(57)【要約】【課題】ＴＣＰテープに実装されるデバイスのそばにロットＮｏ．＋固有データを２次元バーコード等で刻印することにより、リールＭＡＰとデバイスの照合を容易にし、また、個片にした後のＩＣの工程のトレースをロットＮｏ．にて可能とすることを目的としたロット刻印機能を有するＴＡＢハンドラーを提供する。【解決手段】ＴＡＢハンドラーは、フィルムにデバイスを貼付したＴＣＰが複数連接され、テープの両端に等間隔のスプロケットホールを備えたＴＣＰテープを走行させ、ＴＣＰテープの走行経路中にデバイスと接続することにより各デバイスを試験装置で試験するＴＡＢハンドラーであって、ＴＣＰテープを走行させる走行経路のなかで、試験装置により試験されたＴＣＰテープの各デバイスに対して、少なくともロットＮｏ．と固有データからなるデバイス情報を前記ＴＣＰテープのデバイスのそれぞれの所定位置に刻印する刻印手段を備える。【選択図】  図１
2009276107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムにデバイスを貼付したＴＣＰが複数連接され、テープの両端に等間隔のスプロケットホールを備えたＴＣＰテープを走行させ、前記ＴＣＰテープの走行経路中に前記デバイスと接続することにより各デバイスを試験装置で試験するＴＡＢハンドラーであって、  前記ＴＣＰテープを走行させる走行経路のなかで、前記試験装置により試験されたＴＣＰテープの各デバイスに対して、少なくともロットＮｏ．と固有データからなるデバイス情報を前記ＴＣＰテープのデバイスのそれぞれの所定位置に刻印する刻印手段を備えたことを特徴とするＴＡＢハンドラー。
【請求項２】
前記刻印手段は、前記ＴＣＰテープが走行する走行経路のなかで、前記ＴＣＰテープに加工を施すパンチユニットに兼用させたことを特徴とする請求項１に記載のＴＡＢハンドラー。
【請求項３】
前記刻印手段により刻印された情報を読み出す読取手段を、前記刻印手段よりも後方位置に設けたことを特徴とする請求項１に記載のＴＡＢハンドラー。
【請求項４】
前記刻印手段により刻印する情報は２次元バーコードのスタイルであることを特徴とする請求項１に記載のＴＡＢハンドラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢハンドラーに関し、詳しくはＴＡＢハンドラーで取り扱うリールに巻かれたＴＣＰテープ上に実装されたデバイス（ＩＣ）が個片に加工された後、ＴＡＢハンドラーロッドＮｏ．刻印機能によりＴＣＰテープ上に刻印された２次元バーコードの情報で個片ＩＣのロット管理を可能とした、ＴＡＢハンドラーロットＮｏ．刻印機能を有するＴＡＢハンドラーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術において、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）は、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）技術を用いることによりフィルム上に半導体チップ（デバイス）を実装している。実際には、デバイスがプリント基板に搭載される前の搬送段階では、複数のＴＣＰが連接されたテープ状となっている。このようなテープ形態のＴＣＰ（以下、「ＴＣＰテープ」と称する）におけるデバイス（ＩＣ）は、専用のＴＡＢハンドラーによってデバイス（ＩＣ）の良否の選別がされる。
この良否の選別がなされたデバイスにおいては、不良デバイスは搬送され、パンチユニット（リジェクトパンチ部）でデバイスを抜き取り、抜きとったＴＣＰテープをリールに巻き取る。
一方、ＴＡＢハンドラーは、このリールに巻かれたＴＣＰテープに実装されているデバイス（ＩＣ）のテスト結果をリールＭＡＰとして保存する。このリールＭＡＰは、リールに巻かれたテープに実装されているデバイス（ＩＣ）の順に記憶され、その情報は、リールに記載されたロットＮｏ．により管理されている。
【０００３】
このＴＡＢハンドラーは、ＴＣＰテープが巻かれている供給リールと、ＴＣＰテープを巻き取ることによって走行させる収容リールと、試験装置による試験結果に基づいて、ＴＣＰフィルムに試験結果に関する情報を含む所定のマーク穴を形成するマークパンチ部と、試験結果に基づいて不良と判断されたＴＣＰのデバイスを打ち抜くリジェクトパンチ部とを備えている。試験装置のうち、プローブカードはＴＣＰテープの走行経路中に設けられる。ＴＣＰのテストパッドにプローバを接触させて、デバイスを試験する。
【０００４】
図２にＴＡＢハンドラーの全体図を示す。
図２において、ＴＣＰ測定システムＳは、ＴＣＰテープ１１を走行させるＴＡＢハンドラー１００と、ＴＣＰテープ１１の走行経路中に設けられ、ＴＣＰテープ１１のデバイスと接続することによりデバイスを試験する試験装置２００とを備えている。
【０００５】
ＴＣＰテープ１１は、図３に示すように、フィルムにデバイス（半導体チップ）１２を貼付したＴＣＰが複数連接されたものである。そして、テープの両端には等間隔でスプロケットホール１３を設けた構造となっている。
【０００６】
ＴＡＢハンドラー１００は、ＴＣＰテープ１１を装着する供給リール１４Ａと、供給リール１４Ａに装着されているＴＣＰテープ１１を巻き取る収容リール１４Ｂとを備えている。
【０００７】
収容リール１４Ｂは、試験装置２００によって電気試験或いは分類識別されたＴＣＰテープ１１を巻き取る。  供給リール１４Ａ及び収容リール１４Ｂのそれぞれには、ＴＣＰテープ１１を一定方向に排出或いは取り込むための傾斜ガイド１５、１６が設けられている。
【０００８】
又、供給リール１４Ａと収容リール１４Ｂとの間におけるＴＣＰテープ１１の走行経路中には、スプロケット１７Ａ、プーリ１８Ａ、ガイド１９Ａ、テンションプーリ２１Ａ、スプロケット２２Ａ、スプロケット２２Ｂ、テンションプーリ２１Ｂ、ガイド１９Ｂ、プーリ１８Ｂ、スプロケット１７Ｂが設けられている。  そして、これらスプロケット、プーリ、ガイド、テンションプーリ、及び収容リールによって、ＴＣＰテープ１１を所定の速度・張力で走行させるＴＡＢハンドラー１００が構成されている。ここで、各スプロケットが制御されて回転することによりＴＣＰテープ１１が移送されるが、ＴＣＰテープ１１は、これらスプロケット２２Ａ、２２Ｂによって間欠送りされる。
【０００９】
試験装置２００は、プローブカード２５と、アタッチメントユニット２６と、テストヘッド２７とを備えている。  プッシャ２８、２９がＴＣＰテープ１１を押下することによりＴＣＰのテストパッドと測定ピンとが接触導通する。試験装置２００の試験結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。デバイスを試験する際、ＴＣＰテープ１１を間欠送り可能なＴＡＢハンドラー１００はＴＣＰのデバイスと試験装置２００とを位置合わせしつつＴＣＰテープ１１の走行を停止する。この位置合わせは、カメラ２３によるＴＣＰの撮像結果に基づいて行われる。  つまり、カメラ２３によるＴＣＰ画像の撮像結果は画像処理装置２４に出力され、画像処理装置２４は、カメラ２３による画像データに基づいて画像処理し、処理結果を制御装置ＣＯＮＴに出力する。制御装置ＣＯＮＴは画像処理装置２４の処理結果に基づいて、ＴＣＰのデバイスと試験装置２００の測定ピンとが位置合わせされるように試験時のＴＣＰを位置制御する。
【００１０】
ＴＣＰテープ１１の走行経路のうち測定部の下流側には、ＴＣＰのフィルムに対してマーク穴を形成可能なマークパンチ部３１と、ＴＣＰのデバイスをＴＣＰテープ１１から打ち抜き可能なリジェクトパンチ部（パンチ装置）３２とが設けられている。これらマークパンチ部３１とリジェクトパンチ部３２とでパンチユニットを形成する。
【００１１】
マークパンチ部３１は、試験装置２００の試験結果に基づいてＴＣＰのフィルムにマーク穴を打ち抜く。リジェクトパンチ部３２は試験装置２００の試験結果に基づいて不良と判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。
【００１２】
供給リール１４Ａの走行経路下流側には検出器群３３が配置されている。検出器群３３は、リーダテープ及び被試験ＴＣＰテープの有無を感知する。検出器群３３の検出結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。制御装置ＣＯＮＴは、カメラ３４Ａで検出されたＴＣＰテープが測定部に移動したとき、検出結果に基づいてＴＣＰテープの試験の可否を試験装置２００に指示する。  検出器群３３も、ＴＣＰテープ１１の有無を感知する。また、測定部の上流側及び下流側のそれぞれにはＴＣＰテープ１１の画像を撮像可能なカメラ３４Ａ、３４Ｂが設けられている。これらカメラ３４Ａ、３４Ｂの撮像信号は画像処理装置２４に出力され、この画像処理結果によって、走行するテープがリーダテープか被試験ＴＣＰかの確認や、デバイスの有無の確認及びＴＣＰテープの試験の可否の判断、或いはパンチ穴を検出する。
【００１３】
上記のような構成からなるＴＡＢハンドラーにおいて、制御装置ＣＯＮＴは、リールに巻かれたＴＣＰテープ１１上のデバイス（ＩＣ）のテスト結果をリールＭＡＰとして保存する。
このリールＭＡＰは、リールに巻かれたＴＣＰテープ１１に実装されているデバイス（ＩＣ）の順に記憶され、その情報は、リールに記載されたロットＮｏ．により管理される。
【特許文献１】特開２００２−３２８１５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、従来技術で説明したリールＭＡＰは、リールに巻かれたＴＣＰテープに実装されているデバイス（ＩＣ）順に記憶されているため、ＩＣ情報と実ＩＣの照合は、先頭ＩＣよりの順番に依存していた。
また、リールＭＡＰとリールとの照合は、オペレータに依存される為、取り扱いを間違っても誰も、それを知る手段が無かった。
また、その後、ＴＣＰテープのデバイス（ＩＣ）を個片にしてしまってからは、ロットＮｏ．で工程のトレースをすることは不可能であった。
更に、ＴＡＢハンドラーでは、リールに巻かれたＴＣＰテープに実装されるＩＣの先端を認識する為に画像認識をするがテープの状態による認識不良が発生するとリールＭＡＰとＩＣとを一致させることが出来なくなり、再選、アフターパンチは出来なくなってしまうという問題がある。
【００１５】
従って、リールに巻かれたＴＣＰテープに実装されるデバイス（ＩＣ）のそばにロットＮｏ．＋固有データを２次元バーコード等で刻印することにより、リールＭＡＰとデバイス（ＩＣ）の照合を容易にし、また、個片にした後のＩＣの工程のトレースをロットＮｏ．にて可能とすることを目的としたロット刻印機能を有するＴＡＢハンドラーに解決しなければならない課題を有する。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために、本願発明のＴＡＢハンドラーは、次に示す構成にしたことである。
【００１７】
（１）ＴＡＢハンドラーは、フィルムにデバイスを貼付したＴＣＰが複数連接され、テープの両端に等間隔のスプロケットホールを備えたＴＣＰテープを走行させ、前記ＴＣＰテープの走行経路中に前記デバイスと接続することにより各デバイスを試験装置で試験するＴＡＢハンドラーであって、前記ＴＣＰテープを走行させる走行経路のなかで、前記試験装置により試験されたＴＣＰテープの各デバイスに対して、少なくともロットＮｏ．と固有データからなるデバイス情報を前記ＴＣＰテープのデバイスのそれぞれの所定位置に刻印する刻印手段を備えたことである。
（２）前記刻印手段は、前記ＴＣＰテープが走行する走行経路のなかで、前記ＴＣＰテープに加工を施すパンチユニットに兼用させたことを特徴とする（１）に記載のＴＡＢハンドラー。
（３）前記刻印手段により刻印された情報を読み出す読取手段を、前記刻印手段よりも後方位置に設けたことを特徴とする（１）に記載のＴＡＢハンドラー。
（４）前記刻印手段により刻印する情報は２次元バーコードのスタイルであることを特徴とする（１）に記載のＴＡＢハンドラー。
【発明の効果】
【００１８】
本発明においては、パンチユニット位置に刻印手段としてのバーコードプリンター、読取手段としてのバーコードリーダーを取り付け、ＴＣＰテープに実装されたデバイス（ＩＣ）付近のテープにロットＮｏ．＋固有データを印字、読み取りをすることで、リールＭＡＰのＩＣ情報に固有情報を付加することができる。
このことにより、リールＭＡＰ情報とリールに巻かれたＴＣＰテープに実装されるデバイス（ＩＣ）とを照合することが可能となり、そのために後工程で個片になったデバイス（ＩＣ）とＩＣ情報を照合することが可能となるため、工程のトレースがＩＣ単位で可能になるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本願発明に係るＴＡＢハンドラーの実施例について図面を参照して説明する。尚、従来技術で説明したものと同じものには同一符号を付与して説明する。
【００２０】
本願発明のＴＡＢハンドラーは、従来技術で説明した図２に示すＴＡＢハンドラーと略同じ構成であり、相違するのはパンチユニットのマークパンチ部３１の位置に刻印手段としてのバーコードプリンターを取り付け、リジェクトパンチ部３２の位置に読取手段としてのバーコードリーダーを取り付け、制御装置ＣＯＮＴでコントロールするリールＭＡＰにロットＮｏ．と固有データからなるデバイス情報を付加させて保存し、それらデバイス情報を２次元バーコードのスタイルでＴＣＰテープ１１のデバイスの近傍位置に刻印するようにした点で相違する。
【００２１】
図１に示すＴＣＰテープは、ロットＮｏ．と固有データからなるデバイス情報を２次元バーコードのスタイルで刻印する位置を示したもので、デバイス（ＩＣ）の近傍位置であって、スプロケットホール１３とデバイス１２の間でデバイス１２寄りの位置に２次元バーコード２０を刻印する。
【００２２】
図２に示すＴＡＢハンドラーにおいて、マークパンチ部３１の位置に刻印手段を形成するバーコードプリンターを取り付け、リジェクトパンチ部３２の位置に読取手段を形成するバーコードリーダーを取り付ける。
そして、制御装置ＣＯＮＴは、これらのバーコードプリンター及びバーコードリーダーを駆動制御すると共に、リールに巻かれているＴＣＰテープ１１のデバイス（ＩＣ）のテスト結果等の情報も加えて、ロットＮｏ．＋固有データからなるデバイス情報をリールＭＡＰとして保存すると共に、これら情報をバーコードプリンターを制御してＴＣＰテープのデバイス（ＩＣ）の近傍位置に２次元バーコードのスタイルで印字させるのである。
尚、実施例においては２次元バーコードのスタイルで印字するようにしたが、これに限定されるものではない。
【００２３】
このような構成において、ＴＡＢハンドラーを構成する制御装置ＣＯＮＴにおいては、供給側に設けたカメラ３４ＡでＴＣＰテープ１１に実装されているデバイス（ＩＣ）を認識したときにロットＮｏ．＋固有データ（認識したＩＣに付加する固有データ）からなるデバイス情報を記憶する。
その後、搬送されたＴＣＰテープ１１に実装されているデバイス（ＩＣ）は、試験装置２００においてプッシャ２８、２９がＴＣＰテープ１１を押下することにより測定され、その測定結果は記憶される。そして、この測定され記憶された情報を含めて、ロットＮｏ．と固有データからなるデバイス情報は、マークパンチ部３１の位置に取り付けられたバーコードプリンターにて印字される。
その後、ＴＣＰテープ１１が搬送されリジェクトパンチ部３２の位置に取り付けられているバーコードリーダーにて印字されているバーコードを読み取り、印字の確認をする。
【００２４】
このようにして、ＴＣＰテープ１１が走行する経路中にバーコードプリンター及びバーコードリーダーを備えた構成にすることで、ＴＣＰテープ１１のデバイス（ＩＣ）の近傍位置にロットＮｏ．と固有データからなるデバイス情報を２次元バーコードで刻印できるため、リールＭＡＰとデバイス（ＩＣ）の照合を容易にし、また、個片にした後のデバイス（ＩＣ）の工程のトレースをロットＮｏ．にて可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
パンチユニット位置に刻印手段としてのバーコードプリンター、読取手段としてのバーコードリーダーを取り付け、ＴＣＰテープに実装されたデバイス（ＩＣ）付近のテープにロットＮｏ．＋固有データを印字、読み取りをすることで、リールＭＡＰのＩＣ情報に固有情報を付加することで、リールＭＡＰ情報とリールに巻かれたＴＣＰテープに実装されるデバイス（ＩＣ）とを照合することが可能となったＴＡＢハンドラーを提供する。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本願発明のＴＣＰテープに２次元バーコードを刻印した様子を示した説明図である。
【図２】ＴＡＢハンドラーの構成を示した説明図である。
【図３】従来技術におけるＴＣＰテープの説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
１００    ＴＡＢハンドラー
２００    試験装置
１１      ＴＣＰテープ
１２      デバイス
１３      スプロケットホール
１４Ａ    供給リール
１４Ｂ    収容リール
１５      傾斜ガイド
１６      傾斜ガイド
１７Ａ    スプロケット
１７Ｂ    スプロケット
１８Ａ    プーリ
１８Ｂ    プーリ
１９Ａ    ガイド
１９Ｂ    ガイド
２０      ２次元バーコード
２１Ａ    テンションプーリ
２１Ｂ    テンションプーリ
２２Ａ    スプロケット
２２Ｂ    スプロケット
２３      カメラ
２４      画像処理装置
２５      プローブカード
２６      アタッチメントユニット
２７      テストヘッド
２８      プッシャ
２９      プッシャ
３１      マークパンチ部
３２      リジェクトパンチ部
３３      検出器群
３４Ａ    カメラ
３４Ｂ    カメラ
【図１】
2009276107.tif 000003
【図２】
2009276107.tif 000004
【図３】
2009276107.tif 000005