(57)【要約】      （修正有）【課題】精度及び信頼性を向上させる。【解決手段】液室４６中の液体ｉをノズル４３から吐出する液体吐出ヘッド３３が、圧力発生素子６１ａが設けられた回路基板６１と、ノズル４３が形成されたノズルシート４４と、回路基板６１とノズルシート４４との間に設けられ、液室４６及び流路５１の一部を構成し、回路基板６１とノズルシート４４とを接着する接着層６２とを有し、接着層６２は、活性エネルギ線硬化性樹脂の環化ゴム系樹脂と化学式１の化合物とが含有され、回路基板６１上にリソグラフィ法により液室４６及び流路５１の一部を形成した後、加熱処理で粘着性が付与され、ノズルシート４４が貼り合わされた後、活性エネルギ線が照射又は加熱処理され、硬化されたものである。2009172837.tif 000009【選択図】図５
2009172837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流路から液室に供給され、上記液室に充填された上記液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドにおいて、
上記液体を吐出する圧力発生素子が設けられた回路基板と、
上記圧力発生素子と対向した上記ノズルが形成されたノズルシートと、
上記回路基板と上記ノズルシートとの間に設けられ、上記液室及び流路の一部を構成し、上記回路基板と上記ノズルシートとを接着する接着層とを有し、
上記接着層は、活性エネルギ線硬化性樹脂の環化ゴム系樹脂と下記の化学式１に示す化合物が含有されてなり、上記回路基板の上記圧力発生素子が設けられた面に、上記液室及び流路の一部を構成するように形成した後、加熱処理によって粘着性が付与され、上記ノズルシートが貼り合わされた後、活性エネルギ線が照射され又は加熱処理され、硬化されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【化１】
2009172837.tif 000007
【請求項２】
液体が流路から液室に供給され、上記液室に充填された上記液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドの製造方法において、
回路基板の上記液体を吐出する圧力発生素子が設けられた面上に、活性エネルギ線硬化性樹脂の環化ゴム系樹脂と下記の化学式１に示す化合物とを含有する接着層をリソグラフィ法により上記液室及び流路の一部を構成するように形成し、
上記接着層を加熱して、粘着性を付与し、
上記接着層に、上記圧力発生素子と対向する上記ノズルが形成されたノズルシートを貼り合わせ、
上記接着層に活性エネルギ線を照射又は加熱処理を行い、上記接着層を硬化させて、上記回路基板と上記ノズルシートとを接着することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【化２】
2009172837.tif 000008
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発熱抵抗体が設けられた回路基板と、ノズルが設けられたノズルシートとの接着性が向上された液体吐出ヘッド及びこの液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する装置としては、例えば被記録媒体となる記録紙に対してインクを吐出させて、画像や文字を印刷するインクジェット型のプリンタ装置（以下、プリンタ装置）がある。このプリンタ装置は、インクを吐出させる発熱抵抗体等の圧力発生素子の駆動を電気的に制御することで、インク微粒子の噴出方向を制御して、紙等の記録媒体上に自在に画像を形成する方法である。このプリンタ装置は、高解像度の画像が得られること、高速印刷が可能なこと、また印刷時の音が静かなこと等の優れた特徴を有し、急速に普及し始めている。
【０００３】
このようなプリンタ装置は、インクを発熱抵抗体で加熱し、発生した気泡の成長によりインクを押圧して吐出させるサーマルインクジェット方法等、種々の方法でインクを吐出する。このプリンタ装置は、紙等の被記録媒体の搬送等を行う装置本体と、この装置本体に装着されるインクを吐出するインク吐出ヘッドと、このインク吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクとが設けられている。
【０００４】
インクを吐出するインク吐出ヘッドには、インクを吐出する圧力発生体とこの圧力発生体と対向して設けられ、この圧力発生体によって押圧されたインクを吐出するノズルとが設けられた液室に、インクタンクからインクを供給する流路が形成されている。
【０００５】
このインク吐出ヘッドは、液室や流路の一部がガラスや金属の板で形成されている。このインク吐出ヘッドは、ガラスや金属の板を切削、エッチング等して、微細な溝を形成し、この溝が液室及び流路の一部を形成する。
【０００６】
このような方法で作製されるインク吐出ヘッドは、微細なノズルが設けられた液室や流路の大きさが小さく、数μｍ〜数十μｍであり、適切にインクがノズルに供給されるように、液室や流路に精密さが要求される。
【０００７】
しかしながら、このインク吐出ヘッドは、上述したように、ガラスや金属の板を切削加工して溝を形成して液室や流路を形成するため、液室や流路の内壁面の荒れが大きすぎたり、従来の機械的切削では正確さにおいて不十分であり、微細な液室や流路を精度良く形成することができない。また、このインク吐出ヘッドは、切削加工に比べて、サンドブラスト法やリソグラフィ法によるエッチング加工の方がまだ適しているが、エッチング加工した場合、エッチング率の差から液室や流路に歪みが生じて、流路抵抗が一定な流路が得難く、インク吐出特性のばらつきが生じやすくなる。
【０００８】
また、このインク吐出ヘッドでは、切削加工により作製した場合、切削加工の際に板の欠けや割れが生じやすく、製造歩留りが悪いという問題点もある。また、エッチング加工により作製した場合には、製造工程が多く製造コストの上昇をまねくという問題点もある。
【０００９】
更に、切削加工及びエッチング加工において共通する問題点としては、微細な溝が形成されたガラスや金属の板と、この板の他に流路の一部を構成する溝が形成された流路部材と、インクを吐出するために利用されるエネルギを発生する圧電素子、発熱素子等のエネルギ発生体（駆動素子）が設けられた基板との圧接や貼り合せを行う際に、それぞれの位置合わせが困難であって、量産性が低下するといった問題もある。
【００１０】
また、インク吐出ヘッドでは、エネルギ発生体が設けられた基板とインクを吐出するノズルが形成されたノズルシートとが接着剤等で貼り合わされている（例えば、特許文献１参照。）。インク吐出ヘッドでは、基板とノズルシートとの接着力が弱いと、基板からノズルシートが剥離してしまい、液室等が変形してしまう。このため、インク吐出ヘッドでは、基板とノズルシートとの接着性を向上させ、液室等を精度良く形成することが求められている。
【００１１】
【特許文献１】特開２００６−１０３３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、このような従来の事情を鑑みて提案されたものであり、微細加工により、液室や流路が精度良く正確に形成され、歩留りもよく、安価で、高い信頼性を有する高精細な液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述した目的を達成する本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体が流路から液室に供給され、液室に充填された液体をノズルから吐出するものであり、液体を吐出する圧力発生素子が設けられた回路基板と、圧力発生素子と対向したノズルが形成されたノズルシートと、回路基板とノズルシートとの間に設けられ、液室及び流路の一部を構成し、回路基板とノズルシートとを接着する接着層とを有し、接着層は、活性エネルギ線硬化性樹脂の環化ゴム系樹脂と下記の化学式１に示す化合物が含有されなり、回路基板の圧力発生素子が設けられた面に、液室及び流路の一部を構成するように形成した後、加熱処理によって粘着性が付与され、ノズルシートが貼り合わされた後、活性エネルギ線が照射又は加熱処理され、硬化されていることを特徴とする。
【００１４】
【化１】
2009172837.tif 000003
【００１５】
また、上述した目的を達成する本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、液体が流路から液室に供給され、液室に充填された液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドを製造する方法であり、回路基板の液体を吐出する圧力発生素子が設けられた面上に、活性エネルギ線硬化性樹脂の環化ゴム系樹脂と化学式１に示す化合物とを含有する接着層をリソグラフィ法により液室及び流路の一部を構成するように形成し、接着層を加熱して、粘着性を付与し、接着層に、圧力発生素子と対向するノズルが形成されたノズルシートを貼り合わせ、接着層に活性エネルギ線を照射又は加熱処理を行い、接着層を硬化させて、回路基板とノズルシートとを接着することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、回路基板とノズルシートとを接着し、微細な液室及び流路の一部を構成し、活性エネルギ線硬化性樹脂の環化ゴム系樹脂と上記化学式１に示す化合物を含有する接着層をリソグラフィ法により形成することによって、微細な液室及び流路を精度良く正確に形成でき、歩留まりも良く、安価で、高い信頼性を有する高精細な液体吐出ヘッドが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明を適用したインク吐出ヘッド及びこのインク吐出ヘッドの製造方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１に示すインクジェットプリンタ装置１（以下、プリンタ装置１という。）は、画像や文字が印刷される記録紙Ｐの幅方向（Ｗ方向）にわたって、印刷するライン型のインクジェットプリンタ装置である。
【００１８】
プリンタ装置１は、図１及び図２に示すように、記録紙Ｐに対してインクｉを吐出するインクジェットプリンタヘッドカートリッジ（以下、ヘッドカートリッジという。）２と、このヘッドカートリッジ２が装着される装置本体３とを備える。プリンタ装置１は、ヘッドカートリッジ２が装置本体３に対して着脱可能である。
【００１９】
先ず、プリンタ装置１を構成するヘッドカートリッジ２について説明する。ヘッドカートリッジ２は、例えば圧力発生素子として電気熱変換式の発熱抵抗体を用いてインクｉを吐出し、記録紙Ｐの主面にインク液滴を着弾させる。ヘッドカートリッジ２には、図２及び図３に示すように、インクｉが収容されたインクカートリッジ２１が装着される。インクカートリッジ２１には、色毎に、イエローインクのインクカートリッジ２１ｙ、マゼンタインクのインクカートリッジ２１ｍ、シアンインクのインクカートリッジ２１ｃ及びブラックインクのインクカートリッジ２１ｋがある。
【００２０】
ここで、各インクカートリッジ２１に充填されるインクｉは、以下のようなものである。インクｉは、水や水溶性有機溶媒等を含む溶媒に、少なくとも染料を溶解又は分散させたものである。
【００２１】
本発明に使用されるインクｉに含有される染料としては、直接染料、酸性染料、反応性染料等の水溶性染料を何れも使用できる。
【００２２】
具体的には、イエロー系の直接染料としては、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー１、同８、同１１、同１２、同２４、同２６、同２７、同２８、同３３、同３９、同４４、同５０、同５８、同８５、同８６、同８７、同８８、同８９、同９８、同１００、同１１０等を使用できる。
【００２３】
マゼンダ系の直接染料としては、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド１、同２、同４、同９、同１１、同１３、同１７、同２０、同２３、同２４、同２８、同３１、同３３、同３７、同３９、同４４、同４６、同６２、同６３、同７５、同７９、同８０、同８１、同８３、同８４、同８９、同９５、同９９、同１１３、同１９７、同２０１、同２１８、同２２０、同２２４、同２２５、同２２６、同２２７、同２２８、同２２９、同２３０、同３２１等を使用できる。
【００２４】
シアン系の直接染料としては、Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー１、同２、同６、同８、同１５、同２２、同２５、同４１、同７１、同７６、同７７、同７８、同８０、同８６、同９０、同９８、同１０６、同１０８、同１２０、同１５８、同１６０、同１６３、同１６５、同１６８、同１９２、同１９３、同１９４、同１９５、同１９６、同１９９、同２００、同２０１、同２０２、同２０３、同２０７、同２２５、同２２６、同２３６、同２３７、同２４６、同２４８、同２４９等を使用できる。
【００２５】
ブラック系の直接染料としては、Ｃ．Ｉ．ダイレクトブラック１７、同１９、同２２、同３２、同３８、同５１、同５６、同６２、同７１、同７４、同７５、同７７、同９４、同１０５、同１０６、同１０７、同１０８、同１１２、同１１３、同１１７、同１１８、同１３２、同１３３、同１４６等を使用できる。
【００２６】
イエロー系の酸性染料としては、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー１、同３、同７、同１１、同１７、同１９、同２３、同２５、同２９、同３６、同３８、同４０、同４２、同４４、同４９、同５９、同６１、同７０、同７２、同７５、同７６、同７８、同７９、同９８、同９９、同１１０、同１１１、同１１２、同１１４、同１１６、同１１８、同１１９、同１２７、同１２８、同１３１、同１３５、同１４１、同１４２、同１６１、同１６２、同１６３、同１６４、同１６５等を使用できる。
【００２７】
マゼンタ系の酸性染料としては、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド１、同６、同８、同９、同１３、同１４、同１８、同２６、同２７、同３２、同３５、同３７、同４２、同５１、同５２、同５７、同７５、同７７、同８０、同８２、同８３、同８５、同８７、同８８、同８９、同９２、同９４、同９７、同１０６、同１１１、同１１４、同１１５、同１１７、同１１８、同１１９、同１２９、同１３０、同１３１、同１３３、同１３４、同１３８、同１４３、同１４５、同１５４、同１５５、同１５８、同１６８、同１８０、同１８３、同１８４、同１８６、同１９４、同１９８、同１９９、同２０９、同２１１、同２１５、同２１６、同２１７、同２１９、同２４９、同２５２、同２５４、同２５６、同２５７、同２６２、同２６５、同２６６、同２７４、同２７６、同２８２、同２８３、同３０３、同３１７、同３１８、同３２０、同３２１、同３２２等を使用できる。
【００２８】
シアン系の酸性染料としては、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー１、同７、同９、同１５、同２２、同２３、同２５、同２７、同２９、同４０、同４１、同４３、同４５、同５４、同５９、同６０、同６２、同７２、同７４、同７８、同８０、同８２、同８３、同９０、同９２、同９３、同１００、同１０２、同１０３、同１０４、同１１２、同１１３、同８１１７、同１２０、同１２６、同１２７、同１２９、同１３０、同１３１、同１３８、同１４０、同１４２、同１４３、同１５１、同１５４、同１５８、同１６１、同１６６、同１６７、同１６８、同１７０、同１７１、同１７５、同１８２、同１８３、同１８４、同１８７、同１９２、同１９９、同２０３、同２０４、同２０５、同２２９、同２３４、同２３６等を使用できる。
【００２９】
ブラック系の酸性染料としては、Ｃ．Ｉ．アシッドブラック１、同２、同７、同２４、同２６、同２９、同３１、同４４、同４８、同５０、同５１、同５２、同５８、同６０、同６２、同６３、同６４、同６７、同７２、同７６、同７７、同９４、同１０７、同１０８、同１０９、同１１０、同１１２、同１１５、同１１８、同１１９、同１２１、同１２２、同１３１、同１３２、同１３９、同１４０、同１５５、同１５６、同１５７、同１５８、同１５９、同１９１等を使用できる。
【００３０】
インクｉに含有される水溶性有機溶剤としては、脂肪族一価アルコール、多価アルコール、多価アルコール誘導体等を使用できる。
【００３１】
具体的には、脂肪族一価アルコールとしては、メチルアルコール、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール、ｉ−プロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、ｓ−ブチルアルコール、ｔ−ブチルアルコール等の低級アルコール等を使用できる。特に、これら脂肪族一価アルコールのうち、エチルアルコール、ｉ−プロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコールを使用することが好ましい。
【００３２】
これら脂肪族一価アルコールは、インクｉの表面張力を調製し、普通紙、専用紙等の記録紙Ｐへの浸透性、ドット形成性、印刷された画像の乾燥性を向上する効果が高いので、インクｉに含有されることが好ましい。
【００３３】
多価アルコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール及びグリセロール等のアルキレングリコール類、ポリエチレングリコール及びポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコール類、チオジグリコール等を使用できる。
【００３４】
多価アルコール誘導体としては、エチレングリコールジメチルエーテル等の上述した多価アルコールの低級アルキルエーテル類、エチレングリコールジアセテート等の上述した多価アルコールの低級カルボン酸エステル類等を使用できる。
【００３５】
これら多価アルコール及び多価アルコール誘導体は、蒸発しにくく、インクｉの氷点を下げるので、インクｉの保存安定性を高め、プリンタ装置１のノズル４３の目詰まりを防止する効果があるので、インクｉ中に含有されることが好ましい。
【００３６】
なお、インクｉには、上述した脂肪族一価アルコール、多価アルコール及び多価アルコール誘導体等の水溶性有機溶剤に、界面活性剤、ｐＨ調整剤、防腐剤、キレート剤等の添加物が、必要に応じて含有してもよい。
【００３７】
このインクｉが充填されるインクカートリッジ２１は、記録紙Ｐの幅方向の寸法と略同じ寸法をなす略矩形状に形成されている。インクカートリッジ２１には、図２及び図３に示すように、後述するヘッドカートリッジ２のカートリッジ本体３１にインクｉを供給するためのインク供給部２２が設けられている。
【００３８】
インク供給部２２は、インクカートリッジ２１の下側略中央部に設けられている。このインク供給部２２は、略突形状のノズルであり、このノズルの先端が後述するヘッドカートリッジ２の接続部３５に嵌合されることにより、インクカートリッジ２１とヘッドカートリッジ２のカートリッジ本体３１との間をインク供給可能に接続する。インク供給部２２は、弁機構を備え、この弁機構でカートリッジ本体３１へのインクｉの供給を調整している。なお、ヘッドカートリッジ２とインクカートリッジ２１とが一体に形成されていてもよい。
【００３９】
インクカートリッジ２１が装着されるヘッドカートリッジ２は、図２及び図３に示すように、カートリッジ本体３１を有する。カートリッジ本体３１には、インクカートリッジ２１が装着される装着部３２と、インクｉを吐出するインク吐出ヘッド３３と、インク吐出ヘッド３３を保護するヘッドキャップ３４とを備える。
【００４０】
装着部３２の略中央には、装着部３２に装着されたインクカートリッジ２１のインク供給部２２と接続される接続部３５が設けられている。この接続部３５は、装着部３２に装着されたインクカートリッジ２１のインク供給部２２からカートリッジ本体３１の底面に設けられたインクｉを吐出するインク吐出ヘッド３３にインクｉを供給する供給路となる。接続部３５は、インクカートリッジ２１からインク吐出ヘッド３３へのインクｉの供給を弁機構で調整している。
【００４１】
接続部３５からインクｉが供給されるインク吐出ヘッド３３は、図３及び図４に示すように、カートリッジ本体３１の底面に配設されている。インク吐出ヘッド３３は、接続部３５から供給されるインクｉを吐出する吐出口である後述するノズル４３が記録紙Ｐの幅方向、すなわち図３及び図４中矢印Ｗ方向に略ライン状に並設されている。インク吐出ヘッド３３は、インクｉを吐出する際に、記録紙Ｐの幅方向（Ｗ方向）に移動することなく、イエローのノズルライン４３ｙ、マゼンタのノズルライン４３ｍ、シアンのノズルライン４３ｃ、ブラックのノズルライン４３ｋ毎にインクｉを吐出する。
【００４２】
インク吐出ヘッド３３は、図４及び図５に示すように、ヘッドカートリッジ２の接続部３５からインクｉが供給され、供給されたインクｉを各ノズル４３へと導く流路板４１と、供給されたインクｉを吐出するヘッドチップ４２と、インクｉを吐出するためのノズル４３が形成されたノズルシート４４と、ノズルシート４４を支持するフレーム４５とを有する。このインク吐出ヘッド３３には、図５に示すように、後述するインク流路５１からインクｉが供給され、インクｉを押圧して吐出するインク液室４６が形成されている。
【００４３】
流路板４１は、インクｉの色毎に設けられ、例えば金属など、容易に変形しない剛性及び収容されるインクｉに対して耐インク性を備えた材料で形成される。流路板４１は、図４及び図５に示すように、後述する各色のノズルライン４３ｙ、４３ｍ、４３ｃ、４３ｋを形成している複数のノズル４３すべてにインクiが供給されるように、ノズル４３が並設されている記録紙Ｐの幅方向に、記録紙Ｐの幅に相当する長さに亘って形成されている。流路板４１は、記録紙Ｐの幅に相当する長さのインク流路５１を形成する流路形成部５２と、この流路形成部５２の上面略中央に接続部３５側に向かって形成され、カートリッジ本体３１に設けられた接続部３５と流路形成部５２とを接続する流路接続部５３とを有する。流路形成部５２には、流路接続部５３が設けられている側とは反対側の面に、インクｉを供給する後述するヘッドチップ４２が配設される。この流路板４１は、流路接続部５３がカートリッジ本体３１に設けられた接続部３５に接続され、インクカートリッジ２１から接続部３５を介して供給されたインクｉを流路形成部５２のインク流路５１に供給し、ヘッドチップ４２にインクｉを供給する。
【００４４】
ヘッドチップ４２は、図５に示すように、電気熱変化式の発熱抵抗体６１ａが設けられた回路基板６１と、この回路基板６１とノズルシート４４との間に介在し、回路基板６１とノズルシート４４とを接着する接着層６２とから構成される。このヘッドチップ４２は、図４に示すように、記録紙Ｐの幅方向（図４中Ｗ方向）に亘って略ライン状に設けられた複数のノズル４３のうち、所定の数を一組にした組毎に設けられている。このヘッドチップ４２は、図４及び図５に示すように、インク流路５１を挟み、色毎に千鳥状に記録紙Ｐの幅方向に略ライン状に配置され、隣接するヘッドチップ４２の端部が対向するように設けられている。
【００４５】
回路基板６１は、例えばシリコンウエハ、ガラス基板、セラミック基板等の基板の一方の面に、インクｉを加熱、押圧する発熱抵抗体６１ａと、ロジックＩＣ（Integrated Circuit）やドライバートランジスタ、シフトレジスタ等からなる発熱抵抗体６１ａの制御回路が形成されている。この回路基板６１は、図５に示すように、インク液室４６の上面を形成する。
【００４６】
接着層６２は、活性エネルギ線硬化性樹脂の環化ゴム系樹脂と下記の化学式１に示す化合物とが含有されて形成されている。
【００４７】
【化２】
2009172837.tif 000004
【００４８】
接着層６２を形成する活性エネルギ線硬化性樹脂の環化ゴム系樹脂は、活性エネルギ線が照射されることにより硬化するネガ型の樹脂であり、硬化物を加熱処理することにより接着性を示すものである。なお、活性エネルギ線硬化性樹脂としては、環化ゴム系樹脂の他に、紫外線、電子線、Ｘ線等の活性エネルギ線の照射により硬化し、その硬化物が加熱処理により接着性を示すものを用いることができる。
【００４９】
具体的に、環化ゴム系樹脂としては、天然又は合成の、シス−１，４ポリイソプレンを部分的に環化したものやポリブタジエンに感光基としてビスアジド化合物を添加したものである。ビスアジド化合物を添加したものは、紫外線を照射すると、Ｎ２ガスを放出し、ナイトレンラジカルとなり、環化ゴムの二重結合に架橋する反応、水素引き抜き反応、ナイトレンラジカル同志の縮合反応などが生じ、現像液に不溶化となる。
【００５０】
環化ゴム系樹脂の特性としては、品質、保存性が安定していること、各種金属、ガラス質、プラスチックに対する密着性が優れていること、酸系、アルカリ系に対して高い耐性があり、電気絶縁性に優れていること、現像、剥離工程に有機溶剤を使用することができる等を挙げることができる。接着層６２は、このような特性を有する環化ゴム系樹脂を用いて形成されることによって、インクｉに対する耐性が高いものとなる。ここで、接着層６２に用いられる環化ゴム系樹脂は、シップレ−社製の商品名  ＡＺ系列、東京応化社製の商品名  ＯＭＲ系列等がある。
【００５１】
化学式１に示す化合物は、接着層６２の回路基板６１やノズルシート４４に対する接着性をさらに向上させて、接着層６２が回路基板６１やノズルシート４４から剥離せず、インク吐出ヘッド３３を変形させず、インク吐出ヘッド３３の信頼性の向上させる。化学式１に示す化合物としては、市販されているもので、例えば新日本理化株式会社の商品名  リカレジンＺ−１００等がある。化学式１に示す化合物は、環化ゴム系樹脂の重量分１００に対して、３重量％〜２０重量％含有される。２０重量％よりも多い場合には、環化ゴム系樹脂と化学式１に示す化合物の相溶性が低くなり、接着層６２を均一に仕上げることが非常に困難となるためである。また、化学式１に示す化合物は、低分子量であるため、この化学式１に示す化合物の量が多くなると、接着層６２が非常に脆くなってしまい問題を生じるためである。したがって、化学式１に示す化合物の含有量を環化ゴム系樹脂の重量分１００に対して、３重量％〜２０重量％とすることによって、環化ゴム系樹脂と化学式１の化合物が相溶し、接着層６２を均一に形成でき、不具合の生じない接着層６２を形成することができる。また、この化学式１の化合物は、水に溶けないため、インクｉ中に溶出せず、溶出物がインク液室４６やインク流路に５１に入り込むことを防止できる。
【００５２】
この接着層６２は、図５及び図６に示すように、上述したインク流路５１と連通される部分を除いて、１つの発熱抵抗体６１ａを囲むように回路基板６１上にリソグラフィ法のフォトリソプロセスによって形成される。接着層６２は、インク液室４６の側面を形成し、回路基板６１と共に、インク液室４６を構成する。また、この接着層６２には、回路基板６１とは反対側の面にノズルシート４４が貼り合わされる。
【００５３】
なお、接着層６２には、更に、必要に応じて、慣用されている染料、顔料、重合禁止剤、消泡剤等を加えてもよい。
【００５４】
ノズルシート４４は、図４及び図５に示すように、発熱抵抗体６１ａと対向するように、千鳥状に略ライン状に形成された貫通孔からなる複数のノズル４３を有する。このノズルシート４４は、各色のノズルライン４３ｙ、４３ｍ、４３ｃ、４３ｋが１枚のシート状に一体に形成されている。ノズルシート４４は、インク液室４６の底面を形成している。
【００５５】
このノズルシート４４は、例えば、電鋳により、ニッケル（Ｎｉ）等の金属材料を主成分として形成されている。なお、ノズルシート４４は、Ｎｉの他にコバルト（Ｃｏ）が含有されたニッケル−コバルト合金で形成してもよく、用途や使用環境に応じて要求される物性を有する材料で形成される。ノズルシート４４では、電鋳によりノズル４３を形成することによって、隣接するノズル４３の間隔が狭くても、多数のノズル４３を形成することができる。
【００５６】
このノズルシート４４を支持するフレーム４５は、図４及び図５に示すように、流路板４１及びヘッドチップ４２が嵌め込まれる開口部４５ａを有する。このフレーム４５のヘッドチップ４２が配置される側の面には、ノズルシート４４が貼り合わされる。フレーム４５は、ノズルシート４４のノズル４３と、ヘッドチップ４２の発熱抵抗体６１ａとを対向させて、ヘッドチップ４２及び流路板４１と、ノズルシート４４とを貼り合わせることができるように、ノズルシート４４を支持する。
【００５７】
以上のような構成からなるインク吐出ヘッド３３は、次のようにして製造する。
【００５８】
先ず、上述したように、Ｎｉを主成分にして電鋳法により、色毎にノズルライン４３ｙ、４３ｍ、４３ｃ、４３ｋが形成されたノズルシート４４を作製する。
【００５９】
次に、作製したノズルシート４４を平坦な面を有する図示しない支持治具上に載置し、ノズルライン４３ｙ、４３ｍ、４３ｃ、４３ｋがフレーム４５に設けた開口部４５ａと対向するようにノズルシート４４上にフレーム４５を載せ、ノズルシート４４とフレーム４５とを貼り合わせる。ノズルシート４４とフレーム４５とを貼り合わせる方法は、例えばノズルシート４４とフレーム４５との間に熱硬化型シート接着剤等の接着剤を介在させて貼り合わせる。ノズルシート４４は、フレーム４５によって支持されるため、支持治具から剥離する。
【００６０】
別工程において、回路基板６１上に接着層６２を形成する。具体的には、図７（Ａ）に示すように、回路基板６１の発熱抵抗体６１ａが設けられた面の全面に、環化ゴム系樹脂と化学式１に示す化合物とを溶媒に溶解させて作製した塗布液をロールコーター、カーテンフローコーター、スクリーン印刷、スプレーコーター、スピンコーター等により塗布して、紫外線等の活性エネルギ線の照射により硬化する接着層６２を厚み約１２μｍで形成する。
【００６１】
環化ゴム系樹脂と化学式１に示す化合物とを溶解させる溶剤としては、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、１，１，１−トリクロロエタン、トリクロロエチレン等のうち１種又は２種以上を混合したものを用いる。
【００６２】
次に、インク液室４６及びインク流路５１となる部分と対向する部分が遮光されたマスクを介して、紫外線等の活性エネルギ線を接着層６２に照射して、接着層６２を選択的に半硬化させる。この際に、接着層６２には、紫外線等の活性エネルギ線の量が０．０５〜０．１５Ｊ／ｃｍ２の強度で照射される。照射強度が０．０５Ｊ／ｃｍ２よりも少ない場合には、照射部分に十分な硬化性を与えることができず、０．１５Ｊ／ｃｍ２よりも多い場合には、接着層６２中の活性エネルギ線により硬化する硬化成分が完全に硬化してしまい、接着性を得ることが難しくなり以後の工程に差し支えてしまう場合があるため、好ましくない。
【００６３】
次に、図７（Ｂ）に示すように、未照射部分であるインク液室４６及びインク流路５１となる部分の接着層６２を現像液を用いて除去する。この工程では、未照射部分を除去することによって、図６に示すように、接着層６２が櫛歯形状に形成され、インク液室４６及びインク流路５１の一部が形成される。
【００６４】
次に、回路基板６１上の接着層６２に対して、８５℃〜１５０℃で加熱処理を行い、柔軟性及び粘着性を付与し、接着層６２を形成し、ヘッドチップ４２を作製する。
【００６５】
次に、図８に示すように、得られたヘッドチップ４２をフレーム４５に貼り合わされたノズルシート４４と接着する。具体的には、フレーム４５の開口部４５ａにヘッドチップ４２の接着層６２がノズルシート４４と対向し、回路基板６１上に設けられた発熱抵抗体６１ａとノズル４３とが対向するように、ヘッドチップ４２を各色のノズルライン４３ｙ、４３ｍ、４３ｃ、４３ｋに沿って千鳥状にノズルシート４４上に載置する。そして、温度５０〜１５０℃、圧力１〜２０ｋｇ／ｃｍ２の範囲で、ヘッドチップ４２とノズルシート４４とを熱圧着する。なお、ヘッドチップ４２とノズルシート４４との密着性をより確実なものとするために、更に温度を１２０〜１８０℃に上げて、数分間熱圧着を続けるようにしてもよい。その後、全体を温度１２０〜２００℃の範囲で数分〜数時間加熱するか、又は１〜５Ｊ／ｃｍ２の範囲で紫外線等の活性エネルギ線の照射して、接着層６２を完全硬化させ、接着層６２を介してノズルシート４４と回路基板６１とを接着する。これにより、図５に示すように、ノズルシート４４と回路基板６１と接着層６２とによってインク液室４６が形成され、またインク流路５１の一部も形成される。
【００６６】
なお、接着層６２を硬化させる際には、活性エネルギ線の照射又は熱処理のどちらか一方でも充分な硬化性が得られるが、両者を併用することにより硬化時間の短縮を図ることができる。接着層６２を硬化させる際の紫外線等の活性エネルギ線の照射は、ノズルシート４４が紫外線等の活性エネルギ線を透過するものの場合に行う。接着層６２を硬化させるための温度が１２０℃以下では、接着層６２の硬化が始まらず、２００℃以上では、接着層６２が軟化してパターン形状が不正確になるため好ましくない。上述したように、回路基板６１上に環化ゴム系樹脂と化学式１の化合物とを含む接着層６２をフォトリソプロセスで形成することによって、微細なインク液室４６及びインク流路５１を精度良く形成することができる。
【００６７】
次に、別の工程で組み立てられた流路板４１の流路形成部５２をフレーム４５の開口部４５ａに嵌め込み、流路形成部５２の底面とヘッドチップ４２の回路基板６１とを接着剤で接着する。ヘッドチップ４２と流路形成部５２とを接着することによって、図５に示すように、インク液室４６とインク流路５１とがインクｉを供給可能に接続されたインク吐出ヘッド３３が得られる。
【００６８】
以上のようなインク吐出ヘッド３３の製造方法では、ノズルシート４４と回路基板６１とを接着する接着層６２が紫外線等の活性エネルギ線で硬化する環化ゴム系樹脂と化学式１に示す化合物とを含有しているため、活性エネルギ線の照射及び加熱処理を行うことによって、ノズルシート４４及び回路基板６１に対して高い接着性が得られる。これにより、インク吐出ヘッド３３では、接着層６２と、ノズルシート４４や回路基板６１との界面において、接着層６２がノズルシート４４や回路基板６１から剥がれてしまうことを防止でき、インク液室４６やインク流路５１が変形せず、長期使用における信頼性が得られる。また、インク吐出ヘッド３３では、接着層６２と、ノズルシート４４や回路基板６１との界面において、接着層６２が剥離しないことによって、インクｉがこの界面から漏れることを防止できる。
【００６９】
また、このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、接着層６２を回路基板６１上にフォトリソプロセスで形成することにより、次のような作用効果が得られる。このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、微細なインク液室４６やインク流路５１を極めて簡単に形成することができ、更に複数のインク液室４６やインク流路５１を均一に形成することができる。このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、同じ構成の多数のインク吐出ヘッド３３を同時に作製することができる。このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、再現性が良好であり、連続且つ大量生産することができる。このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、製造工程数が減り、比較的少ない製造工程数でインク吐出ヘッド３３を製造することができ、生産性が良好となる。このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、ノズルシート４４と回路基板６１との位置合わせを容易で確実に行うことができ、寸法精度の高いインク吐出ヘッド３３を歩留まり良く得ることができる。このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、接着層６２の厚みの調整が極めて容易となり、インク液室４６の深さや高さ、インク流路５１の幅等を所望の寸法で容易に形成することができる。
【００７０】
また、このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、ノズルシート４４と回路基板６１との接着に、フォトリソプロセスで形成した接着層６２を用い、接着剤を使用しないため、接着剤がインクｉ中に流動して、微細なインク液室４６やインク流路５１が塞がれたり、発熱抵抗体６１ａに流動物が付着して機能低下を引き起こすことがなく、インクｉの吐出特性が低下することを防止できる。このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、接着層６２が回路基板６１上に塗布され、乾燥した後、流動性を持たないため、未照射部分を現像液で除去した後、除去した部分、即ちインク液室４６やインク流路５１に回路基板６１上に残存している接着層６２が流れ込んで塞ぐことを防止できる。
【００７１】
また、このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、色毎に、ヘッドチップ４２を記録紙Ｐの幅方向に亘って千鳥状に設けた高密度マルチアレイインク吐出ヘッドを容易に製造することができる。
【００７２】
また、インク吐出ヘッド３３の製造方法では、ガラス等を切削してインク液室４６やインク流路５１を形成しないため、ガラスをフッ化水素等の強酸類のエッチング液を用いて切削する必要がなく、作業効率が向上する。
【００７３】
以上のことから、このインク吐出ヘッド３３の製造方法では、環化ゴム系樹脂と化学式１の化合物を含有する接着層６２をフォトリソプロセスで形成することによって、微細なインク液室４６やインク流路５１が精度良く正確に形成でき、接着層６２がノズルシート４４や回路基板６１から剥離しないため、歩留まりがよく、安価で、信頼性の高い精密なインク吐出ヘッドを得ることができる。
【００７４】
以上のようにして得られたインク吐出ヘッド３３では、次のようにしてインクｉをノズル４３より吐出する。インク吐出ヘッド３３では、インクカートリッジ２１からカートリッジ本体３１に設けられた接続部３５を介して、流路板４１で形成されたインク流路５１にインクｉが供給され、インク流路５１からインク液室４６にインクｉが供給される。インク吐出ヘッド３３では、回路基板６１の制御回路が発熱抵抗体６１ａを駆動制御し、選択された発熱抵抗体６１ａに対して、パルス電流を供給し、発熱抵抗体６１ａを急速に加熱する。インク吐出ヘッド３３では、発熱抵抗体６１ａを加熱すると、図９（Ａ）に示すように、発熱抵抗体６１ａと接するインク液室４６内のインクｉに気泡ｂが発生する。そして、インク吐出ヘッド３３では、図９（Ｂ）に示すように、このインク液室４６内において、気泡ｂが膨張しながらインクｉを押圧し、押し退けられたインクｉが液滴状態でノズル４３より吐出される。インクｉが吐出された後は、インク流路５１を介してインクｉがインク液室４６に供給されることによって、再び吐出前の状態へと戻る。このようにして、インク吐出ヘッド３３では、インク液室４６に充填されたインクｉを繰り返し押圧することで、インク液滴を繰り返し吐出することができる。
【００７５】
上述したインク吐出ヘッド３３のインクｉが吐出される吐出面３３ａを保護するためのヘッドキャップ３４は、図２に示すように、インクｉを吐出せず、印刷をしない間、インク吐出ヘッド３３の吐出面３３ａを閉塞し、ノズル４３を乾燥等から保護している。印刷を行う際には、ヘッドキャップ３４は、図２及び図１０に示すように、ヘッドカートリッジ２の底面から装置本体３の前方、即ち図２中矢印Ａ１方向に移動し、インク吐出ヘッド３３の吐出面３３ａを外部に露出させる。印刷を行った後には、ヘッドキャップ３４は、図２に示すように、装置本体３の前方からヘッドカートリッジ２の底面、即ち図２中矢印Ａ２方向に移動し、インク吐出ヘッド３３の吐出面３３ａを保護する。
【００７６】
このヘッドキャップ３４には、吐出面３３ａに付着している余分なインクｉを拭き取るクリーニングローラ３４ａが設けられている。ヘッドキャップ３４は、吐出面３３ａを開放する際に、クリーニングローラ３４ａで吐出面３３ａをクリーニングし、吐出面３３ａに付着している余分なインクｉやノズルシート４４の表面に付着している増粘したインクｉを吸引する。なお、ヘッドキャップ３４は、印刷後にヘッドカートリッジ２の底面に移動する際に、クリーニングローラ３４ａで吐出面３３ａをクリーニングするようにしてもよい。
【００７７】
上述した構成のヘッドカートリッジ２が装着される装置本体３には、図１に示すように、ヘッドカートリッジ装着部９１にヘッドカートリッジ２が装着される。また、装置本体３には、前面下側に設けられた給紙口９２に印刷される前の記録紙Ｐを積層して収納された給紙トレイ９３が取り付けられ、前面上側に設けられた排紙口９４に印刷後の記録紙Ｐを収納する排紙トレイ９５が取り付けられている。
【００７８】
以上のような構成からなるプリンタ装置１は、外部に設けられた情報処理装置から入力された印刷データに基づき印刷を行う。即ち、プリンタ装置１では、ヘッドキャップ３４を図示しないヘッドキャップ開閉機構によりヘッドカートリッジ２の底面から装置本体３の前面側に移動する。これにより、プリンタ装置１は、インク吐出ヘッド３３の吐出面３３ａに設けられたノズル４３が外部に露出し、インクｉが吐出できるようになる。
【００７９】
次に、プリンタ装置１は、装置本体３に設けられた操作ボタン３ａの操作により、図１０に示すように、複数の給紙ローラ９６、９７、９８で、給紙トレイ９３から１枚だけ記録紙Ｐを引き出す。プリンタ装置１は、給紙トレイ９３から引き出した記録紙Ｐを反転ローラ９９でヘッドカートリッジ２側に反転し、搬送ベルト１００で吐出面３３ａと対向する位置に設けられたプラテン板１０１上に搬送し、記録紙Ｐが吐出面３３ａと対向するようになる。
【００８０】
次に、プリンタ装置１は、インク吐出ヘッド３３に色毎に設けられた複数の発熱抵抗体６１ａに印刷データの制御信号に基づいて、駆動電流を供給し、色毎に発熱抵抗体６１ａを加熱する。プリンタ装置１は、発熱抵抗体６１ａを加熱することによって、記録紙Ｐに対して、イエローのノズルライン４３ｙ、マゼンタのノズルライン４３ｍ、シアンのノズルライン４３ｃ、ブラックのノズルライン４３ｋの順で、図１０に示すように、ノズル４３より上述した各色のインクｉを色毎に液滴の状態にして吐出し、複数の色からなるカラー画像や文字を印刷する。
【００８１】
次に、プリンタ装置１は、印刷が終わった記録紙Ｐを排紙口９４方向に回転する搬送ベルト１００と、搬送ベルト１００と対向して設けられた排紙ローラ１０２とによって、記録紙Ｐを排紙口９４に送り出し、排紙トレイ９５に印刷後の記録紙Ｐを排紙する。
【００８２】
以上のように、プリンタ装置１では、インク吐出ヘッド３３において、ノズルシート４４と回路基板６１とを環化ゴム系樹脂と化学式１に示す化合物を含有する接着層６２をフォトリソプロセスで形成し、紫外線照射や加熱処理を行うことにより、接着層６２とノズルシート４４及び回路基板６１との接着性が向上し、接着層６２がノズルシート４４や回路基板６１から剥がれたりせず、インク吐出ヘッド３３が変形しないため、長期的な信頼性が高くなっている。このため、このプリンタ装置１では、インクｉがインク流路５１からインク液室４６に適切に供給され、インク液室４６内で発熱抵抗体６１ａによって適切に加熱され、インクｉの吐出が途切れたり、吐出不能とならず、安定にインクｉを吐出することができるため、高品位な画像や文字を印刷することができる。
【００８３】
以上では、インク吐出ヘッド３３において、ヘッドチップ４２を記録紙Ｐの幅方向（Ｗ方向）に千鳥状に複数並設したが、このことに限らず、回路基板６１をインク吐出ヘッド３３の底面とほぼ同じ大きさに形成し、記録紙Ｐの幅方向に並設したノズル４３すべてにインクｉが行き渡るように、ノズルライン４３ｙ、４３ｍ、４３ｃ、４３ｋにほぼ沿って、インク流路となる貫通孔を形成してもよく、この場合であっても接着層６２で回路基板６１とノズルシート４４とを良好に接着し、信頼性を得ることができる。
【００８４】
また、インク吐出ヘッド３３では、本発明を適用した接着層６２を回路基板６１とノズルシート４４との接着に用いたが、このことに限らず、リソグラフィ方法を適用してパターン形成しなければ、他の部材間の接着にも用いることができ、他の部材間の接着にも用いることで、更に信頼性を向上させるようにしてもよい。
【００８５】
また、上述したプリンタ装置１では、本発明を適用した接着層６２をフルカラーのインク吐出ヘッド３３に適用したものを例に挙げて説明したが、このことに限らず、モノカラーのインク吐出ヘッドにも本発明の接着層６２を適用することができる。また、上述したプリンタ装置１では、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインク吐出ヘッド３３が一体に形成されているが、このことに限らず、１色毎に独立したインク吐出ヘッドとしてもよい。
【００８６】
また、上述したプリンタ装置１では、１つの発熱抵抗体６１ａがインクｉを加熱して吐出するインク吐出ヘッド３３を例に挙げて説明したが、このような構造に限定されることはなく、複数の圧力発生素子を備え、各圧力発生素子に異なるエネルギ又は異なるタイミングでエネルギを供給することで吐出方向を制御することが可能な液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置にも適用可能であり、この場合であっても液体吐出ヘッドの信頼性を向上させることができる。
【００８７】
また、上述したプリンタ装置１では、１つの発熱抵抗体６１ａによってインクｉを加熱しながらノズル４３から吐出させる電気熱変換方式を採用しているが、このような方式に限定されず、例えばピエゾ素子といった圧電素子等の電気機械変換素子等によってインクｉを電気機械的にノズル４３より吐出させる電気機械変換方式を採用したものであってもよく、この場合であってもインク吐出ヘッドの信頼性を向上させることができる。
【００８８】
また、ライン型のプリンタ装置１を例に挙げて説明したが、このことに限定されることはなく、例えばインク吐出ヘッドが記録紙Ｐの走行方向と略直交する方向に移動するシリアル型の液体吐出装置にも適用可能であり、この場合であってもインク吐出ヘッドの信頼性を向上させることができる。
【００８９】
また、本発明は、プリンタ装置１に限定されるものではなく、液体を吐出する他の液体吐出装置に広く適用することが可能である。例えば液体中のＤＮＡチップ用吐出装置、プリンタ配線基板の配線パターンを形成するための導電性粒子を含む液体を吐出したりする液体吐出装置等にも適用可能であり、これらの液体吐出装置でもプリンタ装置１と同様に信頼性を向上させることができる。
【実施例】
【００９０】
以下に、本発明を適用したプリンタ装置を用いて、インク吐出ヘッドの信頼性について評価した。
【００９１】
〈実施例１〉
実施例１では、次のようにして、インク吐出ヘッドを作製した。
【００９２】
先ず、記録紙の幅方向に複数のノズルを色毎に並設したニッケルを主成分としたノズルシートを電鋳により作製した。作製したノズルシートとフレームを熱硬化型のシート接着剤で貼り合わせた。なお、１色あたりのノズル数は、５０００である。
【００９３】
別工程で、発熱抵抗体が設けられた回路基板上に、回路基板とノズルシートを接着する接着層を形成した。具体的には、回路基板の発熱抵抗体が設けられた面の全面に、環化ゴム系樹脂と化学式１に示す化合物とを溶媒に溶解させて作製した塗布液をマニュアルスピンコータで塗布し、活性エネルギ線の紫外線の照射により硬化する接着層を厚み約１２μｍで形成した。塗布液は、環化ゴム系樹脂として東京応化工業株式会社製の商品名ＯＭＲ−８３を用い、化学式１に示す化合物として新日本理化株式会社製の商品名  リカレジンＺ−１００を用い、溶媒中に環化ゴム系樹脂１００重量部に対して化合物を３重量部含有させて作製した。塗布液のスピンコートの条件は、１０００ｒｐｍ／３０ｓとした。
【００９４】
次に、インク液室及びインク流路となる部分と対向する部分が遮光されたマスクを介して、紫外線等の活性エネルギ線の紫外線を接着層に、ミラープロジェクションアライナーで７２０ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射して露光し、接着層を選択的に半硬化させた。
【００９５】
次に、未照射部分であるインク液室及びインク流路となる部分の接着層を現像液を用いて除去し、接着層を櫛歯形状に形成して、インク液室及びインク流路の一部を形成した。
【００９６】
次に、回路基板上の樹脂層に対して、ホットプレートで加熱処理を行い、柔軟性及び粘着性を付与し、ヘッドチップを作製した。加熱処理の条件は、８５℃／１５ｍｉｎとした。
【００９７】
次に、得られたヘッドチップをフレームに貼り合わされたノズルシートと接着した。具体的には、フレームの開口部にヘッドチップの接着層がノズルシートと対向し、回路基板上に設けられた発熱抵抗体とノズルとが対向するように、ヘッドチップをノズルラインに沿って千鳥状にノズルシート上に載置する。そして、ヘッドチップとノズルシートとを熱圧着した。熱圧着の条件は、８５℃／５ｍｉｎとした。
【００９８】
次に、加熱処理を行い、接着層を完全硬化させ、この接着層でノズルシートと回路基板とを接着した。加熱処理の条件は、１３０℃／４ｈとした。これにより、ノズルシートと回路基板と接着層とによってインク液室が形成され、またインク流路の一部も形成され、インク吐出ヘッドを作製した。
【００９９】
〈実施例２〉
実施例２では、接着層を形成する塗布液を、実施例１と同様の環化ゴム系樹脂及び化合物を用い、溶媒中に環化ゴム系樹脂１００重量部に対して化合物を１０重量部含有させて作製したこと以外は実施例１と同様してインク吐出ヘッドを作製した。
【０１００】
〈実施例３〉
実施例３では、接着層を形成する塗布液を、実施例１と同様の環化ゴム系樹脂及び化合物を用い、溶媒中に環化ゴム系樹脂１００重量部に対して化合物を２０重量部含有させて作製したこと以外は実施例１と同様してインク吐出ヘッドを作製した。
【０１０１】
〈比較例１〉
比較例１では、樹脂層を形成する塗布液を、実施例１と同様の環化ゴム系樹脂のみを溶媒中に溶解させて作製したこと以外は実施例１と同様にしてインク吐出ヘッドを作製した。
【０１０２】
以上のようにして作製した実施例１〜実施例３、及び比較例１のインク吐出ヘッドを上述したようなライン型のプリンタ装置（ソニー株式会社製、インクジェットプリンタ装置ＬＰＲ−５０００）に設け、インク吐出ヘッドの長期印画における信頼性について評価した。
【０１０３】
この評価では、２種類のインクを用いた。インク１として、インクジェットプリンタ装置ＬＰＲ−５０００用として市販されているインクを用いた。インク２として、染料のダイレクトブルー１９９を３ｗｔ％、溶媒のエチレングリコールを８ｗｔ％、ジエチレングリコールを４ｗｔ％、グリセリンを８ｗｔ％、界面活性剤のオルフィンＥ１０１０（日信化学工業株式会社製）を０．４ｗｔ％、トリエタノールアミンを０．３ｗｔ％、水を７６．３ｗｔ％含有するインクを用いた。
【０１０４】
評価１は、被記録媒体２万枚に対して、印刷を行った後に不吐出のノズル本数を数えた。なお、１色当たりのノズル数は５０００である。不吐出のノズル数を以下の表１に示す。
【０１０５】
【表１】
2009172837.tif 000005
【０１０６】
評価１では、評価試験を行った後、評価を行ったインク吐出ヘッドを分解確認してみたところ、比較例１のヘッドチップの剥離を確認することができたのに対して、実施例１〜実施例３では剥離らしきものを確認することができなかった。このことから、実施例１〜実施例３のインク吐出ヘッドでは、本発明を適用した環化ゴム系樹脂と化学式１に示す化合物とからなる接着層で回路基板とノズルシートを貼り合わせているため、ヘッドチップの剥離が生じなかった。これにより、実施例１〜実施例３は、インク吐出ヘッドが変形しなかったため、２万枚印刷を行っても不吐出ノズルが発生しなかった。これに対して、比較例１では、接着層が環化ゴム系樹脂のみからなり、化学式１の化合物が含有されていないため、接着層の回路基板やノズルシートに対する接着力が弱く、ヘッドチップの剥離が生じ、インク吐出ヘッドが変形し、不吐出ノズルが発生した。
【０１０７】
評価２は、実施例１〜実施例３及び比較例１で作製したヘッドチップをインク１及びインク２に浸漬させ、６０℃１週間放置し、接着層の剥離を確認した。確認結果を以下の表２に示す。
【０１０８】
【表２】
2009172837.tif 000006
【０１０９】
この評価２は、通常環境における１年ほどの放置に相当する加速試験になる。この評価２において、表２に示すように、実施例１〜実施例３では、接着層の剥離がなく、比較例１ではやはり回路基板から接着層が剥離していることが確認できた。実施例１〜実施例３では、本発明を適用した環化ゴム系樹脂と化学式１の化合物とからなる接着層が回路基板上に形成されているため、接着力が高く、インク中に６０℃１週間放置しても剥離が生じなかった。一方、比較例１では、接着層が環化ゴム系樹脂のみからなり、化学式１の化合物が含有されていないため、接着力が弱く、インク中に６０℃１週間放置してしまうと、回路基板から接着層が剥離してしまった。
【０１１０】
以上、評価１及び評価２より、環化ゴム系樹脂に化学式１に示す化合物を添加することで、インク吐出ヘッドの品質の耐久性が向上し、長期間における信頼性が得られることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明が適用されたプリンタ装置を示す斜視図である。
【図２】同プリンタ装置に備わるヘッドカートリッジを示す斜視図である。
【図３】同ヘッドカートリッジを示す断面図である。
【図４】インク吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図５】同インク吐出ヘッドの断面図である。
【図６】ヘッドチップとノズルシートとの関係を示す一部斜視図である。
【図７】ヘッドチップの製造工程を示す断面図であり、図中（Ａ）は、回路基板上に樹脂層を形成した状態を示す断面図であり、（Ｂ）は、樹脂層をパターニングした状態を示す断面図である。
【図８】ヘッドチップとノズルシートとを貼り合わせたものの一部斜視図である。
【図９】インク吐出ヘッドを示す一部断面図であり、図中（Ａ）は、発熱抵抗体上に気泡が発生した状態を示す断面図であり、図中（Ｂ）は、気泡が成長し、インクが吐出された状態を示す断面図である。
【図１０】プリンタ装置を一部透視して示す側面図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１  プリンタ装置、２  ヘッドカートリッジ、３  装置本体、２１  インクカートリッジ、３１  カートリッジ本体、３３  インク吐出ヘッド、３４  ヘッドキャップ、３５  接続部、４１  流路板、４２  ヘッドチップ、４３  ノズル、４４  ノズルシート、４５  フレーム、４６  インク液室、５１  インク流路、５２  流路形成部、５３  流路接続部、６１  回路基板、６１ａ  発熱抵抗体、６３  接着層
【図１】
2009172837.tif 000010
【図２】
2009172837.tif 000011
【図３】
2009172837.tif 000012
【図４】
2009172837.tif 000013
【図５】
2009172837.tif 000014
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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