(57)【要約】【課題】各種加工条件の設定を簡単に行うことができ、操作性の高いダイシング装置を提供する。【解決手段】ワークを複数の撮影エリアに分けて部分的に撮影し、得られた部分画像を合成して、ワーク全体の画像を生成する。得られたワーク全体の画像を操作パネル２０に表示させ、ワーク全体の画像を見ながら、そのワークに対する加工条件を設定できるようにする。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークテーブルに載置されたワークをあらかじめ設定された加工条件に従って切削するダイシング装置において、
前記ワークテーブルに載置されたワークの一部を顕微鏡で拡大して撮影する撮影手段と、
前記ワークテーブルと前記撮影手段とを相対的に移動させる移動手段と、
前記撮影手段で得られた前記ワークの部分画像を合成して、前記ワークの全体画像を生成する画像合成手段と、
表示手段と、
前記画像合成手段で生成されたワークの全体画像を前記表示手段に表示させる表示制御手段と、
前記ワークの全体画像が表示された前記表示手段の画面上で前記ワークに対する加工条件を設定する設定手段と、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。
【請求項２】
前記設定手段は、加工条件として、切削するラインの順番、アライメント実行ポジション、カーフチェック実行ライン、切削中に行う補正ライン、各ラインの切削条件の少なくとも一つを設定することを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
【請求項３】
前記画像合成手段で生成されたワークの全体画像と、前記設定手段で設定された加工条件とを関連づけて記録する記録手段と、
前記記録手段に記録されている個々のワークの全体画像を前記表示手段にインデックス表示させるインデックス表示制御手段と、
前記表示手段にインデックス表示されたワークの中から加工対象とするワークを選択する選択手段と、
を備え、前記表示制御手段は、前記選択手段で選択されたワークの全体画像を前記表示手段に表示させる一方、前記設定手段は前記選択手段で選択されたワークの加工条件をあらたな加工条件に設定することを特徴とする請求項１又は２に記載のダイシング装置。
【請求項４】
前記表示制御手段は、前記表示手段に表示されたワークの全体画像に重ねて切削済みのラインを区別可能に表示することを特徴とする請求項１、２又は３に記載のダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシング装置に係り、特にあらかじめ設定された加工条件に従ってワークを自動的に切削するダイシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にダイシング装置は、水平方向に移動自在に設けられたワークテーブルと、そのワークテーブルに対して進退移動自在に設けられたブレードとを備えて構成され、ワークテーブルを水平に移動させながら、そのワークテーブルに保持されたワークの表面に回転するブレードを当接させて、ワークをサイの目状に分断する。
【０００３】
このダイシング装置において、ワークは、ワークごとに設定された切削ラインに沿って切削される。特許文献１〜３には、ワークテーブルに保持されたワークをカメラで撮影し、得られた画像からワークに設定された切削ラインの位置を検出する方法が記載されている。また、特許文献４〜５には、ワークテーブルに保持されたワークをカメラで撮影し、所定のパターンを認識して、切削ラインに対するブレードの位置決めを行う方法が記載されている。
【特許文献１】特開平６−２３２２５３号公報
【特許文献２】特開平６−２３２２５４号公報
【特許文献３】特開平６−２３２２５５号公報
【特許文献４】特開平６−１２０３３５号公報
【特許文献５】特開平１１−８７２７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のように、ワークは切削ラインに沿って切削されるが、切削する順番は異なる場合があり、事前にワークごとに設定する必要がある。従来のダイシング装置では、切削するラインの座標や切削するラインの番号をオペレータが手作業で入力し、正しく動作するかを確認しながら設定していた。このため、設定に多大な手間がかかり、稼働効率が低下するという欠点があった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、各種加工条件の設定を簡単に行うことができ、操作性の高いダイシング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る発明は、前記目的を達成するために、ワークテーブルに載置されたワークをあらかじめ設定された加工条件に従って切削するダイシング装置において、前記ワークテーブルに載置されたワークの一部を顕微鏡で拡大して撮影する撮影手段と、前記ワークテーブルと前記撮影手段とを相対的に移動させる移動手段と、前記撮影手段で得られた前記ワークの部分画像を合成して、前記ワークの全体画像を生成する画像合成手段と、表示手段と、前記画像合成手段で生成されたワークの全体画像を前記表示手段に表示させる表示制御手段と、前記ワークの全体画像が表示された前記表示手段の画面上で前記ワークに対する加工条件を設定する設定手段と、を備えたことを特徴とするダイシング装置を提供する。
【０００７】
請求項１に係る発明によれば、撮影手段で撮影して得られたワークの部分画像から全体画像が生成され、その全体画像が表示手段に表示される。そして、そのワークの全体画像が表示された表示手段の画面上でそのワークに対する加工条件が設定される。これにより、効率よくワークに対する加工条件を設定することができる。
【０００８】
請求項２に係る発明は、前記目的を達成するために、前記設定手段は、加工条件として、切削するラインの順番、アライメント実行ポジション、カーフチェック実行ライン、切削中に行う補正ライン、各ラインの切削条件の少なくとも一つを設定することを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置を提供する。
【０００９】
請求項２に係る発明によれば、ワークの全体画像が表示された表示手段の画面上で、切削するラインの順番、アライメント実行ポジション、カーフチェック実行ライン、切削中に行う補正ライン、各ラインの切削条件等を設定することができる。これにより、簡単かつ確実に切削するラインの順番、アライメント実行ポジション、カーフチェック実行ライン、切削中に行う補正ライン、各ラインの切削条件等を設定することができる。
【００１０】
請求項３に係る発明は、前記目的を達成するために、前記画像合成手段で生成されたワークの全体画像と、前記設定手段で設定された加工条件とを関連づけて記録する記録手段と、前記記録手段に記録されている個々のワークの全体画像を前記表示手段にインデックス表示させるインデックス表示制御手段と、前記表示手段にインデックス表示されたワークの中から加工対象とするワークを選択する選択手段と、を備え、前記表示制御手段は、前記選択手段で選択されたワークの全体画像を前記表示手段に表示させる一方、前記設定手段は前記選択手段で選択されたワークの加工条件をあらたな加工条件に設定することを特徴とする請求項１又は２に記載のダイシング装置を提供する。
【００１１】
請求項３に係る発明によれば、ワークに設定された加工条件が、そのワークの全体画像とともに記憶手段に記憶され、必要に応じて呼び出すことができる。特定のワークの加工条件を呼び出す場合は、記憶手段に記憶されているワークの全体画像を表示手段にインデックス表示させ、その中の一つを選択することにより行われる。これにより、簡単に加工条件の設定を行うことができ、装置の稼働効率を向上させることができる。
【００１２】
請求項４に係る発明は、前記目的を達成するために、前記表示制御手段は、前記表示手段に表示されたワークの全体画像に重ねて切削済みのラインを区別可能に表示することを特徴とする請求項１、２又は３に記載のダイシング装置を提供する。
【００１３】
請求項４に係る発明によれば、表示制御に表示されたワークの全体画像に重ねて切削済みのラインが区別可能に表示される。これにより、ワークの切削状況を容易に把握することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、各種加工条件を簡単に設定することができ、操作性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００１６】
＜ダイシング装置の構成＞
図１は、本発明が適用されたダイシング装置の外観構成を示す斜視図である。同図に示すように、本実施の形態のダイシング装置１０は、加工対象のワークＷを供給・回収する供給・回収部１２と、ワークＷを加工する加工部１４と、加工後のワークＷを洗浄する洗浄部１６と、ワークＷを搬送する搬送部１８と、各種操作を行う操作パネル２０と、全体の動作を制御する制御部（図示せず）とを備えて構成されている。
【００１７】
ワークＷを供給・回収する供給・回収部１２は、ロードポート２２を備えており、このロードポート２２にワークＷが多数枚格納されたカセット（図示せず）がセットされる。なお、加工対象のワークＷは、所定のフレームＦにマウントされた状態でカセットに格納される。
【００１８】
ワークＷを加工する加工部１４は、図２に示すように、ワークＷを吸着保持するワークテーブル２４と、そのワークテーブル２４に保持されたワークＷを切削する一対のブレード２６Ａ、２６Ｂと、ワークテーブル２４に保持されたワークＷの表面を拡大して撮影するカメラユニット２８とを備えて構成されている（いわゆるツインスピンドルタイプの加工部）。
【００１９】
ワークテーブル２４は、水平に設置されたＸ軸テーブル３０の上に設けられており、そのワークテーブル本体２４Ａに内蔵された図示しないθ軸モータに駆動されて、中心軸（θ軸）回りに回転する。
【００２０】
Ｘ軸テーブル３０は、水平に設置されたＸ軸ベース３２の上に所定の間隔をもって水平に配設された一対のＸ軸ガイド３４、３４の上をスライド自在に設けられている。この一対のＸ軸ガイド３４、３４の間には、リニアモータ３６が配設されており、Ｘ軸テーブル３０は、このリニアモータ３６に駆動されて、Ｘ軸ガイド３４、３４の上を図中Ｘ方向にスライドする。そして、このＸ軸テーブル３０が、Ｘ軸ガイド３４、３４の上をスライドすることにより、ワークテーブル２４が、図中Ｘ方向に水平移動する。
【００２１】
一対のブレード２６Ａ、２６Ｂは、それぞれワークテーブル２４の上方に配設されており、その切削方向が、ワークテーブル２４の移動方向（図中Ｘ方向）と平行になるように配設されている（その回転軸が、ワークテーブル２４の移動方向と直交するように配設されている。）。
【００２２】
各ブレード２６Ａ、２６Ｂは、スピンドル３８Ａ、３８Ｂに取り付けられており、このスピンドル３８Ａ、３８Ｂに駆動されて回転する。
【００２３】
スピンドル３８Ａ、３８Ｂは、それぞれ垂直に設置されたブレード用Ｚ軸テーブル４０Ａ、４０Ｂに取り付けられている。ブレード用Ｚ軸テーブル４０Ａ、４０Ｂは、それぞれブレード用Ｙ軸テーブル４２Ａ、４２Ｂに設けられた一対のブレード用Ｚ軸ガイド４４、４４の上をスライド自在に設けられている。このブレード用Ｙ軸テーブル４２Ａ、４２Ｂは、垂直に設置されており、ブレード用Ｚ軸テーブル４０Ａ、４０Ｂは、このブレード用Ｙ軸テーブルに設けられた図示しない駆動手段（たとえば、送りネジ機構）に駆動されて、ブレード用Ｚ軸ガイド４４、４４の上をＺ方向（Ｘ−Ｙ平面に直交する方向）にスライドする。そして、このブレード用Ｚ軸テーブル４０Ａ、４０Ｂが、ブレード用Ｚ軸ガイド４４、４４の上をスライドすることにより、ブレード２６Ａ、２６Ｂが、Ｚ方向に垂直移動し、ワークテーブル２４に対して垂直に進退移動する。
【００２４】
また、このブレード用Ｚ軸テーブル４０Ａ、４０Ｂが設けられたブレード用Ｙ軸テーブル４２Ａ、４２Ｂは、Ｙ軸ベース４６に設けられた一対のブレード用Ｙ軸ガイド４８、４８の上をスライド自在に設けられている。このＹ軸ベース４６は、門型に形成されており、ブレード用Ｘ軸ベース３２を跨いで垂直に立設されている。ブレード用Ｙ軸テーブル４２Ａ、４２Ｂは、このＹ軸ベース４６に設けられた図示しない駆動手段（たとえば、送りネジ機構）に駆動されて、ブレード用Ｙ軸ガイド４８、４８の上を図中Ｙ方向にスライドする。そして、このブレード用Ｙ軸テーブル４２Ａ、４２Ｂが、ブレード用Ｙ軸ガイド４８、４８の上をスライドすることにより、ブレード２６Ａ、２６Ｂが、図中Ｙ方向に水平移動し、その切削位置が変化する。
【００２５】
カメラユニット２８は、被写体像を拡大する顕微鏡と、その顕微鏡で拡大された像を撮影するカメラ（電子カメラ）とを備えて構成されている。図２に示すように、カメラユニット２８は、ワークテーブル２４の上方位置に鉛直下向きに設置されており、ワークテーブル２４に保持されたワークＷを真上から見下ろすように撮影する。
【００２６】
このカメラユニット２８は、垂直に設置されたカメラ用Ｚ軸テーブル５０に取り付けられている。カメラ用Ｚ軸テーブル５０は、カメラ用Ｙ軸テーブル５２に設けられた一対のカメラ用Ｚ軸ガイド５４、５４の上をスライド自在に設けられている。カメラ用Ｙ軸テーブル５２は、垂直に設置されており、カメラ用Ｚ軸テーブル５０は、このカメラ用Ｙ軸テーブル５２に設けられた図示しない駆動手段（たとえば、送りネジ機構）に駆動されて、カメラ用Ｚ軸ガイド５４の上をＺ方向にスライドする。そして、このカメラ用Ｚ軸テーブル５０が、カメラ用Ｚ軸ガイド５４の上をスライドすることにより、カメラユニット２８が、Ｚ方向に垂直移動し、ワークテーブル２４に対して垂直に進退移動する。
【００２７】
また、このカメラ用Ｚ軸テーブル５０が設けられたＹ軸テーブル５２は、Ｙ軸ベース４６に設けられた一対のカメラ用Ｙ軸ガイド５８、５８の上をスライド自在に設けられている。カメラ用Ｙ軸テーブル５２は、このＹ軸ベース４６に設けられた図示しない駆動手段（たとえば、送りネジ機構）に駆動されて、カメラ用Ｙ軸ガイド５８、５８の上を図中Ｙ方向にスライドする。そして、このカメラ用Ｙ軸テーブル５２が、カメラ用Ｙ軸ガイド５８、５８の上をスライドすることにより、カメラユニット２８が、図中Ｙ方向に水平移動する。水平方向の撮影位置が変化する。
【００２８】
以上のように構成された加工部１４は、ワークＷを保持したワークテーブル２４を水平に移動させながら、そのワークテーブル２４に保持されたワークＷの表面に回転するブレード２６Ａ、２６Ｂを当接させて、ワークＷをサイの目状に分断する。
【００２９】
洗浄部１６は、図１に示すように、スピン洗浄装置１６Ａを備えており、このスピン洗浄装置１６Ａによって、加工後のワークＷをスピン洗浄する。
【００３０】
搬送部１８は、ハンドリングロボット１８Ａを備えており、このハンドリングロボット１８Ａによって、各部の間のワークＷの搬送を行う。すなわち、このハンドリングロボット１８Ａによって、供給・回収部１２のカセットからワークＷを取り出して、加工部１４に搬送するとともに、加工部１４で加工済みのワークＷを加工部１４から回収して、洗浄部１６に搬送する。また、洗浄部１６で洗浄後のワークＷを洗浄部１６から回収し、供給・回収部１２に搬送して、供給・回収部１２のカセットに格納する。
【００３１】
操作パネル２０は、所定の情報を表示するディスプレイ２０Ａと、そのディスプレイの表示画面上に配設されたタッチパネル２０Ｂとで構成されている（図３参照）。
【００３２】
図３は、本実施の形態のダイシング装置１０の制御系の構成を示すブロック図である。
【００３３】
制御部６０は、ＣＰＵ６２、ＲＡＭ６４、ＲＯＭ６６を備えており、ＣＰＵ６２は、所定の制御プログラムに従って各種処理を実行し、ダイシング装置全体の動作を統括制御する。ＲＯＭ６６には、このＣＰＵ６２が、実行する制御プログラムや制御に必要な各種データが記録されている。
【００３４】
加工部１４に備えられたリニアモータ３６や各種駆動手段は、この制御部６０からの指令に従って動作する。同様に洗浄部１６に備えられたスピン洗浄装置１６Ａ、及び、搬送部１８に備えられたハンドリングロボット１８Ａは、この制御部６０からの指令に従って動作する。
【００３５】
また、ディスプレイ２０Ａは、この制御部６０によって表示が制御され、タッチパネル２０Ｂの操作情報は、この制御部６０に入力される。
【００３６】
また、加工部１４に備えられたカメラユニット２８Ａ、２８Ｂは、この制御部６０からの指令に応じて画像を撮影し、得られた画像を制御部６０に出力する。
【００３７】
また、この制御部６０には、記憶部６８が接続されており、この記憶部６８に加工条件等のデータが記憶される。記憶部６８は、たとえば、フラッシュメモリ、ＨＤＤ等で構成され、制御部６０からの指令に応じてデータの読み書きが行われる。
【００３８】
＜加工条件の設定方法＞
ワークＷは、あらかじめ設定された加工条件に従って加工される。したがって、事前に加工条件を設定する必要がある。以下、この加工条件の設定方法について説明する。
【００３９】
加工条件は、ワークＷの種類ごとに設定される。本実施の形態のダイシング装置１０では、モデルの登録処理を実行することにより、加工条件の設定が行われる。
【００４０】
モデルの登録処理は、操作パネルでモデルの登録処理実行の指示を入力することにより開始される。この場合、まず、アライメントの処理が実行される。図４は、アライメントの処理手順を示すフローチャートである。
【００４１】
操作パネル２０からモデルの登録処理実行の指示が入力されると、供給・回収部１２のカセットからワークＷが取り出され、ワークテーブル２４にセットされる。そして、所定アライメント位置に搬送される。
【００４２】
ワークＷがアライメント位置に搬送されると、カメラユニット２８によってワークＷの表面が撮影される。そして、その映像が操作パネル２０にリアルタイムに表示される。オペレータは、この操作パネル２０に表示された映像を見て、切削する位置を決定する（ステップＳ１０）。ここでは、ワークの一番手前の切削する位置の左端と右端をオペレータが映像を見て決定し、切削する位置を決定する（操作パネル２０で位置を指定する。）。
【００４３】
切削する位置が決定されると、制御部６０は、モデル（ワーク）の登録処理を実行する（ステップＳ１１）。ここでは、切削する位置と、今回登録したワークとの位置関係と、画像を取り込み、データを一時的に保存する（たとえば、ＲＡＭ６４に一時的に保存する。）。
【００４４】
次に、テストアライメントの処理を実行する（ステップＳ１２）。すなわち、実際にアライメントを実行し、正しい位置関係にワークが存在するかを確認する。なお、アライメントは、公知の技法を用いて実行される。
【００４５】
そして、正常にアライメントが行われると、制御部６０は、一時的に保存していたデータを加工条件のレシピに保存する（ステップＳ１３）。このレシピは、ワークごとに用意され、記憶部６８に格納される。
【００４６】
この後、制御部６０は、ワークテーブル２４に保持されたワークＷをカメラユニット２８で撮影し、ワーク全体の画像を取得する（ステップＳ１４）。
【００４７】
ところで、上記のように、カメラユニット２８は、顕微鏡を介してワークＷの一部を拡大して撮影するものであるので、ワーク全体の形状を撮影することはできない。
【００４８】
そこで、複数回に分けてワークＷを部分的に撮影し、得られた画像（部分画像）を合成して、ワーク全体の画像を生成する。
【００４９】
たとえば、図５（ａ）に示すように、ワークＷに対してカメラユニット２８の撮影エリアが破線のように設定されていると仮定する。この場合、同図（ｂ）に示すように、撮影部位が重なるように個々の撮影エリアを設定し、複数回に分けてワークＷを部分的に撮影する（図中各撮影エリアの右上隅又は左上隅の符号は撮影の順位を示す符号）。制御部６０は、得られた個々の撮影エリアの画像データを、その撮影エリアの位置情報と共にＲＡＭ６４に格納する。
【００５０】
図６（ａ）は、このようにして撮影された個々の撮影エリアの画像の例である。制御部６０は、同図（ｂ）に示すように、撮影エリアの位置情報を元に個々の画像を合成する。そして、同図（ｃ）に示すように、ワーク全体の画像を生成する。なお、この種の合成手法は公知の技術であるので、その具体的な画像処理の手法についての説明は省略する。
【００５１】
このように、制御部６０は、複数回に分けてワークＷの部分画像を撮影し、得られた部分画像を合成して、ワーク全体の画像を生成する。制御部６０は、得られたワーク全体の画像を加工条件のレシピに関連づけて記憶部６８に格納する（ステップＳ１５）。
【００５２】
以上一連の工程でアライメントの処理が完了する。この後、制御部６０は、得られたワークの全体形状の画像を操作パネル２０に表示させる。
【００５３】
図７は、操作パネル２０の表示例を示す図である。同図に示すように、操作パネル２０には、所定のワーク表示領域７０にワークの全体形状の画像が表示されるとともに、所定の操作領域７２に各種操作ボタン類が表示される。
【００５４】
オペレータは、ワーク表示領域７０に表示されたワークの全体形状の画像を確認しながら、操作領域７２に表示された操作ボタンを操作して、各種加工条件を設定する。たとえば、切削するラインの順番、アライメント実行ポジション、カーフチェック実行ライン、切削中に行う補正ライン、各ラインの切削条件等を設定する。
【００５５】
なお、条件の設定は、たとえば、メニュー画面で該当する条件の設定画面を呼び出すことにより行われる。この場合、必要に応じて操作パネル２０の表示が切り換わり、所要の条件が入力できるようになる。
【００５６】
また、たとえば、上記の切削するラインの順番やアライメント実行ポジション、カーフチェック実行ライン、切削中に行う補正ライン、各ラインの切削条件等は、ワーク表示領域７０に表示されたワークの画像上のタッチして、直接指示できるようにしてもよい。これにより、より簡単に加工条件の設定を行うことができる。
【００５７】
そして、このように設定された個々の加工条件の情報は、記憶部６８に記憶された加工条件のレシピに記録される。
【００５８】
オペレータは、必要な加工条件の情報をすべて入力した後、加工実行の指示を与える。
【００５９】
このように、本実施の形態のダイシング装置１０では、実際のワークの画像を見ながら各種加工条件の設定を行うことができる。これにより、簡単に加工条件の設定を行うことができるとともに、設定ミスが生じるのも効果的に防止することができる。
【００６０】
なお、図７に示した操作パネル２０の表示は一例であり、他の表示形態を採ることもできる。
【００６１】
また、本実施の形態では、タッチパネル２０Ｂで操作指示を入力する構成としているが、入力デバイスの構成は、これに限定されるものではない。マウスやジョイスティック等の入力デバイスを用いて操作指示を入力する構成とするようにしてもよい。
【００６２】
なお、上記のように、加工条件のレシピは、ワーク全体の画像とともに記憶部６８に記憶されるので、再度同じワークを加工する場合は、該当する加工条件のレシピを読み出せば、簡単に加工条件の設定を行うことができる。この場合、ワーク全体の画像を操作パネル２０に表示し、そのワーク全体の画像を選択して、加工条件のレシピの読み出しを行うことにより、簡単に加工条件のレシピの読み出しを行うことができる。
【００６３】
図８は、この加工条件のレシピの選択画面の一例を示す図である。同図に示すように、記憶部６８に格納されている各加工条件のレシピに対応するワークの全体画像が、操作パネル２０に一覧表示される。より具体的には、操作パネル２０の表示画面に設定されたインデックス表示領域７３にサムネイル画像（縮小画像）によってインデックス表示される。オペレータは、このインデックス表示領域７３にインデックス表示されたワークのサムネイル画像を選択（タッチ）して、設定済みの加工条件のレシピを読み出す。これにより、簡単かつ確実に過去の加工条件のレシピを読み出すことができる。
【００６４】
なお、このようにして読み出された加工条件は、必要に応じて修正、変更することができる。この場合、新たな加工条件の設定は、上記同様にワーク全体の画像を操作パネル２０に表示しながら行われる。
【００６５】
また、加工条件が修正、変更された場合、そのレシピは、修正、修正された部分が書き直されて、記憶部６８に記録される。すなわち、更新される。
【００６６】
なお、更新するのではなく、別データとして記録するようにしてもよい。また、オペレータに別データとして記録するか、更新して記録するかを選択させ、その選択結果に応じて記録するようにしてもよい。
【００６７】
なお、上記の例では、ワークの画像をサムネイル画像によってインデックス表示させているが、１画像ずつ順にコマ送り、コマ戻しさせて表示し、該当するワークの画像を選択するようにしてもよい。
【００６８】
また、これらの表示の切り替え（インデックス表示と１コマ表示の切り替え）をオペレータが任意に行うことができるようにしてもよい。
【００６９】
また、インデックス表示させる画像の数もオペレータが任意に設定できるようにしてもよい。
【００７０】
なお、本例では、ワークの全体画像を加工条件の設定に用いているが、加工中もこのワークの全体画像を操作パネル２０に表示させることが好ましい。これにより、現在加工中のワークの種類を簡単に確認することができる。
【００７１】
また、このように加工中もワークの全体画像を操作パネル２０に表示する場合は、図９に示すように、切削済みのラインを示す線を当該ワークの全体画像に重ねて表示させることが好ましい。これにより、切削済みのラインを簡単に識別でき、加工の進行状況を簡単に確認することができる。この場合、リアルタイムに切削済みのラインを示す線を表示することがより好ましい。
【００７２】
なお、上記実施の形態では、本発明をいわゆるツインスピンドルタイプのダイシング装置に適用した場合を例に説明したが、シングルタイプのダイシング装置（ブレードが一つのみのダイシング装置）にも同様に適用することができる。
【００７３】
また、上記実施の形態では、カメラユニットは、１台のみであるが、ツインスピンドルタイプのダイシング装置にあっては、各ブレードに対応してカメラユニットを設置するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】ダイシング装置の外観構成を示す斜視図
【図２】加工部の構成を示す平面図
【図３】ダイシング装置の制御系の構成を示すブロック図
【図４】アライメントの処理手順を示すフローチャート
【図５】ワークの撮影方法の概念図
【図６】ワークの全体画像の生成方法の概念図
【図７】操作パネルの表示例を示す図
【図８】加工条件のレシピの選択画面の一例を示す図
【図９】ワーク加工中の操作パネルの表示例を示す図
【符号の説明】
【００７５】
１０…ダイシング装置、１２…供給・回収部、１４…加工部、１６…洗浄部、１８…搬送部、２０…操作パネル、２０Ａ…ディスプレイ、２０Ｂ…タッチパネル、２４…ワークテーブル、２６Ａ、２６Ｂ…ブレード、２８…カメラユニット、６０…制御部、６８…記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
2009278029.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009278029.tif 000009
【図８】
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【図９】
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