(57)【要約】【課題】レーザ加工の際、加工対象物などに加工粉塵などが付着することを防止するレーザ加工装置を提供する。【解決手段】加工対象物１をレーザ加工するための機構を収容する加工室３と、加工室３内を換気するための前記加工室３内への外気流入装置１３ａ，１３ｂおよび排気装置１４とを備えているレーザ加工装置２において、排気装置１４から排出される流体の排気流量を測定する測定手段１６と、測定された排気流量が加工室３内に流入する流体の流量より少なくなっていることを知らせるための出力手段１７とを備えていることを特徴とするレーザ加工装置２。【選択図】図２
2009172654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象物をレーザ加工する機構を収容する加工室と、該加工室内を換気するための前記加工室内への外気流入装置および排気装置とを備えているレーザ加工装置において、
前記排気装置から排出される流体の排気流量を測定する測定手段と、前記排気流量が前記加工室内に流入する流体の流量より少なくなっていることを知らせるための出力手段とを備えていることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記排気される流体に含まれる粉塵を捕集するためのフィルタが、前記排気装置に設けられ、前記測定手段が、前記フィルタに生じる差圧を計測し、該差圧から前記排気流量を計算するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
加工対象物を支持するための加工面を有する加工ステージと、該加工ステージを収容する加工室と、該加工室内に前記加工対象物を通過させるための搬送口と、前記加工室内で前記加工対象物をレーザ加工するために加工用レーザ光を前記加工面に沿った方向に走査するためのガルバノスキャナと、該加工室内を換気するための外気流入装置および排気装置とを備えているレーザ加工装置において、
前記加工室内を流れる流体の流路が、第一の流路および第二の流路を有し、第一の流路が、前記外気流入装置から前記加工面側の空間を経由して前記排気装置まで流れるように構成されており、前記第二の流路が、前記搬送口から前記加工面の裏面側の空間を経由して前記排気装置まで流れるように構成されていることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項４】
前記加工面側の空間と前記加工面の裏面側の空間との間を仕切る気流遮断機構が設けられ、該気流遮断機構には、前記加工面側の空間と前記加工面の裏面側の空間との間を連通させる少なくとも一つの通気口が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
前記通気口が、前記加工ステージより前記排気装置側に配置されていることを特徴とする請求項４に記載のレーザ加工装置。
【請求項６】
前記気流遮断機構が変形可能なように構成されていることを特徴とする請求項４に記載のレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜太陽電池などの加工対象物を加工室内でレーザ加工するレーザ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜太陽電池には、アモルファスシリコン系の薄膜により半導体膜を形成しているものが広く用いられている。このような薄膜太陽電池は、半導体膜を気相成長法により形成するため、大面積表面にも半導体膜を容易に形成できる。従って、薄膜太陽電池を容易に大面積化できる。また、薄膜太陽電池は、半導体膜などを低い温度で形成できるため、プラスチックフィルムに半導体膜を形成してフィルム基板を作製できる。従って、可撓性のある薄膜太陽電池を作製できる。さらに、薄膜太陽電池には、集積型の直列接続構造を採用しているものが存在する。直列接続構造は、基板の一方の面に複数の短冊状のセルを配設し、基板の他方の面に接続用電極層を配設し、基板を貫通する孔を介して複数のセルを直列に接続している。そのため、一枚の基板から数十〜数百Ｖの高電圧を取り出すことができる。
【０００３】
このような利点を有する直列接続構造の薄膜太陽電池では、複数の短冊状のセルを形成するために分離加工が行われる。この分離加工には、ＹＡＧレーザなどによって加工対象物をレーザスクライブするレーザ加工装置が用いられる。
【０００４】
このレーザ加工装置では、多くの場合、大面積のフィルム基板を短時間で加工することに適したガルバノミラー方式が採用されている。レーザ加工装置は、加工室を備えており、加工室内でレーザ加工が行われることとなる。レーザ加工は、加工ステージ上で支持された加工対象物に加工用レーザ光を照射することによって行われることとなる。加工用レーザ光は、ガルバノスキャナによって走査される構成となっている。
【０００５】
フィルム基板は、加工室内に搬送されて、加工ステージ上で加工されることなる。フィルム基板を加工室内に搬送するために、フィルム基板は、加工室内でフィードローラなどにより搬送される。また、加工室には、搬送されるフィルム基板を搬入するための搬入口と、フィルム基板を搬出するための搬出口とが設けられている。
【０００６】
フィルム基板を加工した後には、加工粉塵が加工室内に充満するおそれがあるため、加工室には外気流入装置および排気装置が設けられている。加工室内で外気流入装置から排気装置までの流体の流れが発生する。流体の流れによって、加工粉塵が排気装置に搬送されることとなる。また、排気装置にはフィルタが取付けられており、このフィルタによって、加工粉塵が収集されることとなる。このようなレーザ加工装置は、特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００５−１４０８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のようなレーザ加工装置では、フィルタに加工粉塵が蓄積されると、フィルタが目詰まりするおそれがある。そのため、フィルタを通って排気装置から排出される流体の流量が減少することとなる。外気流入装置から加工室内に流入する流体の流量が、排気装置から排出される流体の流量より大きくなった場合、排気装置から排出されなかった流体は、加工室内に充満するおそれがある。この流体には加工粉塵が含まれており、フィルム基板およびフィードローラに加工粉塵が付着することとなる。また、排気装置から排出されなかった流体は、搬入口および搬出口から漏れるおそれもある。この場合、加工粉塵が搬入口および搬出口から放出されることとなり好ましくない。
【０００８】
また、搬入口および搬出口から流入する流体の影響によって、外気流入装置から排気装置までの流体の流れが乱されるおそれがある。この乱れによって、加工室内に加工粉塵が充満し、フィルム基板およびフィードローラなどに加工粉塵が付着して汚れることがある。
【０００９】
そこで、本発明の課題は、レーザ加工の際、加工対象物などに加工粉塵などが付着することを防止するレーザ加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
課題を解決するために本発明のレーザ加工装置は、加工対象物をレーザ加工するための機構を収容する加工室と、該加工室内を換気するための前記加工室内への外気流入装置および排気装置とを備えているレーザ加工装置において、前記排気装置から排出される流体の排気流量を測定する測定手段と、前記排気流量が前記加工室内に流入する流体の流量より少なくなっていることを知らせるための出力手段とを備えている。
【００１１】
本発明のレーザ加工装置では、前記排気される流体に含まれる粉塵を捕集するためのフィルタが、前記排気装置に設けられ、前記測定手段が、前記フィルタに生じる差圧を計測し、該差圧から前記排気流量を計算するように構成されている。
【００１２】
本発明のレーザ加工装置は、加工対象物を支持するための加工面を有する加工ステージと、該加工ステージを収容する加工室と、該加工室内に前記加工対象物を通過させるための搬送口と、前記加工室内で前記加工対象物をレーザ加工するために加工用レーザ光を前記加工面に沿った方向に走査するためのガルバノスキャナと、該加工室内を換気するための外気流入装置および排気装置とを備えているレーザ加工装置において、前記加工室内を流れる流体の流路が、第一の流路および第二の流路を有し、第一の流路が、前記外気流入装置から前記加工面側の空間を経由して前記排気装置まで流れるように構成されており、前記第二の流路が、前記搬送口から前記加工面の裏面側の空間を経由して前記排気装置まで流れるように構成されている。
【００１３】
本発明のレーザ加工装置では、前記加工面側の空間と前記加工面の裏面側の空間との間を仕切る気流遮断機構が設けられ、該気流遮断機構には、前記加工面側の空間と前記加工面の裏面側の空間との間を連通させる少なくとも一つの通気口が設けられている。
【００１４】
本発明のレーザ加工装置では、前記通気口が、前記加工ステージより前記排気装置側に配置されている。
【００１５】
本発明のレーザ加工装置では、前記気流遮断機構が変形可能なように構成されている。
【発明の効果】
【００１６】
課題を解決するために本発明のレーザ加工装置は、加工対象物をレーザ加工するための機構を収容する加工室と、該加工室内を換気するための前記加工室内への外気流入装置および排気装置とを備えているレーザ加工装置において、前記排気装置から排出される流体の排気流量を測定する測定手段と、前記排気流量が前記加工室内に流入する流体の流量より少なくなっていることを知らせるための出力手段とを備えている。そのため、加工粉塵を含む空気などの流体が前記排気装置から排気されずに前記加工室内に充満するおそれのある状態となったことを、前記出力手段によって、前記レーザ加工装置などを操作または管理するオペレータなどに知らせることができる。従って、前記加工室内に残った加工粉塵が充満して、前記加工対象物が汚れることを未然に防止できる。また、前記加工室に、例えば前記加工対象物を搬送するための搬送口など開口が設けられる場合には、前記排気装置から排気されなかった流体がこの開口から放出されて、加工粉塵が放出されることも未然に防止できる。このような状態では、一般的に、前記排気装置に取付けられたフィルタが目詰まりしている。そのため、このフィルタを交換する必要のあるタイミングを知ることができる。
【００１７】
本発明のレーザ加工装置では、前記排気される流体に含まれる粉塵を捕集するためのフィルタが、前記排気装置に設けられ、前記測定手段が、前記フィルタに生じる差圧を計測し、該差圧から前記排気流量を計算するように構成されており、前記フィルタを直接的に測定することによって、前記フィルタの目詰まりによって生じる流量変化を正確に測定できる。
【００１８】
本発明のレーザ加工装置は、加工対象物を支持するための加工面を有する加工ステージと、該加工ステージを収容する加工室と、該加工室内に前記加工対象物を通過させるための搬送口と、前記加工室内で前記加工対象物をレーザ加工するために加工用レーザ光を前記加工面に沿った方向に走査するためのガルバノスキャナと、該加工室内を換気するための外気流入装置および排気装置とを備えているレーザ加工装置において、前記加工室内を流れる流体の流路が、第一の流路および第二の流路を有し、第一の流路が、前記外気流入装置から前記加工面側の空間を経由して前記排気装置まで流れるように構成されており、前記第二の流路が、前記外気流入装置から前記加工面の裏面側の空間を経由して前記排気装置まで流れるように構成されている。従って、加工粉塵をほとんど含んでいない綺麗な流体の流れが、前記加工面の裏面側にあたる前記加工ステージの背面部側で確保でき、前記加工ステージの背面部側近傍で前記加工対象物に加工粉塵が付着することを確実に防止できる。
【００１９】
本発明のレーザ加工装置では、前記加工面側の空間と前記加工面の裏面側の空間との間を仕切る気流遮断機構が設けられ、該気流遮断機構には、前記加工面側の空間と前記加工面の裏面側の空間との間を連通させる少なくとも一つの通気口が設けられており、加工粉塵をほとんど含んでいない綺麗な流体の流れと加工粉塵を含む流体の流れとが確実に分離されることとなる。従って、前記加工ステージの背面部側で発生する綺麗な流体の流れをより確保でき、前記加工ステージの背面部側近傍で加工対象物に加工粉塵が付着することをより確実に防止できる。
【００２０】
本発明のレーザ加工装置では、前記通気口が、前記加工ステージより前記排気装置側に配置されており、加工粉塵をほとんど含んでいない綺麗な流体の流れと加工粉塵を含む流体の流れとの合流する箇所が、前記排気装置付近となる。そのため、加工粉塵をほとんど含んでいない綺麗な流体の流れと加工粉塵を含む流体の流れとが、前記加工室から排気される直前まで分離された状態を維持できる。従って、前記加工ステージの背面部側で発生する綺麗な流体の流れを確保でき、前記加工ステージの背面部側近傍で加工対象物に加工粉塵が付着することをより確実に防止できる。
【００２１】
本発明のレーザ加工装置では、前記気流遮断機構が変形可能なように構成されており、前記加工室内の流体の経路を適宜調節できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施形態について以下に説明する。図１は、フィルム基板１を加工するためのレーザ加工装置２の加工室３内部を示す概略斜視図である。本発明の実施形態では、図１に示すように、略直方体状に形成された加工室３の高さ方向を上下方向とし、加工室３の幅方向を左右方向とし、加工室３の奥行き方向を前後方向とする。上側方向を矢印Ｕｐ、下側方向を矢印Ｌｗ、前側方向を矢印Ｆｔ、後側方向を矢印Ｒｒ、左側方向を矢印Ｌｆ、右側方向を矢印Ｒｔで示す。以下、図２（ａ）および図２（ｂ）でも同様な方向を用いるものとする。レーザ加工装置２は、加工室３（仮想線で示す）内でフィルム１をレーザ加工する。加工室３の天井面３ａには、フィルム基板１を搬入するための搬入口４が設けられている。搬入口４は、前後方向に延在する略長方形に形成されている。
【００２３】
加工室３内には、加工ステージ５が設けられている。加工ステージ５は、搬入口４の近傍から下方に延在する略直方体状に形成されている。加工室３の内側方向を向く加工ステージ５の右側面５ａには、加工面６が設けられている。加工面６は、前後方向および上下方向に延在するように形成されている。加工面６は、加工室３の右側面３ｂと対向するように配置されている。また、加工面６の裏面側に位置する加工ステージ５の背面部５ｂは、加工室３の左側面３ｃと対向するように配置されている。加工ステージ５の下側部５ｃは、下方を向くように形成されており、加工室３の底面３ｄと対向するように配置されている。加工ステージ５の前側部５ｄは、前方を向くように形成されており、加工室３の前側面３ｅと対向するように配置されている。加工ステージ５の後側部５ｅは、後方を向くように形成されており、加工室３の後側面３ｆと対向するように配置されている。加工ステージ５の上側部５ｆは、上方を向くように形成されており、加工室３の天井面３ａと対向するように配置されている。
【００２４】
また、加工室３内には、第一気流遮断機構７ａ、第二気流遮断機構７ｂ、第三気流遮断機構７ｃ、および前後方向に延在する略円柱状のフィードローラ８が設けられている。フィードローラ８は、加工ステージ５の下方に配置されている。加工室３の左側面３ｃの下方には、フィルム基板１を搬出するための搬出口９が設けられている。搬出口９は、フィードローラ８と略等しい高さに配置されている。搬出口９は、前後方向に延在するように形成されている。そのため、フィルム基板１は、搬入口４および搬入口９のような搬送口を通過して、加工室３内を通過することとなる。
【００２５】
図２（ａ）は、レーザ加工装置２の概略正面図であり、加工室３については内部構造を表している。加工室３の搬入口４の上方には、ローラ１０が設けられている。ローラ１０は前後方向に延在する円柱状に形成されている。レーザ加工装置２は、巻出しローラ１１および巻取りローラ１２を備えている。巻出しローラ１１および巻取りローラ１２は、前後方向に延在する略円柱状に形成されている。巻出しローラ１１は、加工室３の右側面３ｂと一定の間隔を空けて配置されている。巻取りローラ１２は、加工室３の左側面３ｃと一定の間隔を空けて配置されている。
【００２６】
加工室３の天井面３ａに、第一外気流入装置１３ａが設けられている。第一外気流入装置１３ａは、加工ステージ５より加工室３の内側に配設されている。第一外気流入装置１３ａは、加工室３の外部から内部に空気を流入させるように構成されている。また、加工室３の底面３ｄには、排気装置１４が配設されている。排気装置１４は、加工ステージ５より加工室３の内側に配設されている。排気装置１４は、加工室３内部の空気を外部に排出するように構成されている。また、排気装置１４にはフィルタ１５が設けられている。排気装置１４から排出される空気は、フィルタ１５を通過した後に、加工室３の外部に放出されることとなる。また、フィルタ１５には差圧センサ１６が取付けられている。差圧センサ１６は、加工室３内部の圧力と加工室３の外部の圧力との差圧を測定可能なように構成されている。さらに、差圧センサ１６は、制御部１７に接続されている。
【００２７】
加工室３の右側面３ｂには、ガルバノスキャナ１８が設けられている。ガルバノスキャナ１８は、加工用レーザ光１９を出射可能なレーザ発信器２０を備えており、加工ステージ５の加工面６に向かってこの加工用レーザ光１９を照射可能なように構成されている。さらに、ガルバノスキャナ１８は、加工用レーザ光１９を加工面６に沿った平面方向に走査できるように構成されている。加工室３の外部から内部に空気を流入可能なように第二外気流入装置１３ｂが、ガルバノスキャナ１８とほぼ同位置に設けられている。
【００２８】
第一気流遮断機構７ａ、第二気流遮断機構７ｂおよび第三気流遮断機構７ｃは、加工ステージ５の加工面６側の空間と、加工面６の裏面側に位置する加工ステージ５の背面部５ｂ側の空間とを仕切るように、加工ステージ５の上下方向に沿って配設されている。
【００２９】
フィルム基板１の一端は、巻出しローラ１１に巻き取られている。フィルム基板１は、この巻出しローラ１１から延出し、ローラ１１に向かって案内されている。次に、フィルム基板１は、ローラ１１により加工室３の搬入口４に向かうように方向を変えられて、搬入口４を通過し、加工室３内に案内されている。また、フィルム基板１は、搬入口４から加工面６に支持されながら下方に延在している。さらに、フィルム基板１は、加工面６の下方でフィードローラ８により加工室３の左側面３ｃに向かうように方向を変えられている。加えて、フィルム基板１は、搬出口９を通過して、加工室３の外部に案内されている。フィルム基板１は、搬出口９から延出し、巻取りローラ１２に向かって案内されている。フィルム基板１の他端は、巻取りローラ１２に巻き取られている。このようなフィルム基板１は矢印Ｄの方向に搬送されることとなる。
【００３０】
図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。加工ステージ５は、加工室３の天井面３ａ、底面３ｄ、前側面３ｅおよび後側面３ｆとそれぞれ間隔を空けるように配置されている。第一気流遮断機構７ａは、加工室３の天井面３ａから加工ステージ５の下側部５ｃまでの間で延在する略長方形状に形成されている。また、第一気流遮断機構７ａは、加工ステージ５の前側部５ｄと加工室３の前側面３ｅとの間の空間を塞ぐように配置されている。第二気流遮断機構７ｂは、加工室３の天井面３ａから加工ステージ５の下側部５ｃまでの間で延在する略長方形状に形成されている。また、第二気流遮断機構７ｂは、加工ステージ５の後側部５ｅと加工室３の後側面３ｆとの間の空間を塞ぐように配置されている。第三気流遮断機構７ｃは、前後方向に延在する略長方形状に延在されており、加工室３の底面３ｄから上方に向かって形成されている。第三気流遮断機構７ｃは、加工室３の底面３ｄ、前側面３ｅおよび後側面３ｆと間隔を空けるように配置されている。加工ステージ５の下方には、加工面６側の空間と加工面６の裏面側の空間との間を連通させるように通気口２１が設けられている。また、加工室３の天井面３ａと加工ステージ５の上側部５ｆとの間には、上側開口２２が設けられることなる。上側開口２２は、搬入口４から流入する空気を加工ステージ５の背面部５ｂ側に通過させるように構成されている。
【００３１】
このようなレーザ加工装置２では、フィルム基板１が、巻出しローラ１１から巻き出され、搬入口４から加工室３の内部に搬入され、加工ステージ５の加工面６上で、加工用レーザ光１９によってレーザ加工され、搬出口９から加工室３の外部に搬送され、巻取りローラ１２によって巻き取られることとなる。レーザ加工によって、フィルム基板１は複数の短冊状のセルを有する構造に形成されることとなる。
【００３２】
また、図２（ａ）および図２（ｂ）に示すように、搬入口４、搬出口９、第一外気流入装置１３ａおよび第二外気流入装置１３ｂから流入した空気は、排気装置１４に向かうような流路に沿って流れることとなる。このような流路は、第一の流路２３と、第二の流路２４とを備えている。第一の流路２３は、搬入口４、第一外気流入装置１３ａおよび第二外気流入装置１３ｂから流入し、加工面６側の空間を通過して、排気装置１４まで流れるように構成されている。第二の流路２４は、搬入口４および搬出口９から流入し、加工面６の裏面側の空間を通過して、通気口２１を通過して、排気装置１４まで流れるように構成されている。
【００３３】
排気装置１４まで到達した空気は、フィルタ１５を通過して、加工室３の外部に排出されることとなる。空気にフィルム基板１の加工粉塵が含まれる場合に、このような空気は、フィルタ１５によって加工粉塵を取り除かれて、加工室３の外部に放出されることとなる。
【００３４】
また、第一外気流入装置１３ａから流入する空気の量を流量Ｑ１とし、第二外気流入装置１３ｂから流入する空気の量を流量Ｑ２とし、排気装置１４から排出される空気の量を流量Ｑ３とすると、フィルタ１５が目詰まりしたような場合は、流量Ｑ３≦Ｑ１＋Ｑ２の状態となる。このような状態では、排気装置１４から排出されない流量Ｑ１＋Ｑ２−Ｑ３の空気が、搬入口４および搬出口９から放出されることとなる。この流量Ｑ３の値は、差圧センサ１６により計測されるフィルタ１５の差圧Ｐ（流体の入る側と流体の出る側との間の圧力差）との関係から求められる。図３は、排気装置１４から排出される空気の流量Ｑ３とフィルタ１５の差圧Ｐとの関係を表している。図３では、差圧Ｐが増加すると流量Ｑ３が減少し、差圧Ｐが減少すると流量Ｑ３が増加している。すなわち、差圧Ｐが限界差圧Ｐ１以上となる斜線部Ｘの領域では、流量Ｑ３≦Ｑ１＋Ｑ２の状態となる。また、搬入口４、搬出口９などその他の部分から流入する空気の量のバラツキである流量αを考慮すると、差圧Ｐが管理差圧Ｐ２以上となる斜線部Ｙの領域では、流量Ｑ３≦Ｑ１＋Ｑ２＋αの状態となる。このような関係を用いて、制御部１７は、差圧センサ１６の計測する差圧Ｐが限界差圧Ｐ１からバラツキを見込んだ管理差圧Ｐ２以上となる場合に、アラーム音を出力するように構成されている。
【００３５】
よって、本発明の実施形態のレーザ加工装置２では、加工粉塵を含む流体が排気装置１４から排気されずに搬入口４および搬出口９から放出される状態となったことを、アラーム音の出力によって、レーザ加工装置２を操作または管理するオペレータに知らせることができる。従って、加工室３内に残った加工粉塵が排気装置１４から排出されず、フィルム基板１が汚れることを未然に防止できる。また、排気装置１４から排気されなかった空気が加工室３内に充満することによって、加工室３内に加工粉塵が充満することも同様に未然に防止できる。このような状態では、排気装置１４に取付けられたフィルタ１５が目詰まりしている。そのため、フィルタ１５を交換する必要のあるタイミングを知ることができる。
【００３６】
本発明の実施形態のレーザ加工装置２では、フィルタ１５に生じる差圧を差圧センサ１６によって直接的に測定しており、フィルタ１５の目詰まりによる流量変化を正確に測定できる。
【００３７】
本発明の実施形態のレーザ加工装置２では、加工粉塵をほとんど含んでいない綺麗な流体の流れが、加工面６の裏面側にある加工ステージ５の背面部５ｂ側で確保されて、加工ステージ５の背面部５ｂ側近傍でフィルム基板１に加工粉塵が付着することを確実に防止できる。
【００３８】
本発明の実施形態のレーザ加工装置２では、第一の流路２３および第二の流路２４によって、加工粉塵をほとんど含んでいない綺麗な流体の流れと加工粉塵を含む流体の流れとを確実に分離できる。従って、加工ステージ５の背面部５ｂ側で発生する綺麗な流体の流れを確保でき、加工ステージ５の背面部５ｂ側近傍でフィルム基板１に加工粉塵が付着することをより確実に防止できる。
【００３９】
本発明の実施形態のレーザ加工装置２では、加工粉塵をほとんど含んでいない綺麗な流体の流れと加工粉塵を含む流体の流れとの合流する箇所が、排気装置１４付近となっている。そのため、加工粉塵をほとんど含んでいない綺麗な流体の流れと加工粉塵を含む流体の流れとが、加工室３から排気される直前まで分離された状態を維持できる。従って、加工ステージ５の背面部５ｂ側で発生する綺麗な流体の流れをより確保でき、加工ステージ５の背面部５ｂ側近傍でフィルム基板１に加工粉塵が付着することをより確実に防止できる。
【００４０】
ここまで発明の実施形態について述べたが、本発明は既述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形および変更が可能である。
【００４１】
例えば、本発明の実施形態における第一変形例として、アラーム音を発する出力手段が、レーザ加工装置２を操作または管理するオペレータの五感で知覚可能なものであれば、その他のものであってもよい。ディスプレイなどに警告表示することも可能である。
【００４２】
例えば、本発明の実施形態における第二変形例として、外気流入装置の設置数を１個または３個以上とし、排気装置の設置数を２個以上としてもよい。
【００４３】
本発明の実施形態における第三変形例として、気流遮断機構の設置数を１個〜２個、または４個以上としてもよい。
【００４４】
本発明の実施形態における第四変形例として、加工室３内でフィルム基板１の搬送される方向が上下方向以外であってもよい。フィルム基板１が、加工室３内の左右方向に搬送されてもよく、加工室３内の前後方向に搬送されてもよい。
【００４５】
本発明の実施形態における第五変形例として、フィルム基板１が、巻出しローラ１１から巻取りローラ１２まで搬送される方式以外であってもよい。フィルム基板１を固定してレーザ加工を行うような方式にも用いることができる。
【００４６】
本発明の実施形態における第六変形例として、第一気流遮断機構７ａ、第二気流遮断機構７ｂ、第三気流遮断機構７ｃが、変形可能な構造に構成してもよく、可撓性のある変形可能な材料から構成されてもよい。加工室３内の流体の経路を適宜調節できる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態におけるレーザ加工装置の加工室内部を示す概略斜視図である。
【図２】（ａ）は、本発明の実施形態におけるレーザ加工装置の概略正面図である。（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図３】流体のフィルタの目詰まりによる流量変化前後の差圧とフィルタ通過後の流体の流量との関係を表す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  フィルム基板
２  レーザ加工装置
３  加工室
３ａ  天井面
３ｂ  右側面
３ｃ  左側面
３ｄ  底面
３ｅ  前側面
３ｆ  後側面
４  搬入口
５  加工ステージ
５ａ  右側面
５ｂ  背面部
５ｃ  下側部
５ｄ  前側部
５ｅ  後側部
５ｆ  上側部
６  加工面
７ａ  第一気流遮断機構
７ｂ  第二気流遮断機構
７ｃ  第三気流遮断機構
８  フィードローラ
９  搬出口
１０  ローラ
１１  巻出しローラ
１２  巻取りローラ
１３ａ  第一外気流入装置
１３ｂ  第二外気流入装置
１４  排気装置
１５  フィルタ
１６  差圧センサ
１７  制御部
１８  ガルバノスキャナ
１９  加工用レーザ光
２０  レーザ発信器
２１  通気口
２２  上側開口
２３  第一の流路
２４  第二の流路
Ｕｐ，Ｌｗ，Ｆｔ，Ｒｒ，Ｌｆ，Ｒｔ  矢印
Ｄ  矢印
Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，α  流量
Ｐ  差圧
Ｐ１  限界差圧
Ｐ２  管理差圧
Ｘ，Ｙ  斜線部
【図１】
2009172654.tif 000003
【図２】
2009172654.tif 000004
【図３】
2009172654.tif 000005