(57)【要約】【課題】液晶パネルなどの表示装置の欠陥評価を精度良く行うことができる表示欠陥評価装置を提供すること。【解決手段】表示欠陥評価装置１は、ランプ１１と、ランプ１１の光を予め設定された比率で分離するビームスプリッタ１２と、分離された一方の光を検査用パネル２に入射するミラー１３と、疑似欠陥表示用パネル１５と、分離された他方の光を疑似欠陥表示用パネル１５に入射するミラー１４と、各パネル２，１５から出射された光を合成するプリズム１６と、プリズム１６から出射された光を投影する投影レンズ１７と、制御装置１８を備える。制御装置１８は、各パネル２，１５を制御するパネル制御手段１８１と、検査用パネルの欠陥候補の透過率を検査用パネル２の透過率と疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥２２の透過率とから求める透過率算出手段１８２と、前記欠陥候補の透過率に基づいて欠陥候補の欠陥を判定する欠陥判定手段１８３とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象となる検査用パネルに第１の光を供給する第１光源手段と、
疑似欠陥を表示するために用いられる疑似欠陥表示用パネルと、
前記疑似欠陥表示用パネルに第１の光に対して予め設定された比率に調整された第２の光を供給する第２光源手段と、
前記検査用パネルから出射される光と、前記疑似欠陥表示用パネルから出射される光を合成する光合成手段と、
前記光合成手段で合成された光を投影する投影手段と、
前記検査用パネルおよび疑似欠陥表示用パネルの駆動を制御するパネル制御手段と、
前記検査用パネルに生じた欠陥候補の輝度に、疑似欠陥表示用パネルで表示される疑似欠陥の輝度を合わせた際のパネル制御手段の制御量に基づいて欠陥候補の透過率を求める透過率算出手段と、
前記透過率算出手段で算出された欠陥候補の透過率に基づいて欠陥候補の欠陥を判定する欠陥判定手段と、
を備えることを特徴とする表示欠陥評価装置。
【請求項２】
光源と、
前記光源からの光を、２つの光に予め設定された比率で分離するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタで分離された一方の光である第１の光を、検査対象となる検査用パネルに入射する第１ミラーと、
疑似欠陥を表示するために用いられる疑似欠陥表示用パネルと、
前記ビームスプリッタで分離された他方の光である第２の光を、前記疑似欠陥表示用パネルに入射する第２ミラーと、
前記検査用パネルおよび疑似欠陥表示用パネルから出射された光を合成するプリズムと、
前記プリズムから出射された光を投影する投影レンズと、
前記検査用パネルおよび疑似欠陥表示用パネルの駆動を制御するパネル制御手段と、
前記検査用パネルに生じた欠陥候補の輝度に、疑似欠陥表示用パネルで表示される疑似欠陥の輝度を合わせた際のパネル制御手段の制御量に基づいて欠陥候補の透過率を求める透過率算出手段と、
前記透過率算出手段で算出された欠陥候補の透過率に基づいて欠陥候補の欠陥を判定する欠陥判定手段と、
を備えることを特徴とする表示欠陥評価装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の表示欠陥評価装置において、
前記パネル制御手段は、
検査用パネルの欠陥候補が顕在化する階調で前記検査用パネルを駆動し、
前記欠陥候補が周囲の画素よりも輝度が高い白欠陥の場合には、前記疑似欠陥表示用パネルを全黒表示するとともに、前記欠陥候補の近傍に表示される疑似欠陥部分の画素のみ輝度値を変化させ、
前記欠陥候補が周囲の画素よりも輝度が低い黒欠陥の場合には、前記疑似欠陥表示用パネルを全白表示するとともに、前記欠陥候補の近傍に表示される疑似欠陥部分の画素のみ輝度値を変化させる
ことを特徴とする表示欠陥評価装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の表示欠陥評価装置において、
前記透過率算出手段は、
前記パネル制御手段で前記検査用パネルを駆動した制御量に基づいて検査用パネルの疑似欠陥部分の透過率である背景透過率を算出し、
前記パネル制御手段で前記疑似欠陥表示用パネルの疑似欠陥部分を駆動した制御量に基づいて疑似欠陥部分の透過率である欠陥透過率を算出し、
前記検査用パネルに生じた欠陥候補の輝度に、疑似欠陥表示用パネルで表示される疑似欠陥の輝度を合わせた際の前記背景透過率および欠陥透過率を加算して投影された疑似欠陥部分の透過率を求め、この透過率を欠陥候補の透過率とすることを特徴とする表示欠陥評価装置。
【請求項５】
検査対象となる検査用パネルを駆動し、検査用パネルによって表示される検査画像をスクリーンに投影する検査画像表示工程と、
疑似欠陥を表示するために用いられる疑似欠陥表示用パネルを駆動し、疑似欠陥表示用パネルによって表示される疑似欠陥表示画像を前記検査画像に重ね合わせてスクリーンに投影し、前記検査画像の欠陥候補の近傍に疑似欠陥を表示する疑似欠陥表示工程と、
前記疑似欠陥表示用パネルを制御して前記疑似欠陥の輝度を変化させ、前記検査画像の欠陥候補の輝度と合わせる輝度合わせ工程と、
前記輝度合わせ工程において、欠陥候補の輝度に疑似欠陥の輝度を合わせた際の前記検査用パネルおよび疑似欠陥表示用パネルの制御量に基づいて疑似欠陥部分の透過率を求め、この透過率を欠陥候補の透過率とする透過率算出工程と、
前記透過率算出工程で算出された透過率に基づいて欠陥候補の欠陥を判定する欠陥判定工程と、
を備えることを特徴とする表示欠陥評価方法。
【請求項６】
請求項５に記載の表示欠陥評価方法において、
前記検査画像表示工程は、検査用パネルの欠陥候補が顕在化する階調で前記検査用パネルを駆動して検査画像を表示し、
前記疑似欠陥表示工程は、
前記欠陥候補が周囲の画素よりも輝度が高い白欠陥の場合には、前記疑似欠陥表示用パネルを全黒表示するとともに、前記欠陥候補の近傍に表示される疑似欠陥部分の画素のみ輝度値を変化させて疑似欠陥を表示し、
前記欠陥候補が周囲の画素よりも輝度が低い黒欠陥の場合には、前記疑似欠陥表示用パネルを全白表示するとともに、前記欠陥候補の近傍に表示される疑似欠陥部分の画素のみ輝度値を変化させて疑似欠陥を表示する
ことを特徴とする表示欠陥評価方法。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の表示欠陥評価方法において、
前記輝度合わせ工程は、
検査員が検査候補および疑似欠陥を視認しながら欠陥候補の輝度を変化させ、検査員の目視評価によって、疑似欠陥の輝度を欠陥候補の輝度に合わせる
ことを特徴とする表示欠陥評価方法。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれかに記載の表示欠陥評価方法において、
前記透過率算出工程は、
前記パネル制御手段で前記検査用パネルを駆動した制御量に基づいて検査用パネルの疑似欠陥部分の透過率である背景透過率を算出し、
前記パネル制御手段で前記疑似欠陥表示用パネルの疑似欠陥部分を駆動した制御量に基づいて疑似欠陥部分の透過率である欠陥透過率を算出し、
前記検査用パネルに生じた欠陥候補の輝度に、疑似欠陥表示用パネルで表示される疑似欠陥の輝度を合わせた際の前記背景透過率および欠陥透過率を加算して投影された疑似欠陥部分の透過率を求め、この透過率を欠陥候補の透過率とする
ことを特徴とする表示欠陥評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルなどの表示デバイス及びその応用製品であるプロジェクタなどの表示装置において、表示欠陥を評価する表示欠陥評価装置および表示欠陥評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの欠陥を評価する方法としては、検査対象の液晶パネルを、ＮＤ（Neutral Density）フィルタを用いて視認し、欠陥部分の透過レベルを評価する方法（特許文献１の［従来の技術］参照）や、検査中の液晶パネルの欠陥の周囲に比較用の疑似欠陥を表示し、疑似欠陥の透過率が欠陥の透過率と同等になるように、液晶パネルの印加電圧−透過率特性（Ｖ−Ｔ特性）を参照して印加電圧を調整し、透過レベルを評価する方法が提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２５７６３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ＮＤフィルタを用いて評価する場合、光源の光量、測定者の視覚感度、ＮＤ値の一つでも変動すると、その変動の影響で正確な判定結果が得られないという問題点があった。
また、特許文献１に記載の発明のように、欠陥候補の周囲に疑似欠陥を表示して評価する場合、同一のパネルに対して疑似欠陥を表示しているため、微小に輝度変化させた疑似欠陥を表示することが困難であり、評価方法の精度が低かった。すなわち、表示パネルの分解能は、通常、２５６階調（８ビット）程度であるが、輝度に対する人間の視覚感度は１０００〜２０００階調程度と高感度である。このため、検査員が目視しながら疑似欠陥部分の画素の印加電圧を制御してその透過率を実際の欠陥候補の透過率に合わせようとしても、十分に合わせることができず、精度の高い評価を行うことができなかった。
【０００５】
本発明の目的は、液晶パネルなどの表示装置の欠陥評価を精度良く行うことができる表示欠陥評価装置および表示欠陥評価方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の表示欠陥評価装置は、検査対象となる検査用パネルに第１の光を供給する第１光源手段と、疑似欠陥を表示するために用いられる疑似欠陥表示用パネルと、前記疑似欠陥表示用パネルに第１の光に対して予め設定された比率に調整された第２の光を供給する第２光源手段と、前記検査用パネルから出射される光と、前記疑似欠陥表示用パネルから出射される光を合成する光合成手段と、前記光合成手段で合成された光を投影する投影手段と、前記検査用パネルおよび疑似欠陥表示用パネルの駆動を制御するパネル制御手段と、前記検査用パネルに生じた欠陥候補の輝度に、疑似欠陥表示用パネルで表示される疑似欠陥の輝度を合わせた際のパネル制御手段の制御量に基づいて欠陥候補の透過率を求める透過率算出手段と、前記透過率算出手段で算出された欠陥候補の透過率に基づいて欠陥候補の欠陥を判定する欠陥判定手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の表示欠陥評価装置は、光源と、前記光源からの光を、２つの光に予め設定された比率で分離するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタで分離された一方の光である第１の光を、検査対象となる検査用パネルに入射する第１ミラーと、疑似欠陥を表示するために用いられる疑似欠陥表示用パネルと、前記ビームスプリッタで分離された他方の光である第２の光を、前記疑似欠陥表示用パネルに入射する第２ミラーと、前記検査用パネルおよび疑似欠陥表示用パネルから出射された光を合成するプリズムと、前記プリズムから出射された光を投影する投影レンズと、前記検査用パネルおよび疑似欠陥表示用パネルの駆動を制御するパネル制御手段と、前記検査用パネルに生じた欠陥候補の輝度に、疑似欠陥表示用パネルで表示される疑似欠陥の輝度を合わせた際のパネル制御手段の制御量に基づいて欠陥候補の透過率を求める透過率算出手段と、前記透過率算出手段で算出された欠陥候補の透過率に基づいて欠陥候補の欠陥を判定する欠陥判定手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
これらの本発明では、検査用パネルの他に疑似欠陥表示用パネルを用意し、各パネルによる画像を重ね合わせて投影しているので、疑似欠陥表示用パネルによって表示される疑似欠陥の輝度（透過率）の階調をより細かく制御することができる。
例えば、検査用パネルおよび疑似欠陥表示用パネルがそれぞれ２５６階調で制御できる場合、所定の光源からの光を検査用パネルのみに供給し、検査用パネルに疑似欠陥を表示しても、疑似欠陥は２５６階調でしか調整できない。
一方、本発明では、光源からの光をハーフミラーで５０％ずつに分離し、第１および第２の光を１：１の比率とした場合、疑似欠陥表示用パネルは５０％の光量変化領域を２５６階調で変化させることができるので、５１２階調に相当する細かさで階調を変化させることができる。従って、検査用パネルの欠陥候補の輝度に、疑似欠陥の輝度を合わせる場合に、疑似欠陥の輝度を従来に比べて細かく制御できるため、精度良く合わせることができる。従って、疑似欠陥の透過率によって求められる欠陥候補の透過率も高い分解能で求めることができ、欠陥候補を精度良く評価できる。
【０００９】
本発明において、前記パネル制御手段は、検査用パネルの欠陥候補が顕在化する階調で前記検査用パネルを駆動し、前記欠陥候補が周囲の画素よりも輝度が高い白欠陥の場合には、前記疑似欠陥表示用パネルを全黒表示するとともに、前記欠陥候補の近傍に表示される疑似欠陥部分の画素のみ輝度値を変化させ、前記欠陥候補が周囲の画素よりも輝度が低い黒欠陥の場合には、前記疑似欠陥表示用パネルを全白表示するとともに、前記欠陥候補の近傍に表示される疑似欠陥部分の画素のみ輝度値を変化させることが好ましい。
なお、検査用パネルの欠陥候補が顕在化する階調で前記検査用パネルを駆動するとは、検査用パネル全体を同じ階調で駆動した際に、周囲の画素の輝度に比べて欠陥候補の輝度の相違が大きくなり、欠陥候補の存在が最も明確になる階調（印加電圧）で検査用パネルを駆動することを意味する。
【００１０】
このような構成によれば、白欠陥や黒欠陥の欠陥候補の透過率を、従来に比べて精度良く検出でき、表示欠陥の評価を精度良く行うことができる。
【００１１】
本発明において、前記透過率算出手段は、前記パネル制御手段で前記検査用パネルを駆動した制御量に基づいて検査用パネルの疑似欠陥部分の透過率である背景透過率を算出し、前記パネル制御手段で前記疑似欠陥表示用パネルの疑似欠陥部分を駆動した制御量に基づいて疑似欠陥部分の透過率である欠陥透過率を算出し、前記検査用パネルに生じた欠陥候補の輝度に、疑似欠陥表示用パネルで表示される疑似欠陥の輝度を合わせた際の前記背景透過率および欠陥透過率を加算して投影された疑似欠陥部分の透過率を求め、この透過率を欠陥候補の透過率とすることが好ましい。
【００１２】
このような構成によれば、背景透過率および欠陥透過率を加算して疑似欠陥部分の透過率を求め、この透過率を欠陥候補の透過率としているため、欠陥候補の透過率を簡単に求めることができる。
【００１３】
本発明の表示欠陥評価方法は、検査対象となる検査用パネルを駆動し、検査用パネルによって表示される検査画像をスクリーンに投影する検査画像表示工程と、疑似欠陥を表示するために用いられる疑似欠陥表示用パネルを駆動し、疑似欠陥表示用パネルによって表示される疑似欠陥表示画像を前記検査画像に重ね合わせてスクリーンに投影し、前記検査画像の欠陥候補の近傍に疑似欠陥を表示する疑似欠陥表示工程と、前記疑似欠陥表示用パネルを制御して前記疑似欠陥の輝度を変化させ、前記検査画像の欠陥候補の輝度と合わせる輝度合わせ工程と、前記輝度合わせ工程において、欠陥候補の輝度に疑似欠陥の輝度を合わせた際の前記検査用パネルおよび疑似欠陥表示用パネルの制御量に基づいて疑似欠陥部分の透過率を求め、この透過率を欠陥候補の透過率とする透過率算出工程と、前記透過率算出工程で算出された透過率に基づいて欠陥候補の欠陥を判定する欠陥判定工程と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明においても、前記表示欠陥評価装置と同じく、検査用パネルの他に疑似欠陥表示用パネルを用意し、各パネルによる画像を重ね合わせて投影しているので、疑似欠陥表示用パネルによって表示される疑似欠陥の輝度（透過率）の階調をより細かく制御できる。従って、検査用パネルの欠陥候補の輝度に、疑似欠陥の輝度を合わせる場合に、疑似欠陥の輝度を従来に比べて細かく制御できるため、精度良く合わせることができ、欠陥候補を精度良く評価できる。
【００１５】
本発明において、前記検査画像表示工程は、検査用パネルの欠陥候補が顕在化する階調で前記検査用パネルを駆動して検査画像を表示し、前記疑似欠陥表示工程は、前記欠陥候補が周囲の画素よりも輝度が高い白欠陥の場合には、前記疑似欠陥表示用パネルを全黒表示するとともに、前記欠陥候補の近傍に表示される疑似欠陥部分の画素のみ輝度値を変化させて疑似欠陥を表示し、前記欠陥候補が周囲の画素よりも輝度が低い黒欠陥の場合には、前記疑似欠陥表示用パネルを全白表示するとともに、前記欠陥候補の近傍に表示される疑似欠陥部分の画素のみ輝度値を変化させて疑似欠陥を表示することが好ましい。
【００１６】
このような構成によれば、白欠陥や黒欠陥の欠陥候補の透過率を、従来に比べて精度良く検出でき、表示欠陥の評価を精度良く行うことができる。
【００１７】
本発明において、前記輝度合わせ工程は、検査員が検査候補および疑似欠陥を視認しながら欠陥候補の輝度を変化させ、検査員の目視評価によって、疑似欠陥の輝度を欠陥候補の輝度に合わせることが好ましい。
【００１８】
このような構成によれば、検査員の目視評価で輝度合わせを行っているので、非常に高精度の輝度合わせを行うことができる。
【００１９】
本発明において、前記透過率算出工程は、前記パネル制御手段で前記検査用パネルを駆動した制御量に基づいて検査用パネルの疑似欠陥部分の透過率である背景透過率を算出し、前記パネル制御手段で前記疑似欠陥表示用パネルの疑似欠陥部分を駆動した制御量に基づいて疑似欠陥部分の透過率である欠陥透過率を算出し、前記検査用パネルに生じた欠陥候補の輝度に、疑似欠陥表示用パネルで表示される疑似欠陥の輝度を合わせた際の前記背景透過率および欠陥透過率を加算して投影された疑似欠陥部分の透過率を求め、この透過率を欠陥候補の透過率とすることが好ましい。
【００２０】
このような構成によれば、背景透過率および欠陥透過率を加算して疑似欠陥部分の透過率を求め、この透過率を欠陥候補の透過率としているため、欠陥候補の透過率を簡単に求めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
〔表示パネルの表示欠陥評価装置の構成〕
図１に示すように、本実施形態の表示欠陥評価装置１は、検査対象となる検査用パネル２の表示欠陥を評価するものである。検査用パネル２の表示欠陥とは、検査用パネル２において周囲の画素に比べて透過率が異なる部分である。すなわち、周囲の画素に比べて透過率が高い部分の輝度は、周囲の輝度よりも高くなるため白欠陥となる。また、周囲の画素に比べて透過率の低い部分の輝度は、周囲の輝度よりも低くなるため黒欠陥となる。
本実施形態の表示欠陥評価装置１は、検査用パネル２において、欠陥部分があればその透過率を求めて欠陥を評価するものである。
【００２２】
表示欠陥評価装置１は、ランプ（光源）１１と、ランプ１１の光を透過および反射するビームスプリッタ１２と、前記ビームスプリッタ１２を透過した光および反射した光を反射するミラー１３，１４と、ミラー１４で反射された光の経路に配置された疑似欠陥表示用パネル１５と、疑似欠陥表示用パネル１５を透過した光と、ミラー１３で反射された光の経路に配置された検査用パネル２を透過した光とを合成するプリズム１６と、プリズム１６で合成された光を投影する投影レンズ１７と、制御装置１８を備える。
そして、投影レンズ１７を介して投影された光（画像）は、スクリーン１９に投影され、検査員が目視評価できるようになっている。
【００２３】
本実施形態のビームスプリッタ１２は、ランプ１１からの光を５０％透過し、５０％反射するハーフミラーが用いられている。
検査用パネル２および疑似欠陥表示用パネル１５は、それぞれアクティブマトリックス駆動型の透過型液晶パネルで構成されている。このため、制御装置１８は、各検査用パネル２および疑似欠陥表示用パネル１５の各画素の透過率を制御可能に構成されている。
【００２４】
従って、前記ランプ１１、ビームスプリッタ１２、ミラー（第１ミラー）１３によって、検査用パネル２に第１の光を供給する第１光源手段が構成され、ランプ１１、ビームスプリッタ１２、ミラー（第２ミラー）１４によって、疑似欠陥表示用パネル１５に第２の光を供給する第２光源手段が構成されている。また、本実施形態では、第１の光および第２の光の各光量は、１：１の割合に設定されている。
さらに、前記プリズム１６によって、検査用パネル２および疑似欠陥表示用パネル１５からそれぞれ出射される光を合成する光合成手段が構成されている。
また、投影レンズ１７によって光合成手段であるプリズム１６で合成された光をスクリーン１９に投影する投影手段が構成されている。
【００２５】
このような構成の表示欠陥評価装置１において、ランプ１１から照射された光は、ビームスプリッタ１２を介して分離され、ビームスプリッタ１２を透過した一方の光はミラー１３で反射されて検査用パネル２を介してプリズム１６に入射される。また、ビームスプリッタ１２で反射された他方の光はミラー１４で反射されて疑似欠陥表示用パネル１５を介してプリズム１６に入射される。
これらの各光はプリズム１６で合成され、投影レンズ１７を介してスクリーン１９に拡大投影される。
【００２６】
［制御装置の構成］
制御装置１８は、パネル制御手段１８１と、透過率算出手段１８２と、欠陥判定手段１８３とを備える。
【００２７】
［パネル制御手段の構成］
パネル制御手段１８１は、検査用パネル２および疑似欠陥表示用パネル１５に印加する電圧をコントロールすることで、各パネル２，１５の駆動つまり各パネル２，１５の階調（明るさの変化）を制御するものである。
また、パネル制御手段１８１は、検査員が各パネルの２，１５の駆動を操作可能な入力装置が接続されており、検査員がスクリーン１９に投影される画像を見ながら各パネル２，１５の階調を操作できるようにされている。
【００２８】
そして、図２に示すように、検査用パネル２に欠陥候補２１が存在し、スクリーン１９に投影された画像にも、周囲の画素に対して輝度が異なる欠陥部分２１Ａが存在する場合、パネル制御手段１８１は、疑似欠陥表示用パネル１５に疑似欠陥２２を表示する。
各パネル２，１５を透過した光はプリズム１６で合成されてスクリーン１９に投影されるため、疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥２２による疑似欠陥部分２２Ａを欠陥部分２１Ａに近接して表示できる。
例えば、検査用パネル２の階調を、欠陥部分２１Ａが顕在化するグレー階調とし、欠陥部分２１Ａが周囲の画素よりも輝度が高い白欠陥の場合は、疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥２２を除き、全黒状態つまりランプ１１からの光を透過させない状態にする。この場合、スクリーン１９には、検査用パネル２の画像が投影されるが、疑似欠陥２２部分のみは光が透過して合成されるため、対応する疑似欠陥部分２２Ａの輝度を高くでき、欠陥部分２１Ａと同程度の輝度に調整できる。
【００２９】
本実施形態のパネル制御手段１８１は、各パネル２，１５を８ビットの制御信号で制御する。つまり、各パネル２，１５は２５６階調で制御される。
この際、パネル制御手段１８１は、各パネル２，１５の印加電圧を２５６段階に等分して制御する印加電圧基準制御方式と、各パネル２，１５の階調を２５６段階に等分して制御する階調基準制御方式とのいずれかでパネル２，１５を制御する。
【００３０】
印加電圧基準制御方式とは、各パネル２，１５が全黒状態となる電圧と、全白状態となる電圧との間を２５６段階に等分して制御するものである。
一方、階調基準制御方式とは、各パネル２，１５が全黒状態となる階調（透過率０％）と、全白状態となる階調（透過率１００％）との間を２５６段階に等分して制御するものであり、実際に各パネル２，１５に加える印加電圧は、各パネル２，１５のＶ−Ｔ特性（電圧−透過率特性）を参照して求めている。
【００３１】
印加電圧基準制御方式は、パネル２，１５の印加電圧を直接制御しているので、階調基準制御方式のようにＶ−Ｔ特性を参照して印加電圧を換算する必要がない点で容易に制御できる。また、印加電圧基準制御方式は、各パネル２，１５のＶ−Ｔ特性が電圧変化に対して透過率が直線的に変化するものではないため、電圧を等間隔で変化させても透過率の変化割合が一定にはならない。
一方、階調基準制御方式は、透過率を一定間隔で変化させることができるが、選択した透過率を印加電圧に換算するため、Ｖ−Ｔ特性に基づく変換テーブルなどが必要となる。
従って、実施時には、これらの特徴を考慮して制御方式を選択すればよい。
【００３２】
［透過率算出手段の構成］
透過率算出手段１８２は、パネル制御手段１８１の各パネル２，１５の制御量に基づいて透過率を算出するものである。すなわち、スクリーン１９には、各パネル２，１５を透過した画像が合成して表示されるため、疑似欠陥部分２２Ａの透過率は、検査用パネル２の該当部分の透過率（背景透過率）と、疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥２２の透過率（欠陥透過率）とを加算したものになる。
すなわち、疑似欠陥部分２２Ａの透過率＝背景透過率＋欠陥透過率である。
【００３３】
背景透過率は、検査用パネル２の欠陥候補２１以外の透過率であるため、検査用パネル２の駆動制御量で求められる。つまり、印加電圧基準制御方式で制御している場合には、印加電圧およびＶ−Ｔ特性から透過率を求めることができ、階調基準制御方式は制御階調がそのまま透過率になる。
同様に、疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥２２の透過率は、疑似欠陥２２部分の駆動制御量によって求められる。
そして、疑似欠陥部分２２Ａの輝度が、欠陥部分２１Ａと同じとなるように、検査員が操作すれば、その場合の疑似欠陥部分２２Ａの透過率が、欠陥部分２１Ａつまり欠陥候補２１の透過率となる。
【００３４】
［欠陥判定手段の構成］
欠陥判定手段１８３は、透過率算出手段１８２で算出された欠陥候補２１の透過率を、予め設定された欠陥判定透過率閾値と比較し、閾値を超える場合に、欠陥候補２１は欠陥であると判定する。なお、欠陥判定透過率閾値は、白欠陥用および黒欠陥用がそれぞれ用意されている。
そして、欠陥判定手段１８３は、欠陥候補２１が白欠陥の場合には、欠陥候補２１の透過率が白欠陥用の欠陥判定透過率閾値よりも大きい場合に欠陥であると判定する。
また、欠陥判定手段１８３は、欠陥候補２１が黒欠陥の場合には、欠陥候補２１の透過率が黒欠陥用の欠陥判定透過率閾値よりも小さい場合に欠陥であると判定する。
【００３５】
〔検査用パネルの表示欠陥評価方法〕
次に、検査用パネル２の表示欠陥評価方法について図３のフローチャートを参照して説明する。
【００３６】
［疑似欠陥表示用パネル駆動工程］
図３に示すように、制御装置１８は、表示欠陥評価処理が開始されると、パネル制御手段１８１を用いて疑似欠陥表示用パネル１５を駆動する（Ｓ１）。ここで、白欠陥の評価を行う場合、パネル制御手段１８１は、疑似欠陥表示用パネル１５を全黒表示とする。一方、黒欠陥の評価を行う場合、パネル制御手段１８１は、疑似欠陥表示用パネル１５を全白表示とする。
【００３７】
［検査画像表示工程］
次に、パネル制御手段１８１は、検査用パネル２を駆動してスクリーン１９に検査用パネル２の画像を投影し、検査員の目視検査等によって欠陥候補２１が存在すると判明した場合には、前記欠陥候補２１による欠陥部分２１Ａが最も顕在化する階調で検査用パネル２を駆動して検査画像をスクリーン１９に表示する（Ｓ２）。
なお、欠陥候補２１の存在の有無は、例えば、検査用パネル２を中間輝度（透過率）で駆動してスクリーン１９に画像を投影し、検査員が目視により、輝度が周囲の画素と異なる部分があると判断できれば、欠陥候補２１が存在すると判断すればよい。
【００３８】
［疑似欠陥表示工程］
次に、検査員は、パネル制御手段１８１を用いて疑似欠陥表示用パネル１５に疑似欠陥２２を表示する（Ｓ３）。すなわち、検査用パネル２を透過する光と、疑似欠陥表示用パネル１５を透過する光はプリズム１６で合成されているため、疑似欠陥表示用パネル１５に疑似欠陥２２を表示することで、図２に示すように、スクリーン１９に投影される画像において、前記検査用パネル２の欠陥部分２１Ａの近傍に、疑似欠陥表示用パネル１５による疑似欠陥部分２２Ａを表示することができる。
【００３９】
ここで、白欠陥の評価を行う場合は、パネル制御手段１８１は、全黒表示に制御した疑似欠陥表示用パネル１５の中で、スクリーン１９に投影された画像において前記欠陥部分２１Ａの近傍に位置する画素部分のみ透過率を変化させることで疑似欠陥部分２２Ａを表示する。
これにより、図４に示すように、疑似欠陥部分２２Ａの階調を、５１２階調に相当する細かさで制御できる。すなわち、従来のように、疑似欠陥を検査用パネル２に表示した場合には、図４の左側に表示された「検査パネルのみ」のように、疑似欠陥の階調は検査用パネル２の階調つまり２５６階調となる。このため、最小分解能も１／２５６になり、実際の欠陥候補２１の階調に疑似欠陥の階調を一致させることが難しい。
一方、本実施形態では、ランプ１１からの光を分離し、検査用パネル２および疑似欠陥表示用パネル１５を介して合成しているので、検査用パネル２の２５６階調と疑似欠陥表示用パネル１５の２５６階調を加算し、あわせて５１２階調に変化できる。このため、最小分解能も１／５１２となり、検査用パネル２のみを用いた場合の１／２の分解能にできる。このため、検査用パネル２を欠陥部分２１Ａが最も顕在化する階調に制御した状態で、疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥２２部分の階調（透過率）を調整すれば、疑似欠陥部分２２Ａ部分の階調を従来に比べてより細かく調整でき、欠陥部分２１Ａの輝度にも一致させやすくすることができる。
【００４０】
一方、黒欠陥の評価を行う場合は、パネル制御手段１８１は、全白表示に制御した疑似欠陥表示用パネル１５の中で、スクリーン１９に投影された画像において前記欠陥部分２１Ａの近傍に位置する画素部分のみ透過率を変化させることで疑似欠陥部分２２Ａを表示する。
この場合も、図５に示すように、疑似欠陥部分２２Ａの階調を、５１２階調に相当する細かさで制御できる。すなわち、疑似欠陥を検査用パネル２に表示した場合には、図５の左側に表示された「検査パネルのみ」のように、疑似欠陥の階調は２５６階調となり、最小分解能も１／２５６になり、実際の欠陥候補２１の階調に疑似欠陥の階調を一致させることが難しい。
一方、本実施形態では、ランプ１１からの光を分離し、検査用パネル２および疑似欠陥表示用パネル１５を介して合成しているので、検査用パネル２の２５６階調と疑似欠陥表示用パネル１５の２５６階調を加算し、あわせて５１２階調に変化できる。このため、最小分解能も１／５１２となり、検査用パネル２のみを用いた場合の１／２の分解能にできる。このため、検査用パネル２を欠陥部分２１Ａが最も顕在化する階調に制御した状態で、疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥２２部分の階調（透過率）を調整すれば、疑似欠陥部分２２Ａ部分の階調を従来に比べてより細かく調整でき、欠陥部分２１Ａの輝度にも一致させやすくすることができる。
【００４１】
［輝度合わせ工程］
次に、検査員は、スクリーン１９に投影された画像を見ながら、パネル制御手段１８１を操作して、欠陥部分２１Ａの輝度（透過率）に、疑似欠陥部分２２Ａの輝度（透過率）を一致させる輝度合わせを行う（Ｓ４）。すなわち、検査員は、パネル制御手段１８１を操作し、疑似欠陥２２の画素のみ電圧を変化させて疑似欠陥部分２２Ａの輝度値を変化させ、欠陥部分２１Ａの輝度値と一致させる。
【００４２】
［透過率算出工程］
次に、制御装置１８の透過率算出手段１８２は、欠陥部分２１Ａの輝度と疑似欠陥部分２２Ａの輝度が同等になったときの透過率を算出する（Ｓ５）。具体的には、検査員が目視検査で、欠陥部分２１Ａおよび疑似欠陥部分２２Ａの輝度が一致したと判断した際に、所定の操作を入力することで、透過率算出手段１８２は透過率を算出する。
そして、透過率算出手段１８２は、前述したように、背景透過率と欠陥透過率とを求めて加算し、疑似欠陥部分２２Ａの透過率つまり欠陥部分２１Ａの透過率を算出する。
【００４３】
［欠陥判定工程］
次に、制御装置１８の欠陥判定手段１８３は、Ｓ５で算出した透過率を、予め設定しておいた欠陥判定透過率閾値と比較し、閾値を超える場合に検査用パネル２の欠陥候補は欠陥であると判定する（Ｓ６）。
すなわち、白欠陥の場合には、欠陥部分の透過率は周囲の画素に比べて高くなるため、欠陥判定手段１８３は、Ｓ５で算出した透過率が予め設定しておいた白欠陥用の欠陥判定透過率閾値よりも大きい場合に欠陥であると判定する。
一方、黒欠陥の場合には、欠陥部分の透過率は周囲の画素に比べて低くなるため、欠陥判定手段１８３は、Ｓ５で算出した透過率が予め設定しておいた黒欠陥用の欠陥判定透過率閾値よりも小さい場合に欠陥であると判定する。
【００４４】
上述した本実施形態によれば、次のような効果を奏することができる。
（１）従来のように、検査用パネル２に直接疑似欠陥を表示するのではなく、検査用パネル２とは別に設けた疑似欠陥表示用パネル１５に疑似欠陥２２を表示し、検査用パネル２および疑似欠陥表示用パネル１５による画像をプリズム１６で重ね合わせてスクリーン１９に投影しているため、疑似欠陥表示用パネル１５による疑似欠陥２２の輝度（透過率）の階調をより細かく制御することができる。
このため、スクリーン１９に投影された画像において、疑似欠陥部分２２Ａの輝度をより正確に検査用パネル２の欠陥部分２１Ａの輝度に合わせることができる。このため、疑似欠陥部分２２Ａの輝度つまりは欠陥候補２１の輝度（透過率）を従来に比べて精度良く検出でき、表示欠陥の評価を精度良く行うことができる。
【００４５】
（２）また、疑似欠陥部分２２Ａつまり欠陥部分２１Ａの階調（透過率）は、背景となる検査用パネル２の透過率と、疑似欠陥表示用パネル１５の疑似欠陥画素の透過率を加算すれば求められるので、容易に算出することができる。
【００４６】
（３）さらに、ランプ１１、ビームスプリッタ１２、プリズム１６、投影レンズ１７等の三板式プロジェクタ等に利用されている光学素子で表示欠陥評価装置１を構成できるので、表示欠陥評価装置１を安価に構成できる。
【００４７】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。第１実施形態では、ビームスプリッタ１２としてランプ１１からの光を半々に分離するハーフミラーを用いていたが、第２実施形態ではランプ１１からの光を１：４に分離するビームスプリッタ１２を用いた点が相違する。その他の構成は前記第１実施形態と同一であるため、説明を省略する。
【００４８】
本実施形態のビームスプリッタ１２は、ランプ１１の光の８０％を透過し、２０％を反射するものを利用している。このため、検査用パネル２には８０％の光が入射され、疑似欠陥表示用パネル１５には２０％の光が入射される。
そのため、図６に示すように、ランプ１１の光を検査用パネル２のみに入射した場合と比較すると、疑似欠陥表示用パネル１５は２０％の輝度変化領域を２５６段階の階調で変化させることができるため、最小階調つまり最小分解能は検査用パネル２のみで１００％変化させる場合に対して１／５にできる。従って、疑似欠陥画素の階調（透過率）を、２５６×５＝１２８０階調に相当する細かさで制御でき、欠陥部分２１Ａの輝度に対する疑似欠陥部分２２Ａの輝度合わせをより一層正確に行うことができ、欠陥候補２１をより高精度に評価できる。
【００４９】
〔変形例〕
なお、本発明を実施するための最良の構成などは、以上の記載で開示されているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、前記実施形態は、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００５０】
例えば、ビームスプリッタ１２による光の分離割合は、前記第１，２実施形態のものに限らず、他の割合でもよい。特に、疑似欠陥表示用パネル１５に入射する光の割合は、５０％〜１０％程度の範囲で制御すれば、比較的精度よく、かつ、効率的に欠陥候補の輝度に合わせることができる点で好ましい。
【００５１】
また、前記各実施形態では、ランプ１１からの光をビームスプリッタ１２で分離して、検査用パネル２および疑似欠陥表示用パネル１５に入射していたが、２つのランプ１１等の光源を設け、各ランプから各検査用パネル２、疑似欠陥表示用パネル１５に個別に光を入射してもよい。
但し、２つのランプ１１を設けた場合には、各ランプ１１からの光量の調整が必要となり、制御が煩雑になるため、前記各実施形態のようにビームスプリッタ１２を設けたほうが好ましい。
【００５２】
前記実施形態では、欠陥部分２１Ａおよび疑似欠陥部分２２Ａの各輝度を合わせる際に、検査員が目視で評価していたが、スクリーン１９に投影される画像をＣＣＤカメラなどで撮像し、画像処理を行うことで輝度合わせを行ってもよい。但し、通常は、検査員の目視評価のほうが感度が高いため、検査員が評価したほうが、より高精度に輝度合わせを行うことができる点で好ましい。
【００５３】
また、前記各実施形態では、検査用パネル２として透過型のパネルを用いていたが、LCOS(Liquid  Crystal  on  Silicon)等の反射型のパネルを用いてもよい。要するに、検査用パネル２と、疑似欠陥表示用パネル１５との２つのパネルを透過あるいは反射した光を、プリズム１６等で重ね合わせて（合成して）投影できるものであればよい。
さらに、本発明で検査される検査用パネル２は、液晶プロジェクタに用いられる液晶パネルに限らず、液晶フラットパネルディスプレイ（液晶ＦＰＤ）やリアプロジェクションテレビ等でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る表示欠陥評価装置の構成を示す図である。
【図２】第１実施形態の各パネルの画像の合成状態を説明する説明図である。
【図３】第１実施形態の表示欠陥評価方法を示すフローチャートである。
【図４】第１実施形態の白欠陥評価時の疑似欠陥の階調を説明する説明図である。
【図５】第１実施形態の黒欠陥評価時の疑似欠陥の階調を説明する説明図である。
【図６】第２実施形態の白欠陥評価時の疑似欠陥の階調を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００５５】
１…表示欠陥評価装置、２…検査用パネル、１１…ランプ、１２…ビームスプリッタ、１３，１４…ミラー、１５…疑似欠陥表示用パネル、１６…プリズム、１７…投影レンズ、１８…制御装置、１９…スクリーン、１８１…パネル制御手段、１８２…透過率算出手段、１８３…欠陥判定手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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