(57)【要約】【課題】配線板が薄く、配線板内に切り抜き部分が多数あった場合でも、反りや変形等の平面ゆがみを矯正できるようにした配線板検査装置及び方法を提供する。【解決手段】配線板３の検査時には配線板３を上側すなわち部品面用マスク１ａと下側すなわち半田面用マスク１ｂで挟持した状態で行うため、上側マスク1aには配線板３の部品面の検査すべき端子（検査点）１２ａより大きめの開口部（切り抜き）２ａ〜２ｃが設けられている。上側及び下側プレートは検査を行うプリント配線板３を挟持する。測定部はプローブに接続されており、プローブ間に電流を流したり、電圧を印加したりすることにより、プリント配線板内の回路の抵抗を測定する。記憶部は測定した値の演算結果などを一時的に記憶する。制御部は移動機構の駆動制御や、測定部によって測定された抵抗値などを不良であるかどうかを判定する処理などを行う。【選択図】図１１
2009063342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査を行うための配線板を載置する下側マスクと、
下側マスクと重なる位置と、上記下側マスク上の配線板が取り出し可能な位置まで退避可能な上側マスクであって、前記下側マスク上に載置された前記配線板を覆い、かつ前記下側マスクと協働して、前記配線板を挟持する上側マスクと、
前記配線板が下側マスクと上側マスクとの間に挟持されて固定されている状態で検査プローブを適用して配線板の検査を行う検査プローブとを備えたことを特徴とする配線板検査装置。
【請求項２】
検査終了後下側マスク上の配線板を搬出する搬出機構とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の配線板検査装置。
【請求項３】
前記下側マスク及び上側マスクの少なくとも前記配線板に接する部分が絶縁体で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の配線板検査装置。
【請求項４】
前記配線板を挟持する下側マスク及び上側マスクが、フェノール樹脂加工紙シートもしくはエポキシ樹脂加工紙シートもしくはエポキシ樹脂加工ガラスシートからなり、厚みが１．０ｍｍ〜２．５ｍｍであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの請求項に記載の配線板検査装置。
【請求項５】
配線板を挟持する下側マスクまたは上側マスクには配線板の位置決めするための複数の位置決めピンが設けられており、配線板に設けられた貫通穴に係合して配線板と前記下側マスク及び上側マスクとの間の位置決めを行うようになっていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかの請求項に記載の配線板検査装置。
【請求項６】
前記下側マスク及び上側マスクの少なくとも一方が互いに重なり合う位置と、全く重ならない位置との間で移動可能になっていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかの請求項に記載の配線板検査装置。
【請求項７】
前記下側マスクと上側マスクの少なくとも一方とが水平方向に移動可能になっていることを特徴とする請求項５に記載の配線板検査装置。
【請求項８】
検査を行うための配線板を吸着し、位置決めして支持する吸着マスクと、
前記吸着マスクの表面上の配線板の支持領域全般に亙って負圧を導入する負圧導入手段と、
前記配線板が吸着マスク上に保持されて固定されている状態で検査プローブを適用して配線板の検査を行う検査プローブとを備えていることを特徴とする配線板検査装置。
【請求項９】
検査を行うための配線板を下側マスクに位置決めして載置し、
載置された前記配線板を上側マスクで覆い、
前記配線板を下側マスクと上側マスクとで挟持し、
検査プローブで前記配線板を検査し、
前記下側マスクと上側マスクによる配線板の挟持状態を解除し、
前記下側マスクと上側マスクのいずれか一方を移動させて下側マスク上の配線板を露出させ、
下側マスク上の配線板を搬出機構により搬出する段階を有する段階を有することを特徴とする配線板の検査方法。
【請求項１０】
前記配線板を下側マスクと上側マスクとで挟持したのちさらに、下側マスクまたは上側マスクに設けられた位置決めピンを配線板に設けられた貫通穴に係合させて配線板の位置決めを行う段階を備えていることを特徴とする請求項８に記載の配線板の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線板検査技術に関し、特に検査対象となる配線板を固定的に保持することにより反りや変形を矯正する機構を備えた配線板検査技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、配線板、特にプリント配線板は、スルーホール等を用いて電気的に接続された回路を複数有しており、製造されたプリント配線板の回路が設計通り正しく形成されているかどうか、すなわち、配線板中の回路が断線していて導通不良を生じたり、他の回路と短絡していて絶縁不良を生じたりせずに設計通りに形成されているかを電気的に検査する必要がある。
【０００３】
しかし、配線板に平面上の反り、ゆがみ等があった場合、正確に配線板上の端子に検査プローブを接触させることができないため、配線板の反り等の平面ゆがみを矯正する必要がある。従来、プリント配線板等の配線板の反り等の平面ゆがみを矯正する方法として配線板を把持機構にて把持し、当該機構でプリント配線板に引張応力を加えてプリント配線板の反りや変形を矯正する方法が知られている。
【０００４】
また、把持機構を使用せず、バキュームプレート等にプリント配線板を搭載し、吸引式により、プリント配線板を固定し、反りや変形を矯正する方法が知られている。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−１８６２７１号
【特許文献２】特開平９−８９９９７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載されている方法では、フレキシブル基板のような薄いプリント配線板の場合、特にプリント配線板内に切り抜き部分が多数あるような場合にはプリント配線板に、十分に引張応力を加えることができなかったり、引張応力を加えるとプリント配線板が歪むなどするため、反りや変形等の平面ゆがみを十分に矯正できないという問題がある。
【０００７】
また、特許文献２に記載されている方法においては、配線板内に切り抜き部分が多数あるような場合には十分に吸着できない場合がある。また、配線板の表面と裏面に検査点が存在する場合には、表面を検査した後、配線板を裏返して裏面側の検査を行う必要があり検査作業上、非効率が生じる。また、抵抗値で測定を行う場合には表面と裏面を同時に検査する必要があるが、このような場合には検査自体を実行することができない。これに対して、静電容量を測定する場合には前記のような問題はないが、静電容量の良品値をあらかじめ取得しておく必要があるため、良品値を取得するために時間がかかるという別の問題が生じる。
【０００８】
本発明は上記欠点を解決し、配線板が薄く、配線板内に切り抜き部分が多数あった場合でも、反りや変形等の平面ゆがみを矯正できるようにした配線板検査装置及び方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記本件発明の目的は以下の本件発明によって達成することができる。本件発明の１つの特徴によればプリント配線板等の配線板の検査装置が提供される。本発明の検査装置は  検査を行うための配線板を載置する下側マスクと、
下側マスクと重なる位置と、上記下側マスク上の配線板が取り出し可能な位置まで退避可能な上側マスクであって、前記下側マスク上に載置された前記配線板を覆い、かつ前記下側マスクと協働して、前記配線板を挟持する上側マスクと、
前記配線板が下側マスクと上側マスクとの間に挟持されて固定されている状態で検査プローブを適用して配線板の検査を行う検査プローブとを備えている。
【００１０】
好ましくは、配線板検査装置は、検査終了後下側マスク上の配線板を搬出する搬出機構とを備えている。
【００１１】
搬出機構は、たとえば検査終了後は配線板の上面にバキュームを適用して吸着担持し、その後の水平面内で移動して、検査装置の検査領域を含む所定の領域外に搬出し、その後の処理に備えて待機させられるようになっている。
【００１２】
前記下側マスク及び上側マスクは全体を絶縁材料で構成することもできるが、本発明においては、少なくとも前記配線板に接する部分が絶縁体で構成されていれば良い。
【００１３】
前記配線板を挟持する下側マスク及び上側マスクが、フェノール樹脂加工紙シートもしくはエポキシ樹脂加工紙シートもしくはエポキシ樹脂加工ガラスシート等の薄板形状の絶縁材料からなり、好ましくは約１．０ｍｍ〜２．５ｍｍの厚みを有する。
【００１４】
検査に際して、検査精度を高めるためには、下側マスク及び上側マスクに対して配線板が正確に位置決めされていることが望ましい。この目的のために本発明では配線板を挟持する下側マスクまたは上側マスクには配線板の位置決めするための複数の位置決めピンが設けられており、配線板に設けられた貫通穴に係合して配線板と前記下側マスク及び上側マスクとの間の位置決めを行うようになっている。
【００１５】
好ましくは、前記下側マスク及び上側マスクの少なくとも一方が互いにぴったり重なり合う位置と、両者が全く重ならず、これによって下側マスクの配線板担持領域が完全に露出する位置との間で移動可能になっている。
【００１６】
この場合、前記下側マスクと上側マスクの少なくとも一方とが水平方向に移動可能になっている。すなわち、検査に際して配線板を載置するために下側マスクが移動して配線板を受け取り、下側マスクが上側マスクの位置に移動して配線板を位置決めして両者接近して配線板を挟持し、検査を行い、その後両者離間して再び下側マスクが所定位置に移動して、配線板を解放するようにしてもよいし、上側マスクのみが移動可能にして同様の処理を可能にするように構成することもできる。また、双方を移動可能に構成することもできる。
【００１７】
本発明の別の特徴によれば、
検査を行うための配線板を吸着し、位置決めして支持する吸着マスクと、
前記吸着マスクの表面上の配線板の支持領域全般に亙って負圧を導入する負圧導入手段と、
前記配線板が吸着マスク上に保持されて固定されている状態で検査プローブを適用して配線板の検査を行う検査プローブとを備えていることを特徴とする配線板検査装置が提供される。この場合、検査を行うための配線板は吸着マスク上に吸着し、位置決めして配置され、その後の真空ポンプ等の負圧源からに負圧が吸着マスクの配線板支持表面に均等に導入されて、配線板は等圧的に吸着マスク表面に吸着されるようになっている。これによって、配線板は吸着マスク表面に固定支持される。そして、検査プローブにより、前記配線板が吸着マスク上に保持されて固定されている状態で配線板の検査を行うようになっている。
【００１８】
さらに本発明の別の特徴によれば、
検査を行うための配線板を下側マスクに位置決めして載置し、
載置された前記配線板を上側マスクで覆い、
前記配線板を下側マスクと上側マスクとで挟持し、
検査プローブで前記配線板を検査し、
前記下側マスクと上側マスクによる配線板の挟持状態を解除し、
前記下側マスクと上側マスクのいずれか一方を移動させて下側マスク上の配線板を露出させ、
下側マスク上の配線板を搬出機構により搬出する段階を有する段階を有することを特徴とする配線板の検査方法が提供される。
【００１９】
この場合、好ましくは前記配線板を下側マスクと上側マスクとで挟持したのちさらに、下側マスクまたは上側マスクに設けられた位置決めピンを配線板に設けられた貫通穴に係合させて配線板の位置決めを行う段階を備える。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のプリント配線板等の配線板検査装置によれば、配線板の部品面（表面ないし上面）と半田面（裏面ないし下面）を絶縁体部分を含む下側マスク及び上側マスク含むで挟持することにより、配線板の反りや変形を矯正しつつ回路の品質検査をすることができる。
【００２１】
また、前記配線板の部品面と半田面を挟む下側マスク及び上側マスクを、厚みが１．０ｍｍ〜２．５ｍｍの紙フェノール樹脂や紙エポキシ樹脂、ガラスエポキシ樹脂等の薄板から作成することにより、比較的安価で入手しやすく、加工も容易にすることができる。また、検査するプリント配線板が比較的小さい場合には薄めの絶縁体を使用し、検査する配線板が比較的大きい場合には厚めのマスクを使用することで、配線板の反りや変形を矯正することができる。
【００２２】
なお、紙フェノール樹脂や紙エポキシ樹脂、ガラスエポキシ樹脂はプリント配線板の絶縁材料に使用される材質であり、１．０ｍｍ〜２．５ｍｍの厚みの樹脂は標準的であり、入手性が良く、コスト的に有利である。また、薄い配線板がサイズが大きくなると反り等の平面ゆがみ量が大きくなるため、本発明は比較的小さなサイズの配線板に好適である。また、厚いものはプリント配線板が小さいものでも反りの影響はあまりないが、検査点間をプローブが移動する場合にプローブの上昇幅を大きくする必要があるため、検査時間が遅くなるといった不利があるため、配線板の大きさに応じてマスクの厚みを替えるのが望ましい。配線板は通常ワークの状態で検査するので、したがって検査すべき配線板のサイズは数種類となる。配線板は１２２０×１０２０ｍｍと１０２０×１０２０ｍｍの２種類の定尺があり、前記定尺を分割したもの、すなわちワークサイズが検査すべき配線板のサイズとなる。例えば、１２２０×１０２０ｍｍのものを４×３個に分割すると、検査すべき配線板のサイズは３０５×３４０ｍｍとなる。一般的には６１０×５１０ｍｍ程度までのサイズを使用する。
【００２３】
また、複数の位置決め用のピンを備えることにより、検査すべき配線板を正確に且つ迅速に位置決めしてマスクに検査の度ごとに取り付けることができるので作業効率を高めることができるとともに検査精度を向上させることができる。
【００２４】
また、配線板を挟持するマスクを所定位置間で往復動させるシャトル方式で移動させるように構成すれば、配線板のマスクへの着脱作業が簡単となり、効率的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。
本発明は配線板が設計どおりの所望の回路性能を有するかどうかを検査する配線板検査装置３０にかかるものであって検査の対象となる配線板３の所定の検査点間に通電してその出力を測定することにより、所望の特性を有するかどうか検査するようになっている。
【００２６】
図１には、本件発明の１つの実施例に従う配線板検査装置３０の外観図が示されている。
本例の配線板検査装置３０は検査機構３２を収容するハウジング３１と該ハウジング３１の上部において正面側から裏面側に向かって高くなるに平面に沿って延びるように検査機構３２が配置される。この検査機構３２は上部と下部に左右方向（Ｘ方向）に延びる一対の横方向リニアガイド３３、３４が配置されている。さらにこのリニアガイドを結んで直交する方向（Ｙ方向）に延びる一対の縦方向リニアガイド３５、３６が設けられている。縦方向リニアガイド３５、３６は両端が横方向リニアガイド３３、３４にこのリニアガイド上を移動可能に取り付けられている。すなわち、縦方向リニアガイド３５、３６は、左右方向に自在に移動可能になっている。
【００２７】
ハウジング３１の上面は検査機構３２が配置される平面と平行に延びており、かつ、この検査機構を望むように矩形の開口部３７が設けられている。結合して移動可能な横方向リニアガイド３３、３４は検査を行う配線板３を支持するためのマスク１及びこれを支持するフレーム７、８が取り付けられている。また縦方向リニアガイド３５、３６には、検査用のプローブ２０を支持する支持体３８がリニアガイド３５、３６に沿って移動可能に取り付けられている。
【００２８】
また、検査装置３０に上面の図において左上角部の上方には第１のモニター画面３９がまた右下角部の上方には第２のモニター画面４０が設置されている。
【００２９】
さらに検査装置３０の開口部３７の上方には、配線板３を検査装置３０の領域から外部に搬出するための搬出機構４１が設けられている。
【００３０】
図２は検査機構３２を表面側から見た図である。図示されるように検査機構３２は表面側（上側）マスク１ａを取り囲むように図において左右方向に延びる一対のＸ軸（Ａ）４２及び（Ｂ）４３及び上下方向に延びる一対のＹ軸（Ａ）４４及び（Ｂ）４５が設けられており、これによってプローブ（Ａ）２０−１及び（Ｂ）２０−２は左右方向及び上下方向に自在に移動し停止することができ、またＺ軸方向（マスク面に対し接近しまたは離間する方向）に移動制御可能になっており、これによって検査位置に位置決めされ、所定の検査を実行することができるようになっている。
【００３１】
同様に、図３は、検査機構３２を裏面側から見た図である。図示されるように検査機構３２は裏面側（下側）マスク１ｂを取り囲むように図において左右方向に延びる一対のＸ軸（Ｃ）４６及び（Ｄ）４７及び上下方向に延びる一対のＹ軸（Ｃ）４８及び（Ｄ）４９が設けられており、これによって裏面側（下側）プローブ（Ｃ）２０−３及び（Ｄ）２０−４は左右方向及び上下方向に自在に移動し停止することができ、また、表面側と同様プローブ（Ｃ）２０−３及び（Ｄ）２０−４は、Ｚ軸方向にも移動制御可能になっており、これによって検査位置に位置決めされ、所定の検査を実行することができるようになっている。
【００３２】
図４にはこのような配線板検査装置３０の一部を構成する絶縁材料からなり、配線板の検査に際して配線板３を挟持する一対の絶縁性の板部材である、マスク１ａ及び１ｂが示されている。
【００３３】
マスク１ａ及び１ｂは検査対象である配線板、本例ではプリント配線板３を検査に際して、配線板３の両面から、それぞれの表面を覆うように、すなわち配線板３をマスクするように挟持する。
【００３４】
図５に示すようにプリント配線板３のマスク１は、検査装置において配線板３の上側に配置される上側マスクすなわち部品面用マスク１ａ及び配線板３の下側に配置される下側マスクすなわち半田面用マスク１ｂの２つのマスクから構成されている。
【００３５】
図６にはプリント配線板の一例が示されている。図７には下側すなわち半田面用マスクにプリント配線板が結合された状態が示されている。図８には下側すなわち半田面用マスクにプリント配線板を結合し、さらに上側すなわち部品面用マスクを取り付けてプリント配線板を両者で挟持した状態が示されている。
【００３６】
本例では、配線板３の検査時には配線板３を上側すなわち部品面用マスク１ａと下側すなわち半田面用マスク１ｂで挟持した状態で行うため、上側マスク１ａには配線板３の部品面の検査すべき端子（検査点）１２ａより大きめの開口部（切り抜き）２ａ〜２ｃが設けられている。また、半田面用マスク１ｂには配線板３の半田面の検査すべき端子（検査点）１２ｂより大きめの開口部（切り抜き）２ｄ〜２ｅが設けられている。開口部は通常、基板毎に異なり、また、部品面側と半田面側とでも異なるため、通常、１品種のプリント配線板に対して２種類のマスクが必要となる。なお、片面プリント配線板等のように検査点が片方の面しかない場合には、一方のマスクは検査用の開口部を設ける必要はない。
【００３７】
また、下側マスク１ｂには配線板３の取り付け孔１３の位置に重なるように複数の位置決めピン４ａ及び４ｂが設けられている。位置決めピンが１本の場合、位置決めピンを中心に、マスクと配線板の回転がずれる可能性があるため、慎重に配線板をマスクに取り付ける必要があるため、作業効率が悪くなる。したがって、複数の位置決めピンを設ける必要があるが、２本設けた場合と３本以上設けた場合では、位置決めの効果は殆ど変わらないため２本とすることが望ましい。位置決めピンの形態に限定はないが、固定式のピンの場合には、位置決めピンと重なる位置の部品面用マスクにピンよりやや大きめの開口部５a及５ｂを設けておく必要がある。
【００３８】
マスク１は、所定の剛性を有する限り材質の限定はないが、入手の安定性、加工性、価格を考慮した場合、配線板の基材部（絶縁部）に使用されている紙フェノール樹脂や紙エポキシ樹脂、ガラスエポキシ樹脂等を使用することが望ましい。
【００３９】
マスク１の厚みが薄くなると、プリント配線板の反り等を十分に矯正することができず、マスク１の厚みが厚くなると、検査プローブ２０が検査点をから検査点に移動する際に、配線板３からの上げ幅を大きく設定する必要があるため、検査速度が落ちる。よって、配線板３の大きさに応じて、１．０ｍｍ〜２．５ｍｍの厚みのものを使用することが望ましい。
【００４０】
本配線板検査装置３０は、検査プローブ２０、フレーム７、８、移動機構部３３、３４、３５、３６、４１、測定部、記憶部、制御部により構成されている。移動機構部には、プローブ支持体３８を介して検査プローブ２０が取り付けられており、検査プローブ２０は、プリント配線板と平行方向（ＸＹ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）に移動可能である。プリント配線板保持部は、検査を行うプリント配線板３を保持する。測定部はプローブに接続されており、プローブ間に電流を流したり、電圧を印加したりすることにより、プリント配線板内の回路の抵抗を測定する。記憶部は測定した値の演算結果などを一時的に記憶する。制御部は移動機構の駆動制御や、測定部によって測定された抵抗値などを不良であるかどうかを判定する処理などを行う。
【００４１】
図９及び図１０には配線板検査装置３０において上記マスク１を介して配線板３を移動自在に保持するためのフレームが示されている。
【００４２】
図９及び図１０を参照するとプリント配線板保持機構すなわちフレーム７、８は、上側（部品面用）マスク１ａを固定する上側（部品面用）フレーム７と、下側（半田面用）マスク１ｂを固定する下側（半田面用）フレーム８から構成されている。
【００４３】
（下側）半田面用フレーム８にはプリント配線板３と平行で図面において左右（Ｙ方向）に移動可能な移動機構を備えている。下側（半田面用）リニアガイドに連結されている。エアシリンダを動作させロッドを伸縮させることにより、リニアガイド３３ｂ上を左右に移動することが可能である。同様に上側（部品面用）フレーム７にはプリント配線板３と平行で図面上左右（Ｙ方向）に移動可能な移動機構が内蔵されている。上側（部品面用）フレーム７はリニアガイド３３ａ上に搭載され、エアシリンダ等の動力源に接続されており、これによってリニアガイド３３ａ上を左右に移動し、所定の制御信号に基づいて所定のタイミング及び速度で左右方向に移動しかつ所定のタイミングで所定位置に停止することができるように動作する。本例の装置では上側及び下側フレーム７及び８のそれぞれに移動機構が備わっているが、いずれか一方に具備するようにしてもよい。このように本例において双方にエアシリンダを備えた移動機構を備えている理由は、この移動機構を用いて、検査済みのプリント配線板３をフレーム７、８からアンロードし、検査領域の外部に搬出する作業を効率的に行うことができるようにするためである。
【００４４】
また、（上側）部品面用フレーム７には上側（部品面用）マスク１ａをフレーム７上においてプリント配線板３と垂直方向（Ｚ軸方向）に移動できる機構が設けられている。上側マスク１ａは、たとえば、Ｚ軸方向に延びるフレームあるいはリニアガイド等を備え、かつＺ軸方向に動作するエアシリンダ等の動力手段を備え制御信号によって動作するように構成される。これによって、フレーム７に装着された上側（部品面用）マスク１ａと、下側（半田面用）フレーム８に装着された下側（半田面用）マスク１ｂでプリント配線板３を挟持し、位置決め固定する。
【００４５】
次いで、動作について説明する。
初期状態（原点位置）では、図１０に示すように下側（半田面用）フレーム８は左側に位置し、上側（部品面用）フレーム７は下側（半田面用）フレーム８と重ならないように右側に位置している。この状態で、下側フレーム８に下側（半田面用）マスク１ｂを取り付け、上側フレーム７に上下方向移動可能に搭載された別のフレームに上側（部品面用）マスク１ａを取り付ける。
【００４６】
次に、図１１に示されるように検査を行うプリント配線板３の取り付け孔１３を下側（半田面用）マスク１ｂ上に設けられた位置決めピン４ａ及び４ｂに取り付ける。プリント配線板３の取り付け完了後、上側（部品面用）フレーム７はエアシリンダ等の作動手段により、図において左側に移動し、下側フレーム８に重なる位置で停止する。その状態で、上側フレームは上下方向エアシリンダによりプリント配線板３に向かって移動させられる。これによって、図１２に示すように上側（部品面用）マスク１ａと下側マスク１ｂとで配線板３を挟持し固定する。
【００４７】
プリント配線板３の固定が完了すると検査が開始される。本例の装置では４本のプローブ２０が設けられており、これらのプローブ２０はプローブヘッド２１を介して縦方向（Ｙ方向）に延びるリニアガイド３５、３６は上にＹ方向に移動可能に支持されている。リニアガイド３５、３６、はそれぞれ独立して水平方向（Ｘ方向）に移動可能になっている。この結果、プローブ２０は、ＸＹ平面上において、検査指定された座標（ＸＹ方向）に自在に移動することができる。
【００４８】
プローブはＸＹ平面上において、所定の位置に制御されたのち、プローブの延びる方向すなわちプリント配線板の方向（Ｚ方向）に接近移動した後、プリント配線板上に設けられた端子（検査点）１２ａ及び１２ｂに接触し、測定を行う。１つの回路部分の測定作業が終了したら、プローブ２０はさらに別の端子（検査点）位置に移動し、配線板の他の回路につても測定を行う。同様に、決められた全ての回路において所定の検査端子間について測定を行った後、良品もしくは不良品かを判定し、検査を終了する。検査が終了するとプローブ２０は配線板３を覆うマスク１の領域及びフレーム７及び８の領域から退避させられる。
【００４９】
プリント配線板３の検査が終了すると上側マスク１ａはＺ軸方向移動手段によりプリント配線板３から離れる方向に移動させられ、上側マスク１ａと下側マスク１ｂが離間することよりプリント配線板３の固定及び挟持状態が解除される。
【００５０】
次に、図１４に示されるように下側フレーム７がエアシリンダを用いた移動機構により図において右側に移動させられる。この状態において、搬出機構が動作して検査終了後の配線板３を搬出する。本例の搬出機構は配線板３の領域に対応して均等に配置された複数の吸着端子２２を備え、配線板３と平行な面に沿って延びる吸着ヘッドと２３と、該吸着ヘッド２３及び該吸着ヘッドをＺ軸方向に移動可能に支持する支持体２４と、縦方向（Ｙ方向）に延び、該支持体２４を移動可能に支持するリニアガイド２５とを備えている。この構造において、配線板３の検査が終了すると、吸着ヘッド２２はＺ軸方向に移動して、検査が終了した配線板３に接近し、図１５に示すように吸着ヘッドの複数の吸着端子が下側フレーム８上の配線板３の上面を吸いよせ吸着する。
【００５１】
そして、支持体２４が吸着ヘッドを上昇させて下側フレーム８から離間させて、支持体２４が縦方向に移動して、検査が終了した配線板３を検査装置の検査領域内から搬出して所定の待機位置２６に搬出する（図１６）。
【００５２】
次に本件発明の他の実施例について説明する。
図１７を参照すると本例の検査装置では１つの支持フレーム２８のみが設けられている。フレーム２８に支持された吸着マスク２９は複数の貫通穴がマスクの面内で均等に配置されており該貫通穴を介して図示しない負圧源から負圧が導入されるようになっている。検査に際して配線板３が位置決めピンによって位置決めされて吸着マスク２９上に配置される。（図１８）この手順は前実施例と同様である。
【００５３】
次に、プローブ２０による検査を前例と同様に行う（図１９）。そして検査終了後、吸着マスク２９に対する負圧導入を停止してバキュームを解除し、その後搬出機構を用いて検査が終了した配線板３を装置外の所定位置に搬出する。
以上のように本例では上側マスク１ａ、上側フレームを必要としない利点がある。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、プリント配線板のような薄い配線板であっても、配線板の反り等の平面ゆがみ、歪み等を有効に防止しつつあるいは矯正しつつ適格性検査を行うことができる。したがって、本件発明は特に薄膜状の配線板に好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施例に従う配線板検査装置の全体外観図。
【図２】検査機構を上側から見た図。
【図３】検査機構を下側から見た図。
【図４】本発明の実施の形態にかかるマスクの一例を示す図。
【図５】図２のマスクの分解斜視図。
【図６】配線板の一例を示す図。
【図７】半田面用マスクに配線板を取り付けた状態を示す図。
【図８】半田面用マスクに配線板を取り付け、さらに部品面用マスクを取り付けて配線板を挟み込んだ状態を示す図。
【図９】配線板検査装置のフレームを示す斜視図。
【図１０】配線板検査装置のフレームを示す斜視図。
【図１１】配線板検査装置の動作状態を示す斜視図。
【図１２】配線板検査装置の動作状態を示す斜視図。
【図１３】配線板検査装置の動作状態を示す斜視図。
【図１４】配線板検査装置の動作状態を示す斜視図。
【図１５】配線板検査装置の動作状態を示す斜視図。
【図１６】配線板検査装置の動作状態を示す斜視図。
【図１７】本発明の他の実施例にかかるフレームの斜視図。
【図１８】本発明の他の実施例にかかる配線板検査装置の動作状態を示す斜視図。
【図１９】本発明の他の実施例にかかる配線板検査装置の動作状態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００５６】
１  マスク
１ａ  部品面用マスク
１ｂ  半田面用マスク
２ａ〜２ｅ  検査点用開口部（切り抜き）
３  プリント配線板
４ａ、４ｂ  位置決めピン
５ａ、５ｂ  位置決めピン用開口部（切り抜き）
６ａ〜６ｄ  マスク基板取り付け用孔
７  上側（部品面用）フレーム
８  下側（半田面用）フレーム
３３ａ、３４ａ  リニアガイド（部品面用フレーム用）
１２ａ  部品面の検査すべき端子（検査点）
１２ｂ  半田面の検査すべき端子（検査点）
１３  取り付け孔
２０  プローブ
２０−１  プローブ
２０−２  プローブ
２０−３  プローブ
２０−４  プローブ
２２  吸着端子
２３  吸着ヘッド
２４  支持体
２５  リニアガイド
２６  待機位置
２８  吸着マスク
２９  吸着マスク支持フレーム
３０  配線板検査装置
３１  ハウジング
３２  検査機構
３３、３４  横方向リニアガイド
３５、３６  縦方向リニアガイド
３７  開口部
３８  支持体
３９  第１のモニター画面
４０  第２のモニター画面
４１  搬出機構
４２  Ｘ軸（Ａ）
４３  Ｘ軸（Ｂ）
４４  Ｙ軸（Ａ）
４５  Ｙ軸（Ｂ）
４６  Ｘ軸（Ｃ）
４７  Ｘ軸（Ｄ）
４８  Ｙ軸（Ｃ）
４９  Ｙ軸（Ｄ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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