(57)【要約】【課題】大型の設備導入も不要で、加工速度の要求に応えられ、さらに、貫通穴直径のばらつきが少なく、貫通穴が等間隔（周期性に優れる）に形成される、貫通穴を備えたフィルムの製造方法を提供する。【解決手段】貫通穴を備えたフィルムの製造方法において、シリンダー相の分離構造（シリンダー相分離構造）を形成する工程、前記シリンダー相をエッチングすることにより貫通穴を形成する工程を有するフィルムの製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通穴を備えたフィルムの製造方法において、シリンダー相の分離構造（シリンダー相分離構造）を形成する工程、前記シリンダー相をエッチングすることにより貫通穴を形成する工程を有するフィルムの製造方法。
【請求項２】
シリンダー相分離構造を形成する工程において、スピノーダル分解を利用することを特徴とする請求項１記載のフィルムの製造方法。
【請求項３】
シリンダー相分離構造を形成する工程において、反応誘起相分解を利用することを特徴とする請求項１記載のフィルムの製造方法。
【請求項４】
シリンダー相分離構造にブロックコポリマーを用いることを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載のフィルムの製造方法。
【請求項５】
貫通穴の平均直径が、０．０１〜３０μｍである請求項１〜４いずれかに記載のフィルムの製造方法。
【請求項６】
貫通穴の平均直径が、０．０１〜０．８μｍである請求項１〜４いずれかに記載のフィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貫通穴を備えたフィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の小型化、高性能化にともない配線板、実装基板などの電子材料用途の基板では多層化が進んでいる。その層の間の電気的接続は、貫通穴（ビアフォール）にメッキを施して確保している。通常、貫通穴はドリルやレーザーを用いて加工しているが、これらの加工を行うためには、大型設備の導入のため多大な設備投資を必要とする。また、最近では、１枚の基板に数万穴の穴あけを要求されることも多く、これに応えるためには、貫通穴加工の高速化が課題となっている（非特許文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】電子材料，２００６年４５巻１０号、８３〜８６頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、大型の設備導入も不要で、加工速度の要求に応えられ、さらに、貫通穴の直径のばらつきが少なく、貫通穴が等間隔（周期性に優れる）に形成される、貫通穴を備えたフィルムの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者は、従来の技術記載の課題を解決するために、鋭意検討した結果、シリンダー構造に相分離させたポリマーアロイのシリンダー相を選択的にエッチングすることにより、貫通穴直径のばらつきが少なく、等間隔に貫通穴を形成できるフィルムが得られることを見出して本発明を完成するに至った。
本発明は以下の通りである。
（１）貫通穴を備えたフィルムの製造方法において、シリンダー相の分離構造（シリンダー相分離構造）を形成する工程、前記シリンダー相をエッチングすることにより貫通穴を形成する工程を有するフィルムの製造方法。
（２）シリンダー相分離構造を形成する工程において、スピノーダル分解を利用することを特徴とする（１）記載のフィルムの製造方法。
（３）シリンダー相分離構造を形成する工程において、反応誘起相分解を利用することを特徴とする（１）記載のフィルムの製造方法。
（４）シリンダー相分離構造にブロックコポリマーを用いることを特徴とする（１）〜（３）いずれかに記載のフィルムの製造方法。
（５）貫通穴の平均直径が、０．０１〜３０μｍである（１）〜（４）いずれかに記載のフィルムの製造方法。
（６）貫通穴の平均直径が、０．０１〜０．８μｍである（１）〜（４）いずれかに記載のフィルムの製造方法。
【発明の効果】
【０００６】
本発明により、大型の設備導入も不要で、加工速度の要求に応えられ、さらに、貫通穴直径のばらつきが少なく、貫通穴が等間隔（周期性に優れる）に形成される、貫通穴を備えたフィルムの製造方法を提供することが可能となった。
【０００７】
また、本発明により、貫通穴直径のばらつきが少なく、貫通穴が等間隔（周期性に優れる）に形成されたフィルムの製造方法を提供することが可能となった。また、貫通穴を備えたフィルムの貫通穴直径を０．０１〜３０μｍの間で制御できる、フィルムの製造方法を提供することが可能となった。さらに、フィルムの貫通穴直径を０．０１〜０．８μｍの間で制御できる、フィルムの製造方法を提供することが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明は、貫通穴を備えたフィルムの製造方法であり、例えば、シリンダー相分離構造のシリンダー相を溶媒などにより選択的に一括で除去することにより貫通穴を形成するものであり、大型の設備導入も不要で、加工速度の要求に応えられる、フィルムを製造する方法である。
【０００９】
本発明は、２成分以上のポリマーからなる多成分系ポリマー、または、２種以上のポリマーを共有結合で繋げたブロックコポリマーを用いて、膜厚方向に貫くシリンダー構造に相分離させて、そのシリンダー相を溶媒などにより選択的に除去（以下、「エッチング」という）することにより貫通穴を形成させるもので、ドリルやレーザーでの加工を施さないで貫通穴を形成でき、貫通穴直径のばらつきが少なく、等間隔（周期性に優れる）に貫通穴を形成した、フィルムを提供することができる。
【００１０】
２成分以上のポリマーからなる多成分系ポリマーのシリンダー相分離構造では、シリンダー相の直径のばらつきが少ない特徴を有している。更に、スピノーダル分解により形成されるシリンダー相の相分離構造は、シリンダー相の直径のばらつきが極めて少ない特徴を有する。また、反応誘起相分解を利用したシリンダー相分離構造の形成では、シリンダー相の直径のばらつきが極めて少なく、相分解速度や硬化速度の調整でシリンダー相の直径を制御できる特徴を有する。すなわち、相分解速度に比べて硬化速度が速いときにはシリンダー相の直径が小さくなり、反対に、相分解速度に比べて硬化速度が遅いときにはシリンダー相の直径が大きくなる傾向にある。本発明では、これらの現象を利用してシリンダー相の直径のばらつきが少なく、目的に応じた直径にシリンダー相を形成させて、その後にシリンダー相を選択的にエッチングすることで、貫通穴の直径のばらつきが少ないフィルムを得ている。また、ブロックコポリマーを用いることにより形成させたシリンダー相分離構造では、シリンダー相の直径のばらつきが極めて少なく、ブロックの高分子鎖長の調整などでシリンダー相の直径を制御できる特徴を有する。本発明では、これらの現象を利用してシリンダー相の直径のばらつきが少なく、目的に応じた直径にシリンダー相を形成させて、その後にシリンダー相を選択的にエッチングすることで、貫通穴の直径のばらつきが少ないフィルムを得ている。
【００１１】
本発明は、２成分以上のポリマーで形成されるシリンダー相分離構造では、シリンダー直径のばらつきが少ないシリンダー相が形成されることに着目したものであり、その後に、シリンダー相を選択的にエッチングすることで、シリンダー直径のばらつきが少ない貫通穴を備えたフィルムを得る方法である。本発明は、シリンダー相分離構造の形成にスピノーダル分解を利用することで、シリンダー相の直径のばらつきを更に狭くできることに着目したものであり、その後に、シリンダー相を選択的にエッチングすることで、貫通穴の直径のばらつきが更に少ないフィルムを得る方法である。本発明は、シリンダー相分離構造の形成に反応誘起相分解を利用することで、シリンダー相の直径のばらつきを更に少なくできることと、シリンダー相の直径を調整できることに着目したものであり、その後に、シリンダー相を選択的にエッチングすることで、貫通穴の直径のばらつきが少なく、特定の直径の貫通穴をもつフィルムを得る方法である。本発明は、ブロックコポリマーを用いてシリンダー相分離構造を形成することで、シリンダー相の直径のばらつきを更に少なくできることと、シリンダー相の直径を調整できることに着目したものであり、その後に、シリンダー相を選択的にエッチングすることで、貫通穴の直径のばらつきが少なく、特定の直径の貫通穴をもつフィルムを得る方法である。
【００１２】
本発明は、シリンダー相分離構造のシリンダー相をエッチングすることを特徴とする貫通穴を備えたフィルムの製造方法に関する。また、本発明は、シリンダー相分離構造の形成にスピノーダル分解を利用することを特徴とする貫通穴を備えたフィルムの製造方法に関する。また、本発明は、シリンダー相分離構造の形成に反応誘起相分解を利用することを特徴とし、シリンダー相において、平均直径が０．０１〜３０μｍである貫通穴を備えたフィルムの製造方法に関する。なお、貫通穴の平均直径が、０．１〜３０μｍでもよい。さらに、本発明は、ブロックコポリマーを用いてシリンダー相分離構造を形成することを特徴とし、シリンダー相において、平均直径が０．０１〜０．８μｍである貫通穴を備えたフィルムの製造方法に関する。
【００１３】
本発明の実施形態について下記に説明する。ただし、本発明は下記の実施形態に限定されるものではない。
本発明では、シリンダー相分離構造の形成し、シリンダー相分離構造の形成後、シリンダー相をエッチングすることで貫通穴の直径のばらつきが少ないフィルムを得ることができる。
【００１４】
本発明におけるシリンダー相分離構造を形成するポリマーとしては、特に制限はなく、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリイミドなどの熱可塑性樹脂、アクリルゴム、ブタジエンゴムなどのエラストマーなどが挙げられ、これらは、２種、又は３種以上を組み合わせて用いられる。
【００１５】
また、２種以上の前記ポリマーなどを共有結合により繋げたブロックコポリマーを用いることもできる。これらは、単独、又は２種以上を組み合わせて用いられ、これにホモポリマー、エラストマーなどを組み合わせることもできる。
【００１６】
ポリマーの配合比率は、特に制限はないが、シリンダー相としたいポリマーの配合比率を多くすると、得られる相分離構造が球形の海島構造となってしまう傾向にあるので、その後の工程でエッチングしても、貫通穴を備えたフィルムを得ることができない。以上のことを鑑みて、シリンダー相としたいポリマーの配合比率は、２種、又は３種以上を組み合わせて用いられるポリマーの合計量１００質量部に対して、シリンダー相としたいポリマーの配合量は、０．０１〜８０質量部が好ましく、０．０１〜３０質量部がより好ましい。配合量が０．０１質量部未満だと貫通穴の数が少なくなり、実用的でない。配合量が８０質量部を超えると、貫通穴を備えたフィルムを得ることが難しくなる。
【００１７】
前記ポリマーの組み合わせを用いて、シリンダー相分離構造を形成する方法としては、溶媒で均一に溶解した後に、溶媒を加熱や減圧により除去することでシリンダー相分離構造を形成する方法が一般的に用いられている。また、溶媒に溶けないポリマーに関しては、押出し機を用いて、溶融温度以上の高温で、せん断をかけることにより、一度、ポリマーを均一に溶かしてから、その後に射出成形することによりシリンダー相分離構造を形成させる方法を用いる。これらの方法では、核形成、又はスピノーダル分解によりシリンダー相分離構造が形成される。
【００１８】
シリンダー相分離構造は、溶媒の蒸発、高分子量化反応、温度変化などに起因して、相図の一相領域から二相領域に移る過程で形成される。相図の臨界点付近で、上記過程が起こるときに、シリンダー相分離構造は、スピノーダル分解により形成されることが多い。スピノーダル分解で形成されるシリンダー相分離構造は、特に周期性が高く、シリンダー直径のばらつきが小さい、シリンダー相となる。
【００１９】
また、前記ポリマーの１種を単独で、又は２種以上を組み合わせたものに、更に熱硬化性樹脂のモノマーを加えることもできる。これらの混合物は、熱硬化性樹脂が硬化する前は均一であるが、熱硬化性樹脂が硬化することでシリンダー相分離構造を形成する。この現象は、熱硬化性樹脂が高分子量化することにより、前記ポリマーと相分解することにより起こるもので、反応誘起相分解といわれる。
【００２０】
前記熱硬化性樹脂は、前記ポリマーと相溶すれば特に制限はないが、シリンダー相分離構造のマトリックスになったとき、エッチングされにくいという観点からエポキシ樹脂が好ましい。
【００２１】
具体的には、芳香族グリシジルエーテル基を有するエポキシ樹脂、又は、脂肪族グリシジルエーテル基を有するエポキシ樹脂のような、グリシジルエーテル基を有するエポキシ樹脂であることが好ましく、芳香族グリシジルエーテル基を有するエポキシ樹脂であることがより好ましい。芳香族グリシジルエーテル基を有するエポキシ樹脂は分子内に芳香環及びグリシジルエーテル基を有していれば特に限定されない。その具体例としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂及びナフタレンジオールのジグリシジルエーテル等、各種フェノール化合物のグリシジルエーテルが挙げられる。脂肪族グリシジルエーテル基を有するエポキシ樹脂の具体例としては、脂肪族ジオールのジグリシジルエーテル、脂肪族トリオールのトリグリジシルエーテル、両末端に水酸基を有するポリアルキルエーテルのジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の水添化合物、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂の水添化合物及びシリコーン変性エポキシ樹脂が挙げられる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。
【００２２】
エポキシ樹脂は、その重量平均分子量が７００以下であることが好ましく、４００以下であることがより好ましい。重量平均分子量が７００を超えると、ポリマー成分と硬化前でも相分離する傾向にある。なお、本明細書において「重量平均分子量」とは、ゲルバーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）による標準ポリスチレン換算の重量平均分子量をいう。
【００２３】
また、熱硬化性樹脂を硬化させるために、硬化剤及び／又は硬化促進剤を加えることが多い。硬化剤及び硬化促進剤は、前記ポリマー及び前記熱硬化性樹脂と相溶すれば特に制限はない。
【００２４】
例えば、エポキシ樹脂の硬化剤では、２官能性又は多官能性フェノールに代表されるフェノール系硬化剤、酸無水物硬化剤、並びに芳香族ジアミンに代表される芳香族アミン系硬化剤等が挙げられる。２官能性又は多官能性フェノールとしては、例えば、ビスフェノールＡ及びビスフェノールＦが挙げられる。酸無水物硬化剤としては、例えば、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水ピロメリット酸等が挙げられる。芳香族ジアミンとしては、例えば、４、４’−ジアミノジフェニルメタンが挙げられる。これらの中で、相分離して形成されるエポキシ硬化物を成分とするマトリックスがエッチングされにくいという観点から、フェノール系硬化剤及び／又は芳香族アミン系硬化剤が好ましく、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ及び／又は４，４’−ジアミノジフェニルメタンがより好ましい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。相溶性の観点から重量平均分子量が４００以下であることが好ましい。
【００２５】
エポキシ樹脂のエポキシ当量に対する、硬化剤の活性水素当量の比率が、０．８〜１．３となるようにすることが好ましい。この比率が前記範囲からはずれると、相分離で形成されるエポキシ硬化物を成分とするマトリックスがエッチングされやすくなる。
【００２６】
例えば、エポキシ樹脂とフェノール系硬化剤との硬化反応における硬化促進剤としては、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾールなどが挙げられ、これらは１種、又は２種以上を組み合わせて用いられる。
【００２７】
硬化促進剤の配合量は、エポキシ樹脂と硬化剤との合計１００質量部に対して、０．０５〜１０質量部が好ましい。配合量が０．０５質量部未満だと硬化性に劣り、１０質量部を超えると未反応成分として硬化促進剤が残り、いずれの場合もエポキシ樹脂硬化物を成分とするマトリックスがエッチングされやすくなる。
【００２８】
前記方法では、スピノーダル分解によりシリンダー相分離構造が形成することが多く、直径のばらつきが少ないシリンダー相が得られる。
【００２９】
ポリマー１種を単独、又はポリマー２種以上を組み合わせたポリマー成分の合計に対する、熱硬化性樹脂、硬化剤、及び硬化促進剤からなる熱硬化性樹脂系成分の合計の比率は特に制限はないが、前記ポリマー成分の合計１００質量部に対して、前記熱硬化性樹脂系成分の合計の配合量は、２５０〜７０００質量部が好ましい。この配合量が、２５０質量部未満だと、得られる相分離構造が球状の海島構造となりやすく、その後にエッチング工程を経ても貫通穴を備えたフィルムを得ることが難しく、７０００質量部を超えると、貫通穴の数が少なくなり、実用的ではない。また、前記熱硬化性樹脂系成分が１００質量部に対して、前記ポリマー成分の合計の配合量が、２５０〜７０００質量部のとき、すなわち、前記と逆転した配合では、シリンダー相がエッチングしにくい熱硬化性樹脂になってしまう傾向にあり、その後エッチングしても、マトリックスがエッチングされ、貫通穴を備えたフィルムを得ることが難しい。
【００３０】
本発明では、シリンダー相分離構造を形成した後に、シリンダー相をエッチングする工程が必要である。本発明におけるシリンダー相のエッチングでは、シリンダー相を選択的にエッチングできる方法でなければならない。すなわち、マトリックスがエッチングされにくいことが必要である。マトリックスがエッチングされにくい観点から、マトリックスは三次元的にネットワークが形成された熱硬化性樹脂の硬化物などが好ましく、エポキシ樹脂硬化物がより好ましい。また、シリンダー相はエッチングしやすいという観点から、熱可塑性樹脂などが好ましい。
【００３１】
シリンダー相を選択的にエッチングさせる方法として、一般的に溶解度の差を利用した溶媒エッチング、酸エッチング、アルカリエッチングなどが使われる。溶媒エッチングに用いる溶媒としては、塩化メチレン、メチルエチルケトン、クロロホルム、テトラヒドロフラン、キシレン、トルエン、ヘプタン、デカリンなどが挙げられる。これらの溶媒は、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いられる。酸エッチングでは、硫酸、リン酸、及び過マンガン酸カリウムからなる混合液、硫酸クロム酸カリウム及び硫酸からなる混合液などが使われる。アルカリエッチングでは、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液などが使われる。また、これらの溶媒、溶液を加熱、又は冷却することでエッチング速度を調整することも可能である。また、シリンダー相を選択的にエッチングさせる別の方法として、ポリマーをエッチングできる活性なイオンを真空条件で発生させるイオンエッチング装置を用いる方法が挙げられる。
エッチング後に形成される貫通穴を備えたフィルムは、そのフィルムを溶解しない液体などで洗浄することが好ましい。
【実施例】
【００３２】
以下に、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例１）
ポリマー成分として、アクリルゴム（ナガセケムテックス社製）２３０質量部、エポキシ樹脂として、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（東都化成社製、商品名「ＹＤ−８１２５」、エポキシ当量１７５）６００質量部、硬化剤としてビスフェノールＡ（和光純薬工業社製、分子量２２８）４００質量部、及び溶媒としてメチルエチルケトン６０００質量部を配合した。これを攪拌モータで３０分間混合し、ワニスを得た。このワニスを、表面を離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム上に塗布し、９０℃で５分間加熱乾燥後、１７０℃で１時間硬化させて、膜厚５０μｍのアクリルゴム成分をシリンダー相にもつシリンダー相分離構造フィルムを得た。その後、シリンダー相分離構フィルムをメチルエチルケトンに室温（２５℃）で１時間浸漬して、シリンダー相であるアクリルゴムをエッチングした。その後、フィルムを取り出し、メチルエチルケトンで洗浄し、６０℃−７５０ｍｍＨｇの減圧下で１時間乾燥させて、貫通穴を備えたフィルムを得た。
【００３３】
（実施例２）
上述の硬化剤の代わりに、硬化促進剤として１‐シアノエチル‐２‐フェニルイミダゾール（四国化成工業株式会社製、商品名「キュアゾール２ＰＺ−ＣＮ」）を用いて、実施例１と同様にして配合した。具体的には、ポリマー成分として、アクリルゴム（ナガセケムテックス社製）２３０質量部、エポキシ樹脂として、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（東都化成社製、商品名「ＹＤ−８１２５」、エポキシ当量１７５）６００質量部及び硬化促進剤として１‐シアノエチル‐２‐フェニルイミダゾール（四国化成工業株式会社製、商品名「キュアゾール２ＰＺ−ＣＮ」）１８質量部を配合した。配合以外の操作は、実施例１と同様にして貫通穴を備えたフィルムを作製した。
【００３４】
（実施例３）
ポリマー成分として、ポリカーボネート（三菱エンジニアリングプラスチックス社製）２０００質量部及びポリスチレン（和光純薬工業社製）８０質量部、及び溶媒としてテトラヒドロフラン１０００質量部を配合した。これを攪拌モータで３０分間混合し、ワニスを得た。このワニスを、表面を離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム上に塗布し、４５℃で１時間、１２０℃で１時間加熱乾燥させて、膜厚５０μｍのポリスチレン成分をシリンダー相にもつシリンダー相分離構造フィルムを得た。その後、シリンダー相分離構フィルムをトルエンに室温（２５℃）で１時間浸漬して、シリンダー相であるポリスチレンをエッチングした。その後、フィルムを取り出し、トルエンで洗浄し、６０℃−７５０ｍｍＨｇの減圧下で１時間乾燥させて、貫通穴を備えたフィルムを得た。
【００３５】
［評価方法］
実施例１〜３で得られた貫通穴を備えたフィルムの貫通穴平均直径、貫通穴のばらつき性を評価した。貫通穴平均直径の評価は、光学顕微鏡を用いて行い、任意の２０穴を測定し、平均を計算した。貫通穴のばらつき性評価は、最大直径（Ｄｍａｘ）と最小直径（Ｄｍｉｎ）の差を平均直径で割り計算した。
実施例１〜３で得られた貫通穴を備えたフィルムの評価結果を表１に示す。
【００３６】
【表１】
2009278046.tif 000002
【００３７】
実施例１〜３で得られる貫通穴を備えたフィルムは、本発明にかかるシリンダー相分離構造のシリンダー相を選択的にエッチングすることにより得られる。実施例１〜２の製造過程で得られるシリンダー相分離構造は、反応誘起相分解を利用したものである。実施例１に比べて実施例２では、得られる貫通穴の平均直径が小さい。これは、実施例２は実施例１に比べて、硬化速度が速く、相分解速度が遅いことに起因する。このように、反応誘起相分解によりシリンダー相分離構造を形成して、貫通穴を作るときには、硬化速度と相分解速度の調整により、得られる貫通穴の直径を制御することができる。実施例３では、溶媒の蒸発によりスピノーダル分解又は核形成が進行し、シリンダー相分離構造が形成される。実施例１〜３の製造工程では、ドリル加工やレーザー加工などの工程を経ずに、貫通穴直径のばらつきが少なく、等間隔（周期性に優れる）に貫通穴があるフィルムを製造できる。
【００３８】
本発明の貫通穴を備えたフィルムの製造方法は、貫通穴の直径がばらつきの少ないフィルムの製造方法に好適である。本発明の貫通穴を備えたフィルムの製造方法は、更に、シリンダー相分離構造の形成にスピノーダル分解を利用することにより、貫通穴の直径が更にばらつきが少なく、貫通穴が等間隔（周期性に優れる）であるフィルムの製造方法に好適である。本発明の貫通穴を備えたフィルムの製造方法は、更に、シリンダー相分離構造の形成に反応誘起相分解を利用することにより、貫通穴の直径が更にばらつきが少なく、等間隔（周期性に優れる）に貫通穴があり、かつ、貫通穴の直径を０．０１〜３０μｍの間で制御できることに優れるフィルムの製造方法に好適である。本発明の貫通穴を備えたフィルムの製造方法は、更に、ブロックコポリマーを用いてシリンダー相分離構造を形成し、貫通穴の直径が更にばらつきが少なく、等間隔（周期性に優れる）に貫通穴があり、かつ、貫通穴の直径を０．０１〜０．８μｍの間で制御できることに優れるフィルムの製造方法に好適である。