(57)【要約】【課題】コスト的に有利に且つ容易に製造可能な、電子部品および付属のリード線を含む真空ポンプを提供する。【解決手段】本発明は、ハウジング部分（２）と、電子部品（３、６、１３、１６）と、およびこれらに通じている電子リード線（４、７、１４、１７）と、を備えた真空ポンプ（１）に関するものである。コスト的に有利に且つ容易に製造可能な真空ポンプを提供するために、前記ハウジング部分内に、前記リード線の長さの少なくとも一部がその中を伸長するリング状通路（５）が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング部分（２）と、電子部品（３、６、１３、１６）と、およびこれらに通じている電子リード線（４、７、１４、１７）と、を備えた真空ポンプ（１）において、
前記ハウジング部分内に、前記リード線の長さの少なくとも一部がその中を伸長するリング状通路（５）が設けられていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記電子部品（３、６、１３、１６）が駆動装置（３）であり、および前記リード線（４、７、１４、１７）が駆動装置リード線（４）であることを特徴とする請求項１の真空ポンプ。
【請求項３】
前記駆動装置（３）の外壁が前記リング状通路（５）の側壁を形成していることを特徴とする請求項１または２の真空ポンプ。
【請求項４】
前記リング状通路（５）から横通路（サイド・アーム）（８、１５）が分岐し、横通路内に電子部品（６、１３）に通じる電気リード線（７、１４）が配置されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの真空ポンプ。
【請求項５】
前記ハウジング部分（２）の外壁に第１の電気結合要素（１１）および第２の電気結合要素（１２）が設けられ、この場合、前記電気結合要素（１１、１２）と結合されているリード線（４、７、１４、１７）が信号タイプに従ってグループ化されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかの真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は請求項１の上位概念に記載の真空ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプ、特に例えばターボ分子真空ポンプのような高速回転ロータを備えた真空ポンプは、その内部に付属のリード線を備えた多数の電気部品および電子部品を有している。その理由は、運転変数をモニタリングするために多数のセンサが組み込まれているからである。これは一方で使用条件がますます苛酷になってきた結果である。従来技術においては、種々のケーブルのための多数の内孔および凹部が設けられている。このことは、ますます増大する製造コストおよび個々の部品のコストのかかる形態と同等である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
したがって、コスト的に有利に且つ容易に製造可能な、電子部品および付属のリード線を含む真空ポンプを提供することが本発明の課題である。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この課題は請求項１の特徴を有する真空ポンプにより解決される。請求項２−５は本発明の有利な変更態様を与える。
リング状通路は、本来必要なハウジング部分の旋削における簡単な作業工程内で容易に製作可能である。しかしながら、この通路は、一般に、多数の電気リード線の長さの少なくとも一部を受け入れている。これにより、他の作業ステップを必要とする費用のかかる穴あけは必要がない。駆動装置の外壁がリング状通路の側壁を形成しているとき、さらに単純化が達成される。これは、さらに、粒子等が入り込まないようにケーブルをシールする。通路から分岐する横通路により、多数の電子部品を真空ポンプの結合要素と結合することが容易に可能である。一変更態様は、種々の信号タイプに対して、相互に分離された異なる結合要素を設けている。信号タイプは電圧の値または電流パルスの周波数において異なっている。このとき、リード線は信号タイプに従ってグループ化されて結合要素と結合される。これにより相互干渉が確実に回避される。
【０００５】
一実施例により、本発明が詳細に説明され且つ他の利点が明示される。
以下の図において同じ符号は同じ部品を示している。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
図１に、ターボ分子ポンプ１として形成された真空ポンプが縦断面図で示されている。ターボ分子ポンプはフランジ２０を有し、フランジによりターボ分子ポンプは図示されていない真空室と着脱可能に結合可能である。ハウジング部分２内に駆動装置３が配置され、駆動装置はコンパウンド内に埋め込まれた電気コイルを含む。この駆動装置はロータ軸２１を高速回転させる。ロータ軸はそのフランジ側端部において永久磁気軸受２２により回転可能に支持されている。ロータ軸は軸方向に間隔配置されたロータ・ディスク２６を支持し、ロータ・ディスクはそれぞれ羽根リングを備えている。この軸方向間隔内に、同様に羽根リングを備えたステータ・ディスク２４が係合し、ステータ・ディスクはスペーサ・リング２５により軸方向に間隔をなして保持されている。ロータ・ディスクの高速回転によりポンプ作用が得られる。ロータ軸のフランジとは反対側端部は、転がり軸受２３により回転可能に支持されている。代替態様として、ここに、能動的および受動的磁気軸受が使用されてもよい。駆動装置には駆動装置リード線４により電流が供給される。駆動装置リード線は駆動装置を第１の電気結合要素１１と結合する。第１の電気結合要素から、図示されていない電気ラインが、同様に図示されていない制御電子装置に通じている。
【０００７】
駆動装置リード線の長さの一部はリング状通路５内に存在する。リング状通路はロータ軸を同軸に包囲し且つアキシアル方向でしかもラジアル方向外方に側壁を有している。内側側壁は駆動装置の外壁の一部により形成される。
【０００８】
駆動装置３は駆動装置センサ１６を含む。駆動装置センサは温度センサまたは回転速度センサであってもよい。第１のリード線１７は駆動装置センサから第２の電気結合要素１２に通じている。第１のリード線の長さの一部はリング状通路５内を伸長している。
【０００９】
転がり軸受２３に軸受センサ６が配置され、軸受センサは転がり軸受の温度をモニタリングするための温度センサとして形成されている。異常温度が特定された場合、例えば駆動動力の低下等の対策が導入されてもよい。代替態様または追加態様として、転がり軸受に振動センサが配置されていてもよい。横通路８内を軸受センサからリング状通路まで第２のリード線７が通されている。リング状通路内を第２のリード線の長さの一部が伸長し且つ第２のリード線は第２の電気結合要素内において終端している。能動的磁気軸受の場合、例えば軸受コイルおよびシフト・センサのような磁気軸受の能動的要素への必要なリード線はこのような横通路内を通されている。
【００１０】
第３のセンサ１３が補助真空の範囲内に配置されている。第３のセンサはこの範囲内の温度を測定し、これにより、羽根リングを損傷させるような異常温度が特定可能である。第３のリード線１４は第２の横通路１５を通ってリング状通路５内を通されている。第３のリード線の長さの一部はリング状通路内を伸長し且つ最終的に第２の結合要素において終端している。
【００１１】
第１、第２および第３のリード線は第２の電気結合要素をそれぞれのセンサと結合している。これらのリード線を介して、その電流および電圧が低い電気信号が伝送される。これらの信号は第１の信号タイプに付属される。これに対して、第１の電気結合要素と結合されている駆動装置リード線を介して、数倍高い電圧および電流が伝送される。これらの信号は第２の信号タイプに付属される。さらに、信号は、例えば伝送される周波数範囲に関するような、他の面で異なっているものであってもよい。リード線から結合要素への移行においてリード線相互間の電気絶縁を確実にすることはコストがかかるので、電流、電圧および周波数の値が著しく異なるリード線を２つの異なる結合要素に導くことは有利である。このように、異なる信号タイプは異なる結合要素に導かれる。第１、第２および第３のリード線を介して伝送される信号の駆動装置リード線による干渉はこのようにして回避される。
【００１２】
図示の実施例においては、電子部品のグループは、駆動装置、駆動装置センサ、軸受センサおよび第３のセンサを含む。例えばポンプ・タイプ検出手段および運転データ・メモリのような他の電子部品もまた考えられる。
【００１３】
図２は、リング状通路の形態を表わした、ターボ分子ポンプ１の断面図を示す。図の中心にロータ軸２１が見え、ロータ軸はコンパウンド内に埋め込まれた駆動装置３のコイルにより同軸に包囲されている。コンパウンドの外壁はリング状通路５の一方の壁を形成する。第２の電気結合要素１２においてリード線７が始まり、リード線はリング状通路内を伸長し且つそこから第１の横通路８内に挿入されている。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】リング状通路を備えたターボ分子真空ポンプの断面図である。
【図２】線Ａ−Ａ′によるロータ軸に垂直な平面内の断面図である。
【符号の説明】
【００１５】
１    ターボ分子ポンプ
２    ハウジング部分
３    駆動装置（電子部品）
４、７、１４、１７    リード線
５    リング状通路
６    軸受センサ（電子部品）
８、１５    横通路
１１、１２    電気結合要素
１３    第３のセンサ（電子部品）
１６    駆動装置センサ（電子部品）
２０    フランジ
２１    ロータ軸
２２    永久磁気軸受
２３    転がり軸受
２４    ステータ・ディスク
２５    スペーサ・リング
２６    ロータ・ディスク  
【図１】
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【図２】
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