(57)【要約】【課題】ミラーの回動時に、コイルに電流を印加するための配線に振動や張力が加わるのを抑制し、信頼性の高いミラーアクチュエータを提供する。【解決手段】コイル１４の両端と配線５０、５１が、支軸１１、１２と、板バネ４０、４１と、一対の電極パターン２８と、一対の電極パターン２７と、一対の板バネ４２と、一対の電極パターン３６とで接続される。また、コイル２６の両端と配線５２、５３が、一対の電極パターン２９と、一対の板バネ４３と、一対の電極パターン３７とで接続される。したがって、ミラー１３が駆動されても４つの配線５０〜５３に振動や張力が加わることはない。【選択図】図１
2009063513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミラーを保持する第１の回動部と、
前記第１の回動部を第１の方向に回動可能に保持する第２の回動部と、
前記第２の回動部を第２の方向に回動可能に保持する固定部と、
前記第１の回動部を前記第１の回動方向に駆動するために前記第１の回動部に配された第１のコイルと、
前記第２の回動部を前記第２の回動方向に駆動するために前記第２の回動部に配された第２のコイルと、
前記第１の回動部に配されるとともに前記第１の回動部を前記第１の方向に回動する際の回動軸となる第１の回動軸と、
前記第２の回動部に配されるとともに前記第２の回動部を前記第２の方向に回動する際の回動軸となる第２の回動軸と、
前記第１の回動軸に配された２つの第１の導電部と、
前記第２の回動軸に配された４つの第２の導電部と、
前記固定部材に配された４つの端子部と、
前記第２の回動部と前記固定部に配されるとともに、前記第１のコイルの電流入出力部が電気的に接続された２つの前記第１の導電部、２つの前記第２の導電部および２つの前記端子部との間に第１の電流路を構成する第１の電流路構成部と、
前記固定部に配されるとともに、前記第２のコイルの入出力部が電気的に接続された残り２つの前記第２の導電部と、残り２つの前記端子部との間に第２の電流路を構成する第２の電流路構成部と、
を有することを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のミラーアクチュエータにおいて、
前記第１の電流路構成部は；
前記第２の回動部に配されるとともに少なくとも前記第１の回動軸の回動範囲において前記第１の導電部との間の電気的接合を維持する第１の接合部と、
前記第２の回動部に配されるとともに第１の接合部と前記第１のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部とを電気的に接続する第１の電流路パターンと、
前記固定部に配されるとともに少なくとも前記第２の回動軸の回動範囲において前記第１のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部との間の電気的接合を維持する第２の接合部と、
前記第２接合部と前記第１のコイルへの導電に用いる端子部とを電気的に接続する第２の電流路パターンとを備え、
前記第２の電流路構成部は；
前記固定部に配されるとともに少なくとも前記第２の回動軸の回動範囲において前記第２のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部との間の電気的接合を維持する第３の接合部と、
前記第３の接合部と前記第２のコイルへの導電に用いる端子部とを電気的に接続する第３の電流路パターンとを備える、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載のミラーアクチュエータおいて、
前記第１の回動軸と前記第２の回動軸は、それぞれ、前記第２の回動部と前記固定部に配された第１の凹部と第２の凹部に係入されており、
前記第１の接合部は、前記第１の回動軸の前記第１の導電部が配された外周部に、前記第１の凹部に向かう方向に弾性的に圧接された第１の導電性弾性部材を備え、
前記第２の接合部は、前記第２の回動軸の前記第１のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部が配された外周部に、前記第２の凹部に向かう方向に弾性的に圧接された第２の導電性弾性部材を備え、
前記第３の接合部は、前記第２の回動軸の前記第２のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部が配された外周部に、前記第２の凹部に向かう方向に弾性的に圧接された第３の導電性弾性部材を備える、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れか一項において、
第１の回動軸は、前記第１の回動部から相反する方向に突出した２つの第１の突出部によって構成され、２つの前記第１の導電部は、それぞれ、２つの前記第１の突出部に配されている、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１ないし３の何れか一項において、
第１の回動軸は、前記第１の回動部から相反する方向に突出した２つの第１の突出部によって構成され、２つの前記第１の導電部は、２つの前記第１の突出部のうち一方の互いに分割された２つの領域に配されている、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか一項において、
第２の回動軸は、前記第２の回動部から相反する方向に突出した２つの第２の突出部によって構成され、４つの前記第２の導電部は、２つの前記第２の突出部のそれぞれの互いに分割された４つの領域に配されている、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１ないし６の何れか一項に記載のミラーアクチュエータと、
前記ミラーにレーザ光を入射させて目標領域に前記レーザ光を照射する光学系とを備え、
駆動信号に応じて、前記ミラーアクチュエータを駆動することにより、前記目標領域において、前記レーザ光を走査させる、
ことを特徴とするビーム照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラーを２次元駆動するミラーアクチュエータおよび該ミラーアクチュエータによってビームを走査させるビーム照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、走行時の安全性を高めるために、レーザレーダが家庭用乗用車等に搭載されている。一般に、レーザレーダは、レーザ光を目標領域内でスキャンさせ、各スキャン位置における反射光の有無から、各スキャン位置における障害物の有無を検出し、さらに、各スキャン位置におけるレーザ光の照射タイミングから反射光の受光タイミングまでの所要時間をもとに、そのスキャン位置における障害物までの距離を検出するものである。
【０００３】
レーザレーダの検出精度を高めるには、レーザ光を目標領域内において適正にスキャンさせる必要があり、また、レーザ光の各スキャン位置を適正に検出する必要がある。
【０００４】
レーザ光を目標領域にスキャンするスキャン機構の１つとして、スキャンミラーを用いたタイプのものがある。例えば、特許文献１には、２つのスキャンミラーを用いてレーザ光を２次元方向にスキャンさせる構成が示されている。
【０００５】
このように、スキャン手段としてミラーを用いると、レーザ光の強度分布に生じる歪の問題を解消できる。しかし、この構成によれば、２つのスキャンミラーをそれぞれ独立駆動するため、ミラー毎にアクチュエータを配する必要があり、構成の複雑化と大型化を招く。また、各スキャンミラーの回動状態をモニタするための構成をスキャンミラー毎に配する必要があるため、これによっても、構成の複雑化と大型化を招くことになる。
【０００６】
これに対し、出願人は、先に特願２００６−１２１７６２号を出願し、簡単な構成にて、レスポンス特性を高めることができ、かつ、レーザ光の歪みを抑制できるアクチュエータを提案した。この発明に係るアクチュエータでは、ミラーが２軸駆動可能に支持され、コイルとマグネット間の電磁駆動力によって、ミラーが各駆動軸を軸として回動される。レーザ光は、ミラーに斜め方向から入射され、ミラーが各駆動軸を軸として２次元駆動されることにより、ミラーによるレーザ光の反射光が、目標領域内において、２次元方向に走査される。
【特許文献１】特開平９−１５５１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような２軸駆動方式のアクチュエータ（以下、ミラーアクチュエータと称する）では、可動部側にコイルを装着し、固定部側にマグネットを装着することにより、ミラーを低電力で、且つ、迅速に駆動できる。これは、コイルがマグネットに比べて軽量であるため、可動部側の駆動負荷が小さくなるからである。
【０００８】
しかし、この場合、コイルに電流を印加するための配線が、固定部側に配された基板等に直接接続されると、可動部側が回動する際に、振動や張力が配線に加わる。このような状況下でミラーアクチュエータを長期間使用すると、かかる振動や張力の影響によって配線に断線が生じることが危惧され、ミラーアクチュエータに対する信頼性の低下が懸念される。
【０００９】
本発明は、このような課題を解消するものであり、信頼性の高いミラーアクチュエータおよびビーム照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題に鑑み、本発明は以下の特徴を有する。
【００１１】
請求項１に係るミラーアクチュエータは、ミラーを保持する第１の回動部と、前記第１の回動部を第１の方向に回動可能に保持する第２の回動部と、前記第２の回動部を第２の方向に回動可能に保持する固定部と、前記第１の回動部を前記第１の回動方向に駆動するために前記第１の回動部に配された第１のコイルと、前記第２の回動部を前記第２の回動方向に駆動するために前記第２の回動部に配された第２のコイルと、前記第１の回動部に配されるとともに前記第１の回動部を前記第１の方向に回動する際の回動軸となる第１の回動軸と、前記第２の回動部に配されるとともに前記第２の回動部を前記第２の方向に回動する際の回動軸となる第２の回動軸と、前記第１の回動軸に配された２つの第１の導電部と、前記第２の回動軸に配された４つの第２の導電部と、前記固定部材に配された４つの端子部と、前記第２の回動部と前記固定部に配されるとともに、前記第１のコイルの電流入出力部が電気的に接続された２つの前記第１の導電部、２つの前記第２の導電部および２つの前記端子部との間に第１の電流路を構成する第１の電流路構成部と、前記固定部に配されるとともに、前記第２のコイルの入出力部が電気的に接続された残り２つの前記第２の導電部と、残り２つの前記端子部との間に第２の電流路を構成する第２の電流路構成部と、を有することを特徴とする。
【００１２】
請求項２に係るミラーアクチュエータは、請求項１に記載のミラーアクチュエータにおいて、前記第１の電流路構成部は；前記第２の回動部に配されるとともに少なくとも前記第１の回動軸の回動範囲において前記第１の導電部との間の電気的接合を維持する第１の接合部と、前記第２の回動部に配されるとともに第１の接合部と前記第１のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部とを電気的に接続する第１の電流路パターンと、前記固定部に配されるとともに少なくとも前記第２の回動軸の回動範囲において前記第１のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部との間の電気的接合を維持する第２の接合部と、前記第２接合部と前記第１のコイルへの導電に用いる端子部とを電気的に接続する第２の電流路パターンとを備え、前記第２の電流路構成部は；前記固定部に配されるとともに少なくとも前記第２の回動軸の回動範囲において前記第２のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部との間の電気的接合を維持する第３の接合部と、前記第３の接合部と前記第２のコイルへの導電に用いる端子部とを電気的に接続する第３の電流路パターンとを備える、ことを特徴とする。
【００１３】
なお、端子部は、第２の電流路パターンおよび第３の電流路パターンと一体となっていてもよく、以下の実施の形態においては、端子部が第２の電流路パターンおよび第３の電流路パターンと一体となった例が示されている。
【００１４】
請求項３に係るミラーアクチュエータは、請求項２に記載のミラーアクチュエータおいて、前記第１の回動軸と前記第２の回動軸は、それぞれ、前記第２の回動部と前記固定部に配された第１の凹部と第２の凹部に係入されており、前記第１の接合部は、前記第１の回動軸の前記第１の導電部が配された外周部に、前記第１の凹部に向かう方向に弾性的に圧接された第１の導電性弾性部材を備え、前記第２の接合部は、前記第２の回動軸の前記第１のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部が配された外周部に、前記第２の凹部に向かう方向に弾性的に圧接された第２の導電性弾性部材を備え、前記第３の接合部は、前記第２の回動軸の前記第２のコイルへの導電に用いる前記第２の導電部が配された外周部に、前記第２の凹部に向かう方向に弾性的に圧接された第３の導電性弾性部材を備える、ことを特徴とする。
【００１５】
請求項４に係るミラーアクチュエータは、請求項１ないし３の何れか一項において、第１の回動軸は、前記第１の回動部から相反する方向に突出した２つの第１の突出部によって構成され、２つの前記第１の導電部は、それぞれ、２つの前記第１の突出部に配されている、ことを特徴とする。
【００１６】
請求項５に係るミラーアクチュエータは、請求項１ないし３の何れか一項において、第１の回動軸は、前記第１の回動部から相反する方向に突出した２つの第１の突出部によって構成され、２つの前記第１の導電部は、２つの前記第１の突出部のうち一方の互いに分割された２つの領域に配されている、ことを特徴とする。
【００１７】
請求項６に係るアクチュエータは、請求項１ないし５の何れか一項において、第２の回動軸は、前記第２の回動部から相反する方向に突出した２つの第２の突出部によって構成され、４つの前記第２の導電部は、２つの前記第２の突出部のそれぞれの互いに分割された４つの領域に配されている、ことを特徴とする。
【００１８】
請求項７に係るビーム照射装置は、請求項１ないし６の何れか一項に記載のミラーアクチュエータと、前記ミラーにレーザ光を入射させて目標領域に前記レーザ光を照射する光学系とを備え、駆動信号に応じて、前記ミラーアクチュエータを駆動することにより、前記目標領域において、前記レーザ光を走査させる、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の構成によれば、可動側から引き出し線が引き出されることがないため、可動側が回動しても、引き出し線に振動や張力が加わることはなく、よって、ミラーアクチュエータを長期間使用しても、引き出し線に断線や破断等が生じることはなく、ミラーアクチュエータの信頼性を高めることができる。
【００２０】
加えて、請求項３のような構成とすれば、第１の回転部や第２の回転部が回動したときに、第１の回転軸や第２の回転軸の部分で導電不良が発生するのを抑止できる。よって、第１のコイルおよび第２のコイルへ安定した電力供給を行うことができる。また、第１および第２の導電性部材が、第1および第２の凹部に対する第１および第２の回転軸の抜け留めに共用されるため、構成の簡素化を図ることができる。
【００２１】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態につき図面を参照して説明する。本実施の形態に係るミラーアクチュエータは、例えば、乗用車に搭載されるレーザレーダ用のビーム照射装置に適用されるものである。
【００２３】
図１ないし図３に、本実施の形態に係るミラーアクチュエータ１００の構成を示す。図１（ａ）はミラーアクチュエータ１００の分解斜視図、図１（ｂ）はアセンブル状態にあるミラーアクチュエータ１００の斜視図である。図２は、アセンブル状態にあるミラーアクチュエータ１００の正面図である。図３は、溝２２、３２に対する支軸１１、２４の取り付け状態を示す図である。
【００２４】
図１（ａ）において、１０は、合成樹脂など非導電性の材料からなるミラーホルダである。ミラーホルダ１０には、端部に抜け止めを有する支軸１１、１２が設けられている。支軸１１、１２は導電性の材料からなっている。また、ミラーホルダ１０の前面には平板状のミラー１３が装着されており、背面にはコイル１４が装着されている。
【００２５】
コイル１４は、方形状に巻回されている。コイル１４の一端１４ａは、支軸１１の根元側に半田付けなどにより接続されている。また、コイル１４の他端１４ｂも、同様に、支軸１２の根元側に接続されている。なお、本実施の形態では、支軸１１、１２自身が導電性の材料で構成されているため、支軸１１、１２自身が本発明の第１の導電部となる。
【００２６】
２０は、ミラーホルダ１０を支軸１１、１２を軸として回動可能に支持する可動枠である。可動枠２０は、合成樹脂など非導電性の材料からなる。可動枠２０には、ミラーホルダ１０を収容するための開口２１が形成されており、また、ミラーホルダ１０の支軸１１、１２と係合する溝２２、２３が形成されている。さらに、可動枠２０の側面には、端部に抜け止めを有する支軸２４、２５が形成され、背面には、コイル２６が装着されている。コイル２６は、方形状に巻回されている。
【００２７】
なお、支軸２４、２５が形成された可動枠２０の側面は、図１に示す如く、支軸２４、２５の根元から前面に向かって傾斜している。
【００２８】
支軸２４には、一対の電極パターン２７（第２の導電部に相当）が形成されている。一対の電極パターン２７は、図２および図３に示すように、支軸２４の上側に形成された半円筒状の第１パターン２７１と、支軸の２４の下側に形成された半円筒状の第２パターン２７２とからなっている。第１パターン２７１と第２パターン２７２の間には、所定の隅間が設けられている。一対の電極パターン２７は、導電性の材料からなり、例えば、蒸着手法により、支軸２４の表面に形成されている。
【００２９】
なお、後述する他の電極パターンも、一対の電極パターン２７と同じ材質からなっており、同様に、蒸着手法により形成されている。
【００３０】
可動枠２０の前面における右半面側には、一対の電極パターン２８（本発明の第１の電流路パターンに相当）が形成されている。一対の電極パターン２８は、図２に示すように、可動枠２０前面の上側に形成された第１パターン２８１と、可動枠２０前面の下側に形成された第２パターン２８２とからなる。
【００３１】
第１パターン２８１は、図２に示す如く、可動枠２０の溝２２近傍から支軸２４の根元まで延びており、支軸２４の根元で第１パターン２７１に接続されている。一方、第２パターン２８２は、可動枠２０の溝２３近傍から支軸２４の根元まで延びており、支軸２４の根元で第２パターン２７２に接続されている。なお、可動枠２０は、上記の如く、支軸２４が形成された側面が傾斜面とされ、この傾斜面によって支軸２４の根元と可動枠２０の前面が繋がっている。このため、可動枠２０の前面とこの傾斜面に配される上記一対の電極パターン２８と、支軸２４に配される上記一対の電極パターン２７を、正面側から一度に蒸着によって形成することができ、これら電極パターンの形成工程を簡易化することができる。
【００３２】
支軸２５には、支軸２４と同様、一対の電極パターン２９（本発明の第２の導電部に相当）が形成されている。一対の電極パターン２９は、図２に示すように、支軸２５の上側に形成された第１パターン２９１と、支軸の２５の下側に形成された第２パターン２９２とからなっている。第１パターン２９１と第２パターン２９２の間には、所定の隅間が設けられている。支軸２５の第１パターン２９１、第２パターン２９２も、支軸２４の第１パターン２７１、第２パターン２７２と同様、半円筒状をしている。
【００３３】
コイル２６の一端２６ａは、支軸２５の根元側で、第１パターン２９１に半田付けなどにより接続されている。また、コイル２６の他端２６ｂも、同様に、支軸２５の根元側で、第２のパターン２９２に接続されている。
【００３４】
３０は、可動枠２０を支軸２４、２５を軸として回動可能に支持する固定枠である。固定枠３０は、合成樹脂など非導電性の材料からなっている。固定枠３０には、可動枠２０を収容するための凹部３１が形成され、また、可動枠２０の支軸２４、２５と係合する溝３２、３３が形成されている。さらに、固定枠３０の内面には、コイル１４に磁界を印加するマグネット３４と、コイル２６に磁界を印加するマグネット３５が装着されている。なお、溝３２、３３は、それぞれ固定枠３０の前面から上下２つのマグネット３５間の隙間内まで延びている。
【００３５】
固定枠３０の前面には、溝３２を挟んで上下に延びる一対の電極パターン３６（本発明の第２の電流路パターンに相当）と、溝３３を挟んで上下に延びる一対の電極パターン３７（本発明の第３の電流路パターンに相当）とが形成されている。
【００３６】
一対の電極パターン３６は、図２に示すように、溝３２の近くから固定枠３０の前面上端に向かって延びる第１パターン３６１と、溝３２の近くから固定枠３０の前面下端に向かって延びる第２パターン３６２とからなる。一方、一対の電極パターン３７は、溝３３の近くから固定枠３０の前面上端に向かって延びる第１パターン３７１と、溝３３の近くから固定枠３０の前面下端に向かって延びる第２パターン３７２とからなる。
【００３７】
第１パターン３６１の上端部（本発明の端子部に相当）には配線５０が接続され、第２パターン３６２の下端部（本発明の端子部に相当）には配線５１が接続されている。また、第１パターン３７１の上端部（本発明の端子部に相当）には配線５２が接続され、第２パターン３７２の下端部（本発明の端子部に相当）には配線５３が接続されている。
【００３８】
４０、４１は、それぞれ、支軸１１、１２が溝２２、２３から脱落しないよう、支軸１１、１２を前方から押さえる板バネ（本発明の第１の導電性弾性部材に相当）である。板バネ４０、４１は、導電性の材料からなり、その中央部にほぼＵ字状の接点部４０ａ、４１ａが形成されている。板バネ４０、４１は、両端部分が可動枠２０に装着された状態で、中央部分が前後方向に撓む弾性を有し、これにより、接点部４０ａ、４１ａが前後方向に弾性的に動く。
【００３９】
４２、４３は、それぞれ、可動枠２０の支軸２４、２５が溝３２、３３から脱落しないよう、支軸２４、２５を前方から押さえる一対の板バネ（本発明の第２の導電性弾性部材、第３の導電性弾性部材に相当）である。一対の板バネ４２、４３は、導電性の材料からなり、溝３２、３３より上側に装着される第１板バネ４２１、４３１と、溝３２、３３より下側に装着される第２板バネ４２２、４３２とからなっている。
【００４０】
第１板バネ４２１および第２板バネ４２２は、図３（ｂ）に示すように、一端側に接点部４２１ａ、４２２ａを有する。第１板バネ４２１および第２板バネ４２２は、他端部が固定枠３０に装着された状態で一端部が撓む弾性を有し、これにより、接点部４２１ａ、４２２ａが前後方向に弾性的に動く。第１板バネ４３１、第２板バネ４３２も、第１板バネ４２１、第２板バネ４２２と同じ構造を有している。
【００４１】
ミラーアクチュエータ１００をアセンブルする際には、ミラーホルダ１０の支軸１１、１２を可動枠２０の溝２２、２３に係合させ、さらに、支軸１１、１２の前面を押さえるようにして、板バネ４０、４１を可動枠２０の前面に装着する。これにより、ミラーホルダ１０が、可動枠２０によって、回動可能に支持される。
【００４２】
このようにしてミラーホルダ１０を可動枠２０に装着した後、可動枠２０の支軸２４、２５を固定枠３０の溝３２、３３に係合させ、さらに、支軸３２、３３の前面を押さえるようにして、一対の板バネ４２、４３を固定枠３０の前面に装着する。これにより、可動枠２０が、回動可能に固定枠３０に装着され、ミラーアクチュエータ１００のアセンブルが完了する。
【００４３】
ミラーホルダ１０が可動枠２０に対し支軸１１、１２を軸として回動すると、これに伴ってミラー１３が回動する。また、可動枠２０が固定枠３０に対し支軸２４、２５を軸として回動すると、これに伴ってミラーホルダ１０が回動し、ミラーホルダ１０と一体的にミラー１３が回動する。このように、ミラーホルダ１０は、互いに直交する支軸１１、１２と支軸２４、２５によって、２次元方向に回動可能に支持され、ミラーホルダ１０の回動に伴って、ミラー１３が２次元方向に回動する。
【００４４】
図３（ａ）に示すように、板バネ４０が可動枠２０に装着された状態において、支軸１１には、板バネ４０の弾性によって、接点部４０ａが圧接している。このため、支軸１１の回動時に多少の軸ぶれなどが生じても、接点部４０ａは、常に支軸１１の外周面に接触した状態となる。勿論、接点部４０ａの圧接力は支軸１１の回動の妨げとならない程度の小さなものとされている。
【００４５】
また、板バネ４０が可動枠２０に装着された状態において、板バネ４０の右端部が、第１パターン２８１に接続されている。なお、板バネ４１の取付け状態についても、板バネ４０と同様な状態となっている。
【００４６】
図３（ｂ）に示すように、一対の板バネ４２が固定枠３０に装着された状態において、第１板バネ４２１の接点部４２１ａは、支軸２４の第１パターン２７１に接触しており、第２板バネ４２２の接点部４２２ａは、第２パターン２７２に接触している。支軸２４には、第１板バネ４２１および第２板バネ４２２の弾性によって、接点部４２１ａ、４２２ａが圧接している。このため、支軸２４の回動時に多少の軸ぶれなどが生じても、接点部４２１ａ、４２２ａは、常に第１パターン２７１、第２パターン２７２に接触した状態となる。勿論、接点部４２１ａ、４２２ａの圧接力は支軸２４の回動の妨げとならない程度の小さなものとされている。
【００４７】
なお、可動枠２０の回動は、ミラーホルダ１０の回動に比べて振り幅が小さくてよく、可動枠２０の回動範囲は、接点部４２１ａ、４２２ａが、それぞれ、第１パターン２７１、第２パターン２７２に接触が維持できる範囲となっている。このため、接点部４２１ａ、４２２ａの双方が同じパターンに接触することはない。
【００４８】
また、一対の板バネ４２が固定枠３０に装着された状態において、第１板バネ４２１の他端側が第１パターン３６１に接続され、第２板バネ４２２の他端側が第２のパターン３６２に接続されている。なお、一対の板バネ４３の取付け状態についても、一対の板バネ４２と同様な状態となっている。
【００４９】
図１（ｂ）に示すアセンブル状態において、２つのマグネット３４は、コイル１４に電流を印加することにより、ミラーホルダ１０に支軸１１、１２を軸とする回動力が生じるよう配置および極性が調整されている。また、配線５０、５１は、図示しないアクチュエータ駆動回路に接続されている。
【００５０】
また、同図（ｂ）に示すアセンブル状態において、４つのマグネット３５は、コイル２６に電流を印加することにより、可動枠２０に支軸２４、２５を軸とする回動力が生じるよう配置および極性が調整されている。また、配線５２、５３は、アクチュエータ駆動回路に接続されている。
【００５１】
以上の構成により、配線５０とコイル１４の一端１４ａは、第１パターン３６１、第１板バネ４２１、第１パターン２７１、第１パターン２８１、板バネ４０、および支軸１１によって電気的に接続されている。また、配線５１とコイル１４の他端１４ｂは、第２パターン３６２、第２板バネ４２２、第２パターン２７２、第２パターン２８２、板バネ４１、および支軸１２によって電気的に接続されている。
【００５２】
よって、アクチュエータ駆動回路から電流が印加されると、一対の電極パターン３６、一対の板バネ４２、一対の電極パターン２７、一対の電極パターン２８、板バネ４０、支軸１１、１２を通じて、コイル１４に電流が流れ、コイル１４に生じる電磁駆動力によって、ミラーホルダ１０が、支軸１１、１２を軸として回動する。
【００５３】
また、配線５２とコイル２６の一端２６ａは、第１パターン３７１、第１板バネ４３１、第１パターン２９１によって電気的に接続されている。また、配線５３とコイル２６の他端２６ｂは、第２パターン３７２、第２板バネ４３２、第２パターン２９２によって電気的に接続されている。
【００５４】
よって、アクチュエータ駆動回路から電流が印加されると、一対の電極パターン３７、一対の板バネ４３、一対の電極パターン２９を通じて、コイル２６に電流が流れ、コイル２６に生じる電磁駆動力によって、可動枠２０が、支軸２４、２５を軸として回動する。
【００５５】
このようにして、コイル１４とコイル２６に電流を印加することにより、ミラーホルダ１０と可動枠２０がそれぞれ支軸１１、１２と支軸２４、２５を軸として回動する。これにより、ミラー１３が、ミラーホルダ１０と一体となって、２次元方向に回動する。
【００５６】
図４は、図１（ｂ）に示すミラーアクチュエータ１００が搭載されたビーム照射装置の構成を示す図である。
【００５７】
ビーム照射装置のベース５００には、ミラーアクチュエータ１００が装着されている。また、ミラーアクチュエータ１００の他に、走査ビームをミラー１３に導くための走査用光学系４００が装着されている。
【００５８】
ベース５００の上面には、走査用光学系４００を構成するミラー４０２、４０３と、ビーム整形用のレンズ４０４、４０５が装着されている。また、ベース５００には、ミラー４０２に対向する位置にレーザ光源（図示せず）が装着されている。
【００５９】
レーザ光源（図示せず）から上向きに出射されたレーザ光は、ミラー４０２によって水平方向に反射された後、さらにミラー４０２によって、進行方向が水平方向に９０度折り曲げられる。その後、レーザ光は、レンズ４０４、４０５によって、それぞれ、水平方向および鉛直方向の収束作用を受ける。なお、レンズ４０４、４０５は、目標領域（たとえば、ビーム出射口から前方１００ｍ程度の位置に設定される）におけるビーム形状が、所定の大きさ（たとえば、縦２ｍ、横１ｍ程度の大きさ）になるようレンズ面が設計されている。
【００６０】
レンズ４０４、４０５を透過したレーザ光は、ミラーアクチュエータ１００のミラー１３に入射し、ミラー１３によって目標領域に向かって反射される。ミラーアクチュエータ１００によってミラー１３が上記の如く２次元駆動されることにより、レーザ光が目標領域内において２次元方向にスキャンされる。
【００６１】
ミラーアクチュエータ１００は、ミラー１３が中立位置にあるときに、レンズ４０５からのレーザ光がミラー１３のミラー面に対し水平方向において４５度の入射角で入射するよう配置されている。また、ミラー１３が中立位置にあるとき、ミラー面は鉛直方向に対して平行となっている。
【００６２】
以上、本実施の形態によれば、コイルへ電流を印加するための４つの配線５０〜５３の接続部（端子部）を固定枠３０に設けるとともに、配線５０、５１の接続部分からコイル１４までの電流路を、支軸１１、１２と、板バネ４０、４１と、一対の電極パターン２８と、一対の電極パターン２７と、一対の板バネ４２と、一対の電極パターン３６とで、配線を使用することなく構成し、配線５２、５３の接続部分からコイル２６までの電流路を、一対の電極パターン２９と、一対の板バネ４３と、一対の電極パターン３７とで、配線を使用することなく構成している。したがって、４つの配線５０〜５３を、可動側（ミラーホルダ１０および可動枠２０）に接続する必要がないため、ミラーホルダ１０や可動枠２０が回動したときに、配線に振動や張力が加わることがない。よって、本実施の形態に係るミラーアクチュエータを長期間使用しても、配線に破断等が生じることはなく、ミラーアクチュエータの信頼性を向上させることができる。
【００６３】
また、本実施の形態によれば、板バネ４０、４１の弾性により、支軸１１、１２が回動しても、接点部４０ａ、４１ａが、常に支軸１１、１２の外周面に接触した状態に維持される。また、一対の板バネ４２、４３の弾性により、支軸２４、２５が回動しても、接点部４２１ａ、４２２ａ、４３１ａ、４３２ａが、常に第１パターン２７１、２９１および第２パターン２７２、２９２に接触した状態に維持される。したがって、ミラーホルダ１０や可動枠２０が回動しても、支軸１１、１２、２４、２５の部分で導電不良が発生することはなく、よって、コイル１４、２６に対し安定した電力供給を行うことができる。
【００６４】
本発明は、上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も、上記以外に種々の変更が可能である。
【００６５】
たとえば、図５、図６および図７に示す変形例のように、コイル１４およびコイル２６に対する電流路が構成されてもよい。
【００６６】
図５に示す変形例では、一対の電極パターン２８の第２パターン２８２が、可動枠２０の前面左側に形成され、支軸２５の第２パターン２９２に接続されている。この場合、これに合わせて、コイル２６の他端２６ｂが支軸２４の第２パターン２７２に接続される。また、配線５１が固定枠３０の左側の第２パターン３７２に接続され、配線５３が固定枠３０の右側の第２パターン３６２に接続される。
【００６７】
図６に示す変形例では、一対の電極パターン２８の第２パターン２８２が、可動枠２０の前面左側に形成され、支軸２５の第１パターン２９１に接続されている。この場合、これに合わせて、コイル２６の一端２６ａが支軸２５の第２パターン２９２に接続され、他端２６ｂが支軸２４側の第２パターン２７２に接続される。また、配線５１が固定枠３０の左側の第１パターン３７１に接続され、配線５２が固定枠３０の左側の第２パターン３７２に接続され、配線５３が固定枠３０の右側の第２パターン３６２に接続される。
【００６８】
図７に示す変形例では、一方の支軸１１に一対の電極パターン１５が形成されるとともに、コイル１４の一端側１４ａが第１パターン１５１に接続され、他端１４ｂが第２パターン１５２に接続されている。これに合わせて、一対の電極パターン２８が可動枠２０の左右の上側に形成され、第１パターン２８１および第２パターン２８２が、それぞれ支軸２４の第１パターン２７１および支軸２５の第１パターン２９１に接続されている。そして、溝２２の部分には、板バネ４０に代えて、一対の板バネ４２、４３と同じ構造の一対の板バネ４４が装着されている。また、コイル２６の一端２６ａが支軸２５の第２パターン２９２に接続され、他端２６ｂが支軸２４の第２パターン２７２に接続される。さらに、配線５１が固定枠３０の左側の第１パターン３７１に接続され、配線５２が固定枠３０の左側の第２パターン３７２に接続され、配線５３が固定枠３０の右側の第２パターン３６２に接続される。
【００６９】
また、上記実施の形態では、支軸１１、１２が、導電性を有する材料により、ミラーホルダ１０とは別に構成されている。しかし、支軸１１、１２がミラーホルダ１０と一体的に非導電性の材料で形成され、支軸１１、１２の表面に導電性の材料からなる電極パターンが形成されてもよい。
【００７０】
さらに、上記実施の形態では、電極パターンが蒸着により形成されているが、電極パターンが導電性を有する金属材料片などで作成され、これが支軸２４、２５や可動枠１０に装着されるようにしてもよい。
【００７１】
この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】実施の形態に係るミラーアクチュエータの構成を示す図
【図２】実施の形態に係るミラーアクチュエータの構成を示す図
【図３】実施の形態に係るミラーホルダの支軸の可動枠の溝への取付状態および可動枠の支軸の固定枠の溝への取付状態を示す図
【図４】実施の形態に係るビーム照射装置の構成を示す図
【図５】実施の形態に係るミラーアクチュエータの変形例示す図
【図６】実施の形態に係るミラーアクチュエータの変形例示す図
【図７】実施の形態に係るミラーアクチュエータの変形例示す図
【符号の説明】
【００７３】
１０  …  ミラーホルダ
１１、１２  …  支軸
１３  …  ミラー
１４  …  コイル
２０  …  可動枠
２４、２５  …  支軸
２６  …  コイル
２７、２８、２９  …  一対の電極パターン
３０  …  固定枠
３４、３５  …  マグネット
３６、３７  …  一対の電極パターン
４０、４１  …  板バネ
４２、４３  …  一対の板バネ
５０、５１、５２、５３  …  配線
【図１】
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【図２】
2009063513.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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