(57)【要約】【課題】表面への異物の堆積や付着を抑制することにより、ディスク上を安定して浮上飛行することが可能なスライダを提供する。【解決手段】回転可能な磁気ディスクにおける潤滑剤が設けられた表面と対向するＡＢＳ３０を含むトポグラフィを備える。このトポグラフィは、磁気ディスクの回転方向に沿って延在するセンターレール３３０と、センターレールを挟んで互いに平行に延在する一対のサイドレール３２５と、それらセンターレール３３０とサイドレール３２５との間にそれぞれ位置すると共にトレーリングエッジ面１０に露出する開口部をそれぞれ有し、開口部からリーディングエッジ面２０へ向かう途中までそれぞれ延在する一対の溝３２０と、溝３２０の内部のうち、その一端面がトレーリングエッジ面１０に露出する位置に設けられた台形パッド３４０とを含む。【選択図】図２
2009211801.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能なディスクにおける潤滑剤が設けられた表面と対向するエアベアリング面を含むトポグラフィを備え、
前記エアベアリング面は、前記ディスクの回転に伴い、前記ディスクの表面との間に気流パターンを含む空気層を形成するものであり、
前記気流パターンにより、安定した空気力学的性能を発揮すると共に前記ディスクの表面から離脱した前記潤滑剤が前記トポグラフィから掃き出されるようになっている
ことを特徴とするスライダ。
【請求項２】
前記エアベアリング面と直交するように接すると共に前記ディスクの表面から遠ざかるように延在し、かつ、前記ディスクの流出側および流入側にそれぞれ位置するトレーリングエッジ面およびリーディングエッジ面をさらに備え、
前記トポグラフィは、
前記ディスクの回転方向に沿って延在するセンターレールと、
前記センターレールを挟むように配置され、前記ディスクの回転方向に沿って互いに平行に延在する一対のサイドレールと、
前記センターレールと前記一対のサイドレールとの間にそれぞれ位置すると共に前記トレーリングエッジ面に露出する開口部をそれぞれ有し、前記開口部から前記リーディングエッジへ向かう途中までそれぞれ延在する一対の溝と、
前記溝の内部における、前記トレーリングエッジ面に近い側に設けられた突起部材と
を含むことを特徴とする請求項１記載のスライダ。
【請求項３】
前記突起部材は、前記トポグラフィの内部へ前記潤滑剤を運ぶ気流を低減するように機能する
ことを特徴とする請求項２記載のスライダ。
【請求項４】
前記突起部材は、前記トポグラフィから前記潤滑剤を運び出す気流を形成するように機能する
ことを特徴とする請求項２記載のスライダ。
【請求項５】
前記突起部材は、前記溝の底面から前記エアベアリング面へ向けて隆起し、かつ、その高さが前記溝の深さよりも小さいものである
ことを特徴とする請求項２記載のスライダ。
【請求項６】
前記突起部材は、前記エアベアリング面に沿って幾何学的な平面形状を有するものであることを特徴とする請求項２記載のスライダ。
【請求項７】
前記突起部材は、前記エアベアリング面に沿った平面形状が台形であり、前記一対の溝の各々に設けられている
ことを特徴とする請求項５記載のスライダ。
【請求項８】
前記突起部材は、前記エアベアリング面に沿った平面形状が三角形であることを特徴とする請求項６記載のスライダ。
【請求項９】
前記突起部材は、５μｍ未満の高さを有することを特徴とする請求項５記載のスライダ。
【請求項１０】
前記突起部材は、空気力学的安定性の最適化ののち、形成されたものであることを特徴とする請求項２記載のスライダ。
【請求項１１】
前記突起部材の形成ののち、空気力学的安定性の試験が行われたものであることを特徴とする請求項１０記載のスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブに搭載され、磁気再生ヘッドを備えたスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁気記録媒体としての磁気ディスクと、この磁気ディスクへの磁気情報の記録および記録された磁気情報の再生を行う磁気記録再生ヘッドを含むスライダとを備えたハードディスクドライブ（ＨＤＤ：hard disk drive）が一般的に用いられている。
【０００３】
近年、ＨＤＤの記録容量の増加により記録面密度が増加するにしたがい、記録再生ヘッドによる正確な記録および読出動作を維持するために、スライダのフライハイトは、いっそう低くなりつつある。このようなフライハイトの減少は、分子間力（ＩＭＦ：Intermolecular Force）、メニスカス力、および静電力（ＥＳＦ：Electrostatic Force）等の様々な近接相互作用（proximity interactions）を発生させる。これらの力や、これらに付随する磁気ディスクのトポグラフィの影響により、スライダの空気力学的運動の安定性が得られにくくなってきている。また、スライダに関する最近の様々な信頼性試験による結果によれば、スライダと、磁気ディスク表面の潤滑剤との間の相互作用が、ディスク表面上を浮上飛行するスライダの動作安定性を決定する上で、ますます重要となっていることが示されている。
【０００４】
ところが、従来の、負圧を生じさせるトポグラフィを有するスライダは、磁気ディスク表面との間の気流のよどみや停滞（stagnation）、さらには気流の反転の影響を受けやすくなるような好ましくない幾何学的な特徴を有している。通常、磁気ディスクの表面は、潤滑剤の層によって覆われている。磁気ディスクの回転時に生ずる上記の気流の停滞および気流の反転は、磁気ディスク表面の潤滑剤を、スライダのＡＢＳへ転移させるように作用する。このような潤滑剤の転移は、スライダの表面と、磁気ディスクの表面との間が、実際に何ら接触していない場合であっても生じる。
【０００５】
図７は、ＨＤＤの動作時における、磁気ディスク１１５の表面からスライダ１０７への潤滑剤の転移の様子を模式的に表すものである。ここでは、磁気ディスク１１５が回転することにより、スライダ１０７に対して矢印１１５Ｒの方向（紙面右方向）へ相対的に移動する様子を表している。また、符号３００はＡＢＳを表し、符号１００はトレーリングエッジ面を表す。図７に示したように、磁気ディスク１１５の表面を覆う潤滑剤層は、通常、不均質な厚みとなっている。図７では、このような不均質な潤滑剤層を、複数の小さな球状の潤滑剤粒子（ビーズ）１５０の集合体として示している。潤滑剤粒子１５０は、不規則に集合し、小さなマウンド形状の隆起部１５５を複数形成している。スライダ１０７のＡＢＳ３００の下方を流れる気流１２５は、磁気ディスク１１５の回転によって生じるものであり、スライダ１０７に対する大きなエアベアリング力（空気の支持力）を生み出す。その結果、ＡＢＳ３００との間の領域に気圧分布が生じ、例えばＡＢＳ３００の表面近傍に広がる低圧領域１６０が形成される。このような低圧領域１６０の形成により、磁気ディスク１１５の表面からトレーリングエッジ面１００近傍への潤滑剤粒子１５０の流れ（移動）１７０が生じる。潤滑剤粒子１５０の移動１７０は、磁気ディスク１１５の表面における潤滑剤粒子の分布にも影響される。潤滑剤粒子１５０の挙動の詳細な要因は、エアベアリング力と、分子の粗度や分子の凝集力等の潤滑剤粒子１５０の物性との両方に依存すると考えられる。スライダ１０７に転移した潤滑剤粒子１５０の大部分は、スライダ１０７の安定した浮上走行を目的としてＡＢＳ３００に形成された溝に吸い込まれて、その溝に堆積、滞留することとなる。溝の内部圧力が、その周囲の圧力を下回るからである。また、スライダ１０７のフライハイト８０が低下すると、ＡＢＳ３００と磁気ディスク１１５の表面とが接近するので、それらの間に生じる剪断力が上昇することとなる。このため、潤滑剤粒子１５０は、磁気ディスク１１５の表面から削ぎ取られやすくなる。その結果、より多くの潤滑剤粒子１５０がスライダの溝へ吸い込まれ、堆積することとなる。
【０００６】
図８は、スライダ１０７のＡＢＳ３００に沿った気流パターンの詳細を、図７に追加した模式図である。符号２１０を付した矢印は、ＡＢＳ３００に沿って、リーディングエッジ面（図示せず）の側からトレーリングエッジ面１００の側へ向けて流れる表面流である「前方流」を表している。この前方流２１０は、ＡＢＳ３００と磁気ディスク１５の表面との間において、磁気ディスク１１５の回転方向１１５Ｒと一致する主たる気流１２５に沿って生じるものである。一方、符号２２０を付した矢印は、ＡＢＳ３００に沿って、気流１２５の方向とは反対方向に（トレーリングエッジ面１０の側からリーディングエッジ面の側へ向けて）流れる「後方流」を表している。これらの前方流２１０および後方流２２０は、ＡＢＳ３００においてそれぞれの方向に沿った２つの剪断力（矢印２１１，２２１）を形成している。前方流２１０が生じる領域と後方流２２０が生じる領域との間には、気流および剪断力のいずれも存在しない停滞領域（図８において潤滑剤粒子２３０が位置する領域）が存在している。図８に示したように、トレーリングエッジ面１００の近傍の潤滑剤粒子１７５は、停滞領域へと移動しやすい。
【０００７】
このような潤滑剤の転移は、スライダのＡＢＳを汚染するとともに、磁気ディスクから保護のための潤滑剤層を除去する現象といえる。この現象は、スライダが最適な設計高さで浮上飛行することを妨げ、さらにはＨＤＤの信頼性に影響を及ぼし得る。したがって、ＨＤＤの分野では、この潤滑剤の転移を抑制可能なＡＢＳ構造が求められていた。
【０００８】
そこで、潤滑剤の堆積による悪影響を軽減するための試みがいくつかなされている。例えば、Nath等は、磁気ディスクと対向する側に設けられた凹部に、その凹部の深さよりも高い位置まで隆起した流線制御エレメントを配置するようにしたものを提案している（例えば特許文献１参照。）。
【０００９】
また、Stoebe等は、堆積した潤滑剤を流出させるためのチャネル（流路）を形成したスライダを開示している（例えば特許文献２参照。）。
【００１０】
また、Gui等は、スライダを所定の停止間隔ごとに着陸させて、堆積した潤滑剤を適宜除去する旨を開示している（例えば特許文献３参照。）。
【００１１】
また、Brand等は、ポールをパターニングするための複雑な輪郭を有する表面構造を形成することにより、潤滑剤の堆積を減少させることが可能であると示唆している（例えば特許文献４参照。）。但し、その詳細については何ら提供していない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】米国特許第７２２７７２３号明細書
【特許文献２】米国特許第６７４７８４７号明細書
【特許文献３】米国特許第６３５６４０５号明細書
【特許文献４】米国特許第５８５３９５９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、最近では、記録密度のさらなる向上に伴い、スライダのフライハイトがますます小さくなってきている。このため、上記の各先行技術文献に記載された技術を採用した場合であっても、潤滑剤のスライダへの堆積を十分に抑制することが難しくなりつつある。
【００１４】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、表面への異物の堆積や付着を抑制することにより、ディスク上を安定して浮上飛行することが可能なスライダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明のスライダは、回転可能なディスクにおける潤滑剤が設けられた表面と対向するエアベアリング面を含むトポグラフィを備える。ここで、エアベアリング面は、ディスクの回転に伴い、ディスクの表面との間に気流パターンを含む空気層を形成するものである。その気流パターンにより、安定した空気力学的性能を発揮すると共にディスクの表面から離脱した潤滑剤がトポグラフィから掃き出されるようになっている。
【００１６】
本発明のスライダでは、ディスクの回転に伴ってエアベアリング面とディスクの表面との間に気流パターンが形成され、その気流パターンにより、空気力学的な運動の安定化が図られると共にエアベアリング面への潤滑剤などの異物の付着や堆積が抑制される。
【００１７】
本発明のスライダでは、エアベアリング面と直交するように接すると共にディスクの表面から遠ざかるように延在し、かつ、ディスクの流出側および流入側にそれぞれ位置するトレーリングエッジ面およびリーディングエッジ面をさらに備え、トポグラフィが、例えば以下の（Ａ）〜（Ｄ）を含むようにするとよい。
（Ａ）ディスクの回転方向に沿って延在するセンターレール。
（Ｂ）センターレールを挟むように配置されてディスクの回転方向に沿って互いに平行に延在する一対のサイドレール。
（Ｃ）センターレールと一対のサイドレールとの間にそれぞれ位置すると共にトレーリングエッジ面に露出する開口部をそれぞれ有し、開口部からリーディングエッジ面へ向かう途中までそれぞれ延在する一対の溝。
（Ｄ）溝の内部のうち、トレーリングエッジ面に近い側に設けられた突起部材。
【００１８】
この場合、突起部材は、トポグラフィの内部へ潤滑剤を運ぶ気流を低減し、トポグラフィから潤滑剤を運び出す気流を形成するように機能する。また、突起部材は、溝の底面からエアベアリング面へ向けて隆起するものであり、かつ、その高さが溝の深さよりも小さいことが望ましい。また、突起部材は、エアベアリング面に沿って幾何学的な平面形状、例えば台形を有するものである。また、突起部材は、一対の溝の各々に設けられているとよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のスライダによれば、潤滑剤が設けられたディスクの表面と対向するエアベアリング面が、ディスクの回転時にディスクの表面との間に所定の気流パターンを含む空気層を形成することにより、安定した空気力学的性能の確保と、エアベアリング面への異物の堆積の防止とを行うようにしたので、ディスクに対する最適な設計高さでの安定した浮上飛行が継続的に可能であり、高い信頼性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施の形態としてのスライダの構成を表す側面図である。
【図２】図１に示したスライダの斜視構成を表す概略図である。
【図３】図１に示したスライダの詳細な構成を表す平面図である。
【図４】図１に示したスライダにおける気流パターンの様子を表す説明図である。
【図５】比較例としてのスライダの詳細な構成を表す平面図である。
【図６】比較例としてのスライダにおける気流パターンの様子を表す説明図である。
【図７】従来のスライダへの磁気ディスクからの潤滑剤の転移の様子を模式的に表す説明図である。
【図８】従来のスライダの表面における潤滑剤の移動の様子を模式的に表す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための形態（以下、実施の形態という。）について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書に添付した図面は例示にすぎず、本発明の範囲を限定するものではない。さらに、図面は、必ずしも一定の縮尺（比率）で描かれているものではなく、また、実際のデバイスのサイズと必ずしも一致するものでもない。
【００２２】
図１は、本発明の一実施の形態としてのスライダを備えたハードディスクドライブ（ＨＤＤ：hard disk drive）の要部構成を表す側面図である。このＨＤＤは、磁気情報を格納する磁気記録媒体としての磁気ディスク１５と、動作時においてその表面１５Ｓと対向して浮上走行するスライダ７とを備えている。図１では、磁気ディスク１５がスピンドルモータ（図示せず）などによって駆動されて回転することにより、スライダ７に対して矢印１５Ｒで表した回転方向（紙面右方向）へ相対的に移動する様子を表している。
【００２３】
図２は、スライダ７の概略構成を表す斜視図である。図２では、磁気ディスク１５の表面１５Ｓと対向する側を上側にしてスライダ７を表している。図１および図２に示したように、スライダ７は、おおよそ直方体の形状を有するものであり、例えばセラミックによって構成されている。スライダ７における、表面１５Ｓと対向する側には、トポグラフィ（凹凸構造）が設けられている。このトポグラフィのうち、磁気ディスク１５と対向する平坦面はエアベアリング面（ＡＢＳ：air-bearing surface）３０と呼ばれる。ＡＢＳ３０は、スライダ７の厚み方向における最上位（磁気ディスク１５に近い側）に位置する面である。
【００２４】
スライダ７において、回転する磁気ディスク１５が流出していく側の面はトレーリングエッジ面（trailing edge surface）１０という。一方、回転する磁気ディスク１５が流入する側の面はリーディングエッジ面（leading edge surface）２０という。トレーリングエッジ面１０およびリーディングエッジ面２０は、いずれもＡＢＳ３０と直交するように接すると共に、互いに平行に延在している。トレーリングエッジ面１０には、絶縁層Ｚ１に覆われた磁気記録再生ヘッド３が設けられている。磁気記録再生ヘッド３は、磁気ディスク１５への磁気情報の記録と、磁気ディスク１５に記録された磁気情報の再生との双方を行う複合の磁気デバイスである。磁気記録再生ヘッド３は、例えば電気メッキ法および化学蒸着（ＣＶＤ：Chemical Vapor Deposition）、ならびにフォトリソグラフィ法によるパターニングおよびエッチング等の、周知の半導体蒸着法を用いて形成される。
【００２５】
スライダ７は、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ：Head Gimbal Assembly）４０の先端に設けられている。ＨＧＡ４０は電気機械的な機構および回路によって作動し、その他端は、アーム（図示せず）を介して回転軸に支持されている。このため、スライダ７は、磁気ディスク１５の表面に沿って、その径方向に円心揺動することが可能となっている。すなわち、スライダ７に設けられた磁気記録再生ヘッド３を、磁気ディスク１５上の、所望の記録トラックに対応する所定位置に配置することができるように構成されている。
【００２６】
図３は、スライダ７におけるトポグラフィの詳細な形状を表す平面図であり、スライダ７を、磁気ディスク１５の表面側から眺めたものである。図３では、ＡＢＳ３０における高さ位置を厳密に表している。ＡＢＳ３０は、厳密には高さ位置の異なる複数の領域３０Ａ〜３０Ｃを有している。このうち、領域３０Ａが最も高い位置にある面であり、実際に磁気ディスク１５の表面１５Ｓと接する接触面といえる。領域３０Ｂは領域３０Ａよりも低い位置にある面であり、領域３０Ｃは領域３０Ｂよりもさらに低い位置にある面である。
【００２７】
図２および図３に示したように、ＡＢＳ３０を含むトポグラフィは、選択的なパターニングによって形成された一対の溝３２０のほか、センターレール３３０や、一対のサイドレール３２５などを有している。センターレール３３０には、溝３２０よりも浅い凹部３１５が設けられている。
【００２８】
センターレール３３０は、磁気ディスク１５の回転方向１５Ｒに沿って、すなわち、トレーリングエッジ面１０およびリーディングエッジ面２０と直交する方向へ延在する凸部である。センターレール３３０は、溝３２０の内側の壁面を部分的に形成している。
【００２９】
一対のサイドレール３２５は、センターレール３３０を挟むように配置された凸部であり、スライダ７の外縁をセンターレール３３０に沿って互いに平行に延在している。サイドレール３２５は、センターレール３３０と共に、スライダ７の空気力学的特性に大きな影響を与えている。すなわち、センターレール３３０およびサイドレール３２５は、回転する磁気ディスク１５上をスライダ７が安定して浮上走行するように機能する。一対のサイドレール３２５における外側の壁面は互いに平行であり、それぞれスライダ７の側面２３を構成している。側面２３は、例えばトレーリングエッジ面１０、リーディングエッジ面２０、およびＡＢＳ３０と直交している。
【００３０】
一対の溝３２０は、センターレール３３０と一対のサイドレール３２５とを隔てるようにそれぞれ位置する凹部であり、図２および図３に示すように、センターレール３３０を挟んでほぼ対称的に設けられている。溝３２０は、ＡＢＳ３０にほぼ垂直な壁面と、ＡＢＳ３０とほぼ平行な底面（図３において陰影のない領域）とによって画定されている。溝３２０における内側の壁面は、センターレール３３０の壁面でもあり、溝３２０における外側の壁面は、サイドレール３２５の内側の壁面でもある。また、溝３２０は、トレーリングエッジ面１０に露出する開口部をそれぞれ有し、その開口部からリーディングエッジ面２０へ向かう途中までそれぞれ延在している。開口部の近傍では、溝３２０の幅が、リーディングエッジ面２０からトレーリングエッジ面１０へ向かうにしたがって徐々に広がっている。すなわち、開口部の近傍では、開口部へ向かうほど、センターレール３３０の壁面と、サイドレール３２５の内側壁面との間隔が広がっている。
【００３１】
溝３２０の内部における開口部近傍には、溝３２０の底面から隆起した突起部材として、平面形状が台形の台形パッド３４０が設けられている。台形パッド３４０は、その端面の一部がトレーリングエッジ面１０に露出するように、溝３２０の壁面と接することなく立設している。台形パッド３４０は、センターレール３３０を挟んで対称的に、一対の溝３２０のそれぞれに設けられている。台形パッド３４０は、ＡＢＳ３０のうちの領域３０Ｃよりも高く、領域３０Ｂよりも低い位置まで隆起している。台形パッド３４０の存在により、溝３２０が、トレーリングエッジ面１０の近傍において２つの幅の狭い流路３２２に分岐されている。
【００３２】
さらにこのトポロジーには、２つの三角状パッド３４５が、サイドレール３２５の、トレーリングエッジ面１０からリセスした（奥まった位置にある）ノッチ部に設けられている。三角パッド３４５の上面は、台形パッド３４０の上面よりも低い位置にある。以下の説明で明らかとなるように、これらの台形パッド３４０および三角パッド３４５は、ＨＤＤの動作中に生ずる気流に影響を与えるものである。すなわち、台形パッド３４０および三角パッド３４５の存在は、磁気ディスク１５の表面１５Ｓを覆う潤滑剤の堆積を招く気流の停滞領域を除去するのに効果的である。
【００３３】
ここで、本実施の形態のスライダ７に対する比較例としてのスライダ１０７を図５に示す。このスライダ１０７は、主に、溝３２０に台形パッド３４０などの突起部材が設けられていない点が本実施の形態のスライダ７と異なっている。さらに、スライダ１０７では、溝３２０の幅が、開口部近傍において開口部へ向けて徐々に広がるような平面形状とはなっていない。このような形状のスライダ１０７では、ＨＤＤの動作後に、例えば破線の円６５０で囲んだ領域に潤滑剤の堆積物６２５が生じやすくなる。堆積物６２５は、例えば溝３２０の外側の壁面および溝３２０の底面に接するように堆積する。
【００３４】
一方、本実施の形態のスライダ７では、スライダ１０７とは異なり、ＨＤＤの動作を多数回繰り返して実施した後でも、潤滑剤が堆積した領域は現れない。
【００３５】
以下、ＨＤＤの動作時におけるスライダ７の作用について説明する。
【００３６】
磁気ディスク１５がスピンドルモータ（図示せず）によって一定の角速度で回転すると、その動圧により、図１に示したように、スライダ７のＡＢＳ３００と、磁気ディスク１５の表面１５Ｓとの間に気流２５を含む空気層（エアベアリング層）が形成される。この空気層は、スライダ７を、磁気ディスク１５の表面１５Ｓから僅かに離間した磁気ディスク１５の上方に支持するように機能する。すなわち、気流２５の発生によりスライダ７を持ち上げる浮力が生み出される。この結果、スライダ７は、空気層により支持され、所定の大きさのフライハイト（浮上高さ）８０を保ちつつ文字通り磁気ディスク１５の表面上を浮上飛行することとなる。このフライハイト８０は、例えば約１０ｎｍ以下の高さである。なお、ＨＤＤの動作時には、スライダ７の空気力学的な運動により、磁気ディスク１５の表面を基準として、リーディングエッジ２００はトレーリングエッジ１００よりも高い位置を浮上飛行する。その際、空気層の内部に生じる気流パターンによって、スライダ７のトポグラフィの内部への潤滑剤粒子の堆積が抑制される。
【００３７】
図４は、図３と同様に、スライダ７のトポグラフィを模式的に表している。ただし、図４は、ＨＤＤの動作中において、回転する磁気ディスク１５上をスライダ７が浮上飛行している際の、トポグラフィの内部を流れる気流を、矢印付きの曲線によって表している点で、図３とは異なっている。
【００３８】
また、比較例としてのスライダ１０７についても、ＨＤＤの駆動時における気流の流れを図６に示す。図６に示したように、スライダ１０７では、溝３２０におけるトレーリングエッジ面１０の開口部からの、強い空気の流れ（後方流）が発生する。このため、例えば溝３２０の内部において気流の停滞領域が発生してしまう。このような気流の停滞領域は、図５に示したように、潤滑剤の堆積物６２５の発生原因となる。図５に示した潤滑剤の堆積物６２５の発生は、図６に示したように、溝３２０の内部において空気流が衝突する領域６２０の存在が関係しているものと考えられる。
【００３９】
これに対し、本実施の形態のスライダ７では、図４に示したように、ＡＢＳ３０を含むトポグラフィの内部に生じる気流パターンにおいて、気流の停滞領域がほとんど見られない。このため、潤滑剤の堆積が極めて少ない。これは、台形パッド３４０および三角パッド３４５が、トポグラフィの内部へ潤滑剤を運ぶ気流を低減すると共に、トポグラフィから潤滑剤を運び出す気流を形成するように機能するためと考えられる。すなわち、図５で見られるような、潤滑剤を空気溝３２０内へと導くトレーリングエッジ面１０の近傍での強力な後方流が、スライダ７では、台形パッド３４０および三角パッド３４５によって弱められる。その結果、スライダ内に潤滑剤を運び入れる後方流を減少させ、かつ、気流の停滞領域を取り除くように作用する気流が流路３２２に発生する。さらに、磁気ディスク１５から転移した潤滑剤粒子をトポグラフィの内部から外部に運び出す気流パターン６８０も形成される。この気流パターン６８０は、トレーリングエッジ面２０の方向へ吹き抜け、溝３２０から潤滑剤粒子を排出し、その堆積を抑制するものである。
【００４０】
なお、台形パッド３４０における溝３２０の底面からの高さは、トポグラフィの内部への後方流を弱める作用が得られる限り、任意に設定可能である。例えば５μｍの高さであれば、そのような作用が得られやすいので好ましい。
【００４１】
スライダ７が、安定した空気力学的性能と、磁気ディスク１５から離脱した潤滑剤粒子に対する効果的な排出性能との双方をもたらす気流パターンを得るには、製造工程において、以下のような連続的な反復工程を必要とする場合があり得る。この反復工程では、所望とする最終結果が得られるまで、例えば台形パッド３４０が形成される前に溝３２０の形状やサイドレール３２５およびセンターレール３３０の形状の調整を行うことで飛行安定性を最初に確認し、次に台形パッド３４０をエッチングなどにより形成したのち、再度、飛行安定性を調整するなどの工程を繰り返し行う。あるいは、例えば、サイドレール３２５の形状の調整と、台形パッド３４０の形成との両方を、エッチング処理によって一括形成するようにしてもよい。なお、台形パッド３４０は、スライダ７のフライハイトに大きな影響を及ぼさないので、台形パッド３４０を除くトポグラフィを最初に確定して適正なフライハイトを設定し、次にエッチングによって台形パッド３４０の形状を修正することにより、潤滑剤粒子に対する排出性能の調整を行うようにしてもよい。
【００４２】
このように、本実施の形態のスライダ７によれば、ＡＢＳ３０を含むトポグラフィが、ＨＤＤの駆動時において、ＡＢＳ３０と磁気ディスク１５の表面１５Ｓとの間に所定の気流パターンを形成するようにしたので、以下のような効果が得られる。すなわち、上記の気流パターンにより、スライダ７の安定した空気力学的性能を生み出すと共に、磁気ディスク１５の表面から離脱した潤滑剤がトポグラフィの内部に堆積するのを抑制することができる。その結果、スライダ７は、磁気ディスク１５に対する最適な設計高さでの安定した浮上飛行が継続的に可能となり、信頼性を向上させることができる。
【００４３】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。すなわち、当業者にとって明らかなように、上記実施の形態は、本発明を限定するものではなく、本発明の一例にすぎない。適正なフライハイトおよび空気力学的安定性を確保し、ＨＤＤの動作中の潤滑剤の堆積を除去可能なトポグラフィを有するスライダであれば、形成方法、形成工程、材料、構成および寸法における修正や改変がなされ得る。例えば、上記実施の形態では、突起部材としての台形パッド３４０を、溝３２０の内部のうちの、最もトレーリングエッジ面１０に近い側に立設させるようにしたが、これに限定されるものではない。スライダが安定した空気力学的性能を発揮することを可能とし、かつ、磁気ディスクの表面から離脱した潤滑剤粒子をトポグラフィから掃き出すことを可能とする気流パターンが得られる限り、溝における任意の位置に突起部材を設けることができる。また、突起部材の平面形状についても、上記のような気流パターンが得られる限り、他の形状に変形可能である。
【符号の説明】
【００４４】
３…磁気記録再生ヘッド、７…スライダ、１０…トレーリングエッジ面、１１…トレーリングエッジ、１５…磁気ディスク、１５Ｓ…表面、２０…リーディングエッジ面、２５…気流、３０…エアベアリング面（ＡＢＳ）、４０…ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）、１５０，１７０，２３０…潤滑剤粒子、１５５…隆起部、２１０…前方流、２１１，２２１…剪断力、２２０…後方流、２３…端面、３２０…溝、３２５…サイドレール、３３０…センターレール、３４０…台形パッド、３４５…三角状パッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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