(57)【要約】【課題】簡単な構造で容易に気圧を測定することができる気圧測定装置および気圧測定方法を提供する。【解決手段】気圧測定装置２６は、音波を受信する受信機５６と、受信機５６で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する制御部６８とを備える。こうした気圧測定装置２６では、受信機５６で音波が受信される。音波は気圧の変化に応じて強さを変化させることから、受信機５６で受信される音波の強さに基づき気圧が測定される。こうして簡単な構造で容易に気圧が測定される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
音波を受信する受信機と、
前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する制御部とを備えることを特徴とする気圧測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の気圧測定装置において、気圧の検出にあたって、前記制御部は、音波の強さに対する前記受信機で受信される音波の強さと気圧との相関関係を参照することを特徴とする気圧測定装置。
【請求項３】
音波を受信する工程と、
前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する工程とを備えることを特徴とする気圧測定方法。
【請求項４】
収容空間を区画する筐体と、
前記収容空間内で確立されて、音波を発信する音源と、
前記収容空間に組み込まれて、前記音源から発信される音波を受信する受信機と、
前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する制御部とを備えることを特徴とするディスク装置。
【請求項５】
請求項４に記載のディスク装置において、前記音源は、前記収容空間に組み込まれて所定の回転軸回りにディスク媒体を回転させるスピンドルモータであることを特徴とするディスク装置。
【請求項６】
請求項４に記載のディスク装置において、前記音源は、前記収容空間に組み込まれて所定の支軸回りで揺動するキャリッジおよび前記キャリッジの揺動を実現するボイスコイルモータの少なくともいずれかであることを特徴とするディスク装置。
【請求項７】
請求項４に記載のディスク装置において、前記音源は、前記収容空間に組み込まれて所定の回転軸回りに回転するディスク媒体および前記ディスク媒体の回転に基づき生成される気流の流れを妨げる障害物の少なくともいずれかであることを特徴とするディスク装置。
【請求項８】
請求項４に記載のディスク装置において、前記音源は前記筐体であることを特徴とするディスク装置。
【請求項９】
ディスク装置の筐体の収容空間内で確立される音源から発信される音波を、前記収容空間に組み込まれる受信機で受信する工程と、
前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき前記収容空間の気圧を検出する工程とを備えることを特徴とするディスク装置内の気圧測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は気圧測定装置および気圧測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
絶対圧の測定にあたって気圧センサは密閉容器を備える。密閉容器内にはセンサが配置される。センサは、密閉容器内の基準圧力値を予め保持する。密閉容器は気圧の変化に応じて体積を変化させる。センサは体積の変化に応じて密閉容器内の圧力値を検知する。センサは基準圧力値と圧力値との差分に応じて気圧を測定することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
こうした気圧センサでは測定精度の維持にあたって密閉容器内の圧力は一定に維持される。その結果、センサには圧力が維持し続ける。センサにはいわゆるクリープが生じてしまう。測定精度は悪化する。しかも、一定の圧力の維持にあたって密閉容器は完全に密閉されなければならない。こうした密閉容器の製造には高い加工技術が要求される。
【０００４】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、簡単な構造で容易に気圧を測定することができる気圧測定装置および気圧測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、気圧測定装置は、音波を受信する受信機と、前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する制御部とを備えることを特徴とする。
【０００６】
こうした気圧測定装置では、受信機で音波が受信される。音波は気圧の変化に応じて強さを変化させることから、受信機で受信される音波の強さに基づき気圧が測定される。こうして簡単な構造で容易に気圧が測定される。
【０００７】
こうした気圧測定装置は例えばディスク装置に組み込まれる。ディスク装置は、収容空間を区画する筐体と、前記収容空間内で確立されて、音波を発信する音源と、前記収容空間に組み込まれて、前記音源から発信される音波を受信する受信機と、前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する制御部とを備えることを特徴とする。
【０００８】
気圧測定方法は、音波を受信する工程と、前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する工程とを備えることを特徴とする。
【０００９】
こうした気圧測定方法では、受信機で音波が受信される。音波の気圧の変化に応じて強さを変化させることから、受信機で受信される音波の強さに基づき気圧が測定される。こうして簡単な構造で容易に気圧が測定される。
【００１０】
こうした気圧測定方法は例えばディスク装置内で実施される。ディスク装置内の気圧測定方法は、ディスク装置の筐体の収容空間内で確立される音源から発信される音波を、前記収容空間に組み込まれる受信機で受信する工程と、前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき前記収容空間の気圧を検出する工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、気圧測定装置および気圧測定方法は簡単な構造で容易に気圧を測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００１３】
図１は本発明に係るディスク装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このハードディスク駆動装置１１は筐体すなわちハウジング１２を備える。ハウジング１２は箱形のベース１３およびカバー（図示されず）から構成される。ベース１３は例えば平たい直方体の内部空間すなわち収容空間を区画する。ベース１３は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造に基づき成形されればよい。カバーはベース１３の開口に結合される。カバーとベース１３との間で収容空間は密閉される。カバーは例えばプレス加工に基づき１枚の金属板から成形されればよい。
【００１４】
収容空間には、ディスク媒体としての１枚以上の磁気ディスク１４が収容される。磁気ディスク１４はスピンドルモータ１５の回転軸に装着される。スピンドルモータ１５は例えば４２００ｒｐｍや５４００ｒｐｍ、７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍ、１５０００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１４を回転させることができる。
【００１５】
周知の通り、スピンドルモータ１５は、固定子に固定される電磁石すなわちコイルと、コイルに向き合わせられて回転子に固定される永久磁石とを備える。コイルに電流が供給されると、コイルで磁界が生じる。こうした磁界および永久磁石の作用に基づき回転子は回転軸回りで回転する。スピンドルモータ１５は回転に基づき特定の周波数の電磁ノイズすなわち音波を発生させる。音波は磁気ディスク１４の回転数に応じて固有の周波数を示す。こうしてスピンドルモータ１５はＨＤＤ１１内で音源を構成する。
【００１６】
前述のベース１３やカバーは例えばアルミニウムや金属板から形成される。スピンドルモータ１５の回転は例えばベース１３やカバーを振動させる。こうしてベース１３やカバーから音波が発生する。同様に、磁気ディスク１４の回転に基づき気流が生成される。こうした気流は例えばベース１３やカバーの振動を引き起こす。こうして音波が発生する。音波は特定の周波数を示す。こうしてベース１３やカバーすなわちハウジング１２はＨＤＤ１１内で音源を構成する。
【００１７】
収容空間にはキャリッジ１６がさらに収容される。キャリッジ１６はキャリッジブロック１７を備える。キャリッジブロック１７は、垂直方向に延びる支軸１８に回転自在に連結される。キャリッジブロック１７には、支軸１８から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム１９が区画される。キャリッジブロック１７は例えば押し出し成型に基づきアルミニウムから成型されればよい。
【００１８】
個々のキャリッジアーム１９の先端にはヘッドサスペンション２１が取り付けられる。ヘッドサスペンション２１はキャリッジアーム１９の先端から前方に延びる。ヘッドサスペンション２１の先端には後述のフレキシャが貼り合わせられる。フレキシャにはいわゆるジンバルばねが区画される。こうしたジンバルばねの働きで浮上ヘッドスライダ２２はヘッドサスペンション２１に対してその姿勢を変化させることができる。後述されるように、浮上ヘッドスライダ２２にはヘッド素子すなわち電磁変換素子が搭載される。
【００１９】
磁気ディスク１４の回転に基づき磁気ディスク１４の表面で気流が生成されると、気流の働きで浮上ヘッドスライダ２２には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮力および負圧とヘッドサスペンション２１の押し付け力とが釣り合うことで磁気ディスク１４の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２２は浮上し続けることができる。
【００２０】
こういった浮上ヘッドスライダ２２の浮上中にキャリッジ１６が支軸１８回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の半径線に近い円弧に沿って移動することができる。その結果、浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は最内周記録トラックと最外周記録トラックとの間でデータゾーンを横切ることができる。こうして浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は目標の記録トラック上に位置決めされる。
【００２１】
キャリッジブロック１７には例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２３といった動力源が接続される。このボイスコイルモータ２３の働きでキャリッジブロック１７は支軸１８回りで回転することができる。こうしたキャリッジブロック１７の回転に基づきキャリッジアーム１９およびヘッドサスペンション２１の揺動は実現される。
【００２２】
このとき、ボイスコイルモータ２３に供給される制御信号の周波数が、キャリッジブロック１７やキャリッジアーム１９、ヘッドサスペンション２１といったキャリッジ１６およびボイスコイルモータ２３の少なくともいずれかの固有振動周波数を含むと、キャリッジ１６やボイスコイルモータ２３は共振する。共振に基づきキャリッジ１６およびボイスコイルモータ２３は特定の周波数の音波を発生させる。こうしてキャリッジ１６およびボイスコイルモータ２３はＨＤＤ１１内で音源を構成する。
【００２３】
ヘッドサスペンション２１の先端には、ヘッドサスペンション２１の先端から前方に延びるロードタブ２４が固定される。ロードタブ２４はキャリッジアーム１９の揺動に基づき磁気ディスク１４の半径方向に移動することができる。ロードタブ２４の移動経路上には磁気ディスク１４の外側でランプ部材２５が配置される。ロードタブ２４はランプ部材２５に受け止められる。ランプ部材２５およびロードタブ２４は協働でいわゆるロードアンロード機構を構成する。ランプ部材２５は例えば硬質プラスチック材料から成型される。ランプ部材２５は、磁気ディスク１４の外側でベース１３の底板に固定される。
【００２４】
ランプ部材２５には受け入れ溝（図示されず）が形成される。受け入れ溝には磁気ディスク１４が受け入れられる。こうしてランプ部材２５の前端は磁気ディスク１４上に延びる。前述の通り、磁気ディスク１４が回転すると、磁気ディスク１４の表面に沿って気流が生成される。気流は障害物すなわちランプ部材２５に衝突する。こうして特定の周波数の風切り音すなわち音波が生成される。音波は磁気ディスク１４の回転数に応じて固有の周波数を示す。こうして磁気ディスク１４はＨＤＤ１１内で音源を構成する。
【００２５】
ＨＤＤ１１は気圧測定装置２６を備える。気圧測定装置２６は気圧センサ２７を備える。気圧センサ２７は、キャリッジアーム１９およびヘッドサスペンション２１の揺動範囲の外側でベース１３の底板に固定される。固定にあたって例えばねじ（図示されず）が用いられればよい。気圧センサ２７は前述のいずれかの音源に正面を向き合わせる。気圧測定装置２６および気圧センサ２７の詳細は後述される。
【００２６】
図１から明らかなように、キャリッジブロック１７上には、フレキシブルプリント基板ユニット２８が配置される。フレキシブルプリント基板ユニット２８は、フレキシブルプリント基板２９に実装されるヘッドＩＣ（集積回路）３１を備える。ヘッドＩＣ３１は電磁変換素子の読み出しヘッド素子および書き込みヘッド素子に接続される。接続にあたってフレキシャ３２が用いられる。フレキシャ３２はフレキシブルプリント基板ユニット２８に接続される。フレキシャ３２は配線パターンを備える。配線パターンは浮上ヘッドスライダ２２およびフレキシブルプリント基板２９を相互に接続する。
【００２７】
磁気情報の読み出し時には、このヘッドＩＣ３１から電磁変換素子の読み出しヘッド素子に向けてセンス電流が供給される。読み出しヘッド素子には例えばＣＰＰ構造読み取り素子が用いられる。同様に、磁気情報の書き込み時には、ヘッドＩＣ３１から電磁変換素子の書き込みヘッド素子に向けて書き込み電流が供給される。書き込みヘッド素子には例えば単磁極ヘッド素子が用いられる。センス電流の電流値は特定の値に設定される。ヘッドＩＣ３１には、収容空間内に配置される小型の回路基板３３や、ベース１３の底板の裏側に取り付けられるプリント回路基板（図示されず）から電流が供給される。
【００２８】
図２は一具体例に係る浮上ヘッドスライダ２２を示す。この浮上ヘッドスライダ２２は、例えば平たい直方体に形成されるスライダ本体３５を備える。スライダ本体３５の空気流出側端面には非磁性膜すなわち素子内蔵膜３６が積層される。この素子内蔵膜３６に前述の電磁変換素子３７が組み込まれる。スライダ本体３５は例えばＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）といった硬質の非磁性材料から形成されればよい。素子内蔵膜３６は例えばＡｌ２Ｏ３（アルミナ）といった比較的に軟質の絶縁非磁性材料から形成されればよい。
【００２９】
浮上ヘッドスライダ２２は媒体対向面すなわち浮上面３８で磁気ディスク１４に向き合う。浮上面３８には平坦なベース面３９すなわち基準面が規定される。磁気ディスク１４が回転すると、スライダ本体３５の前端から後端に向かって浮上面３８には気流４１が作用する。
【００３０】
浮上面３８には、前述の気流４１の上流側すなわち空気流入側でベース面３９から立ち上がる１筋のフロントレール４２が形成される。フロントレール４２はベース面３９の空気流入端に沿ってスライダ幅方向に延びる。同様に、浮上面３８には、気流の下流側すなわち空気流出側でベース面３９から立ち上がるリアレール４３が形成される。リアレール４３はスライダ幅方向の中央位置に配置される。リアレール４３はスライダ本体３５から素子内蔵膜３６まで延びる。
【００３１】
浮上面３８には、空気流出側でベース面３９から立ち上がる左右１対のサイドリアレール４４、４４がさらに形成される。サイドリアレール４４、４４はベース面３９の左右の縁に沿ってそれぞれ配置される。その結果、サイドリアレール４４、４４同士はスライダ幅方向に間隔を空けて配置される。サイドリアレール４４、４４同士の間にリアレール４３は配置される。
【００３２】
フロントレール４２、リアレール４３およびサイドリアレール４４、４４の頂上面にはいわゆる空気軸受け面（ＡＢＳ）４５、４６、４７が規定される。空気軸受け面４５、４６、４７の空気流入端は段差でレール４２、４３、４４の頂上面に接続される。磁気ディスク１４の回転に基づき生成される気流４１は浮上面３８に受け止められる。このとき、段差の働きで空気軸受け面４５、４６、４７には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。しかも、フロントレール４２の後方すなわち背後には大きな負圧が生成される。これら浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は確立される。なお、浮上ヘッドスライダ２２の形態はこういった形態に限られるものではない。
【００３３】
図３に示されるように、電磁変換素子３７は読み出しヘッド素子４８および書き込みヘッド素子４９を備える。読み出しヘッド素子４８および書き込みヘッド素子４９の間にはヒータ５１が組み込まれる。ヒータ５１は例えば電熱線で構成される。ヒータ５１に電力が供給されると、ヒータ５１は発熱する。ヒータ５１の熱でヒータ５１とともに読み出しヘッド素子４８や書き込みヘッド素子４９、素子内蔵膜３６は熱膨張する。その結果、図４に示されるように、リアレール４３の頂上面で素子内蔵膜３６やスライダ本体３５は隆起する。いわゆる突き出しが形成される。読み出しヘッド素子４８および書き込みヘッド素子４９は磁気ディスク１４に向かって変位する。こうして電磁変換素子３７の浮上量すなわち浮上高さＦＨは決定される。
【００３４】
図５は一具体例に係る気圧センサ２７の構造を概略的に示す。この気圧センサ２７は、例えば直方体の内部空間を区画する筐体５５を備える。筐体５５は例えば樹脂材料から形成される。筐体５５の内部空間には受信機すなわちマイク５６が配置される。マイク５６は、振動板５７と、表面で振動板５７の裏面に貼り付けられる圧電材５８とを備える。振動板５７には例えば黄銅板やステンレス鋼板といった金属板が用いられる。圧電材５８には例えば圧電セラミック薄板が用いられる。圧電材５８の裏面には電極５９が形成される。振動板５７は防振材６１で支持される。防振材６１は振動板５７の外縁の全周を支持すればよい。防振材６１は筐体５５の内壁面に固定される。振動板５７および電極５９にはそれぞれ配線６２、６２が接続される。
【００３５】
筐体５５の正面には例えば複数の通気孔６３が形成される。通気孔６３は筐体５５の内部空間および筐体５５の外部空間すなわちハウジング１２の収容空間を接続する。通気孔６３は振動板５７の表面に向き合わせられる。筐体５５の正面は前述の音源のいずれかに向き合わせられる。筐体５５の背面には取り出し口６４が形成される。取り出し口６４から配線６２は引き出される。図６を併せて参照し、振動板５７、圧電材５８および電極５９はそれぞれ円盤形に形成される。防振材６１は円筒形に形成される。こういったマイク５６はいわゆる圧電ブザーから構成されればよい。
【００３６】
いま、ＨＤＤ１１内でいずれかの音源から音波が発信されると、音波は収容空間内で空気を伝わって通気孔６３から筐体５５の内部空間に伝達される。こうして振動板５７に音波が受け止められると、振動板５７は振動する。その結果、圧電材５８の伸縮が引き起こされる。こうして圧電材５８では所定の電気信号すなわち交流電圧が生成される。こうした交流電圧は配線６２から取り出される。前述の通り、振動板５７は防振材６１で支持されることから、筐体５５から振動板５７に振動の伝達はできる限り回避される。振動板５７は音波を正確に受け止めることができる。
【００３７】
図７に示されるように、本実施形態ではスピンドルモータ１５が音源として採用される。スピンドルモータ１５にはモータ制御部６５が接続される。モータ制御部６５はスピンドルモータ１５に所定の電力を供給する。電力の供給に応じてスピンドルモータ１５すなわち磁気ディスク１４は回転する。スピンドルモータ１５の回転数は電力で決定される。こうした電力が維持される限り、スピンドルモータ１５は所定の回転数に維持される。前述の通り、スピンドルモータ１５は回転数に応じて特定の周波数の音波を発信する。
【００３８】
スピンドルモータ１５には気圧センサ２７の正面が向き合わせられる。こうしてマイク５６はスピンドルモータ１５に向き合わせられる。スピンドルモータ１５から発信される音波はマイク５６で受信される。マイク５６にはバンドパスフィルタ６６が接続される。バンドパスフィルタ６６は、マイク５６から出力される交流電圧のノイズを除去する。こうしてバンドパスフィルタ６６はスピンドルモータ１５から発信される音波の出力のみを通過させる。マイク５６およびバンドパスフィルタ６６の間には増幅器６７が挿入される。増幅器６７は交流電圧の出力を増幅する。
【００３９】
ハウジング１２の収容空間すなわち気圧センサ２７の筐体５５の内部空間で気圧が低下すると、筐体５５の内部空間で空気の密度は減少する。その結果、伝達される音波の強さは弱められる。その一方で、筐体５５の内部空間で気圧が上昇すると、筐体５５の内部空間で空気の密度は増大する。その結果、伝達される音波の強さは強められる。こうした音波の強さの強弱に基づき、後述のように、ハウジング１２の収容空間の気圧が測定されることができる。
【００４０】
バンドパスフィルタ６６には制御部６８が接続される。バンドパスフィルタ６６から制御部６８に交流電圧が出力される。制御部６８には前述のモータ制御部６５が接続される。制御部６８にはモータ制御部６５からスピンドルモータ１５の回転数が出力される。制御部６８にはメモリ６９が接続される。メモリ６９には不揮発性メモリが用いられる。メモリ６９には所定のテーブル７１が格納される。テーブル７１は、マイク５６で受信される音波の強さと気圧との相関関係を特定する。テーブル７１はスピンドルモータ１５の回転数ごとに確立される。
【００４１】
図８はテーブル７１の一具体例を示すグラフである。グラフの縦軸は、マイク５６から取り出される交流電圧の出力［Ｖｐ＿ｐ］を示す。出力および気圧の相関関係は実測に基づき確立される。実測は例えばＨＤＤ１１の出荷時に実施されればよい。なお、１００［ｋＰａ］以上の気圧で実測が実施されてもよい。こうしたテーブル７１に基づき、制御部６８は、マイク５６から出力される交流電圧とモータ制御部６５から出力される回転数に基づき気圧を測定することができる。
【００４２】
その一方で、浮上ヘッドスライダ２２のヒータ５１にはヒータ制御部７２が接続される。ヒータ制御部７２はヒータ５１に所定の電力を供給する。電力の供給に応じてヒータ５１は発熱する。ヒータ５１の温度は電力で決定される。電力に応じて突き出しの突き出し量は制御される。その結果、電磁変換素子３７の浮上高さＦＨが制御される。ヒータ制御部７２には浮上量指示部７３が接続される。浮上量指示部７３はヒータ制御部７２に電力を指示する。こうしてヒータ制御部７２は、指示された電力をヒータ５１に供給する。なお、電力の設定にあたっていわゆるゼロキャリブレーションが実施されてもよい。
【００４３】
前述の制御部６８には浮上量変化算出部７４が接続される。浮上量変化算出部７４には制御部６８から気圧が出力される。浮上量変化算出部７４は気圧に応じて電磁変換素子３７の浮上高さＦＨの変化を算出する。算出にあたって、浮上量変化算出部７４は、実測値やシミュレーション値から予め求められる気圧と浮上高さＦＨの変化との相関関係を参照すればよい。こうした相関関係はＨＤＤ１１内のメモリ（図示されず）に格納されればよい。算出された浮上高さＦＨの変化はヒータ制御部７２に出力される。こうしてヒータ制御部７２は、浮上量指示部７３から供給される電力を調整する。
【００４４】
例えば気圧が低下すると、空気の密度は低下する。その結果、浮上ヘッドスライダ２２に作用する正圧は減少する。電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは減少する。ヒータ制御部７２は電力を減少させる。突き出し量は減少する。その一方で、気圧が上昇すると、空気の密度は増大する。浮上ヘッドスライダ２２に作用する正圧は増大する。電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは増大する。ヒータ制御部７２は電力を増大させる。突き出し量は増大する。こうして気圧の変化に拘わらず電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは常に一定に維持される。
【００４５】
こういったＨＤＤ１１では、磁気情報の読み出しや書き込みに先立って突き出しの突き出し量が設定される。突き出し量の設定にあたってハウジング１２の収容空間の気圧が測定される。気圧測定装置２６で測定された気圧は浮上量変化算出部７４に出力される。浮上量変化算出部７４は気圧に応じて電磁変換素子３７の浮上高さＦＨの変化を算出する。変化に基づきヒータ制御部７２は、ヒータ５１に供給される電力を調整する。こうして磁気情報の読み出し時や書き込み時の突き出し量が設定される。突き出し量が設定されると、電磁変換素子３７は予め決められた浮上高さＦＨで磁気ディスク１４の表面から浮上する。こういった突き出し量の調整は例えばＨＤＤ１１の起動のたびに実施される。
【００４６】
スピンドルモータ１５は回転数に応じて特定の周波数の音波を常に発信する。音波はマイク５６に向かって発信される。音波は空気を伝う。マイク５６では音波の受信に基づき振動板５７が振動する。圧電材５８は伸縮する。振動に応じて圧電材５８では所定の交流電圧が生成される。配線６２に基づきマイク５６から所定の交流電圧が取り出される。バンドパスフィルタ６６で所定の周波数に対応する交流電圧が取り出される。交流電圧は制御部６８に出力される。前述の通り、制御部６８はテーブル７１を参照しつつ気圧を測定する。
【００４７】
以上のようなＨＤＤ１１には気圧測定装置２６が組み込まれる。気圧測定装置２６ではマイク５６に音波が伝わる。音波は気圧の変化に応じて強さを変化させることから、マイク５６で受信される音波の強さに基づき気圧が測定される。こうして簡単な構造で容易に気圧が測定される。しかも、測定された気圧に応じて電磁変換素子３７の浮上高さＦＨの変化が算出される。浮上高さＦＨの変化に応じて浮上ヘッドスライダ２２の突き出しの突き出し量が制御される。その結果、気圧の変化に拘わらず電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは常に一定に維持される。磁気情報の書き込みや読み出しは正確に実施される。
【００４８】
図９に示されるように、ＨＤＤ１１ではスピンドルモータ１５に代えてキャリッジ１６が音源として採用されてもよい。ボイスコイルモータ２３にはモータ制御部８１が接続される。モータ制御部８１はボイスコイルモータ２３に所定の電力を供給する。電力の供給に応じてボイスコイルモータ２３はキャリッジ１６すなわちキャリッジアーム１９の揺動を実現する。キャリッジアーム１９の揺動量は電力で決定される。キャリッジ１６にはマイク５６の正面が向き合わせられる。テーブル７１ではキャリッジ１６から発信される音波の強さと気圧との相関関係が特定される。その他、前述と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００４９】
こうしたＨＤＤ１１では、前述の通り、共振に基づきキャリッジ１６は特定の周波数の音波を発信する。マイク５６に音波が伝わる。音波は気圧の変化に応じて強さを変化させることから、マイク５６で受信される音波の強さに基づき気圧が測定される。こうして簡単な構造で容易に気圧が測定される。しかも、前述と同様に、気圧の変化に拘わらず電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは常に一定に維持される。磁気情報の書き込みや読み出しは正確に実施される。その他、キャリッジ１６に代えてボイスコイルモータ２３が音源として採用されてもよい。ボイスコイルモータ２３では例えばヨークが振動する。
【００５０】
図１０に示されるように、ＨＤＤ１１ではスピンドルモータ１５やキャリッジ１６、ボイスコイルモータ２３に代えて磁気ディスク１４が音源として採用されてもよい。前述と同様に、モータ制御部６５はスピンドルモータ１５に所定の電力を供給する。電力の供給に応じてスピンドルモータ１５すなわち磁気ディスク１４は回転する。ランプ部材２５の受け入れ溝にはマイク５６の正面が向き合わせられる。テーブル７１では磁気ディスク１４から発信される音波の強さと気圧との相関関係が特定される。その他、前述と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００５１】
こうしたＨＤＤ１１では、前述の通り、磁気ディスク１４の回転に基づき磁気ディスク１４は風切り音すなわち音波を発信する。マイク５６に音波が伝わる。音波は気圧の変化に応じて強さを変化させることから、マイク５６で受信される音波の強さに基づき気圧が測定される。こうして簡単な構造で容易に気圧が測定される。しかも、前述と同様に、気圧の変化に拘わらず電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは常に一定に維持される。磁気情報の書き込みや読み出しは正確に実施される。
【００５２】
図１１に示されるように、ＨＤＤ１１ではスピンドルモータ１５やキャリッジ１６、ボイスコイルモータ２３、磁気ディスク１４に代えてハウジング１２すなわちベース１３やカバーが音源として採用されてもよい。前述と同様に、電力の供給に応じてスピンドルモータ１５すなわち磁気ディスク１４は回転する。このとき、ベース１３やカバーにはマイク５６の正面が向き合わせられる。テーブル７１ではベース１３やカバーから発信される音波の強さと気圧との相関関係が特定される。その他、前述と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００５３】
こうしたＨＤＤ１１では、スピンドルモータ１５の回転や磁気ディスク１４の回転に基づきベース１３やカバーは振動する。こうして音波が発信される。マイク５６に音波が伝わる。音波は気圧の変化に応じて強さを変化させることから、マイク５６で受信される音波の強さに基づき気圧が測定される。こうして簡単な構造で容易に気圧が測定される。しかも、前述と同様に、気圧の変化に拘わらず電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは常に一定に維持される。磁気情報の書き込みや読み出しは正確に実施される。
【００５４】
図１２に示されるように、前述の気圧測定装置２６には、増幅器６７およびバンドパスフィルタ６６に代えていわゆるロックインアンプ８２が組み込まれてもよい。ロックインアンプ８２は、マイク５６から取り出される交流電圧の出力のうち、特定の周波数の出力のみを取り出すことができる。取り出しにあたって、ロックインアンプ８２にはモータ制御部６５から同期信号が供給されればよい。この同期信号に基づきロックインアンプ８２で特定の周波数の出力のみが取り出されれば、ハウジング１２内の他の音波に基づく周波数での出力の影響は除去される。音波の強さは高い精度で検出される。その結果、前述に比べて気圧は一層高い精度で測定されることができる。
【００５５】
図１３は他の具体例に係る気圧センサ２７ａの構造を概略的に示す。この気圧センサ２７ａでは振動板５７に、前述の圧電材５８および電極５９に代えて、いわゆるピエゾフィルム８３が貼り付けられる。ピエゾフィルム８３は前述の圧電材５８と同様に円盤状に形成される。例えば配線（図示されず）に基づきピエゾフィルム８３から交流電圧が取り出される。その他、前述の気圧センサ２７と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００５６】
図１４に示されるように、ピエゾフィルム８３は、１対の電極８５ａ、８５ｂで挟み込まれる圧電材７６を備える。圧電材７６には例えばポリフッ化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＦ）が用いられる。電極８５ａ、８５ｂには絶縁フィルム８７ａ、８７ｂが貼り合わせられる。ピエゾフィルム８３は例えば絶縁フィルム８７ａで振動板５７の裏面に貼り付けられる。音波の受信に基づき振動板５７は振動する。その結果、電極８５ａ、８５ｂには交流電圧が生成される。交流電圧は配線から取り出される。こうした気圧センサ２７ａによれば、前述と同様の作用効果が実現される。
【００５７】
図１５に示されるように、ＨＤＤ１１では、電磁変換素子３７の浮上高さＦＨの調整にあたって、前述の浮上量変化算出部７４にモータ制御部６５が接続されてもよい。前述のヒータ５１およびヒータ制御部７２は省略される。浮上量変化算出部７４で算出された変化はモータ制御部６５に出力される。モータ制御部６５には回転数指示部９１が接続される。回転数指示部９１はモータ制御部６５に電力を指示する。その他、前述と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００５８】
気圧が低下すると、電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは減少する。このとき、浮上高さＦＨの変化に応じてモータ制御部６５は電力を増大させる。磁気ディスク１４の回転数は増大する。磁気ディスク１４の表面や裏面に沿って生成される気流の流速は増大する。浮上ヘッドスライダ２２に作用する正圧は増大する。こうして電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは一定に維持される。その一方で、気圧が上昇すると、電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは増大する。浮上高さＦＨの変化に応じてモータ制御部６５は電力を減少させる。磁気ディスク１４の回転数は減少する。磁気ディスク１４の表面や裏面に沿って生成される気流の流速は減少する。浮上ヘッドスライダ２２に作用する正圧は減少する。こうして電磁変換素子３７の浮上高さＦＨは一定に維持される。
【００５９】
以上のようなＨＤＤ１１では、制御部６８は音波の大きさに基づきＨＤＤ１１の異常を検知してもよい。前述の気圧の測定が終了すると、制御部６８は、マイク５６で受信される音波の大きさおよび音波の周波数を監視する。異常には例えば磁気ディスク１４の表面に対する浮上ヘッドスライダ２２のクラッシュが含まれる。こうしたクラッシュに基づき音波が発生する。制御部６８が、ＨＤＤ１１内で通常動作時に検出される所定の範囲以外の大きさの音波を受信すると、制御部６８はＨＤＤ１１の異常を検知する。制御部６８は音波の周波数に基づき異常の原因を特定することができる。こうした周波数と異常の原因との相関関係はメモリ６９に格納されればよい。制御部６８は、メモリ６９に故障の原因に関するログを格納する。こうしたログは、ＨＤＤ１１の修理にあたって修理作業者はログの参照に基づき故障の原因を特定することができる。
【００６０】
（付記１）  音波を受信する受信機と、
前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する制御部とを備えることを特徴とする気圧測定装置。
【００６１】
（付記２）  付記１に記載の気圧測定装置において、気圧の検出にあたって、前記制御部は、音波の強さに対する前記受信機で受信される音波の強さと気圧との相関関係を参照することを特徴とする気圧測定装置。
【００６２】
（付記３）  付記１または２に記載の気圧測定装置において、前記受信機は、振動板と、前記振動板に貼り付けられる圧電材とを備えることを特徴とする気圧測定装置。
【００６３】
（付記４）  音波を受信する工程と、
前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する工程とを備えることを特徴とする気圧測定方法。
【００６４】
（付記５）  付記４に記載の気圧測定方法において、気圧の検出にあたって、音波の強さに対する前記受信機で受信される音波の強さと気圧との相関関係が参照されることを特徴とする気圧測定方法。
【００６５】
（付記６）  収容空間を区画する筐体と、
前記収容空間内で確立されて、音波を発信する音源と、
前記収容空間に組み込まれて、前記音源から発信される音波を受信する受信機と、
前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき気圧を検出する制御部とを備えることを特徴とするディスク装置。
【００６６】
（付記７）  付記６に記載のディスク装置において、気圧の検出にあたって、前記制御部は、前記音源から発信される音波の強さに対する前記受信機で受信される音波の強さと気圧との相関関係を参照することを特徴とするディスク装置。
【００６７】
（付記８）  付記６または７に記載のディスク装置において、前記音源は、前記収容空間に組み込まれて所定の回転軸回りにディスク媒体を回転させるスピンドルモータであることを特徴とするディスク装置。
【００６８】
（付記９）  付記６または７に記載のディスク装置において、前記音源は、前記収容空間に組み込まれて所定の支軸回りで揺動するキャリッジおよび前記キャリッジの揺動を実現するボイスコイルモータの少なくともいずれかであることを特徴とするディスク装置。
【００６９】
（付記１０）  付記６または７に記載のディスク装置において、前記音源は、前記収容空間に組み込まれて所定の回転軸回りに回転するディスク媒体および前記ディスク媒体の回転に基づき生成される気流の流れを妨げる障害物の少なくともいずれかであることを特徴とするディスク装置。
【００７０】
（付記１１）  付記６または７に記載のディスク装置において、前記音源は前記筐体であることを特徴とするディスク装置。
【００７１】
（付記１２）  付記６〜１１のいずれかに記載のディスク装置において、ディスク媒体の表面に向き合わせられて所定の浮上量で前記ディスク媒体上に浮上するヘッド素子を有するヘッドスライダを備え、検出された前記気圧に応じて前記ヘッド素子の浮上量が設定されることを特徴とするディスク装置。
【００７２】
（付記１３）  付記６〜１２のいずれかに記載のディスク装置において、前記音源から所定の範囲外の大きさの音波が検出されると、前記制御部は当該ディスク装置の異常を検出することを特徴とするディスク装置。
【００７３】
（付記１４）  付記６〜１３のいずれかに記載のディスク装置において、前記受信機は、振動板と、前記振動板に貼り付けられる圧電材とを備えることを特徴とするディスク装置。
【００７４】
（付記１５）  ディスク装置の筐体の収容空間内で確立される音源から発信される音波を、前記収容空間に組み込まれる受信機で受信する工程と、
前記受信機で受信される特定の音波の強さに基づき前記収容空間の気圧を検出する工程とを備えることを特徴とするディスク装置内の気圧測定方法。
【００７５】
（付記１６）  付記１５に記載のディスク装置の気圧測定方法において、気圧の検出にあたって、前記音源から発信される音波の強さに対する前記受信機で受信される音波の強さと気圧との相関関係が参照されることを特徴とするディスク装置の気圧測定方法。
【００７６】
（付記１７）  付記１５または１６に記載のディスク装置の気圧測定方法において、前記音源は、前記収容空間に組み込まれて所定の回転軸回りにディスク媒体を回転させるスピンドルモータであることを特徴とするディスク装置の気圧測定方法。
【００７７】
（付記１８）  付記１５または１６に記載のディスク装置の気圧測定方法において、前記音源は、前記収容空間に組み込まれて所定の支軸回りで揺動するキャリッジおよび前記キャリッジの揺動を実現するボイスコイルモータの少なくともいずれかであることを特徴とするディスク装置の気圧測定方法。
【００７８】
（付記１９）  付記１５または１６に記載のディスク装置の気圧測定方法において、前記音源は、前記収容空間に組み込まれて所定の回転軸回りに回転するディスク媒体および前記ディスク媒体の回転に基づき生成される気流の流れを妨げる障害物の少なくともいずれかであることを特徴とするディスク装置の気圧測定方法。
【００７９】
（付記２０）  付記１５または１６に記載のディスク装置の気圧測定方法において、前記音源は前記筐体であることを特徴とするディスク装置の気圧測定方法。
【００８０】
（付記２１）  付記１５〜２０のいずれかに記載のディスク装置の気圧測定方法において、検出された前記気圧に応じて、ディスク媒体の表面からのヘッド素子の浮上量を設定することを特徴とするディスク装置の気圧測定方法。
【００８１】
（付記２２）  付記１５〜２１のいずれかに記載のディスク装置の気圧測定方法において、前記音源から所定の範囲外の大きさの音波が検出されると、当該ディスク装置の異常が検出されることを特徴とするディスク装置の気圧測定方法。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明に係るディスク装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的に示す平面図である。
【図２】ヘッドスライダの構造を概略的に示す拡大斜視図である。
【図３】電磁変換素子の構造を概略的に示す部分拡大断面図である。
【図４】ヘッドスライダの突き出しの様子を概略的に示す部分拡大断面図である。
【図５】一具体例に係る気圧センサの構造を概略的に示す断面図である。
【図６】受信機の構造を概略的に示す拡大斜視図である。
【図７】一具体例に係る制御系を示すブロック図である。
【図８】受信機の出力と気圧との相関関係を示すグラフである。
【図９】他の具体例に係る制御系を示すブロック図である。
【図１０】他の具体例に係る制御系を示すブロック図である。
【図１１】他の具体例に係る制御系を示すブロック図である。
【図１２】他の具体例に係る制御系を示すブロック図である。
【図１３】他の具体例に係る気圧センサの構造を概略的に示す断面図である。
【図１４】ピエゾフィルムの構造を概略的に示す部分拡大断面図である。
【図１５】さらに他の具体例に係る制御系を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００８３】
１１  ディスク装置（ハードディスク駆動装置）、１２  筐体（ハウジング）、１４  音源（ディスク媒体）、１５  音源（スピンドルモータ）、１６  音源（キャリッジ）、１８  支軸、２２  ヘッドスライダ（浮上ヘッドスライダ）、２６  気圧測定装置、３７  ヘッド素子（電磁変換素子）、５６  受信機（マイク）、５７  振動板、５８  圧電材、６８  制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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