(57)【要約】【課題】液晶パネルの製造工程において、液晶パネルの表示品質の向上と低コスト化が図れる配向処理装置を得る。【解決手段】この発明に係る液晶パネル用基板の配向処理装置においては、配向膜材料の塗布された基板１を収納し基板１に配向処理が行われる処理室３と、処理室３内に配置され、基板１表面に粉末状物質とガス体或いは液体との混合体４を吹付ける吹付ノズル５と、吹付ノズル５に混合体４を供給する供給機構１０と、吹付けられた混合体４を回収し、この回収された混合体４を吹付ノズル５へ供給し再利用可能とする回収機構２０を備えたものである。【選択図】図１
2009163041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配向膜材料の塗布された液晶パネル用基板を収納し前記基板に配向処理が行われる処理室と、前記処理室内に配置され、前記基板表面に粉末状物質とガス体或いは液体との混合体を吹付ける吹出口と、前記吹出口に前記混合体を供給する供給機構と、吹付けられた前記混合体を回収し、該回収された混合体を前記吹出口へ供給し再利用可能とする回収機構を備えたことを特徴とする配向処理装置。
【請求項２】
粉末状物質とガス体或いは液体との混合体を配向膜材料の塗布された液晶パネル用基板表面に吹付けることにより前記配向膜材料表面に配向処理を行う配向処理方法であって、前記混合体には、前記混合体を吹付けられた後に回収することにより再利用された粉末状物質、ガス体及び液体の何れかが含まれることを特徴とする配向処理方法。
【請求項３】
混合体には、配向膜材料と同じ材料よりなる粉末状物質を含むことを特徴とする請求項２に記載の配向処理方法。
【請求項４】
混合体には、ＩＰＡよりなる液体を含むことを特徴とする請求項２に記載の配向処理方法。
【請求項５】
混合体には、純水を含むことを特徴とする請求項２に記載の配向処理方法。
【請求項６】
請求項２〜請求項５の何れかに記載の配向処理方法により製造された液晶パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶パネル用基板の配向処理技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルにおいては、２枚の基板の間に液晶を挟み込み、この液晶に電界を印加して液晶の向きを変えることにより光学状態を電気的に制御するものであるが、通常、電界印加前における初期の液晶の向きを制御するために、其々の基板の表面には液晶を配向させる能力を持った配向膜が形成される。この様な液晶パネル用基板に形成される配向膜については、ポリイミド、ポリビニルアルコールなどの有機膜よりなる配向膜材料を塗付形成した後に、この配向膜材料に対し液晶を配向させる能力を持たせるための配向処理を行うことにより形成される。この液晶パネル用基板の配向処理方法としては、一般にラビング法が用いられる。ラビング法は、ラビング布が巻かれたローラを回転させながら基板上に形成された配向膜材料の表面に接触させ、配向膜材料の表面を一方向に擦ることにより、配向膜材料に配向処理を行うものである。
【０００３】
従来のラビング法では、配向処理時においては、レーヨン繊維或いはコットン繊維がマクロ的に植毛されたラビング布を使用していることからミクロ的には均一な配向処理ができにくい。また、ラビング布作成時に起毛樹脂材、脱脂材などの薬液が使われていることから、それらの薬液起因による微小異物が発生する。作業面では、ローラにラビング布を巻く際には両面テープを用いて貼り付けるという煩雑な準備作業が必要である。また、ラビング布に摩耗、劣化などが発生すると充分な配向効果が得られなくなるため、所定枚数の基板処理毎にラビング布の交換作業が必要となる。ラビング法には、この様な問題点があることから、近年、このラビング布により擦る方法を用いない液晶パネル用基板の配向処理方法が幾つか提案されている。特許文献１では基板面に対し斜め方向からオゾンガスを噴射することにより配向膜表面の配向を制御する方法が開示され、特許文献２では基板間のギャップを決定するギャップ材を基板上に散布する際に、サンドブラスト装置により吹付けて散布し基板表面を叩くことにより配向膜表面の配向を制御する方法が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５-２２４２０３号公報（第２−３頁、第１図）
【特許文献２】特開平７-２０４７０号公報（第３頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
然しながら、以上の様なラビング法を用いない液晶パネル用基板の配向処理方法においても、特許文献１の方法ではガスのみの吹付けであるため、充分な配向効果を得ることができない。また、特許文献２の方法では、充分な配向効果を得るために、比較的高価なギャップ材が多量に必要となる。以上の説明の様に、従来の液晶パネル用基板の配向処理方法においては、製造される液晶パネルの表示品質向上と製造時の低コスト化を両立できる適当な方法が無かった。
【０００６】
この発明は、上述の様な問題を解決するためになされたもので、製造される液晶パネルの表示品質の向上と低コスト化が図れる配向処理装置及び配向処理方法を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る配向処理装置においては、配向膜材料の塗布された液晶パネル用基板を収納し、この基板に配向処理が行われる処理室と、この処理室内に配置され、前記の基板表面に粉末状物質とガス体或いは液体との混合体を吹付ける吹出口と、この吹出口に前記の混合体を供給する供給機構と、吹付けられた前記の混合体を回収し、この回収された混合体を前記の吹出口へ供給し再利用可能とする回収機構を備えたものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の配向処理装置を使用することによって、配向処理して製造される液晶パネルの表示品質の向上と低コスト化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
実施の形態１.
図１は本発明の実施の形態１における配向処理装置の概略図である。以下、この配向処理装置の構成について図１を用いて説明する。なお、図は模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下の図においても同様とする。
【００１０】
図１において、本実施の形態１の配向処理装置は、配向膜材料の塗布された液晶パネル用の基板である基板１を載せて搬送する搬送機構であるステージ２と、基板１を収納し、この基板１に配向処理が行われる処理室３と、処理室３内においてステージ２上に配置され、粉末状物質とガス体の混合体４を基板１の表面に吹付ける吹出口となる吹付ノズル５と、吹付ノズル５まで混合体４を供給する供給機構１０と、吹付ノズル５より後段に取り付けられガス体を噴出することにより基板１の表面に吹付けられた後も基板１の表面に残存する混合体４を除去するエアナイフ６と、処理室３に取り付けられ、基板１の表面に吹付けられた混合体４を回収する回収機構２０とから構成されている。
【００１１】
また、供給機構１０は、粉末状物質を適当な比率に調合する調合タンク１１と、調合タンク１１に混合体４を構成する粉末状物資を供給する材料タンク１２と、ガス体を供給するガス供給源１３及びガス供給ライン１４と、調合タンク１１より吹付ノズル５まで混合体４を供給する供給ライン１５と、供給ライン１５の配管内に圧力差を生じさせて基板１への吹付け圧を決定するポンプ１６を備えている。エアナイフ６については、供給機構１０に用いられるガス供給源１３から配管７を介してガス体が供給されている。更に、回収機構２０は、基板１の表面に吹付けられた後、処理室内に散乱された混合体４を吸引する吸引口２１と、吸引圧を発生するポンプ２２と、吸引された混合体４中の粉末状物質の凝集物や粉末状物質以外の異物などの回収利用する混合体４として利用できないものを除去するフィルタ２３と、フィルタ２３により不要物が除去され再利用可能な粉末状物質を回収する回収タンク２４と、吸引口２１より回収した混合体４をフィルタ２３およびポンプ２２を経由して回収タンク２４まで導く回収ライン２５と、回収タンク２４で回収された混合体４を粉末状物質とガス体に分離する固／気分離フィルタ２６と、固／気分離フィルタ２６により分離されたガス体をガス供給源１３に回収するガス回収ライン２７とを備えている。また、処理室３には、基板１を出し入れした後に処理室３を閉じた空間とすることができ処理室３内で吹付けられた混合体４及び混合体４における粉末状物質が処理室３の外へ飛散することを防止する飛散防止カバー８が備えられている。
【００１２】
続いて、本実施の形態１の配向処理装置の動作について、構成の説明と同じく図１を用いて説明する。配向処理の準備段階として、其々の材料タンク１２より粉末状物質が調合タンク１１に所定量供給され適当な比率に調合される。本実施の形態１においては、粉末状物質として、其々粉末状に加工されたレーヨン繊維、コットン繊維、及び樹脂材などから選ばれる粉末状物質と、同じく粉末状に加工されたポリイミドを用いる。材料タンク１２よりレーヨン繊維、コットン繊維、及び樹脂材などから選ばれる粉末状物質とポリイミドからなる粉末状物質が供給され調合タンク１１において調合される。粉末状物質の準備が完了した後、液晶パネル用の配向膜の塗布された基板１は処理室内に搬入されステージ２上に載せられる。基板１の搬入後、飛散防止カバー８は閉められる。本実施の形態１では飛散防止カバー８を処理室３の上部に配置した構成としたが、基板１の搬入方法として、ロボットのアームによって搬入する方法やコンベアにより搬入する方法などを選択することができ、搬入方法に応じて飛散防止カバー８を処理室３の側面に設けるなどの変形が可能である。
【００１３】
基板１の搬入が完了すると、ガス供給源１３及びガス供給ライン１４より所定の流量でガス体の供給が開始される。ここでは、ガス体として基板１との反応を起さない不活性ガスであるアルゴンガスを使用した。アルゴンガスは比較的高価であるが回収機構２０によりガス体も回収できることから大きなコスト増加とはならない。回収機構２０よりガス体の回収に関する構成を省略する場合には比較的安価なガス体である窒素ガスや乾燥空気を用いても良い。
【００１４】
更に、ポンプ１６の動作が開始することにより、調合タンク１１内において準備された粉末状物質がガス供給ライン１４より供給されるガス体と混在した混合体４として供給ライン１５を通って吹付ノズル５より噴出される。また、基板１はステージ２が動作することにより図中の矢印の向きと平行な方向に搬送され、移動することにより基板１表面に混合体４が順次吹付けられる。更に、基板１の移動方向に対して吹付ノズル５より後段に配置されるエアナイフ６よりガス体のみが吹付けられることで吹付ノズル５より吹付けられた混合体４中の固形物である粉末状物質が基板１表面より除去される。
【００１５】
混合体４の吹付け処理の開始と同時に回収機構２０のポンプ２２も動作させる。この状態で基板１への混合体４の吹付け動作が開始されると、基板１表面に吹付けられ衝突した後に処理室３内に散乱する混合体４はポンプ２２により吸引され、吸引口２１を通して処理室３より排出される。更に、吸引された混合体４はフィルタ２３及びポンプ２２を通り回収ライン２５より回収タンク２４まで回収される。フィルタ２３は比較的荒いフィルタであり、吸引された混合体４中の粉末状物質の凝集物や粉末状物質以外の異物など、比較的粒が荒く回収利用する混合体４として利用できないものを除去する。
【００１６】
また、回収タンク２４では出口に設けられた固／気分離フィルタ２６により回収された混合体４が粉末状物質とガス体に分離される。粉末状物質は回収タンク２４内に留まり、ガス体のみがガス回収ライン２７に排出される。更に、排出されたガス体はガス回収ライン２７を通ってガス供給源１３に回収され再利用される。また、回収タンク２４内に留まり回収された粉末状物質は既に所定の比率にレーヨン繊維、コットン繊維、樹脂材、及びポリイミドなどが混合された状態であり、調合タンク１１に供給されて再利用される。以上の様に回収機構２０により回収された混合体４は供給機構１０を介して供給され再利用される。
【００１７】
本実施の形態１の配向処理装置においては、粉末状物質を吹付ける方法を用いていることから、粉末状物質が均一に基板に吹付けられることによりミクロに均一な配向処理が得られ、配向処理して製造される液晶パネルの表示品質を向上することができる。更に、吹付けられる粉末状物質やガス体を回収機構２０により回収し何度も再利用して吹付け動作を行うことができることから、充分な配向効果が得られる様に多量の粉末状物質を吹付けたとしても殆どコストアップすることなく上記の均一な配向処理を実現できる。その結果、製造される液晶パネルの表示品質の向上と低コスト化を両立することができる。
【００１８】
更に、本実施の形態１の配向処理装置においては、粉末状物質をガス体との混合体４として吹付けることにより配向処理が行われていることから、ガス体と混ざった混合体４の状態で吸引することにより容易に回収することができる。また、混合体４に配向膜材料と同じポリイミドよりなる粉末状物質が含まれることから吹付け動作による帯電を発生し難い。その結果、帯電によって基板１上に使用後の粉末状物質が吸着することも無く、粉末状物質の回収を効率良く行うことができる。また、処理室３には飛散防止カバー８が備えられており、基板１を出し入れした後、基板１への混合体４の吹付け動作中においては処理室３を閉じた空間とすることができるため、処理室３内で吹付けられた混合体４及び混合体４における粉末状物質が処理室３の外へ飛散することを防止することができる。これにより、他の装置への異物混入などの悪影響を防止できると共に、混合体４を処理室３内に閉じ込め、効率良く回収することができる。
【００１９】
実施の形態２. 
続いて、本実施の形態２の配向処理装置の構成について、図２を参照して説明する。本実施の形態２においては、実施の形態１より混合体が粉末状物質と液体であるＩＰＡ（Ｉｓｏｐｒｏｐｙｌ ａｌｃｏｈｏｌ）との混合体４ａへ変更されており、それに対応して混合体の供給機構、回収機構、及び搬送機構などが一部変更されている。以下、図２を用いて実施の形態１との変更部を重点的に説明する。
【００２０】
本実施の形態２の配向処理装置においては、実施の形態１より搬送機構を変更している。図２に示す様に処理室３内において基板１を載せて搬送する搬送機構である搬送ローラ２ａを備えており、更に処理室３より基板１を出し入れする開口部である搬入口８ａ及び搬出口８ｂと、これらの開口部を閉じるシャッタ８ｃを備えている。更に、粉末状物質と液体であるＩＰＡよりなる混合体４ａを基板１の表面に吹付ける吹出口となる吹付ノズル５と、吹付ノズル５まで混合体４ａを供給する供給機構１０ａと、ＩＰＡなどの液体を吐出し基板１の表面に吹付けられた後も基板１の表面に残存する混合体４ａを洗い流して除去するシャワーノズル９と、ガス体を噴出することにより基板１の表面に残存するＩＰＡなどの液体を乾燥させるエアナイフ６ａと、処理室３に取り付けられ、吹付けられた混合体４ａを回収する回収機構２０ａとから構成されており、其々吹付ノズル５より後段にシャワーノズル９が配置され、更に後段にエアナイフ６ａが配置されている。
【００２１】
また、供給機構１０ａは、粉末状物質を適当な比率に調合する調合タンク１１と、調合タンク１１に混合体４ａを構成する粉末状物資およびＩＰＡを供給する材料タンク１２および液体供給タンク１７と、調合タンク１１より吹付ノズル５まで混合体４ａを供給する供給ライン１５と、供給ライン１５の配管内に圧力差を生じさせて基板１への吹付け圧を決定するポンプ１６を備えている。シャワーノズル９については、供給機構１０ａに用いられる液体供給タンク１７から配管７ａを介してＩＰＡが供給されている。エアナイフ６ａについては、独立して設けられたガス供給源１３から配管７を介してガス体が供給されている。更に、回収機構２０ａは、基板１の表面に吹付けられた後、処理室内に散乱された液状の混合体４ａを排液するドレイン２１ａと、ドレイン２１ａから排出された液状の混合体４ａを回収タンク２４まで排出するポンプ２２と、混合体４ａ中の粉末状物質の凝集物や粉末状物質以外の異物など、回収利用する混合体４ａとして利用できないものを除去するフィルタ２３と、フィルタ２３により不要物が除去され再利用可能な粉末状物質を回収する回収タンク２４と、ドレイン２１ａより回収した混合体４ａをフィルタ２３およびポンプ２２を経由し回収タンク２４まで導く回収ライン２５と、回収タンク２４で回収された混合体４ａを粉末状物質とＩＰＡに分離し、分離したＩＰＡを液体供給タンク１７に回収する固／液分離フィルタ２６ａとを備えている。
【００２２】
続いて、本実施の形態２の配向処理装置の動作について、構成の説明と同じく図２を用いて説明する。本実施の形態２では、粉末状物質として其々粉末状に加工されたレーヨン繊維、コットン繊維、及び樹脂材などから選ばれる粉末状物質と、同じく粉末状に加工されたポリイミドと、液体としてＩＰＡが、其々、材料タンク１２および液体供給タンク１７より全て所定量供給されて調合タンク１１内において適当な比率に調合され混合体４ａが準備される。先ず、搬入口８ａのシャッタ８ｃが開き、基板１は処理室内に搬入され搬送ローラ２ａ上に載せられる。基板１の搬入が完了すると、ポンプ１６の動作が開始し、調合タンク１１内の混合体４ａが供給ライン１５を通って吹付ノズル５より噴出される。更に、基板１は搬送ローラ２ａが回転動作することにより図中の矢印の向きと平行な方向に搬送され、移動することにより基板１表面に混合体４ａが順次吹付けられる。また、基板１の移動方向に対して吹付ノズル５より後段に配置されるシャワーノズル９よりＩＰＡのみが吹付けられることで、吹付ノズル５より吹付けられた混合体４ａ中の固形物である粉末状物質が基板１表面より洗い流されて除去される。更に、後段に配置されたエアナイフ６ａにより基板１表面よりＩＰＡが除去乾燥される。基板１への混合体４ａの吹付け動作が完了すると、搬出口８ｂのシャッタ８ｃが開き、基板１は処理室３より搬出される。なお、エアナイフ６ａについては、基板１の裏面も同様に乾燥可能な様に裏面側にも配置して良く、確実に乾燥可能な様に複数段設けた構成としても良い。
【００２３】
また、混合体４ａの吹付け処理の開始と同時に回収機構２０ａのポンプ２２も動作させる。この状態で基板１への混合体４ａの吹付け動作が開始されると、基板１表面に衝突した後に処理室３内に散乱する液状の混合体４ａがドレイン２１ａより流れ出し排出される。更に、ドレイン２１ａより流れ出した混合体４ａは回収機構２０ａのポンプ２２により吸引されてフィルタ２３を通り回収ライン２５より回収タンク２４まで回収される。フィルタ２３は比較的荒いフィルタであり、吸引された混合体４ａ中の粉末状物質の凝集物や粉末状物質以外の異物など、比較的粒が荒く回収利用する混合体４ａとして利用できないものを除去する。
【００２４】
回収タンク２４では、更に出口に設けられた固／液分離フィルタ２６ａにより回収された混合体４ａが粉末状物質と液体であるＩＰＡに分離される。粉末状物質は回収タンク２４内に留まり、ＩＰＡのみが排出され液体供給タンク１７に回収されて再利用される。また、回収タンク２４内に留まり回収された粉末状物質は、既に所定の比率にレーヨン繊維、コットン繊維、樹脂材、及びポリイミドなどが混合された状態であり、調合タンク１１に供給されて再利用される。
【００２５】
本実施の形態２の配向処理装置においては、粉末状物質を吹付ける方法を用いていることから、粉末状物質が均一に基板に吹付けられることによりミクロに均一な配向処理が得られ、配向処理して製造される液晶パネルの表示品質を向上することができる。更に、吹付けられる粉末状物質やＩＰＡを回収機構２０ａにより回収し何度も再利用して吹付け動作を行うことができることから、充分な配向効果が得られる様に多量の粉末状物質を吹付けたとしても殆どコストアップすることなく上記の均一な配向処理を実現できる。その結果、製造される液晶パネルの表示品質の向上と低コスト化を両立することができる。
【００２６】
更に、本実施の形態２の配向処理装置においては、粉末状物質を液体との混合体４ａとして吹付けることにより配向処理が行われていることから、混合体４ａは流体の状態でドレイン２１ａより排出されることにより容易に回収することができる。また、粉末状物質が液体と共に吹付けられることから帯電が発生し難く、粉末状物質からポリイミドよりなる粉末状物質を省略することも可能である。また液体であるＩＰＡによって流されることから基板上に使用後の粉末状物質が吸着することも無く、粉末状物質の回収が効率良く行うことができる。また、本実施の形態２においては、液体として揮発性の高い液体であるＩＰＡを用いたことにより、処理後の基板の乾燥が速く、基板上でのぬれ性も高いことから処理後の基板に乾燥シミを発生することも無い。更に、処理室３より基板１を出し入れする開口部である搬入口８ａ及び搬出口８ｂと、これらの開口部を閉じるシャッタ８ｃを備えており、基板１への混合体４ａの吹付け動作中においては、シャッタ８ｃを閉じて行うことにより混合体４ａの処理室３外への飛散を防止することができる。これにより、他の装置への異物混入などの悪影響を防止できると共に、混合体４ａを処理室３内に閉じ込め、効率良く回収することができる。
【００２７】
本実施の形態２においては、混合体４ａを構成する液体としてＩＰＡを用いたが、純水などを用いてもドレイン２１ａより混合体４ａを比較的容易に回収することが可能である。また、純水は比較的安価であることから液体の回収機構については省略可能である。更に、純水はＩＰＡの様に引火性も無いことから取り扱いが容易であり、装置を難燃性とするなどのコストがかからない。また、基板１の搬入及び搬出を処理室３の側面より行う構成としたが、実施の形態１の様に飛散防止カバーを処理室３の上部に配置し、処理室３の上部より基板１の搬入及び搬出をする構成としても構わない。更に、処理中の基板１の搬送機構として搬送ローラ２ａを用いたが、実施の形態１の様にステージの上に載せて搬送する構成としても良く、逆に、実施の形態１において、本実施の形態２の搬送ローラ２ａを用いても良い。但し、本実施の形態２では、混合体４ａに液体が含まれるため、基板１の裏面の乾燥がし易くなる点で搬送ローラ２ａを用いた構成とした方が好ましい。
【００２８】
実施の形態１及び実施の形態２においては、基板表面への混合体の吹付けを搬送機構により基板側を一定方向へ移動しながら実施する構成としたが、逆に、基板を固定した状態で吹付ける吹付ノズルの方を一定方向へ移動する構成としても良い。また、基板の全面に吹付けが可能な様に吹付ノズルを多数配置し、基板も吹付ノズルも移動すること無く固定した状態で吹付けを行っても良く、一定方向への移動でなく基板を揺動しながら行っても良い。これらの変形された構成においても基板全面に混合体の吹付けを行うことが可能であれば、実施の形態１及び実施の形態２と同様の効果が得られる。
【００２９】
また、実施の形態１及び実施の形態２においては、混合体を回収する回収機構として、回収された混合体を直接供給機構へ供給し再利用できる構成とした。然しながら、本発明はこの様な構成に限られず、回収された混合体を別の装置などにより混合前のガス体或いは液体と粉末状物質に其々分離してから供給機構に供給して再利用しても良い。
【００３０】
実施の形態３．
続いて、図３を用いて、本実施の形態３における液晶パネルの構成について説明する。なお、ここでは、一例としてＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）方式の液晶パネルについて説明する。この液晶パネル２００は、図に示される様に、スイッチング素子基板２１０、カラーフィルタ基板２２０、及びスイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０との間に充填された液晶２３０から構成されている。
【００３１】
上述のスイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１の一方の面に液晶２３０を配向させる配向膜２１２、配向膜２１２の下部に設けられ液晶２３０を駆動する電圧を印加する画素電極２１３、画素電極２１３に電圧を供給するＴＦＴなどのスイッチング素子２１４、スイッチング素子２１４を覆う絶縁膜２１５、スイッチング素子２１４に供給される信号を外部から受け入れる端子２１６、端子２１６から入力された信号を対向電極へ伝達するためのトランスファ電極２１７などを有している。また、ガラス基板２１１の他方の面には偏光板２３１を有している。
【００３２】
一方、上述のカラーフィルタ基板２２０は、ガラス基板２２１の一方の面に液晶２３０を配向させる配向膜２２２、配向膜２２２の下部に配置され、スイッチング素子基板２１０上の画素電極２１３との間に電界を生じ液晶２３０を駆動する共通電極２２３、共通電極２２３下部に設けられるカラーフィルタ２２４及び遮光層２２５などを有している。また、ガラス基板２２１の他方の面には偏光板２３２を有している。
【００３３】
また、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０はシール２３３を介して貼り合わされている。更に、トランスファ電極２１７と共通電極２２３は、トランスファ材２３４により電気的に接続されており、端子２１６から入力された信号が共通電極２２３に伝達される。この他に、液晶パネル２００は駆動信号を発生する制御基板２３５、制御基板２３５を端子２１６に電気的に接続するＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）２３６、光源となるバックライトユニット（図示せず）などを備えている。
【００３４】
この液晶パネル２００は次の様に動作する。例えば制御基板２３５から電気信号が入力されると、画素電極２１３及び共通電極２２３に駆動電圧が加わり、駆動電圧に合わせて液晶２３０の分子の方向が変わる。そして、バックライトユニットの発する光がスイッチング素子基板２１０、液晶２３０及びカラーフィルタ基板２２０を介して外部へ透過或いは遮断されることにより、液晶パネル２００に映像などが表示される。
【００３５】
なお、この液晶パネル２００は、一例であり他の構成でも良い。液晶パネル２００の動作モードは、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モードや、ＳＴＮ（Ｓｕｐｐｅｒ Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、強誘電性液晶モードなどでもよく、駆動方法は、単純マトリックスやアクティブマトリックスなどでもよく、カラーフィルタ基板２２０に設けた共通電極２２３をスイッチング素子基板２１０側に設置して、画素電極２１３との間に横方向に液晶２３０に対して電界をかける横電界方式を用いた液晶パネルでも良い。
【００３６】
次に、本実施の形態３における液晶パネルの製造方法について説明する。液晶パネル用基板であるスイッチング素子基板２１０及びカラーフィルタ基板２２０の製造方法については一般的な方法を用いるため、簡単に説明する。スイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１の一方の面に、成膜、フォトリソグラフィー法によるパターンニング、エッチングなどのパターン形成工程を繰り返し用いてスイッチング素子２１４や画素電極２１３、端子２１６、トランスファ電極２１７を形成することにより製造される。また、カラーフィルタ基板２２０は、同様に、ガラス基板２２１の一方の面にカラーフィルタ２２４や共通電極２２３を形成することにより製造される。
【００３７】
続いて、本実施の形態３において特徴的な組み立て工程について図４に示すフローチャートにしたがって説明する。まず、基板洗浄工程において、画素電極２１３が形成されているスイッチング素子基板２１０を洗浄する（Ｓ１）。次に、配向膜材料塗布工程において、スイッチング素子基板２１０の一方の面に、例えば印刷法により配向膜２１２の材料となるポリイミドからなる有機膜を塗布し、ホットプレートなどにより焼成処理し乾燥させる（Ｓ２）。その後、配向膜材料の塗布されたスイッチング素子基板２１０に対して配向処理工程において実施の形態１で説明した配向処理装置及び配向処理方法を用いることによりに配向処理を行い、配向膜２１２を形成する（Ｓ３）。また、Ｓ１からＳ３と同様に、共通電極２２３が形成されているカラーフィルタ基板２２０についても、洗浄、有機膜の塗布、及び実施の形態１で説明した配向処理装置及び配向処理方法を用いた配向処理を行うことにより配向膜２２２を形成する。
【００３８】
続いて、シールパターンを形成するシール塗布工程において、シール印刷を用いスイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にシール２３３の塗布処理を行う（Ｓ４）。また、シール２３３には、例えばエポキシ系接着剤などの熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂を用いた。
【００３９】
次に、トランスファ材塗布工程において、スイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にトランスファ材２３４の塗布処理を行う（Ｓ５）。そして、スペーサ散布工程において、スイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にスペーサを散布する（Ｓ６）。この工程は、例えば湿式法や乾式法によりスペーサを分散させることにより行われる。また、スイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面に予め基板間の距離を決定する突起状の柱スペーサを形成しておくことにより省略することも可能である。
【００４０】
その後、貼り合わせ工程において、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせる（Ｓ７）。続いて、シール硬化工程において、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせた状態でシール２３３を完全に硬化させる（Ｓ８）。この工程は、例えばシール２３３の材質に合わせて熱を加えることや、紫外線を照射することにより行われる。次に、セル分断工程において、貼り合わせた基板を個別セルに分解する（Ｓ９）。そして、液晶注入工程において、液晶注入口から液晶を注入する（Ｓ１０）。この工程は、例えば液晶２３０を液晶注入口から真空注入により充填することにより行われる。更に、封止工程において、液晶注入口を封止する（Ｓ１１）。この工程は、例えば光硬化型樹脂で封じ、光を照射することにより行われる。
【００４１】
以上のＳ７〜Ｓ１１の貼り合わせから液晶封止までの工程については、通常の注入口からの液晶注入方法を一例として説明した。しかし、別の液晶注入方法として、シール２３３を注入口の無いパターン形状とし、液晶２３０をスイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の上に液滴状態で滴下して形成し、この滴下した液晶２３０を挟む様にスイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせた後にシール２３３を硬化させる方法、所謂、滴下注入方式を用いても構わない。
【００４２】
最後に、偏光板貼付工程において、セルに偏光板２３１、２３２を貼り付け（Ｓ１２）、制御基板実装工程において、制御基板２３５を実装する（Ｓ１３）ことによって、液晶パネル２００が完成する。
【００４３】
以上説明した実施の形態３における液晶パネルにおいては、上述の通り、実施の形態１で説明した配向処理装置及び配向処理方法を用いた配向処理を行うことにより製造されることから、表示品質の向上と低コスト化を両立することができる。また、本実施の形態３においては、実施の形態１の配向処理装置及び配向処理方法を配向処理工程に用いた液晶表示パネルについて説明した。然しながら実施の形態１の配向処理装置に代えて実施の形態２及びそれらの変形例において説明した配向処理装置を用いた場合においても本実施の形態３と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態１における配向処理装置を示した概略図である。
【図２】本発明の実施の形態２における配向処理装置を示した概略図である。
【図３】本発明の実施の形態３における液晶パネルの断面図である。
【図４】本発明の実施の形態３における液晶パネルの製造方法における組み立て工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４５】
１ 基板、２ ステージ、２ａ 搬送ローラ、３ 処理室、４,４ａ 混合体、
５ 吹付ノズル、１０,１０ａ 供給機構、２０,２０ａ 回収機構、２００ 液晶パネル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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