(57)【要約】【課題】ノズル群間における液状体の消費量の差を小さくすることができる吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。【解決手段】複数の液滴吐出ヘッド１８により液滴４１を基板２に吐出する吐出方法に係り、液滴吐出ヘッド１８と基板２とを相対移動させて基板２に液滴４１を吐出する吐出工程を有し、吐出工程では複数の液滴吐出ヘッド１８のうち、第１ヘッド列２４ａ〜第１８ヘッド列２４ｔの液滴吐出ヘッド１８から液滴４１を吐出し、次の基板２に吐出するときは、第６ヘッド列２４ｆ〜第２３ヘッド列２４ｙの液滴吐出ヘッド１８から液滴４１を吐出する。【選択図】図６
2009172496.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、
前記ノズル群と前記ワークとを相対移動させて前記ワークに前記液状体を吐出する吐出工程を有し、
前記吐出工程では、複数の前記ノズル群のうち前記液状体の消費量が他のノズル群の消費量より少ないノズル群を選択して、前記液状体を吐出することを特徴とする吐出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の吐出方法であって、
複数の前記ノズル群が一方向に並ぶ配列の長さに比べて、複数の前記ノズル群に対向する前記ワークの被吐出領域の長さが短い場合において、
前記被吐出領域の端部に対して前記配列の一端側のノズル群あるいは前記配列の他端側のノズル群との位置合わせを行い前記液状体を吐出することを特徴とする吐出方法。
【請求項３】
請求項２に記載の吐出方法であって、
前記位置合わせは、前記ワークが変わる度に、前記一端側のノズル群と前記他端側のノズル群を交互に行うことを特徴とする吐出方法。
【請求項４】
請求項１に記載の吐出方法であって、
前記ノズル群が一方向に並ぶ配列の長さに比べて、複数の前記ノズル群に対向する前記ワークの被吐出領域の長さが長い場合において、
前記ワークが変わる度に、前記被吐出領域の一部に吐出する前記ノズル群と吐出しない前記ノズル群とを変更することを特徴とする吐出方法。
【請求項５】
請求項４に記載の吐出方法であって、
吐出する予定の総ての前記ノズル群から吐出する全吐出工程と、
吐出する予定の前記ノズル群において一部の前記ノズル群から吐出する部分吐出工程と、を有し、
前記部分吐出工程において、前記ワークに吐出するノズル群と吐出しないノズル群とを変更すること特徴とする吐出方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の吐出方法であって、
前記液状体を吐出して排出する排出工程を有することを特徴とする吐出方法。
【請求項７】
複数のノズル群から液状体を基板に吐出して膜を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記液状体は、カラーフィルタ形成材料を含み、
前記ノズル群と前記基板とを相対移動させてワークに前記液状体を吐出する吐出工程を有し、
前記吐出工程では、複数の前記ノズル群のうち前記液状体の消費量が他のノズル群の消費量より少ないノズル群を選択して、前記液状体を吐出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項８】
複数のキャリッジに配置された液滴吐出ヘッドのノズル群から液状体を基板に吐出して膜を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記液状体は、発光素子形成材料を含み、
前記ノズル群と前記基板とを相対移動させて前記基板に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、
前記吐出工程では、複数の前記ノズル群のうち前記液状体の消費量が他のノズル群の消費量より少ないノズル群を選択して、前記液状体を吐出することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法に係り、特に、吐出する液状体の吐出量を品質良く吐出する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。
【０００３】
タンクから機能液が液滴吐出ヘッドへ供給される。そして、機能液を新たに追加するとき、タンクにある既存の機能液と新しく追加する機能液とでは、粘度が微妙に異なることがある。このとき、粘度の差が流体抵抗の差となるので、吐出時の吐出量の差となる。そして、タンクが複数あるとき複数のタンクにおける既存の機能液の消費量を概略同じにする方法が特許文献１に開示されている。それによると、液滴吐出ヘッドを配置するキャリッジを複数備えている。そして、ワークの大きさとタンク内の機能液の残量を基に、吐出する液滴吐出ヘッドが吐出するキャリッジを選択することにより、各タンク内における機能液の残量を均一にしていた。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−６１８４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、液滴吐出ヘッドが待機している間に、液滴吐出ヘッドの温度が低下するので、待機している液滴吐出ヘッドを用いるときには暖機駆動が必要となる。そして暖機駆動する間はワークに吐出できないことから、液滴吐出装置の生産性を低くする原因となっていた。従って、液滴吐出ヘッドを待機させないで各液滴吐出ヘッドの消費量の差を小さくする方法が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例に係る吐出方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記ノズル群と前記ワークとを相対移動させて前記ワークに前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記吐出工程では、複数の前記ノズル群のうち前記液状体の消費量が他のノズル群の消費量より少ないノズル群を選択して、前記液状体を吐出することを特徴とする。
【０００８】
この吐出方法によれば、液状体の消費量が他のノズル群より少ないノズル群を選択して、液状体を吐出する。ノズル数が多い場合や液滴吐出ヘッドを複数用いるとき、液滴吐出ヘッドに液状体を供給する供給経路は複数配置される。供給経路内の液状体が少なくなるとき、供給経路内に存在する既存の液状体に加えて、供給経路に製造履歴の異なる新の液状体が供給される。このとき、供給経路内に存在する既存の液状体と新の液状体との粘度が異なる場合がある。粘度が変化するとき、ノズルから吐出する液状体の吐出量が変化する。そして、液滴吐出ヘッドが液状体を吐出することにより、供給経路内の既存の液状体が減り、新の液状体に入れ換わる。
【０００９】
液状体の消費量がノズル群により異なるとき、消費量の少ないノズル群から液状体を吐出することにより、ノズル群間における液状体の消費量の差を小さくすることができる。従って、ノズルと連通する供給経路における液状体の入れ替えを略同じに行うことができる。
【００１０】
［適用例２］
上記適用例に係る吐出方法において、複数の前記ノズル群が一方向に並ぶ配列の長さに比べて、複数の前記ノズル群に対向する前記ワークの被吐出領域の長さが短い場合において、前記被吐出領域の端部に対して前記配列の一端側のノズル群あるいは前記配列の他端側のノズル群との位置合わせを行い前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００１１】
この吐出方法によれば、配列の一端側のノズル群から吐出するときと、配列の他端側のノズル群から吐出するときがある。配列の一端側のノズル群からのみ吐出するとき、配列の他端側のノズル群からの消費量が少なくなる。そして、配列の一端側のノズル群における消費量と、配列の他端側のノズル群における消費量の差が大きくなる。一方、この方法では、両端側のノズル群を用いることから、一端側のノズル群からのみ吐出する場合に比べて、吐出量の差を小さくすることができる。
【００１２】
［適用例３］
上記適用例に係る吐出方法において、前記位置合わせは、前記ワークが変わる度に、前記一端側のノズル群と前記他端側のノズル群を交互に行うことを特徴とする。
【００１３】
この吐出方法によれば、一端側のノズル群における消費量と他端側のノズル群おける消費量との差を小さく維持することができる。
【００１４】
［適用例４］
上記適用例に係る吐出方法において、前記ノズル群が一方向に並ぶ配列の長さに比べて、複数の前記ノズル群に対向する前記ワークの被吐出領域の長さが長い場合において、前記ワークが変わる度に、前記被吐出領域の一部に吐出する前記ノズル群と吐出しない前記ノズル群とを変更することを特徴とする。
【００１５】
この吐出方法によれば、ワークに吐出するノズル群と吐出しないノズル群とを変更しない場合に比べて、ノズル群毎の吐出量の差を小さくすることができる。
【００１６】
［適用例５］
上記適用例に係る吐出方法において、吐出する予定の総ての前記ノズル群から吐出する全吐出工程と、吐出する予定の前記ノズル群において一部の前記ノズル群から吐出する部分吐出工程と、を有し、前記部分吐出工程において、前記ワークに吐出するノズル群と吐出しないノズル群とを変更すること特徴とする。
【００１７】
この吐出方法によれば、全吐出工程と部分吐出工程とを有している。全吐出工程は部分吐出工程に比べて、生産性良く吐出することができる。従って、全吐出工程と部分吐出工程とを組み合わせることにより、所定の場所に生産性良く吐出することができる。
【００１８】
［適用例６］
上記適用例に係る吐出方法において、前記液状体を吐出して排出する排出工程を有することを特徴とする。
【００１９】
この吐出方法によれば、総てのノズル群で消費量の少ないノズル群から吐出することにより消費量の差を略同じにすることができる。
【００２０】
［適用例７］
本適用例に係るカラーフィルタの製造方法は、複数のノズル群から液状体を基板に吐出して膜を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記液状体は、カラーフィルタ形成材料を含み、前記ノズル群と前記基板とを相対移動させてワークに前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記吐出工程では、複数の前記ノズル群のうち前記液状体の消費量が他のノズル群の消費量より少ないノズル群を選択して、前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００２１】
このカラーフィルタの製造方法によれば、既存の液状体と新の液状体との切り換えが各ノズル群で略同時に行われることから、液状体の切換後においても吐出される液状体の吐出量を制御することができる。従って、液状体を用いて形成される膜厚が精度良く形成される為、カラーフィルタを透過する光の色調を品質良く揃えることができる。
【００２２】
［適用例８］
本適用例に係る有機ＥＬ装置の製造方法は、複数のキャリッジに配置された液滴吐出ヘッドのノズル群から液状体を基板に吐出して膜を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、前記液状体は、発光素子形成材料を含み、前記ノズル群と前記基板とを相対移動させて前記基板に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記吐出工程では、複数の前記ノズル群のうち前記液状体の消費量が他のノズル群の消費量より少ないノズル群を選択して、前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００２３】
この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、既存の液状体と新の液状体との切り換えが略同時に行われることから、液状体の切換時に吐出される液状体の吐出量を制御することができる。従って、発光素子の膜厚が精度良く形成される為、発光素子が発光する特性を品質良く揃えることができる。
【００２４】
［適用例９］
本適用例に係るカラーフィルタの製造方法は、基板上に液状体を塗布してカラーフィルタを形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、前記液状体は、発光素子形成材料を含み、上記に記載の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体を吐出して塗布することを特徴とする。
【００２５】
［適用例１０］
本適用例に係る有機ＥＬ装置の製造方法は、基板上に液状体を塗布して有機ＥＬ装置を形成する工程を有する有機ＥＬ装置の製造方法であって、前記液状体は、発光素子形成材料を含み、上記に記載の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体を吐出して塗布することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００２７】
（第１の実施形態）
本実施形態における特徴的な液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出し、カラーフィルタを製造する場合の例について図１〜図８に従って説明する。
【００２８】
（カラーフィルタ）
最初に、カラーフィルタ１について図１を用いて説明する。図１（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図であり、図１（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式側面図である。カラーフィルタ１は液晶テレビ等の表示装置に用いられ、画像信号に応じた輝度分布をもつ白色光をカラーフィルタ１に通過させることにより、カラー画像を形成するときにカラーフィルタ１が用いられる。図１に示すように、カラーフィルタ１はワークとしての基板２を備えている。この基板２は光透過性があり、張力に対して破れ難い強度があればよく、ガラス板、プラスチック板、プラスチックシート等を用いることができる。本実施形態においては、例えば、ガラス板を採用している。基板２の上面にはカラー素子３が縦横並んで配列して形成されている。そして、カラー素子３は赤、青、緑色のカラー素子３により構成され、各色のカラー素子３が列毎に配列して配置されている。図１（ａ）において、左から赤色素子列３ａ、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃの順に配置される。そして、図中に左から右へ、この順番を繰り返してストライプ状に配置されている。
【００２９】
カラー素子３は格子状に形成されたバンク４を備え、バンク４によって矩形に仕切られた場所にカラー膜５が形成されている。赤色素子列３ａのカラー素子３には赤色カラー膜５ａが形成され、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃにはそれぞれ青色カラー膜５ｂ、緑色カラー膜５ｃが形成されている。
【００３０】
（液滴吐出装置）
次に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置８について図２〜図４に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００３１】
図２は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図２に示すように、液滴吐出装置８は、直方体形状に形成される基台９を備えている。この基台９の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００３２】
基台９の上面９ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１０ａ，１０ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台９の上側には、一対の案内レール１０ａ，１０ｂに対応する図示しない直動機構を備えたステージ１１が取付けられている。そのステージ１１の直動機構は、例えば案内レール１０ａ，１０ｂに沿ってＹ方向に延びるリニアモータを備えた直動機構である。そして、この直動機構に所定のステップ数に相対する駆動信号がリニアモータに入力されると、リニアモータが前進又は後退して、ステージ１１が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は復動する。この動作によりステージ１１がＹ方向に走査するようになっている。このステージ１１が走査する方向を走査の方向とする。
【００３３】
そのステージ１１の上面には、載置面１２が形成され、その載置面１２には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１２に基板２を載置すると、基板チャック機構によって、その基板２が載置面１２の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００３４】
基台９のＸ方向両側には、一対の支持台１３ａ，１３ｂが立設され、その一対の支持台１３ａ，１３ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材１４が架設されている。案内部材１４の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１５が配設されている。この機能液はカラー膜５の材料を溶媒若しくは分散媒に溶解若しくは分散した液状体である。カラー膜５は赤色カラー膜５ａ、青色カラー膜５ｂ、緑色カラー膜５ｃと３つの色のカラー膜５を形成するために、収容タンク１５の内部には３つの容器が配置され、各容器には赤色カラー膜５ａ、青色カラー膜５ｂ、緑色カラー膜５ｃに対応する機能液が収容されている。
【００３５】
一方、その案内部材１４の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１６がＸ方向全幅にわたり凸設されている。そして、案内レール１６に沿って略直方体形状に形成されたキャリッジ１７が配置されている。キャリッジ１７はステージ１１の直動機構と同様な機構を備え、Ｘ方向に走査可能となっている。そして、キャリッジ１７の下面には、液滴吐出ヘッド１８が凸設されている。ステージ１１が基板２をＹ方向に走査して、キャリッジ１７が液滴吐出ヘッド１８をＸ方向に走査する。そして、液滴吐出ヘッド１８は基板２上の所望の場所に液状体を吐出して塗布することが可能になっている。この液滴吐出ヘッド１８はＸ方向に複数配列して配置されている。そして、液滴吐出ヘッド１８の配列の長さは基板２のＸ方向の長さより長く形成されている。従って、１回の操作で基板２の総ての場所に機能液を塗布可能になっている。
【００３６】
ステージ１１のＹ方向と逆方向の案内レール１０ａ，１０ｂ上には保守ステージ１９が配置されている。保守ステージ１９はステージ１１と同様な直動機構を備え、保守ステージ１９は案内レール１０ａ，１０ｂに沿って移動可能になっている。保守ステージ１９の上面には吐出受部２０が配置され、吐出受部２０には凹状に形成された受皿と受皿の上に配置されたスポンジ状の吸収マットが配置されている。そして、吐出受部２０が液滴吐出ヘッド１８に対向する場所に保守ステージ１９を移動した後、液滴吐出ヘッド１８が液状体を吐出するとき、吐出された液状体が吐出受部２０に吸収されるようになっている。
【００３７】
図３（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。そして、図３（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図であり、図３（ａ）に示すキャリッジをＹ方向の逆方向から見た図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、１つのキャリッジ１７には、３個の液滴吐出ヘッド１８が略Ｙ方向に配列して配置されている。３個の液滴吐出ヘッド１８には異なる色の機能液が供給されている。図中上側に位置する液滴吐出ヘッド１８からは赤色カラー膜５ａの材料を含む機能液が吐出される。同様に、図中中央の液滴吐出ヘッド１８からは青色カラー膜５ｂの材料を含む機能液が吐出され、図中下側の液滴吐出ヘッド１８からは緑色カラー膜５ｃの材料を含む機能液が吐出される。この各色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１８はそれぞれＸ方向に千鳥状に配列して配置されている。赤色、青色、緑色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１８の配列をそれぞれ赤色ヘッド行２３ａ、青色ヘッド行２３ｂ、緑色ヘッド行２３ｃとする。そして、３個の液滴吐出ヘッド１８により構成されるヘッド列２４が２３列配置されている。この配列の図中左から順に第１ヘッド列２４ａ〜第２３ヘッド列２４ｙとする。このとき、第１ヘッド列２４ａ〜第１８ヘッド列２４ｔの１８列を左ヘッド列とし、第６ヘッド列２４ｆ〜第２３ヘッド列２４ｙの１８列を右ヘッド列とする。
【００３８】
そして、液滴吐出ヘッド１８の表面にはノズルプレート２５が配置され、ノズルプレート２５にはノズル２６が複数形成されている。ノズル２６の数は、吐出するパターンと基板２の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート２５にはノズル２６の配列が１列形成され、各列には１５個のノズル２６が配置されている。この１つの液滴吐出ヘッド１８に配置される１５個のノズル２６を１つのノズル群２６ａとする。
【００３９】
図３（ｃ）は、キャリッジを示す模式側面図であり、図３（ａ）に示すキャリッジをＹ方向の逆方向から見た図である。図３（ｃ）に示すように、キャリッジ１７は、ベース板２７を備えている。ベース板２７の上側には、移動機構２８が配置されており、キャリッジ１７が、案内レール１６に沿って移動するための機構が収納されている。
【００４０】
ベース板２７の下側には支持部２９を介して駆動回路基板３０が配置されている。そして、駆動回路基板３０の下側にはヘッド駆動回路３１が配置されている。さらに、ベース板２７には支持部３２を介して、ヘッド取付板３３が配置され、ヘッド取付板３３の下面には液滴吐出ヘッド１８が配置されている。そして、液滴吐出ヘッド１８が配置されたヘッド取付板３３をヘッドユニット３４とする。ヘッド駆動回路３１と液滴吐出ヘッド１８とは、図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路３１が出力する駆動信号が、液滴吐出ヘッド１８に入力されるようになっている。
【００４１】
ベース板２７の下側には液滴吐出ヘッド１８と同数の供給経路としての供給装置３５が配置され、収容タンク１５と供給装置３５との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、供給装置３５と液滴吐出ヘッド１８との間は、供給経路としてのチューブ３６により接続されている。そして、収容タンク１５から供給される機能液が、供給装置３５により液滴吐出ヘッド１８に供給されるようになっている。このチューブ３６、供給装置３５、収容タンク１５と供給装置３５との間のチューブ、液滴吐出ヘッド１８内を機能液が流れる流路等から供給経路が構成されている。
【００４２】
図３（ｄ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図３（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド１８は、ノズルプレート２５を備え、ノズルプレート２５には、ノズル２６が形成されている。ノズルプレート２５の上側であって、ノズル２６と対向する位置には、ノズル２６と連通する圧力室としてのキャビティ３７が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１８のキャビティ３７には、供給装置３５に貯留されている液状体としての機能液３８がチューブ３６及び図示しない流路を介して供給される。
【００４３】
キャビティ３７の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ３７内の容積を拡大縮小する振動板３９と、上下方向に伸縮して振動板３９を振動させる駆動部としての圧電素子４０が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド１８が圧電素子４０を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子４０が伸張して、振動板３９がキャビティ３７内の容積を拡大縮小してキャビティ３７を加圧する。その結果、液滴吐出ヘッド１８のノズル２６からは、縮小した容積分の機能液３８が液滴４１として吐出される。この液滴吐出ヘッド１８において、ノズル２６、キャビティ３７、振動板３９、圧電素子４０等により液滴吐出素子４２が構成され、１つの液滴吐出ヘッド１８には複数の液滴吐出素子４２が配列して形成されている。
【００４４】
図４は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図４において、液滴吐出装置８の制御装置４５はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４６と各種情報を記憶するメモリ４７とを有する。
【００４５】
主走査駆動装置４８、副走査駆動装置４９、液滴吐出ヘッド１８を駆動するヘッド駆動回路３１は、入出力インターフェース５０及びデータバス５１を介してＣＰＵ４６に接続されている。さらに、入力装置５２、ディスプレイ装置５３、液残量検出装置５４、保守ステージ駆動装置５５も入出力インターフェース５０及びデータバス５１を介してＣＰＵ４６に接続されている。
【００４６】
主走査駆動装置４８はステージ１１の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４９はキャリッジ１７の移動を制御する装置である。主走査駆動装置４８がステージ１１の移動を制御し、副走査駆動装置４９がキャリッジ１７の移動を制御することにより、液滴吐出ヘッド１８を基板２に対して所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。
【００４７】
ヘッド駆動回路３１は液滴吐出ヘッド１８を駆動する回路である。そして、ＣＰＵ４６が指示する駆動電圧、吐出数、吐出間隔等の吐出条件に従って、ヘッド駆動回路３１は液滴吐出ヘッド１８を駆動する。
【００４８】
入力装置５２は液滴４１を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板２に液滴４１を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置５３は加工条件や作業状況を表示する装置であり、ディスプレイ装置５３に表示される情報を基に、操作者は入力装置５２を用いて操作を行う。
【００４９】
液残量検出装置５４は収容タンク１５に配置され、収容タンク１５に収納されている機能液３８の残量を検出する装置である。保守ステージ駆動装置５５は保守ステージ１９を制御する装置であり、吐出受部２０を待機場所と液滴吐出ヘッド１８と対向する場所との間で移動させる制御を行う装置である。
【００５０】
メモリ４７は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置８における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５６を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板２内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５７を記憶するための記憶領域も設定される。さらに、吐出した機能液３８の量を示す消費量データ５８を記憶するための記憶領域も設定される。さらに、吐出する液滴吐出ヘッド１８のヘッド列２４の番号を管理するヘッド吐出順管理データ５９を記憶するための記憶領域も設定される。他にも、基板２を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１７を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４６のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００５１】
ＣＰＵ４６はメモリ４７内に記憶されたプログラムソフト５６に従って、基板２における表面の所定位置に機能液３８を液滴４１にして吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴吐出ヘッド１８において液滴４１を吐出するための演算を行う吐出演算部６０等を有する。吐出演算部６０を詳しく分割すれば、吐出演算部６０は基板２を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部６１を有する。加えて、吐出演算部６０は液滴吐出ヘッド１８を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査移動量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部６２を有する。さらに、吐出演算部６０は液滴吐出ヘッド１８内に複数あるノズルの内、どのノズルを作動させて機能液３８を吐出するかを制御するための演算を行う吐出制御演算部６３等といった各種の機能演算部を有する。吐出演算部６０の他にも、液滴吐出ヘッド１８毎に吐出した液滴４１の量を演算する消費量演算部６４や、吐出する液滴吐出ヘッド１８を選択するヘッド選択演算部６５等といった各種の機能演算部を有する。
【００５２】
（膜の形成方法）
次に、上述した液滴吐出装置８を用いて、基板２に機能液３８を塗布して固化する膜の形成方法について図５〜図８にて説明する。図５は、基板に機能液を塗布して膜を形成する製造工程を示すフローチャートであり、図６〜図８は、基板に塗布して膜を形成する方法を説明する図である。
【００５３】
ステップＳ１は、給材工程に相当し、ステージ上に基板を設置する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、ヘッド選択工程に相当し、第１ヘッド列〜第１８ヘッド列の左ヘッド列を用いるか、第６ヘッド列〜第２３ヘッド列の右ヘッド列を用いるかを選択する工程である。左ヘッド列を用いるときはステップＳ４に移行し、右ヘッド列を用いるときは、ステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、右吐出工程に相当し、右ヘッド列に属するヘッド列の液滴吐出ヘッドから吐出して塗布する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ４は、左吐出工程に相当し、左ヘッド列に属するヘッド列の液滴吐出ヘッドから吐出して塗布する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は、除材工程に相当し、ステージ上から基板を移動する工程である。次にステップＳ６移行する。ステップＳ１からステップＳ５までのステップを合わせてステップＳ１２の吐出工程とする。
【００５４】
ステップＳ６は液追加判断工程に相当し、収容タンクの機能液の量を検出して、機能液追加の実施と非実施との判断を行う。追加しないと判断するとき、ステップＳ８に移行し、追加すると判断するとき、ステップＳ７に移行する。ステップＳ７は液追加工程に相当し、収容タンクに機能液を追加する工程である。次にステップＳ８に移行する。ステップＳ８は液排出判断工程に相当し、チューブ等の供給経路内に追加前後の機能液が共存するとき、追加前の機能液排出の実施と非実施との判断を行う。排出しないと判断するとき、ステップＳ１０に移行し、排出すると判断するとき、ステップＳ９に移行する。ステップＳ９は液排出工程に相当し、チューブ等に残存する追加前の機能液を排出する工程である。次にステップＳ１０に移行する。ステップＳ１０は終了判断工程に相当し、予定する総ての基板に機能液を塗布したかの判断を行う。基板への塗布を終了しないと判断するとき、ステップＳ１に移行し、終了すると判断するとき、ステップＳ１１に移行する。ステップＳ１１は、固化工程に相当し、機能液が塗布された基板を乾燥して、機能液を固化する工程である。以上で、基板に機能液を塗布して固化する製造工程を終了する。
【００５５】
次に、図６〜図８を用いて、図５に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから基板に機能液を塗布して固化する製造方法を詳細に説明する。図６（ａ）はステップＳ１に対応する図であり、給材工程を説明する図である。図６（ａ）に示すように、ステージ１１の載置面１２に基板２を配置する。そして、吸引式の基板チャック機構を作動させることにより基板２を載置面１２に固定する。
【００５６】
図６（ｂ）はステップＳ２に対応する図であり、ヘッド列の活用順を説明する図である。図６（ｂ）において、上段は基板２の流動番号６８を示す、下段はヘッド使用列６９を示している。流動番号６８は機能液３８を塗布する基板２の順番を示している。そして、この図の示すように、流動番号６８が１番から１０番まで順番に製造する。ヘッド使用列６９は、各流動番号６８において、左ヘッド列と右ヘッド列とのどちらのヘッド列を使用するかを示している。そして、左ヘッド列と右ヘッド列とを交互に選択して使用する。
【００５７】
図６（ｃ）及び図６（ｄ）はステップＳ３に対応する図である。図６（ｃ）及び図６（ｄ）に示すように、ヘッド列２４の長さは基板２に塗布する被吐出領域としての塗布領域２ａの長さより長く形成されている。まず、塗布領域２ａの右端２ｂと第２３ヘッド列２４ｙが液滴４１を吐出する場所のＸ方向の端との位置を合わせる。次に、基板２が配置されたステージ１１をＹ方向に走査しながら液滴吐出ヘッド１８から液滴４１を吐出する。そして、予め設定されている描画パターンに基づいて液滴４１を塗布領域２ａに塗布する。このとき、右ヘッド列に属する第６ヘッド列２４ｆ〜第２３ヘッド列２４ｙの液滴吐出ヘッド１８から液滴４１を吐出する。そして、左ヘッド列に属する第１ヘッド列２４ａ〜第５ヘッド列２４ｅの液滴吐出ヘッド１８からは液滴４１を吐出しないので、これらの液滴吐出ヘッド１８は機能液３８を消費しない。
【００５８】
図６（ｃ）及び図６（ｅ）はステップＳ４に対応する図である。図６（ｃ）及び図６（ｅ）に示すように、まず、塗布領域２ａの左端２ｃと第１ヘッド列２４ａが液滴４１を吐出する場所のＸ方向と逆方向の端との位置を合わせる。次に、基板２が配置されたステージ１１をＹ方向に走査しながら液滴吐出ヘッド１８から液滴４１を吐出する。そして、予め設定されている描画パターンに基づいて液滴４１を塗布領域２ａに塗布する。このとき、左ヘッド列に属する第１ヘッド列２４ａ〜第１８ヘッド列２４ｔの液滴吐出ヘッド１８から液滴４１を吐出する。そして、右ヘッド列に属する第１９ヘッド列２４ｕ〜第２３ヘッド列２４ｙの液滴吐出ヘッド１８からは液滴４１を吐出しないので、これらの液滴吐出ヘッド１８は機能液３８を消費しない。
【００５９】
ステップＳ５において、基板２をステージ１１から移動することによりステップＳ１２を終了する。図７はステップＳ１２に対応する図であり、機能液３８の消費量の推移を説明するグラフである。図７において、横軸は、ヘッド列２４の順番を示している。そして、縦軸は機能液３８の消費量７０を示し、上側が下側より消費量７０が多くなっている。図７（ａ）に示す棒グラフは流動番号６８が１番のときに左ヘッド列を使用して液滴４１を吐出するときの消費量７０の分布を示している。左ヘッド列を使用するとき、第１ヘッド列２４ａ〜第１８ヘッド列２４ｔの液滴吐出ヘッド１８は略等量の消費量７０であり、第１９ヘッド列２４ｕ〜第２３ヘッド列２４ｙは消費量７０が少なくなっている。
【００６０】
図７（ｂ）に示す棒グラフは流動番号６８が２番のときに右ヘッド列を使用して液滴４１を吐出するときの消費量７０の累積の分布を示している。右ヘッド列を使用するとき、第６ヘッド列２４ｆ〜第２３ヘッド列２４ｙの液滴吐出ヘッド１８は略等量の消費量７０が追加され、第１ヘッド列２４ａ〜第５ヘッド列２４ｅは消費量７０が殆ど追加されない。従って、第６ヘッド列２４ｆ〜第１８ヘッド列２４ｔの消費量７０は第１ヘッド列２４ａ〜第５ヘッド列２４ｅ及び第１９ヘッド列２４ｕ〜第２３ヘッド列２４ｙにおける消費量７０の略２倍の消費量７０となる。
【００６１】
図７（ｃ）に示す棒グラフは流動番号６８が３番のときに左ヘッド列を使用して液滴４１を吐出するときの消費量７０の累積の分布を示している。左ヘッド列を使用するとき、第１ヘッド列２４ａ〜第１８ヘッド列２４ｔの液滴吐出ヘッド１８は略等量の消費量７０が追加され、第１９ヘッド列２４ｕ〜第２３ヘッド列２４ｙは消費量７０が殆ど追加されない。従って、第１ヘッド列２４ａ〜第５ヘッド列２４ｅの消費量７０は第１９ヘッド列２４ｕ〜第２３ヘッド列２４ｙにおける消費量７０の略２倍の消費量７０となる。そして、第６ヘッド列２４ｆ〜第１８ヘッド列２４ｔの消費量７０は第１９ヘッド列２４ｕ〜第２３ヘッド列２４ｙにおける消費量７０の略３倍の消費量７０となる。
【００６２】
図７（ｄ）に示す棒グラフは流動番号６８が４番のときに右ヘッド列を使用して液滴４１を吐出するときの消費量７０の累積の分布を示している。右ヘッド列を使用するとき、第６ヘッド列２４ｆ〜第２３ヘッド列２４ｙの液滴吐出ヘッド１８は略等量の消費量７０が追加され、第１ヘッド列２４ａ〜第５ヘッド列２４ｅは消費量７０が殆ど追加されない。従って、第６ヘッド列２４ｆ〜第１８ヘッド列２４ｔの消費量７０は第１ヘッド列２４ａ〜第５ヘッド列２４ｅ及び第１９ヘッド列２４ｕ〜第２３ヘッド列２４ｙにおける消費量７０の略２倍の消費量７０となる。
【００６３】
つまり、左ヘッド列を使用するときは、第１９ヘッド列２４ｕ〜第２３ヘッド列２４ｙの液滴吐出ヘッド１８の消費量が少なくなるので、ステップＳ２にて次の流動番号６８では右ヘッド列を選択する。そして、ステップＳ２では、ヘッド使用列６９は左ヘッド列と右ヘッド列とを交互に選択する。この選択により、第１ヘッド列２４ａ〜第５ヘッド列２４ｅと第１９ヘッド列２４ｕ〜第２３ヘッド列２４ｙとの消費量７０は差がつき難くなる。
【００６４】
ステップＳ６において、ＣＰＵ４６は収容タンク１５に配置されている液残量検出装置５４が出力する液残量データを用いて機能液３８の追加を実施するかの判断を行う。このとき、ＣＰＵ４６は液残量データと予め設定されている規定値とを比較する。そして、液残量データが規定値より少ないとき、機能液３８を追加する判断を行う。そして、ステップＳ７において、ＣＰＵ４６はディスプレイ装置５３に追加を要請するメッセージを表示する。操作者はそのメッセージを見て、機能液３８を収容タンク１５に追加する。
【００６５】
ステップＳ８において、ＣＰＵ４６は機能液３８を収容タンク１５に追加した後、消費した機能液３８を演算して消費量を算出する。そして、この消費量が規定値より多いとき、機能液３８を排出する判断を行う。図８（ａ）はステップＳ９に対応する図であり、液排出工程を説明する図である。図８（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１８と対向する場所に保守ステージ１９を移動する。そして、液滴吐出ヘッド１８から吐出受部２０に液滴４１を吐出して、追加する前の機能液３８を排出する。そして、追加した機能液３８が吐出開始されるまで液滴４１を吐出する。
【００６６】
ステップＳ１０は終了判断工程であり、塗布する予定の基板２に総て塗布したかを判断し、塗布する予定の基板２があるときにはステップＳ１から繰り返す。
【００６７】
図８（ｂ）はステップＳ１１に対応する図である。図８（ｂ）に示すように、機能液３８が塗布された基板２を乾燥装置７３の内部に配置する。乾燥装置７３は乾燥室７４を備えている。乾燥室７４は載置台７５を備え、基板２をこの載置台７５に配置する。乾燥室７４は図中上側の供給管７６及び供給バルブ７７を介して乾燥気体供給部７８と接続されている。さらに、乾燥室７４は図中下側の排気管７９及び排気バルブ８０を介して排気部８１と接続されている。そして、乾燥気体供給部７８から供給される乾燥気体８２が供給バルブ７７及び供給管７６を介して乾燥室７４に供給される。次に、乾燥気体８２は基板２に塗布された機能液３８に沿って流動する。このとき、機能液３８に含まれる溶媒及び分散媒を乾燥気体８２に蒸発させて除去することにより、機能液３８を乾燥させる。そして、機能液３８が乾燥することにより、膜８３が形成される。次に、溶媒及び分散媒を含んだ乾燥気体８２は排気管７９及び排気バルブ８０を通過して排気部８１により図示しない処理装置に排気される。以上で、基板２に機能液３８を塗布して固化する製造工程を終了する。
【００６８】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ２にて機能液３８の消費量が他の液滴吐出ヘッド１８より少ない液滴吐出ヘッド１８を選択する。機能液３８の消費量が液滴吐出ヘッド１８毎に異なるとき、消費量の少ない液滴吐出ヘッド１８から機能液３８を吐出することにより、液滴吐出ヘッド１８間における機能液３８の消費量の差を小さくすることができる。従って、ノズル２６と連通する供給経路において機能液３８を入れ替える量を少なくすることができる。そして、機能液３８を入れ替えるときに液滴吐出ヘッド１８を連続駆動する時間を短くできるので、液滴吐出ヘッド１８の温度上昇が抑えられる。従って、液滴吐出ヘッド１８が所定の温度まで冷却するのにかかる時間を短くできる為、生産性良く吐出することができる。
【００６９】
（２）本実施形態によれば、右ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８から吐出するときと、左ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８から吐出するときがある。右ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８からのみ吐出するとき、左ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８の消費量が少なくなる。従って、右ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８における消費量と、左ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８における消費量の差が大きくなる。一方、この方法では、右ヘッド列と左ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８を用いることから、右ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８からのみ吐出する場合に比べて、吐出量の差を小さくすることができる。
【００７０】
（３）本実施形態によれば、左ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８と右ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８とを交互に使用するので、左ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８における消費量と右ヘッド列の液滴吐出ヘッド１８おける消費量との差を小さく維持することができる。
【００７１】
（４）本実施形態によれば、ステップＳ９において、総ての液滴吐出ヘッド１８で消費量の少ない液滴吐出ヘッド１８から吐出することにより液滴吐出ヘッド１８毎の消費量の差を小さくすることができる。
【００７２】
（５）本実施形態によれば、既存の機能液３８と新の機能液３８との切り換えが各液滴吐出ヘッド１８で略同時に行われることから、機能液３８の切換後においても機能液３８の吐出量を制御することができる。従って、機能液３８を用いて形成される膜厚が精度良く形成される為、カラーフィルタ１を透過する光の色調を品質良く揃えることができる。
【００７３】
（第２の実施形態）
次に、機能液を塗布して固化する膜の形成方法の一実施形態について、図９〜図１４を用いて説明する。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッドの配列の長さが基板より短い点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００７４】
すなわち、本実施形態では、図９の液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図に示したように、液滴吐出装置８４は案内レール１６を備え、案内レール１６の下側にはキャリッジ８５が配置されている。そして、このキャリッジ８５の下面には液滴吐出ヘッド１８が凸設されている。
【００７５】
図１０は、キャリッジを示す模式平面図である。図１０に示すように、１つのキャリッジ８５には、３個の液滴吐出ヘッド１８が略Ｙ方向に配列して配置されている。３個の液滴吐出ヘッド１８は赤色、青色、緑色の機能液が供給されている。そして、この各色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１８はそれぞれＸ方向に千鳥状に配列して配置されている。赤色、青色、緑色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１８の配列をそれぞれ赤色ヘッド行８６ａ、青色ヘッド行８６ｂ、緑色ヘッド行８６ｃとする。そして、３個の液滴吐出ヘッド１８により構成されるヘッド列８７が３列配置されている。この配列の図中左から順に左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃとする。
【００７６】
左ヘッド列８７ａの液滴吐出ヘッド１８における左端のノズル２６と右ヘッド列８７ｃの液滴吐出ヘッド１８における右端のノズル２６との距離を最大吐出幅８８とする。このとき、基板２に機能液３８を塗布する予定の領域におけるＸ方向の長さは最大吐出幅８８より長く設定されている。従って、キャリッジ８５を何回かＸ方向に移動して機能液３８を塗布することにより、最大吐出幅８８より長い範囲の塗布を行う。
【００７７】
次に、上述した液滴吐出装置８４を用いて、基板２に機能液３８を塗布して固化する膜の形成方法について図１１〜図１４にて説明する。図１１は、基板に機能液を塗布して膜を形成する製造工程を示すフローチャートであり、図１２〜図１４は、基板に塗布して膜を形成する方法を説明する図である。
【００７８】
ステップＳ１は、第１の実施形態と同じ工程であり説明を省略する。次にステップＳ２１に移行する。ステップＳ２１は、全吐出工程に相当し、左ヘッド列、中ヘッド列、右ヘッド列の液滴吐出ヘッドから基板に液滴を吐出する工程である。次にステップＳ２２に移行する。ステップＳ２２は、ヘッド選択工程に相当し、次の工程で使用するヘッド列を１つだけ、左ヘッド列、中ヘッド列、右ヘッド列の中から選択する工程である。左ヘッド列を選択するときステップＳ２３に移行し、中ヘッド列を選択するときステップＳ２４に移行する。右ヘッド列を選択するときステップＳ２５に移行する。ステップＳ２３は、左吐出工程に相当し、左ヘッド列の液滴吐出ヘッドから基板に機能液を吐出する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ２４は、中吐出工程に相当し、中ヘッド列の液滴吐出ヘッドから基板に機能液を吐出する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ２５は、右吐出工程に相当し、右ヘッド列の液滴吐出ヘッドから基板に機能液を吐出する工程である。次にステップＳ５に移行する。このステップＳ２２〜ステップＳ２５をステップＳ３１の部分吐出工程とする。ステップＳ５〜ステップＳ１１は、第１の実施形態と同じ工程であり説明を省略する。そして、ステップＳ１〜ステップＳ５をステップＳ３２の吐出工程とする。以上で、基板に機能液を塗布して固化する製造工程を終了する。
【００７９】
次に、図１２〜図１４を用いて、図１１に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから基板に機能液を塗布して固化する製造方法を詳細に説明する。ステップＳ１は、第１の実施形態と同じ工程であり説明を省略する。図１２（ａ）はステップＳ２１に対応する図であり、液滴吐出ヘッドが基板上を通るパスを説明する図である。図１２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１８と基板２とをＹ方向に相対移動させながら液滴４１を吐出する。このとき、左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃの液滴吐出ヘッド１８から吐出する。まず、液滴吐出ヘッド１８に対して基板２をＹ方向に走査させることにより、液滴吐出ヘッド１８は第１のパス８９を通過する。次にキャリッジ８５をＸ方向に移動させる。続いて、液滴吐出ヘッド１８に対して基板２をＹ方向の逆方向に走査させることにより、液滴吐出ヘッド１８は第２のパス９０を通過する。このとき、基板２には機能液３８が塗布されていない未塗布領域２ｄが存在し、その塗布されていない未塗布領域２ｄのＸ方向の幅は、１つの液滴吐出ヘッド１８におけるノズル２６の配列する幅より小さい幅となっている。
【００８０】
図１２（ｂ）はステップＳ２２に対応する図である。図１２（ｂ）において、上段は基板の流動番号６８を示す、下段はヘッド使用列６９を示している。そして、ヘッド使用列６９は左ヘッド列、中ヘッド列、右ヘッド列をこの順番に選択する。
【００８１】
図１３（ａ）はステップＳ２３に対応する図である。図１３（ａ）に示すように、基板２に機能液３８が塗布されていない未塗布領域２ｄと対向する場所に左ヘッド列８７ａの液滴吐出ヘッド１８を移動する。そして、液滴吐出ヘッド１８と基板２とをＹ方向に相対移動させながら左ヘッド列８７ａの液滴吐出ヘッド１８から液滴４１を吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド１８に対して基板２をＹ方向に走査させることにより、左ヘッド列８７ａの液滴吐出ヘッド１８は第３のパス９１を通過する。
【００８２】
図１３（ｂ）はステップＳ２４に対応する図である。図１３（ｂ）に示すように、基板２に機能液３８が塗布されていない未塗布領域２ｄと対向する場所に中ヘッド列８７ｂの液滴吐出ヘッド１８を移動する。そして、液滴吐出ヘッド１８と基板２とをＹ方向に相対移動させながら中ヘッド列８７ｂの液滴吐出ヘッド１８から液滴４１を吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド１８に対して基板２をＹ方向に走査させることにより、中ヘッド列８７ｂの液滴吐出ヘッド１８は第３のパス９１を通過する。
【００８３】
図１３（ｃ）はステップＳ２５に対応する図である。図１３（ｃ）に示すように、基板２に機能液３８が塗布されていない未塗布領域２ｄと対向する場所に右ヘッド列８７ｃの液滴吐出ヘッド１８を移動する。そして、液滴吐出ヘッド１８と基板２とをＹ方向に相対移動させながら右ヘッド列８７ｃの液滴吐出ヘッド１８から液滴４１を吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド１８に対して基板２をＹ方向に走査させることにより、右ヘッド列８７ｃの液滴吐出ヘッド１８は第３のパス９１を通過する。
【００８４】
図１４はステップＳ３１に対応する図であり、機能液３８の消費量の推移を説明するグラフであり、部分吐出工程における累積消費量を示している。図１４において、横軸は、ヘッド列８７の順番を示している。そして、縦軸は機能液３８の消費量７０を示し、上側が下側より消費量７０が多くなっている。図７（ａ）に示す棒グラフは流動番号６８が１番のときに左ヘッド列８７ａを使用して液滴４１を吐出したときの消費量７０の分布を示している。左ヘッド列８７ａを使用するので、左ヘッド列８７ａの消費量７０が増える。そして、左ヘッド列８７ａの消費量７０に比べて、中ヘッド列８７ｂ及び右ヘッド列８７ｃは消費量７０が少なくなる。
【００８５】
図１４（ｂ）に示す棒グラフは流動番号６８が２番のときに中ヘッド列８７ｂを使用して液滴４１を吐出したときに消費量７０を累積した分布を示している。中ヘッド列８７ｂを使用するので、中ヘッド列８７ｂの消費量７０が増える。そして、左ヘッド列８７ａ及び中ヘッド列８７ｂの消費量７０は略等量となり、左ヘッド列８７ａ及び中ヘッド列８７ｂの消費量７０に比べて、右ヘッド列８７ｃは消費量７０が少なくなる。
【００８６】
図１４（ｃ）に示す棒グラフは流動番号６８が３番のときに右ヘッド列８７ｃを使用して液滴４１を吐出したときに消費量７０を累積した分布を示している。右ヘッド列８７ｃを使用するので、右ヘッド列８７ｃの消費量７０が増える。そして、左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃの消費量７０は略等量となる。
【００８７】
図１４（ｄ）に示す棒グラフは流動番号６８が４番のときに、左ヘッド列８７ａを使用して液滴４１を吐出したときに消費量７０を累積した分布を示している。左ヘッド列８７ａを使用するので、左ヘッド列８７ａの消費量７０が増える。そして、左ヘッド列８７ａの消費量７０に比べて、中ヘッド列８７ｂ及び右ヘッド列８７ｃは消費量７０が少なくなる。
【００８８】
図１４（ｅ）に示す棒グラフは流動番号６８が５番のときに中ヘッド列８７ｂを使用して液滴４１を吐出したときに消費量７０を累積した分布を示している。中ヘッド列８７ｂを使用するので、中ヘッド列８７ｂの消費量７０が増える。そして、左ヘッド列８７ａ及び中ヘッド列８７ｂの消費量７０は略等量となり、左ヘッド列８７ａ及び中ヘッド列８７ｂの消費量７０に比べて、右ヘッド列８７ｃは消費量７０が少なくなる。
【００８９】
図１４（ｆ）に示す棒グラフは流動番号６８が６番のときに右ヘッド列８７ｃを使用して液滴４１を吐出したときに消費量７０を累積した分布を示している。右ヘッド列８７ｃを使用するので、右ヘッド列８７ｃの消費量７０が増える。そして、左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃの消費量７０は略等量となる。
【００９０】
つまり、左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃを同じ回数使用するとき、左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃの各消費量７０は略同じ量となる。従って、左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃ間の消費量７０は差が広がらないようになっている。
【００９１】
続いて、ステップＳ５〜ステップＳ１１の工程が行われる。これらのステップは第１の実施形態と同じ工程であり、説明を省略する。以上で、基板２に機能液３８を塗布して固化する製造工程を終了する。
【００９２】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ２２において、機能液３８を吐出するヘッド列８７を左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃの順に変更している為、同じヘッド列８７の液滴吐出ヘッド１８から機能液３８を吐出する場合に比べて、各ヘッド列８７間における吐出量の差を小さくすることができる。
【００９３】
（２）本実施形態によれば、ステップＳ２１の全吐出工程とステップＳ３１の部分吐出工程とを有している。全吐出工程は部分吐出工程に比べて広い範囲に塗布できるので、部分吐出工程に比べて生産性良く吐出することができる。従って、全吐出工程と部分吐出工程とを組み合わせることにより、所定の場所に生産性良く吐出することができる。
【００９４】
（第３の実施形態）
次に、上記の膜形成方法を応用して有機ＥＬ装置（ＥＬＥＣＴＲＯ  ＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ）を製造する一実施形態について図１５を用いて説明する。
【００９５】
まず、電気光学装置の一つである有機ＥＬ装置について説明する。図１５は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【００９６】
図１５に示すように、電気光学装置としての有機ＥＬ装置９４は、基板９５を備えている。基板９５の上側には、絶縁膜９６が形成されている。絶縁膜９６上には、コンタクト電極９７がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極９７と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ素子９８が形成されている。そして、ＴＦＴ素子９８のドレイン端子にコンタクト電極９７が接続されている。
【００９７】
各コンタクト電極９７及びＴＦＴ素子９８を囲むように、配線としての走査線９９及び配線としてのデータ線１００が格子状に形成されている。そして、走査線９９は、ＴＦＴ素子９８のゲート端子と接続され、データ線１００は、ＴＦＴ素子９８のソース端子と接続されている。
【００９８】
そして、コンタクト電極９７、ＴＦＴ素子９８、走査線９９、データ線１００等からなる素子層１０１が形成されている。素子層１０１の上側には、絶縁膜１０２が形成され、絶縁膜１０２の上側には、隔壁部１０３が格子状に形成されている。
【００９９】
隔壁部１０３により形成される凹状領域の各底部には、電極としての画素電極１０４が形成され、画素電極１０４は、コンタクト電極９７と電気的に接続されている。画素電極１０４の上面には、発光素子としての正孔輸送層１０５が形成され、正孔輸送層１０５の上面には、発光素子としての発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂが形成されている。そして、正孔輸送層１０５と発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂとにより発光素子としての機能層１０７が形成されている。
【０１００】
発光層１０６Ｒは、赤色を発光する有機発光材料等により構成された発光層であり、発光素子としての発光層１０６Ｇは、緑色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。同様に、発光素子としての発光層１０６Ｂは、青色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。
【０１０１】
機能層１０７及び隔壁部１０３の上側全面に渡って、光透過性を有する導電性材料等からなる電極としての陰極１０８が形成されている。本実施形態においては、陰極１０８は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：インジウムスズ酸化物）を採用している。
【０１０２】
陰極１０８の上面には、光透過性を有する材料等からなる封止膜１０９が形成され、陰極１０８及び機能層１０７が空気中の酸素により酸化されることを防止している。
【０１０３】
画素電極１０４と陰極１０８との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層１０５は、正孔のみを流動する。そして、発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂは、正孔輸送層１０５から供給される正孔と陰極１０８から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。ＴＦＴ素子９８は、スイッチング動作を行い、機能層１０７にかける電圧をコントロールすることにより、発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂが発光する光量を制御する。このように、発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂが発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。
【０１０４】
画素電極１０４は、ＴＦＴ素子９８のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線１００から供給される画素信号が各画素電極１０４に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極１０４に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、陰極１０８と画素電極１０４との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂが発光する光量が変化する。
【０１０５】
画素電極１０４の表面に正孔輸送層１０５を形成する工程において、第１の実施形態もしくは第２の実施形態における塗布方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置８もしくは液滴吐出装置８４を用いて、この正孔輸送層の材料液を画素電極１０４の表面に吐出して塗布する。その後、乾燥して固化することにより正孔輸送層１０５を形成する。
【０１０６】
このとき、第１の実施形態を用いる場合には右吐出工程と左吐出工程とを交互に行う。そして、左端のヘッド列２４と右端のヘッド列２４における液滴吐出ヘッド１８が消費する機能液３８の差を小さくする。第２の実施形態を用いる場合には全吐出工程と部分吐出工程とを行う。部分吐出工程では左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃの液滴吐出ヘッド１８を切り換えて使用する。そして、左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃの液滴吐出ヘッド１８が消費する機能液３８の差を小さくする。
【０１０７】
さらに、正孔輸送層１０５の表面に発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂを形成する工程において、第１の実施形態もしくは第２の実施形態における塗布方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置８もしくは液滴吐出装置８４を用いて、この発光層の材料液を正孔輸送層１０５の表面に吐出して塗布する。その後、乾燥して固化することにより発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂを形成する。
【０１０８】
このとき、第１の実施形態を用いる場合には右吐出工程と左吐出工程とを交互に行う。そして、左端のヘッド列２４と右端のヘッド列２４における液滴吐出ヘッド１８が消費する機能液３８の差を小さくする。第２の実施形態を用いる場合には全吐出工程と部分吐出工程とを行う。部分吐出工程では左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃの液滴吐出ヘッド１８を切り換えて使用する。そして、左ヘッド列８７ａ、中ヘッド列８７ｂ、右ヘッド列８７ｃの液滴吐出ヘッド１８が消費する機能液３８の差を小さくする。
【０１０９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、正孔輸送層１０５及び発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂを製造する工程において、第１の実施形態もしくは第２の実施形態における吐出方法を用いることにより、正孔輸送層１０５、発光層１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂの膜厚を品質良く製造することができる。そして、膜厚の品質が良くなることにより、発光する光の色調を良くすることができる。さらに、膜厚の品質が良くなることにより、膜内の電流密度が均等にすることができる為、寿命を長くすることができる。
【０１１０】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態において、液滴吐出装置８は１つのキャリッジ１７を備えているが、複数のキャリッジを備えていても良い。そのときにも、キャリッジをＸ方向に配列して配置し、配列の右側のキャリッジと左側のキャリッジとに配置された液滴吐出ヘッド１８を交互に使用して吐出しても良い。この場合にも同様の効果を得ることができる。この内容については、前記第２の実施形態においても同様に行うことができる。そして、同様の効果を得ることができる。
【０１１１】
（変形例２）
前記第１の実施形態において、機能液３８を収容タンク１５に追加した後の消費量が規定値より多いとき液排出工程を実施したが、基板２毎に液排出工程を実施しても良い。既存の機能液３８と追加した機能液３８との交換を確実に行うことができる。
【０１１２】
（変形例３）
前記第１の実施形態及び前記第２の実施形態において、基板２に機能液３８を吐出して塗布したが、塗布するワークは基板２に限らず、直方体等のようにＺ方向の高さがある物や凹凸のある物にも適用することができる。また、基板２は長方形に形成されていたが、基板２は多角形や丸形状でも良い。この場合にも上記の方法と同様の効果を得ることができる。
【０１１３】
（変形例４）
前記第１の実施形態及び前記第２の実施形態では、液滴吐出ヘッド１８はキャビティ３７を加圧する加圧手段に、圧電素子４０を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板３９を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ３７内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、機能液３８を気化させたり、機能液３８に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板３９を変形させて、加圧しても良い。
【０１１４】
（変形例５）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタは基板２単体に形成したが、電気光学装置に組み込まれた基板にカラー素子３を配置しても良い。電気光学装置としては、例えば、液晶表示装置やプラズマディスプレイ、真空蛍光ディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等に応用することができる。そして電気光学装置に組み込まれた基板に機能液３８を塗布してカラー素子３を形成しても良い。機能液３８の切り換えに伴う膜厚不良を少なくすることができる。
【０１１５】
（変形例６）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は同じ色のカラー素子３が直線状に配列するストライプ状のフィルタであるが、カラー素子３の配列はデルタ配置、モザイク配置等の配列にも採用することができる。
【０１１６】
（変形例７）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は３色のカラー素子３が配置されているが、３色に限らず、２色もしくは４色以上の色の場合にも適用することができる。
【０１１７】
（変形例８）
前記第１の実施形態において、１つの液滴吐出ヘッド１８に配置された１５個のノズル２６を１つのノズル群２６ａとした。ノズル群の区切り方はこれに限らず、１つの液滴吐出ヘッド１８に配置された複数のノズル２６を複数のノズル群に分けても良い。また、複数の液滴吐出ヘッド１８のノズル２６を１つのノズル群として分けても良い。基板２の大きさと液滴吐出ヘッド１８の大きさに合わせて、ノズル群の区切り方を変更しても良い。この場合にも、同様の効果を得ることができる。
【０１１８】
（変形例９）
前記第１の実施形態において、右ヘッド列と左ヘッド列とを交互に用いて吐出した。１回ずつでなく、複数回吐出した後交代しても良い。例えば、右ヘッド列を用いて３回吐出した後、左ヘッド列を用いて３回吐出する。この方法を繰り返しても良い。同様に、前記第２の実施形態において、左ヘッド列８７ａと中ヘッド列８７ｂと右ヘッド列８７ｃとを交互に用いて吐出した。この場合にも１回ずつでなく、複数回吐出した後、交代しても良い。この場合においても同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１９】
【図１】第１の実施形態に係り、（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図、（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式側面図。
【図２】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図３】（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｂ）及び（ｃ）は、キャリッジを示す模式側面図、（ｄ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図４】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図５】基板に機能液を塗布して膜を形成する製造工程を示すフローチャート。
【図６】基板に塗布して膜を形成する方法を説明する図。
【図７】機能液の消費量の推移を説明するグラフ。
【図８】基板に塗布して膜を形成する方法を説明する図。
【図９】第２の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図１０】キャリッジを示す模式平面図。
【図１１】基板に機能液を塗布して膜を形成する製造工程を示すフローチャート。
【図１２】基板に塗布して膜を形成する方法を説明する図。
【図１３】基板に塗布して膜を形成する方法を説明する図。
【図１４】機能液の消費量の推移を説明するグラフ。
【図１５】第３の実施形態に係る有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図。
【符号の説明】
【０１２０】
１…カラーフィルタ、２…ワークとしての基板、２ａ…被吐出領域としての塗布領域、２６…ノズル、２６ａ…ノズル群、３８…液状体としての機能液、７０…消費量、９４…有機ＥＬ装置。
【図１】
2009172496.tif 000003
【図２】
2009172496.tif 000004
【図３】
2009172496.tif 000005
【図４】
2009172496.tif 000006
【図５】
2009172496.tif 000007
【図６】
2009172496.tif 000008
【図７】
2009172496.tif 000009
【図８】
2009172496.tif 000010
【図９】
2009172496.tif 000011
【図１０】
2009172496.tif 000012
【図１１】
2009172496.tif 000013
【図１２】
2009172496.tif 000014
【図１３】
2009172496.tif 000015
【図１４】
2009172496.tif 000016
【図１５】
2009172496.tif 000017