(57)【要約】【課題】磁気を安定して精度良く検出し、かつ消費電力の少ない磁気センサ素子を提供する。【解決手段】磁気センサ素子１は、磁性コア材８の周囲に薄膜コイルが巻回された構成を備える。磁性コア材８は、１つの検出部８ａと、２つの励磁部８ｂと、検出部８ａと励磁部８ｂのそれぞれの両端をつなぐ磁気結合部８ｃとを備えて構成され、全体として８の字状の形状を有する。磁性コア材８の２つの励磁部８ｂには、それぞれ、薄膜コイルである励磁コイル４が巻回されて励磁部５を形成する。また、磁性コア材８の検出部８ａには、薄膜コイルである検出コイル１２が巻回されて、検出部１３を形成する。  これにより、検出コイル１２と励磁コイル４のそれぞれの巻数を多くすることができ、磁気を安定して精度良く検出し、かつ消費電力の少なくすることが可能となる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性コア材に検出コイルを巻き回して形成された検出部と、前記磁性コア材に励磁コイルを巻き回して形成された励磁部と、を備えた磁気センサ素子において、
前記検出部と前記励磁部とは、前記磁性コア材の異なる箇所に形成され、
前記検出部と前記励磁部の少なくとも一方を複数備え、
前記磁性コア材は、前記検出部と前記励磁部の両端を互いに結合する磁気結合部を備えた
ことを特徴とする磁気センサ素子。
【請求項２】
前記励磁部を複数有する
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気センサ素子。
【請求項３】
前記検出部は、２つの前記励磁部の間に位置する
ことを特徴とする請求項２に記載の磁気センサ素子。
【請求項４】
前記検出部を複数有する
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気センサ素子。
【請求項５】
前記励磁部は、２つの前記検出部の間に位置する
ことを特徴とする請求項４に記載の磁気センサ素子。
【請求項６】
前記励磁部内の前記磁性コア材は、所定の幅の間隙で分割された
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の磁気センサ素子。
【請求項７】
前記磁気結合部は、前記検出部と前記励磁部の端部の近傍で、丸みを帯びて形成された
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の磁気センサ素子。
【請求項８】
前記検出コイル及び前記励磁コイルは、薄膜コイルで形成された
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の磁気センサ素子。
【請求項９】
請求項１から８の何れか１項に記載の磁気センサ素子が、非磁性基台上に２個以上配設されてなる
ことを特徴とする電子方位計。
【請求項１０】
前記非磁性基台上に３個の前記磁気センサが配設され、
前記各磁気センサは、前記検出部の長手方向が互いに直交する向きをなし、３軸磁気センサを構成する
ことを特徴とする請求項９に記載の電子方位計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型の平行フラックスゲート型の磁気センサ素子と、その磁気センサ素子を搭載した電子方位計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、複数の磁気センサ素子を配置して構成され、電気的に方位を検出可能な電子方位計が知られている。直交配置された複数の磁気センサ素子の出力から得られたデータを演算することで、基準に決めた方向からの角度、すなわち方位角を算出することができる。
この方位角から得られた方位は、アナログ、デジタルの電気信号として処理できるため、携帯電話、ＰＤＡ(Personal Digital Assistant)といった携帯情報端末や腕時計、カーナビゲーション装置、航空機の姿勢検出装置、視覚障害者向け機器、ゲーム機といった様々な電子機器への応用が期待されている。
【０００３】
また近年、ＧＰＳ(Global Positioning System)等を利用した携帯情報端末向けの位置情報提供サービスが始まっている。このサービスによれば、利用者は現在の位置情報を端末の画面表示などにより知ることができる。この端末に電子方位計を組み合わせることで、位置情報に加えて、利用者がどの方位を向いているのか、歩行中であるならばどこに向かっているのかといった情報を知ることができる。
この位置情報と電子方位計とを用いたサービスは、利用者に有益な情報をもたらすものであり、今後多くの産業界に新しいビジネスを生み出すものと考えられる。
【０００４】
一方、上述した携帯情報端末は、小型薄型の傾向にあり、その中に搭載される電子デバイスとしては小型低背が求められている。ここで望まれる磁気センサ素子の幅は数ｍｍ程度であり、高さとしては、特に１．５ｍｍ以下が必須であり、好ましくは１．０ｍｍ以下のサイズが求められている。
【０００５】
この様な問題を解決するために、小型化が可能な平行フラックスゲート型の磁気センサ素子が提案されている（例えば、特許文献１参照）。図５は、特許文献１に記載の磁気センサ素子１００の構成を示す平面図である。
磁気センサ素子１００は、磁性コア材１０８の周囲に薄膜コイルが巻回された構成を備える。磁性コア材１０８は、感磁部１０８ａと、感磁部１０８ａの両端に配置された集磁部１０８ｂとからなる。薄膜コイルは、感磁部１０８ａの磁化飽和を繰り返すための励磁コイル１０４と、磁化が反転する際のパルス出力を検出するための検出コイル１１２とからなる。励磁コイル１０４と検出コイル１１２とは、ともに磁性コア材１０８の感磁部１０８ａに交互に巻回されている。
【０００６】
この様な構成を備える平行フラックスゲート型の磁気センサ素子は、以下の検出原理により磁界に比例した出力を得る。
まず、磁性コア材に巻回した励磁コイルに三角波電流を印加する。三角波電流によって生じた三角波状の磁界により、励磁コイルの中の磁性コアはＢ−Ｈカーブに沿って、磁化飽和と反転とを繰り返す。この磁性コアの磁化の反転を、検出コイルによって電流のパルスとして検出する。
ここで、励磁コイルに印加する三角波電流の周波数が変わらなければ、外部磁界の大きさに応じて、検出コイルで検出するパルスのタイミングがシフトする。そのパルス発生の時間変化を検出回路で取り出すことで、外部磁界の大きさに応じた出力を得ることができる。
【０００７】
また、図示しないが、このような磁気センサ素子を、例えば、感磁部の方向が互いに直交する向きをなすように２個または３個配置することにより、電子方位計が構成される。
磁気センサ素子を同一平面内で一回転させたとき、磁気センサ素子の出力は正弦曲線を示す。直交する向きに配置された各磁気センサの出力は、互いに位相の異なる出力関係となり、この各磁気センサ素子の出力から方位角を算出することができる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−２７９０２９号公報（第６−８頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述した従来の磁気センサ素子では、次のような問題がある。図５に示す従来の磁気センサ素子は、励磁コイルと検出コイルとが、磁性コア材の感磁部に交互に巻回される。このため、励磁コイルと検出コイルとが巻回された数（巻数）を多くすることができない。特に、小型化等のために磁性コア材の感磁部を短くした場合、励磁コイルと検出コイルのそれぞれの巻数が少なくなってしまう。
【００１０】
検出パルスの大きさは、検出コイルの巻数に比例する。このため、検出コイルの巻数が少なくなると、検出パルスが小さくなり、磁界を検出する精度が低減してしまう問題があった。また、磁性コア材に形成される磁束は、励磁コイルの巻数と励磁電流に比例する。このため、励磁コイルの巻数が少なくなるほど、励磁電流を増やさなければならず、消費電力が大きくなってしまう問題があった。
【００１１】
磁気センサの検出精度が低下することは、安定して磁界を測定できないことを意味しており、電子方位計を構成した場合には方位を正しく得ることができなくなる。また、消費電力が大きくなることは、当然電池寿命を短くすることを意味しており、いずれも携帯情報端末などに搭載する磁気センサ素子としては、好ましくない問題であった。
【００１２】
そこで本発明は、上記問題点に鑑み、小型化しても磁気を安定して精度良く検出し、かつ消費電力の少ない磁気センサ素子と、その磁気センサを搭載した電子方位計とを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明の磁気センサ素子および電子方位計は、下記に記載の構成を備えるものである。
【００１４】
本発明の磁気センサ素子は、磁性コア材に検出コイルを巻き回して形成された検出部と、磁性コア材に励磁コイルを巻き回して形成された励磁部と、を備えた磁気センサ素子において、検出部と励磁部とは、磁性コア材の異なる箇所に形成され、検出部と励磁部の少なくとも一方を複数備え、磁性コア材は、検出部と励磁部の両端を互いに結合する磁気結合部を備えたことを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の磁気センサ素子は、励磁部を複数有することを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の磁気センサ素子は、励磁部を複数有する場合において、検出部は、２つの励磁部の間に位置することを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の磁気センサ素子は、検出部を複数有することを特徴とするものである。
【００１８】
また、本発明の磁気センサ素子は、検出部を複数有する場合において、励磁部は、２つ
の検出部の間に位置することを特徴とするものである。
【００１９】
また、本発明の磁気センサ素子は、励磁部内の磁性コア材は、所定の幅の間隙で分割されたことを特徴とするものである。
【００２０】
また、本発明の磁気センサ素子は、磁気結合部は、検出部と励磁部の端部の近傍で、丸みを帯びて形成されたことを特徴とするものである。
【００２１】
また、本発明の磁気センサ素子は、検出コイル及び励磁コイルは、薄膜コイルで形成されたことを特徴とするものである。
【００２２】
本発明の電子方位計は、上述した何れかの磁気センサ素子が、非磁性基台上に２個以上配設されてなることを特徴とするものである。
【００２３】
また、本発明の電子方位計は、非磁性基台上に３個の磁気センサが配設され、各磁気センサは、検出部の長手方向が互いに直交する向きをなし、３軸磁気センサを構成することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の磁気センサ素子では、検出コイルが巻回された検出部と、励磁コイルが巻回された励磁部とが、磁性コア材の異なる箇所に形成される。これにより、検出コイルと励磁コイルのそれぞれの巻数を多くすることが可能となる。よって本発明によれば、磁気を安定して精度良く検出でき、かつ消費電力の少ない磁気センサ素子と、その磁気センサを搭載した電子方位計とを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
［磁気センサ素子の説明］
本発明の磁気センサ素子は、基本的に、軟磁性体からなる磁性コア材と、薄膜コイルとによって構成され、その磁性コア材は、複数の励磁部または検出部を有する構成を採用したものである。その具体的な構成について、以下の各実施例にて詳細に説明をする。
＜実施例１＞
【００２６】
まず、本発明の実施例１の磁気センサ素子について説明する。図１は、実施例１の磁気センサ素子１の構成を示す平面図である。実施例１の磁気センサ１は、後述するように、励磁部を２つ、検出部を１つ備えるものである。
【００２７】
磁気センサ素子１は、磁性コア材８の周囲に薄膜コイルが巻回された構成を備える。図１に示す様に、磁性コア材８は、１つの検出部８ａと、２つの励磁部８ｂと、検出部８ａと励磁部８ｂのそれぞれの両端を互いに結合する磁気結合部８ｃとを備えて構成され、全体として８の字状の形状を有する。磁気結合部８ｃは、検出部８ａと励磁部８ｂのそれぞれの近傍で、検出部８ａと励磁部８ｂに対して形状の変化が滑らかとなるように丸みを帯びて形成されている。
【００２８】
磁性コア材８の２つの励磁部８ｂには、それぞれ、薄膜コイルである励磁コイル４が巻回されて励磁部５を形成する。また、磁性コア材８の検出部８ａには、薄膜コイルである検出コイル１２が巻回されて、検出部１３を形成する。図１に示す様に、検出部１３は、２つの励磁部５の間に挟まれて位置する。また、磁性コア材８とそれぞれのコイルを電気的に絶縁する図示しない絶縁層が、磁性コア材８を覆う様に形成されている。
【００２９】
それぞれの薄膜コイルの両端には、外部回路と接続するための電極パッドが設けられて
いる。一方の励磁コイル４の両端には電極パッド１５、１５’が設けられ、他方の励磁コイル４の両端には電極パッド１６、１６’が設けられている。電極パッド１５’と１６’とを接続することで、２つの励磁コイル４は接続される。検出コイル１２の両端には電極パッド１７、１８が設けられている。
【００３０】
上述した構成を備える磁気センサ素子１により、以下のように、外部磁界の大きさに応じた出力を得ることができる。
電極パッド１５’と１６’を接続し、電極パッド１５と１６より２つの励磁コイル４に三角波電流を印加する。これにより、２つの励磁コイル４により磁性コア材８の励磁部８ｂに磁界（磁束）が形成される。励磁部８ｂに形成された磁束は、磁気結合部８ｃを介して検出部８ａに流れる。
【００３１】
２つの励磁コイル４に流れる電流が正（電極パッド１５から１６に電流が流れる）の場合には、図１の実線の矢印の向きの磁束が磁性コア材８に流れる。また逆に、２つの励磁コイル４に流れる電流が負（電極パッド１６から１５に電流が流れる）の場合には、図１の破線の矢印の向きの磁束が磁性コア材８に流れる。
印加された三角波電流による三角波状の磁界により、磁性コア材８はＢ−Ｈカーブに沿って磁化飽和と反転を繰り返し、その磁化が反転する際に検出コイル１２に誘導起電力による検出パルスが発生する。この検出パルスの時間変化を検出回路で取り出すことで、外部磁界の大きさに応じた出力を得ることができる。
ここで、各磁気結合部８ｃは、検出部８ａに多くの磁束を流入させるために、外部の磁界を集める役割を有する。
【００３２】
磁気センサ素子１では、検出コイル１２が巻回された検出部１３と、励磁コイル４が巻回された励磁部５とが、磁性コア材８の異なる箇所に形成される。これにより、検出コイル１２と励磁コイル４とを磁性コア材８の同一の箇所に交互に巻回す従来技術と比較して、検出コイル１２と励磁コイル４のそれぞれの巻数を多くすることが可能となる。
例えば、図１に示す実施例１の検出部８ａ及び励磁部８ｂと、図５に示す従来技術の感磁部１０８ａとを同じ長さであるとした場合、実施例１では、従来技術と比較して、検出コイル１２の巻数を２倍、励磁コイル４の巻数を４倍とすることが可能となる。
【００３３】
前述したように、検出コイル１２で検出する検出パルスの大きさは、検出コイル１２の巻数に比例する。このため、本発明の磁気センサ素子１では、検出コイル１２の巻数を多くすることにより検出パルスが大きくなり、磁界検出の精度を向上させることが可能となる。
また、磁性コア材８に形成される磁束は、励磁コイル４の巻数と励磁電流に比例する。このため、本発明の磁気センサ素子では、励磁コイル４の巻数を多くすることにより、励磁電流を減らして消費電力を少なくすることが可能となる。
【００３４】
実施例１の磁気センサ素子１は、１つの検出部１３に対して２つの励磁部５を備える。これにより、励磁部５の励磁コイル４の巻数をより多くすることができ、励磁電流を減らして消費電力をより少なくすることが可能となる。
【００３５】
また、本発明の磁気センサ素子１では、磁性コア材８の検出部８ａと励磁部８ｂのそれぞれの両端が、磁性コア材８の磁気結合部８ｃで結合される。これにより、検出部１３と励磁部５との間に磁性コア材８によるループが形成され、反磁界の影響を抑えて磁束の流れを滑らかにすることが可能となる。また本発明の磁気センサ素子１では、検出部１３と励磁部５のそれぞれの近傍で、磁気結合部８ｃが丸みを帯びて形成されている。これにより、検出部１３及び励磁部５と、磁気結合部８ｃとの間の磁束の流れを、更に滑らかにすることが可能となる。
【００３６】
さらに、図１に示す実施例１の磁気センサ素子１では、検出部１３が、２つの励磁部５の間に位置している。これにより、２つの励磁部５により磁性コア材８に形成された磁束を、検出部１３へ効率良く流すことが可能となる。
また、図１に示す実施例１の磁気センサ素子１では、検出部１３と励磁部５とが略同じ長さを有し、並んで配置されている。すなわち、検出部１３が該検出部１３の長手方向と略直交する向きに移動することにより形成される領域内に、励磁部５が位置する。これにより、検出部１３の長手方向のサイズの大型化を伴わずに検出コイル１２と励磁コイル４の巻数を多くし、磁界検出の精度を向上させるとともに消費電力を少なくすることが可能となる。
【００３７】
また、磁気センサ素子１では、検出コイル１２と励磁コイル４とが、磁性コア材８の異なる箇所に形成されることにより、検出コイル１２と励磁コイル４とを磁性コア材８の同一の箇所に交互に巻回す従来技術と比較して、検出コイル１２と励磁コイル４とのショートを防ぐことが可能となる。
【００３８】
以下において、本発明の他の実施形態である実施例２と実施例３の磁気センサ素子について、図面を用いて説明する。以下の説明において、すでに説明した同一の構成には同一の符号を付与しており、その説明は一部省略する。実施例２と実施例３の磁気センサ素子は、実施例１と同様に、磁性コア材８に検出コイル１２と励磁コイル４とが巻回され、検出部１３と励磁部５がそれぞれ形成された構成を備える。
＜実施例２＞
【００３９】
図２は、実施例２の磁気センサ素子２の構成を示す平面図である。実施例２の磁気センサ２は、１つの励磁部５に対して、２つの検出部１３を備えるものである。
磁気センサ素子２の磁性コア材８は、１つの励磁部８ｂと、２つの検出部８ａと、検出部８ａと励磁部８ｂのそれぞれの両端をつなぐ磁気結合部８ｃとを備えて構成され、全体として８の字状の形状を有する。
磁性コア材８の２つの検出部８ａには、薄膜コイルである検出コイル１２が巻回されて検出部１３が形成され、励磁部８ｂには、薄膜コイルである励磁コイル４が巻回されて励磁部５が形成される。励磁部５は、２つの検出部１３の間に挟まれて位置する。
【００４０】
実施例１と同様に、励磁コイル４に三角波電流を印加して、図２の実線および破線の矢印で示す向きに、磁性コア材８に磁束を形成する。この磁束により、磁性コア材８はＢ−Ｈカーブに沿って磁化飽和と反転を繰り返し、その磁化が反転する際に検出コイル１２に誘導起電力による検出パルスが発生する。この検出パルスの時間変化を検出回路で取り出すことで、外部磁界の大きさに応じた出力を得ることができる。
【００４１】
実施例２の磁気センサ素子２においても、実施例１と同様に、検出コイルが巻回された検出部と励磁コイルが巻回された励磁部とが、磁性コア材の異なる箇所に形成されることにより、検出コイルと励磁コイルのそれぞれの巻数を多くすることが可能となる。
例えば、図２に示す実施例２の検出部及び励磁部と、図５に示す従来技術の感磁部とを同じ長さであるとした場合、実施例２では、従来技術と比較して、励磁コイルの巻数を２倍、検出コイルの巻数を４倍とすることが可能となる。
【００４２】
よって実施例２の磁気センサ素子においても、磁気を安定して精度良く検出し、かつ消費電力を少なくすることが可能となる。
また、図２に示す実施例２の磁気センサ素子では、励磁部が、２つの検出部の間に位置している。これにより、励磁部により磁性コア材に形成された磁束を、２つの検出部へ効率良く流すことが可能となる。
【００４３】
実施例２の磁気センサ素子は、１つの励磁部５に対して２つの検出部１３を備える。これにより、検出部１３の検出コイル１２の巻数をより多くすることができ、検出コイル１２の検出パルスを大きくし、磁界検出の精度をより向上させることが可能となる。
【００４４】
上述した説明では、実施例１は２つの励磁部５と１つの検出部１３を備えるとし、実施例２は２つの検出部１３と１つの励磁部５を備えるとした。しかし本発明の励磁部５および検出部１３の数は、これらに限定されるものではない。例えば、磁気センサ素子に要求される磁界の検出感度、消費電力などに応じて、励磁部５および検出部１３の両方を複数備えるとしても良い。
＜実施例３＞
【００４５】
次に、本発明の実施例３の磁気センサ素子について説明する。図３は、実施例３の磁気センサ素子３の構成を示す平面図である。図３に示すように、実施例３の磁気センサ素子３は、励磁部５内で、磁気コア材８の励磁部８ｂが所定の間隔で分割された分割部８ｄを備える。これにより、実施例３の磁気センサ素子３は、前述した各実施例の効果に加えて以下の効果を有する。
分割部８ｄを設けることにより、磁性コア材８において、検出部８ａより励磁部８ｂの磁気抵抗が高くなる。すなわち、励磁部８ｂより検出部８ａの方が、磁束がより流れやすくなる。これにより、検出対象である外部からの磁界を、検出部１３により多く集磁することができ、磁界の検出感度を高めることが可能となる。
【００４６】
図３においては、２つの励磁部５と1つの検出部１３とを備える磁気センサ素子３の例を示した。しかし、本発明の励磁部５および検出部１３の数は、これに限定されるものではなく、例えば、図２に示す、１つの励磁部５と２つの検出部１３とを備える磁気センサ素子に対しても適用可能である。励磁部５および検出部１３の数が幾つであっても、磁性コア材８の励磁部８ｂに分割部８ｄを設けることにより、外部からの磁界を検出部１３により多く集磁し、磁界の検出感度を高めることが可能となる。
【００４７】
［電子方位計の説明］
次に本発明の電子方位計について図面を用いて説明する。図４は、上述した本発明の磁気センサ素子を３個用い、非磁性基台２０上に実装して配置した電子方位計１９の構成を示す斜視図である。
【００４８】
図４に示すように、この電子方位計１９は、非磁性基台２０上に、本発明の磁気センサ素子と同じ構成の３個の磁気センサ素子であるＸ軸磁気センサ素子２２、Ｙ軸磁気センサ素子２４、およびＺ軸磁気センサ素子２６と、これらの各磁気センサ素子を駆動するための図示しない磁気センサ用ＩＣを実装配置して構成される。
Ｘ軸磁気センサ素子２２、Ｙ軸磁気センサ素子２４、およびＺ軸磁気センサ素子２６は、それぞれ検出部の長手方向がＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿って互いに直交するように配置されて、３軸磁気センサを構成している。
これらの各磁気センサ素子２２、２４、２６の励磁用コイルに励磁電流を流した時に、検出用コイルから出力される検出信号に基づいて、磁気センサ用ＩＣによって方位角を演算することができる。
【００４９】
そして、各磁気センサ素子２２、２４、２６を保護するために封止樹脂２８を被せ、さらに、これらの磁気センサ素子を載置した非磁性基台２０に、磁気センサ用ＩＣを駆動するための電源端子、各磁気センサ素子の検出信号に基づいて演算した方位角のデータ（信号）を出力するための出力端子などを設けて、電子方位計１９のパッケージを構成する。
【００５０】
このように、本発明による磁気センサ素子を３個搭載して３軸磁気センサの電子方位計を構成することにより、３軸磁気センサの電子方位計を小型化し且つ高さを低くすることができ、携帯情報端末へ搭載することが可能になる。
なお、本発明による磁気センサ素子を、２個互いに直交する方向に非磁性基台上に配設して、２軸磁気センサによる電子方位計を構成することもできる。あるいは、本発明による磁気センサ素子を、非磁性基台上に４個以上搭載して、より高精度の電子方位計を構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施例１の磁気センサ素子の構成を示す平面図である。
【図２】本発明の実施例２の磁気センサ素子の構成を示す平面図である。
【図３】本発明の実施例３の磁気センサ素子の構成を示す平面図である。
【図４】本発明の電子方位計の構成を示す説明図である。
【図５】従来の磁気センサ素子の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１−３  磁気センサ素子
４  励磁コイル
５  励磁部
８  磁性コア材
８ａ  検出部
８ｂ  励磁部
８ｃ  磁気結合部
８ｄ  分割部
１２  検出コイル
１３  検出部
１５−１８  電極パッド
１９  電子方位計
２０  非磁性基台
２２  Ｘ軸磁気センサ
２４  Ｙ軸磁気センサ
２６  Ｚ軸磁気センサ
２８  封止樹脂
【図１】
2009168765.tif 000003
【図２】
2009168765.tif 000004
【図３】
2009168765.tif 000005
【図４】
2009168765.tif 000006
【図５】
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