(57)【要約】      （修正有）【課題】堆積導電作用を有するマスク移載容器を提供する。【解決手段】堆積時に静電の発生を防止できるマスク移載容器構造であり、底台１０、殻体２を含み、殻体２が底台１０上に選択的に覆蓋し、マスク５０を置く収容空間を形成し、底台１０および殻体２とマスク５０との間に静電を導通する通路を形成し、殻体上面に該通路と連通する把手２４を設け、底台１０が少なくとも１つの導電構造と触導ユニット４０を有し、そのうち導電構造が通路と連接し、下向きに突出する導電柱３２、３５を有し、触導ユニット４０は移載容器が隣接して堆積時、下層移載容器の把手２４に接触し、隣接する移載容器とマスク５０との静電が該触導ユニット４０と導電ユニット３０を経由して導出でき、マスクパターンを破壊することを減少させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクを収容することに用い、
マスクを載置させることができる底台であって、該底台上面に金属板を有し、金属板とマスクとの間に導電通路を形成してなる底台と、
前記底台と対応して選択的に覆蓋または分離できる殻体であって、且つ殻体内に前記金属板と接触する金属内部ライニングを設け、殻体上面に金属内部ライニングと導電通路を形成する把手を設ける殻体と、
前記底台上に設けられる導電ユニットであって、該導電ユニットが底台金属板と外部導体との間に導電通路を形成させることができる少なくとも１つの導電ユニットと、
前記底台が対応する下層が隣接する移載容器の把手側辺に設けられる触導ユニットであって、触導ユニットが導電ブロックを有し、該導電ブロックが底台の金属板と下層隣接移載容器の把手側辺との間に導電通路を形成する少なくとも１つの蝕導ユニットとを含むことを特徴とする堆積導電作用を有するマスク移載容器。
【請求項２】
前記底台が金属板状面に２つの相互に対応し、且つ平行に配列される載置台を設け、また、底台上面が２つの載置台の一端に対応してマスクを貼り付ける係止部材を設けることを特徴とする請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器。
【請求項３】
前記導電ユニットが底台上に収容溝台を形成し、且つ導電ユニットが第１導電柱と第２導電柱を有し、第１導電柱が収容溝台底面を貫通できる接触段を有し、外部導体と接触し、第１導電柱上端が外向きに回復力を発生できる金属弾性部材を設け、第２導電柱は弾性部材の上端に設けられ、第２導電柱が金属片底面に接触を保持できるようにしてなることを特徴とする請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器。
【請求項４】
前記底台底面に把手に対応する定位溝を形成し、下層移載容器の把手が上層移載容器の定位溝内に嵌合でき、触導ユニットが定位溝の両側に設けられ、且つ導電ブロックが把手両側と接触できることを特徴とする請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器。
【請求項５】
前記触導ユニットの導電ブロック外縁に１つまたは複数の凸環歯を形成し、固定効果を向上させることを特徴とする請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器。
【請求項６】
前記触導ユニットが底台の金属板上に導電ブロックに対応した貫通孔を形成し、圧迫螺子栓を利用し、金属板上方から該貫通孔を経た後、導電ブロック上に固定させることを特徴とする請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク移載容器の静電除去技術に関し、具体的には、静電の発生、残留を防止する移載容器を指し、移載容器とマスクの静電を効率的に導出することによって、コストを低減するマスク移載容器の静電除去技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子製品が絶え間なく軽薄短小、高周波、高性能等の特性に発展する影響によって、そのコアチップは、更に微小化、高性能化を必要としているので、チップ上の集積回路の線径は微細化し、より多くの集積回路とユニットを収容できるようにする必要がある。従って現有の集積回路の線径は早期の0.25μｍから90〜45ｎｍ等のプロセスへ発展しており、更にウエハー寸法は8インチから12インチに発展しており、不良品の発生時に起こる損害は驚くべきものである。半導体製造プロセス中、環境中に受ける各種の異なる原因の影響は、各種微粒子、水分または溶剤が放出する有害物質等が存在し、製造プロセス中の加熱、堆積、静電または化学変化等の要素がマスクまたはウエハーの表面に付着することによって、製造プロセスの歩留まりに直接影響を及ぼし、この問題を処理するため、メーカーは前記の問題および要素に対して逐一改良を行い、想定外の清掃またはプロセスの繰り返しを減少させ、更には、ウエハーの生産コストを低減することを必要としている。
【０００３】
但し、前記集積回路の微細化の影響を受け、従来の単純な無塵室で行うプロセスでは徐々に満足されなくなり、更に高清潔度が要求されているので、本業界では米国特許第4,532,970号(特許文献１)および米国特許第4,534,389号(特許文献２)のようなウエハー、マスク密閉移転システムを開発し、それぞれの移載容器を介して製造プロセス中のウエハーまたはマスクを載置し、無塵室の環境中の微粒子、水分または有害物質がマスクまたはウエハー近隣の環境中に進入しないように確保することができる。
【０００４】
但し、半導体製造プロセス中、マスクサークル製作、スパッタリング、フォトリソグラフィー、エッチングまたはマスク清掃等を問わず、いずれも多くの溶剤と化学品の使用を必要とし、受熱、摩擦または化学変化等によって前記密閉移載システム内部に微粒子等の有害物質が自然発生し、且つマスクの製造プロセス中にレーザー照射または受熱等の異なる原因により静電を発生し、マスクを前記移載容器中においた後、これらの有害物質の微粒子が静電の影響によって迅速且つ大量にマスク表面に吸着し、マスク表面のパターンを破壊し、露光不良の現象を起こし、ウエハーの歩留まりに大きく影響し、従って、マスクパターンが汚染される時、清掃の動作が必要であり、汚れが一定の程度に達した時、マスクパターンの再作成が必要であり、設備、時間および材料のコストが増加し、半導体メーカーの運営コストを上昇させる。
【０００５】
従って、マスクを保護および転送する移載容器は静電除去の設計を有する必要があり、現有のプラスチックで製造された移載容器は、射出時に、材料中に抗静電材料を添加して抗静電の目的を達成し、抗静電複合材料は、通常プラスチックベース中に導電性能を有する添加剤を混入することによって、材料に導電、抗静電機能を持たせ、これらの典型的な添加剤は、カーボンブラック、金属繊維、ナノメートル導電金属粉等（ポリウレタン-ポリアニリンおよび導電カーボンブラック等）を有するが、このような方法は、材料のコストが非常に高く、移載容器の製造コストが増加するだけではなく、更に硫黄、アンモニア等の有害物質を絶え間なく放出し、マスク表面結晶を例とし、その化学式が（NH4）2SO4 であり、この結晶物が前記異なる原因によりアンモニア（NH4+）および硫酸イオン（SO42-）を放出し、高エネルギーの光源と環境の湿気等と化合されるので、マスク清掃後、ある程度の時間保存した後にフォトリソグラフィープロセス中の紫外線照射により露光しようとすれば、結晶の現象が発生する。
【０００６】
従って、市場において、多種のマスク移載容器に用いる静電導出構造が開発され、例えば、台湾専利公告第M252140号(特許文献３)の「マスク搬送ケースの静電防止装置」は、基台を有し、且つ基台周縁に複数の定位部を有し、各定位部に対応して複数の定位部材を設け、その内部の金属内マスクとフォトマスク上の静電を抗静電材料を含む基台に導き、ラッチ構造を介して移載容器が置かれる金属平台上に導くが、このような構造設計は、複雑であるだけではなく、導電効果が良好ではなく、静電が円滑に導出できない現象がしばしば発生する。更に、マスク用の移載容器が運送される時、台車を運送する空間を節約するため、マスクの載送量を増加し、一般は、移載容器を逐一層に堆積し、移載容器が相互に隣接する移載容器と併せた導電構造を設けていないので、上層の移載容器の静電が導出されることができず、相互に隣接する移載容器間が運送の揺動によって相互に摩擦され、静電を発生し、それを円滑に導出することができず、この時、上層が金属平台と接触していない移載容器がキャパシタ効果を発生し、静電反応を増加させ、内部のマスクに静電によって微粒子が付着し、マスク洗浄またはパターン再形成の時間とコストが増加する。
【特許文献１】米国特許第4,532,970号明細書
【特許文献２】米国特許第4,534,389号明細書
【特許文献３】台湾専利公告第M252140号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従って、本発明は上述した問題点に鑑みてなされたもので、現有するマスク移載容器が直面する問題に対して、移載容器の堆積時の静電を導出する要求を深く検討し、堆積導電作用を有する移載容器を開発し、移載容器の静電除去時の不便と困難を効率的に解決し、相互に堆積された移載容器が効率的に静電を導出できるようにすることを課題としたものである。
本発明は、上下相互に堆積されたマスク移載容器の静電を導出し、上層の移載容器にキャパシタ効果が発生することを防止する堆積導電作用を有する移載容器を提供することを目的とする。
また、本発明は、導電の確実性を維持し、導電不良の問題を発生することを防止する堆積導電作用を有するマスク積載容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
これに基づき、本発明は下記の技術的手段に基づき、前記の効果および目的を具体的に実現する。
請求項１の発明の堆積導電作用を有するマスク移載容器は、マスクを収容することに用い、マスクを載置させることができる底台であって、該底台上面に金属板を有し、金属板とマスクとの間に導電通路を形成してなる底台と、
前記底台と対応して選択的に覆蓋または分離できる殻体であって、且つ殻体内に前記金属板と接触する金属内部ライニングを設け、殻体上面に金属内部ライニングと導電通路を形成する把手を設ける殻体と、
前記底台上に設けられる導電ユニットであって、該導電ユニットが底台金属板と外部導体との間に導電通路を形成させることができる少なくとも１つの導電ユニットと、
前記底台が対応する下層が隣接する移載容器の把手側辺に設けられる触導ユニットであって、触導ユニットが導電ブロックを有し、該導電ブロックが底台の金属板と下層隣接移載容器の把手側辺との間に導電通路を形成する少なくとも１つの蝕導ユニットとを含む。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器において、前記底台が金属板状面に２つの相互に対応し、且つ平行に配列される載置台を設け、また、底台上面が２つの載置台の一端に対応してマスクを貼り付ける係止部材を設けることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器において、前記導電ユニットが底台上に収容溝台を形成し、且つ導電ユニットが第１導電柱と第２導電柱を有し、第１導電柱が収容溝台底面を貫通できる接触段を有し、外部導体と接触し、第１導電柱上端が外向きに回復力を発生できる金属弾性部材を設け、第２導電柱は弾性部材の上端に設けられ、第２導電柱が金属片底面に接触を保持できるようにしてなることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器において、前記底台底面に把手に対応する定位溝を形成し、下層移載容器の把手が上層移載容器の定位溝内に嵌合でき、触導ユニットが定位溝の両側に設けられ、且つ導電ブロックが把手両側と接触できることを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器において、前記触導ユニットの導電ブロック外縁に１つまたは複数の凸環歯を形成し、固定効果を向上させることを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項１記載の堆積導電作用を有するマスク移載容器において、前記触導ユニットが底台の金属板上に導電ブロックに対応した貫通孔を形成し、圧迫螺子栓を利用し、金属板上方から該貫通孔を経た後、導電ブロック上に固定させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の堆積導電作用を有するマスク移載容器は、少なくとも以下の効果を有する。
１.本発明のマスク移載容器は、触導ユニットと導電構造の設計を利用し、相互に堆積する移載容器が静電を円滑に順に導出でき、移載容器が、静電が導出されないことによりキャパシタ効果を発生することを回避し、更に、静電除去の効果を増進し、移載容器内部とマスク上の静電を円滑に導出し、移載容器の材質内に抗静電材料を添加する必要がなく、移載容器の製造コストを低減することができる。
２.本発明の堆積導電作用を有するマスク移載容器は、導電ユニットの設計を介して、微粒子または有害物質がマスク表面に付着することを減少させ、微粒子または有害物質等が移載容器内壁またはマスク上に付着することを回避でき、環境の清潔度を増進でき、且つマスク表面の微粒子の付着と霧化、結晶等を現象させ、ウエハー製作の歩留まりを向上させるだけではなく、プロセスの繰り返し及び繰り返し清掃の時間及び費用を減少させ、運営コストを低減させることができる。
３.堆積導電作用を有するマスク移載容器の導電ユニットは、回復力を発生できるので、導電通路の流暢さを確保でき、通路断裂の現象が発生することなく、静電導出の確実性を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の好適な堆積導電作用を有するマスク移載容器の実施例を図面を参照して説明する。
本発明の実施例の堆積導電作用を有するマスク移載容器は、図１〜図３に示すように、マスクを収容する移載容器に係り、底台１０、殻体２、少なくとも1つの導電ユニット３０と少なくとも１つの触導ユニット４０を含み、そのうち、殻体２は、底台１０に対応して選択的に覆蓋ラッチまたは分離することができ、殻体２は、底台１０上に覆蓋する時、両者間にマスク５０を放置させる収容空間を形成し、導電ユニット３０は移載容器内のマスク５０と外部導体を導通させる導電通路機制を形成でき、触導ユニット４０まで上下に隣接して堆積される移載容器に導通する導電通路を形成する。
【００１３】
詳細な図２、図３、図４から分かるように、底台１０周縁に複数の殻体２が覆蓋ラッチする定位溝１１を形成し、また、底台１０上面に金属板１５を設け、且つ底台１０は金属板１５上方に２つの相互に平行する載置台１７を固定し、且つ底台１０が金属板１５上方の２つの載置台１７の一端との間に係止部材１８を設け、底台１０が２つの載置台１７と該係止部材１８を利用してマスクを支える“コ”の字型の支持体を形成し、金属片１５が載置台１７と係止部材１８を受け該底台１０上面に圧制されるようにし、更に、底台１０底面中央に収納領域１３を形成し、該収納領域１３が上下隣接する移載容器に対応して嵌合できるようにする。
【００１４】
１、２または４に
前記殻体２は、プラスチック外殻２０と、上翼片２２と、金属内部ライニング２５から組成され、そのうち、外殻２０の内部底縁に前記底台１０の定位溝１１に対応するラッチ部材２１を有し、殻体２の外殻２０がラッチ部材２１を利用して選択的に底体１０に嵌合または分離できるようにし、且つ前記上翼片２２は、固定螺子２３を利用して外殻２０を貫通し金属内部ライニング２５に固定され、また、上翼片２２は導電材料から形成され、該上翼片２２上縁中央に把手２４を形成し、使用者に移載容器を保持移動させ、且つ把手２４は前記底台１０底面の収納領域１３に適切に対応する。更に殻体２の金属内部ライニング２５は、前記上翼片２２に対応して螺子２３を固定する金属螺柱２７を有し、且つ殻体２が底台１０上に覆蓋される時、該金属内部ライニング２５底縁が底台１０の金属片１５と好適に接触し、金属内部ライニング２５の内縁にマスク５０を圧制および係止できる複数の導電性圧制部材２６を設け、圧制部材２６を利用しマスク５０を押し底台１０の載置台１７と係止部材１８上に定位させる。
【００１５】
導電ユニット３０は、底台１０上に設けられ、各導電ユニット３０は、底台１０上に“コ”形断面を有する収容溝台３１を形成し、該収容溝台３１内に少なくとも１つの回復力を発生できる導電柱を設け、本発明の実施例は、２つの導電柱を実施例とし、該２つの導電柱は、それぞれ第１導電柱３２と第２導電柱３５として定義され、そのうち、第１導電柱３２は収容溝台３１底面を貫通できる接触段３３を有し、作業台の導体に触れさせ、第１導電柱３２上端に外向きに回復力を発生できる金属弾性部材３４を設け、第２導電柱３５は、弾性部材３４上端に設けられ、第１,第２導電柱３２，３５は、弾性部材３４の作用を受け、相対して離脱し、第２導電柱３５を底台１０の金属片１５の底面と接触させ、移載容器とマスク５０が載置台１７、係止部材１８および金属片１５を介し、導電ユニット３０の第１、第２導電柱３２，３５、弾性部材３４を経由して外部作業台の導体と導電通路機制を形成することができるようにする。
【００１６】
触導ユニット４０は、底台１０の収納領域１３両側に設けられ、各触導ユニット４０は、底台１０の収納領域１３に対応する両側に固定柱４１を形成し、固定柱４１内に導電ブロック４２を埋設し、該導電ブロック４２外縁に１つまたは複数の凸環歯４２０を形成し、該凸輪歯４２０は、螺旋模様歯等を選択することもでき、固定効果を向上させ、更に、各導電ブロック４２は、相互に隣接する移載容器の把手２４周縁に対応して平接触面４２１を形成し、導電ブロック４２と把手２４が接触する面積（図５参照）を増加させ、また、触導ユニット４０は底台１０の金属板１５上に導電ブロック４２に対応する貫通孔４４を形成し、圧迫螺子栓４５を利用し、金属板１５上方から該貫通孔４４を経て貫通した後、導電ブロック４２上に固定され、移載容器の殻体２の把手２４、金属内部ライニング２５、金属片１５、圧迫螺子栓４５と導電ブロック４２との間に導電通路を形成する。
【００１７】
このようにして、移載容器が上下に隣接して堆積する時、触導ユニット４０を介して静電を導出することができ、同時に移載容器とマスク５０の上の静電が導電ユニット３０から導出されることができ、導電効果が確実な移載容器堆積導電構造を構成する。
【００１８】
前記の設計を介して、本発明は、実際の使用・運用時、図３、図４、図５に示すように、マスク５０が移載容器の底台１０の載置台１７と係止部材１８から構成される支持体上に載置され、殻体２が底台１０を覆蓋する時、導電性を有する載置台１７と金属内部ライニングの圧制部材２６がマスク５０と接触し、且つ金属内部ライニング２５と金属片１５が相互に接触する設計を介し、前記の導電ユニット３０と連接し、導電ユニット３０の第１導電柱３２と第２導電柱３５が弾性部材３４の外向きの回復力の作用を受けることによって、第２導電柱３５が金属片１５と接触でき、第１導電柱３２が、移載容器が作業台に置かれる時に導体と接触でき、完成した導電通路機制を形成し、移載容器とマスク５０上の静電を円滑に導出させることができる。
【００１９】
また、移載容器が上下に逐一層に堆積しようとする時、更に図５、図６、図７に示すように、上層の移載容器を底台１０の収納領域１３により下層の移載容器の殻体２の把手２４に対応させ、把手２４を前記収納領域１３内に嵌合できるようにし、上層の移載容を堆積させ、且つ下層の移載容器の殻体２上の翼片２２上面に位置限定し、相互に堆積した移載容器が揺動する時、上層の移載容器の触導ユニット４０の導電ブロック４２が下層の移載容器の殻体２の把手２４と接触せず、導電ブロック４２、把手２４、固定螺子２３、金属内部ライニング２５、金属片１５と圧迫螺子栓４５との間の導電通路を介して静電を下層の移載容器上に導き、下層移載容器の導電ユニット３０を利用して静電を作業台の導体上に導引し、静電除去を達成し、キャパシタ効果の発生を回避する。
【００２０】
従って、本発明のマスク移載容器は、材料内に抗静電材料を添加する必要がなく、移載容器の製造コストを低減でき、同時に微粒子または有害物質がマスク５０等のマスク表面への付着を減少させ、微粒子または有害物質等が移載容器の内壁またはマスクに付着することを回避し、環境の清潔度を増進し、ウエハー製作の歩留まりを向上させ、更にプロセスの繰り返し、および清掃の繰り返しの時間と費用を減少させ、運営コストを効率的に低減する。
【００２１】
更に、導電ユニット３０の第１導電柱３２と第２導電柱３５が受ける弾性部材３４の外向きの支持する特性によって、第１、第２導電柱３２、３５は、金属片１５および外部導体との連通を保持することができ、導電通路の流暢さを確保でき、通路断裂の現象が発生せず、静電導出の確実性を確保する。
【００２２】
以上のように、堆積導電作用を有するマスク移載容器は、触導ユニットと導電構造の設計を利用し、相互に堆積する移載容器が静電を円滑に順に導出でき、移載容器が、静電が導出されないことによりキャパシタ効果を発生することを回避し、更に、静電除去の効果を増進し、移載容器内部とマスク上の静電を円滑に導出し、移載容器の材質内に抗静電材料を添加する必要がなく、移載容器の製造コストを低減することができる。
また、堆積導電作用を有するマスク移載容器は、導電ユニットの設計を介して、微粒子または有害物質がマスク表面に付着することを減少させ、微粒子または有害物質等が移載容器内壁またはマスク上に付着することを回避でき、環境の清潔度を増進でき、且つマスク表面の微粒子の付着と霧化、結晶等を現象させ、ウエハー製作の歩留まりを向上させるだけではなく、プロセスの繰り返し及び繰り返し清掃の時間及び費用を減少させ、運営コストを低減させることができる。
更に、堆積導電作用を有するマスク移載容器の導電ユニットは、回復力を発生できるので、導電通路の流暢さを確保でき、通路断裂の現象が発生することなく、静電導出の確実性を確保することができる。
なお、本発明の特徴を損なうものでなければ、前記実施例に限定されるものでないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の移載容器の立体分解説明図である。
【図２】本発明の移載容器の局部立体分解説明図である。
【図３】本発明の移載容器の底台の仰視外観説明図である。
【図４】本発明の移載容器の局部組成断面説明図である。
【図５】本発明の移載容器の立体外観説明図であり、上層隣接移載容器と堆積前の状態を説明する。
【図６】本発明の移載容器の堆積後の外観説明図である。
【図７】本発明の移載容器の堆積後の側面断面説明図であり、隣接移載容器が静電流を導引する態様を示す。
【符号の説明】
【００２４】
１０  底台
１１  定位溝
１３  収容領域
１５  金属片
１７  載置台
１８  係止部材
２  殻体
２０  外殻
２１  ラッチ部材
２２  上翼片
２３  固定螺子
２４  把手
２５  金属内部ライニング
２６  圧制部材
２７  金属螺柱
３０  導電ユニット
３１  収容溝台
３２  第１導電柱
３３  接触段
３４  弾性部材
３５  第２導電柱
４０  触導ユニット
４１  固定柱
４２  導電ブロック
４２０  凸環歯
４２１  平接触面
４４  貫通孔
４５  圧迫螺子栓
５０  マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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