(57)【要約】【課題】組立エリアに塵埃（ゴミ）を生じさせることなく、これによって塵埃の付着に起因する不良を防止することのできる、クリーン生産装置を提供する。【解決手段】ワークＷに対して作業を行うクリーン生産装置１である。箱状の装置本体２と、装置本体２内に設けられた加工エリア３及び組立エリア４と、加工エリア３と組立エリア４との間を仕切る隔壁部５と、装置本体２の外部と加工エリア３との間でのワークＷの搬入出を行うためのワーク搬入出口６と、隔壁部５に設けられて、加工エリア３と組立エリア４との間でのワークＷの移送を行うためのワーク移送口９と、ワーク移送口９を介して加工エリア３と組立エリア４との間でワークＷを移送するための移送空間を備えた移送機構８と、組立エリア４内に清浄ガスを供給する第１の清浄ガス供給装置１８と、移送空間に清浄ガスを供給する第２の清浄ガス供給装置１５と、を備えている。【選択図】図２
2009145028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対して作業を行うクリーン生産装置において、
箱状の装置本体と、
前記装置本体内に設けられた加工エリアおよび組立エリアと、
前記加工エリアと組立エリアとの間を仕切る隔壁部と、
前記装置本体に形成されて、該装置本体の外部と前記加工エリアとの間でのワークの搬入出を行うためのワーク搬入出口と、
前記隔壁部に設けられて、前記加工エリアと前記組立エリアとの間でのワークの移送を行うためのワーク移送口と、
前記ワーク移送口を介して前記加工エリアと前記組立エリアとの間でワークを移送するためのワークの移送空間を備えたワークの移送機構と、
前記組立エリア内に清浄ガスを供給する第１の清浄ガス供給装置と、
前記移送空間に清浄ガスを供給する第２の清浄ガス供給装置と、を備えてなることを特徴とするクリーン生産装置。
【請求項２】
前記組立エリアには該組立エリア内の環境ガスを循環させる循環機構が設けられ、
前記循環機構には、循環される環境ガス中の塵埃を除去する清浄装置が設けられていることを特徴とする請求項１記載のクリーン生産装置。
【請求項３】
前記組立エリアには、その内部の圧力を検知する圧力検知手段が設けられ、
前記第１の清浄ガス供給装置には、前記圧力検知手段で検知された前記組立エリアの内部圧力に応じて、前記組立エリア内に供給する清浄ガスの量を制御する供給量制御機構が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーン生産装置。
【請求項４】
前記ワーク移送口には、該ワーク移送口を気密に閉塞するシャッターが開閉可能に設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のクリーン生産装置。
【請求項５】
前記移送機構は、前記移送空間を形成する箱状の収納部と、該収納部を前記加工エリアと組立エリアとの間に移動させる収納部移動手段と、を有してなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のクリーン生産装置。
【請求項６】
前記移送機構は、前記ワーク移送口に連通する移送空間と、該移送空間内に設けられて、ワークを前記加工エリアと前記組立エリアとの間に移動させるワーク移動手段と、を有してなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のクリーン生産装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工エリアと組立エリアとを備えてなるクリーン生産装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学部品や電子部品などの精密部品、またはこのような精密部品を備える精密装置の生産工程では、工程内にゴミ等の異物が混入すると製品の不良につながることから、作業用空間をクリーン環境とするのが一般的である。クリーン環境を形成するには、通常は作業空間を箱状に覆い、クリーンユニット等を用いてこの箱内をクリーン環境下にしている。すなわち、このようなクリーン環境の清浄度を確保しつつ作業することで、異物混入等に起因する不良を防止しているのである。
【０００３】
従来、このようなクリーン環境を形成する装置としては、例えばジェットノズルで形成するエアカーテンをワーク搬入／搬出口に設けておき、このワーク搬入／搬出口を通過させる際にワークに清浄なエアーを吹き付け、ワークに付着したゴミを取り除くもの（特許文献１参照）や、作業領域を遮蔽板で覆い、ファンと隔壁に設けられた小孔による抵抗で内部圧力を高め、外部のゴミを装置内部に流入させないようにしたもの（特許文献２参照）が知られている。
【特許文献１】特開２００３−３４３８８８号公報
【特許文献２】特開２００４−１２０４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記の特許文献１や特許文献２に開示された装置では、ワーク（部材）の加工・組立が同じエリアで行われるため、加工時に発生する塵埃（粉塵）によって作業エリア全体が汚染され、作業エリア全体のクリーン度が低下してしまう。その結果、加工されたワーク（部材）がさらに組み立てられて製品または中間品に形成される際に、これら製品または中間品（ワーク）に加工時に発生した塵埃が付着してしまうことがある。
【０００５】
また、ワークの搬入／搬出口と装置の作業エリアとが直結されているため、ワーク搬入／搬出時に装置内部の圧力バランスが崩れて外気（塵埃を含んだ空気）が装置内に流入し、製品または中間品（ワーク）に塵埃が付着してしまうことがある。この課題については、装置外部をクリーンルームにすることで解決できるものの、（１）クリーンルームの建設に莫大な投資が必要であること、（２）クリーンルームの運転維持費が莫大であること、などにより、製造コストアップを招くといった新たな課題が生じてしまう。
【０００６】
このように、従来の技術では、加工エリアと組立てエリアが同じエリアになっているため、加工時などに発生する塵埃（粉塵）によって作業エリアのクリーン度が低下してしまい、また、作業エリアとワーク搬入出口とが直結されているため、外気が装置内部に流れ込むことでクリーン度が低下してしまうことから、結果的に作業エリアに生じた塵埃が、組立後の製品または中間品（ワーク）に付着することがあった。
【０００７】
このような塵埃の付着をもたらす塵埃の発生は、微細化が益々進む精密機器の生産においては致命的な問題になり、したがっていかに組立エリアに塵埃（ゴミ）を発生させず、また、持ち込まないかということが、非常に重要な課題となっている．
本発明は前記課題を解決するためになされたもので、組立エリアに塵埃（ゴミ）を生じさせることなく、これによって塵埃の付着に起因する不良を防止することのできる、クリーン生産装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため本発明クリーン生産装置は、ワークに対して作業を行うクリーン生産装置において、
箱状の装置本体と、
前記装置本体内に設けられた加工エリアおよび組立エリアと、
前記加工エリアと組立エリアとの間を仕切る隔壁部と、
前記装置本体に形成されて、該装置本体の外部と前記加工エリアとの間でのワークの搬入出を行うためのワーク搬入出口と、
前記隔壁部に設けられて、前記加工エリアと前記組立エリアとの間でのワークの移送を行うためのワーク移送口と、
前記ワーク移送口を介して前記加工エリアと前記組立エリアとの間でワークを移送するためのワークの移送空間を備えたワークの移送機構と、
前記組立エリア内に清浄ガスを供給する第１の清浄ガス供給装置と、
前記移送空間に清浄ガスを供給する第２の清浄ガス供給装置と、を備えてなることを特徴としている。
【０００９】
このクリーン生産装置によれば、ワーク（部材）に対して例えば切断や切削といった加工を行い、したがって塵埃の発生が不可避な加工エリアと、加工エリアで加工された部材の組立を行い、したがってその工程のみからでは塵埃の発生がほとんど起こらない組立エリアとを、隔壁部で仕切ってそれぞれを独立する空間にするとともに、第１の清浄ガス供給装置によって組立エリア内に清浄ガスを供給するようにしたので、加工エリアで発生した塵埃が組立エリアに流れ込み、組立エリアにおいて形成される製品や中間品などのワークに塵埃が付着してしまうことが防止される。
また、加工エリアと組立エリアとの間でワークを移送するためのワークの移送空間に、第２の清浄ガス供給装置によって清浄ガスを供給するようにしたので、組立エリアへのワークの搬入／搬出時に組立エリア内の圧力バランスが崩れても、組立エリア内に流入するガスは第２の清浄ガス供給装置によってワークの移送空間に供給された清浄ガスであるので、加工エリア内の環境ガスが組立エリア内に流入することに起因して、組立エリアにおいて形成される製品や中間品などのワークに塵埃が付着してしまうことが防止される。
【００１０】
また、前記クリーン生産装置においては、前記組立エリアに該組立エリア内の環境ガスを循環させる循環機構が設けられ、前記循環機構に、循環される環境ガス中の塵埃を除去する清浄装置が設けられているのが好ましい。
このようにすれば、例えば加工エリアから移送されるワークに付着している塵埃や、組立加工によってわずかながら発生する塵埃など、組立エリア内に存在する塵埃を、組立エリア内の環境ガスを循環機構で循環させることにより、清浄装置によって除去することができる。したがって、組立エリア内の環境ガスを清浄な状態に保持することができる。
また、前記循環機構は、第１の清浄ガス供給装置によって清浄化されている組立エリア内の清浄雰囲気を循環する方式であるので、例えば装置外部の空気を吸入しフィルターで清浄化する方式に比べ、フィルターの負荷が少なくなり、したがってフィルターの定期的な交換・洗浄などのメンテナンスを大幅に削減でき、作業効率の向上を図ることが可能になる。
【００１１】
また、前記クリーン生産装置においては、前記組立エリアに、その内部の圧力を検知する圧力検知手段が設けられ、前記第１の清浄ガス供給装置に、前記圧力検知手段で検知された前記組立エリアの内部圧力に応じて、前記組立エリア内に供給する清浄ガスの量を制御する供給量制御機構が設けられているのが好ましい。
このようにすれば、例えば組立エリアの内部圧力が大気圧に近くなり、これを圧力検知手段で検知した際、供給量制御機構によって組立エリア内に供給する清浄ガスの量を増大させ、組立エリアの内部圧力が大気圧より十分に高い所定圧となるように制御することが可能になる。したがって、加圧エリア側から塵埃を含む外気が組立エリア内に流れ込み、組立エリア内が汚染されることが防止される。
【００１２】
また、前記クリーン生産装置においては、前記ワーク移送口に、該ワーク移送口を気密に閉塞するシャッターが開閉可能に設けられているのが好ましい。
このようにすれば、ワークの移送時（搬入／搬出時）以外のときにはシャッターを閉じておくことにより、加工エリアと組立エリアとを気密に仕切ることができ、したがって加圧エリア側から塵埃を含む外気が組立エリア内に流れ込み、組立エリア内が汚染されることが防止される。
【００１３】
また、前記クリーン生産装置においては、前記移送機構が、前記移送空間を形成する箱状の収納部と、該収納部を前記加工エリアと組立エリアとの間に移動させる収納部移動手段と、を有してなるのが好ましい。
このようにすれば、箱状の収納部の移送空間に加工工程後のワークを収納し、その状態でこの移送空間に第２の清浄ガス供給装置から清浄ガスを供給することにより、ワークに付着した塵埃をワークから除去することが可能になる。また、加工エリア内からその環境ガスが移送空間内に流入するのを防止することも可能になる。したがって、移送空間を介して組立エリア内に塵埃が流れ込むのを防止することができる。
【００１４】
また、前記クリーン生産装置においては、前記移送機構は、前記ワーク移送口に連通する移送空間と、該移送空間内に設けられて、ワークを前記加工エリアと前記組立エリアとの間に移動させるワーク移動手段と、を有してなるのが好ましい。
このようにすれば、移送空間に加工工程後のワークを収納し、その状態でこの移送空間に第２の清浄ガス供給装置から清浄ガスを供給することにより、ワークに付着した塵埃をワークから除去することが可能になる。また、加工エリア内からその環境ガスが移送空間内に流入するのも防止することが可能になる。したがって、移送空間を介して組立エリア内に塵埃が流れ込むのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、加工エリアで発生した塵埃が組立エリアに流れ込んだり、組立エリアへのワークの搬入／搬出時に組立エリア内の圧力バランスが崩れることで加工エリア内の環境ガスが組立エリア内に流入し、組立エリアにおいて形成される製品や中間品などのワークに塵埃が付着してしまうことを防止しているので、塵埃の付着に起因する不良の発生を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明のクリーン生産装置を詳しく説明する。
図１は、本発明のクリーン生産装置の一実施形態を示す斜視図であり、図２は、図１に示したクリーン生産装置の内部構造を示す図であって、Ａ−Ａ線に沿って矢視した断面図である。これらの図において符号１はクリーン生産装置である。このクリーン生産装置１は、光学部品や電子部品などの精密部品、またはこのような精密部品を備える精密装置の生産装置であって、前記精密部品の構成部材となるワークＷに対して、作業を行う作業エリアを有するものである。
【００１７】
すなわち、このクリーン生産装置１は箱状の装置本体２を備え、この装置本体２内に加工エリア３および組立エリア４を形成し、これら加工エリア３と組立エリア４との間を隔壁部５で仕切ったものである。本実施形態では、加工エリア３が下側、組立エリア４が上側となるように、これら加工エリア３と組立エリア４とが隔壁部５で上下に仕切られている。ここで、加工エリア３は、ワークＷに対して例えば切断や切削といった加工を行う作業空間であり、したがって切断くずや切削くずなど、塵埃（粉塵）の発生が不可避な作業エリアであり。また、組立エリア４は、加工エリア３で加工されたワーク（部材）Ｗの組立を行う作業空間であり、したがってワークどうしが接触することなどでわずかながら塵埃が発生する可能性はあるものの、基本的にはここでの工程から塵埃の発生がほとんど起こらない作業エリアである。
【００１８】
なお、前記加工エリア３には、図示しないものの、加工装置や搬送装置など種々の自動装置が収容されている。これら自動装置は、クリーン生産装置１の外部からの遠隔操作でオペレーターによって直接制御され、あるいは予め設定された制御プログラムによって自動的に動作するようになっている。同様に、前記組立エリア４にも、組立装置や搬送装置など種々の自動装置（図示せず）が収容されており、これら自動装置も、遠隔操作でオペレーターによって直接制御され、あるいは制御プログラムによって自動的に動作するようになっている。また、これら加工エリア３や組立エリア４には、ネジ等の部品や接着剤等の消費材などが予めストックされている。
【００１９】
ここで、組立エリア４でなされる作業としては、レンズの組立や撮像素子の組立などが挙げられ、具体的には、枠体へのレンズの機械的な嵌め込みや、接着剤の塗布、ＵＶ照射による接着剤硬化などによる筐体への光学素子の固定、素子へのレンズの固定などが挙げられる。また、加工エリア３でなされる作業としては、レンズの加工や研磨、枠体や筐体の加工など、組立エリア４で用いられる部材（ワーク）への素材からの加工などが挙げられる。
【００２０】
また、前記装置本体２には、加工エリア３を囲む側壁部に、装置本体２の外部と加工エリア３内との間でのワークＷの搬入出を行うための、ワーク搬入出口６が複数（本実施形態では二つ）形成されている。これらワーク搬入出口６には、扉７が開閉可能に設けられている。また、前記装置本体２内には、ワーク搬入出口６の近傍に、それぞれワークＷの移送機構８が設置されている。さらに、前記隔壁部５には、図２に示すように、加工エリア３と組立エリア４との間でのワークＷの移送を行うためのワーク移送口９が形成されており、このワーク移送口９には、該ワーク移送口９を気密に閉塞するシャッター１０が開閉可能に設けられている。
【００２１】
シャッター１０は、本実施形態では左右一対のドア１０ａ、１０ａが、組立エリア４側に観音開きするように構成されている。そして、通常時にはバネ等の付勢手段（図示せず）によってワーク移送口９を気密に閉じるようになっており、前記移送機構８によって加工エリア３と組立エリア４との間でワークを移送するときのみ、組立エリア４側に開くようになっている。
【００２２】
移送機構８は、前記ワーク移送口９に上方側（一方側）が連通するとともに下方側（他方側）が加工エリア３に設けられた有底筒状の移動筒（筒）１１と、この移動筒１１内に移動可能、すなわち昇降可能に収容された箱状の収納部１２と、この収納部１２を昇降（移動）させる収納部移動手段１３と、を有してなるエレベーター状のものである。移動筒１１の側面には、前記ワーク搬入出口６に対向する位置に開口部１１ａが形成されており、さらに加工エリア３の内側に向く位置にも開口部１１ｂが形成されている。
【００２３】
収納部１２は、その内部が本発明におけるワークＷの移送空間となっている。この収納部１２の側面には、前記開口部１１ａと対応する位置に開口部１２ａが形成されており、前記開口部１１ｂと対応する位置に開口部１２ｂが形成されている。これら開口部１２ａ、１２ｂには、それぞれ開閉扉１４ａ、１４ｂが設けられている。これら開閉扉１４ａ、１４ｂは、オペレーターが手動で直接開閉できるようになっており、さらに、図示しない制御装置によって自動的に開閉するようにもなっている。
【００２４】
収納部移動手段１３は、空気圧や油圧によってロッド（図示せず）を動作させる機構のものや、リニアモータやボールねじ等を用いた機構のものなど、従来公知のものからなり、ロッド等に接続された収納部１２を昇降（移動）させるよう構成されたものである。
前記収納部１２には、その内部、すなわち移送空間に清浄空気（清浄ガス）を供給する清浄ガス供給装置（第２の清浄ガス供給装置）１５が接続されている。この清浄ガス供給装置１５は、コンプレッサー等の空気源（図示せず）とこれに接続された清浄フィルター１６とを備え、この清浄フィルター１６を通過することで清浄化された清浄空気を、伸縮自在な、配管１７を介して前記移送空間に供給するようになっている。
【００２５】
また、前記組立エリア４にも、その内部に清浄空気（清浄ガス）を供給する清浄ガス供給装置（第１の清浄ガス供給装置）１８が接続されている。この清浄ガス供給装置１８も、コンプレッサー等の空気源（図示せず）とこれに接続された清浄フィルター１９とを備え、この清浄フィルター１９を通過することで清浄化された清浄空気を、配管２０を介して前記組立エリア４内に供給するようになっている。また、組立エリア４には、その内部の圧力を検知する圧力検知センサ（圧力検知手段）２１が設けられている。
【００２６】
そして、前記清浄ガス供給装置１８には、組立エリア４内に供給する清浄空気の量を制御する供給量制御機構２２が設けられている。この供給量制御機構２２は、前記圧力検知センサ（圧力検知手段）２１で検知された組立エリア４の内部圧力に応じて、前記空気源から清浄フィルター１９に供給する空気量を制御し、これによって組立エリア４内に供給する清浄空気の量を制御するものである。すなわち、この供給量制御機構２２は、圧力検知センサ２１で検知された圧力を電気信号で受信し、予め設定された圧力と比較して受信した圧力（組立エリア４の内部圧力）が設定圧力に一致しているか否かを確認し、一致していない場合に、空気源から清浄フィルター１９に供給する空気量を増減して設定圧力に一致させるよう、構成されたものである。
【００２７】
また、前記組立エリア４には、該組立エリア４内の環境空気（環境ガス）を循環させる循環機構２３が設けられている。この循環機構２３は、組立エリア４と加工エリア３とを仕切る前記隔壁部５の下方に設けられた底部循環路２４と、この底部循環路２４に連通して前記隔壁部５を通り抜け、組立エリア４の内壁面に沿って立ち上がる側部循環路２５と、この側部循環路２５に連通して組立エリア４の天井面に沿う天井部循環路２６とからなる循環路を備えてなるものである。ここで、前記隔壁部５には、組立エリア４内と底部循環路２４内とを連通させる小孔５ａが多数形成されている。また、天井部循環路２６には、この天井部循環路２６内を流れる空気を組立エリア４内に吹き出させるための吹出孔（図示せず）が多数形成されている。
【００２８】
そして、天井部循環路２６にはファン（図示せず）とＨＥＰＡフィルターなどの高性能フィルター（図示せず）とを有してなるクリーンユニット（清浄装置）２７が設けられている。このような構成のもとに循環機構２３は、クリーンユニット（清浄装置）２７のファンを作動させることにより、組立エリア４内の環境空気を前記小孔５ａから底部循環路２４に流入させ、側部循環路２５、天井部循環路２６を通してクリーンユニット（清浄装置）２７の高性能フィルターに至らせる。そして、この高性能フィルターで送られてきた環境空気中の塵埃を除去することにより、清浄空気を天井部循環路２６の吹出孔から組立エリア４内に吹き出させることができる。
【００２９】
なお、前記の清浄ガス供給装置１８は、組立エリア４内に清浄空気を供給する際、清浄空気を直接組立エリア４内に流入させるようになっていてもよく、また、前記天井部循環路２６内に流入させることにより、清浄空気を間接的に組立エリア４内に流入させるようになっていてもよい。
また、組立エリア４には、その側壁部にメンテナンス用の窓２８が形成されている。この窓２８は、通常時には開けることなく閉じたままになっており、組立エリア４内の組立装置や搬送装置などのメンテナンスを行ったり、部品や消費材などの出し入れを行ったりするときのみ、開けられるようになっている。
【００３０】
このような構成のクリーン生産装置１で加工・組立を行うには、まず、ワーク搬入出口６の扉７を開けて加工エリア３内にワークＷを搬入する。その際、収納部１２の開閉扉１４ｂは閉じた状態で開閉扉１４ａを開けて、移送機構８の収納部１２にワークＷを入れ、その後は扉７および収納部１２の開閉扉１４ａは閉じるとともに開閉扉１４ｂは開けて、加工エリア３内の搬送装置でワークＷを収納部１２から取り出し、ワークＷを加工装置まで自動的に移動させる。このワークＷを収納部１２に入れるときから収納部１２より取り出すまでのとき、清浄ガス供給装置１５によって収納部１２内に清浄空気を供給し続け、収納部１２の内圧を大気圧より高くしておくことで、外気が収納部１２内に流入するのを防止することができる。なお、ワークＷを収納部１２に入れた後には、扉７、および収納部１２の開閉扉１４ａを閉じ続けておく。さらに、搬送装置でワークＷを収納部１２から出した後には、開閉扉１４ｂも閉じておく。その後、搬入したワークＷを加工装置で自動的に加工する。
【００３１】
次いで、加工後のワークＷを再度搬送装置で搬送し、収納部１２の開閉扉１４ｂを開けて、収納部１２内（移送空間）に収容する。収容するこのときにも、清浄ガス供給装置１５によって収納部１２の内圧を高くしておくことで、加工エリア３内での加工雰囲気の空気が収納部１２内に流入するのを防止することができる。また、ワークＷに付着した加工ゴミ（塵埃）を除去して収納部１２の外に吹き出すこともできる。そして、このようにしてワークＷを所定時間収納部１２内に放置し、収納部１２内の空気を清浄ガス供給装置１５で供給した清浄空気にほぼ全部置換したら、開閉扉１４ｂを閉じ、収納部移動手段１３によって収納部１２を上昇（移動）させる。すると、収納部１２は隔壁部５のワーク移送口９を通過し、シャッター１０のドア１０ａ、１０ａを押し開き、図２中二点鎖線で示すように組立エリア４内に至る。
【００３２】
組立エリア４では、隔壁部５によって加工エリア３と仕切られているため、加工エリア３で発生した塵埃が組立エリア４内に流れ込むことが防止されている。また、予め清浄ガス供給装置１８で清浄空気を供給し続けておくことで、その内圧が設定圧以上、すなわち大気圧より高い圧にされている。したがって、このような状態のもとで収納部１２が組立エリア４内に移動してきても、開いたシャッター１０から加工エリア３側の環境空気が組立エリア４内に流入してくることが防止されている。また、収納部１２の開閉扉１４ｂが開いた際には、収納部１２内の空気が一部組立エリア４内に流入するものの、この収納部１２の空気は、前述したように清浄ガス供給装置１５によって収納部１２内に供給された清浄空気であるので、塵埃が組立エリア４内に流入することが防止されている。
【００３３】
なお、このように収容部１２が組立エリア４内に移動させられてくると、組立エリア４の内部圧力が変化するものの、このような圧力変化は圧力検知センサ２１で検知され、供給量制御機構２２によって清浄ガス供給装置１８による清浄空気の供給量が変化させられるため、組立エリア４内はその内部圧力が予め設定された圧、すなわち所定の設定圧に戻る。したがって、組立エリア４は、加工エリア３側の環境空気が流入してくることが依然とした防止された状態に保持される。
【００３４】
このようにして収納部１２の開閉扉１４ｂを開いたら、加工エリア３での場合と同様に、加工後のワークＷを組立エリア４内の搬送装置で組立装置まで自動的に移動させる。続いて、搬入したワークＷを組立装置で自動的に組み立てる。その際、組立エリア４内はその環境空気が循環機構２３で循環させられているので、清浄な状態に保持されている。すなわち、加工エリア３から移送されてきたワークＷにわずかながら付着していた塵埃や、組立加工によってわずかながら発生する塵埃など、組立エリア内に存在する塵埃が、循環機構２３で循環させられることにより、クリーンユニット２７で除去されるからである。
【００３５】
次いで、組立後のワークＷを再度搬送装置で搬送し、収納部１２内（移送空間）に収容する。その際、収納部１２内の空気が一部組立エリア４内に流入しても、前述したようにこの収納部１２内の空気は清浄空気であるので、塵埃が組立エリア４内に流入することはない。そして、開閉扉１４ｂを閉じ、収納部移動手段１３によって収納部１２を下降（移動）させる。すると、収納部１２が隔壁部５のワーク移送口９を通過することにより、シャッター１０のドア１０ａ、１０ａが閉じ、図２中実線で示したように加工エリア３内に戻る。
その後、扉７を開け、さらに収納部１２の開閉扉１４ａを開けて組立後のワークＷをクリーン生産装置１から取り出す。
【００３６】
このようなクリーン生産装置１にあっては、塵埃の発生が不可避な加工エリア３と、塵埃の発生がほとんど起こらない組立エリア４とを、隔壁部５で仕切ってそれぞれを独立する空間にするとともに、清浄ガス供給装置１８によって組立エリア４内に清浄空気を供給するので、加工エリア３で発生した塵埃が組立エリア４に流れ込み、組立エリア４において形成される製品や中間品などのワークＷに塵埃が付着してしまうのを防止することができる。
また、ワークＷの移送空間となる収容部１２内に、清浄ガス供給装置１５によって清浄空気を供給するので、組立エリア４へのワークＷの搬入／搬出時に組立エリア４内の圧力バランスが崩れ、収容部１２内の空気が組立エリア４に流入しても、組立エリア４内を汚染してしまうことを防止することができる。
したがって、このクリーン生産装置１によれば、塵埃の付着に起因する不良の発生を防止し、生産コストの低減化を図ることができる。
【００３７】
また、移送機構８が、移送空間を形成する収納部１２と、該収納部１２を移動させる収納部移動手段１３とを有して構成されているので、収納部１２内に加工工程後のワークＷを収納し、その状態でこの収納部１２内に清浄ガス供給装置１５から清浄空気を供給することにより、ワークＷに付着した塵埃をワークＷから除去して収納部１２の外に吹き出すことができる。また、加工エリア３内からその環境空気が収納部１２内に流入するのを防止することもできる。したがって、収納部１２内の移送空間を介して組立エリア４内に塵埃が流れ込むのを防止することができる。
【００３８】
また、前記の循環機構２３は、清浄ガス供給装置１８によって清浄化されている組立エリア４内の清浄雰囲気を循環する方式であるので、例えば装置本体２の外部の空気を吸入しフィルターで清浄化する方式に比べ、クリンユニット２７のフィルターの負荷が少なくなり、したがってフィルターの定期的な交換・洗浄などのメンテナンスを大幅に削減することができ、作業効率の向上を図ることができる。
【００３９】
次に、本発明のクリーン生産装置の変形例を説明する。図３は、図１、図２に示したクリーン生産装置の変形例を説明するための図であり、クリーン生産装置の移送機構を示す要部側断面図である。
図３に示したクリーン生産装置において移送機構３０は、前記ワーク移送口９に連通して加工エリア３に設けられた有底筒状の移動筒１１、具体的には、ワーク移送口に上方側（一方側）が連通するとともに下方側（他方側）が加工エリア３に設けられた有底筒状の移動筒１１と、この移動筒１１の内部空間、すなわち移送空間３１内に移動部（ワーク保持部３４）が設けられて、ワークＷを加工エリア３と組立エリア４との間に移動させるワーク移動手段３２と、を有してなるものである。移動筒１１の側面には、その開口部１１ａ、１１ｂにそれぞれ開閉扉３３ａ、３３ｂが設けられている。これら開閉扉３３ａ、３３ｂは、オペレーターが手動で直接開閉できるようになっており、さらに、図示しない制御装置によって自動的に開閉するようにもなっている。
【００４０】
ワーク移動手段３２は、ワークＷを載置させて保持するワーク保持部３４と、このワーク保持部３４を移動部として移送空間３１内で昇降（移動）させる移動装置３５とからなるものである。ワーク保持部３４の上端部には、ワーク移送口９のシャッター１０を押し開ける押圧部３４ｂが設けられている。この押圧部３４ｂは、ワーク保持部３４に設けられた背板３４ａの上端部に庇状に設けられた板状のものである。この押圧部３４ｂは、ワーク保持部３４に保持されるワークＷより高い位置に配設されたもので、これによってワーク保持部３４が上昇した際、ワークＷをシャッター１０に衝突させることなく、このシャッター１０を押し開くようになっている。
【００４１】
移動装置３５は、前記収納部移動手段１３と同様に、空気圧や油圧によってロッド（図示せず）を動作させる機構のものや、リニアモータやボールねじ等を用いた機構のものなど、従来公知のものからなり、ロッド等に接続されたワーク保持部３４を昇降（移動）させるよう構成されたものである。
なお、この移送機構３０にも、その移動筒１１には、その内部空間である移送空間３１内に清浄空気を供給する清浄ガス供給装置（第２の清浄ガス供給装置）１５が接続されている。この清浄ガス供給装置１５は、前記したように、清浄フィルター１６と配管１７とを備えて構成されたものである。
【００４２】
このような構成の移送機構３０を備えたクリーン生産装置にあっても、ワークＷの移送空間３１に清浄ガス供給装置１５によって清浄空気を供給するので、組立エリア４へのワークＷの搬入／搬出時に組立エリア４内の圧力バランスが崩れ、移送空間３１内の空気が組立エリア４に流入しても、組立エリア４内を汚染してしまうことを防止することができる。したがって、このクリーン生産装置１によれば、塵埃の付着に起因する不良の発生を防止し、生産コストの低減化を図ることができる。
【００４３】
また、移送機構３０が、ワーク移送口９に連通する移送空間３１と、該移送空間３１内に移動部としてワーク保持部３４が設けられたワーク移動手段３２とを有して構成されているので、移送空間３１に加工工程後のワークＷを収納し、その状態でこの移送空間３１に清浄ガス供給装置１５から清浄空気を供給することにより、ワークＷに付着した塵埃をワークＷから除去することができる。また、加工エリア３内からその環境空気が移送空間３１内に流入するのを防止することもできる。したがって、移送空間３１を介して組立エリア４内に塵埃が流れ込むのを防止することができる。
【００４４】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では加工エリア３と組立エリア４とを上下に配置し、その間を隔壁部５で仕切ったが、加工エリア３と組立エリア４とを左右に配置し、その間を隔壁部５で仕切るようにしてもよい。
また、加工エリアに通じるワーク搬入出口６の数についても、二つでなく、一つでも、また三つ以上でもよい。さらに、ワーク移送口９やワークの移送機構８（３０）についても、その数については任意である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のクリーン生産装置の一実施形態の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示したクリーン生産装置の内部構造を示す図であって、Ａ−Ａ線に沿う矢視側断面図である。
【図３】クリーン生産装置の変形例を説明するための要部側断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１…クリーン生産装置、２…装置本体、３…加工エリア、４…組立エリア、５…隔壁部、６…ワーク搬入出口、８…移送機構、９…ワーク移送口、１０…シャッター、１１…移動筒、１２…収納部、１３…収納部移動手段、１４ａ、１４ｂ…開閉扉、１５…清浄ガス供給装置（第２の清浄ガス供給装置）、１８…清浄ガス供給装置（第１の清浄ガス供給装置）、２１…圧力検知センサ、２２…供給量制御機構、２３…循環機構、２７…クリーンユニット（清浄装置）、３０…移送機構、３２…ワーク移動手段、３３ａ、３３ｂ…開閉扉、３４…ワーク保持部、３５…移動装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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