(57)【要約】【課題】複数のＸ線照射装置を備えるＸ線検査装置であって、Ｘ線照射に使用される電力量を抑えることができるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】搬送されてくる検査対象物１をＸ線により検査するＸ線検査装置であって、検査対象物１の搬送方向に沿って順に配置され、搬送されてくる検査対象物にＸ線を照射する複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆと、該複数のＸ線照射装置から照射され検査対象物１を透過してきたＸ線をそれぞれ検出する複数のＸ線検出装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆと、検査対象物１が搬送方向下流側に搬送されて来るに従って、複数のＸ線照射装置を搬送方向上流側から順に作動させて各Ｘ線照射装置にＸ線照射を行わせる制御装置９と、を備える。【選択図】図１
2009063340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送されてくる検査対象物をＸ線により検査するＸ線検査装置であって、
検査対象物の搬送方向に沿って順に配置され、搬送されてくる検査対象物にＸ線を照射する複数のＸ線照射装置と、
該複数のＸ線照射装置から照射され検査対象物を透過してきたＸ線をそれぞれ検出する複数のＸ線検出装置と、
検査対象物が搬送方向下流側に搬送されて来るに従って、前記複数のＸ線照射装置を搬送方向上流側から順に作動させて各Ｘ線照射装置にＸ線照射を行わせる制御装置と、を備える、ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
制御装置は、各Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所に検査対象物が到達する各タイミングで、前記各Ｘ線照射装置を作動させる、ことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記制御装置は、
前記複数のＸ線照射装置の搬送方向上流側における所定位置に検査対象物が存在するかを検知可能な検知器と、
前記Ｘ線照射装置を作動させる作動装置と、を備え、
前記検知器は、前記所定位置に検査対象物が存在することを検知したらその旨の検知信号を前記作動装置に出力し、前記作動装置は、前記検知信号を受けた時点からそれぞれ異なる時間間隔を置いた各タイミングで前記各Ｘ線照射装置を作動させる、ことを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記制御装置は、
各Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所に検査対象物が存在するかを検知可能に、これらＸ線照射箇所に対応してそれぞれ設けられる複数の検知器と、
前記Ｘ線照射装置を作動させる作動装置と、を備え、
前記各検知器は、検査対象物が前記Ｘ線照射箇所に存在することを検知したらその旨の検知信号を出力し、前記作動装置は、この検知信号に反応して、当該Ｘ線照射箇所にＸ線照射を行う前記Ｘ線照射装置を作動させる、ことを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記制御装置は、
前記Ｘ線検出装置が検出するＸ線の強度に基づいて、このＸ線を照射する前記Ｘ線照射装置のＸ照射箇所に検査対象物が存在するかを検知可能な検知器と、
前記Ｘ線照射装置を作動させる作動装置と、を備え、
前記検知器は、前記Ｘ線照射装置の前記Ｘ照射箇所に検査対象物が存在することを検知したら、その旨の検知信号を前記作動装置に出力し、前記作動装置は、この検知信号に反応して、当該Ｘ線照射装置の次に下流側に位置する前記Ｘ線照射装置を作動させる、ことを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送されてくる検査対象物をＸ線により検査するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査装置は、検査対象物が爆発物等の不審物でないかどうかを検査する装置である。例えば、Ｘ線検査装置は、空港の搭乗口における手荷物検査のために設けられる。
【０００３】
Ｘ線検査装置は、Ｘ線照射装置、Ｘ線検出装置などを備える。Ｘ線照射装置は、コンベア等により搬送されてくる検査対象物にＸ線を照射する。Ｘ線検出装置は、検査対象物を透過したＸ線を検出し、これにより、検査用データ（例えば、Ｘ線透過画像）が得られる。
【０００４】
近年、Ｘ線検査装置に複数のＸ線照射装置を設けることが提案されている。図６は、複数のＸ線照射装置を備えるＸ線検査装置を示し、（Ａ）は上面図であり（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線矢視図である。図６（Ａ）に示すように、複数のＸ線照射装置４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４１ｅ，４１ｆが、搬送方向上流側から順に配置される。また、図６（Ｂ）に示すように、複数のＸ線照射装置４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４１ｅ，４１ｆを、通過する検査対象物１に対し互いに異なる方向に配置することで、検査対象物１に対し異なる方向からＸ線を照射できるようになっている。これに合わせて、Ｘ線検出装置４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄ，４３ｅ，４３ｆも複数設けられ、複数の方向からの検査用データを得ることができる。これにより、検査対象物１の検査精度を向上させている。
複数のＸ線照射装置を用いたＸ線検査装置は、例えば下記の特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開２００３−２０７４６４  「手荷物検査システム」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、図６において、複数のＸ線照射装置４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４１ｅ，４１ｆは、センサ４５が検査対象物１を検知すると一斉に作動させられてＸ線を照射し、検査対象物１がこれらＸ線照射装置を通過するまで、Ｘ線の照射を継続する。そのため、Ｘ線照射に使用される電力量が大きくなる。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、複数のＸ線照射装置を備えるＸ線検査装置であって、Ｘ線照射に使用される電力量を抑えることができるＸ線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によると、搬送されてくる検査対象物をＸ線により検査するＸ線検査装置であって、
検査対象物の搬送方向に沿って順に配置され、搬送されてくる検査対象物にＸ線を照射する複数のＸ線照射装置と、
該複数のＸ線照射装置から照射され検査対象物を透過してきたＸ線をそれぞれ検出する複数のＸ線検出装置と、
検査対象物が搬送方向下流側に搬送されて来るに従って、前記複数のＸ線照射装置を搬送方向上流側から順に作動させて各Ｘ線照射装置にＸ線照射を行わせる制御装置と、を備える、ことを特徴とするＸ線検査装置が提供される。
【０００８】
上記構成では、制御装置は、検査対象物が搬送方向下流側に搬送されて来るに従って、前記複数のＸ線照射装置を搬送方向上流側から順に作動させて各Ｘ線照射装置にＸ線照射を行わせるので、検査対象物に照射されないＸ線放射量を低減できる。これにより、Ｘ線照射に使用される電力量を抑えることができる。
【０００９】
好ましくは、制御装置は、各Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所に検査対象物が到達する各タイミングで、前記各Ｘ線照射装置を作動させる。従って、検査対象物が各Ｘ線照射箇所に到達する前は、当該箇所にＸ線を照射しないようにできる。これにより、Ｘ線照射に使用される電力量を一層抑えることができる。
【００１０】
本発明の好ましい実施形態によると、前記制御装置は、
前記複数のＸ線照射装置の搬送方向上流側における所定位置に検査対象物が存在するかを検知可能な検知器と、
前記Ｘ線照射装置を作動させる作動装置と、を備え、
前記検知器は、前記所定位置に検査対象物が存在することを検知したらその旨の検知信号を前記作動装置に出力し、前記作動装置は、前記検知信号を受けた時点からそれぞれ異なる時間間隔を置いた各タイミングで前記各Ｘ線照射装置を作動させる。
【００１１】
上記実施形態では、前記検知器は、前記所定位置に検査対象物が存在することを検知したらその旨の検知信号を前記作動装置に出力し、前記作動装置は、前記検知信号を受けた時点からそれぞれ異なる時間間隔を置いた各タイミングで前記各Ｘ線照射装置を作動させる。このような手段を採用することで、検査対象物に照射されないＸ線照射量を低減できる。また、各時間間隔を適切に設定することで、各Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所に検査対象物が到達する各タイミングで、前記各Ｘ線照射装置を作動させて検査対象物にＸ線照射を行える。
【００１２】
本発明の別の実施形態によると、前記制御装置は、
各Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所に検査対象物が存在するかを検知可能に、これらＸ線照射箇所に対応してそれぞれ設けられる複数の検知器と、
前記Ｘ線照射装置を作動させる作動装置と、を備え、
前記各検知器は、検査対象物が前記Ｘ線照射箇所に存在することを検知したらその旨の検知信号を出力し、前記作動装置は、この検知信号に反応して、当該Ｘ線照射箇所にＸ線照射を行う前記Ｘ線照射装置を作動させる。
【００１３】
上記実施形態では、前記各検知器は、検査対象物が前記Ｘ線照射箇所に存在することを検知したらその旨の検知信号を出力し、前記作動装置は、この検知信号に反応して、当該Ｘ線照射箇所にＸ線照射を行う前記Ｘ線照射装置を作動させる。このような構成を採用することで、各Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所に検査対象物が到達する各タイミングで、前記各Ｘ線照射装置を作動させて検査対象物にＸ線照射を行える。
【００１４】
本発明の別の実施形態によると、前記制御装置は、
前記Ｘ線検出装置が検出するＸ線の強度に基づいて、このＸ線を照射する前記Ｘ線照射装置のＸ照射箇所に検査対象物が存在するかを検知可能な検知器と、
前記Ｘ線照射装置を作動させる作動装置と、を備え、
前記検知器は、前記Ｘ線照射装置の前記Ｘ照射箇所に検査対象物が存在することを検知したら、その旨の検知信号を前記作動装置に出力し、前記作動装置は、この検知信号に反応して、当該Ｘ線照射装置の次に下流側に位置する前記Ｘ線照射装置を作動させる。
【００１５】
上記実施形態では、検知器は、前記Ｘ線検出装置が検出するＸ線の強度に基づいて、このＸ線を照射する前記Ｘ線照射装置の前記Ｘ照射箇所に検査対象物が存在することを検知したら、その旨の検知信号を前記作動装置に出力し、前記作動装置は、この検知信号に反応して、当該Ｘ線照射装置の次に下流側に位置する前記Ｘ線照射装置を作動させる。このような構成を採用することで、検査対象物に照射されないＸ線照射量を低減できる。また、上記検知信号を受けてから適切な時間間隔を置いて次のＸ線照射装置を作動させるように前記作動装置を構成することで、各Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所に検査対象物が到達する各タイミングで、前記各Ｘ線照射装置を作動させて検査対象物にＸ線照射を行える。
【発明の効果】
【００１６】
上述した本発明によると、制御装置は、検査対象物の搬送方向下流側に搬送されて来るに従って、前記複数のＸ線照射装置を搬送方向上流側から順に作動させて各Ｘ線照射装置にＸ線照射を行わせるので、Ｘ線照射に使用される電力量を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明を実施するための最良の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００１８】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置１０の構成を示す上面図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線矢視図であり、図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視図である。図１〜図３に示すように、第１実施形態によるＸ線検査装置１０は、コンベヤ３によって一定速度で搬送されてくる検査対象物１をＸ線により検査する装置であって、複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ、複数のＸ線検出装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆ、制御装置９を備える。
【００１９】
複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆは、検査対象物１の搬送方向に沿って順に配置され、搬送されてくる検査対象物１にＸ線を照射する。図２の例では、これらＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆは、コンベヤ３に積載される検査対象物１（図２では、基準点Ａ）に対し異なる方向に配置される。
【００２０】
複数のＸ線検出装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆは、複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆにそれぞれ対応して設けられ、複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆから照射され検査対象物１を透過してきたＸ線をそれぞれ検出する。
【００２１】
制御装置９は、検査対象物１が搬送方向下流側に搬送されて来るに従って、複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを搬送方向上流側から順に作動（作動開始）させて各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆにＸ線照射を行わせる。好ましくは、制御装置９は、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆのＸ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆに検査対象物１が到達する各タイミングで、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させる。
第１実施形態によると、制御装置９は、検知器１１、作動装置１３を有する。
検知器１１は、複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆの搬送方向上流側における所定位置Ｐ（即ち、所定の搬送方向位置Ｐ）に検査対象物１が存在するかを検知可能であり、所定位置Ｐに検査対象物１が存在することを検知すると、その旨の検知信号を作動装置１３と後述の時間計測器１５に出力する。また、検知器１１は、所定位置Ｐに検査対象物１が存在していることを継続して検知する場合には、その間、継続して検知信号を出力する。検知器１１は、例えば発光素子と受光素子を用いた光学式のものであってもよく、他の構成を有するものであってもよい。
作動装置１３は、Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させる。作動装置１３は、検知信号を受けた時点からそれぞれ異なる時間間隔を置いた各タイミングで各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させる。これらの異なる時間間隔は、検査対象物１の搬送方向長さ、検査対象物１の一定搬送速度、および、上記所定位置Ｐと各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ（即ち、各Ｘ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ）との位置関係などに基づいて、予め定められて作動装置１３の記憶手段に記憶されてよい。一例では、これら時間間隔は、所定位置Ｐから各Ｘ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆまでの距離を検査対象物１の一定搬送速度で割った値である。このような時間間隔を設定することで、検査対象物１が各Ｘ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆに到達する各タイミングで、検査対象物１にＸ線を照射できる。
【００２２】
第１実施形態の制御装置９は、時間計測器１５をさらに有してよい。時間計測器１５は、検知器１１から上記検知信号を受け、この検知信号を受けている時間（即ち、検査対象物１が所定位置Ｐを通過するのに要する通過時間）をカウントし、このカウント値を作動装置１３に出力する。このカウント値は、一例では、検査対象物１の搬送方向長さを一定搬送速度で割った値に等しい。作動装置１３は、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動してから上記カウント値だけ時間経過した各時点で、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆの作動を停止させる。
【００２３】
次に、上述した第１実施形態によるＸ線検査装置１０の動作を説明する。
検査対象物１がコンベヤ３により搬送されて上記所定位置Ｐに到達すると、検査対象物１が検知器１１に検知され、検知器１１は検知信号を作動装置１３に出力する。次に、作動装置１３は、検知信号を受けた基準時点から時間のカウントを行い、これにより、自動的に、基準時点から時間間隔ｔ１だけ経過したタイミングでＸ線照射装置５ａを作動させ、基準時点から時間間隔ｔ２だけ経過したタイミングでＸ線照射装置５ｂを作動させ、・・・基準時点から時間間隔ｔ６だけ経過したタイミングでＸ線照射装置５ｆを作動させる。
一方、上記検知信号は、時間計測器１５にも出力され、時間計測器１５は検知信号を受けている時間をカウントし、このカウント値を作動装置１３に出力する。作動装置１３は、このカウント値をその記憶手段に記憶し、Ｘ線照射装置５ａを作動させてから上記カウント値だけ時間経過した時点で、Ｘ線照射装置５ａの作動を停止させ、Ｘ線照射装置５ｂを作動させてから上記カウント値だけ経過した時点でＸ線照射装置５ｂの作動を停止させ、・・・Ｘ線照射装置５ｆを作動させてから上記カウント値だけ経過した時点でＸ線照射装置５ｆの作動を停止させる。
なお、複数の検査対象物１が順次搬送されてくる場合に、検査対象物１の間隔が小さい場合には、これらを１つの検査対象物１と見なしてもよい。例えば、検知器１１が先行の検査対象物１を検知しなくなった時から次の検査対象物１を検知するまでの時間を、時間計測器１５が上記の検知信号に基づいて計測する。作動装置１３は、この計測値を受け、この計測値が所定値より小さいと判断した場合には、これらを１つの検査対象物と見なして、上述の動作を行ってもよい。
【００２４】
上述した第１実施形態のＸ線検査装置１０によると、検知器１１は、上記所定位置Ｐに検査対象物１が存在することを検知したらその旨の検知信号を作動装置１３に出力し、作動装置１３は、上記検知信号を受けた時点からそれぞれ異なる時間間隔を置いた各タイミングで各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させる。これにより、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆのＸ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆに検査対象物１が到達する各タイミングで、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させて検査対象物１にＸ線照射を行える。よって、Ｘ線照射に使用される電力量を抑えることができる。
また、作動装置１３は、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させてから、上記カウント値（即ち、当該Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所を検査対象物１が通過する時間）だけ経過した時点で、当該Ｘ線照射装置の作動を停止させる。これにより、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆのＸ線照射時間を最小限に抑えることができる。
【００２５】
［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態によるＸ線検査装置２０の構成を示す上面図である。以下において、第１実施形態と異なる第２実施形態の構成について説明するが、第２実施形態の他の構成は第１実施形態と同じであってよい。
【００２６】
第２実施形態では、制御装置の構成が第１実施形態と異なる。第２実施形態によると、制御装置１７は、複数の検知器１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆ、作動装置２１を有する。
複数の検知器１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆは、それぞれＸ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆに検査対象物１が存在するかを検知可能に、これらＸ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆに対応してそれぞれ設けられる。即ち、検知器１９ａは、Ｘ線照射箇所６ａに対応して設けられＸ線照射箇所６ａに検査対象物１が存在することを検知したら検知信号を出力し、検知器１９ｂは、Ｘ線照射箇所６ｂに対応して設けられＸ線照射箇所６ｂに検査対象物１が存在することを検知したら検知信号を出力し・・・検知器１９ｆは、Ｘ線照射箇所６ｆに対応して設けられＸ線照射箇所６ｆに検査対象物１が存在することを検知したら検知信号を出力する。検知器１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆは、例えば発光素子と受光素子を用いた光学式のものであってもよく、他の構成を有するものであってもよい。
作動装置２１は、各検出器からの上記検知信号に反応して、対応するＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させる。即ち、作動装置２１は、検出器１９ａから上記検知信号を受けるとＸ線照射装置５ａを作動させ、検出器１９ｂから上記検知信号を受けるとＸ線照射装置５ｂを作動させ、・・・検出器１９ｆから上記検知信号を受けるとＸ線照射装置５ｆを作動させる。
【００２７】
また、第２実施形態では、制御装置１７は、検査対象物１の通過時間を計測するために、検知器２３と時間計測器２５を有する。検知器２３は、複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆの上流側における所定位置Ｐに検査対象物１が存在するかを検知可能に設けられる。検知器２３は、所定位置Ｐに検査対象物が存在することを検知すると、その旨の検知信号を出力する。また、検知器２３は、所定位置Ｐに検査対象物１が存在していることを継続して検知する場合には、その間、継続して検知信号を出力する。検知器２３は、例えば発光素子と受光素子を用いた光学式のものであってもよく、他の構成を有するものであってもよい。時間計測器２５は、検知器２３から検知信号を受けている時間（即ち、検査対象物１が所定位置Ｐを通過するのに要する通過時間）をカウントし、このカウント値を作動装置２１に出力する。このカウント値は、一例では、検査対象物１の搬送方向長さを一定搬送速度で割った値に等しい。作動装置２１は、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動してから上記カウント値だけ時間経過したら、当該Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆの作動を停止させる。
【００２８】
次に、上述した第２実施形態によるＸ線検査装置２０の動作を説明する。
検査対象物１がコンベヤ３により搬送されて上記所定位置Ｐに到達すると、検査対象物１が検知器２３に検知され、この検知信号が時間計測器２５に出力される。時間計測器２５はこの検知信号を受けている時間をカウントし、このカウント値を作動装置２１に出力する。作動装置２１は、このカウント値をその記憶手段に記憶する。
その後、検査対象物１が搬送されてＸ線照射箇所６ａに到達すると、検知器１９ａは、Ｘ線照射箇所６ａに検査対象物１が存在することを検知して検知信号を作動装置２１に出力する。これと同時に、作動装置２１は、この検知信号に反応して、Ｘ線照射装置５ａを作動させる。また、作動装置２１は、Ｘ線照射装置５ａを作動させてから、時間計測をして、その記憶手段に記憶された上記カウント値だけ時間経過したと判断したら、Ｘ線照射装置５ａの作動を停止させる。その後、検査対象物１が、さらに搬送され次のＸ線照射箇所６ｂに到達すると、同様に、検知器１９ｂは、Ｘ線照射箇所６ｂに検査対象物１が存在することを検知して検知信号を作動装置２１に出力する。これと同時に、作動装置２１は、この検知信号に反応して、Ｘ線照射装置５ｂを作動させる。また、作動装置２１は、Ｘ線照射装置５ｂを作動させてから、時間計測をして、その記憶手段に記憶された上記カウント値だけ時間経過したと判断したら、Ｘ線照射装置５ｂの作動を停止させる。このような動作を、最も下流側のＸ線照射装置５ｆを作動させて作動停止させるまで行う。
なお、複数の検査対象物１が順次搬送されてくる場合に、検査対象物１の間隔が小さい場合には、これらを１つの検査対象物１と見なしてもよい。例えば、検知器２３が先行の検査対象物１を検知しなくなった時から次の検査対象物１を検知するまでの時間を、時間計測器２５が上記の検知信号に基づいて計測する。作動装置２１は、この計測値を受け、この計測値が所定値より小さいと判断した場合には、これらを１つの検査対象物と見なして、上述の動作を行ってもよい。
【００２９】
また、検知器２３と時間計測器２５を設けなくてもよい。この場合には、Ｘ線検査装置２０は次のように動作する。検査対象物１がコンベヤ３により搬送されＸ線照射箇所６ａに到達すると、検知器１９ａは、Ｘ線照射箇所６ａに検査対象物１が存在することを検知して検知信号を出力する。これと同時に、作動装置２１は、この検知信号に反応して、Ｘ線照射装置５ａを作動させる。その後、検知器１９ａが、Ｘ線照射箇所６ａにて検査対象物１を検知できなくなったら、その旨の非検知信号を出力する。これと同時に、作動装置２１は、この非検知信号に反応してＸ線照射装置５ａの作動を停止させる。その後、検査対象物１が、さらに搬送され次のＸ線照射箇所６ｂに到達すると、検知器１９ｂは、Ｘ線照射箇所６ｂに検査対象物１が存在することを検知して検知信号を出力する。これと同時に、作動装置２１は、この検知信号に反応して、Ｘ線照射装置５ｂを作動させる。その後、検知器１９ｂが、Ｘ線照射箇所６ｂにて検査対象物１を検知できなくなったら、その旨の非検知信号を出力する。これと同時に、作動装置２１は、この非検知信号に反応してＸ線照射装置５ｂの作動を停止させる。このような動作を、最も下流側のＸ線照射装置５ｆを作動させて作動停止させるまで行う。
【００３０】
上述した第２実施形態のＸ線検査装置２０によると、各検知器１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆは、検査対象物１がＸ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆに存在することを検知したらその旨の検知信号を出力し、作動装置２１は、この検知信号に反応して、当該Ｘ線照射箇所にＸ線照射を行うＸ線照射装置を作動させる。従って、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆのＸ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆに検査対象物１が到達する各タイミングで、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させて検査対象物１にＸ線照射を行える。よって、Ｘ線照射に使用される電力量を抑えることができる。
また、作動装置２１は、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させてから、上記カウント値（即ち、当該Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所を検査対象物１が通過する時間）だけ経過した時点で、当該Ｘ線照射装置の作動を停止させる。これにより、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆのＸ線照射時間を最小限に抑えることができる。または、作動装置２１は、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させてから、当該Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所に検査対象物１が存在しない旨の非検知信号を検知器１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆから受けると当該Ｘ線照射装置の作動を停止させる。これによっても、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆのＸ線照射時間を最小限に抑えることができる。
【００３１】
［第３実施形態］
図５は、本発明の第３実施形態によるＸ線検査装置３０の構成を示す上面図である。以下において、第１実施形態と異なる第３実施形態の構成について説明する。第３実施形態の他の構成は第１実施形態と同じであってよい。
【００３２】
第３実施形態では、制御装置１７の構成が第１実施形態と異なる。第３実施形態では、制御装置３１は、検知器３３、検知器３５、作動装置３７を有する。
検知器３３は、最も上流側に位置するＸ線照射箇所６ａに検査対象物１が存在するかを検知可能に設けられる。検知器３３は、最上流のＸ線照射箇所６ａに検査対象物１が存在することを検知すると、その旨の検知信号を作動装置３７に出力する。検知器３３は、例えば発光素子と受光素子を用いた光学式のものであってもよく、他の構成を有するものであってもよい。
検知器３５は、各Ｘ線検出装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆが検出するＸ線の強度に基づいて、このＸ線を照射するＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅまたは５ｆのＸ照射箇所に検査対象物１が存在するかを検知する。例えば、Ｘ線照射箇所６ａに関しては、次の通りである。検査対象物１がＸ線照射箇所６ａに存在しない状態において、Ｘ線照射装置５ａからＸ線を照射させた場合に、Ｘ線検出装置７ａが検出するＸ線の強度を基準強度として予め検知器３５の記憶手段に記憶させ、Ｘ線照射装置５ａからＸ線を照射させない場合にＸ線検出装置７ａが検出する強度（ゼロ）より大きく上記基準強度より小さい最小限値を予め検知器３５の記憶手段に記憶させる。検知器３５は、Ｘ線検出装置７ａが検出したＸ線の強度が上記基準強度より小さいかどうかを判断し、Ｘ線の強度が上記基準強度より小さくかつ上記最小限値より大きいと判断したら、Ｘ照射箇所に検査対象物１が存在することを検知し、その旨の検知信号を作動装置３７に出力する。他のＸ線照射箇所６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆに関しても、同様である。
作動装置３７は、検知器３３から上記検知信号を受けると、Ｘ線照射装置５ａを作動させる。また、作動装置３７は、検知器３５からＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄまたは５ｅのＸ照射箇所に検査対象物１が存在する旨の上記検知信号を受けると、当該検知信号に基づいて、当該Ｘ線照射装置の次に下流側に位置するＸ線照射装置を作動させる。作動装置３７は、この検知信号を受けたら、時間間隔を置かず、次のＸ線照射装置を作動させてもよい。代わりに、作動装置３７は、Ｘ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆの間の搬送方向距離を考慮した所定の時間間隔を置いて、次のＸ線照射装置の作動させてもよい。この所定の時間間隔は、検査対象物１が次のＸ線照射箇所に到達するタイミングで次のＸ線照射装置の作動を開始させるように設定される。
【００３３】
次に、上述した第３実施形態によるＸ線検査装置３０の動作について説明する。
検査対象物１がコンベヤ３により搬送されて最も上流側に位置するＸ線照射箇所６ａに到達すると、検知器３３は検査対象物１がＸ線照射箇所６ａに検査対象物１が存在することを検知し、その旨の検知信号を作動装置３７に出力する。作動装置３７は、この検知信号を受けると最も上流側に位置するＸ線照射装置５ａを作動させる。
これにより、Ｘ線照射装置５ａがＸ線を照射すると、このＸ線はＸ線照射箇所６ａの検査対象物１を透過してＸ線検出装置７ａに検出される。この時、検知器３５は、Ｘ線検出装置７ａが検出したＸ線の強度が上記基準強度より小さくかつ上記最小限値より大きいと判断して、Ｘ線照射箇所６ａに検査対象物１が存在する旨の検知信号を作動装置３７に出力する。作動装置３７は、この検知信号を受けると、Ｘ線照射装置５ａの次に下流側に位置するＸ線照射装置５ｂを作動させる。好ましくは、所定の時間間隔を置いて次のＸ線照射装置５ｂの作動を開始させる。これにより、検査対象物１が次のＸ線照射箇所６ｂに到達するタイミングで次のＸ線照射装置５ｂがＸ線を照射する。
このように、Ｘ線照射装置５ｂがＸ線を照射すると、上述と同様に、検知器３５は、Ｘ線検出装置７ｂが検出したＸ線の強度が上記基準強度より小さくかつ上記最小限値より大きいと判断して、Ｘ照射箇所６ｂに検査対象物１が存在する旨の検知信号を作動装置３７に出力する。作動装置３７は、この検知信号を受けると、Ｘ線照射装置５ｂの次に下流側に位置するＸ線照射装置５ｃを作動させる。好ましくは、所定の時間間隔を置いて次のＸ線照射装置５ｃの作動を開始させる。これにより、検査対象物１が次のＸ線照射箇所６ｃに到達するタイミングで次のＸ線照射装置５ｃがＸ線を照射する。このような動作を最も下流側に位置するＸ線照射装置５ｆを作動させるまで行う。
【００３４】
一方、検出器３５は、Ｘ線検出装置７ａが検出したＸ線の強度が上記基準強度と同じになったと判断したら、検査対象物１がＸ線照射箇所６ａを通過したことを示す非検知信号を作動装置３７に出力する。作動装置３７は、この非検知信号を受けると、Ｘ線照射装置５ａの作動を停止させる。同様に、検出器３５は、Ｘ線検出装置７ｂが検出したＸ線の強度が上記基準強度と同じになったと判断したら、非検知信号を作動装置３７に出力し、作動装置３７は、この非検知信号を受けると、Ｘ線照射装置５ｂの作動を停止させる。このような動作を最も下流側に位置するＸ線照射装置５ｆの作動を停止させるまで行う。
【００３５】
上述した第３実施形態によるＸ線検査装置３０では、検知器３５は、Ｘ線検出装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅまたは７ｆが検出するＸ線の強度に基づいて、このＸ線を照射するＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅまたは５ｆのＸ照射箇所に検査対象物１が存在することを検知したら、その旨の検知信号を作動装置３７に出力し、作動装置３７は、この検知信号に反応して、当該Ｘ線照射装置の次に下流側に位置するＸ線照射装置を作動させる。これにより、検査対象物１に照射されないＸ線照射量を低減できる。また、この検知信号を受けてから適切な時間間隔を置いて次のＸ線照射装置を作動させるように作動装置３７を構成することで、Ｘ線照射箇所６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆに検査対象物１が到達する各タイミングで、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させて検査対象物１にＸ線照射を行える。よって、Ｘ線照射に使用される電力量を抑えることができる。
また、作動装置３７は、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆを作動させてから、当該Ｘ線照射装置のＸ線照射箇所に検査対象物１が存在しない旨の非検知信号を検知器３５から受けると当該Ｘ線照射装置の作動を停止させる。これにより、各Ｘ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆのＸ線照射時間を最小限に抑えることができる。
【００３６】
本発明は上述した実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得ることは勿論である。  
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置の構成を示す上面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線矢視図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視図である。
【図４】本発明の第２実施形態によるＸ線検査装置の構成を示す上面図である。
【図５】本発明の第３実施形態によるＸ線検査装置の構成を示す上面図である。
【図６】複数のＸ線照射装置を有するＸ線検査装置の構成を示す上面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  検査対象物、３  コンベヤ
５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ  Ｘ線照射装置
６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ  Ｘ線照射箇所
７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆ  Ｘ線検出装置
９  制御装置、１０  Ｘ線検査装置、１１  検知器
１３  作動装置、１５  時間計測器、１７  制御装置
１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆ  検知器
２０  Ｘ線検査装置、２１  作動装置、２３  検知器
２５  時間計測器、３０  Ｘ線検査装置、３３  検知器
３５  検知器、３７  作動装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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