(57)【要約】【課題】  構造が単純で施工性に優れた電磁波シールド構造の床面構造を提供する。【解決手段】  電磁波シールドルーム２は、地盤３上に形成され、全体を支持するための梁７を有している。  梁７上には複数のグレーチング床パネル９が設けられている。  グレーチング床パネル９は連結部材１４によって電気的に接続されている。  グレーチング床パネル９と連結部材１４とで床面構造１を形成している。  連結部材１４は、コの字形部３２を有している。  コの字形部３２は、隣接するグレーチング床パネル９の外枠２５を挟み込むようにして設けられている。  さらに、コの字形部３２と外枠２５を貫通するようにして、導電材料で構成されたネジ３９ａ、３９ｂが設けられ、グレーチング床パネル９と連結部材１４は、ネジ３９ａ、３９ｂを介して電気的に接続されている。【選択図】    図２
2009024388.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁波を遮蔽する電磁波シールドルームの床面構造であって、
前記電磁波シールドルームを支持する梁に設けられ、前記梁に電気的に接続される角部を有する複数の床板と、
隣接する前記床板の前記角部を除く外周の一部を連結するように設けられ、隣接する前記床板を電気的に接続する連結部材と、
を有し、
前記連結部材は、
隣接する前記角部および／または他の前記連結部材との距離をｄとし、遮蔽する電磁波の波長をλとすると、以下の式（１）を満たす位置に設けられていることを特徴とする電磁波シールドルームの床面構造。
ｄ≦λ／２…式（１）
【請求項２】
前記床板は、
板状の本体と、
前記本体の外周に設けられ、前記本体の下面側に突き出すように設けられた外枠と、
を有し、
前記連結部材は、隣接する前記床板の前記外枠を挟み込むように設けられ、側面形状がコの字形であるコの字形部を有していることを特徴とする請求項１記載の電磁波シールドルームの床面構造。
【請求項３】
前記床板は、
前記本体に設けられ、前記本体の下面側に突き出すように設けられたリブを有し、
前記連結部材は、
前記コの字形部の、互いに対向する面を有する板状部の外側の面に設けられ、前記外枠と前記リブの間に挿入されるスペーサを有していることを特徴とする請求項２記載の電磁波シールドルームの床面構造。
【請求項４】
前記スペーサは、側面形状がＬ字形であることを特徴とする請求項３記載の電磁波シールドルームの床面構造。
【請求項５】
前記連結部材は、ネジにより前記外枠に連結され、電気的に接続されていることを特徴とする請求項２記載の電磁波シールドルームの床面構造。
【請求項６】
前記連結部材を構成する材料は、非磁性体であることを特徴とする請求項５記載の電磁波シールドルームの床面構造。
【請求項７】
前記連結部材を構成する材料は、ステンレスであることを特徴とする請求項６記載の電磁波シールドルームの床面構造。
【請求項８】
前記連結部材が前記床板の一辺に複数個設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の電磁波シールドルームの床面構造。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の電磁波シールドルームの床面構造を有することを特徴とする電磁波シールドルーム。
【請求項１０】
電磁波シールドルームの床板に用いられる電磁波シールド用連結部材であって、
隣接して配置されるべき２つの床板の隣接する外枠を挟み込むことの出来る幅を有し、側面形状がコの字形であるコの字形部を有していることを特徴とする電磁波シールド用連結部材。
【請求項１１】
床板に設けられた外枠とリブとの間に挿入されるべきスペーサを有していることを特徴とする請求項１０記載の電磁波シールド用連結部材。
【請求項１２】
前記スペーサは、側面形状がＬ字形であることを特徴とする請求項１１記載の電磁波シールド用連結部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波シールドルームの床面構造および電磁波シールドルームの床面構造を用いた電磁波シールドルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の発達により、これに用いられる半導体の需要が高まっている。
【０００３】
ここで、半導体の製造プロセスにおいては空気中の微量な不純物の存在が、その特性に大きな影響を与えるため、空気清浄度を制御した環境制御室の一種である、クリーンルーム内で製造されるのが一般的である。
【０００４】
クリーンルームの構造としては、特許文献１の図４に示すように、クリーンルーム内を、空気清浄度を制御したプロセスエリアと、床下に設けられた床下エリアと、天井に設けられた天井エリアの３つのエリアに分けた構造がある。
【０００５】
上記構造においては、プロセスエリア→床下エリア→天井エリア→プロセスエリアの順に空気を循環させ、天井エリアに設けられたフィルタによって空気を清浄化することにより、プロセスエリア内の空気の清浄度を一定に保っている。
【０００６】
また、近年、情報機器の発する電磁波が他の機器に与える影響が指摘されており、クリーンルームを構成する天井や床面を構成する材料には、電磁波遮蔽特性も要求されるようになっている。
【０００７】
即ち、近年のクリーンルームは電磁波シールドルームとしての特性も要求されている。
【０００８】
さらに、クリーンルームとは別に、電算室等のコンピュータを設置した部屋においては、電算室を、電磁波遮蔽特性を有する電磁波シールドルームとすることが要求される場合もある。
【０００９】
このような電磁波シールドルームを構成する場合の床面構造としては、特許文献１の図６に示すように、床面（パネルグレーチング床パネル）の角部を、パネルを支持する鉄骨梁と電気的に接続する構造がある。
【００１０】
一方、このような構造では、角部同士の距離の２倍以上の波長を有する電磁波に対する遮蔽効果しか得られない。
【００１１】
そこで、特許文献１の図３に示すように、隣接する床面のパネルの全周を、導電性を有するシールドガスケットを用いて電気的に接続した構造が開発されている。
【００１２】
【特許文献１】特開２００３−２１３９１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記のシールドガスケットを用いた構造は、電磁波シールドルームの電磁波遮蔽特性を高めるという観点からは有用な構造である。
【００１４】
しかしながら、電磁波シールドルームの需要が高まると見られる将来を考えると、より単純で施工性に優れた構造が求められる。
【００１５】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたもので、その目的は、構造が単純で施工性に優れた電磁波シールド構造の床面構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前述した目的を達成するために、第１の発明は、電磁波を遮蔽する電磁波シールドルームの床面構造であって、前記電磁波シールドルームを支持する梁に設けられ、前記梁に電気的に接続される角部を有する複数の床板と、隣接する前記床板の前記角部を除く外周の一部を連結するように設けられ、隣接する前記床板を電気的に接続する連結部材と、を有し、前記連結部材は、隣接する前記角部および／または他の前記連結部材との距離をｄとし、遮蔽する電磁波の波長をλとすると、以下の式（１）を満たす位置に設けられていることを特徴とする電磁波シールドルームの床面構造である。
【００１７】
ｄ≦λ／２…式（１）
前記床板は、板状の本体と、前記本体の外周に設けられ、前記本体の下面側に突き出すように設けられた外枠と、を有し、前記連結部材は、隣接する前記床板の前記外枠を挟み込むように設けられ、側面形状がコの字形であるコの字形部を有している。
【００１８】
前記床板は、前記本体に設けられ、前記本体の下面側に突き出すように設けられたリブを有し、前記連結部材は、前記コの字形部の、互いに対向する面を有する板状部の外側の面に設けられ、前記外枠と前記リブの間に挿入されるスペーサを有していてもよい。
【００１９】
この場合、前記スペーサは、側面形状がＬ字形であってもよい。
【００２０】
前記連結部材は、ネジにより前記外枠に連結され、電気的に接続されていてもよい。
【００２１】
前記連結部材を構成する材料は、非磁性体であり、例えばステンレスである。
【００２２】
前記連結部材が前記床板の一辺に複数個設けられていてもよい。
【００２３】
第２の発明は、第１の発明の電磁波シールドルームの床面構造を有することを特徴とする電磁波シールドルームである。
【００２４】
第３の発明は、電磁波シールドルームの床板に用いられる電磁波シールド用連結部材であって、隣接して配置されるべき２つの床板の隣接する外枠を挟み込むことの出来る幅を有し、側面形状がコの字形であるコの字形部を有していることを特徴とする電磁波シールド用連結部材である。
【００２５】
前記電磁波シールド用連結部材は、床板に設けられた外枠とリブとの間に挿入されるべきスペーサを有していてもよく、この場合、前記スペーサは、側面形状がＬ字形であってもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、構造が単純で施工性に優れた電磁波シールド構造の床面構造を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明に好適な実施形態を詳細に説明する。
【００２８】
まず、本実施形態に係る床面構造１が用いられる電磁波シールドルーム２の概略構造について、図１を参照して説明する。
【００２９】
ここでは電磁波シールドルーム２として、電磁波遮蔽特性が要求されるクリーンルームが例示されている。
【００３０】
図１に示すように、環境制御室としての電磁波シールドルーム２は、プロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天井エリア３０、空気循環エリア１０ａを有する。
【００３１】
電磁波シールドルーム２は、地盤３上に形成され、電磁波シールドルーム２全体を支持するための複数の支柱５および支柱５上に設けられた梁７とを有している。
【００３２】
梁７上には複数の有孔のグレーチング床パネル９が床板として設けられている。
【００３３】
グレーチング床パネル９は連結部材１４によって電気的に接続されている。
【００３４】
そして、グレーチング床パネル９と連結部材１４とで床面構造１を形成している。
【００３５】
グレーチング床パネル９には壁面としての複数の側壁パネル１１が建て込まれている。
【００３６】
側壁パネル１１の周囲には電磁波シールドルーム２の外壁としての建築壁１２が設けられ、建築壁１２の上面には、天井１５が設けられている。
【００３７】
さらに、側壁パネル１１の上面には格子天井１３が設けられている。
【００３８】
なお、格子天井１３は、天井１５に吊り下げられた図示しない吊り棒によって支持されている。
【００３９】
格子天井１３の図示しない格子面には空気を浄化するためのフィルタ１６が設けられている。
【００４０】
そして、グレーチング床パネル９、側壁パネル１１および格子天井１３で囲まれた領域がプロセスエリア１０を形成している。
【００４１】
また、建築壁１２とグレーチング床パネル９で囲まれた床下の領域が床下エリア２０を形成している。
【００４２】
さらに、格子天井１３、建築壁１２および天井１５で囲まれた領域が天井エリア３０を形成している。
【００４３】
なお、天井エリア３０内には空気循環装置２４が設けられている。
【００４４】
一方、建築壁１２、グレーチング床パネル９および格子天井１３で囲まれた領域が空気循環エリア１０ａを形成している。
【００４５】
プロセスエリア１０は空気の清浄度や電磁波等の環境が制御されたエリアであり、半導体製造装置やコンピュータ等の環境制御下で用いられる装置が設けられている。
【００４６】
床下エリア２０は、プロセスエリア１０の空気が流れ込むエリアである。
【００４７】
空気循環エリア１０ａは、床下エリア２０の空気が流れ込むエリアである。
【００４８】
天井エリア３０は、空気循環エリア１０ａの空気が流れ込むエリアであり、また、空気を清浄化してプロセスエリア１０に流すエリアである。
【００４９】
即ち、プロセスエリア１０内の空気は空気循環装置２４により、グレーチング床パネル９から、床下エリア２０、空気循環エリア１０ａを介して天井エリア３０に流れ込む。
【００５０】
そして、流れ込んだ空気はフィルタ１６によって清浄化され、再びプロセスエリア１０に流れ込む。
【００５１】
このようにして、プロセスエリア１０内の空気は常に、一定の清浄度に保たれる。
【００５２】
なお、電磁波シールドルーム２にクリーンルームとしての機能を要求しない場合は、空気循環装置２４およびフィルタ１６は不要であり、上記のような空気の循環、清浄化は行われない。
【００５３】
次に、床面構造１の構造の詳細について、図２〜図６を参照して説明する。
【００５４】
図２および図３に示すように、床面構造１は、矩形のグレーチング床パネル９を複数並べ、隣接するグレーチング床パネル９を連結部材１４で連結した構造を有している。
【００５５】
まず、グレーチング床パネル９の構造について説明する。
【００５６】
図４に示すように、グレーチング床パネル９は、矩形の板状の形状を有する本体２１を有し、本体２１には複数の孔部２３が設けられている。
【００５７】
なお、本体２１の寸法は例えば６００ｍｍ×６００ｍｍ程度である。
【００５８】
本体２１の外周には、本体２１の下面側に突き出すように設けられた外枠２５を有しており、さらに、本体２１の外枠２５の近傍には、本体２１の下面側に突き出すようにしてリブ２７が設けられている。
【００５９】
また、図４および図５に示すように、本体２１の４つの角部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは、円弧状の切り欠き形状を有している。
【００６０】
一方、図５に示すように、梁７の上面には、円筒状の台駒２９が設けられており、台駒２９の上面には導電部材であるネジ３１がねじ込まれている。
【００６１】
そして、図５に示すように、角部２２ａ、２２ｂを台駒２９と組み合わせ、ネジ３１と接触させることにより、グレーチング床パネル９と梁７が電気的に接続される。
【００６２】
なお、角部２２ｃ、２２ｄも同様である。
【００６３】
グレーチング床パネル９を構成する材料は、電磁波遮蔽特性に優れ、かつ軽量であることが要求される。
【００６４】
さらに、電磁波シールドルーム２がクリーンルームとして用いられる場合は、アウトガスの発生源とならないことも要求される。
【００６５】
このような要件を満たす材料としては、例えばアルミニウム合金やマグネシウム合金が挙げられる。
【００６６】
なお、アルミニウム合金やマグネシウム合金を用いる場合、表面に不動態皮膜を施してもよい。
【００６７】
次に、連結部材１４の構造について説明する。
【００６８】
図３および図６に示すように、連結部材１４は、側面形状がコの字形であるコの字形部３２を有している。
【００６９】
コの字形部３２は、２つのグレーチング床パネル９の隣接する外枠２５を挟み込むことの出来る程度の幅２８を有している。
【００７０】
コの字形部３２は、板状部３３および板状部３３の両端に設けられた板状部３４ａ、３４ｂにより構成されている。
【００７１】
板状部３３、３４ａ、３４ｂのうち、互いに向かい合う面を有する、板状部３４ａ、３４ｂの外側の面３５ａ、３５ｂには、側面形状がＬ字形のスペーサ３７ａ、３７ｂが設けられている。
【００７２】
そして、図３に示すように、コの字形部３２は、隣接するグレーチング床パネル９の外枠２５を挟み込むようにして設けられている。
【００７３】
なお、図６に示す連結部材１４を構成する各部の長さ３６は、例えば３０ｍｍ程度であり、厚さ３８は、例えば０．８ｍｍ程度である。
【００７４】
連結部材１４を構成する材料には、導電性が求められるとともに、電磁波の発生源とならないように、非磁性体であることが要求される。
【００７５】
このような要件を満たす材料としては、例えばステンレスが挙げられる。
【００７６】
なお、床面構造１は、コの字形部３２と外枠２５を貫通するようにして設けられ、導電材料で構成されたネジ３９ａ、３９ｂをさらに有している。
【００７７】
即ち、グレーチング床パネル９と連結部材１４は、ネジ３９ａ、３９ｂを介して電気的に接続されている。
【００７８】
このような構造とすることにより、グレーチング床パネル９の表面に絶縁被覆を設けられている場合であっても、両者を電気的に接続できる。
【００７９】
また、スペーサ３７ａ、３７ｂは、外枠２５とリブ２７の間に挿入されている。
【００８０】
このような構造とすることにより、グレーチング床パネル９に連結部材１４を取り付けた際にガタが生じるのを防止でき、また、取り付けも容易となる。
【００８１】
次に、連結部材１４を設ける位置について説明する。
【００８２】
連結部材１４は、遮蔽したい電磁波の波長をλとし、図２に示す、連結部材１４と、隣接する角部２２ａとの距離（電気的に接続された部分の隣接距離）をｄとすると、以下の式（１）を満たす位置に設けられている。
【００８３】
ｄ≦λ／２…式（１）
このような要件を満たす位置に連結部材１４を設けることにより、電気的に接続された部分の隣接距離の幅が、遮蔽したい電磁波の半波長よりも小さくなるので、電磁波が遮蔽される。
【００８４】
例えば、グレーチング床パネル９の寸法が、６００ｍｍ×６００ｍｍで、遮蔽したい電磁波の波長が６００ｍｍ以上（周波数５００ＭＨｚ）であったとする。
【００８５】
この場合、式（１）に波長λ＝６００ｍｍを代入すると、ｄ≦３００ｍｍとなる。
【００８６】
そのため、例えば、連結部材１４と、隣接する角部との距離が３００ｍｍとなる位置、即ち、外周を構成する辺の中央の位置に連結部材１４を設けることにより、６００ｍｍ以上の波長の電磁波を遮蔽できる。
【００８７】
このような構造とすることにより、従来と異なり、グレーチング床パネル９の全周を電気的に接続する必要がなくなるため、床面構造１の構造は、従来の床面構造よりも単純であり、また施工性もより良好となる。
【００８８】
なお、図２の状態から、さらに短い波長の電磁波を遮蔽したい場合は、図７に示すように、連結部材１４を増設し、グレーチング床パネル９の一辺に複数個の連結部材１４を設ける。
【００８９】
ここで、連結部材１４は、連結部材１４と、隣接する角部もしくは他の連結部材１４の距離ｄが、式（１）を満たすような位置に設けられる。
【００９０】
このように、床面構造１は、遮蔽したい電磁波の波長を変更したい場合に、連結部材１４を事後的に設けることも可能である。
【００９１】
このように、本実施形態の形態によれば、床面構造１は、グレーチング床パネル９および、隣接するグレーチング床パネル９連結するように設けられた連結部材１４を有し、連結部材１４と、隣接する角部２２ａとの距離ｄが、遮蔽したい電磁波の半波長よりも小さくなる位置に連結部材１４が設けられている。
【００９２】
従って、グレーチング床パネル９の全周を電気的に接続しなくても電磁波を遮蔽でき、床面構造１の構造は、従来の床面構造よりも単純であり、また施工性もより良好となる。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
上記した実施形態では、本発明を電磁波遮蔽特性が求められるクリーンルーム用の床面構造に適用した場合について説明したが、本発明は、何等、これに限定されることなく、電磁波を遮蔽する必要のある全ての電磁波シールドルームに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】電磁波シールドルーム２を示す側面図である。
【図２】図１のＡ１の向きの矢視図である。
【図３】図２の領域Ｓ付近のＢ１−Ｂ１断面図である。
【図４】図４（ａ）はグレーチング床パネル９を示す平面図であって、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ２−Ｂ２断面図である。
【図５】図５（ａ）は梁７を示す斜視図であって、図５（ｂ）は梁７にグレーチング床パネル９を設けた状態を示す斜視図である。
【図６】図６（ａ）は連結部材１４を示す斜視図であって、図６（ｂ）は連結部材１４を示す側面図である。
【図７】図２の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００９５】
１      床面構造
２      電磁波シールドルーム
３      地盤
５      支柱
７      梁
９      グレーチング床パネル
１０    プロセスエリア
１０ａ  空気循環エリア
１１    側壁パネル
１２    建築壁
１３    格子天井
１４    連結部材
１５    天井
１６    フィルタ
２０    床下エリア
２１    本体
２２ａ  角部
２３    孔部
２５    外枠
２７    リブ
２９    台駒
３０    天井エリア
３１    ネジ
３２    コの字形部
３３    板状部
３５ａ  面
３７ａ  スペーサ
３９ａ  ネジ
【図１】
2009024388.tif 000003
【図２】
2009024388.tif 000004
【図３】
2009024388.tif 000005
【図４】
2009024388.tif 000006
【図５】
2009024388.tif 000007
【図６】
2009024388.tif 000008
【図７】
2009024388.tif 000009