(57)【要約】【課題】ワークの不良発生を略リアルタイムで監視して速やかに報知するとともに、ユーザビリティの向上を図られる品質管理システムおよび方法を提供する。【解決手段】ワークの欠陥の計数データを略リアルタイムで作成（欠陥数を計数）する欠陥計数手段と、前記計数データを処理順に略リアルタイムで記憶する第一の記憶手段と、前記計数データから、ワークの欠陥数を処理順に並べた管理テーブルを略リアルタイムで作成する管理図作成手段と、前記管理テーブルから、ワークの欠陥数が上限規準値以上か下限規準値以下かを略リアルタイムで判定する第一の判定手段と、ワークの欠陥数が上限規準値以上または下限規準値以下であると判定した場合において、欠陥数の変化が突発的か傾向的かを略リアルタイムで判定する第二の判定手段と、これらの判定結果を略リアルタイムで報知する報知手段とを備える。【選択図】図１
2009015654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の処理を経たワークに存在する欠陥および／または不良の数を略リアルタイムで計数する複数の欠陥計数手段と、
該欠陥計数手段が計数した欠陥および／または不良の計数データを、前記所定の処理を経たワークの順に略リアルタイムで記憶することができる第一の記憶手段と、
該第一の記憶手段に記憶される計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを略リアルタイムで作成する管理図作成手段と、
前記管理図作成手段が作成した管理テーブルに基づいて、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるか否かを略リアルタイムで判定する第一の判定手段と、
該第一の判定手段が、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が上限規準値以上および／または下限規準値以下であると判定した場合において、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、処置が施されたワークの順に応じて前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、を略リアルタイムで判定する第二の判定手段と、
前記第一の判定手段の判定結果および／または前記第二の判定手段の判定結果を略リアルタイムで報知する報知手段と、
を備えることを特徴とするワークの品質管理システム。
【請求項２】
前記欠陥数計数手段は、前記所定の処理を行う複数の所定の設備に設けられ、前記第一の記憶手段は、前記所定の複数の設備に設けられる前記欠陥計数手段が計数したワークに存在する欠陥および／または不良の計数データをまとめて略リアルタイムで記憶することができることを特徴とする請求項１に記載のワークの品質管理システム。
【請求項３】
ワークのロットごとの処理履歴のデータが含まれる履歴データを記憶する第二の記憶手段をさらに備え、前記第一の記憶手段が記憶する前記ワークの欠陥および／または不良の計数データと、前記第二の記憶手段が記憶する履歴データとが紐づけられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワークの品質管理システム。
【請求項４】
前記管理図作成手段は、前記第一の記憶手段に記憶される前記計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを作成するとともに、該管理テーブルに基づいて前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを略リアルタイムで作成することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のワークの品質管理システム。
【請求項５】
前記報知手段は、前記管理図作成手段が作成した前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを表示可能なことを特徴とする請求項４に記載のワークの品質管理システム。
【請求項６】
第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、
前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、
品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、
品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知すること、
を特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のワークの品質管理システム。
【請求項７】
第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、
前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、
品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、
品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続すること、
を特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のワークの品質管理システム。
【請求項８】
第二の判定手段による、前記ワークが有する欠陥または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるか、前記ワークが有する欠陥または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるかの判定結果に応じて、前記報知手段による報知方法が異なることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載のワークの品質管理システム。
【請求項９】
ワークに存在する欠陥および／または不良が突発的に前記上限規準値または前記下限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に変化していって前記上限規準値または前記下限規準値を超えたかにより、前記上限規準値および前記下限規準値が異なることを特徴とする請求項１から請求項８に記載のワークの品質管理システム。
【請求項１０】
所定の処理を経たワークに存在する欠陥および／または不良の数を略リアルタイムで計数する計数ステップと、
前記計数した欠陥および／または不良の計数データを、前記所定の処理を経たワークの順に略リアルタイムで記憶する記憶ステップと、
前記記憶された計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを略リアルタイムで作成する管理テーブル作成ステップと、
前記作成した管理テーブルに基づいて、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるか否かを略リアルタイムで判定する第一の判定ステップと、
該第一の判定ステップにおいて、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が上限規準値以上および／または下限規準値以下であると判定した場合において、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、処置が施されたワークの順に応じて前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、を略リアルタイムで判定する第二の判定ステップと、
前記第一の判定ステップの判定結果および／または前記第二の判定ステップの判定結果を略リアルタイムで報知するステップと、
を有することを特徴とするワークの品質管理方法。
【請求項１１】
前記欠陥数を計数する計数ステップは、前記所定の処理を行う複数の所定の設備において実行され、前記記憶ステップにおいては、前記所定の複数の設備に設けられる前記欠陥計数手段が計数したワークに存在する欠陥および／または不良の計数データをまとめて略リアルタイムで記憶することを特徴とする請求項１０に記載のワークの品質管理方法。
【請求項１２】
ワークのロットごとの処理履歴のデータが含まれる履歴データと、前記記憶された前記ワークの欠陥および／または不良の計数データとが紐づけられることを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載のワークの品質管理方法。
【請求項１３】
前記記憶した前記計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを作成するとともに、該管理テーブルに基づいて前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを略リアルタイムで作成することを特徴とする請求項１０から請求項１２のいずれかに記載のワークの品質管理方法。
【請求項１４】
前記作成された前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを表示可能なことを特徴とする請求項１３に記載のワークの品質管理方法。
【請求項１５】
欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定された場合において、
前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程を報知し、
品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、
品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知すること、
を特徴とする請求項１０から請求項１４のいずれかに記載のワークの品質管理方法。
【請求項１６】
欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定された場合において、
前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程を報知し、
品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、
品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続すること、
を特徴とする請求項１０から請求項１５のいずれかに記載のワークの品質管理方法。
【請求項１７】
前記ワークが有する欠陥または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるか、前記ワークが有する欠陥または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるかの判定結果に応じて、報知方法が異なることを特徴とする請求項１０から請求項１６のいずれかに記載のワークの品質管理方法。
【請求項１８】
ワークに存在する欠陥および／または不良が突発的に前記上限規準値または前記下限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に変化していって前記上限規準値または前記下限規準値を超えたかにより、前記上限規準値および前記下限規準値が異なることを特徴とする請求項１０から請求項１７に記載のワークの品質管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの品質管理システムおよびワークの品質管理方法に関するものであり、特に好適には、ワークの検査データ（ワークに発生した欠陥数など）の経時的な傾向などをリアルタイムで監視し、規格外の数の欠陥を有するワークが検出された場合には、品質管理従事者などに対して当該欠陥が検出された設備（装置）を報知するとともに、検査データの欠陥の発生の経時的な傾向を報知することができるワークの品質管理システムおよびワークの品質管理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ワークの検査データを用いた従来のワークの品質管理方法としては、たとえば、検査装置によってワークの検査を行ってワークの検査データを取得し、その検査データを蓄積させる方法がある。この場合には、たとえば品質管理従事者（検査従事者）が、前記蓄積された検査データを一定数ごとまたは一定時間ごとに検索し、異常な検査データを発見した場合には、前記品質管理従事者（検査従事者）などが、異常が発生した設備（装置）を停止するなどの対応をする。
【０００３】
このような方法は、次のような問題点を有している。蓄積される検査データのほとんどは、欠陥数などが規準値内にある（すなわち、良品の）ワークの検査データである。これらのワークの検査データを検索して検査することは、一方では、検査した検査データに対応するワークが良品（欠陥が規準値以内）であることを保障するものであるから、有益なものである。しかしながら他方では、良品の検査データは本来検査する必要がないから、これらを検索して確認することは、時間と労力の無駄になっているといえる。
【０００４】
また、異常な検査データが発見された場合には、品質管理従事者は、設備の停止や原因の調査など、所定の対応をとらなければならないことがある。その結果、品質管理従事者などは、その対応に時間と労力をかける必要があり、その間、検査データの監視を行うことができなくなることがある。そうすると、ある異常な検査データの発生に対応している間に、別の設備で別の異常な検査データが発生していても、検査従事者はそれに気が付かず、その異常な検査データを見逃してしまうおそれもある。
【０００５】
異常な検査データが検出された場合における原因の調査方法としては、たとえば特許文献１に記載の構成や、特許文献２に記載の構成などが提案されている。特許文献１に記載の構成は、まず、ワーク（ウェハ）の検査結果と、異常な欠陥が発生したワークにおける当該欠陥の分布の類似度が定量的に評価され、得られた類似度のデータの周期性が解析される。そして解析結果と各製造装置の着工方法との関係が評価され、異常な欠陥の発生の原因工程および装置が推定または確定されるというものである。
【０００６】
また、特許文献２に記載の構成は、半導体製造装置の状態を示すパラメータの管理基準を最適な値に設定できるものである。そして製造された修正回路装置の特性に不良が発生した場合には、不良要因となった工程や半導体製造装置のパラメータが容易に抽出できるというものである。
【０００７】
ところで、従来の構成では、ワークの品質管理が品質管理従事者の熟練度（スキル）に依存することがあり、ワークの品質を一定にできないことがある。また、突発的に品質に不良が生じた場合には、このような検査データの収集解析を行うことができない場合があり、欠陥を有するワークを発見する機会を逃すおそれがある。さらに、ワークの工程処理履歴に検査データを紐付けして監視する方法がある。しかしながらこのような紐付けられた検査データの監視は、処理装置の増加や管理項目の細分化などによって、品質管理従事者が常時すべての検査データを監視することは物理的に不可能に近い。
【０００８】
また、特許文献２に記載の構成は、工場内などにおいてリアルタイムで行う品質監視手法としては、品質管理従事者に対するユーザビリティ（ここでは、システムが行った判定に対する検証のプロセスや、不良発生原因と推定される設備がいずれの設備であるかを品質管理従事者に通報する方法）が不十分であると考えられる。
【０００９】
そして、このような構成では、品質管理従事者の意思決定プロセスに時間を要することが考えられる。たとえば２４時間連続して稼動するような工場（たとえば半導体製造工場）において、前記意思決定プロセスに時間を要すると、その間に規格外の欠陥を有するワーク（すなわち不良品）を生産し続けることになる。したがって、品質管理従事者に対するユーザビリティの向上は、製品の歩留まりの向上の面からも重要である。
【００１０】
このように、従来の構成では、ワークの欠陥（不良）がいずれの設備（工作機械など）が原因で発生しているのかを、速やかに特定することができないことがあった。また、このため、ワークの欠陥がいずれの設備で発生しているのかをリアルタイムで把握し、品質管理従事者に直ちに報知すること、および報知を受けた品質管理従事者が直ちに対策をとることも困難であった。
【００１１】
さらに従来の構成ではユーザビリティの度合いが低く、このため、いずれの設備が、規格外の欠陥（すなわち不良）を有するワークを発生させる原因となっているかを、品質管理従事者が知るのに手間を要することがある。この結果、規格外の欠陥を有するワークの生産停止までに時間を要することがあり、歩留まりの向上の妨げ、または歩留まりの低下の原因となっていた。
【００１２】
【特許文献１】特開２００３−１００８２５号公報
【特許文献２】特開平１１−３５４３９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、ワークの不良発生をリアルタイムで監視して品質管理従事者などに速やかに報知する品質管理システムおよび品質管理方法を提供すること、例えばいずれの装置においてどのような傾向の不良が発生しているかをリアルタイムで把握し、速やか品質管理従事者などに報知する品質管理システムおよび品質管理方法を提供すること、ユーザビリティの向上の図ることができる品質管理システムおよび品質管理方法を提供すること、例えば、いずれの設備において不良が発生しているかを分かり易く品質管理従事者に報知する品質管理システムおよび品質管理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題を解決するため、本発明は、所定の処理を経たワークに存在する欠陥および／または不良の数を略リアルタイムで計数する複数の欠陥計数手段と、該欠陥計数手段が計数した欠陥および／または不良の計数データを、前記所定の処理を経たワークの順に略リアルタイムで記憶することができる第一の記憶手段と、該第一の記憶手段に記憶される計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを略リアルタイムで作成する管理図作成手段と、前記管理図作成手段が作成した管理テーブルに基づいて、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるか否かを略リアルタイムで判定する第一の判定手段と、該第一の判定手段が、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が上限規準値以上および／または下限規準値以下であると判定した場合において、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、処置が施されたワークの順に応じて前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、を略リアルタイムで判定する第二の判定手段と、前記第一の判定手段の判定結果および／または前記第二の判定手段の判定結果を略リアルタイムで報知する報知手段とを備えることを要旨とするものである。
【００１５】
ここで、前記欠陥数計数手段は、前記所定の処理を行う複数の所定の設備に設けられることが好ましい。そして、前記第一の記憶手段は、前記所定の複数の設備に設けられる前記欠陥計数手段が計数したワークに存在する欠陥および／または不良の計数データをまとめて略リアルタイムで記憶することができることが好ましい。
【００１６】
また、ワークのロットごとの処理履歴のデータが含まれる履歴データを記憶する第二の記憶手段をさらに備え、前記第一の記憶手段が記憶する前記ワークの欠陥および／または不良の計数データと、前記第二の記憶手段が記憶する履歴データとが紐づけられる構成であっても良い。
【００１７】
また、前記管理図作成手段は、前記第一の記憶手段に記憶される前記計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを作成する。そして、該管理テーブルに基づいて前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを略リアルタイムで作成することが好ましい。
【００１８】
前記報知手段は、前記管理図作成手段が作成した前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを表示可能であることが好ましい。
【００１９】
また、第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知すること、が好ましい。
【００２０】
また、第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続する構成であっても良い。
【００２１】
また、第二の判定手段による、前記ワークが有する欠陥または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるか、前記ワークが有する欠陥または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるかの判定結果に応じて、前記報知手段による報知方法が異なる構成であることが好ましい。
【００２２】
また、ワークに存在する欠陥および／または不良が突発的に前記上限規準値または前記下限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に変化していって前記上限規準値または前記下限規準値を超えたかにより、前記上限規準値および前記下限規準値が異なる構成とすることが好ましい。
【００２３】
また、本発明は、所定の処理を経たワークに存在する欠陥および／または不良の数を略リアルタイムで計数する計数ステップと、前記計数した欠陥および／または不良の計数データを、前記所定の処理を経たワークの順に略リアルタイムで記憶する記憶ステップと、前記記憶された計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを略リアルタイムで作成する管理テーブル作成ステップと、前記作成した管理テーブルに基づいて、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるか否かを略リアルタイムで判定する第一の判定ステップと、該第一の判定ステップにおいて、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が上限規準値以上および／または下限規準値以下であると判定した場合において、前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、処置が施されたワークの順に応じて前記ワークが有する欠陥および／または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、を略リアルタイムで判定する第二の判定ステップと、前記第一の判定ステップの判定結果および／または前記第二の判定ステップの判定結果を略リアルタイムで報知するステップと、を有することを要旨とするものである。
【００２４】
ここで、前記欠陥数を計数する計数ステップは、前記所定の処理を行う複数の所定の設備において実行され、前記記憶ステップにおいては、前記所定の複数の設備に設けられる前記欠陥計数手段が計数したワークに存在する欠陥および／または不良の計数データをまとめて略リアルタイムで記憶する方法であることが好ましい。
【００２５】
また、ワークのロットごとの処理履歴のデータが含まれる履歴データと、前記記憶された前記ワークの欠陥および／または不良の計数データとが紐づけられる方法であることが好ましい。
【００２６】
また、前記記憶した前記計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを作成するとともに、該管理テーブルに基づいて前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを略リアルタイムで作成する方法であることが好ましい。
【００２７】
また、前記作成された前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを表示可能であることが好ましい。
【００２８】
また、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定された場合において、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知することが好ましい。
【００２９】
また、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定された場合において、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続する方法であっても良い。
【００３０】
ここで、前記ワークが有する欠陥または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるか、前記ワークが有する欠陥または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるかの判定結果に応じて、報知方法が異なってもよい。
【００３１】
また、ワークに存在する欠陥および／または不良が突発的に前記上限規準値または前記下限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に変化していって前記上限規準値または前記下限規準値を超えたかにより、前記上限規準値および前記下限規準値を異ならせる方法であっても良い。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、本発明に係るワークの品質管理システムが略リアルタイムで、ワークに存在する欠陥および／または不良が規準値内にあるか否かを判定するから、ユーザビリティの向上を図ることができる。また、略リアルタイムで判定するから、欠陥および／または不良を有するワークが発生した場合に、速やかに対策をとることができる。また、欠陥および／または不良の発生傾向を略リアルタイムで判定しているから、設備の状態を略リアルタイムで把握することが可能となる。特に欠陥および／または不良の数の動向把握を行うことにより、設備や装置に対する早期の対策が可能となる。
【００３３】
前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルおよびグラフを略リアルタイムで作成すれば、略リアルタイムで設備などの傾向を管理することができる。したがって、設備などの異常を早期に把握することができ、また早期に対応することができる。
【００３４】
前記報知手段は、前記管理図作成手段が作成した前記ワークに存在する欠陥および／または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを表示可能であれば、たとえば品質管理従事者は、装置や設備の異常の傾向をビジュアルに把握することができるようになる。したがって、ユーザビリティの向上を図ることができる。
【００３５】
第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知する構成とすれば、次のような作用効果を奏する。すなわち、品質管理従事者は、異常が発生した箇所（欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した箇所）を、いずれの工程であるか工程→当該工程のいずれの管理項目であるか→当該管理項目に含まれるいずれの設備または装置であるか、の順で異常が発生した箇所を知ることができる。このように、大きい項目から小さい項目に向かって、異常が発生した箇所を知ることができる。したがって、品質管理従事者に対するユーザビリティに優れる。
【００３６】
第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続する構成であると、次のような作用効果を奏する。すなわち、品質管理従事者が報知に対して何らかのアクションを起こすまでは、報知手段は品質管理従事者に対して、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび／または下限規準値以下であるワークが発生したことを報知し続けることになる。このため、品質管理従事者は、半強制的に異常に対してアクションをとらされることになり、装置等の異常に対して早期に対応できることになる。
【００３７】
ワークに存在する欠陥および／または不良の数の前記上限規準値または前記下限規準値の超え方が、突発的であるか、経時的に徐々にであるかによって報知方法が異なると、当該異常の発生原因の予測をつけやすく、異常に対して的確に対応をとることが容易となる。
【００３８】
ワークに存在する欠陥および／または不良の数の前記上限規準値または前記下限規準値の超え方が、突発的であるか、経時的に徐々にであるかによって前記上限規準値および前記下限規準値が異ならせると、次のような作用効果を奏する。すなわち、たとえば、突発的に越えた場合に比較して、経時的に徐々に越えた場合の前記上限規準値を小さくすると、設備に異常が生じつつある傾向を早期に把握することができ、早期に対応することができる。一方で、突発的に越えた場合の前記上限規準値が大きいと、異常（すなわち欠陥および／または不良を有するワークを生産する）状態になりつつあるという傾向の早期認知の阻害とならない。このように、装置の状態を的確に認知することが容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下に、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００４０】
なお、以下の説明においては、液晶表示パネルのＴＦＴアレイ基板を製造する製造設備に適用される例を用いて説明する。にしたがって、ここでいうワークとは、主にガラス基板や、ＴＦＴアレイ基板の半完成品（未完成品）などを指す。但し、本発明は、液晶表示パネルの製造設備に適用される構成に限定されるものではなく、あくまでも説明のための例として示すものである。
【００４１】
図１は、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１の概略構成を示したブロック図である。図１に示すように、本発明の実施形態にかかるワークの管理システム１は、所定の数の検査装置１１と、第一の記憶手段１２と、第二の記憶手段１３と、第三の記憶手段１４と、管理図作成手段１５と、第一の判定手段１６と、第二の判定手段１７と、報知手段１８と、設定手段１９と、を備える。
【００４２】
検査装置１１は、それぞれ所定の処理装置や加工装置（たとえば洗浄装置やエッチング装置など）など、各種所定の工程のための所定の装置や設備の間に設けられるか、または所定の装置や設備に付随して設けられる。各検査装置が検査する項目は、工程（処理装置や加工装置）の種類に応じて定められる。ただし、共通の検査項目として、処理または加工が施されたワークに存在する欠陥および／または不良の数がある。すなわち各検査装置１１は、所定の処理または加工などを経たワークに存在する欠陥および／または不良の数を、略リアルタイムで計数できる欠陥数計数手段としての機能を有する。
【００４３】
第一の記憶手段１２は、前記各検査装置１１が計数した、各ワークに存在する欠陥および／または不良の数を、集約的、蓄積的かつ略リアルタイムに記憶していくことができる。
【００４４】
第二の記憶手段１３は、ワークのロットごとに履歴データを記憶する。履歴データには、各ロットのワークの処理工程、処理設備、処理ユニット、処理時刻などの製造履歴データが含まれる。なお、この履歴データは、たとえば、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１とは別に存在するＣＩＭ（Computer Integrated Manufacturing）によって管理されているデータから読み出して記憶される。
【００４５】
管理図作成手段１５は、管理テーブルと傾向管理図とを略リアルタイムで作成および更新する。
【００４６】
管理テーブルは、ワークに存在する欠陥および／または不良の数を、各処理または加工において、各処理または加工が施されたワークの順に並べたテーブルである。すなわち、当該処理装置または加工装置が処理または加工したワークに存在する欠陥および／または不良の数を、処理または加工を施したワークの順に並べることにより、所定の処理装置または加工装置における欠陥および／または不良の発生の経時的な変化を示す。
【００４７】
傾向管理図は、ワークのロットごとの欠陥および／または不良の数を、経時的に示したグラフである。すなわち、所定の処理または加工が施されたワークのロットの順に、各ワークのロットに存在する欠陥および／または不良の数示したグラフである。具体的にはたとえば、横軸（定義域）は、所定の処理または加工が施されたワークのロットが、当該処理または加工が施されたワークのロットの順に並べられる。縦軸は、当該処理または加工が施されたワークの各ロットの欠陥および／または不良の数を示す。このように、この傾向管理図は、所定の処理装置または加工装置における欠陥および／または不良の発生の経時的な変化を、ワークのロットごとに示すものである。
【００４８】
第一の判定手段１６は、所定の処理または加工が施されたワークに存在する欠陥および／または不良の数が、規準値の範囲内にあるか、すなわち下限の規準値以上、上限の規準値以下にあるかを判定する。なお、本発明においては、下限の規準値の値を「下限規準値」と称し、上限の規準値の値を「上限規準値」を称することがある。これらの下限規準値と上限規準値は、ワークの種類や、処理装置または加工装置などに応じて適宜設定される。
【００４９】
上限規準値は、ワークに存在する欠陥および／または不良の数の許容上限値である。すなわち、欠陥および／または不良の数が、上限規準値より小さい値のワークは、第一の判定手段により良品であると判定される。一方、欠陥および／または不良の数が、上限規準値以上の値のワークは、第一の判定手段により異常なワークであると判定される。このようにこの上限規準値は、主に、ワークの品質管理を目的として設定される値である。
【００５０】
下限規準値は、ワークに存在する欠陥および／または不良の数の許容下限値である。すなわち、所定の処理または加工を経たワークの欠陥および／または不良の数が、下限規準値より大きい場合には、当該処理装置または加工装置に付属する検査装置は正常であると判定される。一方、所定の処理または加工を経たワークの欠陥および／または不良の数が、下限規準値より小さい場合には、当該処理装置または加工装置に付属する検査装置は異常であると判定される。
【００５１】
すなわち、所定の処理または加工が施されたワークに存在する欠陥および／または不良は、少なければ少ないほど良い。そして理想的には、欠陥および／または不良の数は０であることが好ましい。しかしながら現実には、ワークに存在する欠陥および／または不良の数をゼロにすることは不可能に近い。
【００５２】
したがって、通常は、所定の処理または加工が施されたワークには、ある一定数の欠陥および／または不良が存在する。このため、検査装置１１がワークに存在する欠陥および／または不良を検出して計数する場合において、計数される欠陥および／または不良の数がある所定の数よりも少なければ、それは、検査装置１１に異常があるか、検査能力が著しく低下していると考えられる。すなわち、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が、実際に当該ある所定の数よりも少ないとは考えづらい。
【００５３】
そこで、ワークに存在する欠陥および／または不良の数の下限規準値を設定しておく。そして、検査装置１１により検出され計数されるワークに存在する欠陥および／または不良が、この下限規準値より小さい値である場合には、第一の判定手段１２は、当該検査装置１１に異常があるか、検査能力が著しく低下していると判定する。このように、下限規準値は、主に検査装置の異常を判定するために設定される値である。
【００５４】
なお、上限規準値には、突発上限規準値と傾向上限規準値との二種類が設定される。同様に下限規準値にも、突発下限規準値と傾向下限規準値との二種類が設定される。
【００５５】
突発上限規準値は、検査装置１１が取得計数したワークに存在する欠陥および／または不良の数が、経時的に突発的にこの数値より大きくなった場合において、当該ワークが異常であると判断するための基準となる数値である。これに対して傾向上限規準値は、検査装置が取得計数したワークに存在する欠陥および／または不良の数が、経時的に徐々に多くなっていき、その結果この数値より大きくなった場合において、当該ワークが異常であると判断するための基準となる数値である。
【００５６】
突発下限規準値は、検査装置１１が取得計数したワークに存在する欠陥および／または不良の数が、経時的に突発的にこの数値より小さくなった場合において、当該検査装置１１に異常が発生したか、または検査能力が著しく変化したと判断するための基準となる数値である。これに対して傾向下限規準値は、検査装置１１が取得計数したワークに存在する欠陥および／または不良の数が、経時的に徐々に少なくなっていき、その結果この数値より小さくなった場合において、当該検査装置１１に異常が発生したか、または検査能力１１が著しく変化したと判断するための基準となる数値である。
【００５７】
第二の判定手段１７は、第一の判定手段１６により、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が上限規準値より多いと判定された場合において、欠陥および／または不良の数が突発的に増加したものであるのか、徐々に増加したものであるかを判断する。すなわち、ワークに存在する欠陥および／または不良が、突発的に突発上限規準値を超えたのか、徐々に（傾向的に）傾向上限規準値を超えたものであるのかを判定する。
【００５８】
また、第二の判定手段１７は、第一の判定手段１６により、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が下限規準値より少ないと判定された場合において、欠陥および／または不良の数が突発的に減少したものであるのか、徐々に減少したものであるかを判断する。すなわち、ワークに存在する欠陥および／または不良が、突発的に突発下限規準値を下回ったのか、徐々に（傾向的に）減少していき、その結果傾向下限規準値を下回ったものであるのかを判定する。
【００５９】
報知手段１８は、第一の判定手段１６の判定結果、および第二の判定手段１７の判定結果などを作業者（たとえば品質管理従事者など。以下同じ）に報知する。具体的には、各工程の状態（すなわち、どの工程は正常で、どの工程は異常であるか）、異常と判断された工程の管理項目（すなわち、いずれの検査装置において異常が検出されたか）、異常を検知した検査装置１１が検査を行う処理装置の状態（すなわち、異常を検知した検査装置１１が検査を行っている装置のうち、いずれが正常で、いずれが異常であるか）、を報知できる。さらに、任意の設備の傾向管理図を表示することができる。したがって、異常が発生した装置の傾向管理図を表示して、当該装置により処理または加工されたワークに存在する欠陥および／または不良の数の変化動向を報知することができる。なお、報知手段の構成および動作の詳細については後述する。
【００６０】
設定手段１９は、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１の各種パラメータを設定するためのものである。本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１の設定は、作業者などによって設定が行われる。具体的には、突発上限規準値、傾向上限規準値、突発下限規準値、傾向下限規準値などが設定される。このほか、検査装置１１が多数存在する場合において、いずれの検査装置１１を、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１により管理する対象とするか、対象となる検査装置１１が検査する複数の項目のうち、いずれの項目を本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１により管理する対象とするか、などが設定される。
【００６１】
第三の記憶手段１４は、設定手段１９により設定された設定値が記憶される。そして本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１の動作時において適宜その内容が読み出される。そして、この第三の記憶手段１４に記憶される設定内容に基づいて、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１が動作する。
【００６２】
次に、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１の具体的な動作、すなわち、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理方法について説明する。図２は、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１の動作、すなわち本発明の実施形態にかかるワークの品質管理方法の流れの概略を示したフローチャートである。以下、主にこのフローチャートを参照して説明する。
【００６３】
まず、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１の動作の前提について説明する。各検査装置１１が作動しており、ワークを検査し、検査データの取得を継続的に行っている。各検査装置１１が取得する検査データの内容は、設定手段１９により設定され、第三の記憶手段１４に記憶されている。具体的には、各検査装置１１がいずれの工程の間に設けられるものであるのか、またはいずれの処理設備などに附属して設けられるものであるのかなどに応じて異なる。ただし、それらの多くには、所定の処理または加工（すなわち所定の工程）を経た後にワークに存在する欠陥および／または不良の数が含まれる。
【００６４】
また、各検査装置１１および各検査装置１１が取得する検査データには、自動監視指定されているものと、されていないものがある。自動監視指定されている検査装置１１および検査データは、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１（品質管理方法）によって管理される。一方、自動監視指定されていない検査装置１１および検査データは、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１（品質管理方法）によっては管理されない。
【００６５】
なお、いずれの検査装置および検査データが自動監視指定されるは、たとえば作業者などにより決定される。そして設定手段１９により設定され、設定された内容は第三の記憶手段１４に記憶される。
【００６６】
まず、ステップＳ１−１において、各検査装置１１が取得している検査データが、第一の記憶手段１２に、略リアルタイムかつ蓄積的に記憶されていく。次に、ステップＳ１−２において、第一の記憶手段１２に記憶された検査データが読み出され、管理図作成手段１５に送られる。
【００６７】
また、ステップＳ１−３において、第二の記憶手段１３から履歴データが読み出され、ワークのロットまたはワークについて、第一の記憶手段１２から読み出された検査データと第二の記憶手段１３から読み出された履歴データとがひも付けされる。すなわち、ワークごとに、またはロットごとに検査データと履歴データとがひも付けされる。
【００６８】
次いで、ステップＳ１−４において、先に読み出された検査データが、自動監視指定されている検査データであるか否かが判別される。そしてステップＳ１−５において、自動監視指定されていない検査データは除去される。すなわち、自動監視指定されていない検査装置および検査データは、これから先の処理が行われない。なお、先に読み出された検査データが自動監視指定されているか否かは、管理図作成手段１５が第三の記憶手段１４に記憶される設定値を読み出して判定する。
【００６９】
ステップＳ１−６において、管理図作成手段１５は、第一の記憶手段１２から読み出した検査データにひも付けられた履歴データを、第二の記憶手段１３から読み出す。具体的には、管理図作成手段１５は、各検査データが取得されたワークが属するロット、当該ワークの履歴データ、および自動監視指定されている処理工程または加工工程の装置ならびに処理時間などといった履歴データ（すなわち、所定のワークに対する処理または加工の履歴データ）を読み出す。
【００７０】
そして、ステップＳ１−７において、管理図作成手段１５は、読み出して選別した検査データおよび履歴データに基づいて、各検査装置１１の管理テーブルを作成する。さらに作成した管理テーブルに基づいて、傾向管理図を作成する。
【００７１】
管理テーブルは、ワークに存在する欠陥および／または不良の数を、各処理または加工において、各処理または加工が施されたワークの順に並べたテーブルである。すなわち、当該処理装置または加工装置が処理または加工したワークに存在する欠陥および／または不良の数を、処理または加工を施したワークの順に並べることにより、所定の処理装置または加工装置における欠陥および／または不良の発生の経時的な変化を示すものである。
【００７２】
傾向管理図は、ワークのロットごとの欠陥および／または不良の数を、経時的に示したグラフである。すなわち、所定の処理または加工が施されたワークのロットの順に、各ワークのロットに存在する欠陥および／または不良の数示したグラフである。具体的にはたとえば、横軸（定義域）は、所定の処理または加工が施されたワークのロットが、当該処理または加工が施されたワークのロットの順に並べられる。縦軸は、当該処理または加工が施されたワークの各ロットの欠陥および／または不良の数を示す。このように、この傾向管理図は、所定の処理装置または加工装置における欠陥および／または不良の発生の経時的な変化を、ワークのロットごとに示すものである。
【００７３】
そして、管理図作成手段１５は、作成した管理テーブルと、傾向管理図の更新を継続する。すなわち、検査データは経時的に蓄積されていくものである。そこで、管理テーブルと傾向管理図を作成した後、追加的に蓄積された検査データと履歴データとを読み出し、作成した管理テーブルと傾向管理図に追加していく。このデータの追加が管理テーブルと傾向管理図の更新である。
【００７４】
なお、傾向管理図の横軸（定義域）はワークのロットである。そして、ロットの並び順は、所定の処理または加工について、当該所定の処理または加工が施された順である。したがって、傾向管理図の更新とは、当該所定の処理または加工が施された順が最後データを、順に追加していくプロセスである。換言すると傾向管理図には、所定の処理または加工を経たワークに存在する欠陥および／または不良の数などが、当該所定の処理または加工が施されたワークの順に並べられたグラフである。そして、傾向管理図の更新によって、当該所定の処理または加工が施されたワークの順にデータが追加されていく。
【００７５】
このように傾向管理図は、設定された工程を経たワークまたはワークのロットの順に、検査データがどのように変化しているかを示すグラフとなる。換言すると、この傾向管理図は、検査データの経時的傾向を示すグラフとなる。
【００７６】
図３は、傾向管理図の具体例を示した図である。図に示すように、傾向管理図は、横軸がワークまたはワークのロットであり、縦軸は検査データ、たとえばワークに存在する欠陥および／または不良の数である。そして横軸のワークまたはワークのロットは、表示設定された処理または加工の順にワークまたはワークのロットが並べられている。すなわち、時間の経過に則っている。縦軸は当該ワークまたはワークのロットに対応する検査データである。したがって、この傾向管理図から、検査データの経時的な変化を読み取ることができる。
【００７７】
図２に戻って説明する。次いで第一の判定手段１６は、作成され更新が継続される傾向管理図を略リアルタイムで読み取り、ステップＳ１−８において、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が規準値の範囲内にあるかを判定する。具体的には、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が、突発上限基準値を上回っていないか、および突発下限規準値を下回っていないかを、リアルタイムで判定する。なお、「突発上限規準値」と「突発下限規準値」は、ワークの種類や、処理装置または加工装置などに応じて適宜設定される。
【００７８】
前記のとおり、突発上限規準値は、検査装置が取得計数したワークに存在する欠陥および／または不良の数が、経時的に突発的にこの数値より大きくなった場合において、当該ワークが異常であると判断するための基準となる数値である。突発下限規準値は、検査装置が取得計数したワークに存在する欠陥および／または不良の数が、経時的に突発的にこの数値より小さくなった場合において、当該検査装置に異常が発生したか、または検査能力が著しく変化したと判断するための基準となる数値である。
【００７９】
ワークに存在する欠陥および／または不良の数が突発上限規準値より多いと、第一の判定手段１６により判定された場合には、第二の判定手段１７は、ステップＳ１−９において、次のような判定を行う。すなわち、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に突発的に多くなり、突発上限規準値より大きい値となったのか、または、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に増加していって、その結果、突発上限規準値を超えたのかを判定する。
【００８０】
一方、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が突発下限規準値より少ないと、第一の判定手段１６により判定された場合には、第二の判定手段１７は、ステップＳ１−９において、次のような判定を行う。すなわち、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に突発的に少なくなり、突発下限規準値より小さい値となったのか、または、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に減少していって、その結果、突発下限規準値を下回ったのかを判定する。
【００８１】
なお、突発上限規準値よりも大きい値に設定されている場合には、第二の判定手段１７が、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に増加していって、その結果、その結果、突発上限規準値を上回ったと判定することは稀であると考えられる。同様に、突発下限規準値が傾向下限規準値よりも小さい値に設定されている場合には、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に減少していって、その結果、突発下限規準値を下回ったと判定することは稀であると考えられる。
【００８２】
すなわち、突発上限規準値が傾向上限規準値よりも大きい値に設定されている場合には、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に増加していって、その結果、突発上限規準値を超えるよりも前に、傾向上限規準値を超える。そして、この段階で異常が発生したと判断される。このため、突発上限規準値を超えたと判定することは稀であると考えられる。
【００８３】
同様に、突発下限規準値が傾向下限規準値よりも小さい値に設定されている場合には、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が徐々に減少していって、その結果、突発上限規準値を下回るよりも前に、傾向下限規準値を下回る。そして、この段階で異常が発生したと判断される。このため、突発下限規準値を超えたと判定することは稀であると考えられる。
【００８４】
ステップＳ１−９において、第二の判定手段1７によって、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に突発的に変化して、突発上限規準値より大きい値となったか、または、突発下限規準値より小さい値となったと判定された場合には、ステップＳ１−１０において、報知手段１９はその旨を報知する。なお、具体的な報知態様については後述する。
【００８５】
次いで、ステップＳ１−１１において、第二の判定手段１７は、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が、徐々に増加していって傾向上限規準値を超えたのであるのか否か、または徐々に減少していって傾向下限規準値を下回ったかのであるか否かを判定する。そして、それらの場合には、ステップＳ１−１２において、報知手段１９はその旨を報知する。なお、具体的な報知態様については後述する。
【００８６】
なお、なお、突発上限規準値が傾向上限規準値よりも大きい値に設定されている場合には、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が、経時的に突発的に増加して傾向上限規準値を上回る現象、または、経時的に突発的に減少して傾向下限規準値を下回る現象が生じうる。しかし、ステップＳ１−１１においては、これらのような場合、すなわち、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が、経時的に突発的に増加して傾向上限規準値を上回った場合、または、経時的に突発的に減少して傾向下限規準値を下回った場合には、報知手段は作動しない。
【００８７】
そして、ステップＳ１−１３において、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１の動作を継続するか終了するかが選択される。ステップＳ１−１３において動作の継続が選択され、ステップＳ１−１に戻った場合には、検査装置１１は新たな検査データを取得しているはずであり、当該新たな検査データについて、前記動作が実行されることになる。そしてステップＳ１−１３において、動作の終了が選択されるまで、このような動作を繰り返す。
【００８８】
次いで、報知手段１８の詳細な構成および動作について説明する。
【００８９】
図４は、報知手段１８の構成の概略を模式的に示したブロック図である。図４に示すように報知手段１８は、表示手段１８１と、表示制御手段１８２と、表示操作手段１８３とを有する。
【００９０】
表示手段１８１は、画面上に所定の情報を表示できるものであることが好ましい。より好ましくは、所定の表示面積を有する表示デバイスであって、文字や図表を表示できるものがよい。この表示手段１８１には、たとえば液晶表示パネルやＣＲＴなどが好適に適用できる。表示制御手段１８２は、表示手段１８１を制御する。表示操作手段１８３は、表示手段１８１を操作するための入力デバイスであり、たとえば表示手段１８１にどのような文字や図表などを表示させるかを選択したりするために操作される。
【００９１】
具体的な表示操作手段１８３としては、たとえば、キーボードなどのほか、表示手段１８１としてタッチパネル方式のものを適用し、当該タッチパネル１８１により所定の入力を行うことができるものであっても良い。
【００９２】
図５（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム１の報知手段１８の表示手段１８１の通常の表示画面を示したものである。以下、この表示画面を「第一の表示画面」と称する。第一の表示画面には、ワークの製造設備の各工程と、各工程の状態とが表示される。
【００９３】
図５（ａ）は、すべての工程が正常である場合の表示画面である。図５（ａ）に示すように、所定の工程が正常である場合には、当該工程について「Ｇｏｏｄ」と表示される。厳密には次のとおりである。
【００９４】
ここでいう「所定の工程が正常である場合」とは、第一の判定手段１６によるワークに存在する欠陥および／または不良の数が規準値内におさまっている状態をいう。そして、管理図作成手段１５から報知手段１８に送られてくる信号が、「ワークに存在する欠陥および／または不良の数が規準値内におさまっている」というものであれば、報知手段は１８、当該検査データの属する工程については、「Ｇｏｏｄ」と表示する。
【００９５】
そして、ある検査データについて、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に突発的に突発上限規準値を超えた場合、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に突発的に突発下限規準値を下回った場合、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に徐々に傾向上限規準値を超えた場合、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に徐々に傾向下限規準値を下回った場合のいずれかの場合には、その旨を示す信号が、管理図作成手段１５から報知手段１８に送られる。
【００９６】
報知手段１８は、その旨を示す信号を受信すると、表示手段１８１の第一は表示画面にその旨を表示する。具体的には、当該異常な検査データが発生した検査装置が属する工程の表示を「Ｇｏｏｄ」から「Ａｌａｒｍ」に変更する。図５（ｂ）は、工程３において、判定表示が「Ｇｏｏｄ」から「Ａｌａｒｍ」に変更された画面の例を示す。
【００９７】
なお、「Ａｌａｒｍ」の表示方法としては、単に文字を変更するのみではなく、文字色や背景色を変更するものであっても良い。具体的には、赤地に白字で「Ａｌａｒｍ」と表示したり、赤地に白字の表示と白地に赤字の表示を交互に繰り返すような表示であっても良い。すなわち、作業者の注意を喚起しやすいような表示であることが好ましい。これにより作業者は、複数ある工程のうち、いずれの工程で異常が発生しているのかを容易に知ることができる。
【００９８】
第一の画面がこのような（図５（ｂ）に示すような）画面に変わった場合には、作業者は、表示操作手段１８３を用いて、当該「Ａｌａｒｍ」を選択しクリック等する。たとえばタッチパネル方式の画面であれば、当該「Ａｌａｒｍ」と表示されている箇所を押す。作業者により前記動作が実行されると、表示制御手段１８２は、画面表示を切り替える。図６は、第一の画面から切り替えられた画面である。以下、第一の画面から前記操作により切り替えられる画面を、「第二の表示画面」と称する。
【００９９】
なお、作業者が、当該「Ａｌａｒｍ」を選択しクリック等をしない場合には、表示手段は前記「Ａｌａｒｍ」表示を継続する。換言すると、作業者が、当該「Ａｌａｒｍ」を選択しクリック等をしない限りは、前記「Ａｌａｒｍ」表示を継続する。
【０１００】
第二の表示画面には、まず、「検査装置１」、「検査装置２」、「検査装置３」、・・・、というように、自動監視指定されている検査装置が文字で羅列される。そして、羅列された検査装置１１のうち、いずれの検査装置１１で異常な検査データが取得されたかがわかるように表示される。具体的には図６に示すように、当該検査装置１１が反転表示される。これにより作業者は、異常な検査データを取得した検査装置１１が、複数存在する検査装置１１のうちのいずれの検査装置１１であるかを知ることができる。
【０１０１】
異常な検査データとは、すなわち、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に突発的に突発上限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に突発的に突発下限規準値を下回ったか、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に徐々に傾向上限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が経時的に徐々に傾向下限規準値を下回ったかのいずれかである。
【０１０２】
第二の表示画面に切り替わった場合、作業者は、画面に表示される異常な検査データを取得した検査装置１１を選択し、クリックなどをする。異常な検査データを取得した検査装置１１が選択され、クリックなどがなされると、表示制御手段１８２は、当該検査装置１１にひも付けられた項目を表示手段１８１の画面上に展開するように表示する。そして、異常な検査データを検出した設備について、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が異常であることを表示する。
【０１０３】
具体的には図６に示すように、展開された表示画面には、異常なデータを取得した検査装置１１が検査を行っている設備（装置）を示す項目と、場合によっては当該設備に付随する（または内包される）具体的な設備を示す項目と、当該具体的な設備において発生した欠陥数が異常であるかを示す項目が表示される。
【０１０４】
そして、表示制御手段１８２および表示手段１８１は、規準値の範囲外の欠陥数が発生した設備について、欠陥数の項目に「Ａｌａｒｍ」と表示する。なお、欠陥数が規準値の範囲内の設備における欠陥数の項目には、「Ｇｏｏｄ」と表示する。これにより、作業者は、いずれの設備において、異常な欠陥および／または不良が発生しているかを知ることができる。
【０１０５】
そして作業者は、画面上に展開するように表示されている項目から、「Ａｌａｒｍ」表示を選択してクリックなどをする。
【０１０６】
作業者によって、画面上に展開するように表示されている項目から、「Ａｌａｒｍ」表示が選択されてクリックされると、表示制御手段は、表示手段が表示している画面を変更する。すなわち「Ａｌａｒｍ」表示がなされている項目の上位側の項目の内容と、傾向管理図（図３参照）を表示する。これにより作業者は、どの工程のどの検査装置１１が検査をしているどの設備について異常が発生しているのかを容易に知ることができる。それとともに傾向管理図が表示されるから、当該検査装置１１または当該設備において、ワークに存在する欠陥および／または不良の数の推移を容易に把握することができる。
【０１０７】
なお、表示手段１８１の画面に表示される傾向管理図については、どのデータが異常なデータであるか、およびどのような異常であるかを容易に知ることができるような態様で表示することが好ましい。たとえば傾向管理図中に、突発上限規準値、突発下限規準値、傾向上限規準値、傾向下限規準値のうちの一部または全部を表示し、どのデータがどの規準値の範囲外にあるかを容易に知ることができるようにしても良い。さらに、所定の規準値の範囲外にあるデータについては、規準値の範囲内にあるデータと表示色を異ならせて表示しても良い。このようにすると、どのワークのロットでどのような異常が発生しているかの特定が容易となる。
【０１０８】
そして作業者は、傾向管理図を確認し、この傾向管理図に基づいて、異常が発生したロットのワークの調査を実施する。そして当該ロットのワークが不良品であると判定された場合には、当該ロットのワークを処理した処理装置または工作機械であって、異常な検査データが検出された設備を停止する。それとともに、報知手段１８の表示操作手段１８３を操作して当該アラームを解除する。
【０１０９】
一方、当該ロットのワークが不良品として扱うほどのものではないと判断された場合には（たとえばこのまま製造ラインに流しても良いと判断された場合には）、当該アラームが発生している設備を検査する。そして、そのまま稼動させて良いか、いったん稼動を停止させるべきかを判断する。そしてそのまま稼動させても良いと判断した場合には、報知手段の表示操作手段を用いて、当該アラームを解除する。一方、当該設備の稼動を停止すべきと判断した場合には、当該設備の稼動を停止するとともに、報知手段１８の表示操作手段１８３を用いて、当該アラームを解除する。
【０１１０】
なお、当該設備を停止させた後は、原因の調査および対策を施し、再び稼動させることができるようにする。
【０１１１】
図７は、本発明の実施形態にかかる品質管理システム１の報知手段１８の動作を示したフローチャートである。本発明の実施形態にかかる品質管理システム１の報知手段の動作の詳細は前述のとおりであるので、ここでは報知手段１８の動作を簡単に説明する。
【０１１２】
ステップＳ２−１において、第一の画面においていずれかの工程に「Ａｌａｒｍ」表示があるかが判定される。そして表示がない場合には、判定を継続する。「Ａｌａｒｍ」表示が発生した場合には、ステップＳ２−２において、作業者により当該「Ａｌａｒｍ」表示が選択されクリックされたかを判定する。作業者により当該「Ａｌａｒｍ」表示が選択されクリックされた場合には、ステップＳ２−３に進み、表示手段が表示する画面を、第一の画面表示から第二の画面表示に変更する。ステップＳ２−２において作業者により何らの操作も行われない場合には、当該「Ａｌａｒｍ」表示を継続する。
【０１１３】
第一の画面表示から第二の画面表示に変更された後（ステップＳ２−３）、ステップＳ２−４において、「Ａｌａｒｍ」表示がなされている検査装置が選択され、クリックされたかなどが判定される。ステップＳ２−４において、「Ａｌａｒｍ」表示がなされている検査装置１１が選択され、クリックされたと判定された場合には、ステップＳ２−５に進む。一方、作業者により何らの操作も行われない場合には、ステップＳ２−４において「Ａｌａｒｍ」表示を継続する。
【０１１４】
ステップＳ２−５において、表示制御手段１８２および表示手段１８１は、当該検査装置にひも付けられた項目を表示手段の画面上に展開するように表示する。そして、異常な検査データを検出した設備について、ワークに存在する欠陥および／または不良の数が異常であることを示す「Ａｌａｒｍ」表示を行う。
【０１１５】
そしてステップＳ２−６に進み、このステップＳ２−６において、作業者がＳ２−５の「Ａｌａｒｍ」表示を選択し、表示操作手段によって当該「Ａｌａｒｍ」表示がクリックなどされたかが判定される。当該「Ａｌａｒｍ」表示がクリックなどされたと判定された場合には、ステップＳ２−７に進む。ステップＳ２−６において作業者により何らの操作が行われないと判定された場合には、当該「Ａｌａｒｍ」表示を継続する。
【０１１６】
ステップＳ２−６において、ステップＳ２−５の「Ａｌａｒｍ」表示がクリックなどされたと判定され、ステップＳ２−７に進んだ場合には、ステップＳ２−７において、「Ａｌａｒｍ」表示がなされている項目の上位側の項目の内容と、傾向管理図を表示する。
【０１１７】
そしてステップＳ２−８に進む。ステップＳ２−８においては、「Ａｌａｒｍ」表示を解除する操作が行われたか否かが判定される。「Ａｌａｒｍ」表示を解除する操作が行われたと判定された場合には、「Ａｌａｒｍ」表示を解除する。一方、「Ａｌａｒｍ」表示を解除する操作が行われないと判定された場合には、当該「Ａｌａｒｍ」表示を継続する。
【０１１８】
なお、前記のとおり、「Ａｌａｒｍ」表示がなされている項目の上位側の項目の内容と傾向管理図の表示を開始してから、「Ａｌａｒｍ」表示を解除する操作が行われたと判断されたまでの間に、作業者などは次の行為を行う。
【０１１９】
傾向管理図を確認し、この傾向管理図に基づいて、異常が発生したロットのワークの調査を実施する。そして当該ロットのワークが不良品であると判定された場合には、当該ロットのワークを処理した処理装置または工作機械であって、異常な検査データが検出された設備を停止する。
【０１２０】
一方、当該ロットのワークが不良品として扱うほどのものではないと判断された場合には（たとえばこのまま製造ラインに流しても良いと判断された場合には）、当該アラームが発生している設備を検査する。そして、そのまま稼動させて良いか、いったん稼動を停止させるべきかを判断する。一方、当該設備の稼動を停止すべきと判断した場合には、当該設備の稼動を停止する。
【０１２１】
以上、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システムおよび本発明の実施形態にかかるワークの品質管理方法について詳細に説明したが、本発明は前記実施形態に何ら限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システムの構成の概略を示したブロック図である。
【図２】本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システムの動作の流れの概略を示したフローチャートである。
【図３】傾向管理図の具体例を示した図である。
【図４】報知手段の構成の概略を示したブロック図である。
【図５】第一の画面の模式図であり、（ａ）はすべての工程において以上がない表示状態を示し、（ｂ）は工程３に異常な検査データを検出している表示状態を示す。
【図６】第二の表示画面の模式図である。
【図７】報知手段の動作を示したフローチャートである。
【符号の説明】
【０１２３】
１ワークの品質管理システム
１１  検査装置
１２  第一の記憶手段
１３  第二の記憶手段
１４  第三の記憶手段
１５  管理図作成手段
１６  第一の判定手段
１７  第二の判定手段
１８  報知手段
１８１  表示手段
１８２  表示制御手段
１８３  表示操作手段
１９  設定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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