(57)【要約】【課題】フィルタセグメントおよびブラックマトリックス（ＢＭ）の高濃度化、薄膜化を達成するカラーフィルタ用着色組成物、およびマスクの小型化またはマスクレスが可能なレーザ露光法によるカラーフィルタの製造方法の提供。【解決手段】樹脂、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤、色素を含有し、着色組成物の全固形分中の色素の濃度が50〜80重量％の範囲であるカラーフィルタ用着色組成物、および基板上に前記着色組成物を用いて着色塗膜を形成する工程と、前記着色塗膜のフィルタセグメントまたはＢＭとなる部分に、積算露光量が1〜150mJ／cm2になるように波長308nm(XeCL)のエキシマレーザを照射して硬化させる工程と、前記着色塗膜の未硬化部分を除去してフィルタセグメントまたはＢＭを形成する工程とを複数回繰り返し、少なくとも２色のフィルタセグメントおよびＢＭを形成するカラーフィルタの製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤および色素を含有する着色組成物であって、着色組成物の全固形分中の色素の濃度が５０〜８０重量％の範囲であることを特徴とするカラーフィルタ用着色組成物。
【請求項２】
エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーの重量（Ｍ）に対する光重合開始剤の重量（Ｉ）の比（Ｉ／Ｍ）が、０．１０〜０．４５の範囲であることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ用着色組成物。
【請求項３】
樹脂の重量（Ｐ）に対するとエチレン性不飽和二重結合を有するモノマーの重量（Ｍ）の比（Ｍ／Ｐ）が、０．７０〜１．３０の範囲であることを特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルタ用着色組成物。
【請求項４】
光重合開始剤の３０８ｎｍにおけるモル吸光係数（ε308）が、３６５ｎｍにおけるモル吸光係数（ε365）よりも大きいことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載のカラーフィルタ用着色組成物。
【請求項５】
光重合開始剤が、オキシムエステル系光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、または下記式（１）で表されるカルバゾール系光重合開始剤であることを特徴とする請求項１ないし４いずれか記載のカラーフィルタ用着色組成物。
【化１】
2009145432.tif 000007
（上記式（１）において、Ｒ1及びＲ2は水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又は炭素数６〜１４のアリール基であり、Ｒ3は水素原子又は炭素数１〜２０のアルキル基であり、Ｘ1はモルホリノ基である。）
【請求項６】
請求項１ないし５いずれか１項に記載のカラーフィルタ用着色組成物から形成されるフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを具備することを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項７】
基板上に請求項１ないし５いずれか１項に記載のカラーフィルタ用着色組成物を用いて着色塗膜を形成する工程と、前記着色塗膜のフィルタセグメントまたはブラックマトリックスとなる部分に、積算露光量が１〜１５０ｍJ／ｃｍ2になるように波長３０８ｎｍ(ＸｅＣＬ)のエキシマレーザを照射して硬化させる工程と、前記着色塗膜の未硬化部分を除去してフィルタセグメントまたはブラックマトリックスを形成する工程とを複数回繰り返し、少なくとも２色のフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを形成するカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタの製造の際に使用されるカラーフィルタ用着色組成物に関するものである。また、本発明は、カラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置やカラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタを構成するフィルタセグメントおよびブラックマトリックスは、ガラス基板などに感光性着色組成物を塗布し、余剰の溶剤を乾燥除去したあと、画素形成のためのフォトマスクを介しプロキシミティ露光（紫外光源露光）などで活性エネルギー線を照射し、硬化（ネガ型）またはアルカリ溶解度を高め（ポジ型）、アルカリ溶液などで溶解する部分を除去することにより形成されている。これを各色について繰り返すことにより、カラーフィルタが作製される。
【０００３】
近年、カラー液晶表示装置は、液晶カラーテレビやカーナビゲーション用および液晶表示装置一体型のノートパソコンとして大きな市場を形成するに至っており、省エネ、省スペースという特徴を活かしたデスクトップパソコン用のモニターおよびテレビとしても普及している。また、市場一般に普及するにつれて色再現特性向上、コントラスト向上の要求が高まってきている。コントラスト向上のためには、カラーフィルタの各色のフィルタセグメント間にブラックマトリックスが配置されるが、液晶カラーテレビの大型化に伴い、環境問題、低反射化、低コスト化の観点から、金属クロム製ブラックマトリックスに代わり、樹脂に遮光性の色素を分散させた樹脂製ブラックマトリックスが着目されている。しかし、樹脂製ブラックマトリックスは、金属クロム製ブラックマトリックスに比べ、遮光性（光学濃度）が低いという問題点がある。
【０００４】
カラーフィルタの色再現特性向上およびブラックマトリックスの遮光性向上には、感光性着色組成物中の色素の含有量を多くするか、あるいは、膜厚を厚くする必要がある。しかし、紫外光を活性エネルギー源とする従来の手法では、色素の含有量を多くすると、感度低下、現像性、解像性が悪化する等の問題が発生する。また、膜厚を厚くすると、膜底部まで紫外光が届かず、フィルタセグメントおよびブラックマトリックスの直線性や断面形状が不良となる等の問題が発生する。
また、カラーフィルタの色再現特性を向上させるために、カラーフィルタを厚膜化した場合、フィルタセグメント形成時に不良を起こす以外の弊害もある。つまり、カラーフィルタを作製する工程において、ブラックマトリックス（ＢＭ）形成後に、ＲＧＢのフィルタセグメントを形成する段階で重なり部分が盛り上がり、カラーフィルタ上に段差ができて、後工程の配向膜を形成する際に欠陥部分ができて液晶パネルが表示不良を起こす。
【０００５】
膜厚一定での色再現特性の向上は、塗膜中の色素量を増量させることで達成できるが、感光性着色組成物の硬化を阻害することになり、光重合開始剤を増量させる、あるいは増感剤を添加するなどの対策が必要となる。一方で光重合開始剤は非常に高価な材料であるので、使用量を削減しコストダウンする努力が常に行われている。特許文献１には、（１）樹脂への反応性二重結合の付与、（２）光重合開始剤、増感剤の選択あるいは増量、（３）モノマーの選択あるいは増量等が開示されており、感光性着色組成物の高感度化に取り組んでいる。
一方、近年のカラーフィルタを使った製品の大型化に伴い、フィルタセグメントおよびブラックマトリックス形成のためのフォトマスクも大型化を余儀なくされ、製造コストの増大に繋がっている。
【０００６】
特許文献２には、露光処理の手段として紫外線、エキシマレーザ光、エックス線、ガンマ線、電子線などの活性エネルギー線を照射エネルギー線量３０〜２０００mJ/cm2の範囲で照射する旨が記載されている。このように、エキシマレーザを活性エネルギー線源として照射し、着色組成物を硬化するコンセプトは存在したが、エキシマレーザを利用してカラーフィルタを作る方法は開示されておらず、また同様に、エキシマレーザにマッチングさせた着色組成物も実用化に至っていない。
【特許文献１】特開平２００３−１５６８４２号公報
【特許文献２】特開平９−２６９４１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
カラーフィルタには、カラーフィルタの色再現特性向上およびブラックマトリックスの遮光性向上という観点から、高濃度化、薄膜化が望まれている。
また、一般に使用されるプロキシミティ露光法（紫外光源露光法）では、大型基板を処理するには基板サイズに合せた大サイズの高額なフォトマスクを必要とする。よって、フォトマスクのコストをいかに低減させるかも課題となっている。
こうした背景から、本発明は、フィルタセグメントおよびブラックマトリックスの高濃度化、薄膜化を達成するカラーフィルタ用着色組成物の提供を目的とする。また、本発明は、マスクの小型化もしくはマスクレスが可能なレーザ露光法によるカラーフィルタの製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のカラーフィルタ用着色組成物は、樹脂、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤および色素を含有する着色組成物であって、着色組成物の全固形分中の色素の濃度が５０〜８０重量％の範囲であることを特徴とする。
本発明のカラーフィルタ用着色組成物において、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーの重量（Ｍ）に対する光重合開始剤の重量（Ｉ）の比（Ｉ／Ｍ）は、０．１０〜０．４５の範囲であることが好ましい。また、透明樹脂の重量（Ｐ）に対するエチレン性不飽和二重結合を有するモノマーの重量（Ｍ）の比（Ｍ／Ｐ）は、０．７０〜１．３０の範囲であることが好ましい。
【０００９】
また、光重合開始剤の３０８ｎｍにおけるモル吸光係数（ε308）は、３６５ｎｍにおけるモル吸光係数（ε365）よりも大きいことが好ましい。また、光重合開始剤は、オキシムエステル系光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、または下記式（１）で表されるカルバゾール系光重合開始剤であることが好ましい。
【００１０】
【化１】
2009145432.tif 000002
（上記式（１）において、Ｒ1及びＲ2は水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又は炭素数６〜１４のアリール基であり、Ｒ3は水素原子又は炭素数１〜２０のアルキル基であり、Ｘ1はモルホリノ基である。）
【００１１】
また、本発明のカラーフィルタは、本発明のカラーフィルタ用着色組成物から形成されるフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを具備することを特徴とする。
また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上に本発明のカラーフィルタ用着色組成物を用いて着色塗膜を形成する工程と、前記着色塗膜のフィルタセグメントまたはブラックマトリックスとなる部分に、積算露光量が１〜１５０ｍJ／ｃｍ2になるように波長３０８ｎｍ(ＸｅＣＬ)のエキシマレーザを照射して硬化させる工程と、前記着色塗膜の未硬化部分を除去してフィルタセグメントまたはブラックマトリックスを形成する工程とを複数回繰り返し、少なくとも２色のフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のカラーフィルタ用着色組成物は、色素濃度が高いため、色再現特性に優れるカラーフィルタの高濃度化、薄膜化を達成することができ、フィルタセグメントの薄膜化により、再現性に優れ、形状が良好なパターニング形状を安定に得ることができるようになる。
また、本発明のカラーフィルタ用着色組成物を用い、特定の波長のエキシマレーザを低出力で短時間照射することにより、着色塗膜を極短時間で硬化できるため、小さなフォトマスクを使用して、もしくはマスクを用いないで、形状の優れたフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを低コストで形成することができる。また、本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、着色組成物中の光重合開始剤の量を低減させることができるため、着色組成物の価格の点からも、低コストでフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを形成することができる。
さらに、本発明のカラーフィルタ用着色組成物を用いて作製したカラーフィルタを用いることで、表示不良を起こすことのない液晶パネルを作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
まず、本発明のカラーフィルタ用着色組成物について説明する。
本発明のカラーフィルタ用着色組成物は、樹脂、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤および色素を含有し、着色組成物の全固形分中の色素の濃度が５０〜８０重量％の範囲にある着色組成物である。着色組成物中の色素濃度向上により、色再現特性に優れるカラーフィルタの薄膜化を達成し、良好なパターニング形状を安定に得ることができるようになる。本発明のカラーフィルタ用着色組成物を用いて作製したカラーフィルタを用いることで、表示不良を起こすことのない液晶パネルを作製することができる。
【００１４】
（樹脂）
本発明の着色組成物には、色素の分散性向上や塗工基材との密着性を上げるため、樹脂を含有させる。樹脂としては、可視光領域の４００〜７００ｎｍの全波長領域において透過率が好ましくは８０％以上、より好ましくは９５％以上の透明樹脂を用いることができる。樹脂には、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、および感光性樹脂が含まれ、これらを単独で、または２種以上混合して用いることができる。
熱可塑性樹脂としては、例えば, ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリブタジエン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド樹脂等が挙げられる。
【００１５】
また、熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂等が挙げられる。
感光性樹脂としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等の反応性の置換基を有する線状高分子にイソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等の反応性置換基を有する（メタ）アクリル化合物やケイヒ酸を反応させて、（メタ）アクリロイル基、スチリル基等の光架橋性基を該線状高分子に導入した樹脂が用いられる。また、スチレン−無水マレイン酸共重合物やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子をヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物によりハーフエステル化したものも用いられる。
樹脂は、着色組成物中の色素１００重量部に対して、１０〜８０重量部、好ましくは１０〜５０重量部の量で用いることができる。
【００１６】
（エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー）
エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーは、波長３０８ｎｍ(ＸｅＣＬ)のエキシマレーザを照射することにより硬化する成分である。
エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーの例としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート等の各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、（メタ）アクリルアミド、N-ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。これらは、単独でまたは２種類以上混合して用いることができる。
【００１７】
また、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーとして、カルボキシル基を含有する多官能(メタ)アクリレートを用いても良い。カルボキシル基を含有する多官能(メタ)アクリレートを用いると、カルボキシル基を含有しない多官能(メタ)アクリレートと比較してフィルタセグメントおよびブラックマトリックスの直線性や断面形状がより改善されるため好ましい。カルボキシル基を含有する多官能(メタ)アクリレートとしては、３価以上の多価アルコールと(メタ)アクリレートおよび多価カルボン酸のエステル化物等が挙げられる。カルボキシル基を含有する多官能(メタ)アクリレートは、構造中にウレタン結合を有していても良い。カルボキシル基を含有する多官能(メタ)アクリレートの市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製の「ＴＯ−１３８２」（ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートの二塩基酸無水物付加物を含有）が挙げられる。
エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーは、着色組成物中の色素１００重量部に対して、１０〜８０重量部、好ましくは１０〜５００重量部の量で用いることができる。
【００１８】
（光重合開始剤）
光重合開始剤としては、３０８ｎｍにおけるモル吸光係数（ε308）が３６５ｎｍにおけるモル吸光係数（ε365）よりも大きいものが好適に用いられる。モル吸光係数とは、光重合開始剤をアセトニトリルで約１．０×１０-5モル／ｍｌに希釈し、その波長における吸収スペクトルをモル濃度で換算した値である。
好ましい光重合開始剤は、オキシムエステル系光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤および下記式（１）で表されるカルバゾール系光重合開始剤である。
【００１９】
【化２】
2009145432.tif 000003
（上記式（１）において、Ｒ1及びＲ2は水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又は炭素数６〜１４のアリール基であり、Ｒ3は水素原子又は炭素数１〜２０のアルキル基であり、Ｘ1はモルホリノ基である。）
【００２０】
特に好ましいオキシムエステル系光重合開始剤としては、エタノン,１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル)−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）−，１−(０−アセチルオキシム)、１，２−オクタジオン−１−[４−(フェニルチオ)−，２−(Ｏ−ベンゾイルオキシム)]が挙げられる。
特に好ましいアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、２，4，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニルフォスフィンオキサイドが挙げられる。
特に好ましいα―アミノアルキルアセトフェノン系光重合開始剤としては、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルチオフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノンが挙げられる。
【００２１】
特に好ましい上記式（１）で表されるカルバゾール系光重合開始剤としては、３，６−ビス（２−メチル−２−モルホリノプロピオニル）−９−メチルカルバゾール、３，６−ビス（２−メチル−２−モルホリノプロピオニル）−９−ベンゾイルカルバゾール、３，６−ビス（２−メチル−２−モルホリノプロピオニル）−９−ｎ−ブチルカルバゾール、３，６−ビス（２−メチル−２−モルホリノプロピオニル）−９−ｎ−オクチルカルバゾール、３，６−ビス（２−メチル−２−モルホリノプロピオニル）−９−ｎ−ドデシルカルバゾールが挙げられる。
少なくとも２色のフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを形成するのに用いられる、異なる色の着色組成物に含有される光重合開始剤は、２色以上の着色組成物において同一であることがデリバリー上好ましく、コストダウンに繋がる。全ての色の着色組成物が同じ光重合開始剤を使用していることが、さらに好ましい。
【００２２】
上記の好ましい光重合開始剤には、上記以外のオキシムエステル系光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤およびカルバゾール系光重合開始剤が併用可能である。また、その他では、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタールなどのベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン、２−クロルチオキサントン、２−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントンなどのチオキサントン系光重合開始剤、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジンなどのトリアジン系光重合開始剤、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノンなどのキノン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤などが用いられる。
【００２３】
光重合開始剤は、１種を単独で、または２種以上を混合して用いることができる。
光重合開始剤の含有量は、色素１００重量部に対して０．１〜３０重量部が好ましく、より好ましくは０．１〜２０重量部である。
エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーの重量（Ｍ）に対する光重合開始剤の重量（Ｉ）の比（Ｉ／Ｍ）は、０．１０〜０．４５の範囲であることが好ましく、より好ましくは、０．１０〜０．３５の範囲である。光重合開始剤の減量によるコストダウンの見地からすると、（Ｉ／Ｍ）は、より少ない方が好ましく、０．３０以下であることが好ましい。（Ｉ／Ｍ）が０．１０未満であると、光重合開始剤の基本作用が発揮されにくくなり、０．４５を超えるとパターン形状、形状の直線性が不良となる場合がある。
【００２４】
樹脂の重量（Ｐ）に対するエチレン性不飽和二重結合を有するモノマーの重量（Ｍ）の比（Ｍ／Ｐ）は、０．７０〜１．３０の範囲であることが好ましい。（Ｍ／Ｐ）が０．７０未満、あるいは（Ｍ／Ｐ）が１．３０を超えると、パターン形成時の感度とパターン形状、形状の直線性のバランスをとることが困難となる場合がある。
【００２５】
（色素）
本発明の着色組成物に含有される色素としては、一般に市販されている有機顔料を用いることができ、形成するフィルタセグメントおよびブラックマトリックスの色相に応じて、染料、天然色素、無機顔料を併用することができる。
有機顔料としては、発色性が高く、且つ耐熱性、特に耐熱分解性の高いものが好適に用いられる。有機顔料は、１種を単独で、または２種以上を混合して用いることができる。
また、有機顔料は、ソルトミリング、アシッドペースティング等により微細化したものであってもよい。
以下に、本発明の着色組成物に使用可能な有機顔料の具体例を、カラーインデックス番号（C.I.）で示す。
【００２６】
赤色フィルタセグメントを形成するための赤色感光性着色組成物には、例えばC.I. Pigment Red  ７、９、１４、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、８１：１、８１：２、８１：３、９７、１２２、１２３、１４６、１４９、１６８、１７７、１７８、１７９、１８０、１８４、１８５、１８７、１９２、２００、２０２、２０８、２１０、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２４６、２５４、２５５、２６４、２７２、２７９等の赤色顔料を用いることができる。赤色感光性着色組成物には、黄色顔料、オレンジ顔料を併用することができる。
【００２７】
イエロー色フィルタセグメントを形成するためのイエロー色感光性着色組成物には、例えばC.I. Pigment Yellow １、２、３、４、５、６、１０、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２０、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、８６、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９９、２１３、２１４等の黄色顔料を用いることができる。
【００２８】
オレンジ色フィルタセグメントを形成するためのオレンジ色感光性着色組成物には、例えばC.I. Pigment orange ３６、４３、５１、５５、５９、６１、７１、７３等のオレンジ色顔料を用いることができる。
緑色フィルタセグメントを形成するための緑色感光性着色組成物には、例えばC.I. Pigment Green ７、１０、３６、３７、５８等の緑色顔料を用いることができる。緑色感光性着色組成物には黄色顔料を併用することができる。
【００２９】
青色フィルタセグメントを形成するための青色感光性着色組成物には、例えばC.I. Pigment Blue １５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、８０等の青色顔料を用いることができる。青色感光性着色組成物には、C.I. Pigment Violet １、１９、２３、２７、２９、３０、３２、３７、４０、４２、５０等の紫色顔料を併用することができる。
シアン色フィルタセグメントを形成するためのシアン色感光性着色組成物には、例えばC.I. Pigment Blue１５：１、１５：２、１５：４、１５：３、１５：６、１６、８１等の青色顔料を用いることができる。
【００３０】
マゼンタ色フィルタセグメントを形成するためのマゼンタ色感光性着色組成物には、例えばC.I. Pigment Violet  １、１９、C.I. Pigment Red８１、１４４、１４６、１７７、１６９等の紫色顔料および赤色顔料を用いることができる。マゼンタ色感光性着色組成物には、黄色顔料を併用することができる。
ブラックマトリックスを形成するための黒色感光性着色組成物には、例えばカーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料、ペリレン系黒色顔料、具体的には C.I. Pigment Black  １、６、７、１２、２０、３１等を用いることができる。黒色感光性着色組成物には、赤色顔料、青色顔料、緑色顔料の混合物を用いることもできる。黒色顔料としては、価格、遮光性の大きさからカーボンブラックが好ましく、カーボンブラックは、樹脂などで表面処理されていてもよい。また、色調を調整するため、黒色感光性着色組成物には、青色顔料や紫色顔料を併用することができる。
【００３１】
また、着色組成物には、彩度と明度のバランスをとりつつ良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、無機顔料を含有させることができる。無機顔料としては、酸化チタン、硫酸バリウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄(III)）、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等が挙げられる。無機顔料は、１種を単独で、または２種以上を混合して用いることができる。無機顔料は、顔料の合計重量を基準（１００重量％）として、０．１〜１０重量％の量で用いることができる。
また、本発明の着色組成物には、調色のため、耐熱性を低下させない範囲内で染料を含有させることができる。染料は、顔料の合計重量を基準（１００重量％）として、０．１〜１０重量％の量で用いることができる。
【００３２】
（任意成分）
本発明の着色組成物には、基本的に増感剤は必要としないが、光重合開始剤と併用してもかまわない。増感剤としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどのアミン系化合物が挙げられる。これらの増感剤は、１種を単独で、または２種以上を混合して用いることができる。増感剤の含有量は、光重合開始剤１００重量部に対して０．１〜６０重量部が好ましい。
【００３３】
本発明の着色組成物には、さらに、連鎖移動剤としての働きをする多官能チオールを含有させることができる。多官能チオールは、チオール基を２個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール 、デカンジチオール 、１，４−ブタンジオールビスチオプロピオネート、１，４−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、２、４、６−トリメルカプト−ｓ−トリアジン、２−（Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ）−４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジンなどが挙げられる。これらの多官能チオールは、１種を単独で、または２種以上を混合して用いることができる。多官能チオールの含有量は、色素１００重量部に対して０．０１〜１０重量部が好ましく、より好ましくは０．０１〜５重量部である。
【００３４】
本発明の着色組成物には、組成物の経時粘度を安定化させるために貯蔵安定剤を含有させることができる。また、透明基板との密着性を高めるためにシランカップリング剤等の密着向上剤を含有させることもできる。
貯蔵安定剤としては、例えばベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、ｔ−ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルフォスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。貯蔵安定剤は、着色組成物中の色素１００重量部に対して、０．０１〜５重量部の量で用いることができる。
【００３５】
シランカップリング剤としては、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、ビニルエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン等のビニルシラン類、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の（メタ）アクリルシラン類、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン類、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジエトキシシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−フェニル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン等のアミノシラン類、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン等のチオシラン類等が挙げられる。シランカップリング剤は、着色組成物中色素１００重量部に対して、０．０１〜１０重量部、好ましくは０．０１〜５重量部の量で用いることができる。
【００３６】
本発明の着色組成物には、色素を充分に組成物中に分散させ、ガラス基板等の透明基板上に乾燥膜厚が０．２〜５μｍとなるように塗布してフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを形成することを容易にするために、溶剤を含有させることができる。
溶剤としては、例えば１，２，３−トリクロロプロパン、１，３−ブタンジオール、１，３−ブチレングリコール、１，３−ブチレングリコールジアセテート、１，４−ジオキサン、２−ヘプタノン、２−メチル−１，３−プロパンジオール、３，５，５−トリメチル−２−シクロヘキセン−１−オン、３，５，５−トリメチルシクロヘキサノン、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メチル−１，３−ブタンジオール、３−メトキシ−３−メチル−1−ブタノール、３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート、３−メトキシブタノール、３−メトキシブチルアセテート、4−ヘプタノン、ｍ−キシレン、ｍ−ジエチルベンゼン、ｍ−ジクロロベンゼン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ｎ−ブチルアルコール、ｎ−ブチルベンゼン、ｎ−プロピルアセテート、Ｎ−メチルピロリドン、ｏ−キシレン、ｏ−クロロトルエン、ｏ−ジエチルベンゼン、ｏ−ジクロロベンゼン、ｐ−クロロトルエン、ｐ−ジエチルベンゼン、ｓｅｃ−ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ−ブチルベンゼン、γ―ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノールアセテート、シクロヘキサノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸n−アミル、酢酸n−ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル等が挙げられ、これらを単独でもしくは混合して用いる。
【００３７】
樹脂に色素を分散する際には、適宜、界面活性剤、樹脂型分散剤（樹脂型顔料分散剤）、色素誘導体等の分散剤が使用できる。分散剤は、色素の分散に優れ、分散後の色素の再凝集を防止する効果が大きいので、分散剤を用いて色素を樹脂および溶剤中に分散してなる着色組成物を用いた場合には、透明性に優れたカラーフィルタが得られる。分散剤は、着色組成物中の色素１００重量部に対して、０．１〜４０重量部、好ましくは０．１〜３０重量部の量で用いることができる。
【００３８】
界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどのアニオン性界面活性剤；ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどのノニオン性界面活性剤；アルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤；アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤、また、フッ素系やシリコーン系の界面活性剤が挙げられる。
【００３９】
樹脂型顔料分散剤は、顔料に吸着する性質を有する顔料親和性部位と、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーと相溶性のある部位とを有する樹脂であり、顔料に吸着して顔料のエチレン性不飽和二重結合を有するモノマーへの分散を安定化する働きをするものである。樹脂型顔料分散剤として具体的には、ポリウレタン、ポリアクリレートなどのポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸（部分）アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩などの油性分散剤、（メタ）アクリル酸−スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドンなどの水溶性樹脂や水溶性高分子化合物、ポリエステル系、変性ポリアクリレート系、エチレンオキサイド／プロピレンオキサイド付加化合物、燐酸エステル系等が用いられ、これらは単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００４０】
色素誘導体は、有機色素に置換基を導入した化合物である。このような有機色素には、一般に色素とは呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、特開昭６３−３０５１７３号公報、特公昭５７−１５６２０号公報、特公昭５９−４０１７２号公報、特公昭６３−１７１０２号公報、特公平５−９４６９号公報等に記載されているものを使用でき、これらは単独でまたは２種類以上を混合して用いることができる。
【００４１】
（着色組成物の製造方法）
本発明の着色組成物は、色素を、樹脂および必要に応じて溶剤等に三本ロールミル、二本ロールミル、サンドミル、ニーダー、アトライター等の各種分散手段を用いて微細に分散し、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤等を添加して製造することができる。また、２種以上の色素を含むカラーフィルタ用着色組成物は、各色素を別々に、樹脂および必要に応じて溶剤等に微細に分散したものを混合して製造することもできる。色素を樹脂および溶剤等に分散する際には、適宜、樹脂型分散剤、界面活性剤、色素誘導体等の分散剤を含有させることができる。
【００４２】
本発明の着色組成物は、溶剤現像型あるいはアルカリ現像型着色レジスト材の形態で調製することができる。着色レジスト材は、樹脂、モノマー、光重合開始剤、溶剤等を含有する組成物中に色素を分散させたものである。
色素は、着色組成物の全固形分量を基準（１００重量％）として、５０〜８０重量％の範囲、好ましくは５０〜７５重量％の範囲で含有される。
本発明の着色組成物は、遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、５μｍ以上の粗大粒子、好ましくは１μｍ以上の粗大粒子、さらに好ましくは０．５μｍ以上の粗大粒子および混入した塵の除去を行うことが好ましい。
【００４３】
次に、本発明のカラーフィルタおよびその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、本発明のカラーフィルタ用着色組成物から形成されるフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを具備するものであり、基板上に、本発明のカラーフィルタ用着色組成物を用いて着色塗膜を形成する工程と、前記着色塗膜のフィルタセグメントおよびブラックマトリックスとなる部分に、積算露光量が１〜１５０ｍJ／ｃｍ2になるように波長３０８ｎｍ(ＸｅＣＬ)のエキシマレーザを照射して硬化させる工程と、前記着色塗膜の未硬化部分を除去してフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを形成する工程とを複数回繰り返し、少なくとも２色のフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを形成することを特徴とする。ＥＢＵ規格の３原色（赤は、ｘ＝０．６４０、ｙ＝０．３３０、緑は、ｘ＝０．２９０、ｙ＝０．６００、青は、ｘ＝０．１５０、ｙ＝０．０６０）における該フィルタセグメントおよびブラックマトリックスの膜厚範囲は０．５μｍ〜１．４μｍに仕上がる。
本発明の方法で製造されるカラーフィルタは、基板上にフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを具備するものであり、例えば、ブラックマトリックスと、赤、緑、青、黄、オレンジおよびシアンからなる群から選ばれる少なくとも２色のフィルタセグメントとを備えることができる。
【００４４】
（着色塗膜形成工程）
着色塗膜形成工程では、スピンコート法やダイコート法によって、本発明の着色組成物を塗布し、必要に応じて余分な溶剤を除去することにより、基板上に着色塗膜を形成する。
カラーフィルタの基板としては、可視光に対して透過率の高いソーダ石灰ガラス、低アルカリ硼珪酸ガラス、無アルカリアルミノ硼珪酸ガラスなどのガラス板や、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンテレフタレートなどの樹脂板が用いられる。また、ガラス板や樹脂板の表面には、パネル化後の液晶駆動のために、酸化インジウム、酸化錫などからなる透明電極が形成されていてもよい。
【００４５】
（露光・硬化工程）
露光・硬化工程では、前記着色塗膜のフィルタセグメントおよびブラックマトリックスとなる部分に、積算露光量が１〜１５０ｍJ／ｃｍ2になるように波長３０８ｎｍ(ＸｅＣＬ)のエキシマレーザを照射して硬化させる。具体的には、大サイズの基板上に形成された着色塗膜に、基板と比較して小さいフォトマスクを介してエキシマレーザを照射し、前記着色塗膜のフィルタセグメントおよびブラックマトリックスとなる部分を硬化させる。
【００４６】
エキシマレーザは、アルゴン、クリプトン、キセノンなどの希ガスと、フッ素、塩素などのハロゲンガスとの混合ガスを用いレーザ光を発生させる装置である。その混合ガスの種類の組合せによって、発振波長が異なり、１９３ｎｍ(ＡｒＦ)、２４８ｎｍ（ＫｒＦ）、３０８ｎｍ(ＸｅＣＬ)、３５１ｎｍ(ＸｅＦ)などがあるが、本発明では波長３０８ｎｍ(ＸｅＣＬ)のエキシマレーザを用いる。エキシマレーザは、パルス幅は数十nsで、ビームの断面は放電領域の形状を反映し、長方形のビームを高出力で発振する。ビームが太く、パルスエネルギーも大きく数千ｍJまで出せる装置もある。エキシマレーザは、ビームを一点に集中させる加工よりも、比較的大きな面積を高い照射強度で一括処理加工するような分野に適しており、レーザ加工の分野で使用されている。
【００４７】
また、一般にエキシマレーザは、混合ガスが励起されているとき、ごく短時間で存在するエキシマ分子からの放射光を利用するレーザであり、エキシマの基底準位は解離状態になっている。そのため、基底分子密度は常に零であり、大変良いレーザ媒質とされていることから、表面形態の優れた画素を形成することができる。
本発明で用いられるエキシマレーザのパルスエネルギー範囲は１〜１５０ｍJ／ｃｍ2であり、エキシマレーザは、１回で、または複数回に分けて、積算露光量が１〜１５０ｍJ／ｃｍ2になるように着色塗膜に照射する。着色塗膜は、膜を分解しない程度の弱いエネルギーを与えて硬化させることが必須である。積算露光量が１５０ｍJ／ｃｍ2を超えると、アブレーション現象により着色塗膜の分解が進行し、最終的に十分な膜厚のフィルタセグメントおよびブラックマトリックスが得られない。一方、着色組成物とのマッチングが良ければ、最低積算露光量が１ｍJ／ｃｍ2までは膜が形成される。エキシマレーザのパルスエネルギー範囲は、好ましくは １〜５０ｍJ／ｃｍ2であり、さらに好ましくは１〜３５ｍJ／ｃｍ2である。また、パルスエネルギー範囲が４〜２５ｍJ／ｃｍ2を複数回に分けて照射することが、その着色塗膜の組成により適している場合がある。
【００４８】
（未硬化部分の除去工程）
未硬化部分の除去工程では、前記着色塗膜の未硬化部分を除去してフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを形成する。未硬化部分の除去に際しては、アルカリ現像液として炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム等の水溶液が使用され、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリを用いることもできる。また、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。
現像処理方法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ（浸漬）現像法、パドル（液盛り）現像法等を適用することができる。
【実施例】
【００４９】
以下に、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
なお、実施例および比較例中、「部」および「％」とは「重量部」および「重量％」をそれぞれ意味する。
まず、実施例および比較例で用いたアクリル樹脂溶液および顔料分散体の調製について説明する。樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量である。
【００５０】
（アクリル樹脂溶液の調製）
反応容器にシクロヘキサノン３７０部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら８０℃に加熱して、同温度でメタクリル酸２０．０部、メチルメタクリレート１０．０部、ｎ−ブチルメタクリレート５５．０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１５．０部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４．０部の混合物を１時間かけて滴下して重合反応を行った。滴下終了後、さらに８０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル１．０部をシクロヘキサノン５０部に溶解させたものを添加し、さらに８０℃で１時間反応を続けて、アクリル樹脂溶液を得た。
室温まで冷却した後、アクリル樹脂溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、測定結果に基づき、先に合成したアクリル樹脂溶液に不揮発分が２０重量％になるようにシクロヘキサノンを添加して、アクリル樹脂溶液を調製した。得られたアクリル樹脂のＭｗは４００００であった。
【００５１】
（顔料分散体の調製）
○チップの製造
下記表の組成の混合物を予め充分混合した後、２本ロールミルにて練肉し、シート状物とした。このシート状物を数枚に折り畳み、再度２本ロールミルに通した。この工程を１０〜４０回繰り返し行った後、粉砕機で粉砕することでチップを作製した。
【００５２】
【表１】
2009145432.tif 000004
【００５３】
以下に、チップの製造に用いた材料を示す。
顔料ＰＲ２５４：ジケトピロロピロール系顔料(C.I. Pigment Red 254)
（チバ・ジャパン社製「イルガフォーレッドＢ−ＣＦ」）
顔料ＰＲ１７７：アントラキノン系顔料(C.I. Pigment Red 177)
（チバ・ジャパン社製「クロモフタールレッドＡ２Ｂ」）
顔料ＰＧ３６：ハロゲン化銅フタロシアニン系顔料(C.I. Pigment Green 36) 
（東洋インキ製造社製「リオノールグリーン６ＹＫ」）
顔料ＰＢ１５：６：ε型銅フタロシアニン顔料(C.I. Pigment Blue 15:6)
（ＢＡＳＦ製「ヘリオゲンブルーＬ−６７００Ｆ」）
顔料ＰＹ１５０：ニッケルアゾ錯体系顔料(C.I. Pigment Yellow 150)
（ランクセス社製「Ｅ４ＧＮ」）
顔料ＰＢｋ７：カーボンブラック(C.I. Pigment Black 7)
（三菱化学社製「ＭＡ７７」）
顔料分散剤：日本ルーブリゾール社製「ソルスパース２００００」）
樹脂溶液：先に調製したアクリル樹脂溶液
【００５４】
【化３】
2009145432.tif 000005
【００５５】
○顔料分散体の製造
上記チップをシクロヘキサノン／プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート＝８／２の重量比で配合した溶剤に均一に撹拌溶解した後、直径１ｍｍのジルコニアビーズを用いて、アイガーミル（アイガージャパン社製「ミニモデルＭ−２５０ ＭＫII」）で１〜３時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過し、顔料分散体を作製した。
［実施例１〜８、比較例１〜８］
先に調製した顔料分散体を含む、表２に示す処方の混合物を均一になるように攪拌混合した後、１μｍのフィルタで濾過して、各色着色組成物を得た。
あわせて表２に、各色着色組成物を用いて、下記に示す方法で行った評価結果を示す。
【００５６】
【表２】
2009145432.tif 000006
【００５７】
顔料分散体：先に調製した顔料分散体
樹脂溶液：先に調製したアクリル樹脂溶液
モノマー：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（東亞合成社製「アロニックスM-402」）
光重合開始剤：α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤２−(ジメチルアミノ)−２−[(４−メチルフェニル)メチル]−１−[４−(４−モルホリニル)フェニル]−１−ブタノン（チバ・ジャパン社製「イルガキュア３７９」）／オキシムエステル系光重合開始剤エタノン,１−[９−エチル−６−(２−メチルベンゾイル)−９Ｈ−カルバゾール−３−イル]−,１−(０−アセチルオキシム) （チバ・ジャパン社製「イルガキュアＯＸＥ−０２」）＝７５／２５（重量比）
溶剤：シクロヘキサノン／プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート＝８／２（重量比）
Ｐｃｏｎ：レジスト固形分中の顔料濃度（％）
【００５８】
[フィルタセグメントおよびブラックマトリックスのパターン形成]
１０cm×１０cmのガラス基板上にスピンコータで、赤緑青のカラーフィルタ用着色組成物については約２〜２．５μｍの厚さ（最終的にポストベイク後の色度がＥＢＵ規格の３原色：赤は、ｘ＝０．６４０、ｙ＝０．３３０、緑は、ｘ＝０．２９０、ｙ＝０．６００、青は、ｘ＝０．１５０、ｙ＝０．０６０となるように）に塗工し、黒のカラーフィルタ用着色組成物についてはポストベイク後に表２に示す膜厚となるように塗工し、７０℃のオーブン内に１５分間静置し、余剰の溶剤を除去乾燥させた。次いで、着色組成物塗膜から１００μｍの間隔を介してストライプ状のフォトマスクをセットし、波長３０８ｎｍ(ＸｅＣＬ)のエキシマレーザを２０ｍJ／ｃｍ2の露光量で照射した。尚、エキシマレーザ装置は、コヒレント社製の「COMPexPro 205」を使用し、露光量はコヒレント社製の「３シグマ（本体）J45LP-MUV-030（センサヘッド）」を用いて測定した。比較例５〜８については、超高圧水銀ランプを用いて２００ｍJ／ｃｍ2の露光量で露光した。さらに、２％の炭酸ナトリウム水溶液からなる現像液によりスプレー現像して未露光部分を取り除いた後、イオン交換水で洗浄し、この基板を２３０℃で３０分加熱（ポストベイク）して線幅約５０μｍのフィルタセグメントおよびブラックマトリックスを形成した。
【００５９】
［膜厚測定]
上記実施例および比較例で作成したカラーフィルタのフィルタセグメントおよびブラックマトリックスの各目標色度における膜厚を測定した。
[形状評価（断面形状）]
上記実施例および比較例で作成したカラーフィルタのフィルタセグメントおよびブラックマトリックスの（１）直線性については光学顕微鏡を用いて、（２）断面形状については走査型電子顕微鏡（SEM）を用いて観察し、パターン形状を４段階で評価した。評価基準は、以下の通りである。
断面形状
○：順テーパー形状（断面が台形で、露光した面が小さい）
△：逆テーパー形状（断面が台形で、露光した面が大きい）
×：画素は出来ているが形状を判定するのは困難（形状不良）
【００６０】
実施例では、エキシマレーザ露光方式に対する高顔料濃度レジスト処方の最適化により、良好な感度、形状を維持したまま薄膜化を達成できている。一方、比較例１〜４では、エキシマレーザの使用により、良好な感度形状が得られているが、目標となる薄膜化を達成できていない。比較例５〜８では、超高圧水銀ランプを用いて２００ｍJ／ｃｍ2という高露光量で露光したにもかかわらず、感度不良により形状も不良となっている。