(57)【要約】【課題】色ムラを感度よく、簡便に検出することができるカラーフィルタ検査装置及びカラーフィルタ検査方法の提供。【解決手段】カラーフィルタ基板の目視又は撮像素子による外観検査において、カラーフィルタ基板の各色層に対応する単色ＬＥＤを検査用ＬＥＤ光源１０として用い、各色のＬＥＤを使用したライトボックス３の前にカラーフィルタ基板をかざし、各色のＬＥＤを順次切り替えながら点灯させてマクロ的な外観検査を行う。これにより、色ムラを短時間に、簡単に特定できる。また、ＬＥＤの単色光源を使用することにより、視認される透過光又は反射光の混色が少なく、各色のムラ部のコントラストが上がる為、従来では見落としてしまう様な微妙なムラも検出する事が出来る。そして、このようなムラの少ないカラーフィルタ基板を使用する事で、より表示品位の高い液晶表示装置を実現する事が出来る。【選択図】図３
2009063301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置であって、
前記ＬＥＤ光源部は、前記カラーフィルタ基板の前記色層の色に応じた色数のＬＥＤがマトリクス状に配列されて構成され、
前記ＬＥＤ光源制御部により各色の前記ＬＥＤを順次点灯させることにより、前記カラーフィルタ基板が順次単色光で照明され、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラが検査されることを特徴とするカラーフィルタ検査装置。
【請求項２】
複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置であって、
前記ＬＥＤ光源部は、前記カラーフィルタ基板の前記色層の数に応じた面数の回転可能なＬＥＤ支持台と、前記ＬＥＤ支持台の各面に配置された各色のＬＥＤと、で構成され、
前記ＬＥＤ光源制御部により前記ＬＥＤ支持台を回転させることにより、前記カラーフィルタ基板が順次単色光で照明され、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラが検査されることを特徴とするカラーフィルタ検査装置。
【請求項３】
複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置であって、
前記ＬＥＤ光源部は、前記カラーフィルタ基板の前記色層の数に応じた面数のＬＥＤ支持台と、前記ＬＥＤ支持台の各面に配置された各色のＬＥＤと、で構成され、
前記カラーフィルタ基板を各色の前記ＬＥＤの照射面に移動させることにより、前記カラーフィルタ基板が順次単色光で照明され、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラが検査されることを特徴とするカラーフィルタ検査装置。
【請求項４】
各色の前記ＬＥＤの発光スペクトルは、互いに重なり合っていないことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載のカラーフィルタ検査装置。
【請求項５】
各色の前記ＬＥＤのピーク波長は、各色の前記色層の透過率分光スペクトルのピーク波長の±1０ｎｍ以内の範囲であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一に記載のカラーフィルタ検査装置。
【請求項６】
前記カラーフィルタに使用される前記色層がｎ色（ｎは２以上の整数）であり、
前記ＬＥＤの発光スペクトルに関して、ｎ色のＬＥＤのピーク波長をλn、半値全幅をFWHM(n)、ｎ＋１色のＬＥＤのピーク波長をλn+1、半値全幅をFWHM(n+1)、ｎ-１色のＬＥＤのピーク波長をλn-1、半値全幅をFWHM(n-1)とし、
前記カラーフィルタ基板の透過率分光スペクトルに関して、ｎ色とｎ＋１色のスペクトルの交差点における波長をλnn+1、その交差点を含むｎ色とｎ＋１色のスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(nn+1)、ｎ色とｎ−１色のスペクトルの交差点における波長をλnn-1、その交差点を含むｎ色とｎ−１色のスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(nn-1)とした場合に、
各色の前記ＬＥＤのピーク波長が、
λ(nn+1)＋(FWHM(nn+1))／2＋(FWHM(n+1))／2≦λ(n+1)≦780、
λ(nn-1)＋(FWHM(nn-1))／2＋(FWHM(n))／2≦λn≦λ(nn+1)−(FWHM(nn+1))／2−(FWHM(n))／2、
380≦λn-1≦λ(nn-1)−(FWHM(nn-1))／2−(FWHM(n-1))／2、
の関係を満たすことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載のカラーフィルタ検査装置。
【請求項７】
前記カラーフィルタ基板に使用される前記色層がRed、Green、Blueの３色であり、
前記ＬＥＤの発光スペクトルに関して、RedのＬＥＤのピーク波長をλr、半値全幅をFWHM(r)、GreenのＬＥＤのピーク波長をλg、半値全幅をFWHM(g)、BlueのＬＥＤのピーク波長をλb、半値全幅をFWHM(b)とし、
前記カラーフィルタ基板の透過率分光スペクトルに関して、550〜650nm付近におけるRedとGreenのスペクトルの交差点における波長をλgr、その交差点を含むRedとGreenのスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(gr)、450〜550nm付近におけるGreenとBlueのスペクトルの交差点における波長をλbg、その交差点を含むGreenとBlueのスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(bg)とした場合に、
各色の前記ＬＥＤのピーク波長が、
λgr＋(FWHM(gr))／2＋(FWHM(r))／2≦λr≦780nm、
λbg＋(FWHM(bg))／2＋(FWHM(g))／2≦λg≦λgr−(FWHM(gr))／2−(FWHM(g))／2、
380nm≦λb≦λbg−(FWHM(bg))／2−(FWHM(b))／2、
の関係を満たすことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載のカラーフィルタ検査装置。
【請求項８】
複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置を用いたカラーフィルタ検査方法であって、
前記ＬＥＤ光源部に、前記カラーフィルタ基板の前記色層の色に応じた色数のＬＥＤをマトリクス状に配列し、
前記ＬＥＤ光源制御部により各色の前記ＬＥＤを順次点灯させることにより、前記カラーフィルタ基板を順次単色光で照明し、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラを検査することを特徴とするカラーフィルタ検査方法。
【請求項９】
複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置を用いたカラーフィルタ検査方法であって、
前記ＬＥＤ光源部に、前記カラーフィルタ基板の前記色層の数に応じた面数の回転可能なＬＥＤ支持台と、前記ＬＥＤ支持台の各面に配置された各色のＬＥＤと、を設け、
前記ＬＥＤ光源制御部により前記ＬＥＤ支持台を回転させることにより、前記カラーフィルタ基板を順次単色光で照明し、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラを検査することを特徴とするカラーフィルタ検査方法。
【請求項１０】
複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置を用いたカラーフィルタ検査方法であって、
前記ＬＥＤ光源部に、前記カラーフィルタ基板の前記色層の数に応じた面数のＬＥＤ支持台と、前記ＬＥＤ支持台の各面に配置された各色のＬＥＤと、を設け、
前記カラーフィルタ基板を各色の前記ＬＥＤの照射面に移動させることにより、前記カラーフィルタ基板を順次単色光で照明し、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラを検査することを特徴とするカラーフィルタ検査方法。
【請求項１１】
各色の前記ＬＥＤを、その発光スペクトルが互いに重なり合わないように選択することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一に記載のカラーフィルタ検査方法。
【請求項１２】
各色の前記ＬＥＤのピーク波長を、各色の前記色層の透過率分光スペクトルのピーク波長の±1０ｎｍ以内の範囲に設定することを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか一に記載のカラーフィルタ検査方法。
【請求項１３】
前記カラーフィルタに使用される前記色層がｎ色（ｎは２以上の整数）であり、
前記ＬＥＤの発光スペクトルに関して、ｎ色のＬＥＤのピーク波長をλn、半値全幅をFWHM(n)、ｎ＋１色のＬＥＤのピーク波長をλn+1、半値全幅をFWHM(n+1)、ｎ-１色のＬＥＤのピーク波長をλn-1、半値全幅をFWHM(n-1)とし、
前記カラーフィルタ基板の透過率分光スペクトルに関して、ｎ色とｎ＋１色のスペクトルの交差点における波長をλnn+1、その交差点を含むｎ色とｎ＋１色のスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(nn+1)、ｎ色とｎ−１色のスペクトルの交差点における波長をλnn-1、その交差点を含むｎ色とｎ−１色のスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(nn-1)とした場合に、
各色の前記ＬＥＤのピーク波長を、
λ(nn+1)＋(FWHM(nn+1))／2＋(FWHM(n+1))／2≦λ(n+1)≦780、
λ(nn-1)＋(FWHM(nn-1))／2＋(FWHM(n))／2≦λn≦λ(nn+1)−(FWHM(nn+1))／2−(FWHM(n))／2、
380≦λn-1≦λ(nn-1)−(FWHM(nn-1))／2−(FWHM(n-1))／2、
の関係を満たすように設定することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一に記載のカラーフィルタ検査方法。
【請求項１４】
前記カラーフィルタ基板に使用される前記色層がRed、Green、Blueの３色であり、
前記ＬＥＤの発光スペクトルに関して、RedのＬＥＤのピーク波長をλr、半値全幅をFWHM(r)、GreenのＬＥＤのピーク波長をλg、半値全幅をFWHM(g)、BlueのＬＥＤのピーク波長をλb、半値全幅をFWHM(b)とし、
前記カラーフィルタ基板の透過率分光スペクトルに関して、550〜650nm付近におけるRedとGreenのスペクトルの交差点における波長をλgr、その交差点を含むRedとGreenのスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(gr)、450〜550nm付近におけるGreenとBlueのスペクトルの交差点における波長をλbg、その交差点を含むGreenとBlueのスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(bg)とした場合に、
各色の前記ＬＥＤのピーク波長を、
λgr＋(FWHM(gr))／2＋(FWHM(r))／2≦λr≦780nm、
λbg＋(FWHM(bg))／2＋(FWHM(g))／2≦λg≦λgr−(FWHM(gr))／2−(FWHM(g))／2、
380nm≦λb≦λbg−(FWHM(bg))／2−(FWHM(b))／2、
の関係を満たすように設定することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一に記載のカラーフィルタ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ検査装置及びカラーフィルタ検査方法に関し、特に、液晶表示装置の製造に使用されるカラーフィルタの検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置などのフラットパネルディスプレイが、その薄さ、軽量、低消費電力などの特長により、広く普及している。従来は主にパソコン用モニタやノート用モニタが主流であったが、ＴＶ用途としての需要が高まるにつれて、より鮮やかな表示、すなわち色再現性の高いディスプレイの要求が高まってきている。一般に多くのフラットパネルディスプレイは、カラー表示やそのカラー表示を補助する為に、各画素数に対応した色層パターンをもつカラーフィルタ基板を備えており、前述の色再現性を向上するには、そのフラットパネルディスプレイの光源の分光スペクトルと、カラーフィルタ基板の分光スペクトルを調整することで実現している。特に液晶表示装置においては、３波長タイプ冷陰極管のＣＣＦＬ（Cold Cathode Fluorescent Lamp）バックライトやＬＥＤ（Light Emitting Diode）バックライト光源のスペクトル調整、および液晶パネルを形成するカラーフィルタ基板の色層のスペクトル調整を行っている。
【０００３】
カラーフィルタ基板を製造する場合には一般的に、印刷法、フォトレジスト法、エッチング法などの方法が使用されるが、高精細、分光特性の制御性や再現性などを考慮すれば、フォトレジスト法が好ましい。フォトレジスト法は、顔料を透明樹脂中に、光開始剤、重合製モノマーとともに適当な溶剤に分散させた着色組成物を透明基板上に塗布成膜した後、色レジストをパターン露光、現像することで１つの色層を形成する工程を各色、くり返し行ってカラーフィルタ基板を作製する方法である。その後、カラーフィルタ基板の検査を行い、塗布時の膜厚ムラや、色レジストの凝集による色ムラ、パターン不良などをチェックして良否判断を実施している。
【０００４】
上記液晶表示装置用のカラーフィルタ検査工程において、マクロ的なムラを検出するため、図８及び図９に示すように、Ｎａランプ等による反射光や、冷陰極蛍光管の透過光による外観検査を行っている（例えば、下記特許文献１参照）。また、特定の色層のムラを検出するために、カラーフィルタ基板で反射又は透過した光を色フィルタを通して検査する方法もある（例えば、下記特許文献２〜５参照）。更に、図１０及び図１１に示すように、光源とカラーフィルタ基板との間に色フィルタ２８を挿入して単色光に変換し、その反射光や透過光により外観検査を行う方法もある（例えば、下記特許文献６〜１０参照）。たとえば光源には、白色光源を用いて、単色光に変換するために干渉フィルタを使用する場合もある。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２９２１２７号公報
【特許文献２】特開２００４−２８８３３号公報
【特許文献３】特開２００３−９８０３６号公報
【特許文献４】特開２００３−２９４５７８号公報
【特許文献５】特開２００５−１２１５００号公報
【特許文献６】特開２００５−１４８６３７号公報
【特許文献７】特開２０００−１９３８１４号公報
【特許文献８】特開平５−２８１１４７号公報
【特許文献９】特開平８−１９４１１２号公報
【特許文献１０】特開昭５６−１２９８４４号公報
【特許文献１１】特開２００５−３３８２６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図８及び図９に示すように、従来のＮａランプ等による反射光や、冷陰極蛍光管の透過光による外観検査では、ある色に特有なムラが発生している場合、Red、Green、Blueのどの色工程起因のムラであるのか、その場で判断する事は難しい。これは検査光源としてRed、Green、Blueに対応する全ての波長領域を含んだ蛍光灯などの白色光源や、単一波長であっても低圧ナトリウムランプ（ナトリウムＤ線（588.995nm、589.592nm））による演色性が悪い橙黄色の光源により検査を行うため、ある特定の色にムラがあった場合でも、図１２に示すように他色の透過光又は反射光に阻害されてムラ部のコントラストが落ちる事で検出感度が下がってしまう事が原因である。そのため、既に特定の色
ムラが確認されている不良限度見本を用いて比較する事が必要となる。ただし、未知の色ムラ形状に対しては、カラーフィルタ基板の破壊検査による色膜厚測定などの詳細分析や、特許文献１１のように液晶パネルを作製し駆動表示させて各色検査を行う事で、ようやくムラの原因となっている色工程を特定する事が出来る。また、カラーフィルタ検査においては、単純に各色層に対応した単色光源を、色フィルタや干渉フィルタなどによって調整して使用しても、コントラストの高い検査は出来ない。例えば図７の半値全幅FWHM(ｂｇ)の部分ように、各色の透過スペクトルが重複している領域があり、その波長領域の光は、重複している両方の色層のサブ画素（ドット）から光が漏れてきてしまう。カラーフィルタ自体には、サブ画素毎の透過率を調整する機能はないため、重複した波長領域における透過光を、検査対象のサブ画素のみに限定して透過させるような調整を行う事はできない。特許文献１１では、液晶パネルを駆動させてサブ画素（ドット）毎の透過率を調整し、検査対象のサブ画素以外を遮光状態とすることで、重複した波長領域における非検査対象のサブ画素から漏れてくる透過光を、検査対象のサブ画素のみに限定して検査を行っている。しかし、この装置において検査対象をパネルから、カラーフィルタ基板に置き換えて検査することは、前述のとおり重複した波長領域が阻害要因となり、十分な検査をすることはできない。また、他色による混色領域の光漏れを排除しているが、パネルの駆動装置が必要となり、装置構成が複雑化、および高コスト化してしまう。さらに、カラーフィルタをパネル工程に投入し、パネル完成後でなければ、カラーフィルタとしてのムラなどの欠陥がわからず、その間の資材が無駄になってしまう。
【０００７】
また、カラーフィルタ基板によって色再現性を向上させるためには色の純度を高める必要があり、色層の顔料濃度を高めたり、色層の膜厚を厚くしたり、着色性の高い顔料へ変更を行い対応している。カラーフィルタに使用できる顔料種は限られている為、主に顔料濃度や膜厚変更を行うこととなり、カラーフィルタ基板の色再現域を広げると、透過率が低下していく傾向が見られる。この色再現域の広いカラーフィルタ基板は、検査工程において、混色と透過率低下による色ムラ検出感度の低下が引き起こされる為、色再現性と表示均一性の高い液晶表示装置を歩留まり良く得ることが困難となっていた。
【０００８】
また、図１０及び図１１に示すように、色フィルタ２８を用いて、Ｒ、Ｇ、Ｂに対応する検査用光源を得る方法では、検査光源として透過率が低下してしまう点、色フィルタ２８の切替時間、メンテナンスや作業性において、Ｒ、Ｇ、Ｂの単色ＬＥＤ光源を使用する場合よりも劣る。また、色フィルタ２８の切替には何らかの機械的な機構やこの機構を制御するための装置（例えば、図の色フィルタ切替装置２９）などが必要になる為、ＬＥＤの電気的な切替よりも時間が掛かる。また、主に白色光源として用いる冷陰極管は、ＬＥＤよりも寿命が短いため、交換やメンテナンスの際に、検査工程を止める必要がある。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、その主たる目的は、色ムラを感度よく、簡便に検出することができるカラーフィルタ検査装置及びカラーフィルタ検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明は、複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置であって、前記ＬＥＤ光源部は、前記カラーフィルタ基板の前記色層の色に応じた色数のＬＥＤがマトリクス状に配列されて構成され、前記ＬＥＤ光源制御部により各色の前記ＬＥＤを順次点灯させることにより、前記カラーフィルタ基板が順次単色光で照明され、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラが検査されるものである。
【００１１】
また、本発明は、複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置であって、前記ＬＥＤ光源部は、前記カラーフィルタ基板の前記色層の数に応じた面数の回転可能なＬＥＤ支持台と、前記ＬＥＤ支持台の各面に配置された各色のＬＥＤと、で構成され、前記ＬＥＤ光源制御部により前記ＬＥＤ支持台を回転させることにより、前記カラーフィルタ基板が順次単色光で照明され、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラが検査されるものである。
【００１２】
また、本発明は、複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置であって、前記ＬＥＤ光源部は、前記カラーフィルタ基板の前記色層の数に応じた面数のＬＥＤ支持台と、前記ＬＥＤ支持台の各面に配置された各色のＬＥＤと、で構成され、前記カラーフィルタ基板を各色の前記ＬＥＤの照射面に移動させることにより、前記カラーフィルタ基板が順次単色光で照明され、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラが検査されるものである。
【００１３】
本発明においては、各色の前記ＬＥＤの発光スペクトルは、互いに重なり合っていないことが好ましい。
【００１４】
また、本発明においては、各色の前記ＬＥＤのピーク波長は、各色の前記色層の透過率分光スペクトルのピーク波長の±1０ｎｍ以内の範囲とすることができる。
【００１５】
また、本発明においては、前記カラーフィルタに使用される前記色層がｎ色（ｎは２以上の整数）であり、前記ＬＥＤの発光スペクトルに関して、ｎ色のＬＥＤのピーク波長をλn、半値全幅をFWHM(n)、ｎ＋１色のＬＥＤのピーク波長をλn+1、半値全幅をFWHM(n+1)、ｎ-１色のＬＥＤのピーク波長をλn-1、半値全幅をFWHM(n-1)とし、前記カラーフィルタ基板の透過率分光スペクトルに関して、ｎ色とｎ＋１色のスペクトルの交差点における波長をλnn+1、その交差点を含むｎ色とｎ＋１色のスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(nn+1)、ｎ色とｎ−１色のスペクトルの交差点における波長をλnn-1、その交差点を含むｎ色とｎ−１色のスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(nn-1)とした場合に、各色の前記ＬＥＤのピーク波長が、
λ(nn+1)＋(FWHM(nn+1))／2＋(FWHM(n+1))／2≦λ(n+1)≦780、
λ(nn-1)＋(FWHM(nn-1))／2＋(FWHM(n))／2≦λn≦λ(nn+1)−(FWHM(nn+1))／2−(FWHM(n))／2、
380≦λn-1≦λ(nn-1)−(FWHM(nn-1))／2−(FWHM(n-1))／2、
の関係を満たす構成とすることができる。
【００１６】
また、本発明においては、前記カラーフィルタ基板に使用される前記色層がRed、Green、Blueの３色であり、前記ＬＥＤの発光スペクトルに関して、RedのＬＥＤのピーク波長をλr、半値全幅をFWHM(r)、GreenのＬＥＤのピーク波長をλg、半値全幅をFWHM(g)、BlueのＬＥＤのピーク波長をλb、半値全幅をFWHM(b)とし、前記カラーフィルタ基板の透過率分光スペクトルに関して、550〜650nm付近におけるRedとGreenのスペクトルの交差点における波長をλgr、その交差点を含むRedとGreenのスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(gr)、450〜550nm付近におけるGreenとBlueのスペクトルの交差点における波長をλbg、その交差点を含むGreenとBlueのスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(bg)とした場合に、各色の前記ＬＥＤのピーク波長が、
λgr＋(FWHM(gr))／2＋(FWHM(r))／2≦λr≦780nm、
λbg＋(FWHM(bg))／2＋(FWHM(g))／2≦λg≦λgr−(FWHM(gr))／2−(FWHM(g))／2、
380nm≦λb≦λbg−(FWHM(bg))／2−(FWHM(b))／2、
の関係を満たす構成とすることができる。
【００１７】
また、本発明は、複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置を用いたカラーフィルタ検査方法であって、前記ＬＥＤ光源部に、前記カラーフィルタ基板の前記色層の色に応じた色数のＬＥＤをマトリクス状に配列し、前記ＬＥＤ光源制御部により各色の前記ＬＥＤを順次点灯させることにより、前記カラーフィルタ基板を順次単色光で照明し、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラを検査するものである。
【００１８】
また、本発明は、複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置を用いたカラーフィルタ検査方法であって、前記ＬＥＤ光源部に、前記カラーフィルタ基板の前記色層の数に応じた面数の回転可能なＬＥＤ支持台と、前記ＬＥＤ支持台の各面に配置された各色のＬＥＤと、を設け、前記ＬＥＤ光源制御部により前記ＬＥＤ支持台を回転させることにより、前記カラーフィルタ基板を順次単色光で照明し、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラを検査するものである。
【００１９】
また、本発明は、複数の色層が形成されたカラーフィルタ基板をＬＥＤで照明するＬＥＤ光源部と、前記ＬＥＤ光源部を制御するＬＥＤ光源制御部と、を少なくとも備えるカラーフィルタ検査装置を用いたカラーフィルタ検査方法であって、前記ＬＥＤ光源部に、前記カラーフィルタ基板の前記色層の数に応じた面数のＬＥＤ支持台と、前記ＬＥＤ支持台の各面に配置された各色のＬＥＤと、を設け、前記カラーフィルタ基板を各色の前記ＬＥＤの照射面に移動させることにより、前記カラーフィルタ基板を順次単色光で照明し、前記色層毎に前記カラーフィルタ基板の色ムラを検査するものである。
【００２０】
このように、本発明は、カラーフィルタ製造途中又は完成後に行う目視もしくはＣＣＤなどの撮像素子による外観検査において、カラーフィルタの各色層に対応する単色ＬＥＤを検査光源として用い、各色のＬＥＤを使用したＬＥＤ光源部の前にカラーフィルタ基板をかざし、各色のＬＥＤを順次切り替えながら点灯させてマクロ的な外観検査を行う事により、色ムラを短時間に、簡単に特定できる。また、ＬＥＤの単色光源を使用することにより、冷陰極管による白色光源を用いた場合よりも視認される透過光又は反射光の混色が少なく、各色のムラ部のコントラストが上がる為、従来では見落としてしまう様な微妙なムラも検出する事が出来る。よって、このようなムラの少ないカラーフィルタ基板を使用する事で、より表示品位の高い液晶表示装置を実現する事が出来る。
【発明の効果】
【００２１】
カラーフィルタ基板のマクロ的な各種ムラは、液晶表示装置などの表示均一性に大きな影響を与える。しかし、Ｒ、Ｇ、Ｂの塗布、露光、焼成、必要に応じてオーバーコートやフォトスペーサーを形成し、カラーフィルタ基板が完成した後で色ムラを判別することは難しく、カラーフィルタ工程からムラ不良が流出し、パネル検査工程のＲ、Ｇ、Ｂ単色表示パターン検査の際に発見される事が多い。例えば、液晶表示装置用のカラーフィルタ基板の最終検査工程において、マクロ的なムラを検出するためＮａランプ等による反射光や、冷陰極蛍光管の透過光による外観検査を行うが、Red、Green、Blueのどの色工程起因のムラであるのか、その場で判断する事は難しい。
【００２２】
これは検査光源としてRed、Green、Blueに対応する全ての波長領域を含んだ蛍光灯や、表面形状や透過率差が検出しやすい単一波長の低圧ナトリウムランプ（ナトリウムＤ線（588.995nm、589.592nm））であっても、演色性が悪い橙黄色の光源により検査を行うため、特定の色のムラについては他色の透過光又は反射光に阻害されて、ムラ部のコントラストが落ちる事で検出感度が下がってしまう事が原因である。
【００２３】
そこで、本発明では、透過検査光源としてカラーフィルタ基板に使用しているＲ、Ｇ、Ｂ各原色に対応するＲ、Ｇ、Ｂの単色ＬＥＤを別々に点灯させてマクロ的な外観検査を行う。単色のＬＥＤ光源については、図７の半値全幅FWHM(ｂｇ)の部分ように各色の透過スペクトルが重複している領域を、避けるような波長を持つＬＥＤ光源を使用することにより、重複した波長領域における透過光を、検査対象のサブ画素のみに限定して透過させるような状態とする。これにより、各色のムラ部のコントラストが上がる為、従来では見落としてしまう様な微妙なムラも検出する事が出来る。
【００２４】
また、各色に共通なムラが発生している場合、従来のＮａランプや白色光源（冷陰極管）による検査でも容易に検出できるが、ある色に特有のムラが発生していた場合、従来の光源ではＲ、Ｇ、Ｂの透過光又は反射光が混色してムラ部のコントラストが取れない為、検出が難しくなる。
【００２５】
そこで、本発明では、上述したように単色ＬＥＤを使用する事に加え、ライトボックスの前からカラーフィルタ基板を移動せずに、各色のＬＥＤ光源を電気的にスイッチングする。このように、ＬＥＤの単色光源を使用することにより、検査波長を切り替えた時の輝度低下がほとんど無く、輝度安定までの待ち時間ロスが無いため、色ムラを短時間に特定できる。これにより、各色におけるムラの状態を素早く比較する事ができ、不定形の色ムラを従来よりも感度よく検出する事ができる。
【００２６】
また、上記構成では、機械的な機構が必要ないため、白色光源とフィルタによって単色光源を得る方法に比べて、はるかに短時間で検査を行うことができる。
【００２７】
また、機械的な機構がないため、切替機能の信頼性を高めることができる。また、ＬＥＤ光源は冷陰極管よりも寿命が長く、ほぼメンテナンスフリーである為、検査工程をメンテナンスや故障による不点灯で中断する事が少なく、交換やメンテナンスによる時間的な損失を最小にして、常に稼動している状態に維持することが出来る。よって、検査時間と検査者に対する負荷が少なくて済み、従来方法よりも、時間当たりの検査処理枚数を増やすことができる。
【００２８】
そして、上述した検査を実施する事により、カラーフィルタ基板のムラを見る目が厳しくなり、必要に応じて良否判定レベルを引き上げることが出来るようになる。
【００２９】
よって、ムラレベルの良好なカラーフィルタ基板を使用する事で、液晶表示装置の表示均一性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明は、図１、２、３に示すような、カラーフィルタ基板の製造途中又は完成後に行う目視もしくはＣＣＤなどの撮像素子による外観検査において、カラーフィルタ基板の各色層に対応する単色ＬＥＤを検査光源として用い、その各単色ＬＥＤを使用したライトボックスの前にカラーフィルタ基板をかざして、各単色ＬＥＤを別々に切り替えながら点灯させてマクロ的な外観検査を行うものである。これにより、冷陰極管による白色光源を用いた場合よりも視認される透過光又は反射光の混色が少なく、図４に示すように各色のムラ部のコントラストが上がる為、従来では見落としてしまう様な微妙なムラも検出する事が出来る。単色のＬＥＤとしては、主にRed、Green、Blueの波長領域に発光ピークを持つＬＥＤを使用するが、カラーフィルタ基板の色層に対応させて、使用するＬＥＤの種類を増減させる。たとえば検査対象となるカラーフィルタ基板の色層にRed、Yellow、Green、Cyan、Blueが使用されている場合、ＬＥＤも５種類の発光ピークのものを使用する。
【実施例１】
【００３１】
上記した本発明の実施の形態についてさらに詳細に説明すべく、本発明の第１の実施例に係るカラーフィルタ検査装置及びカラーフィルタ検査方法について、図１乃至図４、図７を参照して説明する。図１は、本実施例の透過タイプカラーフィルタ検査装置の構成を模式的に示す図であり、図２は、本実施例の反射タイプカラーフィルタ検査装置の構成を模式的に示す図である。また、図３は、カラーフィルタ検査装置の検査用ＬＥＤ光源ライトボックスの構成を模式的に示す図であり、図４は、本実施例のカラーフィルタ検査装置を用いた色ムラ検査の様子を示す図である。
【００３２】
図１及び図２に示すように、本実施例のカラーフィルタ検査装置（透過タイプカラーフィルタ検査装置１、反射タイプカラーフィルタ検査装置２）は、検査対象のカラーフィルタ基板７に照射する各単色光を発生させる検査用ＬＥＤ光源ライトボックス３と、検査用ＬＥＤ光源ライトボックス３を制御するＬＥＤ光源制御系４と、検査対象のカラーフィルタ基板７で透過又は反射された光を検出するＣＣＤカメラなどの撮像装置６と、撮像装置６の制御及び撮像結果を処理する撮像装置制御系及び検査処理系５などで構成される。
【００３３】
なお、本実施例のカラーフィルタ検査装置は、検査対象のカラーフィルタ基板７に照射する光を生成する部分に特徴を有するものであり、検査対象のカラーフィルタ基板７で透過又は反射された光を検出する部分の構成や制御は特に限定されず、例えば、撮像装置６を使用せずに検査者の目視によって色ムラの検査を行ってもよい。
【００３４】
また、図３に示すように、本実施例の検査用ＬＥＤ光源ライトボックス３は、各単色光を発するＬＥＤがマトリクス状に配列されたＬＥＤ光源１０と、ＬＥＤ光源１０を駆動する駆動電源１１及びＬＥＤ光源駆動回路１２と、ＬＥＤ光源１０の温度変化を補償する温度センサ１６及び温度補償回路１３と、ＬＥＤ光源１０から照射される光を均一な光源とする拡散板１４及び光学フィルム１５などで構成される。
【００３５】
使用するＬＥＤ光源１０は、各ＬＥＤの発光スペクトルが互いに重なり合っていないもので、波長に関しては、カラーフィルタ基板７に使用される色層がｎ色の場合、各単色ＬＥＤ光源のピーク波長は混色を低減させる為、以下の（１）〜（３）の範囲となるように選択して使用する。このとき、各単色ＬＥＤ光源のピーク波長は、カラーフィルタ基板７に使用される各色レジスト（各色層）の透過率分光スペクトルのピーク波長に近いものを用いる。より好ましくは、各単色ＬＥＤ光源のピーク波長は、各色レジスト（各色層）の透過率分光スペクトルのピーク波長の±1０ｎｍ以内の範囲のものを用いる。これにより、光源の混色を実用上十分に抑えることができ、カラーフィルタ基板７の色ムラ検査時の感度を上げることができることを確認している。
【００３６】
λ(nn+1)＋(FWHM(nn+1))／2＋(FWHM(n+1))／2≦λ(n+1)≦780  …（１）
【００３７】
λ(nn-1)＋(FWHM(nn-1))／2＋(FWHM(n))／2≦λ(n)≦λ(nn+1)−(FWHM(nn+1))／2−(FWHM(n))／2  …（２）
【００３８】
380≦λ(n-1)≦λ(nn-1)−(FWHM(nn-1))／2−(FWHM(n-1))／2  …（３）
【００３９】
上記（１）〜（３）において、単位はｎｍとし、ｎは２以上とする。また、ＬＥＤ光源１０の発光スペクトルに関しては、ｎ色のＬＥＤ光源のピーク波長をλn、半値全幅をFWHM(n)、ｎ＋１色のＬＥＤ光源のピーク波長をλ(n+1)、半値全幅をFWHM(n+1)、ｎ−１色のＬＥＤ光源のピーク波長をλn-1、半値全幅をFWHM(n-1)とする。また、カラーフィルタ基板７の透過スペクトルに関しては、ｎ色とｎ＋１色のスペクトルの交差点における波長をλ(nn+1)、その交差点を含むｎ色とｎ＋１色のスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(nn+1)、ｎ色とｎ−１色のスペクトルの交差点における波長をλ(nn-1)、その交差点を含むｎ色とｎ−１色のスペクトルが重複している部分の半値全幅をFWHM(nn-1)とする。
【００４０】
なお、本実施例では、カラーフィルタ基板７に使用される色層がRed、Green、Blueの３色であり、各単色のＬＥＤ光源１０のピーク波長は、以下の（４）〜（６）の範囲のものを使用した。このときのスペクトルを図７に示す。
【００４１】
λgr＋(FWHM(gr))／2＋(FWHM(r))／2≦λr≦780nm  …（４）
【００４２】
λbg＋(FWHM(bg))／2＋(FWHM(g))／2≦λg≦λgr−(FWHM(gr))／2−(FWHM(g))／2  …（５）
【００４３】
380nm≦λb≦λbg−(FWHM(bg))／2−(FWHM(b))／2  …（６）
【００４４】
上記（４）〜（６）において、単位はｎｍとした。また、ＬＥＤ光源１０の発光スペクトルに関しては、RedのＬＥＤ光源のピーク波長をλr、半値全幅をFWHM(r)、GreenのＬＥＤ光源のピーク波長をλg、半値全幅をFWHM(g)、BlueのＬＥＤ光源のピーク波長をλb、半値全幅をFWHM(b)とした。また、カラーフィルタ基板７の透過スペクトルに関しては、550〜650nm付近におけるRedとGreenのスペクトルの交差点における波長をλgr、その交差点を含むRedとGreenのスペクトルが重複している部分（斜線部）の半値全幅をFWHM(gr)、450〜550nm付近におけるGreenとBlueのスペクトルの交差点における波長をλbg、その交差点を含むGreenとBlueのスペクトルが重複している部分（斜線部）の半値全幅をFWHM(bg)とした。
【００４５】
より具体的には、λr＝645nm、ＦWHM(r)＝24nm、λg＝530nm、FWHM(g)＝37nm、λb＝455nm、FWHM(b)＝28nmとなるＬＥＤ光源１０を使用した。また、カラーフィルタ基板７としては、λgr＝590nm、FWHM(gr)＝13nm、λbg＝493nm、FWHM(bg)＝25nmを使用した。
【００４６】
そして、検査方法としては、検査者もしくは検査装置によって、検査用ＬＥＤ光源ライトボックス３の前にカラーフィルタ基板７が配置され、透過してくる光、もしくは反射する光をマクロ的に目視確認もしくはＣＣＤなどの撮像装置６により画像入力して、基準品と比較することで、ムラの状態を識別し、良否判定を行った。
【００４７】
図４は、ＬＥＤ光源１０のBlueのみ点灯した場合であり、Blueの色ムラ検査時の概略図である。なお、Red、Greenの色ムラ検査をする際には、それぞれに対応するＬＥＤ光源を点灯させる事で、検査者もしくは検査装置は移動することなく同じ位置で検査を行った。
【００４８】
このように、検査用ＬＥＤ光源ライトボックス３の前から移動せずに、各色のＬＥＤ光源１０を電気的にスイッチングする事で、各色におけるムラの状態を素早く比較する事ができ、不定形の色ムラを従来よりも感度よく検出する事ができた。また、単色光源によりムラ検査を行うため、図７に示すように混色によるムラ部分のコントラスト低下が回避できる為、不定形の色ムラを従来よりも更に感度よく検出する事ができた。
【００４９】
そして、このようにして検査を行ったムラレベルの良好なカラーフィルタ基板７を用い、このカラーフィルタ基板７と、ＴＦＴ基板に配向処理を行い、液晶滴下貼り合せ、もしくは貼り合せ後に液晶注入及び封孔を行った後、偏光板などを貼り付けて液晶パネルを作製した。次に周辺駆動回路基板、バックライトモジュールを取り付けることにより液晶表示装置を作製した。このようにして完成した液晶表示装置は、従来よりもムラレベルが良好で表示均一性が高いものとなった。
【実施例２】
【００５０】
次に、本発明の第２の実施例に係るカラーフィルタ検査装置及びカラーフィルタ検査方法について、図５を参照して説明する。図５は、本実施例のカラーフィルタ検査装置の検査用ＬＥＤ光源ライトボックスの構成を模式的に示す図である。
【００５１】
図５に示すように、本実施例の検査用ＬＥＤ光源ライトボックス３は、所定の駆動機構により回転可能な三角柱のＬＥＤ支持台１７の各側面に各単色のＬＥＤ光源１０を設置した構成であり、他の構成は実施例１と同様である。なお、ここでは光源を３色としているため、ＬＥＤ支持台１７を三角柱としているが、光源を４色以上とする場合は、色数に応じた多角柱にすればよい。また、図５ではＬＥＤ光源１０のみが回転する構成としているが、拡散板１４と一体又は拡散板１４及び光学フィルム１５と一体となって回転する構成としてもよい。
【００５２】
そして、カラーフィルタ基板７の色ムラ検査をする際には、それぞれに対応するＬＥＤ光源１０を出射光方向に回転させ、点灯させる事で、検査者もしくは検査装置は移動することなく同じ位置で検査を行った。検査の照明光の光源変更を機械的に行うため、実施例１よりは切替時間がかかるが、色フィルタの交換よりは少ない時間で回転させることができるため、検査用としては十分に早い。また、単位面積当たりに配置する、１色あたりのＬＥＤの個数が増える為、より高い輝度により検査を行うことが可能となった。
【００５３】
このようにして検査を行ったムラレベルの良好なカラーフィルタ基板７を用い、実施例１と同様に液晶表示装置を作製した。こちらも、従来よりもムラレベルが良好で表示均一性が高いものとなった。
【実施例３】
【００５４】
次に、本発明の第３の実施例に係るカラーフィルタ検査装置及びカラーフィルタ検査方法について、図６を参照して説明する。図６は、本実施例のカラーフィルタ検査装置の検査用ＬＥＤ光源ライトボックスの構成を模式的に示す図である。
【００５５】
図６に示すように、本実施例の検査用ＬＥＤ光源ライトボックス３は、断面が台形状のＬＥＤ支持台１７の各側面に、各単色のＬＥＤ光源１０を設置した構成であり、他の構成は実施例１と同様である。なお、ここでは光源を３色としているため、ＬＥＤ支持台１７の断面を台形状としているが、光源を４色以上とする場合は、色数に応じた断面形状とすればよい。また、図６では各色の光が混合しないように遮光板１８を配置しているが、光学フィルム１５等によって指向性の高い照明光が得られる場合は遮光板１８を省略することもできる。
【００５６】
そして、カラーフィルタ基板７の色ムラ検査をする際には、それぞれに対応するＬＥＤ光源１０の出射光方向にカラーフィルタ基板７を移動させて、検査者もしくは検査装置により検査を行った。遮光板１８を各ＬＥＤ光源１０の間に設置している為、常時点灯させて色ムラの比較を行ったり、必要な検査照明光のＬＥＤ光源１０のみ点灯させたりすることができる。移動によってカラーフィルタ基板７の１枚あたりの検査時間は増えるが、同時に複数のカラーフィルタ基板７を検査できるため、検査工程の処理能力としては実施例２と同等である。また、単位面積当たりに配置する、１色あたりのＬＥＤの個数が増える為、より高い輝度により検査を行うことが可能である。
【００５７】
このようにして検査を行ったムラレベルの良好なカラーフィルタ基板７を用い、実施例１と同様に液晶表示装置を作製した。こちらも、従来よりもムラレベルが良好で表示均一性が高いものとなった。
【００５８】
以下、比較のために従来例に基づいて液晶表示装置を作製した。
【００５９】
［従来例１］
図８及び図９に示すように、３波長タイプの冷陰極管を光源としたライトボックス２３を備えるカラーフィルタ検査装置２１、２２を使用して、カラーフィルタ基板２７の検査を行い、実施例１と同様に液晶表示装置を作製した。
【００６０】
［従来例２］
図１０及び図１１に示すように、３波長タイプの冷陰極管を光源としたライトボックス２３と、色フィルタ２８によって検査照明光の波長を選択できる色フィルタ切替装置２９を備えるカラーフィルタ検査装置２１ａ、２１ｂを使用して、カラーフィルタ基板２７の検査を行い、実施例１と同様に液晶表示装置を作製した。
【００６１】
実施例１から３、および従来例１、２を実施した時の液晶表示装置のムラレベル、カラーフィルタ基板におけるムラ形状の検出感度、カラーフィルタ基板における色ムラ検出感度、検査における作業性（検査装置のメンテナンス頻度、光源の寿命など）、検査処理能力について比較を行った。その結果を表１に示す。レベルについては、（良い：◎）＞○＞△＞（悪い：×）の順位付けを行った。
【００６２】
全てにおいて優れているのは実施例１であった。検査照明光の色切り替えを、ＬＥＤ光源の電気的なスイッチングで行っても、各光源色の輝度低下は無く、従来例の３波長タイプの冷陰極管のように点灯時の輝度の不安定さはなかった。実施例２ではＬＥＤ光源を回転させた事で、また実施例３ではカラーフィルタ基板を移動させた事で、作業性が実施例１よりも劣る結果となったが、色ムラの検出感度については実施例１と同等レベルであった。
【００６３】
一方、従来例１では、検査照明光が白色である為に、ムラの形状が見えるものの、どの色ムラであるか判別できなかった。また、色ムラが軽い場合には判別する事ができず、液晶表示装置が完成した後の表示検査において、ようやく軽い色ムラが検出された。このため、カラーフィルタ工程において色ムラ不良の流出を食い止めることができなかった。従来例２では、色ムラの検出がカラーフィルタ基板の検査工程で検出可能ではあるが、色フィルタによって検査照明光の輝度が低下する為に、色ムラ検出感度はＬＥＤ光源を使用する実施例よりも低下した。また、色フィルタを検査の都度交換する必要があり、作業性が実施例１と比較して劣っていた。
【００６４】
【表１】
2009063301.tif 000003
【００６５】
このように、第１乃至第３の実施例は、液晶表示装置のムラレベル、カラーフィルタ基板におけるムラ形状の検出感度、カラーフィルタ基板における色ムラ検出感度、色ムラ検査における作業性、色ムラ検査処理能力のいずれにおいても、従来例１、２よりも優れており、本発明の構成を採用することにより、色ムラを感度よく、簡便に検出できることが確認できた。
【００６６】
なお、上記各実施例では、本発明のカラーフィルタ検査装置及びカラーフィルタ検査方法を用いて液晶表示装置のカラーフィルタ基板を検査する場合を示したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、同一面内に多色パターンが配置された任意のカラーフィルタ基板の検査に対して同様に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタ、フラットパネル用カラーフィルタ、ＣＣＤ用カラーフィルタなど、同一面内に多色パターンが配置されたカラーフィルタの各色の検査に利用可能である。更に、その検査により製造される高品質な液晶表示装置ほか、カラーフィルタを使用する電界放射型表示装置、蛍光表示装置、プラズマディスプレイ、および撮像装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の第１の実施例に係る透過タイプのカラーフィルタ検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係る反射タイプのカラーフィルタ検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図３】本発明の第１の実施例に係るカラーフィルタ検査装置の検査用ＬＥＤ光源ライトボックスの構成を模式的に示す図である。
【図４】本発明の第１の実施例に係るカラーフィルタ検査装置を用いたBlueの色ムラ検査時の概略図である。
【図５】本発明の第２の実施例に係るカラーフィルタ検査装置の検査用ＬＥＤ光源ライトボックスの構成を模式的に示す図である。
【図６】本発明の第３の実施例に係るカラーフィルタ検査装置の検査用ＬＥＤ光源ライトボックスの構成を模式的に示す図である。
【図７】本発明のカラーフィルタ検査装置におけるＬＥＤ光源の発光スペクトル及びカラーフィルタの透過スペクトルを示す図である。
【図８】従来の透過タイプのカラーフィルタ検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図９】従来の反射タイプのカラーフィルタ検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図１０】従来の透過タイプ（色フィルタ付き）のカラーフィルタ検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図１１】従来の反射タイプ（色フィルタ付き）のカラーフィルタ検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図１２】従来のカラーフィルタ検査装置を用いた色ムラ検査時の概略図である。
【符号の説明】
【００６９】
１  透過タイプカラーフィルタ検査装置
２  反射タイプカラーフィルタ検査装置
３  検査用ＬＥＤ光源ライトボックス
４  ＬＥＤ光源制御系
５  撮像装置制御系及び検査処理系
６  撮像装置
７  カラーフィルタ基板
１０  ＬＥＤ光源
１１  駆動電源
１２  ＬＥＤ光源駆動回路
１３  温度補償回路
１４  拡散板
１５  光学フィルム
１６  温度センサ
１７  ＬＥＤ支持台
１８  遮光板
２１、２１ａ  透過タイプカラーフィルタ検査装置
２２、２２ａ  反射タイプカラーフィルタ検査装置
２３  ３波長  冷陰極光源のライトボックス
２４  光源制御系
２５  撮像装置制御系及び検査処理系
２６  撮像装置
２７  カラーフィルタ基板
２８  色フィルタ
２９  色フィルタ切替装置
【図１】
2009063301.tif 000004
【図２】
2009063301.tif 000005
【図３】
2009063301.tif 000006
【図４】
2009063301.tif 000007
【図５】
2009063301.tif 000008
【図６】
2009063301.tif 000009
【図７】
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【図８】
2009063301.tif 000011
【図９】
2009063301.tif 000012
【図１０】
2009063301.tif 000013
【図１１】
2009063301.tif 000014
【図１２】
2009063301.tif 000015