(57)【要約】【課題】小型で駆動力が大きくて高効率な駆動装置を提供する。【解決手段】駆動装置である防振ユニット３００は、駆動子３２１ｘを有するＸ軸振動子３２０ｘと、Ｘ軸振動子保持部３４２ｘを有する固定部材のフレーム３０２と、押圧板３４１ｘにより防振シート３５５ｘ，ホルダ３２４ｘを介して前記駆動子が押圧される摺動体３３０ｘをもつＸ枠３０１と、該Ｘ枠の保持部３４２ｙに保持されて、駆動子３２１ｙをもつＹ軸振動子３２０ｙと、押圧板３４１ｙにより防振シート３５５ｙ，ホルダ３２４ｙを介して前記駆動子が押圧される摺動体３３０ｙをもつＹ枠３８とを備えており、前記防振シートの幅は、前記振動子の幅より狭く、かつ、前記防振シートの前記押圧板との接触部にはグリースが塗布されているので、前記駆動子は、前記摺動体に対して片当たりすることなく当接し、効率のよい状態で前記摺動体を駆動することができる。【選択図】図５
2009011097.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直方体形状を有する圧電素子の１つの面に駆動子が配置されたアクチュエータと、
上記アクチュエータを保持する保持部材と、
上記駆動子によって上記保持手段上を移動する移動部材と、
上記保持部材に対する上記圧電素子の位置を規定する規定部材と、
上記規定部材に固着された防振シートと、
上記規定部材および上記防振シートを介して上記アクチュエータに設けられた上記駆動子を上記移動部材に対して押圧する押圧部材と、
を具備し、上記規定部材には上記直方体形状を有する圧電素子の長手方向の長さの中央部に上記押圧部材からの押圧力の力点となる突起部が形成され、上記防振シートは、上記突起部を覆うように上記規定部材に固着され、上記突起部近傍の上記防振シートと上記押圧部材との間に、低摩擦材を介在させたことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
上記低摩擦材は、グリース、または、上記防振シート上あるいは上記押圧部材上に塗布されたフッ素樹脂コートであることを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
【請求項３】
上記防振シートの前記駆動子が配された面の長手方向と垂直な方向の幅は、前記振動子の前記長手方向と垂直な方向の幅よりも狭いことを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
【請求項４】
所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる振動子と、
前記振動子を保持する保持部をもつ固定部材と、
上記固定部材に保持された押圧部材により上記振動子の押圧部を押圧することにより上記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により所定の方向に移動方向が規制され、前記振動子の楕円振動により駆動されて移動する移動体と、
を具備し、上記押圧部には振動減衰性のシートが固着され、上記振動減衰性のシートと上記押圧部に低摩擦剤を介在させたことを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
上記押圧部への上記振動減衰シートの固着は、粘着性の接着剤によりなされることを特徴とする請求項４記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子の楕円振動を利用して移動体（移動部材）を駆動して所定の方向に移動させる駆動装置。
【背景技術】
【０００２】
従来、ブレ補正機能を備える撮像装置として、例えば、カメラがある。このカメラが備えるブレ補正機能としては、カメラピッチ方向のブレ振動とカメラヨー方向のブレ振動とを角速度センサ等のブレ検出手段を用いて検出し、検出されたブレ信号に基づいて、ブレを打ち消す方向に撮像光学系の一部、若しくは、撮像素子を撮影光軸に直交する平面内で水平方向および垂直方向にそれぞれ独立的にシフトさせることにより撮像素子の撮像面上での像のブレを補正する手ブレ補正機能が知られている。
【０００３】
このような手ブレ補正機能を実現する手ブレ補正機構においては、手ブレを補正するために撮影レンズの一部のレンズ、或いは、撮像素子そのものを撮影光軸に直交する平面内で水平方向および垂直方向に移動する駆動手段が用いられている。この駆動手段は、手ブレに追随して動作させるために高い応答性と、精密駆動（微小駆動）と、電源を切っても移動体の位置が保持される自己保持性が要求される。
【０００４】
このような要求に対して、本出願人は特願２００６−３３８７１５号にて手ブレ補正機構として楕円振動をその表面に発生する振動子と、その振動子に押圧された移動体を夫々２つを組み合わせた駆動装置を提示している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記の駆動装置では上記振動子と振動子を移動体側に押圧する押圧板との間にゴム等で形成された振動減衰性シートが挟持されて配されている。この取り付け方法や大きさ等については言及されていない。例えば、図２０は、上記従来の駆動装置における振動子取り付け状態の移動体移動方向と直交する面に沿った断面図である。図２０に示すように振動子５２０の駆動子５２１を移動体５３２に押圧する押圧板５４１と移動体５３２との平行度が多少悪い場合を考えたとき、振動子ホルダ５２４の背面を押圧する振動減衰性シート５５５が押圧板５４１に接着固定され、さらに、該シートの振動子厚み方向の幅が振動子５２０の幅よりも広いとすると、駆動子５２１と移動体５３２との接触状態は、片当たり状態で駆動が行われる。従って、出力の低下や可聴音の発生を招く可能性が高い。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、小型で駆動力が大きく、高効率であって、異常音発生のない駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１記載の駆動装置は、直方体形状を有する圧電素子の１つの面に駆動子が配置されたアクチュエータと、上記アクチュエータを保持する保持部材と、上記駆動子によって上記保持手段上を移動する移動部材と、上記保持部材に対する上記圧電素子の位置を規定する規定部材と、上記規定部材に固着された防振シートと、上記規定部材および上記防振シートを介して上記アクチュエータに設けられた上記駆動子を上記移動部材に対して押圧する押圧部材とを具備し、上記規定部材には上記直方体形状を有する圧電素子の長手方向の長さの中央部に上記押圧部材からの押圧力の力点となる突起部が形成され、上記防振シートは、上記突起部を覆うように上記規定部材に固着され、上記突起部近傍の上記防振シートと上記押圧部材との間に、低摩擦材を介在させている。
【０００８】
本発明の請求項２記載の駆動装置は、請求項１記載の駆動装置において、上記低摩擦材は、グリース、または、上記防振シート上あるいは上記押圧部材上に塗布されたフッ素樹脂コートである。
【０００９】
本発明の請求項３記載の駆動装置は、請求項１記載の駆動装置において、上記防振シートの前記駆動子が配された面上の長手方向と垂直な方向の幅は、前記振動子の前記長手方向と垂直な方向の幅よりも狭い。
【００１０】
本発明の請求項４記載の駆動装置は、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる振動子と、前記振動子を保持する保持部をもつ固定部材と、上記固定部材に保持された押圧部材により上記振動子の押圧部を押圧することにより上記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により所定の方向に移動方向が規制され、前記振動子の楕円振動により駆動されて移動する移動体とを具備し、上記押圧部には振動減衰性のシートが固着され、上記振動減衰性のシートと上記押圧部に低摩擦剤を介在させる。
【００１１】
本発明の請求項５記載の駆動装置は、請求項４記載の駆動装置において、上記押圧部への上記振動減衰性のシートの固着は、粘着性の接着剤によりなされる。
【発明の効果】
【００１２】
（注：００１４〜００１６欠番）
本発明に係る駆動装置によれば、振動子の振動が不要な振動に奪われることがなく出力の高く、また、不要な可聴音も発生することがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る駆動装置および撮像装置を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。なお、各実施の形態の撮像装置は、光電変換によって画像信号を得る撮像素子を含む撮像ユニットの手ブレ補正を行うための駆動装置を搭載したものであり、ここでは、一例としてレンズ交換可能な一眼レフレックス式電子カメラ（デジタルカメラ）への適用例として説明する。本発明は、以下の実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。
【００１４】
まず、本発明の第１の実施の形態の駆動装置を内蔵するカメラのシステム構成例について、図１を参照して説明する。  
図１は、本実施の形態のカメラの主に電気的なシステム構成を概略的に示すブロック図である。
【００１５】
本実施の形態のカメラは、カメラ本体としてのボディユニット１００と、アクセサリ装置の一つである交換レンズとしてのレンズユニット１０とによりシステム構成されている。
【００１６】
レンズユニット１０は、ボディユニット１００の前面に設けられた図示しないレンズマウントを介して着脱自在である。レンズユニット１０の制御は、自身が有するレンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｌμｃｏｍ”と称する）５が行う。ボディユニット１００の制御は、ボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｂμｃｏｍ”と称する）５０が行う。これらＬμｃｏｍ５とＢμｃｏｍ５０とは、ボディユニット１００にレンズユニット１０を装着した状態において通信コネクタ６を介して通信可能に電気的に接続される。そして、カメラシステムとして、Ｌμｃｏｍ５がＢμｃｏｍ５０に従属的に協働しながら稼動するように構成されている。
【００１７】
レンズユニット１０は、撮影レンズ１と絞り３を備える。撮影レンズ１は、レンズ駆動機構２内に設けられた図示しないＤＣモータによって駆動される。絞り３は、絞り機構４内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。Ｌμｃｏｍ５は、Ｂμｃｏｍ５０の指令に基づいてこれら各モータを制御する。
【００１８】
ボディユニット１００内には、以下のような構成部材が図示の如く配設されている。例えば、光学系としてスクリーン１２ａ、ペンタプリズム１２、クイックリターンミラー１１、接眼レンズ１３、サブミラー１１ａからなる一眼レフ方式の構成部材と、撮影光軸上のフォーカルプレーン式のシャッタ１５と、サブミラー１１ａからの反射光束を受けてデフォーカス量を検出するためのＡＦセンサユニット１６とが設けられている。
【００１９】
さらに、ボディユニット１００内には、ＡＦセンサユニット１６を駆動制御するＡＦセンサ駆動回路１７と、クイックリターンミラー１１を駆動制御するミラー駆動回路１８と、シャッタ１５の先幕と後幕を駆動するばねをチャージするシャッタチャージ機構１９と、これら先幕と後幕の動きを制御するシャッタ制御回路２０と、ペンタプリズム１２からの光束を検出する測光センサ２１ａに基づき測光処理を行う測光回路２１が設けられている。また、ストロボ制御回路３７２により発光制御されるストロボ３７１が設けられている。
【００２０】
また、撮影光軸上には上述の光学系を通過した被写体像を光電変換するための撮像ユニット３０が設けられている。撮像ユニット３０は、撮像素子であるＣＣＤ３１やその前面に配設された光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）３２、防塵フィルタ３３をユニットとして一体化してなるものである。防塵フィルタ３３の周縁部には、圧電素子３４が取り付けられている。圧電素子３４は、２つの電極を有しており、防塵フィルタ制御回路４８によって圧電素子３４を所定の周波数で振動させることで防塵フィルタ３３を振動させることで、フィルタ表面に付着した塵を除去し得るように構成されている。撮像ユニット３０に対しては、後述する手ブレ補正用の防振ユニット（駆動装置）３００が付加されている。
【００２１】
また、本実施の形態のカメラシステムは、ＣＣＤ３１に接続したＣＣＤインターフェース回路２３と、液晶モニタ２４、記憶領域として機能するＳＤＲＡＭ２５、ＦＬＡＳＨ ＲＯＭ２６などを利用して画像処理する画像処理コントローラ２８とを備え、電子撮像機能とともに電子記録表示機能を提供できるように構成されている。ここで、記録メディア２７は、各種のメモリカードや外付けのＨＤＤ等の外部記録媒体であり、通信コネクタを介してカメラ本体と通信可能かつ交換可能に装着される。そして、この記録メディア２７に撮影により得られた画像データが記録される。その他の記憶領域としては、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する、例えばＥＥＰＲＯＭからなる不揮発性メモリ２９がＢμｃｏｍ５０からアクセス可能に設けられている。
【００２２】
Ｂμｃｏｍ５０には、当該カメラの動作状態を表示出力によってユーザへ告知するための動作表示用ＬＣＤ５１および動作表示用ＬＥＤ５１ａと、カメラ操作スイッチ群（以下、スイッチは、ＳＷと記載する）５２とが設けられている。カメラ操作ＳＷ群５２は、例えばレリーズＳＷ、モード変更ＳＷおよびパワーＳＷなど、当該カメラを操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群である。さらに、電源としての電池５４と、電池５４の電圧を当該カメラシステムを構成する各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給する電源回路５３が設けられ、外部電源からジャックを介して電流が供給されたときの電圧変化を検知する電圧検出回路も設けられている。
【００２３】
上述のように構成されたカメラシステムの各部は、概略的には以下のように稼動する。まず、画像処理コントローラ２８は、Ｂμｃｏｍ５０の指令に従ってＣＣＤインターフェース回路２３を制御してＣＣＤ３１から画像データを取り込む。この画像データは画像処理コントローラ２８でビデオ信号に変換され、液晶モニタ２４で出力表示される。ユーザは、この液晶モニタ２４の表示画像から、撮影した画像イメージを確認できる。
【００２４】
ＳＤＲＡＭ２５は、画像データの一時的保管用メモリであり、画像データが変換される際のワークエリアなどに使用される。また、画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後、記録メディア２７に保管される。
【００２５】
ミラー駆動機構１８は、クイックリターンミラー１１をアップ位置とダウン位置へ駆動するための機構であり、このクイックリターンミラー１１がダウン位置にある時、撮影レンズ１からの光束はＡＦセンサユニット１６側とペンタプリズム１２側へと分割されて導かれる。ＡＦセンサユニット１６内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路１７を介してＢμｃｏｍ５０へ送信されて周知の測距処理が行われる。一方、ペンタプリズム１２を通過した光束の一部は測光回路２１内の測光センサ２１ａへ導かれ、ここで検知された光量に基づき周知の測光処理が行われる。
【００２６】
次に、図２を参照してＣＣＤ３１を含む撮像ユニット３０について説明する。  
図２は、撮像ユニット３０の構成を示す縦断側面図である。
【００２７】
撮像ユニット３０は、撮影光学系を透過し自己の光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子としてのＣＣＤ３１と、ＣＣＤ３１の光電変換面側に配設され、撮影光学系を透過して照射される被写体光束から高周波成分を取り除く光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）３２と、この光学ＬＰＦ３２の前面側において所定間隔をあけて対向配置された防塵フィルタ３３と、この防塵フィルタ３３の周縁部に配設されて防塵フィルタ３３に対して所定の振動を与えるための圧電素子３４とを備える。
【００２８】
ここで、ＣＣＤ３１のＣＣＤチップ３１ａは固定板３５上に配設されたフレキシブル基板３１ｂ上に直接実装され、フレキシブル基板３１ｂの両端から出た接続部３１ｃ，３１ｄが主回路基板３６に設けられたコネクタ３６ａ，３６ｂを介して主回路基板３６側と接続されている。また、ＣＣＤ３１が有する保護ガラス３１ｅは、スペーサ３１ｆを介してフレキシブル基板３１ｂ上に固着されている。
【００２９】
また、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２との間には、弾性部材等からなるフィルタ受け部材３７が配設されている。このフィルタ受け部材３７は、ＣＣＤ３１の前面側周縁部で光電変換面の有効範囲を避ける位置に配設され、かつ、光学ＬＰＦ３２の背面側周縁部の近傍に当接することで、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２との間を略気密性が保持されるように構成されている。そして、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２とを気密的に覆うホルダであるＹ枠３８が配設されている。Ｙ枠（ホルダ）３８は、撮影光軸周りの略中央部分に矩形状の開口３８ａを有し、この開口３８ａの防塵フィルタ３３側の内周縁部には断面が略Ｌ字形状の段部３８ｂが形成され、開口３８ａに対してその後方側から光学ＬＰＦ３２およびＣＣＤ３１が配設されている。ここで、光学ＬＰＦ３２の前面側周縁部を段部３８ｂに対して略気密的に接触させるように配置することで、光学ＬＰＦ３２は段部３８ｂによって撮影光軸方向における位置規制がなされ、Ｙ枠（ホルダ）３８の内部から前面側に対する抜け止めがなされる。
【００３０】
一方、Ｙ枠（ホルダ）３８の前面側の周縁部には、防塵フィルタ３３を光学ＬＰＦ３２の前面に所定間隔あけて保持するために段部３８ｂ周りで段部３８ｂよりも前面側に突出させた防塵フィルタ受け部３８ｃが全周に亘って形成されている。全体として円形ないしは多角形の板状に形成された防塵フィルタ３３は、板ばね等の弾性体によって形成されてねじ３９で防塵フィルタ受け部３８ｃに固定された押圧部材４０による押圧状態で防塵フィルタ受け部３８ｃに支持される。ここで、防塵フィルタ３３の背面側の外周縁部に配設された圧電素子３４部分には、防塵フィルタ受け部３８ｃとの間に環状のシール４１が介在され、気密状態が確保されている。撮像ユニット３０は、このようにしてＣＣＤ３１を搭載する所望の大きさに形成されたＹ枠（ホルダ）３８を備える気密構造に構成されている。
【００３１】
次に、本実施の形態のカメラの手ブレ補正機能について説明する。
【００３２】
本実施の形態では、撮影光軸の方向をＺ軸方向とした場合、撮影光軸に直交するＸＹ平面内で直交する第１の方向であるＸ軸方向および第２の方向であるＹ軸方向に撮像素子であるＣＣＤ３１をブレを補償するように変位移動させるものであり、手ブレ補正用の駆動装置を含む防振ユニットは、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる振動子を駆動源として用い、撮像ユニット３０中のＣＣＤ３１を搭載したＹ枠（ホルダ）３８を移動対象物として構成される。
【００３３】
まず、本実施の形態の駆動装置で駆動源として用いる振動子の動作原理について図３（Ａ）〜（Ｄ）および図４を参照して説明する。  
図３（Ａ）〜（Ｄ）は、振動子の動作原理を示す模式図である。図４は、上記振動子と被駆動体である移動体との斜視図である。
【００３４】
図３（Ａ）等に示す振動子２００は、所定の大きさで矩形状に形成された圧電体２０１と、この圧電体２０１の片面側に片寄らせて中心対称に形成された一対の駆動電極２０２，２０３と、駆動電極２０２，２０３に対応する圧電体２０１の表面位置に設けられた駆動部としての駆動子２０４，２０５とを備えている。
【００３５】
駆動電極２０２に＋の電圧を印加すると、図３（Ａ）に示すように、駆動電極２０２部分が伸びるように変形する一方、その背面側の圧電体２０１部分は伸びるように変形しないので全体として円弧状に変形する。逆に、駆動電極２０２に−の電圧を印加すると、図３（Ｃ）に示すように、駆動電極２０２部分が縮むように変形する一方、その背面側の圧電体２０１部分は縮まないので全体として、図３（Ａ）とは逆向きの円弧状に変形する。駆動電極２０３側でも同様である。
【００３６】
そこで、駆動子２０４，２０５の表面に楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 を発生させるには、圧電体２０１の分極された一方の駆動電極２０２に所定周波数の正弦波による周波電圧を印加するととともに、他方の駆動電極２０３に駆動電極２０２に印加する周波電圧の周波数と同じ周波数で位相のずれた正弦波による周波電圧を印加する。印加する周波電圧の周波数は、圧電体２０１の中央が屈曲振動の節Ｑ0 となり、駆動子２０４，２０５部分が屈曲振動の腹となり、かつ、圧電体２０１の縦振動（直方体の長手方向に伸び縮みする振動、図３（Ｄ）参照）の節が屈曲振動の節と一致するような所定の数値に設定する。この設定状態で印加される周波電圧の＋，−の変化に伴い、振動子２００は、図３（Ｂ）に示す状態を含めて、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示す屈曲振動を繰り返し、駆動子２０４，２０５の表面には楕円振動が発生する。図４に示す駆動対象となる移動体（移動部材）２０６を振動子２００の駆動子２０４，２０５側に押圧接触させて配設することによって、移動体２０６は、駆動子２０４，２０５の表面に生ずる楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 の向きに従い移動することとなる。
【００３７】
この際、駆動電極２０２，２０３に印加する周波電圧の位相差を変えることで、駆動子２０４，２０５の表面に発生する楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 の形状を変えることが可能であり、これにより振動子２００に駆動されて移動する移動体２０６の移動速度を変えることができる。例えば、周波電圧の位相差が０°であれば速度は０であるが、位相差を増やすと速度は次第に上がり、位相差９０°で最大速度となり、また、９０°を超えて位相差を大きくすると逆に速度は次第に下がり、位相差１８０°では再び速度０となる。位相差を負の値にすると、駆動子２０４，２０５に発生する楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 の回転方向が逆転し、移動体を逆方向に駆動することが可能となる。この場合も、位相差−９０°のときに最大速度となる。
【００３８】
上述のような振動子を駆動源として用いる本実施の形態の防振ユニットについて図５〜図１０を参照して説明する。  
図５は、本実施の形態の防振ユニットの構成を示す分解斜視図であり、図６は、図５の防振ユニットの各構成要素の形状を簡略化して示し、撮影光軸前方側から見た概略の防振ユニット配置図である。図７は、図６のＡ−Ａ断面図である。図８は、図６のＢ−Ｂ断面図である。図９は、図６のＣ−Ｃ断面図である。図１０は、図７のＤ−Ｄ断面図である。図１１は、図７のＤ−Ｄ断面図であって、押圧機構の押圧板が摺動板に対して多少傾斜しており、振動子もそれに倣って傾斜している状態を示している。図１２は、図７のＤ−Ｄ断面図であって、押圧機構の押圧板が摺動板に対して多少傾斜しているが振動子の傾斜が修正された状態を示している。
【００３９】
まず、本実施の形態の防振ユニット３００は、光学ＬＰＦ３２、防塵フィルタ３３等ともにＣＣＤ３１を搭載したホルダであるＹ枠（第２の移動体，移動部材）３８をＸ軸方向（第１の方向）およびＹ軸方向（第２の方向）に移動させる最終的な移動対象物とするものであり、撮影光軸周りの開口３０１ａを囲む枠部３０１ｂを有する枠形状でＹ枠３８をＹ軸方向に移動可能に搭載するよう所望の大きさに形成されたＸ枠（第１の移動体、移動部材、または、Ｙ枠に対する固定部材、保持部材）３０１と、撮影光軸周りの開口３０２ａを囲む枠部３０２ｂを有する枠形状でＸ枠３０１をＸ軸方向に移動可能に搭載するよう所望の大きさに形成されて図示しないカメラ本体に固着されたフレーム（固定部材、保持部材）３０２とを備える。なお、Ｘ軸方向とＹ軸方向は、互いに垂直な方向であって、撮影光軸（図中、Ｏで示す）に対して垂直に交差する方向とする。
【００４０】
そして、Ｘ枠３０１をフレーム３０２に対してＸ軸方向に変位移動させるＸ軸駆動機構部３１０ｘと、Ｙ枠３８をＸ枠３０１に対してＹ軸方向に変位移動させるＹ軸駆動機構３１０ｙとを備え、Ｙ枠３８をＸ枠３０１とともにフレーム３０２に対してＸ軸方向に変位移動させるとともにＸ枠３０１に対してＹ軸方向に変位移動させることにより、Ｙ枠３８に搭載されたＣＣＤ３１はＸＹ平面内でＸ軸方向およびＹ軸方向にブレを補償するように変位移動される。
【００４１】
ここで、Ｘ軸駆動機構部３１０ｘの構成について説明する。Ｘ軸駆動機構部３１０ｘは、Ｘ軸振動子（第１の振動子）３２０ｘと、Ｘ枠３０１に一体に固定されてＸ枠３０１とともに駆動対象となる摺動体（第１の移動体部）３３０ｘと、Ｘ軸振動子３２０ｘを摺動体３３０ｘ側に付勢する押圧機構（付勢手段）３４０ｘとを備える。
【００４２】
Ｘ軸振動子３２０ｘは、前記図３，４で説明した振動子２００の動作原理に従い、所定の周波電圧が印加されることにより楕円振動が発生する駆動子（駆動部）３２１ｘ，３２２ｘを矩形状の圧電体３２３ｘの片面に備えている。さらに、Ｘ軸振動子３２０ｘは、圧電体３２３ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘと相反する側の中央位置に振動子ホルダ（規定部材、押圧部）３２４ｘを有し、振動子ホルダ３２４ｘに形成された突起３２５ｘがフレーム３０２の溝状保持部３４２ｘ（第１の保持部）に嵌合することで、Ｘ軸振動子３２０ｘはＸ軸方向の移動が規制されるように位置決めされて保持されている。
【００４３】
振動子ホルダ３２４ｘの背面側（押圧機構３４０ｘ側）には振動子を押圧する力点となる中央突起部３２４ａｘが設けられており、さらに、該中央突起部には、防振シート（振動減衰性シート）３５５ｘが接着固定されている。
【００４４】
防振シート３５５ｘの幅Ｂ1 （移動体移動方向であるＸ軸方向と直交する方向の幅）は、図１０に示すように駆動子３２１ｘ，３２２ｘの摺動面上におけるＸ軸振動子３２０ｘの厚さ方向（Ｘ軸方向と直交する方向）の幅Ｂ0 よりも短い寸法とする。そして、防振シート３５５ｘとしては、振動を吸収する材料、例えば、天然ゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、ブチルゴム、ブタジェンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、ウレタンゴム、あるいは、上記各ゴム材料の発泡ゴム、さらに、フェルトやコルク等の材料が適用される。
【００４５】
Ｘ軸振動子３２０ｘは、後述する押圧機構３４０ｘの押圧板（押圧部材）３４１ｘにより防振シート３５５ｘおよび振動子ホルダ３２４ｘを介して摺動体３３０ｘ側に押圧される。防振シート３５５ｘと押圧板３４１との接触面には、低摩擦剤が塗布される。該低摩擦剤としては、摩擦係数０．０２５程度を有したシリコン系グリース、フッ素系グリース、金属石けんグリース（リチュウーム石けんグリース）などのグリースや鉱物油、シリコンオイル、フッ素系オイルなどのオイル、さらに、二硫化モリブデン、微粒グラファイト、ダイヤモンドライクカーボン、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）フッ素コート剤などの固体潤滑剤が使用される。
【００４６】
このような構成により駆動子３２１ｘ，３２２ｘに生じる楕円振動による駆動力が摺動体３３０ｘに対してＸ軸方向に作用する。
【００４７】
また、摺動体３３０ｘは、軸受け（被ガイド部）３３１ｘ上に摺動板（摺動部）３３２ｘを固着してなる。軸受け３３１ｘは、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが押圧されて摺動板３３２ｘに接触する位置でＸ枠３０１の一部に対して例えば、ビス３３３ｘにより一体となるように固定されている。なお、Ｘ枠３０１に対する摺動体３３０ｘの固定は、ビス止めに限らず、接着等であってもよく、固定方式は、特に問わない。ここで、摺動体３３０ｘは、図５からも明らかなように、所望の大きさに形成されたＸ枠３０１に比して小さな大きさ、即ち、Ｘ軸振動子３２０ｘ相当の大きさに形成されたものである。また、Ｘ枠３０１が剛性の低い樹脂材料やアルミニウム等により形成されているのに対して、摺動板３３２ｘは、耐磨耗性を有して剛性の高いセラミックス等の材質で形成され、軸受け３３１ｘは、フェライト系のステンレス等の焼入れ可能な材質に焼入れをして剛性を高めたものである。
【００４８】
また、フレーム３０２は、フレーム３０２に形成された開口形状の取付部に配置されて摺動体３３０ｘの軸受け３３１ｘに対向するようにビス３０３ｘで固定された軸受け（ガイド部）３０４ｘを備える。この軸受け３０４ｘには、図７，１０に示すように、Ｘ軸方向に沿わせたＶ溝３０５ｘが形成された磨耗防止用のＶ溝板３０６ｘを固着している。軸受け３３１ｘには、図７，１０に示すように、軸受け３０４ｘ側のＶ溝板３０６ｘのＶ溝３０５ｘに対向するＶ溝３３４ｘが形成されている。ここで、リテーナ３３５ｘで位置決めされた２個のボール３３６ｘ（転動体）をＶ溝３０５ｘ，３３４ｘ間に挟み込ませることにより、軸受け３０４ｘ，３３１ｘは、Ｘ軸方向に沿って１列に配列された２個のボール３３６ｘを有する構造となっている。２個のボール３３６ｘは、図７等に示すように、駆動子３２１ｘ，３２２ｘ直下より少しＸ軸方向外側となる位置付近に位置決めされており、リテーナ３３５ｘによりＸ軸方向の移動が規制されている。なお、上記転動体としてはボールに限らず、ローラを適用してもよい。
【００４９】
押圧機構３４０ｘは、座板３４４ａｘおよびスペーサ３４３ｘを介して一端がビス３４４ｘによりフレーム３０２に固定されてＸ軸振動子３２０ｘを保持する押圧板３４１ｘと、この押圧板３４１ｘの他端側をフレーム３０２に固定するビス３４５ｘ周りの座板３４５ａｘおよびスペーサ３４６ｘを挟んで配設され、該押圧板３４１ｘを付勢する押圧ばね３４７ｘとを備えている。この押圧ばね３４７ｘによる付勢力によって押圧板３４１ｘを介し、さらに、防振シート３５５ｘ、振動子ホルダ３２４ｘを経てＸ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが摺動板３３２ｘに所定の力で押圧接触する。この押圧機構３４０ｘによる押圧力は、１５Ｎ（ニュートン）程度の非常に大きな力に設定されている。
【００５０】
押圧板３４１ｘが摺動板３３２ｘに対して図７のＤ−Ｄ断面上で多少傾いている場合、駆動子３２１ｘ，３２２ｘは、組み立て直後の状態では摺動板３３２ｘに対して図１１の断面図に示すように片当たり状態で保持されることになる。しかし、前述したように防振シート３５５ｘの幅がＸ軸振動子３２０ｘの幅（従って、駆動子３２１ｘ，３２２ｘの幅）より狭く、かつ、押圧板３４１ｘと防振シート３５５ｘとの接触面に低摩擦剤が塗布されていることで、Ｘ軸振動子３２０ｘを振動駆動させることにより自動的に上記接触面が相対移動してＸ軸振動子３２０ｘの姿勢が修正され、図１２の断面図に示すように駆動子３２１ｘ，３２２ｘの摺動板３３２ｘに対する片当たりがなくなる。
【００５１】
このように押圧板３４１ｘが摺動板３３２ｘに対して多少傾いているような状態であっても駆動子３２１ｘ，３２２ｘの片当たりがない状態に自動修正されることから摺動板３３２ｘでの可聴音の発生や駆動力伝達効率の低下が防止できる。
【００５２】
軸受け３３１ｘは、ボール３３６ｘの中心を通り、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りに回転可能であるが、軸受け３３１ｘがＸ枠３０１に一体化され、軸受け３３１ｘからＸ軸方向とは異なる方向の離れた位置、詳しくは、フレーム枠部３０２ｂ上で最も離れた、略対角位置でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に１つのボール（転動体）３０７ｘが配設されている（図９）。このボール３０７ｘは、該ボール３０７ｘ近傍でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に係止させたばね３０８ｘによる付勢力で溝３０２ｄに挟持状態に維持され（図６）、フレーム３０２に対するＸ枠３０１の撮影光軸（Ｚ軸）方向の間隔を維持するように位置決めする。ここで、ばね３０８ｘの付勢力は、ボール３０７ｘの挟持状態を維持できればよく、押圧ばね３４７ｘの付勢力に比して数段弱く設定されている。これにより、摺動体（移動体部）３３０ｘが取り付けられて一体となったＸ枠（移動体）３０１は、フレーム３０２に対して２個のボール３３６ｘと１個のボール３０７ｘとによる３点支持で移動し得る構成となっている。また、ボール３０７ｘをボール３３６ｘに対して、撮影光軸及び開口３０１ａを挟んで反対側に配することで、ボール３０７ｘとボール３３６ｘとの距離を離間して配置することができ、安定した３点支持構造を採用することができる。このように本実施の形態によれば、３つのボール（転動体）で、Ｘ枠（移動体）３０１の移動方向のガイドを行うとともに傾きをも規定することができ、安定した駆動が可能となる。
【００５３】
一方、Ｙ軸駆動機構部３１０ｙも、基本構造はＸ軸駆動機構部３１０ｘと同様であり、フレーム３０２に代えてＸ枠３０１を固定部材とし、Ｘ枠３０１に代えてＹ枠３８（第２の移動体）を移動対象としており、Ｙ軸振動子（第２の振動子）３２０ｙと、Ｙ枠３８に一体に固定され、該Ｙ枠３８とともに駆動対象となる摺動体（第２の移動体部）３３０ｙと、Ｙ軸振動子３２０ｙを摺動体３３０ｙ側に付勢する押圧機構（付勢手段）３４０ｙとを備える。このＹ軸駆動機構部３１０ｙについては、Ｘ軸駆動機構部３１０ｘと異なる部分を説明し、同一または対応する部分には同一符号に添え字ｙを付して示し、説明は省略する。
【００５４】
Ｙ軸駆動機構部３１０ｙがＸ軸駆動機構部３１０ｘと異なるところは夫々の摺動板３３２ｘ，３３２ｙの厚さである（材料は同じであり、密度も同じ）。ここではＸ軸駆動機構部３１０ｘの板厚がＹ軸駆動機構部３１０ｙのそれより厚く構成されている。従って、摺動板３３２ｘの屈曲（即ち、振動子の屈曲振動に対応する屈曲）に対する剛性は、厚さの３乗に比例して大きくなり、摺動板３３２ｙを固着して構成される摺動体３３０ｙの剛性は摺動体３３０ｘよりも小さくなる。ここで、Ｘ軸駆動機構部３１０ｘの摺動板３３２ｘを厚くしてあるが、これはＸ軸駆動機構部３１０ｘが駆動するＸ枠３０１は、Ｙ軸駆動機構部３１０ｙも保持しており、より大きな駆動力を発生する必要があり、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動振幅はより大きく、剛性を高めて摺動板３３２ｘへの振動印加での撓みによる振動エネルギー損失を少なくするためである。また、摺動板３３２ｘの厚さを厚くすることにより、摺動体３３０ｘの剛性を大きくすることができ、摺動体３３０ｘの屈曲の基本周波数を高くすることにより、摺動体３３０ｘがＸ軸振動子の駆動周波数に重ならないように設定することができ、摺動体３３０ｘの共振による振動エネルギーの損失も抑えることができる。
【００５５】
なお、上述したように摺動板３３２ｘ，３３２ｙを含む摺動体３３０ｘと３３０ｙとの厚さを異ならせるる以外にも構成材料の弾性率、または、剛性を異ならせたり（例えば、摺動板の中立軸に関する断面２次モーメントを異ならせる）、さらには、密度の異なる材料を適用するなどにより摺動体３３０ｘ側の屈曲の基本周波数を高くして同様の効果を得ることができる。
【００５６】
また、本実施の形態の防振ユニット３００は、ボディユニット１００のＸ軸周りのブレ（ピッチ方向のブレ）を検出するセンサであるＸ軸ジャイロ３５０ｘとボディユニット１００のＹ軸周りのブレ（ヨー方向のブレ）を検出するセンサであるＹ軸ジャイロ３５０ｙとがボディユニット１００の本体部に配設されている。また、フレーム３０２に配設させたホール素子３５１とホール素子３５１に対向するようにＹ枠３８の一部に配設させたマグネット３５２とからなる位置検出センサ３５３を備える。そして、これらＸ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙおよび位置検出センサ３５３からの信号に基づきＸ軸振動子３２０ｘ、Ｙ軸振動子３２０ｙに対する振動子駆動回路３５４を制御する防振制御回路３５５を備える。防振制御回路３５５は、Ｂμｃｏｍ５０からの指示に従い制御動作を実行する。
【００５７】
次に、Ｘ軸駆動機構３１０ｘの動作について、図１３〜１７および図１８（Ａ）〜（Ｈ）を参照して説明する。  
なお、図１３〜１７は、Ｘ軸振動子の振動がＹ軸振動子側に伝わる状態を示しており、そのうち、図１３は、防振ユニットを撮影光軸後方側から見た図である。図１４は、図１３のＥ−Ｅ断面を示し、図１５は、図１３のＦ−Ｆ断面を示し、図１６は、図１３のＧ−Ｇ断面を示し、さらに、図１７は、図１３のＨ−Ｈ断面を示している。また、図１８（Ａ）〜（Ｈ）は、それぞれＸ軸駆動機構のＸ軸振動子の振動動作状態を示す図である。
【００５８】
Ｘ軸振動子３２０ｘに所定の周波電圧を印加して駆動子３２１ｘ，３２２ｘに楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 を発生させると、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘの作用点Ｐ1 ，Ｐ2 が押圧機構３４０による強い付勢力で摺動板３３２ｘに押圧接触しているので、摺動体３３０ｘは、駆動子３２１ｘ，３２２ｘの楕円振動の回転方向に駆動される。例えば、図１８（Ａ）から（Ｈ）の状態へ順次変化して、楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 する駆動子３２１ｘ，３２２ｘが接触している摺動板３３２ｘが図の左方向に移動する。上記楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 が逆方向まわりの振動であれば、摺動板３３２ｘは、当然ながら図の右方向に移動する。
【００５９】
この際、Ｘ軸振動子３２０ｘとＹ軸振動子３２０ｙの共振周波数が略同じで、かつ、摺動体の剛性が同じであるとした場合、Ｘ軸振動子の振動がＹ軸振動子側に伝わる状態を示す図である図１３〜１７のようにＸ軸振動子３２０ｘの振動波Ｗは、摺動板（摺動部）３３２ｘ、軸受け（被ガイド部）３３１ｘ、Ｘ枠３０１、軸受け（ガイド部）３０４ｙ、Ｖ溝板３０６ｙ、ボール３３６ｙ、軸受け（ガイド部）３０４ｙ、摺動板（摺動部）３３２ｙを経てＹ軸振動子３２０ｙに伝達される。そして、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動振動に共振して、振動伝達経路も含めた系での振動をし易くなり、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動振動エネルギーを吸収し、動作が不安定になったり、動作しなくなってしまったり、駆動振動と共鳴して可聴音を発生したりする。また、Ｙ軸振動子３２０ｙを駆動させた場合は、上述した経路を逆に振動が伝達し、同様な不具合が発生する。
【００６０】
しかしながら本実施の形態では、摺動体３３０ｘを構成する摺動板３３２ｘが摺動板３３２ｙより厚く構成されており、摺動体３３０ｘと摺動体３３０ｙの剛性が異なるために上記の振動伝達系を含めた共振周波数を駆動振動からずらすことができて、防振ユニットの動作が不安定になったり、出力が低下したり、共鳴して可聴音が発生することがない。例えば、摺動板と軸受けの両方の厚さを２倍にすると摺動体の剛性は、厚さの３乗に比例するので、８倍にすることが可能で、その時の共振周波数は２倍にすることができる。材質を変更してヤング率Ｅを２倍にし、密度ρを１／２とすると、共振周波数はヤング率／密度の平方根に比例するので２倍にすることが可能である。この場合にＹ軸振動子３２０ｙを駆動してもＸ軸駆動機構３１０ｘが共振することが無く、動作が不安定になったり、動作しなくなってしまったり、可聴音が発生することがない。
【００６１】
また、摺動体３３０ｘおよび軸受け３３１ｘの剛性が高いため、駆動子３２１ｘ，３２２ｘと摺動板３３２ｘとの押圧接触状態が安定し、楕円振動に伴う駆動力が摺動板３３２ｘに確実に伝達され、高効率で楕円振動の回転方向に駆動することができる。この際、摺動板３３２ｘを有する摺動体３３０ｘ側はフレーム３０２に対して面接触ではなく、軸受け３３１ｘ，３０４ｘ部分でのボール３３６ｘによる転動方式で接触しているので、押圧力が強くても摺動体３３０ｘはフレーム３０２に対して摩擦の少ない状態で確実に移動することとなる。そして、軸受け３３１ｘ，３０４ｘは、Ｘ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造からなるので、摺動体３３０ｘはＸ軸振動子３２０ｘによる駆動を受けた場合にＸ軸方向にのみ移動する。このように摺動体３３０ｘが移動すると、摺動体３３０ｘが固定されたＸ枠３０１も、摺動体３３０ｘと一体となってＸ軸方向に移動する。すなわち、Ｘ枠３１０ｘの移動方向も、Ｘ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造からなる軸受け３３１ｘ，３０４ｘ同士の係合によりガイドされる。
【００６２】
このような動作において、軸受け３３１ｘはボール３３６ｘの中心を通り、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りに回転可能であるが、軸受け３３１ｘがＸ枠３０１に一体化され、軸受け３３１ｘからＸ軸方向とは異なる方向の離れた位置でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に１つのボール３０７ｘが配設され、摺動体３３０ｘを固定したＸ枠３０１（移動体）が、フレーム３０２に対して２個のボール３３６ｘと１個のボール３０７ｘとによる離れた位置での３点支持とされているので、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りの回転による煽りを生ずることなく安定してフレーム３０２上をＸ軸方向に移動する。よって、Ｘ軸振動子３２０ｘに対する強い押圧部分のガイド支持機構が、軸受け３３１ｘ，３０４ｘによるＸ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造で済み、小型化・構造単純化が可能となる。
【００６３】
Ｙ軸駆動機構３１０ｙも、Ｘ軸駆動機構３１０ｘの場合と同様に動作する。
【００６４】
次に、本実施形態のカメラにおける手ブレ補正動作について説明する。
【００６５】
カメラ操作ＳＷ群５２中の図示しない手ブレ補正ＳＷがオンされており、図示しないメインＳＷがオンされると、Ｂμｃｏｍ５０から防振制御回路３５５に対して、振動子駆動回路３５４が初期動作を実行する信号が伝達され、振動子駆動回路３５４からＸ軸振動子３２０ｘおよびＹ軸振動子３２０ｙに所定の周波電圧が印加され、ＣＣＤ３１の中心が撮影光軸上にくるようにＸ枠３０１およびＹ枠３８がＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される。
【００６６】
そして、Ｘ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙによって検出されるボディユニット１００のブレ信号を防振制御回路３５５に取り込む。ここで、Ｘ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙにてその一方の軸周りのブレを検出する角速度センサから出力された信号が、処理回路で信号増幅後、Ａ／Ｄ変換されて防振制御回路３５５に入力される。
【００６７】
防振制御回路３５５では、Ｘ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙの出力信号に基づきブレ補正量を演算し、演算されたブレ補正量に応じた信号を振動子駆動回路３５４に出力する。ＣＣＤ３１を搭載したＹ枠３８およびＸ枠３０１は、振動子駆動回路３５４によって生成される電気信号によって動作するＹ軸振動子３２０ｙ、Ｘ軸振動子３２０ｘによって駆動される。ＣＣＤ３１の駆動位置、即ち、Ｙ枠３８の駆動位置は、位置検出センサ３５３によって検出され、防振制御回路３５５に送られフィードバック制御が行われる。
【００６８】
すなわち、防振制御回路３５５では、入力されたＸ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙからの信号（以下、「ブレ信号」または「ブレ角速度信号」ともいう）に基づいて基準値を演算する。基準値の演算は、カメラの主電源を投入してから静止画撮影のための露光を行うまでの間、行う。この演算としては、比較的長時間のブレ信号の移動平均値を算出する方法、またはカットオフ周波数が比較的低いローパスフィルタによりＤＣ成分を求める方法等があり、何れかの方法を用いればよい。この演算により求めた基準値をブレ信号より差分することにより、ブレ信号の低周波成分が除去された信号が得られる。そして、この信号と位置検出センサ３５３の出力信号とに基づいて振動子駆動回路３５４が制御されて、ＣＣＤ３１、即ち、Ｙ枠３８の位置を、ブレを補償するように移動させる。
【００６９】
ここで、本実施形態のカメラにおける静止画撮影時のブレ補正動作について図１９を参照して説明する。  
図１９は、静止画撮影時のブレ補正動作を示す概略フローチャートである。なお、本動作は、レリーズＳＷにより撮影準備開始が指示される以前、即ち、レリーズＳＷの１段目レリーズ操作である１Ｒオンの前においては行われず、１Ｒオン操作されると、即ち、撮影準備開始が指示されると開始する。
【００７０】
本動作が開始されると、上述の基準値を用いて補正量を演算し、算出された補正量に従ってブレ補正駆動を開始する（ステップＳ１１）。続いて、レリーズＳＷによる撮影準備開始指示が解除されたか、即ち、１Ｒオフになったか否かを判定し（ステップＳ１３）、解除された場合には（ステップＳ１３の判別でＹＥＳの場合）、ステップＳ１１で開始されたブレ補正駆動を停止するとともにＣＣＤ３１をセンタリングし（ステップＳ１９）、撮影準備開始の指示待ち状態（１Ｒ待ち状態）に戻る。
【００７１】
一方、レリーズＳＷによる撮影準備開始指示が解除されない場合には（ステップＳ１３の判別でＮＯの場合）、続いて、レリーズＳＷにより撮影開始が指示されたか、即ち、２段目レリーズ操作である２Ｒがオンになったか否かを判定し（ステップＳ１４）、指示されない場合には（ステップＳ１４の判別でＮＯの場合）、ステップＳ１３に戻り、指示待ち状態で待機する。レリーズＳＷにより撮影開始が指示された場合には（ステップＳ１４の判別でＹＥＳの場合）、ステップＳ１１で開始されたブレ補正駆動を停止するとともにＣＣＤ３１をセンタリングする（ステップＳ１５）。続いて、保持された基準値を用いて補正量を演算し、その補正量に従ってブレ補正駆動を開始する（ステップＳ１７）。そして、露光を行い（ステップＳ１８）、露光が終了すると、ブレ補正駆動を停止するとともにＣＣＤ３１をセンタリングし（ステップＳ１９）、撮影準備開始の指示待ち状態（１Ｒ待ち状態）に戻る。
【００７２】
以上、説明したように本実施形態の駆動装置を内蔵する撮像装置であるカメラによれば、撮像ユニットを保持するＹ枠を効率よく安定した状態で手ブレに応じて駆動することができ、より確実な手ブレ補正を行うことが可能であり、カメラの小型化も実現できる。
【００７３】
また、押圧板３４１ｘが摺動板３３２ｘに対して多少傾いているような状態であっても駆動子３２１ｘ，３２２ｘの片当たりがない状態に確実に修正されることから摺動板３３２ｘでの可聴音の発生や駆動力伝達効率の低下が抑えられる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明による駆動装置は、小型で駆動力が大きく、可聴音の発生がなく、高効率の駆動装置として利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の実施の形態の駆動装置を内蔵するカメラの主に電気的なシステム構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】図１のカメラに内蔵される撮像ユニットの構成を示す縦断側面図である。
【図３】図１のカメラの防振ユニットに適用される振動子の動作原理を示す模式図である。
【図４】図３の振動子と被駆動体である移動体との斜視図である。
【図５】図１のカメラに内蔵される防振ユニットの構成を示す分解斜視図である。
【図６】図５の防振ユニットの各構成要素の形状を簡略化して示し、撮影光軸前方側から見た概略の防振ユニット配置図である。
【図７】図６のＡ−Ａ断面図である。
【図８】図６のＢ−Ｂ断面図である。
【図９】図６のＣ−Ｃ断面図である。
【図１０】図７のＤ−Ｄ断面図である。
【図１１】図７のＤ−Ｄ断面図であって、押圧機構の押圧板が摺動板に対して多少傾斜しており、振動子もそれに倣って傾斜している状態を示している。
【図１２】図７のＤ−Ｄ断面図であって、押圧機構の押圧板が摺動板に対して多少傾斜しているが振動子の傾斜が修正された状態を示している。
【図１３】図５の防振ユニットの各構成要素の形状を簡略化して示し、撮影光軸後方側から見た図であって、Ｘ軸振動子の振動がＹ軸振動子側に伝わる状態を示す。
【図１４】図１３のＥ−Ｅ断面図である。
【図１５】図１３のＦ−Ｆ断面図である。
【図１６】図１３のＧ−Ｇ断面図である。
【図１７】図１３のＨ−Ｈ断面図である。
【図１８】図５の防振ユニットのＸ軸駆動機構のＸ軸振動子の振動動作状態を示す図である。
【図１９】図１のカメラにおける静止画撮影時のブレ補正動作を示す概略フローチャートである。
【図２０】従来の駆動装置における振動子取り付け状態の移動体移動方向と直交する面に沿った断面図である。
【符号の説明】
【００７６】
３８  …Ｙ枠（移動部材、移動体）
３０１  …Ｘ枠（移動部材、移動体）
３０２  …フレーム（保持部材、固定部材）
３０４ｘ，３０４ｙ…軸受け（ガイド部）
３２０ｘ…Ｘ軸振動子（アクチュエータ、振動子）
３２０ｙ…Ｙ軸振動子（アクチュエータ、振動子）
３２１ｘ，３２２ｘ…駆動子（駆動部）
３２１ｙ，３２２ｙ…駆動子（駆動部）
３２４ｘ，３２４ｙ…振動子ホルダ（規定部材、押圧部）
３３０ｘ，３３０ｙ…摺動体（移動部材、移動体）
３３１ｘ，３３１ｙ…軸受け（被ガイド部）
３３２ｘ，３３２ｙ…摺動板（移動部材、移動体）
３４０ｘ，３４０ｙ…押圧機構（押圧部材）
３４１ｘ，３４１ｙ…押圧板（押圧部材）
３４２ｘ，３４２ｙ…保持部（保持部）
３５５ｘ，３５５ｙ…防振シート（振動減衰シート）
【図１】
2009011097.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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