(57)【要約】【課題】圧力抵抗性が高く、構造が簡単であり、位置決めの精度が高く、使用の安全性が高く、操作性が優れる。【解決手段】一つのプラットホーム装置と、三つ以上の駆動装置と、三つ以上の変位装置と、三つ以上の変位軸受プラットホームとを含む超高正方向負荷用位置合せ装置において、前記プラットホーム装置には、台座と、作動プラットホームとが設けてあり、前記駆動装置は、前記台座の隅に設けられ、モータと、ねじ軸と、接合具とを有し、前記変位装置は、前記台座に設けられ、前記駆動装置と連接しており、合せ具と、第一リニアガイドウェー装置と、第二リニアガイドウェー装置と、軸受具とを有し、前記変位軸受プラットホームは、前記台座の前記駆動装置に近接する箇所に位置し、一端が前記作動プラットホームを支えることを特徴とする、超高正方向負荷用位置合せ装置。【選択図】図２
2009063540.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一つのプラットホーム装置と、三つ以上の駆動装置と、三つ以上の変位装置と、三つ以上の変位軸受プラットホームとを含む、超高正方向負荷用位置合せ装置において、前記プラットホーム装置には、台座と作動プラットホームとが設けてあり、前記駆動装置は前記台座の隅に設けられ、モータと、ねじ軸と、接合具とを有し、前記モータが前記ねじ軸の一端に連接され、前記ねじ軸の他端が前記接合具にねじ込まれ、前記変位装置は前記台座に設けられ、前記駆動装置と連接しており、合せ具と、第一リニアガイドウェー装置と、第二リニアガイドウェー装置と、軸受具とを有し、前記合せ具が前記駆動装置の接合具に固定され、また、前記合せ具の前記台座に近接する箇所では前記第一リニアガイドウェー装置が設けてあり、前記第二リニアガイドウェー装置が前記合せ具の他端に設けられ、また、前記第一リニアガイドウェー装置が前記駆動装置に平行するように設けられ、また、前記第二リニアガイドウェー装置が前記第一リニアガイドウェー装置と垂直するように設けられ、前記第二リニアガイドウェー装置の作動プラットホームに近接する箇所では軸受具が設けてあり、前記軸受具が前記作動プラットホームの一端に設けられ、前記変位軸受プラットホームは、前記台座の前記駆動装置に近接する箇所に位置し、一端が前記作動プラットホームを支え、且つプラットホーム装置の受ける引張応力と圧縮応力とを受け可能であることを特徴とする、超高正方向負荷用位置合せ装置。
【請求項２】
前記台座の上では、駆動装置と、変位装置と、変位軸受プラットホームとが設けてあり、前記台座の他端にある作動プラットホームの上では、前記変位装置と変位軸受プラットホームとが連動可能であることを特徴とする、請求項１に記載の超高正方向負荷用位置合せ装置。
【請求項３】
前記変位軸受プラットホームには、安定台と、圧力抵抗体と、調節部とが設けてあり、前記安定台が前記台座の前記駆動装置に近接するモータの一端に設けられ、そして前記調節部は、前記安定台と圧力抵抗体とを挿通し、一端が前記作動プラットホームを支えることを特徴とする、請求項１に記載の超高正方向負荷用位置合せ装置。
【請求項４】
前記台座には変位軸受プラットホームが四つ設けてあり、前記変位軸受プラットホームが前記台座の四つの隅に設けられることを特徴とする、請求項１に記載の超高正方向負荷用位置合せ装置。
【請求項５】
前記駆動装置は、モータと、連動具と、固定台と、ねじ軸と、接合具とを有し、前記モータが前記台座のエッジの近傍に設けられ、前記モータの一端が前記連動具と連結しており、前記連動具の一端には固定台が設けてあり、ねじ軸の一端は、前記固定台を挿通して連動具と連結しており、且つ前記ねじ軸の他端が前記接合具にねじ込まれ、前記接合具が前記変位装置に連結されることを特徴とする、請求項１に記載の超高正方向負荷用位置合せ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超高正方向負荷用位置合せ装置に係り、特に、プラットホーム装置に駆動装置を設けることにより、プラットホーム装置は前後移動、左右移動、又は回転移動が可能になり、なお、変位軸受プラットホームがプラットホーム装置を支える超高正方向負荷用位置合せ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
目下、従来の６自由度を持つミクロ/ナノクラスの位置決めプラットホームには、両側にリニアガイドウェーが設けてあるベースと、前記ベースのリニアガイドウェーと垂直に設けられる第一駆動装置と、前記ベースの一側に設けられるＸ軸バネ回復装置と、前記第一駆動装置に取付けられる第一楔形状ブロック機構とが設けてあり、なお、前記第一駆動装置と第一楔形状ブロック機構とＸ軸バネ回復装置とが一緒に移動して第二駆動装置とＺ軸バネ回復装置とを駆動し、このような構成によれば構造が複雑であり、作動しているときに変形や分離が発生し易く、安全性が低く、作製工数がかなり掛られる欠点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の主な目的は、圧力抵抗性が高く、構造が簡単であり、位置決めの精度が高く、使用の安全性が高く、操作性が優れる超高正方向負荷用位置合せ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するためになされた本願の発明は、一つのプラットホーム装置と、三つ以上の駆動装置と、三つ以上の変位装置と、三つ以上の変位軸受プラットホームとを含む超高正方向負荷用位置合せ装置において、前記プラットホーム装置には、台座と作動プラットホームとが設けてあり、前記駆動装置は前記台座の隅に設けられ、モータと、ねじ軸と、接合具とを有し、前記モータが前記ねじ軸の一端に連接され、前記ねじ軸の他端が前記接合具にねじ込まれ、前記変位装置は前記台座に設けられ、前記駆動装置と連接しており、合せ具と、第一リニアガイドウェー装置と、第二リニアガイドウェー装置と、軸受具とを有し、前記合せ具が前記駆動装置の接合具に固定され、また、前記合せ具の前記台座に近接する箇所では前記第一リニアガイドウェー装置が設けてあり、前記第二リニアガイドウェー装置が前記合せ具の他端に設けられ、また、前記第一リニアガイドウェー装置が前記駆動装置に平行するように設けられ、また、前記第二リニアガイドウェー装置が前記第一リニアガイドウェー装置と垂直するように設けられ、前記第二リニアガイドウェー装置の作動プラットホームに近接する箇所では軸受具が設けてあり、前記軸受具が前記作動プラットホームの一端に設けられ、前記変位軸受プラットホームは、前記台座の前記駆動装置に近接する箇所に位置し、一端が前記作動プラットホームを支え、且つプラットホーム装置の受ける引張応力と圧縮応力とを受け可能であることを特徴とする、超高正方向負荷用位置合せ装置であることを要旨としている。
【０００５】
本願の発明では、前記台座の上では、駆動装置と、変位装置と、変位軸受プラットホームとが設けてあり、前記台座の他端にある作動プラットホームの上では、前記変位装置と変位軸受プラットホームとが連動可能であることを特徴とする、請求項１に記載の超高正方向負荷用位置合せ装置であることを要旨としている。
【０００６】
本願の発明では、前記変位軸受プラットホームには、安定台と、圧力抵抗体と、調節部とが設けてあり、前記安定台が前記台座の前記駆動装置に近接するモータの一端に設けられ、そして前記調節部は、前記安定台と圧力抵抗体とを挿通し、一端が前記作動プラットホームを支えることを特徴とする、請求項１に記載の超高正方向負荷用位置合せ装置であることを要旨としている。
【０００７】
本願の発明では、前記台座には変位軸受プラットホームが四つ設けてあり、前記変位軸受プラットホームが前記台座の四つの隅に設けられることを特徴とする、請求項１に記載の超高正方向負荷用位置合せ装置であることを要旨としている。
【０００８】
本願の発明では、前記駆動装置は、モータと、連動具と、固定台と、ねじ軸と、接合具とを有し、前記モータが前記台座のエッジの近傍に設けられ、前記モータの一端が前記連動具と連結しており、前記連動具の一端には固定台が設けてあり、ねじ軸の一端は、前記固定台を挿通して連動具と連結しており、且つ、前記ねじ軸の他端が前記接合具にねじ込まれ、前記接合具が前記変位装置に連結されることを特徴とする、請求項１に記載の超高正方向負荷用位置合せ装置であることを要旨としている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の超高正方向負荷用位置合せ装置によれば、圧力抵抗性が高く、構造が簡単であり、位置決めの精度が高く、使用の安全性が高く、操作性が優れる効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して本発明の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００１１】
まず、図１ないし図３を参照する。本発明の実施例の超高正方向負荷用位置合せ装置は、一つのプラットホーム装置１０と、三つの駆動装置２０と、三つの変位装置３０と、三つの変位軸受プラットホーム４０とを含む。
【００１２】
前記プラットホーム装置１０には、四方形を呈する台座１１と、作動プラットホーム１２とが設けてあり、前記台座１１の上では、駆動装置２０と、変位装置３０と、変位軸受プラットホーム４０とが設けてあり、且つ前記台座１１の他端にあるプラットホーム１２の上では、変位装置３０と、変位軸受プラットホーム４０とが設けてある。
【００１３】
前記駆動装置２０は、前記台座１１の隅に設けられ、立方体を呈するモータ２１と、円盤形状を呈する連動具２２と、立方体を呈する固定台２３と、ねじ軸２４と、立方体を呈する接合具２５とを有し、前記モータ２１が前記台座１１のエッジの近傍に設けられ、前記モータ２１の一端が前記連動具２２と連結しており、前記連動具２２の一端には固定台２３が設けてあり、ねじ軸２４の一端は、前記固定台２３を挿通して連動具２２と連結しており、且つ前記ねじ軸２４の他端が前記接合具２５にねじ込まれ、前記接合具２５が前記変位装置３０に連結される。
【００１４】
前記変位装置３０は、Ｌ字形を呈する合せ具３１と、第一リニアガイドウェー装置３２と、第二リニアガイドウェー装置３３と、変位装置３４とを有し、前記合せ具３１が前記駆動装置２０の接合具２５に固定され、また、前記合せ具３１の前記台座１１に近接する箇所では前記第一リニアガイドウェー装置３２が設けてあり、前記第二リニアガイドウェー装置３３が前記合せ具３１の他端に設けられ、また、前記第一リニアガイドウェー装置３２が前記駆動装置２０に平行するように設けられ、また、前記第二リニアガイドウェー装置３３が前記第一リニアガイドウェー装置３２と垂直するように設けられ、前記第二リニアガイドウェー装置３３の作動プラットホーム１２に近接する箇所では軸受具３４が設けてあり、前記軸受具３４が前記作動プラットホーム１２の一端に設けられる。
【００１５】
前記変位軸受プラットホーム４０は、多層に積み上げられたものであり、四方盤を円盤に連接して構成される安定台４１と、円盤形状を呈する圧力抵抗体４２と、円形の突起を呈する調節部４３とを有し、前記安定台４１は、前記台座１１の前記駆動装置２０に近接するモータ２１の一端に設けられ、二組以上の軸受が設けてあり、そして前記調節部４３は、前記安定台４１と圧力抵抗体４２とを挿通する。
【００１６】
また、図４と図５を参照する。図４は本発明の別の変位位置合せ動作を示す概略図であり、図５は本発明の更に別の変位位置合せ動作を示す概略図である。プラットホーム装置１０の両端に設けられた駆動装置２０Ａ，２０Ｂのモータ２１Ａ，２１Ｂが連動具２２Ａ，２２Ｂをそれぞれ駆動して、ねじ軸２４Ａ，２４Ｂは一つが前へ、一つが後ろへ回動し、且つ接合具２５Ａ，２５Ｂが合せ具３１Ａ，３１Ｂを駆動して、第一リニアガイドウェー装置３２Ａ，３２Ｂは、前後方向の変位および位置決めが精確になり、且つ作動プラットホーム１２の軸受具３４Ａ，３４Ｂと第二リニアガイドウェー装置３３Ｃを駆動し、これにより、作動プラットホーム１２は、前後方向または左右方向の変位および位置決めが精確になる。また、図５に示すように、プラットホーム装置１０の三つのエッジに設けられた駆動装置２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃのモータ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃが連動具２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃをそれぞれ駆動して、ねじ軸２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃが前へ又は後ろへ回動し、且つ接合具２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃが合せ具３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃを駆動して、第一リニアガイドウェー装置３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃと第二リニアガイドウェー装置３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃとは、回動変位および位置決めが精確になり、且つ作動プラットホーム１２の軸受具３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃを駆動し、これにより作動プラットホーム１２は回動変位および位置決めが精確になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一部の斜視概略図
【図２】本発明全体の構造を示す概略図
【図３】本発明の平面概略図
【図４】本発明の別の変位位置合せ動作を示す概略図
【図５】本発明の更に別の変位位置合せ動作を示す概略図
【符号の説明】
【００１８】
１０                            プラットホーム装置
１１                            台座
１２                            作動プラットホーム
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ    駆動装置
２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ    モータ
２２，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ    連動具
２３                            固定台
２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ    ねじ軸
２５，２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ    接合具
３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ    変位装置
３１，３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ    合せ具
３２，３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ    第一リニアガイドウェー装置
３３，３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ    第二リニアガイドウェー装置
３４，３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ    軸受具
４０                            変位軸受プラットホーム
４１                            安定台
４２                            圧力抵抗体
４３                            調節部
【図１】
2009063540.tif 000003
【図２】
2009063540.tif 000004
【図３】
2009063540.tif 000005
【図４】
2009063540.tif 000006
【図５】
2009063540.tif 000007