(57)【要約】【課題】軸部材と、軸部材に対する相対回転時に、軸部材との間にスラスト軸受隙間を形成するスラスト部材とを備える動圧軸受装置において、スラスト軸受隙間に流体の動圧作用を発生させるスラスト動圧発生部の摺動面の摩耗を低コストに抑制可能とする。【解決手段】軸部材２のフランジ部２２をステンレス鋼で形成する一方、スラスト部材９を黄銅で形成する。スラスト部材９の上側端面９ａには、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間Ｄｓを満たす潤滑油に動圧作用を発生させるスラスト動圧発生部Ｃが設けられる。スラスト部材９の上側端面９ａのうち、フランジ部２２との摺動面の一部、例えばスラスト動圧発生部Ｃよりも内径側の領域には、スラスト部材９よりも高硬度の耐摩耗部１２が設けられる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部材と、軸部材に対する相対回転時に、軸部材との間に軸方向の隙間を形成するスラスト部材と、前記隙間を形成する軸部材の面とスラスト部材の面とのうち、何れか一方の面に形成されたスラスト動圧発生部とを備え、軸部材とスラスト部材の相対回転時に、スラスト動圧発生部で、前記隙間に流体の動圧作用を発生させる動圧軸受装置において、
前記二つの面のうち、スラスト動圧発生部を有する面の一部に、スラスト動圧発生部の摺動面よりも高硬度の耐摩耗部を設けたことを特徴とする動圧軸受装置。
【請求項２】
スラスト動圧発生部よりも内径側に耐摩耗部を設けた請求項１記載の動圧軸受装置。
【請求項３】
前記隙間のうち、耐摩耗部と対向する部分の隙間幅を、スラスト動圧発生部と対向する部分の隙間幅よりも小さくした請求項２記載の動圧軸受装置。
【請求項４】
軸部材とスラスト部材の相対回転時、耐摩耗部が、相手側の部材と点接触可能である請求項２記載の動圧軸受装置。
【請求項５】
スラスト動圧発生部の形成領域内に耐摩耗部を設けた請求項１記載の動圧軸受装置。
【請求項６】
耐摩耗部が、スラスト動圧発生部の半径方向幅を２等分した時の外径側の領域に設けられた請求項５記載の動圧軸受装置。
【請求項７】
スラスト動圧発生部が塑性加工で形成されると共に、耐摩耗部が、塑性加工時の受圧面とされた請求項５記載の動圧軸受装置。
【請求項８】
耐摩耗部が、相手側の部材よりも低硬度である請求項１記載の動圧軸受装置。
【請求項９】
前記隙間のうち、スラスト動圧発生部と対向する領域で、隙間幅を外径側ほど小さくした請求項１記載の動圧軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は動圧軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
動圧軸受装置は、軸受隙間を満たす流体（例えば、潤滑油）に動圧作用を発生させ、その圧力で回転側の部材を固定側の部材に対して非接触で支持する軸受装置である。この動圧軸受装置は、高速回転、高回転精度、低騒音等の特徴を有するものであり、近年ではその特徴を活かして、情報機器をはじめ種々の電気機器に搭載されるモータ用の軸受装置として、より具体的には、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に搭載されるスピンドルモータ、レーザビームプリンタに搭載されるポリゴンスキャナモータ、ＰＣに搭載されるファンモータなどに組み込まれる軸受装置として好適に使用されている。
【０００３】
上記モータのうち、例えばディスク駆動装置用のスピンドルモータに組み込まれる動圧軸受装置は、回転側の部材（例えば軸部材）をラジアル方向に支持するラジアル軸受部と、スラスト方向に支持するスラスト軸受部とを有する。そして、近年では、ラジアル軸受部およびスラスト軸受部の双方を、軸受隙間を介して対向する二面の何れか一方に動圧溝等の動圧発生部を設けた動圧軸受で構成する場合が多い（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
ところで、この種の動圧軸受装置の運転中において、高速回転時には回転側の部材と固定側の部材とが非接触の状態で相対回転する一方で、起動停止時等の低速回転時には回転側の部材と固定側の部材とが接触を伴って相対回転する。近年では、ディスク駆動装置の大容量化に伴い、動圧軸受装置に搭載されるディスク枚数が増加して特にスラスト軸受部で支持すべき荷重（スラスト荷重）が増大する傾向にある。そのため、特に特許文献１の構成では、軸部材とスラスト部材とが低速で相対回転する際に、両部材間での摺動抵抗が増大して、摺動面の摩耗が進行し易くなっている。この種の動圧軸受装置では、スラスト軸受隙間を形成する軸部材の面とスラスト部材の面とのうち、何れか一方の面にはスラスト動圧発生部が形成されるため、スラスト方向の回転精度の低下が顕著になる。
【０００５】
かかる問題を防止するための手段として、例えば、特開平０８-１５２０２０号公報（特許文献２）に記載のように、セラミックス製のスラスト部材にスラスト動圧発生部を形成したり、特開平１１―１２５２４３号公報（特許文献３）に記載のように、スラスト動圧発生部を形成したスラスト部材の端面全体、およびこれと軸方向に対向する軸部材の端面全体を耐摩耗潤滑性被膜で被覆したりすることが考えられる。
【特許文献１】特開２００４−１７６８１７号公報
【特許文献２】特開平０８−１５２０２０号公報
【特許文献３】特開平１１−１２５２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、セラミックスは一般に難加工材であるため、特許文献２のようにセラミックスでスラスト部材を形成したのでは、高精度なスラスト動圧発生部を安価に形成するのが困難である。また、一般に被膜は、その形成に長時間を要する他、その膜厚を高精度に管理するには格別の配慮を要すため、特許文献３のように、スラスト動圧発生部を形成したスラスト部材の端面全体、さらには軸部材の端面全体を被膜で被覆するとなると、製造コストの増大が顕著になる。
【０００７】
本発明の課題は、この種の動圧軸受装置において、スラスト軸受隙間に流体の動圧作用を発生させるスラスト動圧発生部の摺動面の摩耗を低コストに抑制可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明では、軸部材と、軸部材に対する相対回転時に、軸部材との間に軸方向の隙間を形成するスラスト部材と、前記隙間を形成する軸部材の面とスラスト部材の面とのうち、何れか一方の面に形成されたスラスト動圧発生部とを備え、軸部材とスラスト部材の相対回転時に、スラスト動圧発生部で、前記隙間に流体の動圧作用を発生させる動圧軸受装置において、前記二つの面のうち、スラスト動圧発生部を有する面の一部に、スラスト動圧発生部の摺動面よりも高硬度の耐摩耗部を設けたことを特徴とする動圧軸受装置を提供する。
【０００９】
なお、ここでいう「スラスト動圧発生部の摺動面」とは、軸部材の面又はスラスト部材の面の何れか一方に形成されるスラスト動圧発生部のうち、他方の面との摺動接触が生じる面を指す。例えば、スラスト動圧発生部を、複数の動圧溝と、これを区画形成する凸状の丘部とで構成した場合には、丘部の端面（頂面）が前記摺動面に相当する。また、ここでいう「硬度」は、例えば、ＪＩＳ  Ｚ２２４４に準拠した試験方法によって規定されるビッカース硬さ（単位：Ｈｖ）で評価することができる。
【００１０】
上記のように、スラスト動圧発生部を有する面の一部に、スラスト動圧発生部の摺動面よりも高硬度の耐摩耗部を設ければ、低速回転時等における軸部材とスラスト部材との接触が、耐摩耗部とこれに対向する面との間でも行われるため、スラスト動圧発生部の摺動面の摩耗を抑制することができる。その一方、前述のようにスラスト動圧発生部の摺動面の摩耗を抑制することができるので、スラスト動圧発生部を有する部材の大部分を加工性の良好な素材（例えば、黄銅等の軟質金属材料や樹脂材料）で形成して、高精度なスラスト動圧発生部を容易かつ低コストに形成することができる。
【００１１】
耐摩耗部は、スラスト動圧発生部よりも内径側に設けることができる。このようにすれば、例えば低速回転時等、耐摩耗部とこれに対向する面との摺動時におけるトルク増大は最小限となる。そのため、耐摩耗部自体の摩耗も抑制可能となり、摩耗に起因したその他の問題、例えばコンタミの問題が生じる可能性も減じられる。
【００１２】
上記構成において、前記隙間のうち、耐摩耗部と対向する部分の隙間幅を、スラスト動圧発生部と対向する部分の隙間幅よりも小さくすれば、起動停止時等の低速回転時には、スラスト動圧発生部の摺動面よりも耐摩耗部が相手側の部材に対して優先的に摺動接触することとなり、スラスト動圧発生部の摩耗が一層効果的に抑制される。
【００１３】
また、スラスト動圧発生部よりも内径側に耐摩耗部を設けた場合に、軸部材とスラスト部材の相対回転時、耐摩耗部が相手側の部材と点接触可能なようにすれば、耐摩耗部と相手側部材との接触は周速度がゼロとなる部分で行われるため、耐摩耗部の摩耗を一層効果的に抑制することが可能となる。なお、かかる構成は、例えば、耐摩耗部およびこれに対向する相手側部材の少なくとも何れか一方に凸曲面（球状面）を形成することで得られる。
【００１４】
スラスト動圧発生部よりも内径側に耐摩耗部を設ける場合、耐摩耗部は、例えば、スラスト動圧発生部が設けられる部材端面の内径側に耐摩耗性の良好な硬質被膜を設けることで、またあるいは、スラスト動圧発生部が設けられる部材端面に耐摩耗部を有する別部材（耐摩耗部材）を組み付けることで得られる。後者の構成を採用すれば、相手側の部材に対する耐摩耗性のみを考慮して耐摩耗部を形成し得るというメリットがある。この場合、耐摩耗部およびスラスト動圧発生部を有する部材は、耐摩耗部をインサート部品として射出成形することができ、かつ射出成形時にスラスト動圧発生部を型成形することができる。このようにすれば、スラスト動圧発生部を有する部材の成形、耐摩耗部の組み付け、およびスラスト動圧発生部の形成を一工程で完了させることができるので、製造コストの低廉化を図ることができる。
【００１５】
耐摩耗部は、上記のようにスラスト動圧発生部よりも内径側に設ける他、スラスト動圧発生部の形成領域内に設けることも可能である。かかる構成を採用する場合、耐摩耗部は、スラスト動圧発生部のうち、できるだけ外径側に設けるのが望ましい。一般に、摺動面の摩耗は周速度が大きい外径側ほど進行し易い（摩耗粉の発生量は周速度が大きい外径側ほど多い）ためである。具体的に述べると、耐摩耗部は、スラスト動圧発生部の半径方向幅を２等分した時の外径側の領域に設けるのが望ましく、少なくともその周方向一部領域が、スラスト動圧発生部の外接円に内接するように設けるのがさらに望ましい。摩耗が最も進行し易いスラスト動圧発生部の最外径部の摩耗を効果的に抑制することができ、高硬度の耐摩耗部をスラスト動圧発生部の形成領域内に設けることによる摺動面の摩耗抑制効果を最も有効に享受することができるからである。
【００１６】
この場合、スラスト動圧発生部をプレス加工等の塑性加工で形成すると共に、耐摩耗部を塑性加工時の受圧面とすることができる。これはすなわち、スラスト動圧発生部を形成すべき部材（軸部材あるいはスラスト部材）に耐摩耗部を設けた後、この部材および耐摩耗部に塑性加工を施してスラスト動圧発生部が型成形されることを意味する。このようにすれば、耐摩耗部を予め適切な硬度に設定した後、スラスト動圧発生部の形成時に、摺動面内における耐摩耗部の相対高さを調整することが可能となる。かかる構成を採用する上で、耐摩耗部の硬度、および摺動面内における耐摩耗部の相対高さが極めて重要であるから、これらの調整を容易化し得る上記構成は好適である。なお、この場合でも、スラスト動圧発生部を有する部材は、耐摩耗部をインサート部品として射出成形しても良い。
【００１７】
以上の構成において、耐摩耗部は、相手側の部材よりも低硬度にするのが望ましい。耐摩耗部が、相手側部材よりも高硬度であると、相手側部材が摩耗するおそれがあるからである。
【００１８】
また、以上の構成において、軸部材とスラスト部材との間に形成される軸方向の隙間のうち、スラスト動圧発生部と対向する領域の隙間幅は、外径側ほど小さくすることができる。このようにすれば、前記軸方向の隙間のうち、周速度の大きい外径側の部分においてスラスト動圧発生部によるポンピング機能が高まり、低速回転時等における両部材間での接触時間が短縮されるため、摺動面の摩耗を効果的に抑制することが可能となる。
【００１９】
本発明に係る動圧軸受装置は以上示した特徴を有するものであるから、特に、支持すべきスラスト荷重が大きいモータ、例えばＨＤＤ等のスピンドルモータに組み込んで、好適に使用可能である。
【発明の効果】
【００２０】
以上に示すように、本発明によれば、スラスト動圧発生部の摩耗が低コストに抑制可能となり、これにより、動圧軸受装置の長寿命化が低コストに実現可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
図１は、動圧軸受装置を組み込んだ情報機器用スピンドルモータの一構成例を概念的に示している。このスピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、軸部材２を回転自在に支持する動圧軸受装置１と、軸部材２の一端に設けられたディスクハブ３と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４およびロータマグネット５と、動圧軸受装置１を内周に固定したブラケット６とを備えている。ステータコイル４はブラケット６の外周に取付けられ、ロータマグネット５はディスクハブ３の内周に取付けられる。ディスクハブ３には、磁気ディスク等のディスクＤが複数枚（図示例は３枚）保持される。ステータコイル４に通電すると、ステータコイル４とロータマグネット５との間の電磁力でロータマグネット５が回転し、それによって、ディスクハブ３およびこれに保持されたディスクＤが、軸部材２と一体に回転する。
【００２３】
図２は、本発明の第１実施形態に係る動圧軸受装置１を示している。同図に示す動圧軸受装置１は、軸部材２と、軸部材２を内周に挿入した軸受スリーブ８と、軸受スリーブ８を内周に固定したハウジング７と、ハウジング７の一端開口を閉塞するスラスト部材９と、ハウジング７の他端開口をシールするシール部材１０とを主要な構成部材として備える。なお、説明の便宜上、スラスト部材９の側を下側、シール部材１０の側を上側として、以下説明を進める。
【００２４】
軸部材２は、例えばＳＵＳ４２０Ｊ２等のステンレス鋼に焼入れ等の表面硬化処理を施した金属材料で、軸部２１と、軸部２１の下端から外径側に張り出した円盤状のフランジ部２２とを一体又は別体に有する断面逆Ｔ字状に形成される。軸部２１の外周面２１ａは、その上端部近傍および略中央部に環状の凹部が設けられている点を除き、凹凸のない平滑な円筒面とされる。また、フランジ部２２の両端面２２ａ，２２ｂは、それぞれ凹凸のない平滑な平坦面とされる。
【００２５】
ハウジング７は、黄銅やステンレス鋼等の金属材料あるいは樹脂材料で円筒状に形成される。ハウジング７の内周面は、軸方向で小径内周面７ａと大径内周面７ｂとに区画され、小径内周面７ａには軸受スリーブ８およびシール部材１０が、また大径内周面７ｂにはスラスト部材９が、例えば、接着、圧入、溶着等の適宜の手段でそれぞれ固定される。
【００２６】
軸受スリーブ８は、例えば、銅を主成分とする焼結金属の多孔質体で円筒状に形成される。軸受スリーブ８は、焼結金属以外にも、黄銅等の軟質金属材料や、焼結金属ではない他の多孔質体、例えば多孔質樹脂で形成することもできる。
【００２７】
軸受スリーブ８の内周面８ａの上下二箇所に離隔した円筒状領域には、図３（ａ）に示すように、ヘリングボーン形状に配列された複数の動圧溝Ａａ１、およびこれを区画形成する凸状の丘部Ａｂ１からなるラジアル動圧発生部Ａ１と、同じくヘリングボーン形状に配列された複数の動圧溝Ａａ２、およびこれを区画形成する凸状の丘部Ａｂ２からなるラジアル動圧発生部Ａ２とがそれぞれ設けられる。本実施形態において、上側の動圧溝Ａａ１は、軸方向中心ｍに対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心ｍより上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっている。一方、下側の動圧溝Ａａ２は軸方向対称に形成され、その上下領域の軸方向寸法はそれぞれ上記軸方向寸法Ｘ２と等しくなっている。なお、ラジアル動圧発生部Ａ１，Ａ２の何れか一方又は双方は、軸部２１の外周面２１ａに形成しても良いし、複数の動圧溝をスパイラル形状等の公知のその他の形状に配列したものであっても良い。
【００２８】
軸受スリーブ８の下側端面８ｂの一部又は全部環状領域には、図３（ｂ）に示すように、スパイラル形状に配列された複数の動圧溝Ｂａ、およびこれを区画形成する凸状の丘部Ｂｂからなるスラスト動圧発生部Ｂが設けられる。なお、スラスト動圧発生部Ｂは、フランジ部２２の上側端面２２ａに形成しても良いし、複数の動圧溝をヘリングボーン形状等の公知のその他の形状に配列したものであっても良い。
【００２９】
軸受スリーブ８の外周面８ｃには、両端面８ｂ，８ｄに開口した軸方向溝８ｃ１が１又は複数本（本実施形態では３本。図３（ｂ）を参照。）形成される。また、軸受スリーブ８の上側端面８ｄには、円環溝８ｄ１、およびこの内径側に接続された１又は複数本の径方向溝８ｄ２が形成される。
【００３０】
シール部材１０は、例えば、黄銅等の軟質金属材料やその他の金属材料、あるいは樹脂材料でリング状に形成される。このシール部材１０の内周面１０ａと、軸部２１の外周面２１ａとの間には所定のシール空間Ｓが形成される。シール部材１０の内周面１０ａは、上方に向かって内径寸法を漸次拡大させたテーパ面に形成される一方、軸部２１の外周面２１ａは径一定の円筒面とされる。従ってシール空間Ｓは、ハウジング７の内部側に向かって漸次縮小したテーパ形状を呈する。シール部材１０の下側端面１０ｂの外径側には、１又は複数本の径方向溝１０ｂ１が形成される。なお、このシール部材１０は、ハウジング７と一体的に設けることも可能である。
【００３１】
スラスト部材９は、軸部材２のフランジ部２２よりも低硬度の材料（軟質の材料）、本実施形態では黄銅で形成される。スラスト部材９の上側端面９ａの一部環状領域には、図４に示すように、スパイラル形状に配列された複数の動圧溝Ｃａ、およびこれを区画形成する凸状の丘部Ｃｂからなるスラスト動圧発生部Ｃが設けられる。ここでは、この丘部Ｃｂの上側端面が、本発明でいう「スラスト動圧発生部の摺動面」に相当する。なお、スラスト動圧発生部Ｃは、スラスト部材９が加工性の良好な黄銅で形成されることから、簡易な手段、例えばプレス加工等の塑性加工で形成される。
【００３２】
スラスト部材９の上側端面９ａの一部、本実施形態ではスラスト動圧発生部Ｃよりも内径側の領域に耐摩耗部１２が設けられる。耐摩耗部１２は、軸受運転時、フランジ部２２の下側端面２２ｂと回転軸心上で点接触可能な形状、ここでは球状面に形成される。本実施形態では、スラスト部材９の半径方向中央部に形成した凹部（貫通孔でも良い）９ｂ内に、圧入、接着等の適宜の手段で固定された耐摩耗部材１１の球面状に形成された上側端面１１ａでもって耐摩耗部１２が構成される。耐摩耗部材１１は、スラスト部材９よりも耐摩耗性に優れる高硬度の材料で、かつフランジ部２２の形成材料（ＳＵＳ４２０Ｊ２）よりも低硬度の材料、例えば、りん青銅で形成される。
【００３３】
ところで、軸部材２とスラスト部材９の相対回転時には、図５に示すように、スラスト部材９の上側端面９ａとフランジ部２２の下側端面２２ｂとの間に軸方向の隙間が形成される。当該軸方向隙間のうち、スラスト動圧発生部Ｃと対向する部分には第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間Ｄｓが形成され、また、耐摩耗部１２と対向する部分には、スラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅よりも小さい微小隙間Ｄｂが形成される。本実施形態では、耐摩耗部１２を、スラスト動圧発生部Ｃの丘部Ｃｂよりも若干量上方に突出するように設ける一方、フランジ部２２の下側端面２２ｂを平坦面に形成することで、微小隙間Ｄｂの隙間幅が第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅よりも小さくなるようにしている。従って、例えば軸受停止に伴って軸部材２が自重で降下した際には、耐摩耗部１２が軸部材２のフランジ部２２と摺動接触する。
【００３４】
なお、例えば、耐摩耗部１２をスラスト動圧発生部Ｃの丘部Ｃｂと面一もしくはこれよりも低く設ける一方、フランジ部２２の下側端面２２ｂのうち、耐摩耗部１２と対向する部分に下方に突出した凸部を設けることで、微小隙間Ｄｂの隙間幅をスラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅より小さくすることもできる。
【００３５】
動圧軸受装置１は以上の構成からなり、シール部材１０でシールされたハウジング７の内部空間には、軸受スリーブ８の内部気孔も含め流体としての潤滑油が充満される。
【００３６】
以上の構成からなる動圧軸受装置１において、軸部材２が回転すると、軸受スリーブ８の内周面８ａに軸方向に離隔して設けたラジアル動圧発生部Ａ１，Ａ２と、軸部２１の外周面２１ａとの間にラジアル軸受隙間が形成される。そして、軸部材２の回転に伴って、ラジアル軸受隙間に形成される油膜は、動圧溝Ａａ１，Ａａ２の動圧作用によってその油膜剛性を高められ、この圧力によって軸部材２がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２をラジアル方向に回転自在に非接触支持する第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２とが軸方向の二箇所に離隔形成される。
【００３７】
これと同時に、軸受スリーブ８の下側端面８ｂに設けたスラスト動圧発生部Ｂとフランジ部２２の上側端面２２ａとの間にスラスト軸受隙間が形成され、また、スラスト部材９の上側端面９ａに設けたスラスト動圧発生部Ｃとフランジ部２２の下側端面２２ｂとの間にスラスト軸受隙間Ｄｓが形成される。そして、軸部材２の回転に伴って、両スラスト軸受隙間に形成される油膜は、動圧溝Ｂａ，Ｃａの動圧作用によってその油膜剛性を高められ、この圧力によって軸部材２が両スラスト方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２を両スラスト方向に回転自在に非接触支持する第１スラスト軸受部Ｔ１と第２スラスト軸受部Ｔ２とが形成される。
【００３８】
また、軸部材２の回転時には、上述のように、シール空間Ｓが、ハウジング７の内部側に向かって漸次縮小したテーパ形状を呈しているため、シール空間Ｓ内の潤滑油は毛細管力による引き込み作用により、シール空間が狭くなる方向、すなわちハウジング７の内部側に向けて引き込まれる。これにより、ハウジング７の内部からの潤滑油の漏れ出しが効果的に防止される。また、シール空間Ｓは、ハウジング７の内部空間に充填された潤滑油の温度変化に伴う容積変化量を吸収するバッファ機能を有し、想定される温度変化の範囲内では、潤滑油の油面は常にシール空間Ｓ内にある。
【００３９】
また、ラジアル軸受部Ｒ１を形成する上側の動圧溝Ａａ１は、軸方向中心ｍに対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心ｍより上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっている。そのため、軸部材２の回転時、動圧溝Ａａ１による潤滑油の引き込み力（ポンピング力）は上側領域が下側領域に比べて相対的に大きくなる。そして、この引き込み力の差圧によって、軸受スリーブ８の内周面８ａと軸部２１の外周面２１ａとの間の隙間に満たされた潤滑油は下方に流動し、軸受スリーブ８の下側端面８ｂとフランジ部２２の上側端面２２ａとの間の隙間→軸受スリーブ８の軸方向溝８ｃ１によって形成される流体通路→シール部材１０の径方向溝１０ｂ１によって形成される流体通路→軸受スリーブ８の円環溝８ｄ１および径方向溝８ｄ２によって形成される流体通路という経路を循環して、第１ラジアル軸受部Ｒ１のラジアル軸受隙間に再び引き込まれる。
【００４０】
このように、潤滑油がハウジング７の内部空間を流動循環するように構成することで、潤滑油の圧力バランスが保たれると同時に、局部的な負圧の発生に伴う気泡の生成、気泡の生成に起因する潤滑油の漏れや振動の発生等の問題を解消することができる。上記の循環経路には、シール空間Ｓが連通しているので、何らかの理由で潤滑油中に気泡が混入した場合でも、気泡が潤滑油に伴って循環する際にシール空間Ｓ内の潤滑油の油面（気液界面）から外気に排出される。従って、気泡による悪影響はより一層効果的に防止される。
【００４１】
ところで、動圧軸受装置１の起動停止時等、軸部材２の低速回転時には各動圧発生部による潤滑油のポンピング力が小さい。そのため、このときのフランジ部２２の下側端面２２ｂとスラスト部材９の上側端面９ａとの間に形成される軸方向隙間の隙間幅は、動圧軸受装置１の高速回転時における隙間幅よりも小さくなってスラスト動圧発生部Ｃの摺動面が摩耗するおそれが生じる。
【００４２】
本発明に係る動圧軸受装置１では、スラスト動圧発生部Ｃを有するスラスト部材９の上側端面９ａの一部に高硬度の耐摩耗部１２を設けたので、低速回転時等における軸部材２（フランジ部２２）とスラスト部材９との接触が、耐摩耗部１２とこれに対向するフランジ部２２の下側端面２２ｂとの間でも行われるため、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面（丘部Ｃｂ）の摩耗を抑制することができる。また、このようにスラスト動圧発生部Ｃの摺動面の摩耗を抑制することができるようになる結果、スラスト動圧発生部Ｃ自体に高い硬度は必要とされないため、スラスト部材９を加工性の良好な材料（本実施形態では黄銅）で形成することができる。そのため、高精度なスラスト動圧発生部Ｃを、プレス加工のような簡易な手段で容易に形成することができる。
【００４３】
また特に本実施形態のように、スラスト動圧発生部Ｃよりも内径側に耐摩耗部１２を設ければ、低速回転時等における耐摩耗部１２とフランジ部２２の下側端面２２ｂとの摺動時におけるトルク増大は最小限となる。そのため、耐摩耗部１２自体の摩耗も効果的に抑制可能となり、摩耗に起因したその他の問題、例えばコンタミの問題が生じる可能性も減じられる。
【００４４】
また、耐摩耗部１２をスラスト動圧発生部Ｃの丘部Ｃｂよりも若干量上方に突出させて設ける一方、フランジ部２２の下側端面２２ｂを平坦な平滑面とし、耐摩耗部１２とフランジ部２２の下側端面２２ｂとの間に、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅よりも小さい隙間幅の微小隙間Ｄｂを形成するようにした。これにより、軸部材２の低速回転時には、耐摩耗部１２がスラスト動圧発生部Ｃの丘部Ｃｂよりもフランジ部２２の下側端面２２ｂに対して優先的に接触する。そのため、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面の摩耗が一層効果的に抑制される。
【００４５】
さらに、耐摩耗部１２を球面状に形成すると共に、フランジ部２２の下側端面２２ｂを平滑な平坦面に形成することにより、軸部材２の低速回転時等における耐摩耗部１２とフランジ部２２の下側端面２２ｂとの接触が点接触となるようにした。これにより、軸部材２の低速回転時等における耐摩耗部１２とフランジ部２２との接触は周速度がゼロとなる部分で行われるため、耐摩耗部１２の摩耗がより一層効果的に抑制される。
【００４６】
また、耐摩耗部１２をフランジ部２２よりも低硬度の材料、具体的には、耐摩耗部１２（耐摩耗部材１１）をりん青銅で形成する一方、フランジ部２２をＳＵＳ４２０Ｊ２で形成しているので、耐摩耗部１２とフランジ部２２の下側端面２２ｂとの摺動接触に起因した、フランジ部２２の下側端面２２ｂの摩耗は効果的に防止される。
【００４７】
なお、本実施形態のように、耐摩耗部１２を、スラスト動圧発生部Ｃの丘部Ｃｂよりも若干量上方に突出するように設ける場合、その突出量は、スラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅の１／４以内程度に設定するのが望ましい。例えば、スラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅が８μｍ程度とされる場合、耐摩耗部１２の突出量は２μｍ以下程度にするのが望ましい。第２スラスト軸受部Ｔ２におけるスラスト荷重の支持力を十分に確保するためである。
【００４８】
以上では、耐摩耗部１２を、スラスト動圧発生部Ｃの丘部Ｃｂよりも若干量上方に突出するように設け、微小隙間Ｄｂの隙間幅をスラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅よりも小さくしたが、耐摩耗部１２は丘部Ｃｂと面一となるように、すなわち微小隙間Ｄｂおよびスラスト軸受隙間Ｄｓの軸方向幅が略同一となるように設けても良い。
【００４９】
以上、本発明の一実施形態について説明を行ったが、本発明は上記の実施形態に限定適用されるものではない。以下、本発明を適用した動圧軸受装置の他の実施形態について説明を行うが、以上で説明したものに準じる構成には共通の参照番号を付し、重複説明を省略する。
【００５０】
図６は、本発明に係る動圧軸受装置１の第２実施形態を示すものである。同図に示す動圧軸受装置１が図２に示すものと異なる主な点は、ハウジング７が、円筒状の側部７１と、側部７１の下端開口を閉塞するスラスト部材９に相当する底部７２とが一体のコップ状に形成される点にある。このハウジング７は、第１実施形態と同様のりん青銅で形成された耐摩耗部材１１をインサート部品として、液晶ポリマー（ＬＣＰ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の熱可塑性樹脂を主成分とする樹脂材料、あるいはマグネシウム合金等の低融点金属で射出成形され、かつ射出成形時に、底部７２の内底面７２ａにスラスト動圧発生部Ｃを型成形している。このようにすれば、ハウジング７の成形、耐摩耗部１２の形成（耐摩耗部材１１の組み付け）、およびスラスト動圧発生部Ｃの成形を一工程で完了することができるため、製造コストを低廉化することができる。
【００５１】
もちろん、ハウジング７と耐摩耗部１２（耐摩耗部材１１）とを個別に形成し、底部７２に設けた凹部に耐摩耗部材１１を配置することによって、図６に示す形態とすることも可能である。また、この実施形態と同様の観点から、図２に示す第１実施形態においても、耐摩耗部材１１をインサートしてスラスト部材９を射出成形することも、さらにスラスト部材９の射出成形時に、スラスト動圧発生部Ｃを型成形することも可能である。
【００５２】
以上で説明した動圧軸受装置１は、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅を径方向で略同一としたものであるが、スラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅は、外径側ほど小さくすることができる。具体的には、例えば図７に示すように、スラスト部材９の上側端面９ａの一部領域に、外径側ほどフランジ部２２の下側端面２２ｂに接近した傾斜面１３を設け、この傾斜面１３にスラスト動圧発生部Ｃを設ける一方、フランジ部２２の下側端面２２ｂを平坦面とすることによって、スラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅を外径側ほど小さくすることができる。
【００５３】
このような構成とすれば、軸部材２の回転時、周速度の大きい外径側の部分において、スラスト動圧発生部Ｃによるポンピング機能が高まる。そのため、耐摩耗部１２とフランジ部２２の下側端面２２ｂとの接触時間を短縮することができ、スラスト動圧発生部Ｃの丘部Ｃｂおよび耐摩耗部１２の摩耗に起因した各種問題の発生を、一層効果的に抑制することができる。但し、この構成とする場合でも、軸部材２の回転に伴い、耐摩耗部１２とフランジ部２２の下側端面２２ｂとの間に形成される微小隙間Ｄｂの隙間幅が、スラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅以下となるようにするのが、上述した作用効果を奏する上で肝要である。なお、スラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅を外径側ほど小さくする構成は、スラスト部材９の上側端面９ａを平坦面とする一方、フランジ部２２の下側端面２２ｂに図示例の傾斜面１３とは逆方向に傾斜した傾斜面を設けることで得ることもできる。
【００５４】
図８は、本発明に係る動圧軸受装置１の第３実施形態を示すものである。同図に示す動圧軸受装置１は、図２に示す動圧軸受装置１と基本的な構成は同一であり、耐摩耗部１２がスラスト部材９の上側端面９ａに形成したスラスト動圧発生部Ｃの形成領域内に設けられている点でのみ、図２に示す実施形態と構成を異にする。
【００５５】
詳細には、スラスト部材９の上側端面９ａに形成したスラスト動圧発生部Ｃのうち、その半径方向幅を２等分した時の外径側の領域の一部に耐摩耗部１２を設けている。さらに詳細には、上側端面９ａに開口すると共に、少なくとも周方向の一部領域がスラスト動圧発生部Ｃの外接円Ｃ１に内接するような凹部９ｂを周方向の複数箇所（図示例は４箇所）に離隔して設け、この凹部９ｂ内にそれぞれ配設した耐摩耗部材１１の上側端面１１ａでもって耐摩耗部１２が構成される（図８および図９を参照）。各耐摩耗部材１１は、その全体が、黄銅製のスラスト部材９よりもフランジ部２２に対する耐摩耗性に優れる高硬度の材料で、かつフランジ部２２の形成材料（ＳＵＳ４２０Ｊ２）よりも低硬度の材料、ここではりん青銅で形成される。
【００５６】
そして、本実施形態の耐摩耗部１２は、図１０にも示すように、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間Ｄｓのうち、耐摩耗部１２が対向する部分の隙間幅が、耐摩耗部１２以外の部分が対向する部分の隙間幅よりも小さくなるように、スラスト動圧発生部Ｃ内のその他の部分よりも若干量上方に突出して設けられる。各耐摩耗部材１１の上側端面１１ａ（耐摩耗部１２）は、球面状に形成されている。また、本実施形態では、スラスト動圧発生部Ｃを構成する動圧溝Ｃａおよび丘部Ｃｂの一部は、耐摩耗部材１１に形成されている。
【００５７】
本実施形態のスラスト動圧発生部Ｃはプレス加工（塑性加工）で形成され、また、耐摩耗部１２は塑性加工時の受圧面とされる。すなわち、図示は省略するが、本実施形態のスラスト動圧発生部Ｃは、スラスト部材９に設けた凹部９ｂ内に耐摩耗部材１１をそれぞれ配置した後、スラスト部材９の上側端面９ａおよび耐摩耗部材１１の上側端面１１ａに、スラスト動圧発生部Ｃ形状に対応した形状の金型を押し付けることによって形成される。
【００５８】
このような構成とすることによっても、軸部材２の低速回転時等には、上述した実施形態（耐摩耗部１２をスラスト動圧発生部Ｃの内径側に設けたもの）と同様の作用効果が得られる。なお、摺動面の摩耗は周速度が大きい外径側ほど進行し易いため、耐摩耗部１２を上記態様で設けることで、摺動面の摩耗抑制効果を最も有効に享受することができる。より詳細に述べると、例えば、図９に示す形態よりも内径側に図９と同様の耐摩耗部１２を設けた場合、スラスト動圧発生部Ｃとフランジ部２２との摺動接触によって生じる摩耗粉の量は、図９の場合よりも多くなる。逆を言えば、耐摩耗部１２を外径側に設けるほど、摺動面（スラスト動圧発生部Ｃ）内に占める耐摩耗部１２の面積比率を小さくしても同様の摩耗抑制効果が得られる。従って、上記構成とすることで、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面に占める耐摩耗部１２の面積比率を極力小さくしてスラスト動圧発生部Ｃの加工性を良好なものとしつつ、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面の摩耗を効果的に抑制することができる。
【００５９】
また、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面内において、耐摩耗部１２を他所よりも若干量上方に突出させて設けているので、軸部材２の低速回転時等には、耐摩耗部１２がフランジ部２２の下側端面２２ｂに対して優先的に接触する。そのため、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面の摩耗が一層効果的に抑制される。
【００６０】
また、スラスト動圧発生部Ｃを塑性加工（具体的にはプレス加工）で形成すると共に、耐摩耗部１２を塑性加工時の受圧面としているので、耐摩耗部１２を予め適切な硬度に設定しつつ、スラスト動圧発生部Ｃを形成するのと同時に、摺動面内における耐摩耗部１２の相対高さを調整することができる。そのため、スラスト部材９とは別に設けた耐摩耗部材１１の上側端面１１ａで耐摩耗部１２を構成した本実施形態にあっても、摺動面内における耐摩耗部１２の相対高さ調整が簡便に行い得る。
【００６１】
また、耐摩耗部１２を球面状に形成すると共に、フランジ部２２の下側端面２２ｂを平滑な平坦面に形成することにより、軸部材２のフランジ部２２とスラスト部材９の相対回転時、各耐摩耗部１２を、フランジ部２２の下側端面２２ｂと線接触するようにしたので、両部の接触面積を減少させ相対回転時の摺動抵抗を低減することができる。従って、低速回転時における回転性能の向上が図られ、また、耐摩耗部１２自体が摩耗することによるその他の問題、例えばコンタミの問題も効果的に解消される。
【００６２】
また、耐摩耗部１２をフランジ部２２よりも低硬度の材料で形成しているので、耐摩耗部１２とフランジ部２２の下側端面２２ｂとの摺動接触に起因した、フランジ部２２の下側端面２２ｂの摩耗は効果的に防止される。なお、本実施形態では、上述したように、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面内において、耐摩耗部１２を他所よりも若干量上方に突出して設けているが、この場合の突出量は図２に示す実施形態と同様にスラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅の１／４以内程度に留めるのが望ましい。
【００６３】
図示は省略するが、図６に示す形態の動圧軸受装置１においても、図８で説明した実施形態と同様の態様で耐摩耗部１２を配置することも可能である。すなわち、例えばりん青銅で形成された耐摩耗部材１１をスラスト動圧発生部Ｃの形成予定領域内にインサート部品として配置し、液晶ポリマー（ＬＣＰ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の熱可塑性樹脂を主成分とする樹脂材料、あるいはマグネシウム合金等の低融点金属で側部７１および底部７２を一体に有する有底筒状のハウジング７を射出成形することもできる。もちろん、ハウジング７と耐摩耗部材１１とを個別に製作し、底部７２に設けた凹部に耐摩耗部材１１を配置することも可能である。また、これと同様の観点から、図８に示す第３実施形態においても、耐摩耗部材１１をインサートしてスラスト部材９を射出成形することも可能である。
【００６４】
図８および図９では、スラスト動圧発生部Ｃ内の周方向複数箇所に耐摩耗部材１１（耐摩耗部１２）を離隔して設けた場合について説明を行ったが、耐摩耗部１２は、例えば図１１に示すように、リング状に形成した耐摩耗部材１１の上側端面１１ａでもって構成することもできる。この場合でも、周速度の大きいスラスト動圧発生部Ｃの外径側部分の摩耗を効果的に抑制すべく、耐摩耗部材１１（耐摩耗部１２）は、スラスト動圧発生部Ｃの半径方向幅を２等分した時の外径側の領域に位置すると共に、その外周面がスラスト動圧発生部Ｃの外接円Ｃ１に内接するように設けるのが望ましい。
【００６５】
なお、図９や図１１では耐摩耗部材１１に動圧溝Ｃａを形成しているが、耐摩耗部材１１がスラスト部材９よりも高硬度の材料で形成されていることから、上述したようなプレス加工では、所定態様の動圧溝Ｃａを耐摩耗部材１１に設けることができない場合も想定される。この場合、第２スラスト軸受部Ｒ２で必要とされる支持能力が確保されないおそれがあるが、例えば、スラスト部材９に設けるべき動圧溝Ｃａの溝深さを大きく設定することで、第２スラスト軸受部Ｒ２において必要とされる支持能力を確保することができる。スラスト部材９自体は、低硬度の黄銅等で形成することができるから、溝深さを大きくすることは容易に行い得る。
【００６６】
また、耐摩耗部１２は、図１２（ａ）（ｂ）に示すように、動圧溝Ｃａ内に配置した耐摩耗部材１１の上側端面１１ａでもって構成することも可能である。この場合、図１２（ｂ）にも示すように、動圧溝Ｃａのうち、耐摩耗部材１１を配置した部分では、その溝幅が狭小化するため、ポンピング機能が高められる。従って、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面とフランジ部２２の下側端面２２ａとの接触時間を短縮することができ、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面の摩耗が効果的に抑制可能となる。
【００６７】
以上では、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面のうち、耐摩耗部１２を他所よりも若干量上方に突出させて設けた場合について説明を行ったが、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面の全体が面一となるように耐摩耗部１２を設けても良い（図示は省略）。
【００６８】
図８等で説明した動圧軸受装置１は、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅を半径方向で略同一としたものであるが、スラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅は、図７に示す場合と同様に外径側ほど小さくすることができる。より具体的には、例えば図１３に示すように、スラスト部材９の上側端面９ａの一部領域に、外径側ほどフランジ部２２の下側端面２２ｂに接近した傾斜面１３を形成し、この傾斜面１３にスラスト動圧発生部Ｃを設ける一方、フランジ部２２の下側端面２２ｂを平坦面とすることによって、スラスト軸受隙間Ｄｓの隙間幅を外径側ほど小さくすることができる。
【００６９】
このような構成とすれば、軸部材２の回転時、周速度の大きい外径側の部分において、スラスト動圧発生部Ｃによるポンピング機能が高まる。そのため、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面とフランジ部２２の下側端面２２ｂとの接触時間を短縮することができ、スラスト動圧発生部Ｃの摩耗を一層効果的に抑制することができる。もちろん、かかる構成は、スラスト部材９の上側端面９ａを平坦面とする一方、フランジ部２２の下側端面２２ｂに図示例の傾斜面１３とは逆方向に傾斜した傾斜面を設けることで得ることもできる。
【００７０】
以上で説明した各実施形態では、りん青銅で形成した耐摩耗部材１１の上側端面１１ａで耐摩耗部１２を構成したが、耐摩耗部１２（耐摩耗部材１１）は、スラスト動圧発生部Ｃの摺動面よりもフランジ部２２の下側端面２２ｂに対する耐摩耗性が優れるものであれば、その形成材料は特に問わない。例えば、耐摩耗部材１１を焼結金属やセラミックス等の多孔質体とすることも可能である。このように耐摩耗部材１１を多孔質体とすれば、軸部材２の回転時、この耐摩耗部材１１の内部気孔に保持された潤滑油の滲み出しによってもスラスト動圧発生部Ｃの摺動面の摩耗が効果的に抑制される。
【００７１】
また、耐摩耗部１２は、樹脂材料を主成分とし、これにカーボンファイバー（ＣＦ）やグラスファイバー（ＧＦ）等の耐摩耗性に優れる添加材を含有させた耐摩耗部材１１の上側端面１１ａで構成することも可能である。またあるいは、樹脂や金属を母材とし、少なくとも上側端面１１ａに、フランジ部２２の下側端面２２ｂに対する耐摩耗性の良好な被膜を設けた耐摩耗部材１１で耐摩耗部１２を構成することも可能である。
【００７２】
また、耐摩耗部１２をスラスト部材９（あるいはハウジング底部７２）とは別に設けた耐摩耗部材１１の上側端面１１ａで構成するのではなく、スラスト部材９の上側端面９ａに形成したスラスト動圧発生部Ｃの所定部分に、フランジ部２２に対する耐摩耗性に優れる被膜（硬質被膜）を形成し、この被膜でもって耐摩耗部１２を構成することも可能である。
【００７３】
また、以上では、スラスト部材９（ハウジング７の底部７２も含む）を軸部材２のフランジ部２２よりも低硬度の材料で形成すると共に、スラスト部材９の上側端面９ａにスラスト動圧発生部Ｃと耐摩耗部１２とを設けた場合について説明を行ったが、これとは逆に、軸部材２のフランジ部２２をスラスト部材９よりも低硬度の材料で形成すると共に、その下側端面２２ｂにスラスト動圧発生部Ｃと耐摩耗部１２とを設けることも可能である（図示は省略）。
【００７４】
また、以上では、ヘリングボーン形状等に配列した複数の動圧溝、およびこれを区画形成する凸状の丘部でラジアル動圧発生部Ａ１、Ａ２を構成しているが、ラジアル動圧発生部Ａ１，Ａ２は、ステップ面、複数の円弧面、あるいは複数の調和波形面等で構成することもできる。また、ラジアル動圧発生部は、軸方向の１箇所あるいは３箇所以上に設けることもできる。さらに、以上では、スパイラル形状等に配列した複数の動圧溝、およびこれを区画形成する凸状の丘部でスラスト動圧発生部Ｂ，Ｃを構成しているが、例えば、放射状に延びる複数の動圧溝およびこれを区画形成する凸状の丘部でスラスト動圧発生部Ｂ，Ｃを構成することもできる（何れも図示は省略）。
【００７５】
また、以上では、軸部材２を回転側、スラスト部材９やハウジング７等を固定側とした動圧軸受装置１について説明を行ったが、これとは逆に、軸部材２を固定側、スラスト部材９やハウジング７等を回転側とした動圧軸受装置１についても本発明の構成を好適に適用することが可能である。
【００７６】
また、以上では、動圧軸受装置１の内部に充満する潤滑流体として潤滑油を例示しているが、潤滑油以外にも、空気等の気体や、グリースを使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】情報機器用スピンドルモータの一例を概念的に示す断面図である。
【図２】本発明に係る動圧軸受装置の第１実施形態を示す断面図である。
【図３】（ａ）図は軸受スリーブの断面図、（ｂ）図は軸受スリーブの下側端面を示す図である。
【図４】スラスト部材の上側端面を示す平面図である。
【図５】図２に示す動圧軸受装置の要部拡大断面図であり、第２スラスト軸受部のスラスト軸受隙間近傍を示す拡大断面図である。
【図６】本発明に係る動圧軸受装置の第２実施形態を示す断面図である。
【図７】スラスト部材の他の実施形態を示す平面図である。
【図８】本発明に係る動圧軸受装置の第３実施形態を示す断面図である。
【図９】図８に示す動圧軸受装置を構成するスラスト部材の上側端面を示す平面図である。
【図１０】図８に示す動圧軸受装置の要部拡大断面図であり、第２スラスト軸受部のスラスト軸受隙間近傍を示す拡大断面図である。
【図１１】スラスト部材の他の実施形態を示す平面図である。
【図１２】（ａ）図は、スラスト部材の他の実施形態を示す平面図、（ｂ）図は、（ａ）図の拡大図中に示すＸ−Ｘ部の拡大断面図である。
【図１３】図１０に示す第２スラスト軸受部のスラスト軸受隙間近傍の変形例を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１      動圧軸受装置
２      軸部材
２２    フランジ部
７      ハウジング
９      スラスト部材
１１    耐摩耗部材
１２    耐摩耗部
１３    傾斜面
Ｂ，Ｃ  スラスト動圧発生部
Ｃ１    外接円
Ｃａ    動圧溝
Ｃｂ    丘部（摺動面）
Ｄｓ    第２スラスト軸受部のスラスト軸受隙間
Ｄｂ    微小隙間
Ｒ１    第１ラジアル軸受部
Ｒ２    第２ラジアル軸受部
Ｔ１    第１スラスト軸受部
Ｔ２    第２スラスト軸受部
【図１】
2009115132.tif 000003
【図２】
2009115132.tif 000004
【図３】
2009115132.tif 000005
【図４】
2009115132.tif 000006
【図５】
2009115132.tif 000007
【図６】
2009115132.tif 000008
【図７】
2009115132.tif 000009
【図８】
2009115132.tif 000010
【図９】
2009115132.tif 000011
【図１０】
2009115132.tif 000012
【図１１】
2009115132.tif 000013
【図１２】
2009115132.tif 000014
【図１３】
2009115132.tif 000015