側が保持部２２の段差部２２ａの下面に当接するとともに、上面２４ｂ側が押え部材２５の自重及び突起部２６と補正板２４の上面２４ｂとの間の摩擦力により保持された状態となっている。
【００３１】
この時、押え部材２５は、その軸方向に沿って撓み変形可能な箔状の部材で形成されているため、補正板２４の厚さや形状に倣って補正板２４に当接する。つまり、押え部材２５の外周縁部分を固定しても、補正板２４には補正板２４が歪むような強い力が作用しないように構成されている。また、押え部材２５と補正板２４とは、押え部材２５の内周縁側に形成された突起部２６を介して点接触されているため、単位面積当たりの押圧が大きくなり、押え部材２５と補正板２４とを接着することなく補正板２４を確実に保持することができる。
【００３２】
ここで、押え部材における突起部の形成方法について説明する。図５，６は突起部の形成方法を示す工程図である。
図５（ａ）に示すように、まず平坦なベース２７上に押え部材２５を載置する。次に、押え部材２５の下面２５ａ上に接着剤を塗布していく（図５（ａ）中符号２６ａ参照：塗布工程）。具体的には、下面２５ａの内周縁部分に、その周方向に沿って等間隔に例えば４箇所塗布する。そして、接着剤が硬化する前に、押え部材２５を覆うように高さ調整部材２８を配置する（調整工程）。
【００３３】
図５（ｂ），６に示すように、高さ調整部材２８は、中央部に凹部２９を有する円板状の部材であり、この凹部２９内に接着剤が塗布された押え部材２５を収容するように構成されている。そして、接着剤の先端が凹部２９の底面に当接した状態で、接着剤を硬化させる。これにより、凹部２９の高さ（深さ）と同じ高さの突起部２６が形成される。つまり、凹部２９の高さ（深さ）によって、突起部２６の高さｈを規定することができるため、凹部２９の高さを適宜変更することで、突起部２６の高さｈを調整することができる。なお、高さ調整部材２８は、少なくとも凹部２９内に接着剤が付着しない材料、すなわちフッ素樹脂等で構成されている。
接着剤が硬化した後、高さ調整部材２８を取り外すことで、突起部２６が形成された押え部材２５が完成する。
【００３４】
したがって、本実施形態によれば、押え部材２５に突起部２６が形成されているため、突起部２６と補正板２４との間に発生する摩擦力及び押え部材２５の自重によって補正板２４を保持することができる。つまり、押え部材２５と補正板２４とを、押え部材２５に形成された突起部２６により当接させて保持させるため、例えば押え部材２５と補正板２４とを接着した場合に比べて、補正板２４に作用する歪みを確実に低減することができる。
また、押え部材２５が撓み変形可能に構成されているため、押え部材２５は補正板２４の厚さや形状に倣って当接する。これにより、補正板２４が歪むような強い力が作用することを防ぐことができ、補正板２４を歪ませることなく保持することができる。
また、従来のようにピンにより補正板２４を保持する場合と比べて、補正板２４を容易に保持することができ、量産時の製造効率を向上させることができるとともに、保持枠３０の薄型化を図ることができる。
【００３５】
さらに、押え部材２５を箔状の部材で構成することで、押え部材２５を薄く形成することが可能となり、その結果、保持部２２の薄型化を図ることができる。したがって、補正板２４とピックアップレンズ１５等の周辺部材との間の距離を確保し、周辺部材を近接させて配置することができるとともに、周辺部材の交換を容易に行えることができる。また、押え部材２５の軽量化を図ることができるため、保持部２２と押え部材２５との間に挟持された補正板２４に対して、補正板２４が歪むような強い力が作用することを防ぐことができる。したがって、補正板２４を歪ませることなく保持することができる。
また、突起部２６を接着剤により形成することで、突起部２６を容易に形成することが可能となり、製造時間及び製造コストを削減することができる。
【００３６】
また、本実施形態の補正板２４の保持方法によれば、突起部２６を接着剤により形成し、接着剤の硬化前に高さ調整部材２８により突起部２６の高さを調整することで、補正板２４のサイズ（直径又は厚さ）等に応じて、突起部２６の高さの設定を容易に行うことができる。これにより、設計の自由度を向上させることができるとともに、製造時間及び製造コストを削減することができる。
そして、本実施形態の干渉計１によれば、上述したような補正板２４の保持枠３０を備えているため、ピックアップレンズ１５の収差測定を高精度に行える干渉計１を提供することができる。
【００３７】
なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
例えば、本実施形態において、補正板を、ピックアップレンズの収差を測定する干渉計に用いる場合について説明したが、これに限らず種々の光学レンズに対して用いることが可能である。
【００３８】
また、押え部材の構成材料としては、接着剤との密着性が良好、軽い、薄い、劣化しない等の条件を満たせば、上述したＳＵＳ以外の材料で形成することも可能である。
さらに、本実施形態においては、突起部を４箇所形成する場合について説明したが、突起部は少なくとも３箇所以上形成されていればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施形態の干渉計の構成を示す模式図である。
【図２】図１のＡ部を拡大した詳細図である。
【図３】本発明の実施形態における補正板保持部の断面図である。
【図４】本発明の実施形態における押え部材の平面図である。
【図５】本発明の実施形態における押え部材の形成方法を示す工程図である。
【図６】本発明の実施形態における押え部材の形成方法を示す工程図である。
【符号の説明】
【００４０】
１…干渉計  １５…ピックアップレンズ  ２２…保持部  ２４…補正板  ２４ａ…補正板の下面  ２４ｂ…補正板の上面  ２５…押え部材  ２６…突起部  
【図１】
2009121956.tif 000003
【図２】
2009121956.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009121956.tif 000006
【図５】
2009121956.tif 000007
【図６】
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