(57)【要約】【課題】  プローブカードの実装の有無やＤＵＴＩＦカバーに設けられた扉の開閉の状態に左右されずにＤＵＴＩＦ部の種別の判別が可能なＤＵＴインターフェース識別装置を提供する。【解決手段】      被試験対象とテストヘッドを接続するＤＵＴインターフェース部を備え、このＤＵＴインターフェース部の種類を識別するように構成されたＤＵＴインターフェース識別装置において、前記ＤＵＴインターフェース部が実装されているか否かを識別するＤＵＴＩＦ部実装認識回路と、前記ＤＵＴインターフェース部の種別を認識する種別認識回路と、前記ＤＵＴＩＦ部実装認識回路でＤＵＴＩＦ部の実装が認識されることを条件に前記種別認識回路に電源を供給する電源とを備える。【選択図】                    図１
2009063461.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験対象とテストヘッドを接続するＤＵＴインターフェース部を備え、このＤＵＴインターフェース部の種類を識別するように構成されたＤＵＴインターフェース識別装置において、
前記ＤＵＴインターフェース部が実装されているか否かを識別するＤＵＴＩＦ部実装認識回路と、
前記ＤＵＴインターフェース部の種別を認識する種別認識回路と、
前記ＤＵＴＩＦ部実装認識回路でＤＵＴＩＦ部の実装が認識されることを条件に前記種別認識回路に電源を供給する電源と
を備えたことを特徴とするＤＵＴインターフェース識別装置。
【請求項２】
被試験対象とテストヘッドを接続するＤＵＴインターフェース部を備え、このＤＵＴインターフェース部の種類を識別するように構成されたＤＵＴインターフェース識別装置において、
前記ＤＵＴインターフェース部が実装されているか否かを識別するＤＵＴＩＦ部実装認識回路と、
前記ＤＵＴインターフェース部に取り付けられるプローブカードが実装されているか否かを識別するプローブカード実装認識回路と、
前記ＤＵＴインターフェース部を囲い込むように取り付けられたＤＵＴＩＦカバー部に形成された扉部の開閉を感知する扉開閉感知スイッチと、
前記ＤＵＴインターフェース部の種別を認識する種別認識回路と、
前記ＤＵＴＩＦ部実装認識回路でＤＵＴＩＦ部の実装が認識され、前記プローブカード実装認識回路でプローブカードの実装が認識され、かつ、扉開閉感知スイッチで前記扉部が閉じていることが感知されることを条件に、前記プローブカードに電源を供給する第１の電源と、
前記ＤＵＴＩＦ部実装認識回路でＤＵＴＩＦ部の実装が認識されることを条件に前記種別認識回路に電源を供給する第２の電源と
を備えたことを特徴とするＤＵＴインターフェース識別装置。
【請求項３】
前記ＤＵＴＩＦ部実装認識回路でＤＵＴＩＦ部の実装が認識されることを条件に、前記第２の電源を前記種別認識回路に供給するスイッチを備えたことを特徴とする請求項２記載のＤＵＴインターフェース識別装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のＤＵＴインターフェース識別装置を半導体試験装置のＤＵＴインターフェース識別装置として用いたことを特徴とするＤＵＴインターフェース識別装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置のＤＵＴインターフェース識別装置に関し、特に、プローブカードの実装の有無やＤＵＴＩＦカバーに設けられた扉の開閉の状態に左右されずにＤＵＴＩＦ部の種別の判別が可能なＤＵＴインターフェース識別装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体試験装置は、被試験対象（以下ＤＵＴともいう）であるＩＣ、ＬＳＩ等に試験信号を与えることにより得られるＤＵＴの出力に基づき、ＤＵＴの良否の判定を行なうものである。このような半導体試験装置に関連する先行技術文献には次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５―３２１２３８号公報
【０００４】
ところで、このような半導体試験装置を用いてＤＵＴの良否判定を行なう際には、ＤＵＴインターフェースやインターフェースボードと呼ばれる接続具を介し、半導体試験装置のテストヘッドをＤＵＴに接続することが行われている。また、これらの接続具にはＤＵＴの性質により要求される機能が複数存在するが、同一種類の接続具では、これらの機能のすべてを実現することはできないため、複数の種類の中から適切なものが選ばれて実装される。なお、特許文献１によれば、各構成の名称こそ後述する図４と異なるが、接続具の利用形態を把握することができる。
【０００５】
以下、図２を参照して従来の半導体試験装置を説明する。図２は、従来の半導体試験装置の内部構成説明図である。プローブカード１０は、図示しない被試験対象の電極部の配置にあわせたプローブ針が複数本配列されたものであり、これらプローブ針を介して被試験対象の電極部に電気的に接続される。ＤＵＴインターフェース２０は、特許文献１ではコンタクトリングに代表される接続具やパフォーマンスボードの一部の機能を組み込んだものに相当し、プローブカード１０と接続される。
【０００６】
インターフェースボード３０は、ＤＵＴインターフェース２０とテストヘッド実装モジュール５０を、図示しないコネクタで中継する。ＤＵＴＩＦ部４０は、ＤＵＴインターフェース２０とインターフェースボード３０とで構成され、上述したように、複数の種類の中から適切なものが選ばれて実装される。テストヘッド実装モジュール５０は、複数のピンエレクトロニクスカード等からなる。ユーザカスタムボード７０は、ＤＵＴの周辺回路が搭載される。
【０００７】
図３は、従来の半導体試験装置の使用状態説明図である。図３のＤＵＴＩＦカバー部６０は、ユーザカスタムボード７０が搭載可能なＤＵＴインターフェース部に取り付けられるものであり、ユーザカスタムボード７０を抜き差しするための扉部６１が形成されている。また、この扉部６１には扉の開閉を感知する図示しないスイッチが備えられている。
【０００８】
図４は、従来の半導体試験装置のＤＵＴインターフェース識別装置の構成図である。種別認識回路３１は、複数の種類の中からＤＵＴＩＦ部４０の種別を判別する。ＤＵＴＩＦ部実装認識回路１０２は、複数の種類のＤＵＴＩＦ部４０のうちのいずれかが実装されていることを判別する。
【０００９】
扉開閉感知スイッチ１０３は、扉部６１の開閉を感知するスイッチである。プローブカード実装認識回路１０４は、プローブカード１０がＤＵＴインターフェース２０に実装されているか否かを判別する。
【００１０】
ＤＵＴＩＦ部電源２０１は、スイッチ部２０２がオンのとき、プローブカード１０と種別認識回路３１に電源を供給する。ここで、ＤＵＴＩＦ部電源２０１から引き出されている太い線は電源の供給ラインを表す。
【００１１】
したがって、ＤＵＴＩＦ部電源２０１が種別認識回路３１に電源を供給するためには、スイッチ部２０２がオンとなっていることが必要である。また、そのためには、扉開閉感知スイッチ１０３がオンとなり、プローブカード実装認識回路１０４でプローブカード１０が実装されていることが判別され、かつ、ＤＵＴＩＦ部実装認識回路１０２でＤＵＴＩＦ部４０が実装されていることが判別されることが必要となる。
【００１２】
なお、従来のＤＵＴＩＦ識別回路でこのような構成をとったのは、安全面の観点から、種別認識回路３１が通電状態となっているにもかかわらず、ＤＵＴＩＦ４０が交換（脱着）されることを防止するためである。
【００１３】
テストヘッド電源５２は、テストヘッド実装モジュール５０に電源を供給する。テスタコントローラ５０１は、種別認識回路３１との間でＤＵＴＩＦ部の種別に関する情報をやり取りする。
【００１４】
このように、従来の回路では、種別認識回路３１を動作させるＤＵＴＩＦ部電源２０１の他、テストヘッド電源５２が設けられ、さらに、種別認識回路３１を動作させるための電源は、ＤＵＴＩＦ部電源２０１を使用していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかし、従来のＤＵＴインターフェース識別装置には以下のような問題点があった。すなわち、種別認識回路３１に電源を供給するためには、扉開閉感知スイッチ１０３がオンとなり、プローブカード１０が実装され、かつ、ＤＵＴＩＦ部４０が実装されていることが必要となるため、ＤＵＴＩＦ部を異なる種類のものに変更した際は、再度これらの動作が満たされている状態で半導体試験装置を再起動する必要があった。
【００１６】
ところが、種別認識回路３１でＤＵＴＩＦ４０の種類を認識させるだけであれば、扉部６１の開閉状態などは特に問題にならない。このため、半導体試験装置の利用形態によっては、かえって操作が煩雑となる問題があった。
【００１７】
本発明は、これらの問題点に鑑みてなされたものであり、プローブカードの実装の有無やＤＵＴＩＦカバーに設けられた扉の開閉の状態に左右されずにＤＵＴＩＦ部の種別の判別が可能なＤＵＴインターフェース識別装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
このような課題を達成するために請求項１記載の発明は、
被試験対象とテストヘッドを接続するＤＵＴインターフェース部を備え、このＤＵＴインターフェース部の種類を識別するように構成されたＤＵＴインターフェース識別装置において、
前記ＤＵＴインターフェース部が実装されているか否かを識別するＤＵＴＩＦ部実装認識回路と、
前記ＤＵＴインターフェース部の種別を認識する種別認識回路と、
前記ＤＵＴＩＦ部実装認識回路でＤＵＴＩＦ部の実装が認識されることを条件に前記種別認識回路に電源を供給する電源と
を備える。
【００１９】
また、請求項２記載の発明は、
被試験対象とテストヘッドを接続するＤＵＴインターフェース部を備え、このＤＵＴインターフェース部の種類を識別するように構成されたＤＵＴインターフェース識別装置において、
前記ＤＵＴインターフェース部が実装されているか否かを識別するＤＵＴＩＦ部実装認識回路と、
前記ＤＵＴインターフェース部に取り付けられるプローブカードが実装されているか否かを識別するプローブカード実装認識回路と、
前記ＤＵＴインターフェース部を囲い込むように取り付けられたＤＵＴＩＦカバー部に形成された扉部の開閉を感知する扉開閉感知スイッチと、
前記ＤＵＴインターフェース部の種別を認識する種別認識回路と、
前記ＤＵＴＩＦ部実装認識回路でＤＵＴＩＦ部の実装が認識され、前記プローブカード実装認識回路でプローブカードの実装が認識され、かつ、扉開閉感知スイッチで前記扉部が閉じていることが感知されることを条件に、前記プローブカードに電源を供給する第１の電源と、
前記ＤＵＴＩＦ部実装認識回路でＤＵＴＩＦ部の実装が認識されることを条件に前記種別認識回路に電源を供給する第２の電源と
を備える。
【００２０】
請求項３記載の発明は、請求項２記載のＤＵＴインターフェース識別装置において、
前記ＤＵＴＩＦ部実装認識回路でＤＵＴＩＦ部の実装が認識されることを条件に、前記第２の電源を前記種別認識回路に供給するスイッチを備える。
【００２１】
請求項４記載の発明は、請求項２又は３に記載のＤＵＴインターフェース識別装置を半導体試験装置のＤＵＴインターフェース識別装置として用いる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明では、次のような効果がある。種別認識回路の電源を、テストヘッド電源からとったので、プローブカードの実装の有無や扉部の開閉の状態に左右されずにＤＵＴＩＦ部の種別の判別が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明のＤＵＴインターフェース識別装置の構成例について図１を参照して説明するが、図４と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図１は、本発明によるＤＵＴインターフェース識別装置の構成図、具体的には、半導体試験装置のＤＵＴインターフェース識別装置の構成図である。
【００２４】
スイッチ５１は、テストヘッド実装モジュール５０に設けられ、スイッチがオンの状態のときに、種別認識回路３１にテストヘッド電源５２から出力される電源を供給する。
【００２５】
次に、図１の動作を説明する。まず、ＤＵＴＩＦ部電源２０１に関連する動作を説明する。スイッチ部２０２は、扉開閉感知スイッチ１０３がオンとなり、プローブカード１０が実装されていることが判別され、かつ、ＤＵＴＩＦ部４０が実装されるとオン状態となることを条件にオンとなる。すなわち、このスイッチ部２０２を介してＤＵＴＩＦ部電源２０１がプローブカード１０に電源を供給する。図４との相違点は、ＤＵＴＩＦ部電源２０１は種別認識回路３１に電源を供給しない。
【００２６】
次に、テストヘッド電源５２に関連する動作を説明する。テストヘッド電源５２は、テストヘッド実装モジュール５０に電源を供給すると共に、このテストヘッド実装モジュール５０の内部に設けられているスイッチ５１がオンとなることにより、種別認識回路３１に電源を供給する。ここで、スイッチ５１がオンとなる条件は、ＤＵＴＩＦ部実装認識回路１０２でＤＵＴＩＦ部４０の実装を認識することである。
【００２７】
したがって、ＤＵＴＩＦ部４０の実装がされていなければ種別認識回路３１に電源が供給されることもないので、図４と同様に、通電状態でＤＵＴＩＦ４０が交換（脱着）されるという危険性を回避することができる。
【００２８】
また、このＤＵＴＩＦ部実装認識回路１０２は、ＤＵＴＩＦ部４０の実装を認識すると、テスタコントローラ５０１にもその旨の信号を出力する。テスタコントローラ部３０１は、この信号を受けると種別認識回路３１にアクセスし、ＤＵＴＩＦ部４０の種別を判別する。なお、テスタコントローラ部３０１は、種別認識回路３１にアクセスし、ＤＵＴＩＦ部４０の種別が前の状態と異なっていた場合には、必要な措置を実行する。
【００２９】
このように、種別認識回路３１の電源を、テストヘッド電源５２からとったので、プローブカード１０の実装の有無やＤＵＴＩＦカバー部６０に設けられた扉部６１の開閉の状態に左右されずにＤＵＴＩＦ部４０の種別の判別が可能となる。
【００３０】
また、ＤＵＴＩＦ部４０の実装がされていなければ種別認識回路３１に電源が供給されることもないので、通電状態でＤＵＴＩＦ４０が交換（脱着）されるという危険性を回避することができる。
【００３１】
なお、本実施例では、種別認識回路３１に与える電源を、テストヘッド電源５２からとっているが、専用の電源を新たに設けても良い。
【００３２】
また、図２のように、ユーザカスタムボード７０を搭載可能なシステムの場合には、ＤＵＴＩＦ部４０の種別は変更せず（すなわち、他の種類のものに交換（脱着）しない）、ユーザカスタムボード７０の種別を変更することによって、機能を変更する場合がある。このような場合には、ユーザカスタムボード７０の種別を判別できる図１と同様な回路を設けることにより、課題の解決を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明による半導体試験装置のＤＵＴインターフェース識別装置の構成図である。
【図２】従来の半導体試験装置の内部構成説明図である。
【図３】従来の半導体試験装置の使用状態説明図である。
【図４】従来の半導体試験装置のＤＵＴインターフェース識別装置の構成図である。
【符号の説明】
【００３４】
１０        プローブカード
２０        ＤＵＴインターフェース
３０        インターフェースボード
４０        ＤＵＴＩＦ部
５０        テストヘッド実装モジュール
６０        ＤＵＴＩＦカバー部
６１        扉部
１０１      種別認識回路
１０２      ＤＵＴＩＦ部実装認識回路
１０３      扉開閉感知スイッチ
１０４      プローブカード実装認識回路
２０１      ＤＵＴＩＦ部電源
２０２      スイッチ部
４０１      テストヘッド電源
５０１      テスタコントローラ部          
【図１】
2009063461.tif 000003
【図２】
2009063461.tif 000004
【図３】
2009063461.tif 000005
【図４】
2009063461.tif 000006