(57)【要約】【課題】洗浄液にワークを浸漬して洗浄する洗浄方法において、ワークに、洗浄液の液面上に浮遊している塵埃やごみの付着するのを防止することができる洗浄方法および洗浄装置を提供すること。【解決手段】洗浄装置Ｓは、洗浄槽１とリザーバタンク２を接続する配管２ａ、２ｃによって洗浄液の循環流路を形成しており、洗浄槽１にワークＷを導入してシャワーヘッド８から洗浄液を導入することにより、ワークＷに浸漬洗浄を行なう。次に、洗浄液を排出するとワークＷが洗浄液の液面９上に現れるが、ワークＷが液面９を通過する間は、洗浄槽１から排出された洗浄液の一部をリザーバタンク２からシャワーヘッド８に供給してワークＷに浴びせかけ、ごみ等を洗い流す。また、洗浄槽１内にイオン化した空気を導入することにより、ワークＷの帯電を解消してごみ等の付着を防止する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを洗浄槽内の洗浄液に浸漬する浸漬洗浄工程と、
該浸漬洗浄工程の後、前記洗浄液を排出する洗浄液排出工程と、を有する洗浄方法において、
前記洗浄液排出工程では、少なくとも前記ワーク全体が前記洗浄液の液面上に出るまでの間、前記ワークにおいて前記液面上に出ている部分に前記洗浄液を浴びせることを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄方法において、
前記浸漬洗浄工程を行なうために前記洗浄槽内に前記洗浄液を供給する供給口と、前記洗浄液排出工程において前記ワークに浴びせる前記洗浄液を前記洗浄槽内に供給する供給口とは共通であることを特徴とする洗浄方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の洗浄方法において、
前記洗浄槽内を減圧状態とする減圧工程を有し、
前記洗浄液排出工程において前記ワークに浴びせる前記洗浄液の前記洗浄槽への導入は、前記減圧工程によって前記洗浄槽内が減圧状態になった際に発生する吸引力により行なうことを特徴とする洗浄方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の洗浄方法において、
前記浸漬洗浄工程前、前記浸漬洗浄工程と前記洗浄液排出工程との間、および前記洗浄液排出工程後のうちの少なくとも１つのタイミングで、イオン化された気体を前記ワークと接触させるイオン化処理工程を行なうことを特徴とする洗浄方法。
【請求項５】
ワークを洗浄液に浸漬するための洗浄槽と、
前記洗浄槽から前記洗浄液を排出するための排出手段と、
前記洗浄槽から前記洗浄液を排出する際、前記洗浄槽内で前記ワークにおいて前記液面上に出ている部分に前記洗浄液を浴びせる洗浄液放出部と、
を備えていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項６】
請求項５に記載の洗浄装置において、
前記洗浄槽内で前記ワークが浸漬される前記洗浄液は、前記洗浄液放出部を介して前記洗浄槽内に導入されることを特徴とする洗浄装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載の洗浄装置において、
前記洗浄槽内を減圧状態とするための吸引手段を備えていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項８】
請求項５ないし７のいずれかの項に記載の洗浄装置において、
前記洗浄槽内にイオン化された気体を供給するためのイオン化気体発生手段を備えていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項９】
請求項５ないし８のいずれかの項に記載の洗浄装置において、
前記洗浄液放出部は、前記洗浄槽の蓋と一体になっていることを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非水系溶剤などの洗浄液を導入した洗浄槽にワーク（被洗浄物）を浸漬して洗浄する洗浄方法及び洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄槽内において非水系溶剤などの洗浄液にワークを浸漬して洗浄する洗浄方法として、特許文献１のような洗浄方法が提案されている。
【０００３】
特許文献１の洗浄方法では、まず、洗浄槽内に洗浄液を注入すると共に、この洗浄液中にワークを浸漬し、更に蓋体を閉じて洗浄槽を密閉する（洗浄準備）。次に、真空ポンプにより洗浄槽内の空気を排出し、洗浄槽内を減圧する。これと共に、ヒータ並びに超音波振動子を通電し、洗浄液を加温してこの洗浄液を沸騰させると共に洗浄液を振動させる（脱気工程）。さらに、洗浄槽内を大気圧、或いは洗浄液が沸騰しない程度の圧力にし、更にワークの汚れの度合等によりヒータに通電した状態で、超音波振動子に通電し、超音波振動を加えることにより、ワークを洗浄するようになっている。
【特許文献１】特許第２９８４４４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のように洗浄液にワークを浸漬してワークを洗浄する洗浄方法では、一般に、洗浄後、非水系溶剤などの洗浄液が揮発することを防止するため、洗浄槽が蓋体で密閉のまま、ワークが洗浄液内に浸漬された状態で、洗浄液を洗浄槽から排出して回収するようにしている。このため、洗浄液を排出する際、洗浄液の液面上に浮遊している塵埃やごみがワークに付着してしまうという問題点がある。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、洗浄液にワークを浸漬して洗浄する洗浄方法において、ワークに、洗浄液の液面上に浮遊している塵埃やごみの付着するのを防止することができる洗浄方法および洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明では、ワークを洗浄槽内の洗浄液に浸漬する浸漬洗浄工程と、該浸漬洗浄工程の後、前記洗浄液を排出する洗浄液排出工程と、を有する洗浄方法において、前記洗浄液排出工程では、少なくとも前記ワーク全体が前記洗浄液の液面上に出るまでの間、前記ワークにおいて前記液面上に出ている部分に前記洗浄液を浴びせることを特徴とする。
【０００７】
本発明では、ワークを洗浄液に浸漬させた状態で、この洗浄液を洗浄槽から排出する際、少なくとも前記ワーク全体が前記洗浄液の液面上に出るまでの間、ワークに洗浄液を浴びせるので、洗浄液の液面に浮かんでいたごみや塵埃がワークの表面に付着した場合でも、かかるごみや塵埃を洗い流すことができ、ワークの表面から除去することができる。
【０００８】
このような洗浄方法を実施する洗浄装置は、ワークを洗浄液に浸漬するための洗浄槽と、前記洗浄槽から前記洗浄液を排出するための排出手段と、前記洗浄槽から前記洗浄液を排出する際、前記洗浄槽内で前記ワークにおいて前記液面上に出ている部分に前記洗浄液を浴びせる洗浄液放出部と、を備えていることを特徴とする。
【０００９】
本発明を適用した洗浄方法において、前記浸漬洗浄工程を行うために前記洗浄槽内に前記洗浄液を供給する供給口と、前記洗浄液排出工程において前記ワークに浴びせる前記洗浄液を前記洗浄槽内に供給する供給口とは共通であることが好ましい。すなわち、本発明を適用した洗浄装置において、前記洗浄槽内で前記ワークが浸漬される前記洗浄液は、前記洗浄液放出部を介して前記洗浄槽内に導入されることが好ましい。このように構成すると、洗浄装置の構成を簡素化することができる。
【００１０】
本発明を適用した洗浄方法では、前記洗浄槽内を減圧状態とする減圧工程を有し、前記洗浄液排出工程において前記ワークに浴びせる前記洗浄液の前記洗浄槽への導入は、前記減圧工程によって前記洗浄槽内が減圧状態になった際に発生する吸引力により行なうことが好ましい。このように構成すると、洗浄液を洗浄槽内に供給するためのポンプが不要であり、洗浄装置の構成を簡素化することができる。また、洗浄槽から洗浄剤蒸気の漏れを防止することができる。
【００１１】
本発明を適用した洗浄方法では、前記洗浄槽内を減圧状態とする減圧工程を有し、この場合、前記浸漬洗浄工程を行う際の前記洗浄槽への前記洗浄液の導入は、前記減圧工程によって前記洗浄槽内が減圧状態になった際に発生する吸引力により行なうことが好ましい。このように構成すると、洗浄液を洗浄槽内に供給するためのポンプが不要であり、洗浄装置の構成を簡素化することができる。また、洗浄槽から洗浄剤蒸気の漏れを防止することができる。
【００１２】
かかる洗浄方法を実施する場合、本発明を適用した洗浄装置において、前記洗浄槽内を減圧状態とする吸引手段を設ければよい。かかる吸引手段は、真空ポンプのように洗浄槽内を真空引きするもの、あるいは排液ポンプのように洗浄槽内の洗浄液を排出することにより洗浄槽内を減圧するものにより構成される。
【００１３】
本発明を適用した洗浄方法において、前記浸漬洗浄工程前、前記浸漬洗浄工程と前記洗浄液排出工程との間、および前記洗浄液排出工程後のうちの少なくとも１つのタイミングで、イオン化された気体を前記ワークと接触させるイオン化処理工程を行うことが好ましい。すなわち、本発明を適用した洗浄装置において、前記洗浄槽内にイオン化された気体を供給するためのイオン化気体発生手段を備えていることが好ましい。このように構成すると、ワークが絶縁体であって帯電しやすい場合でも、イオン化された気体の電荷と帯電したワークの電荷を結合させてワークを電気的に中和することができるので、ワークの帯電を解消することができ、ワークへのごみや塵埃の付着を抑制することができる。
【００１４】
本発明を適用した洗浄装置において、前記洗浄液放出部は、前記洗浄槽の蓋と一体になっていることが好ましい。このように構成すると、洗浄槽にワークを投入する際、および洗浄槽からワークを取り出す際、洗浄液放出部が邪魔にならないという利点がある。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、ワークを洗浄液に浸漬させた状態で、この洗浄液を洗浄槽から排出する際、ワークに洗浄液を浴びせるので、洗浄液の液面に浮かんでいたごみや塵埃がワークの表面に付着した場合でも、かかるごみや塵埃を洗い流すことができ、ワークの表面から除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した洗浄装置および洗浄方法の一実施形態について説明する。
【００１７】
［第１実施形態］
（洗浄装置の構成）
図１は本発明の洗浄装置の構成図である。この図に示すように、洗浄装置Ｓは、洗浄槽１、リザーバタンク２（洗浄液供給部）、洗浄剤蒸気発生タンク３、イオナイザ４（イオン化気体発生手段）、および真空ポンプ５（吸引手段）を備えている。
【００１８】
洗浄槽１はワークＷに対する洗浄工程、さらには乾燥工程を行うための処理槽であり、液状の洗浄剤を所定の液位まで溜めることができる構造になっている。洗浄槽１の上部には開閉可能な蓋１ｃが設けられており、この蓋１ｃの開閉により、洗浄槽１内にワークＷを出し入れすることができる。また蓋１ｃを閉めることにより、後述する配管２ａなどの各配管との接続部を除いて、洗浄槽１が密閉される。
【００１９】
本発明で用いられる洗浄液は非水系溶剤であり、例えば、ＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン）やＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）などのフッ素系溶剤や、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）やエタノールなどのアルコール類が用いられる。
【００２０】
洗浄槽１の上部空間１ａは、洗浄槽１の上縁部寄りに接続された配管２ａにより、リザーバタンク２に接続されている。配管２ａにはバルブ２ｂおよびフィルタ６が設けられている。洗浄槽１の下部空間１ｂは、その底部に接続された配管２ｃにより、リザーバタンク２に接続されている。配管２ｃにはバルブ２ｄおよび排液ポンプ７（排出手段）が設けられており、洗浄槽１側からリザーバタンク２側に洗浄液を還流させるようになっている。このようにして、配管２ａ、２ｃを備えた洗浄液循環流路が形成されており、この循環流路によって洗浄槽１の下部空間１ｂに溜まった洗浄液がリザーバタンク２側に排出され、回収される。また、リザーバタンク２に導入された洗浄液は、フィルタ６によってろ過されてごみ等が除去された後、洗浄槽１に再度、供給される。
【００２１】
配管２ａは、その一端が上部空間１ａの内部に延びており、その先端にシャワーヘッド８（洗浄液放出部）が取り付けられている。シャワーヘッド８は洗浄槽１の上部空間１ａの中央付近に配置されている。シャワーヘッド８は、洗浄槽１の下部空間１ｂ内に配置されるワークＷ全体に洗浄液を浴びせることができるように配置されている。
【００２２】
洗浄剤蒸気発生タンク３は、ヒータ（図示せず）を備えており、その内部において洗浄液を加熱して洗浄剤蒸気を発生させる。洗浄剤蒸気発生タンク３は、配管３ａにより洗浄槽１の上部空間１ａに接続されており、配管３ａにはバルブ３ｂが設けられている。従って、バルブ３ｂを開けることにより、洗浄剤蒸気発生タンク３から上部空間１ａ側に蒸気を供給することができる。
【００２３】
イオナイザ４は、安定状態の気体原子あるいは気体分子に電磁波を照射することにより、気体原子イオンおよび気体分子イオンを含んだ気体（イオン化した気体）を生成する装置である。イオナイザ４は、配管４ａにより洗浄槽１の上部空間１ａに接続されており、配管４ａにはバルブ４ｂが設けられている。バルブ４ｂを開けることにより、配管４ａから上部空間１ａ側にイオン化した気体を供給することができる。
【００２４】
真空ポンプ５は、バルブ５ｂが設けられた配管５ａによって洗浄槽１の上部空間１ａに接続されており、バルブ５ｂを開けることにより洗浄槽１内を真空吸引して減圧することができる。
【００２５】
（洗浄方法）
次に、上記構成の洗浄装置ＳによるワークＷの洗浄方法について説明する。まず、準備工程では、洗浄槽１の蓋１ｃを開けて、被洗浄物であるワークＷを洗浄槽１内に導入する。導入されたワークＷは、洗浄槽１の下部空間１ｂの中央において、不図示のホルダ、ネット等の支持部材によって支持される。ここで、蓋１ｃの開閉が可能なように、配管４ａ、５ａの少なくとも一部は変形可能になっている。
【００２６】
（１）減圧工程および洗浄液供給工程
ワークＷの導入後、蓋１ｃを閉めて洗浄槽１を密閉すると共に、バルブ２ｂ、２ｄ、３ｂ、４ｂを全て閉鎖する。そして、バルブ５ｂを開けて真空ポンプ５を作動させ、洗浄槽１を減圧する（減圧工程）。そして、かかる減圧状態を保ったままバルブ２ｂを開けてシャワーヘッド８から洗浄液を放出することにより、リザーバタンク２から洗浄槽１内への洗浄剤の導入を開始する。洗浄液の液位が、ワークＷ全体が洗浄剤に浸漬されるところまで到達したら、バルブ２ｂを閉鎖して洗浄剤の導入を止める。
【００２７】
（２）浸漬洗浄工程（超音波洗浄工程）
続いて、洗浄槽１の底部などに配置された超音波振動子（図示せず）を作動させて、超音波振動による洗浄液の加振を行い、ワークＷを超音波洗浄する。超音波振動子による加振周波数は、ワークの種別や洗浄すべき汚れの状態に応じて最も効果的な周波数に調整される。
【００２８】
（３）排液工程（洗浄液排出工程、減圧工程）
超音波洗浄工程が終了した後、バルブ２ｄを開けて排液ポンプ７を稼動させ、洗浄液を下部空間１ｂからリザーバタンク２側に排出する。洗浄液の排出に伴ってその液位が低下し、ワークＷが液面９から徐々に姿を現す。洗浄液の排出は、ワークＷ全体が洗浄液の液面９上に出るまで続ける。ここで、洗浄液の液位低下によりワークＷ全体が液面９から出るまでの間は、リザーバタンク２に導入されている洗浄液の一部をシャワーヘッド８から放出し、ワークＷの液面９上に出ている部分全体に洗浄液を浴びせ続ける。これにより、ワークＷが液面９から出るときに、液面９に浮遊しているごみや塵埃がワークＷに付着した場合でも、ごみや塵埃をワークＷから洗い流す。
【００２９】
かかる工程を行なう際、排液ポンプ７による洗浄液の排出により洗浄槽１内は減圧されているので（減圧工程）、この減圧による吸引力を利用してシャワーヘッド８から洗浄液を放出させる。ワークが液面９から完全に出たら、バルブ２ｂ、２ｄを閉鎖して排液ポンプ７を停止させ、洗浄液の排出および循環を停止する。なお、シャワーヘッド８から洗浄液を放出する際、洗浄液の排出を妨げない範囲で真空ポンプ５を作動させ、洗浄槽１内の減圧状態を維持してもよい。
【００３０】
（４）蒸気洗浄工程
続いて、バルブ３ｂを開けて洗浄剤蒸気発生タンク３から洗浄槽１に洗浄剤蒸気を供給し、ワークＷの蒸気洗浄を行なう。その際、排液ポンプ７による洗浄液の排出により洗浄槽１内は減圧されているので、洗浄剤蒸気は洗浄槽１内にスムーズに導入される。また、真空ポンプ５によって、洗浄槽１内を減圧状態にしておいてから、洗浄剤蒸気を洗浄槽１内に導入する方法を採用した場合にも、洗浄剤蒸気は洗浄槽１内にスムーズに導入される。そして、バルブ３ｂを閉めて蒸気の供給を停止し、蒸気洗浄を終了する。かかる蒸気洗浄工程では、ワークＷ表面で洗浄剤蒸気が結露するので、すすぎ洗いが行なわれる。
【００３１】
かかる蒸気洗浄工程後、バルブ５ｂを開状態にして真空ポンプ５を作動させ、真空乾燥を行なう。その際、ワークＷは洗浄剤蒸気により加熱されているので、スムーズな真空乾燥を行なうことができる。
【００３２】
（５）イオン化処理工程
蒸気洗浄工程の終了後に、バルブ４ｂを開けてイオナイザ４を作動させ、イオナイザ４側からイオン化した気体（イオン化した空気）を洗浄槽１に供給する。イオン化した空気がワークＷの周囲に導入されてワークＷがイオン化雰囲気下におかれると、この空気に含まれる気体原子イオンあるいは気体分子イオンの電荷のうち、ワークＷの表面の電荷と逆の極性の電荷がワークＷの表面に帯電した電荷と結合し、ワークＷの帯電状態が解消される。イオン化した空気をワークＷの周囲に十分導入した後、イオナイザ４の作動を停止させ、バルブ４ｂを閉鎖する。
【００３３】
以上の（１）〜（５）の各工程を行ったのち、ワークＷを洗浄槽１から取り出して洗浄、乾燥を完了させる。
【００３４】
（本実施形態の効果）
本実施形態では、ワークＷを洗浄液に浸漬させた状態で、この洗浄液を洗浄槽から排出する際、シャワーヘッドからワークＷに洗浄液を浴びせるので、洗浄液の液面に浮かんでいたごみや塵埃がワークＷの表面に付着した場合でも、かかるごみや塵埃を洗い流すことができ、ワークＷの表面から除去することができる。
【００３５】
また、本実施形態では、洗浄剤として非水系溶剤を用いているが、このような洗浄剤は導電性を有しないことが多く、洗浄剤がフィルタ６を通過する際、あるいは洗浄剤が絶縁性のワークＷに接した際の摩擦によって電荷を帯び、かかる電荷によって、ワークＷが帯電することがある。このような状態では、洗浄液を洗浄槽から排出する際、洗浄液の液面が下がり、ワークＷが洗浄剤の液面９から上に出てくるときに、液面９上に浮遊しているごみや塵埃が帯電したワークＷの表面に付着しやすいが、本形態では、ワークＷが液面９を通過する間はワークＷにシャワーヘッド８から洗浄液を浴びせ続けるので、帯電したワークＷにごみ等が付着しても、これを洗浄液によって洗い流すことができる。
【００３６】
また、ワークＷを洗浄液に浸漬して超音波洗浄などを行なうことにより、ワークＷの洗浄を効果的に行なうことができるとともに、ワークＷを洗浄液に浸漬したまま、洗浄液を排出した後に蒸気洗浄を行なうので、すすぎ洗いを連続して行なうことができる。
【００３７】
また、本実施形態では、洗浄槽１内から排出した洗浄液の一部を循環させてワークＷに浴びせており、洗浄液の循環用の配管系を利用してワークＷを洗い流している。よって、ワークＷの洗い流し用に別途循環系を設ける必要がなく、簡易な構成になっている。
【００３８】
さらに、本実施形態では、洗浄槽１内にイオン化された気体を導入してワークＷの帯電を解消しているので、洗浄後のワークＷに対してごみ等が再付着するのを抑制することができる。
【００３９】
また、洗浄槽１内を減圧状態にしてその吸引力を利用して洗浄液を洗浄槽１内に導入するため、洗浄液を洗浄槽１に導入するための送液ポンプが不要である。また、洗浄槽１を減圧状態にして減圧状態の洗浄槽１内に洗浄液を導入すれば、揮発した洗浄液が大気中に流出しにくく、洗浄液による環境汚染が少ない。また、減圧状態にすると洗浄槽１内の酸素量が少なくなるので、可燃性溶剤などを洗浄液に用いても安全に洗浄を行うことができる。
【００４０】
しかも、浸漬洗浄を行なうための洗浄液も、シャワーヘッド８を介して洗浄槽１内に導入しており、洗浄槽１内に洗浄液を供給するための供給口を共通化してある。このため、洗浄装置Ｓの構成を簡素化することができる。
【００４１】
［第２実施形態］
図２は本実施形態の洗浄装置Ｓ１の構成図である。なお、本実施形態は、基本的な構成が第１実施形態と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示し、それらの詳細な説明を省略する。本実施形態では、第１実施形態におけるリザーバタンク２に代えて温浴リザーバタンク２１と冷浴リザーバタンク２２の２つのタンクを設け、これらを洗浄液の循環流路上において並列に設置している。すなわち、配管２ｃを三方弁２３によって配管２１ｃ、２２ｃに分岐させると共に、配管２ａを三方弁２４によって配管２１ａ、２２ａに分岐させ、配管２１ａ、２１ｃの間に温浴リザーバタンク２１を設け、配管２２ａ、２２ｃの間に冷浴リザーバタンク２２を設けている。また、配管２１ａと温浴リザーバタンク２１の間にはフィルタ２１ｄが設けられ、配管２２ａと冷浴リザーバタンク２２との間にはフィルタ２２ｄが設けられている。
【００４２】
温浴リザーバタンク２１にはヒータ（図示せず）が設けられており、温浴リザーバタンク２１の内部に導入された洗浄液は、洗浄槽１内における洗浄液およびワークＷの温度よりも高温になるように温められる。一方、冷浴リザーバタンク２２には冷却装置（図示せず）が設けられており、冷浴リザーバタンク２２の内部に導入された洗浄液は、洗浄槽１内における洗浄液およびワークＷの温度よりも低温になるように冷却される。洗浄装置Ｓ１では、三方弁２３、２４を切り替えることにより、シャワーヘッド８に供給する洗浄液を、高温から低温に、あるいは低温から高温に切り替えることができる。
【００４３】
本実施形態では、第１実施形態の排液工程（洗浄液排出工程）において、ワークＷが液面９を通過している間に、まず、温浴リザーバタンク２１から高温の洗浄液をシャワーヘッド８に供給してワークＷに浴びせる（第１工程）。その後、三方弁２３、２４を切り替えて、冷浴リザーバタンク２２からの低温の洗浄液をシャワーヘッド８に供給してワークＷに浴びせる（第２工程）。このようにすると、蒸気洗浄工程の前にワークＷに低温洗浄液を浴びせることができるので、ワークＷを冷却することができる。それ故、蒸気洗浄の際、洗浄剤蒸気がワークＷの表面で効率よく結露するので、蒸気洗浄の効果を高めることができる。
【００４４】
［第３実施形態］
図３（ａ）、（ｂ）は本実施形態の洗浄装置Ｓ、Ｓ１の構成図である。図４（ａ）、（ｂ）は、本発明を適用した洗浄装置において洗浄槽の蓋とシャワーヘッドとを一体化した場合の説明図である。なお、本実施形態は、基本的な構成が第１および第２実施形態と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示し、それらの詳細な説明を省略する。
【００４５】
図３（ａ）に示す洗浄装置Ｓでは、図１を参照して説明した第１実施形態に係る洗浄装置において洗浄槽１の蓋１ｃとシャワーヘッド８（洗浄液放出部）とを一体化してあり、図３（ｂ）に示す洗浄装置Ｓ１では、図２を参照して説明した第２実施形態に係る洗浄装置Ｓ１において洗浄槽１の蓋１ｃとシャワーヘッド８（洗浄液放出部）とを一体化してある。このため、洗浄槽１にワークＷを投入する際、あるいは洗浄槽１からワークＷを取り出す際、例えば点線Ｌ1cで示すように蓋１ｃを開けると、シャワーヘッド８が洗浄槽本体１ｓの上部開口から移動するので、かかる作業を行なう際、シャワーヘッド８が邪魔にならない。
【００４６】
このような構成を採用する場合、例えば図４（ａ）に示すように、ノズル開口８ａが下方に向くように、蓋１ｃの下面にシャワーヘッド８を連結するとともに、蓋１ｃを貫通するように、配管２ａをシャワーヘッド８に接続する。
【００４７】
また、図４（ｂ）に示すように、蓋１ｃの内部に中空の液通路１ｄを構成するとともに、蓋１ｃにおいて液通路１ｄの下板部１ｅに対してノズル開口８ａを形成すれば、蓋１ｃ自身の一部をシャワーノズル８として利用することができる。
【００４８】
なお、図４（ａ）、（ｂ）に示すいずれの形態においても、蓋１ｃの開閉が可能なように、配管２ａの少なくとも一部は変形可能になっている。また、図４（ａ）、（ｂ）に示すいずれの形態においても、洗浄槽本体１ｓの上端部分には環状のフランジ部１ｔが形成されており、フランジ部１ｔと蓋１ｃの間には、シール用のＯリング１ｐが配置されている。また、図１および図２に示す形態では、蓋１ｃに配管４ａ、５ａが接続されていたが、図４（ａ）、（ｂ）に示す形態では、洗浄槽本体１ｃの側面には配管３ａとともに配管４ａ、５ａも接続されている。
【００４９】
また、図３（ａ）、（ｂ）では、ヒンジ機構(図示せず)によって蓋１ｃを傾けて洗浄槽１を開状態とする構成であったが、蓋１ｃをスライドさせて開閉する構成や、蓋１ｃを上方に移動させて洗浄槽１を開状態とする構成を採用してもよい。
【００５０】
（改変例）
上記第１、第２実施形態においては、（１）（２）（４）に示す改変を行ってもよく、上記第２実施形態においては、（３）に示す改変を行ってもよい。
【００５１】
（１）洗浄槽１に洗浄液を導入して浸漬洗浄工程を行なう前にイオナイザ４側からイオン化した空気を洗浄槽１に供給してもよい。このようにすると、洗浄液への浸漬前にワークＷの電荷を除去することができるので、洗浄中のワークへのごみや塵埃の付着を抑制することができる。
【００５２】
（２）ワークＷが液面９の上に出てきた後、蒸気を洗浄槽１に導入する前にイオナイザ４側からイオン化した空気を洗浄槽１に供給してもよい。このようにすると、蒸気洗浄前にワークＷの電荷を除去して汚れを落としやすくすることができ、蒸気洗浄の効果を高めることができる。
【００５３】
（３）ワークＷに高温の洗浄液を浴びせた後、低温洗浄液を浴びせる前にイオン化した空気を洗浄槽１に供給し、ワークＷにイオン化した空気を吹き付けてもよい。
【００５４】
（４）ワークＷを洗浄槽１内において上下に動かす機構を設け、洗浄液を洗浄槽１から排出することによりワークＷを液面９の上に出す代わりに、ワークＷを上方に移動させて液面９の上に出して蒸気洗浄を行ってもよい。
【００５５】
（５）シャワーヘッド８は移動可能となるようにしてもよく、これにより、洗浄槽１内にワークＷを出し入れする際、シャワーヘッド８が邪魔とならず、容易にワークＷを洗浄槽１内に出し入れすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１実施形態における洗浄装置の構成図である。
【図２】本発明の第２実施形態における洗浄装置の構成図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は本発明の第３実施形態における洗浄装置の構成図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は本発明を適用した洗浄装置において洗浄槽の蓋とシャワーヘッドとを一体化した場合の説明図である。
【符号の説明】
【００５７】
１    洗浄槽
１ａ  上部空間
１ｂ  下部空間
１ｃ  蓋
２    リザーバタンク（洗浄液供給部）
２ａ，２ｃ，３ａ，４ａ，５ａ  配管
２ｂ，２ｄ，３ｂ，４ｂ，５ｂ  バルブ
３    洗浄剤蒸気発生タンク
４    イオナイザ（イオン化気体発生手段）
５    真空ポンプ（吸引手段）
６    フィルタ
７    排液ポンプ（排出手段）
８    シャワーヘッド（洗浄液放出部）
９    液面
２１    温浴リザーバタンク
２２    冷浴リザーバタンク
２１ａ，２１ｃ，２２ａ，２２ｃ  配管
２１ｄ，２２ｄ  フィルタ
２３、２４  三方弁
Ｓ、Ｓ１    洗浄装置
Ｗ    ワーク
【図１】
2009113028.tif 000003
【図２】
2009113028.tif 000004
【図３】
2009113028.tif 000005
【図４】
2009113028.tif 000006