(57)【要約】【課題】迅速性に優れたＸ線透視像を表示する検査装置でありながら、注目点の深さ方向（透視方向）への位置情報を得ることのできるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検出器２と検査対象物Ｗとを相対的に傾動、回転もしくは移動させる前後で、Ｘ線透視像上で注目点Ｖを指示することにより、その注目点Ｖの透視方向への深さを算出する演算手段３０を備えるとともに、テーブル８に保持されている検査対象物Ｗを少なくとも透視方向に直交する方向から撮影する光学カメラ１０を設け、その光学カメラ１０により撮影された検査対象物Ｗの透視方向に直交する方向への外観像上に、演算手段３０で求められた注目点Ｖの透視方向への深さに対応する位置を重畳して表示することにより、Ｘ線透視像上の注目点Ｖの深さ情報をオペレータに知らせる。【選択図】図２
2009150755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線発生装置と、そのＸ線発生装置からのＸ線が入射する位置に配置されたＸ線検出器と、これらＸ線発生装置およびＸ線検出器の間で検査対象物を保持するテーブルと、上記Ｘ線検出器からのＸ線検出データを用いて検査対象物のＸ線透視像を構築して表示器に表示する透視像表示手段と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを相対的に傾動させる傾動機構と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを相対的に回転させる回転機構と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを上記Ｘ線発生装置からのＸ線光軸に対して直交する平面上で相対的に移動させる移動機構のうち、少なくともいずれかの機構を備えたＸ線検査装置において、
上記傾動機構、回転機構および移動機構のうちのいずれかを駆動する前後に、上記表示器に表示されている検査対象物のＸ線透視像上で注目点を指示するための指示手段と、その指示された注目点の上記駆動の前後の画面上の位置から、当該注目点の透視方向への深さを算出する演算手段と、上記テーブルに保持されている検査対象物を少なくとも透視方向に直交する方向から撮影する光学カメラと、その光学カメラにより撮影された検査対象物の光学像を表示器に表示する光学像表示手段と、上記演算手段により算出された注目点の透視方向への深さに対応する位置を上記光学像に重畳して表示する注目点深さ位置表示手段を備えていることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
Ｘ線発生装置と、そのＸ線発生装置からのＸ線が入射する位置に配置されたＸ線検出器と、これらＸ線発生装置およびＸ線検出器の間で検査対象物を保持するテーブルと、上記Ｘ線検出器からのＸ線検出データを用いて検査対象物のＸ線透視像を構築して表示器に表示する透視像表示手段と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを相対的に傾動させる傾動機構と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを相対的に回転させる回転機構と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを上記Ｘ線発生装置からのＸ線光軸に対して直交する平面上で相対的に移動させる移動機構のうち、少なくともいずれかの機構を備えたＸ線検査装置において、
上記傾動機構、回転機構および移動機構のうちのいずれかを駆動する前後に、上記表示器に表示されている検査対象物のＸ線透視像上で注目点を指示するための指示手段と、その指示された注目点の上記駆動の前後の画面上の位置から、当該注目点の透視方向への深さを算出する演算手段と、上記テーブルに保持されている検査対象物のＸ線透視像をあらかじめ採取して記憶する透視像記憶手段と、その透視像記憶手段に記憶されている検査対象物のＸ線透視像、もしくは記憶されているＸ線透視像を繋ぎ合わせた像を表示する記憶透視像表示手段と、上記演算手段により算出された注目点の透視方向への深さに対応する位置を、上記記憶透視像表示手段により表示された、現時点の透視方向に直交する方向から透視したＸ線透視像に重畳して表示する注目点深さ位置表示手段を備えていることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項３】
上記検査対象物の光学像上に、もしくは、上記記憶透視像表示手段により表示されたＸ線透視像上に、あらかじめ設定されている基準面の位置を併せて表示することを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
上記検査対象物の光学像上に、もしくは、上記記憶透視像表示手段により表示されたＸ線透視像上に、任意に指定可能な基準面の位置を併せて表示することを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
請求項３または４の基準面の位置と上記注目点の深さの位置との画面上での距離から実寸法での距離を求め、その値を数値で表示することを特徴とする請求項３または４に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を用いて各種工業製品等の検査対象物の内部構造や欠陥を非破壊のもとに検査するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業用のＸ線透視装置をはじめとするＸ線検査装置においては、一般に、コーンビーム状のＸ線を発生するＸ線発生装置に対向して、２次元Ｘ線検出器を配置するとともに、これらの間に、検査対象物を搭載するテーブルが配置された構造が採用される。
【０００３】
また、この種のＸ線検査装置においては、通常、検査対象物の透視方向を変更させるべく、Ｘ線検出器と透視対象物とを相対的に傾動させる傾動機構や、Ｘ線検出器と検査対象物を相対的に回転させる回転機構、および、Ｘ線検出器と検査対象物とをＸ線光軸に直交する方向に相対的に移動させる移動機構のうち、少なくとも１つの機構を備えるか、あるいは、通常はこれらの全ての機構を備えている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００７−１４９５９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、検査対象物にＸ線を照射し、その透過Ｘ線をＸ線検出器で検出することにより得られる検査対象物のＸ線透視像には、Ｘ線が透過した全ての部位の情報が重なって表示されるため、換言すれば、Ｘ線の透過方向に存在する全ての部位が重畳した画像となるため、例えば欠陥の有無を検査するに当たり、透視像上に現れた欠陥がどの深さに存在するのかが特定できない。
【０００５】
物品の３次元情報を得る手法としてＸ線ＣＴがあるが、撮影や再構成演算に時間が掛かり、迅速性を要求される検査には使えない。
【０００６】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、迅速性に優れたＸ線透視像を表示する検査装置でありながら、注目点の深さ方向への位置情報を得ることのできるＸ線検査装置の提供をその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線発生装置と、そのＸ線発生装置からのＸ線が入射する位置に配置されたＸ線検出器と、これらＸ線発生装置およびＸ線検出器の間で検査対象物を保持するテーブルと、上記Ｘ線検出器からのＸ線検出データを用いて検査対象物のＸ線透視像を構築して表示器に表示する透視像表示手段と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを相対的に傾動させる傾動機構と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを相対的に回転させる回転機構と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを上記Ｘ線発生装置からのＸ線光軸に対して直交する平面上で相対的に移動させる移動機構のうち、少なくともいずれかの機構を備えたＸ線検査装置において、上記傾動機構、回転機構および移動機構のうちのいずれかを駆動する前後に、上記表示器に表示されている検査対象物のＸ線透視像上で注目点を指示するための指示手段と、その指示された注目点の上記駆動の前後の画面上の位置から、当該注目点の透視方向への深さを算出する演算手段と、上記テーブルに保持されている検査対象物を少なくとも透視方向に直交する方向から撮影する光学カメラと、その光学カメラにより撮影された検査対象物の光学像を表示器に表示する光学像表示手段と、上記演算手段により算出された注目点の透視方向への深さに対応する位置を上記光学像の重畳して表示する注目点深さ位置表示手段を備えていることによって特徴づけられる（請求項１）。
【０００８】
また、同じ課題を解決するため、請求項２に係る発明のＸ線発生装置は、上記と同じくＸ線発生装置と、そのＸ線発生装置からのＸ線が入射する位置に配置されたＸ線検出器と、これらＸ線発生装置およびＸ線検出器の間で検査対象物を保持するテーブルと、上記Ｘ線検出器からのＸ線検出データを用いて検査対象物のＸ線透視像を構築して表示器に表示する透視像表示手段と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを相対的に傾動させる傾動機構と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを相対的に回転させる回転機構と、上記Ｘ線検出器と検査対象物とを上記Ｘ線発生装置からのＸ線光軸に対して直交する平面上で相対的に移動させる移動機構のうち、少なくともいずれかの機構を備えたＸ線検査装置において、上記傾動機構、回転機構および移動機構のうちのいずれかを駆動する前後に、上記表示器に表示されている検査対象物のＸ線透視像上で注目点を指示するための指示手段と、その指示された注目点の上記駆動の前後の画面上の位置から、当該注目点の透視方向への深さを算出する演算手段と、上記テーブルに保持されている検査対象物のＸ線透視像をあらかじめ採取して記憶する透視像記憶手段と、その透視像記憶手段に記憶されている検査対象物のＸ線透視像、もしくは記憶されているＸ線透視像を繋ぎ合わせた像を表示する記憶透視像表示手段と、上記演算手段により算出された注目点の透視方向への深さに対応する位置を、上記記憶透視像表示手段により表示された、現時点の透視方向に直交する方向から透視したＸ線透視像に重畳して表示する注目点深さ位置表示手段を備えていることによって特徴づけられる。
【０００９】
ここで、本発明においては、上記検査対象物の光学像上に、もしくは、上記記憶透視像表示手段により表示されたＸ線透視像上に、あらかじめ設定されている基準面の位置を併せて表示する構成（請求項３）を採用することができる。この構成は、例えばテーブル上に位置決め用の治具等を配置し、その治具に検査対象物の基準面を当接させた状態でＸ線透視に供する使用方法等において有効となる。
【００１０】
また、本発明においては、基準面の表示位置を上記のように固定されたものとせず、上記検査対象物の光学像上に、もしくは、上記記憶透視像表示手段により表示されたＸ線透視像上に、任意に指定可能な基準面の位置を併せて表示する構成（請求項４）を採用することもできる。
【００１１】
そして、本発明においては、請求項３または４の基準面の位置と上記注目点の深さの位置との画面上での距離から実寸法での距離を求め、その値を数値で表示する構成（請求項４）を採用することもできる。
【００１２】
本発明は、検査対象物にＸ線を照射してＸ線透視像を得ている状態で、Ｘ線検出器と検査対象物とを相対的に傾動させ、あるいはこれらを相対的に回転させ、更にはこれらを相対的にＸ線の照射方向に直交する方向に移動させたとき、検査対象物上の任意の点の像はそのＸ線透視方向への深さに応じた量だけ画面上で移動すること、換言すれば、傾動、回転もしくは移動前後で指定した注目点の画面上での移動距離から、その注目点の透視方向への深さを計算することができる点を利用するとともに、検査対象物を透視方向に直交する方向から光学カメラで撮影した光学像（外観像）を表示し（請求項１）、あるいは、あらかじめ採取して記憶している、現時点の透視方向に直交する方向から透視した検査対象物のＸ線透視像またはＸ線透視像を繋ぎ合わせた像を表示し、その光学像上に、もしくは記憶されて表示されたＸ線透視像上に、注目点の深さ方向への位置を表示することにより、例えば透視像上で見出した欠陥の深さを把握することができる。
【００１３】
ここで、トラッキングと称される機能においては、斜め透視を行うべくＸ線検出器に対する検査対象物の相対角度を変更し、あるいはこれらを相対的に回転させたときに、Ｘ線透視像上の注目点が移動することを防止する目的で、トラッキングと称される機能を備えたものが実用化されており、このトラッキング機能を実現するためには、注目点の透視方向への深さが必要となる。この深さを求めるために、傾動や回転の前後で画像上の注目点をポインティングデバイスにより指定し、傾動、回転前後の指定位置から注目点の深さを算出する。しかし、従来のトラッキング機能を持つＸ線検査装置においては、求められた注目点の深さ情報をトラッキングのためのテーブルの移動に供するだけであり、その深さ情報を報知することは行われていない。本発明では、算出した注目点の深さ情報を、検査上重要な意味を持たせ、これを外観像上に重畳表示させることで、オペレータが注目点の深さを感覚的に素早く認識することを可能としている。
【００１４】
以上のような光学像（または記憶していたＸ線透視像像、以下同）上への注目点の深さ方向への位置情報の表示に加えて、あらかじめ設定されている基準面の位置を表示し（請求項３）、あるいは、光学像上で任意に指定可能に基準面の位置を表示する（請求項４）ことにより、欠陥等の注目点の深さ方向への位置を感覚的に捕らえやすくなり、更に、基準面と注目点との深さ方向への距離を実寸法で表す数値を表示すれば（請求項５）、注目点の深さを定量的に把握することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、検査対象物の透視方向の全ての部位の情報が重畳して現れるＸ線透視像を表示するにも関わらず、そのＸ線透視像上の注目点の深さ方向の情報が、検査対象を透視方向に直交する方向から撮影した光学カメラによる外観像上、もしくはあらかじめ採取して記憶しているＸ線透視像上に表示されるので、検査対象物の内部構造を迅速に表示しつつ、深さ方向への情報をも併せて得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態の装置本体の斜視図であり、図２は全体のシステム構成を表すブロック図である。
【００１７】
図１に示すように、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２は互いに対向した状態で共通の支持アーム３に支持されている。支持アーム３はコラム４に対して傾動機構５およびＺステージ６を介して支承されており、傾動機構５の駆動により、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２は対向状態を維持しつつ水平軸の回りに傾動（旋回）するとともに、Ｚステージ６の駆動によって、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の対は同じく対向状態を維持しつつ、傾動機構５とともに鉛直方向に移動する。
【００１８】
Ｘ線発生装置１はコーンビーム状のＸ線を発生し、Ｘ線検出器２は例えばＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）等の２次元Ｘ線検出器である。
【００１９】
コラム４に隣接して試料ステージ７が配置されている。試料ステージ７は検査対象物Ｗを搭載して鉛直の回転軸の回りに回転する回転テーブル８と、その回転テーブル８を水平面上で互いに直交する２軸方向（ｘ，ｙ軸方向）に移動させるＸＹテーブル９を主体として構成されている。検査対象物ＷのＸ線透視を行うに当たっては、回転テーブル８上に搭載されている検査対象物ＷがＸ線発生装置１とＸ線検出器２の間に位置するように支持アーム３を位置決めし、また、その透視倍率はＸＹテーブル９をＸ線光軸方向（ｘ軸方向）に移動させることによって変化させることができる。
【００２０】
試料ステージ７を挟んでコラム４と対向する位置に、ＣＣＤカメラ１０が配置されている。このＣＣＤカメラ１０は回転テーブル８上の検査対象物Ｗを撮影するためのものであり、検査対象物ＷをＸ線透視する前に、回転テーブル８を適宜に回転させた状態で撮影を実行することによって、検査対象物Ｗを複数の方向から撮影する。その撮影データは後述するように記憶され、表示される。
【００２１】
図２に示すように、Ｘ線検出器２の出力は画像データ取り込み回路２１を介して表示制御部２２に取り込まれ、この表示制御部２２では、取り込んだ画像データを用いて検査対象物ＷのＸ線透視像を構築し、表示器２３に実質的にライブ画像として表示する。
【００２２】
また、ＣＣＤカメラ１０の出力は画像データ取り込み回路２４を介して画像メモリ２５に記憶された上で、表示制御部２２に取り込まれ、後述するように表示器２３に例えば正面図と側面図等の形で２つの外観像（光学像）として表示される。表示制御部２２は、システム全体を制御する制御部２６の制御下に置かれており、この制御部２６から供給されるデータに基づき、後述する基準面や注目点の深さ位置などを表すカーソルを、検査対象物Ｗの外観像に重畳して表示することができる。
【００２３】
制御部２６は、前記したＸ線発生装置１の管電流や管電圧をコントロールするＸ線コントローラ２７も制御下に置いているとともに、Ｘ線検出器２並びにＣＣＤカメラ１０も駆動制御する。更に、この制御部２６には、ジョイスティックやマウス、キーボード等からなる操作部２８が接続されており、この操作部２８の操作により、軸制御部２９を介して前記した傾動機構５、Ｚステージ６、ＸＹテーブル９および回転テーブル８に対して駆動制御信号を供給し、これらを随意に駆動することができる。
【００２４】
また、制御部２６には演算部３０が接続されており、この演算部３０では、後述するようにオペレータの操作により得られる情報を用いて注目点の透視方向への位置（深さ）を算出する。その算出結果は後述するように表示器２３の外観像の表示上に示され、また、数値表示される。
【００２５】
次に、以上の構成からなる本発明の実施の形態における表示器２３の表示の仕方について説明する。図３は本発明の実施の形態の表示器２３の表示態様の例を示す図であり、図４はそのうち、外観像を表示する領域Ａｏ１，Ａｏ２の拡大図である。
【００２６】
この例においては、現在の視野におけるＸ線透視像の表示領域Ａｘのほか、ＣＣＤカメラ１０による検査対象物Ｗの２種の外観像の表示領域Ａｏ１，Ａｏ２が設定されているとともに、注目点の深さを数値表示する領域Ａｎが設定されている。
【００２７】
外観像の表示領域Ａｏ１，Ａｏ２は、この例において、透視方向から見た外観図（正面図）と、それに直交する方向から見た外観図（側面図）をそれぞれ表示している。これらの外観像は、前記したように、Ｘ線透視を開始する前に回転テーブル８の上に検査対象物Ｗを搭載した状態で、回転テーブル８を９０°回転させることによってＣＣＤカメラ１０で撮影され、画像メモリ２５に格納されているものである。
【００２８】
そして、各表示領域Ａｏ１，Ａｏ２に表示された外観像のうち、側面図に相当する外観図を表示する領域Ａｏ２には、基準面の位置を表す線状のカーソルＰｓと、注目点の深さの位置（Ｘ線透視方向、つまりｘ軸方向へ位置）を表す線状のカーソルＰｄとが、外観像に重畳して表示されている。この注目点の深さの位置を表すカーソルＰｄの位置、換言すれば注目点の深さ情報は、以下に例示する手法により、演算部３０において算出される。なお、図４における表示領域Ａｏ１の外観像に重畳して表示されるクロス状のカーソルＰｖは、その時点で表示領域Ａｘに表示されているＸ線透視像の視野中心を表している。
【００２９】
図５は注目点の深さ方向への位置の算出方法を説明するための図である。この図は、図１の装置本体を上から見た平面図で表す幾何学的な模式図である。まず、図中実線で示すような姿勢のもとに検査対象物ＷをＸ線透視をしている状態で、Ｘ線透視像の表示領域Ａｘに表示されている透視像上で、注目点Ｖ（例えば欠陥と思われる部位等）をマウスなどのポインティングデバイスで指定する。その指定された画面上の位置情報は制御部２６を介して演算部３０に送られて記憶される。次に、図中二点鎖線で示すように、回転テーブル８の駆動により検査対象物Ｗを任意の角度θだけ回転させる。その回転により、注目点に相当する部位は図中Ｖ′で示される位置に移動し、Ｘ線透視像上の位置も変化する。その回転後の注目点Ｖ′をポインティングデバイスで指定する。その指定された画面上の位置情報は、同じく制御部２６を介して演算部３０に送られる。
【００３０】
演算部３０では、以下の式（１）によって注目点Ｖの透視方向への深さｄを算出する。図５において、回転前の注目点ＶのＸ線検出器２（受光面、以下同）上でのｙ軸方向への座標をｙ１，角度θの回転後の注目点Ｖ′のＸ線検出器２上でのｙ軸方向への座標をｙ２とし、回転テーブル８の回転中心ＲとＸ線発生装置１の焦点１ａとのｘ軸方向への距離をａ、Ｘ線検出器２とＸ線焦点１ａとの距離をｂとし、深さｄを回転テーブル８の回転中心Ｒと注目点Ｖとのｘ軸方向への距離として表すと、
【００３１】
【数１】
2009150755.tif 000003
と算出することができる。
【００３２】
一方、ＣＣＤカメラ１０による検査対象物Ｗの撮影を、ＸＹテーブル９により回転テーブル８を規定位置に位置決めした状態で、一定の位置から一定の撮影倍率のもとに行うことにより、領域Ａｏ２に表示される検査対象物Ｗの外観像上で、回転テーブル８の回転中心Ｒのｘ軸方向（Ａｏ２の画面上で左右方向）への位置は判っているので、上記（１）式で算出された回転中心Ｒと注目点Ｖとのｘ軸方向への距離ｃから、領域Ａｏ２に表示されている検査対象物Ｗの外観像上での注目点Ｖのｘ軸方向位置が判り、これに基づいて注目点Ｖの深さ情報を表すカーソルＰｄを表示する。
【００３３】
また、回転テーブル８上に例えばストッパや治具等を固定し、このストッパや治具等に検査対象物Ｗの基準面等を当接させた状態で、検査対象物Ｗを回転テーブル８上に搭載する等により、検査対象物Ｗの回転テーブル８上の位置を一定としておくと、検査対象物Ｗの基準面と回転中心Ｒとのｘ軸方向への位置関係が判るので、これに基づいて領域Ａｏに表示されている外観像上で基準面のｘ軸方向位置情報を表すカーソルＰｓを表示することができる。
【００３４】
更に、以上の基準面と注目点Ｖの各ｘ軸方向への位置情報から、画面上での注目点Ｖの基準面に対するｘ軸方向距離（深さ）を求めることができ、これをピクセル等量を用いることによってその距離を実寸法で求めることができ、その算出結果が領域Ａｎに数値表示される。
【００３５】
以上の本発明の実施の形態によると、簡単な操作により欠陥等の注目点の深さ情報を得ることができ、迅速性に優れたＸ線透視による検査作業において、欠陥等の注目点の深さ情報を知ることができる。
【００３６】
また、以上のようにして算出した注目点Ｖの深さ情報は、透視方向の変更時、つまり回転テーブル８の回転、支持アーム３の旋回による斜め透視等に際して、注目点Ｖを視野中心に維持する、いわゆるトラッキング機能にも用いることができる。換言すれば、トラッキング機能を搭載した装置に本発明を適用することにより、トラッキングポイントの決定操作時に得られる深さ情報をそのまま用いることができ、この情報を用いて、トラッキング機能並びに深さ位置の表示機能の双方を動作させることができる。
【００３７】
ここで、以上の実施の形態においては、基準面の深さ情報として、回転テーブル８上のストッパや治具等への検査対象物Ｗの当接位置を採用したが、その当接位置から入力された距離だけ離れた位置とするほか、基準面のカーソルＰｓをマウスによるドラッグ操作で移動させるように構成することもできる。この場合、基準面のカーソルＰｓの移動に伴って、当該カーソルＰｓと注目点Ｖの位置を表すカーソルＰｄとの距離が変化することになり、それに合わせて深さの数値表示領域Ａｎの数値を変化させる。これにより、オペレータが注目点Ｖのｘ軸方向の位置を知るための基準となる面を任意に選択することが可能となり、検査対象物Ｗの種類によっては有効な機能となり得る。
【００３８】
また、注目点Ｖの深さを算出するための操作は、上記した実施の形態のように回転テーブル８の回転のほか、ＸＹテーブル９による検査対象物Ｗのｙ軸方向への移動や、支持アーム３の旋回（傾動）を用いることができる。ＸＹテーブル９による検査対象物Ｗのｙ軸方向への移動を利用する場合について、図６に平面図で示す幾何学的模式図を参照して説明する。
【００３９】
まず、図中実線で示すような位置で検査対象物ＷをＸ線透視している状態で、Ｘ線透視像の表示領域Ａｘに表示されている透視像上で、注目点Ｖをマウスなどのポインティングデバイスで指定する。次に、図中二点鎖線で示すように、ＸＹテーブル９の駆動により検査対象物Ｗをｙだけｙ軸方向に移動させる。その移動により、注目点に相当する部位は図中Ｖ′で示される位置に移動し、Ｘ線透視像上の位置も変化する。その回転後の注目点Ｖ′をポインティングデバイスで指定する。このような操作により、演算部３０は以下の演算により注目点の深さｄを算出する。
【００４０】
図６において、移動前の注目点ＶのＸ線検出器２上でのｙ軸方向への座標をｙ１，ｙ軸方向にｙだけ移動させた後の注目点Ｖ′のＸ線検出器２上でのｙ軸方向への座標をｙ２とし、Ｘ線検出器２と回転テーブル８の回転中心Ｒとのｙ軸方向への距離をａ、Ｘ線発生装置１の焦点１ａとＸ線検出器２とのｙ軸方向への距離をｂ、深さｄを回転テーブル８の回転中心Ｒと注目点Ｖとのｘ軸方向への距離として表すと、
【００４１】
【数２】
2009150755.tif 000004
と算出することができる。
【００４２】
以上の実施の形態においては、ＣＣＤカメラ１０を設けて、検査対象物Ｗの外観像を撮影して、透視方向に直交する方向から撮影した外観像を表示し、その外観像上に注目点Ｖの深さに対応する位置を表示した例を示したが、検査対象物の外観像に代えて、検査対象物のＸ線透視像を用いることもできる。
【００４３】
すなわち、実際の検査のための透視に先立ち、検査対象物Ｗを回転テーブル８上に載せ、回転テーブル８を回転させつつ、複数の回転角度の位置でＸ線を照射してＸ線透視像を取り込み、記憶しておく。実際の検査のための透視に際しては、前記した図３におけるＡｏ１またはＡｏ２の位置に、現時点のＸ線透視像とは別に、先に記憶しているＸ線透視像のうち、現時点における透視方向と直交する方向から透視したＸ線透視像を表示し、そのＸ線透視像上に、先の例と同様のカーソルＰｄや基準面に対応するカーソルＰｓを重畳して表示しても、先の例と同等の作用効果を奏することができる。
【００４４】
また、注目点Ｖの深さに対応する位置を表示するためのＸ線透視像は、１回の透視撮影によって得られた１枚のＸ線透視像であってもよいし、あるいは、検査対象物Ｗの一部領域を透視した部分透視像の複数枚を繋ぎ合わせて全体像を構築し、その全体像を表示してもよい。
【００４５】
なお、本発明は、装置本体の機構については限定されるものではなく、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の間に検査対象物を保持するテーブルがあり、そのテーブルを回転させる機構か、テーブルをＸ線光軸に直交する方向に移動させる機構、あるいはＸ線発生装置とＸ線検出器の対をテーブル上の検査対象物に対して相対的に傾動させる機構のうち、少なくともいずれかの機構を備えていさえすれば本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施の形態の装置本体の斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態の全体のシステム構成を表すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態の表示器の表示態様の例を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態の表示器の表示内容のうち、外観像を表示する領域の拡大図である。
【図５】本発明の実施の形態における注目点の深さ方向への位置の算出方法を説明するための図である。
【図６】本発明の実施の形態における注目点の深さ方向への位置の他の算出方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  Ｘ線発生装置
２  Ｘ線検出器
３  支持アーム
４  コラム
５  傾動機構
６  Ｚステージ
７  試料ステージ
８  回転テーブル
９  ＸＹテーブル
１０  ＣＣＤカメラ
２１，２４  画像取り込み回路
２２  表示制御部
２３  表示器
２５  画像メモリ
２６  制御部
２７  Ｘ線コントローラ
２８  操作部
２９  軸制御部
３０  演算部
Ａｘ  Ｘ線透視像の表示領域
Ａｏ１，Ａｏ２  外観像の表示領域
Ａｎ  注目点の深さを数値表示する領域
Ｖ  注目点
Ｗ  検査対象物
【図１】
2009150755.tif 000005
【図２】
2009150755.tif 000006
【図５】
2009150755.tif 000007
【図６】
2009150755.tif 000008
【図３】
2009150755.tif 000009
【図４】
2009150755.tif 000010