(57)【要約】【課題】薄い枚葉シートでも確実に枚葉シートへ塗布液を塗布し、塗膜を形成した枚葉シートを取り出すことができる枚葉シートの塗布方法を提供する。【解決手段】枚葉シートを定盤上に配置し、吸着穴または吸着穴と吸着溝を介して枚葉シートを真空吸引して定盤に吸着固定した後、ダイヘッドを移動してスリットから塗布液を押し出して塗布液を枚葉シートに塗布し、続いて真空破壊し、塗膜を形成した枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げて取り出す枚葉シートの塗布方法において、真空破壊する際に枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして行い、真空破壊した後、時間を置かずに塗膜を形成した枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げることを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
枚葉シートを定盤上に配置し、吸着穴または吸着穴と吸着溝を介して枚葉シートを真空吸引して定盤に吸着固定した後、ダイヘッドを移動してスリットから塗布液を押し出して塗布液を枚葉シートに塗布し、続いて真空破壊し、塗膜を形成した枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げて取り出す枚葉シートの塗布方法において、真空破壊する際に枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして行い、真空破壊した後、時間を置かずに塗膜を形成した枚葉シートをロボットアーム上に載せて持ち上げることを特徴とする枚葉シートの塗布方法。
【請求項２】
枚葉シートの周辺部は枚葉シートの端からの幅が１５〜２００ｍｍの領域であることを特徴とする請求項１記載の枚葉シートの塗布方法。
【請求項３】
枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量の８０〜１０％とすることを特徴とする請求項１記載の枚葉シートの塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイコート法による枚葉シートの塗布方法の改良に関する。詳しくは、薄い枚葉シートでも確実に枚葉シートへ塗布液を塗布し、塗膜を形成した枚葉シートを取り出す枚葉シートの塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂フィルム等の枚葉シートに塗布物および溶媒を含む塗布液を塗布する方法として、定盤上に配置した枚葉シートの表面に対して微小な間隔で対向させたダイヘッドに設けられたスリットから塗布液を押し出して塗布液を塗布するダイコート法が知られている（例えば、特許文献１および特許文献２参照。）
【０００３】
定盤には、通常、塗布時に枚葉シートが動かないように真空吸着させるための吸着穴および／または吸着溝、枚葉シートを定盤上で上下させるためのリフトピンおよびそれを通す穴が設けられており、下記の方法で塗布が行われている。
枚葉シートをロボットアームに載せて搬入し、上昇させたリフトピン上に枚葉シートを置いた後、ロボットアームを引き抜く。次にリフトピンを下降させ、枚葉シートを定盤上に配置し、吸着穴および／または吸着溝を介して枚葉シートを真空吸引し、定盤に吸着固定する。次にダイヘッドを移動してスリットから塗布液を押し出して塗布液を枚葉シートに塗布する。続いて真空破壊し、枚葉シートを定盤との吸着状態を解除し、リフトピンを上昇させて塗膜を形成した枚葉シートを持ち上げ、枚葉シートと定盤の間にロボットアームを挿入して枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げて取り出す。
【０００４】
このダイコート法は膜厚ムラの少ない被膜を設ける方法とし良い塗布方法であるが、枚葉シートが薄い場合、例えば、約０．８〜０．２ｍｍ厚さの枚葉シートに塗布する場合、真空破壊し、塗膜を形成した枚葉シートをリフトピンで持ち上げる際に、枚葉シートが下方に撓み、ロボットアーム挿入時にロボットアームが枚葉シートの撓みと接触し、枚葉シートの配置方向がずれ、ずれを修正するためにラインを停止する必要が生じて生産性が低下することがあり、また時には枚葉シートが破損することがある。
【０００５】
枚葉シートの撓みを少なくするためにリフトピンの数を多くすることが考えられるが、ロボットアームの挿入のための空間を確保する必要があり困難である。
従って、薄い枚葉シートでも確実に塗布できる枚葉シートへ塗布液を塗布する方法が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２３９４４５
【特許文献２】特開２００５−３２９３０５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、薄い枚葉シートでも確実に枚葉シートへ塗布液を塗布し、塗膜を形成した枚葉シートを取り出す枚葉シートの塗布方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、枚葉シートの塗布方法について鋭意検討した結果、真空破壊する際に枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして行い、真空破壊した後、時間を置かずに塗膜を形成した枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げることによって、枚葉シートの撓みをなくし、ロボットアーム挿入時に枚葉シートの撓みと接触して枚葉シートの配置方向がずれることがなくなることを見出し、本発明に至った。
【０００９】
すなわち本発明は、枚葉シートを定盤上に配置し、吸着穴または吸着穴と吸着溝を介して枚葉シートを真空吸引して定盤に吸着固定した後、ダイヘッドを移動してスリットから塗布液を押し出して塗布液を枚葉シートに塗布し、続いて真空破壊し、塗膜を形成した枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げて取り出す枚葉シートの塗布方法において、真空破壊する際に枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして行い、真空破壊した後、時間を置かずに塗膜を形成した枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げることを特徴とする枚葉シートの塗布方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の方法によって、薄い枚葉シートでも確実に枚葉シートへ塗布液を塗布し、塗膜を形成した枚葉シートを取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】定盤の模式図である。（Ａ）は平面模式図、（Ｂ）は断面模式図である。
【図２】本発明の塗布方法を示すための断面模式図である。
【図３】枚葉シートの配置、取り出しを示すための断面模式図である。
【図４】定盤上に配置した枚葉シートの状況を示す平面模式図である。
【図５】真空破壊した時の状況を説明する断面模式図である。（Ａ）は従来法における状況を示す模式図、（Ｂ）は本発明の方法における状況を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の方法において、枚葉シートおよび塗布液は製造する硬化被膜に応じて適宜選択されるが、枚葉シートとしては、樹脂シートなどが挙げられる。
樹脂としてはポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース樹脂などが例示される。また、樹脂シートとして、これら樹脂の積層シートも挙げられる。
枚葉シートの厚みとしては、約０．８〜０．２ｍｍのような薄い場合に、本発明は特に有効である。
【００１３】
塗布液は塗布物および溶媒からなり、塗布物としては、耐候性、耐擦傷性、帯電防止性、反射防止性、アンチグレア性などを付与する組成物が挙げられる。
これらは、通常、活性エネルギー性硬化性塗布物、熱硬化性塗布物であり、活性エネルギー線、または熱エネルギーによって硬化するものである。
塗布液は、活性エネルギー線または熱エネルギーで硬化する有機成分、機能を付与できる無機酸化物微粒子や有機系微粒子、光開始剤または熱開始剤を、必要に応じてレベリング剤（平滑剤）、酸化防止剤、紫外線吸収剤などを含有し、さらにこれらの成分を溶解または分散させるための水または各種の有機溶剤を含有する。
塗布液の物性として、粘度が約０．１〜５０ｍPa・ｓ、表面張力は濡れ性の観点から枚葉シートの表面張力より低いものが好ましく、通常、約２０〜４０ｍN／ｍのものが使用される。
【００１４】
例えば、耐擦傷性の硬化被膜を形成するため、硬化性塗布物として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどの（メタ）アクリロイルオキシ基を複数有する化合物など、酸化物微粒子として、酸化アンチモンのような金属酸化物、インジウム／スズの複合酸化物（ＩＴＯ）、スズ／アンチモンの複合酸化物（ＡＴＯ）、アンチモン／亜鉛の複合酸化物、リンでドープされた酸化スズなどが好ましく用いられる。また溶剤として、イソプロピルアルコールのようなアルコール類、３−メトキシ−１−プロパノールのようなアルコキシアルコール類など、レベリング剤として、シリコーンオイルなどが好ましく用いられる。
【００１５】
本発明における枚葉シートを配置した定盤と塗布液を吐出するスリットを備えたダイヘッドを移動させて枚葉シートに塗布液を塗布する方法は、いわゆるダイコート法である。
本発明の方法を図１〜図５を用いて説明する。図１は定盤の模式図であり、（Ａ）は平面模式図、（Ｂ）は（Ａ）のＸ-Ｘ線部の断面模式図である。図２は塗布方法を示すための断面模式図である。図３は枚葉シートの配置、取り出しを示すための断面模式図である。図４は定盤上に配置した枚葉シートの状況を示す平面模式図である。図５は真空破壊した時の状況を説明する断面模式図であり、（Ａ）は枚葉シートの全体に位置する吸着穴へ一気に略同量の空気を流入させて真空破壊した場合、（Ｂ）は枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして真空破壊した場合の模式図である。
【００１６】
定盤（１）は御影石などの石製またはステンレスなどの金属製であり、定盤には、塗布時に枚葉シートが動かないように真空吸着させるための吸着穴（２）と吸着溝（３）が設けられている。また、枚葉シートを定盤上に配置および／または取り出す際に、枚葉シートを持ち上げるためのリフトピンおよびそれを通す穴（４）が設けられている（図１）。
吸着穴の大きさは、通常、約０．５〜５ｍｍφであるが、これに限定されるものではない。吸着溝はこれら吸着穴を連結するように設けられている。また、リフトピンを通す穴の大きさは、通常、約６〜３０ｍｍφであるが、これに限定されるものではない。
【００１７】
枚葉シート内に部分的に温度差があると膜厚差を生じるので、これを抑制するために定盤上に多孔質シートを敷設し、多孔質シート上に枚葉シートを配置して行うのが好ましい。すなわち、定盤（１）と多孔質シート（５）上に配置した枚葉シート（６）の表面に対して微小な間隔で対向させたダイヘッド（７）を移動させて、すなわち定盤またはダイヘッドを移動させて枚葉シートに塗布液を塗布し、塗布液の塗膜（８）を形成する（図２）。
【００１８】
多孔質シートとしては、連続気泡を有する多孔質の樹脂製、金属製またはセラミックス製のものが挙げられるが、熱伝導率の小さい樹脂製、すなわち樹脂粉末の焼結多孔質成形体からなるシートが好ましく用いられる。樹脂としてはポリエチレン、ポリプロピレンが好ましい。
また、多孔質シートの厚みは、特に限定されるものではないが、約０．１〜５．０ｍｍ、好ましくは０．３〜２．０ｍｍである。
多孔質シートの気孔率は、約５〜５０容積％、好ましくは約１５〜３５容積％である。
【００１９】
多孔質シートには、定盤のリフトピンを通す穴の部分には穴を開けておく。一方、吸着穴や吸着溝の部分は、多孔質シートを介して枚葉シートを吸引することができるので、穴を開ける必要はない。
多孔質シートの大きさは、塗布する枚葉シートと同じ大きさかそれ以上にする。
また、多孔質シートの端面および塗布する枚葉シートより外側になる部分を、吸引漏れが発生し、吸着力が低下するのを防止するために、テープ等で塞ぐことが好ましい。
なお、枚葉シートを塗布設備の環境温度と同様の温度に調節しておけばこの多孔質シートを敷設する必要はない。
【００２０】
枚葉シート（６）をロボットアーム（１０）に載せて搬入し、モータ駆動によって上昇させたリフトピン（９）上に枚葉シートを置いた後、ロボットアームを引き抜く（図３）。次にリフトピンを下降させ、枚葉シートを定盤上に配置し、吸着穴および吸着溝を介して枚葉シートを真空吸引し、定盤に吸着固定する。
次にダイヘッドを移動してスリットから塗布液を押し出して塗布液を枚葉シートに塗布する。塗布速度は、塗布液の性状などによって変わるが、通常、約５０〜３００ｍｍ／秒である。
【００２１】
続いて真空破壊し、枚葉シートを定盤との吸着状態を解除し、リフトピンを上昇させて塗膜を形成した枚葉シートを持ち上げ、枚葉シートと定盤の間にロボットアームを挿入して枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げて取り出す。
本発明において、真空破壊する際に枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして行い、真空破壊した後、時間を置かずに塗膜を形成した枚葉シートをロボットアーム上に載せて持ち上げる。
このことによって、薄い枚葉シートの場合でも、塗膜を形成した枚葉シートをリフトピンで持ち上げる際に、枚葉シートが撓み、ロボットアーム挿入時にロボットアームが枚葉シートの撓みと接触することを防止することができる。
真空破壊した後、時間を置かずにとは、真空破壊直後〜約２０秒以内を意図するもので、より具体的にはダイヘッドの稼動に要する時間である。
【００２２】
真空破壊は電磁弁１３を開放して真空ラインから吸引時とは逆に空気を流して行う（図３）。従来の方法である枚葉シートの全体に位置する各吸着穴へ一気に略同量の空気を流入させて真空破壊する方法（図５の（Ａ））では、枚葉シートをリフトピンで持ち上げた時に枚葉シートが中央部で下方に撓む傾向にある。特に、薄い枚葉シートの場合にその傾向が顕著になる。
一方、本発明の方法である枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして真空破壊する方法（図５の（Ｂ））では、むしろ上方へ撓む傾向を示す。このことによって、ロボットアーム挿入時にロボットアームが枚葉シートの撓みと接触することを防止することができる。
【００２３】
吸着穴は構造上の理由から必ずしも均一に配置されていないこと、使用する枚葉シートの大きさが変わることなどから、枚葉シートの周辺部の範囲は変わるが、通常、端からの幅が約１５〜２００ｍｍ、好ましくは約５０〜１５０ｍｍの領域である。
【００２４】
真空破壊する際の枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量の８０〜１０％とする。枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴とそれ以外に位置する吸着穴へのラインで流量を制御するのが簡単であるが、上記したとおり、吸着穴は必ずしも均一に配置されていないこと、使用する枚葉シートの大きさが変わることから、領域の区分毎に流量を制御するだけでは不十分なことが多く、通常、上方へ撓む傾向を示すように吸着穴毎に流量を制御するのが好ましい。
上方へ撓む傾向を示すようにテストを繰り返し、周辺部の範囲、流量制御弁の開閉度を決定する。
なお、本発明においては、空気流入量は、ラインに空気を流し、流速計で吸着穴の流速を測定して周辺部に位置する吸着穴とそれ以外に位置する吸着穴の流量割合とする。
【００２５】
真空破壊してそのまま時間が経過すると、枚葉シートが中央部で下方に撓むようになるので、真空破壊した後、時間を置かずに連続してリフトピンを上昇させ、枚葉シートと定盤の間にロボットアームを挿入し、枚葉シートをロボットアーム上に載せて持ち上げて取り出す。
取り出した塗膜を形成した枚葉シートを次の乾燥設備、硬化設備に搬送する。
【００２６】
塗膜を形成した枚葉シートは、通常、常温で約１０秒〜３００秒間、好ましくは３０秒〜１００秒間乾燥し、次いで熱風乾燥炉などを用いて約３５℃〜１００℃、好ましくは約４０℃〜７０℃で約１０秒〜６００秒間、好ましくは約１００秒〜３００秒間加熱乾燥する。
【００２７】
続いて乾燥した塗膜を硬化して硬化被膜とする。塗膜を形成するために用いた塗布物が、活性エネルギー性硬化性塗布物、熱硬化性塗布物によって、紫外線などの活性エネルギー線、または熱エネルギーを照射して硬化させる。
【実施例】
【００２８】
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
なお、得られた硬化塗膜を形成した枚葉シートの物性は以下のとおりにして測定した。
（１）硬化被膜の厚さ：
膜厚測定装置〔Ｆｉｌｍｅｔｒｉｃｓ社のＦ−２０〕を用いて測定した。
（２）耐擦傷性：
スチールウール＃００００を５００ｇ／ｃｍ2の荷重で１０往復させた。その際、硬化被膜表面と接触するスチールウールの形状は、２ｃｍ角の正方形（面積４ｃｍ２）とし、その辺と平行に繊維が並んだ状態とした。また、往復距離は１０ｃｍ（片道５ｃｍ）とし、１往復１秒の速度で、該繊維方向に往復させた。１０往復後、表面の傷つきの様子を目視で観察し、次の４段階で評価した。
Ａ：傷つきなし、Ｂ：１〜２本の傷、Ｃ：３〜１０本の傷、Ｄ：１０本を超える傷
（３）表面抵抗：
ＡＳＴＭ−Ｄ２５７に従って測定した。
【００２９】
参考例１
（枚葉樹脂シートの作製）
ポリカーボネート（住友ダウ（株）製  カリバー  ３０１−１０、屈折率１．５８５）を、４０ｍｍφ一軸押出機を用いて溶融混練し、またアクリル樹脂（住友化学（株）製  スミペックス  ＭＨ）を、２０ｍｍφ一軸押出機を用いて溶融混練し、両者をフィードブロックを介して一方の表層がアクリル樹脂となるように２層化し、次いでＴ型ダイを介して押し出し、ポリシングロールに両面が完全に接するようにして冷却して、厚さ０．５ｍｍの２層の樹脂シートを得た。この際、アクリル樹脂層の厚さは７０μｍとした。この樹脂シートを１１４０ｍｍ×１６５０ｍｍの大きさに切断し、枚葉シートを得た。
【００３０】
参考例２
（塗布液の作製）
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〔新中村化学工業（株）の“ＮＫエステルＡ−ＤＰＨ”〕２８部、光重合開始剤〔チバスペシャリティーケミカルズ（株）のＩＲＧＡＣＵＲＥ  １８４〕１部、５酸化アンチモン微粒子ゾル〔触媒化成工業（株）のＥＬＣＯＭ−７５１４；固形分濃度２０％〕８部、１−メトキシ−２−プロパノール３２部、イソブチルアルコール３２部及び、及びシリコーンオイル〔東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）の“ＳＨ２８ＰＡ”〕０．０４５部を混合して塗布液を作製した。
【００３１】
実施例１
参考例１で作成した枚葉シートを搬送コンベア上にアクリル樹脂層を上面にして配置し、コンベアで搬送しながら、上面および下面側共に搬送方向に約１５０ｍｍ間隔で６列に洗浄ノズルを配置し（上面側４列には２流体ノズル(（株）いけうち製、打力２×１０−１Ｎ)を合計８０個、２列にはスプレーノズル（（株）いけうち製）を合計１４個、下面側は６列共にスプレーノズルを合計４２個）、約３０℃の純水によって洗浄を行った。その後、さらに上面および下面側共に６列目の洗浄ノズルから３００ｍｍの位置に合計７個のスプレーノズル（（株）いけうち製）を１列配置し、純水によってリンス洗浄を行った。
その後、上下にエアーナイフ(（株）竹綱製作所製)にて、水切りした。その後、除電装置(（株）キーエンス製)によって除電を行った。
【００３２】
その後、コンベアで温調装置に搬送し、約３０℃に上昇した枚葉シートを、約３℃の冷風で枚葉シートを冷却して塗布設備の環境温度（２１〜２５℃）に調整した。
【００３３】
次に温度調節したシートをロボットアームで保持し、２１〜２５℃、４５〜６５％RHに制御された塗布設備内の御影石製の定盤に設けたリフトピン上に置いた。次いでリフトピンを下げ、シートを定盤に載置した。定盤には吸着穴および吸着溝が設けられており、これを経て真空吸引し、枚葉シートを定盤に吸着固定した。
ダイヘッドを移動させながら上記の参考例２で作製した塗布液を下記条件で塗布し、塗膜を形成した。
塗膜幅：１１２０ｍｍ、ダイリップクリアランス：１００μｍ、塗布ギャップ(シートとダイリップ先端との距離)：７０μｍ、塗布速度：１９０ｍｍ／ｓ、目標塗膜厚さ：約２６μｍ
【００３４】
塗布後、真空吸引を停止し、真空破壊し、時間を置かずに（約１０秒以内）リフトピンを上昇させて枚葉シートを持ち上げ、枚葉シートと定盤との間にロボットアームを差し込み、枚葉シートを持ち上げ、ロボットアームの接触によって枚葉シートの配置方向がずれることなく塗布設備から取り出した。
なお、定盤の吸着穴の内、枚葉シートの端から幅が１００ｍｍの周辺部に位置する吸着穴については、吸着穴ごとに調節して周辺部以外に位置する吸着穴に比べて空気流入量を少なくして枚葉シートが下方に撓まないように予めテストを繰り返して設定しておいた。なお、個々の吸着穴で異なるが、枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量はそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量の約５０〜３０％になる。
【００３５】
取り出した塗膜を形成した枚葉シートを常温乾燥設備の支持ピン上において、２１〜２５℃、４５〜６５％ＲＨの環境下に約３０秒放置し、乾燥した。
次いで枚葉シートをロボットアームで保持し、熱風乾燥炉内の支持ピン上に搬送し、温度が約４５℃、風速が約１〜２ｍ／ｓで、約１８０秒間乾燥した。
乾燥した塗膜を形成した枚葉シートをロボットアームにて乾燥炉の支持ピン上から搬出し、コンベアに移載し硬化設備に搬送した。
【００３６】
乾燥した塗膜を形成した枚葉シートをコンベアで紫外線照射装置に搬入し、高圧水銀ランプ(セン特殊光源（株）製)で、ピーク照度：約３００ｍＷ／ｃｍ２、積算エネルギー：約５００ｍJ／ｃｍ２を照射し、塗膜を硬化し、硬化被膜を形成した枚葉シートを得た。
【００３７】
得られた硬化被膜を形成した枚葉シートの被膜の検査を行った。その結果は下記のとおりである。
膜厚：平均３.５μｍ、最大３.９μｍ、最小３.０μｍ
耐擦傷性：Ａ
表面抵抗：２×１０１１Ω／□
外観：良好
なお、膜厚は、周辺部を除き、幅方向に１０８０ｍｍの間について２４列、塗布方向に１６００ｍｍの間について３６列、合計８６４個所について測定した結果である。
【００３８】
膜厚ムラが少なく、耐擦傷性および外観も良好であり、品質の優れた塗膜が形成されている。
従来の枚葉シートの全体に位置する各吸着穴へ一気に略同量の空気を流入させて真空破壊する方法では、枚葉シートが下方に撓み、ロボットアーム挿入時に枚葉シートの撓みと接触し、枚葉シートの配置方向がずれることがあったが、枚葉シートの周辺部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして真空破壊することによって、枚葉シートの配置方向のずれを起こすことなく、確実に枚葉シートに塗布液を塗布し、塗膜を形成した枚葉シートを取り出すことができた。
【符号の説明】
【００３９】
１  定盤  
２  吸着穴
３  吸引溝
４  リフトピンの穴
５  多孔質シート
６  枚葉シート
７  ダイヘッド
８  塗布液の膜
９  リフトピン
１０  ロボットアーム
１１  枚葉シートの周辺部
１２  真空ライン
１３  電磁弁
１４  流量調節弁
【図１】
2009285649.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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