(57)【要約】【課題】１つの被処理物乾燥装置により熱風乾燥処理と真空乾燥処理とが行え、被処理物の大きさ及び形状、或いは、洗浄液の残着量や種類等に応じた適切な方法で乾燥処理することができる被処理物乾燥装置を提供する。【解決手段】ブロアー３ｂとブロアー７との送風力により、熱風発生装置３により発生された供給熱風Ｈと、熱風排出部２Ａｂから排出される排気熱風Ｈとを合流させるとともに、濾過装置５により清浄濾過され、捕集装置８により液分が捕集された供給熱風Ｈを乾燥室２Ａ内へ送風して、被処理物Ａに残着する洗浄液を蒸発気化して熱風乾燥する。一方、減圧装置４を駆動して、乾燥室２Ａ内の雰囲気Ｆを強制的に吸引して抜き取り、該乾燥室２Ａ内を真空に近い状態に減圧する。熱風乾燥時において被処理物Ａ自体に蓄積された予熱により、該被処理物Ａに残着する洗浄液を蒸発気化して真空乾燥する。【選択図】図１
2009074717.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液で洗浄処理された被処理物を収容した際に密閉される乾燥室と、該乾燥室内に収容された被処理物を加熱するための熱風を発生する熱風発生手段と、該乾燥室内を真空に近い状態に減圧する減圧手段とを備えた被処理物乾燥装置において、
前記乾燥室の上部に設けられた熱風供給部と、該乾燥室の下部に設けられた熱風排出部とを、該熱風排出部から熱風供給部に向けて熱風を循環させるための熱風循環路で接続し、
前記熱風排出部と熱風供給部との間の熱風循環路上に、前記熱風排出部から熱風供給部に向けて熱風を送風するとともに、前記熱風発生手段により発生された熱風を前記熱風供給部に向けて送風するための第１送風手段を設け、
前記熱風供給部と第１送風手段とを接続する熱風循環路上に、前記被処理物に残着する洗浄液が蒸発気化する温度に加熱された熱風を発生させるための熱風発生手段を設け、
前記熱風発生手段により発生された熱風と、前記熱風排出部から熱風供給部に向けて送風される熱風とを合流させて循環供給することを特徴とする
被処理物乾燥装置。
【請求項２】
前記熱風発生手段に、該熱風発生手段により発生された熱風を前記第１送風手段により送風される熱風と合流させて、前記熱風供給部に向けて送風する第２送風手段を設けたことを特徴とする
請求項１に記載の被処理物乾燥装置。
【請求項３】
前記熱風供給部と前記熱風発生手段との間の熱風循環路上に、該熱風発生手段から熱風供給部へ供給される熱風を清浄な状態に濾過する濾過手段を設けことを特徴とする
請求項１又は２に記載の被処理物乾燥装置。
【請求項４】
前記熱風排出部と前記第１送風手段との間の熱風循環路上に、該熱風排出部から第１送風手段へ排出される熱風中に含まれる洗浄液を捕集するための捕集手段を設けたことを特徴とする
請求項１〜３のいずれか一つに記載の被処理物乾燥装置。
【請求項５】
前記乾燥室の下部に、該乾燥室の下部外壁と接触する状態に液状の加熱媒体が貯蔵された加温室を連設し、
前記加温室に、該加温室に貯蔵された加熱媒体を加熱するためのヒータを設けたことを特徴とする
請求項１〜４のいずれか一つに記載の被処理物乾燥装置。
【請求項６】
前記被処理物の洗浄処理に使用される洗浄液に、前記被処理物に錆が発生するのを防止するための防錆液を所定量混入し、
前記熱風発生手段により発生される熱風の温度を、前記防錆液より沸点が低い洗浄液のみが蒸発気化される温度に設定したことを特徴とする
請求項１〜５のいずれか一つに記載の被処理物乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば半導体基板、液晶基板、プラズマ・ディスプレイ・パネル基板（ＰＤＰ基板）、エレクトロ・ルミネセンス基板（ＥＬ基板）等の電子部品、機械加工部品或いは精密部品等の洗浄処理された被処理物を乾燥する際に用いられる被処理物乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、前記被処理物乾燥装置としては、例えば熱風発生機により発生された熱風を、熱風入口側から処理槽を包囲するカバー内に供給して、処理槽を外側から加熱する。熱風出口側からカバー内に供給された熱風を排出する。カバーの熱風入口側及び熱風出口側を閉塞した後、カバーの熱風供給部から処理槽内に供給し、該処理槽内に収容された被処理物を熱風乾燥する。また、カバーの熱風排出部から排出される排気風を、帰還路を介して熱風発生機へ戻して再加熱して循環させる。熱風乾燥が完了した後、真空ポンプの吸引力により処理室内の空気をカバーの熱風排出部から強制的に抜き取り、該処理槽内を真空状態に減圧して被処理物を真空乾燥する特許文献１の真空乾燥装置がある。
【０００３】
【特許文献１】特許第３８０６１１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前記特許文献１の真空乾燥装置は、被処理物を処理室内に収容するまえに、熱風発生機により発生された熱風をカバー内に供給して、該カバーにより包囲された処理槽を外側から加熱しなければならず、被処理物を熱風乾燥する作業が即行えない。また、熱風排出部から排出される排気風を熱風発生機で再加熱して、熱風供給部から処理槽内へ循環供給するが、熱風供給部から処理槽内へ供給される熱風中に含まれる異物を分離するための手段と、熱風排出部から処理槽外へ排出される排気風に含まれる液分を分離するための手段とがなく、熱風排出部から排出される異物及び液分を含んだ熱風が、熱風供給部から処理槽内へ再び供給されるため、被処理物の乾燥効率が悪く、熱風乾燥に要する処理時間が長くなる。
【０００５】
この発明は前記問題に鑑み、１つの被処理物乾燥装置により熱風乾燥処理と真空乾燥処理とが行え、被処理物の大きさ及び形状、或いは、洗浄液の残着量や種類等に応じた適切な方法で乾燥処理することができる被処理物乾燥装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載した発明の被処理物乾燥装置は、洗浄液で洗浄処理された被処理物を収容した際に密閉される乾燥室と、該乾燥室内に収容された被処理物を加熱するための熱風を発生する熱風発生手段と、該乾燥室内を真空に近い状態に減圧する減圧手段とを備えた被処理物乾燥装置において、前記乾燥室の上部に設けられた熱風供給部と、該乾燥室の下部に設けられた熱風排出部とを、該熱風排出部から熱風供給部に向けて熱風を循環させるための熱風循環路で接続し、前記熱風排出部と熱風供給部との間の熱風循環路上に、前記熱風排出部から熱風供給部に向けて熱風を送風するとともに、前記熱風発生手段により発生された熱風を前記熱風供給部に向けて送風するための第１送風手段を設け、前記熱風供給部と第１送風手段とを接続する熱風循環路上に、前記被処理物に残着する洗浄液が蒸発気化する温度に加熱された熱風を発生させるための熱風発生手段を設け、前記熱風発生手段により発生された熱風と、前記熱風排出部から熱風供給部に向けて送風される熱風とを合流させて循環供給することを特徴とする。
【０００７】
この発明によると、被処理物を熱風乾燥する場合、第１送風手段の送風力により、熱風発生手段により発生された熱風を熱風供給部から乾燥室内へ供給して、乾燥室に収容された被処理物を加熱するとともに、該被処理物に残着する洗浄液を蒸発気化して熱風乾燥する。また、熱風発生手段により発生された熱風と、熱風排出部から熱風供給部に向けて送風される熱風とを合流させて循環供給するので、被処理物に残着する洗浄液を蒸発気化させるのに適した温度に再加熱する際の熱量が少なくて済み、被処理物を効率よく熱風乾燥することができる。
【０００８】
また、被処理物を真空乾燥する場合、減圧手段の吸引力により、乾燥室内の熱風が含まれる雰囲気を強制的に吸引して抜き取り、該乾燥室内を真空に近い状態に減圧する。つまり、乾燥室内を真空状態に減圧すると、被処理物に残着する洗浄液の沸点が低くなる。前記熱風乾燥時において被処理物自体に蓄積された予熱により、被処理物に残着する洗浄液が蒸発気化される。また、真空状態の減圧により洗浄液の蒸発が促進されるので、残着する洗浄液を蒸発気化させる際に要する処理時間が短く、被処理物を効率よく真空乾燥することができる。
【０００９】
前記洗浄液は、例えばナフテン系炭化水素、芳香族系炭化水素、テルペン系炭化水素等を主成分とする炭化水素系洗浄剤（ＨＣ）、或いは、例えば純水、蒸留水、水道水等の水洗浄剤で構成することができる。また、熱風発生手段は、例えば被処理物に残着する洗浄液が蒸発気化する温度に加熱された熱風を発生させるための熱風発生装置等で構成することができる。また、減圧手段は、例えば減圧装置、真空ポンプ等で構成することができる。また、第１送風手段及び後述する第２送風手段は、例えばリングブロアーを含むブロアー、コンプレッサー等で構成することができる。
【００１０】
請求項２に記載した発明の被処理物乾燥装置は、前記請求項１に記載の構成と併せて、前記熱風発生手段に、該熱風発生手段により発生された熱風を前記第１送風手段により送風される熱風と合流させて、前記熱風供給部に向けて送風する第２送風手段を設けたことを特徴とする。
【００１１】
この発明によると、熱風循環路上の第１送風手段と、熱風発生手段の第２送風手段との送風力により、熱風発生手段により発生された熱風と、熱風排出部から熱風供給部に向けて送風される熱風とを合流させて循環供給するので、被処理物に残着する洗浄液を蒸発気化させるのに必要な風量・風速が得られ、被処理物の熱風乾燥が効率よく行える。
【００１２】
請求項３に記載した発明の被処理物乾燥装置は、前記請求項１又は２に記載の構成と併せて、前記熱風供給部と前記熱風発生手段との間の熱風循環路上に、該熱風発生手段から熱風供給部へ供給される熱風を清浄な状態に濾過する濾過手段を設けことを特徴とする。
【００１３】
この発明によると、濾過手段により、熱風発生手段から乾燥室へ供給される熱風から微細な異物（例えば塵埃や不純物等）を分離し、清浄濾過された熱風を乾燥室へ供給するので、所望する清浄な状態に熱風乾燥することができる。また、前記濾過手段は、例えばミクロンサイズの異物を分離する際に用いられるフィルター等で構成することができる。
【００１４】
請求項４に記載した発明の被処理物乾燥装置は、前記請求項１〜３のいずれか一つに記載の構成と併せて、前記熱風排出部と前記第１送風手段との間の熱風循環路上に、該熱風排出部から第１送風手段へ排出される熱風中に含まれる洗浄液を捕集するための捕集手段を設けたことを特徴とする。
【００１５】
この発明によると、捕集手段により、熱風排出部から排出される熱風に含まれる洗浄液等の液分を捕集して、熱風から液分を分離する。液分が捕集分離された熱風を、熱風発生手段により発生された熱風と合流させて循環供給するので、被処理物を効率よく熱風乾燥することができる。また、前記捕集手段は、例えば熱風に含まれるミスト状の洗浄液を捕集する捕集装置等で構成することができる。
【００１６】
請求項５に記載した発明の被処理物乾燥装置は、前記請求項１〜４のいずれか一つに記載の構成と併せて、前記乾燥室の下部に、該乾燥室の下部外壁と接触する状態に液状の加熱媒体が貯蔵された加温室を連設し、前記加温室に、該加温室に貯蔵された加熱媒体を加熱するためのヒータを設けたことを特徴とする。
【００１７】
この発明によると、加温室に貯蔵された液状の加熱媒体をヒータにより加熱して、乾燥室の下部を加温室に貯蔵された加熱媒体により加熱する。これにより、加温室に貯蔵された加熱媒体の熱を、乾燥室に供給された熱風に伝導して、その熱風を被処理物に残着する洗浄液が蒸発気化する温度に加温する。
【００１８】
請求項６に記載した発明の被処理物乾燥装置は、前記請求項１〜５のいずれか一つに記載の構成と併せて、前記被処理物の洗浄処理に使用される洗浄液に、前記被処理物に錆が発生するのを防止するための防錆液を所定量混入し、前記熱風発生手段により発生される熱風の温度を、前記防錆液より沸点が低い洗浄液のみが蒸発気化される温度に設定したことを特徴とする。
【００１９】
この発明によると、防錆液が含まれる洗浄液で洗浄処理された被処理物を乾燥室内に収容した後、熱風発生手段により発生された防錆液より沸点が低い洗浄液のみが蒸発気化する温度に加熱された熱風を乾燥室内へ供給する。乾燥室に収容された被処理物を洗浄液のみが蒸発気化する温度に加熱するとともに、該被処理物に残着する防錆液を除く洗浄液のみを蒸発気化して熱風乾燥する。これにより、被処理物の表面に洗浄液が残ることがなく、被処理物全体が防錆油により均一に覆われた状態に乾燥処理するので、乾燥処理後の被処理物に錆が発生するのを防止することができる。なお、防錆液は、洗浄液の一例である炭化水素系洗浄剤よりも沸点が高い防錆油等で構成することができる。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、１つの被処理物乾燥装置により熱風乾燥処理と真空乾燥処理とが行えるので、熱風乾燥装置と真空乾燥装置とを別々に製作或いは設置する必要がなく、製作コストの低減を図ることができる。また、熱風乾燥又は真空乾燥のいずれか一方の方法で乾燥処理するか、熱風乾燥及び真空乾燥の両方法で乾燥処理することができるので、熱風乾燥と真空乾燥とが持つ欠点を補うことができるとともに、被処理物の大きさ及び形状、或いは、洗浄液の残着量や種類等に応じた適切な方法で乾燥処理することができる。また、熱風乾燥工程から真空乾燥工程へ被処理物を移動する必要がなく、工程間の熱損失が少なくて済み、乾燥処理が効率よく行える。また、ランニングコスト及びタクトタイムの削減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
この発明は、１つの被処理物乾燥装置により熱風乾燥処理と真空乾燥処理とが行え、被処理物の大きさ及び形状、或いは、洗浄液の残着量や種類等に応じた適切な方法で乾燥処理することができるという目的を、被処理物が収容される乾燥室に、被処理物を熱風乾燥するための熱風を発生する熱風発生手段と、乾燥室を真空に近い状態に減圧する減圧手段とを接続することで達成した。
【実施例】
【００２２】
この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。
【００２３】
図面は、洗浄液の一例である炭化水素系洗浄剤（ＨＣ）により洗浄処理された被処理物の熱風吸引真空乾燥に用いられる被処理物乾燥装置を示し、図１、図２、図３に於いて、この被処理物乾燥装置１は、図示しない洗浄工程から供給される洗浄処理済みの被処理物Ａが収容され、該被処理物Ａを収容した際に上方の開口部２ａが密閉される乾燥室２Ａと、被処理物Ａに残着する洗浄液が蒸発気化する温度（すなわち、洗浄液の沸点）に加熱された熱風Ｈを乾燥室２Ａ内へ供給する熱風発生装置３と、乾燥室２Ａ内の雰囲気Ｆを抜き取り、該乾燥室２Ａ内を真空に近い状態に減圧する減圧装置４とを備えている。
【００２４】
乾燥室２Ａは、図示しない洗浄工程で洗浄処理された被処理物Ａの収容が許容される大きさ及び形状に形成され、その乾燥室２Ａの上面には、被処理物Ａの出し入れが許容される大きさ及び形状に形成した開口部２ａを設けている。また、開口部２ａには、該開口部２ａが閉塞される大きさ及び形状に形成した蓋体２ｂを開閉自在に設けている。
【００２５】
また、乾燥室２Ａの中央側壁部には、洗浄処理済みの被処理物Ａが載置される一対の各受け棚２ｃ，２ｃを内側に向けて水平に突設している。また、各受け棚２ｃ，２ｃより上方の上部乾燥領域と対応する側壁部には、乾燥室２Ａ内の処理温度、すなわち、乾燥室２Ａ内に供給された熱風Ｈの温度を検知するための温度センサー２ｄを設けている。
【００２６】
つまり、温度センサー２ｄは、乾燥室２Ａに供給される熱風Ｈの温度を検知して、その検知信号を後述する熱風発生装置３へ出力する。熱風発生装置３は、温度センサー２ｄから出力される検知信号に基づいて、乾燥室２Ａへ供給される熱風Ｈの温度を昇温・降温し、被処理物Ａに残着する洗浄液が蒸発気化する温度（沸点）に保つ。
【００２７】
各受け棚２ｃ，２ｃより下方の下部乾燥領域と対応する側壁部には、バルブ２ｈと、真空路２ｉとを介して、乾燥室２Ａ内を真空に近い状態に減圧するための減圧装置４を接続している。
【００２８】
減圧装置４は、乾燥室２Ａ内の雰囲気Ｆを吸引して抜き取り、該乾燥室２Ａ内を真空に近い状態に減圧する。つまり、乾燥室２Ａ内を真空状態に減圧すると、被処理物Ａに残着する洗浄液の沸点が低くなる。また、洗浄液の蒸発が促進されるので、残着する洗浄液を蒸発気化させる際の熱量が少なくて済み、低い温度の熱量で蒸発気化することができる。また、残着する洗浄液を蒸発気化させる際に要する処理時間が短くなり、被処理物Ａを効率よく乾燥処理することができる。
【００２９】
また、減圧装置４のドレン側には、バルブ４ａと、ドレン路４ｂとを介して、減圧時に発生するドレン（汚液）を貯蔵するためのドレンタンク４ｃを接続している。
【００３０】
また、ドレンタンク４ｃの下部には、バルブ４ｄを介して排出路４ｅを接続し、ドレンタンク４ｃの側部には、バルブ４ｆと液面センサー４ｇとを介して計測路４ｈを接続している。つまり、ドレンタンク４ｃ内にドレン液が所定量貯溜されたことを液面センサー４ｆで検知した際に、液面センサー４ｆから出力される検知信号に基づいて、バルブ４ｄを一時的に開放して、ドレンタンク４ｃに貯蔵されたドレン液を排出路４ｅから排出する。また、ドレンタンク４ｃから排出されるドレン液は再生するか廃棄する。
【００３１】
実施例では、減圧装置４の一例として真空ポンプを使用しているが、所望する真空状態に減圧することが可能であれば、真空ポンプ以外の減圧手段で減圧してもよい。
【００３２】
また、減圧装置４の排気側には、逆止弁２ｊと、排気路２ｋとを介して、乾燥室２Ａから排出される雰囲気Ｆから液分を分離回収するための分離回収器１８を接続している。
【００３３】
分離回収器１８は、乾燥室２Ａから排出される雰囲気Ｆに含まれる液分を捕集して、その雰囲気Ｆから液分を分離回収する。また、分離回収槽１８の左側捕集室１８ａに収容された捕集体１８ｂより下方の側壁には、前記排気路２ｋを接続している。また、捕集室１８ａの下部には、バルブ１８ｃを介して排出路１８ｄを接続し、捕集室１８ａの上部には、バルブ１８ｅを介して給水口１８ｆを接続している。
【００３４】
つまり、乾燥室２Ａから排出される雰囲気Ｆが捕集室１８ａの捕集体１８ｂを通過する際に、雰囲気Ｆに含まれる液分を捕集体１８ｂで捕集して捕集室１８ａ下部に滴下し、捕集体１８ｂを通過した雰囲気Ｆは捕集室１８ａ側部の右側捕集室１８ｇへ放出する。また、捕集室１８ａ下部に貯溜された液分（洗浄液）は、バルブ１８ｃを開放して室外へ排出する。なお、室外に排出される液分は再生するか廃棄する。
【００３５】
一方、右側捕集室１８ｇの下部には、バルブ１８ｈを介して排出路１８ｉを接続しており、捕集室１８ｇ下部に貯溜された残留液は、バルブ１８ｈを開放して室外へ排出する。なお、室外に排出される残留液は再生するか廃棄する。また、捕集室１８ｇの上部には、大気側に開放された排気路１８ｊを接続しており、液分（洗浄液）が分離された雰囲気Ｆを大気中に放出するか、図示しないフィルターで濾過してから大気中に放出する。
【００３６】
実施例では、分離回収器１８の一例としてデカンタタンクを使用しているが、所望する混合物を分離することが可能であれば、デカンタタンク以外の分離手段で分離してもよい。
【００３７】
また、乾燥室２Ａの一側上部には、後述する熱風発生装置３により発生された供給熱風Ｈを乾燥室２Ａへ供給するための熱風供給部２Ａａを設けている。また、乾燥室２Ａの一側下部には、被処理物Ａの乾燥処理に使用されたミスト状の洗浄液が含まれる供給熱風Ｈを乾燥室２Ａから排出するための熱風排出部２Ａｂを設けている。
【００３８】
熱風供給部２Ａａより上方の乾燥室２Ａの一側上部には、バルブ２Ａｃと、ミストセパレータ２Ａｄと、サイレンサー２Ａｅとを接続している。また、乾燥室２Ａの他側上部には、真空度計２Ａｆと、真空度スイッチ２Ａｇとを接続している。
【００３９】
熱風供給部２Ａａには、濾過装置５と、バルブ６とを介して、熱風循環路７Ａの一端側を接続している。また、熱風排出部２Ａｂには、ブロアー７と、捕集装置８と、バルブ９とを介して、熱風循環路７Ａの他端側を接続している。また、濾過装置５とブロアー７との間の熱風循環路７Ａには、熱風分流器１０と、ダンパー１１と、熱風合流器１２とを接続している。
【００４０】
濾過装置５とバルブ６とを接続する熱風循環路７Ａの供給路側と、捕集装置８とバルブ９とを接続する熱風循環路７Ａの排気路側には、ダンパー１９を介して熱風供給路２０を接続している。
【００４１】
熱風分流器１０には、ダンパー１３を介して、熱風排出路１４を接続しており、乾燥室２Ａから排出される熱風Ｈの一部を分流して排気する。なお、熱風排出路１４から排出される熱風Ｈに洗浄液が含まれている場合、例えば液分離回収装置により熱風Ｈから液分を分離する。また、その分離された液分は再生するか廃棄する。
【００４２】
熱風合流器１０には、ダンパー１５と、温度センサー１６と、熱風供給路１７とを介して、後述する熱風発生装置３を接続しており、熱風発生装置３により発生された熱風Ｈを、熱風循環路７Ａに沿って循環供給される熱風Ｈに合流させる。
【００４３】
乾燥室２Ａの下部（下部外壁）には、乾燥室２Ａに供給された熱風Ｈを、被処理物Ａに残着する洗浄液が蒸発気化する温度に加温するための加温室２Ｂを連設している。また、加温室２Ｂを、乾燥室２Ａの側部外壁に沿って設けてもよい。
【００４４】
加温室２Ｂには、乾燥室２Ａの下部壁面に対して常時接触する貯液レベルに液状の加熱媒体Ｂ（水やオイル等）が貯蔵されている。また、加温室２Ｂの一側壁部には、該加温室２Ｂに貯蔵された液状の加熱媒体Ｂを加熱するためのプラグ型ヒータ２Ｂａを所定間隔に隔てて複数設けている。
【００４５】
つまり、加温室２Ｂに貯蔵された液状の加熱媒体Ｂをプラグ型ヒータ２Ｂａにより加熱して、熱風Ｈが接触する乾燥室２Ａの下側壁部を、加温室２Ｂに貯蔵された加熱媒体Ｂにより加熱する。これにより、乾燥室２Ａの下側壁部に蓄積された熱を、乾燥室２Ａに供給された熱風Ｈに伝導するとともに、その熱風Ｈを被処理物Ａに残着する洗浄液が蒸発気化する温度に間接的に加温する。
【００４６】
また、加温室２Ｂの中央壁部には、該加温室２Ｂに貯蔵された加熱媒体Ｂの温度を検知するための温度センサー２Ｂｂを設けている。つまり、温度センサー２Ｂｂは、加温室２Ｂに貯蔵された加熱媒体Ｂの温度を検知し、その検知信号をプラグ型ヒータ２Ｂａへ出力する。プラグ型ヒータ２Ｂａは、温度センサー２Ｂｂから出力される検知信号に基づいて、加温室２Ｂに貯蔵された加熱媒体Ｂの温度を昇温し、被処理物Ａに残着する洗浄液が蒸発気化する温度に保つ。
【００４７】
加温室２Ｂの下部壁面には、バルブ２Ｂｃを介して、加温室２Ｂに貯蔵された液状の加熱媒体Ｂを排出するための排出路２Ｂｄを接続している。
【００４８】
また、加温室２Ｂの一側壁面には、バルブ２Ｂｅと、供給路２Ｂｆとを介して、プラグ型ヒータ２Ｂａにより加熱されて膨張した加熱媒体Ｂを貯蔵するための膨張タンク２Ｂｇを接続している。膨張タンク２Ｂｇは、加温室２Ｂに貯蔵された液状の加熱媒体Ｂが接触する乾燥室２Ａの下部壁面よりも上位に配置されている。加温室２Ｂに貯蔵された加熱媒体Ｂがプラグ型ヒータ２Ｂａにより加熱され膨張すると、その膨張時の圧力により膨張タンク２Ｂｇに排出される。
【００４９】
また、膨張タンク２Ｂｇに貯蔵された加熱媒体Ｂの温度が低下すると、加熱媒体Ｂ自体の自重により返還される。また、加熱媒体Ｂを、例えばポンプ等の移送手段により膨張タンク２Ｂｇから加温室２Ｂへ返還してもよい。
【００５０】
また、膨張タンク２Ｂｇ内部には、液面レベルに応じてスイッチ操作されるフロートスイッチ２Ｂｈを配置しており、膨張タンク２Ｂｇ側部には、バルブ２Ｂｉを介して迂回路２Ｂｊを接続している。
【００５１】
熱風発生装置３は、フィルター３ａにより濾過された外気を、ブロアー３ｂにより装置本体内へ送り込みながら、図示しない加熱手段（例えば熱交換器、ヒータ等）により被処理物Ａに残着する洗浄液が蒸発気化する温度（沸点）に加熱された熱風Ｈを発生させる。また、洗浄液が蒸発気化する沸点温度に加熱された熱風Ｈは、ブロアー３ｂとブロアー７との送風力により乾燥室２Ａへ供給される。
【００５２】
濾過装置５は、熱風発生装置３から乾燥室２Ａへ供給される熱風Ｈからミクロンサイズの異物（例えば塵埃や不純物等）を分離して所定のクリーン度に清浄濾過するので、被処理物Ａを所望する清浄な状態に熱風乾燥することができる。また、濾過装置５により微細な異物が分離された清浄な熱風Ｈは、熱風循環路７Ａを介して乾燥室２Ａへ供給される。実施例では、濾過装置５の一例としてＨＥＰＡフィルターを使用しているが、所望するミクロンサイズの異物を分離することが可能であれば、ＨＥＰＡフィルター以外の濾過手段で濾過してもよい。
【００５３】
また、濾過装置５を跨いで熱風循環路７Ａに接続された差圧計５ａは、濾過装置５を通過する前の熱風Ｈと、通過した後の熱風Ｈとの圧力差を計測する。つまり、濾過装置５の濾過機能が低下した場合、差圧計５ａに表示される圧力値に差が生じるので、交換時期が到来したことを認知することができる。これにより、濾過装置５のフィルターを交換する等して濾過機能の維持を図ることができる。
【００５４】
ブロアー７は、熱風循環路７Ａを介して、乾燥室２Ａの熱風排出部２Ａｂから排出されるミスト状の洗浄液が含まれる排気熱風Ｈを捕集装置８へ供給し、捕集装置８によりミスト状の洗浄液が捕集された排気熱風Ｈを、熱風発生装置３により発生された供給熱風Ｈと合流させて乾燥室２Ａへ循環供給する。実施例では、ブロアー７の一例としてリングブロアーを使用しているが、熱風Ｈを送風することが可能であれば、リングブロアー以外の送風手段を用いてもよい。
【００５５】
捕集装置８は、乾燥室２Ａから排出される排気熱風Ｈに飛沫同伴された蒸発気化したミスト状の洗浄液を捕集して、その気体である熱風Ｈからミスト状の洗浄液を分離する。また、乾燥室２Ａの熱風排出部２Ａｂと、捕集室８ａに収容された捕集体８ｂより下方の側壁とを熱風循環路７Ａで接続し、該室内に収容された捕集体８ｂより上方の側壁部と、ブロアー７の吸気口側とを熱風循環路７Ａで接続している。
【００５６】
つまり、蒸発気化したミスト状の洗浄液を含む排気熱風Ｈが捕集室８ａに収容された多孔性の捕集体８ｂを通過する際に、分子運動により気体のみの通過が許容されるが、排気熱風Ｈに含まれるミスト状の洗浄液は多孔性の捕集体８ｂ表面に捕集される。捕集体８ｂ表面に捕集された洗浄液は合体して液化するので、自重により捕集室８ａ下部に滴下される。これにより、洗浄液が取り除かれた気体である排気熱風Ｈのみがブロアー７へ供給され、熱風発生装置３により発生された供給熱風Ｈと合流して乾燥室２Ａへ再循環供給される。
【００５７】
また、捕集室８ａ下部には、バルブ８ｃを介して排出路８ｄを接続し、捕集室８ａ側部には、バルブ８ｅと液面センサー８ｆ，８ｆとを介して計測路８ｇを接続している。つまり、捕集室８ａに洗浄液が所定量貯溜されたことを液面センサー８ｆ，８ｆで検知した際に、液面センサー８ｆから出力される検知信号に基づいて、バルブ８ｃを一時的に開放し、捕集室８ａ下部に貯溜された洗浄液を排出路８ｄから室外へ排出する。なお、捕集室８ａから排出される洗浄液は再生するか廃棄する。実施例では、捕集体８ｂの一例としてデミスターを使用しているが、ミスト状の洗浄液を捕集することが可能であれば、デミスター以外の捕集手段で捕集してもよい。
【００５８】
図示実施例は前記の如く構成するものにして、以下、被処理物乾燥装置１による被処理物Ａの乾燥方法を説明する。
【００５９】
先ず、図１に示すように、乾燥室２Ａの蓋体２ｂを開放した後、図示しない洗浄工程にて炭化水素系洗浄剤を主成分とする洗浄液により洗浄処理された被処理物Ａを乾燥室２Ａ内に収容する。乾燥室２Ａ内の各受け棚２ｃ，２ｃに被処理物Ａを載置した後、乾燥室２Ａの開口部２ａを蓋体２ｂで気密状態に密閉する。おな、実施例では、洗浄液の一例として、例えばジャパンエナジー社製の炭化水素系洗浄剤（沸点１６６℃〜１７６℃、ノルマルパラフィン系の商品名=ＮＳクリーン）を使用している。
【００６０】
被処理物Ａが収容された乾燥室２Ａの開口部２ａを密閉した後、熱風供給部２Ａａのバルブ６と、熱風排出部２Ａｂのバルブ９とを開放する。
【００６１】
乾燥室２Ａ内に搬入された被処理物Ａを熱風乾燥する場合、減圧発生側のバルブ２ｈを閉塞し、減圧装置４を停止しておく。
【００６２】
熱風発生装置３及びブロアー７を駆動して、図２にも示すように、熱風発生装置３により発生された洗浄液が蒸発気化する温度（沸点）に加熱された供給熱風Ｈを、熱風循環路７Ａを介して、ブロアー３ｂとブロアー７との送風力により濾過装置５へ供給する。また、濾過装置５により供給熱風Ｈから微細な異物を分離し、清浄濾過された供給熱風Ｈを乾燥室２Ａへ熱風供給部２Ａａから供給する。
【００６３】
熱風発生装置３により発生された供給熱風Ｈを乾燥室２Ａ内の上部乾燥領域から下部乾燥領域に向けて送風し、乾燥室２Ａの各受け棚２ｃ，２ｃに載置された被処理物Ａの外面全体に対して供給熱風Ｈを略均一に吹き付けて加熱し、被処理物Ａに残着する洗浄液を蒸発気化させる。
【００６４】
また、加温室２Ｂに貯蔵された加熱媒体Ｂにより乾燥室２Ａの下側壁部を加熱しているので、その乾燥室２Ａの下側壁部に蓄積された熱により、乾燥室２Ａに供給された熱風Ｈを被処理物Ａに残着する洗浄液が蒸発気化する温度に加温することができる。
【００６５】
また、ブロアー７の吸気口側に発生する負圧により、乾燥室２Ａ内のミスト状の洗浄液が含まれる供給熱風Ｈを吸引して、乾燥室２Ａの熱風排出部２Ａｂから室外へ排出する。
【００６６】
乾燥室２Ａの熱風排出部２Ａｂから排出されるミスト状の洗浄液が含まれる排気熱風Ｈを、熱風循環路７Ａを介して、ブロアー７の送風力により捕集装置８へ供給する。また、捕集装置８により排気熱風Ｈに含まれるミスト状の洗浄液を捕集して液化するとともに、その液化された洗浄液を捕集室８ａ下部に滴下する。なお、捕集室１８ａ下部に貯溜された液分（洗浄液）は、バルブ１８ｃを開放して室外へ定期的に排出する。また、室外へ排出される液分は再生するか廃棄する。
【００６７】
一方、ブロアー３ｂとブロアー７との送風力により、捕集装置８によりミスト状の洗浄液が捕集された排気熱風Ｈと、熱風発生装置３により発生された供給熱風Ｈとを合流させて濾過装置５へ再び供給する。また、濾過装置５により清浄濾過された供給熱風Ｈを乾燥室２Ａへ熱風供給部２Ａａから供給して、熱風乾燥に使用する。また、排気熱風Ｈと供給熱風Ｈとを合流させて循環供給するので、被処理物Ａに残着する洗浄液を蒸発気化させるのに適した温度に再加熱する際の熱量が少なくて済み、被処理物Ａの熱風乾燥が効率よく行える。
【００６８】
つまり、ブロアー３ｂとブロアー７との送風力により、熱風発生装置３により発生された供給熱風Ｈと、熱風排出部２Ａｂから熱風供給部２Ａａに向けて送風される排気熱風Ｈとを合流させることにより、被処理物Ａに残着する洗浄液を蒸発気化させるのに必要な風量・風速が得られる。また、熱風循環路７Ａを介して、熱風発生装置３により発生された供給熱風Ｈを濾過装置５で濾過処理し、ミクロンサイズの異物が濾過分離された供給熱風Ｈを乾燥室２Ａへ供給して、被処理物Ａの熱風乾燥に使用する。また、乾燥室２Ａから排出されるミスト状の洗浄液が含まれる排気熱風Ｈを捕集装置８で捕集処理し、ミスト状の洗浄液が捕集分離された排気熱風Ｈを、熱風発生装置３により発生された供給熱風Ｈと合流させて循環供給するので、被処理物Ａを効率よく熱風乾燥することができる。
【００６９】
次に、被処理物Ａを真空乾燥する場合、前記熱風Ｈによる熱風乾燥が完了した後、熱風供給部２Ａａのバルブ６と、熱風排出部２Ａｂのバルブ９とを閉鎖し、熱風発生装置３及びブロアー７の駆動を停止する。
【００７０】
減圧側のバルブ２ｈを開放した後、減圧装置４を駆動して、図３に示すように、乾燥室２Ａ内の温度が高い雰囲気Ｆを強制的に吸引して抜き取り、該乾燥室２Ａ内を真空に近い状態に減圧する。つまり、乾燥室２Ａ内を真空状態に減圧すると、被処理物Ａに残着する洗浄液の沸点が低くなる。
【００７１】
前記熱風乾燥時において被処理物Ａ自体に蓄積された予熱により、該被処理物Ａに残着する洗浄液が蒸発気化される。その洗浄液の蒸発量に比例して、被処理物Ａに蓄熱された熱が徐々に奪われて、蒸発潜熱以下の熱量に降温した際に、洗浄液の蒸発気化がとまる。
【００７２】
また、真空状態の減圧により洗浄液の蒸発が促進されるので、残着する洗浄液を蒸発気化させる際の熱量が少なくて済み、低い温度の熱量で蒸発気化することができる。また、残着する洗浄液を蒸発気化させる際に要する処理時間が短く、被処理物Ａを効率よく真空乾燥することができる。
【００７３】
また、図示しない洗浄工程にて洗浄処理された被処理物Ａを乾燥室２Ａに収容した後、減圧装置４により乾燥室２Ａ内を真空に近い状態に減圧して真空乾燥してもよい。つまり、被処理物Ａには、例えば所定温度に加温された洗浄液に浸漬する浸漬洗浄処理、或いは、蒸発気化されたミスト状の洗浄液に接触させる蒸気洗浄処理等の洗浄処理を行った際の処理熱が蓄熱されるので、被処理物Ａが収容された乾燥室２Ａ内を真空に近い状態に減圧すれば、被処理物Ａに蓄熱された熱を利用して、被処理物Ａに残着する洗浄液を蒸発気化することができ、被処理物Ａの真空乾燥が効率よく行える。
【００７４】
また、熱風乾燥又は真空乾燥のいずれか一方の方法で乾燥処理した後、乾燥処理済みの被処理物Ａを乾燥室２Ａから取り出せば、熱風乾燥又は真空乾燥のいずれか一方の方法で乾燥処理された被処理物Ａを得ることができる。或いは、熱風乾燥及び真空乾燥の両方法で乾燥処理した後、乾燥処理済みの被処理物Ａを乾燥室２Ａから取り出せば、熱風乾燥及び真空乾燥の両方法で乾燥処理された被処理物Ａを得ることができる。これにより、被処理物Ａの大きさ及び形状、或いは、洗浄液の残着量や種類等に応じた適切な方法で乾燥処理することができる。
【００７５】
また、１つの被処理物乾燥装置１により熱風乾燥処理と真空乾燥処理とが行えるので、例えば熱風乾燥装置と真空乾燥装置とを別々に製作或いは設置する必要がなく、製作コストの低減を図ることができる。また、熱風乾燥又は真空乾燥のいずれか一方の方法で乾燥処理するか、熱風乾燥及び真空乾燥の両方法で乾燥処理することができるので、熱風乾燥と真空乾燥とが持つ欠点を補うことができるとともに、被処理物Ａの大きさ及び形状、或いは、洗浄液の残着量や種類等に応じた適切な方法で乾燥処理することができる。また、熱風乾燥工程から真空乾燥工程へ被処理物Ａを移動する必要がなく、工程間の熱損失が少なくて済み、乾燥処理が効率よく行える。また、ランニングコスト及びタクトタイムの削減を図ることができる。
【００７６】
また、被処理物乾燥装置１による乾燥方法の他の例として、図示しない洗浄工程において被処理物Ａの洗浄処理に使用される洗浄液に、該被処理物Ａに錆が発生するのを防止するための防錆液を所定量混入してもよい。また、防錆液が含まれる洗浄液で洗浄処理された被処理物Ａを乾燥処理する場合、熱風発生装置３により発生される熱風Ｈの温度は、防錆液より沸点が低い洗浄液のみが蒸発気化される温度に設定しておく。
【００７７】
つまり、防錆液が含まれる洗浄液で洗浄処理された被処理物Ａを乾燥室２Ａに収容した後、熱風発生装置３により発生された防錆液より沸点が低い洗浄液のみが蒸発気化する温度に加熱された熱風Ｈを乾燥室２Ａ内へ供給する。乾燥室２Ａに収容された被処理物Ａを洗浄液のみが蒸発気化する温度に加熱するとともに、被処理物Ａ自体に蓄積された熱と熱風Ｈの熱とにより、被処理物Ａに残着する防錆液を除く洗浄液のみを蒸発気化して熱風乾燥する。これにより、被処理物Ａの表面に洗浄液が残ることがなく、被処理物Ａ全体が防錆油により均一に覆われた状態に乾燥処理することができるので、前記実施例の作用及び効果に加えて、乾燥処理後の被処理物Ａに錆が発生するのを防止する効果が得られる。
【００７８】
この発明の構成と、前記実施例との対応において、  
この発明の熱風発生手段は、実施例の熱風発生装置３に対応し、  
以下同様に、  
減圧手段は、減圧装置４に対応し、  
濾過手段は、濾過装置５に対応し、  
第１送風手段は、ブロアー７に対応し、  
第２送風手段は、ブロアー３ｂに対応し、  
捕集手段は、捕集装置８に対応し、  
ヒータは、プラグ型ヒータ２Ｂａに対応するも、  
この発明は、前記実施例の構成のみに限定されるものではなく、請求項に示される技術思想に基づいて応用することができ、多くの実施の形態を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】被処理物乾燥装置による被処理物の乾燥方法を示す全体構成図。
【図２】熱風による被処理物の熱風乾燥を示す説明図。
【図３】減圧による被処理物の真空乾燥を示す説明図。
【符号の説明】
【００８０】
Ａ…被処理物
Ｂ…加熱媒体
Ｈ…熱風
Ｆ…雰囲気
１…被処理物乾燥装置
２Ａ…乾燥室
２Ａａ…熱風供給部
２Ａｂ…熱風排出部
２Ｂ…加温室
２Ｂａ…プラグ型ヒータ
３…熱風発生装置
３ｂ…ブロアー
４…減圧装置
５…濾過装置
７…ブロアー
７Ａ…熱風循環路
８…捕集装置
【図１】
2009074717.tif 000003
【図２】
2009074717.tif 000004
【図３】
2009074717.tif 000005