(57)【要約】【課題】ＩＣ回路を検査する際の精度に影響するか否かを検査すること。【解決手段】検査装置の底部に位置し、ＩＣ回路のような被検査部材を固定するためにスロットは検査ボード上に設置し、且つ被検査部材は前記検査ボードと電気接続する。また、無線信号の受信のためアンテナを検査ボード上で且つスロットに近接した位置に設置して、検査環境で過量のノイズが回路の検査に影響するか否かを監視測定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査ボードと、
被検査部材を固定するために前記検査ボード上に設置し、且つ前記被検査部材を前記検査ボードに電気接続させるスロットと、
無線信号を受信するために前記検査ボード上に設置し、且つ前記スロットに近接するアンテナからなる、
回路の検査環境に用いる検査装置。
【請求項２】
前記検査装置はさらに周波数スペクトラム・アナライザー、検査プログラム及びその組合せ方式の内の何れか一つを含み、前記アンテナから伝送される無線信号を分析することを特徴とする、請求項1に記載した検査装置。
【請求項３】
アンテナを検査ボード上に載置し、
前記アンテナにより無線信号を受信し、検査プログラム、周波数スペクトラム・アナライザーのうちの何れか一つを選択して前記アンテナから伝送される無線信号を分析することを含む、
回路の検査環境に用いる検査方法。
【請求項４】
前記アンテナは前記検査環境付近の無線ネットワークやコードレス電話から発せられる複数個の無線信号ノイズを検知するためのものであることを特徴とする、請求項３に記載した検査方法。
【請求項５】
前記アンテナはスロットに近接して載置し、前記スロットは検査しようとする前記ＩＣ回路に用いることを特徴とする、請求項３に記載する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は検査装置に関し、特にＩＣ回路の検査環境を検査するための検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程において、ＩＣ回路の製造工程で一連の検査を経ないと市場に流通させることはできない。
またＲＦ回路の製造工程では、量産する前にまず製造ライン環境の検査作業を行う様クライアントが要求するが、その理由は製造ライン環境がよくＲＦ信号に妨害されて検査装置が検査する際に判断ミスを起こすからである。
つまり有効コード(Pass-bin)が無効コード(Fail-bin)に変わってしまったり、或いは無効コードが有効コードに変わってしまったりして検査ミスが起きる可能性があるからである。
従って、通常製造ラインで量産する前に、無線信号器材の使用、又はその他高周波部材検査に影響する条件を規制するのである。
然しながら、一般の環境検査は自動検査設備（auto testing equipment，ATE）室内の反射や乱反射などの電波妨害に対してエリア内の防護はするが、被検査部材間のＲＦノイズ妨害に対しては有効な検知方法がない。
このように過量のＲＦノイズの有無を確実に検知することができないことから、ピン検査の判断ミスに大いに影響する。
換言すると、上記の環境検査方式はＲＦノイズの妨害を極力抑えるだけで、真のシミュレーションを行って検査中の装置がその環境妨害を受ける影響の程度を知る由もないのである。
【０００３】
このため本発明は検査環境をシミュレートし、量産時に受信する環境妨害を検知できる回路の検査環境に用いる検査装置及び方法を発明したものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、ＩＣ回路の検査環境を検査できる装置を提供して、ＩＣ回路の検査環境に過量のノイズが存在することで、ＩＣ回路を検査する際の精度に影響するか否かを検査することにある。
【０００５】
本発明の別途の目的は、ＩＣ回路の検査環境を検査できる方法を提供して、前記方法によってＩＣ回路の検査環境に過量のノイズが存在することで、ＩＣ回路を検査する際の精度に影響するか否かを検査することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的に基づいて、本発明はＩＣ回路検査の検査環境に用いる検査装置を開示し、前記検査装置は少なくとも検査ボード、スロット及びアンテナを含む。前記検査ボードは検査装置の底部に位置し、スロットは検査ボード上に取り付けてＩＣ回路の様な被検査部材を固定するのに用い、被検査部材を前記検査ボードに電気接続させる。また、アンテナは検査ボード上で且つスロットに近接する位置に取り付けるが、前記アンテナを取り付ける目的は無線信号を受信するためである。
【０００７】
上記の別途目的に基づいて、本発明はＩＣ回路の検査環境に用いる検査方法を開示し、前記検査方法は少なくとも次の工程を含む。それはアンテナを検査ボード上に載置して前記アンテナにより無線信号を受信し、また検査プログラム、周波数スペクトラム・アナライザーのうちの何れか一つを使用してアンテナから伝送される無線信号を分析する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
［実施例］
図１は本発明のＩＣ回路の検査環境に使用する検査装置の概略図を示している。
【０００９】
図１に示すように、前記検査装置１００は主に検査ボード（tester head）１０２、スロット（socket）１０４及びアンテナ１０６からなる。
検査ボード１０２は検査装置１００の底部に位置し、検査ボード１０２を通じて前記検査装置１００はコンピュータや表示スクリーンのような周辺機器と電気接続する。
【００１０】
検査ボード１０２には少なくとも一つのスロット１０４を取り付ける。
各スロット１０４は被検査部材を固定するのに用い、被検査部材を検査ボード１０２に電気接続させることができる。
アンテナ１０６は検査ボード１０２上に取り付け、またアンテナ１０６のアースターミナルは検査ボード１０２のアースターミナルに電気接続する。
前記アンテナ１０６の載置位置は検査ボード１０２上のどの位置でもよいが、好ましい実施例では、前記アンテナ１０６をスロット１０４に近接する位置に取り付ける。スロット１０４に近接する位置に前記アンテナ１０６を取り付ける目的は無線信号を受信するためであり、検査環境付近の無線信号が強すぎてＩＣ回路の設計を電波妨害していないかどうかを監視測定する。
【００１１】
異なる実施例では、検査装置１００上にさらに検査ボード（loadboard）１０８を含む。
前記検査ボード１０８は検査ボード１０２を載置するのに用いる。
前記検査装置１００は好ましくはＲＦＩＣ回路の検査環境のシミュレーション関連に用いるが、前記検査装置１００はまたその他に信号妨害を受けるＩＣ回路を検査するのにも用いられる。
前記検査装置１００は検査機台上に設置されるが、検査機台はオートメーションなので、検査装置１００を異なる位置に配置して異なる検査を行うことができる。
【００１２】
また図１によると、本発明の検査装置１００はさらに周波数スペクトラム・アナライザー１１０を含む。
前記周波数スペクトラム・アナライザーは検査ボード１０２に電気接続し、アンテナ１０６が受信した無線信号を検査ボード１０２に伝送して、さらに周波数スペクトラム・アナライザー１１０に伝送して解析を行い、無線信号の強度や特性など、さらには無線信号がＩＣ回路の検査を妨害しているか否かを分析する。
【００１３】
図２Ａ乃至図２Ｃは検査装置のアンテナの概略図を示している。
図２Ａで示すように、前記アンテナは従来タイプ逆Ｆ型アンテナ（conventional wire element inverted F antenna）２０２である。
前記従来タイプ逆Ｆ型アンテナ２０２は信号伝送ターミナル２０２２とアースターミナル２０２４からなる。
信号伝送ターミナル２０２２はアンテナが受信した無線信号をコンピュータや周波数スペクトラム・アナライザーのような周辺装置に伝送してさらなる信号の分析を行い、またアースターミナル２０２４は検査装置の検査ボード（図示せず）のアースターミナルと電気接続する。
【００１４】
図２Ｂで示すように、前記アンテナは平面タイプ逆Ｆ型アンテナ(planar inverted F antenna)２０４である。
前記平面タイプ逆Ｆ型アンテナ２０４も信号伝送ターミナル２０４２とアースターミナル２０４４からなる。
信号伝送ターミナル２０４２は同様にアンテナが受信した無線信号をコンピュータや周波数スペクトラム・アナライザーのような周辺装置に伝送してさらなる信号の分析を行う。
またアンテナのアースターミナル２０４４は検査ボード１０２のアースターミナル２０４４と電気接続する。
【００１５】
図２Ａの従来タイプ逆Ｆ型アンテナ２０２と異なる点は、前記平面タイプ逆Ｆ型アンテナ２０４には下方の銅箔やアース回路に受信妨害されないという特性があり、好ましい受信特性を有することから、本発明の検査ボード１０２と結合するのに適しており、ＲＦＩＣ回路をシミュレートして外部環境による受信妨害を実際に検知する受信アンテナを製作する。
【００１６】
然しながら、異なる実施例では、本発明のアンテナは図２Ｃで示すようなＩＣタイプ逆Ｆ型アンテナ(integrated inverted F antenna)２０６、或いは薄型アンテナ、平面アンテナ、マルチアーム・モノポールアンテナ(MULTI-ARM MONOPOLE Antenna)及びその組合せの様なその他のタイプのマルチ周波数の信号を受信するためアンテナを使用することもできるが、ここでは限定していない。
上記のアンテナは同様に本発明の無線信号を検知する目的を達するが、使用面では図２Ｂの平面タイプ逆Ｆ型アンテナ２０４の指向性が良好であり、平面タイプ逆Ｆ型アンテナ２０４のアンテナの放射パターンがあまりアース面に影響されないことから、良好な放射パターンで放射することができる。
【００１７】
図３は本発明の検査環境の概略図を示している。
図３で示すように、被検査部材（図示せず）が検査装置１００のスロット１０４上に載置されていない場合、アンテナ１０６はまず検査装置１００が製造ライン周囲の無線信号をスキャンして、無線信号があるエリアにおいて強度になり過ぎて被検査部材の検査時の精度を妨害していないかどうかを調べる。
【００１８】
例えば、検査装置１００が検査する際に起きる判断ミスによって、有効コードが無効コードに変わってしまったり、或いは無効コードが有効コードに変わってしまったりすることがある。
検査の結果、無線信号の電波妨害がそれほどでなければ、被検査部材を検査装置のスロット１０４上に載置して部材の検査を行うことができる。
このとき、アンテナ１０６は検査装置１００付近の無線信号を引続き検知する、というのも被検査部材を検査する際、携帯電話を掛けたり、又はノートパソコンやＰＤＡ（個人用携帯情報端末）のようなその他の無線信号を伝送したり受信したりする装置を使用したりして、被検査部材の検査が妨害される可能性もあるからである。
【００１９】
さらに被検査部材が検査装置１００上に載置され検査機台と共に移動すると、つまり被検査部材の検査環境が絶えず変化することで、アンテナ１０６は異なる検査環境の無線信号を周波数スペクトラム・アナライザー１１０に伝送して分析を行い、周波数スペクトラム・アナライザー１１０は分析結果をコンピュータのような端末機に伝送する。
また、前記端末機は周波数スペクトラム・アナライザー１１０の分析結果を判断することができる検査プログラムを含み、検査を引続き行うことが可能か、又は周辺環境を検査する必要があるか否かを決定して、疑わしい無線信号の発生源を取り除いてさらに検査を行う。
【００２０】
図４は本発明に係る回路の検査環境の検査方法のフローチャートを示している。
図４で示すように、前記方法は工程４０２でアンテナを検査ボードに載置し、検査環境周辺の無線信号を検査するのに用いることを含む。
工程４０４では前記アンテナにより無線信号を受信する。
また、工程４０６では検査プログラム又は周波数スペクトラム・アナライザーを使用して前記アンテナから伝送される無線信号を分析する。
上記の方法によるアンテナは、そのアースターミナルが検査ボードのアースターミナルに電気接続して、前記検査環境付近の無線ネットワーク、又はコードレス電話から発せられる通信信号ノイズを検知するのに用いる。
アンテナはスロットに近接して載置し、また前記スロットは検査しようとするＩＣ回路を載置するためのものである。
周波数スペクトラム・アナライザーはアンテナから伝送される無線信号を分析するのに用いる。
本方法によるアンテナは、薄型アンテナ又は平面アンテナ及びその組合せ方式のうちの何れか一つを選択することができる。前記アンテナは平面タイプ逆Ｆ型アンテナのような逆Ｆ型アンテナでもよい。前記方法は好ましくはＲＦＩＣ回路の検査に用いる。
【００２１】
以上の記述は本発明の好ましい実施例に過ぎず、これをもって本発明の特許請求の範囲を限定するものではなく、また、本発明で開示した精神を逸脱しない範囲において完成した等価変更若しくは修飾は、全て本案における特許請求の範囲内に含まれるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明のＩＣ回路の検査環境に使用する検査装置の概略図である。
【図２Ａ】検査装置のアンテナの概略図である。
【図２Ｂ】検査装置のアンテナの概略図である。
【図２Ｃ】検査装置のアンテナの概略図である。
【図３】本発明の検査環境の概略図である。
【図４】本発明のＩＣ回路の検査環境に使用する検査方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【００２３】
１００          検査装置
１０２          検査ボード
１０４          スロット
１０６          アンテナ
１０８          テスターヘッド
１１０          周波数スペクトラム・アナライザー
２０２          従来タイプ逆Ｆ型アンテナ
２０２２        信号伝送ターミナル
２０２４        アースターミナル
２０４          平面タイプ逆Ｆ型アンテナ
２０４２        信号伝送ターミナル
２０４４        アースターミナル
２０６          ＩＣタイプ逆Ｆ型アンテナ
４０２−４０６  工程
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
2009168791.tif 000005
【図２Ｃ】
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【図３】
2009168791.tif 000007
【図４】
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