(57)【要約】【課題】簡単な流路構成であっても、圧力差に依存せずに微細流路内の液体を所定の位置に送液することが可能なマイクロチップを提供する。【解決手段】微細流路ｒと、微細流路ｒを送液された液体を貯留する貯留部１３９と、を有するマイクロチップであって、貯留部１３９は、貯留部１３９に対する上流側の微細流路ｒ１と下流側の微細流路ｒ２とを連通し、断面積が上流側の微細流路ｒ１の断面積よりも小さい側道路１３９ｓ、を備えていることを特徴とするマイクロチップとする。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細流路と、
前記微細流路を送液された液体を貯留する貯留部と、
を有するマイクロチップであって、
前記貯留部は、該貯留部に対する上流側の微細流路と該貯留部に対する下流側の微細流路とを連通し、断面積が前記上流側の微細流路の断面積よりも小さい側道路、を備えていることを特徴とするマイクロチップ。
【請求項２】
前記側道路は、内壁面が撥水性であることを特徴とする請求項１に記載のマイクロチップ。
【請求項３】
前記貯留部に送液される液体は、該液体の上流側から気体を介して下流側への送液圧力を付与されることを特徴とする請求項１又は２に記載のマイクロチップ。
【請求項４】
微細流路と、
前記微細流路を送液された液体を貯留する貯留部と、
一方の端部を前記貯留部に対する上流側の微細流路に接続し、他方の端部を前記貯留部に対する下流側の微細流路に接続する前記上流側の微細流路よりも断面積が小さい側道路、
を有することを特徴とするマイクロチップ。
【請求項５】
前記側道路は、内壁面が撥水性であることを特徴とする請求項４に記載のマイクロチップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は液体を送液する微細流路を有するマイクロチップに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロマシン技術及び超微細加工技術を駆使することにより、従来の試料調製、化学分析、化学合成などを行うための装置、手段（例えばポンプ、バルブ、流路、センサーなど）を微細化して１チップ上に集積化したシステムが開発されている（例えば特許文献１）。これは、μ−ＴＡＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｔｏｔａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ｓｙｓｔｅｍ）とも呼ばれ、マイクロチップといわれる部材に、検体（例えば、検査を受ける被験者の尿、唾液、血液を処理して抽出したＤＮＡ処理した抽出溶液など）と試薬を混合させ、その反応を検出することにより検体の特性を調べる方法である。
【０００３】
マイクロチップは、樹脂材料やガラス材料からなる基体に、フォトリソプロセス（パターン像を薬品によってエッチングして溝を作成する方法）や、レーザ光を利用して溝加工を行い、試薬や検体を流すことができる微細な流路と試薬を蓄える貯留部を設けており、さまざまなパターンが提案されている。
【０００４】
そして、これらマイクロチップを用いて検体の特性を調べる際は、マイクロポンプなどでマイクロチップ内に収容されている試薬や検体等の液体を流路内へ送液することにより、試薬と検体とを反応させて被検出部に導き検出を行う。被検出部では、例えば光学的な検出方法などによって目的物質の検出が行われる。
【０００５】
マイクロチップにおいては、流路内の微量の液体を任意の位置で制御できるようにすることは大変重要なことである。このような課題に対して特許文献２では二つの導管を内壁面が疎水性に形成された細管で連通させた微量液体制御機構が開示されている。そして当該微量液体制御機構では、細管が疎水性で形成されていることにより液体の侵入に対しては抵抗するが気体は容易に通過できるように構成されている。そして二つの導管内の圧力差により一方の導管内において液体を任意の位置に制御するものである。
【特許文献１】特開２００４−２８５８９号公報
【特許文献２】特開２０００−２７８１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献２に開示された微量液体制御機構は、細管の流路抵抗により液体の侵入を防止させるものであり、このような構成においては二つの導管の圧力差が臨界圧力差△Ｐｃを超えてしまうような場合には導管内の液体は細管を通過してしまうために、液体の位置制御を適正に行えないという問題がある。またこのような細管を複数設けた場合には流路構成が複雑になるという問題がある。
【０００７】
本発明は上記問題に鑑み、簡単な流路構成であっても、圧力差に依存せずに微細流路内の液体を所定の位置に送液することが可能なマイクロチップを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的は、下記に記載する発明により達成される。
【０００９】
（１）微細流路と、
前記微細流路を送液された液体を貯留する貯留部と、
を有するマイクロチップであって、
前記貯留部は、該貯留部に対する上流側の微細流路と該貯留部に対する下流側の微細流路とを連通し、断面積が前記上流側の微細流路の断面積よりも小さい側道路、を備えていることを特徴とするマイクロチップ。
【００１０】
（２）前記側道路は、内壁面が撥水性であることを特徴とする（１）に記載のマイクロチップ。
【００１１】
（３）前記貯留部に送液される液体は、該液体の上流側から気体を介して下流側への送液圧力を付与されることを特徴とする（１）又は（２）に記載のマイクロチップ。
【００１２】
（４）微細流路と、
前記微細流路を送液された液体を貯留する貯留部と、
一方の端部を前記貯留部に対する上流側の微細流路に接続し、他方の端部を前記貯留部に対する下流側の微細流路に接続する前記上流側の微細流路よりも断面積が小さい側道路、
を有することを特徴とするマイクロチップ。
【００１３】
（５）前記側道路は、内壁面が撥水性であることを特徴とする（４）に記載のマイクロチップ。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、簡単な流路構成であっても、圧力差に依存せずに微細流路内の液体を所定の位置に送液することが可能なマイクロチップを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明を実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。
【００１６】
［分析システムの装置構成］
図１は、本実施形態に係るマイクロチップを用いるマイクロチップ分析システム８の外観図である。マイクロチップ分析システム８は、マイクロチップ１に予め注入された検体と試薬とを自動的に反応させ、反応結果を自動的に出力する装置である。
【００１７】
マイクロチップ分析システム８の筐体８２には、マイクロチップ１を装置内部に挿入するための挿入口８３、表示部８４、メモリカードスロット８５、プリント出力口８６、操作パネル８７、外部入出力端子８８が設けられている。
【００１８】
検査担当者は、図１の矢印方向にマイクロチップ１を挿入し、操作パネル８７を操作して検査を開始させる。マイクロチップ分析システム８の内部では、マイクロチップ１内の反応の検査が自動的に行われ、検査が終了すると表示部８４に結果が表示される。検査結果は操作パネル８７の操作により、プリント出力口８６よりプリントを出力したり、メモリカードスロット８５に挿入されたメモリカードに記憶したりすることができる。また、外部入出力端子８８から例えばＬＡＮケーブルを使って、パソコンなどにデータを保存することができる。検査終了後、検査担当者はマイクロチップ１を挿入口８３から取り出す。
【００１９】
図２は、本実施形態に係るマイクロチップを用いるマイクロチップ分析システム８の概略斜視図であり、図３は構成図である。図２及び図３においては、マイクロチップが図１に示す挿入口８３から挿入され、セットが完了している状態を示している。
【００２０】
マイクロチップ分析システム８は、マイクロチップ１に予め注入された検体及び試薬を送液するための駆動液Ｌ０を貯留する駆動液タンク７０、マイクロチップ１に駆動液Ｌ０を供給するためのマイクロポンプ５、マイクロポンプ５とマイクロチップ１とを駆動液Ｌ０が漏れないように接続するポンプ接続部６、マイクロチップ１の必要部分を温調する温度調節ユニット３、マイクロチップ１をずれないように温度調節ユニット３及びポンプ接続部６に密着させるためのチップ押圧板２、チップ押圧板２を昇降させるための押圧板駆動部２１、マイクロチップ１をマイクロポンプ５に対して精度良く位置決めする規制部材２２、マイクロチップ１内の検体と試薬との反応状態等を検出する光検出部４（４ａ及び４ｂ）、等を備えている。
【００２１】
チップ押圧板２は、初期状態においては、図３に示す位置より上方に退避している。これにより、マイクロチップ１は矢印Ｘ方向に挿抜可能であり、検査担当者は挿入口８３（図１参照）から規制部材２２に当接するまでマイクロチップ１を挿入する。その後、チップ押圧板２は、押圧板駆動部２１により下降してマイクロチップ１に当接し、マイクロチップ１の下面が温度調節ユニット３及びポンプ接続部６に密着される。
【００２２】
温度調節ユニット３は、マイクロチップ１と対向する面にペルチェ素子３１及びヒータ３２を備え、マイクロチップ１がマイクロチップ分析システム８にセットされたときに、ペルチェ素子３１及びヒータ３２がマイクロチップ１に密着するようになっている。試薬が収容されている部分をペルチェ素子３１で冷却して試薬が変性しないようにしたり、検体と試薬とを合流させて反応させる貯留部１３９をヒータ３２で加熱して反応を促進させたりする。
【００２３】
発光部４ａ及び受光部４ｂから構成される光検出部４では、例えば水銀ランプからなる発光部４ａからの光を特定領域の波長の光を通過させる励起フィルタを介して励起光としてマイクロチップ１に照射し、マイクロチップ１の検出部１４８に存在する蛍光物質から発せられた蛍光を透過させて当該透過光を受光部４ｂにより検出する。受光部４ｂはチップ押圧板２の内部に一体的に設けられている。発光部４ａ及び受光部４ｂは、図３に示すマイクロチップ１の検出部１４８に対向するように設けられている。
【００２４】
マイクロポンプ５は、ポンプ室５２、ポンプ室５２の容積を変化させる圧電素子５１、ポンプ室５２のマイクロチップ１側に位置する第１絞り流路５３、ポンプ室の駆動液タンク７０側に位置する第２絞り流路５４、等から構成されている。第１絞り流路５３及び第２絞り流路５４は絞られた狭い流路となっており、また、第１絞り流路５３は第２絞り流路５４よりも長い流路となっている。
【００２５】
駆動液Ｌ０を順方向（マイクロチップ１に向かう方向）に送液する場合には、まず、ポンプ室５２の容積を急激に減少させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、短い絞り流路である第２絞り流路５４において乱流が発生し、第２絞り流路５４における流路抵抗が長い絞り流路である第１絞り流路５３に比べて相対的に大きくなる。これにより、ポンプ室５２内の駆動液Ｌ０は、第１絞り流路５３の方に支配的に押し出され送液される。次に、ポンプ室５２の容積を緩やかに増加させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、ポンプ室５２内の容積増加に伴って駆動液Ｌ０が第１絞り流路５３及び第２絞り流路５４から流れ込む。このとき、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて長さが短いので、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて流路抵抗が小さくなり、ポンプ室５２内には第２絞り流路５４の方から支配的に駆動液Ｌ０が流入する。以上の動作を圧電素子５１が繰り返すことにより、駆動液Ｌ０が順方向に送液されることになる。
【００２６】
一方、駆動液Ｌ０を逆方向（駆動液タンク７０に向かう方向）に送液する場合には、まず、ポンプ室５２の容積を緩やかに減少させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて長さが短いので、第２絞り流路５４の方が第１絞り流路５３と比べて流路抵抗が小さくなる。これにより、ポンプ室５２内の駆動液Ｌ０は、第２絞り流路５４の方に支配的に押し出され送液される。次に、ポンプ室５２の容積を急激に増加させるように圧電素子５１を駆動する。そうすると、ポンプ室５２内の容積増加に伴って駆動液Ｌ０が第１絞り流路５３及び第２絞り流路５４から流れ込む。このとき、短い絞り流路である第２絞り流路５４において乱流が発生し、第２絞り流路５４における流路抵抗が長い絞り流路である第１絞り流路５３に比べて相対的に大きくなる。これにより、ポンプ室５２内には第１絞り流路５３の方から支配的に駆動液Ｌ０が流入する。以上の動作を圧電素子５１が繰り返すことにより、駆動液Ｌ０が逆方向に送液されることになる。また圧電素子５１への駆動電圧を変更することにより駆動液Ｌ０の送液圧力を変更することが可能である。
【００２７】
ポンプ接続部６は、必要なシール性を確保して駆動液の漏出を防止するために、ポリテトラフルオロエチレン、シリコン樹脂などの柔軟性（弾性、形状追随性）をもつ樹脂によって密着面が形成されることが好ましい。このような柔軟性を有する密着面は、例えばマイクロチップの構成基材自体によるものであってもよく、また、ポンプ接続部６における流路開口の周囲に貼着された柔軟性を有する別途の部材によるものであってもよい。
【００２８】
［マイクロチップ１の構成］
図４は、本実施形態に係るマイクロチップ１の一例を示すものである。同図においてはシート状の被覆基板が取り外された状態での微細流路ｒ及び貯留部１３９の主要部の配置を模式的に示している。
【００２９】
マイクロチップ１には、撥水性（疎水性ともいう）の基材を用いて、液状の試薬と同じく液状の検体（試料）をマイクロチップ１上で混合・反応させるための微細流路ｒ及び流路エレメントが配設されている。このような基材の材質として、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリメチルペンテン、フルオロカーボン、飽和環状ポリオレフィンなどの樹脂が例示される。中でもポリスチレンは、透明性、機械的特性及び成型性に優れて微細加工がしやすく、溝形成基板の形成材料として好ましい。また不図示の被覆基板にも同様に撥水性の基材を用いている。
【００３０】
微細流路ｒはマイクロメーターオーダーで形成されており、例えば、幅ｗは数十〜数百μｍ、好ましくは５０〜３００μｍで、高さｈは２５〜１０００μｍ程度、好ましくは５０〜３００μｍである。
【００３１】
ｇは、マイクロチップ１の一方の面から外部へ解放された上流開口部である。これらの複数の上流開口部ｇはポンプ接続部６を介してマイクロチップ１をマイクロポンプ５に重ね合わせて接続した際に、マイクロポンプ５の接続面に設けられた流路開口と位置合わせされてマイクロポンプ５に連通される。そして当該上流開口部ｇから送液を行うための駆動液Ｌ０が注入される。
【００３２】
ｉ（ｉ１乃至ｉ５）は試薬或いは検体等の液体（以下、単に液体ともいう）を注入する注入孔であり、マイクロチップ１の上方の面から外部へ解放された開口となっている。各注入孔ｉには上流開口部ｇを開口した状態で液体を注入する。注入された液体は、近傍の上流開口部ｇに向かって微細流路を送られることになる。同図に示す本実施形態においては、下流側の注入孔ｉ５から上流側の注入孔ｉ１まで順番に液体を注入する。注入した当該液体は、貯留部１３９よりも上流側の微細流路ｒ１に貯留させておく。液体注入時には、上流開口部ｇ及び注入孔ｉが開いており、試薬注入後に注入孔ｉのみを封止する。そして上流開口部ｇに連通するマイクロポンプ５から送り込まれる駆動液Ｌ０により空気或いは不活性ガス等の気体を間に介して試薬或いは検体等の液体に送液圧力が付与されることにより、当該液体は微細流路ｒ内を送液される。
【００３３】
ここで図５乃至図７に基づいて貯留部１３９の構成について説明する。図５は、図４に示したマイクロチップの貯留部１３９周辺の拡大図であり、図５（ａ）は上面図、図５（ｂ）は断面図、図５（ｃ）はＡ−Ａ断面図である。図６は、貯留部１３９の下流側出口周辺の拡大図であり、図６（ａ）は上面図、図６（ｂ）はＢ−Ｂ断面図である。図７は貯留部１３９の中央断面の斜視図である。
【００３４】
図５乃至図７に示すように、貯留部１３９は、主部１３９ｍと側道路１３９ｓから構成される。そして側道路１３９ｓは上流側の微細流路ｒ１と下流側の微細流路ｒ２に連通部ＣＮで連通している。同図に示す例では貯留部１３９の主部１３９ｍの両脇にそれぞれ一つずつの側道路１３９ｓを設けているが、これに限らず片方のみに側道路１３９ｓを設けるようにしてもよい。
【００３５】
同図に示す実施形態においては、側道路１３９ｓと微細流路ｒとは上面の位置は同じであるが、その高さ（深さ）及び幅を異ならしている。側道路１３９ｓは幅が２５０μｍ、高さ１００μｍの矩形形状でありその断面積は２５×１０-9ｍ2である。微細流路ｒ１、ｒ２は幅が２００μｍ、高さが２５０μｍの矩形形状であり、その断面積は５０×１０-9ｍ2である。つまり側道路１３９ｓの断面積は、上流側の微細流路ｒ１よりも断面積が小さくなるように形成されている。なお、側道路１３９ｓの断面積を更に狭くして幅２５０μｍ、高さ５０μｍとしてもよい。
【００３６】
また不図示の上面に貼り付ける被覆基板、及び側道路１３９ｓの内壁面ｓ１、ｓ２は共に撥水性の材質でその表面が形成されている。このように上流側の微細流路ｒ１よりも断面積を小さくし、かつ撥水性の材質で形成していることから微細流路ｒ１に比べて側道路１３９ｓの流路抵抗は非常に大きい。つまり側道路１３９ｓは、液体はその通過が困難であるが、気体は容易に通過可能としている。
【００３７】
貯留部１３９の主部１３９ｍは最も断面積が大きい平坦な底面部において（図５（ｃ）を参照）幅が２０００μｍで高さが１５００μｍであり、微細流路ｒよりも、幅及び高さを共に大きくしている。また貯留部１３９の容積は、貯留部１３９に送液される液体の総量よりも、十分大きくしている。なお、貯留部１３９の主部１３９ｍの高さを微細流路ｒ１と同じ高さの２５０μｍとして幅方向のみを広げた形状としてもよい。このようにすることによりマイクロチップ１を単純な形状とすることができる。
【００３８】
図８は、微細流路ｒ１に配置させた複数の異なる液体を貯留部１３９へ送液する手順を説明する図である。
【００３９】
図８（ａ）は初期配置であり、注入孔ｉ１乃至ｉ５からそれぞれ異なる液体Ｌ１乃至Ｌ５を注入させた状態を示す図である。前述のとおり注入孔ｉは、液体を注入した後は封止されている。そしてそれぞれの液体Ｌの間には、空気ａｉｒを介しているので隣接する液体Ｌ間では非接触状態が保たれているので、それぞれの液体は同図に示す初期配置においては混ざり合うことはない。
【００４０】
図８（ｂ）は上流開口部ｇからマイクロポンプ５により駆動液Ｌ０を注入させることにより送液している状態を示す図である。駆動液Ｌ０の送液圧力により、微細流路ｒ１内に配置させていた液体Ｌは貯留部１３９に送液される。送液される液体の先端が貯留部１３９に侵入した時点では、側道路１３９ｓと微細流路ｒ１の連通部ＣＮは、当該液体でふさがれているために、液体の後方にある空気ａｉｒは側道路１３９ｓを通過することはできない。送液される液体の後端が側道路１３９ｓと微細流路ｒ１の連通部ＣＮを通過した時点で、前述の連通部は開放されるので当該液体の後方にある空気は液体を追い越して下流側の微細流路ｒ２に方に抜けていく。
【００４１】
図８（ｂ）に示す状態では、初期配置で微細流路ｒ１の中間貯留部１３９側に配置されていた液体Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５は貯留部１３９（主部１３９ｍ）で混ざり合った状態となっており、図８（ｃ）では全ての液体Ｌ（Ｌ１乃至Ｌ５）が貯留部１３９で混ざり合った状態となっている。
【００４２】
そして、これらの液体Ｌの間に存在していた空気ａｉｒは、側道路１３９ｓを経由して下流側の微細流路ｒ２に抜けている。また微細流路ｒ１において液体Ｌは、送液方向の後方に存在していた空気ａｉｒを介して送液圧力が付与されていたが、貯留部１３９に到着することにより当該空気ａｉｒは側道路１３９ｓを抜けていくために、液体Ｌには送液圧力は付与されなくなり、当該液体Ｌは後方の液体Ｌが到着するまでは貯留部１３９で停止することになる。つまり液体Ｌの間に存在していた空気ａｉｒを取り除いた状態で貯留部１３９においてそれぞれの液体Ｌを合流させることができる。またこのような構成とすることで空気ａｉｒによる送液圧力が増大しても、その送液圧力に依存せずに液体Ｌを貯留部１３９で停止させることが可能であり、更に、駆動液Ｌ０が来るまで時間的余裕を持って、マイクロポンプ５を停止させることができる。また、駆動液を用いない送液の場合、駆動液が貯留部１３９に入ってくることがないため、液体Ｌは貯留部１３９で停止したままとなる。この場合、貯留部１３９を検出部として機能させることにより当該貯留部１３９での反応を光学的に検出するようにしてもよい。
【００４３】
また、貯留部１３９で停止した液体Ｌを送液させる場合、図８（ｄ）に示すように、駆動液Ｌ０で液体Ｌを貯留部１３９から押し出すことができる。駆動液Ｌ０は、液体Ｌと同様に側道路１３９ｓを抜けることはできないので、貯留部１３９の主部１３９ｍに送液され、同主部１３９ｍに滞留していた液体Ｌを下流側の微細流路ｒ２に押し出す。押し出された液体Ｌは検出部１４８で反応を光学的に検出され、検査工程が終了する。
【００４４】
本実施形態によれば、簡単な流路構成であっても、圧力差に依存せずに微細流路内の液体を所定の位置に送液することが可能なマイクロチップを提供することが可能となる。
【００４５】
［他の実施形態］
図９は、他の実施形態におけるマイクロチップ１の貯留部１３９周辺の拡大図である。同図に示した以外の構成は図１乃至図４と同様であり説明を省略する。
【００４６】
同図に示す側道路１４０は貯留部１３９とは独立した流路を備えており、側道路の一方の端部は分岐部ＳＰで微細流路ｒ１及び貯留部１３９と接続しており、他方の端部は合流部ＪＣで微細流路ｒ２及び貯留部１３９と接続している。
【００４７】
側道路１４０は幅が２５０μｍ、高さ１００μｍの矩形形状でありその断面積は２５×１０-9ｍ2である。微細流路ｒ１、ｒ２は幅が２００μｍ、高さが２５０μｍの矩形形状であり、その断面積は５０×１０-9ｍ2である。つまり側道路１４０の断面積は、上流側の微細流路ｒ１よりも断面積が小さくなるように形成されている。
【００４８】
また側道路１４０の内壁面は撥水性の材質でその表面が形成されている。このように上流側の微細流路ｒ１よりも断面積を小さくし、かつ撥水性の材質で形成していることから微細流路ｒ１に比べて側道路１４０の流路抵抗は非常に大きい。つまり液体はその通過が困難であるが、微細流路ｒを通過する気体のみを通過させることが可能な側道路１４０としている。
【００４９】
このような構成とすることにより、簡単な流路構成であっても、圧力差に依存せずに微細流路内の液体を所定の位置に送液することが可能なマイクロチップを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本実施形態に係るマイクロチップを用いるマイクロチップ分析システム８の外観図である。
【図２】本実施形態に係るマイクロチップを用いるマイクロチップ分析システム８の概略斜視図であり
【図３】本実施形態に係るマイクロチップを用いるマイクロチップ分析システム８の構成図である。
【図４】本実施形態に係るマイクロチップ１の一例を示すものである。
【図５】図５（ａ）は貯留部１３９周辺の上面図、図５（ｂ）は貯留部１３９周辺の断面図、図５（ｃ）は図５（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図６】図６（ａ）は貯留部１３９の下流側出口周辺の上面図、図６（ｂ）は図６（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図７】貯留部１３９周辺の中央断面の斜視図である。
【図８】微細流路ｒ１に配置させた複数の異なる液体を貯留部１３９へ送液する手順を説明する図である。
【図９】他の実施形態におけるマイクロチップ１の貯留部１３９周辺の拡大図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  マイクロチップ
５  マイクロポンプ
６  ポンプ接続部
ｇ  上流開口部
ｉ  注入孔
ＪＣ  合流部
ＳＰ  分割部
１３９  貯留部
１３９ｍ  主部
１３９ｓ、１４０  側道路
１４８  検出部
１６０  廃液部
７０  駆動液タンク
【図１】
2009150810.tif 000003
【図２】
2009150810.tif 000004
【図３】
2009150810.tif 000005
【図４】
2009150810.tif 000006
【図５】
2009150810.tif 000007
【図６】
2009150810.tif 000008
【図７】
2009150810.tif 000009
【図８】
2009150810.tif 000010
【図９】
2009150810.tif 000011