(57)【要約】【課題】優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供する。【解決手段】略箱形状に形成された弁箱本体と、弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、弁箱本体の内部に設けられ、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、弁箱本体の内部に設けられ、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略箱形状に形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板と、
を備えることを特徴とするゲート弁。
【請求項２】
前記弁箱本体が、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分とに分離可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のゲート弁。
【請求項３】
前記一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能に構成されていることを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載のゲート弁。
【請求項４】
前記一方側の側壁のゲート開口部が、複数個形成されるとともに、
前記一方側の側壁のゲート開口部に対応して、前記他方側の側壁のゲート開口部が、複数個形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のゲート弁。
【請求項５】
前記一方側弁板が、回転駆動軸を中心に回転することによって、一方側の側壁のゲート開口部を開閉するように構成されるとともに、
前記他方側弁板が、回転駆動軸を中心に回転することによって、他方側の側壁のゲート開口部を開閉するように構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のゲート弁。
【請求項６】
前記一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向とが、相互に同じ回転方向であることを特徴とする請求項５に記載のゲート弁。
【請求項７】
前記一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向とが、相互に反対の回転方向であることを特徴とする請求項５に記載のゲート弁。
【請求項８】
前記一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸が、相互にゲート開口部を挟んで上下に位置するように構成されていることを特徴とする請求項７に記載のゲート弁。
【請求項９】
前記一方側弁板を一方側の側壁のゲート開口部に付勢して閉弁するとともに、前記他方側弁板を他方側の側壁のゲート開口部に付勢して閉弁する共通駆動機構が備えられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のゲート弁。
【請求項１０】
前記一方側の側壁のゲート開口部が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部に対応して、複数個の一方側弁板が設けられ、
前記一方側の側壁のゲート開口部に対応して、前記他方側の側壁のゲート開口部が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部に対応して、複数個の他方側弁板が設けられていることを特徴とする請求項１から３、５から８のいずれかに記載のゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体製造装置など、太陽電池などの薄膜作成装置において、真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で使用されるゲート弁に関し、特に、複数のゲート開口部を開閉する複数の弁板を有するゲート弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、スパッタリング、プラズマエッチングなどのデバイスの成膜処理が行われている。
【０００３】
これらの製造装置において、例えば、真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で、各チャンバー間を開放、閉止するために、真空用ゲート弁が使用されている。
ところで、最近では、一度に複数枚のデバイスの成膜処理を行うことにより、生産性を向上するために、複数のゲート開口部を開閉する複数の弁板を有するゲート弁が、特許文献１（特表２００２−５０２９４６号公報）において提案されている。
【０００４】
図１７および図１８に示したように、この特許文献１のゲート弁１００では、担体プレート１０２が、チャンバーの側壁１０４に沿って、シリンダーなどの駆動装置１１６の駆動によって、上下方向に移動可能なように、ローラガイド１０６に案内されている。
【０００５】
そして、担体プレート１０２には、複数のパッキンプレート（弁体）１０８を備えており、ブッシュ１１０内をスライドするガイドピン１１２によって、チャンバーの側壁１０４のゲート開口部１１４を開閉するように構成されている。
【特許文献１】特表２００２−５０２９４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような特許文献１に開示されているような、従来のゲート弁１００では、チャンバーの側壁１０４のゲート開口部１１４を片側のみから、パッキンプレート１０８で開閉するものであるので、複数の開口部を全て確実に閉塞するには不十分であり、チャンバー内の反応ガスが外部に放出されて、外部環境を汚染するおそれがあった。
【０００７】
また、ゲート弁１００では、パッキンプレート１０８を駆動させる、駆動装置１１６や、ベローズ１０７で囲われた駆動空間が、真空環境内に位置することになるので、駆動に利用される圧搾空気が、シリンダーのシール材の不具合や、ベローズ１０７の破損などにより、真空環境内にリークしてしまうおそれがあった。
【０００８】
このように、成膜装置において、確実に開口部を閉塞し、チャンバー内の反応ガスが外部に放出されない安全性の高いゲート弁が求められている。
そこで、本発明者は、両側に設置されたチャンバーの開口部を塞ぐ弁体を設け、両側の弁板が開口部を閉鎖し、弁箱内が独立した空間を形成させ、２重シールの構造のゲート弁を鋭意検討した。
【０００９】
しかしながら、従来公知のゲート弁の組み合わせでは、機構上どうしても、面間隔、すなわち、ゲート弁の幅が大きくなってしまい、ゲート弁が大型化してしまう問題があった。
【００１０】
さらに、従来のゲート弁では、高いシール性能を維持するために、弁体に設けられたシール材の交換や、ゲート弁のメンテナンスが重要であり、従来はチャンバーの中からシール材の交換などを行う必要があり、煩雑な作業が必要で、安全性の点からも問題があった。
【００１１】
従って、チャンバーの外側からシール材の交換等でき、メンテナンス作業を容易に行うことができるゲート弁の提供が求められていた。
本発明は、このような現状に鑑み、優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明のゲート弁は、
略箱形状に形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板と、
を備えることを特徴とする。
【００１３】
このように構成することによって、例えば、二つの空間（チャンバー）の連結部分に設けることによって、略箱形状に形成された弁箱本体によって、弁箱本体内が独立した空間を形成することができる。
【００１４】
また、この弁箱本体の内部に設けられた、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板とによって、２重シールの構造のゲート弁を提供することができる。
【００１５】
これによって、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
すなわち、片側の弁板で不具合があり、リークした場合でも他方側のゲート開口部が閉塞しているため、二つの空間を確実に封止することが可能となる。
【００１６】
さらに、一方側弁板と他方側弁板から構成される一対の弁板が、ゲート開口部を閉塞し、弁箱本体内が独立した空間を形成するため、弁箱本体内に、例えば、漏洩検知器を設けることにより、確実に反応ガスのリークを検知することができ、安全性に優れたゲート弁を提供できる。
【００１７】
また、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、排気ポートを設けることで、リークした反応生成ガスを廃棄処理経路へ安全に排気することができる。
さらに、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、窒素ガス等を導入することで、弁箱本体内の内圧をチャンバー内の内圧より高く設定することで、弁板のゲート開口部への押付け力を高め、シール性能を向上させることが可能となる。
【００１８】
また、本発明のゲート弁は、前記弁箱本体が、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分とに分離可能に構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、弁箱本体が、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分とに分離可能であるので、メンテナンスの際に、弁箱本体を分離することによって、そ
れぞれの弁板が露出されるので、チャンバーの外側から確実にシール材や弁板を交換可能で、ゲート弁の不具合を確認できるなど、メンテナンスが容易になる。
【００１９】
また、本発明のゲートバルブは、前記一方側の側壁のゲート開口部が、複数個形成されるとともに、前記一方側の側壁のゲート開口部に対応して、前記他方側の側壁のゲート開口部が、複数個形成されていることを特徴とする。
【００２０】
このように構成することによって、例えば、半導体製造装置など、太陽電池などの薄膜作成装置において、一度に複数枚のデバイスの成膜処理を行うことにより、生産性を向上することができる。
【００２１】
また、本発明のゲート弁は、前記一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能に構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能であるので、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【００２２】
また、本発明のゲート弁は、前記一方側弁板が、回転駆動軸を中心に回転することによって、一方側の側壁のゲート開口部を開閉するように構成されるとともに、
前記他方側弁板が、回転駆動軸を中心に回転することによって、他方側の側壁のゲート開口部を開閉するように構成されていることを特徴とする。
【００２３】
このように構成することによって、回転駆動軸を中心に、弁板がそれぞれ回動して、それぞれのゲート開口部を開閉するので、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
【００２４】
また、本発明のゲート弁は、前記一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向とが、相互に同じ回転方向であることを特徴とする。
【００２５】
このように一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向とが、相互に同じ回転方向であるので、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【００２６】
また、本発明のゲート弁は、前記一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸を中心とした回転方向とが、相互に反対の回転方向であることを特徴とする。
【００２７】
このように構成することによっても、一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能であれば、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【００２８】
また、本発明のゲート弁は、前記一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸が、相互にゲート開口部を挟んで上下に位置するように構成されていることを特徴とする。
【００２９】
このように一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸が、相互にゲート開口部を挟んで上下に位置するように構成することによって、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【００３０】
また、本発明のゲート弁は、前記一方側弁板を一方側の側壁のゲート開口部に付勢して閉弁するとともに、前記他方側弁板を他方側の側壁のゲート開口部に付勢して閉弁する共通駆動機構が備えられていることを特徴とする。
【００３１】
このように共通駆動機構によって、一方側弁板を一方側の側壁のゲート開口部に付勢して閉弁するとともに、他方側弁板を他方側の側壁のゲート開口部に付勢して閉弁して、これらのゲート開口部を開閉するので、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
【００３２】
また、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【００３３】
また、本発明のゲート弁は、前記一方側の側壁のゲート開口部が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部に対応して、複数個の一方側弁板が設けられ、
前記一方側の側壁のゲート開口部に対応して、前記他方側の側壁のゲート開口部が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部に対応して、複数個の他方側弁板が設けられていることを特徴とする。
【００３４】
このように構成することによって、例えば、半導体製造装置など、太陽電池などの薄膜作成装置において、一度に複数枚のデバイスの成膜処理を行うことにより、生産性を向上することができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、例えば、二つの空間（チャンバー）の連結部分に設けることによって、略箱形状に形成された弁箱本体によって、弁箱本体内が独立した空間を形成することができる。
【００３６】
また、この弁箱本体の内部に設けられた、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板とによって、２重シールの構造のゲート弁を提供することができる。
【００３７】
これによって、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
すなわち、片側の弁板で不具合があり、リークした場合でも他方側のゲート開口部が閉塞しているため、二つの空間を確実に封止することが可能となる。
【００３８】
さらに、一方側弁板と他方側弁板から構成される一対の弁板が、ゲート開口部を閉塞し、弁箱本体内が独立した空間を形成するため、弁箱本体内に、例えば、漏洩検知器を設けることにより、確実に反応ガスのリークを検知することができ、安全性に優れたゲート弁を提供できる。
【００３９】
また、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、排気ポートを設けることで、リークした反応生成ガスを廃棄処理経路へ安全に排気することができる。
さらに、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、窒素ガス等を導入することで、弁箱本体内の内圧をチャンバー内の内圧より高く設定することで、弁板のゲート開口部への押付け力を高め、シール性能を向上させることが可能となる。
【００４０】
また、弁箱本体が、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分とに分離可能であるので、メンテナンスの際に、弁箱本体を分離することによって、それぞれの弁板が露出されるので、チャンバーの外側から確実にシール材や弁板を交換可能で、ゲート弁の不具合を確認できるなど、メンテナンスが容易になる。
【００４１】
さらに、一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能であるので、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明のゲート弁の斜視図、図２は、図１のゲート弁のＡ方向の端面図、図３は、図１のゲート弁のＢ方向の端面図、図４〜図６は、図１のゲート弁の作動状態を説明する縦断面図、図７は、本発明のゲート弁を二つの空間（チャンバー）の連結部分に設けた実施例を説明する斜視図、図８は、本発明の弁板２２、２４の駆動機構の実施例を示す概略図である。
【００４３】
図１〜図３において、符号１０は、全体で本発明のゲート弁を示している。
図１〜図３に示したように、ゲート弁１０は、略箱形状に形成された弁箱本体１２を備えており、この弁箱本体１２には、その対向する一対の側壁１４、１６を貫通するように、横長の略矩形形状のゲート開口部１８、２０が、複数個上下に一定間隔離間して相互に対応するように形成されている。
【００４４】
また、弁箱本体１２の内部には、空間１１が形成されており、この空間１１内に、これらのゲート開口部１８、２０に対応して、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉する横長の略矩形形状の一方側弁板２２と、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉する横長の略矩形形状の他方側弁板２４とを備えている。
【００４５】
そして、図２、図３、図７に示したように、弁箱本体１２は、一方側の側壁１４の側壁部分２６と、他方側の側壁１６の側壁部分２８とに分離可能に構成されている。
また、図２に示したように、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉する一方側弁板２２は、ゲート開口部１８の上方の位置に、弁箱本体１２の長手方向にわたって、回転可能に装着された回転駆動軸３０に、連結部３２を介して固定されている。
【００４６】
これにより、一方側弁板２２が、回転駆動軸３０を中心に回転することによって、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉するように構成されている。
一方、図３に示したように、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉する他方側弁板２４は、ゲート開口部２０の下方の位置に、弁箱本体１２の長手方向にわたって、回転可能に装着された回転駆動軸３４に、連結部３６を介して固定されている。
【００４７】
これにより、他方側弁板２４が、回転駆動軸３４を中心に回転することによって、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉するように構成されている。
すなわち、一方側弁板２２の開閉の際の回転駆動軸３０と、他方側弁板２４の開閉の際の回転駆動軸３４が、相互にゲート開口部１８、２０を挟んで上下に位置するように構成されている。
【００４８】
また、弁板２２、２４の形状は、弁箱本体１２のゲート開口部１８、２０の形状に応じて、このゲート開口部１８、２０を、確実に閉止することができる形状であれば、特に限定されるものではない。
【００４９】
さらに、図示しないが、弁板２２、２４には、回転することによって、ゲート開口部１８、２０と当接する側に、ゲート開口部１８、２０を取り囲むような形状に、シール溝が設けられ、このシール溝に無端状のシール材が装着されている。
【００５０】
なお、シール材は、弁板２２、２４の側でなく、弁板２２が当接する弁箱本体１２のシール座面側に装着されていてもよい。
弁板２２、２４の駆動については、回転駆動軸３０、３４を回転させて、弁板２２、２４を回動可能な駆動機構であればよく、特に限定されるものではない。
【００５１】
この場合、回転駆動軸３０、３４を、モーターにより回動させることも可能であるが、ゲート開口部１８、２０への弁板２２、２４の押し付け力を十分に作用させるためには、例えば、図８に示したように、直動のシリンダー３８を駆動させることにより、伝達冶具であるリンク４０を介して、回転駆動軸３０、３４の回動駆動に変換して、弁板２２、２４を駆動させる方法でもよい。
【００５２】
このように構成される本発明のゲート弁の作動について、以下に、図４〜図７に基づいて説明する。
先ず、図７に示したように、本発明のゲート弁１０を、例えば、二つの空間（チャンバー）４２、４４の連結部分に設けることによって、図４に示したように、一方側弁板２２が、回転駆動軸３０を中心に回転することによって、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を閉止するとともに、他方側弁板２４が、回転駆動軸３４を中心に回転することによって、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を閉止した状態とする。
【００５３】
この状態で、二つの空間（チャンバー）４２、４４内で、スパッタリング、プラズマエッチングなどのデバイスの成膜処理が行われる。
このような成膜処理が行われた後、図５に示したように、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉する一方側弁板２２を、回転駆動軸３０を中心に、図５の矢印Ｂで示したように、時計方向に略９０°回転させることによって、一方側の側壁１４のゲート開口部１８から離反して、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開放する。
【００５４】
その後、図５に示したように、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉する他方側弁板２４を、回転駆動軸３４を中心に、図５の矢印Ｃで示したように、時計方向に略９０°回転させることによって、他方側の側壁１６のゲート開口部２０から離反して、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開放する。
【００５５】
これによって、図６に示したように、成膜処理が行われたデバイスを、二つの空間（チャンバー）４２、４４の間を、開放されたゲート開口部１８、２０を介して、移動することができる。
【００５６】
そして、このようなデバイスの移動が終了した後、図示しないが、上記とは逆の作動を行えばよい。
すなわち、他方側弁板２４を、回転駆動軸３４を中心に、図５の矢印と反対方向に、反時計方向に略９０°回転させることによって、他方側の側壁１６のゲート開口部２０に押し付けて、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を閉止する。
【００５７】
その後、一方側弁板２２を、回転駆動軸３０を中心に、図４の矢印と反対方向に、反時計方向に略９０°回転させることによって、一方側の側壁１４のゲート開口部１８に押し付けて、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を閉止して、図３に示したように、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を閉止するとともに、他方側弁板２４が、回転駆動軸３４を中心に回転することによって、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を閉止した状態とすれば良い。
【００５８】
以上のようなサイクルを繰り返すことによって、開弁、閉弁作動を実施することができる。
さらに、図７に示したように、メンテナンスの際には、弁箱本体１２が、一方側の側壁部分２６と、他方側の側壁部分２８とに分離可能であるので、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分の結合を解除して、図７の矢印で示したように、チャンバー４２、４４を離反する方向に移動させて、弁箱本体１２を分離することによって、それぞれの弁板が露出され、チャンバー４２、４４の外側から確実にシール材や弁板２２、２４を交換可能で、ゲート弁１０の不具合を確認できる。
【００５９】
このように構成される本発明のゲート弁１０によれば、例えば、二つの空間（チャンバー）４２、４４の連結部分に設けることによって、略箱形状に形成された弁箱本体１２によって、弁箱本体１２内が独立した空間１１を形成することができる。
【００６０】
また、この弁箱本体１２の内部に設けられた、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉する一方側弁板２２と、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉する他方側弁板２４とによって、２重シールの構造のゲート弁を提供することができる。
【００６１】
これによって、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
すなわち、片側の弁板で不具合があり、リークした場合でも他方側のゲート開口部が閉塞しているため、二つの空間を確実に封止することが可能となる。
【００６２】
さらに、一方側弁板２２と他方側弁板２４から構成される一対の弁板２２、２４が、ゲート開口部１８、２０を閉塞し、弁箱本体１２内が独立した空間１１を形成するため、弁箱本体１２内に、例えば、漏洩検知器を設けることにより、確実に反応ガスのリークを検知することができ、安全性に優れたゲート弁を提供できる。
【００６３】
また、独立した空間１１を形成する弁箱本体１２内に、例えば、排気ポートを設けることで、リークした反応生成ガスを廃棄処理経路へ安全に排気することができる。
さらに、独立した空間１１を形成する弁箱本体１２内に、例えば、窒素ガス等を導入することで、弁箱本体１２内の内圧をチャンバー４２、４４内の内圧より高く設定することで、弁板２２、２４のゲート開口部１８、２０への押付け力を高め、シール性能を向上させることが可能となる。
【００６４】
また、一方側弁板２２の開閉の際の回転駆動軸３０を中心とした回転方向と、他方側弁板２４の開閉の際の回転駆動軸３４を中心とした回転方向とが、相互に同じ回転方向であるので、ゲート開口部１８、２０を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【００６５】
また、一方側弁板２２の開閉の際の回転駆動軸３０と、他方側弁板２４の開閉の際の回転駆動軸３４が、相互にゲート開口部１８、２０を挟んで上下に位置するように構成されているので、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート
弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【００６６】
また、弁箱本体１２が、一方側の側壁部分２６と、他方側の側壁部分２８とに分離可能であるので、メンテナンスの際に、弁箱本体１２を分離することによって、それぞれの弁板２２、２４が露出されるので、チャンバー４２、４４の外側から確実にシール材や弁板２２、２４を交換可能で、ゲート弁の不具合を確認できるなど、メンテナンスが容易になる。
【００６７】
さらに、一方側弁板２２と、他方側弁板２４とが、相互に独立に駆動可能であるので、ゲート開口部１８、２０を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【００６８】
また、一方側の側壁１４のゲート開口部１８に対応して、他方側の側壁１６のゲート開口部２０が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部１８、２０に対応して、複数個の弁板２２、２４が設けられているので、例えば、半導体製造装置など、太陽電池などの薄膜作成装置において、一度に複数枚のデバイスの成膜処理を行うことにより、生産性を向上することができる。
【００６９】
なお、上記の実施例では、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の上方の位置に回転可能に固定するとともに、他方側弁板２４を、ゲート開口部２０の下方の位置に回転可能に固定したが、逆に、図９に示したように、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の下方の位置に回転可能に固定するとともに、他方側弁板２４を、ゲート開口部２０の上方の位置に回転可能に固定することも可能である。
【００７０】
さらに、図１０に示したように、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の上方の位置に回転可能に固定するとともに、他方側弁板２４を、ゲート開口部２０の上方の位置に回転可能に固定することも、また、逆に、図１１に示したように、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の下方の位置に回転可能に固定するとともに、他方側弁板２４を、ゲート開口部２０の下方の位置に回転可能に固定することも可能である。
【００７１】
このように構成することによっても、一方側弁板２２と、他方側弁板２４とが、相互に独立に駆動可能であれば、ゲート開口部１８、２０を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【００７２】
図１２は、本発明の別の実施例のゲート弁の開弁状態の切欠斜視図、図１３は、図１２のゲート弁の分解斜視図、図１４〜図１６は、図１２のゲート弁の作動状態を説明する部分切欠斜視図である。
【００７３】
この実施例のゲート弁１０は、図１に示したゲート弁１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例のゲート弁１０では、図１２〜図１３に示したように、弁箱本体１２内に、共通駆動機構４６が備えられている。この共通駆動機構４６は、略矩形状の外枠フレーム４８と、この外枠フレーム４８内に配設された、弁板駆動部５０と、一方側弁板２２と、他方側弁板２４とから構成されている。
【００７４】
そして、弁板駆動部５０は、図１３に示したように、略矩形状のフレーム５２と、このフレーム５２内に、ゲート開口部１８、２０の位置に対応するように上下に一定間隔離間
して、回転可能に装着された回転駆動軸５４を備えている。この回転駆動軸５４は、フレーム５２より突設して、外枠フレーム４８の長手方向両端に形成された駆動軸用孔５６を介して、図示しない、弁箱本体１２の駆動軸用孔を介して、上記の図１で説明したような、適宜の駆動機構に連結されている。
【００７５】
また、回転駆動軸５４には、それぞれ一定間隔離間して固定された駆動コマ部材５８が設けられており、この駆動コマ部材５８には、ゲート開口部１８側に突設する一方側閉止部材５８ａと、ゲート開口部２０側に突設する他方側閉止部材５８ｂが形成されている。
【００７６】
一方、一方側弁板２２は、複数の一方側弁板２２が設けられた図１の実施例とは相違して、一体的な略矩形板状であって、一方側の側壁１４のゲート開口部１８に対応して形成された複数のゲート開口部６０と、このゲート開口部６０の間に形成され、ゲート開口部１８に対応して形成された複数の弁板部材６２とを備えている。
【００７７】
図１３に示したように、この弁板部材６２には、その外側に、ゲート開口部１８をシールするためのシール部材６４が形成されているとともに、その内側には、駆動コマ部材５８の一方側閉止部材５８ａと係合する係合突設部６６が形成されている。
【００７８】
また、一方側弁板２２には、その長手方向両端に形成されたフランジ部６８を備えており、このフランジ部６８の先端部には、外側に突設する案内軸７０が形成されている。
そして、この案内軸７０は、外枠フレーム４８の長手方向両端に形成された案内溝７２に装着されている。この案内溝７２には、内側に傾斜するように形成されており、外側に位置する開弁位置７２ａと、内側に位置する閉弁位置７２ｂを備えている。
【００７９】
また、一方側弁板２２には、四隅の隅角部に、案内軸７４が突設されており、フレーム５２の四隅の隅角部に形成された案内部材７６の案内孔７６ａに装着されている。
これにより、一方側弁板２２が、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉する位置に移動することができるように構成されている。
【００８０】
一方、同様に、他方側弁板２４は、複数の他方側弁板２４が設けられた図１の実施例とは相違して、一体的な略矩形板状であって、他方側の側壁１６のゲート開口部２０に対応して形成された複数のゲート開口部７８と、このゲート開口部７８の間に形成され、ゲート開口部２０に対応して形成された複数の弁板部材８０とを備えている。
【００８１】
図１３に示したように、この弁板部材８０には、その外側に、ゲート開口部２０をシールするためのシール部材８２が形成されているとともに、その内側には、駆動コマ部材５８の他方側閉止部材５８ｂと係合する係合突設部８４が形成されている。
【００８２】
また、他方側弁板２４には、その長手方向両端に形成されたフランジ部８６を備えており、このフランジ部８６の先端部には、外側に突設する案内軸８８が形成されている。
そして、この案内軸８８は、外枠フレーム４８の長手方向両端に形成された案内溝９０に装着されている。この案内溝９０には、内側に傾斜するように形成されており、外側に位置する開弁位置９０ａと、内側に位置する閉弁位置９０ｂを備えている。
【００８３】
また、他方側弁板２４には、四隅の隅角部に、案内軸９２が突設されており、フレーム５２の四隅の隅角部に形成された案内部材７６の案内孔７６ａに装着されている。
これにより、他方側弁板２４が、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉する位置に移動することができるように構成されている。
【００８４】
このように構成される本発明のゲート弁の作動について、以下に、図１４〜図１６に基
づいて説明する。
先ず、本発明のゲート弁１０を、図１の実施例と同様に、例えば、二つの空間（チャンバー）４２、４４の連結部分に設ける。
【００８５】
そして、図１４に示したように、回転駆動軸５４を、図示しない駆動機構によって、回転駆動することによって、駆動コマ部材５８の一方側閉止部材５８ａと、一方側弁板２２の弁板部材６２の内側に形成された係合突設部６６の係合を解除するとともに、弁板部材６２のゲート開口部２０側に突設する他方側閉止部材５８ｂと、他方側弁板２４の弁板部材８０の内側に形成された係合突設部８４の係合を解除する。
【００８６】
これにより、一方側の側壁１４のゲート開口部１８と、一方側弁板２２のゲート開口部６０と、他方側の側壁１６のゲート開口部２０と、他方側弁板２４のゲート開口部７８とが、開口されるようになっている。
【００８７】
なお、この状態では、一方側弁板２２のフランジ部６８の案内軸７０が、外枠フレーム４８の案内溝７２の開弁位置７２ａと閉弁位置７２ｂとの間に位置するとともに、他方側弁板２４のフランジ部８６の案内軸８８が、外枠フレーム４８の案内溝９０の開弁位置９０ａと閉弁位置９０ｂとの間に位置するようになっている。
【００８８】
そして、この状態で、成膜処理が行われたデバイスを、二つの空間（チャンバー）４２、４４の間を、開放されたゲート開口部１８、２０、６０、７８を介して、移動することができる。
【００８９】
そして、このようなデバイスの移動が終了した後、図１５に示したように、回転駆動軸５４を、図示しない駆動機構によって、回転駆動することによって、駆動コマ部材５８の一方側閉止部材５８ａと、一方側弁板２２の弁板部材６２の内側に形成された係合突設部６６とが当接する位置に移動させるとともに、弁板部材６２のゲート開口部２０側に突設する他方側閉止部材５８ｂと、他方側弁板２４の弁板部材８０の内側に形成された係合突設部８４とが当接する位置に移動させる。
【００９０】
これにより、一方側の側壁１４のゲート開口部１８と、一方側弁板２２のゲート開口部６０との開口が解除されるとともに、他方側の側壁１６のゲート開口部２０と、他方側弁板２４のゲート開口部７８との開口が解除されるようになっている。
【００９１】
すなわち、回転駆動軸５４を回転させることによって、駆動コマ部材５８の一方側閉止部材５８ａと弁板部材６２の内側に形成された係合突設部６６とが当接して、一方側弁板２２が下方に移動するとともに、駆動コマ部材５８の他方側閉止部材５８ｂと弁板部材８０の内側に形成された係合突設部８４とが当接して、他方側弁板２４が下方に移動するように構成されている。
【００９２】
そして、この状態で、一方側弁板２２の弁板部材６２が、一方側の側壁１４のゲート開口部１８に対応する位置に位置するとともに、他方側弁板２４の弁板部材８０が、他方側の側壁１６のゲート開口部２０に対応する位置に位置するようになっている。
【００９３】
なお、この状態では、一方側弁板２２のフランジ部６８の案内軸７０が、外枠フレーム４８の案内溝７２の内側に位置する閉弁位置７２ｂに位置するとともに、他方側弁板２４のフランジ部８６の案内軸８８が、外枠フレーム４８の案内溝９０の外側に位置する閉弁位置９０ｂに位置するようになっている。
【００９４】
このような状態から、図１６に示したように、回転駆動軸５４を、図示しない駆動機構
によって、さらに、回転駆動することによって、駆動コマ部材５８の一方側閉止部材５８ａと、一方側弁板２２の弁板部材６２の内側に形成された係合突設部６６とがさらに係合する位置に移動させるとともに、弁板部材６２のゲート開口部２０側に突設する他方側閉止部材５８ｂと、他方側弁板２４の弁板部材８０の内側に形成された係合突設部８４とがさらに係合する位置に移動させる。
【００９５】
これにより、一方側弁板２２の弁板部材６２が、一方側の側壁１４のゲート開口部１８の方向に付勢されて、ゲート開口部１８が閉止されるとともに、他方側弁板２４の弁板部材８０が、他方側の側壁１６のゲート開口部２０の方向に付勢されて、ゲート開口部２０が閉止されるようになっている。
【００９６】
なお、この状態では、一方側弁板２２のフランジ部６８の案内軸７０が、外枠フレーム４８の案内溝７２の内側に位置する閉弁位置７２ｂに位置するとともに、他方側弁板２４のフランジ部８６の案内軸８８が、外枠フレーム４８の案内溝９０の外側に位置する閉弁位置９０ｂに位置するようになっている。
【００９７】
この状態で、二つの空間（チャンバー）４２、４４内で、スパッタリング、プラズマエッチングなどのデバイスの成膜処理が行われる。
以上のようなサイクルを繰り返すことによって、開弁、閉弁作動を実施することができる。
【００９８】
このように共通駆動機構４６によって、一方側弁板２２を一方側の側壁１４のゲート開口部１８に付勢して閉弁するとともに、他方側弁板２４を他方側の側壁１６のゲート開口部２０に付勢して閉弁して、これらのゲート開口部１８、２０を開閉するので、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
【００９９】
また、ゲート開口部１８、２０を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
【０１００】
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、真空ゲート弁に用いる場合について説明したが、その他の用途のゲート弁として用いることも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】図１は、本発明のゲート弁の斜視図である。
【図２】図２は、図１のゲート弁のＡ方向の端面図である。
【図３】図３は、図１のゲート弁のＢ方向の端面図である。
【図４】図４は、図１のゲート弁の作動状態を説明する縦断面図である。
【図５】図５は、図１のゲート弁の作動状態を説明する縦断面図である。
【図６】図６は、図１のゲート弁の作動状態を説明する縦断面図である。
【図７】図７は、図７は、本発明のゲート弁を二つの空間（チャンバー）の連結部分に設けた実施例を説明する斜視図である。
【図８】図８は、本発明の弁板２２、２４の駆動機構の実施例を示す概略図である。
【図９】図９は、本発明の別の実施例のゲート弁の作動状態を説明する縦断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の別の実施例のゲート弁の作動状態を説明する縦断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の別の実施例のゲート弁の作動状態を説明する縦断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の別の実施例のゲート弁の開弁状態の切欠斜視図である。
【図１３】図１３は、図１２のゲート弁の分解斜視図である。
【図１４】図１４は、図１２のゲート弁の作動状態を説明する部分切欠斜視図である。
【図１５】図１５は、図１２のゲート弁の作動状態を説明する部分切欠斜視図である。
【図１６】図１６は、図１２のゲート弁の作動状態を説明する部分切欠斜視図である。
【図１７】図１７は、従来のゲート弁の作動状態を説明する縦断面図である。
【図１８】図１８は、図１７の部分拡大図である。
【符号の説明】
【０１０２】
１０   ゲート弁
１１   空間
１２   弁箱本体
１４   側壁
１６   側壁
１８   ゲート開口部
２０   ゲート開口部
２２   一方側弁板
２４   他方側弁板
２６   側壁部分
２８   側壁部分
３０   回転駆動軸
３２   連結部
３４   回転駆動軸
３６   連結部
３８   シリンダー
４０   リンク
４２   チャンバー
４６   共通駆動機構
４８   外枠フレーム
５０   弁板駆動部
５２   フレーム
５４   回転駆動軸
５６   駆動軸用孔
５８   駆動コマ部材
５８ａ 一方側閉止部材
５８ｂ 他方側閉止部材
６０   ゲート開口部
６２   弁板部材
６４   シール部材
６６   係合突設部
６８   フランジ部
７０   案内軸
７２   案内溝
７２ａ 開弁位置
７２ｂ 閉弁位置
７４   案内軸
７６   案内部材
７６ａ 案内孔
７８   ゲート開口部
８０   弁板部材
８２   シール部材
８４   係合突設部
８６   フランジ部
８８   案内軸
９０   案内溝
９０ａ 開弁位置
９０ｂ 閉弁位置
９２   案内軸
１００ ゲート弁
１０２ 担体プレート
１０４ 側壁
１０６ ローラガイド
１０７ ベローズ
１０８ パッキンプレート
１１０ ブッシュ
１１２ ガイドピン
１１４ ゲート開口部
１１６ 駆動装置
【図１】
2009063009.tif 000003
【図２】
2009063009.tif 000004
【図３】
2009063009.tif 000005
【図４】
2009063009.tif 000006
【図５】
2009063009.tif 000007
【図６】
2009063009.tif 000008
【図７】
2009063009.tif 000009
【図８】
2009063009.tif 000010
【図９】
2009063009.tif 000011
【図１０】
2009063009.tif 000012
【図１１】
2009063009.tif 000013
【図１２】
2009063009.tif 000014
【図１３】
2009063009.tif 000015
【図１４】
2009063009.tif 000016
【図１５】
2009063009.tif 000017
【図１６】
2009063009.tif 000018
【図１７】
2009063009.tif 000019
【図１８】
2009063009.tif 000020