(57)【要約】【課題】対応者の個人的な能力によらず、異常に対して迅速に対応することができる品質管理システム及び品質管理方法を提供する。【解決手段】製造工程１００に対する品質管理システム１において、工程監視手段２及びサポート手段３を設ける。工程監視手段２は、製造工程１００の製造装置１０１から出力される製造実績データ６１に基づいて製造装置１０１に異常が発生しているか否かを判断し、異常が発生していると判断したときは、異常の内容を示す信号６２を出力する。サポート手段３は、工程監視手段２から信号６２が入力されたときに、異常に対する対応指示６３を出力する。そして、サポート手段３には、異常の内容に応じた対応指示が対話型のプログラムとして記述された異常対応シナリオ６６を実行する実行手段１８を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置から出力される製造実績データに基づいて前記製造装置に異常が発生しているか否かを判断し、異常が発生していると判断したときは、前記異常の内容を示す信号を出力する工程監視手段と、
前記信号が入力されたときに、前記異常に対する対応指示を出力するサポート手段と、
を備えたことを特徴とする品質管理システム。
【請求項２】
前記サポート手段は、前記異常の内容に応じた前記対応指示が対話型のプログラムとして記述された異常対応シナリオを実行する実行手段を有することを特徴とする請求項１記載の品質管理システム。
【請求項３】
前記サポート手段は、複数の前記異常対応シナリオが格納されたシナリオデータベースをさらに有し、
前記実行手段は、前記信号が入力されたときに、前記シナリオデータベースから前記異常の内容に応じた前記異常対応シナリオを選択して読み出すことを特徴とする請求項２記載の品質管理システム。
【請求項４】
前記サポート手段は、新たな前記信号が入力されたときに、前記新たな信号を記録する信号履歴データベースをさらに有し、
前記実行手段は、新たな前記信号が入力されたときに、前記信号履歴データベースに記録された前記信号が示す異常の内容のうち、前記新たな信号が示す異常の内容と同じ種類の内容を出力することを特徴とする請求項２または３に記載の品質管理システム。
【請求項５】
前記サポート手段は、前記異常対応シナリオの実行に際して入力された対応処置の実施記録を記録する実施記録データベースをさらに有し、
前記実行手段は、前記異常対応シナリオの実行に際して実施記録の入力を要求するときに、前記実施記録データベースに記録された実施記録のうち、今回出力する前記対応指示と同じ内容であって過去に出力された対応指示に対する過去の実施記録を出力することを特徴とする請求項２〜４のいずれか１つに記載の品質管理システム。
【請求項６】
前記異常の内容に応じた事例の情報である固有事例情報を出力する判断支援手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の品質管理システム。
【請求項７】
前記判断支援手段は、
事例の情報である事例情報を格納する事例データベースと、
前記事例データベースに格納された前記事例情報から前記固有事例情報を選択して出力する検索手段と、
を有することを特徴とする請求項６記載の品質管理システム。
【請求項８】
前記判断支援手段は、標識を付して前記事例情報を登録する登録手段をさらに有し、
前記事例データベースは、前記登録手段により登録された前記事例情報により更新され得ることを特徴とする請求項７記載の品質管理システム。
【請求項９】
前記判断支援手段は、前記サポート手段に前記信号が入力されたときであって前記サポート手段からの指示を受けたとき及び利用者からの指示を受けたときの少なくともいずれかのときに、前記固有事例情報を出力することを特徴とする請求項６〜８のいずれか１つに記載の品質管理システム。
【請求項１０】
製造装置から出力される製造実績データに基づいて前記製造装置に異常が発生しているか否かを判断する工程と、
前記工程において異常が発生していると判断したときに、前記異常に対する対応指示を出力する工程と、
を備えたことを特徴とする品質管理方法。
【請求項１１】
前記対応指示を出力する工程は、前記異常の内容に応じた対応指示が対話型のプログラムとして記述された異常対応シナリオを実行する工程を有することを特徴とする請求項１０記載の品質管理方法。
【請求項１２】
前記対応指示を出力する工程は、複数の前記異常対応シナリオから前記異常の内容に応じた前記異常対応シナリオを選択して読み出す工程をさらに有することを特徴とする請求項１１記載の品質管理方法。
【請求項１３】
前記判断する工程は、前記異常が発生していると判断したときに前記異常の内容を示す信号を出力する工程を有し、
前記対応指示を出力する工程は、
新たな前記信号が入力されたときに、前記新たな信号を記録する工程と、
過去に記録された前記信号が示す異常の内容のうち、前記新たな信号が示す異常の内容と同じ種類の内容を出力する工程と、
をさらに有することを特徴とする請求項１１または１２に記載の品質管理方法。
【請求項１４】
前記異常対応シナリオを実行する工程は、
前記対応指示を出力する工程と、
前記対応指示に対する実施記録の入力を要求する工程と、
記録されている過去の実施記録のうち、前記対応指示と同じ内容であって過去に出力された対応指示に対する過去の実施記録を出力する工程と、
入力された実施記録を記録する工程と、
を有することを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１つに記載の品質管理方法。
【請求項１５】
前記異常の内容に応じた事例の情報である固有事例情報を出力する判断支援工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１０〜１４のいずれか１つに記載の品質管理方法。
【請求項１６】
前記判断支援工程は、
事例の情報である事例情報を記憶する記憶工程と、
前記記憶工程において記憶された前記事例情報から前記固有事例情報を選択して出力する検索工程と、
を有することを特徴とする請求項１５記載の品質管理方法。
【請求項１７】
前記判断支援工程は、標識を付して前記事例情報を登録する登録工程をさらに有し、
前記記憶工程において記憶される前記事例情報は、前記登録工程により登録された前記事例情報により更新され得ることを特徴とする請求項１６記載の品質管理方法。
【請求項１８】
前記判断支援工程は、前記対応指示を出力する工程において前記固有事例情報を出力する必要があると判断されたとき及び利用者からの指示を受けたときの少なくともいずれかのときに、前記固有事例情報を出力することを特徴とする請求項１５〜１７のいずれか１つに記載の品質管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、品質管理システム及び品質管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、製品の製造工程において、製造装置から出力される製造実績データを監視し、製造装置に異常が発生していると判断したときには警報を発信する品質管理方法が開発されている（例えば、特許文献１参照。）。このような品質管理方法として、例えば、ＳＰＣ（Statistical Process Control：統計的工程管理）と呼ばれる手法がある。そして、このような品質管理方法を実施している製造工程においては、警報が発信されたときに、現場にいる作業者又は事務所にいる技術者が、異常の内容を確認して異常に対応している。
【０００３】
しかし、この従来の技術においては、異常に対する対応の内容が、作業者又は技術者等の対応者の個人的な能力に依存するという問題がある。このため、場合によっては適切な対応が実施されず、対応手順が後戻りしたり、非効率な対応手順をとったりすることとなり、異常が解消させるまでに長時間を要することがある。また、技術者の指示に基づいて作業者が対応することになっている場合には、技術者の不在によって対応が遅れることもある。
【特許文献１】特開２０００−５６８２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、対応者の個人的な能力によらず、異常に対して迅速に対応することができる品質管理システム及び品質管理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、製造装置から出力される製造実績データに基づいて前記製造装置に異常が発生しているか否かを判断し、異常が発生していると判断したときは、前記異常の内容を示す信号を出力する工程監視手段と、前記信号が入力されたときに、前記異常に対する対応指示を出力するサポート手段と、を備えたことを特徴とする品質管理システムが提供される。
【０００６】
本発明の他の一態様によれば、製造装置から出力される製造実績データに基づいて前記製造装置に異常が発生しているか否かを判断する工程と、前記工程において異常が発生していると判断したときに、前記異常に対する対応指示を出力する工程と、を備えたことを特徴とする品質管理方法が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、対応者の個人的な能力によらず、異常に対して迅速に対応することができる品質管理システム及び品質管理方法を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。  
図１は、本実施形態に係る品質管理システムを例示する図である。  
図１に示すように、本実施形態に係る品質管理システム１は、製造工程１００について品質管理を行うシステムである。製造工程１００は、例えば、半導体装置の製造工程である。製造工程１００においては、例えば複数台の製造装置１０１が設けられている。製造装置１０１は、製品を製造するための処理を行い、その製造の実績、すなわち、処理の条件及び処理された製品の出来映え等を、製造実績データ６１として出力する。また、製造工程１００には、作業者Ｗが駐在している。
【０００９】
品質管理システム１においては、工程監視手段２及びサポート手段３が設けられている。工程監視手段２は、製造装置１０１から出力される製造実績データ６１に基づいて、製造装置１０１に異常が発生しているか否かを判断し、異常が発生していると判断したときは、この異常の内容を示す信号６２を出力する手段である。また、サポート手段３は、工程監視手段２から信号６２が入力されるようになっており、信号６２が入力されたときに、異常に対する対応指示６３を出力する手段である。
【００１０】
工程監視手段２においては、ＭＥＳ（Manufacturing Execution System：製造実行システム）１１、製造実績データベース１２、ＳＰＣデータベース１３、ＳＰＣシステム１４が設けられている。ＭＥＳ１１は、製造工程１００に属する複数台の製造装置１０１から製造実績データ６１を受け取り、製造実績データベース１２に対して出力する。製造実績データベース１２は、ＭＥＳ１１から入力された製造実績データ６１を記録し、蓄積する。一方、ＳＰＣデータベース１３には、ＳＰＣ管理のための管理値６４及び管理外れ定義６５が記録されている。
【００１１】
そして、ＳＰＣシステム１４は、製造実績データベース１２に蓄積された製造実績データ６１を読み込み、このデータに関してＳＰＣを実行する。すなわち、読み込んだ製造実績データ６１をＳＰＣデータベース１３に記録されている管理値６４と比較した上で、管理外れ定義６５に従って、製造装置１０１に異常が発生しているか否かを判断する。そして、異常が発生していると判断したときは、異常の内容を示す信号６２を出力する。
【００１２】
サポート手段３においては、信号履歴データベース１６、シナリオデータベース１７、実行手段１８、実施記録データベース１９、入出力端末装置２０が設けられている。信号履歴データベース１６は、工程監視手段２のＳＰＣシステム１４から信号６２が入力されるようになっている。そして、信号６２が入力されたときに、この信号６２を記録すると共に、この信号６２を実行手段１８に対して出力する。シナリオデータベース１７には、複数の異常対応シナリオ６６が格納されている。異常対応シナリオ６６においては、製造装置１０１の異常の内容に応じた対応指示６３が、対話型のプログラムとして記述されている。
【００１３】
そして、実行手段１８は、信号履歴データベース１６から信号６２が入力されたときに、シナリオデータベース１７から信号６２に示された異常の内容に応じて１つの異常対応シナリオ６６を選択して読み出し、これを実行することにより、対応指示６３を入出力端末装置２０に対して出力する。すなわち、実行手段１８は、異常対応シナリオ６６に従って対応指示６３を出力し、この対応指示６３に対する実施記録６７が入力されることにより、異常対応シナリオ６６のステップ６６ｓを１つずつ進める。このとき、実行手段１８は、入出力端末装置２０を介して、作業者Ｗとの間で情報の入出力を行う。
【００１４】
また、実行手段１８は、新たな信号６２が入力されたときに、信号履歴データベース１６に記録された信号６２が示す異常の内容のうち、新たな信号６２が示す異常の内容と同じ種類の過去の異常の内容６２ａを出力する。
【００１５】
更に、実施記録データベース１９には、作業者Ｗが実行手段１８から出力された対応指示６３に従って実施した対応処置６８の実施記録６７が記録される。そして、実行手段１８は、異常対応シナリオ６６の実行に際して、作業者Ｗに実施記録６７の入力を要求するときに、実施記録データベース１９に記録された過去の実施記録６７のうち、今回出力する対応指示６３と同じ内容の対応指示６３であって、過去に出力された対応指示６３に対する過去の実施記録６７ａを出力する。
【００１６】
次に、上述の如く構成された本実施形態に係る品質管理システムの動作、すなわち、本実施形態に係る品質管理方法について説明する。  
図２は、本実施形態に係る品質管理方法を例示するフローチャート図である。  
以下、図１及び図２を参照して説明する。
【００１７】
製造工程１００においては、製造装置１０１が製品を製造するための処理を実行し、その処理の条件及び処理された製品の出来映え等の製造実績を、製造実績データ６１として、ＭＥＳ１１に対して出力する。品質管理システム１は、この製造実績データ６１に基づいて、製造工程１００の品質管理を行う。
【００１８】
先ず、図２のステップＳ１に示すように、ＭＥＳ１１が、入力された製造実績データ６１を製造実績データベース１２に対して出力する。製造実績データベース１２は、この製造実績データ６１を記録し、蓄積する。
【００１９】
次に、ステップＳ２に示すように、ＳＰＣシステム１４が、製造実績データベース１２から製造実績データ６１を読み込んでＳＰＣを実行し、異常の発生の有無を判断する。すなわち、ＳＰＣシステム１４は、ＳＰＣデータベース１３から管理値６４を読み込む。管理値６４は、例えば、過去の一定期間に収集された製造実績データ６１に基づいて決定されており、例えば、その平均値にその標準偏差の３倍の値を加えた上限値と、その平均値から標準偏差の３倍の値を減じた下限値である。一方、ＳＰＣシステム１４は、ＳＰＣデータベース１３から管理外れ定義６５を読み込む。管理外れ定義６５には、例えば、製造実績データ６１が上述の上限値よりも大きくなるか、上述の下限値よりも小さくなったとき、製造実績データ６１が徐々に上限値若しくは下限値に近づいたとき、又は、データの並び方にくせがあったとき等に、「管理外れ」と判定することが定義されている。そして、ＳＰＣシステム１４は、製造実績データ６１を管理値６４と比較した上で、管理外れ定義６５に従って、製造実績データ６１が「管理外れ」となったときに、製造装置１０１に異常が発生したと判断する。
【００２０】
ステップＳ２において、ＳＰＣシステム１４が、製造装置１０１に異常が発生していないと判断したときは、ステップＳ１に戻り、次の製造実績データ６１についてＳＰＣを実行する。一方、製造装置１０１に異常が発生していると判断したときは、ステップＳ３に進み、異常の内容を示す信号６２をサポート手段３及び作業者Ｗに対して出力する。
【００２１】
これにより、ステップＳ４に示すように、信号履歴データベース１６に信号６２が入力され、信号履歴データベース１６はこの信号６２を記録する。また、このとき、信号履歴データベース１６は、この信号６２を実行手段１８に対して出力する。
【００２２】
次に、ステップＳ５に示すように、実行手段１８が起動し、信号履歴データベース１６から、入力された新たな信号６２と同じ種類の過去の信号の内容６２ａを読み出し、入出力端末装置２０に対して出力する。
【００２３】
次に、ステップＳ６に示すように、実行手段１８は、信号６２に示されている異常の内容に応じて、シナリオデータベース１７に格納されている複数の異常対応シナリオ６６から、１つの異常対応シナリオ６６を選択して読み出す。
【００２４】
そして、ステップＳ７に示すように、実行手段１８は、読み出した異常対応シナリオ６６を実行し、対応指示６３を順次出力する。すなわち、実行手段１８は、異常対応シナリオ６６のステップ６６ｓに従って、対応指示６３を出力する。また、この対応指示６３に対する実施記録６７の入力を要求する。このとき、実行手段１８は、実施記録データベース１９に記録されている過去の実施記録６７のうち、今回出力する対応指示６３と同じ内容であって過去に出力された対応指示６３に対する過去の実施記録６７ａを出力する。
【００２５】
これにより、作業者Ｗが、入出力端末装置２０を介して対応指示６３及び過去の実施記録６７ａを認識し、過去の実施記録６７ａを参考にしつつ、対応指示６３に従って、製造装置１０１に対して対応処置６８を施す。そして、その結果を実施記録６７として、入出力端末装置２０を介して入力する。これを繰り返すことにより、異常対応シナリオ６６のステップ６６ｓが進行し、実行手段１８から対応指示６３が順次出力される。このとき、作業者Ｗが入力した実行記録６７は、実施記録データベース１９に記録される。以上により、発生した異常に対する対応が完了する。
【００２６】
次に、本実施形態の効果について説明する。  
本実施形態によれば、工程監視手段２が製造装置１０１から出力される製造実績データ６１に基づいて製造装置１０１に異常が発生しているか否かを判断し、異常が発生していると判断したときに、この異常の内容を示す信号６２を出力する。そして、実行手段１８が、作業者Ｗに対して、異常の内容に応じた対応指示６３を提供する。これにより、作業者Ｗの個人的能力によらず、常に的確な対応が可能となる。また、技術者を介さずに異常に対する対応指示６３を提供することができるため、技術者の個人的能力に依存することがなく、また、技術者が不在であっても、異常への対応が可能となる。この結果、異常に対して迅速且つ確実に対応することができる。
【００２７】
また、本実施形態においては、実行手段１８は、異常の内容に応じた対応指示が対話型のプログラムとして記述された異常対応シナリオ６６を実行することにより、対応指示６３を順次出力する。これにより、作業者Ｗとの対話によって作業指示６３に対する実施記録６７が入力されるため、異常の内容を具体的に解析し、よりきめ細かい対応指示６３を出力することができる。この結果、異常に対してより的確な対応が可能となる。
【００２８】
更に、本実施形態においては、シナリオデータベース１７に複数の異常対応シナリオ６６が格納されており、実行手段１８は、異常の内容に応じてシナリオデータベース１７から異常対応シナリオ６６を選択して読み出して、実行している。従って、予めシナリオデータベース１７に他種類の異常にそれぞれ対応する他種類の異常対応シナリオ６６を格納しておけば、多種類の異常に対応することができる。
【００２９】
更に、本実施形態においては、信号履歴データベース１６が設けられており、工程監視手段２から信号６２が入力されたときにこれを記録し、また、この信号の内容と同じ種類の過去の信号の内容６２ａを出力する。また、実施記録データベース１９が設けられており、入力された対応処置の実施記録６７が記録され、また、同じ内容の過去の対応指示６３に対する過去の実施記録６７ａを出力する。これにより、作業者は、過去に発生した異常の内容及びその実施記録を参照しながら、今回発生した異常に対応することができ、異常に対してより的確な対応が可能となる。また、新たな信号６２及び実施記録６７が入力されたときには、これらはそれぞれ信号履歴データベース１６及び実施記録データベース１９に記録されるため、これらのデータベースを自動的に更新することができる。
【００３０】
次に、本実施形態の比較例について説明する。  
図３は、本比較例に係る品質管理システムを例示する図である。  
図３に示すように、本実施形態に係る品質管理システム２０１においては、製造装置１０１に異常が発生したときに、工程監視手段２０２のＳＰＣシステム２１４から、警報２６２が出力される。警報２６２は、必ずしも異常の内容を示すものでなくてもよく、単に異常が発生したことを通知するものであってもよい。また、品質管理システム２０１においては、サポート手段３（図１参照）は設けられておらず、警報２６２は作業者Ｗ及び技術者Ｅに通知される。本比較例における上記以外の構成は、前述の実施形態と同様である。
【００３１】
本比較例においては、警報２６２が出力されると、作業者Ｗが異常の内容を調べ、自己の知識及び経験に基づいて対応処置６８を決定し、それを実施する。又は、技術者Ｅが異常の内容を調べ、若しくは作業者Ｗからの報告を受け、自己の知識及び経験に基づいて対応処置を決定し、それを指示２６３として作業者Ｗに通知する。そして、作業者Ｗがこの指示２６３に基づいて対応処置６８を実施する。
【００３２】
このため、本比較例においては、対応の内容が作業者Ｗ又は技術者Ｅの個人的能力に依存してしまい、的確な対応がとれない場合がある。また、技術者Ｅの指示に基づいて対応することになっている場合には、技術者Ｅの不在等により、対応が遅れることがある。これにより、異常が発生してから解消されるまでの時間が長くなり、その間、品質異常の製品が作り続けられてしまうことがある。これに対して、上述の如く、本実施形態によれば、作業者及び技術者の個人的能力によらず、また、技術者が不在であっても、迅速且つ的確な対応が可能となる。
【００３３】
次に、前述の本発明の実施形態を具現化する具体例について説明する。  
先ず、第１の具体例について説明する。  
本具体例は、主としてサポート手段の構成例である。  
図４は、本具体例に係る品質管理システムの一部を例示する図である。
【００３４】
図４に示すように、本具体例におけるサポート手段３においては、入出力端末装置２０としてパーソナルコンピューターが用いられており、このパーソナルコンピューターにはウェブブラウザ３１が搭載されている。また、サポート手段３においては、この入出力端末装置にＬＡＮ（Local Area Network：構内通信網）３２を介して接続されたアプリケーションサーバー３３と、このアプリケーションサーバー３３に接続されたデータベースサーバー３４とが設けられている。
【００３５】
アプリケーションサーバー３３上には、実行手段１８がウェブ（ＷＥＢ）アプリケーションとして構築されている。また、アプリケーションサーバー３３には、ウェブサーバー３５が搭載されている。これにより、作業者Ｗは、入出力端末装置２０に搭載されたウェブブラウザ３１からＨＴＴＰ（Hypertext Transfer Protocol）を用いてウェブサーバー３５にアクセスし、更に実行手段１８にアクセス可能となっている。
【００３６】
一方、データベースサーバー３４上には、信号履歴データベース１６、シナリオデータベース１７、実施記録データベース１９が構築されている。これにより、実行手段１８は、これらの各データベースにアクセスして、データの参照及び保存を行うことが可能である。また、データベースサーバー３４上には、工程監視手段２のＳＰＣデータベース１３も構築されている。
【００３７】
本具体例によれば、入出力端末装置２０、アプリケーションサーバー３３、データベースサーバー３４の３台のハードウェアを設けるだけで、サポート手段３及びＳＰＣデータベース１３を構成することができる。本具体例の上記以外の構成、動作及び効果は、前述の実施形態と同様である。
【００３８】
次に、第２の具体例について説明する。  
本具体例は、異常対応シナリオの具体例である。  
図５乃至図７は、本具体例における異常対応シナリオを例示するフローチャート図であり、図２のステップＳ７に示す工程の具体例である。
【００３９】
前述の如く、異常対応シナリオにおいては、製造装置における異常の内容に応じた対応指示が、対話型のプログラムとして記述されている。以下、半導体装置の製造プロセスにおいて、基板洗浄工程で洗浄水の流量が管理下限値よりも小さくなった場合を例に挙げて、異常対応シナリオの実行方法について説明する。表１に、本具体例における異常の内容を示す。
【００４０】
【表１】
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図１に示すように、製造装置１０１（基板洗浄装置）においてこのような異常が発生すると、ＳＰＣシステム１４から信号６２が信号履歴データベース１６及び作業者Ｗに対して出力され、信号履歴データベース１６から実行手段１８に対して出力される。これにより、実行手段１８は、シナリオデータベース１７から、基板洗浄装置の洗浄水の流量が管理上下限外れとなった場合の異常対応シナリオ６６を選択し、これを読み込む。そして、この異常対応シナリオ６６を実行する。
【００４１】
先ず、図５のステップＳ１１に示すように、製造実績データ６１の値が０であるかどうかを判断する。製造実績データ６１の値が０でなければ、この値は実際の流量を表している可能性が高いと考えられるため、ステップＳ１２に進み、基板洗浄装置の流量バルブを調整して目標値に合わせる旨の対応指示６３を入出力端末装置２０に対して出力する。これにより、作業者Ｗが、対応処置６８として、流量バルブを調整する。そして、作業者Ｗが、この対応指示６３に対する結果、すなわち、調整後の流量値を実施記録６７として入出力端末装置２０に対して入力する。
【００４２】
次に、ステップＳ１３に示すように、実行手段１８が、入力された実施記録６７に基づいて、流量が管理範囲内に調整されたか否かを判断する。そして、調整されていれば、ステップＳ１４に進み、洗浄水の流動を継続する旨の対応指示６３を出力する。これにより、作業者Ｗは、対応処置６８として洗浄水の流動を継続し、今回の異常に対する処置を終了する。このように、ステップＳ１１〜Ｓ１４の処理フローで表されるケースは、原則として作業者Ｗが、異常対応シナリオ６６の対応指示６３のみによって異常を解消できるケースである。なお、このとき、担当の技術者が、流動を継続させるか否かの最終的な判断を下してもよい。
【００４３】
一方、上述のステップＳ１１において、製造実績データ６１の値が０であった場合は、ステップＳ１５に進み、製造装置１０１（基板洗浄装置）における洗浄水の流量の表示値（装置表示値）を確認する旨の対応指示６３を出力する。これにより、作業者Ｗが対応処置６８として装置表示値の確認を行い、その結果を対応記録６７として入力する。
【００４４】
そして、ステップＳ１６において、装置表示値が０であるか否かを判断する。装置表示値が０であれば、製造装置に異常が発生していると考えられるため、ステップＳ１７に進み、流動を停止させる旨の対応指示６３を出力する。これにより、作業者Ｗが対応処置６８として洗浄水の流動を停止させる。次に、ステップＳ１８に示すように、実行手段１８は、装置担当者に連絡をとる旨の対応指示６３を出力する。これにより、作業者Ｗは、異常対応シナリオ６６の実行を一旦停止させた上で、装置担当者に連絡する。
【００４５】
そして、現場に到着した装置担当者は、実行手段１８に異常対応シナリオ６６の実行を再開させる。これにより、図６のステップＳ３１に示すように、実行手段１８は、製造装置を確認する旨の対応指示６３を出力する。そして、装置担当者は製造装置を確認し、その結果を実施記録６７として入力する。
【００４６】
そして、ステップＳ３２に進み、異常の原因が判明したか否かを判断し、原因が判明していれば、ステップＳ３３に進み、その異常に対する対応を実施する旨の対応指示６３を出力する。その後、ステップＳ３６に進む。
【００４７】
一方、ステップＳ３２において、異常の原因が判明しなければ、ステップＳ３４に進み、製造装置のメーカーに連絡する旨の対応指示６３を出力する。これにより、装置担当者はメーカーに連絡をとり、対応を依頼し、その結果を実施履歴６７として入力する。次に、ステップＳ３５に進み、問題が解決したと判断した場合は、ステップＳ３６に進む。
【００４８】
そして、ステップＳ３６において、洗浄水の流動を再開する旨の対応指示６３を出力する。これにより、装置担当者又は作業者Ｗは、洗浄水の流動を再開させる。なお、このとき、担当の技術者が、流動を再開させるか否かの最終的な判断を下してもよい。
【００４９】
また、図５のステップＳ１６において、装置表示値が０でなかった場合には、洗浄水の流量に関して製造実績データ６１の値が装置表示値と異なっていることになるため、オンラインデータ収集システムに異常が発生している可能性が高いと考えられる。なお、オンラインデータ収集システムとは、例えば、図１に示す（製造装置１０１→ＭＥＳ１１→製造実績データベース１２→ＳＰＣシステム１４）からなるデータの流通経路である。そこで、製造装置自体は正常であると判断し、ステップＳ１９に進み、洗浄水の流動を継続する旨の対応指示６３を出力する。これにより、作業者Ｗは、対応処置６８として、洗浄水の流動を継続する。なお、このとき、担当の技術者が、流動を継続させるか否かの最終的な判断を下してもよい。
【００５０】
次に、ステップＳ２０に示すように、実行手段１８は、ＣＩＭ（Computer Integrated Manufacturing：コンピューター統合生産）担当者に連絡をとる旨の対応指示６３を出力する。これにより、作業者Ｗ又は技術者は、異常対応シナリオ６６の実行を一旦停止させた上で、ＣＩＭ担当者に連絡する。
【００５１】
そして、現場に到着したＣＩＭ担当者は、実行手段１８に異常対応シナリオ６６の実行を再開させる。この結果、図７のステップＳ４１に示すように、実行手段１８は、オンラインのデータ収集システムを確認する旨の対応指示６３を出力する。これにより、ＣＩＭ担当者は、確認した結果を実施記録６７として入力する。
【００５２】
次に、ステップＳ４２に進み、異常の原因が判明したか否かを判断し、原因が判明していれば、ステップＳ４３に進み、その異常に対する対応を実施する旨の対応指示６３を出力する。これにより、ＣＩＭ担当者又は作業者Ｗが、この対応指示６３に基づいて処置を施す。以上により、今回の異常への対応は終了する。
【００５３】
一方、ステップＳ４２において、異常の原因が判明しなければ、ステップＳ４４に進み、ＣＩＭを構成する装置のメーカーに連絡する旨の対応指示６３を出力する。これにより、ＣＩＭ担当者はメーカーに連絡をとり、対応を依頼し、その結果を実施履歴６７として入力する。そして、ステップＳ４５に進み、問題が解決したと判断したら終了する。
【００５４】
更に、図５に示すステップＳ１３において、流量バルブを調整しても管理範囲内に調整できなかった場合には、製造装置に異常が発生していると考えられるため、ステップＳ２１に進み、流動を停止させる旨の対応指示６３を出力する。これにより、作業者Ｗが洗浄水の流動を停止させる。次に、ステップＳ２２に示すように、装置担当者に連絡をとる旨の対応指示６３を出力する。これにより、作業者Ｗは、異常対応シナリオ６６の実行を一旦停止させた上で、装置担当者に連絡する。以後の処理は、図６に示す処理と同様である。これにより、異常に対する対応を終了する。なお、実行手段１８は、上述の各ステップにおいて、必要に応じて、過去の類似の異常の内容６２ａ及び実施記録６７ａを入出力端末装置２０に対して出力する。
【００５５】
このように、本具体例によれば、実行手段１８が対話型のプログラムとして記述された異常対応シナリオ６６を逐次実行することにより、作業者等の対応者に的確な対応指示を迅速に提供することができる。なお、この異常対応シナリオ６６によれば、基本的には技術者を介さずに対応処置を進めていくことができるが、上述の如く、対応処置の最終段階において、製造装置の運転を再開又は継続させることについて、技術者に確認を求めてもよい。しかし、この場合にも、対応処置の最終段階に至るまでは、技術者を介さずに処置を進めることができるため、技術者の不在等によって処置の開始が遅れることはない。また、技術者の個人的能力への依存が少ない。本具体例の上記以外の構成、動作及び効果は、前述の実施形態と同様である。
【００５６】
次に、本実施形態の他の構成について、図８〜図１６を参照しつつ説明する。  
図８は、本実施形態に係る品質管理システムの他の構成を例示する模式図である。
【００５７】
前述したように、サポート手段３を用いることにより、基本的に技術者を介さずに対応処置を進めていくことができる。しかし、サポート手段３で対応できないような不測の事態が生じ、サポート手段３が作業者Ｗに明確に指示できないような状況が生じることがあり得る。すなわち、過去の異常事例のいずれとも異なる事例や作業者及び技術者が想定し得なかった事例が生じることがあり得る。また、対応処置の最終段階において技術者に確認を求めたり、技術者が不在の場合は作業者Ｗが判断したり、手順内に作業者Ｗが判断する必要が生じることもあり得る。このうち、作業者Ｗ自らが判断して対応する場合は、作業者Ｗの知識や経験に対応判断が依存し、判断によっては手順が後戻りしたり非効率的な対応を行うなどして、対応期間が長くなることがある。
【００５８】
そこで、本構成においては、かかる場合に作業者Ｗが対応処置について判断を行うに際して判断材料を提供する支援手段（判断支援手段４）を設けることとしている。具体的には、判断支援手段４は、作業者Ｗに過去の事例情報等を提供する。これにより、作業者Ｗは、異常などが発生した際に事例情報を参酌しつつ適切に対処することが可能となる。
【００５９】
図８に表したように、本構成に係る品質管理システム１Ｂは、異常の内容に応じた事例の情報（固有事例情報７４）を出力する判断支援手段４をさらに備えている。判断支援手段４は、事例の情報（事例情報７３）を格納する事例データベース４２と、事例データベース４２に格納された事例情報７３から、固有事例情報７４を選択して出力する検索手段４１と、を有する。
【００６０】
事例情報７３には、過去の異常事例の情報の他、現場作業員や技術者が想定する異常事例の情報などを含めることができる。また、個々の事例の情報を他の類似事例に水平展開した情報を含めてもよい。例えば、ある液体の流量を制御するバルブに関する事例情報を、他の液体や気体の流量を制御するバルブに当てはめた情報である。また、ヒヤリ・ハット事例の情報や危険予知活動などで得られた情報を含めてもよい。
【００６１】
検索手段４１は、サポート手段３や作業者Ｗ等の利用者からの指示を受けて作動し、利用者に対して固有事例情報７４、すなわち、個々の事例に関連する類似事例等の情報、を出力する。検索手段４１は、検索条件により検索し、検索条件への一致度の高い順に固有事例情報７４を出力することができる。また、利用率の高い情報を優先して出力してもよい。また、検索手段４１は、検索を行うに際して、対応処置６８の実施記録６７を格納した実施記録データベース１９を用いて絞込みを行ってもよい。
【００６２】
判断支援手段４は、登録手段４３を有することができる。登録手段４３は、作業者Ｗからの入力等により事例情報７１を登録する。事例データベース４２は、登録手段４３により登録された事例情報７１により更新される構成にすることができる。登録された事例情報７１の全部または一部は事例データベース４２に伝送され、事例データベース４２に格納された事例情報７３が必要に応じ更新される。
【００６３】
また、判断支援手段４は、入出力端末装置４０を有し、判断支援手段４への入力及び判断支援手段４からの出力は、入出力端末装置４０を介して行われる。
【００６４】
このように、判断支援手段４は、品質管理のための様々な事例情報を収集し活用する機能を有する。すなわち、判断支援手段４は、品質管理ナレッジ・マネジメント（Quality Conrol Knowledge Management：ＱＣＫＭ）システムと呼ぶことができる。
【００６５】
次に、品質管理システム１Ｂの動作について、図９〜図１１を参照しつつ説明する。  
図９〜図１１は、品質管理システム１Ｂの動作を例示する流れ図である。  
図９及び図１０に表した例では、判断支援手段４は、異常の内容を示す信号６２がサポート手段３に入力されたときにおいて、サポート手段３から指示を受けたときに、固有事例情報７４を出力する。この場合、図８に示したように、サポート手段３は、判断支援手段４に対して、事例検索をする旨の指示８１（検索指示８１）を行う。サポート手段３は、検索指示８１を行う際に、判断支援手段４に警告内容、すなわち信号６２、や検索条件を入力することができる。
【００６６】
図９では、信号６２がサポート手段３に入力された場合に、サポート手段３で対応できないとき、すなわちサポート手段３が対応指示６３を出力することができないとき、に判断支援手段４が作動する。まず、ステップＳ５１に示したように、信号６２がサポート手段３に入力され、サポート手段３が作動する。その後、ステップＳ５２に示したように、サポート手段３で対応可能か否か、すなわちサポート手段３が作業者Ｗに、異常に対する対応指示６３を出力することができるか否か、が判断される。
【００６７】
サポート手段３が対応指示６３を出力することができる場合には、ステップＳ５３に示したように、サポート手段３は作業者Ｗに対応指示６３を出力する。作業者Ｗは、対応指示６３に従って対応し、これにより異常に対する処置が終了する。
【００６８】
一方、サポート手段３が対応指示６３を出力することができない場合には、ステップＳ５４に示したように、サポート手段３は判断支援手段４に検索指示８１を行う。その後、ステップＳ５５に示したように、判断支援手段４が信号６２に係る異常について事例検索を行い、当該異常に係る固有事例情報７４を抽出する。その後、ステップＳ５６に示したように、判断支援手段４は、作業者Ｗに固有事例情報７４を出力する。作業者Ｗは、固有事例情報７４を用いて判断しつつ対応を行い、これにより異常に対する処置が終了する。
【００６９】
また、図１０では、信号６２がサポート手段３に入力された場合に、サポート手段３で対応できるか否かに関係なく、判断支援手段４が作動する。すなわち、図９に表した流れ図からステップＳ５２を削除し、ステップＳ６３において「対応指示６３を出力または不出力」とした動作である。ステップＳ６４に示したように、サポート手段３は、信号６２が入力された場合は、自動的に判断支援手段４に対し検索指示８１を行う。その後、ステップＳ６５に示したように、判断支援手段４は事例検索を行う。そして、作業者Ｗは、ステップＳ６６に示したように判断支援手段４からの固有事例情報７４を受理し、またステップＳ６３に示したようにサポート手段３が対応指示６３を出力できる場合には対応指示６３をも受理する。
【００７０】
作業者Ｗは、ステップＳ６３により対応指示６３を受理した場合の対応指示６３と、ステップＳ６６により受理した固有事例情報７４と、を用いて判断しつつ対応する。これにより、異常に対する処置が終了する。
【００７１】
このようにして、異常が発生した場合には、作業者Ｗは固有事例情報７４を考慮に入れて適切に対応について判断することができる。
【００７２】
また、図１１に表したように、判断支援手段４は、作業者Ｗ等の利用者から指示を受けたときに固有事例情報７４を出力する構成にすることができる。この場合、図８に示したように、例えば作業者Ｗは、判断支援手段４に対して検索指示８２を行う。作業者Ｗは、検索指示８２を行う際に、判断支援手段４に検索条件を入力することができる。
【００７３】
図１１において、ステップＳ７１に示したように、まず、作業者Ｗは異常が発生していると否とに関わらず、必要に応じ判断支援手段４に検索指示８２を行う。その後、ステップＳ７２に示したように、判断支援手段４は作業者Ｗが入力した検索条件などを基に事例検索を行い、固有事例情報７４を抽出する。その後、ステップＳ７３に示したように、判断支援手段４は、作業者Ｗに固有事例情報７４を出力する。作業者Ｗは、固有事例情報７４を用いて判断しつつ対応を行い、これにより異常などに対する処置が終了する。
【００７４】
このようにして、信号６２がサポート手段３に入力された場合とそうでない場合とに関係なく、利用者は必要に応じ固有事例情報７４を入手することができ、適時適切に対応について判断することができる。
【００７５】
なお、図９及び図１０に関して前述した動作では、判断支援手段４が受理する検索条件はサポート手段３から伝送される。このため、検索条件に用いられる用語は均一なものにすることができる。すなわち、サポート手段３内において各種情報を用語も含めて整理しつつ蓄積することができ、実質的に同じ対象に対しては同じ用語が用いられるようにすることができる。これに対して、図１１に表した動作では、判断支援手段４が受理する検索条件は作業者Ｗから伝送される。このため、検索条件に用いられる用語にはぶれが生じることがある。例えば、同じ「レーザマーカ」を表す場合、作業者によっては「レーザマーカ」、「レーザマーキング装置」、「マーキング装置」、「印字装置」等、様々な用語が用いられ得る。このため、検索手段４１には、このような「ゆらぎ」を吸収する機能が付与されてもよい。例えば、実質的に同じ対象を表す複数の用語が入力された場合には、これら用語を統一した用語に変換して検索を行う構成にしたり、これら用語に同一の標識（タグ）を付して検索を行う構成にしたりすることができる。前述した例では、「レーザマーカ」、「レーザマーキング装置」等の用語を全て「レーザマーカ」に変換して検索を行う構成にしたり、これら用語に「レーザマーカ」というタグを付して検索を行う構成にすることができる。
【００７６】
次に、登録手段４３に登録される情報について、図１２を参照しつつ説明する。  
図１２は、登録手段４３に登録される情報を例示する模式図である。  
登録手段４３は、作業者Ｗからの入力等により事例情報７１を登録する。事例情報７１には、図１２に表したように、工場内や他の工場に存在する生データ４４や、工場内に散在する文書情報４６などを含めることができる。生データ４４は、例えば製造実績データ、不良解析データ等であり、これらはＭＥＳ（製造実行システム）などに蓄積し、生データのデータベース４５として整備してもよい。文書情報４６は、例えば生データ４４を用いて行った各種検討・検証結果を記載した文書、異常報告書、作業日報、保守履歴等が挙げられる。文書情報４６には、電子媒体の文書情報も含まれる。
【００７７】
ここで、作業者Ｗ等の利用者が事例情報７１において用語を入力する場合は、実質的に同じ対象を表すときに異なる用語が用いられること、すなわち「ゆらぎ」、が生じることがある。このため、図１１に関して前述したように、事例情報７１を登録する際に標識（タグ）を付して、ゆらぎを吸収することができる。タグに用いられる用語は、例えば品質管理に関する辞書を用いるなどして選択することができる。また、事例情報７１を登録する際に、類似事例や上下概念の事例の情報に同一のタグを付してグループ化したり、相互にリンクを張るなどしてもよい。これら措置により、検索手段４１は全文検索の他、テキストマイニング、キーワード検索などを行うことが可能となる。
【００７８】
事例データベース４２は、登録手段４３により登録された事例情報７１により更新される構成にすることができる。登録された事例情報７１の全部または一部は事例データベース４２に伝送され、これにより事例データベース４２に格納された事例情報７３が必要に応じ更新される。
【００７９】
なお、登録手段４３は事例情報７１を単純に登録するのみの機能を有し、ゆらぎ吸収等の操作は事例データベース４２で行われるようにしてもよい。  
その後、検索手段４１は、事例データベース４２から事例検索を行い、固有事例情報７４に係る生データ４４、文書情報４６等を作業者Ｗに対して出力する。
【００８０】
以上説明したように、品質管理システム１Ｂによれば、異常が発生した場合などに、作業者Ｗに適切なタイミングで対応に有益な固有事例情報７４が提供される。このため、作業者Ｗは固有事例情報７４を考慮に入れて適切に対応について判断することができる。これにより、作業者Ｗの判断速度が向上し、製造現場での異常対応の迅速化が図られる。また、多くの異常が技術者を介することなく現場で対応できるようになるため、この点からも対応期間の短縮効果が見込まれる。また、対応者のスキルによらず対応が均一化される。これにより、判断精度が向上し、品質管理水準の向上が図られる。
【００８１】
本構成に係る品質管理システム１Ｂは、例えば、組立系やインデント系など人に依存する製品を製造する際の品質管理に好適に用いることができる。具体例としては、物理化学プロセスによるデバイスの製造、より具体的には、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）の製造、に適用することが挙げられる。この場合、ＦＰＤの製造プロセスにおいて出力される各種品質管理データや装置実績データに係るＳＰＣシステムからの警報などを契機に、対応処理手順の提示や関連する事例を出力する構成にすることができる。
【００８２】
また、インデント系の製品とは、製品一品一品の仕様が異なる製品（カスタム仕様の製品）である。このような製品の製造は、「人手」によるものが多く、大量製造品とは異なり、統計的なデータ収集による品質管理が困難な場合がある。そのため、異常などの事例の情報や、各種調節を行う場合の限度の見本などの情報を事案ごとに提示できる判断支援手段４（ＱＣＫＭシステム）を用いることにより、これら製品の製造において適切に品質管理を行うことができる。
【００８３】
なお、本構成に係る品質管理システム１Ｂは、いわゆるＰＤＣＡ（計画（plan）-実行（do）-評価（check）-処置・改善（act））サイクルに組み込むこともできる。ＰＤＣＡサイクルとは、製造活動等における生産管理や品質管理などに係る管理手法の１つである。実績等を基に業務計画を作成し（Ｐ：計画）、計画に従い業務を行い（Ｄ：実行）、業務の事後評価を行い（Ｃ：評価）、問題点があればこれに対して処置する（Ａ：処置・改善）、のサイクルを繰り返すことで管理水準を引き上げるものである。これにより、異常の発生件数を減らすことができる。
【００８４】
すなわち、異常発生防止の計画段階（Ｐ）において事例情報７３を整備し、製造活動を実施する段階（Ｄ）において固有事例情報７４を用いて対処し、その対処について事後評価を行う段階（Ｃ）において事例情報７３について評価を行い、改善段階（Ａ）においてその評価を踏まえて事例情報７３を更新することができる。このようにして、事例情報７３が更新され、品質管理水準の一層の向上が図られる。
【００８５】
次に、品質管理システム１Ｂを具現化する具体例について説明する。  
図１３は、品質管理システム１Ｂの具体例に係る判断支援手段４を例示する模式図である。
【００８６】
図１３に表したように、本具体例における判断支援手段４においては、入出力端末装置４０としてパーソナルコンピュータが用いられており、このパーソナルコンピュータには、ウェブブラウザ３１０が搭載されている。また、判断支援手段４においては、この入出力端末装置にＬＡＮ（Local Area Network：構内通信網）３２０を介して接続されたアプリケーションサーバー３３０と、このアプリケーションサーバー３３０に接続されたデータベースサーバー３４０とが設けられている。
【００８７】
アプリケーションサーバー３３０上には、実行手段１８０がウェブ（ＷＥＢ）アプリケーションとして構築されている。また、アプリケーションサーバー３３０には、ウェブサーバー３５０が搭載されている。これにより、サポート手段３や作業者Ｗは、入出力端末装置４０に搭載されたウェブブラウザ３１０からＨＴＴＰ（Hypertext Transfer Protocol）を用いてウェブサーバー３５０にアクセスし、更に実行手段１８０にアクセス可能となっている。
【００８８】
一方、データベースサーバー３４０上には、事例データベース４２が構築されている。これにより、実行手段１８０は、事例データベース４２にアクセスして、データの参照、抽出及び保存を行うことが可能である。
【００８９】
本具体例によれば、入出力端末装置４０、アプリケーションサーバー３３０、データベースサーバー３４０の３台のハードウェアを設けるだけで、判断支援手段４を構成することができる。本具体例の上記以外の構成、動作及び効果は、前述した通りである。
【００９０】
次に、図５〜図７に関して前述した異常対応シナリオの具体例において品質管理システム１Ｂを用いた場合について、図１４〜図１６を参照しつつ説明する。  
図１４〜図１６は、具体例における異常対応シナリオを例示する流れ図であり、図５のステップＳ１３以降の工程を表している。
【００９１】
図５に関して前述したように、ステップＳ１４においては、担当の技術者が、流動を継続させるか否かの最終的な判断を下してもよい。このため、このときに本構成に係る品質管理システム１Ｂを用いることができる。すなわち、担当の技術者が不在の場合や、担当の技術者の知識・スキル等から判断にばらつきが生じるおそれのある場合や、緊急を要する場合など現場の作業者Ｗ自らが判断する必要に迫られた場合などに、品質管理システム１Ｂの判断支援手段４を活用して技術者や作業者Ｗが判断を行うことができる。また、実行手段１８で対応できないような、すなわち実行手段１８が対応指示６３を出力することができないような不測の事態が生じた場合にも、判断支援手段４を活用して技術者や作業者Ｗが判断を行うことができる。
【００９２】
以下、具体的な工程について説明する。図１４、図１５、及び図１６は、それぞれ図９、図１０、及び図１１に示した流れ図に対応した工程の流れ図となっている。
【００９３】
まず、図１４及び図１５に表したように、判断支援手段４は、異常の内容を示す信号６２がサポート手段３に入力されたときにおいて、サポート手段３から指示を受けたときに、固有事例情報７４を出力する構成にすることができる。そして、図１４に表したように、サポート手段３で対応できないときに判断支援手段４が作動する構成にすることができ、あるいは図１５に表したように、サポート手段３で対応できると否とに関わらず判断支援手段４が作動する構成にすることができる。
【００９４】
図１４においては、まず、ステップＳ１３において実行手段１８が、入力された実施記録６７に基づいて、流量が管理範囲内に調整されたか否かを判断する。そして、流量バルブを調整しても管理範囲内に調整できなかった場合には、ステップＳ２１に進み、流動を停止させる旨の対応指示６３を出力する。
【００９５】
一方、流量が管理範囲内に調整されていれば、前述した図５においてはステップＳ１４に進み、洗浄水の流動を継続する旨の対応指示６３を出力する。しかし、ここで、流量が管理範囲内に調整されている場合でも、異常が発生していることが考えられる。例えば、洗浄水の流れる配管などに何らかのつまりが生じた場合であって、流量バルブを調整して大流量で洗浄水を流し、結果として流量が管理範囲内に調整され得る場合などが考えられる。このような場合に洗浄水の流動を継続すると、配管等の内部空間は高圧状態となり、配管等にひび割れなどの損傷が生じるおそれがある。
【００９６】
このため、図１４のステップＳ５２に示したように、流量が管理範囲内に調整されている場合において、サポート手段３（実行手段１８）が対応指示６３を出力できる場合と出力できない場合とが存在する構成にすることができる。この場合分けは、例えば流量の変動態様を用いて決定することができる。すなわち、流量が一定の基準内で変動した場合（流量変化率（微分係数）が一定値以内にある場合）は、実行手段１８は「流動継続」の対応指示６３を出力するようにする。逆に、流量が一定の基準を超えて急激に変動した場合（流量変化率（微分係数）が一定値を超えた場合）は、実行手段１８は「流動継続」の対応指示６３を出力しないようにする。
【００９７】
その後、対応指示６３を出力できる場合には、ステップＳ５３に進み、サポート手段３（実行手段１８）は対応指示６３を出力する。これにより、作業者Ｗは、対応処置６８として洗浄水の流動を継続し、異常に対する処置を終了する。
【００９８】
また、対応指示６３を出力できない場合には、ステップＳ５４に進み、サポート手段３（実行手段１８）は判断支援手段４に検索指示８１を行う。その後、ステップＳ５５に進み、判断支援手段４が事例検索を行う。その後ステップＳ５６に進み、判断支援手段４は作業者Ｗに固有事例情報７４を出力する。固有事例情報７４としては、例えば、流量変化と異常との対応関係がわかるような過去の事例情報やシミュレーション情報などが挙げられる。そして、作業者Ｗは固有事例情報７４を基に最終判断を行う。これにより、作業者Ｗは、対応処置６８として洗浄水の流動を継続する、あるいは継続しない、という対応を行い、異常に対する処置を終了する。
【００９９】
また、図１５においては、サポート手段３で対応できると否とに関わらず判断支援手段４が作動する。まず、ステップＳ１３において実行手段１８が、入力された実施記録６７に基づいて、流量が管理範囲内に調整されたか否かを判断する。そして、流量バルブを調整しても管理範囲内に調整できなかった場合には、図１４と同様にステップＳ２１に進み、流動を停止させる旨の対応指示６３を出力する。
【０１００】
一方、流量が管理範囲内に調整されていれば、図１４と同様にサポート手段３（実行手段１８）が対応指示６３を出力できる場合と出力できない場合とが存在する。ここで、対応指示６３を出力できると否とに関係なく、サポート手段３及び判断支援手段４は並列して作動する。
【０１０１】
すなわち、１つ目の経路として、ステップＳ６３に進み、サポート手段３（実行手段１８）は、作業者Ｗに流動を継続する旨の対応指示６３を出力し、または出力しないという対応をとる。
【０１０２】
そして、２つ目の経路として、ステップＳ６４に進み、サポート手段３（実行手段１８）は判断支援手段４に検索指示８１を行う。その後、ステップＳ６５に進み、判断支援手段４が事例検索を行う。その後ステップＳ６６に進み、判断支援手段４は作業者Ｗに固有事例情報７４を出力する。固有事例情報７４の具体例については、前述した通りである。
【０１０３】
そして、作業者Ｗは、ステップＳ６３により対応指示６３を受理した場合の対応指示６３と、ステップＳ６６により受理した固有事例情報７４と、を基に最終判断を行う。これにより、作業者Ｗは、対応処置６８として洗浄水の流動を継続する、あるいは継続しない、という対応を行い、異常に対する処置を終了する。
【０１０４】
次に、図１６に表したように、判断支援手段４は、作業者Ｗから指示を受けたときに固有事例情報７４を出力する構成にすることができる。サポート手段３が対応指示６３を出力できると否とに関係なく、流動を継続するか否かについて作業者Ｗは判断支援手段４からの固有事例情報７４をも用いて最終判断を行う。
【０１０５】
まず、ステップＳ１３において実行手段１８が、入力された実施記録６７に基づいて、流量が管理範囲内に調整されたか否かを判断する。そして、流量バルブを調整しても管理範囲内に調整できなかった場合には、図１４及び図１５と同様にステップＳ２１に進み、流動を停止させる旨の対応指示６３を出力する。
【０１０６】
一方、流量が管理範囲内に調整されていれば、図１４及び図１５と同様にサポート手段３（実行手段１８）が対応指示６３を出力できる場合と出力できない場合とが存在する。ここで、対応指示６３を出力できると否とに関係なく、サポート手段３及び判断支援手段４は並列して作動する。そして、判断支援手段４は、作業者Ｗからの指示を受けて作動する。
【０１０７】
すなわち、１つ目の経路として、ステップＳ６３に進み、サポート手段３（実行手段１８）は、作業者Ｗに流動を継続する旨の対応指示６３を出力し、または出力しないという対応をとる。
【０１０８】
そして、２つ目の経路として、ステップＳ７１に進み、作業者Ｗは、判断支援手段４に対して検索指示８２を行う。その後、ステップＳ７２に進み、判断支援手段４が事例検索を行う。その後ステップＳ７３に進み、判断支援手段４は作業者Ｗに固有事例情報７４を出力する。固有事例情報７４の具体例については、前述した通りである。
【０１０９】
そして、作業者Ｗは、ステップＳ６３により対応指示６３を受理した場合の対応指示６３と、ステップＳ７３により受理した固有事例情報７４と、を基に最終判断を行う。これにより、作業者Ｗは、対応処置６８として洗浄水の流動を継続する、あるいは継続しない、という対応を行い、異常に対する処置を終了する。
【０１１０】
なお、図示しないが、作業者Ｗは、ＳＰＣシステム１４から信号６２を受理した時点で判断支援手段４に対して検索指示８２を行ってもよい。これにより、さらに迅速な対応が可能となる。  
また、判断支援手段４は、技術者の判断を要する他のステップ、例えば図５のステップＳ１９に用いることができ、さらに、図６のステップＳ３４及び図７のステップＳ４４の「メーカー対応」の代替手段または補完手段として活用することもできる。
【０１１１】
以上、実施形態及びその具体例を参照して本発明を説明したが、本発明はこれらの実施形態及び具体例に限定されるものではない。例えば、前述の実施形態又は具体例に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更、又は工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】本発明の実施形態に係る品質管理システムを例示する図である。
【図２】本実施形態に係る品質管理方法を例示するフローチャート図である。
【図３】比較例に係る品質管理システムを例示する図である。
【図４】本実施形態の第１の具体例に係る品質管理システムの一部を例示する図である。
【図５】本実施形態の第２の具体例における異常対応シナリオを例示するフローチャート図である。
【図６】本実施形態の第２の具体例における異常対応シナリオを例示するフローチャート図である。
【図７】本実施形態の第２の具体例における異常対応シナリオを例示するフローチャート図である。
【図８】本実施形態に係る品質管理システムの他の構成を例示する模式図である。
【図９】品質管理システム１Ｂの動作を例示する流れ図である。
【図１０】品質管理システム１Ｂの動作を例示する流れ図である。
【図１１】品質管理システム１Ｂの動作を例示する流れ図である。
【図１２】登録手段４３に登録される情報を例示する模式図である。
【図１３】品質管理システム１Ｂの具体例に係る判断支援手段４を例示する模式図である。
【図１４】具体例における異常対応シナリオを例示する流れ図である。
【図１５】具体例における異常対応シナリオを例示する流れ図である。
【図１６】具体例における異常対応シナリオを例示する流れ図である。
【符号の説明】
【０１１３】
１、１Ｂ  品質管理システム、２  工程監視手段、３  サポート手段、４  判断支援手段、１１  ＭＥＳ、１２  製造実績データベース、１３  ＳＰＣデータベース、１４  ＳＰＣシステム、１６  信号履歴データベース、１７  シナリオデータベース、１８  実行手段、１９  実施記録データベース、２０  入出力端末装置、３１  ウェブブラウザ、３２  ＬＡＮ、３３  アプリケーションサーバー、３４  データベースサーバー、３５  ウェブサーバー、４０  入出力端末装置、４１  検索手段、４２  事例データベース、４３  登録手段、４４  生データ、４５  生データのデータベース、４６  文書情報、６１  製造実績データ、６２  信号、６２ａ  過去の異常の内容、６３  対応指示、６４  管理値、６５  管理外れ定義、６６  異常対応シナリオ、６６ｓ  ステップ、６７  実施記録、６７ａ  過去の実施記録、６８  対応処置、７１、７３  事例情報、７４  固有事例情報、８１、８２  検索指示、１００  製造工程、１０１  製造装置、１８０  実行手段、２０１  品質管理システム、２０２  工程監視手段、２１４  ＳＰＣシステム、２６２  警報、２６３  指示、３１０  ウェブブラウザ、３２０  ＬＡＮ、３３０  アプリケーションサーバー、３４０  データベースサーバー、３５０  ウェブサーバー、Ｅ  技術者、Ｗ  作業者
【図１】
2009163726.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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