(57)【要約】【課題】基板に形成された位置決め用のマークの検出の確実性を向上させた塗布液塗布装置を提供する。【解決手段】基板ステージ１１６は、アライメントマーク５１が形成されたガラス基板５０を搭載するものであり、側面からガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分が搭載されるべき面にかけて貫通する導光部１５２が形成されている。照明部１６０−１は、基板ステージ１１６の側面における導光部１５２の開口部へ向けて光を照射し、導光部１５２内に配置された反射ミラー１５５は、照明部１６０−１からの光を基板ステージ１１６のガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分が搭載されるべき面に向けて反射させる。【選択図】図６
2009072680.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置決め用のマークが形成された基板を基板ステージに搭載して塗布液を塗布する塗布液塗布装置であって、
前記基板ステージを、前記基板を搭載する面に沿う方向に移動させる移動装置と、
前記基板ステージと独立して配置され、該基板ステージへ向けて光を照射する照明部とを有し、
前記基板ステージには、搭載された前記基板の位置決め用のマークに向けて前記照明部からの光を導く導光部が設けられることを特徴とする塗布液塗布装置。
【請求項２】
前記導光部は、前記基板ステージの側面に光導入口が設けられ、
前記照明部は、前記側面に対向して配置されることを特徴とする請求項１に記載の塗布液塗布装置。
【請求項３】
前記導光部は、前記基板の位置決め用のマークへ向けて光を照射する光照射口に、光を拡散する拡散部材を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布液塗布装置。
【請求項４】
位置決め用のマークが設けられた基板を基板ステージに搭載して塗布液を塗布する塗布液塗布装置であって、
前記基板ステージにおける搭載された前記基板の位置決め用のマークに対向する部分に配置される蓄光部材を有することを特徴とする塗布液塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置決め用のマークが形成された基板を基板ステージに搭載して塗布液を塗布する塗布液塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から液晶基板の製造に際して、ガラス基板に塗布液としての液晶封止用のペーストを塗布するペースト塗布装置が用いられている。ペーストの塗布に際しては、高い精度が必要となる。例えば、特許文献１に記載されたペースト塗布装置は、ガラス基板の表面の高さを測定する。そして、ペースト塗布装置は、その測定値に基づいて、ペーストを吐出するノズルの先端とガラス基板の表面との距離を一定に維持して塗布精度を向上させるべく、ノズルを上下動させる。
【０００３】
また、塗布精度を向上させるためには、ペーストはガラス基板の適切な位置に塗布する必要がある。このため、ガラス基板には位置決め用のマーク（アライメントマーク）が形成されており、ペースト塗布装置は、ガラス基板におけるアライメントマークの部分を照明した上で、搭載するカメラによってガラス基板を撮像し、その撮像画像から画像認識により、当該アライメントマークの位置を検出する。そして、ペースト塗布装置は、そのアライメントマークからの相対位置によってガラス基板におけるペーストの塗布位置を特定する。
【０００４】
図１０は、従来のペースト塗布装置において、ペーストが塗布されるガラス基板を搭載する基板ステージの外観斜視図、図１１は、基板ステージの拡大断面図である。図１０及び図１１に示す基板ステージ５００は、ガラス基板５５０を搭載するものであり、本体５０１及び面発光照明５０２を有する。面発光照明５０２は、ガラス基板５５０に形成されたアライメントマーク５５１が直上となるように、本体５０１の上面に埋め込まれている。ここでは、ガラス基板５５０に８つのアライメントマーク５５１が形成されていることに対応して、８つの面発光照明５０２が設けられている。
【０００５】
また、各面発光照明５０２には、当該面発光照明５０２に外部電源からの電力を供給するための配線ケーブル５０３が接続されている。更には、本体５０１の対向する２つの側面のそれぞれの外側には、ケーブルベア（登録商標）５０４が２つずつ設けられている。これらケーブルベア５０４は、それぞれ２本の配線ケーブル５０３をまとめて収容する。このような基板ステージ５００において各面発光照明５０２は、アライメントマーク５５１に向けてガラス基板５５０の裏面側から光を照射し、表面側に透過させる。更に、カメラ５０５がガラス基板５５０を表面側から撮影することによって、アライメントマーク５５１の位置が検出可能となる。
【特許文献１】特開２００７−１５２２６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した基板ステージ５００を用いると、以下のような問題が生じる。すなわち、基板ステージ５００は、ペースト塗布の際に移動するため、基板ステージ５００と一体化した面発光照明５０２と、外部電源とを接続する配線ケーブル５０３が移動時のストレスにより断線し、面発光照明５０２の点灯ができなくなり、その結果、アライメントマーク５５１が検出不能となる可能性がある。特に、近年は、ガラス基板が大型化し、それに伴って基板ステージも大型化しているため、当該基板ステージの移動量が大きくなり、配線ケーブル５０３が断線する可能性が高くなっている。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、基板に形成された位置決め用のマークの検出の確実性を向上させた塗布液塗布装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る、位置決め用のマークが形成された基板を基板ステージに搭載して塗布液を塗布する塗布液塗布装置は、前記基板ステージを、前記基板を搭載する面に沿う方向に移動させる移動装置と、前記基板ステージと独立して配置され、該基板ステージへ向けて光を照射する照明部とを有し、前記基板ステージには、搭載された前記基板の位置決め用のマークに向けて前記照明部からの光を導く導光部が設けられることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、基板ステージには、搭載された基板の位置決め用のマークに向けて照明部からの光を導く導光部が設けられるとともに、照明部が移動する基板ステージとは独立して配置されており、位置決め用のマークに光を照射することができるとともに、基板ステージの移動によって照明部に接続される配線ケーブルがストレスにより断線することがない。
【００１０】
また、本発明に係るペースト塗布装置は、前記導光部が、前記基板ステージの側面に光導入口が設けられ、前記照明部が、前記側面に対向して配置されるようにしてもよい。
【００１１】
また、本発明に係るペースト塗布装置は、前記導光部が、前記基板の位置決め用のマークへ向けて光を照射する光照射口に、光を拡散する拡散部材を有するようにしてもよい。
【００１２】
この構成によれば、基板の広い領域に光を照射することが可能となり、位置決め用のマーク検出の確実性を向上させることが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係る、位置決め用のマークが設けられた基板を基板ステージに搭載して塗布液を塗布する塗布液塗布装置は、前記基板ステージにおける搭載された前記基板の位置決め用のマークに対向する部分に配置される蓄光部材を有することを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、基板ステージにおいて、基板の位置決め用のマークに対向する部分に蓄光部材が配置されることで、当該蓄光部材から基板の位置決め用のマークに光を照射することが可能となる。従って、電源を必要とする照明部を有しない、すなわち、電源と照明部とを接続する配線ケーブルが不要であるため、当該配線ケーブルがストレスにより断線することがない。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、照明部を基板ステージと独立させること、あるいは、照明部を設ける代わりに蓄光部材を設けることにより、位置決め用のマークに光を照射することができるとともに、照明部に接続される配線ケーブルがストレスにより断線することが防止され、基板に形成された位置決め用のマークの検出の確実性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００１７】
図１は、本発明に係る塗布液塗布装置を適用したペースト塗布システムの実施の形態を示す平面図である。図１に示すペースト塗布システム１０は、液晶表示パネルの製造に際して、ガラス基板５０に塗布液としての液晶封止用のペーストを環状に塗布するものである。ペースト塗布システム１０は、本発明に係るペースト塗布装置を構成する塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４と、基板受け渡し機構３０と、搬送ロボット４０とにより構成される。
【００１８】
ペースト塗布の対象となるガラス基板５０は、基板受け渡し機構３０における上流端３２に配置される。搬送ロボット４０は、基板受け渡し機構３０の延在方向（図１における方向Ａ）に移動可能であり、更に、図１における方向Ｂに回転可能である。この搬送ロボット４０は、基板受け渡し機構３０における上流端３２に配置されたガラス基板５０を搬送し、塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４に随時配置する。
【００１９】
塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４は、配置されたガラス基板５０の表面にペーストを塗布する。ペースト塗布は、搬送ロボット４０によるガラス基板５０の搬送等と比較して時間を要するため、これら塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４が並列的に稼動することにより、時間短縮を図り、生産性を向上させることができる。
【００２０】
ガラス基板５０にペーストが塗布された後、搬送ロボット４０は、塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４からペースト塗布後のガラス基板５０を随時取り出して搬送し、基板受け渡し機構３０における下流端３４に配置する。このような一連の動作によって、ガラス基板５０の表面にペーストが塗布される。
【００２１】
図２（ａ）は、塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４（以下、これら塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４をまとめて、適宜「塗布ユニット２０」と称する）の外観斜視図である。また、図２（ｂ）は塗布ユニット２０内の各部の移動方向を説明するための座標空間である。
【００２２】
図２（ａ）に示す塗布ユニット２０は、筐体１１１、塗布ノズル部１１２−１及び１１２−２、レーザセンサ１１３−１及び１１３−２、カメラ１１４−１及び１１４−２、コラム１１５、基板ステージ１１６、ＸＹθ移動装置１１８、照明部１６０−１及び１６０−２、配線ケーブル１６１−１及び１６１−２を備える。
【００２３】
筐体１１１には、コラム１１５が取り付けられている。塗布ノズル部１１２−１、レーザセンサ１１３−１及びカメラ１１４−１は、一体となってヘッドを構成しており、コラム１１５に対して図２（ｂ）に示すＸ方向及びＺ方向に移動可能に取り付けられている。同様に、塗布ノズル部１１２−２、レーザセンサ１１３−２及びカメラ１１４−２は、一体となってヘッドを構成しており、コラム１１５に対して図２（ｂ）に示すＸ方向及びＺ方向に移動可能に取り付けられている。このように複数のヘッドを設けることにより、ガラス基板５０を複数の子基板に分けて、それぞれの子基板に対してペーストを塗布する際に、ヘッドを同時並行的に稼動させることで、１枚のガラス基板５０あたりのペーストの塗布に要する時間の短縮を図り、生産性を向上させることができる。
【００２４】
基板ステージ１１６は、図２（ｂ）のＸ方向及びＹ方向に移動可能であって、且つ、θ方向に微小回転可能なように、下面がＸＹθ移動装置１１８の上面に取り付けられている。この基板ステージ１１６の上面には図示しない吸着穴が形成されている。図１に示す搬送ロボット４０によって搬送されてきたガラス基板５０は、基板ステージ１１６の上面に搭載された後、真空吸着される。基板ステージ１１６の詳細な構成については後述する。
【００２５】
ＸＹθ移動装置１１８は、上面が基板ステージ１１６の下面と接続されている。
【００２６】
ペースト塗布に先立って、カメラ１１４−１及び１１４−２は、それぞれガラス基板５０の表面を撮像し、当該表面に形成された位置決めのためのマーク（アライメントマーク）を撮像する。照明部１６０−１は、配線ケーブル１６１−１によって外部の電源と接続され、照明部１６０−２は、配線ケーブル１６１−２によって外部の電源と接続されている。これら照明部１６０−１及び１６０−２は、外部電源から供給される電力により、それぞれアライメントマークに向けて光を照射する。この光照射の詳細については後述する。カメラ１１４−１及び１１４−２によってアライメントマークが撮像されると、ガラス基板５０の表面においてペーストを塗布すべき位置が、当該アライメントマークからの相対位置によって特定される。この後、各ヘッドは、ガラス基板５０における子基板の配列ピッチに応じて、図２（ｂ）に示すＸ方向にそれぞれ独立して適宜移動する。
【００２７】
図３は、塗布ノズル部１１２−１及び１１２−２の構成を示す図である。図３に示すように、塗布ノズル部１１２−１及び１１２−２は、ペーストが充填される容器であるシリンジ１４０と、当該シリンジ１４０に着脱可能であって、当該シリンジ１４０に充填されたペーストを吐出するノズル１４２により構成される。ペーストを塗布すべき位置が特定された後、これら塗布ノズル部１１２−１及び１１２−２は、直下に配置されたガラス基板５０の表面に向けてノズル１４２の先端からペーストを吐出する。この際、基板ステージ１１６は、ＸＹθ移動装置１１８によって、図２（ｂ）に示すＸ方向及びＹ方向に適宜移動される。これにより、ガラス基板５０の表面に所望の形状のペーストを塗布することが可能となる。
【００２８】
再び、図２に戻って説明する。レーザセンサ１１３−１は、ガラス基板５０の表面までの距離を測定するものであり、この測定値から塗布ノズル部１１２−１内のノズル１４２の先端とガラス基板５０の表面との間の距離を検出する。同様に、レーザセンサ１１３−２は、ガラス基板５０の表面までの距離を測定するものであり、この測定値から塗布ノズル部１１２−２内のノズル１４２の先端とガラス基板５０の表面との間の距離を検出する。検出値が予め定められた所定範囲内でない場合には、塗布されるペーストの断面積が所望の断面積でなくなる可能性が高い。このため、塗布ノズル部１１２−１及び１１２−２を含むヘッドが図２（ｂ）のＺ方向に移動することによって、ノズル１４２の先端とガラス基板５０の表面との間の距離が所定範囲内となるように制御される。
【００２９】
次に、基板ステージ１１６の詳細な構成と、照明部１６０−１及び１６０−２による光照射の詳細について説明する。図４は、第１の基板ステージ１１６の外観斜視図、図５は、図４に示す第１の基盤ステージ１１６の平面図、図６は、図４に示す第１の基板ステージ１１６の側面拡大断面図である。
【００３０】
これら図４乃至図６に示すように、基板ステージ１１６は、アライメントマーク５１及び５２が形成されたガラス基板５０を搭載するものであり、本体１５１、反射ミラー１５５及び拡散板１５６を有するとともに、導光部１５２及び１５３が形成されている。
【００３１】
導光部１５２及び１５３は、本体１５１の側面から表面（搭載面）における、ガラス基板５０のアライメントマーク５１及び５２の部分が搭載される面にかけて貫通するように形成されている。ここでは、ガラス基板５０の右端部に４つのアライメントマーク５１が形成されていることに対応して、４つの導光部１５２が、本体１５１の右側面１５７から表面におけるガラス基板５０の右端部のアライメントマーク５１の部分が搭載される面にかけて貫通するように形成されている。また、ガラス基板５０の左端部に４つのアライメントマーク５２が形成されていることに対応して、４つの導光部１５３が、本体１５１の左側面１５８から表面におけるガラス基板５０の左端部のアライメントマーク５２の部分が搭載される面にかけて貫通するように形成されている。ここで、導光部１５２及び１５３において、本体１５１の側面に設けられた光口を光導入口１５２ａ及び１５３ａ、本体１５１の表面に設けられた開口を光照射口１５２ｂ及び１５３ｂとする。各光照射口１５２ｂ及び１５３ｂは、基板ステージ１１６（本体１５１の表面）に搭載されたガラス基板５０に付されたアライメントマーク５１及び５２に対向して開口する。
【００３２】
照明部１６０−１は、本体１５１の右側面１５７の側に、当該右側面１５７から所定距離だけ離隔して、基板ステージ１１６の移動とは独立して配置されている。基板ステージ１１６は、この照明部１６０−１と本体１５１の右側面１５７における４つの導光部１５２の光導入口１５２ａのそれぞれとが順次対向するように、図４のＣの方向に適宜移動可能である。照明部１６０−１は、基板ステージ１１６の移動に伴い、本体１５１の右側面１５７における４つの導光部１５２の光導入口１５２ａのそれぞれに向けて順次光を照射する。なお、本実施形態において、矢印Ｃ方向は、図２（ｂ）に示す矢印Ｙ方向に一致する。
【００３３】
また、照明部１６０−２は、本体１５１の左側面１５８の側に、当該左側面１５８から所定距離だけ離隔して、基板ステージ１１６の移動とは独立して配置されている。基板ステージ１１６は、この照明部１６０−２と本体１５１の左側面１５８における４つの導光部１５３の光導入口１５３ａのそれぞれとが順次対向するように、図４のＣの方向に適宜移動可能である。照明部１６０−２は、基板ステージ１１６の移動に伴い、本体１５１の左側面１５８における４つの導光部１５３の光導入口１５３ａのそれぞれに向けて順次光を照射する。ここで、照明部１６０−１及び１６０−２は、平面視で矢印Ｘ方向においてカメラ１１４−１及び１１４−２と一直線上に並ぶように筐体１１１上に配置される。
【００３４】
図６に示すように、導光部１５２の内部には反射ミラー１５５が設けられている。この反射ミラー１５５は、照明部１６０−１によって本体１５１の右側面１５７における導光部１５２の光導入口１５２ａに向けて照射された光を反射させて、本体１５１の表面におけるガラス基板５０の右端部のアライメントマーク５１の部分が搭載される面へ導く。導光部１５３の内部についても同様である。すなわち、導光部１５３の内部には反射ミラー１５５が設けられており、この反射ミラー１５５は、照明部１６０−２によって本体１５１の左側面１５８における導光部１５３の光導入口１５３ａに向けて照射された光を反射させて、本体１５１の表面におけるガラス基板５０の左端部のアライメントマーク５２の部分が搭載される面へ導く。この反射ミラー１５５は、導光部１５２及び１５３の一部として機能する。
【００３５】
また、図６に示すように、本体１５１の表面における導光部１５２の光照射口１５２ｂには、拡散板１５６が設けられている。この拡散板１５６は反射ミラー１５５からの光を拡散させて、ガラス基板５０の右端部のアライメントマーク５１の部分及びその周辺に裏面から光を照射し、表面に透過させる。導光部１５３の光照射口１５３ｂも同様である。
【００３６】
上述したように、基板ステージ１１６の本体１５１の右側面１５７から表面のガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分が搭載されるべき面にかけて貫通する導光部１５２が形成されており、照明部１６０−１から右側面１５７における導光部１５２の光導入口１５２ａへ向けて照射された光は、反射ミラー１５５によって反射してガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分及びその周辺に裏面から照射され、表面に透過する。また、基板ステージ１１６の本体１５１の左側面１５８から表面のガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分が搭載されるべき面にかけて貫通する導光部１５３が形成されており、照射部１６０−２から左側面１５８における導光部１５３の光導入口１５３ａへ向けて照射された光は、反射ミラー１５５によって反射してガラス基板５０のアライメントマーク５２の部分及びその周辺に裏面から照射し、表面に透過する。このように、ガラス基板５０に形成されたアライメントマーク５１及び５２の部分及びその周辺に光が照射されることによって、光を透過し難いアライメントマーク５１及び５２と、光を良好に透過するその周辺（ガラス基板５０）との明暗の差を上げることができ、カメラ１１４−１及び１１４−２によるガラス基板５０の撮像において、これらアライメントマーク５１及び５２を検出しやすくなる。
【００３７】
更には、照明部１６０−１及び１６０−２と基板ステージ１１６とは独立して配置されており、基板ステージ１１６は移動するものの、照明部１６０−１及び１６０−２は移動しないので、基板ステージ１１６の移動によって照明部１６０−１及び１６０−２に接続される配線ケーブル１６１−１及び１６１−２がストレスにより断線することがなく、アライメントマーク５１及び５２の検出の確実性が向上する。これにより、アライメントマーク５１及び５２の検出エラーに伴うペースト塗布装置の停止時間を減少させることができるため、装置の稼働率が上がり、生産性を向上させることができる。更に、基板ステージ１１６の移動に伴う配線ケーブル１６１−１及び１６１−２の摺動を防ぐことができるため、基板ステージ１１６の移動に伴う発塵が抑制され、塵埃の付着によるガラス基板５０の品質低下が防止できる。また、複数のアライメントマーク５１及び５２が存在する場合にも、１対の照射部１６０−１及び１６０−２のみを設け、各光導入口１５２ａ及び１５３ａと照射部１６０−１及び１６０−２が対向するように基板ステージ１１６を移動させることで、全てのアライメントマーク５１及び５２と、これらの周辺に光を照射することができ、コストの削減及び消費電力の低減を図ることが可能となる。また、照射部１６０−１及び１６０−２を基板ステージ１１６とは独立させたことにより、照射部１６０−１及び１６０−２を筐体１１１上に露出させた状態で設けることができ、照射部１６０−１及び１６０−２の清掃や光源としてのランプの交換等の保守作業を容易に行うことができる。そのため、照射部１６０−１及び１６０−２を良好な状態に維持することができ、アライメントマーク５１及び５２の検出をより確実に行うことができ、これによっても装置の稼働率を向上させることができる。
【００３８】
なお、上述した実施形態では、導光部１５２及び１５３とアライメントマーク５１及び５２とは１対１に対応したが、１の導光部１５２及び１５３に複数のアライメントマーク５１及び５２が対応する構成としてもよい。この場合には、照明部１６０−１から右側面１５７における１の導光部１５２の光導入口１５２ａへ向けて照射された光は、ガラス基板５０の複数のアライメントマーク５１及び５２の部分及びその周辺に裏面から照射され、表面に透過することになる。また、導光部１５２及び１５３を基板ステージ１１６の上下に貫通して設け、基板ステージ１１６の下面に反射ミラー１５５を配置したり、基板ステージ１１６の下方に照明部１６０−１及び１６０−２を配置してもよい。また、上述した実施形態では、導光部１５２及び１５３を、反射ミラー１５５を用いて構成したが、これに限らず、他の部材、例えば、光ファイバを用いて構成してもよい。
【００３９】
また、上述した実施形態では、基板ステージ１１６に導光部１５２及び１５３が形成されるとともに、照明部１６０−１及び１６０−２が用いられたが、以下の構成によっても、アライメントマーク５１及び５２の検出の確実性を向上させることができる。
【００４０】
図７は、第２の基板ステージ１１６の外観斜視図、図８は、図７に示す第２の基板ステージ１１６の側面拡大断面図である。これら図７及び図８に示すように、基板ステージ１１６は、アライメントマーク５１及び５２が形成されたガラス基板５０を搭載するものであり、本体１５１及び蓄光部材１７１及び１７２を有する。
【００４１】
蓄光部材１７１及び１７２は、本体１５１の表面（搭載面）における、搭載されたガラス基板５０のアライメントマーク５１及び５２に対向する部分に配置されている。ここでは、ガラス基板５０の右端の２つの角部に２箇所ずつ合計４つのアライメントマーク５１が形成されていることに対応して、２つの蓄光部材１７１が、本体１５１の表面右端の２つの角部にそれぞれガラス基板５０の右端角部の２つのアライメントマーク５１をカバーする大きさで配置されている。また、ガラス基板５０の左端の２つの角部に２箇所ずつ合計４つのアライメントマーク５２が形成されていることに対応して、２つの蓄光部材１７２が、本体１５１の表面左端の２つの角部にそれぞれガラス基板５０の左端角部の２つのアライメントマーク５２をカバーする大きさで配置されている。
【００４２】
蓄光部材１７１及び１７２としては、硫化亜鉛と銅を結合させた硫化物や、アルミン酸ストロンチウム、ユウロピウム及びジスプロシウムからなる酸化物が用いられる。硫化亜鉛と銅を結合させた硫化物を材料とする蓄光部材１７１及び１７２は、発色は数種類の選択が可能であるが、初期輝度が低く残光性が短い。一方、ルミン酸ストロンチウム、ユウロピウム及びジスプロシウムからなる酸化物を材料とする蓄光部材１７１及び１７２は、発色は２種類のみであるが、発光性能に優れている。従って、蓄光部材１７１及び１７２としては、ルミン酸ストロンチウム、ユウロピウム及びジスプロシウムからなる酸化物を用いることがより望ましい。
【００４３】
このような構成により、蓄光部材１７１は、ガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分及びその周辺に裏面から光を照射する。同様に、蓄光部材１７１は、ガラス基板５０のアライメントマーク５２の部分及びその周辺に裏面から光を照射する。照射された光は、ガラス基板５０の表面に透過する。ガラス基板５０に形成されたアライメントマーク５１及び５２の部分及びその周辺に光が照射されることによって、光を透過し難いアライメントマーク５１及び５２と、光を良好に透過するその周辺（ガラス基板５０）との明暗の差を上げることができ、カメラ１１４−１及び１１４−２によるガラス基板５０の撮影において、これらアライメントマーク５１及び５２を検出しやすくなる。
【００４４】
更には、電源を必要とする照明部を有しない、すなわち、電源と照明部とを接続する配線ケーブルが不要であるため、当該配線ケーブルがストレスにより断線することがなく、アライメントマーク５１及び５２の検出の確実性が向上する。また、照明部を用いる場合と比較して、稼動時の電力供給が不要であり、消費電力の低減によってコストを削減することが可能である。
【００４５】
なお、蓄光部材１７１及び１７２は、光の放出に伴い、徐々に照度が低下する。このため、図９に示すように、塗布ユニット２０の筐体１１１上を覆う防塵カバー１８０に照明部１８２を取り付け、この照明部１８２によって、定期的に蓄光材料１７１及び１７２に対して光を照射することにより、これら蓄光材料１７１及び１７２に蓄光を行わせるようにすることが望ましい。例えば、照明部１８２による蓄光部材１７１及び１７２の蓄光は、基板ステージ１１６に真空吸着されたガラス基板５０が搬出されて次のガラス基板５０が基板ステージ１１６に搬入されるまでの間に行うことができる。これにより、液晶封止用のペーストが光硬化性を有する場合であっても、照明部１８２から照射された光によってガラス基板５０に塗布されたペーストの硬化が促進されるおそれが防止できるので、製造される液晶表示パネルから液晶が漏れる等の不良が防止され、品質の向上を図ることができる。
【００４６】
また、上述した実施形態では、蓄光部材１７１及び１７２とアライメントマーク５１及び５２とは１対２に対応したが、１の蓄光部材１７１及び１７２と１又は３以上の複数のアライメントマーク５１及び５２が対応する構成であってもよい。また、上述した実施形態では、１つの品種のガラス基板５０に付されたアライメントマーク５１及び５２に合わせて、導光部１５２及び１５３の光照射口１５２ｂ及び１５３ｂや蓄光部材１７１及び１７２を設けたが、これに限らず、複数の品種のガラス基板に対してペーストの塗布を行う場合、各ガラス基板に付されたアライメントマークの位置に合わせて光照射口１５２ｂ及び１５３ｂや蓄光部材１７１及び１７２を個別に配置、あるいは、網羅的に配置してもよい。また、上述した実施形態では、本発明をペースト塗布装置に適用した例について説明したが、液晶表示パネルの製造に際して、ガラス基板に液晶を滴下する液晶塗布装置や、ガラス基板に配向膜やカラーフィルタを形成するためのインクジェット式の塗布装置に適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係るペースト塗布装置は、基板に形成された位置決め用のマークの検出の確実性を向上させることができ、塗布液塗布装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る塗布液塗布装置を適用したペースト塗布システムの実施の形態を示す平面図である。
【図２】塗布ユニットの外観斜視図、及び、塗布ユニット内の各部の移動方向を説明するための座標空間を示す図である。
【図３】塗布ノズル部の構成を示す図である。
【図４】第１の基板ステージの外観斜視図である。
【図５】図４に示す第１の基板ステージの平面図である。
【図６】図４に示す第１の基板ステージの側面拡大断面図である。
【図７】第２の基板ステージの外観斜視図である。
【図８】図７に示す第２の基板ステージの側面拡大断面図である。
【図９】蓄光部材を照射する照明部の配置を示す図である。
【図１０】従来の基板ステージの外観斜視図である。
【図１１】従来の基板ステージの拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０  ペースト塗布システム
２０−１、２０−２、２０−３、２０−４  塗布ユニット
３０  基板受け渡し機構
３２  上流端
３４  下流端
４０  搬送ロボット
５０  ガラス基板
５１、５２  アライメントマーク
１１１  筐体
１１２−１、１１２−２  塗布ノズル部
１１３−１、１１３−２  レーザセンサ
１１４−１、１１４−２  カメラ
１１５  コラム
１１６  基板ステージ
１１８  ＸＹθ移動装置
１４０  シリンジ
１４２  ノズル
１５１  本体
１５２、１５３  導光部
１５２ａ、１５３ａ  光導入口
１５２ｂ、１５３ｂ  光照射口
１５５  反射ミラー
１５６  拡散板
１５７  右側面
１５８  左側面
１６０−１、１６０−２、１８２  照明部
１７１、１７２  蓄光部材
１８０  防塵カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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