(57)【要約】      （修正有）【課題】反射光用領域および透過光用領域の着色層の厚み差が大きく、反射表示時の輝度を高いものとすることができる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】透明基材と、上記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板の上記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する塗布工程と、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させる振動工程と、上記振動工程後の上記着色層形成用塗工液を減圧乾燥し、着色層形成用層を形成する乾燥工程と、上記乾燥工程によって形成された上記着色層形成用層を加熱するプリベーク工程により、上記目的を達成する。【選択図】図１
2009276556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基材と、透明基材上に形成され、透明樹脂からなる光路差調整部と、前記光路差調整部を覆うように形成され、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層とを有し、前記透明基材と、前記光路差調整部と、前記着色層とが積層された領域を反射光用領域として用い、前記透明基材と、前記着色層とが積層された領域を透過光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、
前記透明基材と、前記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板の前記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する塗布工程と、
前記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、前記透過光用領域内に流れ込ませるために、前記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させる振動工程と、
前記振動工程後の前記着色層形成用塗工液を減圧乾燥し、着色層形成用層を形成する乾燥工程と、
前記乾燥工程によって形成された前記着色層形成用層を加熱するプリベーク工程と、
を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記伝播層が、液体層であり、さらに、前記液体層の形状を安定化させる平面維持材を有するものである半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、
前記液体層が、超音波を均一に伝播することができる振動伝播用液体を含み、さらに、前記振動伝播用液体によって前記カラーフィルタ用基板を支持するものであることを特徴とする請求項１に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記超音波の周波数が、２５ｋＨｚ〜４００ｋＨｚの範囲内であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記振動工程が、前記着色層形成用塗工液を、加熱しながら振動させることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
透明基材と、前記透明基材上に形成され、透明樹脂からなる光路差調整部と、前記光路差調整部を覆うように形成され、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層とを有し、前記透明基材と、前記光路差調整部と、前記着色層とが積層された領域を反射光用領域として用い、前記透明基材と、前記着色層とが積層された領域を透過光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置であって、
前記透明基材と、前記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板の前記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する塗布手段と、
前記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、前記透過光用領域内に流れ込ませるために、前記着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させる振動手段と、
前記振動手段による振動後の前記着色層形成用塗工液を減圧乾燥し、着色層形成用層を形成する乾燥手段と、
前記乾燥手段により形成された前記着色層形成用層を加熱するプリベーク手段と、
が、この順で連続して配置されていることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置。
【請求項６】
前記伝播層が、液体層であり、さらに、前記液体層の形状を安定化させる平面維持材を有し、
前記液体層が、超音波を均一に伝播することができる振動伝播用液体を含み、さらに、前記振動伝播用液体によって前記カラーフィルタ用基板を支持するものであることを特徴とする請求項５に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置。
【請求項７】
前記超音波の周波数が、２５ｋＨｚ〜４００ｋＨｚの範囲内であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半透過型液晶表示装置等に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタに関し、より詳しくは、反射光用領域および透過光用領域の着色層の厚み差が大きく、半透過型液晶表示装置に用いた場合に、反射表示時の輝度を高いものとすることができる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置として、外光の反射と、バックライト光の透過光とを利用した半透過型液晶表示装置が開発され、この半透過型液晶表示装置は、外光を利用して表示を行なう従来の反射型カラー液晶表示装置に、バックライトを兼ね備え、周囲が暗い場合でもバックライトによる表示（透過表示）が行なえる、という利点を有する。
【０００３】
しかしながら、このような半透過型液晶表示装置は、反射光用領域では進入してきた外光が通常２回カラーフィルタを通過するのに対し、透過光用領域では通常１回のみカラーフィルタを通過することになり、透過表示時と反射表示時とは色特性が異なるという問題点を有していた。
【０００４】
上記問題点を解決するために、透過光用領域に形成される着色層と、反射光用領域に形成される着色層との膜厚比を調節することで、透過光用領域および反射光用領域の色特性をコントロールする方法が試みられている。
ここで、着色層の厚みを調整する方法としては、各色の着色パターンの厚い層および薄い層をそれぞれ形成する方法が用いられてきた。しかしながら、着色層を、一般的にカラーフィルタの着色層の形成に用いられるフォトリソグラフィー法を用いて形成した場合には、着色層が、赤、緑、青の３色の着色パターンを有する場合には、赤、緑、青の各色の着色パターンについて厚い層および薄い層を形成する必要があることから、露光・現像を６回行う必要があり、非常に生産性が低いものとなるといった問題点があった。
【０００５】
このような問題点に対して、例えば特許文献１では、反射光用領域に対応する箇所が半透明部であり、透過光用領域に対応する箇所が透明部であるような、露光光の透過度の異なる箇所を有するハーフトーンマスクを用いた着色層の形成方法が開示されている。この方法によれば、ハーフトーンマスクの露光光の透過度の違いにより、反射光用領域に対応する着色層の膜厚を薄いものとし、透過光用領域に対応する着色層の膜厚を厚いものとすることができ、厚い層および薄い層を一括で形成することができる。したがって、着色層が、赤、緑、青の３色の着色パターンを有する場合には、赤、緑、青の各色の着色パターンについて、厚い層および薄い層を一括で形成することが可能であることから、露光・現像を３回行うことで形成することができる。
しかしながら、このようなハーフトーンマスクのみを用いて反射光領域の着色層の薄膜化を行う方法では、カラーフィルタの全面に均一な露光をすることが困難であることから、反射光用領域の着色層の厚みにバラツキを生じる恐れがあるといった問題があった。また、透過光用領域および反射光用領域の着色層の厚みの調整は可能であるものの、カラーフィルタを液晶表示装置に用いた場合に、透過光用領域および反射光用領域における液晶層を通過する光路差の調整まではできないといった問題があった。
【０００６】
また、ハーフトーンマスクを用いた場合における、上述したような問題点を生じさせず、光路差の調整をも行う方法としては、例えば、図１０に示すように、透明基材１０１と、透明基材１０１のうち、反射表示に用いられる反射光用領域（ｒで示される領域）にのみ形成され、所定の膜厚を有する光路差調整部１０２と、その光路差調整部１０２を覆うように形成された着色層１０６とを有し、反射光用領域（ｒで示される領域）と、透過光用領域（ｔで示される領域）とが形成された半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１００を用いることにより、光路差を調整する方法が開示されている（特許文献２）。
この方法によれば、液晶層を通過する光路差を調整することができ、さらに製造時において、着色層形成用塗工液のような液状物質は、被塗布先の表面の凹凸により、凸部表面上において薄く塗布され、凹部表面上において厚く塗布される性質を有するため、着色層形成用塗工液が、光路差調整部を覆うように透明基材上に塗布された場合には、反射光用領域である上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液の膜厚は薄く、透過光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚は厚いものとなる。このため、透過光用領域における着色層の厚みを厚く、反射光用領域における着色層の厚みを薄いものとすることができる。
しかしながら、このような方法では、上記透過光用領域および反射光用領域の膜厚の差を大きなものとすることが困難であり、このようなカラーフィルタを用いて液晶表示装置とした場合には、反射表示時の輝度が低いものとなってしまうといった問題があった。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−３６５４２２号公報
【特許文献２】特開２００４−１０２２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、反射光用領域および透過光用領域の着色層の厚み差が大きく、かつ反射光用領域の着色層の厚みの均一性に優れた半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造可能な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者等は、上記課題を解決すべく研究を重ねた結果、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を、反射光用領域に光路差調整部が形成されたカラーフィルタ用基板上に塗布した後、上記カラーフィルタ用基板を静置することにより、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記カラーフィルタ用基板の透過光用領域に流れ込ませることができ、反射光用領域および透過光用領域の着色層の厚み差を大きくすることができること、特に上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させた場合にその傾向が大きく、さらに色ムラを少ないものとすることができることを見出し、本発明を完成させるに至ったのである。
【００１０】
すなわち、本発明は、透明基材と、透明基材上に形成され、透明樹脂からなる光路差調整部と、上記光路差調整部を覆うように形成され、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層とを有し、上記透明基材と、上記光路差調整部と、上記着色層とが積層された領域を反射光用領域として用い、上記透明基材と、上記着色層とが積層された領域を透過光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記透明基材と、上記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板の上記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する塗布工程と、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させる振動工程と、上記振動工程後の上記着色層形成用塗工液を減圧乾燥し、着色層形成用層を形成する乾燥工程と、上記乾燥工程によって形成された上記着色層形成用層を加熱するプリベーク工程とを有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１１】
本発明によれば、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、上記伝播層を介して超音波により振動させる振動工程を、上記塗布工程と、上記乾燥工程との間に行うことにより、上記反射光用領域の着色層の膜厚を、上記透過光用領域の着色層の膜厚よりも薄く、さらにその差が大きいものとすることができる。また、上記伝播層を介していることにより、上記反射光用領域の着色層および上記透過光用領域の着色層の色ムラの少ないものとすることができる。さらに、上記反射光用領域の着色層の膜厚を均一性に優れたものとすることができる。
【００１２】
本発明においては、上記伝播層が、液体層であり、さらに、上記液体層の形状を安定化させる平面維持材を有し、上記液体層が、超音波を均一に伝播することができる振動伝播用液体を含み、さらに、上記振動伝播用液体によって上記カラーフィルタ用基板を支持するものであることが好ましい。
上記伝播層が、上記液体層であることにより、超音波を特に均一に伝播することができるからである。また、上記平面維持材を有することにより、上記液体層の形状を安定化させ、上記液体層上に配置される上記カラーフィルタ用基板を水平に維持することが容易になるからである。また、その結果、本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、着色層の膜厚が均一なものとすることができるからである。
【００１３】
本発明においては、上記超音波の周波数が、２５ｋＨｚ〜４００ｋＨｚの範囲内であることが好ましい。
上記超音波の周波数が、上記範囲であることにより、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、効果的に上記透過光用領域内に流れ込ませることができるからである。
【００１４】
本発明においては、上記振動工程が、上記着色層形成用塗工液を、加熱しながら振動させることが好ましい。上記着色層形成用塗工液を加熱することで、その粘度を低下させ、上述した振動による、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液の、上記カラーフィルタ用基板の透過光用領域への流れ込み量を、より多いものとすることができるからである。
【００１５】
本発明は、透明基材と、上記透明基材上に形成され、透明樹脂からなる光路差調整部と、上記光路差調整部を覆うように形成され、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層とを有し、上記透明基材と、上記光路差調整部と、上記着色層とが積層された領域を反射光用領域として用い、上記透明基材と、上記着色層とが積層された領域を透過光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置であって、上記透明基材と、上記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板の上記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する塗布手段と、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させる振動手段と、上記振動手段により振動後の上記着色層形成用塗工液を減圧乾燥し、着色層形成用層を形成する乾燥手段と、上記乾燥手段により形成された上記着色層形成用層を加熱するプリベーク手段とが、この順で連続して配置されていることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置を提供する。
【００１６】
本発明によれば、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記着色層形成用塗工液を、上記伝播層を介して超音波により振動させる振動手段を、上記塗布手段と、上記乾燥手段との間に有するものであることにより、本発明の製造装置によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、反射光用領域の着色層と、透過光用領域の着色層との膜厚の差が大きいものとすることができる。また、上記反射光用領域の着色層および上記透過光用領域の着色層の色ムラの少ないものとすることができる。さらに、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、上記反射光用領域の着色層の膜厚の均一性に優れたものとすることができる。
【００１７】
本発明においては、上記伝播層が、液体層であり、さらに、上記液体層の形状を安定化させる平面維持材を有するものであって、上記液体層が、超音波を均一に伝播することができる振動伝播用液体を含み、さらに、上記振動伝播用液体によって上記カラーフィルタ用基板を支持するものであることが好ましい。
上記伝播層が、上記液体層であることにより、超音波を特に均一に伝播することができるからである。また、上記平面維持材を有することにより、上記液体層の形状を安定化させ、上記液体層上に配置される上記カラーフィルタ用基板を水平に維持することが容易になるからである。また、その結果、本発明の製造装置によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、着色層の膜厚が均一なものとすることができるからである。
【００１８】
本発明においては、上記超音波の周波数が、２５ｋＨｚ〜４００ｋＨｚの範囲内であることが好ましい。
上記超音波の周波数が、上記範囲であることにより、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、効果的に上記透過光用領域内に流れ込ませることができるからである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明においては、反射光用領域および透過光用領域の着色層の厚み差が大きく、半透過型液晶表示装置に用いた場合に、反射表示時の輝度を高いものとすることができる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明は、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる製造装置に関するものである。
以下、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法および半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置について詳細に説明する。
【００２１】
Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
まず、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について説明する。
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、透明基材と、透明基材上に形成され、透明樹脂からなる光路差調整部と、上記光路差調整部を覆うように形成され、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層とを有し、上記透明基材と、上記光路差調整部と、上記着色層とが積層された領域を反射光用領域として用い、上記透明基材と、上記着色層とが積層された領域を透過光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記透明基材と、上記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板の上記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する塗布工程と、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させる振動工程と、上記振動工程後の上記着色層形成用塗工液を減圧乾燥し、着色層形成用層を形成する乾燥工程と、上記乾燥工程によって形成された上記着色層形成用層を加熱するプリベーク工程とを有することを特徴とするものである。
【００２２】
このような本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について図面を参照しながら説明する。図１および図２は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。図１に例示するように、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、透明基材１と、上記透明基材１上に形成され、透明樹脂からなる光路差調整部２とを有するカラーフィルタ用基板２０を準備し、上記光路差調整部２を覆うように、赤色着色層用感光性樹脂組成物を含む赤色着色層形成用塗工液３を塗布する塗布工程（図１（ａ））と、上記光路差調整部２上に塗布された赤色着色層形成用塗工液３を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記赤色着色層形成用塗工液３を、超音波を均一に伝播することができる伝播層２３を介して超音波により所定の時間振動させることにより、上記光路差調整部２上の赤色着色層形成用塗工液３の膜厚を薄くする振動工程（図１（ｂ））と、上記赤色着色層形成用塗工液３を減圧乾燥して赤色着色層形成用層４を形成する乾燥工程および上記赤色着色層形成用層４を加熱し上記赤色着色層形成用層４を固化させるプリベーク工程（図１（ｃ））とを行う。
ここで、上記振動工程は、超音波発振子２５から発振された超音波を、上記伝播層２３を介して、上記赤色着色層形成用塗工液３に伝播させ、上記赤色着色層形成用塗工液３を振動させるものである。
【００２３】
続いて、図２に示すように、赤色着色層を形成させる領域に、紫外線を透過する開口領域３１を有し、赤色着色層を形成しない領域に紫外線を透過しない遮光領域３２を有するフォトマスク３０を介して紫外線による露光および未露光領域の赤色着色層形成用層４を現像により除去する露光・現像工程を行い（図２（ａ））、パターン状の赤色着色パターン５Ｒを形成する（図２（ｂ））。その後、緑色着色層形成用塗工液、青色着色層形成用塗工液を用い、上記赤色着色パターンを形成したのと同様に、上述した塗布工程、振動工程、乾燥工程、プリベーク工程、および露光・現像工程を行うことにより、緑色着色パターン５Ｇおよび青色着色パターン５Ｂを形成し、赤色着色パターン５Ｒ、緑色着色パターン５Ｇおよび青色着色パターン５Ｂからなる着色層６を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１０を形成する（図２（ｃ））。
ここで、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１０において、上記透明基材１と、上記光路差調整部２と、上記着色層６とが積層する領域が、反射光用領域（ｒで示される領域）であり、上記透明基材１と、上記着色層６とが積層する領域が、透過光用領域（ｔで示される領域）である。
【００２４】
本発明によれば、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、上記伝播層を介して超音波により振動させる振動工程を、上記塗布工程と、上記乾燥工程との間に行うことにより、上記反射光用領域の着色層の膜厚を、上記透過光用領域の着色層の膜厚よりも薄く、さらにその差が大きいものとすることができる。また、上記伝播層を介していることにより、上記反射光用領域の着色層および上記透過光用領域の着色層の色ムラの少ないものとすることができる。さらに、上記反射光用領域の着色層の膜厚を均一性に優れたものとすることができる。
ここで、上記振動工程を、上記塗布工程と、上記乾燥工程との間に行うことにより、上述したような効果を発揮する理由としては、以下のように推測される。
【００２５】
すなわち、従来は、着色層形成用塗工液のような液状物質が、被塗布先の表面の凹凸により、凸部表面上において薄く塗布され、凹部表面上において厚く塗布される性質を利用することで、光路差調整部が形成された透明基材上に塗布された着色層形成用塗工液の膜厚を、反射光用領域である上記光路差調整部上において薄く、透過光用領域において厚いものとしていた。このような方法によれば、透過光用領域における着色層の厚みを厚く、反射光用領域における着色層の厚みを薄いものとすることができるが、その膜厚の差は十分なものではなかった。
一方、発明者等は、上記塗布工程によって、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板を、所定の時間静置することにより、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域に流れ込ませることができ、上記反射光用領域の着色層形成用塗工液の厚みをより薄いものとすることができることを見出した。
【００２６】
また、上記塗布工程後のカラーフィルタ用基板を所定の時間静置することにより、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域に流れ込ませる、いわゆる、引き置きを、上記塗布工程と、記乾燥工程との間であり、上記塗布工程によって塗布された上記着色層形成用塗工液が十分に溶剤を含み、粘度が低い状態のときに行うことにより、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域に効果的に流れ込ませることができ、上記反射光用領域および透過光用領域の着色層形成用塗工液の厚みの差を大きいものとすることができる。
【００２７】
さらに、このような引き置きを、上記反射光用領域、すなわち光路差調整部上の、着色層形成用塗工液を、上記伝播層を介して超音波により振動させながら実施することにより、上記着色層形成用塗工液の流動を促す効果を発揮し、上記着色層形成用塗工液の、上記光路差調整部上から、上記透過光用領域への流れ込み量をより大きいものとすることができる。
このため、本発明の製造方法によって形成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、上記反射光用領域の着色層の膜厚が、上記透過光用領域の着色層の膜厚よりも十分に薄いものとすることができる。
【００２８】
ここで、上記着色層形成用塗工液に伝播させる振動としては、いずれの周波数の振動であっても良好な効果を発揮するのではなく、超音波であることにより上述した効果をもたらすものであることが見出された。
例えば、上記着色層形成用塗工液を、音波を伝播することにより振動させた場合には、上記着色層形成用塗工液の、上記光路差調整部上から上記透過光用領域への流れ込み量を増大する効果がみられなかった。
また、上記着色層形成用塗工液に超音波を伝播させる方法として、超音波を発振する超音波発振子上に上記カラーフィルタ用基板を直接配置した状態で超音波発振子から超音波を発振し上記着色層形成用塗工液を振動させた場合には、色ムラが発生するといった問題が生じた。この原因としては明確ではないが、超音波の不均一な伝播、すなわち上記着色層形成用塗工液の場所による伝播した超音波の強度の変動や、上記カラーフィルタ用基板全体が振動し、超音波発振子から発振された超音波の周波数とは異なる周波数の振動への変化等によりムラが生じたと推測される。
【００２９】
一方、本発明においては、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波発振子から超音波を発振し、上記カラーフィルタ用基板に超音波を伝播させるものである。このため超音波発振子から発振された超音波を、周波数の変化を生じることなく、着色層形成用塗工液全体に対して均一に伝播することができる。この結果、本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、上記反射光用領域の着色層および上記透過光用領域の着色層の色ムラが少なく、かつその膜厚差を大きいものとすることができる。
【００３０】
また、ハーフトーンマスクを用いないため、ハーフトーンマスクを用いた際に生じる問題点、すなわち、上記反射光用領域の着色層の膜厚ムラを生じさせず、上記反射光用領域の着色層の膜厚を均一性に優れたものとすることができる。
【００３１】
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、塗布工程と、振動工程と、乾燥工程と、プリベーク工程とを少なくとも有するものである。以下、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の各工程について説明する。
【００３２】
１．塗布工程
本発明における塗布工程は、上記透明基材と、上記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板の上記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する工程である。
【００３３】
（１）着色層形成用塗工液
本工程に用いられる着色層形成用塗工液は、後述するカラーフィルタ用基板の光路差調整部を覆うように塗布されるものであり、着色層用感光性樹脂組成物を含むものである。
【００３４】
本工程に用いられる着色層用感光性樹脂組成物は、通常、本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタに含まれる着色層の各着色パターンを形成する各色の着色剤と、バインダ樹脂とを少なくとも含むものである。
【００３５】
本工程に用いられる各色の着色剤としては、一般的にカラーフィルタの製造に用いられるものを用いることができ、本発明の製造方法によって着色層を形成した際に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色、または、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）、黄（Ｙ）の４色、または、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）、黄（Ｙ）、シアン（Ｃ）の５色等の着色パターンを含む着色層を形成することができるものを挙げることができる。
【００３６】
赤（Ｒ）の着色パターンに用いられる着色剤としては、例えば、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、イソインドリン系顔料等が挙げられる。これらの顔料は単独で用いてもよく２種以上を混合して用いてもよい。
緑（Ｇ）の着色パターンに用いられる着色剤としては、例えば、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料もしくはハロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料等のフタロシアニン系顔料、トリフェニルメタン系塩基性染料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料等が挙げられる。これらの顔料もしくは染料は単独で用いてもよく２種以上を混合して用いてもよい。
青（Ｂ）の着色パターンに用いられる着色剤としては、例えば、銅フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、インダンスレン系顔料、インドフェノール系顔料、シアニン系顔料、ジオキサジン系顔料等が挙げられる。これらの顔料は単独で用いてもよく２種以上を混合して用いてもよい。
【００３７】
本工程に用いられる着色層用感光性樹脂組成物における、上記各色の着色剤の含有量としては、本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタに含まれる着色層を、所望の発色とすることができるものであれば特に限定されるものではないが、上記着色層用感光性樹脂組成物中において１０質量％〜７０質量％の範囲内であることが好ましく、なかでも１０質量％〜５０質量％の範囲内であることが好ましい。上記範囲であることにより、本発明の製造方法によって形成される着色層を、所望の発色を有するものとすることができるからである。
【００３８】
本工程に用いられるバインダ樹脂としては、透明で、感光性を有するものであれば良く、例えば、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有するものを用いることができる。
【００３９】
本工程に用いられる着色層形成用塗工液は、通常、上記着色層用感光性樹脂組成物を均一に分散、または溶解可能な溶剤を含むものである。
このような溶剤としては、例えば酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルセルソルブ、３−メトキシブチルアセテート等が挙げられる。
【００４０】
本工程に用いられる溶剤の含有量としては、本工程に用いられる着色層形成用塗工液のうち、５０質量％〜９５質量％の範囲内であることが好ましく、なかでも６０質量％〜９０質量％の範囲内となるように溶剤を配合することが好ましい。これにより、塗布に適した粘度とすることができるからである。
【００４１】
本工程に用いられる着色層形成用塗工液の粘度としては、後述するカラーフィルタ用基板の光路差調整部上に塗布された上記着色層形成用塗工液を、後述する振動工程において、所望の量を、上記カラーフィルタ用基板の透過光用領域内に流れ込ませることができるものであれば特に限定されるものではなく、具体的には、後述する振動工程において、上記着色層形成用塗工液が振動される際における粘度が２ｍＰａ・ｓ〜１５ｍＰａ・ｓの範囲内であることが好ましく、なかでも２ｍＰａ・ｓ〜１０ｍＰａ・ｓの範囲内であることが好ましく、特に２ｍＰａ・ｓ〜８ｍＰａ・ｓの範囲内であることが好ましい。上記範囲であることにより、後述する振動工程において、上記光路差調整部上の上記着色層形成用塗工液の、上記透過光用領域への流れ込み量を十分大きなものとすることができるからである。
【００４２】
本工程に用いられる着色層形成用塗工液は、必要に応じて、他の添加剤を含むものであっても良い。このような添加剤としては、光重合開始剤、増感剤、塗布性改良剤、現像改良剤、架橋剤、重合禁止剤、可塑剤、難燃剤等を挙げることができる。
【００４３】
（２）カラーフィルタ用基板
本工程に用いられるカラーフィルタ用基板は、上記透明基材と、上記光路差調整部とを有するものである。なお、カラーフィルタ用基板においても、上記透明基材上に着色層が形成され、カラーフィルタとされた際に、上記透明基材と、上記光路差調整部と、上記着色層とが積層される領域を、反射光用領域とし、上記透明基材と、上記着色層とが積層される領域を、透過光用領域とする。
【００４４】
（ｉ）光路差調整部
本工程に用いられるカラーフィルタ用基板に含まれる光路差調整部は、上記カラーフィルタ用基板の反射光用領域にパターン状に形成され、透明樹脂からなるものである。
【００４５】
本工程に用いられる光路差調整部を形成する透明樹脂としては、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタに入射した外光およびその外光が反射された反射光に対する高い透過率を有するものであれば特に限定されるものではない。このような透明樹脂としては、例えば、感光性アクリル樹脂、感光性ポリイミド、ポジレジスト、カルド樹脂、ポリシロキサン、ベンゾシクロブテン等が挙げられる。
【００４６】
本工程に用いられる光路差調整部の膜厚としては、通常１．０μｍ〜５．０μｍの範囲内であることが好ましく、なかでも、２．０μｍ〜４．５μｍの範囲内程度、特に２．５μｍ〜３．５μｍの範囲内であることが好ましい。これにより、本発明の製造方法によって製造された半透過型液晶表示装置用カラーフィルタが半透過型液晶表示装置に用いられた際に、反射光用領域および透過光用領域における光路差を調整することが可能となるからである。
【００４７】
本工程に用いられる光路差調整部の形成方法としては、後述する透明基材上に、所望の膜厚で、かつ所望の位置にパターン状に形成することができる方法であれば良い。このような光路差調整部の形成方法としては、例えば、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法等を挙げることができる。
【００４８】
（ｉｉ）透明基材
本工程に用いられる透明基材は、上記光路差調整部を形成可能であり、可視光に対して透明な基板であれば特に限定されるものではなく、一般的な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタに用いられる透明基材と同様のものとすることができる。
【００４９】
このような透明基材としては、具体的には、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等が挙げられる。
【００５０】
（ｉｉｉ）カラーフィルタ用基板
本工程に用いられるカラーフィルタ用基板は、上記透明基材および光路差調整部に加えて、通常、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの画素領域を区分けする遮光部を有するものである。
【００５１】
本工程に用いられる遮光部は、上記透明基材上にパターン状に形成されるものであって、一般的なカラーフィルタに遮光部として用いられるものと同様とすることができる。
【００５２】
上記遮光部のパターン形状としては、特に限定されるものではなく、例えば、ストライプ状、マトリクス状等の形状が挙げられる。
【００５３】
上記遮光部としては、例えば、黒色顔料をバインダ樹脂中に分散または溶解させたものや、クロム、酸化クロム等の金属薄膜等が挙げられる。この金属薄膜は、ＣｒＯｘ膜（ｘは任意の数）およびＣｒ膜が２層積層されたものであってもよく、また、より反射率を低減させたＣｒＯｘ膜（ｘは任意の数）、ＣｒＮｙ膜（ｙは任意の数）およびＣｒ膜が３層積層されたものであってもよい。
【００５４】
上記遮光部が黒色着色剤をバインダ樹脂中に分散または溶解させたものである場合、この遮光部の形成方法としては、遮光部をパターニングすることができる方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、遮光部用感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法等を挙げることができる。
【００５５】
遮光部の膜厚としては、金属薄膜の場合は０．２μｍ〜０．４μｍ程度で設定され、黒色着色剤をバインダ樹脂中に分散または溶解させたものである場合は０．５μｍ〜２μｍ程度で設定される。
【００５６】
（３）塗布工程
本工程は、上記着色層形成用塗工液を、上記カラーフィルタ用基板の光路差調整部を覆うように塗布する工程である。
【００５７】
本工程において、上記着色層形成用塗工液を上記カラーフィルタ用基板上に塗布する方法としては、上記着色層形成用塗工液を、上記カラーフィルタ用基板の光路差調整部上に均一に塗布することができる方法であれば良く、一般的にカラーフィルタの着色層の形成に使用される方法を用いることができる。具体的には、スピンコート法、スプレーコート法、ディップコート法、ロールコート法、ビードコート法等を用いることができる。
【００５８】
本工程によって上記カラーフィルタ用基板上に塗布された直後の、反射光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚および透過光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚としては、反射光用領域および透過光用領域の着色層を所望の膜厚で形成することができるものであれば良く、上記光路差調整部の膜厚や、上記着色層形成用塗工液に含まれる溶剤の含有量等に応じて適宜設定されるものである。
【００５９】
また、本工程によって上記カラーフィルタ用基板上に塗布された直後の、上記反射光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚と、上記透過光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚との比（反射光用領域／透過光用領域）としては、反射光用領域および透過光用領域の着色層を所望の膜厚で形成することができるものであれば良く、上記光路差調整部の膜厚や、上記着色層形成用塗工液に含まれる溶剤の含有量等に応じて適宜設定されるものである。
【００６０】
２．振動工程
本発明における振動工程は、上記塗布工程において、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させる工程である。より具体的には、上記振動工程は、上記塗布工程後によって着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板を所定の時間静置し、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記カラーフィルタ用基板の透過光用領域内に流れ込ませる、いわゆる、引き置きを、上記カラーフィルタ用基板を上記伝播層上に配置した状態で、上記伝播層から上記着色層形成用塗工液に超音波を伝播させることにより上記着色層形成用塗工液を振動させながら行う工程である。
【００６１】
（１）伝播層
本工程に用いられる伝播層は、超音波を均一に伝播することができるものである。より詳しくは、超音波発振子から発振された超音波を、その周波数が変動することなく伝播することができ、さらに、着色層形成用塗工液の場所により伝播される超音波の強度の違いを発生させることなく伝播することができるものである。また、上記カラーフィルタ用基板を支持することができるものである。
ここで、超音波が均一に伝播したか否かの判断としては、本発明により形成された着色層にムラが生じるか否かで判断される。
【００６２】
このような伝播層としては、弾性体からなる弾性体層、樹脂に、均一に超音波を伝播することができる振動伝播用液体を含浸させた高分子ゲルからなる高分子ゲル層、上記振動伝播用液体を含み、かつ、上記振動伝播用液体によって上記カラーフィルタ用基板を支持する液体層を挙げることができる。本工程においては、なかでも液体層であることが好ましい。超音波を特に均一に伝播することができるからである。
【００６３】
本工程に用いられる上記液体層は、上記液体層に含まれる上記振動伝播用液体によって上記カラーフィルタ用基板を支持するものであり、通常、上記振動伝播用液体をフレキシブルなフィルムである液体層用フィルムによって液密状態で封入されたものが用いられる。上記液体層上に上記カラーフィルタ用基板を配置した場合に、上記カラーフィルタ用基板に上記振動伝播用液体が付着することを防止することができ、上記振動伝播用液体を除去するための除去工程を不要なものとすることができるからである。
【００６４】
ここで、上記液体層が、フレキシブルなフィルムによって上記振動伝播用液体を液密状態で封入されたものである場合としては、図３に例示するように、上記液体層である伝播層２３が、上記振動伝播用液体を貯蔵可能な振動槽２４に貯蔵された上記振動伝播用液体２１と、上記振動槽２４の側壁で固定された液体層用フィルム２２とからなるものを挙げることができる。この場合、上記カラーフィルタ用基板２０は、上記伝播層２３の、上記液体層用フィルム２２上に配置されることになる。
また、図４に例示するように、上記液体層である伝播層２３が、上記振動伝播用液体２１と、上記振動伝播用液体２１を密封する液体層用フィルム２２とからなるものを挙げることができる。この場合、上記カラーフィルタ用基板２０は、上記振動槽２４内に配置された上記伝播層２３の上記液体層用フィルム２２上に配置されることになる。
【００６５】
本工程に用いられる振動伝播用液体としては、超音波発振子から発振された超音波を、均一に伝播することができるものであれば良く、具体的には、水、電解質水溶液；メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、ブチルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルコール類；アセトンやメチルエチルケトンなどのケトン類；エーテル類；エステル類；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキシド、アセトニトリル、プロピレンカーボネート等の脂肪族系有機溶媒や；Ｎ−メチルピロリドン等の芳香族系有機溶媒等や、それらの混合物を用いることができる。
本工程においては、なかでも、水、電解質水溶液、プロピレングリコールを好ましく用いることができ、特に水、プロピレングリコールを好ましく用いることができる。超音波を均一に伝播する特性に優れ、また安全性に優れたものであるからである。
【００６６】
本工程において、上記振動伝播用液体を液密状態となるように封入することができるフレキシブルなフィルムである液体層用フィルムとしては、上記振動伝播用液体を透過しない高分子材料からなるものであれば良い。具体的には、上記振動伝播用液体が、水、電解質水溶液、プロピレングリコールである場合には、ポリビニル、ポリオレフィン等を挙げることができる。防液性に優れ、かつ上記カラーフィルタ用基板に伝播する際に、超音波の均一伝播に特に優れているからである。
【００６７】
また、このような液体層用フィルムの厚みとしては、上記伝播層から、上記カラーフィルタ用基板に、超音波を伝播させることができるものであり、さらに、上記液体層上に上記カラーフィルタ用基板が配置された場合に、上記液体層用フィルムのみで上記カラーフィルタ用基板を支持する程度の剛性を有さないものであれば良く、上記カラーフィルタ用基板等に応じて適宜設定されるものである。
【００６８】
本工程においては、上記伝播層が、その形状を安定化させる平面維持材を有するものであっても良い。上記平面維持材を有することにより、上記伝播層が、上記液体層のように形状安定性が低い場合であっても、その形状を安定化させ、上記伝播層上に配置される上記カラーフィルタ用基板を水平に維持することが容易になるからである。また、その結果、本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、着色層の膜厚が均一なものとすることができるからである。また、このようなことから、本工程においては、上記平面維持材を有する伝播層が液体層であることが好ましい。
【００６９】
本工程に用いられる平面維持材としては、上記伝播層の形状、すなわち、上記カラーフィルタ用基板が配置される面を水平に安定化させることができるものであり、さらに上記カラーフィルタ用基板を直接支持しないように配置することができるものであれば良い。このような平面維持材としては、例えば、上記伝播層が液体層である場合には、上記液体層に含まれる振動伝播用液体を含浸し、上記振動伝播用液体の流動を抑制することができるものや、上記液体層に含まれる液体層用フィルムを支持し、その変動を抑制することができるものを挙げることができる。本工程においては、なかでも、上記液体層に含まれる振動伝播用液体を含浸し、上記振動伝播用液体の流動を抑制することができるものであることが好ましい。上記カラーフィルタ用基板が配置される面の水平安定化に優れるからである。
【００７０】
本工程に用いられる伝播層が、上記平面維持材を有する液体層であり、上記平面維持材が、上記液体層に含まれる振動伝播用液体を含浸し、上記振動伝播用液体の流動を抑制することができるものである場合の具体例としては、図５に例示するように、上記伝播層２３が、上記液体層用フィルム２２と、上記振動伝播用液体２１と、上記振動伝播用液体２１の内部に配置された平面維持材２６とからなるものを挙げることができる。
また、上記平面維持材が、上記液体層に含まれる液体層用フィルムを支持し、その変動を抑制することができるものである場合には、図６に例示するように、上記平面維持材２６が、柱状であるものを挙げることができる。この場合、上記平面維持材２６が、上記超音波発振子２５と直接接しないように配置される。上記平面維持材が上記超音波発振子と直接接しないように配置されていることにより、上記カラーフィルタ用基板に、超音波と異なる周波数の振動によって、着色層形成用塗工液を振動させることを防ぐことができるからである。
ここで、図５および図６において、上記平面維持材２６は、上記カラーフィルタ用基板２０を直接支持しないように配置されている。
【００７１】
本工程において、上記平面維持材が、上記液体層に含まれる振動伝播用液体を含浸し、上記振動伝播用液体の流動を抑制することができるものである場合には、上記平面維持材としては、例えば、繊維状の材料を絡み合わせた不織布を挙げることができる。また、上記不織布は、繊維状の材料の線径等を調整することで、上記振動伝播用液体を保持可能な空間のサイズを容易に調整することができ、上記振動伝播用液体の流動性を容易に調整可能であるからである。
【００７２】
このような不織布を構成する繊維状の材料としては、上記振動伝播用液体に対して膨潤性を有するもしくは膨潤性を有しない高分子材料、ガラス、金属等を挙げることができる。
本工程においては、なかでも、高分子材料を用いることが好ましく、特にセルロースを用いることが好ましい。上記振動伝播用液体との親和性が比較的高く含液することが容易であるからであり、また、形状安定性に優れる材料であるからである。
【００７３】
本工程において、上記平面維持材が、上記液体層に含まれる液体層用フィルムを支持し、その変動を抑制することができるものである場合には、上記平面維持材としては、上記液体層用フィルムを安定に支持することができる材料からなる柱等を挙げることができる。具体的には、高分子材料等からなる柱等を挙げることができる。
【００７４】
本工程に用いられる弾性体層を構成する弾性体としては、弾性を有するものであれば良く、ゴムや高分子材料を挙げることができる。
また、本工程に用いられる高分子ゲル層を構成する樹脂としては、上記振動伝播用液体に対して膨潤性を有するもしくは膨潤性を有しない高分子材料を挙げることができるが、通常、上記振動伝播用液体に対して膨潤性を有する高分子材料が好適に用いられる。
【００７５】
本工程に用いられる伝播層の厚みとしては、超音波発振子から発振された超音波を、上記カラーフィルタ用基板の着色層形成用塗工液に伝播することができるものであれば良く、伝播層の種類等に応じて適宜設定されるものである。
【００７６】
（２）振動工程
本工程は、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させる工程である。
【００７７】
本工程において、上記着色層形成用塗工液を、上記伝播層を介して超音波により振動させる方法としては、上記カラーフィルタ用基板を水平に保ち、かつ超音波を発振する超音波発振子と、上記カラーフィルタ用基板との間に、上記伝播層を配置した状態で、超音波発振子より超音波を発振し、上記着色層形成用塗工液を振動させる方法であれば良い。
具体的には、上記伝播層が、上記弾性体層および高分子ゲル層等の形状安定性に優れたものである場合には、図７に例示するように、上記伝播層２３および超音波発振子２５からなる振動手段４２の上記伝播層２３上に、上記カラーフィルタ用基板２０を配置して、超音波発振子２５から超音波を発振する方法を挙げることができる。また、上記伝播層が、上記液体層のように形状安定性が低いものである場合には、図８に例示するように、上記振動槽２４内に、超音波発振子２５と、上記伝播層２３とを配置した振動手段４２の上記伝播層２３上に、上記カラーフィルタ用基板２０を配置して、超音波発振子２５から超音波を発振する方法を挙げることができる。
【００７８】
本工程に用いられる超音波の周波数としては、２５ｋＨｚ〜４００ｋＨｚの範囲内であることが好ましく、なかでも２５ｋＨｚ〜２００ｋＨｚの範囲内であることが好ましく、特に２５ｋＨｚ〜７０ｋＨｚの範囲内であることが好ましい。上記範囲であることにより、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、効果的に上記透過光用領域内に流れ込ませることができるからである。
なお、上記周波数は、超音波発振子から発振された超音波の周波数である。
【００７９】
本工程において、上記着色層形成用塗工液を振動させる時間としては、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、上記カラーフィルタ用基板の透過光用領域に所望量流れ込ませることができるものであれば良い。このような振動時間は、塗布された着色層形成用塗工液の膜厚や求める着色層形成用塗工液の膜厚の変動によって異なるものであるが、具体的には、１分〜１５分の範囲内であることが好ましく、なかでも１分〜１０分の範囲内であることが好ましく、特に１分〜８分の範囲内であることが好ましい。上記範囲より短いと十分に着色層形成用塗工液を流れ込ませることが困難である可能性があるからであり、上記範囲より長くても効果が変わらず生産性が低下する恐れがあるからである。
【００８０】
本工程においては、必要に応じて、超音波による上記着色層形成用塗工液を加熱しながら、振動させても良い。上記着色層形成用塗工液を加熱することで、その粘度を低下させ、上述した振動による、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液の、上記カラーフィルタ用基板の透過光用領域への流れ込み量を、より多いものとすることができるからである。
上記着色層形成用塗工液の加熱方法は、一般的な加熱装置を用いることができ、具体的には、オーブン、遠赤外線ヒーター、ホットプレート等を用いる方法を挙げられる。また、上記伝播層を加熱することにより、上記着色層形成用塗工液の加熱を行うものであっても良い。
【００８１】
また、上記着色層形成用塗工液の加熱温度としては、上記着色層形成用塗工液に含まれる溶剤の沸点より低く、かつ後述するプリベーク工程において、後述する着色層形成用層を加熱する温度よりも２０℃〜７０℃の範囲内、なかでも３０℃〜６０℃の範囲内で低いことが好ましい。上記振動工程の上記着色層形成用塗工液を加熱する温度と、上記プリベーク工程において、後述する着色層形成用層を加熱する温度との差が、上記範囲より大きい、すなわち、上記振動工程における加熱温度が低すぎると、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域に十分な量を流れ込ませることが困難となる可能性があるからであり、上記範囲より小さい、すなわち、上記振動工程における加熱温度が上記プリベーク工程における加熱温度に近いと、着色層に色ムラを生じる可能性があるからである。
【００８２】
本工程において、振動させながらの引き置きが終了した後の、上記反射光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚および透過光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚としては、反射光用領域および透過光用領域の着色層を所望の膜厚で形成することができるものであれば良く、上記光路差調整部の膜厚や、上記着色層形成用塗工液に含まれる溶剤の含有量等に応じて適宜設定されるものである。
【００８３】
また、本工程において、振動させながらの引き置きが終了した後の、上記反射光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚と、上記透過光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚との比（反射光用領域／透過光用領域）としては、反射光用領域および透過光用領域の着色層を所望の膜厚で形成することができるものであれば良く、上記光路差調整部の膜厚や、上記着色層形成用塗工液に含まれる溶剤の含有量等に応じて適宜設定されるものである。
【００８４】
３．乾燥工程
本発明における乾燥工程は、上記振動工程後の上記着色層形成用塗工液に含まれる溶剤を減圧乾燥により除去し、着色層形成用層を形成する工程である。
【００８５】
本工程において、上記溶剤を除去する際の減圧度は、上記着色層形成用塗工液を構成する溶剤の含有量等に応じて適宜設定することができる。
【００８６】
本工程においては、上記着色層形成用塗工液を加熱しながら、上記溶剤の除去を行うものであっても良い。乾燥時間の短縮を図ることができるからである。
また、必要に応じて、減圧乾燥前に、上記着色層形成用塗工液の予備加熱を行うものであっても良い。
【００８７】
４．プリベーク工程
本発明におけるプリベーク工程は、上記乾燥工程によって形成されたカラーフィルタ用基板上の着色層形成用層を、加熱することにより、上記着色層形成用層を固化する工程である。
【００８８】
本工程において、上記着色層形成用層を加熱する方法としては、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられるものと同様の方法を用いることができる。具体的には、オーブン、遠赤外線ヒーター、ホットプレート等を用いる方法を挙げることができる。
【００８９】
本工程において、上記着色層形成用層を加熱する温度としては、８０℃〜１１０℃の範囲内であることが好ましく、なかでも８０℃〜１００℃の範囲内であることが好ましい。上記範囲であることにより、上記着色層形成用層を十分に固化することができるからである。
【００９０】
本工程において、加熱が終了した後の、反射光用領域の着色層形成用層の膜厚および透過光用領域の着色層形成用層の膜厚としては、上記反射光用領域の着色層形成用層の膜厚が、０．１μｍ〜２．０μｍの範囲内であることが好ましく、なかでも０．２μｍ〜１．５μｍの範囲内であることが好ましい。
また、上記透過光用領域の着色層形成用層の膜厚が０．５μｍ〜８．０μｍの範囲内であることが好ましく、なかでも１．０μｍ〜５．０μｍの範囲内であることが好ましい。上記範囲内であることにより、本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、透過光用領域の着色層と、反射光用領域の着色層との膜厚の差が大きなものとすることができるからである。
【００９１】
また、本工程において、加熱が終了した後の、上記透過光用領域の着色層形成用層の膜厚と、上記反射光用領域の着色層形成用層の膜厚との比（透過光用領域／反射光用領域）としては、１．４〜７．０の範囲内であることが好ましく、なかでも１．８〜３．３の範囲内であることが好ましい。上記範囲内であることにより、本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、透過光用領域の着色層と、反射光用領域の着色層との膜厚の差が大きなものとすることができるからである。
【００９２】
５．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、少なくとも、上記塗布工程、振動工程、乾燥工程、およびプリベーク工程を、この順で実施するものであるが、通常、これらの工程の後に上記カラーフィルタ用基板上に形成された着色層形成用層を、パターン状に露光し、現像することにより、パターン状の着色層を形成する露光・現像工程を有するものである。
また、本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの着色層が２色以上の着色パターンによって形成されるものである場合には、各色の着色パターン毎に、上述した塗布工程、振動工程、乾燥工程、プリベーク工程、露光・現像工程をこの順で行うものである。
【００９３】
上記露光・現像工程において、上記着色層形成用層をパターン状に露光し、未露光箇所を現像により除去することによりパターン状の着色層を形成する方法としては、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられる方法を用いることができる。
また、必要に応じて、露光時のマスクとして、透過度の異なる領域を有するハーフトーンマスクを用いて、上記反射光用領域の着色層および透過光用領域の着色層の厚みの差をさらに大きなものとしても良い。
【００９４】
６．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ
本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、透明基材と、上記透明基材上に形成され、透明樹脂からなる光路差調整部と、上記光路差調整部を覆うように形成され、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層とを有するものである。また、上記透明基材と、上記光路差調整部と、上記着色層とが積層された領域を反射光用領域として用い、上記透明基材と、上記着色層とが積層された領域を透過光用領域として用いるものである。
本発明の製造方法によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの、上記反射光用領域の着色層の膜厚および透過光用領域の着色層の膜厚としては、上記反射光用領域の着色層の膜厚が、０．１μｍ〜１．６μｍの範囲内であることが好ましく、なかでも０．２μｍ〜１．２μｍの範囲内であることが好ましい。
また、上記透過光用領域の着色層の膜厚が、０．５μｍ〜６．５μｍの範囲内であることが好ましく、なかでも１．０μｍ〜４．０μｍの範囲内であることが好ましい。上記範囲内であることにより、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、半透過型液晶表示装置に用いた場合に、反射表示時の輝度が高いものとすることができるからである。
【００９５】
また、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの、上記透過光用領域の着色層の膜厚と、上記反射光用領域の着色層の膜厚との比（透過光用領域／反射光用領域）としては、１．４〜７．０の範囲内であることが好ましく、なかでも１．８〜３．３の範囲内であることが好ましい。上記範囲内であることにより、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、半透過型液晶表示装置に用いた場合に、反射表示時の輝度が高いものとすることができるからである。
【００９６】
このような半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの用途としては、半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタを挙げることができる。なかでも、反射表示時の輝度が高いことが要求される半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタに好適に用いられる。
【００９７】
Ｂ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置
次に、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置について説明する。
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置は、透明基材と、上記透明基材上に形成され、透明樹脂からなる光路差調整部と、上記光路差調整部を覆うように形成され、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層とを有し、上記透明基材と、上記光路差調整部と、上記着色層とが積層された領域を反射光用領域として用い、上記透明基材と、上記着色層とが積層された領域を透過光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置であって、上記透明基材と、上記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板の上記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する塗布手段と、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させる振動手段と、上記振動手段により振動後の上記着色層形成用塗工液を減圧乾燥し、着色層形成用層を形成する乾燥手段と、上記乾燥手段により形成された上記着色層形成用層を加熱するプリベーク手段とが、この順で連続して配置されていることを特徴とするものである。
【００９８】
このような本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置を、図を参照して説明する。図９は本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置の一例を示す概略図である。図９によれば、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置４０は、上記透明基材と、上記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板２０の上記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する塗布手段４１と、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を、上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、上記伝播層を介して超音波により振動させる振動手段４２と、上記着色層形成用塗工液を減圧乾燥し、着色層形成用層を形成する乾燥手段４３と、上記着色層形成用層を加熱するプリベーク手段４４と、上記プリベーク手段による加熱後の上記着色層形成用層を、パターン状に露光し、次いで現像液によって現像する露光・現像手段４５とが、この順で連続して配置されており、パターン状の着色層を有する上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１０を製造するものである。
また、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置４０は、上記カラーフィルタ用基板２０を、上記塗布手段４１、振動手段４２、乾燥手段４３、プリベーク手段４４、および露光・現像手段４５の順で搬送するベルトコンベア４６を有するものである。
【００９９】
本発明によれば、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、上記伝播層を介して超音波により振動させる振動手段を、上記塗布手段と、上記乾燥手段との間に有するものであることにより、本発明の製造装置によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、反射光用領域の着色層と、透過光用領域の着色層との膜厚の差が大きいものとすることができる。
また、上記伝播層を介していることにより、上記反射光用領域の着色層および上記透過光用領域の着色層の色ムラの少ないものとすることができる。さらに、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、上記反射光用領域の着色層の膜厚の均一性に優れたものとすることができる。
【０１００】
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置は、少なくとも塗布手段、振動手段、乾燥手段、およびプリベーク手段を有するものである。
以下、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置の各構成を説明する。
【０１０１】
１．塗布手段
本発明に用いられる塗布手段は、上記透明基材と、上記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板の上記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布するものである。
【０１０２】
このような塗布手段において、上記カラーフィルタ用基板の上記光路差調整部を覆うように、着色層用感光性樹脂組成物を含む着色層形成用塗工液を塗布する塗布手段としては、形成された反射光用領域の着色層形成用塗工液の膜厚を均一にすることができる手段であれば良く、具体的には、スピンコート、スプレーコート、ディップコート、ロールコート、ビードコート等を用いることができる。
【０１０３】
本発明に用いられる塗布手段によって、塗布される着色層形成用塗工液、および上記塗布手段が、上記着色層形成用塗工液を塗布する対象であるカラーフィルタ用基板としては、一般的にカラーフィルタの着色層の形成に用いられる着色層形成用塗工液および透明基材と、上記透明基材上に形成された光路差調整部とを有するカラーフィルタ用基板を用いることができる。具体的には、上記「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の「１．塗布工程」の項に記載したものと同様のものを用いることができる。
【０１０４】
２．振動手段
本発明に用いられる振動手段は、上記光路差調整部上に塗布された着色層形成用塗工液を上記透過光用領域内に流れ込ませるために、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液を、超音波を均一に伝播することができる伝播層を介して超音波により振動させるものである。
【０１０５】
このような振動手段としては、超音波を発振する超音波発振子と、上記伝播層とを少なくとも有し、上記カラーフィルタ用基板を水平に保った状態で、上記着色層形成用塗工液を均一に振動させることができるものであれば良い。具体的には、既に説明した図７および図８に示すものを挙げることができる。
【０１０６】
本発明に用いられる振動手段は、上記カラーフィルタ用基板を、一度に複数枚配置可能なものであっても良く、一枚ずつ配置可能なものであっても良い。
【０１０７】
上記振動手段に用いられる伝播層としては、超音波発振子から発振された超音波を、均一に伝播することができるものであれば良く、具体的には、上記「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の「２．振動工程」の項に記載したものと同様のものとすることができる。
【０１０８】
本発明において振動手段に用いられる超音波発振子としては、所望の周波数の超音波を、所望の出力で発振することができるものであれば良く、公知の超音波発振子を用いることができる。
【０１０９】
本発明に用いられる超音波発振子が、発振することができる超音波の周波数としては、上記着色層形成用塗工液に色ムラを生じることなく、上記透過光用領域内に流れ込ませることができるものであれば良く、具体的には上記「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の「２．振動工程」の項に記載したものと同様のものとすることができる。
【０１１０】
本発明に用いられる振動手段は、必要に応じて、上記着色層形成用塗工液を加熱する加熱装置を有するものであっても良い。上記着色層形成用塗工液を加熱することで、その粘度を低下させ、上述した振動による、上記光路差調整部上の着色層形成用塗工液の、上記カラーフィルタ用基板の透過光用領域への流れ込み量を、より多いものとすることができるからである。
【０１１１】
本発明に用いられる加熱装置としては、上記着色層形成用塗工液を直接加熱するものであっても良く、上記伝播層を加熱することにより、上記着色層形成用塗工液の加熱を行うものであっても良い。このような加熱装置としては、一般的な加熱装置を用いることができ、具体的には、オーブン、遠赤外線ヒーター、ホットプレート、および後述する温調装置等を挙げることができる。
【０１１２】
また、上記加熱装置の加熱能力としては、上記着色層形成用塗工液を、所望の温度に昇温することができるものであれば良く、具体的には、上記「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の「２．振動工程」の項に記載した、上記着色層形成用塗工液を加熱する温度まで加熱可能であることが好ましい。
【０１１３】
本発明に用いられる振動手段は、必要に応じて、上記伝播層の温度を調整する温調装置を有するものであっても良い。上記振動手段が有する超音波発振子が発振した超音波が、上記伝播層に伝播したときに、上記伝播層が過剰に加熱され冷却が必要となる可能性があるからである。このような温調装置としては、上記伝播層に含まれる振動伝播用液体を循環しながら温度調整する循環恒温装置や、クールプレート等を挙げることができる。
【０１１４】
３．乾燥手段
本発明に用いられる乾燥手段は、上記振動手段により振動させた後の上記着色層形成用塗工液を減圧乾燥し、上記着色層形成用塗工液に含まれる溶剤の除去を行い、着色層形成用層を形成するものである。
【０１１５】
本発明に用いられる乾燥手段によって、上記着色層形成用塗工液を減圧乾燥する際の減圧度は、上記着色層形成用塗工液に含まれる溶剤の含有量等に応じて適宜設定することができる。
【０１１６】
また、本発明に用いられる乾燥手段は、上記着色層形成用塗工液からの溶剤の除去を、バッチ処理で行うものであっても良く、連続処理で行うものであっても良い。
【０１１７】
本発明に用いられる乾燥手段は、必要に応じて、上記着色層形成用塗工液を加熱する加熱装置を有するものであっても良い。乾燥時間の短縮を図ることができるからである。このような加熱装置としては、公知の加熱装置を用いることができ、具体的には、遠赤外線ヒーター、ホットプレート等を用いることができる。
【０１１８】
４．プリベーク手段
本発明におけるプリベーク手段は、上記乾燥手段により形成された上記着色層形成用層を加熱することにより、上記着色層形成用層を固化するものである。
【０１１９】
本発明に用いられるプリベーク手段としては、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられるものと同様のものを用いることができ、具体的には、オーブン、遠赤外線ヒーター、ホットプレート等を挙げることができる。
【０１２０】
また、上記プリベーク手段の、上記着色層形成用層の加熱能力としては、上記着色層形成用層を所望の硬度まで焼き固めることができる温度まで加熱可能であれば良く、上記「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の「４．プリベーク工程」の項に記載した、上記着色層形成用層を加熱する温度まで加熱可能であることが好ましい。
【０１２１】
また、上記プリベーク手段によって形成される固化後の着色層形成用層の膜厚としては、上記「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の「４．プリベーク工程」の項に記載したものと同様の内容であるため、ここでの記載を省略する。
【０１２２】
５．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置は、上記塗布手段、振動手段、乾燥手段、およびプリベーク手段を少なくとも有するものであるが、通常、上記プリベーク手段後のカラーフィルタ用基板の着色層形成用層をパターン状に露光し、現像し、パターン状の着色層を形成する露光・現像手段を有するものである。
【０１２３】
上記露光・現像手段としては、上記着色層形成用層をパターン状に露光し、未露光箇所を現像により除去することによりパターン状の着色層を精度良く形成することができるものであれば良く、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられる露光・現像手段を用いることができる。
【０１２４】
上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置は、上記カラーフィルタ用基板を、公知の搬送手段、具体的には、搬送ローラ、ベルトコンベア、ハンドリングロボット等によって、上記塗布手段、振動手段、乾燥手段、およびプリベーク手段の各手段間を移動させるものであってもよい。
【０１２５】
また、本発明の製造装置によって製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタとしては、上記「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の「６．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ」の項に記載したものと同様のものを用いることができるため、ここでの記載を省略する。
【０１２６】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【０１２７】
以下、本発明について実施例を用いて具体的に説明する。
【０１２８】
［実施例1］
１．感光性樹脂層形成工程
透明基板として３００ｍｍ×４００ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ、ｉ線透過率９１％のガラス基板(コーニング社製１３１７ガラス)を準備し、この基板を定法にしたがって洗浄した。この透明基板上に下記に示す成分組成に従って調製した透明樹脂層形成用感光性樹脂組成物を塗布し、減圧乾燥を行った。
【０１２９】
（透明樹脂層形成用感光性樹脂組成物）
・メタクリル酸メチル−スチレン−アクリル酸共重合体    ４２重量部
・エピコート１８０ｓ７０(ジャパンエポキシレジン(株))    １８重量部
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート    ３２重量部
・イルガキュア９０７(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)    ８重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ３００重量部
【０１３０】
次に、８０℃のホットプレート上にて１８０秒間加熱を行った後、プロキシミティ露光機（株式会社トプコン社製  ＴＭＥ-４００Ｒ）にて所定のフォトマスクを用いて感光性樹脂層側から露光を行った。フォトマスクは石英ガラス製であり、表面の酸化クロム膜上に所定のパターンが描画してあるものを使用した。高圧水銀ランプを光源とし、条件は、露光量１００ｍＪ／ｃｍ2（波長３６５ｎｍ）とした。ＫＯＨ系のアルカリ現像液を用いて現像を行い、２００℃のオーブンにて３０分焼成を行った。これにより、線幅４０μｍ、膜厚３．０μｍの透明樹脂層を形成した。
【０１３１】
２．着色層形成工程
上記透明基板上に下記に示す成分組成に従って調製した緑色着色層形成用感光性樹脂組成物を塗布した。
【０１３２】
（緑色着色層形成用感光性樹脂組成物）
・緑色顔料(アビシア社製  モナストラルグリーンθY−C)    ４．２重量部
・黄色顔料(ＢＡＳＦ社製  パリオトールイエローＤ１８１９)    １．８重量部
・分散材(ビックケミー社製  ディスパービック１６１)    ３．０重量部
・モノマー（サートマー社製ＳＲ３９９）    ４．０重量部
・ポリマーＩＩ    ５．０重量部
・イルガキュア９０７（チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製）    １．４重量部
・（２，２’ビス（ｏ-クロロフェニル）-４,５,４',５'-テトラフェニル-１,２’-ビイミダゾール）    ０．６重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ８０．０重量部
【０１３３】
次に、伝播層を介して超音波により、４０ｋＨｚにて５分間振動させた。なお、伝播層は水を含浸した平面維持材を使用した。なお、平面維持材として、平面繊維材を使用した。その後、減圧乾燥を行い、次いで、８０℃のホットプレート上にて１８０秒間加熱を行った。次に、プロキシミティ露光機にて所定のフォトマスクを用いて感光性樹脂層側から露光を行った。条件は、露光量１００ｍＪ／ｃｍ2（波長３６５ｎｍ）とした。ＫＯＨ系のアルカリ現像液を用いて現像を行い、２００℃のオーブンにて３０分焼成を行った。
【０１３４】
[比較例1]
１．感光性樹脂層形成工程
実施例１と同様にして、線幅４０μｍ、膜厚３．０μｍの透明樹脂層を形成した。
【０１３５】
２．着色層形成工程
伝播層を介した超音波振動の伝播を行わなかった以外は、実施例１と同様にして、着色層を形成した。
【０１３６】
[比較例２]
１．感光性樹脂層形成工程
実施例１と同様にして、線幅４０μｍ、膜厚３．０μｍの透明樹脂層を形成した。
【０１３７】
２．着色層形成工程
伝播層を介した超音波振動の伝播に替えて、緑色着色層形成用感光性樹脂組成物が塗布された基板に超音波発振子を直接接触させて、４０ｋＨｚにて５分間振動させた以外は、実施例１と同様にして着色層を形成した。
【０１３８】
［比較例３］
１．感光性樹脂層形成工程
実施例１と同様にして、線幅４０μｍ、膜厚３．０μｍの透明樹脂層を形成した。
【０１３９】
２．着色層形成工程
超音波に替えて、音波により、１６０Ｈｚにて５分間振動させた以外は、実施例１と同様にして着色層を形成した。
【０１４０】
[評価]
実施例１および比較例１〜３にて作製されたカラーフィルタの着色層を測定した。結果を、下記表１に示す。
また、目視にて着色層のムラを確認した。
【０１４１】
【表１】
2009276556.tif 000003
【０１４２】
表１より、実施例１では、比較例１〜３と比較して、着色層のムラがなく、且つ、反射光用領域の着色層の薄膜化が可能となった。
なお、比較例２では、作製されたカラーフィルタにおける反射光用領域の着色層の膜厚および透過光用領域の着色層の膜厚が、ムラにより測定できなかった。
【図面の簡単な説明】
【０１４３】
【図１】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。
【図２】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。
【図３】本発明に用いられる液体層の一例を示す概略図である。
【図４】本発明に用いられる液体層の他の例を示す概略図である。
【図５】本発明に用いられる液体層の他の例を示す概略図である。
【図６】本発明に用いられる液体層の他の例を示す概略図である。
【図７】本発明における、振動工程を説明する説明図である。
【図８】本発明における、振動工程を説明する説明図である。
【図９】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置の一例を示す概略断面図である。
【図１０】一般的な、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【０１４４】
１、１０１  …  透明基材
２、１０２  …  光路差調整部
３  …  赤色着色層形成用塗工液
４  …  赤色着色層形成用層
５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ  …  赤色着色パターン、緑色着色パターン、青色着色パターン
６、１０６  …  着色層
１０、１００  …  半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ
２０  …  カラーフィルタ用基板
２１  …  振動伝播用液体
２２  …  液体層用フィルム
２３  …  伝播層
２４  …  振動槽
２５  …  超音波発振子
２６  …  平面維持材
３０  …  フォトマスク
３１  …  開口領域
３２  …  遮光領域
４０  …  半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置
４１  …  塗布手段
４２  …  振動手段
４３  …  乾燥手段
４４  …  プリベーク手段
４５  …  露光・現像手段
【図１】
2009276556.tif 000004
【図２】
2009276556.tif 000005
【図３】
2009276556.tif 000006
【図４】
2009276556.tif 000007
【図５】
2009276556.tif 000008
【図６】
2009276556.tif 000009
【図７】
2009276556.tif 000010
【図８】
2009276556.tif 000011
【図９】
2009276556.tif 000012
【図１０】
2009276556.tif 000013