(57)【要約】【課題】安価な装置により簡単な作業で複数のインクジェット式記録ヘッドの相対位置関係を調整する。【解決手段】位置確認マーク６３及び基準マーク６４が設けられたマスク６２と、光軸の間隔が固定される単焦点光学手段６６、６７とを用い、移動テーブル６１を移動させ、基準マーク６４の位置に一方の単焦点光学手段６６の光軸を合わせることで単焦点光学手段６６，６７の双方の光軸の位置関係を把握し、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０及びマスク６２に対して単焦点光学手段を相対的に移動させ、一方の単焦点光学手段６６の光軸にマスクの位置確認マーク６３を合わせた状態で、他方の単焦点光学手段６７の光軸にインクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２を合わせることで、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係を調整する。【選択図】図６
2009172879.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワークのマークの位置に応じて位置確認マークが備えられると共に基準マークが設けられたマスクと、
光軸の間隔が固定される少なくとも２つの単焦点光学手段と、
複数のワーク及びマスクの位置と少なくとも２つの単焦点光学手段の位置とを相対的に移動させる移動手段とを用い、
基準マークの位置に一方の単焦点光学手段の光軸を合わせることで単焦点光学手段の双方の光軸の位置関係を把握し、
複数のワーク及びマスクに対して単焦点光学手段を相対的に移動させ、一方の単焦点光学手段の光軸にマスクの位置確認マークを合わせた状態で、他方の単焦点光学手段の光軸にワークのマークを合わせることで、ワークのアライメント調整を行う
ことを特徴とするアライメント方法。
【請求項２】
請求項１に記載のアライメント方法において、
一方の単焦点光学手段の光軸をマスクの位置確認マークの位置に順次移動させると共に他方の単焦点光学手段の光軸を隣接するワークのマーク位置に順次移動させ、一方の単焦点光学手段の光軸の位置を基準とし、他方の単焦点光学手段の光軸にワークのマークを合わせてワークのアライメント調整を順次行う
ことを特徴とするアライメント方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２のいずれか一項に記載のアライメント方法において、
ガラス製のマスクを用いたことを特徴とするアライメント方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のアライメント方法により、ワークとして液体噴射ヘッドの基板のアライメントを調整し、複数の基板に共通部品を取り付けることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はアライメント方法及び液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式プリンタやプロッタ等のインクジェット式記録装置は、インクカートリッジやインクタンクなどの液体収容部に収容されたインクをインク滴として吐出する複数のインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）を含むインクジェット式記録ヘッドユニットを備えている。インクジェット式記録ヘッドは、並設されたノズル開口からなるノズル列を有するもので、複数のインクジェット式記録ヘッドのノズル列のインク吐出面側は、共通部品であるカバーヘッドで保護されている。
【０００３】
カバーヘッドは、インクジェット式記録ヘッドのインク滴吐出面側に設けられてノズル開口を露出する開口窓部を有する窓枠部と、窓枠部からインクジェット式記録ヘッドの側面側に折り曲げ成形された側壁部とを有し、側壁部をインクジェット式記録ヘッドの側面に接合することで固定されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、カバーヘッドや固定板等の固定部材と複数のインクジェット式記録ヘッドとを接合する際には、平板状のガラスマスクに設けられた基準マークに、インクジェット式記録ヘッドのノズルプレートに設けられたアライメントマークが合致するように固定部材に対しインクジェット式記録ヘッドを動かして所定の位置決めを行なっている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
即ち、基準マークを備えたマスクと複数のインクジェット式記録ヘッドのノズルプレートを重ね合わせ、基準マークを通してアライメントマークを光学手段（顕微鏡・カメラ等）により観察し、光学手段の光軸上に基準マークとアライメントマークが一致するようにノズルプレートのアライメントを調整するようにしている。
【０００６】
このため、複数のインクジェット式記録ヘッドの相対位置関係を所望の関係に維持することができ、所望の相対位置関係に維持された状態の複数のインクジェット式記録ヘッドに対して共通部品であるカバーヘッドを固定することが可能になる。
【０００７】
しかしながら、光学手段の光軸上にアライメントマークと基準マークを一致させるようにしているので、２つのマークを同時に確認する必要がある。２つのマークを同時に確認できるようにするため、高倍率の顕微鏡を適用することが考えられるが、高倍率の顕微鏡は被写界深度が小さくマスクとワークを密着させる必要がある。また、カメラを光軸上で上下に移動させてそれぞれに焦点を合わせることが考えられるが、カメラの上下の移動精度がアライメント精度に影響してしまう。
【０００８】
このようなことから、従来のアライメント調整では、２焦点の光学手段を用いているのが実情である。２焦点の光学手段は非常に高価であり、２つの光軸をあわせるため作業性が低下してしまう。また、光軸は光源の熱等により変位しやすく、その影響を防ぐためにアライメントの直前に光軸調整をすることが望ましいが、現実的には不可能であり、光軸の変位を許容したアライメント調整になってしまう。更に、２焦点の光学手段では、１つの画像の中に基準マーク、アライメントマーク、背景の３色が存在するため、それぞれでコントラストを得るための工夫が必要となる。
【０００９】
このように、光学手段の光軸上にアライメントマークと基準マークを一致させる従来の技術では、高価で使用に様々な制約を受ける２焦点の光学手段が必要であり、インクジェット式記録ヘッドのアライメント調整は高価な装置で大掛かりな作業になっているのが実情であった。
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−１６０３７６号公報
【特許文献２】特開２００４−３２２６０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、安価な装置により簡単な作業で複数のワークの相対位置関係を調整することができるアライメント方法を提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、安価な装置により簡単な作業で複数の液体噴射ヘッドの基板の相対位置関係を調整し、複数の基板に共通部品を取り付けることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するための本発明のアライメント方法は、複数のワークのマークの位置に応じて位置確認マークが備えられると共に基準マークが設けられたマスクと、光軸の間隔が固定される少なくとも２つの単焦点光学手段と、複数のワーク及びマスクの位置と少なくとも２つの単焦点光学手段の位置とを相対的に移動させる移動手段とを用い、基準マークの位置に一方の単焦点光学手段の光軸を合わせることで単焦点光学手段の双方の光軸の位置関係を把握し、複数のワーク及びマスクに対して単焦点光学手段を相対的に移動させ、一方の単焦点光学手段の光軸にマスクの位置確認マークを合わせた状態で、他方の単焦点光学手段の光軸にワークのマークを合わせることで、ワークのアライメント調整を行うことを特徴とする。
【００１４】
本発明のアライメント方法では、単焦点光学手段を用い、一方の光学手段ではマスクのマークを認識し、他方の光学手段ではワークのマークを認識するので、安価な装置により簡単な作業で複数のワークの相対位置関係を調整することができる。
【００１５】
そして、上記アライメント方法において、一方の単焦点光学手段の光軸をマスクの位置確認マークの位置に順次移動させると共に他方の単焦点光学手段の光軸を隣接するワークのマーク位置に順次移動させ、一方の単焦点光学手段の光軸の位置を基準とし、他方の単焦点光学手段の光軸にワークのマークを合わせてワークのアライメント調整を順次行うことを特徴とする。
【００１６】
また、上記アライメント方法において、ガラス製のマスクを用いたことを特徴とする。
【００１７】
上記目的を達成するための本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、上記アライメント方法により、ワークとして液体噴射ヘッドの基板のアライメントを調整し、複数の基板に共通部品を取り付けることを特徴とする。
【００１８】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法では、安価な装置により簡単な作業で複数の液体噴射ヘッドの基板の相対位置関係を調整し、複数の基板に共通部品を取り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明のアライメント方法でアライメントの対象になるワークはインクジェット式記録ヘッドユニットのインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）である。図１〜図５に基づいてインクジェット式記録ヘッドユニットを説明する。
【００２０】
図１にはインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視、図２にはインクジェット式記録ヘッドユニットの組立斜視、図３にはインクジェット式記録ヘッドユニットの要部断面、図４にはインクジェット式記録ヘッドの分解斜視、図５にはインクジェット式記録ヘッド及びヘッドケースの断面を示してある。
【００２１】
図に示すように、インクジェット式記録ヘッドユニット（ヘッドユニット）２００は、カートリッジケース２１０、インクジェット式記録ヘッド２２０、カバーヘッド２４０及び固定板２５０を有する。カートリッジケース２１０は、インクカートリッジ（図示省略）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部２１１を有するインクカートリッジの保持部材である。インクカートリッジは、例えば、ブラック及び３色のカラーインクが充填された別体で構成されたインク供給手段である。即ち、カートリッジケース２１０には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。
【００２２】
また、特に図３に示すように、カートリッジケース２１０には、一端が各カートリッジ装着部２１１に開口するとともに他端がヘッドケース２３０側に開口する複数のインク連通路２１２が設けられている。更に、カートリッジ装着部２１１のインク連通路２１２の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針２１３が固定されている。この固定は、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路２１２に形成されたフィルタ（図示省略）を介して行なわれる。
【００２３】
ヘッドケース２３０は、カートリッジケース２１０の底面に固着されている。インクジェット式記録ヘッド２２０は、複数の圧電素子３００を有するとともに、カートリッジケース２１０とは反対側の端面に圧電素子３００の駆動によってノズル開口２１からインク滴を吐出するもので、インクカートリッジの各色のインクを吐出するようインク色毎に対応して複数個設けられている。そこで、ヘッドケース２３０も各インクジェット式記録ヘッド２２０に対応してそれぞれ独立して複数個設けられている。
【００２４】
図４、図５に示すように、インクジェット式記録ヘッド２２０は、ノズルプレート２０、流路形成基板１０、保護基板３０及びコンプライアンス基板４０の４つの基板で構成されている。これらのうち流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が形成されている。
【００２５】
流路形成基板１０の幅方向に関し２個ずつの２列の圧力発生室１２が、流路形成基板１０の他方面側から異方性エッチングにより形成されている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述する保護基板３０に設けられるリザーバ部３１と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部１３が形成されている。連通部１３は、インク供給路１４を介して各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。
【００２６】
流路形成基板１０の開口面側には、ノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。このノズルプレート２０には各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されている。かくして、本例では、１個のインクジェット式記録ヘッド２２０にノズル開口２１が並設されたノズル列２１Ａが２列設けられている。また、ノズルプレート２０には、固定板２５０との位置合わせを行う際に使用されるアライメントマーク２２が設けられ、アライメントマーク２２は、ノズル開口２１の並設方向の端部に２個設けられている。
【００２７】
一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には弾性膜５０上に圧電素子３００が配設されている。この圧電素子３００は、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜、金属からなる下電極膜、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層及び金属からなる上電極膜を順次積層することで形成される。
【００２８】
保護基板３０は、圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上に接合されている。リザーバ部３１は、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成され、流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。
【００２９】
保護基板３０上には、各圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１１０が設けられている。この駆動ＩＣ１１０の各端子は、ボンディングワイヤ等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動ＩＣ１１０の各端子には、図１に示すように、フレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００３０】
コンプライアンス基板４０は保護基板３０上に接合され、コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口４４が厚さ方向に貫通して形成されている。また、コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部４３となっており、リザーバ１００は、可撓部４３により封止されている。この可撓部４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスを与えている。コンプライアンス基板４０上には、インク供給連通路２３１を有するヘッドケース２３０が設けられ、ヘッドケース２３０には、可撓部４３に対向する領域に凹部２３２が形成され、可撓部４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。
【００３１】
ヘッドケース２３０には、保護基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動ＩＣ保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動ＩＣ保持部２３３を挿通して駆動ＩＣ１１０と接続されている。
【００３２】
上記構成のインクジェット式記録ヘッド２２０は、インクカートリッジからのインクをインク連通路２１２（図３参照）及びインク供給連通路２３１を介してインク導入口４４から取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで充満させる。この状態で、駆動ＩＣ１１０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力を上げてノズル開口２１からインク滴を吐出させる。
【００３３】
インクジェット式記録ヘッド２２０を構成する各部材及びヘッドケース２３０には、組立時に各部材を位置決めするためのピンが挿入されるピン挿入孔２３４が角部の２箇所に設けられている。そして、ピン挿入孔２３４にピンを挿入して各部材の相対的な位置決めを行いながら部材同士を接合することで、インクジェット式記録ヘッド２２０及びヘッドケース２３０が一体的に組み合わせられる。
【００３４】
上述したインクジェット式記録ヘッド２２０は、１枚のシリコンウエハ上に多数のチップを同時に形成し、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４０を接着して一体化し、その後、図４に示すような１つのチップサイズの流路形成基板１０毎に分割することによって形成する。インクジェット式記録ヘッド２２０及びヘッドケース２３０は、図１乃至図３に示すように、カートリッジケース２１０にノズル列２１Ａの並び方向に所定の間隔で４つ固定されている。すなわち、ヘッドユニット２００には、ノズル列２１Ａが８列設けられていることになる。
【００３５】
このように、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０を用いて並設されたノズル開口２１からなるノズル列２１Ａの多列化を図ることで、１つのインクジェット式記録ヘッド２２０にノズル列２１Ａを多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列２１Ａの多列化を図るために複数のインクジェット式記録ヘッド２２０を用いることで、１枚のシリコンウエハから形成できるインクジェット式記録ヘッド２２０の取り数を増大させることができ、シリコンウエハの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。
【００３６】
４つのインクジェット式記録ヘッド２２０は、図１及び図３に示すように、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面に接合された共通の固定部材である固定板２５０によって位置決めされて保持されている。固定板２５０は、平板からなり、ノズル開口２１を露出する露出開口部２５１と、露出開口部２５１を画成すると共にインクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面の少なくともノズル列２１Ａの両端部側に接合される接合部２５２とを備えている。
【００３７】
接合部２５２は、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０に亘ってインク滴吐出面の外周に沿って設けられた固定用枠部２５３と、隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０の間に延設されて露出開口部２５１を分割する固定用梁部２５４とで構成され、固定用枠部２５３及び固定用梁部２５４からなる接合部２５２が複数のインクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面に同時に接合されている。また、接合部２５２の固定用枠部２５３は、インクジェット式記録ヘッド２２０の製造時に各部材を位置決めするピン挿入孔２３４を塞ぐように形成されている。
【００３８】
固定板２５０の材料としては、例えばステンレス鋼などの金属、ガラスセラミックス又はシリコン単結晶板等が好適である。なお、固定板２５０は、ノズルプレート２０との熱膨張の違いによる変形を防止するために、ノズルプレート２０と熱膨張係数が同じ材料を用いるのが好ましい。例えば、ノズルプレート２０がシリコン単結晶板で形成されているときは、固定板２５０をシリコン単結晶板で形成するのが好適である。
【００３９】
固定板２５０が、固定用梁部２５４によって隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０の間を塞いでいるため、隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０の間にインクが侵入することがなく、圧電素子３００や駆動ＩＣ１１０などのインクジェット式記録ヘッド２２０のインクによる劣化及び破壊を防止することができる。また、インクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面と固定板２５０との間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体が入り込むのを防止して固定板２５０の変形及び紙ジャムを防止することができる。
【００４０】
上述したヘッドユニット２００では４つのインクジェット式記録ヘッド２２０を固定板２５０に固着してあるが、このインクジェット式記録ヘッド２２０の固定板２５０への位置決めは、後述するアライメント方法を用いて行う。
【００４１】
ヘッドユニット２００には、図１及び図２に示すように、固定板２５０に対してインクジェット式記録ヘッド２２０とは反対側に、各インクジェット式記録ヘッド２２０を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０が設けられている。このカバーヘッド２４０は、固定板２５０の露出開口部２５１に対応して開口部２４１が設けられた固定部２４２と、インクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面の側面側に、固定板２５０の外周に亘って屈曲するように設けられた側壁部２４５とを備えている。
【００４２】
固定部２４２は、固定板２５０の固定用枠部２５３に対応して設けられた枠部２４３と、固定板２５０の固定用梁部２５４に対応して設けられて開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されている。また、枠部２４３及び梁部２４４からなる固定部２４２は、固定板２５０の接合部２５２に接合されている。
【００４３】
このように、インクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面とカバーヘッド２４０との間が隙間なく接合されているため、隙間に被記録媒体が入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。また、カバーヘッド２４０の側壁部２４５が、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０の外周縁部を覆うことで、インクジェット式記録ヘッド２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。
【００４４】
固定部２４２には、カバーヘッド２４０を他部材に位置決め固定するための固定孔２４７が設けられたフランジ部２４６が設けられている。このフランジ部２４６は、側壁部２４５から液滴吐出面の面方向と同一方向に突出するように屈曲して設けられている。カバーヘッド２４０は、図２及び図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド２２０及びヘッドケース２３０を保持した保持部材であるカートリッジケース２１０に固定されている。
【００４５】
図２及び図３に示すように、カートリッジケース２１０には、インク滴吐出面側に突出して、カバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入される突起部２１５が設けられており、この突起部２１５をカバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入するとともに突起部２１５の先端部を加熱してかしめることで、カートリッジケース２１０にカバーヘッド２４０が固定されている。このようなカートリッジケース２１０に設けられた突起部２１５を、フランジ部２４６の固定孔２４７よりも小径の外径とすることで、カバーヘッド２４０をインク滴吐出面の面方向に位置決めしてカートリッジケース２１０に固定することができる。
【００４６】
また、このようなカバーヘッド２４０と、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０が接合された固定板２５０とは、カバーヘッド２４０の固定孔２４７と複数のノズル列２１Ａとの位置決めにより固定されている。ここで、カバーヘッド２４０の固定孔２４７と複数のノズル列２１Ａとの位置決めは、後述するアライメント装置を用いて行うこともできるが、固定板２５０と複数のインクジェット式記録ヘッド２２０とを位置決め固定する際に、同時にカバーヘッド２４０も位置決め固定するようにしてもよい。
【００４７】
上述したヘッドユニット２００では、インクジェット式記録ヘッド２２０が複数個並べられて共通部品である固定板２５０が所定個数毎に取り付けられる。このため、複数個のインクジェット式記録ヘッド２２０は相対位置が調整され、個々のインクジェット式記録ヘッド２２０が高い精度で固定板２５０に取り付けられている。インクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置を調整するため、本発明のアライメント方法によるアライメント調整が行われてインクジェット式記録ヘッド２２０が製造される。
【００４８】
図６〜８に基づいてアライメント方法を説明する。
図６、図７には本発明の一実施形態例に係るアライメント方法の概念、図８にはアライメント方法の工程説明を示してある。
【００４９】
図６に示すように、移動テーブル６１には移動方向（図中左右方向）に沿って複数（図６の例では５個）のワークであるインクジェット式記録ヘッド２２０が配置され、端部のインクジェット式記録ヘッド２２０の側部にはガラス製のマスク６２が配置されている。マスク６２には、予め定められたインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係に応じた状態のアライメントマーク２２の位置に応じて、位置確認マーク６３ａ、６３ｂ、６３ｃ、６３ｄ、６３ｅが備えられている。
【００５０】
インクジェット式記録ヘッド２２０には両端にアライメントマーク２２が備えられているので、位置確認マーク６３ａ、６３ｂ、６３ｃ、６３ｄ、６３ｅは、一つのインクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２に対してそれぞれ一対ずつ備えられている。即ち、位置確認マーク６３は１０箇所に備えられている。位置確認マーク６３ａ、６３ｂ、６３ｃ、６３ｄ、６３ｅの間隔及び一対の位置確認マーク６３の距離は、インクジェット式記録ヘッド２２０を所定の相対位置関係に配された状態のアライメントマーク２２の状態に一致している。マスク６２の端部（図中右側）には一対の基準マーク６４が備えられ、基準マーク６４はインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２の配置状態に一致している。
【００５１】
また、光軸の間隔が固定された２つの単焦点光学手段６６、６７が移動テーブル６１の下部に備えられ、単焦点光学手段６６の光軸が基準マーク６４及び位置確認マーク６３に合わせられると共に、インクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２を単焦点光学手段６７の光軸に合わせるようにされている。単焦点光学手段は、例えば、光学顕微鏡とカメラの組み合わせの光学手段が適用される。
【００５２】
図６に示すように、基準マーク６４の位置を一対の単焦点光学手段６６で確認し、４個の単焦点光学手段６６、６７の位置関係を把握する。これにより、基準マーク６４に対して４個の単焦点光学手段６６、６７の位置関係が把握される。
【００５３】
図７に示すように、移動テーブル６１を図中右側に移動させて、一対の単焦点光学手段６６の光軸を端部の位置確認マーク６３ａに一致させる。この位置状態を基準として、一対の単焦点光学手段６７の光軸に、端部のインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を合わせる。これにより、予め把握された４個の単焦点光学手段６６、６７の位置関係に応じて、一対の単焦点光学手段６６の光軸（端部の位置確認マーク６３ａの位置）を基準として、端部のインクジェット式記録ヘッド２２０の位置が調整される。
【００５４】
移動テーブル６１を移動させることにより、一対の単焦点光学手段６６の光軸を位置確認マーク６３ｂ、６３ｃ、６３ｄ、６３ｅに順次一致させ、位置確認マーク６３を基準として、一対の単焦点光学手段６７の光軸に、インクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を順次合わせる。これにより、マスク６２の位置確認マーク６３ａ、６３ｂ、６３ｃ、６３ｄ、６３ｅの状態と同じ状態でアライメントマーク２２が位置するように、インクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係が調整される。
【００５５】
つまり、図８（ｓ）に示すように、基準マーク６４の位置を一方の単焦点光学手段６６で確認し、一方の単焦点光学手段６６及び他方の単焦点光学手段６７の位置関係を把握して、基準マーク６４に対して単焦点光学手段６６、６７の位置関係を把握する。
【００５６】
図８（ａ）に示すように、移動テーブル６１を図中右側に移動させて、単焦点光学手段６６の光軸を端部の位置確認マーク６３ａに一致させ、単焦点光学手段６７の光軸に、端部のインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を合わせる。これにより、予め把握された単焦点光学手段６６、６７の位置関係に応じて、単焦点光学手段６６の光軸（端部の位置確認マーク６３ａの位置）を基準として、端部のインクジェット式記録ヘッド２２０の位置が調整される。
【００５７】
図８（ｂ）に示すように、移動テーブル６１を図中右側に移動させて、単焦点光学手段６６の光軸を端部の位置確認マーク６３ｂに一致させ、単焦点光学手段６７の光軸に、端部から２番目のインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を合わせる。同様に、図８（ｃ）（ｄ）（ｅ）に示すように、移動テーブル６１を図中右側に順次移動させて、単焦点光学手段６６の光軸を位置確認マーク６３ｃ、６３ｄ、６３ｅに順次一致させ、単焦点光学手段６７の光軸に、端部から３番目、４番目、５番目のインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を順次合わせる。
【００５８】
これにより、予め把握された単焦点光学手段６６、６７の位置関係に応じて、単焦点光学手段６６の光軸（位置確認マーク６３ｂ、６３ｃ、６３ｄ、６３ｅの位置）を基準として、２番目から５番目のインクジェット式記録ヘッド２２０の位置が調整される。
【００５９】
上述したアライメント方法では、一つのマスク６２と単焦点光学手段６６、６７を用いて、一方の単焦点光学手段では６６でマスク６２のマークを認識し、他方の単焦点光学手段６７ではインクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２を認識するので、５個のインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係を簡単な作業で正確に調整することができる。
【００６０】
つまり、マスク６２のマークを認識してアライメントマーク２２の位置を調整することでインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係を調整するので、累積誤差が発生する虞がなく、移動テーブル６１を移動させて単焦点光学手段６６、６７を固定状態にしているので、極めて正確に５個のインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係を調整することができる。また、少なくとも２つの、即ち、単焦点光学手段６６、６７を用いて基準の状態にある単焦点光学手段６６、６７の光軸を固定したので、移動テーブル６１の移動精度の影響を受けることなく５個のインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係を調整することができる。
【００６１】
また、単焦点光学手段６６で捕える画像は、基準マーク６４、位置確認マーク６３（ガラス）と背景であり、単焦点光学手段６６で捕える画像は、インクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２と背景であるので、コントラストを得ることが容易で、画像処理のばらつきを抑えることができ、熱等の影響を受け難く高精度な位置調整が可能である。また、マスク６２は線膨張係数が小さく熱に対する変化が少ないガラス製であるので、この点においても精度を高く維持することができる。そして、単焦点光学手段６６、６７であるので、一般的で安価な光学手段を用いることが可能であり、装置構成を安価にすることができる。
【００６２】
尚、単焦点光学手段６６、６７の数は４個に限定されず、基準マーク６４と位置確認マーク６３の数に応じて単焦点光学手段６６、６７を配することも可能である。単焦点光学手段は一般的で安価であるので、インクジェット式記録ヘッド２２０の数、即ち、ワークの数が少ない場合には、基準マーク６４と位置確認マーク６３の数に応じて単焦点光学手段を配しても、コストを大幅に増加させることがない。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】所定のアライメントを行なうヘッドユニットの分解斜視図である。
【図２】ヘッドユニットの組立斜視図である。
【図３】ヘッドユニットの要部断面図である。
【図４】ヘッドユニットの要部の分解斜視図である。
【図５】ヘッドユニットの記録ヘッド及びヘッドケースを示す断面図である。
【図６】本発明の一実施形態例に係るアライメント方法の概念図である。
【図７】本発明の一実施形態例に係るアライメント方法の概念図である。
【図８】アライメント方法の工程説明図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ２２  アライメントマーク、  ６１  移動テーブル、  ６２  マスク、  ６３  位置確認マーク、  ６４  基準マーク、  ６６、６７  単焦点光学手段、  １００  リザーバ、  ２００  ヘッドユニット、  ２１０  カートリッジケース、  ２２０  インクジェット式記録ヘッド、  ２３０  ヘッドケース、  ２４０  カバーヘッド、  ２５０  固定板、  ３００  圧電素子
【図１】
2009172879.tif 000003
【図２】
2009172879.tif 000004
【図３】
2009172879.tif 000005
【図４】
2009172879.tif 000006
【図５】
2009172879.tif 000007
【図６】
2009172879.tif 000008
【図７】
2009172879.tif 000009
【図８】
2009172879.tif 000010