(57)【要約】【課題】検査装置の始業点検を必ず実施させる検査装置を提供する。【解決手段】被検査対象を検査する検査回路と、検査回路を制御する検査回路制御手段と、被検査対象の識別子を読み込む情報読込手段と、読み込んだ前記識別子を情報として処理する情報処理手段とを有し、検査装置起動後、予め定めてある識別子を有する被検査対象の良否を判断し、予め定めてある識別子が良好と判断されなければ、他の被検査対象を検査しないようにする。【選択図】図１
2009145084.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象を検査する検査回路と、
前記被検査対象に記録された識別子を読み込む情報読込手段とを有し、
予め決められた識別子を有する被検査対象の検査結果から良否の判断を行い、前記検査結果から良好と判断されなければ、他の被検査対象を検査しないことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
任意の時間ごとに、前記良否の判断を行い、前記検査結果から良好と判断されなければ、他の被検査対象を検査しないことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記検査結果から良好と判断された場合であっても、任意の時間以上になると、再度、前記良否の判断を行い、前記検査結果から良好と判断されなければ、他の被検査対象を検査しないことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項４】
前記他の被検査対象の検査において、不合格が発生すると、再度、前記予め決められた識別子を有する被検査対象の検査を行うことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項５】
任意の枚数ごとに、前記良否の判断を行い、前記検査結果から良好と判断されなければ、他の被検査対象を検査しないことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項６】
前記予め決められた識別子を有する被検査対象の検査結果の値が、予め定めてある値と一定以上差があると判断した場合、検査機の修理を促すことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の検査を行う検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
始業点検を行う装置に関して、例えば、以下に記載する特許文献１が存在する。
【０００３】
特許文献１は、始業点検指示を出力する点検指示出力手段と、原動機の起動スイッチのオンに伴って点検指示出力手段を作動させる制御手段とを備えた建設機械の始業点検指示装置において、起動スイッチの前回の操作と今回の操作の間の経過時間を検出する時間検出手段を備え、制御手段は、時間検出手段で検出された経過時間が所定時間以上の場合には点検指示出力手段を作動させ、経過時間が所定時間未満の場合には点検指示出力手段の作動を禁止することが開示されている。
【０００４】
原動機の起動スイッチを押したとき、以前押した時からどれだけ時間が経っているか計測し、時間が経っていれば始業点検を促す方法により、始業点検が必要なときにのみその旨の指示を行うことが可能となる。
【特許文献１】特開平０６−０２４６８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、本来、製品の検査は、検査機の始業点検を行い、良品基板で正しい結果が出ることを確認した後に行った方が良い。
【０００６】
しかしながら、現状は、始業点検を行わなくても製品検査ができるため、異常な状態の検査機で、製品検査を行ってしまう可能性がある。
【０００７】
また、始業点検を行わないと検査機が壊れていたり、時間に伴った劣化が生じること、測定値が少しずつ変わっていてもそれに気付かず製品基板の検査を行ってしまうこと、本来、良品とすべき基板を不良品に、不良品とすべき基板を良品にしてしまう等の問題があった。
【０００８】
本発明は、検査装置の始業点検を必ず実施させる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、本発明にかかる第１の検査装置は、被検査対象を検査する検査回路と、前記被検査対象に記録された識別子を読み込む情報読込手段とを有し、予め決められた識別子を有する被検査対象の検査結果から良否の判断を行い、前記検査結果から良好と判断されなければ、他の被検査対象を検査しないことを特徴とする。
【００１０】
本発明にかかる第２の検査装置は、第１の検査装置において、任意の時間ごとに、前記良否の判断を行い、前記検査結果から良好と判断されなければ、他の被検査対象を検査しないことを特徴とする。
【００１１】
本発明にかかる第３の検査装置は、第１の検査装置において、前記検査結果から良好と判断された場合であっても、任意の時間以上になると、再度、前記良否の判断を行い、前記検査結果から良好と判断されなければ、他の被検査対象を検査しないことを特徴とする。
【００１２】
本発明にかかる第４の検査装置は、第１の検査装置において、前記他の被検査対象の検査において、不合格が発生すると、再度、前記予め決められた識別子を有する被検査対象の検査を行うことを特徴とする。
【００１３】
本発明にかかる第５の検査装置は、第１の検査装置において、任意の枚数ごとに、前記良否の判断を行い、前記検査結果から良好と判断されなければ、他の被検査対象を検査しないことを特徴とする。
【００１４】
本発明にかかる第６の検査装置は、第１の検査装置において、前記予め決められた識別子を有する被検査対象の検査結果の値が、予め定めてある値と一定以上差があると判断した場合、検査機の修理を促すことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、管理された良品基板で点検を行い、合格とならなければ、検査ステートへ遷移できないとすることで、点検を行わない限り検査を実施出来なくなり、製品検査の品質を保証することが可能となる検査装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明にかかる検査装置について好適もしくは、最良と思われる実施の形態を以下に説明する。
以下に記載する実施の形態は、これに限定されるものではなく、当業者が容易に想到できる範囲内において、修正、変更可能とする。
【００１７】
（第１の実施形態）
本発明にかかる検査装置の構成について図１を用いて説明する。
図１は、本発明にかかる検査装置の構成を示す機能ブロック図を示す。
【００１８】
基板の良否を判定する検査装置１は一例として、被検査対象２を検査する検査回路１１と、検査回路を制御する検査回路制御手段１２と、被検査対象の識別子２０を読み込む情報読み込み手段１３と、読み込んだ情報を処理する情報処理手段１４とを備える。
【００１９】
本実施形態にかかる検査装置は、検査装置起動後，ある決められた識別子を持った被検査対象を検査しないと，他の被検査対象を検査できないようにされている。
【００２０】
なお識別子２０は、被検査対象を識別できる手段であれば何でも良い。
識別子２０の媒体例としては、バーコード、２次元バーコード、ＲＦＩＤ（Radio Frequency IDentification）等を挙げることができる。
【００２１】
識別子２０の媒体に記憶された情報として、被検査対象に対し固有に与えられるシリアル番号、ＭＡＣアドレス等をあげる事が出来る。
【００２２】
検査ソフトウェア１５は、ユーザからの操作をマウス、キーボードといった入出力装置から受け付けて、外部記憶装置に保存されている検査プログラムが主メモリに展開し、ＣＰＵで情報処理され、検査回路制御手段１２を制御して、検査回路１１を動作させ、被検査対象を検査する。
【００２３】
上述した情報処理手段１４について図２を用いて説明する。
上述した情報処理手段１４は、図２では、情報処理装置２４を示す。
図２は、本発明にかかる情報処理装置（情報処理手段）の構成の一例を示す図である。
【００２４】
図２において、情報処理装置２４は、ＣＰＵ２４１と、主メモリ２４２と、入出力インタフェース２４３とを有して、コンピュータ処理を行なう装置であり、入出力インタフェース２４３によって、表示装置２１と、入力装置２２と、外部記憶装置２３と、光ディスク２５と、駆動装置２６と、通信装置２７とに接続されている。
【００２５】
表示装置２１は、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）やＬＣＤ(Liquid Crystal Display)等からなる装置である。
【００２６】
入力装置２２は、キーボードやマウス等からなる装置である。
【００２７】
外部記憶装置２３は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）等からなる装置である。
【００２８】
光ディスク２５は、プログラムやデータを記録したＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc-Read Only Memory）もしくはＤＶＤ（Digital Video Disc/Digital Versatile Disc）等からなる。
【００２９】
駆動装置２６は、光ディスク２５に記録されたプログラムおよびデータを読み出すための装置である。
【００３０】
通信装置２７は、ＬＡＮ（Local Area Network）カードやモデム等からなる装置である。
【００３１】
光ディスク２５に格納されたプログラムおよびデータを情報処理装置２４により駆動装置２６を介して外部記憶装置２３内にインストールした後、外部記憶装置２３から主メモリ２４２に読み込みＣＰＵ２４１で処理することにより、図１に示す情報処理装置１４内に示す回路基板検査装置を制御する回路基板検査制御部手段（回路基板検査制御部）１５が構成される。
【００３２】
本実施形態にかかる検査装置が行う処理について、始めに図３を用いて説明する。
図３は、本発明にかかる検査ソフトウェアの状態遷移図を示す。
以後、始業点検に使用する、ある決められた識別子を持った良品基板のことをマスター基板と呼ぶことにする。
【００３３】
本実施形態は、検査ソフトウェア上、最初に、マスター基板の識別子を入力し、検査を行い、検査結果が合格でなければ、製品の検査ができない。
【００３４】
以下に検査ソフトウェアの状態遷移図の説明を行う。以下の表１に図３のステートの説明を示す。
【表１】
2009145084.tif 000003
【００３５】
次に図３を用いて状態遷移の説明を行う。
（１）検査ソフトウェアは起動時、製品検査フラグＯＦＦの状態で、始業点検ステートに遷移する。
※製品検査フラグ：製品検査を実行する為のソフトウェア内部フラグ
（２）ソフトウエアを終了させると、電源ＯＦＦステートに遷移する。
（３）マスター基板の識別子を情報読み込み手段より入力し、マスター基板の検査を実施する。その結果がＯＫの場合、製品検査フラグがＯＮになり、製品検査ステートに遷移する。詳細を図４を用いて後述する。
（４）ソフトウエアを終了させると、製品検査フラグをＯＦＦにし、電源ＯＦＦステートに遷移する。
【００３６】
以下に図４、図５を用いて製品検査ステートの遷移について説明する。
図４は、本実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
Ａ１は、ステップＳ１０１の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ２は、ステップＳ１１１の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ３は、ステップＳ１１０の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
【００３７】
始業点検ステートにおいて、製品検査フラグＯＦＦ、検査可能フラグＯＦＦとされている（ステップＳ１０１）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態であり、かつ、検査スタートボタンが押せない状態となっている。
【００３８】
ステップＳ１０１の状態で、情報読取手段から読み取った検査対象の工番の情報をメモリに展開する（ステップＳ１０２）。
【００３９】
ステップＳ１０２の処理後、マスター基板の工番を記憶装置からメモリに展開する（ステップＳ１０３）。
【００４０】
ステップＳ１０３の処理後、マスター基板の工番と読み取った工番とが等しいか否かを演算装置が比較（ステップＳ１０４）。
【００４１】
ステップＳ１０４の処理で、演算装置が等しい否かを判断する（ステップＳ１０５）。
【００４２】
ステップＳ１０５の処理で、演算装置が等しいと判断した場合（ステップＳ１０５／ＹＥＳ）、検査フラグＯＮ（検査スタートボタンが押せる状態）になる（ステップＳ１０６）。
【００４３】
ステップＳ１０５の処理で、演算装置が等しくないと判断した場合（ステップＳ１０５／ＮＯ）、始業点検を促すメッセージを情報出力装置に出力する（ステップＳ１１１）。
【００４４】
ステップＳ１０６の処理で、検査フラグＯＮ（検査スタートボタンが押せる状態）した後、検査の結果をメモリに展開する（ステップＳ１０７）。
【００４５】
ステップＳ１０７の処理で、検査の結果をメモリに展開した後、検査結果が合格か演算装置が判断（ステップＳ１０８）。
【００４６】
ステップＳ１０８の処理で、検査結果が合格か否かを演算装置が判断する（ステップＳ１０９）。
【００４７】
ステップＳ１０９の処理で、検査結果が合格と演算装置が判断した場合（ステップＳ１０９／ＹＥＳ）、製品検査フラグＯＮとなり、検査可能フラグＯＦＦの状態となる（ステップＳ１１０）。この状態では、製品検査ができる状態であり、かつ、検査スタートボタンが押せない状態である。
【００４８】
ステップＳ１０５の処理で、検査結果が合格と演算装置が判断した場合（ステップＳ１０９／ＹＥＳ）、製品検査フラグＯＮとなり、検査可能フラグＯＦＦの状態となる（ステップＳ１１２）。この状態では、製品検査ができる状態であり、かつ、検査スタートボタンが押せない状態である。
【００４９】
図５は、本発明にかかるソフト画面を説明するための図である。
Ａ１は、現在のステートを表示する。
Ａ２は、現在項目を表示する。
Ａ３は、各検査項目の検査結果を表示する。
Ａ４は、情報読取手段より、読み取った被検査基板の工番を表示する。
Ａ５は、作業者命を表示する。
Ａ６は、総合判定を表示する。
Ａ７は、スタートボタンを示す。検査スタートできる状態になると、スタートと表示され、マウスでクリックすると、検査を開始する。
Ａ８は、ストップボタンを示す。検査を中止したい時に、クリックすると検査を中止する。
Ａ９は、作業者に伝えたいメッセージを表示する。
【００５０】
図６を用いて検査ソフト起動から終了までの流れを記載したフローチャートである。
【００５１】
ソフトウェアを起動する（ステップＳ１００１）。
【００５２】
ステップＳ１００１の処理後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ１００２）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態である。
【００５３】
ステップＳ１００２の処理で、始業点検ステートに移行後、マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実行する（ステップＳ１００３）。
【００５４】
ステップＳ１００３の処理で、マスター基板の検査を実行後、検査結果がＯＫか否かの判定を行う（ステップＳ１００４）。
【００５５】
ステップＳ１００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定された場合（ステップＳ１００４／ＹＥＳ）、製品検査ステートに移行する（ステップＳ１００５）。製品検査ができる状態である。
【００５６】
ステップＳ１００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定されなかった場合（ステップＳ１００４／ＮＯ）、ステップＳ１００２の処理に戻る。
【００５７】
ステップＳ１００５の処理で、製品検査ステートに移行後、製品基板の識別子を入力し、製品基板の検査を実施する（ステップＳ１００６）。
【００５８】
ステップＳ１００６の処理で、製品基板の検査を実施後、検査が終了したか否かの判定を行う（ステップＳ１００７）。
【００５９】
ステップＳ１００７の処理で、検査が終了したと判定した場合（ステップＳ１００７／ＹＥＳ）、ソフトウェア終了とする（ステップＳ１００８）。
【００６０】
ステップＳ１００７の処理で、検査が終了したと判定されなかった場合（ステップＳ１００７／ＮＯ）、ステップＳ１００２の処理に戻る。
【００６１】
本実施形態によれば、管理された良品基板で点検を行い合格とならなければ、検査ステートへ遷移できないので、点検を行わないで、検査を実施出来なくなり、製品検査の品質を保証する事が可能となる。
【００６２】
（第２の実施形態）
本発明にかかる第２の実施形態について説明する。
本実施形態にかかる検査装置および情報処理装置は、第１の実施形態の構成とする。
【００６３】
図７に本実施形態にかかる検査ソフトウェアの状態遷移図を示す。
【００６４】
本実施形態では、検査ソフトウェア上、最初に、マスター基板の識別子を入力し、検査を行い、検査結果が合格でなければ、製品の検査ができない検査機の実施の形態である。
また、製品の検査ができる状態になってから、８時間が経過すると、再度、マスター基板の検査を実施しないと製品の検査ができなこととする。
【００６５】
以下に検査ソフトウェアの状態遷移図の説明を行う。以下の表２に図７のステートの説明を示す。
【表２】
2009145084.tif 000004
【００６６】
次に図７を用いて状態遷移の説明を行う。
（１）検査ソフトウェアは起動時、製品検査フラグＯＦＦの状態で、始業点検ステートに遷移する。
※製品検査フラグ：製品検査を実行する為のソフトウェア内部フラグ
（２）ソフトウェアを終了させると、電源ＯＦＦステートに遷移する。
（３）マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実施する。その結果がＯＫの場合、製品検査フラグがＯＮになり、製品検査ステートに遷移する。製品検査ステートにいる時間を把握するためのタイマーを起動する。詳細は、第１の実施形態で説明した図４の説明である。
（４）製品検査ステートに遷移してから、８時間時間が経過すると、製品検査フラグがＯＦＦになり、始業点検ステートに遷移する。タイマーを終了する。詳細を図８を用いて後述する。
（５）ソフトウェアを終了させると、製品検査フラグをＯＦＦにし、電源ＯＦＦステートに遷移する。
【００６７】
以下に図８、図９を用いて製品検査ステートの遷移について説明する。
図８は、本実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
Ａ１は、ステップＳ２０１の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ２は、ステップＳ２０９の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ３は、ステップＳ２１２の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
【００６８】
製品検査ステートにおいて、製品検査フラグＯＮ、検査可能フラグＯＦＦとされている（ステップＳ２０１）。この状態では、始業検査ができる状態であり、かつ、検査スタートボタンは、押せない状態である。
【００６９】
ステップＳ２０１の状態で、タイマーを起動し、カウントを開始する（ステップＳ２０２）。
【００７０】
ステップＳ２０２の処理後、タイマーの値をメモリに展開する（ステップＳ２０３）。
【００７１】
ステップＳ２０３の処理後、設定した時間をメモリに展開する（ステップＳ２０４）。本実施形態では、このタイマーの設定時間は、８時間となる。
【００７２】
ステップＳ２０４の処理で、演算装置が等しい否かを判断する（ステップＳ２０５）。
【００７３】
ステップＳ２０５の処理で、演算装置によって、タイマーの値が８時間を越えているか否かの判定を行う（ステップＳ２０６）。
【００７４】
ステップＳ２０６の処理で、演算装置によって、タイマーの値が８時間を越えていると判定された場合（ステップＳ２０６／ＹＥＳ）、製品検査フラグＯＦＦ（製品検査ができない状態）になる（ステップＳ２０７）。
【００７５】
ステップＳ２０６の処理で、演算装置によって、タイマーの値が８時間を越えていないと判定された場合（ステップＳ２０６／ＮＯ）、情報読取手段から読み取った検査対象の工番の情報をメモリに展開する（ステップＳ２１０）。
【００７６】
ステップＳ２０７の処理で、製品検査フラグＯＦＦ（製品検査ができない状態）になった後、タイマーを終了する（ステップＳ２０８）。
【００７７】
ステップＳ２０８の処理で、タイマーを終了後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ２０９）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態である。
【００７８】
ステップＳ２１０の処理で、情報読取手段から読み取った検査対象の工番の情報をメモリに展開後、演算装置によって、工番が読み込まれたことを判断する（ステップＳ２１１）。
【００７９】
ステップＳ２１１の処理で、演算装置によって、工番が読み込まれたことを判断する後、検査可能フラグ（製品スタートボタンが押せる状態）ＯＮとする（ステップＳ２１２）。
【００８０】
ステップＳ２１２の処理で、検査可能フラグ（製品スタートボタンが押せる状態）ＯＮとなった後、検査を実施する（ステップＳ２１３）。
【００８１】
ステップＳ２１３の処理で、検査を実施後、検査可能フラグＯＦＦ（検査スタートボタンが押せない状態）となる（ステップＳ２１４）。
【００８２】
図９に本実施形態にかかるタイマー設定画面の一例を示す。
図９にタイマーの設定を行うプログラム設定画面であり、始業点検ステート、または、製品検査ステートにて、設定画面を呼び出すと、この画面が表示手段に表示され、タイマーを設定することが出来る。タイマー値は、ｉｎｉファイル等に保存され、次回検査ソフトウェア起動時に検査ソフトウェアにより読み取られる。
【００８３】
図１０を用いて本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを説明する。
図１０は、本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを説明するためのフローチャートである。
【００８４】
ソフトウェアを起動する（ステップＳ２００１）。
【００８５】
ステップＳ２００１の処理後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ２００２）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態である。
【００８６】
ステップＳ２００２の処理で、始業点検ステートに移行後、マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実行する（ステップＳ２００３）。
【００８７】
ステップＳ２００３の処理で、マスター基板の検査を実行後、検査結果がＯＫか否かの判定を行う（ステップＳ２００４）。
【００８８】
ステップＳ２００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定された場合（ステップ２００４／ＹＥＳ）、製品検査ステートに移行する（ステップＳ２００５）。製品検査ができる状態である。
【００８９】
ステップＳ２００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定されなかった場合（ステップＳ２００４／ＮＯ）、ステップＳ２００２の処理に戻る。
【００９０】
ステップＳ２００５の処理で、製品検査ステートに移行後、８時間が経過したか否かの判断を行う（ステップＳ２００６）。
【００９１】
ステップＳ２００６の処理で、８時間が経過したと判定した場合（ステップＳ２００６／ＹＥＳ）、製品基板の識別子を入力し、製品基板の検査を実施する（ステップＳ２００７）。
【００９２】
ステップＳ２００６の処理で、検査が終了したと判定されなかった場合（ステップＳ２００６／ＮＯ）、ステップＳ２００２の処理に戻る。
【００９３】
ステップＳ２００７の処理で、製品基板の検査を実施後、検査が終了したか否かの判断を行う（ステップＳ２００８）。
【００９４】
ステップＳ２００８の処理で、検査が終了したと判断した場合（ステップＳ２００８／ＹＥＳ）、ソフトウェア終了とする（ステップＳ２００９）。
【００９５】
ステップＳ２００８の処理で、検査が終了したと判定されなかった場合（ステップＳ２００７／ＮＯ）、ステップＳ２００２の処理に戻る。
【００９６】
本実施形態によれば、第１の実施形態にかかる効果に加え、定期的に始業点検を行わせることにより、検査機の異常をいち早く知ることができる。
【００９７】
（第３の実施形態）
本発明にかかる第３の実施形態について説明する。
本実施形態にかかる検査装置および情報処理装置は、第１の実施形態の構成とする。
【００９８】
本実施形態では、検査ソフトウェア上、最初に、マスター基板の識別子を入力し、検査を行い、検査結果が合格でなければ、製品の検査ができない検査機の態様を示す。
本実施形態では、製品の検査ができる状態になってから、検査をしていない時間が１０分以上経過すると、再度、マスター基板の検査を実施しないと製品の検査ができないこととする。
【００９９】
次に検査ソフトウェアの状態遷移図の説明を行う。下表３に図１１のステートの説明を示す。
【表３】
2009145084.tif 000005
【０１００】
次に状態遷移の説明を図１１を用いて行う。
（１）検査ソフトウェアは起動時、製品検査フラグＯＦＦの状態で、始業点検ステートに遷移する。
※製品検査フラグ：製品検査を実行する為のソフトウェア内部フラグ
（２）ソフトウェアを終了させると、電源ＯＦＦステートに遷移する。
（３）マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実施する。その結果がＯＫの場合、製品検査フラグがＯＮになり、製品検査ステートに遷移する。製品検査ステートにいる時間を把握するためのタイマーを起動する。詳細は、第１の実施形態で説明した図４の説明である。
（４）製品検査ステートに遷移してから、検査を実施していない時間が１０分以上になると、製品検査フラグがＯＦＦになり、始業点検ステートに遷移する。タイマーを終了する。詳細は、図１２を用いて後述する。
（５）ソフトウェアを終了させると、製品検査フラグをＯＦＦにし、電源ＯＦＦステートに遷移する。
【０１０１】
以下に図１２を用いて製品検査ステートの遷移について説明する。
図１２は、本実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
Ａ１は、ステップＳ３０１の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ２は、ステップＳ３０９の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ３は、ステップＳ３１２の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
【０１０２】
製品検査ステートにおいて、製品検査フラグＯＮ、検査可能フラグＯＦＦとされている（ステップＳ２０１）。この状態では、始業検査ができる状態であり、かつ、検査スタートボタンは、押せない状態である。
【０１０３】
ステップＳ３０１の状態で、タイマーを起動し、カウントを開始する（ステップＳ３０２）。
【０１０４】
ステップＳ３０２の処理後、タイマーの値をメモリに展開する（ステップＳ３０３）。
【０１０５】
ステップＳ３０３の処理後、設定した時間をメモリに展開する（ステップＳ３０４）。本実施形態では、このタイマーの設定時間は、１０分となる。
【０１０６】
ステップＳ３０４の処理で、演算装置が等しい否かを判断する（ステップＳ３０５）。
【０１０７】
ステップＳ３０５の処理で、演算装置によって、タイマーの値が１０分を越えているか否かの判定を行う（ステップＳ３０６）。
【０１０８】
ステップＳ３０６の処理で、演算装置によって、タイマーの値が１０分を越えていると判定された場合（ステップＳ３０６／ＹＥＳ）、製品検査フラグＯＦＦ（製品検査ができない状態）になる（ステップＳ３０７）。
【０１０９】
ステップＳ３０６の処理で、演算装置によって、タイマーの値が１０分を越えていないと判定された場合（ステップＳ３０６／ＮＯ）、情報読取手段から読み取った検査対象の工番の情報をメモリに展開する（ステップＳ３１０）。
【０１１０】
ステップＳ３０７の処理で、製品検査フラグＯＦＦ（製品検査ができない状態）になった後、タイマーを終了する（ステップＳ３０８）。
【０１１１】
ステップＳ３０８の処理で、タイマーを終了後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ３０９）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態である。
【０１１２】
ステップＳ３１０の処理で、情報読取手段から読み取った検査対象の工番の情報をメモリに展開後、演算装置によって、工番が読み込まれたことを判断する（ステップＳ３１１）。
【０１１３】
ステップＳ３１１の処理で、演算装置によって、工番が読み込まれたことを判断する後、検査可能フラグ（製品スタートボタンが押せる状態）ＯＮとする（ステップＳ３１２）。
【０１１４】
ステップＳ３１２の処理で、検査可能フラグ（製品スタートボタンが押せる状態）ＯＮとなった後、検査を実施する（ステップＳ３１３）。
【０１１５】
ステップＳ３１３の処理で、検査を実施後、検査可能フラグＯＦＦ（検査スタートボタンが押せない状態）となる（ステップＳ３１４）。
【０１１６】
ステップＳ３１４の処理で、検査可能フラグＯＦＦとした後、タイマーの値を０の変更する（ステップＳ３１５）。
【０１１７】
図１３に本実施形態にかかるタイマーの設定を行うプログラム設定画面を示す。
始業点検ステート、又は、製品検査ステートにて、設定画面を呼び出すと、この画面が表示手段に表示され、タイマーを設定することが出来る。タイマー値は、ｉｎｉファイル等に保存され、次回検査ソフトウェア起動時に検査ソフトウェアにより読み取られる。
【０１１８】
図１４を用いて本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを説明する。
図１４は、本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを記載したフローチャートである。
【０１１９】
ソフトウェアを起動する（ステップＳ３００１）。
【０１２０】
ステップＳ３００１の処理後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ３００２）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態である。
【０１２１】
ステップＳ３００２の処理で、始業点検ステートに移行後、マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実行する（ステップＳ３００３）。
【０１２２】
ステップＳ３００３の処理で、マスター基板の検査を実行後、検査結果がＯＫか否かの判定を行う（ステップＳ３００４）。
【０１２３】
ステップＳ３００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定された場合（ステップＳ３００４／ＹＥＳ）、製品検査ステートに移行する（ステップＳ３００５）。製品検査ができる状態である。
【０１２４】
ステップＳ３００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定されなかった場合（ステップＳ３００４／ＮＯ）、ステップＳ３００２の処理に戻る。
【０１２５】
ステップＳ３００５の処理で、製品検査ステートに移行後、１０分以上が経過したか否かの判断を行う（ステップＳ３００６）。
【０１２６】
ステップＳ３００６の処理で、１０分が経過したと判定した場合（ステップＳ３００６／ＹＥＳ）、製品基板の識別子を入力し、製品基板の検査を実施する（ステップＳ３００７）。
【０１２７】
ステップＳ３００６の処理で、検査が終了したと判定されなかった場合（ステップＳ３００６／ＮＯ）、ステップＳ３００２の処理に戻る。
【０１２８】
ステップＳ３００７の処理で、製品基板の検査を実施後、検査が終了したか否かの判断を行う（ステップＳ３００８）。
【０１２９】
ステップＳ３００８の処理で、検査が終了したと判断した場合（ステップＳ３００８／ＹＥＳ）、ソフトウェア終了とする（ステップＳ３００９）。
【０１３０】
ステップＳ３００８の処理で、検査が終了したと判定されなかった場合（ステップＳ３００７／ＮＯ）、ステップＳ３００２の処理に戻る。
【０１３１】
本実施形態によれば、第１の実施形態にかかる効果に加え、休み時間明けなどに、始業点検を行わせることにより、製品検査のペースを乱すことなく、検査機の異常をいち早く知ることができる。
【０１３２】
（第４の実施形態）
本発明にかかる第４の実施形態について説明する。
本実施形態にかかる検査装置および情報処理装置は、第１の実施形態の構成とする。
【０１３３】
本実施形態では、検査ソフトウェア上、最初に、マスター基板の識別子を入力し、検査を行い、検査結果が合格でなければ、製品の検査ができない検査機の態様を示す。
本実施形態では、製品の検査ができる状態になっても、製品の検査で不合格が発生すると、再度、マスター基板の検査を実施しないと製品の検査ができないこととする。
【０１３４】
次に検査ソフトウェアの状態遷移図の説明を行う。下表４に図１５のステートの説明を示す。
【表４】
2009145084.tif 000006
【０１３５】
次に状態遷移の説明を図１５を用いて行う。
（１）検査ソフトウェアは起動時、製品検査フラグＯＦＦの状態で、始業点検ステートに遷移する。
※製品検査フラグ：製品検査を実行する為のソフトウェア内部フラグ
（２）ソフトウェアを終了させると、電源ＯＦＦステートに遷移する。
（３）マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実施する。その結果がＯＫの場合、製品検査フラグがＯＮになり、製品検査ステートに遷移する。詳細は、第１の実施形態で説明した図４の説明である。
（４）製品検査ステートに遷移してから、製品検査で不合格基板が発生すると、製品検査フラグがＯＦＦになり、始業点検ステートに遷移する。詳細を図１６に記載する。
（５）ソフトウェアを終了させると、製品検査フラグをＯＦＦにし、電源ＯＦＦステートに遷移する。
【０１３６】
以下に図１６を用いて製品検査ステートの遷移について説明する。
図１６は、本実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
Ａ１は、ステップＳ４０１の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ２は、ステップＳ４１１の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ３は、ステップＳ４０４の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
【０１３７】
製品検査ステートにおいて、製品検査フラグＯＮ、検査可能フラグＯＦＦとされている（ステップＳ２０１）。この状態では、始業検査ができる状態であり、かつ、検査スタートボタンは、押せない状態である。
【０１３８】
ステップＳ４０１の状態で、情報読取手段から読み取った検査対象の工番の情報をメモリに展開する（ステップＳ４０２）。
【０１３９】
ステップＳ４０２の処理で、メモリに展開後、演算装置によって、工番が読み込まれたことを判断する（ステップＳ４０３）。
【０１４０】
ステップＳ４０３の処理後、検査可能フラグ（製品スタートボタンが押せる状態）ＯＮとする（ステップＳ４０４）。
【０１４１】
ステップＳ４０４の処理で、検査可能フラグ（製品スタートボタンが押せる状態）ＯＮとなった後、検査を実施する（ステップＳ４０５）。
【０１４２】
ステップＳ４０５の処理で、検査を実施後、検査可能フラグＯＦＦ（検査スタートボタンが押せない状態）となる（ステップＳ４０６）。
【０１４３】
ステップＳ４０６の処理で、検査を実施後、検査可能フラグＯＦＦ（検査スタートボタンが押せない状態）とした後、検査結果をメモリに展開する（ステップＳ４０７）。
【０１４４】
ステップＳ４０７の処理で、検査結果をメモリに展開後、演算装置によって検査結果が合格か否かの判断を行う（ステップＳ４０８）。
【０１４５】
ステップＳ４０８の処理で、演算装置によって検査結果が合格か否かの判断を行う（ステップＳ４０９）。
【０１４６】
ステップＳ４０９の処理で、演算装置によって合格と判断された場合（ステップＳ４０９／ＹＥＳ）、ステップＳ４０２の処理に戻る。
【０１４７】
ステップＳ４０９の処理で、演算装置によって不合格と判断された場合（ステップＳ４０９／ＮＯ）、検査可能フラグＯＦＦ（製品検査ができない状態）となる（ステップＳ４１０）。
【０１４８】
ステップＳ４１０の処理で、検査可能フラグＯＦＦ（製品検査ができない状態）となった後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ４１１）。
【０１４９】
図１７を用いて本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを説明する。
図１７は、本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを記載したフローチャートである。
【０１５０】
ソフトウェアを起動する（ステップＳ４００１）。
【０１５１】
ステップＳ４００１の処理後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ４００２）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態である。
【０１５２】
ステップＳ４００２の処理で、始業点検ステートに移行後、マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実行する（ステップＳ４００３）。
【０１５３】
ステップＳ４００３の処理で、マスター基板の検査を実行後、検査結果がＯＫか否かの判定を行う（ステップＳ４００４）。
【０１５４】
ステップＳ４００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定された場合（ステップＳ４００４／ＹＥＳ）、製品検査ステートに移行する（ステップＳ４００５）。製品検査ができる状態である。
【０１５５】
ステップＳ４００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定されなかった場合（ステップＳ４００４／ＮＯ）、ステップＳ４００２の処理に戻る。
【０１５６】
ステップＳ４００５の処理で、製品検査ステートに移行後、製品基板の識別子を入力し、製品基板の検査を実施する（ステップＳ４００６）。
【０１５７】
ステップＳ４００６の処理後、検査結果ＯＫか否かの判断を行う（ステップＳ４００７）。
【０１５８】
ステップＳ４００７の処理で、検査結果ＯＫでないと判断された場合（ステップＳ４００７／ＮＯ）、ステップＳ４００２の処理に戻る。
【０１５９】
ステップＳ４００７の処理で、検査結果ＯＫであると判断された場合（ステップＳ４００７／ＹＥＳ）、検査が終了したいか否かの判断を行う（ステップＳ４００８）。
【０１６０】
ステップＳ４００８の処理で、検査が終了したと判断した場合（ステップＳ４００８／ＹＥＳ）、ソフトウェア終了とする（ステップＳ４００９）。
【０１６１】
ステップＳ４００８の処理で、検査が終了したと判定されなかった場合（ステップＳ４００７／ＮＯ）、ステップＳ４００２の処理に戻る。
【０１６２】
本実施形態によれば、第１の実施形態にかかる効果に加え、製品基板検査時、不合格基板が発生した際に、不合格基板を検査した際に検査機に異常が発生していないか、いち早く知ることができる。
【０１６３】
（第５の実施形態）
本発明にかかる第５の実施形態について説明する。
本実施形態にかかる検査装置および情報処理装置は、第１の実施形態の構成とする。
【０１６４】
本実施形態では、検査ソフトウェア上、最初に、マスター基板の識別子を入力し、検査を行い、検査結果が合格でなければ、製品の検査ができない検査機の態様である。
本実施形態では、製品の検査ができる状態になってから、５０枚製品の検査を行うと、再度、マスター基板の検査を実施しないと製品の検査ができないこととする。
【０１６５】
次に検査ソフトウェアの状態遷移図の説明を行う。下表５に図１８のステートの説明を示す。
【表５】
2009145084.tif 000007
【０１６６】
次に状態遷移の説明を図１８を用いて行う。
（１）検査ソフトウェアは起動時、製品検査フラグＯＦＦの状態で、始業点検ステートに遷移する。
※製品検査フラグ：製品検査を実行する為のソフトウェア内部フラグ
（２）ソフトウェアを終了させると、電源ＯＦＦステートに遷移する。
（３）マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実施する。その結果がＯＫの場合、製品検査フラグがＯＮになり、製品検査ステートに遷移する。製品検査ステートにいる時間を把握するためのカウンターを起動する。詳細は、第１の実施形態で説明した図４の説明である。
（４）製品検査ステートに遷移してから、５０枚、製品検査を行うと、製品検査フラグがＯＦＦになり、始業点検ステートに遷移する。カウンターを終了する。詳細を図１９に記載する。
（５）ソフトウェアを終了させると、製品検査フラグをＯＦＦにし、電源ＯＦＦステートに遷移する。
【０１６７】
以下に図１９を用いて製品検査ステートの遷移について説明する。
図１９は、本実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
Ａ１は、ステップＳ５０１の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ２は、ステップＳ５０９の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ３は、ステップＳ５１２の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
【０１６８】
製品検査ステートにおいて、製品検査フラグＯＮ、検査可能フラグＯＦＦとされている（ステップＳ２０１）。この状態では、始業検査ができる状態であり、かつ、検査スタートボタンは、押せない状態である。
【０１６９】
ステップＳ５０１の状態で、カウンターを起動する（ステップＳ５０２）。
【０１７０】
ステップＳ５０２の処理後、カウンターの値をメモリに展開する（ステップＳ５０３）。
【０１７１】
ステップＳ５０３の処理後、設定した値（検査枚数）をメモリに展開する（ステップＳ５０４）。本実施形態では、このカウンターの値は、５０枚となる。
【０１７２】
ステップＳ５０４の処理後、演算装置によって、カウンターの値が所定値（本実施形態では、枚数５０枚）を超えているか判断を行う（ステップＳ５０５）。
【０１７３】
ステップＳ５０５の処理で、演算装置によって、このカウンターの値は、５０枚を越えているか否かの判定を行う（ステップＳ５０６）。
【０１７４】
ステップＳ５０６の処理で、演算装置によって、５０枚を越えていると判定された場合（ステップＳ５０６／ＹＥＳ）、製品検査フラグＯＦＦの状態（製品検査ができない状態）になる（ステップＳ５０７）。
【０１７５】
ステップＳ５０６の処理で、演算装置によって、５０枚を越えていないと判定された場合（ステップＳ５０６／ＮＯ）、情報読取手段から読み取った検査対象の工番の情報をメモリに展開する（ステップＳ５１０）。
【０１７６】
ステップＳ５０７の処理で、製品検査フラグＯＦＦ（製品検査ができない状態）になった後、カウンタを終了する（ステップＳ５０８）。
【０１７７】
ステップＳ５０８の処理で、カウンタを終了後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ５０９）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態であり、かつ、検査スタートボタンが押せない状態となっている。
【０１７８】
ステップＳ５１０の処理で、情報読取手段から読み取った検査対象の工番の情報をメモリに展開後、演算装置によって、工番が読み込まれたことを判断する（ステップＳ５１１）。
【０１７９】
ステップＳ５１１の処理で、演算装置によって、工番が読み込まれたことを判断する後、検査可能フラグ（製品スタートボタンが押せる状態）ＯＮとする（ステップＳ５１２）。
【０１８０】
ステップＳ５１２の処理で、検査可能フラグ（製品スタートボタンが押せる状態）ＯＮとなった後、検査を実施する（ステップＳ５１３）。
【０１８１】
ステップＳ５１３の処理で、検査を実施後、検査可能フラグＯＦＦ（検査スタートボタンが押せない状態）となる（ステップＳ５１４）。
【０１８２】
ステップＳ５１４の処理で、検査可能フラグＯＦＦとした後、カウンタの値を１増やす（ステップＳ５１５）。
【０１８３】
図２０にカウンターの設定を行うプログラム設定画面を示す。始業点検ステート、又は、製品検査ステートにて、設定画面を呼び出すと、この画面が表示手段に表示され、カウンターを設定することが出来る。カウンター値は、ｉｎｉファイル等に保存され、次回検査ソフトウェア起動時に検査ソフトウェアにより読み取られる。
【０１８４】
図２１を用いて本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを説明する。
図２１は、本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを記載したフローチャートである。
【０１８５】
ソフトウェアを起動する（ステップＳ５００１）。
【０１８６】
ステップＳ５００１の処理後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ５００２）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態である。
【０１８７】
ステップＳ５００２の処理で、始業点検ステートに移行後、マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実行する（ステップＳ５００３）。
【０１８８】
ステップＳ５００３の処理で、マスター基板の検査を実行後、検査結果がＯＫか否かの判定を行う（ステップＳ５００４）。
【０１８９】
ステップＳ５００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定された場合（ステップＳ５００４／ＹＥＳ）、製品検査ステートに移行する（ステップＳ５００５）。製品検査ができる状態である。
【０１９０】
ステップＳ５００４の処理で、マスター基板による検査結果がＯＫと判定されなかった場合（ステップＳ５００４／ＮＯ）、ステップＳ５００２の処理に戻る。
【０１９１】
ステップＳ５００５の処理で、製品検査ステートに移行後、５０枚製品基板の製品基板の検査を実施したか否かの判断を行う（ステップＳ５００６）。
【０１９２】
ステップＳ５００６の処理で、５０枚製品基板の製品基板の検査を実施したと判断された場合（ステップＳ５００６／ＹＥＳ）、ステップＳ５００２の処理の戻る。
【０１９３】
ステップＳ５００６の処理で、５０枚製品基板の製品基板の検査を実施していないと判断された場合（ステップＳ５００６／ＮＯ）、製品基板の識別子を入力し、製品基板の検査を実施する（ステップＳ５００７）。
【０１９４】
ステップＳ５００７の処理後、検査が終了されたか否かの判断を行う（ステップＳ５００８）。
【０１９５】
ステップＳ５００８の処理で、検査が終了されたと判断された場合（ステップＳ５００７／ＮＯ）、ソフトウェア終了とする（ステップＳ５００９）。
【０１９６】
ステップＳ５００８の処理で、検査が終了されていないと判断された場合（ステップＳ５００８／ＮＯ）、ステップＳ５００２の処理に戻る。
【０１９７】
本実施形態によれば、第１の実施形態にかかる効果に加え、任意の枚数検査する度に始業点検を行うので、検査機の消耗を効率的にいち早く知ることができる。
【０１９８】
（第６の実施形態）
本発明にかかる第６の実施形態について説明する。
本実施形態にかかる検査装置および情報処理装置は、第１の実施形態の構成とする。
【０１９９】
本実施形態では、検査ソフトウェア上、最初に、マスター基板の識別子を入力し、検査を行い、検査結果が合格でなければ、製品の検査ができない検査機の態様を示す。
本実施形態では、マスター基板の検査を実施した際に、電圧の検査結果が許容範囲に収まっていなかった場合、検査機の修理を促すメッセージを表示装置に表示する検査機の態様である。
【０２００】
マスター基板の電圧の検査結果の許容範囲は、別ファイルによって定義し、検査ソフトウェア起動時に検査ソフトウェアにより読み取られる。
【０２０１】
次に検査ソフトウェアの状態遷移図の説明を行う。下表６に図２２のステートの説明を示す。
【表６】
2009145084.tif 000008
【０２０２】
次に状態遷移の説明を図２２を用いて行う。
（１）検査ソフトウェアは起動時、製品検査フラグＯＦＦの状態で、始業点検ステートに遷移する。
※製品検査フラグ：製品検査を実行する為のソフトウェア内部フラグ
（２）ソフトウェアを終了させると、電源ＯＦＦステートに遷移する。
（３）マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実施する。電圧の検査結果が許容範囲に収まっており、検査結果がＯＫの場合、製品検査フラグがＯＮになり、製品検査ステートに遷移する。マスター基板の電圧の検査結果が許容範囲に収まっていなかった場合は、検査機の修理を促すメッセージを表示する。詳細を図２３を用いて後述する。
（４）ソフトウェアを終了させると、製品検査フラグをＯＦＦにし、電源ＯＦＦステートに遷移する。
【０２０３】
以下に図２３を用いて製品検査ステートの遷移について説明する。
図２３は、本実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
Ａ１は、ステップＳ６０１の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ２は、ステップＳ６１２の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ３は、ステップＳ６１１の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
Ａ４は、ステップＳ６１４の処理時に、情報出力装置に表示されている画面の一例を示す。
【０２０４】
始業点検ステートにおいて、製品検査フラグＯＦＦ、検査可能フラグＯＦＦとされている（ステップＳ６０１）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態であり、かつ、検査スタートボタンが押せない状態となっている。
【０２０５】
ステップＳ６０１の状態で、情報読取手段から読み取った検査対象の工番の情報をメモリに展開する（ステップＳ６０２）。
【０２０６】
ステップＳ６０２の処理後、マスター基板の工番を記憶装置からメモリに展開する（ステップＳ６０３）。
【０２０７】
ステップＳ６０３の処理後、マスター基板の工番と読み取った工番が等しいか否かを演算装置によって、比較する（ステップＳ６０４）。
【０２０８】
ステップＳ６０４の処理で、マスター基板の工番と読み取った工番が等しいか否かを演算装置によって、比較する（ステップＳ６０５）。
【０２０９】
ステップＳ６０５の処理で、演算装置によって、マスター基板の工番と読み取った工番が等しいと判断された場合（ステップＳ６０５／ＹＥＳ）、検査可能フラグＯＮ（検査スタートボタンが押せる状態）とする（ステップＳ６０６）。
【０２１０】
ステップＳ６０５の処理で、演算装置によって、マスター基板の工番と読み取った工番が等しくないと判断された場合（ステップＳ６０５／ＮＯ）、始業点検を促すメッセージを情報出力装置に出力する（ステップＳ６１２）。
【０２１１】
ステップＳ６０６の処理で、検査可能フラグＯＮ（検査スタートボタンが押せる状態）とした後、マスター基板の電圧検査の結果をメモリに展開する（ステップＳ６０７）。
【０２１２】
ステップＳ６０７の処理で、マスター基板の電圧検査の結果をメモリに展開した後、電圧検査の許容範囲をメモリに展開する（ステップＳ６０８）。
【０２１３】
ステップＳ６０８の処理で、電圧検査の許容範囲をメモリに展開した後、検査結果が許容範囲内に収まっているか否かの判断を行う（ステップＳ６０９）。
【０２１４】
ステップＳ６０９の処理で、電圧検査の許容範囲をメモリに展開した後、演算装置によって、検査結果が許容範囲内に収まっているか否かの判断を行う（ステップＳ６１０）。
【０２１５】
ステップＳ６１０の処理で、検査結果が許容範囲内に収まっていると判断された場合（ステップＳ６１０／ＹＥＳ）、製品検査ステートへと移行する（ステップＳ６１１）。製品検査ステートにおいて、製品検査フラグＯＮ、検査可能フラグＯＦＦとされている。この状態では、始業検査ができる状態であり、かつ、検査スタートボタンは、押せない状態である。
【０２１６】
ステップＳ６１０の処理で、検査結果が許容範囲内に収まっていないと判断された場合（ステップＳ６１０／ＮＯ）、検査可能フラグＯＦＦとする（ステップＳ６１３）。
【０２１７】
ステップＳ６１３の処理で、検査可能フラグＯＦＦとした後、始業点検を促すメッセージを情報出力装置に出力する（ステップＳ６１４）。
【０２１８】
図２４を用いて本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを説明する。
図２４は、本実施形態にかかる検査ソフト起動から終了までの流れを記載したフローチャートである。
【０２１９】
ソフトウェアを起動する（ステップＳ６００１）。
【０２２０】
ステップＳ６００１の処理後、始業点検ステートに移行する（ステップＳ６００２）。この状態では、始業点検しか行えず、製品検査は、できない状態である。
【０２２１】
ステップＳ６００２の処理で、始業点検ステートに移行後、マスター基板の識別子を入力し、マスター基板の検査を実行する（ステップＳ６００３）。
【０２２２】
ステップＳ６００３の処理で、マスター基板の検査を実行後、電圧の検査結果が許容範囲内に収まっているか否かの判断を行う（ステップＳ６００４）。
【０２２３】
ステップＳ６００４の処理で、電圧の検査結果が許容範囲内に収まっていると判定された場合（ステップＳ６００４／ＹＥＳ）、製品検査ステートに移行する（ステップＳ６００５）。製品検査検査ができる状態である。
【０２２４】
ステップＳ６００４の処理で、電圧の検査結果が許容範囲内に収まっていると判定されなかった場合（ステップＳ６００４／ＮＯ）、修理を促すメッセージを表示する（ステップＳ６００９）。
【０２２５】
ステップＳ６００５の処理で、製品検査ステートに移行後、製品基板の識別子を入力し、製品基板の検査を実施する（ステップＳ６００６）。
【０２２６】
ステップＳ６００６の処理後、検査が終了したいか否かの判断を行う（ステップＳ６００７）。
【０２２７】
ステップＳ６００７の処理で、検査が終了したと判断した場合（ステップＳ６００７／ＹＥＳ）、ソフトウェア終了とする（ステップＳ６００８）。
【０２２８】
ステップＳ６００７の処理で、検査が終了したと判定されなかった場合（ステップＳ６００７／ＮＯ）、ステップＳ６００５の処理に戻る。
【０２２９】
本実施形態では、ある決められた値の例として、電圧の検査結果を挙げたが、他にも周波数の検査結果や電流の検査結果を挙げることができる。また、複数の検査項目からなる検査の場合、複数の許容範囲を用いて、検査機の修理を促すことができる。
【０２３０】
また、本実施形態では、第１の実施形態にかかる効果に加え、検査機の劣化によりマスター基板の測定値が変化した場合に、修理を促すことができる。
【図面の簡単な説明】
【０２３１】
【図１】本発明にかかる検査装置の内部構成の一例を示すブロック図である。
【図２】本発明にかかる情報処理装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図３】第１の実施形態における検査ソフトウェアの状態遷移を示す図である。
【図４】第１の実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
【図５】本発明にかかるソフト画面を説明するための図である。
【図６】第１の実施形態における検査ソフト起動から終了までの流れを示すフローチャート図である。
【図７】第２の実施形態における検査ソフトウェアの状態遷移を示す図である。
【図８】第２の実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
【図９】第２の実施形態におけるタイマー設定画面を示す図である。
【図１０】第２の実施形態における検査ソフト起動から終了までの流れを示すフローチャート図である。
【図１１】第３の実施形態における検査ソフトウェアの状態遷移を示す図である。
【図１２】第３の実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
【図１３】第３の実施形態におけるタイマー設定画面を示す図である。
【図１４】第３の実施形態における検査ソフト起動から終了までの流れを示すフローチャート図である。
【図１５】第４の実施形態における検査ソフトウェアの状態遷移を示す図である。
【図１６】第４の実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
【図１７】第４の実施形態における検査ソフト起動から終了までの流れを示すフローチャート図である。
【図１８】第５の実施形態における検査ソフトウェアの状態遷移を示す図である。
【図１９】第５の実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
【図２０】第５の実施形態におけるカウンター設定画面を示す図である。
【図２１】第５の実施形態における検査ソフト起動から終了までの流れを示すフローチャート図である。
【図２２】第６の実施形態における検査ソフトウェアの状態遷移を示す図である。
【図２３】第６の実施形態における始業点検ステートから製品検査ステートに遷移するまでの流れを示すフローチャート図である。
【図２４】第６の実施形態における検査ソフト起動から終了までの流れを示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【０２３２】
１    検査装置
２    基板（被検査対象）
３    電気的接続
１０    識別子
１１    検査回路
１２    検査回路制御手段
１３    情報読込手段
１４    情報処理手段
１５    検査ソフトウェア
【図１】
2009145084.tif 000009
【図２】
2009145084.tif 000010
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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