(57)【要約】【課題】簡易な構成で、放電ランプ（１０）の交換を迅速かつ容易に行うことができるランプユニットを提供する。【解決手段】ランプユニットは、管の両側に第１電極（３０）と第２電極とを有し光を放射する放電ランプ（１０）と、第１電極が挿入される開口を有するとともに、放電ランプ（１０）から放射された光を反射させる凹面反射鏡（１３）と、凹面反射鏡の反射面側に設けられ、第１電極と電気的に接続する接続部（３１）と、を備え、接続部（３１）は放電ランプ（１０）が挿入される方向と交差する面内で移動できる。【選択図】図３Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管の両側に第１電極と第２電極とを有し、光を放射する放電管と、
前記第１電極が挿入される開口を有するとともに、前記放電管から放射された光を反射させる凹面反射鏡と、
前記凹面反射鏡の反射面側に設けられ、前記第１電極と電気的に接続する接続部と、を備え、
前記接続部は前記放電管が挿入される方向と交差する面内で移動できることを特徴とするランプユニット。
【請求項２】
前記接続部は、前記挿入される方向に幅のある支持部で支持されていることを特徴とする請求項１記載のランプユニット。
【請求項３】
前記接続部と前記支持部との間には間隙が設けられており、前記接続部が前記挿入される方向に向くように付勢部材で付勢されていることを特徴とする請求項２に記載のランプユニット。
【請求項４】
前記接続部と前記支持部とは密着しており、前記支持部は、前記挿入される方向と交差する方向に弾性変形することを特徴とする請求項２記載のランプユニット。
【請求項５】
前記接続部には雄型接続部又は雌型接続部の一方が設けられ前記第１電極には雄型接続部又は雌型接続部の他方が設けられており、前記雌型接続部は、前記支持部の伸びる方向には幅が広く前記支持部の板厚方向には幅が狭い開口を有することを特徴とする請求項４に記載のランプユニット。
【請求項６】
前記接続部には雄型接続部又は雌型接続部の一方が設けられ、前記第１電極には雄型接続部又は雌型接続部の他方が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載のランプユニット。
【請求項７】
前記雌型接続部は、前記雄型接続部を案内する案内部を備えることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のランプユニット。
【請求項８】
前記放電管と前記凹面反射鏡とを一体に保持する保持部材をさらに備えることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載のランプユニット。
【請求項９】
前記放電管は、前記第２電極側に位置決め部を有するとともに、前記保持部材は、前記放電管を前記位置決め部によって位置決めして保持することを特徴とする請求項８記載のランプユニット。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載のランプユニットを有し、
前記ランプユニットを所定の位置に格納するハウジングと、
前記ハウジングに設けられ、前記凹面反射鏡によって反射された光を出射する出射口と、
前記出射口に接続されて、出射される光を導光するライトガイドと、
を備える光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，紫外線を含む光を照射するランプユニット及び光源装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、塗料を硬化、又は半導体ウエハなどの周辺露光もしくは表面改質などを行うために、放電ランプを用いて被処理対象物に紫外線を含む光を照射することが行われている。このような放電ランプを有する光源装置は、例えば、特許文献１に記載された発明では、放電ランプから照射された光を、楕円集光ミラーなどのミラーによって反射、集光したのち、出射口に導光し、出射口に接続されている光ファイバー束等の導光手段（ライトガイド）によって外部に光照射している。
【０００３】
このような光源装置のハウジング内において、放電ランプの固定用金具は、楕円集光ミラーが近傍に設けられたランプホルダーに取り付けられる。放電ランプがランプホルダーの適切な位置に取り付けられると、放電ランプの輝点が楕円集光ミラーの第１焦点に合致するようになっている。このように構成することで、放電ランプの輝点より照射した光を効率よく、光ファイバー束の出射端へ導光することができる。
【０００４】
放電ランプの交換作業を簡易化するため、特許文献１に記載された発明では、放電ランプのカソード側の端子をバナナ端子とし、不図示のスタータ側のカソード端子に接続されたジャックに接続し、放電ランプの電気的接続及び放電ランプの保持を行う方法が提案されている。
【特許文献１】特許第３３７７３４７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されている方法では、固定されたバナナ端子を正確にジャックに接続する必要があり、少しでもジャックの中心からずれるとバナナ端子の接続ができないため、放電ランプの交換作業が必ずしも容易ではない。
【０００６】
さらに、放電ランプの輝点が楕円集光ミラーの第１焦点に合致するように放電ランプの一方の端部口金とランプホルダーとが調整されているが、放電ランプの外形はガラスでできており、放電ランプの両側の端部口金と放電ランプ内の輝点との位置関係が一直線上に配置されていないこともある。楕円集光ミラーの第１焦点と第２焦点とを結ぶ直線上から放電ランプの他方の端部口金がずれたり傾いたりして配置されることもある。このため放電ランプがランプホルダーに取り付けられた際、放電ランプの先端部分のバナナ端子３０の位置は、挿入方向からずれることも多い。無理やりジャックにバナナ端子を接続すると、放電ランプの輝点の位置が第１焦点の位置からずれてしまって所望の照度を得ることができなくなる。また、無理やりジャックに接続した負荷は放電ランプの寿命を短くする。
【０００７】
そこで本発明は、簡易な構成で、放電ランプの交換を迅速かつ容易に行うことができるランプユニット及びこのランプユニットを有する光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の観点のランプユニットは、管の両側に第１電極と第２電極とを有し光を放射する放電管と、第１電極が挿入される開口を有するとともに、放電管から放射された光を反射させる凹面反射鏡と、凹面反射鏡の反射面側に設けられ、第１電極と電気的に接続する接続部と、を備え、接続部は放電管が挿入される方向と交差する面内で移動できる。
この構成により、放電管を交換する際、新たな放電管を凹面反射鏡の開口端（出射開口部）の反対面側（放電管挿通口側）から挿入することによって、適度な圧力で放電管の一方の電極（例えばカソード端子）が接続部に接続する。接続部が放電管が挿入される方向と交差する面内で移動できるため、放電管の第１電極と接続部との電気的接続を適切に行うことができるとともに放電管の輝点が凹面反射鏡の焦点に合致することができ、さらに放電管にかかる物理的負荷を軽減することができる。
【０００９】
第２の観点のランプユニットの接続部は、挿入される方向に幅のある支持部で支持されている。
この構成により、支持部が出射光と平行となるように接続部を配置することによって遮られる出射光を極力減少させることができるため、光量ロスを極めて小さくすることができる。また、挿入される方向に幅のある支持部であるため、放電管の挿入方向に接続部の強度を確保することができる。
【００１０】
第３の観点のランプユニットは、第２の観点において、接続部と支持部との間には間隙が設けられており、接続部が挿入される方向に向くように付勢部材で付勢されている。
この構成により、接続部と支持部との間には間隙が設けられていても接続部が付勢部材で付勢され挿入される方向に向いているため、接続部に放電管の第１電極が規定位置に挿入しやすい。
【００１１】
第４の観点のランプユニットは、第２の観点において、接続部と支持部とは密着しており、支持部は、挿入される方向と交差する方向に弾性変形する。
この構成により、接続部に対して放電管の第１電極が挿入される方向と交差する方向に多少外れて挿入された場合であっても、支持部の弾性変形によって常に接続部を適切な位置に装着することができる。
【００１２】
第５の観点のランプユニットの接続部には雄型接続部又は雌型接続部の一方が設けられ、第１電極には雄型接続部又は雌型接続部の他方が設けられている。
この構成により、放電管の一方の電極を確実に接続部と電気的に接続させることができる。なお、雄型接続部とは凸部が形成された接続部を意味し、雌型接続部とは凸部が形成された接続部を意味する。
【００１３】
第６の観点のランプユニットは、第５の観点において、雌型接続部は、雄型接続部を案内する案内部を備える。
この構成により、新たな放電管を規定位置から多少外れて挿入した場合であっても、案内部が規定位置に導くため、常に放電管を適正な位置に装着することができる。
【００１４】
第７の観点のランプユニットは、第５又は第６の観点において、雌型接続部は、支持部の伸びる方向には幅が広く支持部の板厚方向には幅が狭い開口を有する。
この構成により、新たな放電管の第１電極が挿入される方向と多少外れて挿入された場合であっても、常に放電管を適正な位置に装着することができる。
【００１５】
第８の観点のランプユニットは、放電管と凹面反射鏡とを一体に保持する保持部材をさらに備える。
この構成により、放電管の交換に際し、正確かつ容易に放電管の位置決めを行うことができる。すなわち、放電管と凹面反射鏡との設置位置の精度によっては、放電管の輝点が凹面反射鏡の第１焦点位置からずれてしまい、適切な照度を得ることができなくなる。このことは、放電管の交換を行う場合の大きな問題となる。放電管と凹面反射鏡との位置を規制する保持部材を備えることにより、放電管の取り付け精度を高めることができる。
【００１６】
第９の観点のランプユニットは、第８の観点において、放電管が第２電極側に位置決め部を有するとともに、保持部材が放電管を位置決め部によって位置決めして保持する。
この構成により、放電管の位置を規制する位置決め手段を設けることによって、光源装置に容易に設置、固定することができる。例えば、放電管の位置決めは、放電管のステムを接着した口金の外形と略同一の内径を有する保持部を設け、放電管を保持部に挿入するのみで、容易に放電管の位置決めを実現することができる。
【００１７】
第１０の観点の光源装置は、第１〜第９の観点のいずれかのランプユニットを有し、ランプユニットを所定の位置に格納するハウジングと、ハウジングに設けられ、凹面反射鏡によって反射された光を出射する出射口と、出射口に接続されて出射される光を導光するライトガイドと、を備える。
【発明の効果】
【００１８】
本発明により、放電管の交換に際し、放電管の第１電極（例えばアノード端子）が、規定位置から多少外れて挿入された場合であっても、接続部が挿入方向と交差する面内で移動可能であるため、放電管の交換作業において、放電管の輝点が楕円集光ミラーの第１焦点に合致することができるとともに、放電管にかかる負荷を軽減させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明の光源装置１００の実施形態について説明する。
＜光源装置の構造＞
図１は、光源装置１００の側面断面図である。出射口５０に光ファイバー束５１を備える光源装置１００の一例を示す。説明の都合上放電ランプ１０の挿入途中の図を示す。
【００２０】
本発明の光源装置１００は、一端に固定用口金２０及び他端にバナナ端子３０を有する放電ランプ１０と、放電ランプ１０を取り付けるランプホルダー取り付け金具１２と、ハウジング１とを備える。ランプホルダー取り付け金具１２は、反射する楕円集光ミラー１３、固定用口金２０のランプホルダー２５、クランプ２６及び端部電極リード線２７を備えている。本実施形態では楕円集光ミラー１３が横向きに配置されているが、縦向きに配置してもよい。ハウジング１は、下部ハウジング２及び開閉扉６１を備える。下部ハウジング２の内部に、放電ランプなどの装置各部を駆動制御する駆動装置７０が格納されている。開閉扉６１には、放熱ファン６０を備える。開閉扉６１は、開閉自在で放電ランプ交換の際には開閉扉６１を開放して、放電ランプの取り出し又は取り付けを行う。光源装置１００の稼働中は、放熱ファン６０を作動してハウジング１内の空気を排気することにより、放電ランプ１０、楕円集光ミラー１３及び駆動装置７０などを冷却する。
【００２１】
楕円集光ミラー１３の第１焦点Ｆ１で発光した放電ランプ１０の光の一部は、楕円集光ミラー１３で反射されて出射口５０に向かう。楕円集光ミラー１３の第２焦点Ｆ２は出射口５０の近傍にあるので、放電ランプ１０からの光は出射口５０の近傍に集光する。光ファイバー束５１の一端は出射金具５２に固定されており、光ファイバー束５１は第２焦点Ｆ２で集光した光を外部に出射することができる。導光手段として光ファイバー束５１以外に、レンズまたはミラーを使って光を導いてもよい。
【００２２】
図１に示すように、出射口５０に出射金具５２に固定された光ファイバー束５１の一端を光源装置１００の筐体に接続し、光ファイバーで導かれた光を光ファイバー束５１の他端からワークに照射することが好ましい。また、光源装置１００は、開口数を変化させる不図示の絞り部などを出射口５０の近傍に備えている。また、ハウジング１の内側面には、放電ランプ１０のバナナ端子３０が挿入されるカプラー３１を備えている。放電ランプ１０のバナナ端子３０、カプラー３１及び楕円集光ミラー１３などからランプユニットが構成される。
【００２３】
＜固定用口金を備える放電ランプの構造＞
次に、本実施形態の放電ランプ１０について説明する。
図２（ａ）は、本発明の放電ランプ１０の構成を説明するための概略図である。図２（ｂ）はカプラー３１の構成を示す概略図であり、（ｃ）は固定用口金２０の概略断面図である。
【００２４】
図２（ａ）において、放電ランプ１０は、その一端に固定用口金２０及び他端にバナナ端子３０を有している。放電ランプ１０は、例えば水銀キセノンランプや、超高圧水銀ランプ等を挙げることができ、紫外線を含む光を照射する。本実施形態では、放電ランプ１０としては、輝点が点光源となるショートアークランプを使用する。例えばショートアークランプでは、石英ガラスでバルブが形成され、タングステン陽極及び陰極にはタングステンにトリアを数％分散させたトリエーテッドタングステン（トリタン）電極が形成される。また、ステム１９の内部には電源供給用にモリブデン導電箔が使用され、バルブ内には水銀及び希ガスが充填されている。放電ランプ１０は、ランプホルダー取り付け金具１２に備えられたランプホルダー２５に、バナナ端子３０を先頭にして挿入される。
【００２５】
図２（ｂ）に示すカプラー３１は、口広がりの案内部３１ａを備え、Ｌ形支柱３２に押しスプリング（バネ）３５を介して取り付けられる。カプラー３１は、端部電極３６を介して駆動装置７０の電源部に接続される。Ｌ形支柱３２は、碍子３３で絶縁されてハウジング１の側面に固定される。Ｌ形支柱３２は出射方向と平行となるように薄板になっており遮られる光を極力少なくして光量ロスを極めて小さくしている。また、Ｌ形支柱３２は挿入される方向に幅があり放電ランプ１０の挿入方向に強度を確保している。
【００２６】
図２（ｃ）に示す固定用口金２０は、フランジ２１と胴部２２とを有する。固定用口金２０の中心軸に形成された開口部２９に、放電ランプ１０のステム１９が挿入され、ステム１９と開口部２９とがセラミック接着剤などで固定される。接着剤でステム１９が固定される際、放電ランプ１０の輝点が楕円集光ミラー１３の第１焦点Ｆ１に到達するように調整される。胴部２２は円筒形の形状で、一部が平面上にカットされた切り欠け部２２Ｈが形成されている。固定用口金２０も切り欠け部２２Ｈに対応するように平面部が形成されており、放電ランプ１０の回転を規制している。放電ランプ１０の輝点が放電ランプ１０の回転によって位置が変わってしまうことを防止している。
【００２７】
フランジ２１には、放電ランプ１０の挿入停止位置を規制するストップ面２１Ｅが形成されている。放電ランプ１０がランプホルダー２５に挿入される際に、図１に示したランプホルダー２５の上面２５Ｔにストップ面２１Ｅが当接し、放電ランプ１０が所定の挿入量以上に挿入されない。また、ランプホルダー２５の上面２５Ｔにストップ面２１Ｅが当接するまで挿入しないと、クランプ２６を閉めることができないようになっている。ランプ取り付け部分である固定用口金２０は、ランプホルダー２５を介して安定的に電源が供給される。
【００２８】
＜カプラーの構造＞
図３Ａ（ａ）は、カプラー３１の第１例を示した概略断面図であり、図３Ｂ（ｂ）はカプラー３１の第２例を示した概略断面図であり、図３Ｂ（ｃ）はカプラー３１の第３例を示した概略断面図である。また、図３Ｃ（ｄ）はカプラー３１の第４例を示した概略断面図であり、図３Ｃ（ｅ）はカプラー３１の第５例を示した図である。以下、各実施形態について詳細に説明する。なお図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２９】
図３Ａ（ａ−１）において第１例のカプラー３１は、口広がりの案内部３１ａを備えており、バナナ端子３０の位置が多少ずれても挿入できるように構成されている。カプラー３１はカプラー軸３１Ｓを有しており、またＬ形支柱３２には軸取り付け孔３２Ｋが形成されている。カプラー軸３１Ｓが軸取り付け孔３２Ｋに入りナットなどで固定されることで、カプラー３１がＬ形支柱３２に取り付けられる。カプラー軸３１Ｓには端部電極リード線３６が接続される。基本的にカプラー３１は楕円集光ミラー１３の第１焦点Ｆ１と第２焦点Ｆ２とを結ぶ直線上に配置されている。
【００３０】
カプラー軸３１Ｓの軸径φｓは軸取り付け孔３２Ｋの孔径φｋと比べてかなり細く、軸径φｓと孔径φｋとは１ｍｍ〜３ｍｍぐらい直径が異なっている。またカプラー３１の径φｄは軸取り付け孔３２Ｋの孔径φｋよりも大きい。したがって、軸径φｓと孔径φｋとの直径が異なる範囲でカプラー３１がＬ形支柱３２に対して移動することができる。つまり、放電ランプ１０が挿入される方向と直交する面内にてカプラー３１が自由に移動することができる。また、カプラー３１の外周とカプラー軸３１Ｓとの段差部にはＲ面取り３１ｍが形成されている。このため、放電ランプ１０が挿入される方向と直交する面内にてカプラー３１が自由に傾くことができる。
【００３１】
但し、カプラー軸３１Ｓの軸径φｓが軸取り付け孔３２Ｋの孔径φｋよりもかなり小さいため、カプラー３１の重心がカプラー３１の先端側にあれば、カプラー３１の先端側が自重で下に大きく傾いてしまう。これではバナナ端子３０が挿入される方向とカプラー３１の先端側が下に傾いた方向とが異なってしまっているため、バナナ端子３０をカプラー３１に挿入することができない。そこで、カプラー３１の後部にスプリング３５を介してカプラー３１がＬ形支柱３２に取り付けられている。スプリング３５の付勢力によって、バナナ端子３０が挿入される方向にカプラー３１の案内部３１ａを向かせることができる。このスプリング３５の付勢力は弱く、単にカプラー３１の案内部３１ａを楕円集光ミラー１３の第１焦点Ｆ１の方向に向かせる程度の付勢力を有している。
【００３２】
図３Ａ（ａ−２）はカプラー３１が楕円集光ミラー１３の第１焦点Ｆ１に向いているにもかかわらず、バナナ端子３０が傾いた方向から挿入された場合を示した図である。放電ランプ１０の外形はガラスであり、放電ランプ１０の両側のステム１９の伸びる方向と放電ランプ１０内の輝点とが一直線上に配置されていないこともある。このため放電ランプ１０がランプホルダー２５に取り付けられた状態でバナナ端子３０が傾いてカプラー３１に挿入される。前述したようにスプリング３５の付勢力は弱いためバナナ端子３０が傾いて挿入されると、Ｒ面取り３１ｍが形成されているためカプラー３１も同方向に容易に傾く。
【００３３】
図３Ａ（ａ−３）はバナナ端子３０が放電ランプ１０内の第１焦点Ｆ１と第２焦点Ｆ２とを結ぶ直線Ｌ１と平行に距離Δだけずれてカプラー３１に挿入された場合を示した図である。前述したようにスプリング３５の付勢力は弱いためバナナ端子３０が平行に距離Δだけずれて挿入されるとカプラー３１も同方向に移動する。
【００３４】
放電ランプ１０のバナナ端子３０の位置が輝点調整のため挿入方向からずれていても、バナナ端子３０がカプラー３１に挿入された際に、バナナ端子３０が挿入される方向と直交する面内にてカプラー３１が自由に移動する。すなわちカプラー３１の案内部３１ａはバナナ端子３０に真っすぐに向く。したがって放電ランプ１０の輝点が楕円集光ミラー１３の第１焦点Ｆ１に合致することができるとともに、放電ランプ１０にかかる負荷を軽減させることが可能となる。
【００３５】
図３Ｂ（ｂ）においてカプラー３１は、口広がりの案内部３１ａを備えており、放電ランプ１０のバナナ端子３０の位置が多少ずれても挿入できるように構成されている。図３Ａ（ａ）とはスプリング３５の取り付け位置が異なっている。カプラー３１の胴部３１ｄには、フランジ３１ｆ及びカプラー軸３１Ｓを有しており、またＬ形支柱３２には軸取り付け孔３２Ｋが形成されている。胴部３１ｄにスプリング３５を挿入し、カプラー３１がＬ形支柱３２に取り付けられる。カプラー軸３１Ｓは、軸取り付け孔３２Ｋに入りナットなどで固定されることで、カプラー軸３１Ｓに端部電極リード線３６が接続される。
【００３６】
カプラー軸３１Ｓの軸径φｓが軸取り付け孔３２Ｋの孔径φｋよりもかなり小さいため、放電ランプ１０が挿入される方向と直交する面内にてカプラー３１が自由に移動することができる。また、カプラー３１の胴部３１ｄにスプリング３５を挿入してＬ形支柱３２に取り付けられる。スプリング３５の弱い付勢力によって、バナナ端子３０が挿入される方向にカプラー３１の案内部３１ａを向かせている。
【００３７】
放電ランプ１０のバナナ端子３０の位置が輝点調整のため挿入方向からずれていても、バナナ端子３０がカプラー３１に挿入された際に、バナナ端子３０が挿入される方向と直交する面内にてカプラー３１が自由に移動する。したがって放電ランプ１０の輝点が楕円集光ミラー１３の第１焦点Ｆ１に合致することができるとともに、放電ランプ１０にかかる負荷を軽減させることが可能となる。
【００３８】
図３Ｂ（ｃ）は、図３Ａ（ａ）及び図３Ｂ（ｂ）とは逆に、バナナ端子３０がＬ形支柱３２に取り付けられ、放電ランプ１０にカプラー３１が取り付けられている。バナナ端子３０は、バナナ端子軸３０Ｓを有しており、またＬ形支柱３２には軸取り付け孔３２Ｋが形成されている。バナナ端子軸３０Ｓにスプリング３５を挿入してＬ形支柱３２に取り付けられる。バナナ端子軸３２Ｓには端部電極リード線３６が接続される。
【００３９】
バナナ端子軸３０Ｓの軸径φｓが軸取り付け孔３２Ｋの孔径φｋよりもかなり小さいため、放電ランプ１０が挿入される方向と直交する面内にてバナナ端子３０が自由に移動することができる。また、バナナ端子３０のバナナ端子軸３０Ｓにスプリング３５を挿入してＬ形支柱３２に取り付けられる。スプリング３５の弱い付勢力によって、カプラー３１が挿入される方向にバナナ端子３０を向かせている。
【００４０】
図３Ｃ（ｄ−１）においてカプラー３１は、口広がりの案内部３１ａ及びカプラー軸３１Ｓを有しており、またＬ形支柱３２には軸取り付け孔３２Ｋが形成されている。カプラー３１のカプラー軸３１Ｓは、フローティングナット３８を用いてＬ形支柱３２に取り付けられる。またカプラー軸３１Ｓに端部電極リード線３６を接続する。図３Ｃ（ｄ−２）に示すようにフローティングナット３８は二重構造になっていて、内側にあるナットが所定範囲内で移動できる機能を有している。
【００４１】
カプラー軸３１Ｓの軸径φｓは軸取り付け孔３２Ｋの孔径φｋよりもかなり小さく、またカプラー軸３１Ｓがフローティングナット３８によってＬ形支柱３２に取り付けられる。このため、放電ランプ１０が挿入される方向と直交する面内にてカプラー３１が自由に移動することができる。
【００４２】
図３Ｃ（ｅ）は、矩形の断面をもつカプラー３７を示した図であり、（ｅ−１）はカプラー３７の縦断面図であり、（ｅ−２）はカプラー３７の横断面図であり、（ｅ−３）はカプラー３７の正面図である。
【００４３】
カプラー３７は、口広がりの案内部３７ａ及びカプラー軸３７Ｓを有しており、またＬ形支柱３９には軸取り付け孔３９Ｋが形成されている。（ｅ−３）から理解されるように、カプラー３７は案内部３７ａを有しており、カプラー３７の開口は縦方向に長く横方向（幅）が狭い矩形又はトラックフィールド形状である。カプラー軸３７Ｓの軸径φｓと軸取り付け孔３９Ｋの孔径φｋとはほぼ同じ大きさであり、図３Ａ（ａ）ないし図３Ｂ（ｄ）のようにカプラー軸３１Ｓが取り付け孔３２Ｋの孔径φｋ内で移動することはない。またカプラー軸３７Ｓに端部電極リード線３６を接続する。
【００４４】
カプラー３７は厚さが薄い板バネ材料からなるＬ形支柱３９に固定される。Ｌ形支柱３９は幅があり放電ランプ１０の挿入方向に対して曲がることはないが、Ｌ形支柱３９の板厚方向には曲がる。このため、カプラー３７がＬ形支柱３９に固定されていても板厚方向にカプラー３７は移動することができる。また、Ｌ形支柱３９の伸びる方向にはカプラー３７の開口が縦方向に長くなっている。したがって、バナナ端子３０の上下方向のズレには矩形の長辺で対応でき、放電ランプにかかる負荷を軽減させることが可能となる。つまり、放電ランプ１０が挿入される方向と直交する面内にてカプラー３１との接続位置が自由に移動することができる。
【００４５】
＜放電ランプの交換作業＞
図３Ａ（ａ）に示したカプラー３１を有する光源装置１００における放電ランプ１０の交換について説明する。
図１に示すように、作業者は光源装置１００の開閉扉６１を開放する。この開放扉６１を開放すると、放電ランプ１０の固定用口金２０が露出した状態になる。次いで、ランプホルダー２５に備えられたクランプ２６を緩めて、固定用口金２０を手前側に引き出す。すると、光照射側にあるカプラー３１から、放電ランプ１０の先端にあるバナナ端子３０が解放されて、放電ランプ１０は光源装置１００から取り出される。
【００４６】
そして、新たな放電ランプ１０を用意する。この新たな放電ランプ１０には、既に固定用口金２０及びバナナ端子３０が取り付けられている。放電ランプ１０は、放電ランプ１０のバナナ端子３０を先頭にして、ランプホルダー２５の開口部に挿入する。すると、バナナ端子３０がカプラー３１の案内部３１ａによって案内されて、確実にババナ端子３０がカプラー３１に挿入される。このときバナナ端子３０の軸がずれ、規定位置から多少外れて挿入されても、カプラー３１が放電ランプ１０の挿入方向に交差する面内で移動する。このため、放電ランプ１０のバナナ端子３０にカプラー３１が真っすぐ向き、放電ランプ１０の輝点が楕円集光ミラー１３の第１焦点に合致することができるとともに、放電ランプ１０にかかる負荷を軽減させることが可能となる。
【００４７】
次いで、ランプホルダー２５の上面２５Ｔに、固定用口金２０のストップ面２１Ｅが当接し、放電ランプ１０が所定の挿入位置まで押し込まれたことを確認して、クランプ２６を締めて固定する。作業者は光源装置１００の開閉扉６１を閉じて、放電ランプの交換作業を終了する。
【００４８】
図４は、新たな放電ランプを光源装置１００に装着した後の状態を示す断面図である。放電ランプ１０のバナナ端子３０は、口広がりの案内部３１ａによって安内され、接続部のカプラー３１に挿入されて電気的に接続される。また放電ランプ１０の挿入方向にバナナ端子３０が配置されていなくてもカプラー３１が挿入方向と交差する面内において移動可能であるため、放電ランプ１０に負荷がかかることなく輝点が第１焦点Ｆ１になるように装着される。
【００４９】
本実施形態では、図３Ｂ（ｂ）、図３Ｃ（ｄ）及び（ｅ）ではカプラー３１又はカプラー３７がＬ形支柱３９に装着された形態であった。しかし、バナナ端子３０をＬ形支柱３９に装着し、カプラー３１又はカプラー３７が放電ランプ１０に設けられるように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】光源装置１００の放電ランプ１０の挿入途中の側面断面図である。
【図２】（ａ）は、本発明の放電ランプ１０の構成を説明するための概略図である。（ｂ）は、カプラー３１の構成を示す概略図である。（ｃ）は，固定用口金２０の概略断面図である。
【図３Ａ】（ａ−１）から（ａ−３）は、バナナ端子３０とカプラー３１との第１例を示した概略図である。
【図３Ｂ】（ｂ）は、バナナ端子３０とカプラー３１との第２例を示した概略図である。（ｃ）は、バナナ端子３０とカプラー３１との第３例を示した概略図である。
【図３Ｃ】（ｄ−１）は、バナナ端子３０とカプラー３１との第４例を示した概略図で、（ｄ−２）はフローティングナット３８の拡大断面図である。（ｅ−１）から（ｅ−３）は、バナナ端子３０とカプラー３７との第５例を示した図である。
【図４】図４は、新たな放電ランプを光源装置１００に装着した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
Ｆ１  …  第１焦点
Ｆ２  …  第２焦点
１  …  ハウジング
２  …  下部ハウジング
１０  …  放電ランプ
１２  …  ランプホルダー取り付け金具
１３  …  楕円集光ミラー
２０  …  固定用口金
２１  …  フランジ
２２  …  胴部
２２Ｈ  …  切り欠け部
２５  …  ランプホルダー
２５Ｔ  …  ホルダー上面
２６  …  クランプ
２７，３６  …  端部電極リード線
２９  …  開口部
３０  …  バナナ端子
３０Ｓ  …  バナナ端子軸
３１、３７  …  カプラー
３１ａ、３７ａ  …  案内部
３１ｆ  …  フランジ
３１Ｓ、３７Ｓ  …  カプラー軸
３２，３９，３９Ｂ  …  Ｌ形支柱
３２ｋ、３９ｋ  …  軸取り付け孔
３３  …  碍子
３５  …  スプリング
３８  …  フローティングナット
５０  …  出射口
５１  …  光ファイバー束
６０  …  放熱ファン
６１  …  開閉扉
７０  …  駆動装置
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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