(57)【要約】【課題】被固定部品の着脱を容易にして、再利用することができる台座を提供する。【解決手段】固定具４が、凹部２７の側面の一部から突出して、かつ、その突出方向である矢印Ｓ１方向に移動可能なように、台座本体２の固定具収容室２３内に収容されている。固定具４に、突起２０の突出方向に直交する方向に突出する突部２１が設けられている。台座本体２の固定具収容室２３の内壁に突部２１の突出方向に窪む突起の突出方向に沿った突部２１を収容する収容溝２５が、設けられ、台座本体２が、収容溝２５の溝幅方向を分割する第１の台座部９、第２の台座部１０から構成されるように設けられた。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被固定部品を固定する台座において、
前記被固定部品を収容する凹部が設けられた台座本体と、
前記凹部の側面の一部から突出して、かつ、その第１の突出方向に移動可能なように、前記台座本体の固定具収容室内に収容された固定具と、
前記固定具収容室、及び、前記台座本体の外部、を連通する前記第１の突出方向に沿ったねじ孔に螺合されるねじと、を備え、そして、
前記第１の突出方向に直交する方向に突出する突部が、前記固定具に設けられ、
前記台座本体の固定具収容室の内壁に前記突部の第２の突出方向に窪む前記第１の突出方向に沿った前記突部を収容する収容溝が、設けられ、
前記台座本体が、前記収容溝の溝幅方向を分割する複数分割品から構成されるように設けられたことを特徴とする台座。
【請求項２】
前記凹部の側面が、前記凹部底面から離れるに従って前記凹部中央に近づくテーパ状に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の台座。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、台座に係り、特に、被固定部品を固定する台座に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガスセンサは低消費電力化を目指すためにＭＥＭＳ技術を用いたシリコンチップデバイスが用いられており、一般的にマイクロガスセンサと呼ばれる。ガスセンサは、感ガス体を加熱してガスを検出するため、素子全体を加熱するのが一般的な方法である。マイクロガスセンサの場合、低消費電力、高速応答を実現するためにシリコンチップの一部を薄肉に設け、その薄肉部上に加熱部を設ける。そして、その加熱部に感ガス体が塗布されている。感ガス体が搭載されている薄肉部を加熱部で加熱し、チップ全体は加熱されないため、チップは台座上に直接固定されるのが一般的である。
【０００３】
上記被固定部品としてのチップの固定方法は様々であるが、通常、ガラスハーメチックシールを用いた台座（例としてＴＯ−５、ＴＯ−８など）に銀ペーストなどをもちいてダイボンディングされ、電気的接合を得るために金、アルミなどの細線を台座に支持された金属ピンとチップの接合パット部間にボールボンディングされるのが一般的である。
【０００４】
しかしながら、この方法で固定されたチップが不要になった場合、チップを取り除いて台座を再利用しようとしても、ダイボンディングによってチップが強固に固定されているためにチップを取り除くことが極めて難しく、また取り除いたとしても台座上にはチップの破損或いはダイボンディングペーストの残渣が固着した状態で残留する。従って、再利用する場合は特殊な洗浄処理が必要となるので通常は廃棄され、新品の台座を使用せざるを得ない、という問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、上記のような問題点に着目し、被固定部品の着脱を容易にして、再利用することができる台座を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の発明は、被固定部品を固定する台座において、前記被固定部品を収容する凹部が設けられた台座本体と、前記凹部の側面の一部から突出して、かつ、その第１の突出方向に移動可能なように、前記台座本体の固定具収容室内に収容された固定具と、前記固定具収容室、及び、前記台座本体の外部、を連通する前記第１の突出方向に沿ったねじ孔に螺合されるねじと、を備え、そして、前記第１の突出方向に直交する方向に突出する突部が、前記固定具に設けられ、前記台座本体の固定具収容室の内壁に前記突部の第２の突出方向に窪む前記第１の突出方向に沿った前記突部を収容する収容溝が、設けられ、前記台座本体が、前記収容溝の溝幅方向を分割する複数分割品から構成されるように設けられたことを特徴とする台座に存する。
【０００７】
請求項２記載の発明は、前記凹部の側面が、前記凹部底面から離れるに従って前記凹部中央に近づくテーパ状に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の台座に存する。
【発明の効果】
【０００８】
以上説明したように請求項１記載の発明によれば、被固定部品を台座に固定する場合は、固定具に設けた突部を固定具収容室の収容溝に嵌め込むように、複数の分割品を合わせて台座本体を形成する。この固定具に設けた突部により固定具が台座本体から抜け落ちることがない。その後、台座本体に設けた凹部に被固定部品を収容する。次に、台座本体の外部からねじ孔にねじを挿入してねじの先端で固定具を押す。これにより、固定具が被固定部品に近づくように移動して、凹部の側面と固定具との間に被固定部品を挟んで固定する。また、被固定部品を台座から取り除く場合は、台座本体のねじ孔からねじを外すだけで被固定部品を除去することができる。このため、被固定部品の着脱を容易にして、再利用することができる台座を得ることができる。
【０００９】
請求項２記載の発明によれば、凹部の側面が、凹部底面から離れるに従って凹部中央に近づくテーパ状に設けられているので、被固定部品が凹部の開口から抜け落ちるのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１などに示すように、台座１は、台座本体２と、４つの金属ピン３と、２つの固定具４、５と、２つのすりわり付止めねじ６、７（ねじ）と、を備えている。台座本体２は、樹脂製であり、円板状に設けられている。台座本体２には、板厚方向に貫通する４つの圧入孔８が設けられている。この４つの圧入孔８の各々に金属ピン３が圧入されて、金属ピン３が台座本体２に固定される。
【００１１】
台座本体２は、図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、板厚方向に２つに分割された分割品としての第１の台座部９と、第２の台座部１０と、から構成されている。第１の台座部９には、図２に示すように、板厚方向に貫通する３つの貫通孔１１、１２、１３が形成されている。貫通孔１１は、上面視正方形状に形成されている。貫通孔１２は、正方形状の貫通孔１１の矢印Ｓ１方向の一辺に連通されて設けられている。貫通孔１２は、上面視長方形状に形成されていて、長手方向が矢印Ｓ１に沿うように設けられている。貫通孔１３は、正方形状の貫通穴１１の矢印Ｓ１と直交する矢印Ｓ２方向の一辺に連通されて設けられている。貫通孔１３は、上面視長方形状に形成されていて、長手方向が矢印Ｓ２に沿うように設けられている。
【００１２】
第２の台座部１０には、図３に示すように、板厚方向に窪む２つの凹部１４、１５と、ねじ孔１６、１７と、が形成されている。凹部１４は、上面視正方形状に設けられていて、貫通孔１２の貫通孔１１側の端部に対向する位置に設けられている。凹部１４には、矢印Ｓ２方向に対向する一対の端部に沿って底面が中央部の底面よりも高くなる一対の段部１８が形成されている。一対の段部１８は、矢印Ｓ１に沿って形成されている。この一対の段部１８間の距離Ｌ１（図３）は、貫通孔１２の矢印Ｓ２方向の幅Ｗ１（図２）と同じに設けられている。
【００１３】
凹部１５は、上面視正方形状に設けられていて、貫通孔１３の貫通孔１１側の端部に対向する位置に設けられている。凹部１５には、矢印Ｓ１方向に対向する一対の端部に沿って底部が中央部の底面よりも高くなる一対の段部１９が形成されている。一対の段部１９は、矢印Ｓ２に沿って形成されている。この一対の段部１９間の距離Ｌ２（図３）は、貫通孔１３の矢印Ｓ１方向の幅Ｗ２（図２）と同じに設けられている。
【００１４】
ねじ孔１６は、凹部１４の矢印Ｓ１方向の貫通孔１１から離れた側の側面、及び、第２の台座部１０の外周面、を連通するように設けられている。ねじ孔１６は、矢印Ｓ１に沿って設けられている。ねじ孔１７は、凹部１５の矢印Ｓ２方向の貫通孔１１から離れた側の側面、及び、第２の台座部１０の外周面、を連通するように設けられている。ねじ孔１７は、矢印Ｓ２に沿って設けられている。
【００１５】
固定具４は、図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、貫通孔１２内を通って凹部１４上に配置される。固定具５も同様に、貫通孔１３内を通って凹部１５上に配置される。固定具４、５は、図６に示すように、略角柱状に設けられていて、突起２０と、一対の突部２１と、が設けられている。突起２０は、図４（Ａ）及び図６に示すように、固定具４、５の側面から貫通孔１１側に向かって突出するように設けられている。一対の突部２１は、図４（Ｂ）及び図６に示すように、突起２０の突出方向及び板厚方向の両方に直交する方向に突出して設けられている。
【００１６】
一対の突部２１は、突起２０の突出方向に沿って設けられている。また、固定具４は、図４（Ａ）に示すように、第２の台座部１０側の突起２０の突出方向の幅Ｗ３が凹部１４の突起２０の突出方向の幅Ｗ４よりも短くなるように形成されている。固定具５も同様に、第２の台座部１０側の突起２０の突出方向の幅Ｗ３が凹部１５の突起２０の突出方向の幅Ｗ４よりも短くなるように形成されている。すりわり付止めねじ６、７は、第２の台座部１０に設けたねじ孔１６、１７にそれぞれ螺合される。
【００１７】
次に、上述した構成の台座１の組み立て方法について以下説明する。まず、固定具４を第２の台座部１０に設けた凹部１４の底面に載せる。このとき、図４（Ａ）に示すように、固定具４の突起２０が貫通孔１１に対向する第２の台座部１０の上面２２に配置され、図４（Ｂ）に示すように、突部２１が段部１８上に配置されるように、固定具４を凹部１４の底面に載せる。また、固定具５を第２の台座部１０に設けた凹部１５の底面に載せる。このとき、固定具５の突起２０が貫通孔１１に対向する第２の台座部１０の上面２２に配置され、突部２１が段部１９上に配置されるように、固定具５を凹部１５の底面に載せる。
【００１８】
次に、貫通孔１２に固定具４が挿入され、貫通穴１３に固定具５が挿入されるように、第２の台座部１０上に第１の台座部９を載せて互いに接着接合させる。これにより、第１の台座部９に設けた貫通孔１２、及び、第２の台座部１０に設けた凹部１４、の内部に固定具４が収容される。即ち、第１の台座部９に設けた貫通孔１２、及び、第２の台座部１０に設けた凹部１４、が固定具４を収容する固定具収容室２３（図４（Ａ）、（Ｂ））を構成する。また、第１の台座部９に設けた貫通孔１３、及び、第２の台座部１０に設けた凹部１５、の内部に固定具５が収容される。即ち、第１の台座部９に設けた貫通孔１３、及び、第２の台座部１０に設けた凹部１５、が固定具５を収容する固定具収容室（図示せず）を構成する。
【００１９】
また、このとき、図４（Ｂ）に示すように、凹部１４に設けた段部１８と第１の台座部９の下面２４とによって固定具収容室２３の内壁に固定具４の突部２１の突出方向である矢印Ｓ２方向に窪む突起２０の突出方向である矢印Ｓ１方向に沿った突部２１を収容する収容溝２５が設けられる。また、凹部１５に設けた段部１９と第１の台座部９の下面２４とによって固定具５を収容する固定具収容室の内壁に固定具５の突部２１の突出方向である矢印Ｓ１方向に窪む突起２０の突出方向である矢印Ｓ２方向に沿った突部２１を収容する収容溝（図示せず）が設けられる。
【００２０】
この収容溝２５内に固定具４、５の突部２１が収容される。また、図４（Ａ）に示すように、第１の台座部９に設けた貫通孔１１と、第２の台座部１０の上面２２と、で板厚方向に窪む後述するセンサチップ２６を収容する凹部２７が設けられる。そして、図１に示すように、固定具４の突起２０が、凹部２７の矢印Ｓ１側の側面から凹部２７内部に突出する。また、固定具５の突起２０が、凹部２７の矢印Ｓ２側の側面から凹部２７内部に突出する。
【００２１】
上述したように凹部１４、１５の幅Ｗ４は、固定具４、５の幅Ｗ３よりも大きくなるように設けられている。このため、固定具４は、固定具収容室２３内を突起２０の突出方向である矢印Ｓ１方向に移動可能に設けられる。また、固定具５は、固定具収容室内を突起２０の突出方向である矢印Ｓ２方向に移動可能に設けられる。最初の状態では、図４（Ａ）に示すように、固定具４は、矢印Ｓ１方向の貫通孔１１から最も離れた側に位置するように移動させる。同様に、固定具５も、矢印Ｓ２方向の貫通孔１１から最も離れた側に位置するように移動させる。
【００２２】
次に、上記凹部２７上にセンサチップ２６を搭載する。その後、ねじ孔１６、１７の第２の台座部１０の外周面の開口からそれぞれすりわり付止めねじ６、７を螺合させる。ねじ孔１６、１７の奥に向かって、即ち固定具４、５に向かってすりわり付止めねじ６、７を螺合させると、すりわり付止めねじ６、７の一端が固定具４、５に当接する。さらにねじ孔１６、１７の奥まで螺合させると、すりわり付止めねじ６、７が固定具４、５を押して固定具４、５がセンサチップ２６に近づく方向に移動する。これにより、図５に示すように、凹部２７の側面と固定具４、５との間にセンサチップ２６が挟まれて固定される。また、圧入孔８に金属ピン３を圧入して、完成する。なお、凹部２７の側面、即ち貫通孔１１の側面は、図４（Ａ）に示すように、凹部２７の底面である第２の台座部１０の上面２２から離れるに従って凹部２７中央に近づくテーパ状に設けられている。
【００２３】
次に、センサチップ２６が不要となりセンサチップ２６を台座１から取り除くときの手順について説明する。まず、すりわり付止ねじ６、７を回してセンサチップ２６から離れる方向に移動される。これにより、固定具４、５がセンサチップ２６から離れる方向に移動可能となる。次に、固定具４、５をセンサチップ２６から離れる方向に移動させて、センサチップ２６の固定を解除してセンサチップ２６を取り除く。
【００２４】
上述した台座１によれば、台座本体２は、センサチップ２６を収容する凹部２７が設けられる。固定具４は、凹部２７の矢印Ｓ１方向の側面から突出して、かつ、その突出方向である矢印Ｓ１方向（第１の突出方向）に移動可能なように、固定具収容室２３に収容されている。すりわり付止めねじ６は、固定具４を収容する固定具収容室２３、及び、台座本体２の外周面、を連通する。すりわり付止めねじ６は、矢印Ｓ１方向に沿ったねじ孔１６に螺合される。固定具４には、矢印Ｓ１に直交する矢印Ｓ２方向（第２の突出方向）に突出する突部２１が設けられている。固定具４を収容する固定具収容室２３の内壁には、矢印Ｓ２方向に窪む矢印Ｓ１に沿った突部２１を収容する収容溝２５が設けられている。
【００２５】
一方、固定具５は、凹部２７の矢印Ｓ２方向の側面から突出して、かつ、その突出方向である矢印Ｓ２方向（第１の突出方向）に移動可能なように、図示しない固定具収容室に収容されている。すりわり付止めねじ７は、固定具５を収容する固定具収容室、及び、台座本体２の外周面、を連通する。すりわり付止めねじ７は、矢印Ｓ２方向に沿ったねじ孔１７に螺合される。固定具５には、矢印Ｓ２に直交する矢印Ｓ１方向（第２の突出方向）に突出する突部２１が設けられている。固定具５を収容する固定具収容室の内壁には、矢印Ｓ１方向に窪む矢印Ｓ２に沿った突部２１を収容する収容溝２５が設けられている。また、台座本体２が、収容溝２５の溝幅方向を分割する第１の台座部９と第２の台座部１０とから構成されるように設けられている。
【００２６】
以上の構成により、センサチップ２６を台座１に固定する場合は、固定具４、５に設けた突部２１を固定具収容室２３の収容溝２５に嵌め込むように、第１の台座部９と第２の台座部１０とを合わせて台座本体２を形成することができる。この固定具４、５に設けた突部２１により固定具４、５が台座本体２から抜け落ちることがない。
【００２７】
その後、台座本体２に設けた凹部２７にセンサチップ２６を収容する。次に、台座本体２の外部からねじ孔１６、１７にすりわり付止めねじ６、７を挿入してすりわり付止めねじ６、７の先端で固定具４、５を押す。これにより、固定具４、５がセンサチップ２６に近づくように移動して、凹部２７の側面と固定具４、５との間にセンサチップ２６を挟んで固定する。また、センサチップ２６を台座１から取り除く場合は、台座本体２のねじ孔１６、１７からすりわり付止めねじ６、７を外すだけでセンサチップ２６を除去することができる。このため、センサチップ２６の着脱を容易にして、再利用することができる台座１を得ることができる。
【００２８】
また、凹部２７の側面が、凹部２７底面から離れるに従って凹部２７中央に近づくテーパ状に設けられているので、センサチップ２６が凹部２７の開口から抜け落ちるのを防止することができる。
【００２９】
なお、上述した実施形態によれば、被固定部材としてセンサチップ２６を用いていたが、本発明はこれに限ったものではない。被固定部材としては、台座１に固定したいものであればなんでもよい。
【００３０】
また、上述した実施形態によれば、第１の台座部９に設けた貫通孔１１と第２の台座部１０の上面２２とを合わせて凹部２７を形成していたが、本発明はこれに限ったものではない。例えば、第１の台座部９のみに凹部２７を設けても良い。また、第１の台座部９に設けた貫通孔１１と第２の台座部１０に設けた凹部とを合わせて凹部２７を形成してもよい。
【００３１】
また、上述した実施形態によれば、固定具４、５は２つ設けていたが、本発明はこれに限ったものではない。固定具４、５としては少なくとも１つ設けられていればよい。
【００３２】
また、前述した実施形態は本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の台座の一実施の形態を示す上面図である。
【図２】図１に示す台座を構成する第１の台座本体の上面図である。
【図３】図１に示す台座を構成する第２の台座本体の上面図である。
【図４】（Ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図であり、（Ｂ）は図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】センサチップを固定した状態での図４に示すＡ−Ａ線断面図である。
【図６】図１に示す固定具の斜視図である。
【符号の説明】
【００３４】
１    台座
２    台座本体
４    固定具
５    固定具
６    すりわり付止めねじ（ねじ）
７    すりわり付止めねじ（ねじ）
９    第１の台座部（分割品）
１０  第２の台座部（分割品）
１６  ねじ孔
１７  ねじ孔
２３  固定具収容室
２５  収容溝
２６  センサチップ（被固定部材）
２７  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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