(57)【要約】【課題】光学素子の調整による収差や光記録媒体が生成する収差などを検出し、収差補正を行う。【解決手段】ホモダイン方式を光学系に適用し、そのホモダイン方式と特異な格子構造の光学素子及び複数に分割された光検出器を用いて得られる信号や位相差の値から直接的に収差を検出し、その結果をもとに収差補正を行う。【選択図】図１
2009015944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源から出射した光を第１と第２の光束に分割する第１の分割手段と、
前記第１の光束を光情報記録媒体上に集光して照射する手段と、
前記第１の光束の収差を補正する収差補正手段と、
前記第２の光束を参照光として反射させる手段と、
光情報記録媒体から反射した信号光と前記参照光を再び前記第１の分割手段に導いて重ね合わせて干渉させた第３の光束を分割するとともに、分割されたそれぞれの光に含まれる前記信号光と前記参照光の位相関係を互いに異ならしめる第２の分割手段と、
前記第２の分割手段により分割されたそれぞれの第４の光束をそれぞれ相互に対応する複数の領域に分割して各領域ごとに光強度を電気信号として検出する検出手段と、
すべての前記第４の光束の対応する各領域の電気信号を用いて前記第３の光束の対応する各領域における信号光と参照光の位相差を求める演算手段と、
前記演算手段の演算結果を用いて前記収差補正手段を制御する制御手段と
を有することを特徴とする光ディスク装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光ディスク装置において、前記収差補正手段は、前記第４の光束の分割された各領域に対応する前記第３の光束の位相差の演算結果を用いて、前記第１の光束の対応する領域の収差を補正することを特徴とする光ディスク装置。
【請求項３】
請求項１に記載の光ディスク装置において、前記演算手段において前記第３の光束の位相差の演算を行うとともに、球面収差と、２方向のコマ収差と、２方向の非点収差を独立に求め、この値に応じて前記制御手段を制御することを特徴とする光ディスク装置。
【請求項４】
請求項１に記載の光ディスク装置において、前記第４の光束を領域に分割して検出する分割数は９以上であることを特徴とする光ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光の収差検出機構及び収差補正機構を有する光ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光記録技術において高密度かつ高速に記録再生を行うためには、光学系の収差が、ある基準以下に抑えられている必要がある。この基準としては、用いる光源の波長をλとするとき、たとえば収差の２乗平均平方根（Root Mean Square :RMS）値で0.07λとするマレシャルの基準を満たすことが必要である。ところが近年の光ディスクの高密度化に伴う対物レンズ開口数（Numerical Aperture :ＮＡ）の増大により、わずかな光学部品のずれ、ディスク基板の傾き、厚さずれでも容易にこの基準を超える収差が発生しやすくなっている。対物レンズで集光されるスポットの大きさはλ／ＮＡに比例するため、記録密度を増大させるためにＮＡを大きくすることが検討されてきた。しかし一般にずれに対する収差発生の感度は、ＮＡのべき乗に比例し、たとえば対物レンズの傾きなどで発生する非点収差はＮＡの２乗、ディスクの傾きで生じるコマ収差はＮＡの３乗、ディスク基板の厚さずれで発生する球面収差はＮＡの４乗に比例する収差を発生する。このことから光学部品調整の精度やディスク傾き、基板厚ずれなどをなるべく緩和するには、発生する収差を抑える工夫が必要となる。そのため、たとえばディスク基板厚ずれについて、球面収差を検出して補正する方法（特開2001-307349号公報）や、再生信号の振幅がなるべく大きくなるように、収差補正素子を制御する方法（特開2005-100483号公報）などが提案されている。また、特に光ディスク光学系の中で用いることを明示してはいないが、格子溝の方向が異なる回折格子を用いて回折光の位相を変化させ、０次光と＋１次光（−１次光）を干渉させるシェアリング干渉を用いた検出方法などがある。
【０００３】
【特許文献１】特開2001-307349号公報
【特許文献２】特開2005-100483号公報
【特許文献３】特開2002-202223号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特開2001-307349号公報に記載された方法は、球面収差の検出のみしか想定しておらず、コマ収差や非点収差などの収差が検出できないという問題点がある。特開2005-100483号公報に記載された方法は、直接的に収差を検出するわけではなく、収差による信号振幅劣化がなるべく少なく、信号振幅がなるべく大きい補正条件を探索する手法であるため、試行錯誤が必要である上、ピーク近傍で変化の微分係数が０となり検出誤差が大きいという問題点がある。特開2002-202223号公報に記載されたシェアリング干渉を用いる方法は、機構が複雑かつ大型で電力浪費量も大きく、光ディスク装置に搭載しにくいという問題点がある。
【０００５】
以上の従来技術の問題点に鑑みて、本発明の解決すべき課題は、簡単な構造で任意の収差を検出し、補正することができる高効率の光ディスク装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明では、光ディスク装置の光学系にホモダイン光検出方式と呼ばれる方式を適用し、光ディスクから反射される光束の収差を、間接的にではなく直接的に位相分布として検出し、その結果をもとに収差補正を行う。ホモダイン光検出方式は、光通信の分野で検出信号の高Ｓ／Ｎ化のために検討された方式であり、通常は信号振幅の増幅の目的で用いられている。しかし本発明ではそれを光の位相検出に用いるものである。
【０００７】
本発明の光ディスク装置は、半導体レーザなどの光源と、光源から出射した光を第１と第２の光束に分割する第１の分割手段と、収差を補正する手段と、収差を補正するためのフィードバック制御を行う手段と、第１の光束を光情報記録媒体上に集光して照射する手段と、第２の光束を光情報記録媒体には集光せずに参照光として反射させる手段と、光情報記録媒体から反射した信号光と参照光を再び第１の分割手段に導いて重ね合わせて干渉させた第３の光束を分割するとともに、分割されたそれぞれの光に含まれる信号光と参照光の位相関係を互いに異ならしめる第２の分割手段と、第２の分割手段により分割されたそれぞれの第４の光束をそれぞれ相互に対応する複数の領域に分割して各領域ごとに光強度を電気信号として検出する検出手段と、すべての第４の光束の対応する各領域の電気信号を用いて第３の光束の対応する各領域における信号光と参照光の位相差を求める演算手段と、演算手段の演算結果を用いて収差補正手段を制御する制御手段を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によると、簡単な構造にもかかわらず、任意の収差を検出することが可能で、検出された収差を補正することによって良好な記録再生を行うことが可能になる。また、光ディスク装置に搭載可能な軽量・小型化が実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図を用いて本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明による光ディスク装置の一例を示す概略図である。半導体レーザ１０１からの光をコリメートレンズ１０２によって平行光にして、λ／２板１０３を透過させて偏光プリズム１０４に入射させる。偏光プリズム１０４は分離面に入射するＰ偏光をほぼ１００％透過し、Ｓ偏光をほぼ１００％反射させる機能を有している。このときλ／２板の光軸周りの回転角度を調整することにより、一部の光をＳ偏光として偏光プリズム１０４を反射させ、一部の光をＰ偏光として透過させるようにすることができる。反射する光はλ／４板１０５を透過して円偏光に変換され、２次元アクチュエータ１０６に搭載された対物レンズ１０７により、光ディスク１０８上の記録膜に集光される。光ディスクからの反射光は同じ光路を戻り、対物レンズ１０７によって平行光とされ、λ／４板１０５により最初に入射したときとは９０°偏光方向が回転した直線偏光となって偏光プリズム１０４に入射する。すると偏光が回転しているため、この光ディスク１０８からの反射光はＰ偏光となって偏光プリズム１０４を透過し、偏光プリズム１２５に入射する。
【００１０】
一方、半導体レーザ１０１からの光のうち、偏光プリズム１０４を透過したＰ偏光はλ／４板１１０により円偏光に変換され、光軸方向に可動する１次元アクチュエータ１１１に搭載されたコーナーキューブプリズム１１２に入射する。コーナーキューブプリズム１１２は、立方体の対向する頂点を結んだ対角線に垂直な面で立方体を切断した形状を有し、切断面の方から光を入射させると、どのような入射角で光を入射させても反射光路の対称性から、反射光が必ず入射光と同じ方向に戻る素子である。コーナーキューブプリズム１１２からの反射光は偏光方向が回転しているので補償素子１３０をコーナーキューブ稜線に合わせて貼り付けることで補償する。補償された反射光、すなわち参照光は、光軸を同じくして同じ光路を戻り、λ／４板１１０により入射時と偏光方向が９０°回転した直線偏光となって偏光プリズム１０４に入射する。すると偏光が回転しているため、このコーナーキューブプリズム１１２からの反射光はＳ偏光となって偏光プリズム１０４を反射し、光ディスク１０８からの反射光と重なり合って偏光プリズム１２５に入射する。ただし光ディスク１０８からの反射光とコーナーキューブプリズム１１２からの反射光は互いに直交する直線偏光となっている。
【００１１】
偏光プリズム１２５は偏光プリズム１０４と異なり、Ｐ偏光の一部を透過させ、Ｓ偏光をほぼ１００％反射させる機能を有する。これによりコーナーキューブプリズム１１２からの反射光はほぼ１００％反射され、ディスクからの反射光は一部が偏光プリズム１２５を透過し、一部が反射される。反射された光は偏光位相変換分離素子１１４に入射し、さらに２つの光の干渉の位相差が異なる４つの光に分割される。位相差が異なる４つの光は、収差検出用の回折格子１１６によりさらに分割され、集光レンズ１１８により光検出器１１５に集光され検出される。
【００１２】
ここで、偏光位相変換分離素子１１４と収差検出用の回折格子１１６及び光検出器１１５、光検出器からの信号のその後の信号処理の過程について詳細に説明する。
【００１３】
偏光位相変換分離素子１１４は、図２に示すように、無偏光回折格子２０３と無偏光回折格子２０３により分割された少なくとも２つの光の一方には作用せず、少なくとももう一方の光を円偏光に変換する同一基板からなる角度選択的偏光変換素子２０４と偏光分離素子２０５からなる。これらのうち、角度選択的偏光変換素子２０４を光軸方向に光学軸を有する一軸性異方性光学材料で構成し、さらに偏光分離素子２０５と一体に張り合わせて形成することで小型化を実現する。
【００１４】
まず、信号光偏光方向２０１と参照光偏光方向２０２が直交するように信号光と参照光が無偏光回折格子２０３に入射すると、偏光方向を問わずに２つの光はともに２つの異なる進行方向の光にそれぞれ分離する。これは無偏光回折格子２０３をブレーズ化することにより容易に可能である。一方は直進する０次光、他方は所定の回折角で回折する１次回折光である。次に、これらの光は光学軸２０６が素子の面に対して垂直な一軸異方性を持ち、かつ回折光の回折方向が信号光偏光方向２０１と参照光偏光方向２０２とそれぞれ実質的に４５度をなす角度選択性偏光変換素子２０４に入射すると、直進する０次光には何ら位相差を生じないが、傾いて入射した１次回折光は位相差を生じ、信号光と参照光で回転方向が逆向きの円偏光に変換される。さらに、角度選択性偏光変換素子２０４の出射光を、光学軸２０７を図中の向きとする偏光分離回折格子２０５に入射させる。偏光分離回折格子は液晶や、ニオブ酸リチウム、水晶などの異方性材料によりブレーズ格子を形成することにより容易に実現できる。すなわち偏光方向により屈折率が異なる材質であるため、ある偏光方向とそれと直交する偏光方向とで格子によって加わる位相分布が逆転するように配置すればよい。これにより１次回折光と−１次回折光が直交する偏光方向となるようにすることができる。以上のようにして分離された４つの光における、信号光成分と参照光成分の干渉の位相差を０°，９０°，１８０°，２７０°とすることができる。
【００１５】
図３は、４つの光の干渉の位相差が０°，１８０°，９０°，２７０°になることを説明するための図である。図中、Ｅrefは参照光の電界ベクトル、Ｅsigは信号光の電界ベクトルである。図３（ａ）は図２の直線偏光側の偏光状態、図３（ｂ）は円偏光側の偏光状態である。ＰＤ１，ＰＤ２，ＰＤ３，ＰＤ４は、それぞれ位相差０°，１８０°，９０°，２７０°の光を受光する図１の光検出器１１５上の図示していない受光部を意味しており、図３（ａ）（ｂ）において斜めの軸に射影される光が対応する受光部で受光される光の成分であることを意味している。参照光と信号光は偏光方向が直交しているため、偏光分離回折格子によって分離される各偏光成分への射影ベクトルはＰＤ１側で矢印が同じ向きとなり、ＰＤ２側で矢印が逆向きとなる。これによりＰＤ１では参照光と信号光の位相差が０°、ＰＤ２では位相差が１８０°で干渉することになる。次に、図３（ｂ）では参照光と信号光がともに回転方向の異なる円偏光となるため、それぞれのＰＤ３側への射影ベクトルと、ＰＤ４側への射影ベクトルは矢印の先端がベクトルを示す線分の端ではなく途中の位置にずれていることになる。このときの位相差がそれぞれ９０°と２７０°になるのである。
【００１６】
本発明では後で説明するように、これらＰＤ１，ＰＤ２，ＰＤ３，ＰＤ４をさらに空間的に分割して、ディスクの反射光束の位相分布、すなわち収差分布を検出するのであるが、ここではその前に、ホモダイン検出方式により信号光の振幅が参照光の振幅で増幅され、信号光と参照光の位相差が演算により求められることを以下に説明する。光検出器に入射した光の干渉強度はPD1（0°），PD2（180°），PD3（90°），PD4（270°）上でそれぞれ
【００１７】
【数１】
2009015944.tif 000003
と表される。添字のsigは信号光、refは参照光を意味する。したがってこれらを用いて以下のような差動演算を行う。
【００１８】
【数２】
2009015944.tif 000004
さらにこれらを用いて
【００１９】
【数３】
2009015944.tif 000005
のように参照光振幅により増幅された信号振幅と、参照光と信号光の位相差が求められることがわかる。従来のホモダイン検出では主に、この信号増幅効果を狙っているのであるが、本発明においては位相差を求める演算を光束内で分割して行うことにより、収差を検出するのである。
【００２０】
次に、図１の収差検出用の回折格子１１６と収差検出用の回折格子１１６から出射された光を受光する光検出器１１５について図４、図５、図６、図７を用いて説明する。まず、収差検出用の回折格子を図４、図５のようにｎ分割の構造にする理由について説明する。収差Ｗは、光束の光軸を原点とし、有効径の半径で規格化した動径半径座標をρ、動径角をθとする極座標において、ゼルニケの直交多項式を用いて、
【００２１】
【数４】
2009015944.tif 000006
と展開することができる。右辺の第１項は定数の位相オフセット、第２項はｘ方向のチルト、第３項はｙ方向のチルト、第４項はデフォーカス、第５項は動径角０°または９０°方向の非点収差、第６項は動径角４５°方向の非点収差、第７項は動径角０°方向のコマ収差、第８項は動径角９０°方向のコマ収差、第９項は３次の球面収差であり、Ａnは各収差係数である。これらがいわゆる３次収差までの展開項であり、光ピックアップの収差測定としては一般にここまでの展開項数で十分である。この式を光束内の既知の異なる位置（ρm，θm）における収差測定値Ｗmを用いて係数Ａnに対する連立方程式として
【００２２】
【数５】
2009015944.tif 000007
のように表すことができる。またこれを、行列を用いて示すと
【００２３】
【数６】
2009015944.tif 000008
と表される。したがってこの連立方程式はｎ＝ｍのときに、一意に未知数である収差係数を決めることができる。ｎ＞ｍのときは解が不定になり係数を決めることはできない。ｎ＜ｍのときは求める係数の数よりも収差の測定点数の方が多いので、連立方程式としては一般に解は不能であるが、誤差を含む式と解釈すれば最小２乗法などによって誤差を最小とする係数を決めることができる。したがってたとえば図４のような構造の回折格子を用いて光束を未知数９個に分割し、ｍ＝ｎ＝９として上記の連立方程式を解くことにより、３次の各収差係数を検出することができる。検出できる収差の展開項数は図５に示す回折格子のように分割数ｎを増やすことにより増やすことができる。
【００２４】
図１における収差検出用の回折格子１１６からの回折光が、図６のように＋１次光は強度が０に等しくなるような構造の回折格子とし、−１次光を収差検出のための光、０次光を再生信号を得るための光とすると、収差検出用の回折格子１１６からの出射された光は図７に示すような光検出器において各々受光される。再生信号を得るための０次光は光検出器上において分割のない光検出器１４１，１４３，１３７，１３９で検出する。再生信号に寄与する信号については図７中の太線で示す。一方、収差検出のための−１次光はｎ分割光検出器１４０，１４２，１３６，１３８で検出する。収差検出に寄与する信号については図７中の細線で示す。図７中のPD1(0°)，PD2(180°)，PD3(90°)，PD4(270°)は、図３で説明した位相差の異なる光を受光している光検出器である。
【００２５】
まず、再生信号について説明する。光検出器１４１（PD1（0°））、光検出器１４３（PD2（180°））、光検出器１３７（PD3（90°））、光検出器１３９（PD4（270°））で受光された光のうち、光検出器１４１（PD1（0°））と光検出器１４３（PD2（180°））からの信号を差動増幅器１２１へ、光検出器１３７（PD3（90°））と光検出器１３９（PD4（270°））の信号を差動増幅器１２２へ入力し、そこで差動増幅演算を行い、信号Sig1_RFS、信号Sig2_RFSをそれぞれ出力する。出力されたSig1_RFS，Sig2_RFSを、次に再生信号演算回路１４４に入力する。再生信号演算回路１４４においてSig1_RFSの２乗とSig2_RFSの２乗を計算し、それらの和をとった後、平方根をとることで再生信号（ＲＦＳ）を得る。
【００２６】
次に、収差検出のための信号について説明する。光検出器１４０（PD1（0°））、光検出器１４２（PD2（180°））、光検出器１３６（PD3（90°））、光検出器１３８（PD4（270°））で受光された光のうち、光検出器１４０（PD1（0°））からの信号IPD1_nと光検出器１４２（PD2（180°））からの信号IPD2_nを差動増幅器１２１へ、光検出器１３６（PD3（90°））からの信号IPD3_nと光検出器１３８（PD4（270°））からの信号IPD4_nを差動増幅器１２２へ入力し、そこで差動増幅演算を行い、信号Sig1_n、信号Sig2_nをそれぞれ出力する。この出力信号を位相差演算回路１２０に入力し、位相差演算回路１２０において位相差計算を行う。
【００２７】
位相差演算回路１２０からの出力を収差計算機１２７に入力する。収差計算機１２７内では、まず位相差演算回路１２０からの出力を波長に換算した後、その値を式（１）に示したゼルニケの直交多項式に代入して、式（３）に示すｎ個の連立方程式を解く。
【００２８】
連立方程式の解が収差係数Ａnであるので、それらの値に基づいて各収差補正手段へフィードバックをかける。例えば式（１）中のＡ9（３次球面収差）に基づいて、ビームエキスパンダ１１３を制御することで球面収差の補正が可能であり、また、Ａ7（０°方向コマ収差）、Ａ8（９０°方向コマ収差）に基づいてレンズチルト機構つきアクチュエータ１０６を制御し、Ａ5（０°または９０°方向の非点収差）、Ａ6（４５°方向の非点収差）に基づいて液晶素子１１７を制御する。これにより球面収差、コマ収差、非点収差の補正が可能である。
【００２９】
ここで演算により求められる位相の値は、信号光と参照光の位相差であることに注意されたい。つまり、図１において半導体レーザを出射して、偏光ビームスプリッタ１０４までの光学系で生じる収差については、信号光と参照光の両方に生じることになるが、これは検出できない。逆に検出できるのはビームスプリッタにより信号光が参照光と分離されたあとに混入する収差なのであるが、これには対物レンズの調整ずれによって発生する非点収差や、ディスク基板厚ずれによって発生する球面収差など、主要な収差が含まれる。ただし、ディスク傾きによるコマ収差については、原点に対して奇関数となるため、往復光路でキャンセルされてしまい、検出ができない。
【００３０】
以上、実施形態においては、収差係数を演算により求めてから、それを収差補正素子の駆動信号とした。しかし、収差係数を求めるのは必ずしも必須ではない。たとえば図４、図５の回折素子１３１，１５３に示したような光束の分割領域に対応させて、液晶収差補正素子の独立に位相可変できる領域を分割しておけば、各検出領域における位相検出値を、そのまま液晶収差補正素子の分割領域の駆動信号として用いることもできる。この場合には収差係数の演算回路が不要となり、本発明を用いる光ディスク装置のコスト低減を図ることが可能となる。
【００３１】
フォーカスエラー信号やトラッキングエラー信号によりデフォーカスやコマ収差も検出可能であるが、収差計算機１２７からの結果と合わせて２次元アクチュエータ１０６を制御することでデフォーカスやコマ収差の補正を行うことも可能である。収差補正を行う際、収差計算機１２７から得られる生の収差の値を用いて補正を行う方法もあるが、その他に従来の収差補正方法のように再生信号やジッタなどを用いた方法と合わせて補正を行っても良い。
【００３２】
次に、フォーカスエラー信号とトラッキングエラー信号の算出について説明する。図１に戻り、偏光プリズム１２５を透過した光は、集光レンズ１３３により集光され、シリンドリカルレンズ１１９により非点収差を与えられて４分割光検出器１２８に入射し、その出力信号から信号演算回路１２９によりフォーカスエラー信号（ＦＥＳ）とトラッキングエラー信号（ＴＥＳ）が出力される。この演算過程を図８に簡単に示す。図１において４分割光検出器１２８の詳細は割愛したが、フォーカスエラー信号ＦＥＳ、トラッキングエラー信号ＴＥＳの算出方法は先で説明した再生信号の算出方法と類似している。つまり、４分割光検出器（PD（N=1）（0°））、４分割光検出器（PD（N=2）（180°））、４分割光検出器（PD（N=3）（90°））、４分割光検出器（PD（N=4）（270°））で受光された光は、始めに各４分割光検出器からの４つの信号に対し、図８の左の図のような加算、減算を行いフォーカスエラー信号ＦＥＳ、トラッキングエラー信号ＴＥＳをそれぞれ算出する。
【００３３】
その後、FES1とFES2の信号を差動増幅器１３４へ、FES3とFES4の信号を差動増幅器１２３へ、TES1とTES2の信号を差動増幅器１２４へ、TES3とTES4の信号を差動増幅器１２６へ入力し、そこで差動増幅演算を行い、差動増幅器１３４からSig1_FESを、差動増幅器１２３からSig2_FESを、差動増幅器１２４からSig1_TESを、差動増幅器１２６からSig2_TESを得る。その後、Sig1_FESとSig2_FESを信号演算回路１４５に、Sig1_TESとSig2_TESを信号演算回路１４６に入力し、信号演算回路１４５ではSig1_FESの２乗とSig2_FESの２乗を計算し、それらの和をとった後、平方根をとることでフォーカスエラー信号ＦＥＳを、信号演算回路１４６ではSig1_TESの２乗とSig2_TESの２乗を計算し、それらの和をとった後、平方根をとることでトラッキングエラー信号ＴＥＳを得る。
【００３４】
フォーカスエラー信号ＦＥＳは、対物レンズ１０７を搭載した２次元アクチュエータ１０６のフォーカス駆動端子にフィードバックされ、焦点位置が閉ループ制御される。さらに同じ信号がコーナーキューブプリズム１１２を搭載した１次元アクチュエータ１１１にもフィードバックされ、対物レンズ１０７と連動してコーナーキューブプリズム１１２も駆動される。これにより光ディスク１０８を反射した信号光と、コーナーキューブプリズム１１２を反射した参照光との光路差をほぼ０に保つことができる。通常の半導体レーザのコヒーレンス長は数１０μｍであるため、光路差の調整精度はこの範囲以下になっていればよい。トラッキングエラー信号ＴＥＳは、対物レンズ１０７を搭載した２次元アクチュエータのトラッキング駆動端子にフィードバックされ、閉ループ制御される。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明により、光記録技術分野のみならず光学素子を利用する幅広い産業における応用が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明による光ディスク装置の一例を示す概略図。
【図２】偏光位相変換分離素子の説明図。
【図３】位相差の説明図。
【図４】収差検出に用いる回折格子と光検出器の説明図。
【図５】収差検出に用いる回折格子と光検出器の説明図。
【図６】収差検出に用いる回折格子のｚ方向の構造図。
【図７】光検出器と演算回路系の説明図。
【図８】光検出器と演算回路系の説明図。
【符号の説明】
【００３７】
１０１：半導体レーザ、１０２：コリメートレンズ、１０３：λ／２板、１０４：偏光プリズム、１０５：λ／４板、１０６：２次元アクチュエータ、１０７：対物レンズ、１０８：光ディスク、１０９：スピンドルモータ、１１０：λ／４板、１１１：１次元アクチュエータ、１１２：コーナープリズム、１１３：ビームエキスパンダ、１１４：偏光位相変換分離素子、１１５：光検出器、１１６：回折格子、１１７：液晶素子、１１８：集光レンズ、１１９：シリンドリカルレンズ、  １２０：位相差演算回路、１２１〜１２４：差動増幅器、１２５：偏光プリズム（Ｓ偏光反射率１００％）、１２６：差動増幅器、１２７：収差計算機、１２８：光検出器、１２９：信号演算回路、１３０：補償素子、１３１：回折格子、１３２：光検出器、１３３：集光レンズ、１３４：差動増幅器、１３５〜１４３：光検出器、１４４：再生信号演算回路、１４５：信号演算回路、１４６：信号演算回路、１４７〜１５０：加算器、１５１，１５２：演算器、１５３：回折格子、１５４：光検出器、２０１：信号光偏光方向、２０２：参照光偏光方向、２０３：無偏光回折格子、２０４：角度選択性偏光変換素子、２０５：偏光分離回折格子、２０６，２０７：光学軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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