(57)【要約】【課題】設置場所の選択自由度を拡大し得る回路基板検査装置を提供する。【解決手段】基板保持部１２ａ，１２ｂと、基板保持部１２ａ，１２ｂを移動可能な移動機構１３と、基板保持部１２ａ，１２ｂによって保持されている回路基板についての位置情報を出力する撮像部１４ａ，１４ｂと、基板保持部１２ａ，１２ｂによって保持されている回路基板に対するプロービングを行うプローブ機構１５ａ，１５ｂと、位置情報の出力処理が行われる第１位置およびプロービングが行われる第２位置に移動機構１３を制御して基板保持部１２ａ，１２ｂをそれぞれ移動させると共に位置情報に基づいてプロービングを制御する制御部とを備え、移動機構１３は、平面視状態において互い重なり合いかつ側面視状態において互いに離間する２つの移動経路Ｒ１，Ｒ２に沿って各基板保持部１２ａ，１２ｂをそれぞれ移動可能に構成されている。【選択図】図５
2009168601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板を保持可能な一対の基板保持部と、当該両基板保持部を移動可能な移動機構と、前記基板保持部によって保持されている前記回路基板の位置を特定可能な位置情報を出力する位置情報出力部と、前記基板保持部によって保持されている前記回路基板に対する検査用プローブのプロービングを行うプローブ機構と、前記位置情報出力部によって前記位置情報の出力処理が行われる第１位置および前記プローブ機構によって前記プロービングが行われる第２位置に前記移動機構を制御して前記両基板保持部をそれぞれ移動させると共に当該位置情報に基づいて当該プローブ機構による当該プロービングを制御する制御部とを備えて、前記回路基板に対する電気的検査を実行可能に構成され、
前記移動機構は、平面視状態において互い重なり合いかつ側面視状態において互いに離間する２つの移動経路に沿って前記各基板保持部をそれぞれ移動可能に構成され、
前記制御部は、前記移動機構を制御して前記第１位置および前記第２位置に前記各基板保持部を交互に移動させる回路基板検査装置。
【請求項２】
前記位置情報出力部および前記プローブ機構は、前記各基板保持部の一方が前記第１位置に位置すると共に当該各基板保持部の他方が前記第２位置に位置したときに、前記各基板保持部における前記各移動経路に沿った側の各々の端部同士が平面視状態において重なり合い、かつ前記一方の基板保持部に保持されている前記回路基板についての前記出力処理と前記他方の基板保持部に保持されている前記回路基板に対する前記プロービングとを並行して実行可能な位置に配置されている請求項１記載の回路基板検査装置。
【請求項３】
前記基板保持部は、前記回路基板を固定する固定部材が配設されると共に矩形で板状に形成された保持板を備えて構成され、
前記移動機構は、前記保持板における互いに対向する一対の端部を支持した状態で当該基板保持部を移動させる請求項１または２記載の回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板に対する所定の電気的検査を実行可能に構成された回路基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の回路基板検査装置として、特開平１１−３０４８８５号公報において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、２つの移動用トレイ、２つの移動機構、カメラ、検査部および制御回路を備えて、回路基板に対する検査を実行可能に構成されている。この場合、この回路基板検査装置では、移動用トレイおよび移動機構がそれぞれ２つ備えられているため、検査部による検査位置への回路基板の移動やカメラによる回路基板の位置ずれの検出が並行して行われる。したがって、この回路基板検査装置では、１枚の回路基板に対する検査工程全体としてのタクトタイムを実質的に短縮することができる結果、検査の高速化を実現することが可能となっている。
【特許文献１】特開平１１−３０４８８５号公報（第４−５頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の回路基板検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この回路基板検査装置では、２つの移動用トレイを用いて回路基板の移動や回路基板の位置ずれの検出を並行して行うことで、検査の高速化を実現している。この場合、この回路基板検査装置では、両移動用トレイが同一の仮想平面に沿って移動する（両移動用トレイの移動軌跡が同一の仮想平面内に存在している）。このため、この回路基板検査装置には、両移動用トレイ同士の干渉や衝突を回避するために装置本体の底面積が大きく構成されている結果、広い設置スペースが必要となり、これに起因して設置場所が制約されるという課題が存在する。この場合、発明者は、移動用トレイの移動方向が垂直（またはほぼ垂直）となるように構成した回路基板検査装置、つまり装置本体を縦型に構成することで底面積を小さく構成した回路基板検査装置を既に開発している。しかしながら、底面積を小さく構成した分、高さが高くなるため、この縦型の構成においても、設置場所が制約されるという課題が存在する。
【０００４】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、設置場所についての選択の自由度を拡大し得る回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく請求項１記載の回路基板検査装置は、回路基板を保持可能な一対の基板保持部と、当該両基板保持部を移動可能な移動機構と、前記基板保持部によって保持されている前記回路基板の位置を特定可能な位置情報を出力する位置情報出力部と、前記基板保持部によって保持されている前記回路基板に対する検査用プローブのプロービングを行うプローブ機構と、前記位置情報出力部によって前記位置情報の出力処理が行われる第１位置および前記プローブ機構によって前記プロービングが行われる第２位置に前記移動機構を制御して前記両基板保持部をそれぞれ移動させると共に当該位置情報に基づいて当該プローブ機構による当該プロービングを制御する制御部とを備えて、前記回路基板に対する電気的検査を実行可能に構成され、前記移動機構は、平面視状態において互い重なり合いかつ側面視状態において互いに離間する２つの移動経路に沿って前記各基板保持部をそれぞれ移動可能に構成され、前記制御部は、前記移動機構を制御して前記第１位置および前記第２位置に前記各基板保持部を交互に移動させる。
【０００６】
また、請求項２記載の回路基板検査装置は、請求項１記載の回路基板検査装置において、前記位置情報出力部および前記プローブ機構は、前記各基板保持部の一方が前記第１位置に位置すると共に当該各基板保持部の他方が前記第２位置に位置したときに、前記各基板保持部における前記各移動経路に沿った側の各々の端部同士が平面視状態において重なり合い、かつ前記一方の基板保持部に保持されている前記回路基板についての前記出力処理と前記他方の基板保持部に保持されている前記回路基板に対する前記プロービングとを並行して実行可能な位置に配置されている。
【０００７】
また、請求項３記載の回路基板検査装置は、請求項１または２記載の回路基板検査装置において、前記基板保持部は、前記回路基板を固定する固定部材が配設されると共に矩形で板状に形成された保持板を備えて構成され、前記移動機構は、前記保持板における互いに対向する一対の端部を支持した状態で当該基板保持部を移動させる。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１記載の回路基板検査装置によれば、平面視状態において互い重なり合いかつ側面視状態において互いに離間する２つの移動経路に沿って各基板保持部をそれぞれ移動可能に移動機構を構成したことにより、両基板保持部を例えば上下２段に配置して、両基板保持部を互いに干渉させることなく移動させることができる。このため、この回路基板検査装置によれば、２つの移動用トレイが同一の仮想平面に沿って移動する従来の回路基板検査装置とは異なり、回路基板検査装置（装置本体）の底面積を十分に小さく構成することができる。したがって、この回路基板検査装置によれば、比較的狭い設置スペースに設置することができる結果、設置場所の選択の自由度を十分に拡大することができる。
【０００９】
また、請求項２記載の回路基板検査装置によれば、各基板保持部の一方が第１位置に位置すると共に各基板保持部の他方が第２位置に位置したときに、各基板保持部における各移動経路に沿った側の各々の端部同士が平面視状態において重なり合い、かつ一方の基板保持部に保持されている回路基板についての出力処理と他方の基板保持部に保持されている回路基板に対するプロービングとを並行して実行可能な位置に位置情報出力部およびプローブ機構を配置したことにより、第１位置と第２位置との距離を十分に短縮することができる。したがって、この回路基板検査装置によれば、基板保持部の移動方向に沿った回路基板検査装置（装置本体）の底面の長さを短く構成することができる分、底面積を一層小さく構成することができる結果、設置場所の選択の自由度をさらに拡大することができる。また、この回路基板検査装置によれば、１つの回路基板についての出力処理と他の１つの回路基板に対するプロービングとを並行することで処理時間を全体として十分に短縮することができると共に、第１位置から第２位置への基板保持部の移動時間を十分に短縮することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【００１０】
また、請求項３記載の回路基板検査装置によれば、基板保持部の保持板における互いに対向する一対の端部を支持した状態で基板保持部を移動可能に移動機構を構成したことにより、保持板の一方の端部のみを保持する構成（保持板を片持ちする構成）と比較して、基板保持部（保持板）の撓みを少なく抑えることができる。したがって、この回路基板検査装置によれば、設置場所の選択の自由度を拡大しつつ、大形の回路基板を保持可能に基板保持部を大形に構成したとしても、基板保持部によって保持されている回路基板に対するプロービングを正確に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る回路基板検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１２】
最初に、回路基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。図１に示す回路基板検査装置１は、本発明に係る回路基板検査装置の一例であって、本体部２および制御装置３を備えて、回路基板１００に対する所定の電気的検査を実行可能に構成されている。
【００１３】
本体部２は、図１，２，３，５に示すように、フレーム１１、一対の基板保持部１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「基板保持部１２」ともいう）、移動機構１３、撮像部１４ａ，１４ｂ（以下、区別しないときには「撮像部１４」ともいう）、一対のプローブ機構１５ａ，１５ｂ（以下、区別しないときには「プローブ機構１５」ともいう）、および供給・搬出機構１６を備えて構成されている。フレーム１１は、一例として、断面略矩形の支柱２１ａ〜２１ｄ（以下、区別しないときには「支柱２１」ともいう）、および断面略矩形の梁２２ａ〜２２ｌ（以下、区別しないときには「梁２２」ともいう）を連結することにより、全体として直方体状に構成されている。この場合、図３に示すように、梁２２ｃ〜２２ｆには、後述する移動機構１３のスライダ４１ａ〜４１ｄが嵌め込まれる溝がそれぞれ形成されている。
【００１４】
基板保持部１２は、図４に示すように、保持板３１および複数（例えば６個）のクランプ機構３２を備えて、回路基板１００を保持可能に構成されている。保持板３１は、略矩形の板状に構成されている。また、保持板３１の中央部には、略矩形の開口部３１ａが形成されている。クランプ機構３２は、本発明における固定部材に相当し、保持板３１の開口部３１ａにおける互いに対向する一対の縁部に取り付けられている。また、クランプ機構３２は図外のエアコンプレッサからのエア供給に応じて先端部が開閉して、供給・搬出機構１６によって供給される回路基板１００の端部を挟み込んで固定することにより、保持板３１と共に回路基板１００を保持する。この場合、図３に示すように、基板保持部１２ａにおける保持板３１の両端部は、移動機構１３のスライダ４１ａ，４１ｂに固定されている。また、基板保持部１２ｂにおける保持板３１の両端部は、移動機構１３のスライダ４１ｃ，４１ｄに固定されている。つまり、各基板保持部１２ａ，１２ｂは、各々の保持板３１における互いに対向する一対の端部が移動機構１３によって支持されている。
【００１５】
移動機構１３は、図２，３，５に示すように、スライダ４１ａ〜４１ｄ（以下、区別しないときには「スライダ４１」ともいう）、ボールねじ４２ａ，４２ｂ（以下、区別しないときには「ボールねじ４２」ともいう）、およびモータ４３ａ，４３ｂ（以下、区別しないときには「モータ４３」ともいう）を備えて構成されている。スライダ４１ａ，４１ｂは、図３，５に示すように、フレーム１１を構成する各支柱２１ａ〜２１ｄの上端部側に連結されている梁２２ｃ，２２ｄの溝に嵌め込まれることにより、梁２２ｃ，２２ｄの長さ方向（図２，５に示すＸ１の向き（供給方向）、およびＸ２の向き（搬出方向））にスライド（移動）可能に梁２２ｃ，２２ｄにそれぞれ配設されている。スライダ４１ｃ，４１ｄは、図３，５に示すように、梁２２ｃ，２２ｄに対して平行またはほぼ平行な状態で各支柱２１ａ〜２１ｄの下端部側に連結されている梁２２ｅ，２２ｆの溝に嵌め込まれることにより、上記したＸ１，Ｘ２の向きにスライド可能に梁２２ｅ，２２ｆにそれぞれ配設されている。また、スライダ４１ｂ，４１ｄには、ボールねじ４２をねじ込み可能なねじ孔が形成されている。
【００１６】
ボールねじ４２ａ，４２ｂは、図２，３に示すように、梁２２ｄ，２２ｆの長さ方向に沿ってそれぞれ配設されると共に、スライダ４１ｂ，４１ｄのねじ孔にそれぞれねじ込まれている。モータ４３ａは、ボールねじ４２ａを回転させることによってスライダ４１ｂをＸ１，Ｘ２の向きスライドさせ、モータ４３ｂは、ボールねじ４２ｂを回転させることによってスライダ４１ｄをＸ１，Ｘ２の向きにスライドさせる。この場合、図３に示すように、各支柱２１ａ〜２１ｄの上端部側に連結されている梁２２ｃ，２２ｄの溝にスライダ４１ａ，４１ｂがそれぞれ嵌め込まれ、このスライダ４１ａ，４１ｂに基板保持部１２ａにおける保持板３１の両端部が固定されている。また、各支柱２１ａ〜２１ｄの下端部側に連結されている梁２２ｅ，２２ｆの溝にスライダ４１ｃ，４１ｄがそれぞれ嵌め込まれ、このスライダ４１ｃ，４１ｄに基板保持部１２ｂにおける保持板３１の両端部が固定されている。つまり、この回路基板検査装置１では、図３，５に示すように、基板保持部１２ａ，１２ｂが上下２段に配置されており、梁２２ｃ，２２ｄに平行またはほぼ平行な仮想平面Ｐ１（図３参照）、および梁２２ｅ，２２ｆに平行またはほぼ平行（つまり、仮想平面Ｐ１に対して平行またはほぼ平行）であってかつ平面視状態において仮想平面Ｐ１と互い重なり合う仮想平面Ｐ２（同図参照）に沿って基板保持部１２ａ，１２ｂを移動可能に移動機構１３が構成されている。言い換えると、移動機構１３は、平面視状態においてその全部が互い重なり合いかつ側面視状態においてその全部が互いに離間する２つの移動経路Ｒ１，Ｒ２（図２，５参照：以下、両移動経路Ｒ１，Ｒ２を区別しないときには「移動経路Ｒ」ともいう）に沿って基板保持部１２ａ，１２ｂをそれぞれ移動可能に構成されている。
【００１７】
ここで、この回路基板検査装置１では、上記したように、平面視状態において互い重なり合いかつ側面視状態において互いに離間する２つの移動経路Ｒ１，Ｒ２に沿って移動機構１３が両基板保持部１２ａ，１２ｂをそれぞれ移動させるように構成することで、両基板保持部１２ａ，１２ｂを互いに干渉させることなく移動させることが可能となっている。したがって、この回路基板検査装置１では、２つの移動用トレイが同一の仮想平面に沿って移動する従来の回路基板検査装置と比較して、本体部２の底面積が十分に小さく構成されているため、比較的狭い設置スペースに設置することが可能となっている。
【００１８】
撮像部１４は、図３，５に示すように、例えばカメラ５１およびアクチュエータ５２を備えて構成されている。カメラ５１は、本発明における位置情報出力部に相当し、制御部１９の制御に従い、基板保持部１２によって保持されている回路基板１００を撮像して画像データＤ（本発明における位置情報）を出力する出力処理を実行する。アクチュエータ５２は、制御装置３の制御部１９の制御に従って上記したＸ１，Ｘ２の向きに直交する方向（水平方向であって、図２に示すＹ１，Ｙ２の向き）にカメラ５１を移動させる。
【００１９】
プローブ機構１５ａは、図３，５に示すように、プロービング治具６１ａおよびアクチュエータ６２ａを備えて構成されている。また、プローブ機構１５ｂは、プロービング治具６１ｂ（以下、プロービング治具６１ａ，６１ｂを区別しないときには「プロービング治具６１」ともいう）およびアクチュエータ６２ｂ（以下、アクチュエータ６２ａ，６２ｂを区別しないときには「アクチュエータ６２」ともいう）を備えて構成されている。プロービング治具６１は、複数のプローブピン（本発明における検査用プローブ）を備えて構成されている。この場合、各プロービング治具６１は、回路基板１００における導体パターンの形状等に応じて、プローブピンの数や配列パターンが規定されている。アクチュエータ６２ａは、制御部１９の制御に従い、上記したＸ１，Ｘ２の向き、Ｙ１，Ｙ２の向き、上下方向（図５に示すＺ１，Ｚ２の向き）にプロービング治具６１ａを移動させることによってプロービングを実行する。アクチュエータ６２ｂは、制御部１９の制御に従い、Ｘ１，Ｘ２の向き、Ｙ１，Ｙ２の向き、およびＺ１，Ｚ２の向きに加えて、プロービング治具６１ｂの中心軸を中心として回動する向き（図２に示すθ１，θ２の向き）にプロービング治具６１ｂを移動させることによってプロービングを実行する。
【００２０】
この場合、この回路基板検査装置１では、図７に示すように、両基板保持部１２ａ，１２ｂの一方に保持されている回路基板１００についての画像データＤの出力処理と、両基板保持部１２ａ，１２ｂの他方に保持されている回路基板１００に対するプロービングとを並行して実行可能で、かつ撮像部１４による出力処理（つまりカメラ５１による撮像）が実行される第１位置Ｅ１（具体的には、カメラ５１の中心）とプローブ機構１５によってプロービングが行われる第２位置Ｅ２（具体的には、プローブ機構１５におけるプロービング治具６１の中心）との間の距離が短くなるように、撮像部１４およびプローブ機構１５の配置位置が規定されている。具体的には、撮像部１４およびプローブ機構１５の配置位置は、同図に示すように、両基板保持部１２の一方（同図では基板保持部１２ｂ）における開口部３１ａの中心が第１位置Ｅ１に位置し、両基板保持部１２の他方（同図では基板保持部１２ａ）における開口部３１ａの中心が第２位置Ｅ２に位置しているときに、第１位置Ｅ１の側に位置している基板保持部１２（この例では基板保持部１２ｂ）における開口部３１ａの第２位置Ｅ２側の縁部、および第２位置Ｅ２の側に位置している基板保持部１２（この例では基板保持部１２ａ）における開口部３１ａの第１位置Ｅ１側の縁部同士（本発明における各移動経路に沿った側の各々の端部同士）が平面視状態において互いに重なり合うように規定されている。
【００２１】
制御装置３は、図１に示すように、検査部１７、表示部１８および制御部１９を備えて構成されている。検査部１７は、制御部１９の制御に従い、プローブ機構１５のプロービング治具６１を介して入力する電気信号Ｓに基づいて回路基板１００に対する電気的検査を実行する。表示部１８は、制御部１９の制御に従って検査結果や設定画面等を表示する。
【００２２】
制御部１９は、図外の操作部から出力される操作信号に従って回路基板検査装置１を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部１９は、移動機構１３による基板保持部１２の移動を制御する。また、制御部１９は、撮像部１４のアクチュエータ５２によるカメラ５１の移動を制御する。さらに、制御部１９は、撮像部１４から出力される画像データＤに基づいて基板保持部１２によって保持されている回路基板１００の位置（基板保持部１２に対する回路基板１００の相対位置）を特定すると共に、特定した位置に基づいてプローブ機構１５によるプロービングを制御する。
【００２３】
次に、回路基板検査装置１を用いて回路基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。
【００２４】
この回路基板検査装置１では、初期状態において、両基板保持部１２ａ，１２ｂがフレーム１１の一端部側（図２における下側であって、以下、この位置を「初期位置」ともいう）に位置している。この初期状態において、図外の操作部を用いて検査開始操作を行ったときには、制御装置３の制御部１９が、操作部から出された操作信号に従い、まず、供給・搬出機構１６を制御して、基板保持部１２ａの保持板３１に回路基板１００を載置させる。次いで、制御部１９は、図外の電磁弁を制御して、エアコンプレッサからのエアを基板保持部１２ａの各クランプ機構３２に供給させる。この際に、各クランプ機構３２の先端部が閉じて、保持板３１に載置された回路基板１００の端部を挟み込むことにより、基板保持部１２ａによって回路基板１００が保持される（以下、基板保持部１２ａによって保持されている回路基板１００を「回路基板１００ａ」ともいう）。
【００２５】
続いて、制御部１９は、移動機構１３のモータ４３ａを制御して、ボールねじ４２ａを所定の向きに回転させる。この際に、ボールねじ４２ａの回転によってスライダ４１ｂがＸ１の向きにスライドさせられ、これに伴い、図６に示すように、基板保持部１２ａおよびスライダ４１ａがスライダ４１ｂと共にＸ１の向きに移動させられる。次いで、制御部１９は、同図に示すように、基板保持部１２ａにおける開口部３１ａ（回路基板１００ａ）の中心が上記した第１位置Ｅ１に位置した（基板保持部１２ａが第１位置Ｅ１に移動した）時点で、移動機構１３（モータ４３ａ）を制御して、基板保持部１２ａの移動を停止させる。
【００２６】
続いて、制御部１９は、両撮像部１４ａ，１４ｂのアクチュエータ５２，５２を制御して、各カメラ５１，５１を図６に示すＹ１，Ｙ２の向きに移動させて、位置合わせを行う。次いで、制御部１９は、各カメラ５１，５１を制御して、基板保持部１２ａおよび回路基板１００ａの両面を撮像させ、これに応じて、各カメラ５１，５１は、画像データＤを制御部１９に出力する。
【００２７】
続いて、制御部１９は、移動機構１３のモータ４３ａを制御することにより、図７に示すように、基板保持部１２ａをＸ１の向きに移動させ、次いで、基板保持部１２ａにおける開口部３１ａの中心が上記した第２位置Ｅ２に位置した（基板保持部１２ａが第２位置Ｅ２に移動した）時点で、基板保持部１２ａの移動を停止させる。なお、この時点では、同図に示す回路基板１００ｂは基板保持部１２ｂに保持されていない。
【００２８】
続いて、制御部１９は、撮像部１４ａ，１４ｂの各カメラ５１，５１から出力された画像データＤに基づいて基板保持部１２ａによって保持されている回路基板１００ａの位置（具体的には、基板保持部１２ａに対する回路基板１００ａの相対位置（位置ずれ量））を特定する。次いで、制御部１９は、両プローブ機構１５ａ，１５ｂに対してプロービングを実行させる。この場合、制御部１９は、特定した回路基板１００ａの位置に基づいてプローブ機構１５ａのアクチュエータ６２ａを制御して、Ｘ１，Ｘ２の向き、およびＹ１，Ｙ２の向きにプロービング治具６１ａを移動させることにより、回路基板１００ａの上面に対するプロービング治具６１ａの位置合わせ（位置ずれの補正）を行う。続いて、制御部１９は、アクチュエータ６２ａを制御してＺ１，Ｚ２の向きにプロービング治具６１ａを移動させる。この際に、プロービング治具６１ａの各プローブが回路基板１００ａにおける上面の導体パターンに接触する。
【００２９】
次いで、制御部１９は、プローブ機構１５ｂのアクチュエータ６２ｂを制御して、Ｘ１，Ｘ２の向き、Ｙ１，Ｙ２の向き、およびθ１，θ２の向きにプロービング治具６１ｂを移動させることにより、回路基板１００ａの下面に対するプロービング治具６１ｂの位置合わせ（位置ずれの補正）を行う。続いて、制御部１９は、アクチュエータ６２ｂを制御してＺ１，Ｚ２の向きにプロービング治具６１ｂを移動させる。この際に、プロービング治具６１ｂの各プローブが回路基板１００ａにおける下面の導体パターンに接触する。次いで、制御部１９は、検査部１７を制御して、プロービング治具６１ａ，６１ｂを介して入力する電気信号Ｓに基づく回路基板１００ａについての電気的検査を実行させる。続いて、制御部１９は、表示部１８を制御して検査結果を表示させる。
【００３０】
一方、制御部１９は、回路基板１００ａに対するプロービングをプローブ機構１５ａ，１５ｂに実行させるのと並行して、供給・搬出機構１６を制御して基板保持部１２ｂの保持板３１に回路基板１００を載置させると共に（以下、基板保持部１２ｂによって保持されている回路基板１００を「回路基板１００ｂ」ともいう）、基板保持部１２ｂを制御して回路基板１００ｂを保持させる。次いで、制御部１９は、上記した制御と同様にして移動機構１３を制御することにより、図７に示すように、基板保持部１２ｂを第１位置Ｅ１に移動させる。続いて、制御部１９は、上記した制御と同様にして撮像部１４ａ，１４ｂを制御して、回路基板１００ｂの両面を撮像させる。
【００３１】
この場合、この回路基板検査装置１では、図７に示すように、基板保持部１２ｂが第１位置Ｅ１に位置し、基板保持部１２ａが第２位置Ｅ２に位置しているときに、基板保持部１２ｂにおける開口部３１ａの第２位置Ｅ２側の縁部と基板保持部１２ａにおける保持板３１の第１位置Ｅ１側の縁部とが平面視状態において互いに重なり合うように撮像部１４およびプローブ機構１５の配置位置が規定されている。このため、各基板保持部１２の一方の開口部３１ａが各基板保持部１２の他方の保持板３１によって遮蔽される事態が回避されて、基板保持部１２ａによって保持されている回路基板１００ａに対するプロービングと基板保持部１２ｂによって保持されている回路基板１００ｂについての画像データＤの出力処理とを並行して実行することが可能となっている。また、この回路基板検査装置１では、撮像部１４およびプローブ機構１５の配置位置を上記のように規定したことで、第１位置Ｅ１から第２位置Ｅ２までの距離を十分に短くすることができるため、第１位置Ｅ１から第２位置Ｅ２への基板保持部１２の移動時間を十分に短縮することが可能となっている。
【００３２】
次いで、制御部１９は、上記した回路基板１００ａについての測定結果の表示が終了した時点で、移動機構１３を制御して、図８に示すように、基板保持部１２ａを初期位置に移動させる。これにより、回路基板１００ａについての電気的検査が終了する。
【００３３】
続いて、制御部１９は、基板保持部１２ａが初期位置に移動した時点で、移動機構１３を制御することにより、図８に示すように、基板保持部１２ｂを第２位置Ｅ２に移動させる。次いで、制御部１９は、撮像部１４ａ，１４ｂの各カメラ５１，５１から出力された画像データＤに基づいて基板保持部１２ｂによって保持されている回路基板１００ｂの位置を特定する。続いて、制御部１９は、上記したように、両プローブ機構１５ａ，１５ｂに対してプロービングを実行させる。
【００３４】
次いで、制御部１９は、検査部１７を制御して、プロービング治具６１ａ，６１ｂを介して入力する電気信号Ｓに基づく回路基板１００ｂについての電気的検査を実行させると共に、表示部１８を制御して検査結果を表示させる。続いて、制御部１９は、回路基板１００ｂについての検査結果の表示が終了した時点で、移動機構１３を制御して、基板保持部１２ｂを初期位置に移動させる。これにより、回路基板１００ｂについての電気的検査が終了する。
【００３５】
以下、制御部１９は、上記した各制御と同様の制御を実行することにより、他の回路基板１００に対する電気的検査を繰り返して実行する。
【００３６】
このように、この回路基板検査装置１によれば、平面視状態において互い重なり合いかつ側面視状態において互いに離間する２つの移動経路Ｒ１，Ｒ２に沿って基板保持部１２ａ，１２ｂをそれぞれ移動可能に移動機構１３を構成したことにより、両基板保持部１２ａ，１２ｂを上下２段に配置して、両基板保持部１２ａ，１２ｂを互いに干渉させることなく移動させることができる。このため、この回路基板検査装置１によれば、２つの移動用トレイが同一の仮想平面に沿って移動する従来の回路基板検査装置とは異なり、本体部２の底面積を十分に小さく構成することができる。したがって、この回路基板検査装置１によれば、比較的狭い設置スペースに設置することができる結果、設置場所の選択の自由度を十分に拡大することができる。
【００３７】
また、この回路基板検査装置１によれば、各基板保持部１２の一方（例えば基板保持部１２ｂ）が第１位置Ｅ１に位置すると共に各基板保持部１２の他方（例えば基板保持部１２ａ）が第２位置Ｅ２に位置したときに、各基板保持部１２における各移動経路Ｒに沿った側の各々の端部（縁部）同士が平面視状態において重なり合い、かつ一方の基板保持部１２に保持されている回路基板１００についての出力処理と他方の基板保持部１２に保持されている回路基板１００に対するプロービングとを並行して実行可能な位置に撮像部１４およびプローブ機構１５を配置したことにより、第１位置Ｅ１と第２位置Ｅ２との距離を十分に短縮することができる。したがって、この回路基板検査装置１によれば、基板保持部１２の移動方向に沿った本体部２の底面の長さを短く構成することができる分、底面積を一層小さく構成することができる結果、設置場所の選択の自由度をさらに拡大することができる。また、この回路基板検査装置１によれば、１つの回路基板１００についての画像データＤの出力処理と他の１つの回路基板１００に対するプロービングとを並行することで処理時間を全体として十分に短縮することができると共に、第１位置Ｅ１から第２位置Ｅ２への基板保持部１２の移動時間を十分に短縮することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【００３８】
また、この回路基板検査装置１によれば、基板保持部１２における保持板３１の両端部を支持した状態で基板保持部１２を移動可能に移動機構１３を構成したことにより、保持板３１の一方の端部のみを保持する構成（保持板３１を片持ちする構成）と比較して、基板保持部１２（保持板３１）の撓みを少なく抑えることができる。したがって、この回路基板検査装置１によれば、設置場所の選択の自由度を拡大しつつ、大形の回路基板１００を保持可能に基板保持部１２を大形に構成したとしても、基板保持部１２によって保持されている回路基板１００に対するプロービングを正確に行うことができる。
【００３９】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、基板保持部１２ａ，１２ｂを上下２段に配置した構成、つまり本体部２を横型に構成した例について上記したが、基板保持部１２ａ，１２ｂを左右に並べて、互いに平行またはほぼ平行であってかつ平面視状態において互い重なり合う２つの垂直またはほぼ垂直な仮想平面に沿って移動機構１３が両基板保持部１２ａ，１２ｂをそれぞれ移動させる構成、つまり本体部を縦型に構成することもできる。また、その全部（初期位置から第２位置Ｅ２に至る全経路）が平面視状態において互い重なり合い（図２参照）かつその全部が側面視状態において離間する移動経路Ｒ１，Ｒ２に沿って移動機構１３が基板保持部１２ａ，１２ｂをそれぞれ移動させる構成例について上記したが、その一部のみが平面視状態において互い重なり合う２つの移動経路や、その一部のみが側面視状態において互い離間する２つの移動経路に沿って移動機構１３が基板保持部１２ａ，１２ｂをそれぞれ移動させる構成を採用することもできる。また、位置情報出力部としてカメラ５１を用いる例について上記したが、本発明における位置情報出力部はこれに限定されず、光センサや差動トランス等の位置情報を出力可能な各種手段を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】回路基板検査装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】回路基板検査装置１の平面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】基板保持部１２の平面図である。
【図５】回路基板検査装置１の側面図である。
【図６】回路基板検査装置１の動作を説明するための第１の説明図である。
【図７】回路基板検査装置１の動作を説明するための第２の説明図である。
【図８】回路基板検査装置１の動作を説明するための第３の説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  回路基板検査装置
１２ａ，１２ｂ  基板保持部
１３  移動機構
１４ａ，１４ｂ  撮像部
１５ａ，１５ｂ  プローブ機構
１７  検査部
１９  制御部
３１  保持板
３２  クランプ機構
１００，１００ａ，１００ｂ  回路基板
Ｅ１  第１位置
Ｅ２  第２位置
Ｐ１，Ｐ２  仮想平面
Ｒ１，Ｒ２  移動経路
【図１】
2009168601.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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