(57)【要約】【課題】超音波洗浄法および噴流洗浄法の双方を利用して洗浄する際、超音波洗浄の効果を高めることのできる洗浄方法および洗浄装置を提供すること。【解決手段】洗浄装置Ｓは、洗浄槽１からオーバーフローした洗浄液を回収して循環させる。回収した洗浄液は、洗浄槽１内において洗浄液に浸漬されたワークＷの周囲においてシャワーヘッド３５から噴出し、噴流洗浄工程を行なう。洗浄槽１には超音波洗浄を行うための超音波発振子１４が設けられている。オーバーフロー流を循環させるためのポンプ３１と超音波発振子１４は交互に作動するので、シャワーヘッド３５から噴流が噴出しない状態での超音波単独洗浄工程を行なうことができ、かかる超音波単独洗浄工程では、超音波が洗浄液のシャワー流によって流されないので、超音波洗浄を効果的に行なうことができる。【選択図】図１
2009113004.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄槽内においてワークが浸漬された洗浄液を超音波により加振する超音波洗浄法、および前記洗浄液に浸漬された前記ワークに向けて当該洗浄液の噴流を供給する噴流洗浄法の双方を利用した洗浄方法において、
少なくとも、前記噴流の供給を停止した状態で前記超音波洗浄法により洗浄を行なう超音波単独洗浄工程と、前記噴流洗浄法により洗浄を行なう噴流洗浄工程とを交互に行なうことを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄方法において、
前記噴流洗浄工程では前記洗浄液の噴流を超音波により加振しながら供給することを特徴とする洗浄方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の洗浄方法において、
前記洗浄液はフッ素系溶剤であり、
前記超音波洗浄法を行なう際、前記洗浄槽内の前記洗浄液を３５℃以上４５℃以下の温度に調節することを特徴とする洗浄方法。
【請求項４】
ワークを洗浄液に浸漬するための洗浄槽と、
当該洗浄槽内の洗浄液を超音波により加振する超音波発振手段と、
前記洗浄液に浸漬された前記ワークに向かう洗浄液の噴流を発生させる噴流発生手段と、
前記超音波発振手段および前記噴流発生手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、少なくとも、前記噴流発生手段を休止させた状態で前記第１の超音波発振手段を作動させる超音波単独洗浄工程と、前記噴流発生手段を作動させる噴流洗浄工程とを実行することを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
請求項４に記載の洗浄装置において、
前記超音波発振手段として、前記洗浄槽の底部に対して設置された第１の超音波発生手段と、前記噴流発生手段と一体に形成された第２の超音波発振手段とを備え、
前記制御手段は、前記超音波単独洗浄工程では、前記第１の超音波発生手段のみ、あるいは前記第１の超音波発生手段および前記第２の超音波発生手段の双方を作動させ、前記噴流洗浄工程では、前記第２の超音波発生手段を作動または停止させることを特徴とする洗浄装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の洗浄装置において、
前記洗浄槽は、上端縁が切り欠かれた切り欠き部を複数備えたオーバーフロー部を有していることを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非水系溶剤などの洗浄液を貯留した洗浄槽にワーク（被洗浄物）を浸漬して洗浄する洗浄方法、および洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄槽内において非水系溶剤などの洗浄液で電子部品、精密部品、あるいは基板などのワークを洗浄する洗浄方法として、特許文献１、２のような洗浄方法が提案されている。特許文献１の洗浄方法では、ワークを浸漬した洗浄液を超音波で加振し始めた後、ワークに向かってノズルから洗浄液を噴出する。そして、超音波振動および洗浄液の噴出を行いながら、ワークおよびノズルを揺動させて洗浄効果を高めている。また、特許文献２の洗浄方法では、洗浄槽内の液体洗浄エリアにおいて洗浄液にワークを浸漬し、ワークに超音波振動を与えて洗浄する。また、洗浄槽内において液体洗浄エリアの上に設けた蒸気洗浄エリアでワークを蒸気洗浄したり、洗浄槽の上蓋のシャワー配管から洗浄剤を流してワークを洗い流す。洗浄液は、液体洗浄エリアの容量を超えるとオーバーフロー槽に流れ、オーバーフローした洗浄液については循環させて再び洗浄槽に戻すようになっている。
【特許文献１】特開２００６−２７２２３８号公報
【特許文献２】特開２００７−１５２２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１の洗浄方法では、超音波振動と洗浄液の噴出を同時に行うため、超音波振動が洗浄液の噴流で流されて超音波振動の利きが悪くなり、効果的な超音波洗浄を行うことができないという問題点があった。すなわち、洗浄槽１の底面に配設された超音波発生器からワークに対して超音波を発生させると、この超音波とノズルから噴出される洗浄液によって槽内の洗浄液に発生した回流とが干渉し、双方の洗浄効果が減少してしまうという問題があった。
【０００４】
また、特許文献２の洗浄方法では、オーバーフローした洗浄液を冷却ユニットに通して循環させるため、洗浄液の温度が低い分だけ超音波の透過率が低く、超音波洗浄の効果が低下するという問題点があった。なお、洗浄液としてフッ素系溶剤を用いている。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、超音波洗浄法および噴流洗浄法の双方を利用して洗浄する際、超音波洗浄の効果を高めることのできる洗浄方法および洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明では、洗浄槽内においてワークが浸漬された洗浄液を超音波により加振する超音波洗浄法、および前記洗浄液に浸漬された前記ワークに向けて当該洗浄液の噴流を供給する噴流洗浄法の双方を利用した洗浄方法において、少なくとも、前記噴流の供給を停止した状態で前記超音波洗浄法により洗浄を行なう超音波単独洗浄工程と、前記噴流洗浄法により洗浄を行なう噴流洗浄工程とを交互に行なうことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係る洗浄装置は、ワークを洗浄液に浸漬するための洗浄槽と、当該洗浄槽内の洗浄液を超音波により加振する超音波発振手段と、前記洗浄液に浸漬された前記ワークに向かう洗浄液の噴流を発生させる噴流発生手段と、前記超音波発振手段および前記噴流発生手段を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、少なくとも、前記噴流発生手段を休止させる一方、前記第１の超音波発振手段を作動させる超音波単独洗浄工程と、前記噴流発生手段を作動させる噴流洗浄工程とを実行することを特徴とする。
【０００８】
本発明の洗浄方法および洗浄装置では、超音波洗浄法および噴流洗浄法の双方を利用するため、一方のみで洗浄する場合と比較して効果的な洗浄を行なうことができる。また、超音波単独洗浄工程においては、噴流の発生を停止するため、超音波振動が洗浄液の流れに流されずにワークに効率よく伝播する。従って、超音波振動の利きを良くすることができ、効果的な超音波洗浄を行なうことができる。また、前記超音波単独洗浄工程でワークから洗い落とされた汚れ（ゴミなど）が、噴流洗浄工程でワークの周囲から移動する。このため、汚れがワークの周囲に滞留することがないので、ワークを効果的に洗浄することができる。
【０００９】
本発明において、前記噴流洗浄工程では、前記洗浄液の噴流を超音波により加振しながら供給してもよい。また、噴流のみによる洗浄を行なってもよい。
【００１０】
本発明に係る洗浄方法において、前記洗浄液はフッ素系溶剤であり、前記超音波洗浄法を行なう際、前記洗浄槽内の前記洗浄液を３５℃以上４５℃以下の温度に調節することが好ましい。すなわち、本発明に係る洗浄装置において、前記洗浄液はフッ素系溶剤であり、前記洗浄槽内の前記洗浄液を３５℃以上４５℃以下の温度に維持する温度調節手段を備えていることが好ましい。フッ素系溶剤の場合、ある程度温度が高い方が超音波振動を効果的に伝播させることができる傾向にあるので、洗浄液を３５℃以上の温度に保持することが好ましい。一方，温度が高すぎても振動を伝播させる効率が下がるので，４５℃以下に保持することが望ましい。
【００１１】
本発明を適用した洗浄装置において、前記超音波発振手段として、前記洗浄槽の底部に対して設置された第１の超音波発生手段と、前記噴流発生手段と一体に形成された前記第２の超音波発振手段とを備え、前記制御手段は、前記超音波単独洗浄工程では、前記第１の超音波発生手段のみ、あるいは前記第１の超音波発生手段および前記第２の超音波発生手段の双方を作動させ、前記噴流洗浄工程では、前記第２の超音波発生手段を作動または停止させることが好ましい。
【００１２】
本発明に係る洗浄装置において、前記洗浄槽は、上端縁が切り欠かれた切り欠き部を複数備えたオーバーフロー部を有していることが好ましい。このようにすると、切り欠き部に洗浄液が集中して流れ出すので、オーバーフローする際の洗浄液の流速が早くなり、洗浄液の液面に浮遊しているゴミなどが洗浄槽から流れ出しやすくなる。特に、洗浄槽の隅部分が切り欠き部となっていれば、洗浄槽の角部の澱みに溜まったゴミが洗浄槽から流れ出しやすくなる。つまり、洗浄槽が直方体である場合、洗浄槽の上縁における角部が前記切り欠きの谷部となっていることが好ましい。このようにすると、ゴミを洗浄槽から効率よく流出させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、超音波洗浄法および噴流洗浄法の双方を利用するため、一方のみで洗浄する場合と比較して効果的な洗浄を行なうことができる。また、超音波単独洗浄工程において、噴流の発生を停止するため、超音波振動が洗浄液の流れに流されずに伝播する。従って、超音波振動の利きを良くすることができ、効果的な超音波洗浄を行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した洗浄装置および洗浄方法の一実施形態について説明する。
【００１５】
（洗浄装置の構成）
図１は本発明の洗浄装置の概略構成図である。なお、図１には、後述する変形例で説明する超音波発振子３６（第２の超音波発振手段）も表してある。
【００１６】
図１に示すように、本発明を適用した洗浄装置Ｓは、ワークＷを洗浄するための洗浄液を所定の液位まで溜めることができる洗浄槽１と、洗浄槽１からの洗浄液のオーバーフロー流を受けるオーバーフロー槽２と、オーバーフロー槽２の洗浄液を洗浄槽１に還流させるためのメイン配管系３を備えている。また、洗浄装置Ｓは、洗浄液蒸気でワークＷの蒸気を発生させるための蒸気発生槽４、洗浄槽１の上方位置で洗浄液蒸気を凝集させるための冷却コイル５、凝集液から水を分離するための水分離槽６、および制御盤７（制御装置）などを備えている。
【００１７】
本実施形態における洗浄液は非水系溶剤であり、かかる洗浄液としては、例えば、ＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン）やＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）などのフッ素系溶剤が用いられる。
【００１８】
図２は、本発明の洗浄装置Ｓに用いた洗浄槽１の斜視図である。図２に示すように、洗浄槽１は直方体の処理槽である。洗浄槽１の上縁１１は多数の切り欠き１２が形成されたオーバーフロー部になっており、四辺ともギザギザな形状になっている。ギザギザ形状の山部１２ａおよび谷部１２ｂは、四辺において概略同じ高さになっている。本実施形態では、洗浄槽１の上縁１１の四隅の角部１１ａがいずれも、切り欠き１２の谷部１２ｂになっている。
【００１９】
再び図１において、洗浄槽１の上縁１１の上方に四方向にわたって隙間１３が設けられており、洗浄槽１の上縁１１を越えたオーバーフロー流は、この隙間１３から四方向に向かって流れ出すようになっている。
【００２０】
オーバーフロー槽２は、洗浄槽１の外周に沿って設けられた幅広の溝である。本実施形態では、洗浄槽１の四辺からオーバーフローする洗浄液のうち、少なくとも一辺から流れ出す洗浄液は蒸気発生槽４にも流入するように構成されている。
【００２１】
洗浄槽１の上部空間１ａは、オーバーフロー流の流路となる隙間１３を除いて密閉可能であり、蒸気洗浄エリアとして使用される。また、洗浄液が溜まる洗浄槽１の内部のうち、その底部には、超音波発振子１４（第１の超音波発振手段）およびヒータ１５（温度調節手段）が設けられている。ワークＷは、不図示の取付け治具に取り付けられた状態で冷却コイル５の内側を通って洗浄槽１内に搬入搬出される。すなわち、ワークＷは、取付け治具に取り付けられた状態で洗浄液に浸漬されたり、洗浄液の液面上の上部空間１ａに引き上げられたりする。図示を省略するが、取付け治具を移動させる機構は、例えば、取付け治具を洗浄槽１内あるいは上部空間１ａに吊り下げる吊り下げ部材と、吊り下げ部材を昇降させる昇降アームなどにより構成される。
【００２２】
洗浄槽１に導入された洗浄液は、超音波発振子１４により加振され、超音波洗浄法により、ワークＷを洗浄する。超音波発振子１４による加振周波数は、ワークＷの種別や洗浄すべき汚れの状態に応じて最も効果的な周波数に調整される。本形態では概ね４０〜２００ｋＨｚの範囲で行う。
【００２３】
また、洗浄液はヒータ１５により加熱される。これにより、洗浄液は、洗浄槽１内において超音波振動の透過率が高い温度になるように温度調整される。例えば、洗浄液としてＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン）やＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）を用いた場合には、洗浄液の温度は、超音波振動の透過率が最も高くなる３５℃〜４５℃に調整される。すなわち、洗浄液としてフッ素系溶剤を用いた場合、洗浄液の温度が高い方が超音波振動を効果的に伝播させることができる傾向にあるので、洗浄液を３５℃以上の温度に保持することが好ましい。一方，温度が高すぎても振動を伝播させる効率が下がるので，４５℃以下に保持することが望ましい。
【００２４】
メイン配管系３にはポンプ３１（噴流発生手段）および除塵用のフィルタ３２が設けられている。メイン配管系３の一端はオーバーフロー槽２の底部に接続されており、ポンプ３１を作動させると、オーバーフロー槽２の洗浄液がメイン配管系３の配管内に吸引される。吸引された洗浄液は、フィルタ３２を通過する際にゴミなどが除去されて浄化された後、メイン配管系３の他端から洗浄槽１に送り出される。なお、メイン配管系３を構成する各配管には必要に応じてバルブを設けることができ、必要に応じて各配管を閉鎖あるいは開放することができる。
【００２５】
さらに、ポンプ３１から分岐し、バルブ８１、フィルタ８２を通して洗浄槽１の底に通じるサブ配管８を設けることも有効である。超音波洗浄工程および噴射洗浄工程が終了した後、ワークＷを上部空間１ａに引き上げるときに、メイン配管系３を止め、しばらくサブ配管系８を通して洗浄液を濾過循環させた後、サブ配管系８を止め、再びメイン配管系３を空けて、シャワーをワークＷにかけながら洗浄槽から引き上げることにより、塵埃の再付着を防ぐことができる。なお、洗浄槽１から引き上げた後は、下記するシャワーユニット３４を洗浄槽中に戻し、ワークＷは、蒸気発生槽４からの洗浄剤蒸気が結露することによりすすぎ洗いが行なわれる。このように、メイン配管３、およびサブ配管８を組み合わせることによって、噴流停止時に塵埃が洗浄槽１の底部に溜まることを防止するとともに、液表面に浮遊する塵埃を効率良くオーバーフロー槽２へ排出することができる。
【００２６】
メイン配管系３の他端は上部空間１ａ側から洗浄槽１内に向かって延びており、その先端部分３３にはシャワーユニット３４（噴流発生手段）が接続されている。シャワーユニット３４はワークＷに対向配置されるシャワーヘッド３５を有しており、シャワーヘッド３５のワークＷ側の面には、複数の洗浄液噴出孔が形成されている。また、シャワーユニット３４は、洗浄槽１内および上部空間１ａ内において、メイン配管系３に接続された状態を保ちながら、不図示の移動機構によってワークＷの取付け治具と同期して移動する。これにより、ワークＷが洗浄液に浸漬された状態においても、シャワーヘッド３５とワークＷが対向配置された状態が維持される。このように構成したシャワーユニット３４は、ポンプ３１とともに噴流発生手段として機能する。
【００２７】
すなわち、シャワーユニット３４が洗浄液に浸漬された状態において、ポンプ３１を作動させると、シャワーヘッド３５からワークＷに向けて洗浄液が噴出し、洗浄液中においてワークＷに向かう噴流を作り出す。それ故、かかる噴流を利用した噴流洗浄法（シャワー洗浄法）を行なうことができる。また、このような構成のシャワーユニット３４を用いると、多数のシャワー管をワークＷの周囲に配置して洗浄液を放出する構成に比べて、装置の構成が簡易化される。
【００２８】
洗浄槽１の上部空間１ａは、隙間１３に接続された流路１３ａにより、蒸気発生槽４に接続されている。流路１３ａは洗浄槽１の上縁１１から斜め下向きに延びているので、上縁１１を越えたオーバーフロー流は、自然に蒸気発生槽４側に流れ込む。蒸気発生槽４の底部にはヒータ４１が設けられている。蒸気発生槽４に流れ込んだ洗浄液はこのヒータ４１によって加熱され、洗浄液蒸気が発生する。発生した洗浄液蒸気は流路１３ａを通って上昇し、洗浄槽１の上部空間１ａに供給される。
【００２９】
蒸気発生槽４に導入された洗浄液は、ポンプ４２およびフィルタ４３、４４が設けられた循環流路４５内を循環する。洗浄液は、フィルタ４３、４４を通過する際にゴミや有害物質などが除去されて浄化されたのち、蒸気発生槽４に戻される。フィルタ４４はメイン配管系３に設けられたフィルタ３２と同様の除塵フィルタであり、ワークＷから落ちて洗浄液中を浮遊しているゴミなどがこのフィルタ４４により除去される。
【００３０】
一方、フィルタ４３は洗浄液中の分解生成物等を吸着して除去するためのものであり、例えば、活性アルミナフィルタが用いられる。蒸気発生槽４に導入された洗浄液が、ヒータ４１によって高温に加熱されると有害な分解生成物（例えば、パーフロロイソブチレン、フッ化水素など）が生じる場合があり、活性アルミナフィルタを通すことにより、このような分解生成物を除去することができる。なお、活性アルミナフィルタを用いる場合には、循環流路４５における洗浄液の流速を２Ｌ／ｍｉｎ以下にすることが望ましい。活性アルミナフィルタは、フッ素系溶剤の分解生成物を吸着するが、その吸着力はそれほど高くないので、洗浄液の流速を遅くすることにより、分解生成物の吸着効果を高めることができる。なお、活性アルミナフィルタは、粉塵を発生させやすいが、かかる粉塵は、フィルタ４４により除去される。
【００３１】
洗浄液蒸気が導入される上部空間１ａには冷却コイル５が設けられており、洗浄液の蒸気は冷却コイル５の表面に凝集する。この凝集液は配管５１に集められて水分離槽６に導入される。水分離槽６は中央に仕切り板６１が設けられており、この仕切り板６１によって区画された水分離槽６の一区画に配管５１が接続されている。また、もう一つの区画にはオーバーフロー槽２内に延びる配管５２が接続されている。このようにすると、洗浄液として水よりも比重の大きいフッ素系溶剤を用いた場合には、比重の小さい水は配管５１側の区画において洗浄液の上に分離されて配管５２側の区画に流れない。よって、水と洗浄液との比重の違いを利用して洗浄液から水を分離することができる。回収した洗浄液は配管５２からオーバーフロー槽２に戻され、再循環される。なお、配管５１は冷却コイル５から水分離槽６に向かって下方向に傾斜した勾配をつけることにより凝集液が自然に水分離槽６に流れるようになっている。また、配管５２は水分離槽６からオーバーフロー槽２に向かって下方向に傾斜した勾配をつけることにより分離された水が自然に洗浄槽１に流れるようになっている。
【００３２】
制御盤７（制御装置）は、メイン配管系３のポンプ３１および超音波発振子１４に制御信号を出力することにより、ポンプ３１および超音波発振子１４を制御して所定のタイミングで作動させる。また、ヒータ１５、４１あるいはポンプ４２を制御盤７によって制御することにより、洗浄槽１内の洗浄液の温度調整を行ったり、蒸気発生槽４から洗浄液蒸気を供給することができる。
【００３３】
（洗浄方法、および主な効果）
次に、本実施形態の洗浄装置ＳによるワークＷの洗浄方法について説明する。本実施形態では、洗浄槽１にワークＷを導入して洗浄液にワークＷを浸漬し、超音波洗浄法および噴流洗浄法の双方を利用した洗浄を行なう。また、本形態では、以下に説明するように、シャワーヘッド３５による噴流の供給を停止した状態で超音波洗浄法により洗浄を行なう超音波単独洗浄工程と、シャワーヘッド３５により発生した噴流を利用した噴流洗浄法により洗浄を行なう噴流洗浄工程とを交互に行なう。
【００３４】
本構成の洗浄装置では、超音波発振子１４から超音波を発振しているときにシャワーヘッド３５からワークＷ側へ洗浄液を噴出させてワークＷの周囲に洗浄液を流すと、洗浄液の流れによって超音波が流され、超音波振動の利きが悪くなって効果的な超音波洗浄を行なうことができない場合がある。そこで、本実施形態では、制御盤７は、超音波発振子１４とポンプ３１を交互に作動させる。このような制御を行なうと、超音波発振子１４が作動しているときは、ポンプ３１が停止してシャワーユニット３４への洗浄液の供給が停止され、シャワーヘッド３５からワークＷ側への洗浄液の噴出が停止する（超音波単独洗浄工程）。
【００３５】
そして、超音波単独洗浄工程と噴流洗浄工程とを交互に複数回行なうと、超音波単独洗浄工程において超音波洗浄で落ちた汚れ（ゴミなど）がワークの周囲に滞留した場合でも、噴流洗浄工程を行なった際、かかる汚れがワークＷの周囲から移動するので、ワークＷに汚れが再付着することがないので、ワークＷの汚れを効果的に落とすことができる。
【００３６】
また、本実施形態の洗浄装置Ｓで上記洗浄方法を行なうと、噴射洗浄工程においてシャワーヘッド３５から洗浄液が洗浄槽１に供給されるのに伴い、洗浄槽１の上縁１１を越えて洗浄液がオーバーフローするが、このとき、洗浄液は、上縁１１に形成された切り欠き１２から集中的に流れ出す。従って、上縁１１を直線状にした場合に比べてオーバーフロー流の流速が早くなるので、洗浄液の液面に浮遊しているゴミなどが洗浄槽１から流れ出しやすい。本実施形態では、角部１１ａが切り欠き１２の谷部１２ｂになっているので、四隅に溜まったゴミなどを流れ出させることができる。よって、洗浄槽１内に浮遊するゴミなどを減らすことができ、ワークＷへのゴミの再付着を抑制することができる。
【００３７】
また、本形態では、超音波洗浄工程あるいはその直前において、ヒータ１５による洗浄液の温度調整を行い、洗浄槽１内の洗浄液の温度を３５℃以上４５℃以下にする。洗浄液がＨＦＣやＨＦＥなどのフッ素系溶剤であるときは、３５℃以上４５℃以下において最も超音波の透過率が高いので、このように温度調整を行なうことにより、超音波洗浄の効果を高めることができる。
【００３８】
超音波洗浄工程および噴射洗浄工程が終了した後、ワークＷを上部空間１ａに引き上げる。この時は、メイン配管系３を止め、しばらくサブ配管系８を通して洗浄液を循環させた後、サブ配管系８を止め、再びメイン配管系３を空けて、シャワーをワークＷにかけながら洗浄槽１から引き上げることにより、塵埃の再付着をさらに防ぐことができる。洗浄槽１から引き上げた後は、シャワーユニット３４は洗浄槽１中に戻り、ワークＷは、蒸気発生槽４からの洗浄剤蒸気が結露することにより、すすぎ洗いが行なわれる。蒸気洗浄が終了した後は、ワークＷは冷却コイル５の位置に置かれ、乾燥工程が施される。
【００３９】
上記実施形態において、以下のような改変を行ってもよい。
【００４０】
（変形例１）
図１に示すように、シャワーヘッド３５に、超音波発振子３６（第２の超音波発振手段）が一体に設けられている構成としてもよい。詳細には、超音波発振子３６はシャワーヘッド３５のノズルの近傍に取り付けられており、超音波発振子３６を利用してシャワーヘッド３５により発生する噴流を超音波で加振するので、超音波発振子３６から発振される超音波とシャワーヘッド３５から噴出する洗浄液とが同じ方向となるため、超音波振動と洗浄液の流れが相乗して、効果的な洗浄を行うことができる。なお、この超音波発振子３６により、シャワーヘッド３５から噴出する洗浄液を、高周波（例えば、４３０ｋＨｚ以上）の超音波で加振することが好ましい。
【００４１】
なお、制御盤７から超音波発振子３６に制御信号を出力し、その作動タイミングを制御することも可能である。その際、超音波発振子３６とポンプ３１を作動させると、その結果、シャワーヘッド３５からワークＷに向けて洗浄液が噴出され、噴流洗浄法による洗浄が行なわれる。また、超音波発振子３６により、シャワーヘッド３５から噴出する洗浄液は加振される。
【００４２】
このように、単なる洗浄液流で落としきれなかった微小ゴミをワークＷから落とすことができる。また、このとき、制御盤７は、超音波発振子３６の加振周波数を高周波（４３０ｋＨｚ以上）とする。このように、高周波の超音波を用いると、より洗浄効果が高まる。
【００４３】
なお、ワークＷを、洗浄液の液面上の上部空間１ａに引き上げてから超音波発振子３６を作動させてもよい。
【００４４】
（変形例２）
かかる噴流洗浄工程の間、超音波発振子１４については停止している状態、および作動している状態のいずれであってもよい。
【００４５】
（変形例３）
変形例１における超音波単独洗浄工程の間、超音波発振子３６については停止している状態、および作動している状態のいずれであってもよい。
【００４６】
（変形例４）
上記実施形態において、以下のような改変を行ってもよい。蒸気洗浄工程では、ワークＷが洗浄液と共に加熱されていると、洗浄剤蒸気が結露しにくく蒸気洗浄の効果が低い。そこで、洗浄装置Ｓに冷浴槽を設け、蒸気洗浄工程の前に、洗浄液から引き上げたワークＷを一端、冷浴槽に浸したり、オーバーフロー流の一部を低温タンクに導入して冷却し、この低温タンクから供給された洗浄液をワークＷにかけることにより、ワークＷの温度を下げるようにしてもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、シャワーユニット３４において、シャワーヘッド３５がワークＷの両側に対向配置された構造であったが、ワークＷの形状などによっては、シャワーヘッド３５の両側にワークＷが配置され、シャワーヘッド３５の両面から洗浄液が噴出する構造を採用してもよい。このように構成すると、シャワーヘッド３５が１つで済むという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明を適用した洗浄装置の構成図である。
【図２】本発明を適用した洗浄装置の洗浄槽の斜視図である。
【符号の説明】
【００４９】
１    洗浄槽
２    オーバーフロー槽
３    メイン配管系
４    蒸気発生槽
５    冷却コイル
６    水分離槽
７    制御盤
８    サブ配管系
１１    上縁
１１ａ  角部
１２    切り欠き
１２ａ  山部
１２ｂ  谷部
１３ａ  流路
１４    超音波発振子（第１の超音波発生手段）
１５    ヒータ
３１    ポンプ（噴流発生手段）
３２    フィルタ
３３    先端部分
３４    シャワーユニット（噴流発生手段）
３５    シャワーヘッド
３６    超音波発振子（第２の超音波発生手段）
４１    ヒータ
４３、４４  フィルタ
４５    循環流路
５１、５２  配管
８１    バルブ
８２    フィルタ
Ｓ      洗浄装置
Ｗ      ワーク
【図１】
2009113004.tif 000003
【図２】
2009113004.tif 000004