(57)【要約】【課題】検査対象ＩＣに固有のテストプログラムを転送ロードするのにあたり、テストプログラムの転送ロード処理に要する時間を短縮して稼働率を改善できる半導体検査装置を提供すること。【解決手段】検査対象ＩＣに固有の複数個のファイルで構成されたテストプログラムをファイルサーバから転送ロードして検査対象ＩＣの検査を行う半導体検査装置において、ファイル単位での転送ロードを制御する転送ロード制御手段を設けたことを特徴とするもの。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象ＩＣに固有の複数個のファイルで構成されたテストプログラムをファイルサーバから転送ロードして検査対象ＩＣの検査を行う半導体検査装置において、
ファイル単位での転送ロードを制御する転送ロード制御手段を設けたことを特徴とする半導体検査装置。
【請求項２】
前記転送ロード制御手段は、
前記ファイルサーバから転送されるテストプログラムの管理ファイルに基づきファイルの転送順を算出するファイル転送順算出部と、
算出された転送順にファイル転送開始を指示するファイル転送開始指示部と、
転送開始を指示したファイルの転送終了を確認するファイル転送終了確認部と、
ファイル転送終了を確認したファイルのロードを指示するファイルロード開始指示部と、
ロードを指示したファイルのロード終了を確認するファイルロード終了確認部、
を含むことを特徴とする請求項１記載の半導体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体検査装置に関し、詳しくは、テストプログラムのロードにおける処理時間短縮に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体検査装置で検査対象ＩＣの検査を行うのにあたっては、たとえば特許文献１に記載されているように、ＩＣに固有のテストプログラムをテスタのメモリ上にロードする必要がある。
【０００３】
【特許文献１】特開平０８−２３６５９５号公報
【０００４】
この特許文献１には半導体検査プログラムを自動供給するとともに消去する方法が記載されているが、一般の半導体検査装置では作業者が操作してＩＣに固有のテストプログラムを転送ロードすることが行われている。
【０００５】
図４は従来の半導体検査装置におけるテストプログラムの転送ロードの概念説明図である。図４において、ファイルサーバ１には、複数種類のＩＣを検査するための複数種類のテストプログラムが格納されている。これらのテストプログラムはそれぞれ複数個のファイルで構成されたものであり、ネットワーク２を介して半導体検査装置３のハードディスク４にファイル単位ごとに転送格納される。なお、ファイルサーバ１には、ネットワーク２を介して複数の半導体検査装置３が接続されることもある。
【０００６】
全てのファイルがハードディスク４に転送されると、これらのファイルは１ファイルずつ半導体検査装置３の内部のメモリ５にロードされる。そして、メモリ５に全てのファイルがロードされると、半導体検査装置３はＩＣの検査を開始する。テストプログラム管理部６は、これらテストプログラムの転送やロードの処理を管理する。
【０００７】
図５は従来のテストプログラム転送ロードの動作例を示すタイミングチャートである。はじめに検査対象ＩＣに固有のテストプログラムの管理ファイルをテストプログラム管理部６に転送する。その後、一連のファイル１〜ファイルｎを順次ハードディスク４にファイル単位ごとに転送格納する。
【０００８】
すなわち、従来のテストプログラムの転送ロードは、複数個のファイルのハードディスク４への転送処理とメモリ５上へのロード処理がすべてシーケンシャルに行われているため、全てのファイルをメモリ５上にロードし終えるまでには、複数個のファイルをハードディスク４に転送するのに要する処理時間Ｔｔｒと全てのファイルをメモリ５上にロードし終えるのに要する処理時間Ｔｌｄとを単純に加算した時間だけかかることになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、半導体検査装置は、検査対象ＩＣに固有のテストプログラムの全ファイルのロードが完了するまではＩＣの検査を開始できず、半導体検査装置の稼働率を低下させるとともに、ひいてはＩＣの生産能力向上に対する阻害要因にもなっていた。
【００１０】
本発明は、このような問題点に着目したものであり、その目的は、検査対象ＩＣに固有のテストプログラムを転送ロードするのにあたり、テストプログラムの転送ロード処理に要する時間を短縮して稼働率を改善できる半導体検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を達成する請求項１の発明は、検査対象ＩＣに固有の複数個のファイルで構成されたテストプログラムをファイルサーバから転送ロードして検査対象ＩＣの検査を行う半導体検査装置において、ファイル単位での転送ロードを制御する転送ロード制御手段を設けたことを特徴とする。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１記載の半導体検査装置において、前記転送ロード制御手段は、前記ファイルサーバから転送されるテストプログラムの管理ファイルに基づきファイルの転送順を算出するファイル転送順算出部と、算出された転送順にファイル転送開始を指示するファイル転送開始指示部と、転送開始を指示したファイルの転送終了を確認するファイル転送終了確認部と、ファイル転送終了を確認したファイルのロードを指示するファイルロード開始指示部と、ロードを指示したファイルのロード終了を確認するファイルロード終了確認部、
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
これにより、半導体検査装置におけるテストプログラムの転送ロード処理に要する時間を短縮でき、稼働率を改善できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明について、図面を用いて説明する。図１は本発明に基づく半導体検査装置におけるテストプログラムの転送ロードの概念説明図であり、図４と共通する部分には同一の符号を付けている。図１と図４の相違点は、検査対象ＩＣに固有のテストプログラムのファイル単位での転送ロードを制御する転送ロード制御部７を設けていることである。
【００１５】
転送ロード制御部７は、半導体検査装置３がネットワーク２を使ってファイル転送している時間と、ネットワーク２を使わずにメモリ５上へロードしている時間をできる限りオーバーラップさせることで、検査対象ＩＣに固有のテストプログラム一式の転送およびロードに要する処理時間の短縮を実現している。
【００１６】
図２は、転送ロード制御部７の具体例を示すブロック図である。転送ロード制御部７には、ファイルサーバ１から転送されるテストプログラムの管理ファイルに基づきファイルの転送順を算出するファイル転送順算出部７１と、算出された転送順にファイル転送開始を指示するファイル転送開始指示部７２と、転送開始を指示したファイルの転送終了を確認するファイル転送終了確認部７３と、ファイル転送終了を確認したファイルのロードを指示するファイルロード開始指示部７４と、ロードを指示したファイルのロード終了を確認するファイルロード終了確認部７５などが設けられている。
【００１７】
このような構成において、以下のようなテストプログラムの転送ロード処理を行う。
１．最初に、ファイルサーバ１から半導体検査装置３へ、転送ロード対象となるテストプログラムに含まれる管理ファイルを転送する。
２．ファイル転送順算出部７１は、管理ファイルからメモリ５上にロードするファイルの順番を算出する。これがファイル転送順序となる。この順番は、原則としてファイル番号順になるが、ファイル長さに著しい長短がある場合には、ファイル長を考慮して順番を調整することもある。
【００１８】
３．手順２で算出したファイル転送順序に基づき、下記のように１個ずつファイル転送を行う。
３−１．ファイル転送開始指示部７２は、最初のファイルの転送開始を指示する。
３−２．ファイル転送終了確認部７３は、転送開始を指示した最初のファイルの転送が終了するのを待って転送終了を確認する。
３−３．ファイル転送開始指示部７２は、ファイル転送終了確認部７３が最初のファイルの転送終了を確認すると、次のファイルの転送開始を指示する。
３−４．ファイル転送終了確認部７３は、転送開始を指示したファイルの転送が終了するのを待って転送終了を確認する。
：
３−５．ファイル転送開始指示部７２は、最後のファイルの転送開始を指示する。
３−６．ファイル転送終了確認部７３は、転送開始を指示した最後のファイルの転送が終了するのを待って転送終了を確認する。
【００１９】
４．手順３の転送処理と並行するように、手順２で算出したロード順序に基づき、該当ファイルのファイル転送が終了してから、１個ずつメモリ５上へのファイルのロードを開始する。
４−１．ファイルロード開始指示部７４は、ファイル転送終了確認部７３が最初のファイルのファイル転送終了を確認した後、メモリ５上への最初のファイルのロード開始を指示する。
４−２．ファイルロード終了確認部７５は、最初のファイルのメモリ５上へのロードが終了するのを待ってロード終了を確認する。
４−３．ファイルロード開始指示部７４は、ファイル転送終了確認部７３が次のファイルのファイル転送終了を確認した後、メモリ５上への次のファイルのロード開始を指示する。
４−４．ファイルロード終了確認部７５は、次のファイルのメモリ５上へのロードが終了するのを待ってロード終了を確認する。
：
４−５．ファイルロード開始指示部７４は、ファイル転送終了確認部７３が最後のファイルのファイル転送終了を確認した後、メモリ５上への最後のファイルのロード開始を指示する。
４−６．ファイルロード終了確認部７５は、最後のファイルのメモリ５上へのロードが終了するのを待ってロード終了を確認する。
【００２０】
本発明の半導体検査装置は、このような手順を実行して検査対象ＩＣに固有のテストプログラムの全てのファイルがメモリ５上にロードされたことを確認することにより、ＩＣの検査を開始することができる。
【００２１】
図３は本発明に基づくテストプログラム転送ロードの動作例を示すタイミングチャートである。はじめに検査対象ＩＣに固有のテストプログラムの管理ファイルをテストプログラム管理部６および転送ロード制御部７に転送する。
【００２２】
ファイル転送順算出部７１は、管理ファイルに基づき、メモリ５上にロードするファイルの順番を算出する。
【００２３】
ファイル転送開始指示部７２とファイル転送終了確認部７３は、ファイル転送順算出部７１で算出された順番で、一連のファイル１〜ファイルｎを順次ファイルサーバ１からハードディスク４にファイル単位ごとに転送格納する。
【００２４】
ファイルロード開始指示部７４とファイルロード終了確認部７５は、ファイル転送終了確認部７３によるファイル転送終了を確認しながら、転送されたファイルのメモリ５上へのロード処理を行う。これにより、一連のファイルの転送処理と並行しながら転送された一連のファイルのロード処理が行われる。
【００２５】
このような転送とロードの並行処理を行うことにより、全てのファイルをハードディスク４に転送するのに要する処理時間Ｔｔｒと全てのファイルをメモリ５上にロードし終えるのに要する処理時間Ｔｌｄとを単純に加算した従来の構成に比べて、並行処理時間分Ｔｓａｖｅを短縮することができる。
【００２６】
たとえば、あるテストプログラム一式のロード時間が５分削減されたとする。削減された時間をＩＣの検査のために使うことができるようになるので、このテストプログラムを使ったＩＣ検査時間が５秒／個であった場合には、約６０個のＩＣ検査能力を上げることができることになる。
【００２７】
また、半導体検査装置は電源が入っていると電力を消費している。本発明によって転送ロード時間が削減できるので、生産活動に直接関わらない電力量を抑えることができ、コスト削減が期待できる。
【００２８】
また消費電力削減はＣＯ２排出量削減ともいえるので、地球環境保護にも多少は貢献することになる。
【００２９】
以上説明したように、本発明によれば、テストプログラムの転送ロード処理に要する時間を短縮して稼働率を改善できる半導体検査装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に基づく半導体検査装置におけるテストプログラムの転送ロードの概念説明図である。
【図２】図１の転送ロード制御部７の具体例を示すブロック図である。
【図３】本発明に基づくテストプログラム転送ロードの動作例を示すタイミングチャートである。
【図４】従来の半導体検査装置におけるテストプログラムの転送ロードの概念説明図である。
【図５】従来のテストプログラム転送ロードの動作例を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００３１】
１  ファイルサーバ
２  ネットワーク
３  半導体検査装置
４  ハードディスク
５  メモリ
６  テストプログラム管理部
７  転送ロード制御部
７１  ファイル転送順算出部
７２  ファイル転送開始指示部
７３  ファイル転送終了確認部
７４  ファイルロード開始指示部
７５  ファイルロード終了確認部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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