(57)【要約】【課題】振動子を大きく振動させても駆動用コイルと接触することなく、かつ駆動トルクの大きさも確保することができる揺動体装置を提供する。【解決手段】揺動体装置は、揺動可能に支持され磁石30を有する振動子20を含む振動系と、振動子20を回転軸の回りに揺動させる駆動手段とを有する。駆動手段は、駆動用コイル40を有する。駆動手段により発生する磁界と振動子の磁石30との間で発生する電磁力で、振動子20は回転軸の回りに揺動する。駆動手段は、中立位置の振動子20を当該振動子の主面に垂直な方向に投影した領域の外にあって、回転軸を含み磁石30の磁化方向と垂直な平面と交差して或いは該平面の近傍に配置される。駆動用コイル40の中心部に発生する磁束の方向の延長線が、磁石30またはその近傍を通り、回転軸に垂直な平面と90°より小さい角度で斜めに交わる。【選択図】図1
2009276637.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸の回りに揺動可能に支持され磁石を有する振動子を含む振動系と、前記振動子と、を前記回転軸の回りに揺動させるための駆動手段とを有し、
前記駆動手段が、少なくとも駆動用コイルを含み、
前記駆動手段により発生する磁界と前記振動子の磁石との間で発生する電磁力で前記振動子が前記回転軸の回りに揺動し、
前記駆動手段が、中立位置の前記振動子を当該振動子の主面に垂直な方向に投影した領域の外にあって、前記回転軸を含み前記磁石の磁化方向と垂直な平面と交差して或いは該平面の近傍に配置され、
前記駆動用コイルの中心部に発生する磁束の方向の延長線が前記回転軸に垂直な平面と90°より小さい角度で斜めに交わる様に設定されていることを特徴とする揺動体装置。
【請求項２】
前記駆動手段は、駆動用コアと、該駆動用コアの回りに巻回された前記駆動用コイルとを含み、
前記駆動用コア中に発生する磁束の方向の延長線が、前記磁石またはその近傍を通り、かつ、前記回転軸に垂直な平面と90°より小さい角度で斜めに交わる様に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の揺動体装置。
【請求項３】
前記磁束の方向の延長線と前記回転軸に垂直な平面との成す角が54.73°±10°の範囲内に設定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の揺動体装置。
【請求項４】
前記磁束の方向の延長線と前記回転軸に垂直な平面との成す角が54.73°±3.4°の範囲内に設定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の揺動体装置。
【請求項５】
前記振動系が、前記磁石を有する振動子を含む少なくとも1つの振動子と、前記振動子と固定部または前記振動子同士を繋ぐ少なくとも1つのねじり梁とを含み、
前記回転軸は、前記ねじり梁で構成され、前記振動子は前記電磁力で前記回転軸の回りにねじり振動することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の揺動体装置。
【請求項６】
前記磁石が、前記振動子上の前記回転軸の伸長方向の端部に配置されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の揺動体装置。
【請求項７】
前記振動系は共振振動可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の揺動体装置。
【請求項８】
請求項1乃至7の何れか1項に記載の揺動体装置を含み、
前記振動子に、光ビームを偏向・走査する光偏向素子が設けられていることを特徴とする光偏向装置。
【請求項９】
光源と、請求項8記載の光偏向装置と、照射対象物を有し、
前記光偏向装置は、前記光源からの光を偏向し、該光の少なくとも一部を前記照射対象物上に入射させることを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動可能に支持された振動子を有する揺動体装置、それを用いた光偏向装置、それを用いた画像形成装置、ディスプレイなどの光学機器に関する。この光偏向装置は、例えば、光スイッチ、バーコードリーダ、光の走査で画像を投影するプロジェクションディスプレイや、電子写真プロセスを用いたレーザービームプリンタ（LBP）、デジタル複写機等の画像形成装置などの光学機器に用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
従来、光偏向装置として、反射面を持つ振動子を正弦振動させて光を偏向する光走査系が種々提案されている。共振現象を利用して正弦振動を行う光偏向器を用いた光走査系は、ポリゴンミラー等の回転多面鏡を使用した光走査光学系に比べて、次の様な特徴がある。すなわち、光偏向器を大幅に小型化することが可能であること、消費電力が少ないこと、特に半導体製造プロセスによって製造される単結晶シリコンからなる光偏向器は理論上金属疲労が無く耐久性にも優れていること、等の特徴がある。
【０００３】
こうした光偏向器は、レーザービーム等を予め決められた周波数でスキャンする機能を持って、イメージリーダ、光学式文字読取装置（OCR）、バーコードリーダ、LBPなどに組み込まれている。この様な技術として、電磁駆動アクチュエータを用いて、シリコンで構成されたミラーを共振させ、決められた周波数でミラーを駆動する光偏向装置が提案されている（特許文献1参照）。ここでは、図8に示す様に、小型化、軽量化、かつ低消費電力化を図る目的で、単結晶シリコン材料で形成されたプレート111と、プレートに穿設された窓112内に設けられプレートと同一材料で形成された共振子113とを備える。また、共振子を窓112の互いに対向する窓枠に支持する一対の梁と、共振子に設けられた磁性体115とを備える。更に、磁性体に共振子の共振周波数に対応した周波数の交流磁界を印加する磁界印加手段と、共振子の表面に形成された鏡面118と、鏡面118へ光120を照射する光源119とを備える。磁界印加手段は、コイル116bの巻回されたコア116aと電源117を含む。この光偏向装置では、シリコンミラーに磁石を搭載し、ミラーの持つ共振周波数に合わせた交流電流で電磁界コイルを駆動することで、ミラーを共振状態にし、目的の光ビームスキャンを実現している。
【特許文献１】特開平2002-311372号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記従来技術による振動子の駆動手段では、コイルの巻回されたコアを振動子に対して垂直に配置し、振動子を可動に支えるねじり梁に対して駆動トルクすなわちねじり力を発生させている。しかしながら、この構成では振動子の振れ角の振幅が大きくなると、振動子がコイルの巻回されたコアの一部に接触する可能性がある。その場合は振動子の破損に繋がるため、コイルの巻回されたコアを振動子に近づけることは難しかった。一方、コアとコイルとの接触を避ける為にこれらの間の距離を一定以上離間させると、駆動トルクは前記コアと磁石の距離の2乗に反比例して小さくなる。このため、一定以上の距離を保った状態でトルクを維持、又は大きくすることは容易ではなかった。
【０００５】
また、コアとコイルとを配置した後に、例えば、振動子の一部、固定部の一部、ねじり梁の一部等をレーザー光等で加工する際に、当該被加工部の下にコアとコイルとが配置されていると、加工時のレーザー光が照射され損傷する可能性が大きくなる。
【０００６】
また、振動子の振動方向にコアなどの物体があると空気の流れを阻害して、振動子の共振振動に影響を与え、振動子の振動におけるジッターが大きくなる懸念もある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題に鑑み、本発明の揺動体装置は、回転軸の回りに揺動可能に支持され磁石を有する振動子を含む振動系と、前記振動子と、を前記回転軸の回りに揺動させるための駆動手段とを有する。前記駆動手段は、少なくとも駆動用コイルを含む。前記駆動手段により発生する磁界と前記振動子の磁石との間で発生する電磁力で振動子は回転軸の回りに揺動する。前記駆動手段は、中立位置の前記振動子を当該振動子の主面に垂直な方向に投影した領域の外にあって、前記回転軸を含み前記磁石の磁化方向と垂直な平面と交差して或いは該平面の近傍に配置される。更に、前記駆動用コイルの中心部に発生する磁束の方向の延長線が、前記磁石またはその近傍を通り、かつ、前記回転軸に垂直な平面と90°より小さい角度で斜めに交わる様に設定されている。本発明において上記振動子の主面とは、振動子を構成する面の中で最も面積の広い面を意味し、上面、又は下面ともいう。
【０００８】
また、上記課題に鑑み、本発明の光偏向装置は、前記揺動体装置を含み、前記振動子に、光ビームを偏向・走査する光偏向素子が設けられている。
【０００９】
また、上記課題に鑑み、本発明の画像形成装置などの光学機器は、光源と、前記光偏向装置と、照射対象物を有し、前記光偏向装置は、前記光源からの光を偏向し、該光の少なくとも一部を前記照射対象物上に入射させる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の揺動体装置によれば、コイルを振動子の振動方向からずらし、コイルを適切な配置角度で磁石に対して設置しているので、振動子を大きく振動させてもコイルと接触することはなく、かつ或る程度の大きさの駆動トルクも確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を説明する。本発明の揺動体装置の実施形態は、基本的に、回転軸の回りに揺動可能に支持され磁石を有する振動子を含む振動系と、振動子を回転軸の回りに揺動させるための少なくとも駆動用コイルを含む駆動手段とを有する。駆動手段により発生する磁界と振動子の磁石との間で発生する電磁力で振動子が回転軸の回りに揺動する。前記効果を達成するために、駆動手段は、中立位置の振動子を当該振動子の主面に垂直な方向に投影した領域の外にあって、回転軸を含み磁石の磁化方向と垂直な平面と交差して或いは該平面の近傍に配置される。
【００１２】
本発明において、上記振動子の主面とは、振動子を構成する面の中で最も面積の広い面を意味し、上面、又は下面ともいう。当該上面と下面は一般に平行な関係にあるので、この様な場合には、本発明においては、どちらの面を基準にしてもよい。例えば光偏向装置の場合、振動子のミラーを形成する面（上面）又は駆動用の磁石を形成する面（下面）が主面となり得る。本発明において、駆動用コイルの中心部に発生する磁束の方向の延長線が回転軸に垂直な平面と90°より小さい角度で斜めに交わる様に設定される。従って、前記磁束の方向の延長線は磁石またはその近傍を通るように位置することになる。
【００１３】
駆動手段は、コイルに加えて、コイルで発生する磁界を強めるために軟磁性体の駆動用コアを含んでもよい。しかし、コイルから発生する磁界が振動子を揺動することができる程度に十分強力である場合は必ずしも駆動用コアを設ける必要はない。駆動用コアを用いる場合、駆動用コア中に発生する磁束の方向の延長線が、前記磁石またはその近傍を通り、かつ、前記回転軸に垂直な平面と90°より小さい角度で斜めに交わる様に設定される。
【００１４】
駆動手段は、前記領域の外にあればよいが、駆動エネルギー効率の観点からは、この領域にほぼ接する様に配置されるのが良い。また、後述する理由から、駆動用コア中に発生する磁束の方向の延長線と回転軸に垂直な平面との成す角は、54.73°±10°の範囲内に設定されるのが好ましく、54.73°±3.4°の範囲内に設定されるのが更に好ましい。
【００１５】
振動系は、より具体的には、磁石を有する振動子を含む少なくとも1つの振動子と、振動子と固定部または振動子同士を繋ぐ少なくとも1つのねじり梁とを含み、振動子は、前記電磁力で、ねじり梁で規定される回転軸の回りにねじり振動する。磁石が振動子上の回転軸の伸長方向の端部に配置される場合、駆動エネルギー効率をより高めることができる。すなわち、従来の方式よりも振動子上の磁石にかかる駆動トルクをより大きくすることができ、駆動用コイル、コアの大きさを小さくでき、また駆動電流を小さくできて低消費電力化、コスト低減化に寄与する。
【００１６】
前記揺動体装置を用いて、光偏向装置などを構成することができ、この光偏向装置を用いて、画像形成装置などの光学機器を構成することができる。光偏向装置では、振動子に、光ビームを偏向・走査するミラーなどの光偏向素子が設けられる。光学機器では、光源と光偏向装置と感光体や画像表示体などの照射対象物とを備え、光偏向装置は、光源からの光を偏向し、該光の少なくとも一部を照射対象物上に入射させる。
【００１７】
本実施形態の揺動体装置によれば、振動子を大きく振動させても駆動用コイルや駆動用コアと接触することなく、かつ駆動トルクの或る程度の大きさも確保することができる。また、コアやコイルを配置した後にレーザー光等で加工する際にも、加工時のレーザー光等が被加工部以外の部分に照射される可能性を小さくできる。また、振動子の振動方向からコイルやコアを排除することで、振動の揺らぎにあたるジッターを低減できる。この様に、コイルやコアを振動子の振動方向からずらし、コイルやコアを適切な配置角度で磁石に近づけることで、磁石にかかるトルクを高め、かつジッターの低減を図ることができる。
【実施例】
【００１８】
以下、図に沿って本発明の実施例を説明する。
（実施例1）
図1は、本発明による共振型揺動体装置を用いた光偏向装置に係る実施例1の平面と側面を示す図であり、図2は、駆動用コイルと駆動用コアの配置可能領域を説明する図である。
【００１９】
本実施例の振動系では、図1に示す様に、平板状の振動子20がねじりバネなどの弾性支持部10で片持ち梁式に支持され、振動子20は、弾性支持部10により規定される回転軸の回りに揺動可能である。弾性支持部10は、振動子20と固定部80とを連結している。振動子20は、一対の弾性支持部で両持ち梁式に支持されてもよい。振動子20上には、回転軸と直交して伸びる棒状の磁石30が設けられていて、磁石30の磁化方向はその伸長方向になっている。図示例では、磁石30は振動子20の下面のみに設けられているが、振動子20の上面にも設けて振動子全体の重心位置を回転軸上に設定し易い構成にしてもよい。これにより、振動子20の揺動運動に不要な運動成分が混じる可能性が少なくなり、安定した所望の揺動運動を実現することが容易になる。振動子20の上面には、レーザーダイオードなどの光源からの光ビームを偏向・走査するミラーなどの光偏向素子75が設けられる。
【００２０】
振動子20の駆動手段を説明する。本実施例の駆動手段は、駆動用コア50とこれの周りに巻回された駆動用コイル40とを含む。励磁電源60により駆動用コイル40に交流電流を流し、駆動用コア50から発生する交番磁界によって振動子20上の磁石30に電磁力が作用する。交流電流の周波数を、振動子20を含む振動系の共振周波数の近傍に設定することで、振動子20は共振振動を起こす。この様に、本実施例の振動系は共振振動可能に構成されている。ただし、振動系は、典型的には共振振動可能に構成されるが、意図的に共振周波数から外した周波数で振動させることもできる。
【００２１】
図1に示す様に、駆動用コイル40と駆動用コア50は、ねじり梁10を含み磁石30の磁化方向と垂直な平面（すなわち、横から見た図1（B）の平面）と交差して或いは該平面の近傍に配置される。また、本実施例の光偏向装置を横から見た図である図1（B）に示す様に、駆動用コア50の方向（すなわち、駆動用コア50中に発生する磁束の方向）の延長線が、磁石30またはその近傍を通る。更に、この延長線と、振動子20に垂直で磁石30を通る平面（回転軸に垂直な平面）との成す角θが54.73°となる様に設定されている。この延長線は、磁石30またはその近傍を通り、かつ、回転軸に垂直な平面と90°より小さい角度で斜めに交わる様に設定されていれば、該平面と垂直又は平行である場合より、磁石30との間で発生する電磁力を効果的に大きくできる。しかし、後述する理由で、54.73°の近傍の角度であると、更により効果的に大きくできる。
【００２２】
駆動用コイル40と駆動用コア50は、ねじり梁20が変形していない中立位置の振動子10の振動面に垂直な方向に投影して形成される領域の外に配置される。図2（A）は振動子20を上から見た時に駆動用コイル40と駆動用コア50を配置可能な領域を斜線で示し、図2（B）は振動子20を横から見た時に駆動用コイル40と駆動用コア50を配置可能な領域を斜線で示す。駆動用コイル40と駆動用コア50は、この斜線領域にあれば、振動子20を大きく振動させてもこれと接触することはない。しかし、充分な大きさの駆動トルクを確保するには、磁石30との距離がより近くなる様に、前記垂直な方向に投影して形成される領域に接して配置されるのが好ましい。
【００２３】
図6を用いて、本実施例の作用・効果を従来のスキャナと比較しつつ説明する。
図6（A）は、従来のスキャナにおいて磁石30にかかる力を示したものである。位置関係を分かり易く示すため、駆動用の励磁電源と駆動用コイルは省略してある。磁石30と駆動用コア50との距離をLとする。磁石30にかかるこれに垂直でねじり梁10に垂直な方向の力、すなわち回転トルクの大きさは距離Lの2乗に反比例するので、定数をQとすると、次の式（1）で表される。
Q/L2          （1）
【００２４】
一方、本実施例の場合、図6（B）に示す様に、駆動用コア50に向かう力は、磁石30との距離が小さくなると大きくなるが、回転トルクとして有効な成分はcosθに比例して小さくなり、有効な回転トルクは次の式（2）で表される。ただし、磁石30が振動子20の中央に固定されているとして、aは、前記回転軸の方向の磁石30から振動子20端までの距離である。
[Q/(a/sinθ)2]cosθ=(Q/a2)/sin2θcosθ        （2）
【００２５】
このトルクは、θ＝54.73°の時最大となり、次の式（3）で表される。
(Q/a2)×2/3√3        （3）
【００２６】
従来の配置の式（1）の値より本実施例の配置の式（3）の値が大きくなるのは、次の式（4）となる場合である。
L>a×1.61185…        （4）
【００２７】
取り付け公差を含めてa=0.5mmとすれば、従来の配置の方の回転トルクを大きくするためには、Lは0.8mm以下にする必要があり、これでは振動子20の振幅の確保やジッターに大きな影響を与える。従って、θ＝54.73°とすれば、振動子20を大きく振動させても駆動用コイル40及び駆動用コア50と接触することなく、かつ従来の配置と比較して駆動トルクも充分な大きさを確保することができる。
【００２８】
駆動トルクの値が前記最大値に対して±1％の範囲に入るθの値の範囲は、54.73±3.4°である。また、最大値に対して±10％の範囲ならば、θの値を54.73±10°の範囲に入れればよい。こうした範囲でも、従来の配置と比較して充分な大きさの駆動トルクを確保することができる。
【００２９】
次に、駆動用コア50の好ましい位置の許容範囲について説明する。コア50の好ましい位置からのずれと駆動トルクの低下との関係は、コア50と磁石30の所定の好ましい距離をL、それからのずれ（遠ざかる方向)をΔLとすると、ΔL ずれるとき2×ΔL/L×100％の駆動トルクの低下となる。具体的な数字で考えると、振動子20の大きさが1mm×3mm、磁石30が振動子20の回転軸方向中央に固定（磁石30から振動子20端まで0.5mm）、振動子20端からコア50までの機械的公差を0.1mmとすると、次の様になる。駆動トルクが所望の値から10％以上低下するのは、コア50が所定の好ましい位置（これは機械的公差を考えてL=(0.5+0.1)/cos(54.73)=1.039mm）から0.052mm以上ずれた時ということになる。なぜなら、トルク変動を10%とするとΔL/Lは0.05となり、よってΔL=0.05×1.039=0.052mmとなる。従って、この程度の割合（0.052/0.5）の範囲内で、振動子20端からのコア50の位置が所定の好ましい位置からずれても許容できると言える。また、本発明において、駆動用コイルの中心部に発生する磁束の方向の延長線が、振動子に設けられた磁石またはその近傍を通るとは、上記許容範囲を満たす位置にコア50が設置されている構成を意味する。
【００３０】
本実施例の揺動体装置によれば、振動子を大きく振動させても当該振動子が駆動用コイル及び駆動用コアと接触することなく、かつ駆動トルクの或る程度の大きさも確保することができる。また、コイルとコアを振動子の振動方向からずらし、コイルとコアを適切な配置角度で磁石に近づけることで、磁石にかかるトルクをより高め、かつジッターの低減を図ることができる。
【００３１】
（実施例2）
図3は、本発明による共振型揺動体装置を用いた光偏向装置に係る実施例2の平面と側面を示す図であり、図4は、駆動用コイルと駆動用コアの配置可能領域を説明する図である。
【００３２】
本実施例では、振動系が、磁石30を有する駆動振動子20とミラー75を有するミラー振動子70を含む2振動子型である。駆動振動子20と固定部80はねじり梁10で繋がれ、駆動振動子20とミラー振動子70はねじり梁15で繋がれている。励磁電源60により駆動用コイル40に交流電流を流し、駆動用コア50から発生する交番磁界によって振動子20上の磁石30に電磁力が作用する。ここでも、交流電流の周波数を、駆動振動子20とミラー振動子70を含む振動系の共振周波数の近傍に設定することで、ミラー振動子70は共振振動を起こす。こうした構成の振動系では、例えば、2つのねじれ共振振動数ｆと2ｆの成分を合成したミラー振動子70の揺動運動を実現できる。ｆと2ｆの振動成分を適切な位相と振幅の条件で合成することで、ミラー振動子70に、比較的広い等角速度範囲を有する揺動運動を行わせることができる。
【００３３】
本実施例でも、図3に示す様に、駆動用コイル40と駆動用コア50は、ねじり梁10を含み磁石30の磁化方向と垂直な平面と交差して或いは該平面の近傍に配置される。また、本実施例の光偏向装置を横から見た図である図3（B）に示す様に、駆動用コア50の方向の延長線が、磁石30またはその近傍を通り、この延長線と、振動子20に垂直で磁石30を通る平面との成す角が54.73°となる様に設定されている。
【００３４】
図4は、振動系を上から見た時と横から見た時に駆動用コイル40と駆動用コア50を配置可能な領域を斜線で示す。A、B、Cの領域が可能であるが、コイルとコアの大きさを考えると2つの振動子20、70の間のBの領域に配置することは容易とは言えない。また、磁石30との距離を考えると、ミラー振動子70の外側のCの領域に配置することは駆動エネルギー効率から言って得ではない。従って、本実施例では、実施例1と同様の態様で、駆動用コイル40と駆動用コア50をねじり梁10の側に配置している。しかし、駆動振動子20とミラー振動子70の配置関係を逆転した場合には、駆動用コイル40と駆動用コア50を駆動振動子20の外側のCの領域に配置することもできる。その他の点は、実施例1と同様である。
【００３５】
（実施例3）
図5は、本発明による共振型揺動体装置を用いた光偏向装置に係る実施例3の平面と側面を示す図である。本実施例の駆動用コイルと駆動用コアの配置可能領域は図2に示すものと同じである
【００３６】
本実施例では、図5に示す様に、磁石30が振動子20の長辺端部に配置され、駆動用コイル40と駆動用コア50との距離をより近づけている。これにより、電磁力によるトルクをより大きくすることができる。ここでも、励磁電源60により駆動用コイル40に交流電流を流し、駆動用コア50から発生する交番磁界によって振動子20上の磁石30に電磁力が作用する。振動子20のねじり梁10側の長辺端部に磁石30を配置して、駆動用コイル40と駆動用コア50をねじり梁10の下方に設置することも可能である。こうした構成でも同様な効果が奏される。
【００３７】
本実施例においては、実施例1の作用・効果を説明するのに用いた図6（B）の距離aに相当する距離を短くできる。よって、前記式（2）で表される有効な回転トルクを増大することができて、54.73°を挟んで90°より小さく0°より大きい相当広い範囲において前記角θを選択しても使用可能な光偏向装置とできる。従って、駆動用コイル40と駆動用コア50の配置位置の許容範囲が広くなって、作製がより容易となる。また、ミラー75のある面にも磁石30を配置した場合でも、ミラー75の面積を広くとることができる。その他の点は、実施例1と同様である。
【００３８】
（実施例4）
図7は、本発明の光偏向装置を用いた光学機器に係る実施例4を示す概略斜視図である。ここでは、光学機器として画像形成装置を示している。図7において、103は本発明の光偏向装置であり、本実施例では入射光を1次元に走査する。101はレーザー光源である。102はレンズ或いはレンズ群であり、104は書き込みレンズ或いはレンズ群、105はドラム状の感光体である。
【００３９】
レーザー光源101から射出されたレーザー光は、光の偏向走査のタイミングと関係した所定の強度変調を受けている。この強度変調光は、レンズ或いはレンズ群102を通って、光走査系（光偏向装置）103により1次元的に走査される。この走査されたレーザー光は、書き込みレンズ或いはレンズ群104により、感光体105上に画像を形成する。
【００４０】
走査方向と直角な方向に回転軸の回りに回転される感光体105は、図示しない帯電器により一様に帯電されており、この上に光を走査することによりその走査部分に静電潜像が形成される。次に、図示しない現像器により静電潜像の画像部分にトナー像が形成され、これを、例えば、図示しない用紙に転写・定着することで用紙上に画像が形成される。
【００４１】
本発明の光偏向装置103により、充分な走査範囲を持ち良好な光走査機能を有する光走査系とできる。また、実施例2の様に複数の振動子を持つ振動系を有する光偏向装置を用いれば、光の偏向走査の角速度を感光体105上の仕様範囲内で略等角速度とする様なことも容易にできる。こうして、本発明の光偏向装置を用いることにより、充分広い範囲で安定的に鮮明な画像を生成できる画像形成装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の揺動体装置を用いた光偏向装置に係る実施例1を示す図である。
【図２】実施例1の駆動手段の配置可能範囲を説明する図である。
【図３】本発明の揺動体装置を用いた光偏向装置に係る実施例2を示す図である。
【図４】実施例2の駆動手段の配置可能範囲を説明する図である。
【図５】本発明の揺動体装置を用いた光偏向装置に係る実施例3を示す図である。
【図６】本発明の作用・効果を説明する図である。
【図７】本発明の光偏向装置を用いた光学機器に係る実施例4を示す概略斜視図である。
【図８】従来例を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
10、15  振動子のねじり梁（弾性支持部）
20、70  振動子
30  磁石
40  駆動用コイル（駆動手段）
50  駆動用コア（駆動手段）
60  励磁電源（駆動手段）
75  ミラー（光偏向素子）
80  固定部
101  レーザー光源（光源）
103  光走査系（光偏向装置）
105  感光体（照射対象物）
【図１】
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【図２】
2009276637.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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