(57)【要約】【課題】吸着したワークを落下し難くした保持具を提供することを課題とする。【解決手段】吸着パッド１０は、油を収容しているシリンダ１２と、シリンダ１２内を下室３０と上室３２とに分けるピストン１６と、を備えている。下室３０はワーク吸着側である。また、吸着パッド１０は、ピストン１６が取付られるとともにシリンダ１２を貫通するピストンロッド１８と、下室３０を狭める方向にピストン１６を付勢するコイルバネ２２と、を備えている。また、ピストン１６とシリンダ内壁面１２Ｓとによって、上室３２と下室３０とに連通しオーリング３４が収容される中間室３８が形成されている。ピストン１６には、上室３２と中間室３８とに連通し中間室３８から上室３２へ流れる際の油の流動がオーリング３４によって妨げられる上室側環流孔４２と、上室３２と中間室３８とに連通するオリフィス５０と、形成されている。【選択図】図９
2009000764.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性せん断抵抗体を収容しているシリンダと、
前記シリンダ内を、ワーク吸着側である下室と、ワーク吸着側とは反対側である上室と、に分けるピストンと、
前記ピストンが取付られるとともに前記シリンダの少なくとも下端部を貫通し、ワークを吸着する吸着部を下端側に有するピストンロッドと、
前記下室を狭める方向に前記ピストンまたは前記シリンダの少なくとも一方を付勢する付勢手段と、
前記上室と前記下室とを連通させるとともに、前記下室を狭める方向に前記ピストンが前記シリンダに対して相対移動するときには、前記下室を広げる方向に前記ピストンが前記シリンダに対して相対移動するときに比べ、前記粘性せん断抵抗体の流動を制限することにより相対移動速度を遅くする連通機構と、
が設けられている、ことを特徴とする保持具。
【請求項２】
前記連通機構は、
前記上室と前記下室とに連通する中間室と、
前記中間室に収容され、前記中間室から前記上室へ流れる際の前記粘性せん断抵抗体の流動速度を調整する調整部材と、
前記上室と前記中間室とに連通し、前記中間室から前記上室へ流れる際の前記粘性せん断抵抗体の流動が前記調整部材によって妨げられる上室側環流孔と、
前記上室と前記中間室とに連通するオリフィスと、
前記下室と前記中間室とに連通し、前記中間室から前記下室へ流れる際の前記粘性せん断抵抗体の流動が前記調整部材では妨げられない下室側環流孔と、
で構成される、ことを特徴とする請求項１に記載の保持具。
【請求項３】
前記中間室が、前記ピストンの外周側に形成されたリング状凹部とシリンダ内壁面とによって形成され、
前記調整部材が、前記シリンダ内壁面に外周側で接触するシールリングであり、
前記上室側環流孔は、前記シールリングと同じ径の円周上に配置された少なくとも１つの孔で形成され、
前記下室側環流孔は、前記シールリングよりも小さい径の円周上に配置された少なくとも１つの孔で形成されている、ことを特徴とする請求項２に記載の保持具。
【請求項４】
前記リング状凹部内の内周側上部には、前記シールリングの位置を規制するリング状の膨れ部が形成されている、ことを特徴とする請求項３に記載の保持具。
【請求項５】
前記膨れ部の下側に前記オリフィスの下端側の開口が形成されている、ことを特徴とする請求項４に記載の保持具。
【請求項６】
前記上室側環流孔は、隣り合う孔同士の間隔が均等であるように複数形成されている、ことを特徴とする請求項３〜５のうち何れか１項に記載の保持具。
【請求項７】
前記下室側環流孔は、隣り合う孔同士の間隔が均等であるように複数形成されている、ことを特徴とする請求項３〜６のうち何れか１項に記載の保持具。
【請求項８】
前記粘性せん断抵抗体が油であることを特徴とする請求項１〜７のうち何れか１項に記載の保持具。
【請求項９】
前記保持具が吸着パッドであることを特徴とする請求項１〜８のうち何れか１項に記載の保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピストンロッドの先端側に吸着部を備えた保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークを吸着、搬送する吸着パッドが広く用いられている。この吸着パッドは、ロボットアームに保持されていることが多い。これは、吸着パッドにワーク（被吸着体）を吸着させ、ロボットアームで吸着パッドを移動させることによりワークを搬送させる形態をとることが多いためである（例えば特許文献１、２参照）。
【０００３】
ところで、従来、ワークを吸着パッドで吸着しても、このワークが吸着パッドから外れ易いという問題があった。
【特許文献１】特開２００３−１６５０８１号公報
【特許文献２】特開平１０−２９１８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記事実を考慮して、吸着したワークを落下し難くした保持具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者は、吸着パッドで吸着したワークが吸着パッドから外れ易い原因について検討した。そして、以下のことを突き止めた。
【０００６】
ワークを吸着、保持する吸着部がワークに当接したときのワークへの衝撃を和らげるために、従来、スプリングによるバッファ機構を吸着パッドに設けている。
【０００７】
ところで、このスプリングによるバッファ機構を設けた場合、吸着部をワークに当接させた際には、ロボットアームに保持されている被保持部に向けて、吸着部が近づくように移動する。しかし、その後、ワークを吸着した吸着部を吸着パッドごと搬送する際、吸着部が被保持部から離れていく速度が速い場合、ワークに吸着部から離れる方向への衝撃を与えてしまい、この衝撃によってワークが吸着部から脱落してしまう。
【０００８】
そこで、本発明者は、ワークを吸着した吸着パッドをロボットアーム等で搬送する際、この衝撃をワークに伝達しない構成にすることを鋭意検討し、試験を行い、更に検討を加え、本発明を完成するに至った。
【０００９】
請求項１に記載の発明は、粘性せん断抵抗体を収容しているシリンダと、
前記シリンダ内を、ワーク吸着側である下室と、ワーク吸着側とは反対側である上室と、に分けるピストンと、前記ピストンが取付られるとともに前記シリンダの少なくとも下端部を貫通し、ワークを吸着する吸着部を下端側に有するピストンロッドと、前記下室を狭める方向に前記ピストンまたは前記シリンダの少なくとも一方を付勢する付勢手段と、前記上室と前記下室とを連通させるとともに、前記下室を狭める方向に前記ピストンが前記シリンダに対して相対移動するときには、前記下室を広げる方向に前記ピストンが前記シリンダに対して相対移動するときに比べ、前記粘性せん断抵抗体の流動を制限することにより相対移動速度を遅くする連通機構と、が設けられている、ことを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載の発明では、ワークを吸着した後にロボットアーム等により保持具が搬送される際、上記の付勢手段によって、シリンダに対してピストンが下室を狭める方向に向けて（すなわち上室に向けて）相対移動する。このとき、下室から上室への粘性せん断抵抗体の移動が連通機構によって制限されるので、シリンダに対してピストンが下室を広げる方向に相対移動する場合に比べてピストンの相対移動速度が遅くなる。これにより、ワークを吸着保持した保持具が搬送される際、このワークに伝わる衝撃を小さくすることができる。従って、搬送中にワークが吸着部から外れ難くなり、このワークが吸着部から落下し難い。
【００１１】
連通機構はピストンに設けられていてもシリンダに設けられていてもよい。連通機構は、下室を狭める方向にピストンがシリンダに対して相対移動するときには粘性せん断抵抗体の流動が制限されるものであれば、特に限定しない。上室と下室とを連通させる連通孔をピストンあるいはシリンダに形成し、下室から上室への油の流入を制限するような弁機能を有するものを連通孔に設けたものであってもよい。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、前記連通機構は、前記上室と前記下室とに連通する中間室と、前記中間室に収容され、前記中間室から前記上室へ流れる際の前記粘性せん断抵抗体の流動速度を調整する調整部材と、前記上室と前記中間室とに連通し、前記中間室から前記上室へ流れる際の前記粘性せん断抵抗体の流動が前記調整部材によって妨げられる上室側環流孔と、前記上室と前記中間室とに連通するオリフィスと、前記下室と前記中間室とに連通し、前記中間室から前記下室へ流れる際の前記粘性せん断抵抗体の流動が前記調整部材では妨げられない下室側環流孔と、で構成される、ことを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載の発明では、下室側環流孔での粘性せん断抵抗体の流動を調整部材で妨げずに、上室側環流孔での粘性せん断抵抗体の流動を調整部材でこのように制御する。従って、調整部材の形態によってピストンの移動速度を調整することが可能になる。調整部材は、複数の玉状の部材であっても、リング状の部材であっても良く、その形状、形態については特に限定しない。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、前記中間室が、前記ピストンの外周側に形成されたリング状凹部とシリンダ内壁面とによって形成され、前記調整部材が、前記シリンダ内壁面に外周側で接触するシールリングであり、前記上室側環流孔は、前記シールリングと同じ径の円周上に配置された少なくとも１つの孔で形成され、前記下室側環流孔は、前記シールリングよりも小さい径の円周上に配置された少なくとも１つの孔で形成されている、ことを特徴とする。
【００１５】
これにより、調整部材に、ピストン外周とシリンダ内壁面との間のシール部材や緩衝材としての役割を果たさせることができ、部品点数を削減することができる。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、前記リング状凹部内の内周側上部には、前記シールリングの位置を規制するリング状の膨れ部が形成されている、ことを特徴とする。
【００１７】
これにより、中間室から上室へ粘性せん断抵抗体が流れる際に上室側環流孔での粘性せん断抵抗体の流動をシールリングで確実に制御することができる。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、前記膨れ部の下側に前記オリフィスの下端側の開口が形成されている、ことを特徴とする。
【００１９】
これにより、オリフィス内を中間室から上室へ粘性せん断抵抗体が流れる際にオリフィスでの粘性せん断抵抗体の流動をシールリングが妨げることがない。
【００２０】
請求項６に記載の発明は、前記上室側環流孔は、隣り合う孔同士の間隔が均等であるように複数形成されていることを特徴とする。
【００２１】
これにより、シリンダに対してピストンが下室を狭める方向に向けて相対移動する際（すなわちピストンが下室に向けて移動する際）、ピストンがピストンロッド長手方向に向けて均等な力を受け易くすることができ、ピストン移動をスムーズにすることができる。
【００２２】
請求項７に記載の発明は、前記下室側環流孔は、隣り合う孔同士の間隔が均等であるように複数形成されていることを特徴とする。
【００２３】
これにより、ピストンが移動する際、ピストンがピストンロッド長手方向に向けて均等な力を受け易くすることができ、ピストン移動をスムーズにすることができる。
【００２４】
請求項８に記載の発明は、前記粘性せん断抵抗体が油であることを特徴とする。
これにより、ワークに伝わる衝撃を効率的に小さくすることができる。
【００２５】
請求項９に記載の発明は、前記保持具が吸着パッドであることを特徴とする。
これにより、ワークの落下を効率的に抑制することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、吸着したワークを落下し難くした保持具とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。図１〜図４に示すように、本発明の一実施形態に係る吸着パッド１０は、粘性せん断抵抗体である油を収容しているシリンダ１２と、シリンダ１２内のピストン１６と、シリンダ１２をシリンダ長手方向に貫通しているピストンロッド１８と、ピストン１６をワーク吸着側（図１（Ａ）及び図２では紙面下方向）に向けて付勢するコイルバネ２２と、を備えている。ピストンロッド１８には、ピストン１６が止め輪２０によって固定されている。また、ピストンロッド１８は、ワークを吸着する吸着部２４を下端側に有する。吸着部２４には吸着するための空気吸引孔（図示せず）が貫通しており、この空気吸引孔はピストンロッド１８を貫通するパイプ孔１９に連通している。
なお、粘性せん断抵抗体としては、油に代えて、他の高分子材料や液体、気体を用いることができる。しかし、油を用いると、粘性せん断抵抗性を効果的に発揮させることができるため、後記するようにワークに伝わる衝撃を効率的に小さくすることができるとともに、低廉に製造することができるため、好ましい。
【００２８】
ピストン１６は、シリンダ１２内を、ワーク吸着側である下室３０（図６〜図９参照）と、ワーク吸着側とは反対側である上室３２と、に分けている。従って、コイルバネ２２は、下室３０を狭める方向にピストン１６を付勢している。
【００２９】
そして、このピストン１６の外周側には、本発明を構成するシールリングの一形態であるオーリング３４を収容するためのリング状凹部３６が形成されている。リング状凹部３６内には、シリンダ内壁面１２Ｓにオーリング外周３４Ｅで接触するオーリング３４が配置されており、リング状凹部３６とシリンダ内壁面１２Ｓとによって、オーリング３４を収容する中間室３８が形成されている。この構成により、ピストン１６の移動に伴って、リング状凹部３６を形成している上壁部３６Ｕまたは下壁部３６Ｌに押圧されてオーリング３４が移動するようになっている。また、オーリング外周３４Ｅがシリンダ内壁面１２Ｓに当接しており、オーリング３４はピストン１６とシリンダ１２との間をシールする部材としての役割を果たしている。
【００３０】
また、上壁部３６Ｕには、上室３２と中間室３８とに連通する複数（図４では８つ）の上室側還流孔４２が形成され、下壁部３６Ｌには、下室３０と中間室３８とに連通する複数の下室側還流孔４０（図４では４つ）が形成されている。
【００３１】
上室側還流孔４２は、オーリング３４の真上位置で、オーリング３４と同じ径の円周上の位置に等間隔で配置されている。また、下室側還流孔４０は、オーリング３４よりも内側でオーリング３４よりも小さい径の円周上に等間隔で配置されている。
【００３２】
更に、リング状凹部３６内の内周側上部には、上壁部３６Ｕに連続するリング状の膨れ部４８が形成されている。膨れ部４８の下端と下壁部３６Ｌとの間隔はオーリング３４の径よりも小さくされており、オーリング３４は、この膨れ部４８よりも外周側に位置するように規制されている。
【００３３】
膨れ部４８には、上下方向に貫通して上室３２と中間室３８とに連通するオリフィス５０が形成されている。本実施形態では、オリフィス５０は断面円孔状とされている。また、オーリング３４が上壁部３６Ｕに当接して上室側還流孔４２での油の流動を妨げているときにおけるオリフィス５０内の油の流動速度（流量）が適度となるように、オリフィス５０の孔径が予め設定されている。
【００３４】
また、シリンダ１２の外側の側壁には、ロボットアーム（図示せず）で保持するための被保持部１３（図１参照）が形成されている。
【００３５】
（作用、効果）
以下、本実施形態の吸着パッド１０の作用、効果について、図５〜図９を用いて説明する。図５は図２の要部を示しており、ワークを吸着する前の吸着パッド１０の状態を示す側面断面図である。図６は、吸着部２４をワークＷ（何れも図１参照）に当接させロボットアームでシリンダ１２を下降させていることを示す側面断面図である。図７はシリンダ１２をピストンロッド１８に対して下端位置にまで移動させた状態を示す側面断面図である。図８、図９は、図７に示した状態からロボットアームで吸着パッド１０を搬送する途中の状態を示しており、コイルバネ２２の付勢力によって、ピストンロッド１８がシリンダ１２に対して下方向へ相対移動していること、すなわちシリンダ１２がピストンロッド１８に対して上方向へ相対移動していることを示す側面断面図である。
【００３６】
図５に示すように、吸着パッド１０が待機状態のときでは、吸着パッド１０がワークを吸着しておらず、この状態では、コイルバネ２２によって、シリンダ１２はピストンロッド１８に対する上端位置に位置している。
【００３７】
ロボットアームで吸着パッド１０を搬送し、ワーク台（図示せず）に載置されているワークＷに吸着パッド１０の吸着部２４を当接させた状態では、ピストンロッド１８の上下方向位置は一定であるため、図６に示すように、シリンダ１２はピストンロッド１８に対して下方向に相対的に移動する。このとき、下室３０を広げる方向にピストン１６がシリンダ１２に対して相対移動することになる（以下、下室を広げる方向へのピストンのシリンダに対するこの相対移動を相対移動ＶＢという）。従って、シリンダ１２内の油は上室３２から上室側還流孔４２を通過して中間室３８に流入し、更に、下室側還流孔４０を通過して下室３０に流入する。このため、オーリング３４は、中間室３８内での油圧及び油の流動により下壁部３６Ｌに当接している。このとき、オーリング３４は下室側還流孔４０を塞ぐことはない。
【００３８】
ロボットアームがシリンダ１２を移動可能下限位置である下端位置にまで移動させると、図７に示すように、シリンダ１２の移動が停止する。
【００３９】
そして、ロボットアームで吸着パッド１０を搬送することにより、吸着パッド１０に吸着保持されたワークＷを搬送する。その際、図８、図９に示すように、コイルバネ２２によって、シリンダ１２に対してピストン１６が下室を狭める方向に相対移動する（以下、下室を狭める方向へのピストンのシリンダに対するこの相対移動を相対移動ＶＳという）。従って、シリンダ１２内の油は下室３０から下室側還流孔４０を通過して中間室３８に流入する。このため、オーリング３４は、油圧及び油の流動によって、中間室３８内で上壁部３６Ｕに当接する。
【００４０】
オーリング３４が上壁部３６Ｕに当接した状態では、油圧によってオーリング３４が潰され、上室側還流孔４２を塞ぐ状態となる。このため、中間室３８内の油がオリフィス５０を通過して上室３２に流入する。このとき、油の粘性せん断抵抗（せん断応力）により、シリンダ１２に対するピストンロッド１８の相対移動速度が適度に緩やかであるように、オリフィス５０の孔径が予め設定されている。なお、このときのピストン１６のシリンダ１２に対する相対移動速度、すなわちピストンロッド１８のシリンダ１２に対する相対移動速度は、下室３０を広げる方向にピストン１６がシリンダ１２に対して移動するとき（図６参照）に比べ、すなわち相対移動ＶＢに比べ、大幅に遅くなっている。
【００４１】
このように、下室３０から上室３２へ油が流動するときには、上室側還流孔４２ではなくオリフィス５０を油が通過するので、油によるショックアブゾーバやダンパとしての効果が発生する。このため、図８、図９に示したワーク搬送中の状態では、ワークＷに大きな衝撃が作用しない。従って、ワークＷの搬送中にワークＷが吸着部２４から外れ難いので、ワークＷが吸着パッド１０から落下し難い。
【００４２】
また、ピストン１６にリング状凹部３６を形成して中間室３８にオーリング３４を収容し、このオーリング３４に、中間室３８から上室３２へ流れる油の流動速度（流量）の調整のみならず、ピストン１６とシリンダ内壁面１２Ｓとの間をシールする部材としての役割を果たさせており、このシールによって、中間室３８から上室３２へ流入する油はオリフィス５０を通過する油のみとなっている。従って、部品点数を削減することができている。
【００４３】
また、リング状凹部３６内の内周側上部に、リング状の膨れ部４８が形成されており、オーリング３４は、この膨れ部４８よりも外周側に位置するように規制されている。これにより、上室側還流孔４２での油の流動をオーリング３４で確実に制御することができる。また、オリフィス５０内を中間室３８から上室３２へ油が流れる際にオリフィス５０での油の流動をオーリング３４が妨げることがない。
【００４４】
また、上室側還流孔４２は、隣り合う孔同士の間隔が等間隔であるように配置されているので、これにより、下室３０に向けてピストン１６が移動する際、すなわち、相対移動ＶＳの際、ピストン１６が均等な力を受け易くすることができ、ピストン１６の移動をスムーズにすることができる。
【００４５】
更に、下室側還流孔４０は、隣り合う孔同士の間隔が等間隔であるように配置されているので、これにより、相対移動ＶＳ、ＶＢの何れであっても、ピストン１６が均等な力を受け易くすることができ、ピストン１６の移動をスムーズにすることができる。
【００４６】
＜試験例＞
本発明者は、上記実施形態に係る吸着パッドの一例（以下、実施例の吸着パッドという）、及び、従来の吸着パッドの一例（以下、従来例の吸着パッドという）を用い、ワークＷ（図１参照）を吸着保持して搬送させる際のワークＷの落下し難さを比較する試験を行った。
【００４７】
図１０〜図１３に示すように、従来例の吸着パッド１１０は、ワークＷに当接して吸着する吸着部１１２と、この吸着部１１２が先端部に取付けられているパイプ部１１６と、パイプ部１１６を長手方向に摺動可能なように保持する保持部１１８と、を備えている。保持部１１８は、ロボットアーム（図示せず）に外側から挟持される構成になっている。従来例の吸着パッド１１０では、吸着部１１２が吸着部２４と同じ構成、寸法にされているが、その他の部分の構成が実施例の吸着パッドに比べて異なっている。
【００４８】
保持部１１８の中心軸上には、パイプ部１１６が挿通する挿通孔１３５が形成されている。保持部１１８の上部には、パイプ部１１６の外壁面に沿って摺動するベアリング部１４２が挿通孔１３５へ張り出すように設けられ、ベアリング部１４２の下端には、後述の圧縮コイルバネ１４４が当接している。
【００４９】
パイプ部１１６は、円筒状でステンレス製であることが多い。パイプ部１１６の外径は、中央部から上部では、中央部から下部に比べて若干小さい。これにより、保持部１１８の挿通孔壁との間で圧縮コイルバネ１４４を収容する収容ゾーン１５６が形成され、この収容ゾーン１５６に圧縮コイルバネ１４４が収容されている。
【００５０】
このような構造により、保持部１１８は、パイプ部１１６を長手方向に摺動可能なように保持している。
【００５１】
従来例の吸着パッド１１０を用いてワークを吸着して搬送するには、まず、ロボットアームにより吸着パッド１１０をワークＷのやや上方位置にまで移動させる。
【００５２】
そして、ロボットアームを下降させることにより、吸着部１１２のスカート部１２６をワークＷの被吸着部位に当接させる（図１１参照）。
【００５３】
更にロボットアームを下降させると、吸着部１１２のスカート部１２６がワークＷに当接し押圧されて吸着面側が若干広がると共に、保持部１１８がパイプ部１１６に沿って摺動しながら下がり、圧縮コイルバネ１４４が圧縮される。この結果、圧縮コイルバネ１４４の付勢力が増大する（図１２参照）。
【００５４】
そして、ロボットアームを上げてワークＷを載置台１６０から浮かせ、搬送する（図１３参照）。
【００５５】
本試験例では、ワークＷとして鉄板（寸法は２５０×３６０×１ｍｍ、質量は約０．７ｋｇ）を用いた。また、ロボットアームを上方向へ移動させる動作をエアシリンダにより行った。その際のピストン上昇速度は５００ｍｍ／ｓであった。また、吸着真空圧力は−５０ｋＰａであった。
【００５６】
試験結果を表１に示す。表１では、搬送中に落下がなかった場合を○、搬送中に落下があった場合を×で示している。
【表１】
2009000764.tif 000003
【００５７】
従来例の吸着パッド１１０では、図１３に示したワーク搬送中の状態では、保持部１１８に対するパイプ部１１６の相対移動速度が実施例の吸着パッドに比べて大幅に速いので、ワークＷに大きな衝撃が作用し易い。このため、ワークＷの搬送中にワークＷが吸着部１１２から外れ易いので、ワークＷが吸着パッドから落下し易いという試験結果となった。
【００５８】
一方、実施例の吸着パッドでは、上記実施形態で説明したように、ワークＷの搬送中では、ピストンロッド１８がシリンダ１２に対して緩やかに相対移動するので、ワークＷの搬送中にワークＷが吸着部２４から外れ難かった。
【００５９】
また、実施例の吸着パッドでは、従来例の吸着パッドに比べ、ワークＷに吸着部２４を当接させた際にピストンロッド１８に対するシリンダ１２の相対移動速度（下降速度）が速いので、吸着させる際にかかる時間が短かかった。なお、ワークＷがワーク台に載置されているため、シリンダ１２の下降速度が速くてもワークＷに作用する衝撃力はさほど大きくない。
【００６０】
以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、上記実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲が上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】図１（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、本発明の一実施形態に係る吸着パッドの側面図及び下面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る吸着パッドの内部構造を示す側面断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る吸着パッドを構成するピストン及びピストンロッドを示す側面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る吸着パッドを構成するピストン及びピストンロッドを示す斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る吸着パッドの要部構造を示す側面断面図である（ワーク吸着前の状態）。
【図６】本発明の一実施形態に係る吸着パッドの要部構造を示す側面断面図である（吸着部がワークに当接してシリンダが下降中の状態）。
【図７】本発明の一実施形態に係る吸着パッドの要部構造を示す側面断面図である（吸着部がワークに当接してシリンダが下端位置まで移動した状態）。
【図８】本発明の一実施形態に係る吸着パッドの要部構造を示す側面断面図である（ワークを吸着して搬送中の状態）。
【図９】本発明の一実施形態に係る吸着パッドの要部構造を示す側面断面図である（ワークを吸着して搬送中の状態）。
【図１０】従来例の吸着パッドの内部構造を示す側面断面図である。
【図１１】従来例の吸着パッドを下げて吸着部をワークに当接させた状態を示す側面断面図（左半分）及び側面図（右半分）である。
【図１２】図１１に示した状態から、ロボットアームが挟持している保持部が更に下降し、圧縮コイルバネの付勢力によってこの下降が停止されたことを示す側面断面図（左半分）及び側面図（右半分）である。
【図１３】従来例の吸着パッドで、ワークを吸着して搬送中の状態を示す側面断面図（左半分）及び側面図（右半分）である。
【符号の説明】
【００６２】
１０      吸着パッド
１２      シリンダ
１２Ｓ    シリンダ内壁面
１６      ピストン
１８      ピストンロッド
２２      コイルバネ（付勢手段）
２４      吸着部
３０      下室
３２      上室
３４      オーリング
３６      リング状凹部
３８      中間室
４０      下室側還流孔
４２      上室側還流孔
４８      膨れ部
５０      オリフィス
１１０    吸着パッド
１１２    吸着部
ＶＢ      相対移動
ＶＳ      相対移動
Ｗ        ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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