(57)【要約】【課題】吐出し管を吐出し室に直接接続しながらも、ポンプ効率の一層の向上が図れる液封式真空ポンプを提供する。【解決手段】偏心した軸心周りに回転する羽根車が本体ケーシングに収容されたロータ室と、前記ロータ室に隣接する吐出し室とが、主吐出しポート及び逆止弁を備えた複数の補助吐出しポートが形成されたポートプレートで仕切られ、前記吐出し室に吐出し管が接続されている液封式真空ポンプであって、前記吐出し室に対する前記吐出し管の接続位置の上端と下端が、主吐出しポートと少なくとも１つの補助吐出しポートの一部にまたがる高さに設定されている。【選択図】図１
2009191818.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏心した軸心周りに回転する羽根車が本体ケーシングに収容されたロータ室と、前記ロータ室に隣接する吐出し室とが、主吐出しポート及び逆止弁を備えた複数の補助吐出しポートが形成されたポートプレートで仕切られ、前記吐出し室に吐出し管が接続されている液封式真空ポンプであって、
前記吐出し室に対する前記吐出し管の接続位置の上端と下端が、主吐出しポートと少なくとも１つの補助吐出しポートの一部にまたがる高さに設定されている液封式真空ポンプ。
【請求項２】
前記主吐出しポートの前記羽根車回転方向に沿って上流側に前記補助吐出しポートが配置され、前記主吐出しポートの前記補助吐出しポート側の開口端と、前記開口端に最も近接する補助吐出しポートの前記主吐出しポート側の開口端の中点と前記羽根車の回転中心とを結ぶ線が前記羽根車の中心を通る水平線に対して±１５°の範囲となるように配置されるとともに、前記吐出し室に対する前記吐出し管の接続位置の中心が前記羽根車の中心を通る水平線に対して±１５°の範囲に設定されている請求項１記載の液封式真空ポンプ。
【請求項３】
前記吐出し室に、前記吐出しポートから排出される余剰封水をポンプ外部に排水するドレン口が形成されている請求項１または２記載の液封式真空ポンプ。
【請求項４】
前記ロータ室が軸心方向中央部で二室に分離されるとともに、前記吐出し室が一対のケーシングカバーの夫々に形成され、各吐出し室に接続される吐出し管が各別に気水分離部に連通されている請求項１から３の何れかに記載の液封式真空ポンプ。
【請求項５】
前記ロータ室が軸心方向中央部で二室に分離されるとともに、前記吐出し室が一対のケーシングカバーの夫々に形成され、各吐出し室に接続される吐出し管が整流板を介して合流管に接続されている請求項１から３の何れかに記載の液封式真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏心した軸心周りに回転する羽根車が本体ケーシングに収容されたロータ室と、前記ロータ室に隣接する吐出し室とが、主吐出しポート及び逆止弁を備えた複数の補助吐出しポートが形成されたポートプレートで仕切られ、前記吐出し室に吐出し管が接続されている液封式真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
液封式真空ポンプは、本体ケーシングが、ポートプレートによって羽根車が収容されるロータ室と吸込み室及び吐出し室に仕切られ、羽根車の回転によりロータ室内の封水に遠心力を付与することにより、ロータ室内に水環が形成され、隣接する羽根と封水の水面とで羽根車の回転に伴なって拡大、縮小する複数の区分空間が形成され、ポートプレートに形成された吸込みポートに連通する吸込み室から、拡大した区分空間に対象ガスが吸い込まれるとともに、当該ポートプレートに形成された吐出しポートに連通する吐出し室から、縮小した区分空間の対象ガスが吐き出されるように構成されている。
【０００３】
ケーシング内の封水は、水環を形成してガスを吸引及び圧送し、さらに、ガスの圧送に伴って発生するガス圧縮熱を吸収するとともに、軸等の可動部をシールする等の諸機能を有する。
【０００４】
ポンプの運転中に、ケーシング内の封水の一部が、対象ガスとともに吐出しポートから吐出し室に排出されるため、常にこの排出量に見合うだけの量の水をロータ室に供給し続けるように構成されている。
【０００５】
このような液封式真空ポンプには、羽根車の一回転で対象ガスの吸込み及び吐出しを一回行なう、いわゆる一回転一作動型と、羽根車の一回転で対象ガスの吸込み及び吐出しを二回行う、いわゆる一回転二作動型があり、性能・価格・騒音の観点から近年一回転一作動型の液封式真空ポンプが主流となっている。
【０００６】
一回転一作動型の液封式真空ポンプでは、羽根車は円筒状の内壁部を備えた本体ケーシング内で、本体ケーシングの径方向に対して所定の方向に偏心した軸心周りに回転可能に軸支されている。
【０００７】
例えば、特許文献１には、外側ケーシングに吸排気流路、作動水の補給水路を一体形成し、外側ケーシングの軸方向の両側にポートプレート、ケーシングカバー、及び軸受部とをインロー式に順次側設し、羽根車の軸心が内側ケーシングに対して鉛直上方向に偏心して軸支された、一回転一作動型の液封式真空ポンプが開示されている。
【０００８】
特許文献１に記載された液封式真空ポンプでは、ポンプの運転中にポートプレートに形成された吐出しポートから排出された一部の封水及び対象ガスがケーシングカバーに形成された吐出し室に排出され、さらに外側ケーシングと内側ケーシングの間であって、内側ケーシングに上部に形成された排気流路を通って吐出し管に導かれる。
【０００９】
封水の過剰な排出を回避するとともに、排出されたガスを水と分離して排気するために、排気流路が内側ケーシングに上部に形成されているのである。
【００１０】
【特許文献１】特開昭６３−１３０３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１に記載された液封式真空ポンプでは、ポンプの運転中にポートプレートに形成された吐出しポートから排出された一部の封水及び対象ガスが、外側ケーシングと内側ケーシングの間に形成された狭く複雑な形状の排気流路を通って吐出し管に導かれるため、対象ガスと同時に排出された水により流路断面積が狭くなり、ガスの流れに対する抵抗が増えるため、ポンプの軸動力が増加してポンプ効率が低下するという問題があった。
【００１２】
そこで、図１０に示すように、吐出し管が吐出し室に直接接続された液封式真空ポンプも提案されているが、封水の過剰な排出を回避するとともに、排出されたガスを水と分離して排気するために、吐出し室への吐出し管の接続位置が、ポートプレートに形成された吐出しポートの位置より上方となるように設定されていた。
【００１３】
しかしながら、軸心より下方に偏心した軸心周りに回転する羽根車が本体ケーシングに収容されたロータ室と、ロータ室に隣接する吐出し室とが、主吐出しポート及び逆止弁を備えた複数の補助吐出しポートが形成されたポートプレートで仕切られ、吐出し室に吐出し管が接続されている液封式真空ポンプでは、以下のような新たな問題が発生している。
【００１４】
即ち、補助吐出しポートが羽根車の回転方向に沿って主吐出しポートの上流側に配置されているため、主吐出しポートから吐き出されたガスが、吐出し室側に突出配置された複数の逆止弁で狭くなった複雑な形状の流路で、封水に抗して上昇する際に生じる圧力損失等によって、ポンプ効率の更なる向上が見込めないという問題である。
【００１５】
尚、軸心より上方に偏心した軸心周りに回転する羽根車を備えた液封式真空ポンプでもこのような問題と同様の問題が発生する。
【００１６】
本発明は、上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、吐出し管を吐出し室に直接接続しながらも、ポンプ効率の一層の向上が図れる液封式真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述の目的を達成するため、本発明による液封式真空ポンプの第一の特徴構成は、特許請求の範囲の書類の請求項１に記載した通り、偏心した軸心周りに回転する羽根車が本体ケーシングに収容されたロータ室と、前記ロータ室に隣接する吐出し室とが、主吐出しポート及び逆止弁を備えた複数の補助吐出しポートが形成されたポートプレートで仕切られ、前記吐出し室に吐出し管が接続されている液封式真空ポンプであって、前記吐出し室に対する前記吐出し管の接続位置の上端と下端が、主吐出しポートと少なくとも１つの補助吐出しポートの一部にまたがる高さに設定されている点にある。
【００１８】
上述の構成によれば、少なくとも主吐出しポートプレートから吐き出されるガスの一部が、逆止弁で狭くなった複雑且つ狭い流路を、水に抗して移動することなく、主吐出しポートと少なくとも１つの補助吐出しポートの一部にまたがる高さで接続された吐出し管に円滑に流出するようになり、圧力損失を低減して、ポンプ効率を向上させることができるようになった。
【００１９】
同第二の特徴構成は、同請求項２に記載した通り、上述の第一特徴構成に加えて、前記主吐出しポートの前記羽根車回転方向に沿って上流側に前記補助吐出しポートが配置され、前記主吐出しポートの前記補助吐出しポート側の開口端と、前記開口端に最も近接する補助吐出しポートの前記主吐出しポート側の開口端の中点と前記羽根車の回転中心とを結ぶ線が前記羽根車の中心を通る水平線に対して±１５°の範囲となるように配置されるとともに、前記吐出し室に対する前記吐出し管の接続位置の中心が前記羽根車の中心を通る水平線に対して±１５°の範囲に設定されている点にある。
【００２０】
同第三の特徴構成は、同請求項３に記載した通り、上述の第一または第二特徴構成に加えて、前記吐出し室に、前記吐出しポートから排出される余剰封水をポンプ外部に排水するドレン口が形成されている点にある。
【００２１】
上述の構成によれば、吐出しポートから排出された余剰封水が、吐出し室に備えたドレン口から速やかにポンプ外部に排水されるため、ガスと余剰封水が入り乱れることなく分離され、吐出し室から吐出し管に到る経路が余剰封水によって狭くなり圧力損失が増加するような事態を未然に防止することができるようになった。
【００２２】
同第四の特徴構成は、同請求項４に記載した通り、上述の第一から第三の何れかの特徴構成に加えて、前記ロータ室が軸心方向中央部で二室に分離されるとともに、前記吐出し室が一対のケーシングカバーの夫々に形成され、各吐出し室に接続される吐出し管が各別に気水分離部に連通されている点にある。
【００２３】
各吐出し管を連通した合流管を介して気水分離部と接続する場合には、合流部で各吐出し管からの流体が対向することにより圧力損失が発生してポンプ効率が低下する虞があるが、上述の構成によれば、そのような圧力損失が生じないため、ポンプ効率を一層向上させることができるようになった。
【００２４】
同第五の特徴構成は、同請求項５に記載した通り、上述の第一から第三の何れかの特徴構成に加えて、前記ロータ室が軸心方向中央部で二室に分離されるとともに、前記吐出し室が一対のケーシングカバーの夫々に形成され、各吐出し室に接続される吐出し管が整流板を介して合流管に接続されている点にある。
【００２５】
上述の構成によれば、各吐出し管が整流板を介して合流管に合流するため、各吐出し管からの流体が対向するようなことが無く、配管コストを低減させるとともにポンプ効率を一層向上させることができるようになった。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明した通り、本発明によれば、吐出し管を吐出し室に直接接続しながらも、ポンプ効率の一層の向上が図れる液封式真空ポンプを提供することができるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に、本発明による液封式真空ポンプを図面に基づいて説明する。
【００２８】
図１（ａ），（ｂ）に示すように、液封式真空ポンプ１は、複数の脚部２により支持された円筒状の内壁部３ａを備えた本体ケーシング３と、本体ケーシング３の両側の開口を閉塞するケーシングカバー４（４ａ，４ｂ）と、本体ケーシング３に収容された羽根車６等を備えて構成されている。
【００２９】
羽根車６は、主軸５にキー止めされた胴部６ａと胴部６ａから径方向に放射状に延び且つ少なくとも先端側が所定の曲率で回転方向へ湾曲形成された羽根６ｂを備え、主軸５の軸心Ｐが本体ケーシング３の軸心Ｐ´に対して下方に偏心するように、ケーシングカバー４（４ａ，４ｂ）に備えた軸受け７（７ａ，７ｂ）に支持され、主軸５の一端側がモータの駆動軸に連結可能にケーシングカバー４ｂから突出している。
【００３０】
さらに、主軸５に沿った中央部に羽根車６の全周にわたって径方向に延出した中央壁６ｃが形成され、本体ケーシング３の内壁部には中央壁６ｃと所定の空隙を介して中間壁３ｂが同一平面内に形成されている。
【００３１】
ケーシングカバー４の内壁部には貫通孔８が形成され、主軸スリーブ９を介して主軸５が貫通孔８に挿通され、貫通孔８と主軸スリーブ９の間にシール材１０が配置されている。
【００３２】
本体ケーシング３の端部とケーシングカバー４（４ａ，４ｂ）との間には夫々円環状のポートプレート１５（１５ａ，１５ｂ）が介装され、当該ポートプレート１５（１５ａ，１５ｂ）によって羽根車６が収容されるロータ室が仕切られ、当該ロータ室は中央壁６ｃと中間壁３ｂにより左右に仕切られている。
【００３３】
即ち、羽根車６が収容された本体ケーシング３で構成されるロータ室が軸心方向中央部で二室に分離されている。
【００３４】
図２（ｂ）に示すように、ポートプレート１５（１５ａ，１５ｂ）には吸入ポート２０と、主吐出しポート２１及び補助吐出しポート２２と、給水ポート２３が形成され、吸入ポート２０は羽根車６の回転方向に沿って次第に開口面積が大きくなるように形成され、主吐出しポート２１は羽根車６の回転方向に沿って次第に開口面積が小さくなるように形成され、補助吐出しポート２２は夫々にいわゆるボールチェッキ機構等による逆止弁を備えた複数の小径の開口群が形成されている。そして、主吐出しポート２１の補助吐出しポート２２側の開口端と、前記開口端に最も近接する補助吐出しポート２２の主吐出しポート２１側の開口端の中点と羽根車６の回転中心とを結ぶ線が羽根車６の中心を通る水平線と略一致するとともに、吐出し室２５に対する吐出し管１７の接続位置の中心も羽根車６の中心を通る水平線と略一致している。
【００３５】
図１（ａ），（ｂ）及び図２（ａ），（ｂ）に示すように、ケーシングカバー４（４ａ，４ｂ）には、対象ガスを吸い込む吸込み管１６、及び、ロータ室で圧縮されたガスを吐き出す吐出し管１７が接続されるとともに、上部からは封水を供給する給水管１１が接続されている。
【００３６】
吸込み管１６から吸引された対象ガスが吸入ポート２０からロータ室に導かれ、ロータ室で圧縮されたガスが吐出しポート２１，２２から吐出し管１７に排出されるように、ケーシングカバー４（４ａ，４ｂ）とポートプレート１５（１５ａ，１５ｂ）との間に形成される空間が仕切り壁により吸込み室２４と吐出し室２５に仕切られ、さらに、給水管１１からの水が給水ポート２３を介してロータ室に供給されるように構成されている。
【００３７】
給水ポート２３を通してロータ室に封水を注水しながら主軸５を駆動して羽根車６をケーシング３内で回転させると、羽根６ｂによりロータ室の封水に遠心力が付与されて、封水がロータ室内に環状に滞留し、図２（ｃ）に示すように、ロータ室内には封水Ｌの環状の水面ＬＦに囲まれた環状空間Ｓが形成される。
【００３８】
この環状空間Ｓは羽根車６の隣接する羽根によって区画された複数の区分空間Ｓ１〜Ｓ２０に仕切られ、羽根車６の回転に伴って移動する区分空間Ｓ１〜Ｓ２０は上死点Ｕから下死点Ｄに向かうときに縮小し、下死点Ｄから上死点Ｕに向かうときに拡大する。
【００３９】
従って、区分空間Ｓ１〜Ｓ２０の拡大時に吸込み管１６から吸引された対象ガスが吸入ポート２０から吸気され、縮小時に圧縮されたガスが吐出しポート２１，２２から吐出し管１７に排気される。
【００４０】
吸込み管１６及び吐出し管１７の夫々は、管軸心が略水平姿勢となるように、且つ、羽根車６の軸心と略等しい高さとなる位置でケーシングカバーに接続され、吸込み室２４及び吐出し室２５を形成するケーシングカバー４の下部には、吸入ポート２０及び吐出しポート２１，２２から漏出した余剰封水をポンプの外部に排水するドレン口１８ａ，１８ｂが形成されている。
【００４１】
従って、羽根車６の軸心よりやや下方に形成された主吐出しポート２１から吐き出されたガスが、逆止弁で狭くなった吐出し室２５の複雑且つ狭い流路を、水に抗して移動することなく、羽根車６の軸心と平行且つ略等しい高さで接続された吐出し管１７に円滑に流出するようになり、圧力損失を低減して、ポンプ効率を向上させることができる。尚、吐出し管１７の接続位置の上端と下端が、主吐出しポート２１と少なくとも１つの補助吐出しポート２２の一部にまたがる高さに配置されていれば、前記効果が得られる。そして、接続位置を、それよりも下方にすると、封水が流出するため、ポンプ起動時に水環が形成される迄の時間が長くなり好ましくない。
【００４２】
また、主吐出しポート２１の羽根車６の回転方向に沿って上流側に補助吐出しポート２２が配置され、主吐出しポート２１の補助吐出しポート２２側の開口端と、前記開口端に最も近接する補助吐出しポート２２の主吐出しポート２１側の開口端の中点と羽根車６の回転中心とを結ぶ線が羽根車６の中心を通る水平線に対して±１５°の範囲となるように配置されるとともに、吐出し室２５に対する吐出し管１７の接続位置の中心が羽根車６の中心を通る水平線に対して±１５°の範囲に設定されていることが、ポンプの効率の点で好ましい。さらには両角度が±７．５°の範囲に設定されていることがより好ましい。このような場合に、主吐出しポート２１の補助吐出しポート２２に近接する側から吐き出されるガスが最も効率的に吐出し管１７へと導かれるため、ポンプ効率が良くなる。
【００４３】
さらに、吐出しポート２１から排出された余剰封水が、吐出し室２５に備えたドレン口１８ａ，１８ｂから速やかにポンプ外部に排水されるため、ガスと余剰封水が入り乱れることなく分離され、吐出し室２５から吐出し管１７に到る経路が余剰封水によって狭くなり圧力損失が増加するような事態を未然に防止することができるようになる。
【００４４】
尚、本体ケーシング３の中央下部には、メンテナンスのために封水を外部に排水するためのドレン口１２を備えている。当該ドレン口１２は、運転中は水環に影響を及ぼさぬよう締め切られ、メンテナンス等の場合は、封水をケーシング３から排水するために解放されるように構成されている。
【００４５】
このような液封式真空ポンプの羽根車は、大型のものではＦＣＤ４５０のようなダクタイル鋳鉄、小型のものではＣＡＣ４０２のような青銅鋳物で鋳造される。
【００４６】
上述の液封式真空ポンプでは、図３（ａ）に示すように、一対のケーシングカバーの夫々に形成された各吐出し管１７に接続される吐出し管６０の夫々を気水分離部に連通することにより、圧力損失を低減して一層のポンプ効率の向上を図ることができる。
【００４７】
また、図３（ｂ）に示すように、各吐出し管１７に接続される吐出し管６１を整流板６２を介して合流管６３に接続し、当該合流管６３を介して気水分離部に連通することによっても、同様の効果を得ることができる。
【００４８】
以下、別実施形態を説明する。
【００４９】
上述の実施形態では、主軸５の軸心Ｐが本体ケーシング３の軸心Ｐ´に対して下方に偏心するように、ケーシングカバー４（４ａ，４ｂ）に支持される構成を説明したが、主軸５の軸心Ｐが本体ケーシング３の軸心Ｐ´に対して上方に偏心するように、ケーシングカバー４（４ａ，４ｂ）に支持される構成であっても本発明が適用可能である。一般に吸込み管及び吐出し管の径が２００ｍｍ未満の小型の液封式真空ポンプでは後者が採用され、吸込み管及び吐出し管の径が２００ｍｍ以上の大型の液封式真空ポンプでは前者が採用される。
【００５０】
図４（ａ），（ｂ）に示すように、同一の主軸５０に対し羽根車３１（３１ａ，３１ｂ）を軸支し、羽根車３１（３１ａ，３１ｂ）の対向位置に一対のポートプレート３２（３２ａ，３２ｂ）を備え、ポートプレート３２（３２ａ，３２ｂ）間に形成される空間が、吸込み室３４及び吐出し室３５に区画された液封式真空ポンプ１００にも本発明を適用することができる。
【００５１】
この場合、吸込み管３６及び吐出し管３７は、吸込み室３４及び吐出し室３５に対応する本体ケーシング３０の位置であって、羽根車６の軸心と略等しい高さとなる位置に、夫々の管軸心が略水平姿勢となるように接続される。同様に、ドレン口３８が吸込み室及び吐出し室に対応する本体ケーシング３０の下部に形成される。
【００５２】
上述した実施形態では、補助吐出しポート２２には逆止弁としてボールチェッキ構造を採用するものを説明したが、スイング逆止弁、リフト逆止弁等の他の構造の逆止弁を採用することも可能である。
【００５３】
上述した各種の実施形態は、本発明の一実施例であり、本発明による作用効果を奏する範囲で各部の具体的構成や寸法等は適宜変更設計できるものである。
【実施例】
【００５４】
以下、本発明の実施例を説明する。
【００５５】
図１０に示すように、吸込み管５６及び吐出し管５７が、夫々の中心位置が羽根車の軸心Ｐ´´より高く形成された標準形状の液封式真空ポンプ２００（比較例１）と、吸込み管１６及び吐出し管１７が、夫々の中心位置が羽根車６の軸心Ｐと略等しい高さの液封式真空ポンプ１（実験例１）の夫々に対して風量、軸動力、効率の評価実験を行い、実験結果の特性グラフを図５（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す。
【００５６】
特性グラフから、風量は、真空度が約−２０ｋＰａから約−５５ｋＰａの領域では実験例１は比較例１と比べ少ないが、真空度が約−５５ｋＰａから約−７０ｋＰａの領域では実験例１が比較例１と比べ多くなり、軸動力は実験例１の方が比較例１に比べ軽減されるとともに効率が上昇し、最高効率が上昇することが確認された。
【００５７】
次に、吸込み管５６及び吐出し管５７が、夫々の中心位置が羽根車の軸心Ｐ´´より高く形成された標準形状の液封式真空ポンプ２００（比較例２，３，４）と、吸込み管１６及び吐出し管１７が、夫々の中心位置が羽根車６の軸心Ｐと略等しい高さの液封式真空ポンプ１（実験例２，３，４）の夫々に対して起動時から所定の真空度までの時間、トルク、電力値の評価実験を行なった。
【００５８】
ケーシングに注入する封水の量を比較例２，実験例２ともに１４０Ｌ／分とし、所定の真空度を比較例２は−７３ｋＰａ、実験例２は−７０ｋＰａとした実験結果の特性グラフを図６（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す。
【００５９】
特性グラフから、実験例２の方が比較例２と比べポンプの起動から所定の真空度までの時間が短く、トルクが小さく、起動電流も小さい。即ち、ポンプの効率が上昇していることが確認された。
【００６０】
ケーシングに注入する封水の量を比較例３，実験例３ともに１４０Ｌ／分とし、所定の真空度を比較例３は−８８ｋＰａ、実験例３は−８６ｋＰａとした実験によると、実験例３の方が比較例３と比べポンプの起動から所定の真空度までの時間が短く、トルクが小さく、起動電流も小さい。即ち、ポンプの効率が上昇していることが確認された。
【００６１】
ケーシングに注入する封水の量を比較例４，実験例４ともに２２０Ｌ／分とし、所定の真空度を比較例４、実験例４はともに−８７ｋＰａとした実験結果の特性グラフを図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す。
【００６２】
特性グラフから、実験例４の方が比較例４と比べポンプの起動から所定の真空度までの時間が短く、トルクが小さく、起動電流も小さい。即ち、ポンプの効率が上昇していることが確認された。
【００６３】
次に、吸込み管１６及び吐出し管１７が、夫々の中心位置が羽根車６の軸心Ｐと略等しい高さの液封式真空ポンプ１の運転中に吐出しポートから排出された封水をドレン口１８から排水した場合（実験例５）と、排水しない場合（比較例５）の風量、軸動力、効率の評価実験を行い、実験結果に対する特性グラフを図８（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す。
【００６４】
特性グラフから、ドレン口１８から排水した場合（実験例５）の方が、排水しない場合（比較例５）と比べ、真空度が−２３ｋＰａから約−５０ｋＰａの領域では風量は少ないが、約−６０ｋＰａから約−７２ｋＰａの領域では増え、特に真空度が約−２３ｋＰａから−６０ｋＰａの領域で軸動力が軽減されることが確認された。このとき、効率が上昇することが確認され、最高効率も上昇することが確認された。
【００６５】
図３（ａ），（ｂ）に示すように、液封式真空ポンプ１の各吐出し管１７に直管状の吐出し管６０を接続した場合（実験例６）と、液封式真空ポンプ１の各吐出し管１７にエルボ状の吐出し管６１を接続し、前記吐出し管６１を整流板６２を介して合流管６３を接続した場合（比較例６）の、風量、軸動力、効率の評価実験を行い、実験結果の特性グラフを図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す。
【００６６】
特性グラフから、実験例６の方が比較例６と比べ風量が増え、軸動力は真空度が約−２６ｋＰａから約−６５ｋＰａの領域で軽減されることが確認された。このとき、効率は上昇することが確認され、最高効率も上昇することが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】（ａ）は本発明による液封式真空ポンプの正断面図、（ｂ）は平断面図
【図２】（ａ）は本発明による液封式真空ポンプの側面図、（ｂ）はポートプレートの説明図、（ｃ）は羽根車の回転時のロータ室の説明図
【図３】（ａ）は本発明による液封式真空ポンプの吐出し管の接続図、（ｂ）は本発明による液封式真空ポンプの吐出し管の接続図
【図４】別実施形態を示し、（ａ）は本発明による液封式真空ポンプの正断面図、（ｂ）は平断面図
【図５】本発明による液封式真空ポンプの評価実験で得られた特性図であり、（ａ）は真空度と風量の関係を示す特性図、（ｂ）は真空度と軸動力の関係を示す特性図、（ｃ）は真空度とポンプ効率の関係を示す特性図
【図６】本発明による液封式真空ポンプの評価実験で得られた特性図であり、（ａ）は時間と真空度の関係を示す特性図、（ｂ）は時間とトルクの関係を示す特性図、（ｃ）は時間と電流値の関係を示す特性図
【図７】本発明による液封式真空ポンプの評価実験で得られた特性図であり、（ａ）は時間と真空度の関係を示す特性図、（ｂ）は時間とトルクの関係を示す特性図、（ｃ）は時間と電流値の関係を示す特性図
【図８】本発明による液封式真空ポンプの評価実験で得られた特性図であり、（ａ）は真空度と風量の関係を示す特性図、（ｂ）は真空度と軸動力の関係を示す特性図、（ｃ）は真空度とポンプ効率の関係を示す特性図
【図９】本発明による液封式真空ポンプの評価実験で得られた特性図であり、（ａ）は真空度と風量の関係を示す特性図、（ｂ）は真空度と軸動力の関係を示す特性図、（ｃ）は真空度とポンプ効率の関係を示す特性図
【図１０】従来の液封式真空ポンプの側面図
【符号の説明】
【００６８】
１：液封式真空ポンプ
２：脚部
３：本体ケーシング
３ａ：内壁部
３ｂ：中間壁
４，４ａ，４ｂ：ケーシングカバー
５：主軸
６：羽根車
６ａ：胴部
６ｂ：羽根
６ｃ：中央壁
７，７ａ，７ｂ：軸受け
８：貫通孔
９：主軸スリーブ
１０：シール材
１１：給水管
１２：ドレン口
１５，１５ａ，１５ｂ：ポートプレート
１６：吸込み管
１７：吐出し管
１８：ドレン口
２０：吸入みポート
２１：吐出しポート
２２：吐出しポート
２３：給水ポート
２４：吸込み室
２５：吐出し室
３１，３１ａ，３１ｂ：羽根車
３２，３２ａ，３２ｂ：ポートプレート
３４：吸込み室
３５：吐出し室
３６：吸込み管
３７：吐出し管
５０：主軸
５６：吸込み管
５７：吐出し管
１００：液封式真空ポンプ
２００：液封式真空ポンプ
Ｌ：封水
ＬＦ：環状の水面
Ｓ：環状空間
Ｓ１〜Ｓ２０：区分空間
Ｕ：上死点
Ｄ：下死点
Ｐ：軸心
Ｐ´：軸心
Ｐ´´：軸心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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