(57)【要約】【課題】マザーボード部分に使用されるコネクタに付いて、固定式コネクタとフローティングコネクタの利点を有効に利用できる半導体試験装置を実現する。【解決手段】マザーボードに設けられたコネクタにコネクタ接続される測定モジュール基板を具備する半導体試験装置において、所定数の固定式コネクタが設けられたマザーボードと、フローティングコネクタがそれぞれ設けられた所定数の取付けパネルと、前記マザーボードと前記取付けパネルとの間に設けられた板状のテンプレートと、このテンプレートと前記マザーボードとに設けられた第１の位置出し手段と、前記テンプレートと前記取付けパネルとに設けられた第２の位置出し手段と、前記テンプレートと前記測定モジュール基板とに設けられた第３の位置出し手段とを具備したことを特徴とする半導体試験装置である。【選択図】図１
2009115678.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マザーボードに設けられたコネクタにコネクタ接続される測定モジュール基板を具備する半導体試験装置において、
所定数の固定式コネクタが設けられたマザーボードと、
フローティングコネクタがそれぞれ設けられた所定数の取付けパネルと、
前記マザーボードと前記取付けパネルとの間に設けられた板状のテンプレートと、
このテンプレートと前記マザーボードとに設けられた第１の位置出し手段と、
前記テンプレートと前記取付けパネルとに設けられた第２の位置出し手段と、
前記テンプレートと前記測定モジュール基板とに設けられた第３の位置出し手段と
を具備したことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記第１の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられた第１の位置出しピンと、
前記マザーボードに設けられ前記第１の位置出しピンが挿入される第１の位置出し孔と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記第２の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられた第２の位置出しピンと、
前記取付けパネルに設けられ前記第２の位置出しピンが挿入される第２の位置出し孔と
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記第３の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられたパイロットピンと、
前記測定モジュール基板に設けられ前記パイロットピンが挿入されるパイロットピンソケットと
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の半導体試験装置。
【請求項５】
前記テンプレートは、前記マザーボードが中央部に配置されリング状に構成されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象のアプリケーション毎に最適な測定モジュール基板を任意のスロットに実装することのできるユニバーサルスロット仕様の半導体試験装置に関するものである。
更に詳述すれば、マザーボード部分に使用されるコネクタに付いて、固定式コネクタとフローティングコネクタの利点を有効に利用できる半導体試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平０８−０６２２８８号公報
【０００４】
図５は従来より一般に使用されている従来例の要部構成斜視説明図である。
図において、測定モジュール基板１には、測定モジュール基板側の固定式コネクタ２ａが取付けられている。
マザーボード３には、マザーボード側の固定式コネクタ２ｂが取付けられている。
測定モジュール基板側の固定式コネクタ２ａとマザーボード側の固定式コネクタ２ｂとにより、固定式コネクタユニット２が構成される。
【０００５】
以上の構成において、固定式コネクタ２ｂに固定式コネクタ２ａが、コネクタ接続される。
プリント基板３に実装される固定式のコネクタ２は、コスト面や量産性の良さから、制御信号や高速の同期クロック信号、デジタル化した測定データを流す各測定モジュールに共通のバスラインに好適である。
【０００６】
図５は従来より一般に使用されている他の従来例の要部構成斜視説明図である。
図において、測定モジュール基板１には、測定モジュール基板側のフローティングコネクタ４ａが取付けられている。
コネクタ取り付けパネル５には、パネル側のフローティングコネクタ４ｂが取付けられている。
【０００７】
測定モジュール基板側のフローティングコネクタ４ａとコネクタ取り付けパネル側のフローティングコネクタ４ｂとにより、フローティングコネクタユニット４が構成される。
フローティングコネクタ４は、ガタをもたせた保持部品によりパネル５に固定され、可動（フローティング動作）することが出来るコネクタである。
【０００８】
以上の構成において、フローティングコネクタ４ｂにフローティングコネクタ４ａが、コネクタ接続される。
高密度実装のため、狭ピッチコネクタを基板の両面に実装することが要求される場合において、基板の厚みのコントロールは難しい。
【０００９】
よって両面に狭ピッチコネクタを実装すると表裏のコネクタの相対的な実装位置精度が、コネクタの嵌合保証ズレ量を超えることもあり得る。
そのためには、フローティング機構を持ったフローティングコネクタ４が有利になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
このような装置においては、以下の間題点がある。
１枚のマザーボードに複数スロット分のコネクタを実装するバスラインに適した固定式コネクタと、測定モジュール基板の両面実装に適したフローティングコネクタを１枚の測定モジュール基板に混在させることはコスト高となる。
【００１１】
マザーボード上にフローティング機構を組み付ければよいが、モジュールを頻繁に入れ替えることを目的とするユニバーサルスロット仕様の半導体試験装置では現実的ではなく、スロットごとに独立したパネルにコネクタを実装する機構が望ましく、独立したパネルにすると、今度は、バスラインを有するマザーボード基板の構成が複雑になり、バスラインを実現するのにコスト高となる。
【００１２】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、
ユニバーサルスロット仕様の半導体試験装置において、固定式コネクタを採用した各モジュール共通のバスラインと、フローティングコネクタを使用した個別に独立したパネルとを設けて、マザーボード部分に使用されるコネクタに付いて、固定式コネクタとフローティングコネクタの利点を有効に利用できる半導体試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の半導体試験装置においては、
マザーボードに設けられたコネクタにコネクタ接続される測定モジュール基板を具備する半導体試験装置において、所定数の固定式コネクタが設けられたマザーボードと、フローティングコネクタがそれぞれ設けられた所定数の取付けパネルと、前記マザーボードと前記取付けパネルとの間に設けられた板状のテンプレートと、このテンプレートと前記マザーボードとに設けられた第１の位置出し手段と、前記テンプレートと前記取付けパネルとに設けられた第２の位置出し手段と、前記テンプレートと前記測定モジュール基板とに設けられた第３の位置出し手段とを具備したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項２の半導体試験装置においては、請求項１記載の半導体試験装置において、
前記第１の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられた第１の位置出しピンと、前記マザーボードに設けられ前記第１の位置出しピンが挿入される第１の位置出し孔とを具備したことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項３の半導体試験装置においては、請求項１又は請求項２記載の半導体試験装置において、
前記第２の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられた第２の位置出しピンと、前記取付けパネルに設けられ前記第２の位置出しピンが挿入される第２の位置出し孔とを具備したことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項４の半導体試験装置においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の半導体試験装置において、
前記第３の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられたパイロットピンと、前記測定モジュール基板に設けられ前記パイロットピンが挿入されるパイロットピンソケットとを具備したことを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項５の半導体試験装置においては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載の半導体試験装置において、
前記テンプレートは、前記マザーボードが中央部に配置されリング状に構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
マザーボード部分に使用されるコネクタに付いて、固定式コネクタとフローティングコネクタとを使い分けて、固定式コネクタとフローティングコネクタとの利点を有効に利用できる半導体試験装置が得られる。
【００１９】
独立した取り付けパネルを、それぞれ位置出しするための第２の位置出し手段をテンプレートと取り付けパネルに用意したので、フローティングコネクタのフローティング動作の基準点（あるいは中心点）の位置は精度良く決定できて、フローティングコネクタの限られたフローティング量を有効に使うことができる半導体試験装置が得られる。
【００２０】
一般に全体の基準位置から離れた部品間に介在する部品点数が多いほど公差の累積により位置精度が悪くなるが、マザーボードと全体の位置出しの基準となるテンプレートとマザーボードとに直接第１の位置出し手段が設けられたので、公差の累積が少なくできる半導体試験装置が得られる。
【００２１】
測定モジュール基板と全体の位置出しの基準となるテンプレートとに第３の位置出し手段が設けられたので、マザーボード側と測定モジュール基板側の位置出し精度が向上できる半導体試験装置が得られる。
【００２２】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
第１の位置出し手段は、テンプレートに設けられた第１の位置出しピンと、マザーボードに設けられ、第１の位置出しピンが挿入される第１の位置出し孔とが設けられたので、構成が簡単にでき、安価な半導体試験装置が得られる。
【００２３】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
第２の位置出し手段は、テンプレートに設けられた第２の位置出しピンと、取付けパネルに設けられ、第２の位置出しピンが挿入される第２の位置出し孔とが設けられたので、構成が簡単にでき、安価な半導体試験装置が得られる。
【００２４】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
第３の位置出し手段は、テンプレートに設けられたパイロットピンと、測定モジュール基板に設けられ、パイロットピンが挿入されるパイロットピンソケットとが設けられたので、位置出し固定までの距離間隔が長い、テンプレートと測定モジュール基板間の位置決めを確実にできる半導体試験装置が得られる。
【００２５】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
テンプレートは、マザーボードが中央部に配置されリング状をなすので、マザーボードを中心にして周囲に多数の取り付けパネルを配置できる半導体試験装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の要部側面図である。
図において、図５，図６と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図５，図６との相違部分のみ説明する。
【００２７】
図１，図２において、測定モジュール基板１１は、マザーボード１２に設けられたコネクタにコネクタ接続される。
マザーボード１２は、所定数のマザーボード側の固定式コネクタ１３１が設けられている。
所定数の取付けパネル１４は、一個の取付けパネル側のフローティングコネクタ１５１がそれぞれ設けられている。
【００２８】
なお、測定モジュール基板１１には、測定モジュール基板側の固定式コネクタ１３２とフローティングコネクタ１５２とが設けられている。
マザーボード側の固定式コネクタ１３１と測定モジュール基板側の固定式コネクタ１３２とで、１個の固定式コネクタユニット１３が形成されている。
【００２９】
パネル側のフローティングコネクタ１５１と測定モジュール基板側のフローティングコネクタ１５２とで、１個のフローティングコネクタユニット１５が形成されている。
板状のテンプレート１６は、マザーボード１２と取付けパネル１４との間に設けられている。
【００３０】
第１の位置出し手段１７は、テンプレート１６とマザーボード１２とに設けられている。
この場合は、第１の位置出し手段１７は、テンプレート１６に設けられた第１の位置出しピン１７１と、マザーボード１２に設けられ、第１の位置出しピン１７１が挿入される第１の位置出し孔１７２とを有する。
【００３１】
第２の位置出し手段１８は、テンプレート１６と取付けパネル１４とに設けられている。
この場合は、第２の位置出し手段１８は、テンプレート１６に設けられた第２の位置出しピン１８１と、取付けパネル１４に設けられ、第２の位置出しピン１８１が挿入される第２の位置出し孔１８２とを有する。
【００３２】
第３の位置出し手段１９は、テンプレート１６と測定モジュール基板１１とに設けられている。
この場合は、第３の位置出し手段１９は、テンプレート１６に設けられたパイロットピン１９１と、測定モジュール基板１１に設けられ、パイロットピン１９１が挿入されるパイロットピンソケット１９２とを有する。
【００３３】
以上の構成において、図２に示す如く、測定モジュール基板１１は矢印Ａ方向に、マザーボード１２に対してコネクタ接続の抜き挿しを行う。
【００３４】
この結果、マザーボード１２の部分に使用されるコネクタに付いて、固定式コネクタ１３とフローティングコネクタ１５とを使い分けて、固定式コネクタ１３とフローティングコネクタ１５との利点を有効に利用できる半導体試験装置が得られる。
【００３５】
独立した取り付けパネル１４を、それぞれ位置出しするための第２の位置出し手段１８をテンプレート１６と取り付けパネル１４に用意したので、フローティングコネクタ１５のフローティング動作の基準点（あるいは中心点）の位置は精度良く決定できて、フローティングコネクタ１５の限られたフローティング量を有効に使うことができる半導体試験装置が得られる。
【００３６】
一般に全体の基準位置から離れた部品間に介在する部品点数が多いほど公差の累積により位置精度が悪くなるが、マザーボード１２と全体の位置出しの基準となるテンプレート１６とに直接第１の位置出し手段１７が設けられたので、公差の累積が少なくできる半導体試験装置が得られる。
【００３７】
測定モジュール基板１１と全体の位置出しの基準となるテンプレート１６とに第３の位置出し手段１９が設けられたので、マザーボード１２の側と測定モジュール基板１１の側の位置出し精度が向上できる半導体試験装置が得られる。
【００３８】
第１の位置出し手段１７は、テンプレート１６に設けられた第１の位置出しピン１７１と、マザーボード１２に設けられ、第１の位置出しピン１７１が挿入される第１の位置出し孔１７２とが設けられたので、構成が簡単にでき、安価な半導体試験装置が得られる。
【００３９】
第２の位置出し手段１８は、テンプレート１６に設けられた第２の位置出しピン１８１と、取付けパネル１４に設けられ、第２の位置出しピン１８１が挿入される第２の位置出し孔１８２とが設けられたので、構成が簡単にでき、安価な半導体試験装置が得られる。
【００４０】
第３の位置出し手段１９は、テンプレート１６に設けられたパイロットピン１９１と、測定モジュール基板１１に設けられ、パイロットピン１９１が挿入されるパイロットピンソケット１９２とが設けられたので、位置出し固定までの距離間隔が長い、テンプレート１６と測定モジュール基板１１間の位置決めを確実にできる半導体試験装置が得られる。
【００４１】
図３は、本発明の他の実施例の要部構成説明図、図４は図３の要部側面図である。
図３，図４において、テンプレート３１は、マザーボード１２が中央部に配置されリング状に構成されている。
【００４２】
この結果、テンプレート３１は、マザーボード１２が中央部に配置されリング状をなすので、マザーボード１２を中心にして周囲に多数の取り付けパネル１４を配置できる半導体試験装置が得られる。
【００４３】
なお、図３，図４では、測定モジュール基板１１が図の左右２方向の対向型の例を示したが、上下左右の４方向、あるいは放射状に測定モジュール基板１１が配置されても良いことは勿論である。
【００４４】
なお、測定モジュール基板１１の実装の際には、測定モジュール基板１１の縁を保持するガイドレールを設けることが一般的だが、そのガイドレールの位置出し機構をもテンプレート１６，３１に実装することができ、さらに、システム全体を覆う筐体との位置関係もテンプレート１６，３１により決定する構造にすることもできる。
【００４５】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部側面図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】図３の要部側面図である。
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図６】従来より一般に使用されている他の従来例の構成説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１      測定モジュール基板
２      固定式コネクタユニット
２ａ    測定モジュール基板側の固定式コネクタ
２ｂ    マザーボード側の固定式コネクタ
３      マザーボード
４      フローティングコネクタユニット
４ａ    測定モジュール基板側のフローティングコネクタ
４ｂ    パネル側のフローティングコネクタ
５      コネクタ取り付けパネル
１１    測定モジュール基板
１２    マザーボード
１３    固定式コネクタユニット
１３１  マザーボード側の固定式コネクタ
１３２  測定モジュール基板側の固定式コネクタ
１４    取付けパネル
１５    フローティングコネクタユニット
１５１  パネル側のフローティングコネクタ
１５２  測定モジュール基板側のフローティングコネクタ
１６    テンプレート
１７    第１の位置出し手段
１７１  第１の位置出しピン
１７２  第１の位置出し孔
１８    第２の位置出し手段
１８１  第２の位置出しピン
１８２  第２の位置出し孔
１９    第３の位置出し手段
１９１  パイロットピン
１９２  パイロットピンソケット
３１    テンプレート
Ａ      矢印
【図１】
2009115678.tif 000003
【図２】
2009115678.tif 000004
【図３】
2009115678.tif 000005
【図４】
2009115678.tif 000006
【図５】
2009115678.tif 000007
【図６】
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