(57)【要約】 【課題】  再剥離性（剥がした場合に被着体に糊残りしていない性能）に優れ、複雑で、ドットが小さく、線の細い、また線の間隔が狭いパターンの描かれたフォトマスクにフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けても気泡が混入しない解像度の高いフォトマスク保護用粘着テープの提供。 【解決手段】  透明な基材（Ａ）の片面に、ＧＰＣ法によるポリスチレン換算分子量として測定される重量平均分子量が１００万〜２００万であるアクリル酸エステル系樹脂と、架橋剤とを含有してなる粘着剤からなる粘着剤層（Ｂ）が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであって、アクリル酸エステル系樹脂が特定のものであり、粘着剤層（Ｂ）の引張剪断変位量が、８〜２５μｍであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープによる。【選択図】  図１
2009116170.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な基材（Ａ）の片面に、ＧＰＣ法によるポリスチレン換算分子量として測定される重量平均分子量が５０万〜１５０万であるアクリル酸エステル系樹脂と、架橋剤とを含有してなる粘着剤からなる粘着剤層（Ｂ）が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであって、
前記アクリル酸エステル系樹脂は、アルキル基の炭素数が４〜１２の（メタ）アクリル酸エステル単量体を主成分とし、水酸基またはカルボキシル基を有するビニル系単量体を共重合されてなるものであり、
粘着剤層（Ｂ）は、厚み４μｍで２００ｇ荷重において引張剪断変位量が、８〜２５μｍであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項２】
前記（メタ）アクリル酸エステル単量体は、アクリル酸ブチルおよび／またはアクリル酸２−エチルヘキシルであることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項３】
前記ビニル系単量体は、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートおよび／または（メタ）アクリル酸である請求項１又は２記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項４】
前記架橋剤は、イソシアネート化合物であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項５】
前記粘着剤は、事前に重量を測定した粘着剤を酢酸エチル中に２３℃にて２４時間浸漬した後、酢酸エチルから取り出して、２００メッシュの金網でろ過した残分を１１０℃にて１時間乾燥させたとき、下記の式で表されるゲル分率（Ｙ）が５０〜７５重量％であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
Ｙ＝１００×Ｗ２／Ｗ１ 
（式中、Ｗ１は浸漬前に測定した粘着剤の初期重量、Ｗ２は浸漬、乾燥後の粘着剤の残存重量を意味する。） 
【請求項６】
粘着剤層（Ｂ）は、厚みが２〜９μｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスク保護用粘着テープに関し、詳しくは、再剥離性（剥がした場合に被着体に糊残りしていない性能）に優れ、複雑で、ドットが小さく、線の細い、また線の間隔が狭いパターンの描かれたフォトマスクにフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けても気泡が混入しない解像度の高いフォトマスク保護用粘着テープに関する。 
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板の作製は、液状フォトレジスト等の粘着性を有するフォトレジストに露光用原稿であるフォトマスクを密着させた上から光を照射してフォトレジストを硬化させる工程を有する。この工程において、フォトマスクを直接フォトレジストに密着させると、露光終了後にフォトマスクを剥がす際にフォトレジストの一部がフォトマスク表面に転写され汚れを生じたりして、再使用ができなくなることがある。そこで、従来よりフォトマスクのフォトレジストに対向する面に、フォトマスク保護用粘着テープを貼り付けてフォトマスクの汚染やキズを防いでいた。 
【０００３】
フォトマスク保護用粘着テープには、再剥離性、帯電防止性、離型層の耐久性、光透過性等のさまざまな性能が要求されるが、なかでも照射した光が確実に平行に透過できる平行光透過性が最も重要である。フォトレジストの硬化には、光源として波長４００ｎｍ以下の紫外線が用いられる場合が多い。このためフォトマスク保護用粘着テープは、波長４００ｎｍ以下の紫外線の透過率が重要である。またフォトマスク保護用粘着テープを透過光に散乱が多い（ヘイズ値が高い）と平行紫外線透過性が不充分になり、照射した紫外線が充分平行にフォトレジストに到達できなかったり、微細な回路パターンの寸法不良を発生したりする等の問題があった。そこで、特許文献１には波長３５０ｎｍにおけるヘイズ値が３％以下であることを特徴とする透過率の良いフォトマスク保護用粘着テープの提案により改善されている。 
【０００４】
しかしながら、近年プリント配線板に形成する回路の高付加価値化にともないさらに複雑な回路形成が主流になりつつある。このため従来のフォトマスク保護用粘着テープでは、ドットが小さく、細線で、線の間隔が狭いパターンの描かれたフォトマスクにフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けるときに気泡が混入し、露光時に気泡がレンズの役割をして散乱して解像度が低下し回路パターンの断線が発生するという問題点があった。 
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２０６４５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、再剥離性に優れ、複雑で、ドットが小さく、線の細い、また線の間隔が狭いパターンの描かれたフォトマスクにフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けても気泡が混入しない解像度の高いフォトマスク保護用粘着テープを提供することにある。 
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記目的を達成するために、鋭意研究を重ねた結果、透明な基材（Ａ）の片面に、特定のアクリル酸エステル系樹脂と架橋剤とを含有してなる粘着剤からなり、厚み４μｍにおける特定の測定法による２００ｇ荷重引張剪断変位量が、８〜２５μｍである粘着剤層（Ｂ）が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープにより、前述したような気泡と解像度との問題が解決されることを見出した。 
それらの知見に、さらに検討を重ね、本発明を完成するに至った。 
【０００８】
すなわち、本発明の第１の発明によれば、透明な基材（Ａ）の片面に、ＧＰＣ法によるポリスチレン換算分子量として測定される重量平均分子量が５０万〜１５０万であるアクリル酸エステル系樹脂と、架橋剤とを含有してなる粘着剤からなる粘着剤層（Ｂ）が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであって、
前記アクリル酸エステル系樹脂は、アルキル基の炭素数が４〜１２の（メタ）アクリル酸エステル単量体を主成分とし、水酸基またはカルボキシル基を有するビニル系単量体を共重合されてなるものであり、
粘着剤層（Ｂ）は、厚み４μｍで２００ｇ荷重において引張剪断変位量が、８〜２５μｍであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
なお、本発明において「（メタ）アクリレート」とは、「メタクリレート又はアクリレート」を意味する。同様に、「（メタ）アクリル酸」とは、「メタクリル酸又はアクリル酸」を意味し、また、「引張剪断変位量」とは、山本式凝集力測定装置を使用して、５ｍｍ幅のＪＩＳ  Ｇ４３０５に規定するＳＵＳ３０４鋼板で鏡面仕上げの平板上に、２５ｍｍ×５ｍｍの前記フォトマスク保護用粘着テープを圧着させ、圧着直後に前記フォトマスク保護用粘着テープの両端に糸を介して１７ｇの荷重をかけ、その後、一方の荷重に測定用の荷重２００ｇを更に加えて、３０秒後に生じる前記平板と前記フォトマスク保護用粘着テープとのズレを意味する。
【０００９】
また、本発明の第２の発明によれば、第１の発明において、前記（メタ）アクリル酸エステル単量体は、アクリル酸ブチルおよび／またはアクリル酸２−エチルヘキシルであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
【００１０】
また、本発明の第３の発明によれば、第１または２の発明において、前記ビニル系単量体は、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートおよび／または（メタ）アクリル酸であるフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
【００１１】
また、本発明の第４の発明によれば、第１〜３のいずれかの発明において、前記架橋剤は、イソシアネート化合物であることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
【００１２】
また、本発明の第５の発明によれば、第１〜４のいずれかの発明において、前記粘着剤は、事前に重量を測定した粘着剤を酢酸エチル中に２３℃にて２４時間浸漬した後、酢酸エチルから取り出して、２００メッシュの金網でろ過した残分を１１０℃にて１時間乾燥させたとき、下記の式で表されるゲル分率（Ｙ）が５０〜７５重量％であることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。 
Ｙ＝１００×Ｗ２／Ｗ１ 
（式中、Ｗ１は浸漬前に測定した粘着剤の初期重量、Ｗ２は浸漬、乾燥後の粘着剤の残存重量を意味する。） 
【００１３】
また、本発明の第６の発明によれば、第１〜５のいずれかの発明において、粘着剤層（Ｂ）は、厚みが２〜９μｍであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープによれば、第１の発明においては、透明な基材（Ａ）の片面に、アルキル基の炭素数が４〜１２の（メタ）アクリル酸エステル単量体を主成分とし、水酸基またはカルボキシル基を有するビニル系単量体を共重合されてなるアクリル酸エステル系樹脂と架橋剤とを含有してなる粘着剤からなり、厚み４μｍにおける特定の測定法による２００ｇ荷重引張剪断変位量が、８〜２５μｍである粘着剤層（Ｂ）が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであるので、再剥離性および、複雑で、ドットが小さく、線の細い、また線の間隔が狭いパターンの描かれたフォトマスクにフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けても気泡が混入しない解像度の高いフォトマスク保護用粘着テープであるという効果がある。 
【００１５】
また、第２の発明においては、前記（メタ）アクリル酸エステル単量体が、アクリル酸ブチルおよび／またはアクリル酸２−エチルヘキシルであると特定しているので、上記効果をさらに良く奏することができるという効果がある。
また、第３の発明においては、前記ビニル系単量体が、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートおよび／または（メタ）アクリル酸であると特定しているので、上記効果をさらに良く奏することができるという効果がある。
【００１６】
また、第４の発明においては、前記架橋剤が、イソシアネート化合物であると特定しているので、上記効果をさらに良く奏することができる上に、被着体の変形に伴って生じる剥離応力により被着袋から剥離されにくいものにすることができる点から好ましい粘着剤層（Ｂ）からなるフォトマスク保護用粘着テープであるという効果がある。
【００１７】
また、第５の発明においては、前記粘着剤が、特定の測定によるゲル分率（Ｙ）が５０〜７５重量％であるフォトマスク保護用粘着テープであると特定しているので、上記効果をさらに良く奏することができるという効果がある。
【００１８】
また、第６の発明においては、粘着剤層（Ｂ）は、厚みが２〜９μｍであると特定しているので、上記効果をさらに良く奏することができるという効果がある 
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明のフォトマスク保護用粘着テープについて、詳細に説明する。 
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、透明な基材（Ａ）の片面に粘着剤層（Ｂ）が設けられたものである。 
１．基材（Ａ）
本発明において、透明な基材（Ａ）としては、露光の際に使われる紫外線の透過率の高いものであれば良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース、ポリイミド、アクリル等の樹脂からなる透明性に優れる高分子フィルムが好適に用いられる。特に二軸延伸されたＰＥＴフィルムが機械的強度、寸法安定性に優れているために好適に用いられる。 
【００２０】
上記基材フィルムの厚みは、光透過性、取扱い性等を考慮して、適宜決定することができる。具体的には２〜５０μｍであることが好ましく、さらに好ましくは４〜１２μｍである。２μｍ未満であるとテープの強度が不足して取り扱いが困難になったり、貼り付け時にシワになったりすることがあり、５０μｍを超えると、充分な光透過性が得られなくなることがある。 
【００２１】
また本発明の透明な基材フィルムは粘着剤層との密着性を向上させるために、透明な基材フィルムに表面処理を行うことができる。例えばコロナ処理、プラズマ処理等の放電処理があり、薄い基材へ均一な処理を施すには、基材破れ、穴あき等の不具合が発生防止のため処理エネルギーの低い弱い放電が望ましい。また他の方法としてアルカリによるケン化処理が知られている。 
【００２２】
２．粘着剤層（Ｂ）
本発明で用いられる粘着剤層（Ｂ）は、フォトマスクである露光用原稿の表面に貼り付けされるものであり、ＧＰＣ法によるポリスチレン換算分子量として測定される重量平均分子量が５０万〜１５０万であるアクリル酸エステル系樹脂と、架橋剤とを含有してなる粘着剤からなる。 
さらに、粘着剤層（Ｂ）は、特定の測定法における厚み４μｍにおける２００ｇ荷重引張剪断変位量が、８〜２５μｍであることが必要である。 
なお、前記引張剪断変位量は、山本式凝集力測定装置を使用して、５ｍｍ幅のＪＩＳ  Ｇ４３０５に規定するＳＵＳ３０４鋼板で鏡面仕上げの平板上に、２５ｍｍ×５ｍｍの前記フォトマスク保護用粘着テープを圧着させ、圧着直後に前記フォトマスク保護用粘着テープの両端に糸を介して１７ｇの荷重をかけ、その後、一方の荷重に測定用の荷重２００ｇを更に加えて、３０秒後に生じる前記平板と前記フォトマスク保護用粘着テープとのズレを意味する。 
【００２３】
（１）粘着剤の原料
本発明で用いられる粘着剤のなかでも、とくに特定のアクリル系粘着剤は最適である。
該アクリル系粘着剤はアクリル酸エステル系樹脂（以下、「アクリル系共重合体」ともいう。）が架橋剤により架橋されたものである。なお、本発明において「（メタ）アクリル酸」とは、「メタクリル酸又はアクリル酸」を意味する。
【００２４】
（ｉ）アクリル酸エステル系樹脂
本発明の粘着剤を構成するアクリル酸エステル系樹脂としては、アルキル基の炭素数が４〜１２の（メタ）アクリル酸エステル単量体を主成分とし、水酸基またはカルボキシル基を有するビニル系単量体を共重合されてなるものである。
粘着性を与えるアルキル基の炭素数が４〜１２の（メタ）アクリル酸エステルとしては、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチルなどが挙げられ、単独で用いられても、二種以上を併用することもできる。なかでもアクリル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシルが低Ｔｇで粘弾性の点から好ましい。
アクリル酸エステル系樹脂の主鎖間に架橋構造を形成する水酸基またはカルボキシル基を有するビニル系単量体としては、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテルなどが挙げられる。これらの水酸基またはカルボキシル基を含有するビニル系単量体は、アクリル酸エステル系樹脂の凝集力も高めることができるイソシアネート化合物を架橋剤として用いる場合は、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシエチルが好ましい。
（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシエチルは、配合量が少ないと架橋点が減少して架橋剤を用いてもゲル分率が低下し、糊残りが発生する。配合量が多すぎると引張剪断変位量が低下して泡ぬけが悪くなる。このため望ましい範囲としては主成分である（メタ）アクリル酸エステル単量体１００重量部に対して０．０１〜５重量部である。 
アルキル基の炭素数が４〜１２の（メタ）アクリル酸エステルの凝集力を高め接着力を向上するカルボキシル基を有するビニル系単量体としては、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸などが挙げられる。なかでも、粘着性能からアクリル酸が好ましい。アクリル酸の量が多すぎると粘着力が大きくなりすぎてしまい再剥離しにくくなったり、少なすぎると使用途中でフォトマスクから剥がれてしまったりして使用できなくなることがある。このため望ましい範囲としては主成分である（メタ）アクリル酸エステル単量体１００重量部に対して０．０５〜５重量部である。 
【００２５】
（ｉｉ）架橋剤 
前記架橋剤としては、特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート型架橋剤などが挙げられる。これらの中でも、この粘着剤により形成される粘着剤層を、被着体の変形に伴って生じる剥離応力により被着体から剥離されにくいものにすることができる点からイソシアネート系架橋剤が好ましい。イソシアネート系架橋剤しては分子内にイソシアネート基を２個以上含有する多官能性イソシアネート系化合物が使用され、例えばトリレンジイソシアネート、水素化トリレンジイソシアネート、ナフチレン−１，５−ジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパン変成トリレンジイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネート、メチレンビス（４−フェニルメタン）トリイソシアネート等が挙げられる。 
また、イソシアネート化合物は、反応性が高く、蒸気に触れると危険であることからも、蒸気圧が低く安全性の高い変成イソシアネートが好ましく用いられ、市販のものとしては、住化バイエルウレタン株式会社製のものや、日本ポリウレタン工業株式会社製の「コロネート（登録商標）Ｌ−４５」が好ましく用いられる。 
【００２６】
架橋剤は単独で使用されてもよいし２種類以上併用されてもよい。架橋剤の添加量は、少なくなると得られるアクリル系粘着剤層の引張剪断変位量は増加するが、ゲル分率が低下して再剥離時にフォトマスクへの糊残りが発生しやすくなり、多くなると得られるアクリル系粘着剤のゲル分率が高くなり再剥離時にフォトマスクへの糊残りは発生しにくくなるが引張剪断変位量は減少してフォトマスク貼り付け時の泡入りが発生しやすくなるためアクリル系共重合体１００重量部に対しておおよそ０．０１〜５重量部の範囲で適宜配合する必要がある。 
【００２７】
（ｉｉｉ）その他の成分 
本発明においては、粘着力を向上させるために、いわゆる粘着性付与樹脂成分を配合して用いることもできる。粘着性付与樹脂成分はエラストマーに配合されて粘着性の機能を向上させる物質であり、通常、分子量が数百から数千の無定形オリゴマーで常温で液状または固形の熱可塑性樹脂である。 
粘着性付与樹脂成分は通常、光の透過を阻害するため透過率、ヘイズに影響を与える場合があるためその選定には注意が必要である。たとえば光の透過性、ヘイズ値の変化が小さく、かつ好適な粘着性能を達成するものとして、ロジン系樹脂、テルペンフェノール系樹脂等がある。 
【００２８】
（ｉｖ）アクリル酸エステル系樹脂の製造方法 
上記アクリル系共重合体を得るには、主成分その他の成分を混合して重合開始剤の存在下にてラジカル反応させればよい。なお、重合方法としては、従来公知の方法が用いられ、例えば、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などが挙げられる。 
そして、上記重合開始剤としては、特に限定されず、例えば、ジ（ｔ−ヘキシルパーオキシ）トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシラウレートなどが挙げられ、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート（「パーヘキシル（登録商標）ＰＶ」日本油脂製品）が好ましい。なお、上記重合開始剤は単独で用いられても、二種以上が併用されてもよい。 
【００２９】
（ｖ）アクリル酸エステル系樹脂の重量平均分子量 
このように重合された本発明のアクリル酸エステル系樹脂の重量平均分子量はＧＰＣ（Ｇｅｌ  Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ  Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ）法によりポリスチレン換算分子量として測定された重量平均分子量である。具体的には、アクリル系共重合体をテトラヒドロフランに溶解して０．５〜１．０重量％の溶液とし、テトラヒドロフランを分散媒として用いてゲル充填カラムで分離しその溶出時間と溶出溶液の屈折率の関係をゲルパーミエーションクロマトグラフによって測定することにより求められる。前記ゲルパーミエーションクロマトグラフとしては、例えば、Ｗａｔｅｒ社から商品名「２６９０  セパレーションモジュール」として市販されているものなどが使用できる。 
【００３０】
前記アクリル系共重合体の重量平均分子量は、上記ＧＰＣ法によるポリスチレン換算分子量として測定される重量平均分子量が５０万〜１５０万であることが必要である。好ましくは、７０万〜１２０万である。５０万より小さくなると低分子量増加により糊残りが発生しやすくなり、また１５０万より大きくなると引張剪断変位量が小さくなる傾向がありともに架橋剤の配合量による調整が困難である。アクリル酸エステル系樹脂においては、架橋剤の配合量、重合開始剤、重合溶剤、モノマー（単量体）濃度、連鎖移動剤量及び重合温度を調整することにより望ましい分子量を得ることができる。 
【００３１】
（２）粘着剤のゲル分率
本発明の粘着剤のゲル分率の測定方法としては、フォトマスク保護用粘着テープの作成と同様に粘着剤を離型フィルムに塗布して、貼り合わせに透明ＰＥＴ基材の代わりに離型フィルムを被せて４０±２℃で４日間養生する。この本発明の粘着剤をサンプリングし、事前に重量測定後酢酸エチル中で２３℃にて２４時間浸漬した後２００メッシュの金網でろ過した残分を１１０℃×３時間乾燥させた乾燥後の残存重量の割合を下記式を用いてゲル分率（Ｙ）として百分率で算出したものである。 
Ｙ（重量％）＝１００×Ｗ２／Ｗ１ 
（Ｗ１：浸漬前に測定した粘着剤の重量、Ｗ２：浸漬、乾燥後の粘着剤の残存重量） 
【００３２】
本発明における粘着剤のゲル分率は、高いと被着体から剥離し易くなるので、再剥離時の糊残りがなくなるが一方で粘着剤を貼りあわす際の気泡が残る。逆にゲル分率が低いと気泡は入らないが再剥離時に糊が残るようになる。したがって、本発明においては、アクリル酸エステル系樹脂の重量平均分子量が５０万〜１５０万であるとき、粘着剤のゲル分率は５０〜７５重量％が好ましく、５５〜７０重量％がより好ましい。５０重量％未満ではフォトマスクに糊がのこりやすく、７５重量％を越えると気泡が入りやすい。このようなアクリル酸エステル系樹脂の重量平均分子量と粘着剤のゲル分率との関係における適性範囲において、前述したような気泡と糊残り(再剥離性)の問題がより好ましく解決される。 
【００３３】
（３）粘着剤層（Ｂ）の形成方法
前記粘着剤層を形成する方法としては、前記粘着剤を作製し、これをそのまま粘着剤溶液として使用し、この粘着剤溶液を基材に塗布し、粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥除去することにより粘着剤層を形成することができる。 
粘着剤層を形成する方法としては、グラビア等のロールコーター、コンマコーター、ダイコーター等を用いて、セパレータの片面に粘着剤を直接塗工し乾燥する方法などを用いることができる。 
また、粘着剤溶液製造時には、必要に応じて粘着付与剤、可塑剤、安定剤、紫外線吸収剤といった添加剤を加えることもできる。これらは光線透過率、色相等の光学特性を損わない範囲で配合するのが好ましい。 
【００３４】
上記粘着剤層の好ましい厚みは２〜９μｍである。２μｍ未満であると、フォトマスクへの接着強度が不足することがあったり、フォトマスクの凹凸に対して気泡を巻き込みやすくなったり、また９μｍを超えると充分な光透過性が得られなくなることや、散乱光を用いた露光装置ではパターンの解像性に影響があることがある。 
【００３５】
なお、以下で詳述する本発明の引張剪断変位量については一般的な製品の粘着剤層の厚み４μｍあたりの変位量にて規定している。 
【００３６】
（４）粘着剤層（Ｂ）の引張剪断変位量
前記粘着剤の凝集力試験における引張剪断変位量は、粘着剤層（Ｂ）の厚み４μｍにおいて、８μｍより小さくなると得られるフォトマスク保護用粘着テープをフォトマスクに貼り付けるとき気泡が入りやすくなり、２５μｍより大きくなると得られるフォトマスク保護用粘着テープをフォトマスクに貼り付けるとき気泡は入りにくいが再剥離時にフォトマスクに粘着剤が残るので８〜２５μｍが好ましい。 
【００３７】
なお、フォトマスク保護用粘着テープの山本式凝集力測定装置を使用した３０秒後の引張剪断変位量の測定は、粘着層の性能が安定している状態での測定が必要である。このため測定は粘着剤を形成後温度４０±２℃の環境下で４日間養生した後測定している。これは粘着剤の架橋反応が十分進行していないと測定値のばらつきが発生するからである。 
【００３８】
本発明に使用する山本式凝集力測定装置は、例えば旭精工社製測定機等から市販されμｍの単位で測定値を得ることができる。凝集力試験における引張剪断変位量の測定方法は、温度２３±２℃、相対湿度５０±５％の環境条件下において、図１に示したように、幅２５×長さ５ｍｍのステンレス板（ＪＩＳ  Ｇ４３０５に規定するＳＵＳ３０４鋼板で鏡面仕上げの平板上）１を固定し、これを幅２５×長さ２００ｍｍのフォトマスク保護テープのほぼ中央に幅方向が平行で全面が接触するよう配置し貼付する。尚、２１は基材層、２２は粘着剤層、２０はフォトマスク保護用粘着テープである。この時、フォトマスク粘着テープは滑車３の間には貼り付かないようにポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）５を設けてある。次に、一方の重り取り付け治具４０に２００ｇの重り４１を追加して３０秒後後の変位量を検知手段で測定する。また、フォトマスク保護テープのＰＥＴの変位は無視できるものとする。 
【００３９】
３．フォトマスク保護テープ 
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、透明な基材（Ａ）の片面に粘着剤層（Ｂ）が設けられたものであるが、フォトマスク保護用粘着テープの使用前に粘着剤層が別の部材に貼着したり、或いは、粘着剤層に塵埃が付着したりするのを防止するために、粘着剤層の表面には離型フィルムが剥離可能に積層されてもよい。 
また、必要に応じて、各層の密着力を向上させるため等に設けられる中間層やテープが帯電して空気中のゴミ等を引き寄せることを防止する役割を有する帯電防止層を設けてもよい。 
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、前述したような方法により、基材（Ａ）の片面に粘着剤層（Ｂ）を設けることにより製造される。必要に応じて中間層や帯電防止層を設ける場合であっても、これらの層を重ね合わせ、順次又は同時にこれらの積層体をゴムローラなどによって加圧すること等によって、各層が積層されたフォトマスク保護用粘着テープを得る方法が挙げられる。
【００４０】
このようにして得られる本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、再剥離性に優れ、複雑で、ドットが小さく、線の細い、また線の間隔が狭いパターンの描かれたフォトマスクにフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けても気泡が混入しない解像度の高いフォトマスク保護用粘着テープであるとの効果がある。 
したがって、本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、回路基板の製造に使用されるフォトマスクの表面を保護する表面保護粘着シートとして好適に用いることができる。 
【実施例】
【００４１】
以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。 
【００４２】
（実施例１〜５、比較例１〜４）
以下に、本発明の実施例１〜５、比較例１〜４を説明する。
１．粘着剤溶液の調整及びフォトマスク保護用粘着テープの製造 
（アクリル酸共重合体の作成）
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器を用意し、この反応器内に、表１に示す所定量のモノマーと酢酸エチルとを加え、一時間Ｎ２を反応器の底から投入した。その後液温を７０℃にした。これに重合開始剤としてｔ−ヘキシルパーオキシピバレート（「パーヘキシルＰＶ」日本油脂製品）添加し、Ｎ２雰囲気下で重合をおこない表１に示す重量平均分子量のアクリル酸共重合体の溶液を得た。
【００４３】
（アクリル粘着剤の配合）
次に、上記アクリル系共重合体溶液の固形分１００重量部に対してイソシアネート系の架橋剤（日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ−５５」）を固形分で表１に示した配合になるように均一に混合して架橋しアクリル系粘着剤溶液を得た。
【００４４】
（粘着テープの作成）
得られたアクリル系粘着剤溶液をフィルム厚み２５ｅｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの離型処理表面に上記粘着剤溶液を塗布した。塗工後１２０℃で６０秒間乾燥して乾燥後４（８）μｍの厚みの粘着剤層を設けた。次いで上記粘着剤層を、厚さ６μｍの２軸延伸した透明ＰＥＴ基材フィルム（東レ社製「Ｆ５３＃６Ｃ」）を積層しフォトマスク保護用粘着テープを作成した。またゲル分率の測定用に、フォトマスク保護テープ作成と同様に粘着剤を離型フィルムに塗布して、貼り合わせに透明ＰＥＴ基材の代わりに離型フィルムを被せたサンプルを作成した。これらを４０±２℃で４日間養生して得られたアクリル系粘着剤シートのゲル分率及び凝集力試験における引張剪断変位量は表１に示した通りである。
【００４５】
２．評価 
（泡残り評価） 
ラインアンドスペース（Ｌ／Ｓ）５０μｍ／５０μｍのパターンがある試験用のフォトマスク（コダック社製：ＡＲＤ−７）に、作成したフォトマスク保護用粘着テープをラミネート機ＤＨ−５１００（ＦＴＭ社製）により速度１．０ｍ／分、ラミ圧力０．３ＭＰａにより貼り合わせた。その後、この試験サンプルについて、直後と４時間後の泡入り状態を顕微鏡により評価した。結果を表１に、評価基準を表２に示した。なお、顕微鏡による評価基準の具体的な一例を表３に示した。
【００４６】
（糊残り評価）
泡残り評価と同じ条件により作成したサンプルについて、４０℃１日後経過したあとフォトマスクを両面テープにより固定し、フォトマスク保護用粘着テープをフォトマスクに対して９０度に近い角度になるように垂直に出来るだけ早く手で引き剥がし粘着剤のフォトマスクへの糊残リの有無について目視により評価した。結果を表１に、評価基準を表４に示した。
【００４７】
【表１】
2009116170.tif 000003
【００４８】
【表２】
2009116170.tif 000004
【００４９】
【表３】
2009116170.tif 000005
【００５０】
【表４】
2009116170.tif 000006
【００５１】
表１の結果から、実施例１〜５と比較例１〜４とを対比すると、比較例１は、実施例１の架橋剤量を増量したもので変位量が規定量に達成せず、フォトマスク保護テープをフォトマスクに貼り付け直後から泡入りが多く、４時間後も泡の状態はほとんど変化がなかった。しかし剥離時の糊残りの発生はなかった。したがって、本発明の特定事項である、「粘着剤層（Ｂ）は、厚み４μｍにおける引張剪断変位量が、８〜２５μｍである」との要件を満たさない比較例１は、泡残り及び糊残りの評価において、両方を満たさないものであった。
また、比較例２は、アクリル共重合体の重合条件変更により実施例２の低分子量の粘着剤を作成した。糊残りが発生した。したがって、本発明の特定事項である、「粘着剤層（Ｂ）は、厚み４μｍにおける引張剪断変位量が、８〜２５μｍである」との要件を満たさない比較例２は、糊残りの評価を満たさないものであった。
また、比較例３は、アクリル共重合体の重合条件変更により実施例２の高分子量の粘着剤を作成した。変位量が低下して、ラミ時の泡入りが発生した。また４時間後も泡抜けが悪かった。したがって、本発明の特定事項である、「粘着剤層（Ｂ）は、厚み４μｍにおける引張剪断変位量が、８〜２５μｍである」との要件を満たさない比較例３は、泡残り及び糊残りの評価において、両方を満たさないものであった。
また、比較例４は、実施例５のヒドロキシエチルメタクリレートの量をさらにダウンさせたもので、変位量は大幅にアップして泡入りしなくなったが、剥離時の糊残りが発生した。したがって、本発明の特定事項である、「粘着剤層（Ｂ）は、厚み４μｍにおける引張剪断変位量が、８〜２５μｍである」との要件を満たさない比較例４は、泡残り及び糊残りの評価において、両方を満たさないものであった。
【００５２】
これらの比較例に比べて、実施例１〜５によるものはすべて、泡残り及び糊残りの評価において、両方を満たすものであった。
すなわち、実施例１は、粘着剤の変位量が規定量より大きく、フォトマスク保護テープをフォトマスクに貼り付け直後は泡入りが少しあるが４時間後にはほとんど無く、剥離時も糊残りの発生はなかった。
また、実施例２、実施例３では配合変更により実施例１より変位量がアップして、フォトマスク保護テープをフォトマスクに貼り付けた直後から泡入りはほとんどなかった。また剥離時の糊残りの発生もなく良好な評価結果を得られた。
また、実施例４は、実施例３の粘着剤厚みを２倍にしたもので、４μｍ当たりの引張剪断変位量は低下しているが、絶対的な変位量のアップによりラミ直後から泡が入らなかった。
また、実施例５については、架橋構造に寄与するヒドロキシエチルメタクリレートの量をダウンさせ、規定範囲内でゲル分率を低下させた。フォトマスクに貼り付け直後から泡入りも少なく、４時間後にはほぼ泡は消えた。また剥離時の糊残りの発生もなく良好な評価結果を得られた。
したがって、実施例１〜５で得られたフォトマスク保護用粘着テープは、それぞれ、比較例１〜５で得られたフォトマスク保護用粘着テープよりもフォトマスク保護用粘着テープとして好適なものであり、泡残り及び糊残りの問題点を解決したものであることから、フォトマスク保護用粘着テープとして使用した際に優れた性能を持つものであることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、再剥離性（剥がした場合に被着体に糊残りしていない性能）に優れ、複雑で、ドットが小さく、線の細い、また線の間隔が狭いパターンの描かれたフォトマスクにフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けても気泡が混入しない解像度の高いフォトマスク保護用粘着テープであるので、プリント配線板を作製する際に、パターン形成のため使用される露光用フォトマスクを、フォトレジストの汚れ付着や基板凹凸による損傷等から保護する目的で使用されるフォトマスク保護用粘着テープとして好適なものである。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の山本式凝集力測定装置を用いた凝集力試験における引張剪断変位量の測定方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５５】
１    ステンレス板（ＳＵＳ３０４）
３    滑車
５    ＰＥＴフィルム
６    検出機
２０  フォトマスク保護テープ
２１  基材層（ＰＥＴ）
２２  粘着剤層
４０  重り取り付け治具
４１  ２００ｇの重り
【図１】
2009116170.tif 000007