(57)【要約】【課題】解体組み立てによるコストが増大することなく、道路運搬ができるＸ−Ｙステージ装置を実現する。【解決手段】固定台の両側に設けられた一対のＸ軸リニアモータと、この一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡しされたブリッジ部材に設けられたＹ軸リニアモータと、このＹ軸リニアモータのスライダに搭載された作業ヘッドとを具備するＸ−Ｙステージ装置において、前記Ｙ軸リニアモータの少なくとも一方端に延長して設けられ前記作業ヘッドがＹ軸方向に退避できる退避手段を具備したことを特徴とするＸ−Ｙステージ装置である。【選択図】図１
2009136990.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定台の両側に設けられた一対のＸ軸リニアモータと、この一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡しされたブリッジ部材に設けられたＹ軸リニアモータと、このＹ軸リニアモータのスライダに搭載された作業ヘッドとを具備するＸ−Ｙステージ装置において、
前記Ｙ軸リニアモータの少なくとも一方端に延長して設けられ前記作業ヘッドがＹ軸方向に退避できる退避手段
を具備したことを特徴とするＸ−Ｙステージ装置
【請求項２】
前記退避手段は、前記Ｙ軸リニアモータのガイドレール部が所定長さ延長された延長部
を具備したことを特徴とする請求項１記載のＸ−Ｙステージ装置。
【請求項３】
前記作業ヘッドは少なくとも１個具備されたこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載のＸ−Ｙステージ装置。
【請求項４】
前記作業ヘッドの下端部は、前記Ｘ軸リニアモータのガイドレール部の上面より高い位置に配置されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のＸ−Ｙステージ装置。
【請求項５】
前記作業ヘッドに設けられ前記作業ヘッドの退避時に前記作業ヘッドの下端部が前記Ｘ軸リニアモータのガイドレール部に衝突しないように前記作業ヘッドが操作される上下移動操作部
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のＸ−Ｙステージ装置。
【請求項６】
装置のＸ軸方向の幅寸法が道路交通法の車載幅規制制限寸法以下であること
を特徴とする請求項１乃至請求項５の何れかに記載のＸ−Ｙステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、道路運搬が容易なＸ−Ｙステージ装置に関するものである。
更に詳述すれば、解体組み立てによるコストが増大することなく、道路運搬ができるＸ−Ｙステージ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ−Ｙステージ装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０８２１４８号公報
【特許文献２】特開２００７−０７３６８８号公報
【特許文献３】特開２００７−１０３８２２号公報
【特許文献４】特開２００６−２８３４２８号公報
【０００４】
図５は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図である。
図において、固定台１の両側には、Ｘ軸ガイドレール２ａ上を
Ｘ軸方向にＸ軸スライダ２ｂを移動する一対のＸ軸リニアモータ２が平行配置されている。
ブリッジ部材３は、一対のＸ軸リニアモータ２のＸ軸スライダ２ｂ間に橋渡しされている。
【０００５】
ブリッジ部材３には、Ｙ軸ガイドレール４ａとＹ軸スライダ４ｂとからなるＹ軸リニアモータ４が設けられている。
作業ヘッド５は、Ｙ軸スライダ４ｂに搭載され、加工対象となるワークＡに対して所定の処理をする。
この場合は、例えば、ワークＡはガラス基板が用いられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような装置においては、以下の間題点がある。
ワークＡ（ガラス基板）は搬入・搬出のためリフトピン等で上下動する。
その際、作業ヘッド５との干渉を避けるために、作業ヘッド５は、ブリッジ部材３と共にＸ軸方向に退避していた。
近年、ワークＡ（ガラス基板）の大型化が進み、第１０世代のワークＡ（ガラス基板）は、おおよそ、３ｍ四角形の大きさとなっている。
【０００７】
おおよそ、３ｍ四角形の大きさのワークＡ（ガラス基板）に対して、従来のＸ−Ｙステージ装置では、作業ヘッド５をＸ方向に退避させるようにすると、Ｘ軸方向は、ワークＡ（ガラス基板）の長さ＋作業ヘッド５の長さ＋ブリッジ部材３の幅の長さの合計寸法が、道路交通法の車載幅規制制限寸法の３．５ｍを超えてしまう。
【０００８】
その場合、Ｘ−Ｙステージ装置を解体し、運搬した後、再度組み立てが必要になり、解体組み立てできる構造、また、解体組み立ての作業工数が増え、コストが増大することになる。
【０００９】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、解体組み立てによるコストが増大することなく、道路運搬ができるＸ−Ｙステージ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のＸ−Ｙステージ装置においては、
固定台の両側に設けられた一対のＸ軸リニアモータと、この一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡しされたブリッジ部材に設けられたＹ軸リニアモータと、このＹ軸リニアモータのスライダに搭載された作業ヘッドとを具備するＸ−Ｙステージ装置において、
前記Ｙ軸リニアモータの少なくとも一方端に延長して設けられ前記作業ヘッドがＹ軸方向に退避できる退避手段を具備したことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項２のＸ−Ｙステージ装置においては、請求項１記載のＸ−Ｙステージ装置において、
前記退避手段は、前記Ｙ軸リニアモータのガイドレール部が所定長さ延長された延長部を具備したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項３のＸ−Ｙステージ装置においては、請求項１又は請求項２記載のＸ−Ｙステージ装置において、
前記作業ヘッドは少なくとも１個具備されたことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項４のＸ−Ｙステージ装置においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載のＸ−Ｙステージ装置において、
前記作業ヘッドの下端部は、前記Ｘ軸リニアモータのガイドレール部の上面より高い位置に配置されたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項５のＸ−Ｙステージ装置においては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載のＸ−Ｙステージ装置において、
前記作業ヘッドに設けられ前記作業ヘッドの退避時に前記作業ヘッドの下端部が前記Ｘ軸リニアモータのガイドレール部に衝突しないように前記作業ヘッドが操作される上下移動操作部を具備したことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項６のＸ−Ｙステージ装置においては、請求項１乃至請求項５の何れかに記載のＸ−Ｙステージ装置において、
装置のＸ軸方向の幅寸法が道路交通法の車載幅規制制限寸法以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
解体組み立をすることなく道路運搬ができるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
解体組み立をする必要がないので、不要なコストの増大を防止することができるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【００１７】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
退避手段は、Ｙ軸リニアモータのガイドレール部が所定長さ延長された延長部が設けられたので、Ｙ軸リニアモータのガイドレール部を延長すれば良く、安価なＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【００１８】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
作業ヘッドは少なくとも１個具備されたので、作業ヘッドは複数あっても良く、作業ヘッドの増大にも容易に対応できるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【００１９】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
作業ヘッドの下端部は、Ｘ軸リニアモータのガイドレール部の上面より高い位置に配置されたので、作業ヘッドの退避時に、作業ヘッドを上下させる必要がなく、安価なＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【００２０】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
作業ヘッドに設けられ、作業ヘッドの退避時に、作業ヘッドの下端部がＸ軸リニアモータのガイドレール部に衝突しないように、作業ヘッドが操作される上下移動操作部が設けられたので、作業ヘッドを確実容易に退避できるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【００２１】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
装置のＸ軸方向の幅寸法が道路交通法の車載幅規制制限寸法以下であるので、
解体組み立をすることなく道路運搬ができるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
解体組み立をする必要がないので、不要なコストの増大を防止することができるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図５と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図５との相違部分のみ説明する。
【００２３】
図１において、退避手段１１は、Ｙ軸リニアモータ４の少なくとも一方端に延長して設けられ、作業ヘッド５がＹ軸方向に退避できる。
この場合は、退避手段１１は、Ｙ軸ガイドレール部４ａが所定長さＹ軸方向に延長された延長部１１ａを有する。
また、この場合は、作業ヘッド５は１個を有する。
【００２４】
以上の構成において、作業ヘッド５の退避時には、作業ヘッド５は延長部１１１に移動して退避する。
なお、矢印Ｂは作業ヘッド５の作業時の位置、矢印Ｃは作業ヘッド５の退避時の位置を示す。
【００２５】
この結果、Ｙ軸ガイドレール部４ａが所定長さＹ軸方向に延長された延長部１１１は、Ｙ軸方向に伸延するのみであるので、Ｘ軸方向の幅寸法は増加しない。
Ｘ軸方向は、道路交通法の車載幅規制制限寸法以下にすることができるので、トラック等に車載することができる。
【００２６】
したがって、
解体組み立をすることなく道路運搬ができるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
解体組み立をする必要がないので、解体，組立できる構造にする、また、解体，組立の作業等の不要なコストの増大を防止することができるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【００２７】
図２は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図２においては、作業ヘッド５が複数使用された例を示す。
この場合は、作業ヘッド５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと４個使用された例を示す。
なお、矢印Ｂは作業ヘッド５の作業時の位置、矢印Ｃは作業ヘッド５の退避時の位置を示す。
この結果、作業ヘッドの増大にも容易に対応できるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【００２８】
図３は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図３において、作業ヘッド２１の下端部は、Ｘ軸リニアモータ２２のＸ軸ガイドレール部２２ａの上面より高い位置に配置されている。
なお、Ｘ軸リニアモータ２２は、Ｘ軸ガイドレール部２２ａとＸ軸スライダ２２ｂとを有する。
【００２９】
この結果、作業ヘッド２１の下端部は、Ｘ軸ガイドレール部２２ａの上面より高い位置に配置されたので、作業ヘッド２１の退避時に、作業ヘッド２１を上下させる必要がなく、安価なＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【００３０】
図４は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図４において、上下移動操作部３１は、作業ヘッド３２に設けられ、作業ヘッド３２の退避時に、作業ヘッド３２の下端部がＸ軸リニアモータ３３のＸ軸ガイドレール部３３ａに衝突しないように作業ヘッド３２が操作される。
なお、Ｘ軸リニアモータ３３は、Ｘ軸ガイドレール部３３ａとＸ軸スライダ３３ｂとを有する。
【００３１】
この結果、作業ヘッド３２に設けられ、作業ヘッド３２の退避時に、作業ヘッド３２の下端部がＸ軸ガイドレール部３３ａに衝突しないように、作業ヘッド３２が操作される上下移動操作部３１が設けられたので、作業ヘッド３２を確実容易に退避できるＸ−Ｙステージ装置が得られる。
【００３２】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図５】従来より一般に使用されている他の従来例の構成説明図である。
【符号の説明】
【００３４】
１      固定台
２      Ｘ軸リニアモータ
２ａ    Ｘ軸ガイドレール部
２ｂ    Ｘ軸スライダ
３      ブリッジ部材
４      Ｙ軸リニアモータ
４ａ    Ｙ軸ガイドレール部
４ｂ    Ｙ軸スライダ
５      作業ヘッド
５ａ    作業ヘッド
５ｂ    作業ヘッド
５ｃ    作業ヘッド
５ｄ    作業ヘッド
１１    退避手段
１１ａ  延長部
２１    作業ヘッド
２２    Ｘ軸リニアモータ
２２ａ  Ｘ軸ガイドレール部
２２ｂ  Ｘ軸スライダ
３１    上下移動操作部
３２    作業ヘッド
３３    Ｘ軸リニアモータ
３３ａ  Ｘ軸ガイドレール部
３３ｂ  Ｘ軸スライダ
Ａ      ワーク
【図１】
2009136990.tif 000003
【図２】
2009136990.tif 000004
【図３】
2009136990.tif 000005
【図４】
2009136990.tif 000006
【図５】
2009136990.tif 000007