(57)【要約】【課題】測定装置と測定対象物との接続及び離脱が繰り返されても、接続を安定させることが可能な中継装置を提供する。【解決手段】コネクタ２０が設けられた第１の基板１４を有する被測定物と前記被測定物の性能を測定する測定装置２００とを接続する中継装置３００であって、前記コネクタ２０に挿入される第２の基板４８と、前記第１の基板１４に対して、前記第２の基板４８が前記コネクタ２０に挿入される方向に加圧し、その反力で前記第２の基板４８を前記コネクタ２０から離脱させる離脱補助部と、を有する。【選択図】図５
2009000584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コネクタが設けられた第１の基板を有する被測定物と前記被測定物の性能を測定する測定装置とを接続する中継装置であって、
前記コネクタに挿入される第２の基板と、
前記第１の基板に対して、前記第２の基板が前記コネクタに挿入される方向に加圧し、その反力で前記第２の基板を前記コネクタから離脱させる離脱補助部と、を有することを特徴とする中継装置。
【請求項２】
前記第２の基板は、硬質基板であることを特徴とする請求項１に記載の中継装置。
【請求項３】
前記離脱補助部は、
一方の端部近傍を支点として回動し、他方の端部近傍を力点とし、前記支点と前記力点との間に作用点を有するレバーと、
前記第２の基板が前記コネクタに抜き差しされる方向に往復移動が可能に支持されるとともに、前記レバーを前記支点中心に回動させたときに前記作用点が描く軌跡内に第１の頂面が位置する加圧ピンと、を有することを特徴とする請求項１または２に記載の中継装置。
【請求項４】
前記加圧ピンは、前記第１の頂面の反対側に第２の頂面を有し、
前記第１の頂面が前記レバーの前記作用点によって加圧され、前記第２の基板が前記コネクタに挿入される方向に移動するに従って、前記第２の頂面が前記第１の基板に対して押圧することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の中継装置。
【請求項５】
前記レバーは、回動されることにより前記加圧ピンの前記第１の頂面に圧接される前記作用点の位置に、前記加圧ピンの前記第１の頂面側に凸なる曲面を有する突起部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の中継装置。
【請求項６】
前記被測定物の前記第１の基板上には間隔をあけて並列する２つの前記コネクタが設けられており、
前記第２の基板は、２つの前記コネクタの１つずつに対応して２つ設けられ、
前記加圧ピンの前記第２の頂面が、２つの前記コネクタの間の前記第１の基板の領域の中心近傍を押圧することを特徴とする請求項４に記載の中継装置。
【請求項７】
前記被測定物は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の中継装置。
【請求項８】
請求項７に記載の中継装置と、
前記液滴吐出ヘッドの前記液滴の吐出を制御する制御部と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出特性を測定する測定部と、を有することを特徴とする測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被測定物と測定装置とを接続する中継装置およびそれを用いた測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置のカラーフィルタ、配向膜の成膜等の分野に液滴吐出装置が利用されている。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。液滴吐出装置では、これらのノズルから液状体を液滴として吐出することにより、基板等の被吐出媒体としてのワーク上に液状体からなるパターンの描画を行う。
【０００３】
近年、このパターンは微細化が進んでおり、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴を精度良く制御することが重要となってきている。液滴吐出ヘッドから吐出される液滴を精度良く制御するためには、液滴吐出ヘッドの吐出特性を正しく把握することが極めて重要となっている。液滴吐出ヘッドの吐出特性を測定する装置としては、液滴の着弾精度を測定する吐出精度測定手段等を備える評価試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、液滴吐出ヘッドと装置とを電気的に接続する方法として、装置側に設けられたフレキシブルフラットケーブル（以下、ＦＦＣという）を、液滴吐出ヘッドに設けられたコネクタに挿入して接続することが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３６１２３４号公報
【特許文献２】特開２００２−１４９１１５号公報（８頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述の評価試験装置は、液滴吐出ヘッドを液滴吐出装置に組み込む前に、当該液滴吐出ヘッドの吐出特性を評価する。装置側に設けられたＦＦＣを、評価される液滴吐出ヘッドのコネクタに挿入する構成を採用した評価試験装置では、一つのＦＦＣを複数の液滴吐出ヘッドのコネクタに抜き挿しする必要がある。ＦＦＣをコネクタから抜き去るときに斜めの抜き力が加わると、接続端子部の折れ曲がりが発生しやくなる。ＦＦＣの端子部の折れ曲がりが発生すると、接続すべき端子の位置がずれやすくなり、測定装置と液滴吐出ヘッドとの電気的接続が不安定になってしまう。
【０００６】
つまり、従来の測定装置は、被測定物との接続および離脱が繰り返されると、測定装置と被測定物との電気的接続を安定させることが困難であるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
（適用例１）コネクタが設けられた第１の基板を有する被測定物と前記被測定物の性能を測定する測定装置とを接続する中継装置であって、前記コネクタに挿入される第２の基板と、前記第１の基板に対して、前記第２の基板が前記コネクタに挿入される方向に加圧し、その反力で前記第２の基板を前記コネクタから離脱させる離脱補助部と、を有することを特徴とする中継装置。
【０００９】
この構成によれば、第２の基板を、被測定物の第１の基板に設けられたコネクタから離脱させる離脱補助部が設けられている。そのため、第２の基板を、コネクタから離脱させやすくすることができる。さらに、離脱補助部は、第２の基板がコネクタに挿入される方向に、第１の基板を加圧してその反力で第２の基板をコネクタから離脱させる。その結果、斜めの抜き力等のムリな力が加わることを低減させることができ、第２の基板の折れ曲がりを低減させることができる。従って、折れ曲がりによる端子の位置ずれを低減させやすくすることができ、測定装置と被測定物との電気的接続を安定させやすくすることが可能になる。
【００１０】
（適用例２）前記第２の基板は、硬質基板であることを特徴とする上記中継装置。
【００１１】
この構成によれば、コネクタに接続されその後離脱される基板として、硬質基板を採用している。硬質基板は、一定に硬さを有しているため曲がりにくい。そのため、被測定物と測定装置との接続と離脱とを繰り返しても接続端子部の折れ曲がりを低減させることができる。
【００１２】
（適用例３）前記離脱補助部は、一方の端部近傍を支点として回動し、他方の端部近傍を力点とし、前記支点と前記力点との間に作用点を有するレバーと、前記第２の基板が前記コネクタに抜き差しされる方向に往復移動が可能に支持されるとともに、前記レバーを前記支点中心に回動させたときに前記作用点が描く軌跡内に第１の頂面が位置する加圧ピンと、を有することを特徴とする上記中継装置。
【００１３】
（適用例４）前記加圧ピンは、前記第１の頂面の反対側に第２の頂面を有し、前記第１の頂面が前記レバーの前記作用点によって加圧され、前記第２の基板が前記コネクタに挿入される方向に移動するに従って、前記第２の頂面が前記第１の基板に対して押圧することを特徴とする上記中継装置。
【００１４】
これらの構成によれば、レバーの力点に力を加え支点を中心に回動させることにより、力点に加わった力を「梃子の原理」によって作用点で増幅させることができる。レバーの作用点は、回動することによって加圧ピンの第１の頂面に圧接する。加圧ピンは、増幅された力を第１の頂面で受けて第２の基板がコネクタに挿入された方向と同一方向に移動して、第２の頂面が第１の基板の面に圧接する。すなわち、中継装置に設けられた加圧ピンは、「梃子の原理」によって増幅された力で第１の基板の面を押圧することができる。
中継装置に設けられた第２の基板は、中継装置に設けられた加圧ピンが第１の基板の面を押圧する力の反力を受けて、コネクタから離脱される。すなわち、「梃子の原理」を用いることによって、中継装置に設けられた第２の基板を第１の基板に設けられたコネクタからより少ない力で離脱させることができる。
【００１５】
（適用例５）前記レバーは、回動されることにより前記加圧ピンの前記第１の頂面に圧接される前記作用点の位置に、前記加圧ピンの前記第１の頂面側に凸なる曲面を有する突起部が形成されていることを特徴とする上記中継装置。
【００１６】
この構成によれば、レバーは、作用点の位置に設けられた曲面を有する突起部で加圧ピンを加圧することができる。そのため、加圧ピンへの加圧動作をスムーズに行うことができる。
【００１７】
（適用例６）前記被測定物の前記第１の基板上には間隔をあけて並列する２つの前記コネクタが設けられており、前記第２の基板は、２つの前記コネクタの１つずつに対応して２つ設けられ、前記加圧ピンの前記第２の頂面が、２つの前記コネクタの間の前記第１の基板の領域の中心近傍を押圧することを特徴とする上記中継装置。
【００１８】
この構成によれば、加圧ピンの第２の頂面は、第１の基板の２つのコネクタの間の領域の中心近傍を押圧することができる。そのため、２つの第２の基板に対してほぼ均等な反力を与えることができ、２つの第２の基板を離脱させやすくすることができる。
【００１９】
（適用例７）前記被測定物は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドであることを特徴とする上記中継装置。
【００２０】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドを測定装置に接続する中継装置において、第２の基板を液滴吐出ヘッドに設けられたコネクタから離脱させやすくすることができる。そのため、第２の基板の折れ曲がりを低減させることができ、折れ曲がりによる端子の位置ずれを低減させやすくすることができる。従って、測定装置と液滴吐出ヘッドとの電気的接続を安定させやすくすることが可能になる。
【００２１】
（適用例８）上記の中継装置と、前記液滴吐出ヘッドの前記液滴の吐出を制御する制御部と、前記液滴吐出ヘッドの吐出特性を測定する測定部とを有することを特徴とする測定装置。
【００２２】
この構成によれば、測定装置と液滴吐出ヘッドとの電気的接続を安定させやすくすることができる測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。
以下の説明で参照する図では、説明および図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００２４】
（液滴吐出装置の全体構成について）
まず、本実施形態における測定装置の被測定物としての液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略斜視図である。
【００２５】
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、キャリッジ１０２と、キャリッジ搬送機構１０４と、ワークテーブル１０６と、テーブル搬送機構１０８と、液状体供給機構１１０と、吐出制御回路１１２と、統括制御部１１４とを備えている。
なお、図中のＹ方向はキャリッジ１０２の移動方向を示し、Ｘ方向はワークテーブル１０６の移動方向を示している。Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
【００２６】
キャリッジ１０２は、ワークテーブル１０６に対して図１中Ｚ方向に間隙を有して対向しており、キャリッジ搬送機構１０４により、図１中Ｙ方向に往復動される。ワークテーブル１０６は、キャリッジ１０２と対向する面に被吐出媒体であるワークＷを載置して、テーブル搬送機構１０８により、図１中Ｘ方向に往復動される。
【００２７】
液状体供給機構１１０は、例えば、複数種の液状体を収容する容器と、容器から液状体を移送する移送管と、液状体の供給圧を一定の下に制御する圧力制御ユニットとを備えている。使用される液状体としては、水や有機溶媒等の液体、およびこれらの溶液のほか、液体中に固体微粒子を分散させたものなどを採用することもできる。
【００２８】
キャリッジ１０２は、液滴を吐出する複数の図示しない液滴吐出ヘッドを備えており、液状体供給機構１１０から液状体を供給されるとともに、吐出制御回路１１２からの電気信号を受けて、液滴吐出ヘッドからワークＷに対して液状体を吐出する。キャリッジ搬送機構１０４、テーブル搬送機構１０８、吐出制御回路１１２は、統括制御部１１４により統括制御される。
【００２９】
上記構成を有する液滴吐出装置１００は、キャリッジ１０２と、ワークテーブル１０６との相対位置を変化させつつ、キャリッジ１０２に搭載された複数の液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して、ワークテーブル１０６に搭載されたワークＷに所望のパターンを形成する。そして、吐出された液状体を乾燥等により固化して、パターン化された様々な機能性膜を形成することができる。
【００３０】
（液滴吐出ヘッドの構成について）
次に、液滴吐出ヘッドについて、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの全体構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの上面斜視図であり、図２（ｂ）は、液状体が吐出される底面斜視図である。
【００３１】
図２（ａ）、図２（ｂ）に示すように、被測定物である液滴吐出ヘッド１０は、液状体導入部１２と、第１の基板としてのヘッド基板１４と、ヘッド本体１６と、コネクタ２０とを備えている。
液状体導入部１２は、方形に形成され、図２（ａ）で見て上面に２連の接続針２２を有し、ヘッド基板１４の上面に設けられている。ヘッド基板１４は、長手方向の長さが液状体導入部１２の長手方向の長さより長い長方形の板状に形成され、液状体導入部１２が設けられている面に、さらに２個のコネクタ２０が設けられている。ヘッド基板１４は、液状体導入部１２が設けられている面の反対の面に、液状体導入部１２に対峙するように方形のヘッド本体１６が設けられている。
【００３２】
ヘッド本体１６は、液状体導入部１２に連なるポンプ部１７と、ポンプ部１７に連なるノズルプレート１８と、を有している。ノズルプレート１８のノズル面１８ａには、複数のノズル１９が形成されている。複数のノズル１９は、ノズル面１８ａに所定のピッチ間隔を有して互いに平行な２本のノズル列を形成している。
【００３３】
ポンプ部１７には、圧電素子が設けられており、当該圧電素子を駆動することによって、液状体導入部１２から供給されてきた液状体をノズル１９から液滴として吐出する。一個のノズル１９に対応して一個の圧電素子が設けられており、それぞれのノズル１９ごとに独立して液滴を吐出することができる。
【００３４】
上記構成を有する液滴吐出ヘッド１０は、２連の接続針２２を介して液状体導入部１２に液状体が導入され、ヘッド基板１４のコネクタ２０に接続される例えばＦＦＣケーブルを介して電気信号が伝送され、圧電素子の駆動が制御されることにより液滴を吐出することができる。
【００３５】
（測定装置の全体構成について）
ここで、本実施形態における測定装置について、図３を参照して説明する。図３は測定装置の概略構成を示す外観斜視図である。なお、本測定装置は、上記の液滴吐出ヘッド１０の吐出性能を、例えば、液滴吐出ヘッド１０の製造後もしくは液滴吐出ヘッド１０を液滴吐出装置１００に組み込む前に測定する装置である。
【００３６】
図３に示すように、測定装置２００は、基台２０１と、テーブル２０４と、テーブル搬送機構２０６と、ヘッド取付装置２０２と、ヘッド取付装置搬送機構２０３と、撮像装置２０８と、撮像装置搬送機構２０９と、制御部２１４とを備えている。また、図示しない入力装置と、出力装置と、表示装置と、を備えている。
なお、図中のＸ方向はテーブル２０４の移動方向を示し、Ｙ方向はヘッド取付装置２０２と撮像装置２０８との移動方向を示している。Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
【００３７】
基台２０１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料から形成されており、Ｙ方向に一定の幅を有し、Ｘ方向に沿って延びるように設けられている。基台２０１は、４本の脚部２１６に支持されている。基台２０１のＺ方向の下部には、制御部２１４が設けられている。
【００３８】
図３に示すように、テーブル搬送機構２０６は、テーブルガイド軸２１８と、第１のリニアモータ２１９と、テーブルスライド台２２０と、を備えている。
テーブルガイド軸２１８と第１のリニアモータ２１９とは、基台２０１上にＸ方向に延在して設けられている。テーブルスライド台２２０は、テーブルガイド軸２１８にガイドされ、第１のリニアモータ２１９に配設されている。
【００３９】
テーブル２０４は、テーブルスライド台２２０に取り付けられ、テーブルガイド軸２１８との取付面とは反対側すなわちＺ方向の上方に、紙もしくはシートである被吐出媒体Ｐが載置される載置面２２２を有している。
【００４０】
上記構成を有するテーブル搬送機構２０６は、テーブルスライド台２２０が第１のリニアモータ２１９から駆動力を受けてテーブルガイド軸２１８にガイドされ往復移動されることにより、テーブル２０４をＸ方向に沿って往復移動させることができる。
【００４１】
ヘッド取付装置搬送機構２０３は、ヘッドガイド軸２２４と、第２のリニアモータ２２５と、ヘッドスライド台２２６と、を備えている。ヘッド取付装置搬送機構２０３は、基台２０１上の図３で見てＸ方向左側に設けられている。
【００４２】
ヘッドガイド軸２２４と第２のリニアモータ２２５とは、基台２０１に設けられたテーブル搬送機構２０６のテーブルガイド軸２１８と第１のリニアモータ２１９とをＺ方向に空間をあけて跨ぐように、Ｙ方向に延在して設けられている。ヘッドスライド台２２６は、ヘッドガイド軸２２４にガイドされ、第２のリニアモータ２２５に配設されている。
後述するヘッド取付装置２０２は、ヘッドスライド台２２６のＸ方向右側の側面に吊り下げられるように取り付けられている。
【００４３】
上記構成を有するヘッド取付装置搬送機構２０３は、ヘッドスライド台２２６が第２のリニアモータ２２５から駆動力を受けて、ヘッドガイド軸２２４にガイドされ往復移動されることにより、ヘッド取付装置２０２をＹ方向に沿って往復移動させることができる。なお、ヘッド取付装置２０２の詳細については、後述する。
【００４４】
撮像装置搬送機構２０９は、撮像装置ガイド軸２２８と、第３のリニアモータ２２９と、撮像装置スライド台２３０と、を備えている。撮像装置搬送機構２０９は、基台２０１上の図３で見てＸ方向右側に設けられている。
【００４５】
撮像装置ガイド軸２２８と、第３のリニアモータ２２９とは、基台２０１に設けられたテーブル搬送機構２０６のテーブルガイド軸２１８と第１のリニアモータ２１９とをＺ方向に空間をあけて跨ぐように、Ｙ方向に延在して設けられている。撮像装置スライド台２３０は、撮像装置ガイド軸２２８にガイドされ、第３のリニアモータ２２９に配設されている。後述する撮像装置２０８は、撮像装置スライド台２３０に取り付けられている。
【００４６】
上記構成を有する撮像装置搬送機構２０９は、撮像装置スライド台２３０が第３のリニアモータ２２９から駆動力を受けて、撮像装置ガイド軸２２８に沿って往復移動されることにより、撮像装置２０８をＹ方向に沿って往復移動させることができる。
【００４７】
ここで、撮像装置２０８を説明する。
図３に示すように、撮像装置２０８は、撮像カメラ２１１と、カメラ支持部２１２と、を備えている。カメラ支持部２１２は、撮像装置スライド台２３０のＺ方向上面に固定されている。カメラ支持部２１２は、撮像カメラ２１１の図示しないレンズが図３中Ｚ方向の下方向に向くように、撮像カメラ２１１を支持している。
【００４８】
また、カメラ支持部２１２は、図示しない回動機構および昇降機構を備えており、撮像カメラ２１１を図３のθ方向に回動、およびＺ軸方向に昇降させることができる。
撮像カメラ２１１は、内部に固体撮像素子などからなるエリアセンサを備えており、対象物の画像をエリアセンサに投影した後、投影された画像を電気信号に変換して出力することができる。
【００４９】
次いで、ヘッド取付装置２０２を説明する。
図３に示すように、ヘッド取付装置２０２は、ヘッド取付ユニット２３３と、液状体供給装置２３４と、中継装置３００を備えており、装置支持部２３５によりヘッドスライド台２２６に支持されている。装置支持部２３５は、図示しない回動機構および昇降機構を備えており、ヘッド取付ユニット２３３を図３のθ方向に回動、およびＺ軸方向に昇降させることができる。
【００５０】
ヘッド取付ユニット２３３は、前述の液滴吐出ヘッド１０のノズル面１８ａ（図２参照）が図３中Ｚ方向の下方向に露出するように、液滴吐出ヘッド１０を着脱可能に保持することができる。ヘッド取付ユニット２３３の詳細については後述する。
【００５１】
液状体供給装置２３４は、図示しないタンクと供給管とを有して、ヘッド取付ユニット２３３内に設けられている。タンクには液状体が貯留されており、図示しない圧力装置により圧力が付与され供給管に液状体が送られる。供給管は、ヘッド取付ユニット２３３に取り付けられた液滴吐出ヘッド１０の２連の接続針２２（図２参照）に接合されており、液滴吐出ヘッド１０に液状体を供給することができる。
【００５２】
中継装置３００は、制御部２１４の図示しない吐出制御回路から例えばフラットケーブル等により装置支持部２３５を介して伝送された電気信号を中継し、さらに液滴吐出ヘッド１０に伝送する役割を担う。中継装置３００の詳細については後述する。
【００５３】
上記構成を有するヘッド取付装置２０２は、ヘッド取付ユニット２３３に取り付けられた液滴吐出ヘッド１０に液状体供給装置２３４から液状体を供給し中継装置３００を介して電気信号を伝送して、液滴吐出ヘッド１０から液滴を図３中Ｚ方向の下方向に吐出させることができる。
【００５４】
制御部２１４は、図示しない入力装置を介して入力される指令に基づいて、上記した各機構部等を総括的に制御する。制御部２１４は、また、取得した画像情報などを、図示しない出力装置から出力させたり、図示しない表示装置に表示させたりする。
【００５５】
（ヘッド取付ユニットについて）
ここで、ヘッド取付ユニットについて、図４を参照して説明する。図４はヘッド取付ユニットの概略構成を示す斜視図である。
図４に示すように、ヘッド取付ユニット２３３は、ヘッド板２３８と、支柱２３９と、天板２４０と、を有している。天板２４０は、長方形の板状に形成されている。ヘッド板２３８は、同じく長方形の板状に形成され、長方形形状の孔である開口部２４２が形成されている。そして、天板２４０の四隅に４本の支柱２３９の一端が固定され、４本の支柱２３９の他端はヘッド板２３８の四隅に固定されている。
【００５６】
開口部２４２は、液滴吐出ヘッド１０のヘッド本体１６（図２参照）が遊嵌されうる大きさに開口されている。液滴吐出ヘッド１０のヘッド本体１６を開口部２４２に遊嵌し、例えば、ヘッド基板１４を図示しないねじ等の締結部品で締結することにより、液滴吐出ヘッド１０は、ヘッド取付ユニット２３３に取り付けられる。
このヘッド取付ユニット２３３は、前述の装置支持部２３５に天板２４０が固定され、ヘッド取付装置２０２に取り付けられる。
【００５７】
（中継装置について）
次いで、中継装置３００について、図５を参照して説明する。図５は中継装置の構成を説明する図であり、図５（ａ）は、側面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）中ｐ−ｐ断面図である。なお、図５中Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は、図３に示すＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向と同一の方向を示している。
【００５８】
図５（ａ）に示すように、中継装置３００は、固定部４０と、レバーとしての回動レバー４２と、加圧ピン４４と、圧縮コイルばね４６と、一対の第２の基板としての硬質基板４８と、第１の外板５０と第２の外板５２とを有している。
図５（ｂ）に示すように、固定部４０は、本体部４０ａが直方体に形成され、最長辺が図５中Ｙ方向に沿うように横置きに配置されている。本体部４０ａの長手方向の一方の端には本体部４０ａから突出した指掛け部４０ｂが設けられている。さらに本体部４０ａの上面のほぼ中央部には、下面まで貫通する貫通孔５４が形成されている。
【００５９】
回動レバー４２は、本体部４２ａが直方体に形成され、長手方向の一方の端には本体部４２ａから突出した指掛け部４２ｂが設けられている。回動レバー４２の本体部４２ａのＺ方向下面のほぼ中央部にはＺ方向下側に凸なる曲面を有する突起部５６が設けられている。さらに、本体部４２ａの前面のＹ方向右端部には、Ｘ方向後面まで貫通する貫通孔５８が形成されている。
【００６０】
加圧ピン４４は、円柱状に形成され、Ｚ方向の上方向、下方向に第１の頂面としての上面４４ａと、第２の頂面としての下面４４ｂを有している。加圧ピン４４の上面４４ａには外周方向に凸なる鍔４４ｃが設けられている。硬質基板４８は、一方の面の下端部全長にわたって、液滴吐出ヘッド１０のコネクタ２０との接続端子がパターニングされている。硬質基板４８の形成材料としては、例えば、ガラエポ、紙フェノール等の基板材料を好適に用いることができる。
【００６１】
なお、離脱補助部は、少なくとも上記回動レバー４２と、加圧ピン４４とによって構成される。そして、回動レバー４２の指掛け部４２ｂが力点に、支点Ａが支点に、突起部５６が作用点に対応している。
【００６２】
固定部４０の貫通孔５４には、加圧ピン４４が嵌挿されており、貫通孔５４の内周面と加圧ピン４４の外周面との間には圧縮コイルばね４６が配置されている。圧縮コイルばね４６は、加圧ピン４４の鍔４４ｃと固定部４０の貫通孔５４の内周面側に設けられた内周面側に凸なる突起部５４ａで上下を挟まれ保持されている。
【００６３】
固定部４０と回動レバー４２とは、それぞれの指掛け部４０ｂ，４２ｂをＹ方向左側に向け、Ｚ方向に一定の間隔をあけ、ほぼ平行になるように第１の外板５０と第２の外板５２とに挟持されている。固定部４０は、第１の外板５０と第２の外板５２との間に横置きに固定されている。回動レバー４２は、貫通孔５８に第１の外板５０と第２の外板５２とを連結する軸６０が挿入され、貫通孔５８を支点Ａとして回動可能に支持されている。
【００６４】
また、一対の硬質基板４８のそれぞれは、固定部４０の図５中Ｘ方向両面に配置されており、接続端子部が固定部４０の下面よりさらにＺ方向下側に突出するように、第１の外板５０と固定部４０および固定部４０と第２の外板５２とに挟持されている。
【００６５】
回動レバー４２が支点Ａを中心に図５（ｂ）中矢印Ｄ方向に回動されると、本体部４２ａの下部に設けられた突起部５６は、固定部４０の貫通孔５４に嵌挿された加圧ピン４４の上面４４ａに当接する。回動レバー４２が支点Ａを中心にさらに回動されると、加圧ピン４４は、圧縮コイルばね４６のバネ力に抗してＺ方向下側に移動する。
【００６６】
Ｚ方向下側に移動された加圧ピン４４は、下面４４ｂが２枚の硬質基板４８に挟まれた空間のＸ方向およびＹ方向のそれぞれの中心近傍に突出する。このときの突出長さは、一対の硬質基板４８が、固定部４０下面からＹ方向に突出している長さよりも長く設定されている。
【００６７】
（測定装置の測定の流れについて）
上記の構成を有する測定装置における液滴吐出ヘッドの吐出特性の測定の流れを図６、図７および前述の図２〜図４を参照して説明する。図６は、測定装置における液滴吐出ヘッドの吐出特性測定の流れを説明する図である。図７は、中継装置と液滴吐出ヘッドが接続された状態を示す部分断面図である。
【００６８】
なお、測定される吐出特性として、液滴吐出ヘッドが吐出した液滴が被吐出媒体Ｐへ着弾した位置精度の測定を例にとり説明する。また、以降の動作は、測定装置２００の制御部２１４からの指令に基づいて行われる。
【００６９】
図６に示すステップＳ１において、液滴吐出ヘッド１０を測定装置２００のヘッド取付装置２０２にセットする。
液滴吐出ヘッド１０は、ヘッド取付ユニット２３３のヘッド板２３８に設けられた開口部２４２にヘッド本体１６を遊嵌され、ヘッド基板１４を図示しないねじで締結されることにより、ヘッド取付装置２０２に取り付けられる。このとき、液滴吐出ヘッド１０のノズル面１８ａは、図３中Ｚ方向の下方向に向かう。
【００７０】
次いで、液滴吐出ヘッド１０の液状体導入部１２の接続針２２と液状体供給装置２３４の供給管とが接合される。さらに、液滴吐出ヘッド１０は、ヘッド基板１４に設けられた２個のコネクタ２０に、中継装置３００に設けられた２枚の硬質基板４８が挿入される（図７参照）。このとき、中継装置３００の２枚の硬質基板４８の位置は、ヘッド基板１４のコネクタ２０の位置と対応しているため一時に挿入されることができる。
【００７１】
ステップＳ２において、液滴吐出ヘッド１０が取り付けられたヘッド取付装置２０２を、ヘッド取付装置搬送機構２０３により図３中Ｙ方向に移動する。このとき、液滴吐出ヘッド１０は、ノズル面１８ａが、テーブル搬送機構２０６により搬送される被吐出媒体ＰのＸ方向移動軌跡に対向する位置、すなわち、液滴吐出位置まで移動され保持される。
【００７２】
ステップＳ３において、被吐出媒体Ｐが載置されたテーブル２０４をテーブル搬送機構２０６により図３中Ｘ方向の左方向に移動する。そして、被吐出媒体Ｐの上面がステップＳ２で保持されている液滴吐出ヘッド１０のノズル面１８ａと対向する位置まで、テープルは移動され保持される。
【００７３】
ステップＳ４において、液滴吐出ヘッド１０は、着弾位置精度を測定するために、液滴を吐出する。液滴吐出ヘッド１０は、テーブル２０４に載置された被吐出媒体Ｐの表面に所定の測定パターンを描画する。
【００７４】
このとき、液滴吐出ヘッド１０は、ノズル１９ごと吐出しても良いし、または、複数のノズル１９をグループ分けして、グループごと液滴を吐出しても良い。また、測定がやりやすいパターンを描画するため、被吐出媒体Ｐをテーブル搬送機構２０６により図３中Ｘ方向に微小移動させたり、液滴吐出ヘッド１０のノズル１９の位置をヘッド取付装置搬送機構２０３により図３中Ｙ方向に微小移動させたりしても良い。ヘッド取付装置２０２の装置支持部２３５に設けられた回動機構および昇降機構により、液滴吐出ヘッド１０を図３中θ方向に回動、およびＺ軸方向に昇降させても良い。
【００７５】
ステップＳ５において、ステップＳ４で液滴吐出ヘッド１０から液滴が吐出されて、パターンが描画された被吐出媒体Ｐを載置したテーブル２０４を、テーブル搬送機構２０６により図３中Ｘ方向の右方向に移動する。そして、被吐出媒体Ｐに描画されたパターンが撮像搬送機構２０９により搬送される撮像カメラ２１１のＹ方向移動軌跡に対向する位置まで、テーブル２０４は移動され保持される。
【００７６】
ステップＳ６において、撮像カメラ２１１が支持された撮像装置２０８を、撮像搬送機構２０９により図３中Ｙ方向に移動する。撮像カメラ２１１は、液滴吐出ヘッド１０から液滴が吐出されパターンが描画された被吐出媒体Ｐと対向する位置まで移動され保持される。
【００７７】
ステップＳ７において、液滴吐出ヘッド１０が吐出した液滴の着弾位置を測定する。撮像カメラ２１１によって、被吐出媒体Ｐに着弾した液滴の形状や複数の液滴間の相互の着弾位置関係などの画像が取得される。撮像カメラ２１１は、取得した画像をエリアセンサに投影して、画像を電気信号に変換して図示しないコンピュータ等に出力する。コンピュータは、演算、解析を行い、液滴吐出ヘッド１０が吐出した液滴の着弾位置を測定データとして出力する。
【００７８】
ステップＳ８において、測定が終了した液滴吐出ヘッド１０が取り付けられたヘッド取付装置２０２を、ヘッド取付装置搬送機構２０３により図３中Ｙ方向手前の液滴吐出ヘッド１０の交換位置まで移動する。
【００７９】
ステップＳ９において、測定が終了した液滴吐出ヘッド１０をヘッド取付装置２０２から取り外す。
まず、液滴吐出ヘッド１０の液状体導入部１２の接続針２２（図７参照）から液状体供給装置２３４の供給管を離脱させる。次いで、液滴吐出ヘッド１０の２個のコネクタ２０から中継装置３００に設けられた２枚の硬質基板４８を離脱させる。この２枚の硬質基板４８のコネクタ２０からの離脱の詳細については後述する。最後にヘッド取付ユニット２３３のヘッド板２３８にねじ止めされていたねじが取り外され、液滴吐出ヘッド１０はヘッド取付装置２０２から取り外される。
【００８０】
ステップＳ１０において、次に測定される液滴吐出ヘッド１０があるか否かを判定する。ない（ＮＯ）と判定されると、測定を終了する。ある（ＹＥＳ）と判定されると、ステップＳ１に移行して次の液滴吐出ヘッド１０をセットし上述の動作を繰り返す。
【００８１】
（硬質基板のコネクタからの離脱について）
ここで、硬質基板４８をコネクタ２０から離脱させる工程について、図８、図９を参照して説明する。図８は、中継装置と液滴吐出ヘッドとの関係を示す図であり、図８（ａ’）は、側面図であり、図８（ａ）は、図５（ａ’）中ｐ−ｐ断面図である。また、図８（ａ）、図８（ｂ）、図８（ｃ）は、硬質基板がコネクタから離脱するステップを示している。図９は、ヘッド基板が加圧される位置を説明する図である。図８および図９中のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は、図５で示すＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向と同じ方向を示す。
【００８２】
図８（ａ）に示す中継装置３００と液滴吐出ヘッド１０とが接続された状態では、中継装置３００に設けられた２枚の硬質基板４８は、液滴吐出ヘッド１０のヘッド基板１４に設けられた２個のコネクタ２０に挿入されている。このとき、中継装置３００の固定部４０の貫通孔５４に挿入された加圧ピン４４は、加圧ピン４４の鍔４４ｃと貫通孔５４の内周面に設けられた突起部５４ａとに挟まれた圧縮コイルばね４６のばね力により、回動レバー４２側に保持されている。
【００８３】
液滴吐出ヘッド１０を中継装置３００から取り外す場合は、図８（ｂ）に示すように、回動レバー４２の力点としての指掛け部４２ｂに矢印Ｆ方向に力を加え、回動レバー４２を支点Ａを中心に回動させる。回動レバー４２が支点Ａを中心に回動されることにより、回動レバー４２のＺ方向下面に設けられた作用点としての突起部５６が、加圧ピン４４の上面４４ａに圧接し加圧する。回動レバー４２がさらに回動されると、加圧ピン４４は、上面４４ａが突起部５６から力を受けて、固定部４０の貫通孔５４にガイドされてＺ方向下側に移動する。
【００８４】
回動レバー４２から加圧されて移動した加圧ピン４４は、液滴吐出ヘッド１０のヘッド基板１４の図８（ｂ）中Ｚ方向上面に、下面４４ｂが圧接する。このとき、下面４４ｂが、ヘッド基板１４に圧接する位置は、図９に示すように、平面視でヘッド基板１４の２個のコネクタ２０に囲まれた領域ＭのＸ方向およびＹ方向の中心近傍である。
【００８５】
回動レバー４２の指掛け部４２ｂにさらに矢印Ｆ方向の力を加え、回動レバー４２をさらに回動させると、図８（ｃ）に示すように、加圧ピン４４は、下面４４ｂで液滴吐出ヘッド１０のヘッド基板１４の上面をさらに加圧する。液滴吐出ヘッド１０のヘッド基板１４はヘッド取付ユニット２３３のヘッド板２３８に固定されているため、加圧ピン４４が設けられている中継装置３００は、加圧ピン４４の加圧力の反力を受けて、図８（ｃ）中Ｚ方向上方に移動される。それに従って、中継装置３００に設けられた２枚の硬質基板４８は、ヘッド基板１４に設けられた２個のコネクタ２０から離脱される。
【００８６】
本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
【００８７】
（１）本実施形態の測定装置２００において、液滴吐出ヘッド１０との接続に供する中継装置３００は、支点Ａと力点としての指掛け部４２ｂとおよび作用点としての突起部５６とを有する「梃子」としての回動レバー４２と、回動レバー４２の突起部５６に加圧される加圧ピン４４とを備えた離脱補助機構を有している。そのため、指掛け部４２ｂに加えられた力を「梃子の原理」を用いて突起部５６で増幅させ加圧ピン４４に伝えることができる。そして、当該加圧ピン４４で、硬質基板４８が挿入されたコネクタ２０を有する液滴吐出ヘッド１０のヘッド基板１４を押圧することができる。
【００８８】
その結果、加圧ピン４４がヘッド基板１４を押圧する力の反力で、コネクタ２０から硬質基板４８を離脱させることができる。すなわち、「梃子の原理」を用いることによって、中継装置３００側に設けられた硬質基板４８をヘッド基板１４に設けられたコネクタ２０から、より少ない力で、かつ、容易に離脱させることができる。
従って、液滴吐出ヘッド１０の測定の効率を向上させやすくすることができる。
【００８９】
（２）また、上記離脱補助装置を用いることにより、硬質基板４８をコネクタ２０から離脱させる際、斜めの抜き力等のムリな力が加わることを低減させることができ、接続基板の折れ曲がりや接続端子部の異常磨耗を低減させることができる。従って、接続端子の位置のずれや接続不良を低減することができ、測定装置２００と液滴吐出ヘッド１０との電気的接続を安定させやすくすることが可能になる。
【００９０】
（３）この測定装置２００において、中継装置３００は、複数の液滴吐出ヘッド１０のコネクタ２０に対して、測定の度の抜き差しする硬質基板４８を備えている。そのため、ＦＦＣを用いてコネクタ２０に抜き差しする場合に比較して、接続基板の折れ曲がりや接続端子部の異常磨耗を低減させることができる。従って、接続端子の位置のずれや接続不良を低減することができ、測定装置２００と液滴吐出ヘッド１０との電気的接続を安定させやすくすることが可能になる。
【００９１】
（４）この測定装置２００において、回動レバー４２は、作用点としての曲面を有する突起部５６で加圧ピン４４に接触して加圧することができる。そのため、加圧ピン４４への加圧動作をスムーズに行うことができる。
【００９２】
（５）この測定装置２００において、中継装置３００の加圧ピン４４の下面４４ｂは、２個のコネクタ２０の間のヘッド基板１４の領域Ｍの中心近傍を押圧することができる。そのため、２枚の硬質基板４８に対してほぼ均等な反力を与えることができ、２枚の硬質基板４８を離脱させやすくすることができる。
【００９３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば、上記実施形態以外の変形例は以下の通りである。
【００９４】
（変形例１）本実施形態では、回動レバー４２において、支点Ａと力点としての指掛け部４２ｂとの間に作用点としての突起部５６を有する場合について説明したがこれに限定されない。
中継装置の変形例１を示す図である図１０に示すように、中継装置３００ａは、力点としての指掛け部６２ａと作用点としての突起部６６との間に支点Ａを有する回動レバー６２を用いても良い。この場合、回動レバー６２の指掛け部６２ａに対して、矢印Ｇ方向に力を加えることにより、前述の実施形態と同様な効果を奏することができる。
【００９５】
（変形例２）本実施形態では、加圧ピン４４が、下面４４ｂで、ヘッド基板１４の２個のコネクタ２０に囲まれた領域ＭのＸ方向およびＹ方向の中心近傍を押圧する場合について説明したがこれに限定されない。中継装置の変形例２を示す図である図１１に示すように、中継装置３００ｂは、加圧ピン７４の上面４４ａの反対側に複数の頂面７４ｂを設けて、ヘッド基板１４を押圧しても良い。
【００９６】
この構成によれば、２枚の硬質基板４８に対して均等な反力を与えやすくすることができ、２枚の硬質基板４８をさらに離脱させやすくすることができるとともに、斜めの抜き力等のムリな力が加わることをさらに低減させることができる。
【００９７】
（変形例３）本実施形態では、液滴吐出ヘッド１０は２個のコネクタ２０を有しており、それぞれのコネクタ２０に１枚ずつの硬質基板４８が挿入される場合について説明したがこれに限定されない。液滴吐出ヘッド１０のコネクタ２０の数は、１個でも良いし、３個以上の整数であっても良い。このとき、硬質基板４８は、コネクタ２０の数に対応する数であることが好ましい。
【００９８】
（変形例４）本実施形態における中継装置３００では、被測定物として液滴吐出ヘッド１０を採用した場合について説明したがこれに限定されない、被測定物は、硬質基板４８により電気的に接続可能なコネクタ２０を有するものであれば良い。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】液滴吐出装置の概略斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの全体構成を示す図。
【図３】測定装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図４】ヘッド取付ユニットの概略構成を示す斜視図。
【図５】中継装置の構成を説明する図。
【図６】液滴吐出ヘッドの吐出特性測定の流れを説明する図。
【図７】中継装置と液滴吐出ヘッドが接続された状態を示す部分断面図。
【図８】中継装置と液滴吐出ヘッドとの関係を示す図。
【図９】ヘッド基板が加圧ピンにより加圧される位置を説明する図。
【図１０】中継装置の変形例１を示す図。
【図１１】中継装置の変形例２を示す図。
【符号の説明】
【０１００】
１０…液滴吐出ヘッド、１４…第１の基板としてのヘッド基板、２０…コネクタ、４０…固定部、４２…レバーとしての回動レバー、４４…加圧ピン、４８…第２の基板としての硬質基板、５６…作用点としての突起部、６２…レバーとしての回動レバー、７４…加圧ピン、１００…液滴吐出装置、２００…測定装置、２０２…ヘッド取付装置、２３３…ヘッド取付ユニット、２３８…ヘッド板、３００，３００ａ，３００ｂ…中継装置。
【図１】
2009000584.tif 000003
【図２】
2009000584.tif 000004
【図３】
2009000584.tif 000005
【図４】
2009000584.tif 000006
【図５】
2009000584.tif 000007
【図６】
2009000584.tif 000008
【図７】
2009000584.tif 000009
【図８】
2009000584.tif 000010
【図９】
2009000584.tif 000011
【図１０】
2009000584.tif 000012
【図１１】
2009000584.tif 000013