(57)【要約】      （修正有）【課題】テスト開始までの経過時間を短くすることにより正確なトレーサーガスリークテストを可能にする。【解決手段】多数のワークを載せたトレイは、ガスボンビング装置４０の密閉した容器４２内に収容された状態で、トレーサーガスの供給を受ける。トレイ搬送手段７０は、ガスボンビング装置４０の容器４２からボンビング完了後のトレイを取り出すとともに、多数のワークを載せたボンビング前のトレイを容器４２に投入する。リークテスト装置５０は、複数のワークカプセル５２と、これらワークカプセルに接続されるトレーサーガス検出器を有し、ワークカプセル５２内のワークの微小漏れ検査を行う。第２ワーク投入手段８０は、ボンビング装置４０の容器４２から取り出されたトレイから、複数個のワークを同時に吸着してワークカプセル５２に投入する。【選択図】図１
2009121899.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ア）互いに独立し縦横に整列してマトリックス状をなす多数の収容凹部を、上面に形成してなるトレイと、
（イ）多数のワークを１つずつ排出するパーツフィーダと、
（ウ）上記パーツフィーダから排出されたワークを、上記トレイの多数の収容凹部に投入し、各収容凹部に１個ずつ収容させる第１ワーク投入手段と、
（エ）多数のワークを載せたトレイを密閉した容器内に収容した状態で、トレーサーガスを供給するガスボンビング装置と、
（オ）上記ガスボンビング装置の容器からボンビング完了後のトレイを取り出すとともに、多数のワークを載せたボンビング前のトレイを上記容器に投入するトレイ搬送手段と、
（カ）複数のワークカプセルと、これらワークカプセルに接続されるトレーサーガス検出器を有し、ワークカプセル内のワークの微小漏れ検査を行うリークテスト装置と、
（キ）上記ボンビング装置の容器から取り出されたトレイから、複数個のワークを同時に吸着して上記リークテスト装置の複数個のワークカプセルに１個ずつ収容されるように投入する第２ワーク投入手段と、
を備えたことを特徴とするリークテストシステム。
【請求項２】
さらに整列手段を備え、この整列手段は、上記パーツフィーダの排出端近傍において直線的に往復動する受け部材を含み、この受け部材は一列をなして等間隔おきに形成された複数の受け凹部を有し、間欠的に移動しながら、この受け凹部に順にパーツフィーダの排出端からのワークを受け入れるようになっており、
上記第１ワーク投入手段は複数の吸着部を有し、これら吸着部が上記受け部材の複数の受け凹部に収容されたワークを吸着して、上記トレイの収容凹部に投入することを特徴とする請求項１に記載のリークテストシステム。
【請求項３】
さらにトレイ搬送用ターンテーブルを備え、このターンテーブルには所定角度間隔おきに上記トレイが載せられ、上記第１ワーク投入手段は、この搬送用ターンテーブルに載せられた第１位置にあるトレイに上記ワークを投入し、
上記トレイ搬送用ターンテーブルは、上記所定角度回転により、多数のワークを載せたトレイを第１位置から第２位置まで移動させ、
上記トレイ搬送手段は、上記ガスボンビング装置の容器からボンビングを完了したトレイを搬出して上記搬送用テーブルの第２位置に移すとともに、この第２位置にあるトレイを当該容器に搬入し、
上記トレイ搬送用ターンテーブルは上記所定角度回転により、ボンビングを完了した第２位置にあるトレイを第３位置まで移動し、上記第２ワーク投入手段は、この第３位置にあるトレイのワークを上記リークテスト装置のワークカプセルに投入することを特徴とする請求項１または２に記載のリークテストシステム。
【請求項４】
上記ボンビング装置と上記リークテスト装置は、それぞれ上記トレイ搬送用ターンテーブルに隣接して配置されたターンテーブルを有し、
上記ボンビング装置のターンテーブルには、上記容器が等しい角度間隔離れて多数設けられ、所定角度位置にある容器において、ボンビングを完了したトレイの搬出とボンビングしていないトレイの搬入を行い、他の角度位置の容器に対してトレーサーガスを供給し、
上記リークテスト装置のターンテーブルは、所定角度の回転により、上記ワークカプセルを、上記第２ワーク投入手段からワークの受け取る搬入ステージから、トレーサーガスリークテストを受けるステージへと移動させることを特徴とする請求項３に記載のリークテストシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘリウム等のトレーサーガスを用いたリークテストシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークのピンホール等の傷の有無を検査するために、加圧エアを用いたエアリークテストを行うことは周知である。しかし、電子部品等の小型ワークのピンホール等を検査する場合、エアリークテストでは感度が低いために検出することができない。
そこで小型ワークを検査する場合、特許文献１に開示されているように、エアリークテストと併用してヘリウムリークテストを行うのが一般的である。
【０００３】
上記ヘリウムリークテストでは、事前に多数（例えば数百〜数千個）のワークを容器に収容し、この容器に加圧ヘリウムガスを供給して１〜２時間維持する（ボンビング）。ワークにピンホールがあれば、ワークの微小空間にヘリウムガスが侵入する。
【０００４】
上記ヘリウムガスのボンビング工程の後に、複数のワークカプセルに１個ずつワークを密閉して収容し、これらワークカプセルにヘリウム検出器を接続した状態で、ヘリウム検出を行う。ヘリウム検出が無い場合には、微小のピンホールが無いと判断し、ヘリウムを検出した場合には、ワークに微小のピンホール有りと判断する。
【特許文献１】特開２０００−１２１４８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記ヘリウムリークテストでは、ボンビングされたワークから所定数（例えば４個）ずつ取り出してテストするが、ボンビング終了からヘリウムリークテスト開始までに費やす時間が、ワークにより大きく相違する。そのため、早い時期にテストされるワークでは、支障なく微小漏れの検査を行えるが、遅い時期にテストされるワークでは、ワーク内の微小空間に侵入したヘリウムが逃げてしまい、微小漏れの検査を行えなくなってしまう。
【０００６】
上記問題は、ワークの小型化が進むほど顕著なものとなる。この問題を解決するために、多数のトレイを用意し、ワークを小分けにしてトレイに載せ、ボンビングを行ない、ボンビングが終了したトレイから順にワークを取り出して、ヘリウムリークテストを行なっている。
【０００７】
上記のようにワークを小分けにする場合、ボンビング終了からヘリウムリークテスト開始までに費やす時間が大幅に短縮されるが、上記ボンビングが完了したトレイからワークを１つずつ複数のワークカプセルへ投入するために時間を費やしており、改善の余地があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は、リークテストシステムにおいて、
（ア）互いに独立し縦横に整列してマトリックス状をなす多数の収容凹部を、上面に形成してなるトレイと、
（イ）多数のワークを１つずつ排出するパーツフィーダと、
（ウ）上記パーツフィーダから排出されたワークを、上記トレイの多数の収容凹部に投入し、各収容凹部に１個ずつ収容させる第１ワーク投入手段と、
（エ）多数のワークを載せたトレイを密閉した容器内に収容した状態で、トレーサーガスを供給するガスボンビング装置と、
（オ）上記ガスボンビング装置の容器からボンビング完了後のトレイを取り出すとともに、多数のワークを載せたボンビング前のトレイを上記容器に投入するトレイ搬送手段と、
（カ）複数のワークカプセルと、これらワークカプセルに接続されるトレーサーガス検出器を有し、ワークカプセル内のワークの微小漏れ検査を行うリークテスト装置と、
（キ）上記ボンビング装置の容器から取り出されたトレイから、複数個のワークを同時に吸着して上記リークテスト装置の複数個のワークカプセルに１個ずつ収容されるように投入する第２ワーク投入手段と、
を備えたことを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、ワークをトレイ上で互いに独立した収容凹部に収容し整列させた状態でボンビングすることにより、ボンビング完了後にワークを整列させずに済むので、ボンビング完了後のトレイからワークを複数のワークカプセルへ投入するのに要する時間を短縮できる。これにより、ボンビング完了からトレーサーガスリークテスト開始までの時間を短縮でき、正確な微小漏れ検査を行うことができる。
【００１０】
好ましくは、さらに整列手段を備え、この整列手段は、上記パーツフィーダの排出端近傍において直線的に往復動する受け部材を含み、この受け部材は一列をなして等間隔おきに形成された複数の受け凹部を有し、間欠的に移動しながら、この受け凹部に順にパーツフィーダの排出端からのワークを受け入れるようになっており、上記第１ワーク投入手段は複数の吸着部を有し、これら吸着部が上記受け部材の複数の受け凹部に収容されたワークを吸着して、上記トレイの収容凹部に投入する。
上記構成によれば、複数の受け凹部を有する整列手段と、複数の吸着部を有する第１ワーク投入手段を用いることにより、トレイへのワーク投入をより円滑に行うことができる。
【００１１】
好ましくは、さらにトレイ搬送用ターンテーブルを備え、このターンテーブルには所定角度間隔おきに上記トレイが載せられ、上記第１ワーク投入手段は、この搬送用ターンテーブルに載せられた第１位置にあるトレイに上記ワークを投入し、上記トレイ搬送用ターンテーブルは、上記所定角度回転により、多数のワークを載せたトレイを第１位置から第２位置まで移動させ、上記トレイ搬送手段は、上記ガスボンビング装置の容器からボンビングを完了したトレイを搬出して上記搬送用テーブルの第２位置に移すとともに、この第２位置にあるトレイを当該容器に搬入し、上記トレイ搬送用ターンテーブルは上記所定角度回転により、ボンビングを完了した第２位置にあるトレイを第３位置まで移動し、上記第２ワーク投入手段は、この第３位置にあるトレイのワークを上記リークテスト装置のワークカプセルに投入する。
上記構成によれば、トレイ搬送用ターンテーブルを用いることにより、トレイ搬送手段でのトレイの搬送、第１、第２ワーク投入手段でのワーク投入の作業を円滑に行うことができる。
【００１２】
好ましくは、上記ボンビング装置と上記リークテスト装置は、それぞれ上記トレイ搬送用ターンテーブルに隣接して配置されたターンテーブルを有し、上記ボンビング装置のターンテーブルには、上記容器が等しい角度間隔離れて多数設けられ、所定角度位置にある容器において、ボンビングを完了したトレイの搬出とボンビングしていないトレイの搬入を行い、他の角度位置の容器に対してトレーサーガスを供給し、上記リークテスト装置のターンテーブルは、所定角度の回転により、上記ワークカプセルを、上記第２ワーク投入手段からワークの受け取る搬入ステージから、トレーサーガスリークテストを受けるステージへと移動させる。
上記構成によれば、３つのターンテーブルにより、トレイ搬送手段でのトレイの搬送、第１、第２ワーク投入手段でのワーク投入の作業、ボンビングおよびリークテストを円滑に行うことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ボンビング終了時からヘリウムリークテスト開始時点までの消費時間を短くでき、正確な微小漏れを検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係わるリークテストシステムを、図面を参照しながら説明する。図１に示すように、このシステムは四角形状のトレイ１を多数有している。
図２、図３に示すように、上記トレイ１には、その上面に互いに独立した正方形の多数の収容凹部１ａが形成されている。これら収容凹部１ａはワークＷを１個ずつ収容するためのものであり、上方から見ると縦横に整列してマトリックス状に配置されている。本実施形態では縦１０列横１２列をなし、合計１２０個の収容凹部１ａが形成されている。
図３に示すように上記トレイ１はその下面の４隅に突起１ｂを有している。
【００１５】
図１に示すようにリークテストシステムは、パーツフィーダ１０と、整列手段２０と、トレイ搬送用ターンテーブル３０と、ガスボンビング装置４０と、リークテスト装置５０を備えている。
【００１６】
上記ガスボンビング装置４０とリークテスト装置５０は上記搬送用ターンテーブル３０に隣接しこのターンテーブル３０を挟むようにしてほぼ直線的に配列されており、この配列から外れた位置にパーツフィーダ１０が配置され、ターンテーブル３０とパーツフィーダ１０との間に整列手段２０が配置されている。
【００１７】
上記パーツフィーダ１０は周知の構成であるので詳述しないが、多数（例えば千個以上）のワークに振動を付与しながら所定の姿勢に揃え、直線状をなす排出部１１から1個ずつ並べて排出するようになっている。
【００１８】
上記整列手段２０は、上記排出部１１と直交する方向に延びる細長い受け部材２１と、この受け部材２１をその長手方向に移動させる手段（図示しない）を有している。受け部材２１の上面には、その長手方向に等間隔をおいて一列に並べられた４つ（複数）の受け凹部２１ａが形成されている。
【００１９】
受け部材２１は、その受け凹部２１ａがパーツフィーダ１０の排出部１１の終端（排出端）に達する度に停止され、排出部１１からのワークを受け凹部２１ａで受け取ってから受け凹部２１ａのピッチに相当する距離だけ移動されるようになっている。このように受け部材２１は間欠移動され、全ての受け凹部２１ａがワークＷを受け取った後に、さらに図１の待機位置まで移動される。
【００２０】
上記ターンテーブル３０には、９０°間隔（所定角度間隔）で合計４つのトレイ１が位置決めされた状態で設置される。トレイ１の位置決めは、トレイ１の突起１ｂとターンテーブル２０の上面に形成された凹部の嵌め合いにより行ってもよいし、ターンテーブル３０の上面に形成された四角の環状突起にトレイ１を嵌めこむことにより行ってもよい。
【００２１】
上記ターンテーブル３０は、９０°の間欠回転を行うことにより、上記トレイ１を上記待機位置にある受け部材２１に近接した第１位置と、ボンビング装置４０に近接した第２位置と、ボンビング位置から９０°離れた第３位置と、リークテスト装置５０に近接した第４位置とに順次位置させるようになっている。
【００２２】
上記待機位置にある受け部材２１に載せられた４個のワークＷは、第１ワーク投入手段６０により、ターンテーブル３０の第１位置にあるトレイ１に搬送される。この第１ワーク投入６０は、図３に示すように例えば４つ（複数）の吸着部６１を有している。これら吸着部６１は上記受け部材２１の４つの受け凹部２１ａと同一ピッチで直線的に配置されており、受け凹部２１ａに入っている４つのワークＷを一度に吸着してトレイ１に運ぶ。
【００２３】
空になった受け部材２１は、再び上記パーツフィーダ１０の排出部１１に戻り、上記のワークＷの受け取りを繰り返し、再び待機位置に戻る。
【００２４】
上記トレイ１の収容凹部１ａの配列ピッチは、上記受け凹部２１ａの配列ピッチより小さい。上記受け部材２１でワークＷを吸着した４つの吸着部６１は、互いの間隔を狭めてトレイ１の上方に至り、ここでトレイ１の収容凹部１ａに例えば２つおきにワークＷを投入する（図３参照）。したがって、３回の搬送で横一列の収容凹部１ａへのワーク投入が完了する。これを繰り返すことにより、トレイ１の全ての収容凹部１ａにワークＷを投入する。
【００２５】
上記ターンテーブル３０が９０°回転すると、ワークＷを載せた第１位置のトレイ１は、ガスボンビング装置４０に近接した第２位置まで移動する。
【００２６】
上記ガスボンビング装置４０は、ターンテーブル４１と、このターンテーブル４１に等間隔（例えば１０°間隔）で配置された多数の容器４２とを有している。
図４に示すように、この容器４２は容器本体４２ａと蓋４２ｂを有している。容器本体４２ａはターンテーブル４１に固定され、上面に収容凹部４２ｘ（収容空間）を有している。蓋４２ｂは開閉機構４３により容器本体４２ａの収容凹部４２ｘを開閉するようになっている。
【００２７】
上記容器４２は、角度位置Θａ（ターンテーブル３０に最も近い位置）にある時だけ開くようになっており、この容器４２内に収容されたボンビング完了後のトレイ１と、上述したように搬送テーブル３０の第２位置にあるボンビング前のトレイ１とがトレイ搬送手段７０によって交換される。
【００２８】
上記トレイ搬送手段７０は、２対のチャック爪を有しており、これらチャック爪を下降させて上記２つのトレイ１を両脇から掴み、上昇させて１８０°回転させ、さらに下降させることにより、上記交換を行う。上記交換後に容器４２は閉じられる。
【００２９】
各容器４２の容器本体４２ａには、接続ポート４４が径方向外方向に突出するようにして形成されている。図４に示すように、この接続ポート４４は、逆止弁４５および容器本体４２ａに形成された連絡通路４２ｙを介して収容凹部４２ｘに連なっている。
【００３０】
図１に示すように、上記容器４２が図１の符号Θｂで示す角度位置にある時には、容器４２の接続ポート４４に、コネクタ４６が着脱可能に接続されるようになっている。このコネクタ４６には開閉弁４６ａ、４６ｂ、４６ｃを介して真空ポンプ４７、ヘリウムガスボンベ４８（トレーサーガス源）、窒素ガスボンベ４９が接続されている。
【００３１】
ターンテーブル４１の回転により、ボンビング前のトレイ１を収容した角度位置Θａの容器４２を角度位置Θｂまで送り、ここで、弁４６ａ，４６ｂを順次開閉して、真空ポンプ４７による真空吸引とその後のヘリウムガスボンベ３８からの加圧ヘリウムガス（トレーサーガス）の供給を行う。これにより、容器４２の密閉された収容凹部４２ｘ（収容空間）には加圧ヘリウムガスが充満し、このガス充満状態は逆止弁４５により維持される。
【００３２】
上記ヘリウムガスを充填された容器４２は、ターンテーブル４１の回転により、Θａ，Θｂ以外の角度位置まで搬送される。この容器４２において、トレイ１に載せられた多数のワークＷのうち、ピンホール等の欠陥があるワークＷでは、ヘリウムガスがこのピンホール等を通って微小な内部空間に侵入する。
【００３３】
所定のボンビング時間を越えた容器４２は再び角度位置Θｂに戻される。ここで接続ポート４４にコネクタ４６が接続された状態で、弁４６ａ，４６ｃを順次開閉することにより、容器４２内が真空吸引され、その後で窒素ガスボンベ４９からの短時間だけ加圧窒素ガスが供給される。これにより、ワークＷの外表面に付着したヘリウムが除去される。
【００３４】
上記のようにボンビングを完了した容器４２は、真空吸引、窒素ガス供給を受けた直後に、再び角度位置Θａに送られ、ここで前述したようにトレイ搬送手段７０により搬送用ターンテーブル３０の第２位置に戻される。なお、このガスボンビング装置４０では、容器４２毎に時間管理をしており、ターンテーブル４１を正逆回転させて、上記容器４２の送りを行う。
【００３５】
上記搬送用ターンテーブル３０の９０°回転により、第２位置に戻されたボンビング完了後のトレイ１が第３位置へと送られる。この第３位置において、第２ワーク投入手段８０により、トレイ１からリークテスト装置５０へワークＷが投入される。
【００３６】
リークテスト装置５０は、ターンテーブル５１を有しており、このターンテーブル５１には９０°間隔毎に４箇所に、複数例えば８つのワークカプセル５２のカプセル本体５２ａが昇降可能に支持されている。
【００３７】
図５に示すように、上記カプセル本体５２ａの上面には収容凹部５２ｘが形成されている。
図１に示すように８つのカプセル本体５２ａは、ターンテーブル５１の９０°の回転に伴って、ワーク搬入ステージＳ１から、エアリークテストステージＳ２、ヘリウムリークテストステージＳ３、ワーク搬出ステージＳ４へと順に送られるようになっている。
【００３８】
図５に示すように、上記第２ワーク投入手段８０は、第１ワーク投入手段６０と同様に４つの吸着部８１を有し、第３位置にあるトレイ１からワークＷを４つ同時に吸着して、ワーク搬入ステージＳ１にある８つのカプセル本体５２ａのうちの４つのカプセル本体５２ａの収容凹部５２ｘに投入する。
【００３９】
上記トレイ１の収容凹部１ａの配列ピッチは、上記カプセル本体５２ａの配列ピッチより小さい。そのため、上記第２ワーク投入手段８０の４つの吸着部８１は、互いの間隔を狭めた状態で、トレイ１の２つおきの収容凹部１ａに収容されたワークＷを吸着して、上昇してステージＳ１のカプセル本体５２ａに向かい、ここで間隔を広げて４つのカプセル５２ａの真上に位置し、それから下降して、各カプセル本体５２ａの収容凹部５２ｘに１個ずつワークＷを投入する。
【００４０】
したがって、２回の搬送で８つのカプセル本体５２ａへのワークＷの投入が完了する。なお、トレイ１側では、３回の搬送で横一列の収容凹部１ａへのワークＷ送り出しが完了する。
【００４１】
図１に示すように、ターンテーブル５１の９０°回転により、ワークＷを載せた８つのカプセル本体５２ａは、ワーク搬入ステージＳ１からエアリークテストステージＳ２へと送られる。このステージＳ２には、ターンテーブル５１の近傍において、８つのマスタカプセル５３のカプセル本体５３ａが、固定台５４に昇降可能に設けられている。これらカプセル本体５３ａは、上記ワークカプセル５２のカプセル本体５２ａと同形状をなし、その収容凹部には漏れが無いことが確認されたワークすなわちマスタワークが収容されている。
【００４２】
上記ステージＳ２で、８つのワークカプセル５２のカプセル本体５２ａが８つのマスタカプセル５３のカプセル本体５３ａとそれぞれ対をなして配置されている。この状態でターンテーブル５１および固定台５４の下方にそれぞれ配置された押し上げ機構を作動させて上記カプセル本体５２ａ，５３ａを押し上げることにより、これらカプセル本体５２ａ，５３ａをその真上の固定位置にある蓋板にそれぞれ密着させる。なお、カプセル本体５２ａ，５３ａは、それぞれ蓋板と協働してワークカプセル５２、マスタカプセル５３を構成する。
【００４３】
上記の状態で、エアリークテスト手段１００によりエアリークテスト（グロスリークテスト）が実行される。エアリークテスト手段１００は周知であるので簡単に説明すると、密閉状態の８つのワークカプセル５２、８つのマスタカプセル５３に加圧エアが供給され、それぞれが弁で閉じられた状態で、対をなすカプセル５２，５３間の差圧が検出され、この差圧に基づいてワークＷ毎のエアリークの有無を判定するようになっている。
【００４４】
エアリークテストが終了すると、カプセル本体５２ａ，５３ａは押し上げ機構により押し上げを解除されて元の位置に戻され、蓋体から離される。
【００４５】
上記ターンテーブル５１の９０°回転により、エアリークテスト終了後の８つのカプセル本体５２ａは、ステージＳ２からヘリウムリークテストステージＳ３へ運ばれる。ここでカプセル本体５２ａはエアリークステージと同様にして、押し上げ機構により押し上げられ、蓋板に密着される。この状態でヘリウムリークテスト手段２００によりヘリウムリークテスト（ファインリークテスト）を受ける。
【００４６】
上記ヘリウムリークテスト手段２００も周知であるので簡単に説明すると、図６に示すように密閉状態のワークカプセル５２には、それぞれ弁２０１を介して真空吸引ポンプ２０２とヘリウム検出器２０３（トレーサーガス検出器）が接続されている。
ワークカプセル５２のワークＷにピンホール等があり、ヘリウムが微小空間内に侵入している場合には、このワークＷからヘリウムが放出されヘリウム検出器２０３で検出される。
【００４７】
上記ターンテーブル５１の９０°回転により、８つのカプセル５２のカプセル本体５２ａは、ステージＳ３からワーク搬出ステージＳ４に送られ、ここで搬出手段９０により良品と不良品に区別されて搬出される。
【００４８】
上述したように、ボンビング装置４０では、数千個のワークＷをボンビングすることができ、十分な時間ボンビングできるにも拘わらず、トレイ１によって小分けにされているため、ボンビング完了からヘリウムリークテスト開始までの時間を短くすることができる。
【００４９】
しかも、ワークＷは、トレイ１上にマトリックス状に整列された状態で、ボンビングが行なわれ、複数同時に第２ワーク投入手段８０によりリークテスト装置の複数のワークカプセル５２に投入できるので、ボンビング完了後にワークＷを整列させる時間を省くことができ、この点からもボンビング完了からヘリウムリークテスト開始までの時間を短くすることができる。その結果、微小漏れを正確に検出することができる。
【００５０】
本発明は上記実施形態に制約されず、種々の態様を採用可能である。例えば、多数のトレイをそれぞれ個別の容器に収容してボンビングする代わりに、共通の容器に収容してボンビングを行うようにしてもよい。この場合、トレイの搬入搬出の際に、他のトレイから隔離するのが好ましい。
上記実施形態では、トレイ搬送用ターンテーブル３０は９０°毎に回転させるようにして、第４位置では何の作用も行わなかったが、１２０°毎に回転させるようにして第４位置を省いてもよい。
【００５１】
リークテスト装置では、エアリークテストをヘリウムリークテストより先に実行したが、後に実行するようにしてもよい。
受け部材の受け凹部を第１ワーク投入手段の吸着部の整数倍にしてもよい。この場合には、吸着部は受け部材とトレイの間を複数回往復する。
リークテスト装置のターンテーブルの各角度位置でのワークカプセルの数と、第２ワーク投入手段の吸着部の数を同数にしてもよい。この場合には、１回でワークカプセルへのワーク投入が完了する。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施形態をなすリークテストシステムの概略平面図である。
【図２】同実施形態で用いられるトレイの拡大平面図である。
【図３】同実施形態におけるトレイと第１ワーク投入手段の吸着部を示す拡大縦断面図である。
【図４】同実施形態のガスボンビング装置の要部拡大側面図である。
【図５】同実施形態におけるワークカプセルと第２ワーク投入手段の吸着部を示す拡大縦断面図である。
【図６】同実施形態におけるヘリウムリークテスト手段の回路図である。
【符号の説明】
【００５３】
Ｗ  ワーク
１  トレイ
１ａ  収容凹部
１０  パーツフィーダ
１１  排出部
２０  整列手段
２１  受け部材
２１ａ  受け凹部
３０  トレイ搬送用ターンテーブル
４０  ガスボンビング装置
４１  ターンテーブル
４２  容器
５０  リークテスト装置
５２  ワークカプセル
６０  第１ワーク投入手段
６１  吸着部
７０  トレイ搬送手段
８０  第２ワーク投入手段
８１  吸着部
２０３  ヘリウム検出器（トレーサーガス検出器）
【図１】
2009121899.tif 000003
【図２】
2009121899.tif 000004
【図３】
2009121899.tif 000005
【図４】
2009121899.tif 000006
【図５】
2009121899.tif 000007
【図６】
2009121899.tif 000008