(57)【要約】【課題】長時間駆動時のワイピングによる着弾の乱れを抑制し、長時間駆動にも安定した着弾精度を可能とするインクジェットヘッドユニットを提供する。【解決手段】インク吐出孔を有するノズルプレートを前端面に有し、該インク吐出孔よりインク滴を吐出するインクジェットヘッド；および該インクジェットヘッドの前端面上においてノズルプレートの外周を覆うように形成されたカバー部材を備え、該カバー部材が表面に２種類以上のフッ素樹脂を含有する樹脂膜を有することを特徴とするインクジェットヘッドユニット。【選択図】図１
2009113224.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出孔を有するノズルプレートを前端面に有し、該インク吐出孔よりインク滴を吐出するインクジェットヘッド；および
該インクジェットヘッドの前端面上においてノズルプレートの外周を覆うように形成されたカバー部材を備え、
該カバー部材が表面に２種類以上のフッ素樹脂を含有する樹脂膜を有することを特徴とするインクジェットヘッドユニット。
【請求項２】
樹脂膜が、ポリテトラフルオロエチレンとテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体を含有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドユニット。
【請求項３】
テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体の含有率がフッ素樹脂全量に対して５〜２０重量％であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッドユニット。
【請求項４】
樹脂膜が、ポリテトラフルオロエチレンとテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体を含有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドユニット。
【請求項５】
テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体の含有率がフッ素樹脂全量に対して５〜２０重量％であることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッドユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のインク吐出孔を有するノズルプレートを介してインク滴を吐出するインクジェットヘッドユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１０に示すような、一般的なインクジェットヘッド１０１において、高精度な印刷を行うためには、前端面１０２に配置されたノズルプレート１０３のインク吐出孔１０４からインク滴を吐出させるに際し、インク滴を精度よく被印刷体に着弾させることが必要である。そのためには、インク吐出孔と被印刷体との相対位置を正確に制御する必要がある。さらに、吐出するインク滴の量を制御して微小化させること、及び、インク滴の吐出方向を正確に制御することが必要である。
【０００３】
その中でも、インク滴の吐出方向を正確に制御するためには、インク滴をノズルプレートに対して垂直方向に吐出する必要がある。しかし、吐出されたインク滴と吐出孔近傍に付着したインクとが干渉する等の原因によって、インク滴を安定的に垂直方向に吐出することは容易ではない。このため、吐出孔近傍に付着したインク滴はワイピングによって除去している。
【０００４】
一方、ノズルプレート１０３は、インク吐出孔１０４をインクジェットヘッド内部のインク流路に対応させるように、精度よくインクジェットヘッドの前端面１０２に接着・配置させる必要がある。ノズルプレートの接着面積は可能な限り小さい方が望ましい。そのため、図１０に示すように、ノズルプレート１０３はインクジェットヘッドの前端面１０２におけるインク流路開口部の近傍領域のみに対応するように、比較的小さい寸法で使用される。
【０００５】
しかし、そのような寸法を有するノズルプレート１０３はインクジェットヘッド１０１の前端面１０２から全体として突出するため、ワイピングを行うと、ノズルプレート１０３の端部にインク滴が残留し、硬化した。その結果、硬化成分がワイプ部材に付着するなどして、ワイプ性能が劣化した。ワイプ性能の低下は、図１０中、下から上の方向でワイピングを行った場合、特に顕著であった。
【０００６】
そこで、ノズルプレートの突出を低減するために、図１１に示すように、インクジェットヘッド１０１の前端面１０２におけるノズルプレート１０３の外周領域にカバー部材１０５を配置する試みがなされている（特許文献１）。これによって、ノズルプレート１０３とカバー部材１０５とを略面一にできる。
【０００７】
しかしながら、カバー部材１０５がメタルなどのインクの濡れ性が良い材料からなっていると、カバー部材１０５にインク滴が残留し、顔料インクなどの樹脂成分を含有するインクの場合、残留インクの粘度が上昇した。その後、ワイピングを行うと、残留インクはインク吐出口１０４に運ばれ、着弾精度の劣化を招いた。また、メタルなどからなるカバー部材１０４がアルミナ系研磨剤などによって研磨されると、研磨砥粒がカバー部材表面へ残留し、これによってワイピングの際にワイプ部材が傷つき、ワイプ不良を引き起こした。その結果、上記と同様に残留インクの粘度が上昇し、当該残留インクがワイピングによって、インク吐出孔１０４に運ばれると、やはり着弾精度の劣化を招いた。
【０００８】
そこで、カバー部材１０４に撥水処理を施し、カバー部材上にインクが残らないようにしていた。ここで、２μｍ以下の比較的膜厚の薄い撥水膜では、上記研磨砥粒の凹凸を平坦化できないので、ワイプ部材が傷ついた。このため、３０μｍ以上の厚さを有する、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）をカバー部材上に塗布し、ワイプ時のインクのカバー部材上への残留を防止していた。
【特許文献１】特開平６−２５５０９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、カバー部材上にＰＦＡを塗布した、上記構成のインクジェットヘッドユニットを連続的に駆動させた場合、以下のような問題が発生した。
上記ヘッドの駆動初期の着弾精度のデータを、例えば図５（Ａ）に示す。ここで、Ｘ方向はノズルプレート１０３の吐出孔列方向、Ｙ方向は当該吐出孔列に対する直行方向である。また前記Ｙ方向はワイプ部材がワイピングする方向と一致している。図５（Ａ）に示すように、ヘッドの初期着弾はＸ方向もＹ方向も同様に±３μｍ以内の良好な着弾精度を示している。図５（Ｂ）はインクジェットヘッドユニットを連続駆動し、ワイピングを実施した後の着弾精度を示す図である。図５（Ｂ）におけるＸ方向およびＹ方向はそれぞれ図５（Ａ）においてと同様である。図５（Ｂ）より、長時間連続駆動することによって着弾が劣化していることがわかる。特にワイピング方向であるＹ方向に特異的に着弾ズレを発生している吐出孔が多く見られている。
【００１０】
本発明の目的は、安定して高い着弾精度を維持することのできるインクジェットヘッドユニットを提供することである。詳しくは、本発明の解決すべき課題は、上記構成のインクジェットヘッドユニットにおいて、長時間駆動においても、Ｘ方向およびＹ方向、特にＹ方向への特異的な着弾ズレを生じるインク吐出孔の発生を抑制することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（１）第１の発明に係るインクジェットヘッドユニットは、
インク吐出孔を有するノズルプレートを前端面に有し、該インク吐出孔よりインク滴を吐出するインクジェットヘッド；および
該インクジェットヘッドの前端面上においてノズルプレートの外周を覆うように形成されたカバー部材を備え、
該カバー部材が表面に２種類以上のフッ素樹脂を含有する樹脂膜を有することを特徴とする。これによって、長時間駆動において、特異的な着弾ズレを生じるインク吐出孔の発生を抑制できる。
【００１２】
（２）第２の発明に係るインクジェットヘッドユニットは、第１の発明の一実施形態であり、樹脂膜が、ポリテトラフルオロエチレンとテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体を含有することを特徴とする。これによって、長時間駆動において、特異的な着弾ズレを生じるインク吐出孔の発生を抑制できる。
【００１３】
（３）第３の発明に係るインクジェットヘッドユニットは、第２の発明において、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体の含有率がフッ素樹脂全量に対して５〜２０重量％であることを特徴とする。これによって、長時間駆動において、特異的な着弾ズレを生じるインク吐出孔の発生をより有効に抑制できる。
【００１４】
（４）第４の発明に係るインクジェットヘッドユニットは、第１の発明の一実施形態であり、樹脂膜が、ポリテトラフルオロエチレンとテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体を含有することを特徴とする。これによって、長時間駆動においても、特異的な着弾ズレを生じるインク吐出孔の発生を抑制できる。
【００１５】
（５）第５の発明に係るインクジェットヘッドユニットは、第４の発明において、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体の含有率がフッ素樹脂全量に対して５〜２０重量％であることを特徴とする。これによって、長時間駆動においても、特異的な着弾ズレを生じるインク吐出孔の発生をより有効に抑制できる。
【発明の効果】
【００１６】
（１）第１の発明によれば、２種類以上のフッ素樹脂を含有する樹脂膜をカバー部材表面上に形成することで、フッ素樹脂として１種類のものしか含有しない樹脂膜の場合と比較して、耐磨耗性の向上を可能とする。
（２）第２の発明によれば、ポリテトラフルオロエチレンとテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体を含有する樹脂膜をカバー部材上へ形成することで、耐磨耗性の向上を可能とする。
（３）第３の発明によれば、第２の発明において、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体の含有率をフッ素樹脂全量に対して５〜２０重量％とすることで、ワイピングにおけるインク吐出孔エッジへの付着物発生をより有効に無くし、より一層安定した着弾精度を可能とする。
（４）第４の発明によれば、ポリテトラフルオロエチレンとテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体を含有する樹脂膜をカバー部材上へ形成することで、耐磨耗性の向上を可能とする。
（５）第５の発明によれば、第４の発明において、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体の含有率をフッ素樹脂全量に対して５〜２０重量％とすることで、ワイピングにおけるノズル孔エッジへの付着物発生をより有効に低減し、より一層安定した着弾精度を可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明のインクジェットヘッドユニットは、少なくともインクジェットヘッドおよびカバー部材を備えたものである。本発明のインクジェットヘッドユニットの一実施形態を図１（Ａ），（Ｂ）に示す。図１（Ａ）は、インクジェットヘッド１にカバー部材２が取り付けられた状態のインクジェットヘッドユニット１０の概略構成図を示し、図１（Ｂ）は、インクジェットヘッド１からカバー部材２が取り外された状態のインクジェットヘッドユニット１０の概略分解図を示す。
【００１８】
インクジェットヘッド１は、インク吐出孔４を有するノズルプレート３を前端面２０に有し、該インク吐出孔４よりインク滴を吐出するようになっている。インクジェットヘッド１の詳しい構成は、前端面のインク吐出孔よりインク滴を吐出する限り特に制限されない。
【００１９】
インクジェットヘッド１は、例えば図２に示すように、流路形成部材１１、フィルタユニット１２及び、ヘッドチップ（図示しない）と、ヘッドチップ前端面へノズルプレート３を備えており、通常はユニットを構成するための台座となるためのベース１３をさらに備えている。図２はインクジェットヘッド１を前端面２０側から見たときの概略見取り図である。流路形成部材１１およびベース１３はまとめてベースユニット１４と呼ばれるものである。
【００２０】
流路形成部材１１は、インク流路１５を形成するためのインク流路を主面１６に備えている。流路形成部材１１の主面１６にフィルタユニット１２が接着されることで、溝部とフィルタユニット１２とからインク流路１５が形成される。流路形成部材１１およびフィルタユニット１２は、通常、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等の材料から構成される。流路形成部材１１とフィルタユニット１２とを接着するための接着剤は特に制限されず、通常はエポキシ系接着剤が使用される。
【００２１】
ノズルプレート３は、ヘッドチップ（図示しない）の前端面へ接着されている。ノズルプレート３は、各インク流路１５に対応する位置にインク吐出孔４を備え、インクは、インクジェットヘッド１から吐出孔４を通して吐出される。ノズルプレート３は通常、ポリイミド等の材料から構成される。ノズルプレート３を接着するための接着剤は特に制限されず、通常はエポキシ系接着剤が使用される。
【００２２】
ベース１３は、通常、ステンレス等の材料から構成される。
【００２３】
インクジェットヘッド１のインク滴吐出方式は特に制限されず、従来のインクジェットヘッドで採用されている方式が採用可能である。例えば、ピエゾ方式（圧電方式）、サーマル方式等が挙げられる。
【００２４】
カバー部材２は、インクジェットヘッド１の前端面２０上において、ノズルプレート３の外周を覆うように形成される。詳しくは、カバー部材２はノズルプレート３より僅かに大きい寸法の開口部２１を有し、インクジェットヘッド１の前端面２０におけるノズルプレート３の外周領域に接着・配置される。これによって、ノズルプレート３とカバー部材２とを略面一に配置でき、ノズルプレート３の突出を低減できる。例えば、カバー部材２表面からのノズルプレートの突出厚みは通常、０〜３００μｍ、特に１００〜２００μｍであってよい。
【００２５】
カバー部材２における開口部２１の内周面と、ノズルプレート３の外周面との隙間は通常、接着剤５により封止される。接着剤５としてはワイプ部材との接触によっても分離することがないものであればよく、例えば、エポキシ系接着剤等が使用可能である。カバー部材２を前端面２０に接着するための接着剤としては、上記接着剤５と同様のものが使用可能である。
【００２６】
カバー部材２はステンレス（ＳＵＳ３１６）等の金属から構成され、表面に特定の樹脂膜が形成されて使用される。
樹脂膜は、２種類以上、特に２種類のフッ素樹脂を含有させたものである。これによって、インクジェットヘッドユニットの着弾精度を高く、かつ安定して維持でき、結果として、長時間駆動においても、Ｘ方向およびＹ方向、特にＹ方向への特異的な着弾ズレを生じるインク吐出孔の発生を抑制できる。フッ素樹脂として１種類しか含有しない樹脂膜を形成すると、長時間駆動時においてワイピング後に着弾精度が低下する。
【００２７】
本明細書中、Ｘ方向とはノズルプレートが有するインク吐出孔の列の方向を意味し、Ｙ方向とは当該列方向に対して垂直方向を意味する。
【００２８】
樹脂膜に含有される２種類以上のフッ素樹脂はモノマー成分が異なるフッ素含有ポリマーである。樹脂膜は、着弾精度のさらなる向上の観点から、モノマー成分として含有される全てのモノマーがフッ素原子を含有するフッ素樹脂を２種類以上で含有することが好ましく、より好ましくはモノマー成分として含有される全てのモノマーが水素原子を有さないフッ素含有モノマー（パーフルオロモノマー）であるフッ素樹脂を２種類以上で含有する）。パーフルオロモノマーは塩素原子、フッ素等のハロゲン原子を有してもよい。樹脂膜に含有される２種類以上のフッ素樹脂の好ましい具体例として、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリヘキサフルオロプロピレン、ポリパーフルオロアルキルビニルエーテル、ヘキサフルオロプロピレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロイジオキソールコポリマー、ポリクロロトリフルオロエチレン等が挙げられ、本発明においてはそれらのポリマーからなる群から選択されることが好ましい。着弾精度の向上の観点から、最も好ましい樹脂膜は少なくともＰＴＦＥを含有する。
【００２９】
上記ポリマーを構成するパーフルオロアルキルビニルエーテルモノマーのパーフルオロアルキル基は炭素原子数が１〜６、特に４〜６であることが好ましい。
【００３０】
フッ素樹脂の分子量は本発明の目的が達成される限り特に制限されず、通常は重量平均分子量（Ｍｗ）で２０〜１０００万のフッ素樹脂が使用される。特に、ＰＴＦＥのＭｗは５００〜１０００万、ＰＦＡのＭｗは３０〜６０万、ＦＥＰのＭｗは２０〜８０万、ＥＴＦＥのＭｗは２０〜６０万が好ましい。
そのような好ましいＭｗを有するフッ素樹脂は以下の市販品として入手可能である。
ＰＴＦＥは、例えば、三井・デュポンフロロケミカル社製の製品名３１−ＪＲとして入手可能である。
ＦＥＰは、例えば、三井・デュポンフロロケミカル社製の製品名１２０−Ｊとして入手可能である。
ＰＦＡは、例えば、三井・デュポンフロロケミカル社製の製品名９７３８−Ｊとして入手可能である。
【００３１】
重量平均分子量は溶液の浸透圧を測定して求める方法などによって測定できる。
【００３２】
２種類以上のフッ素樹脂の好ましい組み合わせを以下に示す；
（１）ＰＴＦＥ−ＦＥＰ；
（２）ＰＴＦＥ−ＰＦＡ；
（３）ＰＴＦＥ−ＦＥＰ−ＰＦＡ；
（４）ＰＦＡ−ＦＥＰ；
（５）ＰＴＦＥ−ＥＴＦＥ−ＦＥＰ；
（６）ＰＴＦＥ−ＥＴＦＥ−ＰＦＡ。
【００３３】
２種類以上のフッ素樹脂の含有率は本発明の目的が達成される限り特に制限されず、通常は各フッ素樹脂がフッ素樹脂全量に対して１重量％以上、特に５〜９５重量％であればよい。
【００３４】
特にＰＴＦＥを使用する場合、例えば上記組み合わせ（１）〜（３）、（５）および（６）の場合、ＰＴＦＥ以外のフッ素樹脂の含有率はフッ素樹脂全量に対して１〜３０重量％、特に５〜２０重量％であることが好ましい。
【００３５】
樹脂膜は、２種類以上のフッ素樹脂および所望により上記添加剤を液中に分散させて塗布・加熱溶融させて成膜する方法によって製造できる。
樹脂膜の膜厚（乾燥後）は特に制限されず、通常は１０〜１００μｍ、特に５０〜６０μｍであればよい。
【００３６】
カバー部材２における樹脂膜が形成される領域は、インクが付着し得る面であればよく、樹脂膜は通常、カバー部材における接着剤との接触面以外の全ての面に形成される。例えば、カバー部材における前端面２０との接着面を裏面としたとき、カバー部材２を表面側からみたときの見取り図を図３（Ａ）に示し、カバー部材２を裏面側からみたときの見取り図を図３（Ｂ）に示す。図３（Ａ）および（Ｂ）において、樹脂膜が形成される領域を変色領域で示す。すなわち、樹脂膜は、カバー部材２の表面（１つの表面）および外周面（４つの端面）に形成される。カバー部材２の裏面および開口部２１の内周面は、接着剤を用いて接着されるため、それらの面に樹脂膜が形成されると、接着強度に問題が生じる。樹脂膜が形成されない領域は、カバー部材を構成する金属が露出している。
【００３７】
本発明のインクジェットヘッドユニットのワイピング方法を、図４を用いて簡単に示す。
メンテナンス部材２２に、ワイピングを行うワイプ部材２３を装着する。ワイプ部材２３として、パーフルオロフッ素ゴムを使用できる。カバー部材２を装着し、カバー部材とノズルプレートとの隙間を接着剤にて封止したインクジェットヘッドユニット１０を、メンテナンス部材２２と対面するようにセットする。次に、図４（Ａ）に示すように、ワイプ部材２３を、ベースユニット１４側からカバー部材２に当接させ、図４（Ｂ）に示すように、ノズルプレート３をワイピングし、図４（Ｃ）に示すように、ノズルプレートのインク吐出孔列に直交する方向で、フィルタユニット１２側へワイピングを実施していく。
【実施例】
【００３８】
＜実験例１＞
（インクジェットヘッドユニットの製造）
ＰＦＡ（三井・デュポンフロロケミカル社製、製品名９７３８−Ｊ）を水中に界面活性剤で分散し、塗液を調製した。
塗液を、図３（Ａ）および（Ｂ）に示すように、カバー部材（ＳＵＳ３１６）における前端面２０との接着面を裏面としたときの表面（１つの表面）および外周面（４つの面）に塗布し、加熱溶融し、厚み６０μｍの樹脂膜を形成した。
得られたカバー部材を、図１（Ｂ）に示すように、インクジェットヘッド１の前端面２０上において、ノズルプレート３の外周を覆うようにエポキシ系接着剤により接着した。カバー部材２とノズルプレート３との隙間を上記接着剤にて封止し、図１（Ａ）に示すようなインクジェットヘッドユニット１０を製造した。
【００３９】
インクジェットヘッドユニットを上記プリンタに搭載し、初期着弾評価→長時間駆動によるワイピング→着弾評価の流れで評価を実施した。なお、着弾評価結果は、ノズルプレートにおける各インク吐出孔からのＸ方向およびＹ方向のズレで示した。長時間駆動では、各インク吐出孔よりインク滴を２４時間連続して吐出させた。ワイピングは長時間駆動後に行った。ワイピング条件としては、カバー部材２とワイプ部材２３の当接量を０．６ｍｍ、ワイピングの際の移動速度を２ｍｍ／ｓｅｃとし、ワイピング回数１０回にて実施した。
【００４０】
（評価）
初期着弾結果を図５（Ａ）に示す。ワイピング後の着弾結果を図５（Ｂ）に示す。図５（Ｂ）では、初期着弾に比べ、Ｙ方向に大きな着弾ズレの発生が確認された。詳しくはＹ方向におけるズレが±５μｍの範囲外の着弾が確認され、実用上問題があった。着弾の悪い吐出孔を顕微鏡観察すると、吐出孔のエッジに付着物が観察され、この付着物をＥＤＸにて解析した結果、多量のフッ素（Ｆ）が検出された。本構成のインクジェットヘッドユニットで、カバー部材以外にフッ素（Ｆ）を多量に含有する材料を用いている部材はなく、カバー部材上に形成したＰＦＡ樹脂膜が要因であると断定した。
【００４１】
＜実験例２＞
以下に示す各種組成の塗液を用いたこと以外、実験例１と同様の方法により、インクジェットヘッドユニットの製造および評価を行った。いずれの塗液を用いて形成された樹脂膜も厚みは６０μｍであった。
【００４２】
・ＦＥＰ１％樹脂膜用塗液
ＰＴＦＥ（三井・デュポンフロロケミカル社製、製品名３１−ＪＲ）９９重量部およびＦＥＰ（三井・デュポンフロロケミカル社製、製品名１２０−Ｊ）１重量部を用いたこと以外、実験例１と同様の方法により、塗液を調製した。
・ＦＥＰ５％樹脂膜用塗液
ＰＴＦＥを９５重量部、ＦＥＰを５重量部用いたこと以外、ＦＥＰ１％樹脂膜用塗液と同様の方法により、塗液を調製した。
・ＦＥＰ１０％樹脂膜用塗液
ＰＴＦＥを９０重量部、ＦＥＰを１０重量部用いたこと以外、ＦＥＰ１％樹脂膜用塗液と同様の方法により、塗液を調製した。
・ＦＥＰ２０％樹脂膜用塗液
ＰＴＦＥを８０重量部、ＦＥＰを２０重量部用いたこと以外、ＦＥＰ１％樹脂膜用塗液と同様の方法により、塗液を調製した。
【００４３】
ＦＥＰ１％樹脂膜を有するカバー部材を用いたインクジェットヘッドユニットの初期着弾結果を図６（Ａ）に示し、ワイピング後の着弾結果を図６（Ｂ）示す。図６（Ｂ）では、Ｘ方向およびＹ方向に着弾ズレが発生しているものの、いずれの方向においてもズレは±５μｍの範囲内であり、実用上問題がなかった。
ＦＥＰ含有率が５％、１０％および２０％の樹脂膜を有するカバー部材を用いたインクジェットヘッドユニットについて、ワイピング後の着弾結果はいずれも初期着弾結果から特異的な変化は見られず、良好な結果となった。詳しくは、ＦＥＰ含有率が５％、１０％および２０％の樹脂膜を有するカバー部材を用いたインクジェットヘッドユニットのワイピング後の着弾結果は、Ｘ方向およびＹ方向のいずれの方向においてもズレが±３μｍの範囲内であり、好ましい結果を示した。代表例として、ＦＥＰ含有率が１０％のカバー部材を使用したインクジェットヘッドユニットの初期着弾結果を図７（Ａ）に、ワイピング後の着弾結果を図７（Ｂ）に示す。なお、これらの３条件のインクジェットヘッドユニットの評価後のノズルプレート吐出孔を顕微鏡にて観察した結果、吐出孔エッジに付着物は観察されなかった。
【００４４】
＜実験例３＞
以下に示す各種組成の塗液を用いたこと以外、実験例１と同様の方法により、インクジェットヘッドユニットの製造および評価を行った。いずれの塗液を用いて形成された樹脂膜も厚みは６０μｍであった。
【００４５】
・ＰＦＡ１％樹脂膜用塗液
ＰＴＦＥ（三井・デュポンフロロケミカル社製、製品名３１−ＪＲ）９９重量部およびＰＦＡ（三井・デュポンフロロケミカル社製、製品名９７３８−Ｊ）１重量部を用いたこと以外、実験例１と同様の方法により、塗液を調製した。
・ＰＦＡ５％樹脂膜用塗液
ＰＴＦＥを９５重量部、ＰＦＡを５重量部用いたこと以外、ＰＦＡ１％樹脂膜用塗液と同様の方法により、塗液を調製した。
・ＰＦＡ１０％樹脂膜用塗液
ＰＴＦＥを９０重量部、ＰＦＡを１０重量部用いたこと以外、ＰＦＡ１％樹脂膜用塗液と同様の方法により、塗液を調製した。
・ＰＦＡ２０％樹脂膜用塗液
ＰＴＦＥを８０重量部、ＰＦＡを２０重量部用いたこと以外、ＰＦＡ１％樹脂膜用塗液と同様の方法により、塗液を調製した。
【００４６】
ＰＦＡ１％樹脂膜を有するカバー部材を用いたインクジェットヘッドユニットの初期着弾結果を図８（Ａ）に示し、ワイピング後の着弾結果を図８（Ｂ）示す。図８（Ｂ）では、Ｘ方向およびＹ方向に着弾ズレが発生しているものの、いずれの方向においてもズレは±５μｍの範囲内であり、実用上問題がなかった。
ＰＦＡ含有率が５％、１０％および２０％の樹脂膜を有するカバー部材を用いたインクジェットヘッドユニットについて、ワイピング後の着弾結果はいずれも初期着弾結果から特異的な変化は見られず、良好な結果となった。詳しくは、ＰＦＡ含有率が５％、１０％および２０％の樹脂膜を有するカバー部材を用いたインクジェットヘッドユニットのワイピング後の着弾結果は、Ｘ方向およびＹ方向のいずれの方向においてもズレが±３μｍの範囲内であり、好ましい結果を示した。代表例として、ＰＦＡ含有率が１０％のカバー部材を使用したインクジェットヘッドユニットの初期着弾結果を図９（Ａ）に、ワイピング後の着弾結果を図９（Ｂ）に示す。なお、これらの３条件のインクジェットヘッドユニットの評価後のノズルプレート吐出孔を顕微鏡にて観察した結果、吐出孔エッジに付着物は観察されなかったものの、１μｍ以下の微小な付着物がノズルにて観察された。しかし、付着が見られた１μｍ以下の異物は、吐出孔エッジに付着したとしても、着弾に影響を及ぼす事は無いレベルのものである。
【００４７】
以上のように本実施形態によれば、カバー部材２表面の樹脂膜を、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を主成分として、ＦＥＰ（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体）またはＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）を少なくとも１重量％以上の含有率で形成することにより、耐磨耗性の向上を図ることが可能となり、長時間駆動における繰り返しのワイピングにおいても、着弾へ影響する付着物を抑制でき、安定した着弾精度を持続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】（Ａ）および（Ｂ）は本発明のインクジェットヘッドユニットの構成を示す図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドユニットを構成するインクジェットヘッドの構成を示す図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッドユニットを構成するカバー部材の構成を示す図である。
【図４】ワイピング方法の実施例を示す図である。
【図５】実験例１（カバー部材の樹脂膜；ＰＦＡ１００％）の着弾結果を示す図である。
【図６】実験例２（カバー部材の樹脂膜；ＰＴＦＥ＋ＦＥＰ（１％））の着弾結果を示す図である。
【図７】実験例２（カバー部材の樹脂膜；ＰＴＦＥ＋ＦＥＰ（１０％））の着弾結果を示す図である。
【図８】実験例３（カバー部材の樹脂膜；ＰＴＦＥ＋ＰＦＡ（１％））の着弾結果を示す図である。
【図９】実験例３（カバー部材の樹脂膜；ＰＴＦＥ＋ＰＦＡ（１０％））の着弾結果を示す図である。
【図１０】従来のインクジェットヘッドの構成を示す図である。
【図１１】従来のインクジェットヘッドユニットの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１：インクジェットヘッド、２：カバー部材、３：ノズルプレート、４：インク吐出孔、５：周辺封止用接着剤、１０：インクジェットヘッドユニット、１１：流路形成部材、１２：フィルタユニット、１３：ベース、１４：ベースユニット、１５：インク流路、１６：主面、２０：前端面、２１：開口部、２２：クリーニング部材、２３：ワイプ部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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