(57)【要約】      （修正有）【課題】安定生産可能で生産性が良好な圧電素子、圧電振動板および圧電型電気音響変換器を提供する。【解決手段】圧電体層と内部電極層とを交互に複数積層し且つ内部電極層１３，１４が一つ置きに互いに対向する端面にその端部を露出するように形成された直方体形状の圧電素子１０であって、一方の端部近傍１３ｂにおける複数の内部電極層１３の厚さ寸法の和が一方の端面に端部を露出する複数の内部電極層の対向領域１３ａにおける厚さ寸法の和より大きくなるように形成され、且つ圧電素子の端面に露出する内部電極層の端部に、積層方向で隣接する内部電極層に近接する展延部１３ｃが形成されている。このため、圧電素子の端面において内部電極層の展延部が互いに接近または接触して外部接続手段とのコンタクト性が改善される。【選択図】図２
2009177751.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層と内部電極層とを交互に複数積層し且つ該内部電極層が一つ置きに互いに対向する端面にその端部を露出するように形成された直方体形状の圧電素子であって、前記圧電素子の一方の端面側における前記複数の内部電極層の端部近傍の厚さ寸法の和が前記一方の端面に端部を露出する前記複数の内部電極層の前記対向領域における厚さ寸法の和より大きくなるように形成されたセラミック圧電体層と内部電極層との未焼成積層体を準備し、該積層体を焼成したのち得られた圧電素子の集合体基板を相対移動する切削刃に接触させて切断することにより、前記圧電素子の端面に露出する内部電極層の端部に、積層方向で隣接する内部電極層に近接する展延部が形成されたことを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
接続電極を備えた振動板の主面上に請求項１記載の圧電素子が貼着されるとともに、該圧電素子の内部電極層の展延部と前記振動板の接続電極とが導電性樹脂により接続されたことを特徴とする圧電振動板。
【請求項３】
接続電極を備えた振動板の主面上に請求項１記載の圧電素子が貼着されるとともに、該圧電素子の内部電極層の展延部と前記振動板の接続電極とが導電性樹脂により接続された圧電振動板の周囲が支持体によって支持されたことを特徴とする圧電型電気音響変換器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、安定して生産可能な圧電素子、該圧電素子を用いた圧電振動板、および該圧電振動板を用いた圧電型電気音響変換器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、薄型の電子機器や携帯型の電子機器におけるレシーバやスピーカ等の用途として、圧電型電気音響変換器が用いられている。前記圧電型電気音響変換器は、例えば、円板状のセラミック圧電体の両主面に電極を形成した圧電素子をリン青銅等の金属からなる振動板の主面に貼着した圧電振動板をキャップ状の樹脂製ケース等の内部に収容したものである。近年、上記機器において、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等の大画面化に合わせて、大きな音圧と、スペース効率の向上とが求められるようになっている。このため、より大きな振幅の得られる積層型の圧電型電気音響変換器が提案されている。上記積層型の圧電型電気音響変換器として、特許文献１には、図１６に示すように、複数のセラミックグリーンシート１１２ａ，１１２ｂ，１１２ｃ及び複数の電極１１３，１１３，１１４，１１４を積層し、同時に焼成して得られた焼結体１１０を利用し、スルーホール１１３ｃ，１１４ｃにより前記電極１１３，１１３間，および電極１１４，１１４間をそれぞれ電気的に接続した構成の圧電素子が記載されている。
【０００３】
また、特許文献２には、図１７に示すように、複数の圧電セラミックス層２１２ａ，２１２ｂを積層した四角形の積層体２１２の表裏主面に主面電極２１３，２１３を形成し、各セラミックス層２１２ａ，２１２ｂの間に内部電極２１４を形成し、主面電極２１３，２１３を一方の側面電極２１３ａを介して導通させ、内部電極２１４を他方の側面電極２１４ａと導通させ、側面電極２１３ａ，２１４ａを引出電極２１３ｂ，２１４ｂと導通させた圧電素子２１０が提案されている。また、前記特許文献２には、図１８に示すように、前記圧電素子２１０を用いた圧電振動板の縁部近傍をケース２２１の内周段部に支持した圧電型電気音響変換器２２５が提案されている。
【特許文献１】特開２００１−１６６９１号公報
【特許文献２】特開２００４−２１４７９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記前者の背景技術に記載の圧電型電気音響変換器は、圧電素子の内部にスルーホール接続部を形成するために、積層される圧電セラミックス層に予めスルーホール形成および前記スルーホールへの導電ペーストの充填が不可欠である。このため、層間のスルーホールの位置ずれ等により安定生産が難しく、また、工程が煩雑で生産性に課題があった。
【０００５】
また、上記後者の背景技術に記載の圧電素子２１０は、主面電極２１３，２１３同士の接続や、内部電極２１４の取出しのために、圧電素子２１０の側面に例えばスパッタにより側面電極２１３ａ，２１４ａを形成するには、面積に比較して厚さが極端に薄い圧電素子２１０の側面の一部のみを露出するようにマスクで被覆する必要がある。このため、圧電素子２１０とマスクとの位置合わせ時に素子割れ等が生じて安定生産が難しく、また、工程が煩雑で生産性に課題があった。
【０００６】
これに関して、本発明者らが鋭意検討した結果、内部電極層の材質、構造、および製造プロセスを工夫することで外部電極形成工程を省略できることを見出し、本発明に至った。本発明は、外部電極形成工程を付加することなく安定生産が可能な圧電素子を提供することを目的とする。また本発明は、安定生産が可能で生産性が良好な圧電振動板を提供することを目的とする。また本発明は、安定生産が可能で生産性が良好な圧電型電気音響変換器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、（１）圧電体層と内部電極層とを交互に複数積層し且つ該内部電極層が一つ置きに互いに対向する端面にその端部を露出するように形成された直方体形状の圧電素子であって、前記圧電素子の一方の端面側における前記複数の内部電極層の端部近傍の厚さ寸法の和が前記一方の端面に端部を露出する前記複数の内部電極層の前記対向領域における厚さ寸法の和より大きくなるように形成されたセラミック圧電体層と内部電極層との未焼成積層体を準備し、該積層体を焼成したのち得られた圧電素子の集合体基板を相対移動する切削刃に接触させて切断することにより、前記圧電素子の端面に露出する内部電極層の端部に、積層方向で隣接する内部電極層に近接する展延部が形成されている。（以下、第１の課題解決手段と称する。）
【０００８】
また、本発明の圧電振動板は、（２）接続電極を備えた振動板の主面上に上記（１）記載の圧電素子が貼着されるとともに、該圧電素子の内部電極層の展延部と前記振動板の接続電極とが導電性樹脂により接続されている。（以下、第２の課題解決手段と称する。）  
【０００９】
また、本発明の圧電型電気音響変換器は、（３）接続電極を備えた振動板の主面上に上記（１）記載の圧電素子が貼着されるとともに、該圧電素子の内部電極層の展延部と前記振動板の接続電極とが導電性樹脂により接続された圧電振動板の周囲が支持体によって支持されている。（以下、第３の課題解決手段と称する。）
【００１０】
上記第１の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、前記圧電素子の一方の端面側における前記複数の内部電極層の端部近傍の厚さ寸法の和が前記一方の端面に端部を露出する前記複数の内部電極層の前記対向領域における厚さ寸法の和より大きくなるように形成されたセラミック圧電体層と内部電極層との未焼成積層体を準備し、該積層体を焼成したのち得られた圧電素子の集合体基板を相対移動する切削刃に接触させて切断することにより、前記圧電素子の端面に露出する内部電極層の端部に、積層方向で隣接する内部電極層に近接する展延部が形成されている。このため、前記圧電素子の端面において前記内部電極層の展延部が互いに接近または接触して外部接続手段とのコンタクト性が改善される。
【００１１】
上記第２の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、接続電極を備えた振動板の主面上に上記（１）記載の圧電素子が貼着されるとともに、該圧電素子の内部電極層の展延部と前記振動板の接続電極とが導電性樹脂により接続されている。このため、工程を追加することなく、内部電極層と振動板の接続電極とを接続することができる。これにより、安定生産可能で生産性が良好な圧電振動板を提供することができる。
【００１２】
上記第３の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、接続電極を備えた振動板の主面上に上記（１）記載の圧電素子が貼着されるとともに、該圧電素子の内部電極層の展延部と前記振動板の接続電極とが導電性樹脂により接続された圧電振動板の周囲が支持体によって支持されている。このため、工程を追加することなく、内部電極層と振動板の接続電極とを接続することができる。これにより、安定生産可能で生産性が良好な圧電型電気音響変換器を提供することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の圧電素子によれば、前記圧電素子の端面において前記内部電極層の展延部が互いに接近または接触して外部接続手段とのコンタクト性が改善されるので、スルーホール形成やスパッタ等の特別な工程を付加することなく、安定生産可能な前記圧電素子を提供することができる。本発明の前記目的とそれ以外の目的、構成特徴、作用効果は、以下の説明と添付図面によって明らかとなろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の圧電素子の第１の実施形態について、図１〜図４を参照して説明する。図１は第１の実施形態の圧電素子１０の概要を示す外観斜視図である。図２は、本実施形態の圧電素子１０の内部構造の概要を示す上記図１のＡ−Ａ線における縦断面の模式図である。図３は、本実施形態の圧電素子１０の製造プロセスの一例を示す斜視図である。同様に図４は、本実施形態の圧電素子１０の製造プロセスの一例を示す斜視図である。  
【００１５】
本実施形態の圧電素子１０は、図１に示すように、その外観は直方体形状を呈する。そして、その内部構造は、図２に示すように、圧電体層１２ａ，１２ｂ，１２ｃと内部電極層１３，１４とを交互に複数積層し且つ該内部電極層１３，１４が一つ置きに圧電体１１の互いに対向する端面１１ａ，１１ｂにその端部を露出するように形成されている。本実施形態の圧電素子１０においては、最上層に位置する内部電極層１３および最下層に位置する内部電極層１４は、それぞれ前記圧電素子１０の上面および底面に露出されている。そして、前記前記圧電素子１０の端面１１ａ，１１ｂに露出する内部電極層１３，１４の端部に、積層方向で隣接する内部電極層１３，１４に近接する展延部１３ｃ、１４ｃが形成されている。
【００１６】
次に、上記圧電素子１０の製造プロセスの一例について、図３及び図４を参照して説明する。図３は、本実施形態の圧電素子１０を形成するために、例えばシート積層法を用いてセラミック圧電体層１２ａ，１２ｂ，１２ｃと内部電極層１３．１４との未焼成積層体を準備する段階を説明するための図である。図３において、一点鎖線で示す格子のそれぞれが、後にダイシング等により分割される圧電素子１つ分に相当する。セラミックグリーンシート１２ａ’，１２ｂ’，１２ｃ’はそれぞれ、焼成された後にセラミック圧電体層１２ａ，１２ｂ，１２ｃを構成する。また、前記セラミックグリーンシート１２ａ’，１２ｂ’，１２ｃ’の一方の主面上、およびセラミックグリーンシート１２ｃ’の他方の主面上には、例えば、ＡｇまたはＡｇ−Ｐｄ合金のうちのいずれかからなる粉末とバインダとを混合した電極材料ペーストがスクリーン印刷やグラビア印刷等の手段により塗布されて内部電極パターン１３’、１４’が形成されている。前記内部電極パターン１３’、１４’はそれぞれ、焼成された後に、内部電極層１３，１４を構成する。前記セラミックグリーンシ
ート１２ａ’の一方の主面、および前記セラミックグリーンシート１２ｃ’の一方の主面に形成された内部電極パターン１３’は、隣接する圧電素子２つ分に跨る長方形状に形成されている。また、前記セラミックグリーンシート１２ｂ’の一方の主面および前記セラミックグリーンシート１２ｃ’の他方の主面には、前記隣接する圧電素子およそ１つ分ずらした位置に、前記と同様に隣接する圧電素子２つ分に跨る長方形状の内部電極パターン１４’が形成されている。そして、前記内部電極パターン１３’、１４’上のそれぞれ中央部の隣接する圧電素子２つ分に跨る位置には、前記と同様に例えばＡｇまたはＡｇ−Ｐｄ合金のいずれかからなる粉末とバインダとを混合した電極材料ペーストがスクリーン印刷やグラビア印刷等の手段により塗布されて帯状の補助パターン１３ｂ’、１４ｂ’が形成されている。そして、前記一方の主面に内部電極パターン１３’及び補助パターン１３ｂ’が形成されたセラミックグリーンシート１２ａ’、前記一方の主面に内部電極パターン１４’及び補助パターン１４ｂ’が形成されたセラミックグリーンシート１２ｂ’、及び一方の主面に前記内部電極パターン１３’及び補助パターン１３ｂ’、他方の主面に前記内部電極パターン１４’及び補助パターン１４ｂ’が形成されたセラミックグリーンシート１２ｃ’がこの順に積層され熱圧着される。これにより、図２に示すように、前記圧電素子１０の一方の端面１１ａ側における前記複数の内部電極層１３，１３の端部近傍１３ｂ，１３ｂの厚さ寸法の和が前記一方の端面１１ａに端部を露出する前記複数の内部電極層１３，１３の前記対向領域１３ａ，１３ａにおける厚さ寸法の和より大きくなるように形成された未焼成積層体が準備される。また、前記未焼成積層体は、前記圧電素子１０の他方の端面１１ｂ側における前記複数の内部電極層１４，１４の端部近傍１４ｂ，１４ｂの厚さ寸法の和が前記他方の端面１１ｂに端部を露出する前記複数の内部電極層１４，１４の前記対向領域１４ａ，１４ａにおける厚さ寸法の和より大きくなるように形成されている。尚、本実施形態においては、シート積層法を例にして前記未焼成積層体を形成したが、本発明はこれに限定するものではなく、例えば、公知のスラリービルド法を用いて図４に示すように未焼成積層体を形成してもよい。
【００１７】
次に、図４に示すように、上記で得られた未焼成積層体を例えば５００℃で脱バインダ処理したのち、例えば１０００℃で焼成して、圧電素子の集合体基板を得る。そして、前記図４に一点鎖線で示すカットラインＣＬに沿って、前記圧電素子の集合体基板を相対移動する切削刃に接触させて切断する。具体的には、外周面に砥粒層が形成された回転刃を用いてダイシングする。これにより、前記図１及び図２に示すように前記圧電素子１０の一方の端面１１ａに露出する内部電極層１３の端部に、積層方向で隣接する内部電極層１３に近接する展延部１３ｃが形成される。また、前記圧電素子１０の他方の端面１１ｂに露出する内部電極層１４の端部に、積層方向で隣接する内部電極層１４に近接する展延部１４ｃが形成される。また、前記内部電極層１３、１４のそれぞれ前記カットラインＣＬと重なる位置には、補助パターン１３ｂ’、１４ｂ’が形成されているので、前記展延部１３ｃ、１４ｃはそれぞれ前記内部電極層１３，１４の端部からより伸張され、積層方向で隣接する内部電極層の展延部と互いに接近または接触して、例えば導電性樹脂等の外部接続手段とのコンタクト性が改善される。これにより、スルーホール形成やスパッタ等の特別な工程を付加することなく、安定生産可能な圧電素子が提供される。
【００１８】
次に、本発明の圧電振動板および圧電型電気音響変換器の第１の実施形態について、図５〜図７を用いて説明する。図５は、本実施形態の圧電振動板２０および圧電型電気音響変換器２５の概要を示す外観斜視図である。図６は、本実施形態の圧電振動板２０および圧電型電気音響変換器２５の内部構造を示す上記図５のＢ−Ｂ線における縦断面の模式図である。また図７は、本実施形態の圧電振動板２０および圧電型電気音響変換器２５の内部構造を示す分解斜視図である。
【００１９】
本実施形態の圧電振動板２０は、図７に示すように、振動板１５の一方の主面に上記圧電素子１０を有する所謂ユニモルフ型の圧電振動板である。そして、前記振動板１５は、直方体形状を呈し、一方の主面に一対の接続電極１６，１７を有する。前記一対の接続電極１６，１７はそれぞれ、前記振動板１５の一辺に接するようにそれぞれ引出部１６ａ，１７ａを有する。そして前記振動板１５は、前記一対の接続電極１６，１７の間に塗布された接着剤１８により、図６に示すように、前記圧電素子１０の底面と接着されている。一方の接続電極１６は、図５及び図６に示すように、導電性樹脂１９ａを介して前記圧電素子１０の一方の端面１１ａの前記内部電極層１３の展延部１３ｃと導電接続されている。同様に、他方の接続電極１７は、導電性樹脂１９ｂを介して前記圧電素子１０の他方の端面１１ｂの前記内部電極層１４の展延部１４ｃと導電接続されている。
【００２０】
また、本実施形態の圧電型電気音響変換器２５は、図７に示すように、上記圧電素子１０と上記振動板１５とを有する圧電振動板２０と、支持体２１とを有する。支持体２１は、その外観が枠状を呈し、幅広に形成された端子部２１ａと幅の細い支持部２１ｂとを有する。また、前記支持体２１の端子部２１ａには、一対の端子電極２２ａ，２２ｂを有する。そして、図６に示すように、前記圧電振動板２０の振動板１５の縁部近傍が前記支持体２１の前記支持部２１ｂおよび前記端子部２１ａの縁部に当接され、図示省略した接着剤等により固着接着されている。一方の端子電極２２ａは、図５に示すように、導電性樹脂２３ａを介して前記圧電振動板２０の一方の接続電極１６の引出部１６ａと導電接続されている。同様に、他方の端子電極２２ｂは、導電性樹脂２３ｂを介して前記圧電振動板２０の他方の接続電極１７の引出部１７ａと導電接続されている。
【００２１】
前記一方の端子電極２２ａは、前記導電性樹脂２３ａ、前記接続電極１５、前記導電性樹脂１９ａ、および前記圧電素子１０の一方の内部電極層１３の展延部１３ｃを介して前記内部電極層１３の対向領域１３ａに接続さている。また、前記他方の端子電極２２ｂは、前記導電性樹脂２３ｂ、前記接続電極１６、前記導電性樹脂１９ｂ、および前記圧電素子１０の他方の内部電極層１４の展延部１４ｃを介して前記内部電極層１４の対向領域１４ａに接続されている。また、前記圧電素子１０の圧電体層１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、前記内部電極層１３及び前記内部電極層１４を介して、交互に逆向きに分極処理が施されている。このため、前記圧電型電気音響変換器２５の前記支持体２１の前記一対の端子電極２２ａ，２２ｂに図示省略した入力回路から入力信号に伴う交番電圧が印加されると、上記の経路を介して前記内部電極層１３、１４の対向領域１３ａ，１４ａに挟まれる圧電体層１２ａ，１２ｂ，１２ｃが同時に、厚み方向と面方向とに交互に膨張・収縮して前記圧電振動板２０が厚み方向に屈曲振動する。これにより前記圧電型電気音響変換器２５から前記入力信号に応じて音声が出力される。
【００２２】
次に、本発明の圧電素子の第２の実施形態について、図８〜図１１を参照して説明する。図８は第２の実施形態の圧電素子３０の概要を示す外観斜視図である。図９は、本実施形態の圧電素子３０の内部構造の概要を示す上記図８のＣ−Ｃ線における断面の模式図である。図１０は、本実施形態の圧電素子３０の製造プロセスの一例を示す斜視図である。同様に図１１は、本実施形態の圧電素子３０の製造プロセスの一例を示す斜視図である。  
【００２３】
本実施形態の圧電素子３０は、図８に示すように、その外観は直方体形状を呈する。そして、その内部構造は、図９に示すように、圧電体層３２ａ，３２ｂ，３２ｃと内部電極層３３，３４とを交互に複数積層し且つ該内部電極層３３，３４が一つ置きに圧電体３１の互いに対向する端面３１ａ，３１ｂにその端部を露出するように形成されている。本実施形態の圧電素子３０においては、最上層に位置する内部電極層３３および最下層に位置する内部電極層３４は、それぞれ前記圧電素子３０の上面および底面に露出されている。そして、前記前記圧電素子３０の端面３１ａ，３１ｂに露出する内部電極層３３，３４の端部に、積層方向で隣接する内部電極層３３，３４に近接する展延部３３ｃ、３４ｃが形成されている。
【００２４】
次に、上記圧電素子３０の製造プロセスの一例について、図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は、本実施形態の圧電素子３０を形成するために、例えばシート積層法を用いてセラミック圧電体層３２ａ，３２ｂ，３２ｃと内部電極層３３．３４との未焼成積層体を準備する段階を説明するための図である。図１０において、一点鎖線で示す格子のそれぞれが、後にダイシング等により分割される圧電素子１つ分に相当する。セラミックグリーンシート３２ａ’，３２ｂ’，３２ｃ’はそれぞれ、焼成された後にセラミック圧電体層を構成する。また、前記セラミックグリーンシート３２ａ’，３２ｂ’，３２ｃ’の一方の主面上、およびセラミックグリーンシート３２ｃ’の他方の主面上には、前記第１の実施形態の圧電素子１０と同様に、例えばＡｇまたはＡｇ−Ｐｄ合金のうちのいずれかからなる粉末とバインダとを混合した電極材料ペーストがスクリーン印刷やグラビア印刷等の手段により塗布されて内部電極パターン３３’、３４’が形成されている。前記内部電極パターン３３’、３４’はそれぞれ、焼成された後に、内部電極層３３，３４を構成する。前記セラミックグリーンシート３２ａ’の一方の主面、および前記セラミックグリーンシート３２ｃ’の一方の主面に形成された内部電極パターン３３’は、隣接する圧電素子２つ分に跨る長方形状に形成されている。また、前記セラミックグリーンシート３２ｂ’の一方の主面および前記セラミックグリーンシート３２ｃ’の他方の主面には、前記隣接する圧電素子およそ１つ分ずらした位置に、前記と同様に隣接する圧電素子２つ分に跨る長方形状の内部電極パターン３４’が形成されている。そして、互いに隣接する内部電極パターン３３’、３３’間の隣接する圧電素子２つ分に跨る位置には、前記と同様に例えばＡｇまたはＡｇ−Ｐｄ合金のうちのいずれかからなる粉末とバインダとを混合した電極材料ペーストがスクリーン印刷やグラビア印刷等の手段により塗布されて帯状の補助パターン３４ｂ’が形成されている。また、互いに隣接する内部電極パターン３４’、３４’間の隣接する圧電素子２つ分に跨る位置には、前記と同様に帯状の補助パターン３３ｂ’が形成されている。そして、前記一方の主面に内部電極パターン３３’及び補助パターン３４ｂ’が形成されたセラミックグリーンシート３２ａ’、前記一方の主面に内部電極パターン３４’及び補助パターン３３ｂ’が形成されたセラミックグリーンシート３２ｂ’、及び一方の主面に前記内部電極パターン３３’及び補助パターン３４ｂ’、他方の主面に前記内部電極パターン３４’及び補助パターン３３ｂ’が形成されたセラミックグリーンシート３２ｃ’がこの順に積層され熱圧着される。これにより、図９に示すように、前記圧電素子３０の一方の端面３１ａ側における前記複数の内部電極層３３，３３ｂの端部近傍３３，３３ｂの厚さ寸法の和が前記一方の端面３１ａに端部を露出する前記複数の内部電極層３３，３３ｂの前記対向領域３３ａにおける厚さ寸法の和より大きくなるように形成された未焼成積層体が準備される。また、前記未焼成積層体は、前記圧電素子３０の他方の端面３１ｂ側における前記複数の内部電極層３４，３４ｂの端部近傍３４，３４ｂの厚さ寸法の和が前記一方の端面３１ｂに端部を露出する前記複数の内部電極層３４，３４ｂの前記対向領域３４ａにおける厚さ寸法の和より大きくなるように形成されている。尚、本実施形態においては、シート積層法を例にして前記未焼成積層体を形成したが、本発明はこれに限定するものではなく、例えば、公知のスラリービルド法を用
いて図１１に示すように未焼成積層体を形成してもよい。
【００２５】
次に、図１１に示すように上記で得られた未焼成積層体を例えば５００℃で脱バインダ処理したのち、例えば１０００℃で焼成して圧電素子の集合体基板を得る。そして、前記集合体基板を図１１に一点鎖線で示すカットラインＣＬに沿って回転刃を用いてダイシングする。これにより、前記図８及び図９に示すように前記圧電素子３０の一方の端面３１ａには、対向領域３３ａを有する内部電極層３３の端部と前記補助パターン３３ｂ’に起因する内部電極層３３ｂの端部とが露出されている。そして前記露出する内部電極層３３，３３ｂの端部に、積層方向で隣接する内部電極層３３ｂ、３３に近接する展延部３３ｃがそれぞれ形成される。このため、前記展延部３３ｃはそれぞれ積層方向で隣接する内部電極層の展延部と互いに接近または接触して、外部接続手段とのコンタクト性が改善される。同様に、前記圧電素子３０の他方の端面３１ｂには、対向領域３４ａを有する内部電極層３４の端部と前記補助パターン３４ｂ’に起因する内部電極層３４ｂの端部とが露出されている。そして前記露出する内部電極層３４，３４ｂの端部に、積層方向で隣接する内部電極層３４ｂ、３４に近接する展延部３４ｃがそれぞれ形成される。このため、前記展延部３４ｃはそれぞれ積層方向で隣接する内部電極層の展延部と互いに接近または接触して、外部接続手段とのコンタクト性が改善される。これにより、スルーホール形成やスパッタ等の特別な工程を付加することなく、安定生産可能な圧電素子が提供される。
【００２６】
本実施形態の圧電素子３０が先の第１の実施形態の圧電素子１０と異なる点は、前記補助パターン３３ｂ’，３４ｂ’が前記内部電極パターン３３’，３４’に接しない位置に形成されていることにある。その他の構成および作用効果は先の第１の実施形態の圧電素子１０と同様である。
【００２７】
次に、本発明の圧電振動板および圧電型電気音響変換器の第２の実施形態について、図１２〜図１４を用いて説明する。図１２は、本実施形態の圧電振動板４０および圧電型電気音響変換器４５の概要を示す外観斜視図である。図１３は、本実施形態の圧電振動板４０および圧電型電気音響変換器４５の内部構造を示す上記図１２のＤ−Ｄ線における縦断面の模式図である。また図１４は、本実施形態の圧電振動板４０および圧電型電気音響変換器４５の内部構造を示す分解斜視図である。
【００２８】
本実施形態の圧電振動板４０は、図１４に示すように、振動板３５の一方及び他方の主面にそれぞれ上記圧電素子３０を有する所謂バイモルフ型の圧電振動板である。そして、前記振動板３５は、直方体形状を呈し、一方の主面および他方の主面にそれぞれ一対の接続電極３６，３７を有する。そして、前記振動板３５の一方の主面の前記接続電極３６と前記振動板３５の他方の主面の前記接続電極３６とは前記振動板３５を厚さ方向に貫通するスルーホール接続部３６ｂにより相互に導電接続されている。また、前記振動板３５の一方の主面の前記一対の接続電極１６，１７はそれぞれ、前記振動板３５の一辺に接するようにそれぞれ引出部３６ａ，３７ａを有する。そして前記振動板３５は、前記一方の主面の前記一対の接続電極３６，３７の間に塗布された接着剤３８により、図１３に示すように、前記一方の圧電素子３０の底面と接着されている。また、前記振動板３５は、前記他方の主面の前記一対の接続電極３５，３７の間に塗布された接着剤３８により、前記他方の圧電素子３０の上面と接着されている。一方の接続電極３６は、図５及び図６に示すように、導電性樹脂３９ａを介して前記圧電素子３０の一方の端面３１ａの前記内部電極層３３の展延部３３ｃと導電接続されている。同様に、他方の接続電極３７は、導電性樹脂３９ｂを介して前記圧電素子３０の他方の端面３１ｂの前記内部電極層３４の展延部３４ｃと導電接続されている。
【００２９】
また、本実施形態の圧電型電気音響変換器４５は、図１４に示すように、上記一対の圧電素子３０と上記振動板３５とを有する圧電振動板４０と、支持体４１とを有する。支持体４１は、その外観が枠状を呈し、幅広に形成された端子部４１ａと幅の細い支持部４１ｂとを有する。また、前記支持体４１の端子部４１ａには、一対の端子電極４２ａ，４２ｂを有する。そして、図１３に示すように、前記圧電振動板４０の振動板３５の縁部近傍が前記支持体４１の前記支持部４１ｂおよび前記端子部４１ａの縁部に当接され、図示省略した接着剤等により固着接着されている。一方の端子電極４２ａは、図１２に示すように、導電性樹脂４３ａを介して前記圧電振動板４０の一方の接続電極３６の引出部３６ａと導電接続されている。同様に、他方の端子電極４２ｂは、導電性樹脂４３ｂを介して前記圧電振動板４０の他方の接続電極３７の引出部３７ａと導電接続されている。
【００３０】
前記一方の端子電極４２ａは、前記導電性樹脂４３ａ、前記接続電極３５、前記導電性樹脂３９ａ、および前記圧電素子３０、３０の一方の内部電極層３３の展延部３３ｃを介して前記内部電極層３３の対向領域３３ａに接続さている。また、前記他方の端子電極４２ｂは、前記導電性樹脂４３ｂ、前記接続電極３６、前記導電性樹脂３９ｂ、および前記圧電素子３０、３０の他方の内部電極層３４の展延部３４ｃを介して前記内部電極層３４の対向領域３４ａに接続されている。また、前記圧電素子３０の圧電体層３２ａ，３２ｂ，３２ｃは、前記内部電極層３３及び前記内部電極層３４を介して、交互に逆向きに分極処理が施されている。また、前記圧電振動板４０の前記振動板３５の一方の主面側に配置された圧電素子３０の各圧電体層と、前記振動板３５の他方の主面に配置された圧電素子３０の各圧電体層とは、互いに分極の向きが上下逆転し、前記内部電極層３３，３４の配置が同じ内部構造を有する。このため、前記振動板３５の他方の主面側の圧電素子３０の各圧電体層には、前記振動板３５の一方の主面側の前記圧電素子３０の各圧電体層に比較して、分極方向に対し逆向きの電圧が印加されることになる。尚、本発明はこれに限定するものではなく、例えば、前記圧電振動板４０の前記振動板３５の一方の主面側に配置された圧電素子３０の各圧電体層と、前記振動板３５の他方の主面に配置された圧電素子３０の各圧電体層とは、互いに分極の向きが同じで、前記内部電極層３３，３４の配置が左右逆転した内部構造を有するものであってもよいことは勿論である。本実施形態の圧電型電気音響変換器４５は、前記支持体４１の前記一対の端子電極４２ａ，４２ｂに図示省略した入力回路から入力信号に伴う交番電圧が印加されると、上記の経路を介して前記振動板３５の一方の主面側の圧電素子３０の前記内部電極層３３、３４の対向領域３３ａ，３４ａに挟まれる圧電体層３２ａ，３２ｂ，３２ｃが同時に、厚み方向と面方向とに交互に膨張・収縮する。また、前記振動板３５の他方の主面側の圧電素子３０の前記内部電極層３３、３４の対向領域３３ａ，３４ａに挟まれる圧電体層３２ａ，３２ｂ，３２ｃが同時に、厚み方向と面方向とに交互に収縮・膨張する。これにより、前記圧電振動板４０が厚み方向に屈曲振動する。これにより前記圧電型電気音響変換器４５から前記入力信号に応じて音声が出力される。
【００３１】
本実施形態の圧電振動板４０が先の第１の実施形態の圧電振動板２０と異なる点は、振動板３５の他方の主面にも接続電極が形成され、圧電素子が貼着されて、バイモルフ型の圧電振動板が構成されていることにある。
【００３２】
本実施形態の圧電型電気音響変換器４５が先の第１の実施形態の圧電型電気音響変換器２５と異なる点は、上述のバイモルフ型の圧電振動板を用いたことにある。  
【００３３】
次に、本発明の好ましい実施形態について説明する。まず、上記圧電体層の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記圧電体層としては、例えばＰｂＺｒｘＴｉ１−ｘＯ３（ＰＺＴ）などのセラミック圧電体材料からなることが好ましい。また、鉛を含まない所謂非鉛系のセラミック圧電体であってもよい。上記圧電体層の厚さは、例えば３０μｍである。また、上記圧電体層の形成は、例えば前記セラミック圧電体材料の粉末と有機溶剤、バインダ、可塑剤、分散剤等を所定の比率で混合してスラリーを準備し、例えば公知のドクターブレード法によりセラミックグリーンシートを作成し、後述する内部電極層と交互に積層した後、例えば大気中５００℃で脱バインダ処理し、例えば大気中１０００℃で一体焼成することにより得られる。また上記ドクターブレード法に限定するものではなく、例えば、上記と同様の圧電体材料を含むスラリーと内部電極材料を含む導電ペーストとを交互に印刷・積層する所謂スラリービルド法等を用いて形成することができる。  また、前記圧電体層のほかに、必要によりダミーの内部電極層や絶縁体層を挿入してもよい。  
【００３４】
上記内部電極層の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記内部電極層としては、例えばＡｇまたはＡｇ−Ｐｄ合金のいずれかであることが好ましい。これによれば、前記積層体を焼成したのち得られた圧電素子の集合体基板を相対移動する切削刃に接触させて切断する際に、前記展延部が安定して形成される。また、本発明はこれに限定するものではなく、例えば、Ａｕ，Ｐｔ，ＰｄおよびＡｕ−Ｐｄ合金のうちのいずれかであってもよい。前記内部電極層の厚さは、例えば２μｍである。  また、前記内部電極層は圧電体層を挟んで一つ置きに互いに対向する端面にその端部を露出するように形成されることが好ましい。また、前記一つ置きに互いに対向する端面に露出するように形成される内部電極層のほかに、必要により、ダミーの内部電極層を挿入してもよい。  
【００３５】
上記未焼成積層体の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記積層体としては、圧電素子の一方の端部近傍における前記複数の内部電極層の厚さ寸法の和が前記一方の端面に端部を露出する前記複数の内部電極層の前記対向領域における厚さ寸法の和より大きくなるように形成されていることが好ましい。より具体的には、例えば前記内部電極層の前記対向領域の厚さ（例えば２μｍ）より、前記内部電極層の端部近傍の厚さを厚く（例えば４μｍに）することが好ましい。また、例えば前記内部電極層の前記対向領域における層数より前記内部電極層の端部近傍の層数を大きくすることが好ましい。
【００３６】
上記焼成の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記焼成としては、前記積層されたセラミック圧電体層が焼結一体化されることが好ましい。また、前記内部電極パターンの金属粉末が焼結により相互に連結されることが好ましい。
【００３７】
上記焼成したのち得られた圧電素子の集合体基板を相対移動する切削刃に接触させて切断の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記切削刃としては、例えば、外周面に砥粒層が形成されスピンドルに固定された回転円板状のダイシングブレードや、表面に砥粒が固着されたワイヤーが循環駆動されるワーヤーソー等を用いることができる。前記焼成により得られた圧電素子の集合体基板に相対移動する前記のような切削刃を接触させて切断することが好ましい。また、前記切断とは、少なくとも前記圧電素子の内部電極層の端部と接する領域について行なえばよい。そして、前記内部電極層が存在しない例えばサイドマージン等の残部の領域は、例えばサンドブラスト法やレーザー加工、その他の方法により切断してもよい。また、ダイヤモンドカッター等で表面に浅い溝を設けた後に破断してもよい。  
【００３８】
上記圧電素子１０，３０の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記圧電素子としては、上記圧電体層と上記内部電極層とが交互に積層され焼成により一体化されたものであることが好ましい。また、前記第１および第２の実施形態においては、圧電素子１０の最上層および最下層にそれぞれ内部電極層が露出されたものであったが、本発明はこれに限定するものではなく、例えば、最上層や最下層に圧電体層が形成されていてもよい。また、前記内部電極層を被覆するように、樹脂や無機材
料等からなる絶縁体層が形成されていてもよい。前記圧電素子の圧電体層の層数は必要に応じて調整することができる。上記圧電体層の層数は例えば５層である。  
【００３９】
上記展延部の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記展延部としては、前記圧電素子の端面に露出された前記内部電極層の端部から展延されることが好ましい。前記内部電極層の端部から前記展延部の先端までの長さ寸法は、例えば前記内部電極層の端部近傍の厚さを厚くすることで、長くすることができる。    
【００４０】
上記振動板の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記振動板としては、例えばポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）や液晶ポリマー等からなる絶縁フィルムの表面に接続電極が形成されていることが好ましい。  
【００４１】
上記接続電極の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記接続電極としては、前記絶縁基板の表面に例えばＣｕ箔を貼着したのちエッチングして所望のパターンに形成されることが好ましい。
【００４２】
上記接着剤の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記接着剤としては、例えば紫外線硬化性のアクリル系樹脂等が好ましい。尚、振動板の両主面にそれぞれ圧電素子を貼着してなる所謂バイモルフ型の圧電振動板を得る場合には、前記圧電素子の貼着に用いる接着剤層のうちのいずれか一方または両方を、例えばエポキシ系樹脂等の熱硬化性の接着剤や２液反応型の接着剤等を使用することが好ましい。  
【００４３】
上記導電性樹脂の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記導電性樹脂としては、例えば、金属やカーボン等の導電性の粉末と例えばポリエステル系の樹脂とを混合してなるものが好ましい。  
【００４４】
上記圧電振動板の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記圧電振動板としては、振動板の一方の主面側に圧電素子が貼着されたユニモルフ型、振動板の一方及び他方の主面側にそれぞれ圧電素子が貼着されたバイモルフ型等が好ましい。  
【００４５】
上記支持体の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記支持体としては、ポリブチレンテレフタラート（ＰＢＴ）やＰＥＴ等からなることが好ましい。上記支持体の外観は、枠状が好ましいが、これに限定するものではなく、例えば皿状等であってもよい。上記支持体の形状は、直方体形状が好ましいがこれに限定するものではなく、必要に応じて適宜変更することができる。  
【００４６】
上記端子電極の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記端子電極としては、上記支持体の端子部に形成されることが好ましい。上記端子電極は、前記接続電極と同様に例えばＣｕ箔のエッチングにより形成してもよいが、これに限定するものではなく、例えば、導電性樹脂のペーストをスクリーン印刷等で塗布し、硬化させたものであってもよい。  
【００４７】
上記圧電型電気音響変換器の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記圧電型電気音響変換器としては、前記振動板の接続電極を引き出す端子電極を有することが好ましいが、これに限定するものではなく、前記振動板の接続電極の引出部を端子電極として用いてもよい。また、入力回路との接続するためのリードを固着してもよい。
【００４８】
（実施例）以下、本発明をさらに詳細な実施例に基づき説明する。まず、ＰＺＴからなるセラミック圧電体材料の粉末を有機溶剤、バインダ、可塑剤、分散剤と混合してスラリーを準備した。次に前記スラリーをドクターブレード法によりシート状に成型した後、所定の寸法にカットして厚さ３０μｍの複数枚のセラミックグリーンシートを得た。上記で得られたセラミックグリーンシートのうちの３枚のセラミックグリーンシートの一方の主面に、Ａｇ−Ｐｄ合金粉末と有機溶剤、バインダを混合してなる電極材料ペーストを塗布して隣接する圧電素子２つ分に跨るように長さ３３ｍｍ、幅２１ｍｍの長方形の厚さ２μｍの内部電極パターン１３’を形成した。また、前記長方形の内部電極パターン１３’の中央の前記隣接する圧電素子２つ分に跨る位置に前記内部電極パターン１３’に重なるように長さ２ｍｍ、幅２１ｍｍの帯状の厚さ２μｍの補助パターン１３ｂ’を形成した。また、前記内部電極パターン１３’及び前記補助パターン１３ｂ’を形成したセラミックグリーンシートのうちの１枚のセラミックグリーンシートの他方の主面に、前記隣接する圧電素子約１つ分ずらした位置に、前記と同様に長方形の内部電極パターン１４’を形成した。また前記長方形の内部電極パターン１４’の中央の前記隣接する圧電素子２つ分に跨る位置に前記内部電極パターン１４’に重なるように前記と同様に帯状の補助パターン１４ｂ’を形成した。また、上記で得られたセラミックグリーンシートのうちの２枚のセラミックグリーンシートの一方の主面に、前記と同様に隣接する圧電素子約１つ分ずらした位置に、前記と同様に長方形の内部電極パターン１４’を形成した。また前記長方形の内部電極パターン１４’の中央の前記隣接する圧電素子２つ分に跨る位置に前記内部電極パターン１４’に重なるように前記と同様に帯状の補助パターン１４ｂ’を形成した。上記で得られた一方の主面に前記内部電極パターン１３’及び補助パターン１３ｂ’が形成されたセラミックグリーンシートと、一方の主面に前記内部電極パターン１４’及び補助パターン１４ｂ’が形成されたセラミックグリーンシートとを交互に重ね、最下層に、上記で得られた他方の主面に前記内部電極パターン１４’及び補助パターン１４ｂ’が形成されたセラミックグリーンシートを重ねて、これらのセラミックグリーンシートを積層圧着して未焼成積層体を得た。上記で得られた未焼成積層体を大気中５００℃で２時間脱バインダ処理した後、大気中１０００℃で２時間焼成し、圧電素子の集合体基板を得た。をスピンドルにダイシングブレードを取り付けたダイシング装置を用い、前記カットラインＣＬに沿って、上記で得られた圧電素子の集合体基板を相対移動する切削刃に接触させて切断して直方体形状の複数の圧電素子を得た。上記で得られた圧電素子は、圧電体層と内部電極層とを交互に複数積層し且つ該内部電極層が一つ置きに互いに対向する端面にその端部を露出するように形成された直方体形状の圧電素子であって、前記圧電素子の一方の端部近傍における前記複数の内部電極層の厚さ寸法の和が前記一方の端面に端部を露出する前記複数の内部電極層の前記対向領域における厚さ寸法の和より大きくなるように形成されている。また、前記で得られた圧電素子の端面を株式会社日立ハイテクノロジーズ製の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）Ｓ４３００を使用し、倍率２０００倍で観察した結果、前記端面に露出する内部電極層の端部に、積層方向で隣接する内部電極層に近接する展延部が形成されていることが確認された。（参考例）上記構造による効果を明らかにするため、前記補助パターン１３ｂ’，１４ｂ’を形成しないこと以外は上記実施例と同様にして参考例の圧電素子を得た。参考例の圧電素子の端面を前記と同様にＳＥＭで観察した結果、展延部はほとんど認められなかった。次に、長さ２５ｍｍ、幅２５ｍｍ、厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）フィルムの一方の主面にＡｇ粉末、有機溶剤、バインダを含有する導電性ペーストをスクリーン印刷により塗布し、１５０℃で硬化して厚さ５μｍの一対の接続電極を形成して振動板を準備した。得られた振動板の一方の主面上の前記接続電極間にアクリル系樹脂からなる紫外線硬化性の接着剤をディスペンサーにより塗布し、前記一対の接続電極上に跨るように、上記で得られた圧電素子を重ねてＵＶ照射し、前記振動板と前記圧電素子とを貼り合わせた。次に前記接続電極と前記圧電素子素子の前記内部電極層の展延部が形成された端面とをつなぐようにＡｇ粉末、有機溶剤、バインダを含有する導電性樹脂のペーストをディスペンサーにより塗布し、１５０℃で硬化させて圧電振動板を得た。上記で得られた圧電振動板の縁部近傍をポリブチレンテレフタラート（ＰＢＴ）樹脂からなる枠状の支持体にアクリル系樹脂からなる接着剤で接着した。次に、前記振動板の接続電極の引出部と前記支持体の端子部に接着されたＣｕ箔からなる一対の端子電極のそれぞれとを繋ぐように前記と同様の導電性樹脂のペーストをディスペンサーを用いて塗布し、１５０℃で硬化させた。次に、上記一対の端子電極に５０Ｖの直流電圧を印加して前記圧電素子の内部電極層の対向領域の圧電体層を分極処理して、積層型の圧電音響変換器を得た。上記で得られた５０個の圧電型電気音響変換器の前記一対の端子電極にヒューレットパッカード社製のインピーダンスアナライザー（ＨＰ４１９４Ａ）の一対の測定端子をそれぞれ接続し、周波数１２０Ｈｚ，電圧１Ｖｒｍｓにて静電容量の値を測定し、得られた結果を図１５に示した。上記と同様にして参考例の圧電素子を用いて５０個の参考例の圧電型電気音響変換器を作成し、上記と同様にして静電容量の値を測定し、得られた結果を図１５に示した。前記圧電素子の前記内部電極層の端部が露出された一対の端面にそれぞれ外部電極層を形成した場合と同様に、圧電型電気音響変換器の圧電素子の内部電極層の対向領域におけるすべての内部電極層が前記一対の接続電極のそれぞれと接続された場合にはその静電容量の値はおよそ１．１２μＦであり、静電容量の値が極端に低いものは、前記接続電極との導電接続に不具合を生じた内部電極層が存在するものと考えられる。図１５より明らかなように、本発明の実施例の圧電素子を用いたすべての圧電型電気音響変換器において、前記圧電素子の内部電極層の対向領域のほとんどの内部電極層が前記接続電極と接続されているのに対し、参考例の圧電素子を用いた複数の圧電型電気音響変換器において、前記接続電極との導電接続に不具合を生じた内部電極層が存在するものが発見された。尚、上記実施例では内部電極層としてＡｇ−Ｐｄ合金を用いたが、Ａｇに置き換えた場合であっても、安定して展延部が形成されることが確認された。また、本発明はこれに限定するものではなく、例えば、Ａｕ，Ｐｔ，ＰｄまたはＡｕ−Ｐｄ合金のいずれかに変更してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明によれば、薄型の電子機器や携帯型の電子機器等に搭載される小型スピーカ等として用いられる圧電型電気音響変換器に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の圧電素子の第１の実施形態の概要を示す外観斜視図である。
【図２】上記実施形態の圧電素子の内部構造の概要を示す断面の模式図である。
【図３】上記実施形態の圧電素子の製造プロセスの一例を示す斜視図である。
【図４】上記実施形態の圧電素子の製造プロセスの一例を示す斜視図である。
【図５】本発明の圧電振動板及び圧電型電気音響変換器の第１の実施形態の概要を示す外観斜視図である。
【図６】上記実施形態の圧電振動板及び圧電型電気音響変換器の内部構造を示す断面の模式図である。
【図７】上記実施形態の圧電振動板及び圧電型電気音響変換器の内部構造を示す分解斜視図である。
【図８】本発明の圧電素子の第２の実施形態の概要を示す外観斜視図である。
【図９】上記実施形態の圧電素子の内部構造の概要を示す断面の模式図である。
【図１０】上記実施形態の圧電素子の製造プロセスの一例を示す斜視図である。
【図１１】上記実施形態の圧電素子の製造プロセスの一例を示す斜視図である。
【図１２】本発明の圧電振動板及び圧電型電気音響変換器の第２の実施形態の概要を示す外観斜視図である。
【図１３】上記実施形態の圧電振動板及び圧電型電気音響変換器の内部構造を示す断面の模式図である。
【図１４】上記実施形態の圧電振動板及び圧電型電気音響変換器の内部構造を示す分解斜視図である。
【図１５】本発明の実施例及び参考例の圧電素子を用いた圧電型電気音響変換器の静電容量の値の測定結果を示す図である。
【図１６】背景技術の圧電素子の内部構造の概要を示す断面の模式図である。
【図１７】背景技術の圧電素子の内部構造の概要を示す部分断面斜視図である。
【図１８】背景技術の圧電振動板及び圧電型電気音響変換器の内部構造の概要を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０：
圧電素子１１：圧電体１１ａ，１１ｂ：端面１２ａ，１２ｂ，１２ｃ：圧電体層１３，１４：内部電極層１３ａ，１４ａ：対向領域１３ｂ，１４ｂ：端部近傍１３ｃ，１４ｃ：展延部１５：振動板１６，１７：接続電極１６ａ，１７ａ：引出部１８：接着剤１９ａ，１９ｂ：導電性樹脂２０：圧電振動板２１：支持体２１ａ：端子部２１ｂ：支持部２２ａ，２２ｂ：端子電極２３ａ，２３ｂ：導電性樹脂２５：圧電型電気音響変換器３０：圧電素子３１：圧電体３１ａ，３１ｂ：端面３２ａ，３２ｂ，３２ｃ：圧電体層３３，３４：内部電極層３３ａ，３４ａ：対向領域３３ｂ，３４ｂ：端部近傍３３ｃ，３４ｃ：展延部３５：振動板３６，３７：接続電極３６ａ，３７ａ：引出部３６ｂ、３７ｂ：スルーホール接続部３８：接着剤３９ａ，３９ｂ：導電性樹脂４０：圧電振動板４１：支持体４１ａ：端子部４１ｂ：支持部４２ａ，４２ｂ：端子電極４３ａ，４３ｂ：導電性樹脂４５：圧電型電気音響変換器
【図１】
2009177751.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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