(57)【要約】【課題】マスク等の検査光源に利用できるような十分なパワーをもつ連続深紫外レーザ光を供給するための波長変換装置を提供すること。【解決手段】本発明の一態様に係る波長変換装置１０は、第１波長の光を発生する第１光源１１と、第１波長よりも短い第２波長の光を発生する第２光源１２と、第１波長の光を共振させる共振器１３と、共振器１３内に配置された第１波長変換結晶１４と、第１波長変換結晶１４の出射側に隣接して配置された第２波長変換結晶１５とを備え、第１波長変換結晶１４の出射面と第２波長変換結晶１５の入射面とは、互いに平行になるように対向して配置されており、第１波長変換結晶１４は、共振器１３で共振された第１波長の光と第２波長の光の和周波発生により第３波長の光を発生させ、第２波長変換結晶１５は、共振器１３で共振された第１波長の光と、第３波長の光の和周波発生により第４波長の連続波を発生させる。【選択図】  図１
2009145791.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１波長の光を発生する第１光源と、
前記第１波長よりも短い第２波長の光を発生する第２光源と、
前記第１波長の光を共振させる共振器と、
前記共振器内に配置された第１波長変換結晶と、
前記第１波長変換結晶の出射側に隣接して配置された第２波長変換結晶とを備え、
前記第１波長変換結晶の出射面と前記第２波長変換結晶の入射面とは、互いに平行になるように対向して配置されており、
前記第１波長変換結晶は、前記共振器で共振された前記第１波長の光と、前記第２波長の光の和周波発生により第３波長の光を発生させ、
前記第２波長変換結晶は、前記共振器で共振された前記第１波長の光と、前記第３波長の光の和周波発生により第４波長の連続波を発生させる波長変換装置。
【請求項２】
前記第１波長変換結晶の入射面及び前記第２波長変換結晶の出射面は、前記共振器で共振された前記第１波長の光に対して、ブリュースター角となるように配置されている請求項１に記載の波長変換装置。
【請求項３】
前記第１波長変換結晶の出射面及び前記第２波長変換結晶の入射面は、前記共振器で共振された前記第１波長の光に対して、ブリュースター角となるように配置されている請求項１又は２に記載の波長変換装置。
【請求項４】
前記第１波長の光は、波長１５５０〜１５６０ｎｍであり、
前記第２波長の光は、波長２５７〜２５８ｎｍであり、
前記第２波長変換結晶で発生する第４波長の光は、波長１９３〜１９４ｎｍであることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の波長変換装置。
【請求項５】
前記第１波長の光は、エルビウム添加ファイバレーザ、又は、増幅器により発生されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の波長変換装置。
【請求項６】
前記第２波長の光は、アルゴンイオンレーザの第２高調波、又は、Ｙｂ添加固体レーザの第４高調波であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の波長変換装置。
【請求項７】
前記第１波長変換結晶は、Ｔｙｐｅ−２位相整合の非線形光学結晶であり、
前記第２波長変換結晶は、Ｔｙｐｅ−１位相整合の非線形光学結晶であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の波長変換装置。
【請求項８】
前記第１波長変換結晶及び前記第２波長変換結晶は、ＬＢＯ、ＣＢＯ、ＣＬＢＯのいずれかであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の波長変換装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の波長変換装置を備える検査装置。
【請求項１０】
波長１５５０〜１５６０ｎｍの第１波長の光を発生し、
波長２５７〜２５８ｎｍの第２波長の光を発生し、
前記第１波長の光を共振器で共振させ、
前記共振器内に配置された第１波長変換結晶により、共振された前記第１波長の光と、前記第２波長の光の和周波発生により第３波長の光を発生させ、
前記第１波長変換結晶の出射側に、前記第１波長変換結晶の出射面と前記第２波長変換結晶の入射面とが互いに平行になるように隣接して配置された第２波長変換結晶により、前記共振器で共振された前記第１波長の光と、前記第３波長の光の和周波発生により第４波長の光を発生させる波長変換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長変換装置、検査装置及び波長変換方法に関し、特に、非線形光学効果を用いた波長変換技術を利用して深紫外の連続波を発生する波長変換装置及びこれを用いたマスク検査装置、波長変換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、深紫外レーザ光を発生する深紫外レーザ装置が、半導体製造工程などの微細加工技術への応用を目指して種々提案されている（例えば、特許文献１〜８参照）。このような深紫外レーザ装置は、非線形光学効果を用いた波長変換技術を応用して、高調波発生や和周波発生により目的の波長の深紫外レーザ光を発生するように構成されている。
【０００３】
特許文献１には、波長１０６４ｎｍのチタンサファイアレーザと波長２４４ｎｍのアルゴンイオンレーザを用いて、和周波発生により波長１９８．５ｎｍのレーザ光を発生する波長変換装置が記載されている。特許文献１では、共振器内に配置された波長変換結晶により、和周波発生が行われる。波長変換結晶はＣＬＢＯ結晶であり、その入射面及び出射面が共振光に対してブリュースター角となるように配置されている。
【０００４】
特許文献２〜４には、ＢＢＯ結晶を用いて、和周波発生により所望の波長のレーザ光を発生するレーザ装置が記載されている。また、特許文献５、６には、パルス出力されるレーザ光を高調波発生及び和周波発生により深紫外レーザ光を発生する手段が記載されている。特許文献７では、隣接して配置された２つの波長変換結晶が共振器内に設けられている。最初の波長変換結晶では、１０６４ｎｍのレーザ光の第４高調波と１４１０ｎｍのレーザ光との和周波発生により波長２２４ｎｍのレーザ光が発生する。また、次の波長変換結晶では、最初の波長変換結晶により発生された波長２２４ｎｍのレーザ光と、１４１０ｎｍのレーザ光との和周波発生により波長１９３．５ｎｍの深紫外レーザ光が得られる。
【０００５】
また、半導体の製造に使用されるフォトマスク等、パターンが形成されたマスクを検査するマスク検査装置が知られている。半導体技術の進歩すなわち微細化に伴い、検出が要求される欠陥サイズは年々小さくなっている。欠陥検出感度を高めるために、検査光源の短波長化が必要となっている。そこで、照明光として、深紫外光（ＤＵＶ）を利用することによって、検出分解能を向上させることが行われている。
【０００６】
【特許文献１】特許第３９３９９２８号公報
【特許文献２】特表２００２−５４６３２号公報
【特許文献３】特開平１０−３４１０５４号公報
【特許文献４】特開２００１−３３７３５４号公報
【特許文献５】特開２００７−８６１０４号公報
【特許文献６】特開２００１−３３７３５６号公報
【特許文献７】特開２００７−８６１０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の深紫外レーザ装置をマスク検査装置の検査光源として適用する場合には、以下に示す問題があった。すなわち、マスク検査装置では、検査感度を向上させるため、深紫外の連続波の高出力化が望まれている。しかし、例えば特許文献２のように、ＢＢＯ結晶を利用しないと波長１９３ｎｍのレーザ光を発生することができない場合、ＢＢＯ結晶は波長１９３ｎｍでの吸収が大きいため、深紫外レーザ光の高出力化が実現できない。
【０００８】
また、特許文献５のように波長１９３ｎｍのレーザ光の発生にＢＢＯ結晶以外を利用できる場合でも、利用する光源波長が１４１０ｎｍである等、実現性が困難な提案がなされている。また、特許文献６では、波長変換の回数が多すぎるため、パルス発振でないと実用的な出力を得ることができず、連続波の深紫外の光を発生できない。
【０００９】
特許文献７では、リング共振器内に２つの波長変換結晶を挿入しているが、合計３つの波長に対するＡＲコート（反射防止膜）が必要となる。このため、損傷に強く、かつ、高耐力のＡＲコーティングを実現するのは難しい。
【００１０】
本発明は、このような事情を背景としてなされたものであり、本発明の目的は、マスク等の検査光源に利用できるような十分なパワーをもつ連続深紫外レーザ光を供給するための波長変換装置、波長変換方法及びこれを用いた検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の態様に係る波長変換装置は、第１波長の光を発生する第１光源と、前記第１波長よりも短い第２波長の光を発生する第２光源と、前記第１波長の光を共振させる共振器と、前記共振器内に配置された第１波長変換結晶と、前記第１波長変換結晶の出射側に隣接して配置された第２波長変換結晶とを備え、前記第１波長変換結晶の出射面と前記第２波長変換結晶の入射面とは、互いに平行になるように対向して配置されており、前記第１波長変換結晶は、前記共振器で共振された前記第１波長の光と、前記第２波長の光の和周波発生により第３波長の光を発生させ、前記第２波長変換結晶は、前記共振器で共振された前記第１波長の光と、前記第３波長の光の和周波発生により第４波長の連続波を発生させるものである。これにより、効率よく高出力の連続波を得ることができる。
【００１２】
本発明の第２の態様に係る波長変換装置は、上記の波長変換装置において、前記第１波長変換結晶の入射面及び前記第２波長変換結晶の出射面は、前記共振器で共振された前記第１波長の光に対して、ブリュースター角となるように配置されているものである。これにより、第１波長変換結晶の入射面及び第２波長変換結晶の出射面にＡＲコートを設ける必要がなく、低損失化を実現することができる。
【００１３】
本発明の第３の態様に係る波長変換装置は、上記の波長変換装置において、前記第１波長変換結晶の出射面及び前記第２波長変換結晶の入射面は、前記共振器で共振された前記第１波長の光に対して、ブリュースター角となるように配置されているものである。これにより、第１波長変換結晶の出射面及び第２波長変換結晶の入射面にＡＲコートを設ける必要がなく、低損失化を実現することができる。
【００１４】
本発明の第４の態様に係る波長変換装置は、上記の波長変換装置において、前記第１波長の光は、波長１５５０〜１５６０ｎｍであり、前記第２波長の光は、波長２５７〜２５８ｎｍであり、前記第２波長変換結晶で発生する第４波長の光は、波長１９３〜１９４ｎｍであることを特徴とするものである。これにより、効率よく１９３〜１９４ｎｍの深紫外光を発生することが可能となる。
【００１５】
本発明の第５の態様に係る波長変換装置は、上記の波長変換装置において、前記第１波長の光は、エルビウム添加ファイバレーザ、又は、増幅器により発生されることを特徴とするものである。本発明は、このような場合に特に有効である
【００１６】
本発明の第６の態様に係る波長変換装置は、上記の波長変換装置において、前記第２波長の光は、アルゴンイオンレーザの第２高調波、又は、Ｙｂ添加固体レーザの第４高調波であることを特徴とするものである。本発明は、このような場合に特に有効である。
【００１７】
本発明の第７の態様に係る波長変換装置は、上記の波長変換装置において、前記第１波長変換結晶は、Ｔｙｐｅ−２位相整合の非線形光学結晶であり、前記第２波長変換結晶は、Ｔｙｐｅ−１位相整合の非線形光学結晶であることを特徴とするものである。本発明は、このような場合に特に有効である。
【００１８】
本発明の第８の態様に係る波長変換装置は、上記の波長変換装置において、前記第１波長変換結晶及び前記第２波長変換結晶は、ＬＢＯ、ＣＢＯ、ＣＬＢＯのいずれかであることを特徴とするものである。これにより、波長変換効率を高めることができ、高出力の連続波を得ることが可能となる。
【００１９】
本発明の第９の態様に係る検査装置は、上記いずれかに記載の波長変換装置を備えるものである。これにより、検査感度を向上させることができる。
【００２０】
本発明の第１０の態様に係る検査装置は、波長１５５０〜１５６０ｎｍの第１波長の光を発生し、波長２５７〜２５８ｎｍの第２波長の光を発生し、前記第１波長の光を共振器で共振させ、前記共振器内に配置された第１波長変換結晶により、共振された前記第１波長の光と、前記第２波長の光の和周波発生により第３波長の光を発生させ、前記第１波長変換結晶の出射側に、前記第１波長変換結晶の出射面と前記第２波長変換結晶の入射面とが互いに平行になるように隣接して配置された第２波長変換結晶により、前記共振器で共振された前記第１波長の光と、前記第３波長の光の和周波発生により第４波長の光を発生させる。これにより、効率よく高出力の連続深紫外光を発生することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、マスク等の検査光源に利用できるような十分なパワーの連続深紫外レーザ光を供給するための波長変換装置、波長変換方法及びこれを用いた検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施の形態について以下に図面を参照して説明する。以下の説明は、本発明の好適な実施の形態を示すものであって、本発明の範囲が以下の実施例の形態に限定されるものではない。以下の説明において、同一の符号が付されたものを実質的に同様の内容を示している。
【００２３】
本発明の実施の形態に係る波長変換装置について、図１を参照して説明する。図１は、本実施の形態に係る波長変換装置１０の構成を示す図である。図１に示すように、波長変換装置１０は、第１光源１１、第２光源１２、共振器１３、第１波長変換結晶１４を備えている。本実施の形態に係る波長変換装置１０は、フォトマスク等を検査する検査光源に好適である。
【００２４】
第１光源１１は、連続発振の波長１５５０〜１５６０ｎｍの赤外域のレーザ光を発生する。第１光源１１としては、既に実用化され市販されているエルビウム添加ファイバレーザ（ＥＤＦＡ：Erbium Doped Fiber Laser）、あるいは、増幅器等を用いることができる。本実施の形態では、第１光源１１から発生する第１波長の光を１５５６ｎｍとして説明する。
【００２５】
第２光源１２は、連続発振の波長２５７〜２５８ｎｍの紫外域のレーザ光を発生する。第２光源１２としては、アルゴンイオンレーザ、あるいは、Ｙｂ添加固体レーザを用いることができる。第２光源１２として、波長５１５ｎｍのレーザ光を発生するアルゴンイオンレーザを用いた場合、第２高調波発生により波長２５７．５ｎｍのレーザ光が得られる。また、第２光源１２として、波長１０３０ｎｍのレーザ光を発生するＹｂ添加固体レーザを用いた場合、第４高調波発生により波長２５７．５ｎｍのレーザ光が得られる。本実施の形態では、第２光源１２から発生する第２波長の光を２５７．５ｎｍとして説明する。
【００２６】
共振器１３は、リング型の光共振器であり、複数枚のミラーを備えている。本実施の形態では、共振器１３は、４枚のミラー１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを有している。すなわち、４枚のミラー１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄは、リング状（実際には多角形状）の光路をもつ共振器１３を構成している。共振器１３は、第１光源１１で発生されるレーザ光を共振させ、光強度を増大させる。なお、ミラーの数は、これに限定されるものではない。
【００２７】
共振器１３内には、第１波長変換結晶１４及び第２波長変換結晶１５が配置されている。第１波長変換結晶１４及び第２波長変換結晶１５は、非線形光学結晶であり、ＬＢＯ（ＬｉＢ３Ｏ５）、ＣＢＯ（ＣｓＢ３Ｏ５）、ＣＬＢＯ（ＣｓＬｉＢ６Ｏ１０）のいずれかを用いることができる。これらの非線形光学結晶は、波長１９３〜１９４ｎｍでの吸収がＢＢＯ結晶よりも小さい。このため、波長変換効率を高めることができ、高出力の連続波を得ることが可能となる。第２波長変換結晶１５は、第１波長変換結晶１４の出射側に隣接して配置されている。また、第１波長変換結晶１４の出射面と第２波長変換結晶１５の入射面とは、互いに平行になるように対向して配置されている。
【００２８】
第１波長変換結晶１４は、共振器１３で共振された第１波長のレーザ光と、第２光源１２で発生された第２波長のレーザ光の和周波発生により第３波長の光を発生させる。また、第２波長変換結晶１５は、共振器１３で共振された第１波長のレーザ光と、第３波長のレーザ光の和周波発生により第４波長の連続波を発生させる。第２波長変換結晶１５で発生する第４波長の光は、波長１９３〜１９４ｎｍである。
【００２９】
本実施の形態では、第１波長変換結晶１４は、共振器１３で共振されたレーザ光（波長１５５６ｎｍ）と、第２光源１２で発生されたレーザ光（波長２５７．５ｎｍ）の和周波発生により波長２２０．９ｎｍのレーザ光を発生させる。また、第２波長変換結晶１５は、共振器１３で共振されたレーザ光（波長１５５６ｎｍ）と、波長２２０．９ｎｍのレーザ光の和周波発生により１９３．５ｎｍの連続波を発生させる。このように、本発明によれば、効率よく高出力の１９３〜１９４ｎｍの深紫外光連続波を発生することが可能となる。
【００３０】
ここで、図２を参照して、第１波長変換結晶１４、第２波長変換結晶１５の配置について説明する。図２は、第１波長変換結晶１４、第２波長変換結晶１５の配置例を示す図である。図２（ａ）に示す例では、第１波長変換結晶１４及び第２波長変換結晶１５は、いずれも平行四辺形状の非線形光学結晶である。また、第１波長変換結晶１４の入射面、出射面、第２波長変換結晶１５の入射面、出射面は、いずれも共振器１３で共振されたレーザ光に対して、ブリュースター角となるように配置されている。これにより、第１波長変換結晶１５の入射面、出射面、第２波長変換結晶の入射面、出射面にＡＲコートを設ける必要がなく、低損失化を実現することができる。また、リング共振器１３での収差を補正することができる。
【００３１】
図２（ｂ）に示す例では、第１波長変換結晶１４及び第２波長変換結晶１５は、いずれも台形状の非線形光学結晶である。また、第１波長変換結晶１４の入射面、出射面、第２波長変換結晶１５の入射面、出射面は、いずれも共振器１３で共振されたレーザ光に対して、ブリュースター角となるように配置されている。これにより、上述と同様に、ＡＲコートを設ける必要がなく、低損失化を実現することができるとともに、リング共振器１３での収差を補正することができる。なお、図２（ａ）、（ｂ）で示す例では、第１波長変換結晶１４を出射した第１波長のレーザ光と、第３波長のレーザ光とが離れてしまうおそれがある。このため、第１波長変換結晶１４と第２波長変換結晶１５とは、できるだけ近づけることが好ましい。
【００３２】
また、図２（ｃ）のように、台形状の第１波長変換結晶１４及び第２波長変換結晶１５を配置してもよい。すなわち、第１波長変換結晶１４の入射面は、共振器１３で共振されたレーザ光に対して、ブリュースター角となるように配置されている。また、第２波長変換結晶１５の出射面は、共振器１３で共振されたレーザ光に対して、ブリュースター角となるように配置されている。第１波長変換結晶１４の出射面及び第２波長変換結晶１５の入射面は、第１波長変換結晶１４から出射する第１波長のレーザ光及び第３波長のレーザ光の光軸に垂直な面となっている。
【００３３】
従って、第１波長変換結晶１４から出射する第１波長のレーザ光及び第３波長のレーザ光は平行であり、第２波長変換結晶１５に垂直に入射する。これにより、第２波長変換結晶１５での第１波長のレーザ光と第３波長のレーザ光との混合が容易である。なお、第１波長変換結晶１４の出射面及び第２波長変換結晶１５の入射面には、ＡＲコートを設けることが好ましい。図２（ｃ）の場合には、２枚のミラーでリング型共振器を構成することができ、装置構成を簡素化することができる。
【００３４】
また、図２（ｄ）のように平行四辺形状の第１波長変換結晶１４、第２波長変換結晶１５を配置することも可能である。この場合においても、２枚のミラーでリング型共振器を構成することができ、装置構成を簡素化することができる。
【００３５】
第１波長変換結晶１４は、Ｔｙｐｅ−２の位相整合の非線形光学結晶である。ここで、図３を参照して、Ｔｙｐｅ−２の位相整合の非線形光学結晶について説明する。図３は、Ｔｙｐｅ−２の位相整合の非線形光学結晶を説明するための図である。図３において、黒丸は第１波長変換結晶１４に対して垂直偏光を示すものとし、矢印は第１波長変換結晶１４に対して水平偏光を示す。また、実線は第１光源１１で発生し、共振された第１波長のレーザ光であり、点線は第２光源１２で発生した第２波長のレーザ光であり、一点鎖線は第１波長変換結晶１４で発生した第３波長のレーザ光である。
【００３６】
Ｔｙｐｅ−２の位相整合の非線形光学結晶とは、２つの入射光の偏光状態が直交している場合に、和周波発生が可能なものである。図３に示すように、第１波長のレーザ光は第１波長変換結晶１４に対して水平偏光であり、第２波長のレーザ光は第１波長変換結晶１４に対して垂直偏光である。このため、第１波長変換結晶１４では、第１波長のレーザ光と第２波長のレーザ光の和周波発生により、第３波長のレーザ光が発生する。すなわち、第１波長変換結晶１４は、共振光（波長λ１）と外部入射光（波長λ２）の和周波混合により波長λ３のレーザ光（λ３＝１／（１／λ１＋１／λ２））を発生させる。
【００３７】
具体的には、第１波長（λ１）が１５５６ｎｍ、第２波長（λ２）が２５７．５ｎｍの場合、第１波長変換結晶１４として光学軸に対してθ＝５６．６°、φ＝９０°にカットされたＬＢＯ結晶を適用すると、Ｔｙｐｅ−２和周波混合が可能となり、波長λ３＝２２０．９ｎｍのレーザ光が発生する。
【００３８】
また、第１波長のレーザ光は、第１波長変換結晶１４に対してブリュースター角で入射するため、反射損失がない。なお、第２波長のレーザ光は垂直偏光なので、多少、反射損があるが実用上大きな問題にはならない。
【００３９】
第２波長変換結晶１５は、Ｔｙｐｅ−１の位相整合の非線形光学結晶である。ここで、図４を参照して、Ｔｙｐｅ−１の位相整合の非線形光学結晶について説明する。図４は、Ｔｙｐｅ−１の位相整合の非線形光学結晶を説明するための図である。なお、図４においても、黒丸は第１波長変換結晶１４に対して垂直偏光を示すものとし、矢印は第１波長変換結晶１４に対して水平偏光を示す。また、実線は第１光源１１で発生して、共振された第１波長のレーザ光であり、一点鎖線は第１波長変換結晶１４で発生した第３波長のレーザ光であり、点線は第２波長変換結晶１５で発生した第４波長のレーザ光である。
【００４０】
Ｔｙｐｅ−１の位相整合の非線形光学結晶とは、２つの入射光の偏光状態が平行な場合に、和周波発生が可能なものである。図４に示すように、第１波長のレーザ光は第２波長変換結晶１５に対して水平偏光であり、第３波長のレーザ光も第２波長変換結晶１５に対して水平偏光である。このため、第２波長変換結晶１５では、第１波長のレーザ光と第３波長のレーザ光の和周波発生により、第４波長のレーザ光が発生する。すなわち、第２波長変換結晶１５は、共振光（波長λ１）と入射光（波長λ３）の和周波混合により波長λ４のレーザ光（λ４＝１／（１／λ１＋１／λ３））を発生させる。なお、第１波長変換結晶１４から余って出た第２波長（λ２）のレーザ光は、第２波長変換結晶１５では関与しない。
【００４１】
具体的には、第１波長（λ１）が１５５６ｎｍ、第３波長（λ３）が２２０．３ｎｍの場合、第２波長変換結晶１５として光学軸に対してθ＝９０°、φ＝７７°にカットされたＬＢＯ結晶を適用すると、Ｔｙｐｅ−１和周波混合が可能となり、波長λ３＝１９３．４ｎｍのレーザ光が発生する。
【００４２】
また、第１波長のレーザ光は、第１波長変換結晶１４に対してブリュースター角で入射するため、反射損失がない。第３波長のレーザ光も水平偏光であり、厳密にはブリュースター角ではないが、ほぼブリュースター角に近いので反射損はほとんどない。
【００４３】
以上説明したように、本発明によれば、市販品もある連続レーザ光源（波長１５５０〜１５６０ｎｍ）と波長２５７．５ｎｍのレーザ光源を用いて、和周波混合により、効率よく高出力の１９３〜１９４ｎｍの深紫外光連続波を発生することが可能となる。また、和周波混合には、１９３〜１９４ｎｍのレーザ光でも十分な透過率を有するＬＢＯ、ＣＢＯ、ＣＬＢＯ結晶を用いることができる。さらに、２つの波長変換結晶をブリュースター型として共振器内に配置することで、２段の和周波発生を高効率で行うことができる。
【００４４】
また、本発明に係る波長変換装置は、マスク等を検査するための検査装置に好適に利用することができる。本発明に係る波長変換装置では、波長１９３〜１９４ｎｍのレーザ光を得ることができるため、露光波長である１９３．３６ｎｍに一致させることができ、検査感度を向上させることができる。
【００４５】
すなわち、本発明を適用したマスク検査装置は、次世代の波長２００ｎｍ以下のＤＵＶレーザ光を用いたマスク検査装置を対象としたものであり、マスク製造メーカにおける次世代マスクの製造時の欠陥検査に利用できるだけでなく、半導体製造向上におけるマスクの品質管理にも利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】実施の形態に係る波長変換装置の構成を示す図である。
【図２】実施の形態に係る波長変換結晶の配置を説明するための図である。
【図３】実施の形態に係る第１波長変換結晶の特性を説明するための図である。
【図４】実施の形態に係る第２波長変換結晶の特性を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  波長変換装置
１１  第１光源
１２  第２光源
１３  共振器
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ  ミラー
１４  第１波長変換結晶
１５  第２波長変換結晶
【図１】
2009145791.tif 000003
【図２】
2009145791.tif 000004
【図３】
2009145791.tif 000005
【図４】
2009145791.tif 000006