(57)【要約】      （修正有）【課題】製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる製造工程監視装置、方法、プログラムおよび記録媒体を提供する。【解決手段】変更指示部１５は、検査情報記憶部１２によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測対象にすべき観測工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているか否かを判定する。予め定める判定条件は、たとえば、検査結果が示す不良が、重欠陥であるという条件、同じ不良が連続して発生しているという条件、および同じ不良が不連続にまたは異なる不良が連続してもしくは不連続に発生しているという条件である。検査結果が予め定める判定条件を満たしているとき、変更先情報テーブルに基づいて新たな観測対象の観測工程を決定し、決定した観測工程を観測対象の観測工程に変更するようにＬＡＮ４０を介して観測装置２０に指示する。【選択図】図１
2009015532.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程を観測する観測手段と、
被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得手段と、
検査情報取得手段によって取得された検査情報を記憶する検査情報記憶手段と、
検査情報記憶手段によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測手段が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測手段が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御手段とを含むことを特徴とする製造工程監視装置。
【請求項２】
前記検査情報は、不良の有無および不良が重大な欠陥であるか否かを示す情報を含み、
前記予め定める判定条件は、
検査情報記憶手段によって記憶される最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥であることを示しているという条件、
最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ製造工程で連続して予め定める基準連続回数発生している不良であるという条件、
または最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ検査工程で、同じ不良が不連続に、異なる不良が連続して、もしくは異なる不良が不連続に予め定める基準不連続回数発生している不良であるという条件であることを特徴とする請求項１に記載の製造工程監視装置。
【請求項３】
前記検査情報は、不良の症状を表す情報を含み、
前記観測手段によって観測可能な製造工程ごとに、各製造工程で発生する不良の症状を対応付けた対応情報を記憶する対応情報記憶手段をさらに含み、
前記制御手段は、対応情報記憶手段によって記憶される対応情報に基づいて、検査情報が示す不良の症状に対応する製造工程を特定し、特定した製造工程を新たな観測対象の製造工程として決定することを特徴とする請求項１または２に記載の製造工程監視装置。
【請求項４】
前記観測手段によって観測された観測結果を表す観測情報を記憶する観測情報記憶手段と、
観測情報記憶手段によって記憶される観測情報を出力する出力手段とをさらに含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の製造工程監視装置。
【請求項５】
被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程を観測する観測装置を用いて、製造工程を監視する製造工程監視方法であって、
被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得ステップと、
検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを含むことを特徴とする製造工程監視方法。
【請求項６】
被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得ステップと、
検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程を観測する観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを、コンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項７】
請求項６に記載のプログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産ラインにおける複数の製造工程を監視することができる製造工程監視装置、方法、プログラムおよび記録媒体に関し、特に、複数の製造工程および少なくとも１つの検査工程からなる生産ラインにおいて、少なくとも１つの製造工程を観測対象の観測工程と定めて、製造工程を監視する製造工程監視装置、方法、プログラムおよび記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
製品を生産する生産ラインにおいて、製品の不良は、不意にかつ一時的に発生する場合が多く、作業者の目視による監視のみでは、不良発生の原因を究明することができない可能性が高いと考えられる。
【０００３】
そこで、作業者の目視だけで監視を行うのではなく、観測装置としてＶＴＲ（Video 
Tape Recorder）を利用する場合がある。ところが、観測装置としてＶＴＲを利用する場合、観測点を長時間連続して録画しなければならず、不良の発生が少ない観測点では、そのＶＴＲで録画されたビデオテープのほとんどが無駄になってしまう。
【０００４】
従来の技術として、直列、並列に設置された複数のラインが分岐、合流する生産ラインにおいて、不良発生時の原因究明およびその対応を迅速に行うことができるようにした生産工程監視装置がある。この生産工程監視装置は、複数の生産工程中の各々に複数の工程作業観測点を設け、個々の被加工品の作業状況に関する観測情報を時系列的に観測し、その観測情報を個々の被加工品を特定する固有情報と共に記憶する。観測情報は、たとえば被加工品を測定した計測情報および被加工品を撮影した静止画像情報である。そして、生産工程での異常発見時に被加工品の固有情報に基づいて、この被加工品の生産工程の各観測点における観測情報を、前記記憶された観測情報の中から検索して異常発見時から遡って表示する。
【０００５】
生産工程監視装置は、観測情報が静止画像の情報であるので、長時間連続して録画する必要がなく、記憶する情報量を削減することができ、ビデオテープの無駄をなくすことができる（たとえば特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−２４９６７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の技術の生産工程監視装置は、すべての観測点で観測して観測情報を記憶するものであり、ＶＴＲで長時間連続して録画する場合に比べると、記憶する情報量は削減されているが、記憶する観測情報の情報量はまだ多い。
【０００８】
本発明の目的は、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる製造工程監視装置、方法、プログラムおよび記録媒体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程を観測する観測手段と、
被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得手段と、
検査情報取得手段によって取得された検査情報を記憶する検査情報記憶手段と、
検査情報記憶手段によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測手段が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測手段が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御手段とを含むことを特徴とする製造工程監視装置である。
【００１０】
また本発明は、前記検査情報は、不良の有無および不良が重大な欠陥であるか否かを示す情報を含み、
前記予め定める判定条件は、
検査情報記憶手段によって記憶される最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥であることを示しているという条件、
最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ製造工程で連続して予め定める基準連続回数発生している不良であるという条件、
または最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ検査工程で、同じ不良が不連続に、異なる不良が連続して、もしくは異なる不良が不連続に予め定める基準不連続回数発生している不良であるという条件であることを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、前記検査情報は、不良の症状を表す情報を含み、
前記観測手段によって観測可能な製造工程ごとに、各製造工程で発生する不良の症状を対応付けた対応情報を記憶する対応情報記憶手段をさらに含み、
前記制御手段は、対応情報記憶手段によって記憶される対応情報に基づいて、検査情報が示す不良の症状に対応する製造工程を特定し、特定した製造工程を新たな観測対象の製造工程として決定することを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、前記観測手段によって観測された観測結果を表す観測情報を記憶する観測情報記憶手段と、
観測情報記憶手段によって記憶される観測情報を出力する出力手段とをさらに含むことを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程を観測する観測装置を用いて、製造工程を監視する製造工程監視方法であって、
被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得ステップと、
検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを含むことを特徴とする製造工程監視方法である。
【００１４】
また本発明は、被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得ステップと、
検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程を観測する観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを、コンピュータに実行させるためのプログラムである。
また本発明は、前記プログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、観測手段によって、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程が観測され、検査情報取得手段によって、被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報が取得され、検査情報記憶手段によって、検査情報取得手段によって取得された検査情報が記憶される。
【００１６】
そして、制御手段によって、検査情報記憶手段によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測手段が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程が決定され、観測手段が観測対象とする製造工程が、決定された製造工程へ変更される。したがって、予め定める判定条件を満たす不良が発生した製造工程に絞って観測することができ、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる。
【００１７】
また本発明によれば、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程を観測する観測装置を用いて、製造工程を監視するにあたって、検査情報取得ステップでは、被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する。検査情報記憶ステップでは、検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する。そして、制御ステップでは、検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる。
【００１８】
したがって、本発明に係る製造工程監視方法をコンピュータに適用すれば、予め定める判定条件を満たす不良が発生した製造工程に絞って観測することができ、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる。
【００１９】
また本発明によれば、被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得ステップと、検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程を観測する観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを、コンピュータに実行させるためのプログラムとして提供することができる。
【００２０】
また本発明によれば、前記プログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体として提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の実施の一形態である製造工程監視装置１の機能の構成を示すブロック図である。本発明に係る製造工程監視方法は、製造工程監視装置１で処理される。
【００２２】
製造工程監視装置１は、コンピュータ１０、複数の観測装置２０および少なくとも１つの検査情報取得装置３０を含む。コンピュータ１０、観測装置２０および検査情報取得装置３０は、それぞれ通信回線たとえばＬＡＮ（Local Area Network）４０に接続され、ＬＡＮ４０を介して情報を送受信する。
【００２３】
図１は、観測装置２０および検査情報取得装置３０を生産ラインと対応付けて示している。生産ラインは、被製造物を製造する複数の製造工程、および被製造物を検査して不良を検出する少なくとも１つの検査工程を含み、開始工程から始まり、終了工程で終了する。観測工程は、製造工程のうち各観測装置２０のそれぞれの観測範囲に含まれる製造工程である。図１には、観測工程として、観測装置Ａの観測範囲に含まれるＡ工程１、Ａ工程２およびＡ工程３、観測装置Ｂの観測範囲に含まれるＢ工程１、Ｂ工程２およびＢ工程４、ならびに観測装置Ｚの観測範囲に含まれるＺ工程１、Ｚ工程２およびＺ工程６などが示されている。検査工程としては、検査工程ａ、検査工程ｂおよび検査工程ｎなどが示されている。
【００２４】
コンピュータ１０は、キーボードおよびマウスなどの入力装置、ディスプレイなどの表示装置を含む出力手段である出力装置、ＬＡＮ４０を介して情報を送受信する通信装置、時間を計時する計時装置、半導体メモリあるいはハードディスク装置によって構成され、プログラムおよびデータを記憶する記憶装置、記憶装置に記憶されるプログラムを実行して、入力装置、出力装置、通信装置および計時装置を制御するＣＰＵ（Central 
Processing Unit）を含む。プログラムは、ＯＳ（Operating System）、アプリケーションプログラムおよび製造工程監視装置１を制御するためのプログラムを含む。コンピュータ１０は、一般的に知られているコンピュータでよく、詳細な説明は省略する。
【００２５】
観測手段である観測装置２０は、ＶＴＲ（Video Tape Recorder）あるいはデジタルカメラなどの撮像装置によって構成される。各観測装置２０は、その観測装置２０の観測範囲に含まれる観測工程のうち、変更指示部１５によって指示される１つの観測工程を観測する。観測装置２０は、変更指示部１５によって指示された観測工程で行われる製造作業およびその製造作業によって製造される被製造物を観測し、観測した観測結果を表す観測情報をＬＡＮ４０を介してコンピュータ１０に送信する。
【００２６】
検査情報取得手段である検査情報取得装置３０は、たとえばパーソナルコンピュータなどによって構成され、検査工程で行われた検査結果を表す検査情報を取得し、取得した検査情報をＬＡＮ４０を介してコンピュータ１０に送信する。検査情報取得装置３０は、ユーザが検査情報取得装置３０のキーボードから入力した検査情報を取得、あるいは検査工程で用いられる検査装置から、その検査装置による検査結果の検査情報を通信回線を介して取得する。
【００２７】
コンピュータ１０は、観測情報記憶部１１、検査情報記憶部１２、変更判定基準情報記憶部１３、変更先情報記憶部１４および変更指示部１５を含む。観測情報記憶部１１、検査情報記憶部１２、変更判定基準情報記憶部１３、変更先情報記憶部１４および変更指示部１５は、コンピュータ１０に含まれるＣＰＵが、コンピュータ１０に含まれる記憶装置に記憶されるプログラムを実行することによって実現される機能である。
【００２８】
観測情報記憶手段である観測情報記憶部１１は、ＬＡＮ４０を介して観測装置２０から送信される観測情報を、コンピュータ１０に含まれる通信装置によって受信し、受信した観測情報をコンピュータ１０に含まれる記憶装置に記憶する。観測情報記憶部１１によって記憶される観測情報は、コンピュータ１０に含まれる出力装置によって出力され、ユーザは、出力された観測情報を、不良の原因を究明するための情報として利用することができる。
【００２９】
このように、観測情報記憶部１１によって、観測装置２０によって観測された観測結果を表す観測情報が記憶され、出力装置によって、観測情報記憶部１１によって記憶される観測情報が出力されるので、観測情報を出力することができ、ユーザはその出力を参照することができる。
【００３０】
検査情報取得手段および検査情報記憶手段である検査情報記憶部１２は、ＬＡＮ４０を介して検査情報取得装置３０から送信される検査情報を、コンピュータ１０に含まれる通信装置によって受信し、受信した検査情報をコンピュータ１０に含まれる記憶装置に記憶する。検査情報は、不良の有無、不良の症状、不良が重大な欠陥であるか否か、およびその不良が検出された検査工程などの情報を含む。
【００３１】
変更判定基準情報記憶部１３は、コンピュータ１０に含まれる記憶装置に含まれ、後述する重欠陥不良テーブル５０、連続変更基準回数テーブル５１および不連続変更基準回数テーブル５２を記憶する。対応情報記憶手段である変更先情報記憶部１４は、コンピュータ１０に含まれる記憶装置に含まれ、後述する変更先情報テーブル５３を記憶する。
【００３２】
制御手段である変更指示部１５は、検査情報記憶部１２によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測対象にすべき観測工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件、具体的には、重欠陥不良テーブル５０、連続変更基準回数テーブル５１および不連続変更基準回数テーブル５２に示される判定条件を満たしているとき、変更先情報テーブル５３に基づいて新たな観測対象の観測工程を決定し、観測対象の観測工程を決定された観測工程に変更するようにＬＡＮ４０を介して観測装置２０に指示する。
【００３３】
図２は、変更判定基準情報記憶部１３に記憶される重欠陥不良テーブル５０の一例を示す図である。重欠陥不良テーブル５０は、重大な欠陥である重欠陥不良が登録されているテーブルである。重欠陥不良は、その不良が１回でも発生すると、その不良が発生した観測工程を、観測対象の観測工程として変更する必要がある不良である。図２に示した重欠陥不良テーブル５０には、不良ＡＢ、不良ＢＣ、不良ＥＡおよび不良ＺＤなどが登録されている。
【００３４】
図３は、変更判定基準情報記憶部１３に記憶される連続変更基準回数テーブル５１の一例を示す図である。連続変更基準回数テーブル５１は、観測装置ごとの連続変更基準回数を示すテーブルである。連続変更基準回数は、同じ不良が連続して発生した場合に、観測対象にすべき観測工程を変更する必要があるか否かを判定するための基準となる回数を示す。図３に示した連続変更基準回数テーブル５１には、連続変更基準回数が、観測装置Ａについては「２」、観測装置Ｂについては「３」、観測装置Ｃについては「２」、および観測装置Ｚについては「４」などと示されている。
【００３５】
図４は、変更判定基準情報記憶部１３に記憶される不連続変更基準回数テーブル５２の一例を示す図である。不連続変更基準回数テーブル５２は、検査工程ごとの不連続変更基準回数を示すテーブルである。不連続変更基準回数は、同じ検査工程で、同じ不良が不連続に発生した場合および異なる不良が連続あるいは不連続に発生した場合に、観測対象にすべき観測工程を変更する必要があるか否かを判定するための基準となる回数を示す。図４に示した不連続変更基準回数テーブル５２には、不連続変更基準回数が、検査工程ａについては「２」、検査工程ｂについては「１」、検査工程ｃについては「３」、および検査工程ｎについては「２」などと示されている。
【００３６】
図５は、変更先情報記憶部１４に記憶される変更先情報テーブル５３の一例を示す図である。変更先情報テーブル５３は、観測装置ごとに、観測工程つまり観測範囲に含まれる製造工程と、各観測工程で発生する不良の症状とを対応付けたテーブルである。したがって、変更先情報テーブル５３を参照すれば、不良の症状に基づいて、観測装置２０ごとに、その不良症状の不良がどの観測工程で発生するかを判断することができる。
【００３７】
図５に示した変更先情報テーブル５３には、観測装置Ａについては、Ａ工程１の観測工程で不良症状が「不良ＡＡ」が発生し、Ａ工程２の観測工程で不良症状が「不良ＡＢ」が発生し、Ａ工程３の観測工程で不良症状が「不良ＡＣ」が発生することが示されている。観測装置Ｂについては、Ｂ工程１の観測工程で不良症状が「不良ＢＦ」が発生し、Ｂ工程２の観測工程で不良症状が「不良ＢＧ」および「不良ＢＨ」が発生することが示されている。さらに、観測装置Ｚについては、Ｚ工程１の観測工程で不良症状が「不良ＺＬ」が発生し、Ｚ工程３の観測工程で不良症状が「不良ＺＭ」が発生し、Ｚ工程６の観測工程で不良症状が「不良ＺＮ」が発生することが示されている。
【００３８】
図６は、検査情報記憶部１２に記憶される検査情報テーブル５４の一例を示す図である。検査情報テーブル５４は、検査工程ごとに、各検査工程で行われた検査の検査結果および検査結果が不良である場合はその不良症状を時系列に示すテーブルである。Ｉｎｄｅｘ（索引）は、検査工程ごとの検査結果の追番である。追番の番号が大きいほうが最新の検査結果である。検査結果の「○」は、不良がないことを示し、検査結果の「×」は、不良であることを示す。
【００３９】
図６に示した検査情報テーブル５４には、検査工程ａについて、Ｉｎｄｅｘ「ａ１」の検査結果が「○」、Ｉｎｄｅｘ「ａ２」の検査結果が「×」で不良症状が「不良ＡＡ」、Ｉｎｄｅｘ「ａ３」の検査結果が「×」で不良症状が「不良ＡＡ」、Ｉｎｄｅｘ「ａ４」の検査結果が「○」、およびＩｎｄｅｘ「ａ５」の検査結果が「○」と示されている。検査工程ｂについて、Ｉｎｄｅｘ「ｂ１」の検査結果が「×」で不良症状が「不良ＢＡ」、Ｉｎｄｅｘ「ｂ２」の検査結果が「○」、Ｉｎｄｅｘ「ｂ３」の検査結果が「×」で不良症状が「不良ＢＢ」、Ｉｎｄｅｘ「ｂ４」の検査結果が「○」、およびＩｎｄｅｘ「ｂ５」の検査結果が「○」と示されている。
【００４０】
さらに、検査工程ｃについて、Ｉｎｄｅｘ「ｃ１」の検査結果が「○」、Ｉｎｄｅｘ「ｃ２」の検査結果が「○」、Ｉｎｄｅｘ「ｃ３」の検査結果が「×」で不良症状が「不良ＣＣ」、Ｉｎｄｅｘ「ｃ４」の検査結果が「×」で不良症状が「不良ＣＤ」、Ｉｎｄｅｘ「ｃ５」の検査結果が「×」で不良症状が「不良ＣＡ」と示されている。検査工程ｎについて、Ｉｎｄｅｘ「ｎ１」の検査結果が「○」、Ｉｎｄｅｘ「ｎ２」の検査結果が「○」、Ｉｎｄｅｘ「ｎ３」の検査結果が「×」で不良症状が「不良ＺＬ」、Ｉｎｄｅｘ「ｎ４」の検査結果が「○」、およびＩｎｄｅｘ「ｎ５」の検査結果が「○」と示されている。
【００４１】
検査工程ａでは、同じ不良ＡＡが連続して２回発生している。検査工程ｂでは、不連続の異なる不良ＢＡおよび不良ＢＢが不連続に発生している。検査工程ｃでは、連続する異なる不良ＣＣ、不良ＣＤおよび不良ＣＡが連続して発生している。検査工程ｎでは、不良ＺＬが１回発生している。不良ＡＡ、不良ＢＡ、不良ＢＢ、不良ＣＣ、不良ＣＤ、不良ＣＡおよび不良ＺＬは、重欠陥不良テーブル５０を参照すると、いずれも重欠陥ではない。
【００４２】
図７は、コンピュータ１０の変更指示処理の概略のフローチャートである。コンピュータ１０に含まれる入力装置によって、変更指示処理の開始が指示されると、ステップＡ１に移り、変更指示処理の中断または終了が指示されるまで、変更指示処理を繰り返す。
【００４３】
検査情報取得ステップおよび検査情報記憶ステップであるステップＡ１では、検査情報記憶部１２は、検査情報が受信されたか否かを判定する。検査情報記憶部１２は、検査情報取得装置３０から送信される検査情報を、コンピュータ１０に含まれる通信装置によって受信すると、受信した検査情報をコンピュータ１０に含まれる記憶装置に記憶して、ステップＡ２に進み、検査情報が受信されないと、ステップＡ１に戻る。
【００４４】
ステップＡ２では、変更指示部１５は、観測工程の変更が必要であるか否かを判定する。検査情報記憶部１２によって記憶される検査情報が示す検査結果が予め定める判定条件、具体的には、重欠陥不良テーブル５０、連続変更基準回数テーブル５１および不連続変更基準回数テーブル５２に示される判定条件を満たすと、観測工程の変更が必要であると判定して、ステップＡ３に進み、検査情報記憶部１２によって記憶される検査情報が示す検査結果が予め定める判定条件を満たさないと、観測工程の変更が必要でないと判定して、ステップＡ１に戻る。
【００４５】
ステップＡ３では、変更指示部１５は、検査情報が示す不良症状と変更先情報テーブル５３とに基づいて、変更先の観測工程を決定する。ステップＡ４では、変更指示部１５は、変更先の観測工程を観測範囲に含む観測装置２０へ変更先を指示して、ステップＡ１に戻る。制御ステップは、たとえばステップＡ２〜ステップＡ４である。
【００４６】
図８は、コンピュータ１０の変更指示処理の詳細なフローチャートである。図８に示すフローチャートは、図７に示した変更指示処理の概略のフローチャートの詳細を示す。コンピュータ１０に含まれる入力装置によって、変更指示処理の開始が指示されると、ステップＢ１に移り、変更指示処理の中断または終了が指示されるまで、変更指示処理を繰り返す。
【００４７】
検査情報取得ステップおよび検査情報記憶ステップであるステップＢ１では、検査情報記憶部１２は、検査情報が受信されたか否かを判定する。検査情報記憶部１２は、検査情報取得装置３０から送信される検査情報を、コンピュータ１０に含まれる通信装置によって受信すると、受信した検査情報をコンピュータ１０に含まれる記憶装置に記憶して、ステップＢ２に進み、検査情報が受信されないと、ステップＢ１に戻る。
【００４８】
ステップＢ２では、変更指示部１５は、検査情報記憶部１２によって記憶される検査情報を読み出し、読み出した検査情報のうちで最新の検査情報を参照し、最新の検査情報が示す検査結果が不良のあることを示しているか否かを判定する。検査結果が不良のあることを示していると、ステップＢ３に進み、検査結果が不良のあることを示していないと、ステップＢ８に進む。
【００４９】
ステップＢ３では、変更指示部１５は、検査結果が重欠陥の不良であることを示しているか否かを、変更先情報記憶部１４に記憶される重欠陥不良テーブル５０に基づいて判定する。重欠陥の不良であると、ステップＢ４に進み、重欠陥の不良でないと、ステップＢ６に進む。ステップＢ４では、変更指示部１５は、変更先情報記憶部１４に記憶される変更先情報テーブル５３に基づいて、重欠陥または連続する不良が発生している観測工程を特定し、特定した観測工程を変更先の観測工程として決定する。ステップＢ５では、変更指示部１５は、変更先の観測工程を観測範囲に含む各観測装置２０へそれぞれの変更先を指示して、ステップＢ１に戻る。
【００５０】
ステップＢ６では、変更指示部１５は、同じ不良が連続して発生しているか否かを判定する。ステップＢ２で検査情報記憶部１２から読み出した検査情報を参照し、最新の検査情報の検査結果が示す不良が１つ前の検査情報の検査結果が示す不良と同じであると、同じ不良が連続して発生していると判定し、ステップＢ７に進む。最新の検査情報の検査結果が示す不良が１つ前の検査情報の検査結果が示す不良と同じでないと、同じ不良が連続して発生していないと判定し、ステップＢ８に進む。
【００５１】
ステップＢ７では、変更指示部１５は、連続する回数が連続変更基準回数に達したか否かを判定する。すなわち、変更先情報記憶部１４に記憶される変更先情報テーブル５３に基づいて、最新の検査情報の検査結果が示す不良が発生している観測工程を観測範囲に含む観測装置を特定し、特定した観測装置の観測範囲に含まれる観測工程で、同じ不良が連続している回数を、ステップＢ２で検査情報記憶部１２から読み出した検査情報を参照して計数する。計数した回数が連続変更基準回数に達しているか否かを、変更判定基準情報記憶部１３に記憶される連続変更基準回数テーブル５１に基づいて判定する。計数した回数が連続変更基準回数に達していると、ステップＢ４に進み、計数した回数が連続変更基準回数に達していないと、ステップＢ１に戻る。
【００５２】
ステップＢ８では、変更指示部１５は、不連続変更基準回数に達したかを判定する。すなわち、参照した検査情報のうちの最新の検査情報が示す検査工程で発生した不良の回数を、ステップＢ２で検査情報記憶部１２から読み出した検査情報を参照して計数し、計数した不良の回数が不連続変更基準回数以上であるか否かを、変更判定基準情報記憶部１３に記憶される不連続変更基準回数テーブル５２に基づいて判定する。計数した不良の回数が不連続変更基準回数以上であると、不連続変更基準回数に達していると判定して、ステップＢ９に進む。計数した不良の回数が不連続変更基準回数未満であると、不連続変更基準回数に達していないと判定して、ステップＢ１に戻る。
【００５３】
ステップＢ９では、変更指示部１５は、ステップＢ２で検査情報記憶部１２から読み出した検査情報を参照して、検査情報記憶部１２に記憶される検査情報テーブル５４に含まれる不良症状のうち、最新の検査情報が示す検査工程の不良症状ごとに不良の回数を計数する。そして、変更先情報記憶部１４に記憶される変更先情報テーブル５３に基づいて、不良の回数が計数された各不良症状の不良が発生する観測工程を観測範囲に含む観測装置２０を特定する。さらに、特定した観測装置２０ごとに、計数した回数が最も多い不良を特定し、特定した不良が発生した観測工程を、それぞれの観測装置２０の変更先の観測工程として決定して、ステップＢ５に進む。制御ステップは、たとえばステップＢ２〜ステップＢ９である。
【００５４】
このように、観測装置２０によって、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程が観測され、検査情報取得装置３０によって、被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報が取得され、観測情報記憶部１１によって、検査情報取得装置３０によって取得された検査情報が記憶される。
【００５５】
そして、変更指示部１５によって、観測情報記憶部１１によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測装置２０が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程が決定され、観測装置２０が観測対象とする製造工程が、決定された製造工程へ変更される。したがって、予め定める判定条件を満たす不良が発生した製造工程に絞って観測することができ、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる。
【００５６】
さらに、前記検査情報は、不良の有無および不良が重大な欠陥であるか否かを示す情報を含み、前記予め定める判定条件は、検査情報記憶手段によって記憶される最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥であることを示しているという条件、最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ製造工程で連続して予め定める基準連続回数発生している不良であるという条件、または最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ検査工程で、同じ不良が不連続に、異なる不良が連続して、もしくは異なる不良が不連続に予め定める基準不連続回数発生している不良であるという条件である。したがって、重大な欠陥が発生した製造工程もしくは不良の発生する可能性の高い製造工程に絞って観測することができる。
【００５７】
さらに、前記検査情報は、不良の症状を表す情報を含み、変更先情報記憶部１４によって、観測装置２０によって観測可能な製造工程ごとに、各製造工程で発生する不良の症状を対応付けた対応情報が記憶される。そして、変更指示部１５によって、変更先情報記憶部１４によって記憶される対応情報に基づいて、検査情報が示す不良の症状に対応する製造工程が特定され、特定された製造工程が新たな観測対象の製造工程として決定されるので、不良の症状に対応する製造工程を観測対象の製造工程とすることができる。
【００５８】
さらに、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも１つの製造工程を観測する観測装置を用いて、製造工程を監視するにあたって、図７に示した変更指示処理のステップＡ１または図８に示した変更指示処理のステップＢ１では、被製造物を検査する少なくとも１つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得し、取得した検査情報を記憶する。そして、図７に示した変更指示処理のステップＡ２〜ステップＡ４または図８に示した変更指示処理のステップＢ２〜ステップＢ９では、図７に示した変更指示処理のステップＡ１または図８に示した変更指示処理のステップＢ１で記憶された検査情報が示す検査結果が、観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる。
【００５９】
したがって、本発明に係る製造工程監視方法をコンピュータに適用すれば、予め定める判定条件を満たす不良が発生した製造工程に絞って観測することができ、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる。
【００６０】
製造工程監視装置１を制御するためのプログラムは、コンピュータ１０に含まれるＣＰＵに、製造工程監視方法の各ステップを実行させるためのプログラムでもある。したがって、本発明は、コンピュータに製造工程監視方法の各ステップを実行させるためのプログラムとして提供することができる。
【００６１】
上述した実施の形態では、プログラムは、コンピュータ１０の記憶装置たとえば半導体メモリあるいはハードディスク装置などの記憶装置に記憶されているが、これらの記憶装置に限定されるものではなく、コンピュータで読取り可能な記録媒体に記録されていてもよい。記録媒体は、たとえば図示しない外部記憶装置としてプログラム読取装置を設け、そこに記録媒体を挿入することによって読取り可能な記録媒体であってもよいし、あるいは他の装置の記憶装置であってもよい。
【００６２】
いずれの記録媒体であっても、記憶されているプログラムがコンピュータからアクセスされて実行される構成であればよい。あるいはいずれの記録媒体であっても、プログラムが読み出され、読み出されたプログラムが、記憶装置のプログラム記憶エリアに記憶されて、そのプログラムが実行される構成であってもよい。さらに通信ネットワークを介して他の装置からダウンロードされてプログラム記憶エリアに記憶させてもよい。ダウンロード用のプログラムは、予めコンピュータ１０の記憶装置に記憶しておくか、あるいは別な記録媒体からプログラム記憶エリアにインストールしておく。
【００６３】
本体と分離可能に構成される記録媒体は、たとえば磁気テープ／カセットテープなどのテープ系の記録媒体、フレキシブルディスク／ハードディスクなどの磁気ディスクもしくはＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disk Read Only Memory）／ＭＯ（Magneto Optical disk）／ＭＤ（Mini Disc）／ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）などの光ディスクのディスク系の記録媒体、ＩＣ（Integrated Circuit）カード（メモリカードを含む）／光カードなどのカード系の記録媒体、またはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read 
Only Memory）／ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）／フラッシュＲＯＭなどの半導体メモリを含む固定的にプログラムを担持する記録媒体であってもよい。したがって、本発明は、コンピュータに製造工程監視方法の各ステップを実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体として提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施の一形態である製造工程監視装置１の機能の構成を示すブロック図である。
【図２】変更判定基準情報記憶部１３に記憶される重欠陥不良テーブル５０の一例を示す図である。
【図３】変更判定基準情報記憶部１３に記憶される連続変更基準回数テーブル５１の一例を示す図である。
【図４】変更判定基準情報記憶部１３に記憶される不連続変更基準回数テーブル５２の一例を示す図である。
【図５】変更先情報記憶部１４に記憶される変更先情報テーブル５３の一例を示す図である。
【図６】検査情報記憶部１２に記憶される検査情報テーブル５４の一例を示す図である。
【図７】コンピュータ１０の変更指示処理の概略のフローチャートである。
【図８】コンピュータ１０の変更指示処理の詳細なフローチャートである。
【符号の説明】
【００６５】
１  製造工程監視装置
１０  コンピュータ
１１  観測情報記憶部
１２  検査情報記憶部
１３  変更判定基準情報記憶部
１４  変更先情報記憶部
１５  変更指示部
２０  観測装置
３０  検査情報取得装置
４０  ＬＡＮ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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