(57)【要約】【課題】光源の輝度を適切に調整して光学的画像を取得可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。【解決手段】試料表面にＸ線を照射して、試料から発せられた蛍光Ｘ線を測定する蛍光Ｘ線分析装置であって、Ｘ線を照射する箇所（照射箇所）の試料の表面を照明する光源３と、光源を用いて試料を照明しながら試料の照射箇所の画像データを取得する撮像装置４と、照射箇所の画像データに基づいて光源３の輝度を調整する調整部１３とを備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料表面にＸ線を照射して、前記試料から発せられた蛍光Ｘ線を測定する蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記試料の前記Ｘ線を照射する箇所の表面を照明する光源と、
前記光源を用いて前記試料を照明しながら、前記試料の照射箇所の画像データを取得する撮像装置と、
前記照射箇所の画像データに基づいて前記光源の輝度を調整する調整部
とを備えることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】
前記調整部は、
前記画像データを構成するドットマトリクスのドット毎の輝度を算出する輝度算出手段と、
前記ドットの輝度の平均値を算出する平均値算出手段と、
前記平均値に基づいて前記光源の輝度を調整する輝度調整手段
とを備えることを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
前記調整部は、
前記画像データを構成するドットマトリクスのドット毎の輝度を算出する輝度算出手段と、
前記ドット毎の輝度のうち最も明るい輝度を抽出する輝度抽出手段と、
前記抽出した最も明るい輝度に基づいて前記光源の輝度を調整する輝度調整手段
とを備えることを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】
前記調整部は、
前記画像データを構成するドットマトリクスのドット毎の輝度を算出する輝度算出手段と、
前記ドットの輝度の平均値を算出する平均値算出手段と、
前記ドット毎の輝度のうち最も明るい輝度を抽出する輝度抽出手段と、
前記平均値及び前記最も明るい輝度に基づいて前記光源の輝度を調整する輝度調整手段
とを備えることを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項５】
前記調整部は、前記画像データのコントラストを算出するコントラスト算出手段を更に備え、
前記輝度調整手段は、前記コントラストに基づいて前記光源の輝度を調整することを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項６】
試料表面にＸ線を照射して、前記試料から発せられた蛍光Ｘ線を測定するステップと、
光源を用いて前記Ｘ線を照射する箇所の前記試料の表面を照明しながら前記試料の照射箇所の画像データを取得するステップと、
前記照射箇所の画像データに基づいて前記光源の輝度を調整するステップ
とを含むことを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体やストレージの分野における局所の材料分析や不良箇所の解析、生物分野における細胞表面の化学状態の分析に適用可能な分析装置の一つとして、蛍光Ｘ線分析装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。蛍光Ｘ線分析装置は、１次Ｘ線を試料に照射し、それによって試料から放出される固有の２次Ｘ線（蛍光Ｘ線）を検出し、試料の構成元素や内部構造等を分析する。
【０００３】
蛍光Ｘ線分析装置による測定の前後又は測定中において、光源を用いて試料を照明し、撮像装置により試料の実画像（光学的画像）を観察する。従来は、光源の輝度を調整しないか、撮像装置により取得された光学的画像の画像データを観察しながら使用者が手動で輝度を調整していた。
【０００４】
しかしながら、金属、樹脂等の試料の種類や、粉体、液体等の試料の状態により照明光の反射状態が変化するため、光源の輝度を調整しないと、光量が不足又は過剰となって試料の光学的画像の輝度が適切でない場合がある。又、手動で輝度を調整する場合は煩雑であり且つ適切な輝度に調整することができない場合がある。
【特許文献１】特開２００３−１４９１８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、光源の輝度を適切に調整して光学的画像を取得可能な蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明の一態様によれば、試料表面にＸ線を照射して、前記試料から発せられた蛍光Ｘ線を測定する蛍光Ｘ線分析装置であって、（イ）Ｘ線を照射する箇所（照射箇所）の試料の表面を照明する光源と、（ロ）光源を用いて試料を照明しながら、試料の照射箇所の画像データを取得する撮像装置と、（ハ）照射箇所の画像データに基づいて光源の輝度を調整する調整部とを備える蛍光Ｘ線分析装置が提供される。
【０００７】
本願発明の他の態様によれば、（イ）試料表面にＸ線を照射して、試料から発せられた蛍光Ｘ線を測定するステップと、（ロ）光源を用いてＸ線を照射する箇所（照射箇所）の試料の表面を照明しながら試料の照射箇所の画像データを取得するステップと、（ハ）照射箇所の画像データに基づいて光源の輝度を調整するステップとを含む蛍光Ｘ線分析方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光源の輝度を適切に調整して光学的画像を取得可能な蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであることに留意すべきである。又、以下に示す実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
【００１０】
（蛍光Ｘ線分析装置）
本発明の実施の形態に係る蛍光Ｘ線分析装置は、図１に示すように、Ｘ線を照射する箇所（照射箇所）の試料の表面を照明する光源３と、光源を用いて試料を照明しながら、試料の照射箇所の画像データを取得する撮像装置４と、照射箇所の画像データに基づいて光源３の輝度を調整する調整部１３とを備え、試料表面にＸ線を照射して、試料から発せられた蛍光Ｘ線を測定する。
【００１１】
調整部１３は、ハードウェア資源であるモジュール（論理回路）として中央演算処理装置（ＣＰＵ）１に論理的に備えられている。ＣＰＵ１は、更に撮像制御部１１及び測定制御部１２を備える。撮像制御部１１は、撮像装置４による撮像を制御する信号を撮像装置４に出力するハードウェア資源としてのモジュール（論理回路）である。測定制御部１２は、測定装置２による測定を制御する信号を測定装置２に出力するハードウェア資源としてのモジュール（論理回路）である。ＣＰＵ１には、データ記憶装置５、入力装置６、出力装置７、主記憶装置８及びプログラム記憶装置９等が接続されている。
【００１２】
光源３及び撮像装置４は、蛍光Ｘ線を検出して試料を構成する元素の種類や含有量を測定する測定装置２の一部を構成している。このため、測定装置２は、図２に示すように、ステージ２２と、ステージ２２に載置された試料１０に対しＸ線（１次Ｘ線）を照射するＸ線源２３と、試料１０からの蛍光Ｘ線（２次Ｘ線）を検出する検出器２４と、ステージ２２、Ｘ線源２３及び検出器２４を収納する筐体２１とを更に備える。筐体２１の一部、例えば、筐体２１の上部には、試料１０を出し入れし、Ｘ線の漏洩を防ぐ開閉可能なカバー２５が設けられている。カバー２５は、使用者が手動で開閉しても、或いは測定制御部１２により制御し自動的に開閉させても良い。
【００１３】
ステージ２２は、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能である。ステージ２２には、試料１０を撮像し、試料１０にＸ線を照射する等の目的で開口部（Ｘ線照射口）２２ａが設けられている。開口部２２ａの代わりに、Ｘ線を透過し且つ透明なガラス板を配置したり、開口部２２ａと試料１０の間にフィルム等の部材を配置しても良い。
【００１４】
Ｘ線源２３としては、例えば電子線を発射する電子銃と、電子線を所定の１次Ｘ線に変えて発射するターゲットを含むＸ線管等が使用可能である。Ｘ線源２３は、測定制御部１２により制御されてステージ２２の開口部２２ａを介して試料１０に１次Ｘ線を照射する。検出器２４は、１次Ｘ線で励起され試料１０から放出された蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線を検出する。検出器２４により検出された２次Ｘ線はＣＰＵ１において分析される。図示を省略するが、筐体２１内を排気する真空ポンプや、Ｘ線を適宜遮断するシャッター等必要な部品が測定装置２に設けられているのは勿論である。
【００１５】
光源３及び撮像装置４は、図２に例示したように測定装置２内のステージ２２の下に配置すれば良い。図２に例示した場合であれば、光源３は、ステージ２２に設けられた開口部２２ａを介してＸ線を照射する箇所（照射箇所）の試料１０の表面を照明する。光源３としては、ハロゲンランプ、キセノンランプ又は発光ダイオード（ＬＥＤ）等が使用可能である。撮像装置４は、ステージ２２に設けられた開口部２２ａを介して試料１０のＸ線が照射される箇所（測定箇所）及び光源３による照射箇所の画像データを取得する。撮像装置４としては、ＣＣＤ等が使用可能である。
【００１６】
図１に示したデータ記憶装置５は、撮像装置４により撮像した試料１０の照射箇所の画像データ等をＡ／Ｄ変換後、多値階調データ又は２値データとして記憶する。画像データは、図３に例示するように、マトリクス状に配列した複数の矩形（以下において、それぞれの矩形を「ドット」という。）Ｄによりドットマトリクスとして構成されている。図３では代表としての１ドットＤを斜線で示している。データ記憶装置５は更に、調整部１３による光源３の輝度の調整時に用いる基準値を記憶している。基準値は、撮像装置４の特性等により適宜設定可能である。
【００１７】
調整部１３は、輝度算出手段１３１、平均値算出手段１３２、輝度調整手段１３３、輝度抽出手段１３４、重み決定手段１３５、モード選択手段１３６及びコントラスト算出手段１３７を論理的に備える。調整部１３による光源３の輝度の調整方法としては、以下で説明するように「平均値モード」と「ピーク保持モード」の２種類を用いる。
【００１８】
「平均値モード」では、輝度算出手段１３１が図３に示したドットマトリクスをなす画像データ中に含まれるドットＤ毎に輝度を算出する。平均値算出手段１３２がドットＤの輝度の平均値を算出する。このときのドットＤの輝度の平均値としては、画像データ全体に含まれるドットＤの輝度平均値を算出しても良く、或いは図４に示すように、画像データに含まれる所望の一部分の範囲Ａ内に含まれる複数のドットＤ１〜Ｄ４毎に輝度を算出し、複数のドットＤ１〜Ｄ４の平均値を算出しても良い（図４では、範囲Ａに４つのドットＤ１〜Ｄ４が含まれる例を示した）。
【００１９】
更に、輝度調整手段１３３がデータ記憶装置５から基準値を読み出して、ドットＤの輝度の平均値が基準値と一致するように光源３の輝度を調整する。なお、基準値の代わりに基準範囲であっても良く、ドットＤの輝度の平均値が基準範囲内に収まるように調整しても良い。
【００２０】
一方、「ピーク保持モード」では、輝度算出手段１３１が図３に示した画像データ中に含まれるドットＤ毎に輝度を算出する。輝度抽出手段１３４が図５に示すように画像データに含まれる複数のドットＤのうち最も明るいドットＤmaxの輝度（以下において「ピーク値」という。）を抽出する。このときのピーク値としては、画像データ全体に含まれる複数のドットＤのうちから抽出しても良く、或いは図４に示すように画像データに含まれる所望の一部分の範囲Ａ内に含まれる複数のドットＤ１〜Ｄ４のうちからピーク値を抽出しても良い。
【００２１】
更に、輝度調整手段１３３がデータ記憶装置５から基準値を読み出して、ピーク値が基準値と一致するように光源３の輝度を調整する。又、基準値の代わりに基準範囲であっても良く、ピーク値が基準範囲内に収まるように調整しても良い。
【００２２】
又、輝度の調整方法として、「平均値モード」と「ピーク保持モード」のいずれか一方を択一的に行う他に、「平均値モード」と「ピーク保持モード」を組み合わせて光源３の輝度を調整することも可能である。
【００２３】
重み決定手段１３５は、「平均値モード」と「ピーク保持モード」とを組み合わせる割合（重み）を決定する。重みは、撮像装置４の特性や、金属、樹脂等の試料１０の種類、或いは粉体、液体等の試料１０の状態等により適宜設定可能である。例えば光沢のある試料１０の場合、「ピーク保持モード」の割合を大きくする。モード選択手段１３６は「平均値モード」と「ピーク保持モード」のいずれを行うかを選択する。
【００２４】
コントラスト算出手段１３７は、画像データのコントラストを算出する。例えば、図６に示すように、画像中に含まれる最も明るいドットＤmaxの輝度と最も暗いドットＤminの輝度との差をコントラストとして算出しても良い。輝度調整手段１３３は、コントラスト算出手段１３７により算出されたコントラストも考慮して光源３の輝度を調整しても良い。
【００２５】
入力装置６としては、例えばキーボード、マウス又はマイク等が使用可能である。入力装置６には、測定装置２による測定の指示、撮像装置４による撮像の指示、データ記憶装置５に記憶される基準値及び「平均値モード」と「ピーク保持モード」とを組み合わせる割合等が入力される。出力装置７としては、プリンタ、液晶ディスプレイ又はＣＲＴディスプレイ等を用いることができる。出力装置７は、例えば図７に示すように、データ記憶装置５に記憶された試料１０の照射箇所（Ｘ線照射箇所）の画像データ等を表示する表示部７１や、「平均値モード」と「ピーク保持モード」の組み合わせの割合を調整するつまみ７２が配置されている。
【００２６】
図１に示した主記憶装置８としては、例えば半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスクや磁気テープ等が採用可能である。半導体メモリとしては、例えば、ＲＯＭ及びＲＡＭが採用可能である。ＲＯＭは、ＣＰＵ１において実行されるプログラムを格納しているプログラム記憶装置９等として機能させることが可能である（プログラムの詳細は後述する。）。ＲＡＭは、ＣＰＵ１におけるプログラム実行処理中に利用されるデータ等を一時的に格納したり、作業領域として利用される一時的なデータメモリ等として機能させることが可能である。
【００２７】
（蛍光Ｘ線分析方法）
次に、本発明の実施の形態に係る蛍光Ｘ線分析装置を用いた蛍光Ｘ線分析方法を、図８のフローチャートを参照しながら説明する。
【００２８】
（イ）ステップＳ１０において、試料１０をステージ２２上に載置し、カバー２５を閉めて試料１０をセットする。測定装置２が試料１０に対してＸ線測定を行う。測定データはデータ記憶装置５に格納される。
【００２９】
（ロ）ステップＳ１１において、光源３が、Ｘ線を照射する箇所（Ｘ線照射箇所）の試料１０の表面を照明する。光源３を用いて試料１０を照明しながら、撮像装置４が試料１０の照射箇所（Ｘ線照射箇所）の画像データを取得する。取得された試料１０の照射箇所（Ｘ線照射箇所）の画像データは、各画素のデータをＡ／Ｄ変換後、多値階調データ又は２値データとしてデータ記憶装置５に格納される。
【００３０】
（ハ）ステップＳ１２において、重み決定手段１３５が、入力装置６から入力された指示や撮像装置４の特性等に基づいて、「平均値モード」と「ピーク保持モード」の組み合わせる割合（重み）を決定する。この重みは、データ記憶装置５に予め記憶していても良い。
【００３１】
（ニ）ステップＳ１３〜Ｓ１５において「平均値モード」を実行する。ステップＳ１３において輝度算出手段１３１が画像データ中に含まれる複数のドットＤ毎に輝度を算出し、ステップＳ１４において平均値算出手段１３２がドットＤの輝度の平均値を算出する。ステップＳ１５において輝度調整手段１３３がデータ記憶装置５から基準値を読み出して、平均値が基準値と一致するように光源３の輝度の調整値を算出する。
【００３２】
（ホ）ステップＳ１６〜Ｓ１８において、「ピーク保持モード」を実行する。ステップＳ１６において輝度算出手段１３１が画像データ中に含まれる複数のドットＤ毎に輝度を算出し、ステップＳ１７において輝度抽出手段１３４がドットＤ毎の輝度のうちピーク値を抽出する。ステップＳ１８において輝度調整手段１３３がデータ記憶装置５から基準値を読み出して、ピーク値が基準値と一致するように光源３の輝度の調整値を算出する。
【００３３】
（ヘ）ステップＳ１９において、輝度調整手段１３３が、ステップＳ１２で決定した重みに応じて、ステップＳ１３〜Ｓ１５の「平均値モード」により算出した調整値と、ステップＳ１６〜Ｓ１８の「ピーク保持モード」により算出した調整値とを組み合わせた調整値を用いて光源３の輝度を調整する。
【００３４】
本発明の実施の形態に係る蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法によれば、光源３の輝度を自動的に適切に調整可能となり、光源３が調整された輝度で照明することにより観察しやすい画像データを取得することができる。
【００３５】
なお、図４に示した手順は一例であって特に限定されず、例えばステップＳ１９の手順の後に、光源３が調整された輝度で照明し撮像装置４が画像データを取得する手順、及び測定装置２が試料１０に対してＸ線測定を行う手順等があっても良い。又、ステップＳ１０においてＸ線測定を行うステップと、ステップＳ１１において光源３を用いて試料１０を照明しながら、撮像装置４が試料１０の照射箇所（Ｘ線照射箇所）の画像データを取得するステップとは同時に行っても良い。
【００３６】
又、図４に示した一連の手順、即ち：試料１０の蛍光Ｘ線を測定するステップ；光源３を用いて試料１０を照明するステップ；試料１０の照射箇所（Ｘ線照射箇所）の画像データを取得するステップ；画像データに基づいて光源３の輝度を調整するステップ；等は、図４と等価なアルゴリズムのプログラムにより、図１に示した蛍光Ｘ線分析装置を制御して実行できる。
【００３７】
このプログラムは、本発明の蛍光Ｘ線分析装置を構成するコンピュータシステムのプログラム記憶装置９に記憶させればよい。又、このプログラムは、コンピュータ読取り可能な記録媒体に保存し、この記録媒体を蛍光Ｘ線分析装置のプログラム記憶装置９に読み込ませることにより、本発明の実施の形態の一連の手順を実行することができる。
【００３８】
ここで、「コンピュータ読取り可能な記録媒体」とは、例えばコンピュータの外部メモリ装置、半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、磁気テープなどのプログラムを記録することができるような媒体などを意味する。具体的には、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ，ＭＯディスクなどが「コンピュータ読取り可能な記録媒体」に含まれる。例えば、蛍光Ｘ線分析装置の本体は、フレキシブルディスク装置（フレキシブルディスクドライブ）および光ディスク装置（光ディスクドライブ）を内蔵若しくは外部接続するように構成できる。
【００３９】
フレキシブルディスクドライブに対してはフレキシブルディスクを、また光ディスクドライブに対してはＣＤ−ＲＯＭをその挿入口から挿入し、所定の読み出し操作を行うことにより、これらの記録媒体に格納されたプログラムをプログラム記憶装置９にインストールすることができる。又、所定のドライブ装置を接続することにより、例えばＲＯＭや、磁気テープ装置を用いることもできる。さらに、インターネット等の情報処理ネットワークを介して、このプログラムをプログラム記憶装置９に格納することが可能である。
【００４０】
（変形例）
次に、本発明の実施の形態の変形例として、「平均値モード」と「ピーク保持モード」とを択一的に行う蛍光Ｘ線測定方法の一例を、図９のフローチャートを参照しながら説明する。
【００４１】
（イ）ステップＳ２０において、試料１０をステージ２２上に載置し、カバー２５を閉めて試料１０をセットする。測定装置２が試料１０に対してＸ線測定を行う。測定データはデータ記憶装置５に格納される。
【００４２】
（ロ）ステップＳ２１において、光源３がＸ線を照射する箇所（Ｘ線照射箇所）の試料１０の表面を照明する。光源３を用いて試料１０を照明しながら、撮像装置４が試料１０の照射箇所（Ｘ線照射箇所）の画像データを取得する。取得された試料１０の照射箇所（Ｘ線照射箇所）の画像データは、各画素のデータをＡ／Ｄ変換後、多値階調データ又は２値データとしてデータ記憶装置５に格納される。
【００４３】
（ハ）ステップＳ２２において、モード選択手段１３６が、撮像装置４の特性や入力装置６から入力された指示等に応じて、光源３の輝度を調整する方法として「平均値モード」と「ピーク保持モード」のいずれを行うか決定する。
【００４４】
（ニ）ステップＳ２２で「平均値モード」に決定した場合、ステップＳ２３において輝度算出手段１３１が画像データ中に含まれる複数のドットＤ毎に輝度を算出する。ステップＳ２４において平均値算出手段１３２がドットＤの輝度の平均値を算出する。ステップＳ２５において輝度調整手段１３３がデータ記憶装置５から基準値を読み出して、平均値が基準値と一致するように光源３の輝度を調整する。
【００４５】
（ホ）一方、ステップＳ２２で「ピーク保持モード」に決定した場合、ステップＳ２６において輝度算出手段１３１が画像データ中に含まれる複数のドットＤ毎に輝度を算出する。ステップＳ２７において輝度抽出手段１３４がドットＤ毎の輝度のうちピーク値を抽出する。ステップＳ２８において輝度調整手段１３３がデータ記憶装置５から基準値を読み出して、ピーク値が基準値と一致するように光源３の輝度を調整する。
【００４６】
本発明の実施の形態の変形例によれば、「平均値モード」と「ピーク保持モード」のいずれを行うか適宜判断し、光源３の輝度を適切に調整することができる。
【００４７】
なお、図９に示した手順は一例であって特に限定されず、例えばステップＳ２８の手順の後に、光源３が調整された輝度で照明し撮像装置４が画像データを取得する手順、及び測定装置２が試料１０に対してＸ線測定を行う手順等があっても良い。又、ステップＳ２０においてＸ線測定を行うステップと、ステップＳ２１において光源３を用いて試料１０を照明しながら、撮像装置４が試料１０の照射箇所（Ｘ線照射箇所）の画像データを取得するステップとは同時に行っても良い。
【００４８】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。例えば、蛍光Ｘ線分析法の方式には、分光結晶を用いた波長分散型と半導体検出器を用いたエネルギー分散型があるが、本発明はいずれの方式にも適用可能である。
【００４９】
更に、実施の形態では、蛍光Ｘ線分析装置について例示したが、試料１０をステージ２２に載置して測定を行う種々の測定装置（分析装置）に適用できることは、上記説明から容易に理解できるであろう。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の論理的な構成の一例を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の測定装置の論理的な構成の一例を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る画像データを示す概略図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る画像データの範囲を示す概略図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る画像データの最も明るいドットを示す概略図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る画像データの最も明るいドットと最も暗いドットを示す概略図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る出力装置の一例を示す概略図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る蛍光Ｘ線分析方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図９】本発明の実施の形態に係る蛍光Ｘ線分析方法の他の一例を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００５１】
１…中央演算処理装置（ＣＰＵ）
２…測定装置
３…光源
４…撮像装置
５…データ記憶装置
６…入力装置
７…出力装置
８…主記憶装置
９…プログラム記憶装置
１０…試料
１１…撮像制御部
１２…測定制御部
１３…調整部
２１…筐体
２２…ステージ
２２ａ…開口部
２３…Ｘ線源
２４…検出器
２５…カバー
７１…表示部
７２…つまみ
１３１…輝度算出手段
１３２…平均値算出手段
１３３…輝度調整手段
１３４…輝度抽出手段
１３５…決定手段
１３６…モード選択手段
１３７…コントラスト算出手段
【図１】
2009068955.tif 000003
【図２】
2009068955.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009068955.tif 000006
【図５】
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【図６】
2009068955.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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