(57)【要約】【課題】送風ファンの吸気または排気構造。【解決手段】前面部（12）及び背面部（13）を有し、前面部（12）に膜状振動体（20）が形成される中空板状のファン本体（11）を備え、膜状振動体（20）の振動によって吸気通路（16a）からファン本体（11）内の空気室（17）内に空気を取り込み、排気通路（18a）から空気室（17）外へ空気を排出する送風ファンを対象としている。吸気部材(16)を構成する目付の異なる複数のフィルタ（30,31,32）は、ファン本体（11）の外部から空気室（17）内に向かって目付が大きくなるように積層されて形成されている。【選択図】図１
2009121323.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面部（12）及び背面部（13）を有し、該前面部（12）に膜状振動体（20）が形成される中空板状のファン本体（11）を備え、
上記膜状振動体（20）の振動によって吸気通路（16a）から上記ファン本体（11）内の空気室（17）内に空気を取り込み、排気通路（18a）から上記空気室（17）外へ空気を排出する送風ファンであって、
上記吸気通路（16a）を形成する吸気部材（16）及び排気通路（18a）を形成する排気部材（18）の少なくとも何れか一方は、少なくとも１枚以上のフィルタ（30,40）によって構成されている
ことを特徴とする送風ファン。
【請求項２】
請求項１において、
上記吸気部材（16）は、上記膜状振動体（20）の周囲に形成されている
ことを特徴とする送風ファン。
【請求項３】
請求項１または２において、
上記排気部材（18）は、上記ファン本体（11）の背面部（13）に形成されている
ことを特徴とする送風ファン。
【請求項４】
請求項３において、
上記吸気部材（16）は、上記ファン本体（11）の外部から上記空気室（17）内に向かって細くなるテーパ状の孔部（16a）によって形成されている
ことを特徴とする送風ファン。
【請求項５】
請求項３において、
上記吸気部材（16）は、上記空気室（17）から上記ファン本体（11）の外部への空気の逆流を阻止するための逆止弁（19）を備えた孔部（16a）によって形成されている
ことを特徴とする送風ファン。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一つにおいて、
上記吸気部材（16）及び排気部材（18）の少なくとも何れか一方は、目付の異なる複数のフィルタ（30,31,32,40,41,42）で構成され、該複数のフィルタ（30,31,32,40,41,42）が送風方向に向かって目付が大きくなるように積層されて形成されている
ことを特徴とする送風ファン。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一つにおいて、
上記フィルタ（30,40）が、上記ファン本体（11）に対して着脱自在に取り付けられている
ことを特徴とする送風ファン。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一つにおいて、
上記フィルタ（30,40）には、帯電防止コーティングが施されている
ことを特徴とする送風ファン。
【請求項９】
請求項１〜７の何れか一つにおいて、
上記フィルタ（30,40）には、除菌コーティングが施されている
ことを特徴とする送風ファン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送風ファンに関し、特に、吸気または排気の構造に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電素子を利用してダイヤフラムを駆動させる小型の圧電ダイヤフラムポンプが知られている。この種の圧電ダイヤフラムポンプは、圧電素子を備える２枚のダイヤフラムをベースの両面に配置して、この２枚のダイヤフラムの間の空間をポンプ室としている。圧電素子に電圧を印加すると、２枚のダイヤフラムが相互に逆方向に作動する。ダイヤフラムは、ベースを上下に貫通する孔の両面開口に配置され、ベースの側面には、吸気孔及び吸気弁と、排気孔及び排気弁が形成されている。従って、圧電ダイヤフラムポンプは、２枚のダイヤフラムを協調動作させることで、ポンプ室内の流体を排気口を通じて外部に吐出させている。
【特許文献１】特開平１１−３１１１８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来の圧電ダイヤフラムポンプは、例えば、空気を送風する送風ファンに対しても適用されて圧電ダイヤフラムファンを構成することが考えられる。ところが、この圧電ダイヤフラムファンは、吸気孔または排気孔が相対的に細く形成されているので、ベースに対して微細加工を施して、該吸気孔または排気孔を形成する必要があった。これにより、圧電ダイヤフラムファンの製造工程が複雑化して、その結果、製造コストが増加するという問題があった。
【０００４】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、簡易的な構成で圧電ダイヤフラムファンの吸気孔または排気孔を形成することで、該圧電ダイヤフラムファンの製造コストを低減させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の発明は、前面部（12）及び背面部（13）を有し、該前面部（12）に膜状振動体（20）が形成される中空板状のファン本体（11）を備え、上記膜状振動体（20）の振動によって吸気通路（16a）から上記ファン本体（11）内の空気室（17）内に空気を取り込み、排気通路（18a）から上記空気室（17）外へ空気を排出する送風ファンであって、上記吸気通路（16a）を形成する吸気部材（16）及び排気通路（18a）を形成する排気部材（18）の少なくとも何れか一方は、少なくとも１枚以上のフィルタ（30,40）が取り付けられて形成されている。
【０００６】
上記第１の発明では、膜状振動体（20）が空気室（17）内を振動すると、吸気通路（16a）から空気室（17）の外部の空気を空気室（17）内に取り込む。その一方で、排気通路（18a）から空気室（17）内の空気を空気室（17）の外部に排気する。ここで、例えば吸気通路（16a）を少なくとも１枚以上のフィルタ（30）で構成すると、空気室（17）の外部の空気はフィルタ（30）を通過して空気室（17）内に流入する。また、例えば排気通路（18a）を少なくとも１枚以上のフィルタ（40）で構成すると、空気室（17）内の空気はフィルタ（40）を通過して空気室（17）の外部に流出する。
【０００７】
第２の発明は、上記第１の発明において、上記吸気部材（16）は、上記膜状振動体（20）の周囲に形成されている。
【０００８】
上記第２の発明では、膜状振動体（20）が空気室（17）内を振動すると、該膜状振動体（20）の周囲に形成した吸気部材（16）から空気室（17）の外部の空気を空気室（17）内に取り込む。
【０００９】
第３の発明は、上記第１または第２の発明において、上記排気部材（18）は、上記ファン本体（11）の背面部（13）に形成されている。
【００１０】
上記第３の発明では、膜状振動体（20）が空気室（17）内を振動すると、吸気部材（16）から空気室（17）の外部の空気を空気室（17）内に取り込む。その一方で、背面部（13）に形成した排気部材（18）から空気室（17）内の空気を空気室（17）の外部に排気する。
【００１１】
第４の発明は、上記第３の発明において、上記吸気部材（16）は、上記ファン本体（11）の外部から上記空気室（17）内に向かって細くなるテーパ状の孔部（16a）によって形成されている。
【００１２】
上記第４の発明では、膜状振動体（20）が空気室（17）内を振動すると、吸気部材（16）から空気室（17）の外部の空気を空気室（17）内に取り込む。その一方で、排気部材（18）から空気室（17）内の空気を空気室（17）の外部に排気する。ここで、吸気部材（16）を外部から空気室（17）内に向かって細くなるテーパ状の孔部（16a）によって形成すると、空気室（17）に取り込まれた空気が孔部（16a）から外部に戻りにくい。
【００１３】
第５の発明は、上記第３の発明において、上記吸気部材（16）は、上記空気室（17）から上記ファン本体（11）の外部への空気の逆流を阻止するための逆止弁（19）を備えた孔部（16a）によって形成されている。
【００１４】
上記第５の発明では、膜状振動体（20）が空気室（17）内を振動すると、吸気部材（16）の孔部（16a）から空気室（17）の外部の空気を空気室（17）内に取り込む。その一方で、排気部材（18）から空気室（17）内の空気を、空気室（17）の外部に排気する。ここで、吸気部材（16）の孔部（16a）に、空気室（17）内から外部への空気の逆流を阻止する逆止弁（19）を形成すると、空気室（17）に取り込まれた空気が孔部（16a）から外部に戻りにくい。
【００１５】
第６の発明は、上記第１〜６の発明の何れか一つの発明において、上記吸気部材（16）及び排気部材（18）の少なくとも何れか一方は、目付の異なる複数のフィルタ（30,31,32,40,41,42）で構成され、該複数のフィルタ（30,31,32,40,41,42）が送風方向に向かって目付が大きくなるように積層されて形成されている。
【００１６】
上記第６の発明では、吸気部材（16）または排気部材（18）の少なくとも何れか一方を、目付の異なる複数のフィルタ（30,31,32,40,41,42）を送風方向に向かって目付が大きくなるように積層して構成する。例えば吸気部材（16）を積層フィルタ（30,31,32）によって形成すると、空気室（17）に取り込まれた空気が、再び積層フィルタ(30,31,32)からファン本体（11）の外部に戻りにくい。その一方で、例えば排気部材（18）を積層フィルタ（40）によって形成すると、ファン本体（11）の外部の空気を積層フィルタ（40,41,42）から空気室（17）内に取り込まれにくい。
【００１７】
第７の発明は、上記第１〜６の発明の何れか一つの発明において、上記フィルタ（30,40）が上記ファン本体（11）に対して着脱自在に取り付けられている。
【００１８】
上記第７の発明では、取り付けたフィルタ（30,40）を着脱自在にしたため、塵埃等がフィルタ（30,40）に付着すると、該フィルタ（30,40）を取り外して掃除・交換等を行う。
【００１９】
第８の発明は、上記第１〜７の発明の何れか一つの発明において、フィルタ（30,40）には、帯電防止コーティングが施されている。
【００２０】
上記第８の発明では、フィルタ（30,40）に帯電防止コーティングを施しているため、フィルタ（30,40）表面が帯電しにくくなり、空気中に帯電している塵埃が付着しにくい。
【００２１】
第９の発明は、上記第１〜７の発明の何れか一つの発明において、フィルタ（30,40）には、除菌コーティングが施されている。
【００２２】
上記第９の発明では、フィルタ（30,40）に除菌防止コーティングを施しているため、フィルタ（30,40）表面が汚染されにくくなり、フィルタ（30,40）の目詰まりしない。
【発明の効果】
【００２３】
上記本発明によれば、吸気部材（16）及び排気部材（18）の少なくとも一方は、１枚以上のフィルタ（30,40）によって構成されているので、吸気部材（16）または排気部材（18）をフィルタ（30,40）で構成すると、ファン本体（11）に微細加工を施すことなく、簡易な構成で吸気部材（16）または排気部材（18）を形成することができる。この結果、製造コストを低減させることができる。また、例えば吸気部材（16）をフィルタ（30）で構成すると、該フィルタ（30）によって空気室（17）内に流入させる空気中に含まれる塵埃を捕捉することができるため、該塵埃が捕捉された後の空気を空気室（17）内に取り込むことができる。
【００２４】
上記第２の発明によれば、吸気部材（16）を膜状振動体（20）の周囲に形成したため、ファン本体（11）に多数の吸気通路（16a）を形成することができる。これにより、空気室（17）内に大量の空気を吸い込むことができる。
【００２５】
上記第３の発明によれば、排気部材（18）をファン本体（11）の背面部（13）に形成したため、例えば排気部材（18）がフィルタ（40）によって構成されると、ファン本体（11）に微細加工を施すことなく、簡易な構成で排気部材（18）を形成することができる。この結果、送風ファン（10）の製造コストを低減させることができる。
【００２６】
上記第４の発明によれば、吸気部材（16）をファン本体（11）の外部から空気室（17）内に向かって細くなるテーパ状の孔部（16a）によって形成したので、空気室（17）に取り込まれた空気が吸気通路（16a）を通ってファン本体（11）の外部に戻りにくくすることができる。これにより、空気室（17）に取り込まれた空気のうち、吸気部材（16）から排気される空気の量を低減させることができるので、ファン効率を向上させることができる。
【００２７】
上記第５の発明によれば、吸気部材（16）を空気室（17）からファン本体（11）の外部への空気の逆流を阻止するための逆止弁（19）を備えた孔部（16a）によって形成したので、空気室（17）に取り込まれた空気を、吸気通路（16a）を通ってファン本体（11）の外部に戻りにくくすることができる。これにより、空気室（17）に取り込まれた空気のうち吸気部材（16）から排気される空気の量を低減させることができるので、ファン効率を向上させることができる。
【００２８】
上記第６の発明によれば、吸気部材（16）及び排気部材（18）の何れか一方を、送風方向に向かって目付が大きくなるようにフィルタ（30,31,32,40,41,42）を積層させて構成した。例えば吸気部材（16）を外部から空気室（17）に向かって目付が大きくなるようにフィルタ（30,31,32）を積層させて構成すると、積層されたフィルタ（30,31,32）からは、空気室（17）の外部に空気を排気するよりも空気室（17）の内部に空気を吸い込むほうが空気が流れやすくなる。これにより、空気室（17）に取り込まれた空気を積層されたフィルタ（30,31,32）からファン本体（11）の外部に戻りにくくすることができる。この結果、空気室（17）に取り込まれた空気のうちフィルタ（30,31,32）から排気される空気の量を低減させることができるので、ファン効率を向上させることができる。
【００２９】
その一方で、例えば排気部材（18）を空気室（17）内から外部に向かって目付が大きくなるようにフィルタ（40,41,42）を積層させて構成すると、積層されたフィルタ（40,41,42）からは、空気室（17）の内部に空気を吸い込むよりも、空気室（17）の外部に空気を排気するほうが空気が流れやすくなる。これにより、ファン本体（11）の外部の空気を、積層されたフィルタ（40,41,42）から空気室（17）内に取り込まれにくくすることができる。この結果、ファン本体（11）の外部の空気のうちフィルタ（40,41,42）から空気室（17）内に取り込まれる空気の量を低減させることができるので、ファン効率を向上させることができる。
【００３０】
上記第７の発明によれば、フィルタ（30,40）をファン本体（11）から着脱できるようにしたため、塵埃等によって汚染されたフィルタ（30,40）を掃除または交換することができる。
【００３１】
上記第８の発明によれば、フィルタ（30,40）には、帯電防止コーティングが施されているため、該フィルタ（30,40）には、空気中の帯電している塵埃が付着しにくくなる。これにより、フィルタ（30,40）が目詰まりするのを確実に防止することができる。
【００３２】
上記第９の発明によれば、フィルタ（30,40）には、除菌防止コーティングが施されているため、該フィルタ（30,40）は、汚染されにくくなる。これにより、フィルタ（30,40）が目詰まりするのを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３４】
〈発明の実施形態１〉
本実施形態１は、例えば空調装置に組み込まれる送風ファンに本発明を適用したものである。
【００３５】
図１及び図２に示すように、本発明に係る送風ファン（10）は、その内部に空気室（17）が設けられた中空板状のファン本体（11）を備えている。上記ファン本体（11）は、平面視で略矩形状（例えば一辺が３ｃｍの正方形）に形成されている。
【００３６】
上記ファン本体（11）は、前面を構成する前面部（12）と、背面を構成する背面部（13）と、側面を構成する側面部（14）とを備えている。前面部（12）と背面部（13）とは、共に厚みが薄い略矩形状の部材である。側面部（14）は、略矩形状の枠状の部材である。前面部（12）と背面部（13）とは、所定の間隔を存して側面部（14）に連結されている。前面部（12）は、その外周の全周囲に亘って側面部（14）の一端側の内周に連結されている。背面部（13）は、その外周の全周囲に亘って側面部（14）の他端側の内周に連結されている。尚、ファン本体（11）は、例えば１〜５ｍｍ程度の厚さに形成されている。
【００３７】
上記背面部（13）の中央部には、空気室（17）の空気をファン本体（11）の外部へ排出するための排気孔（18a）が複数形成されている。上記各排気孔（18a）は排気通路を構成している。この排気孔（18a）は、背面部（13）のうち膜状振動体（20）に対面する部分にのみ形成され、空気室（17）から外部に向かって細くなるテーパ状に形成されている。尚、背面部（13）は、例えばステンレス鋼製の膜体（21）により構成されている。
【００３８】
上記前面部（12）は、膜状振動体（20）と、該膜状振動体（20）を支持し、且つ吸気部材（16）を構成する１枚のフィルタ（30）とを備えている。上記膜状振動体（20）は、円盤状に形成されて膜体（21）（膜状部）と駆動体（22）とを備えている。
【００３９】
上記駆動体（22）は、基板（23）と圧電素子（24）（圧電素子部）とを備えている。基板（23）と圧電素子（24）には同程度の剛性の部材が用いられている。基板（23）は、ドーナツ盤状に形成され、例えばステンレス鋼板により構成されている。圧電素子（24）は、基板（23）よりも小径のドーナツ盤状に形成されている。圧電素子（24）は、例えば２枚の圧電材料の部材を積層することによって構成されている。圧電材料の部材には、例えば圧電セラミックスが用いられている。圧電材料の部材は、電気エネルギーと機械エネルギーとを変換する働きをもった部材である。尚、圧電素子（24）の構成は、この構成に限定されるものではない。
【００４０】
上記駆動体（22）では、圧電素子（24）が、基板（23）の上面の幅方向の真ん中に取り付けられている。また、基板（23）の下面には、膜体（21）が、基板（23）の中央部の開口を閉鎖するように取り付けられている。つまり、膜体（21）は、中央部が下方へ窪んだ凹状に形成されている。上記膜体（21）は、例えばステンレス鋼製の膜体（21）により構成されている。
【００４１】
上記フィルタ（30）は、ファン本体（11）の前面外周部を構成しており、外周形状が矩形状に形成され、内周形状が円形に形成されている。フィルタ（30）の内周には、膜状振動体（20）の基板（23）の外周部が連結され、該フィルタ（30）の外周は側面部（14）に取り付けられている。尚、上記フィルタ（30）は、基板（23）及び側面部（14）から着脱できるように取り付けられている。
【００４２】
上記フィルタ（30）は、網目状に形成され、ファン本体（11）の外部から空気室（17）へ空気を取り込むよう構成されている。この吸気部材（16）を構成するフィルタ（30）は、目付が１２０ｇ／ｍ２のＨＥＰＡフィルタによって形成されている。また、フィルタ（30）の表面及び裏面には、図示はしないが、帯電防止コーティングが施されている。尚、フィルタ（30）の表面及び裏面には除菌コーティングを施してもよい。。
【００４３】
上記前面部（12）では、圧電素子（24）の上面が縮んで下面が伸びるように圧電素子（24）に電圧を印加すると、圧電素子（24）と共に、基板（23）が前面側に屈曲する。また、圧電素子（24）の上面が伸びて下面が縮むように電圧を印加すると、圧電素子（24）と共に基板（23）が背面側に屈曲する。上記前面部（12）では、図３及び図４に示すように、駆動体（22）の屈曲に伴って膜体（21）がファン本体（11）の厚さ方向に振動する。
【００４４】
−運転動作−
次に、本実施形態１に係る送風ファン（10）の送風動作について説明する。
【００４５】
上記送風ファン（10）の送風動作では、図３に示すように、駆動体（22）を前面側（外側）が反るように屈曲させることによって膜体（21）を空気室（17）の外方に振れさせる第１動作と、図４に示すように、駆動体（22）を背面側（内側）が反るように屈曲させることによって膜体（21）を空気室（17）の内方に振れさせる第２動作とが交互に行われる。第１動作は、圧電素子（24）の上面が縮んで下面が伸びるように圧電素子（24）に所定の電圧を印加することによって行われる。第２動作は、圧電素子（24）の上面が伸びて下面が縮むように圧電素子（24）に所定の電圧を印加することによって行われる。
【００４６】
この送風ファン（10）では、第１動作と第２動作との繰り返しによって、フィルタ（30）を通じて取り込まれた空気が、排気孔（18a）を通じてファン本体（11）の外部に排気される。フィルタ（30）からは、膜状振動体（20）の変形によって空気室（17）の容積が拡大する際に、ファン本体（11）の外部の空気が取り込まれる。排気孔（18a）からは、主に、膜体（21）が内方に振れる過程で、空気室（17）の中央部の空気が膜体（21）によって排気される。空気室（17）の中央部の空気は、膜体（21）によってファン本体（11）の外部へ押し出される。
【００４７】
−実施形態１の効果−
上記実施形態１に係る発明では、吸気部材（16）を１枚のフィルタ（30）で構成したので、ファン本体（11）に微細加工を施すことなく、簡易な構成で吸気部材（16）を形成することができる。この結果、送風ファン（10）の製造コストを低減させることができる。また、吸気部材（16）を１枚のフィルタ（30）で構成したので、該フィルタ（30）によって空気室（17）内に流入させる空気中に含まれる塵埃を捕捉することができるため、該塵埃が捕捉された後の空気を空気室（17）内に取り込むことができる。
【００４８】
〈実施形態１の変形例〉
次に実施形態１の変形例について説明する。
【００４９】
本変形例は、実施形態１に係る送風ファン（10）が、吸気部材（16）を１枚のフィルタ（30）で構成したのに代えて、図５に示すように、吸気部材（16）を目付の異なる複数のフィルタ（30,31,32）で構成したものである。
【００５０】
具体的に、吸気部材（16）を構成する各フィルタ（30,31,32）は、それぞれがファン本体（11）の前面外周部を構成しており、外周形状が矩形状に形成され、内周形状が円形に形成されている。各フィルタ（30,31,32）の内周には、膜状振動体（20）の基板（23）の外周部が連結され、該各フィルタ（30,31,32）の外周は側面部（14）に取り付けられている。上記３枚のフィルタ（30,31,32）は、膜状振動体（20）を支持している。上記フィルタ（30,31,32）は、異なる目付である３種類のＨＥＰＡフィルタが、空気室（17）の外部から空気室（17）内に向かって目付が大きくなるように積層されて形成されている。第１のフィルタ（30）は、目付が１２０ｇ／ｍ２に形成されたＨＥＰＡフィルタであり、空気室（17）の内部側に取り付けられる。第２のフィルタ（31）は、目付が１００ｇ／ｍ２に形成されたＨＥＰＡフィルタであり、上記第１のフィルタ（30）よりも空気室（17）の外部側で、且つ第１フィルタ（30）に平行に取り付けられる。第３のフィルタ（32）は、目付が９０ｇ／ｍ２に形成されたＨＥＰＡフィルタであり、第２のフィルタ（31）よりも空気室（17）の外部側で、且つ第２のフィルタ（31）に平行に取り付けられる。また、上記第１〜３の各フィルタ（30,31,32）は、基板（23）及び側面部（14）から着脱できるように取り付けられている。尚、上記第１〜３の各フィルタ（30,31,32）の表面及び裏面には、図示はしないが、帯電防止コーティングが施されている。また、上記第１〜３の各フィルタ（30,31,32）の表面及び裏面には除菌コーティングが施されてもよい。
【００５１】
上記吸気部材（16）を第１〜３のフィルタ（30,31,32）を積層して構成すると、積層されたフィルタ（30,31,32）から空気室の外部に空気を排気するよりも、空気室の内部に空気を吸い込むほうが空気が流れやすくなる。これにより、空気室に取り込まれた空気を、積層されたフィルタ（30,31,32）からファン本体（11）の外部に戻りにくくすることができる。この結果、空気室（17）に取り込まれた空気のうち積層されたフィルタ（30,31,32）から排気される空気の量を低減させることができるので、ファン効率を向上させることができる。
【００５２】
〈発明の実施形態２〉
次に、本発明の実施形態２について説明する。
【００５３】
本実施形態２は、実施形態１の変形例に係る送風ファン（10）が、排気部材（18）を空気室（17）から外部に向かって細くなるテーパ状に形成されている吸気孔（16a）で形成したのに代えて、図６及び図７に示すように、排気部材（18）を目付の異なる複数のフィルタ（40,41,42）で構成したものである。
【００５４】
具体的に、排気部材（18）を構成する各フィルタ（40,41,42）は、略円形状に形成され、上記背面部（13）の中央部の取り付けられ、該背面部（13）の内周に連結されている。上記各フィルタ（40,41,42）は、背面部（13）のうち膜状振動体（20）に対面する部分にのみ形成され、異なる目付である３種類のＨＥＰＡフィルタが、空気室（17）内から外部に向かって目付が大きくなるように積層されて形成されている。第１のフィルタ（40）は、目付が１２０ｇ／ｍ２に形成されたＨＥＰＡフィルタであり、空気室（17）の外部側に取り付けられる。第２のフィルタ（41）は、目付が１００ｇ／ｍ２に形成されたＨＥＰＡフィルタであり、上記第１のフィルタ（40）よりも空気室（17）の内部側で、且つ第１フィルタ（40）に平行に取り付けられる。第３のフィルタ（42）は、目付が９０ｇ／ｍ２に形成されたＨＥＰＡフィルタであり、第２のフィルタ（41）よりも空気室（17）の内部側で、且つ第２のフィルタ（41）に平行に取り付けられる。また、上記第１〜３の各フィルタ（40,41,42）は、上記背面部（13）から着脱できるように取り付けられている。また、上記第１〜３の各フィルタ（40,41,42）の表面及び裏面には、図示はしないが、帯電防止コーティングが施されている。尚、上記第１〜３の各フィルタ（40,41,42）の表面及び裏面には除菌コーティングが施されてもよい。
【００５５】
上記実施形態２によれば、排気部材（18）を積層されたフィルタ（40,41,42）によって構成することで、ファン本体（11）に微細加工を施すことなく、簡易な構成で排気部材（18）を形成することができる。この結果、送風ファン（1）の製造コストを低減させることができる。また、上記フィルタ（40,41,42）を空気室（17）から外部に向かって目付が大きくなるように積層させて構成したため、積層されたフィルタ（40,41,42）からは、空気室（17）の内部に空気を吸い込むよりも、空気室（17）の外部に空気を排気するほうが空気が流れやすくなる。これにより、ファン本体（11）の外部の空気を、積層されたフィルタ（40,41,42）から空気室（17）内に取り込まれにくくすることができる。この結果、ファン本体（11）の外部の空気のうちフィルタ（40,41,42）から空気室（17）内に取り込まれる空気の量を低減させることができるので、ファン効率を向上させることができる。
【００５６】
〈発明の実施形態３〉
次に、本発明の実施形態３について説明する。
【００５７】
本実施形態３は、実施形態２に係る送風ファン（10）が、前面部（12）に目付の異なる複数のフィルタ（30,31,32）を取り付けて吸気部材（16）を構成したのに代えて、図８及び図９に示すように、前面部（12）に支持部材（15）を取り付けて、該支持部材（15）に、空気室（17）の外部から空気室（17）内に向かって細くなるテーパ状に形成された吸気孔（16a）を形成して吸気部材（16）を構成したものである。
【００５８】
具体的に、上記支持部材（15）は、ファン本体（11）の前面外周部を構成しており、前面部（12）において、膜状振動体（20）の外周側に形成されている支持部材（15）には、圧電素子（24）及び基板（23）に比べて剛性の大きい部材が用いられている。支持部材（15）は、外周形状が矩形状に形成され、内周形状が円形に形成されている。支持部材（15）の内周には、膜状振動体（20）の基板（23）の外周部が連結され、該支持部材（15）の外周は側面部（14）に連結されている。上記支持部材（15）は、膜状振動体（20）を支持して、固定部材を構成している。上記支持部材（15）には、ファン本体（11）の外部から空気室（17）へ空気を取り込むための吸気孔（16a）が複数形成され、該各吸気孔（16a）は吸気通路を構成している。上記吸気孔（16a）は、ファン本体（11）の外部から空気室（17）に向かって細くなるテーパ状に形成されている。
【００５９】
上記実施形態３によれば、吸気部材（16）をファン本体（11）の外部から空気室（17）内に向かって細くなるテーパ状の吸気孔（16a）によって形成したので、空気室（17）に取り込まれた空気を、吸気孔（16a）を通ってファン本体（11）の外部に戻りにくくすることができる。これにより、空気室（17）に取り込まれた空気のうち吸気孔（16a）から排気される空気の量を低減させることができるので、ファン効率を向上させることができる。
【００６０】
〈発明の実施形態４〉
次に、本発明の実施形態４について説明する。
【００６１】
本実施形態４は、実施形態３に係る送風ファン（10）が、支持部材（15）に空気室（17）の外部から空気室（17）に向かって細くなるテーパ状に形成された複数の吸気孔（16a）を形成して吸気部材（16）を構成したのに代えて、図１０に示すように、支持部材（15）に逆止弁（19）を備えた複数の吸気孔（16a）を形成して吸気部材（16）を構成したものである。
【００６２】
上記実施形態４によれば、上記吸気孔（16a）は、ファン本体の外部への空気の逆流を阻止するための逆止弁（19）を備えているため、空気室（17）に取り込まれた空気を、吸気孔（16a）を通ってファン本体（11）の外部に戻りにくくすることができる。これにより、空気室（17）に取り込まれた空気のうち吸気孔（16a）から排気される空気の量を低減させることができるので、ファンの効率を向上させることができる。
【００６３】
〈その他の実施形態〉
本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【００６４】
上記実施形態１〜４に係るフィルタの目付は、送風ファンの用途・種類に応じて異なる目付のフィルタを用いてもよい。
【００６５】
尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
以上説明したように、本発明は、送風ファンの吸気または排気構造について有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】（Ａ）は、本発明の実施形態１に係る送風ファンの背面側を示す正面図であり、（Ｂ）は、本発明の実施形態１に係る送風ファンの前面側を示す正面図である。
【図２】図１（Ａ）に係るII−II線断面図である。
【図３】図２における送風ファンの吸気動作を示す側面断面図である。
【図４】図２における送風ファンの排気動作を示す側面断面図である。
【図５】本発明の実施形態１の変形例に係る送風ファンを示す側面断面図である。
【図６】（Ａ）は、本発明の実施形態２に係る送風ファンの背面側を示す正面図であり、（Ｂ）は、本発明の実施形態２に係る送風ファンの前面側を示す正面図である。
【図７】図６（Ａ）に係るVII−VII線断面図である。
【図８】（Ａ）は、本発明の実施形態３に係る送風ファンの背面側を示す正面図であり、（Ｂ）は、本発明の実施形態３に係る送風ファンの前面側を示す正面図である。
【図９】図８（Ａ）に係るIX−IX線断面図である。
【図１０】本発明の実施形態４に係る送風ファンを示す側面断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１０          送風ファン
１１          ファン本体
１２          前面部
１３          背面部
１６          吸気部材
１６ａ        吸気通路
１７          空気室
１８          排気部材
１８ａ        排気通路
１９          逆止弁
２０          膜状振動体
３０          （吸気側）第１のフィルタ
３１          （吸気側）第２のフィルタ
３２          （吸気側）第３のフィルタ
４０          （排気側）第１のフィルタ
４１          （排気側）第２のフィルタ
４２          （排気側）第３のフィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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