(57)【要約】【課題】非接触式の検査方法において、検査対象となる導電性ラインの位置を正確に特定し得るようにする。【解決手段】標準基板１０は、支持板１５と、支持板上に形成された少なくとも一群の導電性ライン３０ａと、を備える。各導電性ライン３０は、支持板上を線状に延びる電極ライン部３１と、電極ライン部の端部に接続された延長部３３と、を有する。一群の導電性ラインに含まれる複数の電極ライン部は、一定の間隔を空けて配列されている。一群の導電性ラインに含まれる延長部は、複数のグループに区分けされる。電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿って延長部のグループ内で両最外方に位置する一対の延長部３３ｃのそれぞれにダミー欠陥４０が形成されている。【選択図】図２
2009276105.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持板と、
前記支持板上に形成された少なくとも一群の導電性ラインと、を備え、
各導電性ラインは、前記支持板上を線状に延びる電極ライン部と、前記電極ライン部の端部に接続された延長部と、を有し、
前記一群の導電性ラインに含まれる複数の電極ライン部は、一定の間隔を空けて配列され、
前記一群の導電性ラインに含まれる延長部は、複数のグループに区分けされ、
前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿って前記延長部のグループ内で両最外方に位置する一対の延長部のそれぞれにダミー欠陥が形成されている
ことを特徴とする標準基板。
【請求項２】
各延長部は、前記電極ライン部の端部と一端を接続された引出部と、前記引出部の他端に一端を接続された端子部と、を有し、
前記延長部のグループは複数の延長部をそれぞれ含み、各グループに含まれる複数の端子部は、前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿って互いに一定の間隔を空けて配列されている
ことを特徴とする請求項１に記載の標準基板。
【請求項３】
前記端子部の配列間隔は、前記延長部の異なるグループ間において、同一となっている
ことを特徴とする請求項２に記載の標準基板。
【請求項４】
前記ダミー欠陥は、前記延長部の断線箇所として形成されている
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の標準基板。
【請求項５】
前記一群の導電性ラインに含まれる複数の電極ライン部のうちの、前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿った両最外方に位置する一対の電極ライン部のそれぞれに、第２ダミー欠陥が形成されている
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の標準基板。
【請求項６】
前記第２ダミー欠陥は、前記電極ライン部の断線箇所として形成されている
ことを特徴とする請求項５に記載の標準基板。
【請求項７】
前記一群の導電性ラインを複数群備える
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の標準基板。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載された前記標準基板を検査装置によって保持する工程と、
前記導電性ラインの前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿って前記検査装置の非接触式センサを前記標準基板に対して相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記導電性ラインの前記延長部の電気的特性を測定する工程と、
前記標準基板を保持する検査装置を基準として、測定された電気的特性から、前記ダミー欠陥が形成された前記延長部の前記配列方向と平行な方向に沿った位置を特定し、さらに、前記導電性ラインの前記延長部に対する検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った範囲を、前記延長部のグループの両最外方に配置されダミー欠陥を含む一対の延長部の特定された位置から、グループ毎に設定する工程と、
前記標準基板を前記検査装置から取り除くとともに、前記標準基板の前記導電性ラインと同様の構成の導電性ラインを有した被検査基板を前記検査装置によって保持する工程と、
前記被検査基板に対して前記非接触式センサを相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記被検査基板の前記導電性ラインの前記延長部の電気的特性を測定する工程と、
前記被検査基板について得られた前記延長部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として前記グループ毎に設定された前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認する工程と、を備える
ことを特徴とする被検査基板の検査方法。
【請求項９】
前記被検査基板を前記検査装置から取り除くとともに、前記標準基板の前記導電性ラインと同様の構成の導電性ラインを有した別の被検査基板を前記検査装置によって保持する工程と、
前記別の被検査基板に対して前記非接触式センサを相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記別の被検査基板の前記導電性ラインの前記延長部の電気的特性を測定する工程と、
前記別の被検査基板について得られた前記延長部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として前記グループ毎に設定された前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認する工程と、をさらに備える
ことを特徴とする請求項８に記載の被検査基板の検査方法。
【請求項１０】
前記延長部のグループ毎の前記検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った前記範囲の中心は、当該グループの両最外方に配置され前記ダミー欠陥を含む前記一対の延長部の特定された位置の中間点に設定される
ことを特徴とする請求項８または９に記載の検査方法。
【請求項１１】
請求項５または６に記載された標準基板を検査装置によって保持する工程と、
前記導電性ラインの前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿って前記検査装置の非接触式センサを前記標準基板に対して相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記導電性ラインの前記延長部および前記電極ライン部の電気的特性を測定する工程と、
前記標準基板を保持する検査装置を基準として、測定された電気的特性から、前記配列方向と平行な方向に沿った前記ダミー欠陥が形成された前記延長部の位置および前記第２ダミー欠陥が形成された前記電極ライン部の位置を特定し、さらに、前記導電性ラインの前記延長部に対する検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った範囲を、前記延長部のグループの両最外方に配置され前記ダミー欠陥を含む前記一対の延長部の特定された位置から、グループ毎に設定するとともに、前記導電性ラインの前記電極ライン部に対する検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った範囲を、前記一群の導電性ラインの両最外方に配置され前記第２ダミー欠陥を含む前記一対の電極ライン部の特定された位置から、設定する工程と、
前記標準基板を前記検査装置から取り除くとともに、前記標準基板の前記導電性ラインと同様の構成の導電性ラインを有した被検査基板を前記検査装置によって保持する工程と、
前記被検査基板に対して前記非接触式センサを相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記被検査基板の前記導電性ラインの前記延長部および前記電極ライン部の電気的特性を測定する工程と、
前記被検査基板について得られた前記延長部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として前記グループ毎に設定された前記延長部の前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認するとともに、前記被検査基板について得られた前記電極ライン部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として設定された前記電極ライン部の前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認する工程と、を備える
ことを特徴とする被検査基板の検査方法。
【請求項１２】
前記被検査基板を前記検査装置から取り除くとともに、前記標準基板の前記導電性ラインと同様の構成の導電性ラインを有した別の被検査基板を前記検査装置によって保持する工程と、
前記別の被検査基板に対して前記非接触式センサを相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記別の被検査基板の前記導電性ラインの前記延長部および前記電極ライン部の電気的特性を測定する工程と、
前記別の被検査基板について得られた前記延長部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として前記グループ毎に設定された前記延長部の前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認するとともに、前記別の被検査基板について得られた前記電極ライン部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として設定された前記電極ライン部の前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認する工程と、をさらに備える
ことを特徴とする請求項１１に記載の被検査基板の検査方法。
【請求項１３】
前記延長部のグループ毎の前記検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った前記範囲の中心は、当該グループの両最外方に配置され前記ダミー欠陥を含む前記一対の延長部の特定された位置の中間点に設定され、
前記電極ライン部の前記検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った前記範囲の中心は、当該一群の電極ライン部の両最外方に配置され前記第２ダミー欠陥を含む前記一対の電極ライン部の特定された位置の中間点に設定される
ことを特徴とする請求項１１または１２に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持板と、支持板上に形成された少なくとも一群の導電性ラインと、を有する標準基板であって、非接触式の検査装置によって導電性ラインの配置位置を正確に特定され得るようになされた標準基板に関する。
【０００２】
また、本発明は、支持板と、支持板上に形成された少なくとも一群の導電性ラインと、を有する被検査基板の導電性ラインを検査する方法に係り、とりわけ、導電性ラインの電気的特性を非接触で正確に評価することができる検査方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
従来、支持板上に形成された導電性パターンの状態（例えば、断線や短絡等の有無）を検査する方法として、接触式の検査方法と、非接触式の検査方法とが知られている。一例として、プラズマディスプレイパネルの電極およびその端子として機能する導電性パターンのような微細なパターンを接触式で検査する場合には、通常、プローブカードが探針として用いられていた。このような接触式検査は、導電性パターンの状態を比較的に安定して正確に検査することができる方法として、認識されていた。
【０００４】
しかしながら、接触式検査については、プローブカードが極めて高価であるうえに摩耗しやすいことや、探針によって導電性パターンを破損してしまう虞があること等の不具合が存在する。また、例えば導電性パターン上に絶縁性の保護膜が形成されている場合等、直接接触することができない状態で導電性パターンを検査しなければならない状況も生じ得る。これらのことから、昨今においては、非接触式検査によって、支持板上の導電性パターンの状態を検査することが進められている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００２−３５０４８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、非接触式検査によって導電性パターンの状態を検査する場合には、検査対象となる導電性パターンの位置を正確に特定し、検査装置が保持している基板の検査領域の座標を予め検査装置に対して設定しておく必要がある。これまでは、まず、検査対象となる基板について導電性パターンの電気的特性を広範囲に測定し、得られた測定データに基づいて、検査領域の座標を割り出す方法が採用されてきた。この際、導電性パターンのうちの検査対象となる部分とは異なる目的で形成されるとともに異なる構成を有する部分、例えばアライメントマーク等の位置を、得られたデータからまず割り出し、この部分（アライメントマーク等）の位置を基準として検査領域を設定することが有効とされてきた。
【０００６】
しかしながら、プラズマディスプレイパネルの電極に代表されるように、昨今において、導電性パターンのファインピッチ化が急速に進められてきている。また、支持板上に形成された導電性パターンによっては、検査領域を割り出す上で有効な目標となり得る導電性部分が適当な位置に存在しないこともある。
【０００７】
そもそも、検査対象となる部分に対して広過ぎずかつ狭過ぎない検査領域を設定することが、検査を正確に行う上で極めて重要になる。検査領域が検査対象となる部分に対して広過ぎると、アライメントマーク等の本来は欠陥ではないものを欠陥（疑似欠陥）として認識してしまうからであり、検査領域が検査対象となる部分に対して狭過ぎると、欠陥を見逃してしまうことがあるからである。
【０００８】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、非接触式の検査方法において、検査対象となる導電性ラインの位置を正確に特定し得るようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による標準基板は、支持板と、前記支持板上に形成された少なくとも一群の導電性ラインと、を備え、各導電性ラインは、前記支持板上を線状に延びる電極ライン部と、前記電極ライン部の端部に接続された延長部と、を有し、前記一群の導電性ラインに含まれる複数の電極ライン部は、一定の間隔を空けて配列され、前記一群の導電性ラインに含まれる延長部は、複数のグループに区分けされ、前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿って前記延長部のグループ内で両最外方に位置する一対の延長部のそれぞれにダミー欠陥が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明による標準基板において、各延長部は、前記電極ライン部の端部と一端を接続された引出部と、前記引出部の他端に一端を接続された端子部と、を有し、前記延長部のグループは複数の延長部をそれぞれ含み、各グループに含まれる複数の端子部は、前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿って互いに一定の間隔を空けて配列されているようにしてもよい。このような本発明による標準基板において、前記端子部の配列間隔は、前記延長部の異なるグループ間において、同一となっているようにしてもよい。
【００１１】
また、本発明による標準基板において、前記ダミー欠陥は、前記延長部の断線箇所として形成されているようにしてもよい。
【００１２】
さらに、本発明による標準基板において、前記一群の導電性ラインに含まれる複数の電極ライン部のうちの、前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿った両最外方に位置する一対の電極ライン部のそれぞれに、第２ダミー欠陥が形成されているようにしてもよい。このような本発明による標準基板において、前記第２ダミー欠陥は、前記電極ライン部の断線箇所として形成されているようにしてもよい。
【００１３】
さらに、本発明による標準基板が、前記一群の導電性ラインを複数群備えるようにしてもよい。
【００１４】
本発明による第１の検査方法は、上述したいずれかの前記標準基板を検査装置によって保持する工程と、前記導電性ラインの前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿って前記検査装置の非接触式センサを前記標準基板に対して相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記導電性ラインの前記延長部の電気的特性を測定する工程と、前記標準基板を保持する検査装置を基準として、測定された電気的特性から、前記ダミー欠陥が形成された前記延長部の前記配列方向と平行な方向に沿った位置を特定し、さらに、前記導電性ラインの前記延長部に対する検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った範囲を、前記延長部のグループの両最外方に配置されダミー欠陥を含む一対の延長部の特定された位置から、グループ毎に設定する工程と、前記標準基板を前記検査装置から取り除くとともに、前記標準基板の前記導電性ラインと同様の構成の導電性ラインを有した被検査基板を前記検査装置によって保持する工程と、前記被検査基板に対して前記非接触式センサを相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記被検査基板の前記導電性ラインの前記延長部の電気的特性を測定する工程と、前記被検査基板について得られた前記延長部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として前記グループ毎に設定された前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１５】
本発明による第１の検査方法が、前記被検査基板を前記検査装置から取り除くとともに、前記標準基板の前記導電性ラインと同様の構成の導電性ラインを有した別の被検査基板を前記検査装置によって保持する工程と、前記別の被検査基板に対して前記非接触式センサを相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記別の被検査基板の前記導電性ラインの前記延長部の電気的特性を測定する工程と、前記別の被検査基板について得られた前記延長部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として前記グループ毎に設定された前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認する工程と、をさらに備えるようにしてもよい。
【００１６】
また、本発明による第１の検査方法において、前記延長部のグループ毎の前記検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った前記範囲の中心は、当該グループの両最外方に配置され前記ダミー欠陥を含む前記一対の延長部の特定された位置の中間点に設定されるようにしてもよい。
【００１７】
本発明による第２の標準基板は、上述した標準基板であって、とりわけ前記一群の導電性ラインに含まれる複数の電極ライン部のうちの、前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿った両最外方に位置する一対の電極ライン部のそれぞれに、第２ダミー欠陥が形成されている、標準基板を検査装置によって保持する工程と、前記導電性ラインの前記電極ライン部の配列方向と平行な方向に沿って前記検査装置の非接触式センサを前記標準基板に対して相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記導電性ラインの前記延長部および前記電極ライン部の電気的特性を測定する工程と、前記標準基板を保持する検査装置を基準として、測定された電気的特性から、前記配列方向と平行な方向に沿った前記ダミー欠陥が形成された前記延長部の位置および前記第２ダミー欠陥が形成された前記電極ライン部の位置を特定し、さらに、前記導電性ラインの前記延長部に対する検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った範囲を、前記延長部のグループの両最外方に配置され前記ダミー欠陥を含む前記一対の延長部の特定された位置から、グループ毎に設定するとともに、前記導電性ラインの前記電極ライン部に対する検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った範囲を、前記一群の導電性ラインの両最外方に配置され前記第２ダミー欠陥を含む前記一対の電極ライン部の特定された位置から、設定する工程と、前記標準基板を前記検査装置から取り除くとともに、前記標準基板の前記導電性ラインと同様の構成の導電性ラインを有した被検査基板を前記検査装置によって保持する工程と、前記被検査基板に対して前記非接触式センサを相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記被検査基板の前記導電性ラインの前記延長部および前記電極ライン部の電気的特性を測定する工程と、前記被検査基板について得られた前記延長部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として前記グループ毎に設定された前記延長部の前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認するとともに、前記被検査基板について得られた前記電極ライン部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として設定された前記電極ライン部の前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１８】
本発明による第２の標準基板が、前記被検査基板を前記検査装置から取り除くとともに、前記標準基板の前記導電性ラインと同様の構成の導電性ラインを有した別の被検査基板を前記検査装置によって保持する工程と、前記別の被検査基板に対して前記非接触式センサを相対移動させながら、当該非接触式センサを用いて、前記別の被検査基板の前記導電性ラインの前記延長部および前記電極ライン部の電気的特性を測定する工程と、前記別の被検査基板について得られた前記延長部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として前記グループ毎に設定された前記延長部の前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認するとともに、前記別の被検査基板について得られた前記電極ライン部に関する電気的特性のデータのうちの、前記検査装置を基準として設定された前記電極ライン部の前記検査領域の前記範囲内に対応するデータについて、異常の有無を確認する工程と、をさらに備えるようにしてもよい。
【００１９】
また、本発明による第２の標準基板において、前記延長部のグループ毎の前記検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った前記範囲の中心は、当該グループの両最外方に配置され前記ダミー欠陥を含む前記一対の延長部の特定された位置の中間点に設定され、前記電極ライン部の前記検査領域の前記配列方向と平行な方向に沿った前記範囲の中心は、当該一群の電極ライン部の両最外方に配置され前記第２ダミー欠陥を含む前記一対の電極ライン部の特定された位置の中間点に設定されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、延長部の電気的特性を測定した場合、得られた測定データから、ダミー欠陥が形成された延長部の位置を特定することができる。そして、ダミー欠陥を含む一対の延長部の特定された位置に基づき、当該一対の延長部を両最外方に含む延長部のグループが配置されている領域の位置を特定することができるようになる。この結果、導電性ラインの延長部に対する検査領域を精度良く設定することができ、導電性ラインの延長部を正確に検査することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２２】
図１乃至図５は本発明による標準基板および検査方法の一実施の形態を説明するための図である。このうち図１は標準基板を示す平面図であり、図２は図１の部分拡大図であり、図３乃至図５は検査方法を説明するための図である。
【００２３】
以下の本実施の形態においては、プラズマディスプレイパネル（以下において「ＰＤＰ」とも呼ぶ）の電極およびその端子を構成するようになる導電性ライン（導電性パターン）、とりわけ背面板側の導電性ラインを検査する例について説明する。そして、以下の実施の形態においては、本発明の一例にかかる標準基板が、後に背面板の一部分を構成するようになる被検査基板を正確に検査するための標準基板として用いられるようになっている。ただし、これに限られず、ＰＤＰの電極や電極の端子以外を構成するようになる導電性ラインについても本発明を適用することができる。
【００２４】
なお、ＰＤＰについては、種々の先行文献、例えば特開平１０−３２１１４８号公報に記載されており、ここでは詳細な説明を省略する。
【００２５】
＜標準基板＞
まず、図１および図２を主に参照して、本実施の形態に係る基板の構成について詳述する。
【００２６】
図１および図２に示すように、標準基板１０は、板状の支持板１５と、支持板１５の一方の面上に形成された導電性の導電性パターン２０と、を含んでいる。また、図４に示すように、基板１０は、支持板１５の一方の面上に積層され、導電性パターン２０を覆う絶縁性の保護層１８をさらに含んでいる。ＰＤＰ用の背面板として使用される場合、支持板１５は、焼成工程での加熱を考慮して耐熱性を有する材料、例えば板ガラスから構成される。導電性パターン２０は、種々の導電性材料、例えば銀から構成され得る。また、保護層１８は、所望の機械的特性および電気的特性を有した材料を支持板１５の一方の面上に成膜することによって、形成され得る。
【００２７】
このうち、導電性パターン２０についてさらに詳細に説明する。図１に示すように、導電性パターン２０は、多数の導電性ライン３０を含んでいる。
【００２８】
図２に示すように、各導電性ライン３０は、支持板１５上を直線状に延びる電極ライン部３１と、電極ライン部３１の端部に接続された延長部３３と、を有している。延長部３３は、電極ライン部３１の一方の端部から折れ線状に延び出ている。一つの電極ライン部３１は一つの延長部３３とのみ接続されており、一つの電極ライン部３１と一つの延長部３３とから一つの導電性ライン３０が形成されている。複数の導電性ライン３０は互いに交差（接続）していない。すなわち、複数の導電性ライン３０は互いに導通していない。
【００２９】
図１に示すように、本実施の形態において、基板１０に含まれた導電性ライン３０は、その配置位置（図１における一点鎖線参照）に応じて三つの群３０ａに分類される。図１および図２に示すように、複数の導電性ライン３０を含む一つの導電性ライン群３０ａ内において、複数の直線状の電極ライン部３１は、その長手方向に直交する配列方向に沿って、互いに第１間隔Ｉ１を空けて配列されている。また、電極ライン部３１の配列方向に沿った各電極ライン部３１の幅はすべて同一となっている。
【００３０】
なお、各群の導電性ライン３０によって、一つのプラズマディスプレイパネルが構成されるようになる。そして、電極ライン部３１はプラズマディスプレイパネルの画像表示領域内に配置され、いわゆるアドレス電極を構成するようになる。一方、延長部３３は画像表示領域外に配置されるようになる。上述したように、プラズマディスプレイパネルの詳細については、例えば特開平１０−３２１１４８号公報を参照されたい。
【００３１】
図２に示すように、各延長部３３は、電極ライン部３１の端部とその一端を接続された引出部３７と、引出部３７の他端にその一端を接続された端子部３５と、を含んでいる。端子部３５は、電極ライン部３１の長手方向と平行な方向に直線状に延びている。また、引出部３７は、電極ライン部３１と端子部３５との間を直線状に延びて、電極ライン部３１と端子部３５とを連結している。
【００３２】
図１および図２に示すように、各導電性ライン群３０ａに含まれた複数の延長部３３は、その配置位置に応じ、複数のグループ３３ａに分類される。すなわち、図１および図２において視覚的に理解され得るよう、複数の延長部３３は、密接配置された複数のグループ３３ａに分類され得る。電極ライン部３１の配列方向に沿って区分けされた各グループ３３ａは、複数の延長部３３をそれぞれ含んでいる。複数の延長部３３を含む一つのグループ３３ａ内において、複数の直線状の端子部３５は、その長手方向に直交する配列方向に沿って、互いに第２間隔Ｉ２（図２および図４参照）を空けて配列されている。つまり、電極ライン部３１の配列方向と、端子部３５の配列方向とは、互いに平行となっている。また、図１および図２から明らかなように、第２間隔Ｉ２は、第１間隔Ｉ１よりも狭くなっている。また、本実施の形態においては、端子部３５の配列間隔は、異なるグループ間においても同一となっている。さらに、図４に示すように、端子部３５の配列方向に沿った各端子部３５の幅はすべて同一となっている。また、端子部３５の配列方向に沿った各引出部３７の幅もすべて同一となっている。
【００３３】
ところで、図２に示すように、端子部３５の配列方向に沿って延長部のグループ３３ａ内で両最外方に位置する一対の延長部３３ｃのそれぞれにダミー欠陥４０が形成されている。とりわけ本実施の形態において、ダミー欠陥４０は、延長部のすべてのグループ３３ａにそれぞれ対応して、すべてのグループ３３ａに対してそれぞれ二つ形成されている。
【００３４】
このようなダミー欠陥４０は電気的な欠陥部である。したがって、ダミー欠陥４０が形成された延長部３３ｃは、欠陥がない延長部とは異なる電気的特性を呈し、欠陥を有する延長部と同様の電気的特性を呈するようになる。本実施の形態においては、図２に示すように、基板１０の法線方向から基板１０を観察した場合において、つまり、平面視において、ダミー欠陥４０は、グループ３３ａの最外方に位置する延長部３３ｃに形成された断線箇所として構成されている。このようなダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃは、電気的特性を測定した際に、断線の欠陥を有した延長部と同様の電気的特性を示すようになり、後述するように、欠陥を含んでいない延長部の電気的特性とは著しく異なる電気的特性を示すようになる。
【００３５】
また、図１および図２に示すように、一つの導電性ライン群３０ａ内において電極ライン部３１の配列方向に沿って両最外方に位置する一対の電極ライン部３１ｃのそれぞれに第２ダミー欠陥５０が形成されている。とりわけ本実施の形態において、第２ダミー欠陥５０は、導電性ラインのすべての群３０ａにそれぞれ対応して、すべての群３０ａに対してそれぞれ二つ形成されている。
【００３６】
このような第２ダミー欠陥５０は電気的な欠陥部である。したがって、第２ダミー欠陥５０が形成された電極ライン部３１ｃは、欠陥がない電極ライン部とは異なる電気的特性を呈し、欠陥を有する電極ライン部と同様の電気的特性を呈するようになる。本実施の形態においては、図２に示すように、基板１０の法線方向から基板１０を観察した場合において、つまり、平面視において、第２ダミー欠陥５０は、導電性ライン群３０ａの最外方に位置する電極ライン部３１ｃに形成された断線箇所として構成されている。このような第２ダミー欠陥５０を含む電極ライン部３１ｃは、電気的特性を測定した際に、断線の欠陥を有した電極ライン部と同様の電気的特性を示すようになり、欠陥を含んでいない電極ライン部３１の電気的特性とは著しく異なる電気的特性を示すようになる。
【００３７】
次に、以上のような構成からなる基板１０を製造する方法の一例を説明する。
【００３８】
まず、ガラス等からなる支持板１５を準備し、この支持板１５の一方の面上に感光性材料を含んだ導電性ペーストからなる層を形成する。このときの導電性ペーストを塗工する塗布装置としては、スクリーン印刷機や種々のコーター等の既知の装置を採用することができる。その後、フォトリソグラフィー技術を用いた露光および現像を行い、導電性ペースト層を所望のパターンにパターニングする。次に、焼成により銀ペーストを焼結することにより、支持板１５上に導電性パターン２０が所望のパターンで形成される。
【００３９】
その後、所望の性質を有した材料を、導電性パターン２０を覆うようにして支持板１５の一方の面上に塗工する。このとき、スクリーン印刷機や種々のコーター等の種々の既知な機器を用いて、支持板１５上に成膜することができる。その後、焼成を行うことによって、所望の性質を有した材料から保護層１８が形成されるようになる。以上のようにして、上述した構成からなる基板１０が得られる。
【００４０】
なお、以上の製造方法は単なる一例に過ぎず、種々の変更が可能である。例えば、導電性ライン３０のうちの電極ライン部３１および延長部３３の引出部３７のみを上述したフォトリソグラフィー技術を用いた方法によって作製し、次に、例えば金をスクリーン印刷することによって、導電性ライン３０のうちの延長部３３の端子部３５を作製するようにしてもよい。
【００４１】
また、上述したダミー欠陥４０および第２ダミー欠陥５０は、種々の方法により、形成することができる。極めて容易な方法として、導電性パターン２０の所定の位置をけがく等してわざと断線させることにより、断線箇所としてのダミー欠陥４０および第２ダミー欠陥５０を形成することができる。また、これに限られず、フォトリソグラフィー技術を用いたパターニングにより、ダミー欠陥４０および第２ダミー欠陥５０を導電性パターン２０とともに形成してもよい。
【００４２】
＜検査方法＞
次に、以上のような構成からなる標準基板１０を用いて、標準基板１０の導電性ライン３０を検査する方法の一例について説明する。なお、以下に説明する方法においては、上述した標準基板１０が、標準基板１０の導電性ライン３０と同一構成の導電性ラインを有した被検査基板の導電性ラインに関する検査領域を設定するための標準基板として用いられ、製品として扱われない。すなわち、以下の例において、上述した構成からなる標準基板１０は、異なるパターンの導電性ライン毎に用意され、各導電性ラインに対する検査領域を検査装置６０に設定された座標軸Ａ上で特定するため、用いられる。
【００４３】
まず、検査に用いられる検査装置６０について説明する。図３および図４に示すように、検査装置６０は、標準基板１０および被検査基板を保持するための保持手段６２と、保持手段６２に保持された標準基板１０および被検査基板の電気的特性を測定するためのセンサ６６，６８と、センサ６６，６８を支持するとともに、標準基板１０および被検査基板に対してセンサ６６，６８を相対移動させる走査手段６４と、センサ６６，６８に接続された制御装置（図示せず）と、を有している。なお、図３は、図２に対応する平面視において、検査方法を説明するための図であり、図４は、延長部３３の端子部３５の配列方向に沿った断面において、検査方法を説明するための図である。
【００４４】
保持手段６２は、例えば、標準基板１０および被検査基板を撓ませることなく支持することができる支持台等として構成され得る。本実施の形態において、走査手段６４は、保持手段６２に保持された標準基板１０または被検査基板の上方を、基板の板面と平行な走査方向に沿って走行可能になっている。図３に示すように、走査手段６４の走査方向は、電極ライン部３１の配列方向および延長部３３の端子部３５の配列方向と一致している。したがって、走査手段６４が移動することにより、走査手段６４に支持されたセンサ６６，６８は、標準基板１０または被検査基板の上方を一定の方向に走査するようになる。
【００４５】
センサ６６，６８は、標準基板１０または被検査基板の導電性パターン２０についての電気的特性を、導電性パターン２０に接触することなく、つまり非接触で測定することができる（図４参照）。一つの導電性ライン群３０ａに対して二つのセンサが設けられている。各センサ６６，６８と接続された制御装置は、得られた電気的特性に基づいて、導電性ライン３０の状態に異常が有るか否かを判定するようになっている。これらのセンサ６６，６８は、異常の有無を確認する際に必要となる種々の電気的特性を測定することができるよう、種々の既知のセンサから適宜構成され得る。
【００４６】
図３に点線で示すように、第１センサ６６は、導電性ライン３０の延長部３３上を通過し、延長部３３上において導電性ライン３０の電気的特性を測定する。より詳細には、第１センサ６６は、導電性ライン３０の延長部側の端部上、すなわち、延長部３３の端子部３５の端部上を走査するようになっている。そして、第１センサ６６は、導電性ライン３０の延長部３３に断線が生じていないかを確認するためのセンサとして構成されている。
【００４７】
一方、図３に点線で示すように、第２センサ６８は、導電性ライン３０の電極ライン部３１上を通過し、電極ライン部３１上において導電性ライン３０の電気的特性を測定する。より詳細には、第２センサ６８は、導電性ライン３０の電極ライン部３１上を走査するようになっている。そして、第２センサ６８は、導電性ライン３０の電極ライン部３１に断線が生じていないかを確認するためのセンサとして構成されている。また、第２センサ６８は、さらに、導電性ライン３０に短絡が生じていないかを確認することができるセンサとして構成されている。
【００４８】
次に、このような検査装置６０を用いて、被検査基板を検査する方法について説明する。以下に説明するように、本実施の形態における検査方法は、標準基板１０を検査装置６０によって保持する工程と、標準基板１０の電気的特性を測定する工程と、検査領域Ｒを設定する工程と、標準基板１０を検査装置６０から取り除くとともに被検査基板を検査装置６０によって保持する工程と、被検査基板の電気的特性を測定する工程と、被検査基板の検査を行う工程と、を備えている。以下、各工程について詳細に説明していく。
【００４９】
まず、上述した標準基板１０を準備する。なお、標準基板１０は、検査対象となる基板の導電性ライン３０の構成に応じて、準備される。準備された標準基板１０は、検査装置６０の保持手段６２によって保持される。
【００５０】
次に、走査手段６４が、保持手段６２に保持された標準基板１０の上方を走査方向に沿って走行する。走査手段６４の標準基板１０に対する相対移動にともなって、走査手段６４に支持された第１センサ６６は、導電性ライン３０の端子部３５の配列方向に沿って端子部３５の上方を移動し、端子部３５に対して相対移動する。同様に、走査手段６４に支持された第２センサ６８は、導電性ライン３０の電極ライン部３１の配列方向に沿って電極ライン部３１の上方を移動し、電極ライン部３１に対して相対移動する。なお、ここでいう「上方」とは、標準基板１０の法線に沿った方向において、標準基板１０の保護膜１８に対面する側を意味している。
【００５１】
第１センサ６６および第２センサ６８は、標準基板１０に対して相対移動する際、標準基板１０のうちの各センサ６６，６８の下方に位置する部分（導電体）において導電性ライン３０の電気的特性を、走査方向に沿って標準基板１０の一端（例えば図３および図４における基板の左端）から他端まで測定する。ここでは、第１センサ６６によって、導電性ライン３０の延長部３３，３３ｃにおける断線の有無に関する電気的特性が測定される。また、第２センサ６８によって、導電性ライン３０の電極ライン部３１における断線の有無に関する電気的特性が測定され、さらに、導電性ライン３０の短絡の有無に関する電気的特性が測定される。
【００５２】
なお、図５には、第１センサ６６によって測定された基板の電気的特性に関する生データの一例を示している。図５のグラフにおける横軸は、延長部３３の配列方向に沿った標準基板１０上の位置に対応している。
【００５３】
次に、測定された電気的特性から、標準基板１０を保持し、また被検査基板を保持するようになる検査装置６０を基準として、被検査基板の導電性ライン３０を検査するための検査領域Ｒの位置を設定する。つまり、例えば図５のようなバラツキのあるデータのうち、どの領域のデータについて異常の有無を確認すればよいかを予め設定しておく。
【００５４】
通常、被検査基板の導電性パターンは、導電性ライン以外の導電性部分、例えばアライメントマーク等を含んでいる。これらの導電性部分は、種々の作用効果を期待して形成されたものであり、大抵の場合、導電性パターン３０とは異なる電気的特性を示すようになる。したがって、導電性ライン３０のうちの検査対象となる部分に関する測定データを得られた測定データの中から正確に特定するとともに、正確に特定された導電性ライン３０の測定データに基づいて検査を行う必要がある。仮に、検査対象となるデータに、特異点となり得るアライメントマーク等の電気的特性に関するデータが含まれていたとすると、正常な導電性ラインを異常有りと判定しまう可能性が極めて高くなるからである。
【００５５】
具体的には、まず、標準基板１０を保持する検査装置６０を基準として、測定された電気的特性から、ダミー欠陥４０が形成された延長部３３ｃの端子部３５の走査方向（配列方向）と平行な方向に沿った位置、および、第２ダミー欠陥５０が形成された電極ライン部３１ｃの走査方向（配列方向）と平行な方向に沿った位置を特定する。さらに詳細には、検査装置６０の標準基板１０を保持する保持手段６２を基準として設定された座標軸Ａ（図３参照）上における、ダミー欠陥４０が形成された延長部３３ｃの端子部３５の位置、および、第２ダミー欠陥５０が形成された電極ライン部３１ｃの位置を特定する。
【００５６】
この座標軸Ａ上におけるダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃの端子部３５の位置座標の特定は、第１センサ６６によって測定された電気的特性のデータに基づいて行われ、第２ダミー欠陥５０を含む電極ライン部３１ｃの座標軸Ａ上における位置座標の特定は、第２センサ６８によって測定された電気的特性のデータに基づいて行われる。例えば図５に示すように、ダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃに関するデータ、および、第２ダミー欠陥５０を含む電極ライン部３１ｃに関するデータは、特異点を形成する。したがって、ダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃ（より詳細には、この延長部３３ｃの一部を形成する端子部３５）の位置および第２ダミー欠陥５０を含む電極ライン部３１ｃの位置を、極めて容易にかつ正確に特定することができる。
【００５７】
なお、センサ６６，６８は標準基板１０を保持する保持手段６２に対して走査方向のみに移動し他の方向へは移動しないことから、図３および図４に示すように、座標軸Ａが走査方向と平行に延びていることが好ましい。この場合、この座標軸Ａ上における位置座標のみを特定すれば、ダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃの端子部３５の位置および第２ダミー欠陥５０を含む電極ライン部３１の位置を特定することができるからである。また、図３および図４に示す例において、座標軸Ａの原点は、基板を支持した際に基板の縁部に当接するようになる保持手段６２の当接面上に設定されている。
【００５８】
次に、導電性ライン３０の延長部３３に対する第１センサ６６による検査領域Ｒの走査方向に沿った範囲を、延長部のグループ３３ａの両最外方に配置されダミー欠陥４０を含む一対の延長部３３ｃの特定された位置に基づき、グループ毎に設定する。具体的には、一つのグループ３３ａに含まれる延長部３３に対する検査領域Ｒを、当該グループ３３ａの両最外方に設けられダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃの位置座標間の領域となるように設定する。上述したように、また、図５に示すように、ダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃに関する測定値は特異点を形成している。したがって、一つのグループ３３ａに含まれる延長部３３に対する検査領域Ｒを、当該グループ内で両最外方に設けられダミー欠陥４０を含む一対の延長部３３ｃの位置座標間に設定することは、極めて容易に行われ得る。すなわち、一つの延長部のグループ３３ａ内に含まれた延長部３３に対する検査領域Ｒの範囲を、保持手段６２を基準とした座標軸Ａ上において、広過ぎたり狭過ぎたりすることなく、正確に設定することが可能となる。このようにして、第１センサ６６による延長部３３に対する検査領域Ｒを、走査方向に沿った座標軸Ａ上において、正確かつ容易にグループ毎に設定することができる。
【００５９】
とりわけ、上述したように、本実施の形態においては、各延長部のグループ３３ａ内に含まれる延長部３３の端子部３５の間隔は一定となっている。したがって、一つのグループ３３ａ内に含まれた複数の延長部３３に対する検査領域Ｒの走査方向に沿った範囲の中心を、当該グループ内で両最外方に位置するダミー欠陥４０を含んだ一対の延長部３３ｃ（端子部３５）の特定された座標軸Ａ上における位置座標の中間点に設定することにより、異常の有無を確認すべき検査領域Ｒをさらに正確に設定することができる。
【００６０】
また、各グループ３３ａ内における延長部３３の端子部３５の配列間隔は、異なるグループ間においても同一となっている。したがって、延長部３３の検査範囲をグループ毎に設定する必要があるものの、その設定方法は同様の手法によって実施することができる。したがって、すべてのグループ３３ａに対する検査領域を容易に設定していくことができる。
【００６１】
また、同様にして、導電性ライン３０の電極ライン部３１に対する第２センサ６８による検査領域の走査方向に沿った範囲を、一群の電極ライン部３１の両最外方に配置され第２ダミー欠陥５０を含む一対の電極ライン部３１ｃの特定された位置に基づいて設定する。具体的には、第２センサ６８による電極ライン部３１に対する検査領域を、当該導電性ライン群３０ａ内の両最外方に設けられ第２ダミー欠陥５０を含む一対の電極ライン部３１ｃの位置座標の間の領域となるように設定する。延長部３３の検査領域を特定する場合と同様に、第２ダミー欠陥５０を含む電極ライン部３１ｃに関する測定値は特異点を形成するようになる。したがって、一つの導電性ライン部群３０ａに含まれる電極ライン部３１に対する検査領域の範囲を、保持手段６２を基準とした座標軸Ａ上において、広過ぎたり狭過ぎたりすることなく、正確に設定することが可能となる。このようにして、第２センサ６８による電極ライン部３１に対する検査領域を、走査方向に沿った座標軸Ａ上において、正確かつ容易に群毎に設定することができる。
【００６２】
とりわけ、上述したように、本実施の形態においては、各導電性ライン群３０ａ内に含まれる電極ライン部３１の間隔は一定となっている。したがって、一つの電極ライン群３０ａ内に含まれた電極ライン部３１に対する検査領域の走査方向に沿った範囲の中心を、当該群内で両最外方に位置する第２ダミー欠陥５０を含んだ一対の電極ライン部３１の特定された座標軸Ａ上における位置座標の中間点に設定することにより、異常の有無を確認すべき検査領域をさらに正確に設定することができる。
【００６３】
このようにして、一つの導電性ライン群３０ａに対する検査領域の設定が終了する。他の導電性ライン群３０ａに対する検査領域の設定は、上述した方法と同様に行うことができる。
【００６４】
以上のようにして標準基板１０を用いて各センサによる導電性ライン３０に対する検査領域が設定された後、標準基板１０が検査装置６０から取り除かれる。次に、標準基板１０の導電性ライン３０と同一の構成の導電性ライン３０を有した被検査基板が検査装置６０の保持手段によって保持される。なお、ここでいう「同一の構成」とは、欠陥の有無以外の導電性ラインの正規な構成についての同一性、例えば導電性ライン３０の配置位置や配列間隔等に関する構成についての同一性を対象としている。したがって、被検査基板には、ダミー欠陥４０や第２ダミー欠陥５０は形成されていない。
【００６５】
次に、被検査基板に対して非接触式センサ６６，６８を相対移動させながら、当該非接触式センサ６６，６８を用いて、被検査基板の導電性ラインの電気的特性を測定する。具体的には、第１センサ６６によって、導電性ラインの延長部における断線の有無に関する電気的特性のデータを測定し、第２センサ６８によって、導電性ラインの電極ライン部における断線の有無に関する電気的特性のデータおよび導電性ライン全体での短絡の有無に関する電気的特性のデータを測定する。
【００６６】
次に、得られた電気的特性に関する測定データについて、異常の有無が確認される。このとき、延長部３３の断線についての検査は、第１センサ６６によって測定された電気的特性のうちの上述したようにして設定された検査領域内のデータに関し、特異性が存在しないかを確認することによって行われる。また、電極ライン部３１の断線についての検査は、第２センサ６８によって測定された断線に関連する電気的特性のうちの上述したようにして設定された検査領域内のデータに関し、特異性が存在しないかを確認することによって行われる。さらに、導電性ライン３０の短絡についての検査は、第２センサ６８によって測定された短絡に関連する電気的特性のうちの上述したようにして設定された検査領域内のデータに関し、特異性が存在しないかを確認することによって行われる。
【００６７】
上述したように、検査領域の範囲は、基板を保持する保持手段６２を基準とした座標軸Ａ上において、広過ぎたり狭過ぎたりすることなく、正確に設定され得る。つまり、基板を測定した際に得られた電気的特性の全データのうちの、検査されるべき部分に対応するデータの範囲が、正確に特定され得る。そして、特定されたデータに、必要なデータがすべて含まれるとともに余分なデータが含まれていなようにすることが可能であるため、当該特定された範囲内のデータにおける異常の有無を確認することにより、導電性ライン３０の各部の状態を極めて正確に検査することができる。
【００６８】
以上のようにして一枚の被検査基板に対する検査が終了する。検査が行われた被検査基板は検査装置６０から取り除かれる。その後、標準基板１０の導電性ライン３０と同一構成の導電性ラインを有した別の被検査基板が、検査装置６０の保持手段６２によって保持される。そして、この被検査基板の導電性ラインに対し、上述した方法と同一の方法で検査が行われる。
【００６９】
＜本実施の形態の作用効果の概要＞
以上のような本実施の形態によれば、導電性ライン３０の延長部３３が複数のグループ３３ａに分類されるとともに、電極ライン部３１の配列方向と平行な方向に沿った各グループ３３ａ内の両最外方に位置する一つの延長部３３ｃのそれぞれにダミー欠陥４０が形成されている。この結果、一つのグループ３３ａ内で両最外方に位置する延長部３３ｃのパターンは、当該グループ３３ａに含まれるその他の延長部３３とは異なるパターン（形状、より詳しくは平面視での形状）を有するようになる。したがって、非接触式のセンサ６６を、電極ライン部３１の配列方向と平行な方向に沿って延長部３３の端子部３５の上方を移動させ、延長部３３の電気的特性を測定した場合、得られた測定データの異常値に基づき、ダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃの端子部３５の走査方向上での位置を特定することができる。すなわち、検査装置６０を基準とした座標軸Ａ上におけるダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃの端子部３５の位置座標、より詳細には、標準基板１０を保持する保持手段６２を基準とした座標軸Ａ上におけるダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃの端子部３５の位置座標を、特定することができる。これにより、ダミー欠陥４０を含む延長部３３ｃの端子部３５の特定された位置座標に基づき、当該延長部３３ｃが属するグループ３３ａに含まれる端子部３５が配置されている領域の位置座標を特定することができるようになる。すなわち、一つのグループ３３ａ内に含まれた延長部３３に対する検査領域Ｒの範囲を、標準基板１０を保持する保持手段６２を基準とした座標軸Ａ上において、広過ぎたり狭過ぎたりすることなく、正確に設定することが可能となる。この結果、被検査基板を検査した際に得られた電気的特性の測定データのうち、検査されるべき延長部３３に関するデータの範囲を正確に特定することができる。そして、特定されたデータに、必要なデータがすべて含まれるとともに余分なデータが含まれていなようにすることが可能であるため、当該特定された範囲内のデータにおける異常の有無を確認することにより、導電性ライン３０の状態、とりわけ延長部３３の状態を極めて正確に検査することができる。
【００７０】
とりわけ、本実施の形態によれば、各グループ３３ａ内において端子部３５の配列間隔は一定となっている。したがって、一つのグループ３３ａ内に含まれた延長部３３に対する検査領域Ｒの走査方向に沿った範囲の中心を、当該グループ３３ａ内で両最外方に位置する延長部３３ｃ（端子部３５）の特定された位置座標の中間点に設定することにより、異常の有無を確認すべき検査領域Ｒをさらに正確に設定することができる。
【００７１】
また、本実施の形態によれば、一つの導電性ライン群３０ａ内で両最外方に位置する一対の電極ライン部３１ｃのそれぞれに第２ダミー欠陥５０が形成されている。この結果、一つの導電性ライン群３０ａ内で両最外方に位置する電極ライン部３１ｃのパターンは、当該導電性ライン群３０ａに含まれるその他の電極ライン部３１とは異なるパターン（形状、より詳しくは平面視での形状）を有するようになる。したがって、非接触式のセンサを、電極ライン部３１の配列方向に沿って電極ライン部３１の上方を移動させ、電極ライン部３１の電気的特性を測定した場合、得られた測定データの異常点に基づき、第２ダミー欠陥５０を含む一対の電極ライン部３１ｃの走査方向上での位置を特定することができる。すなわち、検査装置６０を基準とした座標軸Ａ上における第２ダミー欠陥５０を含む一対の電極ライン部３１ｃの位置座標、より詳細には、標準基板１０を保持する保持手段６２を基準とした座標軸Ａ上における第２ダミー欠陥５０を含む一対の電極ライン部３１ｃの位置座標を、特定することができる。これにより、第２ダミー欠陥５０を含む一対の電極ライン部３１ｃの特定された位置座標に基づき、当該電極ライン部３１ｃが属する導電性ライン群３０ａに含まれる電極ライン部３１が配置されている領域の位置座標を特定することができるようになる。すなわち、一つの導電性ライン群３０ａ内に含まれた電極ライン部３１に対する検査領域の範囲を、標準基板１０を保持する保持手段６２を基準とした座標軸Ａ上において、広過ぎたり狭過ぎたりすることなく、正確に設定することが可能となる。この結果、被検査基板を検査した際に得られた電気的特性の測定データのうち、検査されるべき電極ライン部３１に関するデータの範囲を正確に特定することができる。そして、特定されたデータに、必要なデータがすべて含まれるとともに余分なデータが含まれていなようにすることが可能であるため、当該特定された範囲内のデータにおける異常の有無を確認することにより、導電性ライン３０の状態、とりわけ電極ライン部３１の状態を極めて正確に検査することができる。
【００７２】
とりわけ、本実施の形態によれば、各導電性ライン群３０ａ内において電極ライン部３１の配列間隔は一定となっている。したがって、一つの電極ライン群３０ａに含まれる電極ライン部３１に対する検査領域の走査方向に沿った範囲の中心を、当該一つの電極ライン群３０ａ内で両最外方に位置する一対の電極ライン部３１ｃの特定された中間点に設定することにより、異常の有無を確認すべき検査領域をさらに正確に設定することができる。
【００７３】
＜変形例＞
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。変形の一例について説明する。
【００７４】
上述した実施の形態においては、等間隔で配列された電極ライン部３１を含む導電性ライン群３０ａが、標準基板１０に三つ含まれている例を示したが、これに限られず、一つの標準基板１０に含まれる導電性ライン群の数は特に限定されない。例えば、図６に示すように、標準基板１０が四つの導電性ライン群３０ａを含むようにしてもよい。図６に示す例においては、電極ライン部３１の配列方向（延長部３３の端子部３５の配列方向）に沿って二つの導電性ライン群３０ａが配列されている。また、電極ライン部３１の長手方向に沿って二つの導電性ライン群３０ａが配列されており、この二つの導電性ライン群３０ａに含まれる導電性ライン３０は、互いの延長部３３が向かい合うようにして配置されている。なお、図６において、上述した実施の形態と同一部分には同一符号を付すとともに、重複する詳細な説明は省略する。
【００７５】
また、上述したように、電気的特性を測定するためのセンサの構成は適宜変更することができる。例えば、上述した実施の形態において、第２センサ６８が、導電性ライン３０の電極ライン部３１に断線が生じていないかを確認することができるとともに、導電性ライン３０に短絡が生じていないかを確認することができるセンサとして構成されている例を示したが、これに限られない。導電性ライン３０の電極ライン部３１に断線が生じていないかを確認するためのセンサと、導電性ライン３０に短絡が生じていないかを確認するためのセンサとが、別々に設けられていてもよい。また、導電性ライン３０の電極ライン部３１に断線が生じていないかを確認するためのセンサが、二個以上設けられているようにしてもよい。一例として、断線の有無を確認するための二個のセンサが、電極ライン部３１の両端部上をそれぞれ走査し、短絡の有無を確認するためのセンサが、導電性ライン３０の中央部上を走査するようにしてもよい。このような例によれば、導電性ライン３０、とりわけ電極ライン部３１の長さが長い場合であっても、欠陥の有無を精度良く検出することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】図１は、本発明による基板の一実施の形態を示す平面図である。
【図２】図２は、図１の部分拡大図である。
【図３】図３は、本発明による検査方法の一実施の形態を説明するための図であって、図２に対応する基板の平面視において検査方法を示す図である。
【図４】図４は、本発明による検査方法の一実施の形態を説明するための図であって、基板の延長部の配列方向に沿った断面において、検査方法を示す図である。
【図５】図５は、第１センサによって測定された導電性パターンの電気的特性の生データの一例を示すグラフである。
【図６】図６は、図１に対応する図であって、基板の他の変形例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０  基板
１５  支持板
３０  導電性ライン
３０ａ  群
３１  電極ライン部
３１ｃ  電極ライン部
３３  延長部
３３ａ  グループ
３３ｃ  延長部
３５  端子部
３７  引出部
４０，４１  ダミー欠陥
５０，５１  第２ダミー欠陥
【図１】
2009276105.tif 000003
【図２】
2009276105.tif 000004
【図３】
2009276105.tif 000005
【図４】
2009276105.tif 000006
【図５】
2009276105.tif 000007
【図６】
2009276105.tif 000008