(57)【要約】【課題】この発明は、安価且つ容易に製造でき、エア流量を容易に均一化でき、取り扱いを容易にできるエアナイフユニットを提供することを課題とする。【解決手段】エアナイフユニット１０は、間に帯状の隙間Ｇを形成する第１および第２の板金１、２、これら第１、第２の板金１、２とともにエアチャンバ１４を区画する第３の板金３、および第１乃至第３の板金１〜３の両端を封止する第４の板金４ａ、４ｂを有する。板金１、２のフランジ部１ｃ、２ｃには、エアチャンバ１４に連通した複数の通気孔１５が形成されており、板金２の対向部２ａの板金１から離間した裏面側には、複数本の調整ネジ１１を螺合する螺合部材６が貼り付けられている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の第１の板金と、
この第１の板金に帯状の隙間を介して近接対向する帯状の対向部、およびこの対向部に連続して上記第１の板金から離間する方向に折り曲げられた帯状の折り曲げ部を一体に有する帯状の第２の板金と、
上記折り曲げ部と上記第１の板金との間で上記隙間に連通するエアチャンバを区画形成するように、上記第１および第２の板金にそれぞれ気密状態で接合した帯状の第３の板金と、
上記第１乃至第３の板金の長手方向両端をそれぞれ気密状態で封止して上記エアチャンバを区画する２枚の第４の板金と、
上記第２の板金を貫通して上記長手方向に沿って互いに離間して設けられた複数の通気孔と、
上記第２の板金の上記第１の板金から離間した裏面側に設けられ、上記長手方向に沿って離間した複数個所で上記対向部を上記第１の板金に対して離接する方向に付勢して上記隙間を調整する隙間調整機構と、
を有することを特徴とするエアナイフユニット。
【請求項２】
上記第１の板金から離間した上記第２の板金の裏面側に上記複数の通気孔に連通する上記長手方向に延びた送気路を形成するように、折り曲げられて、上記第２の板金の裏面に気密状態で接合された帯状の第５の板金をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のエアナイフユニット。
【請求項３】
上記第２の板金に設けられた複数の通気孔の間隔は、上記エアチャンバ内の気圧が上記長手方向に沿って均一になるよう設計されていることを特徴とする請求項２に記載のエアナイフユニット。
【請求項４】
上記第２の板金に設けられた複数の通気孔のサイズは、上記エアチャンバ内の気圧が上記長手方向に沿って均一になるよう設計されていることを特徴とする請求項２に記載のエアナイフユニット。
【請求項５】
上記隙間調整機構は、上記対向部の裏面に接合された帯状の螺合部材と、調整基準を与えるための帯状の剛体と、この剛体を貫通して上記螺合部材に螺合した複数本の調整ネジと、を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエアナイフユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板表面にエアを吹き付けて乾燥させるエアナイフユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、エアナイフユニットとして、洗浄後の基板表面に向けて加圧エアを噴射させて乾燥させるエアナイフノズルが知られている（例えば、特許文献１参照。）。この公報に開示されたエアナイフノズルは、チャンバ形成部材を２つの外殻部材で挟んで構成されている。そして、２つの外殻部材の間の非接合部分に形成されたスリット状のエア噴射口を介して加圧エアを噴射させ、基板表面を乾燥させる。
【０００３】
この種のエアナイフノズルは、一般に、エア噴射口のスリット幅を高精度に均一化するため、金属材料の削り出し加工により形成される。このように、ノズルのスリット幅をその長手方向に沿って均一にすることにより、噴出させるエアの流量をユニットの長手方向に沿って均一にでき、乾燥ムラを無くすことができる。
【特許文献１】特開２００３−３４０３１９号公報（図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述したように、エアナイフノズルを金属材料の削り出し加工によって形成すると、ノズルの重量が重くなり、取り扱いが困難となる。特に、エアを拭き付ける対象となる基板のサイズが大きくなると、エアナイフノズルの長さもその分だけ長くなり、取り扱いが困難になるばかりか、ノズルが自重で撓んでしまう不具合も生じる。このように、ノズルに撓みを生じた場合、スリットにも歪みを生じ、噴出させるエアの流量も不均一になってしまう。
【０００５】
また、金属材料の削り出し加工には比較的高価な製造設備が必要で、且つ、加工に熟練を要するばかりか、加工に多くの時間を必要とし、製造コストが増大する問題があった。
【０００６】
この発明の目的は、安価且つ容易に製造でき、エア流量を容易に均一化でき、取り扱いを容易にできるエアナイフユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明のエアナイフユニットは、帯状の第１の板金と、この第１の板金に帯状の隙間を介して近接対向する帯状の対向部、およびこの対向部に連続して上記第１の板金から離間する方向に折り曲げられた帯状の折り曲げ部を一体に有する帯状の第２の板金と、上記折り曲げ部と上記第１の板金との間で上記隙間に連通するエアチャンバを区画形成するように、上記第１および第２の板金にそれぞれ気密状態で接合した帯状の第３の板金と、上記第１乃至第３の板金の長手方向両端をそれぞれ気密状態で封止して上記エアチャンバを区画する２枚の第４の板金と、上記第２の板金を貫通して上記長手方向に沿って互いに離間して設けられた複数の通気孔と、上記第２の板金の上記第１の板金から離間した裏面側に設けられ、上記長手方向に沿って離間した複数個所で上記対向部を上記第１の板金に対して離接する方向に付勢して上記隙間を調整する隙間調整機構と、を有する。
【０００８】
上記発明によると、エアナイフユニットを構成する殆どの部材を板金により形成できるため、金属材料の削り出し加工が不要となり、加工および組立が容易で、軽量化により、取り扱いが容易となり、製造コストを低減できる。
【発明の効果】
【０００９】
この発明のエアナイフユニットは、上記のような構成および作用を有しているので、安価且つ容易に製造でき、エア流量を容易に均一化でき、取り扱いを容易にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態について詳細に説明する。  
図１には、エアナイフユニット１０の外観斜視図を示してある。また、図２には、このエアナイフユニット１０を短手方向に切断して図１の矢印II-II方向から見た断面図を示してある。
【００１１】
このエアナイフユニット１０は、概ね、複数枚の帯状の板金を必要に応じて折り曲げたり孔開け加工したりして溶接によって互いに接合することで組み立てられる。なお、ここで言う「帯状」、および特許請求の範囲で言う「帯状」とは、一定の厚さを有する金属板（板金）のうち１方向に細長い矩形の板金を指すものとする。また、板金同士の接合には、スポット溶接やシーム溶接を用いる。
【００１２】
すなわち、エアナイフユニット１０は、帯状の第１の板金１、帯状の第２の板金２、帯状の第３の板金３、２枚の略Ｔ字形の第４の板金４ａ、４ｂ、および２枚の帯状の第５の板金５ａ、５ｂを有する。このうち５枚の帯状の板金１、２、３、５ａ、５ｂは、略同じ長さを有する。また、板金４ａ、４ｂは、板金１、２、３、５ａ、５ｂの長手方向両端にそれぞれ気密状態で接合される。
【００１３】
この他に、エアナイフユニット１０は、板金２が板金１に帯状の隙間Ｇを介して対向する対向部２ａの板金１から離間した裏面側に接合される帯状の螺合部材６、隙間Ｇを調整するための調整基準を与えるための帯状の剛体７、および板金１の対向部１ａの板金２から離間した裏面側に接合される帯状の補強部材８を有する。螺合部材６および補強部材８も、上述した板金１、２、３、５ａ、５ｂと略同じ長さを有する。
【００１４】
剛体７は、帯状の板金をその長手方向に沿った中間位置で略直角に折り曲げて断面Ｌ字状にされ、板金２との間で送気路を形成する板金５ｂの裏面に接合されている。このように、剛体７をＬ字状に折り曲げることで、曲げ応力に対する剛性を高めることができる。また、剛体７は、螺合部材６に対向する部位に複数本の調整ネジ１１を螺合するための複数の貫通したネジ孔を有する。複数本の調整ネジ１１は、螺合部材６の長手方向に沿って互いに一定距離で離間して配置される。これら剛体７、螺合部材６、および複数本の調整ネジ１１は、本発明の隙間調整機構として機能する。
【００１５】
板金１および板金２は、帯状の隙間Ｇを介して対向する帯状の対向部１ａ、２ａ、これら対向部１ａ、２ａの後端側に連続して互いに離間する方向に傾斜して折り曲げられた帯状の折り曲げ部１ｂ、２ｂ、およびこれら折り曲げ部１ｂ、２ｂの後端側に連続して水平方向に折り曲げられた帯状のフランジ部１ｃ、２ｃをそれぞれ一体に有する。板金１、２同士が近接対向する対向部１ａ、２ａに対して折り曲げ部１ｂ、２ｂを設けることで、折り曲げ部１ｂ、２ｂ間に、隙間Ｇに連通するエアチャンバ１４を形成できる。
【００１６】
そして、エアナイフユニット１０を組み立てる際には、周縁部に矩形枠状のフランジ部３ａを有するとともに、その中央部内側に矩形の凹部３ｂを有する板金３が、フランジ部３ａを介して、板金１のフランジ部１ｃおよび板金２のフランジ部２ｃに重ねて気密状態で接合される。この接合部は、例えば、隙間を埋める溶加材を用いたアーク溶接やシーム溶接により気密状態に接合される。
【００１７】
或いは、図１に示すように、板金３のフランジ部３ａと板金１、２のフランジ部１ｃ、２ｃとの間にパッキンを介在させて、複数本のボルトを用いて両者を気密状態で強固に気密状態で接合するようにしても良い。
【００１８】
また、板金５ａ、５ｂは、それぞれ、板金１、２同士が対向する面と離間した裏面との間で送気路１２、１３を形成するように、折り曲げられて、気密状態で接合される。この場合の接合も、上述したシーム溶接などが用いられる。
【００１９】
このとき、例えば、一方の板金５ａは、板金１のフランジ部１ｃの裏面に接合する帯状のフランジ部、および板金１の対向部１ａの裏面に接合するフランジ部を形成するよう、長手方向に沿った２箇所で折り曲げられ、さらに送気路１２を形成するようにその中間部位が板金１から離れる方向に略直角に折り曲げられる。他方の板金５ｂも、板金５ａと左右対象形に折り曲げられる。
【００２０】
そして、この後、板金１、２の対向部１ａ、２ａを両側から挟むように、螺合部材６が板金２の対向部２ａの裏面側に接合され、補強部材８が板金１の対向部１ａの裏面側に接合される。この螺合部材６および補強部材８の接合には、例えばスポット溶接が用いられる。
【００２１】
さらに、板金５ｂの下端面に上述した剛体７がスポット溶接によって接合される。そして、剛体７の長手方向に沿って互いに離間して形成された複数のネジ孔を介して調整ネジ１１が螺合され、各ネジ１１の先端が螺合部材６に螺合される。
【００２２】
つまり、螺合部材６の長手方向に沿った各位置で調整ネジ１１の締め具合を調整することにより、剛体７と螺合部材６との間の距離を各位置で微調整でき、螺合部材６（すなわち対向部２ａ）を板金１の対向部１ａに対して離接する方向に付勢できる。
【００２３】
その結果、対向する板金１の対向部１ａとの間の隙間Ｇを長手方向に沿って均一に調整できる。この際、隙間調整の相手となる板金１の対向部１ａには補強部材８がスポット溶接によって接合されているため、対向部１ａの剛性が高められており、対向部１ａの変形によって隙間Ｇが変動することを防止している。
【００２４】
最後に、各板金１、２、３、５ａ、５ｂの長手方向両端に対し、板金４ａ、４ｂがシーム溶接などを用いて気密状態で接合され、上述した送気路１２、１３とともに、上述したエアチャンバ１４が区画形成される。板金１および板金２それぞれの裏面側に形成された送気路１２、１３とエアチャンバ１４を区画する折り曲げ部１ｂ、２ｂには、それぞれ長手方向に互いに離間した複数の通気孔１５が各板金１、２を貫通して形成されている。
【００２５】
また、上述した複数枚の帯状の板金１、２、３、５ａ、５ｂの長手方向両端を封止した板金４ａ、４ｂには、それぞれ、図示しない送気管を送気路１２、１３に接続するための接続孔１６が形成されている。
【００２６】
しかして、送気管を介して送り込まれたエアは、板金４ａ、４ｂの接続孔１６を介して、エアナイフユニット１０の長手方向両端から送気路１２、１３に流入される。そして、送気路１２、１３に流入されたエアは、その長手方向に沿って設けられた複数の通気孔１５を介してエアチャンバ１４へ流入される。さらに、このようにして、エアチャンバ１４内に送り込まれたエアは、２枚の板金１、２によって形成された隙間Ｇを介してエアナイフユニット１０のスリット状の送気口１０ａから流出される。
【００２７】
このとき、通気路１２、１３とエアチャンバ１４との間に設けられた複数の通気孔１５の間隔および／或いはサイズは、エアチャンバ１４内の気圧が長手方向に沿って均一になるように設計されている。その上で、上述した隙間調整機構６、７、１１によって、送気口１０ａの隙間Ｇが長手方向に沿って均一に調整されている。
【００２８】
以上のように、本実施の形態によると、エアナイフユニット１０の殆ど全ての構成部材１、２、３、４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂ、６、７、８を帯状の板金によって形成したため、従来のように金属材料の削り出し加工によってエアナイフユニットを製造する必要がなくなり、エアナイフユニットの製造を容易にでき、製造コストを低減できる。また、本実施の形態によると、エアナイフユニットを構成する金属材料の使用量を少なくでき、エアナイフユニットを軽量化でき、取り扱いを容易にでき、使用する材料コストを低減できる。
【００２９】
また、本実施の形態によると、エアナイフユニットの送気口１０ａの幅を長手方向に沿って均一化するため、例えば、板金１、２の対向面の平面度を高める必要がなく、板金１、２の加工精度を低くでき、その分、製造コストを低減できる。
【００３０】
なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。
【００３１】
例えば、上述した実施の形態では、エアチャンバ１４の左右両側に通気路１２、１３を形成するため、板金５ａ、５ｂを設けた場合について説明したが、これに限らず、エアチャンバ１４の片側にだけ通気路を設けても良い。この場合、例えば、板金１を折り曲げ加工せずに、板金２を板金１から離れる方向に折り曲げるだけで両者の間にエアチャンバ１４を形成し、板金２だけに複数の通気孔１５を形成し、板金２の裏面側にだけ板金５を用いて通気路を形成しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】この発明の実施の形態に係るエアナイフユニットを示す外観斜視図。
【図２】図１のエアナイフユニットの断面図。
【符号の説明】
【００３３】
１…第１の板金、２…第２の板金、３…第３の板金、４ａ、４ｂ…第４の板金、５ａ、５ｂ…第５の板金、６…螺合部材、７…剛体、８…補強部材、１０…エアナイフユニット、１１…調整ネジ、１２、１３…通気路、１４…エアチャンバ、１５…通気孔。
【図１】
2009172554.tif 000003
【図２】
2009172554.tif 000004