(57)【要約】【課題】クラッド材料の無駄・不足を生じることがなく、上クラッド層および下クラッド層の膜厚を精密に製造でき、鋭角なエッジを有する凹溝を形成できるフレキシブル光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】凹溝４を形成する凸型パターン９が形成された下スタンパ基板１０の縁周囲に、成形する下クラッド層５の厚さと同じ高さの壁１１を形成した下クラッド層成形用スタンパ８を形成し、その下クラッド層成形用スタンパ８に下クラッド層用樹脂組成物１５を充填すると共に、その上面に基板１６を押し当てて平坦化した後、その下クラッド層用樹脂組成物１５を硬化させ、下クラッド層成形用スタンパ８から下クラッド層５を離型し、その凹溝４にコア用樹脂組成物１７を充填して硬化させる方法である。【選択図】図１
2009163034.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬化後にエラストマーとなるモノマーまたはオリゴマーからなる硬化性のクラッド層用樹脂組成物で、凹溝を有する下クラッド層を成形し、その凹溝にコアを形成し、コアを形成した下クラッド層の上に上クラッド層を順次形成するフレキシブル光導波路の製造方法において、
前記凹溝を形成する凸型パターンが形成された下スタンパ基板の縁周囲に、成形する下クラッド層の厚さと同じ高さの壁を形成した下クラッド層成形用スタンパを形成し、
その下クラッド層成形用スタンパに下クラッド層用樹脂組成物を充填すると共に、その上面に基板を押し当てて平坦化した後、その下クラッド層用樹脂組成物を硬化させ、前記下クラッド層成形用スタンパから前記下クラッド層を離型し、その凹溝にコア用樹脂組成物を充填して硬化させることを特徴とするフレキシブル光導波路の製造方法。
【請求項２】
前記下クラッド層成形用スタンパから前記下クラッド層を離型した後、前記下クラッド層の前記凹溝を形成した側の表面を上にし、その凹溝にコア用樹脂組成物を充填し、その上面に平坦な基板を押し当てて平坦化し、前記コア用樹脂組成物を硬化させる請求項１記載のフレキシブル光導波路の製造方法。
【請求項３】
前記下クラッド層形成用スタンパから前記下クラッド層を離型した後、前記下クラッド層と前記上クラッド層とからなる部材をコア用樹脂組成物で張り合わせると共に、前記コア用樹脂組成物を硬化させ、前記下クラッド層と前記上クラッド層との間に前記コア用樹脂組成物によりコアを形成する請求項１記載のフレキシブル光導波路の製造方法。
【請求項４】
平坦な上スタンパ基板の縁周囲に、成形する上クラッド層の厚さと同じ高さの壁を形成した上クラッド層成形用スタンパを形成し、
その上クラッド層成形用スタンパに上クラッド層用樹脂組成物を充填すると共に、その上面に前記下クラッド層のコアを形成した側の表面を押し当てて平坦化し、前記上クラッド層用樹脂組成物を硬化させ、前記上クラッド層成形用スタンパから前記上クラッド層を離型して上クラッド層を形成する、または、前記上クラッド層成形用スタンパの上面に平坦な基板を押し当てて平坦化し、その上クラッド層用樹脂組成物を硬化させて上クラッド層を成形した後、その上クラッド層と前記下クラッド層のコアを形成した側の表面とを接合し、前記上クラッド層成形用スタンパから前記上クラッド層を離型する請求項１〜３いずれかに記載のフレキシブル光導波路の製造方法。
【請求項５】
前記コアを形成した下クラッド層の上に上クラッド層用樹脂組成物を供給し、その上クラッド層用樹脂組成物をスピンコートにより薄膜化した後に、前記上クラッド層用樹脂組成物を硬化して上クラッド層を形成する請求項１〜３いずれかに記載のフレキシブル光導波路の製造方法。
【請求項６】
前記下クラッド層用樹脂組成物、前記コア用樹脂組成物、および前記上クラッド層用樹脂組成物より選ばれる少なくとも１つの硬化後の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下である請求項１〜５いずれかに記載のフレキシブル光導波路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可撓性を有するフレキシブル光導波路の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やデジタルカメラなどモバイル電子機器において、高画質の画像や動画が大量に扱われるようになるのに伴い、電子機器内では更なる高密度で高速・大容量のデータのやり取りが必要となっている。高速・大容量のデータを扱う手段として、近年、光配線技術が注目されている。
【０００３】
光配線部材に可撓性を有する材料、例えば、フレキシブル光導波路を用いることで、高速・大容量の通信を実現すると共に、電子機器内での自由な配線が可能になり、電子機器を小型化することができる。
【０００４】
高い屈曲性能を持ち、変形が容易な材料としては、エラストマー（ｅｌａｓｔｏｍｅｒ）が挙げられる。エラストマーとは、常温でゴム状弾性を有する高分子材料の総称であって、一般に、ゴム類のように曲げ弾性率が低いものをいう。エラストマーは、固体でありながら容易に屈曲可能という性質を有している。
【０００５】
従来のフレキシブル光導波路の製造方法を図２に示す。まず、ガラス基板などの透光性を有する平坦な基板２１を用意する。この基板２１の上には、図２（ａ）に示すように、クラッド材料２２が塗布される。クラッド材料２２は、例えば、ウレタンモノマーまたはウレタンオリゴマーと、重合開始剤との混合物であって、硬化後の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下となるエラストマーの前駆体である。また、このクラッド材料２２は、紫外線により硬化する。
【０００６】
その後、図２（ｂ）に示すように、クラッド材料２２の上からスタンパ（成形型）２３を押し当て、スタンパ２３に圧力をかけて基板２１とスタンパ２３との間にクラッド材料２２を薄く押し広げ、クラッド材料２２の膜厚を薄くする。スタンパ２３の下面には凸型パターン２４が形成されているので、スタンパ２３により押圧されているクラッド材料２２の上面には、凹溝２５が形成される。
【０００７】
その後、図２（ｃ）に示すように、基板２１を通して下面からクラッド材料２２に紫外線エネルギーを照射してクラッド材料２２を硬化させる。
【０００８】
クラッド材料２２が硬化して下クラッド層２６が成形されたら、図２（ｄ）に示すように、下クラッド層２６からスタンパ２３を分離させる。スタンパ２３を分離すると、下クラッド層２６の上面には、凹溝２５が成形されている。
【０００９】
下クラッド層２６からスタンパ２３を分離した後、図２（ｅ）に示すように、下クラッド層２６の凹溝２５内にコア材料２７を充填する。このコア材料２７は、下クラッド層２６より屈折率の高いポリマーの前駆体であるモノマーやオリゴマーからなるものであって、紫外線により硬化する。
【００１０】
凹溝２５にコア材料２７を充填し、適宜方法（例えば、平板を用いて押圧、または下クラッド層２６の上面を平板などで掃引）によりコア材料２７の上面を平滑に均した後、図２（ｆ）に示すように、コア材料２７に紫外線を照射してコア材料２７を硬化させ、凹溝２５内にコア２８を形成する。
【００１１】
この後、図２（ｇ）に示すように、下クラッド層２６およびコア２８の上に、下クラッド層２６の場合に用いたのと同じクラッド材料２２を塗布し、図２（ｈ）に示すように、クラッド材料２２の上から平坦なスタンパ２９を押し当てて圧力を加え、クラッド材料２２の膜厚を薄くする。ついで、クラッド材料２２に紫外線を照射することによってクラッド材料２２を硬化させて上クラッド層３０を形成する。
【００１２】
そして、スタンパ２９を上クラッド層３０から分離すると共に、基板２１を下クラッド層２６から剥がしてフィルム化し、図２（ｉ）のフレキシブル光導波路２０を得る。
【００１３】
下クラッド層２６および上クラッド層３０の膜厚を薄くするためには、クラッド材料２２の粘度は低いほうが望ましい。しかし、フレキシブル光導波路２０では、下クラッド層２６や上クラッド層３０の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下と小さいので、クラッド材料２２の粘度が高くなる。しかし、図２に示すフレキシブル光導波路２０の製造方法では、スタンパ２３でクラッド材料２２を押さえて加圧しているので、クラッド材料２２の膜厚を強制的に薄く広げることができ、粘度が３０Ｐａ・ｓ（３００００ｃＰ）程度あっても、下クラッド層２６および上クラッド層３０の膜厚を１５０μｍ以下にすることができる。
【００１４】
よって、フレキシブル光導波路２０の厚みは３００μｍ以下になり、フレキシブル光導波路２０を小さい曲率半径で曲げることが可能となる。
【００１５】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、次のものがある。
【００１６】
【特許文献１】特許第３９０６８７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、従来の製造方法では、基板２１の上にクラッド材料２２を塗布した後、スタンパ２３にて圧力を加えてクラッド材料２２の膜厚を薄くするため、塗布するクラッド材料２２の量を厳密に管理しないと、クラッド材料２２が不足してクラッド層（下クラッド層２６または上クラッド層３０）の一部が欠落する。逆に、クラッド材料２２が多いと無駄となりコスト高になる。
【００１８】
また、従来の製造方法では、基板２１の上にクラッド材料２２を塗布した後、上方から凸型パターン２４が形成されたスタンパ２３にて圧力を加えてクラッド材料２２に凹溝２５を形成している。スタンパ２３の凸型パターン２４は直角形状となっているため、クラッド材料２２を凸型パターン２４の先端部で押す際に、クラッド材料２２と凸型パターン２４との間に空気層が形成されやすく、鋭角なエッジを有する凹溝２５を形成することが困難となる。
【００１９】
さらに、クラッド材料２２の曲げ弾性率（または粘性）と圧力によってクラッド層（下クラッド層２６または上クラッド層３０）の膜厚が変わることから、膜厚制御が困難である。
【００２０】
そこで、本発明の目的は、クラッド材料の無駄・不足を生じることがなく、上クラッド層および下クラッド層の膜厚の精密な製造を可能とし、鋭角なエッジを有するコアの形成が可能なフレキシブル光導波路の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項１の発明は、硬化後にエラストマーとなるモノマーまたはオリゴマーからなる硬化性のクラッド層用樹脂組成物で、凹溝を有する下クラッド層を成形し、その凹溝にコアを形成し、コアを形成した下クラッド層の上に上クラッド層を順次形成するフレキシブル光導波路の製造方法において、前記凹溝を形成する凸型パターンが形成された下スタンパ基板の縁周囲に、成形する下クラッド層の厚さと同じ高さの壁を形成した下クラッド層成形用スタンパを形成し、その下クラッド層成形用スタンパに下クラッド層用樹脂組成物を充填すると共に、その上面に基板を押し当てて平坦化した後、その下クラッド層用樹脂組成物を硬化させ、前記下クラッド層成形用スタンパから前記下クラッド層を離型し、その凹溝にコア用樹脂組成物を充填して硬化させるフレキシブル光導波路の製造方法である。
【００２２】
請求項２の発明は、前記下クラッド層成形用スタンパから前記下クラッド層を離型した後、前記下クラッド層の前記凹溝を形成した側の表面を上にし、その凹溝にコア用樹脂組成物を充填し、その上面に平坦な基板を押し当てて平坦化し、前記コア用樹脂組成物を硬化させる請求項１記載のフレキシブル光導波路の製造方法である。
【００２３】
請求項３の発明は、前記下クラッド層形成用スタンパから前記下クラッド層を離型した後、前記下クラッド層と前記上クラッド層とからなる部材をコア用樹脂組成物で張り合わせると共に、前記コア用樹脂組成物を硬化させ、前記下クラッド層と前記上クラッド層との間に前記コア用樹脂組成物によりコアを形成する請求項１記載のフレキシブル光導波路の製造方法である。
【００２４】
請求項４の発明は、平坦な上スタンパ基板の縁周囲に、成形する上クラッド層の厚さと同じ高さの壁を形成した上クラッド層成形用スタンパを形成し、その上クラッド層成形用スタンパに上クラッド層用樹脂組成物を充填すると共に、その上面に前記下クラッド層のコアを形成した側の表面を押し当てて平坦化し、前記上クラッド層用樹脂組成物を硬化させ、前記上クラッド層成形用スタンパから前記上クラッド層を離型して上クラッド層を形成する、または、前記上クラッド層成形用スタンパの上面に平坦な基板を押し当てて平坦化し、その上クラッド層用樹脂組成物を硬化させて上クラッド層を成形した後、その上クラッド層と前記下クラッド層のコアを形成した側の表面とを接合し、前記上クラッド層成形用スタンパから前記上クラッド層を離型する請求項１〜３いずれかに記載のフレキシブル光導波路の製造方法である。
【００２５】
請求項５の発明は、前記コアを形成した下クラッド層の上に上クラッド層用樹脂組成物を供給し、その上クラッド層用樹脂組成物をスピンコートにより薄膜化した後に、前記上クラッド層用樹脂組成物を硬化して上クラッド層を形成する請求項１〜３いずれかに記載のフレキシブル光導波路の製造方法である。
【００２６】
請求項６の発明は、前記下クラッド層用樹脂組成物、前記コア用樹脂組成物、および前記上クラッド層用樹脂組成物より選ばれる少なくとも１つの硬化後の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下である請求項１〜５いずれかに記載のフレキシブル光導波路の製造方法である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、クラッド材料の無駄・不足を生じることがなく、上クラッド層および下クラッド層の膜厚を精密に製造でき、鋭角なエッジを有する凹溝を形成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面にしたがって説明する。
【００２９】
まず、本実施形態に係るフレキシブル光導波路を説明する。
【００３０】
図１（ｎ）に示すように、本実施形態に係るフレキシブル光導波路１は、下光部品２と、上光部品３とからなる。下光部品２は、凹溝４が形成された下クラッド層５とその凹溝４に形成されたコア６とからなり、上光部品３は、上クラッド層７からなる。
【００３１】
下クラッド層５および上クラッド層７は、種類は特に問わないが、例えば、エポキシ系のモノマーやオリゴマー、ウレタンモノマー、またはウレタンオリゴマーなどからなるエラストマーであり、曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下である。下クラッド層５および上クラッド層７の曲げ弾性率を１０００ＭＰａ以下とするのは、曲げ弾性率が１０００ＭＰａを超えると、フレキシブル光導波路１を小さい曲率半径で曲げることができなくなるためである。本実施形態では、下クラッド層５と上クラッド層７とは同じ材質とした。
【００３２】
コア６は、下クラッド層５および上クラッド層７よりも屈折率の高いポリマーからなる。本実施形態では、コア６として、曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下のエポキシ系のエラストマーからなるものを用いた。
【００３３】
下クラッド層５、上クラッド層７、およびコア６に用いるクラッド、コア材料としては、硬化可能なエポキシ系、アクリル系、シリコーン樹脂系、ウレタン樹脂系などのモノマーやオリゴマーが挙げられ、必要に応じてこれらの混合物を用いてもよい。光重合開始剤としては、クラッド、コア材料のモノマーに応じて光酸発生剤、ラジカル発生剤などを用いることができる。もちろん、クラッド、コア材料はこれらに限定されない。
【００３４】
下クラッド層５および上クラッド層７の厚さは、１５０μｍ以下である。これは、下クラッド層５および上クラッド層７の厚さが１５０μｍを超えると、フレキシブル光導波路１の厚さが３００μｍを超えてしまい、フレキシブル光導波路１を小さい曲率半径で曲げることができなくなるためである。
【００３５】
次に、本実施形態に係るフレキシブル光導波路の製造方法に用いるスタンパ（成形型）を説明する。
【００３６】
図１（ａ）に示すように、下クラッド層５を成形するために用いる下クラッド層成形用スタンパ８は、凸型パターン９が形成された下スタンパ基板１０の縁周囲に、凸型パターン９と同一方向に起立した壁１１を形成したものである。壁１１を形成することより、下スタンパ基板１０と壁１１に囲まれた下クラッド層成形用空間Ｓａが形成される。
【００３７】
壁１１は、成形する下クラッド層５の厚さと同じ高さ（Ｈ）に形成される。本実施形態では、成形する下クラッド層５の厚さを１５０μｍ以下とするため、壁１１の高さを１５０μｍ以下とした。
【００３８】
図１（ｈ）に示すように、上クラッド層７を成形するために用いる上クラッド層成形用スタンパ１２は、平坦な上スタンパ基板１３の縁周囲に、成形する上クラッド層の厚さと同じ高さの壁１４を形成したものである。壁１４を形成することにより、上スタンパ基板１３と壁１４に囲まれた上クラッド層形成用空間Ｓｂが形成される。
【００３９】
壁１４は、成形する上クラッド層７の厚さと同じ高さに形成される。本実施形態では、壁１４の高さを１５０μｍ以下とした。
【００４０】
下クラッド層成形用スタンパ８および上クラッド層成形用スタンパ１２としては、金属、シリコーンゴム、石英などからなるものを用いることができる。本実施形態では、石英からなるものを用いた。
【００４１】
さて、図１（ａ）〜（ｎ）は、本発明の好適な実施形態を示すフレキシブル光導波路の製造方法を説明する図である。
【００４２】
本実施形態に係るフレキシブル光導波路の製造方法では、まず、図１（ａ）に示すように、下クラッド層成形用スタンパ８を用意する。
【００４３】
その下クラッド層成形用スタンパ８の下クラッド層成形用空間Ｓａに、図１（ｂ）に示すように、下クラッド層用樹脂組成物（下クラッド材料）１５を充填する。このとき、下クラッド層用樹脂組成物１５を充填した状態で加熱や減圧など適宜行い、発生した空気層を除いてもよい。
【００４４】
下クラッド層用樹脂組成物１５は、エポキシ系モノマーまたはエポキシ系オリゴマーと、重合開始剤との混合物であって、硬化後の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下となるエラストマーの前駆体であり、紫外線により硬化するものである。
【００４５】
下クラッド層用樹脂組成物１５を下クラッド層成形用空間Ｓａに充填した後、その上面からガラス、樹脂フィルム、シリコンなどの基板１６を被せる。これにより、基板１６の自重により下クラッド層用樹脂組成物１５の上面は平坦化される。このとき、必要であれば、下クラッド層用樹脂組成物１５の粘度などに応じて基板１６に荷重をかけてもよい。
【００４６】
その後、図１（ｃ）に示すように、基板１６あるいは下クラッド層形成用スタンパ８を通して下クラッド層用樹脂組成物１５に紫外線を照射して、下クラッド層用樹脂組成物１５を硬化し、下クラッド層５を成形する。
【００４７】
下クラッド層５を成形した後、図１（ｄ）に示すように、下クラッド層成形用スタンパ８から下クラッド層５を離型（分離）する。下クラッド層５には、下クラッド層成形用スタンパ８の凸型パターン９によって凹溝４が形成される。この下クラッド層５の上下を反転させて、凹溝４を形成した側の表面を上（図１（ｄ）では上側）にする。
【００４８】
下クラッド層５の上下を反転した後、図１（ｅ）に示すように、下クラッド層５の凹溝４内にコア用樹脂組成物（コア材料）１７を充填する。このコア用樹脂組成物１７は、下クラッド層５より屈折率の高いポリマーの樹脂組成物であるモノマーまたはオリゴマーと、重合開始剤との混合物からなり、紫外線により硬化するものである。コア用樹脂組成物１７としては、硬化後の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下となるエラストマーの前駆体を用いるとよい。
【００４９】
凹溝４にコア用樹脂組成物１７を充填した後、図１（ｆ）に示すように、平板１８を用いてコア用樹脂組成物１７の表面を平面化し、図１（ｇ）に示すように、コア用樹脂組成物１７に紫外線を照射してコア用樹脂組成物１７を硬化させ、凹溝４内にコア６を形成する。これにより、下クラッド層５とコア６とが形成され、下光部品２が形成される。
【００５０】
しかる後、図１（ｈ）に示すように、上クラッド層成形用スタンパ１２を用意し、図１（ｉ）に示すように、上クラッド層成形用スタンパ１２の上クラッド層成形用空間Ｓｂに上クラッド層用樹脂組成物（上クラッド材料）１９を充填する。
【００５１】
上クラッド層用樹脂組成物１９は、下クラッド層用樹脂組成物１５と同じものを用いた。すなわち、上クラッド層用樹脂組成物１９は、エポキシ系モノマーまたはエポキシ系オリゴマーと、重合開始剤との混合物であって、硬化後の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下となるエラストマーの前駆体であり、紫外線により硬化するものである。
【００５２】
上クラッド層用樹脂組成物１９を上クラッド層成形用スタンパ１２に充填した後、図１（ｊ）に示すように、上クラッド層樹脂組成物１９の上面から、透明な平板２０を押し当てて平面化し、平板２０を通して紫外線を照射して上クラッド層樹脂組成物１９を硬化させて、上クラッド層７を成形する。このとき、上クラッド層成形用スタンパ１２に紫外線透過性の高い材料を用いた場合、上クラッド層成形用スタンパ１２側から紫外線を照射してもよい。
【００５３】
上クラッド層７を成形した後、図１（ｋ）および図１（ｌ）に示すように、上クラッド層７と下光部品２とを接合する。このとき、下光部品２のコア６が形成された面側が上クラッド層７に接するように接合する。下光部品２と上クラッド層７とは、樹脂接着剤で接合するとよい。樹脂接着剤としては、クラッド材料を用いるが、これと同じ屈折率を有する材料を用いるのが望ましい。
【００５４】
その後、図１（ｍ）に示すように、上クラッド層成形用スタンパ１２から上クラッド層７を離型（分離）し、さらに下クラッド層５から基板１６を剥がすと、図１（ｎ）のフレキシブル光導波路１が得られる。
【００５５】
本実施形態の作用を説明する。
【００５６】
本実施形態に係るフレキシブル光導波路の製造方法では、凸型パターン９が形成された下スタンパ基板１０の縁周囲に、成形する下クラッド層５の厚さと同じ高さの壁１１を形成した下クラッド層成形用スタンパ８を用い、その下クラッド層成形用スタンパ８の下クラッド層成形用空間Ｓａに下クラッド層用樹脂組成物１５を充填し、その上面を平坦化した後にこれを硬化させて、下クラッド層５を成形している。
【００５７】
これにより、下クラッド層成形用スタンパ８の深さ（壁１１の高さ）によって下クラッド層５の膜厚を決定することができ、下クラッド層５の膜厚を精密に製造することができる。
【００５８】
同様に、上クラッド層成形用スタンパ１２の深さ（壁１４の高さ）によって上クラッド層７の膜厚を決定することができ、上クラッド層７の膜厚を精密に製造することができる。
【００５９】
また、下クラッド層成形用スタンパ８の下クラッド層成形用空間Ｓａに下クラッド層用樹脂組成物１５を充填するため、下クラッド層成形用スタンパ８の凸型パターン９の下方（直角部）に空気層が形成されにくくなり、また、気泡が形成された際には、必要に応じて下クラッド層形成用スタンパ８上に下クラッド層用樹脂組成物１５を充填した状態で、加熱や減圧などの方法によりこれを除くことが可能である。これにより、鋭角なエッジを有する凹溝４を形成することができる。よって、鋭角なエッジを有するコア５を形成でき、コア５を伝搬する光の伝送損失を抑制することができる。
【００６０】
さらに、下クラッド層成形用スタンパ８に下クラッド層用樹脂組成物１５を充填し、上クラッド層成形用スタンパ１２に上クラッド層用樹脂組成物１９を充填するため、クラッド層用樹脂組成物（下クラッド層用樹脂組成物１５および上クラッド層用樹脂組成物１９）の無駄・不足などを生じることがなく、常に安定した量のクラッド層用樹脂組成物でフレキシブル光導波路１を製造することができる。
【００６１】
また、本実施形態に係るフレキシブル光導波路の製造方法では、下クラッド層用樹脂組成物１５、コア用樹脂組成物１７、および上クラッド層用樹脂組成物１９の硬化後の曲げ弾性率を１０００ＭＰａ以下としており、さらに、下クラッド層５および上クラッド層７の厚さを１５０μｍ以下としているため、フレキシブル光導波路１を小さい曲率半径で曲げることが可能となる。よって、フレキシブル光導波路１を電子機器内で自由に配線することが可能になり、電子機器を小型化できる。
【００６２】
上記実施形態では、上クラッド層成形用スタンパ１２を用いて上クラッド層７を成形し、その上クラッド層７と下光部品２とを接合したが、上クラッド用樹脂組成物１９に基板２０を押しつける際に、基板２０のかわりにコア６を形成した下クラッド層５のコア６を形成した面を押し当ててフレキシブル光導波路１を作製してもよい。
【００６３】
また、下光部品２の上に、上クラッド層用樹脂組成物１９を供給（塗布）し、その上クラッド層用樹脂組成物１９をスピンコートにより薄膜化した後、上クラッド層用樹脂組成物１９に紫外線を照射して硬化させ、上クラッド層７を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の好適な実施形態を示すフレキシブル光導波路の製造方法を説明する図である。
【図２】従来のフレキシブル光導波路の製造方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  フレキシブル光導波路
４  凹溝
５  下クラッド層
６  コア
７  上クラッド層
８  下クラッド層成形用スタンパ
９  凸型パターン
１０  下スタンパ基板
１１  壁
１５  下クラッド層用樹脂組成物
１６  基板
１７  コア用樹脂組成物
【図１】
2009163034.tif 000003
【図２】
2009163034.tif 000004