(57)【要約】【課題】  簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能な照射集光装置を実現する。【解決手段】  光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光を集光して供給する照射集光装置において、光源からの光を伝播させる複数の照射用光ファイバと、被測定対象物からの反射光を伝播させる集光用光ファイバと、複数の照射用光ファイバの出射光を平行光にして被測定対象物上の異なる部分にそれぞれ照射させると共に被測定対象物上の異なる部分からの反射光をそれぞれ集光用光ファイバに集光させるレンズとを設ける。【選択図】                    図１
2009063407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光を集光して供給する照射集光装置において、
光源からの光を伝播させる複数の照射用光ファイバと、
被測定対象物からの反射光を伝播させる集光用光ファイバと、
前記複数の照射用光ファイバの出射光を平行光にして前記被測定対象物上の異なる部分にそれぞれ照射させると共に前記被測定対象物上の異なる部分からの反射光をそれぞれ前記集光用光ファイバに集光させるレンズと
を備えたことを特徴とする照射集光装置。
【請求項２】
光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光を集光して供給する照射集光装置において、
光源からの光を伝播させる複数の照射用光ファイバと、
被測定対象物からの反射光を伝播させる集光用光ファイバと、
前記複数の照射用光ファイバの出射光を平行光にして前記被測定対象物上の異なる部分にそれぞれ照射させる照射用のレンズと、
前記被測定対象物上の異なる部分からの反射光をそれぞれ前記集光用光ファイバに集光させる集光用のレンズと
を備えたことを特徴とする照射集光装置。
【請求項３】
光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光を集光して供給する照射集光装置において、
光源からの光を伝播させる複数の照射用光ファイバと、これら複数の照射用光ファイバの出射光を平行光にして被測定対象物上の異なる部分にそれぞれ照射させる照射用のレンズとから構成される照射装置と、
前記被測定対象物からの反射光を伝播させる集光用光ファイバと、前記被測定対象物上の異なる部分からの反射光をそれぞれ前記集光用光ファイバに集光させる集光用のレンズとから構成される集光装置と
を備えたことを特徴とする照射集光装置。
【請求項４】
光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの透過光を集光して供給する照射集光装置において、
光源からの光を伝播させる複数の照射用光ファイバと、これら複数の照射用光ファイバの出射光を平行光にして被測定対象物上の異なる部分にそれぞれ照射させる照射用のレンズとから構成される照射装置と、
前記被測定対象物からの透過光を伝播させる集光用光ファイバと、前記被測定対象物上の異なる部分からの透過光をそれぞれ前記集光用光ファイバに集光させる集光用のレンズとから構成される集光装置と
を備えたことを特徴とする照射集光装置。
【請求項５】
分光分析装置に適用したことを特徴とする
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の照射集光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光、或いは、透過光を集光して分光手段等に供給する照射集光装置に関し、特に簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能な照射集光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光、或いは、透過光を集光して分光手段等に供給する照射集光装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平０５−０５２７３９号公報
【特許文献２】特開平０８−０５００９２号公報
【特許文献３】特開平１１−０７０１０１号公報
【特許文献４】特開２００２−１３１２２９号公報
【０００４】
図６はこのような従来の照射集光装置を用いた分光分析装置の一例を示す構成ブロック図である。図６において、１は光源、２及び５は光ファイバ、３は照射集光装置、４は被測定対象物、６は分光手段である。また、１，２，３，５及び６は分光分析装置５０を構成している。
【０００５】
光源１からの出力光は、光ファイバ２を伝播して照射集光装置３に供給され、照射集光手段３からの出射光が被測定対象物４に照射される。
【０００６】
例えば、図６中”ＬＧ０１”に示すように照射集光装置３から出射された照射光は、図６中”ＳＰ０１”に示す被測定対象物４上の部分に照射される。
【０００７】
また、被測定対象物４からの反射光（或いは、反射光の一部）は、照射光が出射されたものと同じ照射集光装置３に入射し集光された後に、光ファイバ５を伝播して分光手段６に供給される。
【０００８】
例えば、図６中”ＳＰ０１”に示す被測定対象物４上の部分で反射された反射光（或いは、反射光の一部）は、図６中”ＬＧ０２”に示すように照射集光装置３に入射される。
【０００９】
ここで、図６に示す従来例の動作を図７を用いて説明する。図７はこのような従来の照射集光装置の一例を示す構成ブロック図であり、図７において２，４及び５は図６と同一符号を付してあり、図７において、７は集光手段であるレンズである。また、レンズ７は照射集光装置５１を構成している。
【００１０】
光源１から出力光は、図７中”ＬＧ１１”示すように光ファイバ２を伝播し、照射集光装置５１内のレンズ７によってコリメートされ、図７中”ＬＧ１２”に示すように平行光として伝播して、図７中”ＳＰ１１”に示す被測定対象物４上の部分に照射される。
【００１１】
一方、被測定対象物４からの反射光（或いは、反射光の一部）は、図７中”ＬＧ１３”に示すように照射集光装置５１に入射し、射集光装置５１内のレンズ７によって光ファイバ５に集光される。そして、集光された光は、図７中”ＬＧ１４”に示すように光ファイバ５を伝播して分光手段６に供給され、分光分析される。
【００１２】
この結果、分光分析装置に照射集光装置を用いることにより、１つの照射集光装置で被測定対象物に対する照射及び反射光の集光を行なうことが可能になる。
【００１３】
ちなみに、複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光を行なう場合、照射集光装置自身の位置を移動させるか、複数個の照射集光装置を設置して照射集光装置を適宜選択しながら照射集光を行なう必要性がある。
【００１４】
図８はこのような複数個の照射集光装置を適宜選択して照射集光を行なう従来の分光分析装置の他の一例を示す構成ブロック図である。
【００１５】
図８において、８は光源、９及び１４は光路を切り換える切換手段、１０，１３，１６及び１８は光ファイバ、１１及び１７は照射集光装置、１２は被測定対象物、１５は分光手段である。また、８，９，１０，１１，１３，１４，１５，１６，１７及び１８は分光分析装置５２を構成している。
【００１６】
光源８からの出力光は、切換手段９に入射され、切換手段９の一方の出射端からの出射光は、光ファイバ１０を伝播して照射集光装置１１に供給され、照射集光手段１１からの出射光が被測定対象物１２に照射される。
【００１７】
例えば、図８中”ＬＧ２１”に示すように照射集光装置１１から出射された照射光は、図６中”ＳＰ２１”に示す被測定対象物１２上の第１の部分に照射される。
【００１８】
また、被測定対象物１２からの反射光（或いは、反射光の一部）は、照射光が出射されたものと同じ照射集光装置１１に入射し集光された後に、光ファイバ１３を伝播して切換手段１４の一方の入射端に供給される。
【００１９】
例えば、図８中”ＳＰ２１”に示す被測定対象物１２上の第１の部分で反射された反射光（或いは、反射光の一部）は、図８中”ＬＧ２２”に示すように照射集光装置１１に入射される。
【００２０】
同様に、切換手段９の他方の出射端からの出射光は、光ファイバ１６を伝播して照射集光装置１７に供給され、照射集光手段１７からの出射光が被測定対象物１２に照射される。
【００２１】
例えば、図８中”ＬＧ２３”に示すように照射集光装置１７から出射された照射光は、図６中”ＳＰ２２”に示す被測定対象物１２上の第２の部分に照射される。
【００２２】
また、被測定対象物１２からの反射光（或いは、反射光の一部）は、照射光が出射されたものと同じ照射集光装置１７に入射し集光された後に、光ファイバ１８を伝播して切換手段１４の他方の入射端に供給され、切換手段１４の出射端からの出射光が分光手段１５に供給される。
【００２３】
例えば、図８中”ＳＰ２２”に示す被測定対象物１２上の第２の部分で反射された反射光（或いは、反射光の一部）は、図８中”ＬＧ２４”に示すように照射集光装置１７に入射される。
【００２４】
ここで、図８に示す従来例の動作を説明する。図８中”ＳＰ２１”に示す被測定対象物１２上の第１の部分に対して照射集光する場合、図示しない制御手段は、切換手段９を制御して光源８からの出力光を光ファイバ１０に伝播させ、また、切換手段１４を制御して光ファイバ１３を伝播する光を分光手段１５に供給させる。
【００２５】
また、図８中”ＳＰ２２”に示す被測定対象物１２上の第２の部分に対して照射集光する場合、図示しない制御手段は、切換手段９を制御して光源８からの出力光を光ファイバ１６に伝播させ、また、切換手段１４を制御して光ファイバ１８を伝播する光を分光手段１５に供給させる。
【００２６】
この結果、複数個の照射集光装置を設置して照射集光装置を適宜選択しながら照射集光を行なうことにより、複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光を行なうことができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
しかし、複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光を行なう場合に、照射集光装置自身の位置を移動させることは困難（場合によっては移動不可の場合が多い。）であると言った問題点があった。
【００２８】
また、図８に示すように、複数個の照射集光装置を設置して照射集光装置を適宜選択しながら照射集光を行なう場合では、構成が複雑でありコストアップになってしまうと言った問題点があった。
【００２９】
さらに、複数個の照射集光装置を並べて設置しても、照射集光装置の大きさ（口径）よりも小さな間隔で、測定（照射集光）することは困難であると言った問題点があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能な照射集光装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光を集光して供給する照射集光装置において、
光源からの光を伝播させる複数の照射用光ファイバと、被測定対象物からの反射光を伝播させる集光用光ファイバと、前記複数の照射用光ファイバの出射光を平行光にして前記被測定対象物上の異なる部分にそれぞれ照射させると共に前記被測定対象物上の異なる部分からの反射光をそれぞれ前記集光用光ファイバに集光させるレンズとを備えたことにより、簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能になる。
【００３１】
請求項２記載の発明は、
光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光を集光して供給する照射集光装置において、
光源からの光を伝播させる複数の照射用光ファイバと、被測定対象物からの反射光を伝播させる集光用光ファイバと、前記複数の照射用光ファイバの出射光を平行光にして前記被測定対象物上の異なる部分にそれぞれ照射させる照射用のレンズと、前記被測定対象物上の異なる部分からの反射光をそれぞれ前記集光用光ファイバに集光させる集光用のレンズとを備えたことにより、簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能になる。
【００３２】
請求項３記載の発明は、
光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの反射光を集光して供給する照射集光装置において、
光源からの光を伝播させる複数の照射用光ファイバと、これら複数の照射用光ファイバの出射光を平行光にして被測定対象物上の異なる部分にそれぞれ照射させる照射用のレンズとから構成される照射装置と、前記被測定対象物からの反射光を伝播させる集光用光ファイバと、前記被測定対象物上の異なる部分からの反射光をそれぞれ前記集光用光ファイバに集光させる集光用のレンズとから構成される集光装置とを備えたことにより、簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能になる。
【００３３】
請求項４記載の発明は、
光源からの光を被測定対象物に照射し被測定対象物からの透過光を集光して供給する照射集光装置において、
光源からの光を伝播させる複数の照射用光ファイバと、これら複数の照射用光ファイバの出射光を平行光にして被測定対象物上の異なる部分にそれぞれ照射させる照射用のレンズとから構成される照射装置と、前記被測定対象物からの透過光を伝播させる集光用光ファイバと、前記被測定対象物上の異なる部分からの透過光をそれぞれ前記集光用光ファイバに集光させる集光用のレンズとから構成される集光装置とを備えたことにより、簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能になる。
【００３４】
請求項５記載の発明は、
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の照射集光装置を分光分析装置に適用したことにより、簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能になる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２，３，４及び請求項５の発明によれば、複数の照射用光ファイバからの出射光を平行光にして被測定対象物上の異なる部分をそれぞれ照射し、被測定対象物上の異なる部分からの２つの反射光、或いは、透過光を１つの集光用光ファイバに集光することにより、簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る照射集光装置を用いた分光分析装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
【００３７】
図１において、１９は光源、２０は光路を切り換える切換手段、２１及び２２は照射用光ファイバ、２３は照射集光装置、２４は被測定対象物、２５は集光用光ファイバ、２６は分光手段である。また、１９，２０，２１，２２，２３，２５及び２６は分光分析装置５３を構成している。
【００３８】
光源１９からの出力光は、切換手段２０に入射され、切換手段２０の一方の出射端からの出射光は、光ファイバ２１を伝播して照射集光装置２３に供給され、照射集光手段２３からの出射光が被測定対象物２４に照射される。
【００３９】
例えば、図１中”ＬＧ３１”に示すように照射集光装置２３から出射された照射光は、図１中”ＳＰ３１”に示す被測定対象物２４上の第１の部分に照射される。
【００４０】
同様に、切換手段２０の他方の出射端からの出射光は、光ファイバ２２を伝播して照射集光装置２３に供給され、照射集光手段２３からの出射光が被測定対象物２４に照射される。
【００４１】
例えば、図１中”ＬＧ３３”に示すように照射集光装置２３から出射された照射光は、図１中”ＳＰ３１”に示す被測定対象物２４上の第１の部分とは異なる図１中”ＳＰ３２”に示す被測定対象物２４上の第２の部分に照射される。
【００４２】
また、被測定対象物２４からの反射光（或いは、反射光の一部）は、照射光が出射されたものと同じ照射集光装置２３に入射し集光された後に、光ファイバ２５を伝播して分光手段２６に供給される。
【００４３】
例えば、図１中”ＳＰ３１”、或いは、”ＳＰ３２”に示す被測定対象物１２上の第１、或いは、第２の部分で反射された反射光（或いは、反射光の一部）は、図１中”ＬＧ３２”、或いは、”ＬＧ３４”に示すように照射集光装置２３に入射される。
【００４４】
ここで、図１に示す実施例の動作を図２を用いて説明する。図２は本発明に係る照射集光装置の一実施例を示す構成ブロック図であり、図２において２１，２２，２４及び２５は図１と同一符号を付してあり、図２において、２７は集光手段であるレンズである。また、レンズ２７は照射集光装置５４を構成する。
【００４５】
光源１９から出力光は、切換手段２０により光ファイバ２１が光路として選択された場合、図２中”ＬＧ４１”示すように光ファイバ２１を伝播し、照射集光装置５４内のレンズ２７によってコリメートされ、図２中”ＬＧ４２”に示すように平行光として伝播して、図２中”ＳＰ４１”に示す被測定対象物２４上の第１の部分に照射される。
【００４６】
また、光源１９から出力光は、切換手段２０により光ファイバ２２が光路として選択された場合、図２中”ＬＧ４３”示すように光ファイバ２２を伝播し、照射集光装置５４内のレンズ２７によってコリメートされ、図２中”ＬＧ４４”に示すように平行光として伝播して、図２中”ＳＰ４２”に示す被測定対象物２４上の第２の部分に照射される。
【００４７】
一方、被測定対象物２４からの反射光（或いは、反射光の一部）は、図２中”ＬＧ４５”若しくは図２中”ＬＧ４６”に示すように照射集光装置５４に入射し、照射集光装置５４内のレンズ２７によって光ファイバ２５に集光される。そして、集光された光は、図２中”ＬＧ４７”に示すように光ファイバ２５を伝播して分光手段２６に供給され、分光分析される。
【００４８】
例えば、照射集光装置５４を構成するレンズ２７として”ｆ＝５０ｍｍ”のレンズを使用した場合、集光用光ファイバ２５として”ＮＡ≒０．２２”の光ファイバを用い、集光用光ファイバ２５の入射端をレンズ２７の焦点位置に設置すると、被測定対象物２４上の直径”約２２ｍｍ”の部分からの反射光を取り込むことができる。
【００４９】
一方、例えば、照射用光ファイバ２１及び２２を”ＮＡ≒０．１”の光ファイバとし、照射用光ファイバ２１及び２２の出射端をそれぞれレンズ２７の焦点位置に設置すると、被測定対象物２４上の直径”約１０ｍｍ”の部分をそれぞれ別個に照射することができる。
【００５０】
このような状況下で、照射用光ファイバ２１及び２２の出射端の間隔が”２ｍｍ”となるように配置すると、レンズ２７から”約２５ｃｍ”離れた地点で、２つの照射範囲（直径”約１０ｍｍ”の円）が接する位置関係（例えば、図２中”ＳＰ４１”と図２中”ＳＰ４２”に示すような位置関係）となる。
【００５１】
この結果、２つの照射用光ファイバからの出射光を平行光にして被測定対象物上の異なる部分を照射し、被測定対象物上の異なる部分からの２つの反射光を１つの集光用光ファイバに集光することにより、簡単な構成で複数の被測定対象物、或いは、被測定対象物内の複数点に対する照射集光が可能になる。
【００５２】
なお、図１に示す実施例の説明に際しては、光ファイバを用いて光源からの出力光等を伝播させているが、勿論、空間伝播型等の光ガイドを用いて各種光を伝播させても構わない。
【００５３】
また、図１に示す実施例では、照射のための光のコリメートと、反射光の集光を同一の光学系（レンズ）で行なっているが、光学系（レンズ）を照射用と集光用とに分離しても構わない。
【００５４】
図３はこのような本発明に係る照射集光装置の他の実施例を示す構成ブロック図である。図３において、２８及び２９は照射用光ファイバ、３０は照射（コリメート）用のレンズ、３１は被測定対象物、３２は集光用のレンズ、３３は集光用光ファイバである。また、レンズ３０及びレンズ３２は照射集光装置５５を構成している。
【００５５】
光源（図示せず。）から出力光は、切換手段（図示せず。）により光ファイバ２８が光路として選択された場合、図３中”ＬＧ５１”示すように光ファイバ２８を伝播し、照射集光装置５５内の照射（コリメート）用のレンズ３０によってコリメートされ、図３中”ＬＧ５２”に示すように平行光として伝播して、図３中”ＳＰ５１”に示す被測定対象物３１上の第１の部分に照射される。
【００５６】
また、光源（図示せず。）から出力光は、切換手段（図示せず。）により光ファイバ２９が光路として選択された場合、図３中”ＬＧ５３”示すように光ファイバ２９を伝播し、照射集光装置５５内の照射（コリメート）用のレンズ３０によってコリメートされ、図３中”ＬＧ５４”に示すように平行光として伝播して、図３中”ＳＰ５２”に示す被測定対象物３１上の第２の部分に照射される。
【００５７】
一方、被測定対象物３１からの反射光（或いは、反射光の一部）は、図３中”ＬＧ５５”に示すように照射集光装置５５に入射し、照射集光装置５５内の集光用のレンズ３２によって光ファイバ３３に集光される。そして、集光された光は、図３中”ＬＧ５６”に示すように光ファイバ３３を伝播して分光手段（図示せず。）に供給され、分光分析される。
【００５８】
また、図１に示す実施例では、照射機能と集光機能が一体化して照射集光装置を構成しているが、照射装置と集光装置を分離しても構わない。
【００５９】
図４はこのような本発明に係る照射集光装置の他の実施例を示す構成ブロック図である。図４において、３４及び３５は照射用光ファイバ、３６は照射（コリメート）用のレンズ、３７は被測定対象物、３８は集光用のレンズ、３９は集光用光ファイバである。また、レンズ３６は照射手段５６を、レンズ３８は集光装置５７をそれぞれ構成している。
【００６０】
光源（図示せず。）から出力光は、切換手段（図示せず。）により光ファイバ３４が光路として選択された場合、図４中”ＬＧ６１”示すように光ファイバ３４を伝播し、照射装置５６内の照射（コリメート）用のレンズ３６によってコリメートされ、図４中”ＬＧ６２”に示すように平行光として伝播して、図４中”ＳＰ６１”に示す被測定対象物３７上の第１の部分に照射される。
【００６１】
また、光源（図示せず。）から出力光は、切換手段（図示せず。）により光ファイバ３５が光路として選択された場合、図４中”ＬＧ６３”示すように光ファイバ３５を伝播し、照射装置５６内の照射（コリメート）用のレンズ３６によってコリメートされ、図４中”ＬＧ６４”に示すように平行光として伝播して、図４中”ＳＰ６２”に示す被測定対象物３７上の第２の部分に照射される。
【００６２】
一方、被測定対象物３７からの反射光（或いは、反射光の一部）は、図４中”ＬＧ６５”に示すように集光装置５７に入射し、集光装置５７内の集光用のレンズ３８によって光ファイバ３９に集光される。そして、集光された光は、図４中”ＬＧ６６”に示すように光ファイバ３９を伝播して分光手段（図示せず。）に供給され、分光分析される。
【００６３】
また、図１に示す実施例の説明に際しては、被測定対象物からの反射光を集光していたが、被測定対象物の透過光を集光するものであっても構わない。
【００６４】
図５はこのような本発明に係る照射集光装置の他の実施例を示す構成ブロック図である。図５において、４０及び４１は照射用光ファイバ、４２は照射（コリメート）用のレンズ、４３は被測定対象物、４４は集光用のレンズ、４５は集光用光ファイバである。また、レンズ４２は照射手段５８を、レンズ４４は集光装置５９をそれぞれ構成している。
【００６５】
光源（図示せず。）から出力光は、切換手段（図示せず。）により光ファイバ４０が光路として選択された場合、図５中”ＬＧ７１”示すように光ファイバ４０を伝播し、照射装置５８内の照射（コリメート）用のレンズ４２によってコリメートされ、図５中”ＬＧ７２”に示すように平行光として伝播して、図５中”ＳＰ７１”に示す被測定対象物４３上の第１の部分に照射される。
【００６６】
また、光源（図示せず。）から出力光は、切換手段（図示せず。）により光ファイバ４１が光路として選択された場合、図５中”ＬＧ７３”示すように光ファイバ４１を伝播し、照射装置５８内の照射（コリメート）用のレンズ４２によってコリメートされ、図５中”ＬＧ７４”に示すように平行光として伝播して、図５中”ＳＰ７２”に示す被測定対象物４３上の第２の部分に照射される。
【００６７】
一方、被測定対象物４３からの透過光（或いは、透過光の一部）は、図５中”ＬＧ７５”に示すように集光装置５９に入射し、集光装置５９内の集光用のレンズ４４によって光ファイバ４５に集光される。そして、集光された光は、図５中”ＬＧ７６”に示すように光ファイバ４５を伝播して分光手段（図示せず。）に供給され、分光分析される。
【００６８】
また、図１に示す実施例の説明に際しては、被測定対象物上の照射部分を切り換えていたが、同時に照射して測定面積を広げるように用いても構わない。
【００６９】
また、図１に示す実施例の説明に際しては、２つの照射用光ファイバからの出射光を平行光にして被測定対象物上の異なる部分を照射する旨記載しているが、照射用光ファイバ３以上の複数の照射用光ファイバを用いて、被測定対象物上の３以上の複数の異なる部分を照射しても構わない。
【００７０】
また、図１に示す実施例の説明に際しては、光路を切り換える切換手段を用いて光源の出力光を切り換えていたが、複数の光源を設けて順次ＯＮ／ＯＦＦさせるものであっても構わない。
【００７１】
また、図１等に示す実施例のように、被測定対象物からの反射光を集光する場合、斜めから被測定対象物に照射するため、被測定対象物の照射部分は楕円状となるが、この状況を回避する必要性がある場合は、開口を入れる、或いは、プリズム等により照射光の形状を予め補正しておくことにより解決可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明に係る照射集光装置を用いた分光分析装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
【図２】本発明に係る照射集光装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
【図３】本発明に係る照射集光装置の他の実施例を示す構成ブロック図である。
【図４】本発明に係る照射集光装置の他の実施例を示す構成ブロック図である。
【図５】本発明に係る照射集光装置の他の実施例を示す構成ブロック図である。
【図６】従来の照射集光装置を用いた分光分析装置の一例を示す構成ブロック図である。
【図７】従来の照射集光装置の一例を示す構成ブロック図である。
【図８】従来の分光分析装置の他の一例を示す構成ブロック図である。
【符号の説明】
【００７３】
１，８，１９  光源
２，５，１０，１３，１６，１８，２１，２２，２５，２８，２９，３３，３４，３５，３９，４０，４１，４５  光ファイバ
３，１１，１７，２３，５１，５４，５５  照射集光装置
４，１２，２４，３１，３７，４３  被測定対象物
６，１５，２６  分光手段
７，２７，３０，３２，３６，３８，４２，４４  レンズ
９，１４，２０  切換手段
５０，５２，５３  分光分析装置
５６，５８  照射手段
５７，５９  集光装置
【図１】
2009063407.tif 000003
【図２】
2009063407.tif 000004
【図３】
2009063407.tif 000005
【図４】
2009063407.tif 000006
【図５】
2009063407.tif 000007
【図６】
2009063407.tif 000008
【図７】
2009063407.tif 000009
【図８】
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