(57)【要約】【課題】スラリーの温度を制御するようにしたワイヤーソー装置において、ワイヤーの各部の温度やガイドローラーの温度が高精度な加工に適した温度となるようにして、ウエハーの寸法精度を向上させる。【解決手段】ワイヤーソー装置１は、ガイドローラー２、３と、ワイヤー４と、スラリー供給装置５とを備えている。スラリー供給装置５は、第１及び第２スラリー温度制御部１１、１２と、第１スラリー温度制御部１１により温度制御されたスラリーが流通する第１配管１３と、第２スラリー温度制御部１２により温度制御されたスラリーが流通する第２配管１４と、第１配管１３の下流側に接続される第１スラリー吐出ノズル１５と、第２配管１４に下流側に接続される第２スラリー吐出ノズル１６とを備えている。第１スラリー吐出ノズル１５から供給されるスラリーの温度と、第２吐出ノズル１６から供給されるスラリーの温度とを変えることが可能になっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに間隔をあけて配置された複数のガイドローラーと、これらガイドローラーに巻き掛けられるワイヤーと、少なくともワイヤーにスラリーを供給するスラリー供給装置とを備え、上記ローラーを回転させることにより送られる上記ワイヤーによってインゴットを切断してウエハーを得るように構成されたワイヤーソー装置において、
上記スラリー供給装置は、
スラリーの温度を制御する第１及び第２スラリー温度制御部と、
上記第１スラリー温度制御部により制御されたスラリーが流通する第１配管と、
上記第２スラリー温度制御部により制御されたスラリーが流通する第２配管と、
上記第１配管の下流側に接続される第１スラリー吐出ノズルと、
上記第２配管の下流側に接続される第２スラリー吐出ノズルとを備えていることを特徴とするワイヤーソー装置。
【請求項２】
請求項１に記載のワイヤーソー装置において、
第１スラリー吐出ノズルは、ワイヤーにおけるインゴット切断後の部分に対応するように配置され、
第２スラリー吐出ノズルは、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分に対応するように配置されていることを特徴とするワイヤーソー装置。
【請求項３】
請求項１に記載のワイヤーソー装置において、
第１スラリー吐出ノズルは、ワイヤーにおけるインゴット切断後の部分に対応するように配置され、
第２スラリー吐出ノズルは、ワイヤーにおけるインゴット切断後の部分が巻き掛けられるガイドローラーに対応するように配置されていることを特徴とするワイヤーソー装置。
【請求項４】
請求項３に記載のワイヤーソー装置において、
第１配管には、複数の第１スラリー吐出ノズルが接続され、
第２配管には、複数の第２スラリー吐出ノズルが接続され、
上記第１スラリー吐出ノズルのうち少なくとも１つは、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分に対応するように配置され、
上記第２スラリー吐出ノズルのうち少なくとも１つは、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分が巻き掛けられるローラーに対応するように配置されていることを特徴とするワイヤーソー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インゴットを切断してウエハーを得る際に用いられるワイヤーソー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体インゴットや石英インゴット等を所定厚さに切断してウエハーを得る際に、例えば特許文献１に開示されているようなワイヤーソー装置が用いられている。この特許文献１のワイヤーソー装置は、ワイヤーが巻き掛けられる複数のガイドローラーと、オイル等の液体に砥粒を混合したスラリーを供給するスラリー供給装置とを備えている。スラリー供給装置は、タンク内のスラリーを冷却する熱交換器と、タンク内のスラリーをガイドローラー及びワイヤーの上方まで導く配管と、配管に接続された複数の吐出ノズルとを備えている。これら吐出ノズルは、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分と、インゴット切断後の部分と、ガイドローラーとに向けてそれぞれ配置されている。従って、このワイヤーソー装置によれば、ガイドローラーの回転により送られるワイヤーにインゴットを押し付けて切断して行く際に、熱交換器によって温度制御されたスラリーが、ワイヤーの各部及びガイドローラーにそれぞれ供給されることになる。このことによって、切断時にワイヤーとインゴットとの間に発生する摩擦熱の影響によるウエハーの寸法精度の悪化を抑制しようとしている。
【特許文献１】特許第２９６７８９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、特許文献１のワイヤーソー装置のようにスラリーの温度を制御するようにした場合、摩擦熱によって温度が上昇するワイヤーには、温度の低いスラリーを供給して冷却することが可能になる。しかしながら、このワイヤーソー装置においては、同じ温度のスラリーをワイヤー及びガイドローラーに供給するようにしているため、ワイヤーの各部や、ガイドローラーの温度を独立して制御することができない。従って、ワイヤーの各部やガイドローラーの温度を高精度な加工に適した所定の温度にすることが困難であり、ウエハーの寸法精度が低下する虞れがある。
【０００４】
本発明は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、スラリーの温度を制御するようにしたワイヤーソー装置において、複数通りの温度に設定されたスラリーを別々に供給できるようにすることで、ワイヤーの各部の温度やガイドローラーの温度を高精度な加工に適した所定の温度にすることができるようにして、ウエハーの寸法精度を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明では、第１及び第２スラリー温度制御部によって温度制御されたスラリーを第１及び第２配管に流し、これら配管に接続された第１及び第２スラリー吐出ノズルからそれぞれ吐出させるようにした。
【０００６】
具体的には、第１の発明では、互いに間隔をあけて配置された複数のガイドローラーと、これらガイドローラーに巻き掛けられるワイヤーと、少なくともワイヤーにスラリーを供給するスラリー供給装置とを備え、上記ローラーを回転させることにより送られる上記ワイヤーによってインゴットを切断してウエハーを得るように構成されたワイヤーソー装置において、上記スラリー供給装置は、スラリーの温度を制御する第１及び第２スラリー温度制御部と、上記第１スラリー温度制御部により制御されたスラリーが流通する第１配管と、上記第２スラリー温度制御部により制御されたスラリーが流通する第２配管と、上記第１配管の下流側に接続される第１スラリー吐出ノズルと、上記第２配管の下流側に接続される第２スラリー吐出ノズルとを備えている構成とする。
【０００７】
この構成によれば、第１及び第２スラリー温度制御部で別々の温度に設定されたスラリーが第１及び第２配管をそれぞれ流通して第１及び第２スラリー吐出ノズルから吐出される。従って、第１及び第２スラリー吐出ノズルの位置により、ワイヤーにおけるインゴット切断後の部分、切断前の部分ないしガイドローラーに対し、各々に適した所定の温度のスラリーを供給することが可能になる。
【０００８】
第２の発明では、第１の発明において、第１スラリー吐出ノズルは、ワイヤーにおけるインゴット切断後の部分に対応するように配置され、第２スラリー吐出ノズルは、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分に対応するように配置されている構成とする。
【０００９】
この構成によれば、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分の温度が所定の温度となるように温度設定されたスラリーを、第２スラリー吐出ノズルから供給することが可能になる。一方、この第２スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーよりも温度の低いスラリーを、第１スラリー吐出ノズルからワイヤーにおけるインゴット切断後の部分に供給して、その切断後の部分を素早く冷却することが可能になる。
【００１０】
第３の発明では、第１の発明において、第１スラリー吐出ノズルは、ワイヤーにおけるインゴット切断後の部分に対応するように配置され、第２スラリー吐出ノズルは、ワイヤーにおけるインゴット切断後の部分が巻き掛けられるガイドローラーに対応するように配置されている構成とする。
【００１１】
この構成によれば、第１スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーによってワイヤーにおけるインゴット切断後の部分を冷却することが可能になる。また、第２スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーによって、ワイヤーにおけるインゴット切断後の部分が巻き掛けられるガイドローラーの温度上昇を抑制することが可能になる。
【００１２】
第４の発明では、第３の発明において、第１配管には、複数の第１スラリー吐出ノズルが接続され、第２配管には、複数の第２スラリー吐出ノズルが接続され、上記第１スラリー吐出ノズルのうち少なくとも１つは、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分に対応するように配置され、上記第２スラリー吐出ノズルのうち少なくとも１つは、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分が巻き掛けられるローラーに対応するように配置されている構成とする。
【００１３】
この構成によれば、第１スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーによってワイヤーにおけるインゴット切断前の部分を温度調節することが可能になる。また、第２スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーによって、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分が巻き掛けられるガイドローラーの温度調節をすることが可能になる。
【発明の効果】
【００１４】
第１の発明によれば、第１及び第２スラリー温度制御部で別々に温度制御されたスラリーを、第１及び第２配管を介して第１及び第２スラリー吐出ノズルからそれぞれ吐出させることができる。これにより、ワイヤーの各部の温度やガイドローラーの温度を、高精度な加工に適した所定の温度にすることができ、その結果、ウエハーの寸法精度を向上させることができる。
【００１５】
第２の発明によれば、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分の温度が所定の温度となるように温度設定されたスラリーを第２スラリー吐出ノズルから供給することにより、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分の温度を所定の温度にすることができる。また、第１スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーによってワイヤーにおけるインゴット切断後の部分を素早く冷却でき、ガイドローラーの温度上昇を抑制することができる。これらのことにより、ウエハーの寸法精度をより一層向上させることができる。
【００１６】
第３の発明によれば、第１スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーによってワイヤーにおけるインゴット切断後の部分を素早く冷却することができ、また、第２スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーによってガイドローラーの温度上昇を抑制することができる。これにより、ウエハーの寸法精度をより一層向上させることができる。
【００１７】
第４の発明によれば、第１スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーによってワイヤーにおけるインゴット切断前の部分を温度調節でき、また、第２スラリー吐出ノズルから供給されるスラリーによって、ワイヤーにおけるインゴット切断前の部分が巻き掛けられるガイドローラーの温度を調節することができる。これにより、ウエハーの寸法精度をより一層向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００１９】
《発明の実施形態１》
図１は、本発明の実施形態１に係るワイヤーソー装置１の概略構成図である。このワイヤーソー装置１は、第１及び第２ガイドローラー２、３と、これらガイドローラー２、３に巻き掛けられるワイヤー４と、ワイヤー４及びガイドローラー２、３にスラリーを供給するスラリー供給装置５と、インゴットＩをガイドローラー２、３の上方で保持する保持機構６とを備えている。上記インゴットＩは、円柱状の半導体インゴットである。
【００２０】
上記第１ガイドローラー２は、ウレタンゴム等で構成された円柱状の本体部２ａと、本体部２ａの中心部を貫通して略水平に延びる回転軸２ｂとを有している。第２ガイドローラー３も同様に本体部３ａと回転軸３ｂとを有している。これら第１及び第２ガイドローラー２、３は、回転軸２ｂ、３ｂが同一水平面上で互いに略平行となるように配置されている。第１及び第２ガイドローラー２、３は、図示しない駆動装置により回転駆動されるようになっている。また、ガイドローラー２、３の本体部２ａ、３ａの外周面には、図示しないが、周方向に延びる多数のワイヤー案内溝が軸線方向に所定間隔をあけて形成されている。これらワイヤー案内溝に上記ワイヤー４が嵌るようになっている。ワイヤー案内溝の間隔によって、得られるウエハーの厚さが設定されるようになっている。
【００２１】
上記ワイヤー４は、例えば、ピアノ線に所定のメッキを施したものを使用することができ、直径は、１２０μｍ〜１８０μｍくらいである。ワイヤー４は、ワイヤー供給リール（図示せず）から供給されて、第１及び第２ガイドローラー２、３のワイヤー案内溝に嵌まるように螺旋状に巻き掛けられ、ワイヤー巻き取りリール（図示せず）に巻き取られるようになっている。
【００２２】
上記保持機構６は、第１及び第２ガイドローラー２、３の中間部の直上方に配置され、インゴットＩを上下方向に移動させるように構成されている。
【００２３】
上記スラリー供給装置５は、スラリーを貯留するタンク１０と、スラリーの温度を制御する第１及び第２スラリー温度制御部１１、１２と、第１及び第２スラリー温度制御部１１、１２により制御されたスラリーがそれぞれ流通する第１及び第２配管１３、１４と、第１及び第２配管１３、１４の下流側にそれぞれ接続される第１及び第２スラリー吐出ノズル１５、１６とを備えている。尚、スラリーは、オイルに砥粒を混合した周知のものである。
【００２４】
上記タンク１０には、スクリュー２０と、スクリュー２０を回転駆動するモーター２１とからなる攪拌機２２が設けられている。タンク１０の底部には、ドレン口１０ａが形成されるとともに、移動用のキャスター１０ｂが取り付けられている。タンク１０の上壁部には、第１及び第２ポンプ２３、２４が取り付けられている。第１及び第２ポンプ２３、２４によりタンク１０内のスラリーが吸い上げられるようになっている。
【００２５】
上記第１スラリー温度制御部１１は、熱交換器３０と、温度センサ３１と、コントロール部３２とを備えている。熱交換器３０には、熱交換媒体としての水が給水管３０ａを介して供給され、熱交換器３０内部を循環した水は、排水管３０ｂを介して排出されるようになっている。給水管３０ａには、常温よりも低い温度の水が供給されるようになっている。給水管３０ａの中途部には、水を加熱するためのヒーター３３が設けられている。ヒーター３３は、上記コントロール部３２に接続され、このコントロール部３２によってＯＮ及びＯＦＦの切替が可能となっている。熱交換器３０の周囲には、スラリーが流通するスラリー流通管３４が熱交換器３０の外面に接した状態で設けられている。このスラリー流通管３４の上流側には、第１ポンプ２３の吐出口から延びる吐出管２３ａの下流端が接続されている。スラリー流通管３４の下流側には、第１配管１３の上流端が接続されている。従って、第１ポンプ２３から吐出されたスラリーは、熱交換器３０内を流れる水と熱交換することで温度変化して第１配管１３に流れ込むようになっている。尚、熱交換器３０へ供給する熱交換媒体は、水以外の流体を用いることもできる。
【００２６】
上記温度センサ３１は、第１配管１３の熱交換器３０近傍に設けられており、第１配管１３内を流通するスラリーの温度を検出するように構成されている。この温度センサ３１は、上記コントロール部３２に接続されている。また、第１配管１３の温度センサ３１よりも下流側には、スラリーの流量を計測する流量計３６が設けられている。
【００２７】
上記コントロール部３２は、温度センサ３１の出力信号に基づいて、所定のプログラムに従ってヒーター３３を制御するように構成されている。すなわち、スラリーの温度を上昇させる必要がある場合には、ヒーター３３をＯＮ状態にする。これにより、ヒーター３３によって加熱された温水が熱交換器３０に流入することになり、熱交換器３０の周囲を流れるスラリーが加熱され、第１配管１３を流通するスラリーの温度が上昇する。一方、スラリーの温度を低下させる必要がある場合には、ヒーター３３をＯＦＦ状態にする。これにより、給水管３０ａに供給された水が冷たいまま熱交換器３０に流入することになり、熱交換器３０の周囲を流れるスラリーが冷却され、第１配管１３を流通するスラリーの温度が低下する。また、ヒーター３３ならびに給水管３０ａに流入する常温よりも低い温度の水の量を制御することで、スラリーの温度は任意に変更される。
【００２８】
尚、第２スラリー温度制御部１２は、第１スラリー温度制御部１１と同様に、熱交換器４０、温度センサ４１及びコントロール部４２を備えている。熱交換器４０の周囲には、スラリー流通路４４が設けられている。また、第２配管１４にも、第１配管１３と同様に温度センサ４１及び流量計４６が設けられている。
【００２９】
上記第１配管１３の流量計３６よりも下流側は、２つに分岐して延びる２本の分岐管３７、３８で構成されている。これら分岐管３７、３８の中途部には、バルブ３９、３９がそれぞれ設けられている。これらバルブ３９、３９により分岐管３７、３８内のスラリーの流量が独立して調整可能となっている。また、これら分岐管３７、３８の下流端部には、上記第１スラリー吐出ノズル１５、１５がそれぞれ設けられている。両第１スラリー吐出ノズル１５、１５は、第１及び第２ガイドローラー２、３の間において、ガイドワイヤー４よりも上方に配置されている。一方の分岐管３７の第１スラリー吐出ノズル１５は、インゴットＩの第１ガイドローラー２側に近接しており、その吐出口は、ワイヤー４に向けられている。他方の分岐管３８の第１スラリー吐出ノズル１５は、インゴットＩの第２ガイドローラー３側に近接しており、その吐出口は、ワイヤー４に向けられている。つまり、第１配管１３を流通したスラリーは、ワイヤー４におけるインゴット切断前の部分と、インゴット切断後の部分とにそれぞれ供給されるようになっている。
【００３０】
上記第２配管１４の流量計４６よりも下流側は、第１配管１３と同様に２本の分岐管４７、４８で構成されている。これら分岐管４７、４８の中途部には、バルブ４９がそれぞれ設けられ、下流端部には、第２スラリー吐出ノズル１６、１６がそれぞれ設けられている。一方の分岐管４７の第２スラリー吐出ノズル１６は、第１ガイドローラー２の直上方に配置され、その吐出口が第１ガイドローラー２の外周面に向けられている。また、他方の分岐管４８の第２スラリー吐出ノズル１６は、第２ガイドローラー３の直上方に配置され、その吐出口が第２ガイドローラー３の外周面に向けられている。
【００３１】
尚、第１及び第２ガイドローラー２、３の下方には、スラリー受け５０が設けられている。上記第１及び第２スラリー吐出ノズル１５、１６から吐出されたスラリーは、スラリー受け５０で受けられた後、リターン配管５１を流通してタンク１０に戻されるようになっている。
【００３２】
次に、上記のように構成されたワイヤーソー装置１の動作について説明する。第１及び第２ガイドローラー２、３を時計回り（図１において右回り）に回転させると、ワイヤー４が送られる。一方、第１ポンプ２３を作動させると、タンク１０内のスラリーが吸い上げられて吐出管２３ａを通って第１スラリー温度制御部１１のスラリー流通管３４に流入する。スラリー流通管３４に流入したスラリーは、熱交換器３０によって温度調節された後、第１配管１３を流通して分岐管３７、３８を流れる。一方の分岐管３７を流れたスラリーは、第１スラリー吐出ノズル１５から、走行中のワイヤー４における第１ガイドローラー２側（インゴット切断後の部分）に供給される。他方の分岐管３８を流れたスラリーは、第１スラリー吐出ノズル１５から、ワイヤー４における第２ガイドローラー３側（インゴット切断前の部分）に供給される。このときのスラリーの温度は、ガイドローラー２、３及びワイヤー４の温度が、高精度な加工に適した温度となるように設定されている。
【００３３】
そして、保持機構６によってインゴットＩを下降させてワイヤー４に押し付ける。すると、ワイヤー４とインゴットＩとの間に摩擦熱が発生する。このことに対応して、ワイヤー４に供給されるスラリーの温度を、第１スラリー温度制御部１１によって低めの温度に設定する。これにより、ワイヤー４の温度を素早く低下させることが可能になる。
【００３４】
このインゴットＩの切断の際、インゴットＩが円柱状であることから、切断初期においては、ワイヤー４とインゴットＩとの接触面積が小さいので、摩擦熱の発生量が少なく、切断中盤に向けてワイヤー４とインゴットＩとの接触面積が徐々に大きくなっていき、摩擦熱の発生量が多くなる。そして、切断中盤から終期に向けては、逆にワイヤー４とインゴットＩとの接触面積が徐々に小さくなっていき、摩擦熱の発生量が少なくなる。この摩擦熱の発生量の変化に対応するように、第１スラリー温度制御部１１においては、切断初期から中盤に向けてスラリーの温度を下げていくように制御している。現在の切断の段階が初期、中盤、終期のどの時期にあるかを検出するにあたっては、保持機構６によるインゴットＩの位置を利用している。
【００３５】
また、第１ガイドローラー２には、第１スラリー吐出ノズル１５から吐出されたスラリーによって冷却されたワイヤー４が巻き掛けられるので、第１ガイドローラー２の温度はそれほど上昇しない。従って、第２スラリー吐出ノズル１６から吐出するスラリーの温度は、第２スラリー温度制御部１２によって、第１スラリー吐出ノズル１５から吐出されるスラリーの温度よりも高めに設定する。これにより、第１ガイドローラー２の温度が低下し過ぎることはなく、高精度な加工に適した温度になる。また、第２ガイドローラー３の温度も同様な温度で保持することが可能である。
【００３６】
以上説明したように、この実施形態１に係るワイヤーソー装置１によれば、第１スラリー吐出ノズル１５から供給されるスラリーによってワイヤー４におけるインゴット切断後の部分を冷却して高精度な加工に適した温度にすることができる。また、第１ガイドローラー２の温度と、第２ガイドローラー３の温度とを、第２スラリー吐出ノズル１６から供給されるスラリーによって、高精度な加工に適した温度にすることができる。これにより、ウエハーの寸法精度を向上させることができる。
【００３７】
尚、切断時に発生する摩擦熱の量や、第１及び第２ガイドローラー２、３の温度変化等は、インゴットＩの大きさや、ワイヤー４の送り速度、スラリーの種類によって変化するものなので、これらに応じて、スラリーの温度を変化させるようにすることもできる。
【００３８】
また、第１及び第２ガイドローラー２、３の回転方向は、反時計回りにしてもよい。
【００３９】
《発明の実施形態２》
図２は、本発明の実施形態２に係るワイヤーソー装置１の概略構成図である。この実施形態２に係るワイヤーソー装置１と、実施形態１のものとは、第１及び第２スラリー吐出ノズル１５、１６の位置が異なるだけで他の部分は同じであるため、以下、実施形態１と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略し、異なる部分を詳細に説明する。
【００４０】
すなわち、第１配管１３の一方の分岐管３７に接続されている第１スラリー吐出ノズル１５は、第１ガイドローラー２の直上方に配置され、その吐出口が第１ガイドローラー２の外周面に向けられている。他方の分岐管３８に接続されている第１スラリー吐出ノズル１５は、第１及び第２ガイドローラー２、３の間のガイドワイヤー４よりも上方において、インゴットＩの第１ガイドローラー２側に近接しており、その吐出口は、ワイヤー４に向けられている。
【００４１】
また、第２配管１４の一方の分岐管４７に接続されている第２スラリー吐出ノズル１６は、第２ガイドローラー３の直上方に配置され、その吐出口が第２ガイドローラー３の外周面に向けられている。他方の分岐管４８に接続されている第２スラリー吐出ノズル１６は、第１及び第２ガイドローラー２、３の間のガイドワイヤー４よりも上方において、インゴットＩの第２ガイドローラー３側に近接しており、その吐出口は、ワイヤー４に向けられている。
【００４２】
次に、上記のように構成されたワイヤーソー装置１の動作について説明する。第１及び第２ガイドローラー２、３を時計回り（図２において右回り）に回転させてワイヤー４を送ってインゴットＩを切断すると、ワイヤー４は、インゴットＩの右側の部分（インゴット切断後の部分）で温度が上昇する。これに対応するように、第１スラリー温度制御部１１においては、スラリーの温度を低下させる。これにより、ワイヤー４のインゴット切断後の部分の温度を素早く低下させることが可能になるとともに、第２ガイドローラー３に比べて温度の高いワイヤー４が巻き掛けられる第１ガイドローラー２の温度上昇を抑制することが可能になる。
【００４３】
また、第２ガイドローラー３には、ワイヤー４におけるインゴット切断前の部分が巻き掛けられるので、第２ガイドローラー３の温度は殆ど変化しない。また、ワイヤー４におけるインゴット切断前の部分の温度はそれほど高くない。これに対応するように、第２スラリー吐出ノズル１６から吐出するスラリーの温度は、第２スラリー温度制御部１２によって、第１スラリー吐出ノズル１５から吐出されるスラリーの温度よりも高めに設定される。
【００４４】
以上説明したように、この実施形態２に係るワイヤーソー装置１によれば、ワイヤー４におけるインゴット切断前の部分の温度が所定の温度となるように温度設定されたスラリーを第２スラリー吐出ノズル１６から供給する一方、第２スラリー吐出ノズル１６から供給されるスラリーよりも温度の低いスラリーを第１スラリー吐出ノズル１５から供給して、ワイヤー４におけるインゴット切断後の部分を素早く冷却することができる。これにより、ワイヤー４の各部の温度及びガイドローラー２、３の温度を、高精度な加工に適した温度にすることができ、その結果、ウエハーの寸法精度を向上させることができる。
【００４５】
尚、第１及び第２ガイドローラー２、３の回転方向を逆にしてワイヤー４を送る場合には、上記した場合と反対に、第２スラリー吐出ノズル１６から供給されるスラリーの温度を、第１スラリー吐出ノズル１５から供給されるスラリーの温度よりも低めに設定すればよい。
【００４６】
尚、上記実施形態１、２では、ワイヤーソー装置１によって半導体インゴットＩを切断する場合について説明したが、これに限らず、本発明は、石英インゴットを切断する場合にも適用することができる。
【００４７】
また、第１及び第２スラリー吐出ノズル１５、１６の各々の数は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上説明したように、本発明に係るワイヤーソー装置は、例えば、半導体インゴットを切断してウエハーを得る場合に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態１に係るワイヤーソー装置の概略構成図である。
【図２】実施形態２に係る図１相当図である。
【符号の説明】
【００５０】
１              ワイヤーソー装置
２              第１ガイドローラー
３              第２ガイドローラー
４              ワイヤー
５              スラリー供給装置
１１            第１スラリー温度制御部
１２            第２スラリー温度制御部
１３            第１配管
１４            第２配管
１５            第１スラリー吐出ノズル
１６            第２スラリー吐出ノズル
Ｉ              インゴット
【図１】
2009029078.tif 000003
【図２】
2009029078.tif 000004