(57)【要約】【課題】熱アシスト磁気記録用スライダにおいて、化合物半導体からなる基板の衝撃耐性の弱さを解消し、摺動性、耐衝撃性、および熱伝導性に優れたスライダを提供する。【解決手段】本発明に係る熱アシスト磁気記録用スライダ１は、ガリウム砒素基板６、磁気記録再生素子５、炭化珪素膜８、およびタンタル膜７を備えている。タンタル膜７は、ガリウム砒素基板６と炭化珪素膜８との間に配置されてため、炭化珪素膜８は、ガリウム砒素基板６に直接接することなく、タンタル膜７上に皮膜される。それにより、炭化珪素膜８をスライダ１表面において不要に拡散させることなく成膜することができる。よって、炭化珪素膜８は、タンタル膜７介してガリウム砒素基板６を保護し、スライダ１の耐衝撃性を向上させる。【選択図】図１
2009163839.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化合物半導体からなる基板と、当該基板に形成されている磁気記録再生素子とを備えている熱アシスト磁気記録用スライダにおいて、
前記基板の表面に設けられ、主に珪化炭素からなる保護膜と、
前記基板と前記保護膜との間に設けられ、非磁性金属材料からなるバリア層とを備えていることを特徴とする熱アシスト磁気記録用スライダ。
【請求項２】
前記バリア層が、１気圧下において、固体が融解し始め、かつ固体と液体とが共存する温度が１６００℃〜３５００℃の範囲にある材料により構成されていることを特徴とする請求項１に記載の熱アシスト磁気記録用スライダ。
【請求項３】
前記バリア層が、少なくともタンタル、タングステン、チタン、ジルコニウム、およびハフニウムのいずれかの材料により構成されていることを特徴とする請求項２に記載の熱アシスト磁気記録用スライダ。
【請求項４】
前記保護層が、珪化炭素のみからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の熱アシスト磁気記録用スライダ。
【請求項５】
前記保護膜および前記バリア層が、前記熱アシスト磁気記録用スライダの空気ベアリング面に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の熱アシスト磁気記録用スライダ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の熱アシスト磁気記録用スライダと、
前記磁気記録再生素子によって磁気情報を記録する磁気記録媒体と、
前記スライダを駆動するスライダ駆動部と
前記磁気記録媒体を駆動する磁気記録媒体駆動部と、
前記磁気記録再生素子による再生信号および記録信号を処理する信号処理部とを備えることを特徴とする熱アシスト磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、安定して浮上可能な信頼性に優れた熱アシスト磁気記録用スライダ、および熱アシスト磁気記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、高度情報化社会の到来により、取り扱われる情報量が膨大になり、記録装置の大容量化および高密度化が求められている。特に、磁気記録装置は、ビット単価が安く、不揮発かつ大容量記録可能な記憶装置であり、大いに普及しているため、高密度記録可能な磁気記録媒体の開発が、強く要求されている。
【０００３】
磁気記録媒体の高密度化のためには、磁気記録媒体内の個々の記録ビットの体積を微細化する必要がある。しかしながら、記録ビットの体積を小さくすることによって、記録ビットの磁化の向きを一定に保つために必要な磁気異方性エネルギーＫｕ・Ｖ（Ｋｕ：磁気異方性エネルギー密度、Ｖ：磁気粒子の体積）は減少してしまう。よって、時間とともに記録ビットの磁化がゆらぎ、磁気記録媒体に記録した情報は消えてしまう。したがって、従来の磁気記録媒体において、記録ビットの体積の減少には限界がある。
【０００４】
磁気記録媒体の高密度化のために、記録ビットの体積を小さくし、かつ磁化情報を安定に保持するためには、Ｋｕの大きな材料を用いることにより記録ビットの磁気的なエネルギーを上げる必要がある。しかし、Ｋｕが増大すると、磁気記録媒体中の保磁力ＨｃはＫｕに比例するため、Ｈｃもまた増大する。そのため、Ｋｕの大きな材料を用いた磁気記録媒体では、既存の磁気記録ヘッドを使用した記録ができなくなるという問題が新たに生じる。この問題を解決するために、熱アシスト磁気記録方式が提案されている。
【０００５】
熱アシスト磁気記録方式では、Ｋｕが温度とともに減少することを利用する。レーザ光などにより、磁気記録媒体中の記録部分が局所的に一旦加熱されると、ＫｕおよびＨｃは減少する。よって、既存の磁気記録ヘッドを用いて磁気記録ができるため、高密度な情報の記録を行うことができる。
【０００６】
したがって、熱アシスト磁気記録方式では、磁気記録媒体中の記録部分を局所的に加熱するレーザ光と、磁界を発生するための磁界発生部とを、磁気記録ヘッドに備える必要がある。加えて、磁気記録ヘッドは、一般的なハードディスクに用いられている磁気記録再生ヘッドと同様に、磁気記録媒体の回転による空気流により浮上する様に、スライダに具備される必要がある。
【０００７】
特許文献１では、熱アシスト磁気記録用スライダにおける浮上記録ヘッドが開示されている。この浮上記録ヘッドは、基板と、基板上に半導体結晶を成長させ形成された半導体レーザと、少なくとも基板あるいは半導体レーザの記録媒体に対向する面に形成されたスライダ面とを備えている。上記構成によれば、半導体レーザが形成された基板上にスライダを形成するため、半導体レーザとスライダとの高精度な位置合わせができる。また、半導体レーザと同程度の小型の浮上記録ヘッドを作製することもできる。
【０００８】
また、さらに磁気記録再生装置を高密度化するためには、磁気記録媒体上にてスライダを浮上高さ数ｎｍ程度にて浮上させる必要があり、そのためには、スライダ形状の小型化が必要である。特許文献１に開示される方法によれば、記録再生素子およびスライダを化合物半導体からなる基板に一体化し形成することにより、小型の熱アシスト記録用スライダを形成することができる。
【特許文献１】特開２００１−３１９３６５号公報（平成１３年１１月１６日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、出力波長６５０ｕｍ程度の赤色半導体レーザに用いられるガリウム砒素基板のように、基板自体が脆く、衝撃に弱いものに関しては、特許文献１に開示されている方法によって基板を加工し、スライダとして用いることは難しい。磁気記録媒体とスライダ表面との接触時、衝撃によりスライダが破損するためである。
【００１０】
スライダの破損を防止するためには、衝撃耐性の強い保護膜を設ける必要がある。衝撃耐性が強く、かつ磁気記録媒体上の潤滑剤との間において摺動性に優れた保護膜として、炭化珪素膜が挙げられる。しかし、炭化珪素膜は、化合物半導体表面において拡散しやすい。そのため、炭化珪素膜を化合物半導体に直接成膜しても、保護膜としての特長を十分に引き出すことは難しい。また、上記拡散により、炭化珪素膜の膜表面状態は粗度が大きくなり、スライダ表面として用いることは出来ない。
【００１１】
そこで、本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、スライダの耐衝撃性を高め、その安定した浮上を可能とすることにより、信頼性に優れた熱アシスト磁気記録用スライダ、および熱アシスト磁気記録再生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る熱アシスト磁気記録用スライダは、上記の課題を解決するために、化合物半導体からなる基板と、当該基板に形成されている磁気記録再生素子とを備えている熱アシスト磁気記録用スライダにおいて、前記基板の表面に設けられ、主に珪化炭素からなる保護膜と、前記基板と前記保護膜との間に設けられ、非磁性金属材料からなるバリア層とを備えていることを特徴としている。
【００１３】
上記の構成によれば、熱アシスト磁気記録用スライダ（以下スライダという）は、その表面の一部に磁気記録再生素子を備え、情報記録媒体上において、一定の浮上量を有したまま浮上する。よって、スライダは、磁気記録再生素子を磁気記録媒体上に浮上させるサポート機能を有している。
【００１４】
また、保護膜は主に炭化珪素からなる炭化珪素膜の一種である。炭化珪素膜は、共有結合性の薄膜であり、非常に強固である。そのため、炭化珪素膜をスライダ表面に設けることによって、スライダの耐衝撃性を高めることができる。例えば、スライダがガリウム砒素（ＧａＡｓ）基板のように比較的脆い化合物半導体からなる基板を備える場合においても、情報記録媒体とスライダとの接触時の衝撃により、スライダ表面が破損することを防止できる。
【００１５】
また、バリア層は、スライダ表面と保護膜との間に設けられるため、主に炭化珪素膜からなる保護膜は、化合物半導体に直接接することなく、バリア層上に皮膜される。非磁性金属からなるバリア層上では、化合物半導体からなる基板上とは異なり、成膜後の炭化珪素膜の拡散を防止できる。よって、炭化珪素膜をスライダ表面において不要に拡散させることなく成膜することができ、かつ保護膜としての特長を十分に発揮することができる。これにより、情報記録時、低浮上高さにて安定して浮上可能なスライダを提供することができる。
【００１６】
なお、バリア層は、非磁性金属からなるため、熱アシスト磁気記録時においても、記録磁界に影響を与えることはない。
【００１７】
また、本発明に係る熱アシスト磁気記録用スライダにおいて、前記バリア層が、１気圧下において、固体が融解し始め、かつ固体と液体とが共存する温度が１６００℃〜３５００℃の範囲にある材料により構成されていることが好ましい。
【００１８】
上記の構成によれば、バリア層は高融点をもつ金属材料からなる。この条件を満たす材料として、タンタル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、およびハフニウム（Ｈｆ）が挙げられる。これら材料は、基板の表面に成膜される際、表面粗度の小さな膜を形成することができる。よって、バリア層は、比較的薄い数ｎｍ程度の薄膜に成膜される場合であっても、スライダ表面全体に満遍なく成膜できる。よって、均一かつ平坦な保護膜をバリア層上に設けることができる。
【００１９】
（炭化珪素のみからなる保護膜）
また、本発明に係る熱アシスト磁気記録用スライダにおいて、前記保護層が、炭化珪素のみからなることが好ましい。
【００２０】
炭化珪素は、熱伝導率が４９０Ｗ/（ｍ・Ｋ）である。そのため、保護膜が純粋な炭化珪素膜である場合、記録再生時、スライダが磁気記録媒体に近接する際、スライダに溜まった熱は、炭化珪素膜を介して磁気記録媒体へと放出される。したがって、炭化珪素膜は、スライダ表面における温度の上昇を抑制するのに好適である。
【００２１】
また、本発明に係る熱アシスト磁気記録用スライダにおいて、前記保護膜および前記バリア層が、前記熱アシスト磁気記録用スライダの空気ベアリング面に設けられていることが好ましい。
【００２２】
上記構成によれば、スライダの空気ベアリング面（ＡＢＳ面）は、磁気記録媒体とスライダとの接触時に、スライダ１において最も大きい衝撃が与えられる。そのため、ＡＢＳ面をそのままむき出しにしていると、衝撃によって大きな損傷を受けてしまう。そのため、ＡＢＳ面を保護することは非常に効果的である。
【００２３】
なお、ＡＢＳ面には、一般にＡＢＳ（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ）形状と呼ばれるサブミクロンからミクロンオーダーの凹凸形状が形成されている。このＡＢＳ形状により磁気記録媒体とスライダとの間の空気の流れや発生圧力が制御されている。それにより、スライダは、磁気記録媒体上を一定の浮上量を持って安定に浮上することができる。また、ＡＢＳ面とは、スライダが磁気記録媒体上を浮上時、磁気記録媒体と対向する面のことである。
【００２４】
また、炭化珪素膜をＡＢＳ面に設けることは、記録再生時、スライダの炭化珪素膜が磁気記録媒体に近接する際、スライダの溜まった熱を炭化珪素膜から磁気記録媒体へと放出するために有効である。
【００２５】
また、本発明に係る熱アシスト磁気記録用スライダは、前記磁気記録再生素子によって磁気情報を記録する磁気記録媒体と、前記スライダを駆動するスライダ駆動部と、前記磁気記録媒体を駆動する磁気記録媒体駆動部と、前記磁気記録再生素子による再生信号および記録信号を処理する信号処理部とを備えることにより、熱アシスト磁気記録再生装置として機能する。
【発明の効果】
【００２６】
本発明に係る熱アシスト磁気記録用スライダは、化合物半導体からなる基板の表面に設けられた保護層と、この基板と保護層との間に設けられたバリア層とを備えているため、磁気記録媒体上において、低浮上高さを有したまま浮上する際の安定性、および耐衝撃性を向上させる効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明に係るスライダ１は、熱アシスト磁気記録用スライダである。このスライダ１について、図１から図７に基づいて説明する。なお、以下の説明では、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は以下の実施形態および図面に限定されるものではない。
【００２８】
（スライダ１の構成）
本実施形態におけるスライダ１の構成を、図１および図２に示す。図１は、スライダ１の構成を示す断面図である。図２は、スライダ１の構成を示す俯瞰図である。
【００２９】
図１および図２に示すように、スライダ１は、ガリウム砒素基板（基板）６、炭化珪素膜（保護膜）８、タンタル膜（バリア層）７、および磁気記録再生素子５を備えている。
【００３０】
本明細書では、スライダ１において、スライダ１が磁気記録媒体上を浮上する際、磁気記録媒体と対抗する面をＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）面２と称する。ＡＢＳ面２には、サブミクロンからミクロンオーダーのＡＢＳ形状と呼ばれる凹凸形状が形成されている。このＡＢＳ形状によって、磁気記録媒体とスライダ１との間の空気の流れや発生圧力が制御されている。よって、スライダ１は、磁気記録媒体上を一定の浮上量にて安定に浮上することができる。なお、スライダ１が磁気記録媒体上を浮上する際、ＡＢＳ面２において、気体が流入する側を気体流入端部３、および気体が流出する側を気体流出端部４と称する。
【００３１】
本実施形態におけるスライダ１のＡＢＳ形状は、図２に示すようなテーパ・フラット型である。しかし、スライダ１が磁気記録媒体上を浮上することが可能な形状であれば、これに限定されない。
【００３２】
（磁気記録再生素子５について）
本実施形態において、磁気記録再生素子５は、熱アシスト磁気記録用素子である。よって磁気記録再生素子５は、図示しないが、磁気コイル素子、半導体レーザ、および磁気抵抗素子を備える。磁気コイル素子は、磁気記録媒体中に磁気情報を記録するための記録磁界を発生する記録磁界発生素子である。半導体レーザは、磁気記録時、磁気記録媒体を局所加熱する局所加熱素子である。また、磁気抵抗素子は、磁気記録媒体１３中に記録されている磁気情報を再生するための再生素子である。
【００３３】
（ガリウム砒素基板６について）
また、スライダ１は、化合物半導体からなる基板としてガリウム砒素基板６を備えている。スライダ１は、ガリウム砒素基板６の加工により製造される。そのため、スライダ１の小型化が可能となり、低浮上高さにて磁気記録媒体上を浮上可能なスライダ１を提供することができる。なお、スライダ１の製造方法については、詳細に後述する。
【００３４】
（炭化珪素膜８について）
また、スライダ１は、保護膜として、炭化珪素からなる炭化珪素膜８を備えている。炭化珪素膜８は、共有結合性の薄膜であり、非常に強固である。なお、本実施形態では保護膜は炭化珪素のみからなる純粋な炭化珪素膜である。しかし、保護膜として、炭化珪素膜８に限らず、炭化珪素を主な成分とし、さらに他の成分（元素、分子等）を含む膜を利用してもよい。
【００３５】
図１に示すように、炭化珪素膜８は、スライダ１のＡＢＳ面２の表面に皮膜される。磁気記録媒体１３とスライダ１との接触時に、スライダ１のＡＢＳ面２にはスライダ１において最も大きい衝撃が与えられる。そのため、ＡＢＳ面２をそのままむき出しにしていると、衝撃によって大きな損傷を受けてしまう。そこで、本実施形態のスライダ１では、ＡＢＳ面２を炭化珪素膜８によって保護する。これにより、スライダ１の衝撃耐性を非常に効果的に高めることができる。また、スライダ１の化合物半導体からなる基板として比較的脆いガリウム砒素基板６を用いても、磁気記録媒体とスライダ１との接触時、衝撃によりスライダ１の表面が破損することを防止できる。
【００３６】
また、本実施形態における炭化珪素膜８の熱伝導率は、４９０Ｗ／（ｍ・Ｋ）である。よって、記録再生時にスライダ１の炭化珪素膜８が磁気記録媒体に近接する際、炭化珪素膜８はスライダ１に溜まった熱を磁気記録媒体へと放出することができる。したがって、炭化珪素膜８は、スライダ１における温度の上昇を抑制するのに好適である。
【００３７】
（タンタル膜７について）
また、本発明に係るスライダ１のバリア層は、非磁性金属であり、かつ高融点を有する材料からなることが好ましい。ここで、高融点を有する材料とは、１気圧下において、固体が融解し始め、かつ固体と液体とが共存する温度が１６００℃〜３５００℃の範囲にある材料である。本実施形態では、上記条件を満たす材料としてタンタルを用い、バリア層（タンタル膜７）を形成している。なお、タンタル以外に上記条件を満たす材料として、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、およびハフニウム（Ｈｆ）が挙げられるが、バリア層の材料はこれらに限定されない。
【００３８】
タンタルは、高融点を有する金属材料であるため、ガリウム砒素基板６表面に成膜されると、表面粗さの小さなタンタル膜７を形成する。ここで、タンタル膜７の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）像を、図３に示す。図３は、ガリウム砒素基板６上に膜厚５ｎｍにて成膜されたタンタル膜７の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）像である。図３において、タンタル膜７表面の平均表面粗さＲａは０．１１７ｎｍとなり、非常に表面粗さの小さい膜が形成されていることが分かる。なお、平均表面粗さ（Ｒａ）とは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−１９８２の表面粗さの定義より、微細な凹凸の振幅に関する中心線平均粗さである。
【００３９】
上記により、タンタル膜７は、数ｎｍ程度の比較的薄い薄膜においても、ガリウム砒素基板６表面に満遍なく成膜される。また、タンタルは、非磁性金属であるため、熱アシスト磁気記録時においても記録磁界に影響を与えることはない。
【００４０】
（タンタル膜７の構成）
また、タンタル膜７は、ガリウム砒素基板６と炭化珪素膜８との間に設けられる。上記構成により、炭化珪素膜８は、ガリウム砒素基板６に直接皮膜されることはく、タンタル膜７上に皮膜される。一方、タンタル膜７は、ガリウム砒素基板６に満遍なく成膜されているため、炭化珪素膜８は、均一かつ平坦な保護膜を形成できる。よって、炭化珪素膜８が化合物半導体表面９に拡散することを防止できるため、炭化珪素膜８は、保護膜としての特徴を十分に発揮することができる。
【００４１】
したがって、安定した記録再生特性を持ち、安定して浮上可能なスライダ１を提供することが可能となる。
【００４２】
（他のＡＢＳ形状）
本実施形態では、ＡＢＳ形状として上記テーパ・フラット型のものを用いたが、ＡＢＳ形状は、スライダ１が情報記録媒体上に浮上可能な形状であれば、これに限定されない。よってＡＢＳ形状は、スライダ１の大きさ、材質、重さなどにより、別の凹凸形状であってもよい。この例について、図４を参照して以下に説明する。図４は、スライダ１においてテーパ・フラット型以外のＡＢＳ形状の一例を示す俯瞰図である。
【００４３】
図４に示すように、スライダ１が磁気記録媒体上を浮上し、情報記録媒体とスライダ１との間に空気が流れる際、気体流入端部３および気体流出端部４において、スライダ１を情報記録媒体から離そうとする正圧が発生する。それと同時に、ＡＢＳ面２の中央部に負圧発生部ポケット１２が形成され、スライダ１を情報記録媒体に引きつけようとする負圧が発生する。そのため、気体流入端部３および気体流出端部４における凹凸形状の段差を適切に設計することによって、正圧および負圧の釣り合いが調節できる。この調節により、スライダ１は、情報記録媒体上に、１０ｎｍ以下の狭小な隙間を持ったまま浮上することができる。
【００４４】
（スライダ１の製造方法）
以下に、図５を参照して、本発明のスライダ１の製造方法を説明する。図５は、スライダ１の製造工程図である。
【００４５】
まず、図５（Ａ）に示すように、３インチの基板であるスライダ形成前のガリウム砒素基板９に、出力波長６５０ｎｍ程度の赤色半導体レーザを形成し、さらに磁気コイルおよび磁気抵抗素子を形成する。赤色半導体レーザ、磁気コイル、および磁気抵抗素子を合わせて磁気記録再生素子５と称す。その後、スライダ形成前のガリウム砒素基板９を、図５（Ａ）に示す点線に沿って、複数個の磁気記録再生素子５を含む棒状（ガリウム砒素バー１１）に切り出す。この時、切り出し方法として、ダイシング、化学エッチング、および物理エッチングなどが挙げられる。なお、化学エッチングおよび物理エッチングの場合、エッチング対象部以外の部分は、フォトリソグラフィ技術などを用いてマスクしておく必要がある。
【００４６】
次に、図５（Ｂ）に示すように、上記切り出しによる切断面を、ガリウム砒素バー１１のＡＢＳ形状１２加工対象面（ＡＢＳ加工面１０）とする。ＡＢＳ加工面１０は、アルミナ研磨剤やＣＭＰ研磨などを用いて精密に研磨する。この時、平均表面粗度が数ｎｍオーダーになるまで均一に研磨する。
【００４７】
次に、図５（Ｃ）に示すように、ＡＢＳ加工面１０において、フォトリソグラフィ技術を用いてＡＢＳ形状をパターニングする。その後、イオンミリング法によってＡＢＳ形状を加工する。その後、ＡＢＳ加工面１０に、バリア層であるタンタル膜７、および保護膜である炭化珪素膜８を順番に、スパッタリング法により成膜する。タンタル膜７および炭化珪素膜８の膜厚は、各々約５ｎｍとする。
【００４８】
次に、図５（Ｄ）に示すように、ガリウム砒素バー１１をダイシングによって、スライダ１を個片化する。
【００４９】
以上の工程によって、スライダ１を製造することができる。
【００５０】
（熱アシスト磁気記録再生装置１７）
本発明に係る熱アシスト磁気記録再生装置１７について、図６を参照して以下に説明する。図６は、熱アシスト磁気記録再生装置１７の構成を示す図である。
【００５１】
図６に示すように、熱アシスト磁気記録再生装置１７は、本発明に係るスライダ１、スライダ１の磁気記録再生素子５により磁気情報が記録される磁気記録媒体１３、スライダ１を駆動するスライダ駆動部１４、磁気記録媒体１３を駆動する磁気記録媒体駆動部１５、および磁気記録再生素子５による再生信号および記録信号を処理する信号処理部１６を備えている。
【００５２】
熱アシスト磁気記録に用いられる磁気記録媒体１３は、基板上に、記録層および保護層が順に積層され、さらにその上に潤滑層が形成された膜構造を有している。
【００５３】
磁気記録媒体１３の記録層は、アモルファス媒体であり、かつ熱安定性に優れた垂直磁気記録媒体であるＴｂＦｅＣｏ合金薄膜を用いている。ＴｂＦｅＣｏ合金を構成する物質の組成を調整することによって、この合金の磁気特性を変えられる。具体的には、希土類金属であるテルビウム（Ｔｂ）、遷移金属である鉄（Ｆｅ）、およびコバルト（Ｃｏ）の組成の割合を適宜変更することによって、ＴｂＦｅＣｏ合金の磁気特性は当該割合に応じた値に決まる。
【００５４】
磁気記録媒体１３の記録層については、垂直磁気異方性が大きく、かつ基板面に対して垂直方向に磁化されており、記録情報が安定に保持できるものであれば、ＴｂＦｅＣｏ合金薄膜に限定されるものではない。具体的には、ジスプロシウム鉄コバルト（ＤｙＦｅＣｏ）およびテルビウム鉄コバルト（ＴｂＤｙＦｅＣｏ）などの希土類金属−遷移金属合金薄膜、白金（Ｐｔ）とマンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、およびニッケル（Ｎｉ）などの少なくとも一種以上の遷移金属とによって構成される合金薄膜、白金／銅（Ｐｔ／Ｃｏ）やパラジウム／銅（Ｐｄ／Ｃｏ）などの磁気多層膜、およびクロム銅（ＣｏＣｒ）やコバルトクロム白金−酸化ケイ素（ＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２）などのグラニュラー磁気薄膜などが挙げられる。
【００５５】
磁気記録媒体１３の保護層は、スライダ１と磁気記録媒体１３との接触時に磁気記録媒体１３の磁性層が削れるのを防ぐため、磁性層を保護する目的によって設けられている。磁気記録媒体１３の保護層は、磁性層を保護できるものであれば特に限定されないが、本実施形態では炭素層や窒化炭素層などの炭素系保護層が用いられている。
【００５６】
磁気記録媒体１３の潤滑層は、熱アシスト磁気記録再生装置１７において、スライダ１との接触時の摩擦を低減するためのものである。その材料は、磁気ディスクなどに従来使用されている材料を用いることができる。例えば、フッ素系潤滑剤、特にパーフルオロポリオキシアルカン（パーフルオロポリエーテル）系の潤滑剤を用いることができる。なお、炭化珪素膜８は、磁気記録媒体１３の潤滑剤との間において、摺動性に優れている。
【００５７】
上記の構成により、磁気記録媒体１３上を低浮上高さにて浮上した場合において、摺動性および耐衝撃性に優れ、安定した記録再生特性を得られる熱アシスト磁気記録再生装置１７を提供することができる。
【実施例】
【００５８】
本実施形態におけるスライダ１と、比較用スライダとの、性能の比較を行った。以下、実施例により具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。
【００５９】
実施例としては、本実施形態におけるスライダ１をスライダＡとし、その製造方法は、上記スライダ１の製造方法に従った。比較例としては、以下の２つの比較用スライダ（スライダＢおよびスライダＣ）を用いた。スライダＢは、そのＡＢＳ２面に、バリア膜、および保護膜を設けていない構成である。スライダＢの製造方法は、上記スライダ１の製造方法において、バリア層および保護膜の成膜工程を省いたものである。スライダＣは、そのＡＢＳ面２に、バリア層を設けず、保護膜である炭化珪素膜８のみを設けた構成である。スライダＣの製造方法は、上記スライダ１の製造方法において、バリア層の成膜工程を省いたものである。
【００６０】
（評価方法）
スライダＡと比較用スライダ（スライダＢおよびスライダＣ）について、各ＡＢＳ面における熱伝導率、およびＣＳＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ-Ｓｔａｒｔ-Ｓｔｏｐ）特性の２つの評価を行った。スライダのＡＢＳ面における熱伝導率は、ＪＩＳ Ｒ １６１１に準拠して測定した。また、ＣＳＳ試験は、表面に潤滑剤を塗布した磁性媒体上に、スライダを設置し、磁性媒体を回転させ、スライダを浮上させ、磁性媒体の回転数を定常状態（３６００ｒｐｍ）において８秒間保ち、その後、停止させ、スライダの浮上安定性を測定する試験である。ＣＳＳ試験を繰り返し、スライダの浮上特性に異常が見られたところを、スライダの寿命とした。
【００６１】
（結果）
各スライダのＡＢＳ面における熱伝導率の測定結果、およびＣＳＳ試験結果について、図７に記載した。図７に示すように、スライダＡの熱伝導率は、スライダＢおよびスライダＣと比較して、１桁高い値となった。また、ＣＳＳ試験より、スライダＢは４０回、スライダＣは１万回強であるのに対し、スライダＡは２０万回以上の試験に耐えることができた。
【００６２】
以上の２つの評価結果から、スライダＡについて、他の比較用スライダと比べて高熱伝導率および衝撃耐性に優れたスライダ１であることが確認できた。
【００６３】
（その他の構成）
なお、本発明は次に示す構成のものとしても実現できる。
【００６４】
（第１の構成）
磁気記録再生素子を有し、化合物半導体で構成されるスライダにおいて、上記スライダ表面に、珪素、および炭素で構成される保護膜が設けられており、上記保護膜を構成する元素が上記スライダ表面に拡散することを防止するバリア層が、上記スライダ表面と上記保護膜の間に設けられていることを特徴とする熱アシスト磁気記録用スライダ。
【００６５】
（第２の構成）
上記バリア層材料が、少なくともＴａ、Ｗ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれかの材料で構成されていることを特徴とする第１の構成に係るアシスト磁気記録用スライダ
（第３の構成）
上記保護膜が、上記スライダの空気ベアリング面に設けられていることを特徴とする第１の構成、または第２の構成に係る熱アシスト磁気記録用スライダ。
【００６６】
（第４の構成）
上記第１から第３の構成に係る熱アシスト磁気記録用スライダと、上記磁気記録再生素子によって磁気情報を記録する磁気記録媒体と、上記スライダを駆動するスライダ駆動部、および、上記磁気記録媒体を駆動する磁気記録媒体駆動部と、上記磁気記録再生素子による再生信号、および、記録信号を処理する信号処理部を備えていることを特徴とする熱アシスト磁気記録再生装置。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明に係る熱アシスト磁気記録用スライダは、熱アシスト磁気記録再生装置に好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施形態に係るスライダの構造を示す断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るスライダの構造を示す俯瞰図である。
【図３】本発明の実施形態に係るスライダのＡＢＳ面の原子間力顕微鏡像である。
【図４】本発明の実施形態に係るスライダにおいて、テーパ・フラット型以外のＡＢＳ形状の一例を示す俯瞰図である。
【図５】本発明の実施形態に係るスライダの作製方法を示す流れ図である。
【図６】本発明の実施形態に係る磁気記録再生装置の構成図である。
【図７】本発明の実施形態に係るスライダの評価結果を示す表である。
【符号の説明】
【００６９】
１  スライダ
２  ＡＢＳ面
３  気体流入端部
４  気体流出端部
５  磁気記録再生素子
６  ガリウム砒素基板
７  タンタル膜
８  炭化珪素膜
９  スライダ形成前のガリウム砒素基板
１０  ＡＢＳ加工面
１１  ガリウム砒素バー
１２  負圧発生ポケット
１３  磁気記録媒体
１４  スライダ駆動部
１５  磁気記録媒体駆動部
１６  信号処理部
１７  熱アシスト磁気記録再生装置
【図１】
2009163839.tif 000003
【図２】
2009163839.tif 000004
【図４】
2009163839.tif 000005
【図５】
2009163839.tif 000006
【図６】
2009163839.tif 000007
【図７】
2009163839.tif 000008
【図３】
2009163839.tif 000009