(57)【要約】【課題】表示装置の表示画素の中から動的な表示欠陥を有する表示画素を短時間で効率よく検出する。【解決手段】本発明の検査制御装置７は、液晶表示パネルＰの第１方向に一直線に配列した表示画素列ごとに、各表示画素の輝度値を第１表示状態から第２表示状態へ変化させる点灯を、一定時間ごとに上記表示画素列を第１方向と垂直な第２方向に向かって切り換えながら行う表示制御部１１と、第１方向に一直線に配列した撮像素子にて上記表示画素列の各表示画素が上記第１表示状態から上記第２表示状態に遷移する様子を撮像する撮像装置２の撮像領域が、上記表示制御手段によって第２方向に向かって切り換えられる上記表示画素列に追従するように、撮像装置２を第２方向に沿って移動させるパネル走査制御部１３と、撮像装置２にて撮像された各表示画素の輝度値に基づいて動的な表示欠陥を有する表示画素を検出する欠陥検出部１５とを備えている。【選択図】図１
2009150847.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置の画像表示面にマトリクス状に配列した表示画素の、第１方向に一直線に配列した表示画素列ごとに、各表示画素の輝度値を第１表示状態から第２表示状態へ変化させる点灯を、一定時間ごとに上記表示画素列を第１方向と垂直な第２方向に向かって切り換えながら行う表示制御手段と、
上記第１方向に沿って一直線に配列した撮像素子にて上記表示画素列の各表示画素が上記第１表示状態から上記第２表示状態に遷移する様子を撮像する撮像装置と、
上記撮像装置の撮像領域が、上記表示制御手段によって上記第２方向に向かって切り換えられる上記表示画素列に追従するように、上記撮像素子と上記画像表示面とが上記第２方向に沿って相対的に移動するように制御する走査制御手段と、
上記撮像装置にて撮像された各表示画素のうち、予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素及び予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素を、動的な表示欠陥を有する表示画素として検出する欠陥検出手段とを備えていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
上記撮像装置は、上記第１方向に沿って一直線に配列した撮像素子が、上記第２方向に複数列配列した時間遅延積分型のラインセンサであり、
上記走査制御手段は、上記撮像装置の上記画像表示面上における撮像領域が、上記点灯が切り換えられる一定時間に、上記第１方向に沿って一直線に配列した１列の撮像素子に対応する撮像領域の第２方向の幅に等しい距離だけ、上記表示画面上を上記第２方向に移動するように、上記撮像素子と上記画像表示面とを相対的に移動させるものであり、
上記点灯が切り換えられる一定時間毎に時間遅延積分を実行させる撮像制御手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
上記欠陥検出手段は、上記予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素のうち、上記表示制御手段に指示された輝度値よりも表示される輝度値が大きくなる欠陥を有する表示画素と、それ以外の表示画素とを、それぞれ特定することを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
上記欠陥検出手段は、上記予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素のうち、上記表示制御手段に指示された輝度値よりも表示される輝度値が小さくなる欠陥を有する表示画素と、それ以外の表示画素とを、それぞれ特定することを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
表示装置の画像表示面と撮像装置の撮像領域とを相対的に移動させる走査装置と、
請求項１から４の何れか１項に記載の検査装置とを備えていることを特徴とする検査システム。
【請求項６】
表示装置の画像表示面にマトリクス状に配列した表示画素の、第１方向に一直線に配列した表示画素列ごとに、各表示画素の輝度値を第１表示状態から第２表示状態へ変化させる点灯を、一定時間ごとに上記表示画素列を第１方向と垂直な第２方向に向かって切り換えながら行う表示制御ステップと、
上記第１方向に沿って一直線に配列した撮像素子にて、上記表示画素列の各表示画素が上記第１表示状態から上記第２表示状態に遷移する様子を撮像する撮像装置の撮像領域が、上記表示制御手段によって上記第２方向に向かって切り換えられる上記表示画素列に追従するように、上記撮像素子と上記画像表示面とが上記第２方向に沿って相対的に移動するように制御する走査制御ステップと、
上記撮像装置にて撮像された各表示画素のうち、予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素及び予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素を、動的な表示欠陥を有する表示画素として検出する欠陥検出ステップとを含むことを特徴とする検査装置の制御方法。
【請求項７】
請求項１から４の何れか１項に記載の検査装置を動作させるための検査装置制御プログラムであって、コンピュータを上記各手段として機能させるための検査装置制御プログラム。
【請求項８】
請求項７に記載の検査装置制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置の表示欠陥を検出する検査装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶表示パネル等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）が広く用いられている。ＦＰＤは、その品質を確保するために、その製造工程において、表示面内の微小な点欠陥、異物欠陥、シミ・ムラなどの欠陥の有無が検査されている。
【０００３】
具体的には、上記のような欠陥を検出するために、検査対象のＦＰＤに、駆動信号を与えて、予め定めた検査用点灯パターンを順次表示させている。そして、表示させた検査用点灯パターンが正常に点灯されるか否かを確認することで、上記のような欠陥の有無を確認している。
【０００４】
ところで、上記のような、予め定めた点灯パターンを順次表示させることで行われる欠陥検査では、表示された静止画像を目視、または表示された静止画像を撮像した画像データを画像処理装置にて解析することによって欠陥の有無が検査される。すなわち、上記従来の欠陥検査では、静止画像に現れる静的な欠陥のみが検出される。このような静的な欠陥は、ＦＰＤ上の電気回路の断線、短絡、異物の混入などが原因で発生することが知られている。
【０００５】
例えば、下記の特許文献１では、検査対象の液晶表示パネルに駆動信号を与えて所定の画像を表示させた状態にて、上記液晶表示パネルを撮像している。そして、撮像にて得られた画像を解析することによって、上記液晶表示パネルの表示欠陥を検出している。
【０００６】
ここで、ＦＰＤには、静的な欠陥以外にも欠陥が生じる。すなわち、ＦＰＤには、点灯パターンを点灯、または消灯するときの数十ミリ秒〜数秒の間だけ現れる動的な欠陥が存在する。動的な欠陥は、フラットパネルディスプレイ上の電気回路の不良、及びＦＰＤ駆動用ＩＣの不良等によって発生することが知られている。従来、ＦＰＤは、コンピュータの画面など動きの少ない映像の表示を主に使用されていたので、動的な欠陥の検出はさほど重要視されていなかった。
【０００７】
しかしながら、近年では、ＦＰＤは、ＴＶ放送や映画のような、動きの多い映像の表示に使用されることが多くなってきている。そのため、ＦＰＤの動的な欠陥を検出することの必要性が増している。
【０００８】
動的な欠陥を検出する技術としては、例えば下記の特許文献２が挙げられる。特許文献２では、表示装置に、所定の表示パターンが画面上を一定速度で移動する動画を表示させている。そして、表示装置に表示されている動画の全面を連続して複数回撮像し、撮像された画像を上記所定の表示パターンの移動方向にずらしながら合成（積分）することによって、人間の目に知覚される画像を再現している。
【０００９】
また、下記の特許文献３にも、動的な欠陥を検出する技術が開示されている。具体的には、特許文献３では、評価対象のディスプレイに標識画像が移動する動画を表示させ、移動する標識画像を撮像装置にて追従撮像している。そして、上記標識画像の撮像時間（シャッタースピード）を人間の目の積分時間より長い時間に設定している。これにより、人間の肉眼による動画の視認像を再現し、撮像された画像の像ボケや色割れの程度から、動画性能の評価を行っている。
【００１０】
すなわち、上記特許文献２及び３では、ＦＰＤ等の表示装置に動画を表示させたときに、当該動画が人間の目に知覚される画像を再現することにより、表示装置の動画性能を評価している。これにより、表示装置に動画を表示したときの像ボケや色割れの程度を検査することができる。
【特許文献１】特開２００２−９８６５１（２００２年４月５日公開）
【特許文献２】特開２００１−２０４０４９（２００１年７月２７日公開）
【特許文献３】特開２００６−４２３７６（２００６年２月９日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記特許文献２及び３は、表示装置に動画を表示したときの像ボケや色割れの程度を検査するものであり、点灯パターンを点灯、または消灯するときの数十ミリ秒〜数秒の間だけ現れる動的な欠陥を検出することはできない。より詳細には、上記特許文献２及び３の技術では、ＦＰＤ全体としての動画表示性能を評価することはできるが、ＦＰＤの表示画素の中から動的な欠陥を有する表示画素を特定することができない。
【００１２】
これについて、図６に基づいて説明する。図６は、上記特許文献２及び３に記載の技術を説明する図である。具体的には、同図（ａ）は、表示装置に動画を表示させた場合に、特許文献２の技術にて撮像される画像を示す図であり、同図（ｂ）は、表示装置に動画を表示させた場合に、特許文献３の技術にて撮像される画像を示す図である。
【００１３】
なお、図６では、全面黒色表示状態から、白色表示領域が同図の左向きに一定の速度で拡張し、最終的には全面白色表示状態となる動画を表示装置に表示させる例について説明する。すなわち、同図は、表示装置に表示される画像の経時変化を示すものであり、同図の下方に位置する画像ほど後に表示される画像ということになる。また、同図では、撮像装置にて撮像される画像の領域（以下、撮像領域と呼ぶ）を破線で示している。
【００１４】
同図（ａ）に示す特許文献２の技術では、表示装置に表示された画像の全面が撮像領域に設定されている。そして、図示のように、動画が表示されている期間に、一定時間おきに表示装置に表示された画像の撮像を行う。ここで、特許文献２の技術では、撮像された画像を移動方向にずらしながら合成（積分）する。したがって、図示のような、白色表示領域と黒色表示領域との境界領域を示す合成画像が生成される。
【００１５】
一方、同図（ｂ）に示す特許文献３の技術では、表示装置に表示された画像における、白色表示領域と黒色表示領域との境界領域が撮像領域に設定されている。そして、動画が表示されている期間に、人間の目の積分時間より長い時間だけ露光して表示装置に表示された画像の撮像を行う。なお、図示の例では、１番上の図から４番目の図までの画像を連続して露光することを想定している。これにより、図示のような、白色表示領域と黒色表示領域との境界領域を示す合成画像が生成される。
【００１６】
このように、上記特許文献２及び３に記載の技術では、白色表示領域と黒色表示領域との境界領域を示す合成画像が生成されるので、この合成画像に基づいて、動画の像ボケや色割れを判定することができる。しかしながら、上記特許文献２の技術では、各撮像タイミングにおける画像を積分し、上記特許文献３の技術では動画の撮像期間中、連続して露光を行う。
【００１７】
したがって、上記特許文献２及び３の技術にて生成された画像では、動画像を表示する各表示画素における表示状態の変化が平均化されていることになり、それゆえ表示画素の中から動的な欠陥を有する表示画素を特定することができない。
【００１８】
また、特許文献２の技術では、表示装置の大型化への対応が難しいという問題がある。すなわち、特許文献２の技術では、表示装置の表示領域全体を撮像しているので、一定の検査精度を保つためには、表示領域の大きさに合わせて撮像装置の解像度を向上させる必要がある。
【００１９】
例えば、検査対象の液晶表示パネルが、横１９２０×縦１０８０の表示画素を備えている場合には、各表示画素にＲ，Ｇ，Ｂの三色の副画素が含まれているので、１９２０×縦１０８０×３個の副画素がそれぞれ判別できる解像度で撮像を行う必要がある。したがって、この液晶表示パネルの検査に用いる画像は、最低でも５７６０×３２４０画素の撮像装置で撮像される必要がある。
【００２０】
また、撮像画素数が増加することにより、撮像時間も長くなってしまう。例えば、４０００×２６００画素の画像を撮像可能な撮像装置では、１秒間に５枚程度しか撮像することができない。
【００２１】
さらに、撮像画素数が増加することにより、画像処理に要する時間も長くなってしまう。例えば、５７６０×３２４０画素の撮像装置を用いて、モノクロ２５６階調で撮像した場合には、１枚の画像のデータ容量は、１９ＭＢｙｔｅにも及ぶ。そして、このような画像を例えば３２枚用いた場合には、５９５Ｍｂｙｔｅもの大容量になるため、高速に画像処理することは難しくなる。
【００２２】
また、上記特許文献１の技術では、表示画素の中から欠陥を有する表示画素を特定することはできるが、特許文献１では静止画を表示させることで検出される静的な欠陥を検出することを想定しているので、表示装置に動画を表示させることは記載されていない。
【００２３】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、表示装置の表示画素の中から動的な表示欠陥を有する表示画素を短時間で効率よく検出することができる検査装置等実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明の検査装置は、上記課題を解決するために、表示装置の画像表示面にマトリクス状に配列した表示画素の、第１方向に一直線に配列した表示画素列ごとに、各表示画素の輝度値を第１表示状態から第２表示状態へ変化させる点灯を、一定時間ごとに上記表示画素列を第１方向と垂直な第２方向に向かって切り換えながら行う表示制御手段と、上記第１方向に沿って一直線に配列した撮像素子にて上記表示画素列の各表示画素が上記第１表示状態から上記第２表示状態に遷移する様子を撮像する撮像装置と、上記撮像装置の撮像領域が、上記表示制御手段によって上記第２方向に向かって切り換えられる上記表示画素列に追従するように、上記撮像素子と上記画像表示面とが上記第２方向に沿って相対的に移動するように制御する走査制御手段と、上記撮像装置にて撮像された各表示画素のうち、予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素及び予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素を、動的な表示欠陥を有する表示画素として検出する欠陥検出手段とを備えていることを特徴としている。
【００２５】
また、本発明の検査装置の制御方法は、上記課題を解決するために、表示装置の画像表示面にマトリクス状に配列した表示画素の、第１方向に一直線に配列した表示画素列ごとに、各表示画素の輝度値を第１表示状態から第２表示状態へ変化させる点灯を、一定時間ごとに上記表示画素列を第１方向と垂直な第２方向に向かって切り換えながら行う表示制御ステップと、上記第１方向に沿って一直線に配列した撮像素子にて、上記表示画素列の各表示画素が上記第１表示状態から上記第２表示状態に遷移する様子を撮像する撮像装置の撮像領域が、上記表示制御手段によって上記第２方向に向かって切り換えられる上記表示画素列に追従するように、上記撮像素子と上記画像表示面とが上記第２方向に沿って相対的に移動するように制御する走査制御ステップと、上記撮像装置にて撮像された各表示画素のうち、予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素及び予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素を、動的な表示欠陥を有する表示画素として検出する欠陥検出ステップとを含むことを特徴としている。
【００２６】
上記の構成によれば、第１方向に一直線に配列した表示画素列の表示状態が、第２方向に向かって順次切り換えられてゆく。また、表示画素列の表示状態は、一定時間ごとに切り換えられる。そして、切り換えられる上記表示画素列の遷移状態が撮像装置によって追従撮像される。
【００２７】
したがって、上記撮像装置では、１つの表示画素列に含まれる各表示画素の表示状態の撮像は、同時に開始されることになり、また各表示画素の表示状態の撮像は、全て同じ時間だけ行われることになる。
【００２８】
ここで、上記表示制御手段または表示制御ステップでは、表示装置の表示状態を切り換えさせる制御を行う。具体的には、上記表示制御手段または表示制御ステップでは、表示装置に、表示の切り換え対照となる１つの表示画素列に含まれる各表示画素に対して、同時に表示状態を切り換えさせる指示が送られる。
【００２９】
したがって、表示装置の表示画素が全て正常に機能している場合には、表示画素が表示状態の切り換え指示を受けた後、第２表示状態となるまでの間に、当該表示画素の撮像によって検出される光量は、全て同じになる。すなわち、表示装置の表示画素が全て正常に機能している場合には、上記のようにして撮像された撮像画像では、全ての表示画素が同じ輝度値を示すことになる。
【００３０】
しかしながら、表示装置の表示画素に、応答特性の不良な表示画素が含まれている場合には、当該表示画素の撮像によって検出される光量は、正常な表示画素の撮像によって検出される光量と異なることになる。したがって、この場合に撮像される撮像画像では、応答特性の不良な表示画素の輝度値が正常な表示画素の輝度値と異なる値となる。
【００３１】
例えば、表示装置の表示画素に、表示状態の切り換え指示を受けた後、指示された表示状態に変化するまでの応答が遅い表示画素が含まれている場合に、表示装置の各表示画素を、第１表示状態から該第１表示状態よりも高輝度の第２表示状態に切り換えたときには、撮像画像において、上記応答が遅い表示画素を撮像して取得された輝度値は、正常な表示画素よりも低くなる。
【００３２】
したがって、正常な表示画素とみなすことのできる輝度値の範囲を予め定めておくことにより、正常な表示画素の輝度値の下限値よりも輝度値が低い表示画素、及び正常な表示画素の輝度値の上限値よりも輝度値が高い表示画素を、動的な表示欠陥を有する表示画素として検出することができる。
【００３３】
すなわち、上記の構成によれば、表示装置の表示画素が、一定時間ごとに順次第２表示状態に切り換わってゆき、表示状態の切り換えに追従して撮像が行われ、撮像画像から動的な表示欠陥を有する表示画素を検出することができる。したがって、表示装置の表示画素の中から動的な表示欠陥を有する表示画素を短時間で効率よく検出することができる。
【００３４】
なお、上記検査装置は、上記表示画素列ごとに、表示画素が上記第１表示状態から第２表示状態に切り換わるまでの期間を含む予め定めた時間だけ、各表示画素の輝度値を検出し、かつ、該検出を、上記表示制御手段が各表示画素に対して上記第１表示状態から上記第２表示状態への切り換えを指示したタイミングを基準とする予め定めたタイミングで開始するように、上記撮像素子を制御する撮像制御手段を備えていてもよい。
【００３５】
上記の構成によれば、走査制御を厳密に行わなくとも、各表示画素を同じ撮像開始タイミングで同じ撮像時間だけ撮像することができるので、動的な表示欠陥を検出するための撮像画像を取得することができる。
【００３６】
また、上記撮像装置は、上記第１方向に沿って一直線に配列した撮像素子が、上記第２方向に複数列配列した時間遅延積分型のラインセンサであり、上記走査制御手段は、上記撮像装置の上記画像表示面上における撮像領域が、上記点灯が切り換えられる一定時間に、上記第１方向に沿って一直線に配列した１列の撮像素子に対応する撮像領域の第２方向の幅に等しい距離だけ、上記表示画面上を上記第２方向に移動するように、上記撮像素子と上記画像表示面とを相対的に移動させるものであり、上記点灯が切り換えられる一定時間毎に時間遅延積分を実行させる撮像制御手段を備えていることが好ましい。
【００３７】
時間遅延積分型のラインセンサ（ＴＤＩセンサ）は、ラインセンサ（第１方向に沿って一直線に配列した撮像素子）が走査方向（第２方向）に複数段配列した構成を備え、同じ箇所を段数回撮像するので、撮像対象を高い撮像感度で高速に撮像することができる。したがって、上記検査装置の撮像装置として、ＴＤＩセンサを用いることにより、表示装置の表示画素の動的な表示欠陥の有無をより短時間でさらに高精度に検査することができる。
【００３８】
また、ＴＤＩセンサは、ラインセンサと比べて、撮像素子毎の感度差に起因するノイズの影響が少ないという利点もある。すなわち、ラインセンサ及びＴＤＩセンサに用いられる撮像素子は、撮像素子毎にそれぞれ感度が異なっている。したがって、ラインセンサで撮像を行った場合には、撮像素子個々の感度差がノイズとして画像に表れる。これに対し、ＴＤＩセンサでは、各段数の撮像素子の検出信号が積算されて、撮像素子毎の感度差が平均化されるため、感度差の影響は少なく、ノイズの少ない画像が生成される。
【００３９】
ここで、上記検査装置では、撮像装置にて各表示画素の遷移する状態を撮像するために、順次切り換えられる上記表示画素列に撮像装置の撮像領域を追従させる必要がある。しかしながら、遷移状態の表示画素列の幅は非常に狭いので、撮像装置と表示装置との位置決めや走査速度を高精度に制御する必要がある。
【００４０】
上記検査装置では、ＴＤＩセンサを構成する複数段のラインセンサのうち少なくとも１段が遷移状態の表示画素列を撮像できる位置にあれば、表示画素の応答特性が反映された画像が撮像されるので、動的な表示欠陥の検出が可能である。したがって、撮像装置としてＴＤＩセンサを用いた場合には、撮像装置と表示装置との位置決めや、走査速度の制御に要求される精度が緩和される。
【００４１】
なお、撮像装置としてＴＤＩセンサを用いる場合には、走査制御手段は、上記撮像装置の上記画像表示面上における撮像領域が、上記点灯が切り換えられる一定時間に、上記第１方向に沿って一直線に配列した１列の撮像素子に対応する撮像領域の第２方向の幅に等しい距離だけ、上記表示画面上を上記第２方向に移動するように、上記撮像素子と上記画像表示面とを相対的に移動させる必要がある。言い換えれば、走査制御手段は、点灯が切り換えられる一定時間にラインセンサ１列分の距離だけ移動するように走査速度の制御を行う必要がある。
【００４２】
ここで、上述のように、上記検査装置では、各表示画素の輝度値を第１表示状態から第２表示状態へ変化させる点灯が、一定時間ごとに上記表示画素列を第１方向と垂直な第２方向に向かって切り換えて行われる。
【００４３】
すなわち、上記のように走査速度の制御を行うことにより、撮像装置が備える各撮像素子と、第１表示状態から第２表示状態へと変化している表示画素列（遷移状態の表示画素列）との相対位置を一定に保つことができ、遷移状態の表示画素列を安定して追従撮像することができる。
【００４４】
例えば、撮像領域の第２方向の幅が１０ｍｍであり、積分段数（第２方向に配列した撮像素子列の数）が５であり、点灯の切り換えを１／６０秒毎に行う場合には、撮像素子列１列分に対応する撮像領域の第２方向の幅が２ｍｍであるから、１／６０秒で２ｍｍ移動するように制御を行えばよい。すなわち、この場合には、走査制御手段は、１２０ｍｍ／秒の速度で撮像装置と表示装置とを相対的に移動させればよい。
【００４５】
また、撮像装置としてＴＤＩセンサを用いる場合には、点灯が切り換えられる一定時間毎に時間遅延積分を実行させる撮像制御手段を備えている必要がある。
【００４６】
上述のように、ＴＤＩセンサで撮像を行う場合には、各表示画素は、走査方向（第２方向）に配列した複数のラインセンサのそれぞれによって撮像される。すなわち、各表示画素は、積分断数回だけ撮像され、各撮像回にて得られたデータが遅延積分されることによって１つの画像データが生成される。
【００４７】
したがって、走査を行いながら、連続して時間遅延積分を行うためには、時間遅延積分を行うタイミングを走査速度に応じて適切に設定する必要がある。すなわち、走査速度は、点灯が切り換えられる一定時間に、ラインセンサ１列に対応する撮像領域の幅に等しい距離だけ撮像領域が移動する速度に設定されるので、点灯が切り換えられる一定時間に、ラインセンサ１列分だけ時間遅延積分を実行させればよい。これにより、連続して時間遅延積分を行うことができる。
【００４８】
例えば、点灯の切り換えを１／６０秒毎に行う場合には、１／６０時間で１回、すなわち６０Ｈｚで時間遅延積分を行うように制御すればよい。
【００４９】
また、上記欠陥検出手段は、上記予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素のうち、上記表示制御手段に指示された輝度値よりも表示される輝度値が大きくなる欠陥を有する表示画素と、それ以外の表示画素とを、それぞれ特定することが好ましい。
【００５０】
上記〔背景技術〕で述べたように、表示装置の表示欠陥には、表示画素の表示状態を切り換えた時に現れる動的な表示欠陥と、静止画像を表示させたときに現れる静的な表示欠陥とがある。静的な表示欠陥としては、例えば表示制御手段に指示された輝度値よりも表示される輝度値が大きくなる欠陥（例えば輝点欠陥）が知られている。
【００５１】
ここで、表示装置に輝点欠陥を有する表示画素が含まれている場合に、その表示画素の表示状態を変化させて遷移状態を撮像したときには、撮像画像において上記表示画素は正常な表示画素と比べて輝度値が高くなる。
【００５２】
すなわち、遷移状態を撮像して得られる撮像画像から、予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素を抽出した場合には、抽出された表示画素の中に、動的な表示欠陥と輝点欠陥とが含まれている可能性がある。
【００５３】
そこで、上記の構成によれば、予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素のうち、指示された輝度値よりも表示される輝度値が大きくなる欠陥を有する表示画素と、それ以外の表示画素とを、それぞれ特定している。すなわち、上記の構成によれば、動的な表示欠陥を有する表示画素と輝点欠陥を有する表示画素とが区別される。
【００５４】
動的な表示欠陥と輝点欠陥とはそれぞれ発生の原因が異なっており、欠陥の補修方法も異なっているので、検査装置において動的な表示欠陥を有する表示画素と輝点欠陥を有する表示画素とが区別されることによって、欠陥の種類に応じた適切な補修を行うことが可能になる。また、検出された欠陥の種類等を表示装置の製造工程にフィードバックすることにより、同じ欠陥の再発を防ぐこともできる。
【００５５】
なお、表示装置において、指示された輝度値よりも表示される輝度値が大きくなる欠陥を有する表示画素の検出には、公知の方法を適宜用いることができる。例えば、表示装置の全表示画素を全て黒色表示状態として各表示画素を撮像し、撮像画像において輝度値が予め定めた上限値を超えている表示画素を検出することによって、指示された輝度値よりも表示される輝度値が大きくなる欠陥を有する表示画素を検出することができる。
【００５６】
上記欠陥検出手段は、上記予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素のうち、上記表示制御手段に指示された輝度値よりも表示される輝度値が小さくなる欠陥を有する表示画素と、それ以外の表示画素とを、それぞれ特定することが好ましい。
【００５７】
また、静的な表示欠陥としては、例えば表示制御手段に指示された輝度値よりも表示される輝度値が小さくなる欠陥（例えば黒点欠陥）が知られている。表示装置に黒点欠陥を有する表示画素が含まれている場合に、その表示画素の表示状態を変化させて遷移状態を撮像したときには、撮像画像において上記表示画素は正常な表示画素と比べて輝度値が低くなる。
【００５８】
すなわち、遷移状態を撮像して得られる撮像画像から、予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素を抽出した場合には、抽出された表示画素の中に、動的な表示欠陥と黒点欠陥とが含まれている可能性がある。
【００５９】
そこで、上記の構成によれば、予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素のうち、指示された輝度値よりも表示される輝度値が小さくなる欠陥を有する表示画素と、それ以外の表示画素とを、それぞれ特定している。すなわち、上記の構成によれば、動的な表示欠陥を有する表示画素と黒点欠陥を有する表示画素とが区別される。
【００６０】
動的な表示欠陥と黒点欠陥とはそれぞれ発生の原因が異なっており、欠陥の補修方法も異なっているので、検査装置において動的な表示欠陥を有する表示画素と黒点欠陥を有する表示画素とが区別されることによって、欠陥の種類に応じた適切な補修を行うことが可能になる。また、検出された欠陥の種類等を表示装置の製造工程にフィードバックすることにより、同じ欠陥の再発を防ぐこともできる。
【００６１】
なお、表示装置において、指示された輝度値よりも表示される輝度値が小さくなる欠陥を有する表示画素の検出には、公知の方法を適宜用いることができる。例えば、表示装置の全表示画素を全て白色表示状態として各表示画素を撮像し、撮像画像において輝度値が予め定めた下限値を下回っている表示画素を検出することによって、指示された輝度値よりも表示される輝度値が小さくなる欠陥を有する表示画素を検出することができる。
【００６２】
また、表示装置の画像表示面と撮像装置の撮像領域とを相対的に移動させる走査装置と、上記検査装置とを備えている検査システムであれば、表示装置の表示画素の中から動的な表示欠陥を有する表示画素を短時間で効率よく検出することができる。
【００６３】
なお、上記検査装置は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記検査装置の各手段として動作させることにより、上記検査装置をコンピュータにて実現させるプログラム、及びそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の範疇に入る。
【発明の効果】
【００６４】
以上のように、本発明の検査装置は、表示装置の画像表示面にマトリクス状に配列した表示画素の、第１方向に一直線に配列した表示画素列ごとに、各表示画素の輝度値を第１表示状態から第２表示状態へ変化させる点灯を、一定時間ごとに上記表示画素列を第１方向と垂直な第２方向に向かって切り換えながら行う表示制御手段と、上記第１方向に沿って一直線に配列した撮像素子にて上記表示画素列の各表示画素が上記第１表示状態から上記第２表示状態に遷移する様子を撮像する撮像装置と、上記撮像装置の撮像領域が、上記表示制御手段によって上記第２方向に向かって切り換えられる上記表示画素列に追従するように、上記撮像素子と上記画像表示面とが上記第２方向に沿って相対的に移動するように制御する走査制御手段と、上記撮像装置にて撮像された各表示画素のうち、予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素及び予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素を、動的な表示欠陥を有する表示画素として検出する欠陥検出手段とを備えている構成である。
【００６５】
また、本発明の検査装置の制御方法は、以上のように、表示装置の画像表示面にマトリクス状に配列した表示画素の、第１方向に一直線に配列した表示画素列ごとに、各表示画素の輝度値を第１表示状態から第２表示状態へ変化させる点灯を、一定時間ごとに上記表示画素列を第１方向と垂直な第２方向に向かって切り換えながら行う表示制御ステップと、上記第１方向に沿って一直線に配列した撮像素子にて、上記表示画素列の各表示画素が上記第１表示状態から上記第２表示状態に遷移する様子を撮像する撮像装置の撮像領域が、上記表示制御手段によって上記第２方向に向かって切り換えられる上記表示画素列に追従するように、上記撮像素子と上記画像表示面とが上記第２方向に沿って相対的に移動するように制御する走査制御ステップと、上記撮像装置にて撮像された各表示画素のうち、予め定めた下限値よりも輝度値が低い表示画素及び予め定めた上限値よりも輝度値が高い表示画素を、動的な表示欠陥を有する表示画素として検出する欠陥検出ステップとを含む構成である。
【００６６】
したがって、表示装置の表示画素の中から動的な表示欠陥を有する表示画素を短時間で効率よく検出することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６７】
本発明の一実施形態について図１から図５に基づいて説明すると以下の通りである。
【００６８】
〔検査システムの概要〕
まず、本発明の検査システムの概要について、図２に基づいて説明する。図２は、本発明の検査システム１の概略構成を示す斜視図である。図示のように、検査システム１は、撮像装置２、パネル走査装置（走査装置）３、パネル搬送装置４、液晶駆動装置５、バックライトユニット６、及び検査制御装置（検査装置）７を備えている構成である。また、図示のように、パネル搬送装置４には、液晶表示パネルＰが、その画像表示面がＸＺ平面に平行となるように載置されている。
【００６９】
すなわち、ここでは、検査システム１を用いて、液晶表示パネルＰの表示欠陥の有無を検査することを想定している。液晶表示パネルＰの画像表示面には、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の副画素から成る表示画素がマトリクス状に配列している。そして、バックライトユニット６が照射した光が表示画素を透過する透過光によって、画像表示面に画像が表示されるようになっている。なお、検査システム１では、液晶表示パネルＰに限らず、ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置、プラズマ表示装置、ＦＥＤ（Field Emission Display）等の様々な表示装置の表示欠陥検査を行うことができる。
【００７０】
撮像装置２は、液晶表示パネルＰを撮像する装置である。具体的には、撮像装置２は、一直線上に配列した複数の撮像素子にて撮像を行うラインセンサである。同図では、撮像装置２の撮像領域を撮像領域Ａとして図示している。そして、検査システム１では、撮像装置２の撮像領域ＡがＺ軸に平行であり、かつ液晶表示パネルＰのＺ軸方向の全幅を含むように配置されている。
【００７１】
なお、検査システム１では、撮像装置２が液晶表示パネルＰを撮像した撮像画像を解析することによって、上記撮像された液晶表示パネルＰの表示画素に生じた表示欠陥を検出する。したがって、撮像装置２は、液晶表示パネルＰのＺ軸方向に配列する各表示画素の輝度値を判別できる程度の解像度を備えている必要がある。
【００７２】
また、撮像装置２は、ラインセンサであればよく、特に限定されないが、撮像装置２としてＴＤＩ（Time Delay and Integration）センサを用いることが好ましい。本実施形態では、撮像装置２は、ＴＤＩセンサであることを想定している。なお、ＴＤＩセンサとは、時間遅延積分型のラインセンサを指す。ＴＤＩセンサの構成、及びＴＤＩセンサを用いることが好ましい理由については後述する。
【００７３】
パネル走査装置３は、検査制御装置７の指示に従って、撮像装置２に液晶表示パネルＰの画像表示面を走査させる装置である。図示のように、パネル走査装置３は、上面にＸ軸に平行な搬送レールを備えた本体部分３ｂと、搬送レール上をＸ軸方向に移動可能な走査ステージ３ａとで構成されている。そして、走査ステージ３ａ上には、撮像領域ＡがＺ軸方向に水平となり、かつ液晶表示パネルＰのＺ軸方向の全幅を撮像できるように、撮像装置２が載置されている。すなわち、走査ステージ３ａがＸ軸方向に移動することによって、液晶表示パネルＰの画像表示面の全面が、撮像装置２に撮像されるようになっている。
【００７４】
なお、本実施形態では、液晶表示パネルＰを固定し、撮像装置２を移動させることによって、撮像装置２にて液晶表示パネルＰの全面を撮像する態様を示しているが、撮像装置２を固定して、液晶表示パネルＰを移動させることで、撮像装置２にて液晶表示パネルＰの全面を撮像するようにしてもよい。
【００７５】
パネル搬送装置４は、検査制御装置７の指示に従って、液晶表示パネルＰを搬送する装置である。図示のように、パネル搬送装置４は、上面にＸ軸に平行な搬送レールを備えた本体部分４ｂと、搬送レール上をＸ軸方向に移動可能な複数の搬送台車４ａとで構成されている。
【００７６】
また、図示のように、各搬送台車４ａ上には、液晶表示パネルＰが、その画像表示面がＸＺ平面に平行となるように載置されている。パネル搬送装置４は、検査対象となる液晶表示パネルＰを予め定めた検査位置に搬送し、検査終了後の液晶表示パネルＰを検査位置から次の製造工程へと搬送する。なお、ここでは、同図のＸ軸の正方向に液晶表示パネルＰを搬送することを想定している。
【００７７】
液晶駆動装置５は、検査制御装置７の指示に従って、液晶表示パネルＰに画像を表示させる装置であり、例えば電子回路で構成することができる。液晶駆動装置５は、例えばパネル搬送装置４の搬送レールを介して電力の供給を受けて動作するようにすればよい。また、図示の例では、液晶駆動装置５と検査制御装置７とが有線接続されている態様を示しているが、赤外線または電波等の無線にて、検査制御装置７からの指示を受けるようにしてもよい。
【００７８】
詳細については後述するが、検査システム１では、液晶駆動装置５が液晶表示パネルＰに表示させる画像（動画像または静止画像）を撮像装置２が撮像した撮像画像を解析することによって、液晶表示パネルＰの、例えば液晶の動作不良等によって生じる動的な表示欠陥、及び輝点欠陥や黒点欠陥等のような静的な表示欠陥を検出するようになっている。
【００７９】
バックライトユニット６は、液晶表示パネルＰに光を照射する照明装置である。バックライトユニット６は、光を発する面が液晶表示パネルＰの画像表示面に平行となるように設置されており、検査位置に搬送された液晶表示パネルＰの全面に均一に光を照射する。すなわち、検査システム１では、バックライトユニット６が照射する光が、液晶表示パネルＰを透過した透過光を撮像装置２にて撮像するようになっている。したがって、バックライトユニット６は、少なくとも撮像装置２の撮像領域Ａを含む範囲に光を照射することができるものであればよく、図示の例のように、液晶表示パネルＰの全面に光を照射するものに限られない。
【００８０】
検査制御装置７は、検査システム１を構成する各装置の動作を統括して制御する装置である。また、検査制御装置７は、撮像装置２にて撮像された液晶表示パネルＰの撮像画像を解析して、該液晶表示パネルＰの表示欠陥を検出する。
【００８１】
具体的には、検査制御装置７は、パネル搬送装置４に指示して液晶表示パネルＰを検査位置に移動させる。続いて、検査制御装置７は、パネル走査装置３、液晶駆動装置５、バックライトユニット６、及び撮像装置２に指示して液晶表示パネルＰに予め定めた点灯パターンを表示させると共に、表示された点灯パターンを撮像装置２に撮像させる。そして、検査制御装置７は、このようにして撮像された液晶表示パネルＰの撮像画像を解析し、液晶表示パネルＰの表示欠陥を検出する。なお、検査制御装置７のより詳細な構成及び動作については後述する。
【００８２】
〔ＴＤＩセンサの構成ついて〕
ここで、検査システム１の撮像装置２として用いるＴＤＩセンサについて、図３に基づいて説明する。図３は、ＴＤＩセンサの撮像方法を説明する図であり、同図（ａ）は通常のラインセンサの撮像方法を示し、同図（ｂ）はＴＤＩセンサの撮像方法を示している。
【００８３】
なお、図３（ａ）（ｂ）では、「Ａ」の文字が描かれた画像を、通常のラインセンサまたはＴＤＩセンサにて、図中白抜き矢印で示す走査方向に走査して撮像する例を示している。そして、図３（ａ）（ｂ）では、ラインセンサまたはＴＤＩセンサの各撮像位置において出力される撮像画像を、各図の右側に示している。
【００８４】
同図（ａ）に示すように、通常のラインセンサでは、当該ラインセンサで取得した１次元データを出力し、１次元データを連結し２次元の画像データとすることで画像を出力している。したがって、図示のように、ラインセンサの撮像領域に含まれる画像が順次撮像されて出力される。したがって、図示のように、ラインセンサの位置に対応する撮像画像が順次出力されることになる。
【００８５】
これに対し、同図（ｂ）に示すように、ＴＤＩセンサは、ラインセンサ（ａ）〜（ｃ）が走査方向に並列して連結された構成となっている。ラインセンサが走査方向に連結している数を段数といい、同図の場合は、３段のＴＤＩセンサとなる。
【００８６】
ＴＤＩセンサは、１段目のセンサが取得した１次元データに、次の段のセンサが同じ箇所を撮像した１次元データを加算するようになっている。そして、１次元データの加算をＴＤＩセンサの段数分繰り返すことによって撮像箇所の像を生成する。すなわち、ＴＤＩセンサは、１つの撮像箇所を段数回撮像し、各撮像にて得られた像を積分することにより、撮像箇所の像を生成する。
【００８７】
例えば、同図の一番上の図に示すように、ラインセンサ（ａ）が「Ａ」の文字の一番上の列を撮像した段階では「Ａ」の文字における一番上の列の像は生成されない。同様に、同図の上から２番目の図に示すように、ラインセンサ（ｂ）が「Ａ」の文字の一番上の列を撮像した段階でも「Ａ」の文字における一番上の列の像は生成されない。ここで、同図の上から３番目の図に示すように、ラインセンサ（ｃ）が「Ａ」の文字の一番上の列を撮像した段階で「Ａ」の文字における一番上の列の像が生成される。
【００８８】
より詳細には、ラインセンサ（ａ）が「Ａ」の文字の一番上の列を撮像して得られた検出信号と、ラインセンサ（ｂ）が「Ａ」の文字の一番上の列を撮像して得られた検出信号とが蓄積されている。そして、ラインセンサ（ｃ）が「Ａ」の文字の一番上の列を撮像したときに、上記蓄積されている検出信号と、ラインセンサ（ｃ）が「Ａ」の文字の一番上の列を撮像することで得られた検出信号とが積算されて「Ａ」の文字における一番上の列の像が生成される。
【００８９】
このように、ＴＤＩセンサでは、同じ箇所を段数回撮像するので、高い撮像感度で高速に撮像することができる。具体的には、ＴＤＩセンサでは、ラインセンサと同じ速度で走査を行った場合には、ラインセンサの露光時間に対し、ＴＤＩセンサの段数倍の露光時間で撮像が行われることになるので、ＴＤＩセンサの段数倍の検出信号を得ることができる。また、ＴＤＩセンサの段数倍の速度で走査を行った場合であっても、ラインセンサと同等の検出信号を得ることができる。
【００９０】
さらに、ＴＤＩセンサは、ラインセンサと比べて、撮像素子毎の感度差に起因するノイズの影響が少ないという利点もある。すなわち、ラインセンサ及びＴＤＩセンサに用いられる撮像素子は、撮像素子毎にそれぞれ感度が異なっている。したがって、ラインセンサで撮像を行った場合には、撮像素子個々の感度差がノイズとして画像に表れる。これに対し、ＴＤＩセンサでは、各段数の撮像素子の検出信号が積算されて、撮像素子毎の感度差が平均化されるため、感度差の影響は少なく、ノイズの少ない画像が生成される。
【００９１】
このように、撮像装置２としてＴＤＩセンサを用いることによって、高精度な撮像画像を高速に得ることができる。したがって、撮像装置２としてＴＤＩセンサを用いた場合には、検査システム１における検査時間を短縮することができると共に、欠陥検出の精度を向上させることができる。
【００９２】
〔検査制御装置の構成〕
続いて、検査制御装置７の詳細な構成について、図１に基づいて説明する。図１は、検査制御装置７の要部構成を示すブロック図である。図示のように、検査制御装置７は、表示制御部１１、パネル搬送制御部１２、パネル走査制御部（走査制御手段）１３、撮像制御部（撮像制御手段）１４、及び欠陥検出部（欠陥検出手段）１５を備えている。
【００９３】
表示制御部１１は、液晶駆動装置５に指示して所定の画像を液晶表示パネルＰに表示させる。すなわち、表示制御部１１の指示によって、液晶表示パネルＰに任意の画像または動画が表示される。検査システム１では、表示制御部１１の指示で液晶表示パネルＰに欠陥検査用の点灯パターンが表示される。表示制御部１１が液晶表示パネルＰに表示させる点灯パターンについては後述する。
【００９４】
パネル搬送制御部１２は、パネル搬送装置４に指示して、検査対象の液晶表示パネルＰを予め定めた検査位置に移動させる。そして、パネル搬送制御部１２は、検査が終了した液晶表示パネルＰを上記検査位置から移動させ、次に検査を行う液晶表示パネルＰを検査位置に移動させる。
【００９５】
パネル走査制御部１３は、パネル走査装置３に指示して撮像装置２を予め定めた初期位置に移動させる。そして、パネル走査制御部１３は、表示制御部１１が液晶表示パネルＰに表示される点灯パターン毎に予め定めた速度で撮像装置２を移動させる。なお、点灯パターン毎の走査速度については後述する。
【００９６】
撮像制御部１４は、撮像装置２に指示して撮像を開始または停止させる。また、撮像制御部１４は、撮像装置２の露光時間や時間遅延積分を行う積分時間、及び時間遅延積分を行うタイミング等の撮像装置２の各種撮像設定の制御を行う。
【００９７】
欠陥検出部１５は、撮像装置２にて撮像された撮像画像を解析することによって、液晶表示パネルＰの表示画素の中から、表示欠陥を有する表示画素を検出する。具体的には、欠陥検出部１５は、上記撮像画像から各表示画素の輝度値を求め、求めた輝度値と予め定めた閾値とを比較することによって、表示欠陥を有する表示画素を特定する。
【００９８】
〔動的な表示欠陥を検出する点灯パターンについて〕
ここで、動的な表示欠陥を検出するために、液晶表示パネルＰに表示させる点灯パターンについて説明する。動的な表示欠陥を検出するための点灯パターンは、液晶表示パネルＰの全表示画素が黒色の状態から始まり、黒色表示の表示画素が、走査方向に向かって一定速度で白色表示に変化してゆく点灯パターンである。より詳細には、黒色表示の表示画素と白色表示の表示画素との境界部分が走査方向に垂直な方向に平行な状態を保ちながら、液晶表示パネルＰの走査方向の端部から順に、表示画素が１フレームに１列の速さで白色表示に切り換わり、最終的には液晶表示パネルＰの全表示画素が白色表示となる点灯パターンである。
【００９９】
具体的には、図２の例では、全表示画素が黒色表示となっている状態から、マトリクス状に配列する表示画素のうち、図中最も右のＺ軸に平行な１列の表示画素列が白色表示状態に切り換わり、１フレーム後には図中右から２列目のＺ軸に平行な１の表示画素列が白色表示状態に切り換わる。この繰り返しによって、液晶表示パネルＰの表示画面上において、黒色表示の表示画素と白色表示の表示画素との境界部分がＸ軸方向正の向きに連続して移動しているように見える。そして、最終的には液晶表示パネルＰの全表示画素が白色表示状態となる。
【０１００】
なお、フレームとは、表示装置に動画を表示する際に、最小時間に表示する１つの静止画である。動画は、通常１／６０秒ごとに静止画を切り換えて表示することで表現される。すなわち、この場合には、１秒に６０フレーム（６０枚の静止画）が順次表示されることによって、静止画が動いているように見えるのである。
【０１０１】
検査システム１では、撮像装置２の撮像領域Ａが常に上記境界部分を含むように、パネル走査制御部１３は、撮像装置２を、上記境界部分の移動速度と同じ移動速度で移動させる。これにより、撮像装置２は、上記境界部分を常に撮像することになる。具体的には、パネル走査制御部１３は、表示画素の表示状態が切り換えられる時間で、撮像装置２の備える撮像素子の走査方向の幅だけ移動するように、撮像装置２をＸ軸方向に移動させる。
【０１０２】
例えば、撮像装置２が積分段数３段のＴＤＩセンサであり、撮像装置２の液晶表示パネルＰ上における撮像領域の走査方向（Ｘ軸方向）の幅が０．３ｍｍであり、そしてＺ軸に平行な表示画素列の表示状態がＸ軸の正方向に向かって１フレーム（１／６０秒）毎に順次切り換えられる場合を考える。
【０１０３】
この場合には、上記切り換えられる表示画素列は、１フレームにつき１列の速度でＸ軸の正方向に向かって移動する。したがって、パネル走査制御部１３は、上記切り換えられる表示画素列を追従撮像するために、撮像装置２を、１フレーム（１／６０秒）で撮像領域が１段分（０．１ｍｍ）進む速度、すなわち６ｍｍ／秒の一定速度でＸ軸の正方向に向かって移動させる。
【０１０４】
ここで、撮像装置２が上記点灯パターンを撮像することによって得られる撮像画像について、図４に基づいて説明する。図４は、検査システム１において撮像画像が生成される仕組みについて説明する図である。同図では、液晶表示パネルＰの表示画素のうち、Ｘ軸方向に配列した（Ａ）〜（Ｌ）の１２個の表示画素における、１フレーム目から９フレーム目までの表示状態の変化を示している。また、同図では、左右方向が走査方向であることを想定している。
【０１０５】
なお、１フレームの表示時間は特に限定されないが、ここでは１フレームの表示時間が１／６０秒であることを想定している。すなわち、１フレーム目の画像が表示された１／６０秒後には２フレーム目の画像が表示され、さらに１／６０秒後には３フレーム目の画像が表示される。以下、同様に９フレーム目まで順次図示の画像が液晶表示パネルＰ表示される。
【０１０６】
１フレーム目（図中一番上）の表示状態では、表示画素（Ａ）〜（Ｈ）には黒色が表示されおり、表示画素（Ｋ）〜（Ｌ）には白色が表示されている。また、黒色表示の表示画素と白色表示の表示画素との間に位置する表示画素（Ｉ）、（Ｊ）には、白色と黒色との中間階調が表示されている。より詳細には、中間階調が表示されている表示画素のうち、黒色表示の表示画素に近い表示画素（Ｉ）には、白色表示の表示画素に近い表示画素（Ｊ）よりも黒色に近い階調が表示されている。
【０１０７】
ここで、表示画素（Ｉ）、（Ｊ）に中間階調が表示される理由について説明する。すなわち、液晶表示パネルＰの各表示画素における表示状態は、表示制御部１１及び液晶駆動装置５によって制御されている。具体的には、表示制御部１１が黒色表示を指示した場合には、液晶駆動装置５は、バックライトユニット６からの光を遮断するように液晶を駆動し、表示制御部１１が白色表示を指示した場合には、液晶駆動装置５は、バックライトユニット６からの光を透過させるように液晶を駆動することによって、表示画素が黒色表示または白色表示となる。
【０１０８】
したがって、黒色から白色へと表示状態を変化させる場合には、液晶はバックライトユニット６からの光を遮断する状態から透過する状態へと変化することになる。そのため、完全な黒色表示から完全な白色表示に切り換わるまでにタイムラグが生じ、それゆえ黒色と白色との中間階調が表示されることになる。
【０１０９】
また、上述のように、パネル走査装置３が撮像装置２を上記境界部分の移動速度と同じ移動速度で移動させるので、撮像装置２は上記境界部分を常に撮像することになる。例えば、図示の例において、１フレーム目では、ラインセンサ（ａ）にて表示画素（Ｉ）が撮像されている。そして、２フレーム目では表示画素の表示状態が変わると共に、撮像領域が表状態の変化と同期して移動する。すなわち、境界部分は１フレームに１表示画素分だけ撮像装置２の走査方向（この例では図２のＸ軸の正方向）に移動する。また、撮像領域も同様に、１フレームに１表示画素分だけ撮像装置２の走査方向（この例では図２のＸ軸の正方向）に移動する。したがって、境界部分が常に撮像領域に入ることになる。
【０１１０】
そして、同図では、撮像装置２が（ａ）〜（ｄ）の４段のＴＤＩセンサである例を示している。すなわち、（ａ）〜（ｄ）の４段のラインセンサのそれぞれにて、液晶表示パネルＰを撮像し、各ラインセンサが撮像によって得た検出信号を積分することによって、液晶表示パネルＰの撮像画像を生成する。
【０１１１】
例えば、表示画素（Ｉ）に着目すれば、表示画素（Ｉ）は、２フレーム目ではラインセンサ（ｂ）にて撮像される。そして、３フレーム目ではラインセンサ（ｃ）にて撮像され、さらに４フレーム目ではラインセンサ（ｄ）にて撮像される。すなわち、図示の例では、表示画素（Ｉ）は、１フレーム目から４フレーム目の間に、ラインセンサ（ａ）〜（ｄ）にて順次撮像される。
【０１１２】
そして、ラインセンサ（ａ）〜（ｄ）のそれぞれが表示画素（Ｉ）を撮像して取得した検出信号が積分されて表示画素（Ｉ）の撮像画像が生成される。したがって、検査システム１にて撮像される撮像画像は、図示のように、各表示画素の表示状態が変化する過程においてラインセンサ（ａ）〜（ｄ）のそれぞれが検出した検出信号の積算値として表される。また、他の表示画素も同様に、ラインセンサ（ａ）〜（ｄ）のそれぞれが表示画素を撮像して取得した検出信号が積算されて、撮像画像が生成される。
【０１１３】
なお、このように、連続して時間遅延積分が行われるようにするためには、表示状態の切り換え時間に合わせて、時間遅延積分を行うタイミングを制御する必要がある。検査制御装置７では、撮像制御部１４がこのタイミングの制御を行う。ここでは、１フレーム（１／６０秒）に１つの表示画素の表示状態が切り換わることを想定しているので、１／６秒毎、すなわち６０Ｈｚで時間遅延積分を行うように制御される。
【０１１４】
ここで、動的な表示欠陥を有する表示画素は、例えば駆動用回路の不良等により、正常な表示画素と異なる応答を示す。したがって、動的な表示欠陥を有する表示画素と正常な表示画素との両方に同時に表示切り換えの指示を送った場合の、各表示画素の表示状態が変化する過程における露光量の差異から、動的な表示欠陥を有する表示画素を特定することができる。
【０１１５】
具体的には、図示の例では、４フレーム目から７フレーム目まで撮像されているが、黒色表示から白色表示に切り換わる間に表示される中間階調がより黒色表示に近い階調となっている。したがって、４フレーム目から７フレーム目までにラインセンサ（ａ）〜（ｄ）にて撮像された画像を積分することで生成された表示画素（６）の撮像画像は、他の表示画素の撮像画像と比べて、より黒色に近い階調となっている。
【０１１６】
ここで、黒色表示から白色表示に切り換わる間に表示される中間階調がより黒色表示に近い階調となっているということは、表示画素（Ｆ）の表示状態の変化が他の表示画素よりも遅くなっていることを示している。したがって、積分によって生成される撮像画像において、正常な表示画素よりも黒色に近い階調となっている、すなわち低輝度の表示画素（Ｆ）を、表示状態の変化が他の表示画素よりも遅い欠陥画素であると判断することができる。
【０１１７】
なお、ＴＤＩセンサによって得られた撮像画像において、正常な表示画素と輝度値が異なる表示画素であっても、動的な表示欠陥を有していない場合がある。すなわち、表示画素が常に白色表示状態となる輝点欠陥、及び表示画素が常に黒色表示状態となる黒点欠陥が発生している場合であっても、ＴＤＩセンサによって得られた撮像画像において、正常な表示画素と輝度値が異なることになる。
【０１１８】
そこで、検査システム１では、図４に示す点灯パターンを表示させて欠陥検出を行った後、別の点灯パターンを表示させて輝点欠陥を検出し、さらに別の点灯パターンを表示させて黒点欠陥を検出している。すなわち、図４に示す点灯パターンで欠陥が検出された表示画素のうち、輝点欠陥でも黒点欠陥でもないものが動的な表示欠陥であると判断することができる。これにより、液晶表示パネルＰの輝点欠陥、及び黒点欠陥等の静的な表示欠陥を有する表示画素、及び動的な表示欠陥を有する表示画素の両方を区別して検出することができる。
【０１１９】
〔処理の流れ〕
検査システム１における処理の流れについて、図５に基づいて説明する。図５は、検査システム１における処理の一例を示すフローチャートである。検査システム１にて液晶表示パネルＰの欠陥検査を行う場合には、まずパネル搬送制御部１２が、パネル搬送装置４に指示して、液晶表示パネルＰを載置した搬送台車４ａを予め定めた検査位置に移動させる（Ｓ１）。そして、搬送台車４ａが検査位置に到着すると、搬送レールから検査制御装置７へと、搬送台車４ａの検査位置到着を示す信号が送られる。
【０１２０】
なお、検査位置は、図２に示すように、バックライトユニット６から照射される光を液晶表示パネルＰが受光できる位置であり、走査ステージ３ａ上に固定された撮像装置２をＸ軸方向に移動させることによって、液晶表示パネルＰの画像表示面の全面を撮像できる位置である。また、表示制御部１１は、バックライトユニット６に点灯を指示する信号を送り、バックライトを点灯させる。
【０１２１】
次に、パネル走査制御部１３は、搬送台車４ａの検査位置到着を示す信号を確認すると、走査ステージ３ａを予め定めた位置に移動させることによって、撮像装置２を初期位置に移動させる（Ｓ２）。初期位置は、撮像装置２がＸ軸方向の正または負の向きに移動することによって、上記検査位置に配置された液晶表示パネルＰの画像表示面の全面を撮像できる位置である。
【０１２２】
なお、ここでは、一定の速度で撮像装置２を移動させながら液晶表示パネルＰを撮像することを想定しているので、走査ステージ３ａの加減速に必用な距離だけ液晶表示パネルＰの外側の位置を初期位置としている。走査ステージ３ａが上記予め定めた位置に到着すると、走査ステージ３ａから検査制御装置７へと到着を示す信号が送られる。
【０１２３】
ここで、走査ステージ３ａの到着を示す信号を受信すると、パネル走査制御部１３、撮像制御部１４、及び表示制御部１１は、同期して予め定められた処理を開始する（Ｓ３）。すなわち、パネル走査制御部１３は、パネル走査装置３に指示して走査ステージ３ａの移動を開始させ、走査ステージ３ａを予め定めた速度で移動させる。なお、ここでは、図２におけるＸ軸方向の正の向きに走査ステージ３ａを移動させる例について説明するが、Ｘ軸方向の負の向きに場合も検査制御装置７の動作は同様である。
【０１２４】
また、撮像制御部１４は、撮像装置２に指示して撮像を開始させる。そして、表示制御部１１は、撮像装置２の撮像領域が液晶表示パネルＰの画像表示領域に入るタイミングで、予め定めた点灯パターンの表示を開始する。なお、ここで表示する点灯パターンは、図４に示すような、黒色画像がＺ軸に平行な直線を境界として、Ｘ軸の正方向に向かって順次白色画像に変化する点灯パターンである。
【０１２５】
ここで、パネル走査装置３は、上記点灯パターンにおける白色画像と黒色画像との境界部分と撮像装置２の撮像領域とが常に一致するような速度で、Ｘ軸方向の正の向きに撮像装置２を移動させるように予め設定されている。したがって、上記境界部分が液晶表示パネルＰのＸ軸方向の端部に達するまでの間、上記境界部分が常に撮像されることになる。なお、撮像装置２にて撮像された撮像画像は、順次検査制御装置７に送られるようになっている。
【０１２６】
そして、検査制御装置７の欠陥検出部１５は、上記撮像画像に基づいて、液晶表示パネルＰの表示欠陥を検出する。具体的には、欠陥検出部１５は、上記出力された撮像画像から、予め定めた上限値より大きい輝度値の表示画素及び予め定めた下限値より小さい輝度値の表示画素を、表示欠陥を有する表示画素として検出する。そして、欠陥検出部１５は、検出した表示画素の位置を記憶しておく。なお、輝度値の上限値及び下限値は、検査に要求される精度等に応じて適宜設定すればよく、例えば、撮像画像の輝度値の平均値を基準に上記上限値及び下限値を設定すればよい。
【０１２７】
また、ここでは、撮像画像が順次検査制御装置７に送られることを想定しているが、液晶表示パネルＰの全面の走査終了後に、撮像画像が検査制御装置７に送られるようにしてもよい。ただし、撮像画像が順次検査制御装置７に送られるようにした場合には、欠陥の検出と液晶表示パネルＰの撮像とを平行して行うことができるので、検査時間を短縮することができるという利点がある。
【０１２８】
そして、撮像装置２の撮像領域が液晶表示パネルＰを通過すると、液晶表示パネルＰの全面の撮像が終了したと判断し（Ｓ４でＹＥＳ）、撮像制御部１４が撮像装置２に指示して撮像を停止させると共に、パネル走査制御部１３がパネル走査装置３に指示して走査ステージ３ａを停止させる。これにより、動的な表示欠陥を検出するための点灯パターンの撮像は終了する（Ｓ５）。
【０１２９】
検査システム１では、続いて液晶表示パネルＰの黒点欠陥の検出を行う。上述のように、黒点欠陥は、表示画素が常に黒色表示状態となる欠陥である。したがって、黒点欠陥は、液晶表示パネルＰの全表示画素を白色表示状態にすることで検出することができる。ここでは、図４に示すような、動的な表示欠陥を検出するための点灯パターンを表示することを想定しているので、上記点灯パターンの撮像後は、液晶表示パネルＰは全面白色表示状態となっている。
【０１３０】
すなわち、上記動的な表示欠陥を検出するための点灯パターンを撮像した後の点灯パターンは、黒点欠陥を検出するための点灯パターンとなっている。したがって、液晶表示パネルＰの表示状態を変更することなく、上記点灯パターンの撮像後の状態でそのまま撮像することによって、黒点欠陥を検出するための撮像画像を得ることができる。
【０１３１】
黒点欠陥を検出するための点灯パターンを撮像するときには、走査ステージ３ａを再度初期位置に戻して撮像を行うようにしてもよいが、往復走査が可能な撮像装置２を用いる場合には、走査ステージ３ａをＸ軸方向の負の向きに一定の速度で移動させながら撮像を行うようにしてもよい。なお、この場合には、積分方向が逆になるので、撮像制御部１４は、撮像装置２に指示して、積分方向を逆向きにさせる。
【０１３２】
また、このときには、パネル走査制御部１３は、撮像装置２の走査速度を、例えば１フレーム表示する時間（この場合には１／６０秒）に、撮像装置２の時間遅延積分幅（撮像装置２の走査方向の幅）だけ移動する速度とすればよい。液晶表示パネルＰに表示された静止画像を撮像する場合には、このように速度の制御を行うことによって、静止画像を高精度に撮像することができる。
【０１３３】
すなわち、液晶表示パネルＰが備えている液晶は、交流電流によって駆動されているため、電流の流れる方向が逆転する瞬間には、上記液晶に印加される電流がゼロになる。ここで、印加電流がゼロになった状態では液晶が移動することがあり、液晶が移動した場合には、該液晶を透過する光の量が変わってしまう。
【０１３４】
このように、液晶表示パネルＰは、静止画像を表示させた場合であっても、液晶を駆動する交流電流の周期（この場合には１／６０秒）で、その明るさが変動する。したがって、液晶表示パネルＰの各表示画素を同一の撮像条件で撮像するためには、各表示画素を、液晶を駆動する交流電流の周期（フレーム切り替えの周期）の整数倍の時間で撮像する必要がある。
【０１３５】
そこで、パネル走査制御部１３は、撮像装置２の走査速度を、１フレーム表示する時間に、撮像装置２の時間遅延積分幅だけ移動する速度としている。これにより、液晶表示パネルＰの全ての表示画素を同じ条件で撮像することができ、液晶表示パネルＰの全表示画素を白色表示状態とした場合の静的な状態を、各表示画素の実際の明るさや色味等を正確に反映させた高精度な画像データとして取得することができる。
【０１３６】
また、撮像画像は、動的な表示欠陥を検出するための点灯パターンを撮像する場合と同様に、順次検査制御装置７の欠陥検出部１５に送られる。そして、欠陥検出部１５では、受け取った撮像画像から、輝度値が予め定めた下限値よりも小さい画素、すなわち正常な範囲を超えて暗い画素を検出し、これにより黒点欠陥のような、表示制御部１１に指示された表示状態よりも低輝度の表示状態となる表示欠陥を有する表示画素を特定する。そして、欠陥検出部１５は、特定した表示画素の位置を記憶しておく。
【０１３７】
また、撮像装置２の撮像領域が液晶表示パネルＰを通過すると、撮像制御部１４が撮像装置２に指示して撮像を停止させると共に、パネル走査制御部１３がパネル走査装置３に指示して走査ステージ３ａを停止させる。これにより、黒点欠陥を検出するための点灯パターンの撮像は終了する。
【０１３８】
検査システム１では、最後に輝点欠陥の検出を行う。具体的には、黒点欠陥を検出するための点灯パターンの撮像が終了すると、表示制御部１１は、液晶駆動装置５に指示して、液晶表示パネルＰの全表示画素を黒色表示状態にさせる。すなわち、全面黒色表示となる点灯パターンが輝点欠陥を検出するための点灯パターンということになる。
【０１３９】
続いて、撮像装置２は、黒点欠陥を検出するための点灯パターンを撮像する場合と同様にして、輝点欠陥を検出するための点灯パターンを撮像し、撮像画像は欠陥検出部１５に送られる。欠陥検出部１５では、受け取った撮像画像から、輝度値が予め定めた上限値よりも大きい画素、すなわち正常な範囲を超えて明るい画素を検出し、これにより輝点欠陥のような、表示制御部１１に指示された表示状態よりも高輝度の表示状態となる表示欠陥を有する表示画素を特定する。欠陥検出部１５は、特定した表示画素の位置を記憶しておく。
【０１４０】
そして、撮像装置２の撮像領域が液晶表示パネルＰを通過すると、撮像制御部１４が撮像装置２に指示して撮像を停止させると共に、パネル走査制御部１３がパネル走査装置３に指示して走査ステージ３ａを停止させる。これにより、輝点欠陥を検出するための点灯パターンの撮像は終了し、輝点欠陥を検出するための点灯パターンの撮像終了を以って、全ての点灯パターンの撮像が終了する。
【０１４１】
以上のようにして、３種類の点灯パターンの表示及び撮像が終了すると（Ｓ６でＹＥＳ）、得られた撮像画像から表示欠陥を有する表示画素が検出される（Ｓ７）。ここで、動的な表示欠陥を検出するための点灯パターンにて欠陥ありとして検出された表示画素のうち、黒点欠陥でも輝点欠陥でもないものは、動的な表示欠陥を有していると判断することができる。
【０１４２】
すなわち、欠陥検出部１５は、全ての点灯パターンの撮像画像から、それぞれ表示欠陥を検出した後、動的な表示欠陥を検出するための点灯パターンにて欠陥ありとして検出された表示画素のうち、黒点欠陥でも輝点欠陥でもないものは、動的な表示欠陥を有していると判断する。これにより、動的な表示欠陥、黒点欠陥、及び輝点欠陥の３種類の表示欠陥が区別して検出される。
【０１４３】
〔変形例〕
上記実施形態では、動的な表示欠陥を検出するために、全面黒色表示状態から全面白色状態へと変化する点灯パターンを用いる例を示したが、動的な表示欠陥を検出するために用いる点灯パターンは、この例に限られない。例えば、全面白色表示状態から全面黒色状態へと変化する点灯パターンを用いた場合であっても、同様に動的な表示欠陥を検出することができる。
【０１４４】
液晶表示パネルＰの各表示画素の表示状態が、白色表示状態から黒色表示状態、または黒色表示状態から白色表示状態に変化する点灯パターンを用いることにより、各表示画素における輝度値の変化の幅を大きくすることができ、動的な表示欠陥を検出しやすくなるので好ましい。
【０１４５】
しかしながら、上述した点灯パターンとは異なる点灯パターンを用いた場合であっても、表示状態の変化の遷移状態を検出することができれば、動的な表示欠陥を検出することはできる。例えば、各表示画素の表示状態が、白色と黒色との中間階調から白色または黒色に変化する点灯パターンを用いることができる。また、白色と黒色との中間階調から、該中間階調とは異なる中間階調へと変化する点灯パターンを用いることもできる。さらに、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色を単独で、または組み合わせた色を点灯パターンに使用してもよい。
【０１４６】
また、上記実施形態では、撮像装置２としてＴＤＩセンサを用いる態様を示したが、撮像装置２はラインセンサであればよく、上記の態様に限られない。例えば、図４の例において、ラインセンサ（ａ）のみ、またはラインセンサ（ｂ）のみ、あるいはラインセンサ（ｃ）で撮像を行った場合であっても、表示画素（Ｆ）が表示欠陥を有することを検出することができる。
【０１４７】
ただし、図４の例において、ラインセンサ（ｄ）のみで撮像を行った場合には、ラインセンサ（ｄ）の撮像領域に黒色と白色との中間階調が表示されている表示画素が含まれないので、表示欠陥を有する表示画素を検出することはできない。
【０１４８】
これに対し、本実施形態のように、ＴＤＩセンサを使用した場合には、ＴＤＩセンサを構成するラインセンサの少なくとも１つの撮像領域が、黒色と白色との中間階調が表示されている表示画素を含んでいれば、表示欠陥を有する表示画素を検出することができる。すなわち、ＴＤＩセンサを使用する場合には、ＴＤＩセンサと点灯パターンとの位置決めに要求される精度が緩和されるので、撮像装置２としてはＴＤＩセンサを用いることが好ましい。
【０１４９】
また、上記実施形態では、動的な表示欠陥を検出するための点灯パターンと、輝点欠陥を検出するための点灯パターンと、黒点欠陥を検出するための点灯パターンとを順次表示させて欠陥の検出を行う例を示したが、これらの点灯パターンを同時に点灯させて複数種類の欠陥を平行して検出するようにしてもよい。
【０１５０】
例えば、図２の例において、３台の撮像装置２をその撮像領域Ａが互いに平行になるように、Ｘ軸方向に距離を空けて設置する。なお、撮像領域ＡのＸ軸方向の距離が、液晶表示パネルＰのＸ軸方向の幅よりも広くなると、複数種類の点灯パターンを同時に撮像できなくなり、また撮像領域ＡのＸ軸方向の距離が近すぎると、静的な表示欠陥が正確に検出されない。したがって、３台の撮像装置２は、液晶表示パネルＰのＸ軸方向の幅よりも短く、静的な表示欠陥が正確に検出される程度の間隔でＸ軸方向に配置することが好ましい。
【０１５１】
次に、液晶表示パネルＰの全表示画素を白色表示状態とし、１台目の撮像装置２にて白色表示状態の表示画素を撮像してゆく。続いて、白色表示状態の表示画素を撮像装置２の走査方向に向かって順次黒色表示状態に切り換えてゆき、これを２台目の撮像装置２にて追従撮像する。そして、黒色表示状態となった表示画素を３台目の撮像装置２にて撮像してゆく。
【０１５２】
すなわち、上記構成によれば、黒点欠陥を検出するための点灯パターンと、動的な表示欠陥を検出するための点灯パターンと、輝点欠陥を検出するための点灯パターンとが、互いに異なる撮像装置２にて連続して撮像される。これにより、装置２を往復走査させることなく、短時間で、黒点欠陥、輝点欠陥、及び動的な表示欠陥をそれぞれ区別して検出することが可能になる。
【０１５３】
また、上記実施形態では、黒点欠陥を、全表示画素を白色表示状態とする点灯パターンにて検出し、輝点欠陥を、全表示画素を白色表示状態とする点灯パターンにて検出する例を示したが、この例に限られない。例えば、上記以外の点灯パターンを用いて黒点欠陥や輝点欠陥を検出してもよい。
【０１５４】
そして、上記実施形態では、表示状態を変化させる表示画素列を追従撮像することによって、各表示画素の撮像を同じタイミングで開始し、同じ撮像時間だけ撮像を行うことを可能にしている。しかしながら、本発明では、同一の撮像開始タイミング及び撮像時間で各表示画素の遷移状態を撮像することができれば、動的な表示欠陥を有する表示画素を検出することができるので、表示画素の撮像方法はこの例に限られない。
【０１５５】
例えば、撮像制御部１４が、表示画素列ごとに、各表示画素が上記第１表示状態から第２表示状態に切り換わるまでの期間を含む予め定めた時間だけ、各表示画素の輝度値を検出し、かつ、該検出を、上記表示制御手段が各表示画素に対して上記第１表示状態から上記第２表示状態への切り換えを指示したタイミングを基準とする予め定めたタイミングで開始するように、撮像装置２の撮像素子を制御するようにしてもよい。
【０１５６】
上記の構成によれば、走査制御を厳密に行わなくとも、各表示画素を同じ撮像開始タイミングで同じ撮像時間だけ撮像することができるので、動的な表示欠陥を検出するための撮像画像を取得することができる。
【０１５７】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１５８】
最後に、検査制御装置７の各ブロック、特に表示制御部１１、パネル搬送制御部１２、パネル走査制御部１３、撮像制御部１４、及び欠陥検出部１５は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにＣＰＵを用いてソフトウェアによって実現してもよい。
【０１５９】
すなわち、検査制御装置７は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するＣＰＵ（central processing unit）、上記プログラムを格納したＲＯＭ（read only memory）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（random access memory）、上記プログラム及び各種データを格納するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである検査制御装置７の制御プログラムのプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記検査制御装置７に供給し、そのコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。
【０１６０】
上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。
【０１６１】
また、検査制御装置７を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを、通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（virtual private network）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。
【産業上の利用可能性】
【０１６２】
本発明は、液晶表示パネル、プラズマ表示パネル、ＥＬ表示パネル、及びＦＥＤ等の様々な表示装置の製造工程における点灯検査に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１６３】
【図１】本発明の実施形態を示すものであり、検査制御装置の要部構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の検査システムの概略構成を示す斜視図である。
【図３】ＴＤＩセンサの撮像方法を説明する図であり、同図（ａ）は通常のラインセンサの撮像方法を示し、同図（ｂ）はＴＤＩセンサの撮像方法を示している。
【図４】上記検査システムにおいて撮像画像が生成される仕組みについて説明する図である。
【図５】上記検査システムにおける処理の一例を示すフローチャートである。
【図６】特許文献２及び３に記載の技術を説明する図であり、同図（ａ）は表示装置に動画を表示させた場合に、特許文献２の技術にて撮像される画像を示す図であり、同図（ｂ）は表示装置に動画を表示させた場合に、特許文献３の技術にて撮像される画像を示す図である。
【符号の説明】
【０１６４】
１    検査システム
２    撮像装置
３    パネル走査装置（走査装置）
４    パネル搬送装置
５    液晶駆動装置
６    バックライトユニット
７    検査制御装置（検査装置）
１１    表示制御部
１２    パネル搬送制御部
１３    パネル走査制御部（走査制御手段）
１４    撮像制御部（撮像制御手段）
１５    欠陥検出部（欠陥検出手段）
【図１】
2009150847.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図５】
2009150847.tif 000006
【図４】
2009150847.tif 000007
【図６】
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