(57)【要約】【課題】２パターンテスト及び１パターンテストが可能であって、占有面積の増加を抑えながら、検査に要する時間をより短くすることが可能な半導体集積回路を提供すること。【解決手段】第一の論理回路と、第二の論理回路と、第一の論理回路と第二の論理回路の間に配置される複数のフリップフロップと、を有する半導体集積回路であって、フリップフロップは、第一の論理回路からの出力を受け付けるマスターセレクタと、マスターセレクタからの出力を受け付けるマスターラッチと、マスターラッチからの出力を受け付けるスレイブセレクタと、スレイブセレクタの出力を受け付け第二の論理回路に出力を行うスレイブラッチと、を有する。【選択図】  図１
2009063519.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の論理回路と、第二の論理回路と、前記第一の論理回路と前記第二の論理回路の間に配置される複数のフリップフロップと、を有する半導体集積回路であって、
前記フリップフロップは、前記第一の論理回路からの出力を受け付けるマスターセレクタと、前記マスターセレクタからの出力を受け付けるマスターラッチと、前記マスターラッチからの出力を受け付けるスレイブセレクタと、前記スレイブセレクタの出力を受け付け前記第二の論理回路に出力を行うスレイブラッチと、を有する半導体集積回路。
【請求項２】
前記マスターセレクタは、他のフリップフロップにおけるマスターラッチの出力も受け付け、前記第一の論理回路又は前記他のフリップフロップにおけるマスターラッチの出力のいずれかを選択して出力する請求項１記載の半導体集積回路。
【請求項３】
前記スレイブセレクタは、他のフリップフロップにおけるスレイブラッチの出力も受け付け、前記マスターラッチの出力又は前記他のフリップフロップにおけるスレイブラッチの出力のいずれかを選択して出力する請求項１記載の半導体集積回路。
【請求項４】
前記複数のフリップフロップは、前記マスターセレクタと前記マスターラッチを介してスキャンチェーンを構成している請求項２記載の半導体集積回路。
【請求項５】
前記複数のフリップフロップは、前記スレイブセレクタと前記スレイブラッチを介してスキャンチェーンを構成している請求項３記載の半導体集積回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体集積回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路は、半導体材料又は絶縁材料の表面又は半導体材料の内部にトランジスターその他の回路素子を配置し、電子回路の機能を有するように設計したものであり、パーソナルコンピュータや携帯電話などに用いられ、近年ますますその高機能化及び高集積化が求められてきている。
【０００３】
一方で、半導体集積回路は電子回路としての機能を発揮する必要から出荷する際の動作検査を欠かすことができず、通常の動作のための回路に加え、検査用の回路を設けることが通常行われている。
【０００４】
この動作検査に関する公知の技術として、例えば下記非特許文献１に、マスターラッチとスレイブラッチからなる複数のフリップフロップと、このフリップフロップに対応して設けられるセレクタと、を有する半導体集積回路であって、スレイブラッチの出力端子と他のフリップフロップに対応して設けられるセレクタの入力端子とが電気的に接続され、かつ、複数のフリップフロップを直列に接続しスキャンチェーンを形成させるというものがある。
【非特許文献１】ＷＯ２００６／０７７７４６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
確かに上記記載の技術によると１パターンテスト及び２パターンテストを実施できる点において有用である。しかしながら、上記文献に記載の発明では、マスターラッチのみでしかスキャンチェーンを構成しなければならず、検査時間に未だ課題が残る。
【０００６】
そこで、本発明は、上記課題を鑑み、２パターンテスト及び１パターンテストが可能であって、占有面積の増加を抑えながら、検査に要する時間をより短くすることが可能な半導体集積回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る半導体集積回路は、第一の手段として、第一の論理回路と、第二の論理回路と、第一の論理回路と第二の論理回路の間に配置される複数のフリップフロップと、を有し、フリップフロップは、第一の論理回路からの出力を受け付けるマスターセレクタと、マスターセレクタからの出力を受け付けるマスターラッチと、マスターラッチからの出力を受け付けるスレイブセレクタと、スレイブセレクタの出力を受け付け第二の論理回路に出力を行うスレイブラッチと、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
以上、本発明によると、２パターンテスト及び１パターンテストが可能であって、占有面積の増加を抑えながら、検査に要する時間を短くすることが可能な半導体集積回路を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、本発明は多くの異なる形態による実施が可能であり、以下に示す実施形態にのみ限定されるものではない。
【００１０】
図１は、本実施形態に係る半導体集積回路の機能ブロック図である。図１に示すとおり本実施形態に係る半導体集積回路は、第一の論理回路ＣＫＴ１と、第二の論理回路ＣＫＴ２と、第一の論理回路ＣＫＴ１と第二の論理回路ＣＫＴ２の間に配置される複数の（図１では４つの）フリップフロップＦＦ１〜４（以下ＦＦ１を「第一のフリップフロップ」、ＦＦ２を「第二のフリップフロップ」、ＦＦ３を「第三のフリップフロップ」、ＦＦ４を「第四のフリップフロップ」ともいう。）と、を有し、各フリップフロップは、第一の論理回路からの出力を受け付けるマスターセレクタＭＳ１〜４（以下ＭＳ１を「第一のマスターセレクタ」、ＭＳ２を「第二のマスターセレクタ」、ＭＳ３を「第三のマスターセレクタ」、ＭＳ４を「第四のマスターセレクタ」ともいう。）と、マスターセレクタからの出力を受け付けるマスターラッチＭＬ１〜４（以下ＭＬ１を「第一のマスターラッチ」、ＭＬ２を「第二のマスターラッチ」、ＭＬ３を「第三のマスターラッチ」、ＭＬ４を「第四のマスターラッチ」ともいう。）と、マスターラッチからの出力を受け付けるスレイブセレクタＳＳ１〜４（以下ＳＳ１を「第一のスレイブセレクタ」、ＳＳ２を「第二のスレイブセレクタ」、ＳＳ３を「第三のスレイブセレクタ」、ＳＳ４を「第四のスレイブセレクタ」ともいう。）と、スレイブセレクタの出力を受け付け第二の論理回路ＣＫＴ２に出力を行うスレイブラッチと、を少なくとも有する。
【００１１】
また本実施形態に係る半導体集積回路は、複数のフリップフロップ間において、複数のマスターセレクタ及びマスターラッチを直列に接続し、いわゆるスキャンチェーンを構成しており、これと同様に、複数のフリップフロップ間において、複数のスレイブセレクタ及びスレイブラッチを直列に接続し、いわゆるスキャンチェーンを構成している。またこの結果、本実施形態に係る半導体集積回路は、複数のフリップフロップ間において、複数のマスターセレクタ、マスターラッチ、スレイブセレクタ及びスレイブラッチを直列に接続し、いわゆるスキャンチェーンを構成してもいる。
【００１２】
本実施形態に係る半導体集積回路は、半導体材料若しくは絶縁材料の表面又は半導体材料内部にトランジスターその他の回路素子を形成し、電子回路として機能するように設計したものであり、回路配置以外は周知の構成を採用することができる。
【００１３】
本実施形態に係る第一及び第二の論理回路ＣＫＴ１、ＣＫＴ２は、入力に基づき一定の出力を行なう回路部であり構成は限定されない。
【００１４】
本実施形態に係るマスターセレクタＭＳ１〜４はそれぞれ二つの入力端子と一つの出力端子を有している。いずれのマスターセレクタも入力端子の一方は第一の論理回路ＣＫＴ１と電気的に接続されており、第一の論理回路ＣＫＴ１からの出力信号を受け付けることができる。また複数のマスターセレクタうち、第一のマスターセレクタＭＳ１は第一のスキャンテスト信号入力用端子を介して外部から第一のスキャンテスト信号ＭＳＣＩの入力を受け付けることができ、他のセレクタＭＳ２、ＭＳ３、ＭＳ４は、それぞれに自己の属するフリップフロップとは別のフリップフロップにおけるマスターラッチＭＬ１、ＭＬ２、ＭＬ３の出力端子Ｑと電気的に接続されておりその出力を受け付けることができる。また本実施形態に係るマスターセレクタＭＳ１〜４は制御信号の入力を受け付け、この制御信号の電圧値に応じ、入力される二つの信号のうちいずれかを選択してマスターラッチに出力する。なお、本明細書において「端子」とは、電気的な接続をおこなうために設けた電流の出入り口を意味し、金具等が取り付けられている場合を含むのはもちろんであるが、金具等が取り付けられず単に導線によって構成されている場合も含む概念である。
【００１５】
マスターラッチＭＬ１〜４は、二つの入力端子と一つの出力端子を有しており、二つの入力端子の一方（Ｄ端子）は、マスターセレクタの出力端子と電気的に接続されており、マスターセレクタからの入力を受け付けることができる。また二つの入力端子の他方（Ｇ端子）は、クロック信号入力端子と電気的に接続されており、クロック信号の入力を受け付けることができる。またマスターラッチの出力端子（Ｑ端子）は下流側のスレイブセレクタの入力端子と電気的に接続されており、スレイブセレクタに信号を出力することができる。本実施形態に係るマスターラッチＭＬ１〜４は、Ｇ端子から入力されるクロック信号に基づき、Ｄ端子に入力された信号の電圧値又は予め記憶した電圧値をＱ端子から出力することができる。マスターラッチの構成は、上記機能を実現できる限りにおいて限定されることなく周知の構成を採用することができるが、マスターラッチの構成の一例を図２に記載しておく。また本実施形態に係る半導体集積回路の動作については後述するが、スキャンチェーンを構成する複数のマスターラッチにおいて、接続において隣り合うマスターラッチのＧ端子に入力されるクロック信号は異なる配線で接続されている。図１の例では、第一のマスターラッチＭＬ１及び第三のマスターラッチＭＬ３は第一のクロック信号ＣＬＫ１の入力を受け付け、第二のマスターラッチＭＬ２及び第四のマスターラッチＭＬ４は第二のクロック信号ＣＬＫ２の入力を受け付ける構成となっている。なお、本実施形態において第四のマスターラッチＭＬ４のＱ端子は、第一のスキャンテスト信号検出用端子に電気的に接続されており、スキャンテストの結果を半導体集積回路外部に出力することができる。
【００１６】
本実施形態に係るスレイブセレクタＳＳ１〜４はそれぞれ二つの入力端子と一つの出力端子を有している。いずれのスレイブセレクタも入力端子の一方は自己の属するフリップフロップのマスターラッチのＱ端子と電気的に接続されており、マスターラッチからの出力信号を受け付けることができる。また複数のスレイブセレクタうち、第一のスレイブセレクタＳＳ１は第二のスキャンテスト信号入力用端子を介して外部から第二のスキャンテスト信号ＳＳＣＩの入力を受け付けることができ、他のセレクタＳＳ２、ＳＳ３、ＳＳ４は、それぞれに自己の属するフリップフロップとは別のフリップフロップにおけるスレイブラッチＳＬ１、ＳＬ２、ＳＬ３の出力端子Ｑと電気的に接続されておりその出力を受け付けることができる。また本実施形態に係るスレイブセレクタＳＳ１〜４は制御信号の入力を受けつけ、この制御信号に応じ、入力される二つの信号のうちいずれかを選択してマスターラッチに出力する。
【００１７】
スレイブラッチＳＬ１〜４は、二つの入力端子と一つの出力端子を有しており、二つの入力端子の一方（Ｄ端子）は、スレイブセレクタの出力端子と電気的に接続されており、スレイブセレクタからの入力を受け付けることができる。また二つの入力端子の他方（Ｇ端子）は、クロック信号入力端子と電気的に接続されており、クロック信号の入力を受け付けることができる。またマスターラッチの出力端子（Ｑ端子）は下流側の第二の論理回路ＣＫＴ２と電気的に接続されており、第二の論理回路に信号を出力することができる。本実施形態に係るスレイブラッチＳＬ１〜４は、Ｇ端子から入力されるクロック信号に基づき、Ｄ端子に入力された信号の電圧値又は予め記憶した電圧値をＱ端子から出力することができる。マスターラッチの構成は、上記機能を実現できる限りにおいて限定されることなく周知の構成を採用することができ、上記図２で示すようなマスターラッチと同様の構成を採用することもできる。また本実施形態に係る半導体集積回路の動作については後述するが、スキャンチェーンを構成する複数のスレイブラッチにおいて、接続において隣り合うスレイブラッチのＧ端子に入力されるクロック信号は異なる配線で接続されている。図１の例では、第一のスレイブラッチＳＬ１及び第三のスレイブラッチＳＬ３は第三のクロック信号ＣＬＫ３の入力を受け付け、第二のスレイブラッチＳＬ２及び第四のスレイブラッチＭＬ２は第四のクロック信号ＣＬＫ４の入力を受け付ける構成となっている。なお、本実施形態において第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子は、第二のスキャンテスト信号検出用端子に電気的に接続されており、スキャンテストの結果を半導体集積回路外部に出力することができる。
【００１８】
次に、本実施形態に係る半導体集積回路の検査（以下単に「本検査」という。）における動作について説明する。本検査は、さまざまな時点で行うことができるが、半導体集積回路を作製したのち、この半導体集積回路を出荷する際などにおいて行なうことが好ましい。本検査は、スキャンテスト信号発生装置を半導体集積回路の第一のスキャンテスト信号入力用端子及び第二のスキャンテスト信号入力用端子の少なくともいずれかに接続して半導体集積回路にスキャンテスト信号を入力するとともに、第一のスキャンテスト信号検出用端子及び第二のスキャンテスト信号検出用端子の少なくともいずれかに接続してその結果を検出し、評価することで行なうことができる。
【００１９】
まず、１パターンテストについて説明する。図３に、本実施形態に係る半導体集積回路における１パターンテスト時における各信号の電圧値の時間変化を示す。なお図中、Ｉ１は第一の論理回路ＣＫＴ１から第一のマスターセレクタＭＳ１に入力される信号の電圧値を、Ｉ２は第一の論理回路ＣＫＴ１から第二のマスターセレクタＭＳ２に入力される信号の電圧値を、Ｉ３は第一の論理回路ＣＫＴ１から第三のマスターセレクタＭＳ３に入力される信号の電圧値を、Ｉ４は第一の論理回路ＣＫＴ１から第四のマスターセレクタＭＳ４に入力される信号の電圧値を、ＭＳＣＩはスキャンテスト信号発生装置により第一のスキャンテスト信号入力用端子を介して第一のマスターセレクタＭＳ１に入力される第一のスキャンテスト信号の電圧値を、ＳＳＣＩはスキャンテスト信号発生装置により第二のスキャンテスト信号入力用端子を介して第一のスレイブセレクタＳＳ１に入力される第二のスキャンテスト信号の電圧値を、ＭＬ１は第一のマスターラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値を、ＭＬ２は第二のマスターラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値を、ＭＬ３は第三のマスターラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値を、ＭＬ４は第一のマスターラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値を、ＳＬ１は第一のスレイブラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値を、ＳＬ２は第二のスレイブラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値を、ＳＬ３は第三のスレイブラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値を、ＳＬ４は第四のスレイブラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値を、ＳＥＬはマスターセレクタＭＳ１〜４及びスレイブセレクタＳＬ１〜４に入力される制御信号の電圧値をそれぞれ示す。なお第四のマスターラッチから出力される信号の電圧値ＭＬ４はスキャンテストの結果の電圧値ＭＳＣＯと等しく、また第四のスレイブラッチから出力される信号の電圧値ＳＬ４はスキャンテストの結果の電圧値ＳＳＣＯと等しいため、それぞれ図中において併記している。なお図中、横軸は時間を表す。
【００２０】
まず期間Ｔ１では、第一のスキャンテスト信号の電圧値ＭＳＣＩをＳ３、第二のスキャンテスト信号の電圧値ＳＳＣＩをＳ４、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオン状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオフ状態、マスター及びスレイブセレクタ（以下の説明において単に「セレクタ」ともいう。）に入力される制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。なお本実施形態において、セレクタに入力される制御信号の電圧値ＳＥＬがオン状態である場合、マスターセレクタは、第一のスキャンテスト信号又は接続される他のフリップフロップにおけるマスターラッチのＱ端子から出力される信号を選択するようにし、オフ状態である場合、第一の論理回路ＣＫＴ１から出力される信号を選択するようにしてある。またセレクタに入力される制御信号の電圧値ＳＥＬがオン状態である場合、スレイブセレクタは、第二のスキャンテスト信号又は接続される他のフリップフロップにおけるスレイブラッチのＱ端子から出力される信号を選択するようにし、オフ状態である場合は、接続されるマスターラッチのＱ端子から出力される信号を選択するようにしてある。また、本実施形態におけるマスターラッチ及びスレイブラッチは、Ｇ端子に入力されるクロック信号の電圧値がオン状態である場合はＤ端子からの入力をそのままＱ端子から出力し、オフ状態である場合は、直前の状態における信号の電圧値をＱ端子から出力する。
【００２１】
この期間において、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬはオン状態であるため、第一のマスターセレクタＭＳ１の出力端子から出力される信号の電圧値はＳ３となり、第一のスレイブセレクタＳＳ１の出力端子から出力される信号の電圧値はＳ４となる。また第一のマスターラッチのＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のマスターラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ３となる。また第一のスレイブラッチのＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のスレイブラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ４となる。
【００２２】
期間Ｔ２では、第一のスキャンテスト信号の電圧値ＭＳＣＩをＳ１、第二のスキャンテスト信号の電圧値ＳＳＣＩをＳ２、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態とする。またセレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。
【００２３】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値がオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ３となる。第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ３となる。第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ４となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ４となる。
【００２４】
期間Ｔ３では、第一のスキャンテスト信号の電圧値ＭＳＣＩの電圧値をＳ１、第二のスキャンテスト信号ＳＳＣＩの電圧値をＳ２、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオン状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態とする。
【００２５】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１となる。また第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ３となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ３となる。第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ４となる。第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬのＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ４となる。
【００２６】
期間Ｔ４では、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態とし、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態とする。またこの期間では、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。なおこの期間から、１パターンテストが終了するまで即ち期間Ｔ１０まで第一のスキャンテスト信号ＭＳＣＩ、第二のスキャンテスト信号ＳＳＣＩはどのような値をとっても構わない。
【００２７】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ３となる。第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２となる。第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ４となる。第四のスレイブラッチＳＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ４となる。
【００２８】
期間Ｔ５では、第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態、セレクタの制御信号の電圧値をオフ状態とする。またこの期間においてＩ１をＲ１に、Ｉ２をＲ２に、Ｉ３をＲ３に、Ｉ４をＲ４に変化させる。ここでＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はテスト応答信号とする。
【００２９】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１となる。また第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ３となる。第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ３となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２となる。第四のスレイブラッチＳＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ４となる。
【００３０】
期間Ｔ６では、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２をオン状態、第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオフ状態とする。またセレクタの制御信号の電圧値をオフ状態とする。またこの期間でも、Ｉ１をＲ１に、Ｉ２をＲ２に、Ｉ３をＲ３に、Ｉ４をＲ４とする。
【００３１】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ３となる。第四のマスターラッチＭＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のマスターラッチＭＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ４となる。
【００３２】
期間Ｔ７では、第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオフ状態とする。
【００３３】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。また第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ３となる。第四のマスターラッチＭＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第四のマスターラッチＭＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ４となる。第四のスレイブラッチＳＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ４となる。なおこのとき第二のスキャンテスト信号検出用端子から出力される信号の電圧値ＳＳＣＯもＲ４となる。
【００３４】
期間Ｔ８では、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２をオン状態、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１、第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオフ状態、セレクタの制御信号の電圧値をオン状態とする。
【００３５】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ３となる。第四のマスターラッチＭＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のマスターラッチＭＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ３となる。なおこのとき第一のスキャンテスト信号検出用端子から出力される信号の電圧値ＭＳＣＯもＲ３となる。
【００３６】
期間Ｔ９では、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオン状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオフ状態、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。
【００３７】
この期間において、第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。
【００３８】
期間Ｔ１０では、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。
【００３９】
この期間において、第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第四のマスターラッチＭＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のマスターラッチＭＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。なおこのとき第一のスキャンテスト信号検出用端子から出力される信号の電圧値ＭＳＣＯはＲ１となる。また第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第四のスレイブラッチＳＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。このとき第二のスキャンテスト信号検出用端子から出力される信号の電圧値もＲ２となる。
【００４０】
以上のように、本実施形態に係る半導体集積回路を用いると、１パターンテストを実施することができる。
【００４１】
次に、同様にして２パターンテストについて説明する。図４は２パターンテストにおける各信号の関係について説明する図であり、Ｉ１、Ｉ２等各符号の意味は図３と同様である。
【００４２】
期間Ｔ１〜Ｔ５においては、上記１パターンテストとほぼ同様の操作を行う。ただし上記における第一のスキャンテスト信号の電圧値Ｓ１を第一のスキャンテスト信号の電圧値としてＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ１４のいずれかの値を採用する。
【００４３】
まず期間Ｔ１では、第一のスキャンテスト信号の電圧値ＭＳＣＩをＳ１３、第二のスキャンテスト信号の電圧値ＳＳＣＩをＳ１４、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオン状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオフ状態、セレクタに入力される制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。
【００４４】
この期間において、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬはオン状態であるため、第一のマスターセレクタＭＳ１の出力端子から出力される信号の電圧値はＳ１３となり、第一のスレイブセレクタＳＳ１の出力端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。また第一のマスターラッチのＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のマスターラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１３となる。また第一のスレイブラッチのＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のスレイブラッチのＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。
【００４５】
期間Ｔ２では、第一のスキャンテスト信号の電圧値ＭＳＣＩをＳ１１、第二のスキャンテスト信号の電圧値ＳＳＣＩをＳ１２、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態とする。またセレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。
【００４６】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値がオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１３となる。第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１３となる。第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。
【００４７】
期間Ｔ３では、第一のスキャンテスト信号の電圧値ＭＳＣＩの電圧値をＳ１１、第二のスキャンテスト信号ＳＳＣＩの電圧値をＳ１２、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオン状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態とする。
【００４８】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１１となる。また第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１３となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１３となる。第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１２となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬのＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。
【００４９】
期間Ｔ４では、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態とし、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態とする。またこの期間では、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。なおこの期間から、２パターンテストが終了するまで即ち期間Ｔ１４まで第二のスキャンテスト信号ＳＳＣＩはどのような値をとっても構わない。
【００５０】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１１となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１３となる。第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１２となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１２となる。第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。第四のスレイブラッチＳＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。
【００５１】
期間Ｔ５では、第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態、セレクタの制御信号の電圧値をオフ状態とする
【００５２】
この期間において、第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１１となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１２となる。第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１３となる。第四のスレイブラッチＳＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。
【００５３】
期間Ｔ６では、第一のスキャンテスト信号の電圧値ＭＳＣＩをＳ２３とし、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１をオン状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２をオフ状態、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。またこの期間から期間Ｔ６までの間、第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３はオフ状態とし、この期間から期間Ｔ１０までの間、第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４はオフ状態とする。
【００５４】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２３となる。またこの期間から期間Ｔ８までの間、第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１１となる。またこれと同様、この期間から期間Ｔ８までの間、第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１３となる。またこの期間から期間Ｔ１０までの間、第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１２となる。またこれと同様に、この期間から期間Ｔ１０までの間、第四のスレイブラッチＳＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ１４となる。
【００５５】
期間Ｔ７では、第一のスキャンテスト信号の電圧値ＭＳＣＩの電圧値をＳ２１、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１をオフ状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２をオン状態、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。
【００５６】
この期間では、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２３となる。第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２３となる。
【００５７】
期間Ｔ８では、第一のスキャンテスト信号の電圧値ＭＳＣＩをＳ２１とし、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１をオン状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２をオフ状態、セレクタの制御信号の電圧値をオン状態とする。
【００５８】
この状態では、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２１となる。第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２３となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２３となる。
【００５９】
期間Ｔ９では、第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３の電圧値をオン状態、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態とし、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオフ状態とする。なおこの期間から、２パターンテストが終わるまですなわち期間Ｔ１４まで、第一のスキャンテスト信号ＭＳＣＩはどのような電圧値をとってもかまわない。またこの期間において、Ｉ１はＲ１、Ｉ２はＲ２、Ｉ３はＲ３、Ｉ４はＲ４となる。
【００６０】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２１となる。第一のスレイブラッチＳＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２１となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２３となる。第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＳ２３となる。また第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値は期間Ｔ４からＳ１２となっており、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値は期間Ｔ４からＳ１４となっている。
【００６１】
期間Ｔ１０では、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２をオン状態、第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオフ状態とする。またセレクタの制御信号の電圧値をオフ状態とする。またこの期間でも、Ｉ１をＲ１に、Ｉ２をＲ２に、Ｉ３をＲ３に、Ｉ４をＲ４とする。
【００６２】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ３となる。第四のマスターラッチＭＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のマスターラッチＭＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ４となる。
【００６３】
期間Ｔ１１では、第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオフ状態とする。
【００６４】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。また第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ３となる。第四のマスターラッチＭＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のマスターラッチＭＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ４となる。第四のスレイブラッチＳＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ４となる。
【００６５】
期間Ｔ１２では、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２をオン状態、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１、第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオフ状態、セレクタの制御信号の電圧値をオン状態とする。
【００６６】
この期間において、第一のマスターラッチＭＬ１のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第一のマスターラッチＭＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ３となる。第四のマスターラッチＭＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第四のマスターラッチＭＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ３となる。
【００６７】
期間Ｔ１３では、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオン状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオフ状態、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。
【００６８】
この期間において、第二のマスターラッチＭＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のマスターラッチＭＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第二のスレイブラッチＳＬ２のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。
【００６９】
期間Ｔ１４では、第一のクロック信号の電圧値ＣＬＫ１及び第三のクロック信号の電圧値ＣＬＫ３をオフ状態、第二のクロック信号の電圧値ＣＬＫ２及び第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態、セレクタの制御信号の電圧値ＳＥＬをオン状態とする。
【００７０】
この期間において、第三のマスターラッチＭＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のマスターラッチＭＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。第四のマスターラッチＭＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のマスターラッチＭＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ１となる。なおこのとき第一のスキャンテスト信号検出用端子から出力される信号の電圧値ＭＳＣＯはＲ１となる。また第三のスレイブラッチＳＬ３のＧ端子に入力される信号の電圧値はオフ状態であるため、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。第四のスレイブラッチＳＬ４のＧ端子に入力される信号の電圧値はオン状態であるため、第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はＲ２となる。このとき第二のスキャンテスト信号検出用端子から出力される信号の電圧値ＳＳＣＯもＲ２となる。
【００７１】
また、本実施形態に係る半導体集積回路においては、第一のフリップフロップＦＦ１と第二のフリップフロップＦＦ２に与える信号の電圧値Ｉ１、Ｉ２を等しく、第三のフリップフロップＦＦ３及び第四のフリップフロップＦＦ４に与える信号の電圧値Ｉ３、Ｉ４を等しくすることでよりスキャンテストに要する時間を短くすることができる。図４にこの場合における各信号の関係について示しておく。この場合において１パターンテストは期間Ｔ１〜Ｔ１０において上記の動作と同じであるが、期間Ｔ５において第四のクロック信号の電圧値ＣＬＫ４をオン状態としている点が異なる。この操作により、期間Ｔ４における第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値と第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値がともにＳ２となり、第三のスレイブラッチＳｌ３のＱ端子から出力される信号の電圧値及び第四のスレイブラッチＳｌ４のＱ端子から出力される信号の電圧値がともにＳ４になる。また期間Ｔ５における第一のスレイブラッチＳＬ１のＱ端子から出力される信号の電圧値及び第二のスレイブラッチＳＬ２のＱ端子から出力される信号の電圧値はともにＳ１となり、第三のスレイブラッチＳＬ３のＱ端子から出力される信号の電圧値及び第四のスレイブラッチＳＬ４のＱ端子から出力される信号の電圧値はともにＳ３となり、期間Ｔ４からＴ５において、２パターンテスト信号を第二の論理回路ＣＫＴ２に与えることができるようになる。
【００７２】
以上のとおり、本実施形態に係る半導体集積回路により、１パターンテスト及び２パターンテストをより容易に行なうことができる。
【００７３】
なお本実施形態においては、説明のため、４つのフリップフロップを用いた例で説明しているが、上記動作を実現できる限りにおいてフリップフロップの数は限定されず、更に、複数の論理回路を設け、そのそれぞれの間に複数のフリップフロップ及びスキャンテスト用の端子を設ける構成も当然に可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、半導体集積回路の分野において産業上の利用可能性がある。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】実施形態１に係る半導体集積回路の機能ブロックを示す図である。
【図２】実施形態１に係るマスターラッチの等価回路の例を示す図である。
【図３】実施形態１に係る１パターンテスト時における各信号の電圧値の時間変化を示す図である。
【図４】実施形態１に係る２パターンテスト時における各信号の電圧値の時間変化を示す図である。
【図５】実施形態におけるテストの他の例における各信号の電圧値の時間変化を示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
ＭＳ１…第一のマスターセレクタ、ＭＳ２…第二のマスターセレクタ、ＭＳ３…第三のマスターセレクタ、ＭＳ４…第四のマスターセレクタ、ＳＳ１…第一のスレイブセレクタ、ＳＳ２…第二のスレイブセレクタ、ＳＳ３…第三のスレイブセレクタ、ＳＳ４…第四のスレイブセレクタ、ＣＫＴ１…第一の論理回路、ＣＫＴ２…第二の論理回路、ＦＦ１…第一のフリップフロップ、ＦＦ２…第二のフリップフロップ、ＦＦ３…第三のフリップフロップ、ＦＦ４…第四のフリップフロップ、ＭＬ１…第一のマスターラッチ、ＭＬ２…第二のマスターラッチ、ＭＬ３…第三のマスターラッチ、ＭＬ４…第四のマスターラッチ、ＳＬ１…第一のスレイブラッチ、ＳＬ２…第二のスレイブラッチ、ＳＬ３…第三のスレイブラッチ、ＳＬ４…第四のスレイブラッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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