(57)【要約】【課題】照明装置の構成を簡単にしかつ照明装置と検査対象との位置合わせを容易にした樹脂封止材の検査装置を提供する。【解決手段】検査対象１は、円筒状または円柱状の樹脂封止材であり、検査対象１の軸方向を含む一つの面内で軸方向に直交する方向から照明装置２により検査対象１に光を照射する。撮像装置３は、エリアセンサからなり、照明装置２からの光照射により検査対象の表面に形成される縞状明領域Ｄｂを含む空間領域を撮像する。画像処理装置４は、撮像装置３により得られた濃淡画像のうち縞状明領域Ｄｂを検査領域とし検査領域内の画素について、輝度値が規定の分離閾値以上である画素の個数が規定した判定個数以下のときに、検査対象に占めるボイドの量が過剰であるボイド不良と判定する。【選択図】図１
2009109243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状または円柱状の樹脂封止材を検査対象とし検査対象の軸方向を含む一つの面内で軸方向に直交する方向から検査対象に光を照射する照明装置と、照明装置からの光照射により検査対象の表面に形成される縞状明領域を含む空間領域を撮像するエリアセンサからなる撮像装置と、撮像装置により得られた濃淡画像のうち縞状明領域の少なくとも一部範囲を検査領域とし検査領域内の画素について、輝度値が規定の分離閾値以上である画素の個数が規定した判定個数以下のときに、検査対象に占めるボイドの量が過剰であるボイド不良と判定する画像処理装置とを備えることを特徴とする樹脂封止材の検査装置。
【請求項２】
前記検査対象の周面に接触するローラを有し検査対象を軸方向の中心軸の周りに１回以上回転させる回転台が付加され、前記撮像装置は、検査対象が回転台上で回転する間に複数の濃淡画像を生成し、前記画像処理装置は、前記複数の濃淡画像を用いて検査対象の周面の全周に亘って外観の欠陥検査を行うとともに検査対象について軸方向の寸法計測を行うことを特徴とする請求項１記載の樹脂封止材の検査装置。
【請求項３】
前記検査対象の軸を含み前記撮像装置の光軸に直交する平面に対して撮像装置とは反対側に配置され検査対象の両端面にそれぞれ光を照射する補助照明装置を備え、前記寸法計測の間に補助照明装置を点灯させることを特徴とする請求項２記載の樹脂封止材の検査装置。
【請求項４】
前記画像処理装置は、前記複数の濃淡画像の中で時間順に並ぶ各一対の濃淡画像の両方において縞状明瞭域の中で欠陥が検出されたときに両欠陥が連続するか否かを評価し、両欠陥が連続しているときには両欠陥を１つの欠陥としてまとめて扱うことを特徴とする請求項２または請求項３記載の樹脂封止材の検査装置。
【請求項５】
前記画像処理装置は、検査領域について微分画像を生成するとともに微分画像を適宜の判定閾値で２値化した２値画像を生成し、検査領域内で判定閾値以上の微分値を持つ画素数が規定した判定数より多いときにボイド不良と判定することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の樹脂封止材の検査装置。
【請求項６】
前記画像処理装置は、前記濃淡画像の中から前記縞状明領域を除く領域に基準領域を設定し、基準領域の輝度値の平均値を基準に用いて前記分離閾値を濃淡画像毎に設定することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の樹脂封止材の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒状または円柱状に形成された樹脂封止材を検査対象とし、検査対象の画像から検査対象の不良の有無を検出する樹脂封止材の検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体装置などの封止材として、熱硬化性樹脂により形成された樹脂封止材が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載された樹脂封止材は、軸方向の一面が開放された有底円筒状に形成されている。この種の封止材には、円筒状以外に円柱状に形成されたものもある。樹脂封止材は、直径が２〜３ｍｍ程度に形成されたタブレットであって、金型のポット部内に投入された後に金型のキャビティ内に圧送され、キャビティ内で熱硬化される。したがって、樹脂封止材をキャビティに圧送する前に、キャビティ内に封止すべき部材（半導体装置など）を配置しておくことにより、当該部材を封止することができる。
【０００３】
このような樹脂封止材は、キャビティに圧送し熱硬化させることにより部材を封止するものであるから、樹脂封止材にボイド（気泡など）が含まれていると、封止後にもボイドが残留し、封止性能が低下したり強度が低下したりするという問題を生じる。あるいはまた、ボイドが表面に存在していると表面に凹凸が生じたり欠けが生じ、外観を損なうという問題も生じる。
【０００４】
この種の問題を解決するには、樹脂封止材に含まれるボイドの多寡を確認し、ボイドが多く含まれる樹脂封止材は不良品として助剤することが必要である。しかしながら、目視検査では結果のばらつきが大きくなる上に作業者の負担が大きくなるという問題がある。
【０００５】
一方、缶やロールのような円筒状あるいは球状の物体の表面の外観検査を光切断法により行う装置が提案されている（たとえば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の技術は、複数本のスリット光（線状の光パターン）を光切断線として物体表面に照射するとともに複数本の光切断線を撮像装置で一括して撮像し、撮像装置により得られた画像に画像処理技術を適用して物体表面の傷などの検出するものである。なお、一般に、スリット光を得るにはレーザ光源のような光源にシリンドリカルレンズのような光学要素を組合せて用いる技術が知られている。
【特許文献１】特開平９−４５７１２号公報
【特許文献２】特許第３４３０７８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のように樹脂封止材ではボイドの多寡を確認する必要があるが、作業員による目視検査を行うのは困難であるから、特許文献２に記載された技術のように撮像装置により撮像した画像を利用し、画像処理技術を用いてボイドの多寡を評価することが望まれている。  しかしながら、特許文献２に記載の技術は、スリット光を物体表面に照射しているから、スリット光を形成する光学要素が必要になるという問題を有している。また、スリット光により形成される線状の光パターンの上でのみ傷の有無を検出しており、ボイドの多寡を評価するために検査対象の比較的広い領域に亘って外観を検査するには、複数本のスリット光が必要であり、スリット光を形成する照明装置の構成が複雑化するという問題を生じる。
【０００７】
さらに、引用文献２に記載の構成では、缶やロールのように樹脂封止材に比べてサイズが大幅に大きい物体を対象にしているから、物体の表面に複数本のスリット光を照射することが可能であるが、樹脂封止材を対象として同様の技術を採用するには、１本の光パターンの幅を狭くする必要がある上に物体の表面に複数本の光パターンが形成されるように位置合わせすることが必要である。したがって、照明装置における光学要素の位置合わせや照明装置と物体との位置合わせに手間がかかるという問題がある。
【０００８】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、スリット光を用いずに検査対象のボイドの有無により画像内の各画素の輝度値に変化が生じる照明を可能とし、結果的に、照明装置の構成を簡単にしかつ照明装置と検査対象との位置合わせを容易にした樹脂封止材の検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、円筒状または円柱状の樹脂封止材を検査対象とし検査対象の軸方向を含む一つの面内で軸方向に直交する方向から検査対象に光を照射する照明装置と、照明装置からの光照射により検査対象の表面に形成される縞状明領域を含む空間領域を撮像するエリアセンサからなる撮像装置と、撮像装置により得られた濃淡画像のうち縞状明領域の少なくとも一部範囲を検査領域とし検査領域内の画素について、輝度値が規定の分離閾値以上である画素の個数が規定した判定個数以下のときに、検査対象に占めるボイドの量が過剰であるボイド不良と判定する画像処理装置とを備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、前記検査対象の周面に接触するローラを有し検査対象を軸方向の中心軸の周りに１回以上回転させる回転台が付加され、前記撮像装置は、検査対象が回転台上で回転する間に複数の濃淡画像を生成し、前記画像処理装置は、前記複数の濃淡画像を用いて検査対象の周面の全周に亘って外観の欠陥検査を行うとともに検査対象について軸方向の寸法計測を行うことを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明では、請求項２の発明において、前記検査対象の軸を含み前記撮像装置の光軸に直交する平面に対して撮像装置とは反対側に配置され検査対象の両端面にそれぞれ光を照射する補助照明装置を備え、前記寸法計測の間に補助照明装置を点灯させることを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明では、請求項２または請求項３の発明において、前記画像処理装置は、前記複数の濃淡画像の中で時間順に並ぶ各一対の濃淡画像の両方において縞状明瞭域の中で欠陥が検出されたときに両欠陥が連続するか否かを評価し、両欠陥が連続しているときには両欠陥を１つの欠陥としてまとめて扱うことを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明では、請求項１ないし請求項４のいずれかの発明において、前記画像処理装置は、検査領域について微分画像を生成するとともに微分画像を適宜の判定閾値で２値化した２値画像を生成し、検査領域内で判定閾値以上の微分値を持つ画素数が規定した判定数より多いときにボイド不良と判定することを特徴とする。
【００１４】
請求項６の発明では、請求項１ないし請求項５のいずれかの発明において、前記画像処理装置は、前記濃淡画像の中から前記縞状明領域を除く領域に基準領域を設定し、基準領域の輝度値の平均値を基準に用いて前記分離閾値を濃淡画像毎に設定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の発明の構成によれば、円筒状または円柱状の樹脂封止材を検査対象として、検査対象の表面に照明装置から光を照射することによって検査対象の表面に縞状明瞭域を形成し、この縞状明瞭域に検査領域を設定して検査領域内の画素の輝度値によってボイドの多寡を評価するから、スリット光を用いる必要がない。つまり、縞状明瞭域は検査対象の表面にのみ形成され、背景との区別が容易であるから、ボイドの多寡の評価を検査対象の範囲内で行うことを容易に保証することができ、しかも、照明装置の構成が従来構成に比較して簡単になる上に、照明装置からスリット光を照射するのではないから、照明装置からの光が検査対象に照射されていればよく、照明装置と検査対象との位置合わせも簡単になる。
【００１６】
請求項２の発明の構成によれば、ローラにより検査対象を１回転以上回転させるから、検査対象の周面の全面に亘ってボイドの多寡を評価することができ、ボイドの多寡について正確に評価することができる。また、縞状明瞭域は検査対象の軸方向の両端間に形成されるから、縞状明瞭域の両端間の寸法により検査対象の寸法計測を容易に行うことができ、さらに検査対象の範囲内で全周に亘って外観の欠陥検査を行うことができるから、検査対象の表面の傷や欠けを確実に検出することができる。このように、ボイドの多寡の評価と外観の欠陥検査と寸法計測とを同画像を用いて行うから、作業性が高いという利点がある。また、ローラは検査対象を回転させる目的だけではなく、検査対象の搬送にも兼用することが可能である。
【００１７】
請求項３の発明の構成によれば、補助照明装置からの光を検査対象の軸方向の各端面に照射しているから、撮像装置により撮像した画像内で検査対象の軸方向の端面付近の輝度が高くなって端面の位置を検出しやすくなる。すなわち、検査対象の寸法計測にあたって、寸法を計測する位置を特定しやすく精度の高い寸法計測が可能になる。
【００１８】
請求項４の発明の構成によれば、異なる時刻に撮像された濃淡画像において連続する１つの欠陥をまとめて扱うことにより、欠陥検査を正確に行うことができる。とくに、１つの欠陥が複数の濃淡画像に跨っている場合に、１つの濃淡画像の中では欠陥と判定されない場合でも複数の画像でまとめることにより欠陥と判定できることがあり、欠陥の検出漏れを防止することができる。
【００１９】
請求項５の発明の構成によれば、微分画像を用いることにより微細なボイドでも検出可能になる。したがって、微細なボイドが多数存在している場合でもボイド不良と判定することが可能になる。
【００２０】
請求項６の発明の構成によれば、基準領域の輝度値の平均値を基準に用いてボイドを分離する分離閾値を設定するから、環境光の強度に応じて分離閾値を変化させることができ、結果的に環境光が変動してもボイドを検出結果が変動せず、ボイド不良を正確に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（基本構成）
以下に説明する構成例における検査対象１は、図１に示すように、円筒状または円柱状の外形を有する樹脂封止材であり、軸方向に直交する断面の外周形状が円形に形成されているものとする。なお、樹脂封止材の両端面の中心を通る直線を軸と呼ぶ。
【００２２】
検出対象１は照明装置２から光が照射される。照明装置２は、検査対象１の軸を含む一つの面内で軸方向に直交する方向から検査対象１に光を照射する。照明装置２は、光源に発光ダイオードを用い、拡散透過板などを組み合わせることによって、検査対象１の軸方向の全長に亘って均一な照明が可能な面光源になるように形成される。つまり、検査対象１の範囲では、照明装置２から照射される光の波面は平面波として扱うことができる。発光色は、検査対象１の色に応じて適宜選択することができるが、通常は白色光を選択する。
【００２３】
照明装置２から検査対象１に光を照射すると、検査対象１において照明装置２に対面している半周分の周面にのみ照明装置２からの光が照射され、残りの半周分の周面には光は照射されない。つまり、検査対象１の軸を含み照明装置２からの光の照射方向に直交する平面により検査対象１を２分割したときに、照明装置２に近い方の半分の外周面に光が照射され、照明装置２から遠い方の半分の外周面には光が照射されない。
【００２４】
しかも、照明装置２からの光が照射されている部位の照度は、照明装置２との距離が最小である部位が最大になり、照明装置２から離れるに従って小さくなる。検査対象１は、樹脂封止材であって表面が拡散反射面であるから、照明装置２からの光が照射されている部位を見る方向にかかわらず、この照度分布を認識することができる。
【００２５】
図示例では、エリアセンサである撮像装置３を設け、撮像装置３により検査対象１の全体を撮像している。撮像装置３は、検査対象１の軸を含み照明装置２からの光の照射方向に対して４５度をなす方向に光軸を設定している。この角度は適宜に設定することができる。ただし、撮像装置３の視野内に検査対象１の周面における最大照度の領域が含まれ、かつ照明装置２からの光が照射されない領域も含まれるように角度を設定することが必要である。また、照明装置２からの光照射による照度の高い領域が、撮像装置３の視野内に多く含まれるように角度を設定するのが望ましい。
【００２６】
ところで、検査対象１と照明装置２と撮像装置３とを上述のように配置すると、撮像装置３により得られる濃淡画像では、図２に示すように、検査対象１において照明装置２の正面付近に縞状の明領域（以下、「縞状明領域」と呼ぶ）Ｄｂが形成される。縞状明瞭域Ｄｂは、濃淡画像内において他部位との輝度値の差が大きく、他領域と縞状明瞭域Ｄｂとは容易に分離することができる。また、縞状明瞭域Ｄｂは、検査対象１の周面の曲率などに応じて検査対象１の周方向における幅寸法が決まる。
【００２７】
撮像装置３により撮像された濃淡画像内において、検査対象１がボイドを含まない場合は縞状明瞭域Ｄｂは他領域との輝度値の差が大きく他領域とは明確に区別され、検査対象１にボイドが多く含まれる場合は照明装置２から検査対象１に照射した光の多くが検査対象１に吸収され、縞状明瞭域Ｄｂと他領域との輝度値の差が小さくなるという知見が得られた。本発明は、この知見に基づいて、撮像装置３により得られた濃淡画像にコンピュータ画像処理を施すことにより、検査対象１に占めるボイドの量が過剰であるボイド不良を検出するものである。
【００２８】
（実施形態１）
本実施形態では、図３に示すように、撮像装置３により得られた濃淡画像の中で縞状明領域Ｄｂが得られている部位の全体または一部範囲を検査領域Ｅｓとして設定する。検査領域Ｅｓに含まれる画素は縞状明瞭域Ｄｂに含まれているから、検査対象１の表面付近に凹凸や気泡が存在しなければ検査領域Ｅｓに含まれる各画素の輝度値はほぼ等しく、しかも各画素の輝度値は高く（明るく）なる。一方、検査対象１の表面付近に凹凸や気泡が存在すれば輝度値のばらつきが大きくなるか輝度値が低く（暗く）なる。そして、ボイド不良が生じているときには、検査対象１の表面付近において気泡や凹凸が存在する。本実施形態では、この知見に基づいて、検査領域Ｅｓに含まれる画素の輝度値を評価することによりボイド不良を検出するものである。以下では、縞状明瞭域Ｄｂと検査領域Ｅｓとが一致している場合を想定する。
【００２９】
撮像装置３はＡ／Ｄ変換器を含み、撮像装置３の出力である濃淡画像はデジタル画像であるものとする。もちろん、撮像装置３とは別にＡ／Ｄ変換器を設けてもよい。撮像装置３により得られた濃淡画像は、画像処理装置４に入力される。画像処理装置４は、コンピュータに画像取込用のインターフェイスを付加し、後述する各機能を実現するためのプログラムを実行することにより実現される。ただし、プロセッサを備える専用の装置として構成することも可能である。
【００３０】
画像処理装置４には、図１（ｂ）のように、濃淡画像を記憶する記憶部１１と、記憶部１１に格納された濃淡画像について検査領域Ｅｓを規定する検査領域設定部１２とが設けられる。検査対象１と照明装置２と撮像装置３との関係が決まれば縞状明瞭域Ｄｂの範囲を一意に決めることができるから、記憶部１１に記憶した濃淡画像をモニタ装置（図示せず）の画面に表示し、検査領域設定部１２に付設した操作部（キーボードやマウス）を用いれば検査領域Ｅｓを指定することができる。検査領域Ｅｓは一辺が検査対象１の軸方向に平行となる矩形状の領域とする。
【００３１】
検査領域設定部１２では、検査対象１ごとに検査領域Ｅｓを設定することが可能であるが、多数個の検査対象１について上述のように手作業で検査領域Ｅｓを設定したのでは膨大な手間がかかる。したがって、本実施形態では、検査領域Ｅｓを縞状明瞭域Ｄｂに一致するように設定する。すなわち、濃淡画像を輝度値に対する適宜の閾値で２値化することにより縞状明瞭域Ｄｂを抽出し、白画素により形成される連結領域の輪郭線に囲まれた矩形領域を検査領域Ｅｓとする。連結領域の輪郭線は、白画素と黒画素とが水平方向または垂直方向に隣接する部位の白画素を抽出し、白画素の並びが水平方向または垂直方向の略一直線上に並ぶとともに、その直線の長さが規定範囲であることを必要条件として抽出すればよい。そして、抽出された水平方向と垂直方向との２本ずつの直線で囲まれる矩形領域を縞状明瞭域Ｄｂに一致する検査領域Ｅｓに用いる。なお、検査対象１の軸方向の寸法および直径を用いることにより、濃淡画像内での縞状明瞭域Ｄｂの寸法範囲を推定して、輪郭線か否かを判断する範囲を決定することができる。
【００３２】
また、縞状明瞭域Ｄｂよりも検査領域Ｅｓを小さく設定する場合には、標準の検査対象１（つまり、ボイドの存在しないことが既知である検査対象）を撮像した濃淡画像の中で、輝度値が領域設定用の閾値よりも高い画素を連結した連結領域を求め、規定したサイズの矩形状の連結領域が得られるときに、当該連結領域を検査領域Ｅｓとし、標準の検査対象１を撮像した位置と同じ位置に検査対象１を配置して、設定された検査領域Ｅｓを適用してもよい。
【００３３】
画像処理装置４は、検査領域Ｅｓに含まれる画素について輝度値の平均値を求める平均輝度算出部１３と、検査領域Ｅｓに含まれる各画素の輝度値を規定した分離閾値Ｔｈ１と比較する輝度値比較部１４と、輝度値比較部１４において輝度値が分離閾値Ｔｈ１以上と判断された画素の個数を計数する画素計数部１５とを備える。さらに、平均輝度算出部１３において算出された輝度値の平均値と、画素計数部１５で計数された画素数とを用いてボイド不良の有無を判断する良否判定部１６を備える。
【００３４】
上述したように、ボイド不良が生じていると、検査領域Ｅｓに含まれる画素の輝度値のばらつきが大きくなるか、各画素の輝度値が低くなる。したがって、良否判定部１６では、平均輝度算出部１３で得られた輝度値の平均値に対して適宜の基準閾値Ｔｈ０を設定してあり、輝度値の平均値が基準閾値Ｔｈ０以下のときにボイド不良と判断する。
【００３５】
また、画素の輝度値の平均値が基準閾値Ｔｈ０より大きい場合でも、ボイドの存在により画素の輝度値のばらつきが大きいと、輝度値が分離閾値Ｔｈ１より低い画素の個数が多くなる（輝度値が分離閾値Ｔｈ１以上の画素の個数が少なくなる）。そこで、良否判定部１６では、画素計数部１５で計数された画素数（輝度値が分離閾値Ｔｈ１以上である画素の個数）が規定した判定個数Ｎｄ１以下のときにボイド不良と判断する。
【００３６】
上述した画像処理装置４の動作をまとめると図４のようになる。まず、撮像装置３により撮像され（Ｓ１）、検査領域Ｅｓが検査領域設定部１２で設定されると（Ｓ２）、平均輝度算出部１３において検査領域Ｅｓに含まれる画素の輝度値の平均値を求める（Ｓ３）。良否判定部１５では、輝度値の平均値が基準閾値Ｔｈ０以下のときには（Ｓ４）、ボイド不良と判断する（Ｓ９）。
【００３７】
一方、輝度値の平均値が基準閾値Ｔｈ０を超えるときには、検査領域Ｅｓに含まれる各画素を分離閾値Ｔｈ１と比較する（Ｓ５）。つまり、輝度値が分離閾値Ｔｈ１以上の画素からなる２値画像を生成する。２値画像は記憶部１１に格納され、画素計数部１５では、この２値画像に含まれる画素数を計数する（Ｓ６）。良否判定部１５では、画素計数部１５により計数された画素数を判定個数Ｎｄ１と比較し（Ｓ７）、判定個数Ｎｄ１以下のときにはボイド不良と判断する（Ｓ９）。一方、ステップＳ７において、画素計数部１５で計数された画素数が判定個数Ｎｄ１より多いと判断されると、ボイド不良のない良品と判断する（Ｓ８）。
【００３８】
（実施形態２）
実施形態１では、照明装置２および撮像装置３に対して検査対象１の位置を規定する手段について説明していないが、上述した位置関係になるように検査対象１を保持することが必要である。また、実施形態１の構成例では、検査対象１の表面の一部領域の外観でボイド不良の有無を判断しているから、検査対象１の一部領域にボイドが偏在している場合に、ボイド不良を検出できない場合がある。
【００３９】
そこで、本実施形態では、図５、図６に示すように、検査対象１の周面に接触する直径の等しい２本のローラ５ａ，５ｂを備える回転台５を構成し、両ローラ５ａ，５ｂにより検査対象１を保持する構成を採用している。ローラ５ａ，５ｂの表面は検査対象１が滑らない程度の摩擦係数を有するシリコンゴムなどの材料により形成される。両ローラ５ａ，５ｂを回転させると検査対象１も回転するから、検査対象１を１回転以上回転させることにより、照明装置２および撮像装置３の位置を変更することなく検査対象１の周面の全面に縞状明瞭域Ｄｂを形成することができる。
【００４０】
２本のローラ５ａ，５ｂは回転軸が平行に配置され、両ローラ５ａ，５ｂの間には検査対象１の直径よりも小さい寸法の間隙ｇが形成される。ローラ５ａ，５ｂのうちの少なくとも一方は回転駆動され、ローラ５ａ，５ｂの回転駆動に伴って検査対象１が回転する。両ローラ５ａ，５ｂのうちの一方のみを回転駆動する場合には他方は自由に回転できる構成とし、両ローラ５ａ，５ｂを回転駆動する場合にはギアなどを介在させて両ローラ５ａ，５ｂが周速度を等しくして同じ向きに回転するように連動させる。なお、両ローラ５ａ，５ｂの周速度を異ならせることによって、検査対象１をローラ５ａ，５ｂ間から取り出すことも可能である。したがって、ローラ５ａ，５ｂを検査対象１の搬送にも兼用することができる。
【００４１】
撮像装置３は両ローラ５ａ，５ｂの回転軸を含む平面に光軸が直交するように配置し、照明装置２は検査対象１の表面に形成される縞状明領域Ｄｂの全体がローラ５ａ，５ｂの影にならず撮像装置３の視野内に含まれるように配置する。
【００４２】
回転台５の上に載せた検査対象１は、ローラ５ａ，５ｂが回転すれば回転するから、検査対象１が１回転以上回転するようにローラ５ａ，５ｂを回転駆動する間に撮像装置３により検査対象１の外周面全体を複数毎の画像に分けて撮像する。
【００４３】
検査対象１の外周面全体の画像を撮像装置３により撮像するには、ローラ５ａ，５ｂを連続的に回転させる間に撮像装置３により動画像を撮像することが考えられる。動画像を静止画像の集合とみなせば、各静止画像について実施形態１と同様の処理を行うことによりボイド不良の有無を判断することができる。
【００４４】
ただし、縞状明領域Ｄｂは幅を有しているから、ローラ５ａ，５ｂを所定角度ずつ回転させ検査対象１を定位置に停止させた状態で撮像装置３により静止画像を撮像し、各静止画像について実施形態１と同様の処理によってボイド不良の有無を判断するのが望ましい。
【００４５】
動画像を撮像する場合には、フレームレートと検査対象１の回転速度との関係によっては、１フレーム内で検査対象１が１画素の範囲を超えて移動することになり、検査対象１の表面について高精度の画像を得ることができない。これに対して、所定角度ずつ回転させて静止画像を撮像する構成を採用すれば、各静止画像の撮像時に検査対象１が移動しないから高精度の画像を得ることが可能になる。
【００４６】
検査対象１を回転させる角度は縞状明瞭域Ｄｂの幅に応じて適宜に設定する。たとえば、縞状明瞭域Ｄｂが検査対象１の中心に対してなす角度を３０度とし、検査対象１に形成される縞状明瞭域Ｄｂが検査対象１の外周面を周方向に１０度ずつ移動するように検査対象１を回転させるものとすれば、検査対象を１０度ずつ回転させて撮像装置３で静止画像を撮像する動作を３６回繰り返すことにより、検査対象１の外周面の全周に亘って縞状明領域Ｄｂを形成することができる。しかも、順序が隣接する各一対の静止画像における縞状明瞭域Ｄｂには検査対象１の外周面の同じ部位が含まれるから、検査対象１の外周面の全周に亘って漏れなく縞状明領域Ｄｂを形成することができる。
【００４７】
したがって、本実施形態では、実施形態１のように各静止画像ごとにボイド不良の有無を判断するのではなく、検査対象１の外周面の全周に亘ってボイド不良の有無を一括して判断することが可能である。要するに、検査対象１の外周面を一平面に展開した状態と等価に扱い、この一平面においてボイド不良の有無を判断することが可能である。
【００４８】
本実施形態の処理手順を図７にまとめて示す。図示例では、検査対象１を所定角度ずつ回転させて複数枚の静止画像を撮像し、各静止画像ごとにボイド不良の有無を判定する例を示している。さらに、縞状明瞭域Ｄｂは検査対象１の軸方向の両端を含むから、縞状明瞭域Ｄｂの両端間の長さ寸法を画像内で計測することにより、検査対象１の軸方向における長さ寸法を計測するようにしてある。
【００４９】
まず、撮像装置３による撮像を行う（Ｓ１）。検査対象１を撮像するたびに検査対象１を所定角度だけ回転させるようにローラ５ａ，５ｂを回転させる（Ｓ３）。検査対象１が１回転以上回転するように規定した回数だけ撮像を行った後（Ｓ２）、撮像装置３により撮像された複数の静止画像（濃淡画像）について、検査領域設定部１２でそれぞれ検査領域Ｅｓを設定する（Ｓ４）。次に、各濃淡画像について、それぞれ平均輝度算出部１３において検査領域Ｅｓに含まれる画素の輝度値の平均値を求め（Ｓ５）、良否判定部１５では、輝度値の平均値が基準閾値Ｔｈ０以下のときには（Ｓ６）、ボイド不良と判断する（Ｓ２４）。
【００５０】
一方、輝度値の平均値が基準閾値Ｔｈ０を超えるときには、検査領域Ｅｓに含まれる各画素を分離閾値Ｔｈ１と比較して輝度値が分離閾値Ｔｈ１以上の画素からなる２値画像を生成する（Ｓ７）。２値画像は記憶部１１に格納され、画素計数部１５では、この２値画像に含まれる画素数を計数する（Ｓ８）。良否判定部１５では、画素計数部１５により計数された画素数を判定個数Ｎｄ１と比較し（Ｓ９）、判定個数Ｎｄ１以下のときにはボイド不良による不良品と判断する（Ｓ２４）。一方、ステップＳ９において、画素計数部１５で計数された画素数が判定個数Ｎｄ１より多いと判断されると、良品の候補とみなし、以下の手順で、さらに詳細な検査を行う。
【００５１】
まず、ステップＳ７において２値画像を生成したときに用いた分離閾値Ｔｈ１よりも大きい閾値を設定し、撮像装置３により得られた濃淡画像からあらためて２値画像を生成する（Ｓ１０）。この閾値は、ボイド不良ではなく検査対象１の軸方向の両端部に形成される欠けや傷のような欠陥を検出するために設定される。この２値画像は、ステップＳ７で抽出された縞状明領域Ｄｂに比較すると検査対象１の周方向の幅寸法が小さくなるが、検査対象１の軸方向の寸法は変化しない。
【００５２】
ステップＳ１０により得られた２値画像について、黒画素（輝度値が閾値より小さい画素）の有無を判定し、黒画素が存在するときには黒画素による連結領域（隣接画素が黒画素である連続した領域）を形成する。黒画素が存在するときには欠陥の候補が存在すると判断し（Ｓ１１）、欠陥の候補（黒画素または黒画素の連結領域）についてサイズ（画素数および画像内の水平方向と垂直方向との寸法など）を計測する（Ｓ１２）。このようにして計測したサイズが規定した基準サイズＡｓ１以上であるときには（Ｓ１３）、不良品と判断する（Ｓ２４）。
【００５３】
また、ステップＳ１１において黒画素が存在しないか、ステップＳ１１において欠陥の候補のサイズが基準サイズＡｓ１より小さいと判断されたときには、検査対象１の端面についても計測を行う。すなわち、図８のように、検査対象１の端面にバリなどによる突部６が形成されている場合には、いずれかの濃淡画像において突部６の表面にも縞状明領域Ｄｂが形成され、しかも検査対象１の周面と突部８の周面とでは縞状明瞭域Ｄｂに段差が生じるから、段差の位置により検査対象１の端面の位置を特定することができる。具体的には、２値画像内で縞状明瞭域Ｄｂの境界線が、境界線の延長方向の異なる部位において２本の直線に分かれるから、端面の位置は、縞状明瞭域Ｄｂにおける検査対象１の端点と突部６の端点とを通る直線（実際にはいずれか一方の端点を他方側にずらす）の位置により特定する。また、突部６に形成される縞状明瞭域Ｄｂは、検査領域Ｅｓの外側に位置することになるから、この関係を用いて突部６を検出してもよい。
【００５４】
このようにして突部６の有無を判断し（Ｓ１４）、突部６が存在するときには、２値画像内において検査対象１の端面からの突部６の突出寸法を計測する（Ｓ１５）。ここで計測した突出寸法が、規定した判定寸法以上であるときには（Ｓ１６）、不良品と判断する（Ｓ２４）。また、ステップＳ１６において突出寸法が判定寸法よりも小さいときには、検査対象１は良品の候補とみなせるから、縞状明瞭域Ｄｂの画素数を計数して（Ｓ１７）、この画素数を規定の判定個数Ｎｄ２と比較し（Ｓ１８）、判定個数Ｎｄ２以下であるときには不良品と判定し（Ｓ２４）、判定個数Ｎｄ２よりも多いときには良品と判定する（Ｓ１９）。
【００５５】
ただし、ステップＳ１９において良品と判定した後に、さらに、縞状明瞭域Ｄｂに含まれる画素の輝度値の平均値を求めて（Ｓ２０）、輝度値の平均値を規定の判定閾値Ｔｈ２と比較し（Ｓ２１）、判定閾値Ｔｈ２以下であったときには不良品と判定する（Ｓ２４）。また、ステップＳ２１において輝度値の平均値が判定閾値Ｔｈ２より大きかった場合にはステップＳ１９における良品判定の結果が維持される。
【００５６】
このようにステップＳ２１での判定でも検査対象１が良品と判断されると、検査対象１の両端面の端面間の距離を２値画像において計測する（Ｓ２２）。
【００５７】
上述した処理は、検査対象１が１回でも不良品と判定されるか（Ｓ２４）、あるいは撮像装置３により撮像されたすべての濃淡画像で良品と判定されると（Ｓ２３）終了する。
【００５８】
本実施形態では、良品の候補と判定されると、さらに検査対象１の周面における欠陥（傷や欠け）の有無を評価する欠陥検査を行うとともに、検査対象１の端面における突部６の有無を評価し、欠陥や突部６が存在しないときに検査対象１を良品と判断するから、検査対象１の良否判定を実施形態１よりもさらに精度よく行うことができる。また、良品については検査対象１の軸方向の寸法を計測するから、検査対象１のサイズを知ることができる。しかも、検査対象１の外周面の全周に亘って良否判定を行うから、検査対象１の周面の一部にボイド不良や欠陥が存在する場合でも見逃すことなく不良品と判断することができる。他の構成および動作は実施形態１と同様である。
【００５９】
なお、本実施形態では、撮像装置３により検査対象１の外周面の全周分について濃淡画像を記憶部１１に記憶させた後に、各濃淡画像ごとに良否判定を行っているが、１枚の濃淡画像が得られるたびに良否判定を行う手順を採用してもよい。また、ボイド不良の判定を行う処理（Ｓ５〜Ｓ９）を１枚ずつの濃淡画像に対して行っているが、検査対象１の外周面の全周分の輝度値を１枚の濃淡画像に集約した後、上述の処理を１枚の濃淡画像に対して行うことにより検査対象１の外周面の全周について１回の処理でボイド不良の判定を行ってもよい。この場合、その後の処理も１枚の濃淡画像を対象とする処理とすることができる。さらにまた、ステップＳ１〜Ｓ３のように、検査対象１の全周分の濃淡画像を記憶部１１に格納してから画像処理を行う代わりに、各１枚の濃淡画像を撮像するたびに、その後の処理を行うようにしてもよい。
【００６０】
（実施形態３）
実施形態２では、検査対象１の周面に光を照射する照明装置２を配置しているが、検査対象１の軸方向の両端面には光が照射されていない。本実施形態は、図９、図１０に示すように、照明装置２とは別に検査対象１の軸方向の各端面にそれぞれ光を照射する補助照明装置７ａ，７ｂを付加したものである。補助照明装置７ａ，７ｂは、検査対象１の軸方向の各端面にそれぞれ斜め方向から光が照射されるように配置される。たとえば、各端面に直交する方向に対して４５度傾斜した方向から光を照射する。
【００６１】
また、撮像装置３に対しては、図１０に示すように、検査対象１の軸を含み撮像装置３の光軸に直交する平面に対して、検査対象１と補助照明装置７ａ，７ｂとが互いに反対側に位置するように補助照明装置７ａ，７ｂが配置される。ただし、補助照明装置７ａ，７ｂからの直接光が撮像装置３に入射しないように配置する。このような配置を採用することにより、検査対象１において撮像装置３に近い部位では、検査対象１の周面と端面との角部分の輝度が高くなり、検査対象１における軸方向の両端位置を検出しやすくなる。したがって、検査対象１の寸法計測を行う間に補助照明装置７ａ，７ｂを点灯させることにより、検査対象１の軸方向の両端位置を特定して寸法計測を容易にする。
【００６２】
ここに、補助照明装置７ａ，７ｂから照射された光のうち検査対象１の角付近で正反射された光が撮像装置３に入射するように撮像装置１と補助照明装置７ａ，７ｂとの位置関係を設定しておけば、撮像装置３で得られた濃淡画像において検査対象１の端面と周面との輝度差が大きくなり、端面の位置をより検出しやすくなる。なお、照明装置２から検査対象１に照射する光の強度を高めることによっても検査対象１における軸方向の両端位置を検出しやすくなる。他の構成および動作は実施形態２と同様である。
【００６３】
（実施形態４）
実施形態２として説明した図７のステップＳ１１〜Ｓ１３では、黒画素による連結領域のサイズを用いて欠陥の有無を判断しているが、検査対象１の特定の回転位置において得られた１枚の濃淡画像のみで欠陥の有無を判断すると、良品と不良品と誤認する可能性がある。そこで、本実施形態では、複数枚（図示例では２枚）の濃淡画像を用いて欠陥の有無を判断する。ここでは、説明を簡単にするために、縞状明領域Ｄｂの幅に相当する回転角度ごとに検査対象１を撮像する場合について説明する。つまり、異なる濃淡画像において、検査対象１の周面の各位置は重複しないものとする。たとえば、検査対象１の軸から縞状明領域Ｄｂを見込むときの中心角が２０度であるとすれば、検査対象１が２０度回転するたびに撮像装置３により濃淡画像を撮像し、１８枚の濃淡画像が得られるものとする。
【００６４】
いま、図１１における矢印Ｒの向きに検査対象１が回転するものとして、１枚の濃淡画像において、図１１（ａ）のように、欠陥の候補ＰＳ１となる黒画像の連結領域が検出されたものとする。ここで、候補ＰＳ１を囲む輪郭線の一部が、縞状明瞭域Ｄｂにおいて検査対象１の回転方向Ｒの前端側（図１１（ａ）の左側）の境界線を含んでおり、かつ時間順で後から得られる濃淡画像にも欠陥の候補が含まれているときに、欠陥の候補ＰＳ１と連続する欠陥か否かを判断する。
【００６５】
具体的には、図１１（ｂ）のように、時間順で次に得られる濃淡画像において欠陥の候補ＰＳ２となる黒画素の連結領域が検出され、当該候補ＰＳ２を囲む輪郭線の一部が、縞状明瞭域Ｄｂにおいて検査対象１の回転方向Ｒの後端側（図１１（ｂ）の右側）の境界線を含んでいるときに、当該候補ＰＳ２は、時間順で一つ前に得られた濃淡画像から検出された候補ＰＳ１と連続した１つの欠陥であると判断する。この処理により、異なる濃淡画像から得られる２個の候補ＰＳ１，ＰＳ２は１個の欠陥の候補として扱うことが可能になる。つまり、個々の濃淡画像ごとに欠陥の候補を評価するのではなく、２枚の連続した濃淡画像を一括して欠陥の候補を評価するから、欠陥のサイズを正確に評価することが可能になる。
【００６６】
図１１（ｃ）のように、図１１（ａ）の濃淡画像に対して時間順で次に得られる濃淡画像において欠陥の候補ＰＳ３となる黒画素の連結領域が検出されたとしても、当該候補ＰＳ３を囲む輪郭線の一部が、縞状明領域Ｄｂの前端側の境界線を含んでいない場合には、当該候補ＰＳ３は図１１（ａ）で得られた候補ＰＳ１とは独立した領域と判断する。他の構成および動作は実施形態２，３と同様である。
【００６７】
なお、実際には、欠陥の候補ＰＳ１が得られてから時間順で次の濃淡画像内での欠陥の候補ＰＳ２，ＰＳ３について判断するのではなく、欠陥の候補ＰＳ２，ＰＳ３が得られてから、時間順で一つ前の濃淡画像に遡って欠陥の候補ＰＳ１と連続するか否かを判断する。この動作によって、仮に前の濃淡画像において欠陥の候補ＰＳ１が不良品と判断されなかった場合でも、後の濃淡画像において欠陥の候補ＰＳ２，ＰＳ３が検出されたときに、前の濃淡画像における欠陥の候補ＰＳ１が再度見直されることになり、不良品を見逃す可能性を低減することができる。
【００６８】
本実施形態の処理手順を図１２にまとめて示す。ステップＳ１３において、欠陥の候補のサイズが基準サイズＡｓ１より小さい場合に、図７に示した処理例では、ただちに良品の候補と判断して突部６の有無を判断する処理に移行しているが、本実施形態では、ステップＳ１３の後に、上述のように、時間順で次に並んでいる濃淡画像についても欠陥の候補の有無を判断し、一括して連続するとみなされる欠陥の候補が検出されたときに、２つの欠陥の候補のサイズを合計して欠陥の有無を判断する点で相違している。すなわち、図１２に示す動作では、欠陥の候補のサイズが基準サイズＡｓ１より小さいときに、以下に説明する処理を行うことで、欠陥か否かをさらに詳細に判断する。なお、ステップＳ１３において欠陥の候補のサイズが基準サイズＡｓ１以上と判断されるときにはただちに不良品と判断する（Ｓ２４）。この処理は実施形態２と同様である。
【００６９】
まず、欠陥の候補のサイズが基準サイズＡｓ１より小さいと判断されたときに（Ｓ１３）、基準サイズＡｓ１に１より小さい所定の係数を乗じた第２の基準サイズＡｓ２と比較し（Ｓ２５）、欠陥の候補のサイズが第２の基準サイズＡｓ２よりも小さいときには、良品の候補とみなしてステップＳ１４に進む。一方、欠陥の候補のサイズが第２の基準サイズＡｓ２以上であると、欠陥候補が得られた濃淡画像の識別情報（たとえば、画像に撮像順の番号を付与しておき、その番号を用いる）と、欠陥の候補の位置（検査対象１の周方向における両端位置とサイズ）とを記憶部１１に記憶させる（Ｓ２６）。
【００７０】
次に、時間順で一つ前の濃淡画像において欠陥の候補が記憶部１１に記憶されているか否かを照会し（Ｓ２７）、記憶されていないときには良品の候補としてステップＳ１４に移行し、記憶されているときには記憶されている情報を記憶部１１から読み出す（Ｓ２８）。
【００７１】
記憶部１１から読み出した欠陥の候補について連結可能か否かを判断し、連結可能であれば読み出した欠陥の候補のサイズを、ステップＳ１２で求めた欠陥の候補のサイズと合算し、合算の結果を基準サイズＡｓ１と比較する（Ｓ２９）。合算したサイズが基準サイズＡｓ１以上と判定されると欠陥品と判定する（Ｓ２４）。一方、記憶部１１から読み出した欠陥の候補がステップＳ２９において連結できないと判断されたときには、前の濃淡画像で得られた欠陥の候補は独立した欠陥と判断され、良品の候補としてステップＳ１４に移行する。
【００７２】
本実施形態は、実施形態２において説明した図７の処理にステップＳ２５〜Ｓ２９を付加することにより、１枚の濃淡画像で得られた欠陥の候補が不良品と判断されない場合でも、２枚の濃淡画像を用いることにより判断の適否を検証することができるから、不良品を見落とすことなく検出することができる。
【００７３】
なお、２枚の濃淡画像ではなく時間順に並ぶ３枚以上の濃淡画像に跨る欠陥の候補について不良品か否かを判断するようにしてもよい。つまり、時間順に並ぶ一つ前の濃淡画像において欠陥の候補が存在する場合に、当該欠陥の候補がさらに前の濃淡画像の欠陥の候補と連続している可能性がある場合に、さらに遡って欠陥の候補を検査することによって、より精度よく欠陥品の検出が可能になる。
【００７４】
また、本実施形態では、各濃淡画像で検査領域Ｅｓに含まれる範囲が重複しないように縞状明瞭域Ｄｂの幅に相当する角度ずつ検査対象１を回転させているが、この動作は必須ではなく、縞状明瞭域Ｄｂの幅の範囲内の角度ずつ検査対象１を回転させ、重複している領域の範囲内で各濃淡画像に設定する検査領域Ｅｓの境界線を設定するようにしてもよい。この方法を採用すれば、時間順で隣接している濃淡画像間で、検査対象１の周面の画像に漏れが生じるのを防止することができる。
【００７５】
（実施形態５）
本実施形態は、図１３に示すように、実施形態１として説明した図４のステップＳ７において、画素計数部１５により計数した画素数を判定個数Ｎｄ１と比較し、画素数が判定個数Ｎｄ１よりも多いと判断されたときに、ただちに良品とするのではなく（Ｓ８）、検査領域Ｅｓについて微分画像を生成し、さらに微分画像を適宜の判定閾値Ｔｈ３で２値化した２値画像（以下、「微分２値画像」と呼び、濃淡画像を分離閾値Ｔｈ１で２値化した２値画像を「輝度２値画像」と呼ぶ）を生成した後（Ｓ１０）、検査領域Ｅｓ内で判定閾値Ｔｈ３以上の微分値を持つ画素数を計数する（Ｓ１１）。計数値は、検査領域Ｅｓの中で隣接する画素との輝度差が比較的大きい部位の面積を反映している。したがって、ボイド不良として、比較的大きいボイドが発生して比較的大きな凹凸が形成されている場合だけではなく、比較的小さいボイドが多数個発生して比較的小さな凹凸が多数個形成されている場合の検出が可能になる。
【００７６】
たとえば、表１は１種類の不良品と３種類の良品とについて、平均輝度、輝度値を２値化した輝度２値画像での画素数、微分値を２値化した微分２値画像での画素数を示している。右端の良品は状態がよく、輝度２値画像については画素数が多く、微分２値画像については画素数が少なくなっている。これに対して、右から２番目の良品は輝度２値画像では画素数が多いが、微分２値画像についても画素数が多くなっている。この良品は比較的小さいボイドが数多く発生しており、ボイドの個数が多くなれば、不良品と判断される。
【００７７】
【表１】
2009109243.tif 000003
【００７８】
このことを利用して、ステップＳ１１で得られた計数値を判定数と比較し（Ｓ１２）、計数値が判定数以下であれば良品と判定し（Ｓ８）、計数値が判定数より大きいときには不良品と判定する（Ｓ９）。
【００７９】
本実施形態は、大きいボイドだけではなく、小さいボイドであっても個数が多くなればボイド不良と判定するものである。他の構成および動作は実施形態１と同様である。また、ステップＳ１〜Ｓ７を実施形態２として説明した図７のステップＳ１〜Ｓ７に差し替えてもよい。本実施形態は、実施形態２，３，４のいずれにも適用可能である。
【００８０】
（実施形態６）
本実施形態は、図１４に示すように、実施形態５として説明した図１３の処理に先だって、ステップＳ５で２値画像を生成する際に用いる分離閾値Ｔｈ１を調節する処理を付加したものである。すなわち、検査対象１の周面には照明装置２からの光のみが照射されているのではなく、自然光や他の照明光などの光が環境光として周囲に存在しているから、他の条件が変化しない場合でも、環境光の光強度が変動すると分離閾値Ｔｈ１により抽出される画素数が変動する。
【００８１】
本実施形態では、図１５に示すように、撮像装置３の視野内において縞状明瞭域Ｄｂとは異なる領域であって照明装置２からの照明光の影響を受けにくい領域に基準領域Ｄｓを設定する。また、基準領域Ｄｓに含まれる画素の輝度値の平均値を求めて記憶部１１に記憶しておき、基準領域Ｄｓに含まれる画素の輝度値の平均値を次に求めたときに記憶部１１に記憶している平均値との差分を輝度変動値として求め、輝度変動値が基準値を超えているときには（図１６のＳ０１）、環境光の光強度が変動したとみなして分離閾値Ｔｈ１を変更する（図１６のＳ０２）。
【００８２】
ここに、基準領域Ｄｓは、縞状明瞭域Ｄｂではない部位であって、環境光の変化に応じて輝度値が変化する部位に設定する。たとえば、検査対象１のうち縞状明瞭域Ｄｂではない部位やローラ５ａ，５ｂに設定可能である。あるいはまた、検査対象１やローラ５ａ，５ｂとは異なる部位に設定してもよい。ただし、環境光を反射する物体が存在し、かつ撮像装置３からの距離が検査対象１に近い部位であることが望ましい。基準領域Ｄｓに含まれる画素の輝度値の平均値を求めるタイミングは、撮像毎としたり一定時間毎としたりすることができる。要するに、環境光の光強度に変動が生じる場合に、その変動を検出することができるタイミングであればよい。
【００８３】
分離閾値Ｔｈ２の変更にあたっては、図１６に示すように、環境光の光強度の変動を検出すると（Ｓ０１）、分離閾値Ｔｈ１を決定したときに記憶部１１に記憶した前回の輝度値の平均値と今回の輝度値の平均値との差分を求め、この差分を現状の分離閾値Ｔｈ１に加算して、以後の分離閾値Ｔｈ１に用いる（Ｓ０２）。
【００８４】
図１６に示す例では、輝度２値画像および微分２値画像に対する判定個数についても変更している。判定個数を修正するには、輝度値の平均値の差分を階調の段数（ここでは、２５５段階）で除した値を現状の判定個数に乗じ、その結果を、現状の判定個数に加算した値を、以後の判定個数に用いる（Ｓ０３，Ｓ０４）。なお、図１６に示す修正方法は一例であって分離閾値Ｔｈ１や判定個数の修正方法は適宜に変更可能である。
【００８５】
他の構成および動作は実施形態５と同様であって、実施形態１の構成に適用可能であるほか、実施形態２，３，４のいずれにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】（ａ）は本発明の全体構成を示す斜視図、（ｂ）はブロック図である。
【図２】同上の動作説明図である。
【図３】実施形態１における検査領域を示す説明図である。
【図４】同上の処理手順を示す動作説明図である。
【図５】実施形態２を示す要部斜視図である。
【図６】同上の縦断面図である。
【図７】同上の処理手順を示す動作説明図である。
【図８】同上の動作説明図である。
【図９】実施形態３を示す要部斜視図である。
【図１０】同上の要部側面図である。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は実施形態４を示す動作説明図である。
【図１２】同上の処理手順を示す動作説明図である。
【図１３】実施形態５の処理手順を示す動作説明図である。
【図１４】実施形態６の処理手順を示す動作説明図である。
【図１５】同上の動作説明図である。
【図１６】同上の要部の処理手順を示す動作説明図である。
【符号の説明】
【００８７】
１  検査対象（樹脂封止材）
２  照明装置
３  撮像装置
４  画像処理装置
５  回転台
５ａ，５ｂ  ローラ
６  突部
７ａ，７ｂ  補助照明装置
１１  記憶部
１２  検査領域設定部
１３  平均輝度算出部
１４  輝度値比較部
１５  画素計数部
１６  良否判定部
Ｄｂ  縞状明瞭域
ＰＳ１，ＰＳ２，ＰＳ３  欠陥の候補
【図１】
2009109243.tif 000004
【図２】
2009109243.tif 000005
【図３】
2009109243.tif 000006
【図４】
2009109243.tif 000007
【図５】
2009109243.tif 000008
【図６】
2009109243.tif 000009
【図７】
2009109243.tif 000010
【図８】
2009109243.tif 000011
【図９】
2009109243.tif 000012
【図１０】
2009109243.tif 000013
【図１１】
2009109243.tif 000014
【図１２】
2009109243.tif 000015
【図１３】
2009109243.tif 000016
【図１４】
2009109243.tif 000017
【図１５】
2009109243.tif 000018
【図１６】
2009109243.tif 000019