(57)【要約】      （修正有）【課題】機能液滴吐出ヘッドによる液滴吐出処理に影響を与えることなく、装置カバー内の換気を行うことができる処理装置および処理装置の換気方法を提供する。【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、前部で液滴吐出処理を行なう処理装置本体と、処理装置本体を支持する機台２１と、機台２１上に組み上げられたカバー枠およびカバー枠の各面に取り付けた複数のパネル体を有し、処理装置本体を収容する装置カバー２６と、排気手段に連なり、装置カバー２６内の雰囲気を排気する排気口２３４と、を備え、各パネル体は、カバー枠に対し隙間２１９を存して取り付けられ、排気口２３４は、処理装置本体の後方に配設されている。【選択図】図１５
2009011974.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、前部で液滴吐出処理を行なう処理装置本体と、
前記処理装置本体を支持する機台と、
前記機台上に組み上げられたカバー枠および前記カバー枠の各面に取り付けた複数のパネル体を有し、前記処理装置本体を収容する装置カバーと、
排気手段に連なり、前記装置カバー内の雰囲気を排気する排気口と、を備え、
前記各パネル体は、前記カバー枠に対し隙間を存して取り付けられ、
前記排気口は、前記処理装置本体の後方に配設されていることを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記各パネル体は、前記カバー枠に対し四周に亘る隙間を存して取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記排気口は、前記機台を貫通するように設けられると共に離間して配設した複数の開口で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記装置カバーに収容され、前記処理装置本体を制御する電装ボックスと、
前記電装ボックスを収容するボックスカバーと、を更に備え、
前記ボックスカバーの端部は、１の前記パネル体を貫通して外部に開放されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の処理装置。
【請求項５】
前記処理装置本体が、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出特性を検査する検査装置であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の処理装置。
【請求項６】
前記処理装置本体が、前記機能液滴吐出ヘッドによりワークに描画を行なう描画装置であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の処理装置。
【請求項７】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、前部で液滴吐出処理を行なう処理装置本体を、カバー枠と前記カバー枠の各面に取り付けた複数のパネル体とから成る装置カバーで覆った処理装置の換気方法であって、
前記各パネル体を、前記カバー枠に対し隙間を存して取り付け、この隙間を吸気口として、前記装置カバーの内部雰囲気を処理装置本体の後方から強制排気することを特徴とする処理装置の換気方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置カバー内で、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより液滴吐出処理を行なう処理装置および処理装置の換気方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の処理装置として、機台と、機台上に設けられ、連続紙に印刷を行うインクジェットプリンタと、機台上のインクジェットプリンタを覆うように設けた安全カバーと、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。
この場合、安全カバーは、インクジェットプリンタが駆動しているときのオペレータの安全を確保するようになっている。
【特許文献１】特開２００２−２２５２５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、インクジェット応用技術においては、温度の影響を受け易い特殊な機能液（インク）を用いることがある。かかる場合、上記従来の処理装置では、モータ等の構成装置からの発熱により、安全カバー内の雰囲気温度が上昇してしまう問題が想定される。一方で、安全カバー内を単純に換気すると、吸引口から排気口にエアーが流れ、液滴吐出処理に影響を及ぼし、或いは機能液の気化溶媒が安全カバー内の一部に滞留してしまう等の問題がある。
【０００４】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドによる液滴吐出処理に影響を与えることなく、装置カバー内の換気を行うことができる処理装置および処理装置の換気方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の処理装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、前部で液滴吐出処理を行なう処理装置本体と、処理装置本体を支持する機台と、機台上に組み上げられたカバー枠およびカバー枠の各面に取り付けた複数のパネル体を有し、処理装置本体を収容する装置カバーと、排気手段に連なり、装置カバー内の雰囲気を排気する排気口と、を備え、各パネル体は、カバー枠に対し隙間を存して取り付けられ、排気口は、処理装置本体の後方に配設されていることを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の処理装置の換気方法は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、前部で液滴吐出処理を行なう処理装置本体を、カバー枠とカバー枠の各面に取り付けた複数のパネル体とから成る装置カバーで覆った処理装置の換気方法であって、各パネル体を、カバー枠に対し隙間を存して取り付け、この隙間を吸気口として、装置カバーの内部雰囲気を処理装置本体の後方から強制排気することを特徴とする。
【０００７】
これらの構成によれば、排気手段を駆動させると、カバー枠と各パネル体との間隙から装置カバー内に外気が流入（吸気）する一方、装置カバー内の雰囲気は、排気口から流出（排気）する。これにより、装置カバー内の吸気と排気が同時に為され、装置カバー内の換気が行われるため、処理装置本体等から発生した熱や機能液の気化溶媒を適切に排熱および排気することができる。この場合、吸気は、装置カバーの周囲複数箇所から行われるため、装置カバー内の部分的なエアーの滞留が抑制されると共に、各部のエアーの流速を押さえることができる。特に、排気口が処理装置本体の背面側（後方）に配設されているため、処理装置本体における液滴吐出処理に対する気流の影響を極力少なくすることができる。
【０００８】
この場合、各パネル体は、カバー枠に対し四周に亘る隙間を存して取り付けられていることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、例えば、各パネル体を対応するカバー枠の枠内より幾分小さく形成して、取付金具等によりカバー枠に取り付けることにより、各パネル体の四周に亘る均一な隙間を簡単に形成することができる。
【００１０】
これらの場合、排気口は、機台を貫通するように設けられると共に離間して配設した複数の開口で構成されていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、排気口の近傍においても、エアーの流速を押さえることができ、装置カバー内におけるエアーの流れを安定化させることができる。
【００１２】
これらの場合、装置カバーに収容され、処理装置本体を制御する電装ボックスと、電装ボックスを収容するボックスカバーと、を更に備え、ボックスカバーの端部は、１のパネル体を貫通して外部に開放されていることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、電装ボックスから発生する熱は、エアーを介してボックスカバーから外部に自然排気されるため、処理装置本体に対する電装ボックスからの熱の影響を極力排除することができる。
【００１４】
これらの場合、処理装置本体が、機能液滴吐出ヘッドの吐出特性を検査する検査装置であることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、検査のばらつきを抑制し、高精度で信頼性の高い検査を行うことができる。
【００１６】
同様に、処理装置本体が、機能液滴吐出ヘッドによりワークに描画を行なう描画装置であることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理において、熱的影響や気流の影響を排除することができるため、描画品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付した図面を参照して、本発明の処理装置を適用した機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置（以下、「ヘッド検査装置」という。）について説明する。このヘッド検査装置は、単体としての機能液滴吐出ヘッド（いわゆる、インクジェットヘッド）に対し、吐出確認検査、吐出重量検査、飛行速度検査および体積測定検査等の吐出性能検査を行うものである。また、これら検査を行う構成装置は、装置カバーで覆われており、簡易ではあるが温度管理されている。ここでは、ヘッド検査装置の説明に先立ち、検査対象となる機能液滴吐出ヘッドについて説明する。
【００１９】
図１に示すように、機能液滴吐出ヘッド１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７，７を有する機能液導入部２と、機能液導入部２の側方に連なる２連のヘッド基板３と、機能液導入部２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４と、機能液導入部２とヘッド本体４との間に介設した略方形のフランジ部５と、を備えている。機能液滴吐出ヘッド１には、実描画において、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のうち１色が導入されるが、この検査段階で、既に何色の機能液を導入するかを決定するようになっている。
【００２０】
各接続針７は、後述する機能液供給チューブ３７を介して機能液を貯留する機能液タンク６１に接続され、機能液導入部２は、機能液タンク６１から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体４は、ピエゾ素子等の圧電素子で構成される２連のポンプ部８と、多数の吐出ノズル９を形成したノズル面１０を有するノズルプレート１１と、を有している。
【００２１】
図１（ｂ）に示すように、ノズルプレート１１のノズル面１０に形成された多数の吐出ノズル９は、相互に平行に列設された２列のノズル列１２で構成されており、各ノズル列１２は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル９で構成されている。この場合、１８０個の吐出ノズル９のうち、両外端に位置する各１０個の吐出ノズル９は、無効吐出ノズル（ダミーノズル）であり、実際の描画には使用しない。このため、ヘッド検査装置２０により機能液滴吐出ヘッド１を検査する場合は、無効吐出ノズルを考慮することなく検査が行われる。また、詳細は後述するが、吐出量測定ユニット４３により、機能液滴吐出ヘッド１から吐出される機能液滴の吐出重量を測定する場合は、ノズル列１２単位で行うようにしている。
【００２２】
ヘッド基板３には、２連のコネクタ１３，１３が設けられており、各コネクタ１３はフレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッド検査装置２０の制御装置２５（図４参照）に接続されるようになっている。そして、この制御装置２５から出力された駆動波形が各コネクタ１３を介して各ポンプ部８に印加されることで、各吐出ノズル９から機能液滴が吐出される。このようにして、制御装置２５により機能液滴吐出ヘッド１の駆動が制御される。
【００２３】
次に、図２ないし５を参照して、上記した機能液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査するヘッド検査装置２０について説明する。ヘッド検査装置２０は、キャビネット形式の機台２１と、機台２１上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１を搭載した吐出検査装置２２と、同様に機台２１上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１に対し保管および機能回復を行うメンテナンス装置２３と、吐出検査装置２２およびメンテナンス装置２３を内部に収容し、機台２１の上方空間を覆うようにして設けられたチャンバ装置２４と、を備えている。また、ヘッド検査装置２０には、チャンバ装置２４の装置カバー２６の背面側に設けた一対の電装ボックス２７，２７、および装置カバー２６の正面（前面）に設けた制御装置本体２８から成る制御装置２５が組み込まれている（図４および図５参照）。そして、制御装置２５は、上記の機能液滴吐出ヘッド１、吐出検査装置２２、メンテナンス装置２３およびチャンバ装置２４を統括制御する。
【００２４】
ヘッド検査装置２０は、吐出検査装置２２に搭載した機能液滴吐出ヘッド１を１つずつ検査すべく、メンテナンス装置２３により機能液滴吐出ヘッド１の機能維持・回復を行いながら、吐出検査装置２２により機能液滴を吐出して、機能液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査する。また、チャンバ装置２４は、装置カバー２６の内部雰囲気を温度管理する、いわゆるクリーンブースの形態を有している。なお、ヘッド検査装置２０の全体は、温度管理されたクリーンルーム内に設置されており、チャンバ装置２４による装置カバー２６内の温度管理は、チャンバ装置２４に付設した換気装置２９（図５参照）により内部を換気し、内部雰囲気をクリーンルームの雰囲気に置換することで行われる。すなわち、チャンバ装置２４は、装置カバー２６と換気装置２９とで構成されている。
【００２５】
メンテナンス装置２３は、機能液滴吐出ヘッド１に対しキャッピングおよび機能液吸引を行う吸引装置３１と、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０を払拭するワイピング装置３２と、を備えている。吸引装置３１およびワイピング装置３２は、後述する各テーブル５２，５３によりＹ軸方向に移動する機能液滴吐出ヘッド１の移動軌跡の下方に臨むよう、機台２１上の右部に並べて配置されている（図３参照）。
【００２６】
図２および図３に示すように、吐出検査装置２２は、機台の前後中間部に配設した被検査部２２Ａと、前部に配設した検査部２２Ｂとから成り、被検査部２２Ａは、機能液滴吐出ヘッド１を搭載しこれを適宜、ＸＹ方向に移動させながら液滴吐出を行う検査描画装置３５と、機能液滴吐出ヘッド１にＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を選択的に供給する機能液供給ユニット３６と、機能液供給ユニット３６の機能液供給チューブ３７を機能液滴吐出ヘッド１にワンタッチで接続するための供給流路接続装置３８（図６参照）と、機能液滴吐出ヘッド１を検査描画装置３５のキャリッジプレート３９に工具レスでセットするためのヘッドセット装置４０（図８参照）と、を備えている。
【００２７】
一方、検査部２２Ｂは、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の吐出確認や飛行速度等を検査する飛行検査ユニット４２と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の吐出重量の測定を行う吐出量測定ユニット４３と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された着弾ドットの体積測定のためのガラス基板Ｗをセットするターゲットステージ４４と、各種の部品等を仮置きするための仮置きステージ４５と、を備えている。飛行検査ユニット４２および吐出量測定ユニット４３は、Ｙ軸方向に移動する機能液滴吐出ヘッド１の移動軌跡の下方に臨むよう、機台２１上に並べて配設されている。
【００２８】
図２および図３に示すように、検査描画装置３５は、機台２１上に立設した一対の支柱５１，５１と、一対の支柱５１，５１に架け渡されたＹ軸メインテーブル５２と、Ｙ軸メインテーブル５２に移動自在に支持されと共に、Ｘ軸テーブル５４およびＹ軸サブテーブル５５から成るＸＹテーブル５３と、Ｘ軸テーブル５４に垂設されたキャリッジ５６と、キャリッジ５６に搭載されると共に、１の機能液滴吐出ヘッド１が工具レスでセットされるキャリッジプレート３９および上記のヘッドセット装置４０から成るヘッドホルダ５７と、を備えている（図８参照）。また、Ｙ軸メインテーブル５２に添設するように、ケーブル担持体（ケーブルベア（登録商標））５９が配設されており、ケーブル担持体５９には、ＸＹテーブル５３側に導かれる各種ケーブルやチューブが収容されている。
【００２９】
Ｙ軸メインテーブル５２は、主として機能液滴吐出ヘッド１をＹ軸方向に大きく移動させ、ＸＹテーブル５３は、主として機能液滴吐出ヘッド１をＸ軸方向およびＹ軸方向に小さく移動させる。したがって、検査部２２Ｂの各構成装置やメンテナンス装置２３の各構成装置の間における機能液滴吐出ヘッド１の移動は、主にＹ軸メインテーブル５２により行われ、ガラス基板Ｗへの検査吐出に伴う機能液滴吐出ヘッド１の移動は、主にＸＹテーブル５３により行われる。なお、上記の機能液供給ユニット３６は、Ｙ軸メインテーブル５２の前方に固定的に配設され、供給流路接続装置３８は、ＸＹテーブル５３に搭載されている。
【００３０】
図２および図３に示すように、機能液供給ユニット３６は、Ｒ・Ｇ・Ｂ色の機能液をそれぞれ貯留する３つの機能液タンク６１と、３つの機能液タンク６１を収容するタンクボックス６２と、３つの機能液タンク６１に接続されて３本の機能液供給チューブ３７と、を備えている。タンクボックス６２は、上部を開放すると共に、内部に「Ｕ」字状の３つの切欠き部を有するセットプレート６３を設けたものであり、各機能液タンク６１は、この切欠き部に嵌め入れるようにしてセットされている。また、各機能液供給チューブ３７は、Ｙ軸メインテーブル５２の上側に配設したフレキシブルな配管支持プレート６４を介して、供給流路接続装置３８に接続されている。
【００３１】
各機能液タンク６１は、機能液滴吐出ヘッド１の上方に配設され、セットした機能液滴吐出ヘッド１の色別に応じて選択的に使用される。このため、機能液は、自然水頭により各機能液タンク６１から各機能液供給チューブ３７を介して機能液滴吐出ヘッド１へ機能液が供給される。なお、機能液滴吐出ヘッド１直近の機能液供給チューブ３７には、水頭圧を調整する自己封止弁（減圧弁：図２参照）６５が設けられており、機能液滴吐出ヘッド１には機能液が適正圧力で供給される。
【００３２】
図２、図６および図７に示すように、供給流路接続装置３８は、各機能液供給チューブ３７の下流端が接続されると共に、機能液滴吐出ヘッド１への一対の接続口７２，７２を有するＲ・Ｇ・Ｂ色の３つの接続口ユニット７１と、３つの接続口ユニット７１をストックするユニットストッカ７３と、ユニットストッカ７３から持ち出されて装着された１の接続口ユニット７１を、機能液滴吐出ヘッド１に対し接続および接続解除させる上下動ユニット７４と、を備えている。
【００３３】
上下動ユニット７４は、装着した接続口ユニット７１を、ヘッドセット装置４０により位置決めセットされた機能液滴吐出ヘッド１の直上部に臨ませると共に、接続口ユニット７１を下動（下降）させてその一対の接続口７２，７２を機能液滴吐出ヘッド１の２連の接続針７，７に接続する（図７参照）。これにより、機能液タンク６１と対応する機能液滴吐出ヘッド１が接続され、機能液滴吐出ヘッド１への機能液の供給が可能になる。なお、接続口ユニット７１を機能液滴吐出ヘッド１に接続した直後には、上記の吸引装置３１により、機能液滴吐出ヘッド１のヘッド内流路に機能液を充填する初期充填動作が行われる。
【００３４】
図２および図８に示すように、ヘッドセット装置４０は、キャリッジプレート３９に、機能液滴吐出ヘッド１を位置決めセットするものであり、機能液滴吐出ヘッド１のフランジ部５を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に同時に押圧して位置決めを行う位置決め機構８１と、位置決め機構８１を作動させる単一のエアーシリンダ８２と、を備えている。オペレータは、キャリッジプレート３９に形成した開口部３９ａに機能液滴吐出ヘッド１を投入し、エアーシリンダ８２を駆動させるだけで、機能液滴吐出ヘッド１を位置決めセットできるようになっている（詳細は、後述する）。
【００３５】
図２、図３および図９に示すように、飛行検査ユニット４２は、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の吐出不良（ドット抜け）、飛行曲りおよび不良吐出を検査すると共に、飛行速度等を検査するものであり、吐出された機能液滴を高速度撮影する。飛行検査ユニット４２は、パルス光源であるパルスレーザを有する照明部８５と、照明部８５に対向して配置され、パルスレーザによるパルス光を受光する顕微鏡カメラ８６と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴を受ける円形の機能液受け部８７と、を備えている。
【００３６】
機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴は、照明部８５と顕微鏡カメラ８６との間のパルス光を遮って、機能液受け部８７に着弾するよう構成されている。飛行検査ユニット４２により高速度撮影された機能液滴は、その撮影結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１からの飛行速度が計測されると共に、吐出不良、飛行曲りおよび不良吐出があるか否かを検査する。なお、図示は省略するが、上記の機能液受け部８７は、機能液滴吐出ヘッド１からの捨て吐出を受けるフラッシング部を兼ねており、機能液受け部８７に貯留した機能液は、廃液チューブを介して機能液受け部８７に接続されたイジェクターにより吸引されることで、廃液タンク８８（図２参照）に回収される。
【００３７】
図２および図３に示すように、吐出量測定ユニット４３は、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の重量を測定するものであり、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴を受ける容器９１と、容器９１内の機能液の重量を測定する電子天秤９２と、を備えている。この吐出量測定ユニット４３により機能液滴の吐出量を測定する場合は、機能液滴吐出ヘッド１を容器９１に臨ませた後、ノズル列１２単位で数万発の機能液滴を吐出し、電子天秤９２により機能液の吐出重量を測定する。機能液の吐出重量が測定されると、測定された吐出重量から、１の吐出ノズル９あたりの吐出量を、吐出回数と吐出ノズル９の数分、除算して算出する。そして、この測定された機能液滴の吐出重量に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１に印加する駆動電圧（ノズル列１２単位）が決定されている。
【００３８】
図２、図３および図１０に示すように、ターゲットステージ４４は、ガラス基板Ｗ等の検査吐出を受けるターゲットを載置するいわゆる吸着テーブルであり、載置されたガラス基板Ｗには、上方に臨んだ機能液滴吐出ヘッド１から、所定の検査パターンに基づいて機能液滴が吐出される。この場合、ターゲットステージ４４は、左半部に検査シート用の補助ステージ９８を搭載したベースステージ９５と、ベースステージ９５の右部に搭載されガラス基板Ｗを直接吸着セットする第１セットステージ９６と、第１セットステージ９６より一回り大きく形成され、第１セットステージ９６を吸着する第２セットステージ９７と、で構成されている。
【００３９】
すなわち、第１セットステージ９６および第２セットステージ９７は、図外の真空吸引設備に個々に接続されており、第２セットステージ９７がこれに重ねるように配設した第１セットステージ９６を吸着し、且つ第１セットステージ９６がガラス基板Ｗを吸着するようになっている。機能液滴が着弾したガラス基板Ｗは、装置外に持ち出されて、着弾した機能液滴を自然乾燥（或いはホットプレート上で乾燥させる）させる。乾燥後のガラス基板Ｗは、さらに図示しない別体の体積測定装置に移送され、着弾した機能液滴の個々の吐出量（体積）が測定される。
【００４０】
上記の補助ステージ９８は、機能液滴吐出ヘッド１から検査吐出を受けるシートをセットするものであり、これもいわゆる吸着テーブルで構成されている。そして、上記の第１セットステージ９６、第２セットステージ９７および補助ステージ９８のそれぞれ吸引動作をＯＮ−ＯＦＦさせる３つの手動エアーバルブ９９が、上記の仮置きステージ４５の端部に取り付けられている。
【００４１】
図２、図３および図１１に示すように、ワイピング装置３２は、ノズル面１０に当接するワイピングシート１０１と、ワイピングシート１０１に洗浄液を噴霧する噴霧ヘッド１０２とを有しており、ワイピングシート１０１は、繰出しリール１０３に巻回された状態から繰り出され、押圧ローラ１０４を経由して巻取りリール１０５に巻き取られる。ワイピング動作では、繰り出されたワイピングシート１０１に対し、噴霧ヘッド１０２から洗浄液を噴霧すると共に、洗浄液を含侵したワイピングシート１０１を、押圧ローラ１０４により機能液滴吐出ノズル１のノズル面１０に押し当てる。次に、この状態で、機能液滴吐出ノズル１をＹ軸サブテーブル５５によりＹ軸方向に移動させることで、機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０が払拭（ワイピング）される。
【００４２】
図２、図３および図１２に示すように、吸引装置３１は、機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０に密接すると共に、Ｘ軸方向に並んだＲ・Ｇ・Ｂ色の３つのキャップ部１１２を有するキャップユニット１１１と、キャップユニット１１１を昇降させる昇降機構１１３と、吸引チューブを介して３つのキャップ部１１２に接続された図示しないイジェクターと、を備えている。また、吸引装置３１は、手動でＸ軸方向に移動するための手動Ｘ軸テーブル１１４を備えており、手動Ｘ軸テーブル１１４は、色別の機能液滴吐出ヘッド１に対応して、キャップユニット１１１をＸ軸方向に移動させて、該当するキャップ部１１２を機能液滴吐出ヘッド１の直下に位置決めする。昇降機構１１３により、位置決めした１のキャップ部１１２を機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０に密接させ、この状態で、イジェクターにより機能液の吸引を行なうことで、吐出ノズル９の目詰まり等を解消する（機能回復）。なお、吸引された機能液は、上記した廃液タンク８８に回収される。
【００４３】
図４および図５に示すように、制御装置２５は、吐出検査装置２２、メンテナンス装置２３およびチャンバ装置２４を制御しており、制御装置本体２８と一対の電装ボックス２７，２７とで構成されている。制御装置本体２８には、データを入力するキーボード１１６およびマウス１１７と、入力結果等を表示するディスプレイ１１８と、が設けられている。制御装置本体２８には、ヘッド検査装置２０を制御する各種プログラムや、各ユニットを駆動させるデバイスドライバ等が記憶されており、キーボード１１６や各ユニット等から各種検出信号、各種指令、各種データ等が入力されると、制御装置２５は、各種プログラムおよびデバイスドライバ等に従って、各種データを処理し、ヘッド検査装置２０全体を制御する。
【００４４】
ここで、図３ないし図５を参照して、本発明の主要部を為すチャンバ装置２４について、詳細に説明する。上述したように、チャンバ装置２４は、装置カバー２６と換気装置２９とで構成されている。装置カバー２６は、上記の機台２１上において、吐出検査装置２２およびメンテナンス装置２３を覆うように設けられ、カバー本体２０１と、カバー本体２０１の前面を開閉する開閉扉２０２と、で構成されている。開閉扉２０２は、観音開きの形式で左右に開閉する左扉２０３および右扉２０４から成り、左扉２０３には、その上下中間位置に子扉２０５が設けられ、右扉２０４の前面には、上記の制御装置本体２８が取り付けられている。そして、左扉２０３、右扉２０４および子扉２０５には、それぞれインターロック用の電磁ロック装置２０６が組み込まれている。
【００４５】
図４、図５および図１３に示すように、カバー本体２０１は、左側壁２１１、右側壁２１２、天壁２１３および背面壁２１４から成り、骨組みとなるカバー枠２１５に複数のパネル体２１６を組み込んで構成されている。カバー枠２１５は、例えばアルミニウムの形材等で形成され、正面および天面に相当する部分にそれぞれ配設した縦桟２１７ａを含む複数の枠体２１７を、直方体形状に枠組みして構成されている。パネル体２１６は、透明な樹脂パネルであり、複数のパネル体２１６は、複数の枠体２１７で構成した複数の四周枠部分に取り付けられている。
【００４６】
図１３および図１４に示すように、各四周枠部分には、枠体２１７に所定のピッチで取付片２１８が設けられており、各パネル体２１６は、この複数の取付片２１８にビス止めされている。この場合、各四周枠部分の内のりの大きさに比して、これに取り付けられるパネル体２１６は一回り小さく形成されており、各パネル体２１６は、四周枠部分に対し四周に亘る間隙２１９を存して取り付けられている。
【００４７】
そして、詳細は後述するが、カバー枠２１５と複数のパネル体２１６との間に構成した上記の間隙２１９が、吸気口として機能する。なお、上記の左扉２０３、右扉２０４および子扉２０５も、四周枠とパネル体とでそれぞれ構成されており、これらにも吸気口となる間隙を設けることが、好ましい。このように構成では、装置カバー２６には、周囲全方向から外気が流入する。上述したように、チャンバ装置２４は、クリーンブースの形態を有し、ヘッド検査装置２０の全体は、温度管理されたクリーンルーム内に設置されている。このため、カバー枠２１５と複数のパネル体２１６との間隙２１９からは、外気としてクリーンルーム内に温度管理されたクリーンエアーが流入する。
【００４８】
また、図５および図１３示すように、背面壁２１４を構成するパネル体２１６には、方形に大きく窪んだ箱状の窪入部２２１が形成されている。窪入部２２１は、大きな上窪入部２２２と小さな下窪入部２２３とから成り、上窪入部２２２には上記一対の電装ボックス２７，２７が収容され、下窪入部２２３には、飛行検査ユニット４２の一対の電源２２５，２２５が収容されている。これら、電装ボックス２７および電源２２５は発熱部品であり、この発熱部品からのヒートエアーが直接、外部に流れ出るようになっている。すなわち、窪入部２２１は、請求項に言うボックスカバーを構成している。なお、図４および図５中の符号２２７および２２８は、それぞれ天壁２１３を構成するパネル体２１６に形成したダクト開口および導入開口であり、ダクト開口２２７には後述する合流排気流路（ダクト）２４１が貫通し、導入開口２２８にはケーブル等が貫通する。
【００４９】
一方、図１３、図１５および図１６に示すように、換気装置２９は、装置カバー２６内は元より、機台キャビネット２３０の左部に設けた上タンク室２３１および下タンク室２３２のエアーを強制排気して、換気を行う（図１５参照）。換気装置２９は、機台２１に貫通形成した一対のカバー排気口２３４，２３４と、上タンク室２３１に開口した上排気口２３５と、下タンク室２３２に開口した下排気口２３６と、これら２つのカバー排気口２３４、上排気口２３５および下排気口２３６に連通する排気マニホールド２３７と、各カバー排気口２３４と排気マニホールド２３７とを接続する一対のカバー排気流路２３８，２３８と、上排気口２３５と排気マニホールド２３７とを接続する上排気流路２３９と、下排気口２３６と排気マニホールド２３７とを接続する下排気流路２４０と、を有している。また、排気マニホールド２３７は、合流排気流路２４１を介して図外の排気設備に接続されている。
【００５０】
合流排気流路２４１には、電動のボリュームダンパ２４２が介設されており、ボリュームダンパ２４２を「開」動作させることにより、排気マニホールド２３７を介して、装置カバー２６、上タンク室２３１および下タンク室２３２のエアーを排気する。なお、図中の符号２４４は、上記吸引装置３１の真空吸引系であり、キャップユニット１１１に連通するインク吸引タンク２４５と、インク吸引タンク２４５と排気マニホールド２３７を接続する吸引排気流路２４６と、吸引排気流路２４６に介設したイジェクター２４７および排気フィルタ２４８と、で構成されている。
【００５１】
一対のカバー排気口２３４，２３４は、吐出検査装置２２の後方（背面側）に位置して左右対称位置に離間するように配設されている（図１６参照）。なお、各カバー排気口２３４は、円形に形成されているが、横長のスリット状に形成してもよい。また、一対のカバー排気流路２３８，２３８には、それぞれ個別ダンパ２４９が介設されており、一対のカバー排気口２３４から排気する排気エアーの量を個々に調整できるようになっている。排気マニホールド２３７は、筒状に形成され、上タンク室２３１および下タンク室２３２の背面側に位置して、機台キャビネット２３０に収容されている。排気マニホールド２３７は縦置きとなっており、排気マニホールド２３７の上端に接続した合流排気流路２４１は、機台２１を貫通すると共に上記のダクト開口２２７を介して上方に延びている。
【００５２】
上記のボリュームダンパ２４２を「開」動作させると、一対のカバー排気口２３４，２３４から装置カバー２６内のエアーが排気され、これに伴って、上記複数の間隙２１９から装置カバー２６内に外気が流入する。この場合、外気は、全方向から装置カバー２６内に流入する一方、装置カバー２６内のエアーは、吐出検査装置２２の後方下部から排気される。このため、装置カバー２６の一部にエアーが滞留することがなく、機能液の気化溶媒を含むエアーを円滑に排気することができる。また、装置カバー２６内のエアーの流れが安定するため、エアーの流れが各種の検査や検査描画に影響を与えることはない。また、装置カバー２６内のエアーをクリーンルーム内のクリーンエアーに置換することで、換気が行われることになる。この場合、クリーンエアーは、２０℃前後に温度管理されており、装置カバー２６内の換気により、装置カバー２６内も２０℃前後に温度管理されることになる。
【００５３】
次に、図１７および図１８の模式図を参照して、上記のチャンバ装置２４を組み込んだ液滴吐出装置３０１について説明する。両図に示すように、液滴吐出装置３０１は、機台３０２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１を有すると共に機台３０２上の全域に広く載置された描画装置（描画手段）３０３と、描画装置３０３に接続した機能液供給装置３０４と、描画装置３０３に添設するように機台３０２上に載置したヘッド保守装置３０５と、機台３０２上の描画装置３０３、機能液供給装置３０４、ヘッド保守装置３０５を覆うチャンバ装置２４と、を備えている。また、液滴吐出装置３０１には、図外に設けられた制御装置による制御に基づいて、機能液供給装置３０４により機能液の供給を受けながら、描画装置３０３がワークＷに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド１に対して、ヘッド保守装置３０５が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。
【００５４】
描画装置３０３は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル３１１およびＸ軸テーブル３１１に直交するＹ軸テーブル３１２から成る移動機構３１０と、Ｙ軸テーブル３１２に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ３１３と、メインキャリッジ３１３に垂設され、複数の液滴液滴吐出ヘッド１を搭載したヘッドユニット３１４と、を有している。
【００５５】
Ｘ軸テーブル３１１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ３１６を有し、これに吸着テーブル３１７およびθテーブル３１８等から成るセットテーブル３１９を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル３１２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ３２１を有し、これにヘッドユニット３１４を支持する上記のメインキャリッジ３１３をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル３１１は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台３０２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル３１２は、機台３０２上に立設した左右の支柱３２２に支持されており、Ｘ軸テーブル３１１およびヘッド保守装置３０５を跨ぐようにＹ軸方向に延在している。
【００５６】
ヘッドユニット３１４は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１と、複数の機能液滴吐出ヘッド１を搭載するヘッドプレート３２３と、を備えている。また、機能液滴吐出ヘッド１は、上記のヘッド検査装置２０により良品とされたものが搭載されている。ヘッドプレート３２３は、支持フレーム３２４を介してメインキャリッジ３１３に位置決めした状態で搭載される。なお、支持フレーム３２４には、ヘッドユニット３１４に並んで、機能液供給装置３０４の複数（１２個）の機能液タンク３２６が支持されている。
【００５７】
メインキャリッジ３１３は、Ｙ軸テーブル３１２に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材３２７と、吊設部材３２７の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット３１４の）θ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構３２８と、θ回転機構３２８の下方に吊設するようにして取り付けたキャリッジ本体３２９と、で構成されており、キャリッジ本体３２９が、支持フレーム３２４を介してヘッドユニット３１４を支持するようになっている。
【００５８】
ヘッド保守装置３０５は、吸引装置３３１と、ワイピング装置３３２と、これらをＸ軸方向に移動自在に搭載した保守移動テーブル３３３と、を備えている。吸引装置３３１は、複数の機能液滴吐出ヘッド１に対応する複数のキャップを有しているが、他の部分は上記ヘッド検査装置２０の吸引装置３１と同様の構造を有している。同様に、ワイピング装置３３２は、複数の機能液滴吐出ヘッド１に対応する幅のワイピングシートを有し、且つこのワイピングシートに対応して構成部品が幅広に形成されているが、この場合も、上記ヘッド検査装置２０のワイピング装置３２と同様の構造を有している。
【００５９】
チャンバ装置２４は、上記のものと同様のものが用いられ、装置カバー２６の内部を換気装置２９により換気して、装置カバー２６内を温度管理するようになっている。
【００６０】
ここで、液滴吐出装置３０１の一連の動作を簡単に説明する。まず、ワークＷに向けて機能液を吐出する描画作業前の準備として、ヘッドユニット３１４の位置補正が行われた後、吸着テーブル３１７にセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、ワークＷをＸ軸テーブル３１１により主走査（Ｘ軸方向）方向に往復動させると共に、複数の機能液滴吐出ヘッド１を駆動させてワークＷに対する液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット３１４をＹ軸テーブル３１２により副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復と機能液滴吐出ヘッド１の駆動が行われ、これが繰り返される。なお、本実施形態では、ヘッドユニット３１４に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット３１４を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット３１４を主走査方向（Ｘ軸方向）および副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させる構成であってもよい。
【００６１】
そして、この液滴吐出装置３０１は、主として電気光学装置の製造に用いられる。この場合、電気光学装置（Flat Panel Display, ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。これに対応し、ワークＷは基板（ガラス基板）であり、機能液（機能材料）は、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display, ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料が考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】実施形態に係る機能液滴吐出ヘッド単体の全体斜視図である。
【図２】実施形態に係るヘッド検査装置の装置カバーを取り去った状態の外観斜視図である。
【図３】実施形態に係るヘッド検査装置を模式的に表した平面図である。
【図４】実施形態に係るヘッド検査装置の斜め前方から見た外観斜視図である。
【図５】実施形態に係るヘッド検査装置の斜め後方から見た外観斜視図である。
【図６】供給流路接続装置における主要部の斜視図である。
【図７】供給流路接続装置における接続口ホルダの接続状態を示す斜視図である。
【図８】ヘッドセット装置廻りの斜め前方から見た斜視図である。
【図９】飛行検査ユニットの斜視図である。
【図１０】ターゲットテーブルの斜視図である。
【図１１】ワイピング装置の斜視図である。
【図１２】吸引装置の斜視図である。
【図１３】実施形態に係るチャンバ装置を表した斜視図である。
【図１４】装置カバーの一部を拡大して拡大斜視図である。
【図１５】チャンバ装置における換気装置の系統図である。
【図１６】機台廻りの斜視図である。
【図１７】実施形態に係るチャンバ装置を組み込んだ液滴吐出装置の平面模式図である。
【図１８】実施形態に係るチャンバ装置を組み込んだ液滴吐出装置の側面模式図である。
【符号の説明】
【００６３】
１  機能液滴吐出ヘッド、２０  ヘッド検査装置、２１  機台、２２  吐出検査装置、２３  メンテナンス装置、２４  チャンバ装置、２６  装置カバー、２７  電装ボックス、２９  換気装置、２１５  カバー枠、２１６  パネル体、２１７  枠体、２１８  取付片、２１９  間隙、２２１  窪入部、２３０  機台キャビネット、２３４  カバー排気口、２３７  排気マニホールド、３０１  液滴吐出装置、３０３  描画装置、３１４  ヘッドユニット、Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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