(57)【要約】      （修正有）【課題】圧電振動子は霧化装置のように連続的及び長期に亘って使用されることが多いことから、圧電振動子の耐久性を向上する。【解決手段】圧電振動子１０は、圧電素子１１の振動方向Ａに沿って、振動部材１２を圧電素子１１と対向させて配置する。圧電素子１１と振動部材１２との対向面を接着剤１３で接着し、接着剤１３を防湿性及び弾性を有する部材１４で覆う。部材１４はアクリル系接着剤である。【選択図】図１
2009000654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧が印加されて振動する圧電素子と、
前記圧電素子の振動方向に沿って、前記圧電素子と対向して配置された振動部材と、
前記圧電素子及び前記振動部材の対向面の間に介在し、前記圧電素子と前記振動部材とを接着する接着剤と、
前記接着剤を覆う防湿性及び弾性を有する部材と
を有する
圧電振動子。
【請求項２】
前記防湿性及び弾性を有する部材がアクリル系接着剤である
請求項１に記載の圧電振動子。
【請求項３】
前記防湿性及び弾性を有する部材は、流動性及び硬化性を有し、硬化前の流動性を有する状態において、硬化後に前記圧電素子の振動に対する抵抗にならない厚さに形成可能な粘度である
請求項１又は２に記載の圧電振動子。
【請求項４】
前記防湿性及び弾性を有する部材は、流動性を有し、紫外線により硬化する性質を有する
請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子によって振動部材を振動させる圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動子は、圧電素子及び振動部材を有し、圧電素子に交流の励起電圧が印加されることで、圧電素子は圧電効果により振動し、圧電振動子の固有振動数で振動部材を振動させる。この圧電振動子は、振動を利用する種々の装置に使用されている。例えば、特許文献１に開示されているように、圧電振動子は霧化装置に用いられて、圧電振動子の先端面に付着した液体を振動により霧化して、霧（ミスト）を発生させる。
【特許文献１】実用新案登録第２，５４４，６３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
圧電振動子は、上述した霧化装置のように、連続的及び長期に亘って使用されることが多いことから、その耐久性の向上が要望されている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、電圧が印加されて振動する圧電素子と、前記圧電素子の振動方向に沿って、前記圧電素子と対向して配置された振動部材と、前記圧電素子及び前記振動部材の対向面の間に介在し、前記圧電素子と前記振動部材とを接着する接着剤と、前記接着剤を覆う防湿性及び弾性を有する部材とを有する圧電振動子である。
【０００５】
好ましくは、上記圧電振動子は、前記防湿性及び弾性を有する部材がアクリル系接着剤である。
【０００６】
好ましくは、前記防湿性及び弾性を有する部材は、流動性及び硬化性を有し、硬化前の流動性を有する状態において、硬化後に前記圧電素子の振動に対する抵抗にならない厚さに形成可能な粘度である。
【０００７】
好ましくは、前記防湿性及び弾性を有する部材は、流動性を有し、紫外線により硬化する性質を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、圧電振動子の耐久性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
（第１実施の形態）
図１を参照して、本発明の第１実施の形態である圧電振動子１０について述べる。図１（Ａ）は、圧電振動子１０の斜視図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）における圧電振動子１０の正面の部分拡大図である。なお、図１では、図の見易さのため、各部の寸法比率を実際とは変えて模式的に示す。
以下、図１（Ａ）、（Ｂ）における紙面上下方向を、圧電振動子１０の上下方向として説明する。
【００１０】
圧電振動子１０は、圧電素子１１、振動部材１２、接着剤１３、及びアクリル系接着剤１４を有する。
圧電素子１１は、励起電圧が印加されると変形する圧電体であり、例えば、圧電セラミックである。圧電素子１１は、図１の例示では、上下方向の大きさ（以下「厚さ」という。）が薄い平板形状である。圧電素子１１は、上下方向に沿って分極されて図示省略する電極が設けられ、この電極に図示省略する励起回路が接続される。
これにより、励起回路によって電極を介して圧電素子１１に励起電圧が印加されることで、圧電素子１１は、上下方向である矢印Ａの方向に振動する。
【００１１】
振動部材１２は、圧電素子１１によって振動されて、振動を外部に伝達する部材である。図１の例示では、振動部材１２は、ステンレス鋼を薄く延ばしたステンレス鋼の箔であり、上下面が圧電素子１１の平面と略同一形状の平面となっている。振動部材１２は、圧電素子１１の振動方向Ａに沿って、下面を圧電素子１１の上面と対向して配置される。
【００１２】
接着剤１３は、上述した対向する圧電素子１１の上面と振動部材１２の下面との間に介在して、圧電素子１１と振動部材１２とを接着する。
接着剤１３は、好ましくは、エポキシ系の接着剤である。エポキシ系の接着剤は、種類が多いことから圧電振動子１０の用途に適した物を選択可能であり、また、初期強度が高く、熱による劣化が少ないことから、負荷及び熱に対して高い耐久性を有する圧電振動子１０を得ることができる。
【００１３】
アクリル系接着剤１４は、接着剤１３を覆って設けられる。圧電振動子１０では、接着剤１３は、上面を振動部材１２、下面を圧電素子１１と接していることから、接着剤１３の側面（上下方向に沿った面。以下、図１の各部材において同じ。）がアクリル系接着剤１４によって覆われる。
アクリル系接着剤１４は、接着剤１３を完全に覆うために、図１（Ｂ）に斜線で示すように、接着剤１３の側面、並びにこれに連続する振動部材１２の側面及び圧電素子１１の側面の一部を覆うようにして設けられる。アクリル系接着剤１４は、流動性及び硬化性を有し、流動性を有する状態で、例えば、筆などにより塗布された後に硬化する。ここで、硬化性とは、化学反応などにより流動性を有する物質が硬化することを意味する。
【００１４】
アクリル系接着剤１４は防湿性を有することから、接着剤１３は、アクリル系接着剤１４に覆われて水分による劣化が抑制される。アクリル系接着剤１４の防湿性は、その物性及び厚さ（接着剤１３の側面からの高さ。以下、図１において同じ。）によって変わり、所定範囲において厚さが厚くなるほど防湿性は高くなる。
【００１５】
また、アクリル系接着剤１４は硬化後において弾性を有し、変形することで振動時においても接着剤１３を覆った状態を維持する。
アクリル系接着剤１４の弾性は、その物性及び厚さによって変わる。
アクリル系接着剤１４は、好ましくは硬化後において硬度１００（試験方法  ショアーＤ、試験温度２５度）以下である。これによれば、アクリル系接着剤１４は、圧電振動子の振動に対する十分な弾性を有する。
ただし、アクリル系接着剤１４は、硬化後において厚さが厚いほど変形し難いことから、圧電素子１１の振動に対する抵抗が大きくなる。なお、ここでのアクリル系接着剤１４による圧電素子１１の振動に対する抵抗には、振動部材１２や接着剤１３などの他の部材を介しての抵抗も含まれる。
したがって、アクリル系接着剤１４は、その物性に応じて、防湿性及び振動に対する抵抗を考慮して、厚さが設定される。
【００１６】
圧電振動子１０の作動について説明する。
圧電振動子１０は、励起回路（図示省略）によって、電極（図示省略）を介して圧電素子１１に励起電圧が印加されると、圧電素子１１は矢印Ａの方向に振動する。
振動部材１２は、圧電素子１１の振動によって、接着剤１３を介して矢印Ａの方向に圧電振動子１０の固有振動数で振動し、外部に振動を伝達する。
アクリル系接着剤１４は、弾性によって変形することで、振動時においても接着剤１３を覆った状態を維持する。
【００１７】
圧電振動子１０は、接着剤１３をアクリル系接着剤１４で覆うことで、圧電振動子１０の耐久性が向上されている。すなわち、圧電振動子１０は、湿度や温度などの使用環境が異なる様々な状況で使用され、高湿環境における使用では、例えばエポキシ系接着剤が加水分解するように、水によって接着剤１３が劣化する。接着剤１３の劣化により、圧電振動子１０のインピーダンスが所定値より大きくなると、圧電素子１１の振動が振動部材１２へ伝達し難くなり、振動部材１２の先端面１２Ｆにおいて必要な振動が得られなくなる。
本発明の圧電振動子１０は、接着剤１３をアクリル系接着剤１４で覆うことで、アクリル系接着剤１４の防湿性によって接着剤１３の水による劣化を抑制する。これにより、圧電振動子１０では、インピーダンスの時間に対する増加率が小さくなって、インピーダンスが所定値より大きくなるまでの時間が長くなるため、耐久性が向上する。
特に、接着剤１３がエポキシ系接着剤のように加水分解する接着剤の場合には、接着剤１３の水による劣化が問題となるため、本発明は有効である。
【００１８】
アクリル系接着剤１４は、上述したとおり、所定範囲において厚さが厚くなるほど防湿性は高くなるが、一方で圧電素子１１の振動に対する抵抗が大きくなって、圧電振動子１０の振動エネルギーが低下する。そのため、アクリル系接着剤１４は、その物性に応じて、硬化後に圧電素子１１の振動に対する抵抗とならない厚さにされることが好ましい。
【００１９】
なお、ここでの「抵抗にならない厚さ」とは、硬化したアクリル系接着剤１４の抵抗による圧電振動子１０の振動エネルギーの低下が、圧電振動子１０の使用に影響しない程度となる厚さを意味する。圧電振動子１０の使用に影響しない程度とは、例えば、圧電振動子を使用している機械製品などにおいて、圧電振動子を本発明の圧電振動子１０に変更しても機械製品などの性能に影響しない程度である。
換言すれば、アクリル系接着剤１４を設けることによって、圧電素子１１の振動に対しては、少なからずアクリル系接着剤１４による抵抗が発生する。そのため、硬化したアクリル系接着剤１４の抵抗による圧電振動子１０の振動エネルギーの低下が、圧電振動子１０の使用に影響しない程度であれば、そのアクリル系接着剤１４の厚さは、本発明における抵抗にならない厚さに該当する。
【００２０】
アクリル系接着剤１４は、硬化前の状態において、硬化後に圧電素子１１の振動に対する抵抗とならない厚さに形成可能な粘度であることが好ましい。アクリル系接着剤１４は、低粘度であると厚さを薄く形成することができる。したがって、低粘度のアクリル系接着剤１４を用いて、塗布回数などによりアクリル系接着剤１４の厚さを調整することで、アクリル系接着剤１４を上記厚さにすることができる。
また、低粘度のアクリル系接着剤１４を用いることで、アクリル系接着剤１４の厚さを薄く形成することができることから、厚さを概ね均等にすることができる。そのため、アクリル系接着剤１４の厚さが部分的に変わることで、位置により防湿性又は弾性が変化したり、圧電振動子１０の振動が乱れたりすることを防止することができる。
アクリル系接着剤１４の粘度は、好ましくは２００（ｍＰａ・ｓ）以下である。これによれば、十分な上記効果を得ることができる。
【００２１】
さらに、アクリル系接着剤１４は、紫外線により硬化する性質を有することが好ましい。これによれば、アクリル系接着剤１４を塗布などにより設けて、紫外線を照射することで、短時間で硬化させることができる。したがって、熱硬化などに比べて生産が容易であることから、生産工数を低減することができる。
特に、低粘度のアクリル系接着剤１４を用いて、塗布回数などによりアクリル系接着剤１４の厚さを調整する場合に、生産工数の低減に関し高い効果を得ることができる。
【００２２】
なお、圧電振動子１０では、平面の中央部分の振動が大きく、外周部の振動は小さい。例えば、圧電素子１１の直径が２０ｍｍ、厚さが１．０ｍｍ、振動部材１２の直径が２０ｍｍ、厚さが２０μｍである場合、圧電振動子１０は振動数２．０ＭＨｚで振動する。この時、中央部分の振幅は約１μｍであるのに対し、アクリル系接着剤１４が設けられる位置（外周部）の振幅は約０．２μｍである。
このように、振幅が小さい部分にアクリル系接着剤１４を設けることにより、圧電素子１１の振動に対するアクリル系接着剤１４の抵抗の影響が小さくなる。したがって、アクリル系接着剤１４による圧電振動子１０の振動エネルギーの低下を抑制することができる。
【００２３】
（第２実施の形態）
図２を参照して、本発明の第２実施の形態である圧電振動子２０について述べる。図２（Ａ）は、圧電振動子２０の斜視図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）における圧電振動子２０の正面の部分拡大図である。なお、図２では、図の見易さのため、各部の寸法比率を実際とは変えて模式的に示す。また、図２において、図１と同一の構成である部材については、図１と同一の符号により示す。
以下、図２（Ａ）、（Ｂ）における紙面上下方向を、圧電振動子２０の上下方向として説明する。
【００２４】
圧電振動子２０は、圧電素子２１ａ、２１ｂ、振動部材２２、接着剤１３、アクリル系接着剤１４及び電極２３ａ、２３ｂを有する。
圧電素子２１ａ、２１ｂは、励起電圧が印加されると変形する圧電体であり、例えば、圧電セラミックである。圧電素子２１ａ、２１ｂは、図２の例示では、厚さが薄く、一方（図２（Ａ）の紙面左右方向）に長い平面を有する平板形状である。
圧電素子２１ａ、２１ｂは、それぞれが上下方向に沿って分極され、図示省略する励起回路により励起電圧が印加されることで、上下方向である矢印Ａの方向に振動する。
【００２５】
振動部材２２は、圧電素子２１ａ、２１ｂを一体化することで圧電振動子２０を振動させる部材である。図２の例示では、振動部材２２は、銅を薄く延ばした銅箔であり、上下面が圧電素子２１ａ、２１ｂの平面より長辺方向に長い平面となっている。振動部材２２は、圧電素子２１ａ、２１ｂの振動方向Ａに沿って、上面を圧電素子２１ａの下面と、下面を圧電素子２１ｂの上面と対向して配置される。
振動部材２２は、長辺方向の一端が圧電素子２１ａ、２１ｂの間から突出した突出部２２ａを有する。
【００２６】
接着剤１３は、上述した圧電素子２１ａ、２１ｂと振動部材２２との対向面の間に介在して、圧電素子２１ａ、２１ｂと振動部材２２とを接着する。
接着剤１３は、好ましくは、上述した第１実施の形態の圧電振動子１０と同様の理由から、エポキシ系の接着剤である。
【００２７】
アクリル系接着剤１４は、接着剤１３を覆って設けられる。圧電振動子２０では、接着剤１３は、上下面を圧電素子２１ａ、２１ｂ及び振動部材２２と接していることから、側面（上下方向に沿った面）がアクリル系接着剤１４によって覆われる。アクリル系接着剤１４は、流動性及び硬化性を有し、流動性を有する状態で接着剤１３を覆って設けられた後に硬化する。
なお、圧電振動子２０は大きさが小さいことから、アクリル系接着剤１４によって接着剤１３を完全に覆うために、図２（Ａ）に斜線で示すように、例えば、圧電振動子２０をアクリル系接着剤１４に浸漬することにより、アクリル系接着剤１４を圧電振動子２０の表面全体に設けている。
【００２８】
アクリル系接着剤１４は、防湿性及び弾性を有する。アクリル系接着剤１４の防湿性及び弾性については、上述した本発明の第１実施の形態の圧電振動子１０と同一であるため、説明を省略する。
アクリル系接着剤１４は、その物性に応じて、防湿性及び振動に対する抵抗を考慮して、厚さが設定される。
【００２９】
電極２３ａ、２３ｂは、圧電素子２１ａ、２１ｂにおける振動部材２２と対向する面と反対側の面に設けられる。電極２３ａ、２３ｂには導電性材料が用いられることで、電極２３ａ、２３ｂと圧電素子２１ａ、２１ｂとは電気的に接触する。電極２３ａ、２３ｂには、図示省略する励起回路が接続される。
【００３０】
圧電振動子２０は、図２（Ａ）に破線で示すように、振動部材２２の突出部２２ａ側となる圧電素子２１ａ、２１ｂの端部の位置において、固定部２４により固定される。
【００３１】
圧電振動子２０の作動について説明する。
圧電振動子２０は、励起回路（図示省略）によって、圧電素子２１ａ、２１ｂに励起電圧が印加されると、圧電素子２１ａ、２１ｂは矢印Ａの方向に振動する。
例えば、図２（Ｂ）に示すように、圧電素子２１ａ、２１ｂの分極が振動方向Ａに沿って同じ向きになるように配置されており、振動部材２２の突出部２２ａに励起回路を接続することで振動部材２２を電極とし、電極２３ａ、２３ｂを振動部材２２と対となる電極とする。そして、図示省略する励起回路から圧電素子２１ａ、２１ｂに交流の励起電圧が印加されることで、圧電素子２１ａ、２１ｂは振動する。
又は、圧電素子２１ａ、２１ｂは、分極が振動方向Ａに沿って反対向きになるように配置されており、電極２３ａ、２３ｂを対となる電極とする。そして、図示省略する励起回路から圧電素子２１ａ、２１ｂに交流の励起電圧が印加されることで、圧電素子２１ａ、２１ｂは振動する。
【００３２】
この時、圧電素子２１ａ、２１ｂは、一方が伸縮、他方が圧縮しており、接着剤１３を介して振動部材２２により一体化されることにより、圧電振動子２０が固定部２４の位置を固定端として、矢印Ｂの方向に圧電振動子２０の固有振動数で屈曲振動する。
アクリル系接着剤１４は、弾性によって変形することで、振動時においても接着剤１３を含む圧電振動子２０全体を覆った状態を維持する。
【００３３】
このように、圧電振動子２０は、接着剤１３をアクリル系接着剤１４で覆うことで、本発明の第１実施の形態の圧電振動子１０と同様に、圧電振動子２０の耐久性が向上されている。
【００３４】
また、アクリル系接着剤１４は、本発明の第１実施の形態の圧電振動子１０におけるアクリル系接着剤１４と同様に、硬化後に圧電素子２１ａ、２１ｂの振動に対する抵抗にならない厚さに形成することが好ましい。
そのため、アクリル系接着剤１４は、硬化前の状態において、このような厚さに形成可能な粘度であることが好ましい。アクリル系接着剤１４は、低粘度であると厚さを薄く形成することができる。したがって、低粘度のアクリル系接着剤１４を用いて、圧電振動子２０をアクリル系接着剤１４に浸漬する回数などにより、アクリル系接着剤１４の厚さを上記厚さに調整可能である。
【００３５】
さらに、アクリル系接着剤１４が紫外線により硬化する性質を有することにより、本発明の第１実施の形態の圧電振動子１０で説明したとおり、圧電振動子２０の生産が容易になり、生産工数を低減することができる。
【００３６】
（第３実施の形態）
図３を参照して、本発明の第３実施の形態である圧電振動子３０について述べる。図３（Ａ）は、圧電振動子３０の側面図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）におけるＰ部拡大図である。なお、図３において、図１と同一の構成である部材については、図１と同一の符号により示す。
【００３７】
圧電振動子３０は、圧電素子３１、振動部材３２、接着剤１３及びアクリル系接着剤１４を有する。また、圧電振動子３０は、中心軸Ｘを有する。
圧電素子３１は、励起電圧が印加されると変形する圧電体であり、例えば、圧電セラミックである。圧電素子３１は、中心軸Ｘの方向に沿って分極されて図示省略する電極が設けられ、この電極に図示省略する励起回路が接続される。これにより、励起回路によって電極を介して圧電素子３１に励起電圧が印加されることで、圧電素子３１は、中心軸Ｘと同一方向である矢印Ａの方向に振動する。
【００３８】
振動部材３２は、図３の例示では、湾曲部３２ａの一端に先端面３２Ｆが形成され、他端に固定部３２ｂが一体に設けられる。湾曲部３２ａは、中心軸Ｘに直交する方向における断面が円形であり、中心軸Ｘに沿って固定部３２ｂから先端面３２Ｆ側に離れるにつれて、側面が湾曲するように断面の直径が小さくなる。これにより、振動部材３２は、先端面３２Ｆ側が細くなったホーンの形状になっている。
【００３９】
振動部材３２の先端面３２Ｆは、平坦に形成されている。
固定部３２ｂは、先端面３２Ｆと略平行な平面を有するフランジ状の平板形状である。圧電振動子３０は、固定部３２ｂによって、図示省略する緩衝部材やシール部材を介して機械製品の壁体（図示省略）などに固定される。なお、固定部３２ｂは、湾曲部３２ａと別に製造されて、結合されてもよい。
【００４０】
固定部３２ｂにおける端面３２ｃ（先端面３２Ｆと反対側の平面）には、圧電素子３１の端面が対向して配置される。
振動部材３２は、例えばステンレス鋼、アルミニウムのような高い剛性を持つ材料からなり、図３に示すホーンの形状では丸棒を切削加工することで製造される。
【００４１】
接着剤１３は、上述した対向する圧電素子３１の端面と振動部材３２の端面３２ｃとの間に塗布などにより介在して、圧電素子３１と振動部材３２とを接着する。
接着剤１３は、好ましくは、上述した第１実施の形態の圧電振動子１０と同様の理由から、エポキシ系の接着剤である。
【００４２】
アクリル系接着剤１４は、接着剤１３を覆って設けられる。圧電振動子３０では、接着剤１３は、圧電素子３１と振動部材３２との間における表面が、アクリル系接着剤１４によって覆われる。
アクリル系接着剤１４は、接着剤１３を完全に覆うために、図３（Ｂ）に斜線で示すように、接着剤１３の表面、並びにこれに連続する圧電素子３１の表面及び振動部材３２の端面３２ｃの一部を覆うようにして設けられる。アクリル系接着剤１４は、流動性及び硬化性を有し、流動性を有する状態で、例えば、筆などにより塗布された後に硬化する。
【００４３】
アクリル系接着剤１４は、防湿性及び弾性を有する。アクリル系接着剤１４の防湿性及び弾性については、上述した本発明の第１実施の形態の圧電振動子１０と同一であるため、説明を省略する。
アクリル系接着剤１４は、その物性に応じて、防湿性及び振動に対する抵抗を考慮して、厚さが設定される。
【００４４】
圧電振動子３０の作動について説明する。
圧電振動子３０は、励起回路（図示省略）によって、電極（図示省略）を介して圧電素子３１に励起電圧が印加されると、圧電素子３１は矢印Ａの方向に振動する。この振動により、振動部材３２は、矢印Ａの方向に圧電振動子３０の固有振動数で振動する。
振動部材３２は、ひずみにより振幅を増幅し、先端で高速な振動を発生させる。特に、振動部材３２をホーン形状とすることで、先端面３２Ｆ近傍において振動部材３２の振動方向Ａの伸縮変形が大きくなる。そのため、先端面１２Ｆにおいて、より高速な振動を発生させることができる。
なお、圧電振動子３０において、振動部材３２の固定部３２ｂは、ほとんど振動しない節部分となる。
アクリル系接着剤１４は、弾性によって変形することで、振動時においても接着剤１３を覆った状態を維持する。
【００４５】
圧電振動子３０は、接着剤１３をアクリル系接着剤１４で覆うことで、本発明の第１実施の形態の圧電振動子１０と同様に、圧電振動子３０の耐久性が向上されている。
【００４６】
また、アクリル系接着剤１４は、本発明の第１実施の形態の圧電振動子１０におけるアクリル系接着剤１４と同様に、硬化後に圧電素子３１の振動に対する抵抗にならない厚さに形成することが好ましい。
そのため、アクリル系接着剤１４は、硬化前の状態において、硬化後に圧電素子３１の振動に対する抵抗とならない厚さに形成可能な粘度であることが好ましい。アクリル系接着剤１４は、低粘度であると厚さを薄く形成することができる。したがって、低粘度のアクリル系接着剤１４を用いて、塗布回数などによりアクリル系接着剤１４の厚さを調整することで、アクリル系接着剤１４を上記厚さにすることができる。
【００４７】
さらに、アクリル系接着剤１４が紫外線により硬化する性質を有することにより、本発明の第１実施の形態で説明したとおり、圧電振動子３０の生産が容易になり、生産工数を低減させることができる。
【００４８】
なお、振動部材３２の固定部３２ｂは圧電振動子３０における振動の節部分であるため、固定部３２ｂの近傍は振幅が小さくなる。このように、振幅が小さい部分にアクリル系接着剤１４を設けることにより、圧電素子３１の振動に対するアクリル系接着剤１４の抵抗の影響が小さくなる。したがって、アクリル系接着剤１４による圧電振動子３０の振動エネルギーの低下を抑制することができる。
【００４９】
上記実施の形態では、接着剤１３を覆う防湿性及び弾性を有する部材をアクリル系接着剤１４として説明したが、本発明の防湿性及び弾性を有する部材はアクリル系接着剤１４に限られない。例えば、アクリル系以外の防湿性及び弾性を有する物質、コーティング材などの接着剤以外の材料、又はシール材などの流動性を有しない固体材料を用いることも可能である。
【００５０】
また、圧電振動子は、上記実施の形態で例示した形状に限定されず、例えば、第１実施の形態において、圧電振動子の形状を直方体とした場合や、第３実施の形態において、振動部材の形状を円柱形、直方体、角錐台、及びその他特殊な形状とした場合であっても、本発明の適用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１（Ａ）は本発明の第１実施の形態の圧電振動子の斜視図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）における圧電振動子の正面の部分拡大図である。
【図２】図２（Ａ）は本発明の第２実施の形態の圧電振動子の斜視図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）における圧電振動子の正面の部分拡大図である。
【図３】図３（Ａ）は本発明の第３実施の形態の圧電振動子の側面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）におけるＰ部拡大図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０…圧電振動子
１１…圧電素子、１２…振動部材、１３…接着剤、１４…アクリル系接着剤
２０…圧電振動子、２１…圧電素子、２２…振動部材
３０…圧電振動子、３１…圧電素子、３２…振動部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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