(57)【要約】【課題】ほぼ同じ酸化皮膜を有するほぼ同じサイズのアルミニウムまたはその合金部材を溶解処理する際に、処理液単位量当たりの有効処理面積が大幅に向上したアルミニウム又はアルミニウム合金溶解除去処理方法および処理液を提供する。【解決手段】酸化皮膜を有するアルミニウム又はアルミニウム合金部材の、アルミニウム又はアルミニウム合金部のみを除去する方法であって、少なくとも、（１）アルミニウムよりもイオン化傾向の低い元素単体、または該元素を有する化合物、および（２）上記（１）の化合物と酸化化合物を形成しうる酸、を含む処理液を用いて、アルミニウム又はアルミニウム合金部のみを除去することを特徴とする、処理方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化皮膜を有するアルミニウム又はアルミニウム合金部材の、アルミニウム又はアルミニウム合金部のみを除去する方法であって、少なくとも、
（１）アルミニウムよりもイオン化傾向の低い元素単体、または該元素を有する化合物、および
（２）上記（１）の化合物と酸化化合物を形成しうる酸、
を含む処理液を用いて、アルミニウム又はアルミニウム合金部のみを除去することを特徴とする、処理方法。
【請求項２】
上記（１）の元素が、銅、水銀、銀、パラジウム、白金および金から選択される少なくとも一つの元素であり、上記（２）の酸が硝酸である、請求項１に記載の処理方法。
【請求項３】
上記処理液において、さらに、
（３）アルミニウムを腐食する作用を有する元素単体、及び該元素を有する化合物、
を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の処理方法。
【請求項４】
上記（３）の化合物が塩酸又は塩化化合物である、請求項１〜３のいずれかに記載の処理方法。
【請求項５】
上記請求項１〜４のいずれかに記載の処理に使用する処理液。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化皮膜を有するアルミニウム又はアルミニウム合金部材からアルミニウムを除去する処理方法、及びその処理液に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属および半導体の薄膜、細線、ドット等の技術領域では、ある特徴的な長さより小さいサイズにおいて自由電子の動きが閉じ込められることにより、電気的、光学的および化学的に特異な現象が見られることが知られている。このような現象は「量子力学的サイズ効果（量子サイズ効果）」と呼ばれている。このような特異な現象を応用した機能性材料の研究開発が、現在、盛んに行なわれている。具体的には、数百ｎｍより微細な構造を有する材料が、「微細構造体」または「ナノ構造体」と称されており、材料開発の対象の一つとされている。
【０００３】
こうした微細構造体の作製方法としては、例えば、フォトリソグラフィ、電子線露光、Ｘ線露光等の微細パターン形成技術を初めとする半導体加工技術によって直接的にナノ構造体を作製する方法が挙げられる。
【０００４】
中でも、アルミニウムの陽極酸化皮膜を用いた微細構造を有するナノ構造体を作製する方法についての研究が注目され、多く行われている。
例えば、自己規制的に規則的な構造が形成される方法として、電解液中でアルミニウムに陽極酸化処理を施して得られる酸化アルミニウム膜（陽極酸化皮膜）が挙げられる。陽極酸化皮膜には、数ｎｍ程度から数百ｎｍ程度の直径を有する複数の微細孔（マイクロポア）が規則的に形成されることが知られている。この陽極酸化皮膜の自己規則化を用い、完全に規則的な配列を得ると、理論的には、マイクロポアを中心に底面が正六角形である六角柱のセルが形成され、隣接するマイクロポアを結ぶ線が正三角形を成すことが知られている。
例えば、非特許文献１には、マイクロポアのポア径のばらつきが３％以下である陽極酸化皮膜が記載されている。また、非特許文献２には、陽極酸化皮膜には、酸化の進行に伴って、細孔が自然形成されることが記載されている。また、非特許文献３では、多孔質酸化皮膜をマスクとしてＳｉ基板上にＡｕドットアレイを形成することも提案されている。
【０００５】
アルミニウム陽極酸化皮膜の材料としての最大の特徴は、複数のマイクロポアが、基板表面に対してほぼ垂直方向に、ほぼ等間隔に平行に形成されたハニカム構造を採る点にあるとされている。これに加え、ポア径、ポア間隔およびポア深さを比較的自由に制御することができる点もほかの材料にない特徴であるとされている（非特許文献３参照。）。
【０００６】
陽極酸化皮膜の応用例としては、ナノデバイス、精密フィルターデバイス、磁気デバイス、発光体等の種々のデバイス類が知られている。
【０００７】
このような陽極酸化皮膜デバイスは、用途においては高温耐久性、耐酸／アルカリ性、等の性能が求められる分野が多いが、一方でアルミニウムを残したままでのデバイスでは、アルミニウム特有の熱変形、或いは酸／アルカリによる腐食性によるデバイス自体の変質が進み、例えば、非特許文献４等に記載の方法で、化学的溶解処理によりアルミニウムを溶解除去し、陽極酸化皮膜のみのデバイスとした状態での利用が盛んである。しかしながら、このような化学処理によるアルミニウム除去は、処理疲労による液物性の変動が大きく、処理液単位量当たりの有効処理面積が十分ではなく、改良が望まれている。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−３１４６２号公報
【非特許文献１】Ｈ．Ｍａｓｕｄａ  ｅｔ．Ａｌ．，Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，Ｖｏｌ．３７（１９９８），ｐｐ．Ｌ１３４０−１３４２，Ｐａｒｔ２，Ｎｏ．１１Ａ，１  Ｎｏｖｅｍｂｅｒ  １９９８（Ｆｉｇ．２．）
【非特許文献２】「表面技術便覧」、（社）表面技術協会編（１９９８）、日刊工業新聞社、ｐ．４９０−５５３
【非特許文献３】益田秀樹，「陽極酸化アルミナにもとづく高規則性メタルナノホールアレー」，固体物理，１９９６年，第３１巻，第５号，ｐ．４９３−４９９
【非特許文献４】アルミニウム研究会誌  Ｎｏ．４，東北大学  板谷
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
したがって、本発明は、処理液単位量当たりの有効処理面積に優れたアルミニウム溶解除去処理方法、及び処理液を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、処理液中に、アルミニウムよりもイオン化傾向の高い元素を有する化合物、及び、該化合物と酸化化合物を形成しうる酸、を処理液中に含有させることで、処理液単位量当たりの有効処理面積が大幅に向上することを見出し、更に、アルミニウムを腐食する効果のある化合物を追加することで、その処理速度が高まる効果を見出し、本発明を完成させた。
【００１１】
即ち、本発明は、以下の（ｉ）〜（ｉｖ）を提供する。
（ｉ）酸化皮膜を有するアルミニウム又はアルミニウム合金部材の、アルミニウム又はアルミニウム合金部のみを除去する方法であって、少なくとも、
（１）アルミニウムよりもイオン化傾向の低い元素単体、または該元素を有する化合物、および
（２）上記（１）の化合物と酸化化合物を形成しうる酸、
を含む処理液を用いて、アルミニウム又はアルミニウム合金部のみを除去することを特徴とする、処理方法。
（ｉｉ）上記（１）の元素が、銅、水銀、銀、パラジウム、白金および金から選択される少なくとも一つの元素であり、上記（２）の酸が硝酸である、上記（ｉ）に記載の処理方法。
（ｉｉｉ）上記処理液において、さらに、
（３）アルミニウムを腐食する作用を有する元素単体、及び該元素を有する化合物、
を含むことを特徴とする、上記（ｉ）または（ｉｉ）に記載の処理方法。
（ｉｖ）上記（３）の化合物が塩酸又は塩化化合物である、上記（ｉ）〜（ｉｉｉ）のいずれかに記載の処理方法。
（ｖ）前記酸化皮膜を有するアルミニウム又はアルミニウム合金部材が、アルミニウム板表面を陽極酸化処理して得られる上記（ｉ）〜（ｉｖ）のいずれかに記載の処理方法。
（ｖｉ）上記（ｉ）〜（ｖ）のいずれかに記載の処理に使用する処理液。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、処理液量当たりのアルミニウムの溶解処理量（溶解重量）が高く、ほぼ同じ酸化皮膜を有するほぼ同じサイズのアルミニウムまたはその合金部材を溶解処理する際に、処理液単位量当たりの有効処理面積が大幅に向上する、アルミニウム又はアルミニウム合金溶解除去処理液を、得ることができ、特に酸化皮膜を有するアルミニウム部材のアルミニウム部のみを溶解する用途に有用である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明を詳細に説明する。
【００１４】
本発明に関わるアルミニウム溶解除去処理液は、少なくとも、
（１）アルミニウムよりもイオン化傾向の低い元素単体、及び該元素を有する化合物、
（２）上記（１）の化合物と酸化化合物を形成しうる酸、を有する。
【００１５】
＜（１）アルミニウムよりもイオン化傾向の低い元素単体及び該元素を有する化合物＞
上記（１）の具体的な元素としては、マンガン、亜鉛、クロム、鉄、カドミウム、コバルト、ニッケル、スズ、鉛、水素、アンチモン、ビスマス、銅、水銀、銀、パラジウム、白金、金、等が挙げられる。アルミニウムの溶解は、これらの元素とのイオン化傾向の差により、アルミニウムのイオン化、上記元素の析出化が進むことで溶解するため、アルミニウムとのイオン化傾向の差が大きい方が好ましく、銅、水銀、銀、パラジウム、白金、金が好ましく、安全性、価格の観点から、銅が特に好ましい。
【００１６】
上述した元素の化合物としては、特に限定されないが、処理前の水溶液中にイオンとして存在しやすい観点から、ハロゲン化物、酸化物、水酸化物、等が好ましい。
【００１７】
これらの、アルミニウムよりもイオン化傾向の低い元素単体及び該元素を有する化合物の好ましい添加濃度としては、０．０１〜５０質量％が好ましく、０．０５〜４０質量％がより好ましく、０．１〜３０質量％が特に好ましい。これらの範囲を下回ると、アルミニウムの溶解性が劣り、これらの範囲を上回ると、酸化皮膜を溶解する作用が働き、それぞれ好ましくない。
【００１８】
＜（２）上記（１）の化合物と酸化化合物を形成しうる酸＞
上記（２）の酸の例としては、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、ヒ酸等の無機酸、及び、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、酢酸、酪酸、蟻酸、安息香酸、マレイン酸等のカルボン酸を含む有機酸のいずれを用いることができるが、（１）の特に好ましい元素である銅を考えると、硝酸、硫酸が特に好ましい。
【００１９】
これらの、上記（１）の化合物と酸化化合物を形成しうる酸の好ましい添加濃度としては、０．０１〜３０質量％が好ましく、０．０５〜２５質量％がより好ましく、０．１〜２０質量％が特に好ましい。これらの範囲を下回ると、アルミニウムの溶解性が劣り、これらの範囲を上回ると、酸化皮膜を溶解する作用が働き、それぞれ好ましくない。
【００２０】
＜その他の添加剤＞
本発明に関しては、上述した（１）（２）の化合物以外にも種々の材料を処理液に含有させることができる。
例えば、本発明の主目的であるアルミニウム部材のみを更に溶解させるため、アルミニウムを腐食する化合物を添加することが好ましく、塩化物を添加することが好ましい。更に具体的には、塩酸、塩化ナトリウム、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、塩化カリウム、が好ましく、塩酸、塩化ナトリウムが特に好ましい。
添加量としては、１〜３０質量％が好ましく、５〜２０質量％が更に好ましい。これらの範囲を下回ると、アルミニウムの溶解性が劣り、これらの範囲を上回ると、酸化皮膜を溶解する作用が働き、それぞれ好ましくない。
また、塩化物は、溶解させたくない酸化皮膜の溶解を抑制させうる効果もあると推測され、この観点からも好ましい。
【００２１】
上述した化合物を添加した処理液温度は、０〜６０℃が好ましく、５℃〜５０℃がより好ましく、１０〜４０℃が特に好ましい。これらの範囲を下回ると、アルミニウムの溶解性が劣り、これらの範囲を上回ると、酸化皮膜を溶解する作用が働き、それぞれ好ましくない。
【００２２】
アルミニウム除去処理は、上述した処理液に接触させることにより行う。接触させる方法は、特に限定されず、例えば、浸せき法、スプレー法が挙げられる。中でも、浸せき法が好ましい。このときの接触時間としては、１０秒〜５時間が好ましく、１分〜３時間がより好ましい。
【００２３】
浸せき法は、酸化皮膜を有するアルミニウム部材を上述したアルミニウム溶解除去液に浸せきさせる処理である。浸せき処理の際にかくはんを行うと、ムラのない処理が行われるため、好ましい。
【００２４】
＜溶解させうるアルミニウム部材＞
アルミニウム部材は、特に限定されず、例えば、純アルミニウム板；アルミニウムを主成分とし微量の異元素を含む合金板；低純度のアルミニウム（例えば、リサイクル材料）に高純度アルミニウムを蒸着させた基板；シリコンウエハー、石英、ガラス等の表面に蒸着、スパッタ等の方法により高純度アルミニウムを被覆させた基板；アルミニウムをラミネートした樹脂基板が挙げられる。
【００２５】
また、本発明においては、アルミニウム基板の厚みは、０．０５ｍｍ〜１ｍｍであるのが好ましく、０．１ｍｍ〜０．８ｍｍであるのがより好ましく、０．２〜０．５ｍｍであるのが更に好ましい。
アルミニウム基板の厚みが上記範囲であると、本発明の処理方法で、実質的に酸化皮膜を溶解することなくアルミニウム又はアルミニウム合金部を除去することが容易にできる。アルミニウム基板の厚みが上記範囲であると、発明の処理方法により得られるアルミニウム又はアルミニウム合金部を除去された酸化皮膜を有する部材が、ナノデバイス、精密フィルターデバイス、磁気デバイス、発光体等の種々のデバイス類の用途に用いることができる。
【００２６】
アルミニウム基板の表面は、あらかじめ脱脂処理および鏡面仕上げ処理を施されるのが好ましい。
【００２７】
＜脱脂処理＞
脱脂処理は、酸、アルカリ、有機溶剤等を用いて、アルミニウム表面に付着した、ほこり、脂、樹脂等の有機成分等を溶解させて除去し、有機成分を原因とする後述の各処理における欠陥の発生を防止することを目的として行われる。
脱脂処理には、従来公知の脱脂剤を用いることができる。具体的には、例えば、市販されている各種脱脂剤を所定の方法で用いることにより行うことができる。
【００２８】
中でも、以下の各方法が好適に例示される。
アルコール（例えば、メタノール）、ケトン、ベンジン、揮発油等の有機溶剤を常温でアルミニウム表面に接触させる方法（有機溶剤法）；石けん、中性洗剤等の界面活性剤を含有する液を常温から８０℃までの温度でアルミニウム表面に接触させ、その後、水洗する方法（界面活性剤法）；濃度１０〜２００ｇ／Ｌの硫酸水溶液を常温から７０℃までの温度でアルミニウム表面に３０〜８０秒間接触させ、その後、水洗する方法；濃度５〜２０ｇ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液を常温でアルミニウム表面に３０秒間程度接触させつつ、アルミニウム表面を陰極にして電流密度１〜１０Ａ／ｄｍ2の直流電流を流して電解し、その後、濃度１００〜５００ｇ／Ｌの硝酸水溶液を接触させて中和する方法；各種公知の陽極酸化処理用電解液を常温でアルミニウム表面に接触させつつ、アルミニウム表面を陰極にして電流密度１〜１０Ａ／ｄｍ2の直流電流を流して、または、交流電流を流して電解する方法；濃度１０〜２００ｇ／Ｌのアルカリ水溶液を４０〜５０℃でアルミニウム表面に１５〜６０秒間接触させ、その後、濃度１００〜５００ｇ／Ｌの硝酸水溶液を接触させて中和する方法；軽油、灯油等に界面活性剤、水等を混合させた乳化液を常温から５０℃までの温度でアルミニウム表面に接触させ、その後、水洗する方法（乳化脱脂法）；炭酸ナトリウム、リン酸塩類、界面活性剤等の混合液を常温から５０℃までの温度でアルミニウム表面に３０〜１８０秒間接触させ、その後、水洗する方法（リン酸塩法）等がある。
【００２９】
脱脂処理は、アルミニウム表面の脂分を除去しうる一方で、アルミニウムの溶解がほとんど起こらない方法が好ましい。この点で、有機溶剤法、界面活性剤法、乳化脱脂法、リン酸塩法が好ましい。
【００３０】
＜鏡面仕上げ処理＞
鏡面仕上げ処理は、アルミニウム基板の表面の凹凸をなくして、電着法等による粒子形成処理の均一性や再現性を向上させるために行われる。アルミニウム基板の表面の凹凸としては、例えば、アルミニウム基板が圧延を経て製造されたものである場合における、圧延時に発生した圧延筋が挙げられる。
本発明において、鏡面仕上げ処理は、特に限定されず、従来公知の方法を用いることができる。例えば、機械研磨、化学研磨、電解研磨が挙げられる。
【００３１】
機械研磨としては、例えば、各種市販の研磨布で研磨する方法、市販の各種研磨剤（例えば、ダイヤ、アルミナ）とバフとを組み合わせた方法が挙げられる。具体的には、研磨剤を用いる方法を、用いる研磨剤を粗い粒子から細かい粒子へと経時的に変更して行う方法が好適に例示される。この場合、最終的に用いる研磨剤としては、＃１５００のものが好ましい。これにより、光沢度を５０％以上（圧延アルミニウムである場合、その圧延方向および幅方向ともに５０％以上）とすることができる。
【００３２】
化学研磨としては、例えば、「アルミニウムハンドブック」，第６版，（社）日本アルミニウム協会編，２００１年，ｐ．１６４−１６５に記載されている各種の方法が挙げられる。
また、リン酸−硝酸法、Ａｌｕｐｏｌ  Ｉ法、Ａｌｕｐｏｌ  Ｖ法、Ａｌｃｏａ  Ｒ５法、Ｈ3ＰＯ4−ＣＨ3ＣＯＯＨ−Ｃｕ法、Ｈ3ＰＯ4−ＨＮＯ3−ＣＨ3ＣＯＯＨ法が好適に挙げられる。中でも、リン酸−硝酸法、Ｈ3ＰＯ4−ＣＨ3ＣＯＯＨ−Ｃｕ法、Ｈ3ＰＯ4−ＨＮＯ3−ＣＨ3ＣＯＯＨ法が好ましい。
化学研磨により、光沢度を７０％以上（圧延アルミニウムである場合、その圧延方向および幅方向ともに７０％以上）とすることができる。
【００３３】
電解研磨としては、例えば、「アルミニウムハンドブック」，第６版，（社）日本アルミニウム協会編，２００１年，ｐ．１６４−１６５に記載されている各種の方法が挙げられる。
また、米国特許第２７０８６５５号明細書に記載されている方法が好適に挙げられる。
また、「実務表面技術」，ｖｏｌ．３３，Ｎｏ．３，１９８６年，ｐ．３２−３８に記載されている方法も好適に挙げられる。
電解研磨により、光沢度を７０％以上（圧延アルミニウムである場合、その圧延方向および幅方向ともに７０％以上）とすることができる。
【００３４】
これらの方法は、適宜組み合わせて用いることができる。例えば、研磨剤を用いる方法を、用いる研磨剤を粗い粒子から細かい粒子へと経時的に変更して行い、その後、電解研磨を施す方法が好適に挙げられる。
【００３５】
鏡面仕上げ処理により、例えば、平均表面粗さＲaが０．１μｍ以下、光沢度５０％以上の表面を得ることができる。平均表面粗さＲaは、０．０３μｍ以下であるのが好ましく、０．０２μｍ以下であるのがより好ましい。また、光沢度は７０％以上であるのが好ましく、８０％以上であるのがより好ましい。
なお、光沢度は、圧延方向に垂直な方向において、ＪＩＳ  Ｚ８７４１−１９９７の「方法３  ６０度鏡面光沢」の規定に準じて求められる正反射率である。具体的には、変角光沢度計（例えば、ＶＧ−１Ｄ、日本電色工業社製）を用いて、正反射率７０％以下の場合には入反射角度６０度で、正反射率７０％を超える場合には入反射角度２０度で、測定する。
【００３６】
＜陽極酸化による酸化皮膜形成処理＞
【００３７】
アルミニウムまたはアルミニウム合金部材の酸化皮膜を陽極酸化処理で形成する場合の陽極酸化処理は、例えば、酸濃度０．０１〜５ｍｏｌ／Ｌの溶液中で、アルミニウム基板を陽極として通電する方法を用いることができる。陽極酸化処理に用いられる溶液としては、酸溶液であることが好ましく、硫酸、リン酸、クロム酸、シュウ酸、スルファミン酸、ベンゼンスルホン酸、アミドスルホン酸等がより好ましく、中でも硫酸、リン酸、シュウ酸が特に好ましい。これらの酸は単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３８】
陽極酸化処理の条件は、使用される電解液によって種々変化するので一概に決定され得ないが、一般的には電解液濃度０．０１〜５ｍｏｌ／Ｌ、液温−１０〜３０℃、電流密度０．０１〜２０Ａ／ｄｍ2、電圧３〜３００Ｖ、電解時間０．５〜３０時間であるのが好ましく、電解液濃度０．０５〜３ｍｏｌ／Ｌ、液温−５〜２５℃、電流密度０．０５〜１５Ａ／ｄｍ2、電圧５〜２５０Ｖ、電解時間１〜２５時間であるのがより好ましく、電解液濃度０．１〜１ｍｏｌ／Ｌ、液温０〜２０℃、電流密度０．１〜１０Ａ／ｄｍ2、電圧１０〜２００Ｖ、電解時間２〜２０時間であるのが更に好ましい。
【００３９】
陽極酸化皮膜の膜厚は、１〜２０００μｍであるのが好ましく、１０〜１５００μｍであるのがより好ましく、１００〜１０００μｍであるのが更に好ましい。
マイクロポアのポア径は０．０１〜０．５μｍであるのが好ましい。
平均ポア密度は５０〜１５００個／μｍ2であるのが好ましい。
【００４０】
マイクロポアの占める面積率は、２０〜５０％であるのが好ましい。なお、マイクロポアの占める面積率は、アルミニウム表面の面積に対するマイクロポアの開口部の面積の合計の割合で定義される。
【００４１】
酸化皮膜を有するアルミニウム又はアルミニウム合金部材は、ＢＥＴ法で測定した拡面率が１．２以上となる基板であっても良く、１．２〜１２０となる基板であるのがより好ましく、１．５〜５５となる基板であるのが更に好ましい。
一般に表面積の大きい部材は、処理液に浸漬処理した場合に処理液との接触面積が大きくなるので、より溶解しやすくなる。しかし拡面率が上記範囲であっても本発明の方法を用いれば酸化皮膜を残してアルミニウムまたはアルミニウム合金のみを溶解除去することが可能である。このためアルミニウム等を溶解除去した後に得られる酸化皮膜を機能材料として更に高機能化が可能な微細構造体として提供することができる。
ここで、拡面率は、単位が無次元であり、鏡面板に対する陽極酸化の程度を表す指標である。同じ幾何学的面積のサンプルサイズで計測する場合、拡面率は、陽極酸化処理を施した後のアルミニウム基板と陽極酸化処理を施していない平滑なアルミニウム基板のＢＥＴ法による表面積（ＢＥＴ表面積［ｍ2］）の比（処理後基板／平滑基板）である。また、サンプルサイズが異なる場合には、サンプルサイズに対応した幾何学的面積の補正を行う。つまり、拡面率は、陽極酸化処理を施した後のアルミニウム基板と陽極酸化処理を施していない平滑なアルミニウム基板のＢＥＴ表面積を幾何学的面積で除した値の比（処理後基板／平滑基板）となる。ここで、幾何学的面積は、２次元的な平面であると仮定した面積をノギス等で計測した大きさより算出される面積である。
また、陽極酸化処理を施していない平滑なアルミニウム基板とは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４に規定された表面粗さＲaが０．２μｍ以下のアルミニウム基板を示す。
【００４２】
ＢＥＴ法は、試料表面に吸着占有面積の知られている物質を液体窒素の温度で吸着させ，その量から試料の表面積を求める方法である。本発明においては、ＢＥＴ法は、常法により行うことができる。例えば、触媒学会編，「触媒実験ハンドブック」，講談社，１９８９年，ｐ．１６７−１６８の記載を参照して行うことができる。ＢＥＴ法に用いられる測定器は、特に限定されず、例えば、市販の測定器が挙げられる。具体的には、例えば、島津製作所社製のフローソーブ、カンタクローム社製のオートソーブが挙げられる。
吸着質としては、窒素、クリプトン、ベンゼン、トルエン等の有機化合物が用いられる。中でも、窒素、窒素とヘリウムとの混合ガスが一般的に用いられる。また、表面積が比較的低い場合にはクリプトンガスが使用される。
ＢＥＴ法により表面積［ｍ2］を測定するアルミニウム板には、前処理が施されることが好ましい。前処理の条件は、２００〜５００℃、１〜４時間の真空中で加熱することが好ましい。真空保管後、不活性流通ガス中で加熱する方法も好ましく用いられる。
ＢＥＴ法での吸着時間は、ＢＥＴ表面積やサンプル量によって異なるが、例えば、２５ｍｍ×２０ｍｍの大きさでは、概ね３０分〜１５時間の範囲である。また、脱着時間は概ね５〜１０分程度で行なわれる。
【００４３】
アルミニウム溶解除去処理後の陽極酸化皮膜の膜厚は、１〜１０００μｍであるのが好ましく、１０〜５００μｍであるのが更に好ましい。
【実施例】
【００４４】
以下に実施例を示して本発明を具体的に説明する。ただし、本発明はこれらに限定されない。
【００４５】
[実施例１〜５、比較例１]
１．陽極酸化による酸化皮膜形成処理
高純度アルミニウム基板（住友軽金属社製、純度９９．９９質量％、厚さ０．４ｍｍ）を、１０ｃｍ四方の面積で陽極酸化処理できるようカットし、、０．３０ｍｏｌ／Ｌ硫酸の電解液で、電圧２５Ｖ、液温度１５℃、液流速３．０ｍ／ｍｉｎの条件で１０時間陽極酸化処理し、陽極酸化皮膜を有するアルミニウム部材を形成した。この時の酸化皮膜の厚さを、サンコウ電子製渦電流式膜厚計ＥＤＹ−１０００で測定した。結果を表１に示す。  拡面率は、陽極酸化処理を施した後のアルミニウム基板と陽極酸化処理を施していない平滑なアルミニウム基板のＢＥＴ法による表面積（ＢＥＴ表面積［ｍ2］）の比（処理後基板／平滑基板）で測定した拡面率は、８０〜１１０の範囲であった。
【００４６】
２．アルミニウム除去処理
上記で得られたサンプルを、表１記載の処理液１０Lに浸漬し、アルミニウム基板のみを除去できるかどうかを目視評価した。尚、表１では、１０ｃｍ四方のアルミニウム基板が除去できた枚数を示す。また、酸化皮膜の溶解を抑制できたかを判断するため、アルミニウム除去処理後の酸化皮膜の厚さを、サンコウ電子製渦電流式膜厚計ＥＤＹ−１０００で測定した。結果を表１に示す。
【００４７】
３．別にアルミニウム基板（住友軽金属社製、純度９９．９質量％、厚さ０．４ｍｍ）を、同様に陽極酸化し同様の条件でアルミニウム除去処理後の酸化皮膜の厚さを測定したが、実質的に差が見られなかった。
【００４８】
【表１】
2009132959.tif 000002