(57)【要約】【課題】移動が可能な真空ゲージ較正装置を開発し、運転中の真空装置に取り付けられた真空ゲージを取り外すことや、移動することなしに、真空運転状態で較正ができるようにした、移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置及びその使用方法を提供する。【解決手段】真空装置と被較正用真空ゲージとを連結する管路を開閉する真空遮断用バルブと；被較正用真空ゲージに連結された移動用真空ゲージ較正装置とから構成され、前記移動用真空ゲージ較正装置は、被較正用真空ゲージ側に、基準用真空ゲージと、真空連結用バルブと、真空チャンバーと、ゲートバルブと、排気装置とが順次に連結具備され；真空チャンバーに圧力を発生させるために、真空チャンバーと連結されたガス供給源と；ガス供給源内のガスの流れを制御して真空チャンバーに供給するリークバルブと；真空チャンバー内の真空圧を測定するための真空チャンバー用真空ゲージとが含まれて構成される。【選択図】  図１
2009063553.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空装置１０に連結された被較正用真空ゲージ１２を較正及び試験するための装置において、
前記真空装置１０と被較正用真空ゲージ１２とを連結する管路１４、１８を開閉する真空遮断用バルブ１６と；
前記被較正用真空ゲージ１２に連結された移動用真空ゲージ較正装置１００とから構成され、そして
前記移動用真空ゲージ較正装置１００は、
前記被較正用真空ゲージ１２側に、基準用真空ゲージ１１０と、真空連結用バルブ１７０と、真空チャンバー１２０と、ゲートバルブ１３２と、排気装置１３４とが直列に連結具備され；
前記真空チャンバー１２０に圧力を発生させるために、前記真空チャンバー１２０と連結されたガス供給源１５０と；
前記ガス供給源１５０内のガスの流れを制御して前記真空チャンバー１２０に供給するリークバルブ１６０と；
前記真空チャンバー１２０内の真空圧を測定するための真空チャンバー用真空ゲージ１４０と；を含むことを特徴とする移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置。
【請求項２】
前記移動用真空ゲージ較正装置１００は、連結ポート２０を介して前記被較正用真空ゲージ１２に着脱可能に接続されるように構成されたことを特徴とする請求項１記載の移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置。
【請求項３】
更に、前記真空チャンバー１２０内には、気体の流れを安定させると共に圧力勾配を小さくするオリフィス１２２が具備されたことを特徴とする請求項１記載の移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置。
【請求項４】
前記ガス供給源１５０は、所定の圧力下でガスを貯蔵するガスタンクから構成されたことを特徴とする請求項１記載の移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置。
【請求項５】
運転中の真空装置１０に連結された被較正用真空ゲージ１２を較正及び試験するための方法において、
真空装置１０と被較正用真空ゲージ１２とを連結する管路を真空遮断用バルブ１６で遮断するステップと；
前記被較正用真空ゲージ１２側の連結ポート２０に、移動用真空ゲージ較正装置１００を連結するステップと；
前記移動用真空ゲージ較正装置１００の真空連結用バルブ１７０とゲートバルブ１３２とを開き、排気装置１３４を稼動して、真空チャンバー１２０と全ての連結配管を真空雰囲気に形成するステップと；
被較正用真空ゲージ１２の測定範囲による低真空又は高真空の状態を判断するステップと；
前記判断ステップにおいて、低真空であると判断される場合、ゲートバルブ１３２を閉じ、リークバルブ１６０を開き、真空チャンバー１２０内の圧力を増加させながら、被較正用真空ゲージ１２と基準用真空ゲージ１１０とのそれぞれの指示圧力を記録・比較して、較正値を獲得するステップと；を含んでなることを特徴とする移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージの使用方法。
【請求項６】
更に、前記形成ステップと判断ステップとの間に、チャンバー用真空ゲージ１４０で前記真空チャンバー１２０の圧力を測定して到達圧力を確認するステップが含まれていることを特徴とする請求項５記載の移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージの使用方法。
【請求項７】
更に、前記判断ステップにおいて、高真空であると判断される場合、前記ゲートバルブ１３２と前記リークバルブ１６０とを開き、前記真空チャンバー１２０内の圧力を増加させながら、前記被較正用真空ゲージ１２と前記基準用真空ゲージ１１０とのそれぞれの指示圧力を記録・比較して、較正値を獲得するステップを含んでなることを特徴とする請求項５記載の移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージの使用方法。
【請求項８】
前記真空チャンバー１２０に流れるガス供給源１５０側のガスが、オリフィス１２２を通過するようにしたことを特徴とする請求項７記載の移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ゲージの較正、試験装置及びその方法に関し、特に、運転中の真空装置に取り付けられた真空ゲージを取り外すことや、移動することなしで較正ができるようにした、移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置及びその使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
本技術は、運転中の真空装置に取り付けられた真空ゲージを装置から分離せず、移動型較正装置に取り付けられた基準用真空ゲージと比べることによって較正ができるようにする技術である。
今まで、多くの真空ゲージを較正や試験するためには、運転中の真空装置を停止させなければならなかった。すなわち、真空装置を停止させ、ゲージを取り外して移動し、別に用意した較正装置で較正しなければならなかった。
従って、真空装置を停止させ、ゲージを移動して較正した後、再度、取り付けて稼動しなければならないので、時間及び経済的な損失が非常に大きかった。
ここで、真空装置とは、例えば、半導体、ディスプレイ製造工程において使用されるチャンバー装備等が挙げられる。
尚、出願人は、上記従来技術に係る事実を知っているものの、これら先行技術は、文献公知発明に係るものではなく、先行技術文献情報としては不知である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従って、本発明は、上記のような問題点に鑑みて創出されたものであって、移動が可能な真空ゲージ較正装置を開発し、動作中の真空装置に取り付けられた真空ゲージを取り外すことや、移動することなしに、真空運転状態で較正ができるようにした、移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置及びその使用方法を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の目的を達成するための本発明の具体的な手段は、真空装置１０に連結された被較正用真空ゲージ１２を較正及び試験するための装置において、前記真空装置と被較正用真空ゲージとを連結する管路を開閉する真空遮断用バルブと；前記被較正用真空ゲージに連結された移動用真空ゲージ較正装置とから構成され、前記移動用真空ゲージ較正装置は、前記被較正用真空ゲージ側に、基準用真空ゲージと、真空連結用バルブと、真空チャンバーと、ゲートバルブと、排気装置とが、順次に連結具備され；前記真空チャンバーに圧力を発生させるために、真空チャンバーと連結されたガス供給源と；前記ガス供給源内のガスの流れを制御して真空チャンバーに供給するリークバルブと；前記真空チャンバー内の真空圧を測定するための真空チャンバー用真空ゲージと；が含まれて構成されたことを特徴とする。
【０００５】
また、本発明によれば、前記移動用真空ゲージ較正装置は、連結ポートを介して前記被較正用真空ゲージに着脱可能に接続されるように構成されたことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明によれば、更に、前記真空チャンバー内には、気体の流れを安定させると共に圧力勾配を小さくするオリフィスが具備されたことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明によれば、前記ガス供給源は、所定の圧力下でガスを貯蔵しているガスタンクから構成されたことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明による運転中の真空装置１０に連結された被較正用真空ゲージ１２を較正及び試験するための方法において、真空装置と被較正用真空ゲージとを連結する管路を真空遮断用バルブで遮断するステップと；前記被較正用真空ゲージ側の連結ポートに、移動用真空ゲージ較正装置を連結するステップと；前記移動用真空ゲージ較正装置の真空連結用バルブとゲートバルブとを開き、排気装置を稼動して、真空チャンバーと全ての連結配管を真空雰囲気に形成するステップと；被較正用真空ゲージの測定範囲による低真空又は高真空の状態を判断するステップと；低真空であると判断される場合、ゲートバルブを閉じ、リークバルブを開き、真空チャンバー内の圧力を増加させながら、被較正用真空ゲージと基準用真空ゲージとのそれぞれの指示圧力を記録・比較して、較正値を獲得するステップと；を含んでなる。
【０００９】
また、本発明によれば、更に、イオンゲージで真空チャンバーの圧力を測定して到達圧力を確認するステップが含まれていることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明によれば、高真空であると判断される場合、ゲートバルブとリークバルブとを開き、真空チャンバー内の圧力を増加させながら、被較正用真空ゲージと基準用真空ゲージとのそれぞれの指示圧力を記録・比較して、較正値を獲得するステップを含んでなる。
【００１１】
また、本発明によれば、真空チャンバーに流れるガス供給源側のガスが、オリフィスを通過するようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置及びその使用方法によれば、半導体製造工程、ディスプレイ製造工程、その他の全ての真空装置等に取り付けられ、工程の真空圧力を測定することに使われる真空ゲージを脱着や移動なしに真空作動状態で比較較正可能である。
従って、真空装置の運転中にも真空ゲージの較正/試験が可能であるので、経済性と効率性とを画期的に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施例を詳しく説明する。図１は、本発明による移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置の構成図であり、図２は、本発明による移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置の使用方法の制御フローチャートである。
【００１４】
本発明は、図１から示したように、真空装置１０に連結された被較正用真空ゲージ１２を較正/試験するための装置である。真空装置１０と被較正用真空ゲージ１２とを連結する管路１４に真空遮断用バルブ１６が設けられる。従って、真空遮断用バルブ１６を閉じると、被較正真空ゲージ１２に真空装置１０側の真空圧が作用しない。真空遮断用バルブ１６と被較正用真空ゲージ１２とを連結する管路１８には、移動用真空ゲージ較正装置１００が連結構成されている。
【００１５】
移動用真空ゲージ較正装置１００は、真空チャンバー１２０から発生された真空圧力で較正値を得る。すなわち、基準用真空ゲージ１１０と被較正用真空ゲージ１２との指示された各真空圧力の差から較正値を得る装置である。この時、真空チャンバー１２０内の真空圧を調整するためにガス供給源１５０が利用される。
【００１６】
先に、移動用真空ゲージ較正装置１００は、管路１８に基準用真空ゲージ１１０と真空チャンバー１２０とが並列に連結されて設置される。基準用真空ゲージ１１０と真空チャンバー１２０とを連結する管路１１２には、真空連結用バルブ１７０が設けられている。
【００１７】
真空チャンバー１２０には、真空チャンバー１２０内の真空を発生させる排気装置１３４と、これを維持させるためのゲートバルブ１３２とが設けられる。ゲートバルブ１３２は、排気装置１３４と真空チャンバー１２０との間に連結設置される。ここで、排気装置１３４は、本実施例において、ロータリーポンプとターボポンプとを組み合わせて構成したものである。真空チャンバー１２０には、真空チャンバー１２０内の真空度を測定するチャンバー用真空ゲージ１４０が設けられる。本実施例において、チャンバー用真空ゲージ１４０は、イオンゲージで構成した。
【００１８】
真空チャンバー１２０には、真空チャンバー１２０内に所望とする圧力を発生させるために、ガス供給源１５０が連結されている。ガス供給源１５０と真空チャンバー１２０とを連結する管路１５２には、ガス供給源１５０内のガスの流れを断続させるリークバルブ１６０が設けられている。本実施例において、ガス供給源１５０は、所定の圧力下でガスを貯蔵しているガスタンクで構成した。
【００１９】
望ましくは、本発明の実施例において、管路１８には、移動用真空ゲージ較正装置１００を着脱可能に接続させることができる連結ポート２０が設けられる。また、真空チャンバー１２０には、気体の流れを安定させると共に圧力勾配を小さくするオリフィス１２２が具備されることが良い。
【００２０】
このように構成された本実施例の作用を説明する。先に、真空遮断用バルブ１６を閉じ(Ｓ１０)、運転中の真空装置１０と被較正用真空ゲージ１２とを連結する管路を遮断する。この時、真空装置１０には、ゲートバルブ９が開いた状態で排気装置８が稼動され、真空が形成された状態である。次に、連結ポート２０に移動用真空ゲージ較正装置１００が連結される(Ｓ１１)。
【００２１】
その次に、真空連結用バルブ１７０とゲートバルブ１３２とが開き(Ｓ１２)、排気装置１３４が稼動される(Ｓ１３)。このようになると、真空チャンバー１２０と、この真空チャンバー１２０に連結された全ての連結配管が真空状態となる。その次に、チャンバー用真空ゲージ１４０で真空チャンバー１２０の圧力を測定して到達圧力(ultimate pressure)が十分に低いか確認する(Ｓ１４)。
【００２２】
その次に、真空チャンバー１２０が到達圧力に至ると、被較正用真空ゲージ１２の使用真空圧を判断することになる(Ｓ１５)。ここで、被較正用真空ゲージ１２が低真空圧(測定範囲：約０.１Ｐａ〜１００ｋＰａ)であると判断される場合、ゲートバルブ１３２が閉じ(Ｓ１６)、リークバルブ１６０が開く(Ｓ１７)。このようになると、ガス供給源１５０内のガスが真空チャンバー１２０内に満たされ、圧力を増加させながら被較正用真空ゲージ１２と基準用真空ゲージ１１０とのそれぞれの指示圧力を記録し、比較・較正することになる(Ｓ１８)。すなわち、被較正用真空ゲージ１２と基準用真空ゲージ１１０とが、それぞれ示す指示圧力の差を補正値として被較正用真空ゲージ１２を較正することになる。
【００２３】
一方、被較正用真空ゲージ１２が高真空(測定範囲：約１０-１Ｐａ〜１０-６Ｐａ)ゲージの場合には、ゲートバルブ１３２を開き(Ｓ１９)、リークバルブ１６０が開き(Ｓ１７)、ガス供給源１５０内のガスを流しながら真空チャンバー１２０内に所望とする圧力を発生させる。この時、被較正用真空ゲージ１２と基準用真空ゲージ１１０との各指示圧力を記録・比較して、較正値を得ることになる(Ｓ１８)。この時、真空チャンバー１２０に流れる気体の流れは、オリフィス１２２を通じるため安定し、また、真空ゲージ１２、１１０が連結された配管の圧力勾配を最小化させるようになる。
【００２４】
ここで、基準用真空ゲージ１１０は、標準器から予め較正されていなければならない。リークバルブ１６０を開いて真空チャンバー１２０に所望とする圧力が発生されれば、同時に被較正用真空ゲージ１２と基準用真空ゲージ１１０との指示圧力を読み出して記録する。望ましくは、真空チャンバー１２０に所望とする最大圧力まで増加させながら被較正用真空ゲージ１２を基準用真空ゲージ１１０と比較・較正する。
【００２５】
また、それぞれの低真空及び高真空の過程で較正が繰り返して必要な場合、排気装置１３４を稼動させて各連結配管の真空雰囲気状態でリークバルブ１６０を操作し、被較正用真空ゲージ１２と基準用真空ゲージ１１０との指示圧力の差を比較・較正する作業を繰り返して行う。
【００２６】
以上のように、本発明は、たとえ限定された実施例と図面とによって説明されたが、本発明は、これにより限定されず、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者により、本発明の技術思想と上記に記載した請求範囲の均等範囲内で多様な修正及び変形の可能さは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明による移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置の概略的な構成図であり、
【図２】本発明による移動なしに較正と試験とが可能な真空ゲージ装置を利用した使用方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【００２８】
１６:真空遮断用バルブ
１１０:基準用真空ゲージ
１２０:真空チャンバー
１２２:オリフィス
１３２:ゲートバルブ
１３４:排気装置
１４０:チャンバー用真空ゲージ
１５０:ガス供給源
１６０:リークバルブ
１７０:真空連結用バルブ
【図１】
2009063553.tif 000003
【図２】
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