(57)【要約】      （修正有）【課題】ウェハテスト時と製品時との電流検出回路におけるモニタ出力の差を解消し、歩留まりを改善する電流検出回路及び電流検出回路検査方法を提供する。【解決手段】複数の抵抗からなり直流電源から負荷に流れる電流を検出する検出抵抗１２と、検出抵抗１２の入力側に接続された複数の入力側パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３と、検出抵抗１２の出力側に接続された複数の出力側パッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６と、検出抵抗１２の両端の電圧を入力して増幅し負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る増幅器１４とを有する電流検出回路１０ａにおいて、複数の入力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線１６ａ，１６ｂ，１６ｃを介して増幅器１４が有する一対の入力端子の一方に接続され、複数の出力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線１６ｄ，１６ｅ，１６ｆを介して増幅器１４が有する一対の入力端子の他方に接続される。【選択図】図１
2009115745.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の抵抗からなり直流電源から負荷に流れる電流を検出する電流検出用抵抗群と、前記電流検出用抵抗群の入力側に接続された複数の入力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の出力側に接続された複数の出力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の両端の電圧を入力して増幅し前記負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る差動増幅器とを有する電流検出回路において、
前記複数の入力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線を介して前記差動増幅器が有する一対の入力端子の一方に接続され、
前記複数の出力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線を介して前記差動増幅器が有する一対の入力端子の他方に接続されることを特徴とする電流検出回路。
【請求項２】
前記電流検出用抵抗群は、並列に接続された複数の電流検出用抵抗と、互いに隣接し合う前記複数の入力側パッド間に存在する１以上の第１寄生抵抗と、互いに隣接し合う前記複数の出力側パッド間に存在する１以上の第２寄生抵抗とからなることを特徴とする請求項１記載の電流検出回路。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の電流検出回路を検査する電流検出回路検査方法であって、
前記複数の入力側パッドのいずれか１つから前記複数の出力側パッドのいずれか１つに定電流を流す定電流供給ステップと、
前記差動増幅器によりモニター出力された電圧を測定する電圧測定ステップと、
前記定電流供給ステップにより供給された定電流と前記電圧測定ステップにより測定された電圧とに基づき前記電流検出回路が適正に動作を行っているか否かを判定する判定ステップと、
を備えることを特徴とする電流検出回路検査方法。
【請求項４】
複数の抵抗からなり直流電源から負荷に流れる電流を検出する電流検出用抵抗群と、前記電流検出用抵抗群の入力側に接続された複数の入力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の出力側に接続された複数の出力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の両端の電圧を入力して増幅し前記負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る差動増幅器とを有する電流検出回路を検査する電流検出回路検査方法であって、
前記複数の入力側パッドのいずれか１つから前記複数の出力側パッドのいずれか１つに定電流を流す定電流供給ステップと、
前記差動増幅器によりモニター出力された電圧を測定する第１電圧測定ステップと、
前記複数の入力側パッドのうち隣接する２つの入力側パッド間の電圧を測定する第２電圧測定ステップと、
前記複数の入力側パッドのいずれか１つと前記複数の出力側パッドのいずれか１つとの間の電圧を測定する第３電圧測定ステップと、
前記差動増幅器が有する一対の入力端子の一方に接続された入力側パッドと前記差動増幅器が有する一対の入力端子の他方に接続された出力側パッドとの間の電圧を測定する第４電圧測定ステップと、
前記定電流供給ステップにより供給された定電流と前記第２電圧測定ステップにより測定された電圧と前記第３電圧測定ステップにより測定された電圧とに基づき全ての入力側パッド及び出力側パッドを介して電流が前記負荷に流れた場合の前記差動増幅器に対する入力電圧を算出する製品時入力電圧算出ステップと、
前記製品時入力電圧算出ステップにより算出された入力電圧と前記第４電圧測定ステップにより測定された電圧との電圧比を算出する電圧比算出ステップと、
前記定電流供給ステップにより供給された定電流と前記第１電圧測定ステップにより測定された電圧と前記電圧比算出ステップにより算出された電圧比とに基づき前記電流検出回路が適正に動作を行っているか否かを判定する判定ステップと、
を備えることを特徴とする電流検出回路検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、負荷に流れる電流を検出するための電流検出回路及び電流検出回路を検査するための電流検出回路検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、励磁コイルに電圧を印加して磁気力によって可動鉄心に直接直線的な運動を与えるリニアソレノイドは、制御電流に応じて油圧をリニアに制御することができ、カーエレクトロニクス等の分野で多用されている。リニアソレノイドＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ、半導体集積回路）は、通常、ソレノイドに流れる電流を検出するための電流検出部を含んでおり、電流が流れたときに発生する検出抵抗の両端の電位差を増幅器で検出し、検出抵抗に流れた電流に応じたモニタ電圧が増幅器から出力される。
【０００３】
特許文献１には、ソレノイドと電流検出回路とを接続するコネクタの個数を増加させることなく、電流検出精度を向上させたソレノイド電流検出回路が記載されている。このソレノイド電流検出回路は、被電流検出素子となるソレノイドの上流側に配置されＰＷＭ制御によりソレノイドを流れる電流を制御するトランジスタと、ソレノイドの上流側に配置されソレノイドを流れる電流を受けて電圧に変換する電流検出用抵抗と、電流検出用抵抗の両端の電圧を入力して増幅し、ソレノイドを流れる電流に対応したモニター出力を得る差動増幅器と、差動増幅器の入力端子に入力される電圧よりも低い電位を生成し生成した電位を低位電源として差動増幅器に供給する電源回路とを有する。
【０００４】
このソレノイド電流検出回路によれば、低位電源として低電位を差動増幅器に供給する電源回路を備えるので、差動増幅器は、入力される入力電圧が負電圧となった場合においても、入力端子にバイアス電圧を印加することなく動作が可能である。これにより、コネクタ端子の個数を増加させることなく、ソレノイドを流れる電流を精度よく検出することができる。
【０００５】
図３は、従来から用いられている一般的なリニアソレノイドＩＣ２０を有するパッケージ３０の構成を示す図である。このパッケージ３０とリニアソレノイドＩＣ２０とは、ワイヤＷ１乃至Ｗ９により接続されている。また、パッケージ３０は、コネクタＣ１乃至Ｃ５を備えている。上述したワイヤＷ１乃至Ｗ９の各々の一端は、いずれもコネクタＣ１乃至Ｃ５のいずれかに接続されている。さらに、パッケージ３０は、コネクタＣ１を介して外部の電源電圧１により電力を供給され、コネクタＣ４を介して外部のソレノイド２に電流を供給する。
【０００６】
リニアソレノイドＩＣ２０は、トランジスタ２２、電流検出回路１０ｃ、及びパッドＰ１乃至Ｐ９を有する。上述したワイヤＷ１乃至Ｗ９の各々の他端は、それぞれパッドＰ１乃至Ｐ９に接続されている。また、電流検出回路１０ｃは、増幅器１４と検出抵抗１２により構成されている。
【０００７】
トランジスタ２２は、一般的にＦＥＴが使用され、電源電圧１からソレノイド２への電力供給経路に直列に接続され、ゲートに印加された駆動電圧に基づくオン／オフ動作によりソレノイド２に流れる電流を制御する。なお、トランジスタ２２は、バイポーラトランジスタでもよい。
【０００８】
また、増幅器１４は、ソレノイド２に流れる電流が検出抵抗１２を流れる際に、検出抵抗１２の両端に発生する電圧を増幅し、モニタ出力する。増幅器１４によりモニタ出力された電圧は、ソレノイド２に流れる電流値を示し、パッドＰ９、ワイヤＷ９、及びコネクタＣ５を介して外部に出力され、ソレノイド２に流れる電流の制御等に利用される。
【０００９】
リニアソレノイドＩＣ２０は、一般的に数Ａ（アンペア）以上の電流をソレノイド２に流す。したがって、電流を出力する経路に挿入された検出抵抗１２は、数Ａの電流を流す必要がある。その際、検出抵抗１２における損失を抑えるため、検出抵抗１２は、後述する図４に示すように多数の抵抗群により構成され、抵抗値を数十ｍΩから数Ωの範囲に低下させている。また、電流検出回路１０ｃを有するリニアソレノイドＩＣ２０とパッケージ３０とを接続するため、上述したように、リニアソレノイドＩＣ２０のパッドＰ１乃至Ｐ９とパッケージ３０のコネクタＣ１乃至Ｃ５とは、ワイヤＷ１乃至Ｗ９により接続される必要がある。
【００１０】
ワイヤＷ１乃至Ｗ３の各々の一端は、コネクタＣ３に接続され、他端は、それぞれパッドＰ１乃至Ｐ３に接続されている。また、パッドＰ１乃至Ｐ３は、いずれも検出抵抗１２の一端（入力側）に接続されている。したがって、電流がコネクタＣ３から検出抵抗１２に流れる経路は、ワイヤＷ１とパッドＰ１とを介して流れる経路と、ワイヤＷ２とパッドＰ２とを介して流れる経路と、ワイヤＷ３とパッドＰ３とを介して流れる経路の３種類の経路がある。
【００１１】
同様に、ワイヤＷ４乃至Ｗ６の各々の一端は、コネクタＣ４に接続され、他端は、それぞれパッドＰ４乃至Ｐ６に接続されている。また、パッドＰ４乃至Ｐ６は、いずれも検出抵抗１２の他端（出力側）に接続されている。したがって、電流が検出抵抗１２からコネクタＣ４に流れる経路は、パッドＰ４とワイヤＷ４とを介して流れる経路と、パッドＰ５とワイヤＷ５とを介して流れる経路と、パッドＰ６とワイヤＷ６とを介して流れる経路の３種類の経路がある。
【００１２】
このようにパッケージ３０とリニアソレノイドＩＣ２０とが複数のワイヤ（Ｗ１乃至Ｗ３あるいはＷ４乃至Ｗ６）を用いて接続されているのは、数Ａ程度の大電流を流す際に、一本あたりのワイヤに流すことができる電流量が限られているためである。
【００１３】
図４は、従来のリニアソレノイドＩＣ２０が有する電流検出回路１０ｃと電流検出回路１０ｃを検査する検査装置４０ｃの構成を示すブロック図である。
【００１４】
検査装置４０ｃは、プローブ１５ａとプローブ１５ｂとが接続された電流源４２及び電圧計４４を有する。また、プローブ１５ａは、電流検出回路１０ｃ内のパッドＰ１に接触し、プローブ１５ｂは、電流検出回路１０ｃ内のパッドＰ４に接触している。さらに、電圧計４４は、パッドＰ９を介してグランド電位に対する増幅器１４の出力電圧を測定する。
【００１５】
一般的に、リニアソレノイドＩＣ２０は、パッケージ工程に入る前に、検査装置４０ｃのようなＩＣテスターにより、ウェハー状態における電気的特性を検査される。
【００１６】
このウェハーテストにおいて、検査者は、プローブ１５ａをパッドＰ１に接触させ、プローブ１５ｂをパッドＰ４に接触させる。これにより、電流源４２は、パッドＰ１から検出抵抗１２を介してパッドＰ４へ向けて定電流Ｉを流す。増幅器１４は、パッドＰ２とパッドＰ５との間に発生する電圧を増幅し、モニター出力する。電圧計４４は、増幅器１４によりモニター出力された電圧をパッドＰ９を介して測定し、出力する。
【００１７】
製品時においては、図３に示したように、パッドＰ１乃至Ｐ３及びパッドＰ４乃至Ｐ６のそれぞれにワイヤが接続され、複数のワイヤにより分流された電流は、それぞれ異なるパッドを介して検出抵抗１２を流れる。したがって、ウェハーテスト時においても、電流源４２は、パッドＰ１乃至Ｐ３及びパッドＰ４乃至Ｐ６のそれぞれに異なるプローブを接触させ、定電流Ｉを分流させて検出抵抗１２に流すべきであるようにも思われる。
【００１８】
しかしながら、複数のパッドに同時にプローブを接触させると、プローブのパッドに対する接触抵抗は、それぞれのプローブで異なることになる。したがって、そのような検査方法を用いてウェハーテストを行うと、検査装置４０ｃ内の電圧計４４は、同じ電流検出回路に対して、測定の度に異なる電圧値を測定結果として出力するという問題が生じる。そこで、従来の検査装置４０ｃは、図４に示すように、一つのパッド対（パッドＰ１，Ｐ４）にのみプローブ１５ａ，１５ｂを接触させる方法を採用している。
【特許文献１】特開２００６−２８４４６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、上述したように一対のパッドにプローブを接触させて電流検出回路のウェハーテストを行った場合、検査装置４０ｃ内の電圧計４４により測定された電圧値は、製品時のように全てのパッドにワイヤを接続した場合の電圧値と異なるという問題が生じる。
【００２０】
この問題が生じる原因は、検出抵抗１２の構成にある。検出抵抗１２は、上述したように、多数の抵抗群により構成され、抵抗値を数十ｍΩから数Ωの範囲に低下させている。例えば、検出抵抗１２は、図４に示すように、ｎ個の抵抗を並列に接続した抵抗群１２ａ，１２ｂ，１２ｃを並列に接続することにより構成されている。また、各パッド間は、メタル配線により接続されている。ところが、このメタルは、寄生抵抗（寄生抵抗１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ）を有するため、電流を流す際に使用するパッドに応じて検出抵抗１２の実効的な抵抗値を変化させ、上述した問題を引き起こす。
【００２１】
図５は、従来の電流検出回路の利得を示す図である。検出抵抗１２は、上述したように寄生抵抗（寄生抵抗１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ）を有するため、各寄生抵抗を電流が流れる際に電圧降下が生じる。したがって、図５に示すように、検出抵抗１２に流れる電流とモニター出力電圧の関係、すなわち電流検出回路１０ｃの利得は、全てのパッドにワイヤを接続する製品の状態に比してウェハーテストの状態において小さなものとなる。
【００２２】
ウェハーテストにおいては、仕様に合った製品を出荷するために、検出抵抗１２に流した電流量に応じたモニター出力の電圧値のスペックが予め定められている。したがって、当該スペックの範囲内のモニター出力電圧値を示す製品のみが、良品として出荷される。
【００２３】
しかしながら、ウェハーテストにおける検査装置４０ｃ内の電圧計４４により測定された電圧値と、製品時のように全てのパッドにワイヤを接続した場合の電圧値とが異なるため、本来良品であるはずのリニアソレノイドＩＣ２０が不良品としてウェハーテストで落とされ、あるいはウェハーテストをパスしたリニアソレノイドＩＣ２０がパッケージ後の製品時に不良となる可能性があり、製造コストが高くなる。
【００２４】
図４に示すウェハーテストにおいて、パッドＰ２とパッドＰ５との間の電位差であるΔＶ２は、増幅器１４に対する入力電圧差であり、以下の式で表される。
【数１】
2009115745.tif 000003
【００２５】
ここで、Ｉは、電流源４２がプローブ１５ａからプローブ１５ｂに検出抵抗１２を介して流す電流量である。また、Ｖ２とＶ５は、それぞれパッドＰ２とパッドＰ５の電位を示す。
【００２６】
また、Ｒは、抵抗群１２ａ，１２ｂ，及び１２ｃを構成する複数の抵抗のうちの抵抗１個の抵抗値である。したがって、例えば抵抗群１２ａは、抵抗値がＲである抵抗がｎ個並列に接続されているため、全体としてＲ／ｎの抵抗値を有する。
【００２７】
さらに、Ｒｐは、寄生抵抗１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの各々が有する抵抗値である。一般的にパッド間の距離は等しいため、寄生抵抗の抵抗値はいずれも等しい値となる。
【００２８】
一方、図３に示すように、検出抵抗１２に接続された入力側パッド（パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３）及び出力側パッド（パッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６）の全てのパッドにワイヤ（ワイヤＷ１乃至Ｗ６）が接続されたパッケージ後の製品において、増幅器１４に対する入力電圧ＶＯＰ＿ＩＮは、以下の式で表される。
【数２】
2009115745.tif 000004
【００２９】
（１）式と（２）式との比は、図５に示すウェハーテストと製品時との利得の差を示す。（１）式及び（２）式より、ΔＶ２＜ＶＯＰ＿ＩＮであるため、製品時の増幅器１４に対する入力電圧は、ウェハーテスト時の増幅器１４に対する入力電圧よりも高いことがわかる。
【００３０】
本発明は上述した従来技術の問題点を解決するもので、ウェハーテスト時と製品時との電流検出回路におけるモニター出力の差を解消し、歩留まりを改善する電流検出回路及び電流検出回路検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
本発明に係る電流検出回路は、上記課題を解決するために、第1の発明は、複数の抵抗からなり直流電源から負荷に流れる電流を検出する電流検出用抵抗群と、前記電流検出用抵抗群の入力側に接続された複数の入力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の出力側に接続された複数の出力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の両端の電圧を入力して増幅し前記負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る差動増幅器とを有する電流検出回路において、前記複数の入力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線を介して前記差動増幅器が有する一対の入力端子の一方に接続され、前記複数の出力側パッドの各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線を介して前記差動増幅器が有する一対の入力端子の他方に接続されることを特徴とする。
【００３２】
本発明に係る電流検出回路検査方法は、上記課題を解決するために、第２の発明は、請求項１又は請求項２に記載の電流検出回路を検査する電流検出回路検査方法であって、前記複数の入力側パッドのいずれか１つから前記複数の出力側パッドのいずれか１つに定電流を流す定電流供給ステップと、前記差動増幅器によりモニター出力された電圧を測定する電圧測定ステップと、前記定電流供給ステップにより供給された定電流と前記電圧測定ステップにより測定された電圧とに基づき前記電流検出回路が適正に動作を行っているか否かを判定する判定ステップとを備えることを特徴とする。
【００３３】
本発明に係る電流検出回路検査方法は、上記課題を解決するために、第３の発明は、複数の抵抗からなり直流電源から負荷に流れる電流を検出する電流検出用抵抗群と、前記電流検出用抵抗群の入力側に接続された複数の入力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の出力側に接続された複数の出力側パッドと、前記電流検出用抵抗群の両端の電圧を入力して増幅し前記負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る差動増幅器とを有する電流検出回路を検査する電流検出回路検査方法であって、前記複数の入力側パッドのいずれか１つから前記複数の出力側パッドのいずれか１つに定電流を流す定電流供給ステップと、前記差動増幅器によりモニター出力された電圧を測定する第１電圧測定ステップと、前記複数の入力側パッドのうち隣接する２つの入力側パッド間の電圧を測定する第２電圧測定ステップと、前記複数の入力側パッドのいずれか１つと前記複数の出力側パッドのいずれか１つとの間の電圧を測定する第３電圧測定ステップと、前記差動増幅器が有する一対の入力端子の一方に接続された入力側パッドと前記差動増幅器が有する一対の入力端子の他方に接続された出力側パッドとの間の電圧を測定する第４電圧測定ステップと、前記定電流供給ステップにより供給された定電流と前記第２電圧測定ステップにより測定された電圧と前記第３電圧測定ステップにより測定された電圧とに基づき全ての入力側パッド及び出力側パッドを介して電流が前記負荷に流れた場合の前記差動増幅器に対する入力電圧を算出する製品時入力電圧算出ステップと、前記製品時入力電圧算出ステップにより算出された入力電圧と前記第４電圧測定ステップにより測定された電圧との電圧比を算出する電圧比算出ステップと、前記定電流供給ステップにより供給された定電流と前記第１電圧測定ステップにより測定された電圧と前記電圧比算出ステップにより算出された電圧比とに基づき前記電流検出回路が適正に動作を行っているか否かを判定する判定ステップとを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、ウェハーテスト時と製品時との電流検出回路におけるモニター出力の差を解消し、歩留まりを改善することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の電流検出回路及び電流検出回路検査方法の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００３６】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施例１の電流検出回路１０ａと電流検出回路１０ａを検査する検査装置４０ａの構成を示すブロック図である。まず、本実施の形態の構成を説明する。本実施例の電流検出回路１０ａは、図１に示すように、パッドＰ１乃至Ｐ６、パッドＰ９、検出抵抗１２、増幅器１４、及び配線抵抗１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆで構成される。なお、図１は、ウェハーテスト時における構成を示す図である。したがって、パッケージ後の製品時には、上述した図３の構成と同様に、パッケージ３０と電流検出回路１０ａを有するリニアソレノイドＩＣ２０とは、ワイヤＷ１乃至Ｗ９により接続されている。
【００３７】
検出抵抗１２は、本発明の電流検出用抵抗群に対応し、複数の抵抗（抵抗群１２ａ，１２ｂ，１２ｃ、寄生抵抗１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ）からなり直流電源から負荷に流れる電流を検出する。ここで、抵抗群１２ａ，１２ｂ，１２ｃを構成する複数の抵抗の各々は、本発明の電流検出用抵抗に対応し、並列に接続されている。また、寄生抵抗１３ａ，１３ｂは、本発明の第１寄生抵抗に対応し、互いに隣接し合う複数の入力側パッド（パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３）間に存在する。さらに、寄生抵抗１３ｃ，１３ｄは、本発明の第２寄生抵抗に対応し、互いに隣接し合う複数の出力側パッド（パッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６）間に存在する。
【００３８】
すなわち、検出抵抗１２は、並列に接続された複数の電流検出用抵抗と、１以上の第１寄生抵抗と、１以上の第２寄生抵抗とからなる。
【００３９】
なお、図１は、ウェハーテストを行う際の電流検出回路１０ａと検査装置４０ａの構成を示すブロック図であるため、直流電源及び負荷であるソレノイドを図示しない。パッケージ後の製品時には、図３に示すように、電流検出回路１０ａ内の検出抵抗１２は、直流電源である電源電圧１からソレノイド２に流れる電流を検出する。
【００４０】
また、抵抗群１２ａ，１２ｂ，及び１２ｃを構成する複数の抵抗のうちの抵抗１個の抵抗値は、従来と同様にＲとする。また、寄生抵抗１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの各々が有する抵抗値は、従来と同様にＲｐとする。
【００４１】
検査装置４０ａは、プローブ１５ａとプローブ１５ｂとが接続された電流源４２及び電圧計４４を有する。この検査装置４０ａは、上述した従来の検査装置４０ｃと同様の構成を有し、重複した説明を省略する。
【００４２】
複数のパッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３は、本発明の入力側パッドに対応し、検出抵抗１２の入力側に接続されている。また、複数のパッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６は、本発明の出力側パッドに対応し、検出抵抗１２の出力側に接続されている。なお、本実施例において、入力側パッド及び出力側パッドは、それぞれ３つずつ設けられているが、必ずしも３つに限る必要は無い。また、本明細書において、パッド対とは、寄生抵抗１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを介さずに電流を流すことが可能な入力側パッドと出力側パッドの対のことを指し、本実施例において電流検出回路１０ａは、パッドＰ１−Ｐ４、パッドＰ２−Ｐ５、パッドＰ３−Ｐ６の３つのパッド対を有する。
【００４３】
増幅器１４は、本発明の差動増幅器に対応し、検出抵抗１２の両端の電圧を入力して増幅し負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る。
【００４４】
複数の入力側パッド（パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３）の各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線（配線抵抗１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）を介して増幅器１４が有する一対の入力端子の一方（本実施例においては＋側入力端子）に接続される。本実施例において、配線抵抗１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、いずれも等しい抵抗値ｒを有するものとする。
【００４５】
また、複数の出力側パッド（パッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６）の各々はいずれも、等しい抵抗値を有する配線（配線抵抗１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ）を介して増幅器１４が有する一対の入力端子の他方（本実施例においては−側入力端子）に接続される。本実施例において、配線抵抗１６ｄ，１６ｅ，１６ｆは、いずれも等しい抵抗値ｒを有するものとする。
【００４６】
なお、配線抵抗１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆがそれぞれ有する抵抗値ｒは、抵抗群１２ａ，１２ｂ，及び１２ｃを構成する抵抗の抵抗値Ｒ／ｎよりも十分大きいものとする（Ｒ／ｎ＜＜ｒ）。また抵抗値ｒは、寄生抵抗１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの各々が有する抵抗値Ｒｐよりも十分大きいものとする（Ｒｐ＜＜ｒ）。
【００４７】
したがって、本実施例における電流検出回路１０ａが従来の電流検出回路１０ｃと異なる点は、配線抵抗１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆが設けられている点のみであり、その他の構成は従来と同様である。
【００４８】
次に、上述のように構成された本実施の形態の作用を説明する。ウェハーテストにおいて、検査者は、複数の入力側パッドのいずれか１つから複数の出力側パッドのいずれか１つに定電流を流す。これは、本発明の定電流供給ステップに対応する。本実施例において、検査者は、プローブ１５ａをパッドＰ１に接触させ、プローブ１５ｂをパッドＰ４に接触させる。これにより、電流源４２は、パッドＰ１から検出抵抗１２を介してパッドＰ４へ向けて定電流Ｉを流す。
【００４９】
次に、電圧計４４は、増幅器１４によりモニター出力された電圧を測定する。これは、本発明の電圧測定ステップに対応する。本実施例において、増幅器１４は、一対の入力端子間に発生する電圧を増幅し、モニター出力する。電圧計４４は、増幅器１４によりモニター出力された電圧をパッドＰ９を介して測定し、出力する。
【００５０】
パッドＰ１とパッドＰ４との間に流れる定電流Ｉは、上述したようにＲｐ，Ｒ／ｎ＜＜ｒであるため、ｒにはほとんど流れずにＲｐやＲに流れる。したがって、パッドＰ１乃至Ｐ６の電位は、配線抵抗１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆの影響をほとんど受けずに、主に検出抵抗１２の状態に応じてそれぞれ決まる。なお、各寄生抵抗の影響により電圧降下が生じるため、各パッドが有する電位は、通常高い順にパッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ６，Ｐ５，Ｐ４となる。
【００５１】
パッドＰ１から配線抵抗１６ａを介して増幅器１４の＋側入力端子に流れる電流をＩ１ｐとし、増幅器１４の＋側入力端子から配線抵抗１６ｂを介してパッドＰ２に流れる電流をＩ２ｐとし、増幅器１４の＋側入力端子から配線抵抗１６ｃを介してパッドＰ３に流れる電流をＩ３ｐとする。また、増幅器１４の＋側入力端子の電位（正相入力電位）をＶｐとし、パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３の電位をそれぞれＶ１，Ｖ２，Ｖ３とすると、以下の式が成り立つ。
【数３】
2009115745.tif 000005
【００５２】
また、（３），（４），（５），（６）式から、以下の式が成り立つ。
【数４】
2009115745.tif 000006
【００５３】
したがって、増幅器１４の＋側入力端子の電位（正相入力電位）Ｖｐは、パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３の電位を平均化した値となる。
【００５４】
同様に、増幅器１４の−側入力端子の電位（逆相入力電位）をＶｎとし、パッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６の電位をそれぞれＶ４，Ｖ５，Ｖ６とする。パッドＰ６から配線抵抗１６ｆを介して増幅器１４の−側入力端子に流れる電流をＩ６ｐとし、増幅器１４の−側入力端子から配線抵抗１６ｅを介してパッドＰ５に流れる電流をＩ５ｐとし、増幅器１４の−側入力端子から配線抵抗１６ｄを介してパッドＰ４に流れる電流をＩ４ｐとすると、以下の式が成り立つ。
【数５】
2009115745.tif 000007
【００５５】
また、（９），（１０），（１１），（１２）式から、以下の式が成り立つ。
【数６】
2009115745.tif 000008
【００５６】
したがって、増幅器１４の−側入力端子の電位（逆相入力電位）Ｖｎは、パッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６の電位を平均化した値となる。（８）式及び（１４）式より、増幅器１４の入力端子の両端に入力される電圧Ｖｉｎは、以下の式で表される。
【数７】
2009115745.tif 000009
【００５７】
（１５）式より、増幅器１４に入力される電圧Ｖｉｎは、パッドＰ１，Ｐ４間の電圧と、パッドＰ２，Ｐ５間の電圧と、パッドＰ３，Ｐ６間の電圧とを足し合わせてパッド対の数である３で割ったものである。ここで、パッドＰ１，Ｐ４間の電圧と、パッドＰ２，Ｐ５間の電圧と、パッドＰ３，Ｐ６間の電圧とを足し合わせたものは、ＲＩ／ｎであるため、以下の式が導かれる。
【数８】
2009115745.tif 000010
【００５８】
したがって、増幅器１４に入力される電圧Ｖｉｎは、（２）式に示すＶＯＰ＿ＩＮの値と等しい。上述したように、ＶＯＰ＿ＩＮは、検出抵抗１２に接続された入力側パッド（パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３）及び出力側パッド（パッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６）の全てのパッドにワイヤ（ワイヤＷ１乃至Ｗ６）が接続されたパッケージ後の製品における増幅器１４に対する入力電圧である。すなわち、本実施例において、増幅器１４に入力される電圧Ｖｉｎは、製品時に増幅器１４に入力される電圧と等しいものとなり、ウェハーテストの際にも製品と同じ規格でリニアソレノイドＩＣ２０を検査することができることを示す。
【００５９】
増幅器１４は、入力された電圧Ｖｉｎを増幅し負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る。電圧計４４は、増幅器１４によりモニター出力された電圧をパッドＰ９を介して測定し、出力する（電圧測定ステップ）。
【００６０】
検査者あるいは検査装置４０ａ内の図示されない判定部は、電流源４２（定電流供給ステップ）により供給された定電流と電圧計４４（電圧測定ステップ）により測定された電圧とに基づき、電流検出回路１０ａが適正に動作を行っているか否かを判定する。これは、本発明の判定ステップに対応する。具体的には、電流源４２が流す電流量に対する増幅器１４のモニター出力電圧の電圧値許容範囲（上限値及び下限値）が予め決められており、検査者あるいは検査装置４０ａ内の図示されない判定部は、電圧計４４が示す電圧値が許容範囲内であれば電流検出回路１０ａが適正に動作を行っていると判定する。
【００６１】
上述のとおり、本発明の実施例１の形態に係る電流検出回路及び電流検出回路検査方法によれば、パッド間に寄生抵抗を有する電流検出回路であっても、検査装置４０ａの構成を変えることなくウェハーテスト時と製品時との電流検出回路１０ａにおけるモニター出力の差を解消し、歩留まりを改善することができる。
【００６２】
すなわち、電流検出のための検出抵抗１２の入力側及び出力側に複数のパッド（パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６）が備わったリニアソレノイドＩＣ２０の電流検出回路１０ａの電気的特性をウェハー状態で検査する場合でも、全てのパッドにワイヤを接続する製品の状態の電気的特性と整合が取れた検査を行うことができ、リニアソレノイドＩＣ２０をパッケージにした後の電気的特性の検査で歩留まりを低下させることがなくなる。
【００６３】
また、本実施例においてはパッド対の数を３つとしているが、パッド対の数は３つに限らず幾つでもよく、各パッドから増幅器１４の入力端に接続する配線抵抗の大きさを等しくすることにより、上述した効果を得ることができる。
【００６４】
さらに、いずれのパッド対に電流を流した場合であっても、増幅器１４に入力される電圧は、各パッド対の電圧を平均化した値が入力されるため、全てのパッドにワイヤを接続した製品の状態と同じ電気的特性を得ることができ、歩留まりを改善することができる。
【実施例２】
【００６５】
図２は、本発明の実施例２の電流検出回路１０ｂと電流検出回路１０ｂを検査する検査装置４０ｂの構成を示すブロック図である。まず、本実施の形態の構成を説明する。本実施例の電流検出回路１０ｂは、従来例として説明した電流検出回路１０ｃと同一の構成を有する。したがって、実施例１の電流検出回路１０ａと異なり、電流検出回路１０ｂは、配線抵抗１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆを有さない。
【００６６】
検査装置４０ｂは、実施例１の構成に加え、プローブ１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆ、電圧計４６，４８，５０を有する。プローブ１５ｃは、電流検出回路１０ｂ内のパッドＰ２に接触し、プローブ１５ｄは、電流検出回路１０ｂ内のパッドＰ５に接触し、プローブ１５ｅは、電流検出回路１０ｂ内のパッドＰ３に接触し、プローブ１５ｆは、電流検出回路１０ｂ内のパッドＰ６に接触している。
【００６７】
さらに、電圧計４６は、プローブ１５ｅとプローブ１５ｆとを介してパッドＰ３−Ｐ６間の電圧を測定する。電圧計４８は、プローブ１５ｃとプローブ１５ｅとを介してパッドＰ２−Ｐ３間の電圧を測定する。電圧計５０は、プローブ１５ｃとプローブ１５ｄとを介してパッドＰ２−Ｐ５間の電圧を測定する。
【００６８】
なお、図２は、ウェハーテスト時における構成を示す図である。したがって、パッケージ後の製品時には、上述した図３の構成と同様に、パッケージ３０と電流検出回路１０ｂを有するリニアソレノイドＩＣ２０とは、ワイヤＷ１乃至Ｗ９により接続されている。
【００６９】
その他の構成は、実施例１と同様であり、重複した説明を省略する。
【００７０】
次に、上述のように構成された本実施の形態の作用を説明する。本実施例において説明する電流検出回路検査方法は、複数の抵抗からなり直流電源から負荷に流れる電流を検出する電流検出用抵抗群である検出抵抗１２と、検出抵抗１２の入力側に接続された複数の入力側パッド（パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３）と、検出抵抗１２の出力側に接続された複数の出力側パッド（パッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６）と、検出抵抗１２の両端の電圧を入力して増幅し負荷を流れる電流に対応したモニター出力を得る増幅器１４とを有する電流検出回路１０ｂを検査する。
【００７１】
ウェハーテストにおいて、検査者は、複数の入力側パッドのいずれか１つから複数の出力側パッドのいずれか１つに定電流を流す。これは、本発明の定電流供給ステップに対応し、実施例１と同様である。
【００７２】
次に、電圧計４４は、増幅器１４によりモニター出力された電圧を測定する。これは、本発明の第１電圧測定ステップに対応し、実施例１の電圧測定ステップと同様である。
【００７３】
また、電圧計４８は、複数の入力パッドのうち隣接する２つの入力パッド間の電圧を測定する。これは、本発明の第２電圧測定ステップに対応する。本実施例において、電圧計４８は、プローブ１５ｃとプローブ１５ｅとを介してパッドＰ２−Ｐ３間の電圧を測定する。なお、電圧計４８によりプローブ１５ｃとプローブ１５ｅとを介して電圧を測定する際には、電圧計４８に対して電流はほとんど流れないため、プローブによる接触抵抗の影響を考慮する必要はない。電圧計４６，５０による電圧測定の際も同様である。
【００７４】
電圧計４８により測定されたパッドＰ２−Ｐ３間の電圧Ｖ２３は、以下の式で表すことができる。
【数９】
2009115745.tif 000011
【００７５】
ここで、Ｒｓ＝Ｒ／ｎである。また、（１７）式におけるＲ１は、以下の式で表される。
【数１０】
2009115745.tif 000012
【００７６】
（１７）式及び（１８）式より、以下の式が導かれる。
【数１１】
2009115745.tif 000013
【００７７】
一方、電圧計４６は、複数の入力パッドのいずれか１つと複数の出力側パッドのいずれか１つとの間の電圧を測定する。これは、本発明の第３電圧測定ステップに対応する。本実施例において、電圧計４６は、プローブ１５ｅとプローブ１５ｆとを介してパッドＰ３−Ｐ６間の電圧を測定する。
【００７８】
電圧計４６により測定されたパッドＰ３−Ｐ６間の電圧Ｖ３６は、以下の式で表すことができる。
【数１２】
2009115745.tif 000014
【００７９】
（１８）式及び（２１）式より、以下の式が導かれる。
【数１３】
2009115745.tif 000015
【００８０】
したがって、γ＝α／βとおくと、（１９）式と（２２）式より、γ＝α／β＝Ｒｐ／Ｒｓであることから、（２３）式は、以下のように変形できる
【数１４】
2009115745.tif 000016
【００８１】
また、電圧計５０は、増幅器１４が有する一対の入力端子の一方に接続された入力側パッドと増幅器１４が有する一対の入力端子の他方に接続された出力側パッドとの間の電圧を測定する。これは、本発明の第４電圧測定ステップに対応する。本実施例において、電圧計５０は、プローブ１５ｃとプローブ１５ｄとを介してパッドＰ２−Ｐ５間の電圧を測定する。
【００８２】
検査者あるいは検査装置４０ｂ内の図示されない判定部は、電流源４２（定電流供給ステップ）により供給された定電流と電圧計４８（第２電圧測定ステップ）により測定された電圧と電圧計４６（第３電圧測定ステップ）により測定された電圧とに基づき、全ての入力側パッド及び出力側パッドを介して電流が負荷に流れた場合の増幅器１４に対する入力電圧を算出する。これは、本発明の製品時入力電圧算出ステップに対応する。
【００８３】
具体的には、図３に示すように、検出抵抗１２に接続された入力側パッド（パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３）及び出力側パッド（パッドＰ４，Ｐ５，Ｐ６）の全てのパッドにワイヤ（ワイヤＷ１乃至Ｗ６）が接続されたパッケージ後の製品において、増幅器１４に対する入力電圧ＶＯＰ＿ＩＮは、（２４）式に基づき以下の式で表される。
【数１５】
2009115745.tif 000017
【００８４】
したがって、検査者あるいは検査装置４０ｂ内の図示されない判定部は、（２５）式を用いて製品時の増幅器１４に対する入力電圧を算出する。
【００８５】
さらに、検査者あるいは検査装置４０ｂ内の図示されない判定部は、製品時入力電圧算出ステップにより算出された入力電圧ＶＯＰ＿ＩＮと、電圧計５０（第４電圧測定ステップ）により測定された電圧との電圧比εを算出する。これは、本発明の電圧比算出ステップに対応する。電圧比εは、以下の式により求められる。
【数１６】
2009115745.tif 000018
【００８６】
ここで、Ｖ２５は、電圧計５０（第４電圧測定ステップ）により測定された電圧値を示す。なお、電圧比εは、電流源４２による電流検出回路１０ｂに対する入力電流量にかかわらず一定である。したがって、検査者あるいは検査装置４０ｂ内の図示されない判定部は、一度電圧比εを算出すれば、その後は算出する必要が無い。
【００８７】
検査者あるいは検査装置４０ｂ内の図示されない判定部は、電流源４２（定電流供給ステップ）により供給された定電流と電圧計４４（第１電圧測定ステップ）により測定された電圧Ｖｏと電圧比算出ステップにより算出された電圧比εとに基づき、電流検出回路１０ｂが適正に動作を行っているか否かを判定する。これは、本発明の判定ステップに対応する。
【００８８】
具体的には、最初に検査者あるいは検査装置４０ｂ内の図示されない判定部は、電圧計４４（第１電圧測定ステップ）により測定された電圧Ｖｏに電圧比εを乗じる。これにより算出されたＶｏ・εは、全ての入力側パッド及び出力側パッドを介して電流が負荷に流れた場合（すなわち製品時）における増幅器１４の出力電圧を示す。
【００８９】
したがって、実施例１と同様に電流源４２が流す電流量に対する増幅器１４のモニター出力電圧の電圧値許容範囲（上限値及び下限値）が予め決められており、検査者あるいは検査装置４０ｂ内の図示されない判定部は、算出したＶｏ・εが電流源４２により流れる電流量に対して許容範囲内であれば電流検出回路１０ｂが適正に動作を行っていると判定する。
【００９０】
上述のとおり、本発明の実施例２の形態に係る電流検出回路及び電流検出回路検査方法によれば、パッド間に寄生抵抗を有する電流検出回路であっても、電流検出回路１０ｂの構成を変えることなくウェハーテスト時と製品時との電流検出回路１０ｂにおけるモニター出力の差を解消し、歩留まりを改善することができる。
【００９１】
すなわち、電流検出のための検出抵抗１２の入力側及び出力側に複数のパッド（パッドＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６）が備わったリニアソレノイドＩＣ２０の電流検出回路１０ｂの電気的特性をウェハー状態で検査する場合でも、実施例１と同様に、全てのパッドにワイヤを接続する製品の状態の電気的特性と整合が取れた検査を行うことができ、リニアソレノイドＩＣ２０をパッケージにした後の電気的特性の検査で歩留まりを低下させることがなくなる。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明に係る電流検出回路及び電流検出回路検査方法は、制御電流に応じて油圧をリニアに制御するリニアソレノイド等の負荷に流れる電流を検出するための電流検出回路及び当該電流検出回路を検査するための電流検出回路検査方法に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の実施例１の形態の電流検出回路と電流検出回路を検査する検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施例２の形態の電流検出回路と電流検出回路を検査する検査装置の構成を示すブロック図である。
【図３】従来から用いられている一般的なリニアソレノイドＩＣを有するパッケージの構成を示す図である。
【図４】従来のリニアソレノイドＩＣが有する電流検出回路と電流検出回路を検査する検査装置の構成を示すブロック図である。
【図５】従来の電流検出回路の利得を示す図である。
【符号の説明】
【００９４】
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５  コネクタ
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９  パッド
Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，Ｗ６，Ｗ７，Ｗ８，Ｗ９  ワイヤ
１      電源電圧
２      ソレノイド
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ  電流検出回路
１２    検出抵抗
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  抵抗群
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ  寄生抵抗
１４    増幅器
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆ  プローブ
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ  配線抵抗
２０    リニアソレノイドＩＣ
２２    トランジスタ
３０    パッケージ
４０ａ，４０ｂ，４０ｃ  検査装置
４２  電流源
４４，４６，４８，５０  電圧計
【図１】
2009115745.tif 000019
【図２】
2009115745.tif 000020
【図３】
2009115745.tif 000021
【図４】
2009115745.tif 000022
【図５】
2009115745.tif 000023