(57)【要約】      （修正有）【課題】簡単な構造で且つセット対象物の大きさに合わせて、セット対象物を適切に吸着セットすることができる吸着テーブルおよび機能液滴吐出ヘッドの検査システムを提供する。【解決手段】表面に開口した複数の第１吸引孔２０２、および一端を複数の第１吸引孔２０２に連通し他端を、第１吸引ポート２０４を介して真空吸引手段に連通する第１吸引流路を有し、セット対象物Ｗを吸着セットする第１セットステージ９６と、表面に開口した複数の第２吸引孔、および一端を複数の第２吸引孔に連通し他端を、第２吸引ポート２１８を介して真空吸引手段に連通する第２吸引流路を有し、第１セットステージ９６を吸着保持する第２セットステージ９７と、を備えた。【選択図】図１０
2009011975.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に開口した複数の第１吸引孔、および一端を前記複数の第１吸引孔に連通し他端を、第１吸引ポートを介して真空吸引手段に連通する第１吸引流路を有し、セット対象物を吸着セットする第１セットステージと、
表面に開口した複数の第２吸引孔、および一端を前記複数の第２吸引孔に連通し他端を、第２吸引ポートを介して前記真空吸引手段に連通する第２吸引流路を有し、前記第１セットステージを吸着保持する第２セットステージと、を備えたことを特徴とする吸着テーブル。
【請求項２】
前記第１吸引ポートは、前記第２セットステージに設けられており、
前記第２セットステージには、前記第１吸引流路の下流端と前記第１吸引ポートとを連通する第１下流部流路が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の吸着テーブル。
【請求項３】
前記第２セットステージを載置固定するベースステージを更に備え、且つ前記第２吸引ポートは、前記ベースステージに設けられており、
前記ベースステージには、前記第２吸引流路の下流端と前記第２吸引ポートとを連通する第２下流部流路が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の吸着テーブル。
【請求項４】
前記第２吸引流路は、前記複数の第２吸引孔に直結する複数の個別流路で構成され、
前記第２下流部流路は、前記複数の個別流路に連通する分岐流路と、前記複数の分岐流路の下流端に連通する合流流路と、から成ることを特徴とする請求項３に記載の吸着テーブル。
【請求項５】
前記第１吸引流路は、前記第１セットステージの裏面に形成され、複数の第１吸引孔に連通する連通溝であり、
前記第１セットステージを吸着した前記第２セットステージの表面との間で流路を構成することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の吸着テーブル。
【請求項６】
前記真空吸引手段による前記第１吸引ポートおよび前記第２吸引ポートへの吸引圧力が同一であることを特徴とする請求項５に記載の吸着テーブル。
【請求項７】
前記複数の第２吸引孔は、前記第１セットステージの周縁部を吸着するように分散して配設されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の吸着テーブル。
【請求項８】
前記第２セットステージは、表面に前記第１セットステージを位置決めするためのステージ位置決め手段を、更に有していることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の吸着テーブル。
【請求項９】
前記第１セットステージは、表面にセット対象物を位置決めするための対象物位置決め手段を、更に有していることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の吸着テーブル。
【請求項１０】
前記第２セットステージは、平面視方形に且つ前記第１セットステージより大きく形成され、
前記第２セットステージの対向する２辺には、吸着した前記第１セットステージの縁部に達する一対の切欠き部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の吸着テーブル。
【請求項１１】
前記第１セットステージは、大きさの異なる複数種のセット対象物に対応して複数用意されており、
複数の前記第１セットステージは、前記第２セットステージに対する被吸着面が同一の形状に形成されていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の吸着テーブル。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の吸着テーブル、およびインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを有し、前記吸着テーブルにセットしたセット対象物上に、前記機能液滴吐出ヘッドにより機能液滴の検査用吐出を行わせる吐出検査装置と、
前記セット対象物に吐出された機能液滴の着弾結果から、各機能液滴の体積を測定する体積測定装置と、から成ることを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク等のセット対象物を吸着セットする吸着テーブルおよび機能液滴吐出ヘッドの検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の吸着テーブルとして、多数の吸引孔を形成した吸引プレートと、吸引プレートの下側空間に構成したチャンバ（エアー室）と、チャンバ内のエアーを排気して、多数の吸引孔に吸引力を作用させる排気ファンと、を備えたものが知られている。
この場合、吸引プレートに対し、側方から閉塞板がスライド自在に臨み、広狭幅の異なる用紙が導入された場合、閉塞板をスライドさせて用紙から外れた複数の吸引孔を閉塞するようにしている。これにより、幅の異なる用紙に対し適切に吸着セットが行えるようになっている。
【特許文献１】特開２００３−１１８９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来の吸着テーブルでは、閉塞板やそのスライド構造、閉塞板のシール等、構造が複雑になると共に、新に追加された大きさの異なるワークには、吸引孔の位置を対応させることができない問題があった。
【０００４】
本発明は、簡単な構造で且つセット対象物の大きさに合わせて、セット対象物を適切に吸着セットすることができる吸着テーブルおよび機能液滴吐出ヘッドの検査システムを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の吸着テーブルは、表面に開口した複数の第１吸引孔、および一端を複数の第１吸引孔に連通し他端を、第１吸引ポートを介して真空吸引手段に連通する第１吸引流路を有し、セット対象物を吸着セットする第１セットステージと、表面に開口した複数の第２吸引孔、および一端を複数の第２吸引孔に連通し他端を、第２吸引ポートを介して真空吸引手段に連通する第２吸引流路を有し、第１セットステージを吸着保持する第２セットステージと、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、真空吸引手段を駆動すると、第２セットステージの複数の第２吸引孔により、第２セットステージ上に第１セットステージを吸着することができ、且つ第１セットステージの複数の第１吸引孔により、第１セットステージ上にセット対象物を吸着セットすることができる。この場合、セット対象物の大きさ（平面形状）に合わせて第１セットステージを用意することで、セット対象物を適切に吸着セットすることができる。すなわち、第１セットステージを、セット対象物に対する専用治具として機能させるようにしているため、セット対象物を適切に吸着セットすることができる。
【０００７】
この場合、第１吸引ポートは、第２セットステージに設けられており、第２セットステージには、第１吸引流路の下流端と第１吸引ポートとを連通する第１下流部流路が形成されていることが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、第１吸引ポートを第２セットステージに設け、複数の第１吸引孔と第１吸引ポートとを流路接続することにより、第１セットステージに形成する吸引流路を可能な限り少なくすることができ、第１セットステージを薄手に且つ単純な構造とすることができ、第１セットステージのコストを削減することができる。
【０００９】
同様に、第２セットステージを載置固定するベースステージを更に備え、且つ第２吸引ポートは、ベースステージに設けられており、ベースステージには、第２吸引流路の下流端と第２吸引ポートとを連通する第２下流部流路が形成されていることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、第２吸引ポートをベースステージに設け、複数の第２吸引孔と第２吸引ポートとを流路接続することにより、第２セットステージに形成する吸引流路を可能な限り少なくすることができ、第２セットステージを薄手に且つ単純な構造とすることができる。
【００１１】
この場合、第２吸引流路は、複数の第２吸引孔に直結する複数の個別流路で構成され、第２下流部流路は、複数の個別流路に連通する分岐流路と、複数の分岐流路の下流端に連通する合流流路と、から成ることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、第２セットステージに形成する吸引流路を可能な限り少なくすることができると共に、第２吸引流路と上記の第１下流部流路とが干渉するのを防止することができる。
【００１３】
一方、第１吸引流路は、第１セットステージの裏面に形成され、複数の第１吸引孔に連通する連通溝であり、第１セットステージを吸着した第２セットステージの表面との間で流路を構成することが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、連通溝により、第１セットステージ側からも第２セットステージに吸引力を作用させることができると共に、複数の第１吸引孔に連通するエアー室（チャンバ）を簡単に構成することができる。このため、第２セットステージは第１セットステージを安定に吸着することができると共に、複数の第１吸引孔は均一な吸引力により、セット対象物を吸着セットすることができる。
【００１５】
この場合、真空吸引手段による第１吸引ポートおよび第２吸引ポートへの吸引圧力が同一であることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、第１セットステージの連通溝と第２セットステージ複数の第２吸引孔との相互間で、吸引エアーのリークが生ずることがなく、且つ真空吸引手段による真空制御（負圧制御）を単純化することができる。
【００１７】
これらの場合、複数の第２吸引孔は、第１セットステージの周縁部を吸着するように分散して配設されていることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、第２吸引孔の数が少なくても、第２セットステージは第１セットステージを安定した状態で吸着することができる。
【００１９】
これらの場合、第２セットステージは、表面に第１セットステージを位置決めするためのステージ位置決め手段を、更に有していることが好ましい。
【００２０】
同様に、第１セットステージは、表面にセット対象物を位置決めするための対象物位置決め手段を、更に有していることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、第２セットステージは第１セットステージを位置決め状態で吸着することができ、また第１セットステージはセット対象物を位置決め状態で吸着することができる。これにより、セット対象物を第２セットステージに対し位置決め状態でセットすることができる。
【００２２】
これらの場合、第２セットステージは、平面視方形に且つ第１セットステージより大きく形成され、第２セットステージの対向する２辺には、吸着した第１セットステージの縁部に達する一対の切欠き部が形成されていることが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、吸着解除（大気開放）して、第２セットステージからセット対象物と共に第１セットステージを取り去る場合、第２セットステージにセット対象物が強く密着していても、一対の切欠き部によりセット対象物および第１セットステージを容易に取り去ることができる。すなわち、第１セットステージを取り去るときに、第２吸引ポートに正圧エアーを導入する必要がない。
【００２４】
これらの場合、第１セットステージは、大きさの異なる複数種のセット対象物に対応して複数用意されており、複数の第１セットステージは、第２セットステージに対する被吸着面が同一の形状に形成されていることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、複数種のセット対象物に対応した複数の第１セットステージに対し、第２セットステージの構造や吸着形態を変更する必要がなく、且つ同一条件でこれを吸着することができる。
【００２６】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの検査システムは、上記した吸着テーブル、およびインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを有し、吸着テーブルにセットしたセット対象物上に、機能液滴吐出ヘッドにより機能液滴の検査用吐出を行わせる吐出検査装置と、セット対象物に吐出された機能液滴の着弾結果から、各機能液滴の体積を測定する体積測定装置と、から成ることを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、体積測定装置による体積測定のための試料を、効率よく採取することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、添付した図面を参照して、本発明の吸着テーブルであるターゲットステージを搭載した機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置（以下、「ヘッド検査装置」という。）について説明する。このヘッド検査装置は、単体としての機能液滴吐出ヘッド（いわゆる、インクジェットヘッド）に対し、吐出確認検査、吐出重量検査、飛行速度検査および体積測定検査等の吐出性能検査を行うものである。またこのうち、体積測定検査では、機能液滴吐出ヘッドから吐出された着弾ドットをガラス基板で受けるようになっており、ターゲットステージは、このガラス基板を吸着セットする吸着テーブルである。ここでは、ヘッド検査装置の説明に先立ち、検査対象となる機能液滴吐出ヘッドについて説明する。
【００２９】
図１に示すように、機能液滴吐出ヘッド１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７，７を有する機能液導入部２と、機能液導入部２の側方に連なる２連のヘッド基板３と、機能液導入部２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４と、機能液導入部２とヘッド本体４との間に介設した略方形のフランジ部５と、を備えている。機能液滴吐出ヘッド１には、実描画において、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のうち１色が導入されるが、この検査段階で、既に何色の機能液を導入するかを決定するようになっている。
【００３０】
各接続針７は、後述する機能液供給チューブ３７を介して機能液を貯留する機能液タンク６１に接続され、機能液導入部２は、機能液タンク６１から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体４は、ピエゾ素子等の圧電素子で構成される２連のポンプ部８と、多数の吐出ノズル９を形成したノズル面１０を有するノズルプレート１１と、を有している。
【００３１】
図１（ｂ）に示すように、ノズルプレート１１のノズル面１０に形成された多数の吐出ノズル９は、相互に平行に列設された２列のノズル列１２で構成されており、各ノズル列１２は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル９で構成されている。この場合、１８０個の吐出ノズル９のうち、両外端に位置する各１０個の吐出ノズル９は、無効吐出ノズル（ダミーノズル）であり、実際の描画には使用しない。このため、ヘッド検査装置２０により機能液滴吐出ヘッド１を検査する場合は、無効吐出ノズルを考慮することなく検査が行われる。また、詳細は後述するが、吐出量測定ユニット４３により、機能液滴吐出ヘッド１から吐出される機能液滴の吐出重量を測定する場合は、ノズル列１２単位で行うようにしている。
【００３２】
ヘッド基板３には、２連のコネクタ１３，１３が設けられており、各コネクタ１３はフレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッド検査装置２０の制御装置２５（図４参照）に接続されるようになっている。そして、この制御装置２５から出力された駆動波形が各コネクタ１３を介して各ポンプ部８に印加されることで、各吐出ノズル９から機能液滴が吐出される。このようにして、制御装置２５により機能液滴吐出ヘッド１の駆動が制御される。
【００３３】
次に、図２ないし５を参照して、上記した機能液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査するヘッド検査装置２０について説明する。ヘッド検査装置２０は、キャビネット形式の機台２１と、機台２１上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１を搭載した吐出検査装置２２と、同様に機台２１上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１に対し保管および機能回復を行うメンテナンス装置２３と、吐出検査装置２２およびメンテナンス装置２３を内部に収容し、機台２１の上方空間を覆うようにして設けられたチャンバ装置２４と、を備えている。また、ヘッド検査装置２０には、チャンバ装置２４の装置カバー２６の背面側に設けた一対の電装ボックス２７，２７、および装置カバー２６の正面（前面）に設けた制御装置本体２８から成る制御装置２５が組み込まれている（図４および図５参照）。そして、制御装置２５は、上記の機能液滴吐出ヘッド１、吐出検査装置２２、メンテナンス装置２３およびチャンバ装置２４を統括制御する。
【００３４】
ヘッド検査装置２０は、吐出検査装置２２に搭載した機能液滴吐出ヘッド１を１つずつ検査すべく、メンテナンス装置２３により機能液滴吐出ヘッド１の機能維持・回復を行いながら、吐出検査装置２２により機能液滴を吐出して、機能液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査する。また、チャンバ装置２４は、装置カバー２６の内部雰囲気を温度管理する、いわゆるクリーンブースの形態を有している。なお、ヘッド検査装置２０の全体は、温度管理されたクリーンルーム内に設置されており、チャンバ装置２４による装置カバー２６内の温度管理は、チャンバ装置２４に付設した換気装置２９（図５参照）により内部を換気し、内部雰囲気をクリーンルームの雰囲気に置換することで行われる。すなわち、チャンバ装置２４は、装置カバー２６と換気装置２９とで構成されている。
【００３５】
メンテナンス装置２３は、機能液滴吐出ヘッド１に対しキャッピングおよび機能液吸引を行う吸引装置３１と、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０を払拭するワイピング装置３２と、を備えている。吸引装置３１およびワイピング装置３２は、後述する各テーブル５２，５３によりＹ軸方向に移動する機能液滴吐出ヘッド１の移動軌跡の下方に臨むよう、機台２１上の右部に並べて配置されている（図３参照）。
【００３６】
図２および図３に示すように、吐出検査装置２２は、機台の前後中間部に配設した被検査部２２Ａと、前部に配設した検査部２２Ｂとから成り、被検査部２２Ａは、機能液滴吐出ヘッド１を搭載しこれを適宜、ＸＹ方向に移動させながら液滴吐出を行う検査描画装置３５と、機能液滴吐出ヘッド１にＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を選択的に供給する機能液供給ユニット３６と、機能液供給ユニット３６の機能液供給チューブ３７を機能液滴吐出ヘッド１にワンタッチで接続するための供給流路接続装置３８（図６参照）と、機能液滴吐出ヘッド１を検査描画装置３５のキャリッジプレート３９に工具レスでセットするためのヘッドセット装置４０（図８参照）と、を備えている。
【００３７】
一方、検査部２２Ｂは、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の吐出確認や飛行速度等を検査する飛行検査ユニット４２と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の吐出重量の測定を行う吐出量測定ユニット４３と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された着弾ドットの体積測定のためのガラス基板Ｗをセットするターゲットステージ４４と、各種の部品等を仮置きするための仮置きステージ４５と、を備えている。飛行検査ユニット４２および吐出量測定ユニット４３は、Ｙ軸方向に移動する機能液滴吐出ヘッド１の移動軌跡の下方に臨むよう、機台２１上に並べて配設されている。
【００３８】
図２および図３に示すように、検査描画装置３５は、機台２１上に立設した一対の支柱５１，５１と、一対の支柱５１，５１に架け渡されたＹ軸メインテーブル５２と、Ｙ軸メインテーブル５２に移動自在に支持されと共に、Ｘ軸テーブル５４およびＹ軸サブテーブル５５から成るＸＹテーブル５３と、Ｘ軸テーブル５４に垂設されたキャリッジ５６と、キャリッジ５６に搭載されると共に、１の機能液滴吐出ヘッド１が工具レスでセットされるキャリッジプレート３９および上記のヘッドセット装置４０から成るヘッドホルダ５７と、を備えている（図８参照）。また、Ｙ軸メインテーブル５２に添設するように、ケーブル担持体（ケーブルベア（登録商標））５９が配設されており、ケーブル担持体５９には、ＸＹテーブル５３側に導かれる各種ケーブルやチューブが収容されている。
【００３９】
Ｙ軸メインテーブル５２は、主として機能液滴吐出ヘッド１をＹ軸方向に大きく移動させ、ＸＹテーブル５３は、主として機能液滴吐出ヘッド１をＸ軸方向およびＹ軸方向に小さく移動させる。したがって、検査部２２Ｂの各構成装置やメンテナンス装置２３の各構成装置の間における機能液滴吐出ヘッド１の移動は、主にＹ軸メインテーブル５２により行われ、ガラス基板Ｗへの検査吐出に伴う機能液滴吐出ヘッド１の移動は、主にＸＹテーブル５３により行われる。なお、上記の機能液供給ユニット３６は、Ｙ軸メインテーブル５２の前方に固定的に配設され、供給流路接続装置３８は、ＸＹテーブル５３に搭載されている。
【００４０】
図２および図３に示すように、機能液供給ユニット３６は、Ｒ・Ｇ・Ｂ色の機能液をそれぞれ貯留する３つの機能液タンク６１と、３つの機能液タンク６１を収容するタンクボックス６２と、３つの機能液タンク６１に接続されて３本の機能液供給チューブ３７と、を備えている。タンクボックス６２は、上部を開放すると共に、内部に「Ｕ」字状の３つの切欠き部を有するセットプレート６３を設けたものであり、各機能液タンク６１は、この切欠き部に嵌め入れるようにしてセットされている。また、各機能液供給チューブ３７は、Ｙ軸メインテーブル５２の上側に配設したフレキシブルな配管支持プレート６４を介して、供給流路接続装置３８に接続されている。
【００４１】
各機能液タンク６１は、機能液滴吐出ヘッド１の上方に配設され、セットした機能液滴吐出ヘッド１の色別に応じて選択的に使用される。このため、機能液は、自然水頭により各機能液タンク６１から各機能液供給チューブ３７を介して機能液滴吐出ヘッド１へ機能液が供給される。なお、機能液滴吐出ヘッド１直近の機能液供給チューブ３７には、水頭圧を調整する自己封止弁（減圧弁：図２参照）６５が設けられており、機能液滴吐出ヘッド１には機能液が適正圧力で供給される。
【００４２】
図２、図６および図７に示すように、供給流路接続装置３８は、各機能液供給チューブ３７の下流端が接続されると共に、機能液滴吐出ヘッド１への一対の接続口７２，７２を有するＲ・Ｇ・Ｂ色の３つの接続口ユニット７１と、３つの接続口ユニット７１をストックするユニットストッカ７３と、ユニットストッカ７３から持ち出されて装着された１の接続口ユニット７１を、機能液滴吐出ヘッド１に対し接続および接続解除させる上下動ユニット７４と、を備えている。
【００４３】
上下動ユニット７４は、装着した接続口ユニット７１を、ヘッドセット装置４０により位置決めセットされた機能液滴吐出ヘッド１の直上部に臨ませると共に、接続口ユニット７１を下動（下降）させてその一対の接続口７２，７２を機能液滴吐出ヘッド１の２連の接続針７，７に接続する（図７参照）。これにより、機能液タンク６１と対応する機能液滴吐出ヘッド１が接続され、機能液滴吐出ヘッド１への機能液の供給が可能になる。なお、接続口ユニット７１を機能液滴吐出ヘッド１に接続した直後には、上記の吸引装置３１により、機能液滴吐出ヘッド１のヘッド内流路に機能液を充填する初期充填動作が行われる。
【００４４】
図２および図８に示すように、ヘッドセット装置４０は、キャリッジプレート３９に、機能液滴吐出ヘッド１を位置決めセットするものであり、機能液滴吐出ヘッド１のフランジ部５を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に同時に押圧して位置決めを行う位置決め機構８１と、位置決め機構８１を作動させる単一のエアーシリンダ８２と、を備えている。オペレータは、キャリッジプレート３９に形成した開口部３９ａに機能液滴吐出ヘッド１を投入し、エアーシリンダ８２を駆動させるだけで、機能液滴吐出ヘッド１を位置決めセットできるようになっている（詳細は、後述する）。
【００４５】
図２、図３および図９に示すように、飛行検査ユニット４２は、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の吐出不良（ドット抜け）、飛行曲りおよび不良吐出を検査すると共に、飛行速度等を検査するものであり、吐出された機能液滴を高速度撮影する。飛行検査ユニット４２は、パルス光源であるパルスレーザを有する照明部８５と、照明部８５に対向して配置され、パルスレーザによるパルス光を受光する顕微鏡カメラ８６と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴を受ける円形の機能液受け部８７と、を備えている。
【００４６】
機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴は、照明部８５と顕微鏡カメラ８６との間のパルス光を遮って、機能液受け部８７に着弾するよう構成されている。飛行検査ユニット４２により高速度撮影された機能液滴は、その撮影結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１からの飛行速度が計測されると共に、吐出不良、飛行曲りおよび不良吐出があるか否かを検査する。なお、図示は省略するが、上記の機能液受け部８７は、機能液滴吐出ヘッド１からの捨て吐出を受けるフラッシング部を兼ねており、機能液受け部８７に貯留した機能液は、廃液チューブを介して機能液受け部８７に接続されたイジェクターにより吸引されることで、廃液タンク８８（図２参照）に回収される。
【００４７】
図２および図３に示すように、吐出量測定ユニット４３は、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴の重量を測定するものであり、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液滴を受ける容器９１と、容器９１内の機能液の重量を測定する電子天秤９２と、を備えている。この吐出量測定ユニット４３により機能液滴の吐出量を測定する場合は、機能液滴吐出ヘッド１を容器９１に臨ませた後、ノズル列１２単位で数万発の機能液滴を吐出し、電子天秤９２により機能液の吐出重量を測定する。機能液の吐出重量が測定されると、測定された吐出重量から、１の吐出ノズル９あたりの吐出量を、吐出回数と吐出ノズル９の数分、除算して算出する。そして、この測定された機能液滴の吐出重量に基づいて、機能液滴吐出ヘッド１に印加する駆動電圧（ノズル列１２単位）が決定されている。
【００４８】
図２、図３および図１０に示すように、ターゲットステージ４４は、ガラス基板Ｗ等の検査吐出を受けるターゲットを載置するいわゆる吸着テーブルであり、載置されたガラス基板Ｗには、上方に臨んだ機能液滴吐出ヘッド１から、所定の検査パターンに基づいて機能液滴が吐出される。この場合、ターゲットステージ４４は、左半部に検査シート用の補助ステージ９８を搭載したベースステージ９５と、ベースステージ９５の右部に搭載されガラス基板Ｗを直接吸着セットする第１セットステージ９６と、第１セットステージ９６より一回り大きく形成され、第１セットステージ９６を吸着する第２セットステージ９７と、で構成されている。
【００４９】
すなわち、第１セットステージ９６および第２セットステージ９７は、図外の真空吸引設備に個々に接続されており、第２セットステージ９７がこれに重ねるように配設した第１セットステージ９６を吸着し、且つ第１セットステージ９６がガラス基板Ｗを吸着するようになっている。機能液滴が着弾したガラス基板Ｗは、装置外に持ち出されて、着弾した機能液滴を自然乾燥（或いはホットプレート上で乾燥させる）させる。乾燥後のガラス基板Ｗは、さらに図示しない別体の体積測定装置に移送され、着弾した機能液滴の個々の吐出量（体積）が測定される。
【００５０】
上記の補助ステージ９８は、機能液滴吐出ヘッド１から検査吐出を受けるシートをセットするものであり、これもいわゆる吸着テーブルで構成されている。そして、上記の第１セットステージ９６、第２セットステージ９７および補助ステージ９８のそれぞれ吸引動作をＯＮ−ＯＦＦさせる３つの手動エアーバルブ９９が、上記の仮置きステージ４５の端部に取り付けられている。
【００５１】
図２、図３および図１１に示すように、ワイピング装置３２は、ノズル面１０に当接するワイピングシート１０１と、ワイピングシート１０１に洗浄液を噴霧する噴霧ヘッド１０２とを有しており、ワイピングシート１０１は、繰出しリール１０３に巻回された状態から繰り出され、押圧ローラ１０４を経由して巻取りリール１０５に巻き取られる。ワイピング動作では、繰り出されたワイピングシート１０１に対し、噴霧ヘッド１０２から洗浄液を噴霧すると共に、洗浄液を含侵したワイピングシート１０１を、押圧ローラ１０４により機能液滴吐出ノズル１のノズル面１０に押し当てる。次に、この状態で、機能液滴吐出ノズル１をＹ軸サブテーブル５５によりＹ軸方向に移動させることで、機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０が払拭（ワイピング）される。
【００５２】
図２、図３および図１２に示すように、吸引装置３１は、機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０に密接すると共に、Ｘ軸方向に並んだＲ・Ｇ・Ｂ色の３つのキャップ部１１２を有するキャップユニット１１１と、キャップユニット１１１を昇降させる昇降機構１１３と、吸引チューブを介して３つのキャップ部１１２に接続された図示しないイジェクターと、を備えている。また、吸引装置３１は、手動でＸ軸方向に移動するための手動Ｘ軸テーブル１１４を備えており、手動Ｘ軸テーブル１１４は、色別の機能液滴吐出ヘッド１に対応して、キャップユニット１１１をＸ軸方向に移動させて、該当するキャップ部１１２を機能液滴吐出ヘッド１の直下に位置決めする。昇降機構１１３により、位置決めした１のキャップ部１１２を機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１０に密接させ、この状態で、イジェクターにより機能液の吸引を行なうことで、吐出ノズル９の目詰まり等を解消する（機能回復）。なお、吸引された機能液は、上記した廃液タンク８８に回収される。
【００５３】
図４および図５に示すように、制御装置２５は、吐出検査装置２２、メンテナンス装置２３およびチャンバ装置２４を制御しており、制御装置本体２８と一対の電装ボックス２７，２７とで構成されている。制御装置本体２８には、データを入力するキーボード１１６およびマウス１１７と、入力結果等を表示するディスプレイ１１８と、が設けられている。制御装置本体２８には、ヘッド検査装置２０を制御する各種プログラムや、各ユニットを駆動させるデバイスドライバ等が記憶されており、キーボード１１６や各ユニット等から各種検出信号、各種指令、各種データ等が入力されると、制御装置２５は、各種プログラムおよびデバイスドライバ等に従って、各種データを処理し、ヘッド検査装置２０全体を制御する。
【００５４】
ここで、図２および図１０を参照して、本発明の主体を為すターゲットステージ４４について、詳細に説明する。上述したように、ターゲットステージ４４は、左半部に補助ステージ９８を搭載したベースステージ９５と、ベースステージ９５の右部に搭載されガラス基板Ｗを直接吸着セットする第１セットステージ９６と、第１セットステージ９６より一回り大きく形成され、第１セットステージ９６を吸着する第２セットステージ９７と、を備えている。ベースステージ９５は、架台２０１上に支持され、また第２セットステージ９７は、ベースステージ９５上にねじ止めされている。
【００５５】
図１０、図１３および図１４に示すように、第１セットステージ９６は、ガラス基板Ｗに対し吸着治具としての機能を有し、ガラス基板Ｗと略同形となる正方形に形成されている。第１セットステージ９６の表面（上面）には、マトリクス状に複数の第１吸引孔２０２が形成され、また第１セットステージ９６の裏面（下面）には、複数の第１吸引孔２０２に連通する連通溝（第１吸引流路）２０３が形成されている。連通溝２０３は、複数の第１吸引孔２０２の縦列に連通する幅狭な複数本の縦連通溝２０３ａと、複数本の縦連通溝２０３ａをその中間部で連通する幅広な１本の横連通溝２０３ｂと、で構成されている（図１４参照）。詳細は後述するが、第１セットステージ９６が第２セットステージ９７に吸着された状態で、連通溝２０３は、第２セットステージ９７の表面との間で流路を形成し、この流路は、第２セットステージ９７に設けた第１吸引ポート２０４に連通している。
【００５６】
また、第１セットステージ９６の後端面には、ガラス基板Ｗの後辺を当接させて、ガラス基板ＷをＸ軸方向に位置決めするためのＸ軸位置決め板２０６が取り付けられている。同様に、第１セットステージ９６の左端面には、ガラス基板Ｗの左辺を当接させて、ガラス基板ＷをＹ軸方向に位置決めするためのＹ軸位置決め板２０７が取り付けられている。これらＸ軸位置決め板２０６およびＹ軸位置決め板２０７は、第１セットステージ９６の表面より僅かに突出しており、オペレータは、Ｘ軸位置決め板２０６およびＹ軸位置決め板２０７に、ガラス基板Ｗを突き当てるようにして、これを第１セットステージ９６上に位置決めする。そして、この状態で第１セットステージ９６の吸引を開始することで、ガラス基板Ｗが第１セットステージ９６に位置決めセットされる。
【００５７】
第２セットステージ９７は、左右の両側に「コ」字状の切欠き部２１１，２１１をそれぞれ有して、第１セットステージ９６より一回り大きな略正方形に形成されている。左右の切欠き部２１１，２１１には、第２セットステージ９７にセットした第１セットステージ９６の縁部がオーバーハングするように臨み、この部分を手掛かりとして、吸着解除後の第１セットステージ９６をガラス基板Ｗと共に簡単に取り去り得るようになっている。これにより、ガラス基板Ｗの扱いが容易になる。
【００５８】
図１５に示すように、第２セットステージ９７の後端面には、第１セットステージ９６の連通溝２０３に連通する第１吸引ポート２０４が取り付けられている。第２セットステージ９７の表面中央には、連通溝２０３の横連通溝２０３ｂの中間位置に連通する第１吸引口２１２が開口し、第１吸引口２１２は第２セットステージ９７の厚み内に形成した第１下流部流路２１３を介して第１吸引ポート２０４に連通している。そして、図示しないが、第１吸引ポート２０４は、上記の手動エアーバルブ９９および真空チューブを介して真空吸引設備に接続されている。
【００５９】
この場合、第１セットステージ９６の裏面と第２セットステージ９７の表面とは、いずれも鏡面加工されており、第１セットステージ９６が第２セットステージ９７に吸着された状態で、上記の連通溝２０３は、特段のシール材を用いることなく第２セットステージ９７の表面との間で、エアーのリークが生ずることのない流路を形成する。手動エアーバルブ９９をＯＮして、真空吸引設備により吸引が開始されると、エアーは、複数の第１吸引孔２０２から連通溝２０３、第１吸引口２１２、第１下流部流路２１３および第１吸引ポート２０４の順で流れ、第１セットステージ９６上のガラス基板Ｗに吸着力を作用させる。
【００６０】
図１６および図１７に示すように、第２セットステージ９７の表面には、第１セットステージ９６の４つの隅部を吸着する４つの第２吸引孔２１５が形成されている。この場合、４つの第２吸引孔２１５は、第１セットステージ９６の連通溝２０３から外れた位置にくるように配置されている。また、４つの第２吸引孔２１５は、これに直結する４つの個別流路２１６を介して、ベースステージ９５の表面に形成した４つの第２吸引口２１７に連通している。詳細は後述するが、４つの個別流路２１６の下流端は、４つの第２吸引口２１７を介してベースステージ９５に設けた第２吸引ポート２１８に連通している。
【００６１】
図１３および図１６に示すように、第２セットステージ９７の表面には、その四隅に固定ねじ２２１用の４つ貫通孔２２２が形成され、この４本の貫通孔２２２の近傍には、第１セットステージ９６をＸ軸方向およびＹ軸方向に不動に位置決めするための位置決め部材２２３が立設されている。位置決め部材２２３は、第１セットステージ９６をＸ軸方向に位置決めするための４本のＸ軸位置決めピン２２４と、第１セットステージ９６をＹ軸方向に位置決めするための４本のＹ軸位置決めピン２２５とで構成されている。すなわち、第２セットステージ９７の表面には、第１セットステージ９６の各角部宛て２本、計８本の位置決めピン２２４，２２５が立設されている。オペレータは、４本のＸ軸位置決めピン２２４および４本のＹ軸位置決めピン２２５で囲まれた領域に、第１セットステージ９６を嵌め込むようにして、これを第２セットステージ９７上に不動に位置決めする。そして、この状態から吸引を開始することで、第１セットステージ９６が第２セットステージ９７に位置決めセットされる。
【００６２】
図１０に示すように、ベースステージ９５は、厚板状であって角部を面取りした横長の方形に形成されている。ベースステージ９５の右部には、小さく第２セットステージ９７が配設されており、第２セットステージ９７は、その四隅に設けた４本の固定ねじ２２１により、ベースステージ９５に固定されている。
【００６３】
図１７に示すように、ベースステージ９５の後端面には、第２セットステージ９７の４つの個別流路２１６に連通する第２吸引ポート２１８が取り付けられている。また、ベースステージ９５の表面には、各個別流路２１６に連通する４つの第２吸引口２１７が開口し、第２吸引口２１７はベースステージ９５の厚み内に形成した第２下流部流路２３１を介して第２吸引ポート２１８に連通している。この場合、第２下流部流路２３１は、４つの第２吸引口２１７に連なる上流側の４つの分岐流路２３２と、４つの分岐流路２３２の下流端と第２吸引ポート２１８とを連通する１つの合流流路２３３と、で構成されている。そして、図示しないが、第２吸引ポート２１８は、上記の手動エアーバルブ９９および真空チューブを介して真空吸引設備に接続されている。
【００６４】
この場合も、第２セットステージ９７の裏面とベースステージ９５の表面とは、いずれも鏡面加工されており、第２セットステージ９７がベースステージ９５に固定された状態で、上記の各個別流路２１６と各第２吸引口２１７は、エアーのリークを生ずることのなく連通する。手動エアーバルブ９９をＯＮして、真空吸引設備により吸引が開始されると、エアーは、４つの第２吸引孔２１５から各個別流路２１６、第２吸引口２１７、第２下流部流路２３１および第２吸引ポート２１８の順で流れ、第２セットステージ９７上の第１セットステージ９６に吸着力を作用させる。この場合、第１吸引ポート２０４および第２吸引ポート２１８には、真空吸引設備により同一の吸引圧力が導入されるようになっている。このため、第１セットステージ９６の連通溝２０３と、第２セットステージ９７の４つの第２吸引孔２１５との相互間でエアーのリークが生ずることがない。
【００６５】
第２セットステージ９７に第１セットステージ９６を位置決めし、且つ第１セットステージ９６にガラス基板Ｗを位置決めした後、吸引を開始すると、４つの第２吸引孔２１５により、第１セットステージ９６が第２セットステージ９７に吸着セットされ、複数の第１吸引孔２０２により、ガラス基板Ｗが第１セットステージ９６に吸着セットされる。第１セットステージ９６が第２セットステージ９７に吸着された状態では、第１セットステージ９６の連通溝２０３が、第２セットステージ９７の表面により閉止され、チャンバ（エアー室）として機能する。このため、複数の第１吸引孔２０２は、均一の吸引力をもってガラス基板Ｗを吸着する。
【００６６】
ところで、特に図示しないが、ガラス基板（ターゲット）Ｗには、大きさの異なる複数種のものがあり、これに対応して、第１セットステージ９６は、大きさの異なる複数のものが用意されている。この複数の第１セットステージ９６は、第２セットステージ９７に吸着される裏面部分が同一の平面形状に、且つ連通溝２０３の位置が同一に形成されている。これにより、第２セットステージ９７は、複数の第１セットステージ９６を同一条件で吸着セットできるようになっている。
【００６７】
以上のように、本実施形態のターゲットステージ４４によれば、ガラス基板Ｗの大きさ（平面形状）に合わせて第１セットステージ９６を用意しておくことで、吸引系の流路を系統分けしたり、一部の吸引孔を閉塞することなく、ガラス基板Ｗを適切に吸着セットすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】実施形態に係る機能液滴吐出ヘッド単体の全体斜視図である。
【図２】実施形態に係るヘッド検査装置の装置カバーを取り去った状態の外観斜視図である。
【図３】実施形態に係るヘッド検査装置を模式的に表した平面図である。
【図４】実施形態に係るヘッド検査装置の斜め前方から見た外観斜視図である。
【図５】実施形態に係るヘッド検査装置の斜め後方から見た外観斜視図である。
【図６】供給流路接続装置における主要部の斜視図である。
【図７】供給流路接続装置における接続口ホルダの接続状態を示す斜視図である。
【図８】ヘッドセット装置廻りの斜め前方から見た斜視図である。
【図９】飛行検査ユニットの斜視図である。
【図１０】ターゲットテーブルの斜視図である。
【図１１】ワイピング装置の斜視図である。
【図１２】吸引装置の斜視図である。
【図１３】第１セットステージおよび第２セットステージを表した斜視図である。
【図１４】第１セットステージを裏面側から見た部分裁断斜視図である。
【図１５】第１セットステージおよび第２セットステージを裏面側から見た部分裁断斜視図である。
【図１６】第２セットステージの斜視図である。
【図１７】ターゲットテーブルを裏面側から見た部分裁断斜視図である。
【符号の説明】
【００６９】
２０  ヘッド検査装置、４４  ターゲットステージ、９５  ベースステージ、９６  第１セットステージ、９７  第２セットステージ、９９  手動エアーバルブ、２０１  第１吸引孔、２０３  連通溝、２０４  第１吸引ポート、２０６  Ｘ軸位置決め板、２０７  Ｙ軸位置決め板、２１１  切欠き部、２１３  第１下流部流路、２１５  第２吸引孔、２１６  個別流路、２１８  第２吸引ポート、２２４  Ｘ軸位置決めピン、２２５  Ｙ軸位置決めピン、２３１  第２下流部流路、２３２  分岐流路、２３３  合流流路、Ｗ  ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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