(57)【要約】【課題】各電動モータの起動摩擦トルクを合わせること。【解決手段】モータロータ１８と、モータステータ２０と、ハウジングインナ２６に固定されてモータロータ１８を回転自在に支持する軸受２２とを備えた電動モータ１４を２台用いて真空搬送フロッグレッグアームを駆動するに際して、各電動モータ１４として、各電動モータ１４における分割輪３２ａ、３２ｂ間のアキシアル隙間の大きさを互いに合わせたものを用いることで、各電動モータ１４の起動摩擦トルクを合わせることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に固定されたロータと、前記ロータと間隙を保って配置されてハウジングに固定されたステータと、前記ハウジングに固定されて前記ロータを回転自在に支持する軸受とを備え、前記軸受は、外周面に内輪軌道を有する内輪と、内周面に外輪軌道を有する外輪と、前記内輪軌道と前記外輪軌道との間に転動自在に配設された転動体とから構成され、前記外輪は、複数の分割輪を有する、転がり軸受で構成された電動モータを複数台備えてなるモータ装置において、
前記各電動モータは、フロッグレッグアームを駆動対象として、前記各電動モータにおける前記分割輪間のアキシアル隙間の大きさを互いに合わせてなる、モータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空搬送フロッグレッグアームを回転駆動するのに用いられるモータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
モータ装置に用いられる電動モータとしては、回転軸に固定されたロータと、ロータと間隙を保って配置されてハウジングに固定されたステータと、ハウジングに固定されてロータを回転自在に支持する軸受とを備えたものが知られている。この種の電動モータにおいては、軸受として、クロスローラ軸受などの転がり軸受が多く採用されている。クロスローラ軸受は、軌道輪としての内輪および外輪を備え、内輪と外輪との間に複数の転動体としての円筒コロが介装されている。外輪は軸方向に分割された一対の分割輪で構成されている。
【０００３】
そして、外輪をロータに連結するに際しては、ロータフランジあるいはロータ用ハウジングに予圧付与機構としての軸受押さえを連結し、この軸受押さえで外輪を軸方向に押圧し、外輪に対して予圧を付与することが行われている。しかし、外輪に付与される予圧が変動すると、クロスローラ軸受の起動摩擦トルクが変動し、電動モータが円滑に回転できなくなる。
【０００４】
このため、電動モータにクロスローラ軸受などの転がり軸受を用いる場合、軸受への軸力をコントロールする予圧調整機構として、外輪押さえ具を備えるとともに、ハウジングに固定ボルトを介して外輪押さえ具を締め付け固定するときに、外輪押さえ具に軸方向に進退可能で且つ外輪押さえとハウジングとの間に突出可能にねじ込まれ、締め付け時に突出端がハウジングに当接するねじ部材を備え、軸受に一定以上の予圧をかけないようにしたものが提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
また、外輪に予圧を付与する軸受押さえをハウジングに固定ボルトを介して締結するとともに、ハウジングに固定ボルトの挿入部分に所定の深さの座ぐりを形成し、ハウジングに、固定ボルトの座ぐりの部分と螺合しない非接触領域を形成し、軸受押さえおよび固定ボルトを軸受の材料と同じ材料で構成し、軸受回りに熱膨張を考慮した逃げを設けたものが提案されている（特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−３０３３８５号公報
【特許文献２】特開２００３−８３３２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、電動モータで負荷、例えば、フロッグレッグ式の真空搬送アームを駆動する場合、２台の電動モータが用いられるが、各電動モータの起動摩擦トルクが異なると、各電動モータの回転開始動作に差が生じ、アームが真っ直ぐに動かなかったり、あるいは停止時にアームに振動を生じさせたりすることがある。
【０００８】
すなわち、軸受に対する予圧量を示すアキシアル隙間にばらつきが生じると、起動摩擦トルクが安定しなくなる。一般に、軸受にかかる荷重（予圧を含む）によって起動摩擦トルクが決定されるので、外輪の反りの影響などによってアキシアル隙間にばらつきが生じると、各電動モータにおける起動摩擦トルクに差が生じることがある。
【０００９】
本発明の目的は、各電動モータの起動摩擦トルクを合わせることができるモータ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明は、回転軸に固定されたロータと、前記ロータと間隙を保って配置されてハウジングに固定されたステータと、前記ハウジングに固定されて前記ロータを回転自在に支持する軸受とを備え、前記軸受は、外周面に内輪軌道を有する内輪と、内周面に外輪軌道を有する外輪と、前記内輪軌道と前記外輪軌道との間に転動自在に配設された転動体とから構成され、前記外輪は、複数の分割輪を有する、転がり軸受で構成された電動モータを複数台備えてなるモータ装置において、前記各電動モータは、フロッグレッグアームを駆動対象として、前記各電動モータにおける前記分割輪間のアキシアル隙間の大きさを互いに合わせてなることを特徴とするものである。
【００１１】
係る構成によれば、各電動モータにおける分割輪間のアキシアル隙間の大きさを互いに合わせてあるため、各電動モータの起動摩擦トルクを合わせることができ、フロッグレッグアームを円滑に駆動できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、各電動モータの起動摩擦トルクを合わせることができ、フロッグレッグアームを円滑に駆動できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、モータ装置の要部断面を示す構成図である。図１において、モータ装置１０は、ハウジング１２と、ハウジング１２に固定された電動モータ１４と、電動モータ１４の回転速度（回転位置）を検出する回転検出器１６を備えて構成されている。
【００１４】
電動モータ１４は、モータロータ１８と、モータステータ２０と、軸受２２を備えて構成されている。モータロータ１８は、円環状に形成されて、モータステータ２０と間隙保って回転自在に配置されている。モータステータ２０は、永久磁石やコイルを備え、電力の供給を受けてモータロータ１８に対する回転磁界を形成するようになっており、六角穴付ボルト２４により、円環状のハウジングインナ２６に固定されている。モータロータ１８に隣接して、円環状のロータフランジ２８が配置されており、ロータフランジ２８は、六角穴付ボルト２９により、モータロータ１８の端部に連結されている。ロータフランジ２８の内周側には溝２８ａが形成され、この溝２８ａに相対向して、ハウジングインナ２６外周側には溝２６ａが形成されており、各溝２６ａ、２８ａ内には軸受２２が装着されている。
【００１５】
軸受２２は、例えば、クロスローラ軸受などの転がり軸受として、外周面に内輪軌道を有する内輪３０と、外周面に外輪軌道を有する外輪３２と、内輪軌道と外輪軌道との間に転動自在に配置された転動体としての円筒コロ３４を備えて構成されており、外輪３２は、軸方向に分割された一対の分割輪３２ａ、３２ｂで構成されている。内輪３０は、ハウジングインナ２６の溝２６ａに装着されているとともに、内輪押さえ３６に支持された状態でハウジングインナ２６に固定されている。内輪押さえ３６は、六角穴付ボルト３８でハウジングインナ２６に固定されている。一方、外輪３２は、ロータフランジ２８の溝２８ａに装着されているとともに、外輪押さえ４０により、軸方向に押圧されて予圧が付与されている。
【００１６】
外輪押さえ４０は、ほぼ円環状に形成され、ロータフランジ２８に隣接して配置されている。この外輪押さえ４０は、外輪押さえ４０の穴４０ａ内に挿入されたボルト４２により、ロータフランジ２８に締結固定されている。すなわち、ボルト４２をロータフランジ２８に締結固定することにより、外輪３２に対して軸方向の予圧が付与されるようになっている。この場合、外輪押さえ４０は、ロータフランジ２８及びモータロータ１８とともに、モータ出力軸となる回転軸を構成するようになっている。
【００１７】
一方、回転検出器１６は、例えば、レゾルバとして、インクリメンタル側のレゾルバステータ４４、インクリメンタル側のレゾルバロータ４６、アブソリュート側のレゾルバステータ４８、アブソリュート側のレゾルバロータ５０を備えて構成されている。レゾルバステータ４４、４８はそれぞれボルト５２、５４により、ハウジングインナ２６に固定されており、レゾルバステータ４４とレゾルバステータ４８との間には、両者の磁気的干渉を抑制するための遮蔽円板５６が配置されている。
【００１８】
レゾルバロータ４６、５０は、間座となる、外輪押さえ４０の凸部５８に、ボルト６０で固定されている。この回転検出器１６は、例えば、レゾルバステータ４４、４８がＵ、Ｖ、Ｗ相に対応して設けられており、レゾルバロータ４６、５０がモータロータ１８とともに回転したときに、レゾルバロータ４６、５０の磁極変化に応答して、レゾルバロータ４６、５０の回転位置を検出するようになっている。
【００１９】
電動モータ１４を用いてフロッグレッグ式の真空搬送アームなどの負荷を回転駆動するに際しては、軸受２２のアキシアル隙間、すなわち分割輪３２ａ、３２ｂ間の隙間にばらつきがあると、電動モータ１４の起動摩擦トルクが安定せず、負荷を円滑に回転できなくなる。
【００２０】
そこで、電動モータ１４に軸受２２を組み付けるに際しては、軸受測定装置を用いて軸受２２のアキシアル隙間を測定し、測定結果から良品となったもののみを電動モータ１４に組み付けることとしている。
【００２１】
次に、軸受測定装置の具体的構成を図２および図３に基づいて説明する。軸受測定装置１００は、ほぼ長方形形状に形成された鉄製ベースプレート（石定盤）１０２を備えており、ベースプレート１０２上には一対の支柱１０４、１０６が一体となって固定されている。支柱１０４、１０６は、ベーブプレート１０２の長手方向両端部に分かれて配置されており、支柱１０４と支柱１０６との間にはほぼ円筒状に形成された外輪受１０８が配置されている。外輪受１０８は、ボルト１１０によりベースプレート１０２に固定されている。外輪受１０８上部内周側には、円環状の段部１０８ａが形成されており、段部１０８ａ上には、軸受２２の外輪３２が載置されている。
【００２２】
一方、支柱１０４、１０６の頂部にはプレッシャプレート１１２がボルト１１４によって固定されている。プレッシャプレート１１２は、ほぼ菱形形状に形成されて、その中央部に円孔１１６が形成されている。プレッシャプレート１１２の底面側には、円孔１１６に沿ってプレッシャリング１１８が配置されており、プレッシャリング１１８は、ボルト１２０によってプレッシャプレート１１２に固定されている。プレッシャプレート１１２の底部側の一部には穴１１２ａが形成されており、この穴１１２ａに相対向して、プレッシャリング１１８の内周側には段部１１８ａが形成されている。穴１１２ａと段部１１８ａとの間にはばね（コイルスプリング）１２２が装着されている。
【００２３】
プレッシャプレート１１２に固定されたプレッシャリング１１８は、その底面が外輪３２の頂面に当接されており、外輪受１０８の段部１０８ａに装着された外輪３２に対して、プレッシャプリング１１８が下方に押圧するようになっている。この際、ばね１２２の弾性力が外輪３２の反りを矯正する荷重として外輪３２に印加されるようになっている。この場合、外輪受１０８は、外輪３２を支持する外輪支持機構として機能し、プレッシャプレート１１２、プレッシャリング１１８、ばね１２２は、外輪受１０８に支持された外輪３２に対して、外輪３２の反りを矯正する一定力を荷重として印加する荷重印加機構として機能するようになっている。
【００２４】
また、ベースプレート１０２のほぼ中央部には支持台１２４、エアシリンダ１２６が配置されている。支持台１２４は、ベースプレート１０２の底部側にボルト１２８で固定されており、支持台１２４上にはエアシリンダ１２６が配置されている。エアシリンダ１２６は、ボルト１３０で支持台１２４に固定されている。このエアシリンダ１２６には、エア配管（図示せず）を介してエア源が接続されている。
【００２５】
エアシリンダ１２６上部に配置されたロッド１３２の外周には、筒状のボビン１３４が固定されている。ボビン１３４の外周側にはばね（コイルスプリング）１３６が装着され、ボビン１３４の上端部には、ほぼ円盤状に形成された内輪押し板１３８が固定されている。内輪押し板１３８の中央部底部側には、円形の穴１３８ａが形成されており、穴１３８ａとボビン１３４のフランジ１４０との間に、ばね１３６が装着されている。内輪押し板１３８は、その上面外周側が軸受２２の内輪３０に当接するように配置されている。エアシリンダ１２６は、ロッド１３２を介して内輪押し板１３８に連結されており、エアの圧力に応じて内輪押し板１３８を上下方向（鉛直方向）に沿って昇降駆動するようになっている。
【００２６】
そして、エアシリンダ１２６の上昇駆動により、内輪押し板１３８が内輪３０底部側に当接したときには、ばね１３６の弾性力により、内輪３０に対して一定の力、すなわち、プレッシャリング１１８から外輪３２に作用する荷重とは逆方向の力（鉛直上方への力）が印加されるようになっている。この場合、エアシリンダ１２６、ロッド１３２、ボビン１３４、ばね１３６、内輪押し板１３８は内輪駆動機構として機能することになる。
【００２７】
また、内輪３０上には検出軸１４２が載置されており、検出軸１４２の中心部には針１４４を介して検出器１４６に接続されている。検出器１４６は、検出軸１４２の移動量（鉛直方向の移動量）を針１４４を介して取り込み、内輪３０の浮き上がり量をアキシアル隙間（分割輪３２ａ、３２ｂ間の隙間）として検出し、検出結果を測定器１４８に出力する移動量検出器として構成されている。
【００２８】
例えば、軸受２２の外輪３２がばね１２２の弾性力を受けて下方に押圧されているときに、ばね１３６の弾性力が内輪押し板１３８を介して内輪３０に付与され、内輪３０が基準位置よりも上方に浮き上がったときには、その浮き上がり量がアキシアル隙間として検出器１４６によって検出されるようになっている。検出器１４６の検出結果が測定器１４８に転送されると、測定器１４８は、判定器として、軸受２２に関する起動摩擦トルクの良否を判定し、判定結果を表示器（図示せず）に表示するようになっている。
【００２９】
測定器１４８の測定結果から良品と判定された軸受２２のみを電動モータ１４に組み付けることで、電動モータ１４におけるアキシアル隙間のばらつきを無くすことができ、電動モータ１４の起動摩擦トルクを安定化することができる。
【００３０】
次に、２台または４台、６台、・・・のモータ装置１０を用いて真空搬送フロッグレッグアームを駆動するに際しては、例えば、図４に示すように、フロッグレッグ式真空搬送アーム２００の駆動軸２０２、２０４に、２台の各モータ装置１０の電動モータ１４をそれぞれ連結する。フロッグレッグ式真空搬送アーム２００は、各駆動軸２０２、２０４にそれぞれ上腕２０６、２０８が連結されており、上腕２０６、２０８の端部には前腕２１０、２１２が連結されている。各前腕２１０、２１２の長手方向端部はそれぞれ前腕連結部２１４に連結されており、前腕連結部２１４には一対の搬送把持部２１６、２１８が連結されている。
【００３１】
２台のモータ装置１０を用いて真空搬送フロッグレッグアーム２００を駆動するに際して、電動モータ１４の軸受２２として、測定器１４８によって良品と判定されたものを用いることで、各電動モータ１４における分割輪３２ａ、３２ｂ間のアキシアル隙間の大きさを互いに合わせることができるので、真空搬送フロッグレッグアーム２００を円滑に起動することができるとともに、停止時に振動が生じるのを防止することができる。
【００３２】
本実施例によれば、各モータ装置１０に搭載された軸受２２における分割輪３２ａ、３２ｂ間のアキシアル隙間の大きさを互いに合わせてあるため、各モータ装置１０の起動摩擦トルクを合わせることができ、フロッグレッグアーム２００を円滑に駆動できる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施例を示すモータ装置の要部断面を含む構成図である。
【図２】軸受測定装置の平面図である。
【図３】軸受測定装置の断面図である。
【図４】真空搬送フロッグレッグアームの構成図である。
【符号の説明】
【００３４】
１０  モータ装置、１２  ハウジング、１４  電動モータ、１６  回転検出器、１８  ロータ、２０  ステータ、２２  軸受、２６  ハウジングインナ、２８  ロータフランジ、３０  内輪、３２  外輪、３２ａ，３２ｂ  分割輪、３８  内輪押さえ、４０  外輪押さえ、４４  レゾルバステータ、４６  レゾルバロータ、４８  レゾルバステータ、５０  レゾルバロータ、１００ 軸受測定装置、１０２  ベースプレート、１０８  外輪受、１１２  プレッシャプレート、１１８  プレッシャリング、１２２  ばね、１２６  エアシリンダ、１３６  ばね、１３８  内輪押し板、１４２  検出軸、１４６  検出器、１４８  測定器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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