(57)【要約】【課題】隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象を防止し、表示不良につながることを防止するプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】隔壁が形成された背面板に、レーザー照射装置１６によりレーザー光１７を照射することにより、隔壁の形状に異常（突起等）があっても、レーザー光１７を照射することにより、その部分を除去することにより、前面板と合わせたときに、その部分の隔壁、蛍光体層が、かけたり、崩れ落ちたりすることを防止できるので、表示不良につながることを防止し、これにより高品位なプラズマディスプレイを提供できる。また、除去しなくても、レーザー光１７、およびそのエネルギー量を隔壁材料に合わせて調整したレーザー光１７を、隔壁突起部、及びその近傍の隔壁に照射することにより、パネル化後の隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象を防止することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁が形成された背面板にレーザー照射を行うことを特徴としたプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス放電を利用して文字や画像を表示する表示パネルで発生する熱を効率よく放熱する手段を備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、気体放電型表示装置であるプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）は平面型の表示装置としてテレビに利用され、その鮮明な表示と視野角の広さによってその応用分野が拡大してきている。
【０００３】
図３に、ＰＤＰの概略構成図を示すが、その構造は、図３に示すように、第１の基板である前面ガラス基板１上には表示電極４としての走査電極２および維持電極３をそれぞれ構成する透明電極２ａ、３ａが形成され、その上に補助電極２ｂ、３ｂが形成されている。そして、透明電極２ａ、３ａ、補助電極２ｂ、３ｂを覆うように前面ガラス基板１上に誘電体層６が形成されている。この誘電体層６は、たとえばガラスペーストをダイコート法等を用いて塗布した後焼成して形成することができる。そして、誘電体層６上に保護層７を形成する。保護層７は、たとえば酸化マグネシウムを真空蒸着法等の成膜プロセスを用いて形成することができる。
【０００４】
第２の基板である背面ガラス基板８上にはデータ電極１０がストライプ状に形成されている。データ電極１０は、たとえば感光性Ａｇペーストをスクリーン印刷法等により塗布した後フォトリソグラフィー法等によってパターニングし、焼成することで形成することができる。そして、データ電極１０を覆うように下地誘電体層９が形成されている。下地誘電体層９は、たとえばガラスペーストをスクリーン印刷で塗布した後焼成することによって形成することができる。そして、ストライプ状あるいは井桁状の隔壁１１が下地誘電体層９上に形成されている。隔壁１１は、たとえばＡｌ２Ｏ３等の骨材とガラスフリットとを主剤とする感光性ペーストをスクリーン印刷法やダイコート法等により成膜し、フォトリソグラフィー法によりパターニングし、焼成することで形成することができる。または、ガラス材料を含むペーストをスクリーン印刷法等により所定のピッチで繰り返し塗布した後焼成することによって形成してもよい。そして、隔壁１１と隔壁１１との間の溝には、赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層１２が形成されている。これは、たとえば蛍光体粒子と有機バインダとを含む蛍光体インキを塗布した後焼成することによって形成することができる。
【０００５】
そして、背面板の周辺部に低融点ガラスフリットを塗布して乾燥させ、この背面板と前面板とを対向配置して加熱処理を行い封着する。そして、前面板と背面板との間の放電空間を高真空に排気した後、ネオン、キセノン等の放電ガスを封入してパネルが完成する。
【０００６】
背面板の隔壁の形成方法としては、乾燥させた隔壁材料の層上に感光性ペーストでマスキングし、サンドブラスト処理により削り、その後、焼成を行うことにより作製するサンドブラスト法、乾燥させた隔壁材料を焼成した後、その層上に感光性ペーストでマスキングを行い、エッチングすることで隔壁を形成するエッチング法、感光性ペースト材料からなる隔壁材料を塗布、乾燥し、露光、現像処理を行い、その後、焼成を行うことにより作製する感光性ペースト法が存在する。
【０００７】
具体的な先行技術文献は見当たらないが、よく知られているように、ＰＤＰは焼き固めたセラミックの構造物から形成されており、電極、誘電体、保護膜が形成された前面板と、電極、誘電体、隔壁、蛍光体層が形成された背面板を合わせて封着し、ガスをつめた構成としているため、前面板と、背面板の隔壁が接触した際、隔壁の形状に異常（突起等）があれば、その部分の隔壁、蛍光体層が、かけたり、崩れ落ちたりし、その部分のセルが点灯しなくなったり、勝手に点灯したりと制御不能になり、表示不良につながってしまう。
【０００８】
例えば、サンドブラスト法により隔壁を形成した場合、サンドブラストにより除去したはずの隔壁材料の残りが感光性ペーストの除去工程でも残ってしまい、そのまま焼成工程に進む場合がある。これを焼成すると、図４（ａ）の様に均一な形状で形成できるものが、図４（ｂ）のように、隔壁上に突起部１３が残る場合が発生する。このままの状態で、後の蛍光体層形成工程を経た後、前面板と合わせて封着排気工程を経て、パネルが作製された場合、図５に示すように、突起部１３に力が集中するためと考えられるが、隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象が発生してしまう。１４は欠けた隔壁の一部である。
【０００９】
これによりその現象が発生したセルは、点灯しなくなったり、点滅したり、点灯し続けた状態のような制御不能な状態になり、パネル品質を劣化させる原因となる。
【００１０】
サンドブラストにより除去したはずの隔壁材料の残りが感光性ペーストの除去工程でも残ってしまい発生する場合で説明したが、感光性ペーストでマスキングを行うためマスク形状を作製する場合において、マスクの形状が感光性ペーストの現像工程等の影響で残渣が多い状態になると、サンドブラスト処理工程において削る際にテーパ上のひさしを発生させてしまい、これが隔壁焼成時に、熱収縮により跳ね上がり、突起部１５として、図４（ｃ）のようになる場合もある。この場合も同様に、前面板と合わせて封着排気工程を経て、パネルが作製された場合、図５に示すように、突起部に力が集中するためと考えられるが、隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象が発生し、パネル表示品位を劣化させてしまう。
【００１１】
エッチング法において隔壁を形成する場合でも、同様に、感光性ペーストでマスキングを行うためマスク形状を作製する場合において、マスクの形状が感光性ペーストの現像工程等の影響で残渣が多い状態になると、テーパ上のひさしを発生させてしまう。焼成工程は終了しているため、突起にはならないが、前面板側の電極、誘電体に起因した、隔壁頂部に対応した位置にわずかな凹凸があっても、この隔壁と当るとひさしが壊れるため、同様にパネル表示品位を劣化させてしまう場合がある。
【００１２】
感光性ペースト法でも、同様に、現像時の残渣の付着による隔壁焼成後の突起の発生もあり、同様にパネル表示品位を劣化させてしまう場合がある。
【００１３】
さらに、ディスプレイパネルとしてさらなる高精細化が望まれてる昨今、高精細化によりさらに隔壁の本数が増加するため、上記表示不良につながる可能性が増大する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、このような課題に鑑みなされたもので、隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象を防止し、表示不良につながることを防止するプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、隔壁が形成された背面板にレーザー照射を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
この製造方法により、隔壁の形状に異常（突起等）があっても、レーザーを照射することにより、その部分を除去することにより、前面板と合わせたときに、その部分の隔壁、蛍光体層が、かけたり、崩れ落ちたりすることを防止できるので、表示不良につながることを防止し、これにより高品位なプラズマディスプレイを提供できる。また、除去しなくても、レーザー光、およびそのエネルギー量を隔壁材料にあわせて、調整したレーザー光を、隔壁突起部、及びその近傍の隔壁に照射することにより、パネル化後の隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象を防止することができる。これは詳細な理由は不明だが、レーザーのエネルギーにより、隔壁表面のみ溶融、再固体化することで、周囲と比較し、強固な材料状態に変化しているのではないかと考える。これにより突起部があっても、パネル化後の隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象を防止することができ、パネルの表示品位を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は本発明の一実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法を示す図である。図１において、図３に示す部分と同一部分には、同一番号を付している。
【００１８】
図１に示すように、画像検査機等により、隔壁１１上に発生してる突起部（隔壁残渣起因）１３を特定しておき、その部位に、レーザー照射装置１６を用いて、レーザー光１７を照射する。レーザー照射装置としては、アルゴンレーザー照射装置、もしくはエキシマレーザー照射装置等が考えられる。レーザーの照射による突起部１３は、エッチングされ除去される。これにより、後工程において、前面板と合わせて封着排気工程を経て、パネルが作製された場合でも、隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象を防止することができ、パネルの表示品位を劣化させることが無い。
【００１９】
なお、本実施の形態においては、隔壁形成後に実施しているが、図２に示すように蛍光体層形成後に実施してもよい。また、本実施の形態においては、レーザー光の照射により突起部をエッチングしたが、レーザー光、およびそのエネルギー量を隔壁材料に合わせて調整したレーザー光を、隔壁突起部、及びその近傍の隔壁に照射することにより、パネル化後の隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象を防止することができる場合もある。これは詳細な理由は不明だが、レーザー光のエネルギーにより、隔壁表面のみ溶融、再固体化することで、周囲と比較し、強固な材料状態に変化しているのではないかと考える。これにより突起部があっても、パネル化後の隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象を防止することができ、パネルの表示品位を劣化させることが無い。
【００２０】
また本実施の形態においては、隔壁材料起因の突起部に対しての説明を行っているが、隔壁材料以外に起因する隔壁の崩れ、例えば、隔壁形成後の蛍光体層形成工程等において隔壁頂部付近に付着した異物を除去することにも適応してよく、パネル化後の隔壁が蛍光体層とともに崩れ去ってしまう現象を防止することができ、パネルの表示品位を劣化させることが無い。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
以上説明したように本発明によれば、信頼性の高い表示装置を提供する上で有用な発明である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法を示す概略図
【図２】本発明の他の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法を示す概略図
【図３】プラズマディスプレイパネルの分解斜視図
【図４】従来のプラズマディスプレイパネルにおいて、背面板側の隔壁形成後の状態を示す断面図
【図５】従来のプラズマディスプレイパネルにおいて、隔壁の突起部に起因し、崩れた隔壁と蛍光体層を示す断面図
【符号の説明】
【００２３】
８  背面ガラス基板
１１  隔壁
１２  蛍光体層
１３、１５  突起部
１６  レーザー照射装置
１７  レーザー光
【図１】
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【図２】
2009081099.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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