(57)【要約】【課題】サポートガラスとハーメチックボディ（基台）の低圧側の導圧穴内壁を接合部を含めて撥水性ドライコーティングを施すことで、センサアッセンブリの低圧側が大気にさらされても腐食性水分の浸入による腐食が発生しないような信頼性の高いセンサアッセンブリを提供する。【解決手段】圧力センサは、第１導圧穴が穿設されている基台と、前記第１導圧穴に位置決めして連通する第２導圧穴を有するサポートガラスと、を有し、前記基台に前記サポートガラスを低融点ガラス接合した後に、前記第１導圧穴の内壁及び前記第２導圧穴の内壁に撥水性コーティングを施し、その後に、前記サポートガラスの低融点ガラス接合面の反対側に圧力センサを陽極接合により接合したことである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１導圧穴が穿設されている基台と、
前記第１導圧穴に位置決めして連通する第２導圧穴を有するサポートガラスと、
を有し、
前記基台に前記サポートガラスを低融点ガラス接合した後に、前記第１導圧穴の内壁及び前記第２導圧穴の内壁に撥水性コーティングを施し、その後に、前記サポートガラスの低融点ガラス接合面の反対側に圧力センサを陽極接合により接合したことを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記撥水性コーティングは、有機珪素化合物と水の混合気体による撥水性ドライコーティングであることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサに関し、詳しくは大気導入口から導入される大気を基準にゲージ圧を測定する際に、大気を導入する導圧穴が大気にさらされても腐食性水分の浸入による腐食が発生しないように大気導入口から導圧穴に至る内壁に撥水性コーティングを施したセンサアッセンブリを有する圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術において、圧力センサは、図３に示すように、コバールを加工した金属性の基台であるハーメチックボディ１１の頂部中心位置に第１導圧穴１２が穿設され、この第１導圧穴１２は、ハーメチックボディ１１の中心位置から鉛直方向に穿設し、鉛直方向に穿設した途中から水平方向に穿設して側面に設けた大気導入口１３に連通されている。
【０００３】
このハーメチックボディ１１の上部は、パイレックス（登録商標）ガラスやＳＤ２ガラス等を素材としたサポートガラス１４を低融点ガラス１６で接合した構成になっている。このサポートガラス１４には、第１導圧穴１２と位置決めしたときに連通する第２導圧穴１５を備えている。
サポートガラス１４を低融点ガラス１６で接合した後に、サポートガラス１４の低融点ガラス接合面の反対側にシリコン圧力センサ１７を陽極接合により接合する。
【０００４】
このサポートガラス１４により、シリコン圧力センサ１７とハーメチックボディ１１の電気的な絶縁効果と、シリコン圧力センサ１７を介した高圧側（Ｈ側）と低圧側（Ｌ側）の圧力絶縁効果の役割を果たしている。
【特許文献１】特開２００７−１２７６０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来技術で説明した圧力センサを搭載したゲージ圧計の低圧側の導圧穴は、所謂、大気圧が導入される部位で、腐食性ガスや塩水、水分等の浸入によるサポートガラスや低融点ガラスの侵食が懸念されているため、カプセル側で真空封止をし、絶対圧構造とした設計をしている。しかし、この構造では、ゲージ圧計は大気圧変動の影響を受けてしまい、より正確なゲージ圧が測定できないといった問題がある。
【０００６】
従って、サポートガラスとハーメチックボディの低圧側を接合部を含めて撥水性コーティングし、センサアッセンブリの低圧側が大気にさらされても腐食性ガスや腐食性水分の浸入による腐食が発生しないようなセンサアッセンブリ構造を実現することに解決しなければならない課題を有する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本願発明の圧力センサは、次に示す構成にしたことである。
【０００８】
（１）圧力センサは、第１導圧穴が穿設されている基台と、前記第１導圧穴に位置決めして連通する第２導圧穴を有するサポートガラスと、を有し、前記基台に前記サポートガラスを低融点ガラス接合した後に、前記第１導圧穴の内壁及び前記第２導圧穴の内壁に撥水性コーティングを施し、その後に、前記サポートガラスの低融点ガラス接合面の反対側に圧力センサを陽極接合により接合したことを特徴とする圧力センサ。
（２）前記撥水性コーティングは、有機珪素化合物と水の混合気体による撥水性ドライコーティングであることを特徴とする（１）に記載の圧力センサ。
【発明の効果】
【０００９】
本発明においては、サポートガラスとハーメチックボディ（基台）の低圧側の導圧穴内壁を接合部を含めて撥水性コーティングを施すことで、センサアッセンブリの低圧側が大気にさらされても腐食性水分の浸入による腐食が発生しないような信頼性の高いセンサアッセンブリ構造が実現できる。
従って、低圧側を大気開放してもセンサアッセンブリ内部のガラスや接合部の腐食が起こらず、測定結果が周囲圧力に左右されない、より高安定なゲージ圧計に搭載できる圧力センサを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
次に、本願発明に係る圧力センサの実施例について図面を参照して説明する。尚、従来技術の図３で説明したものと同一のものには同一の符号を付与して説明する。
【００１１】
本願発明の圧力センサは、図１に示すように、基台であるハーメチックボディ１１の頂部中心位置に第１導圧穴１２が穿設され、この第１導圧穴１２は、ハーメチックボディ１１の中心位置から鉛直方向に穿設し、鉛直方向に穿設した途中から水平方向に穿設して側面に設けた大気導入口１３に連通されている。
【００１２】
ハーメチックボディ１１の上部にはパイレックス（登録商標）ガラス等を素材としたサポートガラス１４を低融点ガラス１６で接合した構成になっている。このサポートガラス１４には、第１導圧穴１２と位置決めしたときに連通する第２導圧穴１５を備えている。
【００１３】
この状態で、第１導圧穴１２及び第２導圧穴１５の内壁に例えば有機珪素化合物（Ｃ８Ｆ１３Ｈ４ＳｉＣｌ３）とＨ２Ｏの混合気体による撥水性ドライコーティング１８を施す。但し、サポートガラス１４の陽極接合面はマスクしておく。
【００１４】
撥水性ドライコーティング１８を施した後に、サポートガラス１４の低融点ガラス接合面の反対側にシリコン圧力センサ１７を陽極接合する。
【００１５】
このようにして、撥水性ドライコーティング１８をサポートガラス１４の第２導圧穴１５及びハーメチックボディ１１の第１導圧穴１２内壁に施すことにより、ゲージ圧計に搭載する圧力センサの低圧側（Ｌ側）を大気開放することでセンサアッセンブリ内に水分が浸入してもセンサアッセンブリ内部のサポートガラス１４の腐食を防ぐことができる。
【００１６】
図２は、この撥水性ドライコーティング１８する製造手順を示したものである。
先ず、基台であるハーメチックボディ１１にサポートガラス１４を載せ低融点ガラス１６で接合する。
次に、サポートガラス１４の第２導圧穴１５及びハーメチックボディ１１の第１導圧穴１２内壁に撥水性ドライコーティング１８を施す。
そして、撥水性ドライコーティング１８を施した後に、サポートガラス１４の低融点ガラス接合面と反対側にシリコン圧力センサ１７を陽極接合する。
シリコン圧力センサ１７を陽極接合した後に、センサアッセンブリを組み立てることにより圧力センサは完成する。
【００１７】
ここで、実施例においては、導圧穴内壁に撥水性ドライコーティングを施したが、撥水性ドライコーティング以外にも腐食性水分の浸入による腐食を防ぐことができるものであればよく、例えば、ニッケルとテフロン（登録商標）の無電解めっきやスパッタリングでもよい。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
サポートガラスとハーメチックボディ（基台）の低圧側の導圧穴内壁を接合部を含めて撥水性ドライコーティングを施すことで、センサアッセンブリの低圧側が大気にさらされても腐食性水分の浸入による腐食が発生しないような信頼性の高いセンサアッセンブリを提供する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本願発明の圧力センサにおいて低圧側の導圧穴内壁に撥水性ドライコーティングを施した様子を示した説明図（断面図）である。
【図２】同、撥水性ドライコーティングを施すための製造手順を示した説明図である。
【図３】従来技術における圧力センサを略示的に示した説明図（断面図）である。
【符号の説明】
【００２０】
１１      ハーメチックボディ
１２      第１導圧穴
１３      大気導入口
１４      サポートガラス
１５      第２導圧穴
１６      低融点ガラス
１７      シリコン圧力センサ
１８      撥水性ドライコーティング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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