(57)【要約】【課題】大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を確実に維持することができると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板を提供する。【解決手段】金属製の平板体３を少なくとも２枚積層して成る積層体１３と、この積層体１３の上面側に予め定められた間隔を保ちながら配設される複数のスペーサー６とを有し、平板体３は、一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔４を備え、平板体に形成される複数の貫通孔４は、他の平板体に形成される複数の貫通孔４と連通し、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａとは略線状に接触することを特徴とする吸着板２ａによる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製の平板体を少なくとも２枚積層して成る積層体と、
この積層体の上面側に予め定められた間隔を保ちながら配設される複数のスペーサーとを有し、
前記平板体は、一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔を備え、
前記平板体に形成される複数の貫通孔は、他の平板体に形成される複数の貫通孔と連通し、
前記積層体の上面と前記スペーサーの下端とは略線状に接触することを特徴とする吸着板。
【請求項２】
前記貫通孔は、前記平板体の上面及び／又は下面にエッチング加工を施して形成することを特徴とする請求項１記載の吸着板。
【請求項３】
前記積層体は、少なくとも２枚の前記平板体をスポット溶接により接合して成ることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の吸着板。
【請求項４】
前記平板体の平面方向に垂直な面を垂直面とすると、
前記吸着板を前記垂直面で切断した際の垂直断面において、前記積層体の上面と前記スペーサーの側面のなす角度θは、θ≧４５°であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の吸着板。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の吸着板を備えることを特徴とするセラミックグリーンシートの搬送装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を確実に維持することができると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、セラミックグリーンシートを吸着して搬送する搬送装置に用いられる多孔質の吸着板は、ドリルによる孔開け法により製造されていた。
このような吸着板は、ドリルによる孔開け作業時に、平板材に応力が作用して撓んだり、あるいは、貫通孔の近傍にわずかながら凹凸が形成されてしまうという不具合があり、その結果、セラミックグリーンシートを搬送する際に、その表面に吸着痕が生じてしまうという不具合があった。
また、吸着板をドリルによる孔開け法により製造する場合、ドリル径の限界（φ１ｍｍ程度）から、微細径の貫通孔を機械加工で穿設することが難しいという制約があった。しかも、多数の貫通孔を一つ一つ開けていく必要があり、手間とコストがかかるという課題もあった。
そして、特に貫通孔ピッチが大きい場合、セラミックグリーンシートを吸着した際に、シート表面の全面が吸着されないので、セラミックグリーンシートにシワを生じさせてしまうという課題があった。
さらに、市販品にも多孔質吸着板があるが、このような多孔質吸着板は高価な上、形状及び寸法に制約があるという課題があった。
このような課題に対処するため、いくつかの発明が開示されている。
【０００３】
以下に、従来技術に係る「シート吸着板」について説明する。
特許文献１には、グリーンシートのような可撓性シートを吸着保持できるシート吸着板に関する発明が開示されている。
特許文献１に係る「シート吸着板」は、表裏に貫通する多数の吸引穴が所定ピッチ間隔で分散形成された第１プレートと、表面の周囲に枠部を有し、枠部の内側に吸引穴と通じる格子状の通気溝が形成され、通気溝によって残された島状の凸部が枠部と同一高さに形成され、枠部と凸部が第１プレートの裏面に接合され、かつ通気溝の底部に裏面に通じる適数個の通気穴が形成された第２プレートと、表面に平坦面を有し、この表面が第２プレートの裏面に接合され、通気穴３ｄに対応する吸引通路穴が形成され、かつこれら吸引通路穴が真空源と接続された第３プレート４と備えることを特徴とするものである。また、上記第１プレートの吸引穴はエッチング加工により形成されてもよい。
上記構成の特許文献１に記載の発明によれば、シートを吸着する吸引穴は第１プレートに均等に分散形成されており、しかも各吸引穴には格子状の通気溝を介して均等な真空負圧が作用するので、シートに接触する第１プレートの表面に均一な吸引力を作用させることができる。
また、第１プレートの裏面は第２プレートの枠部と凸部とに接合されているので、第１，第２プレートの貼り合わせ時に良好な平面度を確保でき、吸着時にシートの撓みや凹凸を発生させないという効果を有する。
この結果、吸引孔の大きさのバラツキを小さくして、シート全面に均質な吸着力を発生させることができるという効果を有する。
【０００４】
また、特許文献２には、多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる支持部とを備える吸着板を具備した真空吸着装置とその製造方法に関する発明が開示されている。
特許文献２に係る発明は、多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる支持部とを備えた真空吸着装置の吸着板全体を同一組成のセラミックスにより形成し、吸着部をなす多孔質部と、該多孔質部を囲繞する支持部をなす緻密質部とを一体的に形成したものであり、また、その製造方法は同一組成のセラミック粉末に対し、焼成時に燃えてなくなる焼失材を添加混合し、各セラミック原料を型内の所定位置にそれぞれ充填したあと成形し、しかるのちセラミック粉末を焼結させる温度にて焼成することを特徴とするものである。
上記構成の特許文献２に記載の発明によれば、真空吸着装置に設けられる吸着板は、吸着部をなす多孔質部と支持部をなす緻密質部とが共に同一組成のセラミックスにより一体的に形成されているので、多孔質部は緻密質部と同程度の硬度を有するとともに、機械的強度、耐薬品性、及び耐熱性に優れている。
このため、載置面を容易に平滑平坦な面とすることができるので、被加工物を強固に吸着固定することができるとともに、吸引力により支持部から吸着部が脱落することがない。また、洗浄を繰り返したとしてもセラミック粒子の脱落がなく、高温下での使用においても大幅な強度劣化を生じることがないため、長期間にわたり使用することができるという効果を有する。
また、特許文献２に記載の発明は、吸着板の吸着部をなす多孔質部を構成するために、セラミック原料中に焼成時に燃えてなくなる焼失材を添加して成形し、しかるのちセラミック粉末を完全に焼結させる温度で焼成して製造したことにより、従来のように各セラミック材を別々に制作し、その後ガラス接合するというような面倒な作業をすることなく、一度の成形・焼成工程を経るだけで、多孔質部と緻密質部とを一体的に形成した吸着板を効率良く製造することができる。しかも、この方法により製造すれば多孔質部も完全に焼結したセラミックスとすることができるという効果を有する。
その為、長期間にわたり被加工物を吸着板の載置面上に強固に固定することができるという効果を有する。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２６７９８６号公報
【特許文献２】特開平８−１９９２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の特許文献１に開示される発明の場合、第１のプレート，第２のプレート，第３のプレートの貫通孔は、いずれも異なる製造工程を経て製造されると考えられる。
この場合、それぞれのプレートに孔開けをする際に、それぞれの孔開け工程におけるピッチ精度を高めたとしても、製造方法の違いや孔開けに使用する装置の違いによる微妙な孔開け位置の誤差を排除することは難しく、その結果、大きなサイズの吸着板を高精度に製造することは難しいという課題があった。
【０００７】
また、特許文献２に開示される発明の場合、略均質な多孔質材を形成することができると考えられるものの、一定のピッチを保ちながら人為的に孔が形成された多孔質材と比較すると、孔の配置の精度に関してはやはり劣る可能性がある。
しかも、特許文献２に開示される多孔質材を製造する際に、多孔質材の表面に形成される孔の直径を略完全に同じにすることは難しい。
このため、大きな面積を有する多孔質材を製造した場合に、多孔質材の表面の任意の位置に直径の大きな穴が形成されてしまう可能性があり、やはり、大きな面積を有する多孔質材の製造には適さない可能性が高かった。
【０００８】
本発明はかかる従来の事情に対処してなされたものであり、大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を確実に維持することができると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明である吸着板は、金属製の平板体を少なくとも２枚積層して成る積層体と、この積層体の上面側に予め定められた間隔を保ちながら配設される複数のスペーサーとを有し、平板体は、一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔を備え、平板体に形成される複数の貫通孔は、他の平板体に形成される複数の貫通孔と連通し、積層体の上面とスペーサーの下端とは略線状に接触することを特徴とするものである。
上記構成の発明において、平板体に形成される貫通孔は、平板体の下面側の空気を上面側に排出したり、積層体の上面側から下面側に空気を供給するという作用を有する。
また、少なくとも２枚の金属製の平板体を積層することで積層体の強度を高め、積層体の形状保持性を向上させるという作用を有する。この結果、積層体の下面、すなわち、吸着面を平坦にするという作用を有する。
この時、平板体の複数の貫通孔と他の平板体の複数の貫通孔とを連通させることで、積層体の上面から下面への、あるいはこの逆方向への空気の出入を可能にするという作用を有する。
この結果、吸着面である積層体の下面の全面に吸着力を発生させるという作用を有する。
さらに、スペーサーは積層体の上面側の気圧を低下させた際に真空圧により積層体が撓むのを妨げるという作用を有する。
加えて、積層体の上面とスペーサーの下端とを略線状に接触させることで、万一スペーサーの下端が、平板体に形成される貫通孔の開口上に配置された場合でも、貫通孔への空気の出入を可能にするという作用を有する。
また、スペーサーと積層体を別体に構成することで、積層体に不具合が生じた際の修理又は交換を容易にするという作用を有する。
【００１０】
請求項２に記載の発明である吸着板は、請求項１記載の吸着板であって、貫通孔は、平板体の上面及び／又は下面にエッチング加工を施して形成することを特徴とするものである。
上記構成の発明は、請求項１に記載の発明と同じ作用に加え、同一のエッチングマスクを用いてフォトリソグラフィック法で複数のそれぞれの平板体にエッチングレジスト膜を形成するエッチング加工により貫通孔を形成することで、複数の平板体の同じ位置に貫通孔を形成させるという作用を有する。
この結果、複数の平板体を積層した際に、互いに符合する位置に形成される貫通孔同士の連通を容易にするという作用も有する。
【００１１】
請求項３に記載の発明である吸着板は、請求項１又は請求項２に記載の吸着板であって、積層体は、少なくとも２枚の平板体をスポット溶接により接合して成ることを特徴とするものである。
上記構成の発明は、請求項１又は請求項２に記載のそれぞれの発明と同じ作用に加え、スポット溶接により少なくとも２枚の平板体を接合することで、それぞれの平板体に形成される貫通孔を隙間なく連続させるという作用を有する。
また、請求項３に記載の吸着板の吸着面における平坦性を高めるという作用を有する。
【００１２】
請求項４に記載の発明である吸着板は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の吸着板であって、平板体の平面方向に垂直な面を垂直面とすると、
吸着板を垂直面で切断した際の垂直断面において、積層体の上面とスペーサーの側面のなす角度θは、θ≧４５°であることを特徴とするものである。
上記構成の発明は、請求項１乃至請求項３のそれぞれに記載される発明と同じ作用に加えて、積層体の上面とスペーサーの側面のなす角度θを、θ≧４５°に設定することで、平板体の貫通孔上にスペーサーが配置された場合であっても、貫通孔への空気の出入をスムースにするという作用を有する。
【００１３】
請求項５に記載の発明であるセラミックグリーンシートの搬送装置は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の吸着板を備えることを特徴とするものである。
上記構成の発明は、請求項１乃至請求項３のそれぞれに記載される発明と同じ作用に加えて、積層体とスペーサーにより形成される空隙を減圧した際に、吸着面である吸着板の下面の全面にわたり略均一な吸着力を発生させるという作用を有する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の請求項１記載の発明によれば、積層体の上面においてスペーサーが配設される位置においても、その真下に配置される吸着面に吸引力を発生させることができるという効果を有する。この結果、請求項１記載の発明の吸着面の平面方向における吸引力を略均質にすることができるという効果を有する。
また、平板体を少なくとも２枚積層することで、積層体の強度を高めることができる。このため、請求項１記載の発明の吸着面に繰り返し吸引力を発生させた場合でも、吸着面の平坦性を高度に維持することができるという効果を有する。
【００１５】
本発明の請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明と同様の効果に加え、平板体への貫通孔の形成作業にかかる時間を短縮することができるという効果を有する。
しかも、貫通孔の直径が小さい場合でも、平板体を積層した際にそれぞれの平板体に形成される貫通孔を確実に連通させることができるという効果を有する。
この結果、強度が高く平坦性が高度に保たれた吸着板を安価に提供できると同時に、吸着面の平面方向に生じる吸引力を一層均質にすることができるという効果を有する。
よって、請求項２に記載の発明に係る吸着面に、可撓性を有するシート体である、例えば、セラミックグリーンシートを吸着した場合に、セラミックグリーンシートにシワが生じて不良品化するのを防止することができるという効果を有する。
一般に、ドリルで平板体に複数の貫通孔を形成する場合、貫通孔の直径は１ｍｍ以下にすることが非常に難しいが、エッチングにより貫通孔を形成する場合には、アスペクト比（平板体における穴径と深さの比）が１程度になるよう加工することができるので、例えば、平板体の厚みが０.３ｍｍの場合には、貫通孔の直径をφ０.３ｍｍにすることができるという効果を有する。
よって、請求項２に記載の吸着板の吸着面に、例えば、セラミックグリーンシート吸着した場合に、セラミックグリーンシートの上面に吸着痕が生じて不良品化するのを防止することができるという効果を有する。
加えて、ドリルを用いて平板体に貫通孔を形成した場合、平板体の上面あるいは下面に僅かながら凹凸が形成されてしまうのであるが、エッチングにより貫通孔を形成した場合にはこのような凹凸が生じる恐れがない。従って、平板体同士を密着させた状態で積層することができるという効果を有する。
このことは、貫通孔同士が隙間なく連通することを意味しており、吸着板の吸着面に効率よく吸着面に吸引力を発生させることができるという効果も有する。
【００１６】
本発明の請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明と同様の効果に加え、積層した平板体をスポット溶接により接合することで、平板体同士を密着させた状態でかつ、それぞれの貫通孔を隙間なく連通させた状態のまま接合させることができるという効果を有する。
しかも、短時間で積層体を形成することができるという効果を有する。
【００１７】
本発明の請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３に記載のそれぞれの発明と同様の効果に加え、積層体の上面とスペーサーの側面のなす角度θを、θ≧４５°に設定することで、平板体の貫通孔上にスペーサーが配置された場合であっても、貫通孔への空気の出入をスムースにするという効果を有する。
この結果、吸着面の平面方向における吸引力を一層均質にすることができるという効果を有する。
【００１８】
本発明の請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の吸着板を備えたセラミックグリーンシートの搬送装置であり、請求項１乃至請求項４のそれぞれの発明と同様の効果を有する。
また、請求項５に記載の発明によれば、セラミックグリーンシートの搬送装置の製造にかかるコストを大幅に削減することができると同時に、セラミックグリーンシートの搬送時にシワや吸着痕を生じさせない高性能の搬送装置を提供することができるという効果を有する。
しかも、搬送時のセラミックグリーンシートの不良品化を防止することができるので、セラミックグリーンシート及びそれを用いて製造されるセラミック焼結体の歩留まりを高めることができるという効果も有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の最良の実施の形態に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置について図１乃至図６を参照しながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００２０】
以下に、本発明の実施例１に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置について図１乃至図５を参照しながら詳細に説明する。
図１は本発明の実施例１に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置の部分断面図である。
図１に示すように、実施例１に係る吸着板２ａは主に、少なくとも２枚の平板体３が積層された積層体１３と、この積層体１３の上面に接触しながら一定間隔おきに配設されるスペーサー６により構成されるものである。
また、平板体３（３ａ，３ｂ，３ｃ）には一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔４（４ａ，４ｂ，４ｃ）が形成されており、このような平板体３ａ，３ｂ，３ｃを積層すると、貫通孔４ａ〜４ｃが同一平面上において連通して連通孔１４を形成する。この結果、積層体１３の下面から上面への、又はこの逆方向への空気の出入が可能となる。
また、図１に示すようにスペーサー６は、例えば、短冊状の平板体からなり、積層体１３の上面１７に当接する側の下端６ａは、例えば、刃物の刃先のような鋭角が形成されている。
さらに、スペーサー６は、隣り合うスペーサー６，６の間に支持体７が介設されることで積層体１３上において一定間隔ごとに配置されている。
また、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａは、吸引ダクト９に接続されるフード８内に、吸着板２ａである、積層体１３とスペーサー６が収納されたものであり、フード８と吸着板２ａの接続部分は、外部から空気が流入しないように気密状態となっている。
そして、上述のようなセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにおいては、吸引ダクト９から空気を吸引すると、積層体１３の下面である吸着面１１に吸引力を発生させることができるので、例えば、セラミックグリーンシート１２のような可撓性と柔軟性を有するシート状の被吸着物を吸着保持して搬送することができるのである。
【００２１】
このように、実施例１に係る吸着板２ａにおいては、一定のピッチを保ちながら複数の貫通孔４が形成された平板体３を少なくとも２枚積層して積層体１３を形成することで、吸着面１１に十分な強度と平坦性を付与することができるという効果を有する。
さらに、スペーサー６を一定間隔ごとに積層体１３の上面１７に接触させながら配設することで、上記積層体１３の強度を補強するということができる。
よって、実施例１に係る吸着板２ａに負圧をかけて吸着面１１に吸引力を生じさせた場合に、積層体１３が撓むのを防止して平坦性を維持することができるという効果を有する。
この結果、セラミックグリーンシートの搬送装置１ａでセラミックグリーンシート１２を搬送する際に、被吸着物である、セラミックグリーンシート１２にシワが生じるのを防止することができるという効果を有する。
従って、セラミックグリーンシート１２の搬送時の不良品化を防止することができ、セラミックグリーンシート１２及びそれにより作成されるセラミック製品の歩留まりを向上することができるという効果を有する。
【００２２】
なお、図１においては積層体１３を、３枚の平板体３を積層して形成した場合を例に挙げて説明しているが、平板体３の数が２枚以上で、かつ、個々の平板体３に形成される貫通孔４のそれぞれが、他の平板体３に形成される貫通孔４のそれぞれと互いに同一平面上で連通されるのであれば、平板体３を３枚以上積層してもよい。この場合、積層体１３の強度、すなわち、形状保持性を高めることができるという効果を有する。
他方、積層体１３を２枚の平板体３により構成した場合であっても、平板体３の厚みを大きくしたり、あるいは、積層体１３の上面に配設されるスペーサー６，６の間隔を狭めることで、積層体１３の平坦性を好適に維持することができるという効果を有する。
さらに、スペーサー６の材料としては、例えば、金属や合成樹脂が望ましい。いずれの場合も加工性に優れているので、積層体１３の上面１７に当接する下端６ａを容易に鋭角にすることができるという効果を有する。
【００２３】
また、図１には特に示していないが、支持体７には積層体１３の上面，スペーサー６，支持体７により形成される空隙１０から、フード８の下面，スペーサー６及び支持体７により形成される空隙２１への空気の出入りを可能にするための通気孔あるいは通気構造が設けられている。
このため、図１に示すセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにおいて、例えば、吸引ダクト９から図中の符号Ｃで示す方向に空気を吸引すると、まず、空隙２１の空気が吸引ダクト９に吸引され、つまり、空隙２１の空気が図中の符号Ｄで示す方向に吸引され、続いて、上記のような空隙１０と空隙２１とをつなぐ通気孔あるいは通気構造を通じて空隙１０の空気が空隙２１へと導出され、これに伴い外部の空気２２が連通孔１４，１４，…，１４を通じて空隙１０へと吸引されることで、積層体１３の下面である吸着面１１に吸引力を発生させることができるのである。
この結果、吸着面１１に、図１中において破線で示すセラミックグリーンシート１２を平坦な状態を維持したまま吸着して搬送することができるという効果を有する。
【００２４】
なお、図１にも示すように、実施例１に係る平板体３（３ａ〜３ｃ）は、接合部５をスポット溶接により接合してもよい。
この場合、平板体３ａ〜３ｃを直接接触させて接合することができるので、つまり、接着剤等を介すことなく平板体３と平板体３とを直接接合することができるので、貫通孔４ａ〜４ｃを隙間なく連通させることができるという効果を有する。
この結果、吸着板２ａの吸着面１１に効率よく吸引力を発生させることができるという効果を有する。また、吸着板２ａの吸着面１１における接合部５を略平坦にすることができるという効果も有する。
【００２５】
ここで、実施例１に係る積層体１３及び平板体３について図２及び図３を参照しながら詳細に説明する。
図２（ａ）は本発明の実施例１に係る積層体の平面図であり、（ｂ）はＡ−Ａ線矢視断面図である。なお、図１に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
実施例１に係る平板体３に形成される貫通孔４は、例えば、エッチング加工により形成されたものであってもよい。
一般に、エッチングにより金属板に形成することができる貫通孔の直径の最小値は、被加工物である金属板の厚みと同じである。
このため、例えば、０.３ｍｍの厚みを有する金属製の平板体３には、直径０.３ｍｍの貫通孔を形成することができる。
しかも、平板体３への貫通孔４の形成をエッチング加工により行った場合、平板体３の複数個所に同時に貫通孔４を形成することができるという効果を有する。
この結果、複数の貫通孔４を有する平板体３の製造にかかる時間を大幅に短縮することができるという効果を有する。
より具体的には、図２（ｂ）に示すように、例えば、平板体３ａの上面と下面の両方にエッチング加工を施すと、平板体３ａの上面には腐食穴１５ａが、下面には腐食穴１５ｂが形成され、これらが連通して貫通孔４ａが形成されるのである。他の平板体３ｂ，３ｃにおいても同様である。
なお、本願明細書においては、平板体３の上面側から下面側に貫通する穴を「孔」と記載し、平板体３の上面又は下面に形成される有底の穴を「穴」と記載してこれらを区別している。
そして、図２（ａ）に示すように、平板体３ａ〜３ｃを積層した際に、平板体３ａ〜３ｃのそれぞれに形成される貫通孔４ａ，４ｂ，４ｃが同一平面上において略符合し、連通することで連通孔１４が形成されるのである。
なお、特に平板体３のアスペクト比（＝（貫通孔４の深さ）／（貫通孔４の直径））が１よりも小さい場合には、平板体３の上面又は下面のいずれかにエッチング加工を施すことで貫通孔４を形成することが可能である。
【００２６】
また、特に実施例１に係る吸着板２ａを製造する際に、平板体３に貫通孔４を形成する方法としてフォトリソグフィック法を採用した場合、同一のエッチングマスクを用いて複数のそれぞれの平板体にエッチングレジスト膜を形成することができ、この結果、複数の平板体３おけるそれぞれの貫通孔４の形成位置を略同一にすることができるという効果を有する。
このため、複数の平板体３を積層した場合であってもそれぞれの平板体３に形成される貫通孔４を同一平面上において貫通させて連通孔１４を形成することができるという効果が発揮されるのである。
従って、平板体３に直径の小さい連通孔１４を密に形成することができるという効果を有し、さらに、このような平板体３を少なくとも２枚積層することで、平坦性が高度に維持され、かつ吸着面１１における吸引力が略均一な積層体１３を容易に製造することができ、しかも、その製造に係るコストを安価にできるという効果を有する。
加えて、エッチング加工により形成される貫通孔４は、その直径が小さいので柔軟なセラミックグリーンシート１２を吸着した際に、吸着面に吸着痕が生じるのを防止することができるという効果も有する。
よって、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａによれば、セラミックグリーンシート１２の表面の全面を吸着して一枚ずつシワや吸着痕を生じさせることなく確実に搬送することができるという効果を有する。
【００２７】
さらに、平板体３に貫通孔４を形成する方法としてエッチングを採用した場合には、市販の多孔質吸着板よりも大きな吸着板２ａの製造を可能にするという効果も有する。
この結果、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにより搬送可能なセラミックグリーンシート１２を大きくすることができるので、セラミックグリーンシート１２を用いて製造されるセラミックス製品の生産性を向上させることができるという効果を有する。
【００２８】
次に、貫通孔４及び連通孔１４の変形例について図３を参照しながら詳細に説明する。
図３（ａ）は実施例１に係る平板体に形成される貫通孔の変形例を示す部分断面図であり、（ｂ）は実施例１に係る積層体の連通孔の変形例を示す部分断面図である。なお、図１又は図２に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
図３（ａ）に示すように、実施例１に係る平板体３に形成される貫通孔４は、先にも述べたように平板体３の上面及び下面にエッチング加工を施し、その際に形成される腐食穴１５ａ，腐食穴１５ｂが連通することで形成されるのであるが、特に、積層体１３を形成する平板体３において、その上面側に形成される腐食穴１５ａの直径Ｆと、その下面側に形成される腐食穴１５ｂの直径Ｅとの関係を、Ｅ≦Ｆが満たされるように構成してもよい。
先にも述べたが、金属製の平板体にエッチング加工により貫通孔を形成する場合、その貫通孔の直径の最小値は、エッチング加工が施される平板体の厚みと同じになる。
このため、実施例１に係る平板体３に図３（ａ）に示すような貫通孔４を形成した場合には、この平板体３を積層して積層体１３を形成した際に、吸着面１１に形成される連通孔１４の開口を平板体３の厚みよりも小さくすることができるという効果を有する。
よって、実施例１に係る吸着板２ａを用いてセラミックグリーンシートの搬送装置１ａを構成した場合に、セラミックグリーンシート１２の表面に吸着痕が発生するのを一層効果的に防止することができるのである。
さらに、図３（ｂ）に示すように、上述のような貫通孔４を有する平板体３を積層した場合、平板体３に形成される貫通孔４が連通する際に、直径の小さい腐食穴１５ｂと直径の大きい腐食穴１５ａとが対向しながら配置されるため、吸着面１１に形成される貫通孔４の開口の直径を小さくした場合であっても、貫通孔４ａ〜４ｃを一層確実に連通させることができるという効果を有する。
この結果、一層高品質な積層体１３を提供することができるという効果を有する。
【００２９】
続いて、実施例１に係るスペーサー６について図４を参照しながら詳細に説明する。
図４（ａ）は本発明の実施例１に係るスペーサーの概念図であり、（ｂ）は図４（ａ）中のＢ−Ｂ線矢視断面図である。なお、図１乃至図３に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
図４（ａ）に示すように、実施例１に係る積層体１３の上面に一定の間隔を維持しながら配設されるスペーサー６は、短冊状の平板材の下端６ａに鋭角が形成されたものである。
より具体的には、図４（ｂ）に示すように、スペーサー６を積層体１３の平面方向に対して垂直な面である垂直面で切断した際の断面形状は、側面１６ａ，１６ａとそれに延設される側面１６ｂ，１６ｂ及び上面２３により形成されており、側面１６ｂ，１６ｂのなす角度θ２が、０＜θ２≦９０°の範囲内に設定されている。
言い換えると、図４（ｂ）中において破線で示す積層体１３の上面１７とスペーサー６の側面１６ｂ，１６ｂのなす角度θ１，θ３が、４５°よりも小さくなるよう設定されている。  上述のように積層体１３の上面１７に当接するスペーサー６の下端６ａが鋭角をなすよう構成することで、スペーサー６と積層体１３の上面１７とを略線状に接触させることができるという効果を有する。
【００３０】
このように、積層体１３をスペーサー６により支持する際の積層体１３の上面とスペーサー６の下端６ａとの接触の方法には、面接触、点接触、そして、線接触の３種類が考えられる。
このうち、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａとを面接触させた場合には、積層体１３に形成される連通孔１４がスペーサー６により塞がることがないよう、連通孔１４を避けてスペーサー６を配設する必要があるのであるが、連通孔１４のピッチが狭い場合にその作業は極めて煩雑であり現実的とは言えない。
また、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａを点接触させた場合には、連通孔１４の上面１７側の開口部がスペーサー６の下端６ａにより塞がれてしまう可能性があり、やはり望ましくない。
そして、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａを線接触させた場合には、万一スペーサー６の下端６ａが連通孔１４の開口の真上に配置されたとしても、連通孔１４がスペーサー６の下端６ａにより塞がる心配がないのである。
このことはすなわち、積層体１３に連通孔１４が密に形成されている場合であっても、スペーサー６を積層体１３の上面１７の所望の位置に自由に配置することができることを意味しており、しかも、スペーサー６を積層体１３の上面１７のどこに配置しても、実施例１に係る吸着板２ａにおいて吸着面１１の平面方向に生じる吸引力にムラが生じないのである。
さらに、スペーサー６において側面１６ｂ，１６ｂのなす角度θ２が０＜θ２≦９０°の範囲内に設定することで、すなわち、積層体１３の上面１７とスペーサー６の側面１６ｂのなす角度θ１，θ３が４５°よりも大きくなるよう設定することで、連通孔１４への空気の出入を一層スムースにすることができ、上述の効果が促進される。
【００３１】
つまり、下端６ａに鋭角を有するスペーサー６は、吸着板２ａの吸着面１１に吸着力を作用させた際に、積層体１３を補強して剛性を高め積層体１３の撓みを防止するという効果を発揮しつつ、その設置に特殊な技術を要さず、しかも、積層体１３の上下面への空気の流動を一切妨げないという優れた効果を有するものである。
この結果、セラミックグリーンシートの搬送装置１ａによりセラミックグリーンシート１２を搬送する際に、セラミックグリーンシート１２にシワが生じて不良品化するのを防止することができるという効果を有する。
従って、実施例１に係る吸着板２ａ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ａでは、エッチング加工により貫通孔４を密に形成した平板体３を少なくとも２枚重ね合わせた積層体１３と、下端６ａに鋭角を有するスペーサー６を組み合わせることで、吸着面における吸引力が略均質な吸着板２ａの製造を容易にすることができるという効果を有する。
従って、高品質な吸着板２ａ及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置１ａを安価に提供できるという効果を有する。
さらに、実施例１にかかる吸着板２ａにおいては、積層体１３とスペーサー６とが別体に構成されるので、万一、吸着板２ａの吸着面１１に傷ができた場合には、吸着板２ａの積層体１３のみを交換すればよい。
従って、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａのメンテナンスにかかるコストを軽減するという効果も有する。
【００３２】
ここで、スペーサー６の変形例について図５を参照しながら詳細に説明する。
図５（ａ）〜（ｃ）はいずれも本発明の実施例１に係る支持体の変形例を示す断面図である。なお、図１乃至図４に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
実施例１に係る積層体１３の平坦性を保持するために設けられるスペーサーは、図５（ａ）に示すように、積層体１３の上面１７に対して垂直な面である垂直面で切断した際の断面において、端部１８ｂが積層体１３の上面１７に対してり略垂直に形成される側面１９ａと、上面１７に対して斜めに形成される側面１９ｂにより形成されるスペーサー１８ａ１や、図５（ｂ）に示すように、垂直面による断面が略ひし形を成すようなスペーサー１８ａ２であってもよい。
あるいは、図５（ｃ）に示すように、垂直面による断面が略方形を成すようなスペーサー１８ａ３、すなわち、四角柱状の角材であってもよい。
つまり、実施例１に係るスペーサーは、積層体１３の上面１７側の端部に鋭角を有し、積層体１３の上面１７と線接触するよう構成されるものであれば、その形態はどのようなものであっても良い。
【００３３】
そして、図５（ａ）〜（ｃ）に示すスペーサー１８ａ１〜１８ａ３においては、側面１９ａと側面１９ｂのなす角θ２（図５（ａ）を参照）、又は、側面１９ｂと側面１９ｂのなす角θ２（図５（ｂ），（ｃ）を参照）を０＜θ２≦９０°の範囲内に設定することで、つまり、積層体１３の上面１７と側面１９ａの成す角θ１（図５（ａ）を参照）、又は、積層体１３の上面１７と側面１９ｂの成す角θ１（図５（ｂ），（ｃ）を参照）、又は、積層体１３の上面１７と側面１９ｂの成す角θ３（図５（ａ）〜（ｃ）を参照）のそれぞれが、４５°よりも小さくなるよう設定することで、上記スペーサー６と同様の効果を有する。
なお、図１に示すように、実施例１に係る吸着板２ａ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにおいては、スペーサー６が支持体７により一定間隔を保った状態で保定されているが、スペーサー６と支持体７とを一体に構成してもよい。
この場合、スペーサー６と支持体７とが一体に構成されたものがスペーサーとなる。このことは、本願明細書における実施例２に係る吸着板やセラミックグリーンシートの搬送装置においても同様である。
【００３４】
次に、図６を参照しながら、積層体１３の上面１７におけるスペーサー６の配置について説明する。
図６（ａ）は本発明の実施例１に係る吸着板の部分平面図であり、（ｂ）はその部分断面図である。なお、図１乃至図６に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
図６（ａ）に示すように、実施例１に係る吸着板２ａにおいては、積層体１３の上面に、図中に破線で示すスペーサー６が一定間隔を保ちながら、例えば、格子状に配設されている。また、図示していないが、スペーサー６，６の間には支持体７が介設されており、吸着板２ａの使用時にスペーサー６が転倒したり位置ズレしないように保定している。
このように、平板体３の積層体１３と、一定の間隔を保ちながら配置されるスペーサー６とを組み合わせることにより、積層体１３のみでは十分な平坦性や形状保持性が確保できない場合に、積層体１３を補強して吸着面１１を略平坦に保つことができるという効果を有する。
なお、図６（ａ）では、積層体１３の上面１７上にスペーサー６が格子状に配設された場合を例に挙げて説明しているが、スペーサー６の配置は必ずしも図６（ａ）に示すものである必要はない。すなわち、吸着板２ａの吸着面１１に吸引力を発生させた際に、積層体１３が撓まなければスペーサー６をどのように配置しても良い。
【００３５】
さらに、図６（ｂ）に示すように、万一スペーサー６の下端６ａが、積層体１３の上面１７において、連通孔１４の開口の真上に配置された場合であっても、スペーサー６の下端６ａは鋭角を有しているので、連通孔１４における空気の出入が妨げられないのである。
従って、積層体１３の上面１７のどこにスペーサー６が配置されても、吸着板２ａの吸着面１１に均質な吸引力を発生させることができるという効果を有する。
すなわち、実施例１に係る吸着板２ａによれば、積層体１３に形成される連通孔１４の直径を小さくしたとしても、また、積層体１３に形成される連通孔１４の密度をさらに高めたとしても、吸着板２ａの製造にかかる負荷が変わらないのである。
よって、高品質な吸着板２ａ、あるいは、セラミックグリーンシートの搬送装置１ａを安価に提供できるという効果を有する。
【実施例２】
【００３６】
以下に、本発明の実施例２に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置について図７を参照しながら詳細に説明する。
図７は本発明の実施例２に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置を示す部分断面図である。なお、図１乃至図６に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
実施例７に係る吸着板２ｂ及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置１ｂは、実施例１に係る吸着板２ａ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ａとほぼ同じ構成を有するものであるが、スペーサー６に代えて図５（ｃ）に示すスペーサー１８ａ３を備える点が異なっている。
図７に示すように、実施例２に係る吸着板２ａ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにおいては、スペーサー１８ａ３として角柱を用いることで、角柱の角部で積層体１３を支持している。このような、実施例２に係る吸着板２ａは、実施例１に係る吸着板２ａと同様の効果を有する。
この結果、実施例２吸着板２ｂ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ｂの構造を一層安価に提供できるという効果を有する。
また、実施例２に係る吸着板２ａにおいては、平板状の支持体２０によりスペーサー１８ａ３が保持されているが、支持体２０とスペーサー１８ａ３は一体に構成してもよく、この場合、支持体２０とスペーサー１８ａ３を一体にしたものがスペーサーとなる。
なお、図７には特に図示しないが、実施例２に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ｂにおいても、支持体２０に積層体１３の上面，スペーサー６，支持体２０により形成される空隙１０から、フード８の下面，スペーサー６及び支持体２０により形成される空隙２１への空気の出入りを可能にするための通気孔あるいは通気構造が設けられており、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａと同様の効果を有する。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
以上説明したように、本発明は大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を維持すると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置であり、可撓性を有する柔らかいシート体の搬送装置に関する分野において利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施例１に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置を示す部分断面図である。
【図２】（ａ）は本発明の実施例１に係る積層体の平面図であり、（ｂ）はＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図３】（ａ）は実施例１に係る平板体に形成される貫通孔の変形例を示す部分断面図であり、（ｂ）は実施例１に係る積層体の連通孔の変形例を示す部分断面図である。
【図４】（ａ）は本発明の実施例１に係るスペーサーの概念図であり、（ｂ）は図４（ａ）中のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）はいずれも本発明の実施例１に係る支持体の変形例を示す断面図である。
【図６】（ａ）は本発明の実施例１に係る吸着板の部分平面図であり、（ｂ）はその部分断面図である。
【図７】本発明の実施例２に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置を示す部分断面図である。
【００３９】
１ａ，１ｂ…セラミックグリーンシートの搬送装置  ２ａ，２ｂ…吸着板  ３,３ａ〜３ｃ…平板体  ４，４ａ〜４ｃ…貫通孔  ５…接合部  ６…スペーサー  ６ａ…下端  ７…支持体  ８…フード  ９…吸引ダクト  １０…空隙  １１…吸着面  １２…セラミックグリーンシート  １３…積層体  １４…連通孔  １５ａ１５ｂ…腐食穴  １６ａ,１６ｂ…側面  １７…上面  １８ａ１〜１８ａ３…スペーサー  １９ａ,１９ｂ…側面  ２０…支持体  ２１…空隙  ２２…空気
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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