(57)【要約】【課題】高粘度液体についても液滴のサイズを制御することが可能な高粘度液体用液滴吐出装置を提供する。【解決手段】    高粘度液体用液滴吐出装置は、高粘度の液体が充填され、入口と出口流路とを備えるマイクロ流路と、前記出口流路に連通する少なくとも一つの分岐流路と、前記入口に接続され、前記マイクロ流路に前記高粘度液体を供給する高粘度液体供給装置と、前記分岐流路に接続され、前記分岐流路を通じて前記出口流路にガスを供給するガス供給装置と、前記分岐流路と前記ガス供給装置との間に設けられ、前記マイクロ流路から前記高粘度液体を液滴化して吐出させるために前記分岐流路から前記出口流路へ前記ガスを間欠的に供給するように制御する少なくとも一つの制御弁とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高粘度の液体が充填され、入口と出口流路とを備えるマイクロ流路と、
前記出口流路に連通する少なくとも一つの分岐流路と、
前記入口に接続され、前記マイクロ流路に前記高粘度液体を供給する高粘度液体供給装置と、
前記分岐流路に接続され、前記分岐流路を介して前記出口流路にガスを供給するガス供給装置と、
前記分岐流路と前記ガス供給装置との間に設けられ、前記マイクロ流路から前記高粘度液体を液滴化して吐出させるために前記分岐流路から前記出口流路へ前記ガスを間欠的に供給するように制御する少なくとも一つの制御弁と
を備えることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の高粘度液体用液滴吐出装置において、前記出口流路の内径は前記入口の内径に比べて小さいことを特徴とする高粘度液体用液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１に記載の高粘度液体用液滴吐出装置において、前記ガスは空気であることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１に記載の高粘度液体用液滴吐出装置において、前記分岐流路は前記出口流路に対して傾斜して接続されていることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１に記載の高粘度液体用液滴吐出装置において、前記ガス供給装置の圧力は前記高粘度液体供給装置の圧力に比べて大きいことを特徴とする高粘度液体用液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１に記載の高粘度液体用液滴吐出装置はさらに、前記入口と前記出口流路との間に設けられるメインフローチャンバを備えていることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の高粘度液体用液滴吐出装置はさらに、前記メインフローチャンバと前記出口流路との間に設けられるヒーターを備えていることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出装置。
【請求項８】
入口及び出口流路を有するマイクロ流路と少なくとも一つの分岐流路とを各々備える複数の高粘度液体用液滴吐出ユニットを具備する基材と、
前記入口に対応する複数の第３開口部と前記出口流路に対応する複数の第４開口部とを前記基材上に備えるベースであって、前記複数の第３開口部はベース内部に配置された少なくとも一つの第１流体伝達ラインに連通し、前記複数の第４開口部はベース内部に配置された少なくとも一つの第２流体伝達ラインに連通することと、
前記ベースとの間に前記基材を固定させることを可能とするカバープレートと
を備えていることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項９】
請求項８に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記第１流体伝達ラインは高粘度液体供給装置に接続されていることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１０】
請求項９に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、
複数の第１流体伝達ラインは、それぞれ該第１流体伝達ラインと前記第１開口部との間に配置される複数の第３開口部に連通し、高粘度液体が各マイクロ流路に供給される前に、複数の高粘度液体供給装置が前記高粘度液体をそれぞれの第１流体伝達ラインに供給す
るのを許容することを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１１】
請求項１０に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記複数の第１流体伝達ラインは独立して配置され、個々の高粘度液体供給装置によって前記高粘度液体がそれぞれ供給されることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１２】
請求項１１に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記高粘度液体供給装置は、前記高粘度液体が各分岐流体伝達ラインに入って前記第３開口部から排出される前に、前記高粘度液体を前記第１流体伝達ラインに供給することを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１３】
請求項８に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記第２流体伝達ラインはガス供給装置に接続されていることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１４】
請求項１３に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、
複数の第２流体伝達ラインは、それぞれ該第２流体伝達ラインと前記第２開口部との間に配置される複数の第４開口部に連通し、空気が各分岐流路に供給される前に、ガス供給装置が前記空気を前記複数の第２流体伝達ラインに供給するのを許容することを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１５】
請求項１４に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記複数の第２流体伝達ラインは独立して配置され、個々のガス供給装置によって前記空気がそれぞれ供給されることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１６】
請求項１５に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、制御弁が各第２流体伝達ラインとそれに対応するガス供給装置との間に設けられ、前記第２流体伝達ラインへのガスの供給を制御することを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１７】
請求項９に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールはさらに、前記第１開口部との間に設けられた複数の第３の開口部に連通する第１流体伝達ラインを備え、前記高粘度液体が前記第１流体伝達ラインを介して前記マイクロ流路に供給されることを許容することを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１８】
請求項８に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記ガスは空気であることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項１９】
請求項８に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記出口流路の内径は前記入口の内径に比べて小さいことを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項２０】
請求項８に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記分岐流路は前記出口流路に対して傾斜して接続されていることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項２１】
請求項８に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記ガス供給装置の圧力は高粘度液体供給装置の圧力に比べて大きいことを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【請求項２２】
請求項８に記載の高粘度液体用液滴吐出モジュールにおいて、前記各入口は高粘度液体が供給される対応する第１開口部に接続され、各分岐流路は前記空気が供給される対応する第２開口部に接続されていることを特徴とする高粘度液体用液滴吐出モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高粘度液体用液滴吐出装置、特には高粘度液体を間欠的に吐出可能な吐出装置を提供する。
【背景技術】
【０００２】
デジタル吐出技術は、通常、吐出目的に応じて液体を微細化するものである。しかしながら、この技術の応用は、数十ｃＰといった低い粘度の要求によって制約されている。デジタル吐出技術は、初期において、まず、梱包機に応用され、対象物に液滴を吐出して適切なイメージやキャラクターを形成することによって製品の特徴や状態のさらなる識別に利用されていた。このような梱包機は、マーシュ（米国特許第４３７８５６４号）や日立（米国特許第４８４９９０９号）といった日本の企業によって市販されている。しかしながら、前述したように、デジタル吐出技術は、わずか数十ｃＰ以下の粘度を有しかつ直径が約１．５μｍの液滴、即ち、容量にして数ｐＬの液滴でのみ有効である。一方、何千以上や何万ｃＰといったペースト状の高粘度液体は概してグルースプレッダー、スプレー、食品加工機等の吐出装置に適用される。粘度が極めて高い種類の液体では、該液体は前記機械設備によって多量に吐出される、または大面積の対象物の表面上に対して適用されることが可能であるに過ぎず、デジタル吐出に要求される液体の微細化は不可能である。一方、接着剤や錫ペーストのような高粘度液体では、液体を加熱によって溶融することでデジタル吐出に要求される値になるまで液体の粘度を低下させることができるが、そのようにすると流体の物理的特性及び化学的特性も変化してしまう。
【０００３】
図１０は液滴の吐出量と粘度とを示しており、Ｘ軸は液滴の吐出量、即ち１回の吐出での液滴の（単位）体積を示しており、Ｙ軸は液体粘度を示している。図に示すように、現在の液滴吐出装置の性能とその限界が容易に認識できる。例えば、インクジェットプリンタでは、インクジェットの粘度範囲は１ｃＰから１０ｃＰであり、間欠的に吐出されるインクの吐出量は、１ｐＬから１００ｐＬに達する。インクの低粘度性により、インクジェットは噴霧化されイメージ形状に有利である。一方、約１００００ｃＰ程度の粘度を有するスプレー接着剤のような高い粘度を有する液体では、間欠的な吐出毎の吐出量が１００００ｐＬ以上となる。その結果、スプレー接着剤の１回毎の吐出は、連続した流れを微細化不能であると考えられる。
【０００４】
近年のマイクロエレクトロメカニカル技術の進展の観点では、ペースト状の液体を直接吐出することができ、かつ液滴のサイズを正確に制御することが可能な新技術は、超小型回路（マイクロ回路）プリント技術の発展に対して重要であると思われる。従って、高粘度液体についても液滴のサイズを制御することが可能な高粘度液体用液滴吐出装置の開発が望まれている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記問題を鑑みて、本発明の目的は、高粘度液体についても液滴のサイズを制御することが可能な高粘度液体用液滴吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような高粘度液体用液滴吐出装置は、高粘度の液体が充填され入口と出口流路とを備えるマイクロ流路と、前記出口流路に連通する少なくとも一つの分岐流路と、前記入口に接続され前記マイクロ流路に前記高粘度液体を供給する高粘度液体供給装置と、前記分岐流路に接続され前記分岐流路を介して前記出口流路にガスを供給するガス供給装置と、
前記分岐流路と前記ガス供給装置との間に設けられ前記マイクロ流路から前記高粘度液体を液滴化して吐出させるために前記分岐流路から前記出口流路へ前記ガスを間欠的に供給するように制御する少なくとも一つの制御弁とを備える。
【０００７】
好ましくは、前記分岐流路は前記出口流路に対して傾斜して接続されている。
好ましくは、前記入口と前記出口流路との間に設けられるメインフローチャンバを備えている。
【０００８】
好ましくは、さらに前記メインフローチャンバと前記出口流路との間に設けられるヒーターを備えている。
加えて、また本発明では、高粘度液体用液滴吐出モジュールが提供されている。この高粘度液体用液滴吐出モジュールは入口及び出口流路を有するマイクロ流路と少なくとも一つの分岐流路とを各々備える複数の高粘度液体用液滴吐出ユニットを具備する基材と、前記入口に対応する複数の第３開口部と前記出口流路に対応する複数の第４開口部とを前記基材上に備えるベースであって、前記複数の第３開口部はベース内部に配置された少なくとも一つの第１流体伝達ラインに連通し、前記複数の第４開口部はベース内部に配置された少なくとも一つの第２流体伝達ラインに連通することと、前記ベースとの間に前記基材を固定させることを可能とするカバープレートとを備えている。
【０００９】
好ましくは、前記第１流体伝達ラインは高粘度液体供給装置に接続されている。
好ましくは、前記第２流路伝達ラインはガス供給装置に接続されている。
好ましくは、高粘度液体用液滴吐出モジュールはさらに、前記第２流体伝達ラインと前記ガス供給装置との間に設けられ、前記分岐流路内の前記ガスの移動方向を間欠的に制御する制御弁を備える。
【００１０】
好ましくは、前記ガスは空気である。
好ましくは、前記出口流路の内径は前記入口の内径に比べて小さい。
好ましくは、前記分岐流路は前記出口流路に対して傾斜して接続されている。
【００１１】
好ましくは、前記ガス供給装置の圧力は高粘度液体供給装置の圧力に比べて大きい。
従って、本発明は、高粘度液体を吐出する際にその液滴のサイズを制御することが可能である。さらに、図１０に示すように、本発明によれば、デジタル吐出を行うために高粘度液体を微細化することが可能となり、さらに超小型回路（マイクロ回路）プリント技術における直接吐出といった発明の応用のための道が開かれる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。本発明の高粘度液体用液滴吐出装置１は、マイクロ流路１０、少なくとも一つの分岐流路２０、高粘度液体供給装置３０、ガス供給装置、少なくとも一つの制御弁６０を備えている。マイクロ流路１０は、基材に固定され、吐出されるべき高粘度液体３１が充填されている。また、マイクロ流路１０は、一端に設けられた入口１２及び他端に設けられた出口流路１３を備えている。出口流路１３の内径は入口１２の内径に比べて小さい。出口流路１３と入口１２との間には、高粘度液体３１を収容するためのメインフローチャンバ１４が設けられている。本実施形態では、図１に示すように、出口流路１３の各側部に対してそれぞれ接続される２つの分岐流路２０が設けられている。高粘度液体供給装置３０は、マイクロ流路１０の入口１２に接続され、高粘度液体３１をマイクロ流路１０に供給する。高粘度液体供給装置３０はまた、高粘度液体３１をマイクロ流路１０に供給することに加えて、供給される高粘度液体３１の量と高粘度液体３１に加える圧力とを制御する。分岐流路２０においてマイクロ流路１０が出口流路１３に連通する部位と反対側の端部は、分岐流路２０を介して空気といったガスを出口流路１３に供給するためのガス供給装置５０に接続されている
。制御弁６０は、分岐流路２０とガス供給装置５０との間に設けられている。制御弁６０は、分岐流路２０から出口流路１３へのガスの間欠的な供給を制御するとともに、高粘度液体３１が吐出されるために出口流路１３に向かって流動する際に、供給される空気５１が高粘度液体３１の流動を一時的に遮断するように、且つ高粘度液体３１を間欠的に吐出される液滴３２に形成するのを促進するように、供給される空気５１の量とガス５１を供給するための圧力とを調整する。さらに、本発明では、温度が低下した際にマイクロ流路１０内の高粘度液体を加熱するためのヒーター７０を備えており、本発明が効果的に行われるようになっている。
【００１３】
図２は、本発明の別の実施形態に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。基本的には、本実施形態は、図１に示す前記高粘度液体用液滴吐出装置１と同様であり、主な特徴については繰り返さない。本実施形態では、分岐流路２０が出口流路１３の両側部に対して傾斜して接続されている点が異なる。また、出口流路１に接続される分岐流路２０の数は、任意に決定することができる。例えば、出口流路１３に接続される分岐流路２０は１つであってもよい。また、吐出間隔を調整するために出口流路１３の側部にそれぞれ２つ以上若しくはそれ以上の分岐流路２０があってもよい。分岐流路２０にガス５１を供給するためのガス供給装置５０によって供給される圧力がマイクロ流路１０に高粘度流体３１を供給するための高粘度液体供給装置３０によって供給される圧力に比べて大きいことが好ましい。
【００１４】
図３Ａから図３Ｆには、本発明に係る高粘度液体用液滴吐出装置の動作が模式的に示されている。空気といったガス５１が注入され、かつ該空気を供給するための圧力や供給される空気の量といったパラメータが制御されることによって、本発明では、吐出される高粘度液体３１の総量ばかりでなく吐出される液滴のサイズも制御され、それにより、高粘度液滴２１の吐出が行われるようになる。図３Ａ及び図３Ｂに示すように、高粘度液体供給装置３０が高粘度液体３１を供給すると、高粘度液体３１が確実にマイクロ流路１０内にスムーズに流入する。高粘度液体供給装置３０によって圧力が供給されると、高粘度液体３１にはマイクロ流路の出口流路１３から外部へ放出されるような力が加わる。さらに、分岐流路２０に空気が注入されると、マイクロ流路１０内の高粘度液体の流動が遮られ、その結果、図３Ｃに示すように、間欠的な高粘度液体の液滴３２が形成される。従って、高粘度液体供給装置３０によって供給される圧力、ガス供給装置５０の注入圧力、ガス５１の供給量、出口流路１３及び分岐流路２０の直径や長さ等といったパラメータを制御することによって、本発明では吐出される液滴のサイズ及び吐出される高粘度液体３１の総量が調整され、それにより、図３Ｄ〜図３Ｆに示すように、高粘度液滴３２の吐出が行われる。本発明は、数千から数万ｃＰの粘度を有する液体に対して適用可能である。吐出された液滴の量は約１０〜５０ｐＬである。
【００１５】
図４及び図５は、それぞれ、本発明の第１実施形態及び第２実施形態に係る高粘度液体用液滴吐出モジュールの模式図を示す。モジュールデザインや大量生産のために、本発明では、複数の高粘度液体用液滴吐出ユニット１１００が基材１０００上に配置されている。マイクロ流路１２００はノズルとして用いられ、そのため、各マイクロ流路１２００内の高粘度液体の吐出条件を制御することによってデジタル吐出制御における吐出性能を大きく向上させることができる。図４は、本発明の第１実施形態に係る高粘度液体用液滴吐出モジュールであって、分岐流路１３００の両側配置を示している。図４は、本発明の第２実施形態に係る高粘度液体用液滴吐出モジュールであって、分岐流路１３００の片側配置を示している。
【００１６】
図６は、本発明に係る高粘度液体用液滴吐出モジュールの分解図である。高粘度液体用液滴吐出モジュールは、基材１０００、ベース２０００及びカバープレート３０００を備えている。基材１０００はダイスカットされたウェハといった様々な材料で構成され、複
数の高粘度液体用液滴吐出ユニット１１００を備えている。そして、液滴吐出ユニットの数は、要望及び基材１０００のサイズによって決まる。本実施形態では、４つの高粘度液体用液滴吐出ユニット１１００が設けられ、少なくとも２つの異なったタイプのユニットを備えている。各高粘度液体用液滴吐出ユニットはマイクロ流路１２００と少なくとも一つの分岐流路１３００とを備えている。高粘度液体用液滴吐出ユニット１１００の一方のタイプは２つの分岐流路１３００を備え、他方のタイプは一つの分岐流路１３００を備えている。マイクロ流路１２００は、入口１４００と出口流路１５００とを有する。各入口１４００は高粘度液体４１００が流入する対応する第１開口部２１００に連通し、各分岐流路１３００はガス５１００が流入する対応する第２開口部２２００に連通している。ベース２０００は、基材上の個々の入口１４００に対応した複数の第３開口部２５００と、個々の分岐流路１３００に対応した複数の第４開口部２６００とを備えている。複数の第３開口部２５００はベース２０００の内部に設けられた第１流体伝達ライン２３００に連通し、複数の第４開口部２６００はベース２０００の内部に設けられた少なくとも１つの第２流体伝達ライン２４００に連通している。その結果、高粘度液体４１００は対応する第１流体伝達ライン２３００を通ってマイクロ流路１２００に供給され、空気５１００は対応する第２流体伝達ライン２４００を通って分岐流路１３００に供給される。カバープレート３０００は、基材１０００をカバープレート３０００とベース２０００との間にボルト３１００によって固定できるようになっている。加えて、第１流体伝達ライン２３００は高粘度液体供給装置４０００に接続され、第２流体伝達ライン２４００はガス供給装置５０００に接続されている。本実施形態では、さらに第２流体伝達ライン２４００とガス供給装置５０００との間に制御弁６０００が設けられており、分岐流路１３００内のガス５１００の移動方向を間欠的に制御するようになっている。
【００１７】
図７は、本発明の高粘度液体用液滴吐出モジュール内に配置される第１流体伝達ラインの第１実施形態に係る模式図である。本実施形態では第１流体伝達ライン２３００が設けられ、該第１流体伝達ライン２３００は該第１流体伝達ライン２３００と第１開口部２１００との間に設けられた複数の第３開口部２５００に連通し、高粘度液体４１００が第１流体伝達ライン２３００を介してマイクロ流路１２００に供給するのを許容するものである。具体的に言うと、本実施形態では、高粘度液体供給装置４０００は、高粘度液体４１００が各分岐流体伝達ライン２３３０に供給されて第３開口部２５００から排出される前に、高粘度液体４１００を第１流体伝達ライン２３１０に供給する。また、本実施形態では複数の第２流体伝達ライン２４２０が設けられ、該第２流体伝達ライン２４２０は該第２流体伝達ライン２４２０と第２開口部２２００との間に設けられた複数の第４開口部２６００にそれぞれ連通し、空気５１００が各第２流体伝達ライン２４２０を介して分岐流路１３００に入るのを許容する。本実施形態では、複数の第２流体伝達ライン２４２０は独立して配置され、それぞれガス供給装置５０００によってガス５１００が供給される。さらに、各第２流体伝達ライン２４２０とそれに対応するガス供給装置５０００との間には、ガス５１００の第２流体伝達ライン２４００への供給を制御する制御弁６０００が設けられており、分岐流路１３００内のガス５１００の移動方向を間欠的に制御するようになっている。
【００１８】
図８は本発明の高粘度液体用液滴吐出モジュール内に配置される流体伝達ラインに係る第２実施形態の模式図である。本実施形態では複数の第１流体伝達ライン２３１０を備え、該第１流体伝達ライン２３１０は該第１流体伝達ライン２３１０と第１開口部２１００との間に設けられた複数の第３開口部２５００に連通し、複数の高粘度液体供給装置４０００が高粘度液体４１００をそれぞれ複数の第１流体伝達ライン２３１０へ供給するのを許容する。本実施形態では、複数の第２流体伝達ライン２４１０を備え、該第２流体伝達ライン２４１０は該第２流体伝達ライン２４１０と第２開口部２２００との間に設けられた複数の第４開口部２６００にそれぞれ連通し、ガス５１００が分岐流路１３００に供給される前に複数のガス供給装置５０００がガス５１００をそれぞれ複数の第２流体伝達ラ
イン２４１０に供給するのを許容する。本実施形態では、第１流体伝達ライン２３１０は独立して配置されており、各高粘度液体供給装置４０００によって高粘度液体４１００が供給される。同様に、第２流体伝達ライン２４１０は独立して配置されており、各ガス供給装置５０００によってガス５１００が供給される。さらに、各第２流体伝達ライン２４１０とそれに対応するガス供給装置５０００との間には第２流体伝達ライン２４１０にガス５１００の供給を制御する制御弁６０００が設けられており、分岐流路１３００内のガス５１００の移動方向を間欠的に制御するようになっている。
【００１９】
本実施形態と前述した実施形態との差について、本実施形態では各第１流体伝達ライン２３１０にはそれぞれ対応する高粘度液体供給装置４０００が設けられ、各第２流体伝達ライン２４１０にはそれぞれ対応するガス供給装置５０００が設けられている。それに対して、前述した実施形態では、一つの高粘度液体供給装置４０００に対応して一つの第１流体伝達ライン２３００が設けられており、それぞれに対応するガス供給装置５０００を備える第２流体伝達ライン２４２０とは対照的である。
【００２０】
図９は、本発明に係る、組み立てられた高粘度液体用液滴吐出モジュールの３次元図である。組み立てられた高粘度液体用液滴吐出モジュール３は、デジタル吐出を行うために間欠的に吐出された高粘度液体を微細化するためのマイクロメカニカル機器や装置に内蔵され、その結果、超小型回路（マイクロ回路）プリント技術用の直接吐出といった発明の応用のための道が開かれる。
【００２１】
本発明の好ましい実施形態を例示したが、上記各実施形態は本発明の実質的な適用範囲を限定するものではなく、他の実施形態を含むような本発明の精神及び付加されたクレームから離れることのない範囲内の改良及び変更は、本発明の保護範囲及びクレーム内となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。
【図３Ａ】本発明に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。
【図３Ｂ】本発明に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。
【図３Ｃ】本発明に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。
【図３Ｄ】本発明に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。
【図３Ｅ】本発明に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。
【図３Ｆ】本発明に係る高粘度液体用液滴吐出装置の模式図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る高粘度液体用液滴吐出モジュールの模式図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る高粘度液体用液滴吐出モジュールの模式図である。
【図６】本発明に係る高粘度液体用液滴吐出モジュールの分解図である。
【図７】本発明の高粘度液体用液滴吐出モジュール内に配置される第１流体伝達ラインの第１実施形態に係る模式図である。
【図８】本発明の高粘度液体用液滴吐出モジュール内に配置される流体伝達ラインに係る第２実施形態の模式図である。
【図９】本発明に係る高粘度液体用液滴吐出モジュールの３次元図である。
【図１０】通常の液滴における吐出量と粘度とを示す図である。
【図１】
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【図２】
2009113025.tif 000004
【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
2009113025.tif 000006
【図３Ｃ】
2009113025.tif 000007
【図３Ｄ】
2009113025.tif 000008
【図３Ｅ】
2009113025.tif 000009
【図３Ｆ】
2009113025.tif 000010
【図４】
2009113025.tif 000011
【図５】
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【図６】
2009113025.tif 000013
【図７】
2009113025.tif 000014
【図８】
2009113025.tif 000015
【図９】
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【図１０】
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