(57)【要約】      （修正有）【課題】ドレス時の砥石とドレッサの軸方向のずれを小さくできる研削装置を提供する。【解決手段】制御型アキシアル磁気軸受および制御型ラジアル磁気軸受により研削部ケーシング4に対し非接触支持されて電動機により回転させられる砥石軸5に、外周面に中高研削面35aが形成された研削砥石35が取り付けられ、制御型アキシアル磁気軸受および制御型ラジアル磁気軸受によりドレス部ケーシングB4に対し非接触支持されて電動機により回転させられるドレス軸B5に、外周面に中低ドレス面42aが形成されたロータリドレッサ42が取り付けられいる。ドレス時に、研削砥石35がドレッサ42に接触したことを検知するとともに、そのときの研削砥石35とドレッサ42の軸方向のずれの大きさを検出し、砥石軸5を支持する磁気軸受の軸方向の浮上目標位置を変更することにより、上記ずれを補正して、ドレスを行う。【選択図】図１
2009285776.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御型アキシアル磁気軸受および制御型ラジアル磁気軸受により研削部ケーシングに対し軸方向および径方向の所定の浮上目標位置に非接触支持されて電動機により回転させられる砥石軸に、外周面に中高研削面が形成された研削砥石が取り付けられ、制御型アキシアル磁気軸受および制御型ラジアル磁気軸受によりドレス部ケーシングに対し軸方向および径方向の所定の浮上目標位置に非接触支持されて電動機により回転させられるドレス軸に、外周面に中低ドレス面が形成されたロータリドレッサが取り付けられており、ドレス部ケーシングに対して砥石部ケーシングを相対的に移動させることにより、研削砥石の研削面をドレスする研削装置であって、砥石部ケーシングを軸方向に位置決めした後、砥石部ケーシングを径方向に移動させて、ドレスを行うようになされた研削装置において、
ドレス時に、研削砥石がドレッサに接触したことを検知するとともに、そのときの研削砥石とドレッサの軸方向のずれの大きさを検出し、砥石軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受および／またはドレス軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受の軸方向の浮上目標位置を変更することにより、上記ずれを補正して、ドレスを行うようになされていることを特徴とする研削装置。
【請求項２】
ドレス軸を支持する制御型ラジアル磁気軸受の制御電流値または砥石軸を支持する制御型ラジアル磁気軸受の制御電流値の変化より、研削砥石がドレッサに接触したことを検知し、ドレス軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受の制御電流値または砥石軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受の制御電流値の変化より、研削砥石とドレッサの軸方向のずれの大きさを検出するようになされていることを特徴とする請求項１の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、外周面に中高研削面が形成された研削砥石により、被加工物の円筒面状周面に形成されたみぞを研削し、外周面に中低ドレッサ面が形成されたロータリドレッサにより、研削砥石の研削面をドレスする研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
玉軸受の外輪の内周面に形成された軌道みぞを仕上げ研削する研削装置として、内面研削盤が知られている。
【０００３】
このような内面研削盤は、外周面に中高研削面が形成された研削砥石と、外周面に中低ドレス面が形成されたロータリドレッサを備えており、従来の内面研削盤では、研削砥石を支持する砥石軸およびドレッサを支持するドレス軸は、接触型の転がり軸受により回転支持されていた（たとえば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−３２９０２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような研削盤では、砥石軸およびドレス軸がともに転がり軸受で支持されているため、砥石軸およびドレス軸の熱変位によってドレス時の砥石とドレッサの軸方向の位置にずれが生じるおそれがある。
【０００５】
とくに、研削砥石にＣＢＮ（立方晶窒化ホウ素）砥石を使用する場合、ドレス量が数μｍ程度と非常に小さく、上記のずれが生じると、適正なドレスができなくなる。
【０００６】
この発明の目的は、上記の問題を解決し、ドレス時の砥石とドレッサの軸方向のずれを小さくできる研削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明による研削装置は、制御型アキシアル磁気軸受および制御型ラジアル磁気軸受により研削部ケーシングに対し軸方向および径方向の所定の浮上目標位置に非接触支持されて電動機により回転させられる砥石軸に、外周面に中高研削面が形成された研削砥石が取り付けられ、制御型アキシアル磁気軸受および制御型ラジアル磁気軸受によりドレス部ケーシングに対し軸方向および径方向の所定の浮上目標位置に非接触支持されて電動機により回転させられるドレス軸に、外周面に中低ドレス面が形成されたロータリドレッサが取り付けられており、ドレス部ケーシングに対して砥石部ケーシングを相対的に移動させることにより、研削砥石の研削面をドレスする研削装置であって、砥石部ケーシングを軸方向に位置決めした後、砥石部ケーシングを径方向に移動させて、ドレスを行うようになされた研削装置において、ドレス時に、研削砥石がドレッサに接触したことを検知するとともに、そのときの研削砥石とドレッサの軸方向のずれの大きさを検出し、砥石軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受および／またはドレス軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受の軸方向の浮上目標位置を変更することにより、上記ずれを補正して、ドレスを行うようになされていることを特徴とするものである。
【０００８】
この発明の研削装置は、たとえば、被加工物の円筒面状周面（内周面または外周面）に形成されたみぞを研削するために使用される。その場合、研削砥石の中高研削面の断面形状および被加工物のみぞの断面形状は、全体として曲線状である。研削砥石の研削面および被加工物のみぞの断面形状について、断面とは、研削砥石すなわち砥石軸の軸線およびみぞが形成された円筒状周面の軸線を通る平面における断面（縦断面）をいう。みぞの研削を行う際、砥石軸の軸線とみぞが形成された被加工物の円筒状周面の軸線とは、互いに平行になる。みぞの研削は、被加工物に対して研削砥石すなわち砥石部ケーシングを相対的に移動させることにより行われる。さらに詳しくは、砥石部ケーシングを軸方向に位置決めした後、ケーシングを径方向に移動させることにより行われる。
【０００９】
砥石軸とドレス軸は、互いに平行に配置される。
【００１０】
ドレスを行う場合、研削砥石とドレッサの軸方向の位置が一致するように、砥石部ケーシングが位置決めされた後、砥石がドレッサに接近する方向に、砥石部ケーシングが径方向に移動させられる。そして、砥石部ケーシングが径方向に移動させられているときに、研削砥石がドレッサに接触したことが検知されるとともに、そのときの研削砥石とドレッサの軸方向のずれの大きさが検出され、砥石軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受および／またはドレス軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受の軸方向の浮上目標位置が変更されることにより、上記ずれが補正されて、ドレスが行われる。
【００１１】
この発明の研削装置において、たとえば、ドレス軸を支持する制御型ラジアル磁気軸受の制御電流値または砥石軸を支持する制御型ラジアル磁気軸受の制御電流値の変化より、研削砥石がドレッサに接触したことを検知し、ドレス軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受の制御電流値または砥石軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受の制御電流値の変化より、研削砥石とドレッサの軸方向のずれの大きさを検出するようになされている。
【００１２】
研削砥石がドレッサに対して径方向に移動させられているときに、砥石がドレッサに接触すると、ドレッサおよびドレス軸が径方向の力を受けるため、ドレス軸を支持するラジアル磁気軸受の制御電流および砥石軸を支持するラジアル磁気軸受の制御電流が変化する。したがって、ドレス軸を支持するラジアル磁気軸受の制御電流値または砥石軸を支持するラジアル磁気軸受の制御電流値が所定のしきい値を超えたことを検知することにより、砥石がドレッサに接触したことが検知できる。このとき、砥石とドレッサの軸方向の位置にずれがなければ、砥石の研削面全体がドレッサのドレス面にほぼ同時に接触するため、ドレス軸および砥石軸は軸方向の力を受けず、ドレス軸を支持するアキシアル磁気軸受の制御電流および砥石軸を支持するアキシアル磁気軸受の制御電流はほとんど変化しない。これに対し、砥石とドレッサの軸方向の位置にずれがあるときは、砥石の研削面の片側の部分だけがドレッサのドレス面に接触するため、ドレス軸および砥石軸は軸方向の力を受け、ドレス軸を支持するアキシアル磁気軸受の制御電流および砥石軸を支持するアキシアル磁気軸受の制御電流が変化する。したがって、ドレス軸を支持するアキシアル磁気軸受の制御電流値または砥石軸を支持するアキシアル磁気軸受の制御電流値の変化より、ずれの方向および大きさを検出することができる。そして、検出したずれの方向および大きさに基づいて、砥石軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受および／またはドレス軸を支持する制御型アキシアル磁気軸受の軸方向の浮上目標位置を変更することにより、上記ずれを補正して、ずれを非常に小さくすることができる。浮上目標位置の変更は、砥石軸を指示するアキシアル磁気軸受とドレス軸を支持するアキシアル磁気軸受のいずれか一方について行ってもよいが、両方について行うと、比較的大きなずれの補正も可能になる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明の研削装置によれば、上記のように、ドレス時の砥石とドレッサの軸方向のずれを小さくして、適正なドレスを行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、この発明の実施形態について説明する。
【００１５】
図１は研削装置の主要部である研削部(A)とドレス部(B)を示す側面図、図２は研削部(A)とワーク（被研削物）(W)を示す側面図、図３は研削部(A)の拡大断面図、図４は図３のIV−VI線に沿う断面図、図５は研削部の電気的構成の主要部を示すブロック図、図６はドレス部(B)の拡大断面図である。
【００１６】
以下の説明において、図１〜図３および図６の上下を上下とし、同図の左側を前、右側を後とし、後から前を見たときの左右を左右とする。したがって、図４の左右が左右となる。
【００１７】
詳細な図示は省略したが、研削部(A)は、前後方向駆動装置(2)により前後方向に、上下方向駆動装置(3)により上下方向に別個に移動させられ、所望の位置に位置決めされる。研削部(A)の前後方向および上下方向の移動および位置決めは、たとえば、図示しない公知の数値制御装置により制御される。
【００１８】
研削部(A)は、水平な研削部ケーシング(4)の内側で水平な砥石軸(5)が回転する横型のものであり、砥石軸(5)の向きが前後方向となるように配置されている。
【００１９】
砥石軸(5)の軸方向（アキシアル方向）すなわち前後方向の制御軸（アキシアル制御軸）をＺ軸、Ｚ軸と直交するとともに互いに直交する２つの径方向（ラジアル方向）の制御軸（ラジアル制御軸）のうち、上下方向の制御軸をＸ軸、左右方向の制御軸をＹ軸とする。また、Ｚ軸の正側を前側、Ｘ軸の正側を上側、Ｙ軸の正側を左側とする。
【００２０】
研削部(A)には、砥石軸(5)を軸方向に非接触支持する１組の制御型アキシアル磁気軸受(6)、砥石軸(5)を径方向に非接触支持する前後２組の制御型ラジアル磁気軸受(7)(8)、砥石軸(5)の軸方向および径方向の変位を検出するための変位検出部(9)、砥石軸(5)を高速回転させるためのビルトイン型電動機(10)、砥石軸(5)の回転数を検出するための回転センサ(11)、ならびに砥石軸(5)の軸方向および径方向の可動範囲を規制して砥石軸(5)を磁気軸受(6)(7)(8)で支持していないときに砥石軸(5)を機械的に支持する前後２組のタッチダウン用の保護軸受(12)(13)が設けられている。
【００２１】
研削部(A)には、磁気軸受(6)(7)(8)および電動機(10)を制御するためのコントローラ(14)がケーブルを介して電気的に接続されており、研削部(A)とコントローラ(14)により、ケーシング(4)に対して砥石軸(5)を非接触支持して回転させる磁気軸受装置が構成されている。
【００２２】
コントローラ(14)には、センサ回路(15)(16)、電磁石駆動回路(17)、インバータ(18)およびＤＳＰボード(19)が設けられ、ＤＳＰボード(19)には、ソフトウェアプログラムが可能なディジタル処理手段としてのＤＳＰ(20)、ＲＯＭ(21)、不揮発性メモリとしてのＲＡＭ(22)、ＡＤ変換器(23)(24)およびＤＡ変換器(25)(26)が設けられている。
【００２３】
変位検出部(9)は、砥石軸(5)の軸方向の変位を検出するための１個のアキシアル変位センサ(27)、および砥石軸(5)の径方向の変位を検出するための前後２組のラジアル変位センサユニット(28)(29)を備えている。
【００２４】
アキシアル磁気軸受(6)は、砥石軸(5)の中間部に一体に形成されたフランジ部(5a)をＺ軸方向の両側から挟むように配置された前後１対のアキシアル電磁石(30a)(30b)を備えている。アキシアル磁気軸受は、符号(30)で総称する。
【００２５】
アキシアル変位センサ(27)は、砥石軸(5)の後端面にＺ軸方向の後側から対向するように配置され、該後端面との距離（空隙）に比例する距離信号を出力する。
【００２６】
前側のラジアル磁気軸受(7)はアキシアル磁気軸受(6)の前側の接近した位置に、後側のラジアル磁気軸受(8)はアキシアル磁気軸受(6)の後側の離れた位置に配置されている。前側のラジアル磁気軸受(7)は、砥石軸(5)をＸ軸方向の両側から挟むように配置された上下１対のラジアル電磁石(31a)(31b)、および砥石軸(5)をＹ軸方向の両側から挟むように配置された左右１対のラジアル電磁石(31c)(31d)を備えている。これらのラジアル電磁石は、符号(31)で総称する。同様に、後側のラジアル磁気軸受(8)も、２対のラジアル電磁石(32a)(32b)(32c)(32d)を備えている。これらのラジアル電磁石も、符号(32)で総称する。
【００２７】
前側のラジアル変位センサユニット(28)は、前側のラジアル磁気軸受(7)のすぐ前側に配置されており、Ｘ軸方向の電磁石(31a)(31b)の近傍においてＸ軸方向の両側から砥石軸(5)を挟むように配置された上下１対のラジアル変位センサ(33a)(33b)、およびＹ軸方向の電磁石(31c)(31d)の近傍においてＹ軸方向の両側から砥石軸(5)を挟むように配置された左右１対のラジアル変位センサ(33c)(33d)を備えている。これらのラジアル変位センサは、符号(33)で総称する。後側のラジアル変位センサユニット(29)は、後側のラジアル磁気軸受(8)のすぐ後側に配置されており、同様に、２対のラジアル変位センサ(34a)(34b)(34c)(34d)を備えている。これらのラジアル変位センサも、符号(34)で総称する。各ラジアル変位センサ(33)(34)は、砥石軸(5)の外周面との距離に比例する距離信号を出力する。
【００２８】
電動機(10)は、アキシアル磁気軸受(6)と後側のラジアル磁気軸受(8)との間に配置されており、ケーシング(4)側のステータ(10a)と、砥石軸(5)側のロータ(10b)とから構成されている。
【００２９】
電磁石(30)(31)(32)、変位センサ(27)(33)(34)および電動機(10)のステータ(10a)は、ケーシング(4)に固定されている。
【００３０】
保護軸受(12)(13)はアンギュラ玉軸受などの転がり軸受よりなり、各保護軸受(12)(13)の外輪がケーシング(4)に固定され、内輪が砥石軸(5)の周囲に所定の隙間をあけて配置されている。２組の保護軸受(12)(13)はいずれも径方向の支持が可能なものであり、少なくとも１組は軸方向の支持も可能なものである。
【００３１】
センサ回路(15)は、変位検出部(9)の各変位センサ(27)(33)(34)を駆動し、各変位センサの出力信号をＡＤ変換器(23)を介してＤＳＰ(20)に出力する。
【００３２】
センサ回路(16)は、回転センサ(11)を駆動し、回転センサ(11)の出力を砥石軸(5)の回転数に対応する回転数信号に変換し、これをＡＤ変換器(24)を介してＤＳＰ(20)に出力する。
【００３３】
ＤＳＰ(20)は、ＡＤ変換器(23)を介して入力する各変位センサ(27)(33)(34)の出力信号に基づいて、各磁気軸受(6)(7)(8)の各電磁石(30)(31)(32)に対する制御電流値を求め、一定の定常電流値に制御電流値を加えた励磁電流信号をＤＡ変換器(25)を介して電磁石駆動回路(17)に出力する。そして、駆動回路(17)は、ＤＳＰ(20)からの励磁電流信号に基づいて励磁電流を対応する磁気軸受(6)(7)(8)の電磁石(30)(31)(32)に供給し、これにより、砥石軸(5)が所定の浮上目標位置に非接触支持される。ＤＳＰ(20)は、また、回転センサ(11)からの回転数信号に基づいて、電動機(10)に対する回転数指令信号をＤＡ変換器(26)を介してインバータ(18)に出力し、インバータ(18)は、この信号に基づいて、電動機(10)の回転数を制御する。そして、その結果、砥石軸(5)が、磁気軸受(6)(7)(8)により目標位置に非接触支持された状態で、電動機(10)により高速回転させられる。
【００３４】
砥石軸(5)の前部はケーシング(4)から前方に突出し、その前端部に研削砥石(35)が固定されるようになっている。
【００３５】
玉軸受の外輪内周面の軌道みぞなど、ワーク(W)の内周面に形成されたみぞ(36)を研削する場合、砥石軸(5)には、外周面に断面が曲線の中高研削面(35a)が形成された研削砥石(35)が取り付けられる。
【００３６】
ドレス部(B)は、水平なドレス部ケーシング(B4)の内側で水平なドレス軸(B5)が回転する横型のものであり、ドレス軸(B5)の向きが前後方向となるように配置されている。
【００３７】
ケーシング(B4)に対してドレス軸(B5)を支持して回転させるための構成は、研削部(A)の場合と同じであり、研削部(A)のものと対応するものには、研削部(A)における図面参照符号の先頭に「Ｂ」を付して示している。ドレス部ケーシング(B4)は、研削部ケーシング(4)とは前後逆に配置されている。ドレス軸(B5)の後部はケーシング(B4)から後方に突出し、その後端部にロータリドレッサ(42)が固定されるようになっている。ドレス部(B)の磁気軸受(B6)(B7)(B8)などを制御するコントローラの構成は、研削部(A)のコントローラ(14)の構成と同じである。
【００３８】
外周面に断面が曲線の中高研削面(35a)が形成された砥石(35)を使用する場合、ドレス軸(B5)には、外周面に断面が曲線の中低ドレス面(42a)が形成されたドレッサ(42)が取り付けられる。
【００３９】
ドレス部(B)では、アキシアル磁気軸受(B6)について、その浮上目標位置を所定の範囲内において任意に変更できるようになっている。
【００４０】
上記の研削装置において、ワーク(W)に対して研削部(A)を相対的に移動させることにより、研削が行われ、ドレス部(B)に対して研削部(A)を相対的に移動させることにより、ドレスが行われる。
【００４１】
図２のようなワーク(W)の内周面に形成されたみぞ(36)を研削する場合、ワーク(W)は、図示しない電磁チャックなどの適宜な把持手段により把持されて、その軸心を中心に回転させられる。そして、ケーシング(4)をＺ軸方向に移動させて、砥石研削面(35a)がみぞ(36)に対向する位置に位置決めし、その後、ケーシング(4)を所定の切込み速度でもってＸ軸正方向（切込み方向）に移動させることにより、みぞ(35a)の研削が行われる。
【００４２】
砥石(35)のドレスを行う場合、砥石(35)およびドレッサ(42)を回転させた状態で、ケーシング(4)をＺ軸方向に移動させて、砥石研削面(35a)がドレス面(42a)に対向する位置に位置決めし、その後、ケーシング(4)を所定の切込み速度でもってＸ軸正方向（切込み方向）に移動させる。そして、砥石(35)をＸ軸正方向に移動させてドレッサ(42)に接近させるときに、砥石(35)がドレッサ(42)に接触したことを検知するとともに、そのときの砥石(35)とドレッサ(42)のＺ軸方向（前後方向）のずれ量を検出し、それを補正する。
【００４３】
砥石(35)とドレッサ(42)が接触したことはドレス部(B)のラジアル磁気軸受(B7)(B8)の電磁石(B31b)(B32b)の制御電流値の変化より検知し、ずれ量はドレス部(B)のアキシアル磁気軸受(B6)の電磁石(B30a)(B30b)の制御電流値の変化より検出し、ずれ量の補正はドレス部(B)のアキシアル磁気軸受(B6)におけるＺ軸方向の浮上目標位置を変更することにより行われる。
【００４４】
砥石(35)をドレッサ(42)に接近させていったときに、砥石(35)がドレッサ(42)に接触すると、ドレッサ(42)およびドレス軸(B5)が移動方向であるＸ軸正方向の力を受けるため、反対側すなわちＸ軸負側のラジアル電磁石(B31b)(B32b)の制御電流が大きくなって、Ｘ軸正側のラジアル電磁石(B31a)(B32a)の制御電流が小さくなる。そして、電磁石(B31b)(B32b)の制御電流が所定のしいき値を超えたことを検知することにより、砥石(35)がドレッサ(42)に接触したことが検知される。
【００４５】
砥石(35)がドレッサ(42)に接触したときに、ドレッサ(42)に対する砥石(35)の軸方向の位置にずれがなければ、ドレス軸(B5)は軸方向の力を受けず、アキシアル電磁石電磁石(B30a)(B30b)の制御電流は変化しないが、ずれがあるときは、研削面(35a)の前後方向の片側の部分だけがドレス面(42a)に接触するため、ドレス軸(B5)が軸方向すなわちＺ軸方向の力を受け、アキシアル電磁石電磁石(B30a)(B30b)の制御電流が変化する。制御電流の変化の仕方はずれの方向によって決まり、変化量はずれの大きさに対応している。砥石(35)が前側にずれているときは、研削面(35a)の前側の部分だけがドレス面(42a)に接触し、ドレス軸(B5)が前向きの力を受けるため、後側のアキシアル電磁石(B30a)の制御電流が大きくなって、前側のアキシアル電磁石(B30b)の制御電流が小さくなる。逆に、砥石(35)が後側にずれているときは、研削面(35a)の後側の部分だけがドレス面(42a)に接触し、ドレス軸(B5)が後向きの力を受けるため、前側のアキシアル電磁石(B30b)の制御電流が大きくなって、後側のアキシアル電磁石(B30a)の制御電流が小さくなる。したがって、アキシアル電磁石(B30a)(B30b)の制御電流値の変化より、ずれの方向および大きさが検出できる。
【００４６】
アキシアル磁気軸受(B6)におけるＺ軸方向の浮上目標位置の変更方向は、ずれが小さくなる方向であり、変更量は、ずれの大きさとする。ずれの大きさが浮上目標位置の変更可能限界を超えるときは、変更可能限界を変更量とする。
【００４７】
ドレスが終了すると、アキシアル磁気軸受(B6)におけるＺ軸方向の浮上目標位置が元に戻される。
【００４８】
上記の実施形態では、ドレス部(B)におけるアキシアル磁気軸受(B6)の浮上目標位置を変更することにより行っているが、研削部(A)におけるアキシアル磁気軸受(6)の浮上目標位置を変更することにより行うようにしてもよい。さらに、ドレス部(B)と研削部(A)の両方におけるアキシアル磁気軸受(B6)(6)の浮上目標位置を変更することにより行うようにしてもよい。このようにすれば、両アキシアル磁気軸受(B6)(6)の浮上可能限界を合わせた値までずれの補正ができる。
【００４９】
また、上記の実施形態では、ドレス部(B)におけるラジアル電磁石およびアキシアル電磁石の制御電流値の変化より接触の検知ならびにずれの方向および大きさの検出を行っているが、これらを研削部(A)におけるラジアル電磁石およびアキシアル電磁石の制御電流値の変化より行うようにしてもよい。
【００５０】
この明細書では、研削部(A)が移動するように説明しているが、研削部(A)とドレス部(B)は相対的に移動すればよく、いずれか一方が固定されていて、他方が移動するようにしてもよいし、両方が移動するようにしてもよい。
【００５１】
研削装置およびそれを構成する磁気軸受装置の全体構成あるいは各部の構成は、上記実施形態のものに限らず、適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】図１は、この発明の実施形態を示す研削装置の研削部とドレス部の側面図である。
【図２】図２は、研削装置の研削部とワークの側面図である。
【図３】図３は、研削部の拡大縦断面図である。
【図４】図４は、図３のVI−IV線に沿う拡大断面図（横断面図）である。
【図５】図５は、研削部の電気的構成の主要部を示すブロック図である。
【図６】図６は、ドレス部の拡大縦断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
(A)     研削部
(B)     ドレス部
(4)     研削部ケーシング
(5)     砥石軸
(6)     アキシアル磁気軸受
(7)(8)    ラジアル磁気軸受
(10)    電動機
(35)    研削砥石
(42)    ロータリドレッサ
(B4)    ドレス部ケーシング
(B5)    ドレス軸
(B6)    アキシアル磁気軸受
(B7)(B8)    ラジアル磁気軸受
(B10)    電動機
【図１】
2009285776.tif 000003
【図２】
2009285776.tif 000004
【図３】
2009285776.tif 000005
【図４】
2009285776.tif 000006
【図５】
2009285776.tif 000007
【図６】
2009285776.tif 000008