(57)【要約】【課題】コストの削減を図ることができるリニアエンコーダ装置を提供する。【解決手段】本発明は、固定部に設けられた可動部のスライド位置を検出するリニアエンコーダ装置を対象とする。本装置は、固定部に、線上に並んで配置され、かつ位置情報が設けられた複数のリニアスケール１，２と、可動部に配置され、かつ各リニアスケール１，２の位置情報を読み取り可能な第１，２スケールヘッドａ，ｂと、スケールヘッドａ，ｂからの位置情報に基づいて、可動部のスライド位置を計測する位置計測手段と、第１スケールヘッドａによって読み取られる一方のリニアスケールの位置情報と、第２スケールヘッドｂによって読み取られる他方のリニアスケールの位置情報との関連付けを行う関連付け手段と、位置情報の読み取りに使用するスケールヘッドを、可動部のスライド位置に応じて選択するヘッド選択手段とを備える。【選択図】図３
2009063437.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部にスライド自在に設けられた可動部のスライド位置を検出するリニアエンコーダ装置であって、
固定部に、可動部のスライド方向に沿って線上に並んで配置され、かつ長さ方向の位置を示す目盛りとして位置情報が設けられた複数のリニアスケールと、
可動部に、隣合うリニアスケール間の間隔よりも広い間隔で、スライド方向に離間して配置され、かつ各リニアスケールの位置情報を読み取り可能な第１，２スケールヘッドと、
スケールヘッドによって読み取られた各リニアスケールの位置情報に基づいて、可動部のスライド位置を計測する位置計測手段と、
隣合うリニアスケールのうち一方のリニアスケールに第１スケールヘッドが対応し、かつ他方のリニアスケールに第２スケールヘッドが対応して配置された状態において、第１スケールヘッドによって読み取られる一方のリニアスケールの位置情報と、第２スケールヘッドによって読み取られる他方のリニアスケールの位置情報との関連付けを行う関連付け手段と、
第１，２スケールヘッドのうち、位置情報の読み取りに使用するスケールヘッドを、リニアスケールに対する位置に応じて選択するヘッド選択手段と、を備えたことを特徴とするリニアエンコーダ装置。
【請求項２】
関連付け手段は、第１，２スケールヘッドにより位置情報を同時に読み取って、その読み取った２つの位置が互いに、同一のスライド位置に相当するという関連付けを行う請求項１に記載のリニアエンコーダ装置。
【請求項３】
可動部のスライド範囲が、第１，２スケールヘッドの双方がリニアスケールの位置情報を読み取り可能な領域と、第１，２スケールヘッドの片方のみがリニアスケールの位置情報を読み取り可能な領域とに分割され、
ヘッド選択手段は、分割された各領域に応じて、スケールヘッドを選択する請求項１または２に記載のリニアエンコーダ装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のリニアエンコーダ装置と、
可動部をスライド方向に沿って駆動するリニアモータと、を備えたことを特徴とするリニアモータ装置。
【請求項５】
リニアエンコーダ装置によって検出された可動部のスライド位置情報に基づいて、リニアモータの駆動を制御して、可動部を所定のスライド位置に移動させるコントローラをさらにを備えた請求項４に記載のリニアモータ装置。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれかに記載のリニアエンコーダ装置と、
可動部をスライド方向に沿って駆動する可動部駆動手段と、
リニアエンコーダ装置によって検出された可動部のスライド位置情報に基づいて、可動部駆動手段の駆動を制御して、可動部を所定のスライド位置に移動させるコントローラと、を備えたことを特徴とする単軸ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、固定部にスライド自在に設けられた可動部のスライド位置を検出するリニアエンコーダ装置、リニアモータ装置および単軸ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
直線上に沿って可動する可動部の位置を、リニアスケール装置によって検出する方法が周知である。リニアスケール装置は、可動部の可動方向に沿って配置されるリニアスケールと、可動部に設けられるスケールヘッドとを備え、スケールヘッドによってリニアスケールの位置情報を読み取ることによって、スケールヘッド（可動部）のリニアスケールに対する位置を検出するようにしている。
【０００３】
特許文献１には、上記のリニアスケール装置を複数直列に配置して、長い距離を移動する可動部（可動テーブル）の位置を検出するようにした位置決め装置が開示されている。
【０００４】
この位置決め装置は、基台上に設けられて直線上を移動する可動テーブルと、可動テーブルの移動方向に沿って直列に配置された複数のリニアスケールと、各リニアスケールに対応して可動テーブルに設けられた複数のスケールヘッドとを備え、各リニアスケールに対応するスケールヘッドによって、リニアスケールの位置情報を読み取ることにより、可動テーブルの位置を検出するようにしている。
【０００５】
このような位置決め装置において例えば、隣合うリニアスケール装置のうち一方のリニアスケール装置から他方のリニアスケール装置に可動テーブルを移動させる際には、信号を切り替えて、位置情報入手手段を一方のリニアスケール装置から他方のリニアスケール装置に変更する必要があり、同文献の位置決め装置では、信号の切り替え位置を検出するために、切替センサが設けられている。
【特許文献１】特開２００６−８４４１９号公報（請求項１，図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の位置検出装置は、信号の切り替え位置を検出するための切替センサを設けているため、その分、構造の複雑化およびコストの増大を来すおそれがある。しかも切替センサは、各リニアスケール装置の接続部毎に対応して設けられるとともに、スケールヘッドは各リニアスケール装置毎に設けられるため、リニアスケール装置の設置数が増加するに従って、切替センサやスケールヘッドの設置数も増加してしまう。例えばリニアスケール装置を３つ以上設置すると、切替センサは２つ以上、スケールヘッドは３つ以上設置する必要がある。このようにリニアスケール装置の設置数に伴って、部品数も増加し、この点においても、構造の複雑化およびコストの増大を来すという問題があった。
【０００７】
この発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、線上に並んで配置された複数のリニアスケールの位置情報を連続して読み取ることができる上さらに、構造の簡素化およびコストの削減を図ることができるリニアエンコーダ装置、リニアモータ装置および単軸ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明は下記の手段を提供する。
【０００９】
［１］  固定部にスライド自在に設けられた可動部のスライド位置を検出するリニアエンコーダ装置であって、
固定部に、可動部のスライド方向に沿って線上に並んで配置され、かつ長さ方向の位置を示す目盛りとして位置情報が設けられた複数のリニアスケールと、
可動部に、隣合うリニアスケール間よりも広い間隔で、スライド方向に離間して配置され、かつ各リニアスケールの位置情報を読み取り可能な第１，２スケールヘッドと、
スケールヘッドによって読み取られた各リニアスケールの位置情報に基づいて、可動部のスライド位置を計測する位置計測手段と、
隣合うリニアスケールのうち一方のリニアスケールに第１スケールヘッドが対応し、かつ他方のリニアスケールに第２スケールヘッドが対応して配置された状態において、第１スケールヘッドによって読み取られる一方のリニアスケールの位置情報と、第２スケールヘッドによって読み取られる他方のリニアスケールの位置情報との関連付けを行う関連付け手段と、
第１，２スケールヘッドのうち位置情報の読み取りに使用するスケールヘッドを、リニアスケールに対する位置に応じて選択するヘッド選択手段と、を備えたことを特徴とするリニアエンコーダ装置。
【００１０】
［２］  関連付け手段は、第１，２スケールヘッドにより位置情報を同時に読み取って、その読み取った２つの位置が互いに、同一のスライド位置に相当するという関連付けを行う請求項１に記載のリニアエンコーダ装置。
【００１１】
［３］  可動部のスライド範囲が、第１，２スケールヘッドの双方がリニアスケールの位置情報を読み取り可能な領域と、第１，２スケールヘッドの片方のみがリニアスケールの位置情報を読み取り可能な領域とに分割され、
ヘッド選択手段は、分割された各領域に応じて、スケールヘッドを選択する請求項１または２に記載のリニアエンコーダ装置。
【００１２】
［４］  前項１〜３のいずれかに記載のリニアエンコーダ装置と、
可動部をスライド方向に沿って駆動するリニアモータと、を備えたことを特徴とするリニアモータ装置。
【００１３】
［５］  リニアエンコーダ装置によって検出された可動部のスライド位置情報に基づいて、リニアモータの駆動を制御して、可動部を所定のスライド位置に移動させるコントローラをさらにを備え前項４に記載のリニアモータ装置。
【００１４】
［６］  前項１〜３のいずれかに記載のリニアエンコーダ装置と、
可動部をスライド方向に沿って駆動する可動部駆動手段と、
リニアエンコーダ装置によって検出された可動部のスライド位置情報に基づいて、可動部駆動手段の駆動を制御して、可動部を所定のスライド位置に移動させるコントローラとを備えたことを特徴とする単軸ロボット。
【発明の効果】
【００１５】
上記発明［１］にかかるリニアエンコーダ装置によると、複数のリニアスケールの位置情報を連続して読み取ることができる上さらに、構造の簡素化およびコストの削減を図ることができる。
【００１６】
上記発明［２］にかかるリニアエンコーダ装置によると、各リニアスケールの位置情報をより正確に読み取ることができる。
【００１７】
上記発明［３］にかかるリニアエンコーダ装置によると、各リニアスケールの位置情報をより一層正確に読み取ることができる。
【００１８】
上記発明［４］にかかるリニアモータ装置によると、上記と同様に、複数のリニアスケールの位置情報を連続して読み取ることができる上さらに、構造の簡素化およびコストの削減を図ることができる。
【００１９】
上記発明［５］にかかるリニアモータ装置によると、可動部を位置精度良く移動させることができる。
【００２０】
上記発明［６］にかかる単軸ロボットによると、可動部を位置精度良く移動させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
＜第１実施形態＞
図１はこの発明の第１実施形態にかかる単軸ロボットを示す平面図である。同図に示すように、この単軸ロボットは、Ｘ軸方向に沿って延びる長尺な基台１０と、基台１０上に設けられた一対のレール１１，１１と、レール１１，１１にレール長さ方向（Ｘ軸方向）に沿ってスライド自在に設けられたスライダ１２と、基台１０上に設けられた２本のリニアスケール１，２と、スライダ１２に設けられた２つのスケールヘッド（センサヘッド）ａ，ｂと、スライダ１２を駆動するリニアモータ３０とを備えている。なお本実施形態においては、基台１０によって固定部が構成されるとともに、スライダ１２によって可動部が構成されている。
【００２２】
一対のレール１１，１１は、基台１０上における幅方向の両側に設けられ、基台１０の長さ方向（Ｘ軸方向）に沿って連続して配置されている。
【００２３】
２本のリニアスケール１，２は、基台１０上における幅方向の一側に設けられ、Ｘ軸方向に沿って直列に配置されている。両リニアスケール１，２の間には隙間が設けられている。
【００２４】
本実施形態にいて、リニアスケール１，２は、着磁によって磁気パターンが形成されており、周期的な磁界の変化を位置情報（目盛り）として、スケールヘッドａ，ｂにより読み取られるようになっている。
【００２５】
スケールヘッドａ，ｂは、Ｘ軸方向に離間して配置されている。両スケールヘッドａ，ｂ間の間隔は、後に詳述するよにリニアスケール１，２間の間隔よりも広く設定されている。そしてこのスケールヘッドａ，ｂにより上記したように、リニアスケール１，２の位置情報を読み取ることによって、スケールヘッドａ，ｂの位置（スライダ１２の位置）を検出できるようになっている。
【００２６】
また、スケールヘッドａ，ｂはいずれも、リニアスケール１，２の各位置情報をそれぞれ読み取ることができるようになっている。なお、リニアスケール１，２の内少なくとも一方のスケール上の所定点が基台１０に対してＸ軸方向所定の位置となるように、リニアスケール１，２を基台１０に取り付けるか、基台１０に対する少なくとも一方のリニアスケール１あるいは２の位置を検出できるようにしているので、スケールヘッドａ，ｂによりそれぞれ読み取るリニアスケール１，２の各位置情報から、基台１０に対するスライダ１２の位置を検出することができる。
【００２７】
また本実施形態においては、２つのリニアスケール１，２のうち、同図の紙面に向かって左側のリニアスケール１を第１リニアスケールとし、右側のリニアスケール２を第２リニアスケールとする。さらに２つのスケールヘッドａ，ｂのうち、左側のスケールヘッドａを第１スケールヘッドとし、右側のスケールヘッドｂを第２スケールヘッドとする。
【００２８】
リニアモータ３０は、基台１０側に設けられた固定子３１と、スライダ１２側に設けられた可動子３２とを備えている。
【００２９】
固定子３１は、基台１０上における一対のレール１１，１１間においてＸ軸方向に沿って連続して配置される直線的な形状を有し、Ｘ軸方向に沿って所定のピッチで磁極が配列される固定磁石ユニットによって構成されている。
【００３０】
可動子３２は、スライダ１２の裏面側における固定子３１と対向する位置に設けられた電機子コイルによって構成されており、通電によってＸ軸方向に推進力が発生することにより、スライダ１２がＸ軸方向に沿って駆動するようになっている。
【００３１】
図２に示すように、本実施形態の単軸ロボットは、コントローラ４を備え、そのコントローラ４によって予め設定された動作条件に従って、リニアモータ３０の駆動が制御されて、スライダ１２の移動が行われるようになっている。
【００３２】
コントローラ４は、演算処理部４０、駆動制御部４３および情報記憶部４４を備えている。
【００３３】
演算処理部４０は、第１，２スケールヘッドａ，ｂからの情報や、情報記憶部４４からの情報に基づいて、所定の動作用プログラムに従って、各種の演算を行い、その演算結果を出力する。
【００３４】
駆動制御部４３は、演算処理部４０からの情報や、情報記憶部４４からの情報に基づいて、リニアモータ３０の駆動を制御する。
【００３５】
情報記憶部４４は、単軸ロボットの動作に必要な各種の情報が記憶される。この情報には、単軸ロボットを動作させるための上記動作用プログラムが含まれる。動作用プログラムには、動作手順等に関するシーケンス情報や、スライダ１２が移動する毎に設定される個別動作データ例えば、移動先の位置や、移動後の待機時間に関する情報が含まれている。さらに情報記憶部４４には、演算処理部４０によって演算されたスライダ１２の移動量や移動先の位置に関する情報を記憶できるようになっている。
【００３６】
またコントローラ４には、キーボードやマウス等の外部入力装置４１が接続されており、この外部入力装置４１を介して、コントローラ７は各種の情報を取得できるようなっている。
【００３７】
なお本実施形態においては、スライダ１２の位置（移動量）を検出する装置、すなわちスライダ１２、第１，２リニアケール１，２、第１，２スケールヘッドａ，ｂおよびコントローラ７等によってリニアエンコーダ装置が構成されるとともに、このリニアエンコーダ装置およびリニアモータ３０等によってリニアモータ装置が構成されている。
【００３８】
さらに本実施形態においては、コントローラ４が、第１，２リニアスケール１，２の位置情報の関連付けを行う関連付け手段、第１，２スケールヘッドａ，ｂのいずれのスケールヘッドを選択するかのヘッド選択手段、スケールヘッドａ，ｂによって読み取られた各リニアスケール１，２の位置情報に基づいて、スライダ１２の位置（移動量）を計測する位置計測手段として機能する。
【００３９】
図３は本実施形態の単軸ロボットを模式化して示すブロック図である。同図に示すように、第１，２スケールヘッドａ，ｂ間の間隔「Ｌ０」は既述したように、リニアスケール１，２間の間隔「Ｌｓ」よりも大きく設定されている。ここでリニアスケール１，２の間隔「Ｌｓ」は、第１リニアスケール１の測定可能な範囲の右側端部から第２リニアスケール２の測定可能な範囲の左側端部までの間隔「Ｌｓ」に相当する。
【００４０】
以上の構成の単軸ロボットにおいては、スライダ１２（スケールヘッドａ，ｂ）の移動範囲（領域）を、リニアスケール１，２との関係の下で、以下の５つの領域Ｒ１〜Ｒ５に分けることができる。
【００４１】
「領域Ｒ１」は、第１，２スケールヘッドａ，ｂの双方が、第１リニアスケール１の位置情報を読み取り可能な領域（範囲）である。
【００４２】
「領域Ｒ２」は、第１スケールヘッドａは第１リニアスケール１の位置情報を読み取り可能で、第２スケールヘッドｂは第１，２リニアスケール１，２の位置情報を共に読み取り不可能な領域（範囲）である。
【００４３】
「領域Ｒ３」は、第１スケールヘッドａは第１リニアスケール１の位置情報を読み取り可能で、第２スケールヘッドｂは第２リニアスケール２の位置情報を読み取り可能な領域（範囲）である。なお後述するように、領域Ｒ３はさらに「領域Ｒ３ａ」と「領域Ｒ３ｂ」とに分けられる。
【００４４】
「領域Ｒ４」は、第２スケールヘッドｂは第２リニアスケール２の位置情報を読み取り可能で、第１スケールヘッドａは第１，２リニアスケール１，２の位置情報を共に読み取り不可能な領域（範囲）である。
【００４５】
「領域Ｒ５」は、第１，２スケールヘッドａ，ｂの双方が、第２リニアスケール２の位置情報を読み取り可能な領域（範囲）である。
【００４６】
本実施形態の単軸ロボットは、予め設定された動作用プログラムに従って、スライダ１２の動作を制御するものであるが、この単軸ロボットは、リニアエンコーダ装置を含んでいる。リニアエンコーダ装置は、原点位置からのスライダ１２の現在位置（移動量）を検出するものであり、以下に、リニアエンコーダ装置におけるスライダ１２の位置検出方法について説明する。なおリニアエンコーダ装置においては、第１リニアスケール１の左端部に、第１スケールヘッドａにより読取可能な特異点として原点「Ｐ０１」が設定され、この原点「Ｐ０１」が基台１０に対してＸ軸方向所定位置となるように第１リニアスケール１が基台１０に取り付けられている。第１スケールヘッドａによって原点「Ｐ０１」の位置を検出することによって、原点位置（基台１０に対する所定位置）の確認が行われる。
【００４７】
リニアエンコーダ装置において、スライダ１２が領域Ｒ１〜Ｒ３の範囲内で移動すようなる場合、コントローラ４は、第１スケールヘッドａによって検知される第１リニアスケール１の位置情報に基づいて、スライダ１２の位置（移動量）を検出する。
【００４８】
またスライダ１２が、領域Ｒ１〜Ｒ３の範囲から領域Ｒ４，５の範囲に移動するような場合には、領域Ｒ１〜Ｒ３の移動中には、第１スケールヘッドａにより読み取られる第１リニアスケール１の位置情報に基づいて、スライダ１２の位置を検出する。そして領域Ｒ３を通過している際に、第１スケールヘッドａによる位置情報から、第２スケールヘッドｂによる位置情報に切り替える。
【００４９】
すなわち領域Ｒ３の通過中において、コントローラ４によって、第１，２リニアスケール１，２の関連付け、つまり第１スケールヘッドａによる第１リニアスケール１の位置情報と、第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２の位置情報との関連付けが行われる。ここでの関連付けは、第１スケールヘッドａによる第１リニアスケール１の位置が、第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２のどの位置に相当するかを関連付けするものである。本実施形態においては、同一時点で読み取った第１スケールヘッドａによる第１リニアスケール１の位置と、第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２の位置とは同一のスライド位置であるとの関連付けが行われる。具体的には、コントローラ４は、スライダ１２が領域Ｒ３を移動してい途中に、同一時点において第１，２スケールヘッドａ，ｂにより第１，２リニアスケール１，２の位置情報をそれぞれ読み取って、両位置が互いに、同一のスライド位置であるという関連付け情報を取得し、その関連付け情報を情報記憶部４４に保持する。
【００５０】
こうして関連付けを行った後、コントローラ４は、位置情報の読み取りに使用するスケールヘッドとして、第２スケールヘッドｂを選択する。換言すれば、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替えて、第２スケールヘッドｂによって検知される第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の位置（移動量）を算出する。
【００５１】
このように領域Ｒ３においてヘッドを切り替える前は、第１スケールヘッドａからの位置情報に基づいて、スライダ１２の位置を検出するとともに、ヘッドを切り替えた後は、第２スケールヘッドｂからの位置情報に基づいて、スライダ１２の位置を検出する。
【００５２】
なお第１，２リニアスケール１，２間の関連付けはば、領域Ｒ３内における関連付け予定位置に第１，２スケールヘッドａ、ｂのいずれかによって検出可能な関連付け位置マーク（例えば図３の「Ｐ０２」）を予め設定しておき、そのマークを、対応するスケールヘッドによって検出された時点で行うようにしても良いし、さらに原点「Ｐ０１」から関連付けを行う予定の位置までの距離（例えば図３の「Ｌ０１」）を予め設定しておき、その位置に到達した時点で、行うようにしても良い。関連付け位置マークを設定する場合、実際の取り付けられるマークや、リニアスケールにソフトウエア的に設定される特異点によって構成すれば良い。さらに関連付けと、ヘッドの切替とは同時に行うのが通例であるが、関連付けを行った後、ヘッドの切替を行うようにしても良い。以下の説明において、関連付け（ヘッドの切替）は、同様な方法によって行うようにすれば良い。
【００５３】
また、スライダ１２が領域Ｒ３〜Ｒ５の範囲内で移動するような場合には、第２スケールヘッドｂによって検知される第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の位置を算出する。
【００５４】
さらにスライダ１２が領域Ｒ３〜Ｒ５の範囲内から領域Ｒ１，Ｒ２の範囲内に移動するような場合には、領域Ｒ３〜Ｒ５の移動中は、第２スケールヘッドｂにより読み取られる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の位置を検出する。そして領域Ｒ３を移動している際に、第１，２リニアスケール１，２の関連付けを行う。具体的には上記と同様に、同一時点において第１，２スケールヘッドａ，ｂにより第１，２リニアスケール１，２の位置情報をそれぞれ読み取って、これらの位置が互いに、同一のスライド位置であるという関連付けを行う。
【００５５】
関連付けが行われた後は上記と同様に、位置情報読取手段を、第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えて、第１リニアスケール１の位置情報に基づいて、スライダ１２の位置を検出する。
【００５６】
このように本実施形態の単軸ロボットに含まれるニアエンコーダ装置によれば、第１，２リニアスケール１，２間の領域Ｒ３において、第１スケールヘッドａ，ｂによる第１リニアスケール１の位置情報と、第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２の位置情報と間の関連付けを行うようにしているため、２つのスケールヘッドａ，ｂによって、第１，２リニアスケール１，２の全域にわたって連続して、スライダ１２（第１スケールヘッドａ）の位置を正確に測定することが可能である。換言すれば、２本のリニアスケール１，２を、あたかも１本の長尺なリニアスケールとして構成することができ、長尺な範囲で、スライダ１２の位置を正確に測定することが可能である。
【００５７】
また原点「Ｐ０１」からの距離「Ｌ０１」や、スケールヘッドｂにより検出可能な基準点「Ｐ０２」等に基づいて、スケールヘッドａ，ｂの切替を行うようにしているため、ヘッドの切替位置を検出するためのセンサを別途設ける必要はなく、その分、構造の簡素化およびコストの削減を図ることができる。
【００５８】
なお領域Ｒ１においてスライダ１２の位置を検出する場合、必ずしも第１スケールヘッドａにより第１リニアスケール１の位置情報を読み取る必要はなく、第２スケールヘッドｂにより第１リニアスケール１の位置情報を読み取るようにしても良い。同様に、領域Ｒ５においては、第１スケールヘッドａにより第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにしても良い。また領域Ｒ３においては、少なくともいずれか一方のスケールヘッドａ，ｂにより位置情報を読み取るようにすれば良い。
【００５９】
要は第１，２スケールヘッドａ，ｂの双方が、リニアスケールの位置情報を読み取り可能な領域（Ｒ１，Ｒ３，Ｒ５等）では、第１，２スケールヘッドａ，ｂのいずれか一方を適宜選択して、位置情報を読み取るようにすれば良い。また言うまでもなく、第１，２スケールヘッドａ，ｂのうち片方のみが、リニアスケールの位置情報を読み取り可能な領域（Ｒ２，Ｒ４等）では、位置情報を読取可能なスケールヘッドを選択して、位置情報を読み取るものである。
【００６０】
次に本実施形態の短軸ロボットの動作の一例について説明する。
【００６１】
図３，４に示すように、本実施形態の単軸ロボットにおいて、第１スケールヘッドａにより読み取り可能な特異点として原点「Ｐ０１」が設定されている。さらにスライダ１２の位置は、原点「Ｐ０１」を「０（ゼロ）」とする座標系で表すこととして、第１スケールヘッドａの位置座標をスライダ１２の位置座標として表す。またスライダ１２の移動方向に関しては、図８の紙面に向かって右方向を「＋（正）方向」、左方向を「−（負）方向」とする。またこの単軸ロボットには、スライダ１２を原点「Ｐ０１」から正方向に移動させて領域Ｒ３内に配置させるまでの移動量（所定の移動量「Ｌ０１」）が予め設定されて、情報記憶部４４に保持されている。そしてスライダ１２を原点「Ｐ０１」から所定の移動量「Ｌ０１」だけ移動させた際のスライダ１２の位置（ヘッド切替位置）を境にして、領域Ｒ３が領域Ｒ３ａと、領域Ｒ３ｂとの２つに分割されている。
【００６２】
「領域Ｒ３ａ」は、領域Ｒ３のうちヘッド切替位置（関連付け位置）よりも第１リニアスケール１側の領域（範囲）であり、かつヘッド切替位置を含む領域である。
【００６３】
「領域Ｒ３ｂ」は、領域Ｒ３のうちヘッド切替位置よりも第２リニアスケール１側の領域（範囲）であり、かつヘッド切替位置を含まない領域である。
【００６４】
この条件において、本実施形態の単軸ロボットの動作が開始されると図５に示すように、コントローラ４は、原点「Ｐ０１」が第１スケールヘッドａによって検出される位置までスライダ１２を移動させて、原点位置を確認する（ステップＳ１）。
【００６５】
コントローラ４は、この第１スケールヘッドａによって原点「Ｐ０１」が検出された位置、あるいはその原点検出位置から正方向（右方向）または負方向（左方向）に所定量移動した領域Ｒ１内の位置、のいずれかの位置を、スライダ１２の初期待機位置として設定する。その後、コントローラ４は、スライダ１２を初期待機位置に停止状態で待機させる。なお本実施形態では、原点「Ｐ０１」を検出した位置が初期待機位置に設定されている。
【００６６】
またコントローラ４は、スライダ１２（第１スケールヘッドａ）の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜を「０」に設定する。
【００６７】
さらにコントローラ４は、初期待機位置をスライダ１２の現在位置（移動元位置）として情報記憶部４４に保持する。なお後述するように、スライダ１２が移動する毎に、コントローラ４は、移動後のスライダ１２の位置を現在位置（移動元位置）として、情報記憶部４４に保持する。
【００６８】
次にコントローラ４は、移動指令または停止指令の有無を判断して（ステップＳ２）、移動指令または停止指令があるまでスライダ１２を待機させる（ステップＳ２でＮＯ）。移動指令および停止指令は、上記動作用プログラムの個別動作データに含まれている。なお移動指令には、移動先の位置（座標）も含まれる。
【００６９】
移動指令があると（ステップＳ２で移動）、コントローラ４は、スライダ１２の現在位置（移動元座標）が、領域Ｒ１〜Ｒ３ａであるか否かが判断される（ステップＳ４）。移動元座標の判断方法は、上記したように情報記憶部４４に保持された移動元座標に基づいて行われる。すなわち移動元座標が、原点「Ｐ０１」から所定の移動量「Ｌ０１」移動した位置（ヘッド切替位置）よりも小さい場合には、領域Ｒ１〜Ｒ３ａに含まれるとともに、ヘッド切替位置よりも大きい場合には、領域Ｒ３ｂ〜Ｒ５に含まれることになる。
【００７０】
こうして移動元座標の領域が判断されて、移動元座標が領域Ｒ１〜Ｒ３ａの場合（ステップＳ４でＹＥＳ）、コントローラ４は、スライダ１２の移動先がどの領域に含まれるかを判断する（ステップＳ５）。
【００７１】
移動先座標は、既述したように個別動作データに含まれるため、この移動先座標を、上記の移動元座標の領域判断（ステップＳ４）と同様な判断方法を用いることによって、移動先の領域を判断することができる。
【００７２】
なお本実施形態においては、領域Ｒ１〜Ｒ３ａの領域を左側領域と称し、領域Ｒ３ｂ〜Ｒ５の領域を右側領域と称する。
【００７３】
移動先が左側領域Ｒ１〜Ｒ３ａである場合には（ステップＳ５でＹＥＳ）、コントローラ４は、移動量および移動方向を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ６）。
【００７４】
すなわちスライダ１２の移動量および移動方向は、情報記憶部４４に保持された現在位置座標および移動先座標に基づいて求められる。具体的には図４，５に示すように、移動元座標が「Ｐ１１」、移動先座標が「Ｐ１２」の場合、移動量「Ｌ１」は、「移動先座標（Ｐ１２）−移動元座標（Ｐ１１）＝Ｌ１」の関係式から算出されるとともに、「Ｌ１」の正負値から移動方向が求められる。図示のように移動方向が「正方向（右方向）」の場合には、コントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させて、第１スケールヘッドａからの位置情報に基づいて検出されるスライダ１２の移動量が、上記算出された移動量「Ｌ１」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【００７５】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【００７６】
さらにコントローラ４は、移動量｜Ｌ１｜を、情報記憶部４４に保持された累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する（ステップＳ６）。
【００７７】
次にスライダ１２の移動元座標が左側領域Ｒ１〜Ｒ３ａで（ステップＳ４でＹＥＳ）、移動先座標が右側領域Ｒ３ｂ〜Ｒ５の場合について説明する。すなわちスライダ１２の移動先座標が左側領域Ｒ１〜Ｒ３ａでない場合（ステップＳ５でＮＯ）、コントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第１スケールヘッドａによる第１リニアスケール１の位置情報に基づいて算出される原点「Ｐ０１」からの移動量が、上記所定の移動量「Ｌ０１」となったとき、第２スケールヘッドｂによって第２リニアスケール２の位置情報を検出し、その位置を第２リニアスケール２の基準点「Ｐ０２」として認識する。さらにコントローラ４は、第２リニアスケール２の基準点「Ｐ０２」の位置が、スライダ１２（第１スケールヘッドａ）が原点「Ｐ０１」から所定量「Ｌ０１」移動した位置と同一であるとの関連付けを行って、位置情報取得手段を第２スケールヘッドｂに切り替える（ステップＳ７）。
【００７８】
続けて、コントローラ４は、関連付け位置から移動先座標までの移動量を算出し、そしてその算出結果に応じて、スライダ１２をヘッド切替位置から移動させる（ステップＳ８）。なお言うまでもなく移動方向は右方向（正方向）である。
【００７９】
例えば図４，５に示すようにステップＳ４の移動指令に含まれる移動元座標が「Ｐ２１」、移動先座標が「Ｐ２２」の場合、まずコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させる一方、移動元座標「Ｐ２１」からヘッド切替位置（関連付け位置）までの前半の移動量「Ｌ２ａ」を、「Ｌ０１（原点位置から関連付け位置までの移動量）−移動元座標（Ｐ２１）＝Ｌ２ａ」の関係式によって求める。続けて第１スケールヘッドａからの位置情報に基づいて検出されるライダ１２の移動量が、前半移動量「Ｌ２ａ」に到達した時点で、第２スケールヘッドｂによって基準点「Ｐ０２」を認識して、上記の関連付けを行って、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替える。
【００８０】
その後、コントローラ４は、ヘッド切替位置から移動先座標までの後半の移動量「Ｌ２ｂ」を、「移動先座標（Ｐ２２）−Ｌ０１（原点位置からヘッド切替位置までの移動量）＝Ｌ２ｂ」の関係式によって求める。そしてコントローラ４は、第２スケールヘッドｂからの位置情報に基づいて検出されるスライダ１２の後半移動量が、上記算出された後半移動量「Ｌ２ｂ」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【００８１】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【００８２】
さらにコントローラ４は、スライダ１２の移動量｜Ｌ２ａ＋Ｌ２ｂ｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する（ステップＳ８）。
【００８３】
一方、スライダ１２の移動元座標が左側領域Ｒ１〜Ｒ３ａでない場合（ステップＳ４でＮＯ）、コントローラ４は、スライダ１２の移動先がどの領域に含まれるかを判断する（ステップＳ９）。
【００８４】
移動先が右側領域Ｒ３ｂ〜Ｒ５である場合には（ステップＳ９でＹＥＳ）、コントローラ４は、移動量および移動方向を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ１０）。
【００８５】
例えば図４，５に示すように、ステップＳ４の移動指令に含まれる移動元座標が「Ｐ３１」、移動先座標が「Ｐ３２」の場合、まずコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ３２）−移動元座標（Ｐ３１）＝移動量（Ｌ３）」の関係式から、移動量「Ｌ３」が算出されるとともに、「Ｌ３」の正負値から移動方向が求められる。図示のように「Ｌ３」が負値の場合、移動方向は負方向（左方向）となる。従ってコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させ、第２スケールヘッドｂからの位置情報に基づいて検出されるスライダ１２の移動量が、上記算出された移動量「Ｌ３」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【００８６】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【００８７】
さらにコントローラ４は、移動量｜Ｌ３｜を、情報記憶部４４に保持された累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する（ステップＳ１０）。
【００８８】
次にスライダ１２の移動元座標が右側領域Ｒ３ｂ〜Ｒ５で（ステップＳ５でＮＯ）、移動先座標が左側領域Ｒ１〜Ｒ３ａの場合（ステップＳ９でＮＯ）について説明する。この場合、コントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、領域Ｒ３において、上記したように第１，２スケールヘッドａ，ｂによる位置情報の関連付け（ヘッドの切替）を行う（ステップＳ１１）。
【００８９】
この関連付けは、上記ステップＳ７と同様な方法で行われる。すなわち第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて算出される原点「Ｐ０１」からのスライダ１２の移動量（距離）が、予め設定された所定の移動量「Ｌ０１」となったとき、または第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」が検出されたときに、コントローラ４は、上記と同様な関連付けを行って、位置情報読取手段を、第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替える。
【００９０】
続けて、コントローラ４は、関連付け位置から移動先座標までの移動量を算出し、そしてその算出結果に応じて、スライダ１２をヘッド切替位置から移動させる。なお移動方向は左方向（負方向）である。
【００９１】
例えば図４，５に示すように、ステップＳ４の移動指令に含まれる移動元座標が「Ｐ４１」、移動先座標が「Ｐ４２」の場合、まずコントローラ４は、第２スケールヘッドｂにより第２リニアスケール２の位置情報を読み取りながら、スライダ１２を左方向に移動させる一方、ヘッド切替位置から移動先座標までの後半の移動量「Ｌ４」を、「移動先座標（Ｐ４２）−Ｌ０１（原点からヘッド切替位置までの移動量）＝Ｌ４」の関係式によって求める。そしてコントローラ４は、第２スケールヘッドｂによって第２スケールヘッド２の基準点「Ｐ０２」を検出した時点で、上記の関連付けを行って、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替える。その後コントローラ４は、第１スケールヘッドａによる第１リニアスケール１から位置情報に基づいて、ヘッド切替位置からの移動量を検出し、その検出された移動量が、上記算出した後半の移動量「Ｌ４」に到達するまで、スライダ１２を左方向に移動させる。
【００９２】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【００９３】
さらにコントローラ４は、スライダ１２の「移動先座標（Ｐ４２）−移動元座標（Ｐ４１）」から移動量「Ｌｘ」を算出し、その移動量｜Ｌｘ｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する（ステップＳ１０）。
【００９４】
スライダ１２を移動させた後は、コントローラ４は、移動後の位置を情報記憶部４４に保持する。
【００９５】
こうしてスライダ１２の移動（ステップＳ６，Ｓ８，Ｓ１０，Ｓ１２）が完了すると、コントローラ４は、累計移動量Σ｜Ｌｘ｜を、予め設定された所定値と比較して、累計移動量Σ｜Ｌｘ｜が所定値を超えない場合（ステップＳ１３でＮＯ）、次の指令があるまで待機する（ステップＳ２）。
【００９６】
累計移動量Σ｜Ｌｘ｜が所定値を超える場合（ステップＳ１３でＹＥＳ）、第１スケールヘッドａによる原点確認が行われる（ステップＳ１）。
【００９７】
このような動作が繰り返し行われて、予定していた全ての移動指令に対応した動作が完了した後は、停止指令が発信されて（ステップＳ２で停止）、コントローラ４は、スライダ１２を初期待機位置まで移動させて（ステップＳ３）、動作が終了する。
【００９８】
以上のように、本第１実施形態の単軸ロボットによれば、直列に配置された２本のリニアスケール１，２の長さ方向全域において、スライダ１２を所望の位置に正確に移動させることができる。
【００９９】
また第１，２スケールヘッドａ，ｂ以外に例えば、ヘッド切替位置検出用等のセンサ等を別途設ける必要はなく、その分、構造の簡素化およびコストの削減を図ることができる。
【０１００】
また上記実施形態においては、第２リニアスケール２の領域Ｒ３ｂ〜Ｒ５の位置情報を、第２スケールヘッドｂにより読み取るようにしているが、それだけに限られず、本発明においては、第２リニアスケール２の領域Ｒ５の位置情報を、第１スケールヘッドａによって読み取るようにしても良い。この場合、領域５内において上記と同様に、第１，２スケールヘッドａ，ｂ間の関連付けを行って、位置情報検知手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えるようにすれば良い。同様に、第１リニアスケール１の領域Ｒ１の位置情報を、第２スケールヘッドｂによって読み取るようにしても良い。
【０１０１】
なお上記第１実施形態において、スライダ１２が、第１，２リニアスケール１，２間をまたがって移動する場合に、基準点「Ｐ０２」から移動先までのスライダ１２の移動量を算出しておき、スライダ１２が基準点「Ｐ０２」を通過した時点からスライダ１２の位置（移動量）を検出して、その検出移動量が、算出された移動量に到達するまで、スライダ１２を移動させるようにしているが、本発明においては、移動元座標から移動先座標までのスライダ１２の移動量を算出しておき、移動元からのスライダ１２の位置（移動量）を検出して、その検出移動量が、算出された移動量に到達するまで、スライダ１２を移動させるようにしても良い。スライダ１２が、第１，２リニアスケール１，２間をまたがって移動する場合において、移動元から移動先までのスライダ１２の位置（移動量）の検出方法は、上記リニアエンコーダ装置による位置検出方法で説明した通りである。
【０１０２】
＜第２実施形態＞
図６はこの発明の第２実施形態にかかる単軸ロボットを示す平面図である。同図に示すように、この単軸ロボットは、リニアスケール１〜３が３本設けられる点と、スライダ１２の駆動する手段としてボールねじ機構５０が採用される点とを除いて、実質的に上記第１実施形態と同様の構成を備えている。
【０１０３】
すなわち本第２実施形態の単軸ロボットは、基台１０と、基台上に設けられた一対のレール１１，１１と、レール１１，１１にスライド自在に設けられたスライダ１２と、基台１０上に設けられた３本のリニアスケール１〜３と、スライダ１２に設けられた２つのスケールヘッド（センサヘッド）ａ，ｂと、スライダ１２を駆動するボールねじ機構５０とを備えている。
【０１０４】
３本のリニアスケール１〜３は、基台１０上において、Ｘ軸方向に沿って直列に設けられている。隣合うリニアスケール１〜３の各間には隙間が設けられている。
【０１０５】
両スケールヘッドａ，ｂ間の間隔は、リニアスケール１〜３の各間の間隔よりも広く設定されている。
【０１０６】
なお本第２実施形態においては、３つのリニアスケール１〜３のうち、同図の紙面に向かって左側のリニアスケール１を第１リニアスケールとし、中間のリニアスケール２を第２リニアスケールとし、右側のリニアスケール３を第３リニアスケールとする。さらに上記第１実施形態と同様、２つのスケールヘッドａ，ｂのうち、左側のスケールヘッドａを第１スケールヘッドとし、右側のスケールヘッドｂを第２スケールヘッドとする。
【０１０７】
また本実施形態において、スケールヘッドａ，ｂはいずれも、リニアスケール１〜３の各位置情報をそれぞれ読み取ることができるようになっている。
【０１０８】
ボールねじ機構５０は、基台１０上における一対のレール１１，１１間においてＸ軸方向に沿って配置され、かつ軸心回りに回転自在に設けられたねじ軸５１と、基台１０上に設けられ、かつねじ軸５１を回転駆動するサーボモータ５２と、スライダ１２の裏面側に取り付けられ、かつねじ軸５１に螺合状態に取り付けられるナット部材５２とを備えている。そしてサーボモータ５２の駆動によりねじ軸５１が回転することによってナット部材５３がスライダ１２と共にＸ軸方向に沿って移動するようになっている。
【０１０９】
また図７に示すように、本第２実施形態の単軸ロボットは、コントローラ４を備え、そのコントローラ４によって予め設定された動作条件（動作用プログラム）に従って、ボールねじ機構５０の駆動が制御されて、スライダ１２の移動が行われるようになっている。
【０１１０】
コントローラ４は、上記第１実施形態と同様に、演算処理部４０、駆動制御部４３および情報記憶部４４を備えている。なお、駆動制御部４３は、ボールねじ機構５０のサーボモータ５２の駆動を制御するようになっている。
【０１１１】
またコントローラ４は、上記第１実施形態と同様、リニアスケール１〜３の各間において位置情報の関連付けを行う関連付け手段、使用するスケールヘッドの選択を行うヘッド選択手段、スライダ１２の位置（移動量）を計測する位置計測手段として機能する。
【０１１２】
図８に示すように、本実施形態の単軸ロボットにおいて、スケールヘッドａ，ｂ間の間隔Ｌ０は既述したように、リニアスケール１〜３の各間の間隔Ｌｓ１，Ｌｓ２よりもそれぞれ大きく設定されている。さらに第１スケールヘッドａは、第１〜３リニアスケール１〜３の位置情報をそれぞれ読み取ることができるとともに、第２スケールヘッドｂも、第１〜３リニアスケール１〜３の位置情報をそれぞれ読み取ることができるようになっている。
【０１１３】
以上の構成の単軸ロボットにおいては、スライダ１２（スケールヘッドａ，ｂ）の移動範囲（領域）を、リニアスケール１〜３との関係の下で、以下の９つの領域Ｒ１〜Ｒ９に分けることができる。
【０１１４】
「領域Ｒ１」は、第１，２スケールヘッドａ，ｂの双方が、第１リニアスケール１の位置情報を読み取り可能な領域（範囲）である。
【０１１５】
「領域Ｒ２」は、第１スケールヘッドａは第１リニアスケール１の位置情報を読み取り可能で、第２スケールヘッドｂはいずれのリニアスケール１〜３の位置情報も読み取り不可能な領域（範囲）である。
【０１１６】
「領域Ｒ３」は、第１スケールヘッドａは第１リニアスケール１の位置情報を読み取り可能で、第２スケールヘッドｂは第２リニアスケール２の位置情報を読み取り可能な領域（範囲）である。
【０１１７】
「領域Ｒ４」は、第２スケールヘッドｂは第２リニアスケール２の位置情報を読み取り可能で、第１スケールヘッドａはいずれのリニアスケール１〜３の位置情報も読み取り不可能な領域（範囲）である。
【０１１８】
「領域Ｒ５」は、第１，２スケールヘッドａ，ｂの双方が、第２リニアスケール２の位置情報を読み取り可能な領域（範囲）である。
【０１１９】
「領域Ｒ６」は、第１スケールヘッドａは第２リニアスケール２の位置情報を読み取り可能で、第２スケールヘッドｂはいずれのリニアスケール１〜３の位置情報も読み取り不可能な領域（範囲）である。
【０１２０】
「領域７」は、第１スケールヘッドａは第２リニアスケール２の位置情報を読み取り可能で、第２スケールヘッドｂは第３リニアスケール３の位置情報を読み取り可能な領域（範囲）である。
【０１２１】
「領域Ｒ８」は、第２スケールヘッドｂは第３リニアスケール３の位置情報を読み取り可能で、第１スケールヘッドａはいずれのリニアスケール１〜３の位置情報も読み取り不可能な領域（範囲）である。
【０１２２】
「領域Ｒ９」は、第１，２スケールヘッドａ，ｂの双方が、第３リニアスケール３の位置情報を読み取り可能な領域（範囲）である。
【０１２３】
この第２実施形態の単軸ロボットにおいても、上記第１実施形態と同様、スライダ１２の位置を検出するためのリニアエンコーダ装置を含んでおり、以下、このリニアエンコーダ装置による位置検出方法について説明する。なお原点位置の確認は、上記第１実施形態と同様に、第１リニアスケール１の左端部に設定された原点「Ｐ０１」を、第１スケールヘッドａによって検出することによって行われる。
【０１２４】
まずスライダ１２が配置される領域Ｒ１〜Ｒ９と、位置情報読取手段として選択される第１、２スケールヘッドａ，ｂとの関係について説明する。
【０１２５】
スライダ１２が領域Ｒ１内に配置される場合、位置情報読取手段として、第１，２スケールヘッドａ，ｂのいずれかのスケールヘッドが選択されるが、基本的には第１スケールヘッドａが選択され、その選択されたスケールヘッドによって第１リニアスケール１の位置情報が読み取られる。
【０１２６】
スライダ１２が領域Ｒ２内に配置される場合、第１スケールヘッドａが選択されて、そのスケールヘッドａによって第１リニアスケール１の位置情報が読み取られる。
【０１２７】
スライダ１２が領域Ｒ３内に配置される場合、位置情報読取手段として、第１，２スケールヘッドａ，ｂのいずれかのスケールヘッドが選択される。第１スケールヘッドａが選択された場合には、その選択されたスケールヘッドａによって第１リニアスケール１の位置情報が読み取られ、第２スケールヘッドｂが選択された場合には、その選択されたスケールヘッドｂによって第２リニアスケール２の位置情報が読み取られる。
【０１２８】
スライダ１２が領域Ｒ４内に配置される場合、第２スケールヘッドｂが選択されて、そのスケールヘッドｂによって第２リニアスケール２の位置情報が読み取られる。
【０１２９】
スライダ１２が領域Ｒ５内に配置される場合、位置情報読取手段として、第１，２スケールヘッドａ，ｂのいずれかのスケールヘッドが選択され、その選択されたスケールヘッドによって第２リニアスケール２の位置情報が読み取られる。
【０１３０】
スライダ１２が領域Ｒ６内に配置される場合、第１スケールヘッドａが選択されて、そのスケールヘッドａによって第２リニアスケール２の位置情報が読み取られる。
【０１３１】
スライダ１２が領域Ｒ７内に配置される場合、位置情報読取手段として、第１，２スケールヘッドａ，ｂのいずれかのスケールヘッドが選択される。第１スケールヘッドａが選択された場合には、その選択されたスケールヘッドａによって第２リニアスケール２の位置情報が読み取られ、第２スケールヘッドｂが選択された場合には、その選択されたスケールヘッドｂによって第３リニアスケール３の位置情報が読み取られる。
【０１３２】
スライダ１２が領域Ｒ８内に配置される場合、第２スケールヘッドｂが選択されて、そのスケールヘッドｂによって第３リニアスケール３の位置情報が読み取られる。
【０１３３】
スライダ１２が領域Ｒ９内に配置される場合、位置情報読取手段として、第１，２スケールヘッドａ，ｂのいずれかのスケールヘッドが選択されるが、基本的には第２スケールヘッドｂが選択され、その選択されたスケールヘッドによって第３リニアスケール３の位置情報が読み取られる。
【０１３４】
次にスライダ１２が領域Ｒ１〜Ｒ９の各間をまたがって移動する場合における位置検出方法について説明する。
【０１３５】
スライダ１２が領域Ｒ１から領域Ｒ２に移動する際に、領域Ｒ１内で第１スケールヘッドａが選択されている場合には、その第１スケールヘッドａによって、領域Ｒ１，Ｒ２において第１リニアスケール１の位置情報を読み取るようにする。領域Ｒ１内で第２スケールヘッドｂが選択されている場合には、領域Ｒ１内で、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えて、切替後は、第１スケールヘッドａによって第１リニアスケール１の位置情報を読み取るようにする。
【０１３６】
なおスケールヘッドａ，ｂが共に第１リニアスケール１上に配置された状態で、ヘッドの切替を行う場合には、上記と同様な関連付けを行う。つまり第１，２スケールヘッドａ，ｂによって同時に第１スケールヘッド１の位置情報を読み取って、その読み取った２つの位置が互いに、同一のスライド位置に相当するという関連付けを行う。以下の説明において、同一のリニアスケール上でヘッドの切替を行う場合には、同様に関連付けを行うようにする。
【０１３７】
スライダ１２が領域Ｒ２から領域Ｒ３に移動する際には、第１リニアスケールａによって、領域Ｒ２，Ｒ３において第１リニアスケール１の位置情報を読み取るようにする。なおスライダ１２が領域Ｒ３内に配置された際に、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替えて、切替後は、第２スケールヘッドｂによって第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにしても良い。
【０１３８】
スライダ１２が領域Ｒ３から領域Ｒ４に移動する際に、領域Ｒ３内で第１スケールヘッドａが選択されている場合には、領域Ｒ３内で、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替えて、切替後は、第２スケールヘッドｂによって第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。また領域Ｒ３内で第２スケールヘッドｂが選択されている場合には、その第２スケールヘッドｂによって、領域Ｒ３，Ｒ４において第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。
【０１３９】
なお領域Ｒ３内でヘッドを切替を行う場合は、上記と同様に、関連付けを行う。つまり第１スケールヘッドａにより第１リニアスケール１の位置情報を読み取ると同時に、第２スケールヘッドｂにより第２リニアスケール２の位置情報を読み取って、その読み取った２つの位置が互いに、同一のスライド一に相当するという関連付けを行う。以下の説明において、隣合うリニアスケール間において、ヘッドの切替を行う場合には、同様に関連付けを行う。、
スライダ１２が領域Ｒ４から領域Ｒ５に移動する際には、第２リニアスケールｂによって、領域Ｒ４，Ｒ５において第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。なおスライダ１２が領域Ｒ５内に配置された際に、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えて、切替後は、第１スケールヘッドａにって第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにしても良い。
【０１４０】
スライダ１２が領域Ｒ５から領域Ｒ６に移動する際に、領域Ｒ５内で第２スケールヘッドｂが選択されている場合には、領域Ｒ５内で、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えて、切替後は、第１スケールヘッドａによって第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。領域Ｒ５内で第１スケールヘッドａが選択されている場合には、その第１スケールヘッドａによって、領域Ｒ５，Ｒ６において第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。
【０１４１】
スライダ１２が領域Ｒ６から領域Ｒ７に移動する際には、第１リニアスケールａによって、領域Ｒ６，Ｒ７において第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。なおスライダ１２が領域Ｒ７内に配置された際に、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替えて、切替後は、第２スケールヘッドｂによって第３リニアスケール３の位置情報を読み取るようにしても良い。
【０１４２】
スライダ１２が領域Ｒ７から領域Ｒ８に移動する際に、領域Ｒ７内で第１スケールヘッドａが選択されている場合には、領域Ｒ７内で、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替えて、切替後は、第２スケールヘッドｂによって第３リニアスケール３の位置情報を読み取るようにする。また領域Ｒ７内で第２スケールヘッドｂが選択されている場合には、その第２スケールヘッドｂによって、領域Ｒ７，Ｒ８において第３リニアスケール３の位置情報を読み取るようにする。
【０１４３】
スライダ１２が領域Ｒ８から領域Ｒ９に移動する際には、第２スケールヘッドｂによって、領域Ｒ８，Ｒ９において第３リニアスケール３の位置情報を読み取るようにする。なおスライダ１２が領域Ｒ９内に配置された際に、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えて、切替後は、第１スケールヘッドａによって第３リニアスケール３の位置情報を読み取るようにしても良い。
【０１４４】
スライダ１２が領域Ｒ９から領域Ｒ８に移動する際には、領域Ｒ９内で第２スケールヘッドｂが選択されている場合には、第２スケールヘッドｂによって、領域Ｒ９，Ｒ８において第３リニアスケール３の位置情報を読み取るようにする。領域Ｒ９内で第１スケールヘッドａが選択されている場合には、領域Ｒ９内で、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替えて、切替後は、第２スケールヘッドｂによって第３リニアスケール３の位置情報を読み取るようにする。
【０１４５】
スライダ１２が領域Ｒ８から領域Ｒ７に移動する際には、第２スケールヘッドｂによって、領域Ｒ８，Ｒ７において第３リニアスケール３の位置情報を読み取るようにする。なおスライダ１２が領域Ｒ７内に配置された際に、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えて、切替後は、第１スケールヘッドａによって第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにしても良い。
【０１４６】
スライダ１２が領域Ｒ７から領域Ｒ６に移動する際に、領域Ｒ７内で第２スケールヘッドｂが選択されている場合には、領域Ｒ７内で、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えて、切替後は、第１スケールヘッドａによって第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。領域Ｒ７内で第１スケールヘッドａが選択されている場合には、その第１スケールヘッドａによって、領域Ｒ７，Ｒ６において第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。
【０１４７】
スライダ１２が領域Ｒ６から領域Ｒ５に移動する際には、第１スケールヘッドａによって、領域Ｒ６，Ｒ５において第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。なおスライダ１２が領域Ｒ５内に配置された際に、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替えて、切替後は、第２スケールヘッドｂによって第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにしても良い。
【０１４８】
スライダ１２が領域Ｒ５から領域Ｒ４に移動する際には、領域Ｒ５内で第１スケールヘッドａが選択されている場合には、領域Ｒ５内で、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替えて、切替後は、第２スケールヘッドｂによって第２リニアスケール３の位置情報を読み取るようにする。領域Ｒ５内で第２スケールヘッドｂが選択されている場合には、その第２スケールヘッドｂによって、領域Ｒ５，Ｒ４において第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。
【０１４９】
スライダ１２が領域Ｒ４から領域Ｒ３に移動する際には、第２スケールヘッドｂによって、領域Ｒ４，Ｒ３において第２リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。なおスライダ１２が領域Ｒ３内に配置された際に、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えて、切替後は、第１スケールヘッドａによって第１リニアスケール１の位置情報を読み取るようにしても良い。
【０１５０】
スライダ１２が領域Ｒ３から領域Ｒ２に移動する際に、領域Ｒ３内で第２スケールヘッドｂが選択されている場合には、領域Ｒ３内で、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂから第１スケールヘッドａに切り替えて、切替後は、第１スケールヘッドａによって第１リニアスケール２の位置情報を読み取るようにする。領域Ｒ３内で第１スケールヘッドａが選択されている場合には、その第１スケールヘッドａによって、領域Ｒ３，Ｒ２において第１リニアスケール１の位置情報を読み取るようにする。
【０１５１】
スライダ１２が領域Ｒ２から領域Ｒ１に移動する際には、第１スケールヘッドａによって、領域Ｒ２，Ｒ１において第１リニアスケール１の位置情報を読み取るようにする。なおスライダ１２が領域Ｒ１内に配置された際に、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａから第２スケールヘッドｂに切り替えて、切替後は、第２スケールヘッドｂによって第１リニアスケール１の位置情報を読み取るようにしても良い。
【０１５２】
このように第１〜３リニアスケール１〜３の適当な位置で、第１，２スケールヘッドａ，ｂを適宜切り替えることにより、第１〜３リニアスケール１〜３の全域にわたって連続して、各リニアスケール１〜３の位置情報を第１，２スケールヘッドａ，ｂによって確実に読み取ることができる。従って第１〜３リニアスケール１〜３の全域にわたって連続して、スライダ１２（第１スケールヘッドａ）の位置（移動量）を正確に検出することが可能である。換言すれば、３本のリニアスケール１〜３を、あたかも１本の長尺なリニアスケールとして構成することができ、長尺な範囲で、スライダ１２の位置を正確に測定することが可能である。
【０１５３】
また３本のリニアスケール１〜３の各位置情報を、２つのスケールヘッドａ，ｂで読み取るようにしているため、各リニアスケール毎に、スケールヘッド（位置検出センサ）を設ける場合と比較して、センサ数を削減できて、構造の簡素化およびコストの削減を図ることができる。
【０１５４】
なおスケールヘッドａ，ｂを切り替えるか否かは、例えば移動先、移動方向、移動量等を考慮して適宜、判断すれば良い。
【０１５５】
またヘッドの切替予定位置に、スケールヘッドａ，ｂによって検出可能な切替位置マークを設定したり、あるいは原点からのヘッドの切替予定位置までの距離等を予め設定しておき、これらの切替位置マークや距離等に基づいて、ヘッドの切替を行うようにすれば、ヘッドの切替を確実に行うことができる。
【０１５６】
次に本実施形態の単軸ロボットの動作について具体的に説明する。
【０１５７】
まずこの単軸ロボットにおいては、第１リニアスケール１の左端部に、第１スケールヘッドａにより読み取り可能な特異点として原点「Ｐ０１」が設定されている。さらに領域Ｒ３内における第２リニアスケール２の左端部に、第２スケールヘッドｂにより読み取り可能な特異点として基準点「Ｐ０２」が設定されるとともに、領域Ｒ７内における第３リニアスケール３の左端部に、第２スケールヘッドｂにより読み取り可能な特異点として基準点「Ｐ０３」が設定されている。
【０１５８】
なおスライダ１２の位置は、上記第１実施形態と同様、原点「Ｐ０１」を「０（ゼロ）」とする座標系で表すこととし、第１スケールヘッドａの位置座標をスライダ１２の位置座標として表す。またスライダ１２の移動方向に関しては、図８の紙面に向かって右方向を「＋（正）方向」、左方向を「−（負）方向」とする。
【０１５９】
この条件で動作が開始されると、コントローラ４は、初期準備動作を行う（図１４のステップＳ１）。
【０１６０】
初期準備動作としては、原点位置確認、基準の距離（移動量）「Ｌ０」「Ｌ０１」「Ｌ０２」の計測等が行われる。
【０１６１】
すなわち図８に示すように、コントローラ４は、スライダ１２を第１スケールヘッドａによって原点「Ｐ０１」が検出される位置まで移動させて、原点検出位置を確認する。
【０１６２】
さらにコントローラ４は、原点「Ｐ０１」から、スライダ１２を右方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより第２リニアスケール２の基準点「Ｐ０２」が検出されるまでの移動量（移動距離）「Ｌ０１」を、第１スケールヘッドａによって読み取られる第１リニアスケール１の位置情報に基づいて算出し、その移動量「Ｌ０１」を情報記憶部４４に記憶する。
【０１６３】
続けてコントローラ４は、第２スケールヘッドｂが基準点「Ｐ０２」の位置に配置された状態から、スライダ１２を右方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより第２リニアスケール２の基準点「Ｐ０２」が検出されるまでの移動量（移動距離）、つまり第１，２スケールヘッドａ，ｂ間の間隔「Ｌ０」を、第２スケールヘッドｂによって読み取られる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて算出し、その間隔（移動量）「Ｌ０」を情報記憶部４４に記憶する。
【０１６４】
続けてコントローラ４は、第１スケールヘッドａが基準点「Ｐ０２」の位置に配置された状態から、スライダ１２を右方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより第３リニアスケール３の基準点「Ｐ０３」が検出されるまでの移動量（移動距離）「Ｌ０２」を、第１スケールヘッドａによって読み取られる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて算出し、その移動量「Ｌ０２」を情報記憶部４４に記憶する。
【０１６５】
その後、コントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させて、第１スケールヘッドａによって原点「Ｐ０１」を検出する位置（初期待機位置）に停止させて待機させる。
【０１６６】
またコントローラ４は、スライダ１２（第１スケールヘッドａ）の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜を「０」に設定する。
【０１６７】
さらにコントローラ４は、初期待機位置をスライダ１２の現在位置（移動元位置）として情報記憶部４４に保持する。なお後述するように、スライダ１２が移動する毎に、コントローラ４は、移動後のスライダ１２の位置を現在位置（移動元位置）として、情報記憶部４４に保持する。
【０１６８】
こうして初期準備動作（ステップＳ１）が終了する。
【０１６９】
次にコントローラ４は、移動指令または停止指令の有無を判断して（ステップＳ２）、移動指令または停止指令があるまでスライダ１２を待機させる（ステップＳ２でＮＯ）。移動指令および停止指令は、上記動作用プログラムの個別動作データに含まれている。なお移動指令には、移動先の位置（座標）も含まれる。また移動元の位置（座標）は既述したように、情報記憶部４４に保持されている。
【０１７０】
移動指令があると（ステップＳ２で移動）、コントローラ４は、スライダ１２の現在位置（移動元座標）および移動先座標に基づいて、移動元および移動先の領域Ｒ１〜Ｒ９を特定する（ステップＳ４）。
【０１７１】
領域の特定方法としては、移動元座標（移動先座標）を「Ｐｘ」としたとき、「Ｐｘ≦Ｌ０１」の場合には、移動元（移動先）が領域Ｒ１，Ｒ２に配置されていると特定される。
【０１７２】
「Ｌ０１＜Ｐｘ≦（Ｌ０１＋Ｌ０）」の場合には、移動元（移動先）が領域Ｒ３，Ｒ４に配置されていると判断される。
【０１７３】
「（Ｌ０１＋Ｌ０）＜Ｐｘ≦（Ｌ０１＋Ｌ０＋Ｌ０２）」の場合には、移動元（移動先）が領域Ｒ５，Ｒ６に配置されていると判断される。
【０１７４】
「（Ｌ０１＋Ｌ０＋Ｌ０２）＜Ｐｘ≦（Ｌ０１＋２・Ｌ０＋Ｌ０２）」の場合には、移動元（移動先）が領域Ｒ７，Ｒ８に配置されていると判断される。
【０１７５】
「（Ｌ０１＋Ｌ０＋Ｌ０２）＜Ｐｘ」の場合には、移動元（移動先）が領域Ｒ９に配置されていると判断される。
【０１７６】
こうして特定された移動元および移動先の領域に関する情報は、情報記憶部４４に保持される。
【０１７７】
その後、移動元の領域に応じて、移動指令情報が分別される（ステップＳ５）。
【０１７８】
まず移動元が領域Ｒ１，２の場合（図９，１５）について説明する。
【０１７９】
移動元が領域Ｒ１，Ｒ２の場合には（図１４のステップＳ５でＲ１，２）、移動先の領域に応じて、移動指令情報が分別される（図１５のステップＳ１０）。
【０１８０】
移動先が領域Ｒ１，Ｒ２の場合（ステップＳ１０でＲ１，２）、コントローラ４は、移動量および移動方向を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ１１）。
【０１８１】
例えばスライダ１２の移動量および移動方向は、情報記憶部４４に保持された移動元座標（現在位置）および移動先座標に基づいて求められる。すなわち図９に示すように、移動元（現在位置）座標が「Ｐ１１１」、移動先座標が「Ｐ１１２」の場合、「移動先座標（Ｐ１１２）−現在位置座標（Ｐ１１１）＝移動量（Ｌ１１）」の関係式から移動量「Ｌ１１」が算出されるとともに、「Ｌ１１」の正負値から移動方向が求められる。つまり「Ｌ１１」が正値の場合、移動方向は「正方向（右方向）」となり、負値の場合、移動方向は「負方向（左方向）」となる。図示のように「Ｌ１１」が正値の場合、コントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させて、第１スケールヘッドａからの位置情報に基づいて検出されるスライダ１２の移動量が、上記算出された移動量「Ｌ１１」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０１８２】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０１８３】
さらにコントローラ４は、移動量｜Ｌ１１｜を、情報記憶部４４に保持された累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する（ステップＳ１６）。
【０１８４】
移動元が領域Ｒ１，Ｒ２で、移動先が領域Ｒ３，Ｒ４の場合（ステップＳ１０でＲ３，４）、第２スケールヘッドｂが基準点「Ｐ０２」の位置を通過した後の移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ１２）。
【０１８５】
すなわち図９に示すように、移動元座標が「Ｐ１２１」、移動先座標が「Ｐ１２２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の移動量を「Ｌ１２」としたとき、「移動先座標（Ｐ１２２）−Ｌ０１＝Ｌ１２」の関係式から、移動量「Ｌ１２」が算出される。なお「Ｌ１２」は正値であるから、移動方向は「右方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量（現在位置）を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ１２」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０１８６】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０１８７】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ１２２）−移動元座標（Ｐ１２１）」から移動量「Ｌｘ」を算出し、その移動量「Ｌｘ」を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０１８８】
移動元が領域Ｒ１，Ｒ２で、移動先が領域Ｒ５，Ｒ６の場合（ステップＳ１０でＲ５，６）、第１スケールヘッドａが基準点「Ｐ０２」の位置を通過した後の移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ１３）。
【０１８９】
すなわち図９に示すように、移動元座標が「Ｐ１３１」、移動先座標が「Ｐ１３２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の移動量を「Ｌ１３」としたとき、「移動先座標（Ｐ１３２）−Ｌ０１−Ｌ０＝Ｌ１３」の関係式から、移動量「Ｌ１３」が算出される。なお「Ｌ１３」は正値であるから、移動方向は「右方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ１３」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０１９０】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０１９１】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ１３２）−移動元座標（Ｐ１３１）」から移動量｜Ｌｘ｜を算出し、その移動量｜Ｌｘ｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０１９２】
移動元が領域Ｒ１，Ｒ２で、移動先が領域Ｒ７，Ｒ８の場合（ステップＳ１０でＲ７，８）、第２スケールヘッドｂが基準点「Ｐ０３」の位置を通過した後の移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ１４）。
【０１９３】
すなわち図９に示すように、移動元座標が「Ｐ１４１」、移動先座標が「Ｐ１４２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の移動量を「Ｌ１４」としたとき、「移動先座標（Ｐ１４２）−Ｌ０１−Ｌ０−Ｌ０２＝Ｌ１４」の関係式から、移動量「Ｌ１４」が算出される。なお「Ｌ１４」は正値であるから、移動方向は「右方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第２スケールヘッドｂによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ１４」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０１９４】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０１９５】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ１４２）−移動元座標（Ｐ１４１）」から移動量「Ｌｘ」を算出し、その移動量「Ｌｘ」を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０１９６】
移動元が領域Ｒ１，Ｒ２で、移動先が領域Ｒ９の場合（ステップＳ１０でＲ９）、第１スケールヘッドａが基準点「Ｐ０３」の位置を通過した後の移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ１５）。
【０１９７】
すなわち図９に示すように、移動元座標が「Ｐ１５１」、移動先座標が「Ｐ１５２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の移動量を「Ｌ１５」としたとき、「移動先座標（Ｐ１５２）−Ｌ０１−２・Ｌ０−Ｌ０２＝Ｌ１５」の関係式から、移動量「Ｌ１５」が算出される。なお「Ｌ１５」は正値であるから、移動方向は「右方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ１５」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０１９８】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０１９９】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ１５２）−移動元座標（Ｐ１５１）」から移動量「Ｌｘ」を算出し、その移動量「Ｌｘ」を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２００】
なおステップＳ１５の移動においては、ステップＳ１４と同様に、第２スケールヘッドｂが基準点「Ｐ０３」の位置を通過した後に、第２スケールヘッドｂによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出して、スライダ１２の動作を制御することも可能である。
【０２０１】
次に移動元が領域Ｒ３，Ｒ４の場合（図１０，１６）について説明する。
【０２０２】
図１４のステップＳ５の移動元の分別において、スライダ１２の移動元（現在位置）が領域Ｒ３，Ｒ４に配置されている場合（ステップＳ５で領域Ｒ３，Ｒ４）、移動先の領域に応じて、移動指令情報が分別される（図１６のステップＳ２０）。
【０２０３】
移動先が領域Ｒ１，Ｒ２の場合（ステップＳ２０でＲ１，２）、第２スケールヘッドｂが基準点「Ｐ０２」の位置を通過した後、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａに切り替えて移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ２１）。
【０２０４】
すなわち図１０に示すように、移動元座標が「Ｐ２１１」、移動先座標が「Ｐ２１２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の第１スケールヘッドａの移動量を「Ｌ２１」としたとき、「移動先座標（Ｐ２１２）−Ｌ０１＝Ｌ２１（負値）」の関係式から、移動量「Ｌ２１」が算出される。なお「Ｌ２１」は負値であるため、移動方向は「左方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第１リニアスケール１の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ２１｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２０５】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２０６】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ２１２）−移動元座標（Ｐ２１１）」から移動量｜Ｌｘ｜を算出し、その移動量｜Ｌｘ｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２０７】
移動元が領域Ｒ３，Ｒ４で、移動先も領域Ｒ３，Ｒ４の場合（ステップＳ２０でＲ３，４）、現在位置座標および移動先座標に基づいて、移動量および移動方向を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ２２）。
【０２０８】
すなわち図１０に示すように、移動元座標が「Ｐ２２１」、移動先座標が「Ｐ２２２」の場合、「移動先座標（Ｐ２２２）−現在位置座標（Ｐ２２１）＝移動量（Ｌ２２）」の関係式から移動量「Ｌ２２」が算出されるとともに、「Ｌ２２」の正負値から移動方向が求められる。図示のように「Ｌ２２」が正値の場合、コントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させて、第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２からの位置情報に基づいて検出されるスライダ１２の移動量が、上記算出された移動量「Ｌ２２」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２０９】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２１０】
さらにコントローラ４は、移動量｜Ｌ２２｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２１１】
移動元が領域Ｒ３，Ｒ４で、移動先が領域Ｒ５，Ｒ６の場合（ステップＳ２０でＲ５，６）、上記ステップＳ１３と同様な処理によって、スライダ１２を移動させる（ステップＳ２３）。
【０２１２】
すなわち図１０に示すように、移動元座標が「Ｐ２３１」、移動先座標が「Ｐ２３２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の移動量「Ｌ２３」を、「移動先座標（Ｐ２３２）−Ｌ０１−Ｌ０＝Ｌ２３」の関係式から求める。なお移動方向は「右方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ２３」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２１３】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２１４】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ２３２）−移動元座標（Ｐ２３１）」から移動量｜Ｌｘ｜を算出し、その移動量｜Ｌｘ｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２１５】
移動元が領域Ｒ３，Ｒ４で、移動先が領域Ｒ７，Ｒ８の場合（ステップＳ２０でＲ７，８）、上記ステップＳ１４と同様な処理によって、スライダ１２を移動させる（ステップＳ２４）。
【０２１６】
すなわち図１０に示すように、移動元座標が「Ｐ２４１」、移動先座標が「Ｐ２４２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の移動量「Ｌ２４」を、「移動先座標（Ｐ２４２）−Ｌ０１−Ｌ０−Ｌ０２＝Ｌ２４」の関係式から求める。なお移動方向は「右方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第２スケールヘッドｂによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ２４」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２１７】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２１８】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ２４２）−移動元座標（Ｐ２４１）」から移動量｜Ｌｘ｜を算出し、その移動量｜Ｌｘ｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２１９】
移動元がＲ３，Ｒ４で、移動先が領域Ｒ９の場合（ステップＳ２０でＲ９）、上記ステップＳ１５と同様な処理によって、スライダ１２を移動させる（ステップＳ２５）。
【０２２０】
すなわち図１０に示すように、移動元座標が「Ｐ２５１」、移動先座標が「Ｐ２５２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の移動量「Ｌ２５」を、「移動先座標（Ｐ２５２）−Ｌ０１−２・Ｌ０−Ｌ０２＝Ｌ２５」の関係式から求める。なお移動方向は「右方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ２５」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２２１】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２２２】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ２５２）−移動元座標（Ｐ２５１）」から移動量｜Ｌｘ｜を算出し、その移動量｜Ｌｘ｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２２３】
なおステップＳ２５の移動においては、ステップＳ２４と同様に、第２スケールヘッドｂが基準点「Ｐ０３」の位置を通過した後に、第２スケールヘッドｂによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出して、スライダ１２の動作を制御することも可能である。
【０２２４】
次に移動元が領域Ｒ５，Ｒ６の場合（図１１，１７）について説明する。
【０２２５】
図１４のステップＳ５の移動元の分別において、スライダ１２の移動元（現在位置）が領域Ｒ５，Ｒ６の場合（ステップＳ５で領域Ｒ５，Ｒ６）、移動先の領域に応じて、移動指令情報が分別される（図１７のステップＳ３０）。
【０２２６】
移動先が領域Ｒ１，Ｒ２の場合（ステップＳ３０でＲ１，２）、ステップＳ２１と同様な処理によって、スライダ１２を移動させる（ステップＳ３１）。
【０２２７】
すなわち図１１に示すように、移動元座標が「Ｐ３１１」、移動先座標が「Ｐ３１２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の第１スケールヘッドａの移動量「Ｌ３１」を、「移動先座標（Ｐ３１２）−Ｌ０１＝Ｌ３１（負値）」の関係式から求める。なお「Ｌ３１」は負値であり、移動方向は「左方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第１リニアスケール１の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ３１｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２２８】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２２９】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ３１２）−移動元座標（Ｐ３１１）」から移動量｜Ｌｘ｜を算出し、その移動量｜Ｌｘ｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２３０】
移動先が領域Ｒ３，Ｒ４の場合（ステップＳ３０でＲ３，４）、第１スケールヘッドａが基準点「Ｐ０２」の位置を通過した後、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂに切り替えて移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ３２）。
【０２３１】
すなわち図１１に示すように、移動元座標が「Ｐ３２１」、移動先座標が「Ｐ３２２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の第２スケールヘッドｂの移動量「Ｌ３２」を、「移動先座標（Ｐ３２２）−Ｌ０１−Ｌ０＝Ｌ３２（負値）」の関係式から求める。なお「Ｌ３２」は負値であり、移動方向は「左方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ３２｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２３２】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２３３】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ３２２）−移動元座標（Ｐ３２１）」から移動量｜Ｌｘ｜を算出し、その移動量｜Ｌｘ｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２３４】
移動先が領域Ｒ５，Ｒ６の場合（ステップＳ３０でＲ５，６）、現在位置座標および移動先座標に基づいて、移動量および移動方向を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ３３）。
【０２３５】
すなわち図１１に示すように、移動元（現在位置）座標が「Ｐ３３１」、移動先座標が「Ｐ３３２」の場合、「移動先座標（Ｐ３３２）−現在位置座標（Ｐ３３１）＝移動量（Ｌ３３）」の関係式から移動量「Ｌ３３」が算出されるとともに、「Ｌ３３」の正負値から移動方向が求められる。図示のように「Ｌ３３」が正値の場合、コントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させて、第１スケールヘッドａからの位置情報に基づいて検出されるスライダ１２の移動量が、上記算出された移動量「Ｌ３３」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２３６】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２３７】
さらにコントローラ４は、移動量｜３３１｜を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２３８】
移動先が領域Ｒ７，Ｒ８の場合（ステップＳ３０でＲ７，８）、上記ステップＳ１４と同様な処理によって、スライダ１２を移動させる（ステップＳ３４）。
【０２３９】
すなわち図１１に示すように、移動元座標が「Ｐ３４１」、移動先座標が「Ｐ３４２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の移動量「Ｌ３４」を、「移動先座標（Ｐ３４２）−Ｌ０１−Ｌ０−Ｌ０２＝Ｌ３４」の関係式から求める。なお「３４２」は正値であるから、移動方向は「右方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第２スケールヘッドｂによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ３４」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２４０】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２４１】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ３４２）−移動元座標（Ｐ３４１）」から移動量「Ｌｘ」を算出し、その移動量「Ｌｘ」を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２４２】
移動先が領域Ｒ９の場合（ステップＳ３０でＲ９）、上記ステップＳ１５と同様な処理によって、スライダ１２を移動させる（ステップＳ３５）。
【０２４３】
すなわち図１１に示すように、移動元座標が「Ｐ３５１」、移動先座標が「Ｐ３５２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の移動量「Ｌ３５」を、「移動先座標（Ｐ３５２）−Ｌ０１−２・Ｌ０−Ｌ０２＝Ｌ３５」の関係式から求める。なお「Ｌ３５」は正値であるから、移動方向は「右方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ３５」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２４４】
またコントローラ４は、スライダ１２の移動後の位置を現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持する。
【０２４５】
さらにコントローラ４は、「移動先座標（Ｐ３５２）−移動元座標（Ｐ３５１）」から移動量「Ｌｘ」を算出し、その移動量「Ｌｘ」を、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算する。
【０２４６】
次に移動元が領域Ｒ７，Ｒ８の場合（図１２，１８）について説明する。
【０２４７】
図１４のステップＳ５の移動元の分別において、スライダ１２の移動元（現在位置）が領域Ｒ７，Ｒ８の場合（ステップＳ５で領域Ｒ７，Ｒ８）、移動先の領域に応じて、移動指令情報が分別される（図１８のステップＳ４０）。
【０２４８】
移動先が領域Ｒ１，Ｒ２の場合（ステップＳ４０でＲ１，２）、ステップＳ２１と同様な処理によって、スライダ１２を移動させる（ステップＳ４１）。
【０２４９】
すなわち図１２に示すように、移動元座標が「Ｐ４１１」、移動先座標が「Ｐ４１２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の第１スケールヘッドａの移動量「Ｌ４１」を、「移動先座標（Ｐ４１２）−Ｌ０１＝Ｌ４１（負値）」の関係式から求める。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第１リニアスケール１の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ４１｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２５０】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、「移動先座標（Ｐ４１２）−移動元座標（Ｐ４１１）によって求められる移動量｜Ｌｘ｜が、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２５１】
移動先が領域Ｒ３，Ｒ４の場合（ステップＳ４０でＲ３，４）、ステップＳ３２と同様な処理によってスライダを移動させる（ステップＳ４２）。
【０２５２】
すなわち図１２に示すように、移動元座標が「Ｐ４２１」、移動先座標が「Ｐ４２２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の第２スケールヘッドｂの移動量「Ｌ４２」を、「移動先座標（Ｐ４２２）−Ｌ０１−Ｌ０＝Ｌ４２（負値）」の関係式から求める。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ４２｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２５３】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、「移動先座標（Ｐ４２２）−移動元座標（Ｐ４２１）」によって求められる移動量｜Ｌｘ｜が、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２５４】
移動先が領域Ｒ５，Ｒ６の場合（ステップＳ４０でＲ５，６）、第２スケールヘッドｂが基準点「Ｐ０３」の位置を通過した後、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａに切り替えて移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ４３）。
【０２５５】
すなわち図１２に示すように、移動元座標が「Ｐ４３１」、移動先座標が「Ｐ４３２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の第１スケールヘッドａの移動量を「Ｌ４３」としたとき、「移動先座標（Ｐ４３２）−Ｌ０１−Ｌ０２−Ｌ０＝Ｌ４３（負値）」の関係式から、移動量「Ｌ４３」が算出される。なお「Ｌ４３」は負値であり、移動方向は「左方向」である。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０３」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ４３｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２５６】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、「移動先座標（Ｐ４３２）−移動元座標（Ｐ４３１）」によって求められる移動量｜Ｌｘ｜が、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２５７】
移動先が領域Ｒ７，Ｒ８の場合（ステップＳ４０でＲ７，８）、現在位置座標および移動先座標に基づいて、移動量および移動方向を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ４４）。
【０２５８】
すなわち図１２に示すように、移動元（現在位置）座標が「Ｐ４４１」、移動先座標が「Ｐ４４２」の場合、コントローラ４は、「移動先座標（Ｐ４４２）−現在位置座標（Ｐ４４１）＝移動量（Ｌ４４）」の関係式から移動量「Ｌ４４」を算出して、「Ｌ４４」の正負値から移動方向を求める。図示のように「Ｌ４４」が負値の場合、コントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させて、第２スケールヘッドｂによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて検出されるスライダ１２の移動量が、上記算出された移動量「Ｌ４４」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる（ステップＳ４４）。
【０２５９】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、移動量｜Ｌ４４｜が情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２６０】
移動先が領域Ｒ９の場合（ステップＳ４０でＲ９）、第１スケールヘッドａが基準点「Ｐ０３」の位置を通過した後の移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ４５）。
【０２６１】
すなわち図１２に示すように、移動元座標が「Ｐ４５１」、移動先座標が「Ｐ４５２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の移動量「Ｌ４５」を、「移動先座標（Ｐ４５２）−Ｌ０１−２・Ｌ０−Ｌ０２＝Ｌ４５」の関係式から求める。そしてコントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量「Ｌ４５」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２６２】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、「移動先座標（Ｐ４５２）−移動元座標（Ｐ４５１）」によって求められる移動量｜Ｌｘ｜が、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２６３】
次に移動元が領域Ｒ９の場合（図１３，１９）について説明する。
【０２６４】
図１４のステップＳ５の移動元の分別において、スライダ１２の移動元（現在位置）が領域Ｒ９の場合（ステップＳ５で領域Ｒ９）、移動先の領域に応じて、移動指令情報が分別される（図１９のステップＳ５０）。
【０２６５】
移動先が領域Ｒ１，Ｒ２の場合（ステップＳ５０でＲ１，２）、ステップＳ２１と同様な処理によって、スライダ１２を移動させる（ステップＳ５１）。
【０２６６】
すなわち図１３に示すように、移動元座標が「Ｐ５１１」、移動先座標が「Ｐ５１２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の第１スケールヘッドａの移動量「Ｌ５１」を、「移動先座標（Ｐ５１２）−Ｌ０１＝Ｌ５１（負値）」の関係式から求める。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第１リニアスケール１の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ５１｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２６７】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、「移動先座標（Ｐ５１２）−移動元座標（Ｐ５１１）」によって求められる移動量｜Ｌｘ｜が、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２６８】
移動先が領域Ｒ３，Ｒ４の場合（ステップＳ５０でＲ３，４）、ステップＳ３２と同様な処理によってスライダを移動させる（ステップＳ５２）。
【０２６９】
すなわち図１３に示すように、移動元座標が「Ｐ５２１」、移動先座標が「Ｐ５２２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った後の第２スケールヘッドｂの移動量「Ｌ５２」を、「移動先座標（Ｐ５２２）−Ｌ０１−Ｌ０＝Ｌ５２（負値）」の関係式から求める。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０２」を読み取った時点から、第２スケールヘッドｂによる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ５２｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２７０】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、「移動先座標（Ｐ５２２）−移動元座標（Ｐ５２１）」によって求められる移動量｜Ｌｘ｜が、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２７１】
移動先が領域Ｒ５，Ｒ６の場合（ステップＳ５０でＲ５，６）、第２スケールヘッドｂが基準点「Ｐ０３」の位置を通過した後、位置情報読取手段を第１スケールヘッドａに切り替えて移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ５３）。
【０２７２】
すなわち図１３に示すように、移動元座標が「Ｐ５３１」、移動先座標が「Ｐ５３２」の場合、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の第１スケールヘッドａの移動量「Ｌ５３」を、「移動先座標（Ｐ５３２）−Ｌ０１−Ｌ０−Ｌ０２＝Ｌ５３（負値）」の関係式から求める。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第２スケールヘッドｂにより基準点「Ｐ０３」を読み取った時点から、第１スケールヘッドａによる第２リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ５３｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２７３】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、「移動先座標（Ｐ５３２）−移動元座標（Ｐ５３１）」によって求められる｜Ｌｘ｜が、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２７４】
移動先が領域Ｒ７，Ｒ８の場合（ステップＳ５０でＲ７，８）、第１スケールヘッドａが基準点「Ｐ０３」の位置を通過した後、位置情報読取手段を第２スケールヘッドｂに切り替えて移動量を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ５３）。
【０２７５】
すなわち図１３に示すように、移動元座標が「Ｐ５４１」、移動先座標が「Ｐ５４２」の場合、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った後の第２スケールヘッドｂの移動量「Ｌ５４」を、「移動先座標（Ｐ５４２）−Ｌ０１−Ｌ０２−２・Ｌ０＝Ｌ５４（負値）」の関係式から求める。そしてコントローラ４は、スライダ１２を左方向に移動させていき、第１スケールヘッドａにより基準点「Ｐ０３」を読み取った時点から、第２スケールヘッドｂによる第３リニアスケール２の位置情報に基づいて、スライダ１２の移動量を検出していき、その検出された移動量が、上記算出された移動量｜Ｌ５４｜に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２７６】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、「移動先座標（Ｐ５４２）−移動元座標（Ｐ５４１）」によって求められる移動量｜Ｌｘ｜が算出されて、情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２７７】
移動先が領域Ｒ９の場合（ステップＳ５０でＲ９）、現在位置座標および移動先座標に基づいて、移動量および移動方向を算出して、その算出結果に応じて、スライダ１２を移動させる（ステップＳ５５）。
【０２７８】
すなわち図１３に示すように、移動元（現在位置）座標が「Ｐ５５１」、移動先座標が「Ｐ５５２」の場合、コントローラ４は、「移動先座標（Ｐ５５２）−現在位置座標（Ｐ５５１）＝移動量（Ｌ５５）」の関係式から移動量「Ｌ５５」を算出して、「Ｌ５５」の正負値から移動方向を求める。図示のように「Ｌ５５」が正値の場合、コントローラ４は、スライダ１２を右方向に移動させて、第１，２スケールヘッドａ，ｂのいずれかのスケールヘッドによる第３リニアスケール３の位置情報に基づいて検出されるスライダ１２の移動量が、上記算出された移動量「Ｌ５５」に到達した時点で、スライダ１２を停止させる。
【０２７９】
またスライダ１２の移動後の位置が現在位置（移動元座標）として情報記憶部４４に保持されるとともに、移動量｜Ｌ５５｜が情報記憶部４４の累計移動量Σ｜Ｌｘ｜に加算される。
【０２８０】
一方、スライダ１２の移動（ステップＳ１１〜Ｓ１５，Ｓ２１〜Ｓ２５，Ｓ３１〜Ｓ３５，Ｓ４１〜Ｓ４５，Ｓ５１〜Ｓ５５）が完了した後、コントローラ４は、累計移動量Σ｜Ｌｘ｜を、予め設定された所定値と比較して、累計移動量Σ｜Ｌｘ｜が所定値を超えない場合（図１５のステップＳ６０でＮＯ）、次の指令があるまで待機する（図１４のステップＳ２）。
【０２８１】
累計移動量Σ｜Ｌｘ｜が所定値を超える場合（図１５のステップＳ６０でＹＥＳ）、上記したように原点確認等の初期準備動作が行われる（図１４のステップＳ１）。
【０２８２】
このような動作が繰り返し行われて、予定していた全ての移動指令に対応した動作が完了した後は、停止指令が発信されて（ステップＳ２で停止）、コントローラ４は、スライダ１２を初期待機位置まで移動させて（ステップＳ３）、動作が終了する。
【０２８３】
以上のように、本第２実施形態の単軸ロボットによれば、直列に配置された３本のリニアスケール１〜３の長さ方向全域において、スライダ１２を所望の位置に正確に移動させることができる。
【０２８４】
また第１，２スケールヘッドａ，ｂ以外に例えば、ヘッド切替位置検出用のセンサ等を別途用いる必要がなく、その分、構造の簡素化およびコストの削減を図ることができる。
【０２８５】
しかも、３本のリニアスケール１〜３の各位置情報を、２つのスケールヘッドａ，ｂにより読み取るようにしているため、各リニアスケール毎に、スケールヘッド（位置検出センサ）を設ける場合と比較して、センサ数を削減できて、より一層、構造の簡素化およびコストの削減を図ることができる。
【０２８６】
なお上記第２実施形態においては、スライダ１２が、第１〜３リニアスケール１〜２の各間をまたがって移動する場合には、基準点「Ｐ０２」「Ｐ０３」から移動先までのスライダ１２の移動量を算出しておき、スライダ１２が基準点「Ｐ０２」「Ｐ０３」を通過した時点から、スライダ１２の位置（移動量）を検出して、その検出移動量が、算出された移動量に到達するまで、スライダ１２を移動させるようにしているが、本発明においては、移動元座標から移動先座標までのスライダ１２の移動量を算出しておき、移動元からのスライダ１２の位置（移動量）を検出して、その検出移動量が、算出された移動量に到達するまで、スライダ１２を移動させるようにしても良い。スライダ１２が、第１〜３リニアスケール１〜３の各間をまたがって移動する場合において、移動元から移動先までのスライダ１２の位置（移動量）の検出方法は、上記リニアエンコーダ装置による位置検出方法で説明した通りである。
【０２８７】
なお上記実施形態ににおいては、リニアスケールを２つまたは３つ用いる場合を例に挙げて説明したが、それだけに限られず、本発明においては、リニアスケールを４つ以上用いるようにしても良い。この場合においても、上記第２実施形態と同様に、２つのスケールヘッド（位置検出センサ）によって、各リニアスケールの位置情報を連続して読み取ることができる。
【０２８８】
また上記実施形態においては、リニアスケールの左端部に基準点（＝原点）を設定しているが、それだけに限られず、本発明においては、隣合うリニアスケールの対向端部のいずれか一方に基準点を設定するようにすれば良い。さらに、リニアスケール上ではなく基台上Ｘ軸方向所定位置に、いずれかのスケールヘッド（位置検出センサ）で読み取り可能な原点を配置し、この原点とリニアスケールを同じスケールヘッドで読み取ることで、原点に対するリニアスケールの位置を検出するようにしても良い。
【０２８９】
また上記実施形態においては、リニアスケールおよびスケールヘッド等の位置検出手段として、周期的な磁界の変化を位置情報とする磁気方式のものを用いる場合を例に挙げて説明しているが、それだけに限られず、本発明においては、リニアスケールに設けられた目盛りマークを、光学的に読み取るようにした光学方式の位置検出手段を用いるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【０２９０】
【図１】この発明の第１実施形態にかかる単軸ロボットを示す平面図である。
【図２】第１実施形態における単軸ロボットの制御系を示すブロック図である。
【図３】第１実施形態における単軸ロボットの動作に関連した領域を説明するためのブロック図である。
【図４】第１実施形態における単軸ロボットの動作を説明するためのブロック図である。
【図５】第１実施形態における単軸ロボットの動作を説明するためのフローチャートである。
【図６】この発明の第２実施形態にかかる単軸ロボットを示す平面図である。
【図７】第２実施形態における単軸ロボットの制御系を示すブロック図である。
【図８】第２実施形態における単軸ロボットの動作に関連した領域を説明するためのブロック図である。
【図９】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのブロック図である。
【図１０】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのブロック図である。
【図１１】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのブロック図である。
【図１２】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのブロック図である。
【図１３】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのブロック図である。
【図１４】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのフローチャートである。
【図１５】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのフローチャートである。
【図１６】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのフローチャートである。
【図１７】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのフローチャートである。
【図１８】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのフローチャートである。
【図１９】第２実施形態の単軸ロボットの動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【０２９１】
１〜３  リニアスケール
１１  基台（固定部）
１２  スライダ（可動部）
３０  リニアモータ
ａ，ｂ  スケールヘッド
【図１】
2009063437.tif 000003
【図２】
2009063437.tif 000004
【図３】
2009063437.tif 000005
【図４】
2009063437.tif 000006
【図５】
2009063437.tif 000007
【図６】
2009063437.tif 000008
【図７】
2009063437.tif 000009
【図８】
2009063437.tif 000010
【図９】
2009063437.tif 000011
【図１０】
2009063437.tif 000012
【図１１】
2009063437.tif 000013
【図１２】
2009063437.tif 000014
【図１３】
2009063437.tif 000015
【図１４】
2009063437.tif 000016
【図１５】
2009063437.tif 000017
【図１６】
2009063437.tif 000018
【図１７】
2009063437.tif 000019
【図１８】
2009063437.tif 000020
【図１９】
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