(57)【要約】【課題】ワーク搬送パレットの送り出し量が多い場合でも、エアシリンダを短くすることができるプッシャーを提供すること。【解決手段】プッシャー１４は、温度槽３の外側に配置されているエアシリンダ３０、エアシリンダ３０から温度槽３内に突入するピストンロッド３１、ピストンロッド３１の先端側に構成された伸縮機構３２および伸縮機構３２に取り付けられた押し出し用ロッド３３を備える。伸縮機構３２は、ピストンロッド３１に回転自在に取りつけられたピニオン３２０と、ピニオン３２０と噛み合うように位置に固定されている固定ラック３２１と、ピストンロッド３１の伸縮方向に移動可能に支持され、ピニオン３２０と噛み合っている移動ラック３２２とを有する。当該構成によれば、移動ラック３２２はピニオン３２０の移動量の２倍移動するので、エアシリンダ３０の寸法が短くてもワーク搬送パレット２を所定の送り出し量だけ押し出す。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の温度状態に調整されている温度槽に搬入されたワーク搬送パレットを、所定距離だけ送り出すためのプッシャーであって、
前記温度槽の外側に配置されているエアシリンダと、
前記エアシリンダから前記温度槽内に延びているピストンロッドと、
前記ピストンロッドに回転自在に取り付けられているピニオンと、
前記ピストンロッドの伸縮方向に沿って固定した位置に配置され、前記ピニオンに噛み合っている固定ラックと、
前記ピストンロッドの伸縮方向に沿って移動可能に支持され、前記固定ラックとは前記ピニオンを挟み反対側に配置され、前記ピニオンに噛み合っている移動ラックとを有していることを特徴とするプッシャー。
【請求項２】
所定の温度状態に調整されている温度槽と、この温度槽を経由するようにワークを載せたワーク搬送パレットを搬送するためのパレット搬送路とを備え、前記温度槽内を搬送する間に前記ワークを所定の温度に到達させ、前記ワークに通電などの環境試験を行う環境試験装置であって、
請求項１に記載のプッシャーによって前記温度槽内にある前記ワーク搬送パレットを前記パレット搬送路に沿って前記所定距離だけ送り出すこと特徴とする環境試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを載せたワーク搬送パレットを温度等が調整されている温度槽を経由する搬送路に沿って搬送し、この温度槽内を搬送する間にワークを所定の温度に到達させ、当該ワークに通電などの環境試験を行う環境試験装置に関する。より詳細には、温度槽内にあるワーク搬送パレットをパレット搬送路に沿って所定距離だけ搬送するプッシャーに関する。
【背景技術】
【０００２】
環境試験装置は、温度や湿度が調整された温度槽を経由するように電子基板などのワークを搬送して、当該ワークを所定の温度に到達させて通電などの環境試験を行うものである。ワークはワーク搬送パレットに載せられた状態で温度槽を経由するパレット搬送路に沿って搬送され、温度槽内を搬送される間に所定の温度に到達させられる。また、パレット搬送路上にある所定の通電試験位置に供給されて、通電試験が行われる。
【０００３】
ワーク搬送パレットを搬送するパレット搬送機構としては、パレット搬送路上にある全てのワーク搬送パレットを間欠的に所定ストロークずつ一括して送り出すものが知られている。このようなパレット搬送機構を備えた環境試験装置は、例えば、特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開平９−１９７０００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のパレット搬送機構では、パレット搬送路上にある全てのワーク搬送パレットが同時に送り出される。このため、所定の位置にある一つのワーク搬送パレットだけを他のワーク搬送パレットと異なるタイミングで送り出す場合には、パレット搬送機構によって所定位置まで搬送されてきたワーク搬送パレットを、プッシャーを用いて押し出すことが行われる。
【０００５】
プッシャーはエアシリンダとピストンロッドとから構成されており、縮んだ状態のピストンロッドの先端部分をワーク搬送パレットに当接させ、しかる後にピストンロッドを伸ばすことによってそのストローク分だけワーク搬送パレットを押し出すようになっている。エアシリンダはパレット搬送方向の上流側における温度槽の外側に配置されており、ピストンロッドはエアシリンダから温度槽内に突入した状態に配置されている。これは、エアシリンダを低温状態に調整された温度槽の中に配置すると冷却によってピストンロッドが動かなくなってしまうことがあり、高温状態に調整された温度槽の中に配置すると破損してしまう危険性があるからである。
【０００６】
ここで、ピストンロッドのストロークはエアシリンダの長さに依存している。従って、プッシャーによるワーク搬送パレットの送り出し量が多い場合には、温度槽の外側に配置されているエアシリンダを長くする必要がある。このため、プッシャーの送り出し量が多い場合には、温度槽の上流側に長いシリンダを配置するためのスペースが必要となり、環境試験装置の小型化に不利である。
【０００７】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、ワーク搬送パレットの送り出し量が多い場合でも、エアシリンダを短くすることができるプッシャー、および当該プッシャーを備えた環境試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明は、所定の温度状態に調整されている温度槽に搬入されたワーク搬送パレットを、所定距離だけ送り出すためのプッシャーであって、
前記温度槽の外側に配置されているエアシリンダと、
前記エアシリンダから前記温度槽内に延びているピストンロッドと、
前記ピストンロッドに回転自在に取り付けられているピニオンと、
前記ピストンロッドの伸縮方向に沿って固定した位置に配置され、前記ピニオンに噛み合っている固定ラックと、
前記ピストンロッドの伸縮方向に沿って移動可能に支持され、前記固定ラックとは前記ピニオンを挟み反対側に配置され、前記ピニオンに噛み合っている移動ラックとを有していることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、ピストンロッドのストロークの２倍のストロークで移動ラックを移動させることができる。この結果、ワーク搬送パレットをピストンロッドのストロークの２倍の距離を送り出すことができるので、従来と比べて小型のエアシリンダを用いることができる。
【００１０】
次に、本発明は、所定の温度状態に調整されている温度槽と、この温度槽を経由するようにワークを載せたワーク搬送パレットを搬送するためのパレット搬送路とを備え、前記温度槽内を搬送する間に前記ワークを所定の温度に到達させ、前記ワークに通電などの環境試験を行う環境試験装置であって、
上記のプッシャーによって前記温度槽内にある前記ワーク搬送パレットを前記パレット搬送路に沿って前記所定距離だけ送り出すこと特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、温度層の外側に配置されているプッシャーのエアシリンダを短くすることができるので、環境試験装置の小型化に有利である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のプッシャーによれば、ピストンロッドのストロークの２倍のストロークで移動ラックを移動させることができる。よって、小型のエアシリンダを用いてワーク搬送パレットを送り出す距離を長くすることができる。従って、温度層の外側に配置されているプッシャーのエアシリンダを短くすることができるので、環境試験装置の小型化に有利である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、図面を参照して本発明を適用した環境試験装置の実施の形態を説明する。
【００１４】
(全体構成)
図１は本実施の形態に係る環境試験装置を模式的に示した概略縦断面図である。環境試験装置１は、電子基板などのワークを載せたワーク搬送パレット２を複数枚積み重ねてパレット積層体２０を形成し、このパレット積層体２０を温度や湿度が調整された温度槽３を経由するように搬送し、温度槽３のパレット分離位置Ａまで搬送される間に各ワーク搬送パレット２に載せられている各ワークを所定の温度に到達させる。しかる後に、パレット積層体２０からワーク搬送パレット２を一枚ずつ分離して、試験槽５内へ送り出し、試験槽５内に配置されている通電試験装置６によって通電試験を行う。
【００１５】
図１に示すように、温度槽３および試験槽５はいずれも断熱パネルで形成された直方体形状をしており、矢印で示されるパレット搬送方向の上流側からこの順番で直列に連結されている。これらの内部は冷却器および加熱器を備えた温度制御機構(不図示)によって所定の温度状態に保持されている。
【００１６】
パレット搬送路４には、パレット分離位置Ａに至るまでパレット積層体２０を搬送するための第１水平案内レール７と、パレット分離位置Ａより下流側においてワーク搬送パレット２を一枚ずつ搬送するための第２水平案内レール８と、パレット分離位置Ａにおいて、第１水平案内レール７上を搬送されてきたパレット積層体２０を受け取り、ワーク搬送パレット２毎に分離して、一枚ずつ逐次に第２水平案内レール８に送り込むパレット分離機構９が配置されている。
【００１７】
第１水平案内レール７は、温度槽３の一方の端板３ａの外側から当該一方の端板３ａに形成されているパレット搬入口３ｂを介して温度槽３内の他方の端板３ｃの側まで平行に延びる一対のレールである。第１水平案内レール７の上流端部分に載せられたパレット積層体２０は、パレット積層体搬送機構(不図示)によって第１水平案内レール７上をスライドさせられながら搬送される。本例では、ワークを載せたワーク搬送パレット２は４段に積み重ねられた状態で搬送される。
【００１８】
第２水平案内レール８は第１水平案内レール７と同じ幅で平行に延びる一対のレールであり、第１水平案内レール７よりも低い位置に配置されている。温度槽３内の他方の端板３ｃ近傍からこの他方の端板３ｃに形成されているパレット排出口３ｄを介して試験槽５槽を貫通して延びている。第２水平案内レール８に載せられた各ワーク搬送パレット２は、パレット搬送機構(不図示)によって第２水平案内レール８上をスライドさせられながら搬送される。
【００１９】
ここで、通電試験装置６は、試験槽５内における第２水平案内レール８上の所定の通電試験位置Ｂおいて、ワーク搬送パレット２に載せられているワークに対して通電試験を行うようになっている。なお、パレット積層体搬送機構とパレット搬送機構は同一の構成のものを用いることができる。これらの構成例は後述する。
【００２０】
(ワーク搬送パレット)
図２(ａ)はワーク搬送パレットをワーク積載面の側から模式的に示した斜視図であり、図２(ｂ)は裏面側から模式的に示した斜視図である。図２に示すように、ワーク搬送パレット２は、一定厚さの長方形のパレット本体板２１と、このパレット本体板２１のワーク積載面２１ａの側の四隅から直角に起立している同一寸法の４本のスペーサピン２２を備えている。ワークはパレット本体板２１のワーク積載面２１ａに載せられて、位置決め固定されるようになっている。４本のスペーサピン２２は位置決め固定されたワークの高さ寸法よりも長い寸法を備えており、その先端部分には先細り部分２２ａが形成されている。パレット本体板２１の裏面２１ｂの側の四隅には、４本のスペーサピン２２の先細り部分２２ａを着脱可能な状態で受け入れることができる４つのピン孔２３が形成されている。
【００２１】
スペーサピン２２の先細り部分２２ａをピン孔２３に嵌めながら複数枚のワーク搬送パレット２を積み重ねることにより、各ワーク搬送パレット２をパレット本体板２１に位置決め固定されているワークと干渉しないように積み重ねることができる。また、積層状態の複数枚のワーク搬送パレット２が、搬送途中で崩れないようにすることができる。さらに、積み重ねた複数枚のワーク搬送パレット２を上下方向に引き離すことが容易にできる。
【００２２】
(パレット分離機構)
図３(ａ)はパレット分離機構の概略縦断面図であり、図３(ｂ)は概略正面図である。いずれも、ワーク搬送パレット２(１)〜(４)を積み重ねたパレット積層体２０が第１水平案内レール７からパレット分離機構９に受け渡された状態を示している。
【００２３】
図３に示すように、パレット分離機構９は、昇降レール１１、クランプ機構１２、パレットリフト１３およびプッシャー１４を備えている。
【００２４】
昇降レール１１は、第１および第２水平案内レール８と同じ幅で平行に延びる一対のレールである。各レールはそれぞれエアシリンダ１１１によって支持されており、第１水平案内レール７と同じ高さの待機位置Ｃと第２水平案内レール８と同じ高さの送り込み位置Ｄとの間を昇降するようになっている。
【００２５】
クランプ機構１２は、待機位置Ｃにある昇降レール１１にパレット積層体２０が載せられると、パレット積層体２０のうち下から２番目にあるワーク搬送パレット２をワーク搬送方向と直交する左右方向の両側からクランプし、最も下に位置しているワーク搬送パレット２以外のワーク搬送パレット２をそれらの高さ位置に保持するものである。
【００２６】
パレットリフト１３は、クランプ機構１２によるクランプが解除されたワーク搬送パレット２を、クランプ機構１２によるクランプ位置Ｅから下降させて、待機位置Ｃにある昇降レール１１に載せるものである。パレットリフト１３は、昇降レール１１を構成している一対のレールの間に配置されているエアシリンダ１３１を有しており、クランプ機構１２によるクランプが解除されるのに先立って、クランプされているワーク搬送パレット２を下方から支持する。その後クランプが解除されると、ワーク搬送パレット２を下降させる。
【００２７】
プッシャー１４は、昇降レール１１が送り込み位置Ｄまで下降すると、積層状態から分離されて昇降レール１１に載っている一枚のワーク搬送パレット２を水平方向に押して、第２水平案内レール８に送り込むものである。プッシャー１４については、その構成を後述する。
【００２８】
(パレット分離動作)
図４および図５は積層状態のパレット積層体２０から各ワーク搬送パレット２を分離するパレット分離動作の各工程(ａ)〜(ｆ)を説明するための説明図である。
【００２９】
図４の工程(ａ)はパレット分離機構９の初期状態であり、昇降レール１１は待機位置Ｃにある。パレット分離位置Ａまで第１水平案内レール７上を搬送されてきたパレット積層体２０は、パレット積層体搬送機構によってスライドさせられて、待機位置Ｃにある昇降レール１１に載せられている。
【００３０】
パレット積層体２０が昇降レール１１に載せられると、図４の工程(ｂ)に示すように、クランプ機構１２はクランプ部材１２１を突出させて第２ワーク搬送パレット２を左右の両側からクランプする。
【００３１】
次に、図４の工程(ｃ)に示すように、昇降レール１１は送り込み位置Ｄまで下降する。昇降レール１１の下降に伴って、パレット積層体２０の最も下のワーク搬送パレット２(１)は自重によってパレット積層体２０から分離される。そして、昇降レール１１に載った状態で下降する。
【００３２】
昇降レール１１が送り込み位置Ｄに到着すると、プッシャー１４が図中手前側に突出してきて、ワーク搬送パレット２(１)をパレット搬送方向の上流側から下流側に向って水平に押す。ここで、送り込み位置Ｄは第２水平案内レール８と同じ高さ位置になっているので、ワーク搬送パレット２(１)はスライドして第２水平案内レール８に送り込まれる。この後、ワーク搬送パレット２(１)はパレット搬送機構によって通電試験位置Ｂを経由するように搬送される。
【００３３】
ワーク搬送パレット２(１)の第２水平案内レール８への送り込みが終了すると、図５の工程(ｄ)に示すように、パレットリフト１３がクランプ位置Ｅまで上昇する。また、昇降レール１１が待機位置Ｃまで上昇する。
【００３４】
次に、図５の工程(ｅ)に示すように、クランプ機構１２によるワーク搬送パレット２(２)の支持が解除され、ワーク搬送パレット２(２)はパレットリフト１３によって下方から支持された状態になる。この状態からパレットリフト１３は下降して、図５の工程(ｆ)に示すように、待機位置Ｃにある昇降レール１１に第２ワーク搬送パレット２(２)を載せ、昇降レール１１よりも下まで退避する。
【００３５】
ここで図５の工程(ｆ)は、積載枚数が１枚減った状態のパレット積層体２０が昇降レール１１に載った状態である。すなわち、積層枚数以外は図４の工程(ａ)に示す初期状態と同様の状態になっている。従って、引き続き、図４の工程(ｂ)、(ｃ)の動作が行われることにより、ワーク搬送パレット２(２)が第２水平案内レール８に送り出される。また、図５の工程(ｄ)〜(ｆ)の動作が行われることにより初期状態と同様な状態に戻る。これらの動作を、最も上に積み上げられているワーク搬送パレット２(４)を第２水平案内レール８に送り込むまで、繰り返す。
【００３６】
(プッシャー)
次に、図１、６を参照してプッシャー１４の構成を説明する。図６はプッシャーの概略部分平面図である。
【００３７】
図１、６に示すように、プッシャー１４は、温度槽３の一方の端板３ａよりも外側に配置されているエアシリンダ３０と、このエアシリンダ３０から一方の端板３ａを貫通して温度槽３内を第１水平案内レール７と平行に延びているピストンロッド３１と、このピストンロッド３１の先端側に構成されている伸縮機構３２と、この伸縮機構３２に取り付けられている押し出し用ロッド３３とを備えている。エアシリンダ３０、ピストンロッド３１、伸縮機構３２および押し出し用ロッド３３はいずれも第１水平案内レール７の直下に配置されている。また、一対の第１水平案内レール７の間に配置されている。
【００３８】
伸縮機構３２は、図６に示すように、ピストンロッド３１の先端部分に回転自在に取りつけられているピニオン３２０と、ピストンロッド３１の伸縮方向に沿って延びており、ピニオン３２０と噛み合う位置に固定されている固定ラック３２１と、この固定ラック３２１とはピニオン３２０を挟んで反対側に配置され、ピニオン３２０に噛み合っている移動ラック３２２とを有している。移動ラック３２２は、ピストンロッド３１を中心にして平行に延びる一対の案内レール３２３に沿ってパレット搬送方向の上流側および下流側へ移動可能に支持されている移動部材３２４に取り付けられていることにより、ピストンロッド３１の伸縮方向に沿って移動可能に支持されている。移動部材３２４には下流側に向って平行に延びる一対の押し出し用ロッド３３が取り付けられている。
【００３９】
固定ラック３２１はピストンロッド３１が伸縮する際にピニオン３２０が移動する範囲(ストロークＬ)を包含する長さ寸法を備えており、ピニオン３２０が移動する全範囲でピニオン３２０と噛み合うようになっている。移動ラック３２２も固定ラック３２１と同じ長さ寸法を備えており、ピニオン３２０が移動する全範囲でピニオン３２０と噛み合いながら移動するようになっている。
【００４０】
図７はプッシャー１４によるワーク搬送パレット２の送り出し動作を説明するための説明図である。図７(ａ)に示されるように、ピストンロッド３１が最も縮んでいる初期状態では、ピニオン３２０は固定ラック３２１における最も上流側の歯部分と噛み合っている。また、移動ラック３２２は固定ラック３２１の上流側に位置しており、ピニオン３２０は移動ラック３２２における最も下流側の歯部分と噛み合っている。押し出し用ロッド３３の先端部分は、押し出し対象のワーク搬送パレット２の上流側の直近に位置している。
【００４１】
ピストンロッド３１が延びると、ピニオン３２０は固定ラック３２１と噛み合って回転する。この回転により、図７(ｂ)に示すように、ピニオン３２０と噛み合っている移動ラック３２２は下流側へと移動する。また、移動ラック３２２の移動により押し出し用ロッド３３の先端部分がワーク搬送パレット２のパレット本体板２１の上流側の２１ｃ側面に当接して、ワーク搬送パレット２を下流側へスライドさせる。
【００４２】
ピストンロッド３１が最も延びると、図７(ｃ)に示すように、ピニオン３２０は固定ラック３２１における下流側の歯部分と噛み合う状態になる。また、移動ラック３２２は固定ラック３２１の下流側に移動しており、ピニオン３２０はこの移動ラック３２２における最も上流側の歯部分と噛み合う状態になる。
【００４３】
この結果、本例では、ピストンロッド３１のストロークＬに対して、移動ラック３２２が倍のストローク２Ｌで移動する。
【００４４】
(パレット搬送機構)
図８を参照して、パレット搬送機構の例を説明する。図８(ａ)はワーク搬送パレット２が第１水平案内レール７上で停止している状態であり、図８(ｂ)はワーク搬送パレット２が一括して搬送される状態である。なお、パレット積層体搬送機構はパレット搬送機構と同様の構成とすることができる。
【００４５】
まず、ワーク搬送パレット２はその長手方向の両端部が一対の第１水平案内レール７に載せられている。ワーク搬送パレット２の表面側の両端部分には、パレット本体板２１のワーク積載面２１ａから垂直方向に延びる係合突起４３が取り付けられる。
【００４６】
パレット搬送機構は、一対の第１水平案内レール７の外側に設けられた一対の搬送シャフト４１、この搬送シャフト４１を前後方向にスライド自在、且つその中心軸線を中心として回転自在に支持する軸受部材４２、搬送シャフト４１を前後方向に往復移動させる送り用エアシリンダ(不図示)、搬送シャフト４１を回転させる左右の回転用エアシリンダ(不図示)を有している。搬送シャフト４１には、複数の送りピン４３が同一のピッチで取り付けられている。
【００４７】
パレット搬送機構は、各送りピン４３が第１水平案内レール７の内側へ水平に倒れるように搬送シャフト４１を所定の角度だけ回転させ、送りピン４３をワーク搬送パレット２の係合突起４３に係合させる。この状態で、搬送シャフト４１を矢印方向の前方へ１ピッチ分送り出すことによって、ワーク搬送パレット２を１ピッチ分搬送する。ワーク搬送パレット２を搬送した後は、パレット搬送機構は搬送シャフト４１を回転させて送りピン４３と係合突起４３との係合を解除して、搬送シャフト４１を１ピッチ分戻す。かかる動作を繰り返して行うことにより、第１水平案内レール７上にある各ワーク搬送パレット２を１ピッチずつ間欠的に一括して搬送する。
【００４８】
(本形態の効果)
本例のプッシャー１４によれば、ピストンロッド３１のストロークＬの２倍の２Ｌだけ移動ラック３２２を移動させることができるので、押し出し用ロッド３３によってワーク搬送パレット２をピストンロッド３１のストロークＬの２倍の２Ｌ押し出すことができる。従って、ワーク搬送パレット２をワーク分離位置Ａから第２水平案内レール８に送り込むために、小型のエアシリンダ３０を用いることができる。また、温度槽３の外側に配置されるエアシリンダ３０を小型化できるので、環境試験装置１を小型化することができる。
【００４９】
(その他の実施の形態)
上記の環境試験装置１では温度槽３と試験槽５が直列に配置されていたが、温度槽３内に通電試験装置６を配置することにより、温度槽３が試験槽５を兼ねる構成とすることができる。この場合、通電試験位置Ａは第２水平案内レール８上とし、通電試験装置６は第２水平案内レール８に沿って配置する。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本実施の形態に係る環境試験装置を模式的に示した概略縦断面図である。
【図２】(ａ)はワーク搬送パレットをワーク積載面側から模式的に示した斜視図であり、(ｂ)は裏面側から模式的に示した斜視図である。
【図３】パレット分離機構の側面図および正面図であり、ワーク搬送パレット群がパレット分離機構に受け渡されている状態を示す。
【図４】積層状態のワーク搬送パレット群から各ワーク搬送パレットを分離するパレット分離動作を説明するための説明図である。
【図５】積層状態のワーク搬送パレット群から各ワーク搬送パレットを分離するパレット分離動作を説明するための説明図である。
【図６】プッシャーの概略平面図である。
【図７】プッシャーによるワーク搬送パレットの送り出し動作を説明するための説明図である。
【図８】パレット搬送機構の例を示す説明図であり、(ａ)はワーク搬送パレットが搬送路上で停止している状態であり、(ｂ)はワーク搬送パレットが一括して搬送される状態である。
【符号の説明】
【００５１】
１  環境試験装置
２、２(１)、２(２)、２(３)、２(４)  ワーク搬送パレット
３  温度槽
４  パレット搬送路
５  試験槽
６  通電試験装置
７  第１水平案内レール
８  第２水平案内レール
９  パレット分離機構
１１  昇降レール
１２  クランプ機構
１３  パレットリフト
１４  プッシャー
２０  パレット積層体
２１  パレット本体板
２１ａ  ワーク積載面
２２  スペーサピン
２３  ピン孔
３０、１１１、１３１  エアシリンダ
３１  ピストンロッド
３２  伸縮機構
３３  押し出し用ロッド
４１  搬送シャフト
４２  軸受部材
４３  係合突起
１２１  クランプ部材
３２０  ピニオン
３２１  固定ラック
３２２  移動ラック
３２３  案内レール
３２４  移動部材
Ａ  パレット分離位置
Ｂ  通電試験位置
Ｃ  待機位置
Ｄ  送り込み位置
Ｅ  支持位置
Ｌ  プッシャーのストローク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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