(57)【要約】【課題】ワイピングシートの終端が繰出しリールに残っている状態で、シートエンドの検出を行うことができるワイピング装置のシートエンド検出装置およびワイピング装置等を提供する。【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０を払拭するワイピングシート１０１が巻回された繰出しリール１０３に臨み、ワイピングシート１０１のシートエンドを検出するワイピング装置３２のシートエンド検出装置２０４であって、繰出しリール１０３におけるリールコア２２５の外周面に、近接して光軸Ｌを臨ませた発光部２４１と、リールコア２２５を挟んで発光部２４１に対面し、光軸Ｌ上に配設した受光部２４２と、発光部２４１の検出光を受光部２４２が受光したか否かを検出する検出回路２４３と、を備えたものである。【選択図】図１３
2009011973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングシートが巻回された繰出しリールに臨み、前記ワイピングシートのシートエンドを検出するワイピング装置のシートエンド検出装置であって、
前記繰出しリールにおけるリールコアの外周面に、近接して光軸を臨ませた発光部と、
前記リールコアを挟んで前記発光部に対面し、前記光軸上に配設した受光部と、
前記発光部の検出光を前記受光部が受光したか否かを検出する検出回路と、を備えたことを特徴とするワイピング装置のシートエンド検出装置。
【請求項２】
軸受け部に片持ちで支持されたリール駆動軸を、更に備え、
前記繰出しリールは、前記リールコアの内周面に形成され軸方向に延びる凹部を、前記リール駆動軸の外周面に突設した凸部に係合させて、前記リール駆動軸に装着され、
前記光軸は、前記リール駆動軸に完全装着された前記リールコアの前記軸受け部側の端部に臨んでいることを特徴とする請求項１に記載のワイピング装置のシートエンド検出装置。
【請求項３】
前記発光部および前記受光部の少なくとも一方を移動させ、前記光軸の位置を前記リールコアの離接方向に微調整する光軸調整機構を、更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のワイピング装置のシートエンド検出装置。
【請求項４】
前記繰出しリールから繰り出された前記ワイピングシートの送り速度を検出するエンコーダと、
前記エンコーダの検出信号に基づいて、前記ワイピングシートの累積送り量を測定する送り量測定手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のワイピング装置のシートエンド検出装置。
【請求項５】
前記送り量測定手段は、前記検出回路による検出結果に基づいてリセットされることを特徴とする請求項４に記載のワイピング装置のシートエンド検出装置。
【請求項６】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するために、繰出しリールから繰り出されたワイピングシートのシートエンドを検出するシートエンド検出装置であって、
前記繰出しリールから繰り出された前記ワイピングシートの累積送り量を測定する送り量測定手段と、
前記送り量測定手段の検出結果に基づいて、前記ワイピングシートのシートエンドを検出するエンド検出手段と、を備えたことを特徴とするワイピング装置のシートエンド検出装置。
【請求項７】
前記ワイピングシートは、前記繰出しリールを介してリール駆動軸に装着され、
前記繰出しリールの前記リール駆動軸への装着を検出する装着検出手段と、
前記装着検出手段の検出結果に基づいて、前記送り量測定手段をリセットするリセット手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項６に記載のワイピング装置のシートエンド検出装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のワイピング装置のシートエンド検出装置を備えたことを特徴とするワイピング装置。
【請求項９】
請求項８に記載のワイピング装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドの吐出特性を検査する吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
【請求項１０】
請求項８に記載のワイピング装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットと、
ワークに対し、前記ヘッドユニットを相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングシートが巻回された繰出しリールに臨み、前記ワイピングシートのシートエンドを検出するワイピング装置のシートエンド検出装置およびワイピング装置、並びに機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置および液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のワイピング装置として、巻回されたワイピングシートを繰り出す繰出しリールと、繰出しリールから繰り出されたワイピングシートを巻き取る巻取りリールと、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。このワイピング装置では、繰り出したワイピングシートに洗浄液を塗布し、この洗浄液を塗布した部分を、押圧ローラにより機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押し当てながらワイピングシートを送ることで、ノズル面を払拭する。
一方、繰出しリールにおけるワイピングシートのシートエンドは、繰出しリールと押圧ローラとの間のシート送り経路に臨んだシート検出器で、検出するようにしている。シート検出器は、光反射式のフォトセンサで構成され、ワイピングシートの終端（シートエンド）がこれを通過することで検出を行っている。
【特許文献１】特開２００５−２３８５１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のワイピング装置では、シート検出器がシートエンドを検出した状態で、ワイピングシートの終端が繰出しリールから離れてしまうことになる。特に、ワイピング動作中にシートエンドを検出すると、ワイピング動作が終了した時点で、シートエンドが押圧ローラの近傍、或いは押圧ローラを越えて送られてしまうことがある。かかる場合、新しいワイピングシートを繰出しリールから繰り出し、押圧ローラを経由して巻取りリールに巻き付ける必要があり、ワイピングシートの交換作業が煩雑になる問題があった。この場合、ワイピングシートの終端が繰出しリールに残っていれば、使用済みのワイピングシートの終端と新しいワイピングシートの始端とを粘着テープ等で接続することで、新しいワイピングシートを簡単にセットすることができる。
【０００４】
本発明は、ワイピングシートの終端が繰出しリールに残っている状態で、シートエンドの検出を行うことができるワイピング装置のシートエンド検出装置およびワイピング装置、並びに機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置および液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のワイピング装置のシートエンド検出装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングシートが巻回された繰出しリールに臨み、ワイピングシートのシートエンドを検出するワイピング装置のシートエンド検出装置であって、繰出しリールにおけるリールコアの外周面に、近接して光軸を臨ませた発光部と、リールコアを挟んで発光部に対面し、光軸上に配設した受光部と、発光部の検出光を受光部が受光したか否かを検出する検出回路と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、発光部の光軸が、リールコアの外周面に近接して臨んでいるため、発光部の検出光を受光部が検出したときに、ワイピングシートのシートエンドが検出されるが、この状態では、ワイピングシートのシートエンド（終端部）は、リールコアに巻かれた状態となっている。すなわち、ワイピングシートの終端が繰出しリールに残っている状態で、シートエンドの検出を行うことができる。これにより、例えワイピング動作中（払拭動作中）にシートエンドの検出が行われ、検出後にワイピングシートが１ピッチ送られたとしても、シートエンドはリールコアの近傍で送り停止する。このため、このワイピングシートの終端部に新たなワイピングシートを接続してシート送りを行うことにより、シート交換を簡単に行うことができる。なお、発光部および受光部は、発光素子および受光素子で構成されていることが、好ましい。
【０００７】
この場合、軸受け部に片持ちで支持されたリール駆動軸を、更に備え、繰出しリールは、リールコアの内周面に形成され軸方向に延びる凹部を、リール駆動軸の外周面に突設した凸部に係合させて、リール駆動軸に装着され、光軸は、リール駆動軸に完全装着されたリールコアの軸受け部側の端部に臨んでいることが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、例えば、リールコアの凹部がリール駆動軸の凸部につかえて、繰出しリールがリール駆動軸に不完全装着された場合、発光部の検出光を受光部が検出している状態（シートエンド検出）が維持されるため、この検出状態により、繰出しリールがリール駆動軸に不完全装着であることを検出することができる。すなわち、単一の光センサ（発光部、受光部および検出回路）により、シートエンドおよび繰出しリールの装着不良を検出することができる。
【０００９】
これらの場合、発光部および受光部の少なくとも一方を移動させ、光軸の位置をリールコアの離接方向に微調整する光軸調整機構を、更に備えることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、シートエンドの検出位置を微調整することができると共に、厚みの異なるワイピングシートを用いた場合にも、対応させることができる。
【００１１】
これらの場合、繰出しリールから繰り出されたワイピングシートの送り速度を検出するエンコーダと、エンコーダの検出信号に基づいて、ワイピングシートの累積送り量を測定する送り量測定手段と、を更に備えることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、送り量測定手段の累積送り量からワイピングシートのシートエンドが予測できるため、予測値と上記の検出結果とをアンド処理することにより、シートエンドを確実に検出することができる。
【００１３】
この場合、送り量測定手段は、検出回路による検出結果に基づいてリセットされることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、送り量測定手段のリセットミス等を確実に防止することができる。
【００１５】
本発明の他のワイピング装置のシートエンド検出装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するために、繰出しリールから繰り出されたワイピングシートのシートエンドを検出するシートエンド検出装置であって、繰出しリールから繰り出されたワイピングシートの累積送り量を測定する送り量測定手段と、送り量測定手段の検出結果に基づいて、ワイピングシートのシートエンドを検出するエンド検出手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、送り量測定手段の累積送り量からワイピングシートのシートエンドが予測できるため、これを用いることにより、ワイピングシートのシートエンドを検出することができる。送り量測定手段は、機能液滴吐出ヘッドの払拭時にワイピングシートの送り量を検出するエンコーダ等を活用することが、好ましい。
【００１７】
この場合、ワイピングシートは、繰出しリールを介してリール駆動軸に装着され、繰出しリールのリール駆動軸への装着を検出する装着検出手段と、装着検出手段の検出結果に基づいて、送り量測定手段をリセットするリセット手段と、を更に備えることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、送り量測定手段のリセットミス等を確実に防止することができる。なお、装着検出手段として、光センサやマイクロスイッチを用いることが、好ましい。
【００１９】
本発明のワイピング装置は、上記したワイピング装置のシートエンド検出装置を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、取扱い性を向上させることができる。
【００２１】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置は、上記したワイピング装置と、
機能液滴吐出ヘッドの吐出特性を検査する吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
本発明の液滴吐出装置は、上記したワイピング装置と、機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットと、ワークに対し、ヘッドユニットを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２３】
これらの構成によれば、装置の生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係るワイピング装置のシートエンド検出装置およびワイピング装置を適用した機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置（以下、「ヘッド検査装置」という。）について説明する。このヘッド検査装置は、単体としての機能液滴吐出ヘッド（いわゆる、インクジェットヘッド）に対し、吐出確認検査、吐出重量検査、飛行速度検査および体積測定検査等の吐出性能検査を行うものである。また、ワイピング装置は、検査に先立って、機能液滴吐出ヘッドに対しメンテナンス（機能回復）を行うものである。そこで、ヘッド検査装置の説明に先立ち、検査対象となる機能液滴吐出ヘッドについて説明する。
【００２５】
図１に示すように、機能液滴吐出ヘッド１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７，７を有する機能液導入部２と、機能液導入部２の側方に連なる２連のヘッド基板３と、機能液導入部２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４と、機能液導入部２とヘッド本体４との間に介設した略方形のフランジ部５と、を備えている。機能液滴吐出ヘッド１には、実描画において、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のうち１色が導入されるが、この検査段階で、既に何色の機能液を導入するかを決定するようになっている。
【００２６】
各接続針７は、後述する機能液供給チューブ３７を介して機能液を貯留する機能液タンク６１に接続され、機能液導入部２は、機能液タンク６１から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体４は、ピエゾ素子等の圧電素子で構成される２連のポンプ部８と、多数の吐出ノズル９を形成したノズル面１０を有するノズルプレート１１と、を有している。
【００２７】
図１（ｂ）に示すように、ノズルプレート１１のノズル面１０に形成された多数の吐出ノズル９は、相互に平行に列設された２列のノズル列１２で構成されており、各ノズル列１２は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル９で構成されている。この場合、１８０個の吐出ノズル９のうち、両外端に位置する各１０個の吐出ノズル９は、無効吐出ノズル（ダミーノズル）であり、実際の描画には使用しない。このため、ヘッド検査装置２０により機能液滴吐出ヘッド１を検査する場合は、無効吐出ノズルを考慮することなく検査が行われる。また、詳細は後述するが、吐出量測定ユニット４３により、機能液滴吐出ヘッド１から吐出される機能液滴の吐出重量を測定する場合は、ノズル列１２単位で行うようにしている。
【００２８】
ヘッド基板３には、２連のコネクタ１３，１３が設けられており、各コネクタ１３はフレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッド検査装置２０の制御装置２５（図４参照）に接続されるようになっている。そして、この制御装置２５から出力された駆動波形が各コネクタ１３を介して各ポンプ部８に印加されることで、各吐出ノズル９から機能液滴が吐出される。このようにして、制御装置２５により機能液滴吐出ヘッド１の駆動が制御される。
【００２９】
次に、図２ないし５を参照して、上記した機能液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査するヘッド検査装置２０について説明する。ヘッド検査装置２０は、キャビネット形式の機台２１と、機台２１上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１を搭載した吐出検査装置２２と、同様に機台２１上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１に対し保管および機能回復を行うメンテナンス装置２３と、吐出検査装置２２およびメンテナンス装置２３を内部に収容し、機台２１の上方空間を覆うようにして設けられたチャンバ装置２４と、を備えている。また、ヘッド検査装置２０には、チャンバ装置２４の装置カバー２６の背面側に設けた一対の電装ボックス２７，２７、および装置カバー２６の正面（前面）に設けた制御装置本体２８から成る制御装置２５が組み込まれている（図４および図５参照）。そして、制御装置２５は、上記の機能液滴吐出ヘッド１、吐出検査装置２２、メンテナンス装置２３およびチャンバ装置２４を統括制御する。
【００３０】
ヘッド検査装置２０は、吐出検査装置２２に搭載した機能液滴吐出ヘッド１を１つずつ検査すべく、メンテナンス装置２３により機能液滴吐出ヘッド１の機能維持・回復を行いながら、吐出検査装置２２により機能液滴を吐出して、機能液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査する。また、チャンバ装置２４は、装置カバー２６の内部雰囲気を温度管理する、いわゆるクリーンブースの形態を有している。なお、ヘッド検査装置２０の全体は、温度管理されたクリーンルーム内に設置されており、チャンバ装置２４による装置カバー２６内の温度管理は、チャンバ装置２４に付設した換気装置２９（図５参照）により内部を換気し、内部雰囲気をクリーンルームの雰囲気に置換することで行われる。すなわち、チャンバ装置２４は、装置カバー２６と換気装置２９とで構成されている。
【００３１】
メンテナンス装置２３は、機能液滴吐出ヘッド１に対しキャッピングおよび機能液吸引を行う吸引装置３１と、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０を払拭するワイピング装置３２と、を備えている。吸引装置３１およびワイピング装置３２は、後述する各テーブル５２，５３によりＹ軸方向に移動する機能液滴吐出ヘッド１の移動軌跡の下方に臨むよう、機台２１上の右部に並べて配置されている（図３参照）。
【００３２】
図２および図３に示すように、吐出検査装置２２は、機台の前後中間部に配設した被検査部２２Ａと、前部に配設した検査部２２Ｂとから成り、被検査部２２Ａは、機能液滴吐出ヘッド１を搭載しこれを適宜、ＸＹ方向に移動させながら液滴吐出を行う検査描画装置３５と、機能液滴吐出ヘッド１にＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を選択的に供給する機能液供給ユニット３６と、機能液供給ユニット３６の機能液供給チューブ３７を機能液滴吐出ヘッド１にワンタッチで接続するための供給流路接続装置３８（図６参照）と、機能液滴吐出ヘッド１を検査描画装置３５のキャリッジプレート３９に工具レスでセットするためのヘッドセット装置４０（図８参照）と、を備えている。
【００３３】
一方、検査部２２Ｂは、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の吐出確認や飛行速度等を検査する飛行検査ユニット４２と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の吐出重量の測定を行う吐出量測定ユニット４３と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された着弾ドットの体積測定のためのガラス基板Ｗをセットするターゲットステージ４４と、各種の部品等を仮置きするための仮置きステージ４５と、を備えている。飛行検査ユニット４２および吐出量測定ユニット４３は、Ｙ軸方向に移動する機能液滴吐出ヘッド１の移動軌跡の下方に臨むよう、機台２１上に並べて配設されている。
【００３４】
図２および図３に示すように、検査描画装置３５は、機台２１上に立設した一対の支柱５１，５１と、一対の支柱５１，５１に架け渡されたＹ軸メインテーブル５２と、Ｙ軸メインテーブル５２に移動自在に支持されと共に、Ｘ軸テーブル５４およびＹ軸サブテーブル５５から成るＸＹテーブル５３と、Ｘ軸テーブル５４に垂設されたキャリッジ５６と、キャリッジ５６に搭載されると共に、１の機能液滴吐出ヘッド１が工具レスでセットされるキャリッジプレート３９および上記のヘッドセット装置４０から成るヘッドホルダ５７と、を備えている（図８参照）。また、Ｙ軸メインテーブル５２に添設するように、ケーブル担持体（ケーブルベア（登録商標））５９が配設されており、ケーブル担持体５９には、ＸＹテーブル５３側に導かれる各種ケーブルやチューブが収容されている。
【００３５】
Ｙ軸メインテーブル５２は、主として機能液滴吐出ヘッド１をＹ軸方向に大きく移動させ、ＸＹテーブル５３は、主として機能液滴吐出ヘッド１をＸ軸方向およびＹ軸方向に小さく移動させる。したがって、検査部２２Ｂの各構成装置やメンテナンス装置２３の各構成装置の間における機能液滴吐出ヘッド１の移動は、主にＹ軸メインテーブル５２により行われ、ガラス基板Ｗへの検査吐出に伴う機能液滴吐出ヘッド１の移動は、主にＸＹテーブル５３により行われる。なお、上記の機能液供給ユニット３６は、Ｙ軸メインテーブル５２の前方に固定的に配設され、供給流路接続装置３８は、ＸＹテーブル５３に搭載されている。
【００３６】
図２および図３に示すように、機能液供給ユニット３６は、Ｒ・Ｇ・Ｂ色の機能液をそれぞれ貯留する３つの機能液タンク６１と、３つの機能液タンク６１を収容するタンクボックス６２と、３つの機能液タンク６１に接続されて３本の機能液供給チューブ３７と、を備えている。タンクボックス６２は、上部を開放すると共に、内部に「Ｕ」字状の３つの切欠き部を有するセットプレート６３を設けたものであり、各機能液タンク６１は、この切欠き部に嵌め入れるようにしてセットされている。また、各機能液供給チューブ３７は、Ｙ軸メインテーブル５２の上側に配設したフレキシブルな配管支持プレート６４を介して、供給流路接続装置３８に接続されている。
【００３７】
各機能液タンク６１は、機能液滴吐出ヘッド１の上方に配設され、セットした機能液滴吐出ヘッド１の色別に応じて選択的に使用される。このため、機能液は、自然水頭により各機能液タンク６１から各機能液供給チューブ３７を介して機能液滴吐出ヘッド１へ機能液が供給される。なお、機能液滴吐出ヘッド１直近の機能液供給チューブ３７には、水頭圧を調整する自己封止弁（減圧弁：図２参照）６５が設けられており、機能液滴吐出ヘッド１には機能液が適正圧力で供給される。
【００３８】
図２、図６および図７に示すように、供給流路接続装置３８は、各機能液供給チューブ３７の下流端が接続されると共に、機能液滴吐出ヘッド１への一対の接続口７２，７２を有するＲ・Ｇ・Ｂ色の３つの接続口ユニット７１と、３つの接続口ユニット７１をストックするユニットストッカ７３と、ユニットストッカ７３から持ち出されて装着された１の接続口ユニット７１を、機能液滴吐出ヘッド１に対し接続および接続解除させる上下動ユニット７４と、を備えている。
【００３９】
上下動ユニット７４は、装着した接続口ユニット７１を、ヘッドセット装置４０により位置決めセットされた機能液滴吐出ヘッド１の直上部に臨ませると共に、接続口ユニット７１を下動（下降）させてその一対の接続口７２，７２を機能液滴吐出ヘッド１の２連の接続針７，７に接続する（図７参照）。これにより、機能液タンク６１と対応する機能液滴吐出ヘッド１が接続され、機能液滴吐出ヘッド１への機能液の供給が可能になる。なお、接続口ユニット７１を機能液滴吐出ヘッド１に接続した直後には、上記の吸引装置３１により、機能液滴吐出ヘッド１のヘッド内流路に機能液を充填する初期充填動作が行われる。
【００４０】
図２および図８に示すように、ヘッドセット装置４０は、キャリッジプレート３９に、機能液滴吐出ヘッド１を位置決めセットするものであり、機能液滴吐出ヘッド１のフランジ部５を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に同時に押圧して位置決めを行う位置決め機構８１と、位置決め機構８１を作動させる単一のエアーシリンダ８２と、を備えている。オペレータは、キャリッジプレート３９に形成した開口部３９ａに機能液滴吐出ヘッド１を投入し、エアーシリンダ８２を駆動させるだけで、機能液滴吐出ヘッド１を位置決めセットできるようになっている（詳細は、後述する）。
【００４１】
図２、図３および図９に示すように、飛行検査ユニット４２は、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の吐出不良（ドット抜け）、飛行曲りおよび不良吐出を検査すると共に、飛行速度等を検査するものであり、吐出された機能液滴を高速度撮影する。飛行検査ユニット４２は、パルス光源であるパルスレーザを有する照明部８５と、照明部８５に対向して配置され、パルスレーザによるパルス光を受光する顕微鏡カメラ８６と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴を受ける円形の機能液受け部８７と、を備えている。
【００４２】
機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴は、照明部８５と顕微鏡カメラ８６との間のパルス光を遮って、機能液受け部８７に着弾するよう構成されている。飛行検査ユニット４２により高速度撮影された機能液滴は、その撮影結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１からの飛行速度が計測されると共に、吐出不良、飛行曲りおよび不良吐出があるか否かを検査する。なお、図示は省略するが、上記の機能液受け部８７は、機能液滴吐出ヘッド１からの捨て吐出を受けるフラッシング部を兼ねており、機能液受け部８７に貯留した機能液は、廃液チューブを介して機能液受け部８７に接続されたイジェクターにより吸引されることで、廃液タンク８８（図２参照）に回収される。
【００４３】
図２および図３に示すように、吐出量測定ユニット４３は、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の重量を測定するものであり、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴を受ける容器９１と、容器９１内の機能液の重量を測定する電子天秤９２と、を備えている。この吐出量測定ユニット４３により機能液滴の吐出量を測定する場合は、機能液滴吐出ヘッド１を容器９１に臨ませた後、ノズル列１２単位で数万発の機能液滴を吐出し、電子天秤９２により機能液の吐出重量を測定する。機能液の吐出重量が測定されると、測定された吐出重量から、１の吐出ノズル９あたりの吐出量を、吐出回数と吐出ノズル９の数分、除算して算出する。そして、この測定された機能液滴の吐出重量に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１に印加する駆動電圧（ノズル列１２単位）が決定されている。
【００４４】
図２、図３および図１０に示すように、ターゲットステージ４４は、ガラス基板Ｗ等の検査吐出を受けるターゲットを載置するいわゆる吸着テーブルであり、載置されたガラス基板Ｗには、上方に臨んだ機能液滴吐出ヘッド１から、所定の検査パターンに基づいて機能液滴が吐出される。この場合、ターゲットステージ４４は、左半部に検査シート用の補助ステージ９８を搭載したベースステージ９５と、ベースステージ９５の右部に搭載されガラス基板Ｗを直接吸着セットする第１セットステージ９６と、第１セットステージ９６より一回り大きく形成され、第１セットステージ９６を吸着する第２セットステージ９７と、で構成されている。
【００４５】
すなわち、第１セットステージ９６および第２セットステージ９７は、図外の真空吸引設備に個々に接続されており、第２セットステージ９７がこれに重ねるように配設した第１セットステージ９６を吸着し、且つ第１セットステージ９６がガラス基板Ｗを吸着するようになっている。機能液滴が着弾したガラス基板Ｗは、装置外に持ち出されて、着弾した機能液滴を自然乾燥（或いはホットプレート上で乾燥させる）させる。乾燥後のガラス基板Ｗは、さらに図示しない別体の体積測定装置に移送され、着弾した機能液滴の個々の吐出量（体積）が測定される。
【００４６】
上記の補助ステージ９８は、機能液滴吐出ヘッド１から検査吐出を受けるシートをセットするものであり、これもいわゆる吸着テーブルで構成されている。そして、上記の第１セットステージ９６、第２セットステージ９７および補助ステージ９８のそれぞれ吸引動作をＯＮ−ＯＦＦさせる３つの手動エアーバルブ９９が、上記の仮置きステージ４５の端部に取り付けられている。
【００４７】
図２、図３および図１１に示すように、ワイピング装置３２は、ノズル面１０に当接するワイピングシート１０１と、ワイピングシート１０１に洗浄液を噴霧する噴霧ヘッド１０２とを有しており、ワイピングシート１０１は、繰出しリール１０３に巻回された状態から繰り出され、押圧ローラ１０４を経由して巻取りリール１０５に巻き取られる。ワイピング動作では、繰り出されたワイピングシート１０１に対し、噴霧ヘッド１０２から洗浄液を噴霧すると共に、洗浄液を含侵したワイピングシート１０１を、押圧ローラ１０４により機能液滴吐出ノズル１のノズル面１０に押し当てる。次に、この状態で、機能液滴吐出ノズル１をＹ軸サブテーブル５５によりＹ軸方向に移動させることで、機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０が払拭（ワイピング）される。
【００４８】
図２、図３および図１２に示すように、吸引装置３１は、機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０に密接すると共に、Ｘ軸方向に並んだＲ・Ｇ・Ｂ色の３つのキャップ部１１２を有するキャップユニット１１１と、キャップユニット１１１を昇降させる昇降機構１１３と、吸引チューブを介して３つのキャップ部１１２に接続された図示しないイジェクターと、を備えている。また、吸引装置３１は、手動でＸ軸方向に移動するための手動Ｘ軸テーブル１１４を備えており、手動Ｘ軸テーブル１１４は、色別の機能液滴吐出ヘッド１に対応して、キャップユニット１１１をＸ軸方向に移動させて、該当するキャップ部１１２を機能液滴吐出ヘッド１の直下に位置決めする。昇降機構１１３により、位置決めした１のキャップ部１１２を機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０に密接させ、この状態で、イジェクターにより機能液の吸引を行なうことで、吐出ノズル９の目詰まり等を解消する（機能回復）。なお、吸引された機能液は、上記した廃液タンク８８に回収される。
【００４９】
図４および図５に示すように、制御装置２５は、吐出検査装置２２、メンテナンス装置２３およびチャンバ装置２４を制御しており、制御装置本体２８と一対の電装ボックス２７，２７とで構成されている。制御装置本体２８には、データを入力するキーボード１１６およびマウス１１７と、入力結果等を表示するディスプレイ１１８と、が設けられている。制御装置本体２８には、ヘッド検査装置２０を制御する各種プログラムや、各ユニットを駆動させるデバイスドライバ等が記憶されており、キーボード１１６や各ユニット等から各種検出信号、各種指令、各種データ等が入力されると、制御装置２５は、各種プログラムおよびデバイスドライバ等に従って、各種データを処理し、ヘッド検査装置２０全体を制御する。
【００５０】
ここで、図１１および図１３を参照して、本発明の主体を為すワイピング装置３２について、詳細に説明する。上述のように、ワイピング装置３２は、ベースとなるベースフレーム２０１と、ワイピングシート１０１をロール状に巻回した繰出しリール１０３と、繰出しリール１０３から繰り出されたワイピングシート１０１を巻き取る巻取りリール１０５と、両リール１０３，１０５、間に掛け渡されたワイピングシート１０１を、一対のエアーシリンダ（図示省略）により上下動して複数の機能液滴吐出ヘッド１に押し付ける押圧ローラ１０４と、押圧ローラ１０４と繰出しリール１０３との間に掛け渡されたワイピングシート１０１に、洗浄液を噴き付ける噴霧ヘッド１０２と、これら構成装置の全体を覆うカバーボックス２０２と、を備えている。
【００５１】
また、ワイピング装置３２には、押圧ローラ１０４と巻取りリール１０５との間に掛け渡されたワイピングシート１０１に臨み、ワイピングシート１０１の送り量を測定する送り量測定ユニット２０３と、繰出しリール１０３に臨み、ワイピングシート１０１のシートエンドを検出するシートエンド検出ユニット（シートエンド検出装置）２０４と、を備えている。送り量測定ユニット２０３およびシートエンド検出ユニット２０４は、上記の制御装置２５に接続されており、それぞれ検出信号を制御装置２５に出力する。さらに、繰出しリール１０３と送り量測定ユニット２０３との間には、第１経路変更ローラ２０６が、送り量測定ユニット２０３と押圧ローラ１０４との間には、第２経路変更ローラ２０７が、そして押圧ローラ１０４と巻取りリール１０５との間には、第３経路変更ローラ２０８が、それぞれ配設されている。
【００５２】
カバーボックス２０２は、箱状に形成されており、その上面には、ワイプ開口２１１が形成されている。ワイピングシート１０１は、エアーシリンダにより上下動する押圧ローラ１０４により、払拭位置と待機位置との間でワイプ開口２１１から出没するようになっている。また、ワイピングシート１０１は、機能液滴吐出ヘッド１に対応する幅を有し、ポリエステルやポリプロピレン等の化学繊維で構成されている。
【００５３】
繰出しリール１０３は、ロール状に巻回したワイピングシート１０１を適宜繰出すようになっており、その片持ちのリール駆動軸２１２には、繰り出されてゆくワイピングシート１０１に対しバックテンションを付与するトルクコントローラ２１３が連結されている。これにより、ワイピングシート１０１は、弛みを生ずることなく繰出しリール１０３から繰り出されてゆく。巻取りリール１０５は、その片持ちのリール軸２１４に、減速ギア列等を介して巻取りモータ２１５が連結されており、送り量測定ユニット２０３の検出結果に基づいて制御回転する巻取りモータ２１５により、送り量を制御しながらワイピングシート１０１を巻き取ってゆく。
【００５４】
噴霧ヘッド１０２は、ワイピングシート１０１に洗浄液を噴き付ける噴霧ノズル２１７と、噴霧ノズル２１７を角度調整可能に保持するノズルホルダ２１８と、を有しており、噴霧ノズル２１７は、図外の洗浄液供給源および圧縮エアー供給源に接続されている。この場合、噴霧ヘッド１０２は、巻取りリール１０５の直下において鉛直方向上方に送られてゆくワイピングシート１０１に対峙し、ワイピングシート１０１に洗浄液を楕円形に噴き付ける。
【００５５】
機能液滴吐出ヘッド１をワイピングする一連の動作では、先ず、機能液滴吐出ヘッド１をワイピング装置３２に直上部に移動させる。一方、ワイピング装置３２側では、噴霧ヘッド１０２によりワイピングシート１０１の払拭領域に洗浄液を噴き付けると共に、洗浄液を含侵した払拭領域を押圧ローラ１０４の位置まで送る。ここで、押圧ローラ１０４を上動させてワイピングシート１０１をワイプ開口２１１から突出させ、機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０の端に接触させる（突き当てる）。続いて、機能液滴吐出ヘッド１をＹ軸サブテーブル５５によりＹ軸方向に移動させ、ワイピングシート１０１によりノズル面１０を払拭する。
【００５６】
送り量測定ユニット２０３は、第１経路変更ローラ２０６と第２経路変更ローラ２０７との間においてワイピングシート１０１に臨むように配設されており、エンコーダローラ２２１と、エンコーダローラ２１１と共にワイピングシート１０１を挟み込むシート押付けローラ２２２と、エンコーダローラ２２１の軸端に連結したエンコーダ２２３と、を有している。エンコーダ２２３には、図示しないが、エンコーダローラ２２１に連結した回転軸と、回転軸に軸着したスリット円板と、スリット円板に臨むフォトインタラプタと、が内蔵されている。ワイピングシート１０１の送り量は、エンコーダ（フォトインタラプタ）２２３により検出され、その検出信号は制御装置２５に出力される。そして、制御装置２５は、入力した検出信号に基づいて、ワイピングシート１０１の累積送り量を算定（測定）する。
【００５７】
図１３ないし図１６に示すように、繰出しリール１０３は、ワイピングシート１０１が巻回される円筒状のリールコア２２５と、リールコア２２５の奥側の端を受けるリム２２６ａ付きの受け側ホイール２２６と、リールコア２２５の手前側の端を押さえるリム２２７ａ付きの押え側ホイール２２７と、で構成されている。一方、基端側に上記のトルクコントローラ２１３を連結したリール駆動軸２１２は、軸受け部２２８から突出した装着軸部２２９に繰出しリール１０３を支持している。すなわち、装着軸部２２９には、その基部側に受け側ホイール２２６が螺合し、次にワイピングシート１０１を巻回したリールコア２２５が装着され、さらに先端側に押え側ホイール２２７が螺合するようになっている。
【００５８】
リールコア２２５の内周面には、軸方向に延びる溝部（凹部）２３１が形成され、これに対応して、装着軸部２２９の基端部には、溝部２３２に係合する係合ピン（凸部）２３２が植設されている（図１６参照）。繰出しリール１０３は、受け側ホイール２２６を装着した後、リールコア２２５の部分を装着軸部２２９に挿入してゆき、その溝部２３１を係合ピン２３２に係合させて最奥部まで挿入される。そして、この状態で装着軸部２２９の先端部に押え側ホイール２２７を締結することで、リール駆動軸２１２に装着される。
【００５９】
一方、シートエンド検出ユニット２０４は、繰出しリール１０３におけるリールコア２２５の外周面に、近接して光軸Ｌを臨ませた発光部２４１と、リールコア２２５を挟んで発光部２４１に対面し、光軸Ｌ上に配設した受光部２４２と、発光部２４１の検出光を受光部２４２が受光したか否かを検出する検出回路２４３と、を備えている。そして、検出回路２４３は、上記の制御装置２５に接続されている。また、シートエンド検出ユニット２０４は、発光部２４１を保持する発光部ホルダ２４４と、受光部２４２を保持する受光部ホルダ２４５と、を備え、発光部２４１および受光部２４２は、この発光部ホルダ２４４および受光部ホルダ２４５を介して、上記ベースフレーム２０１に立設したリールフレーム２４６に取り付けられている。
【００６０】
発光部２４１は、筒状体２４７に発光素子と光ファイバとを内蔵して（いずれも図示省略）構成されており、発光素子の発光による検出光は、光ファイバを伝送してその先端から照射される。同様に、受光部２４２は、筒状体２４８に受光素子と光ファイバとを内蔵して（いずれも図示省略）構成されており、光ファイバの先端から入射した検出光は、光ファイバを伝送して受光素子により受光される。そして、受光素子により受光された検出光は、上記の検出回路２４３に出力される。
【００６１】
発光部ホルダ２４４は、発光部２４１を支持するＬ字ブラケット２５１と、Ｌ字ブラケット２５１の先端部に発光部２４１を押さえるように保持する保持具２５２と、から成り、屈曲基部２５１ａに設けた一対の固定ねじ２５３，２５３により、リールフレーム２４６にねじ止めされている。この場合、屈曲基部２５１ａに形成した固定ねじ２５３用の貫通孔（ばか孔）２５４は、水平方向に延びる長孔となっており、Ｌ字ブラケット２５１を介して、発光部２４１の取付位置を調整できるようになっている。
【００６２】
同様に、受光部ホルダ２４５は、受光部２４２を支持するＬ字ブラケット２５５と、Ｌ字ブラケット２５５の先端部に受光部２４２を押さえるように保持する保持具２５６と、から成り、屈曲基部２５５ａに設けた一対の固定ねじ２５７，２５７により、リールフレーム２４６にねじ止めされている。この場合、屈曲基部２５５ａに形成した固定ねじ２５７用の貫通孔（ばか孔）２５８は、水平方向に延びる長孔となっており、Ｌ字ブラケット２５５を介して、受光部２４２の取付位置を調整できるようになっている。すなわち、発光部ホルダ２４４および受光部ホルダ２４５と、これらにそれぞれ設けた貫通孔２５４，２５８および一対の固定ねじ２５３，２５７とにより、請求項に言う光軸調整機構が構成されている。なお、光軸調整機構は、発光部ホルダ２４４および受光部ホルダ２４５の一方にのみ設け、発光部２４１および受光部２４２を角度調整するようにしてもよい。
【００６３】
このような構成では、発光部２４１の検出光を受光部２４２が検出したときに、ワイピングシート１０１のシートエンドが検出される。この場合、発光部２４１の光軸Ｌがリールコア２２５の外周面に近接して臨んでいるため、シートエンドが検出された状態で、ワイピングシート１０１のシートエンド（終端部）は、リールコア２２５に数巻き巻かれた状態となっており、ワイピングシート１０１の終端が繰出しリール１０３に残っている状態で、シートエンドが検出される。このため、例えワイピング動作中（払拭動作中）にシートエンドの検出が行われ、検出後にワイピングシート１０１が１ピッチ送られたとしても、シートエンドはリールコア２２５の位置で送り停止することになる。したがって、このワイピングシート１０１の終端部に新たなワイピングシート１０１を接続してシート送りを行うことにより、シート交換を簡単に行うことができる。
【００６４】
ところで、送り量測定ユニット２０３によるワイピングシート１０１の累積送り量が、シートエンドに近づいたときに、これ報知するようにすれば、送り量測定ユニット２０３によるシートエンドの検出の後、シートエンド検出ユニット２０４によるシートエンドの検出が行われることになる。このようにすれば、両ユニット２０３，２０４の誤作動を回避することができ、ワイピングシート１０１の終端が繰出しリール１０３に残っている状態で、最大限これを使い切ることが可能になる。また、シートエンド検出ユニット２０４によるシートエンドの検出をトリガにして、送り量測定ユニット２０３の送り量測定をリセットするようにしてもよい。このようにすれば、オペレータによるリセットの操作忘れを解消することができる。
【００６５】
もっとも、シートエンド検出ユニット２０４に代えて、送り量測定ユニット２０３により、ワイピングシート１０１のシートエンドを検出するようにしてもよい。詳細は、後述するがシートエンド検出ユニット２０４は、繰出しリール１０３のリール駆動軸２１２への装着を検出する装着検出手段としても機能するため、この場合には、シートエンド検出ユニット２０４が繰出しリール１０３の装着を検出したことをトリガとして、送り量測定ユニット２０３の送り量測定をリセットすることが、好ましい。
【００６６】
図１６に示すように、発光部２４１と受光部２４２を結ぶ光軸Ｌの位置は、繰出しリール１０３の軸方向において、上記リール駆動軸２１２に設けた係合ピン２３２の近傍、言い換えれば完全装着されたリールコア２２５の奥側の端部に位置している。すなわち、ワイピングシート１０１を巻回したリールコア２２５が、完全装着されると検出光が遮られ、不完全装着であると遮られない位置となっている。このため、シートエンド検出ユニット２０４は、リールコア２２５が、完全装着されているか否かも検出する。特に、リールコア２２５の溝部２３１と、リール駆動軸２１２の係合ピン２３２が係合していない（つかえている）状態で、押え側ホイール２２７が螺合可能なものでは、オペレータが不完全装着に気づかない場合があり、かかる場合に特に有用である。
【００６７】
次に、図１７および図１８の模式図を参照して、上記のワイピング装置３２を搭載した液滴吐出装置について説明する。両図に示すように、液滴吐出装置３０１は、機台３０２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１を有すると共に機台３０２上の全域に広く載置された描画装置（描画手段）３０３と、描画装置３０３に接続した機能液供給装置３０４と、描画装置３０３に添設するように機台３０２上に載置したヘッド保守装置３０５と、を備えている。また、液滴吐出装置３０１には、図外に設けられた制御装置による制御に基づいて、機能液供給装置３０４により機能液の供給を受けながら、描画装置３０３がワークＷに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド１に対して、ヘッド保守装置３０５が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。
【００６８】
描画装置３０３は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル３１１およびＸ軸テーブル３１１に直交するＹ軸テーブル３１２から成る移動機構３１０と、Ｙ軸テーブル３１２に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ３１３と、メインキャリッジ３１３に垂設され、複数の液滴液滴吐出ヘッド１を搭載したヘッドユニット３１４と、を有している。
【００６９】
Ｘ軸テーブル３１１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ３１６を有し、これに吸着テーブル３１７およびθテーブル３１８等から成るセットテーブル３１９を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル３１２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ３２１を有し、これにヘッドユニット３１４を支持する上記のメインキャリッジ３１３をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル３１１は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台３０２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル３１２は、機台３０２上に立設した左右の支柱３２２に支持されており、Ｘ軸テーブル３１１およびヘッド保守装置３０５を跨ぐようにＹ軸方向に延在している。
【００７０】
ヘッドユニット３１４は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１と、複数の機能液滴吐出ヘッド１を搭載するヘッドプレート３２３と、を備えている。また、機能液滴吐出ヘッド１は、上記のヘッド検査装置２０により良品とされたものが搭載されている。ヘッドプレート３２３は、支持フレーム３２４を介してメインキャリッジ３１３に位置決めした状態で搭載される。なお、支持フレーム３２４には、ヘッドユニット３１４に並んで、機能液供給装置３０４の複数（１２個）の機能液タンク３２６が支持されている。
【００７１】
メインキャリッジ３１３は、Ｙ軸テーブル３１２に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材３２７と、吊設部材３２７の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット３１４の）θ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構３２８と、θ回転機構３２８の下方に吊設するようにして取り付けたキャリッジ本体３２９と、で構成されており、キャリッジ本体３２９が、支持フレーム３２４を介してヘッドユニット３１４を支持するようになっている。
【００７２】
ヘッド保守装置３０５は、吸引装置３３１と、ワイピング装置３３２と、これらをＸ軸方向に移動自在に搭載した保守移動テーブル３３３と、を備えている。吸引装置３３１は、複数の機能液滴吐出ヘッド１に対応する複数のキャップを有しているが、他の部分は上記ヘッド検査装置２０の吸引装置３１と同様の構造を有している。同様に、ワイピング装置３３２は、複数の機能液滴吐出ヘッド１に対応する幅のワイピングシートを有し、且つこのワイピングシートに対応して構成部品が幅広に形成されているが、この場合も、上記ヘッド検査装置２０のワイピング装置３２と同様の構造を有している。
【００７３】
ここで、液滴吐出装置３０１の一連の動作を簡単に説明する。まず、ワークＷに向けて機能液を吐出する描画作業前の準備として、ヘッドユニット３１４の位置補正が行われた後、吸着テーブル３１７にセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、ワークＷをＸ軸テーブル３１１により主走査（Ｘ軸方向）方向に往復動させると共に、複数の機能液滴吐出ヘッド１を駆動させてワークＷに対する液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット３１４をＹ軸テーブル３１２により副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復と機能液滴吐出ヘッド１の駆動が行われ、これが繰り返される。なお、本実施形態では、ヘッドユニット３１４に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット３１４を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット３１４を主走査方向（Ｘ軸方向）および副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させる構成であってもよい。
【００７４】
そして、この液滴吐出装置３０１は、主として電気光学装置の製造に用いられる。この場合、電気光学装置（Flat Panel Display, ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。これに対応し、ワークＷは基板（ガラス基板）であり、機能液（機能材料）は、有機ＥＬ装置の発光材料（Elecreo-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display, ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料が考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】実施形態に係る機能液滴吐出ヘッド単体の全体斜視図である。
【図２】実施形態に係るヘッド検査装置の装置カバーを取り去った状態の外観斜視図である。
【図３】実施形態に係るヘッド検査装置を模式的に表した平面図である。
【図４】実施形態に係るヘッド検査装置の斜め前方から見た外観斜視図である。
【図５】実施形態に係るヘッド検査装置の斜め後方から見た外観斜視図である。
【図６】供給流路接続装置における主要部の斜視図である。
【図７】供給流路接続装置における接続口ホルダの接続状態を示す斜視図である。
【図８】ヘッドセット装置廻りの斜め前方から見た斜視図である。
【図９】飛行検査ユニットの斜視図である。
【図１０】ターゲットテーブルの斜視図である。
【図１１】実施形態に係るワイピング装置の斜視図である。
【図１２】吸引装置の斜視図である。
【図１３】実施形態に係るワイピング装置の主要部を表した斜視図である。
【図１４】繰出しリール廻りの側面図である。
【図１５】繰出しリール廻りの斜視図である。
【図１６】繰出しリールの装着状態であって、ＯＫ状態（ａ）およびＮＧ状態（ｂ）を表した斜視図である。
【図１７】実施形態に係るワイピング装置を搭載した液滴吐出装置の平面模式図である。
【図１８】実施形態に係るワイピング装置を搭載した液滴吐出装置の側面模式図である。
【符号の説明】
【００７６】
１  機能液滴吐出ヘッド、９  吐出ノズル、１０  ノズル面、２０  ヘッド検査装置、２５  制御装置、３２  ワイピング装置、１０１  ワイピングシート、１０３  繰出しリール、１０５  巻取りリール、２０３  送り量測定ユニット、  ２０４  シートエンド検出ユニット、２１２  リール駆動軸、２１５  巻取りモータ、２２３  エンコーダ、２２５  リールコア、２２６  受け側ホイール、２２７  押え側ホイール、２２３  軸受け部、２２９  装着軸部、２３１  溝部、２３２  係合ピン、２４１  発光部、２４２  受光部、２４３  検出回路、２４４  発光部ホルダ、２４５  受光部ホルダ、２５１  Ｌ字ブラケット、２５３  固定ねじ、２５４  貫通孔、２５５  Ｌ字ブラケット、２５７  固定ねじ、２５８  貫通孔、３０１  液滴吐出装置、３０３  描画装置、３０５  ヘッド保守装置、３１４  ヘッドユニット、３３２  ワイピング装置、３３６  ワイピングシート、Ｌ  光軸、Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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