(57)【要約】【課題】テストヘッドのケーブルと水冷ホースの固定作業の作業性の改善、向上ができる水冷式ＩＣ試験装置を実現する。【解決手段】マニピュレータに軸支されるテストヘッドと、前記マニピュレータに対向するこのテストヘッドの側表面に沿って一層に整列配置されたテストヘッドのケーブルと水冷ホースとを具備する水冷式ＩＣ試験装置において、前記テストヘッドの前記側表面に一方の側面が接して設けられ前記ケーブルと水冷ホースとが前記テストヘッドの表面に沿って一層に整列配置されるように収納され前記テストヘッドの外縁部分において開口部を有し断面コの字状の固定ケースと、この固定ケースに設けられ前記ケーブルと水冷ホースとを前記固定ケースに固定する固定手段とを具備したことを特徴とする水冷式ＩＣ試験装置である。【選択図】図１
2009074896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マニピュレータに軸支されるテストヘッドと、前記マニピュレータに対向するこのテストヘッドの側表面に沿って一層に整列配置されたテストヘッドのケーブルと水冷ホースとを具備する水冷式ＩＣ試験装置において、
前記ケーブルと前記水冷ホースとが前記テストヘッドの前記側表面に沿って一層に整列配置されるように収納され前記テストヘッドの前記側表面に一方の側面が接して設けられ前記テストヘッドの外縁部分において開口部を有し断面コの字状の固定ケースと、
この固定ケースに設けられ前記ケーブルと水冷ホースとを前記固定ケースに固定する固定手段と
を具備したことを特徴とする水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項２】
前記固定手段は、前記固定ケースに設けられ前記ケーブルと水冷ホースとを前記固定ケースに固定する固定部材と、
この固定部材を前記固定ケースに係止する係止手段と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項３】
前記固定部材は固定バンドが使用されたこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項４】
前記係止手段は、前記固定ケースの一方の側面に対向する他方の側面と底面とにそれぞれ設けられた孔で構成されたこと
を特徴とする請求項２乃至請求項３の何れかに記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項５】
前記係止手段は、前記固定ケースの前記一方の側面に対向する他方の側面と底面とにそれぞれ設けられた孔と、
前記固定ケースの前記一方の側面の内表面に設けられ前記固定バンドの途中を前記一方の側面に係止する係止孔とで構成されたこと
を特徴とする請求項２乃至請求項３の何れかに記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項６】
前記一方の側面に係止する係止孔は、前記固定ケースの一方の側面に設けられたブラケットと前記固定ケースの一方の側面とで構成されたこと
を特徴とする請求項５記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項７】
前記固定ケースは、前記ケーブルを収納する固定ケースと、
前記水冷ホースを収納する固定ケースと
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水冷式ＩＣ試験装置に関するものである。
更に詳述すれば、水冷式ＩＣ試験装置のテストヘッドに用いる、ケーブル、水冷ホースを固定する機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水冷式ＩＣ試験装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−０９４７０６号公報
【０００４】
図６は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図、図７は図６の動作説明図、図８は図６の動作説明図である。
図において、テストヘッド１はマニピュレータ２に軸３により軸支されている。
【０００５】
テストヘッド１のケーブル４と水冷ホース５とは、テストヘッド１のマニピュレータ２に対向する側表面に沿って一層に整列配置されている。
ケーブル４と水冷ホース５とは、テストヘッド１の外表面と溝を形成する固定部材６に取付けられて、一層に整列配置されている。
【０００６】
ケーブル４と水冷ホース５とを、テストヘッド１とマニピュレータ２との間の狭い空間に配置する理由は、設置スペースを小さくしたいがためである。
ケーブル４と水冷ホース５とを、マニピュレータ２の外側に配置すると、その分だけ設置スペースが必要になる。設置スペースはできるだけ小さくしたいからである。
固定プレート７は、固定部材６にケーブル４と水冷ホース５とを固定する。
【０００７】
以上の構成において、ケーブル４と水冷ホース５とを固定する作業時には、図７に示す如く、テストヘッド１を９０度回転し、作業者がアクセス可能な位置に持ってくる。
回転はマニピュレータ２とテストヘッド１とが連結されている回転軸３を回転させることで行う。
ケーブル４と水冷ホース５との固定は、図８に示す如く、ケーブル４と水冷ホース５とを固定部材６にセットした後、固定プレート７で固定して行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような装置においては、以下の間題点がある。
テストヘッド１のケーブル４ならびに水冷ホース５の固定作業は、テストヘッド１とマニピュレータ２との間の狭い空間で行わなければならなかった。
作業性が悪いために、作業工数が多く取られてしまう。
また、狭い空間にケーブル４ならびに水冷ホース５を通すため、作業中のケーブル４の断線または水冷ホース５の破損が起きることがあった。
【０００９】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、テストヘッドのケーブルと水冷ホースの固定作業の作業性の改善、向上ができる水冷式ＩＣ試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の水冷式ＩＣ試験装置においては、
マニピュレータに軸支されるテストヘッドと、前記マニピュレータに対向するこのテストヘッドの側表面に沿って一層に整列配置されたテストヘッドのケーブルと水冷ホースとを具備する水冷式ＩＣ試験装置において、前記ケーブルと前記水冷ホースとが前記テストヘッドの前記側表面に沿って一層に整列配置されるように収納され前記テストヘッドの前記側表面に一方の側面が接して設けられ前記テストヘッドの外縁部分において開口部を有し断面コの字状の固定ケースと、この固定ケースに設けられ前記ケーブルと水冷ホースとを前記固定ケースに固定する固定手段とを具備したことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項２の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記固定手段は、前記固定ケースに設けられ前記ケーブルと水冷ホースとを前記固定ケースに固定する固定部材と、この固定部材を前記固定ケースに係止する係止手段とを具備したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項３の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項１又は請求項２記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記固定部材は固定バンドが使用されたことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項４の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項２乃至請求項３の何れかに記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記係止手段は、前記固定ケースの一方の側面に対向する他方の側面と底面とにそれぞれ設けられた孔で構成されたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項５の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項２乃至請求項４の何れかに記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記係止手段は、前記固定ケースの前記一方の側面に対向する他方の側面と底面とにそれぞれ設けられた孔と、前記固定ケースの前記一方の側面の内表面に設けられ前記固定バンドの途中を前記一方の側面に係止する係止孔とで構成されたことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項６の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項５記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記一方の側面に係止する係止孔は、前記固定ケースの一方の側面に設けられたブラケットと前記固定ケースの一方の側面とで構成されたことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項７の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項１乃至請求項６の何れかに記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記固定ケースは、前記ケーブルを収納する固定ケースと、前記水冷ホースを収納する固定ケースとを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
ケーブルと水冷ホースを固定する作業を行う場合、テストヘッドとマニピュレータの間の狭い隙間で固定作業を行うことが無くなり、作業性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１８】
また、このため、作業中のケーブルの断線、水冷ホースの破損という危険が減少し、装置の信頼性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
テストヘッドを回動させることにより、テストヘッドの外方側から、ケーブルと水冷ホースを固定ケースに挿入することができるため、作業性が向上し、作業時間の短縮ができる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１９】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
固定手段は、固定ケースに設けられケーブルと水冷ホースとを固定ケースに固定する固定部材と、固定部材を固定ケースに係止する係止手段とが設けられたので、ケーブルと水冷ホースとの固定が容易な水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００２０】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
固定部材は固定バンドが使用されたので、固定バンドは柔軟性を有し、固定に柔軟性を有する水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００２１】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
係止手段は、固定ケースの一方の側面に対向する他方の側面と底面とにそれぞれ設けられた孔で構成されたので、係止手段を簡単に構成でき、安価な水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
また、固定バンドが孔を通して取り付けられているので、ケーブルと水冷ホースの固定作業中の固定バンドの落下を防ぐことができ、作業性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００２２】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
係止手段は、固定ケースの一方の側面に対向する他方の側面と底面とにそれぞれ設けられた孔と、固定ケースの一方の側面の内表面に設けられ、固定バンドの途中を一方の側面に係止する係止孔とで構成されたので、簡単な構成により、ケーブルと水冷ホースの挿入時の固定バンドの位置のズレ、固定バンドの押し込みといった、ケーブルと水冷ホースの挿入の邪魔にならず、ケーブルと水冷ホースの挿入の容易な水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００２３】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
一方の側面に係止する係止孔は、固定ケースの一方の側面に設けられたブラケットと固定ケースの一方の側面とで構成されたので、安価な係止孔が形成できる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００２４】
本発明の請求項７によれば、次のような効果がある。
固定ケースは、ケーブルを収納する固定ケースと、水冷ホースを収納する固定ケースとが設けられたので、漏電等の事故を防ぐことができる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の要部詳細説明図、図３は図２の要部断面説明図、図４は図１の動作説明図である。
図において、図６と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図６との相違部分のみ説明する。
【００２６】
図１において、固定ケース１１は、ケーブル４と水冷ホース５とがテストヘッド１の側表面１ａに沿って一層に整列配置されるように収納され、テストヘッド１の側表面１ａに、一方の側面１１１が接して設けられ、テストヘッドの外縁部分１ｂにおいて開口部を有し、断面コの字状をなす。
【００２７】
固定ケース１１はアルミ、鉄やステンレスといった金属で作られている。剛性の点から鉄もしくはステンレスが好ましい。
固定手段１２は、固定ケース１１に設けられ、ケーブル４と水冷ホース５とを固定ケース１１に固定する。
【００２８】
この場合は、固定手段１２は、固定ケース１１に設けられ、ケーブル４と水冷ホース５とを固定ケース１１に固定する固定部材１２１と、固定部材１２１を固定ケース１１に係止する係止手段１２２とを有する。
【００２９】
この場合は、固定部材１２１は固定バンドが使用されている。
図２に示す如く、係止手段１２２は、固定ケース１１の一方の側面１１１に対向する他方の側面１１３と底面１１２とにそれぞれ設けられた孔１２２１，１２２２と、固定ケース１１の一方の側面１１１の内表面に設けられ、固定バンド１２１の途中を、一方の側面１１１に係止する係止孔１２２３とで構成されている。
この場合は、孔１２２１は、１０×１０角穴が用いられている。
【００３０】
図２に示す如く、この場合は、一方の側面１１１に係止する係止孔１２２３は、固定ケース１１の一方の側面１１１に設けられたコの字形状のブラケット１３と一方の側面１１１とで構成されている。
【００３１】
この場合は、他方の側面１１３と底面１１２の外側から、孔１２２１、１２２２と係止孔１２２３とを通して固定バンド１２１が取り付けられている。
この固定バンド１２１として用いる材料は樹脂、金属を問わない。例えば、タイラップ（商品名）が使用されている。
そして、ケーブル４と水冷ホース５とは固定バンド１２１によって保持される。
【００３２】
以上の構成において、ケーブル４と水冷ホース５を固定する作業時には、テストヘッド１を９０度回転させ、作業者がアクセス容易な位置に持ってくる。
その後、ケーブル４と水冷ホース５を作業者の正面側より固定ケース１１内にセットする。
図１説明図で見ると、固定ケース１１の下側の開口部より、ケーブル４と水冷ホース５を挿入する。
【００３３】
挿入後、固定バンド１２を用いてケーブル４と水冷ホース５を固定する。
図５ではケーブル４を２本ごと、水冷ホース５を２本ごとに固定を行っているが、１本おきでも、また３本以上でも良いことは勿論である。
【００３４】
この結果、
ケーブル４と水冷ホース５を固定する作業を行う場合、テストヘッド１とマニピュレータ２の間の狭い隙間で固定作業を行うことが無くなり、作業性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
また、このため、作業中のケーブル４の断線、水冷ホース５の破損という危険が減少し、装置の信頼性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３５】
テストヘッド１を回動させることにより、テストヘッド１の外方側から、ケーブル４と水冷ホース５を固定ケース１１に挿入することができるため、作業性が向上し、作業時間の短縮ができる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３６】
固定手段１２は、固定ケース１１に設けられケーブル４と水冷ホース５とを固定ケース１１に固定する固定部材１２１と、固定部材１２１を固定ケース１１に係止する係止手段１２２とが設けられたので、ケーブル４と水冷ホース５との固定が容易な水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３７】
固定部材１２１は固定バンドが使用されたので、固定バンドは柔軟性を有し、固定に柔軟性を有する水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３８】
係止手段１２２は、固定ケース１１の一方の側面に対向する他方の側面１１３と底面１１２とにそれぞれ設けられた孔１２２１，１２２２と、固定ケース１１の一方の側面１１１の内表面に設けられ、固定バンド１２１の途中を一方の側面１１１に係止する係止孔１２２３とで構成されたので、簡単な構成により、ケーブルと水冷ホースの挿入時の固定バンドの位置のズレ、固定バンドの押し込みといった、ケーブル４と水冷ホース５の挿入の邪魔にならず、ケーブル４と水冷ホース５の挿入の容易な水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３９】
また、固定バンド１２１が孔１２２１，１２２２，１２２３を通して取り付けられているので、ケーブル４と水冷ホース５の固定作業中の固定バンド１２１の落下を防ぐことができ、作業性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００４０】
一方の側面１１１に係止する係止孔１２２３は、固定ケース１１の一方の側面１１１に設けられたブラケット１３と固定ケースの一方の側面１１１とで構成されたので、安価な係止孔１２２３が形成できる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００４１】
図５は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図５において、水冷ホース５の破損による漏水事故を考えて、ケーブル４と水冷ホース５を別に配置したい場合もある。
その場合は、複数の固定ケース２１，２２を縦方向に配置する。
【００４２】
図５では固定ケース２１に水冷ホース５をセットした後、その下にもう一つの固定ケース２２をセットし、その中にケーブル４をセットする。
両固定ケース２１，２２の間にはゴム製のパッキン２３をセットする。
【００４３】
この結果、この構造において水冷ホース５が破損した場合、パッキン２３により水冷ホース５から漏れた水がケーブル４類のセットされている固定ケース２２内に浸入することを防ぐことができる。これにより、漏電等の事故を防ぐことができる。
【００４４】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部詳細説明図である。
【図３】図２の要部断面説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図６】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図７】図６の動作説明図である。
【図８】図６の動作説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
１        テストヘッド
１ａ      側表面
１ｂ      外縁部分
２        マニピュレータ
３        軸
４        ケーブル
５        水冷ホース
６        固定部材
７        固定プレート
１１      固定ケース
１１１    一方の側面
１１２    固定ケース
１１３    他方の側面
１２      固定手段
１２１    固定部材
１２２    係止手段
１２２１  孔
１２２２  孔
１２２３  係止孔
１３      ブラケット
２１      固定ケース
２２      固定ケース
２３      パッキン
【図１】
2009074896.tif 000003
【図２】
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【図３】
2009074896.tif 000005
【図４】
2009074896.tif 000006
【図５】
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【図６】
2009074896.tif 000008
【図７】
2009074896.tif 000009
【図８】
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