(57)【要約】【課題】多数のワイヤを単一の基板にボンディングさせる必要がないスタック型チップパッケージ構造およびその製造方法を提供する。【解決手段】スタック型チップパッケージ構造１００は、第１の基板１１０と、第１の基板１１０上に配置された第１のチップ１３０と、第１のチップ１３０上に配置された第２のチップ１４０と、第１のチップ１３０上に配置され、第１の基板１１０および第１のチップ１３０と電気的に接続された少なくとも１つの第２の基板１４０と、第２のチップ１４０と、第２の基板１２０とを接続する少なくとも１つの第１の接続線１５０と、第１の基板１１０と、第２の基板１２０とを接続する少なくとも１つの第２の接続線１６０と、第１の基板１１０上に形成されたパッケージ本体１７０と、を備える。【選択図】図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と、
前記第１の基板上に配置された第１のチップと、
前記第１のチップ上に配置された第２のチップと、
前記第１のチップ上に配置され、前記第１の基板および前記第１のチップと電気的に接続された少なくとも１つの第２の基板と、
前記第２のチップと、前記第２の基板とを接続する少なくとも１つの第１の接続線と、
前記第１の基板と、前記第２の基板とを接続する少なくとも１つの第２の接続線と、
前記第１のチップ、前記第２のチップ、前記第２の基板、前記第１の接続線および前記第２の接続線を封入し、前記第１の基板上に形成されたパッケージ本体と、を備えることを特徴とするスタック型チップパッケージ構造。
【請求項２】
前記第２の基板は、開口を有し、
前記第２のチップは、前記開口中に配置され、前記第１のチップ上に搭載されることを特徴とする請求項１に記載のスタック型チップパッケージ構造。
【請求項３】
前記第２の基板は、前記第２のチップの１辺に配置されることを特徴とする請求項１に記載のスタック型チップパッケージ構造。
【請求項４】
前記第２のチップの２辺上に配置された２つの第２の基板をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のスタック型チップパッケージ構造。
【請求項５】
前記第１の基板は、少なくとも１つの受動部品を含むことを特徴とする請求項１に記載のスタック型チップパッケージ構造。
【請求項６】
前記第１のチップは、前記第２の基板と電気的に接続された少なくとも１つの金属バンプを含むことを特徴とする請求項１に記載のスタック型チップパッケージ構造。
【請求項７】
第１の基板を準備する工程と、
前記第１の基板上に第１のチップを配置する工程と、
第２のチップと、前記第１のチップと電気的に接続された少なくとも１つの第２の基板と、を前記第１のチップ上に配置する工程と、
少なくとも１つの第１の接続線をボンディングし、前記第２のチップと、前記第２の基板とを接続する工程と、
少なくとも１つの第２の接続線をボンディングし、前記第１の基板と、前記第２の基板とを接続する工程と、
前記第１の基板上にパッケージ本体を形成し、前記第１のチップ、前記第２のチップ、前記第２の基板、前記第１の接続線および前記第２の接続線を封入する工程と、を含むことを特徴とするスタック型チップパッケージ構造の製造方法。
【請求項８】
前記第２の基板は、前記第２のチップの１辺に配置されていることを特徴とする請求項７に記載のスタック型チップパッケージ構造の製造方法。
【請求項９】
前記第２の基板を配置する工程は、
前記第２のチップの２辺上に２つの第２の基板を配置するステップを含むことを特徴とする請求項７に記載のスタック型チップパッケージ構造の製造方法。
【請求項１０】
前記第１のチップ上に、前記第２の基板と電気的に接続された少なくとも１つの金属バンプを形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項７に記載のスタック型チップパッケージ構造の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスタック型チップパッケージ構造およびその製造方法に関し、特に、多数のワイヤを単一の基板にボンディングさせる必要がないスタック型チップパッケージ構造およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程において、ＩＣチップを保護し、外部と電気的に接続させることが可能で、移動や輸送を行う際にチップが破壊されることを防止するＩＣパッケージは非常に重要な工程の一つである。また、ＩＣ素子は、抵抗、コンデンサなどの受動素子を有して機能ＩＣシステムを形成し、電子パッケージは、ＩＣ素子の保護および維持管理を行うことができる。一般に、ＩＣチップの製造後に行う電子パッケージには、チップボンディング、回路接続、封入、回路基板とのボンディング、システムの組み合わせおよびその他の工程が含まれる。そのため、この電子パッケージは、ＩＣチップとその他の電子素子との組み合わせ、電気信号の伝送、放熱ならびに構造の保持および保護を行うことができる。
【０００３】
現在の電子装置は、ユーザの要求を満たすために、多数の電子素子またはチップが単一の装置に搭載され、複数の機能を実行することが可能である。しかし、チップをそれぞれ異なるパッケージ構造に形成した場合、電子装置を占有するパッケージ構造の空間が大きくなる。そのため、実装密度を向上させ、パッケージ構造が占有する空間を低減させることが可能なスタック型チップパッケージ構造を利用するものがあった。従来のスタック型チップパッケージ構造は、基板上に複数のチップが堆積され、チップのＩ／Ｏ (inputs/outputs) 部がワイヤボンディングにより基板上に配置された複数のボンディングパッドと電気的に接続されている。
【０００４】
Ｉ／Ｏ部と電気的に接続されたボンディングパッドは、単一の基板上に配置されているため、ボンディングパッドの数と基板の面積が増大し、パッケージ構造が占有する空間が大きくなることがあった。或いは、基板上でボンディングパッド間のピッチが低減されるため、ワイヤボンディング工程を行うことが困難であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の第１の目的は、スタック型チップを第２の基板と電気的に接続させることにより、第１の基板の面積およびスタック型チップパッケージ構造が占有する空間を低減させることが可能なスタック型チップパッケージ構造およびその製造方法を提供することにある。
【０００６】
本発明の第２の目的は、多数のワイヤを単一の基板にボンディングする必要を無くすことにより、製造工程の収率を向上させることが可能なスタック型チップパッケージ構造およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）  第１の基板と、前記第１の基板上に配置された第１のチップと、前記第１のチップ上に配置された第２のチップと、前記第１のチップ上に配置され、前記第１の基板および前記第１のチップと電気的に接続された少なくとも１つの第２の基板と、前記第２のチップと、前記第２の基板とを接続する少なくとも１つの第１の接続線と、前記第１の基板と、前記第２の基板とを接続する少なくとも１つの第２の接続線と、前記第１のチップ、前記第２のチップ、前記第２の基板、前記第１の接続線および前記第２の接続線を封入し、前記第１の基板上に形成されたパッケージ本体と、を備えることを特徴とするスタック型チップパッケージ構造を提供する。
【０００８】
（２）  前記第２の基板は、開口を有し、前記第２のチップは、前記開口中に配置され、前記第１のチップ上に搭載されることを特徴とする（１）に記載のスタック型チップパッケージ構造を提供する。
【０００９】
（３）  前記第２の基板は、前記第２のチップの１辺に配置されることを特徴とする（１）に記載のスタック型チップパッケージ構造を提供する。
【００１０】
（４）  前記第２のチップの２辺上に配置された２つの第２の基板をさらに備えることを特徴とする（１）に記載のスタック型チップパッケージ構造を提供する。
【００１１】
（５）  前記第１の基板は、少なくとも１つの受動部品を含むことを特徴とする（１）に記載のスタック型チップパッケージ構造を提供する。
【００１２】
（６）  前記第１のチップは、前記第２の基板と電気的に接続された少なくとも１つの金属バンプを含むことを特徴とする（１）に記載のスタック型チップパッケージ構造を提供する。
【００１３】
（７）  第１の基板を準備する工程と、前記第１の基板上に第１のチップを配置する工程と、第２のチップと、前記第１のチップと電気的に接続された少なくとも１つの第２の基板と、を前記第１のチップ上に配置する工程と、少なくとも１つの第１の接続線をボンディングし、前記第２のチップと、前記第２の基板とを接続する工程と、少なくとも１つの第２の接続線をボンディングし、前記第１の基板と、前記第２の基板とを接続する工程と、前記第１の基板上にパッケージ本体を形成し、前記第１のチップ、前記第２のチップ、前記第２の基板、前記第１の接続線および前記第２の接続線を封入する工程と、を含むことを特徴とするスタック型チップパッケージ構造の製造方法を提供する。
【００１４】
（８）  前記第２の基板は、前記第２のチップの１辺に配置されていることを特徴とする（７）に記載のスタック型チップパッケージ構造の製造方法を提供する。
【００１５】
（９）  前記第２の基板を配置する工程は、前記第２のチップの２辺上に２つの第２の基板を配置するステップを含むことを特徴とする（７）に記載のスタック型チップパッケージ構造の製造方法を提供する。
【００１６】
（１０）  前記第１のチップ上に、前記第２の基板と電気的に接続された少なくとも１つの金属バンプを形成する工程をさらに含むことを特徴とする（７）に記載のスタック型チップパッケージ構造の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のスタック型チップパッケージ構造およびその製造方法は、スタック型チップを第２の基板と電気的に接続させるため、多数のワイヤを単一の基板にボンディングする必要が無くなり、スタック型チップパッケージ構造が占有する空間を低減させ、製造工程の収率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、これによって本発明が限定されるものではない。
（第１実施形態）
【００１９】
図１Ａおよび図１Ｂを参照する。図１Ａは、本発明の第１実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す断面図である。図１Ｂは、本発明の第１実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す平面図である。スタック型チップパッケージ構造１００は、第１の基板１１０、少なくとも１つの第２の基板１２０、第１のチップ１３０、第２のチップ１４０、少なくとも１つの第１の接続線１５０、少なくとも１つの第２の接続線１６０およびパッケージ本体１７０を含む。第１のチップ１３０は、第１の基板１１０上に配置されている。第２のチップ１４０は、第１のチップ１３０上に配置されている。第２の基板１２０は、第１のチップ１３０の上方に配置され、第１の基板１１０および第１のチップ１３０と電気的に接続されている。第２のチップ１４０と第２の基板１２０とは、第１の接続線１５０により電気的に接続されている。第１の基板１１０と第２の基板１２０とは、第２の接続線１６０により電気的に接続されている。パッケージ本体１７０は、第１の基板１１０上に形成され、第１のチップ１３０、第２のチップ１４０、第２の基板１２０、第１の接続線１５０および第２の接続線１６０を封入する。第１の基板１１０は、その前側または後側に少なくとも１つのＩ／Ｏ部が設けられ、他の電子装置（図示せず）と電気的に接続されている。例えば、スタック型チップパッケージ構造１００の第１の基板１１０は、基板またはリードフレームでもよい。第１の基板１１０は、その後側にあるＩ／Ｏ部として用いる複数の半田ボールまたはリードを含み、プリント回路基板 (Printed Circuit Board：ＰＣＢ) 、フレキシブルプリント回路 (Flexible Printed Circuit：ＦＰＣ) 、マザーボードなどのキャリアと電気的に接続されてもよい。或いは、スタック型チップパッケージ構造１００は、その前側または後側でＩ／Ｏ部として用い、電子装置のソケットに挿入して電気的に接続する複数のゴールドフィンガー (gold finger) を含んでもよい。
【００２０】
図１Ａおよび図１Ｂを再び参照する。図１Ａおよび図１Ｂに示すように、第１実施形態の第１の基板１１０は、ビスマレイミドトリアジン (Bismaleimide Triazine：ＢＴ) 、エポキシ樹脂、セラミックまたは有機ガラス繊維などの誘電体材料からなってもよい。第１の基板１１０は、少なくとも１つのボンディングパッド１１１を含み、第２の接続線１６０は、ボンディングパッド１１１と接続されている。第１実施形態において、第１の基板１１０は、コンデンサ、インダクタまたは抵抗などの少なくとも１つの受動部品をさらに含んでもよい。受動部品は、第１の基板１１０上に配置されたり、第１の基板１１０中に埋め込まれたりしてもよい。
【００２１】
図１Ａおよび図１Ｂを再び参照する。図１Ａおよび図１Ｂに示すように、第１実施形態の第１のチップ１３０は、第１の基板１１０上に搭載されている。この第１のチップ１３０は、表面実装技術 (Surface Mount Technology：ＳＭＴ) により第１の基板１１０上に搭載されてもよい。第１の基板１１０上に第１のチップ１３０を搭載する前に、第１のチップ１３０の表面（例えば、アクティブ面）に少なくとも１つの金属バンプ１３１（例えば、半田ボール）を形成し、この金属バンプ１３１により第２の基板１２０と第１のチップ１３０とを電気的に接続させてもよい。金属バンプ１３１は、スズ、アルミニウム、ニッケル、銀、銅、インジウムまたはそれらの合金からなってもよい。
【００２２】
図１Ａおよび図１Ｂを再び参照する。第１実施形態の第２の基板１２０は、ビスマレイミドトリアジン、エポキシ樹脂、セラミックまたは有機ガラス繊維などの誘電体材料からなってもよい。第２の基板１２０は、その対向する２辺上に形成された複数のボンディングパッド１２１を含み、第１のチップ１３０、第２のチップ１４０および第２の接続線１６０と電気的に接続されている。第１実施形態において、第２の基板１２０は、開口１２２を有し、第１のチップ１３０の表面の一部が開口１２２を介して露出され、開口１２２の面積は、第２のチップ１４０の面積よりも大きい。また、第２のチップ１４０は、第２の基板１２０の開口１２２中に配置され、表面実装技術などにより第１のチップ１３０の露出面に搭載されている。
【００２３】
図１Ａおよび図１Ｂを再び参照する。第１実施形態による第１の接続線１５０および第２の接続線１６０は、金線、銀線、銅線またはアルミニウム線でもよい。第２のチップ１４０と第２の基板１２０のボンディングパッド１２１とは、第１の接続線１５０により接続され、第２のチップ１４０と第２の基板１２０とが電気的に接続されている。第１の基板１１０と第２の基板１２０のボンディングパッド１２１とは、第２の接続線１６０により接続され、第１の基板１１０と第２の基板１２０とが電気的に接続されている。このパッケージ本体１７０は、エポキシ樹脂、ＰＭＭＡ (Polymethyl Methacrylate) 、ポリカーボネートまたはシリカ材料からなってもよい。パッケージ本体１７０が第１の基板１１０上に形成され、第１のチップ１３０、第２のチップ１４０、第２の基板１２０、第１の接続線１５０および第２の接続線１６０を封入すると、スタック型チップパッケージ構造１００が形成される。
【００２４】
以下、本実施形態のスタック型チップパッケージ構造１００の製造方法を説明する。まず、第１の基板１１０上に第１のチップ１３０を配置する。続いて、第１のチップ１３０上に、第２の基板１２０および第２のチップ１４０を配置する。続いて、ワイヤボンディング工程により、第２のチップ１４０と第２の基板１２０とを第１の接続線１５０でボンディングして接続し、第１の基板１１０と第２の基板１２０とを第２の接続線１６０により接続する。続いて、第１の基板１１０上にパッケージ本体１７０を形成すると、スタック型チップパッケージ構造１００が形成される。
【００２５】
ここで、スタック型チップパッケージ構造１００の製造順序は、上述したものだけに限定されるわけではなく、第２の基板１２０および第２のチップ１４０を配置してから第２の基板１２０を第１のチップ１３０の金属バンプ１３１にボンディングし、第２のチップ１４０を第１のチップ１３０の露出面に搭載してもよい。或いは、まず、第１のチップ１３０の露出面に第２のチップ１４０を搭載してから、第２の基板１２０をそれら金属バンプ１３１にボンディングしてもよい。
【００２６】
第１のチップ１３０および第２のチップ１４０は、金属バンプおよびワイヤボンディングにより、第２の基板１２０と電気的に接続され、第２の基板１２０は、第１の基板１１０と電気的に接続されている。そのため、第１のチップ１３０および第２のチップ１４０は、第２の基板１２０の相互接続を介し、第１の基板１１０と電気的に接続されるため、第１の基板１１０上のボンディングパッド１１１の数が減り、単一の基板に多数のワイヤを接続する必要がなくなる。このように、第２の基板１２０を利用すると、基板の面積およびボンディングパッド間のピッチに関する問題を解決することができるため、スタック型チップパッケージ構造が占有する空間を低減させ、製造工程の収率を向上させることができる。
【００２７】
（第２実施形態）
図２Ａおよび図２Ｂを参照する。図２Ａは、本発明の第２実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す断面図である。図２Ｂは、本発明の第２実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す平面図である。第２実施形態では、第１実施形態と同じ符号が用いられている。第２実施形態の構成およびその機能は、第１実施形態と似ているため、ここでは詳しく述べない。
【００２８】
図２Ａおよび図２Ｂを再び参照する。図２Ａおよび図２Ｂに示すように、第２実施形態によるスタック型チップパッケージ構造１００ｂの第２の基板１２０ｂは、第１実施形態と異なり、開口１２２を有していない。第２実施形態において、第２の基板１２０ｂおよび第２のチップ１４０は、第１の基板１１０上に搭載され、第２の基板１２０ｂが第２のチップ１４０の１辺に配置され、第１のチップ１３０の金属バンプ１３１と電気的に接続されてもよい。第２のチップ１４０と第２の基板１２０ｂとは、第１の接続線１５０により電気的に接続されている。第１の基板１１０と第２の基板１２０ｂとは、第２の接続線１６０により電気的に接続されている。そして、第１のチップ１３０および第２のチップ１４０が第２の基板１２０ｂを介して第１の基板１１０と電気的に接続されているため、スタック型チップパッケージ構造が占有する空間を低減させ、製造工程の収率を向上させることができる。
【００２９】
（第３実施形態）
図３Ａおよび図３Ｂを参照する。図３Ａは、本発明の第３実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す断面図である。図３Ｂは、本発明の第３実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す平面図である。第３実施形態では、第２実施形態と同じ符号が用いられている。第３実施形態の構成およびその機能は、第２実施形態と似ているため、ここでは詳しく述べない。
【００３０】
図３Ａおよび図３Ｂを再び参照する。図３Ａおよび図３Ｂに示すように、第３実施形態によるスタック型チップパッケージ構造１００ｃは、第２実施形態と異なり、２つの第２の基板１２０ｃを含んでいる。第３実施形態において、第２の基板１２０ｃおよび第２のチップ１４０は、第１の基板１１０の上方に搭載され、第２の基板１２０ｃが第２のチップ１４０の２辺に配置され、第１のチップ１３０の金属バンプ１３１と電気的に接続されてもよい。第２のチップ１４０と第２の基板１２０ｃとは、第１の接続線１５０により電気的に接続されている。第１の基板１１０と第２の基板１２０ｃとは、第２の接続線１６０により電気的に接続されている。第１のチップ１３０および第２のチップ１４０は、第２の基板１２０ｃを介して第１の基板１１０と電気的に接続されているため、スタック型チップパッケージ構造が占有する空間を低減させ、製造工程の収率を向上させることができる。
【００３１】
上述したことから分かるように、本発明のスタック型チップパッケージ構造は、単一の基板に多数のワイヤをボンディングする必要がないため、スタック型チップパッケージ構造が占有する空間を低減させ、製造工程の収率を向上させることができる。
【００３２】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。本発明の主旨と領域を脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の特許請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１Ａ】本発明の第１実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す断面図である。
【図１Ｂ】本発明の第１実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す平面図である。
【図２Ａ】本発明の第２実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す断面図である。
【図２Ｂ】本発明の第２実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す平面図である。
【図３Ａ】本発明の第３実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す断面図である。
【図３Ｂ】本発明の第３実施形態によるスタック型チップパッケージ構造を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１００  スタック型チップパッケージ構造
１００ｂ  スタック型チップパッケージ構造
１００ｃ  スタック型チップパッケージ構造
１１０  第１の基板
１１１  ボンディングパッド
１２０  第２の基板
１２０ｂ  第２の基板
１２０ｃ  第２の基板
１２１  ボンディングパッド
１２２  開口
１３０  第１のチップ
１３１  金属バンプ
１４０  第２のチップ
１５０  第１の接続線
１６０  第２の接続線
１７０  パッケージ本体
【図１Ａ】
2009177123.tif 000003
【図１Ｂ】
2009177123.tif 000004
【図２Ａ】
2009177123.tif 000005
【図２Ｂ】
2009177123.tif 000006
【図３Ａ】
2009177123.tif 000007
【図３Ｂ】
2009177123.tif 000008