(57)【要約】【課題】製造コストを抑制しつつ、位置検出のリニアリティ（直線性）を確保すること。【解決手段】外部磁界の方向変化に対して電気抵抗が変化する磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子４３と、外部磁界を発生させるための磁石５と、筐体２の内部で一定方向に往復移動するスライド部材３と、スライド部材３の往復移動に伴って磁石５をスライド部材３の移動方向と直交する方向に移動させる駆動機構６とを具備し、筐体２内に磁気抵抗効果素子４３を固定する一方、当該磁気抵抗効果素子４３の近傍を移動し得るように磁石５を配置したことを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部磁界の方向変化に対して電気抵抗が変化する磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子と、前記外部磁界を発生させるための磁石と、筐体の内部で一定方向に往復移動するスライド部材と、前記スライド部材の往復移動に伴って前記磁石を前記スライド部材の移動方向と直交する方向に移動させる駆動機構とを具備し、前記筐体内に前記磁気抵抗効果素子を固定する一方、当該磁気抵抗効果素子の近傍を移動し得るように前記磁石を配置したことを特徴とする移動センサ。
【請求項２】
前記駆動機構は、前記磁石を端部に保持した状態で前記筐体の内部で回動する回動部材と、前記回動部材の回動を制御する回動制御部材とを具備することを特徴とする請求項１記載の移動センサ。
【請求項３】
前記回動部材は、前記回動制御部材に保持された状態で回動する棒状部材と、前記磁石を保持し前記棒状部材の回動に連動して移動する保持部材とを具備することを特徴とする請求項２記載の移動センサ。
【請求項４】
前記保持部材の移動をガイドするガイド部を前記筐体の内壁に設けたことを特徴とする請求項３記載の移動センサ。
【請求項５】
前記回動制御部材は、前記スライド部材に設けられ、当該スライド部材の移動位置に応じて前記回動部材の回動位置を決定することを特徴とする請求項２記載の移動センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動センサに関し、特に、磁気抵抗効果素子を用いた非接触式の移動センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁気抵抗効果を利用したＭＲ素子を用いた移動センサが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような移動センサにおいて、ＭＲ素子は、外部磁界の方向変化を、方向変化に伴う電気抵抗変化に基づき高精度に検知することができる。このため、環境変化や磁石の磁力低下等に関係なく検知可能で、ホール素子等のように外部磁界の磁界強度変化を読み取る素子に比べて高性能且つ高寿命を期待できる。
【０００３】
上記移動センサにおいては、永久磁石と磁気検出素子とが対向配置され、永久磁石が直線移動可能に支持されている（特許文献１の図５、図７参照）。このように配置した場合、永久磁石の磁極付近に磁気検出素子が配置されたとき、磁気検出素子には、永久磁石から磁気検出素子の永久磁石との対向面に直交する方向の外部磁界が侵入する。一方、磁気検出素子が磁極間にある場合には、磁気検出素子の対向面と平行な方向の外部磁界が侵入する。
【０００４】
このように、上記移動センサにおいては、磁気検出素子に侵入する外部磁界の方向が、永久磁石を移動させることで変化するため、磁気検出素子が磁気抵抗効果を利用したＭＲ素子であると、外部磁界の方向変化によって磁気検出素子の電気抵抗値が変化することとなる。
【特許文献１】特開平５−２８０９１６号公報、図５及び図７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような従来の移動センサにおいては、磁気検出素子の対向面と平行な方向に侵入する外部磁界領域が長すぎ、位置検出のリニアリティ（直線性）を適切に向上させることが困難であると考えられる。すなわち、上述した移動センサにおいて、永久磁石は棒形状であり、磁気検出素子の相対移動方向と、永久磁石の幅方向の中心を通る中心線方向とは一致している。このため、永久磁石の磁極間領域では、磁気検出素子には略一方向からの外部磁界のベクトル成分が支配的に侵入し、磁極間領域での磁気検出素子の電気抵抗変化が小さく（或いは、電気抵抗変化が無く）なることから、位置検出のリニアリティ（直線性）を適切に向上させることが困難であると考えられる。
【０００６】
このような移動センサにおける位置検出のリニアリティ（直線性）を向上させるために、長尺形状の第１、第２の磁石をＸ字状に交差させて配置すると共に、これらの磁石間の空間内を、磁気抵抗効果素子を直線移動させることで、磁石間に形成される回転変位した回転磁場領域を磁気抵抗効果素子に作用させることが考えられる。このような構成によれば、磁気抵抗効果素子のフリー磁性層の磁化方向を漸次的に変動させることができるので、位置検出のリニアリティ（直線性）を向上させることが可能となる。
【０００７】
しかしながら、このような構成を採用する場合には、長尺形状の磁石が２本必要になることから、その製造に要するコストが上昇するという問題がある。また、磁気抵抗効果素子を直線移動可能な構成とすることから、例えば、ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）などの構成部品が必要となるので、更にその製造に要するコストが上昇するという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、製造コストを抑制しつつ、位置検出のリニアリティ（直線性）を確保することができる移動センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の移動センサは、外部磁界の方向変化に対して電気抵抗が変化する磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子と、前記外部磁界を発生させるための磁石と、筐体の内部で一定方向に往復移動するスライド部材と、前記スライド部材の往復移動に伴って前記磁石を前記スライド部材の移動方向と直交する方向に移動させる駆動機構とを具備し、前記筐体内に前記磁気抵抗効果素子を固定する一方、当該磁気抵抗効果素子の近傍を移動し得るように前記磁石を配置したことを特徴とする。
【００１０】
上記移動センサによれば、スライド部材の往復移動に伴って磁石を磁気抵抗効果素子の近傍で移動するようにしたことから、磁石の移動に応じて磁気抵抗効果素子における電気抵抗値を漸次的に変化させることができるので、位置検出のリニアリティ（直線性）を向上できる。また、筐体内に磁気抵抗効果素子を固定する一方、当該磁気抵抗効果素子の近傍を移動し得るように磁石を配置したことから、単一の磁石で磁気抵抗効果素子に作用する外部磁界を発生させることができるので、センサの製造に要するコストを低減できる。さらに、磁気抵抗効果素子が筐体内で固定されることから、磁気抵抗効果素子を移動可能な構成とした場合に必要となるＦＰＣなどの構成部品を省略できるので、センサの製造に要するコストを低減できる。この結果、製造コストを抑制しつつ、位置検出のリニアリティ（直線性）を確保することが可能となる。
【００１１】
上記移動センサにおいては、前記駆動機構を、前記磁石を端部に保持した状態で前記筐体の内部で回動する回動部材と、前記回動部材の回動を制御する回動制御部材とで構成することが好ましい。この場合には、磁石を保持しながら回動する回動部材と、その回動を制御する回動制御部材という簡単な構成で、スライド部材の往復移動に伴って磁石を当該スライド部材の移動方向と直交する方向に移動させることが可能となる。
【００１２】
また、上記移動センサにおいて、例えば、前記回動部材は、前記回動制御部材に保持された状態で回動する棒状部材と、前記磁石を保持し前記棒状部材の回動に連動して移動する保持部材とを具備する。この場合には、回動部材を棒状部材と、これに連動して移動する保持部材とで構成することから、複雑な構成を備えることなく、確実にスライド部材の往復移動に伴って磁石をスライド部材の移動方向と直交する方向に移動させることが可能となる。
【００１３】
さらに、上記移動センサにおいては、前記保持部材の移動をガイドするガイド部を前記筐体の内壁に設けることが好ましい。この場合には、筐体の内壁に保持部材の移動をガイドするガイド部を設けたことから、スライド部材の往復移動に伴って磁石を当該スライド部材の移動方向と直交する方向に確実に移動させることが可能となる。特に、ガイド部を筐体の内壁に設けたことから、部品点数を削減でき、センサの製造に要するコストを更に低減することが可能となる。
【００１４】
さらに、上記移動センサにおいては、前記回動制御部材を前記スライド部材に設け、当該スライド部材の移動位置に応じて前記回動部材の回動位置を決定することが好ましい。この場合には、回動制御部材をスライド部材に設けたことから、センサの小型化に寄与しつつ、スライド部材の移動位置に応じて確実に回動部材を回動させることが可能となる。この結果、スライド部材の移動位置に応じて確実に磁石を移動させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、スライド部材の往復移動に伴って磁石を磁気抵抗効果素子の近傍で移動するようにしたことから、磁石の移動に応じて磁気抵抗効果素子における電気抵抗値を漸次的に変化させることができるので、位置検出のリニアリティ（直線性）を向上できる。また、筐体内に磁気抵抗効果素子を固定する一方、当該磁気抵抗効果素子の近傍を移動し得るように磁石を配置したことから、単一の磁石で磁気抵抗効果素子に作用する外部磁界を発生させることができるので、センサの製造に要するコストを低減できる。さらに、磁気抵抗効果素子が筐体内で固定されることから、磁気抵抗効果素子を移動可能な構成とした場合に必要となるＦＰＣなどの構成部品を省略できるので、センサの製造に要するコストを低減できる。この結果、製造コストを抑制しつつ、位置検出のリニアリティ（直線性）を確保することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係る移動センサ１の外観を示す斜視図である。図２は、本実施の形態に係る移動センサ１の分解斜視図である。図３〜図５は、本実施の形態に係る移動センサ１の内部の構成を説明するための斜視図である。なお、図３〜図５においては、説明の便宜上、筐体の一部を省略している。また、図５においては、後述する第１シャフト７１も省略している。以下においては、図１に示す右方側を前方側と呼び、左方側を後方側と呼ぶものとする。
【００１７】
図１及び図２に示すように、本実施の形態に係る移動センサ１は、組み合わされて直方体形状の箱状体をなす筐体２と、筐体２の内部で筐体２の長辺に沿って往復移動するスライド部材３と、筐体２の内部に配設される磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ素子）を備える磁気検出部材４と、磁気検出部材４の磁気抵抗効果素子の近傍を通過し得るように配設された磁石５（図１及び図２に不図示、図５参照）と、スライド部材３の往復移動に伴って磁石５をスライド部材３の移動方向と直交する方向に移動させる駆動機構６とを含んで構成されている。
【００１８】
筐体２は、例えば、金属製の板状部材を打ち抜き加工することで構成され、図１に示すように、移動センサ１の側面部を有する第１ケース２１と、第２ケース２２とを組み合わされて構成される。また、組み合わされた状態で筐体２の上面部の中央には、長辺に沿って延在するスリット２３が形成され、このスリット２３を介して、スライド部材３に一体形成された突出片３１が上方側に露出するように構成されている。
【００１９】
第１ケース２１の前面部及び後面部には、後述する第１シャフト７１及び第２シャフト７２をそれぞれ保持する開口部２１ａ、２１ｂが形成されている。また、第２ケース２２の側面部であって後方側寄りの下方部分には、後述する回転体６１の軸部６１ａを回転可能に軸支する穴部２２ａが形成されている。なお、第２ケース２２の内壁であって前方側の位置には、後述するホルダ６３の移動をガイドするガイド部２２ｂが形成されている（図１及び図２に不図示、図５参照）。
【００２０】
筐体２の内部には、筐体２の長辺方向に沿って延在する第１シャフト７１及び第２シャフト７２が配設されている。これらの第１シャフト７１及び第２シャフト７２は、それぞれ第１ケース２１の前面部及び後面部に形成された開口部２１ａ、２１ｂに係合した状態で保持されている。第１シャフト７１は、筐体２の内部の上方側部分に配置され、第２シャフト７２は、筐体２の内部の下方側部分に配置されている。なお、第１シャフト７１は、第２シャフト７２よりも大径に設けられている。
【００２１】
スライド部材３は、樹脂材料で成形され、第１シャフト７１及び第２シャフト７２に沿って筐体２の内部を前後方向に往復移動可能な形状を有している。突出片３１は、筐体２のスリット２３を通過できるような薄板形状を有し、スライド部材３の上面の中央部分に立設されている。なお、筐体２の上方側に露出する突出片３１の部分には、移動センサ１を使用する使用者が触れる操作つまみ等が取り付けられる。
【００２２】
磁気検出部材４は、筐体２の内部であって、スライド部材３の前方側に配設されている。磁気検出部材４は、スライド部材３の移動方向と直交する方向に延在する基板４１と、基板４１から下方に延出する複数の端子４２と、基板４１におけるスライド部材３側の表面に固定される磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ素子）４３（図１及び図２に不図示、図４及び図５参照）とから構成されている。
【００２３】
基板４１は、図４に示すように、筐体２の内側の寸法と略同一の寸法に設けられている。基板４１の下端部には、円弧形状を有する切り欠き４１ａが形成されている。切り欠き４１ａには、第２シャフト７２の前方側の端部が収容される。切り欠き４１ａに第２シャフト７２の端部を収容した状態で第１ケース２１と第ケース２２とが組み合わされることで、磁気検出部材４が筐体２の前面部の裏側に配設される。このとき、端子４２は、筐体２の下面から下方側に突出した状態となる。なお、磁気抵抗効果素子４３の構成については後述する。
【００２４】
磁石５は、図５に示すように、後述するホルダ６３の凹部６３ａに取り付けられる。磁石５は、磁気検出部材４の磁気抵抗効果素子４３に作用する外部磁界を発生させるものであり、側方側の端部を磁気抵抗効果素子４３側に露出した状態でホルダ６の凹部６３ａに固定されている。磁石５は、直方体形状を有しており、凹部６３ａから露出する端部がＮ極に着磁され、凹部６３ａの内側の端部がＳ極に着磁されている。詳細について後述するように、磁石５は、磁気抵抗効果素子４３の近傍の位置を往復移動可能に配置されている。
【００２５】
スライド部材３における第２ケース２２側の位置には、回転体６１が配設されている。回転体６１は、例えば、樹脂材料で成形され、概して円盤形状を有している。回転体６１の第２ケース２２側の平面には、円柱形状の軸部６１ａが設けられている。この軸部６１ａは、第２ケース２２の穴部２２ａに回転可能に軸支される。回転体６１の周面の所定位置には、回動部材の棒状部材を構成する駆動シャフト６２が挿入される穴部６１ｂが形成されている。
【００２６】
駆動シャフト６２は、例えば、金属製の棒状部材で構成され、回転体６１の穴部６１ｂから前面部近傍まで延出している。駆動シャフト６２は、回転体６１の回転に伴って筐体２の内部の一定範囲を上下方向に回動可能に構成されている。駆動シャフト６２は、回転体６１の近傍の位置において、後述する回動制御部材３２を貫通するように構成されている。
【００２７】
駆動シャフト６２の前方側の端部には、後述するホルダ６３と連結されるジョイント部６２ａが取り付けられている。ジョイント部６２ａは、例えば、樹脂材料などの弾性を有する材料で成形され、概して球形状を有している。ジョイント部６２ａは、駆動シャフト６２の揺動動作に応じてホルダ６３を上下方向に往復移動させる役割を果たすものである。
【００２８】
駆動シャフト６２の前方側の端部近傍には、回動部材の保持部材を構成するホルダ６３が配設されている。ホルダ６３は、第１ケース２１寄りの前方側の位置に磁石５が取り付けられる凹部６３ａ（図１及び図２に不図示、図５参照）を有すると共に、後方側に駆動シャフト６２のジョイント部６２ａを収容する収容部６３ｂを有している。また、ホルダ６３の第２ケース２２側の位置には、ガイド部２２ｂを収容する溝部６３ｃが形成されている。
【００２９】
スライド部材３における第２ケース２２側の側面には、駆動シャフト６２の回動を制御する、駆動機構６の一部を構成する回動制御部材３２が設けられている。回動制御部材３２は、スライド部材３における前方側の側面に回転可能に取り付けられている。また、回動制御部材３２は、駆動シャフト６２が貫通する貫通孔３２ａが形成されている。回動制御部材３２は、スライド部材３の移動位置に応じて駆動シャフト６２の回動位置を決定する役割を果たすものである。
【００３０】
ここで、本実施の形態に係る移動センサ１が有する磁気抵抗効果素子４３の構成と、この磁気抵抗効果素子４３と磁石５との関係について説明する。図６は、本実施の形態に係る移動センサ１が有する磁気抵抗効果素子４３の構成を説明するための模式図である。図７は、本実施の形態に係る移動センサ１が有する磁気抵抗効果素子４３と磁石５との関係について説明するための模式図である。なお、図６に示す上方側が移動センサ１の後方側に対応し、同図に示す下方側が移動センサ１の前方側に対応する。また、図７においては、磁気抵抗効果素子４３と磁石５とを移動センサ１の後方側から見た場合について示している。
【００３１】
磁気抵抗効果素子４３は、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ効果）を利用したＧＭＲ素子である。図６に示すように、磁気抵抗効果素子４３は、基板４１上に下から絶縁層４３０、下地層４３１、反強磁性層４３２、固定磁性層４３３、非磁性中間層４３４、フリー磁性層４３５及び保護層４３６の順にスパッタ等の薄膜プロセスを用いて形成されている。なお、反強磁性層４３２、固定磁性層４３３、非磁性中間層４３４及びフリー磁性層４３５は、逆積層であってもよい。
【００３２】
反強磁性層４３２は、ＩｒＭｎやＰｔＭｎ等の反強磁性材料で形成される。固定磁性層４３３やフリー磁性層４３５は、ＣｏＦｅやＮｉＦｅ等の磁性材料で形成される。非磁性中間層４３４は、Ｃｕ等の非磁性導電材料で形成される。保護層４３６は、Ｔａ等で形成される。固定磁性層４３３やフリー磁性層４３５は、例えば、積層フェリ構造であってもよい。
【００３３】
反強磁性層４３２と固定磁性層４３３とが接して形成されているため、磁場中熱処理を施すことにより反強磁性層４３２と固定磁性層４３３との界面に交換結合磁界（Ｈｅｘ）が生じ、固定磁性層４３３の磁化方向４３３ａは、一方向に固定される。図６においては、固定磁性層４３３の磁化方向４３３ａは、紙面奥側方向に固定されている。
【００３４】
一方、フリー磁性層４３５の磁化方向４３５ａは、無磁場状態では、固定磁性層４３３によるバイアス磁界を受けて平行か反平行となる。フリー磁性層４３５は、固定磁性層４３３と違って磁化方向が固定されておらず、外部磁界の侵入方向の変化によって磁化変動するようになっている。例えば、図６に示すようにフリー磁性層４３５の磁化方向４３５ａを、固定磁性層４３３の磁化方向４３３ａに対して直交させるにはハードバイアス層（図示しない）を設けることが必要となる。ただし、このようなハードバイアス層を設けず、フリー磁性層４３５の磁化方向４３５ａを制御しなくてもよい。
【００３５】
このような構成を有する磁気抵抗効果素子４３において、磁石５との対向面４３ａは、図７に示すように、磁石５の対向面５ａと平行な方向を向いている。そして、磁石５は、磁石５から発生する磁束が確実に磁気抵抗効果素子４３に作用する位置を通過できるように構成されている。このため、磁気抵抗効果素子４３におけるフリー磁性層４３５の磁化方向４３５ａは、図７に示すように、磁石５の位置に応じて変動する。磁気抵抗効果素子４３においては、このように変動するフリー磁性層４３５の磁化方向４３５ａと、固定磁性層４３３の固定磁化方向４３３ａとの関係で電気抵抗値が変化する。
【００３６】
この結果、磁石５が筐体２の内部において上下方向に移動すると、磁気抵抗効果素子４３を構成するフリー磁性層４３５の磁化方向４３５ａが漸次的に変化することで、電気抵抗値が漸次的に変化し、この電気抵抗値の変化に基づく出力変化によって移動位置が検知される。このように、磁石５の上下移動に応じて磁気抵抗効果素子４３５における電気抵抗値を漸次的に変化させることができるので、位置検出のリニアリティ（直線性）を向上させることが可能となる。
【００３７】
次に、上記構成を有する移動センサ１において、磁石５を上下移動させる際の動作について説明する。図８〜図１０は、本実施の形態に係る移動センサ１において、磁石５を上下移動させる際の動作について説明するための図である。図８、図９、図１０は、それぞれ磁石５を移動する前、移動している途中、移動した後の状態について示している。なお、図８〜図１０においては、説明の便宜上、第１ケース２１を省略し、その内部を示している。
【００３８】
図８に示すように、スライド部材３が筐体２の最も後方側（同図に示す左方側）に配置されている場合には、駆動シャフト６２は、前方側（同図に示す右方側）の端部が上方側に傾斜した状態となっている。この駆動シャフト６２の傾斜状態は、回転体６１の回転支点と、回動制御部材３２との回転支点とにより決まる。本実施の形態に係る移動センサ１においては、前者よりも後者の回転支点が上方側に配置されているため、駆動シャフト６２の前方側の端部が上方側に傾斜している。
【００３９】
この場合、駆動シャフト６２のジョイント部６２ａがホルダ６３に連結されていることから、ホルダ６３は、上方側に持ち上げられている。このため、ホルダ６３に保持されている磁石５は、磁気抵抗効果素子４３よりも上方側に配置された状態となっている。この場合、磁石５は、磁気抵抗効果素子４３と図７の上方側に示した位置関係となり、磁気抵抗効果素子４３におけるフリー磁性層４３５の磁化方向４３５ａは、例えば、同図に示す左下方側を向いた状態となる。
【００４０】
図８に示す状態からスライド部材３が前方側に移動すると、図９に示すように、回転体６１の回転支点との関係で回動制御部材３２が時計回転方向に回転し、駆動シャフト６２の前方側の端部が下方側に移動する。上述したように、駆動シャフト６２のジョイント部６２ａがホルダ６３に連結されているため、ホルダ６３も下方側に移動し、これに保持される磁石５は、磁気抵抗効果素子４３の側方側に配置された状態となっている。この場合、磁石５は、磁気抵抗効果素子４３と図７の中央に示した位置関係となり、磁気抵抗効果素子４３におけるフリー磁性層４３５の磁化方向４３５ａは、例えば、同図に示す左方側を向いた状態となる。
【００４１】
図９に示す状態からスライド部材３が更に前方側に移動すると、図１０に示すように、回転体６１の回転支点との関係で回動制御部材３２が更に時計回転方向に回転し、駆動シャフト６２の前方側の端部が更に下方側に移動する。上述したように、駆動シャフト６２のジョイント部６２ａがホルダ６３に連結されているため、ホルダ６３も下方側に移動し、これに保持される磁石５は、磁気抵抗効果素子４３の下方側に配置された状態となっている。この場合、磁石５は、磁気抵抗効果素子４３と図７の下方側に示した位置関係となり、磁気抵抗効果素子４３におけるフリー磁性層４３５の磁化方向４３５ａは、例えば、同図に示す左上方側を向いた状態となる。
【００４２】
このように本実施の形態に係る移動センサ１によれば、スライド部材３の往復移動に伴って磁石５を磁気抵抗効果素子４３の近傍で移動するようにしたことから、磁石５の移動に応じて磁気抵抗効果素子４３における電気抵抗値を漸次的に変化させることができるので、位置検出のリニアリティ（直線性）を向上できる。また、筐体２内に磁気抵抗効果素子４３を固定する一方、当該磁気抵抗効果素子４３の近傍を移動し得るように磁石５を配置したことから、単一の磁石５で磁気抵抗効果素子４３に作用する外部磁界を発生させることができるので、センサの製造に要するコストを低減できる。さらに、磁気抵抗効果素子４３が筐体２内で固定されることから、磁気抵抗効果素子４３を移動可能な構成とした場合に必要となるＦＰＣなどの構成部品を省略できるので、センサの製造に要するコストを低減できる。この結果、製造コストを抑制しつつ、位置検出のリニアリティ（直線性）を確保することが可能となる。
【００４３】
また、本実施の形態に係る移動センサ１においては、磁石５を上下方向に移動させる駆動機構６を、駆動シャフト６２及びホルダ６３から成る回動部材と、その回動を制御する回動制御部材３２とから構成していることから、簡単な構成でスライド部材３の往復移動に伴って磁石５を当該スライド部材３の移動方向と直交する方向に移動させることが可能となる。
【００４４】
特に、本実施の形態に係る移動センサ１においては、第２ケース２２の内壁にホルダ６３の移動をガイドするガイド部２２ｂを設けたことから、スライド部材３の往復移動に伴って磁石５を当該スライド部材３の移動方向と直交する方向に確実に移動させることが可能となる。特に、ガイド部２２ｂを第２ケース２２の内壁に設けたことから、部品点数を削減でき、センサの製造に要するコストを更に低減することが可能となる。
【００４５】
さらに、本実施の形態に係る移動センサ１においては、回動制御部材３２をスライド部材３に設け、当該スライド部材３の移動位置に応じて駆動シャフト６２及びホルダ６３の回動位置を決定することから、センサの小型化に寄与しつつ、スライド部材３の移動位置に応じて確実に駆動シャフト６２及びホルダ６３を回動させることが可能となる。この結果、スライド部材３の移動位置に応じて確実に磁石５を移動させることが可能となる。
【００４６】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００４７】
例えば、上記実施の形態においては、回動制御部材３２をスライド部材３に設けた場合について説明しているが、回動制御部材３２が設けられる位置についてはこれに限定されるものではなく適宜変更が可能である。スライド部材３の移動位置に応じて、適切に駆動シャフト６２の回動を制御することができれば、筐体２の内部のいかなる位置に設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施の形態に係る移動センサの外観を示す斜視図である。
【図２】上記実施の形態に係る移動センサの分解斜視図である。
【図３】上記実施の形態に係る移動センサの内部の構成を説明するための斜視図である。
【図４】上記実施の形態に係る移動センサの内部の構成を説明するための斜視図である。
【図５】上記実施の形態に係る移動センサの内部の構成を説明するための斜視図である。
【図６】上記実施の形態に係る移動センサが有する磁気抵抗効果素子の構成を説明するための模式図である。
【図７】上記実施の形態に係る移動センサが有する磁気抵抗効果素子と磁石との関係について説明するための模式図である。
【図８】上記実施の形態に係る移動センサにおいて、磁石を上下移動させる際の動作について説明するための図である。
【図９】上記実施の形態に係る移動センサにおいて、磁石を上下移動させる際の動作について説明するための図である。
【図１０】上記実施の形態に係る移動センサにおいて、磁石を上下移動させる際の動作について説明するための図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  移動センサ
２  筐体
２１  第１ケース
２２  第２ケース
２３  スリット
３  スライド部材
３１  突出片
３２  回動制御部材
４  磁気検出部材
４１  基板
４２  端子
４３  磁気抵抗効果素子
５  磁石
６  駆動機構
６１  回転体
６２  駆動シャフト
６２ａ  ジョイント部
６３  ホルダ
６３ａ  凹部
６３ｂ  収容部
７１  第１シャフト
７２  第２シャフト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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