(57)【要約】【課題】検査用ソケット内およびその周辺近傍に電子部品が残存しているのを検出できる電子部品検査装置および電子部品検査方法を提供する。【解決手段】電子部品が着脱可能に装填される検査用ソケット５を備える。検査用ソケット５に対して電子部品の装填と取外しとを行う第１、第２の電子部品移動装置６，７を備える。少なくとも前記検査用ソケット５を含む所定の領域内について電子部品の有無を検出する部品検出装置（ソケット用撮像装置３５、制御装置）を備えた。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品が着脱可能に装填される検査用ソケットと、この検査用ソケットに対して電子部品の装填と取外しとを行う電子部品移動装置とを備えた電子部品試験装置において、
少なくとも前記検査用ソケットを含む所定の領域内について電子部品の有無を検出する部品検出装置を備えていることを特徴とする電子部品試験装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子部品試験装置において、前記検査用ソケットを上方から撮像する撮像装置をさらに備え、
前記部品検出装置は、前記撮像装置で撮像した画像を用いて画像処理によって電子部品の有無を検出する画像処理部を備えていることを特徴とする電子部品試験装置。
【請求項３】
請求項１記載の電子部品試験装置において、前記部品検出装置によって検出された電子部品を所定の電子部品収納部に移載する電子部品回収装置をさらに備えていることを特徴とする電子部品試験装置。
【請求項４】
請求項３記載の電子部品試験装置において、前記部品検出装置によって検出された電子部品が前記電子部品回収装置によって回収不可能な場合に所定の報知動作を行う報知装置をさらに備えていることを特徴とする電子部品試験装置。
【請求項５】
未検査の電子部品を検査用ソケットに装填し、検査後に検査済みの電子部品を部品収納部に移動させる電子部品試験方法において、未検査の電子部品を検査用ソケットに装填する以前に、少なくとも検査用ソケットを含む所定の領域内について他の電子部品の有無を検出し、この検出工程で他の電子部品が検出されなかった場合に電子部品の試験を開始することを特徴とする電子部品試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
従来、ＩＣ部品などの電子部品の試験に用いる電子部品試験装置は、たとえば特許文献１に開示されているように、電子部品が着脱可能に装填される検査用ソケットと、この検査用ソケットに対して電子部品の装填と取外しとを行う電子部品移動装置とを備えている。前記検査用ソケットは、電子部品試験装置の基台に上方から電子部品が装填できるように取付けられている。
【０００２】
前記電子部品移動装置は、電子部品吸着用の吸着ノズルを備えた吸着ヘッドが水平方向と上下方向とに移動する構成が採られている。この電子部品移動装置は、未検査の電子部品を前記検査用ソケットに装填し、検査後の電子部品を検査用ソケットから取り出して部品収納部に移載させる。
【特許文献１】特開平１１−３３３７７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上述した従来の電子部品試験装置では、検査用ソケット内や検査用ソケットの周辺近傍に電子部品が残存しているにもかかわらず、次の電子部品が検査用ソケットに装填されることがあった。このように電子部品が検査用ソケット内や検査用ソケットの周辺近傍に残る理由としては、たとえば、電子部品の試験を行っているときに何らかの原因で試験が中断され、試験中であった電子部品が放置された状態で新たな電子部品について試験を開始してしまうようなことが挙げられる。
【０００４】
また、試験後に電子部品が吸着ノズルから外れて脱落し、しかも、このときに部品の脱落を検出する装置が正常に機能しなかった場合にも、上述したように検査用ソケット内やその周辺近傍に電子部品が残される。
上記のように、検査用ソケット内やその周辺近傍に電子部品が残存した状態で、次の電子部品を検査用ソケットに装填して電子部品どうしが衝突すると、これらの電子部品が破損したり、検査用ソケットが破損するおそれがある。
【０００５】
また、残存している電子部品が検査用ソケットの周縁部に位置しているような場合、新たな電子部品が前記残存している電子部品の端縁に重なって傾斜した状態で検査用ソケットに装填されることもある、このような場合は、試験は行われるものの、検査用ソケットへの装着状態が正常時とは異なるために、良否判定を正しく行うことができなくなる。
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、検査用ソケット内およびその周辺近傍に電子部品が残存していることを検出できる電子部品検査装置および電子部品検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために、本発明に係る電子部品検査装置は、電子部品が着脱可能に装填される検査用ソケットと、この検査用ソケットに対して電子部品の装填と取外しとを行う電子部品移動装置とを備えた電子部品試験装置において、少なくとも前記検査用ソケットを含む所定の領域内について電子部品の有無を検出する部品検出装置を備えているものである。
【０００７】
本発明は、前記発明において、前記検査用ソケットを上方から撮像する撮像装置をさらに備え、前記部品検出装置に、前記撮像装置で撮像した画像を用いて画像処理によって電子部品の有無を検出する画像処理部を備えさせたものである。
【０００８】
本発明は、前記発明において、前記部品検出装置によって検出された電子部品を所定の電子部品収納部に移載する電子部品回収装置をさらに備えているものである。
【０００９】
本発明は、前記発明において、前記部品検出装置によって検出された電子部品が前記電子部品回収装置によって回収不可能な場合に所定の報知動作を行う報知装置をさらに備えているものである。
【００１０】
本発明は、未検査の電子部品を検査用ソケットに装填し、検査後に検査済みの電子部品を部品収納部に移動させる電子部品試験方法において、未検査の電子部品を検査用ソケットに装填する以前に、少なくとも検査用ソケットを含む所定の領域内について他の電子部品の有無を検出し、この検出工程で他の電子部品が検出されなかった場合に電子部品の試験を開始することによって実施する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、検査用ソケットを含む所定の領域内に電子部品が残存している場合、部品検出装置がこれを検出する。このため、この発明によれば、前記部品検出装置によって残存部品がないことを確認したうえで電子部品の試験を行うことができる。この結果、電子部品どうしの衝突により電子部品や検査用ソケットが破損するのを確実に防ぐことができる。また、吸着ノズルに吸着されている検査用電子部品と、残存している電子部品とが干渉し合う状態で試験が行われることもないから、電子部品の良否を誤って判定することも防ぐことができる。したがって、本発明によれば、電子部品や検査用ソケットの破損を防ぐことができるとともに、試験の良否判定を正しく行うことが可能な電子部品試験装置を提供することができる。
【００１２】
画像処理によって電子部品の有無を検出する画像処理部を備えた発明によれば、正常時の画像と、電子部品が残存しているときの画像とを比較して電子部品の有無を検出することができるから、電子部品が残存しているか否かの検出に加えて、電子部品の位置を検出することができる。このため、この発明によれば、電子部品が残存している場合にこの電子部品の位置を操作者に知らせたり、この電子部品を部品移動装置によって吸着して取り除くことができるか否かをも判定することができる。
【００１３】
部品検出装置によって検出された電子部品を所定の電子部品収納部に移載する電子部品回収装置を備えた発明によれば、残存している電子部品を取り除くことができるから、検査用ソケットやその周辺近傍に電子部品が残存していない状態で電子部品の試験を行うことができる。
【００１４】
報知装置を備えた発明によれば、電子部品が残存していることを操作者に知らせることができるから、操作者によって前記電子部品が取り除かれた状態で電子部品の試験を行うことができる。
【００１５】
本発明に係る電子部品の試験方法によれば、電子部品の試験を行うときには検査用ソケット内およびその周辺近傍に電子部品が残存していないから、電子部品どうしの衝突により電子部品や検査用ソケットが破損したり、検査用ソケットに電子部品が正しく装填されずに試験が行われるのを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（第１の実施例）
以下、本発明に係る電子部品試験装置および電子部品試験方法の一実施例を図１ないし図８によって詳細に説明する。
図１は本発明に係る電子部品試験装置の構成を示す平面図、図２は同じく斜視図、図３は本発明に係る電子部品試験装置の制御系の構成を示すブロック図、図４は本発明に係る電子部品試験装置によって電子部品の試験を行うときの全工程を示すフローチャートである。図５は運転前の準備工程における動作を説明するためのフローチャート、図６は運転開始時の動作を説明するためのフローチャート、図７は検査用ソケット内の電子部品をピックアップするときの動作を説明するためのフローチャートである。図８は操作者に異常を知らせるときの動作を説明するためのフローチャートである。
【００１７】
これらの図において、符号１で示すものは、この実施例による電子部品試験装置である。この電子部品試験装置１は、図１および図２に示すように、基台２と、この基台２の後端部（図１においては上端部）に位置する電子部品試験装置本体３と、基台２の前端部から中央部まで電子部品をトレイ（図示せず）とともに搬送するトレイ移動装置４と、前記トレイ移動装置４と電子部品試験装置本体３の後述する検査用ソケット５との間で電子部品を移動させる第１、第２の電子部品移動装置６，７と、これらの装置の動作を制御するための制御装置８（図３参照）とを備えている。なお、本明細書中においては、図１において上下方向を装置の前後方向としてＹ方向といい、図１において左右方向を装置の左右方向としてＸ方向といい、紙面に直交する方向を単にＺ方向という。この実施例による電子部品試験装置１に装備されているトレイ移動装置４と第１、第２の電子部品移動装置とは、本願出願人が出願した特開２００６−３３７０５３号公報に記載されているものと同等のものである。
【００１８】
前記電子部品試験装置本体３は、基台２に形成された開口２ａに臨むテストヘッド３ａを備えている。このテストヘッド３ａには、電子部品を装填するための４個の検査用ソケット５が設けられている。これらの検査用ソケット５は、Ｘ方向に並ぶ２個の検査用ソケット５，５がＹ方向に２組並ぶように設けられている。電子部品の試験・検査は、検査用ソケット５に電子部品が載置された状態で、電子部品と電子部品試験装置本体３との間で検査用電流を入出力することにより実施される。
【００１９】
前記トレイ移動装置４は、図１および図２に示すように、基台２の前端部でＸ方向に並ぶ複数のストッカー１１〜１７と、これらのストッカー１１〜１７の下方に位置するトレイ移載装置１８と、基台２の前後方向の中央部に位置するトレイ支持装置１９と、このトレイ支持装置１９と前記トレイ移載装置１８との間に位置する中継コンベア２０などによって構成されている。このトレイ移動装置４は、制御装置８の移動装置制御部２１（図３参照）によって制御される。
【００２０】
前記ストッカー１１〜１７は、多数のトレイを上下方向に重ねた状態で支持するもので、下端部に形成されたトレイ出入口からトレイを一枚ずつ出し入れできるように構成されている。なお、図２においては、複数のストッカーのうちＸ方向の両端部に位置するストッカー１１，１７のみが描いてある。図１において、ストッカー１１〜１７のうち、最も左側に位置するストッカー１１は、未検査の多数の電子部品が載せられたトレイを収納するための供給用ストッカーであり、ストッカー１２は、空になったトレイを収納するための空トレイ用ストッカーである。ストッカー１３〜１７は、試験・検査結果に対応して電子部品が振り分けられる収納用ストッカーである。
【００２１】
これらのストッカー１１〜１７のうち、図１において最も右側に位置するストッカー１７の近傍には、タッチパネル式のディスプレイ２２と、操作用キーボード２３とマウス２４とからなる入力装置２５とが設けられている。これらのディスプレイ２２および入力装置２５はそれぞれ制御装置８に接続されている。
【００２２】
前記トレイ移載装置１８は、トレイを支持するための２台のコンベア１８ａ（図２参照）を備えており、基台２にＸ方向へ移動自在に設けられている。また、このトレイ移載装置１８は、前記各ストッカー１１〜１７からトレイを下方に取出して前記コンベア１８ａに載せたり、このコンベア１８ａ上のトレイを上昇させてストッカー１２〜１７に収納することができるように構成されている。トレイ移載装置１８のコンベア１８ａは、中継コンベア２０との間でトレイをＹ方向に移動させる。
【００２３】
前記トレイ支持装置１９は、この実施例ではＸ方向に並ぶ５台のコンベア１９ａ〜１９ｅを備えており、これらのコンベア１９ａ〜１９ｅを前記中継コンベア２０とＹ方向に隣り合う位置に移動させる。なお、図２においては、３台のコンベア１９ａ〜１９ｃのみが描いてある。このトレイ支持装置１９は、トレイをコンベア１９ａ〜１９ｅ上で固定して位置決めできるように構成されている。
【００２４】
トレイ支持装置１９の５台のコンベアは、ホットプレート（図示せず）によって電子部品を加熱するためのコンベア１９ａと、未検査の電子部品が載せられた未検査部品用トレイを支持するためのコンベア１９ｂと、試験・検査後に電子部品が載せられる検査済み部品用トレイを支持するための２台のコンベア１９ｃ，１９ｄと、後述するように検査用ソケット５内およびその周辺から回収された電子部品が載せられる回収用トレイを支持するためのコンベア１９ｅとがある。前記回収用トレイによって、請求項３記載の発明でいう「所定の電子部品収納部」が構成されている。
【００２５】
このトレイ支持装置１９と前記検査用ソケット５との間には、後述する第１、第２の電子部品移動装置６，７によって移動させられる電子部品を下方から撮像するための部品用撮像装置２６が設けられている。この部品用撮像装置２６は、電子部品を撮像した画像データを制御装置８の後述する画像処理部２７に送る。
【００２６】
前記第１、第２の電子部品移動装置６，７は、基台２のＹ方向に延びる中心線に対して線対称となるように配設されている。これらの電子部品移動装置６，７は、基台２のＸ方向の両端部において前記トレイ支持装置１９の上方をＹ方向に横切るように基台２に設けられたレール支持台３１と、このレール支持台３１の上でＹ方向に移動するＹ方向移動部材３２と、このＹ方向移動部材３２に支持された状態でＸ方向に移動するヘッドユニット３３などによって構成されている。
【００２７】
ヘッドユニット３３には、４個の吸着ヘッド３４と、前記検査用ソケット５を含む所定の領域を上方から撮像するためのソケット用撮像装置３５とが設けられている。前記吸着ヘッド３４は、電子部品を吸着するための吸着ノズル（図示せず）を備えており、この吸着ノズルをＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動させることができるともに、Ｚ方向の軸線回りで回転させることができるように構成されている。
【００２８】
前記ソケット用撮像装置３５は、ラインセンサやエリアセンサなどによって構成されており、撮像した画像データを制御装置８の画像処理部２７に送る。このソケット用撮像装置３５は、１個の検査用ソケット５と、この検査用ソケット５の周辺近傍とを１回の撮像動作によって撮像できる。
【００２９】
前記制御装置８は、図３に示すように、移動装置制御部２１、画像処理部２７、試験部３６および報知部３７などを備えており、メモリ３８が接続されている。このメモリ３８には、検査用ソケット５や電子部品の画像データや寸法データなどが記憶されている。
前記移動装置制御部２１は、前記トレイ移動装置４と第１、第２の電子部品移動装置６，７の動作を制御する。
前記画像処理部２７は、前記部品用撮像装置２６と前記ソケット用撮像装置３５との撮像動作を制御し、これらの撮像装置２６，３５から送られた画像データに画像処理を施すことによって後述するように各種の情報を得る。
【００３０】
この画像処理部２７は、前記部品用撮像装置２６から送られた画像データに基づいて電子部品のＸ方向およびＹ方向の位置と、Ｚ方向の軸線回りの角度などを検出する。前記移動装置制御部２１は、画像処理部２７の検出結果に基づいて吸着ノズルの位置、前記角度などを修正した状態で検査用ソケット５に電子部品を装填する。
【００３１】
また、画像処理部２７は、ソケット用撮像装置３５から送られた画像データに基づいて検査用ソケット５の種類の正誤を判定するとともに、検査用ソケット５の位置を検出する。さらに、画像処理部２７は、前記画像データ（入力画像）を正常時の基準画像と比較することによって、検査用ソケット５内およびその周辺近傍に電子部品が残存しているか否かを判定する。また、この判定の結果、電子部品が残存している場合は、この電子部品が第１または第２の電子部品移動装置６，７によって取出すことができるか否かを判定する。この実施例においては、この制御装置８の画像処理部２７とソケット用撮像装置３５とによって本発明でいう部品検出装置が構成されている。
【００３２】
前記移動装置制御部２１は、検査用ソケット５内およびその周辺近傍に電子部品が残存している場合、この電子部品を第１または第２の電子部品移動装置６，７によって取り出し、回収用トレイに移載する。この実施例においては、制御装置８の移動装置制御部２１と第１、第２の電子部品移動装置６，７とによって本発明でいう電子部品回収装置が構成されている。
【００３３】
前記試験部３６は、電子部品試験装置本体３の動作を制御し、電子部品試験装置本体３によって各種の試験や検査を実施させる。
前記報知部３７は、検査用ソケット５内およびその周辺近傍に残存している電子部品を第１または第２の電子部品移動装置６，７によって取出すことができない場合に前記ディスプレイ２２に異常内容を表示させるとともに、警告灯３９（図３参照）を点灯させる。なお、この警告時には、警告灯３９を点灯させる代わりにたとえばブザーによって警告音を発生させることができるし、警告灯３９を点灯させるとともに警告音を発生させることもできる。この実施例においては、制御装置８の報知部３７と、ディスプレイ２２および警告灯３９（ブザー）などによって本発明でいう報知装置が構成されている。
【００３４】
次に、上述したように構成された電子部品試験装置１１を用いて本発明に係る電子部品試験方法を図４〜図８に示すフローチャートによって詳細に説明する。なお、図４〜図８に示すフローチャートにおいては、電子部品をＩＣ部品として記載し、検査用ソケット５をＩＣソケットとして記載してある。
【００３５】
先ず、この電子部品試験装置１１の運転開始から運転終了までの動作の概略を図４によって説明する。この電子部品試験装置１１は、図４に示すフローチャートのステップ４０１〜Ｓ４１１に記載したように動作する。
ステップＳ４０１においては、運転前の準備を行う。この運転前における準備工程では、図５に示すフローチャートのＳ５０１〜Ｓ５０４に記載した各種の準備動作が行われる。
ステップＳ５０１においては、検査用ソケット５の画像処理用データを作成する。このデータとしては、たとえば検査用ソケット５の種類毎の寸法データがある。
ステップＳ５０２においては、電子部品が検査用ソケット５内および周辺近傍に残存していない状態で検査用ソケット５の基準画像をソケット用撮像装置３５によって撮像し、メモリ３８に保存する。
【００３６】
ステップＳ５０３においては、電子部品の画像処理用データを作成する。このデータとしては、たとえば電子部品の外形形状を示す数値データや画像データがある。ここでは、使用し得る全ての電子部品の画像処理用データを作成する。
ステップＳ５０４においては、電子部品を検査用ソケット５側から回収した場合の回収先となるトレイ（前記コンベア１９ｅ上の回収用トレイ）を指定する。
このようにステップＳ５０４まで実施した後に運転を開始する（ステップＳ５０５）。
【００３７】
この電子部品試験装置１１は、図４に示すフローチャートのステップＳ４０２に示すように、スタートスイッチがＯＮ操作されることによって運転を開始し、次のステップＳ４０３〜Ｓ４１１に記載した各種の動作を順次行う。前記スタートスイッチは、前記キーボード２３によって構成されている。なお、ステップ４０２〜ステップ４０８において行う動作は、図６〜図８に示すフローチャートを用いて後に詳細に説明するために、ここでは概略を説明する。
【００３８】
ステップＳ４０３においては、ソケット用撮像装置３５によって検査用ソケット５を撮像する。
ステップＳ４０４においては、画像データに基づいて検査用ソケット５の有無および付け間違えを確認する。
ステップＳ４０５においては、検査用ソケット５の位置ずれ量を計測する。
ステップＳ４０６においては、検査用ソケット５内に電子部品が残存しているか否かを確認する。
【００３９】
ステップＳ４０７においては、検査用ソケット５内に電子部品が残存している場合、電子部品の位置を計測する。
ステップＳ４０８においては、第１または第２の電子部品移動装置６，７によって前記電子部品を所定のトレイ（回収用トレイ）に移載する。このステップＳ４０８まで進んだ後には、検査用ソケット５内およびその周辺近傍には電子部品が残存していないことになる。
【００４０】
ステップＳ４０９においては、試験動作（生産動作）を開始する。
ステップＳ４１０においては、先ず、未検査の電子部品を載せたトレイを供給用ストッカー１１からトレイ移載装置１８と中継コンベア２０とによってトレイ支持装置１９の部品供給用コンベア１９ａ，１９ｂに搬送する。なお、トレイ支持装置１９の他のコンベアには、検査後の電子部品を収納するための空のトレイを予め載せておく。その後、トレイ支持装置１９上のトレイに収納されている未検査の電子部品を第１、第２の電子部品移動装置６，７によって検査用ソケット５に装填し、この電子部品の試験・検査を行う。
【００４１】
試験・検査が終了した後、この電子部品を第１、第２の電子部品移動装置６，７によってトレイ支持装置１９上のトレイに移載する。このとき、試験・検査結果に応じて分類されるように電子部品を所定のトレイ（コンベア１９ｃ，１９ｄ上のトレイ）に移載する。なお、試験や検査が終了した後に電子部品を検査用ソケット５から引き上げるときに電子部品が吸着ノズルから外れたときは、吸着ノズルに接続されている圧力計（図示せず）の検出値が正常とは異なる値になるために、電子部品が脱落したことを検出することができる。この場合、制御装置８は、ディスプレイ２２に電子部品が脱落したことを表示させるとともに警告灯３９を点灯させ、操作者によって運転停止か運転継続のスイッチ操作が行われるまで待機する。
【００４２】
ステップＳ４１１においては、電子部品の試験・検査が予め定めた回数だけ行われたときに（ロットエンドに達したとき）に試験・検査動作を終了させる。その後、トレイ支持装置１９上にあるすべての電子部品をトレイとともに収納用ストッカー１３〜１７に搬送することによって運転終了となる（ステップＳ４１２）。
【００４３】
次に、前記ステップＳ４０２（運転開始）から〜ステップＳ４０８（回収部品をトレイに収納）までの間の動作を図６〜図８によって説明する。
図６に示すフローチャートのステップＳ６０１に示すように、スタートスイッチがＯＮ操作された後、ステップＳ６０２において、第１番目の検査用ソケット５をソケット用撮像装置３５によって撮像する。
【００４４】
そして、ステップＳ６０３において、制御装置８は、この撮像により得られた画像データに基づいて第１番目の検査用ソケット５の有無と、第１番目の検査用ソケット５が正しいものであるか否かとを判定する。ここで検査用ソケット５が無し、すなわちテストヘッド３ａに第１番目の検査用ソケット５が装着されていないか、装着されていた場合であっても異なる種類の検査用ソケット５が装着されている場合は、ステップＳ６０４に進み、制御装置８が電子部品試験装置１１の運転を停止させる。
【００４５】
一方、ステップＳ６０３で第１番目の検査用ソケット５が正しく装着されていると判定された場合、ステップＳ６０５に進み、上述した撮像データ（入力画像）と予め撮像して記憶してある第１番目の検査用ソケット５の基準画像とを比較し、同一であるか否かを判定する。同一である場合は、ステップＳ６０６において、入力画像に基づいて第１番目の検査用ソケット５の位置を検出する。
【００４６】
この実施例による電子部品試験装置１１によれば、このステップＳ６０６において検出した検査用ソケット５の位置に基づいて、電子部品を検査用ソケット５に装填するときの電子部品の位置を修正する。前記入力画像が基準画像とは異なる場合、すなわち第１番目の検査用ソケット５内またはその周辺近傍に何らかの原因で電子部品が残存している場合は、ステップＳ６０７に進み、前記残存している電子部品の位置を入力画像から検出する。この位置のデータは、メモリ３８に記憶させておく。
【００４７】
次に、ステップＳ６０８において、全ての検査用ソケット５について撮像が完了しているか否かを判定する。撮像していない検査用ソケット５がある場合は、ステップＳ６０２に戻り、その検査用ソケット５を撮像する。この実施例においては、４個の検査用ソケット５についてそれぞれ撮像が行われた状態でステップＳ６０８からステップＳ６０９に進み、全ての検査用ソケット５について、電子部品が残留していないことを確認した後にステップＳ６１０において生産（試験）が開始される。４個の検査用ソケット５のうち一つでも電子部品が残存している場合は、ステップＳ６１１に進み、検査用ソケット５内から電子部品をピックアップする（取出す）動作が行われる。
【００４８】
検査用ソケット５の位置を検出する方法としては、上述したようにソケット用撮像装置３５で撮像した画像を解析して自動的に行う他に、ソケット用撮像装置３５で撮像した画像を操作者が見ながら行う、いわゆるソケットティーチングがある。このソケットティーチングは、操作者が画面上で検査用ソケット５を認識し、この検査用ソケット５の四隅等をマウス操作等によりクリックすることによって行う。このようなソケットティーチングを行った場合、制御装置８は、上述したステップＳ６０３における判別ステップと、ステップＳ６０６におけるソケット位置検出ステップとを実行しないように構成されている。
【００４９】
残存している電子部品を取出す動作は、図７のフローチャートに示すように行われる。先ず、ステップＳ７０１において、第１番目の検査用ソケット５に電子部品が残存しているのか否かを判定する。電子部品が残存している検査用ソケット５が第１番目の検査用ソケット５ではない場合は、ステップＳ７０２に進み、全ての検査用ソケット５について部品残留の有無を確認したか否かを判定する。ここでＮＯ、すなわち部品残留の有無の確認をしていない検査用ソケット５がある場合は、ステップＳ７０１に戻る。
【００５０】
ステップＳ７０１で電子部品が残存していると判定された場合、ステップＳ７０３において、電子部品を第１、第２の電子部品移動装置６，７によって取出すことが可能か否かを判定する。このとき、吸着ヘッド３４が移動できない場所に電子部品が落ちている場合や、電子部品の画像データ上のサイズと、落ちている電子部品の実際のサイズとが異なる場合などで電子部品を取出すことが不可能である場合は、前記ステップＳ７０２に進む。一方、電子部品を取出すことが可能である場合は、ステップＳ７０４において、電子部品を吸着して取出し、ステップＳ７０５において、電子部品を回収用トレイに移載し、収納させる。
【００５１】
全ての検査用ソケット５について部品残留の有無を確認する動作が行われた後、ステップＳ７０２からステップＳ７０６に進み、全ての検査用ソケット５から電子部品が取り除かれたか否かを判定する。全ての電子部品が取り除かれている場合は、ステップＳ７０７に進み、電子部品の試験・検査を行う実際の運転を開始する。一方、取り除かれていない電子部品がある場合は、ステップＳ７０７に進み、オペレータコール動作を行う。
【００５２】
このオペレータコール動作は、図８のフローチャートに示すように行われる。先ず、ステップＳ８０１において、前記ディスプレイ２２に全ての検査用ソケット５の入力画像を表示し、ステップＳ８０２において、ディスプレイ２２に部品残存を示す内容を表示するとともに、警告灯３９を点灯させる。このため、この電子部品試験装置１１においては、検査用ソケット５内またはその周辺近傍に残存している電子部品を自力で回収することができない場合、このことを操作者に知らせることができる。
【００５３】
残存している電子部品を操作者が手で簡単に取出すことができた場合などのように、運転を開始できる状態になった場合、ステップＳ８０３において、操作者によりスタートスイッチがＯＮ操作されることによって、電子部品を検査用ソケット５に装填して行う生産（試験）動作を開始する（ステップＳ８０４）。一方、残存している電子部品を簡単に取出すことができないような場合などで操作者がストップスイッチを操作した場合は、ステップＳ８０５において、制御装置８が運転を終了する。その後、操作者が検査用ソケット５をテストヘッド３ａから取外したり、あるいはテストヘッド３ａを基台２から取外したりして残存している電子部品を取り除く（ステップＳ８０６）。
【００５４】
なお、電子部品の有無を判別するに当たって上述したような画像処理は万能ではなく、電子部品ではない異物を電子部品として誤認識することがある。このような場合、操作者が画像を目視によって確認し、部品が落ちているか否かの判断を行う。このとき、実際に部品が落ちていた場合、操作者は、ストップスイッチを操作して電子部品試験装置１１の運転を終了させる。一方、ごみ等を誤認識していた場合であれば、操作者は、スタートスイッチをＯＮ操作して電子部品試験装置１１の運転を開始させる。
【００５５】
したがって、上述したように構成された電子部品試験装置１１においては、検査用ソケット５を含む所定の領域内に電子部品が残存している場合、部品検出装置（画像処理部２７とソケット用撮像装置３５）がこれを検出するから、残存部品がないことを確認したうえで電子部品の試験を行うことができる。このため、電子部品どうしの衝突により電子部品や検査用ソケット５が破損するのを確実に防ぐことができる。しかも、吸着ノズルに吸着されている検査用電子部品と、残存している電子部品とが干渉し合う状態で試験が行われることもないから、電子部品の良否を誤って判定することも防ぐことができる。したがって、この実施例によれば、電子部品や検査用ソケット５の破損を防ぐことができるとともに、試験・検査の良否判定を正しく行うことが可能な電子部品試験装置１を提供することができる。
【００５６】
この実施例による電子部品試験装置１においては、画像処理によって電子部品の有無を検出する構成が採られており、正常時の画像と、電子部品が残存しているときの画像とを比較して電子部品の有無を検出することができる。このため、電子部品が残存しているか否かの検出に加えて、残存する電子部品の位置をも検出することができる。この結果、この実施例によれば、電子部品が残存している場合にこの電子部品の位置を操作者に知らせたり、この電子部品を第１または第２の電子部品移動装置６，７によって吸着して取り除くことができるか否かをも判定することができる。
【００５７】
この実施例においては、部品検出装置（画像処理部２７とソケット用撮像装置３５）によって検出された電子部品を所定の電子部品収納部（回収用トレイ）に移載する電子部品回収装置（移動装置制御部２１と第１、第２の電子部品移動装置６，７）を備えているから、残存している電子部品を電子部品試験装置１が自力で取り除いて電子部品の試験・検査を行うことができる。
【００５８】
この実施例による電子部品試験装置１においては、報知装置（報知部３７、ディスプレイ２２および警告灯３９）を備えているから、電子部品が残存していることを操作者に知らせることができる。このため、操作者によって前記電子部品が取り除かれた状態で電子部品の試験・検査を行うことができる。
【００５９】
この実施例による電子部品の試験方法によれば、電子部品の試験・検査を行うときには検査用ソケット５内およびその周辺近傍に電子部品が残存していないから、電子部品どうしの衝突により電子部品や検査用ソケット５が破損したり、検査用ソケット５に電子部品が正しく装填されずに試験が行われるのを防ぐことができる。特に、この実施例では電子部品の試験・検査を行う以前に残存している電子部品の有無を検出しており、試験・検査の途中では残存部品の有無を検出していないから、試験・検査を能率よく行うことができる。なお、残存部品の有無を検出する時期は、この実施例に示したように試験・検査工程を実施する以前に限定されることはなく、試験・検査が所定の回数だけ実施される毎に行うことができる。
【００６０】
（第２の実施例）
上述した実施例ではトレイをＸ方向に移動させるトレイ移載装置とトレイ支持装置を備える例を示したが、トレイ移動装置の構成は適宜変更することができ、たとえば図９に示す構成を採ることができる。
【００６１】
図９は電子部品試験装置の他の実施例を示す平面図である。同図において、前記図１〜図８によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図９に示す電子部品試験装置１のトレイ移動装置４は、４台のストッカー１１〜１４のトレイをそれぞれＹ方向に搬送し、ストッカー１１〜１４と装置後側の部品受け渡し位置Ａとの間で往復させる構成が採られている。この実施例による第１、第２の電子部品移動装置６，７は、ヘッドユニット３３を二つずつ備えており、これらのヘッドユニット３３をそれぞれＸ方向に移動させ、前記部品受け渡し位置Ａにある各トレイに対して電子部品の受け渡しを行うことができるように構成されている。
トレイ移動装置４と電子部品移動装置６，７を図９に示すように構成しても第１の実施例を同等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係る電子部品試験装置の構成を示す平面図である。
【図２】本発明に係る電子部品試験装置の構成を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る電子部品試験装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明に係る電子部品試験装置によって電子部品の試験を行うときの全工程を示すフローチャートである。
【図５】運転前の準備工程における動作を説明するためのフローチャートである。
【図６】運転開始時の動作を説明するためのフローチャートである。
【図７】検査用ソケット内の電子部品をピックアップするときの動作を説明するためのフローチャートである。
【図８】操作者に異常を知らせるときの動作を説明するためのフローチャートである。
【図９】電子部品試験装置の他の実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１…電子部品試験装置、２…基台、４…トレイ移動装置、５…検査用ソケット、６，７…第１、第２の電子部品移動装置、８…制御装置、２１…移動装置制御部、２２…ディスプレイ、２７…画像処理部、３５…ソケット用撮像装置、３７…報知部、３９…警告灯。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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