(57)【要約】      （修正有）【課題】流路の形成された板状部材を、少ない空気の噴出量で所定の吸引力を発生させ、搬送する。【解決手段】流路が形成された板状部材１０に対向するヘッド３２と、ヘッドに設けられ、ヘッドから所定距離にて非接触で板状部材１０を維持するために空気を噴出する噴出口３４と、を備え、噴出口から噴出される空気３８は、非接触で維持される板状部材１０の流路１２に沿って噴出されることを特徴とする板状部材の搬送装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路が形成された板状部材に対向するヘッドと、
前記ヘッドに設けられ、前記ヘッドから所定距離にて非接触で板状部材を維持するために空気を噴出する噴出口と、を備え、
前記噴出口から噴出される空気は、非接触で維持される板状部材の流路に沿って噴出されることを特徴とする板状部材の搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の板状部材の搬送装置において、
前記噴出口から板状部材の流路方向に噴出される空気の流れが、板状部材の面方向であって流路方向に対して垂直な方向に噴出される空気の流れよりも大きいことを特徴とする板状部材の搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載の板状部材の搬送装置において、
前記噴出口は、噴出される空気の流れ方向が板状部材の面方向であって流路に対して４５度以内の所定方向にのみ噴出する板状部材の搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載の板状部材の搬送装置において、
前記噴出口は板状部材の流路方向にのみ空気を噴出する板状部材の搬送装置。
【請求項５】
請求項1から請求項４のいずれか一つに記載の板状部材の搬送装置において、
板状部材は燃料電池用セパレータである板状部材の搬送装置。
【請求項６】
請求項1から請求項４のいずれか一つに記載の板状部材の搬送装置において、
板状部材は、膜−電極接合体と、該膜−電極接合体を挟む一対の燃料電池用セパレータとから構成された単位電池である板状部材の搬送装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一つに記載の板状部材の搬送装置において、
前記ヘッドから所定距離に板状部材が非接触で維持された際に、セパレータの水平方向の動きを規制するように動く横ズレ防止ガイドが設けられている板状部材の搬送装置。
【請求項８】
請求項７に記載の板状部材の搬送装置は、搬送した単位電池を積層する装置である板状部材の搬送装置。
【請求項９】
請求１から請求項８のいずれか１つに記載の板状部材の搬送装置において、
前記噴出口は、板状部材に形成された流路内に突出する板状部材の搬送装置。
【請求項１０】
板状部材の流路が形成された面にヘッドを対向させる第一ステップと、
前記ヘッドに設けられた空気を噴出する噴出口から対向する板状部材の流路に沿って空気を噴出して、板状部材をヘッドから所定距離にて非接触で維持する第二ステップと、
前記ヘッドを移動させ、前記噴出口からの空気の噴出量を低下させ、板状部材を所定の場所に置く第三ステップと、
からなる板状部材の搬送方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の板状部材の搬送方法において、
前記第三ステップは、前記ヘッドに設けられた板状部材の水平方向の動きを規制するように動く横ズレ防止ガイドにより板状部材を位置決めするステップを含む板状部材の搬送方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の板状部材の搬送方法において、
板状部材は、膜−電極接合体と、該膜−電極接合体を挟む一対の燃料電池用セパレータとから構成された単位電池であって、
前記第三ステップは、前記ヘッドを移動させ、積層された単位電池の上に単位電池を積層するステップである板状部材の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に流路が形成された燃料電池用セパレータの搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
水素と酸素との化学反応によって発電する燃料電池がエネルギー源として注目されている。燃料電池は、電解質膜の一面にアノード電極と他面にカソード電極を接合した膜−電極接合体と、この膜−電極接合体の両面をセパレータで挟んだ構造の燃料電池（以下、単位電池）から構成され、単位電池を複数枚積層した燃料電池スタックの構成で使用されるのが一般的である。
【０００３】
燃料電池スタックの製造工程は、セパレータの成型工程、セパレータの表面処理工程、単位電池としての燃料電池を組み立てる工程、単位電池を複数枚積層してスタック化する工程などからなる。これらの工程において、平板からなるセパレータ、もしくは、単位電池を搬送する工程が複数存在する。
【０００４】
平板を搬送する技術として、以下の特許文献に示す技術が知られている。
【０００５】
特許文献１では、燃料電池用セパレータを取出すために、セパレータと対向する吸着面に吸着溝を設け、吸着溝から空気を吸引することで吸着力を発生させる取出し装置の構成が開示されている。
【０００６】
特許文献２では、空気を噴出することにより吸引力を発生させ、回路基板・ウエハ・液晶板などの平板部材を無接触状態で搬送する搬送装置の構成が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−３７０２４５
【特許文献２】特開平１１−２２３５２１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２に示す従来技術において、平板部材は非接触状態で搬送されるため、平板部材に汚れが付着したり、損傷を生じさせたりするなどの問題はない。しかし、板状部材の表面に形成された流路が、噴出された空気に対して抵抗として作用する。その結果、空気の流速が遅くなり、同じ空気の流量を噴出しても吸引力が発生しにくいという課題があった。
【０００８】
そこで、本発明は、表面に流路が形成された燃料電池用セパレータに対して空気を噴出することにより吸引力を発生させ搬送する搬送方法において、少ない空気の噴出量で所定の吸引力を発生させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
流路が形成された板状部材に対向するヘッドと、ヘッドに設けられ、ヘッドから所定距離にて非接触で板状部材を維持するために空気を噴出する噴出口と、を備え、噴出口から噴出される空気は、非接触で維持される板状部材の流路に沿って噴出されることを特徴とする板状部材の搬送装置。
【００１０】
また、噴出口から板状部材の流路方向に噴出される空気の流れが、板状部材の面方向であって流路方向に対して垂直な方向に噴出される空気の流れよりも大きいことも好適である。
【００１１】
また、噴出口は、噴出される空気の流れ方向が板状部材の面方向であって流路に対して４５度以内の所定方向にのみ噴出することも好適である。
【００１２】
また、噴出口は板状部材の流路方向にのみ空気を噴出することも好適である。
【００１３】
また、板状部材は燃料電池用セパレータであることも好適である。
【００１４】
また、板状部材は、膜−電極接合体と、該膜−電極接合体を挟む一対の燃料電池用セパレータとから構成された単位電池であることも好適である。
【００１５】
また、ヘッドから所定距離に板状部材が非接触で維持された際に、セパレータの水平方向の動きを規制するように動く横ズレ防止ガイドが設けられていることも好適である。
【００１６】
また、搬送した単位電池を積層する装置であることも好適である。
【００１７】
また、噴出口は、板状部材に形成された流路内に突出することも好適である。
【００１８】
板状部材の流路が形成された面にヘッドを対向させる第一ステップと、ヘッドに設けられた空気を噴出する噴出口から対向する板状部材の流路に沿って空気を噴出して、板状部材をヘッドから所定距離にて非接触で維持する第二ステップと、ヘッドを移動させ、前記噴出口からの空気の噴出量を低下させ、板状部材を所定の場所に置く第三ステップと、からなる板状部材の搬送方法。
【００１９】
また、第三ステップは、ヘッドに設けられた板状部材の水平方向の動きを規制するように動く横ズレ防止ガイドにより板状部材を位置決めすることも好適である。
【００２０】
また、板状部材は、膜−電極接合体と、膜−電極接合体を挟む一対の燃料電池用セパレータとから構成された単位電池であって、第三ステップは、ヘッドを移動させ、積層された単位電池の上に単位電池を積層するステップであることも好適である。
【発明の効果】
【００２１】
流路の形成された板状部材を、少ない空気の噴出量で所定の吸引力を発生させ、搬送することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、第１実施形態について図１〜５を用いて説明する。なお、以下の実施形態は流路が形成された板状部材として、燃料電池用セパレータを採用した実施形態である。
【００２３】
図１には、本実施形態の表面に流路が形成された燃料電池用セパレータ１０と、セパレータに対向する搬送装置のヘッド３２と、の上平面図を示している。
【００２４】
図１の燃料電池用セパレータ１０（以下、セパレータ）は、ステンレスをプレス成型し、セパレータ１０の中央部分に、一方の面に反応ガスを流すガス流路１２と、他方の面に冷却液を流す冷却流路（不図示）と、を備えている。図１では、セパレータ１０のガス流路１２が形成された面が、ヘッド３２に対向するように、上向き置かれている。セパレータ１０のガス流路１２の外周部分には、ガス流路１２に燃料ガスを供給・排出する燃料ガスマニホールド１６と、ガス流路１２に酸化剤ガスを供給・排出する酸化剤ガスマニホールド１８と、冷却流路に冷却液を供給・排出するための冷却液マニホールド２０と、を備えている。  
【００２５】
セパレータ１０は、長辺２２と短辺２４とから構成されるＡ４サイズの矩形上のセパレータであって、長辺２２と平行に複数のガス流路１２を構成する溝が設けられている。本実施形態では、ガス流路１２の幅を０．５ｍｍ、ガス流路１２の深さを０．５ｍｍでそれぞれ構成する。
【００２６】
なお、本実施形態では、ステンレスをプレス成型したメタルセパレータを用いたが、アルミニウムからなるメタルセパレータや、炭素樹脂からなるカーボンセパレータであってもよい。また、セパレータのヘッドと対向する面が、冷却流路が形成された面であってもよい。
セパレータの搬送装置のヘッド３２は、セパレータ１０に対して空気を噴出する噴出口３４を備えている。セパレータ１０を搬送する際、噴出口３４がセパレータ１０の長辺方向中央に位置するように、ヘッド３２を対向させる。なお、本実施形態では、セパレータ１０の流路が形成された領域の全面を覆うようにヘッド３２が構成されている。セパレータ１０の長辺方向中央に位置する噴出口３４から噴出される空気は、セパレータ１０の平面方向であってセパレータ１０の短辺２４に向かってそれぞれ矢印方向に噴出される。これにより、セパレータ１０の流路方向と噴出される空気の流れ方向が一致する。
【００２７】
また、ヘッド３２は、所定距離の隙間をおいてヘッド３２から鉛直方向下方に非接触で維持されたセパレータ１０の水平方向の動きを規制する横ズレ防止ガイド４０を、それぞれの辺に1個ずつ、合計４個備えている。セパレータ１０を構成する4辺のうち、一組の長辺２２と短辺２４には固定された横ズレ防止ガイド（固定ガイド）４２を設けている。残りの一組の長辺２２と短辺２４には固定された横ズレ防止ガイド４２にセパレータ１０を固定して位置決めするための水平方向の動きを規制するように動く横ズレ防止ガイド（可動ガイド）４４が設けられている。水平方向の動きを規制するように動く横ズレ防止ガイド４４により、ヘッド３２によりセパレータ１０が搬送されている間に、セパレータ１０の位置を規制することが出来る。なお、水平方向の動きを規制するように動く横ズレ防止ガイド（可動ガイド）を4個備える構成のヘッドも、セパレータの位置規制の観点では好適である。
【００２８】
次に、図２を用いて第一実施形態を説明する。図2は、図１のＡ−Ａ断面を表す図である。不図示の空気流入発生器からの空気を、噴出口３４へと導入する空気導入路３６をヘッド３２は備えている。空気流入発生器とは、例えばエアコンプレッサーである。空気導入路３６から噴出口３４に供給された空気は、対向するセパレータ１０の面方向であってガス流路方向と同一方向に噴出される。
【００２９】
噴出口から噴出された空気は、セパレータ１０のＡ−Ａ断面中央部分からそれぞれの短辺２４方向（図２の左右方向）に対して流れる。ヘッド３２は、噴出口３４を挟む位置に、一対の空間部３５を備える。空間部３５は、ヘッド３２に形成された凹部であって、対向するセパレータ１０に対して開口している。
【００３０】
ヘッド３２とセパレータ１０との距離が所定距離ｄより離れている場合、噴出口３４から噴出された空気の流速によって、空間部３５とセパレータ１０との間では、ベルヌーイの定理及びエゼクタ効果によって負圧が発生する。なお、空間部３５とセパレータ１０との間であって、空気の流速が一番早い部分の吸引力が最も大きくなる。
【００３１】
一方、ヘッド３２とセパレータ１０とが所定距離ｄより近づいている場合は、空気の流速により空間部３５の内部圧力が上昇し、ヘッド３２とセパレータ１０との間に反発力が発生する。
【００３２】
この負圧と反発力との作用により、噴出口３４から空気が一定流量供給された場合において、ヘッド３２から所定距離だけ鉛直方向下向きにセパレータ１０が非接触で維持される。なお、本実施形態で、所定距離ｄは０．数ｍｍ程度の距離である。本実施形態では、セパレータ１０がヘッド３２に非接触で維持されるため、セパレータ表面に汚れが付着したり、セパレータ表面に損傷を生じさせたりすることがない。
【００３３】
次に、図３を用いて第一の実施形態を説明する。図３は、図１のＢ−Ｂ断面を表す図であり、噴出口３４とガス流路を形成する溝の関係を示す図である。本実施形態では、セパレータ１０に形成された溝１２と、ガスを噴出する噴出口３４が一対一の関係で対応して設けられている。なお、例えば、ガス流路を構成する溝２本に対して一個の割合で噴出口を備える構成など、任意の構成を採用できる。
【００３４】
図４では、図１のＢ−Ｂ断面図において、実施形態１の噴出口３４の形状だけ異なる変形例の構成を示す。実施形態２では、噴出口３４がガス流路１２内に突出する構成である。ガス流路１２を形成する溝に、突出した噴出口３４からガス流路方向に直接空気を噴出することが出来る。そのため、実施形態１に対して空気をガス流路方向に抵抗を少なく噴出できるため、流速が増加する。よって、より少ない空気の噴出量で一定の負圧を発生することが出来る。
【００３５】
ここで、図５を用いて、空気の噴出方向と流路方向の関係について説明する。第一実施形態の様に空気の噴出方向とセパレータ１０の流路方向とを同じにした場合（図5の曲線Ａ）と、空気の噴出方向とセパレータ１０の流路方向とを直交させた場合（図5の曲線Ｂ）を比較した。
【００３６】
図5では、横軸に噴出口３４から噴出される空気の流量を、縦軸に噴出される空気から生じるヘッド３２とセパレータ１０との間の吸引力をそれぞれプロットした。曲線Ａと曲線Ｂとを比較した場合、曲線Ａの方がより少ない空気の流量で所定の吸引力を発生させていることがわかる。これは、空気の噴出方向とセパレータの流路方向とを一致させた場合は、直交させた場合に比べて、セパレータの表面に形成された流路１２の凹凸が空気の流れの抵抗とならないからである。すなわち、セパレータの流路方向とガス噴出方向とを同じにした場合には、流速が低下せず、吸引力が発生しやすくなる。
【００３７】
第２実施形態について図６（Ａ）（Ｂ）を用いて説明する。図６（Ａ）はセパレータ１０とヘッド３２との側断面図、図６（Ｂ）はセパレータ１０とヘッド３２との上平面図である。第２実施形態は、セパレータ１０に対向するヘッド部分が丸型であり、ガス流路１２の形成された領域の一部を覆っている図である。以下、第一実施形態と異なる構成について記載する。
【００３８】
第２実施形態のヘッド３２は、横ズレ防止ガイド４０を支持するガイド支持部４６と、セパレータ１０と対向する丸型部４８と、を備えている。丸型部４８はその中心に空気を噴出する噴出口３４を備え、セパレータ１０の流路１２が形成された領域の一部分を覆う。セパレータ１０を搬送する際、噴出口３４がセパレータ１０の中央に位置するように、ヘッド３２をセパレータ１０に対向させる。不図示の空気流入発生器から供給される空気は、噴出口３４から噴出される。噴出口３４から噴出される空気は、セパレータ１０の流路方向と、セパレータ１０の流路と直交する方向に、丸型部４８の中心から十字形状に噴出口３４から噴出される。ここで、セパレータの流路方向に噴出される空気の流れを、セパレータの流路に直交する方向に噴出される空気の流れに対して大きくなるようにする。これにより、空気の流れが大きなセパレータの流路方向に噴出される空気は、セパレータの流路の凹凸による抵抗を受けない。よって、流速が低下せず、吸引力が発生しやすくなる。なお、本実施形態において、噴出口３４から噴出される空気の流れをガス流路方向にのみとすることも好適である。
【００３９】
第３実施形態について図７を用いて説明する。図７（Ａ）はセパレータ１０とヘッド３２との側断面図、図７（Ｂ）はセパレータ１０とヘッド３２との上平面図である。第３実施形態は、第２実施形態の図６と噴出口３４から噴出される空気の流れ方向のみが異なる構成である。
【００４０】
本実施形態では、噴出口３４から噴出される空気の流れ方向が、セパレータ１０の面方向であって、セパレータの流路に対して４５度の方向である。噴出口３４からの空気の流れ方向が４５度よりも大きい場合、セパレータ１０の流路の凹凸による抵抗が大きくなるため、流速が低下し、吸引力が発生しにくくなる。なお、噴出口から噴出される空気の流れ方向を、セパレータ１０の流路方向に対して０度以上、４５度以内にすることが好適である。噴出口３４から噴出された空気の流れ方向がセパレータの流路方向に対して４５度より大きくなった場合、同じ流量に対して発生する吸引力の低下が顕著となるからである。
【００４１】
第４実施形態について図８を用いて説明する。第四実施形態を示す図８は、横ズレ防止ガイド４０を支持するガイド支持部４６と、セパレータ１０と対向する丸型部４８を４個備える構成である。本実施形態では、丸型部４８の噴出口３４から噴出される空気の流れが、セパレータ１０の表面に形成された流路に対してそれぞれ４５度となるように設定されている。丸型部を４個備える構成により、複数枚積層されたセパレータの最上面に位置するセパレータを吸引するのが容易となる。すなわち、最上面に位置するセパレータと、その下に位置するセパレータとは互いに密着している。吸引力を発生させる４個の丸型部のうち、１個又は２個が先にセパレータを吸引する。これにより、最上面に位置するセパレータが傾き、密着したセパレータ間に空気が入りやすくなり、吸引が容易となる。
【００４２】
次に、第１実施形態から第４実施形態のいずれか一つのヘッド３２を備える燃料電池用セパレータの搬送装置３０の全体図を、図９に示す。図９において、搬送されるセパレータは、もう一枚の燃料電池用セパレータと、2枚の燃料電池用セパレータとで挟まれる膜−電極接合体と、を備えた燃料電池用セパレータである。すなわち、本実施形態において、膜−電極接合体と、膜−電極接合体を挟む2枚のセパレータと、から構成される単位電池５０を搬送する搬送装置３０について説明する。
【００４３】
図１０において、単位電池５０はベルトコンベア５４によって、搬送装置３０まで順次送られてくる。搬送装置３０は、ヘッド３２と、ヘッドを上下方向・水平方向に移動することが出来るアーム５２を有している。搬送された単位電池５０は、台５６の上に置かれる。
【００４４】
ベルトコンベア５４で所定位置まで運ばれた単位電池５０に、搬送装置３０は、アーム５２を動かして、ヘッド３２を単位電池５０に対向させるように近づける。ここで、単位電池５０の表面には、セパレータの流路としての、冷却流路が設けられている。なお、単位電池５０は、複数の単位電池がモジュール化されたものであっても良い。
【００４５】
ここで、ヘッド３２から単位電池５０に向けて噴出される空気量について説明する。本実施形態の単位電池５０一つ当たりの質量が１００ｇであり、３００ｇで吸引力（加速度２G）を発生するように流量を設定することを考える。この場合は、不図示の空気流入発生器からヘッド３２に供給される空気量は、毎分５０Ｌ程度となる。毎分５０Ｌ程度の流量を単位電池５０に噴出した状態で、ヘッド３２と単位電池５０との間に吸引力を発生させ、単位電池５０を非接触で維持する。なお、空気の流量は搬送するセパレータの流量に合わせて変更することが好ましい。
【００４６】
単位電池５０を非接触で維持した状態において、ヘッド３２に設けられた横ズレ防止のための固定されたガイド４２と、水平方向の動きを規制するように動く可動ガイド４４とにより、ヘッド３２に対する単位電池５０の位置決めを行う。これによって、搬送装置のヘッド３２を所定の場所に移動させる事により、単位電池５０を所定の場所に搬送することが出来る。また、単位電池５０を非接触で維持している間に位置決めが完了するので、単位電池５０を台５６上に置いた後に位置決めを行うのに比べて、搬送に係る時間を短縮することが出来る。
次に、単位電池５０を非接触で維持した状態で、アーム５２を動かし、単位電池５０を積層する台５６の上にヘッド３２を移動させる。ヘッド３２が台５６の上に移動した後に、不図示の空気流入発生器の作動を止め、噴出口３４からの空気の噴出を停止する。吸引力が発生しなくなるため単位電池５０は、横ズレ防止ガイド４０に導かれながら、台５６上の所定の位置、もしくは、積層された最上層の単位電池５０の上に、置かれる。なお、セパレータの搬送装置により燃料電池スタックを作成するときは、単位電池の外周に横ズレ防止ガイドが少なくとも３点以上で接して位置決めをすることが好適である。これにより、単位電池５０が積層した状態においてずれることなく、燃料電池スタックを容易に作ることが出来る。また、噴出口からの空気の噴出を停止するのではなく、噴出量を低下させ、燃料電池スタックを置くことも好適である。また、横ズレ防止ガイドにより位置決めを行うため、画像処理による位置決めが不要であり、設備コストが安くなる。
【００４７】
以上の、実施形態は本発明の適用形態の単なる例示に過ぎず、これに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、板状部材が燃料電池用セパレータである実施形態を示したが、流路が形成された板状部材であれば良い。例えば、流路が形成された放熱フィンや、流路が形成された回路基板などを搬送するのも好適である。また、板状部材に形成された流路が、一本である場合や、複数の流路が平行に形成されていない場合であっても良い。
【００４８】
また、上述の実施形態では、Ａ４サイズのセパレータの長辺と平行となるような流路を設けたが、短辺と平行であっても良いし、長辺に対して斜めに流路を構成しても良い。また、本実施形態の横ズレ防止ガイドは搬送時の水平方向の動きを規制するように設けてあるが、セパレータと横ズレ防止ガイドとの間に一定の遊びを持たせる構成も好適である。
【００４９】
また、上記実施形態のセパレータの流路は、例えば、燃料ガスを供給・排出する一対の燃料ガスマニホールドの間を直線状の燃料ガス流路が結ぶ構成であるが、それ以外のセパレータのガス流路構成であっても良い。すなわち、燃料ガスを供給・排出する一対の燃料ガスマニホールドが、セパレータの長辺と平行な複数の直線状のガス流路と、折り返し部となる少なくとも一つのターン部を有するサーペンタイン型の流路構造であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】第一実施形態のセパレータと、セパレータに対向するヘッドとの上平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】第一実施形態の変形例である。
【図５】空気の噴出方向と、セパレータとヘッド間における吸引力と、の関係を表す図である。
【図６】第二実施形態のセパレータと、ヘッドとの（Ａ）側断面図と、（ｂ）上平面図である。
【図７】第三実施形態のセパレータと、ヘッドとの（Ａ）側断面図と、（ｂ）上平面図である。
【図８】第三実施形態のセパレータと、ヘッドとの上平面図である。
【図９】セパレータの搬送装置の全体図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  燃料電池用セパレータ（以下、セパレータ）、１２  ガス流路、１６  燃料ガスマニホールド、１８  酸化剤ガスマニホールド、２０  冷却液マニホールド、２２  長辺、２４  短辺、３０  セパレータの搬送装置、３２  ヘッド、３４  噴出口、３５  空間部
３６  空気導入路、３８  噴出された空気、４０  横ズレ防止ガイド、４２  固定された横ズレ防止ガイド、４４  水平方向の動きを規制するように動く横ズレ防止ガイド、４６  ガイド支持部、４８  丸型部、５０  単位電池、５２  アーム、５４  ベルトコンベア、
５６  台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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