(57)【要約】【課題】うねりや厚さのむらなどに起因する基材の面の位置の変動があっても、適切なヘッドギャップを維持することができる、液滴吐出装置、及び液状体の配置方法、並びにカラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】液状体を吐出する吐出ヘッドを有するヘッドユニットと、吐出ヘッドと吐出された液状体を着弾させる基材とを主走査方向に相対移動させる主走査機構と、を備えた液滴吐出装置であって、ヘッドギャップの増減方向にヘッドユニットを移動させるヘッド昇降機構と、ヘッドギャップを測定するギャップセンサと、ギャップセンサの測定結果に応じて、ヘッド昇降機構を駆動させて、ヘッドギャップを調整するギャップ調整手段と、を備え、ギャップセンサは、主走査方向において、基材に対して、ヘッドユニットと略一体に相対移動させられる。【選択図】図２
2009172524.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する１以上の吐出ヘッドを有する１以上のヘッドユニットと、前記吐出ヘッドと吐出された液状体を着弾させる基材とを主走査方向に相対移動させる主走査機構と、を備えた液滴吐出装置であって、
前記基材と、前記１以上のヘッドユニットのそれぞれのヘッドユニットにおける前記吐出ヘッドと、の互いの離接方向の距離であるヘッドギャップの増減方向に、前記ヘッドユニットを個別に移動させるヘッド昇降機構と、
前記ヘッドギャップを測定するギャップセンサと、
前記ギャップセンサの測定結果に応じて、前記ヘッド昇降機構によって前記ヘッドユニットを移動させることによって、前記ヘッドギャップを調整するギャップ調整手段と、を備え、
前記ギャップセンサは、前記主走査方向において、前記基材に対して、前記ヘッドユニットと略一体に相対移動させられることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記基材における前記液状体を着弾させる連続した領域であるサブ配置領域を含む配置領域に対応して規定された前記ヘッドギャップである基準ヘッドギャップを取得する基準ヘッドギャップ取得手段をさらに備え、
前記ギャップ調整手段は、前記配置領域に対応して、前記ヘッドギャップが前記配置領域に対応する前記基準ヘッドギャップとなるように、前記ヘッドギャップを調整することを特徴とする、請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記主走査方向において、前記ギャップセンサは、前記ヘッドユニットの両側にそれぞれ設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記基準ヘッドギャップは、前記配置領域に含まれる前記サブ配置領域の大きさに応じて規定されることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記基準ヘッドギャップは、前記配置領域における前記液状体を配置する位置の許容誤差の大きさに応じて規定されることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記吐出ヘッドが前記液状体を吐出する吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整手段をさらに備え、
前記吐出タイミング調整手段は、前記基準ヘッドギャップに対応して前記吐出タイミングを変動させることによって、前記吐出タイミングを調整することを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
液状体を吐出する１以上の吐出ヘッドを有する１以上のヘッドユニットのそれぞれのヘッドユニットと、吐出された前記液状体を着弾させる基材と、を主走査方向に相対移動させると共に、前記吐出ヘッドから前記液状体を吐出させることによって、前記基材上に前記液状体を配置する液状体の配置方法であって、
前記基材と、前記ヘッドユニットにおける前記吐出ヘッドと、の互いの離接方向の距離であるヘッドギャップを測定するギャップ測定工程と、
前記ヘッドユニットを移動させることによって、前記ヘッドギャップが所定のヘッドギャップとなるように、前記ヘッドギャップを調整するギャップ調整工程と、
前記基材と、前記ヘッドユニットと、を主走査方向に相対移動させると共に、前記吐出ヘッドから前記液状体を吐出させる吐出工程と、を有し、
前記ギャップ測定工程及び前記ギャップ調整工程を、前記吐出工程に先んじて開始すると共に、略並行して実施することを特徴とする液状体の配置方法。
【請求項８】
前記基材における前記液状体を着弾させる連続した領域であるサブ配置領域を含む配置領域に対応して規定された前記ヘッドギャップである、基準ヘッドギャップを取得する基準ヘッドギャップ取得工程をさらに有し、
前記ギャップ調整工程においては、前記ギャップ測定工程における測定結果に応じて前記ヘッドギャップを調整することによって、前記ヘッドギャップを前記基準ヘッドギャップに調整することを特徴とする、請求項７に記載の液状体の配置方法。
【請求項９】
前記基準ヘッドギャップ取得工程は、前記基準ヘッドギャップを、前記配置領域に含まれる前記サブ配置領域の大きさに対応して規定する基準ギャップ規定工程を含むことを特徴とする、請求項７又は８に記載の液状体の配置方法。
【請求項１０】
前記基準ヘッドギャップ取得工程は、前記基準ヘッドギャップを、前記配置領域における前記液状体を配置する位置の許容誤差の大きさに対応して規定する基準ギャップ規定工程を含むことを特徴とする、請求項７又は８に記載の液状体の配置方法。
【請求項１１】
前記基準ヘッドギャップに対応して、前記吐出ヘッドが前記液状体を吐出する吐出タイミングを変動させることによって、前記吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整工程をさらに有することを特徴とする、請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の液状体の配置方法。
【請求項１２】
カラーフィルタの色要素膜を構成する材料を含む液状体を吐出する１以上の吐出ヘッドを有する１以上のヘッドユニットのそれぞれのヘッドユニットと、前記吐出ヘッドと吐出された液状体を着弾させるマザー基板とを主走査方向に相対移動させる主走査機構と、を備えたカラーフィルタの製造装置であって、
前記マザー基板と、前記ヘッドユニットにおける前記吐出ヘッドと、の互いの離接方向の距離であるヘッドギャップの増減方向に、前記ヘッドユニットを個別に移動させるヘッド昇降機構と、
前記ヘッドギャップを測定するギャップセンサと、
前記ギャップセンサの測定結果に応じて、前記ヘッド昇降機構によって前記ヘッドユニットを移動させることによって、前記ヘッドギャップを調整するギャップ調整手段と、を備え、
前記ギャップセンサは、前記主走査方向において、前記マザー基板に対して、前記ヘッドユニットと略一体に相対移動させられることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項１３】
前記色要素膜を形成するために前記液状体を着弾させる連続した領域である色要素領域を含むフィルタ領域に対応する前記ヘッドギャップである基準ヘッドギャップを取得する基準ヘッドギャップ取得手段をさらに備え、
前記ギャップ調整手段は、前記フィルタ領域に対応して、前記ヘッドギャップが前記フィルタ領域に対応する前記基準ヘッドギャップとなるように、前記ヘッドギャップを調整することを特徴とする、請求項１２に記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項１４】
前記主走査方向において、前記ギャップセンサは、前記ヘッドユニットの両側にそれぞれ設けられていることを特徴とする、請求項１２に記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項１５】
前記基準ヘッドギャップは、前記フィルタ領域に含まれる前記色要素領域の大きさに応じて規定されることを特徴とする、請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項１６】
前記基準ヘッドギャップは、前記フィルタ領域における前記液状体を配置する位置の許容誤差の大きさに応じて規定されることを特徴とする、請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項１７】
前記吐出ヘッドが前記液状体を吐出する吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整手段をさらに備え、
前記吐出タイミング調整手段は、前記基準ヘッドギャップに対応して前記吐出タイミングを変動させることによって、前記吐出タイミングを調整することを特徴とする、請求項１２乃至１６のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項１８】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置、又は請求項７乃至１１のいずれか一項に記載の液状体の配置方法を用いて、カラーフィルタを構成する色要素膜の材料を含む液状体を、前記カラーフィルタを形成するためのマザー基板における前記色要素膜を形成する領域に配置することを特徴とする、カラーフィルタの製造方法。
【請求項１９】
電気光学装置の機能膜を構成する材料を含む液状体を吐出する１以上の吐出ヘッドを有する１以上のヘッドユニットのそれぞれのヘッドユニットと、前記吐出ヘッドと吐出された液状体を着弾させるマザー基板とを主走査方向に相対移動させる主走査機構と、を備えた電気光学装置の製造装置であって、
前記マザー基板と、前記ヘッドユニットにおける前記吐出ヘッドと、の互いの離接方向の距離であるヘッドギャップの増減方向に、前記ヘッドユニットを個別に移動させるヘッド昇降機構と、
前記ヘッドギャップを測定するギャップセンサと、
前記ギャップセンサの測定結果に応じて、前記ヘッド昇降機構によって前記ヘッドユニットを移動させることによって、前記ヘッドギャップを調整するギャップ調整手段と、を備え、
前記ギャップセンサは、前記主走査方向において、前記マザー基板に対して、前記ヘッドユニットと略一体に相対移動させられることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項２０】
前記機能膜を形成するために前記液状体を着弾させる連続した領域である機能膜領域を含む電気光学膜領域に対応する前記ヘッドギャップである基準ヘッドギャップを取得する基準ヘッドギャップ取得手段をさらに備え、
前記ギャップ調整手段は、前記電気光学膜領域に対応して、前記ヘッドギャップが前記電気光学膜領域に対応する前記基準ヘッドギャップとなるように、前記ヘッドギャップを調整することを特徴とする、請求項１９に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項２１】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置、又は請求項７乃至１１のいずれか一項に記載の液状体の配置方法を用いて、電気光学装置を構成する機能膜の材料を含む液状体を前記電気光学装置を形成するためのマザー基板における前記機能膜を形成する領域に配置することを特徴とする、電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置、及び基材上に液状体を配置する液状体の配置方法、並びにカラーフィルタを構成する材料を含む液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備えるカラーフィルタの製造装置、基板上にカラーフィルタを構成する材料を含む液状体を配置するカラーフィルタの製造方法、基板上に電気光学装置を構成する材料を含む液状体を配置する電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状体を配置し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは、その吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。
【０００３】
しかし、吐出された液状体の液滴は、全てが必ずしも所定の飛行経路を辿らないことに起因して、着弾位置がずれる液滴が発生するため、形成される膜の精度が損なわれる場合があった。飛行経路のずれの影響を緩和するためには、飛行距離を短くする、すなわち、液滴吐出ヘッドから基板までの距離（以降、「ヘッドギャップ」と表記する。）を小さくすることが有効である。しかし、ヘッドギャップを小さくすると、液滴吐出ヘッドと基板とが接触する可能性が増大するなどの課題が生ずるため、ヘッドギャップをより正確に維持することが必要となる。
特許文献１には、正確な形状のダミー基板を用いて、予め正確にヘッドギャップを合わせこむことができるカラーフィルタ製造装置および方法が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平９−４９９２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、基板には、厚さの「むら」や、「うねり」などが存在する可能性がある。基板を載置するテーブルの載置面にも「うねり」が存在する可能性がある。また、製造の効率化や装置の大型化のために基板が大型化する傾向があり、大型化に伴って、厚さの「むら」や、「うねり」が大きくなる傾向がある。ヘッドギャップを小さくすることで、厚さの「むら」や、「うねり」などの大きさが、ヘッドギャップに対して相対的に大きくなるため、厚さの「むら」や、「うねり」などによってヘッドギャップが変動したような影響を与えるという課題があった。このような課題は、特許文献１に開示された装置や方法では対処することができない課題である。
さらに、製造の効率化のために大型化された基板を無駄なく使用するために、同一の基板に、互いに大きさや必要な着弾位置精度が異なる複数種類の装置を形成する場合がある。このような場合には、必要な着弾位置精度が高い装置に合わせたヘッドギャップを採用すると、必要な着弾位置精度が低い装置の部分は、過度に小さいヘッドギャップで製造するために、製造の効率が損なわれるという課題があった。必要な着弾位置精度が低い装置に合わせたヘッドギャップを採用すると、必要な着弾位置精度が高い装置の部分は、大きいヘッドギャップで製造するために増加する可能性がある着弾位置誤差の影響によって、必要な着弾位置精度が必ずしも確保できないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、液状体を吐出する１以上の吐出ヘッドを有する１以上のヘッドユニットと、前記吐出ヘッドと吐出された液状体を着弾させる基材とを主走査方向に相対移動させる主走査機構と、を備えた液滴吐出装置であって、前記基材と、前記１以上のヘッドユニットのそれぞれのヘッドユニットにおける前記吐出ヘッドと、の互いの離接方向の距離であるヘッドギャップの増減方向に、前記ヘッドユニットを個別に移動させるヘッド昇降機構と、前記ヘッドギャップを測定するギャップセンサと、前記ギャップセンサの測定結果に応じて、前記ヘッド昇降機構によって前記ヘッドユニットを移動させることによって、前記ヘッドギャップを調整するギャップ調整手段と、を備え、前記ギャップセンサは、前記主走査方向において、前記基材に対して、前記ヘッドユニットと略一体に相対移動させられることを特徴とする。
【０００８】
この液滴吐出装置によれば、基材に対して、ヘッドユニットと略一体に相対移動させられるギャップセンサによって測定されたヘッドギャップに応じて、ヘッドギャップが調整される。これにより、液状体を配置するそれぞれの領域ごとに、実際のヘッドギャップに即したヘッドギャップの調整が実施できる。したがって、うねりや厚さのむらなどに起因する基材の面の位置の変動があっても、当該変動に追従するように吐出ヘッドの位置を調整することで、適切なヘッドギャップを維持することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記基材における前記液状体を着弾させる連続した領域であるサブ配置領域を含む配置領域に対応して規定された前記ヘッドギャップである基準ヘッドギャップを取得する基準ヘッドギャップ取得手段をさらに備え、前記ギャップ調整手段は、前記配置領域に対応して、前記ヘッドギャップが前記配置領域に対応する前記基準ヘッドギャップとなるように、前記ヘッドギャップを調整することが好ましい。
【００１０】
この液滴吐出装置によれば、基準ヘッドギャップ取得手段によって配置領域に対応して規定された基準ヘッドギャップが取得され、ギャップ調整手段によって、ヘッド昇降機構を用いてヘッドユニットが昇降されることで、ヘッドギャップが配置領域に対応する基準ヘッドギャップに調整される。これにより、それぞれの配置領域において、配置領域に対応して規定された基準ヘッドギャップで吐出を実施することが可能となる。このため、それぞれの配置領域に適合したヘッドギャップで吐出を実施することができる。例えば、必要な着弾位置精度が高い配置領域では、狭いヘッドギャップで吐出を実施することによって、高い着弾位置精度を維持し、必要な着弾位置精度が低い配置領域では、低い着弾位置精度であれば確保できる広いヘッドギャップで吐出を実施することによって、効率良く液状体を配置することができる。このように、過度に小さいヘッドギャップで製造するために、製造の効率が損なわれたり、大きいヘッドギャップで製造するために増加する可能性がある着弾位置誤差の影響によって、必要な着弾位置精度が確保できなくなったりすることを抑制することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ギャップセンサは、前記主走査方向における、前記ヘッドユニットの両側にそれぞれ設けられていることが好ましい。
【００１２】
この液滴吐出装置によれば、ギャップセンサは、ヘッドユニットの両側にそれぞれ設けられていることから、ヘッドユニットに対して基材が主走査方向のいずれの方から相対移動してきても、基材は最初にギャップセンサに対向した後にヘッドユニットに対向するため、吐出ヘッドからの吐出に先んじて、ギャップセンサによってヘッドギャップを測定することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記基準ヘッドギャップは、前記配置領域に含まれる前記サブ配置領域の大きさに応じて規定されることが好ましい。
【００１４】
この液滴吐出装置によれば、液状体を着弾させる連続した領域であるサブ配置領域の大きさに対応して、基準ヘッドギャップが規定される。
サブ配置領域は、液状体を着弾させる連続した領域であるため、同じサブ配置領域内に着弾すれば、着弾位置がずれることによる不具合は実質的に発生しない。したがって、サブ配置領域が大きければ、着弾位置精度の規格を緩くすることができる。サブ配置領域の大きさによって基準ヘッドギャップを規定することで、必要な着弾位置精度に応じた適切なヘッドギャップで液状体の吐出を実施することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記基準ヘッドギャップは、前記配置領域における前記液状体を配置する位置の許容誤差の大きさに応じて規定されることが好ましい。
【００１６】
この液滴吐出装置によれば、配置領域における液状体を配置する位置の許容誤差の大きさに対応して、基準ヘッドギャップが規定される。
液状体を配置する位置の許容誤差が大きければ、着弾位置精度の規格を緩くすることができる。液状体を配置する位置の許容誤差の大きさによって基準ヘッドギャップを規定することで、必要な着弾位置精度に応じた適切なヘッドギャップで液状体の吐出を実施することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記吐出ヘッドが前記液状体を吐出する吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整手段をさらに備え、前記吐出タイミング調整手段は、前記基準ヘッドギャップに対応して前記吐出タイミングを変動させることによって、前記吐出タイミングを調整することが好ましい。
【００１８】
この液滴吐出装置によれば、吐出タイミング調整手段が基準ヘッドギャップに対応して吐出タイミングを変動させることによって、吐出タイミングを調整する。
ヘッドギャップが変わることによって、吐出された液状体が着弾するまでの主走査方向の移動距離が変化する。したがって、ヘッドギャップが異なると、同一の着弾位置に対して、吐出するべきタイミングが異なる。ヘッドギャップは、基準ヘッドギャップとなるように調整されるため、基準ヘッドギャップに対応して吐出タイミングを調整することで、着弾させるべき位置に対して適切な吐出タイミングで液状体を吐出させることができる。
【００１９】
［適用例７］本適用例にかかる液状体の配置方法は、液状体を吐出する１以上の吐出ヘッドを有する１以上のヘッドユニットのそれぞれのヘッドユニットと、吐出された前記液状体を着弾させる基材と、を主走査方向に相対移動させると共に、前記吐出ヘッドから前記液状体を吐出させることによって、前記基材上に前記液状体を配置する液状体の配置方法であって、前記基材と、前記ヘッドユニットにおける前記吐出ヘッドと、の互いの離接方向の距離であるヘッドギャップを測定するギャップ測定工程と、前記ヘッドユニットを移動させることによって、前記ヘッドギャップが所定のヘッドギャップとなるように、前記ヘッドギャップを調整するギャップ調整工程と、前記基材と、前記ヘッドユニットと、を主走査方向に相対移動させると共に、前記吐出ヘッドから前記液状体を吐出させる吐出工程と、を有し、前記ギャップ測定工程及び前記ギャップ調整工程を、前記吐出工程に先んじて開始すると共に、略並行して実施することを特徴とする。
【００２０】
この液状体の配置方法によれば、吐出工程に先んじて開始すると共に、略並行して実施するギャップ測定工程において測定されたヘッドギャップに応じて、吐出工程に先んじて開始すると共に、略並行して実施するギャップ調整工程において、ヘッドギャップが調整される。これにより、それぞれの配置領域ごとに、実際のヘッドギャップに即したヘッドギャップの調整が実施できる。したがって、うねりや厚さのむらなどに起因する基材の面の位置の変動があっても、当該変動に追従するように吐出ヘッドの位置を調整することで、適切なヘッドギャップを維持することができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる液状体の配置方法において、前記基材における前記液状体を着弾させる連続した領域であるサブ配置領域を含む配置領域に対応して規定された前記ヘッドギャップである、基準ヘッドギャップを取得する基準ヘッドギャップ取得工程をさらに有し、前記ギャップ調整工程においては、前記ギャップ測定工程における測定結果に応じて前記ヘッドギャップを調整することによって、前記ヘッドギャップを前記基準ヘッドギャップに調整することが好ましい。
【００２２】
この液状体の配置方法によれば、基準ヘッドギャップ取得工程において配置領域に対応して規定された基準ヘッドギャップが取得され、ギャップ調整工程において、ヘッドギャップが配置領域に対応する基準ヘッドギャップに調整される。これにより、それぞれの配置領域において、配置領域に対応して規定された基準ヘッドギャップで吐出を実施することが可能となる。このため、それぞれの配置領域に適合したヘッドギャップで吐出を実施することができる。例えば、必要な着弾位置精度が高い配置領域では、狭いヘッドギャップで吐出を実施することによって、高い着弾位置精度を維持し、必要な着弾位置精度が低い配置領域では、低い着弾位置精度であれば確保できる広いヘッドギャップで吐出を実施することによって、効率良く液状体を配置することができる。このように、過度に小さいヘッドギャップで製造するために、製造の効率が損なわれたり、大きいヘッドギャップで製造するために増加する可能性がある着弾位置誤差の影響によって、必要な着弾位置精度が確保できなくなったりすることを抑制することができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる液状体の配置方法において、前記基準ヘッドギャップ取得工程は、前記基準ヘッドギャップを、前記配置領域に含まれる前記サブ配置領域の大きさに対応して規定する基準ギャップ規定工程を含むことが好ましい。
【００２４】
この液状体の配置方法によれば、基準ギャップ規定工程において、液状体を着弾させる連続した領域であるサブ配置領域の大きさに対応して、基準ヘッドギャップが規定される。
サブ配置領域は、液状体を着弾させる連続した領域であるため、同じサブ配置領域内に着弾すれば、着弾位置がずれることによる不具合は実質的に発生しない。したがって、サブ配置領域が大きければ、着弾位置精度の規格を緩くすることができる。サブ配置領域の大きさによって基準ヘッドギャップを規定することで、必要な着弾位置精度に応じた適切なヘッドギャップで液状体の吐出を実施することができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかる液状体の配置方法において、前記基準ヘッドギャップ取得工程は、前記基準ヘッドギャップを、前記配置領域における前記液状体を配置する位置の許容誤差の大きさに対応して規定する基準ギャップ規定工程を含むことが好ましい。
【００２６】
この液状体の配置方法によれば、基準ギャップ規定工程において、配置領域における液状体を配置する位置の許容誤差の大きさに対応して、基準ヘッドギャップが規定される。
液状体を配置する位置の許容誤差が大きければ、着弾位置精度の規格を緩くすることができる。液状体を配置する位置の許容誤差の大きさによって基準ヘッドギャップを規定することで、必要な着弾位置精度に応じた適切なヘッドギャップで液状体の吐出を実施することができる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかる液状体の配置方法において、前記基準ヘッドギャップに対応して、前記吐出ヘッドが前記液状体を吐出する吐出タイミングを変動させることによって、前記吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整工程をさらに有することが好ましい。
【００２８】
この液状体の配置方法によれば、吐出タイミング調整工程において、基準ヘッドギャップに対応して吐出タイミングを変動させることによって、吐出タイミングが調整される。ヘッドギャップが変わることによって、吐出された液状体が着弾するまでの主走査方向の移動距離が変化する。したがって、ヘッドギャップが異なると、同一の着弾位置に対して、吐出するべきタイミングが異なる。ヘッドギャップは、基準ヘッドギャップとなるように調整されるため、基準ヘッドギャップに対応して吐出タイミングを調整することで、着弾させるべき位置に対して適切な吐出タイミングで液状体を吐出させることができる。
【００２９】
［適用例１２］本適用例にかかるカラーフィルタの製造装置は、カラーフィルタの色要素膜を構成する材料を含む液状体を吐出する１以上の吐出ヘッドを有する１以上のヘッドユニットのそれぞれのヘッドユニットと、前記吐出ヘッドと吐出された液状体を着弾させるマザー基板とを主走査方向に相対移動させる主走査機構と、を備えたカラーフィルタの製造装置であって、前記マザー基板と、前記ヘッドユニットにおける前記吐出ヘッドと、の互いの離接方向の距離であるヘッドギャップの増減方向に、前記ヘッドユニットを個別に移動させるヘッド昇降機構と、前記ヘッドギャップを測定するギャップセンサと、前記ギャップセンサの測定結果に応じて、前記ヘッド昇降機構によって前記ヘッドユニットを移動させることによって、前記ヘッドギャップを調整するギャップ調整手段と、を備え、前記ギャップセンサは、前記主走査方向において、前記マザー基板に対して、前記ヘッドユニットと略一体に相対移動させられることを特徴とする。
【００３０】
このカラーフィルタの製造装置によれば、マザー基板に対して、ヘッドユニットと略一体に相対移動させられるギャップセンサによって測定されたヘッドギャップに応じて、ヘッドギャップが調整される。これにより、液状体を配置するそれぞれの領域ごとに、実際のヘッドギャップに即したヘッドギャップの調整が実施できる。したがって、マザー基板などのうねりや厚さのむらなどに起因するマザー基板の面の位置の変動があっても、当該変動に追従するように吐出ヘッドの位置を調整することで、適切なヘッドギャップを維持することができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかるカラーフィルタの製造装置において、前記色要素膜を形成するために前記液状体を着弾させる連続した領域である色要素領域を含むフィルタ領域に対応する前記ヘッドギャップである基準ヘッドギャップを取得する基準ヘッドギャップ取得手段をさらに備え、前記ギャップ調整手段は、前記フィルタ領域に対応して、前記ヘッドギャップが前記フィルタ領域に対応する前記基準ヘッドギャップとなるように、前記ヘッドギャップを調整することが好ましい。
【００３２】
このカラーフィルタの製造装置によれば、基準ヘッドギャップ取得手段によってフィルタ領域に対応して規定された基準ヘッドギャップが取得され、ギャップ調整手段によって、ヘッド昇降機構を用いてヘッドユニットが昇降されることで、ヘッドギャップがフィルタ領域に対応する基準ヘッドギャップに調整される。これにより、それぞれのフィルタ領域において、当該フィルタ領域に対応して規定された基準ヘッドギャップで吐出を実施することが可能となる。このため、それぞれのフィルタ領域に適合したヘッドギャップで吐出を実施することができる。例えば、必要な着弾位置精度が高いフィルタ領域では、狭いヘッドギャップで吐出を実施することによって、高い着弾位置精度を維持し、必要な着弾位置精度が低いフィルタ領域では、低い着弾位置精度であれば確保できる広いヘッドギャップで吐出を実施することによって、効率良く液状体を配置することができる。このように、過度に小さいヘッドギャップで製造するために、製造の効率が損なわれたり、大きいヘッドギャップで製造するために増加する可能性がある着弾位置誤差の影響によって、必要な着弾位置精度が確保できなくなったりすることを抑制することができる。
【００３３】
［適用例１４］上記適用例にかかるカラーフィルタの製造装置において、前記ギャップセンサは、前記主走査方向における前記ヘッドユニットの両側にそれぞれ設けられていることが好ましい。
【００３４】
このカラーフィルタの製造装置によれば、ギャップセンサは、ヘッドユニットの両側にそれぞれ設けられていることから、ヘッドユニットに対してマザー基板が主走査方向のいずれの方から相対移動してきても、マザー基板は最初にギャップセンサに対向した後にヘッドユニットに対向するため、吐出ヘッドからの吐出に先んじて、ギャップセンサによってヘッドギャップを測定することができる。
【００３５】
［適用例１５］上記適用例にかかるカラーフィルタの製造装置において、前記基準ヘッドギャップは、前記フィルタ領域に含まれる前記色要素領域の大きさに応じて規定されることが好ましい。
【００３６】
このカラーフィルタの製造装置によれば、液状体を着弾させる連続した領域である色要素領域の大きさに対応して、基準ヘッドギャップが規定される。
色要素領域は、液状体を着弾させる連続した領域であるため、同じ色要素領域内に着弾すれば、着弾位置がずれることによる不具合は実質的に発生しない。したがって、色要素領域が大きければ、着弾位置精度の規格を緩くすることができる。色要素領域の大きさによって基準ヘッドギャップを規定することで、必要な着弾位置精度に応じた適切なヘッドギャップで液状体の吐出を実施することができる。
【００３７】
［適用例１６］上記適用例にかかるカラーフィルタの製造装置において、前記基準ヘッドギャップは、前記フィルタ領域における前記液状体を配置する位置の許容誤差の大きさに応じて規定されることが好ましい。
【００３８】
このカラーフィルタの製造装置によれば、フィルタ領域における液状体を配置する位置の許容誤差の大きさに対応して、基準ヘッドギャップが規定される。
液状体を配置する位置の許容誤差が大きければ、着弾位置精度の規格を緩くすることができる。液状体を配置する位置の許容誤差の大きさによって基準ヘッドギャップを規定することで、必要な着弾位置精度に応じた適切なヘッドギャップで液状体の吐出を実施することができる。
【００３９】
［適用例１７］上記適用例にかかるカラーフィルタの製造装置において、前記吐出ヘッドが前記液状体を吐出する吐出タイミングを調整する吐出タイミング調整手段をさらに備え、前記吐出タイミング調整手段は、前記基準ヘッドギャップに対応して前記吐出タイミングを変動させることによって、前記吐出タイミングを調整することが好ましい。
【００４０】
このカラーフィルタの製造装置によれば、吐出タイミング調整手段が基準ヘッドギャップに対応して吐出タイミングを変動させることによって、吐出タイミングを調整する。
ヘッドギャップが変わることによって、吐出された液状体が着弾するまでの主走査方向の移動距離が変化する。したがって、ヘッドギャップが異なると、同一の着弾位置に対して、吐出するべきタイミングが異なる。ヘッドギャップは、基準ヘッドギャップとなるように調整されるため、基準ヘッドギャップに対応して吐出タイミングを調整することで、着弾させるべき位置に対して適切な吐出タイミングで液状体を吐出させることができる。
【００４１】
［適用例１８］本適用例にかかるカラーフィルタの製造方法は、上記適用例にかかる液滴吐出装置、又は上記適用例にかかる液状体の配置方法を用いて、カラーフィルタを構成する色要素膜の材料を含む液状体を、前記カラーフィルタを形成するためのマザー基板における前記色要素膜を形成する領域に配置することを特徴とする。
【００４２】
このカラーフィルタの製造方法によれば、うねりや厚さのむらなどに起因する基材の面の位置の変動があっても、当該変動に追従するように吐出ヘッドの位置を調整することで、適切なヘッドギャップを維持することができると共に、過度に小さいヘッドギャップで製造するために、製造の効率が損なわれたり、大きいヘッドギャップで製造するために増加する可能性がある着弾位置誤差の影響によって、必要な着弾位置精度が確保できなくなったりすることを抑制することができる液滴吐出装置、又は液状体の配置方法を用いて、カラーフィルタを形成する。これにより、必要な着弾位置精度を確保して、精度の高いカラーフィルタを実現すると共に、製造の効率が損なわれることを抑制することができる。
【００４３】
［適用例１９］本適用例にかかる電気光学装置の製造装置は、電気光学装置の機能膜を構成する材料を含む液状体を吐出する１以上の吐出ヘッドを有する１以上のヘッドユニットのそれぞれのヘッドユニットと、前記吐出ヘッドと吐出された液状体を着弾させるマザー基板とを主走査方向に相対移動させる主走査機構と、を備えた電気光学装置の製造装置であって、前記マザー基板と、前記ヘッドユニットにおける前記吐出ヘッドと、の互いの離接方向の距離であるヘッドギャップの増減方向に、前記ヘッドユニットを個別に移動させるヘッド昇降機構と、前記ヘッドギャップを測定するギャップセンサと、前記ギャップセンサの測定結果に応じて、前記ヘッド昇降機構によって前記ヘッドユニットを移動させることによって、前記ヘッドギャップを調整するギャップ調整手段と、を備え、前記ギャップセンサは、前記主走査方向において、前記マザー基板に対して、前記ヘッドユニットと略一体に相対移動させられることを特徴とする。
【００４４】
この電気光学装置の製造装置によれば、マザー基板に対して、ヘッドユニットと略一体に相対移動させられるギャップセンサによって測定されたヘッドギャップに応じて、ヘッドギャップが調整される。これにより、液状体を配置するそれぞれの領域ごとに、実際のヘッドギャップに即したヘッドギャップの調整が実施できる。したがって、マザー基板のうねりや厚さのむらなどに起因するマザー基板の面の位置の変動があっても、当該変動に追従するように吐出ヘッドの位置を調整することで、適切なヘッドギャップを維持することができる。
【００４５】
［適用例２０］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記機能膜を形成するために前記液状体を着弾させる連続した領域である機能膜領域を含む電気光学膜領域に対応する前記ヘッドギャップである基準ヘッドギャップを取得する基準ヘッドギャップ取得手段をさらに備え、前記ギャップ調整手段は、前記電気光学膜領域に対応して、前記ヘッドギャップが前記電気光学膜領域に対応する前記基準ヘッドギャップとなるように、前記ヘッドギャップを調整することが好ましい。
【００４６】
この電気光学装置の製造装置によれば、基準ヘッドギャップ取得手段によって電気光学膜領域に対応して規定された基準ヘッドギャップが取得され、ギャップ調整手段によって、ヘッド昇降機構を用いてヘッドユニットが昇降されることで、ヘッドギャップが電気光学膜領域に対応する基準ヘッドギャップに調整される。これにより、それぞれの電気光学膜領域において、当該電気光学膜領域に対応して規定された基準ヘッドギャップで吐出を実施することが可能となる。このため、それぞれの電気光学膜領域に適合したヘッドギャップで吐出を実施することができる。例えば、必要な着弾位置精度が高い電気光学膜領域では、狭いヘッドギャップで吐出を実施することによって、高い着弾位置精度を維持し、必要な着弾位置精度が低い電気光学膜領域では、低い着弾位置精度であれば確保できる広いヘッドギャップで吐出を実施することによって、効率良く液状体を配置することができる。このように、過度に小さいヘッドギャップで製造するために、製造の効率が損なわれたり、大きいヘッドギャップで製造するために増加する可能性がある着弾位置誤差の影響によって、必要な着弾位置精度が確保できなくなったりすることを抑制することができる。
【００４７】
［適用例２１］本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、上記適用例にかかる液滴吐出装置、又は上記適用例にかかる液状体の配置方法を用いて、電気光学装置を構成する機能膜の材料を含む液状体を前記電気光学装置を形成するためのマザー基板における前記機能膜を形成する領域に配置することを特徴とする。
【００４８】
この電気光学装置の製造方法によれば、うねりや厚さのむらなどに起因する基材の面の位置の変動があっても、当該変動に追従するように吐出ヘッドの位置を調整することで、適切なヘッドギャップを維持することができると共に、過度に小さいヘッドギャップで製造するために、製造の効率が損なわれたり、大きいヘッドギャップで製造するために増加する可能性がある着弾位置誤差の影響によって、必要な着弾位置精度が確保できなくなったりすることを抑制することができる液滴吐出装置、又は液状体の配置方法を用いて、電気光学装置を構成する機能膜を形成する。これにより、必要な着弾位置精度を確保して、精度の高い機能膜を有する電気光学装置を実現すると共に、製造の効率が損なわれることを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、液滴吐出装置、及び液状体の配置方法、並びにカラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法の好適な実施の形態について、液滴吐出装置の一実施形態としての、カラーフィルタの製造ラインに組み込まれて色要素膜としてのフィルタ膜の形成に用いられるインクジェット方式の液滴吐出装置を例に、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００５０】
＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成などに影響を与えない、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。
【００５１】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。図２は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。
【００５２】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０（図６参照）と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６（図６参照）とを備えている。
【００５３】
吐出ユニット２は、液状体である機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を１２０個備えており、当該液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させると共に移動した位置に保持するためのＹ軸テーブル１２を備えている。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。給液ユニット６０は、機能液を貯留する貯留タンク（図示省略）を有し、液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給を行う。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。吐出装置制御部６は、これら各ユニットなどを総括的に制御する。重量測定ユニット１９、吐出ユニット２、吐出検査ユニット１８、又はメンテナンスユニット５などを用いて実施される重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出装置制御部６が各ユニットなどを制御して実施される。
【００５４】
液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。
【００５５】
吐出ユニット２のＹ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７，７の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、それぞれ１２個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を、１０個備えている。１０個のキャリッジユニット５１は、１０個のブリッジプレート５２のそれぞれに吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液滴を吐出させることで、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを描画する。
【００５６】
吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット（図示省略）とを有している。検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、同じくＸ軸第２スライダ２３に固定された重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。
【００５７】
メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、液滴吐出ヘッド１７を吸引して、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８（図３参照）から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１を有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図３参照）を拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るための保守作業を実施する。
【００５８】
図１、又は図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６，２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４，２４と、を備えている。
【００５９】
Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取り付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが取り付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は重量測定ユニット１９などをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。Ｘ軸方向が主走査方向に相当し、Ｙ軸方向が副走査方向に相当する。Ｘ軸テーブル１１が、主走査機構に相当する。
【００６０】
ワーク載置台２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２などを有している。図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させる。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２を用いて、給除材位置において実施される。
【００６１】
画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）（図示省略）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。
【００６２】
各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記ロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が実施される。
【００６３】
Ｙ軸テーブル１２は、１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。２０個（１０組）のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１０個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる１組のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２は、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。
【００６４】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００６５】
キャリッジユニット５１は、１２個の液滴吐出ヘッド１７と、１２個の液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３（図４参照）と、を有するヘッドユニット５４（図４参照）を備えている。ヘッドユニット５４は、ヘッド昇降機構５８（図５参照）を介して、Ｚ軸方向に昇降自在に支持されている。
【００６６】
高さ検出ユニット１６２は、キャリッジユニット５１のＸ軸方向の両側に配設されている。
高さ検出ユニット１６２は、２０個の高さセンサ１６３と、高さセンサ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するセンサ移動機構１６４と、を有している。２０個のセンサ移動機構１６４は、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに、それぞれ１０個ずつ、Ｙ軸方向に独立して移動可能に支持されている。この構成により、２０個の高さセンサ１６３は、センサ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。描画吐出を実施する際には、１個のキャリッジユニット５１に対して、Ｘ軸方向における両側に、それぞれ１個の高さセンサ１６３を配置する。
高さセンサ１６３は、例えばレーザ光源を有する距離測定装置であって、高さセンサ１６３からワークＷの面までの距離を測定する。液滴吐出装置１において高さセンサ１６３のＺ方向の位置は固定である。測定した距離と、液滴吐出装置１におけるノズル形成面７６ａ（図３参照）のＺ軸方向の位置とから、ヘッドギャップが求められる。距離測定装置としては、レーザ光源とレンズと受光素子とを備え、対象物に焦点が合うと反射光量が最大になることを利用して距離を測定する装置などを用いることができる。
【００６７】
＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、液滴吐出ヘッド１７について、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図である。
【００６８】
図３に示すように、この液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１に連なる方形のヘッド本体７４と、液体導入部７１とヘッド本体７４との間から側方に突出するヘッド基板７３と、を備えている。ヘッド本体７４は、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズル形成プレート７６と、を有している。ノズル形成プレート７６には、ノズル形成面７６ａに開口する吐出ノズル７８が形成されている。液滴吐出ヘッド１７においては、一列あたり１８１個の吐出ノズル７８からなるノズル列７８ｂが２列形成されている。ポンプ部７５には、圧電素子７９（図７参照）が設けられており、当該圧電素子７９を駆動することによって、液体導入部７１から供給されてきた機能液を吐出ノズル７８から吐出する。１個の吐出ノズル７８に対応して１個の圧電素子７９が設けられており、それぞれの吐出ノズル７８ごとに独立して機能液を吐出することができる。ヘッド基板７３には、一対のコネクタ７７，７７が設けられている。このコネクタ７７が、フレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）などによって、吐出装置制御部６と接続されている中継基板と接続されることで、液滴吐出ヘッド１７が吐出装置制御部６と接続される。
【００６９】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８ｂをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれしている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、２列のノズル列７８ｂの液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴のＹ軸方向における着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００７０】
＜ヘッドユニット＞
次に、吐出ユニット２のヘッドユニット５４の概略構成について、図４を参照して説明する。図４は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００７１】
図４に示すように、ヘッドユニット５４は、キャリッジプレート５３と、キャリッジプレート５３に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、キャリッジプレート５３に固定されており、ヘッド本体７４がキャリッジプレート５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル形成面７６ａが、キャリッジプレート５３の面より突出している。図４は、ノズル形成面７６ａ側から見た図である。１２個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ６個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組５５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在している。
【００７２】
一つのヘッド組５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、ヘッド組５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。即ち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組５５を構成している。
【００７３】
＜キャリッジユニット＞
次に、ヘッドユニット５４を含むキャリッジユニット５１の概略構成について、図５を参照して説明する。図５は、キャリッジユニットの概略構成を示す側面図である。図５に示したＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１及び図２に示したＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸と一致している。
【００７４】
図５に示すように、キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット５４を有するサブキャリッジ５６と、サブキャリッジ５６を支持する吊下機構５７と、吊下機構５７を支持するヘッド昇降機構５８とを備えている。キャリッジユニット５１は、ヘッド昇降機構５８のキャリッジベース５８１がブリッジプレート５２に固定されることによって、ブリッジプレート５２に支持されている。
【００７５】
ヘッド昇降機構５８は、キャリッジベース５８１と、昇降モータ５８２と、昇降ボールねじ５８３と、一対のスライドステージ５８４，５８４と、昇降ブロック５８７とを有している。
ブリッジプレート５２に固定されたキャリッジベース５８１には、可動ステージ５８６との組でスライドステージ５８４を構成する固定ステージ５８５が、Ｚ軸方向に延在するように固定されている。可動ステージ５８６は、キャリッジベース５８１に固定された固定ステージ５８５に対してＺ軸方向に摺動自在に係合している。固定ステージ５８５と可動ステージ５８６との係合部は隙間がほとんど無いように精密に加工されており、可動ステージ５８６は固定ステージ５８５に対してＺ軸方向以外は略固定されている。
【００７６】
一対の可動ステージ５８６，５８６には、吊下機構５７の吊下基板５７１と、昇降ブロック５８７とが固定されている。昇降ブロック５８７には、昇降ボールねじ５８３が螺合しており、昇降ボールねじ５８３は、昇降モータ５８２の回動軸に固定されており、昇降モータ５８２によって正逆回転させられる。昇降モータ５８２は、キャリッジベース５８１に固定されている。昇降モータ５８２が駆動されると、昇降ボールねじ５８３が正回転又は逆回転させられ、昇降ボールねじ５８３に螺合した昇降ブロック５８７がＺ軸方向に昇降する。昇降ブロック５８７がＺ軸方向に昇降することによって、昇降ブロック５８７に固定された一対の可動ステージ５８６，５８６が、それぞれ固定ステージ５８５に案内された状態で、Ｚ軸方向に昇降し、可動ステージ５８６に固定された吊下基板５７１が、Ｚ軸方向に昇降する。上述したように、可動ステージ５８６は固定ステージ５８５に対してＺ軸方向以外は略固定されているため、吊下基板５７１は、キャリッジベース５８１に対して、略Ｚ軸方向にのみ移動可能である。
【００７７】
吊下機構５７は、吊下基板５７１と、吊下回動軸５７２と、吊下支持枠５７３と、吊下回動枠５７４と、押え枠５７６と、を有している。上述したように、吊下基板５７１が、キャリッジベース５８１に対して、略Ｚ軸方向にのみ移動可能に取り付けられている。吊下基板５７１に一体に垂設された略円柱形状の吊下回動軸５７２の先端には、フランジ状に張り出した吊下支持枠５７３が形成されている。吊下回動枠５７４は、中央付近に形成された穴が吊下回動軸５７２に遊嵌しており、穴の周辺において吊下支持枠５７３によって支持されている。吊下支持枠５７３と、吊下回動枠５７４との間には回動モータ（図示省略）が形成されており、吊下回動枠５７４をθ方向に回動させることができる。吊下回動枠５７４は、吊下回動軸５７２に固定された押え枠５７６によって、吊下支持枠５７３から離反する方向へ移動することを規制されている。
吊下回動枠５７４の下側の端部には、サブキャリッジ５６のキャリッジ枠５６１が固定されている。キャリッジ枠５６１の下側の端部には、ヘッドユニット５４が固定されている。なお、液滴吐出ヘッド１７に接続されている給液チューブやＦＦＣケーブルなどは、図面が煩雑にならないように、図示省略した。
【００７８】
これらの構成により、図４や図５に示したＸ軸、Ｙ軸方向を、図１に示したＸ軸、Ｙ軸方向に一致させることで、液滴吐出ヘッド１７に形成されたノズル列７８ｂの延在方向をＹ軸方向に一致させる。また、ヘッドユニット５４を昇降させることで、液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａとワークＷとの距離（ヘッドギャップ）を調整する。
なお、キャリッジプレート５３に取り付けられた液滴吐出ヘッド１７は、基準となる所定のヘッド高さ位置が決められており、ヘッド高さ位置を基準として、キャリッジプレート５３のＺ軸方向の位置が予め設定されている。そして、キャリッジベース５８１には、吊下基板５７１の位置に基づいて、キャリッジプレート５３の位置、即ち液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａのＺ軸方向の位置を検出するための昇降位置検出センサ（図示省略）が配設されている。また、昇降モータ５８２の出力軸には、昇降モータ５８２の回転量からキャリッジプレート５３の昇降量を検出する昇降用ロータリエンコーダ（図示省略）が固定されており、昇降モータ５８２は、昇降位置検出センサ及び昇降用ロータリエンコーダからの情報に基づいて制御される。
【００７９】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、図６に示した制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。
【００８０】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ１７ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。
【００８１】
インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶したりしている。
【００８２】
ヘッドドライバ１７ｄには、吐出ユニット２を構成するヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ１７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。
【００８３】
駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、ヘッド昇降機構５８の昇降モータ５８２と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、センサ移動機構１６４のセンサ移動モータや、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モータや、吊下機構５７の回動モータや、θテーブル３２の駆動モータなどである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ１７ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【００８４】
メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６と、フラッシングユニット１４とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、又はフラッシングユニット１４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。
【００８５】
検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。
【００８６】
給液ドライバ６０ｄには、給液ユニット６０が接続されている。給液ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット６０を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。
【００８７】
検出部インタフェイス４３には、高さ検出ユニット１６２の高さセンサ１６３や、各種センサを含む検出部４２が接続されている。各種センサには、上述した昇降位置検出センサや昇降用ロータリエンコーダなどが含まれる。高さセンサ１６３によって測定された距離が、検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達され、伝達された距離情報と液滴吐出装置１におけるノズル形成面７６ａのＺ軸方向の位置とから、ヘッドギャップが求められる。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が、検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。
【００８８】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における吐出制御方法について、図７を参照して説明する。図７は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００８９】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４と、液滴吐出ヘッド１７の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバ１７ｄとを備えている。
図７に示すように、ヘッドドライバ１７ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド１７と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド１７は、吐出ノズル７８（図３参照）ごとに設けられた圧電素子７９に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフタ（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【００９０】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ４４がワークＷなどの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバ１７ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバ１７ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル７８ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ８５に伝送される。
【００９１】
シフトレジスタ８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。すなわち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて圧電素子７９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて圧電素子７９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴化されて吐出され、吐出された機能液がワークＷなどの描画対象物の上に配置される。
【００９２】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、電気光学装置の一例である液晶装置としての液晶表示パネルであって、カラーフィルタを備える液晶表示パネルについて説明する。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図８を参照して説明する。図８は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図８に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【００９３】
図８に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１３（ｋ）参照）とを備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１と偏光板２３２とが、配設されている。
【００９４】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、画素電極２１７や、走査線２１２及び信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４に信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【００９５】
素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【００９６】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成され、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【００９７】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【００９８】
対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
【００９９】
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１００】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図９を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されてガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａ上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図９（ａ）は対向基板の平面構造を模式的に示す図であり、図９（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す図である。
【０１０１】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図９（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【０１０２】
図９（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには対向基板２２０のＣＦ層２０８と共に、対向基板４２０を構成するＣＦ層４０８がガラス基板４０１となる部分に形成されている。対向基板４２０は、対向基板２２０と実質的に同じ構造をしており、液晶表示パネル２００より表示部の面積が小さい液晶表示パネルを構成する対向基板である。マザー対向基板２０１Ａ上にガラス基板２０１を適宜配置すると、ガラス基板２０１を形成できるだけの面積がないために活用できない部分が生ずる。そこで、ガラス基板２０１より小さいガラス基板４０１のＣＦ層４０８を形成して、当該部分をガラス基板４０１として有効に利用することによって、マザー対向基板２０１Ａを無駄なく利用している。マザー対向基板２０１Ａが、基材又はマザー基板に相当する。なお、図９においては、図をわかりやすくするためにＣＦ層２０８やＣＦ層４０８を形成する領域の相互間の間隔を大きくしてあるが、マザー対向基板２０１Ａを効率良く使用するためには、当該間隔は可能な限り小さくすることが好ましい。言い換えれば、サイズの異なるガラス基板を効率的に配置する配置方法を見出すことにより、マザー対向基板２０１Ａそのもののサイズ設定が明確になり、マザー対向基板２０１Ａを原材料から取り出す効率をも改善することが可能となる。
【０１０３】
＜カラーフィルタ＞
次に、対向基板２２０に形成されているＣＦ層２０８及びＣＦ層２０８におけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）の配列について、図１０を参照して説明する。図１０は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。
【０１０４】
図１０に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。
【０１０５】
３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。ストライプ配列は、図１０（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図１０（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。デルタ配列は、図１０（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配色である。
【０１０６】
図１０（ａ），（ｂ），（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、さらに、通過させる光の光量を調整することによりフルカラー表示を行う。
【０１０７】
＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１１、図１２、及び図１３を参照して説明する。図１１は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１２は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１３は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。
【０１０８】
図１１に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
図１１のステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１２（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜領域２２５が形成される。
【０１０９】
次に、図１１のステップＳ２では、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料をそれぞれ充填して、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。
【０１１０】
より詳細には、図１２（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１２（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。
【０１１１】
同様にして、図１２（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図１２（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１２（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。
【０１１２】
次に、図１１のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１２（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１１のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１２（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。
【０１１３】
次に、図１１のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。
【０１１４】
図１１に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
図１１のステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。
【０１１５】
次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。
【０１１６】
次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。
【０１１７】
次に、ステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせ、図１３（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。
【０１１８】
＜着弾対象領域＞
次に、描画対象における機能液を配置するべき領域である配置領域の形状と、配置領域に機能液を配置するために液滴を着弾させるべき領域である着弾対象領域と、の関係について、図１４を参照して説明する。
【０１１９】
機能液の液滴は、描画対象における所定の位置に着弾させるように吐出されるが、所定の着弾位置に対して、様々な誤差要因によって生ずる誤差の分だけずれた位置に着弾する可能性がある。確実に機能液を配置するべき領域である配置領域内に液滴を着弾させるために、誤差要因によって生ずる誤差が生じても配置領域内に液滴を着弾させられるように、誤差を考慮した範囲に向けて機能液を吐出する。当該誤差を考慮した範囲を、着弾対象領域と表記する。図１４は、フィルタ膜領域の形状と、着弾対象領域と、との関係を示す説明図である。
【０１２０】
上述したように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８と共に、対向基板４２０を構成するＣＦ層４０８がガラス基板４０１となる部分に形成されている。図１４（ａ）では、上述したＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５を形成するためのフィルタ膜領域２２５における、着弾対象領域２２５Ｅの大きさを示している。図１４（ｂ）では、上述したＣＦ層４０８のフィルタ膜４０５（４０５Ｒ，４０５Ｇ，４０５Ｂ）を形成するためのフィルタ膜領域４２５における、着弾対象領域４２５Ｅの大きさを示している。ＣＦ層２０８におけるフィルタ膜２０５の数と、ＣＦ層４０８におけるフィルタ膜４０５の数とは基本的に同じであるため、ＣＦ層２０８より面積が小さいＣＦ層４０８のフィルタ膜領域４２５の大きさは、ＣＦ層２０８のフィルタ膜領域２２５より小さくなる。フィルタ膜領域４２５の横寸法４２５ｗ及び縦寸法４２５ｈは、フィルタ膜領域２２５の横寸法２２５ｗ及び縦寸法２２５ｈの半分程度である。
【０１２１】
マザー対向基板２０１Ａに対して、吐出ノズル７８を、図１４に示した矢印ａの方向に移動させながら機能液を吐出させることによって、フィルタ膜領域２２５及びフィルタ膜領域４２５に、機能液を配置する。矢印ａの方向が主走査方向（Ｘ軸方向）であり、矢印ａの方向と直交する方向が副走査方向（Ｙ軸方向）である。
主走査方向における着弾位置の誤差の要因としては、ヘッドギャップの誤差や変動に起因する、吐出された液滴の飛行時間の誤差や、ラッチ信号の立ち上がり間隔の誤差や、ラッチ信号のスタート時点のずれなどが挙げられる。
副走査方向の誤差の要因としては、吐出された機能液の飛行方向が、副走査方向にずれる「曲がり」や、マザー対向基板２０１Ａに対する吐出ノズル７８の副走査方向の位置合わせの誤差などが挙げられる。
【０１２２】
これらの誤差の要因は液滴吐出装置１の精度に拠るものであるため、フィルタ膜領域２２５と、フィルタ膜領域４２５とで、同じ大きさになる。主走査方向の誤差を吸収するための余裕幅ｄｘ、及び副走査方向の余裕幅ｄｙは、フィルタ膜領域２２５でも、フィルタ膜領域４２５でも、考慮する誤差の要因が同じであれば、同じ大きさに設定する必要がある。
着弾対象領域４２５Ｅの横寸法４２５ｘ及び縦寸法４２５ｙは、フィルタ膜領域４２５の横寸法４２５ｗ及び縦寸法４２５ｈに対して、余裕幅ｄｘ、又は余裕幅ｄｙを減じた大きさである。着弾対象領域２２５Ｅの横寸法２２５ｘ及び縦寸法２２５ｙは、フィルタ膜領域２２５の横寸法２２５ｗ及び縦寸法２２５ｈに対して、余裕幅ｄｘ、又は余裕幅ｄｙを減じた大きさである。横寸法４２５ｗ又は縦寸法４２５ｈが、横寸法２２５ｗ又は縦寸法２２５ｈの半分程度であるのに対して、着弾対象領域４２５Ｅの横寸法４２５ｘ又は縦寸法４２５ｙは、着弾対象領域２２５Ｅの横寸法２２５ｘ又は縦寸法２２５ｙの三分の一から四分の一程度になっている。着弾対象領域がフィルタ膜領域に比べて小さくなる割合が大きくなると、フィルタ膜領域の全面に充填できるだけの機能液を着弾対象領域に着弾させることが困難になる。
【０１２３】
着弾対象領域４２５Ｅなどの横寸法４２５ｗ又は縦寸法４２５ｈなどが小さくなることを抑制するためには、余裕幅ｄｘ、及び余裕幅ｄｙを小さくできるようにすることが必要である。余裕幅ｄｘ、及び余裕幅ｄｙを小さくするためには、誤差の要因となる「曲がり」などを小さくすることが必要である。上述した「曲がり」やヘッドギャップの誤差を小さくするためには、ヘッドギャップを小さくすることが有効である。
【０１２４】
＜吐出分解能＞
次に、機能液を配置するべき領域である描画対象の形状と、着弾対象領域と、吐出分解能と、の関係について、図１５を参照して説明する。図１５は、フィルタ膜領域の形状と、着弾対象領域と、吐出分解能との関係を示す説明図である。
図７を参照して説明したように、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングで、ノズルデータが「ＯＮ」の場合には駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴化されて吐出され、吐出された機能液がワークＷなどの描画対象物の上に配置される。ラッチ信号の周波数と、吐出ノズル７８と描画対象との主走査方向の相対移動速度と、から定まる描画対象に対する吐出ノズル７８からの吐出位置間の最小距離が、吐出分解能である。吐出された機能液が描画対象に着弾した位置間の最小距離が、描画分解能である。描画対象の適切な描画分解能は、それぞれの描画対象における描画形状によって定まる。吐出ノズル７８が実現するべき吐出分解能は、液滴吐出装置１が描画吐出を実施する描画対象の適切な描画分解能によって定まる。
【０１２５】
図１５（ａ）は、ＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５を形成するフィルタ膜領域２２５について、好ましい機能液２５２の着弾点２６３、及び機能液２５２を当該着弾点２６３に着弾させるタイミングで液滴吐出ヘッド１７から吐出させるためのラッチ信号２６２を示している。
１個のフィルタ膜２０５を形成するために、複数の吐出ノズル７８を一斉に駆動して、当該フィルタ膜２０５を形成するべきフィルタ膜領域２２５に機能液２５２を着弾させる。１個の吐出ノズル７８からは、例えば図１５（ａ）に示した２個所の着弾点２６３の位置に、機能液２５２の液滴を着弾させることによって、適正なフィルタ膜２０５が形成される。
なお、図をわかり易くするために、着弾点２６３を２個所にしたが、多くの場合、もっと多数の液滴を一個所の領域に着弾させる。
【０１２６】
一般的に、信号は時間軸に対応して示されるが、吐出ノズル７８とフィルタ膜領域２２５（マザー対向基板２０１Ａ）との相対移動速度は一定であるため、図１５（ａ）に示したラッチ信号２６２は、主走査方向である矢印ａの方向に相対移動する吐出ノズル７８が、当該位置にある時点で印加されているラッチ信号を示している。吐出ノズル７８は、図１５（ａ）の矢印ａの方向に相対移動しながら、ラッチ信号２６２の立ち上がり時に、即ち、図１５（ａ）においてはラッチ信号２６２の立ち上がり部分が記載されている位置において、機能液２５２を吐出する。吐出された機能液２５２は、着弾点２６３の位置に、着弾位置精度の誤差の範囲で、着弾する。なお、吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２は、吐出されてから着弾するまでの飛行時間の間に、相対移動方向にも移動するが、当該移動量はヘッドギャップが一定であれば概ね一定であるため、図をわかりやすくするために、図１５（ａ）においては、当該移動量は省略している。
【０１２７】
赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８においては、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒにおける着弾対象領域２２５Ｅ内の着弾点２６３Ｒに向けて吐出する時点においてのみ、赤色機能液２５２Ｒを吐出する。フィルタ膜領域２２５Ｒ内であっても、着弾対象領域２２５Ｅから外れた着弾点２６３Ｋに着弾する吐出時点においては、吐出は実施しない。赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８は、着弾点２６３Ｇや着弾点２６３Ｂに着弾する吐出時点においては、吐出は実施しない。同様に、緑色吐出ヘッド１７Ｇ又は青色吐出ヘッド１７Ｂが有する吐出ノズル７８においては、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂにおける着弾対象領域２２５Ｅ内の着弾点２６３Ｇ又は着弾点２６３Ｂに向けて吐出する時点においてのみ、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを吐出する。
【０１２８】
フィルタ膜領域２２５の主走査方向の配置に対して、ラッチ信号２６２によってラッチされる駆動信号を適切に印加することによって、適切な吐出位置で機能液２５２を吐出させることを可能ならしめて、それぞれのフィルタ膜領域２２５において、略同じ位置に機能液２５２を着弾させることができる。主走査方向に複数の機能液２５２を連続して吐出する場合、その最小の吐出間隔が吐出分解能となる。すなわち、吐出分解能の単位で機能液２５２を配置可能である。主走査方向における機能液２５２の配置は、隔壁２０４で区画された領域のサイズやフィルタ膜２０５の膜厚設定により適宜決定される。
【０１２９】
図１５（ｂ）は、ＣＦ層４０８のフィルタ膜４０５（４０５Ｒ，４０５Ｇ，４０５Ｂ）を形成するフィルタ膜領域４２５について、好ましい機能液２５２の着弾点２７３、及び機能液２５２を当該着弾点２７３に着弾させるように液滴吐出ヘッド１７から吐出させるためのラッチ信号２７２を示している。
１個の吐出ノズル７８からは、例えば図１５（ｂ）に示した一個所の着弾点２７３の位置に、機能液２５２の液滴を着弾させることによって、適正なフィルタ膜４０５が形成される。
なお、図をわかり易くするために、着弾点２７３を一個所にしたが、多くの場合、もっと多数の液滴を一個所の領域に着弾させる。
図１５（ｂ）におけるラッチ信号２７２とフィルタ膜領域４２５との関係は、図１５（ａ）におけるラッチ信号２６２とフィルタ膜領域２２５との関係と同様である。
【０１３０】
赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８においては、赤色フィルタ膜４０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域４２５Ｒにおける着弾対象領域４２５Ｅ内の着弾点２７３Ｒに向けて吐出する時点においてのみ、赤色機能液２５２Ｒを吐出する。赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８は、着弾点２７３Ｇや着弾点２７３Ｂ、及び着弾対象領域４２５Ｅから外れる着弾点２７３Ｋに着弾する吐出時点においては、吐出は実施しない。同様に、緑色吐出ヘッド１７Ｇ又は青色吐出ヘッド１７Ｂが有する吐出ノズル７８においては、緑色フィルタ膜４０５Ｇ又は青色フィルタ膜４０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域４２５Ｇ又はフィルタ膜領域４２５Ｂにおける着弾対象領域４２５Ｅ内の着弾点２７３Ｇ又は着弾点２７３Ｂに向けて吐出する時点においてのみ、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを吐出する。
フィルタ膜領域４２５の主走査方向の配置に対して、ラッチ信号２７２によってラッチされる駆動信号を適切に印加することによって、適切な吐出位置で機能液２５２を吐出させることを可能ならしめて、それぞれのフィルタ膜領域４２５において、略同じ位置に機能液２５２を着弾させることができる。
【０１３１】
＜機能液配置＞
次に、機能液を吐出して、マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８のフィルタ膜領域２２５などに機能液を配置する過程について、図１６を参照して説明する。図１６は、機能液を配置する工程を示すフローチャートである。
【０１３２】
図１６のステップＳ２１では、基準ヘッドギャップを規定する。基準ヘッドギャップは、例えばフィルタ膜領域の大きさに対応して、規定する。上述したように、マザー対向基板２０１Ａにおいては、フィルタ膜領域４２５では、フィルタ膜領域２２５と同じ余裕幅ｄｘ及び余裕幅ｄｙを設定すると、着弾対象領域４２５Ｅが小さくなる。着弾対象領域４２５Ｅが小さくなることを抑制するために、ヘッドギャップを小さくすることによって「曲がり」やヘッドギャップの誤差を小さくすることで、余裕幅ｄｘ、及び余裕幅ｄｙを小さくする。ステップＳ２１が、基準ギャップ規定工程に相当する。
【０１３３】
次に、ステップＳ２２では、規定した基準ヘッドギャップを、対応するフィルタ膜領域の大きさと対応させて記憶する。規定した基準ヘッドギャップの情報を、入出力装置６８から入力し、ＲＡＭ４６やハードディスク４８などに記憶させる。入出力装置６８が、基準ヘッドギャップ取得手段に相当する。
【０１３４】
次に、ステップＳ２３では、描画する画像の描画データを取得する。描画データの取得は、画像の描画データを入出力装置６８から入力し、ＲＡＭ４６やハードディスク４８などに記憶させることによって実行される。描画データは、例えば、マザー対向基板２０１Ａなどにおける機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータなどの形式で供給される。
【０１３５】
次に、ステップＳ２４では、取得した画像データに基づいて、フィルタ膜領域の情報を算出する。マザー対向基板２０１Ａにおいては、フィルタ膜領域２２５及びフィルタ膜領域４２５の着弾対象領域２２５Ｅ及び着弾対象領域４２５Ｅの大きさが、算出される。また、ＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８の配設位置及び大きさが、算出される。当該算出は、例えば、ＣＰＵ４４が、ＲＯＭ４５に記憶されたプログラムに従って実行する。
フィルタ膜領域２２５及びフィルタ膜領域４２５、又は着弾対象領域２２５Ｅ及び着弾対象領域４２５Ｅが、サブ配置領域又は色要素領域又は機能膜領域に相当する。ＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８を形成する領域が、配置領域又はフィルタ領域又は電気光学膜領域に相当する。
【０１３６】
次に、ステップＳ２５では、記憶されている基準ヘッドギャップの中から、算出された着弾対象領域２２５Ｅ又は着弾対象領域４２５Ｅの大きさに対応する基準ヘッドギャップを読み出す。
【０１３７】
次に、ステップＳ２６では、ヘッドギャップを検出する。高さ検出ユニット１６２の２０個の高さセンサ１６３を用いて、それぞれの高さセンサ１６３が対向する位置にある、ワーク載置台２１に固定されたマザー対向基板２０１Ａの面の、Ｚ軸方向の高さを測定する。測定結果と、定められている液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａのＺ軸方向の高さとから、当該位置におけるヘッドギャップを検出することができる。高さセンサ１６３が、ギャップセンサに相当する。
【０１３８】
次に、ステップＳ２７では、ヘッドギャップを調整する。ステップＳ２６で検出したヘッドギャップと、ステップＳ２４で算出したマザー対向基板２０１Ａの当該位置におけるフィルタ領域の大きさに対応する基準ヘッドギャップとを比較し、ヘッドギャップが対応する基準ヘッドギャップになるように、ヘッド昇降機構５８を用いてヘッドユニット５４を昇降させる。この場合のヘッド昇降機構５８を制御するＣＰＵ４４が、ギャップ調整手段に相当する。
【０１３９】
次に、ステップＳ２８では、ヘッドギャップが適正な基準ヘッドギャップに調整された液滴吐出ヘッド１７からフィルタ膜領域２２５又はフィルタ膜領域４２５の着弾対象領域２２５Ｅ又は着弾対象領域４２５Ｅに向けて、機能液を吐出する。
【０１４０】
ステップＳ２８を実施して、機能液を配置する工程を終了する。
なお、ステップＳ２５を終了して開始される、実際に吐出を実施する工程であるステップＳ２６、ステップＳ２７、及びステップＳ２８は、略並行して実施する。マザー対向基板２０１Ａが主走査方向に移動を開始すると、ステップＳ２６を実施し、マザー対向基板２０１Ａの当該測定をされた位置がヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７に対向する位置まで移動する間にステップＳ２７を実施し、液滴吐出ヘッド１７に対向する位置まで移動した時点で、ステップＳ２８を実施する。ステップＳ２７を実施する際には、並行して次の領域に対してステップＳ２６を実施する。同様に、ステップＳ２８を実施する際には、並行して次の領域に対してステップＳ２７を実施する。
測定をされた位置が液滴吐出ヘッド１７に対向する位置は、より正確には、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液の液滴が飛行して着弾するまでの主走査方向の移動距離を考慮して、液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液が測定をされた位置に着弾する位置である。
【０１４１】
上述したように、１個のキャリッジユニット５１に対して、Ｘ軸方向（主走査方向）における両側に、それぞれ１個の高さセンサ１６３が配置されており、キャリッジユニット５１ごとにヘッド昇降機構５８を用いてヘッドユニット５４を昇降することが可能であり、ヘッドギャップの調整は、各ヘッドユニット５４ごとに実施する。キャリッジユニット５１に対して、主走査方向における両側に、それぞれ高さセンサ１６３が配置されていることで、ヘッドユニット５４に対して、主走査方向のどちら側からマザー対向基板２０１Ａが移動してきても、ステップＳ２８に先行してステップＳ２６、及びステップＳ２７を実施することができる。
【０１４２】
以下、実施形態の効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）１個のキャリッジユニット５１に対して、それぞれ高さセンサ１６３を配置したことにより、キャリッジユニット５１のヘッドユニット５４ごとの液滴吐出ヘッド１７のヘッドギャップを検出することができる。
【０１４３】
（２）キャリッジユニット５１に対して、主走査方向における両側に、それぞれ高さセンサ１６３が配置されている。これにより、ヘッドユニット５４に対して、主走査方向のどちら側からマザー対向基板２０１Ａが移動してきても、マザー対向基板２０１Ａの部分が液滴吐出ヘッド１７に対向する前に、高さセンサ１６３に対向することから、機能液の吐出を実施する前に、ヘッドギャップを検出することができる。
【０１４４】
（３）高さセンサ１６３によって測定されたマザー対向基板２０１Ａの各部分の高さから求められたヘッドギャップに応じて、ヘッドユニット５４が昇降されてヘッドギャップが調整される。これにより、マザー対向基板２０１Ａ上のそれぞれの領域ごとに、実際のヘッドギャップに即したヘッドギャップの調整が実施できる。したがって、うねりや厚さのむらなどに起因するマザー対向基板２０１Ａの面の位置の変動があっても、当該変動に追従するようにヘッドユニット５４（液滴吐出ヘッド１７）の位置を調整することで、適切なヘッドギャップを維持することができる。
【０１４５】
（４）キャリッジユニット５１は、ヘッド昇降機構５８の昇降ボールねじ５８３と、昇降ブロック５８７とが螺合することで支持されている。昇降ボールねじ５８３と昇降ブロック５８７とのねじ対偶を用いることで、当該部分にはキャリッジユニット５１の重量が常にかかっているが、昇降モータ５８２の電源を切った状態でも、キャリッジユニット５１のＺ軸方向の位置を保持することができる。これにより、エネルギの消費を抑制することができる。
【０１４６】
（５）１０個の高さセンサ１６３が、センサ移動機構１６４によって、Ｙ軸支持ベース７に、Ｙ軸方向に独立して移動可能に支持されている。この構成により、１０個のキャリッジユニット５１のそれぞれについて、それぞれのＹ軸方向の位置に合わせて高さセンサ１６３を配置して、それぞれのキャリッジユニット５１から機能液を吐出するのに略並行して、当該キャリッジユニット５１におけるヘッドギャップを検出することができる。
【０１４７】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１４８】
（変形例１）前記実施形態においては、高さセンサ１６３はキャリッジユニット５１とは別に、センサ移動機構１６４によってＹ軸方向にスライド自在に支持されていたが、高さセンサのＹ軸方向の移動機構をヘッドユニットとは別に設けることは必須ではない。高さセンサを、ヘッドユニットと一体に固定し、ヘッドユニットと一体に移動する構成であってもよい。高さセンサがヘッドユニットと一体に移動する構成の場合、高さセンサと液滴吐出ヘッドとの相対位置が固定になるため、液滴吐出ヘッドの移動によるヘッドギャップの増減を、高さセンサで直接測定することができる。
【０１４９】
（変形例２）前記実施形態においては、フィルタ領域ごとに基準ヘッドギャップを規定していたが、基準ヘッドギャップを領域ごとに規定することは必須ではない。基材全体に対して一律のヘッドギャップで吐出を実施してもよい。
【０１５０】
（変形例３）前記実施形態においては、機能液を配置する際の着弾位置精度の規格は固定であって、基準ヘッドギャップは、当該着弾位置精度の基準を一律に適用して、サブ配置領域又は色要素領域又は機能膜領域に相当する着弾対象領域２２５Ｅ又は着弾対象領域４２５Ｅの大きさに対応して規定された基準ヘッドギャップを適用していた。しかし、基準ヘッドギャップをサブ配置領域又は色要素領域の大きさに対応して規定することは必須ではない。着弾位置精度の規格を可変とし、基準ヘッドギャップを着弾位置精度に対応して規定してもよい。例えば、着弾位置精度を、サブ配置領域又は色要素領域に充分に液状体を供給するために必要な着弾領域の大きさを確保することを可能ならしめる着弾位置精度に、各サブ配置領域又は色要素領域に対応して規定する。基準ヘッドギャップは、規定された着弾位置精度に対応して規定する。
【０１５１】
（変形例４）前記実施形態においては、フィルタ膜領域２２５又はフィルタ膜領域４２５について、適切な吐出タイミングを実現させるラッチ信号２６２及びラッチ信号２７２は、予め定められた一定の吐出タイミングを実現する信号であったが、吐出タイミングが一定であることは必須ではない。ヘッドギャップの変動に対応して、吐出タイミングも可変としてもよい。ヘッドギャップが変わることで、吐出された液状体が着弾するまでの時間が変わるため、同じ吐出タイミングで吐出された液状体は、着弾位置がずれる。ヘッドギャップの変動に対応して、吐出タイミングも変動させることで、より適切な位置に着弾させることができる。また、連続した１回の相対移動の間に、異なる大きさのサブ配置領域を含むような配置領域にそれぞれ液状体を配置する場合でも、それぞれの配置領域に適切なヘッドギャップで液状体を配置することができると共に、それぞれの配置領域に適切な吐出タイミングで液状体を配置することができる。
【０１５２】
（変形例５）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの３色のフィルタ膜を有する３色フィルタであったが、カラーフィルタは、さらに多くの種類のフィルタ膜を有する多色のカラーフィルタであってもよい。多色のカラーフィルタとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルタや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィルタなどがあげられる。
【０１５３】
（変形例６）前記実施形態においては、電気光学装置の一例である液晶表示パネル２００のフィルタ膜２０５を形成する際の描画吐出について説明したが、形成する膜は、フィルタ膜に限らない。形成する膜は、液晶表示装置の画素電極膜や配向膜や対向電極膜や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などであってもよい。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置に限らない。上述したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。例えば、有機ＥＬ表示装置にも適用できる。有機ＥＬ表示装置を製造する際に上述した液滴吐出装置を用いて形成する機能膜は、有機ＥＬ表示装置の正極電極膜や陰極電極膜、フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチングなどのフォトレジスト膜などであってもよい。
【０１５４】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出装置１を使用して機能液を配置することで描画を実施する描画対象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネル２００について説明したが、描画対象物は電気光学装置に限らない。上述した液滴吐出装置及び液状体の配置方法は、様々な液状体を用いる様々な加工対象物の加工装置及び加工方法として利用できる。例えば、液状の導電材料を吐出する、回路基板の配線導電パターンの加工装置及び加工方法、液状の絶縁材料を吐出する、回路基板の絶縁膜パターンの加工装置及び加工方法、液状の導電材料を吐出する、半導体装置の配線導電膜の加工装置及び加工方法、液状の絶縁材料を吐出する、半導体装置の絶縁層の加工装置及び加工方法などとして、利用することもできる。
【０１５５】
（変形例８）前記実施形態においては、高さセンサ１６３は、例えばレーザ光源を有する距離測定装置であったが、高さセンサは、非接触で、短い測定時間で正確な距離が測定できる装置であればどのような装置であってもよい。
【０１５６】
（変形例９）前記実施形態においては、ヘッドユニット５４を備えるキャリッジユニット５１を、ヘッド昇降機構５８の昇降モータ５８２によって回動する昇降ボールねじ５８３と、昇降ブロック５８７とが螺合することで支持して、昇降させていたが、ヘッド昇降機構にねじ対偶を用いることは必須ではない。Ｚ軸方向に延在するリニアモータを用いるなど、他の駆動源及び支持機構を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１５７】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示す側面図。
【図３】液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図。
【図４】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図５】キャリッジユニットの概略構成を示す側面図。
【図６】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図７】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図８】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図９】（ａ）は対向基板の平面構造を模式的に示す図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す図。
【図１０】３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。
【図１１】液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。
【図１２】液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１３】液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１４】フィルタ膜領域の形状と、着弾対象領域と、との関係を示す説明図。
【図１５】フィルタ膜領域の形状と、着弾対象領域と、吐出分解能との関係を示す説明図。
【図１６】機能液を配置する工程を示すフローチャート。
【符号の説明】
【０１５８】
１…液滴吐出装置、２…吐出ユニット、３…ワークユニット、６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、２１…ワーク載置台、４４…ＣＰＵ、４５…ＲＯＭ、４６…ＲＡＭ、５１…キャリッジユニット、５４…ヘッドユニット、５８…ヘッド昇降機構、６５…制御装置、６８…入出力装置、７６…ノズル形成プレート、７６ａ…ノズル形成面、７８…吐出ノズル、１６３…高さセンサ、１６４…センサ移動機構、２００…液晶表示パネル、２０１，４０１…ガラス基板、２０１Ａ…マザー対向基板、２０５，４０５…フィルタ膜、２０８，４０８…ＣＦ層、２２０，４２０…対向基板、２２５，４２５…フィルタ膜領域、２２５Ｅ，４２５Ｅ…着弾対象領域、２６２，２７２…ラッチ信号、２６３，２７３…着弾点、５６１…キャリッジ枠、５８１…キャリッジベース、５８２…昇降モータ、５８４…スライドステージ、５８５…固定ステージ、５８６…可動ステージ、５８７…昇降ブロック。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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