(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量のばらつきを低減させ、吐出量の差によって生じるスジムラを低減する。【解決手段】液状体を吐出する複数のノズル５２が設けられた液滴吐出ヘッド５０に液状体を吐出するための駆動信号を供給し、ワークＷに液状体を吐出する液状体の吐出方法であって、前記駆動信号は前記ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗを制御すべく複数用意されている。そして、前記ノズル５２の配列方向に並べられた前記複数の液滴吐出ヘッド５０は、それぞれの前記液滴吐出ヘッド５０の端部に位置し、配列方向において、それぞれ隣り合う２つの前記ノズル５２を有している。この隣り合う２つの前記ノズル５２に対して、それぞれの前記ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗを略等しくするように、それぞれの前記ノズル５２の駆動素子５９に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して供給する。【選択図】図３
2009136720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に設けられた液滴吐出ヘッドを、前記ノズルの配列方向に複数並べて配置して、前記液状体を吐出するための駆動信号を前記ノズルの駆動素子に供給し、被吐出物に対して前記液状体を吐出する液状体の吐出方法であって、
前記駆動信号は、前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を制御すべく複数用意されており、
前記ノズルの配列方向に並べられた前記複数の液滴吐出ヘッドは、隣り合う第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとを有し、
前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとのそれぞれは、前記ノズルの配列方向に沿って両端部に第１のノズル群と第２のノズル群とを有し、
前記第１の液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群と前記第２の液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群とは、前記ノズルの配列方向に隣接しており、
前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する、少なくとも１つの第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する、少なくとも１つの第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項２】
前記複数の液滴吐出ヘッドはキャリッジに搭載されており、
前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に相対移動させて、前記キャリッジに搭載された前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第１の吐出ステップと、
前記キャリッジもしくは前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向に所定距離移動させ、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に移動させて、前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第２の吐出ステップと、を含む改行工程を有していることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項３】
前記第１の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上に、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第１の塗布領域が形成され、
前記第２の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上に、前記第１の塗布領域と隣り合うように、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第２の塗布領域が形成され、
前記第１の塗布領域と前記第２の塗布領域との境界部分には、前記第１の塗布領域に属する第１の境界領域と前記第２の塗布領域に属する第２の境界領域とが形成されており、
前記第１の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、
前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群から前記液状体が吐出されており、
前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する少なくとも１つの前記第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する少なくとも１つの前記第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする請求項２に記載の液状体の吐出方法。
【請求項４】
前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を計測する吐出量計測工程を有し、
前記吐出量計測工程で得られた前記ノズルの吐出量データに基づいて、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項５】
前記液滴吐出ヘッドに設けられた前記複数のノズルは吐出するねらいの吐出量が設定されており、少なくとも１つの前記第１のノズルおよび少なくとも１つの前記第２のノズルが前記ねらいの吐出量の前記液状体を吐出するように、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項６】
前記第１のノズル群の前記第１のノズルと前記第２のノズル群の前記第２のノズルとが、前記ねらいの吐出量の前記液状体を吐出するように、
前記第１のノズル群内に位置し前記第１のノズルと反対方向に位置する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量を、前記第１のノズル群外に位置し前記第１のノズル群と近接する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量の前記液状体を吐出するように、
前記第２のノズル群内に位置し前記第２のノズルと反対方向に位置する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量を、前記第２のノズル群外に位置し前記第２のノズル群と近接する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量の前記液状体を吐出するように、
前記第１のノズル群および前記第２のノズル群のその他の前記ノズルの吐出量を、前記ねらいの吐出量と、前記第１のノズル群および前記第２のノズル群外に位置し前記第１のノズルおよび前記第２のノズルと近接する複数の前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量との間の吐出量の前記液状体を吐出するように、
前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、それぞれの前記ノズルに供給することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項７】
前記第１のノズル群および前記第２のノズル群に位置する前記ノズルは、吐出される前記液状体の吐出量が前記液滴吐出ヘッドの前記ノズルの平均吐出量と比較して±１％以上の吐出量の差を有していることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項８】
液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に設けられた液滴吐出ヘッドを、前記ノズルの配列方向に複数並べて配置して、前記液状体を吐出するための駆動信号を前記ノズルの駆動素子に供給し、被吐出物に対して前記液状体を吐出する液滴吐出装置であって、
前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を計測する吐出量計測手段と、
前記ノズル毎に設けられた前記駆動素子を駆動するとともに前記液状体の吐出量を制御する前記駆動信号を複数種生成する駆動信号生成手段と、を備え、
前記ノズルの配列方向に並べられた前記複数の液滴吐出ヘッドは、隣り合う第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとを有し、
前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとのそれぞれは、前記ノズルの配列方向に沿って両端部に第１のノズル群と第２のノズル群とを有し、
前記第１の液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群と前記第２の液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群とは、前記ノズルの配列方向に隣接しており、
前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
前記複数の液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジを有し、
前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に相対移動させて、前記キャリッジに搭載された前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第１の吐出ステップと、
前記キャリッジもしくは前記被吐出物を前記ノズルの配列方向に所定距離移動させ、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に移動させて、前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第２の吐出ステップと、を有していることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記第１の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上には、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第１の塗布領域が形成され、
前記第２の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上には、前記第１の塗布領域と隣り合うように、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第２の塗布領域が形成され、
前記第１の塗布領域と前記第２の塗布領域との境界部分には、前記第１の塗布領域に属する第１の境界領域と前記第２の塗布領域に属する第２の境界領域とが形成されており、
前記第１の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、
前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出されており、
前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する前記第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する前記第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記吐出量計測手段で得られた前記ノズルの吐出量データに基づいて、前記駆動信号生成手段で生成された前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の着色領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体をノズルから液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを用いた液状体の吐出方法、液滴吐出装置およびカラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜等の分野に液滴吐出装置が利用されている。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。液滴吐出装置では、これらのノズルから機能性材料を含む液状体を基板等に吐出して、機能性材料からなる薄膜を形成する。
【０００３】
近年、表示装置は高画質化、高精細化、大型化が進んでおり、それに伴い形成される薄膜の膜厚の均一化等の要求が高くなってきている。このような薄膜を形成する液滴吐出装置としては、液滴吐出ヘッドを所定の方向に複数並べて配設して、複数の液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対的に移動させ、吐出量の安定したノズルを用い、被吐出物の表面に液状体を吐出して薄膜を形成する液滴吐出装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１５９７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量は、ノズルに連通する吐出室や液状体の流路などのヘッド構造や駆動素子間のクロストーク等によって、ノズル毎にばらつきを有している。このばらつきは液滴吐出ヘッドの両端部に位置するノズルほど大きくなる傾向をもつ。ノズルもしくは液滴吐出ヘッド毎に吐出される液状体の吐出量がばらついてしまうと、基板上に形成された薄膜に、液状体の吐出量の差によって生じるいわゆるスジムラが発生する惧れがある。このスジムラは、液滴吐出ヘッドを基板が搬送される方向と直交する方向に移動させるいわゆる改行動作を伴う液滴吐出方法において、すでに吐出された領域と移動された液滴吐出ヘッドから吐出される領域との境界部分で特に顕著になる傾向にある。液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜等の薄膜にスジムラが発生すると、製造された表示装置の画像品質が低下してしまうという課題があった。
【０００６】
また、上述の液滴吐出装置では、吐出特性、特に吐出重量の安定したノズルを用い、被吐出物に液状体を安定的に吐出して膜厚の均一化を試みている。この場合、吐出特性のばらつきによっては使用されないノズルが発生してしまう。そのため、ノズルの有効活用がはかられず、薄膜形成作業の効率が低下してしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
（適用例１）液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に設けられた液滴吐出ヘッドを、前記ノズルの配列方向に複数並べて配置して、前記液状体を吐出するための駆動信号を前記ノズルの駆動素子に供給し、被吐出物に対して前記液状体を吐出する液状体の吐出方法であって、前記駆動信号は、前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を制御すべく複数用意されており、前記ノズルの配列方向に並べられた前記複数の液滴吐出ヘッドは、隣り合う第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとを有し、前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとのそれぞれは、前記ノズルの配列方向に沿って両端部に第１のノズル群と第２のノズル群とを有し、前記第１の液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群と前記第２の液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群とは、前記ノズルの配列方向に隣接しており、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する、少なくとも１つの第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する、少なくとも１つの第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする液状体の吐出方法。
【０００９】
液滴吐出ヘッドは、両端部に位置するノズルほど吐出量のばらつきが大きい傾向にあり、両端部以外に位置するノズルは、比較的吐出量が安定している。そのため、液滴吐出ヘッドは、その両端部に吐出量のばらつきが大きい第１のノズル群と第２のノズル群とを有している場合がある。さらには、第１のノズル群と第２のノズル群とにおいても、第１のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第１のノズルおよび第２のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第２のノズルほど吐出量のばらつきが大きい傾向にある。２つの液滴吐出ヘッド、すなわち、第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとが隣り合うように配置されると、吐出量のばらつきが大きい傾向にある第１の液滴吐出ヘッドの第２のノズル群の少なくとも１つの第２のノズルと、同じく、吐出量のばらつきが大きい傾向にある第２の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群の少なくとも１つの第１のノズルとが隣り合うことになる。そのため、隣り合うノズル同士の吐出量のばらつきが発生し、スジムラが顕著になる惧れがある。
【００１０】
この方法によれば、ノズルから吐出される液状体の吐出量を制御する複数の駆動信号が用意されており、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、第１の液滴吐出ヘッドの第２のノズル群の少なくとも１つの第２のノズルの駆動素子と、第２の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群の少なくとも１つの第１のノズルの駆動素子とに、それぞれ選択された駆動信号を供給して、当該少なくとも１つの第１のノズルと少なくとも１つの第２のノズルとから吐出される液状体の吐出量を略等しくすることができる。従って、吐出量のばらつきが大きい傾向にあるノズルに着目して、適正な駆動信号を供給して、ノズル毎に発生する吐出量の違いを効果的に低減することができる。その結果、隣り合う液滴吐出ヘッドの境界部分において、隣り合うノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができ、表示装置のスジムラ不良を低減させることができる。
【００１１】
（適用例２）前記複数の液滴吐出ヘッドはキャリッジに搭載されており、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に相対移動させて、前記キャリッジに搭載された前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第１の吐出ステップと、前記キャリッジもしくは前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向に所定距離移動させ、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に移動させて、前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第２の吐出ステップと、を含む改行工程を有していることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１２】
大型基板もしくは高精細なパターンが描画される基板等の被吐出物に対しては、液滴吐出ヘッドと被吐出物との相対移動を繰り返し同一被吐出物に複数回の吐出作業を繰り返す、いわゆる改行動作を伴う吐出作業が行われる。この方法によれば、改行動作を伴う吐出作業においても、同一キャリッジに搭載される隣り合う液滴吐出ヘッドの境界部分で、隣り合うノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。
【００１３】
（適用例３）前記第１の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上に、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第１の塗布領域が形成され、前記第２の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上に、前記第１の塗布領域と隣り合うように、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第２の塗布領域が形成され、前記第１の塗布領域と前記第２の塗布領域との境界部分には、前記第１の塗布領域に属する第１の境界領域と前記第２の塗布領域に属する第２の境界領域とが形成されており、前記第１の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群から前記液状体が吐出されており、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する少なくとも１つの前記第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する少なくとも１つの前記第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１４】
改行動作を伴う吐出作業では、改行前の吐出作業である第１の吐出ステップで形成された第１の塗布領域と、改行後の吐出作業である第２の吐出ステップで形成された第２の塗布領域と、が形成される。この第１の塗布領域と第２の塗布領域とは、隣り合う境界部分を有する。この境界部分は、改行前の吐出作業である第１の吐出ステップで形成された第１の境界領域と、改行後の吐出作業である第２の吐出ステップで形成された第２の境界領域とで形成される。第１の境界領域は、例えば、キャリッジのノズルの配列方向に沿った一方の端部側に搭載された液滴吐出ヘッドの第２のノズル群から液状体が吐出され形成される。第２の境界領域は、例えば、キャリッジのノズルの配列方向に沿った他方の端部側に搭載された別の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群から液状体が吐出され形成される。
【００１５】
第１のノズル群と第２のノズル群とにおいても、第１のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第１のノズルおよび第２のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第２のノズルほど吐出量のばらつきが大きい傾向にある。すなわち、境界部分は、吐出量のばらつきの大きい第１のノズルおよび第２のノズルから液滴が吐出され形成される。そのため、境界部分では、吐出される液状体の吐出量のばらつきが発生し、スジムラが顕著になる惧れがある。
【００１６】
この方法によれば、ノズルから吐出される液状体の吐出量を制御する複数の駆動信号が用意されており、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、改行前の吐出作業および改行後の吐出作業で、結果として隣り合うことが想定される複数のノズル、すなわち、少なくとも１つの第１のノズルおよび少なくとも１つの第２のノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整し略等しくすることができる。そのため、改行前に吐出された第１の境界領域と改行後に吐出される第２の境界領域との境界部分で発生する吐出量のばらつきを低減させることができる。従って、改行動作を伴った液状体の吐出作業においても、ノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。
【００１７】
（適用例４）前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を計測する吐出量計測工程を有し、前記吐出量計測工程で得られた前記ノズルの吐出量データに基づいて、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１８】
この方法によれば、吐出量計測工程で液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液状体の吐出量を計測することができる。そして、計測されたノズルの吐出量データに基づいて、適切な駆動信号を選択しノズルの駆動素子に供給することができる。従って、ノズルから吐出される液状体の吐出量を確実に調整することができる。
【００１９】
また、この方法によれば、吐出量のばらつきの大きいノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、ノズルの吐出特性を安定させることができ、吐出特性のばらつきにより使用されないノズルを低減することができる。従って、ノズルの有効活用がはかられ、薄膜形成作業の効率を向上させることができる。
【００２０】
（適用例５）前記液滴吐出ヘッドに設けられた前記複数のノズルは吐出するねらいの吐出量が設定されており、少なくとも１つの前記第１のノズルおよび少なくとも１つの前記第２のノズルが前記ねらいの吐出量の前記液状体を吐出するように、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００２１】
この方法によれば、少なくとも１つの第１のノズルおよび少なくとも１つの第２のノズル、すなわち、隣り合うもしくは結果として隣り合うことが想定される複数のノズルに対して、各ノズルから吐出される液状体の吐出量を、各ノズルが吐出することが期待されている「ねらいの吐出量」に近づけるように、複数の駆動信号のうちの１つを選択して、各ノズルに供給することことができる。そのため、隣り合うもしくは結果として隣り合うことが想定される複数のノズルの吐出量を「ねらいの吐出量」に近づけることができ、当該複数のノズルの吐出量のばらつきを低減することができる。従って、液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。
【００２２】
（適用例６）前記第１のノズル群の前記第１のノズルと前記第２のノズル群の前記第２のノズルとが、前記ねらいの吐出量の前記液状体を吐出するように、前記第１のノズル群に位置し前記第１のノズルと反対方向に位置する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量を、前記第１のノズル群外に位置し前記第１のノズル群と近接する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量の前記液状体を吐出するように、前記第２のノズル群に位置し前記第２のノズルと反対方向に位置する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量を、前記第２のノズル群外に位置し前記第２のノズル群と近接する少なくとも１つの前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量の前記液状体を吐出するように、前記第１のノズル群および前記第２のノズル群のその他の前記ノズルの吐出量を、前記ねらいの吐出量と、前記第１のノズル群および前記第２のノズル群外に位置し前記第１のノズルおよび前記第２のノズルと近接する複数の前記ノズルの吐出量と略同等の吐出量との間の吐出量の前記液状体を吐出するように、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、それぞれの前記ノズルに供給することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００２３】
液滴吐出ヘッドは、その両端部に吐出量のばらつきが大きいノズルから構成される第１のノズル群と第２のノズル群とを有している。複数の液滴吐出ヘッドを用いる吐出作業において、第１のノズル群と第２のノズル群とが隣り合い、群を構成する複数のノズルから液状体が吐出されると、第１のノズル群と第２のノズル群とから形成された塗布領域の境界部分で液状体の吐出量の差に起因するスジムラが発生する惧れがある。
【００２４】
この方法によれば、吐出量のばらつきの大きいノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、異なる液滴吐出ヘッド同士の第１のノズル群と第２のノズル群とが隣り合う場合は、まず、第１のノズル群の第１のノズルと第２のノズル群の第２のノズルとが、「ねらいの吐出量」の液状体を吐出するように、複数の駆動信号のうちの１つを選択して、それぞれのノズルに供給する。これをすることにより、隣り合う複数のノズルの吐出量を「ねらいの吐出量」に近づけることができ、異なる液滴吐出ヘッド間の吐出量のばらつきを低減することができる。
【００２５】
次いで、吐出量のばらつきが大きい第１のノズル群を構成する複数のノズルにおいて、第１のノズルと反対方向、すなわち、液滴吐出ヘッドの中央側に位置する少なくとも１つのばらつきを有するノズルの吐出量を、第１のノズル群外に位置し第１のノズル群と近接している吐出量の安定した少なくとも１つのノズルの吐出量と略同等の吐出量の液状体を吐出するように、複数の駆動信号のうちの１つを選択してノズルに供給する。これをすることにより、第１のノズル群内にあり、液滴吐出ヘッドの中央側に位置するばらつきを有するノズルの吐出量を、第１のノズル群外に位置し第１のノズル群と近接している吐出量の安定したノズルの吐出量と略等しくすることができる。従って、第１のノズル群の液滴吐出ヘッドの中央側に位置する複数のノズルの吐出量のばらつきを低減することができる。
【００２６】
そして、第１のノズル群を構成する複数のノズルのうち、吐出量の調整が終了した上記以外のノズルの吐出量が、「ねらいの吐出量」と、当該第１のノズル群以外の吐出量が安定したノズルの吐出量との間の吐出量を吐出するように、複数の駆動信号のうちの１つを選択して、それぞれのノズルに供給する。これをすることにより、第１のノズル群において、すべてのノズルの吐出量を、「ねらいの吐出量」と、当該第１のノズル群以外の吐出量が安定したノズルの吐出量との間の吐出量に調整することができ、吐出量のばらつきを低減することができる。なお、第２のノズル群を構成する複数のノズルについても、上記と同様に吐出量の調整を行う。
その結果、複数の液滴吐出ヘッドを用いる吐出作業において、第１のノズル群と第２のノズル群とが隣り合う場合においても、第１のノズル群と第２のノズル群とから形成された塗布領域の境界部分で液状体の吐出量のばらつきを低減させることができ、吐出量の差に起因するスジムラの発生を低減させることができる。
【００２７】
（適用例７）前記第１のノズル群および前記第２のノズル群に位置する前記ノズルは、吐出される前記液状体の吐出量が前記液滴吐出ヘッドの前記ノズルの平均吐出量と比較して±１％以上の吐出量の差を有していることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００２８】
この方法によれば、液滴吐出ヘッドの全ノズルの平均吐出量と比較して±１％以上の吐出量の差を有している複数のノズルを第１のノズル群および第２のノズル群と定義して、その複数のノズルに対して、液状体の吐出量の調整を行うことができる。そのため、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される吐出量をばらつきを±１％以内に押えることができる。従って、ノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。
【００２９】
（適用例８）液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に設けられた液滴吐出ヘッドを、前記ノズルの配列方向に複数並べて配置して、前記液状体を吐出するための駆動信号を前記ノズルの駆動素子に供給し、被吐出物に対して前記液状体を吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を計測する吐出量計測手段と、前記ノズル毎に設けられた前記駆動素子を駆動するとともに前記液状体の吐出量を制御する前記駆動信号を複数種生成する駆動信号生成手段と、を備え、前記ノズルの配列方向に並べられた前記複数の液滴吐出ヘッドは、隣り合う第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとを有し、前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとのそれぞれは、前記ノズルの配列方向に沿って両端部に第１のノズル群と第２のノズル群とを有し、前記第１の液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群と前記第２の液滴吐出ヘッドの前記第１のノズル群とは、前記ノズルの配列方向に隣接しており、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする液滴吐出装置。
【００３０】
液滴吐出ヘッドは、両端部に位置するノズルほど吐出量のばらつきが大きい傾向にあり、両端部以外に位置するノズルは、比較的吐出量が安定している。そのため、液滴吐出ヘッドは、その両端部に吐出量のばらつきが大きい第１のノズル群と第２のノズル群とを有している場合がある。さらには、第１のノズル群と第２のノズル群とにおいても、第１のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第１のノズルおよび第２のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第２のノズルほど吐出量のばらつきが大きい傾向にある。２つの液滴吐出ヘッド、すなわち、第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとが隣り合うように配置されると、吐出量のばらつきが大きい傾向にある第１の液滴吐出ヘッドの第２のノズル群の少なくとも１つの第２のノズルと、同じく、吐出量のばらつきが大きい傾向にある第２の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群の少なくとも１つの第１のノズルとが隣り合うことになる。そのため、隣り合うノズル同士の吐出量のばらつきが発生し、スジムラが顕著になる惧れがある。
【００３１】
この構成によれば、第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとにおいて、吐出量計測手段で各ノズルから吐出される液状体の吐出量を計測することができる。また、複数のノズルに対して、吐出量計測手段で得られたノズルの吐出量データに基づいて、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、第１の液滴吐出ヘッドの第２のノズル群の少なくとも１つの第２のノズルの駆動素子と、第２の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群の少なくとも１つの第１のノズルの駆動素子とに、それぞれ選択された駆動信号を供給して、当該少なくとも１つの第１のノズルと少なくとも１つの第２のノズルとから吐出される液状体の吐出量を略等しくすることができる。従って、吐出量のばらつきが大きい傾向にあるノズルに着目して、適正な駆動信号を供給して、ノズル毎に発生する吐出量の違いを効果的に低減することができる。その結果、隣り合う液滴吐出ヘッドの境界部分において、隣り合うノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができ、表示装置のスジムラ不良を低減させることができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００３２】
（適用例９）前記複数の液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジを有し、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に相対移動させて、前記キャリッジに搭載された前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第１の吐出ステップと、前記キャリッジもしくは前記被吐出物を前記ノズルの配列方向に所定距離移動させ、前記被吐出物を、前記ノズルの配列方向とは略直交する方向に移動させて、前記複数のノズルから前記被吐出物上に前記液状体を吐出する第２の吐出ステップと、を有していることを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００３３】
大型基板もしくは高精細なパターンが描画される基板等の被吐出物に対しては、液滴吐出ヘッドと被吐出物との相対移動を繰り返し同一被吐出物に複数回の吐出作業を繰り返す、いわゆる改行動作を伴う吐出作業が行われる。この構成によれば、改行動作を伴う吐出作業においても、同一キャリッジに搭載される隣り合う液滴吐出ヘッドの境界部分で、隣り合うノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。
【００３４】
（適用例１０）前記第１の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上には、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第１の塗布領域が形成され、前記第２の吐出ステップにおいて、前記被吐出物上には、前記第１の塗布領域と隣り合うように、複数の前記ノズルから吐出された前記液状体からなる第２の塗布領域が形成され、前記第１の塗布領域と前記第２の塗布領域との境界部分には、前記第１の塗布領域に属する第１の境界領域と前記第２の塗布領域に属する第２の境界領域とが形成されており、前記第１の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出され、前記第２の境界領域は、前記キャリッジに搭載された前記第１の液滴吐出ヘッドおよび前記第２の液滴吐出ヘッドのどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドの前記第２のノズル群から前記液状体が吐出されており、前記第２のノズル群の前記第１のノズル群側に位置する前記第２のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、前記第１のノズル群の前記第２のノズル群側に位置する前記第１のノズルから吐出される前記液状体の吐出量と、を略等しくするように、前記第１のノズルの前記駆動素子および前記第２のノズルの前記駆動素子に対して、前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、供給することを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００３５】
改行動作を伴う吐出作業では、改行前の吐出作業である第１の吐出ステップで形成された第１の塗布領域と、改行後の吐出作業である第２の吐出ステップで形成された第２の塗布領域と、が形成される。この第１の塗布領域と第２の塗布領域とは、隣り合う境界部分を有する。この境界部分は、改行前の吐出作業である第１の吐出ステップで形成された第１の境界領域と、改行後の吐出作業である第２の吐出ステップで形成された第２の境界領域とで形成される。第１の境界領域は、例えば、キャリッジのノズルの配列方向に沿った一方の端部側に搭載された液滴吐出ヘッドの第２のノズル群から液状体が吐出され形成される。第２の境界領域は、例えば、キャリッジのノズルの配列方向に沿った他方の端部側に搭載された別の液滴吐出ヘッドの第１のノズル群から液状体が吐出され形成される。
【００３６】
第１のノズル群と第２のノズル群とにおいても、第１のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第１のノズルおよび第２のノズル群の液滴吐出ヘッドの端部側に位置する第２のノズルほど吐出量のばらつきが大きい傾向にある。すなわち、境界部分は、吐出量のばらつきの大きい第１のノズルおよび第２のノズルから液滴が吐出され形成される。そのため、境界部分では、吐出される液状体の吐出量のばらつきが発生し、スジムラが顕著になる惧れがある。
【００３７】
この構成によれば、ノズルから吐出される液状体の吐出量を制御する複数の駆動信号が用意されており、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、改行前の吐出作業および改行後の吐出作業で、結果として隣り合うことが想定される複数のノズル、すなわち、少なくとも１つの第１のノズルおよび少なくとも１つの第２のノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整し略等しくすることができる。そのため、改行前に吐出された第１の境界領域と改行後に吐出される第２の境界領域との境界部分で発生する吐出量のばらつきを低減させることができる。従って、改行動作を伴った液状体の吐出作業においても、ノズルから吐出される液状体の吐出量の違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。
【００３８】
（適用例１１）前記吐出量計測手段で得られた前記ノズルの吐出量データに基づいて、前記駆動信号生成手段で生成された前記複数の駆動信号のうちの１つを選択して、前記ノズルに供給することを特徴とする上記の液滴吐出装置。
【００３９】
この構成によれば、吐出量計測手段で液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液状体の吐出量を計測することができる。そして、計測されたノズルの吐出量データに基づいて、駆動信号生成手段で生成された複数の駆動信号のうちの１つを選択して、ノズルの駆動素子に供給することができる。従って、ノズルから吐出される液状体の吐出量を確実に調整することができる。
【００４０】
また、この構成によれば、吐出量のばらつきの大きいノズルに対して、ノズル毎に異なった駆動信号を供給して、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調整することができる。そのため、ノズルの吐出特性を安定させることができ、吐出特性のばらつきにより使用されないノズルを低減することができる。従って、ノズルの有効活用がはかられ、薄膜形成作業の効率を向上させることができる。
【００４１】
（適用例１２）基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の着色領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【００４２】
この方法によれば、ノズルの吐出量のばらつきに起因する液状体のスジムラが低減されるので、スジムラ不良が少ないカラーフィルタを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
本実施形態を、着色層を備えたカラーフィルタの製造方法を例にとり説明する。なお、以下の説明で参照する図面では、説明および図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００４４】
（液状体吐出装置の全体構成について）
まず、本実施形態における液滴吐出装置を、図１および図２を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。図２は吐出量計測手段としての重量計測機構の構造を示す概略断面図である。
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、キャリッジ１５と、キャリッジ移動機構２０と、テーブル１０と、第１のテーブル移動機構３０と、第２のテーブル移動機構４０と、制御装置１６と、基台１８とを備えている。
【００４５】
この液滴吐出装置１００は、キャリッジ１５と、テーブル１０との相対位置を変化させつつ、キャリッジ１５に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０から液状体を液滴として吐出して、テーブル１０に搭載された被吐出物としての基板等からなるワークＷに液状体で所望のパターンを形成するものである。なお、図中のＹ方向はテーブル１０の主走査方向を示し、Ｘ方向はキャリッジ１５の移動方向およびテーブル１０の副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
【００４６】
このような液滴吐出装置１００は、例えば、各種の表示装置のカラー表示を可能にするカラーフィルタの製造に適用され得る。例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液滴吐出装置１００の各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかをワークＷに液滴として吐出して、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントのパターンを描画する。
【００４７】
ここで、液滴吐出装置１００の各構成について説明する。
基台１８は、例えば、平板状の石材などの熱膨張係数が小さい材料から形成されており、Ｙ方向に一定の幅を有し、Ｘ方向に沿って延びるように４本の脚部１９に支持されている。また、基台１８のＺ方向の下部には、制御装置１６が設けられている。
【００４８】
第１のテーブル移動機構３０は、ベース３１と、２つのリニアモータ３２とを有している。ベース３１は、平板状に形成され、基台１８のＺ方向上面に固定されている。ベース３１のＺ方向上面には、２つのリニアモータ３２がＹ方向に沿って平行に配置されている。
【００４９】
第２のテーブル移動機構４０は、スライド部材３７と、２つのリニアモータ３８とを有している。スライド部材３７は、平板状に形成され、ベース３１に配置された２つのリニアモータ３２の上方に配設されている。スライド部材３７のＺ方向上面には、２つのリニアモータ３８がＸ方向に沿って平行に配置されている。
【００５０】
テーブル１０は、平板状の部材であり、Ｚ方向上面にワークＷを着脱可能に保持する載置面１０Ａを有している。テーブル１０は、スライド部材３７に配置された２つのリニアモータ３８の上方に配設されている。
【００５１】
リニアモータ３２は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はベース３１に、可動子はスライド部材３７に設けられている。第１のテーブル移動機構３０は、制御装置１６からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０を第１方向であるＹ方向に往復移動させることができる。
【００５２】
リニアモータ３８は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はスライド部材３７に、可動子はテーブル１０に設けられている。第２のテーブル移動機構４０は、制御装置１６からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０を第２方向であるＸ方向に往復移動させることができる。
【００５３】
図１に示すように、キャリッジ移動機構２０は、２つのリニアモータ２２と、４本の支柱２３とを備えている。リニアモータ２２のそれぞれは、第２のテーブル移動機構４０に配置されたテーブル１０に対してＺ方向に空間を有する状態でＸ方向に延びるように、２本の支柱２３に支持され互いに平行に配設されている。
【００５４】
キャリッジ１５は、複数の液滴吐出ヘッド５０が搭載されており、液滴吐出ヘッド５０側がＺ方向下方、すなわち、テーブル１０に載置されたワークＷの上面に対向するように、２つのリニアモータ２２のＺ方向上方に配設されている。リニアモータ２２は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は支柱２３に支持され、可動子はキャリッジ１５に設けられている。キャリッジ移動機構２０は、制御装置１６からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、キャリッジ１５を第２方向であるＸ方向に往復移動させることができる。
【００５５】
検出部３５は、基台１８の図１中Ｘ方向左側に検出部３５の上面がＺ方向上方向を向くようにベース３１と並んで設けられている、また、検出部３５は、キャリッジ移動機構２０によるキャリッジ１５の移動領域内に設けられており、検出部３５の上面がキャリッジ１５に搭載された液滴吐出ヘッド５０のノズル側と対向している。
【００５６】
検出部３５には、液滴吐出ヘッド５０のノズル毎に吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構６０を備えている。重量計測機構６０は、図２に示すように、受け容器２５と電子天秤２６とを備える。ここで、検出部３５には、受け容器２５と電子天秤２６とを収容する空間２７が形成されている。受け容器２５は、箱状に形成され、内部に液滴吐出ヘッド５０の各ノズルから吐出される液状体を貯蔵する空間が形成されている。受け容器２５は、耐食性に優れた材料から形成されており、例えば、ステンレス等が採用され得る。
【００５７】
電子天秤２６は、空間２７の底面２８に配設された状態で空間２７に収容されている。そして、受け容器２５は、電子天秤２６の被測定物載置台２６Ａに配置されている。上記の構成を有する重量計測機構６０は、各液滴吐出ヘッド５０からノズル単位で液滴の吐出を受けて、受け容器２５に収集された液状体の重量を液滴吐出ヘッド５０のノズル毎に電子天秤２６で測定する。
【００５８】
また、液滴吐出装置１００は、上記構成の他にも、キャリッジ１５に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の液滴吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。図１では、メンテナンス機構は、図示省略した。
【００５９】
（液滴吐出ヘッドの構成について）
次に、液滴吐出ヘッドについて、図３を参照して説明する。図３は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図であり、（ａ）は概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図３（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応する駆動素子としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。
【００６０】
キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４と、キャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７とを有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。
【００６１】
液状体は、図示しない液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。
【００６２】
図３（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに駆動信号としての駆動波形が印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動波形の印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動波形を制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
【００６３】
液滴吐出ヘッド５０における駆動素子は、圧電素子に限らない。振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
【００６４】
（キャリッジの構成について）
キャリッジについて、図１および図４を参照して説明する。図４は、キャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。図１に示すように、キャリッジ１５は、ヘッドプレート３６と、複数の液滴吐出ヘッド５０とを有している。
【００６５】
ヘッドプレート３６は、ステンレス等からなる板状部材であり、複数の液滴吐出ヘッド５０を、ノズル５２側がＺ方向下方に突出するよう搭載し、キャリッジ１５のＺ方向下方に設けられている。図４に示すように、ヘッドプレート３６には、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａとヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。なお、ここで、ヘッドＲ１，Ｇ１，Ｂ１が第１の液滴吐出ヘッドに、ヘッドＲ２，Ｇ２，Ｂ２が第２の液滴吐出ヘッドに対応する。
【００６６】
各液滴吐出ヘッド５０は、略等しい間隔（およそ１４０μｍのノズルピッチ）で配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。ノズル５２の径はおよそ２０μｍである。１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ａの有効長とする。以降、ノズル列５２ａとは、１８０個のノズル５２から構成されるものを指す。
【００６７】
この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ方向）から見て隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置されている。
【００６８】
なお、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ａは、１列に限らない。例えば、複数のノズル列５２ａを列方向に互いにずらして配設すれば実質的なノズルピッチが狭くなり、高精細に液滴Ｄを吐出することが可能となる。
【００６９】
図５は、液滴吐出ヘッドの吐出特性を示すグラフである。詳しくは、一方の軸をノズル５２の番号（１から１８０）とし、他方の軸をノズル５２毎に吐出される液滴Ｄの吐出量Ｉｗ（ｎｇ）として、ノズル列５２ａにおける吐出量の分布を示したグラフである。
【００７０】
図３（ａ）および（ｂ）に示したように、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量は、キャビティ５５、流路５６，５７の設計寸法やその加工精度によってキャビティ５５毎に流れる液状体の流動抵抗が異なることにより、ノズル５２毎に変動する。また、液状体が供給される供給孔５８ａが複数のキャビティ５５に対してどのような位置に形成されたかにも影響される。さらには、キャビティ５５毎に設けられた振動子５９の固有振動特性によっても影響される。すなわち、ノズル列５２ａから吐出される液滴Ｄの吐出量の分布が液滴吐出ヘッド５０毎に異なる場合がある。
【００７１】
図５は、液滴吐出ヘッド５０（ノズル列５２ａ）の吐出特性を調べたものである。具体的には、所定の駆動電圧を有する駆動波形を振動子５９に与え、数千から数万程度の吐出数の液滴Ｄをノズル５２から吐出させ、その液状体の重量を前述した重量計測機構６０を用いて計測する。そして、計測された液状体の重量を上記吐出数で除して１滴あたりの重量を算出して液滴Ｄの吐出量とした。
【００７２】
図５に示すように、その吐出特性の１つは、Ｉｗアーチと呼ばれる曲線形状を示し、ノズル列５２ａの両端側に位置するノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量が、他のノズル５２に対して増加する傾向を有している。後述する液滴吐出ヘッド５０の液状体の吐出方法は、このようなノズル列５２ａの吐出特性に起因する吐出のばらつきを、極力小さくしようとするものである。
【００７３】
（液滴吐出装置の制御系について）
次に液滴吐出装置の制御系について図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。液滴吐出装置１００の制御装置１６は、液滴吐出ヘッド５０、キャリッジ移動機構２０、第１のテーブル移動機構３０、第２のテーブル移動機構４０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１００を制御する制御部４とを備えている。
【００７４】
駆動部４６は、キャリッジ移動機構２０、第１のテーブル移動機構３０、第２のテーブル移動機構４０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、重量計測機構６０の各ユニットを駆動制御する重量計測用ドライバ４９と、メンテナンス機構の各メンテ用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ（図示省略）とを備えている。
【００７５】
制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００７６】
ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび液滴吐出ヘッド５０、すなわち、ノズル列５２ａの位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００７７】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１００全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、キャリッジ移動機構２０、第１のテーブル移動機構３０、第２のテーブル移動機構４０を制御して、キャリッジ１５とワークＷとを対向配置させる。そして、キャリッジ１５とワークＷとの相対移動に同期して、キャリッジ１５に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴Ｄとして吐出して描画を行う。
【００７８】
この場合、Ｙ方向へのワークＷの移動を主走査と呼び、Ｘ方向にキャリッジ１５およびワークを移動させることを副走査と呼ぶ。この主走査のときに、キャリッジ１５に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴Ｄとして吐出して描画を行う。
【００７９】
本実施形態の液滴吐出装置１００は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。また、主走査を行ったあとに、ワークＷをＸ方向に移動させて、いわゆる改行動作を行い、さらにワークをＹ方向に往復移動させ液状体を吐出描画することもできる。
【００８０】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１００に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。また、図５に示したノズル列５２ａの吐出特性等のノズル情報に基づいて、基板上の吐出領域毎に必要量の液状体を液滴Ｄとして配置する配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している。配置情報は、吐出領域における液滴Ｄの吐出位置（換言すればワークＷとノズル５２との相対位置）、液滴Ｄの配置数（換言すればノズル５２毎の吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして現したものである。
【００８１】
（液滴吐出ヘッドの吐出制御方法）
次に、本実施形態の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法について、図７および図８を参照して説明する。図７は、液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図である。図８は、駆動信号および制御信号のタイミング図である。
【００８２】
図７に示すように、ヘッドドライバ４８は、液滴Ｄの吐出量を制御する異なる複数の駆動信号ＣＯＭを、それぞれ独立して生成するＤ／Ａコンバータ（以降、ＤＡＣとする）７１Ａ〜７１Ｄと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄが生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（以下、波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）とする）の格納メモリを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピュータ１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリ７３と、を備えている。ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の各ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄで生成された駆動信号がそれぞれ出力される。
【００８３】
各液滴吐出ヘッド５０には、ノズル５２毎に設けられた振動子５９（図３参照）への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４と、各ＣＯＭラインのいずれか１つを選択して、各振動子５９に接続したスイッチング回路７４に駆動信号ＣＯＭを送出する駆動信号選択回路７５と、を備えている。
【００８４】
ノズル列５２ａにおいて、振動子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄのグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、振動子５９の他方の電極５９ａ（以下、セグメント電極５９ａとする）は、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５を介して、各ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。
【００８５】
データメモリ７３には、各液滴吐出ヘッド５０の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミング毎に、次のデータが格納されている。すなわち、各振動子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、各振動子５９に対応したＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の選択を規定する駆動信号選択データＤＢと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄに入力される波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）の種別を規定する波形番号データＷＮである。本実施形態においては、吐出データＤＡは、１ノズルあたり１ビット（０，１）で、駆動信号選択データＤＢは、１ノズルあたり２ビット（０，１，２，３）で、波形番号データＷＮは、１Ｄ／Ａコンバータあたり７ビット（０〜１２７）で構成されている。尚、データ構造は適宜変更可能である。
【００８６】
上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図８に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、駆動信号選択データＤＢ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各振動子５９のセグメント電極５９ａが、駆動信号選択データＤＢで指定されたＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のいずれか）に接続された状態となる。例えば、振動子５９のセグメント電極５９ａは、駆動信号選択データＤＢが「０」のときには、ＣＯＭ１に接続される。同様に駆動信号選択データＤＢが「１」のときにはＣＯＭ２に、駆動信号選択データＤＢが「２」のときはＣＯＭ３に、駆動信号選択データＤＢが「３」のときはＣＯＭ４に接続される。また、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄの生成に係る波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）がこの選択に連動して設定される。
【００８７】
タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある振動子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティ５５の容積（圧力）制御が行われる。
【００８８】
ここで、タイミングｔ３における電位上昇成分はキャビティ５５を膨張させ、液状体をキャビティ５５内に引き込む役割を果たしている。また、タイミングｔ４における電位降下成分は、キャビティ５５を収縮させ、液状体をノズル５２外に押し出して吐出させる役割を果たしている。
【００８９】
駆動信号ＣＯＭにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、その供給によって吐出される液状体の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式の液滴吐出ヘッド５０では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ４における電圧成分の変化（電位差）を駆動電圧Ｖｈとして規定し、これを吐出量制御の条件として利用することができる。すなわち、駆動電圧Ｖｈは、液滴Ｄの吐出量を制御する条件の１つである。尚、生成する駆動信号ＣＯＭは、本実施形態で示すような単純な矩形波に限られるものではなく、例えば、台形波など公知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式（例えばサーマル方式）の実施形態の場合、駆動信号のパルス幅（時間成分）を吐出量制御の条件として利用することも可能である。
【００９０】
本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することが可能である。用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動電圧を０．１Ｖ刻みで設定することができる。
【００９１】
かくして、本実施形態の液滴吐出装置１００は、ノズル５２毎の吐出特性を考慮して、各振動子５９（ノズル５２）と各ＣＯＭラインとの対応関係を規定する駆動信号選択データＤＢと、各ＣＯＭラインと駆動信号の種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データＷＮとを適切に設定することにより、液滴Ｄの吐出量を調整して液状体を吐出することが可能である。逆の言い方をすれば、駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとの関係で定まる各ノズル５２の駆動信号ＣＯＭの設定を適切に行うことが、吐出量を管理するための重要事項であると言える。
【００９２】
上記液滴吐出装置１００において、本実施形態の液滴吐出ヘッド５０の吐出制御方法は、液滴Ｄの吐出毎、言い換えれば吐出タイミング毎に駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとを更新可能となっている。また、吐出データＤＡに対応させて駆動信号ＣＯＭを精細に設定することも可能である。したがって、ノズル５２毎に吐出される液滴Ｄの吐出量を、吐出タイミング毎に少なくとも４段階に渡って変化させることができるので、一定の駆動信号ＣＯＭを各振動子５９に印加する場合に比べて、ノズル列５２ａの吐出特性に起因する液滴Ｄの吐出量のばらつきを、ノズル５２毎、且つ液滴Ｄの吐出毎に調整することが可能である。
【００９３】
（液状体の吐出方法について）
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について、図９〜１２を参照して説明する。図９は比較例の液滴の吐出状態を示す概略図である。図１０は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略図、図１１および図１２は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略図である。本実施形態の液状体の吐出方法は、上述の液滴吐出装置１００における液滴吐出ヘッド５０の吐出制御方法を適用して実現するものである。以下、液状体の吐出方法の比較例、実施例１、実施例２について説明する。
【００９４】
図９は、キャリッジ１５に搭載された６個の液滴吐出ヘッド５０のうち、副走査方向（Ｘ方向）に隣り合う液滴吐出ヘッド５０としての２個のヘッドＲ１，Ｒ２を例にとり、各液滴吐出ヘッド５０のノズル５２毎の液滴Ｄの吐出量Ｉｗを示している。すなわち、液滴吐出ヘッド５０の１８０個のノズル５２に対して♯１〜♯１８０のノズル番号を与え、各ノズル５２の吐出量Ｉｗをグラフ化している。
【００９５】
前述のように１つの液滴吐出ヘッド５０において、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量Ｉｗは、キャビティ５５毎に流れる液状体の流動抵抗、他のノズル５２の影響（クロストーク）等により、ノズル５２毎に変動する。また、ノズル列５２ａから吐出される液滴Ｄの吐出量Ｉｗの分布は、液滴吐出ヘッド５０毎に異なる場合がある。
【００９６】
本比較例では、例えば、第１の液滴吐出ヘッドとしてのヘッドＲ１では、ノズル番号♯１〜♯６およびノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して±１％以上多くなっている。従って、第１のノズル群はノズル番号♯１〜♯６のノズルから構成され、第２のノズル群はノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズルから構成される。そして、両端部に近づくほどノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは多くなる傾向にあり、ノズル番号♯１のノズル５２が第１のノズルに、ノズル番号♯１８０のノズル５２が第２のノズルに対応する。
【００９７】
第２の液滴吐出ヘッドとしてのヘッドＲ２でも、同様な傾向を有しており、ノズル番号♯１〜♯６およびノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して±１％以上多くなっている。従って、第１のノズル群はノズル番号♯１〜♯６のノズルから構成され、第２のノズル群はノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズルから構成される。そして、両端部に近づくほどノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは多くなる傾向にあり、ノズル番号♯１のノズル５２が第１のノズルに、ノズル番号♯１８０のノズル５２が第２のノズルに対応する。
【００９８】
さらに、ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、それぞれ吐出特性の違いを有している。Ｘ方向に１ドットピッチおいて互いに隣接するヘッドＲ１の第２のノズル群に属する第２のノズルとしてのノズル番号♯１８０のノズル５２と、ヘッドＲ２の第１のノズル群に属する第１のノズルとしてのノズル番号♯１のノズル５２とは、図９に示すように、Ｉｗｐ（ｎｇ）の吐出量Ｉｗの差を有している。
【００９９】
すなわち、隣り合うヘッドＲ１とヘッドＲ２とでは、境界部分において明らかに吐出される液状体の量に差が生じている。このような吐出特性の違いを有する２個のヘッドＲ１，Ｒ２を用い各ノズル５２から液状体を吐出してワークＷ上に描画すると、副走査方向（Ｘ方向）においてヘッドＲ１とヘッドＲ２との境界部分に、吐出される液状体の吐出量Ｉｗの差Ｉｗｐによりスジムラが発生する。
【０１００】
また、ヘッドＲ１，Ｒ２においても、第１のノズル群と第２のノズル群以外のノズル番号♯７〜１７４のノズル５２は、吐出量が比較的安定している。そのため、ノズル番号♯７〜１７４のノズル５２と比較して吐出量Ｉｗの多いノズル番号♯１〜６およびノズル番号♯１７５〜１８０のノズル５２により描画された領域は、吐出量Ｉｗの差によりスジムラが発生する惧れがある。発明者は、実験の結果、着色材料を含む液状体を用いた場合には、液状体が吐出される領域間で吐出量Ｉｗの差がそれぞれの液滴吐出ヘッド５０の平均吐出量と比較して±１％以上の違いがあるとこのスジムラが視認可能なスジムラ不良となることを確認した。
【０１０１】
なお、図９中、吐出量Ｉｗｒ１は、ヘッドＲ１のノズル番号♯１〜♯１８０の全ノズル５２の平均吐出量を示し、吐出量Ｉｗｒ２は、ヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯１８０の全ノズル５２の平均吐出量を示す。ちなみに、ヘッドＲ１，Ｒ２の各ノズル５２のねらいの吐出量Ｉｗは吐出量Ｉｗｔ（ｎｇ）である。
また、特定のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗを表す場合は、Ｉｗ（ヘッド，ノズル番号）で示す。例えば、ヘッドＲ１のノズル番号♯１８０のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは、Ｉｗ（Ｒ１，♯１８０）と表す。
【０１０２】
（実施例１）
実施例１について、前述の図９および図１０を参照して説明する。実施例１は隣り合うヘッドＲ１とヘッドＲ２の境界部分のスジムラを解消するものである。図１０は、実施例１の吐出方法を説明する図であり、（ａ）は、図９のＥ領域の拡大図であり、（ｂ）は、実施例１の隣り合う２個のヘッドと吐出量の関係を示す図である。
【０１０３】
まず、図２に示す液滴吐出装置１００の重量計測機構６０により、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２のノズル５２毎の液状体の吐出量Ｉｗを測定する。具体的には、所定の駆動電圧を有する駆動波形を振動子５９に与え、数千から数万程度の吐出数の液滴Ｄをノズル５２から受け容器２５内に吐出させ、その液状体の重量を重量計測機構６０の電子天秤２６を用いて計測する。そして、計測された液状体の重量を上記吐出数で除して１滴あたりの重量を算出して液滴Ｄの吐出量とする。そして、測定の結果として、図１０（ａ）に示すノズル５２とその吐出量Ｉｗの相関を求める。
【０１０４】
図９および図１０（ａ）に示すように、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２の境界において、ヘッドＲ１では、ノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して多く、ヘッドＲ２では、ノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して多いことが分かる。さらに、ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、Ｘ方向に１ドットピッチおいて互いに隣接するヘッドＲ１のノズル番号♯１８０のノズル５２とヘッドＲ２のノズル番号♯１のノズル５２とは、吐出量Ｉｗの差Ｉｗｐ（ｎｇ）を有していることが分かる。
【０１０５】
前述のように、ヘッドＲ１，Ｒ２の各ノズル５２のねらいの吐出量Ｉｗは、吐出量Ｉｗｔ（ｎｇ）である。そこで、ヘッドＲ１のノズル番号♯１８０のノズル５２とヘッドＲ２のノズル番号♯１のノズル５２との吐出量差Ｉｗｐ（ｎｇ）を解消すべく、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ねらいの吐出量Ｉｗｔに近づくように液滴吐出ヘッド５０の吐出制御を行う。
【０１０６】
ただし、本実施例１では、ねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ１の平均吐出量Ｉｗｒ１およびヘッドＲ２の平均吐出量Ｉｗｒ２とでは、違いが生じている。この吐出量Ｉｗの違いが、あらたなスジムラを発生させる惧れがある。そこで、例えば、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２では、第２のノズル群に属するノズル番号♯１７５近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ヘッドＲ１の第２のノズル群以外のノズル５２、例えば、ノズル番号♯１７４のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ１，♯１７４）に近づけるように制御する。そして、ノズル番号♯１８０近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量Ｉｗｔに近づけるように制御する。次いで、それ以外のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ１のノズル番号♯１７４の吐出量Ｉｗ（Ｒ１，♯１７４）との間の吐出量Ｉｗになるように制御する。
【０１０７】
すなわち、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２のぞれぞれの吐出量Ｉｗを、図１０（ａ）中の白抜きの丸で表記した♯１７５ｂ〜♯１８０ｂの吐出量Ｉｗとなるように制御する。このとき、図１０（ａ）に示すように、ノズル番号♯１７５〜ノズル番号♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗをなだらかに結ぶように制御するとさらに好ましい。なお、本実施例では、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをノズル番号♯１７４のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ１，♯１７４）に近づけたが、これに限定されない。ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ１，♯１７５）を、ヘッドＲ１の平均吐出量Ｉｗｒ１に近づけてもよい。
【０１０８】
ヘッドＲ２においても同様に、ヘッドＲ２の第１のノズル群に属するノズル番号♯１〜♯６のノズル５２では、ノズル番号♯６近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ヘッドＲ２の第１のノズル群以外のノズル５２、例えば、ノズル番号♯７のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ２，♯７）に近づけるように制御する。そして、ノズル番号♯１近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量Ｉｗｔに近づけるように制御する。次いで、それ以外のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ２のノズル番号♯７の吐出量Ｉｗ（Ｒ２，♯７）との間の吐出量Ｉｗになるように制御する。すなわち、ヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２のぞれぞれの吐出量Ｉｗを、図１０（ａ）中の白抜きの丸で表記した♯１ａ〜♯６ａの吐出量Ｉｗとなるように制御する。
【０１０９】
このときの各ノズル５２の吐出量Ｉｗの制御は、前述の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法で生成された駆動信号ＣＯＭを用い、ノズル５２毎に液滴Ｄの吐出量Ｉｗが、所望の吐出量Ｉｗに近づくように、複数の駆動信号ＣＯＭのうちの１つを対応させる。前述の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法で説明したように、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することができる。また、用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動電圧を０．１Ｖ刻みで設定することができる。そのため、ヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを、所望の吐出量Ｉｗに近づくように吐出制御を行うことが可能になる。
【０１１０】
図１０（ｂ）に示すように、上述の吐出制御を行うことによって、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２の境界部に位置するヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは、グラフとしてなだらかな連続的なラインとなる。従って、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２の境界部に位置するヘッドＲ１のノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ２のノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗのばらつきが低減される。その結果、ワークＷ上に形成された薄膜に、液状体の吐出量Ｉｗの差によって生じるスジムラの発生を防止することができ、高い画像品質の表示装置を提供することができる。
【０１１１】
（実施例２）
実施例２について、図１１および図１２を参照して説明する。図１１は実施例２の吐出方法を説明する図であり、図１２は図１１中のＦ領域の拡大図である。実施例２は、実施例１で境界部分のスジムラが解消されたヘッドＲ１とヘッドＲ２とを用いて、いわゆる改行動作を実施してワーク上に描画する場合を例に説明する。
【０１１２】
図１１において、ヘッドＲ１ａ，Ｒ２ａは改行動作前における描画時のヘッドＲ１，Ｒ２の位置を示し、ヘッドＲ１ｂ，Ｒ２ｂは改行動作後における描画時のヘッドＲ１，Ｒ２の位置を示す。すなわち、第１の吐出ステップとして、図１に示す液滴吐出装置１００を用い、第１のテーブル移動機構３０によりワークＷを図１中Ｙ方向に移動させながら、キャリッジ１５に搭載された液滴吐出ヘッド５０としてのヘッドＲ１，Ｒ２から液状体を吐出してワークＷ上に描画する。このとき、描画された領域が、第１の塗布領域に対応する。また、このときのヘッドＲ１，Ｒ２の位置が、図１１中、ヘッドＲ１ａ，Ｒ２ａである  
【０１１３】
その後、第２のテーブル移動機構４０によりワークＷを、図１中Ｘ（＋）方向に所定の改行幅分移動させる。本実施例２では、第１の吐出ステップでヘッドＲ２のノズル番号♯１８０のノズル５２の吐出位置に対して、改行後のヘッドＲ１のノズル番号♯１のノズル５２の吐出位置がＸ（＋）方向に、１ノズルピッチを置いて連続するように、ワークＷを、Ｘ（＋）方向に移動させる。そして、第１の吐出ステップとして、図１に示す液滴吐出装置１００を用い、第１のテーブル移動機構３０によりワークＷを図１中Ｙ方向に移動させながら、キャリッジ１５に搭載された液滴吐出ヘッド５０としてのヘッドＲ１，Ｒ２から液状体を吐出してワークＷ上に描画する。このとき、描画された領域が、第２の塗布領域に対応する。このときのヘッドＲ１，Ｒ２の位置が、図１１中ヘッドＲ１ｂ，Ｒ２ｂである。このように、第１の吐出ステップおよび第２の吐出ステップを実施することによって、隣り合う第１の塗布領域と第２の塗布領域とが形成される。
【０１１４】
図１１のグラフは、ヘッドＲ１ａ，Ｒ２ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ｂの吐出特性を示すグラフである。詳しくは、一方の軸をノズル５２の番号（１から１８０）とし、他方の軸をノズル５２毎に吐出される液滴Ｄの吐出量Ｉｗ（ｎｇ）として、ノズル列５２ａにおける吐出量の分布を示したグラフである。
【０１１５】
図１１に示すように、改行動作により隣接するヘッドＲ２ａとヘッドＲ１ｂとの境界、すなわち、第１の塗布領域と第２の塗布領域との境界部分において、ヘッドＲ２ａでは、第２のノズル群としてのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して多く、ヘッドＲ１ｂでは、第１のノズル群としてのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗが、その他のノズル５２の吐出量Ｉｗと比較して多い。このとき、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２から液状体が吐出され描画された領域が、第１の境界領域に対応し、ヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から液状体が吐出され描画された領域が、第２の境界領域に対応する。さらに、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１８０のノズル５２とヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１のノズル５２とは、Ｉｗｑ（ｎｇ）の吐出量Ｉｗの差を有していることが分かる。
【０１１６】
前述のように、ヘッドＲ１，Ｒ２の各ノズル５２のねらいの吐出量Ｉｗは、吐出量Ｉｗｔ（ｎｇ）である。そこで、ヘッドＲ２ａの第２のノズルとしてのノズル番号♯１８０のノズル５２とヘッドＲ１ｂの第１のノズルとしてのノズル番号♯１のノズル５２との吐出量差Ｉｗｑ（ｎｇ）を解消すべく、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ねらいの吐出量Ｉｗｔに近づくように液滴吐出ヘッド５０の吐出制御を行う。
【０１１７】
ただし、本実施例２では、ねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ２ａの平均吐出量Ｉｗｒ２およびヘッドＲ１ｂの平均吐出量Ｉｗｒ１とでは、違いが生じている。この吐出量Ｉｗの違いが、あらたなスジムラを発生させる惧れがある。そこで、例えば、ヘッドＲ２ａの第２のノズル群に属するノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２では、第２のノズル群に属するノズル番号♯１７５近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ヘッドＲ２ａの第２のノズル群以外のノズル５２、例えば、ノズル番号♯１７４のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ２ａ，♯１７４）に近づけるように制御する。そして、ノズル番号♯１８０近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量Ｉｗｔに近づけるように制御する。次いで、それ以外のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ねらいの吐出量ＩｗｔとヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７４の吐出量Ｉｗ（Ｒ２ａ，♯１７４）との間の吐出量Ｉｗになるように制御する。
【０１１８】
すなわち、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２のぞれぞれの吐出量Ｉｗを、図１２中の白抜きの丸で表記した♯１７５ｃ〜♯１８０ｃの吐出量Ｉｗとなるように制御する。このとき、図１２に示すように、ノズル番号♯１７５からノズル番号♯１８０のノズル５２の吐出量Ｉｗをなだらかに結ぶように制御するとさらに好ましい。なお、本実施例では、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをノズル番号♯１７４のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ２ａ，♯１７４）に近づけたが、これに限定されない。ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ２ａ，♯１７５）を、ヘッドＲ２ａの平均吐出量Ｉｗｒ２に近づけてもよい。
【０１１９】
ヘッドＲ１ｂにおいても同様に、ヘッドＲ１ｂの第１のノズル群に属するノズル番号♯１〜♯６のノズル５２では、ノズル番号♯６近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗを、ヘッドＲ１ｂの第１のノズル群以外のノズル５２、例えば、ノズル番号♯７のノズル５２の吐出量Ｉｗ（Ｒ１ｂ，♯７）に近づけるように制御する。そしてノズル番号♯１近傍のノズル５２の吐出量Ｉｗをねらいの吐出量Ｉｗｔに近づけるように制御する。次いで、その間をならだかに結ぶようにノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを制御する。すなわち、ヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２のぞれぞれの吐出量Ｉｗを、図１２中の白抜きの丸で表記した♯１ｄ〜♯６ｄの吐出量Ｉｗとなるように制御する。
【０１２０】
このときの各ノズル５２の吐出量Ｉｗの制御は、前述の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法で生成された駆動信号ＣＯＭを用い、ノズル５２毎に液滴Ｄの吐出量Ｉｗが、所望の吐出量Ｉｗに近づくように、複数の駆動信号ＣＯＭのうちの１つを対応させる。前述の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法で説明したように、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することができる。また、用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動電圧を０．１Ｖ刻みで設定することができる。そのため、ヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ１ａのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２の吐出量Ｉｗを、所望の吐出量Ｉｗに近づくように吐出制御を行うことが可能になる。
【０１２１】
図１２に示すように、上述の吐出制御を行うことによって、改行動作により隣接するヘッドＲ２ａおよびヘッドＲ１ｂの境界部に位置するヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗは、グラフとしてなだらかな連続的なラインとなる。従って、ヘッドＲ２ａおよびヘッドＲ１ｂの境界部に位置するヘッドＲ２ａのノズル番号♯１７５〜♯１８０のノズル５２およびヘッドＲ１ｂのノズル番号♯１〜♯６のノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗのばらつきが低減される。その結果、上述の改行動作を伴う液状体の吐出作業においても、ワークＷ上に形成された薄膜に、液状体の吐出量Ｉｗの差によって生じるスジムラの発生を防止することができ、高い画像品質の表示装置を提供することができる。
【０１２２】
（カラーフィルタの製造方法）
次に、上記液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法について図１３〜図１５を参照して説明する。図１３は液晶表示装置の構造を示す分解斜視図、図１４はカラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１５（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造工程を示す概略断面図である。
【０１２３】
まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の一例である液晶表示装置について説明する。図１３に示すように、液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）透過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備えている。液晶表示パネル５２０は、着色層を有するカラーフィルタ５０５を具備した対向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８と、両基板５０１，５０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる両基板５０１，５０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。
【０１２４】
対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に複数の着色領域をマトリクス状に区画するバンクとしての隔壁部５０４と、区画された複数の着色領域にＲＧＢ３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを備えている。隔壁部５０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、隔壁部５０４と隔壁部５０４によって区画された着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えている。カラーフィルタ５０５は後述する製造方法を用いて製造されている。
【０１２５】
素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを備えている。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。
【０１２６】
照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【０１２７】
なお、液晶を挟む対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、液晶の分子を一定の方向に配列させるための配向膜がそれぞれ形成されているが、図示省略した。また、上下偏光板５１４，５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル５２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin  Film  Diode）素子を有したものでもよい。さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタ５０５を備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【０１２８】
図１４に示すように、本実施形態のカラーフィルタ５０５の製造方法は、対向基板５０１の表面にバンクを形成する工程（ステップＳ１）と、バンクによって区画された着色領域を表面処理する工程（ステップＳ２）とを備えている。また、表面処理された着色領域に着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を吐出する工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥してカラーフィルタ５０５を成膜する工程（ステップＳ４）とを備えている。さらに隔壁部５０４とカラーフィルタ５０５とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する工程（ステップＳ５）と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向電極５０７を形成する工程（ステップＳ６）とを備えている。
【０１２９】
図１４のステップＳ１は、バンク形成工程である。ステップＳ１では、図１５（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部５０２ａ（図１３参照）に対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５０２が形成される。
【０１３０】
次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられる。これにより対向基板５０１上に複数の着色領域Ａをマトリクス状に区画するバンクとしての隔壁部５０４が形成される。そしてステップＳ２へ進む。
【０１３１】
図１４のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ３へ進む。
【０１３２】
図１４のステップＳ３は、液状体吐出工程である。ステップＳ３では、図１５（ｂ）に示すように、表面処理された各着色領域Ａのそれぞれに、対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして吐出する。液状体８０ＲはＲ（赤色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０ＧはＧ（緑色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０ＢはＢ（青色）の着色層形成材料を含むものである。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、上記液状体の吐出方法を用い、隣り合うように並べて配置される少なくとも２つの液滴吐出ヘッド５０において、それぞれの液滴吐出ヘッド５０に配列される複数のノズル５２のうち、それぞれ他方の液滴吐出ヘッド５０側の端部に位置する複数のノズル５２に対して、ノズル５２毎に異なった駆動信号を供給して、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量を調整して、同一色の着色領域Ａに対して対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出する。このような主走査を必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂが対応する着色領域に付与されるまで繰り返す。これにより、着色領域Ａ毎に、ノズル列５２ａの両端部に位置するノズル５２の吐出特性に起因する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂの吐出のばらつきが低減される。吐出された液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、着色領域Ａに濡れ拡がり、表面張力によって盛り上がる。そしてステップＳ４へ進む。
【０１３３】
図１４のステップＳ４は、液状体乾燥・成膜工程である。ステップＳ４では、図１５（ｃ）に示すように、吐出された液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを一括乾燥し、溶剤成分を除去して着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方法が望ましい。そしてステップＳ５へ進む。
【０１３４】
図１４のステップＳ５は、ＯＣ層形成工程である。ステップＳ５では、図１５（ｄ）に示すように、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂと上層バンク５０３とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層５０６は、カラーフィルタ５０５が形成された対向基板５０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられている。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。そしてステップＳ６へ進む。
【０１３５】
図１４のステップＳ６は、対向電極形成工程である。ステップＳ６では、図１５（ｅ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中で成膜して、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。
【０１３６】
このようにして出来上がった対向基板５０１のカラーフィルタ５０５は、吐出領域としての着色領域Ａに液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして、その吐出量のばらつきが低減されるように吐出されている。各ノズル列５２ａの両端部に位置するノズル５２の吐出特性に起因する副走査方向（Ｘ方向）へのスジ状の色ムラが低減されている。この対向基板５０１と素子基板５０８とを接着剤を用いて所定の位置で接着し、対向基板５０１と素子基板５０８との隙間に液晶を充填すれば、スジムラが目立ちにくい、見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置５００を製造することができる。
【０１３７】
以下、実施形態の効果を記載する。
（１）上記実施形態の液状体の吐出方法は、液滴Ｄの吐出毎に、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄにより生成された４つの駆動信号（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）のうち１つを選択して、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２毎の振動子５９に印加することができる。従って、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗを変化させることができる。また、駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に係る駆動電圧Ｖｈの設定は、０．１Ｖ刻みで精細に設定することができるので、ノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗの制御を高精度に調整することができる。すなわち、ノズル５２毎に吐出される液状体の吐出量Ｉｗをコントロールすることができ、隣り合う液滴吐出ヘッド５０のそれぞれの両端部分に発生する吐出量Ｉｗのばらつきを低減させることができる。従って、液滴吐出ヘッド５０間に発生する吐出量のばらつきに起因するスジムラを低減することができる。
【０１３８】
（２）上記実施形態の液状体の吐出方法は、隣り合う液滴吐出ヘッド５０において、それぞれの液滴吐出ヘッド５０に配列される複数のノズル５２のうち、吐出量のばらつきの大きい傾向にある端部に位置する複数のノズル５２に対して、ノズル５２毎に異なった駆動信号を供給して、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗを調整することができる。そのため、ノズル５２毎に発生する吐出量Ｉｗの違いを効果的に低減することができ、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗの違いに起因するスジムラの発生を低減させることができる。
【０１３９】
（３）上記実施形態の液状体の吐出方法は、吐出量のばらつきの大きいノズル５２に対して、ノズル５２毎に異なった駆動信号を供給して、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗを調整することができる。そのため、ノズル５２の吐出特性を安定させることができ、吐出特性のばらつきにより使用されないノズル５２を低減することができる。従って、ノズル５２の有効活用がはかられ、薄膜形成作業の効率を向上させることができる。
【０１４０】
（４）上記実施形態の液状体の吐出方法は、吐出量計測工程を有しているため、隣り合う液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗをノズル５２毎に計測することができる。そして、計測された吐出量データに基づいて、適切な駆動信号を選択しそのノズル５２の駆動素子に供給することができる。従って、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量Ｉｗの経時的な変化にも対応することができ、安定した吐出量Ｉｗの調整が可能になる。
【０１４１】
（５）上記実施形態のカラーフィルタ５０５の製造方法において、液状体の吐出工程では、対向基板５０１の着色領域Ａに、上記液状体の吐出方法を用いて３種の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出する。したがって、隣り合う液滴吐出ヘッド５０の端部に位置するノズル５２の吐出ばらつきに起因するスジムラを低減し、且つ高い生産性を実現してカラーフィルタ５０５を歩留まりよく製造することができる。
【０１４２】
（６）上記実施形態の液晶表示装置５００の製造方法は、上記カラーフィルタ５０５の製造方法を用いて製造された対向基板５０１を備えているため、スジムラが目立ちにくい、見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置５００を製造することができる。
【０１４３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１４４】
（変形例１）上記実施形態の液状体の吐出方法において、液状体の吐出量Ｉｗを制御する異なる駆動信号の種類が４つの場合を例にとり説明したがこれに限定されない。ヘッドドライバ４８の電気回路構成を工夫すれば、さらにその種類を増やすことが可能である。
【０１４５】
（変形例２）上記実施形態の液状体の吐出方法において、液状体の吐出量Ｉｗの計測を吐出重量を測定して行う場合を例にとり説明したがこれに限定されない。例えば、ノズル５２から吐出された飛行中の液滴Ｄを撮像してその体積を求め吐出量を計測してもよいし、撥水性を有する基板上に着弾した後の液滴Ｄの形状を撮像してその体積を求め吐出量を計測してもよい。
【０１４６】
（変形例３）上記実施形態の液状体の吐出方法において、隣り合う液滴吐出ヘッド５０のそれぞれの隣り合う端部に位置するノズル５２に対して、液状体の吐出量Ｉｗを制御する複数の駆動信号のうちの１つを選択し供給する場合を例にとり説明したがこれに限定されない。例えば、上述の改行動作において、液滴吐出ヘッド５０の端部同士が隣り合わず、一方の液滴吐出ヘッド５０の端部と他方の液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａの列内に位置するノズル５２とが隣り合う場合は、一方の液滴吐出ヘッド５０の端部に位置する所定領域内の複数のノズル５２と隣り合う他方の液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａの列内の所定領域に位置する複数のノズル５２とに対して、液状体の吐出量Ｉｗを制御する複数の駆動信号のうちの１つを選択しノズル毎に供給してもよい。
【０１４７】
（変形例４）上記実施形態の液状体の吐出方法において、隣り合う液滴吐出ヘッド５０のそれぞれの隣り合う端部に位置するノズル５２に対して、それぞれの液滴吐出ヘッド５０から吐出されるねらいの吐出量Ｉｗｔとなるように、液状体の吐出量Ｉｗを制御する複数の駆動信号のうちの１つを選択し供給する場合を例にとり説明したが、これに限定されない。隣り合う液滴吐出ヘッド５０のそれぞれの隣り合う端部に位置するノズル５２に対して、これらのノズル５２から吐出される吐出量Ｉｗが、２つの液滴吐出ヘッド５０から吐出される液状体の吐出平均値でもよいし、どちらか一方の液滴吐出ヘッド５０の平均吐出量でもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４８】
【図１】液滴吐出装置の構造を示す図。
【図２】重量計測機構の構造を示す概略断面図。
【図３】（ａ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図。
【図４】キャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図５】液滴吐出ヘッドの吐出特性を示すグラフ。
【図６】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図７】液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図。
【図８】駆動信号および制御信号のタイミング図。
【図９】比較例の液状体の吐出状態を示す概略図。
【図１０】実施例１を示す図。
【図１１】実施例２を示す図。
【図１２】実施例２を示す図。
【図１３】液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図１４】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図１５】（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【符号の説明】
【０１４９】
１５…キャリッジ、２０…キャリッジ移動機構、３０…第１のテーブル移動機構、４０…第２のテーブル移動機構、５０…液滴吐出ヘッド、５２…ノズル、５９…駆動素子としての振動子、６０…吐出量計測手段としての重量計測機構、１００…液滴吐出装置、５０５…カラーフィルタ、Ｄ…液滴、Ｉｗ…吐出量、Ｉｗｔ…ねらいの吐出量、Ｒ１…第１の液滴吐出ヘッドとしてのヘッド、Ｒ２…第２の液滴吐出ヘッドとしてのヘッド、Ｗ…被吐出物としてのワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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