(57)【要約】【課題】低温から高温までの広い温度範囲を連続的に測定可能な耐食性に優れた温度測定装置を提供する。【解決手段】温度測定装置は、被測定物１表面に接触する炭化ケイ素焼結体により形成された端子部２と、端子部２に接合された導線３ａ，３ｂを介して端子部２の体積抵抗率を測定する抵抗測定器４とを備える。抵抗測定器４は、端子部２の体積抵抗率の温度依存性を示すマップを参照して端子部２の体積抵抗率から被測定物１の温度を算出する温度算出部４ａと、温度算出部４ａにより算出された被測定物１の温度を表示する温度表示部４ｂとを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物表面に接触する炭化ケイ素焼結体により形成された端子部と、
前記端子部の体積抵抗率を測定する体積抵抗率測定部と、
前記体積抵抗率測定部により測定された体積抵抗率から前記被測定物の温度を算出する温度算出部と
を備えることを特徴とする温度測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の温度測定装置において、
前記端子部は、円筒形形状又は直方体形状を有することを特徴とする温度測定装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の温度測定装置において、
前記温度算出部により算出された前記被測定物の温度を表示する表示部を備えることを特徴とする温度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の温度を測定する温度測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、熱電能が異なる２種類の金属線の端部を相互に接合し、２つの接合点を異なる温度にすることによって２つの接合点間に発生する熱起電力を測定することにより被測定物の温度を測定する熱電対が知られている。
【非特許文献１】“温度センサの選び方・使い方”，高橋  修，電気と工事  2003年12月号別冊，電熱技術・部品の実践ガイド，p108-112，オーム社
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の熱電対では、金属線の耐熱性が金属種によって異なるために、用いる金属線の種類により測定可能な温度範囲（例えば室温から４００℃の温度範囲や４００℃から１２００℃の温度範囲等）が制限され、低温から高温までの広い温度範囲を連続的に測定することができない。さらに従来の熱電対は金属線により構成されているので、酸性ガス雰囲気や腐食性ガス雰囲気中では使用することができず、特に金属汚染が懸念される被測定物の温度を測定することができない。
【０００４】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、低温から高温までの広い温度範囲を連続的に測定可能な耐食性に優れた温度測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る温度測定装置は、被測定物表面に接触する炭化ケイ素焼結体により形成された端子部と、端子部の体積抵抗率を測定する体積抵抗率測定部と、体積抵抗率測定部により測定された体積抵抗率から被測定物の温度を算出する温度算出部とを備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る温度測定装置によれば、室温から１５００℃程度の広い温度範囲において体積抵抗率が安定的に温度に依存する炭化ケイ素焼結体により端子部が形成されているので、低温から高温までの広い温度範囲において被測定物の温度を連続的に測定できる。また本発明に係る温度測定装置によれば、耐食性が高い炭化ケイ素焼結体により端子部が形成されているので、酸性ガス雰囲気や腐食性ガス雰囲気中においても使用することができ、被測定物を汚染することなく被測定物の温度を測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態となる温度測定装置の構成、及びこの温度測定装置を用いた被測定物の温度測定方法について説明する。
【０００８】
〔温度測定装置の構成〕
本発明の実施形態となる温度測定装置は、図１に示すように、棒状ヒーター等の被測定物１表面に接触する高純度の炭化ケイ素焼結体（例えばPureBeta（登録商標）-S：（株）ブリヂストン製）で形成された端子部２と、ドータイト（登録商標）や白金ペースト等の導電性ペーストにより端子部２に接合された導線３ａ，３ｂを介して端子部２の体積抵抗率を測定する抵抗測定器４とを備える。抵抗測定器４は、図２に示すような端子部２の体積抵抗率の温度依存性を示すマップを参照して端子部２の体積抵抗率から被測定物１の温度を算出する温度算出部４ａと、温度算出部４ａにより算出された被測定物１の温度を表示する温度表示部４ｂとを備える。
【０００９】
端子部２の形状は、体積抵抗率を正確に測定することができるように、円筒形形状や直方体形状に加工することが望ましい。また端子部２の形状は、被測定物１の表面粗度によっては接触を良くするために、被測定物１に対し点や曲面で接触するように加工してもよい。また端子部２の体積は、端子部２が被測定物１の熱を吸収しないように、可能な限り小さくすることが望ましい。温度算出部４ａは、図２に示すマップと温度算出部４ａの機能（動作）を記述したコンピュータプログラムを予め抵抗測定器４内にあるＲＯＭ等の記憶装置に記憶し、抵抗測定器４内のＣＰＵ等の演算処理装置にコンピュータプログラムを実行させることにより実現できる。温度表示部４ｂは、液晶表示装置やセグメント表示装置等の公知の表示装置により構成できる。
【００１０】
〔温度測定方法〕
上記の温度測定装置を用いて被測定物１の温度を測定する際は、始めに被測定物１の表面や内部に端子部２を接触させる。次に導線３ａ，３ｂを介して抵抗測定器４から端子部２に電圧を印加して端子部２の体積抵抗率を測定する。そして最後に、温度算出部４ａが端子部２の体積抵抗率の温度依存性を示すマップを参照して端子部２の体積抵抗率から被測定物１の温度を算出し、温度表示部４ｂが温度算出部４ａにより算出された被測定物１の温度を表示する。
【００１１】
以上の説明から明らかなように、本発明の実施形態となる温度測定装置によれば、被測定物１に接触する端子部２が室温から１５００℃程度の広い温度範囲において体積抵抗率が安定的に温度に依存する炭化ケイ素焼結体により形成されているので、低温から高温までの広い温度範囲において被測定物１の温度を連続的に測定することができる。
【００１２】
また本発明の実施形態となる温度測定装置によれば、被測定物１に接触する端子部２が耐食性が高い炭化ケイ素焼結体により形成されいるので、酸性ガス雰囲気や腐食性ガス雰囲気中においても使用することができ、被測定物１を汚染することなく被測定物１の温度を測定することができる。
【００１３】
また本発明の実施形態となる温度測定装置によれば、端子部２が熱伝導率が高い炭化ケイ素焼結体により形成されているので、端子部２の温度が被測定物１の温度と短時間で同じになり、被測定物１の温度を短時間で測定することができる。また本発明の実施形態となる温度測定装置によれば、端子部２が高純度の炭化ケイ素焼結体により形成されているので、被測定物１に端子部２を接触させて被測定物１を汚染することなく被測定物１の温度を直接的に測定することができる。
【００１４】
以上、本発明者によってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす記述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態となる温度測定装置の構成を示すブロック図である。
【図２】端子部の体積抵抗率の温度依存性を示すマップの一例である。
【符号の説明】
【００１６】
１：被測定物
２：端子部
３ａ，３ｂ：導線
４：抵抗測定器
４ａ：温度算出部
４ｂ：温度表示部
【図１】
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【図２】
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