(57)【要約】【課題】小型かつ簡単な構成においてインクを供給可能なピットイン方式を採用しつつも、生産ラインにおいても高い信頼性を保ち、インクを供給する。【解決手段】本発明に係る液滴吐出装置は、インクタンクと、インクタンクと流路によって接続され、インクを吐出するインクジェットヘッド１８と、インクタンクと流路によって接続され、インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口面を備えたインク供給口２３と、インク供給口２３の開口面を密閉する密閉部材と、インクジェットヘッド１８とインク供給口２３をメンテナンスする共通のメンテナンス機構とを備えている。メンテナンス機構はワイピングユニット６０およびワイピングブレード６１からなる。インク供給後、ワイピングユニット６０が矢印方向に移動することによって、ワイピングブレード６１がインクジェットヘッド１８のノズル面と、インク供給口２３の開口面とを続けて清掃する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを収容するタンクと、
前記タンクと流路によって接続され、前記インクを吐出するインクジェットヘッドと、
前記タンクとインク供給路により接続され、前記インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口面を備えたインク供給口と、
前記インク供給口を通じて、前記タンクに前記インクを供給するインク供給装置と、
前記インク供給装置と供給配管を通じて接続されており、前記インクの供給時に前記インク供給口の開口面を密閉する密閉部材と、
前記インクの供給後、前記インク供給口の開口面と、前記インクジェットヘッドのノズル面とをメンテナンスする、共通のメンテナンス機構とを備えている液滴吐出装置。
【請求項２】
前記インク供給口の開口面は撥水性を有しており、
前記メンテナンス機構は、前記インクジェットヘッドのノズル面と前記インク供給口の開口面とを、それぞれワイピングすることによってメンテナンスすることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記メンテナンス機構が前記インク供給口の開口面をメンテナンスした後、前記インク供給口の開口面を検査する検査機構をさらに備えている請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記密閉部材は、前記メンテナンス機構に設けられており、
前記インクの供給時に、前記メンテナンス機構が上下駆動することによって、前記インク供給口を密閉することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記タンクは可撓性を有し、かつ、圧力操作可能な圧力室内に設けられており、
前記圧力室を負圧動作させることによって、前記インク供給口から前記タンクに前記インクを供給する圧力制御手段をさらに備えていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記タンクに供給する前記インクを脱気する脱気モジュールを、前記メンテナンス機構にさらに備えている請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記インクジェットヘッドと流路により接続されるバッファタンクと、
前記インクジェットヘッドおよび前記バッファタンクとインク排出路によって接続され、前記インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口面を備えたインク排出口と、
前記バッファタンクを圧力制御することによって、前記インクジェットヘッド内の廃液およびエアを前記インク排出口を通じて排出する排出手段とをさらに備えていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記メンテナンス機構が、さらに前記インク排出口の開口面をメンテナンスすることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記タンクに前記インクを供給するとき、前記インク供給路内を前記インクによって満たし、かつ、前記インク供給口において、前記インクをメニスカスによって保持することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクをインクジェットヘッドから吐出して塗布する液滴吐出装置に関し、特にインクを供給する供給機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置は、簡単かつ鮮やかにカラー印刷することができ、ランニングコストが低いため、一般に広く使用されている。近年は特に、製造装置としての液滴吐出装置への関心が高まっている。例えば、液滴吐出装置を用いて、液晶テレビのカラーフィルタや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）を製造する研究がなされている。
【０００３】
従来の液滴吐出装置におけるインクジェットヘッドへのインクの供給方式としては、以下の３種類の方式が挙げられる。
【０００４】
（カートリッジ方式）
カートリッジ方式は、インクを吐出するインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドに供給するためのインクを収容するインクタンクが、キャリッジから取り外し可能である。装置構成は簡単になるが、インクカートリッジの容積分キャリッジが大きくなり、インクカートリッジ内のインクの残量がなくなれば、新たなインクカートリッジを交換する必要がある。また、液滴吐出装置とは別にインクカートリッジにインクを充填するための装置を必要とする。そのため、インクカートリッジの製作費等が重なり、コストアップとなる。
【０００５】
（セントラル方式）
セントラル方式は、インクを吐出するインクジェットヘッドにインクを供給するために、インク供給流路によって、キャリッジから外部インクタンクへと接続されている。なお、外部インクタンクは液滴吐出装置本体に設置されている。これによって、キャリッジ内のインクタンクに、外部インクタンクからインクを供給する。
【０００６】
また、キャリッジの往復運動に追従するように、インク供給流路も摺動可能なように軟質のチューブを用いて、ケーブルベアなどによって往復運動できるような構成をとる必要がある。そのため、インク供給路にインクが詰まると、大幅なメンテナンスを施さなければならず、定期的なメンテナンスにかなりの時間を労する。
【０００７】
（ピットイン方式）
ピットイン方式は、キャリッジにインクジェットヘッドとインクタンク（メインタンク）を搭載している。メインタンク内のインクはインクジェットヘッドに直接供給される。また、キャリッジ外にもインクタンク（サブタンク）があり、サブタンクとインク供給口を接続する流路がある。インク供給口は所定の位置でインク需給口と接続し、メインタンクにインクを供給する。一般の民生用のインクジェット装置に使用されているピットイン方式では、針やスパウト部を使用して、メインタンクとサブタンクとを接続し、メインタンクにインクを供給する。
【０００８】
ピットイン方式では、インクカートリッジ交換の必要がないことから、小型化しやすく、カートリッジの交換費用もかからない。また、自由に可動できるインク供給流路を必要としないため、メンテナンス性がよく、生産装置として常にオンライン状態において稼動することができる。
【０００９】
しかし、上述のピットイン方式は、記録動作中はメインタンクとサブタンクとの連結部は離れているため、長時間にわたって使用するうちに、紙粉やゴミなどの異物が連結部に付着し、堆積する。堆積した異物は、メインタンクからサブタンクにインクを供給する際に連結部内へ侵入し、インクの流れとともにサブタンクを経由して、インクジェットヘッドに達することがある。異物がインクジェットヘッドに達すると、インクの吐出が不安定になり、インクが吐出しなくなることもある。
【００１０】
また、メインタンクとサブタンクとの連結部に異物が堆積することによって、連結部でのシール性が低下して、連結部内にエアを引き込んでしまうことがある。さらに、インク供給時以外は連結部を開放しているため、連結部内に存在するインクが乾燥して、連結部内に固着してしまう。
【００１１】
上述した問題を解決するための技術として、メインタンクからサブタンクにインクを供給する際に、連結部をキャップ材によって密閉するインク供給機構が特許文献１に開示されている。これによって、連結部領域の異物の付着や堆積を防止する。また、連結部内のインクの乾燥を抑制し、連結部内のインクの固着を防止する。
【特許文献１】特開２００３−５３９９６号公報（平成１５年２月２６日公開）
【特許文献２】特開２００６−２４８０８３号公報（平成１８年９月２１日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、生産装置として用いられる液滴吐出装置にピットイン方式を採用する際、従来の針やスパウトを介してサブタンクとメインタンクとを接続してインクを供給すると、生産装置は休みなく稼動し、頻繁にメインタンクにインクを供給しなければならない。このため針やスパウト部が劣化しやすく、劣化した箇所からインク漏れが発生して装置の信頼性を損なう。
【００１３】
そこで本発明は、インクの供給において、小型かつ簡単な構成のピットイン方式を採用しつつ、生産ラインにおいても高い信頼性をもつ液滴吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
（液滴吐出装置）
本発明にかかる液滴吐出装置は、インクを収容するタンクと、前記タンクと流路によって接続され、前記インクを吐出するインクジェットヘッドと、前記タンクとインク供給路により接続され、前記インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口面を備えたインク供給口と、前記インク供給口を通じて、前記タンクに前記インクを供給するインク供給装置と、前記インク供給装置と供給配管を通じて接続されており、前記インクの供給時に前記インク供給口の開口面を密閉する密閉部材と、前記インクの供給後に前記インク供給口の開口面と前記インクジェットヘッドのノズル面とをメンテナンスする、共通のメンテナンス機構とを備えていることを特徴としている。
【００１５】
上記の構成によれば、インクジェットヘッドは、インクタンクと流路によって接続されており、ノズルからインクを吐出する。インクタンクにインクを供給するためのインク供給口も、インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口している。
【００１６】
また、インク供給装置と供給配管を通じて接続された密閉部材は、インクの供給時にインク供給口の開口面を密閉する。このようなインク供給方法によって、インク供給口と供給配管との接続部を劣化させることなく、インクを頻繁に供給できる。
【００１７】
本装置において、インクジェットヘッドのノズルからインクを吐出したあと、そのノズル面にはインクが付着している。また、インクタンクにインク供給口を通じてインクを供給したあとも、インク供給口の開口面にはインクが付着している。これらの付着インクを放置しておくと汚れの原因となって、インク吐出や供給を阻害してしまい、結果、装置の信頼性を損ねてしまう。
【００１８】
そこで本装置では、共通のメンテナンス機構が、インクジェットヘッドのノズル面とインク供給口の開口面とをメンテナンスすることによって、付着したインクをそれぞれ除去する。このメンテナンス処理によって、両方の面を綺麗な状態に保つことができるので、インク吐出や供給を常に正常に行える。したがって、インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口するようにインク供給口を設けても、液滴吐出装置の信頼性を高めることができる。
【００１９】
また、インクジェットヘッドノズル面とインク供給口の開口面とを共通のメンテナンス機構によってメンテナンスできるので、液滴吐出装置をより小型化したり、より安く製造したりすることができる。
【００２０】
（ワイピング機構）
また、本発明に係る液滴吐出装置では、さらに、前記インク供給口の開口面は撥水性を有し、前記インクジェットヘッドのノズル面と前記インク供給口の開口面とをワイピングによってメンテナンスする、前記メンテナンス機構に具備されたワイピング機構を備えていることが好ましい。
【００２１】
上記の構成によれば、インク供給口の開口面とインクジェットヘッドノズル面とをワイピングによってメンテナンスする。たとえばワイパー状のブレードによって、開口面およびノズル面をそれぞれなぞるようにして清掃する。インク供給口の開口面は撥水性を有しているので、インクを残ることなく確実に拭き取ることができる。
【００２２】
（検査機構）
また、本発明に係る液滴吐出装置では、さらに、前記メンテナンス機構が前記インク供給口の開口面をメンテナンスした後、前記インク供給口の開口面を検査する検査機構をさらに備えていることが好ましい。
【００２３】
上記の構成によれば、インク供給口の開口面に液漏れや付着物があるかを検査機構によって検査する。本装置のワイピング機構によってメンテナンスした後、インクが拭き残ることがあるためである。検査機構には光学センサ等を用いる。たとえばインク供給口の開口面を横から光学センサの発光部より発光し、その光を受光部において受光する。そのときの遮光量の変化量から液漏れや付着物があるかを計測する。これによって、再度インク供給口の開口面の清掃が必要かを判断することができる。
【００２４】
（キャップユニット）
また、本発明に係る液滴吐出装置では、さらに、前記密閉部材は、前記メンテナンス機構に設けられており、前記インクの供給時に、前記メンテナンス機構が上下駆動することによって、前記インク供給口を密閉することを特徴としている。
【００２５】
上記の構成によれば、密閉部材はメンテナンス機構が上下駆動することによってインク供給口を密閉する。また、たとえばインクジェットヘッドも同様に密閉して、保管することによって、インクジェットヘッドのノズルの乾燥やゴミの付着を防ぐことができる。これによって、常に正常にインクの吐出ができるため、インクジェットヘッドのノズル状態を劣化させずに、安定したインクの吐出ができる。また、ひとつの上下駆動機構によってインク供給口とインクジェットヘッドとを密閉できるため、装置を小型化できる。
【００２６】
（可撓性のインクタンク）
また、本発明に係る液滴吐出装置では、さらに、前記タンクは可撓性を有し、かつ、圧力操作可能な圧力室内に設けられており、前記圧力室を負圧動作させることによって、前記インク供給口から前記タンクに前記インクを供給する圧力制御手段をさらに備えていることが好ましい。
【００２７】
上記の構成によれば、インクタンクは可撓性を有し、インクタンクの下にはインク流入口およびインク流出口がある。たとえばインク供給口を密閉し、圧力制御手段が圧力室内の圧力を負圧にすることによって、インクはインク供給口から流路を通ってインクタンクに収容される。また、圧力室内を圧力操作することによって、インクをインクタンクからインクジェットヘッドに供給できる。
【００２８】
（脱気モジュール）
また、本発明に係る液滴吐出装置では、さらに、前記タンクに供給する前記インクを脱気する脱気モジュールを、前記メンテナンス機構にさらに備えていることが好ましい。
【００２９】
上記の構成によれば、メンテナンス機構に脱気モジュールを備えている。したがってインクジェットヘッドをキャリッジ内に収容する場合、当該キャリッジに脱気モジュールを搭載しなくても、吐出安定性を保つように脱気インクをインクジェットヘッドに供給できる。
【００３０】
（廃液処理）
また、本発明に係る液滴吐出装置では、さらに、前記インクジェットヘッドと流路により接続されるバッファタンクと、前記インクジェットヘッドおよび前記バッファタンクとインク排出路によって接続され、前記インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口面を備えたインク排出口と、前記バッファタンクを圧力制御することによって、前記インクジェットヘッド内の廃液およびエアを前記インク排出口を通じて排出する排出手段とをさらに備えていることが好ましい。
上記の構成によれば、排出手段がバッファタンクを圧力制御することによって、インク排出口を通じてインクジェットヘッド内の廃液およびエアを除去する。たとえば廃液をキャリッジ外へ排出すると、キャリッジ内に廃液タンクを必要としないので、キャリッジを小型化できる。さらに、たとえばメンテナンス機構に廃液用の共通流路を設けることによって、廃液タンクが一つでも、複数個のキャリッジを搭載することができる。
【００３１】
（インク排出口のメンテナンス）
また、本発明に係る液滴吐出装置では、前記メンテナンス機構が、さらに前記インク排出口の開口面をメンテナンスすることが好ましい。
【００３２】
上記の構成によれば、インク排出口の開口面もメンテナンス機構によってメンテナンスする。インク排出口の開口面にインクやゴミが付着していると、廃液の排出は阻害されてしまう。インク排出口の開口面をメンテナンスすることによって、インクやゴミを除去し、廃液の排出が正常にできる。
【００３３】
（供給されたインクの保持）
また、本発明に係る液滴吐出装置では、さらに、前記タンクに前記インクを供給するとき、前記インク供給路内を前記インクによって満たし、かつ、前記インク供給口において、前記インクをメニスカスによって保持することが好ましい。
【００３４】
上記の構成によれば、インク供給路内をインクによって満たし、インク供給口においてインクをメニスカスによって保持している。インク供給路内に空気が入っていると、供給路内が乾燥したり、供給路内の空気がインクタンクに混入したりしまうことがある。これらはインクの吐出や供給を損なう原因となるため、インクを供給路内に満たすことによって、乾燥や空気の混入を防ぎ、安定なインクの供給ができる。
【発明の効果】
【００３５】
以上のように、本発明に係る液滴吐出装置は、インクジェットヘッドとインク供給口とを共通にメンテナンスする機構をもつメンテナンス装置を備えている。また、インクタンクへのインク供給は、インク供給口の開口面とインク供給装置とを、供給配管を通じて接続された密閉部材によって密閉されている状態において供給される。このため接続部が劣化することなく、頻繁にインクを供給できる。なお、このときインクジェットヘッドも密閉部材によって密閉されている。
【００３６】
また、インク供給後のインク供給口の開口面、およびインク吐出後のインクジェットヘッドノズル面にはインクが付着しているため、共通のメンテナンス機構を用いてメンテナンスする。これによって、インク供給口がインクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口面を備えたとしても、信頼性の高い液滴吐出装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
本発明に係る液滴吐出装置の一実施形態について、図１から図１４に基づいて説明すれば以下のとおりである。
（液滴吐出装置１０の構成）
まず本実施形態における液滴吐出装置１０の構成について、図２〜図５を用いて説明する。
【００３８】
図２は、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置１０の概略斜視図である。この図に示すように、液滴吐出装置１０は、キャリッジ１１、メンテナンス装置１２、ガントリー１３、および吸着盤１４を備えている。
【００３９】
液滴吐出装置１０は、基板１４ａ上にインクを吐出する装置である。具体的には、吸着板１４に配置された基板１４ａに対し、ガントリー１３上に配置されたキャリッジ１１を移動させて、インクを吐出する。その後、詳しくは後述するが、メンテナンス装置１２によって、キャリッジ１１をメンテナンスする。メンテナンス装置１２は、キャリッジ１１の待機位置に配置されており、キャリッジ１１はインク吐出後に待機位置に戻ることによって、メンテナンス装置１２のメンテナンスを受ける。
【００４０】
液滴吐出装置１０の用途に応じて、使用するインクを決定する。液滴吐出装置１０を製造装置として用いる場合に使用するインクは、製品を製造するための液体材料であり、液滴吐出装置１０を画像記録装置として用いる場合に使用するインクは、画像記録用の液体材料である。
【００４１】
図２に示すように、複数個のキャリッジ１１がガントリー１３上に平行に配置されており、ガイドＸ軸１５に沿ってキャリッジ１１は自在に動く。基板１４ａに対して液滴を吐出するときは、ガントリー１３がガイドＹ軸１６に沿って基板１４ａ上に移動し、キャリッジ１１が所定の位置に来たとき吐出する。液滴吐出完了後、ガントリー１３はキャリッジ１１の待機位置であるメンテナンス装置１２の場所へ移動し、キャリッジ１１内のメンテナンスをする。
【００４２】
図３は、カートリッジ方式におけるインクジェットヘッド１８へのインク供給時のキャリッジ１１とガイドＸ軸１５の装置一部の概略図である。キャリッジ１１へインクカートリッジ１７を取り付けて、インク供給をする。カートリッジ方式では装置構成は簡単になるが、インクカートリッジ１７の容積分キャリッジ１１が大きくなる。また、インクカートリッジ１７内のインクの残量がなくなれば、新たなインクカートリッジ１７を交換する必要がある。液滴吐出装置１０とは別にインクカートリッジ１７にインクを充填するための装置も必要とする。そのため、インクカートリッジ１７の製作費などが重なり、コストアップとなる。
【００４３】
図４は、セントラル方式におけるインクジェットヘッド１８へのインク供給時の、キャリッジ１１とガイドＸ軸１５の装置一部の概略図である。キャリッジ１１からのインク供給流路が外部インクタンク１９に接続されており、キャリッジ１１内のインクタンクに外部インクタンク１９からインクを供給する。セントラル方式では、キャリッジ１１がガイドＸ軸１５を沿って移動したとき、インク供給流路も摺動可能なように軟質のチューブを用いて、ケーブルベアなどによって往復運動できるような構成をとる必要がある。そのためインク供給路がインクによって詰まると、大幅なメンテナンスを施さなければならず、定期的なメンテナンスにかなりの時間を労する。
【００４４】
図５は、ピットイン方式におけるインクジェットヘッド１８へのインク供給時の、キャリッジ１１とガイドＸ軸１５の装置一部の概略図である。図２において、ガントリー１３がメンテナンス装置１２上に待機しているとき、キャリッジ１１内のインクタンクにインクを供給する。インク供給方法の詳細は後述するが、メンテナンス装置１２は上下動する駆動軸とモータを搭載している。メンテナンス装置１２が上昇し、インク供給口の開口面とメンテナンス装置１２の下部にある外部インクタンク１９に、インク流路によって接続される密閉部材とが密着することによって、キャリッジ１１内のインクタンクにインクを供給する。
【００４５】
ピットイン方式では、インクカートリッジや自由に可動できるインク供給流路を必要としない。そのためキャリッジ１１を小型化しやすく、メンテナンス性がよい。また、定期的なカートリッジ交換などを必要とせず、生産装置として常にオンライン稼動することもできる。しかし、民生用のインクジェットプリンタと比べ、生産用の装置としては、ピットインする回数が増えるため、インク供給の信頼性を必要とする。
【００４６】
（液滴吐出装置１０のピットイン時の構成図）
本実施形態は、液滴吐出装置１０のインクジェットヘッド１８へのインク供給において、ピットイン方式を採用したものであり、図６は、本発明に係る液滴吐出装置１０のピットイン時の構成を示す図である。
【００４７】
図６に示すように、キャリッジ１１は、インクジェットヘッド１８、インクタンク２０、インク供給部２３、バッファタンク２４、圧力センサ２５、液送ポンプ２７、真空ポンプ３６、残量検知センサ３０、廃液タンク２８、および閉止弁３１〜３５などを備えている。また、メンテナンス装置１２は、キャップユニット２２、ワイプユニット６０、検査ユニット７０、インク供給源２１、廃液タンク３８、バッファタンク２４、圧力センサ２５、液送ポンプ３７、閉止弁３７ａ、および図示しない上下動駆動機構などを備えている。インクジェットヘッド１８はキャリッジ１１に搭載されている。キャリッジ１１が水平方向に移動することによって、記録媒体である基板１４ａ上の所望の位置に達し、インクジェットヘッド１８からインクを吐出する。
【００４８】
図６に示すように、キャリッジ１１はメンテナンス装置１２上に位置する。メンテナンス装置１２が上下動駆動機構によって上昇すると、インクジェットヘッドノズル面１８ａとインク供給口の開口面２３ａとが、各自キャップ２２に当接し、密着して密閉状態をつくる。これによってキャリッジ１１とメンテナンス装置１２はエア抜き用インク流路を形成している。エア抜き用インク流路は、インク供給源２１からインク供給口２３ｂを介し、インクタンク２０までのインク供給路、およびインクタンク２０からインクジェットヘッド１８を介し、下部廃液タンク３８へと接続されている。また、キャリッジ１１は、インクジェットヘッド１８内とインク供給時のインク供給口２３ｂ内とのエアを抜くため、それぞれバッファタンク２４を介して、上部廃液タンク２８へと接続されるエア抜き用インク流路を形成している。
【００４９】
バッファタンク２４ａは液送ポンプ２７によって、負圧を引くときの負圧変動の振幅を抑えながらインクを送ることができる。さらに、圧力センサ２５を取り付け、圧力値をモニタすることによって、液送ポンプ２７の駆動時間とポンプ圧を制御しながら液送ポンプ２７を動作させることができる。
【００５０】
廃液タンク２８は、キャリッジ１１内に配置されている。廃液タンク２８の内部にはスポンジ状のシートが入っているため、インクを毛管力である程度保持することができる。また、上蓋部分に大気通孔が存在し、内部圧力が上がらないようになっている。
【００５１】
なお、廃液およびエアは、必然的にバッファタンク２４ａ内に排出され、その後、廃液タンク２８へと排出される。このように、バッファタンク２４ａが液送ポンプ２７動作時の脈動を抑えることによって、圧力センサ２５において安定した値を得ることができる。
【００５２】
インクジェットヘッド１８とインク供給部２３の下部には、メンテナンス装置１２に具備されるキャップ２２がある。キャップ２２の部材としては耐薬品性のあるゴム、たとえばパーフロなどが良い。また、キャップ２２の下部にバネを設け摺動性よくすると、複数個のインクジェットヘッドやインク供給口があるときでも、一つの駆動軸によって均一に密閉することができる。キャップ２２は、不使用時のインクジェットヘッド１８およびインク供給部２３にそれぞれ被せられる。このとき、液送ポンプ３７がキャップ２２を減圧すると、キャップ２２内が負圧になり、インクジェットヘッド１８からインクを排出する。液送ポンプ３７としては、チューブポンプやダイヤフラム式ポンプなどを用いる。
【００５３】
処理基板１４ａとインクジェットヘッドノズル１８ｂおよびインク供給口２３ｂとの距離を一定にするために、インクジェットヘッド１８やインク供給部２３の高さを調整できるようにする。そのため、図示しない調整機構をもつ、ヘッドステー３９にインクジェットヘッド１８やインク供給部２３を取り付ける。
【００５４】
メンテナンス装置１２のインク供給源流路に、図示しない脱気モジュールを備えることによって、メンテナンス装置１２外に脱気インクを充填する装置を必要とせずに、インクジェットヘッド１８にインクを供給できる。また、複数のメンテナンス装置１２のインク供給源部を一つの配管によって接続すれば、インク供給源のタンクを一つにできる。
【００５５】
（インクタンク２０）
インクタンク２０は、インクをインクジェットヘッド１８に供給するためのタンクである。インクタンク２０は、可撓性を有する材料によって形成されている。図７は、圧力室２９を正面視したときの断面図である。この図に示すように、インクタンク２０は、気密性が高く圧力制御可能な圧力室２９に配置されている。圧力室２９内の気圧は、真空ポンプ３６が調整している。
【００５６】
インクタンク２０は、流入口４４および流出口４５を有する。流入口４４とインク供給部２３はインク供給チューブ８１によって接続され、また、流出口４５とインクジェットヘッド１８は、インク供給チューブ８０によって接続される。インクは、インク供給部２３から流入口４４を通してインクタンク２０内に供給される。また、インクタンク２０内のインクは、流出口４５を通ってインクインクジェットヘッド１８に供給される。
【００５７】
インクタンク２０は、互いに対向する２枚のフィルムの周囲が熱溶着によって接着し、袋状を形成している。２枚のフィルムは、それぞれ可撓性およびガスバリア性を有する。インクタンク２０を構成するフィルムは、インクタンク２０の内側から、ＭＤＰＥ（中密度ポリエチレン）、アルミニウム、およびナイロンの層を形成し、互いがアルミニウム蒸着している。このため、インクタンク２０内のインクにおける溶存空気量の増加が抑制されている。なお、フィルムの上述の各層は、アルミニウム蒸着することに限定せず、ラミネートしてもよい。
【００５８】
本実施形態において、鉛直方向に配置されたインクタンク２０には、流入口４４、流出口４５およびフランジ部４９が下端部に備えられている。プラスチックによって形成されるフランジ部４９は、インク供給針の挿入および抜去が自在にできる。フランジ部４９の所定の箇所にインク供給針を挿入すると、流入口４４とインク供給チューブ８１が接続し、流出口４５とインク供給チューブ８０が接続する。なお、インク供給針によらず、Ｏリング５３などによって接続する構成にしてもよい。
【００５９】
また、使用する溶剤に応じて、チューブの素材を決定する。インク供給口２３ｂからインクタンク２０に接続するインク供給チューブ８１、または、インクタンク２０からインクジェットヘッド１８に接続するインク供給チューブ８０としては、使用する溶剤に対して耐薬品性のあるチューブや配管を使用する。例えば、フッ素樹脂製チューブ、ポリプロピレン製チューブ、およびＳＵＳ（ステンレス鋼）配管などを用いることができる。
【００６０】
（光学センサ７１）
図７の圧力室２９の側壁には、インクタンク２０の厚さを検出する位置に、窓４７および４８を設けている。光学センサ４０は、インクタンク２０の厚さを検出する発光素子４１と受光素子４２からなり、窓４７および４８を通して同じ高さに配置されている。これらの光学的な手段にて、インクタンク２０内のインク量は検知される。
【００６１】
発光素子４１としては、指向性が高いレーザを発するものが好ましい。インクタンク２０内のインクが増減することによって、インクタンク２０の厚さが変位する。インクタンク２０の厚さが変位すると、光学センサ４０の検出エリア４３の遮光面積が変化し、受光素子４２が受光する光量が変化する。インクタンク２０の厚みによって遮光された光量を光学センサ４０が測定することによって、インクタンク２０内のインク量が検出できる。特にインクタンク２０内のインクのフル状態、エンプティ状態を検知する必要がある。
【００６２】
ここで、エンプティ状態とは、液滴吐出装置１０の動作時にインクタンク２０内に収容すべきインクの最小量のみを収容した状態をいい、フル状態とは、液滴吐出装置１０の動作時にインクタンク２０内に収容すべきインクの最大量を収容した状態をいうものとする。
【００６３】
インクタンク２０内のインク量がエンプティ状態になると、ユーザーに注意喚起され、キャリッジ１１がメンテナンス装置１２上に移動し、インク充填動作を開始する。インクタンク２０内のインク量がフル状態なると、インク充填動作が終了する。また、インクタンク２０へのインク充填後、インク供給口２３ｂへインクが逆流しないように閉止弁３３が配置されている。閉止弁３３には、電磁弁バルブや真空バルブなどを用いる。
【００６４】
（インク供給部２３）
図８〜図１０はインク供給部２３の構成を示す図である。図８はインク供給部２３を分解したときの斜視図であり、図９はインク供給部２３の正面図、図１０は図９に記載するインク供給部２３中の点線における断面図である。図８に示すようにインク供給部２３は、供給源側ハウジング５０、ドレイン側ハウジング５１、フィルター５２、Ｏリング５３、およびインク供給口プレート５７によって構成される。図９および図１０に示すように、供給源側ハウジング５０には、インクを供給するインク供給口２３ｂがある。
【００６５】
供給したインクは、廃液タンク２８もしくはインクタンク２０へと流れる。具体的には、供給したインクが共通インク室５４ａに溜まり、フィルター５２を通り、ドレイン側ハウジング５１の共通インク室５４ｂへ流れ、エア抜き用コネクタ５５を通り廃液タンク２８へと流れる。または、前述のようにインクが共通インク室５４ｂへ流れた後、ドレイン用コネクタ５６を通り、インクタンク２０へと流れる。
【００６６】
共通インク室５４は、エアが常時溜まらないような構造をとっている。インク供給口２３ｂから混入したエアは、共通インク室５４の上部に溜められ、エア抜き動作によって、廃液タンク２８に排出される。供給源側ハウジング５０とドレイン側ハウジング５１は、Ｏリング５３によって密着している。
【００６７】
なおハウジングの素材には、耐薬品性のある硬い素材のＳＵＳ（ステンレス鋼）やＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などを用い、Ｏリング５３の素材にはパーフロなどを用いる。インク供給口プレート５７はインク供給口２３ｂがあり、インク供給口の開口面２３ａは撥水性である。たとえば、ポリイミドやレイデント処理やＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）処理された金属部材などを用いる。
【００６８】
図１１は、インク供給口プレート５７のインク供給口の開口面２３ａが上に向いているときの斜視図である。（ａ）はインク供給口２３ｂが単一のとき、（ｂ）はインク供給口２３ｂが複数あるときの図を示している。
【００６９】
インク供給口２３ｂの形状は円状のものがよく、真円度が高ければ高いほど良い。大きさは、径が１０μｍ〜２００μｍ程度のものが良い。これは、インク供給口２３ｂにおいて、液漏れしないでインクを重力方向に対して保持するとき、メニスカスを保たねばならないためである。大きさは、使用するインクの表面張力や粘度によって決まる。また、インク供給口プレート５７のエッジ部５７ａは両端ともＲ形状としたものが良い。これによって、メンテナンス装置１２に具備されているワイピングユニット６０のワイピングブレード６１によってワイプしたとき、エッジ部５７ａにインクが残るのを防ぐことができる。
【００７０】
（メンテナンス機構）
図１は、本発明に係る液滴吐出装置１０のメンテナンス機構であるワイピングユニット６０の概略図である。
【００７１】
キャリッジ１１に備わっているインク供給口２３ｂは、インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口している。インク供給部２３がインク供給源２１とインク供給チューブ８３を通じて接続されたとき、キャップ２２によって密閉されると、接続部が劣化することなく頻繁にインクを供給することができる。しかし、インクタンク２０にインクを供給後、インク供給口の開口面２３ａにはインクが付着している。また、インクジェットヘッド１８に関しても、インク吐出後にノズル面１８ａにはインクが付着しているため、液滴吐出装置１０としての信頼性を損なう。
【００７２】
図１に示すワイピングユニット６０はメンテナンス装置１２に具備されておりインクジェットヘッドノズル面１８ａとインク供給口の開口面２３ａを一つの駆動軸によって、それぞれ並列して拭き取るという共通のメンテナンス機構を用いる。このため、インクが残ることなく清掃することができる。
【００７３】
図１２は、メンテナンス装置１２に具備されるワイピングユニット６０の実施例の一つである。ワイピングユニット６０はワイピングブレード６１を備えており、ワイピングユニット６０が図１２に示すように（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）へと移動し、インクジェットヘッドノズル面１８ａ、およびインク供給口の開口面２３ａに残ったインクを、ワイピングブレード６１によって拭き取る。ワイピングユニット６０は、図示しない駆動モータとガイドレールを備え、ワイピングブレード６１は、メンテナンス装置１２に具備される上下動駆動機構によって当接状態を調整することができる。ワイピングブレード６１は、インクジェットヘッドノズル面１８ａおよびインク供給口の開口面２３ａを、一つの駆動軸によって続けて拭き取るように配置されている。また、ワイピングブレード６１の材質としては、耐薬品性があるゴムのパーフロなどを用い、厚さは０．５〜１．５ｍｍである。
【００７４】
図１３は、メンテナンス装置１２に具備されるワイピングユニット６０ａのもう一つの実施例である。ワイピングユニット６０ａは、超音波発信機６２、洗浄液６４、および洗浄液槽６５とを備えている。図１２のワイピングユニット６０は、物理的にワイピングブレード６１を用いて拭き取るのに対して、図１３のワイピングユニット６０ａは、超音波６３を用いて洗浄する。
【００７５】
図１３に示すように、まず洗浄液６４を洗浄液槽６５に満たして、超音波発信機６２によってインクジェットヘッドノズル１８ｂおよびインク供給口２３ｂに超音波６３を照射して洗浄する。ワイピングユニット６０ａは図１３に示すように、（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）へと移動してノズル面１８ａおよびインク供給口の開口面２３ａにインクを残さないように洗浄して離す。なお、洗浄液６４としては、使用するインクの主溶媒などを用いる。
【００７６】
図１４は、メンテナンス装置１２に具備される、検査ユニット７０の実施例を示す図である。図１４に示すように、インク供給口２３ｂからの液漏れ、もしくは、インク供給口の開口面２３ａにインクの拭き残りがないかを、光学センサ７１を用いて検査する。光学センサ７１は、発光部７１ａと受光部７１ｂとの間に、インク供給部２３が位置するように配置されている。また、メンテナンス装置１２の上下動駆動機構によって、検出エリア７１ｃがインク供給口の開口面２３ａを少し遮るような高さとなる位置に調整されている。
【００７７】
制御部７４の信号によって検査を開始し、インク供給部２３がインク供給口の開口面２３ａの端部から端部へと紙面方向に移動することによって、インク供給口の開口面全体を検査できる。検査中、異物やインク残りがあれば、受光部７１ｂにおいて測定する光量が低下し、制御部７４に信号を受けて、ユーザーに知らせることができる。
【００７８】
（初期インク充填動作）
図１５は、インクをインク供給源２１からインクタンク２０およびインクジェットヘッド１８へと導く初期充填の工程についての概略フロー図である。まず、インクジェットヘッド１８とインク供給部２３とをキャップ２２に接続させ、エア抜きをして、インクタンク２０にインクを充填させる。
【００７９】
具体的には、図６に示す液滴吐出装置１０の構成図を用いて説明すると、まず全閉止弁３１〜３５を閉じ、大気開放弁２６ａを開ける。次に、インクジェットヘッド１８とインク供給部２３をキャップ２２と当接する位置へ移動させ、各自キャップをする（ステップＳ１）。
【００８０】
キャップした状態において、液送ポンプ３７を動作させ、バッファタンク２４ｂ内を負圧にして、閉止弁３４および３７ａを開ける。すると、インクジェットヘッド１８を介して、インクタンク２０内およびインク供給チューブ８０に残留しているエアが排出される（ステップＳ２、Ｓ３）。この状態において時間が経過すると、インクタンク２０は大気圧に押しつぶされた状態となる。
【００８１】
この状態において、大気開放弁２６ａを閉じ、閉止弁３３を開けると、インク供給源２１からインク供給チューブ８１へとインクが流れ込む（ステップＳ４）。
【００８２】
インクタンク２０を介し、インクがインク供給チューブ８０に達したとき、閉止弁３４を閉じ、液送ポンプ３７を停止する。ここで、真空ポンプ３６を動作させ、圧力室２９に具備される圧力センサ２５ｃをモニタし、圧力室２９を負圧状態に制御して（ステップＳ５）、インクタンク２０にインク供給源２１からインクを流入する（ステップＳ６）。
【００８３】
インクタンク２０のフル状態を残量検知センサ３０が検知すれば（ステップＳ７）、真空ポンプ３６の動作を停止し、閉止弁３３を閉じ、大気開放弁２６ｃを開け、圧力室２９内を大気圧に戻す。
【００８４】
次に、フル状態となったインクタンク２０のインクが、インクジェットヘッド１８に充填される。具体的には、閉止弁３４を開けると、インクは、インクジェットヘッド１８とインクタンク２０との水頭差のためインク供給チューブ８０に流れ込み、インクジェットヘッド１８まで供給される（ステップＳ８）。
【００８５】
ノズル１８ｂからインクを吐出できるようにするため、再度液層ポンプ３７を動作させ、ノズル１８ｂからインクを排出する。その後、大気開放弁２６ａを閉じ、ノズル１８ｂにおいてインクはメニスカスによって保たれ、液漏れしないように、圧力室２９を所定の負圧に制御する。ここで、キャップ２２内の気圧が大気圧近傍になるまで待機し、その後、インクジェットヘッド１８をアンキャップし、初期充填動作を終了する（ステップＳ９）。
【００８６】
上述のように、可撓性を有するインクタンク２０を用いることによって、気泡の混入を抑制しながらキャリッジ１１にインクを充填することができる。もし、インクタンク２０の剛性が高いなどによって、インクタンク２０の内圧が大気圧よりも高くなると、インクジェットヘッド１８は負圧の水頭差を得ず、ノズル１８ｂからインクが流出し、基板１４ａを汚すことになる場合がある。
【００８７】
また、液滴吐出装置１０をカラーフィルタ製造装置として用いる場合は特に、インクジェットヘッドノズル１８ｂから吐出するインクの体積について、非常に高い精度が求められる。インクジェットヘッド１８から吐出するインクの体積は、水頭差によっても変動するため、インクを高精度に吐出するためには水頭差の変動を少なくすることが望ましい。
【００８８】
このため、インクタンク２０は内部の圧力が圧力室２９内の圧力に容易に追随する。圧力室２９内が大気圧以下である場合には、インクタンク２０内の圧力が大気圧以上にならないような可撓性を有することが必要である。
【００８９】
（通常時のインク充填動作）
図１６は、キャリッジ１１のインク供給系流路がインクによって満たされたとき（通常時）のインク充填の工程についての概略フロー図である。通常時のインク充填動作は、生産処理中、インクタンク２０内のインクがエンプティ状態になったことを残量検知センサ３０が検知すると、キャップおよびエア抜き操作をして、インクタンク２０にインクの充填をする。
【００９０】
具体的には、まず、インクジェットヘッド１８およびインク供給部２３をそれぞれキャップし、閉止弁３４を閉じる（ステップＳ１１）。
【００９１】
このとき、インク供給チューブ８３とキャップ２２内にはエアが混入している。そこで、液送ポンプ２７を動作させてバッファタンク２４ａ内を負圧にした後、閉止弁３１を開け、混入したエアをインクともに上部廃液タンク２８に排出する（ステップＳ１２）。
【００９２】
そして、閉止弁３１を閉じた後、閉止弁３３を開け、インクタンク２０とインク供給源２１内のインク液面との、水頭差＋流路抵抗以上の負圧を圧力室２９に与える（ステップＳ１３）。
【００９３】
すると、インクタンク２０にインクが流れ込み（ステップＳ１４）、インクのフル状態を検知すると（ステップＳ１５）、閉止弁３３を閉じ、圧力室２９を所定の負圧値に戻し、閉止弁３４を開け、インクの充填動作を終了する（ステップＳ１６）。
【００９４】
インクタンク２０へのインク充填動作後、インクジェットヘッドノズル面１８ａおよびインク供給口の開口面２３ａはインクによって汚れているため、各自メンテナンスをしなければならない。メンテナンスの工程は以下のとおりである。
【００９５】
（インクジェットヘッド１８メンテナンス）
図１７は、液滴吐出装置１０のインクジェットヘッド１８メンテナンス工程についての概略フロー図である。まず、インクジェットヘッド１８をメンテナンスするためにキャップ動作をし、ヘッドクリーニングをする。
【００９６】
具体的には、キャリッジ１１がメンテナンス装置１２上へと移動する。そこでキャップ動作をし、ノズル面１８ａおよびインク供給口の開口面２３ａは、各自キャップ２２と当接し密閉される（ステップＳ２１）。
【００９７】
バッファタンク２４ｂ内を液送ポンプ３７の動作によって負圧にし、閉止弁３７ａを開ければ、ノズル１８ｂからインクが吸引され、ノズル１８ｂを洗浄する。インクジェットヘッド１８内にエアが混入していれば、インクの不吐の原因となるため、必要に応じてエア抜き動作をする。そのためにはノズル１８ｂ吸引動作をしながら、同様にキャリッジ１１内の液送ポンプ２７を動作させ、バッファタンク２４ａを所定負圧にする。そこで閉止弁３２を開けると、エアはインクジェットヘッド１８内のフィルターを通り、インクとともに廃液タンク２８へと排出される（ステップＳ２２）。
【００９８】
次に、インクジェットヘッド１８をアンキャップし、ワイピングをした後に、不吐・不安定判定および液漏れ検査をする。
【００９９】
具体的には、キャップ２２内の気圧が大気圧近傍になるまで待機し、インクジェットヘッド１８をアンキャップする（ステップＳ２３）。
【０１００】
その後、ワイピングユニット６０の位置へ移動し、ノズル面１８ａをワイピングする（ステップＳ２４）。
【０１０１】
そして、ノズル１８ｂからインクを捨て（ステップＳ２５）、検査ユニット７０に移動後、不吐・不安定判定をして（ステップＳ２６）、不吐が所定チャンネル以上あれば（ステップＳ２７）、再度ヘッドクリーニングのメンテナンスをする。不吐・不安定がなければ、ノズル面１８ａおよびインク供給口の開口面２３ａの液漏れ検査を開始する（ステップＳ２８）。
【０１０２】
再メンテナンスにおいて不吐・不安定チャンネル数が所定チャンネル以下になければ、ユーザーへ知らせるように警報がなる。液漏れ検査は光学センサ７１によって検査され、液漏れがあれば再度ワイピング動作をして（ステップＳ２９）、不吐・不安定吐出および液漏れがなければメンテナンスが終了する（ステップＳ３０）。万が一、所定回数以上ワイピングしても液漏れがなくならなければ、ユーザーへ知らせるように警報がなる。
【０１０３】
（インク供給部２３メンテナンス）
図１８は、液滴吐出装置１０のインク供給部２３メンテナンス工程についての概略フロー図である。インク供給部２３のメンテナンスは、図１７において示したインクジェットヘッド１８と並列してメンテナンスされるため、キャップ動作（ステップＳ２１）からエアの排出（ステップＳ２２）まで、インクジェットヘッド１８のメンテナンスとほぼ同様の工程をたどる。
【０１０４】
図１７のフローにおいて述べたように、インク供給部２３内のエアを排出した後、キャップ２２内の気圧が大気圧近傍になるまで待機し、インク供給部２３をアンキャップする（ステップＳ４１）。その後、ワイピングユニット６０の位置へ移動し、ノズル面１８ａと並列して、充填動作によって汚れたインク供給口の開口面２３ａもワイピングする（ステップＳ４２）。
【０１０５】
そして、検査ユニット７０に移動後、インク供給口の開口面２３ａの液漏れ検査を開始する（ステップＳ４３）。液漏れ検査は光学センサ７１によって検査され、液漏れがあれば再度ワイピング動作をして、液漏れがなければメンテナンスが終了する（ステップＳ４４、４５）。
【０１０６】
図１７に示すインクジェットヘッド１８メンテナンスと、図１８に示すインク供給部２３メンテナンスにおいて、共通の機構によってメンテナンスできるものは同時に並列動作することによって、生産タクトを大幅に縮小できる。
【０１０７】
（その他液滴吐出装置１０の実施例）
図１９は液滴吐出装置１０のもうひとつの実施例である。
【０１０８】
図１９では、図６において示す廃液タンク２８は下部のメンテナンス装置１２に配置されている。また、キャリッジ１１はインク排出部９０を備える。このインク排出部９０は、インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口面を備えたインク排出口９０ｂ、およびインク排出口の開口面９０ａによって構成されている。メンテナンス装置１２にはさらにキャップ２２およびワイピングユニット６０を備える。インク排出部９０はインク供給部２３やインクジェットヘッド１８と同様にメンテナンスされる。
【０１０９】
インク排出部９０からメンテナンス装置１２中の廃液タンク２８にインクを排出することによって、キャリッジ１１は小型化できる。また、インク充填動作やメンテナンス動作は上述した動作と変わらない。
【産業上の利用可能性】
【０１１０】
以上のように、本発明の液滴吐出装置は、小型かつ簡単な構成においてインク供給が可能なピットイン方式を採用しつつも、メンテナンス機構を備えることによって、生産ラインにおいても高い信頼性を保ってインクを供給することができる。そのため、実用価値は極めて高く、例えば半導体等の製造装置としても使用でき、プリンタ等の画像記録装置としても利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明の実施形態におけるメンテナンス機構の概略を示す図である。
【図２】本発明の実施形態における液滴吐出装置全体の概略の構成を示す図である。
【図３】カートリッジ方式のキャリッジとインクタンクの概略図である。
【図４】セントラル方式のキャリッジとインクタンクの概略図である。
【図５】ピットイン方式のキャリッジとメンテナンス装置とインクタンクの概略図である。
【図６】本発明の実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示す図である。
【図７】インクタンクが配置される圧力室の断面図である。
【図８】本発明の実施形態におけるインク供給部の分解したときの斜視図である。
【図９】本発明の実施形態におけるインク供給部の分解したときの正面図である。
【図１０】本発明の実施形態におけるインク供給部の分解したときの断面図である。
【図１１】インク供給口部の斜視図である。（ａ）単一口（ｂ）複数口
【図１２】ワイピングユニットの説明図１である。
【図１３】ワイピングユニットの説明図２である。
【図１４】検査ユニットの説明図ラフである。
【図１５】初期インク充填についてのインクタンクへの充填動作フロー図である。
【図１６】インク充填（通常時）についてのインクタンクへの充填動作フロー図である。
【図１７】ヘッドメンテナンスについてのメンテナンス動作のフロー図である。
【図１８】インク供給部メンテナンスについてのメンテナンス動作のフロー図である。
【図１９】本発明のもうひとつの実施形態に係る液滴吐出装置の概略の構成を示す図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１０  液滴吐出装置
１１  キャリッジ
１２  メンテナンス装置
１３  ガントリー
１４  吸着盤
１４ａ  基板
１５  ガイドＸ軸
１６  ガイドＹ軸
１７  インクカートリッジ
１８  インクジェットヘッド
１８ａ  インクジェットヘッドノズル面
１８ｂ  ノズル
１９  インクタンク
２０  インクタンク（インクタンク）
２１  インク供給源
２２  キャップ
２３  インク供給部
２３ａ  インク供給口の開口面
２３ｂ  インク供給口
２４  バッファタンク
２５  圧力センサ
２６  大気開放弁
２７  液送ポンプ（上部廃液用）
２８  上部廃液タンク
２９  圧力室
３０  残量検知センサ
３１〜３５  閉止弁
３６  真空ポンプ
３７  液送ポンプ（下部廃液用）
３７ａ  閉止弁
３８  下部廃液タンク
３９  ヘッドステー
４０  光学センサ
４１  発光素子
４２  受光素子
４３  検出エリア
４４  流入口（インク流入口）
４５  流出口（インク流出口）
４６  周囲
４７  窓部（発光側）
４８  窓部（受光側）
４９  フランジ部
５０  供給源側ハウジング
５１  ドレイン側ハウジング
５２  フィルター
５３  Ｏリング
５４  共通インク室
５５  エア抜き用コネクタ
５６  ドレイン用コネクタ
５７  インク供給口プレート
６０  ワイピングユニット
６０ａ  ワイピングユニット
６１  ワイピングブレード
６２  超音波発信機
６３  超音波
６４  洗浄液
６５  洗浄液槽
７０  検査ユニット
７１  光学センサ
７１ａ  発光部
７１ｂ  受光部
７１ｃ  検出エリア
７２  支柱ロッド
７３  ベース
７４  制御部
７５  送受信信号
８０〜８３  インク供給チューブ
８４〜８６  インク廃液チューブ
９０  インク排出部
９０ａ  インク排出口の開口面
９０ｂ  インク排出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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