(57)【要約】      （修正有）【課題】印刷マスクに付着した異物を除去する簡単な清掃装置を提供する。【解決手段】印刷マスク５２を取り出し可能に収納する収納部５３と、収納された印刷マスク５２に対して矢印Ａ,Ｂ方向に移動可能に収納部５３に付設され印刷マスク５２にエアーを吹きつける上下一対のエアーナイフ５４ａ、５４ｂとを備え、エアーナイフ５４ａ、５４ｂは、印刷マスク５２の表面からエアーを吹きつける第１エアーナイフと、印刷マスクの裏面からエアーを吹きつける第２のエアーナイフを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷マスクを取り出し可能に収納する収納部と、収納された印刷マスクに対して移動可能に収納部に付設され、印刷マスクにエアーを吹きつけるエアーナイフとを備える印刷マスク清掃装置。
【請求項２】
エアーナイフは、印刷マスクの表面からエアーを吹きつける第１エアーナイフと、印刷マスクの裏面からエアーを吹きつける第２のエアーナイフを備える請求項１記載の印刷マスク清掃装置。
【請求項３】
収納部は、印刷マスクおよびエアーナイフの少なくとも一方を移動可能に支持するコロを備える請求項１記載の印刷マスク清掃装置。
【請求項４】
エアーナイフは、当該エアーナイフの移動方向において印刷マスクの表面又は裏面に対して斜めにエアーを吹きつけるスリットを有する請求項１記載の印刷マスク清掃装置。
【請求項５】
収納部は、エアーナイフの移動時の重量が軽減するようにエアーナイフの搬送面にエアーを吹きつけるエアーノズルを備える請求項１記載の印刷マスク清掃装置。
【請求項６】
収納部は、印刷マスクの収納又は取り出し時の重量が軽減するように印刷マスクの支持にエアーを吹きつけるエアーノズルを備える請求項１記載の印刷マスク清掃装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、印刷マスク清浄装置に関し、主に、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）の製造工程において用いられる。
【背景技術】
【０００２】
従来のこのような清浄装置としては、印刷マスクの両側に設けられたノズルから洗浄液を噴射し、ノズルからの洗浄液の飛散をフード状部材により防止しながら印刷マスクを洗浄するようにした洗浄装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−７１７０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等の製造工程で使用される印刷マスクはパネルの大型化に伴い、ますます大型になり、取り扱いも困難になっている。
印刷マスクを長時間使用せずに保管しておくと、塵埃のような異物が付着し、使用する前に再度洗浄を行う必要がある。マスク洗浄は専用の大型洗浄装置で洗浄液を用いて行わなければならず、洗浄工程は、洗浄部、水洗部、乾燥部といった複数の工程にて成り立っている。このため、軽度の異物の付着に対しても時間をかけなければならない。
【０００４】
また、印刷ペーストを落とすための洗浄液、それらを洗い流すための純水を使用するため、印刷マスクの樹脂部分が洗浄液の浸透による形状変化を起こし、この形状変化が戻るまでにさらに時間を要するという問題が生じている。例えば、ＰＤＰの蛍光体印刷工程における印刷マスクの洗浄の際には、洗浄部で３０分、水洗部で１０分、乾燥部で１０分を要している。さらにまた、印刷マスクの洗浄液による形状変化が戻るのを待つために２４時間の印刷マスクの放置時間を要している。
【０００５】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、軽度の異物の付着等の際は洗浄液を使用せず、圧縮空気による清掃を行うことで印刷マスク洗浄における全所要時間の短縮を行い、かつ、大型の印刷マスクの取り扱いを容易にするマスク清掃装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、印刷マスクを取り出し可能に収納する収納部と、収納された印刷マスクに対して移動可能に収納部に付設され印刷マスクにエアーを吹きつけるエアーナイフとを備える印刷マスク清掃装置を提供するものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、印刷マスクに対して移動可能に付設されたエアーナイフにより、印刷マスクにエアーが吹きつけられるので、印刷マスクに付着した異物が能率よく除去され、印刷マスクの洗浄作業の簡易化および能率化がはかられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
この発明のマスク清掃装置は、印刷マスクを取り出し可能に収納する収納部と、収納された印刷マスクに対して移動可能に収納部に付設され印刷マスクにエアーを吹きつけるエアーナイフとを備える印刷マスク清掃装置を特徴とする。
エアーナイフは、印刷マスクの表面からエアーを吹きつける第１エアーナイフと、印刷マスクの裏面からエアーを吹きつける第２のエアーナイフであってもよい。
収納部は、印刷マスクおよびエアーナイフの少なくとも一方を移動可能に支持するコロを備えてもよい。
エアーナイフは、印刷マスクの表面又は裏面に対して斜めにエアーを吹きつけるようにしてもよい。
収納部は、エアーナイフの移動時の重量が軽減するようにエアーナイフにエアーを吹きつけるエアーノズルを備えてもよい。
収納部は、印刷マスクの収納又は取り出し時の重量が軽減するように印刷マスクにエアーを吹きつけるエアーノズルを備えてもよい。
【０００９】
以下、図面に示す実施形態に基づいてこの発明を詳述する。
図１はこの発明の実施形態に係るＰＤＰを示す要部分解斜視図である。
ＰＤＰ１００は、図１に示すような一対の背面基板アッセンブリ５０と前面基板アッセンブリ５０ａから構成される。なお、図は１画素分（ＲＧＢの３セル）を示している。
【００１０】
前面基板アッセンブリ５０ａにおいては、ガラス基板１１の内面に、基板面に沿った面放電を生じさせるための横方向に延びる電極Ｘ，Ｙが、表示行を定める表示電極対Ｓとして配列される。電極Ｘ，Ｙは、それぞれがＩＴＯ薄膜からなる幅の広い帯状の透明電極４１と、金属薄膜からなる幅の狭い帯状のバス電極４２から構成される。
バス電極４２は、適正な導電性を確保するための補助電極である。電極Ｘ，Ｙを被覆するように誘電体層１７が設けられる。誘電体層１７の表面には保護膜１８が被覆される。誘電体層１７及び保護膜１８はともに透光性を有している。
【００１１】
次に、背面基板アッセンブリ５０においては、ガラス基板２１の内面に、表示電極Ｓと直交する方向にアドレス電極４３が配列され、アドレス電極４３を被覆するように誘電体層２５が設けられ、誘電体層２５上の各アドレス電極４３の間には、直線状のリブ（隔壁）２９が１つずつ設けられる。なお、リブ２９は格子状に形成することも可能である。
背面基板アッセンブリ５０では、これらのリブ２９によって放電空間（放電セル）３０がサブピクセル（単位発光領域）ＥＵ毎に区画され、且つ放電空間３０の間隙寸法が規定される。
【００１２】
そして、誘電体層２５の上部及びリブ２９の側面を含めて背面側の壁面を被覆するように、カラー表示のためのＲ，Ｇ，Ｂの３色の蛍光体層２８が設けられる。
リブ２９は低融点ガラスを主体とする材料からなり、添加剤の種類によって透明又は不透明に形成される。なお、リブ２９の形成方法としては、ベタ膜状の低融点ガラス層の上に切削マスクを設け、サンドブラスト加工でパターニングする工程が用いられる。
【００１３】
マトリクス表示における１行には表示電極Ｓが対応し、１列には１本のアドレス電極４３が対応する。そして、３列が１ピクセル（画素）ＥＧに対応する。つまり、１ピクセルＥＧはライン方向に並ぶＲ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルＥＵから構成される。
アドレス電極４３と電極Ｙとの間の対向放電（アドレス放電）によって、表示すべきセルを選択するための誘電体層１７における壁電荷の形成が行われる。電極Ｘ，Ｙに交互にパルスを印加すると、前記アドレス放電による壁電荷の形成されたサブピクセルＥＵで表示用の面放電（主放電）が生じる。
【００１４】
蛍光体層２８は、面放電で生じた紫外線によって局部的に励起されて所定色の可視光を放つ。この可視光の内、ガラス基板１１を透過する光が表示光となる。リブ２９の配置パターンがいわゆるストライプパターンであることから、放電空間３０の内の各列に対応した部分は、全てのラインに跨がって列方向に連続している。各列内のサブピクセルＥＵの発光色は同一である。
【００１５】
次に、ＰＤＰ１００の製造ラインについて図２を用いて説明する。
まず、前面基板搬入部１０１に、ガラス基板１１を搬入し、透明電極形成部１０２において蒸着法又はスパッタ法とエッチング法とを組み合わせて基板１１の表面にＩＴＯ膜からなる帯状の透明電極４１をパターニングする。
【００１６】
次に、バス電極形成部１０３において印刷法等を用いて各透明電極４１の端縁部に金属のバス電極４２を形成する。
次に、誘電体層形成部１０４と保護膜形成部１０５において、誘電体層１７と保護膜１８を形成し、前面基板アッセンブリ５０ａが完成する。
【００１７】
一方、背面基板搬入部１０６にガラス基板２１を搬入し、アドレス電極形成部１０７において印刷法等を用いて基板２１上に金属のアドレス電極４３を形成する。次に、誘電体層形成部１０８において、アドレス電極４３の上に誘電体層２５を形成し、隔壁形成部１０９において、隔壁２９を形成する。次に、蛍光体層形成部１１０において、スクリーン印刷法により蛍光体層２８を次のようにして形成する。
【００１８】
つまり、蛍光体層形成部１１０では、スクリーン印刷装置（図示しない）において、所定幅の開口が隔壁ピッチの３倍のピッチで設けられた印刷マスクを、ガラス基板２１に対して位置合わせして隔壁２９と当接するように配置する。
【００１９】
そして、所定発光色（例えばＲ）の蛍光体ペーストを、スキージを用いて印刷マスクの開口を介して隔壁２９の間に落とし込む。
続いて、他の発光色（Ｇ及びＢ）についても、対応する印刷マスクを用いて順次、隔壁２９の間の空隙をほぼ埋め尽くすように、蛍光体ペースト２８ａを印刷する。
その後、蛍光体ペーストを乾燥させ、５００〜６００℃の温度で焼成する。それによって、蛍光体層２８が完成する。
【００２０】
次に、シールフリット形成部１１１において、基板２１の表面の周縁部にシールフリット材を印刷法で塗布する。それによって基板２１の周縁部には封止用のシールフリットが形成され、背面基板アッセンブリ５０が完成する。
【００２１】
次に、パネル組み立て部１１２において、前面基板アッセンブリ５０ａと背面基板アッセンブリ５０とを、図１に示すように組み合わせる。次に、封止・排気部１１３において、アッセンブリ５０のシールフリットを加熱すると共に内部の排気を行う。それによって両基板アッセンブリの貼り合わせ（封止）が行われ、かつ、貼り合わされた基板アッセンブリ間の空間内の排気が行われる。
次に、ガス封入部１１４において、前記空間（セル間）に放電ガスを封入し、ＰＤＰ１００が完成する。
【００２２】
次に、点灯検査部１１５において、点灯検査装置を用いた検査ラインによりＰＤＰ１００の点灯検査を行う。検査に合格したＰＤＰ１００に、回路組込み部１１６において、駆動回路を実装してＰＤＰモジュールとして完成させる。
【００２３】
図３は、図２の製造ラインに示す蛍光体層形成部１１０において、スクリーン印刷装置用の印刷マスクを清掃する装置を示す斜視図である。
同図に示すように、印刷マスク清掃装置５１は、印刷マスク５２を取り出し可能に収納する収納部５３と、収納された印刷マスク５２に対して矢印Ａ，Ｂ方向に移動可能に収納部５３に付設され印刷マスク５２にエアーを吹きつける上下一対のエアーナイフ５４ａ，５４ｂを備える。
【００２４】
収納部５３は、アルミ製のフレームによって構成され、正面に印刷マスク５２を出し入れする出入口５５を、両側面には４つの開放窓５６ａ〜５６ｄをそれぞれ備える。各エアーナイフ５４ａ，５４ｂには、それぞれ把手（ハンドル）５７ａ，５７ｂと、エアー供給金具５８ａ，５８ｂが設けられている。
【００２５】
収納部５３は、エアー源接続金具５９と、エアー中継金具６０ａ，６０ｂと、エアー流路を開閉するコック６１を備える。エアー源接続金具５９の一端は圧縮空気源６２にエアーホース６２ａを介して接続される。エアー源接続金具５９の他端は内部配管６３介してコック６１に接続され、コック６１は内部配管６４を介してエアー中継金具６０ａ，６０ｂに接続される。
【００２６】
エアー中継金具６０ａ，６０ｂは、それぞれエアーホース６５ａ，６５ｂを介してエアー供給金具５８ａ，５８ｂに接続される。
従って、コック６１を開状態にすると、圧縮空気源６２から圧縮空気がエアーナイフ５４ａ，５４ｂへ供給される。
また、収納部５３は、底部に設けられた４つの車輪（内２つは図示されていない）６６によって移動可能に支持されている。
【００２７】
図４は図３に示す印刷マスク清掃装置５１の縦断面図、図５はエアーナイフ５４ａおよび５４ｂの横断面図である。
エアーナイフ５４ａ，５４ｂは、図３に示すように収容部５３の一方の片側に形成した開放窓５６ａ，５６ｂの窓枠部に矢印Ａ，Ｂ方向に摺動可能に嵌め込まれ、図４に示すようにコロ６８により支持されている。
従って、作業者が把手５７ａ，５７ｂを握って操作すれば、エアーナイフ５４ａ，５４ｂは、矢印Ａ又はＢ方向（図３）に、容易に移動できる。
【００２８】
また、収納部５３に収納される印刷マスク５２は収納部５３の底部に設けられたコロ６９によって支持され、収納部５３への出し入れが容易になっている。収容部５３の他方の片側に形成した開放窓５６ｃの窓枠にはハンドクランプ６７が設けられ、ハンドクランプ６７は、収納される印刷マスク５２を収納部５３の所定位置に固定する。
【００２９】
図５に示すように、エアーナイフ５４ａ，５４ｂは、エアーホース６５ａ，６５ｂとエアー供給金具５８ａ，５８ｂを介して供給される圧縮空気を受入れる受入れ室７０と、圧縮空気をエアーナイフの摺動方向において印刷マスク５２の表面に斜め（例えば、４５度）に吐出するスリット７１と、受入れ室７０から圧縮空気をスリット７１へ案内する案内路７２を備える。なお、エアーナイフの移動方向に対してエアー吐出角度を傾けることで印刷マスク上の異物を吹き飛ばす効果を高めている。
【００３０】
図２の製造ラインに示す蛍光体層形成部１１０において、前述のように蛍光体ペーストのスクリーン印刷を行う際には、印刷マスク５２は、印刷マスク保管場所からスクリーン印刷装置（図示しない）へ印刷マスク清掃装置５１に搭載されて搬送される。
【００３１】
つまり、作業者は、まず、印刷マスク保管場所から印刷マスク５２を取り出し、印刷マスク清掃装置５１の収納部５３にコロ６９を利用して図３のように収納する。そして、ハンドクランプ６７（図４）で印刷マスク５２を固定する。
【００３２】
次に、作業者は、印刷マスク清掃装置５１を車輪６６を利用して移動させる。移動途中において、圧縮空気源６２に印刷マスク清掃装置５１を接近させる。そして、図３に示すように圧縮空気源６２をエアーホース６２ａを介してエアー源接続金具５９に接続する。
そこで、コック６１を開くと、エアーナイフ５４ａ，５４ｂのスリット７１から圧縮空気が噴出する。
【００３３】
作業者は把手５７ａ，５７ｂを握って、エアーナイフ５４ａ，５４ｂをそれぞれ矢印Ａ，Ｂ方向に往復移動させる。それによって印刷マスク５２の表面（例えばスキージ摺動面）に付着していた塵埃が吹き飛ばされ、除去される。この後、印刷マスクの表裏面が入れ替えられ、他方の面の清掃が行われる。
【００３４】
この清掃作業が終了すると、印刷マスク５２は印刷マスク清掃装置５１に搭載された状態でスクリーン印刷装置へ搬送される。スクリーン印刷装置は印刷マスク５２を用いて蛍光体ペーストを隔壁が形成された背面基板アッセンブリの所望の隔壁間に塗布（印刷）する。
【００３５】
図６は図３に示す印刷マスク清掃装置５１の変形例を示す図４対応図である。
図６に示す印刷マスク清掃装置５１ａでは、収納部５３の他方側に形成した開放窓５６ｃ，５６ｄの窓枠部にも、エアーナイフ５４ｃ，５４ｄをそれぞれ摺動可能に嵌め込み、コロ６８により支持している。
【００３６】
そして、エアーナイフ５４ｃ，５４ｄには前記一方側のエアーナイフ５４ａ，５４ｂと同様に、エアー源接続金具５９が図示しない内部配管とコックを介して接続される。また、エアーナイフ５４ｃ，５４ｄは図５に示すエアーナイフ５４ａ，５４ｂと同等の構成を備える。
【００３７】
従って、この変形例では、作業者が、４つのエアーナイフ５４ａ〜５４ｄを操作することにより、印刷マスク５２に両面から圧縮空気を吹きつけることができるので、前記片面のみ清掃していた実施例に比べてより効果的な清掃が可能となる。
【００３８】
図７，図８は図３に示す印刷マスク清掃装置５１の他の変形例を示す要部説明図である。
変形例では、図７に示すように、エアーナイフ５４ａ，５４ｂを支持するコロ６８の間にそれぞれエアーノズル７３が設けられている。これらエアーノズル７３は内部配管７５を介してコック７４に接続され、かつ、コック７４は内部配管７６を介してエアー源接続金具５９（図３）に接続されている。
【００３９】
従って、エアーナイフ５４ａ，５４ｂの操作時にコック７４を開くと、圧縮空気がコロ６８の間から矢印の方向に噴出してエアーナイフ５４ａ，５４ｂの搬送面に吐出され、各エアーナイフを持ち上げる方向に力が働くので、エアーナイフのコロにかかる荷重による負荷と、エアーナイフの移動におけるコロとの摩擦による抵抗が低減され、作業者はエアーナイフ５４ａ，５４ｂを容易に移動させることができる。
【００４０】
また、この変形例では図８に示すように印刷マスク５２を支持するコロ６９の間にもそれぞれエアーノズル７７が設けられ、内部配管７９を介してコック７８に接続されている。
そして、コック７８は内部配管８０を介してエアー源接続金具５９（図３）に接続されている。
【００４１】
従って、印刷マスク５２の収納部５３に対する搬入・搬出時に、図３に示すように、適当な圧縮空気源にエアー源接続金具５９を接続できれば、コック７８を開くと圧縮空気がコロ６９の間から矢印の方向に噴出し印刷マスクの支持面に吐出される。その圧縮空気の吐出により印刷マスク５２が持ち上げられる方向に力が働くので、作業者による印刷マスク５２の搬出・搬入作業が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】この発明に係るＰＤＰの要部分解斜視図である。
【図２】この発明に係るＰＤＰの製造ラインの説明図である。
【図３】この発明の実施形態を示す印刷マスク清掃装置の斜視図である。
【図４】図３に示す印刷マスク清掃装置の縦断面図である。
【図５】図３に示す印刷マスク清掃装置の要部横断面図である。
【図６】この発明の他の実施形態を示す図４対応図である。
【図７】この発明のさらに他の実施形態を示す要部説明図である。
【図８】この発明のさらに他の実施形態を示す要部説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
５１    印刷マスク清掃装置
５２    印刷マスク
５３    収納部
５４ａ    エアーナイフ
５４ｂ    エアーナイフ
５４ｃ    エアーナイフ
５４ｄ    エアーナイフ
５５    出入口
５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄ    開放窓
５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄ    把手
５８ａ，５８ｂ    エアー供給金具
５９    エアー源接続金具
６０ａ，６０ｂ    エアー中継金具
６１    コック
６２    圧縮空気源
６２ａ    エアーホース
６３    内部配管
６４    内部配管
６５ａ，６５ｂ    エアーホース
６６    車輪
６７    ハンドクランプ
６８    コロ
６９    コロ
７０    受入れ室
７１    スリット
７２    案内路
７３    ノズル
７４    コック
７５    内部配管
７６    内部配管
７７    ノズル
７８    コック
７９    内部配管
８０    内部配管
【図１】
2009029001.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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