(57)【要約】【課題】生産ラインにおける各処理装置の処理前の被処理物が保管される複数の仕掛棚を効率よく使用するこができるように被処理物を前工程の処理装置から次工程の処理装置へ搬送させることができる搬送制御システム、搬送制御方法、及び搬送制御プログラムを提供する。【解決手段】被処理物を搬送する複数の搬送手段２と、複数の仕掛棚４を管理する仕掛棚管理手段６と、搬送先を決定する搬送先決定手段１０と、複数の搬送手段２の間で中継される被処理物が保管される１つ以上の中継棚５を管理する中継棚管理手段７と、仕掛棚４を予約する仕掛棚予約手段８と、中継棚５を予約する中継棚予約手段９と、搬送先までの経由地となる１つの仕掛棚４又は中継棚５を選定して予約手段８,９に予約させ、予約した仕掛棚４又は中継棚５への被処理物の搬送を搬送手段２に実施させる処理を繰り返し、被処理物を搬送先へ搬送させる搬送制御手段１１とを備える。【選択図】図２
2009057117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産ラインに沿って配置された複数の各種処理装置により処理される被処理物の処理装置間の搬送を制御する搬送制御システムであって、
被処理物を前工程の処理装置から次工程の処理装置へと搬送するため生産ラインに沿って配置された複数の搬送手段と、
複数の前記各種処理装置のうちから選択されたそれぞれ１つ以上の処理装置からなる複数の処理装置群の近傍にそれぞれ配置され前記処理装置での処理前の被処理物が保管される複数の仕掛棚を管理する仕掛棚管理手段と、
被処理物への処理が完了した処理装置から処理完了の信号が送信されると、送信元の前記処理装置で処理された被処理物を引き継いで処理する次工程の処理装置を決定し、決定した前記次工程の前記処理装置での処理前の被処理物が保管される前記次工程の仕掛棚を前記仕掛棚管理手段で管理されている複数の前記仕掛棚の中から選定し、選定した前記次工程の前記仕掛棚を搬送先とする搬送指示を送信する搬送先決定手段と、
隣り合う前記仕掛棚の間に配置され前記搬送先までの搬送途中で複数の前記搬送手段の間で中継される被処理物が保管される１つ以上の中継棚を管理する中継棚管理手段と、
前記仕掛棚管理手段で管理されている前記仕掛棚への被処理物の保管を予約する仕掛棚予約手段と、
前記中継棚管理手段で管理されている前記中継棚への被処理物の保管を予約する中継棚予約手段と、
前記搬送先決定手段から送信された前記次工程の前記仕掛棚を搬送先とする搬送指示を受信すると、前記仕掛棚管理手段及び前記中継棚管理手段で管理されている複数の前記仕掛棚及び１つ以上の前記中継棚の中から、被処理物の現在位置から前記次工程の前記仕掛棚までの搬送路に沿った位置にある１つの仕掛棚又は中継棚を経由地として選定し、選定した経由地の前記仕掛棚又は前記中継棚に被処理物を保管するスペースが空いていることを確認してから前記仕掛棚予約手段又は前記中継棚予約手段に経由地として選定した前記仕掛棚又は前記中継棚を予約させ、予約した前記仕掛棚又は前記中継棚への被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させる処理を、経由地として前記次工程の前記仕掛棚が選定されて被処理物が前記次工程の前記仕掛棚へと搬送されるまで繰り返す搬送制御手段と
を備えることを特徴とする搬送制御システム。
【請求項２】
前記搬送制御手段は、被処理物の現在位置と前記次工程の前記仕掛棚の位置とに応じた経由地を示す経由地テーブルを記憶しており、前記経由地テーブルに基づいて、経由地を選定することを特徴とする請求項１に記載の搬送制御システム。
【請求項３】
前記搬送制御手段は、被処理物の現在位置と前記次工程の前記仕掛棚の位置とに応じた経由地の代替を示す代替経由地テーブルを記憶しており、前記経由地テーブルに基づいて選定した経由地の仕掛棚又は中継棚に被処理物を保管するスペースが空いていない場合に、前記代替経由地テーブルに基づいて他の仕掛棚又は中継棚を経由地に選定することを特徴とする請求項２に記載の搬送制御システム。
【請求項４】
前記仕掛棚管理手段は、被処理物が保管される各々の前記仕掛棚のスペースを、前記仕掛棚の近傍にある前記処理装置群を構成する処理装置で処理される被処理物のみが保管対象とされる専用スペースと、すべての被処理物が保管対象とされる共通スペースとに区分けして管理し、
前記搬送制御手段は、経由地として前記次工程の前記仕掛棚を選定した場合には、選定した前記仕掛棚の空いている前記専用スペース又は前記共通スペースを前記仕掛棚予約手段に予約させてから、被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させ、経由地として前記次工程の前記仕掛棚以外の前記仕掛棚を選定した場合には、選定した前記仕掛棚の空いている前記共通スペースを前記仕掛棚予約手段に予約させてから、被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させる
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の搬送制御システム。
【請求項５】
前記中継棚管理手段は、被処理物が保管される各々の前記中継棚のスペースを、被処理物が搬送される搬送方向毎に区分けして管理し、
前記搬送制御手段は、選定した経由地が前記中継棚である場合には、選定した経由地の前記中継棚に被処理物の搬送方向に応じた被処理物を保管するためのスペースが空いていることを確認してから、前記中継棚の前記スペースを前記中継棚予約手段に予約させて、被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の搬送制御システム。
【請求項６】
前記搬送先決定手段は、処理の完了した被処理物が搬出された処理装置から搬出完了の信号が送信されると、送信元の前記処理装置を搬送先とする搬送指示を送信し、
前記搬送制御手段は、前記搬送先決定手段から送信された前記処理装置を搬送先とする搬送指示を受信すると、搬送先とされた前記処理装置で処理される被処理物が保管されている仕掛棚から前記処理装置への被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させる
ことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載の搬送制御システム。
【請求項７】
生産ラインに沿って配置された複数の各種処理装置により処理される被処理物を前工程の処理装置から次工程の処理装置へと搬送するため生産ラインに沿って配置された複数の搬送手段による被処理物の処理装置間の搬送を制御する搬送制御方法であって、
被処理物への処理が完了した処理装置から処理完了の信号が送信されると、送信元の前記処理装置で処理された被処理物を引き継いで処理する次工程の処理装置を決定し、決定した前記次工程の前記処理装置での処理前の被処理物が保管される前記次工程の仕掛棚を、複数の前記各種処理装置のうちから選択されたそれぞれ１つ以上の処理装置からなる複数の処理装置群の近傍にそれぞれ配置され前記処理装置での処理前の被処理物が保管される複数の仕掛棚の中から選定し、選定した前記次工程の前記仕掛棚を搬送先とする搬送先決定ステップと、
複数の前記仕掛棚、及び隣り合う前記仕掛棚の間に配置され前記搬送先までの搬送途中で前記搬送手段の間で中継される被処理物が保管される１つ以上の中継棚の中から、被処理物の現在位置から前記搬送先決定ステップで搬送先とされた前記次工程の前記仕掛棚までの搬送路に沿った位置にある１つの仕掛棚又は中継棚を経由地として選定する経由地選定ステップと、
前記経由地選定ステップで選定した経由地の前記仕掛棚又は前記中継棚に被処理物を保管するスペースが空いていることを確認してから、経由地として選定した前記仕掛棚又は前記中継棚を予約する予約ステップと、
前記搬送手段に前記予約ステップで予約した前記仕掛棚又は前記中継棚への被処理物の搬送を実施させる棚向け搬送ステップと、
前記経由地選定ステップで経由地として前記次工程の前記仕掛棚が選定されて被処理物が前記次工程の前記仕掛棚へと搬送されるまで、前記経由地選定ステップ、前記予約ステップ、及び前記棚向け搬送ステップを繰り返し実行する繰り返しステップと
を備えることを特徴とする搬送制御方法。
【請求項８】
コンピュータに、生産ラインに沿って配置された複数の各種処理装置により処理される被処理物を前工程の処理装置から次工程の処理装置へと搬送するため生産ラインに沿って配置された複数の搬送手段による被処理物の処理装置間の搬送を制御させる搬送制御プログラムであって、
コンピュータに、被処理物への処理が完了した処理装置から処理完了の信号が送信されると、送信元の前記処理装置で処理された被処理物を引き継いで処理する次工程の処理装置を決定させ、決定させた前記次工程の前記処理装置での処理前の被処理物が保管される前記次工程の仕掛棚を、複数の前記各種処理装置のうちから選択されたそれぞれ１つ以上の処理装置からなる複数の処理装置群の近傍にそれぞれ配置され前記処理装置での処理前の被処理物が保管される複数の仕掛棚の中から選定させ、選定させた前記次工程の前記仕掛棚を搬送先とさせる搬送先決定ステップと、
コンピュータに、複数の前記仕掛棚、及び隣り合う前記仕掛棚の間に配置され前記搬送先までの搬送途中で前記搬送手段の間で中継される被処理物が保管される１つ以上の中継棚の中から、被処理物の現在位置から前記搬送先決定ステップで搬送先とされた前記次工程の前記仕掛棚までの搬送路に沿った位置にある１つの仕掛棚又は中継棚を経由地として選定させる経由地選定ステップと、
コンピュータに、前記経由地選定ステップで選定した経由地の前記仕掛棚又は前記中継棚に被処理物を保管するスペースが空いていることを確認させてから、経由地として選定した前記仕掛棚又は前記中継棚を予約させる予約ステップと、
コンピュータに、前記予約ステップで予約した前記仕掛棚又は前記中継棚への被処理物の搬送の前記搬送手段に対する指示を行わせる棚向け搬送ステップと、
コンピュータに、前記経由地選定ステップで経由地として前記次工程の前記仕掛棚が選定されて被処理物が前記次工程の前記仕掛棚へと搬送されるまで、前記経由地選定ステップ、前記予約ステップ、及び前記棚向け搬送ステップを繰り返し実行させる繰り返しステップと
を備えることを特徴とする搬送制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産ラインに沿って配置された複数の各種処理装置により処理される被処理物の処理装置間の搬送を制御する搬送制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルや半導体デバイス等の製造ラインでは、被処理物をプロセスフローに従って各処理装置へ順番に搬送する。通常、被処理物は、複数一組にしてカセットに格納され、この被処理物が格納されたカセットが、プロセスフローに従って各処理装置へ順番に搬送される。この際、被処理物は、それぞれの処理装置においてカセットから抜き出されて処理され、処理終了後に再びカセットに収納されて次工程の処理装置の近傍にある棚へ搬送される。そして、搬送された被処理物は、次工程の処理装置で処理が開始されるまで、処理装置の近傍にある棚に格納される。
【０００３】
なお、液晶表示パネルや半導体デバイスの製造ラインにおける処理装置は、一般に、故障やメンテナンスにより停止している時間があり、稼働率が低い。このような処理装置の停止による処理能力の変動に対応するため、処理装置で処理が開始されるまでの間、一時的に被処理物を保管しておくことができる前述のようなバッファとしての棚が必要となる。
【０００４】
例えば、特許文献１に、複数の製造ラインで処理されて製造される半導体デバイスの製造において、製造ライン間の搬送を制御する搬送制御方法が開示されている。この搬送制御方法では、複数の処理装置を備える１つの製造ラインで処理が完了すると、被処理物を引き継いで処理する次の製造ライン、つまり搬送先ラインは、その製造ラインにおける処理前の被処理物が格納される処理前バッファの空き状態と、その製造ラインにおける複数の処理装置の稼動状態と、各処理装置での処理前の被処理物が保管される各装置処理前バッファとが確認されて決定され、その決定された製造ラインへ被処理物が搬送される。
【０００５】
また、特許文献２に、自動化された、液晶表示装置、プラズマ表示装置、又は半導体製造装置等の製造ラインにおいて、最適な製品を適量数、事前に近傍のストッカに搬送することが可能なカセットの保管システムが開示されている。特許文献２に記載の保管システムでは、１つの処理装置で被処理物への処理が終了すると、被処理物を格納したカセットは、入庫棚へ搬送され、さらに、入庫棚へ搬送された被処理物は、被処理物を引き継いで処理を施す次工程の処理装置の近傍の事前棚が空いていれば事前棚へ搬送され、空いていなければ直前棚へ搬送される。
【０００６】
このようなバッファとしての棚の数は、各工程における処理装置毎に必要数を確保しようとすると膨大な数となるため、全工程で平均化した必要数を各工程の処理装置に割り振り、各工程で棚が不足したときには、他の工程の棚を利用して、全体の棚数を最小限に抑えることが必要であった。特に、近年では、液晶パネルの大型化にともない、製造ラインにおける棚の設備コストは著しく増加しており、棚を効率的に使用することができる搬送制御システムが望まれていた。
【特許文献１】特開平１−４０３７６号公報
【特許文献２】特開２００２−２５５３１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の搬送制御方法では、次の製造ラインの処理前のバッファの空きを確認してから搬送を行うため、搬送中は、このバッファの棚は空き状態となる。同様に、特許文献２の保管システムにおいても、事前棚の空きを確認してから搬送を行うので、搬送中は、事前棚が空き状態となる。このため、前の製造ラインから次の製造ラインの処理前バッファの棚までの距離、或いは前工程の処理装置から次工程の処理装置の近傍の棚（事前棚）までの距離が長く、搬送に時間を要する場合には、長時間にわたって、棚が空き状態となっていた。つまり、棚を効率的に使用することができなかった。
【０００８】
また、処理装置のカセット待ちによるロスを減らすためには、処理装置の近傍に多くのカセットを確保しておくことが必要となるが、上記したように、棚を効率的に使用することができず、１つの棚に常に満杯状態に近い多くのカセットを確保しておくことができないため、代わりに、処理装置の近傍に複数の棚（通常、３個程度）を備えることで、処理装置の近傍に多くのカセットを確保しなければならなかった。つまり、処理装置の近傍に多くの棚を設置する必要があった。
【０００９】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであって、生産ラインにおける前工程の処理装置から次工程の処理装置の近傍にある仕掛棚への被処理物の搬送において、仕掛棚を効率よく使用するこができるように被処理物を搬送することができる搬送制御システム、搬送制御方法、及び搬送制御プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る搬送制御システムは、生産ラインに沿って配置された複数の各種処理装置により処理される被処理物の処理装置間の搬送を制御する搬送制御システムであって、被処理物を前工程の処理装置から次工程の処理装置へと搬送するため生産ラインに沿って配置された複数の搬送手段と、複数の前記各種処理装置のうちから選択されたそれぞれ１つ以上の処理装置からなる複数の処理装置群の近傍にそれぞれ配置され前記処理装置での処理前の被処理物が保管される複数の仕掛棚を管理する仕掛棚管理手段と、被処理物への処理が完了した処理装置から処理完了の信号が送信されると、送信元の前記処理装置で処理された被処理物を引き継いで処理する次工程の処理装置を決定し、決定した前記次工程の前記処理装置での処理前の被処理物が保管される前記次工程の仕掛棚を前記仕掛棚管理手段で管理されている複数の前記仕掛棚の中から選定し、選定した前記次工程の前記仕掛棚を搬送先とする搬送指示を送信する搬送先決定手段と、隣り合う前記仕掛棚の間に配置され前記搬送先までの搬送途中で複数の前記搬送手段の間で中継される被処理物が保管される１つ以上の中継棚を管理する中継棚管理手段と、前記仕掛棚管理手段で管理されている前記仕掛棚への被処理物の保管を予約する仕掛棚予約手段と、前記中継棚管理手段で管理されている前記中継棚への被処理物の保管を予約する中継棚予約手段と、前記搬送先決定手段から送信された前記次工程の前記仕掛棚を搬送先とする搬送指示を受信すると、前記仕掛棚管理手段及び前記中継棚管理手段で管理されている複数の前記仕掛棚及び１つ以上の前記中継棚の中から、被処理物の現在位置から前記次工程の前記仕掛棚までの搬送路に沿った位置にある１つの仕掛棚又は中継棚を経由地として選定し、選定した経由地の前記仕掛棚又は前記中継棚に被処理物を保管するスペースが空いていることを確認してから前記仕掛棚予約手段又は前記中継棚予約手段に経由地として選定した前記仕掛棚又は前記中継棚を予約させ、予約した前記仕掛棚又は前記中継棚への被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させる処理を、経由地として前記次工程の前記仕掛棚が選定されて被処理物が前記次工程の前記仕掛棚へと搬送されるまで繰り返す搬送制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１１】
この構成により、前工程の処理装置から次工程の処理装置の近傍にある仕掛棚までの搬送を、搬送路に沿った位置にある中継棚または他の仕掛棚を経由して行うことができ、次工程の仕掛棚に最も近い位置にある中継棚又は仕掛棚に被処理物がある時に、搬送先の仕掛棚の空き状態を見て仕掛棚の予約を行い、被処理物の仕掛棚への搬送を行うことができるので、仕掛棚を予約している時間、つまり仕掛棚が空き状態にある時間を、次工程の仕掛棚の空きを確認してから前工程の処理装置から次工程の仕掛棚までの搬送を行う従来の搬送システムと比較して短縮することができ、効率よく仕掛棚を使用することができる。このため、処理装置が仕掛棚から被処理物を抜き出した後、次の被処理物を素早く仕掛棚に補充することができ、他の処理装置もすぐに被処理物を抜き出すことができるので、処理装置の被処理物待ち時間が削減され、被処理物待ちによる生産ロスを削減できる。また、仕掛棚の使用効率が向上するので、仕掛棚の棚数を削減することが可能となり、投資費用を削減できる。
【００１２】
本発明に係る搬送制御システムでは、前記搬送制御手段は、被処理物の現在位置と前記次工程の前記仕掛棚の位置とに応じた経由地を示す経由地テーブルを記憶しており、前記経由地テーブルに基づいて、経由地を選定することを特徴とする。
【００１３】
この構成により、被処理物を効率よく確実に搬送先へ搬送させることができるので、搬送能力がより向上する。
【００１４】
本発明に係る搬送制御システムでは、前記搬送制御手段は、被処理物の現在位置と前記次工程の前記仕掛棚の位置とに応じた経由地の代替を示す代替経由地テーブルを記憶しており、前記経由地テーブルに基づいて選定した経由地の仕掛棚又は中継棚に被処理物を保管するスペースが空いていない場合に、前記代替経由地テーブルに基づいて他の仕掛棚又は中継棚を経由地に選定することを特徴とする。
【００１５】
この構成により、空いている仕掛棚又は中継棚を効率よく使用して、被処理物をより効率よく確実に搬送先へ搬送させることができるので、搬送能力がさらに向上する。
【００１６】
本発明に係る搬送制御システムでは、前記仕掛棚管理手段は、被処理物が保管される各々の前記仕掛棚のスペースを、前記仕掛棚の近傍にある前記処理装置群を構成する処理装置で処理される被処理物のみが保管対象とされる専用スペースと、すべての被処理物が保管対象とされる共通スペースとに区分けして管理し、前記搬送制御手段は、経由地として前記次工程の前記仕掛棚を選定した場合には、選定した前記仕掛棚の空いている前記専用スペース又は前記共通スペースを前記仕掛棚予約手段に予約させてから、被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させ、経由地として前記次工程の前記仕掛棚以外の前記仕掛棚を選定した場合には、選定した前記仕掛棚の空いている前記共通スペースを前記仕掛棚予約手段に予約させてから、被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させることを特徴とする。
【００１７】
この構成により、仕掛棚の共通スペースを各処理装置群の間で分け合って使用することができ、仕掛棚を各処理装置の稼動率等に応じて有効に利用することができる。
【００１８】
本発明に係る搬送制御システムでは、前記中継棚管理手段は、被処理物が保管される各々の前記中継棚のスペースを、被処理物が搬送される搬送方向毎に区分けして管理し、
前記搬送制御手段は、選定した経由地が前記中継棚である場合には、選定した経由地の前記中継棚に被処理物の搬送方向に応じた被処理物を保管するためのスペースが空いていることを確認してから、前記中継棚の前記スペースを前記中継棚予約手段に予約させて、被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させることを特徴とする。
【００１９】
この構成により、中継棚間における保管スペースの空き待ち状態により発生するおそれのあるデッドロックを防止することができる。
【００２０】
本発明に係る搬送制御システムでは、前記搬送先決定手段は、処理の完了した被処理物が搬出された処理装置から搬出完了の信号が送信されると、送信元の前記処理装置を搬送先とする搬送指示を送信し、前記搬送制御手段は、前記搬送先決定手段から送信された前記処理装置を搬送先とする搬送指示を受信すると、搬送先とされた前記処理装置で処理される被処理物が保管されている仕掛棚から前記処理装置への被処理物の搬送を前記搬送手段に実施させることを特徴とする。
【００２１】
この構成により、処理装置へ被処理物を順次供給することができる。
【００２２】
本発明に係る搬送制御方法は、生産ラインに沿って配置された複数の各種処理装置により処理される被処理物を前工程の処理装置から次工程の処理装置へと搬送するため生産ラインに沿って配置された複数の搬送手段による被処理物の処理装置間の搬送を制御する搬送制御方法であって、被処理物への処理が完了した処理装置から処理完了の信号が送信されると、送信元の前記処理装置で処理された被処理物を引き継いで処理する次工程の処理装置を決定し、決定した前記次工程の前記処理装置での処理前の被処理物が保管される前記次工程の仕掛棚を、複数の前記各種処理装置のうちから選択されたそれぞれ１つ以上の処理装置からなる複数の処理装置群の近傍にそれぞれ配置され前記処理装置での処理前の被処理物が保管される複数の仕掛棚の中から選定し、選定した前記次工程の前記仕掛棚を搬送先とする搬送先決定ステップと、複数の前記仕掛棚、及び隣り合う前記仕掛棚の間に配置され前記搬送先までの搬送途中で前記搬送手段の間で中継される被処理物が保管される１つ以上の中継棚の中から、被処理物の現在位置から前記搬送先決定ステップで搬送先とされた前記次工程の前記仕掛棚までの搬送路に沿った位置にある１つの仕掛棚又は中継棚を経由地として選定する経由地選定ステップと、前記経由地選定ステップで選定した経由地の前記仕掛棚又は前記中継棚に被処理物を保管するスペースが空いていることを確認してから、経由地として選定した前記仕掛棚又は前記中継棚を予約する予約ステップと、前記搬送手段に前記予約ステップで予約した前記仕掛棚又は前記中継棚への被処理物の搬送を実施させる棚向け搬送ステップと、前記経由地選定ステップで経由地として前記次工程の前記仕掛棚が選定されて被処理物が前記次工程の前記仕掛棚へと搬送されるまで、前記経由地選定ステップ、前記予約ステップ、及び前記棚向け搬送ステップを繰り返し実行する繰り返しステップとを備えることを特徴とする。
【００２３】
この構成により、前工程の処理装置から次工程の処理装置の近傍にある仕掛棚までの搬送を、搬送路に沿った位置にある中継棚または他の仕掛棚を経由して行うことができ、次工程の仕掛棚に最も近い位置にある中継棚又は仕掛棚に被処理物がある時に、搬送先の仕掛棚の空き状態を見て仕掛棚の予約を行い、被処理物の仕掛棚への搬送を行うことができるので、仕掛棚を予約している時間、つまり仕掛棚が空き状態にある時間を、次工程の仕掛棚の空きを確認してから前工程の処理装置から次工程の仕掛棚までの搬送を行う従来の搬送システムと比較して短縮することができ、効率よく仕掛棚を使用することができる。このため、処理装置が仕掛棚から被処理物を抜き出した後、次の被処理物を素早く仕掛棚に補充することができ、他の処理装置もすぐに被処理物を抜き出すことができるので、処理装置の被処理物待ち時間が削減され、被処理物待ちによる生産ロスを削減できる。また、仕掛棚の使用効率が向上するので、仕掛棚の棚数を削減することが可能となり、投資費用を削減できる。
【００２４】
本発明に係る搬送制御プログラムは、コンピュータに、生産ラインに沿って配置された複数の各種処理装置により処理される被処理物を前工程の処理装置から次工程の処理装置へと搬送するため生産ラインに沿って配置された複数の搬送手段による被処理物の処理装置間の搬送を制御させる搬送制御プログラムであって、コンピュータに、被処理物への処理が完了した処理装置から処理完了の信号が送信されると、送信元の前記処理装置で処理された被処理物を引き継いで処理する次工程の処理装置を決定させ、決定させた前記次工程の前記処理装置での処理前の被処理物が保管される前記次工程の仕掛棚を、複数の前記各種処理装置のうちから選択されたそれぞれ１つ以上の処理装置からなる複数の処理装置群の近傍にそれぞれ配置され前記処理装置での処理前の被処理物が保管される複数の仕掛棚の中から選定させ、選定させた前記次工程の前記仕掛棚を搬送先とさせる搬送先決定ステップと、コンピュータに、複数の前記仕掛棚、及び隣り合う前記仕掛棚の間に配置され前記搬送先までの搬送途中で前記搬送手段の間で中継される被処理物が保管される１つ以上の中継棚の中から、被処理物の現在位置から前記搬送先決定ステップで搬送先とされた前記次工程の前記仕掛棚までの搬送路に沿った位置にある１つの仕掛棚又は中継棚を経由地として選定させる経由地選定ステップと、コンピュータに、前記経由地選定ステップで選定した経由地の前記仕掛棚又は前記中継棚に被処理物を保管するスペースが空いていることを確認させてから、経由地として選定した前記仕掛棚又は前記中継棚を予約させる予約ステップと、コンピュータに、前記予約ステップで予約した前記仕掛棚又は前記中継棚への被処理物の搬送の前記搬送手段に対する指示を行わせる棚向け搬送ステップと、コンピュータに、前記経由地選定ステップで経由地として前記次工程の前記仕掛棚が選定されて被処理物が前記次工程の前記仕掛棚へと搬送されるまで、前記経由地選定ステップ、前記予約ステップ、及び前記棚向け搬送ステップを繰り返し実行させる繰り返しステップとを備えることを特徴とする。
【００２５】
この構成により、前工程の処理装置から次工程の処理装置の近傍にある仕掛棚までの搬送を、搬送路に沿った位置にある中継棚または他の仕掛棚を経由して行うことができ、次工程の仕掛棚に最も近い位置にある中継棚又は仕掛棚に被処理物がある時に、搬送先の仕掛棚の空き状態を見て仕掛棚の予約を行い、被処理物の仕掛棚への搬送を行うことができるので、仕掛棚を予約している時間、つまり仕掛棚が空き状態にある時間を、次工程の仕掛棚の空きを確認してから前工程の処理装置から次工程の仕掛棚までの搬送を行う従来の搬送システムと比較して短縮することができ、効率よく仕掛棚を使用することができる。このため、処理装置が仕掛棚から被処理物を抜き出した後、次の被処理物を素早く仕掛棚に補充することができ、他の処理装置もすぐに被処理物を抜き出すことができるので、処理装置の被処理物待ち時間が削減され、被処理物待ちによる生産ロスを削減できる。また、仕掛棚の使用効率が向上するので、仕掛棚の棚数を削減することが可能となり、投資費用を削減できる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の搬送制御システム、搬送制御方法、又は搬送制御プログラムによれば、前工程の処理装置から次工程の処理装置の近傍にある仕掛棚までの搬送を、搬送路に沿った位置にある中継棚または他の仕掛棚を経由して行うことができ、次工程の仕掛棚に最も近い位置にある中継棚又は仕掛棚に被処理物がある時に、搬送先の仕掛棚の空き状態を見て仕掛棚の予約を行い、被処理物の仕掛棚への搬送を行うことができるので、仕掛棚を予約している時間、つまり仕掛棚が空き状態にある時間を、次工程の仕掛棚の空きを確認してから前工程の処理装置から次工程の仕掛棚までの搬送を行う従来の搬送システムと比較して短縮することができ、効率よく仕掛棚を使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２８】
図１は本発明の実施の形態に係る搬送制御システムにおける搬送機構の概略構成を示す構成図である。
【００２９】
本実施の形態に係る搬送制御システムの搬送機構は、処理装置（１Ｅ１〜１Ｅ７のように表記する。なお、区別する必要がない場合は、処理装置１とする）に対して、搬送車（２Ｖ１〜２Ｖ３のように表記する。なお、区別する必要がない場合は、搬送車２とする）と、走行レール３と、仕掛棚（４Ｗ１〜４Ｗ３のように表記する。なお、区別する必要がない場合は、仕掛棚４とする）と、中継棚（５Ｒ１〜５Ｒ２のように表記する。なお、区別する必要がない場合は、中継棚５とする）とを備える構成とされている。
【００３０】
＜処理装置＞
処理装置１は、被処理物に対して何らかの処理を行うための装置であり、本実施の形態では７台の処理装置１Ｅ１〜１Ｅ７が備えられている。つまり、本実施の形態において、被処理物は生産ラインに沿って、７台の処理装置１にそれぞれ搬送されて処理される。なお、本実施の形態において、被処理物は、複数個が一まとめとされてカセットに格納され、各処理装置１に搬送される構成とされているが、カセットに格納されていない被処理物が、１個あるいは複数個まとめて搬送される構成とされていてもよい。
【００３１】
また、処理装置１は、被処理物に対する処理を施す処理部１１と、処理部１１で処理を行うためのカセットを格納するためのポート部１２を備えており、搬送車２によって搬送されたカセットは、処理装置１のポート部１２に格納される。処理装置１は、ポート部１２に格納されたカセットから処理すべき被処理物を抜き出し、処理部１１にて処理を施した後、処理が施された被処理物をポート部１２に格納されたカセットに戻す構成とされている。この際、被処理物を格納するカセットは、処理前と処理後で同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【００３２】
なお、処理部１１で処理が施されて、ポート部１２のカセットに戻された被処理物は、ポート部１２から搬送車２へ搬出されて、次工程の処理装置１へと搬送される。そして、被処理物がポート部１２から搬送車２へと搬出された処理装置１には、新たに、別の被処理物が搬送車２により、ポート部１２へと搬送されてくる。
【００３３】
＜搬送手段＞
搬送車２は、被処理物を前工程の処理装置１から次工程の処理装置１へと搬送するための搬送手段として機能し、より具体的には、カセットに格納された被処理物（以下、単に被処理物とする）を、仕掛棚４や中継棚５を介して、前工程の処理装置１のポート部１２から次工程の処理装置１のポート部１２へと搬送するための搬送手段として機能する。また、搬送車２は生産ラインに沿って複数配置されており、例えば、生産ラインに沿って３台の搬送車２Ｖ１〜２Ｖ３が配置されている。
【００３４】
走行レール３は、搬送車２が走行するレールであり、生産ラインに沿って搬送車２が走行することができるよう生産ラインに沿う構成とされており、また、処理装置１（ポート部１２）と仕掛棚４との間で被処理物を受け渡しすることが可能な位置に配置されている。
【００３５】
また、このような走行レール３は、生産ラインに沿って配置された各搬送車２の走行範囲Ｌ１〜Ｌ３がそれぞれ制限されるように構成されている。例えば、搬送車２Ｖ１の走行範囲Ｌ１は、仕掛棚４Ｗ１と中継棚５Ｒ１の設置範囲に沿う範囲に限定されており、搬送車２Ｖ１と処理装置１Ｅ１〜１Ｅ３、仕掛棚４Ｗ１、及び中継棚５Ｒ１のそれぞれとの間で被処理物の受渡しを行うことが可能な範囲に限定されている。
【００３６】
同様に、搬送車２Ｖ２の走行範囲Ｌ２は、中継棚５Ｒ１、仕掛棚４Ｗ２、及び中継棚５Ｒ２の設置範囲に沿う範囲に限定されており、搬送車２Ｖ２と処理装置１Ｅ３〜１Ｅ５、仕掛棚４Ｗ２、及び中継棚５Ｒ１〜５Ｒ２のそれぞれとの間で被処理物の受渡しを行うことが可能な範囲に限定されている。
【００３７】
同様に、搬送車２Ｖ３の走行範囲Ｌ３は、中継棚５Ｒ２と仕掛棚４Ｗ３の設置範囲に沿う範囲に限定されており、搬送車２Ｖ３と処理装置１Ｅ５〜１Ｅ７、仕掛棚４Ｗ３、及び中継棚５Ｒ２のそれぞれとの間で被処理物の受渡しを行うことが可能な範囲に限定されている。
【００３８】
＜仕掛棚＞
仕掛棚４Ｗ１〜４Ｗ３は、処理装置１での処理前の被処理物を格納する棚であり、複数の各種処理装置１Ｅ１〜１Ｅ７から選択されたそれぞれ１つ以上の処理装置１からなる複数の処理装置群Ｇ１〜Ｇ３の近傍にそれぞれ対応させて配置されている。つまり、処理装置１Ｅ１と処理装置１Ｅ２とからなる処理装置群Ｇ１の近傍には、仕掛棚４Ｗ１が配置され、処理装置１Ｅ３と処理装置１Ｅ４と処理装置１Ｅ５とからなる処理装置群Ｇ２の近傍には、仕掛棚４Ｗ２が配置され、処理装置１Ｅ６と処理装置１Ｅ７とからなる処理装置群Ｇ３の近傍には、仕掛棚４Ｗ３が配置されている。
【００３９】
ここで、仕掛棚４Ｗ１は搬送車２Ｖ１と受渡しが可能とされており、仕掛棚４Ｗ２は搬送車２Ｖ２との受け渡しが可能とされており、仕掛棚４Ｗ３は搬送車２Ｖ３との受渡しが可能とされている。つまり、搬送車２によって搬送された処理装置１での処理前の被処理物を仕掛棚４へと格納することができる構成とされている。
【００４０】
＜中継棚＞
中継棚５は、隣り合う仕掛棚４の間に配置されており、後述する搬送先決定手段１０（図２参照）で搬送先として選定される次工程の仕掛棚４までの搬送途中で複数の搬送車２の間で中継される被処理物が保管される。つまり、中継棚５Ｒ１は、仕掛棚４Ｗ１と仕掛棚４Ｗ２の間に配置されており、搬送車２Ｖ１と搬送車２Ｖ２との間で中継される被処理物が保管される。同様に、中継棚５Ｒ２は、仕掛棚４Ｗ２と仕掛棚４Ｗ３の間に配置されており、搬送車２Ｖ２と搬送車２Ｖ３との間で中継される被処理物が保管される。
【００４１】
よって、中継棚５Ｒ１は搬送車２Ｖ１及び搬送車２Ｖ２のそれぞれとの受渡しが可能な構成とされており、中継棚５Ｒ２は搬送車２Ｖ２及び搬送車２Ｖ３のそれぞれとの受渡しが可能な構成とされている。
【００４２】
上記したような搬送機構により、被処理物への処理が完了した１つの処理装置１から、被処理物を引き継いで処理する次工程の処理装置１への搬送を行うことが可能となる。例えば、処理装置１Ｅ１での処理が完了し、被処理物を次工程の処理装置１Ｅ７の最寄りの仕掛棚４Ｗ３へと搬送する場合には、まず、中継棚５Ｒ１に空きがあることを確認してから処理装置１Ｅ１から搬送車２Ｖ１へ被処理物を搬出し、被処理物を中継棚５Ｒ１まで搬送車２Ｖ１により搬送して中継棚５Ｒ１に保管する。
【００４３】
次に、中継棚５Ｒ２に空きがあることを確認してから中継棚５Ｒ１から搬送車２Ｖ２へ被処理物を搬出し、被処理物を中継棚５Ｒ２まで搬送車２Ｖ２により搬送して中継棚５Ｒ２に保管する。
【００４４】
最後に、処理装置１Ｅ７の最寄りの仕掛棚４Ｗ３に空きがあることを確認してから中継棚５Ｒ２から搬送車２Ｖ３へ被処理物を搬出し、被処理物を仕掛棚４Ｗ３まで搬送車２Ｖ３により搬送して仕掛棚４Ｗ３に保管する。
【００４５】
このように、搬送路に沿って配置されている中継棚５Ｒ１〜５Ｒ２を経由しながら搬送を行うのが基本であるが、中継棚５Ｒ１〜５Ｒ２が空かない場合には、搬送路に沿って配置されている他の仕掛棚４、例えば、仕掛棚４Ｗ１や仕掛棚４Ｗ２を経由して搬送を行ってもよい。
【００４６】
そして、仕掛棚４Ｗ３へと搬送された被処理物は、処理装置１Ｅ７から処理の完了した被処理物が搬出されたタイミングで、つまり、処理装置１Ｅ７のポート部１２に空きができたタイミングで、仕掛棚４Ｗ３から搬送車２Ｖ３へと搬出されて搬送車２Ｖ３により処理装置１Ｅ７へと搬送され、処理装置１Ｅ７のポート部１２に格納される。
【００４７】
図２は、本発明の実施の形態に係る搬送制御システムの機能構成の概略を示す機能ブロック図である。
【００４８】
本発明の実施の形態に係る搬送制御システムの機能構成は、処理装置１に対して、搬送手段としての搬送車２と、仕掛棚管理手段６と、中継棚管理手段７と、仕掛棚予約手段８と、中継棚予約手段９と、搬送先決定手段１０と、搬送制御手段１１とを備える構成とされている。
【００４９】
＜仕掛棚管理手段＞
仕掛棚管理手段６は、仕掛棚４を管理する構成とされている。例えば、各仕掛棚４について、その仕掛棚４の保管スペースに保管することが可能な被処理物（又は複数の被処理物を一まとめにして格納しているカセット）の保管可能量を管理する構成とされている。
【００５０】
また、本実施の形態において、仕掛棚管理手段６は、一部又は全ての仕掛棚４について、被処理物が保管される各々の仕掛棚４のスペースを、その仕掛棚４の近傍にある処理装置群Ｇ１〜Ｇ３を構成する処理装置１で処理される被処理物のみが保管対象とされる専用スペースと、全ての被処理物が保管対象とされる共通スペースとに区分けして管理している。
【００５１】
例えば、各仕掛棚４における被処理物の保管可能量を、専用スペースに保管することが可能な被処理物の保管可能量と共通スペースに保管することが可能な被処理物の保管可能量とに分けて管理する構成とされている。なお、保管スペースにおける専用スペース及び共通スペースの位置は、それぞれ指定されていてもよいし、指定されていなくてもよい。
【００５２】
本実施の形態では、中継棚５に空きがないために一時的に退避させた被処理物の仕掛棚４における量を制限する目的で、仕掛棚４の保管スペースを共通スペースと専用スペースとに区分けして管理しており、保管スペースにおける専用スペース及び共通スペースの位置は指定しておらず、また、共通スペースから専用スペースへと被処理物が移動されることもない。
【００５３】
＜中継棚管理手段＞
中継棚管理手段７は、中継棚５を管理する構成とされている。例えば、各中継棚５について、その中継棚５の保管スペースに保管することが可能な被処理物（又は複数の被処理物を一まとめにして格納しているカセット）の量を管理する構成とされている。
【００５４】
また、本実施の形態において、中継棚管理手段７は、被処理物が保管される各々の中継棚５のスペースを、被処理物が搬送される搬送方向（図１中矢符Ｘ１及びＸ２の方向）毎に区分けして管理している。例えば、中継棚５Ｒ１は、搬送車２Ｖ１から搬送車２Ｖ２へと中継される被処理物（図１中矢符Ｘ１の方向に搬送される被処理物）が保管されるスペースと、搬送車２Ｖ２から搬送車２Ｖ１へと中継される被処理物（図中矢符Ｘ２の方向に搬送される被処理物）が保管されるスペースとに区分けして、被処理物が保管されるスペースが管理されている。
【００５５】
これにより、例えば、中継棚５Ｒ１に保管することができる被処理物の量を、搬送車２Ｖ１から搬送車２Ｖ２へと中継される被処理物（図１中矢符Ｘ１の方向に搬送される被処理物）の量と、搬送車２Ｖ２から搬送車２Ｖ１へと中継される被処理物（図１中矢符Ｘ２の方向に搬送される被処理物）の量とに分類して管理することができ、また、中継棚５Ｒ２に保管することができる被処理物の量を、搬送車２Ｖ２から搬送車２Ｖ３へと中継される被処理物（図１中矢符Ｘ１の方向に搬送される被処理物）の量と、搬送車２Ｖ３から搬送車２Ｖ２へと中継される被処理物（図１中矢符Ｘ２の方向に搬送される被処理物）の量とに分類して管理することができるから、中継棚５Ｒ１と中継棚５Ｒ２との間で、互いの保管スペースが空くのを待つことにより発生しうるデッドロックを防止することができる。
【００５６】
なお、中継棚５において搬送方向毎に区分けされたスペースは、それぞれに位置を指定して区分けされたスペースであってもよいし、位置を指定せずに区分けされたスペースであってもよい。
【００５７】
＜仕掛棚予約手段＞
仕掛棚予約手段８は、仕掛棚管理手段６で管理されている仕掛棚４への被処理物の保管を予約する構成とされている。また、本実施の形態で、仕掛棚予約手段８は、各仕掛棚４について、専用スペース又は共通スペースを指定した予約が可能な構成とされている。
【００５８】
＜中継棚予約手段＞
中継棚予約手段９は、中継棚管理手段７で管理されている中継棚５への被処理物の保管を予約する構成とされている。また、本実施の形態で、中継棚予約手段９は、各中継棚５について、搬送方向（図１中矢符Ｘ１及びＸ２の方向）毎に区分けされた各スペースを指定した予約が可能な構成とされている。
【００５９】
＜搬送先決定手段＞
搬送先決定手段１０は、各処理装置１から送信される信号を受信することが可能な構成とされており、各処理装置１から送信された信号に応じて搬送先を決定し、搬送制御手段１１に対して搬送指示を送信する構成とされている。なお、本実施の形態で各処理装置１から送信される信号には、被処理物への処理が完了したことを知らせる処理完了の信号と、処理の完了した被処理物が搬出されたことを知らせる搬出完了の信号の２種類がある。
【００６０】
搬送先決定手段１０は、被処理物への処理が完了した処理装置１から処理完了の信号が送信されると、送信元の処理装置１で処理された被処理物を引き継いで処理する次工程の処理装置１を決定し、決定した次工程の処理装置１での処理前の被処理物が保管される次工程の仕掛棚４を仕掛棚管理手段６で管理されている複数の仕掛棚４の中から選定し、選定した次工程の仕掛棚４を搬送先とする搬送指示を搬送制御手段１１に対して送信する構成とされている。
【００６１】
また、搬送先決定手段１０は、処理の完了した被処理物が搬出された処理装置１から搬出完了の信号が送信されると、送信元の処理装置１を搬送先とする搬送指示を搬送制御手段１１に対して送信する構成とされている。
【００６２】
＜搬送制御手段＞
搬送制御手段１１は、搬送先決定手段１０から送信された次工程の仕掛棚４を搬送先とする搬送指示を受信すると、仕掛棚管理手段６及び中継棚管理手段７で管理されている複数の仕掛棚４及び１つ以上の中継棚５の中から、被処理物の現在位置から次工程の仕掛棚４までの搬送路に沿った位置にある１つの仕掛棚４又は中継棚５を経由地として選定し、選定した経由地の仕掛棚４又は中継棚５に被処理物を保管するスペースが空いていることを確認してから仕掛棚予約手段８又は中継棚予約手段９に経由地として選定した仕掛棚４又は中継棚５を予約させ、予約した仕掛棚４又は中継棚５への被処理物の搬送を搬送車２に実施させる処理を、経由地として次工程の仕掛棚４が選定されて被処理物が次工程の仕掛棚４へと搬送されるまで繰り返す構成とされている。
【００６３】
また、搬送制御手段１１は、被処理物の現在位置と搬送先である次工程の仕掛棚４の位置とに応じた経由地を示す経由地テーブルを記憶しており、この経由地テーブルに基づいて、経由地となる仕掛棚４又は中継棚５の選定を行う。
【００６４】
図３は、本発明の実施の形態に係る搬送制御システムにおいて、搬送制御手段に記憶されている経由地テーブルの内容の一例を示す図表である。
【００６５】
最左列には被処理物の現在位置が示され、最上列には搬送先である次工程の仕掛棚４の位置が示され、最左列の被処理物の現在位置と最上列の搬送先のクロスする所には、経由地となる仕掛棚４又は中継棚５が示されている。例えば、被処理物が処理装置１Ｅ１の位置にあり、搬送先が仕掛棚４Ｗ３である場合の経由地は中継棚５Ｒ１であることが示されている。
【００６６】
同様に、被処理物が中継棚５Ｒ１の位置にあり、搬送先が仕掛棚４Ｗ３である場合の経由地は中継棚５Ｒ２であることが示されている。同様に、被処理物が中継棚５Ｒ２の位置にあり、搬送先が仕掛棚４Ｗ３である場合の経由地は、仕掛棚４Ｗ３であることが示されている。つまり、処理装置１Ｅ１から搬送先である仕掛棚４Ｗ３までの搬送は、中継棚５Ｒ１と、中継棚５Ｒ２を経由して行われることが示されている。
【００６７】
なお、本実施の形態における経由地テーブルには、搬送先の仕掛棚４、もしくは現在位置から搬送先の仕掛棚４の搬送路に沿った位置にある中継棚５が経由地として設定されている。また、現在位置が仕掛棚４である場合の経由地には、中継棚５が設定されている。
【００６８】
また、本実施の形態において、搬送制御手段１１は、被処理物の現在位置と搬送先である次工程の仕掛棚４の位置とに応じた経由地の代替を示す代替経由地テーブルを記憶しており、経由地テーブルに基づいて選定した経由地の仕掛棚４又は中継棚５に被処理物を保管するスペースが空いていない場合には、代替経由地テーブルに基づいて他の仕掛棚４又は中継棚５を経由地に選定する。
【００６９】
図４は、本発明の実施の形態に係る搬送制御システムにおいて、搬送制御手段に記憶されている代替経由地テーブルの内容の一例を示す図表である。
【００７０】
最左列には被処理物の現在位置が示され、最上列には搬送先である次工程の仕掛棚４の位置が示され、最左列の被処理物の現在位置と最上列の搬送先のクロスする所には、代替の経由地となる仕掛棚４又は中継棚５が示されている。例えば、被処理物が処理装置１Ｅ１の位置にあり、搬送先が仕掛棚４Ｗ３である場合の経由地の代替は仕掛棚４Ｗ１であることが示されている。
【００７１】
よって、図３の経由地テーブルにより選定した処理装置１Ｅ１から仕掛棚４Ｗ３へ搬送する場合の経由地、つまり、中継棚５Ｒ１の被処理物を保管するスペースに空きがない場合には、代替経由地テーブルに基づいて、仕掛棚４Ｗ１が代替の経由地に選定される。なお、図中の「−」は、代替の経由地として選定できる中継棚５又は仕掛棚４がないことを意味する。
【００７２】
なお、経由地テーブルで設定されている経由地が搬送先の仕掛棚４である場合、代替経由地テーブルには、搬送先の仕掛棚４の隣（例えば、現在位置に近い側）にある中継棚５が代替の経由地として設定されている。また、経由地テーブルで設定されている経由地が現在位置から搬送先の仕掛棚４の搬送路に沿った位置にある中継棚５である場合、代替経由地テーブルには、経由地テーブルで設定されている中継棚５の隣の仕掛棚４が設定されている、もしくは、代替の経由地として選定できる中継棚５又は仕掛棚４がないことを意味する「−」が設定されている。
【００７３】
また、代替の経由地とは、経由地テーブルにより選定される経由地の中継棚５又は仕掛棚４に空きがない場合に、被処理物が現在位置に留まってしまうことのないよう被処理物を一時的に退避させておくための場であるから、この代替の経由地が空いていない場合のさらなる代替の経由地があってもよく、本発明に係る搬送制御システムの搬送制御手段１１は、複数の代替経由地テーブルを記憶し、これらの代替経由地テーブルに基づいて、空いている経由地を選定することができる構成とされていてもよい。
【００７４】
また、本実施の形態で、搬送制御手段１１は、搬送先決定手段１０から送信された処理装置１を搬送先とする搬送指示を受信すると、搬送先とされた処理装置１で処理される被処理物が保管されている仕掛棚４から処理装置１への被処理物の搬送を搬送車２に実施させる。つまり、例えば、搬送制御手段１１は、処理装置１Ｅ７を搬送先とする搬送指示を受信すると、処理装置１Ｅ７で処理される被処理物が保管されている仕掛棚４Ｗ３から処理装置１Ｅ７への搬送を搬送車２Ｖ３に実施させる。
【００７５】
また、搬送制御手段１１は、経由地として次工程の仕掛棚４を選定した場合には、仕掛棚４の空いている専用スペース又は共通スペースを仕掛棚予約手段８に予約させてから、被処理物の搬送を搬送車２に実施させ、経由地として次工程の仕掛棚４以外の仕掛棚４を選定した場合には、仕掛棚４の空いている共通スペースを仕掛棚予約手段８に予約させてから、被処理物の搬送を搬送車２に実施させる構成とされている。
【００７６】
なお、各仕掛棚４における保管スペースの空きの確認方法は、特に制限されないが、例えば、各仕掛棚４について、仕掛棚予約手段８により保管が予約されている被処理物（又は複数の被処理物を一まとめにして格納しているカセット）の予約量と、仕掛棚管理手段６で管理されている被処理物（又は複数の被処理物を一まとめにして格納しているカセット）の保管可能量とを比較することにより保管スペースの空きを確認することができる。
【００７７】
同様に、各中継棚５における保管スペースの空きの確認方法は、特に制限されないが、例えば、各中継棚５について、中継棚予約手段９により予約されている被処理物（又は複数の被処理物を一まとめにして格納しているカセット）の予約量と、中継棚管理手段７で管理さている被処理物（又は複数の被処理物を一まとめにして格納しているカセット）の保管可能量とを比較することにより保管スペースの空きを確認することができる。
【００７８】
また、搬送制御手段１１は、経由地として中継棚５を選定した場合には、選定した経由地の中継棚５に被処理物の搬送方向に応じた被処理物を保管するためのスペースが空いていることを確認してから、中継棚５のそのスペースを中継棚予約手段９に予約させ、被処理物の搬送を搬送車２に実施させる構成とされている。
【００７９】
次に、本実施の形態に係る搬送制御システムにより、複数の各種処理装置１により処理される被処理物の処理装置間の搬送を制御する処理の動作について、図５〜図９を参照して説明する。
【００８０】
本実施の形態に係る搬送制御システムは、搬送先決定ステップと、経由地選定ステップと、予約ステップと、棚向け搬送ステップと、繰り返しステップと、搬出完了用搬送ステップとを備える搬送制御方法が、図示しないＣＰＵ等で構成される搬送先決定手段１０及び搬送制御手段１１により実行される構成となっている。
【００８１】
搬送先決定ステップは、被処理物への処理が完了した処理装置１から処理完了の信号が送信されると、搬送先決定手段１０が次工程の仕掛棚４を搬送先に決定し、処理の完了した被処理物が搬出された処理装置１から搬出完了の信号が送信されると、搬送先決定手段１０が、送信元の処理装置１を搬送先に決定する（ステップＳ１０１〜Ｓ１０４）。
【００８２】
経由地選定ステップは、搬送制御手段１１が１つの仕掛棚４又は中継棚５を経由地として選定する（ステップＳ２０２、Ｓ２１０、Ｓ３０４、Ｓ４０５、及びＳ５０１）。
【００８３】
予約ステップは、搬送制御手段１１が経由地選定ステップで選定した経由地の仕掛棚４又は中継棚５に被処理物を保管するスペースが空いていることを確認してから、経由地として選定した仕掛棚４又は中継棚５を予約する（ステップＳ２０４〜Ｓ２０５、Ｓ２０７〜Ｓ２０８、Ｓ２１１〜Ｓ２１２、Ｓ３０１〜Ｓ３０２、Ｓ３０５〜Ｓ３０６、Ｓ４０６〜Ｓ４０７、Ｓ５０３〜Ｓ５０４、及びＳ５０６〜Ｓ５０７）。
【００８４】
棚向け搬送ステップは、搬送制御手段１１が搬送車２（搬送手段）に予約ステップで予約した仕掛棚４又は中継棚５への被処理物の搬送を実施させる（ステップＳ２０６、Ｓ２０９、Ｓ２１３、Ｓ３０３、Ｓ３０７、Ｓ４０８、Ｓ５０５、及びＳ５０８）。
【００８５】
繰り返しステップは、搬送制御手段１１が経由地選定ステップで経由地として次工程の仕掛棚４が選定されて被処理物が次工程の仕掛棚４へと搬送されるまで、経由地選定ステップ、予約ステップ、及び棚向け搬送ステップを実行させる（ステップＳ２０３、及びＳ５０２）。
【００８６】
搬出完了用搬送ステップは、搬送先決定ステップ（ステップＳ１０１〜Ｓ１０４）で搬送先とされた処理装置１で処理される被処理物が保管されている仕掛棚４から処理装置１への被処理物の搬送を搬送車２（搬送手段）に実施させる（ステップＳ２１５）。
【００８７】
図５は、本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、処理装置から信号が送信されたときから開始する搬送先決定ステップの処理の動作を示すフロー図である。
【００８８】
具体的には、搬送先決定手段１０が、被処理物への処理が完了した処理装置１から処理完了の信号が送信されたときから又は処理の完了した被処理物が搬出された処理装置から搬出完了の信号が送信されたときから開始する処理の動作を示すフロー図である。
【００８９】
ステップＳ１０１：
まず、搬送先決定手段１０が処理装置１から送信された信号が処理完了の信号であるか否かを判断する。送信された信号が処理完了の信号である場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ１０３へ処理を移行させ、送信された信号が処理完了の信号でない場合、具体的には、搬出完了の信号である場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ１０２へ処理を移行させる。
【００９０】
ステップＳ１０２：
搬送先決定手段１０が送信元の処理装置１を搬送先に決定し、ステップＳ１０５へ処理を移行させる。
【００９１】
ステップＳ１０３：
搬送先決定手段１０が次工程の処理装置１を決定し、ステップＳ１０４へ処理を移行させる。つまり、搬送先決定手段１０が、送信元の処理装置１で処理された被処理物を引き継いで処理する次工程の処理装置１を決定し、ステップＳ１０４へ処理を移行させる。
【００９２】
ステップＳ１０４：
搬送先決定手段１０が次工程の仕掛棚４を搬送先に決定し、ステップＳ１０５へ処理を移行させる。つまり、搬送先決定手段１０が、ステップＳ１０３で決定した次工程の処理装置１での処理前の被処理物が保管される次工程の仕掛棚４を、仕掛棚管理手段６で管理されている複数の仕掛棚４の中から選定し、選定した次工程の仕掛棚４を搬送先に決定してステップＳ１０５へ処理を移行させる。ここで、次工程の仕掛棚４には、例えば、次工程の処理装置１の近傍に配置されている仕掛棚４を選定する。
【００９３】
ステップＳ１０５：
搬送先決定手段１０が搬送制御手段１１に対して搬送指示を送信し、処理を終了する。つまり、搬送先決定手段１０が、ステップＳ１０２又はステップＳ１０４で決定された搬送先への被処理物の搬送指示を搬送制御手段１１に対して送信し、ステップＳ１０１〜ステップＳ１０５からなる全処理を終了する。
【００９４】
図６〜図９は、本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、経由地選定ステップ、予約ステップ、棚向け搬送ステップ、繰り返しステップ、及び搬出完了用搬送ステップにより、被処理物を搬送先へと搬送する処理の動作を示すフロー図である。
【００９５】
図６は、本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、搬送先決定ステップで搬送先が決定されたときから開始する処理の動作を示すフロー図であり、図７は、本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、経由地選定ステップで選定された経由地が搬送先ではない場合に開始する処理の動作を示すフロー図であり、図８は、本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、被処理物が仕掛棚４の共通スペースへ搬送されたときから開始する処理の動作を示すフロー図であり、図９は、本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、被処理物が中継棚５へ搬送されたときから開始する処理の動作を示すフロー図である。
【００９６】
なお、図中、端子Ａは、図７のステップＳ３０１への移行を意味し、端子Ｂは、図８のステップＳ４０１への移行を意味し、端子Ｃは、図９のステップＳ５０１への移行を意味する。
【００９７】
ステップＳ２０１：
まず、搬送制御手段１１が、受信した搬送指示の搬送先が処理装置１であるか否かを判定し、処理装置１でない場合、つまり、搬送先が次工程の仕掛棚４である場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ２０２へ処理を移行させ、処理装置１である場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ２１５へ処理を移行させる。
【００９８】
ステップＳ２０２：
搬送制御手段１１が、経由地となる１つの仕掛棚４又は中継棚５を選定し、ステップＳ２０３へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、仕掛棚管理手段６及び中継棚管理手段７で管理されている複数の仕掛棚４及び１つ以上の中継棚５の中から、被処理物の現在位置から搬送先の次工程の仕掛棚４までの搬送路に沿った位置にある１つの仕掛棚４又は中継棚５を経由地として選定し、ステップＳ２０３へ処理を移行させる。この経由地の選定は、図３の経由地選定テーブルに基づいて行う。例えば、搬送制御手段１１は、被処理物の現在位置が処理装置１Ｅ１で、搬送先が仕掛棚４Ｗ３である場合には、経由地テーブルに基づいて、中継棚５Ｒ１を経由地に選定する。
【００９９】
ステップＳ２０３：
搬送制御手段１１が、ステップＳ２０２で選定した経由地が搬送先であるか否かを判定する。つまり、搬送制御手段１１は、経由地として次工程の仕掛棚４が選定されているか否かを判定し、経由地として次工程の仕掛棚４が選定されている場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ２０４へ処理を移行させ、経由地として次工程の仕掛棚４が選定されていない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ３０１へ処理を移行させる。
【０１００】
ステップＳ２０４：
搬送制御手段１１が、搬送先である次工程の仕掛棚４の専用スペースに空きがあるか否かを判定する。空きがある場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ２０５へ処理を移行させ、空きがない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ２０７へ処理を移行させる。
【０１０１】
ステップＳ２０５：
搬送制御手段１１が、搬送先である次工程の仕掛棚４の専用スペースの予約を行い、ステップＳ２０６へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、仕掛棚予約手段８に、搬送先である次工程の仕掛棚４の専用スペースを予約させる。
【０１０２】
ステップＳ２０６：
搬送制御手段１１が、ステップＳ２０５で予約した次工程の仕掛棚４の専用スペースへの被処理物の搬送を搬送車２に実施させる。これにより、被処理物は、搬送先である次工程の仕掛棚４の専用スペースへ搬送されるから、搬送制御方法の処理は終了する。
【０１０３】
ステップＳ２０７：
搬送制御手段１１が、搬送先である次工程の仕掛棚４の共通スペースに空きがあるか否かを判定する。空きがある場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ２０８へ処理を移行させ、空きがない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ２１０へ処理を移行させる。
【０１０４】
ステップＳ２０８：
搬送制御手段１１が、搬送先である次工程の仕掛棚４の共通スペースの予約を行い、ステップＳ２０９へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、仕掛棚予約手段８に、搬送先である次工程の仕掛棚４の共通スペースを予約させる。
【０１０５】
ステップＳ２０９：
搬送制御手段１１が、ステップＳ２０８で予約した次工程の仕掛棚４の共通スペースへの被処理物の搬送を搬送車２に実施させて、ステップＳ４０１へ処理を移行させる。
【０１０６】
ステップＳ２１０：
搬送制御手段１１が、代替の経由地の選定を行い、ステップＳ２１１へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、図４の代替経由地テーブルに基づいて、ステップＳ２０２で選定した仕掛棚４又は中継棚５以外の１つの仕掛棚４又は中継棚５を代替の経由地に選定し、ステップＳ２１１へ処理を移行させる。
【０１０７】
なお、本実施の形態では、上述したように、経由地テーブルで設定されている経由地が搬送先の仕掛棚４である場合、代替経由地テーブルには、搬送先の仕掛棚４の隣にある中継棚５が代替の経由地として設定されているから、搬送制御手段１１は、ステップＳ２１０で、代替の経由地として、１つの中継棚５を常に選定することとなる。
【０１０８】
例えば、被処理物の現在位置が処理装置１Ｅ１で、搬送先が仕掛棚４Ｗ１であり、搬送制御手段１１が、ステップＳ２０２で図３の経由地テーブルに基づいて搬送先である仕掛棚４Ｗ１を選定し、処理が、ステップＳ２０３、ステップＳ２０４、及びステップＳ２０７を経て本ステップに移行された場合、つまり、搬送制御手段１１が、処理装置１Ｅ１から仕掛棚４Ｗ１への搬送において、搬送先である仕掛棚４Ｗ１の専用スペース及び共通スペースのいずれにも、空きがないと判定した場合、搬送制御手段１１は、図３の経由地テーブルに基づいて、中継棚５Ｒ１を代替の経由地に選定する。
【０１０９】
なお、前述したように、代替の経由地とは、経由地テーブルにより選定される経由地の中継棚５又は仕掛棚４に空きがない場合に被処理物が現在位置に留まってしまうことのないよう被処理物を一時的に退避させておくための場であるから、この代替の経由地が空いていない場合のさらなる代替の経由地があってもよく、本発明に係る搬送制御方法は、複数の代替経由地テーブルに基づいて、空いている経由地を選定することができる構成とされていてもよい。
【０１１０】
また、本実施の形態では、代替経由地テーブルに基づいて代替の経由地を選定することができない場合、即ち、代替の経由地となる中継棚５又は仕掛棚４がない場合、ステップＳ２１１の処理はスキップされ、ステップＳ２１４へと処理が移行される（図示せず）。
【０１１１】
ステップＳ２１１：
搬送制御手段１１が、ステップＳ２１０で選定した代替の経由地に空きがあるか否かを確認する。すなわち、搬送制御手段１１は、被処理物の搬送方向（図１中矢符Ｘ１又はＸ２）に応じた被処理物を保管するためのスペースの空きがステップＳ２１０で代替の経由地に選定した中継棚５にあるか否かを確認する。空きがある場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ２１２へ処理を移行させ、空きがない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ２１４へ処理を移行させる。
【０１１２】
ステップＳ２１２：
搬送制御手段１１が、ステップＳ２１０で選定した中継棚５の予約を行い、ステップＳ２１３へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、中継棚予約手段９に、ステップＳ２１０で選定した中継棚５の予約をさせる。この際、搬送制御手段１１は、被処理物の搬送方向（図１中矢符Ｘ１又はＸ２）に応じた中継棚５のスペースを中継棚予約手段９に予約させる。
【０１１３】
ステップＳ２１３：
搬送制御手段１１が、ステップＳ２１２で予約した中継棚５への被処理物の搬送を搬送車２に実施させて、ステップＳ５０１へ処理を移行させる。
【０１１４】
ステップＳ２１４：
搬送制御手段１１は、一定時間の待機後、ステップＳ２０４へ処理を移行させる。
【０１１５】
ステップＳ２１５：
搬送制御手段１１が、搬送先である処理装置１で処理される被処理物が保管されている仕掛棚４から処理装置１への被処理物の搬送を搬送車２に実施させる。
【０１１６】
次にステップＳ３０１〜ステップＳ３０８からなる処理の動作について説明する。ステップＳ３０１〜ステップＳ３０８からなる処理は、搬送制御手段１１が、経由地テーブルに基づいて選定した経由地は搬送先ではないと判断したときから開始する。
【０１１７】
ステップＳ３０１：
搬送制御手段１１が、選定した経由地に空きがあるか否かを判定する。上述したように、本実施の形態における経由地テーブルには、搬送先の仕掛棚４、もしくは現在位置から搬送先の仕掛棚４の搬送路に沿った位置にある中継棚５が経由地として設定されているから、本ステップで、搬送制御手段１１が、空きがあるか否かを判定する経由地は常に中継棚５であり、また、搬送制御手段１１は、経由地である中継棚５の空きを、ステップＳ２１１と同様の処理により判定し、空きがある場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ３０２へ処理を移行させ、空きがない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ３０４へ処理を移行させる。
【０１１８】
ステップＳ３０２：
搬送制御手段１１が、選定した中継棚５の予約を行い、ステップＳ３０３へ処理を移行させる。つまり、ステップＳ２１２と同様の処理により、搬送制御手段１１が、中継棚予約手段９に、ステップＳ２０２又は後述するステップＳ５０１で選定した中継棚５の予約をさせる。
【０１１９】
ステップＳ３０３：
搬送制御手段１１が、ステップＳ３０２で予約した中継棚５への被処理物の搬送を搬送車２に実施させて、ステップＳ５０１へ処理を移行させる。なお、被処理物の現在位置が仕掛棚４又は中継棚５である場合、本ステップにおける搬送の実施により、搬送車２へ被処理物が搬出されたタイミングで、被処理物を保管していた仕掛棚４又は中継棚５における被処理物の保管の予約は解除される。
【０１２０】
ステップＳ３０４：
搬送制御手段１１が、代替の経由地の選定を行い、ステップＳ３０５へ処理を移行させる。つまり、図４の代替経由地テーブルに基づいて、１つの仕掛棚４又は中継棚５を代替の経由地に選定し、ステップＳ３０５へ処理を移行させる。
【０１２１】
なお、本実施の形態では、上述したように、経由地テーブルで設定されている経由地が現在位置から搬送先の仕掛棚４の搬送路に沿った位置にある中継棚５である場合、代替経由地テーブルには、経由地テーブルで設定されている中継棚５の隣の仕掛棚４が設定されているから、本ステップで、搬送制御手段１１は、代替の経由地として、１つの仕掛棚４を選定することとなる。
【０１２２】
例えば、被処理物の現在位置が処理装置１Ｅ１で、搬送先が仕掛棚４Ｗ３であり、搬送制御手段１１がステップＳ２０２で図３の経由地テーブルに基づいて中継棚５Ｒ１を選定し、ステップＳ２０３及びステップＳ３０１を経て本ステップに移行した場合、図４の経由地テーブルに基づいて、搬送制御手段１１は、仕掛棚４Ｗ１を代替の経由地として選定することとなる。
【０１２３】
さらに、例えば、被処理物の現在位置が中継棚５Ｒ１で、搬送先が仕掛棚４Ｗ３であり、後述するステップＳ５０１で、搬送制御手段１１が、図３の経由地テーブルに基づいて中継棚５Ｒ２を選定し、ステップＳ５０１及びステップＳ３０１を経て本ステップに移行した場合、搬送制御手段１１は、図４の経由地テーブルに基づいて、仕掛棚４Ｗ２を代替の経由地として選定することとなる。
【０１２４】
ステップＳ３０５：
搬送制御手段１１が、ステップＳ３０４で選定した代替の経由地に空きがあるか否かを判定する。具体的には、搬送制御手段１１が、ステップＳ２０７と同様の処理により、ステップＳ３０４で代替の経由地として選定した仕掛棚４の共通スペースに空きがあるか否かを判定し、空きがある場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ３０６へ処理を移行させ、空きがない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ３０８へ処理を移行させる。
【０１２５】
ステップＳ３０６：
搬送制御手段１１が、ステップＳ３０４で選定した代替の経由地である仕掛棚４の共通スペースの予約を行い、ステップＳ３０７へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、仕掛棚予約手段８に、ステップＳ２０８と同様の処理により代替の経由地である仕掛棚４の共通スペースを予約させる。
【０１２６】
ステップＳ３０７：
搬送制御手段１１が、ステップＳ３０６で予約した仕掛棚４の共通スペースへの被処理物の搬送をステップＳ２０９と同様の処理により搬送車２に実施させて、ステップＳ４０１へ処理を移行させる。なお、被処理物の現在位置が仕掛棚４又は中継棚５である場合、本ステップにおける搬送の実施により、搬送車２へ被処理物が搬出されたタイミングで、被処理物を保管していた仕掛棚４又は中継棚５における被処理物の保管の予約は解除される。
【０１２７】
ステップＳ３０８：
搬送制御手段１１が、一定時間の待機後、ステップＳ３０１へ処理を移行させる。
【０１２８】
次にステップＳ４０１〜ステップＳ４０９からなる処理の動作について説明する。ステップＳ４０１〜ステップＳ４０９からなる処理は、被処理物が仕掛棚４の共通スペースへ搬送されたときから開始する。
【０１２９】
ステップＳ４０１：
搬送制御手段１１が、被処理物の現在位置が搬送先であるか否かを判定し、搬送先であれば、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ４０２へ処理を移行させ、搬送先でなければ、「ＮＯ」と判定してステップＳ４０５へ処理を移行させる。
【０１３０】
ステップＳ４０２：
搬送制御手段１１が、搬送先である仕掛棚４の専用スペースが空いているか否かをステップＳ２０４と同様の処理により判定し、空いていれば、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ４０４へ処理を移行させ、空いていなければ、「ＮＯ」と判定してステップＳ４０３へ処理を移行させる。
【０１３１】
ステップＳ４０３：
搬送制御手段１１が、一定時間の待機後、ステップＳ４０２へ処理を移行させる。
【０１３２】
ステップＳ４０４：
搬送制御手段１１が、被処理物の現在位置を仕掛棚４の共通スペースから仕掛棚４の専用スペースへ変更する。これにより、被処理物が次工程の仕掛棚４の専用スペースに搬送されたとみなすことができるから、搬送制御方法は終了する。
【０１３３】
なお、共通スペースと専用スペースは、同じ仕掛棚４内にあるので、実際に被処理物を共通スペースから専用スペースへと移動させる必要はなく、単に管理上の被処理物の現在位置の設定を共通スペースから専用スペースに変更し、被処理物の仕掛棚４の共通スペースへの保管の予約を仕掛棚４の専用スペースへの保管の予約に変更すればよい。
【０１３４】
ステップＳ４０５：
搬送制御手段１１が、経由地となる１つの仕掛棚４又は中継棚５の選定を行い、ステップＳ４０６へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、ステップＳ２０２と同様の処理により、図３の経由地選定テーブルに基づいて経由地を選定する。
【０１３５】
なお、上述したように、現在位置が仕掛棚４である場合、経由地テーブルには中継棚５が経由地として設定されているから、現在位置が仕掛棚４の共通スペースである本ステップで、搬送制御手段１１は、１つの中継棚５を常に選定することとなる。
【０１３６】
ステップＳ４０６：
搬送制御手段１１が、ステップＳ４０５で選定した経由地の中継棚５に空きがあるか否かを判定する。すなわち、搬送制御手段１１は、ステップＳ２１１及びステップＳ３０１と同様の処理により、選定した経由地の中継棚５に被処理物の搬送方向（図１中矢符Ｘ１又はＸ２）に応じた被処理物を保管するためのスペースの空きがあるか否かを判定する。空きがある場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ４０７へ処理を移行させ、空きがない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ４０９へ処理を移行させる。
【０１３７】
ステップＳ４０７：
搬送制御手段１１が、ステップＳ４０５で選定した中継棚５を予約し、ステップＳ４０８へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、中継棚予約手段９に、ステップＳ２１２及びステップＳ３０２と同様の処理により、ステップＳ４０５で選定した中継棚５の予約をさせる。
【０１３８】
ステップＳ４０８：
搬送制御手段１１が、ステップＳ４０７で予約した中継棚５への被処理物の搬送を搬送車２に実施させて、ステップＳ５０１へ処理を移行させる。なお、本ステップにおける搬送の実施により、搬送車２へ被処理物が搬出されたタイミングで、被処理物を保管していた仕掛棚４の共通スペースの被処理物の保管の予約は解除される。
【０１３９】
ステップＳ４０９：
搬送制御手段１１が、一定時間の待機後、ステップＳ４０６へ処理を移行させる。
【０１４０】
次にステップＳ５０１〜ステップＳ５０９からなる処理の動作について説明する。ステップＳ５０１〜ステップＳ５０９からなる処理は、被処理物が中継棚５へ搬送されたときから開始する。
【０１４１】
ステップＳ５０１：
搬送制御手段１１が、経由地となる１つの仕掛棚４又は中継棚５の選定を行い、ステップＳ５０２へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、ステップＳ２０２及びステップＳ４０５と同様の処理により、経由地を選定する。例えば、搬送制御手段１１は、被処理物の現在位置が中継棚５Ｒ１で、搬送先が仕掛棚４Ｗ３である場合には、経由地テーブルに基づいて、中継棚５Ｒ２を経由地に選定する。
【０１４２】
ステップＳ５０２：
搬送制御手段１１が、ステップＳ５０１で選定した経由地が搬送先であるか否かを判定する。つまり、搬送制御手段１１が、ステップＳ２０３と同様の処理により、経由地として次工程の仕掛棚４が選定されているか否かを判定する。経由地として次工程の仕掛棚４が選定されている場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ５０３へ処理を移行させ、経由地として次工程の仕掛棚４が選定されていない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ３０１へ処理を移行させる。
【０１４３】
ステップＳ５０３：
搬送制御手段１１が、搬送先である次工程の仕掛棚４の専用スペースに空きがあるか否かを判定する。つまり、搬送制御手段１１が、ステップＳ２０４及びステップＳ４０２と同様の処理により、次工程の仕掛棚４の専用スペースに空きがあるか否かを判定し、空きがある場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ５０４へ処理を移行させ、空きがない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ５０６へ処理を移行させる。
【０１４４】
ステップＳ５０４：
搬送制御手段１１が、搬送先である次工程の仕掛棚４の専用スペースの予約を行い、ステップＳ５０５へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、ステップＳ２０５と同様の処理により、仕掛棚予約手段８に、搬送先である次工程の仕掛棚４の専用スペースを予約させる。
【０１４５】
ステップＳ５０５：
搬送制御手段１１が、ステップＳ５０４で予約した次工程の仕掛棚４の専用スペースへの被処理物の搬送を、ステップＳ２０６と同様の処理により搬送車２に実施させる。これにより、被処理物は、次工程の仕掛棚４の専用スペースへ搬送され、搬送制御方法は終了する。なお、本ステップにおける搬送の実施により、搬送車２へ被処理物が搬出されたタイミングで、被処理物を保管していた中継棚５の被処理物の保管の予約は解除される。
【０１４６】
ステップＳ５０６：
搬送制御手段１１が、搬送先である次工程の仕掛棚４の共通スペースに空きがあるか否かを判定する。つまり、ステップＳ２０７及びステップＳ３０５と同様の処理により、次工程の仕掛棚４の共通スペースに空きがあるか否かを判定し、空きがある場合には、「ＹＥＳ」と判定してステップＳ５０７へ処理を移行させ、空きがない場合には、「ＮＯ」と判定してステップＳ５０９へ処理を移行させる。
【０１４７】
ステップＳ５０７：
搬送制御手段１１が、搬送先である次工程の仕掛棚４の共通スペースの予約を行い、ステップＳ５０８へ処理を移行させる。つまり、搬送制御手段１１が、ステップＳ２０８及びステップＳ３０６と同様の処理により、仕掛棚予約手段８に、搬送先である次工程の仕掛棚４の共通スペースを予約させる。
【０１４８】
ステップＳ５０８：
搬送制御手段１１が、ステップＳ５０７で予約した次工程の仕掛棚４の共通スペースへの被処理物の搬送を、ステップＳ２０９及びステップＳ３０７と同様の処理により搬送車２に実施させて、ステップＳ４０１へ処理を移行させる。
【０１４９】
ステップＳ５０９：
搬送制御手段１１が、一定時間の待機後、ステップＳ５０３へ処理を移行させる。
【０１５０】
このような本発明に係る搬送制御方法は、前述したように、図示しないＣＰＵ等で構成される搬送先決定手段１０（コンピュータ）及び搬送制御手段１１（コンピュータ）に本実施の形態に係る各ステップを実行させるコンピュータプログラムにより実現される。
【０１５１】
上述した各ステップ（搬送制御方法）を実行するコンピュータプログラムは、適宜の記憶装置（例えばコンピュータが内蔵する記憶装置またはコンピュータに接続された外部記憶装置）を介して適宜の記憶媒体に格納することが可能である。記憶媒体に記憶することにより、異なる場所にある搬送制御システムに対しても容易にコンピュータプログラムを適用することが可能となる。
【０１５２】
なお、記憶媒体としては、マスクＲＯＭ、フラッシュＲＯＭといった半導体装置、ハードディスク、フレキシブルディスク、ＭＯディスク、ＣＤ―ＲＯＭ、ＤＶＤ―ＲＯＭ、ＢＤ―ＲＯＭ、光磁気ディスク、ＩＣカード、磁気テープなどを適用することができ、コンピュータプログラムを記録することが可能であればどのような他の記憶媒体であっても良い。また、コンピュータプログラムそのものを通信により伝送して送信先の記憶媒体に記録することも可能である。
【０１５３】
前述した通り、本実施の形態に係る搬送制御方法では、経由地選定ステップ（ステップＳ２０２、Ｓ２１０、Ｓ３０４、Ｓ４０５、及びＳ５０１）は、被処理物の現在位置と次工程の仕掛棚４の位置とに応じた経由地を示す経由地テーブルに基づいて、経由地を選定することを特徴とする。
【０１５４】
また、本実施の形態に係る搬送制御方法では、経由地選定ステップ（ステップＳ２０２、Ｓ２１０、Ｓ３０４、Ｓ４０５、及びＳ５０１）は、経由地テーブルに基づいて選定した経由地の仕掛棚４又は中継棚５に被処理物を保管するスペースが空いていない場合に、被処理物の現在位置と次工程の仕掛棚４の位置とに応じた経由地の代替を示す代替経由地テーブルに基づいて他の仕掛棚４又は中継棚５を経由地に選定することを特徴とする。
【０１５５】
また、本実施の形態に係る搬送制御方法では、被処理物が保管される各々の仕掛棚４のスペースは、仕掛棚４の近傍にある処理装置群Ｇ１〜Ｇ３を構成する処理装置１で処理される被処理物のみが保管対象とされる専用スペースと、すべての被処理物が保管対象とされる共通スペースとに区分けされて管理されており、予約ステップ（ステップＳ２０４〜Ｓ２０５、Ｓ２０７〜Ｓ２０８、Ｓ２１１〜Ｓ２１２、Ｓ３０１〜Ｓ３０２、Ｓ３０５〜Ｓ３０６、Ｓ４０６〜Ｓ４０７、Ｓ５０３〜Ｓ５０４、及びＳ５０６〜Ｓ５０７）は、経由地として次工程の仕掛棚４を選定した場合には、仕掛棚４の空いている専用スペース又は共通スペースを予約し、経由地として次工程の仕掛棚４以外の仕掛棚４を選定した場合には、選定した仕掛棚４の空いている共通スペースを予約することを特徴とする。
【０１５６】
また、本実施の形態に係る搬送制御方法では、被処理物が保管される各々の中継棚５のスペースは、被処理物が搬送される搬送方向毎に区分けして管理されており、予約ステップ（ステップＳ２０４〜Ｓ２０５、Ｓ２０７〜Ｓ２０８、Ｓ２１１〜Ｓ２１２、Ｓ３０１〜Ｓ３０２、Ｓ３０５〜Ｓ３０６、Ｓ４０６〜Ｓ４０７、Ｓ５０３〜Ｓ５０４、及びＳ５０６〜Ｓ５０７）は、選定した経由地が中継棚５である場合には、選定した経由地の中継棚５に被処理物の搬送方向（図１中の矢符Ｘ１又はＸ２の方向）に応じた被処理物を保管するためのスペースが空いていることを確認してから、中継棚５のスペースを予約することを特徴とする。
【０１５７】
また、本実施の形態に係る搬送制御方法では、搬送先決定ステップ（ステップＳ１０１〜Ｓ１０４）は、処理の完了した被処理物が搬出された処理装置１から搬出完了の信号が送信されると、送信元の処理装置１を搬送先とし、搬送先決定ステップ（ステップＳ１０１〜Ｓ１０４）で搬送先とされた処理装置１で処理される被処理物が保管されている仕掛棚４から処理装置１への被処理物の搬送を搬送車２（搬送手段）に実施させる搬出完了用搬送ステップ（ステップＳ２１５）を備えることを特徴とする。
【０１５８】
また、前述した通り、本実施の形態に係る搬送制御プログラムでは、経由地選定ステップ（ステップＳ２０２、Ｓ２１０、Ｓ３０４、Ｓ４０５、及びＳ５０１）は、コンピュータに、被処理物の現在位置と次工程の仕掛棚４の位置とに応じた経由地を示す経由地テーブルに基づいて、経由地を選定させることを特徴とする。
【０１５９】
また、本実施の形態に係る搬送制御プログラムでは、経由地選定ステップ（ステップＳ２０２、Ｓ２１０、Ｓ３０４、Ｓ４０５、及びＳ５０１）は、コンピュータに、経由地テーブルに基づいて選定させた経由地の仕掛棚４又は中継棚５に被処理物を保管するスペースが空いていない場合に、被処理物の現在位置と次工程の仕掛棚４の位置とに応じた経由地の代替を示す代替経由地テーブルに基づいて他の仕掛棚４又は中継棚５を経由地に選定させることを特徴とする。
【０１６０】
また、本実施の形態に係る搬送制御プログラムでは、被処理物が保管される各々の仕掛棚４のスペースは、仕掛棚４の近傍にある処理装置群Ｇ１〜Ｇ３を構成する処理装置１で処理される被処理物のみが保管対象とされる専用スペースと、すべての被処理物が保管対象とされる共通スペースとに区分けされて管理されており、予約ステップ（ステップＳ２０４〜Ｓ２０５、Ｓ２０７〜Ｓ２０８、Ｓ２１１〜Ｓ２１２、Ｓ３０１〜Ｓ３０２、Ｓ３０５〜Ｓ３０６、Ｓ４０６〜Ｓ４０７、Ｓ５０３〜Ｓ５０４、及びＳ５０６〜Ｓ５０７）は、コンピュータに、経由地として次工程の仕掛棚４を選定させた場合には、選定させた仕掛棚４の空いている専用スペース又は共通スペースを予約させ、経由地として次工程の仕掛棚４以外の仕掛棚４を選定させた場合には、選定させた仕掛棚４の空いている共通スペースを予約させること特徴とする。
【０１６１】
また、本実施の形態に係る搬送制御プログラムでは、被処理物が保管される各々の中継棚５のスペースは、被処理物が搬送される搬送方向毎に区分けして管理されており、予約ステップ（ステップＳ２０４〜Ｓ２０５、Ｓ２０７〜Ｓ２０８、Ｓ２１１〜Ｓ２１２、Ｓ３０１〜Ｓ３０２、Ｓ３０５〜Ｓ３０６、Ｓ４０６〜Ｓ４０７、Ｓ５０３〜Ｓ５０４、及びＳ５０６〜Ｓ５０７）は、コンピュータに、選定させた経由地が中継棚５である場合には、選定させた経由地の中継棚５に被処理物の搬送方向（図１中の矢符Ｘ１又はＸ２の方向）に応じた被処理物を保管するためのスペースが空いていることを確認してから、中継棚５のスペースを予約させることを特徴とする。
【０１６２】
また、本実施の形態に係る搬送制御プログラムでは、搬送先決定ステップ（ステップＳ１０１〜Ｓ１０４）は、コンピュータに、処理の完了した被処理物が搬出された処理装置１から搬出完了の信号が送信されると、送信元の処理装置１を搬送先とさせ、コンピュータに、搬送先決定ステップ（ステップＳ１０１〜Ｓ１０４）で搬送先とされた処理装置１で処理される被処理物が保管されている仕掛棚４から処理装置１への被処理物の搬送の搬送車２（搬送手段）に対する指示を行わせる搬出完了用搬送ステップ（ステップＳ２１５）を備えることを特徴とする。
【産業上の利用可能性】
【０１６３】
本発明の搬送制御システム、搬送制御方法、又は搬送制御プログラムは、半導体製造や、液晶テレビ、プラズマテレビなどのフラットパネルの製造といった、処理装置間を複数の搬送システムで受け渡しを行いながら搬送することが必要となる生産ラインにおいて適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１６４】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送制御システムにおける搬送機構の概略構成を示す構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る搬送制御システムの機能構成の概略を示す機能ブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る搬送制御システムにおいて、搬送制御手段に記憶されている経由地テーブルの内容の一例を示す図表である。
【図４】本発明の実施の形態に係る搬送制御システムにおいて、搬送制御手段に記憶されている代替経由地テーブルの内容の一例を示す図表である。
【図５】本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、処理装置から信号が送信されたときから開始する搬送先決定ステップの処理の動作を示すフロー図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、搬送先決定ステップで搬送先が決定されたときから開始する処理の動作を示すフロー図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、経由地選定ステップで選定された経由地が搬送先ではない場合に開始する処理の動作を示すフロー図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、被処理物が仕掛棚の共通スペースへ搬送されたときから開始する処理の動作を示すフロー図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る搬送制御方法において、被処理物が中継棚へ搬送されたときから開始する処理の動作を示すフロー図である。
【符号の説明】
【０１６５】
１  処理装置
１１  処理部
１２  ポート部
２  搬送車（搬送手段）
３  走行レール
４  仕掛棚
５  中継棚
６  仕掛棚管理手段
７  中継棚管理手段
８  仕掛棚予約手段
９  中継棚予約手段
１０  搬送先決定手段
１１  搬送制御手段
Ｇ１〜Ｇ３  処理装置群
Ｌ１  Ｖ１の搬送車の走行範囲
Ｌ２  Ｖ２の搬送車の走行範囲
Ｌ３  Ｖ３の搬送車の走行範囲
【図１】
2009057117.tif 000003
【図２】
2009057117.tif 000004
【図３】
2009057117.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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