(57)【要約】【課題】  さまざまな振動数の振動を吸収して検査基板等の板状部材への振動の伝達を防ぐ振動吸収装置を提供する。【解決手段】  振動吸収装置は、真空吸引手段に接続されて、被載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに用いる板状のものである。この振動吸収装置は、一方側に被載置部材を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して被載置部材に振動が伝わることを防ぐ。【選択図】  図３Ａ
2009000804.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空吸引手段に接続されて、被載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに用いる板状の振動吸収装置であって、
一方側に前記被載置部材を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、
前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、
前記通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記被載置部材に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置。
【請求項２】
真空吸引手段に接続されて、被検査基板を保持する吸着テーブルに用いる板状の振動吸収装置であって、
一方側に前記被検査基板を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、
前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、
前記通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記被検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、
該振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であって該シート状部材の上に前記被検査基板が載せられるシート状部材とを備え、
前記シート状部材が、前記振動吸収装置の前記通気路と前記シート状部材の前記被検査基板が載せられる面とを連通する通気路を備え、該通気路が、前記振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引される、検査基板保持装置。
【請求項３】
請求項１の振動吸収装置において、
前記多数の小孔は、開口径に応じて少なくとも３つにグループ化され、前記３つのグループが積層構造に配置されていることを特徴とする、振動吸収装置。
【請求項４】
請求項１の振動吸収装置において、
前記金属細片は、鋳鉄の切削細片であることを特徴とする、振動吸収装置。
【請求項５】
請求項２の検査基板保持装置において、
前記シート状部材が、無塵紙であることを特徴とする、検査基板保持装置。
【請求項６】
請求項１の振動吸収装置において、
前記多数の小孔の径が１００μｍ以内である、振動吸収装置。
【請求項７】
真空吸引手段に接続されて、被検査基板を保持する吸着テーブルと、
該吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に前記被検査基板を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、前記通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記被検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、
該振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であって該シート状部材の上に前記被検査基板が載せられるシート状部材とを備え、
前記シート状部材が、前記振動吸収装置の前記通気路と前記シート状部材の前記被検査基板が載せられる面とを連通する通気路を備え、該通気路が、前記振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引され、さらに、
前記シート状部材に載せられた前記被検査基板に検査用の光を照射するとともに該被検査基板から反射した光を受け取る光学装置と、
前記吸着テーブル若しくは前記光学装置の一方、又は前記吸着テーブル及び前記光学装置の両方をＸ−Ｙ面上で移動させる駆動装置と、
前記光学装置及び前記駆動装置の動作を制御するとともに前記光学装置が受け取った光を解析する制御装置とを備える、光学検査装置。
【請求項８】
真空吸引手段に接続されて、被加工部材を保持する吸着テーブルと、
該吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に前記被加工部材を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、前記通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記被加工部材に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、
該振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であって該シート状部材の上に前記被加工部材が載せられるシート状部材とを備え、
前記シート状部材が、前記振動吸収装置の前記通気路と前記シート状部材の前記被加工部材が載せられる面とを連通する通気路を備え、該通気路が、前記振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引され、さらに、
該吸着テーブルに載置された前記被加工部材の表面に、所定処理を施すための処理手段と、
前記所定処理を施すために、前記吸着テーブルと前記処理手段を相対的に移動させる移動手段とを備える、加工装置。
【請求項９】
真空吸引手段に接続されて、被載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに用いる板状の振動吸収装置であって、
一方側に前記被載置部材を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、
前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、
前記通気路が、点接触で金属細片を結合させて立体架橋構造を形成することにより異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記被載置部材に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は吸着テーブルに関し、特に、例えば基板等の板状部材を吸引して保持する吸着テーブルに用いられる振動吸収装置に関する。
【０００２】
尚、基板は、プリント配線基板に限定されず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリア、また、半導体ウェハや検査対象となるシート状部材種々の基板を総称する。
【背景技術】
【０００３】
プリント配線基板に回路パターンを形成する際に、回路パターンに短絡や断線等の欠陥が生じてしまうことがある。そのような基板の欠陥を発見するために、例えば、光学検査装置が用いられている。このような光学検査装置は、検査基板を保持するテーブルと、検査基板の回路パターンに向けて検査用の光を出力する光照射装置と、回路パターンから反射された光を受光する光検出装置と、検出した光から回路パターンを解析して欠陥の状況を調べる制御装置とを備えている。
【特許文献１】特開２００４−９０１３７  特許文献１は、多孔質体の吸着部材を有する基板ホルダーを開示する。その吸着部材はセラミック系であり、その孔は平均空孔径が３０μｍから５０μｍである。この基板ホルダーは基板の貫通孔を塞ぐ吸着部位を有することによって安定した吸着を提供するものである。
【０００４】
吸着部材としては、その他にも、一定の大きさの径の小孔を有する発泡性の樹脂が用いられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
吸着テーブルには、ホースを介して真空ポンプ等の吸引装置が接続されており、その吸引装置による吸引力によって、吸着テーブル上の基板等の板状部材を吸着テーブルの載置面に固定している。その吸引のために吸引装置が作動すると、吸引装置と吸着テーブルとを接続するホース内に周期的な圧力の変動が生じ、真空圧にばらつきが生じてしまうことになる。このような周期的な圧力のばらつきがそのまま吸着テーブル上の板状部材まで伝達されると、そのばらつきが板状部材に伝わり振動してしまうことになる。その結果、その振動に応答して板状部材の高さ方向の位置ずれが生じ、予め設定されている光学式検査装置の光ビームの到達距離や電気式検査装置の高さ方向（z方向）の移動にずれが生じることになる。このため、このずれにより、撮像した画像が乱れたり、電気的接続を可能にする治具と板状部材が安定して接触しない状況が生じていた。
【０００６】
また、検査を実施するための光学検査装置に限定されず、基板のような板状部材を載置して、所定の処理を行うための加工装置や処理装置においても、載置される板状部材に振動が伝達されない吸着テーブルの提供が要求されている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記の課題に鑑み、さまざまな振動数の振動を吸収して検査や加工などの所定の処理を行う基板等の板状部材への振動の伝達を防ぐことのできる吸着テーブルを提供することを目的とする。
【０００８】
そこで、本発明に係る振動吸収装置は、真空吸引手段に接続されて、被載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに用いる板状のもので、一方側に被載置部材を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して被載置部材に振動が伝わることを防ぐことを特徴とする。
【０００９】
そこで、本発明に係る検査基板保持装置は、真空吸引手段に接続されて、被検査基板を保持する吸着テーブルに用いる板状の振動吸収装置であって、一方側に被検査基板を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して被検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であってシート状部材の上に被検査基板が載せられるシート状部材とを備え、シート状部材が、振動吸収装置の通気路とシート状部材の被検査基板が載せられる面とを連通する通気路を備え、通気路が、振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引されることを特徴とする。
【００１０】
多数の小孔は、開口径に応じて少なくとも３つにグループ化され、３つのグループが積層構造に配置されていてもよい。
【００１１】
金属細片は、鋳鉄の切削細片でもよい。
【００１２】
シート状部材は、無塵紙であってもよい。
【００１３】
多数の小孔の径は、１００μｍ以内であることが望ましい。
【００１４】
本発明に係る光学検査装置は、真空吸引手段に接続されて、被検査基板を保持する吸着テーブルと、吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に被検査基板を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して被検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であってシート状部材の上に被検査基板が載せられるシート状部材とを備え、シート状部材が、振動吸収装置の通気路とシート状部材の被検査基板が載せられる面とを連通する通気路を備え、通気路が、振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引され、さらに、シート状部材に載せられた被検査基板に検査用の光を照射するとともに被検査基板から反射した光を受け取る光学装置と、吸着テーブル若しくは光学装置の一方、又は吸着テーブル及び光学装置の両方をＸ−Ｙ面上で移動させる駆動装置と、光学装置及び駆動装置の動作を制御するとともに光学装置が受け取った光を解析する制御装置とを備えることを特徴とする。
【００１５】
本発明に係る加工装置は、真空吸引手段に接続されて、被加工部材を保持する吸着テーブルと、吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に被加工部材を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して被加工部材に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であってシート状部材の上に被加工部材が載せられるシート状部材とを備え、シート状部材が、振動吸収装置の通気路とシート状部材の被加工部材が載せられる面とを連通する通気路を備え、通気路が、振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引され、さらに、吸着テーブルに載置された被加工部材の表面に、所定処理を施すための処理手段と、所定処理を施すために、吸着テーブルと処理手段を相対的に移動させる移動手段とを備えることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係る振動吸収装置は、真空吸引手段に接続されて、被載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに用いる板状のものであって、一方側に前記被載置部材を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、点接触で金属細片を結合させて立体架橋構造を形成することにより異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して被載置部材に振動が伝わることを防ぐことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、吸引装置等からのさまざまな振動数の振動を吸収して検査基板等の被載置対象物への振動の伝達を防ぐことができる吸着テーブル用の振動吸収装置を提供することができる。それにより、被載置対象物が振動することを防止することができ、被載置対象物に対して正確な処理が行えるようになる。
【００１８】
また、金属細片が点接触で結合したことによってさまざまな大きさの小孔を備える振動吸収装置を用いることによって、従来のものよりも廉価に大きな寸法の振動吸収装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付の図面を参照しながら本発明に係る吸着テーブルについて詳細に説明する。図中、同じ要素に対しては、同じ符号を付して重複した説明を省略してある。
【００２０】
尚、下記の吸着テーブルの説明では、光学検査装置１０に設けられる場合を説明しているが、特にこれに限定されるものではなく、他の処理装置の吸着テーブルとしても利用することができる。
【００２１】
[吸着テーブルの概要]
吸着テーブル２２は、例えば、後述する図４に示すように、例えば基板検査用の光学検査装置１０の検査基板保持装置２０に設けることができ、その吸着テーブル２２の上には検査基板２８が載置される。この図の実施例では検査基板を検査対象とするが、検査内容に応じてその他の板状部材を検査対象とすることができる。
【００２２】
図１及び図２は、それぞれ吸着テーブル２２の構成の概要を説明するための側面断面図及び斜視図である。
【００２３】
図１に示すように、吸着テーブル２２には凹部が形成されていて、その凹部には板状の振動吸収装置２４が配置されている。また、その振動吸収装置２４の上面には、シート状部材の無塵紙２６が配置されている。振動吸収装置２４は、詳しくは後述するように、多孔質金属部材からなり、その多孔質金属部材は上面と下面とを連通連結する通気路を備える。その通気路は、大小さまざまな開口径の多数の小孔を有していて、その小孔を通じてエアの吸引がおこなわれる。無塵紙２６は、振動吸収装置２４の小孔よりも細かな目を有していて、検査基板に対するエアの吸引が均等に行われるようにする。
【００２４】
図示せぬ真空吸引装置に接続された吸引パイプ３５を経由してエアが吸引されると、エアは、無塵紙２６の上面からほぼ均一に吸引され、さらに、図１で矢印で示すように振動吸収装置２４内の多数の小孔を通過して吸引パイプ３５から吸引される。そのため、図１において、検査基板２８を無塵紙２６の上に載せて、吸引を開始すると、検査基板２８が均等の圧力で無塵紙２６上に吸着されて吸着テーブル２２に位置的に固定されることになる。
【００２５】
詳しくは後述するが、吸着テーブル２２は、図２に示すように、光学検査装置の光学装置に対し、相対的に、Ｘ−Ｙ面上で移動することができる。
【００２６】
［振動吸収装置の構造］
図３Ａから図３Ｃは、それぞれ、図１及び図２の振動吸収装置２４の第１から第３の実施形態を示す。それらの図に示すように、振動吸収装置２４ａ、２４ｂ及び２４ｃは、さまざまな大きさの開口を持つ多数の小孔を持つ多孔質金属部材からなる。それらの多数の小孔は振動吸収装置２４の上面から下面に連通する通気路として機能する。
【００２７】
多孔質金属部材はスポンジのように中に無数の小孔のあいた構造の金属で、金属的性質と気孔特有の性質とを備える複合材料からなる。多孔質金属部材の中でも、例えば、複雑で鋭利な形状を持つ切削細片を集めて特殊な圧搾成形によって製造した板状の多孔質鋳鉄は、一般的な多孔質金属と異なり、切削細片（又は金属細片）の形状が損なわれないように、切削細片が互いに点接触で結合された立体架橋構造を形成する。それにより、異なる大きさの多数の小孔を形成する壁面が構成され、表面にはそれらの小孔と連通する不規則なスリットが形成され、内部では、その壁面によって大きさと傾斜角とが異なる無数のパンタグラフが乱立している。それらの異なる大きさの多数の小孔によって通気路が構成されている。
【００２８】
言い換えると、通気路は、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の連通する小孔から構成されている。すなわち、切削細片である金属細片は、大きさが不揃いで、形状も一定ではなく、また、平坦な形状でもないため、金属細片同士が接触しても、広い面で接触するのではなく、非常に狭い面（点）で接触することになる。そのため、多数の金属細片が互いに点接触で結合されると、金属細片同士の間に多数の空間が形成されることになる。また、金属細片同士の点接触の位置は規則的な位置にはなく、さまざまな不定の位置にあるため、その空間の大きさも均一ではなく不揃いであり、さらに、それらの空間は互いに連通することになる。そのため、点接触で結合された多数の金属細片から構成された壁面によって形成された小孔は、異なる大きさの多数のもので、それらは連通したものである。
【００２９】
多孔質鋳鉄は、そのような多孔質構造と立体架橋構造からきわめて大きな制振性を発揮することができる。また、板状の多孔質鋳鉄は、そのような構造のため、さまざまな大きさの圧縮力に対してさまざまなばね定数を示すように、広範囲にわたるばね定数を有する。そのような幅広いばね定数により、さまざまな大きさと方向の異なる振動が加わっても縦横方向に変位を吸収し、共振現象を起こさないという特性を備える。多孔質金属部材の他の製造方法としては、例えば、金属粉末射出成形、粉末焼結、鍍金、発泡、中空球、ガス注入、繊維焼結等があるが、不揃いの大きさの多数の小孔を形成できるものであればどのような方法であってもよい。
【００３０】
図３Ａは、例えば、上向き、下向き、斜め方向等さまざまな方向を向く多数の切削細片が点接触により結合することにより、多数の小孔を形成する構造を概念的に示す。図中、振動吸収装置２４ａの内部の曲線の実線は、点接触で結合し合っている切削細片を簡略化して示すもので、小孔の壁面を構成する状態を示す。図中において、実線で表した壁面同士が交わっている個所が点接触する個所である。図３Ａに、代表的に、小孔４０と小孔４１として示すように、振動吸収装置２４ａ内には、異なる大きさの多数の小孔が任意の位置に配置されている。その図では、すべての小孔の大きさが異なっている。ただし、それに代えて、複数の同じ大きさの小孔のグループが任意に混在するように構成してもよい。多数の小孔の径は１００μｍ以内であることが望ましい。
【００３１】
振動吸収装置２４ａを形成する小孔の壁面は、切削細片の点接触によって形成されているため、広さや大きさや傾斜方向がさまざまである。そのため、振動吸収装置２４ａにさまざまな大きさや方向の振動が加えられても、切削細片がさまざまな方向へ変位することによって、そのようなさまざまな振動を吸収することができる。そのため、共振現象を起こすことがない。そのようにさまざまの大きさの小孔を有するため、振動吸収装置２４ａは、どのような周波数の振動であっても吸収することができる。また、例えば、約２ｋｇｆ／ｍｍから１５０ｋｇｆ／ｍｍまでというように広範囲のばね定数を有しており、それにより広範囲の圧縮力に対してさまざまなばね定数を示すため、弾力性に富む構造が達成されている。また、振動吸収装置２４ａ内の多数の小孔は、その内部に向かって中くらいの疎、大きな密、中くらいの密、大きな疎、小さな密というように、密度が不規則に変化しているため、それらの小孔を形成する切削細片によって構成された壁面による制振の効果は高い。
【００３２】
また、吸引パイプ３５内の圧力の変動が振動的であるため、その振動的な圧力の変動が振動吸収装置２４ａの小孔内にも伝わる。その際、小孔の大きさが異なっているため、その小孔内の空間を伝わる圧力の振動同士が干渉して相殺し合うことになる。その結果、振動吸収装置２４ａに載置される検査基板等には、そのような振動的な圧力の変動が伝わらなくなる。このような小孔の機能は、以下に詳説する図３Ｂ及び図３Ｃの構造の振動吸収装置２４ｂ、２４ｃにおいても発揮される。
【００３３】
図３Ｂは、概略、層ＬＡと層ＬＢとの２層から構成された振動吸収装置２４ｂを示す。層ＬＡの小孔４２の大きさは、相対的に、層ＬＢの小孔４３よりも小さい。この場合、各層内においては、図３Ａに示す振動吸収装置２４ａの場合と同様に、すべての小孔４２，４３の大きさが異なっている。ただし、それに代えて、各層内において、複数の同じ大きさの小孔のグループが任意に混在したものでもあってもよい。また、層ＬＡの小孔４２と層ＬＢの小孔４３との大きさが異なるが、各層内においてはすべての小孔が同じ大きさであるようにしてもよい。またさらに、図３Ｂに示す振動吸収装置２４ｂでは、層ＬＡの小孔４２の大きさが層ＬＢの小孔４３よりも小さいが、逆に、層ＬＢの小孔４３の大きさが層ＬＡの小孔４２よりも小さくなるようにしてもよい。
【００３４】
図３Ｃは、概略、その図に向かって上から、層ＬＢ、層ＬＡ及び層ＬＢというように３層から構成された振動吸収装置２４ｃを示す。層ＬＡの小孔４５の大きさは、層ＬＢ４４，４６の小孔よりも小さい。各層内においては、図３Ａに示す振動吸収装置２４ａの場合と同様に、すべての小孔の大きさは異なっている。ただし、それに代えて、各層内において、複数の同じ大きさの小孔のグループが任意に混在したものでもあってもよい。また、それに代えて、図３Ｂに示す振動吸収装置２４ｂと同様に、層ＬＡの小孔４５と層ＬＢの小孔４４，４６との大きさは異なるが、各層内においてはすべての小孔が同じ大きさであるようにしてもよい。図３Ｃに示す振動吸収装置２４ｃでは、層ＬＡの小孔４５の大きさが層ＬＢの小孔４４，４６よりも小さいが、逆に、層ＬＢの小孔４４，４６の大きさが層ＬＡの小孔４５よりも小さくなるようにしてもよい。さらに、振動吸収装置２４ｃの３層の間で小孔の大きさが異なるようにしてもよい。この実施例のように、２つの疎の層ＬＢの間に、密の層ＬＡが配置されるような構成では、層ＬＡの小孔を形成する切削細片の密度が高いため、その層ＬＡによって、振動吸収装置２４ｃの強度を高めることができる。
【００３５】
［吸着テーブルの使用例］
図４は、基板検査用の光学検査装置１０の一例を示す概略斜視図である。光学検査装置１０は、板状部材の検査基板２８が載せられた検査基板保持装置２０と、光学装置１４と、制御装置１６とを備える。検査基板保持装置２０は駆動モータ２２ａ及び２２ｂを備えており、それらによって、吸着テーブル２２をＸ−Ｙ方向の任意の位置に移動することができる。
【００３６】
光学装置１４は、光照射装置１５と受光系１７とを備える。光照射装置１５は所定のピッチごとに位相変化する光を基板２８に向けて照射するもので、受光系１７は光照射装置１５から出力された光を基板２８まで導くとともに、それから反射した光を捕捉するものである。そのため、受光系１７は、分光器１８ａと反射ミラー１８ｂ、１８ｃと検査基板２８から反射した光を捕捉するＣＣＤカメラ１９とを備える。また、図示していないが、分光器１８ａと反射ミラー１８ｂ、１８ｃとのそれぞれの間に光を遮断する装置を備える。
【００３７】
制御装置１６は、駆動モータ２２ａ及び２２ｂの動きの制御を行うとともに、光照射装
置１５の光照射を制御し、また受光系１７のＣＣＤカメラ１９によって受光した光を解析することによって検査基板２８の状況を診断する。
【００３８】
検査基板保持装置２０の吸着テーブル２２は、吸引パイプ３５を経由して真空ポンプ等の吸引装置（図示せず）に接続されている。
【００３９】
図５は、吸着テーブル２２上に検査基板２８を載せた状態を示す側面図である。検査基板２８の検査を行う場合、その図に示すように、吸着テーブル２２の振動吸収装置２４の上の無塵紙２６の上に検査対象の検査基板２８を載せる。この場合、図示していないが、振動吸収装置２４から２本の位置決めピンが突出しており、また、その２本の位置決めピンが貫通する孔が無塵紙２６及び検査基板２８に設けられている。そのため、それらの孔にその２本の位置決めピンを挿通することによって、無塵紙２６及び検査基板２８の位置決めが行われる。
【００４０】
その状態で、吸引パイプ３５に接続された図示せぬ真空吸引装置によってエアを吸引すると、振動吸収装置２４ａ内では多数の小孔を通じて概略矢印で示すようなエアの流れが生じる。さらに、そのエアは無塵紙２６の多数のエア通過経路を経由して吸引されるため、検査基板２８がその無塵紙２６に吸着されて位置的に固定されることになる。
【００４１】
無塵紙２６のエア通過経路の大きさは、振動吸収装置２４ａ内の多数の小孔よりも小さく、また、比較的均一の大きさなので、それを通過するエアが比較的均等に分散される。そのため、検査基板２８は無塵紙２６の全面で均等に吸引されることになる。
【００４２】
その状態で、図４に示すように、制御装置１６によって駆動モータ２２ａ及び２２ｂを制御して吸着テーブル２２をＸ及びＹ方向に移動して、基板上の所定の個所に検査用の光がその所定の個所に収束するようにする。
【００４３】
次に、光照射装置１５から光ビームを出力する。そのビームは分光器１８ａで直交する２方向に分光され、反射ミラー１８ｂ、１８ｃで反射されて検査基板２８上の所定の位置に集光される。その際、図示せぬ光経路の遮断装置によって、経路ｌ１またはｌ２の一方の経路の光が検査基板２８に到達するようにする。検査基板２８の所定の位置から反射した光はＣＣＤ１９で撮像され、制御装置１６がその撮像信号に基づいて基板の状態を判定しそれを出力する。
【００４４】
［その他］
以上、本発明に係る吸着テーブルの実施形態に関して説明したが、それらは例示であって、本発明はこれらに限定されるものではない。また、上記の実施例では、吸着テーブルを光学検査装置に用いた例を示したが、光学検査装置以外の例えばプローブを使用する基板検査装置等に用いることができる。また、本発明に係る吸着テーブルは、板状部材加工装置にも用いることができる。
【００４５】
また、この吸着テーブルは、載置された板状部材に振動を与えることなく、所定処理を行うことができるため、高い位置精度を提供する処理装置を提供することができる。
【００４６】
当業者が、これら実施形態に対して容易になしえる追加・削除・変更・改良等は、本発明に含まれる。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１は、本発明に係る吸着テーブルの構成の概要を説明するための側面断面図である。
【図２】図２は、本発明に係る吸着テーブルの構成の概要を説明するための斜視図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明に係る吸着テーブルの第１の実施形態の一部断面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明に係る吸着テーブルの第２の実施形態の一部断面図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、本発明に係る吸着テーブルの第３の実施形態の一部断面図である。
【図４】図４は、本発明に係る吸着テーブルを備える基板検査用の光学検査装置の一実施形態を示す概略斜視図である。
【図５】図５は、本発明に係る吸着テーブルの使用例を示す側面断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０・・・基板検査用の光学検査装置
１４・・・光学装置
１７・・・受光系
２０・・・検査基板保持装置
２２・・・吸着テーブル
２２ａ，２２ｂ・・・駆動モータ
２４・・・振動吸収装置
２６・・・無塵紙
２８・・・検査基板
３５・・・吸引パイプ
４０，４１，４２，４３，４４，４５，４６・・・小孔
【図１】
2009000804.tif 000003
【図２】
2009000804.tif 000004
【図３Ａ】
2009000804.tif 000005
【図３Ｂ】
2009000804.tif 000006
【図３Ｃ】
2009000804.tif 000007
【図４】
2009000804.tif 000008
【図５】
2009000804.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成20年5月20日(2008.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空吸引手段に接続されて、載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに設ける板状の振動吸収装置であって、
一方側に前記載置対象となる部材を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、
前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、
前記通気路が、広さや傾斜方向がさまざまの壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記載置対象となる部材に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置。
【請求項２】
真空吸引手段に接続されて、載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに設ける板状の振動吸収装置であって、
一方側に前記載置対象となる部材を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、
前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、
前記通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの点接触で結合された金属細片の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記載置対象となる部材に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置。
【請求項３】
真空吸引手段に接続されて、載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに設ける板状の振動吸収装置であって、
一方側に前記載置対象となる部材を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、
前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、
前記通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの金属細片の立体架橋構造の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記載置対象となる部材に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３のいずれかの振動吸収装置において、前記載置対象となる部材が板状部材である、振動吸収装置。
【請求項５】
請求項１、２又は３のいずれかの振動吸収装置において、
前記多数の小孔は、開口径に応じて少なくとも３つにグループ化され、前記３つのグループが積層構造に配置されていることを特徴とする、振動吸収装置。
【請求項６】
請求項２又は３のいずれかの振動吸収装置において、
前記金属細片は、鋳鉄の切削細片であることを特徴とする、振動吸収装置。
【請求項７】
請求項１、２又は３のいずれかの振動吸収装置において、
前記多数の小孔の径が１００μｍ以内である、振動吸収装置。
【請求項８】
真空吸引手段に接続されて、検査基板を保持する吸着テーブルと、
該吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に前記検査基板を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、前記通気路が、広さや傾斜方向がさまざまの壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、
該振動吸収装置の一方側に載せられるシート状部材であって該シート状部材の上に前記検査基板が載せられるシート状部材とを備え、
前記シート状部材が、前記振動吸収装置の前記通気路と前記検査基板が載せられる前記シート状部材の面とを連通する通気路を備え、該通気路が、前記振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引される、検査基板保持装置。
【請求項９】
真空吸引手段に接続されて、検査基板を保持する吸着テーブルと、
該吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に前記検査基板を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、前記通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの点接触で結合された金属細片の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、
該振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であって該シート状部材の上に前記検査基板が載せられるシート状部材とを備え、
前記シート状部材が、前記振動吸収装置の前記通気路と前記シート状部材の前記検査基板が載せられる面とを連通する通気路を備え、該通気路が、前記振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引される、検査基板保持装置。
【請求項１０】
請求項８又は９の検査基板保持装置において、
前記シート状部材が、無塵紙であることを特徴とする、検査基板保持装置。
【請求項１１】
真空吸引手段に接続されて、検査基板を保持する吸着テーブルと、
該吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に前記検査基板を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、該通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの点接触で結合された金属細片の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、
該振動吸収装置に載せられた前記検査基板に検査用の光を照射するとともに該検査基板から反射した光を受け取る光学装置と、
前記吸着テーブル若しくは前記光学装置の一方、又は前記吸着テーブル及び前記光学装置の両方をＸ−Ｙ面上で移動させる駆動装置と、
前記光学装置及び前記駆動装置の動作を制御するとともに前記光学装置が受け取った光を解析する制御装置とを備える、光学検査装置。
【請求項１２】
請求項１１の光学検査装置において、さらに、前記振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であって該シート状部材の上に前記検査基板が載せられるシート状部材を備え、
前記シート状部材が、前記振動吸収装置の前記通気路と前記シート状部材の前記検査基板が載せられる面とを連通する通気路を備え、該通気路が、前記振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引される、光学検査装置。
【請求項１３】
真空吸引手段に接続されて、加工部材を保持する吸着テーブルと、
該吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に前記加工部材を載せ、他方側が前記真空吸引手段に接続され、前記真空吸引手段との接続部位と前記一方側を連通連結する通気路を備え、該通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの点接触で結合された金属細片の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、前記真空吸引手段に起因する振動を吸収して前記検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、
該吸着テーブルに載置された前記加工部材の表面に、所定処理を施すための処理手段と、
前記所定処理を施すために、前記吸着テーブルと前記処理手段を相対的に移動させる移動手段とを備える、加工装置。
【請求項１４】
請求項１３の加工装置において、さらに、前記振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であって該シート状部材の上に前記加工部材が載せられるシート状部材を備え、
前記シート状部材が、前記振動吸収装置の前記通気路と前記シート状部材の前記加工部材が載せられる面とを連通する通気路を備え、該通気路が、前記振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引される、加工装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
そこで、本発明に係る振動吸収装置は、真空吸引手段に接続されて、載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに設ける板状の振動吸収装置であって、一方側に載置対象となる部材を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、広さや傾斜方向がさまざまの壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して載置対象となる部材に振動が伝わることを防ぐことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明に係る振動吸収装置は、真空吸引手段に接続されて、載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに設ける板状の振動吸収装置であって、一方側に載置対象となる部材を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの点接触で結合された金属細片の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して載置対象となる部材に振動が伝わることを防ぐことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明に係る振動吸収装置は、真空吸引手段に接続されて、載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに設ける板状の振動吸収装置であって、一方側に載置対象となる部材を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの金属細片の立体架橋構造の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して載置対象となる部材に振動が伝わることを防ぐことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
載置対象となる部材として板状部材を用いることができ、多数の小孔は、開口径に応じて少なくとも３つにグループ化され、その３つのグループが積層構造に配置されてもよく、金属細片は鋳鉄の切削細片でよく、また、多数の小孔の径が１００μｍ以内であることが望ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明に係る検査基板保持装置は、真空吸引手段に接続されて、検査基板を保持する吸着テーブルと、吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に検査基板を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、広さや傾斜方向がさまざまの壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、振動吸収装置の一方側に載せられるシート状部材であってシート状部材の上に検査基板が載せられるシート状部材とを備え、シート状部材が、振動吸収装置の通気路と検査基板が載せられるシート状部材の面とを連通する通気路を備え、通気路が、振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引されることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明に係る検査基板保持装置は、真空吸引手段に接続されて、検査基板を保持する吸着テーブルと、吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に検査基板を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの点接触で結合された金属細片の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であってシート状部材の上に検査基板が載せられるシート状部材とを備え、シート状部材が、振動吸収装置の通気路とシート状部材の検査基板が載せられる面とを連通する通気路を備え、通気路が、振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引されることを特徴とする。この装置においても、シート状部材は無塵紙でもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明に係る光学検査装置は、真空吸引手段に接続されて、検査基板を保持する吸着テーブルと、吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に検査基板を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの点接触で結合された金属細片の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、振動吸収装置に載せられた検査基板に検査用の光を照射するとともに検査基板から反射した光を受け取る光学装置と、吸着テーブル若しくは光学装置の一方、又は吸着テーブル及び光学装置の両方をＸ−Ｙ面上で移動させる駆動装置と、光学装置及び駆動装置の動作を制御するとともに光学装置が受け取った光を解析する制御装置とを備えることを特徴とする。
さらに、その光学検査装置は、振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であってシート状部材の上に検査基板が載せられるシート状部材を備え、シート状部材が、振動吸収装置の通気路とシート状部材の検査基板が載せられる面とを連通する通気路を備え、通気路が、振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引されるようにしてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明に係る加工措置は、真空吸引手段に接続されて、加工部材を保持する吸着テーブルと、吸着テーブルに設けられた板状の振動吸収装置であって、一方側に加工部材を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、大きさや傾斜方向がさまざまの点接触で結合された金属細片の壁面によって形成された大きさの異なる多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して検査基板に振動が伝わることを防ぐ、振動吸収装置と、吸着テーブルに載置された加工部材の表面に、所定処理を施すための処理手段と、所定処理を施すために、吸着テーブルと処理手段を相対的に移動させる移動手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明に係る加工装置は、さらに、振動吸収装置の一方側に載せられたシート状部材であってシート状部材の上に加工部材が載せられるシート状部材を備え、シート状部材が、振動吸収装置の通気路とシート状部材の加工部材が載せられる面とを連通する通気路を備え、通気路が、振動吸収装置の小孔よりも小さくて均一の大きさに形成されていて、それにより、空気が均等に分散されて吸引されるようにしてもよい。