(57)【要約】【課題】加工対象物にノズルが接触したことによる損傷を防止する。【解決手段】加工対象物にアシストガスを噴射しながらレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、レーザ光を出射するレーザ発振器と、レーザ光をレンズ光学系で集光して加工位置に照射させると共に、前記アシストガスを噴射するノズルユニットと、前記ノズルユニットを所定位置に移動させるためのノズルユニット駆動手段と、前記ノズルユニットが前記加工対象物と接触したことを検知する検知手段と、前記検知手段により得られる検知結果を通知する通知手段とを有し、前記ノズルユニットは、前記接触により垂直方向に対して発生した外力を緩衝する垂直方向緩衝手段と、前記接触により水平方向に対して発生した外力を緩衝する前記垂直方向緩衝手段とは異なる水平方向緩衝手段とが設けられていることにより、上記課題を解決する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象物の形状に対応した位置から所定の加工位置にアシストガスを噴射しながらレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、
レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器からのレーザ光をレンズ光学系で集光し、前記加工位置に照射させると共に、前記アシストガスを噴射するノズルユニットと、
前記ノズルユニットを所定位置に移動させるためのノズルユニット駆動手段と、
前記ノズルユニットが前記加工対象物と接触したことを検知する検知手段と、
前記検知手段により得られる検知結果を通知する通知手段とを有し、
前記ノズルユニットは、前記接触により垂直方向に対して発生した外力を緩衝する垂直方向緩衝手段と、前記接触により水平方向に対して発生した外力を緩衝する前記垂直方向緩衝手段とは異なる水平方向緩衝手段とが設けられていることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記ノズルユニットの垂直方向緩衝手段は、弾性部材により構成されていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記ノズルユニットの水平方向緩衝手段は、磁性部材により構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
前記検知手段により、前記ノズルユニットと前記加工対象物との接触を検知した場合、前記レーザ発振器におけるレーザ光の出射、及び前記ノズルユニット駆動手段におけるノズルユニットの移動を中止するよう制御する制御手段を有することを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
加工対象物の形状に対応した位置から所定の加工位置にアシストガスを噴射しながらレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工方法において、
レーザ発振器によりレーザ光を出射するレーザ光出射ステップと、
所定位置に移動可能なノズルユニットに設けられるレンズ光学系により前記レーザ発振器からのレーザ光を集光して、前記加工位置に照射させると共に、前記アシストガスを噴射する加工ステップと、
前記ノズルユニットが前記加工対象物と接触したことを検知する検知ステップと、
前記検知ステップにより得られる検知結果を通知する通知ステップとを有し、
前記ノズルユニットには、前記接触により垂直方向に対して発生した外力を緩衝する垂直方向緩衝手段と、前記接触により水平方向に対して発生した外力を緩衝する前記垂直方向緩衝手段とは異なる水平方向緩衝手段とが設けられていることを特徴とするレーザ加工方法。
【請求項６】
前記ノズルユニットの垂直方向緩衝手段は、弾性部材により構成されていることを特徴とする請求項５に記載のレーザ加工方法。
【請求項７】
前記ノズルユニットの水平方向緩衝手段は、磁性部材により構成されていることを特徴とする請求項５又は６に記載のレーザ加工方法。
【請求項８】
前記検知ステップにより、前記ノズルユニットと前記加工対象物との接触を検知した場合、前記レーザ発振器におけるレーザ光の出射、及び前記ノズルユニットの移動を中止するよう制御する制御ステップを有することを特徴とする請求項５乃至７の何れか１項に記載のレーザ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置及びレーザ加工方法に係り、特に加工対象物にノズルが接触したことによる損傷を防止すると共に、簡易な構成でノズルの復元精度を向上させるためのレーザ加工装置及びレーザ加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ加工装置によるレーザ加工時には、不活性ガス等のアシストガスを使用し、この不活性ガスをレーザ光の照射位置に噴出することで、レーザ光を樹脂等のワーク（加工対象物）に照射し、レーザ加工を行ったときに生じるドロスや加工塵を吹き飛ばし、ワークにゴミ等が付着させずに高精度な加工を実現している。
【０００３】
また、一般的なレーザ加工装置では、アシストガスを効率的にワークの加工箇所付近に噴出させるために、ノズルを設け、そのノズルをワークに近づけてワークの形状に対応した位置からガスの噴出を行っている。
【０００４】
ここで、ワークの加工位置が変わる場合には、ノズルの位置を移動させるが、移動時にノズルをワークやワーク等を保持する治具等に接触させてしまうことがある。そこで、ワーク等へのノズルによる損傷を回避するための技術が存在する（例えば、特許文献１，２等参照。）。
【０００５】
特許文献１に示されている技術では、レーザ加工装置は、レーザ発振器から出力されたレーザ光を集光して照射し、ワークの切断や溶接等の加工を行うレーザ加工光学系を備える。このレーザ加工光学系を備えたレーザ加工ヘッドは、レーザ光が案内される固定ユニットと、集光光学系を内蔵した可動ユニットと、固定ユニットと可動ユニットの間に設けられた弾性保持手段とを有する。可動ユニットは、弾性保持手段によりワーク加工面の凹凸や傾きに追従する接触式ワーク倣い機構を構成している。このワーク倣い機構により、集光光学系からワーク加工位置までの距離が常時略一定に保持されてレーザ光によるワークの倣い加工が行われる。
【０００６】
また、特許文献２に示されている技術では、ノズルをノズルホルダに取り付けたレーザトーチは、トーチホルダのテーパ凹面と、ノズルホルダのテーパ面との嵌め合いにより、取り付けと同時に鉛直軸線が合致して位置決めができる。そして、トーチホルダのマグネットと、ノズルホルダのマグネット間に吸引力を作用させて、トーチホルダに取り付けたレーザトーチを保持する。また、マグネットの対向間隔を調整ネジにより調整して、マグネットの吸引力によるレーザトーチの保持力を最適な保持力に調整することができる。
【特許文献１】特開２０００−６１６６９号公報
【特許文献２】特開２００１−７１１６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、一般的にノズルがレーザ加工中の移動でワーク等に接触すると、アライメントの位置がずれてしまう可能性があるため、ノズルのセット位置やレーザ加工位置がずれてしまう場合がある。
【０００８】
このとき、上述した特許文献１に示されているようなばねが伸びることでノズルを逃がす機構の場合、元の位置に正確に復旧させるための機構が複雑である。また、特許文献２に示されているようなマグネットによる機構の場合、衝撃の方向によって動作しにくいことがあり、再調整等が必要になる。
【０００９】
したがって、上述したような問題を解決するには、ノズルがワーク等に接触した場合にもノズルやワークを破損させず、接触により動いたノズルを容易に元の位置に正確に戻す機構による復元精度の高いレーザ加工を行うことが必要となる。
【００１０】
本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、加工対象物（ワーク）にノズルが接触したことによる損傷を防止すると共に、簡易な構成で復元精度を向上させるためのレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の目的を達成するために、本発明は、加工対象物の形状に対応した位置から所定の加工位置にアシストガスを噴射しながらレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、レーザ光を出射するレーザ発振器と、前記レーザ発振器からのレーザ光をレンズ光学系で集光し、前記加工位置に照射させると共に、前記アシストガスを噴射するノズルユニットと、前記ノズルユニットを所定位置に移動させるためのノズルユニット駆動手段と、前記ノズルユニットが前記加工対象物と接触したことを検知する検知手段と、前記検知手段により得られる検知結果を通知する通知手段とを有し、前記ノズルユニットは、前記接触により垂直方向に対して発生した外力を緩衝する垂直方向緩衝手段と、前記接触により水平方向に対して発生した外力を緩衝する前記垂直方向緩衝手段とは異なる水平方向緩衝手段とが設けられていることを特徴とする。これにより、加工対象物にノズルが接触したことによる損傷を防止すると共に、簡易な構成でノズルの復元精度を向上させることができる。
【００１２】
更に、前記ノズルユニットの垂直方向緩衝手段は、弾性部材により構成されていることが好ましい。これにより、垂直方向に対しての移動を容易に行うことができると共に、迅速かつ高精度に元の位置へ復元することができる。
【００１３】
更に、前記ノズルユニットの水平方向緩衝手段は、磁性部材により構成されていることが好ましい。これにより、水平方向に対しての移動を容易に行うことができると共に、迅速かつ高精度に元の位置へ復元することができる。
【００１４】
更に、前記検知手段により、前記ノズルユニットと前記加工対象物との接触を検知した場合、前記レーザ発振器におけるレーザ光の出射、及び前記ノズルユニット駆動手段におけるノズルユニットの移動を中止するよう制御する制御手段を有することが好ましい。これにより、エラー発生時にレーザ加工を迅速に中止することができるため、加工対象物等の損傷を防止し、高精度な加工を実現することができる。
【００１５】
また本発明は、加工対象物の形状に対応した位置から所定の加工位置にアシストガスを噴射しながらレーザ光を照射してレーザ加工を行うレーザ加工方法において、レーザ発振器によりレーザ光を出射するレーザ光出射ステップと、所定位置に移動可能なノズルユニットに設けられるレンズ光学系により前記レーザ発振器からのレーザ光を集光して、前記加工位置に照射させると共に、前記アシストガスを噴射する加工ステップと、前記ノズルユニットが前記加工対象物と接触したことを検知する検知ステップと、前記検知ステップにより得られる検知結果を通知する通知ステップとを有し、前記ノズルユニットには、前記接触により垂直方向に対して発生した外力を緩衝する垂直方向緩衝手段と、前記接触により水平方向に対して発生した外力を緩衝する前記垂直方向緩衝手段とは異なる水平方向緩衝手段とが設けられていることを特徴とする。これにより、加工対象物にノズルが接触したことによる損傷を防止すると共に、簡易な構成でノズルの復元精度を向上させることができる。
【００１６】
更に、前記ノズルユニットの垂直方向緩衝手段は、弾性部材により構成されていることが好ましい。これにより、垂直方向に対しての移動を容易に行うことができると共に、迅速かつ高精度に元の位置へ復元することができる。
【００１７】
更に、前記ノズルユニットの水平方向緩衝手段は、磁性部材により構成されていることが好ましい。これにより、水平方向に対しての移動を容易に行うことができると共に、迅速かつ高精度に元の位置へ復元することができる。
【００１８】
更に、前記検知ステップにより、前記ノズルユニットと前記加工対象物との接触を検知した場合、前記レーザ発振器におけるレーザ光の出射、及び前記ノズルユニットの移動を中止するよう制御する制御ステップを有することが好ましい。これにより、エラー発生時にレーザ加工を迅速に中止することができるため、加工対象物等の損傷を防止し、高精度な加工を実現することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、加工対象物にノズルが接触したことによる損傷を防止すると共に、簡易な構成でノズルの復元精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、上述したような特徴を有する本発明におけるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を好適に実施した形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下の説明では、レーザ加工の一例として、例えば加工対象物であるプラズマディスプレイパネル等に用いられる樹脂層等に所定のレーザ光を照射してパターン形成を行う処理について説明するが、本発明においてはこれに限定されず、例えば穴あけ、溶接、切断、アニール等の各種レーザ加工に広く適用することができる。
【００２１】
<第１の実施形態>
<レーザ加工装置：装置構成>
図１は、本実施形態におけるレーザ加工装置の一構成例を示す図である。図１に示すレーザ加工装置１０は、レーザ発振器１１と、反射ミラー１２と、ノズルユニット１３と、
ガス供給手段１４と、ノズルユニット駆動手段１５と、接触検知手段１６と、通知手段１７と、制御手段１８とを有するよう構成されている。
【００２２】
図１に示すレーザ発振器１１は、加工対象物である樹脂や金属等からなるワーク１に所定のパターン形成を行うため、制御手段１８から得られる制御信号に基づいて、所定のタイミングで所定の強さのパルスレーザ光を出射する。ここで、本実施形態におけるレーザ光は、例えばＹＡＧレーザ等を用いることができる。なお、その他にも、例えばＣＯ２レーザやエキシマレーザ等を用いることができ、本発明におけるレーザ光の種類については特に限定されるものではない。つまり、ワーク１の材質や厚み、どのような加工（例えば、穴あけ、溶接、切断、アニール等）を行うか等の各種加工条件等により任意に選択することができる。
【００２３】
反射ミラー１２は、レーザ発振器１１から出射されたレーザ光をノズルユニット１３に入光させる方向へと導く。
【００２４】
また、ノズルユニット１３は、レーザ発振器１１から得られるレーザ光を入光し、所定の形状に結像してワーク１の所定箇所に照射するためのレンズ光学系が設けられており、ノズルの先端から出射されるレーザ光によりワーク１の所定箇所のレーザ加工を実現する。
【００２５】
また、ノズルユニット１３は、ガス供給手段１４により得られるアシストガスをノズルの先端よりワーク１のレーザ加工位置付近に噴射する。
【００２６】
更に、ノズルユニット１３は、ノズルユニット駆動手段１５により、図１に示すＸＹＺ方向への移動を行うことができ、ワーク1の形状に合わせて適切な位置（例えば、所定の加工位置付近）に移動がなされ、所定位置でレーザ光を照射させてレーザ加工を行うことができる。
【００２７】
また、ノズルユニット１３は、先端がワーク１に接触した際に垂直方向（Ｚ軸方向、縦方向）からの加重（外力）に対してばね等の弾性部材で押し付ける緩衝機構を設ける。また、ノズルユニット１３は、水平方向（ＸＹ方向、横方向）からの外力に対してマグネット等の磁性部材による緩衝機構を設ける。これにより、ワーク１等との接触等によるノズルユニット１３の垂直方向及び水平方向の外力に対して効果的に回避することができ、簡易な機構で復元精度も高くすることができる。なお、ノズルユニット１３の具体例については後述する。
【００２８】
ガス供給手段１４は、制御手段１８からの制御信号により、ノズルユニット１３を介してノズル先端からワーク１の加工部付近にアシストガスを噴出させるためのガスを供給する。なお、アシストガスとしては、例えば、酸素、窒素、空気、アルゴン等を用いることができる。これにより、加工部を酸化させて溶融反応を促進させたり、ドロスを吹き飛ばしたりすることができる。
【００２９】
また、ノズルユニット駆動手段１５は、制御手段１８からの制御信号により、ノズルユニットを所定位置に移動させる。これにより、ノズルユニット１３をワーク１の形状に対応させて移動させながら、レーザ加工を行うことができる。
【００３０】
また、接触検知手段１６は、ノズルユニット１３がワーク１等と接触した場合に、接触を検知し、その信号を制御手段１８に出力する。なお、接触検知手段１６は、ばね等の弾性部材等によるＺ軸方向への緩衝実行時と、マグネット等の磁性部材等によるＸＹ方向への緩衝実行時とをそれぞれ別々に検知する。
【００３１】
また、通知手段１７は、モニタ等の画面表示手段やスピーカ等の音声出力手段等を有し、制御手段１８によるエラー信号等により、ユーザや管理者等にエラーメッセージを画面表示したり、警報（アラーム）等を音声出力することで通知を行う。例えば、通知手段１７は、エラー検知時には、接触検知手段１６により、接触検知手段１６は、ばね等の弾性部材等によるＺ軸方向への緩衝実行時と、マグネット等の磁性部材等によるＸＹ方向への緩衝実行時とをそれぞれ別々に検知することができるため、単なるエラー検知のメッセージだけでなく、例えば、検知内容に対応したメッセージ（例えば、「垂直方向での接触を検知しました。」、「水平方向での接触を検知しました。」等）を通知してもよい。
【００３２】
なお、通知手段１７は、制御手段１８から得られる制御信号等に基づき、通常実行の開始や終了のメッセージ等を通常処理実行に関するメッセージを通知してもよい。
【００３３】
制御手段１８は、本実施形態における各機能全体の制御を行う。具体的には、制御手段１８は、レーザ発振器１１、ガス供給手段１４、ノズルユニット駆動手段１５、及び、接触検知手段１６等における駆動等の制御を行う。具体的には、制御手段１８は、レーザ発振器１１によるレーザ光の照射の強さやタイミング等を制御し、ガス供給手段１４によるガスの供給の開始、終了のタイミングやガス供給量等を制御し、ノズルユニット駆動手段１５によるノズルユニット１３の移動の開始、終了のタイミング、移動速度、移動位置等を制御し、接触検知手段１６からの検知信号や正常実行時に基づく通知内容等を設定し、通知手段１７により通知させるための制御等を行う。
【００３４】
なお、制御手段１８は、接触を検知した場合には、エラーメッセージやアラーム等を通知手段１７により出力させるだけでなく、レーザ加工装置１０の駆動機構（例えば、ノズルユニット駆動手段１５における動作や、ガス供給手段１４における動作）を中止（一時停止）にすると共に、レーザ発振器１１に設けられたレーザ光を出力するためのレーザ穴のシャッタを閉じる等の制御を行い、レーザ加工を中止（一時停止）するよう制御を行うこともできる。この場合、復帰させるためには、安全のために、例えば、ユーザや管理者等がリセットスイッチ等を押して加工を再スタートするための処理を行う。
【００３５】
上述したレーザ加工装置１０の構成により、ワーク１にノズルが接触したことによる損傷を防止すると共に、簡易な構成でノズルの復元精度を向上させることができる。つまり、マグネット保持による水平方向の緩衝機構、及び、ばねによる垂直方向の緩衝機構の２種類の機構を組み合わせて、効果的な衝突対応型のレーザ加工装置を実現することができる。
【００３６】
なお、図１に示すレーザ加工装置１０においては、ワーク１は、固定されているものし、ノズルユニット１３をノズルユニット駆動手段１５により駆動させて加工を行う例を示したが、本発明においてはこれに限定されず、例えば、ワーク１をステージ等にセットし、ワーク１をセットしたステージをＸＹＺ方向に駆動させるワーク駆動手段等を設け、ノズルユニット１３を固定して、ステージのみを移動させるようにしてもよく、ノズルユニット１３と、ステージを両方移動可能にした構成にしてもよい。
【００３７】
<ノズルユニット１３について>
次に、ノズルユニット１３の具体例について図を用いて説明する。図２は、ノズルユニットの一例を示す図である。図２に示すノズルユニット１３は、垂直方向緩衝手段２１と、水平方向緩衝手段２２と、レンズ光学系２３と、ガス供給部２４と、ノズル端部２５と、センサ２６とを有するよう構成されている。また、ノズルユニット１３には、空洞部３０が設けられており、レーザ光２は、その中を通ってノズルユニット１３の先端からワーク１の所定の加工位置にレーザ光を照射させてワーク１の加工を行う。
【００３８】
ノズルユニット１３において、垂直方向緩衝手段２１は、Ｚ軸方向に対して弾性部材により摺動することで、ノズル端部２５の先端がワーク１に接触しＺ軸方向に外力が加わった場合にもノズルユニット１３やワーク１の損傷を防止することができる。なお、垂直方向緩衝部材２１の具体的な構成については後述する。
【００３９】
また、水平方向緩衝手段２２は、例えば２枚の永久磁石等のマグネット部材３１−１，３１−２を設け、磁気吸着により両者を一体的に組み付けて固定している。これにより、例えばノズル端部２５に、横方向からの外力が加わった場合に、マグネット部材３１−１，３１−２が外れることにより、ワーク１等の損傷を防止することができる。なお、水平方向緩衝手段２２における動作例については後述する。
【００４０】
レンズ光学系２３は、空洞部３０に入光したレーザ光２を所定形状に集光するための光学系であり、少なくとも１枚の凹凸レンズ等から構成されている。
【００４１】
また、ガス供給部２４は、アシストガスを供給するための供給口である。供給されたアシストガスは、図２に示す下方へと流れていき、ノズル端部２５の先端からワーク１の加工位置付近に噴射される。また、ノズル端部２５は、マグネット部材３１−２からレーザ光やアシストガスが出力される先端部までの構成全般を示している。また、センサ部２６は、ワーク１にノズルユニットが衝突、接触した場合に、垂直方向緩衝手段２１又は水平方向緩衝手段２２の変化を検知し、その検知信号を制御手段１８に出力する。
【００４２】
<垂直方向緩衝手段２１>
次に、垂直方向緩衝手段２１の具体的な構成について図を用いて説明する。図３は、図２におけるＡ〜Ａ方向の断面を示す図である。図３に示すように、垂直方向緩衝手段２１は、コンタクトスイッチ４１と、フランジ付リニアブシュ４２と、プランジャ部４３とを有するよう構成されている。なお、図３の例では、プランジャ部４３は、リニアブシュ４２の左右に設けられて（４３−１，４３−２）、１つのリニアブシュ４２と、２つのプランジャ部４３がセットで三組（４２ａ〜ｃ、４３−１ａ〜４３−１ｃ、４３−２ａ〜４３−２ｃ）が均等に配置されている。
【００４３】
また、図４は、図３におけるＢ、Ｃ、Ｄ方向における垂直方向断面の一例を示す図である。なお、図４（ａ）はＢ方向、図４（ｂ）はＣ方向、図４（ｃ）はＤ方向に対する例を示している。
【００４４】
なお、図４に示すように、垂直方向緩衝手段２１を構成する上下のフレーム部５１−１，５１−２は、Ｏリング等の緩衝部材により隙間が設けられている。
【００４５】
図４（ａ）に示すコンタクトスイッチ４１は、ノズル端部２５がワーク１に接触することにより、Ｚ軸方向に対して外力が加わったことを検知する。なお、コンタクトスイッチ４１は、具体的には、コンタクト式の電気接点を設け、圧力測定と同時に電気回路の開閉を行い、異常圧力時の警報用として使用される。また、コンタクトスイッチ４１は、異常を検知すると、その検知信号を制御手段１８に出力する。
【００４６】
また、図４（ｂ）に示すリニアブシュ４２は、Ｚ軸方向に外力が加わった場合に上下運動を可能にするための摺動型の緩衝機構であり、ノズルユニット１３を正規位置に付勢保持する付勢手段である。なお、リニアブシュ４２は、例えば、熱給油ブシュ等を用いることができる。
【００４７】
また、図４（ｃ）に示すプランジャ部４３は、Ｚ軸方向に外力が加わるとノズルユニット１３の押し付けにより、ある荷重（例えば、約１０ｋｇｆ）までをばね等によりシリンダー内を往復し外力を緩衝させることができる。
【００４８】
これにより、上下方向の緩衝を効果的に行うことができる。なお、本発明における弾性部材は、上述したばねに限定されず、例えば、形状記憶合金で形成されたフィルム等を用いてもよい。
【００４９】
<水平方向緩衝手段２２>
図５は、水平方向緩衝手段の動作を説明するための一例の図である。例えば、図５に示すように、ワーク１にノズル端部２５が接触した場合、接触したノズル端部が、横方向に外力を受ける。このとき、マグネット部材３１−１，３１−２は一時的に外れることになる。センサ部２６は、マグネット部材３１−１と、マグネット部材３１−２の一部が外れたことを検知し、その検知信号を制御手段１８に出力する。
【００５０】
なお、上述した垂直方向緩衝手段２１又は水平方向緩衝手段２２は、ノズルユニット１３全体の構成において、ねじ等によりユニットのそれぞれの構成が固定されている部分の直後に設けられることが好ましい。つまり、全体の剛性や、調整し易さにより垂直方向緩衝手段２１又は水平方向緩衝手段２２の位置が設定される。また、上述の実施形態では、ワーク１に近くに水平方向緩衝手段２２を設け、水平方向緩衝手段２２よりも離れた位置に垂直方向緩衝手段２１を設けているが、本発明においてはこれに限定されず、垂直方向緩衝手段２１の方をワーク１に近い位置に設けてもよく、また、同じ位置に垂直方向緩衝手段２１及び水平方向緩衝手段２２を設けてもよい。
【００５１】
上述したように本発明によれば、加工対象物（ワーク）にノズルが接触したことによる損傷を防止すると共に、簡易な構成でノズルの復元精度を向上させることができる。つまり、マグネット保持による水平方向の緩衝機構、及び、ばねによる垂直方向の緩衝機構の２種類の機構を組み合わせて、効果的な衝突対応型のレーザ加工装置を実現することができる。
【００５２】
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本実施形態におけるレーザ加工装置の一構成例を示す図である。
【図２】ノズルユニットの一例を示す図である。
【図３】図２におけるＡ〜Ａ方向の断面を示す図である。
【図４】図３におけるＢ、Ｃ、Ｄ方向における垂直方向断面の一例を示す図である。
【図５】水平方向緩衝手段の動作を説明するための一例の図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０  レーザ加工装置
１１  レーザ発振器
１２  反射ミラー
１３  ノズルユニット
１４  ガス供給手段
１５  ノズルユニット駆動手段
１６  接触検知手段
１７  通知手段
１８  制御手段
２１  垂直方向緩衝手段
２２  水平方向緩衝手段
２３  レンズ光学系
２４  ガス供給部
２５  ノズル端部
２６  センサ
３０  空洞部
３１  マグネット部材
４１  コンタクトスイッチ
４２  リニアブシュ
４３  プランジャ部
５１  フレーム部
【図１】
2009000698.tif 000003
【図２】
2009000698.tif 000004
【図３】
2009000698.tif 000005
【図４】
2009000698.tif 000006
【図５】
2009000698.tif 000007