(57)【要約】【課題】ラインセンサでカラーフィルタパターンを撮像すると同時に基準となる検査エリアを設定し、隣り合う繰り返しパターンを比較検査して、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を精度良く抽出するためのカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】ラインセンサ４１でカラーフィルタパターンを撮像すると同時に基準となる検査エリアを設定し、前記検査エリアに保持された基準となるｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンエッジのｘ、ｙの位置情報との差（ズレ量）を算出し、基準となる検査エリアのｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンのｘ、ｙの位置情報との間に発生したｘ、ｙのズレ量をゼロにする補正を逐次実施しながら比較検査を行うカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ基板のカラーフィルタパターンをラインセンサで撮像し、カラーフィルタ基板に検査エリアを設定し、隣り合う繰り返しパターンを比較検査して、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を抽出するカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法において、
前記ラインセンサでカラーフィルタパターンを撮像すると同時に基準となる検査エリアを設定し、前記検査エリアに保持された基準となるｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンエッジとのｘ、ｙの位置情報との差（ズレ量）を算出し、基準となる検査エリアのｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンのｘ、ｙの位置情報との間に発生したｘ、ｙのズレ量をゼロにする補正を逐次実施しながら比較検査を行い、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を抽出することを特徴とするカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ基板のカラーフィルタパターンをラインセンサで撮像し、カラーフィルタ基板に検査エリアを設定し、隣り合う繰り返しパターンを比較検査して、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を抽出するカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法に関し、特に、前記検査エリアのｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンエッジのｘ、ｙの位置情報との差（ズレ量）を算出し、ｘ、ｙの前記ズレ量をゼロにする補正を逐次実施しながら比較検査し、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を抽出するカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大型カラーテレビ、ノートパソコン、携帯用電子機器の増加に伴い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要の増加はめざましいものがある。
これらカラーカラー液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタ基板は、パターン精度、分光特性、欠陥レベルに対しても高度のものが要求されており、カラーフィルタ基板に対する表示品位の要求が厳しくなっている。
【０００３】
カラー液晶ディスプレイパネルに用いられるカラーフィルタ基板は、ガラス基板等の透明基板上に、ブラックマトリックス、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタ等からなる着色フィルタ、スペーサー等がフォトマスクを用いたパターン露光、現像等のパターニング処理を行うフォトリソグラフィープロセスを経て形成されるのが一般的である。
カラーフィルタ基板に発生した欠陥（異物、白ピン等）は欠陥検査装置にて検査し、カラーフィルタ修正装置にて修正して品質仕様を満たしたものが出荷される。
【０００４】
カラーフィルタ基板に発生した欠陥（異物、白ピン等）を検査するにあたって、カラーフィルタ基板に発生した異物、白ピン等の欠陥を検査するカラーフィルタの欠陥検査方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
これは、カラーフィルタの欠陥を比較検査法及び輝度検査法を用いて検査するにあたって、比較ピッチ、比較検査のしきい値、輝度検査のしきい値及び光量などの入力データを自動的に設定できるようにしたカラーフィルタの欠陥検査方法である。
【０００５】
最近の欠陥検査装置は自動化されおり、カラーフィルタ基板はインラインで欠陥検査装置のステージに搬送されて、欠陥検査は自動で行われるのが一般的である。
【０００６】
カラーフィルタ基板のカラーフィルタパターンの欠陥検査は、カラーフィルタパターンの隣り合う繰り返しパターンを比較し、特異点を抽出するパターン検査が用いられている。対象物の撮像にはラインセンサを使用し、カラーフィルタ基板を検査ステージに位置決めした後、検査ステージもしくはラインセンサを走査し、対象物を全面撮像する。
【０００７】
隣り合う繰り返しパターンの比較による検査であるから、カラーフィルタパターンのみを検査エリアとなるように、カラーフィルタ基板内に検査エリアを設定し、そのエリアに対してのみパターンの比較検査を行う。
検査エリアを適切に設定しなければ、カラーフィルタパターンに付随して形成されるアクセサリーマーク（アライメントマークやダミーパターンなど）を欠陥（特異点）として検出してしまう。
【０００８】
適切に検査エリアを設定するには、アライメント精度が保証されていることが前提であ
り、ピン押し当てによるアライメント精度は、カラーフィルタ基板に対するカラーフィルタパターンの平行度及び直行度がとれていることが前提となる。従来はカラーフィルタ基板の平行度が保証されており、アライメントピンによってカラーフィルタ基板の平行を出せば、カラーフィルタ基板と平行して形成されるカラーフィルタパターンの平行がとれていた。
【０００９】
カラーフィルタ基板の平行が保証されない場合、アライメントピンをカラーフィルタ基板に押し当てても、カラーフィルタ基板に対してカラーフィルタパターンの平行度及び直行度がとれていることにはならず、カラーフィルタ基板に対して検査エリアが正しく設定されない場合があり、カラーフィルタパターンの欠陥検査精度が上がらないという問題を有している。
【特許文献１】特開平１０−１０００８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記問題に鑑み考案されたもので、ラインセンサでカラーフィルタパターンを撮像すると同時に基準となる検査エリアを設定し、隣り合う繰り返しパターンを比較検査して、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を精度良く抽出するためのカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に於いて上記課題を達成するために、本発明においては、カラーフィルタ基板のカラーフィルタパターンをラインセンサで撮像し、カラーフィルタ基板に検査エリアを設定し、隣り合う繰り返しパターンを比較検査して、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を抽出するカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法において、
前記ラインセンサでカラーフィルタパターンを撮像すると同時に基準となる検査エリアを設定し、前記検査エリアに保持された基準となるｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンエッジのｘ、ｙの位置情報との差（ズレ量）を算出し、基準となる検査エリアのｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンのｘ、ｙの位置情報との間に発生したｘ、ｙのズレ量をゼロにする補正を逐次実施しながら比較検査を行い、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を抽出することを特徴とするカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法としたものである。
【発明の効果】
【００１２】
カラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法では、カラーフィルタ基板の位置ズレが検査ステージ上で発生しても、検査エリアに保持された基準のｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンエッジのｘ、ｙの位置情報との差（ズレ量）を算出し、基準となる検査エリアのｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターン（ＣＦ１〜ＣＦ６）のｘ、ｙの位置情報との間に発生したｘ、ｙのズレ量をゼロにする補正を逐次実施しながら比較検査するので、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を精度良く抽出することができる。
また、リアルタイムにズレ量の補正と比較検査をおこなうので、検査装置の検査タクトタイムに影響を及ぼすことがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
本発明のカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法は、カラーフィルタ基板のカラーフィルタパターンをラインセンサで撮像し、カラーフィルタ基板に検査エリアを設定
し、隣り合う繰り返しパターンを比較検査して、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を抽出するカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法において、前記ラインセンサでカラーフィルタパターンを撮像すると、前記カラーフィルタパターンの他に基準となる検査エリアが設定され、前記検査エリアに保持された基準となるｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンエッジのｘ、ｙの位置情報との差（ズレ量）を算出し、ｘ、ｙの前記ズレ量をゼロにする補正を逐次実施しながら比較検査し、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を精度良く抽出するようにしたものである。
【００１４】
図１（ａ）は、カラーフィルタ基板２１を検査ステージ１１上に載置した際、カラーフィルタ基板２１が検査ステージ１１の所定位置に載置されたため、カラーフィルタ基板２１の６面付けされたカラーフィルタパターン（ＣＦ１〜ＣＦ６）と基準となる検査エリアとが一致した状態を示す模式平面図である。
図１（ｂ）は、カラーフィルタ基板２１を検査ステージ１１上に載置した際、カラーフィルタ基板２１が検査ステージ１１の所定位置に載置されなかったため、カラーフィルタ基板２１の６面付けされたカラーフィルタパターン（ＣＦ１〜ＣＦ６）と基準となる検査エリアとの間に位置ズレが発生した状態を示す模式平面図である。
図２は、検査ステージ１１と、カラーフィルタ基板２１と、アライメントピン３１と、ラインセンサ４１と、照明光源５１と、ラインセンサ４１に接続された画像処理回路と、で構成されるカラーフィルタ基板の欠陥検査装置の一例を示す模式構成図である。
【００１５】
図２に示すカラーフィルタ基板の欠陥検査装置を用いた本発明のカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法について説明する。
まず、カラーフィルタ基板２１をアライメントピン３１に押し当て検査ステージ１１上に載置する。
次に、カラーフィルタ基板２１をラインセンサ４１で撮像すると、前記カラーフィルタパターンの他に基準となる検査エリアが設定され、基準となる検査エリアとカラーフィルタパターンのエッジ照合が画像処理回路で行われ、検査エリアに保持された基準となるｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンエッジのｘ、ｙの位置情報との差（ズレ量）を算出する。
【００１６】
次に、図1（ａ）に示すように、検査エリアの基準となるｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターン（ＣＦ１〜ＣＦ６）のｘ、ｙの位置情報とが一致した場合は、カラーフィルタパターンの比較検査が実施され、カラーフィルタ基板に異物、白ピン等の欠陥（特異点）を抽出する。
【００１７】
しかしながら、基準となる検査エリアとカラーフィルタパターンのエッジ照合が行われた時点で、図２（ｂ）に示すように、基準となる検査エリアとカラーフィルタパターン（ＣＦ１〜ＣＦ６）とが一致しない場合は、基準となる検査エリアのｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターン（ＣＦ１’〜ＣＦ６’）エッジとのｘ、ｙの位置情報との差（ズレ量）を算出し、基準となる検査エリアのｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターン（ＣＦ１’〜ＣＦ６ ’）エッジとのｘ、ｙの位置情報との間に発生したｘ、ｙのズレ量をゼロにする補正を逐次実施しながら比較検査を行い、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を抽出する。
【００１８】
上記したように、本発明のカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法を用いると、カラーフィルタ基板の位置ズレが検査ステージ上で発生しても、検査エリアに保持された基準のｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターンエッジのｘ、ｙの位置情報との差（ズレ量）を算出し、基準となる検査エリアのｘ、ｙの位置情報と相対するカラーフィルタパターン（ＣＦ１’〜ＣＦ６’）のｘ、ｙの位置情報との間に発生したｘ、ｙのズレ量をゼロにする補正を逐次実施しながら比較検査するので、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥（特異点）を精度良く抽出することができる。
また、リアルタイムにズレ量の補正と比較検査をおこなうので、検査装置の検査タクトタイムに影響を及ぼすことがない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】（ａ）は、カラーフィルタ基板２１を検査ステージ１１上に載置した際、カラーフィルタ基板２１が検査ステージ１１の所定位置に載置されたため、カラーフィルタ基板２１の６面付けされたカラーフィルタパターン（ＣＦ１〜ＣＦ６）と基準となる検査エリアが一致した事例を示す模式平面図である。（ｂ）は、カラーフィルタ基板２１を検査ステージ１１上に載置した際、カラーフィルタ基板２１が検査ステージ１１の所定位置に載置されなかったため、カラーフィルタ基板２１の６面付けされたカラーフィルタパターン（ＣＦ１〜ＣＦ６）と基準となる検査エリアとの間に位置ズレが発生した状態を示す模式平面図である。
【図２】検査ステージ１１と、カラーフィルタ基板２１と、アライメントピン３１と、ラインセンサ４１と、照明光源５１と、ラインセンサ４１に接続された画像処理回路と、で構成されるカラーフィルタ基板の欠陥検査装置の一例を示す模式構成図である。
【符号の説明】
【００２０】
１１……検査ステージ
２１……カラーフィルタ基板
３１……アライメントピン
４１……ラインセンサ
５１……照明光源
【図１】
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【図２】
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