(57)【要約】【課題】傷つき具合等のレンズの欠点を客観的かつ定量的に評価することができるレンズの欠点評価装置、および、レンズの欠点評価方法を提供する。【解決手段】評価対象とするレンズ１００に光を照射する光源１１と、光源１１から照射されレンズ１００を透過した透過光を受光する受光素子１４３と、受光素子１４３が受光した透過光の強度を測定する測定部１５と、受光素子１４３をレンズ１００に対して相対的に回転させる回転手段１６と、受光素子１４３の回転中心と受光素子１４３とを結ぶ測定線Ａとレンズ１００の光軸Ｂとのなす角である測定角αごとの透過光の強度を出力する出力手段と、を備える。【選択図】図１
2009150803.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
評価対象とするレンズに光を照射する光源と、
前記光源から照射され前記レンズを透過した透過光を受光する受光素子と、
前記受光素子が受光した前記透過光の強度を測定する測定部と、
前記受光素子を前記レンズに対して相対的に回転させる回転手段と、
前記受光素子の回転中心と前記受光素子とを結ぶ測定線と前記レンズの光軸とのなす角である測定角ごとの前記透過光の強度を出力する出力手段と、
を備えた
ことを特徴とするレンズの欠点評価装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレンズの欠点評価装置において、
前記測定角ごとの前記透過光の強度に基づいて前記レンズの欠点を評価した評価値を算出する演算部を備え、
前記出力手段は、前記演算部が算出した前記評価値を出力する
ことを特徴とするレンズの欠点評価装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレンズの欠点評価装置において、
前記演算部は、
あらかじめ設定した角度範囲にわたって前記測定角ごとの前記透過光の強度を積分し、
この積分値に基づいて前記評価値を算出する
ことを特徴とするレンズの欠点評価装置。
【請求項４】
請求項２に記載のレンズの欠点評価装置において、
前記演算部は、あらかじめ設定した特定の前記測定角における前記透過光の強度に基づいて前記評価値を算出する
ことを特徴とするレンズの欠点評価装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のレンズの欠点評価装置において、
前記回転手段は、前記受光素子を回転軸が互いに直行する２つの方向に回転させる
ことを特徴とするレンズの欠点評価装置。
【請求項６】
光源から照射されレンズを透過した透過光を受光素子で受光する受光動作、および、前記受光素子を前記レンズに対して相対的に回転させる回転動作、を交互にまたは同時に実施する回転受光過程と、
前記受光素子の回転中心と前記受光素子とを結ぶ測定線と前記レンズの光軸とのなす角である測定角、および、前記受光動作で受光した前記透過光の強度、を測定する測定過程と、
前記測定過程で測定した前記測定角ごとの前記透過光の強度に基づいて前記レンズの欠点を評価する評価過程と、
を備える
ことを特徴とするレンズの欠点評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズの欠点評価装置およびレンズの欠点評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
メガネレンズ等のレンズに求められる性能としては、光学的特性、機械的強度および傷つき難さ等が挙げられる。
特に、近年主流となっているプラスチックレンズは、ガラスレンズに比べて一般的な表面硬度が劣るため、表面の傷つき難さは重要な評価項目となっている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、保持具により保持したレンズの表面に、スチールウール等の擦傷物を一定の荷重で押し付け、この状態でレンズと擦傷物とを相対運動させて耐擦傷性を評価する試験方法が開示されている。
レンズの実際の使用状況においては、布でレンズ表面を拭く場合のように、比較的大面積で繰返し荷重がかかることが多いが、特許文献１に記載の試験方法によれば、このような実際の使用状況に近い試験を、再現性よく実施することができる。
【０００４】
しかし、特許文献１に記載のような従来の試験方法においては、レンズの傷つき具合（傷の量や大きさ等）を、測定者が目視にて決定していた。このため、測定者の主観により評価にばらつきがでるおそれがあった。特に、傷が小さい場合には、ばらつきが大きくなりやすい。
このような評価のばらつきを排除し、レンズの傷つき具合を客観的に評価するため、ヘイズメータを用いる方法が知られている。
これは、一般にレンズの傷つき具合が大きいと、光の拡散が大きくなり、ヘイズが上昇することを利用する方法である。
【０００５】
図１２に、一般的なヘイズメータ２の概略構成を示す。
ヘイズメータ２は、光源２１と、光源２１からの光を導く光学系２２と、評価対象のレンズ１００を支持する支持部２３と、レンズ１００からの散乱光を集める積分球２４と、散乱光の強度を検出する検出部２５と、検出部２５の検出値を演算処理する処理部２６と、を備える。
光学系２２は、光源２１側から順に、コンデンサレンズ２２１と、ピンホール２２２と、コリメータレンズ２２３と、を有する。
積分球２４は、光源２１側に開口部２４１Ａを有する積分球本体２４１と、積分球本体２４１の開口部２４１Ａと反対側に設けられたトラップ２４２と、を有する。
【０００６】
光源２１からの光は、コンデンサレンズ２２１によりピンホール２２２に集光され、コリメータレンズ２２３を通って平行光となり、レンズ１００に入射する。
レンズ１００を透過した光のうち、直進光はトラップ２４２によって取り除かれ、拡散光は積分球本体２４１により検出部２５に集められる。
処理部２６が、検出部２５の検出値を演算処理して、レンズ１００の拡散透過率を算出する。
また、トラップ２４２に設けられたシャッタ２４３を閉じると、全光線を検出部２５に集めて全光線透過率を算出することができる。
こうして求めた拡散透過率と全光線透過率とから、レンズ１００のヘイズが算出される。ヘイズが大きいほど、レンズ１００の傷つき具合が大きいものと考えられる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−２９５１３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、図１２にβで示すように、一般的なヘイズメータで測定できる散乱光の角度は５°程度と小さい。このような狭い範囲では、傷による散乱の一部しか評価することができず、目視による評価とヘイズメータによる評価とが異なる結果となる場合も多かった。
【０００９】
本発明の目的は、上述のような問題点等を解消し、傷つき具合等のレンズの欠点を客観的かつ定量的に評価することができるレンズの欠点評価装置、および、レンズの欠点評価方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のレンズの欠点評価装置は、評価対象とするレンズに光を照射する光源と、前記光源から照射され前記レンズを透過した透過光を受光する受光素子と、前記受光素子が受光した前記透過光の強度を測定する測定部と、前記受光素子を前記レンズに対して相対的に回転させる回転手段と、前記受光素子の回転中心と前記受光素子とを結ぶ測定線と前記レンズの光軸とのなす角である測定角ごとの前記透過光の強度を出力する出力手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、回転手段が、受光素子をレンズに対して相対的に回転させるので、広い範囲の測定角の透過光を、受光素子で受光することができる。
これにより、従来のヘイズメータでは評価できなかった測定角の大きい透過光の強度をも測定することができ、レンズの欠点を客観的かつ定量的に評価することができる。
【００１２】
また、出力手段が、測定角ごとの透過光の強度を出力するので、測定角に対する透過光の強度分布を評価することができる。
例えば、レンズ表面に周囲に比べ特異的に大きな傷が存在する場合、特定の測定角に通常と異なる透過光のピークが現れることがある。しかし、このような現象はヘイズメータでは測定することができない。これに対し、本発明のレンズの欠点評価装置によれば、透過光の強度分布を測定することができるので、このような特異的な傷をも正確に評価することができる。
【００１３】
なお、本発明におけるレンズの欠点とは、散乱光を発生させるようなレンズの不良をいう。レンズの欠点としては、例えば、傷、はがれ、異物付着、曇り等が挙げられる。
【００１４】
本発明のレンズの欠点評価装置において、前記測定角ごとの前記透過光の強度に基づいて前記レンズの欠点を評価した評価値を算出する演算部を備え、前記出力手段は、前記演算部が算出した前記評価値を出力することが好ましい。
このような構成によれば、演算部が、最終的なレンズの評価値を決定するので、測定者の主観を排除し、レンズの欠点をより客観的かつ定量的に評価することができる。
【００１５】
本発明のレンズの欠点評価装置において、前記演算部は、あらかじめ設定した角度範囲にわたって前記測定角ごとの前記透過光の強度を積分し、この積分値に基づいて前記評価値を算出することが好ましい。
このような構成によれば、広い測定角範囲の透過光を反映した積分値に基づいて評価値を算出するので、レンズの欠点をより客観的かつ定量的に評価することができる。
【００１６】
ここで、積分をする測定角の範囲としては、例えば、−９０°以上９０°以下の範囲が好ましい。眼鏡をかけた時の装用者の視界が、±９０°と想定されるからである。
また、例えば、−５°以上５°以下の範囲を直進光として除外してもよい。これにより、レンズの欠点と無関係の直進光を除外して、より正確な評価を実施することができる。
【００１７】
本発明のレンズの欠点評価装置において、前記演算部は、あらかじめ設定した特定の前記測定角における前記透過光の強度に基づいて前記評価値を算出することが好ましい。
このような構成によれば、例えば、欠点の程度により透過光の強度に差が出やすい測定角を特定しておき、その測定角のみの透過率の測定によって効率的にレンズの欠点を評価することができる。
なお、欠点の測定の場合は、測定角としては、５°以上４０°以下の範囲から選択することが好ましい。このような範囲であれば、レンズの欠点の程度により透過光の強度に差が出やすいからである。
【００１８】
本発明のレンズの欠点評価装置において、前記回転手段は、前記受光素子を回転軸が互いに直行する２つの方向に回転させることが好ましい。
本発明者らは、種々の検討の結果、受光素子を１つの方向のみへ回転した場合には観察できなかった欠点が、回転軸が直行する他の方向への回転によって観察できることを見出した。
つまり、本発明によれば、受光素子を回転軸が互いに直行する２つの方向に回転させることにより、レンズの欠点を漏れなく評価することができる。
【００１９】
本発明のレンズの欠点評価方法は光源から照射されレンズを透過した透過光を受光素子で受光する受光動作、および、前記受光素子を前記レンズに対して相対的に回転させる回転動作、を交互にまたは同時に実施する回転受光過程と、前記受光素子の回転中心と前記受光素子とを結ぶ測定線と前記レンズの光軸とのなす角である測定角、および、前記受光動作で受光した前記透過光の強度、を測定する測定過程と、前記測定過程で測定した前記測定角ごとの前記透過光の強度に基づいて前記レンズの欠点を評価する評価過程と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
本発明によれば、回転動作において、受光素子をレンズに対して相対的に回転させるので、受光動作において、従来のヘイズメータでは評価できなかった測定角の大きい透過光をも受光することができる。これにより、測定過程において、広い角度範囲の透過光を測定することができ、評価過程において、レンズの欠点を客観的かつ定量的に評価することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のレンズの欠点評価装置または欠点評価方法によれば、受光素子をレンズに対して相対的に回転させるので、従来のヘイズメータでは評価できなかった測定角の大きい透過光の強度をも測定することができ、レンズの欠点を客観的かつ定量的に評価することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本発明のレンズの欠点評価装置およびレンズの欠点評価方法は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２３】
［欠点評価装置の構成］
図１に、本実施形態のレンズの欠点評価装置１の概略構成を示す。
本実施形態の欠点評価装置１は、図１に示すように、評価対象とするレンズ１００に光を照射する光源１１と、光源１１からの光を導く光学系１２と、レンズ１００を支持する支持部１３と、レンズ１００を透過した透過光を受光する受光ユニット１４と、受光した透過光の強度を測定する測定部１５と、受光ユニット１４をレンズ１００に対して相対的に回転させる回転手段１６と、レンズ１００の欠点を評価した評価値を算出する演算部（図示省略）と、透過光の強度および評価値を出力する出力手段（図示省略）と、を備える。
【００２４】
光源１１としては、例えば、ハロゲンランプ等が使用できる。レンズ１００の材質等に応じて光源１１の発光波長、照射強度等を変更し、測定条件を適宜変更してもよい。
光学系１２は、光源１１側から順に、コンデンサレンズ１２１と、ピンホール１２２と、コリメータレンズ１２３と、を有する。
光源１１からの光は、コンデンサレンズ１２１によりピンホール１２２に集光され、コリメータレンズ１２３を通って平行光となり、レンズ１００に入射する。
【００２５】
受光ユニット１４は、略円筒形状のユニット本体１４１と、ユニット本体１４１内に設けられた集光レンズ１４２および受光素子１４３と、を有する。
ユニット本体１４１のレンズ１００側には、図示しない開口部が設けられており、この開口部を介して取り入れられたレンズ１００からの透過光が、集光レンズ１４２により受光素子１４３に集光される。
また、受光ユニット１４には、図示しない測定部１５が内蔵されている。
【００２６】
測定部１５は、受光素子１４３が受光した透過光の強度を測定する強度測定部と、受光素子１４３の回転中心と受光素子１４３とを結ぶ測定線Ａと、レンズ１００の光軸Ｂと、のなす角である測定角αを検出する測定角検出手段とを有する（図示省略）。
回転手段１６は、図１に示すように、受光ユニット１４をレンズ１００を中心として回転させる。ここで、回転手段は、図１に示した１つの回転の方向のみならず、この方向と回転軸が直行する他の方向に、受光ユニット１４を回転させることができる（後述の図２参照）。
出力手段としては、例えば、液晶等の表示装置やプリンタ等が挙げられる。
【００２７】
［欠点評価方法］
本実施形態のレンズの欠点評価方法は、光源１１から照射されレンズ１００を透過した透過光を受光素子１４３で受光する受光動作、および、受光素子１４３をレンズ１００に対して相対的に回転させる回転動作、を同時に実施する回転受光過程と、測定角α、および、受光動作で受光した透過光の強度、を測定する測定過程と、測定過程で測定した測定角αごとの透過光の強度に基づいてレンズ１００の欠点を評価する評価過程と、を備える。
【００２８】
図２に、回転受光過程における、光源１１、レンズ１００および受光ユニット１４の位置関係の概略を示す。
本実施形態においては、図２に示すように、表面に平行な多数の傷１００Ａをつけたレンズ１００を測定の対象とする。
傷１００Ａは、例えば、特許文献１に記載のように、レンズと擦傷物とを相対運動させることで形成することができる。
【００２９】
［回転受光過程］
欠点評価方法を実施するにあたり、まず、図１に示すように、レンズ１００を支持部１３にセットする。
続いて、光源１１を発光させ、レンズ１００への光の照射を開始する。
光源１１から照射された光は、光学系１２に導かれ、レンズ１００に入射する。レンズ１００を透過した光の一部は、受光ユニット１４内に取り入れられ、集光レンズ１４２で集光されて、受光素子１４３に受光される（受光動作）。
【００３０】
次に、受光動作を継続しつつ、回転手段１６により回転動作を開始する。
回転動作では、図２（Ａ）に示すように、傷１００Ａと垂直な面内において受光ユニット１４を回転させる。この回転動作を縦回転動作とする。
また、縦回転動作とは別に、図２（Ｂ）に示すように、傷１００Ａと平行な面内において受光ユニット１４を回転させる横回転動作も実施される。
つまり、回転動作では、受光ユニット１４を回転軸が互いに直行する２つの方向に回転させる。
【００３１】
［測定過程および評価過程］
測定過程では、測定部１５が、受光素子１４３が受光した透過光の強度を測定し、そのときの測定角αを検出する。こうして得られた測定角αごとの透過光の強度は、出力手段および演算部に送信される。
演算過程では、演算部が、あらかじめ設定した角度範囲にわたって測定角αごとの透過光の強度を積分し、この積分値に基づいてレンズ１００の評価値を算出する。また、演算部は、あらかじめ設定した特定の測定角αにおける透過光の強度に基づいて評価値を算出する。得られた評価値は、出力手段に送信される。
出力手段は、受信した測定角αごとの透過光の強度および評価値を出力する。
【００３２】
［実施形態の作用効果］
このような本実施形態によれば、次のような効果がある。
（１）回転手段１６が、受光ユニット１４をレンズ１００に対して相対的に回転させるので、広い範囲の測定角αの透過光を、受光素子１４３で受光することができる。これにより、従来のヘイズメータでは評価できなかった測定角αの大きい透過光の強度をも測定することができ、レンズ１００の欠点を客観的かつ定量的に評価することができる。
（２）出力手段が、測定角αごとの透過光の強度を出力するので、測定角αに対する透過光の強度分布を評価することができる。これにより、特定の測定角αに透過光のピークを示すような特異的な傷をも正確に評価することができる。
【００３３】
（３）演算部が、最終的なレンズ１００の評価値を決定するので、測定者の主観を排除し、レンズ１００の欠点をより客観的かつ定量的に評価することができる。
（４）演算部が、広い測定角範囲の透過光を反映した積分値に基づいて評価値を算出するので、レンズ１００の欠点をより客観的かつ定量的に評価することができる。
（５）演算部が、あらかじめ設定した特定の測定角αにおける透過光の強度に基づいて評価値を算出するので、例えば、欠点の程度により透過光の強度に差が出やすい測定角αを特定しておき、その測定角αのみの透過率の測定によって効率的にレンズ１００の欠点を評価することができる。
【００３４】
（６）演算部が、積分値に基づく評価値と、特定の測定角αにおける透過光の強度に基づく評価値と、の双方を算出するので、算出方法による評価値の変化があっても、レンズ１００の欠点を正確に評価することができる。
（７）受光ユニット１４を回転軸が互いに直行する２つの方向に回転させることにより、レンズ１００の欠点を漏れなく評価することができる。
（８）傷１００Ａと平行な面内において受光ユニット１４を回転させる横回転動作を実施するので、レンズ１００表面に生じた大きな傷を、透過光の強度分布におけるピークとして観察することができる。
【００３５】
［変形例］
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる他の構成などを含み、以下に示すような変形なども本発明に含まれる。
上述の実施形態において、受光ユニット１４を回転させる回転手段１６を例示したが、これに限らない。
回転手段１６は、受光ユニット１４とレンズ１００とを、相対的に回転させるものであればよい。
例えば、回転手段１６は、図３に示すように、固定された受光ユニット１４に対して、レンズ１００を回転させるものであってもよい。
このような場合でも、上述の実施形態と同様の優れた作用効果を得ることができる。
【００３６】
上述の実施形態において、レンズ１００の欠点として、平行な多数の傷１００Ａを例示したが、これに限定されない。
本発明の欠点評価装置１によれば、散乱光を生じさせるようなレンズ１００の不良、例えば、種々の形状の傷、はがれ、異物付着、曇り等をも評価することができる。
【００３７】
上述の実施形態において、受光ユニット１４を、回転軸が互いに直行する２つの方向に回転させる回転手段１６を例示したが、これに限らない。
例えば、回転方向は１つでもよく、３つ以上であってもよい。
回転方向が１つであっても、従来の目視による評価に比べて正確な評価を実施することができる。また、回転方向が３つ以上であれば、レンズ１００の欠点を、より一層正確に評価することができる。
【００３８】
［実施例］
以下に、実施例を示して本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
【００３９】
［実施例１］
上述の実施形態で示した欠点評価装置１および欠点評価方法により、レンズ１００の評価を実施した。
測定対象としては、異なる傷のつき方をしたレンズ１００を用いた。
レンズ１００の表面には、程度の異なる傷１００Ａを形成し、傷１００Ａの大きさを目視で評価した。傷１００Ａの最も大きいものを目視評価１とし、最も小さいものを目視評価９とした。
【００４０】
［縦回転動作による評価］
図４に、縦回転動作において測定した測定角αに対する透過光の強度分布を示す。
図４において、縦軸は相対強度、横軸は測定角αを表す。
図４に示す強度分布に基づいて、測定角α＝５〜５０°の範囲で求めた強度の積分値、測定角α＝１０°における透過光の強度、これらに基づくレンズ１００の欠点の評価値を、以下の表１に示す。また、評価値の算出基準を表２に示す。
【００４１】
【表１】
2009150803.tif 000003
【００４２】
【表２】
2009150803.tif 000004
【００４３】
図４から、傷１００Ａが大きく目視での評価が悪いレンズ１００ほど、光の散乱が大きいことがわかる。
表１から、本発明の欠点評価装置１および欠点評価方法によれば、積分値に基づき、レンズ１００の欠点が客観的かつ定量的に評価できていることがわかる。
特に、サンプルＮｏ．２とサンプルＮｏ．３は、傷が小さいため目視では評価が困難であり、優劣が付けられなかった。これに対し、本実施例では、積分値等に基づいて異なる評価値を算出することができた。
このことから、本発明の欠点評価装置１および欠点評価方法は、特に、目視では評価が困難であった細かい傷等の欠点の評価に対して有効であることがわかる。
【００４４】
また、測定角α＝１０°に固定した場合でも、積分値に基づいて算出したものとほぼ同様の評価値が得られている。
このことから、測定角αを適切に設定すれば、すべてのサンプルについて広い測定範囲の透過光を測定しなくても、効率的にレンズ１００の欠点を適切に評価できることがわかる。
【００４５】
［横回転動作による評価］
サンプルＮｏ．１〜３のレンズ１００について、横回転動作による評価を実施した。
図５に、横回転動作において測定した測定角αに対する透過光の強度分布を示す。
図５において、縦軸は相対強度、横軸は測定角αを表す。
図５に示す強度分布に基づいて、測定角α＝５〜５０°の範囲で求めた強度の積分値、測定角α＝１０°における透過光の強度、これらに基づくレンズ１００の欠点の評価値を、以下の表３に示す。また、評価値の算出基準は前記表２と同じである。
【００４６】
【表３】
2009150803.tif 000005
【００４７】
図５によると、サンプルＮｏ．１と２では、測定角α＝１０°付近に透過光強度のピークが見られ、レンズ１００の表面に部分的に大きな傷が付いているものと考えられる。
表１と表３とを比較すると、同じサンプルでも評価値に若干の違いが見られる。これは、透過光強度のピークによるものと考えられる。
このことから、大きな傷の有無を考慮し、レンズ１００の欠点を漏れなく評価するためには、縦回転動作と横回転動作の双方を実施することが適切であると考えられる。
【００４８】
［実施例２］
上述の実施例１よりも目視評価での傷１００Ａが大きい目視評価４〜７のレンズ１００について、欠点評価装置１および欠点評価方法による評価を実施した。
評価は、目視評価ごとに３枚ずつのレンズ１００について実施した。
レンズ１００の材質は、プラスチックレンズである。
【００４９】
図６に、縦回転動作において測定した測定角αに対する透過光の強度分布を、図７に、横回転動作において測定した測定角αに対する透過光の強度分布を示す。図６，７において、縦軸は相対強度、横軸は測定角αを表す。
また、測定角α＝５〜５０°（横回転では−４０〜４０°）の範囲で求めた透過光強度の積分値を図８および図９に、測定角α＝１０°における透過光の強度を図１０および図１１にまとめた。図８〜１０において、棒グラフは３つのサンプルの測定値（積分値または透過光強度）の平均値を、縦棒は３つのサンプルの測定値の分布を示す。
【００５０】
図６，８，１０によれば、縦回転動作による測定値は、目視による評価と相関があることがわかる。
また、図７，９，１１によれば、横回転動作による測定値は、目視による評価と相関があることがわかる。
以上より、本発明の欠点評価装置１および欠点評価方法によれば、比較的大きな傷１００Ａを有するレンズ１００についても、レンズ１００の欠点を客観的かつ定量的に評価できることがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、レンズの欠点評価装置およびレンズの欠点評価方法として利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態に係るレンズの欠点評価装置の概略構成を示す図。
【図２】本発明の実施形態の回転受光過程における、光源、レンズおよび受光ユニットの位置関係を示す概略図。
【図３】本発明の実施形態の変形例に係る回転手段によるレンズの回転を示す図。
【図４】縦回転動作において測定した測定角に対する透過光の強度分布を示す図。
【図５】横回転動作において測定した測定角に対する透過光の強度分布を示す図。
【図６】縦回転動作において測定した測定角に対する透過光の強度分布を示す図。
【図７】横回転動作において測定した測定角に対する透過光の強度分布を示す図。
【図８】縦回転動作において測定した透過光強度の積分値をまとめた図。
【図９】横回転動作において測定した透過光強度の積分値をまとめた図。
【図１０】縦回転動作で測定角１０°において測定した透過光強度をまとめた図。
【図１１】横回転動作で測定角１０°において測定した透過光強度をまとめた図。
【図１２】一般的なヘイズメータの概略構成を示す図。
【符号の説明】
【００５３】
１…欠点評価装置、１１…光源、１５…測定部、１６…回転手段、１００…レンズ、１４３…受光素子
【図１】
2009150803.tif 000006
【図２】
2009150803.tif 000007
【図３】
2009150803.tif 000008
【図４】
2009150803.tif 000009
【図５】
2009150803.tif 000010
【図６】
2009150803.tif 000011
【図７】
2009150803.tif 000012
【図８】
2009150803.tif 000013
【図９】
2009150803.tif 000014
【図１０】
2009150803.tif 000015
【図１１】
2009150803.tif 000016
【図１２】
2009150803.tif 000017