(57)【要約】【課題】  画像検査工程における照明の明度のバラツキの防止である。【解決手段】  保持台１に載置した検査対象物２を照明手段４によって照明し、該検査対象物２からの反射光を反射画像として撮像手段６で撮像し、該撮像画像を画像処理手段７で画像処理して良否を判定する画像検査装置において、照明の明度を測定及び調整するために、反射標準部材３を前記検査対象物２の検査面あるいは近傍に設置したことを特徴とする画像検査装置の照明明度の測定及び調整方法に関する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持台に載置した検査対象物を照明手段によって照明し、該検査対象物からの反射光を反射画像として撮像手段で撮像し、該撮像画像を画像処理手段で画像処理して前記検査対象物の良否を判定する画像検査装置において、
照明の明度を測定及び調整するために、反射標準部材を前記検査対象物の検査面あるいは近傍に設置したことを特徴とする画像検査装置の照明明度の測定及び調整方法。
【請求項２】
前記反射標準部材が、ポリテトラフルオロエチレンからなることを特徴とする請求項１に記載の測定及び調整方法。
【請求項３】
前記反射標準部材の表面粗さが、Ｒａ１．６から１２．５であることを特徴とする請求項１に記載の測定及び調整方法。
【請求項４】
前記反射標準部材が、ポリテトラフルオロエチレンの粉末を押し固めてベーキングしたものからなることを特徴とする請求項１に記載の測定及び調整方法。
【請求項５】
前記反射標準部材の表面の色彩が、白色であることを特徴とする請求項１に記載の測定及び調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、例えば、水晶振動子等、の良否を画像検査装置において判定する際における、照明の明度の測定及び調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の画像検査装置は、図４（ａ）に示すように、保持台１１に載置した検査対象物１２の画像の検査して、微細な傷、異物、クラック等の欠陥の有無をチェックするために、検査対象物１２の真上に照明用電源１５に接続された例えば、リング状の照明手段１４を載置して、照射光を照射し、検査対象物１４からの反射光を、照明手段１４の真上に設置したＣＣＤカメラ等の撮像手段１６により撮像し、撮像された画像を画像メモリに蓄積する。そして、画像メモリに蓄積された検査対象物１２の画像は、画像処理手段１７によって設定（基準）画像と比較する画像処理が実行され、良否の判定結果が出力されるようになっている。
【０００３】
そして、このような従来の画像検査装置では、照明用電源１５の出力を自動あるいは手動で調整・設定することで照明手段１４の照明の明度を調整している。
【０００４】
しかしながら、このような照明用電源の出力を調整・設定するだけでは、照明の個体差、その設置環境等によって明るさが変化した場合には、当然、画像による検査対象物の検査結果が異なったものになってしまう問題点があった。
【０００５】
また、図４（ｂ）に示すように、図４（ａ）に示した画像検査装置の検査対象物１２と照明手段１４との間に、光度計１３を介在させて、明るさを測定することも考えられるが、その測定精度は、極めて低いため本来の目的を達成できない。そのため最終的には、設定画像との写真等による人間の感覚的な比較で明度の条件設定が行われていた。
【０００６】
さらに、検査対象物の小型化に伴い、画像検査装置も小型化し、そのため光度計を使用できないこともあった。
【０００７】
この種の画像検査装置での検査対象物の画像検査は、文字通り検査対象物（製品）の一部または全部を撮像手段により撮影し、欠陥や傷等を検出したり、印字した文字等の内容を確認し、不良品の流出を未然に防ぐことを目的としている。そのため、画像検査工程において照明の明度調整は、極めて重要なファクターであり、その再現性、安定性が求められている。そのため、画像の撮影には、照明が不可欠であり、その明るさ（明度）は、撮影される画像そのものの精度を決定するものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、画像検査工程における照明の明度のバラツキの防止である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本願は、保持台に載置した検査対象物を照明手段によって照明し、該検査対象物からの反射光を反射画像として撮像手段で撮像し、該撮像画像を画像処理手段で画像処理して検査対象物の良否を判定する画像検査装置において、照明の明度を測定及び調整するために、反射標準部材を前記検査対象物の検査面あるいは近傍に設置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
画像検査工程における照明の明度調整を簡単な方法により行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の画像検査装置の照明明度測定及び調整方法の実施例について、添付した図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００１２】
まず、図１に示すように、本発明の方法が適用される画像検査装置は、保持台、載置テーブル、あるいは移動するベルトコンベア１のキャリア上に載置した検査対象物２、例えば、水晶ブランクの画像、を検査して、欠陥の有無をチェックする。そのために、検査対象物２の真上に、照明用電源５に接続されたリング状の照明手段４を設置して、照射光を検査対象物２に照射し、検査対象物２からの反射光を照明手段４の真上に設置したＣＣＤカメラ等の撮像手段６により撮像し、撮像された画像を、画像メモリに蓄積する。そして、画像メモリに蓄積された検査対象物２の画像は、画像処理手段７によって設定（標準）画像と比較する画像処理が実行され、良否の判定結果が出力されるようになっている。
【００１３】
本発明の照明明度測定及び調整方法では、図２にその平面図を示す反射標準部材３を用いることを、特徴とする。
【００１４】
この反射標準部材３は、検査対象２の形状に合せた形状であって、図１に示した保持台１の上側表面であって、検査対象物２の近傍に載置され、明度測定の基準として使用される。
【００１５】
この反射標準部材３は、比較的安価なテフロン（登録商標、ポリテトラフルオロエチレン：ＰＴＦＥ）からなり、粉末をベーキングし押し固めた圧縮成形よって製造される。
【００１６】
また、この反射標準部材３の表面の色彩は白色であり、かつ、平坦であることが不可欠で、表面の粗さは、Ｒａ１．６〜１２．５（Ｒａ；算術平均粗さ、μｍ）に加工されている。
【００１７】
テフロン（登録商標）は、反射率が広範囲の波長域で、高く、かつ、加工性もよく、また比較的安定しているから、反射標準部材３として、最適である。
【００１８】
本発明では、この反射標準部材３を画像検査装置の検査位置または検査可能な場所に設け、画像検査毎に、あるいは定期的に明度を測定し、照明手段４からの照射量、あるいはＣＣＤカメラ等の撮像手段６の絞り、または感度を自動または手動で適正な明度に調整する。
【００１９】
次に、図１に示した本発明の照明明度測定及び調整方法に用いる画像検査装置及び図２に示した反射標準部材による照明明度測定及び調整する方法について、図３に示すフローチャートに基づいて説明する。
【００２０】
まず、反射標準部材３を保持台あるいは搬送ベルトコンベア１の所定の位置に、所定の表面粗さ（Ｒａ１．６〜１２．５）に加工した反射標準部材３の白色面を照明手段４に対向させて載置する（ステップＳ１）。
【００２１】
次いで、照明用電源５に所定の電流を流して、例えば、ハロゲンランプ等の光源を点灯させて、照明手段４より照射光Ｌ1を反射標準部材３の白色面に向けて照射する（ステップＳ２）。
【００２２】
そして、ＣＣＤカメラ等の撮像手段６で照射光の反射標準部材３からの反射光Ｌ2を撮像し、そのメモリ画像を基準明度として別途設けた記憶手段に取り込む（ステップＳ３）。
【００２３】
さらに、保持台あるいは搬送ベルトコンベア１上に載置した反射標準部材３と検査対象物２を入れ替えるか、あるいは搬送ベルトコンベア１上に適宜の間隔（例えば、検査対象物５０個に対して１個）で取り付けた反射標準部材３を移動させ照明手段４の真下に検査対象物２を移動させる（ステップＳ４）。
【００２４】
また、さらに、照明手段４から照射光を検査対象物２に照射する（ステップＳ５）。
【００２５】
次いで、ステップＳ３で記憶手段に取り込んだ反射標準部材３の基準明度と検査対象物２からの反射光の明度とを比較して基準明度と合致するように照明手段４の電流の量を調整する。なお、照明手段４の照射光の明度を調整するほか、撮像手段（ＣＣＤカメラ）６の絞り、あるいは感度を調整してもよい（ステップＳ６）。この明度の調整により、同じ検査対象物２を検査する際、各種検査対象物２が同じに見えるよう照明環境の設定が行われる。
【００２６】
そして、適当な明度に調整された照明手段４から照明光Ｌ1を検査対象物２に照射する（ステップＳ７）。
【００２７】
最後に、検査対象物２からの照射光の反射光Ｌ2を撮像手段に入力する（ステップ８）。画像処理手段７により、良品のテンプレート（基準画像）と比較して検査対象物２の良否測定を行う（ステップＳ９）。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
水晶振動子のほか、あらゆる形状の検査対象物の良否判定の際の明度の測定及び調整に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の照明明度測定及び調整方法を適用する画像検査装置の概略図である。
【図２】本発明の照明明度測定及び調整方法に用いる反射標準部材の平面図である。
【図３】本発明の照明明度測定及び調整方法のフローチャートである。
【図４】従来の画像検査装置の概念図を示し、図４（ａ）は、明度の測定に光度計を用いないものを、また、図４（ｂ）は、明度の測定に光度計を用いたものを示す。
【符号の説明】
【００３０】
１  保持台
２  検査対象物
３  反射標準部材
４  照明手段
５  照明用電源
６  カメラ
７  画像処理手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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