(57)【要約】【課題】パネル点灯時の不灯などの不具合を修正することでＰＤＰの画質向上と歩留り向上を実現することを目的とする。【解決手段】基板間に隔壁により仕切られた放電空間が形成されるように対向配置した一対の前面側および背面側の基板と、前記隔壁間に放電セルが形成されるように前記前面側の基板に配列して形成した複数の表示電極と、この表示電極を覆うように前面側の基板に形成した誘電体層と、前記背面側の基板に形成した電極、下地誘電体層、隔壁、及び表示電極間での放電により発光する蛍光体層とを有したプラズマディスプレイの製造方法であって、前記前面板と背面板を張り合わせた後、パネルを点灯させて検査する工程において、パネルに超音波や衝撃波による振動を与える工程を含むことを特徴とする。【選択図】図１
2009081098.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板間に隔壁により仕切られた放電空間が形成されるように対向配置した一対の前面側および背面側の基板と、前記隔壁間に放電セルが形成されるように前記前面側の基板に配列して形成した複数の表示電極と、この表示電極を覆うように前面側の基板に形成した誘電体層と、前記背面側の基板に形成した電極、下地誘電体層、隔壁、及び表示電極間での放電により発光する蛍光体層とを有したプラズマディスプレイの製造方法であって、前記前面板と背面板を張り合わせた後、パネルを点灯させて検査する工程において、パネルに振動を与える工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
パネルに振動を与える工程は、超音波による振動を与える工程であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
パネルに振動を与える工程は、衝撃波による振動を与える工程であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
パネルを点灯させて検査する工程において、パネル点灯時に不具合が発生したパネルに振動を与える工程を含むことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表示デバイスとして知られているプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、双方向情報端末として大画面、壁掛けテレビへの期待が高まっており、そのための表示デバイスとして、液晶表示パネル、フィールドエミッションディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ等の数多くのものがある。これらの表示デバイス中でもプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、自発光型で美しい画像表示ができ、大画面化が容易である等の理由から、視認性に優れた薄型表示デバイスとして注目されており、高精細化および大画面化に向けた開発が進められている。
【０００３】
このＰＤＰには、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面放電型のＰＤＰが主流を占めるようになってきている。
【０００４】
図２にＰＤＰのパネル構造の一例を示しており、図２に示すようにＰＤＰは、前面板２１と背面板２２とから構成されている。
【０００５】
前面板２１は、フロート法による硼珪素ナトリウム系ガラス等からなるガラス基板などの透明な前面側の基板２３上に、走査電極２４と維持電極２５とで対をなすストライプ状の表示電極２６を複数対配列して形成し、そしてその表示電極２６群を覆うように誘電体層２７を形成し、その誘電体層２７上にＭｇＯからなる保護膜２８を形成することにより構成されている。なお、走査電極２４および維持電極２５は、それぞれ透明電極２４ａ、２５ａおよびこの透明電極２４ａ、２５ａに電気的に接続されたＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇ等からなるバス電極２４ｂ、２５ｂとから構成されている。
【０００６】
また、背面板２２は、前記前面側の基板２３に対向配置される背面側の基板２９上に、表示電極２６と直交する方向にアドレス電極３０を形成するとともに、そのアドレス電極３０を覆うように誘電体層３１を形成し、そして誘電体層３１上にアドレス電極３０間の位置に、アドレス電極３０と平行にストライプ状や格子状（図示せず）の複数の隔壁３２を形成するとともに、この隔壁３２間の側面および誘電体層３１の表面に蛍光体層３３を形成することにより構成されている。なお、カラー表示のために前記蛍光体層３３は、通常、赤、緑、青の３色が順に配置されている。
【０００７】
そして、以上の前面板２１と背面板２２とは、表示電極２６とアドレス電極３０とが直交し、内部に微小な放電空間を形成するように隔壁３２を挟んで対向配置するとともに、周囲を封着部材により封止し、そして前記放電空間にネオン及びキセノンなどを混合してなる放電ガスを６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力で封入することによりパネルが構成されている。
【０００８】
ＰＤＰの放電空間は、隔壁３２によって複数の区画に仕切られており、そしてこの隔壁３２間に単位発光領域となる複数の放電セルを形成するように表示電極２６を設けるとともに、表示電極２６とアドレス電極３０とを直交して配置している。
【０００９】
このＰＤＰでは、アドレス電極３０、表示電極２６に印加する周期的な電圧によって放電を発生させ、この放電による紫外線を蛍光体層３３に照射して可視光に変換することにより、画像表示を行っている。
【００１０】
走査電極２４と維持電極２５は、図３に示すように、マトリクス表示の各ラインにおいて放電ギャップ３４を挟んで列方向に交互に配列されている。ここで、隔壁３２と一対の走査電極２４と維持電極２５で囲まれた領域が単位発光領域である放電セル３５となる。また、非発光領域３６には、コントラストを向上させる目的でブラックストライプ（図示せず）を形成することもある（例えば、非特許文献１参照）。
【非特許文献１】内池平樹、御子柴茂生共著、「プラズマディスプレイのすべて」（株）工業調査会、１９９７年５月１日、ｐ７９−ｐ８０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
このＰＤＰの発展の為には、更なるコストダウンが不可欠であり、歩留りの向上が必須である。しかし、ＰＤＰの高精細化が進むにつれて面内の画素数が大幅に増加し、様々な要因によるパネル点灯時の不具合が増加する課題が生じた。特に、パネル点灯時の不灯や点滅不灯などの不具合が増加する課題が生じていた。
【００１２】
本発明はこのような課題を鑑みてなされたもので、パネル点灯時の不灯などの不具合を修正することでＰＤＰの画質向上と歩留り向上を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この目的を達成するために本発明は、基板間に隔壁により仕切られた放電空間が形成されるように対向配置した一対の前面側および背面側の基板と、前記隔壁間に放電セルが形成されるように前記前面側の基板に配列して形成した複数の表示電極と、この表示電極を覆うように前面側の基板に形成した誘電体層と、前記背面側の基板に形成した電極、下地誘電体層、隔壁、及び表示電極間での放電により発光する蛍光体層とを有したプラズマディスプレイの製造方法であって、前記前面板と背面板を張り合わせた後、パネルを点灯させて検査する工程において、パネルに振動を与える工程を含むことを特徴とする製造方法である。
【００１４】
また、パネルに振動を与える工程は、超音波による振動を与える工程であることを特徴とする。さらに、パネルに振動を与える工程は、衝撃波による振動を与える工程であることを特徴とする。
【００１５】
また、パネルを点灯させて検査する工程において、パネル点灯時に不具合が発生したパネルに振動を与える工程を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように本発明によれば、パネル点灯時の不灯などの不具合を修正することで、ＰＤＰの画質向上と歩留り向上を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施の形態におけるＰＤＰの製造方法について、図１を用いて説明する。
【００１８】
本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法について説明する。
【００１９】
まず、前面板の前面側のガラス基板上に、ＩＴＯやＳｎＯ2等からなる透明電極材料膜をスパッタ法により一様に成膜する。次に、透明電極材料膜上に、ノボラック樹脂を主成分とするポジ型レジストを塗布し、所望のパターンの露光乾板を介して紫外線を露光し、レジストを硬化させる。次に、アルカリ水溶液で現像を行い、レジストパターンを形成する。その後、塩酸を主成分とする溶液に基板を浸漬させてエッチングを行い、不要部分の除去を行い、最後にレジストを剥離して透明電極を形成する。
【００２０】
次に、ＲｕＯ2等からなる黒色顔料、ガラスフリット（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系やＢｉ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系等）を含有する黒色電極材料膜と、Ａｇ等の導電性材料、ガラスフリット（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系やＢｉ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系等）を含有する金属電極材料膜とからなる電極材料膜を形成し、所望のパターンの露光乾板を介して紫外線を照射し露光部を硬化させ、その後、アルカリ性現像液（０．３ｗｔ％の炭酸ナトリウム水溶液）を用いて現像してパターンを形成し、その後、ガラスフリットの軟化点温度以上の温度で焼成を行うことで、透明電極上にバス電極を形成する。以上のようにして前面板の表示電極を形成することができる。
【００２１】
次に、ガラス粉末、結着樹脂、および溶剤を含有するペースト状のガラス粉末含有組成物の誘電体材料を、例えばダイコート法を用いて表示電極が形成されたガラス基板の表面に塗布、乾燥し、焼成することにより、誘電体層を形成する。
【００２２】
また、ガラスペースト組成物である誘電体材料をガラス基板の表面に塗布する方法としては、誘電体材料を支持フィルム上に塗布し、乾燥することでシート状誘電体材料とし、これを転写によりガラス基板上に形成するという方法でも良い。この場合、誘電体層は、シート状誘電体材料のカバーフィルムを剥離した後、誘電体材料層の表面がガラス基板に接するようにシート状誘電体材料を重ね合わせながら、支持フィルム側から加熱ローラーで圧着してガラス基板に固着することとなる。そしてその後、ガラス基板上に固着された誘電体材料層から支持フィルムを剥離除去し、その後、軟化点温度より低い温度で焼成することで誘電体層が得られる。この時の圧着に使用する手段としては、加熱ローラー以外に、加熱しない単なるローラーでもよい。
【００２３】
その後、ＭｇＯを電子ビーム蒸着法により誘電体層上に一様に成膜することで、保護層を形成する。以上により、ＰＤＰの前面板が得られる。また、電極と誘電体を同時に焼成しても良い。
【００２４】
一方、ＰＤＰの背面板の製造方法は、まずフロート法により製造された背面板の背面側のガラス基板に対し、前面板でのバス電極と同様にしてアドレス電極を形成する。その上に誘電体層を形成する。これも基本的には前面板の誘電体層と同様に焼成を行う。そして、次に誘電体層の上に隔壁を形成する。
【００２５】
隔壁の形成に利用する材料としては、ガラス粉末、結着樹脂および溶剤を含有するペースト状のガラス粉末含有組成物である誘電体材料である。またその形成方法としては、フォトリソグラフィー法やサンドブラスト法を用いて形成することができる。その後焼成を行う。
【００２６】
次に、Ｒ、Ｇ、Ｂに対応する蛍光体材料を隔壁間に塗布し、焼成することで蛍光体層を形成する。以上により背面板を得ることができる。
【００２７】
以上のようにして作製した前面板と背面板とを、表示電極とアドレス電極とがほぼ直角に交差するように位置合わせをして対向配置し、その周辺部をシール材によって封着して貼り合わせ、その後、隔壁で仕切られた放電空間内を排気することで不純ガスの除去を行い、そして、その放電空間内に、Ｎｅ、Ｘｅ等の放電ガスを封入して封止することにより、図２に示すような構成のパネルを製造することができる。
【００２８】
このパネル封止後に、所定の電圧でパネルを点灯させエージングを行う。その後にパネルを点灯させ、パネル特性の確認等を行う検査工程を実施する。この工程をここでは、パネル検査工程と呼ぶ。なお、パネルをシャーシに貼付けるとともに、回路部品を取り付けて再度、パネルの点灯確認を行う工程があるが、ここでは、モジュール検査工程と呼ぶ。
【００２９】
上述するように、ＰＤＰの製造工程においてはＰＤＰを点灯させて不具合箇所の有無を検査する工程が存在する。ここで、不具合の内訳の例としては不灯、点滅不灯、輝点等が挙げられる。
【００３０】
ＰＤＰの更なる発展のためには、コストダウン、高精細化などが必須であるが、高精細化により隔壁の細線化、セル放電の不安定化により不具合の発生のしやすさも上昇する課題がある。上記ＰＤＰ点灯時の不具合のうち、不灯、点滅不灯の要因の一つとして、前面板への蛍光体の付着であることが最近の調査で明らかとなった。推定されるメカニズムとしては、前面板への蛍光体の付着によりＭｇＯからの２次電子放出が阻害されるために放電電圧が上昇すると考えられる。また、前面板への蛍光体の付着は隔壁の欠け等により引き起こされることが明らかとなっている。ここで、この発見の最大のポイントは、不灯、半不灯の要因の一つが異物や、隔壁の欠けのみで発生するのではなく、前面板への蛍光体の付着が支配的ということを見出したことによる。
【００３１】
本発明においては、前記前面板と背面板を張り合わせた後、パネルを点灯させて検査する工程において、パネルに超音波や衝撃波による振動を与える工程を含むことを特徴とする。すなわち、パネルに超音波、衝撃波による振動を加えることにより、何らかの不具合で前面板に付着してしまい、ＭｇＯからの２次電子放出を阻害している蛍光体を取り除くことができる。これにより、放電電圧を所定の電圧にまで低下させることができるため、不灯、点滅不灯を修正することができる。
【００３２】
また、この方法の優れた点の一つはパネルの点灯状態で不灯を修正できるため、修正の効果が一目で判断できる点である。また、二つ目に、前面板と背面板を張り合わせて所定のガスを封入した後に、前面板又は背面板のガラス基板表面から超音波、衝撃波による振動を与えることで、ガラス基板の放電空間側の蛍光体を取り除くことができる点である。通常のリペア、修正工程は直接不具合部分に作用するものであるが、この方式では間接的に修正できるため、従来は修正が不可能と考えられていた不具合に対しても効果を発揮できる。
【００３３】
前述するようにパネルの点灯状態でも修正が可能なため、好ましくは不具合箇所のみに局所的に、振動を与えることが好ましい。但し、ガラス基板の表面からのために、あまり局所的すぎるとガラスにキズ、割れ等の悪影響を与えるおそれが生じる。この場合は、不具合箇所を含む領域に振動を与えても良い。また、作業性の向上の観点からパネルを点灯せずに修正を行う場合や数が多い場合は、パネル点灯時の不具合箇所が発生した基板全体に与えても良い。
【００３４】
なお、この修正方法により取り除かれた前面板に付着していた蛍光体は、背面板側に移動することが確認されており、その後の落下試験、振動試験などでは再発しないことを確認済みである。この原理は、ＰＤＰの蛍光体にはそもそも結着剤を利用していない（ＵＶによる発光を利用するため、ＵＶを吸収するものは利用が困難であるため）ために、蛍光体同士のファンデワールス力などの結合が十分にあるためと考えられる。
【００３５】
修正のための修正装置としては、例えばＡＧＣ製の超音波はんだごて等が代用できるが、これに限るものではない。例えば、図１に示すように、パネル１の前面板のガラス表面から、修正装置２を不灯箇所３に当てて、超音波を伝える。このとき、超音波のみを利用し、温度は上げないで利用しているが、少しの温度を与えても良い。この修正装置２によりパネルの不灯のうち蛍光体起因の不灯の約９０％を修正できることが確認できている。
【００３６】
パネルのみを点灯検査台に載せて検査を実施するパネル検査工程で不灯の修正を実施してもよい。修正は検査中に実施してもよいし、検査ではマーキングを施し、その後に実施しても良い。さらに、モジュール検査工程で実施しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明によれば、ＰＤＰの画質向上と歩留り向上を実現する上で、有用な発明である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法を実施している状態を示す概略図
【図２】プラズマディスプレイパネルの概略構成を示す斜視図
【図３】プラズマディスプレイパネルの放電セル構成を示す平面図
【符号の説明】
【００３９】
１  パネル
２  修正装置
３  不灯箇所
【図１】
2009081098.tif 000003
【図２】
2009081098.tif 000004
【図３】
2009081098.tif 000005