(57)【要約】【課題】気体が圧力検出室１７内に侵入することを抑制し、センサ部４からのセンサ出力が変動してしまうことを防止できる圧力センサを提供する。【解決手段】ケース１の一面に、内周壁面１９ａがケース１の凹部２が形成されている一面に対する法線と平行な面とされ、外周壁面１９ｂがケース１の凹部２が形成されている一面から溝１９の深さ方向に向かって幅を狭めるテーパ形状とされている溝１９を形成する。そして、この溝１９に、メタルダイヤフラム１６、溝１９の底面、溝１９の内周壁面１９ａおよび溝１９の外周壁面１９ｂと接触するようにシール部材２０を配置する。具体的には、シール部材２０のうちバックアップリング２０ｂをＯリング２０ａよりも外周壁面１９ｂ側に配置し、バックアップリング２０ｂをＯリング２０ａおよび溝１９の外周壁面１９ｂと接触させる。【選択図】図１
2009204332.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定媒体の圧力に応じたセンサ出力信号を出力するセンサチップ（５）を含むセンサ部（４）と、
一面に凹部（２）を備え、前記凹部（２）に前記センサ部（４）が備えられるケース（１）と、
前記ケース（１）の前記一面に前記凹部（２）を覆うように配置され、前記ケース（１）の前記一面のうち前記凹部（２）が形成される部分の外側にてナット（１１）およびネジ（１２）により前記ケース（１）に組み付けられるポート部（１３）と、
前記測定媒体の圧力が印加され、前記ケース（１）の前記一面と前記ポート部（１３）のうち前記ケース（１）の前記一面と対向する一面との間に備えられるメタルダイヤフラム（１６）と、
前記ケース（１）と前記ポート部（１３）とが組み付けられることで前記凹部（２）および前記メタルダイヤフラム（１６）で囲まれる部分にて形成される圧力検出室（１７）内に充填される圧力伝達部材（１８）と、
前記ケース（１）の前記一面に前記凹部（２）の外側を一周するように形成された溝（１９）と、
前記溝（１９）に、前記溝（１９）の底面、前記溝（１９）の内周壁面（１９ａ）、前記溝（１９）の外周壁面（１９ｂ）および前記メタルダイヤフラム（１６）と接触するように配置され、前記圧力検出室（１７）と前記圧力検出室（１７）の外部とを区画すると共に、前記圧力検出室（１７）を気密封止する前記溝（１９）の輪郭と対応するシール部材（２０ａ〜２０ｃ）と、を備え、
前記溝（１９）は、内周壁面（１９ａ）が前記ケース（１）の前記一面に対する法線と平行な面とされ、外周壁面（１９ｂ）が前記ケース（１）の前記一面から前記溝（１９）の深さ方向に向かって前記溝（１９）の幅を狭めるようにテーパ形状とされており、
前記シール部材（２０ａ〜２０ｃ）はＯリング（２０ａ）とバックアップリング（２０ｂ）とを有して構成され、前記バックアップリング（２０ｂ）は、前記溝（１９）のうち前記Ｏリング（２０ａ）よりも前記溝（１９）の前記外周壁面（１９ｂ）側に配置されていると共に前記溝（１９）の前記外周壁面（１９ｂ）および前記Ｏリング（２０ａ）と接触しており、前記Ｏリング（２０ａ）は、前記メタルダイヤフラム（１６）、前記溝（１９）の前記底面、前記溝（１９）の前記内周壁面（１９ａ）および前記バックアップリング（２０ｂ）により押し潰された状態で前記溝（１９）に配置されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記バックアップリング（２０ｂ）は前記Ｏリング（２０ａ）よりも気体の透過率の低い材質で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記バックアップリング（２０ｂ）は、前記バックアップリング（２０ｂ）の表面のうち外周壁面（１９ｂ）側に位置する部分の全面に、前記溝（１９）の底面および前記メタルダイヤフラム（１６）と接触しており、かつ前記Ｏリング（２０ａ）よりも気体の透過率の低い材質で構成されたコーティング部材（２０ｃ）を備えていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項４】
測定媒体の圧力に応じたセンサ出力信号を出力するセンサチップ（５）を含むセンサ部（４）と、
一面に凹部（２）を備え、前記凹部（２）に前記センサ部（４）が備えられるケース（１）と、
前記ケース（１）の前記一面に前記凹部（２）を覆うように配置され、前記ケース（１）の前記一面のうち前記凹部（２）が形成される部分の外側にてナット（１１）およびネジ（１２）により前記ケース（１）に組み付けられるポート部（１３）と、
前記測定媒体の圧力が印加され、前記ケース（１）の前記一面と前記ポート部（１３）のうち前記ケース（１）の前記一面と対向する一面との間に備えられるメタルダイヤフラム（１６）と、
前記ケース（１）と前記ポート部（１３）とが組み付けられることで前記凹部（２）および前記メタルダイヤフラム（１６）で囲まれる部分にて形成される圧力検出室（１７）内に充填される圧力伝達部材（１８）と、
前記ケース（１）の前記一面に前記凹部（２）の外側を一周するように形成された溝（１９）と、
前記溝（１９）に、前記溝（１９）の底面および前記メタルダイヤフラム（１６）と接触するように配置され、前記圧力検出室（１７）と前記圧力検出室（１７）の外部とを区画すると共に、前記圧力検出室（１７）を気密封止する前記溝（１９）の輪郭と対応するシール部材（２０ａ、２０ｃ）と、を備える圧力センサであって、
前記シール部材（２０ａ、２０ｃ）はＯリング（２０ａ）と、前記Ｏリング（２０ａ）よりも気体の透過率が低い樹脂またはゴムで構成されたコーティング部材（２０ｃ）とを有して構成されており、前記Ｏリング（２０ａ）のうち前記溝（１９）の外周壁面（１９ｂ）側に位置する部分が前記溝（１９）の底面および前記メタルダイヤフラム（１６）と接触するコーティング部材（２０ｃ）で全面が覆われていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
測定媒体の圧力に応じたセンサ出力信号を出力するセンサチップ（５）を含むセンサ部（４）と、
一面に凹部（２）を備え、前記凹部（２）に前記センサ部（４）が備えられるケース（１）と、
前記ケース（１）の前記一面に前記凹部（２）を覆うように配置され、前記ケース（１）の前記一面のうち前記凹部（２）が形成される部分の外側にてナット（１１）およびネジ（１２）により前記ケース（１）に組み付けられるポート部（１３）と、
前記測定媒体の圧力が印加され、前記ケース（１）の前記一面と前記ポート部（１３）のうち前記ケース（１）の前記一面と対向する一面との間に備えられるメタルダイヤフラム（１６）と、
前記ケース（１）と前記ポート部（１３）とが組み付けられることで前記凹部（２）および前記メタルダイヤフラム（１６）で囲まれる部分にて形成される圧力検出室（１７）内に充填される圧力伝達部材（１８）と、
前記ケース（１）の前記一面に前記凹部（２）の外側を一周するように形成された溝（１９）と、
前記溝（１９）に、前記溝（１９）の底面および前記メタルダイヤフラム（１６）と接触するように配置され、前記圧力検出室（１７）と前記圧力検出室（１７）の外部とを区画すると共に、前記圧力検出室（１７）を気密封止する前記溝（１９）の輪郭と対応するシール部材（２０ａ、２０ｃ）と、を備える圧力センサであって、
前記溝（１９）は前記凹部（２）の外側を一周する第１の溝（１９ｃ）と、前記第１の溝（１９ｃ）の外側を一周する第２の溝（１９ｄ）とを有して構成されており、前記溝（１９）それぞれに前記シール部材（２０ａ、２０ｃ）が配置されていることを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ素子を収納する圧力検出室をケースとポート部とを組み付けることにより形成し、この圧力検出室をケースとポート部とにより挟まれた部材で気密封止するようにした圧力センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、センサ素子を搭載したケースと圧力導入ポートが備えられたポート部とをネジおよびナットにより一体に組み付けた圧力センサが開示されている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、ケースには、一面に第１の凹部が形成されていると共に、この一面と反対の一面に第１の凹部と連通する第２の凹部が形成されており、これらの凹部の連通部を遮断するようにセンサ素子が備えられている。そして、ケースの両面、つまり第１の凹部が形成されている面および第２の凹部が形成されている面にはこれらの凹部を覆うようにポート部が配置されており、このポート部とケースとが第１の凹部および第２の凹部の外側にてネジおよびナットにより組み付けられている。
【０００３】
また、このような圧力センサでは、センサ素子が直接測定媒体に曝されないようにケースとポート部とのそれぞれの間にメタルダイヤフラムが配置されている。そして、第１の凹部および第２の凹部とメタルダイヤフラムにより圧力検出室が構成され、圧力検出室内にセンサ素子が収容されている。また、圧力検出室内には、メタルダイヤフラムに加えられた圧力がセンサ素子に伝達されるように圧力伝達部材となるオイルが充填されている。そして、圧力検出室内に充填されたオイルがケースとメタルダイヤフラムとの間の隙間を通じて漏れないように、これらの間に圧力検出室を囲む耐オイル性を有するシリコーンゴム等で構成されたＯリングが配置され、圧力検出室が気密封止されている。
【０００４】
このような圧力センサでは、圧力導入ポートから導入された測定媒体の圧力がメタルダイヤフラムに印加されると、圧力検出室内を充填するオイルを介してセンサ素子に圧力が印加され、センサ素子が圧力に応じたセンサ信号を出力することで圧力の検出が行われる。
【特許文献１】特開２００３−３１５１９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような圧力センサでは、シリコーンゴム等で構成されたＯリングを用いて圧力検出室を気密封止しており、Ｏリングは気体を一定の透過率で透過させてしまうため、圧力検出室を完全に気密封止することが困難である。このため、気体が圧力検出室内に侵入し、圧力検出室内の圧力を変動させ、センサ素子からのセンサ出力を変動させてしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は上記点に鑑みて、気体が圧力検出室内に侵入することを抑制し、センサ素子からのセンサ出力が変動してしまうことを防止できる圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、凹部（２）にセンサチップ（５）を含むセンサ部（４）が配置されたケース（１）のうち、凹部（２）が形成されている一面に凹部（２）を覆うようにポート部（１３）を配置して凹部（２）が形成される部分の外側にてケース（１）とポート部（１３）とをナット（１１）およびネジ（１２）により組み付け、ケース（１）とポート部（１３）との間に凹部（２）を覆うようにメタルダイヤフラム（１６）を備えることにより圧力検出室（１７）を構成してこの圧力検出室（１７）内を圧力伝達部材（１８）で充填し、ケース（１）の一面に凹部（２）の外側を一周するように溝（１９）を形成すると共に、この溝（１９）に、メタルダイヤフラム（１６）、溝（１９）の底面、溝の内周壁面（１９ａ）および溝（１９）の外周壁面（１９ｂ）と接触するように凹部（２）の輪郭と対応したシール部材（２０ａ〜２０ｃ）を配置し、シール部材（２０ａ〜２０ｃ）により圧力検出室（１７）を気密封止する圧力センサであって、溝（１９）を、内周壁面（１９ａ）を凹部（２）が備えられているケース（１）の一面に対する法線と平行な面となるように構成すると共に、外周壁面（１９ｂ）を凹部（２）が形成されているケースの一面から溝（１９）の底面に向かって溝（１９）の幅が狭まるようにテーパ形状とし、シール部材（２０ａ〜２０ｃ）をＯリング（２０ａ）とバックアップリング（２０ｂ）とを有して構成し、バックアップリング（２０ｂ）を溝（１９）のうちＯリング（２０ａ）よりも溝（１９）の外周壁面（１９ｂ）側に配置すると共に、溝（１９）の外周壁面（１９ｂ）およびＯリング（２０ａ）と接触させ、Ｏリング（２０ａ）をメタルダイヤフラム（１６）、溝（１９）の底面、溝（１９）の内周壁面（１９ａ）およびバックアップリング（２０ｂ）により押し潰した状態で配置していることを特徴とする。
【０００８】
このような圧力センサによれば、Ｏリング（２０ａ）がメタルダイヤフラム（１６）、溝（１９）の底面、溝（１９）の内周壁面（１９ａ）およびバックアップリング（２０ｂ）により押し潰された状態で溝（１９）に配置されているので、Ｏリング（２０ａ）の気体の透過率を下げることができ、従来の圧力センサよりも気体が圧力検出室（１７）内に侵入することを抑制することができるので、センサ部（４）からの出力が変動することを防止することができる。
【０００９】
例えば、請求項２に記載の発明のように、バックアップリング（２０ｂ）をＯリング（２０ａ）よりも気体の透過率の低い材質で構成してもよい。
【００１０】
このような圧力センサによれば、溝（１９）のうちＯリング（２０ａ）よりも外周壁面（１９ｂ）側にバックアップリング（２０ｂ）が配置されており、バックアップリング（２０ｂ）がＯリング（２０ａ）よりも気体の透過率が低い材質で構成されているので従来の圧力センサよりも気体が圧力検出室（１７）内に侵入することを抑制することができる。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明のように、バックアップリング（２０ｂ）を、バックアップリング（２０ｂ）の表面のうち外周壁面（１９ｂ）側に位置する部分の全面に、溝（１９）の底面およびメタルダイヤフラム（１６）と接触し、かつＯリング（２０ａ）よりも気体の透過率の低い材質で構成されたコーティング部材（２０ｃ）を備えて構成してもよい。
【００１２】
また、請求項４に記載の発明のように、シール部材（２０ａ、２０ｃ）をＯリング（２０ａ）と、Ｏリング（２０ａ）よりも気体の透過率が低い樹脂またはゴムで構成したコーティング部材（２０ｃ）とを有して構成し、Ｏリング（２０ａ）のうち溝（１９）の外周壁面（１７ａ）側に位置する部分の全面を溝（１９）の底面およびメタルダイヤフラム（１６）と接触するコーティング部材（２０ｃ）で覆ってもよい。
【００１３】
さらに、請求項５に記載の発明のように、溝（１９）を凹部（２）の外側を一周する第１の溝（１９ｃ）と、第１の溝（１９ｃ）の外側を一周する第２の溝（１９ｄ）とを有して構成し、これらの溝（１９ｃ、ｄ）それぞれにシール部材（２０ａ、２０ｃ）を配置する構成としてもよい。
【００１４】
このような圧力センサによれば、気体が圧力検出室（１７）内に侵入しようとしても複数のシール部材（２０ａ、２０ｃ）を透過しなければならないため、従来の圧力センサよりも気体が圧力検出室（１７）内に侵入することを抑制することができ、センサ部（４）からの出力が変動してしまうことを防止することができる。
【００１５】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（第１実施形態）
本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図１は、本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図、図２は、図１に示す二点鎖線部分の拡大図である。これら図１、図２に基づいて本実施形態の圧力センサの構成について説明する。
【００１７】
図１に示されるように、圧力センサにはケース１が備えられている。このケース１は、例えば、断熱樹脂材料であるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状をなしている。このケース１のうち一端部の一面には凹部２が形成されており、他端部には開口部３が形成されている。
【００１８】
凹部２にはセンサ部４が備えられ、センサ部４はセンサチップ５と台座６とを有して構成されている。そして、これらセンサチップ５と台座６とは陽極接合されている。センサチップ５にはダイヤフラム７が形成されており、ダイヤフラム７には図示しないブリッジ回路を構成するように形成されたゲージ抵抗が備えられている。つまり、このセンサチップ５は、ダイヤフラム７に圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じてセンサ出力信号を出力する半導体ダイヤフラム式のものである。
【００１９】
また、ケース１には、センサチップ５と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル８が備えられている。各ターミナル８はインサートモールドによりケース１と一体に成形されることによりケース１内に保持されている。
【００２０】
具体的には、各ターミナル８はケース１を貫通しており、各ターミナル１のうち一端部はケース１から凹部２内に突出しており、他端部はケース１から開口部３内に突出している。凹部２内に突出している各ターミナル８の端部は、ボンディングワイヤ９を介してセンサチップ５と電気的に接続されており、開口部３内に突出している各ターミナル８の端部は、図示しないワイヤハーネス等の外部配線部材を介して外部回路と電気的に接続されている。
【００２１】
そして、凹部２のうちターミナル８が突出している部分には、例えば、シリコーン系樹脂からなるシール材１０が配置されている。このシール材１０はケース１とターミナル８との隙間を封止するためのものである。
【００２２】
また、ケース１には凹部２の外側に複数のナット１１が備えられている。そして、各ナット１１は、インサートモールドによりケース１と一体に成形されることでケース１内に保持されている。このケース１のうち凹部２が形成されている一面に凹部２を覆うようにポート部１３が配置され、ケース１とポート部１３とが凹部２の外側にてナット１１およびネジ１２により組み付けられている。
【００２３】
このポート部１３は、ケース１と同様に円柱状をなしている。そして、ポート部１３のうちケース１の凹部２が形成された一面と対抗する一面には、凹部２に対向する部分に窪み部１４が形成されている。また、ポート部１３のうち窪み部１４が形成された一面と反対の一面には、窪み部１４と連通するように圧力導入ポート１５が形成されている。なお、ポート部１３はケース１と同様にＰＰＳ等の樹脂を型成形することにより作られている。
【００２４】
そして、ポート部１３のうちケース１の凹部２が形成されている一面と対抗する一面には、円形のメタルダイヤフラム１６が配置されている。このメタルダイヤフラム１６は図示しないシリコーン樹脂等で構成された接着材によりポート部１３と接合されている。具体的には、メタルダイヤフラム１６のうち外縁部分がポート部１３に対して固定されている。そして、メタルダイヤフラム１６のうち外縁部分の内側は測定媒体の圧力に応じて変位するダイヤフラム部として機能する。
【００２５】
このように構成されたケース１およびポート部１３において、凹部２およびメタルダイヤフラム１６で囲まれる部分に圧力検出室１７が構成されている。そして、圧力検出室１７内にはメタルダイヤフラム１６に印加された圧力をセンサチップ５に伝達する圧力伝達部材としてのオイル１８が充填されている。
【００２６】
また、ケース１のうち凹部２が備えられる一面には、凹部２の外側を一周する溝１９が形成されている。具体的には、図２に示されるように、溝１９のうち、内周壁面１９ａは凹部２が形成されているケース１の一面に対する法線と平行な面とされ、外周壁面１９ｂは凹部２が形成されているケース１の一面から溝１９の深さ方向に向かって溝１９の幅を狭めるテーパ形状とされている。このテーパ形状は、後述するバックアップリング２０ｂを溝１９に配置しやすくするためのものであり、また、Ｏリング２０ａをバックアップリング２０ｂにより押し潰すことができるようにするためのものである。
【００２７】
溝１９には、メタルダイヤフラム１６、溝１９の底面、溝１９の内周壁面１９ａおよび溝１９の外周壁面１９ｂと接触するように溝１９の輪郭と対応するシール部材２０が配置されており、圧力検出室１７を気密封止している。このシール部材２０は、耐オイル性を有する材質、例えば、シリコーンゴムで構成されるＯリング２０ａと、Ｏリング２０ａよりも気体の透過率が低い材質、例えば、気体の透過率がシリコーンゴムの１６５分の１であるブチルゴムで構成されるバックアップリング２０ｂとを有して構成されている。
【００２８】
そして、バックアップリング２０ｂは、溝１９のうちＯリング２０ａよりも外周壁面１９ｂ側に配置されていると共に、Ｏリング２０ａおよび溝１９の外周壁面１９ｂと接触している。また、Ｏリング２０ａは、メタルダイヤフラム１６、溝１９の底面、溝１９の内周壁面１９ａおよびバックアップリング２０ｂにより押し潰された状態で溝１９に配置されている。なお、バックアップリング２０ｂは断面が矩形状とされている。
【００２９】
次に、本実施形態の圧力センサの基本的な検出作動について述べる。
【００３０】
測定媒体が圧力導入ポート１５を通じて窪み部１４に導入されると、測定媒体の圧力がメタルダイヤフラム１６に印加される。そして、測定媒体の圧力は圧力検出室１９内に充填されているオイル２０を介してセンサチップ５に形成されているダイヤフラム７に印加されると、ピエゾ抵抗効果によりダイヤフラム７に備えられたゲージ抵抗の抵抗値が変化する。このため、センサチップ５ではブリッジ回路の出力電圧が変化し、印加された圧力に応じたセンサ信号が出力される。このセンサ信号は、センサチップ５からボンディングワイヤ９およびターミナル８を介して外部に伝達され、これに基づいて測定媒体の圧力が検出される。
【００３１】
このような圧力センサは、基本的には溝１９の外周壁面１９ｂをテーパ形状とし、この溝１９にシール部材２０を配置すること以外に関しては従来の圧力センサと同様にして製造される。つまり、ケース１を溝１９の外周壁面１９ｂがテーパ形状となるように成形し、ケース１とポート部１３とを組み付ける前に溝１９にシール部材２０を配置することで本実施形態の圧力センサが製造される。具体的には、シール部材２０のうちバックアップリング２０ｂを、溝１９の外周壁面１９ｂおよびＯリング２０ａと接触するように、溝１９のうちＯリング２０ａよりも外周壁面１９ｂ側に配置している。このとき、溝１９の外周壁面１９ｂをテーパ形状としているので、シール部材２０のうちバックアップリング２０ｂを、ケース１とポート部１３とを組み付けながらテーパ形状の傾斜に沿って溝１９の底面と接触するように配置することができる。
【００３２】
つまり、本実施形態の圧力センサでは、バックアップリング２０ｂが溝１９の外周壁面１９ｂおよびＯリング２０ａと接触しているので、バックアップリング２０ｂに外周壁面１９ｂからＯリング２０ａに向かう方向の力が印加され、この力がバックアップリング２０ｂからＯリング２０ａに伝達される。したがって、Ｏリング２０ａをメタルダイヤフラム１６、溝１９の底面、溝１９の内周壁面１９ａ、溝１９の外周壁面１９ｂおよびバックアップリング２０ｂにて押し潰すことができる。また、ケース１とポート部１３とを組み付ける前の段階において、溝１９の底面の幅が、Ｏリング２０ａおよびバックアップリング２０ｂの溝１９の底面の幅と同方向の長さの和より短くても、外周壁面１９ｂがテーパ形状とされているので、シール部材２０を溝１９に配置することができ、Ｏリング２０ａを効果的に押し潰すことができる。
【００３３】
このような圧力センサによれば、溝１９のうちＯリング２０ａよりも外周壁面１９ｂ側にバックアップリング２０ｂが配置されており、バックアップリング２０ｂはＯリング２０ａよりも気体の透過率が低い材質で構成されているので、従来の圧力センサよりも気体が圧力検出室１７内に侵入することを抑制することができ、センサチップ５からの出力が変動することを防止することができる。
【００３４】
さらに、Ｏリング２０ａがメタルダイヤフラム１６、溝１９の底面、溝１９の内周壁面１９ａおよびバックアップリング２０ｂにより押し潰された状態で配置されているので気体の透過率を下げることができ、従来の圧力センサよりも気体が圧力検出室１７内に侵入することを抑制することができ、センサチップ５からの出力が変動することを防止することができる。
【００３５】
また、本実施形態の圧力センサでは、溝１９にＯリング２０ａおよびバックアップリング２０ｂを備えているので、溝１９にＯリング２０ａのみを備えた従来の圧力センサよりも泥水等の異物が圧力検出室１７内に侵入することを抑制することができる。
【００３６】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第１実施形態に対して、溝１９の形状およびシール部材２０の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
【００３７】
図３に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図３は、図１に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図１と同様である。
【００３８】
図３に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、溝１９は内周壁面１９ａと外周壁面１９ｂとが凹部２が形成されているケース１の一面に対する法線と平行な面とされている。そして、溝１９にシール部材２０が配置されている。このシール部材２０は、Ｏリング２０ａと、気体の透過率がＯリング２０ａよりも低い材質で構成されたコーティング部材２０ｃとを有して構成されている。具体的には、Ｏリング２０ａの表面のうち外周壁面１９ｂ側に位置する部分が溝１９の底面およびメタルダイヤフラム１６と接触するコーティング部材２０ｃで全面が覆われている。コーティング部材２０ｃには、上記第１実施形態のバックアップリング２０ｂと同様に、例えば、ブチルゴムを用いることができる。
【００３９】
このような圧力センサとしても、Ｏリング２０ａの表面のうち外周壁面１９ｂ側に位置する部分が溝１９の底面およびメタルダイヤフラム１６と接触するコーティング部材２０ｃで全面が覆われているので、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４０】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第２実施形態に対して、溝１９およびシール部材２０の構成を変更したものであり、その他に関しては第２実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
【００４１】
図４に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図４は、図１に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図１と同様である。
【００４２】
図４に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、ケース１の一面に形成された溝１９は、凹部２の外側を一周する第１の溝１９ｃと、この第１の溝１９ｃの外側を一周する第２の溝１９ｄとを有して構成されている。そして、これらの溝１９ｃ、１７ｄそれぞれにＯリングで構成されたシール部材２０が配置されている。
【００４３】
このような圧力センサによれば、気体が圧力検出室１７内に侵入しようしても、二つのシール部材２０を透過しなければならないため、従来の圧力センサよりも気体が圧力検出室内１５に侵入することを抑制することができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４４】
（他の実施形態）
上記第１実施形態では、バックアップリング２０ｂを凹部２が形成されているケース１の一面に対する法線と垂直な方向に切断した断面が矩形状となるように構成しているが、もちろん断面が他の形状となるように構成してもよく、例えば、Ｏ型状としてもよい。
【００４５】
また、上記第１実施形態および上記第２実施形態では、バックアップリング２０ｂおよびコーティング部材２０ｃをブチルゴムにより構成しているが、例えば、ニトリルゴムやフッ素樹脂等を用いて構成してもよい。
【００４６】
さらに、上記第２実施形態を上記第１実施形態に組み合わせて、バックアップリング２０ｂをＯリング２０ａと同じ材質で構成し、バックアップリング２０ｂの表面のうち、溝１９の外周壁面１９ｂに位置する部分の全面にメタルダイヤフラム１６および溝１９の底面と接触するコーティング部材２０ｃを備えてもよい。
【００４７】
また、上記第１実施形態では、バックアップリング２０ｂを気体の透過率がＯリング２０ａより低い材質で構成しているが、バックアップリング２０ｂをＯリング２０ａと同じ材質で構成してもよい。このような圧力センサとしても、Ｏリング２０ａは、メタルダイヤフラム１６、溝１９の底面、溝の内周壁面１９ａおよびバックアップリング２０ｂにより押し潰された状態で溝１９に配置されるので、従来の圧力センサより気体が圧力検出室内１５に侵入することを防止することができ、センサチップ５からの出力が変動することを防止することができる。
【００４８】
また、上記第２実施形態を上記第３実施形態に組み合わせて、シール部材２０をＯリング２０ａとコーティング部材２０ｃとを有して構成し、Ｏリング２０ａの表面のうち溝１９の外周壁面１９ｂに位置する部分の全面を溝１９の底面およびメタルダイヤフラム１６と接触するコーティング部材２０ｃで覆ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の第１実施形態における圧力センサの断面図を示す図である。
【図２】図１に示す二点鎖線部分の拡大図を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態にかかる圧力センサの断面図を示す図である。
【図４】本発明の第３実施形態にかかる圧力センサの断面図を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１      ケース
２      凹部
５      センサチップ
１１    ナット
１２    ネジ
１３    ポート部
１６    メタルダイヤフラム
１７    圧力検出室
１８    オイル
１９    溝
２０    シール部材
【図１】
2009204332.tif 000003
【図２】
2009204332.tif 000004
【図３】
2009204332.tif 000005
【図４】
2009204332.tif 000006